(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ室に正逆方向に連通する一対の逆止弁からなる吸入弁および吐出弁を有するマイクロポンプに、流体が前記吸入弁の吸入口側から前記吐出弁の吐出口側へ漏れ出るのを防止する漏出防止弁機能を持たせるためのマイクロポンプ実装用の基板であって、
前記マイクロポンプを実装する多層構造の基板表面に開口し前記マイクロポンプの前記吸入口および吐出口に別々に連通する２つの接続口と、基板の内層に形成されこれらの接続口に連通する流入側および流出側の流体流路と、前記流出側の流体流路に形成され前記流入側流体圧と前記マイクロポンプ吐出口の流体圧との差圧減少により前記流出側の流体流路を閉じる漏出防止弁と、を有することを特徴とするマイクロポンプ実装用の基板。
【請求項２】
漏出防止弁は、マイクロポンプの吐出口の流体圧と基板に設けた流体流路の流入側の流体圧とが異なる面に加わる箔状弁体を備え、この箔状弁体はその両面にそれぞれ加わるこれら流体圧の差圧の減少により前記流出側の流体流路を閉じて吐出口から前記流出側の流体流路への流動を規制する請求項１のマイクロポンプ実装用の基板。
【請求項３】
基板は、マイクロポンプが搭載される表面となる表面層および底面となる底面層と、これらの間に挟まれた複数の内層とを持ち、漏出防止弁は箔状弁体となる弁体層とこの箔状弁体により開閉される環状弁座を有する弁座形成層とで形成され、前記弁体層と底面層とで挟まれる流路形成層に流体の流入側と流出側とに別々に連通する流体流路が形成され、マイクロポンプの吸入口には流入側の流体流路が前記底面層以外の各層を順に貫通して連通し、マイクロポンプの吐出口は前記環状弁座の周囲を囲み前記弁体層との間に形成される上弁室に連通し、前記環状弁座で囲まれる弁口は前記上弁室を迂回して前記流路形成層の流出側の流体流路に連通している請求項２のマイクロポンプ実装用の基板。
【請求項４】
基板は平面視でマイクロポンプの形状よりも広い請求項１のマイクロポンプ実装用の基板。
【請求項５】
複数のマイクロポンプを実装可能とし、少なくとも１つのマイクロポンプに接続される漏出防止弁を内層に有する請求項１のマイクロポンプ実装用の基板。
【請求項６】
請求項１の基板にマイクロポンプを実装したことを特徴とする漏出防止弁付きマイクロポンプ組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ダイヤフラムなどで形成されるポンプ室に吸入側および吐出側の逆止弁を接続したマイクロポンプを実装するために用いる基板と、この基板にマイクロポンプを実装したマイクロポンプ組立体とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年家庭用（戸建て住宅用）の分散型エネルギープラントとして燃料電池システムの普及と商業化が期待されている。この種の燃料電池では、燃料ガスや液体燃料、改質器に供給する水、改質器でできた水素などを燃料電池自体に供給するためのポンプが必要になる。また燃料から必要な水素（Ｈ2）を取り出す改質時に一酸化炭素（ＣＯ）が生成されるが、この一酸化炭素は電池触媒の性能に悪影響を及ぼすため、一酸化炭素濃度低減のため選択酸化用空気の流量制御も同時に求められる。さらに分析装置や医療関連（投薬、臨床試験など）では、気体や液体の微少量の供給が必要になる。さらに、電子機器の性能向上にに伴って発生する熱を放出し冷却するためのポンプも必要になる。
【０００３】
従来よりこのような用途に用いるマイクロポンプが種々提案されている。一般的なポンプとして、遠心式、容積回転式、容積往復式などが周知である。容積往復式は微少流量の吐出が可能で軽量精度が良いなどの特徴が有り、特にダイヤフラム式のものは小型化に適するから、体内にインプラント可能な医療機器、小型の分析機器や事務用機器などへの適用が行われている。
【０００４】
このダイヤフラム式のものでは、ポンプ室にダイヤフラムに対向するように吸入弁と吐出弁とを配設し、ダイヤフラムの他の面に貼り付けた圧電素子（ピエゾ素子）によりダイヤフラムを振動させてポンプ室の圧力を変化させ、流体を吸入弁からポンプ室に吸入し、吐出弁から吐出するものである。
【０００５】
すなわち、吸入弁と吐出弁は逆止弁で構成し、外部から供給される流体を流入側の逆止弁を通してポンプ室に吸入し、ここで加圧した流体を吐出側の逆止弁を通して吐出するように構成されている。この場合には流入側の流体圧力が高くなると、逆止弁がこの圧力により強制的に開かれることになり、ダイヤフラムの非駆動時にも流入口から吐出口へ流れてしまう（漏れ流が生じる）という問題がある。
【０００６】
特許文献１には、この不都合を解決するために、マイクロポンプ２０の流入口２２および吐出口２４がある同一面に、別の安全弁（本願発明の漏出防止弁に対応する。）４０を取り付け全体として一体化した安全弁付きマイクロポンプ装置が開示されている。すなわち、ポンプケース側に流入口２２、吐出口２４、安全弁４０の弁座４２を設けて第1の統合部分１４とし、この同一面に第２の統合部分１２となる弁蓋(ダイヤフラム）４４を重ね、さらに流体の流入側に接続されて弁蓋４４を弁座４２に押圧する流体領域５０および流体の出口４８が形成された第３の統合部分１０を積層したものである。従って第１、２、３の統合部分１４、１２、１０を一体化したポンプ装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２０１１−５０４５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
この従来のポンプ装置によれば、第３の統合部分１０に設けた流体の流入口４６と、流出口４８を他の（外部の）流体流路に接続する必要がある。しかしこの接続構造が複雑になったり、接続作業が面倒であり、作業性が極めて悪いという問題がある。またこのポンプ装置には安全弁４０が一体に形成されているので、ポンプ部分だけの転用が不可能である。
【０００９】
この発明はこのような事情に鑑みなされたものであり、マイクロポンプを基板に単に搭載することで基板側に設けた流体通路と一体化して、安全弁（漏出防止弁）付きのマイクロポンプを簡単に構成することを可能にするマイクロポンプ実装用の基板を提供することを第１の目的とする。すなわちマイクロポンプ自身は安全弁無しでも使用できる汎用性があるのものであり、これを簡単に安全弁付きのものにすることを可能にする。またこの基板を用いてマイクロポンプを実装したマイクロポンプ組立体を提供することを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明によれば第１の目的は、ポンプ室に正逆方向に連通する一対の逆止弁からなる吸入弁および吐出弁を有するマイクロポンプに、流体が前記吸入弁側から前記吐出弁側へ漏れ出るのを防止する漏出防止弁機能を持たせるためのマイクロポンプ実装用の基板であって、前記マイクロポンプを実装する多層構造の基板表面に開口し前記マイクロポンプの前記吸入口および吐出口に別々に連通する２つの接続口と、基板の内層に形成されこれらの接続口に連通する流入側および流出側の流体流路と、前記流出側の流体流路に形成され前記流入側の流体圧と前記マイクロポンプ吐出口の流体圧との差圧減少により前記流出側の流体流路を閉じる漏出防止弁と、を有することを特徴とするマイクロポンプ実装用の基板、により達成される。
【００１１】
第２の目的は、請求項１の基板にマイクロポンプを実装したことを特徴とする漏出防止弁付きマイクロポンプ組立体、により達成される。
【発明の効果】
【００１２】
この発明は、流入側の流体圧とマイクロポンプ（以下単にポンプともいう。）吐出口の流体圧との差圧減少により流出側の流体流路を閉じる漏出防止弁を基板に内装したものであるから、流体の漏出を確実に防止できる。すなわちポンプの不作動時には、流入側の流体圧はポンプ室を通ってポンプ吐出側に導かれるからこのポンプ吐出側の流体圧との差圧が減少して漏出防止弁が閉じる。また、ポンプの作動時にはポンプ吐出側流体圧がポンプ室で加圧されて大きくなるためこの差圧が増加することになり、このため漏出防止弁が開き、吐出口から流出側の流体流路への流動を許容することになる。
【００１３】
またマイクロポンプは基板に単に搭載するだけで基板側に設けた流体通路と一体化して、漏出防止弁付きのマイクロポンプを簡単に構成することができる。単体のマイクロポンプ自身は漏出防止弁無しでも使用できる汎用性があるのものであり、これを簡単に漏出防止弁付きのものにすることが可能になる。漏出防止弁は基板側に設けるが、基板はマイクロポンプの寸法に制約されず、マイクロポンプよりも大きくすることができるので、漏出防止弁の設計自由度が増大する。また基板はポンプの寸法に制約を受けずに大きくすることができるので、この基板を大きくすれば共通の基板に複数のマイクロポンプを実装することができる。
【００１４】
請求項６の発明によれば、請求項１の基板にマイクロポンプを実装して一体化した組立体としたから、この組立体を単位として他の装置に組み込むことができ、組立能率が向上し、これを使った装置の製造能率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明で用いるマイクロダイヤフラムポンプの外観例を示す斜視図
【図２】同じくポンプの底面を示す斜視図
【図３】同じくポンプの積層構造を示すための分解斜視図
【図４】ポンプの積層構造を示すための拡大側断面図
【図５】ポンプ実装用の基板の外観例を示す斜視図
【図６】基板の積層構造を示す分解斜視図
【図７】図５におけるVI−VI線断面図
【図８】図７の基板にポンプを実装した組立体を示す断面図
【図９】ポンプの流体吐出時を示す組立体の断面図
【図１０】漏出防止弁の作動状態を示す断面図
【図１１】流体の逆流防止状態を示す断面図
【図１２】基板の他の実施例を示す断面図
【図１３】基板のさらに他の実施例を示す分解斜視図
【図１４】基板のさらに他の実施例を示す分解斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
漏出防止弁は、箔状弁体（ダイヤフラムなど）で構成することができる。この場合、箔状弁体の異なる面にそれぞれマイクロポンプの吐出口の流体圧と流体流路の流入側の流体圧とを導き、この箔状弁体の両面にそれぞれ加わるこれら流体圧の差圧により開閉させることができる（請求項２）。すなわちこのポンプの不作動時には、流入側の流体圧が箔状弁体の一方の面に導かれる一方、この流体圧はポンプ室を通して箔状弁体の他方の面に作用するので、差圧は減少することになり、このため箔状弁体が閉じ、吐出口から流出側の流体流路への流動が規制されることになる。
【００１７】
この基板は次のように構成することができる。すなわち、マイクロポンプが搭載される表面となる表面層およびその反対側の底面層と、これらの間に挟まれた複数の内層とを持ち、漏出防止弁は箔状弁体となる弁体層とこの箔状弁体により開閉される環状弁座を有する弁座層とで形成され、前記弁体層と底面層とで挟まれる流路形成層に流体の流入側と流出側とにそれぞれ連通する流体流路が形成され、マイクロポンプの吸入口には流体流路の流入側が前記底面層以外の各層を順に貫通して連通され、マイクロポンプの吐出口は、前記弁座層の前記環状弁座周囲を囲み前記弁体層との間に形成される弁室に連通され、前記環状弁座で囲まれ前記箔状弁体により開閉される弁口は前記弁室を迂回して前記流路形成層の流出側流体流路に連通されることにより構成できる（請求項３）。
【００１８】
基板は平面視でマイクロポンプの形状よりも広くすることができ、この場合には漏出防止弁の弁体（箔状弁体、ダイヤフラムなど）の面積をポンプ寸法に比べて十分に大きくすることができる（請求項４）。このため前記差圧が小さい時にもこの弁体を確実に作動させることが可能になり、漏出防止弁の作動信頼性を高めることができる。
【００１９】
基板には、複数のマイクロポンプを実装可能とし、少なくとも１つのマイクロポンプに接続される漏出防止弁を内層に設けることができる（請求項５）。この場合には、ポンプの実装密度を上げることができ、複数のポンプの吐出流体を集合するなどして吐出量を増大させることなどが可能である。
【実施例１】
【００２０】
図１〜４において、符号１０は本発明の一実施例であるマイクロダイヤフラムポンプである。このポンプ１０は、複数のステンレスの金属薄板と枠体とを多層化接合、すなわち金属薄板などを位置合わせして積層し、接合したものであり、一辺が約７〜１０mmの四角形である。このポンプ１０の構造は、同一出願人による特許出願２０１０−１３０３０４号に説明されている通りであるからここでは詳細な説明はしないが、本発明を理解するため必要に応じてこの既出願を参考にすることができるのは勿論である。
【００２１】
図３、４において１２は弁板シートであり、例えば厚さ０．０１mm（１０ミクロン）のステンレス薄板に弁板１４と流路開口１６とをエッチングやプレス打ち抜きにより形成したものである。ここに弁板１４は、流路開口１６とほぼ同径の開口から内径側に折曲しながら伸びる支持腕に保持されて上下動可能である。
【００２２】
１８は弁座シートであり、例えば厚さが０.０５mmのステンレス薄板に、弁座２０と弁ストッパ２２とをエッチングやプレス打ち抜きにより形成したものである。弁ストッパ２２は、環状部２２ａと、この環状部２２ａの周囲に周方向に分割された３つの流路２２ｂとを有する（図２）。この環状部２２ａは、後記するようにポンプ１０を組み立てた状態で弁板１４を介して弁座２０に対向するものである。
【００２３】
このように加工された弁板シート１２と弁座シート１８とは二枚ずつ準備され、弁板シート１２，１２を図４に示すように重ね、その両側に弁座シート１８，１８を重ねて多層化接合する。例えば拡散接合（真空中で加熱・加圧して接合）する。なおこの時弁板シート１２，１２は、図３から明らかなように、左右を逆にして（１８０度回転して）かつ裏返して重ねる。このため弁板シート１２の弁板１４と流路開口１６は、弁板シート１２の左右を逆にしたり裏返した時に弁座シート１８の弁座２０，弁ストッパ２２と同心に重なる位置に形成する。この結果この積層体（予備積層体）２４には、図４に示す吸入弁２６と吐出弁２８とが形成される。
【００２４】
図３、４で、符号３２はベース板である。このベース板３２は、例えば厚さ０．４mmのステンレス板であって、吸入弁２６の弁座２０に対向する吸入口となる流路３２ａと、吐出弁２８の弁ストッパ２２（流路２２ｂ）に対向する吐出口となる流路３２ｂとが形成されている（図４）。ベース板３２は、流路３２ａ、３２ｂが吸入弁２６、吐出弁２８に連通するように予備積層体２４の下面に積層される。
【００２５】
３４は第１の枠体であり、ベース板３０と外形が同じで、例えば厚さが０．００５mmの４枚のステンレス薄板３４ａ〜ｄを積層して約０．０２mmの厚さにしたものである。なおステンレス薄板３４ａ〜ｄは非常に薄いので金属箔状のものであってもよい。各ステンレス薄板３４ａ〜ｄには、それぞれ開口径が異なる円形の開口がエッチングまたは打ち抜きなどで形成され、各開口の直径は、後記ダイヤフラム３６が後記ポンプ室４０側に湾曲する時の曲面形状に段階的に接近するように設定されている。なおこれらの開口は吸入弁２６と吐出弁２８の周囲を囲んでいる。また図３では、作図上の都合から各薄板３４ａ〜ｄの開口がほぼ同一径に見えるが、実際には図４に示すように段階的に（階段状に）変化している。
【００２６】
このように第１の枠体３４を開口径が異なる金属薄板を積層した構造にしたのは、ポンプ室４０内のデッドスペースを少なくして、ポンプの圧縮比を増大させるためである。圧縮比を増大させることにより、流体に混入した気泡がポンプ室に入ってポンプが流体を吐出できなくなるのを防ぎ（自吸性向上）、気泡混入による吐出量の減少などの不都合発生を防止できる特性（気泡耐性）を向上させることができるからである。
【００２７】
３６はダイヤフラムであり、例えば厚さ０．０５mmのステンレス薄板である。これもベース板３２と外形が同じである。３８は第２の枠体であり、例えば厚さ０．０４mmのステンレス薄板である。この第２の枠体３８は外形がベース板３２と同一である。
【００２８】
前記予備積層体２４には、下面にベース板３２が、上面に枠体３４とダイヤフラム３６と第２の枠体３８とが順次重ねられ、加圧しながら多層化接合される。例えば拡散接合される。この結果ダイヤフラム３６とこれに対向する上方の弁座シート１８との間にポンプ室（圧力室）４０が形成される。
【００２９】
以上のようにして多数の金属薄板の多層化接合がなされると、次に第２の枠体３８の上方からダイヤフラム３６にシート状の駆動素子、例えば圧電素子であるＰＺＴ４２が接着シート４４によって貼着される。このＰＺＴ４２は分極前のものであればこれを電界中に入れて分極する。このＰＺＴ４２の電極に接続される配線は上方に導かれて、図示しない駆動回路に接続される。
【００３０】
この実施例は、ベース板３２の流路３２ａ、３２ｂをそれぞれ流体の供給路と吐出路（共に図示せず）に接続し、ＰＺＴ４２の駆動回路を作動させて用いる。ＰＺＴ４２の作動によってダイヤフラム３６が上下に振動し、この振動によってポンプ室４０の容積が変化する。この振動によってポンプ室４０が負圧になる時には吸入弁２６の弁板１４が弁座２０から離れて吸入弁２６が開き、吐出弁２８の弁板１４は弁座２０に当たって吐出弁２８が閉じる。この結果吸入弁２６から新しく流体が吸入される。ダイヤフラム３６がポンプ室４０を加圧する時には、吸入弁２６が閉じ、吐出弁２８が開き、流体はポンプ室４０から吐出弁２８を通して吐出される。
【００３１】
前記ベース板３２の下面には、ガスケット４４が取り付けられている。このガスケット４４は図２、３に示すように前記ベース板３２の流路３２ａ、３２ｂを囲むように略８字型に形成されている。例えば未硬化エラストマーを適宜の方法、例えばスクリーン印刷などで流路３２ａ、３２ｂを囲むように供給し、加熱により適切な弾性を有する状態に硬化させることにより形成できる。
【００３２】
このように形成されたポンプ１０は、図４に示す基板４６に実装される。すなわちポンプ１０は、ベース板３２に開口する通路３２ａ、３２ｂを、基板４６に形成した基板側流体供給通路４８と基板側流体流入路５０の開口に位置合わせして押圧し、連通させる。なおこの基板４６には、後記するように漏出防止弁が内装されている。
【００３３】
ベース板３２の下面に設けたガスケット４４は、基板４６の基板側流体供給口４８と基板側流体流入口５０の開口を囲むように形成した凹部５１に進入し、ベース板３２とこの凹部５１との間に挟持される。この結果ベース板３２と基板４６の間から流体が外へ漏れ出るのが防止される。
【００３４】
次に基板４６について説明する。この基板４６は図６に示すように多層構造である。すなわち、表面層（ポンプ１０を実装する面）４６ａと、最下層である底面層４６ｆと、これらの間に挟まれる内層４６ｂ、４６ｃ、４６ｄ、４６ｅを積層したものである。表面層４６ａにはポンプ１０の吸入口３２ａおよび吐出口３２ｂに連通する前記した基板側流体供給口４８および基板側流体流出口５０が開口している。
【００３５】
内層４６ｂは第１の流路形成層（本発明の他の流体流路６４を形成する）、内層４６ｃは弁座形成層であり、内層４６ｄは箔状弁体（ダイヤフラム）となる弁体層、内層４６ｅは第２の流路形成層である。第２の流路形成層４６ｅには、外から供給される流体を下弁室５２に導く流体流路５４と、これらから独立した流体を流出させる流体流路５６とが形成されている。
【００３６】
内層４６ｅ（第２の流路形成層）の下弁室５２に内層４６ｄ（弁体層）を挟んで積層される内層４６ｃ（弁座形成層）の下面には、図７に示すように、弁体層４６ｄに対向する環状弁座５８と、この環状弁座５８を囲む環状の上弁室６０とが形成されている。この弁室６０には表面層４６ａの流体流出口５０から内層４６ｂ、４６ｃに形成した小孔を通ってポンプ１０の吐出流体が導かれる。環状弁座５８が形成された弁座形成層４６ｃと、これに接触・離間可能な内層４６ｄ（弁体層）とで、本発明の漏出防止弁６２が形成されている。
【００３７】
内層４６ｄ、４６ｃ、４６ｂには、この流体流路５４から流体を流体供給口４８に供給するそれぞれ小孔が形成されている。またポンプ１０が吐出口３２ｂから吐出する流体は、表面層４６ａの流体流出口５０から内層４６ｂ、４６ｃに設けた小孔を通して、上弁室６０（図７）に流入する。従って弁体となる内層４６ｄの下面には流体の流入圧が導かれ、上面にはポンプ１０の吐出圧が導かれる。
【００３８】
また上弁室６０の流体は、上弁室６０の圧力が上昇して弁体層４６ｄが環状弁座５８を開くと、環状弁座５８を通って、第１の流路形成層４６ｂに設けた流路６４（本発明の他の流体流路に相当する迂回路）を通り、さらに前記弁座形成層４６ｃと弁体層４６ｄに設けた小孔を通って流出側流体流路５６に導かれる。
【００３９】
すなわちこの漏出防止弁６２は、ポンプ１０の作動時にその吐出側の流体圧が流体供給側の流体圧よりも高くなると、弁体層４６ｄが下方に変位して環状弁座５８を開くことにより吐出側の流体流路を開くことになる（図９）。このためポンプ１０が吐出する流体は、流出側の流体流路５６から外へ吐出される。またポンプ１０の不作動時には、基板４６側の流体流路５４に入る流入側流体圧は、ポンプ室４０を介して漏出防止弁６２の上弁室６０に入るから、弁体層４６ｄの両側の圧力差は小さくなる。このため弁体層４６ｄは環状弁座５８を閉じることになり、流体流路５４の流体は、流出側の流体流路５６に流出することがない（図１０）。
【００４０】
なお図１１に示すように、流出側流体流路５６の流体圧が増加すると、漏出防止弁６２は開くことになるが、この流体圧はポンプ１０の吐出弁２８を閉じることになり、流体の逆流は防止される。
【実施例２】
【００４１】
図１２は基板の他の実施例を示す一部断面図であり、前記図５のVI−VI線相当の位置で断面をしたものである。この実施例の基板４６Ａは、内層４６ｃ（弁座形成層）に環状弁座５８を囲むように、複数の環状溝７０ａ、７０ｂを環状弁座５８と同心に形成したものである。
【００４２】
前記実施例１によれば、箔状弁体となる弁体層４６ｄが環状弁座５８を閉じている時に、上弁室６０の圧力と環状弁座５８内の圧力（流出側流体圧となる。）との差圧により流体が両者間に漏れてこの差圧が減少することが考えられる。この差圧が減少すると漏出防止弁６２の動作が不安定になったり漏出防止弁６２の開閉が不完全になることが考えられる。これに対してこの実施例によれば、上弁室６０と環状弁座５８との間に環状溝７０ａ、７０ｂと弁体層４６ｄとでラビリンスシールとして機能する絞りを多段階に形成することができ、流体圧の漏れを減少させて漏出防止弁６２の作動を安定させ、その開閉動作の信頼性を向上させることが可能になるものである。
【実施例３】
【００４３】
図１３に示す実施例は、基板４６Ｂを前記図６に示したものよりも長く大型にしたものである。すなわち第２の流路形成層ｂに長い基板側流路６４Ａを形成し、これに対応して第２の流路形成層４６ｅの流出側流路５６および弁座形成層４６ｃと弁体層４６ｄの小孔をそれぞれ弁室より遠く離したものである。
【００４４】
この実施例によれば、基板４６Ｂの流体流入路５４の流入口位置と、流出側流路５６の流出口位置とを基板４６Ｂの形状によって適宜変更することができ、基板の実装場所に応じて実装し易い基板形状にすることが可能になる。なおこの図１３では前記図６などに示した実施例と対応する位置に同一符号を付し、基板４６Ｂの各層４６ａ〜ｆにはそれぞれ添え字１を付したので、それらの説明は繰り返さない。
【実施例４】
【００４５】
図１４に示した実施例は、基板４６Ｃに複数の（例えば４つの）ポンプ１０を搭載可能としたものである。すなわち、前記図１３に示した基板４６Ａをその幅方向（流路５４、５６、６４などの長さ方向に直交する方向）に並列させることにより、複数のポンプ１０を並列に配置したものである。この実施例によれば、複数のポンプ１０によって同一流体を吐出する場合には合計の吐出量を増大することができる。また一部のポンプ１０が流出する流体を変更すれば、合流した流体の混合比を変化させることができる。なお図１４においては、前記図６に対応する部分に同一の符号を付し、また基板４６Ｃの各層４６ａ〜ｆには添え字２を付したので、それらの説明は繰り返さない。
【符号の説明】
【００４６】
１０  マイクロダイヤフラムポンプ（ポンプ）
１４  弁板
２０  弁座
２６  吸入弁
２８  吐出弁
３２ａ  流路（吸入口）
３２ｂ  流路（吐出口）
３６  ダイヤフラム
４０  ポンプ室
４２  駆動素子（圧電素子、ピエゾ素子、ＰＺＴ）
４６、４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃ  基板
４６ａ、４６ａ１、４６ａ２  表面層
４６ｂ、４６ｂ１、４６ｂ２  第１の流路形成層（他の流路形成層）
４６ｃ、４６ｃ１、４６ｃ２  弁座形成層
４６ｄ、４６ｄ１、４６ｄ２  弁体層（ダイヤフラム）
４６ｅ、４６ｅ１、４６ｅ２  第２の流路形成層
４６ｆ、４６ｆ１、４６ｆ２  底面層
４８  基板側流体供給路
５０  基板側流体流入路
５４  基板の流体供給側流路
５６  基板の流体流出側流路
５８  環状弁座
６０  上弁室
６２  漏出防止弁
６４  他の流体流路（迂回流路）  
【図１】
0005826009.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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