(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を空間変調する複数の領域を有する変調光学素子と、
該変調光学素子により変調される前記照明光の光学特性を調整する調整素子と、
を備え、
前記調整素子は、前記複数の領域の各領域の面積、および、前記各領域により変調された前記照明光の位相および透過率、に基づいて、前記複数の領域を透過した前記照明光の電場が、前記照明光の集光位置において干渉により相殺されるように調整し、
前記照明光は、少なくとも２以上の励起量子状態をもつ物質を安定状態から第１量子状態に励起して発光させるための第１照明光と、前記物質を更に他の量子状態に遷移させて発光を抑制する第２照明光とを有し、
前記第１照明光と前記第２照明光とを一部重ね合わせて前記物質を含む試料に集光する対物レンズを含む照明光学系を、さらに備え、
前記照明光学系に前記変調光学素子および前記調整素子が配置されており、
前記調整素子は、前記照明光の光束径を調整するアイリスからなり、
前記アイリスは、入射する照明光の光軸に対して直交する方向に移動可能である、
顕微鏡。
【請求項２】
照明光を空間変調する複数の領域を有する変調光学素子と、
該変調光学素子により変調される前記照明光の光学特性を調整する調整素子と、
を備え、
前記調整素子は、前記複数の領域の各領域の面積、および、前記各領域により変調された前記照明光の位相および透過率、に基づいて、前記複数の領域を透過した前記照明光の電場が、前記照明光の集光位置において干渉により相殺されるように調整し、
前記照明光は、少なくとも２以上の励起量子状態をもつ物質を安定状態から第１量子状態に励起して発光させるための第１照明光と、前記物質を更に他の量子状態に遷移させて発光を抑制する第２照明光とを有し、
前記第１照明光と前記第２照明光とを一部重ね合わせて前記物質を含む試料に集光する対物レンズを含む照明光学系を、さらに備え、
前記照明光学系に前記変調光学素子および前記調整素子が配置されており、
２種類以上の波長の照明光を発生可能な複数の照明光源を有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記複数の照明光源から同時に発生され、
さらに、前記照明光学系からの前記第１照明光および前記第２照明光の照射により前記試料から発生する光を検出する光検出器と、
該光検出器の入射面側で前記対物レンズの焦点位置と共役な位置に配置された開口が可変の共焦点ピンホールと、
該共焦点ピンホールの前記開口を可変する駆動部と、
前記複数の照明光源を制御して前記第１照明光および前記第２照明光を同時に発生させるとともに、前記第１照明光および前記第２照明光に応じて、前記共焦点ピンホールの前記開口が下式を満たすように、前記駆動部を介して前記開口を制御する制御部と、
を備える、
顕微鏡。
【数２】
0005771422.tif 000011
NA：対物レンズの開口数
M：対物側の集光像に対する光検出器側の倍率
lp：第１照明光波長
le：第２照明光波長
sdip：蛍光抑制断面積
Ce0：第２照明光のピーク強度
ee：第２照明光のフォトンフラックス
【請求項３】
前記調整素子は、前記各領域の前記面積、前記透過率および前記位相の積が相殺されるように調整する、請求項１又は２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記調整素子は、前記変調光学素子により空間変調された前記照明光の瞳面内における前記複数の領域に対応する各領域ｉの面積をＳi、当該領域ｉを通過した光の位相をθi、透過率をＴi、エネルギー密度をＵiとするとき、以下の関係式を満たすように調整する、請求項３に記載の顕微鏡。
【数１】
0005771422.tif 000012
【請求項５】
前記変調光学素子は、前記複数の領域として、光軸を中心として動径方向に分割された領域を含む、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項６】
前記変調光学素子における前記複数の領域は、光軸を挟んで位置する領域ａおよび領域ｂにおける透過率をそれぞれＴaおよびＴbとし、面積をそれぞれＳaおよびＳbとし、位相をそれぞれθaおよびθbとするとき、
ＴaＳasinθa＋ＴbＳbsinθb＝０
を満たす、請求項５に記載の顕微鏡。
【請求項７】
前記領域ａおよび前記領域ｂの面積が等しい、請求項６に記載の顕微鏡。
【請求項８】
前記変調光学素子は、前記複数の領域として、同心円状に分割された領域を含む、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項９】
前記変調光学素子は、前記第２照明光を位相変調する、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項１０】
前記変調光学素子は、前記第１照明光を電場の符号を変えずに透過させる、請求項９に記載の顕微鏡。
【請求項１１】
前記変調光学素子は、光学多層膜を備える、請求項１０に記載の顕微鏡。
【請求項１２】
前記照明光学系は、前記第１照明光の光軸と前記第２照明光の光軸とを空間的に一致させて重ね合わせる、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項１３】
前記照明光学系は、シングルモードファイバを有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記シングルモードファイバを経て前記変調光学素子および前記調整素子に入射される、請求項１２に記載の顕微鏡。
【請求項１４】
前記調整素子は、前記照明光の光束径を調整するアイリスからなる、請求項２に記載の顕微鏡。
【請求項１５】
前記アイリスは、入射する照明光の光軸に対して直交する方向に移動可能である、請求項１４に記載の顕微鏡。
【請求項１６】
２種類以上の波長の照明光を発生可能な複数の照明光源を有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記複数の照明光源から同時に発生される、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項１７】
前記変調光学素子は、前記複数の領域の各領域間の透過率が異なる、請求項１乃至１６のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項１８】
前記調整素子は、前記変調光学素子を透過した前記照明光において、前記変調光学素子の前記複数の領域間で、前記照明光の光軸を中心として透過率および位相の少なくとも一つの非対称成分が相殺されるように調整する、請求項１乃至１７のいずれか一項に記載の顕微鏡。
【請求項１９】
前記調整素子は、前記透過率を補償する素子である、請求項１８に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学顕微鏡の技術は古く、種々のタイプの顕微鏡が開発されてきた。また、近年では、レーザ技術および電子画像技術をはじめとする周辺技術の進歩により、さらに高機能の顕微鏡システムが開発されている。
【０００３】
このような背景の中、複数波長の光で試料を照明して二重共鳴吸収過程を誘導することにより、得られる画像のコントラストの制御のみならず化学分析も可能にした高機能な顕微鏡が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この顕微鏡は、二重共鳴吸収を用いて特定の分子を選択して、特定の光学遷移に起因する吸収および蛍光を観察するものである。この原理について、図１９〜図２２を参照して説明する。図１９は、試料を構成する分子の価電子軌道の電子構造を示すもので、先ず、図１９に示す基底状態（Ｓ０状態：安定状態）の分子がもつ価電子軌道の電子を波長λ１の光により励起して、図２０に示す第１励起状態（Ｓ１状態）とする。次に、別の波長λ２の光により同様に励起して、図２１に示す第２励起状態（Ｓ２状態）とする。この励起状態により、分子は蛍光あるいは燐光を発光して、図２２に示すように基底状態に戻る。
【０００４】
二重共鳴吸収過程を用いた顕微鏡法では、図２１の吸収過程や図２２の蛍光や燐光の発光を用いて、吸収像や発光像を観察する。この顕微鏡法では、最初にレーザ光等により共鳴波長λ１の光で図２０のように試料を構成する分子をＳ１状態に励起させるが、この際、単位体積内でのＳ１状態の分子数は、照射する光の強度が増加するに従って増加する。
【０００５】
ここで、線吸収係数は、分子一個当りの吸収断面積と単位体積当たりの分子数との積で与えられるので、図２１のような励起過程においては、続いて照射する共鳴波長λ２に対する線吸収係数は、最初に照射した波長λ１の光の強度に依存することになる。すなわち、波長λ２に対する線吸収係数は、波長λ１の光の強度で制御できることになる。このことは、波長λ１および波長λ２の２波長の光で試料を照射し、波長λ２による透過像を撮影すれば、透過像のコントラストは波長λ１の光で完全に制御できることを示している。
【０００６】
また、図２１の励起状態から図２２に示す基底状態への蛍光または燐光による脱励起過程が可能である場合、その発光強度はＳ１状態にある分子数に比例する。したがって、蛍光顕微鏡として利用する場合にも画像コントラストの制御が可能となる。
【０００７】
さらに、二重共鳴吸収過程を用いた顕微鏡法は、上記の画像コントラストの制御のみならず、化学分析も可能である。すなわち、図１９に示す最外殻価電子軌道は、各々の分子に固有のエネルギー準位を持つので、波長λ１は分子によって異なることになり、同時に波長λ２も分子固有のものとなる。
【０００８】
ここで、従来の単一波長で試料を照明する場合でも、ある程度特定の分子の吸収像あるいは蛍光像を観察することが可能である。しかし、一般に、いくつかの分子は、吸収帯の波長領域が重複するため、単一波長で試料を照明する場合には、試料の化学組成の正確な同定までは不可能である。
【０００９】
これに対し、二重共鳴吸収過程を用いた顕微鏡法では、波長λ１および波長λ２の２波長により吸収あるいは発光する分子を限定するので、従来法よりも正確な試料の化学組成の同定が可能となる。また、価電子を励起する場合、分子軸に対して特定の電場ベクトルをもつ光のみが強く吸収されるので、波長λ１および波長λ２の偏光方向を決めて吸収または蛍光像を撮影すれば、同じ分子でも配向方向の同定まで可能となる。
【００１０】
また、最近では、二重共鳴吸収過程を用いて回折限界を超える高い空間分解能をもつ蛍光顕微鏡も提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１１】
図２３は、分子における二重共鳴吸収過程の概念図で、基底状態Ｓ０の分子が、波長λ１の光で第１励起状態Ｓ１に励起され、さらに波長λ２の光で第２励起状態Ｓ２に励起されている様子を示している。なお、図２３は、ある種の分子のＳ２状態からの蛍光が極めて弱いことを示している。
【００１２】
図２３に示すような光学的性質を持つ分子の場合には、極めて興味深い現象が起きる。図２４は、図２３と同じく二重共鳴吸収過程の概念図で、横軸のＸ軸は空間的距離の広がりを表わし、波長λ２の光を照射した空間領域Ａ１と波長λ２の光が照射されない空間領域Ａ０とを示している。
【００１３】
図２４において、空間領域Ａ０では波長λ１の光の励起によりＳ１状態の分子が多数生成され、その際に空間領域Ａ０からは波長λ３で発光する蛍光が見られる。しかし、空間領域Ａ１では、波長λ２の光を照射したため、第１励起状態Ｓ１の分子のほとんどが即座に高位の第２励起状態Ｓ２に励起されて、第１励起状態Ｓ１の分子は存在しなくなる。このような現象は、幾つかの分子により確認されている。これにより、空間領域Ａ１では、波長λ３の蛍光は完全になくなり、しかも第２励起状態Ｓ２からの蛍光はもともとないので、空間領域Ａ１では完全に蛍光自体が抑制され（蛍光抑制効果）、空間領域Ａ０からのみ蛍光が発することになる。
【００１４】
さらに、波長λ２が蛍光発光帯域と重複するときは、誘導放出過程により分子は第１励起状態Ｓ1から基底状態Ｓ０の高位の振動準位に強制的に遷移するので、蛍光抑制効果はさらに増強される。言い換えると、波長λ２の光の照射により第１励起状態Ｓ１から発光する蛍光収率は低くなる。したがって、量子準位に強制的に分子を遷移させれば、蛍光抑制効果が発現する。このような物質として、フォトクロミック性の分子や、希土類を含む蛍光体、量子ドットなどがある。
【００１５】
このような現象は、顕微鏡の応用分野から考察すると、極めて重要な意味を持っている。すなわち、従来の走査型レーザ顕微鏡等では、レーザ光を集光レンズによりマイクロビームに集光して観察試料上を走査するが、その際のマイクロビームのサイズは、集光レンズの開口数と波長とで決まる回折限界となり、原理的にそれ以上の空間分解能は期待できない。
【００１６】
ところが、図２４の場合には、波長λ１と波長λ２との２種類の光を、空間的に一部重ね合わせて蛍光領域を抑制するので、例えば波長λ１の光の照射領域に着目すると、蛍光領域を集光レンズの開口数と波長とで決まる回折限界よりも狭くでき、実質的に空間分解能を向上させることが可能となる。したがって、この原理を利用することで、回折限界を超える二重共鳴吸収過程を利用した超解像顕微鏡、例えば超解像蛍光顕微鏡を実現することが可能となる。
【００１７】
例えば、ローダミン６Ｇ色素を用いた場合、波長５３２ｎｍの光（ポンプ光；第１照明光）を照射すると、ローダミン６Ｇ分子は、基底状態Ｓ０から第１励起状態Ｓ１へ励起されて波長５６０ｎｍにピークを有する蛍光を発光する。この際、波長５９９ｎｍの光（イレース光；第２照明光）を照射すると、二重共鳴吸収過程が起こって、ローダミン６Ｇ分子は蛍光発光がしにくい第２励起状態Ｓ２に遷移する。すなわち、これらのポンプ光とイレース光とをローダミン６Ｇに同時に照射すると蛍光が抑制されることになる。
【００１８】
図２５は、従来提案されている超解像顕微鏡の要部構成図である。この超解像顕微鏡は、通常のレーザ走査型蛍光顕微鏡を前提としたもので、主に３つの独立したユニット、すなわち、光源ユニット２１０、スキャンユニット２３０および顕微鏡ユニット２５０からなっている。
【００１９】
光源ユニット２１０は、ポンプ光用光源２１１およびイレース光用光源２１２を有する。ポンプ光用光源２１１から射出されるポンプ光は、ダイクロイックプリズム２１３に入射され、該ダイクロイックプリズム２１３で反射されて射出される。イレース光用光源２１２から射出されるイレース光は、変調光学素子２１５により位相が空間変調されてダイクロイックプリズム２１３に入射され、該ダイクロイックプリズム２１３を透過して、ポンプ光と同軸上に合成されて射出される。
【００２０】
ここで、ローダミン６Ｇ色素で染色された試料を観察する場合には、ポンプ光用光源２１１は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザを用い、その２倍高調波である波長５３２ｎｍの光をポンプ光として射出するように構成される。また、イレース光用光源２１２は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザとラマンシフタとを用い、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの２倍高調波をラマンシフタで波長５９９ｎｍに変換した光をイレース光として射出するように構成される。
【００２１】
変調光学素子２１５は、イレース光の位相を変調するもので、例えば図２６に示すように、瞳面を光軸を中心に動径方向に分割された８領域を有する。各領域は、イレース光の位相差が光軸周りに２πで周回するように、イレース光波長に対してλ／８ずつ位相を異ならせて光学多層膜を形成したり、あるいはガラス基板をエッチングしたりして形成される。この変調光学素子２１５を通過したイレース光を集光すると、光軸上で電場が相殺された中空状のイレース光が生成される。
【００２２】
スキャンユニット２３０は、光源ユニット２１０から同軸で射出されるポンプ光およびイレース光を、ハーフプリズム２３１を通過させた後、２枚のガルバノミラー２３２および２３３により２次元方向に揺動走査して、後述の顕微鏡ユニット２５０に射出させる。また、スキャンユニット２３０は、顕微鏡ユニット２５０から入射する蛍光を、往路と逆の経路を辿ってハーフプリズム２３１で分岐し、その分岐された蛍光を投影レンズ２３４、ピンホール２３５、ノッチフィルタ２３６および２３７を経て光電子増倍管２３８で受光するようになっている。
【００２３】
図２５は、図面を簡略化するため、ガルバノミラー２３２，２３３を同一平面内で揺動可能に示している。なお、ノッチフィルタ２３６および２３７は、蛍光に混入したポンプ光およびイレース光を除去するものである。また、ピンホール２３５は、共焦点光学系を成す重要な光学素子で、観察試料内の特定の断層面で発光した蛍光のみを通過させるものである。
【００２４】
顕微鏡ユニット２５０は、いわゆる通常の蛍光顕微鏡で、スキャンユニット２３０から入射するポンプ光およびイレース光をハーフプリズム２５１で反射させて、顕微鏡対物レンズ２５２により少なくとも基底状態を含む３つの電子状態を有する分子を含む観察試料２５３上に集光させる。また、観察試料２５３で発光した蛍光は、再び顕微鏡対物レンズ２５２でコリメートしてハーフプリズム２５１で反射させることにより、再び、スキャンユニット２３０に戻すとともに、ハーフプリズム２５１を通過する蛍光の一部は接眼レンズ２５４に導いて、蛍光像として目視観察できるようにしている。
【００２５】
この超解像顕微鏡によると、観察試料２５３の集光点上においてイレース光の強度がゼロとなる光軸近傍以外の蛍光が抑制されて、結果的にポンプ光の広がりより狭い領域に存在する蛍光ラベラー分子のみを計測できる。したがって、各計測点の蛍光信号をコンピュータ上で２次元的に配列すれば、回折限界の空間分解能を上回る解像度を有する顕微鏡画像を形成することが可能となる。
【００２６】
なお、変調光学素子は、イレース光の偏光を変調して光軸上で電場が相殺された中空状のイレース光が生成されるように構成される場合もある（例えば、非特許文献１参照）。また、変調光学素子は、ポンプ光とイレース光との共通光路に配置される場合もある（例えば、特許文献３参照）。この場合、変調光学素子は、例えば、同心円状に分割された中央部領域と周辺部領域とを有する輪帯状に形成される。中央部領域は、ガラス等の透明な光学基板上に形成された光学多層膜を有し、ポンプ光は反射させ、イレース光は位相をπ反転させて透過させる。周辺部領域は、例えば光学基板からなり、ポンプ光およびイレース光を位相変調することなく透過させる。あるいは、変調光学素子は、光軸を中心に動径方向に分割された複数の領域を有し、各領域はポンプ光に対しては同相で透過させ、イレースに対しては位相分布が２πで周回するラゲール・ガウシアンビームとなるように位相変調する光学多層膜で構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２７】
【特許文献１】特開平８−１８４５５２号公報
【特許文献２】特開２００１−１００１０２号公報
【特許文献３】特開２０１０−１５０２６号公報
【非特許文献】
【００２８】
【非特許文献１】Y.Iketaki,et.al,Rev.Sci.Instrum.75(2004)5131）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
ところが、本発明者による実験検討によると、従来の超解像顕微鏡には、さらなる改良点があることが判明した。すなわち、超解像顕微鏡では、焦点面上でイレース光の中空ビームを形成する必要がある。そのため、変調光学素子を用いて焦点または光軸上でイレース光の電場を完全に相殺するようにしている。その際、従来の超解像顕微鏡においては、変調光学素子によりイレース光の位相や偏光を変調しても、透過率のロスは無いことを前提としている。また、顕微鏡光学系の他の領域で発生するイレース光の吸収効果や、変調光学素子自体の製作誤差も無視している。
【００３０】
しかしながら、例えば、光学多層膜を有する変調光学素子を用いた場合、設計値通りに位相を変調できたとしても、光学多層膜の透過率は通常１００％とならない。その結果、光軸の周りに分割された複数の領域を有する変調光学素子の場合は、領域毎に透過率が異なることになる。また、輪帯状の領域を有する変調光学素子の場合は、中央部領域と周辺部領域とで透過率が異なることになる。しかも、いずれの場合も、顕微鏡光学系の他の領域で発生するイレース光の吸収効果は、補償されない。
【００３１】
そのため、このような変調光学素子を通過したイレース光を集光しても、光軸上で電場が完全には相殺されない。その結果、集光したビームスポットの形状は、残留電場によって、光軸対称とならず、歪んだ形状となって、期待する超解像機能が得られなくなることが想定される。具体的には、光軸を含む中央部での蛍光が抑制されて、蛍光信号自体の強度が低下し、Ｓ／Ｎが悪くなる。さらには、蛍光抑制後の蛍光スポットの形状が崩れて、蛍光画像の画質が劣化することが想定される。
【００３２】
本発明者は、種々の実験により鋭意検討したところ、上記の残留電場が生じる主たる要因は、変調光学素子によってイレース光をビーム整形する際あるいはイレース光が顕微鏡を通過する際に、干渉や吸収といった実効的な透過率の低下を全く考慮せずに顕微鏡を設計していること、また、変調光学素子自体に製作誤差があること、にあることを見出した。
【００３３】
なお、変調光学素子を用いる場合の同様の現象は、上述した二色の光を用いる超解像顕微鏡に限らず、一色の光を用いる顕微鏡、例えば一色の光を変調光学素子により位相変調してマルチスポットを形成する顕微鏡、変調光学素子により中空型の照明光を生成して位相差の微分量を検出する微分干渉顕微鏡、フレネルゾーンプレート等からなる変調光学素子を用いる位相差検出型の軟Ｘ線顕微鏡等にも生じることがある。
【００３４】
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、焦点面上に所望の形状のビームスポットを形成できる顕微鏡を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００３５】
上記目的を達成する第１の観点に係る顕微鏡の発明は、
照明光を空間変調する複数の領域を有する変調光学素子と、
該変調光学素子により変調される前記照明光の光学特性を調整する調整素子と、
を備え、
前記調整素子は、前記複数の領域の各領域の面積、および、前記各領域により変調された前記照明光の位相および透過率、に基づいて、前記複数の領域を透過した前記照明光の電場が、前記照明光の集光位置において干渉により相殺されるように調整し、
前記照明光は、少なくとも２以上の励起量子状態をもつ物質を安定状態から第１量子状態に励起して発光させるための第１照明光と、前記物質を更に他の量子状態に遷移させて発光を抑制する第２照明光とを有し、
前記第１照明光と前記第２照明光とを一部重ね合わせて前記物質を含む試料に集光する対物レンズを含む照明光学系を、さらに備え、
前記照明光学系に前記変調光学素子および前記調整素子が配置されており、
前記調整素子は、前記照明光の光束径を調整するアイリスからなり、
前記アイリスは、入射する照明光の光軸に対して直交する方向に移動可能である、ことを特徴とするものである。
【００３６】
さらに、上記目的を達成する第２の観点に係る顕微鏡の発明は、
照明光を空間変調する複数の領域を有する変調光学素子と、
該変調光学素子により変調される前記照明光の光学特性を調整する調整素子と、
を備え、
前記調整素子は、前記複数の領域の各領域の面積、および、前記各領域により変調された前記照明光の位相および透過率、に基づいて、前記複数の領域を透過した前記照明光の電場が、前記照明光の集光位置において干渉により相殺されるように調整し、
前記照明光は、少なくとも２以上の励起量子状態をもつ物質を安定状態から第１量子状態に励起して発光させるための第１照明光と、前記物質を更に他の量子状態に遷移させて発光を抑制する第２照明光とを有し、
前記第１照明光と前記第２照明光とを一部重ね合わせて前記物質を含む試料に集光する対物レンズを含む照明光学系を、さらに備え、
前記照明光学系に前記変調光学素子および前記調整素子が配置されており、
２種類以上の波長の照明光を発生可能な複数の照明光源を有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記複数の照明光源から同時に発生され、
さらに、前記照明光学系からの前記第１照明光および前記第２照明光の照射により前記試料から発生する光を検出する光検出器と、
該光検出器の入射面側で前記対物レンズの焦点位置と共役な位置に配置された開口が可変の共焦点ピンホールと、
該共焦点ピンホールの前記開口を可変する駆動部と、
前記複数の照明光源を制御して前記第１照明光および前記第２照明光を同時に発生させるとともに、前記第１照明光および前記第２照明光に応じて、前記共焦点ピンホールの前記開口が下式を満たすように、前記駆動部を介して前記開口を制御する制御部と、
を備える、ことを特徴とするものである。
【数２】
0005771422.tif 000002
NA：対物レンズの開口数
M：対物側の集光像に対する光検出器側の倍率
lp：第１照明光波長
le：第２照明光波長
sdip：蛍光抑制断面積
Ce0：第２照明光のピーク強度
ee：第２照明光のフォトンフラックス
第３の観点に係る発明は、第１または２の観点に係る顕微鏡において、
前記調整素子は、前記各領域の前記面積、前記透過率および前記位相の積が相殺されるように調整する、ことを特徴とするものである。
【００３７】
第４の観点に係る発明は、第３の観点に係る顕微鏡において、
前記調整素子は、前記変調光学素子により空間変調された前記照明光の瞳面内における前記複数の領域に対応する各領域ｉの面積をＳi、当該領域ｉを通過した光の位相をθi、透過率をＴi、エネルギー密度をＵiとするとき、以下の関係式を満たすように調整する、ことを特徴とするものである。
【数１】
0005771422.tif 000003
【００３９】
第５の観点に係る発明は、第１乃至４のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、前記複数の領域として、光軸を中心として動径方向に分割された領域を含む、ことを特徴とするものである。
【００４０】
第６の観点に係る発明は、第５の観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子における前記複数の領域は、光軸を挟んで位置する領域ａおよび領域ｂにおける透過率をそれぞれＴａおよびＴｂとし、面積をそれぞれＳａおよびＳｂとし、位相をそれぞれθａおよびθｂとするとき、
ＴａＳａsinθａ＋ＴｂＳｂsinθｂ＝０
を満たす、ことを特徴とするものである。
【００４１】
第７の観点に係る発明は、第６の観点に係る顕微鏡において、
前記領域ａおよび前記領域ｂの面積が等しい、ことを特徴とするものである。
【００４２】
第８の観点に係る発明は、第１乃至７のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、前記複数の領域として、同心円状に分割された領域を含む、ことを特徴とするものである。
【００４４】
第９の観点に係る発明は、第１〜８のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、前記第２照明光を位相変調する、ことを特徴とするものである。
【００４５】
第１０の観点に係る発明は、第９の観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、前記第１照明光を電場の符号を変えずに透過させるものである、ことを特徴とするものである。
【００４６】
第１１の観点に係る発明は、第１０の観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、光学多層膜を備える、ことを特徴とするものである。
【００４７】
第１２の観点に係る発明は、第１〜１１のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記照明光学系は、前記第１照明光の光軸と前記第２照明光の光軸とを空間的に一致させて重ね合わせる、ことを特徴とするものである。
【００４８】
第１３の観点に係る発明は、第１２の観点に係る顕微鏡において、
前記照明光学系は、シングルモードファイバを有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記シングルモードファイバを経て前記変調光学素子および前記調整素子に入射される、ことを特徴とするものである。
【００４９】
第１４の観点に係る発明は、第２の観点に係る顕微鏡において、
前記調整素子は、前記照明光の光束径を調整するアイリスからなる、ことを特徴とするものである。
【００５０】
第１５の観点に係る発明は、第１４の観点に係る顕微鏡において、
前記アイリスは、入射する照明光の光軸に対して直交する方向に移動可能である、ことを特徴とするものである。
【００５１】
第１６の観点に係る発明は、第１の観点に係る顕微鏡において、
２種類以上の波長の照明光を発生可能な複数の照明光源を有し、
前記第１照明光および前記第２照明光は、前記複数の照明光源から同時に発生される、ことを特徴とするものである。
【００５２】
第１７の観点に係る発明は、第１乃至１６のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記変調光学素子は、前記複数の領域の各領域間の透過率が異なる、ことを特徴とするものである。
第１８の観点に係る発明は、第１乃至１７のいずれかの観点に係る顕微鏡において、
前記調整素子は、前記変調光学素子を透過した前記照明光において、前記変調光学素子の前記複数の領域間で、前記照明光の光軸を中心として透過率および位相の少なくとも一つの非対称成分が相殺されるように調整する、ことを特徴とするものである。
第１９の観点に係る発明は、第１８の観点に係る顕微鏡において、
前記調整素子は、前記透過率を補償する素子である、ことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００５３】
本発明によれば、変調光学素子により変調される照明光の光学特性を調整素子により調整するので、焦点面上に所望の形状のビームスポットを形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】変調光学素子および調整素子の一例を示す図である。
【図２】変調光学素子の他の例を示す図である。
【図３】軟Ｘ線用の変調光学素子と調整素子との一例を示す図である。
【図４】本発明の第１実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。
【図５】図４の超解像顕微鏡に使用可能な変調光学素子の他の三つの例を示す図である。
【図６】図５の変調光学素子を使用した場合に焦点を含む前後において形成されるビームの強度分布を示す図である。
【図７】本発明の第２実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。
【図８】本発明の第３実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。
【図９】第３実施の形態で使用可能なバンドパスフィルタの一例を説明するための図である。
【図１０】第３実施の形態で使用可能なバンドパスフィルタの他の例を説明するための図である。
【図１１】第３実施の形態の変形例を示す部分構成図である。
【図１２】図１１に示した回転フィルタを説明するための図である。
【図１３】本発明の第４実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。
【図１４】共焦点顕微鏡の基本的構成を示す模式図である。
【図１５】各種顕微鏡の点像分布関数を比較して示す図である。
【図１６】各種顕微鏡の回折限界サイズのコントラスト伝達関数を説明するための図である。
【図１７】本発明による変調光学素子の調整態様の一変形例を説明するための図である。
【図１８】本発明による変調光学素子の調整態様の他の変形例を説明するための図である。
【図１９】試料を構成する分子の価電子軌道の電子構造を示す概念図である。
【図２０】図１９に示す分子の第１励起状態を示す概念図である。
【図２１】図１９に示す分子の第２励起状態を示す概念図である。
【図２２】図１９に示す分子が第２励起状態から基底状態に戻る状態を概念的に示す図である。
【図２３】分子における二重共鳴吸収過程を説明するための概念図である。
【図２４】分子における二重共鳴吸収過程を説明するための概念図である。
【図２５】従来の超解像顕微鏡の要部構成図である。
【図２６】図２５に示す位相板の構成を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５５】
（本発明の概要）
先ず、本発明の概要について、２色光を用いた物質からの発光を抑制して超解像を実現する発光抑制型の超解像顕微鏡を例にとって説明する。
【００５６】
本発明の一実施の形態においては、超解像顕微鏡のイレース光の照明光学系において、変調光学素子により瞳面内で変調されたイレース光の強度分布を均一に保つようにイレース光の光学特性を調整する。
【００５７】
その第１の効果的対策として、イレース光の強度分布を補正する振幅変調素子を設ける。図１は、変調光学素子および調整素子の一例を示す図である。この変調光学素子１は、イレース光に対して位相（位相分布）が光軸周りに２πで周回するように、動径方向に分割（図１では８分割）された複数の光学多層膜領域を有する。変調光学素子１は、イレース光の光路、あるいはポンプ光とイレース光との共通光路に配置され、これによりイレース光の位相または偏光を変調する。
【００５８】
かかる変調光学素子１を用いる場合は、例えば、変調光学素子１の入射面側または射出面側（図１では入射面側）に調整素子である透過率補償プレート２を配置する。透過率補償プレート２には、光軸を中心とする動径方向に分割（図１では６分割）されたイレース光の吸収層からなる複数の透過率補償領域が形成される。なお、この透過率補償領域を構成する吸収層は、単層または多層膜で形成される。
【００５９】
これにより、変調光学素子１から後段の光学素子（図示せず）に入射されるイレース光の瞳面内の振幅が均一になるように、変調光学素子１の各光学多層膜領域の透過率を、透過率補償プレート２の対応する透過率補償領域により制御する。あるいは、変調光学素子１の各光学多層膜領域は、一般に層数が多い程、透過率が低くなるので、層数に応じて、変調光学素子の基板に、透過率を均一にする吸収層を各光学多層膜領域に同時にコートする。この場合、透過率補償プレート２は、変調光学素子１に一体化されたものとなる。
【００６０】
第２の効果的対策として、変調光学素子により変調する位相、振幅、変調領域の面積を総合的に考慮して、瞳面内を通過したイレース光が焦点に集光した際に、干渉により電場を相殺する。すなわち、変調光学素子がイレース光の瞳面を複数ｎ個の領域に分割する場合、各領域ｉの面積をＳｉ、位相をθｉ、透過率をＴｉ、エネルギー密度をＵｉとすると、下記の関係式を満たすようにする。
【００６１】
【数３】
0005771422.tif 000004
【００６２】
上式から明らかなように、変調光学素子の各領域ｉは、透過率Ｔｉ、面積Ｓｉおよび位相θｉが設計パラメータとなっている。したがって、従来の超解像顕微鏡におけるように、変調光学素子の透過率が１であることを前提とする場合と比較して、顕微鏡設計の自由度が広くなる。これにより、例えば、変調光学素子の光学多層膜で透過率が低下する場合は、その低下分を当該領域の面積で調整でき、また、透過率が低下する場合は当該領域の位相変化量で補償することが可能となる。
【００６３】
この対策は、特に、図２に示すような変調光学素子１０に有効である。図２に示す変調光学素子１０は、同心円状に分割されて形成された輪帯状の中央部領域１１と周辺部領域１２とを有し、ポンプ光とイレース光との共通光路に配置される。中央部領域１１は、ガラス等の透明な光学基板上に形成された光学多層膜で構成され、波長λ１のポンプ光は反射させ、波長λ２のイレース光は位相をπ反転させて透過させる。周辺部領域１２は、例えば光学基板からなり、ポンプ光およびイレース光を位相変調することなく透過させる。
【００６４】
この変調光学素子１０の場合は、下式を満たすようにする。これにより、変調光学素子１０を通過したコヒーレントなイレース光を重ね合わせたときに、焦点においてイレース光の電場強度をゼロとすることができる。なお、下式において、Ｔａ、Ｓａ、θａは、それぞれ中央部領域１１の透過率、面積および位相を示し、Ｔｂ、Ｓｂ、θｂは、それぞれ周辺部領域１２の透過率、面積および位相を示す。
【００６５】
ＴａＳａsinθａ＋ＴｂＳｂsinθｂ＝０  ・・・（２）
【００６６】
また、図１に示した変調光学素子１のように、光軸周りに複数分割された光学多層膜領域を有する場合においても、光軸を挟んで位置する光学多層膜領域の透過率、面積および位相をそれぞれＴａ、Ｓａ、θａおよびＴｂ、Ｓｂ、θｂとして、上記式（２）を満たすようにする。なお、図１に示した変調光学素子１において、光軸を挟んで位置する光学多層膜領域の面積が等しい場合は、下記の式（３）を満たすようにする。これにより、同様に、焦点においてイレース光の電場強度をゼロとすることができる。
【００６７】
Ｔａsinθａ＋Ｔｂsinθｂ＝０  ・・・（３）
【００６８】
このように、変調光学素子の設計パラメータが多くなることにより、多様でフレキシブルな設計が可能となり、実際の現場における製作誤差の許容範囲を広くできる。その結果、例えば、光学多層膜の材質の選定範囲を広くすることができる。
【００６９】
また、２色光を用いた発光抑制型の超解像顕微鏡の場合は、一般に２色の照明光の光軸調整が極めて難しい。すなわち、この場合は、２色の照明光を完全に同軸に一致させ、しかも収差無く同じ焦点に結像するように、照明光学系をアライメントする必要がある。その解決策として、例えば、ポンプ光とイレース光とをシングルモードファイバにより予め同軸にして変調光学素子に同時に入射させ、該変調光学素子によりイレース光のみを中空状にビーム整形されるように位相変調し、ポンプ光については、少なくとも瞳面内で電場の符号が同じ、つまり符号を変えずに透過させて、通常のガウシアン形状で集光されるような位相分布とするのが有効である。
【００７０】
このようにすれば、変調光学素子を経たポンプ光およびイレース光を集光させることにより、図２５に示したように、イレース光をビーム整形した後、ポンプ光と光軸調整して集光させる場合と比較して、超解像機能が発現する結像条件を容易に実現することが可能となる。すなわち、図２５の場合は、イレース光をビーム整形後、ポンプ光と同時に調整するため、光軸合わせのためのミラー光学系の調整に高度な技術が要求され、しかも調整後の安定も良くない。これに対し、上記のようにポンプ光とイレース光とをシングルモードファイバを用いて予め同軸にして、変調光学素子および集光光学系を経て集光させるようにすれば、ポンプ光とイレース光とを簡単に同軸にでき、しかも軸ずれなく安定して集光させることが可能となる。
【００７１】
また、ポンプ光とイレース光とを同軸にして変調光学素子に同時に入射させる場合、変調光学素子は、光学多層膜を用いて、例えば、図１あるいは図２に示したように作製することが可能である。その際、各領域の透過率が異なる場合は、式（１）が極めて有効となる。すなわち、各領域の透過率の変動を位相差または面積で間単に補償することが可能となる。したがって、本発明によると、変調光学素子を用いる顕微鏡の実用化にあたって、極めて広い融通性が得られ、焦点面上に所望の形状のビームスポットを容易に形成することが可能となる。
【００７２】
以上、２色光を用いた発光抑制型の超解像顕微鏡に本発明を適用した場合について説明したが、本発明は単色のコヒーレント光を使用する顕微鏡にも有効に適用することができる。例えば、一色の光を変調光学素子により位相変調してマルチスポットを形成する顕微鏡に適用して、所望の形状のマルチスポットを形成することができる。また、中空型の照明光を生成して位相差の微分量を検出する微分干渉顕微鏡や、位相差検出型の軟Ｘ線顕微鏡(例えば、N. Borkor, Opt. Express 17(2009)5533参照)等に適用して、所望の形状のスポットを形成することができる。
【００７３】
特に、後者の軟Ｘ線顕微鏡の場合は、例えば、図３に示すように、スパイラル型のフレネルゾーンプレート２０からなる変調光学素子と、図１に示したような光軸回りに複数分割された透過率補償プレート２１からなる吸収フィルタとを組み合わせることにより、フレネルゾーンプレート２０の軟Ｘ線の透過率を補償して、所望の形状の軟Ｘ線スポットを形成することができる。
【００７４】
以下、本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
【００７５】
（第１実施の形態）
図４は、本発明の第１実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。この超解像顕微鏡は、２色光を用いる発光抑制型のもので、ポンプ光光源３１と、イレース光光源３２とを有する。ポンプ光光源３１は、例えばNd:YAGレーザを備え、その２倍高調波である波長532nmの光をポンプ光として射出する。また、イレース光光源３２は、例えばクリプトンレーザを備え、その発振波長647nmの光をイレース光として射出する。
【００７６】
ポンプ光光源３１からのポンプ光は、必要に応じてＡＯＭ（Acousto-Optic Modulator）３３で強度変調された後、反射ミラー３４で反射され、さらにダイクロイックミラー３５を透過する。また、イレース光光源３２からのイレース光は、同様に、必要に応じてＡＯＭ３６で強度変調された後、ダイクロイックミラー３５で、ポンプ光と同軸に反射されて、ポンプ光とコンバインされる。
【００７７】
ダイクロイックミラー３５によりコンバインされたポンプ光およびイレース光は、調整素子であるアイリス３７を経て変調光学素子３８に入射される。アイリス３７は、コンバインされたポンプ光およびイレース光の光束径を調整可能に構成される。また、アイリス３７は、必要に応じて、光軸と直交する面内で変位可能に構成される。これにより、コンバインされたポンプ光およびイレース光の光軸を偏心（光軸シフト）させる。
【００７８】
変調光学素子３８は、例えば、図２に示したように、輪帯状に形成された中央部領域と周辺部領域とを有して構成される。この場合、変調光学素子３８の中央部領域は、例えば、光学基板上に下表に示す光学多層膜が形成されて構成される。なお、下表において、第１層は最下層、第１０層は最上層を示す。また、この中央部領域の直径は、均一なイレース光が入射した場合、式（１）からイレース光の瞳径の１／２１／２となる。これにより、波長647nmのイレース光に対して、その位相を反転して、試料４２の焦点面にドーナッツ状のスポットパターンを形成することが可能となる。
【００７９】
【表１】
0005771422.tif 000005
【００８０】
変調光学素子３８を通過したポンプ光およびイレース光は、ビームスプリッタ３９で反射された後、顕微鏡対物レンズ４０により、試料ステージ４１に保持された試料４２に集光される。そして、試料４２から得られる光は、顕微鏡対物レンズ４０により捕集された後、ビームスプリッタ３９を透過して分光器４３で分光されて、所要の波長成分の信号光（蛍光）が、例えば光電子増倍管からなる光検出器４４で受光される。なお、試料４２は、試料ステージ４１の移動により空間走査され、これにより光検出器４４から得られる信号に基づいて試料４２の蛍光画像が生成される。
【００８１】
かかる構成において、変調光学素子３８は、光学多層膜の製膜時において、光学多層膜の特性が設計値と異なり、位相変調がπと異なったり、透過率も１００％を大きく下回ったりする場合がある。また、一般に、ポンプ光やイレース光のレーザ光は、面内強度が均一でなく、光軸対称のガウスビームとなっている。そのため、試料４２に集光されるイレース光のスポット形状が、光軸対称とならず、歪んだ形状となって、期待する超解像機能が得られず、蛍光画像の画質が劣化することが想定される。
【００８２】
本実施の形態に係る超解像顕微鏡によると、変調光学素子３８の入射側に調整素子としてアイリス３７を有している。したがって、このアイリス３７によりポンプ光およびイレース光の光束径や必要に応じて光軸（偏心）を調整する簡単な操作で、イレース光に対して、変調光学素子３８の光学多層膜を有する中央部領域の面積と、それ以外の周辺部領域の透過面積との比を自在に調整することができる。これにより、式（２）を満たす条件を見出すことができるので、変調光学素子３８の作製誤差を簡単に補償することが可能となり、変調光学素子３８により変調されるイレース光の光学特性が調整される。
【００８３】
また、ポンプ光は、イレース光と同軸に合成され、電場の極性が反転されることなく、通常のガウス状に試料４２に集光される。したがって、顕微鏡対物レンズ４０の色収差が補償されていれば、ポンプ光はイレース光のドーナッツ状のスポットパターンの中央部に軸ずれなく集光され、超解像機能の発現条件が容易に実現される。これにより、従来、イレース光のビーム整形には高精度な精密加工精度と調整技術を要求する変調光学素子が不可欠であると信じられていたが、本実施の形態によれば、変調光学素子３８をフレキシブルな光学設計で作製でき、しかも簡易な光学調整で超解像機能を発現することが可能となる。
【００８４】
なお、変調光学素子３８は、図２に示した輪帯型の構成に限らず、図１に示したような光軸周りに位相が段階的に変化する変調光学素子を用いることもできる。また、図５（ａ）〜（ｃ）に示すような変調光学素子５０を用いることも可能である。
【００８５】
図５（ａ）に示す変調光学素子５０は、図１に示した変調光学素子１と図２に示した変調光学素子１０とを組み合わせたハイブリッド型で、輪帯状に形成された中央部領域５１、中間部領域５２および外周部領域５３を有する。中央部領域５１および中間部領域５２は、図２に示した変調光学素子１０の中央部領域１１および周辺部領域１２と同様に構成される。外周部領域５３は、図１に示した変調光学素子１と同様に、イレース光に対して位相差が２πで周回するように動径方向に分割（図５（ａ）では８分割）された複数の光学多層膜領域を有して構成される。
【００８６】
また、変調光学素子５０は、好適には、中央部領域５１および中間部領域５２を透過するイレース光と、外周部領域５３を透過するイレース光との干渉を避けるため、それぞれの領域を透過するイレース光の偏光を異ならせるように構成される。例えば、中央部領域５１および中間部領域５２は、透過するイレース光が右回りの円偏光、外周部領域５３は、透過するイレース光が左回りの円偏光となるように構成される。
【００８７】
かかる変調光学素子５０を透過したイレース光を顕微鏡対物レンズ４０により集光すれば、焦点を含む前後において、図６に示すような等方的な３次元ダークホールを有する強度分布のビーム形状を形成することが可能となる。なお、図６において、ｚ方向は光軸方向を示し、ｘ方向は光軸と直交する方向を示す。したがって、共焦点光学系と組み合わせることにより、試料４２の深さ方向の分解能を得ることが可能となる。
【００８８】
図５（ｂ）および（ｃ）に示す変調光学素子５０は、それぞれ輪帯２重構造を有するものである。図５（ｂ），（ｃ）において、内側輪帯領域および外側輪帯領域は、それぞれイレース光の位相分布を光軸の周りで２π変化させるが、位相シフトの回転方向が光軸に関して互いに反対方向となっている。なお、図５（ｂ）は、内側輪帯領域と外側輪帯領域とをそれぞれ動径方向に８分割して位相シフト量を量子化した構成を例示しており、図５（ｃ）は、内側輪帯領域と外側輪帯領域とのそれぞれの位相シフト量を光軸の周りで滑らかに連続的に変化させる構成を例示している。
【００８９】
図５（ｂ），（ｃ）に示した変調光学素子５０を用いた場合、通過したイレース光の振幅強度を動径方向に対して足し合わせると電場が相殺される。したがって、図２に示したダークホール型の変調光学素子１０と等価の機能を有するので、この変調光学素子５０を通過したイレース光を顕微鏡対物レンズで集光させれば、焦点内のみならず光軸面内おいても超微細な光の当らない干渉領域を生成することができる。なお、各輪帯領域は、図５（ｃ）に示したように、位相が滑らかに連続的に変化するように構成するのが望ましいが、各輪帯領域を例えば光学薄膜をコートして形成する場合、実際の製造工程を考慮すると、図５（ｂ）に示したように、８段階に量子化して構成する場合の方が簡単に製造することが可能となる。また、図２に示し変調光学素子１０と同様に、位相変調を与える手段として光学多層膜を用いれば、ポンプ光に対しては全く位相変調を与えず、イレース光のみを位相変調してダークホールを持つようにビーム整形することが可能となる。
【００９０】
（第２実施の形態）
図７は、本発明の第２実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。なお、図７において、図４に示した構成要素と同一作用をなす構成要素には、同一参照符号を付して、その説明を省略する。この超解像顕微鏡は、図４に示した超解像顕微鏡において、ダイクロイックミラー３５により同軸にコンバインされたポンプ光およびイレース光を、集光レンズ６０により集光してシングルモードファイバ６１に入射させる。シングルモードファイバ６１から射出されるポンプ光およびイレース光は、コリメータレンズ６２により平行光に変換されて、アイリス３７を経て変調光学素子３８に入射される。
【００９１】
また、変調光学素子３８を透過したポンプ光およびイレース光は、ガルバノスキャンユニット６３を経てビームスプリッタ３９に入射され、該ビームスプリッタ３９で反射された後、瞳投影レンズ６４を経て顕微鏡対物レンズ４０により、試料ステージ４１に保持された試料４２に集光される。これにより、試料４２は、ポンプ光およびイレース光によって２次元走査される。そして、試料４２から得られる光は、顕微鏡対物レンズ４０により捕集された後、瞳投影レンズ６４およびビームスプリッタ３９を透過して分光器４３で分光されて、所要の波長成分の信号光（蛍光）が光検出器４４で受光され、その出力に基づいて試料４２の蛍光画像が生成される。
【００９２】
本実施の形態に係る超解像顕微鏡によると、第１実施の形態の場合と同様に、アイリス３７によりポンプ光およびイレース光の光束径や必要に応じて光軸（偏心）を調整する簡単な操作で、式（２）を満たす条件を見出すことが可能となる。つまり、イレース光に対して、変調光学素子３８の光学多層膜を有する中央部領域の面積と、それ以外の周辺部領域の透過面積との比を自在に調整することができる。これにより、変調光学素子３８の作製誤差を簡単に補償して、超解像機能を発現することが可能となる。したがって、変調光学素子３８をフレキシブルな光学設計で容易に作製することが可能となる。
【００９３】
また、ポンプ光およびイレース光は、共通のシングルモードファイバ６１に導入され、コリメータレンズ６２により平行光として取り出されるので、完全球面波のポンプ光およびイレース光を変調光学素子３８に入射させることができる。したがって、試料４２の焦点面に、イレース光のより正確なドーナッツ状のスポットパターンを形成することが可能となる。
【００９４】
さらに、ポンプ光およびイレース光が、ガルバノスキャンユニット６３により２次元走査されるので、試料ステージ４１を移動して試料４２を二次元走査する図４の場合と比較して、計測精度を向上できるとともに、計測時間を短縮することが可能となる。しかも、ガルバノスキャンユニット６３により２次元走査されるポンプ光およびイレース光は、瞳投影レンズ６４を経て顕微鏡対物レンズ４０により試料４２に集光されるので、焦点面で収差なく集光させることが可能となる。
【００９５】
（第３実施の形態）
図８は、本発明の第３実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。なお、図８において、図７に示した構成要素と同一作用をなす構成要素には、同一参照符号を付して、その説明を省略する。本実施の形態に係る超解像顕微鏡は、多様な色素分子に対応できるように構成されたものである。すなわち、特に生物分野においては、様々な観測対象が多様な色素で染色されて、生命現象の解明が行われている。
【００９６】
ここで、蛍光抑制は、多くの分子で観測されるものの、励起波長および蛍光波長は大きく異なっている。一般に、蛍光抑制効果は、分子が第１励起状態（Ｓ１状態）へ励起されない蛍光波長帯域よりも長波長のイレース光を照射すると誘導できるが、その発現程度はイレース光の波長に依存ずる。また、より少ない照射強度でＳ１状態へ励起するためには、ポンプ光の波長も最適化する必要がある。
【００９７】
具体的には、染色する色素に応じて効率的に蛍光抑制効果を誘導できるポンプ光波長とイレース光波長とを選定し、かつ、これらポンプ光とイレース光とが検出器に混入することなく、高い感度で蛍光を検出できるような柔軟性のある顕微鏡システムの出現が望まれている。より詳しくは、紫外領域から近赤外領域において発光する様々な蛍光色素に対応できような汎用性の高い顕微鏡が必要とされている。
【００９８】
本実施の形態に係る超解像顕微鏡は、上記の要望に応えるもので、発振波長の異なる３個以上のレーザ光源を有する。図８は、発振波長の異なる５個のレーザ光源７１〜７５を有する場合を例示している。レーザ光源７１は、発振波長λ１が例えば405nmで、蛍光タンパクCFP(Cyan Fluorescence Protein）等の色素を励起できる。レーザ光源７２は、発振波長λ２が例えば480nmで、Alexa488やFITC(Fluorescein isothiocianate)等の代表的な汎用色素を励起できる。レーザ光源７３は、発振波長λ３が例えば532nmで、Alexa532やナイルレット等の色素を励起できる。レーザ光源７４は、発振波長λ４が例えば639nmで、テキサスレット等の色素を励起できる。レーザ光源７５は、発振波長λ５が例えば730nmで、シアニン系のCy7等の近赤外対応の色素を励起できる。
【００９９】
レーザ光源７１以外のレーザ光源７２〜７５は、イレース光光源としても使用される。すなわち、一般に蛍光抑制効果は、上術したように色素を蛍光励起しないような、より長波長のイレース光で誘導できる。したがって、例えば、レーザ光源７１をポンプ光光源として用いる場合は、使用する蛍光色素に応じてレーザ光源７２〜７５のいずれかをイレース光光源として利用できる。また、レーザ光源７３をポンプ光光源として用いる場合は、レーザ光源７４またはレーザ光源７５をイレース光光源として用いることができる。
【０１００】
本発明者による検討によると、色素の蛍光帯域とポンプ光およびイレース光の波長との関係は次のようになる。すなわち、蛍光帯域は、ポンプ光とイレース光との中間波長帯に位置する。したがって、光検出器の直前に１枚または複数枚の光学フィルタを設ければ、具体的には、ポンプ光とイレース光との中間波長帯域で透過率を有するバンドパスフィルタや、ポンプ光波長とイレース光波長とをブロックする２枚のノッチフィルタを設置すれば、ポンプ光およびイレース光の散乱光から蛍光を分離して検出することができる。
【０１０１】
本実施の形態に係る超解像顕微鏡は、上述したように５種類の波長405nm（λ１）、480nm（λ２）、532nm（λ３）、639nm（λ４）、730nm（λ５）で発振可能なレーザ光源７１〜７５を有している。したがって、原理的には、405nm-480nm、405nm-532nm、405nm‐639nm、405nm-730nm、480nm-532nm、480nm‐639nm、480nm‐730nm、532nm‐639nm、532nm‐730nm、639nm‐730nmの１０種類の組み合わせ波長で超解像計測が可能となる。
【０１０２】
しかし、一般に、超解像顕微鏡では、ポンプ光とイレース光とが光軸方向でずれて結像すると、言い換えると軸上の色収差を有すると、大きな解像度の向上は期待できない。したがって、色収差の出にくい隣接した波長をもつ組み合わせで画像計測を行うことが好ましい。この場合、蛍光の検出に用いるフィルタとしては、図９に示すような、隣接する発振波長間λ１‐λ２，λ２‐λ３，λ３‐λ４，λ４‐λ５で透過率を有するバンドパスフィルタＢＰＦ１〜ＢＰＦ４を用意し、光源の組み合わせ応じて、随時、バンドパスフィルタを切り替えられるようにするのが好ましい。
【０１０３】
なお、顕微鏡光学系の色収差が無視できれば、隣接しない発振波長の組み合わせ、例えば発振波長λ１とλ３との組合せや、λ２とλ５との組合せも可能である。この場合は、図１０に示すように発振波長間λ１‐λ３やλ２‐λ５で透過率を有するバンドパスフィルタＢＰＦ５やＢＰＦ６を用意して、光源の組み合わせ応じて、随時、バンドパスフィルタを切り替えられるようにする。さらには、イレース光またはポンプ光照射により試料からの副次光が発生しない場合は、光源の発振波長のみをブロックできるノッチフィルタを複数枚、検出光学系の光路に挿入してもよい。
【０１０４】
図８において、レーザ光源７１から射出されるレーザ光は、ビームスプリッタ８０で２光束に分離される。そして、ビームスプリッタ８０を透過する一方の光束は、反射ミラー８１で反射された後、ビームコンバイナ８２，８３，８４および８５を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ８６に入射され、ビームスプリッタ８０で反射される他方の光束は、ビームスプリッタ８７，８８，８９および９０を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ９１に入射される。
【０１０５】
レーザ光源７２から射出されるレーザ光は、ビームスプリッタ８７で２光束に分離される。そして、ビームスプリッタ８７を透過する一方の光束は、ビームコンバイナ８２で反射されて、反射ミラー８１からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームコンバイナ８３，８４および８５を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ８６に入射され、ビームスプリッタ８７で反射される他方の光束は、ビームスプリッタ８０からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームスプリッタ８８，８９および９０を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ９１に入射される。
【０１０６】
レーザ光源７３から射出されるレーザ光は、ビームスプリッタ８８で２光束に分離される。そして、ビームスプリッタ８８を透過する一方の光束は、ビームコンバイナ８３で反射されて、ビームコンバイナ８２からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームコンバイナ８４および８５を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ８６に入射され、ビームスプリッタ８８で反射される他方の光束は、ビームスプリッタ８７からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームスプリッタ８９および９０を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ９１に入射される。
【０１０７】
レーザ光源７４から射出されるレーザ光は、ビームスプリッタ８９で２光束に分離される。そして、ビームスプリッタ８９を透過する一方の光束は、ビームコンバイナ８４で反射されて、ビームコンバイナ８３からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームコンバイナ８５を透過して、回転型ＮＤフィルタ８６に入射され、ビームスプリッタ８９で反射される他方の光束は、ビームスプリッタ８８からのレーザ光の光路と同軸に合成された後、ビームスプリッタ９０を順次透過して、回転型ＮＤフィルタ９１に入射される。
【０１０８】
レーザ光源７５から射出されるレーザ光は、ビームスプリッタ９０で２光束に分離される。そして、ビームスプリッタ９０を透過する一方の光束は、ビームコンバイナ８５で反射されて、ビームコンバイナ８４からのレーザ光の光路と同軸に合成されて、回転型ＮＤフィルタ８６に入射され、ビームスプリッタ９０で反射される他方の光束は、ビームスプリッタ８９からのレーザ光の光路と同軸に合成されて、回転型ＮＤフィルタ９１に入射される。
【０１０９】
回転型ＮＤフィルタ８６，９１は、それぞれ同一円周上に複数配置された透過率の異なるＮＤフィルタを有し、それぞれ所望の透過率のＮＤフィルタを対応する光軸上に配置することにより、所望の強度の透過光が得られるように構成されている。回転型ＮＤフィルタ８６を透過した光は、音響光学波長可変フィルタ９２に入射され、回転型ＮＤフィルタ９１を透過した光は、音響光学波長可変フィルタ９３に入射される。
【０１１０】
音響光学波長可変フィルタ９２，９３は、励振される弾性表面波の周波数の制御により所望の波長の光を選択する。これにより音響光学波長可変フィルタ９２から擬似パルス化された所望の波長のポンプ光を得、音響光学波長可変フィルタ９３から擬似パルス化された所望の波長のイレース光を得る。
【０１１１】
音響光学波長可変フィルタ９２から得られるポンプ光は、反射ミラー３４で反射され、さらにビームコンバイナ９４を透過して、集光レンズ６０を経てシングルモードファイバ６１に入射される。また、音響光学波長可変フィルタ９３から得られるイレース光は、ビームコンバイナ９４で反射されてポンプ光の光軸と同軸上に合成されて、集光レンズ６０を経てシングルモードファイバ６１に入射される。
【０１１２】
つまり、本実施の形態に係る超解像顕微鏡では、レーザ光源７１〜７５のうち、所望のポンプ光波長およびイレース光波長に対応する隣接する発振波長の２つのレーザ光源を選択して駆動する。そして、これら２つのレーザ光源から射出されたレーザ光を、回転型ＮＤフィルタ８６および音響光学波長可変フィルタ９２を透過させるとともに、回転型ＮＤフィルタ９１および音響光学波長可変フィルタ９３を透過させる。これにより、音響光学波長可変フィルタ９２および音響光学波長可変フィルタ９３から、それぞれ蛍光抑制効果が効果的に発現するように擬似パルス化されたポンプ光およびイレース光を得る。そして、これらポンプ光およびイレース光をビームコンバイナ９４で同軸に合成して、集光レンズ６０を経てシングルモードファイバ６１に入射させる。
【０１１３】
シングルモードファイバ６１から射出されるポンプ光およびイレース光は、コリメータレンズ６２により平行光に変換された後、アイリス３７を経て変調光学素子３８に入射される。そして、変調光学素子３８を透過したポンプ光およびイレース光は、ビームスプリッタ３９を透過した後、ガルバノスキャンユニット６３および瞳投影レンズ６４を経て顕微鏡対物レンズ４０により、試料ステージ４１に保持された試料４２に集光される。これにより、試料４２は、ポンプ光およびイレース光によって２次元走査される。
【０１１４】
また、試料４２から得られる光は、顕微鏡対物レンズ４０により捕集された後、瞳投影レンズ６４およびガルバノスキャンユニット６３を経てビームスプリッタ３９で反射される。ビームスプリッタ３９で反射された試料４２からの光は、集光レンズ９５、共焦点ピンホール９６およびフィルタ部９７を経て、所要の波長成分の信号光（蛍光）が光検出器４４で受光され、その出力に基づいて試料４２の蛍光画像が生成される。
【０１１５】
ここで、フィルタ部９７は、図９に示したように、５種類のレーザ光源７１〜７５の隣り合う発振波長間で透過率を有する４枚の独立したバンドパスフィルタＢＰＦ１〜ＢＰＦ４を直線状に保持しており、光検出器４４の光路に対してスライド可能に配置される。そして、所望のバンドパスフィルタ、すなわち、選択された２種類のレーザ光源の発振波長間に透過率を有するバンドパスフィルタが、光検出器４４の光路に挿入される。なお、フィルタ部９７は、回転フィルタにバンドパスフィルタＢＰＦ１〜ＢＰＦ４を保持し、回転フィルタを回転させて所望のバンドパスフィルタを光検出器４４の光路に挿入するように構成してもよい。
【０１１６】
本実施の形態による超解像顕微鏡によれば、第２実施の形態と同様の効果が得られる。また、発振波長の異なる複数のレーザ光源７１〜７５および隣り合う発振波長間に透過率を有す複数のバンドパスフィルタＢＰＦ１〜ＢＰＦ４を有する。したがって、染色した色素に応じて効率的に蛍光抑制効果を誘導できるポンプ光およびイレース光の波長を容易に選定でき、かつ、これらポンプ光およびイレース光の光検出器４４への混入を防止して、試料４２からの蛍光を高感度で検出できる柔軟性のある顕微鏡システムを実現することができる。さらに、光検出器４４の入射側に共焦点ピンホール９６を配置したので、散乱光等をさらにカットしてＳ／Ｎの向上を図ることができるとともに、試料４２の深さ方向に対する空間分解能を得ることができる。
【０１１７】
なお、図８に示した構成において、色素分子が蛍光タンパクなどストークシフトの大きい分子の場合、すなわち、ポンプ光の吸収波長に対して蛍光波長が著しく長波長側にシフトする分子である場合は、例えばレーザ光源７１とレーザ光源７３などの発振波長が離れたレーザ光源の組み合わせも可能である。この場合は、フィルタ部９７に、発振波長の組合せに応じて、図１０に示したような透過率特性を有するＢＰＦを保持して、対応するＢＰＦを光検出器４４の入射光路に挿入するように構成する。
【０１１８】
また、図８に示す構成において、ビームスプリッタ３９と集光レンズ９５との間の光検出器４４の入射光路中に、図４または図７に示した実施の形態と同様に分光器を設け、該分光器で所望の波長の信号光（蛍光）を分光させて、集光レンズ９５、共焦点ピンホール９６およびフィルタ部９７を経て光検出器４４で受光するように構成することもできる。このように構成すれば、信号光のＳ／Ｎをより向上でき、信号光をより高感度で検出することができる。
【０１１９】
さらに、図８の音響光学波長可変フィルタ９２および９３に代えて、図１１に部分構成図を示すように、回転フィルタ１０１，１０２およびＡＯＭ３３，３６を設けて、それぞれ蛍光抑制効果が効果的に発現するように擬似パルス化されたポンプ光およびイレース光を得ることもできる。ここで、回転フィルタ１０１，１０２は、それぞれ図１２（ａ）に示すように、レーザ光源７１〜７５の各々に対応するレーザラインフィルタＬＦ１〜ＬＦ５を保持し、回転フィルタ１０１，１０２を回転させて、選択されたレーザ光源に対応する所望のレーザラインフィルタを光路に挿入するように構成する。なお、レーザラインフィルタＬＦ１〜ＬＦ５は、図１２（ｂ）に示すように、レーザ光源７１〜７５の所定の発振波長λ１，λ２，λ３，λ４，λ５の光を効率良く透過する狭帯域の透過特性を有する。
【０１２０】
そして、回転型ＮＤフィルタ８６を経た２色のレーザ光から、回転フィルタ１０１により所望の波長のレーザ光を得、該レーザ光の強度をＡＯＭ３３で変調して、擬似パルス化された所望のポンプ光を得る。同様に、回転型ＮＤフィルタ９１を透過した２色のレーザ光から、回転フィルタ１０２により所望の波長のレーザ光を得、該レーザ光の強度をＡＯＭ３６で変調して、擬似パルス化された所望のイレース光を得る。その他の構成は、図８と同様である。
【０１２１】
（第４実施の形態）
図１３は、本発明の第４実施の形態に係る超解像顕微鏡の要部の概略構成を示す図である。本実施の形態に係る超解像顕微鏡は、図１１に示した構成において、図８に示した光検出器４４側の共焦点ピンホール９６が、図１３に示すように、Ｘ方向およびＹ方向のスリット幅が可変の矩形状の開口に形成されて、それぞれのスリット幅がＰＺＴ等からなる対応する駆動部１１１ｘ，１１１ｙにより開口の大きさが調整可能に構成されている。また、レーザ光源７１〜７５および駆動部１１１ｘ，１１１ｙの制御部１１２を備え、これによりレーザ光源７１〜７５の駆動および組み合わせ、つまり使用するポンプ光およびイレース光の発生が制御されるとともに、発生させるポンプ光およびイレース光に応じて、共焦点ピンホール９６の開口（この場合、内接する円の直径）ａが、次式（４）を満たすように、駆動部１１１ｘ，１１１ｙを介して制御される。
【０１２２】
【数４】
0005771422.tif 000006
【０１２３】
つまり、本実施の形態においては、共焦点ピンホール９６の開口ａが、レイリーの基準による回折限界未満で、光検出器４４（図８参照）側の点像分布関数の半値幅以上となるように制御される。その他の構成は、図８および図１１と同様であるので、図８および図１１に示した構成要素と同一作用をなす構成要素には、同一参照符号を付して、その説明を省略する。
【０１２４】
ここで、共焦点顕微鏡における点像分布関数（ＰＳＦ；Point Spread Function）について説明する。図１４は、共焦点顕微鏡の基本的構成を示す模式図である。図１４において、点光源１２０から放射された光は、レンズ１２１によりコリメートされた後、ビームスプリッタ１２２で反射されて対物レンズ１２３により物体１２４に集光される。また、物体１２４からの光（例えば蛍光）は、対物レンズ１２３、ビームスプリッタ１２２、集光レンズ１２５および共焦点ピンホール１２６を経て光検出器１２７で検出される。
【０１２５】
図１４に示した共焦点顕微鏡において、対物レンズ１２３による物体１２４側のＰＳＦをＩ０（ｘ，ｙ）、光検出器１２７側のＰＳＦをＩｄ（ｘ，ｙ）、共焦点ピンホール１２６の開口座標をｄ、物体１２４の発光強度分布をｔ、対物レンズ１２３の倍率Ｍを１、共焦点顕微鏡としてのＰＳＦをｈ（ｘ，ｙ）とすると、次式（５）が成立する。
【０１２６】
【数５】
0005771422.tif 000007
【０１２７】
なお、上式では、単純化のためＭ＝１としているが、Ｍ≠１の場合は、物体１２４側と光検出器１２７側との座標をスケーリングする。例えば、光検出器１２７側の画像をｇ（ｘ，ｙ）、物体１２４の原画像をｆ（ｘ，ｙ）とすると、次式（６）が成立する。
【０１２８】
【数６】
0005771422.tif 000008
【０１２９】
ここで、ｔをｔ＝δ（ｘ，ｙ）のデルタ関数とおくと、上記式（５）は、次式（７）となる。
【０１３０】
【数７】
0005771422.tif 000009
【０１３１】
さらに、ｄ＝δ（ｘ，ｙ）であれば、上記式（７）は、次式（８）となる。
【０１３２】
【数８】
0005771422.tif 000010
【０１３３】
上式（８）から明らかなように、共焦点顕微鏡の分解能は、共焦点ピンホールを有しない顕微鏡よりも分解能がよくなる。ここで、通常の共焦点顕微鏡、つまり超解像の発現機能を持たない共焦点顕微鏡の場合は、Ｉ０およびＩｄがともにガウス関数となる。これに対し、超解像の発現機能を有する超解像顕微鏡の場合は、Ｉ０がローレンツ関数で、Ｉｄがガウス関数となる特徴がある。したがって、ＰＳＦは、共焦点ピンホールの有無および超解像機能の有無によって異なることになる。
【０１３４】
図１５は、各種顕微鏡のＰＳＦを比較して示す図である。図１５において、実線は、エアリディスクサイズの共焦点ピンホールを有する通常の共焦点顕微鏡のＰＳＦを示す。破線は、共焦点ピンホールを持たない、つまり検出器サイズ無限大の超解像顕微鏡のＰＳＦを示す。一点鎖線は、共焦点ピンホールを有する超解像共焦点顕微鏡において、共焦点ピンホールの直径を、光検出器側のＰＳＦの半値幅とした場合の超解像共焦点顕微鏡のＰＳＦを示す。
【０１３５】
図１６（ａ）〜（ｄ）は、各種顕微鏡の回折限界サイズのコントラスト伝達関数（ＣＴＦ：Contrast Transfer Function）を説明するための図である。図１６（ａ）は、回折限界サイズの白黒パターンの原画像を示す。図１６（ｂ）は、図１６（ａ）の原画像に対する通常の共焦点顕微鏡のＣＴＦを示し、図１６（ｃ）は、図１６（ａ）の原画像に対する共焦点ピンホールを持たない超解像顕微鏡のＣＴＦを示し、図１６（ｄ）は、図１６（ａ）の原画像に対する超解像共焦点顕微鏡のＣＴＦを示す。
【０１３６】
図１５から明らかなように、共焦点ピンホールを持たない超解像顕微鏡のＰＳＦと通常の共焦点顕微鏡のＰＳＦとを比較すると、共焦点ピンホールを持たない超解像顕微鏡のＰＳＦの方が、半値幅を小さく（細く）できる。その結果、図１６（ｂ）および図１６（ｃ）の比較から明らかなように、超解像顕微鏡においては、共焦点ピンホールを持たない場合でも、通常の共焦点顕微鏡よりも高いＣＴＦが得られ、コントラストの良好な画像を取得することができる。
【０１３７】
しかしながら、図１５に示したように、共焦点ピンホールを持たない超解像顕微鏡のＰＳＦは、強度の低い裾野部分が通常の共焦点顕微鏡のＰＳＦよりも拡がっている。そのため、蛍光ビーズのように観察対象が比較的まばらに存在する試料の場合は、コントラストの良好な画像が得られ、分解能を向上することができるが、特に観察対象が密集して存在する試料の場合は、物体側ＰＳＦと検出器側ＰＳＦとの畳み込み積分によって裾野の成分がオーバーラップして、コントラストが低下する場合がある。
【０１３８】
これに対し、本実施の形態におけるように、共焦点ピンホール９６の開口を、使用するポンプ光およびイレース光に応じて、制御部１１２により、光検出器４４（図８参照）側のＰＳＦの例えば半値幅とする。このようにすると、図１５に一点鎖線で示したように、ＰＳＦ強度の低い裾野部分でも、通常の共焦点顕微鏡のＰＳＦよりも拡がりを小さくできる。その結果、図１６（ｄ）に示したように、ＣＴＦが向上して、顕微鏡画像の切れが良くなり、特に観察対象が密集して存在する試料の場合は、コントラストの高い、超解像度の顕微鏡画像を得ることができる。
【０１３９】
つまり、通常の共焦点顕微鏡では、共焦点ピンホールのサイズを、光検出器におけるエアリディスクサイズ以上としている。その理由は、エアリディスクサイズよりも小さくしても、空間分解能は向上しないばかりでなく、検出信号が低下してＳ／Ｎが悪くなるからである。しかし、本実施の形態における超解像顕微鏡の場合は、光検出器４４側のＰＳＦの半値幅が小さい（細い）ので、共焦点ピンホール９６のサイズをさらに小さくすることができる。
【０１４０】
本発明者によるシミュレーションの結果では、共焦点ピンホール９６の直径をＰＳＦの半値幅とすれば、光検出器４４による受光量の低下を僅か３０％程度に抑えて、ＣＴＦを著しく向上できることが確認できた。また、変調伝達関数（ＭＴＦ：Modulation Transfer Function）についても、同様に著しく向上できることが確認できた。なお、共焦点ピンホール９６のサイズは、光検出器４４側のＰＳＦの半値幅よりも小さくすると、光信号成分の受光量が低下して、逆にＳ／Ｎを低下させることになるとともに、超解像時の点像分布関数が充分細い場合は、共焦点ピンホール自体も不要となる。したがって、共焦点ピンホール９６のサイズは、上式（４）を満たすのが好ましい。
【０１４１】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。例えば、上記実施の形態において、変調光学素子３８は、照明光路中で、かつ試料４２からの応答光の光路中に配置することもできる。この場合、変調光学素子３８は、試料４２からの応答光（例えば、蛍光）に対して透過率を有するように形成される。このような構成は、単色の照明光を用いる場合にも同様に適用することができる。また、図７または図８に示した構成において、変調光学素子３８は、ガルバノスキャンユニット６３内の瞳共役面に配置することもできる。このようにすれば、スキャンによる光束のケラレが生じないので、所望のスポットパターンを常に安定して形成することが可能となる。
【０１４２】
また、上記実施の形態において、変調光学素子３８は、図１に示したように光軸周りに２πで周回するように動径方向に分割された複数の光学多層膜領域を有して構成することもできる。この場合は、変調光学素子３８の作製誤差を、別体または一体化した調整素子により調整することができる。
【０１４３】
例えば、変調光学素子３８が、図１７（ａ）に示すように、光軸周りに６分割された光学多層膜領域３８ａ〜３８ｆを有し、光学多層膜領域３８ｃおよび３８ｄの面積が、他の光学多層膜領域と異なるものとする。この場合は、図１７（ｂ）に示すように、式（１）を満たすように、光学多層膜領域３８ａおよび３８ｃにおける透過率を調整素子により調整する。
【０１４４】
また、変調光学素子３８が、図１８（ａ）に示すように、設計値通りに作製されている場合において、顕微鏡光学系の他の領域で発生するイレース光の吸収効果等によって式（１）を満たさない場合が想定される。この場合は、例えば図１８（ｂ）に示すように、式（１）を満たすように、光学多層膜領域３８ｂ,３８ｃ,３８ｄについては透過率を調整素子により調整し、光学多層膜領域３８ｅ,３８ｆについては位相および透過率を調整素子により調整する。なお、図１７（ｂ）や図１８（ｂ）に示した変調光学素子３８を用いる場合、アイリス３７は省略しても良いし、さらに、アイリス３７によって変調光学素子３８を透過後のイレース光の特性を微調整するようにしても良い。
【０１４５】
さらに、第３実施の形態の構成は、単に蛍光抑制型の超解像顕微鏡のみならず、赤外光と中空状の可視光とを同軸照射する赤外超解像顕微鏡法にも同様に応用できる（例えば、Bokor. et. al OPTICS COMMUNICATIONS, 283 (2010) 509）。また、第３実施の形態においては、複数の単色発振のレーザ光源を用いるのに代えて、光パラメトリック発振のレーザ光源、Tiサファイアレーザ、スパーコンティニュアムレーザなどの波長可変レーザを少なくとも２つ用いて、種々の波長の組合せに対応できるように構成することもできる。
【０１４６】
さらに、上記実施の形態では、２色の光源を用いた超解像顕微鏡を例示したが、本発明は、２色以上の複数の光源を用いた顕微鏡システムにも適応可能であり（例えば、S Hell. et. al J. Microscopy 236(2009)35）、その汎用性はより広いものである。
【符号の説明】
【０１４７】
１  変調光学素子
２  透過率補償プレート
１０  変調光学素子
１１  中央部領域
２０  フレネルゾーンプレート
２１  透過率補償プレート
３１  ポンプ光光源
３２  イレース光光源
３４  反射ミラー
３５  ダイクロイックミラー
３７  アイリス
３８  変調光学素子
３９  ビームスプリッタ
４０  顕微鏡対物レンズ
４１  試料ステージ
４２  試料
４３  分光器
４４  光検出器
５０  変調光学素子
６０  集光レンズ
６１  シングルモードファイバ
６２  コリメータレンズ
６３  ガルバノスキャンユニット
６４  瞳投影レンズ
７１，７２，７３，７４，７５  レーザ光源
８６，９１  回転型ＮＤフィルタ
９２，９３  音響光学波長可変フィルタ
９６  共焦点ピンホール
９７  フィルタ部
１０１，１０２  回転フィルタ
１１１ｘ，１１１ｙ  駆動部
１１２  制御部
【図１】
0005771422.tif 000013
【図２】
0005771422.tif 000014
【図３】
0005771422.tif 000015
【図４】
0005771422.tif 000016
【図５】
0005771422.tif 000017
【図６】
0005771422.tif 000018
【図７】
0005771422.tif 000019
【図８】
0005771422.tif 000020
【図９】
0005771422.tif 000021
【図１０】
0005771422.tif 000022
【図１１】
0005771422.tif 000023
【図１２】
0005771422.tif 000024
【図１３】
0005771422.tif 000025
【図１４】
0005771422.tif 000026
【図１５】
0005771422.tif 000027
【図１６】
0005771422.tif 000028
【図１７】
0005771422.tif 000029
【図１８】
0005771422.tif 000030
【図１９】
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【図２０】
0005771422.tif 000032
【図２１】
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【図２２】
0005771422.tif 000034
【図２３】
0005771422.tif 000035
【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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