(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、前記第１流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第１ピストンと、前記第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダと、前記第２流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第２ピストンとを備え、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンの移動によって生成される流体圧を前記流体圧伝達管を介して前記第２流体圧シリンダに伝達して前記第２ピストンを移動させるように構成されるとともに、前記第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管とのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段と、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを除去するエア除去手段とを備える流体圧伝達装置を用いたロボットであって、前記ロボットは、関節を介して屈伸自在な複数本の指機構を有すると共に、前記第２流体圧シリンダが配置されるハンドと、前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位とを備え、前記エア除去手段が、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように前記ハンドの姿勢を制御するように構成したことを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記第１流体圧シリンダ内の流体圧を検出する検出手段を備えると共に、前記エア混入判定手段は、前記検出された流体圧の変化に基づいて前記エアが混入したか否か判定することを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項３】
前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンを前記第２流体圧シリンダに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの前記後退方向への移動速度を前記前進方向へのそれよりも速くすることを特徴とする請求項１または２記載のロボット。
【請求項４】
前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンを前記第２流体圧シリンダに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように前記ハンドの姿勢を制御することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のロボット。
【請求項５】
前記第１流体圧シリンダとリザーバがエア排出通路で接続されると共に、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを前記エア排出通路を介して前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のロボット。
【請求項６】
前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位に配置された第１流体圧シリンダの第１ピストンの移動を制御して前記ハンドの複数本の指機構を屈伸させる制御手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のロボット。
【請求項７】
前記第２流体圧シリンダは、前記複数本の指機構の少なくともいずれかに配置され、前記指機構以外の部位に前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が前記重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダが配置される指機構の姿勢を制御することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のロボット。
【請求項８】
前記第２流体圧シリンダは、前記複数本の指機構の少なくともいずれかまたは前記ハンドに配置され、前記ハンド以外の部位に前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が前記重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダが配置される指機構またはハンドの姿勢を制御することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は流体圧伝達装置及びそれを用いたロボットに関し、より具体的には流体圧シリンダなどに混入したエアを排出させるようにした装置などに関する。
【背景技術】
【０００２】
作動流体が貯留されるリザーバに接続されると共に、内部に移動自在に第１ピストンが収容される第１流体圧（マスタ）シリンダと、それに流体圧伝達管を介して接続されると共に、同様に内部に移動自在に第２ピストンが収容される第２流体圧（スレーブ）シリンダを備え、第１流体圧シリンダ内の第１ピストンの移動によって生成される流体圧を第２流体圧シリンダに伝達して第２ピストンを移動させる流体圧伝達装置としては、例えば特許文献１記載の技術を挙げることができる。
【０００３】
特許文献１記載の技術にあっては、関節を介して屈伸自在な複数本の指機構を有するハンドを備えた移動可能なヒューマノイド型のロボットにおいて、第２流体圧シリンダを指機構に、第１流体圧シリンダなどを基体（上体）に配置すると共に、第１流体圧シリンダとリザーバとをエア排出通路で接続し、第１ピストンが移動するとき、第１流体圧シリンダに混入したエアがエア排出通路を介してリザーバに貯留される作動流体の上方空間に自然に排出されるように構成している。
【０００４】
また特許文献２記載の技術は、機械式摩擦クラッチの断接がアクチュエータを介して自動的に制御されるＣＢＷ（Clutch By Wire）型のクラッチ自動制御車両において停車時など所定の条件が成立した場合、第１流体圧（マスタ）シリンダを前進方向と後退方向に交互に移動させて第１流体圧シリンダなどに混入したエアを排出させることを提案している。
【０００５】
また特許文献３記載の技術は、車両用液圧ブレーキ装置において第１流体圧（マスタ）シリンダ内の液圧変化から液圧回路へのエア混入を判定することを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１１−５８５６４号公報
【特許文献２】特開平１１−２４１７３４号公報
【特許文献３】特開２００３−１２７８４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１記載の技術のように、リザーバを第１流体圧（マスタ）シリンダにのみ接続することで構成をコンパクトにすることができるが、その反面、伝達管や第２流体圧（スレーブ）シリンダにエアが混入した場合、混入したエアを排出するのが困難であると共に、排出までの時間がかかる。
【０００８】
特に、特許文献１記載の技術のように流体圧伝達装置が移動可能なロボットに用いられる場合、第２流体圧（スレーブ）シリンダにリザーバを設けるのがスペース的に困難であると共に、第２流体圧シリンダなどにエアが混入すると、細かい作業を行う際にレスポンスが低下する不都合も生じる。
【０００９】
特許文献２，３記載の技術にあっては、第２流体圧（スレーブ）シリンダもリザーバに接続されることから、第２流体圧（スレーブ）シリンダなどに混入したエアの排出も比較的容易であるが、その分だけ重量やサイズが大型となる。
【００１０】
また、特許文献１記載の技術のように第１流体圧（マスタ）シリンダのピストンが移動するとき、混入したエアをエア排出通路を介してリザーバに自然に排出されるように構成した場合、混入したエアを効率的に排出させることが困難である。
【００１１】
従って、この発明の目的は上記した課題を解決し、作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧（マスタ）シリンダと、それに伝達管を介して接続される第２流体圧（スレーブ）シリンダとを備え、構成においてコンパクトであると共に、混入したエアを効率良く排出させるようにした流体圧伝達装置などを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した課題を解決するために、請求項１にあっては、作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、前記第１流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第１ピストンと、前記第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダと、前記第２流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第２ピストンとを備え、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンの移動によって生成される流体圧を前記流体圧伝達管を介して前記第２流体圧シリンダに伝達して前記第２ピストンを移動させるように構成されるとともに、前記第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管とのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段と、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを除去するエア除去手段とを備える流体圧伝達装置を用いたロボットであって、前記ロボットは、関節を介して屈伸自在な複数本の指機構を有すると共に、前記第２流体圧シリンダが配置されるハンドと、前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位とを備え、前記エア除去手段が、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように前記ハンドの姿勢を制御する如く構成した。
【００１３】
請求項２に係るロボットにあっては、前記第１流体圧シリンダ内の流体圧を検出する検出手段を備えると共に、前記エア混入判定手段は、前記検出された流体圧の変化に基づいて前記エアが混入したか否か判定する如く構成した。
【００１４】
請求項３に係るロボットにあっては、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンを前記第２流体圧シリンダに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの前記後退方向への移動速度を前記前進方向へのそれよりも速くする如く構成した。
【００１５】
請求項４に係るロボットにあっては、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンを前記第２流体圧シリンダに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように前記ハンドの姿勢を制御する如く構成した。
【００１６】
請求項５に係るロボットにあっては、前記第１流体圧シリンダとリザーバがエア排出通路で接続されると共に、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを前記エア排出通路を介して前記リザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させる如く構成した。
【００１７】
請求項６に係るロボットにあっては、前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位に配置された第１流体圧シリンダの第１ピストンの移動を制御して前記ハンドの複数本の指機構を屈伸させる制御手段をさらに備える如く構成した。
【００１８】
請求項７に係るロボットにあっては、前記第２流体圧シリンダは、前記複数本の指機構の少なくともいずれかに配置され、前記指機構以外の部位に前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が前記重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダが配置される指機構の姿勢を制御する如く構成した。
【００１９】
請求項８に係るロボットにあっては、前記第２流体圧シリンダは、前記複数本の指機構の少なくともいずれかまたは前記ハンドに配置され、前記ハンド以外の部位に前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が前記重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダが配置される指機構またはハンドの姿勢を制御する如く構成した。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に係るロボットにあっては、作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダと流体圧伝達管とを備える流体圧伝達装置を備えると共に、第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管のうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段と、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段とを備える如く構成したので、第１流体圧シリンダのみがリザーバに接続される、換言すれば第２流体圧シリンダはリザーバに接続されないことになり、構成をコンパクトにすることができる。
【００２１】
また、流体圧伝達装置が、第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管のうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段と、混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段とを備え、ロボットは、関節を介して屈伸自在な複数本の指機構を有すると共に、第２流体圧シリンダが配置されるハンドと、第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位とを備え、エア除去手段が、エア混入判定手段によってエアが混入したと判定された場合、第１ピストンの後退方向に相当する第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるようにハンドの姿勢を制御する如く構成したので、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【００２２】
請求項２に係るロボットにあっては、第１流体圧シリンダ内の流体圧を検出する検出手段を備えると共に、エア混入判定手段は、検出された流体圧の変化に基づいてエアが混入したか否か判定する如く構成したので、上記した効果に加え、エアが混入したか否かを精度良く判定することができる。
【００２３】
請求項３に係るロボットにあっては、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、第１ピストンを第２流体圧シリンダに伝達される流体圧が増加する前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバに排出させると共に、第１ピストンの後退方向への移動速度を前進方向へのそれよりも速くする如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出させることができる。
【００２４】
即ち、第１ピストンを前進方向と後退方向とに交互に移動させると共に、後退方向への移動速度を前進方向よりも速くすることで、それに応じて第２ピストンを同様の方向（換言すれば第１流体圧シリンダの方向）に相応する速度で移動させることができ、混入したエアを第１流体圧シリンダに送り、そこからリザーバに排出させることができるので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００２５】
請求項４に係るロボットにあっては、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、第１ピストンを前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバに排出させると共に、第１ピストンの後退方向に相当する第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるようにハンドの姿勢を制御する如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出させることができる。
【００２６】
即ち、第１ピストンを前進方向と後退方向とに交互に移動させると共に、第２ピストンの後退方向が重力方向において上方となるようにハンドの姿勢を制御することで、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダに送ってリザーバに排出させることができるので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００２７】
請求項５に係るロボットにあっては、第１流体圧シリンダとリザーバがエア排出通路で接続されると共に、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、混入したエアをエア排出通路を介してリザーバに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させる如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００２８】
請求項６に係るロボットにあっては、第１ピストンの移動を制御してハンドの複数本の指機構を屈伸させる制御手段を備える如く構成したので、第１流体圧シリンダのみがリザーバに接続されることで構成をコンパクトにできると共に、第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管のうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段と、混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段とを備える如く構成したので、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【００２９】
請求項７に係るロボットにあっては、第２流体圧シリンダが、複数本の指機構の少なくともいずれかに配置され、指機構以外の部位に第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、第１ピストンの後退方向に相当する第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダが配置される指機構の姿勢を制御する如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、エアが混入したと判定された場合、第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダが配置される指機構の姿勢を制御することで、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダに送ってリザーバに排出でき、よって混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【００３０】
請求項８に係るロボットにあっては、第２流体圧シリンダが、複数本の指機構の少なくともいずれかまたはハンドに配置され、ハンド以外の部位に第１流体圧シリンダとリザーバが配置され、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、第１ピストンの後退方向に相当する第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダが配置される指機構またはハンドの姿勢を制御する如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダに送ってリザーバに排出でき、よって混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の第１実施例に係る流体圧伝達装置を模式的に示す概略図である。
【図２】この発明の第２実施例に係る流体圧伝達装置の第１流体圧（マスタ）シリンダの構成を示す説明断面図である。
【図３】第２実施例に係る流体圧伝達装置が用いられるヒューマノイド型ロボットの側面図である。
【図４】図３に示すロボットの腕部などを基体から取り外してロボットの右前方から見たときの部分断面斜視図である。
【図５】図３に示すハンドの拡大平面図である。
【図６】図５に示すハンドの指機構のうちの示指機構の構成を示す側面断面図である。
【図７】図５に示すハンドの指機構のうちの拇指機構の構成を示す平面断面図である。
【図８】図３に示すＥＣＵのその動作を示すフロー・チャートである。
【図９】図８のエア混入判定処理を示すサブ・ルーチン・フロー・チャートである。
【図１０】図９フロー・チャートのエア混入判定処理を説明する、第１流体圧シリンダのピストンの移動量に対する第１流体圧シリンダ内の油圧の変化を示す特性図である。
【図１１】図８フロー・チャートに示すエア除去処理のときのロボットの姿勢を示す、図４と同様のロボットの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付図面に即してこの発明に係る流体圧伝達装置及びそれを用いてなるロボットを実施するための形態について説明する。
【実施例１】
【００３３】
図１はこの発明の第１実施例に係る流体圧伝達装置を模式的に示す概略図である。
【００３４】
図示の如く、この発明の第１実施例に係る流体圧伝達装置（符号１０で示す）は、第１流体圧（マスタ）シリンダ１２と第２流体圧（スレーブ）シリンダ１４を備える。第１流体圧シリンダ１２は非圧縮性の作動油（作動流体）が貯留されるリザーバ１６に流体路２０を介して接続され、貯留された作動油を供給される。このように第１、第２流体圧シリンダ１２，１４は油圧シリンダとして構成される。
【００３５】
第１流体圧シリンダ１２と第２流体圧シリンダ１４は流体圧伝達管２２を介して接続される。第１流体圧シリンダ１２の内部には第１ピストン２４が移動自在に収容されると共に、第２流体圧シリンダ１４の内部には第２ピストン２６が移動自在に収容される。第２ピストン２６はロッドを介して適宜な被動部材３０に接続され、被動部材３０を進退させるか、さらに適宜な直線・回転変換手段（図示せず）を介して回転させる。
【００３６】
第１流体圧シリンダ１２の内部に収容される第１ピストン２４はアクチュエータ３２に接続され、アクチュエータ３２によって第１流体圧シリンダ１２の内部を移動させられる。アクチュエータ３２は例えばボールネジ機構を介して第１ピストン２４に接続される電動モータなどからなる。
【００３７】
流体圧伝達装置１０においては、第１ピストン２４はボールネジ機構によって直線運動に変換された電動モータ（アクチュエータ）３２の回転力に応じて第１流体圧シリンダ１２の内部を移動させられる。第１流体圧シリンダ１２内の第１ピストン２４の移動によって生成される流体圧は流体圧伝達管２２を介して第２流体圧シリンダ１４に伝達されて第２ピストン２６を移動させるように構成される。
【００３８】
即ち、第１ピストン２４が前進方向に移動させられるとき、第１流体圧シリンダ１２内の作動油は第１ピストン２４で押圧（加圧）され、流体伝達管２２を介して第２流体圧シリンダ１４に供給されて第２ピストン２６を（第１ピストン２４の前進方向に相当（対応）する）前進方向に移動させ、被動部材３０を前進させるか、直線・回転変換手段を介して屈伸（屈曲・伸長）させる。
【００３９】
他方、第１ピストン２４が前進方向と反対の後退方向に移動させられるとき、第１流体圧シリンダ１２内の作動油は第１ピストン２４で吸引（減圧）され、第２流体圧シリンダ１４内の作動油は流体伝達管２２を介して第１流体圧シリンダ１２に吸引され、よって第２ピストン２６を（第１ピストン２４の後退方向に相当（対応）する）後退方向に移動させ、被動部材３０を後退させるか、直線・回転変換手段を介して屈伸（伸長・屈曲）させる。
【００４０】
このように、この明細書において第１流体圧シリンダ１２内の第１ピストン２４の移動方向は、前進方向が第２流体圧シリンダ１４に伝達されるべき油圧（流体圧）が増加する方向を意味し、後退方向はその前進方向と反対の後退方向を意味する。
【００４１】
流体圧伝達装置１０においては、アクチュエータ３２の付近にはアクチュエータ３２の動作を通じて第１ピストン２４の移動量を検出する移動量検出手段３４が設けられると共に、第１流体圧シリンダ１２には第１流体圧シリンダ１２の内部の油圧（流体圧）を検出する圧力検出手段３６が設けられる。
【００４２】
流体圧伝達装置１０はＥＣＵ（Electronic Control Unit。電子制御ユニット）４０を備え、上記した移動量検出手段３４と圧力検出手段３６の出力はＥＣＵ４０に送られる。ＥＣＵ４０は、図示しないＣＰＵや入出力回路、ＲＯＭ，ＲＡＭなどを備えたマイクロコンピュータからなる。
【００４３】
ＥＣＵ４０は上記した検出手段３４，３６の出力に基づいて第１流体圧シリンダ１２と第２流体圧シリンダ１４と流体圧伝達管２２とのうちのいずれかにエア（空気）が混入したか否か判定するエア混入判定手段と、エア混入判定手段によってエアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段として機能する。
【００４４】
具体的には、ＥＣＵ４０はエア混入判定手段として機能するとき、圧力検出手段３６によって検出された第１流体圧シリンダ１２内の油圧の変化に基づいて第１流体圧シリンダ１２と第２流体圧シリンダ１４と流体圧伝達管２２とのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定する。
【００４５】
より具体的には、ＥＣＵ４０は、圧力検出手段３６によって検出された第１流体圧シリンダ１２内の油圧と移動量検出手段３４によって検出された第１流体圧シリンダ１２の第１ピストン２４の移動量に基づいてエアが混入したか否か判定する。
【００４６】
ＥＣＵ４０は、エア除去手段として機能するとき、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する。即ち、第１流体圧シリンダ１２内の第１ピストン２４を前進方向とそれと反対の後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバ１６に貯留される作動油の上方空間に排出させる。より具体的にはＥＣＵ４０は、第１ピストン２４の後退方向への移動速度を前進方向へのそれよりも速くしつつ、前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバ１６に貯留される作動油の上方空間に排出させる。
【００４７】
さらに、ＥＣＵ４０は、エア除去手段として機能するとき、エアが混入したと判定された場合、第１流体圧シリンダ１２内の第１ピストン２４を前進方向と後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアをリザーバ１６に貯留される作動油の上方空間に排出させると共に、第１ピストン２４の後退方向に相当する第２ピストン２６の移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４の姿勢を制御する。
【００４８】
さらに、ＥＣＵ４０は、エア除去手段として機能するとき、エアが混入したと判定された場合、第２流体圧シリンダ１４が第１流体圧シリンダ１２よりも重力方向において下方に位置するように第２流体圧シリンダ１４の姿勢を制御する。
【００４９】
このように第１実施例に係る流体圧伝達装置１０にあっては、作動油が貯留されるリザーバ１６に接続される第１流体圧シリンダ１２とそれに流体圧伝達管２２を介して接続される第２流体圧シリンダ１４と流体圧伝達管２２とのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段（ＥＣＵ４０）と、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段（ＥＣＵ４０）とを備える如く構成したので、第１流体圧シリンダ１２のみがリザーバ１６に接続される、換言すれば第２流体圧シリンダ１４はリザーバ１６に接続されないこととなり、構成をコンパクトにすることができる。また、エア混入判定手段（ＥＣＵ４０）とエア除去手段（ＥＣＵ４０）とを備える如く構成したので、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【００５０】
また、第１流体圧シリンダ１２内の油圧を検出する圧力検出手段３６を備えると共に、検出された油圧の変化に基づいてエアが混入したか否か判定する如く構成したので、エアが混入したか否かを精度良く判定できる。
【００５１】
また、第１ピストン２４を前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバ１６に排出させると共に、第１ピストン２４の後退方向への移動速度を前進方向へのそれよりも速くするように構成したので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００５２】
即ち、第１ピストン２４を前進方向と後退方向とに交互に移動させると共に、後退方向への移動速度を前進方向よりも速くすることで、それに応じて第２ピストン２６を同様の方向に相応する速度で移動させることができ、混入したエアを第１流体圧シリンダ１２に送り、そこからリザーバ１６に排出させることができるので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００５３】
また、エアが混入したと判定された場合、第１ピストン２４の後退方向に相当する第２ピストン２６の移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４の姿勢を制御するように構成したので、混入したエアを一層効率的に排出させることができる。
【００５４】
即ち、第１ピストン２４を前進方向と後退方向とに交互に移動させると共に、第２ピストン２６の後退方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４の姿勢を制御することで、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダ１２に送ってリザーバ１６に排出できるので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【００５５】
また、エアが混入したと判定された場合、第２流体圧シリンダ１４が第１流体圧シリンダ１２よりも重力方向において下方に位置するように第２流体圧シリンダ１４の姿勢を制御する如く構成したので、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダ１２に送ってリザーバ１６に排出できるので、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【実施例２】
【００５６】
図２はこの発明の第２実施例に係る流体圧伝達装置の第１流体圧シリンダの説明断面図である。第２実施例は、第１実施例と同様の流体伝達装置を用いてなるロボット、より具体的には人類似の形状を備えるヒューマノイド型ロボットのハンドに関する。
【００５７】
理解の便宜上、図３から図７を参照して第１実施例と同様の流体圧伝達装置を用いられるロボットを説明すると、図示の如く、ロボット（符号１００で示す）は、左右２本の脚部１０２を備える脚式移動ロボットとして構成される。尚、第２実施例に係る流体圧伝達装置において第１実施例と同一の部材は同一の符号で末尾に添え字ａを付して示すと共に、説明を可能な限り省略する。
【００５８】
脚部１０２は基体（上体）１０４の下部に連結されると共に、それぞれ大腿リンク１０６と下腿リンク１１０と足部１１２とを備える。大腿リンク１０６は、股関節を介して基体１０４に連結される。股関節には、それぞれＺ軸（ヨー軸）回りの回転軸とＹ軸（ピッチ軸。ロボット１００の前後方向）回りの回転軸とＸ軸（ロール軸。ロボット１００の左右方向）回りの回転軸を有する３個の電動モータが配置される。
【００５９】
大腿リンク１０６と下腿リンク１１０は膝関節を介して連結されると共に、下腿リンク１１０と足部１１２は足関節を介して連結される。膝関節にはＹ軸回りの回転軸を有する電動モータが配置されると共に、足関節にはＹ軸回りとＸ軸回りの回転軸を有する電動モータが配置される。
【００６０】
基体１０４の上部には頭部１１４が連結されると共に、側方には左右２本の腕部（リンク）１１６が連結される。左右の腕部１１６の先端には、それぞれハンド（エンドエフェクタ）１２０が連結される。
【００６１】
左右の腕部１１６は、それぞれ上腕リンク１２２と下腕リンク１２４を備える。上腕リンク１２２は肩関節１２６を介して基体１０４に連結される。上腕リンク１２２と下腕リンク１２４は肘関節１３０を介して連結されると共に、下腕リンク１２４とハンド１２０は手首関節１３２を介して連結される。
【００６２】
肩関節１２６にはＹ軸回りの回転軸とＸ軸回りの回転軸とＺ軸回りの回転軸を有する３個の電動モータが、肘関節１３０にはＹ軸回りの回転軸を有する電動モータが、手首関節１３２にはＺ軸回りの回転軸とＹ軸回りの回転軸とＸ軸回りの回転軸とを有する３個電動モータが配置される。
【００６３】
基体１０４の背部には格納部１３４が設けられ、その内部には前記したＥＣＵ（制御手段）４０ａおよびバッテリ（図示せず）などが収容される。ロボット１００は、内部構造を保護するためのカバーで被覆される。ＥＣＵ４０ａは、図示しないＣＰＵや入出力回路、ＲＯＭ，ＲＡＭなどを備えたマイクロコンピュータからなり、脚部１０２の電動モータなどの動作を制御してロボット１００を移動させると共に、腕部１１６の電動モータなどの動作を制御する。
【００６４】
図４は図３に示す右側の腕部１１６などを基体１０４から取り外してロボット１００の右前方から見たときの部分断面斜視図である。図４では、理解の便宜のため、内部構造を保護するためのカバーなどを適宜に取り外した状態で示す。
【００６５】
図４に示す如く、ロボット１００は、腕部１１６の肩関節１２６の付近の部位（前記した部位）には、前記した第１流体圧（マスタ）シリンダ１２ａとアクチュエータ３２ａとリザーバ１６ａなどとが一体的にされたシリンダユニット１２ａＡが１３個設けられる。１３個のシリンダユニット１２ａＡは、２個ずつ４列に並列に配設された第１の組と、２個と３個で並列に配設された第２の組からなる。
【００６６】
図５は図３に示すハンド１２０の拡大平面図である。
【００６７】
ハンド１２０は、人間の手を模倣して製作され、屈伸機能を有する５本の指機構１３６、具体的には拇指機構１３６Ａ、示指機構１３６Ｂ、中指機構１３６Ｃ、環指機構１３６Ｄおよび小指機構１３６Ｅを備える。
【００６８】
拇指機構１３６Ａは、指先側から順に拇指機構１３６Ａを手の平側などに向かう方向に回転させる１軸の回転軸からなるＩＰ関節（拇指指節間関節）１３６Ａ１とＭＰ関節（拇指中手指節関節）１３６Ａ２とＣＭ１関節（拇指手根中手関節）１３６Ａ３を備えると共に、それらと交差して拇指機構１３６Ａを手の平側などに向かう方向に回転させる１軸の回転軸からなるＣＭ２関節（拇指手根中手関節）１３６Ａ４を備える。
【００６９】
図６は図５に示す各指機構１３６のうちの示指機構１３６Ｂの側面断面図である。
【００７０】
図示の如く、示指機構１３６Ｂは、指先側から順に、示指機構１３６Ｂを手の平側に向かう方向に回転させる１軸の回転軸からなるＤＩＰ関節（遠位指節間関節）１３６ＦとＰＩＰ関節（近位指節間関節）１３６ＧとＭＰ１関節（中手指節関節）１３６Ｈを備えると共に、それらと交差して示指機構１３６Ｂを隣接する他の指機構に接近・離間する方向に回転させる１軸の回転軸からなるＭＰ２関節（中手指節関節）１３６Ｉを備える。図示は省略するが、他の中指機構１３６Ｃ、環指機構１３６Ｄおよび小指機構１３６Ｅも同様の構造を備える。
【００７１】
図５の説明に戻ると、各指機構１３６のＭＰ１関節１３６Ｈの指先側と後側のハンド１２０の基部１２０Ａには２個の第２流体圧（スレーブ）シリンダ１４ａが配置される。それら第２流体圧シリンダ１４ａは流体圧伝達管２２ａを介して第１流体圧シリンダ１２ａから作動流体圧（油圧）を供給される／あるいは第１流体圧シリンダ１２ａに排出する。
【００７２】
図６を参照して示指機構１３６Ｂにおける２個の第２流体圧シリンダ（以下「１４ａ１，１４ａ２」という）を説明する。基部側から説明すると、第２流体圧シリンダ１４ａ２のシリンダ本体１４ａ２１は基部１２０Ａに固定されると共に、第２ピストン２６ａ２１に取り付けられるロッド２６ａ２２は中手指節（被動部材３０ａ）に接続される。
【００７３】
指先側の第２流体圧シリンダ１４ａ１のシリンダ本体１４ａ１１は中手指節に固定されると共に、第２ピストン２６ａ１１に取り付けられるロッド２６ａ１２は先端の近位指節と遠位指節（指先。被動部材３０ａ）に連結部材２６ａ１３とリンク部材２６ａ１４を介して固定される。
【００７４】
この構成において図示しない第１流体圧シリンダ１２ａの前進方向への移動に伴って作動流体圧が流体圧伝達管２２ａを介して基部側の第２流体圧シリンダ１４ａ２に供給されると、第２ピストン２６ａ２１も（それに相当して）前進方向に移動し、中手指節から先端側の部位をＭＰＩ関節１３６Ｈ回りに屈曲させる。
【００７５】
また、第１流体圧シリンダ１２ａの前進方向への移動に伴って作動油がＭＰ１関節１３６Ｈ回りに配置される伝達管（図示せず）を介して指先側の第２流体圧シリンダ１４ａ１に供給されると、第２ピストン２６ａ１１も前進方向に移動し、近位指節をＰＩＰ関節１３６Ｇ回りに屈曲させると共に、連結部材２６ａ１３とリンク部材２６ａ１４を介して遠位指節を屈曲させる。
【００７６】
他方、第１流体圧シリンダ１２ａの後退方向への移動に伴って作動流体圧が第２流体圧シリンダ１４ａ１，１４ａ２から流体圧伝達管２２ａを介して第１流体圧シリンダ１２ａに排出されると、示指機構１３６Ｂは逆に伸長するように動作する。尚、ＭＰ２関節１３６Ｉ回りの動作は図示しない３個目の第２流体圧シリンダ（図５に「１４ａａ」と示す）によって行われる。
【００７７】
図示は省略するが、他の非拇指機構、即ち、中指機構１３６Ｃ、環指機構１３６Ｄおよび小指機構１３６Ｅも、環指機構１３６Ｄと小指機構１３６Ｅが３個目の第２流体圧シリンダ１４ａａを有しない点を除くと、同様の構造を備える。
【００７８】
次いで図７を参照して拇指機構１３６Ａについて説明すると、拇指機構１３６ＡはＣＭ１関節１３６Ａ３の回転軸１３６Ａ３１を回転させる第２流体圧シリンダ（以下「１４ａ３」という）と、ＭＰ関節１３６Ａ２の回転軸１３６Ａ２１を回転させる第２流体圧シリンダ（以下「１４ａ４」という）を備える。
【００７９】
第２流体圧シリンダ１４ａ３のシリンダ本体１４ａ３１はＣＭ２関節１３６Ａ４の回転軸とされると共に、ハンド１２０の基部１２０Ａに配置、具体的には回転自在に支持される。次の第２流体圧シリンダ１４ａ４のシリンダ本体１４ａ４１はＣＭ１関節１３６Ａ３の回転軸１３６Ａ３１を介して第２流体圧シリンダ１４ａ３に回転自在に連結される。
【００８０】
第２流体圧シリンダ１４ａ４に作動流体圧を供給する流体圧伝達管２２ａはＣＭ１関節１３６Ａ３の回転軸１３６Ａ３１の内部に収容される。第２流体圧シリンダ１４ａ４の第２ピストン２６ａ４１に取り付けられるロッド２６ａ４２は先端の近位指節と遠位指節（指先。被動部材３０ａ）に連結部材２６ａ４３とリンク部材２６ａ４４を介して固定される。
【００８１】
この構成において図示しない第１流体圧シリンダ１２ａの前進方向への移動に伴って作動流体圧が流体圧伝達管２２ａを介して第２流体圧シリンダ１４ａ４に供給されると、第２ピストン２６ａ４１も（それに相当して）前進方向に移動し、近位指節から先端側の部位をＭＰ関節１３６Ａ２回りに屈曲させる。
【００８２】
また、同図に示す如く、第２流体圧シリンダ１４ａ３に作動流体圧を供給する流体圧伝達管２２ａは、図７において上方の非拇指機構１３６Ｂから１３６Ｅに近接して配置される。
【００８３】
第１流体圧シリンダ１２ａの前進方向への移動に伴って作動流体圧がその伝達管２２ａを介して第２流体圧シリンダ１４ａ３に供給されると、第２ピストン２６ａ３１も前進方向（図７で上方）に移動し、拇指機構１３６ＡをＣＭ１関節１３６Ａ３回りに回転させ、よって拇指機構１３６Ａを回転させる。
【００８４】
同図から明らかな如く、（ハンド１２０に配置された）拇指機構１３６Ａの第２流体圧シリンダ１４ａ３の第２ピストン２６ａ３１の前進方向は、同じ拇指機構１３６Ａの屈伸用の第２流体圧シリンダ１４ａ４のそれと逆方向になると共に、非拇指機構１３６Ｂから１３６Ｅの屈伸用の第２流体圧シリンダ１４ａのそれとも逆方向となる。
【００８５】
さらに、図５に示す如く、ＣＭ２関節１３６Ａ４は、横方向に配置された３個目の第２流体圧シリンダ（「１４ａｂ」と示す）に連結され、第２流体圧シリンダ１４ａｂはハンド１２０の基部１２０Ａ側から作動流体圧の供給を受けると、図５において横方向に前進して拇指機構１３６Ａを手の平側などに屈曲させる。
【００８６】
指機構１６とハンド１２０には１３個の第２流体圧シリンダ１４ａとそれに対応する個数の１３個の流体圧伝達管２２ａが設けられるが、図３において流体圧伝達管２２ａは６個のみ示した。尚、上記した構成は本出願人が先に提案した特開２０１０−２６４５４６号に詳細に記載されているので、これ以上の説明は省略する。
【００８７】
このように、ハンド１２０の指機構１３６にあっては、第１流体圧シリンダ１２ａからの第２流体圧シリンダ１４ａへの作動油（作動流体圧）の給排に対応して関節が屈伸（屈曲・伸長）させられることとなり、例えば物を把持する、あるいは適宜な方向を指差すなどの動作が実行可能とされる。
【００８８】
上記を前提として図２の説明に戻ると、同図は、上記したようにロボット１００の腕部１１６の肩関節１２６の付近に配置される、第２実施例に係る流体圧伝達装置（符号１０ａで示す）の第１流体圧（マスタ）シリンダ１２ａ（シリンダユニット１２ａＡ）の説明断面図である。
【００８９】
図示の如く、第１流体圧シリンダ１２ａはシリンダ本体１２ａ１を備え、その内部には作動油が充填されると共に、第１ピストン２４ａが移動自在な圧力室１２ａ１１が形成される。シリンダ本体１２ａ１には他端側で連結ブロック１２ａ２を介してガイド部材１２ａ３が接続される。
【００９０】
第１ピストン２４ａはガイド部材１２ａ３の内部でボールネジ機構５０を介してアクチュエータ３２ａに接続される。アクチュエータ３２ａは電動モータからなり、その回転力はベルト・プーリ５２を介してボールネジ機構５０に伝えられ、第１ピストン２４ａをシリンダ本体１２ａ１内で移動（往復動）させる。
【００９１】
連結ブロック１２ａ２はシリンダ本体１２ａ１よりも内径が拡大され、第１ピストン２４ａが図示のように限度近くまで後退したとき、第１ピストン２４ａの先端部を収容する収容部１２ａ３１が形成される。シリンダ本体１２ａ１には圧力室１２ａ１１から収容部１２ａ３１に向けて徐々に拡径されるテーパ部１２ａ１２が形成され、よって第１ピストン２４ａが図示のように後退したときも圧力室１２ａ１１はテーパ部１２ａ１２を介して収容部１２ａ３１と連通する。
【００９２】
ガイド部材１２ａ３に隣接して作動油を貯留するリザーバ１６ａが配置される。リザーバ１６ａの下部（作動油貯留部位）と収容部１２ａ３１は流体路２０ａで接続されると共に、リザーバ１６ａの上部（作動油の上方空間）はエア排出通路５４で接続される。
【００９３】
従って、エアが第１流体圧シリンダ１２ａと流体圧伝達管２２ａと第２流体圧シリンダ１４ａのうちのいずれかに混入した場合、エアは重力方向において上方の圧力室１２ａ１１に向かう。そのとき、第１ピストン２４ａを図示の位置まで後退させてその先端部を収容部１２ａ３１まで後退させると、エアはテーパ部１６ａ１２からエア排出通路５４を介してリザーバ１６ａ１の作動油の上方空間に排出される。
【００９４】
第２実施例に係る流体圧伝達装置１０ａにおいても、アクチュエータ（電動モータ）３２ａにはアクチュエータ３２ａの移動量を通じて第１流体圧シリンダ１２ａの第１ピストン２４ａの移動量を示す出力を生じる（検出する）、ロータリエンコーダからなる移動量検出手段３４ａが設けられる。
【００９５】
流体圧伝達管２２ａには第１流体圧シリンダ１２ａに接近した位置において流体圧伝達管２２ａの内部の油圧を通じて第１流体圧シリンダ１２ａの内部の油圧（流体圧）を示す出力を生じる（検出する）、圧力センサからなる圧力検出手段３６ａが設けられる。
【００９６】
上記した移動量検出手段３４ａと圧力検出手段３６ａの出力は、ロボット１００の基体１０４の背後の格納部１３４に格納されたＥＣＵ４０ａに送られる。ＥＣＵ４０ａは上記した検出手段３４ａの出力、より具体的には２つの検出手段３４ａ，３６ａの出力に基づいて第１流体圧シリンダ１２ａと第２流体圧シリンダ１４ａと流体圧伝達管２２ａとのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定し、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する。
【００９７】
図８はＥＣＵ４０ａのその動作を示すフロー・チャートである。
【００９８】
図示のプログラムはロボット１００の起動時などに実行される。
【００９９】
以下説明すると、Ｓ１０において第１流体圧シリンダ１２ａなどにエアが混入したか否か判定する。
【０１００】
図９はその処理を示すサブ・ルーチン・フロー・チャートである。
【０１０１】
以下説明すると、Ｓ１００において圧力変化を検出する。即ち、アクチュエータ（電動モータ）３２ａを動作させ、移動量検出手段３４ａの出力から得たアクチュエータ３２ａの角度変位［ｒａｄ］（第１ピストン２４ａの移動量に相当）を検出すると共に、圧力検出手段３６ａの出力から第１流体圧シリンダ１２ａ内の油圧［Ｍｐａ］を検出する。
【０１０２】
次いでＳ１０２に進み、検出された油圧を検出された角度変位で除算して得た商（圧力変化）がしきい値（例えば１．２［Ｍｐａ／ｒａｄ］）を下回るか否か判断し、肯定されるときはＳ１０４に進み、エア混入ありと判定する一方、否定されるときはＳ１０６に進み、エア混入なしと判定する。
【０１０３】
図１０は第１ピストン２４ａの移動量に対する流体圧シリンダ１２内の油圧の変化を示す特性図である。同図で実線はエア混入なし、破線はエア混入ありを示す。即ち、第１流体圧シリンダ１２ａなどにエアが混入した場合、エアが混入していない場合に比して第１ピストン２４の移動量に対する油圧の変化は応答性が低下する。
【０１０４】
従ってＳ１０２の処理において適宜なしきい値を設定して検出値をそれと比較することで、エアの混入の有無を精度良く判定することができる。しきい値は例えばロボット１００のハンド１２０の動作に支障が来たさない程度の値を選択して設定する。
【０１０５】
尚、Ｓ１０２の処理においては第１ピストン２４ａを所定量移動させたときの油圧の時間的な変化を検出して適宜設定するしきい値と比較するようにしても良い。
【０１０６】
図８フロー・チャートの説明に戻ると、次いでＳ１２に進み、エア混入ありと判定されたか否か判断し、否定されるときは以降の処理をスキップする一方、肯定されるときはＳ１４に進み、混入したエアを除去する。
【０１０７】
即ち、アクチュエータ３２ａを動作させて第１流体圧シリンダ１２ａ内の第１ピストン２４ａを前進方向とそれと反対の後退方向とに交互に適宜な回数だけ移動させ、混入したエアをエア排出通路５４を介してリザーバ１６ａに貯留される作動油の上方空間に排出させるように、アクチュエータ３２ａの回転方向を切り替える。即ち、ＥＣＵ４０ａは第１流体圧シリンダ１２ａの第１ピストン２４ａの移動を制御してハンド１２０の複数本の指機構１３６を屈伸させる制御手段として機能する。
【０１０８】
このとき、第１ピストン２４ａの後退方向への移動速度を前進方向へのそれよりも速くしつつ、前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをエア排出通路５４を介してリザーバ１６ａに貯留される作動油の上方空間に排出させる。
【０１０９】
さらに、このとき、第１流体圧シリンダ１２ａ内の第１ピストン２４ａを前進方向と後退方向とに交互に移動させて混入したエアをリザーバ１６に貯留される作動油の上方空間に排出させると共に、第２流体圧シリンダ１４ａの（第１ピストン２４ａの後退方向に相当する）第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４ａの姿勢を制御する。
【０１１０】
より具体的には、図３に示す如く、非拇指機構、即ち、示指機構１３６Ｂ、中指機構１３６Ｃ、環指機構１３６Ｄおよび小指機構１３６Ｅに配置された（第１ピストン２４ａの後退方向に相当する）第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において上方となるよう第２流体圧シリンダ１４ａが配置される非拇指機構の姿勢を制御する。
【０１１１】
他方、図１１に示す如く、ハンド１２０、より具体的にはその基部１２０Ａに回転自在に支持（配置）される第２流体圧シリンダ１４ａ３については、エア除去手段は、エアが混入したと判定された場合、第１ピストン２４ａの後退方向に相当する第２ピストン１４ａ３１の移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４ａ３が配置される指機構１３６またはハンド１２０、より具体的にはハンド１２０の姿勢を制御する。
【０１１２】
このように第２実施例に係る流体圧伝達装置１０ａにあっては、第１実施例と同様に構成したので、第１流体圧シリンダ１２ａのみがリザーバ１６ａに接続される、換言すれば第２流体圧シリンダ１４ａはリザーバ１６ａに接続されないようにしたので、構成をコンパクトにすることができる。また、エア混入判定手段（ＥＣＵ４０ａ）とエア除去手段（ＥＣＵ４０ａ）とを備える如く構成したので、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができるなど、第１実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１１３】
さらに、第２実施例に係る流体圧伝達装置１０ａにあっては、ロボット１００で関節を介して屈伸自在な複数本の指機構の少なくともいずれかに第２流体圧シリンダ１４ａが配置されるハンド１２０と、第１流体圧シリンダ１２ａとリザーバ１６ａが配置される部位と、第１流体圧シリンダ１２ａの第１ピストン２４ａの移動を制御してハンド１２０の複数本の指機構１３６を屈伸させるＥＣＵ４０ａを備える如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１１４】
また、エアが混入したと判定された場合、第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４ａが配置される指機構１２６の姿勢を制御、より具体的には非拇指機構１３６Ｂから１３６Ｅに配置された第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において上方となる一方、拇指機構１３６Ａに配置された第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において下方となるように第２流体圧シリンダ１４ａが配置される指機構１２６の姿勢を制御する如く構成したので、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダ１２ａに送ってリザーバ１６ａに排出でき、よって混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１１５】
上記した如く、この発明の第１、第２実施例にあっては、作動流体（作動油）が貯留されるリザーバ１６，１６ａに接続される第１流体圧シリンダ１２ａと、前記第１流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第１ピストン２４ａと、前記第１流体圧シリンダに流体圧伝達管２２ａを介して接続される第２流体圧シリンダ１４ａと、前記第２流体圧シリンダ内に移動自在に収容される第２ピストン２６ａとを備え、前記第１流体圧シリンダ内の第１ピストンの移動によって生成される流体圧を前記流体圧伝達管を介して前記第２流体圧シリンダに伝達して前記第２ピストンを移動させるように構成されるとともに、前記第１流体圧シリンダと第２流体圧シリンダと流体圧伝達管とのうちのいずれかにエアが混入したか否か判定するエア混入判定手段（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１００からＳ１０６）と、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを除去するエア除去手段（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）とを備える流体圧伝達装置を用いたロボットであって、前記ロボット１００は、関節１３６Ａ２，１３６Ａ３，１３６Ｇ，１３６Ｈを介して屈伸自在な複数本の指機構１３６を有すると共に、前記複数本の指機構１３６の少なくともいずれかに前記第２流体圧シリンダが配置されるハンド１２０と、前記第１流体圧シリンダとリザーバが配置される部位（腕部１１６の肩関節１２６の付近の部位等）とを備え、前記エア除去手段が、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるようにハンドの姿勢を制御する如く構成したので、第１流体圧シリンダ１２ａのみがリザーバ１６ａに接続される、換言すれば第２流体圧シリンダ１４，１４ａはリザーバ１６ａに接続されないこととなり、構成をコンパクトにすることができる。
【０１１６】
また、エアが混入したか否か判定するエア混入判定手段（ＥＣＵ４０ａ）と、混入したと判定された場合、混入したエアを除去するエア除去手段（ＥＣＵ４０ａ）とを備える如く構成したので、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１１７】
また、前記第１流体圧シリンダ１２，１２ａ内の流体圧を検出する検出手段を備えると共に、前記エア混入判定手段は、前記検出された流体圧の変化に基づいて前記エアが混入したか否か判定する（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１００からＳ１０６）如く構成したので、上記した効果に加え、エアが混入したか否かを精度良く判定することができる。
【０１１８】
また、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ１２ａ内の第１ピストン２４ａを前記第２流体圧シリンダ１４ａに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバ１６ａに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの前記後退方向への移動速度を前記前進方向へのそれよりも速くする（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出させることができる。
【０１１９】
また、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１流体圧シリンダ１２ａ内の第１ピストン２４ａを前記第２流体圧シリンダ１４ａに伝達される流体圧が増加する前進方向と前記前進方向と反対の後退方向とに交互に移動させて前記混入したエアを前記リザーバ１６ａに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させると共に、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるようにハンド１２０の姿勢を制御する（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出させることができる。
【０１２０】
また、第２実施例にあっては前記第１流体圧シリンダ１２ａとリザーバ１６ａがエア排出通路５４で接続されると共に、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記混入したエアを前記エア排出通路５４を介して前記リザーバ１６ａに貯留される作動流体の重力方向における上方空間に排出させるＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）如く構成したので、上記した効果に加え、混入したエアを一層効率的に排出できる。
【０１２１】
また、第２実施例にあっては、前記第１流体圧シリンダ１２ａとリザーバ１６ａが配置される部位（肩関節１２６付近の部位）に配置された第１流体圧シリンダ１２ａの第１ピストン２４ａの移動を制御して前記ハンドの複数本の指機構を屈伸させる制御手段（ＥＣＵ４０ａ）をさらに備える如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１２２】
また、前記第２流体圧シリンダ１４ａは、複数本の指機構１３６の少なくともいずれか、より具体的には全てに配置され、前記指機構以外の部位（肩関節１２６付近の部位）に前記第１流体圧シリンダ１２ａとリザーバ１６ａが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストンの後退方向に相当する前記第２ピストンの移動方向が重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダが配置される指機構の姿勢を制御する（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、エアが混入したと判定された場合、第２ピストン２６ａの移動方向が重力方向において上方となるように第２流体圧シリンダ１４ａが配置される指機構の姿勢を制御することで、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダ１２ａに送ってリザーバ１６ａに排出でき、よって混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１２３】
また、前記第２流体圧シリンダ１４ａ３は、前記複数本の指機構１３６の少なくともいずれかまたはハンド１２０に配置され、前記ハンド以外の部位（肩関節１２６付近の部位）に前記第１流体圧シリンダ１２ａとリザーバ１６ａが配置され、前記エア除去手段は、前記エア混入判定手段によって前記エアが混入したと判定された場合、前記第１ピストン２４ａの後退方向に相当する前記第２ピストン２６ａ３１の移動方向が重力方向において上方となるように前記第２流体圧シリンダ１４ａ３が配置される指機構１３６Ａまたはハンド１２０の姿勢を制御する（ＥＣＵ４０ａ，Ｓ１２からＳ１４）如く構成したので、構成をコンパクトにできると共に、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを上方に浮遊させつつ第１流体圧シリンダ１２ａに送ってリザーバ１６ａに排出でき、よって混入したエアを効率良く、かつ短時間に排出させることができる。
【０１２４】
尚、上記において、流体圧伝達装置１０ａをロボット１００のハンド１２０の指機構１３６に用いたが、それに限られるものではなく、ロボット１００の足部１１２に指機構を設けてそこに用いても良く、さらには移動型のロボット１００に限らず、固定型の産業用ロボットの関節機構などに用いても良い。
【符号の説明】
【０１２５】
１０，１０ａ  流体圧伝達装置、１２，１２ａ  第１流体圧（マスタ）シリンダ、１４，１４ａ（１４ａ３）  第２流体圧（スレーブ）シリンダ、１６，１６ａ  リザーバ、２２，２２ａ  流体圧伝達管、２４，２４ａ  第１ピストン、２６，２６ａ  第２ピストン、３０，３０ａ  被動部材、３２，３２ａ  アクチュエータ、３４，３４ａ  移動量検出手段、３６，３６ａ  圧力検出手段、４０，４０ａ  ＥＣＵ（電子制御ユニット）、５４  エア排出通路、１００  ロボット、１０２  脚部、１０４  基体、１１２  足部、１１６  腕部、１２０  ハンド、１３６  指機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図５】
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