(57)【要約】  静圧気体軸受が、孔（１５）が設けられたガイドエレメント（１）と、ガイドエレメント（１）の表面に沿って可動な部材（４）とを有している。孔（１５）が、前記部材（４）に近い第１の区分（１６）を有しており、この区分（１６）の少なくとも１つの部分領域が、その長さにわたってほぼ一定の横断面を有しており、該横断面は、前記部材（４）から離れた領域の横断面よりも小さい。
2011503430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静圧気体軸受であって、複数の孔（１５）が設けられたガイドエレメント（１）と、ガイドエレメント（１）の表面に沿って可動な部材（４）とを有している形式のものにおいて、
前記孔（１５）が、前記部材（４）に近い第１の区分（１６）を有しており、この区分（１６）の少なくとも１つの部分領域が、その長さにわたってほぼ一定の横断面を有しており、該横断面は、前記可動な部材（４）に向かって、前記部材（４）から離れた領域の横断面よりも小さいことを特徴とする、静圧気体軸受。
【請求項２】
前記部分領域が、第１の区分（１６）の全長にわたって延びている、請求項１記載の静圧気体軸受。
【請求項３】
前記孔が前記部材とは離れた側の第２の区分（１７）を有しており、該第２の区分（１７）の横断面が、前記第１の区分（１６）の横断面よりも大きい、請求項１又は２記載の静圧気体軸受。
【請求項４】
第１の区分（１６）が１０〜４０μｍの直径を有している、請求項１から３までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項５】
第２の区分（１７）が、第１の区分（１６）の直径の少なくとも２倍の大きさの直径を有している、請求項１から４までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項６】
第１の区分（１６）と第２の区分（１７）との間に第３の区分（１８）が設けられている、請求項１から５までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項７】
第３の区分（１８）の横断面が、第１の区分（１６）から第２の区分（１７）に向かって継続的に増大している、請求項６記載の静圧気体軸受。
【請求項８】
第３の区分（１８）が、第１の区分（１６）と第２の区分（１７）とを結合するために、段状若しくは突起状に形成されている、請求項６記載の静圧気体軸受。
【請求項９】
ガイドエレメント（１）が前記部材（４）を直線的にガイドしていて、前記部材（４）を一区分で、ガイド方向に対して横方向で環状に取り囲んでいる、請求項１から８までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１０】
ガイドエレメント（１）が円筒状の管である、請求項１から９までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１１】
ガイドエレメント（１）が少なくとも０．５ｍｍの厚さを有している、請求項１から１０までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれか１項記載の静圧気体軸受を有した、冷却媒体を圧縮するためのリニアコンプレッサ。
【請求項１３】
前記部材（４）がピストンを形成しており、ガイドエレメント（１）がリニアコンプレッサの円筒壁を形成している、請求項１２記載のリニアコンプレッサ。
【請求項１４】
請求項１２又は１３記載のリニアコンプレッサを有した冷却装置、特に冷蔵装置及び／又は冷凍装置。
【請求項１５】
エレメント（１）、特に請求項１から１４までのいずれか１項記載の静圧気体軸受のガイドエレメント（１）に孔（１５）を製造するための方法であって、レーザービーム（２１）を使用する形式のものにおいて、
孔（１５）の第１の区分（１６）を穿孔するために、該第１の区分（１６）よりも大きな横断面を有する第２の区分（１７）を穿孔するために使用するよりも僅かなレーザービーム出力及び／又は僅かなレーザービームパルスエネルギを使用することを特徴とする、エレメント（１）に孔（１５）を製造するための方法。
【請求項１６】
第２の区分（１７）の穿孔のために使用するレーザービーム出力及び／又はレーザービームパルスエネルギが、第１の区分（１６）の穿孔のために使用するレーザービーム出力及び／又はレーザービームパルスエネルギの少なくとも２倍である、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
第１の区分（１６）の穿孔と第２の区分（１７）の穿孔のために同じレーザー（２０）を使用する、請求項１５又は１６記載の方法。
【請求項１８】
第１の区分（１６）と第２の区分（１７）とをエレメント（１）の同じ側から穿孔する、請求項１５から１７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１９】
第２の区分（１７）を第１の区分（１６）の前に穿孔する、請求項１５から１８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２０】
レーザービーム（２１）の焦点を、前記エレメント（１）の、レーザービームとは反対側の表面に合わせる、請求項１５から１９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２１】
パルスエネルギ及び／又は出力を、第２の区分（１７）の穿孔後に徐々に減じる、請求項１５から２０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２２】
穿孔中、ガス流（２６）をレーザービーム（２１）の方向から前記エレメント（１）の表面に向ける、請求項１５から２１までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧気体軸受並びに、特に静圧気体軸受を製造する際に使用可能なマイクロ孔を製造するための方法に関する。
【０００２】
静圧気体軸受の基本構造は、２つの軸受体の間に空気又はその他のガスが吹き込まれるものである。結果として生じる背圧により両軸受体の間にギャップが生じるので、両軸受体の直接的な接触は回避される。従って、僅かな摩擦力で、両軸受体の間の相対運動を行うことができ、従って効率の高い摩擦の少ない軸受を実現することができる。空気又はその他のガスを軸受ギャップに供給するための供給通路は、両軸受体の一方を通って延びていて、以下ではガイドエレメントと記載する。両軸受体の間のガスクッションを維持するために、継続的に作業を行わなければならない。軸受のガス消費、ひいてはエネルギ消費を少なく維持するために、若しくは軸受の高い支持力を得るために、この供給部は通常、供給通路のノズルが、他方の軸受体に面したガイドエレメントの表面（以下、軸受面と記載する）に面するように配置され、供給部の最も狭い個所を成すように形成されている。
【０００３】
ドイツ連邦共和国特許第４４３６１５６号明細書により公知の静圧気体軸受のノズルは、レーザービームにより形成されたマイクロ孔である。これらのマイクロ孔は円錐状の横断面を有しており、ノズルの最も狭い横断面は軸受面に直接位置している。円錐状の横断面により、マイクロ孔を形成するために除去すべき材料量は、ガイドエレメントの厚さに対して線的に増加するのではなく、その３乗で増加する。従って、マイクロ孔を形成するために必要な加工時間も厚さの３乗で増加する。従ってこの方法は、ガイドエレメントの厚さが僅かな場合にのみ経済的に使用可能である。従ってドイツ連邦共和国特許第４４３６１５６号明細書の図面には、ほぼ孔直径に相当する壁厚さが示されている。
【０００４】
円錐状の孔形状の別の問題は、高い負荷をかけられる軸受では、十分に形状安定的であるために軸受は大きな壁厚を有していなければならないことにある。しかしながら同時に、軸受体の接触を確実に回避するためには、ノズルが高い密度で必要である。ノズルは、円錐形状に基づき、軸受プレートを著しく脆弱にし、若しくは実現可能な最大壁厚は制限される。
【０００５】
ドイツ連邦共和国特許第４４３６１５６号明細書により公知の円錐状のノズルジオメトリを有する静圧気体軸受のさらなる欠点は、ノズルを通るガス流量が、ノズルにおける圧力差及びノズル横断面により明らかに規定されることにより生じる。ノズルの最小の流出横断面は、穿孔のために使用されるレーザービームのパラメータによって規定されている。軸受の設計においてさらに、ノズルの位置と数が規定されるとこれにより、運転中にもはや下回ることのできない、静圧気体軸受により実現可能なリニアコンプレッサの効率の上限を規定する軸受のガス消費が決まる。
【０００６】
本発明の課題は、機械的に堅牢かつ短期間で経済的に製造可能であるような静圧気体軸受を提供することである。本発明の別の課題は、特のこのような静圧気体軸受のガイドエレメントに孔を形成する方法を提供することである。
【０００７】
この課題を解決するために本発明の構成では、静圧気体軸受であって、孔が設けられたガイドエレメントと、ガイドエレメントの表面に沿って可動な部材とを有している形式のものにおいて、孔が、前記部材に近い第１の区分を有しており、この区分の少なくとも１つの部分領域が、その長さにわたってほぼ一定の横断面を有しており、該横断面は、前記可動な部材に向かって、前記部材から離れた領域の横断面よりも小さいようにした。このような孔が貫流ガスに与える抵抗は主として第１の区分の長さによって決まる。第１の区分の長さを必要に応じて変化させることにより、ガイドエレメントにおける規定されたノズルの位置と数のもとで、異なる燃料消費率を実現することができる。取り除く材料量は、ガイドエレメントの厚さにほぼ線的に比例して増えるので、孔は、厚いガイドエレメントにおいても、許容できる時間内で製造することができる。可動の部材とは反対側の表面、即ち可動の部材から遠い方の領域における孔直径は、ガイドエレメントの厚さに伴い増大しないので、厚いガイドエレメントにおいても、隣接する孔が互いに交差し、ガイドエレメントが許容できない程脆弱になる危険はない。
【０００８】
ガイドエレメントは平らであって良く、部材のガス支承された運動は２の自由度で行うことができる。しかしながら有利には、ガイドエレメントは前記部材を線的に唯一の自由度でガイドし、ガイド方向に対して横方向の断面図で見て環状に取り囲む。有利にはガイドエレメントは、円筒状の管の形状を有している。
【０００９】
有利には、前記孔が前記部材とは離れた側の第２の区分を有しており、該第２の区分の横断面が、前記第１の区分の横断面よりも大きい。
【００１０】
両区分の横断面は有利にはその長さにわたってほぼ一定である。
【００１１】
有利には、第１の区分が１０〜４０μｍの直径を有している。有利には、第２の区分が、第１の区分の直径の少なくとも２倍の大きさの直径を有している。
【００１２】
第１の区分と第２の区分の直径が異なることにより、孔は有利には、第１の区分から第２の区分への移行領域において第３の区分を有しており、この第３の区分は例えば斜めに延びていて良い。この傾斜により、ほぼ円錐状の第３の区分が形成され、第１の区分と第２の区分との間に連続的な移行部が形成される（図２参照）。横断面が第１の区分から第２の区分へと継続的に増加することにより、ガス流を層状に、不要な乱流なしに、第１の区分へと案内することができる。
【００１３】
しかしながら、第１の区分と第２の区分とが互いに直接的に隣接している、もしくは互いに接しているならば、第３の区分は段状若しくは突起状に形成することができる。
【００１４】
前述の両構成は、孔の、前記部材に近い第１の区分、即ち前記部材をガイドする表面に面した区分の横断面が、前記部材から離れた第２の区分、即ち前記部材をガイドする表面とは反対の区分の横断面よりも大きい場合に該当する。
【００１５】
ガイドエレメントは有利には少なくとも０．５ｍｍの厚さを有していて、１ｍｍ以上の厚さを有していても良い。
【００１６】
有利な構成によれば、上述の構成の静圧気体軸受を有した、冷却手段を圧縮するためのリニアコンプレッサが設けられている。
【００１７】
有利には、前記部材がピストンを形成しており、ガイドエレメントがリニアコンプレッサの円筒壁を形成している。
【００１８】
さらに、上述のリニアコンプレッサを有した冷却機器、特に冷蔵機器及び／又は冷凍機器が設けられている。このような使用例は、限定的なものではなく、一使用例に過ぎない。
【００１９】
本発明による静圧気体軸受を、ここでは詳説しない別の適当なあらゆる装置で使用することも考えられる。
【００２０】
第２の課題を解決するために本発明の構成では、エレメント、特に上述したような静圧気体軸受のガイドエレメントに孔を製造するための方法であって、レーザービームを使用する形式のものにおいて、孔の第１の区分を穿孔するために、該第１の区分よりも大きな横断面を有する第２の区分を穿孔するために使用するよりも僅かなレーザービーム出力及び／又は僅かなレーザービームパルスエネルギを使用するようにした。これにより、第１の区分と第２の区分の穿孔は、孔の単位長さ当たりに取り除くべき材料量が異なるにも関わらず、ほぼ同じ進行速度で行うことができる。従って、孔を形成するために必要な時間は、エレメントの厚さにほぼ線的に依存する。
【００２１】
第２の区分の穿孔のために使用するレーザービーム出力及び／又はレーザービームパルスエネルギが、第１の区分の穿孔のために使用するレーザービーム出力及び／又はレーザービームパルスエネルギの少なくとも２倍である。
【００２２】
有利には、第１の区分の穿孔と第２の区分の穿孔のために同じレーザーを使用する。これにより、２つのレーザービームを、１つの同じ孔の場所に向ける必要はなく、孔を形成するために必要な作業時間をさらに減じることができる。
【００２３】
同じ理由から有利には、第１の区分と第２の区分とをエレメントの同じ側から穿孔する。横断面の大きな第２の区分は、有利には第１の区分の前に穿孔される。
【００２４】
有利には、レーザービームの焦点を、エレメントの、レーザービーム源とは反対側の表面に合わせると、この表面の近傍に、孔の狭い第１の区分を形成することができる。
【００２５】
レーザービームのパルスエネルギ及び／又はパルス出力を、第２の区分の穿孔後に徐々に減じるならば、第１の孔区分の底部に、深さ方向で減径する第３の孔区分を形成することができ、この第３の区分には後で第１の区分が続くことができる。
【００２６】
穿孔中に部材から取り除く材料を除去し、場合によってはレーザービームをガイドする光学機器を、取り除かれる材料による汚染から保護するために、有利には、穿孔中、ガス流をレーザービームの方向から前記エレメントの表面に向ける。
【００２７】
本発明のさらなる特徴及び利点は、以下に図面に即した実施例につき説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】静圧気体軸受を概略的に示した断面図である。
【図２】図１の軸受の細部を拡大して示した図である。
【図３】図２に示した孔を形成するための装置を概略的に示した図である。
【００２９】
図１に軸方向断面図を示した静圧気体軸受は、円筒状の管部材１と、該管部材１の端部上に被せられたカップ２と、管部材１内で往復運動するピストン４とを有しており、前記管部材１とカップ２とは一緒にリニアコンプレッサの圧縮室３を制限している。カップ２の底部からは吸込管片５と出口管片６とが突出している。カップ２の内部における弁プレート７は圧縮室３の端面を形成している。弁プレート７は管片５，６と整合する孔８，９を有しており、これらの孔８，９はそれぞれ１つの逆止弁１０，１１を収容している。逆止弁１０，１１はこの場合それぞれ弾性的な舌片によって形成されていて、弛緩状態では、孔８，９の肩部によって形成された弁座に接している。逆止弁の別の構成も考慮される。
【００３０】
逆止弁１１と出口管片６との間に配置された孔９の室１２から、接続管路１３が環状の中空室１４に向かって延びている。中空室１４の内壁は管部材１によって、外壁はカップ２によって形成されている。中空室１４は、管部材１の壁を半径方向に貫通して延びる複数の孔１５を介して圧縮室３と連通している。
【００３１】
コンプレッサの運転中に、ピストン４が圧縮室３内を往復運動する際に、室１２内に過圧が生じ、この過圧は接続管路１３を介して中空室１４内に伝搬される。中空室１４と圧縮室３との間の圧力差は、孔１５を通る圧縮ガスの流れを引き起こし、このようなガス流は、管部材１の内側面とピストン４との間にエアクッションを形成し、ピストン４の無接触運動を可能にする。
【００３２】
管部材１の壁に設けられた孔１５は、それぞれ図２の拡大図に示した形状を有している。孔１５の第１の狭い区分１６は管部材１の内側の表面を起点として延びていて、第２の広い区分１７は外側の表面を起点として延びている。両区分１６，１７の横断面は、その全長にわたってほぼ一定であり、両区分１６，１７の間には、円錐状の第３の区分１８が存在していて、両区分１６，１７の間の継続的な移行部を成している。
【００３３】
第１の区分１６の直径は２０〜３０μｍであり、第２の区分１７の直径は、管部材１の壁厚が０．６ｍｍの場合で最大６０μｍ、管部材１の壁厚が１ｍｍの場合で最大１００μｍである。
【００３４】
このような孔１５を通るガス流は、両区分の上記直径の場合、実質的に第１の区分１６の長さに依存している。静圧気体軸受のガス消費、即ち、軸受作用を維持するために必要であり、図１に示したコンプレッサの出口管片６から流出しない圧縮ガスの量は、管部材１の所定の壁厚及び孔１５の所定の数及び分布のもとで、第１の区分１６の長さを適当に規定することにより調節することができる。
【００３５】
図３には、管部材１に孔１５を形成することができる装置が概略的に示されている。この装置は、Ｑスイッチレーザー２０を有しており、このレーザー２０は、１０〜８０ナノ秒のパルス継続時間及び３ミリジュール以上のエネルギ量を有したレーザーパルスを送ることができる。例えばネオジウム：ＹＡＧレーザー又はエキシマレーザーのような、高品質の実質的に回折制限されたビームを送る、種々のタイプの固体レーザー及びガスレーザーが考えられる。レーザービームの波長は、近紫外線、可視、又は紫外線スペクトル範囲にあって良く、波長の短いタイプのレーザーは、所定のビームウェストにおいてレイリー領域が比較的長いので有利である。
【００３６】
定置のレーザー２０のビーム２１はミラー２２とレンズ２３とを介して、管部材１の外面へとガイドされる。管部材１におけるレーザービーム２１の出力若しくはパルスエネルギを可変にすることができるように、回転可能なビームスプリッタ偏光器２４がレーザー２０の出口に配置されていて、これにより、配向に応じて種々様々な割合２５をビーム２１から出射させることができる。レーザー２０に供給されるポンプエネルギを変更することにより、又は、光路に導入される緩衝フィルタにより、レーザービーム２１のエネルギを変更させることも一般的である。しかしながら偏光器２４を使用することは、ビームの品質、ひいてはビームウェストの直径及び位置に影響を与える恐れのある熱レンズ効果をほぼ回避することができるという利点を有している。
【００３７】
管部材１からレンズ２３の間隔は、レンズ２３がレーザービーム２１を、管部材１の内側の表面の高さに集束させるように調節されている。レンズ２３の焦点距離は、レイリー領域、即ち、ビームウェストと、ビーム直径がウェスト値の√２倍に増加する個所との間の間隔が、少なくとも管部材１の壁厚の大きさであるように選択される。
【００３８】
管部材１に孔１５を形成するために、まず、偏光器２４を最大の透過に調節し、複数のレーザーパルスを、管部材１の表面に入射させる。管部材１の、レーザーパルスにより液化され、気化された金属は、レンズ２３の周りに環状に配置された、加工ヘッド２８の開口２７からレーザービーム２１に対して平行に出される保護ガス流２６によって孔から吹き出される。この場合生じた孔、即ち区分１７の深さは、入射されたレーザーパルスの数にほぼ比例する。
【００３９】
ビーム２１の焦点が、管部材１の内側の表面の高さにあるので、材料を削り取るためにビーム２１の出力密度が十分に高い、孔の底面における個所の直径は、厳密に言うならば、孔の深さが増すと減少する。しかしながらレイリー領域は少なくとも、管部材１の壁厚と同じ長さであるので、これにより生じる直径の変化は、区分１７の長さにわたって、直径に対して小さく、重要ではない。
【００４０】
管部材１に最大出力のもと所望の回数のレーザーパルスが送られた後、偏光器２４を回転させて、パルスのエネルギ量を半分以下に減じる。偏光器２４の調節中にレーザー２０から放射されるレーザーパルスのエネルギは継続的に減少する。パルスエネルギが減少することにより、管部材１の金属を液化又は気化させるためにビーム２１の出力密度が十分であるビーム２１の軸線を取り囲む範囲は狭まる。従って、偏光器２４の回転中、円錐状の区分１８が形成される。
【００４１】
次いで、一定の低いエネルギで管部材１に入射するパルスにより、狭い区分１６が形成される。この区分１６は焦点のすぐ近傍にあるので、ビーム直径は、区分１６の長さにわたって殆ど変化せず、従って、区分１６の直径も良好に一定である。
【００４２】
軸方向及び周方向で並んで分布する管部材１の孔１５を形成するために、管部材１は長手方向軸線を中心に回転可能に支承されていて、管部材１又は加工ヘッド２８は、図３にそれぞれ矢印で示したように、管部材１の長手方向軸線に対して平行に摺動可能である。
【００４３】
実際には、パルスエネルギの比を相応に選択することにより、区分１６と区分１７の直径の間の比率を種々様々に形成することができる。区分１７の流れ抵抗を、区分１６の流れ抵抗よりも小さくするためには、２：１の直径比で十分である。より大きな直径比は、壁厚が大きい場合に、孔の深さが深い場合であっても溶融金属を孔から除去することを保証するために必要である。例えば管部材１の壁厚が０．６ｍｍであって、区分１６の直径が２０〜３０μｍである場合、区分１７の直径は６０μｍまでであると有利であり、壁厚が１ｍｍであって、区分１６の直径が同様である場合、区分１７の直径は１００μｍまでであるように選択される。
【図１】
2011503430.tif 000003
【図２】
2011503430.tif 000004
【図３】
2011503430.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成22年7月29日(2010.7.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静圧気体軸受であって、複数の孔（１５）が設けられたガイドエレメント（１）と、ガイドエレメント（１）の表面に沿って可動な部材（４）とを有している形式のものにおいて、
前記孔（１５）が、前記部材（４）に近い第１の区分（１６）を有しており、この区分（１６）の少なくとも１つの部分領域が、その長さにわたってほぼ一定の横断面を有しており、該横断面は、前記可動な部材（４）に向かって、前記部材（４）から離れた領域の横断面よりも小さいことを特徴とする、静圧気体軸受。
【請求項２】
前記部分領域が、第１の区分（１６）の全長にわたって延びている、請求項１記載の静圧気体軸受。
【請求項３】
前記孔が前記部材とは離れた側の第２の区分（１７）を有しており、該第２の区分（１７）の横断面が、前記第１の区分（１６）の横断面よりも大きい、請求項１又は２記載の静圧気体軸受。
【請求項４】
第１の区分（１６）が１０〜４０μｍの直径を有している、請求項１から３までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項５】
第２の区分（１７）が、第１の区分（１６）の直径の少なくとも２倍の大きさの直径を有している、請求項１から４までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項６】
第１の区分（１６）と第２の区分（１７）との間に第３の区分（１８）が設けられている、請求項１から５までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項７】
第３の区分（１８）の横断面が、第１の区分（１６）から第２の区分（１７）に向かって継続的に増大している、請求項６記載の静圧気体軸受。
【請求項８】
第３の区分（１８）が、第１の区分（１６）と第２の区分（１７）とを結合するために、段状若しくは突起状に形成されている、請求項６記載の静圧気体軸受。
【請求項９】
ガイドエレメント（１）が前記部材（４）を直線的にガイドしていて、前記部材（４）を一区分で、ガイド方向に対して横方向で環状に取り囲んでいる、請求項１から８までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１０】
ガイドエレメント（１）が円筒状の管である、請求項１から９までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１１】
ガイドエレメント（１）が少なくとも０．５ｍｍの厚さを有している、請求項１から１０までのいずれか１項記載の静圧気体軸受。
【請求項１２】
請求項１から１１までのいずれか１項記載の静圧気体軸受を有した、冷却媒体を圧縮するためのリニアコンプレッサ。
【請求項１３】
前記部材（４）がピストンを形成しており、ガイドエレメント（１）がリニアコンプレッサの円筒壁を形成している、請求項１２記載のリニアコンプレッサ。
【請求項１４】
請求項１２又は１３記載のリニアコンプレッサを有した冷却装置。
【請求項１５】
請求項１から１４までのいずれか１項記載の静圧気体軸受のガイドエレメント（１）に孔（１５）を製造するための方法であって、レーザービーム（２１）を使用する形式のものにおいて、
孔（１５）の第１の区分（１６）を穿孔するために、該第１の区分（１６）よりも大きな横断面を有する第２の区分（１７）を穿孔するために使用するよりも僅かなレーザービーム出力又は僅かなレーザービームパルスエネルギを使用することを特徴とする、請求項１から１４までのいずれか１項記載の静圧気体軸受のガイドエレメント（１）に孔（１５）を製造するための方法。
【請求項１６】
第２の区分（１７）の穿孔のために使用するレーザービーム出力又はレーザービームパルスエネルギが、第１の区分（１６）の穿孔のために使用するレーザービーム出力又はレーザービームパルスエネルギの少なくとも２倍である、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
第１の区分（１６）の穿孔と第２の区分（１７）の穿孔のために同じレーザー（２０）を使用する、請求項１５又は１６記載の方法。
【請求項１８】
第１の区分（１６）と第２の区分（１７）とをエレメント（１）の同じ側から穿孔する、請求項１５から１７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１９】
第２の区分（１７）を第１の区分（１６）の前に穿孔する、請求項１５から１８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２０】
レーザービーム（２１）の焦点を、前記エレメント（１）の、レーザービームとは反対側の表面に合わせる、請求項１５から１９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２１】
パルスエネルギ又は出力を、第２の区分（１７）の穿孔後に徐々に減じる、請求項１５から２０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２２】
穿孔中、ガス流（２６）をレーザービーム（２１）の方向から前記エレメント（１）の表面に向ける、請求項１５から２１までのいずれか１項記載の方法。
【国際調査報告】
2011503430.tif 000006
2011503430.tif 000007
2011503430.tif 000008
2011503430.tif 000009