(57)【要約】  基板を支持させる回動支持台の構造を簡単にした基板の移送装置に関する。  該装置は、上部の第１位置に供給された基板を、下部の第２位置の高さに移送させ、第２位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、第１上部回動支持台及び第２上部回動支持台と、第１下部回動支持台及び第２下部回動支持台とが上下に離隔された状態で回動される構造を有する。  かような移送装置は、第１リフト及び第２リフトが、それぞれ第１位置と第２位置との間を交互に昇降しつつ、複数の基板を移送させるので、第１回動支持台及び第２回動支持台での基板待機時間を短縮させることによって、移送時間及び工程時間を短縮させることができる。  また、第１回転軸ないし第４回転軸及び第１ベルト部材ないし第４ベルト部材によって、第１上部支持台及び第２上部支持台と、第１下部支持台及び第２下部支持台とが回動することによって、回動構造を簡単にする。
2011527823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部の第１位置に供給された基板を、下部の第２位置の高さに移送させ、第２位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、
前記移送レール３００の対向する両側に、第１位置から第２位置に至る区間に設けられる第１昇降機構及び第２昇降機構と、
前記第１位置で、前記第１昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第１固定板５１と、
前記第１固定板５１の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第１回転軸４１及び第２回転軸４２と、
前記第１回転軸４１及び第２回転軸４２をそれぞれ回転駆動させる第１回転モータ３１及び第２回転モータ３２と、
一端が、前記各第１固定板５１に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１上部支持台１３１と、前記各第１上部支持台１３１の直下部に位置し、前記各第１固定板５１に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１下部支持台１３２と、を具備し、前記各第１上部支持台１３１の回転軸より、前記各第１下部支持台１３２の回転軸は、相対的に前記第１昇降機構に近接して設けられる第１回動支持台１３０と、
前記第１回転軸４１と、前記各第１上部支持台１３１の回転軸とを連結させる複数の第１ベルト部材６１と、
前記第２回転軸４２と、前記各第１下部支持台１３２の回転軸とを連結させる複数の第２ベルト部材７１と、
前記第１位置で、前記第２昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第２固定板５２と、
前記第２固定板５２の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第３回転軸４３及び第４回転軸４４と、
前記第３回転軸４３及び第４回転軸４４をそれぞれ回転駆動させる第３回転モータ及３３び第４回転モータ３４と、
一端が、前記各第２固定板５２に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２上部支持台２３１と、前記各第２上部支持台２３１の直下部に位置し、前記各第２固定板５２に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２下部支持台２３２と、を具備し、前記各第２上部支持台２３１の回転軸より、前記各第２下部支持台２３２の回転軸は、相対的に前記第２昇降機構に近接して設けられる第２回動支持台２３０と、
前記第３回転軸４３と前記各第２上部支持台２３１の回転軸とを連結させる複数の第３ベルト部材６２と、
前記第４回転軸４４と前記各第２下部支持台２３２の回転軸とを連結させる複数の第４ベルト部材７２と、
前記第１昇降機構及び第２昇降機構に支持されて上下に移動自在であり、前記第１昇降機構及び第２昇降機構に対して回動自在であり、長さが伸縮自在であり、前記第１回動支持台１３０及び第２回動支持台２３０の基板を搭載し、前記移送レール３００に載置させるフォーク型第１リフト１００及び第２リフト２００と、を具備し、
前記移送レール３００は、前記フォーク型第１リフト１００及び第２リフト２００が通過するように、一定間隔で設けられる複数の回転ロッド３０１を具備したことを特徴とする基板移送装置。
【請求項２】
前記昇降機構は、モータ１１０，２１０の動力によって回転する第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１であることを特徴とする請求項１に記載の基板移送装置。
【請求項３】
前記第１リフト１００及び第２リフト２００は、それぞれ前記第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１に螺合されて昇降する第１移動ブロック１０２及び第２移動ブロック２０２と、前記第１移動ブロック１０２及び第２移動ブロック２０２に固定される第１昇降ボディ１０３及び第２昇降ボディ２０３と、前記各第１昇降ボディ１０３及び第２昇降ボディ２０３に一端が回動自在に支持される第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４と、一端が、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４の他端部に、回転手段によって回転自在に連結される第１拡張バー１０５及び第２拡張バー２０５と、を具備したことを特徴とする請求項２に記載の基板移送装置。
【請求項４】
前記回転手段は、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４に、それぞれ所定間隔離隔され、回転自在に支持される第１プーリー１４１及び第２プーリー１４２と、前記第１プーリー１４１及び第２プーリー１４２に巻き取られて回転ガイドされるベルト１４３と、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４に固設され、そのロッド１４０ａが前記ベルト１４３と連結固定されるシリンダ１４０と、を具備し、
前記各第２プーリー１４２を、前記各第１拡張バー１０５及び第２拡張バー２０５と同軸に連結してなることを特徴とする請求項３に記載の基板移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業対象物である基板を上部作業部から下部作業部、または下部作業部から上部作業部に移送させるとき、移送時間を短縮させ、基板の処理工程時間を短縮させることを可能にした基板移送装置に係り、特に、基板を支持させる回動支持台の構造を簡単にした基板の移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、平板ディスプレイ（ＦＰＴ：flat panel display）、半導体ウェーハ、ＬＣＤ（liquid crystal display）ガラスなどに使われる基板は、蒸着、エッチング、ストリッピング、洗浄、リンスなどの一連の工程を経つつ処理される。
かような一連の基板処理工程は、基板移送装置によって移送され、基板の供給、処理、排出（pushing out）の過程が１つの循環サイクルをなす。
【０００３】
一例としての基板移送装置について、概略的に示した図１ないし図３を参照すれば、それは、上部作業台１０から下部作業台２０に基板１，２を移送させ、また下部作業台２０から上部作業台１０に基板１，２を移送して排出させる構造を有する。
【０００４】
すなわち、図１のように、上部作業台１０の供給及び排出部１５を介して基板１が供給され、上部作業台１０の一定区間で、第１基板１に対する紫外線洗浄が行われ、紫外線洗浄が完了した第１基板１は、供給側リフト１１に移動し、図２及び図３のように下降され、下部作業台２０に第１基板１が移動し、下部作業台２０で洗浄水による洗浄作業などの工程がなされる。
【０００５】
このように、下部作業台２０での工程が完了した後には、排出側リフト２１に第１基板１が移動し、上昇して上部作業台１０の供給及び排出部１５を介して第１基板１が排出される。
【０００６】
しかし、かような基板移送装置は、第１基板１が供給側リフト１１に搭載され、上部作業台１０から下部作業台２０に移送される間、図２のように、上部作業台１０で紫外線洗浄工程が完了した第２基板２が待機せねばならず、これによって、供給及び排出部１５を介した他の基板の供給が遅延されるので、生産性が低下するという問題点がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国特許第１０−０８３９５７０号
【特許文献２】韓国特許第１０−０６１７４５３号
【特許文献３】特開２００７−０３５７９２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前記のような問題点を解決するために創出されたものであり、基板の待機時間を最小化して作業時間を短縮させ、基板の移送空間を最小化できる基板移送装置を提供するところにその目的がある。
【０００９】
本発明の他の目的は、基板をリフトに伝達させる回動支持台の作動構造を簡単にした基板移送装置を提供するところにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成する本発明は、上部の第１位置に供給された基板を、下部の第２位置の高さに移送させ、第２位置に移送された基板を移送レールに移動させて排出させる基板移送装置において、前記移送レールの対向する両側に、第１位置から第２位置に至る区間に設けられる第１昇降機構及び第２昇降機構；前記第１位置で、前記第１昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第１固定板；前記第１固定板の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第１回転軸及び第２回転軸；前記第１回転軸及び第２回転軸をそれぞれ回転駆動させる第１回転モータ及び第２回転モータ；一端が前記各第１固定板に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１上部支持台と、前記第１上部支持台の下部に位置し、前記各第１固定板に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１下部支持台と、を具備する第１回動支持台；前記第１回転軸と前記各第１上部支持台とを連結させる複数の第１ベルト部材；前記第２回転軸と前記各第１下部支持台とを連結させる複数の第２ベルト部材；前記第１位置で、前記第２昇降機構に隣接した固定構造物に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第２固定板；前記第２固定板の一端部を平行に貫通して回転自在に支持される第３回転軸及び第４回転軸；前記第３回転軸及び第４回転軸をそれぞれ回転駆動させる第３回転モータ及び第４回転モータ；一端が前記各第２固定板に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２上部支持台と、前記第２上部支持台の下部に位置し、前記各第２固定板に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２下部支持台と、を具備する第２回動支持台；前記第２回転軸と前記各第２上部支持台とを連結させる複数の第３ベルト部材；前記第４回転軸と前記各第２下部支持台とを連結させる複数の第４ベルト部材；前記第１昇降機構及び第２昇降機構に支持されて上下に移動自在であり、前記第１昇降機構及び第２昇降機構に対して回動自在であり、長さが伸縮自在であり、前記第１回動支持台及び第２回動支持台の基板を搭載し、前記移送レールに載置させるフォーク型第１リフト及び第２リフト；を具備し、前記移送レールは、前記フォーク型第１リフト及び第２リフトが通過するように、一定間隔で設けられる複数の回転ロッドを具備したことを特徴とする。
【００１１】
前記昇降機構は、モータの動力で回転するスクリュー・ロッドであることを特徴とする。
【００１２】
また、前記第１リフト及び第２リフトは、それぞれ前記スクリュー・ロッドに螺合されて昇降する第１移動ブロック及び第２移動ブロックと、前記第１移動ブロック及び第２移動ブロックに固定される第１昇降ボディ及び第２昇降ボディと、前記各第１昇降ボディ及び第２昇降ボディに一端が回動自在に支持される第１回動バー及び第２回動バーと、一端が前記第１回動バー及び第２回動バーの他端部に、回転手段によって回転自在に連結される第１拡張バー及び第２拡張バーと、を具備したことを特徴とする。
【００１３】
前記回転手段は、前記第１回動バー及び第２回動バーに、それぞれ所定間隔離隔され、回転自在に支持される第１プーリー及び第２プーリーと、前記第１プーリー及び第２プーリーに巻き取られて回転ガイドされるベルトと、前記第１回動バー及び第２回動バーに固設され、そのロッドが前記ベルトと連結固定されるシリンダと、を具備し、前記各第２プーリーを前記各第１拡張バー及び第２拡張バーと同軸に連結してなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、第１リフト及び第２リフトがそれぞれ第１位置と第２位置との間を交互に昇降しつつ、複数の基板を移送させるので、第１回動支持台及び第２回動支持台での基板待機時間を短縮させることによって、移送時間及び工程時間を短縮させることができる。
【００１５】
また、第１回転軸ないし第４回転軸及び第１ベルト部材ないし第４ベルト部材によって、第１上部支持台及び第２上部支持台と第１下部支持台及び第２下部支持台とが回動することになることによって、回動構造を簡単にする。
【００１６】
また、第１リフト及び第２リフトを回動自在に、かつ伸縮自在にすることにより、狭い空間での設置を可能にする。
【００１７】
また、移送レールを水平駆動及び傾斜駆動を可能にし、移送レールの水平位置で基板を安定的に載置させ、また基板が載置された移送レールを傾斜させることによって、水分などの排出を円滑にする。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来の基板移送装置及び方法を説明する概念図である。
【図２】従来の基板移送装置及び方法を説明する概念図である。
【図３】従来の基板移送装置及び方法を説明する概念図である。
【図４】本発明移送装置の概略図である。
【図５】図４の要部を抜粋して示した概略図である。
【図６】図５の概略的平面図である。
【図７】図５の概略的左側面図である。
【図８】本発明装置に採用される回動支持台を示した概略斜視イメージである。
【図９】リフトの伸縮状態を説明する作動図である。
【図１０Ａ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｂ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｃ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｄ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｅ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｆ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｇ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｈ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｉ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｊ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｋ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｌ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｍ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１０Ｎ】本発明の移送方法及び装置の工程及び動作を示した概念図である。
【図１１】リフトを示した斜視図である。
【図１２Ａ】リフトの伸縮状態を示した概略図である。
【図１２Ｂ】リフトの伸縮状態を示した概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施形態に適用される基板移送装置は、例えば、ＬＣＤ（liquid crystal display）ガラスのような基板を蒸着、エッチング、ストリッピング（stripping）、洗浄、リンスなどの一連の工程を経させることができるように自動移送させる基板移送ラインで、各工程間で、基板を移送／待機させるバッファ（buffer）区間に適用される。すなわち、図１のように、上部作業台から下部作業台、またはその反対に基板を移送させる基板の供給と排出とのバッファ区間に適用される。
【００２０】
かような一連の基板処理工程は、基板移送システムによって移送され、基板の供給、処理、排出の過程が待機時間なしに最小限の時間で、１つの循環サイクルをなす。
【００２１】
従来には、一連の工程所要時間が、従来のリフタの作動時間より短くなって問題になったが、本発明は、リフタの処理速度を向上させ、工程所要時間さらに短くし、次の基板供給準備を可能にする。
【００２２】
また、本発明移送装置は、基板を一時待機させる上部／下部支持台の作動構造を簡単にし、動作特性を向上させる。特に、本出願人が先出願した韓国特許出願第２００７−１４１６４１号に開示された上部／下部支持台のリンク構造に比べて設計及び構造を簡単にし、動作特性を向上させるものである。
【００２３】
以下、本発明の基板移送装置について説明する。
【００２４】
本発明の実施形態の基板移送装置の概略的概念作動を示した図４、図１０Ａないし図１０Ｎを参照すれば、これは、第１位置（上部位置）に供給された基板４００を、第１リフト１００及び第２リフト２００によって、第２位置（下部位置）の高さに移送させ、第２位置に移送された基板を移送レール３００に移送させて排出させる。
【００２５】
まず、前記移送レール３００の対向する両側に、第１位置から第２位置に至る区間に、それぞれ第１昇降ガイド及び第２昇降ガイドを設け、第１昇降ガイド及び第２昇降ガイドに、第１リフト１００及び第２リフト２００を昇降可能に支持させる。このとき、昇降構造は、チェーン、ロープ、タイミングベルト、ボール・スクリューまたは油圧シリンダによって可能に構成されうる。
【００２６】
本発明の実施形態での第１昇降ガイド及び第２昇降ガイドは、第１モータ１１０及び第２モータ２１０によって回転する第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１を採択した。
【００２７】
前記第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１間には、ロボット（図示せず）によって、２枚の基板４００が載置される第１回動支持台１３０と第２回動支持台２３０とが、水平位置と垂直位置との間で往復回動自在に設けられる。
【００２８】
図４ないし図８を参照すれば、前記第１位置で、前記第１昇降機構（以下、第１スクリュー・ロッド１０１とする）に隣接した固定構造物５１０に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第１固定板５１と、前記第１固定板５１の一端部を平行に貫通し、前記固定構造物５１０に回転自在に支持される第１回転軸４１及び第２回転軸４２と、前記第１回転軸４１及び第２回転軸４２をそれぞれ回転駆動させる第１回転モータ３１及び第２回転モータ３２と、が備わっている。
【００２９】
前記第１回動支持台１３０は、一端が、前記各第１固定板５１に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板４００を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１上部支持台１３１と、前記各第１上部支持台１３１の直下部に位置し、前記各第１固定板５１に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板４００を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第１下部支持台１３２と、を具備する。
【００３０】
ここで、図１０Ａでのように、前記各第１上部支持台１３１の回転軸より、前記各第１下部支持台１３２の回転軸は、相対的に前記第１昇降機構に近接して設けられる。
【００３１】
これによって、図１０Ｊでのように、第１上部支持台１３１及び第１下部支持台１３２が下方回転したとき、相互平行した状態になって、相互干渉を防止できる。
【００３２】
前記第１回転軸４１と前記各第１上部支持台１３１の一端は、複数の第１ベルト部材６１によって連結されており、前記第２回転軸４２と前記各第１下部支持台１３２の一端は、複数の第２ベルト部材７１によって連結されている。
【００３３】
ここで、第１回転軸４１及び第２回転軸４２と、第１上部支持台１３１及び第１下部支持台１３２は、プーリー（図示せず）が結合され、前記第１ベルト部材６１及び第２ベルト部材７１が巻き取られている。
【００３４】
一方、本発明の移送装置は、前記第１位置で、前記第２昇降機構（以下、第２スクリュー・ロッド２０１とする）に隣接した固定構造物５１０に、一定間隔で縦に立てられて固定される複数の第２固定板５２と、前記第２固定板５２の一端部を平行に貫通し、回転自在に支持される第３回転軸４３及び第４回転軸４４と、前記第３回転軸４３及び第４回転軸４４をそれぞれ回転駆動させる第３回転モータ及３３び第４回転モータ３４と、を具備する。
【００３５】
前記第２回動支持台２３０は、一端が、前記各第２固定板５２に回転自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板４００を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２上部支持台２３１と、前記各第２上部支持台２３１の直下部に位置し、前記各第２固定板５２に、各一端が回動自在に支持され、各水平位置で、前記供給された基板を支持し、これを同一平面上に設ける複数の第２下部支持台２３２と、を具備する。
【００３６】
ここで、図１０Ａでのように、前記各第２上部支持台２３１の回転軸より、前記各第２下部支持台２３２の回転軸は、相対的に前記第２昇降機構に近接して設けられる。
【００３７】
これによって、図１０Ｊでのように、第２上部支持台２３１及び第２下部支持台２３２が下方回転したとき、相互平行した状態になって、相互干渉を防止できる。
【００３８】
前記第３回転軸４３と、前記各第２上部支持台２３１は、複数の第３ベルト部材６２によって連結されており、前記第４回転軸４４と、前記各第２下部支持台２３２は、複数の第４ベルト部材７２によって連結されている。
【００３９】
ここで、第３回転軸４３及び第４回転軸４４と、第２上部支持台２３１及び第２下部支持台２３２は、プーリー（図示せず）が結合され、前記第３ベルト部材６２及び第４ベルト部材７２が巻き取られている。
【００４０】
前記第１リフト１００及び第２リフト２００は、同じ構造を有するので、図４、図９、図１０Ａ及び図１１を参照しつつ、構成について説明する。
【００４１】
第１リフト１００及び第２リフト２００は、前記第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１に支持されて上下に移動自在であり、前記第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１に対して回動自在であり、長さが伸縮自在であり、前記第１回動支持台１３０及び第２回動支持台２３０の基板４００を搭載し、前記移送レール３００に載置させるフォーク型構造を有する。
【００４２】
前記第１リフト１００及び第２リフト２００は、それぞれ前記第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１に螺合されて昇降する第１移動ブロック１０２及び第２移動ブロック２０２と、前記第１移動ブロック１０２及び第２移動ブロック２０２に固定される第１昇降ボディ（body）１０３及び第２昇降ボディ２０３と、前記各第１昇降ボディ１０３及び第２昇降ボディ２０３に一端が回動自在に支持される複数の第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４と、一端が、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４の他端部に、回転手段によって回転自在に連結される複数の第１拡張バー１０５及び第２拡張バー２０５と、を具備する。
【００４３】
図１１を参照すれば、第１昇降ボディ１０３の１対のブラケット１０８に、第１回動モータ１０６の動力で回転する回転軸１０７が回転自在に支持されており、この回転軸１０７の両端部には、各第１回動バー１０４の先端が結合され、共に回動自在になっている。図１１及び図１２Ａ及び図１２Ｂを参照すれば、前記回転手段は、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４に、それぞれ所定間隔離隔され、回転自在に支持される第１プーリー１４１及び第２プーリー１４２と、前記第１プーリー１４１及び第２プーリー１４２に巻き取られて回転ガイドされるベルト１４３と、前記第１回動バー１０４及び第２回動バー２０４に固設され、そのロッド１４０ａが前記ベルト１４３と連結固定されるシリンダ１４０と、を具備する。前記各第２プーリー１４２の回転軸は、前記各第１拡張バー１０５及び第２拡張バー２０５と同軸に連結され、第２プーリー１４２の回転と共に、第１拡張バー１０５及び第２拡張バー２０５が回転する。
【００４４】
一方、前記移送レール３００は、前記フォーク型第１リフト１００及び第２リフト２００が通過するように、一定間隔で設けられる複数の回転ロッド３０１を具備し、各回転ロッド３０１には、基板４００が載置される複数のローラ３０２が結合されている。
【００４５】
図４及び図９を参照すれば、前記移送レール３００を搭載するフレーム３１０は、下端に固定された２つの傾斜度の異なった傾斜ブロック３１１，３１２に摺動自在に支持され、傾斜シリンダ３２０の作動によって稼動され、水平になったり、または所定角度で傾斜するようになっている。
【００４６】
前記のような構成を有する基板移送装置の作動は、次の通りである。
【００４７】
ａ）図４及び図１０Ａを参照すれば、前記第１位置で、前記第１上部支持台１３１，第２上部支持台２３１，第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２を水平に位置させ、各第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とに、ロボットからそれぞれ基板４００を供給して載置させる。
このとき、移送レール３００は、水平位置を維持し、第１リフト１００及び第２リフト２００は、第１第１スクリュー・ロッド１０１及び第２スクリュー・ロッド２０１と平行状態になるように支持されている。
【００４８】
ｂ）図１０Ｂ、図１０Ｃ、図１１及び図１２Ｂを参照すれば、第１回動モータ１０６によって、前記第１リフト１００を水平状態になるように回転させ、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２の下で、シリンダ１４０を稼動し、第１拡張バー１０５を回動させることによって、長さを伸張させて水平に維持させる。
【００４９】
ｃ）図１０Ｄでのように、第１スクリュー・ロッド１０１を回転させつつ、前記第１リフト１００を上昇させ、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２の直下部に位置させ、図１０Ｅでのように、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２を下方向に回転させつつ、基板４００を前記第１リフト１００に移して載置させる。
このとき、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２は第２回転軸４２及び第４回転軸４４の回転駆動及び第２ベルト部材７１及び第４ベルト部材７２の動力伝達によって、下方向に回動される。
【００５０】
また、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の直下には、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２が位置しており、図１０Ａでのように、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２の回転中心軸は、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の回転中心軸より、外側に出ている。
従って、図１０Ｊでのように、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とが、下方向に回動された状態では、相互平行した状態となる。
【００５１】
ｄ）図１０Ｆ及び図１０Ｇでのように、第１スクリュー・ロッド１０１を駆動し、前記第１リフト１００を下降させ、前記移送レール３００に基板を載置させ、図１０Ｈ及び図１０Ｉでのように、第１拡張バー１０５を引き入れ、第１リフト１００の長さを収縮させた後、第１回動バー１０４を下方向に回転させる。
次に、図１０Ｉでのように、傾斜シリンダ３２０を稼動し、フレーム３１０を第１傾斜ブロック３１１及び第２傾斜ブロック３１２によって傾斜移動させ、移送レール３００を傾斜させる。このとき、基板４００上に残留する洗浄液の液体が流れる。
【００５２】
次に、移送レール３００を回転駆動し、基板４００を移送排出させる。
【００５３】
ｅ）前記第１リフト１００が、前記ｄ）段階を遂行する間、図１０Ｆでのように、第２リフト２００を、第２スクリュー・ロッド２０１を回転駆動して上昇させ、図１０Ｇ及び図１０Ｈでのように、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の下で長さを伸張させ、水平に維持させる。第２リフト２００の長さ伸張作動は、前記第１リフト１００の作動と同一構成を有するので、詳細な説明は省略する。
【００５４】
ｆ）図１０Ｉないし図１０Ｌでのように、前記第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１を下方向に回動させつつ、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１に供給された基板４００を第２リフト２００に移して載置させる。
このとき、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の回転作動は、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２の回転作動と同一であるので、詳細な説明は省略する。
【００５５】
図１０Ｌでのように、第２リフト２００の下降によって、基板４００を移送レール３００に載置させた後には、第２拡張バー２０５を引き入れ、第２回動モータ２０６を駆動し、第２回動バー２０４を、図１０Ｍでのように下降回転させ、図１０Ｎでのように、第２スクリュー・ロッド２０１を回転駆動し、第２リフト２００を第１位置に上昇移動させる。
【００５６】
一方、基板４００が載置された移送レール３００は、図１０Ｍでのように、傾斜シリンダ３２０の作動によって傾斜し、モータ（図示せず）の駆動によって回転駆動され、基板４００を移送排出させる。
【００５７】
ｇ）前記ｆ）段階の第２リフト２００を第２位置に下降させる間、前記ｄ）段階で、下方向に回転した第１リフト１００を上昇させ、前記ｃ）段階とｆ）段階とで、下方向に回転した第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とを、図１０Ｋ及び図１０Ｌでのように、水平位置に回転させ、図１０Ｍでのように、ロボット（図示せず）によって、新しい基板４００が第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とに供給される。
【００５８】
その後、第１リフト１００に、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２に供給された基板４００が移されるが、これは、図１０Ｆ及び図１０Ｎが同じ動作区間になるものであり、その後は、前記動作が反復的に遂行される。
【００５９】
前述のように、本発明の実施形態の基板移送装置は、伸縮自在な第１リフト１００及び第２リフト２００を、第１位置及び第２位置間で相互交互に昇降させつつ、基板を移送させることができ、狭小空間でも、基板を上下に移送させることができる。
【００６０】
特に、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の直下に、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２が位置し、図１０Ａでのように、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２の回転中心軸が、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１の回転中心軸より外側に外れ、図１０Ｊでのように、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と、第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とが下方向に回動された状態では、相互平行した状態にすることによって、本出願人が先出願した装置で、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とを相互交差されることによる空間確保が要求されるところとは異なり、さらに狭い空間に設けられる。
【００６１】
また、第１回転軸４１ないし第４回転軸４、並びに第１ベルト部材６１，第２ベルト部材６２，第３ベルト部材７１及び第４ベルト部材７２によって、第１上部支持台１３１及び第２上部支持台２３１と第１下部支持台１３２及び第２下部支持台２３２とが回動することによって、回動構造を簡単にする。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１０Ｅ】
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【図１０Ｆ】
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【図１０Ｇ】
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【図１０Ｈ】
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【図１０Ｉ】
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【図１０Ｊ】
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【図１０Ｋ】
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【図１０Ｌ】
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【図１０Ｍ】
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【図１０Ｎ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図８】
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【国際調査報告】
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