(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成され、一つの側面に前記収容空間の空気を排出するために排出部を備えるはんだ槽と、
一面にビアが形成されたウエハーを前記収容空間の上に固定させて前記収容空間を密閉する固定ユニットと、
前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させることにより前記ビアに前記溶融はんだを満たす加圧ユニットと、
を含み、
前記加圧ユニットは、
前記はんだ槽内に設けられ、前記収容空間に対応する面積で形成され、前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを移送させる加圧ボードと、
前記はんだ槽の下部を貫通して前記加圧ボードに連結され、前記加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーと、
を含むウエハービアはんだ注入装置。
【請求項２】
前記はんだ槽または前記加圧ユニットのうちのいずれか一方には、前記はんだ槽に収容されている溶融はんだに熱を与えて前記溶融はんだの硬化を防止する加熱部が設けられている請求項１記載のウエハービアはんだ注入装置。
【請求項３】
溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成されたはんだ槽と、
上下方向に貫通したビアが形成されたウエハーの上面に吸入力を提供して、前記ウエハーを前記収容空間の上に固定させる固定ユニットと、
前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させて、前記固定ユニットの吸入力とともに前記ビアに前記溶融はんだを満たす加圧ユニットと、
を含み、
前記加圧ユニットは、
前記はんだ槽内に設けられ、前記収容空間に対応する面積で形成され、
前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを移送させる加圧ボードと、
前記はんだ槽の下部を貫通して前記加圧ボードに連結され、前記加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーと、
を含むウエハービアはんだ注入装置。
【請求項４】
前記ウエハーの上面および前記固定ユニットの間にはさらに、
上下方向に貫通して形成された複数の貫通孔を有し、前記ウエハーが前記固定ユニットから提供される吸入力によって曲がることを防止する多孔質板を有する請求項３記載のウエハービアはんだ注入装置。
【請求項５】
前記はんだ槽または前記加圧ユニットのうちのいずれか一方には、前記はんだ槽に収容されている溶融はんだに熱を与えて前記溶融はんだの硬化を防止する加熱部が設けられている請求項３記載のウエハービアはんだ注入装置。
【請求項６】
溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成され、一つの側面に前記収容空間の空気を排出するために排出部を備えるはんだ槽と、一面にビアが形成されたウエハーを前記収容空間の上に固定させて前記収容空間を密閉する固定ユニットと、前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させることにより前記ビアに前記溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含み、前記加圧ユニットは、前記はんだ槽内に設けられ、前記収容空間に対応する面積で形成され、前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを移送させる加圧ボードと、前記はんだ槽の下部を貫通して前記加圧ボードに連結され、前記加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーとを含むウエハービアはんだ注入装置を用いるウエハービアはんだ注入方法において、
前記固定ユニットにより前記ウエハーを前記収容空間の上に固定させて前記収容空間を密閉する固定工程と、
前記排出部により前記収容空間内の密閉された空気を排出させる排出工程と、
前記加圧ユニットにより前記溶融はんだを下部から加圧して上部に移動させることにより前記ビアに前記溶融はんだを満たす注入工程と、
を含むウエハービアはんだ注入方法。
【請求項７】
溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成されたはんだ槽と、上下方向に貫通したビアが形成されたウエハーの上面に吸入力を提供して、前記ウエハーを前記収容空間の上に固定させる固定ユニットと、前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させて、前記固定ユニットの吸入力とともに前記ビアに前記溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含み、前記加圧ユニットは、前記はんだ槽内に設けられ、前記収容空間に対応する面積で形成され、前記はんだ槽に収容されている前記溶融はんだを移送させる加圧ボードと、前記はんだ槽の下部を貫通して前記加圧ボードに連結され、前記加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーと、を含むウエハービアはんだ注入装置を用いるウエハービアはんだ注入方法において、
前記固定ユニットにより前記ウエハーを前記収容空間の上に固定させる固定工程と、
前記加圧ユニットにより前記溶融はんだを下部から加圧して上部に移動させるとともに、前記ウエハーの上面に吸入力を提供して前記ビアに前記溶融はんだを満たす注入工程と、
を含むウエハービアはんだ注入方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハー(ｗａｆｅｒ)に形成されているビアにはんだ(ｓｏｌｄｅｒ)を注入(Ｆｉｌｌｉｎｇ)するウエハービアはんだ注入装置に関し、より具体的には、溶融はんだを下部から上部へ加圧して移動させる加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、電子機器の小型化に伴い、電子機器に使用される半導体パッケージの超小型化も進んでいる。特に、近来はウエハーの積層時、体積の最小化のために、ウエハーに複数のビアを形成し、該ビアに銅を電解めっきにより注入して、ウエハーを３次元に積層して電気的に連結する方法が用いられており、最近、銅の代わりに溶融はんだを注入する方法も使用されている。
【０００３】
より詳しくは、従来は、溶融はんだをウエハーのビアに注入する時、単純にウエハーのビアを溶融はんだに露出させるか、或いはビアの内壁にはんだを電解めっきした後、それを溶融させる方法が主に使用されていた。
【０００４】
しかし、これらの方法では、溶融はんだがビアに完全に充填されず、隙間(ｖｏｉｄ)またはクラックが頻繁に発生して、製品不良を増加させる原因となった。
【０００５】
また、ウエハーは作業状況によって、ビアが上下面のうちのいずれか一方のみに形成されるか、或いは上下貫通して形成された状態で提供されることがあるが、従来はウエハーのビアの形態にかかわらず同じ注入作業を行ったため、製品品質にばらつきが大きいという問題があった。
【０００６】
したがって、上記問題を解決するための方法が求められている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、溶融はんだがウエハーのビアに完全に充填されず、隙間またはクラックが発生することを防止するための加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置およびこれを用いたウエハービアはんだ注入を提供することに目的がある。
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていない他の課題は次の記載から当業者に明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成するための本発明の一実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置は、溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成され、一つの側面に収容空間の空気を排出するために排出部を備えるはんだ槽と、一面にビアが形成されたウエハーを収容空間の上に固定させて収容空間を密閉する固定ユニットと、はんだ槽に収容されている溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させることによりビアに溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含む。
【００１０】
加圧ユニットは、はんだ槽内に設けられ、収容空間に対応する面積で形成され、はんだ槽に収容されている溶融はんだを移送させる加圧ボードと、はんだ槽の下部を貫通して加圧ボードに連結され、加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーとを含む。
【００１１】
はんだ槽または加圧ユニットのうちのいずれか一方には、はんだ槽に収容されている溶融はんだに熱を与えて溶融はんだの硬化を防止する加熱部を設ける。
【００１２】
上記課題を達成するための本発明の他の実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置は、溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成されたはんだ槽と、上下方向に貫通したビアが形成されたウエハーの上面に吸入力を提供して、ウエハーを収容空間の上に固定させる固定ユニットと、はんだ槽に収容されている溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させて、固定ユニットの吸入力とともにビアに溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含む。
【００１３】
ウエハーの上面および固定ユニットの間にはさらに、上下方向に貫通して形成された複数の貫通孔を有し、ウエハーが固定ユニットから提供される吸入力によって曲がることを防止する多孔質板を有する。
【００１４】
この実施形態において、加圧ユニットは、はんだ槽内に設けられ、収容空間に対応する面積で形成され、はんだ槽に収容されている溶融はんだを移送させる加圧ボードと、はんだ槽の下部を貫通して加圧ボードに連結され、加圧ボードを上下駆動する加圧シリンダーとを含む。
【００１５】
同様に、この実施形態において、はんだ槽または加圧ユニットのうちのいずれか一方には、はんだ槽に収容されている溶融はんだに熱を与えて溶融はんだの硬化を防止する加熱部を設ける。
【００１６】
上記課題を達成するためのウエハービアはんだ注入方法は、溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成され、一つの側面に収容空間の空気を排出するために排出部を備えるはんだ槽と、一面にビアが形成されたウエハーを収容空間の上に固定させて収容空間を密閉する固定ユニットと、はんだ槽に収容されている溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させることによりビアに溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含むウエハービアはんだ注入装置を用いるウエハービアはんだ注入方法において、固定ユニットによりウエハーを収容空間の上に固定させて収容空間を密閉する固定工程と、排出部により収容空間内の密閉された空気を排出させる排出工程と、加圧ユニットにより溶融はんだを下部から加圧して上部に移動させることによりビアに溶融はんだを満たす注入工程と、を含む。
【００１７】
上記課題を達成するための他のウエハービアはんだ注入方法は、溶融はんだを収容し上部が開口した収容空間が形成されたはんだ槽と、上下方向に貫通したビアが形成されたウエハーの上面に吸入力を提供して、ウエハーを収容空間の上に固定させる固定ユニットと、はんだ槽に収容されている溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させて、固定ユニットの吸入力とともにビアに溶融はんだを満たす加圧ユニットと、を含むウエハービアはんだ注入装置を用いるウエハービアはんだ注入方法において、固定ユニットによりウエハーを収容空間の上に固定させる固定工程と、加圧ユニットにより溶融はんだを下部から加圧して上部に移動させるとともに、ウエハーの上面に吸入力を提供してビアに溶融はんだを満たす注入工程と、を含む。
【発明の効果】
【００１８】
本発明による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置およびそれを用いた ウエハービアはんだ注入方法によれば、次のような効果がある。
【００１９】
第一に、加圧ユニットの加圧によってウエハーのビアに溶融はんだが隙間なく充填される。
【００２０】
第二に、ウエハーのビアの形状に応じて適切な形態のはんだ注入装置およびそれを用いたはんだ注入方法を提供することができる。
【００２１】
第三に、特にウエハーのビアが上下貫通した形態である場合、加圧ユニットの加圧とともに、ウエハーに提供される吸入力によって、溶融はんだがウエハーのビアに隙間なく充填される。
【００２２】
第四に、さらに多孔質板を備える場合は、ウエハーの形態変形を予め防止することができる。
【００２３】
本発明の効果は、以上で言及した効果に制限されず、言及されていない他の効果は請求範囲の記載から当業者に明確に理解できるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置の全体断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置において、ウエハーをはんだ槽に固定させた状態を示す断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置において、加圧ユニットにより溶融はんだを上部に移動させることにより、ウエハーのビアに溶融はんだが満たされた状態を示す断面図である
【図４】本発明の第１実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置を使用して製作されたウエハーを示す断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置において、ウエハーの上面および固定ユニットの間に多孔質板が備えられた状態を示す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置において、上下貫通した形態のビアを有するウエハーと多孔質板を固定ユニットに固定させた状態を示す断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置において、ウエハーをはんだ槽に固定させた状態を示す断面図である。
【図８】本発明の第３実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置を使用して製作されたウエハーを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の目的を具体的に実現できる本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。この実施形態を説明するに当たって同じ構成に対しては同じ名称及び同じ符号を使用し、これによる付加説明は省略する。
【００２６】
本発明のウエハービアはんだ注入装置は、溶融はんだが収容されるはんだ槽と、ウエハーを固定させる固定ユニットと、溶融はんだを下部から上部へ移動させる加圧ユニットと、を含む。
【００２７】
より具体的には、はんだ槽は、内部に上部が開口した収容空間が形成され、収容空間に溶融はんだを収容することができる。この時、ウエハーに形成されたビアがウエハーを上下方向に貫通して形成されている場合、はんだ槽の一つの側面にさらに収容空間の空気を排出するための排出部を備える。これについては後述する。
【００２８】
固定ユニットは、ビアが形成されたウエハーを収容空間の上に固定させる。固定方法は多様であるが、ウエハーの上側に吸入力を提供してウエハーを吸着する方法が一般的である。固定ユニットはウエハーの固定だけではなく、移送ももちろん行うことができる。
【００２９】
この時、ビアがウエハーの一面のみに形成されている場合は、固定ユニットは収容空間が密閉されるようにウエハーを固定させる必要がある。これについても後述する。
【００３０】
加圧ユニットは、はんだ槽に収容されている溶融はんだを下部から加圧して上部へ移動させることによりビアに溶融はんだを満たす構成要素である。
【００３１】
従来の場合、背景技術で述べたように、このような注入工程では、単純にウエハーのビアを溶融はんだに露出させるか、或いははんだをビアの内壁に電解めっきした後、それを溶融させる方法が主に用いられた。したがって、溶融はんだがビアに完全に充填されず、隙間またはクラックが頻繁に発生した。
【００３２】
反面、本発明の場合、加圧ユニットを備えることにより、溶融はんだを加圧してビアに隙間なく充填することができる。もちろん加圧ユニットは様々な形態で形成することができる。
【００３３】
本発明では、ビアが一面のみに形成されているウエハーまたはビアが上下貫通した形態のウエハーのうちいずれを使用するかによって、異なるはんだ注入方法を適用することができる。
【００３４】
より詳しくは、ビアがウエハーを貫通せず一面のみに形成されている場合は、注入工程後、別途のウエハーエッチング工程によりビアをウエハーの両面に露出させる。一方、ビアが上下貫通した形態のウエハーを使用する場合は、ウエハーのエッチング工程が不要である。すなわち、両者は、つまりビアが上下露出した同じ形態のウエハーになるが、注入工程時には形態が異なるので、それぞれ適合するはんだ注入方法が必要である。
【００３５】
従来はウエハーのビアの形態にかかわらず同じ注入作業を行ったため、製品品質にばらつきが大きいという問題があった。
【００３６】
以上では、本発明のウエハービアはんだ注入装置の構成要素および関連技術について概略的に説明した。以下、夫々の実施形態を通じてより具体的に説明する。
【００３７】
まず、図１では、本発明の第１実施形態による加圧ユニットを備えるウエハービアはんだ注入装置の全体形態が示されている。図１に示したように、下部には側壁１２および底部１４を含むはんだ槽１０が備えられ、はんだ槽１０内には上部が開口した収容空間Ｓが形成されている。収容空間Ｓ内には溶融はんだｍが満たされる。
【００３８】
次に、はんだ槽１０の上部には固定ユニット２０が設けられる。具体的には、固定ユニット２０にはウエハー４０が接触する固定部２２が設けられ、中央部にはウエハー４０を吸着するための吸入力が提供される吸入経路２４が設けられている。すなわち、固定ユニット２０はウエハー４０の上面に吸入力を提供してウエハー４０を固定部２２に固定させる。
【００３９】
この実施形態では、ウエハー４０の一面のみにビア４２が形成されており、ウエハー４０が固定ユニット２０に固定される場合、ビア４２は下方に向かった状態になる。これは、ビア４２をはんだ槽１０の収容空間Ｓに収容されている溶融はんだｍに露出させるためである。
【００４０】
次に、加圧ユニット３０は、溶融はんだｍを効果的に押し上げるために、はんだ槽１０を貫通した形態を有する。具体的には、加圧ユニット３０は、収容空間Ｓに対応する面積で形成されてはんだ槽１０内に設けられ、はんだ槽１０に収容されている溶融はんだｍを移送する加圧ボード３２と、はんだ槽１０の下部を貫通して加圧ボード３２に連結され、加圧ボード３２を上下駆動するための加圧シリンダー３４とを含む。
【００４１】
すなわち、加圧シリンダー３４が手動または自動に上下駆動することにより、加圧ボード３２が溶融はんだｍを上下移動させる。また、加圧ボード３２は溶融はんだｍが下部から漏れることを防ぐために、周りにゴムなどのシーリング効果を有するシーリング部材を備える。加圧ボード３２の全体がシーリング効果を有する材質で形成されることもできる。
【００４２】
さらに、はんだ槽１０または加圧ユニット３０のうちのいずれかには、はんだ槽１０に収容されている溶融はんだｍに熱を与えて溶融はんだｍの硬化を防ぐ加熱部が設けられる。これにより、持続的に溶融はんだｍを加熱して液体状態を維持する。特に、この実施形態では、加熱部は、溶融はんだｍと直接接しているはんだ槽１０の側壁１２または加圧ユニット３０の加圧ボード３２のうちのいずれか一方に設けられることが好ましい。
【００４３】
この実施形態では、はんだ槽１０の一つの側面に収容空間Ｓの空気を排出するための排出部１５が設けられている。排出部１５は、注入工程時に使用されるウエハー４０が、一面のみにビア４２が形成されているものである場合には必ず必要な構成要素であり、一般的にバルブなどの形態で形成されている。これについては、以下のはんだ注入方法に関する説明で述べる。
【００４４】
この実施形態によるはんだ注入装置を用いたはんだ注入方法では、まず、固定ユニット２０により、ウエハー４０を収容空間Ｓに固定させ、収容空間Ｓを密閉させる固定工程が行われる。固定工程については、図１および図２に示されており、これらを参照すれば、固定ユニット２０はウエハー４０を吸着した状態で下部に移動してウエハー４０をはんだ槽１０に安着させる。この時、収容空間Ｓが密閉されていなければ、効果的な注入を行うことができない。
【００４５】
その後、排出部１５により、収容空間Ｓ内の密閉された空気を排出させる排出工程が行われる。この排出工程は、固定工程で収容空間Ｓが密閉されたことから収容空間Ｓ内の空気のために加圧ユニット３０を移動させることが難しく、ビア４２内の空気のために溶融はんだｍが完全に満たされないため必要である。すなわち、この実施形態のようにウエハー４０の一面のみにビア４２が形成されている場合、収容空間Ｓ内の密閉された空気を除去する必要がある。
【００４６】
次に、加圧ユニット３０により、溶融はんだｍを下方から加圧して上方に移動させることによってビア４２に溶融はんだｍを満たす注入工程が行われる。図３に示されているように、加圧シリンダー３４が上昇することにより加圧ボード３２が溶融はんだｍを上部に移動させ、この圧力によって溶融はんだｍがビア４２内に完全に充填されたことを確認することができる。
【００４７】
すなわち、この実施形態の場合、ビア４２内の空間も排出工程によって真空状態を維持するため、加圧ユニット３０の加圧とともに溶融はんだｍがビア４２内に充填されることができる。
【００４８】
図４に、夫々の工程を通じてビア４２に溶融はんだｍが充填されたウエハー４０が示されている。図４に示したように、ビア４２には溶融はんだｍが隙間なく充填され、これが硬化することにより後続工程を行うことができる。
【００４９】
以下、本発明の第２実施形態について説明する。図５に示すように、第２実施形態は上述した第１実施形態と全体的に同様であるが、ウエハー４０の上面および固定ユニット２０の間にさらに多孔質板５０が設けられている。
【００５０】
多孔質板５０は、上下方向に貫通して形成された複数の貫通孔５２を有し、ウエハー４０が固定ユニット２０から提供される吸入力によって曲がることを防止するために、ウエハー４０の上面に接した状態で設けられている。この時、貫通孔５２を除くその他の部分はウエハー４０を支持できる支持部５４で形成される。
【００５１】
多孔質板５０は、固定ユニット２０から提供される吸入力をウエハー４０に十分に伝達させるために、貫通孔５２の面積が全体面積に比べて高い比率を占めることが好ましい。但し、多孔質板５０はウエハー４０の曲がりを防止する必要があるので、支持部５４は一定水準以上の強度を確保しなければならない。したがって、貫通孔５２と支持部５４の面積の比率を適切に設定する必要がある。
【００５２】
この実施形態の場合、多孔質板５０が一種のハニカム形状で形成されているため、吸入力をウエハー４０に十分に伝達しながら支持力も確保することができる。
【００５３】
以下、本発明の第３実施形態について説明する。図６および図７に示すように、第３実施形態は上述した第２実施形態と全体的に同様であるが、ウエハー１４０のビア１４２が上下方向に貫通しており、はんだ槽１０に排出部１５が形成されていない点で差がある。
【００５４】
これは、ビア１４２がウエハー１４０を貫通して形成されているため、ウエハー１４０をはんだ槽１０の収容空間Ｓに固定させても収容空間Ｓが密閉されないためである。したがって、この実施形態によるはんだ注入装置を用いたはんだ注入方法では、第１，第２実施形態とは異なり、固定工程後の排出工程が省略される。
【００５５】
但し、この実施形態の場合、排出工程後の注入工程において、第１，第２実施形態とは異なり、加圧ユニット３０による加圧に加えて、固定ユニット２０から提供される吸入力が溶融はんだｍに与えられる。これはビア１４２がウエハー１４０を上下方向に貫通しているためである。
【００５６】
すなわち、ウエハー１４０のビア１４２が貫通して形成されている場合、はんだ槽１０の収容空間Ｓが密閉された状態に比べて、加圧ユニット３０の加圧効果が多少減少される問題があり、この場合、固定ユニット２０から提供される吸入力がともに作用して効果的な注入工程を行うことができる。
【００５７】
一般的に、ウエハー１４０のビア１４２の幅は２０μｍ程度で非常に微細である。したがって、加圧ユニット３０の加圧または固定ユニット２０の吸入のうちのいずれか一方のみでは、このように微細なビア１４２に溶融はんだｍを効果的に充填することが難しい。
【００５８】
したがって、この実施形態では、加圧ユニット３０の加圧および固定ユニット２０の吸入を同時に提供して溶融はんだｍをビア１４２に隙間なく充填することができる。
【００５９】
この第３実施形態においても多孔質板５２が備えられ、この時、支持部５４の幅は約３００〜４００μｍ程度であって、ウエハー１４０のビア１４２に比べて非常に大きい。これにより、ビア１４２の一部は貫通孔５２ではなく支持部５４の方に位置して固定ユニット２０の吸入力が与えられない問題がある。
【００６０】
しかし、上述したように、ビア１４２の幅は２０μｍ程度で、支持部５４の幅は約３００〜４００μｍ程度であり、これらは極めて微細なサイズである。したがって、図６の下側に示したように、微細単位に拡大した場合、これらの接触面が不規則であり、実質的に微細な隙間が存在する。結果、固定ユニット２０の吸入力は支持部５４と接するビア１４２にも影響を与え、ウエハー１４０の全体ビア１４２に溶融はんだｍが充填されることである。
【００６１】
図８には、上記の工程を経てビア１４２に溶融はんだｍが充填されたウエハー１４０の形態が示されている。図８に示すように、上下貫通したビア４２に溶融はんだｍが隙間なく充填され、これが硬化して後続工程を行うことができる。
【００６２】
以上、夫々の実施形態について説明した。整理すれば、本発明では、加圧ユニットの加圧によってウエハーのビア内に溶融はんだが隙間なく充填され、ウエハーの形態によって適合するはんだ注入方法を提供することができる。
【００６３】
以上、本発明を好ましい実施形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者であれば、本発明が本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で変形した形態に実現できることを理解するはずである。したがって、開示された実施形態は限定的な観点ではなく、説明的な観点で考慮しなければならない。本発明の範囲は、前述した説明ではなく、特許請求の範囲に示されており、これと同等な範囲内にある全ての差異点は本発明に含まれると解釈しなければならない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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