(57)【要約】  電子装置用のプレート(12)を製造及び制御する方法は、プレート(12)を位置決め手段(34)によりロードステーション(16)に位置決める第１のステップと、プレート(12)を、金属又は他の材料を堆積するためのユニット(20)に関連した堆積ステーション(18)に配置し、プレート(12)上に金属を堆積して、所定かつ望ましいトポロジー配置に基づき金属トラックをプレート(12)上に形成する第２のステップと、プレート(12)を出口ステーション(24)に配置し、検出手段(30)を作動して、プレート(12)における欠陥の存在を検出する第３のステップと、プレート(12)を出口ステーション(24)から放出する第４のステップと、を備えている。第１のステップでは、検出手段(30)を作動して、ロードステーション(16)に配置されたプレート(12)の欠陥を識別する。第２のステップでは、第１のステップで検出手段(30)がプレート(12)の欠陥を検出しなかったときに、堆積ユニット(20)を作動してプレート(12)上に金属を堆積する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子装置用のプレート(12)を製造及び制御する方法であって、
プレート(12)を位置決め手段(34)によりロードステーション(16)に位置決める第１のステップと、
上記プレート(12)を、金属又は他の材料を堆積するためのユニット(20)に関連した堆積ステーション(18)に配置し、上記プレート(12)上に金属又は他の材料を堆積して、所定の望ましいトポロジー配置に基づき金属又は他の材料で作られたトラックを上記プレート(12)上に形成する第２のステップと、
上記プレート(12)を出口ステーション(24)に配置し、検出手段(30)を作動して、上記プレート(12)における欠陥の存在を検出する第３のステップと、
上記プレート(12)を上記出口ステーション(24)から放出する第４のステップと、
を備えた方法において、
前記第１のステップでは、前記検出手段(30)を作動して、上記ロードステーション(16)に配置された前記プレート(12)の欠陥を識別し、更に、前記第２のステップでは、前記第１のステップで上記検出手段(30)が前記プレート(12)の欠陥を検出しなかったときに、上記堆積ユニット(20)を作動して前記プレート(12)上に金属又は他の材料を堆積する、ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第４のステップでは、欠陥のない上記プレート(12)を位置決め手段(34)により第１の放出方向に放出する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第４のステップでは、欠陥を伴う上記プレート(12)を前記位置決め手段(34)により第２の放出方向に放出する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第４のステップは、上記出口ステーション(24)から上記プレート(12)を放出するのに続いて、不純物を除去するために前記位置決め手段(34)を洗浄するサブステップを含む、請求項１から３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
前記位置決め手段(34)は、空気吸引によって洗浄される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記検出手段は、少なくともＴＶカメラ(30)を含む、請求項１から５のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
電子装置用のプレート(12)を製造及び制御する装置であって、
ロードステーション(16)と、
出口ステーション(24)と、
金属又は他の材料を堆積するための対応ユニット(20)に関連し、所定の配置に基づいて金属又は他の材料のトラックをプレート(12)上に堆積するのに適した少なくとも介在された堆積ステーション(18)と、
プレート(12)をロードステーションから堆積ステーション(18)を通過して出口ステーション(24)へ搬送できる搬送部材(28)と、
上記出口ステーション(24)に関連し、上記出口ステーション(24)に配置されたプレート(12)の欠陥を検出できる検出手段(30)と、
金属又は他の材料を堆積する上記ユニット(20)、上記搬送部材(28)及び位置決め手段(34)を作動するための制御ユニット(36)と、
を備えた装置において、
上記ロードステーション(16)に配置されたプレート(12)を観察して欠陥を検出するのに適した前記検出手段(30)は、前記検出手段(30)が欠陥を見出さなかったプレート(12)上に金属又は他の材料を堆積するように上記金属堆積ユニット(20)を作動することを特徴とする装置。
【請求項８】
上記搬送部材(28)及び位置決め手段(34)は、欠陥のないプレート(12)を上記出口ステーション(24)から第１の放出方向に移動するように作動される、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
上記搬送部材(28)及び位置決め手段(34)は、欠陥のあるプレート(12)を上記出口ステーション(24)から第２の放出方向に移動するように作動される、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記検出手段は、ＴＶカメラ(30)を含む、請求項７に記載の装置。
【請求項１１】
前記検出手段は、一対のＴＶカメラ(30,130)を含み、この一対のＴＶカメラ(30,130)のうちの第１のＴＶカメラ(30)は、上記ロードステーション(16)に関連し、この一対のＴＶカメラ(30,130)のうちの第２のＴＶカメラ(130)は、出口ステーションに関連したものである、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
不純物を除去する手段であって、前記位置決め手段(34)を洗浄するのに適した手段を更に備えた、請求項７から１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
不純物を除去する前記手段は、空気吸引装置を含む、請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は、電子装置及び関連装置用のプレート又はウェハを製造及び制御する方法に関する。
【０００２】
より詳細には、この方法は、金属又は他の材料を、例えば、シルクスクリーン印刷により、例えば、グリーンテープのようなプレート或いはシリコンウェハ又は同様の材料上に堆積するのに適用されるか、或いはこのように形成されたプレート及びウェハの実質的に自動的な方式で他の操作及び制御に適用されるのが好ましいが、それに限定されない。
【発明の背景】
【０００３】
電子装置用のプレートの製造ラインにおける実質的に自動的な製造及び制御方法が知られている。この既知の方法は、通常、印刷ステーションにプレートを位置決める第１のステップを含む。また、この方法は、印刷ユニットにより金属又は他の材料の堆積をプレートに受けさせる第２のステップも含む。
【０００４】
また、この方法は、プレートを印刷ステーションから制御及び出口ステーションへ移動させ、そこで、クラックや微細な割れがないこと及び望ましい配置により金属又は他の材料が正しく堆積されたことの両方を制御するために適合性テストを受ける第３のステップも含む。
【０００５】
また、この方法は、プレートをその後の処理に向けて出口ステーションへ移動させるか、或いはそれが欠陥として識別された場合には、例えば、手で取り除き、適切な容器に集めるか、又は適切な移動手段により材料リサイクル装置に向けて移動させる第４のステップも含む。
【０００６】
この既知の方法の１つの欠点は、プレートが、例えば、微細な割れによる欠陥である為に、破棄予定の場合でも、金属の堆積を受けることである。これは、金属の堆積中に材料及びエネルギーの浪費を生じると共に、欠陥プレート上に堆積するのに必要な時間のために生産性の低下を招く。
【０００７】
この既知の方法の更なる別の欠点は、欠陥プレートを取り除くのに、特定移動手段を使用し、又は収集を行える者を要することである。
【０００８】
本発明の１つの目的は、電子装置用のプレート又はウェハを製造及び制御する方法を、エネルギー及び材料を減少できる完全なものにすることである。
【０００９】
本発明の更に別の目的は、プレート又はウェハ上での金属又は他の材料の堆積の生産性を高めることができるように方法を完全なものにすることである。
【００１０】
本発明の更に別の目的は、欠陥プレートを実質的に自動的に除去できるように方法を完全なものにすることである。
【００１１】
本出願人は、現状技術の欠点を克服し、これら及び他の目的及び効果を得るために、本発明を案出し、テストし、実施した。
【発明の概要】
【００１２】
本発明は、独立請求項に述べられ且つ特徴付けられ、一方、従属請求項は、本発明の他の特徴、又は本発明の主な考え方に対する変形例を述べる。
【００１３】
以上の目的によれば、電子装置用のプレートを製造及び制御する方法は、位置決め手段によりロードステーションにプレートを位置決める第１のステップを含む。
【００１４】
また、この方法は、前記プレートを、金属又は他の材料を堆積するユニットに関連した堆積ステーションへ移動し、金属又は他の材料を堆積するように上記ユニットを作動して、望ましい所定のトポロジー配置に基づき導電性及び非導電性トラックを形成する第２のステップを含む。
【００１５】
また、この方法は、プレートを堆積ステーションから出口ステーションへ移動させ、プレートにおける欠陥の存在を検出するために検出手段を作動させる第３のステップを含む。これは、プレートの支持体の物理的な完全性を検証する目的で、材料の堆積中又は出口ステーションに向かう移動に続いて偶発的に生じ得るクラックを検出する。
【００１６】
また、この方法は、出口ステーションからプレートを放出する第４のステップも含む。
【００１７】
本発明の特性的特徴によれば、第１のステップでは、ロードステーションに位置決められたプレートは、このプレートに欠陥がないことを検証するために検出手段により制御される。このように、移動中に発生し得るプレート構造に生じ得る割れやクラックを前もって検出することができる。第２のステップでは、検出手段がプレート上の欠陥を検出しないときに、金属又は他の材料を堆積するためのユニットが作動される。このように、欠陥プレートへの金属の堆積を禁止することができ、堆積される材料と、プレートへの材料の堆積に関連した作業時間との両方を節約することができる。
【００１８】
また、特性的特徴によれば、第４のステップでは、プレートが欠陥でない場合に、プレートは、位置決め手段によって第１の放出方向に放出される。しかしながら、プレート上に少なくとも１つの欠陥が検出された場合には、プレートは、位置決め手段によって第２の放出方向に放出される。このように、欠陥のないプレートを後の処理に向けて移動するのと同様に、欠陥のあるプレートを、例えば、収集装置に向けて移動して、排除することができる。
【００１９】
更に別の特性的特徴によれば、第４のステップは、出口ステーションからプレートを放出するのに続いて、不純物を除去するために前記位置決め手段を洗浄するサブステップを含む。
【００２０】
変形例によれば、前記洗浄は、吸引手段によって遂行される。
【００２１】
また、本発明は、電子装置用のプレートを製造及び制御する装置であって、プレートのロードステーションと、プレートの出口ステーションと、金属又は他の材料を堆積するための対応ユニットに関連した、金属又は他の材料を堆積するための少なくとも介在ステーションと、を備えた装置にも関する。堆積ユニットは、所定かつ所望のトポロジー配置に基づいてプレート上に金属又は他の材料のトラックを堆積するのに適している。
【００２２】
また、この装置は、ロードステーションから堆積ステーションを通して出口ステーションへプレートを搬送することのできる搬送部材も備えている。
【００２３】
また、この装置は、プレートをロードステーションに位置決め且つプレートを出口ステーションから放出することのできる位置決め手段も備えている。
【００２４】
また、この装置は、上記トラックを生成するために金属又は他の材料が堆積され且つ出口ステーションに配置されたプレートの欠陥を検出できる検出手段も備えている。
【００２５】
この装置は、検出手段に接続されて、金属堆積ユニット、搬送部材及び位置決め手段を作動するのに適した制御ユニットを備えている。
【００２６】
本発明の特性的特徴によれば、検出手段は、ロードステーションに位置決められたプレートの欠陥を検出するのに適している。このように、位置決め手段によるプレートの移動中にプレート構造に生じることのあるクラック及び／又は割れのような欠陥を検出することができる。制御ユニットは、検出手段によりプレート又はウェハに欠陥が検出されない場合に金属堆積ユニットを作動する。
【００２７】
変形例によれば、検出手段は、ＴＶカメラを含む。
【００２８】
更に別の変形例によれば、検出手段は、一対のＴＶカメラを含む。一対のＴＶカメラのうちの第１のＴＶカメラは、ロードステーションに関連し、また、一対のＴＶカメラのうちの第２のＴＶカメラは、出口ステーションに関連したものとされる。
【００２９】
本発明の更に別の特性的特徴によれば、制御ユニットは、欠陥のないプレートを出口ステーションから第１方向に移動するように、搬送部材及び位置決め手段を作動する。このように、欠陥のないプレートを後の処置ラインへ向けることができる。
【００３０】
本発明の更に別の特性的特徴によれば、制御ユニットは、欠陥プレートを出口ステーションから第２方向に移動してプレートを放出できるように、搬送部材及び位置決め手段を作動する。
【００３１】
変形例によれば、この装置は、前記制御ユニットによって作動されて、位置決め手段を洗浄するのに適した不純物除去手段を備えている。
【００３２】
変形例によれば、不純物除去手段は、空気吸引装置を含む。
【００３３】
本発明のこれら及び他の特性は、添付図面を参照して非限定例として与えられた好ましい実施形態の以下の説明から明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明による方法を第１のステップにおいて示す概略図である。
【図２】第１のステップにおける方法の概略図である。
【図３】第２のステップにおける方法の概略図である。
【図４】第３のステップにおける方法の概略図である。
【図５】第４のステップにおける方法の概略図である。
【図６】第２のステップにおいて方法を詳細に示す図である。
【図７】第３のステップにおいて方法を詳細に示す図である。
【図８】第４のステップにおいて方法を詳細に示す図である。
【図９】第４のステップにおいて方法を詳細に示す図である。
【図１０】本発明による装置の概略図である。
【好ましい実施形態の詳細な説明】
【００３５】
添付図面を参照すれば、本発明によりプレートを製造及び制御する方法は、以後ウェハ１２とも称されるプレートに金属又は他の材料を堆積して、望ましいトポロジーに基づきトラックを形成するのに適用することができる。
【００３６】
この方法は、例えば、入口コンベアベルト１４から到来するウェハ１２が、そのベルト１４からロードステーション１６へアンロードされる第１のステップ（図１及び図２）を含む。ウェハ１２は、位置決め手段、例えば、ロードステーション１６に関連したスライドベルト３４により、ロードステーション１６の所定位置に配置される。
【００３７】
第１のステップにおいて、ウェハ１２は、ウェハ１２に生じ得る欠陥を検出するために、制御ユニット３６に関連した第１のＴＶカメラ３０によって検査を受ける（図２）。このような欠陥は、入口ベルト１４におけるウェハの移動に続いて、又はベルト１４からロードステーション１６への移送中に、ウェハのもろい結晶構造に偶発的に生じるクラック及び／又は割れ或いは他のダメージを含む。第１のステップでは、ウェハにおける欠陥の存在は、制御ユニット３６へ信号が送られる。
【００３８】
この方法は、ウェハ１２が、ロードステーション１６から、制御ユニット３６によって作動できる例えばシルクスクリーン印刷による堆積ユニット２０に関連した金属堆積ステーション１８（図３及び図６）へ移送される第２のステップを含む。この第２のステップでは、ウェハ１２に金属を堆積する堆積ユニット２０の作動は、上記第１のステップで堆積ステーション１８に現在位置決められたウェハ１２において欠陥の信号が送られない場合にのみ生じる。逆に、第１のステップで、ＴＶカメラが堆積ステーション１８に配置されたウェハ１２における欠陥の存在の信号を送った場合には、金属堆積ユニット２０が作動されない（図６）。
【００３９】
このように、欠陥ウェハ１２における金属の堆積が禁止されるので、金属材料の浪費を回避すると共に、欠陥ウェハ１２が堆積ステーションに留まる時間を著しく短縮することができる。
【００４０】
この方法は、ウェハが堆積ステーション１８から出口ステーション２４（図４及び図７）へ移動される第３のステップを含む。堆積ユニット２０が第２のステップにおいて作動されず、即ち、第１のステップで出口ステーション２４に配置されたウェハ１２において少なくとも１つの欠陥が検出された場合には、第２のＴＶカメラ１３０は作動されない（図７）。そうではなくて、堆積ユニット２０が第２のステップで作動された場合には、ウェハ１２の欠陥を検出するために第２のＴＶカメラ１３０が作動される（図４）。
【００４１】
この方法は、ウェハ１２が位置決め手段３４により出口ステーション２４から放出される第４のステップを含む。第１又は第３のステップにおいてウェハ１２に欠陥が検出されない場合には、出口ステーション２４（図４及び図５）に配置されたウェハは、位置決め手段３４により、例えば、後の処置に向けて隣接出口コンベアベルト４０へと移送される。第１又は第３のステップにおいて、ウェハ１２に少なくとも１つの欠陥が検出された場合には、出口ステーション２４（図７）に配置されたウェハ１２は、放出ステーションへ移動され、位置決め手段３４により、欠陥ウェハ１２のための隣接収集容器３４に向けて実質的に自動方式で移送される。
【００４２】
また、本発明は、シリコンウェハに金属を堆積するのに適用できる装置１０にも関する。
【００４３】
この装置１０（図１０）は、ウェハ１２のためのロードステーション１６と、出口ステーション２４と、所定の望ましいトポロジー配置に基づいてウェハ１２に金属トラックを堆積するのに適した金属堆積ユニット２０に関連した介在する堆積ステーション１８とを備えている。
【００４４】
この装置１０は、ウェハ１２をロードステーション１６から堆積ステーション１８を通して出口ステーション２４へ搬送するための回転ターレット２８を備えている。
【００４５】
また、装置１０は、ウェハ１２をロードステーション１６に位置決められると共にウェハ１２を出口ステーション２４から出口コンベアベルト４０に向けて放出することのできる既知の形式の位置決めベルト３４も備えている。位置決めベルト３４は、回転ターレット２８に関連される。
【００４６】
また、装置１０は、出口ステーション２４に関連したＴＶカメラ１３０であって、出口ステーション１６に配置されたウェハ１２の欠陥を検出するのに適したＴＶカメラ１３０も備えている。このような欠陥は、ウェハ１２のシリコン構造におけるクラック及び／又は割れ、或いは金属トラックの堆積中又は堆積ステーション１８から出口ステーション２４へのウェハ１２の移動中に生じる欠陥を含む。
【００４７】
また、装置１０は、ＴＶカメラ１３０に接続された制御ユニット３６であって、堆積ユニット２０及び回転ターレット２８並びに位置決めベルト３４を作動するのに適した制御ユニット３６も備えている。
【００４８】
また、特性的特徴によれば、この装置は、ロードステーション１６に関連したＴＶカメラ３０であって、ロードステーション１６に配置されたウェハ１２の欠陥を検出するために制御ユニット３６に接続されたＴＶカメラ３０も備えている。
【００４９】
上述した装置１０は、次のように機能する。
【００５０】
例えば、入口コンベアベルト１４から到来するウェハ１２が、ロードステーション１６へアンロードされ、そこで、位置決めベルト３４により所定の位置に位置決められる。
【００５１】
ウェハ１２は、そこに生じ得る欠陥を識別するためにＴＶカメラ３０による検査を受ける。生じ得る欠陥は、制御ユニット３６へ信号が送られる。
【００５２】
ウェハ１２は、回転ターレット１２によりロードステーション１６から金属堆積ステーション１８へ移送される。ウェハ１２に欠陥が検出されない場合には、堆積ユニット２０が制御ユニット３６により作動される。そうではなくて、ＴＶカメラ３０がウェハ１２における欠陥の存在の信号を送った場合には、金属堆積ユニット２０が作動されない。
【００５３】
このように、欠陥ウェハ１２における金属の堆積が禁止されるので、金属材料の浪費を回避すると共に、欠陥ウェハ１２が堆積ステーションに留まる時間を著しく短縮することができる。
【００５４】
ウェハ１２は、回転ターレット２８により堆積ステーション１８から出口ステーション２４へ移動される（図４及び図７）。
【００５５】
欠陥が検出されなかった場合には、出口ステーション２４に配置されたウェハ１２は、位置決めベルト３４により隣接出口コンベアベルト４０に向かって移送される。
【００５６】
少なくとも１つの欠陥が検出された場合には、出口ステーション２４に配置されたウェハ１２は、回転ターレット２８により放出ステーション２６へ移動され、位置決め手段３４により、欠陥ウェハ１２を収集するための隣接容器に向かって自動方式で移送される。
【００５７】
本発明の分野及び範囲から逸脱せずに、上述した方法及び装置１０に対して部品の変形及び／又は追加をなし得ることが明らかである。例えば、欠陥を検出するための単一ＴＶカメラ３０を、ロードステーション１６に関連した第１の位置と、出口ステーション２４に関連した第２の位置との間で移動可能にすることも、本発明の視野及び範囲内に入る。このＴＶカメラ３０は、既知の形式のスライド手段により移動され、また、方法のステップ及び／又は制御されるウェハ１２の位置と整合した方式で制御ユニット３６によって指令される。
【００５８】
また、本発明は、幾つかの特定の実施例を参照して説明したが、当業者であれば、請求の範囲に記載され、ひいては、それにより規定される保護の範囲に全て入る特性を有する、シリコンウェハの製造及び制御方法並びにその関連装置の多数の他の等価形態が確実に得られることも明らかであろう。
【符号の説明】
【００５９】
１０…装置、１２…ウェハ、１４…入口コンベアベルト、１６…ロードステーション、１８…堆積ステーション、２０…金属堆積ユニット、２４…出口ステーション、２８…回転ターレット、３０…ＴＶカメラ、３４…位置決めベルト、３６…制御ユニット、４０…出口コンベヤベルト、１３０…ＴＶカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2011501457.tif 000008
【図７】
2011501457.tif 000009
【図８】
2011501457.tif 000010
【図９】
2011501457.tif 000011
【図１０】
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【国際調査報告】
2011501457.tif 000013
2011501457.tif 000014