(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状のスクライビングホイールを回転自在に保持する保持溝と、前記スクライビングホイールを固定するためのピン孔を備えたスクライビングホイール用ホルダーであって、
前記保持溝の内壁の前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に、円弧状の溝が形成されており、前記円弧状の溝はピン孔よりも上方に形成され、前記保持溝の端まで延設されていることを特徴とするスクライビングホイール用ホルダー。
【請求項２】
前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向しない位置まで延設されていることを特徴とする請求項１に記載のスクライビングホイール用ホルダー。
【請求項３】
前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置においては最も溝の深さが深く、前記スクライビングホールの側面と対向しない位置から保持溝の端部へと近づくにつれて溝の深さを浅くされていることを特徴とする請求項２に記載のスクライビングホイール用ホルダー。
【請求項４】
前記溝は、複数設けられていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のスクライビングホイール用ホルダー。
【請求項５】
前記複数の溝は、それぞれの曲率が異なっていることを特徴とする請求項４に記載のスクライビングホイール用ホルダー。
【請求項６】
請求項１から５の何れかに記載のスクライビングホイール用ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドを備えたスクライブ装置。
【請求項７】
前記スクライビングホイール用ホルダーが着脱可能なホルダージョイントを備えた請求項６に記載のスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の脆性材料基板にスクライブラインを形成するためのスクライビングホイールを保持するスクライビングホイール用ホルダー及びスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネルや有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）パネル等のフラットディスプレイパネル、太陽電池等の製造工程では、マザーガラス基板等の脆性材料基板の分断工程が設けられている。この分断工程では、通常スクライブ装置が用いられている。そして、分断工程では、このスクライブ装置に備えられたスクライビングホイールに脆性材料基板の材質や厚み等の諸条件に見合った荷重を負荷しながら、スクライビングホイールを脆性材料基板の表面上を転動させてスクライブラインを形成し、脆性材料基板に所定の力を負荷することにより脆性材料基板をスクライブラインに沿って分断し、個々のパネルや各種基板を製造している。
【０００３】
このスクライブ装置としては、例えば下記特許文献１に示されているものが知られている。特許文献１に記載されているスクライブ装置は、脆性材料基板が載置されるテーブルを跨ぐように架設されたブリッジに、移動可能なスクライブヘッドが取り付けられており、このスクライブヘッドにスクライビングホイールを保持しているホルダーが取り付けられている。
【０００４】
そして、このスクライビングホイール用のホルダーは、先端に二つの平坦部を有し、この二つの平坦部の間の保持溝にスクライビングホイールを回転自在に保持する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００７／０６３９７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この保持溝で保持されたスクライビングホイールと保持溝の内壁との間に、分断工程で生じた微小なカレット等の異物が入り込んでしまい、スクライビングホイールと内壁との間に異物が挟まったままスクライビングホイールが回転することで、スクライビングホイールの回転不良が発生するという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明者は、この問題を解消すべく種々検討を重ねた結果、ディスク状のスクライビングホイールを回転自在に保持する保持溝を備えたスクライビングホイール用ホルダーにおいて、保持溝の内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に、溝を形成しておくことで、この問題を解消し得ることに想到し、本発明を完成するに至ったものである。
【０００８】
すなわち、本発明は上記問題を解消することを課題とし、スクライビングホイール用ホルダーにおいて、保持溝の内壁とスクライビングホイールとの間への異物進入によるスクライビングホイールの回転不良が発生することを防止できるスクライビングホイール用ホルダー及びスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の第１の態様は、ディスク状のスクライビングホイールを回転自在に保持する保持溝と、前記スクライビングホイールを固定するためのピン孔を備えたスクライビングホイール用ホルダーであって、前記保持溝の内壁の前記スクライビングホイールの側面と対向する位置に、円弧状の溝が形成されており、前記円弧状の溝はピン孔よりも上方に形成され、前記保持溝の端まで延設されていることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の第２の態様は、第１の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向しない位置まで延設されていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の第３の態様は、第２の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、前記スクライビングホイールの側面と対向する位置においては最も溝の深さが深く、前記スクライビングホールの側面と対向しない位置から保持溝の端部へと近づくにつれて溝の深さを浅くされていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の第４の態様は、第１から３の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記溝は、複数設けられていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の第５の態様は、第４の態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーであって、前記複数の溝は、それぞれの曲率が異なっていることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の第６の態様は、第１から５の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドを備えたスクライブ装置であることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の第７の態様は、第６の態様にかかるスクライブ装置であって、前記スクライビングホイール用ホルダーが着脱可能なホルダージョイントを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の第１の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、保持溝の内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に、溝が形成されているので、保持溝の内壁とスクライビングホイールとの間にカレット等の異物が進入したとしても、溝に異物が溜まるので、スクライビングホイールの回転不良を低減することができる。
【００１７】
本発明の第２の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝がスクライビングホイールの側面と対向しない位置まで延設されているので、異物をスクライビングホイールの側面と対向しない位置へ排出することができ、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。
【００１８】
本発明の第３の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が保持溝の端まで延設されているので、異物をスクライビングホイール用ホルダーから排出することができ、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。
【００１９】
本発明の第４の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が複数設けられているので、サイズの異なるスクライビングホイールであっても対応できる。また、異物が溝に溜まる確率が高まるので、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。
【００２０】
本発明の第５の態様によれば、スクライビングホイール用ホルダーは、溝が鉛直方向に向かって伸びているので、カレット等の異物がより排出し易くなっているため、スクライビングホイールの回転不良をより低減することができる。
【００２１】
本発明の第６の態様によれば、スクライブ装置は、第１から５の何れかの態様にかかるスクライビングホイール用ホルダーが取り付けられたスクライブヘッドを備えているので、第１から５の態様にかかる効果を奏するスクライブ装置を提供することができる。
【００２２】
本発明の第７の態様によれば、スクライブ装置は、スクライビングホイール用ホルダーが着脱可能なホルダージョイントを備えているので、スクライビングホールを交換する際に、スクライビングホイール用ホルダーごと交換することができるので、交換作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施形態１におけるスクライブ装置の概略図である。
【図２】実施形態１におけるホルダーが取り付けられたホルダージョイントの正面図である。
【図３】実施形態１におけるホルダーの斜視図である。
【図４】ホルダーの内壁に形成された溝の実施例を示した図である。
【図５】ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。
【図６】ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。
【図７】ホルダーの内壁に形成された溝の他の実施例を示した図である。
【図８】実施形態２におけるホルダーの斜視図である。
【図９】実施形態３におけるホルダーの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。ただし、以下に示す実施形態は、本発明の技術思想を具体化するためのスクライブ装置及びスクライビングホイール用ホルダーの一例を示すものであって、本発明をこのスクライブ装置及びスクライビングホイール用ホルダーに特定することを意図するものではなく、本発明は特許請求の範囲に含まれるその他の実施形態のものにも適応し得るものである。
【００２５】
［実施形態１］
本発明の実施形態１に係るスクライブ装置１０の概略図を図１に示す。スクライブ装置１０は、移動台１１が一対の案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動自在に保持されている。移動台１１はボールネジ１３と螺合している。このボールネジ１３はモータ１４の駆動により回転し、移動台１１を案内レール１２ａ，１２ｂに沿って、ｙ軸方向に移動させる。
【００２６】
移動台１１の上面にはモータ１５が設けられている。モータ１５はテーブル１６をｘｙ平面で回転させて所定角度に位置決めするものである。脆性材料基板１７はこのテーブル１６上に載置され、図示しない真空吸引手段などにより保持される。
スクライブ装置１０の上部には、脆性材料基板１７のアライメントマークを撮像する２台のＣＣＤカメラ１８が設けられている。そして、スクライブ装置１０には、移動台１１とその上部のテーブル１６を跨ぐようにブリッジ１９がｘ軸方向に沿って支柱２０ａ，２０ｂにより架設されている。
【００２７】
ブリッジ１９にはガイド２２が取り付けられており、スクライブヘッド２１はガイド２２に沿ってｘ軸方向に沿って移動可能となっている。そして、このスクライブ装置１０のスクライブヘッド２１には、ホルダージョイント２３を介して、スクライビングホイール５０（図２参照）を回転自在に保持している実施形態１のホルダー４０ａが取り付けられている。
【００２８】
次に、ホルダー４０ａが取り付けられたホルダージョイント２３と、このホルダー４０ａについて、図２及び図３を用いて説明する。図２はホルダー４０ａが取り付けられたホルダージョイント２３の正面図である。図３はホルダー４０ａを拡大した斜視図である。
【００２９】
ホルダージョイント２３は、略円柱状をしており、回転軸部２４と、ジョイント部２５で構成されている。
【００３０】
そして、スクライブヘッド２１にホルダージョイント２３が装着された状態においては、この回転軸部２４には、ホルダージョイント２３を回動自在に保持するための二つのベアリング２６ａ，２６ｂが円筒形のスペーサ２７を介して取り付けられた状態になっている。なお、図２にはホルダージョイント２３の正面図を示すとともに、回転軸部２４に取り付けられたベアリンク２６ａ，２６ｂとスペーサ２７の断面図を示している。
【００３１】
円柱形のジョイント部２５には、下端側に円形の開口２８が形成されており、この開口の上部にはマグネット２９が埋設されている。そして、この開口２８には、ホルダー４０ａが着脱自在に取り付けられている。
【００３２】
このホルダー４０ａは略円柱形の金属または樹脂からなり、その下端側には平坦部４１ａ，４１ｂが設けられている。なお、図２でホルダー４０ａの下端側を拡大している図は、矢印Ａで示す横方向から観察した場合の拡大図を示している。
【００３３】
この平坦部４１ａと平坦部４１ｂとの間に、スクライビングホイール５０を保持するための保持溝４２が形成されている。また、平坦部４１ａ，４１ｂには、スクライビングホイール５０を固定するために孔状のピン孔４３ａがそれぞれ形成されている。このピン孔４３ａにピン４４が貫通され、スクライビングホイール５０が回転自在に取り付けられている。この時、平坦部４１ａと平坦部４１ｂのそれぞれの内壁４５ａ，４５ｂが、スクライビングホイール５０の円形側面５２ａ，５２ｂとそれぞれ対向している。
【００３４】
このスクライビングホイール５０は、例えば焼結ダイヤモンドで形成され、ホイール径が２．５ｍｍ、厚さｄが０．６５ｍｍ程度のディスク状の形状を有し、円周部に沿って垂直断面形状Ｖ字形の刃５１が形成されている。そして、スクライビングホイール５０の二つの円形側面５２ａ，５２ｂの中心に貫通孔５３が形成されている。この貫通孔５３に先ほど述べたピン孔４３ａを貫通するピン４４が貫通することで、保持溝４２においてスクライビングホイール５０が回転自在に保持されている。なお、スクライビングホイール５０の厚さに対して、保持溝４２の間隔（内壁４５ａと内壁４５ｂの距離）はわずかに大きくなっており、例えばスクライビングホイール５０の厚さｄが０．６５ｍｍの場合、保持溝４２の間隔は約０．６７ｍｍとなっている。
【００３５】
ホルダー４０ａの上端側には位置決め用の取付部４６が設けられている。この取付部４６はホルダー４０ａを切り欠いて形成されており、傾斜部４６ａと平坦部４６ｂを有している。また、ホルダー４０ａの上端側の少なくとも一部分は磁性体金属で構成されている。
【００３６】
このホルダー４０ａは、ホルダージョイント２３の開口２８へ、ホルダー４０ａの取付部４６側から挿入される。その際、ホルダー４０ａの上端側の磁性体金属がマグネット２９によって引き寄せられ、取付部４６の傾斜部４６ａが、開口２８の内部を通る平行ピン３０に接触し位置決めが行われ、ホルダー４０ａはホルダージョイント２３に固定される。反対に、ホルダージョイント２３からホルダー４０ａを取り外す際には、ホルダー４０ａを下方へ引く抜くことで、容易に取り外すことができる。
【００３７】
ここで、スクライビングホイール５０は消耗品であるため定期的な交換が必要となる。本実施形態においては、ホルダージョイント２３を介してホルダー４０ａがスクライブヘッド２１に装着されているので、ホルダー４０ａの着脱が容易に行える。したがって、スクライビングホイール５０をホルダー４０ａから取り外したりすることなく、スクライビングホイール５０とホルダー４０ａを一体として扱い、ホルダー４０ａそのものを交換すればよいので、スクライビングホイール５０の交換作業を容易に行うことができる。
【００３８】
次に、先にも述べたように、ホルダー４０ａの保持溝４２で保持されているスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと、保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂとの間に、分断工程で生じた微小なカレット等の異物が入り込んでしまうおそれがある。そこで、本実施形態においては、保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂに溝を形成している。したがって、内壁４５ａ，４５ｂとスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂとの間に、異物が入り込んできたとしても、この溝に異物が入るため、スクライビングホイール５０の回転不良の発生を低減している。
この保持溝４２の内壁４５ａ，４５ｂに形成されている溝の具体例について図面を用いて説明を行う。
【００３９】
［実施例１］
実施例１のホルダー４０ａの断面図を図４に示す。なお、図４（ａ）は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、図４（ｂ）は図３のIVｂ−IVｂ線に沿った断面図である。また、スクライビングホイール５０については破線で示している。
【００４０】
ホルダー４０ａの内壁４５ａ，４５ｂには、円弧状の溝４６がそれぞれ形成されている。この溝４６はスクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置に設けられている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、異物は溝４６に溜まるので、スクライビングホイール５０の回転に与える影響を低減することができる。更に、溝４６はスクライビングホール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置まで延設されているので、溝４６に溜まった異物はスクライビングホイール５０の回転とともに、側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置まで排出され、より一層スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００４１】
そして、この溝４６は保持溝４２の端部まで延設されているので、異物をホルダー４０ａの外へ排出することが可能となる。また、この溝４６は鉛直方向Ｇに向かって徐々に溝の幅を広げながら伸びているので、異物が下方へ向かいやすくなっており、より異物を排出し易くなっている。
本実施例においては、溝４６の深さは一定であるが、場所によって溝の深さを異ならせてもよい。例えば、スクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置においては最も溝の深さが深く、スクライビングホール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向しない位置から保持溝４２の端部へと近づくにつれて溝の深さを浅くすることにより、溝に溜まった異物をより排出し易くすることができる。
【００４２】
［実施例２］
実施例２のホルダー４０ａの構成を図５に示す。なお、図５（ａ）は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、図５（ｂ）が図３のIVｂ−IVｂ線に沿った断面図である。また、スクライビングホイール５０については破線で示している。
【００４３】
ホルダー４０ａの内壁４５ａ，４５ｂには、３本の溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃがそれぞれ形成されている。
この溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａ，５２ｂと対向する位置から対向しない位置まで延設されている。また、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００４４】
また、この３つの溝４７ａ，４７ｂ，４７ｃはスクライビングホイール５０の曲率よりも小さな曲線となっており、また、それぞれの曲率が異なっている。このようにサイズの異なる複数の溝を設けておくことにより、スクライビングホイール５０を異なるサイズのスクライビングホールに変更したとしても、各サイズのスクライビングホイール５０に対して適した位置に溝が位置することになるので、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。また、溝が複数形成されているので、異物が溝に溜まる確率がより高まり、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００４５】
［実施例３］
実施例３のホルダー４０ａの構成を図６に示す。なお、図６は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、スクライビングホイール５０については破線で示している。
【００４６】
ホルダー４０ａの内壁４５ａには３本の溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃがそれぞれ形成されている。
この溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａと対向する位置に形成され、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａ，４５ｂと側面５２ａ，５２ｂとの間に入り込んできたとしても、溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００４７】
また、溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃは実施例２の溝４６と同様に、複数本形成されているので、スクライビングホイール５０を異なるサイズのスクライビングホールに変更したとしても、各サイズのスクライビングホイール５０に対して適した位置に溝が位置することになるので、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができ、また、溝が複数形成されているので、異物が溝に溜まる確率がより高まり、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
更に、この溝４８ａ，４８ｂ，４８ｃはスクライビングホイール５０の曲率よりも大きな曲線となっている。したがって、溝に溜まった異物は鉛直方向Ｇに沿ってより落下し易くなっている。
【００４８】
［実施例４］
実施例４のホルダー４０ａの構成を図７に示す。なお、図７は図３のIVａ−IVａ線に沿った断面図であり、スクライビングホイール５０については破線で示している。
【００４９】
ホルダー４０ａの内壁４５ａには、２本の溝４９ａ，４９ｂがそれぞれ形成されている。
溝４９ａは実施例１の溝４６と同様に、スクライビングホイール５０の側面５２ａと対向する位置に形成され、鉛直方向Ｇに向かって保持溝４２の端部まで延設されている。したがって、カレット等の異物が内壁４５ａと側面５２ａとの間に入り込んできたとしても、溝４９ａを介して異物を排出することができ、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００５０】
更に、溝４９ａはピン４４に対して直交し、鉛直方向Ｇに伸びる軸に対して非対称に形成された溝であり、ホルダー４０ａの進行方向Ｂにおける前方側では、スクライビングホイール５０の曲率よりも大きな曲線となっており、ホルダー４０ａの進行方向Ｂにおける後方側では、スクライビングホイール５０の曲率よりも小さな曲線となっている。したがって、溝４９ａの前方側では溝に溜まった異物を落下し易くし、溝４９ａの後方側では溝に溜まった異物をスクライビングホイール５０の外側へ落下するようにしている。
【００５１】
また、溝４９ｂはスクライビングホイール５０の側面５２ａと対向しない位置に形成された溝である。このように、スクライビングホイール５０の側面とは対向しない位置に溝が形成されていても、保持溝４２に進入してきた異物を、溝４９ｂを介して保持溝４２の外側へ排出することができるので、内壁４５ａと側面５２ａとの間に入り込もうとする異物を削減でき、スクライビングホイール５０の回転不良を低減することができる。
【００５２】
［実施形態２］
次に、実施形態１のホルダー４０ａと異なる構成の実施形態２のホルダー４０ｂについて、図８を用いて説明する。なお、図８はホルダー４０ｂを拡大した斜視図である。また、ホルダー４０ａと同様の構成については、同じ符号を用いて説明し、その詳細な説明は省略する。
実施形態２のホルダー４０ｂは、実施形態１のホルダー４０ａと同様に、スクライブ装置１０のスクライブヘッド２１において、ホルダージョイント２３の開口２８へ挿入され、取り付けられている。
【００５３】
このホルダー４０ｂは略円柱形の金属また樹脂からなり、その下端側には平坦部４１ａ，４１ｂが設けられている。そして、この平坦部４１ａと平坦部４１ｂとの間に、スクライビングホイール５０を保持するための保持溝４２が形成されている。
また、平坦部４１ａ，４１ｂの下端には、スクライビングホイール５０を固定するために切り欠いて形成されたピン孔４３ｂがそれぞれ形成されている。そして、このピン孔４３ｂにピン４４が貫通され、スクライビングホイール５０が回転自在にホルダー４０ｂに取り付けられている。
このホルダー４０ｂの上端側には、ホルダー４０ａと同様に傾斜部４６ａと平坦部４６ｂからなる取付部４６が形成されている。
【００５４】
そして、このホルダー４０ｂの保持溝４２の内壁にも、実施形態１の実施例１から実施例４に示したのと同様の構成の溝（図示省略）が形成されている。この実施形態２のホルダー４０ｂは、ピン孔４３ｂを精度良く形成することが比較的容易にできるが、ピン孔４３ｂが切り欠かれた状態となっているので、実施形態１のホルダー４０ａの場合よりも保持溝４２内にカレット等の異物が侵入し易くなる。しかしながら、実施形態２のホルダー４０ｂにおいては、保持溝４２の内壁に溝が形成されていることにより、実施形態１の実施例１から実施例４と同様の作用・効果を奏することができる。
【００５５】
［実施形態３］
次に、実施形態１に示したホルダー４０ａや実施形態２に示したホルダー４０ｂとは異なる構成の実施形態３のホルダー１４０について、図９を用いて説明する。なお、図９は実施形態３のホルダー１４０の正面図である。
【００５６】
実施形態３のホルダー１４０は、スクライブ装置１０のスクライブヘッド２１に、ホルダージョイントを介さずに、直接取り付けられているものである。
ホルダー１４０は略円柱状をしており、回転軸部１４１と、ホイール保持部１４２で構成されている。そして、スクライブヘッド２１にホルダー１４０が装着された状態においては、この回転軸部１４１には、ホルダー１４０を回動自在に保持するための二つのベアリング１２６ａ，１２６ｂが円筒形のスペーサ１２７を介して取り付けられた状態になっている。なお、図９にはホルダー１４０の正面図を示すとともに、回転軸部１４１に取り付けられたベアリンク１２６ａ，１２６ｂとスペーサ１２７の断面図を示している。
【００５７】
ホイール保持部１４２は円柱状をなすとともに、下端側が三角形状になっており、この三角形状の先端にはスクライビングホイール１５０を挿入するため、平坦部１４３ａと１４３ｂとの間に、スクライビングホイール１５０を保持するための保持溝１４４が形成されている。なお、図９でホルダー１４０の下端側を拡大している図は、矢印Ｃで示す横方向から観察した場合の拡大図を示している。
【００５８】
平坦部１４３ａ，１４３ｂにはスクライビングホイール１５０を固定するために孔状のピン孔１４５がそれぞれ形成されており、このピン孔１４５にピン１４６が貫通され、スクライビングホイール１５０はホルダー１４０に回転自在に取り付けられている。この時、平坦部１４３ａと平坦部１４３ｂのそれぞれの内壁１４７ａ，１４７ｂがスクライビングホイール１５０の円形側面１５１ａ，１５１ｂとそれぞれ対向している。そして、平坦部１４３ａ，１４３ｂの外側には、ピン孔１４４を外側から覆うためのピン押さえ１４８ａ，１４８ｂがネジ１４９によってそれぞれネジ止めされている。
【００５９】
なお、この場合においても、スクライビングホール１５０は消耗品であり、定期的な交換が必要となるので、ホルダー１４０において、スクライビングホール１５０を交換する際には、まず、スクライブヘッド２１からホルダー１４０を取り外し、次に、ホルダー１４０からピン押さえ１４８ａ，１４８ｂを取り外した後、ピン１４５を取り出してスクライビングホール１５０の交換が行われる。
【００６０】
そして、ホルダー１４０の内壁１４７ａ，１４７ｂには、実施形態１の実施例１〜実施例４に示したのと同様の構成の溝（図示省略）が形成されている。そのため、内壁１４７ａ，１４７ｂとスクライビングホイール１５０の側面１５１ａ，１５１ｂとの間に、カレット等の異物が入り込んできたとしても、この溝に異物が入るため、スクライビングホイール１５０の回転不良の発生を低減することができる。なお、本実施形態のピン孔１４４は孔状となっているが、実施形態２と同様に平坦部１４３ａと平坦部１４３ｂの下端を切り欠いて形成してもよい。
【００６１】
このように、本実施形態においては、ホルダーの内壁のスクライビングホイールの側面と対向する位置に溝を形成しておくことで、内壁とスクライビングホイールの側面との間に進入する異物による回転不良の発生を低減することができるようになる。
【００６２】
なお、上述した実施形態においては、溝がピン孔よりも上方に形成されたもののみを示したが、ピン孔よりも下方に形成されていても同様の効果を奏することができ、また溝がピン孔に接するように形成されていても構わない。また、上述した実施例においては、溝の形状が円弧状のもののみを示したが、直線状であっても構わない。
【００６３】
また、上述したスクライブ装置１０は、脆性材料基板１７の上部にスクライブヘッド２１が位置しているものであったが、脆性材料基板１７の下部にもスクライブヘッドが位置しており、脆性材料基板１７の上下両面からスクライブラインを形成するスクライブ装置であっても構わない。このように脆性材料基板１７の上下両面からスクライビングラインを形成できる構成とすることで、分断工程の作業効率を高めることができる。
【符号の説明】
【００６４】
１０…スクライブ装置
２１…スクライブヘッド
２３…ホルダージョイント
４０ａ，４０ｂ，１４０…ホルダー
４２，１４４…保持溝
４５ａ，４５ｂ…内壁
４６，４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４８ａ，４８ｂ，４８ｃ，４９ａ，４９ｂ…溝
５０，１５０…スクライビングホイール
５２ａ，５２ｂ，１５１ａ，１５１ｂ…側面
【図１】
0005826643.tif 000002
【図２】
0005826643.tif 000003
【図３】
0005826643.tif 000004
【図４】
0005826643.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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