(57)【要約】  装置（１１）は、薄膜太陽電池のために、吸収層上の膜状の長いキャリア（１８）を硫酸カドミウムで被膜するために設計されている。この目的を達成するために、前記キャリア（１８）は、酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素から成る溶液を介して永続的に誘導されるか、または該溶液（２３）を有する槽（２２）の中に浸漬される。前記溶液（２３）を有する、幅が広くて非常に長くそして平坦なタブ（２４）を使用することで、前記被膜に必要な量を最小限に抑えることで、溶液（２３）の消費を低減する。
2011501447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜太陽電池のためのキャリア（１８）または基板を、該キャリア上の吸収層において硫化カドミウムで被膜するための方法であって、
ここで少なくとも吸収層において被膜される上記キャリアは、酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素から成る、硫酸カドミウムの沈殿のための溶液（２３）で湿潤され、
上記キャリア（１８）は、溶液（２３）を有する槽（２２）の中に浸漬され、かつ該槽を介する連続的な輸送に誘導され、
ここで少なくとも上記吸収層は、上記槽において上記溶液で永続して湿潤され、
そして槽（２２）中の溶液（２３）の量が、低い溶液充填レベルの結果として相対的に少量である、
ことを特徴とする被膜方法。
【請求項２】
前記溶液（２３）を有する槽（２２）のためのタブ（２４）における前記溶液充填レベルが数ミリメートル、好ましくは３〜２０ミリメートル、特に５〜１０ミリメートルである、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記キャリア（１８）全体が浸漬される様に前記槽（２２）を介して輸送され、
約５０ｎｍの層厚が形成されるまで、上記キャリアが、好ましくは約１０分間湿潤される、
ことを特徴とする請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
前記キャリア（１８）が、低速で、好ましくは連続して前記槽（２２）を介して輸送される、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
前記槽（２２）の上流の前記キャリア（１８）の移動面の方が、該槽を通過するレベルよりも高いレベルに存在し、
ここで上記キャリアは上記槽の中へ降ろされ、移動され、そして該槽から離れた輸送のために槽（２２）の末端において、より高い輸送面に、再度引き上げられる、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
ローラー（２０）またはローラーコンベアーによる、特に槽（２２）も介したキャリア（１８）の移動、
を特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
キャリア（１８）が柔軟であり、そして／または薄く、好ましくは膜様であり、
ここで特に膜様のキャリア（１８）が、その幅と比較して非常に長く、槽（２２）の長さの複数倍を超える長さを有する、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
キャリア（１８）が、実質的に水平な状態で、溶液（２３）を有する槽（２２）を介して吸収層と共に下方へ移動される、
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
キャリア（１８）が実質的に水平な状態で、吸収層と共に溶液（２３）を有する槽（２２）を介して上方へ移動される、
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
前記溶液（２３）が槽（２２）中で移動されそして／または循環され、
ここで特に循環ポンプ（２９）、循環パイプ（３１）等がこの目的のために供給される、
ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
前記槽（２２）中の前記溶液（２３）が、使用済みの溶液を完全に排水し、そして新しく未使用の溶液と置換することによって、循環して更新され、
特に完全な排水が約２０分毎に達成される、
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
前記槽（２２）の前記溶液（２３）が、溶液の一部の永続的な排水、及び新しく未使用の溶液による該溶液のこの部分の正確な置換によって永続して更新される、
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
前記槽（２２）中の前記溶液（２３）が循環中に濾過され、好ましくは永続して濾過され、
特に沈殿した硫化カドミウムが濾過中に濾過され除去される、
ことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
前記溶液（２３）を有する前記槽（２２）が加熱され、好ましくは５０〜６５℃の温度まで加熱され、
ここで特に溶液（２３）を有する槽（２２）は、タブ（２４）に位置し、また該タブが加熱されたウォーターバス（３６，３７）によって包囲されるまたはウォーターバス内に配置されるという事実によって加熱され、
ここで好ましくはウォーターバスには、下部の貯水槽（３９）から加熱された水が供給され、これは、溶液（２３）を有するタブ（２４）を伴う上部のウォーターバス（３６，３７）を全ての側面において突出しており、
ウォーターバスは下部の貯水槽（３９）に排水管（３８）を有する、
ことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項記載の方法。
【請求項１５】
前記槽（２２）の前記溶液充填レベルが常時測定され、好ましくは充填レベルセンサ（２５）によって常時測定される、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項記載の方法。
【請求項１６】
前記溶液（２３）の温度が計測され、有利には連続して計測され、
特にウォーターバス（３６，３７）の温度及び／または下部の貯水槽（３９）の温度もまた計測され、そしてこれに応じて溶液の希望温度の値まで再調整される、
ことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項記載の方法。
【請求項１７】
装置（１１）を洗浄するために、酸含有洗浄液、好ましくは５％の塩酸溶液が槽（２２）の中へ送られ、そしてポンプ（２９）によって一定時間循環され、そして方法中、槽及び／または槽（２２）のためのタブ（２４）並びにパイプライン等が湿潤及び洗浄され、
最終的に洗浄液が排出され、続いて洗浄液の残留物の除去のために水洗が実施される、
ことを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項記載の方法。
【請求項１８】
被膜装置（１１）が、槽を介してキャリア（１８）を移動するためのローラー（２０）またはローラーコンベアーを中に有する、溶液（２３）を受け取るための槽（２２）として平坦なタンク（２４）を有する、
ことを特徴とする請求項１〜１７のいずれか１項記載の方法を実施するための装置。
【請求項１９】
キャリア（１８）のために導入ロック（１５）及び放出ロック（１６）を有し実質的に閉じられた筺体（１２）を有する、
ことを特徴とする請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
前記溶液（２３）を有する槽（２２）のためのタブ（２４）の溶液充填レベルが、数ミリメートル、好ましくは３〜２０ミリメートル、特に５〜１０ミリメートルであり、
ここで好ましくは少なくとも充填レベルセンサ（２５）の１つが上記タブに備えられる、
ことを特徴とする請求項１８または１９記載の装置。
【請求項２１】
前記槽（２２）の上流の前記キャリア（１８）の移動面の方が、槽を通過するレベルよりも高いレベルに存在し、
降ろされたキャリアは、上記槽の中へ流れ込み、そして移動され槽（２２）の末端において再度すすがれ、槽から離れた輸送のためにより高い輸送面上に再度流れる、
ことを特徴とする請求項１８〜２０のいずれか１項記載の装置。
【請求項２２】
前記槽（２２）中の溶液（２３）のための、好ましくは循環を伴う永続的な濾過のための、特に沈殿した硫化カドミウムを濾過し除去するための濾過ユニット（３０）、
を特徴とする請求項１８〜２１のいずれか１項記載の装置。
【請求項２３】
前記槽（２２）中の溶液（２３）のための、特にタブ（２４）にあり、溶液を有する該槽の加熱のための加熱ユニット（４２）を特徴とし、
タブが加熱されたウォーターバス（３６，３７）に配置され、
ウォーターバスに供給するために加熱された水を有する下部の貯水槽（３９）が、好ましくはウォーターバスの下に配置され、
特に貯水槽（３９）が、溶液（２３）を有するタブ（２４）を伴う上部のウォーターバス（３６，３７）を全ての側面において突出しており、
ウォーターバスが好ましくは、下部の貯水槽（３９）に排水管（３８）を有する、
ことを特徴とする請求項１８〜２２のいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜太陽電池のためのキャリアまたは基板を、キャリア上の吸収層において硫化カドミウムで被膜する方法、及びこの方法を実行するのに好適な装置または設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄膜太陽電池のための薄膜技術の期待される１つの分野は、吸収層としての黄銅鉱化合物の使用に基づいている。銅、インジウム、ガリウム、硫黄及びセレニウム元素の組み合わせが関与している。これらの元素は、太陽光発電のために相違する化学量論的配合で適切にドープ処理することができる。もっとも一般的な化合物は、ＣｕＩｎＳｅ2及びＣｕＩｎＳ2であり、また略語ＣＩＳ及びＣＩＧＳで示す。
【０００３】
キャリア基板、例えばガラスシート或いは金属またはプラスチックフィルムのような可塑性材料上に、初めに導電層が積層される。ＣＩＳ吸収層の塗布のために、様々な方法が使用され、例として、続くホモジナイズで連続して塗布する、または対応する混合物中で直接蒸着することができる。ＣＩＳ化合物の代替としては、カドミウムテルル化物もまたｐ型ドープの吸収層として使用することができる。
【０００４】
光活性の半導体構造を生じるために、加えてＣＩＳ吸収層上にさらにｎ型ドープの層が必要である。先行技術は、硫化カドミウムでの被膜に関し、この被膜は湿式化学槽中でＣＩＳ吸収層上に積層される。
【０００５】
酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素の混合物を含む溶液は、ＣＩＳ／ＣｄＴｅ吸収層を被膜するために調製される。この積層反応は約５０℃で開始する。この方法は通常６０℃で実施される。必須の５０ｎｍの層厚は、約１０分後に達成される。
【０００６】
溶液中でのこの反応は約２０分後に終了し、カドミウムが完全に硫化カドミウムとして沈殿し、もはや被膜に使用することができない。今日まで、更なる化学物質を混ぜることでこの方法を連続して実行することは可能となっていない。したがって、既知の方法は全てバッチ法に基づき、すなわち、基板は一つ一つ被膜装置の中に移動され、可能な最小の液体体積でそこで被膜され、そしてすすがれ、乾燥される。この使用済みの反応溶液は、廃棄される。これらのバッチ法は、例えば通常ロールからロールへと処理される被膜に対しては、わずかに適合するのみである。
【発明の概要】
【０００７】
本発明は、序論で言及した方法、及び序論で言及した装置を提供する目的に基づいており、これらによって従来技術における問題を回避することができ、特に、記載したキャリアの、より優れ且つ効率的な硫化カドミウムでの被膜は、化学物質の消費の低減と共に達成することができる。
【０００８】
この目的は、請求項１の特徴を含む方法及び請求項１８の特徴を含む装置によって達成される。本発明の有利でかつ好適な形態は、更なる請求項の対象とするものであり、以下により詳細に説明する。以下の特徴の中には方法または装置についてのみ言及しているものが含まれるが、これに関係なく、方法及び装置両方に対して適用可能または使用可能であるよう意図されている。請求項の文言は、説明の内容中で明確な言及によって具現化されている。さらに、同一の出願人の名による２００７年１０月２２日の１０２００７０５２２３７．３のドイツ優先出願の表現は、本説明の内容中で明確な言及によって具現化されている。
【０００９】
少なくとも被膜される吸収層において、硫化カドミウムが吸収層において沈殿されることを意図する溶液で、キャリアが湿潤されることを条件とする。このような溶液は、酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素からなることが好ましい。対応する組成は、当業者には周知である。
【００１０】
本発明によると、キャリアは溶液の入った槽に浸漬され、槽を介して連続的または準連続的な輸送へ誘導される。この場合に、少なくとも吸収層は槽中では溶液で永続して湿潤されており、その結果硫化カドミウムでの良好な被膜が可能となる。この場合、槽中の溶液の量は比較的少量であり、低い溶液充填レベルによって達成される。したがって、溶液またはそこに含まれる化学物質の消費量は低く維持される。槽を介したキャリアの移動は、溶液の一定の混合が達成されるという利点を有する、すなわち、キャリア表面を湿潤する溶液は交換されるか、或いは常に同一ではない。
【００１１】
有利には、槽の低い溶液充填レベルとは、数ミリメートル、特に有利には３〜２０ミリメートル、例えば、５〜１０ミリメートルが可能である。この場合、溶液または槽はタブ中に供給することができ、後者はキャリアより少々広く、そして長さ数メートルとすることができる。
【００１２】
本発明の一形態では、被膜される吸収層が単に溶液で湿潤されているだけでなく、むしろキャリア全体が槽中に浸漬され、後者を介して誘導される。湿潤時間または浸漬時間は、数分、有利には約１０分にすべきである。このようにして、約５０ｎｍの硫化カドミウムの層厚を達成することができ、これを機能的観点から有効なものとみなす。
【００１３】
この方法においてキャリアは、有利には槽を介して低速で輸送させることができ、継続して移動させることができる。これは、特に使用されるキャリアが板状のキャリアではなく、むしろロールから展開され、硫化カドミウムでの被膜のために溶液槽を介して誘導され、続いて再度巻き上げられる細長いキャリアまたは膜である場合に有利である。この場合、速度は好ましくは調整され、よって一定の浸漬長または溶液槽の長さに対応する滞留持続時間が、硫化カドミウムでの十分な被膜のために達成される。
【００１４】
キャリアの輸送は、槽内よりも、槽の上流の高いレベル、且つ少なくとも槽の僅かに下流の高いレベル、または槽外の高いレベルで、有利に継続することができる。これにより、導入及び放出が簡素化され、さらにこのとき溶液槽と一体のタブの構造も簡素化される。槽内への浸漬のためにキャリアを降ろし、または斜め下方に流すことができ、これは特に上記の膜様のキャリアの場合に容易で、ローラーまたはローラーコンベアーによって実現することができる。槽を介して、キャリアをほぼ平面上でまたは水平に移動することが有利である。槽の末端において、言わば槽外で傾斜して流れるキャリアを再度引き上げ、または移動させることができる。
【００１５】
上記のローラーはまた、槽に供給することができる。数及び配置は、槽内でキャリアが常時有利な位置で流れるように、通常は水平に流れるように決定すべきである。
【００１６】
このような膜様のキャリアはプラスチックフィルムを用いて非常に薄く、例えば約２０μｍ〜３０μｍ厚にすることができる。１または数メートルの幅を想定すると、長さは複数メートル、例えば最大数百メートルとすることができる。
【００１７】
キャリアが、溶液槽中にあり、そして後者を介して吸収層と共に下流へ輸送されることは有利である。これは、沈殿物、特に小断片でまたは分散して沈殿した硫化カドミウムは、吸収層上で、むしろ多くても背面側で除去することはできないが、被膜後、例えば軽く払い落としたり、スプレー装置等によって容易に再度除去できることを意味する。現在のところ、このような薄膜の太陽電池のキャリアの背面側は少なくとも機能的観点から未使用であり、したがって機械的にも十分に頑丈であり、払い落とし等が容易に可能であるのが通常である。
【００１８】
本発明の一形態では、槽内の溶液を周期的に更新することができる。この場合、全溶液を使用済みとみなすのであれば、各々完全に排出することができ、そして新たな未使用の溶液と置換することができる。例えば、本発明に関する実施例の記載において、被膜率が非常に低下することがわかっているため、この、言わば、使用済みの溶液の排出は、２０分毎に達成することができる。
【００１９】
本発明の他の形態では、槽中の溶液は永続して更新することができる。この目的のために、溶液の一部を常時除去でき、新たな未使用の溶液と置換することができる。この場合、理論上は最少に見ても、２０分毎に溶液を完全に置換する、という交換率が可能である。この形態では、溶液が常時ほぼ同じ構成を有し、被膜方法は常時同一のパラメータで継続することができるという利点がもたらされる。
【００２０】
槽中の溶液を濾過することが可能である。永続的な濾過は、上記の溶液の循環の場合には有利に可能であり、この間これは槽外に誘導される。例として、この場合、部分的にまたは少断片の形で沈殿した硫化カドミウムを濾過することができる。
【００２１】
序論で記載したように、溶液を有する槽を、硫化カドミウムの沈殿を開始するために加熱することが好ましい。加熱は５０℃〜６５℃、特に有利には約６０℃の温度で実施することが有利である。このとき溶液またはこの溶液を有する槽の加熱のために可能なことは、例えば、加熱したウォーターバスと共に大型で平坦なタブでこの槽を包囲する、またはこれを加熱したウォーターバスに配置することである。したがって、加熱装置を直接溶液中にまたはタブの外側に配置することは必要ない。さらに、非常に均一な且つ連続的な加熱は、水の熱容量によって温度変動が補正されるのでウォーターバスで加熱することにより可能である。ウォーターバスは直接加熱することもでき、他に上水道または貯水槽からの加熱した水を順に供給することもまた同様にできる。この貯水槽は、溶液を有するタブと一体のウォーターバスの下に配置することができ、少なくとも一側面で、有利には全ての側面においてそれを突出する。貯水槽がウォーターバスを突出する箇所には、排水管を供給することができる。したがって、加熱と共に、ウォーターバスと比較すれば再度極めて多量の水量を有する貯水槽からウォーターバス中に加熱された水を送り込むことが可能である。そして置換された水は排水管を経由して貯水槽の中へ戻されるため、循環装置が可能である。
【００２２】
溶液の連続的及び均一的な加熱のため、有利に温度を連続して測定することができる。この目的のため、温度センサを溶液中に突出させることができる。代替としてまたは併せて、ウォーターバスまたは貯水槽の温度を測定することができ、そして溶液がウォーターバスによる加熱後に希望温度を有するように値を設定することができる。
【００２３】
さらに、槽の溶液の状態は常時確認するこができる。槽中に突出する充填レベルセンサはこの目的のために使用することができる。これは溶液を連続して置換する時、及び溶液を周期的に置換する時いずれの場合にも有利である。
【００２４】
一定の周期で装置を洗浄することを推奨することができる。例えば５％の塩酸を含む酸含有洗浄液をこの目的のために使用することができる。装置及びラインのあらゆる表面上に沈殿する硫化カドミウムの除去のために、この洗浄液をポンプで槽及び／または槽のためのタブへ送ることができ、そして一定時間循環させることができる。洗浄液の循環の結果として、装置全体から硫化カドミウム沈殿物を除去することができる。最終的に、洗浄液を排水しそして廃棄する。そして、洗浄液のいかなる残留物も除去するために続いて装置を完全に水洗することができる。
【００２５】
槽のためのタブは、特に包囲されたウォーターバスから良好な熱伝導を供給するために金属から成ることが有利である。使用される化学物質に対する耐性のために、タブはチタンで有利に被膜するか、または完全にチタンから形成することができる。
【００２６】
被膜装置は、実質的に閉じられ、細長く、中で被膜が行われる筐体を有することができる。筺体はキャリア用の導入ロック及び放出ロックを有することができる。これらのロックの目的は、筐体内の温度が、筐体に設置されたウォーターバス及びまたは加熱された貯水槽によって十分に管理される範囲となることを保証することである。これはエネルギーを確保するだけではなく、同時に筐体への導入直後に、対応する予熱をキャリアに供給し、さらに硫化カドミウムでの被膜を高める。
【００２７】
これら及び更なる特徴は請求項からだけではなく明細書及び図面からも明らかであり、ここで各々の特徴は、本発明の実施形態及び他の分野において、いずれの場合にもこれら自体によってまたは他の分野の組み合わせとして認識することができ、そして本発明のための有利で且つ本質的に保護可能な実施形態を構成することができる。本出願の各々の部分へのサブディビジョン及び副題は、これに従って行った陳述の一般有効性を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の典型的な実施形態を図面を用いて図式的に説明し、より詳細に以下に説明する。この場合、図１は、平坦な被膜槽を介して機能する薄膜太陽電池のための膜様のキャリアのための発明に関する、被膜装置の図式側面図を示している。
【実施例】
【００２９】
図１は本発明の被覆装置１１を説明しており、これは筺体１２を含んでなり、これは上面に蓋１３を有する。筺体は、例えばカーテン等が供給される特定の状況で、幅の狭いスロットの形式で、左側に導入ロックシステム１５を、そして右側に放出ロックシステム１６を有する。膜様のキャリア１８は左側で、導入ロックシステム１５を経由してローラー２０上を流れ、筺体１２中に流れ、そして右側で放出ロックシステム１６を経由して再度筐体の外に流れる。薄膜太陽電池のためのこの膜様のキャリア１８は上記で説明したような分野の当業者に実際に既知である。この場合、塗布されたカドミウムテルル化物の層と共にキャリア１８上に既に存在する吸収層またはＣＩＳ吸収層は、下方を向いているかまたは下方に面している。一方で、上方に面することもできる。
【００３０】
したがって膜様のキャリア１８は、左から筺体１２の中に流れ、そして筐体１２中で一点鎖線によって説明される高位の移動面からローラー２０によって下方へ転換され、槽のタブ２４内で溶液２３を有する槽２２中へ流れる。この場合、加熱後吸収層上に硫化カドミウムを沈殿させるために、溶液は酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素から成る上記の混合物である。この場合、キャリア１８は連続して且つ非常に低速で溶液２３を有する槽２２を介して流れる。この場合、速度は毎秒約０．５ｃｍとすることができ、これは浸漬されるキャリアの長さが３メートルなら約１０分の滞留時間となる。結果として、約５０ｎｍの厚さを有する硫化カドミウムでの被膜が達成される。全長が非常に長い装置には、複数の空間が供給されるであろう。
【００３１】
槽２２のためのタブ２４はさらに充填レベルセンサ２５及び温度センサ２６を有する。これについては、以下にさらに詳細に論じる。
【００３２】
さらに、ドレーン２８は、タブ２４に供給され、当該ドレーンは循環ポンプ２９、フィルタ３０及び複数の流入パイプ３１へと繋がり、これによって除去された溶液２３が濾過後再度槽２２の中へフィードバックされる。図示するように流入パイプ３１を溶液２３の上方に、または溶液の中位に有することができる。結果として、主に被膜品質に関して、そして被膜の迅速化に関しても、溶液２３の循環の改善は、より良好な被膜結果をさらに可能とする。
【００３３】
これに関して槽２２またはタブ２４はさらに排水弁３４を有する排水口３３を有する。したがって特定時間の後、使用済みの溶液２３を槽２２から流し、新たな溶液で置換することができる。新たな流入の全てを上方から置換することができる。
【００３４】
槽２２またはタブ２４は、タブ３７を有するウォーターバス３６に置かれる。ウォーターバス３６は熱せられ、したがって溶液２３を有する槽２２を希望温度まで熱し、この時温度センサ２６によって測定することができる。しかしながら、左側及び右側、または有利にはタブ３７の全ての側面上に排水管３８を備える。この場合、ウォーターバス３６からの流出水は下部に配置した貯水槽３９へ流すことができ、これは筺体１２の底表面全体を実質的に占有する。貯水槽ポンプ４０によって、貯水槽３９からタブ３７へ加熱された水は送り込まれ、ウォーターバス３６が希望温度で維持されるという効果を有する。この目的のために、任意の望ましい様式の、有利には言うまでもなく電動の加熱装置４２を貯水槽３９に設置する。貯水槽３９の温度は温度センサ４４で測定し、全体としては、溶液２３の最適なまたは希望温度への温度制御を、溶液中の温度センサ２６及び貯水槽３９の温度センサ４４の両方によって達成する。さらに、充填レベルセンサ４１をウォーターバス３６に供給することができ、当該センサはウォーターバス中の十分な充填レベルを測定している。
【００３５】
説明した装置１１によって達成することができることは、連続的な工程中に薄膜太陽電池のための膜様のキャリア１８が硫化カドミウムで被膜されることである。この場合、キャリア１８の底面が湿潤されるまたは溶液２３内に浸漬される間は、槽２２での充填レベルに対しては、例えば数ミリと低位で十分である。膜様のキャリア１８が槽２２の全長に渡って過度に広範囲にたるむ場合は、おそらく被膜のためにはここでは不都合であろう更なるローラー２０の代わりに、更なる流入パイプ３１等でその表面への流入を下方から防ぐことが可能である。この場合同時に、溶液２３をさらに循環させることができる。さらに、溶液２３の循環は、ドレーン２８及び循環ポンプ２９によって達成することができる。排水口３３及び排水弁３４によって、少なくとも古いまたは使用済みの溶液２３の除去がさらに可能であり、そしてこの量は流入によって再度平衡が保たれ、これはいわば充填レベルセンサ２５によって制御される。
【００３６】
説明した槽２２または溶液２３をウォーターバス３６で加熱するための方法は、温度が非常に一定であり且つ温度を容易に制御できるという上記の利点を有する。同時に、溶液２３のための６０℃近傍の温度は、筐体１２全体で達成され、この結果、左側上で導入ロックシステム１５を通して進入するキャリア１８はまた実際は槽２２内への浸漬に先立って、これに応じて予熱される。これもまた、被膜に有利である。
【００３７】
吸収層のない面、つまりここでは少なくともキャリア１８の背面側から硫化カドミウム粒子及び粒子を除去するために、放出ロックシステム１６の下流の設備を準備することができる。ブラシ、例えばブラシモジュールで回転するらせんブラシは、この目的で供給することができる。これをスプレーユニットで担持することができる。そもそも、この場合下方に面するキャリア１８の吸収材側は、スプレーまたは洗い流すことによって唯一洗浄されるべきであり、状況によっては、非常に柔軟なブラシも採用される。
【００３８】
上記の洗浄方法に関して、未使用の洗浄液を、槽２２またはタブ２４の中へ取り込み、そして循環ポンプ２９によって循環させることは、例えば流入によるものと同様に可能である。この場合、装置から硫化カドミウム被膜または他の沈殿が除去される。最終的に、洗浄液を排水口３３で除去することができる。
【００３９】
説明した膜様のキャリア１８の代替として、例えば薄いガラス等から成る硬いまたは柔軟性に劣るキャリアまたは基板もまた、このタイプの装置によって被膜することができる。相対的に大きな角度を有するローラー２０による転換の代わりに、基板またはキャリアの槽２２の中への傾斜の少ない導入を達成することができ、或いは別の方法として、これらを導入ロックシステム１５を介して左から筐体１２の中に入れることができ、そして例えばグリッパーによって槽２２で移動面からローラーコンベアー等の上に降ろすことができる。そしてこれらをそこで所定の時間槽を介して左から右へ、そして右側末端の方へ移動させ、グリッパーによって再度引き上げ、放出ロックシステム１６を介して再度移動面上へ移動させる。槽２２の中への及び外へのキャリアの引き下げ及び引き上げは別として、この場合も同様に層を介した連続的な移動が存在し、したがって連続的な被膜が存在する。
【図１】
2011501447.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月22日(2010.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この目的は、請求項１の特徴を含む方法及び請求項１１の特徴を含む装置によって達成される。本発明の好都合かつ好適な形態は、更なる請求項の対象とするものであり、以下により詳細に説明する。以下の特徴の中には方法または装置についてのみ言及しているものが含まれるが、これに関係なく、方法及び装置両方に対して適用可能または使用可能であるよう意図されている。請求項の文言は、説明の内容中で明確な言及によって具現化されている。さらに、同一出願人の名による２００７年１０月２２日の１０２００７０５２２３７．３のドイツ優先出願の表現は、本説明の内容中で明確な言及によって具現化されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜太陽電池のためのキャリアまたは基板を、該キャリアの吸収層において硫化カドミウムで被膜するための方法であって、
ここで少なくとも上記吸収層において被膜される上記キャリアは、酢酸カドミウム、アンモニア及びチオ尿素から成る、硫酸カドミウムの沈殿のための溶液で湿潤されており、
ここで上記キャリアは、上記溶液を含む槽の中に浸漬され、かつ該槽を介する連続的な輸送に誘導され、
ここで少なくとも上記吸収層は、上記槽において上記溶液で永続して湿潤され、
そして上記槽中の上記溶液の量が、低い溶液充填レベルの結果として相対的に少量である、
ことを特徴とする被膜方法。
【請求項２】
前記溶液を有する前記槽のためのタブにおける前記溶液充填レベルが３〜２０ミリメートルである、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記キャリア全体が浸漬される様に前記槽を介して輸送され、そして約５０ｎｍの層厚が形成されるまで、該キャリアが、約１０分間湿潤される、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記キャリアが、低速で且つ連続して前記槽を介して輸送される、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記槽の上流の前記キャリアの移動面の方が、該槽を通過するレベルよりも高いレベルに存在し、
ここで上記キャリアは上記槽の中へ下げられ、移動され、そして該槽から離れた輸送のために該槽の末端において、該槽より高い輸送面に、再度引き上げられる、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記キャリアがその幅と比較して非常に長い膜様のキャリアであり、
ここで上記長さが前記槽の長さの複数倍を超える、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記キャリアが、実質的に水平な状態で、前記溶液を有する前記槽を介して前記吸収層と共に下方へ移動される、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記キャリアが実質的に水平な状態で、前記吸収層と共に前記溶液を有する前記槽を介して上方へ移動される、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記溶液を有する前記槽が加熱され、
ここで上記溶液を有する上記槽は、タブに位置し、また該タブが加熱されたウォーターバスに配置されるという事実によって加熱され、
ここで上記ウォーターバスには、下部の貯水槽から加熱された水が供給され、これは、上記溶液を有する上記タブを伴う上部の該ウォーターバスを各側面において突出しており、
上記ウォーターバスは上記貯水槽に排水管を有する、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記溶液の温度が連続して計測されこれに応じて該溶液の希望温度の値まで再調整される、
ことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１１】
被膜装置が、前記槽を介して前記キャリアを移動するためのローラーまたはローラーコンベアーを中に有し、前記溶液を受け取るための槽として平坦なタンクを有する、
ことを特徴とする請求項１記載の前記方法を実施するための装置。
【請求項１２】
前記キャリアのために導入ロック及び放出ロックを有し実質的に閉じられた筺体を有する、
ことを特徴とする請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記槽の上流の前記キャリアの前記移動面の方が、該槽を通過するレベルよりも高いレベルに存在し、
下げられた上記キャリアは、上記槽の中へ流れ込み、そして移動され該槽の末端において再度すすがれそして該槽から離れた輸送のためにより高い輸送面上に再度流れる、
ことを特徴とする請求項１１記載の装置。
【請求項１４】
前記槽中の前記溶液のための、タブにあり該溶液を有する該槽の加熱のために供給される加熱ユニットを特徴とし、
上記タブが加熱されたウォーターバスに配置される、
ことを特徴とする請求項１１記載の装置。
【請求項１５】
前記ウォーターバスに供給するために加熱された水を有する下部の貯水槽が、該ウォーターバスの下に配置され、
上記貯水槽が、溶液を有する前記タブを伴う上記上部のウォーターバスを全ての側面において突出しており、
上記ウォーターバスが上記下部の貯水槽に排水管を有する、
ことを特徴とする請求項１４記載の装置。
【国際調査報告】
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