(57)【要約】【解決手段】感光性センサセルは、光を受けるための検出面を持つ受光素子を備える。その受光素子は材料から製造され、その材料の少なくともひとつの電気的に測定可能な量は光の影響によって変化可能である。受光素子はさらに、光の性質が決定されうるように前記量を測定可能とするための電極を備える。受光素子は尖った形状を有し、これにより、超解像度を得るための強固な相関除去が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を受けるための検出面を持つ受光素子を備える感光性センサセルであって、その受光素子は材料から製造され、その材料の少なくともひとつの電気的に測定可能な量は光の影響によって変化可能であり、本感光性センサセルはさらに、光の性質が決定されうるように前記量を測定可能とするための電極を備え、前記受光素子は尖った形状を有することを特徴とする感光性センサセル。
【請求項２】
前記検出面は、前記尖った形状の受光素子の幾何学的なベースを構成する、請求項１に記載の感光性センサセル。
【請求項３】
前記受光素子はさらに、前記検出面と反対に位置する尖った形状の先端を含む、請求項２に記載の感光性センサセル。
【請求項４】
前記検出面と前記尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部は、円錐形を提供するよう前記検出面に対する一定の配向角を囲む、請求項３に記載の感光性センサセル。
【請求項５】
凸形状を提供するために、前記検出面から前記尖った形状の先端に向かう向きに見たとき、前記検出面と前記尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部と前記検出面との間の配向角は減少する、請求項３に記載の感光性センサセル。
【請求項６】
凹形状を提供するために、前記検出面から前記尖った形状の先端に向かう向きに見たとき、前記検出面と前記尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部と前記検出面との間の配向角は増大する、請求項３に記載の感光性センサセル。
【請求項７】
前記検出面は、円形、長円形、三角形、長方形、正方形、五角形、六角形、七角形、八角形、ｎをｎ＞８の自然数とするときｎ個の角を有する多角形、および非対称の２次元形状からなるグループから選択されたひとつの形状を有する、請求項１から６のいずれかに記載の感光性センサセル。
【請求項８】
前記センサセルは、少なくとも部分的に光透過的である材料から製造される、請求項１から７のいずれかに記載の感光性センサセル。
【請求項９】
前記センサセルは複数の平面状サブ受光素子を含み、前記複数の平面上サブ受光素子の断面は前記尖った形状の受光素子を形成するよう減少していく、請求項１から８のいずれかに記載の感光性センサセル。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載の感光性センサセルを含む感光性検出ユニット。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれかに記載の感光性センサセルの少なくともひとつまたは請求項１０に記載の感光性検出ユニットを含む撮像手段。
【請求項１２】
前記少なくともひとつの感光性センサセルまたは感光性検出ユニットを周囲に対して相対的に動かすための手段をさらに備える、請求項１１に記載の撮像手段。
【請求項１３】
前記少なくともひとつの感光性センサセルまたは感光性検出ユニットを相対的に動かすための手段は、ひとつのセンサセルの直径よりも小さな距離に亘る動きを提供するよう設計される、請求項１２に記載の撮像手段。
【請求項１４】
前記少なくともひとつの感光性センサセルまたは感光性検出ユニットを相対的に動かすための手段は、１秒当たりの動きの回数１０回よりも高い動作周波数の動きを提供するよう設計される、請求項１２または１３に記載の撮像手段。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を受けるための検出面を持つ受光素子を備える感光性センサセルであってその受光素子は光の影響によって少なくともひとつの電気的に測定可能な量が変化可能である材料から製造され、感光性センサセルはさらに、光の性質が決定されうるように前記量を測定可能とするための電極を備える感光性センサセルに関する。
【０００２】
本発明はさらに、上記感光性センサセルが適用される感光性検出ユニットおよび撮像手段に関する。
【背景技術】
【０００３】
上述の感光性センサセルは一般に知られており、例えば電荷結合素子（ＣＣＤｓ）で使用されている。ＣＣＤは広く使用されており周知の技術に属する。ＣＣＤは電磁放射を電荷に変換し、もって電磁放射を電気的に測定し処理することを可能とする。ＣＣＤは特にカメラのような画像取得の分野で使用されるが、ＣＣＤは電磁放射を記録するためにも使用されうる。ＣＣＤは１９７０年に発明され、その元々のアプリケーションは例えば米国特許第３８５８２３２号（Willard S. Boyle et al）に記載されているように情報の記憶であった。
【０００４】
ＣＣＤチップは半導体材料からなり、その半導体材料では入射光子によってポテンシャル井戸が形成される。これらのポテンシャル井戸は電位差によってＣＣＤの測定デバイスへ輸送されうる。その測定デバイスは位置依存の情報を読み出して記憶することができる。このようにすることでＣＣＤによって位置依存の光強度を記録することができる。加えてカラーフィルタが使用される場合、多色光において記憶するためのＣＣＤが得られうる。これのために通常はバイヤーフィルタと呼ばれるものが使用される。そのバイヤーフィルタはＣＣＤの表面を覆い、赤、緑、および青の特定のパターンからなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＣＣＤセンサセルは光学的に活性な半導体材料の層を実質的に備える。光の散乱に加えてＣＣＤの表面上にはセンサセルがコンパクトに配置されているので、ＣＣＤ表面上で隣接するセルの情報値はある程度相関するという影響が現れる。これは、くっきりとした像を得るためにはＣＣＤからの情報から相関が除去されるべきであることを意味する。ＣＣＤチップから得られた情報をフーリエ変換することによって相関除去または像のシャープ化（「ぼけの修正（deblurring）」）が行われる。受け取られた信号は、フーリエドメインにおいて開口関数のフーリエ変換によって除される。前記開口関数は、センサセルの形状およびセンサセルの間隔によって与えられる。開口関数はフーリエドメインにおいてゼロを含んでおり、したがって開口関数のフーリエ変換による除算は部分的にしか可能でないことによって、ＣＣＤ信号の相関除去は制限される。
【０００６】
２００２年６月の電子デバイスに関するＩＥＥＥトランザクション（IEEE Transactions on Electron Devices）の第４９巻第６号に掲載された著者Chelly et al、タイトル「Pyramid-shaped silicon photo detector with sub-wavelength aperture」の論文は、近接場の光学的アプリケーションにおいて使用されるサブ波長タイプの（すなわち、寸法が光の波長よりも小さい）感光性センサセルを開示する。そのような技術は、画像記録などの光学的アプリケーションにおいて使用されることを意図しておらず、また適してもいない。さらに、そのようなセンサからの情報の処理は、例えばＣＣＤデバイスからの画像信号の処理の原理とは全く異なる原理に基づくものである。
【０００７】
上で概説された課題を取り除き、動きに対する高い安定性を有する感光性センサセルを提供することが本発明のひとつの目的である。比較的少数のセンサセルを有しつつくっきりとした像を生成できる感光性検出ユニットにおいて使用されうる感光性センサセルを提供することが、本発明のさらなる目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によると上述の目的が達成される。本発明は、光を受けるための検出面を持つ受光素子を備える感光性センサセルであって、その受光素子は材料から製造され、その材料の少なくともひとつの電気的に測定可能な量は光の影響によって変化可能であり、感光性センサセルはさらに、光の性質が決定されうるように前記量を測定可能とするための電極を備え、前記受光素子は尖った形状を有することを特徴とする感光性センサセルを提供する。
【０００９】
感光性センサセルが尖った形状を有する受光素子を備えることは、前記セルはフーリエドメインにおいてフーリエ変換がゼロ点を有さない開口関数を有することを意味する。開口関数のフーリエ変換はフーリエドメインにおいてゼロを通らずに漸近的にゼロに向かう。したがって、センサセルの周波数ドメインにおける相関除去は開口関数によって制限されない。
【００１０】
ここで「尖った形状（point-shaped）」の語は、受光素子がそれが検出面および尖った先端の両方を有するような３次元形状を有することを示す。これは例えば円錐形またはピラミッド形に関してもよい。当然、上述の性質を有する代替的な形状および非対称形状が考えられる。この形状の利点は、入射光は最も大きな開口を有する検出面に入射し、センサセルはサイズが減少していく積み重ねられた検出器と見なされうることである。この形状の受光素子を備えるセンサセルの開口関数はフーリエドメインにおいて連続的に正であり、ゼロ値を有さない。
【００１１】
したがって、本発明に係るセンサセルを使用することによって、周波数ドメインにおける相関除去はゼロ値による除算の結果で制限されることなく、周波数ドメイン全体に亘って可能となる。本発明に係るセンサセルが使用される場合、従来の感光性セルに対するこの改善によって非常に改善された画質が利用可能となる。さらに、本発明に係る感光性センサセルは高い運動安定性を有しており、動きによる全てのぼけは相関除去によって効果的に解決されくっきりした像が得られる。この関連で、動きによるぼけは隣接する点の間で高度の相関を引き起こすことを注意しておく。例えば感光性センサセルの動きによって、ある受光素子に入射するはずであった光が今度は隣接する受光素子または想定素子から限られた距離にある受光素子に入射しうるからである。隣接する素子から来る測定値はこのようにして相関する。
【００１２】
通常のＣＣＤのような現状の技術にしたがう感光性センサセルでは、フーリエドメインにおける開口またはアポダイゼーション（apodization）関数のフーリエ変換のゼロ通過によって課せられる制限のために、相関除去は周波数ドメインのある部分でのみ可能である。従来技術の感光性センサセルについて相関除去が可能な周波数ドメインは、アポダイゼーション関数のゼロ点によって制限される。このゼロ点はアポダイゼーション関数のピーク値に比較的近い位置にある。したがって、相関除去は限られた周波数範囲のみにおいて可能である。本発明に係る感光性センサセルが使用される場合、その開口またはアポダイゼーション関数は周波数ドメインにおいてゼロ通過を有さないので、相関除去は周波数ドメイン全体に亘って実行されうる。これにより、画質は大いに向上し、動きによるぼけは高度に除去されうる。
【００１３】
上記の観点から、尖った形状の受光素子は目の網膜の錐状レセプタと多くの点で似ていることを注意しておく。網膜は、何百万ものレセプタ（人間の目においては約１億３千万のレセプタ）からなる。レセプタの大部分はロッドによって形成される。すなわち、レセプタの大部分は、非常に少量の光しか利用できないような条件の下で見るのに使用される桿状レセプタである。これらの桿状レセプタは色を識別することができず、また赤色の光への感度が最も悪い。したがって、赤色の物体は暗闇ではよく黒色に見える。さらに、ロッドはくっきりと見るのには向いていない（低い視力）。
【００１４】
これらのレセプタの小さな割合、約５パーセントは錐状レセプタによって形成される。これらの錐状レセプタは、日光および人工的な光の下などの通常の条件の下で見るのに使用される。人間の目のなかの錐状レセプタの数は約四百万と見積もられる。これをＣＣＤタイプの撮像手段と比較すると、四百万個の受光素子を有するＣＣＤカメラは４メガピクセル程度の解像度を有する画像を提供できるであろう。これは健康な目で得られる画質と比較すると比較的月並みな質である。人間の目はより高い解像度で画像を提供できる。健康な目は非常に小さな物体をカミソリのようなシャープさで見分けることができる。
【００１５】
目がこれを実現できるのは、目が短い持続期間を有する非常に小さな動きによって物体を連続的に走査するよう目の筋肉が働くためであることが分かる。この短い持続期間を有する非常に小さな動きはマイクロサッカード（microsaccades）と呼ばれ、両目について全く同じである。したがって目はそれ自身、通常の状況下では通常のＣＣＤにおいて動きによるぼけまたは不鮮明さを引き起こしうる動きを行う。目は、動きによるこの不鮮明さを除去することができ、むしろこれらのマイクロサッカードの結果網膜上のレセプタの数に基づいて予測されるよりももっと高い解像度を提供することができるのは明らかである。
【００１６】
本発明に係るセンサセルでは、受光素子は、アポダイゼーション関数または開口関数がフーリエドメインに変換された場合に連続的に正になる、すなわちゼロ点を有さないような形状を有する。したがって、人間の目の高い画質に対する説明は、目が周波数ドメイン全体に亘って像の相関除去を行うことができ、それによって限られた数のレセプタしかないにもかかわらず高度のくっきりさおよび高い解像度を得ることができることにあるようである。本発明者らは、本発明に係る感光性センサセルの使用に伴って、高解像度で画像を取得するための人工的な目のサッカード（saccades）を実行できることを認識した。この原理は以下の説明の項においてより詳細に説明される。
【００１７】
本発明のある実施の形態によると、感光性センサセルの検出面は尖った形状の受光素子の幾何学的なベースを構成する。さらなる実施の形態によると、受光素子はさらに検出面と反対に位置する尖った形状の先端を含む。さらに別の実施の形態によると、検出面と尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部は、例えば錐形またはピラミッド形を得るために検出面に対する一定の配向角を囲む。しかしながら代替的な実施の形態では、検出面から尖った形状の先端に向かう向きに見たとき、検出面と尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部と検出面との間の配向角は減少する。これは、感光性セルの側部に凸形状を与える。本発明のさらに別の実施の形態によると、検出面から尖った形状の先端に向かう向きに見たとき、検出面と尖った形状の先端との間に位置する受光素子側部と検出面との間の配向角は増大する。対照的にこれは凹形状を導き、受光素子は弾丸形状を有するようになる。
【００１８】
上で提案された形状は、周波数ドメインにおける相関除去に関する利点を提供するアポダイゼーションまたは開口関数を提供できる。これは、例えば所与の周波数範囲に対するある程度の感度に関係しうる。
【００１９】
本発明に係る感光性センサセルでは、検出面は、円形、長円形、三角形、長方形、正方形、五角形、六角形、七角形、八角形、ｎを＞８の自然数とするときｎ個の角を有する多角形、および非対称の２次元形状からなるグループから選択されたひとつの形状を有する実施の形態を有してもよい。
【００２０】
ある実施の形態によると、センサセルは少なくとも部分的に光透過性である材料から製造される。ある程度の光透過性の存在は、入射光が受光素子の半導体材料の下部層に効果的に届きうることを意味する。
【００２１】
上述されたように、センサセルは複数の平面状サブ受光素子によって形成されてもよい。その複数の平面上サブ受光素子の断面は尖った形状の受光素子を形成するよう減少していく。しかしながらこれは絶対条件ではなく、代替的に受光素子はひとつのピースから一体に形成されてもよい。
【００２２】
第２の態様によると、本発明は上述の感光性センサセルを含む感光性検出ユニットを提供する。
【００２３】
第３の態様によると、本発明は上述の第１の態様に係る感光性センサセルまたは上述の第２の態様に係る感光性検出ユニットを含む撮像手段を提供する。
【００２４】
上述の撮像手段はさらに、少なくともひとつの感光性センサセルを周囲に対して相対的に動かすための手段を備えてもよい。これによって、撮像手段は感光性センサセルに人工的な目のサッカードを行わせることができ、自然に形成された目と同じように受光素子の数が比較的少なくても非常にくっきりとした画像を高解像度で得ることができる。これは、後の相関除去が効率的に適用される点で達成されうる。そこでは、人工的な目のサッカードの実行中に感光性センサセルで受けた画像情報は仮想的なピクセル要素に帰属させられる。仮想的なピクセル要素は実在しないが実在のピクセル要素間に介在すると仮定される。これは利点をひとつ以上の側面において強化する。最も明らかな利点はセンサセルにおける受光素子の数が比較的少なくて済むことである。したがって、画像を記憶するために要求されるメモリ容量も比較的少なくて済む。別の利点は、センサセル上に実際に存在する受光素子の数は少ないので、撮像手段を従来のＣＣＤが使用された場合よりもより小さなサイズで製造できることである。宇宙旅行のアプリケーションでは、通常の寸法のセンサセルまたは検出ユニットは今度はより高い解像度を提供でき、従来のＣＣＤのような従来の感光性ユニットによってでは観測できないような物体をも見えるようにすることができる。このために支払うべき代償は、相互にサブピクセルでシフトした複数の画像が生成されることである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
本発明は、本発明を限定すると見なされるべきではない本発明のいくつかの実施の形態を参照して、および、添付の図面を参照して、以下により詳細に説明される。
【００２６】
【図１】本発明に係る感光性センサセルを示す図である。
【図２】本発明に係る感光性センサセルのグループまたはマトリックスを示す図である。
【図３】図３Ａ−３Ｄは、本発明に係る感光性センサセルのなかの受光素子の種々の実施の形態を示す図である。
【図４】本発明に係る感光性センサセルのなかの受光素子の断面図である。
【図５】本発明に係る撮像素子を示す図である。
【図６】本発明のさらなる実施の形態を示す図である。
【図７】図６に示される実施の形態における使用のためのマスクを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図１は、本発明に係る感光性センサセル１を示す。感光性センサセル１は、円錐形デザインの受光素子３を含む。受光素子３の検出面２に光子が入射しうる。これらの光子は受光素子３の材料のなかで例えば電子−空孔対に変換される。その結果、受光素子３のなかに電荷が蓄積される。受光素子３はスイッチングトランジスタ６によって出力５を介して読み出されうる。適切な電圧Ｖｆｃがトランジスタ６のベースに印加されるという点で、スイッチングトランジスタ６は開かれる。トランジスタ６が開かれると、受光素子３の電荷は記憶キャパシタ７へ流れ込む。トランジスタ９のベースに適切な電圧Ｖｓｍが印加されることを通じてトランジスタ９が開かれるという点で、前記記憶キャパシタ７は実質的に読み出されうる。感光性センサ１セルは、感光性マトリックス（この一例は図２に示される）のようなセンサセルのグループの一部を形成してもよい。この場合、かつ、感光性マトリックスが例えば写真カメラの一部である場合、トランジスタ６およびグループの他のセンサセルの全ての同様なトランジスタが同時に開かれ、その結果グループの受光素子ひとつひとつの電荷が排出されそれぞれの記憶キャパシタ７に蓄積されることによって、写真が撮られうる。関連するトランジスタ（例えばトランジスタ９）を開くことを通じて全ての記憶キャパシタ７が順番に読み出される場合、画像はデジタル的に読み出されうる。当業者であればここに、従来技術に係るＣＣＤにおいては通常であるような電荷結合原理を等しく適用できることを理解するであろう。
【００２８】
図２は、センサセル１４のような感光性センサセルのグループ１２を示す。各列のセンサセルは例えば単一の輸送ライン（１６、１７、１８、１９、または２０）に接続されてもよい。単一の輸送ラインによって、これらのセルをひとつひとつ読み出すことが可能となる。図１および２は、感光性センサセルの円錐形デザインに基づく。
【００２９】
図３Ａから３Ｄは、いくつかの代替的な実施の形態を示す。そこでは、受光素子は、六角形ベース２５を有するピラミッド（図３Ａ）、非対称円錐２７（図３Ｂ）、凹状側部を有する準双曲面状の尖った要素３０（図３Ｃ）、および凸状側部を有する弾丸形状の受光素子３２（図３Ｄ）として形成される。本発明は無論これらの実施の形態に限定されず、他の尖った形状のデザインもまた本発明の利点を提供しうる。
【００３０】
図４は、本発明に係る受光素子の実施の形態の断面図である。受光素子３５は、複数の感光層３７であってそれらの層全部で３次元的な尖った形状の受光素子を形成する複数の感光層３７を含むロッドからなる。サブ要素３７、３８、および３９のようなサブ受光素子はそれぞれ例えばｐ−ｎ結合を形成してもよく、そのｐ−ｎ結合では、入射光子の影響の下で電子−空孔パケットが形成される。受光素子の層３７、３８、３９および他の全ての層のような複数の層のそれぞれの光学的減衰の度合いは、受光素子３５に入射する光が、好適には部分的に、それらの層によって伝達されるようなものである。これにより、受光素子の全ての層は信号の部分を受け取ることができる。受光素子の個々の層はそう望まれるのであれば同時に読み出されてもよく、層を順番にひとつずつ読み出すことは必須ではない。
【００３１】
図５は、本発明に係る撮像手段５０を示す。撮像手段は、図１のセンサセル１などのセンサセル（図では見えない）を複数含む検出ユニット５１を備える。検出ユニット５０は、検出ユニットの読み出しの結果得られる情報を記憶ユニット５３に蓄積する処理手段５２と接続される。撮像手段は、撮像手段の検出ユニット５１をサッカード的な目の動きをシミュレートするように動かすことができる動き手段５４をさらに備える。処理ユニット５２は、例えば記憶手段５３に記憶されている適切なアポダイゼーション関数によって相関除去を行うよう設計される。
【００３２】
上述の本発明は特に、フーリエドメインにおける受光素子の開口関数が連続的に正となりゼロ値を有さないように受光素子の形状を適切に選択することに立脚している。この結果、周波数ドメイン全体に亘って相関除去が可能となる。本発明に係る感光性センサセルの動作をより詳細に検討することにより、かつ、感光性センサセルの３次元形状を一方、その開口関数を他方としてそれらの間の関係をより詳細に検討することにより、検出面における位置依存の感光性はフーリエドメインにおける開口関数の形状に関連があるという結論が得られた。感光性センサセル（例えば、円錐形センサセル）の尖った形状は、そのセンサセルが検出面のどこででも同じ感光性を有するということがないことを確かなものとする。例えば尖った先端の真反対に位置する検出面上の点は、検出面の縁よりもより感光性が高い。検出面の縁には比較的少量の半導体材料しか存在しないからである。
【００３３】
研究によると、従来技術において知られている感光性センサセルまたは光ダイオードに光透過性が表面に亘って変化するマスクを提供するという点でも、本発明の利点がある程度得られうることが示された。マスクの光透過性の度合いまたはマスクの透過係数は、光がマスクを完全に透過する位置がマスク上に存在し、この位置からの距離が増大するにつれて比例的に光透過性が減少するように、変化する。この一例は図６で与えられる。
【００３４】
図６は、感光性センサセルおよびマスクの組み合わせ６０を示す。感光性センサセルは、ｐ型半導体層６３を備えるｎ型半導体層６２からなる。ｐ型半導体材料６３は、光学要素の光が入射しうる側に存在する。感光性センサセルの感光側の縁は、回折フィルタ７２によって覆われている。ｐ型半導体材料の上または中にアノード６８が存在し、ｎ型半導体材料６２の下にカソード６７が存在する。ｎ型半導体材料６２とカソード６７との間にｎ＋型の半導体材料の層６９が存在する。この感光性センサセルの特別な特徴はマスク７０を備えることであり、そのマスク７０の縁における光透過性は（非常に）低いかゼロであり、そのマスク７０の中央における光透過性は（非常に）高い。本実施の形態で示されるマスクの感光性は中心に対して対称な表面勾配を有しており、そのマスクによって透過される光は中央において最大となり、縁において最小となる。
【００３５】
図７は、図６の感光性センサセル６０のマスク７０の平面図である。中央７６は高い透過係数を有する、すなわち、それは多くの光を透過させる。透過係数は表面７５上で縁に向かって減少し、マスクの縁で最小となる。
【００３６】
図６および７に示されるようなマスクは、開口関数が考慮される限りは、本発明に係る円錐形感光性センサセルの光学的等価物である。したがってそれにより、図６および７に示されるようなマスクが使用される場合、本発明の利点がある程度は得られうる。
【００３７】
一般的に言うと、感光性センサセルは非一様な感度プロファイルを備え、前記感度プロファイル（それは表面に亘って位置依存である）は極大値を有しこの極大値の位置からの距離が増大すると減少するようなものであることで、本発明の利点が得られうる。そのような非一様な感度プロファイルは、尖った形状の感光性センサセルの光学的等価物を提供する。非一様な感度プロファイルは上述のようにして、すなわち半透明さまたは光学透過係数がその表面に亘って一様でないマスクによって得られてもよい。
【００３８】
本発明は画像記録に関することは、上記説明から当業者には明らかである。本発明は上述の実施の形態には限定されず、もっぱら添付の請求項の保護範囲によって限定される。
【図１】
2011526070.tif 000003
【図２】
2011526070.tif 000004
【図３Ａ】
2011526070.tif 000005
【図３Ｂ】
2011526070.tif 000006
【図３Ｃ】
2011526070.tif 000007
【図３Ｄ】
2011526070.tif 000008
【図４】
2011526070.tif 000009
【図５】
2011526070.tif 000010
【図６】
2011526070.tif 000011
【図７】
2011526070.tif 000012
【国際調査報告】
2011526070.tif 000013
2011526070.tif 000014
2011526070.tif 000015