(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理装置に関する情報を処理する情報処理装置において、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、
発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて記憶する記憶部と、
記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力部と、
異常の発生に伴い前記表示部により表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信部と、
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶部と、
該項目記憶部により記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信部と
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部と
を備える情報処理装置。
【請求項２】
異常が発生した場合に、該異常に係る異常ＩＤに対応する対処情報を取得する取得部と、
前記取得部が取得した対処情報を表示する対処情報表示部と
を備える請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記取得部は、
異常が発生した場合に、該異常に係る異常ＩＤを、前記通信部を介して外部へ送信する送信部と、
外部から送信された異常ＩＤに対応する対処情報を受信する受信部と
を含む請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
異常発生原因の候補を複数表示する原因表示部と、
表示された複数の異常発生原因から選択された異常発生原因を異常ＩＤに対応付けて記憶する原因記憶部と、
該原因記憶部に記憶した異常ＩＤ及び異常発生原因を、前記通信部を介して外部へ送信する原因送信部と
を備える請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
異常ＩＤに対応する異常発生原因に関する統計を受信する原因受信部と、
異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常ＩＤに対応する異常発生原因に関する統計を表示する統計表示部と
を備える請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記統計は異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因の数または割合であり、
前記統計表示部は、
異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因と、各異常発生原因の数または割合を高い順に表示する
請求項５に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記受け付け部は、
発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、
前記出力部は、
記憶した異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を他のコンピュータへ出力する
請求項１乃至６のいずれか一つに記載の情報処理装置。
【請求項８】
半導体処理装置に関する情報を処理する複数の情報処理装置及びサーバコンピュータが通信網を介して接続された処理システムにおいて、
一の情報処理装置は、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、
発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて記憶する記憶部と、
記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、前記サーバコンピュータへ出力する出力部と、
異常の発生に伴い、前記表示部により表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信部と、
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶部と、
該項目記憶部により記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、通信部を介して前記サーバコンピュータへ送信する項目送信部とを備え、
前記サーバコンピュータは、
前記一の情報処理装置から送信された異常ＩＤ及び対処情報を記憶する情報記憶部と、
前記情報記憶部により記憶した異常ＩＤに対応する対処情報を読み出す読み出し部と、
読み出した異常ＩＤに対応する対処情報を他の情報処理装置へ送信する送信部と、
前記一の情報処理装置から送信された異常ＩＤ及び対処項目を記憶する対処項目記憶部と、
該対処項目記憶部により記憶した複数の異常ＩＤに対応する対処項目に基づき、異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を生成する統計生成部と、
該統計生成部により生成した異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を他の情報処理装置へ送信する統計送信部とを備え、
前記他の情報処理装置は、
前記サーバコンピュータから送信された異常ＩＤに対応する対処情報を受信する受信部と、
該受信部が受信した対処情報を表示する対処情報表示部と、
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、
前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部とを備える
処理システム。
【請求項９】
前記受け付け部は、
発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、
前記出力部は、
記憶した異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を前記サーバコンピュータへ出力し、
前記サーバコンピュータは、
前記一の情報処理装置から出力された異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を記憶する期間記憶部と、
保存期間情報に基づき、保存期間を経過した異常ＩＤの対処情報を消去する消去部と
を備える請求項８に記載の処理システム。
【請求項１０】
半導体処理装置に関する情報を、制御部を有する情報処理装置により処理する処理方法において、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示ステップと、
発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、
記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、
異常の発生に伴い、前記表示ステップにより表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信ステップと、
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶ステップと、
該項目記憶ステップにより記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップと
を含む処理方法。
【請求項１１】
半導体処理装置に関する情報を、制御部及び表示部を有するコンピュータに処理させるプログラムにおいて、
コンピュータに、
半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を前記制御部により表示する表示ステップと、
発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、
受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、
記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、
異常の発生に伴い、前記表示ステップにより表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信ステップと、
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、
表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶ステップと、
該項目記憶ステップにより記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと、
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、
前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップと
を実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体処理装置に関する情報を処理する情報処理装置、処理システム、処理方法、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、工場内の産業機械を監視するホストコンピュータと、ベンダ側のコンピュータとを接続し、産業機械に異常が発生した場合に、ベンダ側のコンピュータがホストコンピュータへ応答情報を送信するシステムが提案されている（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２７０６７９３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ベンダ側のコンピュータに提供すべき情報が存在しない場合、適切な情報を現場に提供することが出来ないという問題があった。このような場合、結果として作業員が直接現場にて対応する必要があり負担が大きかった。
【０００５】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、発生した異常に対処した際の対処情報を他のコンピュータへ送信し共有することにより、様々なノウハウの蓄積が可能となり、またより適切な対処方法をユーザに提供することが可能な情報処理装置等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願に開示する情報処理装置は、半導体処理装置に関する情報を処理する情報処理装置において、半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて記憶する記憶部と、記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力部と、異常の発生に伴い前記表示部により表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信部と、前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶部と、該項目記憶部により記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信部と前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部とを備える。
【０００７】
本願に開示する情報処理装置は、異常が発生した場合に、該異常に係る異常ＩＤに対応する対処情報を取得する取得部と、前記取得部が取得した対処情報を表示する対処情報表示部とを備える。
【０００８】
本願に開示する情報処理装置は、前記取得部は、異常が発生した場合に、該異常に係る異常ＩＤを、前記通信部を介して外部へ送信する送信部と、外部から送信された異常ＩＤに対応する対処情報を受信する受信部とを含む。
【０００９】
本願に開示する情報処理装置は、異常発生原因の候補を複数表示する原因表示部と、表示された複数の異常発生原因から選択された異常発生原因を異常ＩＤに対応付けて記憶する原因記憶部と、該原因記憶部に記憶した異常ＩＤ及び異常発生原因を、前記通信部を介して外部へ送信する原因送信部とを備える。
【００１０】
本願に開示する情報処理装置は、異常ＩＤに対応する異常発生原因に関する統計を受信する原因受信部と、異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常ＩＤに対応する異常発生原因に関する統計を表示する統計表示部とを備える。
【００１１】
本願に開示する情報処理装置は、前記統計は異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因の数または割合であり、前記統計表示部は、異常が発生した場合に、受信した前記異常に係る異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因と、各異常発生原因の数または割合を高い順に表示する。
【００１２】
本願に開示する情報処理装置は、前記受け付け部は、発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、前記出力部は、記憶した異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を他のコンピュータへ出力する。
【００１３】
本願に開示する処理システムは、半導体処理装置に関する情報を処理する複数の情報処理装置及びサーバコンピュータが通信網を介して接続された処理システムにおいて、一の情報処理装置は、半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示部と、発生した異常に対処した際の対処情報を受け付ける受け付け部と、受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて記憶する記憶部と、記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、前記サーバコンピュータへ出力する出力部と、異常の発生に伴い、前記表示部により表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信部と、前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を表示する項目表示部と、表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶部と、該項目記憶部により記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、通信部を介して前記サーバコンピュータへ送信する項目送信部とを備え、前記サーバコンピュータは、前記一の情報処理装置から送信された異常ＩＤ及び対処情報を記憶する情報記憶部と、前記情報記憶部により記憶した異常ＩＤに対応する対処情報を読み出す読み出し部と、読み出した異常ＩＤに対応する対処情報を他の情報処理装置へ送信する送信部と、前記一の情報処理装置から送信された異常ＩＤ及び対処項目を記憶する対処項目記憶部と、該対処項目記憶部により記憶した複数の異常ＩＤに対応する対処項目に基づき、異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を生成する統計生成部と、該統計生成部により生成した異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を他の情報処理装置へ送信する統計送信部とを備え、前記他の情報処理装置は、前記サーバコンピュータから送信された異常ＩＤに対応する対処情報を受信する受信部と、該受信部が受信した対処情報を表示する対処情報表示部と、前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信部と、前記異常ＩＤ送信部により送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を表示する項目統計表示部とを備える。
【００１４】
本願に開示する処理システムは、前記受け付け部は、発生した異常に対処した際の対処情報及び該対処情報の保存期間情報を受け付け、前記出力部は、記憶した異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を前記サーバコンピュータへ出力し、前記サーバコンピュータは、前記一の情報処理装置から出力された異常ＩＤ、対処情報及び保存期間情報を記憶する期間記憶部と、保存期間情報に基づき、保存期間を経過した異常ＩＤの対処情報を消去する消去部とを備える。
【００１５】
本願に開示する処理方法は、半導体処理装置に関する情報を、制御部を有する情報処理装置により処理する処理方法において、半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を表示する表示ステップと、発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、異常の発生に伴い、前記表示ステップにより表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信ステップと、前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶ステップと、該項目記憶ステップにより記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップとを含む。
【００１６】
本願に開示するプログラムは、半導体処理装置に関する情報を、制御部及び表示部を有するコンピュータに処理させるプログラムにおいて、コンピュータに、半導体処理装置に異常が発生した場合に、発生した異常に関する異常情報を前記制御部により表示する表示ステップと、発生した異常に対処した際の対処情報を前記制御部により受け付ける受け付けステップと、受け付けた対処情報を発生した異常を特定するための固有の異常ＩＤに対応付けて、前記制御部により記憶する記憶ステップと、記憶した異常ＩＤ及び対処情報を、通信部を介して外部へ出力する出力ステップと、異常の発生に伴い、前記表示ステップにより表示した異常情報に対応する異常ＩＤ、候補となる複数の対処項目及び各対処項目に関する統計の取得要求を外部へ送信する異常ＩＤ送信ステップと、前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する候補となる複数の対処項目を前記制御部により表示する項目表示ステップと、表示された複数の処理項目から選択された対処項目を異常ＩＤに対応付けて記憶する項目記憶ステップと、該項目記憶ステップにより記憶した異常ＩＤ及び対処項目を、前記通信部を介して外部へ送信する項目送信ステップと、前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を受信する項目受信ステップと、前記異常ＩＤ送信ステップにより送信した取得要求に対応して送信された異常ＩＤに対応する対処項目に関する統計を前記制御部により表示する項目統計表示ステップとを実行させる。
【発明の効果】
【００１７】
当該装置の一観点によれば、異常が発生した場合でも対処した際の対処情報を蓄積し、共有することにより、異常に対するノウハウを蓄積でき、また、適切な対処方法をユーザに提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】処理システムの概要を示す模式図である。
【図２】コンピュータのハードウェア群を示すブロック図である。
【図３】異常ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図４】異常情報の表示イメージを示す説明図である。
【図５】異常履歴ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図６】選択画面のイメージを示す説明図である。
【図７】対処情報入力画面のイメージを示す説明図である。
【図８】対処情報ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図９】サーバコンピュータのハードウェア群を示す説明図である。
【図１０】装置ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図１１】対処情報ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図１２】対処情報の表示イメージを示す説明図である。
【図１３】対処情報の受け付け処理の手順を示すフローチャートである。
【図１４】対処情報の表示処理の手順を示すフローチャートである。
【図１５】実施の形態２に係る処理システムの概要を示す模式図である。
【図１６】実施の形態２に係る対処情報の表示処理の手順を示すフローチャートである。
【図１７】実施の形態３に係る異常ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図１８】異常情報表示画面のイメージを示す説明図である。
【図１９】対処情報ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図２０】対処情報入力画面のイメージを示す説明図である。
【図２１】実施の形態２に係る対処情報ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図２２】対処情報の受け付け処理の手順を示すフローチャートである。
【図２３】対処情報の受け付け処理の手順を示すフローチャートである。
【図２４】実施の形態４に係るサーバコンピュータのハードウェア群を示すブロック図である。
【図２５】統計ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図２６】対処情報の表示イメージを示す説明図である。
【図２７】統計の表示処理を示すフローチャートである。
【図２８】統計の表示処理を示すフローチャートである。
【図２９】対処情報の入力画面を示す説明図である。
【図３０】実施の形態５に係る対処情報ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図３１】対処情報ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図３２】消去処理の手順を示すフローチャートである。
【図３３】実施の形態６に係る異常ファイルのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図３４】実行処理の手順を示すフローチャートである。
【図３５】実施の形態７に係る装置ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図３６】警告画面のイメージを示す説明図である。
【図３７】抽出処理の手順を示すフローチャートである。
【図３８】警告情報の表示処理手順を示すフローチャートである。
【図３９】実施の形態８に係る処理システムの概要を示す模式図である。
【図４０】実施の形態９に係るコンピュータのハードウェア群を示すブロック図である。
【図４１】実施の形態１０に係る統計ＤＢのレコードレイアウトを示す説明図である。
【図４２】統計の表示処理手順を示すフローチャートである。
【図４３】統計の表示処理手順を示すフローチャートである。
【図４４】対処情報の表示イメージを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
実施の形態１
以下実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は処理システムの概要を示す模式図である。処理システムは、コンピュータ１、半導体処理装置２０及び情報処理装置２等を含む。半導体処理装置２０は、情報処理装置２の制御に従い半導体に対して処理を行う装置である。半導体処理装置２０は例えば、ウェハ上に酸化膜を成膜する成膜装置、洗浄装置、エッチング装置または露光装置である。本実施形態においては、半導体処理装置２０を成膜装置２０として説明するがこれに限るものではない。
【００２０】
情報処理装置２は例えば、成膜装置２０内部に組み込まれるコンピュータ、成膜装置２０の外部に外付けされるパーソナルコンピュータまたはＰＤＡ（Personal Digital Assistance）等である。本実施形態では情報処理装置２の一例として成膜装置２０内部に組み込まれるコンピュータ２であるものとして説明する。複数のコンピュータ２にＬＡＮ（Local Area Network）またはインターネット等の通信網Ｎを介して接続されるコンピュータ１は、例えばサーバコンピュータまたはパーソナルコンピュータである。以下ではコンピュータ１をサーバコンピュータ１であるものとして説明する。サーバコンピュータ１は通信網Ｎを介して接続された各コンピュータ２Ａ、２Ｂ、２Ｃ（以下、場合によりコンピュータ２で代表する）・・・との間で、ＨＴＴＰ（HyperText Transfer Protocol）等により情報を送受信する。
【００２１】
コンピュータ２Ａ、２Ｂ、２Ｃはそれぞれ成膜装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ（以下、場合により２０で代表する）に組み込まれる。例えば、成膜装置２０Ａに異常が発生した場合、コンピュータ２Ａは発生した異常に関する異常情報を表示する。ユーザは異常に対処した際の対処情報をコンピュータ２Ａへ入力する。コンピュータ２Ａは入力された対処情報を、異常を特定するための異常特定情報（以下、異常ＩＤという）と共に、サーバコンピュータ１へ送信する。
【００２２】
後に、同様の異常が他の成膜装置２０Ｂに発生した場合、コンピュータ２Ｂは異常ＩＤをサーバコンピュータ１へ送信する。サーバコンピュータ１は異常ＩＤに対応する対処情報をコンピュータ２Ｂへ送信する。コンピュータ２Ｂには異常情報と共に、送信された対処情報が表示され、ユーザはノウハウとしての対処情報に基づき、異常に対応することが可能となる。以下詳細を説明する。なお、各半導体処理装置２０は異なる種類の装置であっても良い。例えば成膜装置２０Ａ、エッチング装置２０Ｂ及び露光装置２０Ｃを接続する形態であっても良い。また本実施形態では各半導体処理装置２０を一の工場または研究所等の施設に設置する例を挙げて説明するがこれに限るものではない。例えば、成膜装置２０Ａ及び２０Ｂを一の工場に設置し、成膜装置２０Ｃを他の工場に設置し、通信網Ｎを介して接続するようにしても良い。
【００２３】
図２はコンピュータ２のハードウェア群を示すブロック図である。コンピュータ２は制御部としてのＣＰＵ（Central Processing Unit）２１、ＲＡＭ（Random Access Memory）２２、入力部２３、表示部２４、記憶部２５、通信部２６、通信ポート２９４及び時計部２８等を含む。成膜装置２０は通信ポート２９４を介してコンピュータ２に接続されている。
【００２４】
ＣＰＵ２１は、バス２７を介してハードウェア各部と接続されている。ＣＰＵ２１はハードウェア各部を制御すると共に、記憶部２５に格納された制御プログラム２５Ｐに従って、種々のソフトウェア機能を実行する。入力部２３はマウス、キーボード、成膜装置２０を制御するための制御ボタン、スイッチ、タッチパネル等の入力デバイスである。入力部２３は、受け付けた操作情報をＣＰＵ２１へ出力する。表示部２４は液晶ディスプレイまたは有機ＥＬ（electroluminescence）ディスプレイ等であり、ＣＰＵ２１の指示に従い異常情報を含む各種情報を表示する。
【００２５】
ＲＡＭ２２は例えばＳＲＡＭ（Static ＲＡＭ）、ＤＲＡＭ（Dynamic ＲＡＭ）、フラッシュメモリ等である。ＲＡＭ２２は、記憶部としても機能し、ＣＰＵ２１による各種プログラムの実行時に発生する種々のデータを一時的に記憶する。通信部２６は無線または有線のＬＡＮカード等である。通信部２６はサーバコンピュータ１との間で通信網Ｎを介して情報の送受信を行う。時計部２８は日時情報をＣＰＵ２１へ出力する。
【００２６】
記憶部２５は、例えばハードディスクまたは大容量フラッシュメモリ等である。記憶部２５には上述した制御プログラム２５Ｐの他、異常ファイル２５１、対処情報ファイル２５２、及び、異常履歴ファイル２５３を格納している。なお、本実施形態では説明を容易にするために、異常ファイル２５１、対処情報ファイル２５２、及び、異常履歴ファイル２５３が記憶部２５に格納されている例を挙げて説明するがこれに限るものではない。異常ファイル２５１、対処情報ファイル２５２、または、異常履歴ファイル２５３をサーバコンピュータ１または図示しないデータベース（以下、ＤＢという）サーバに格納しておき、ＣＰＵ２１は必要に応じてデータを読み出し、または、記憶するようにしても良い。
【００２７】
通信ポート２９４は例えばＵＳＢポート（Universal Serial Bus）またはＲＳ２３２Ｃ規格に基づく通信ポート等である。通信ポート２９４はコンピュータ２と成膜装置２０との間の情報の送受信を行う。成膜装置２０は成膜処理部２９、ステージ制御部２９０、第１センサ２９１、第２センサ２９２及び第３センサ２９３等を含む。成膜処理部２９は例えばウェハ上に酸化膜等を成膜する。ステージ制御部２９０はウェハが載置されるステージの移動を制御する。第１センサ２９１〜第３センサ２９３は成膜装置２０の温度、ガス流量、ステージの位置等を検出するセンサである。なお、本実施形態では説明を容易にするために成膜装置２０の一部の機能についてのみ説明したが、これ以外の構成を含んでも良い。
【００２８】
図３は異常ファイル２５１のレコードレイアウトを示す説明図である。異常ファイル２５１は異常ＩＤに対応付けて成膜装置２０に発生した異常に関する異常情報を記憶している。異常ファイル２５１は異常ＩＤフィールド及び異常情報フィールドを含む。異常ＩＤフィールドには、成膜装置２０に発生する異常を特定するための固有のＩＤが記憶されている。異常情報フィールドには、異常ＩＤに対応づけて異常情報が記憶されている。例えば異常ＩＤ「１００１」はステージのＸ軸方向の移動を検出する第１センサ２９１が反応していない事を示す異常情報が記憶される。また本実施形態においては異常を異常ＩＤで特定したがこれに限るものではない。例えば、成膜処理部２９内の部品またはセンサ等の組み合わせで特定するようにしても良い。例えば異常ＩＤ「１００１」については、「ステージ」と「第１センサ」とに替えても良い。また異常ＩＤ「１００２」については、「ステージ」と「第２センサ」とに替えても良い。さらに異常ＩＤ「２００３」については、「ガス供給部」と「第３センサ」とに替えても良い。
【００２９】
図４は異常情報の表示イメージを示す説明図である。異常が発生した場合、成膜装置２０は通信ポート２９４を介して異常ＩＤをＣＰＵ２１へ出力する。ＣＰＵ２１は異常ＩＤに対応する異常情報を異常ファイル２５１から読み出し、表示部２４に表示する。またＣＰＵ２１は異常ＩＤが出力された際に時計部２８から出力される日時情報を取得する。ＣＰＵ２１は取得した日時情報を発生日時として表示部２４に表示する。図４に示すように、異常ＩＤ、異常情報及び発生日時が表示される。異常ＩＤ「１００１」の異常情報として「ステージの第１センサが反応していません。」が表示されている。なお、画面表示用の画像データ及びテンプレートデータは記憶部２５に記憶されている。その他、ＣＰＵ２１は、対処情報を表示するための対処情報表示ボタン２４１を表示部２４に表示する。対処情報表示ボタン２４１を操作した場合の処理は後述する。
【００３０】
図５は異常履歴ファイル２５３のレコードレイアウトを示す説明図である。異常履歴ファイル２５３は発生した異常の履歴を記憶する。異常履歴ファイル２５３は発生日時フィールド及び異常ＩＤフィールドを含む。発生日時フィールドには異常が発生した際の発生日時を記憶している。異常ＩＤフィールドには、発生日時に対応付けて異常ＩＤを記憶している。ＣＰＵ２１は異常ＩＤが成膜装置２０から出力された場合、異常ＩＤ及び発生日時を異常履歴ファイル２５３に記憶する。
【００３１】
図６は選択画面のイメージを示す説明図である。ユーザは異常に対処した際の対処情報をノウハウとして入力する場合、入力部２３から過去に発生した異常履歴を選択するための選択画面の表示命令を入力する。ＣＰＵ２１は入力部２３から選択画面の表示命令を受け付けた場合、異常履歴ファイル２５３から発生日時及び異常ＩＤを読み出し、表示部２４に表示する。ＣＰＵ２１は、選択画面に発生日時、異常ＩＤ及び選択するためのチェックボックスを表示する。ユーザは入力部２３から対処情報を入力する一の発生日時及び異常ＩＤを選択し、「ＯＫ」ボタンを操作する。
【００３２】
図７は対処情報入力画面のイメージを示す説明図である。ＣＰＵ２１は選択画面において選択された発生日時及び異常ＩＤを受け付け、異常ＩＤに対応する異常情報を異常ファイル２５１から読み出す。ＣＰＵ２１は図７に示すように、発生日時、異常ＩＤ、異常情報を対処情報入力画面に表示する。またＣＰＵ２１はユーザＩＤの入力を促す画面を表示する。さらにＣＰＵ２１は対処情報を入力するための対処情報入力ボックス２４２を表示する。ユーザＩＤは対処情報を入力するユーザを特定するための識別情報である。ＣＰＵ２１は入力部２３から入力されたユーザＩＤを受け付ける。なお、ユーザＩＤに代えて、氏名等の個人を特定できる情報を入力しても良い。
【００３３】
ユーザは入力部２３から対処情報入力ボックス２４２に対処情報を入力する。対処情報はユーザが異常に対処した際の対処情報をテキスト文で入力する。なお、対処情報の入力は、テキスト文に限るものではない。例えば、画像ファイル、音声ファイル、または、ＰＤＦ（Portable Document Format、登録商標）ファイル等のアプリケーションファイルを入力しても良い。ＯＫボタンが入力部２３から入力された場合、ＣＰＵ２１は入力されたユーザＩＤ及び対処情報を受け付ける。ＣＰＵ２１は受け付けた対処情報及びユーザＩＤを発生日時及び異常ＩＤに対応付けて、対処情報ファイル２５２に記憶する。
【００３４】
図８は対処情報ファイル２５２のレコードレイアウトを示す説明図である。対処情報ファイル２５２は発生日時フィールド、異常ＩＤフィールド、対処ＩＤフィールド、対処情報フィールド及びユーザＩＤフィールド等を含む。対処情報フィールドには、対処情報入力ボックス２４２に入力された対処情報が発生日時及び異常ＩＤに対応付けて記憶されている。対処ＩＤフィールドには対処情報を特定するための固有の識別情報が記憶されている。ユーザＩＤフィールドには、対処情報入力画面にて対処情報を入力したユーザのユーザＩＤが対処情報に対応付けて記憶されている。ＣＰＵ２１は適宜のタイミングで対処情報ファイル２５２に記憶した対処情報及び異常ＩＤを含む情報を、通信部２６を介してサーバコンピュータ１へ送信する。なお、本実施の形態においては対処情報ファイル２５２を記憶部２５に設ける例を挙げて説明したがこれに限るものではない。記憶部２５に記憶することなく、ＲＡＭ２２に一時的に記憶し、記憶した対処情報及び異常ＩＤをサーバコンピュータ１へ送信するようにしても良い。また本実施形態で述べるファイル及びＤＢのデータレイアウトは一例であり、データ間の関係が維持されていれば他の形態であっても良い。
【００３５】
図９はサーバコンピュータ１のハードウェア群を示す説明図である。サーバコンピュータ１は、制御部としてのＣＰＵ１１、ＲＡＭ１２、入力部１３、表示部１４、通信部１６、時計部１８及び記憶部１５等を含む。ＣＰＵ１１は、バス１７を介してハードウェア各部と接続されている。ＣＰＵ１１は各ハードウェアを制御すると共に、記憶部１５に格納された制御プログラム１５Ｐに従って、ソフトウェア機能を実行する。時計部１８は日時をＣＰＵ１１へ出力する。通信部１６はファイアウォールとしての機能を果たすゲートウェイ等であり、コンピュータ２または図示しない他のサーバコンピュータとの間でＨＴＴＰ等により情報を送受信する。
【００３６】
入力部１３はマウス、キーボード、タッチパネル等の入力デバイスである。入力部１３は、受け付けた操作情報をＣＰＵ１１へ出力する。表示部１４は液晶ディスプレイまたは有機ＥＬディスプレイ等であり、ＣＰＵ１１の指示に従い異常情報を含む各種情報を表示する。ＲＡＭ１２は例えばＳＲＡＭ、ＤＲＡＭ、フラッシュメモリ等である。ＲＡＭ１２は、記憶部としても機能し、ＣＰＵ１１による各種プログラムの実行時に発生する種々のデータを一時的に記憶する。記憶部１５は例えばハードディスクまたは大容量メモリ等である。記憶部１５は上述した制御プログラム１５Ｐの他、装置ＤＢ１５１及び対処情報ＤＢ１５２等を記憶している。なお、本実施形態では説明を容易にするために、装置ＤＢ１５１及び対処情報ＤＢ１５２が記憶部１５に格納されている例を挙げて説明するがこれに限るものではない。装置ＤＢ１５１または対処情報ＤＢ１５２を図示しないＤＢサーバに格納しておき、ＣＰＵ１１はＳＱＬ（Structured Query Language）を用いてデータを読み出し、または、記憶するようにしても良い。
【００３７】
図１０は装置ＤＢ１５１のレコードレイアウトを示す説明図である。装置ＤＢ１５１はコンピュータＩＤフィールド、成膜装置ＩＤフィールド及びアドレスフィールド等を含む。コンピュータＩＤフィールドには、コンピュータ２を特定するための固有の識別情報が記憶されている。成膜装置ＩＤフィールドには、成膜装置２０を特定するための固有の識別情報がコンピュータＩＤに対応付けて記憶されている。アドレスフィールドにはＩＰ（Internet Protocol）アドレス、または、ＭＡＣ（Media Access Control）アドレス等のコンピュータ２のアドレスが、コンピュータＩＤに対応付けて記憶されている。
【００３８】
図１１は対処情報ＤＢ１５２のレコードレイアウトを示す説明図である。対処情報ＤＢ１５２は発生日時フィールド、異常ＩＤフィールド、対処ＩＤフィールド、対処情報フィールド、ユーザＩＤフィールド、及び、コンピュータＩＤフィールド等を含む。ＣＰＵ１１は、通信部１６を介してコンピュータ２から発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤが送信された場合、対処情報ＤＢ１５２に記憶する。例えば異常ＩＤ「１００１」に関する対処情報は、コンピュータＩＤ「Ｐ００１」のコンピュータ２Ａ、及び、コンピュータＩＤ「Ｐ００２」のコンピュータ２Ｂからそれぞれ送信されている。これにより、異常ＩＤ毎に対処情報が各成膜装置２０のコンピュータ２から収集されることになる。
【００３９】
図１２は対処情報の表示イメージを示す説明図である。ユーザは異常発生時に既に収集された対処情報の取得を希望する場合、図４に示した対処情報表示ボタン２４１を、入力部２３を通じて入力する。ＣＰＵ２１は入力部２３から対処情報表示ボタン２４１の操作を受け付けた場合、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求を、通信部２６を介してサーバコンピュータ１へ送信する。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は通信部１６を介して、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求を受信する。ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処ＩＤ及び対処情報を、対処情報ＤＢ１５２から抽出する。ＣＰＵ１１はコンピュータＩＤに対応するアドレスを装置ＤＢ１５１から読み出す。
【００４０】
ＣＰＵ１１は読み出したアドレスに係るコンピュータ２へ、読み出した対処ＩＤ及び対処情報を送信する。コンピュータ２のＣＰＵ２１は受信した対処ＩＤ及び対処情報を表示部２４に表示する。図１２の例では、異常ＩＤ「１００１」に対する対処情報として、対処ＩＤ「Ｎ１００１」及び「Ｎ１００８」の対処情報が表示される。以上のハードウェア構成において、ソフトウェア処理を、フローチャートを用いて説明する。
【００４１】
図１３は対処情報の受け付け処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ２１は通信ポート２９４を介して異常が発生した成膜装置２０から異常ＩＤを受け付ける（ステップＳ１３１）。ＣＰＵ２１は異常ファイル２５１から異常ＩＤに対応する異常情報を読み出す（ステップＳ１３２）。ＣＰＵ２１は異常情報表示画面に、異常ＩＤ、異常情報、時計部２８から取得した日時情報に基づく異常の発生日時、及び、対処情報表示ボタン１３３を表示部２４に表示する（ステップＳ１３３）。ＣＰＵ２１は異常履歴ファイル２５３に発生日時及び異常ＩＤを対応付けて記憶する（ステップＳ１３４）。
【００４２】
ユーザに、対処情報を入力させるべく、ＣＰＵ２１は異常履歴ファイル２５３に記憶した発生日時及び異常ＩＤを読み出し、表示部２４に表示する。ＣＰＵ２１は入力部２３を通じて、対処情報の入力を希望する一の発生日時及び異常ＩＤの選択を受け付ける（ステップＳ１３５）。ＣＰＵ２１は選択を受け付けた発生日時及び異常ＩＤに対応する異常情報を異常ファイル２５１から読み出す。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ及び異常情報を対処情報入力画面に表示する（ステップＳ１３６）。ＣＰＵ２１はさらに、対処情報入力ボックス２４２を表示部２４に表示する。ＣＰＵ２１はユーザＩＤ及び対処情報を、入力部２３から受け付ける（ステップＳ１３７）。
【００４３】
ＣＰＵ２１は入力された対処情報に対応する対処ＩＤを生成する（ステップＳ１３８）。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報及びユーザＩＤを対処情報ファイル２５２に記憶する（ステップＳ１３９）。その後ＣＰＵ２１は、通信部２６を介して、発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤをサーバコンピュータ１へ送信（出力）する（ステップＳ１３１０）。
【００４４】
図１４は対処情報の表示処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ１１はコンピュータ２から送信された発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤを受信する（ステップＳ１４１）。ＣＰＵ１１は受信した発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤを、対処情報ＤＢ１５２に記憶する（ステップＳ１４２）。コンピュータ２のＣＰＵ２１は入力部２３から、対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付ける。ＣＰＵ２１は対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付けた場合、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求をサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ１４３）。
【００４５】
サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求を受信する。ＣＰＵ１１は受信した異常ＩＤに対応する対処ＩＤ及び対処情報を対処情報ＤＢ１５２から読み出す（ステップＳ１４４）。ＣＰＵ１１は装置ＤＢ１５１から受信したコンピュータＩＤに対応するアドレスを読み出す（ステップＳ１４５）。ＣＰＵ１１は読み出した対処ＩＤ及び対処情報を、読み出したアドレス宛のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ１４６）。コンピュータ２のＣＰＵ２１は対処ＩＤ及び対処情報を受信（取得）する（ステップＳ１４７）。
【００４６】
ＣＰＵ２１は受信した対処ＩＤ及び対処情報を、異常ＩＤ、異常情報及び発生日時と共に表示部２４に表示する（ステップＳ１４８）。これにより各コンピュータ２で入力された対処情報を共有でき、効率よく異常に対処することが可能となる。なお、本実施形態においてはコンピュータ２が対処情報の取得要求をサーバコンピュータ１へ送信した場合に、サーバコンピュータ１が対応する対処情報を送信する例を挙げたがこれに限るものではない。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は例えば３時間毎等定期的に、異常ＩＤに対応する対処情報を各コンピュータ２へ送信しても良い。各コンピュータ２は記憶部２５に受信した異常ＩＤに対応する対処情報を記憶しても良い。異常が発生した場合、コンピュータ２のＣＰＵ２１が異常ＩＤに対応する対処情報を記憶部２５から読み出して表示しても良い。
【００４７】
実施の形態２
実施の形態２はサーバコンピュータ１を介すことなく、コンピュータ２間で対処情報を送受信する形態に関する。図１５は実施の形態２に係る処理システムの概要を示す模式図である。コンピュータ２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、・・・はピアツーピアで通信網Ｎを介して接続されている。コンピュータ２Ａで対処情報が入力され、対処情報ファイル２５２が更新された場合、更新された対処情報が他のコンピュータ２Ｂ及び２Ｃにも送信される。異常発生時には、自身の対処情報ファイル２５２を参照して対処情報を表示する。
【００４８】
図１６は実施の形態２に係る対処情報の表示処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ２１は図７で示したように、ユーザＩＤ及び対処情報の入力を入力部２３から受け付ける（ステップＳ１６１）。ＣＰＵ１１は対処情報を特定するための対処ＩＤを生成する（ステップＳ１６２）。ＣＰＵ１１は発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤを、対処情報ファイル２５２に記憶する（ステップＳ１６３）。ＣＰＵ２１は新たに記憶した発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ
及びコンピュータＩＤを他のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ１６４）。
【００４９】
このようにして各コンピュータ２は対処情報ファイル２５２が更新される度に、更新されたデータを他のコンピュータ２へ送信する。コンピュータ２のＣＰＵ２１は他のコンピュータ２から送信された発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ及びコンピュータＩＤを受信する（ステップＳ１６５）。ＣＰＵ２１は受信したこれらの情報を対処情報ファイル２５２に記憶する（ステップＳ１６６）。
【００５０】
ＣＰＵ２１は図４に示した対処情報表示ボタン２４１の入力を、入力部２３から受け付ける（ステップＳ１６７）。ＣＰＵ２１は異常ＩＤに対応する対処ＩＤ及び対処情報を対処情報ファイル２５２から読み出す（ステップＳ１６８）。ＣＰＵ２１は読み出した対処ＩＤ及び対処情報を表示部２４に表示する（ステップＳ１６９）。これにより簡易な構成で各コンピュータ２間での対処情報の共有が可能となる。
【００５１】
本実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００５２】
実施の形態３
実施の形態３は異常時の対処項目及び異常発生原因を収集する形態に関する。図１７は実施の形態３に係る異常ファイル２５１のレコードレイアウトを示す説明図である。異常ファイル２５１は異常ＩＤフィールド、異常情報フィールド、対処項目フィールド、及び異常発生原因フィールド等を含む。対処項目フィールドには、異常ＩＤに対応付けて異常が発生した場合に候補となる複数の対処項目が記憶されている。本実施形態では一例として３つの対処項目を記憶している。対処項目は例えば「リトライ」、「処理継続」及び「再起動」である。候補となる各対処項目には具体的な対処項目に関する説明が異常ＩＤに対応付けて記憶されている。異常発生原因フィールドには、異常が発生する原因となった異常発生原因を、異常ＩＤに対応付けて複数記憶している。例えば、「設計不良」、または「調整不良」等である。
【００５３】
図１８は異常情報表示画面のイメージを示す説明図である。異常ＩＤ及び異常情報が表示され、候補となる複数の対処項目が表示される。ＣＰＵ２１は、異常ファイル２５１を参照し、異常ＩＤに対応する対処項目の候補と、各対処項目に関する説明を表示部２４に表示する。例えば対処項目「リトライ」は、説明として「「リトライ」の場合、再度ステージの上昇動作を行います。」と表示される。ユーザは入力部２３から複数の対処項目の中から一の対処項目を入力する。ＣＰＵ２１は入力部２３から入力された対処項目を受け付ける。ＣＰＵ２１は対処項目に対応する信号を成膜装置２０へ出力する。
【００５４】
成膜装置２０は対処項目に対応する信号に従い、成膜処理部２９またはステージ制御部２９０等の制御を行う。ＣＰＵ２１は成膜装置２０から異常発生時から異常ＩＤの出力が停止されるまで、異常発生時から異常が解消するまで、または、異常発生時から所定時間経過後までに入力部２３から入力された操作データを、発生日時及び異常ＩＤに対応付けて記憶部２５に記憶する。なお、成膜装置２０から入力された他の操作データも併せて記憶部２５に記憶しても良い。本実施形態においては説明を容易にするために、異常発生時から所定時間（例えば５分間）経過までに入力部２３から入力された操作データを記憶部２５に記憶する例を挙げて説明する。またＣＰＵ２１は、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の異常発生前の設定データ及び異常発生時のデータ（以下、場合によりセンサデータという）を、発生日時及び異常ＩＤに対応づけて記憶部２５に記憶する。
【００５５】
図１９は対処情報ファイル２５２のレコードレイアウトを示す説明図である。さらに、対処項目フィールド、センサデータフィールド、操作データフィールド、異常発生原因フィールド及び交換部品ＩＤフィールドが設けられている。対処項目フィールドには、図１８に示す異常情報表示画面において、ユーザが選択した対処項目が記憶される。ＣＰＵ２１は入力部２３から対処項目が入力された場合、発生日時及び異常ＩＤに対応付けて対処項目を対処情報ファイル２５２に記憶する。センサデータフィールド、操作データフィールド、異常発生原因フィールド及び交換部品ＩＤフィールドについては後述する。
【００５６】
図２０は対処情報入力画面のイメージを示す説明図である。実施の形態１の構成に加え、さらに交換部品及び異常発生原因に関するデータを入力することができる。ユーザは異常に対処した際に部品の交換が必要となった場合は、交換部品ＩＤを入力部２３から入力する。ＣＰＵ２１は入力部２３を介して入力された交換部品ＩＤを受け付ける。なお、直接交換部品ＩＤを入力させるほか、交換部品名称を一覧表示させ、一の交換部品を選択させても良い。ＣＰＵ２１は入力部２３から交換部品ＩＤを受け付けた場合、対処情報ファイル２５２の交換部品ＩＤフィールドに、発生日時及び異常ＩＤに対応付けて交換部品ＩＤを記憶する。
【００５７】
ＣＰＵ２１は、異常ファイル２５１から異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因を読み出す。ＣＰＵ２１は、複数の異常発生原因の候補を表示部２４に表示する。図２０に示すようにチェックボックスと共に、複数の異常発生原因の候補が表示される。ユーザは、表示された複数の異常発生の原因から一の異常発生原因を選択する。なお、本実施形態では説明を容易するために一の異常発生原因を選択する例を挙げたが、複数選択させても良い。
【００５８】
ＣＰＵ２１は入力部２３から選択された異常発生原因を受け付ける。ＣＰＵ２１は対処情報ファイル２５２の異常発生原因フィールドに、発生日時及び異常ＩＤに対応付けて受け付けた異常発生原因を記憶する。ＣＰＵ２１は表示部２４に、異常発生時に記憶部２５に、発生日時及び異常ＩＤに対応づけて記憶した入力部２３からの操作データを、対処情報ファイル２５２に記憶するか否かを問う情報を表示する。図２０に示す如く、操作データを記憶する場合は、「操作データを添付する。」のチェックボックスをクリックする。ＣＰＵ２１は入力部２３から、操作データの記憶命令を受け付けた場合、記憶部２５に記憶した操作データを、発生日時及び異常ＩＤに対応づけて、対処情報ファイル２５２の操作データフィールドに記憶する。
【００５９】
ＣＰＵ２１は表示部２４に、異常発生時に発生日時及び異常ＩＤに対応づけて記憶した第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを、対処情報ファイル２５２に記憶するか否かを問う情報を表示する。図２０に示す如く、第１センサ２９１の設定データ及び異常時のデータを記憶する場合、ユーザは、「第１センサデータを添付する。」のチェックボックスをクリックする。ＣＰＵ２１は、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータの記憶命令を受け付けた場合、これらのデータを発生日時及び異常ＩＤに対応づけて、対処情報ファイル２５２のセンサデータフィールドに記憶する。ＣＰＵ２１はＯＫボタンを入力部２３から受け付けた場合、発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ、対処項目、センサデータ、操作データ、異常発生原因、交換部品ＩＤ及びコンピュータＩＤをサーバコンピュータ１へ送信する。
【００６０】
図２１は実施の形態２に係る対処情報ＤＢ１５２のレコードレイアウトを示す説明図である。さらに、対処項目フィールド、センサデータフィールド、操作データフィールド、異常発生原因フィールド及び交換部品ＩＤフィールドが設けられている。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１はコンピュータ２から送信された発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ、対処項目、センサデータ、操作データ、異常発生原因、交換部品ＩＤ及びコンピュータＩＤを記憶する。これにより、各コンピュータ２から様々なノウハウが蓄積される。
【００６１】
図２２及び２３は対処情報の受け付け処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ２１は通信ポート２９４を介して異常が発生した成膜装置２０から異常ＩＤを受け付ける（ステップＳ２２１）。ＣＰＵ２１は異常ファイル２５１から異常ＩＤに対応する異常情報を読み出す（ステップＳ２２２）。ＣＰＵ２１は異常ファイル２５１から異常ＩＤに対応する複数の対処項目を読み出す（ステップＳ２２３）。ＣＰＵ２１は異常情報表示画面に、異常ＩＤ、異常情報、時計部２８から取得した日時情報に基づく異常の発生日時、複数の対処項目及び対処情報表示ボタン１３３を表示部２４に表示する（ステップＳ２２４）。
【００６２】
ＣＰＵ２１は入力部２３または成膜装置２０の図示しない操作機構、制御機構から入力された操作データを、時計部２８から出力される日時情報に対応付けて記憶部２５に記憶する（ステップＳ２２５）。ＣＰＵ２１は第１センサ２９１〜第３センサ２９３の予め記憶部２５に記憶された設定データと、異常時に第１センサ２９１〜第３センサ２９３から出力された異常時のデータとを対応付けて記憶部２５に記憶する（ステップＳ２２６）。ＣＰＵ２１は複数の対処項目の中から選択された対処項目を、入力部２３を介して受け付ける（ステップＳ２２７）。ＣＰＵ２１は異常履歴ファイル２５３に発生日時、異常ＩＤ、対処項目、操作データ、第１センサ２９１〜第３センサ２９３に係る設定データ及び異常時のデータを対応付けて記憶する（ステップＳ２２８）。
【００６３】
ＣＰＵ２１は対処情報表示ボタン２４１の入力を通じて、対処情報の表示要求を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ２２９）。ＣＰＵ２１は対処情報の表示要求を受け付けたと判断した場合（ステップＳ２２９でＹＥＳ）、図１４で述べた処理を行い、対処情報を表示部２４に表示する（ステップＳ２３１）。ＣＰＵ２１は対処情報の表示要求を受け付けていない場合（ステップＳ２２９でＮＯ）、処理をステップＳ２３２へ移行させる。
【００６４】
ユーザに、対処情報を入力させるべく、ＣＰＵ２１は異常履歴ファイル２５３に記憶した発生日時及び異常ＩＤを読み出し、表示部２４に表示する。ＣＰＵ２１は入力部２３を通じて、対処情報の入力を希望する一の発生日時及び異常ＩＤの選択を受け付ける（ステップＳ２３２）。ＣＰＵ２１は選択を受け付けた発生日時及び異常ＩＤに対応する異常情報を異常ファイル２５１から読み出す。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ及び異常情報を対処情報入力画面に表示する（ステップＳ２３３）。ＣＰＵ２１はさらに、対処情報入力ボックス２４２を表示部２４に表示する。ＣＰＵ２１はユーザＩＤ及び対処情報を、入力部２３から受け付ける（ステップＳ２３４）。
【００６５】
ＣＰＵ２１は入力された対処情報に対応する対処ＩＤを生成する（ステップＳ２３５）。ＣＰＵ２１は異常ＩＤに対応する複数の異常発生原因を異常ファイル２５１から読み出す（ステップＳ２３６）。ＣＰＵ２１は複数の異常発生原因を表示部２４に表示する（ステップＳ２３７）。ＣＰＵ２１は入力部２３を通じて、異常発生原因の選択を受け付ける（ステップＳ２３８）。ＣＰＵ２１は交換部品のＩＤの入力を受け付ける（ステップＳ２３９）。なお、交換部品が存在しない場合、交換部品のＩＤを入力する必要はない。
【００６６】
ＣＰＵ２１は操作データを添付するか否かの情報を、入力部２３を介して受け付ける（ステップＳ２３１０）。ＣＰＵ２１は第１センサ２９１〜第３センサ２９３のデータを添付するか否かの情報を、入力部２３を介して受け付ける（ステップＳ２３１１）。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、対処項目、ユーザＩＤ、異常発生原因、交換部品ＩＤ、操作データ、設定データ、及び、異常時のデータを対処情報ファイル２５２に記憶する（ステップＳ２３１２）。なお、ステップＳ２３１０で操作データを添付する情報が入力されていない場合は、操作データを対処情報ファイル２５２に記憶しなくても良い。またステップＳ２３１１において、第１センサ２９１〜第３センサ２９３のデータを添付するとの情報を受け付けていない場合、設定データ及び異常時のデータを対処情報ファイル２５２に記憶しなくても良い。
【００６７】
その後ＣＰＵ２１は、通信部２６を介して、発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、対処項目、ユーザＩＤ、異常発生原因、交換部品ＩＤ、操作データ、設定データ、異常時のデータ及びコンピュータＩＤをサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ２３１３）。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は、通信部１６を介して、発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、ユーザＩＤ、異常発生原因、交換部品ＩＤ、操作データ、設定データ、異常時のデータ及びコンピュータＩＤを受信する。ＣＰＵ１１は、受信した発生日時、異常ＩＤ、対処ＩＤ、対処情報、対処項目、ユーザＩＤ、異常発生原因、交換部品ＩＤ、操作データ、設定データ、異常時のデータ及びコンピュータＩＤを対処情報ＤＢ１５２に記憶する（ステップＳ２３１４）。これにより、入力部２３により入力される対処情報に加えて、様々な情報がノウハウとして蓄積することが可能となる。
【００６８】
本実施の形態３は以上の如きであり、その他は実施の形態１及び２と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００６９】
実施の形態４
実施の形態４は対処情報を表示する際に、対処項目及び異常発生原因の統計を表示する形態に関する。図２４は実施の形態４に係るサーバコンピュータ１のハードウェア群を示すブロック図である。記憶部１５には新たに統計ＤＢ１５３が設けられている。図２５は統計ＤＢ１５３のレコードレイアウトを示す説明図である。統計ＤＢ１５３は異常ＩＤフィールド、対処項目フィールド、異常発生原因フィールド、件数フィールド及び割合フィールドを含む。
【００７０】
対処項目フィールドには、異常ＩＤに対応付けて複数の対処項目が記憶されている。対処項目に対応する件数フィールドには、対処項目に対応付けて、選択された対処項目の件数が記憶されている。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は対処情報ファイル２５２を参照し、異常ＩＤに対応する対処項目の数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した値を件数として、対処項目毎に、統計ＤＢ１５３に記憶する。ＣＰＵ１１は各対処項目が占める件数を、全対処項目の件数で除し、１００を乗ずることで、各対処項目の割合を算出する。ＣＰＵ１１は算出した割合を異常ＩＤ及び対処項目に対応付けて、統計ＤＢ１５３に記憶する。
【００７１】
異常発生原因フィールドには、異常ＩＤに対応付けて複数の異常発生原因が記憶されている。異常発生原因に対応する件数フィールドには、異常発生原因に対応付けて、選択された異常発生原因の件数が記憶されている。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は対処情報ファイル２５２を参照し、異常ＩＤに対応する異常発生原因の数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した値を件数として、異常発生原因毎に、統計ＤＢ１５３に記憶する。ＣＰＵ１１は各異常発生原因が占める件数を、全異常発生原因の件数で除し、１００を乗ずることで、各異常発生原因の割合を算出する。ＣＰＵ１１は算出した割合を異常ＩＤ及び異常発生原因に対応付けて、統計ＤＢ１５３に記憶する。
【００７２】
図２６は対処情報の表示イメージを示す説明図である。異常ＩＤに対応する対処情報に加えて、対処項目の統計及び異常発生原因の統計が表示される。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び対処情報の取得要求を受信した場合、統計ＤＢ１５３を参照し、異常ＩＤに対応する対処項目、対処項目に係る件数及び割合と、異常発生原因、異常発生原因に係る件数及び割合とを読み出す。ＣＰＵ１１は読み出した対処項目、対処項目に係る件数及び割合と、異常発生原因、異常発生原因に係る件数及び割合とをコンピュータ２へ送信する。コンピュータ２のＣＰＵ２１は表示部２４に、図２６の如く、対処項目毎の件数及び割合を表示し、また異常発生原因の件数及び割合を表示する。ここでＯＫボタンが入力部２３を通じて入力された場合、ＣＰＵ２１は図１８に示した異常情報表示画面に戻る。ここで、過去の対処項目統計に基づき、適切な対処項目を選択することができる。なお、本実施形態においては、統計として件数及び割合の双方を表示する例を挙げたが、一例でありこれに限るものではない。件数または割合のいずれか一方でも良く、また統計であればグラフ等により表示しても良い。さらに、本実施形態では対処項目の統計と、異常発生原因の統計との双方を表示する例を挙げたが、いずれか一方を表示しても良い。
【００７３】
表示部２４には、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを表示しても良い。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤに対応する対処ＩＤ、交換部品ＩＤ、操作データ並びに第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを読み出す。ＣＰＵ１１は対処ＩＤ、交換部品ＩＤ、操作データ並びに第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータをコンピュータ２へ送信する。コンピュータ２のＣＰＵ２１は表示部２４に受信した対処ＩＤ、交換部品ＩＤ、操作データ並びに第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを表示する。
【００７４】
図２７及び図２８は統計の表示処理を示すフローチャートである。ＣＰＵ１１はコンピュータ２から送信された異常ＩＤ、対処項目及び異常発生原因を受信する（ステップＳ２７１）。ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤに係る対処項目及び異常発生原因を計数し、計数した件数を統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ２７２）。なお計数処理は定期的（例えば１時間毎）に行うほか、コンピュータ２から異常ＩＤ、対処項目及び異常発生原因が送信される度に行っても良い。ＣＰＵ１１は計数した件数に基づき、対処項目及び異常発生原因の割合を算出し、算出した割合を統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ２７３）。
【００７５】
コンピュータ２のＣＰＵ２１は入力部２３から、対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付ける。ＣＰＵ２１は対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付けた場合、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求をサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ２７４）。
【００７６】
サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ、対処情報、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータの取得要求を受信する。ＣＰＵ１１は受信した異常ＩＤに対応する対処ＩＤ、対処情報、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを対処情報ＤＢ１５２から読み出す（ステップＳ２７５）。ＣＰＵ１１は装置ＤＢ１５１から受信したコンピュータＩＤに対応するアドレスを読み出す（ステップＳ２７６）。ＣＰＵ１１は読み出した対処ＩＤ、対処情報、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを、読み出したアドレス宛のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ２７７）。
【００７７】
ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目の件数及び割合と、異常発生原因の件数と割合とを、統計ＤＢ１５３から読み出し、コンピュータ２へ送信する（ステップＳ２７８）。コンピュータ２のＣＰＵ２１は対処ＩＤ、対処情報、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを受信する（ステップＳ２７９）。
【００７８】
ＣＰＵ２１は受信した対処ＩＤ、対処情報、交換部品ＩＤ、操作データ、並びに、第１センサ２９１〜第３センサ２９３の設定データ及び異常時のデータを、異常ＩＤ、異常情報及び発生日時と共に表示部２４に表示する（ステップＳ２８１）。ＣＰＵ２１は異常ＩＤに対応する対処項目の件数及び割合と、異常発生原因の件数と割合とを受信する（ステップＳ２８２）。ＣＰＵ２１は異常ＩＤに対応する対処項目の件数及び割合と、異常発生原因の件数と割合とを表示部２４に表示する（ステップＳ２８３）。これにより、各コンピュータ２で入力された統計を参照することができ、複数の対処項目の中から相応しい対処項目を選択することができる。また、異常発生原因の統計を参照することで、適切な対応を採ることが可能となる。
【００７９】
本実施の形態４は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至３と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００８０】
実施の形態５
実施の形態５は対処情報を保存期間の情報を用いて管理する形態に関する。図２９は対処情報の入力画面を示す説明図である。ユーザは入力部２３を通じて対処情報の保存期間を入力することができる。なお、保存期間に替えて消去日時を入力しても良いことはもちろんである。本実施形態においては保存期間を入力する例を挙げて説明する。ＣＰＵ２１は記憶部２５から、保存期間を入力するための情報を表示する。図２９に示すように、保存期間は、異常ＩＤに対応する対処情報を永久に保存する「永久」、所定の日時まで保存する「  年  月  日まで」、及び、所定月経過するまで保存する「  ヶ月」が一例として挙げられる。ユーザは対処情報が重要であり長期間に亘り保存する必要があると考えた場合、「永久」を入力部２３から選択する。ユーザは所定期間後に消去しても良いと考える場合は、保存を希望する日時、または、保存する月数を入力部２３から入力する。
【００８１】
ＣＰＵ２１は入力部２３から入力された保存期間を対処情報ファイル２５２に、記憶する。図３０は実施の形態５に係る対処情報ファイル２５２のレコードレイアウトを示す説明図である。新たに保存期間フィールドが設けられている。ＣＰＵ２１は入力部２３を通じて入力された保存期間を、発生日時及び異常ＩＤに対応付けて記憶する。図の例では、２０１０年９月１６日１２時５５分２０秒に発生した異常ＩＤ「１００１」の対処情報については永久に保存される。
【００８２】
コンピュータ２のＣＰＵ２１は通信部２６を介してサーバコンピュータ１へ、発生日時及び異常ＩＤに対応する保存期間を送信する。図３１は対処情報ＤＢ１５２のレコードレイアウトを示す説明図である。新たに保存期間フィールドが設けられている。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は発生日時及び異常ＩＤに対応付けて送信された保存期間を、対処情報ＤＢ１５２に記憶する。ＣＰＵ１１は時計部２８から出力される日時情報を参照し、保存期間フィールドに記憶された保存期間を経過したレコードを消去する。なお、オペレータが入力部１３または他の図示しないコンピュータから重要性の低い対処情報を適宜消去しても良い。
【００８３】
図３２は消去処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ２１は図２９に示す如く対処情報入力画面を表示部２４に表示する（ステップＳ３２１）。ＣＰＵ２１は対処情報及び保存期間を、入力部２３を介して受け付ける（ステップＳ３２２）。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ、対処情報及び保存期間を対処情報ファイル２５２に記憶する（ステップＳ３２３）。ＣＰＵ２１は発生日時、異常ＩＤ、対処情報、保存期間及びコンピュータＩＤをサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ３２４）。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は発生日時、異常ＩＤ、対処情報、保存期間及びコンピュータＩＤを受信する（ステップＳ３２５）。
【００８４】
ＣＰＵ１１は発生日時、異常ＩＤ、対処情報、保存期間及びコンピュータＩＤを対処情報ＤＢ１５２に記憶する（ステップＳ３２６）。ＣＰＵ１１は時計部１８から日時情報を取得する（ステップＳ３２７）。ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２の保存期間フィールド及び日時情報を参照し、保存期間を経過した対処情報が存在するか否かを判断する（ステップＳ３２８）。ＣＰＵ１１は存在しないと判断した場合（ステップＳ３２８でＮＯ）、ステップＳ３２７へ移行し、処理を繰り返す。なお、保存期間として「永久」が記憶されている対処情報については処理を行わなくて良い。
【００８５】
ＣＰＵ１１は保存期間を経過した対処情報が記憶されていると判断した場合（ステップＳ３２８でＹＥＳ）、保存期間を経過した対処情報を消去する（ステップＳ３２９）。具体的には対処情報ＤＢ１５２の保存期間を経過した発生日時及び異常ＩＤに対応する対処情報を含むレコードを消去する。これにより、より重要度の高い対処情報及びこれに付随するデータのみが他のコンピュータ２に提供され、対処効率を向上させることが可能となる。なお実施の形態２の如くコンピュータ２間で情報を送受信する場合、ＣＰＵ２１が対処情報ファイルの保存期間フィールド及び時計部２８から出力される日時情報を参照し、保存期間を経過した対処情報に係るレコードを消去すればよい。
【００８６】
本実施の形態５は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至４と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００８７】
実施の形態６
実施の形態６は対処項目の統計に基づき処理を実行する形態に関する。図３３は実施の形態６に係る異常ファイル２５１のレコードレイアウトを示す説明図である。新たに実行命令フィールドが用意されている。実行命令フィールドには異常ＩＤ及び対処項目毎に、成膜装置２０に対する実行命令が記憶されている。例えば対処項目「リトライ」についてはステージ制御部２９０に対し、再度ステージを上昇動作させる実行命令が記憶されている。ＣＰＵ２１は実行命令を成膜装置２０へ、通信ポート２９４を介して出力する。成膜装置２０は実行命令に従いステージ制御部２９０を上昇させるべく制御する。
【００８８】
また対処項目「処理継続」については、例えば異常ＩＤによる異常情報を無視し、処理を継続する命令である。ＣＰＵ２１は成膜装置２０へ処理継続命令を、通信ポート２９４を介して出力する。成膜装置２０は、ステージの第１センサ２９１が反応しているか否かにかかわらず、次の処理を継続して行う。また対処項目「再起動」については、コンピュータ２及び成膜装置２０の電源をオフ状態とし、再度オン状態とする命令である。ＣＰＵ２１は成膜装置２０に対する電源供給を停止し、その後コンピュータ２の再起動処理を実行する。ＣＰＵ２１は再起動後、成膜装置２０への電源供給を開始する。
【００８９】
ＣＰＵ２１は実施の形態４で述べた統計に基づき、最も高い件数または割合を有する対処項目を選択し、対処項目に係る実行命令を異常ファイル２５１から読み出す。ＣＰＵ２１は読み出した実行命令に基づき、成膜装置２０に対する処理を行う。例えば、対処項目「リトライ」の割合が９５％以上の場合、異常発生時に「リトライ」に係る実行命令に基づき、処理を実行する。
【００９０】
図３４は実行処理の手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ２１はステップＳ２７４で述べたように、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求をサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ３４１）。ステップＳ２８２で述べたように、ＣＰＵ２１はサーバコンピュータ１から各対処項目の件数及び割合を受信する（ステップＳ３４２）。ＣＰＵ２１は記憶部２５から予め記憶した件数の閾値及び割合の閾値を読み出す（ステップＳ３４３）。件数の閾値は、全ての対処項目の件数の合計値に関する値であり、例えば「３０」が記憶されている。割合の閾値は、一の対処項目の件数が、全ての対処項目の件数に占める割合に関する値であり、例えば９０％が記憶されている。
【００９１】
ＣＰＵ２１はステップＳ３４２で受信した対処項目の件数の合計値を算出する。ＣＰＵ２１は合計件数がステップＳ３４３で読み出した件数の閾値を越えるか否かを判断する（ステップＳ３４４）。なお本実施形態においては件数の合計値と、件数の閾値とを比較する例を挙げたがこれに限るものではない。例えば、最大の件数をもつ対処項目の件数と、件数の閾値とを比較してもよい。ＣＰＵ２１は合計件数が件数の閾値を越えると判断した場合（ステップＳ３４４でＹＥＳ）、最も割合の高い対処項目に係る割合を選択する（ステップＳ３４５）。
【００９２】
ＣＰＵ２１は選択した対処項目の割合が、ステップＳ３４３で読み出した割合の閾値を越えるか否かを判断する（ステップＳ３４６）。ＣＰＵ２１は選択した対処項目の割合が、ステップＳ３４３で読み出した割合の閾値を越えると判断した場合（ステップＳ３４６でＹＥＳ）、ステップＳ３４８へ移行する。なお、上述した閾値は入力部２３から適宜の値を入力することにより、変更することが可能である。
【００９３】
ステップＳ３４４において、ＣＰＵ２１は閾値を越えないと判断した場合（ステップＳ３４４でＮＯ）、ステップＳ３４６において割合の閾値を越えないと判断した場合（ステップＳ３４６でＮＯ）、処理をステップＳ３４７へ移行させる。ＣＰＵ２１はステップＳ２８３と同じく、対処項目の件数及び割合を表示部２４に表示する（ステップＳ３４７）。ステップＳ３４６でＹＥＳの場合、ＣＰＵ２１は異常ＩＤ及び対処項目に対応する実行命令を、異常ファイル２５１から読み出す（ステップＳ３４８）。ＣＰＵ２１は読み出した実行命令に従い、コンピュータ２または成膜装置２０に対する処理を実行する（ステップＳ３４９）。これにより、信頼性の高い対処項目である場合、異常が発生した場合でも、対応する処理を実行することにより早期に正常状態へ復帰することが可能となる。
【００９４】
本実施の形態６は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至５と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【００９５】
実施の形態７
実施の形態７は関連する成膜装置２０を有するコンピュータ２へ対処情報を提供する形態に関する。図３５は実施の形態７に係る装置ＤＢ１５１のレコードレイアウトを示す説明図である。さらに分類フィールド、設置年月日フィールド及び稼働時間フィールドが設けられている。分類フィールドは成膜装置２０の分類を特定するための情報が記憶されており、例えば型番、機種名等が記憶される。本実施形態においては説明を容易にするために分類「Ａ」、「Ｂ」等が記憶されているものとして説明する。
【００９６】
設置年月日フィールドには、成膜装置２０の設置年月日がコンピュータＩＤ及び成膜装置ＩＤと共に記憶されている。稼働時間フィールドには、コンピュータＩＤ及び成膜装置ＩＤに対応付けて、成膜装置２０の稼働時間の合計値が記憶されている。なお、コンピュータ２は定期的に、サーバコンピュータ１に対し成膜装置２０の稼働時間を送信するものとして説明する。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１はコンピュータ２から送信された稼働時間に基づき、設置してからの成膜装置２０の稼働時間の合計値を稼働時間フィールドに記憶する。ＣＰＵ１１は分類と、設置年月日または稼働時間の合計値とに基づき同様の異常が発生する可能性のあるコンピュータ２を抽出する。ＣＰＵ１１は一のコンピュータ２と分類が同一であり、かつ、設置年月日が記憶部１５に記憶した所定期間（例えば１ヶ月）しか相違しない他のコンピュータ２を抽出する。
【００９７】
その他、ＣＰＵ１１は一のコンピュータ２と分類が同一であり、かつ、稼働時間の合計値が所定時間（例えば２４時間）しか相違しない他のコンピュータ２を抽出する。本実施形態では一例として後者の稼働時間の合計値を用いる例を挙げて説明する。一のコンピュータ２から異常ＩＤ及び対処情報が送信された場合、抽出した他のコンピュータ２へ異常ＩＤ及び対処情報を送信する。
【００９８】
図３６は警告画面のイメージを示す説明図である。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び異常ＩＤに対応する対処情報を対処情報ＤＢ１５２から読み出す。ＣＰＵ１１は読み出した対処情報及び異常ＩＤをＨＴＭＬ（HyperText Markup Language）文書として記述する。ＣＰＵ１１はさらに異常ＩＤに対応する詳細な情報を閲覧するためのアクセス情報をＨＴＭＬ文書に記述する。例えば、異常ＩＤが一部に含まれたＵＲＬ（Uniform Resource Locator）を記述する。ＣＰＵ１１は抽出したコンピュータ２のアドレスを参照し、以上のとおり記述した警告情報をコンピュータ２へ送信する。コンピュータ２の表示部２４には図３６に示す警告情報が表示される。
【００９９】
ユーザは入力部２３を操作し、ＵＲＬをクリックした場合、異常ＩＤ及び詳細情報の表示要求がサーバコンピュータ１へ送信される。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び詳細情報の表示要求を受け付ける。ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤに対応する対処項目、センサデータ、操作データ、異常発生原因、または、交換部品の情報をコンピュータ２へ送信する。
【０１００】
図３７は抽出処理の手順を示すフローチャートである。コンピュータ２のＣＰＵ２１はコンピュータＩＤ及び成膜装置２０の稼働時間を送信する（ステップＳ３７１）。稼働時間は例えば成膜装置２０の電源オフ時に、電源オン状態からオフ状態までの時間を求めるようにすればよい。なお、成膜装置２０で設置時からの稼働時間の合計値を算出する機能を有する場合、当該合計値を利用すればよい。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１はコンピュータＩＤ及び稼働時間を受信する（ステップＳ３７２）。ＣＰＵ１１は装置ＤＢ１５１の稼働時間フィールドを参照し、稼働時間の合計値を算出する（ステップＳ３７３）。具体的には、ＣＰＵ１１は受信した稼働時間と、稼働時間フィールドに記憶した稼働時間とを加算する。
【０１０１】
ＣＰＵ１１はコンピュータＩＤに対応付けて稼働時間の合計値を記憶する（ステップＳ３７４）。ＣＰＵ１１は装置ＤＢ１５１を参照し、同一分類のコンピュータＩＤを抽出する（ステップＳ３７５）。ＣＰＵ１１は抽出したコンピュータＩＤの各稼働時間の合計値を装置ＤＢ１５１から読み出す。ＣＰＵ１１は稼働時間の閾値を記憶部１５から読み出す（ステップＳ３７６）。ＣＰＵ１１は２つのコンピュータＩＤの稼働時間の合計値の差が閾値以内のコンピュータＩＤを抽出する（ステップＳ３７７）。ＣＰＵ１１は抽出したコンピュータＩＤに対応するアドレスを抽出する（ステップＳ３７８）。これにより、分類が同じで、稼働時間が近似するコンピュータＩＤを抽出することが可能となる。
【０１０２】
図３８は警告情報の表示処理手順を示すフローチャートである。上述したようにサーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は一のコンピュータ２から異常ＩＤ及び対処情報を受信する（ステップＳ３８１）。ＣＰＵ１１は、図３７で示した処理により、一のコンピュータ２に関連する他のコンピュータ２のアドレスを抽出する（ステップＳ３８２）。ＣＰＵ１１はサーバコンピュータ１へアクセスするための異常ＩＤを含むＵＲＬを生成する（ステップＳ３８３）。ＣＰＵ１１はステップＳ３８２で抽出したアドレスを参照し、異常ＩＤ、対処情報及びＵＲＬを警告情報として他のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ３８４）。
【０１０３】
他のコンピュータ２のＣＰＵ２１は異常ＩＤ、対処情報及びＵＲＬを受信する（ステップＳ３８５）。ＣＰＵ２１は異常ＩＤ、対処情報及びＵＲＬを警告情報として表示部２４に表示する（ステップＳ３８６）。ＣＰＵ２１は、ユーザのＵＲＬの操作をトリガに、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び詳細情報の表示要求をサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ３８７）。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１はコンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び詳細情報の表示要求を受信する（ステップＳ３８８）。
【０１０４】
ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目、センサデータ、操作データ、異常発生原因、及び、交換部品の情報を他のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ３８９）。なお、対処項目及び異常発生原因の統計を併せて送信するようにしても良い。他のコンピュータ２のＣＰＵ２１は表示部２４に、異常ＩＤに対応する対処項目、センサデータ、操作データ、異常発生原因、及び、交換部品の情報を表示する。これにより、異常が発生していなくとも、関連性の強い成膜装置２０にて発生した異常を早期に知ることが可能となる。
【０１０５】
実施の形態８
実施の形態８は複数のサーバコンピュータ１の情報を共有する形態に関する。図３９は実施の形態８に係る処理システムの概要を示す模式図である。上述した実施形態で述べたサーバコンピュータ１、コンピュータ２及び成膜装置２０と同様の構成のサーバコンピュータ３、コンピュータ４及び成膜装置２０を設けても良い。サーバコンピュータ３も複数のコンピュータ４Ａ、４Ｂ、４Ｃを備え、成膜装置４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ（以下場合により４０で代表する）には各コンピュータ４Ａ、４Ｂ、４Ｃがそれぞれ組み込まれている。サーバコンピュータ１とサーバコンピュータ３とはインターネット等の通信網Ｎを介して総合サーバコンピュータ１０に接続されている。本実施形態では説明を容易にするために、サーバコンピュータ１とサーバコンピュータ３との２つを用いる例を挙げて説明するが、さらに多くのサーバコンピュータ１、コンピュータ２及び成膜装置２０の組み合わせを設けても良い。
【０１０６】
サーバコンピュータ１で述べた対処情報ＤＢ１５２の記憶内容は総合サーバコンピュータ１０の図示しない記憶部に記憶される。同様にサーバコンピュータ３の図示しない対処情報ＤＢも総合サーバコンピュータ１０の記憶部に記憶される。コンピュータ２またはコンピュータ４から異常ＩＤに対応する対処情報の表示要求が送信された場合、サーバコンピュータ１またはサーバコンピュータ３は総合サーバコンピュータ１０へ異常ＩＤ及び対処情報の表示要求を送信する。総合サーバコンピュータ１０は各サーバコンピュータ１、３・・・から受信した対処情報から異常ＩＤに対応する対処情報を読み出す。総合サーバコンピュータ１０は対処情報をサーバコンピュータ１またはサーバコンピュータ３へ送信する。サーバコンピュータ１またはサーバコンピュータ３は対処情報をコンピュータ２またはコンピュータ４へ送信する。このように、総合サーバコンピュータ１０にて対処情報ＤＢを共有することにより、さらなる情報の共有を達成することが可能となる。
【０１０７】
本実施の形態８は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至７と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【０１０８】
実施の形態９
図４０は実施の形態９に係るコンピュータ２のハードウェア群を示すブロック図である。実施の形態１乃至８に係るコンピュータ２を動作させるためのプログラムは、本実施の形態９のように、読み取り部（図示せず）にＵＳＢメモリ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬型記録媒体１Ａを読み取らせて記憶部２５に記憶しても良い。また、当該プログラムは、インターネット等の通信網Ｎを介して接続される他のサーバコンピュータ（図示せず）からダウンロードすることも可能である。以下に、その内容を説明する。
【０１０９】
図４０に示すコンピュータ２は、上述した各種ソフトウェア処理を実行するプログラムを、可搬型記録媒体１Ａによりまたは通信網Ｎを介して他のサーバコンピュータ（図示せず）からダウンロードする。当該プログラムは、制御プログラム２５Ｐとしてインストールされ、ＲＡＭ２２にロードして実行される。これにより、上述したコンピュータ２として機能する。
【０１１０】
本実施の形態９は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至８と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【０１１１】
実施の形態１０
実施の形態１０は交換部品に関する統計を表示する形態に関する。図４１は実施の形態１０に係る統計ＤＢ１５３のレコードレイアウトを示す説明図である。サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１はコンピュータ２から異常ＩＤ、異常発生原因及び交換部品ＩＤが送信された場合、異常ＩＤ及び異常発生原因に対応づけて、交換部品ＩＤを対処情報ＤＢ１５２に記憶する。ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤ、異常発生原因及び交換部品ＩＤに対応する交換部品ＩＤの数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した数を、異常ＩＤ、異常発生原因及び交換部品ＩＤに対応づけて統計ＤＢ１５３に記憶する。またＣＰＵ１１は異常ＩＤ、異常発生原因及び交換部品ＩＤの件数を、異常発生原因に対応する全ての交換部品ＩＤの全件数で除し、１００を乗じることで割合を算出する。ＣＰＵ１１は算出した割合を件数に対応づけて記憶する。なお、紙面の都合上対処項目等のレコードの記載は省略している。
【０１１２】
図４２及び図４３は統計の表示処理手順を示すフローチャートである。ＣＰＵ１１はコンピュータ２から送信された異常ＩＤ、対処項目、異常発生原因及び交換部品ＩＤを受信する（ステップＳ４２１）。なお、操作データ及びセンサデータ等の記載は省略している。ＣＰＵ１１は受信した異常ＩＤ、対処項目、異常発生原因及び交換部品ＩＤを対処情報ＤＢ１５２に記憶する（ステップＳ４２２）。ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤに対応する対処項目及び異常発生原因を計数し、件数を統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ４２３）。具体的にはＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目を抽出し、対処項目の数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した数を異常ＩＤ及び対処項目に対応づけて、統計ＤＢ１５３に記憶する。なお、ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目を受信した場合に、統計ＤＢ１５３の異常ＩＤ及び対処項目に対応する件数をインクリメントしても良い。
【０１１３】
また、ＣＰＵ１１は、対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤに対応する異常発生原因を抽出し、異常発生原因の数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した数を異常ＩＤ及び異常発生原因に対応づけて、統計ＤＢ１５３に記憶する。なお、ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する異常発生原因を受信した場合に、統計ＤＢ１５３の異常ＩＤ及び異常発生原因に対応する件数をインクリメントしても良い。ＣＰＵ１１は統計ＤＢ１５３を参照し、対処項目の割合及び異常発生原因の割合を算出し、統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ４２４）。具体的にはＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目の件数を、異常ＩＤに対応する全対処項目の件数で除し、１００を乗じることで割合を算出する。ＣＰＵ１１は算出した割合を異常ＩＤに対応する対処項目に対応づけて、統計ＤＢ１５３に記憶する。同様に、ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する異常発生原因の件数を、異常ＩＤに対応する全異常発生原因の件数で除し、１００を乗じることで割合を算出する。ＣＰＵ１１は算出した割合を異常ＩＤに対応する異常発生原因に対応づけて、統計ＤＢ１５３に記憶する。
【０１１４】
ＣＰＵ１１は対処情報ＤＢ１５２を参照し、異常ＩＤ及び異常発生原因に対応する交換部品ＩＤの数を計数し、件数を統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ４２５）。具体的にはＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び異常発生原因をアンド条件で満たす交換部品ＩＤを抽出し、抽出した数を計数する。ＣＰＵ１１は計数した数を異常ＩＤ及び異常発生原因に対応づけて、統計ＤＢ１５３に記憶する。なお、ＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び異常発生原因に対応する交換部品ＩＤを受信した場合に、統計ＤＢ１５３の異常ＩＤ及び異常発生原因に対応する件数をインクリメントしても良い。ＣＰＵ１１は統計ＤＢ１５３を参照し、交換部品ＩＤの割合を算出し、統計ＤＢ１５３に記憶する（ステップＳ４２６）。具体的にはＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び異常発生原因をアンド条件で満たす一の交換部品ＩＤの数を、同条件を満たす全ての交換部品ＩＤ数で除し、１００を乗じることで割合を算出する。ＣＰＵ１１は異常ＩＤ、異常発生原因及び交換部品ＩＤに対応づけて算出した割合を統計ＤＢ１５３に記憶する。以上の処理を繰り返すことにより、異常ＩＤ及び異常発生原因に対応する交換部品ＩＤの件数及び割合が蓄積されることとなる。
【０１１５】
コンピュータ２のＣＰＵ２１は入力部２３から、対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付ける。ＣＰＵ２１は対処情報表示ボタン２４１の入力を受け付けた場合、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求をサーバコンピュータ１へ送信する（ステップＳ４２７）。
【０１１６】
サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１は、コンピュータＩＤ、異常ＩＤ及び対処情報の取得要求を受信する。ＣＰＵ１１は、受信した異常ＩＤに対応する対処情報を対処情報ＤＢ１５２から読み出す（ステップＳ４２８）。ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処項目のうち、割合の高い順に複数の対処項目を、統計ＤＢ１５３から読み出す（ステップＳ４２９）。なお、読み出す数は、例えば割合の高いものから順に３つとすれば良い。その他、割合が一定値以上（例えば２０％以上）のものだけを読み出しても良い。また本実施形態では割合を抽出して表示する例を挙げて説明するが、これに限るものではない。割合に代えて件数を読み出しても良い。この場合、件数の多い順に３つ程度、読み出せば良い。また割合と件数との双方を読み出しても良い。
【０１１７】
ＣＰＵ１１は、受信した異常ＩＤに対応する異常発生原因のうち、割合の高い順に複数の異常発生原因を統計ＤＢ１５３から読み出す（ステップＳ４３１）。ＣＰＵ１１は異常ＩＤ及び読み出した異常発生原因に対する交換部品ＩＤのうち、割合の高い順に複数の交換部品ＩＤを、統計ＤＢ１５３から読み出す（ステップＳ４３２）。ＣＰＵ１１はステップＳ４３１にて読み出した全ての異常発生原因に対する交換部品ＩＤの読み出しが終了したか否かを判断する（ステップＳ４３３）。ＣＰＵ１１は終了していないと判断した場合（ステップＳ４３３でＮＯ）、処理をステップＳ４３２へ戻す。これにより、複数の異常発生原因に対する交換部品ＩＤが読み出されていく。ＣＰＵ１１は全ての異常発生原因について処理が終了したと判断した場合（ステップＳ４３３でＹＥＳ）、処理をステップＳ４３４へ移行させる。
【０１１８】
ＣＰＵ１１は装置ＤＢ１５１から受信したコンピュータＩＤに対応するアドレスを読み出す（ステップＳ４３４）。ＣＰＵ１１は異常ＩＤに対応する対処情報、複数の対処項目と割合、複数の異常発生原因と割合、及び、複数の交換部品ＩＤと対応する部品名と割合とを、読み出したアドレス宛のコンピュータ２へ送信する（ステップＳ４３５）。なおＣＰＵ１１は交換部品ＩＤに対応する部品名を予め記憶した記憶部１５を参照し、交換部品ＩＤに対応する部品名を抽出する。
【０１１９】
パーソナルコンピュータ２のＣＰＵ２１は対処情報、複数の対処項目と割合、複数の異常発生原因と割合、及び、複数の交換部品ＩＤと部品名と割合とを、通信部２６を介して受信する（ステップＳ４３６）。ＣＰＵ２１は対処情報、複数の対処項目と割合、複数の異常発生原因と割合、及び、複数の交換部品ＩＤと部品名と割合とを、表示部２４に表示する（ステップＳ４３７）。
【０１２０】
図４４は対処情報の表示イメージを示す説明図である。ＣＰＵ２１は対処情報に加えて、対処項目、異常発生原因及び交換部品ＩＤを表示する。ＣＰＵ２１は複数の対処項目を割合の高い順に表示する。なお、本実施形態では、サーバコンピュータ１のＣＰＵ１１が割合の高い順に対処項目を読み出す例を挙げたがこれに限るものではない。パーソナルコンピュータ２のＣＰＵ２１が受信した複数の対処項目及び割合について、割合に基づきソートすることで、割合の高い対処項目から順に表示部２４に表示しても良い。
【０１２１】
ＣＰＵ２１は同様に異常発生原因を割合の高い順に表示部２４に表示する。図４４の例では、割合が６５％と最も高い「メカパーツ不良」が最初に表示され、次いで割合が３０％と高い「エレキパーツ不良」が次に下側または右側に表示される。なお、紙面の都合上これよりも低い割合の異常発生原因については記載を省略している。ＣＰＵ２１は各異常発生原因について割合の高い順に部品名及び交換部品ＩＤと、割合とを表示する。図４４の例では、「メカパーツ不良」に対し、割合が８０％と最も高い部品Ａが最初に表示され、次いで１０％と割合が高い部品Ｂが、例えば下側または右側に表示される。次いで５％と割合が高い部品Ｃが表示される。このように対処項目及び異常発生原因について割合の高い順に割合と共に表示するようにしたので、ユーザは適切な対応をとることができる。また異常発生原因毎に交換すべき部品名を割合と共に表示したので、入手に時間を要する部品を早期に、また適切に発注することが可能となる。
【０１２２】
本実施の形態１０は以上の如きであり、その他は実施の形態１乃至９と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。
【符号の説明】
【０１２３】
１      サーバコンピュータ
１Ａ    可搬型記録媒体
２、２Ａ、２Ｂ、２Ｃ  コンピュータ
３      サーバコンピュータ
４、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ  コンピュータ
１０    総合サーバコンピュータ
１１    ＣＰＵ
１２    ＲＡＭ
１３    入力部
１４    表示部
１５    記憶部
１５Ｐ  制御プログラム
１６    通信部
１８    時計部
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  成膜装置
４０、４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ  成膜装置
２１    ＣＰＵ
２２    ＲＡＭ
２３    入力部
２４    表示部
２５    記憶部
２５Ｐ  制御プログラム
２６    通信部
２８    時計部
２９    成膜処理部
１５１  装置ＤＢ
１５２  対処情報ＤＢ
１５３  統計ＤＢ
２５１  異常ファイル
２５２  対処情報ファイル
２５３  異常履歴ファイル
２９０  ステージ制御部
２９１  第１センサ
２９２  第２センサ
２９３  第３センサ
２９４  通信ポート
Ｎ      通信網
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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