(57)【要約】【課題】本発明は、重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムに関するものである、【解決手段】本発明は、平板ディスプレイパネルに付いているパーティクルあるいは表面に存在するパーティクル及び突き出たパーティクルの存在有無を一回のスキャンで二つまたはそれ以上のイメージを重複して獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥及び異物を種類別に検出できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供する。【選択図】図２
2011515865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、前記カメラと対応される方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、少なくとも一つ以上の前記第１照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、または、少なくとも一つ以上の前記第２照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するための少なくとも一つ以上のカメラと、前記少なくとも一つ以上の第１照明手段と前記少なくとも一つ以上の第２照明手段及び前記カメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するために、パルス信号を発生させるパルス発生部と、前記パルス発生部により発生されるパルス信号によって同期信号を生成する同期信号生成部と、前記同期信号生成部により生成された同期信号によって同期され、照明手段を動作するための動作信号を出力する動作信号発生部と、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信して照明手段の光源によって重複されたスキャンイメージを解釈するためのイメージ解釈部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集めるための奇数スキャンイメージ加算部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集めるための偶数スキャンイメージ加算部と、前記奇数スキャンイメージ加算部と偶数スキャンイメージ加算部により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するためのスキャン加算イメージ出力部と、前記パルス発生部、前記同期信号生成部、前記動作信号発生部、前記イメージ解釈部、前記奇数スキャンイメージ加算部、前記偶数スキャンイメージ加算部、及び前記スキャン加算イメージ出力部の全体的な動作を制御する中央制御部とを含んで構成される検査コントローラとを含んで構成されることを特徴とする重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システム。
【請求項２】
カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、少なくとも一つ以上の前記第１照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、または、少なくとも一つ以上の前記第２照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するための少なくとも一つ以上のカメラと、前記少なくとも一つ以上の第１照明手段と少なくとも一つ以上の第２照明手段及びカメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するために、パルス信号を発生させるパルス発生部と、前記パルス発生部により発生されるパルス信号によって同期信号を生成する同期信号生成部と、前記同期信号生成部により生成された同期信号によって同期され、照明手段を動作するための動作信号を出力する動作信号発生部と、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信して照明手段の光源によって重複されたスキャンイメージを解釈するためのイメージ解釈部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集めるための奇数スキャンイメージ加算部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集めるための偶数スキャンイメージ加算部と、前記奇数スキャンイメージ加算部と偶数スキャンイメージ加算部により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するためのスキャン加算イメージ出力部と、撮影されたパネルイメージの一般的な明るさのパターンを把握するための明るさパターン把握部と、前記明るさパターン把握部により把握された映像の中で一般的な明るさに比べて特定領域の明るさが相対的に明るいか、または、暗いかを判断するための欠陥判断部と、前記パルス発生部、前記同期信号生成部、前記動作信号発生部、前記イメージ解釈部、前記奇数スキャンイメージ加算部、前記偶数スキャンイメージ加算部、前記スキャン加算イメージ出力部、前記明るさパターン把握部、及び前記欠陥判断部の全体的な動作を制御する中央制御部とを含んで構成される検査コントローラとを含んで構成されることを特徴とする重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システム。
【請求項３】
カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、少なくとも一つ以上の前記第１照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、または、少なくとも一つ以上の前記第２照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するための少なくとも一つ以上のカメラと、前記少なくとも一つ以上の第１照明手段と少なくとも一つ以上の第２照明手段及びカメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するために、パルス信号を発生させるパルス発生部と、前記パルス発生部により発生されるパルス信号によって同期信号を生成する同期信号生成部と、前記同期信号生成部により生成された同期信号によって同期され、照明手段を動作するための動作信号を出力する動作信号発生部と、カメラから出力された撮影データのイメージを受信して照明手段の光源によって重複されたスキャンイメージを解釈するためのイメージ解釈部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集めるための奇数スキャンイメージ加算部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集めるための偶数スキャンイメージ加算部と、前記奇数スキャンイメージ加算部と偶数スキャンイメージ加算部により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するためのスキャン加算イメージ出力部と、パーティクルによって発生する影を用いて突き出たパーティクルの高さを抽出するための凹凸判断部と、前記パルス発生部、前記同期信号生成部、前記動作信号発生部、前記イメージ解釈部、前記奇数スキャンイメージ加算部、前記偶数スキャンイメージ加算部、前記スキャン加算イメージ出力部、及び前記凹凸判断部の全体的な動作を制御する中央制御部とを含んで構成される検査コントローラとを含んで構成されることを特徴とする重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システム。
【請求項４】
前記スキャン加算イメージ出力部によって出力されたイメージは、それぞれ全体イメージをスキャンしたものと同一であり、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの全面を一回スキャンすることで二つのスキャンイメージを獲得することを特徴とする請求項１に記載の重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システム。
【請求項５】
前記カメラは、スキャンの時に、そのスキャン領域をD/nの間隔で適用することを特徴とする請求項１〜３に記載の重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システム。
(ここで、D： 元の移動距離、n: 光源の数)
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムに関するものであり、特に、平板ディスプレイパネルに付いているパーティクル(ｐａｒｔｉｃｌｅ)あるいは表面に存在するパーティクル及び突き出たパーティクルの存在有無を一回のスキャンで、二つまたはそれ以上のイメージを重複して獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥及び異物を種類別に検出できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のディスプレイパネルまたは半導体ウエハを検査する方法としては、一つの光源を用いてディスプレイパネルを構成するガラスまたは液晶表示板などのような透明部材やウエハなどに光を照射すると、欠陥または異物が発生した部分で光の反射が発生することから、これを検出してディスプレイパネルまたは半導体ウエハが不良であるかどうかを判断する方法がある。
【０００３】
図１に示すように、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０は、検査装置の上に位置し、蛍光ランプなどを利用した一つまたは一種類の連続光源２０から光を照射した後、前記ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０上に発生した欠陥または異物付着部位から乱反射される状態を認識し、パネルまたは半導体ウエハ１０表面の欠陥有無を検査する。
【０００４】
しかし、一つまたは一種類の連続光源２０を利用した検査方式は、検査可能な異物の種類及び特性に限界があり、特にコンベヤ上で移動中の基板上に様々な欠陥及び異物を検査するには限界がある。
【０００５】
また、従来のＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査装置は一般に一回に一つのイメージを獲得することができる。
【０００６】
前記一回とは、通常ステージタイプでX-Yステージが一回動くか、またはカメラが一回動くことを、コンベヤタイプでは一回コンベヤが動作することを言う。
【０００７】
前記の場合には、一般に一つの光源によって観測される欠陥または異物だけがイメージにスキャンされるので、通常検査装置は特定部分に対してだけ検出力が強い専用の検査装置であった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前記のような従来技術の問題点に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、照明手段により光を平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射し、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、または、表面に存在するパーティクルを検査する場合に、一回のスキャンで二つまたはそれ以上のイメージを獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥または異物を種類別に精密に検出できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、少なくとも一つ以上の照明手段を構成して多角度で反射する光を撮影し、多次元的なスキャンイメージを獲得してパーティクルの存在有無を多次元的に確認できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、少なくとも一つ以上の照明手段に順次に動作信号を出力し、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射して平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、表面に存在するパーティクルの検査及び一定の高さで突き出ているパーティクルの検査を同時に行うことができる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、従来の複数の専用検査装置を使うという欠点を改善して一回で一つの検査装置により検査を完了できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、様々な種類の光源(レーザー、エルイーディー(LED)など)を異にして構成することによって、光源によって検出力が優れ、欠陥または異物を専門的に検出することができ、複数の専門検査装置等の検査結果と等しい結果を獲得できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【００１３】
本発明の他の目的は、互いに異なる光源を使って検出した少なくとも一つ以上のイメージを相互比べて相互検証により欠陥の特性を見出すか、或いは検証することができる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【００１４】
本発明の他の目的は、ＦＰＤ基板または半導体ウエハがカメラのスキャン可能距離だけ移動する時に、複数回に分けて撮影するようになり、様々な種類の全体スキャンイメージを獲得できる重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記の目的等を果たすための本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するためのカメラと、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第１照明手段と、 前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記第１照明手段とカメラを動作させ、カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、またはその表面に存在するパーティクルを前記カメラがスキャンできる一番目のライン領域でスキャンした後、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハが移動して、その全体移動距離が、前記カメラのスキャン可能な距離の半分になると、二番目のライン領域を前記一番目のライン領域の半分と重ねてスキャンし重複検査することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
上述の本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、照明手段により光を平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射し、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、表面に存在するパーティクルを検査する場合に、一面のスキャンで二つまたはそれ以上のイメージを獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥または異物を種類別に精密に検出することができる効果がある。
【００１７】
また、少なくとも一つ以上の照明手段を構成して多角度で反射する光を撮影し、多次元的なスキャンイメージを獲得してパーティクルの存在有無を多次元的に確認することができる効果がある。
【００１８】
また、少なくとも一つ以上の照明手段に順次に動作信号を出力し、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射して平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、表面に存在するパーティクルの検査及び一定の高さで突き出しているパーティクルの検査を同時に行うことができ、これにより検査時間を低減できる効果もある。
【００１９】
また、従来の複数の専用検査装置を使うという欠点を改善して一回で一つの検査装置により検査を完了することができ、これにより検査装置の導入による費用低減の効果もある。
【００２０】
また、様々な種類の光源(レーザー, エルイーディー(LED)など)を異にして構成することにより、光源によって検出力が優れ、欠陥または異物を専門的に検出することができ、従来の一つの光源を用いた検査方式に比べて、より高い検出力を提供すると共に、複数の専門検査装置の検査結果と等しい結果を獲得することができる効果もある。
【００２１】
また、互いに異なる光源を使って検出した少なくとも一つ以上のイメージを相互比べて相互検証により欠陥の特性を見出すか、或いは検証することができる効果がある。
【００２２】
また、カメラのスキャン可能距離だけ移動する時に、数回に分けて撮影するようになり、様々な種類の全体スキャンイメージを獲得することができ、カメラのスキャン速度とＦＰＤ基板及び半導体ウエハの物流速度によって、二回またはそれ以上の重複スキャンイメージを組み合わせて使うことができる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来の検査装置による検査方式を示す例示図である。
【図２】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの側面図である。
【図３】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの同期化信号によるカメラと第１照明手段及び第２照明手段の同期化を示す例示図である。
【図４】本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムに二つの第１照明手段が存在する場合における同期化信号によるカメラと二つの照明手段の同期化を示す例示図である。
【図５】本発明の他の一実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの照明手段及びカメラを複数設けて検査する例を示す例示図である。
【図６】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して偶数ラインをスキャンしたイメージである。
【図７】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して奇数ラインをスキャンしたイメージである。
【図８】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して偶数ライン及び奇数ラインをスキャンしたイメージを合成したイメージである。
【図９】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの検査コントローラのブロック図である。
【図１０】本発明によってパーティクルが存在する場合に重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムのカメラに検出されたイメージの明るさの差を示す図である。
【図１１】本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの概念図である。
【図１２】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの重複スキャニングの例示図である。
【図１３】本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの重複スキャニングの結果を示す例示図である。
【図１４】本発明のまた他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの複合重複スキャニングの結果を示す例示図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施例により具体的に説明する。但し、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
前記の課題を果たすための本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、第２照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するためのカメラと、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記第１照明手段と第２照明手段及びカメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、または表面に存在するパーティクルをカメラがスキャンできる一番目のライン領域でスキャンした後、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハが移動して、その全体移動距離が、カメラのスキャン可能な距離の半分になると、二番目のライン領域を前記一番目のライン領域の半分と重ねてスキャンし重複検査することを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するためのカメラと、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記第１照明手段とカメラを動作させ、カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、またはその表面に存在するパーティクルを前記カメラがスキャンできる一番目のライン領域でスキャンした後、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハが移動して、その全体移動距離が、カメラのスキャン可能な距離の半分になると、二番目のライン領域を前記一番目のライン領域の半分と重ねてスキャンし重複検査及び多角度で検査することを特徴とする。
【００２６】
本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、第２照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するためのカメラと、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記第１照明手段と第２照明手段及びカメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、または表面に存在するパーティクルをカメラがスキャンできる一番目のライン領域でスキャンした後、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハが移動して、カメラがスキャン可能な距離になると、後者ライン領域を前者ライン領域と一定の間隔だけ重ねてスキャンし重複検査及び多角度で検査することを特徴とする。
【００２７】
本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハの検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、少なくとも一つ以上の前記第１照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、または、少なくとも一つ以上の前記第２照明手段から供給される光が前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するための少なくとも一つ以上のカメラと、前記少なくとも一つ以上の第１照明手段と前記少なくとも一つ以上の第２照明手段及び前記カメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、または、その表面に存在するパーティクルをカメラがスキャン可能な一番目のライン領域でスキャンした後、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハが移動して、前記カメラがスキャン可能な距離になると、多角度で検査することを特徴とする。
【００２８】
この時、前記カメラは、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの表面をライン単位で連続撮影するラインスキャンカメラであることを特徴とする。
【００２９】
この時、前記第１照明手段は、エルイーディー(LED)照明装置であることを特徴とする。
【００３０】
ここで、前記第２照明手段は、レーザー発生装置であることを特徴とする。
【００３１】
また、本発明の検査システムは、移送手段内に装着されて移送中の平板ディスプレイパネルを検査し、生産時間を低減することができることを特徴とする。
【００３２】
この時、前記検査コントローラは、パルス信号を発生させるパルス発生部と、前記パルス発生部により発生されるパルス信号によって同期信号を生成する同期信号生成部と、前記同期信号生成部により生成された同期信号によって同期され、照明手段を動作するための動作信号を出力する動作信号発生部と、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信して照明手段の光源によって重複されたスキャンイメージを解釈するためのイメージ解釈部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集めるための奇数スキャンイメージ加算部と、前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集めるための偶数スキャンイメージ加算部と、前記奇数スキャンイメージ加算部と偶数スキャンイメージ加算部により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するためのスキャン加算イメージ出力部と、前記パルス発生部、前記同期信号生成部、前記動作信号発生部、前記イメージ解釈部、前記奇数スキャンイメージ加算部、前記偶数スキャンイメージ加算部、及び前記スキャン加算イメージ出力部の全体的な動作を制御する中央制御部とを含んで構成されることを特徴とする。
【００３３】
なお、付加的な様相によって前記検査コントローラは、撮影されたパネルイメージの一般的な明るさのパターンを把握するための明るさパターン把握部と、前記明るさパターン把握部により把握された映像の特定領域の明るさが、一般的な明るさに比べ相対的に明るいか、または、暗いかを判断するための欠陥判断部をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【００３４】
なお、他の付加的な様相によって前記検査コントローラは、パーティクルによって発生する影を用いて突き出したパーティクルの高さを抽出するための凹凸判断部をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【００３５】
この時、前記スキャン加算イメージ出力部によって出力されたイメージは、それぞれ全体イメージをスキャンしたものと同一であり、平板ディスプレーパネルまたは半導体ウエハの全面を一回スキャンすることで二つのスキャンイメージを獲得することを特徴とする。
【００３６】
この時、前記カメラは、スキャンの時に、スキャン領域をD/nの間隔で適用することを特徴とする。
【００３７】
本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハの検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハの上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに反射する反射光を撮影するか、第２照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するためのカメラと、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第１照明手段と、前記カメラと並んで設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第２照明手段と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射させるための反射ミラーと、前記第１照明手段と第２照明手段及びカメラを動作させ、前記カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成されるが、前記カメラと第１照明手段及び第２照明手段を一組として複数構成して一回でパネルのライン全体をスキャンすることにより、検査時間を短縮することを特徴とする。
【００３８】
以下、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの実施例により詳しく説明する。
【００３９】
図２は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの側面図である。
【００４０】
図２に示すように、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０の上側に設置及び構成され、第１照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に反射する反射光を撮影するか、第２照明手段から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するためのカメラ１１０と、前記カメラ１１０と対応する方向に設置及び構成され、前記カメラ１１０の撮影に必要な光量を供給するための第１照明手段１２０と、前記カメラと並んで設置及び構成され、前記カメラの撮影に必要な光量を供給するための第２照明手段１４０と、前記第１照明手段１２０から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に照射させるための反射ミラー１３０と、前記第１照明手段と第２照明手段及びカメラを動作させ、カメラから出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラ２００とを含んで構成され、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に付いているか、または表面に存在するパーティクルをカメラがスキャンできる一番目のライン領域でスキャンした後、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０が移動して、その全体移動距離が、カメラのスキャン可能な距離の半分になると、二番目のライン領域を前記一番目のライン領域の半分と重ねてスキャンし重複検査することを特徴とする。
【００４１】
従来のＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査装置は、一般に一回に全面(一面)に一つのイメージを獲得することができる。
【００４２】
この時、前記一回とは、通常ステージタイプでX-Yステージが一回動くか、またはカメラが一回動くことを、コンベヤタイプでは一回コンベヤが移動することを言う。
【００４３】
前記の場合は、一般に一つの光源によって観測される欠陥または異物だけがイメージにスキャンされるので、通常検査装置は特定部分に対してだけ検出力が強い検査装備となる。
【００４４】
したがって、前記特定部分に対して検出力が強い高価の検査装備を複数構成しなければならないので、これによる検査費用が業者に負担をかけることは自明な事実である。
【００４５】
本発明の重複(Duplicated)スキャニングは、従来の問題点を改善して一回のスキャンで二つまたはそれ以上のイメージを獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥または異物を種類別に検出することができるという利点があり、従来の検査のために多くの専用装備を全て使わなければならないという欠点から脱して一回で一つの検査装備で検査を完了することができるので、検査装備を導入するための費用を最小化させることができるという利点がさらにある。
【００４６】
また、光源を、エルイーディー(LED)やレーザーなどのように、異にして使う場合に各光源で最も優れた検出力により欠陥または異物を専門的に検出し、一回で多数の専門検査装備が検査したことと等しい効果を得ることができる。
【００４７】
また、互いに異なる光源を使って検出したそれぞれのイメージを相互比較し相互検証することにより、欠陥の特性を見出すか、その検証が可能である。
【００４８】
また、本発明の他の実施例によってパーティクルを多角度で検査するために、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段１２０を構成することにより、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に付いているか、その表面に存在するパーティクル及び一定の高さで突き出しているパーティクルを多角度で検査することができる。
【００４９】
このために、検査コントローラの同期信号生成部で複数の第１照明手段と第２照明手段の個数だけの同期信号を生成して、動作信号発生部により生成された同期信号によって同期されて動作するための動作信号を出力するようになる。
【００５０】
図３は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの同期化信号によるカメラと第１照明手段及び第２照明手段の同期化を示す例示図である。
【００５１】
例えば、複数の第１照明手段を３つ(#１第１照明手段、#２第１照明手段、#３第１照明手段とする。)で構成し、第２照明手段を１つで構成する場合にパルス発生部により発生されたパルス信号中、一番目のパルス信号を前記#１第１照明手段に、二番目のパルス信号を前記#２第１照明手段に、三番目のパルス信号を前記#３第１照明手段に、四番目のパルス信号を前記第２照明手段に持続的に出力する。
【００５２】
図４は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムに二つの第１照明手段が存在する場合、同期化信号によるカメラと二つの照明手段の同期化を示す例示図である。
【００５３】
これにより、順次にカメラ１１０に反射光のイメージを供給するようになる。
【００５４】
即ち、図２及び図４に示すように、カメラ１１０を平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０の上側に設置及び構成し、カメラ１１０と対応する方向に第１照明手段１２０を設置及び構成してカメラ１１０の撮影に必要な光量を供給するようになり、カメラ１１０と並んでいる方向の下部に第２照明手段１４０を設置及び構成してカメラの撮影に必要な光量を供給する。
【００５５】
この時、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に照射させるための反射ミラー１３０を第１照明手段の下部に設置及び構成する。
【００５６】
前記のような構成により、第１照明手段１２０から照射される光が平板ディスプレイパネルによって反射する反射光をカメラ１１０で撮影する。
【００５７】
前記撮影されたイメージを検査コントローラ２００の明るさパターン把握部によりパネルの一般的な明るさのパターンを把握し、欠陥判断部により映像の一般的な明るさに比べて特定領域の明るさが相対的に明るいか、または暗いと、欠陥と判定する。
【００５８】
また、第２照明手段１４０により供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に存在するパーティクルによって反射する反射光をカメラで撮影する。
【００５９】
ここで、欠陥が発見される原理は、パーティクルによる光の反射としてカメラと並んでいる方向の下部に第２照明手段１４０が設置及び構成される場合はカメラ１１０と光源が同じ方向にあるため、パーティクルがない場合には、検査ターゲットの平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に触れる光は全てカメラ１１０の反対方向に反射する。
【００６０】
すなわち、パーティクルがない場合にカメラ１１０により得られるイメージは暗くなるが、パーティクルが存在する場合であれば光源から出た一部の光がパーティクルにぶつかり、カメラの方向に戻ってきて、パーティクル部分が背景より明るくなるので、前記の原理により表面にあるパーティクルを検査することができる。
【００６１】
前記のように照明手段を少なくとも二つ以上を構成することにより、パーティクルの位置及び大きさ以外にも突出欠陥の高さを把握することができる。
【００６２】
これは、突出の時、パーティクルに影が発生するので、突き出されたパーティクルの高さを凹凸判断部により抽出することができる。
【００６３】
前記凹凸判断部は、検査システム内に設置及び構成することができるが、別途のホストコンピュータに設置及び構成して検査システムにより検査されたイメージを分析することもできる。
【００６４】
本発明で使っているカメラ１１０は、望ましくは、パネルまたはウエハの表面をライン単位で連続撮影するラインスキャンカメラを使うものであるが、ラインスキャンカメラによって撮影されたイメージを処理する技術は、当業者には広く知られた一般的な技術なので、これについての詳細な説明は略する。
【００６５】
説明を加えて、カメラ１１０が動作するようにパルスを出力する場合は、カメラのスキャン領域を 'D'とし、光源(照明手段)の数を 'n'とすると、本発明でのカメラはスキャンの時にスキャン領域をD/nの間隔で適用するようになる。
【００６６】
図１４を参照して例を挙げて説明すると、光源が３個存在し、１回のカメラ作動の時に、縦幅が１２マイクロであると、３個の光源は、それぞれ４マイクロずつ移動距離を持つようになり、前記第一光源を用いてカメラがスキャンできるスキャン領域は１〜１２マイクロの地点であり、前記第二光源を用いてカメラがスキャンできるスキャン領域は５〜１６マイクロの地点であり、前記第三光源を用いてカメラがスキャンできるスキャン領域は９〜２０マイクロの地点になる。
【００６７】
したがって、同一の移動条件で３回の重複スキャンが可能になる。
【００６８】
即ち、従来のカメラを用いたイメージの撮影方式は一面をいっぺんに撮影するが、本発明はスキャンカメラにより三つのイメージを獲得することができる。
【００６９】
この時、前記第１照明手段１２０はエルイーディー(LED)照明装置を使う。
【００７０】
前記エルイーディー(LED)照明装置によりエルイーディー(LED)光を出力し、出力されたエルイーディー(LED)光が反射ミラー１３０により平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に屈折されるように一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に照射する。
【００７１】
前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０によって反射した光を前記カメラ１１０で撮影し、イメージを検査コントローラ２００によって分析する。図２で説明したように、パネルの一般的な明るさのパターンを把握し、映像の一般的な明るさに比べて特定領域の明るさが相対的に明るいか、または暗い欠陥部位を見出してパネル表面に付着したパーティクルあるいはパネルの内部に付いているパーティクルの位置及び大きさを把握することができる。
【００７２】
すなわち、図１０に示すように、ラインスキャンカメラに獲得されたイメージの一般的な明るさに比べて特定領域の明るさが相対的に明るいか、または暗い場合には欠陥であると認識するようになる。ここで、一般的な平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０のパネル上に同一のセルが並んでおり、前記ラインスキャンカメラによりイメージングをすると、図１０のように、一定の周期で変わるようになる。
【００７３】
しかし、矢印のように、周辺のセルの明るさパターンとは異なる部分が存在する場合は該当領域を欠陥であると認識するようになる。
【００７４】
図５は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの照明手段及びカメラを複数設けて検査する例を示す例示図である。
【００７５】
図５に示すように、望ましくは、ラインスキャンカメラと第１照明手段及び第２照明手段を一組として複数構成して一回でパネルまたはウエハのライン全体をスキャンすることができ、検査システムの検査時間をさらに短縮することができる。
【００７６】
図６は、重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して偶数ラインをスキャンしたイメージであり、図７は、重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して奇数ラインをスキャンしたイメージであり、図８は、重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムを利用して偶数ライン及び奇数ラインをスキャンしたイメージを合成したイメージを示す図であり、検査コントローラによって検出された様子を確認することができる。
【００７７】
前記のような構成により、第１照明手段１２０で撮影した偶数ラインのスキャンされたイメージは、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に付いているか、または、その表面に存在するパーティクルを検査することを特徴とし、第２照明手段１４０で撮影した奇数ラインのスキャンされたイメージは、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に一定の高さで突出または付着している異物を確認できる効果及びパーティクルの高さを確認することができ、パーティクルの大きさ及び高さを立体的に確認できることを特徴とする。
【００７８】
また、第１照明手段１２０と第２照明手段１４０により撮影されたイメージから検査可能なパーティクルの特性が相互重なる部分と補う部分が存在することから、一つの照明手段の使用による検出方法に比べて欠陥検出能力がより強いという利点がある。
【００７９】
図９は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの検査コントローラのブロック図である。
【００８０】
図９に示すように、本発明の検査コントローラ２００は、パルス信号を発生させるパルス発生部２１０と、前記パルス発生部２１０により発生されるパルス信号によって同期信号を生成する同期信号生成部２２０と、前記同期信号生成部２２０により生成された同期信号によって同期され、照明手段を動作するための動作信号を出力する動作信号発生部２３０と、カメラ１１０から出力された撮影データのイメージを受信して照明手段の光源によって重複されたスキャンイメージを解釈するためのイメージ解釈部２４０と、前記イメージ解釈部２４０によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集めるための奇数スキャンイメージ加算部２５０と、前記イメージ解釈部２４０によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集めるための偶数スキャンイメージ加算部２６０と、前記奇数スキャンイメージ加算部２５０と偶数スキャンイメージ加算部２６０により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するためのスキャン加算イメージ出力部２７０と、前記パルス発生部２１０、同期信号生成部２２０、動作信号発生部２３０、イメージ解釈部２４０、奇数スキャンイメージ加算部２５０、偶数スキャンイメージ加算部２６０、及びスキャン加算イメージ出力部２７０の全体的な動作を制御する中央制御部２８０とを含んで構成されることを特徴とする。
【００８１】
この時、付加的な様相によって撮影されたパネルまたはウエハイメージの一般的な明るさのパターンを把握するための明るさパターン把握部と、前記明るさパターン把握部により把握された映像の一般的な明るさに比べて特定領域の明るさが相対的に明るいか、または暗いかを判断するための欠陥判断部をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【００８２】
また、他の付加的な様相によってパーティクルによって発生する影を用いて突き出たパーティクルの高さを抽出するための凹凸判断部をさらに含んで構成されることを特徴とする。
【００８３】
前記パルス発生部２１０によってパルスが発生すると、前記同期信号生成部２２０により発生されるパルス信号によって同期信号を生成し、照明手段の個数によって同期信号を生成した後、前記動作信号発生部２３０により生成された同期信号によって同期され照明手段に動作信号を出力して動作させることにより、前記カメラ１１０から出力された撮影データのイメージを受信してイメージ解釈部２４０によって照明手段の光源(レーザーあるいはエルイーディー(LED))によって重複されたスキャンイメージを解釈し、奇数スキャンイメージ加算部２５０によりイメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で奇数スキャンラインのみを抽出して集め、偶数スキャンイメージ加算部２６０により前記イメージ解釈部によって解釈された重複スキャンイメージの中で偶数スキャンラインのみを抽出して集め、スキャン加算イメージ出力部２７０によって前記奇数スキャンイメージ加算部２５０と偶数スキャンイメージ加算部２６０により集められたそれぞれのスキャンイメージを出力するようになる。
【００８４】
前記スキャン加算イメージ出力部２７０により出力されるイメージは、例えば異物特性データベースあるいは欠陥特性データベースを参照し比較分析して欠陥及び異物の種類を精密に分析するように構成することもできる。
【００８５】
図１１は、本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの概念図である。
【００８６】
前記カメラにより撮影されたイメージを分析する検査システムにおいて、前記カメラと対応する方向に設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第１照明手段１２０と、前記カメラと並んで設置及び構成され、カメラの撮影に必要な光量を供給するための少なくとも一つ以上の第２照明手段１４０と、前記第１照明手段から供給される光を一定の角度で屈折させ、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に照射させるための反射ミラーと、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０の上側に設置及び構成され、少なくとも一つ以上の第１照明手段１２０から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に反射する反射光を撮影するか、または、少なくとも一つ以上の第２照明手段１４０から供給される光が平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に存在するパーティクルによって反射する反射光を撮影するための少なくとも一つ以上のカメラ１１０と、前記少なくとも一つ以上の第１照明手段１２０と少なくとも一つ以上の第２照明手段１４０及びカメラ１１０を動作させ、前記カメラ１１０から出力された撮影データのイメージを受信してイメージを補正するための検査コントローラとを含んで構成され、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０に付いているか、または、その表面に存在するパーティクルを前記カメラ１１０がスキャン可能な一番目のライン領域でスキャンした後、前記平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハ１０が移動して、カメラがスキャン可能な距離になると、多角度で検査することを特徴とする。
【００８７】
前記他の実施例によって移動するコンベヤ上にカメラを複数設置及び構成してそれぞれの照明手段により反射する光をカメラで獲得することにより、多角度で検査することができる特性を有する。
【００８８】
図１２は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの重複スキャニングの例示図である。
【００８９】
先ず、検査対象物のＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０が移動する時、ラインスキャンカメラがスキャン可能なライン領域（１）に対してスキャンを行い、ＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０が移動して、その全体移動距離がラインスキャンカメラのスキャン可能な距離の半分になると、ライン領域（２）に対してスキャンし、ＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０が再び移動し、その全体移動距離がラインスキャンカメラのスキャン可能な距離の半分になると、ライン領域（３）に対してスキャンする。
【００９０】
すなわち、二つの光源が存在するので、例えば、１２マイクロを移動する時、その半分の６マイクロ以後の７〜１２マイクロまで重複スキャンする過程を繰り返すと、ＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０の全体スキャンイメージは二種類となる。
【００９１】
図１３は、本発明による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの重複スキャニングの結果を示す例示図である。
【００９２】
図１２の過程を繰り返すと、左側の一番目のイメージはDuplicated scanningをする場合にスキャニングラインを示す。
【００９３】
左側の二番目のイメージは、奇数ライン(odd line)のみを抜粋して集めたものであり、三番目のイメージは、前記一番目のイメージの中で偶数ライン(even line)のみを抜粋して集めたものである。
【００９４】
したがって、奇数ラインイメージと偶数ラインイメージは、それぞれの全体イメージをスキャニングしたものと同一であり、スキャニングする上で損失のないことが分かる。
【００９５】
欠陥または異物が存在する場合は、前記奇数ラインイメージと偶数ラインイメージは全て欠陥または異物に対する完璧なイメージをスキャニングして示すようになる。
【００９６】
このように、Duplicated scanningをする時、奇数ラインスキャンと偶数ラインスキャンの光源を異にする場合、光源特性によって検出力が高い欠陥または異物が別に検出可能であるので、一般的な一つの光源を用いたスキャン方式に比べてより高い検出力を有することができるという利点がある。
【００９７】
図１４は、本発明の他の実施例による重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムの複合重複スキャニングの結果を示す例示図である。
【００９８】
ここで、前記Duplicated scanningは、奇数及び偶数の分けだけでなく、他に複合スキャニングすることもできる。
【００９９】
即ち、図１４に示すように、ＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０がスキャンカメラのスキャン可能距離だけ移動する時に、三回に分けて撮影をすることにより、三つの種類の全体スキャンイメージを獲得することができる。
【０１００】
したがって、カメラスキャン速度とＦＰＤ基板または半導体ウエハ１０の物流速度によって二回またはそれ以上のDuplicated scanningを組み合わせて使うことができる。
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
本発明の重複映像を用いたＦＰＤ基板及び半導体ウエハ検査システムは、照明手段により光を平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに照射して、平板ディスプレイパネルまたは半導体ウエハに付いているか、または、その表面に存在するパーティクルを検査する場合に、一面のスキャンで二つまたはそれ以上のイメージを獲得することにより、一回の検査だけで大部分の欠陥または異物を種類別に精密に検出できるので、パーティクルの検査分野において広く有用に活用できるであろう。
【図１】
2011515865.tif 000003
【図２】
2011515865.tif 000004
【図５】
2011515865.tif 000005
【図６】
2011515865.tif 000006
【図７】
2011515865.tif 000007
【図８】
2011515865.tif 000008
【図９】
2011515865.tif 000009
【図１０】
2011515865.tif 000010
【図１１】
2011515865.tif 000011
【図１３】
2011515865.tif 000012
【図１４】
2011515865.tif 000013
【図３】
2011515865.tif 000014
【図４】
2011515865.tif 000015
【図１２】
2011515865.tif 000016
【国際調査報告】
2011515865.tif 000017
2011515865.tif 000018
2011515865.tif 000019
2011515865.tif 000020