(57)【要約】動作ユニット（１１）に対して電子回路の１つ以上のプレート（１２ａ）を位置決めするための位置決めデバイス（１０）。デバイス（１０）は、第１の動作位置と第２の動作位置との間で選択的に回転する回転部材（１６）と、回転部材に搭載された位置決め部材（１７）とを備える。位置決め部材（１７）は、回転部材（１６）に取り外し可能に搭載されているフレーム（２４）と、各プレート（１２ａ）が載せてある透明材料の片（３２）とを備える。片（３２）は、フレーム（２４）に提供されている１対の巻き取り／巻き戻しローラ（３０、３１）の間に巻き付けられる。位置決め部材（１７）はまた、プレートを所定の動作温度にするためにプレート（１２ａ）を加熱可能な加熱手段（４０）を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１の動作位置と第２の動作位置の間で選択的に回転可能な回転部材（１６）と、前記回転部材（１６）に搭載可能な位置決め部材（１７）とを備える動作ユニット（１１）に対して電子回路の１つ以上のプレート（１２ａ）を位置決めするための位置決めデバイスであって、
前記位置決め部材（１７）が、前記回転部材（１６）に取り外し可能に搭載可能な少なくとも１つのフレーム（２４）と、
前記プレート（１２ａ）の各々が載せられる透明材料の片（３２）と、
を備えることを特徴とし、
前記片（３２）が、前記フレーム（２４）上で回動される１対の巻き取り／巻き戻しローラ（３０、３１）の間に巻き付けられる、位置決めデバイス。
【請求項２】
前記位置決め部材（１７）に搭載されており、前記プレートを所定の動作温度にするために前記プレート（１２ａ）を加熱することができる加熱手段（４０）を備えることを特徴とする、請求項１に記載の位置決めデバイス。
【請求項３】
前記加熱手段（４０）が調整可能なタイプであることを特徴とする、請求項２に記載のデバイス。
【請求項４】
前記取り外し可能なフレーム（２４）が、取り外し可能なタイプおよび／または一時的な固定関連タイプであり、前記回転部材（１６）への前記取り外し可能なフレーム（２４）の少なくとも相互機械的および電気的接続を可能にするように合わされている高速取り付け手段（１９、２０、２１）を備えることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項５】
前記高速取り付け手段が機械的取り付け部材（１９）を備えることを特徴とする、請求項４に記載のデバイス。
【請求項６】
前記機械的取り付け部材（１９）が、前記取り外し可能なフレーム（２４）の両側に沿って作られ、各アセンブリシート（１８）内部に作られた噛合取り付け溝と協働可能な１つ以上の線形リブ（２２）を備えることを特徴とする、請求項５に記載のデバイス。
【請求項７】
前記線形リブ（２２）が、前記取り外し可能なフレーム（２４）を前記アセンブリシート（１８）に一時的にクランプするために、取り付けピン（２５）の位置決めシートを定義可能な少なくとも１つの遮断部（２３）を含むことを特徴とする、請求項６に記載のデバイス。
【請求項８】
前記高速取り付け手段が電気的取り付け部材（２０）を備えることを特徴とする、請求項４〜７のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項９】
前記電気的取り付け部材（２０）が、前記取り外し可能なフレーム（２４）の前壁に搭載されており、前記アセンブリシート（１８）内部に提供された対応する電気導体によって接触可能な１つ以上の金属プレートレット（２６）を備えることを特徴とする、請求項８に記載のデバイス。
【請求項１０】
前記高速取り付け手段が空気圧式取り付け部材（２１）を備えることを特徴とする、請求項４〜９のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１１】
前記空気圧式取り付け部材（２１）が、前記取り外し可能なフレーム（２４）の前壁に作られ、前記アセンブリシート（１８）内部に提供された対応する空気圧接続と接続可能な１つ以上のパイプ（２７）を備えることを特徴とする、請求項１０に記載のデバイス。
【請求項１２】
前記１対の巻き取り／巻き戻しローラ（３０、３１）周辺の前記透明片（３２）の選択的移動を作動させるために、前記回転部材（１６）に所定の固定位置で搭載されている移動手段（３５）を備えることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１３】
前記移動手段（３５）が、前記透明片（３２）の移動を判断するために、前記２つの巻き取り／巻き戻しローラ（３０、３１）のうちの一方と選択的に協働させられることが可能な少なくとも１つの従動ローラ（３６）を備えることを特徴とする、請求項１２に記載のデバイス。
【請求項１４】
前記取り外し可能なフレーム（２４）が、後部照明効果を判断するために、前記透明片（３２）の下に配置されたライティング手段を備えることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１５】
前記取り外し可能なフレーム（２４）が、前記透明片（３２）と協働して配置され、所定の動作位置にプレート（１２ａ）を保有可能な吸引手段（３４）を備えることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のデバイス。
【請求項１６】
少なくとも第１の動作位置と第２の動作位置の間で選択的に回転可能な回転部材（１６）と、前記回転部材（１６）に搭載可能な位置決め部材（１７）とを備える動作ユニット（１１）に対して電子回路の１つ以上のプレート（１２ａ）を位置決めするための位置決めデバイスであって、
前記位置決め部材（１７）に搭載され、前記プレートを所定の動作温度にするために前記プレート（１２ａ）を加熱可能な加熱手段（４０）を備えることを特徴とする、位置決めデバイス。
【請求項１７】
少なくとも第１の動作位置と第２の動作位置の間で選択的に回転可能な回転部材（１６）と、前記回転部材（１６）に搭載可能な位置決め部材（１７）とを備える動作ユニット（１１）に対して電子回路のプレート（１２ａ）を位置決めする方法であって、
前記位置決め部材（１７）に搭載された加熱手段（４０）によって、前記プレート（１２ａ）が所定の動作温度になるように加熱される少なくとも１つのステップを備えることを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は、電子回路のプレート、例えばグリーンテープや光起電セル用のシリコンベースウェーハを、例えばシルクスクリーンプリントによって金属堆積ユニットに位置決めするためのデバイスに関する。特に、本発明にしたがった位置決めデバイスは、少なくとも１つの金属堆積ステーションを通過してロードステーションから排出ステーションにプレートを搬送する移送部材、例えば回転タレットやカルーセルに適用される。
【発明の背景】
【０００２】
電子回路のプレート、例えば光起電セルの生産用のウェーハを作動させるためのプラントが既知であり、このプラントは、金属トラックをプレートに堆積するための少なくとも１つのユニットと、この堆積ユニットおよび他の可能なワークステーションに対してプレートを位置決めおよび移送する位置決めデバイスとを備える。
【０００３】
プレートを供給するための少なくとも１つの供給ベルトと、供給ベルトによって供給されたプレートが配置されている回転タレットまたはカルーセルとを備える位置決めデバイスが既知である。タレットは、堆積ユニットの所定の動作位置に各プレートを移送および位置決めして、電子回路を達成するために、一定の角度で回転可能である。
【０００４】
このタイプの移送部材は、プレートを位置決めするための特定の部材を必要としており、これは、タレットに搭載された少なくとも１つのサポート平面を備え、この上にはコンベヤベルトを出るプレートが最初に堆積される。
【０００５】
プレート上への各金属トラックの堆積の正確さを保証するために、平面上のプレートの位置を補正するための較正／整列ステーションと、仕上がったプレートを排出ベルトに個々に移動させる特定のピックアップ／排出部材の両方を位置決めデバイスと関連付ける必要がある。
【０００６】
このことは、結果的に生産コストとプラントの動作時間の両方を増大させ、生産性の低下は避けられない。
【０００７】
透明な材料、例えば紙からなり、２つの巻き取り／巻き戻しローラの間に巻き付けられているスライティングベルトが、サポート平面ではなくタレット上にある位置決めデバイスも既知である。
【０００８】
これが、処置後に毎回紙片の効率を制御して、紙片がローラの一方に完全に巻き取られると紙片の定期的な置換を実行する必要性に起因して、タレット上にプレートの堆積を案内することができるとしても、この解決法は、プラントの長いメンテナンスステップと、ひいては不活性性をもたらすことになる。
【０００９】
さらに、このようなメンテナンスステップはかなり複雑であり、有資格者の介入や、高度または高価な機器の使用を必要とする。
【００１０】
プレートを処置するためのプラントもまた既知であり、金属トラックを堆積させるためのユニットが、ホットペーストやコールドペーストによるシルクスクリーンプリントによって作用する。
【００１１】
両方の既知の解決法では、主に、プリントペーストとプレートの表面の間の比較的大きな温度差に起因して、金属トラックの堆積の際に誤差や汚れが生じる恐れがある。
【００１２】
最新技術では、ペーストの高温勾配ゆえに、プリントペーストの乾燥時に問題や欠陥も発見されている。これは、プリントトラックの正確な導電率を中断または変更してしまう恐れのある不正確なプリントおよびひび割れまたは破壊の両方をもたらす。
【００１３】
本発明の目的の一つは、作るのが簡単かつ経済的であり、プレートの位置を補正するための時間およびコストのかかるステップを必要とすることなく、移送部材へのプレートの正確な位置決めを可能にする、電子回路のプレートの位置決めデバイスを達成することである。
【００１４】
本発明の別の目的は、プレートの置換に時間がかかり、複雑かつコストのかかるメンテナンスステップを必要としない、プレートを位置決めするためのデバイスを達成することである。
【００１５】
本発明のさらなる目的は、金属トラックの堆積時の誤差や汚れの恐れや、乾燥時のプリントトラックへのひび割れや破壊の形成を最小限に制限することができる、プレートを位置決めするためのデバイスを達成することである。
【００１６】
出願人は、最新技術の欠陥を克服して、これらおよび他の目的および利点を取得するために、本発明を考案し、テストし、具現化した。
【発明の概要】
【００１７】
本発明は独立請求項で説明および特徴付けられているが、従属請求項は、本発明の他の特徴や、主要な本発明の概念の変形例を説明している。
【００１８】
本発明にしたがった位置決めデバイスは、電子回路のプレート、例えばシリコンベースウェーハを動作ユニットに対して位置決めするために適用される。
【００１９】
本発明にしたがった上記位置決めデバイスは、少なくとも第１の動作位置と第２の動作位置の間で選択的に回転可能な回転部材と、上記回転部材に搭載可能な位置決め部材とを備える。
【００２０】
本発明の特性によると、上記位置決め部材は、上記回転部材に取外し可能な方法で搭載されている少なくとも１つのフレームと、各プレートが載せてある、透明な材料からなるベルトとを備える。
【００２１】
さらに、上記ベルトは、上記フレームと関連した１対の巻き取り／巻き戻しローラの間に巻き付けられる。
【００２２】
本発明はしたがって、別の、例えば異なるサイズおよび／または機能性と置換されるように、あるいは上記透明なベルトが終わった場合にのみ、上記回転要素から上記位置決めデバイスを選択的に取り外すことができる。
【００２３】
上記デバイスの選択的排除によって、上記ベルトを置換する動作をスピードアップさせ、かつ簡略化することができ、生じうる生産の中断を最小限に制限し、生産性を増大させ、上記移送部材の管理コスト全体を削減することができる。
【００２４】
変形例によると、上記取り外し可能なフレームは、取外し可能および／または一時的な固定関連タイプの高速取り付け手段であって、限定された数の動作によって、少なくとも上記デバイスの上記回転要素への相互機械的、電気的、場合によっては空気圧式の接続を、好都合には上記回転要素で達成される調整シートへの上記フレームのスライド挿入のみを可能にするように合わせられている高速取り付け手段を備える。
【００２５】
別の変形例によると、本発明にしたがった上記デバイスは、上記透明なベルト、ひいてはプレートの上記回転要素に対する移動を判断するために、上記２つの巻き取り／巻き戻しローラのうちの一方と選択的に協働させられることが可能な少なくとも１つのモータ化ローラを備える。
【００２６】
上記モータ化ローラは、上記プレートのロードおよび／またはアンロードステーションに対応して上記回転要素に搭載されているのが好都合である。
【００２７】
別の変形例によると、上記取り外し可能なフレームはまた、レトロ照明効果を判断して、透明なベルト上のプレートの位置を制御および補正する動作を容易にするために、透明なベルトの下方に配置された照明手段を備える。
【００２８】
別の変形例によると、上記取り外し可能なフレームは、上記透明なベルトと関連して配置され、かつ空気圧の降下によって上記透明なベルト上の所定の動作位置に上記プレートを保持することができる吸引手段を備える。
【００２９】
本発明にしたがった上記位置決めデバイスはまた、上記位置決め部材に搭載され、またプレートを所定の動作温度にするために上記プレートを加熱することができる、調整可能なタイプの加熱手段を備える。
【００３０】
上記加熱は手動および自動の両方で調整可能であり、金属の堆積の前、後および／またはこの最中に提供可能であるのが好都合である。
【００３１】
このように、上記プレートと、上記プレートに堆積されているホットまたはコールドの上記金属ペースト間の温度差はかなり低減される。このことは、堆積の不正確さおよび汚れの両方のリスクと、乾燥時のひび割れや破壊の形成をかなり制限する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
本発明のこれらおよび他の特徴は、添付の図面を参照して非制限的実施例として与えられた優先的形態の実施形態に関する以下の説明から明らかになる。
【図１】図１は、本発明にしたがった位置決めデバイスを具備する、電子回路のプレートに金属を堆積するためのユニットの平面図を概略的に示している。
【図２】図２は、図１の部分的断面図を概略的に示している。
【図３】図３は、図１の位置決めデバイスの拡大された部分的断面の詳細を示している。
【図４ａ】図４ａは、図１の堆積ユニットの動作ステップを順次示している。
【図４ｂ】図４ｂは、図１の堆積ユニットの動作ステップを順次示している。
【図４ｃ】図４ｃは、図１の堆積ユニットの動作ステップを順次示している。
【図４ｄ】図４ｄは、図１の堆積ユニットの動作ステップを順次示している。
【図４ｅ】図４ｅは、図１の堆積ユニットの動作ステップを順次示している。
【実施形態の優先的な形態の詳細な説明】
【００３３】
添付の図面を参照すると、本発明にしたがった位置決めデバイス１０は、この場合はシリコンベースウェーハ１２ａから開始する光起電セル１２ｂの生産用プラントの金属堆積ユニット１１に搭載される。
【００３４】
ウェーハ１２ａおよび光起電セル１２ｂは、ウェーハ１２ａを供給する第１のコンベヤベルト１３と、光起電セル１２ｂを排出する第２のコンベヤベルト１５と、２つのベルト１３と１５の間に介在されている回転タレット１６であって、後述されるように、種々の動作位置の間にウェーハ１２ａおよび光起電セル１２ｂをカルーセル方式で搬送する回転タレット１６によって、金属堆積ユニット１１に対して移動および位置決めされる。
【００３５】
位置決めデバイス１０は、この場合は４つの、１つ以上の位置決め部材１７を備え、これは、相互に約９０°の角度でずらされており、回転タレット１６の周辺に作られた調整アセンブリシート１８の内部で、取り外し可能なフレーム２４によって回転タレット１６に搭載されている。
【００３６】
各々の取り外し可能なフレーム２４（図３）は、それぞれ機械的、電気的、空気圧式の高速取り付け部材１９、２０および２１を備える。
【００３７】
特に、機械的取り付け部材１９は、フレーム２４の両側に沿って作られ、かつ各アセンブリシート１８内部に作られている噛合取り付け溝（図示せず）にスライド可能な、この場合は２つの線形リブ２２を備える。
【００３８】
線形リブ２２は、フレーム２４をアセンブリシート１８に一時的にロックするために、関連する取り付けピン２５の位置決めシートを定義する遮断部２３を有する。
【００３９】
電気的取り付け部材２０は、フレーム２４の前壁に搭載され、アセンブリシート１８内部に提供された対応する導体（図示せず）によって接触可能な、この場合は２つ以上の金属プレートレット２６を備える。
【００４０】
空気圧式取り付け部材２１は、ここに図示される場合では、フレーム２４の前壁に形成され、アセンブリシート１８内部に提供されている対応する空気圧接続部（図示せず）と接続可能な２つ以上の導管２７を備える。
【００４１】
フレーム２４もまた、ウェーハ１２ａまたは光起電セル１２ｂをサポートする上部表面２９と、紙片３２が巻き付けられている２つのサポートローラ３０および３１とを備える。
【００４２】
第１のコンベヤベルト１３から入ってくるウェーハ１２ａや、第２のコンベヤベルト１５に搬送される光起電セル１２ｂは紙片３２に位置決めされる。
【００４３】
特に、上部表面２９は、ウェーハ１２ａや光起電セル１２ｂをフレーム２４に部分的に保持することができる空気圧の降下を定義可能な複数の吸引ホール３４を備える。
【００４４】
上部表面２９の下に、図３の破線で示されている加熱部材４０も提供される。
【００４５】
加熱部材４０は、紙片２３に位置決めされているウェーハ１２ａや光起電セル１２ｂを所定の温度まで加熱するために、上部表面２９の所望の加熱を判断することができる。
【００４６】
加熱部材４０によって作動された加熱温度が、手動または自動で、デバイス１０の特定の動作条件にしたがって、作られる光起電セル１２ｂや他の回路のタイプにしたがって、コーティングタイプにしたがって、堆積された金属ペーストの温度にしたがって、あるいはその都度プログラミングされるかプログラミング可能な他のパラメータにしたがって選択される。
【００４７】
加熱温度の選択は、光起電セル１２ｂの生産プロセス間で変調および調整可能である。
【００４８】
上部表面２９はまた、紙片３２上の光起電セル１２ｂの位置を調べて補正する動作を容易にするために、レトロ照射されることが好都合である。
【００４９】
紙片３２は、２つのサポートローラ３０の一方のリールに最初に配置されて、上部表面２９の上方に配置され、２つのサポートローラ３１のもう一方に巻き付けられる。移動ローラ３３もまた、第２のサポートローラ３１に適合されたフレームに提供される。
【００５０】
位置決めデバイス１０はまた、第１のコンベヤベルト１３および第２のコンベヤベルト１５に対応して回転タレット１６の固定部分に搭載されている少なくとも１つの、この場合は２つの移動機構３５を備える（図２）。
【００５１】
各移動機構３５は、移動ローラ３３に接触して、紙片３２の巻き取り／巻き戻し回転を作動させるように配置された少なくとも１つのモータ化ホイール３６を具備している。このタイプの運動伝達は「ピンチローラ」として既知である。
【００５２】
図４ａ〜４ｅを参照すると、本発明にしたがったデバイス１０は以下のように機能する。
【００５３】
非制限的実施例を付与するために、図４ａ〜４ｅは、光起電セル１２ｂが作られるシングルシリコンウェーハ１２ａの移動サイクルを概略的に示している。実際の動作条件下で、ウェーハ１２ａが、光起電セル１２ｂの生産性を最適化するために、実質的に連続サイクルでロード可能であることは明らかである。
【００５４】
シリコンウェーハ１２ａは、第１のコンベヤベルト１３によって回転タレット１６に向けて搬送され、回転タレット１６は、第１のコンベヤベルト１３に面する位置決めデバイス１０の第１のフレーム２４に、第２のサポートローラ３１への巻き取り移動で紙片３２を呈示するように角度を付けて位置決めされている。
【００５５】
シリコンウェーハ１２ａは次いで紙片３２に位置決めされ、上部表面２９に対して実質的に中央の位置に達するまで、紙片によって移動される。シリコンウェーハ１２ａの移動と同時に、空気圧の降下は、紙片３２の近くにウェーハ１２ａを保持して、可能な限りウェーハの水平移動を防止するために、吸引ホール３４によってもたらされる。
【００５６】
この移動中に、加熱部材４０はまた、金属堆積ステップ中にウェーハ１２ａを所定の温度に加熱するように起動される。
【００５７】
空気圧の低下をアクティブに維持することによって、回転タレット１６は、シリコンウェーハ１２ａを金属堆積ユニット１１と協働させるために、約９０°回転させられる。
【００５８】
このステップ中に、新たなシリコンウェーハ１２ａが、次のフレーム２４の紙片３２にロード可能である。
【００５９】
加熱部材４０が先行する移動ステップで起動されない変形例によると、加熱部材４０は金属の堆積時に起動される。
【００６０】
別の変形例によると、移動ステップで起動された加熱部材４０は、金属堆積ステップ中に起動解除される。
【００６１】
金属の堆積が終了されて、光起電セル１２ｂが形成されると、回転タレット１６は、フレーム２４を第２のコンベヤベルト１５に対応させるために、さらに９０°回転される。
【００６２】
加熱部材４０が移動ステップまたは金属堆積ステップのいずれでも起動されない変形例によると、加熱部材４０は、堆積された金属の乾燥条件を改良するために、ユニット１１からの退出移動時に起動される。
【００６３】
別の変形例によると、移動ステップ中および金属堆積ステップ中に起動された加熱部材４０は、金属堆積ユニット１１からの退出移動時に起動解除される。
【００６４】
さらなる変形例によると、移動ステップ中および金属堆積ステップ中に起動された加熱部材４０はアクティブに維持される。
【００６５】
この位置で、紙片３２は、第２のコンベヤベルト１５に光起電セル１２ｂを移送するために移動されることによって、紙片をプラントの他の動作ステーションに排出する。
【００６６】
紙片３２が終わると、取り付けピン２５が取り外され、対応するフレーム２４が、機械的取り付け部材１９をスライドさせることによってアセンブリシート１８から抽出される。電気的取り付け部材２０および空気圧式取り付け部材２０は、フレーム２４が抽出され始めると、自動的に接続解除するように合わせられている。
【００６７】
新たなフレーム２４または同じフレーム２４が次いで新たな紙片３２によって準備され、アセンブリシート１８に再挿入される。この挿入は、機械的取り付け部材１９をスライドさせることによって達成される。電気的取り付け部材２０および空気圧式取り付け部材２０は、アセンブリシート１８へのフレーム２４の挿入が完了されるとすぐに自動的に接続するように合わせられている。
【００６８】
しかしながら、パーツの修正および／または追加は、本発明の主旨および範囲から逸脱することなく、前述の位置決めデバイス１０になされてもよいことが明らかである。
【００６９】
例えば、取り付けピン２５および遮断部２３を設ける代わりに、アセンブリシート１８へのフレーム２４の機械的ロックが、スナップイン機構や、電気的または空気圧式に命令されたサーボや、フレームに対し容易に取り外し可能なロックを保証可能な同一形状のカップリングなどによって実行可能であることも、本発明の主旨および範囲内にあるものである。
【００７０】
紙片３２を設ける代わりに、任意の透明材料のロールが使用可能であることも、本発明の主旨および範囲内にある。
【００７１】
本発明は特定の実施例を参照して説明されてきたが、請求項に説明され、ひいてはここに定義されている保護範囲内にある特徴を有する、電子回路のプレートを金属堆積ユニットに位置決めするための多数の同等形態のデバイスと関連する方法を当業者は達成可能であることが明らかである。
【符号の説明】
【００７２】
１０…位置決めデバイス、１１…金属堆積ユニット、１２ａ…ウェーハ、１２ｂ…光起電セル、１３、１５…ベルト、１６…回転タレット、１７…位置決め部材、１８…アセンブリシート、１９…機械的取り付け部材、２０…電気的取り付け部材、２１…空気圧式取り付け部材、２２…線形リブ、２４…フレーム、２５…取り付けピン、２６…プレートレット、２７…導管、２９…上部表面、３０、３１…サポートローラ、３２…紙片、３３…移動ローラ、３５…移動機構、４０…加熱部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
2011501458.tif 000007
【図４ｃ】
2011501458.tif 000008
【図４ｄ】
2011501458.tif 000009
【図４ｅ】
2011501458.tif 000010
【国際調査報告】
2011501458.tif 000011
2011501458.tif 000012
2011501458.tif 000013