(57)【要約】  コーティング中に進行方向Ｘで可動な帯状の基材をコーティングするための装置であって、複数の蒸着用ボートを備えて、該蒸着用ボートが蒸着用ベンチを形成し、蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備え、且つ蒸着したいワイヤを蒸着用ボートに供給するための装置を備え、複数の蒸着用ボートは、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートから形成され、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡとＬ０＋δＡとの間の範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＢとＬ０＋δＢとの間の範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートが方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側で、Ｘ方向において最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を持って配置されている、帯状の基材をコーティングするための装置において、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートが交番的に相並んで配置されており、集合Ａの蒸着用ボートが各々、方向Ｘに対して相対的に−１〜−８９°の範囲において所定の角度αを成して配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートが各々、進行方向Ｘに対して相対的に１〜８９°の間の所定の角度βを成して配置されている。更に本発明は、帯状の基材をコーティングする装置を敷設するための方法に関する。
2011503344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コーティング中に進行方向Ｘで可動な帯状の基材をコーティングする装置であって、蒸着用ベンチを形成する複数の蒸着用ボートを備えており、該蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備えており、且つ蒸着しようとするワイヤを蒸着用ボートに供給する装置を備えており、複数の蒸着用ボートは、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートから形成され、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＡの範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＢからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートは、Ｘ方向に最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を備える、方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側に配置されている、帯状の基材をコーティングする装置において、
集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートは交互に相並んで配置されており、集合Ａの蒸着用ボートは各々、方向Ｘに対して相対的に−１から−８９°の範囲の角度αを成して配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートは各々、進行方向Ｘに対して相対的に１から８９°の間の角度βを成して配置されていることを特徴とする、帯状の基材をコーティングする装置。
【請求項２】
角度αは−２から−１０°の範囲にある、請求項１記載の装置。
【請求項３】
角度βは２から１０°の範囲にある、請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
角度α及び角度βは各々、＋／−３°、＋／−５°、＋／−１０°、有利には＋／−５°の値を有している、請求項１から３までのいずれか一項記載の装置。
【請求項５】
角度α及び角度βの値の合計は０°である、請求項１から４までのいずれか一項記載の装置。
【請求項６】
集合Ａの蒸着用ボートの少なくとも一部分集合は長さＬ０を有しており、且つ／又は集合Ｂの蒸着用ボートの少なくとも一部分集合は長さＬ０を有している、請求項１から５までのいずれか一項記載の装置。
【請求項７】
集合Ａの蒸着用ボートがストリップＳＡ内に配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートはストリップＳＢ内に配置されており、ストリップＳＡ及びストリップＳＢは、幅ＢＺのオーバラップゾーンＺを有している、請求項１から６までのいずれか一項記載の装置。
【請求項８】
ストリップＳＡ及びストリップＳＢは各々、一定の幅ＢＡ及びＢＢを有している、請求項１から７までのいずれか一項記載の装置。
【請求項９】
ストリップＳＡ及びストリップＳＢは各々、方向Ｙに対して平行に配置されている、請求項１から８までのいずれか一項記載の装置。
【請求項１０】
角度α及び角度βは、層厚さ変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）の値が最小であるように選択されている、請求項１から９までのいずれか一項記載の装置。
【請求項１１】
コーティング中に進行方向Ｘで可動である帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法であって、蒸着用ベンチを形成する複数の蒸着用ボートを備えており、蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備えており、蒸着しようとするワイヤを蒸着用ボートに供給する装置を備えており、複数の蒸着用ボートを、集合Ａの蒸着用ボートと集合Ｂの蒸着用ボートとから形成し、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートを、Ｘ方向に最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を備えた、方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側に配置する、帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法において、
集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートを交互に相並んで配置し、集合Ａの蒸着用ボートを各々、Ｘ方向に対して相対的に−１から−８９°の範囲の角度αにおいて配置し、集合Ｂの蒸着用ボートを各々、方向Ｘに対して相対的に１から８９°の角度βにおいて配置することを特徴とする、帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法。
【請求項１２】
コーティング厚さの変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）の値を最小にする、請求項１３記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各独立請求項の上位概念部記載の装置並びに方法に関する。
【０００２】
帯状の基材を金属コーティングするために、蒸着用ベンチによって形成されるコーティング源の使用が公知になっている。コーティング源は縦長の形状をよく有していて、この場合、蒸着用ボートと呼ばれる。蒸着する材料、有利にはアルミニウムは、蒸着される材料の特徴的な濃度分布もしくは放出特性曲線を備えた蒸気ビームを個々の蒸着用ボート上に形成する。帯コーティングするための典型的な装置において、帯状の基材は送出しローラから送り出されて巻成ローラに供給され、この場合、蒸着用ベンチの上側の領域において運動し、その結果、基材の下方を向いている面が蒸着用ボートにおいて蒸発した金属によってコーティングされる。
【０００３】
帯状の基材を連続的にコーティングするための特別な装置が、ＤＥ４０２７０３４Ｃ１及びＥＰ０７４９６４Ｂ１において公知になっている。これによれば、蒸着用ベンチを形成する、ベンチ進行方向に対して長手方向でほぼ同じ間隔をおいて互いに平行に配置されている、ほぼ同じサイズ及び構成の複数の蒸着用ボートが設けられている。蒸着用ボートは全体的に電導性のセラミックスから形成されていて、直接的な流れ通路を通って加熱可能である。更に蒸着しようとするワイヤを蒸着用ボートに連続的に供給するための装置が設けられている。互いに又は帯進行方向に対して平行に位置する、蒸着用ベンチの個々の蒸着用ボートは各々、互いにずらされて配置されている。全蒸着用ボートは、帯進行方向に対して横方向に延びている狭幅なコーティングゾーンを一緒にカバーする。
【０００４】
とりわけＤＥ４０２７０３４Ｃ１及びＥＰ０７４９６４Ｂ１において、個別源の蒸気ビームの重畳により不均一な層分布がコーティングしたい帯上に発生することが公知になっている。理想的な事例において、このことは蒸着用ボート上もしくは蒸着用ボート間での最大値もしくは最小値を備えた波状の分布である。最良に達成可能な層均一性は、最大値と最小値との振幅により規定される。この場合、振幅は、個々の蒸着用ボートの幾何学的な配置及び放出特性曲線、及び蒸着用ボートの蒸気ビームの相互作用に互いに基づいている。蒸着用ベンチの互いに平行に配置された個々の蒸着用ボートにおける層厚さの均一性の改良のために、前記明細書には、蒸着用ボートを互いにずらして配置することが提案されていて、その結果、蒸着用ボートは狭幅なコーティングゾーンをカバーする。この場合、とりわけ効率損失がコーティング時に発生する。
【０００５】
本発明の課題は、帯状の基材のコーティング時に蒸着用ベンチを形成する蒸着用ボートを介して比較的高いコーティング品質をもたらす別の手段及び改良された手段を提供することである。
【０００６】
上記課題は本発明によれば、独立請求項の特徴により解決される。
【０００７】
本発明に係る帯状の基材をコーティングする装置は、コーティング中に進行方向Ｘで可動な帯状の基材をコーティングする装置であって、蒸着用ベンチを形成する複数の蒸着用ボートを備えており、該蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備えており、且つ蒸着しようとするワイヤを蒸着用ボートに供給する装置を備えており、複数の蒸着用ボートは、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートから形成され、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＡの範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＢからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートは、Ｘ方向に最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を備える、方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側に配置されている、帯状の基材をコーティングする装置において、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートは交互に相並んで配置されており、集合Ａの蒸着用ボートは各々、方向Ｘに対して相対的に−１から−８９°の範囲の角度αを成して配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートは各々、進行方向Ｘに対して相対的に１から８９°の間の角度βを成して配置されていることを特徴とする。
【０００８】
好ましくは、角度αは−２から−１０°の範囲にある。
【０００９】
好ましくは、角度βは２から１０°の範囲にある。
【００１０】
好ましくは、角度α及び角度βは各々、＋／−３°、＋／−５°、＋／−１０°、有利には＋／−５°の値を有している。
【００１１】
好ましくは、角度α及び角度βの値の合計は０°である。
【００１２】
好ましくは、集合Ａの蒸着用ボートの少なくとも一部分集合は長さＬ０を有しており、且つ／又は集合Ｂの蒸着用ボートの少なくとも一部分集合は長さＬ０を有している。
【００１３】
好ましくは、集合Ａの蒸着用ボートがストリップＳＡ内に配置されており、集合Ｂの蒸着用ボートはストリップＳＢ内に配置されており、ストリップＳＡ及びストリップＳＢは、幅ＢＺのオーバラップゾーンＺを有している。
【００１４】
好ましくは、ストリップＳＡ及びストリップＳＢは各々、一定の幅ＢＡ及びＢＢを有している。
【００１５】
好ましくは、ストリップＳＡ及びストリップＳＢは各々、方向Ｙに対して平行に配置されている。
【００１６】
好ましくは、角度α及び角度βは、層厚さ変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）の値が最小であるように選択されている。
【００１７】
本発明に係る帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法は、コーティング中に進行方向Ｘで可動である帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法であって、蒸着用ベンチを形成する複数の蒸着用ボートを備えており、蒸着用ボートの電気的な加熱のための装置を備えており、蒸着しようとするワイヤを蒸着用ボートに供給する装置を備えており、複数の蒸着用ボートを、集合Ａの蒸着用ボートと集合Ｂの蒸着用ボートとから形成し、集合Ａの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＡからＬ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有しており、複数の蒸着用ボートを、Ｘ方向に最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を備えた、方向Ｙに対して平行に延びている領域の内側に配置する、帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法において、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートを交互に相並んで配置し、集合Ａの蒸着用ボートを各々、Ｘ方向に対して相対的に−１から−８９°の範囲の角度αにおいて配置し、集合Ｂの蒸着用ボートを各々、方向Ｘに対して相対的に１から８９°の角度βにおいて配置することを特徴とする。
【００１８】
好ましくは、コーティング厚さの変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）の値を最小にする。
【００１９】
本発明によれば、蒸着用ベンチは蒸着用ボートの集合Ａ及び集合Ｂにより形成されるようになっている。コーティング中に帯状の基材は、方向Ｙに対して垂直に進行方向Ｘに可動である。蒸着用ボートの集合Ａは、Ｌ０−δＡ〜Ｌ０＋δＡの範囲の長さＬＡを有していて、集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｌ０−δＢ〜Ｌ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有している。集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートは、Ｘ方向において最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を有するＹ方向に対して平行に延びているゾーンの内側に配置されている。
【００２０】
集合Ａの蒸着用ボートは各々、方向Ｘに対して相対的に−１〜−８９°の範囲の角度αにおいて配置されている。この場合、角度は時計回りの方向に方向付けられている。集合Ｂの蒸着用ボートは各々、方向Ｘに対して相対的に１〜８９°の範囲の角度βにおいて配置されている。この場合、角度は時計回りの方向に方向付けられている。集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートは、交互に相並んで配置されていて、詳しく言えば、魚骨形パターンを形成する。従って、集合Ａの蒸着用ボート及び集合Ｂの蒸着用ボートは各々、進行方向Ｘに対する平行性からのずれを有している。更に集合Ａの蒸着用ボートは各々、集合Ｂの蒸着用ボートに対して相対的に回動させられている。
【００２１】
驚くべきことに、進行方向Ｘに対する蒸着用ボートの平行性からの有利な前記ずれ、及び逆向きの方向付けよって、進行方向Ｘに対して平行及び互いに平行に配置されている蒸着用ボートより層の高い均一性を達成することができる。この結果を理解するために、シミュレーション計算が行われた。シミュレーション計算において、個々の蒸着用ボートの蒸気ビームは、蒸着用ボートの長手方向軸線に対して横方向でガウス形状に類似の濃度分布又はｃｏｓｎ形状の濃度分布を有している、ということが導かれた。この種の濃度分布は、例えばスザキ及びイカラシの論文（ＡＩＭＣＡＬ  Ｆａｌｌ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃ，  Ｒｅｎｏ，  ２２．−２５．１０．２００６  Ｖａｃｕｕｍ  Ｗｅｂｃｏａｔｉｎｇ  Ｓｅｓｓｉｏｎｓ，  Ｓｅｓｓｉｏｎ  ２Ｂ，  Ｆｉｇｕｒｅ８）に記載されている。
【００２２】
ガウス形状に類似の濃度分布又はｃｏｓｎ形状の濃度分布の場合、蒸気ビームは脚部（Ｓｃｈｅｎｋｅｌ）を有している。複数の蒸着用ボートの場合、蒸気ビームの相互作用から、より多くの相互作用を蒸気ビームが有していればいるほど、濃度分布はより狭幅及びより密になるということを導き出すことができる。帯進行方向に対して平行なボートの配置において、蒸気ビームの脚部は各々、部分集合Ａ又はＢの隣のボートの最大の濃度の中心を指している。このことは分布の狭幅に繋がることになる。蒸着用ボートを本発明に基づき回動する場合、一方の脚部が外部を示していて、他方の脚部は隣接するボートの密度中央の間を通って指している。両方の事例では、蒸気ビームの僅かな相互作用を期待することができる。シミュレーション計算に基づき、層厚さ変動を減じることは、蒸着用ベンチ内に配置されている蒸着用ボートの重畳される蒸気ビームの濃度分布のバリエーションは僅かになる、ということに還元できると推論できる。なぜならば個々のボートの濃度分布は全体的に広幅になったからである。
【００２３】
角度α，βの有利な値は、蒸着用ボートの幾何学的配置及び蒸気ビーム形状、つまり蒸着用ボート上の特徴的な濃度分布に基づく。
【００２４】
特に簡単な実施の形態の場合、集合Ａ及び／又は集合Ｂの全蒸着用ボートの角度の絶対値はそれぞれ同じ大きさである。
【００２５】
本発明の改良形において、角度αは−５〜−１５°の範囲にあり、且つ／又は角度βは５〜１５°の範囲にある。
【００２６】
更に、角度α，βの合計が０°であると有利であることが示された。
【００２７】
集合Ａの蒸着用ボートが長さＬ０を有している、且つ／又は集合Ｂの蒸着用ボートがそれぞれ長さＬ０を有していると、構造的な利点がもたらされる。
【００２８】
本発明の別の構成において、集合Ａの蒸着用ボートはストリップＳＡに配置されている、且つ／又は集合Ｂの蒸着用ボートはストリップＳＢに配置されている。ストリップＳＡ，ＳＢはオーバラップゾーンＺを有している。従って集合Ａ及び／又は集合Ｂの蒸着用ボートは幾何学的に統一されている。これにより角度α，βに適切な値の選択は簡単になる。ストリップＳＡ，ＳＢはそれぞれ一定の幅ＢＡ，ＢＢを有することができる。有利には、ストリップＳＡ，ＳＢは同じ幅を有することができる。ストリップＳＡ，ＳＢがそれぞれ方向Ｙに対して平行に、つまり進行方向Ｘに対して垂直に配置されていると、有利である。
【００２９】
オーバラップゾーンＺは、ストリップＳＡ，ＳＢの最も狭幅なストリップの幅より小さいか又は同じであってよい。
【００３０】
有利な構成において、全蒸着用ボートは長さＬ０を有し、集合Ａの蒸着用ボートの角度は同じαを有し、集合Ｂの蒸着用ボートの角度は同じβを有し、ストリップＳＡ，ＳＢは一定の同じ幅Ｂを有している。更にストリップＳＡ，ＳＢはＹ方向に対して平行に配置されていてもよい。この構成では、集合Ａの蒸着用ボートの同様の幾何学的な点は、それぞれ方向Ｙに対して平行な直線上にあり、集合Ｂの蒸着用ボートの同様の幾何学的な点は、前記直線に対して平行にずらされた直線上に配置されている。同様の幾何学的な点は、例えば蒸着用ボートの角点又は中心点である。有利には、オーバラップゾーンＺは、０，１Ｂ〜０，９５Ｂ、特に有利には０，６Ｂ〜０，８Ｂの範囲の幅ＢＺを備えている。従って層厚さ変動の更なる減少を達成することができる。
【００３１】
有利には、集合Ａ及び／又は集合Ｂの蒸着用ボートは、蒸着用ボートの同様な幾何学的な点に対して互いに同じ間隔を有している。種々異なる間隔が設けられていてもよい。
【００３２】
本発明によれば角度α，βにとって最適な値を選択することができるので、層厚さ変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）の値は最小である。
【００３３】
更に前記課題は、帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法により解決され、基材をコーティング中に方向Ｙに対して垂直に進行方向Ｘで可動にし、蒸着用ベンチを形成する複数の蒸着用ボートを備え、複数の蒸着用ボートを集合Ａの蒸着用ボート及び集合Ｂの蒸着用ボートから形成し、集合Ａの蒸着用ボートがＬ０−δＡ〜Ｌ０＋δＡの範囲の長さＬＡを有していて、集合Ｂの蒸着用ボートがＬ０−δＢ〜Ｌ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有していて、複数の蒸着用ボートを、Ｘ方向で最高で２Ｌ０＋δＡ＋δＢの幅を有する、方向Ｙに対して平行に延びている領域内に配置する。この場合、集合Ａ及び集合Ｂの蒸着用ボートを交互に相並んで配置し、集合Ａの蒸着用ボートを各々、方向Ｘに対して相対的に−１〜−８９°の範囲の角度αにおいて配置し、集合Ｂの蒸着用ボートを各々、方向Ｘに対して相対的に１〜８９°の範囲の角度βにおいて配置する。
【００３４】
本発明の更に有利な実施の形態は、本発明の要約とは別に、請求項、以下の図面及び対応する説明から見て取ることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】帯状の基材をコーティングする装置の概略図である。
【図２】蒸着用ボートの本発明に係る配置の概略図である。
【図３】蒸着用ボートからの蒸気ビームの概略図である。
【図４】平行にずらされた、本発明により配置された蒸着ボートの、層厚さ変化のシミュレーション計算の結果である。
【００３６】
図１には、コーティング装置２を備えた真空室１の概略的な側面図が示されている。コーティング装置は送出しローラ３と、巻成ローラ４と、コーティングドラム５とを有している。送出しローラ３と、巻成ローラ４とはスタンド６，７に支承されている。コーティングドラム５に対応するスタンドは図１には示されていない。送出しローラ３は、巻成された帯状の基材８、例えばシートから形成される。基材８は巻成ローラ４に向かって進行方向Ｘで送り出され、コーティングドラム５によって案内される。コーティングドラム５の下側に、蒸着用ボート９，１０が記載されている。蒸着用ボート９，１０はテーブル１１に配置されている。蒸着用ボート９，１０の側方に、蒸着したい材料１４，１５のワイヤを蒸着用ボート９，１０の領域内に案内する装置１２，１３が記載されている。蒸着用ボート９，１０は、図示されていない加熱装置によって加熱され、その結果、ワイヤは蒸着用ボート９，１０内又は蒸着用ボート９，１０上で蒸発する。蒸着しようとする材料は、シート８の下方に向けられた面に堆積する。
【００３７】
蒸着用ボート９，１０は、有利には方形の形態を有していて、有利には耐熱性のセラミックスから成っていて、蒸着用ボート９，１０の表面にはキャビティと呼ばれる凹部を有していてもよい。更にキャビティを持たない蒸着用ボートも公知である。更にまた、表面は付加的に波形起伏又は他の構造を有していてもよい。蒸着しようとするワイヤの材料として、特にアルミニウムが考慮される。
【００３８】
図２には、方形の蒸着用ボート９，９′及び１０，１０′の平面図が示されている。蒸着用ボート９，９′及び１０，１０′は、蒸着用ベンチの一部分を形成する。蒸着用ボート９，９′，１０，１０′は、取付け部材１６，１６′，１７，１７′によって、進行方向Ｘ及び方向Ｘに対して垂直な方向Ｙに対向して予め規定された位置に配置されている。図２の蒸着用ボート９，９′及び１０，１０′は、全体的に同じ長さＬ０を有している。蒸着用ボート９，９′は各々、方向Ｘに対して−１〜−８９°の範囲の所定の角度αもしくはα′を持って配置されている。蒸着用ボート１０，１０′は各々、方向Ｘに対して１〜８９°の範囲の所定の角度βもしくはβ′を持って配置されている。具体的に述べれば、図２における蒸着用ボートは魚骨形パターンを形成する。
【００３９】
図２には単に４つの蒸着用ボートが記載されているだけであるが、本発明は複数の蒸着用ボートを備えた８つの蒸着用ベンチを有していると理解される。更に蒸着用ボートの長さは種々異なってよい。
【００４０】
本発明によれば蒸着用ボートは集合Ａと集合Ｂとを形成する。この場合、集合Ａの構成要素は、Ｌ０−δＡ〜Ｌ０＋δＡの範囲の長さＬＡを有しており、集合Ｂの構成要素は、Ｌ０−δＢ〜Ｌ０＋δＢの範囲の長さＬＢを有している。集合Ａのボートは、方向Ｙに対して−１〜−８９°の範囲の角度αを有していて、集合Ｂの蒸着用ボートは、１〜８９°の範囲の角度βを有している。集合Ａ及びＢの蒸着用ボートは、２Ｌ０＋δＡ＋δＢの最大の幅を備えた領域に配置されている。図２はδＡ＝δＢ＝０の状況に対応している。
【００４１】
魚骨形パターンの蒸着用ボートの本発明に係る配置により、層厚さ変動（Ｄｍａｘ−Ｄｍｉｎ）：（Ｄｍａｘ＋Ｄｍｉｎ）を蒸着用ボートの公知の配置に対して減じることが可能である。Ｄｍａｘはコーティングされた基材の最大の層厚さを示していて、Ｄｍｉｎはコーティングされた基材の最小の層厚さを示している。
【００４２】
図３では、蒸着用ボートの従来の配置の上側の領域における蒸着される材料の濃度分布が示されている図３ａと、蒸着用ボートの本発明に係る配置の上側の領域における蒸着される材料の濃度分布が示されている図３ｂとが対比して示されている。蒸着用ボートは各々、方形で長手方向軸線を備えている。図３ａは、互いに及び基材の進行方向Ｘに対して平行に配置され、比較的互いにずらされている方形の蒸着用ボートに対応している。図３ｂは、進行方向Ｘに対して−５°もしくは５°の角度だけずらされて配置されている蒸着用ボートの配置に対応している。個々の蒸着用ボートにとって、蒸着用ボートの長手方向軸線に対してほぼ垂直に最大値を有する、ガウス形状又はｃｏｓｎ形状の濃度分布又は蒸気ビーム（Ｄａｍｐｆｋｅｕｌｅ）が仮定された。図面を簡単にするために図３では、蒸気ビームの重畳領域には、１つの蒸着用ボートに属する濃度分布が示されているだけである。図３ａに示された３つの蒸気ビームの中心の間の直線は、高い濃度を備えた領域が重畳していることを示している。図３ｂにおいて、分布の内側領域では僅かな濃度を備えた領域の重畳が行われ、外側領域においては重畳していない領域が発生し、その結果、分布は全体として図３ａよりも広幅になる、ということを見て取ることができる。シミュレーションは、既に分布の幅の僅かな変化が層厚さ変動の著しい変化を引き起こすことがある、ということを示している。
【００４３】
図３ａ，３ｂに対応する蒸着用ボートの配置のために、シミュレーション計算において合成した層厚さ変動が計算された。図４はシミュレーション計算の結果を示している。この場合、それぞれ２２個の幾何学的に同じ、つまり同じ長さ及び同じ形状の蒸着用ボートを用いており、カーブＡは図３ａの配置に当てはまり、カーブＢは図３ｂの配置に当てはまる。濃度分布に対してガウス形状に似た形状が選択された。この場合、横座標は進行方向Ｘに対して垂直な位置に対応していて、縦座標は層厚さ変動をパーセンテージにおいて示している。シミュレーション計算において、図３ａによる配置に対するパラメータは、中心値を中心として＋／−５°の層厚さ変動が生じるように選択された。
【００４４】
図４に示されているように、図３ａにおける従来の配置におけるパラメータと同じパラメータを備え、ただし−５°もしくは５°だけ進行方向Ｘに対して回動させられた蒸着用ボートを用いた本発明に係る配置の場合、単に＋／−２，５％の層厚さ変動しか見て取ることができない。同様の改良は、ｃｏｓｎ形状の濃度分布及び実際のコーティング実験において判明した。
【図１】
2011503344.tif 000003
【図２】
2011503344.tif 000004
【図３ａ）】
2011503344.tif 000005
【図３ｂ）】
2011503344.tif 000006
【図４】
2011503344.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成20年9月16日(2008.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着用ベンチに対して進行方向（Ｘ）に可動な帯状の基材（８）をコーティングする装置であって、
−蒸着用ベンチは加熱可能な複数の蒸着用ボード（９，９′，１０，１０′）を有しており、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）は互いに直に隣り合って蒸着用ベンチ内に配置されており、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）の長手方向軸線は、進行方向（Ｘ）に対して、１から８９°の間にある絶対値を有する角度（□，□′，□，□′）を成しており、
−前記装置は、蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）に蒸着したい材料（１４，１５）のワイヤを供給する装置（１２，１３）を有している、
帯状の基材をコーティングする装置において、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）は交互に相並んで配置されており、進行方向（Ｘ）に対して反時計回りに回動させられている長手方向軸線を有する蒸着用ボート（９，９′）は、進行方向（Ｘ）に対して時計回りに回動させられている長手方向軸線を有する蒸着用ボート（１０，１０′）の隣に設けられていることを特徴とする、帯状の基材をコーティングする装置。
【請求項２】
反時計回りに回動させられている蒸着用ボート（９，９′）の角度（α，α′）の絶対値、又は反時計回りに回動させられている蒸着用ボート（１０，１０′）の角度（β，β′）の絶対値は、２から１０°の範囲内にある、請求項１記載の装置。
【請求項３】
全蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）の角度（α，α′，β，β′）の絶対値は、２から１０°の範囲内にある、請求項１又は２記載の装置。
【請求項４】
蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）の角度（α，α′，β，β′）は、ほぼ同じ絶対値を有している、請求項１から３までのいずれか一項記載の装置。
【請求項５】
蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）の角度（α，α′，β，β′）の絶対値は、ほぼ５°である、請求項４記載の装置。
【請求項６】
隣り合っている蒸着用ボート（９，１０；１０，９′；９′，１０′）は進行方向（Ｘ）でオーバラップしている、請求項１から５までのいずれか一項記載の装置。
【請求項７】
−反時計回りに回動させられた蒸着用ボート（９，９′）はストリップ（ＳＡ）の内側に配置されており、
−時計回りに回動させられた蒸着用ボート（９，９′）はストリップ（ＳＢ）の内側に配置されており、
−ストリップ（ＳＡ，ＳＢ）はオーバラップゾーン（Ｚ）を有している、請求項１から６までのいずれか一項記載の装置。
【請求項８】
各ストリップ（ＳＡ，ＳＢ）は一定の幅（ＢＡ，ＢＢ）を有している、請求項６記載の装置。
【請求項９】
ストリップ（ＳＡ，ＳＢ）は進行方向（Ｘ）に対して垂直に配置されている、請求項６又は７記載の装置。
【請求項１０】
角度（α，α′，β，β′）は、蒸着用ベンチにより基材（８）に施されるコーティング部が最小の層厚さ変動を有しているように選択されている、請求項１から９までのいずれか一項記載の装置。
【請求項１１】
蒸着用ベンチに対して進行方向（Ｘ）に運動する帯状の基材（８）をコーティングする装置を敷設する方法にであって、
−蒸着用ベンチは、加熱可能な複数の蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）と、該蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）に蒸着したい材料（１４，１５）のワイヤを供給する装置（１２，１３）とを有しており、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）を互いに直接隣り合って蒸着用ベンチ内に配置し、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）の長手方向軸線は、進行方向（Ｘ）に対して、１から８９°の間にある絶対値を有する角度（α，α′，β，β′）を成しており、
帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法において、
−蒸着用ボート（９，９′，１０，１０′）を交互に相並んで配置し、進行方向（Ｘ）に対して反時計回りで回動させられている長手方向軸線を有する蒸着用ボート（９，９′）を、進行方向（Ｘ）に対して時計回りで回動させられている長手方向軸線を有する蒸着用ボート（１０，１０′）の隣に配置することを特徴とする、帯状の基材をコーティングする装置を敷設する方法。
【請求項１２】
角度（α，α′，β，β′）を、蒸着用ベンチにより基材（８）に施されるコーティング部が最小の層厚さ変動を有しているように選択する、請求項１２記載の方法。
【国際調査報告】
2011503344.tif 000008
2011503344.tif 000009
2011503344.tif 000010
2011503344.tif 000011