(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧槽（３１）の内部で大気圧よりも低い減圧下において、容器状の第一部材（１１）に脱泡した流体（２１）を注入する工程と、
前記減圧槽（３１）の減圧下において、脱泡した流体（２１）が注入された前記第一部材（１１）に、前記第一部材（１１）を覆う第二部材（１２）、および前記第一部材（１１）と前記第二部材（１２）との間をシールするシール部材（１３）を取り付ける工程と、
前記減圧槽（３１）の内部で前記シール部材（１３）を挟んで前記第一部材（１１）に前記第二部材（１２）を取り付ける工程と、
前記第一部材（１１）と前記第二部材（１２）との間に挟み込まれた前記シール部材（１３）によって、前記第一部材（１１）と前記第二部材（１２）との間に形成された空間の減圧状態を維持したまま取り付けられた前記第一部材（１１）および前記第二部材（１２）を前記減圧槽（３１）から取り出す工程と、を含み、
前記第一部材（１１）に脱泡した流体（２１）を注入する工程において前記第一部材（１１）が保持されている位置と、流体（２１）を注入した前記第一部材（１１）に前記第二部材（１２）を取り付ける工程において前記第一部材（１１）が保持されている位置とは、異なるとともに、
前記第一部材（１１）は脱泡した流体（２１）が注入された後、中心軸に対して垂直に前記第二部材（１２）と同一の軸線上まで移動した後、上方から前記第二部材（１２）が取り付けられることを特徴とする部品組立方法。
【請求項２】
請求項１記載の部品組立方法に用いられ、重力方向の下端に開口部（３８）を有する容器状の減圧槽（３１）と、上下に移動可能であり前記減圧槽（３１）の下方から前記減圧槽（３１）に挿入される治具パレット（３２）とを備え、減圧状態で前記治具パレット（３２）に支持されている前記第一部材（１１）と前記第二部材（１２）との間に流体（２１）を注入して封止する流体注入封止装置（３０）であって、
前記治具パレット（３２）は、
前記第一部材（１１）の上方において同軸上に前記第二部材（１２）を支持する支持部（５２）と、
前記支持部（５２）に支持された前記第二部材（１２）を前記第一部材（１１）側へ押し付ける押圧機構部と、
前記減圧槽（４１）の外部から加えられる駆動力によって前記押圧機構部を上方へ駆動する駆動部と、を備え、
前記押圧機構部は、前記駆動部の上方への移動によって前記支持部（５２）側へ旋回するとともに、前記支持部（５２）に支持された前記第二部材（１２）を前記第一部材（１１）側へ押し込むことを特徴とする流体注入封止装置。
【請求項３】
前記治具パレット（３２）は、
前記開口部（３８）を塞ぐテーブル部（５１）を有し、
前記押圧機構部は、
前記支持部（５２）と隣り合って前記テーブル部（５１）から上方へ立ち上がり、上下方向の途中に上下に伸びて形成されている軌跡溝（６２）を有するとともに、上端部に上端から下端に向けて途中まで窪んだ支持溝（６３）、および前記支持溝（６３）との間に突起（６４）を形成して前記支持溝（６３）よりも浅く形成されている切欠部（６５）を有するクランプガイド（５３）と、
前記クランプガイド（５３）に対して移動可能であり、上下方向へ伸びる第一腕部（５４１）、および前記第一腕部（５４１）の上端の接続部（５４３）から前記第一腕部（５４１）と垂直に伸びる第二腕部（５４２）を有するＬ字形状に形成されているクランプレバー（５４）と、
前記第一腕部（５４１）の下端に設けられ、前記クランプレバー（５４）を前記軌跡溝（６２）に沿って上下に案内する支点ローラ（５５）と、
前記接続部（５４３）に設けられ、前記切欠部（６５）と前記支持溝（６３）との間を移動するガイドローラ（５６）と、
一端が前記クランプレバー（５４）の前記接続部（５４３）に取り付けられ、他端が前記テーブル部（５１）に取り付けられ、前記クランプレバー（５４）に前記テーブル部（５１）側への引っ張り力を加える弾性部材（７１）と、を有し、
前記駆動部は、
前記クランプレバー（５４）の下端部に接し、前記クランプレバー（５４）を上方へ押し上げるシャフト部材（５７）を有し、
前記シャフト部材（５７）を上方へ押し上げると、前記クランプレバー（５４）は前記支点ローラ（５５）が前記軌跡溝（６２）に案内されながら上方へ移動するとともに、前記クランプレバー（５４）の上方への移動にともなって前記ガイドローラ（５６）が前記切欠部（６５）から前記突起（６４）の上端へ到達すると、前記弾性部材（７１）の引っ張り力により前記クランプレバー（５４）は前記支点ローラ（５５）を支点として前記支持部（５２）側へ旋回しつつ前記ガイドローラ（５６）は前記支持溝（６３）に進入して前記支持溝（６３）の下端側へ移動し、前記クランプレバー（５４）の前記接続部（５４３）と反対側に設けられている押圧部（５４４）は前記支持部（５２）に支持されている前記第二部材（１２）を前記第一部材（１１）へ押し付けることを特徴とする請求項２記載の流体注入封止装置。
【請求項４】
前記支持部（５２）は、
前記テーブル部（５１）と平行に往復移動可能であり、前記第一部材（１１）を支持する第一支持部（５２１）と、
前記第一支持部（５２１）の往復移動方向の一端側において、前記第一支持部（５２１）に支持されている前記第一部材（１１）と同軸上に前記第二部材（１２）を支持し、前記押圧部（５４４）から加わる力によって前記テーブル部（５１）と垂直に前記第一支持部（５２１）側へ移動する第二支持部（５２２）と、
を有する請求項３記載の流体注入封止装置。
【請求項５】
前記減圧槽（４１）の外部から加えられる駆動力によって前記第一支持部（５２１）を前記テーブル部（５１）と平行に前記第二支持部（５２２）側へ駆動する水平駆動部（３６）をさらに備えることを特徴とする請求項４記載の流体注入封止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品組立方法および流体注入封止装置に関し、特に減圧状態で容器状の第一部材と第二部材との間に脱泡した流体を注入して封止する部品組立方法および流体注入封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品の絶縁を確保したり劣化を防止するために、容器状の部材間に液状または半固形状の流体を注入することが知られている。従来、この流体を注入する流体注入装置は、流体を保持するタンクを減圧ポンプで減圧し、撹拌しながら流体に溶け込んでいる気体を脱泡している（特許文献１参照）。脱泡された流体は、減圧されている減圧槽に送られ、減圧状態で所定の部位へ注入される。液体が注入された第一部材および第二部材は、一旦大気圧に開放された後、別工程で封止される。
【０００３】
しかしながら、流体を注入した後に別工程で封止する場合、流体が注入された各部材は大気に開放される。そのため、第一部材と第二部材との接合部分に空気層が形成されたり、この接合部分から空気が侵入するおそれがある。その結果、第一部材と第二部材とを封止する際に、流体中に気泡が混入し、絶縁や劣化防止といった目的を達成できないという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６５４１０６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、第一部材と第二部材とを封止する際に流体に含まれる気泡を低減する部品組立方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、減圧槽の大型化および減圧に要する時間の延長を招くことなく、減圧槽の内部で流体の注入および部材の封止を行う流体注入封止装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明では、減圧下で脱泡した流体（２１）が注入された第一部材（１１）は、第二部材（１２）によって覆われる。このとき、第一部材（１１）と第二部材（１２）との間には、これらをシールするシール部材（１３）が取り付けられる。そのため、第一部材（１１）に第二部材（１２）を取り付けたとき、第一部材（１１）と第二部材（１２）との間はシール部材（１３）によって密封される。これにより、第一部材（１１）と第二部材（１２）との間からの空気の進入、および空気の進入にともなう流体（２１）中への気泡の混入が回避される。さらに、このとき、第一部材（１１）と第二部材（１２）とは密封されているため、組み立てられた第一部材（１１）および第二部材（１２）を大気中に取り出し、大気中で第二部材（１２）をかしめる場合でも、注入した流体（２１）中への空気の進入が回避される。したがって、第一部材（１１）と第二部材（１２）とを取り付ける際に流体に含まれる気泡を低減することができ、絶縁や劣化防止といった流体を注入する初期の目的を達成することができる。
【０００７】
請求項１記載の発明では、脱泡した流体（２１）が注入されるとき第一部材（１１）が保持されている位置と、この第一部材（１１）に第二部材（２１）を取り付けるとき第一部材（１１）が保持されている位置とは異なっている。そのため、第一部材（１１）への脱泡した流体（２１）の注入と第二部材（２１）の取り付けとは、干渉することなく個別に行われる。したがって、各工程の作業を精度よく確実に行うことができる。
【０００８】
請求項１記載の発明では、流体（２１）が注入された第一部材（１１）の移動方向と、この第一部材（１１）に取り付けられる第二部材（１２）の移動方向とは、ほぼ垂直になる。そのため、限られた空間であっても、流体（２１）の注入、および第一部材（１１）への第二部材（１２）の取り付けの各工程は、互いに干渉することなく個別に行われる。したがって、必要とする空間の大型化を招くことなく、各工程の作業を精度よく確実に行うことができる。
【０００９】
ところで、流体（２１）の注入だけでなく、第一部材（１１）と第二部材（１２）との封止までも減圧槽（３１）内で行うためには、第一部材（１１）と第二部材（１２）とを移動させながら位置合わせを行う機構、および第一部材（１１）と第二部材（１２）と封止する機構などを必要とする。そのため、減圧槽（３１）の内部には、これらの機構および各機構を駆動する駆動手段を収容しなければならない。その結果、減圧槽（３１）の大型化、および大型化にともなう減圧に要する時間の延長を招くという問題がある。
【００１０】
そこで、請求項２記載の発明では、押圧機構部は、駆動部の上方への移動によって支持部（５２）側へ旋回するとともに、支持部（５２）に支持された第二部材（１２）を第一部材（１１）側へ押し込む。すなわち、押圧機構部は、駆動部の上方への移動という簡便な動作によって、支持部（５２）側への旋回だけでなく、第二部材（１２）の押圧をも行う。そして、この駆動部の上方への駆動力は、減圧槽（４１）の外部から加えられる。そのため、減圧槽（４１）の内部に駆動力を発生する機構などを設ける必要がない。したがって、減圧槽（３１）の大型化および減圧槽（３１）の大型化にともなう減圧に必要な時間の延長を招くことなく、減圧槽（３１）の内部で流体（２１）の注入および部材の封止を行うことができる。
【００１１】
請求項３記載の発明では、クランプレバー（５４）は、第二部材（１２）を第一部材（１１）側へ押し付けて封止する。クランプレバー（５４）は、シャフト（５７）によって上方へ駆動されることにより、支点ローラ（５５）を支点として第二部材（１２）側へ旋回する。すなわち、クランプレバー（５４）は、上下方向への移動と支点ローラ（５５）を支点とした第二部材（１２）側への旋回とが組み合わされた軌跡を描く。そして、クランプレバー（５４）は、支点ローラ（５５）を支点として旋回した後、ガイドローラ（５６）の支持溝（６３）における移動にともなって、下方へ移動する。そのため、支点ローラ（５５）を支点とするクランプレバー（５４）の旋回は、その回転半径が小さくなる。また、支点ローラ（５５）は、クランプレバー（５４）の下端側に設けられている。そのため、クランプレバー（５４）は、回転するとき、第二部材（１２）側への突出量が低減される。その結果、クランプレバー（５４）の旋回に必要な空間が減少し、減圧槽（３１）の内部に確保すべき空間の容積が減少する。したがって、減圧槽（３１）の大型化および減圧槽（３１）の大型化にともなう減圧に必要な時間の延長を招くことなく、減圧槽（３１）の内部で流体（２１）の注入および部材の封止を行うことができる。
【００１２】
請求項４記載の発明では、支持部（５２）は、第一部材（１１）を支持する第一支持部（５２１）と、第二部材（１２）を支持する第二支持部（５２２）とを有する。第一支持部（５２１）と第二支持部（５２２）とは、上下方向の位置がずれている。そして、第一支持部（５２１）は、第二支持部（５２２）に対しテーブル部（５１）と平行に移動可能である。そのため、第一支持部（５２１）の軸と第二支持部（５２２）の軸とは、容易にずらすことができ、これらがずれた状態で第一支持部（５２１）に支持された第一部材（１１）に流体（２１）が注入される。そして、流体（２１）が注入された第一部材（１１）を第二部材（１２）と同軸上において第二部材（１２）の下方に移動させた後、クランプレバー（５４）を駆動することにより、第二支持部（５２２）に支持された第二部材（１２）はクランプレバー（５４）によって第一支持部（５２１）に支持された第一部材（１１）側へ移動する。これにより、流体（２１）が注入された第一部材（１１）は、第二部材（１２）によって封止される。したがって、第一支持部（５２１）の移動量を拡大することなく流体（２１）の注入と第一部材（１１）および第二部材（１２）の封止とを行うことができ、減圧槽（３１）の大型化を抑制することができる。
【００１３】
請求項５記載の発明では、第一支持部（５２１）を駆動する水平駆動部（３６）の駆動力は、減圧槽（４１）の外部から加えられる。そのため、減圧槽（４１）の内部に駆動力を発生する機構などを設ける必要がない。したがって、減圧槽（３１）の大型化および減圧槽（３１）の大型化にともなう減圧に必要な時間の延長を招くことなく、減圧槽（３１）の内部で流体（２１）の注入および部材の封止を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】一実施形態による流体注入封止装置を示す概略的な断面図
【図２】一実施形態による流体注入封止装置に用いる部品の例を示す概略的な断面図
【図３】図１の矢印III方向から見た矢視図であって、減圧槽を切断した概略図
【図４】一実施形態による流体注入封止装置の治具パレットを示す概略図
【図５】一実施形態による流体注入封止装置の治具パレットの作動を示す概略図１
【図６】一実施形態による流体注入封止装置の治具パレットの作動を示す概略図２
【図７】一実施形態による流体注入封止装置の治具パレットの作動を示す概略図３
【図８】一実施形態による流体注入封止装置の治具パレットの作動を示す概略図４
【図９】一実施形態による流体注入封止装置のアンクランプ部の作動を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、一実施形態による流体注入封止装置を図面に基づいて説明する。
まず、流体注入封止装置による組立の対象となる部品について説明する。流体注入封止装置は、例えば図２に示すような圧力センサ１０を組み立てる際に用いられる。圧力センサ１０は、ケース１１、ハウジング１２およびシール部材１３を備えている。ケース１１は特許請求の範囲の第一部材に相当し、ハウジング１２は特許請求の範囲の第二部材に相当する。ケース１１は、ハウジング１２側の端部に凹部１４を有する容器状に形成されている。ケース１１は、この凹部１４にガラス製の台座１５を有している。センサ素子１６は、この台座１５に設けられている。ハウジング１２は、筒状に形成され、軸方向に貫く圧力導入孔１７を有している。また、ハウジング１２は、ケース１１側の端部にダイヤフラム１８を有している。ケース１１とハウジング１２とを組み立てたとき、ケース１１の凹部１４とハウジング１２のダイヤフラム１８との間には検出室１９が形成される。センサ素子１６は、この検出室１９に収容されている。検出室１９には、圧力伝達媒体となるオイル２１が封入されている。オイル２１は、特許請求の範囲の流体に相当し、液状または粘度の高い半固形状の物質で構成されている。圧力導入孔１７における圧力の変化にともなってダイヤフラム１８が変形すると、検出室１９のオイル２１の圧力は変化する。センサ素子１６は、このオイル２１の圧力の変化を検出する。シール部材１３は、凹部１４の径方向外側においてケース１１とハウジング１２との間に設けられている。シール部材１３は、いわゆるＯリングである。シール部材１３は、ケース１１とハウジング１２との間をシールする。ハウジング１２は、ケース１１に取り付けられた後、ケース１１側の端部２２がかしめ加工される。これにより、ハウジング１２の端部２２は、ケース１１の外側を覆うとともに、ケース１１とハウジング１２とが一体に組み立てられる。なお、ケース１１とハウジング１２との間には、シール部材１３だけでなく、シール部材２３を設けてもよい。シール部材１３およびシール部材２３は、いずれか一方だけを設けてもよく、両方を設けてもよい。
【００１６】
次に、流体注入封止装置３０を図１および図３に基づいて説明する。
流体注入封止装置３０は、減圧槽３１、治具パレット３２、流体注入部３３、圧力検出部３４、減圧ポンプ３５、水平駆動部３６、および昇降駆動部３７を備えている。減圧槽３１は、下端に開口部３８を有する容器状に形成され、内部に減圧室３９を形成している。流体注入部３３は、容器状の減圧槽３１の上壁４１を貫いて先端が減圧室３９に位置している。流体注入部３３は、減圧室３９側の先端にノズル４２を有しており、組立対象となる圧力センサ１０においてケース１１の凹部１４に流体であるオイル２１を注入する。圧力検出部３４は、例えば圧力センサなどを有し、減圧槽３１の側壁４３を貫いて先端が減圧室３９に位置している。圧力検出部３４は、減圧槽３１の内部に形成された減圧室３９の圧力を検出する。減圧ポンプ３５は、減圧槽３１が形成する減圧室３９の圧力を大気圧以下の真空に近い圧力まで減圧する。水平駆動部３６は、減圧槽３１の側壁４３を貫くシャフト４４を有している。水平駆動部３６は、電磁的または空気圧や油圧によってシャフト４４を水平方向すなわち図１の左右方向へ往復駆動する。水平駆動部３６は、シャフト４４に駆動力を加える図示しないアクチュエータが減圧槽３１の外側に設けられている。そのため、減圧槽３１には、水平駆動部３６のアクチュエータを収容する空間を確保する必要がない。昇降駆動部３７は、減圧槽３１の外側に設けられ、電磁的または空気圧や油圧によって治具パレット３２を垂直方向すなわち図１の上下方向へ往復駆動する。
【００１７】
治具パレット３２は、テーブル部５１、支持部５２、クランプガイド５３、クランプレバー５４、支点ローラ５５、ガイドローラ５６およびシャフト部材５７を備えている。これら、クランプガイド５３、クランプレバー５４、支点ローラ５５およびガイドローラ５６は、特許請求の範囲の押圧機構部を構成している。また、シャフト部材５７は、特許請求の範囲の駆動部を構成している。治具パレット３２は、上下すなわち図１の上下へ移動可能であり、減圧槽３１の下方から減圧槽３１の内側に挿入される。治具パレット３２は、昇降駆動部３７によって上下方向へ往復駆動される。図４に示すようにテーブル部５１は、板状に形成されている。治具パレット３２が上昇し、治具パレット３２が減圧槽３１の内側に挿入されたとき、テーブル部５１は減圧槽３１の下端に設けられている開口部３８を塞ぐ。すなわち、減圧槽３１は、治具パレット３２が挿入されることにより、下端の開口部３８が治具パレット３２のテーブル部５１によって塞がれる。
【００１８】
支持部５２は、第一支持部５２１および第二支持部５２２を有している。第一支持部５２１は、第一部材であるケース１１を支持する。第一支持部５２１は、テーブル部５１と平行すなわち図４の左右方向へ移動可能である。つまり、第一支持部５２１は、図４の左右方向へ伸びるリニアガイド５８に支持されており、図５に示す初期位置から図６に示す組立位置まで移動可能である。第二支持部５２２は、第二部材であるハウジング１２を支持する。第二支持部５２２は、テーブル部５１と垂直すなわち図４の上下方向へ移動可能である。つまり、第二支持部５２２は、図４の上下方向へ伸びるガイドシャフト５９に支持されており、図７に示す初期位置から図８に示す封止位置まで移動可能である。第二支持部５２２とテーブル部５１との間には、図４に示すように弾性部材であるコイルばね６１が設けられている。コイルばね６１は、全長が増大する方向の力を有している。これにより、第二支持部５２２は、コイルばね６１によってテーブル部５１から離れる方向の力を受けている。そのため、第二支持部５２２は、クランプレバー５４から力を受けていないとき、図４、図５および図６に示すようにテーブル部５１から最も離れた初期位置にある。本実施形態の流体注入封止装置３０の場合、同時に四つのケース１１にオイル２１が注入される。そのため、流体注入封止装置３０は、四つのケース１１に対応して四つの流体注入部３３および支持部５２を有している。四つの支持部５２を有する治具パレット３２は、一つの昇降駆動部３７により上下へ駆動される。
【００１９】
減圧槽３１の内側に治具パレット３２を挿入したとき、第一支持部５２１は、図５に示すように水平駆動部３６のシャフト４４の延長線上に位置している。このとき、水平駆動部３６のシャフト４４を駆動すると、第一支持部５２１は、図５に示す初期位置から図６に示す組立位置まで移動する。これにより、第一支持部５２１に支持されているケース１１と第二支持部５２２に支持されているハウジング１２とは、中心軸が一致する同軸上に支持される。
【００２０】
クランプガイド５３は、テーブル部５１の減圧室３９側の面すなわち内壁から上方に立ち上がっている。クランプガイド５３は、支持部５２と隣り合って、すなわち図４において支持部５２の左方に設けられている。すなわち、クランプガイド５３は、支持部５２を挟んで水平駆動部３６のシャフト４４の反対側、すなわちシャフト４４に対し支持部５２の後方に設けられている。なお、クランプガイド５３は、シャフト４４に対し支持部５２の後方に限らず、支持部５２の側方に設けてもよい。クランプガイド５３は、軌跡溝６２、支持溝６３、突起６４および切欠部６５を有している。軌跡溝６２は、クランプガイド５３の上下方向の途中に上下に伸びて形成されている。軌跡溝６２は、クランプガイド５３と平行に設けられている。支持溝６３、突起６４および切欠部６５は、いずれもクランプガイド５３の上端部に設けられている。支持溝６３は、クランプガイド５３の支持部５２に近い側において、クランプガイド５３の上端部から下方の途中まで窪んで形成されている。一方、切欠部６５は、クランプガイド５３の支持部５２から遠い側において、上端部から下方の途中まで窪んで形成されている。ここで、切欠部６５の深さは、支持溝６３よりも浅く設定されている。このように、クランプガイド５３の上端部に下端に向けて窪んだ支持溝６３および切欠部６５を形成することにより、クランプガイド５３はこれら支持溝６３と切欠部６５との間に突起６４を有している。突起６４の上端は、クランプガイド５３の支持部５２側の端部における上端６６よりも低い位置、すなわちテーブル部５１に近い位置にある。
【００２１】
クランプレバー５４は、クランプガイド５３に対して移動可能に設けられている。クランプレバー５４は、第一腕部５４１および第二腕部５４２を有するＬ字形状に形成されている。第一腕部５４１は、クランプレバー５４に沿って上下方向に伸びている。但し、第一腕部５４１は、クランプレバー５４と常に平行ではなく、その位置によってクランプレバー５４に対しやや傾斜している。第二腕部５４２は、第一腕部５４１の上端に位置する接続部５４３において第一腕部５４１と接続しており、第一腕部５４１に対し垂直に伸びている。なお、本実施形態の場合、第一腕部５４１と第二腕部５４２とは垂直に形成する例を示しているが、第一腕部５４１と第二腕部５４２とは垂直に限らず、機能を発揮可能な範囲で任意に角度を設定することができる。第二腕部５４２は、第一腕部５４１と反対側の端部すなわち支持部５２側の端部にハウジング１２と接触可能な押圧部５４４を有している。
【００２２】
支点ローラ５５は、第一腕部５４１の下端部に設けられている。支点ローラ５５は、クランプガイド５３の軌跡溝６２に移動可能に挿入されている。支点ローラ５５は、クランプレバー５４の第一腕部５４１と相対的に回転可能である。これにより、クランプレバー５４は、クランプガイド５３に対して移動するとき、第一腕部５４１の下端部が支点ローラ５５に案内されつつ軌跡溝６２に沿って上下に移動する。また、クランプレバー５４は、支点ローラ５５を支点として図４の左右方向へ旋回する。ガイドローラ５６は、クランプレバー５４の接続部５４３に設けられている。
【００２３】
弾性部材としてのコイルばね７１は、一方の端部がクランプレバー５４の接続部５４３に取り付けられ、他方の端部がテーブル部５１に取り付けられている。このコイルばね７１は、全長が短縮する方向の力を有している。そのため、コイルばね７１は、テーブル部５１とクランプレバー５４との間に引っ張り力、すなわちクランプレバー５４をテーブル部５１側へ引っ張る力を加える。つまり、クランプレバー５４は、コイルばね７１により常にテーブル部５１側への力を受けている。また、コイルばね７１は、テーブル部５１側の下端が切欠部６５よりも支持部５２側に位置している。そのため、コイルばね７１は、クランプレバー５４の接続部５４３に対しやや支持部５２側すなわち図４の右側へ引っ張る力も加える。このコイルばね７１の引っ張り力は、第二支持部５２２を上方へ押し上げるコイルばね６１の力よりも大きく設定されている。なお、図５から図８では、コイルばね６１およびコイルばね７１の図示を省略している。コイルばね７１は、上述のクランプガイド５３、クランプレバー５４、支点ローラ５５およびガイドローラ５６とともに押圧機構部を構成している。
【００２４】
図１に示すようにシャフト部材５７は、アクチュエータ７２によって図１の上下方向へ駆動される。アクチュエータ７２は、電磁力または空気圧や油圧によってシャフト部材５７を図１の上下方向へ駆動する。アクチュエータ７２は、治具パレット３２が減圧槽３１に挿入されたときでも、減圧槽３１に収容されることなく、減圧槽３１の外側に位置する。そのため、減圧槽３１には、アクチュエータ７２を収容する空間を確保する必要がない。シャフト部材５７は、上端がクランプレバー５４の下端すなわち第一腕部５４１の下端に接触可能である。これにより、アクチュエータ７２でシャフト部材５７を上方へ駆動すると、クランプレバー５４は、支点ローラ５５によって軌跡溝６２に案内されつつ上方へ移動する。なお、アクチュエータ７２は、シャフト部材５７を上方へのみ駆動する構成としてもよい。この場合、シャフト部材５７は、コイルばね７１の引っ張り力によって下降するクランプレバー５４とともに下方へ移動する。アクチュエータ７２は、上述のシャフト部材５７とともに駆動部を構成している。
【００２５】
クランプレバー５４の接続部５４３に設けられているガイドローラ５６は、初期的にクランプガイド５３の切欠部６５に位置している。このとき、クランプレバー５４は、コイルばね７１からテーブル部５１側すなわち下方へ引っ張る力を受けている。シャフト部材５７によるクランプレバー５４の上昇にともない、ガイドローラ５６も切欠部６５を上方へ移動する。コイルばね７１の下端は切欠部６５とずれているので、クランプレバー５４がさらに上昇し突起６４の上端に達すると、コイルばね７１からクランプレバー５４に加わる引っ張り力によってクランプレバー５４は支点ローラ５５を支点として支持部５２側すなわち図４の時計回り方向へ旋回する。これにより、ガイドローラ５６は、突起６４を乗り越えて支持溝６３へ進入する。
【００２６】
次に、上記の構成による流体注入封止装置３０の作動および部品組立方法について説明する。
まず、減圧槽３１の外側において、組立の対象となる部品が治具パレット３２の支持部５２に載置される。具体的には、組立の対象となるケース１１は第一支持部５２１に載置され、ハウジング１２は第二支持部５２２に載置される。ケース１１およびハウジング１２を支持部５２に載置するとき、第一支持部５２１は、初期位置にある。これにより、ケース１１およびハウジング１２は、それぞれ異なる軸線上に位置している。したがって、ケース１１およびハウジング１２は、それぞれ第一支持部５２１および第二支持部５２２に対し干渉することなく容易に載置される。ケース１１を第一支持部５２１に載置するとき、ケース１１にはシール部材１３が予め取り付けられている。
【００２７】
ケース１１およびハウジング１２を治具パレット３２の支持部５２に載置するとき、シャフト部材５７は、最も下方に移動している。また、クランプレバー５４の接続部５４３に設けられているガイドローラ５６は、クランプガイド５３の切欠部６５に位置している。これにより、クランプレバー５４は支点ローラ５５を中心に図５の左方へ回転した初期位置にあり、クランプレバー５４の押圧部５４４とハウジング１２とは離れている。その結果、第二支持部５２２は、上方からの力を受けず、コイルばね６１の力によって上端の初期位置にある。
【００２８】
治具パレット３２の支持部５２にケース１１およびハウジング１２が載置されると、治具パレット３２は、図１に示すように減圧槽３１の下方へ移動し、減圧槽３１の内側へ挿入される。具体的には、昇降駆動部３７は、治具パレット３２を上方へ駆動する。これにより、治具パレット３２は、減圧槽３１の内側へ挿入されるとともに、テーブル部５１が減圧槽３１の下端の開口部３８を塞ぐ。その結果、減圧槽３１とテーブル部５１との間には、減圧室３９が形成される。このとき、治具パレット３２の第一支持部５２１に支持されているケース１１は、図５に示すように流体注入部３３のノズル４２の下方に位置する。
【００２９】
治具パレット３２が減圧槽３１の内側に挿入されると、減圧ポンプ３５は減圧室３９の空気を吸引し、減圧槽３１の内側を減圧する。そして、圧力検出部３４で検出した減圧室３９の圧力が予め設定された圧力以下になると、流体注入部３３のノズル４２からケース１１の凹部１４へオイル２１が注入される。すなわち、流体注入部３３のノズル４２は、第一支持部５２１に支持されているケース１１の凹部１４へ流動性のあるオイル２１を注入する。オイル２１は、図示しない脱泡部により予め混入する気泡が除去されている。そして、減圧した減圧室３９の内部においてケース１１の凹部１４にオイル２１を注入することにより、既に脱泡されたオイル２１に気泡が混入することはない。
【００３０】
ケース１１の凹部１４にオイル２１が注入されると、水平駆動部３６のシャフト４４は第一支持部５２１をクランプガイド５３側へ押し込む。これにより、ケース１１を支持する第一支持部５２１は、図６に示すようにリニアガイド５８に沿ってクランプガイド５３側の組立位置まで移動する。その結果、第一支持部５２１に支持されているケース１１は、この組立位置に移動したとき、第二支持部５２２に支持されているハウジング１２と同軸上となる。
【００３１】
ケース１１を支持する第一支持部５２１が組立位置に移動すると、アクチュエータ７２はシャフト部材５７を上方へ駆動する。シャフト部材５７の上端がクランプレバー５４の下端に接すると、シャフト部材５７の上昇にともなってクランプレバー５４も上昇する。クランプレバー５４は、下端に設けられている支点ローラ５５が軌跡溝６２に案内されながら上昇する。クランプレバー５４が上昇すると、切欠部６５に位置していたガイドローラ５６もクランプレバー５４とともに突起６４の上端へ向けて移動する。上述のようにクランプレバー５４は、コイルばね７１からテーブル部５１側への引っ張り力を受けるとともに、支持部５２側へ旋回する力を受ける。そのため、クランプレバー５４の上昇とともに切欠部６５の上端に達したガイドローラ５６は、突起６４を乗り越えて支持部５２側の支持溝６３へ進入する。このとき、ガイドローラ５６の支持溝６３側への移動によって、クランプレバー５４は、支点ローラ５５を支点として支持部５２側へ旋回する。これにより、クランプレバー５４の第二腕部５４２の先端に設けられている押圧部５４４は、図７に示すように第二支持部５２２に支持されているハウジング１２に接する。
【００３２】
アクチュエータ７２は、このように押圧部５４４がハウジング１２に接すると、シャフト部材５７を下方へ駆動する。シャフト部材５７の下方への移動にともなって、クランプレバー５４は支点ローラ５５が軌跡溝６２に案内されながら下降する。これにより、第二腕部５４２の押圧部５４４は、ハウジング１２とともに第二支持部５２２を下方へ押し付ける。ここで、コイルばね７１の引っ張り力は、第二支持部５２２を上方へ押し上げるコイルばね６１の力よりも大きい。そのため、シャフト部材５７の下降にともなって、押圧部５４４からコイルばね７１の力を受ける第二支持部５２２は、コイルばね７１の引っ張り力によってコイルばね６１の力に抗して下方へ移動する。第二支持部５２２の下方への移動によって、第二支持部５２２に支持されているハウジング１２は、第一支持部５２１に支持されているケース１１側へ移動する。その結果、第二支持部５２２に支持されているハウジング１２は、第一支持部５２１に支持されているケース１１を封止する。
【００３３】
ケース１１をハウジング１２で封止すると、図示しないリーク弁が開放される。これにより、減圧槽３１の内側の減圧室３９は、大気圧まで回復する。このとき、ケース１１はシール部材１３を挟んでハウジング１２で封止されているため、ケース１１とハウジング１２との間から凹部１４への空気の侵入は遮断されている。これにより、凹部１４に注入されたオイル２１への気泡の混入は、ほぼ回避することができる。減圧室３９の圧力が大気圧まで回復すると、昇降駆動部３７は治具パレット３２を下方へ駆動する。これにより、治具パレット３２は、減圧槽３１の外部へ取り出される。このときも、ケース１１とハウジング１２とは、シール部材１３によって封止されている。
【００３４】
減圧槽３１の外部へ取り出された治具パレット３２は、クランプレバー５４を初期位置へ復帰させるアンクランプ処理が実施される。アンクランプ処理では、流体注入封止装置３０の外部に設けられているアンクランプ部においてクランプレバー５４と一体のガイドローラ５６が初期位置である切欠部６５へ戻される。具体的には、アンクランプ処理へ移行すると、治具パレット３２は図示しない駆動機構によって図９（Ａ）に示すようにアンクランプ部８０へ移動する。治具パレット３２がアンクランプ部８０に移動すると、図９（Ｂ）に示すようにアンクランプ部８０のレバー８１は回転支持部８２を中心に回転する。このとき、アンクランプ部８０に設けられているアクチュエータのシャフト８３は、クランプレバー５４を下方から上方へ押し上げる。これにより、アンクランプ部８０のレバー８１は、クランプレバー５４のガイドローラ５６に引っ掛けられる。また、クランプレバー５４がシャフト８３によって上方へ押し上げられることにより、クランプレバー５４の押圧部５４４とハウジング１２との接触は解除される。一方、ハウジング１２はケース１１を封止しているため、シール部材１３の摩擦力を利用してハウジング１２はケース１１に固定されている。これにより、クランプレバー５４の押圧部５４４とハウジング１２との接触が解除されても、ハウジング１２を支持する第二支持部５２２は封止位置にとどまる。その結果、ハウジング１２は、ケース１１から外れることがない。
【００３５】
アンクランプ部８０のレバー８１は、先端がガイドローラ５６に引っ掛かった状態で図９（Ｃ）に示すように治具パレット３２から遠ざかる。これにより、クランプレバー５４は、ガイドローラ５６とともに支持溝６３から突起６４を乗り越えて切欠部６５側へ引き戻される。アンクランプ部８０のアクチュエータは、図９（Ｄ）に示すようにガイドローラ５６が切欠部６５側に引き戻された状態でシャフト８３を下方へ駆動する。これにより、クランプレバー５４は、ガイドローラ５６が軌跡溝６２に案内されつつ下方へ移動する。その結果、ガイドローラ５６は、切欠部６５を形成するクランプガイド５３の上端に接し、初期位置へ復帰する。
【００３６】
クランプレバー５４が初期位置へ復帰すると、治具パレット３２は図示しない駆動機構によって外部の図示しないかしめ加工部へ送られる。かしめ加工部は、ハウジング１２のケース１１側の端部２２を、径方向内側へ折り返して、ハウジング１２をケース１１へかしめて固定する。これにより、ハウジング１２とケース１１とは、一体に固定される。
【００３７】
以上説明した一実施形態では、減圧下で脱泡したオイル２１が注入されたケース１１は、ハウジング１２によって覆われる。このとき、ケース１１とハウジング１２との間には、これらをシールするシール部材１３が取り付けられている。そのため、ケース１１にハウジング１２を取り付けたとき、ケース１１とハウジング１２との間はシール部材１３によって封止される。これにより、ケース１１とハウジング１２との間からの空気の進入、および空気の進入にともなうオイル２１中への気泡の混入が回避される。さらに、このとき、ケース１１とハウジング１２とは封止されているため、組み立てられたケース１１およびハウジング１２を大気中に取り出し、大気中でハウジング１２をかしめる場合でも、オイル２１中への空気の混入が回避される。したがって、ケース１１とハウジング１２とを封止する際にオイル２１に含まれる気泡を低減することができ、オイル２１を注入する初期の目的を達成することができる。
【００３８】
また、一実施形態では、クランプレバー５４は、ハウジング１２をケース１１側へ押し付けて封止する。クランプレバー５４は、シャフト部材５７によって上方へ駆動されることにより、支点ローラ５５を支点としてハウジング１２側へ旋回する。すなわち、クランプレバー５４は、上下方向への移動と支点ローラ５５を支点としたハウジング１２側への旋回とが組み合わされた軌跡を描く。そして、クランプレバー５４は、支点ローラ５５を支点として旋回した後、支持溝６３に沿ったガイドローラ５６の移動によって、下方へ移動する。そのため、支点ローラ５５を支点とするクランプレバー５４の旋回は、その回転半径が小さくなる。また、支点ローラ５５は、クランプレバー５４の下端側に設けられている。そのため、クランプレバー５４は、回転するとき、支持部５２側すなわち図４の右方への突出量が低減される。その結果、クランプレバー５４の旋回に必要な空間が減少し、減圧槽３１の内部に確保すべき空間の容積が減少する。したがって、減圧槽３１の大型化および減圧槽３１の大型化にともなう減圧に必要な時間の延長を招くことなく、減圧槽３１の内部で流体の注入および部材の封止を行うことができる。
【００３９】
さらに、一実施形態では、支持部５２は、ケース１１を支持する第一支持部５２１と、ハウジング１２を支持する第二支持部５２２とを有する。第一支持部５２１と第二支持部５２２とは、上下方向の位置がずれている。そして、第一支持部５２１は、第二支持部５２２に対しテーブル部５１と平行に移動可能である。そのため、第一支持部５２１の軸と第二支持部５２２の軸とは、容易にずらすことができ、これらがずれた状態で第一支持部５２１に支持されたケース１１にオイル２１が注入される。そして、オイル２１が注入されたケース１１をハウジング１２と同軸上においてハウジング１２の下方に移動させた後、クランプレバー５４を駆動することにより、第二支持部５２２に支持されたハウジング１２はクランプレバー５４によって第一支持部５２１に支持されたケース１１側へ移動する。これにより、オイル２１が注入されたケース１１は、ハウジング１２によって封止される。したがって、第一支持部５２１の移動量を拡大することなくオイル２１の注入とケース１１およびハウジング１２の封止とを行うことができ、減圧槽３１の大型化を抑制することができる。
【００４０】
以上説明した本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の実施形態に適用可能である。
例えば、上述の実施形態では組立対象の部品として圧力センサ１０を例に説明した。しかし、組立対象の部品は、内部に素子の絶縁や保護を目的とする流体を充填しつつ封止する部品であれば、圧力センサ１０に限らず適用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
図面中、１０は圧力センサ（部品）、１１はケース（第一部材）、１２はハウジング（第二部材）、１３はシール部材、２１はオイル（流体）、２２は端部、３０は流体注入封止装置、３１は減圧槽、３２は治具パレット、３８は開口部、５１はテーブル部、５２は支持部、５３はクランプガイド、５４はクランプレバー、５５は支点ローラ、５６はガイドローラ、５７はシャフト部材、６２は軌跡溝、６３は支持溝、６４は突起、６５は切欠部、７１はコイルばね（弾性部材）、５２１は第一支持部、５２２は第二支持部、５４１は第一腕部、５４２は第二腕部、５４３は接続部、５４４は押圧部を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005671963.tif 000007
【図７】
0005671963.tif 000008
【図８】
0005671963.tif 000009
【図９】
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