(57)【要約】  薄い弱衝撃性の結晶板、特にガラス板（１１）を、汚すことなく、正確に定義された水平配向及び、定義された垂直位置に運搬するための方法及び装置が開示される。ガラス板（９）が、産業ロボットを使うことなく、また、人によって汚染されることなく位置決めされ、運搬されて、さらなる過程のために正しい位置に送られる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄い弱衝撃性の結晶板、特にガラス板（１１）を、超クリーンルームにおいて、汚すことなく、正確に定義された水平配向及び位置決めするための装置において、
ａ）ローラ（２）及び駆動部（３）を有するローラコンベヤと、
ｂ）持ち上げフレーム（８）及びその上に横たわる位置決めフレーム（５）を有する位置決め部であって、前記位置決めフレーム（５）は交差補強材（４）を有し、該交差補強材（４）は、前記持ち上げフレームと回転可能な連結式の手法で接合され、支持部を有して前記ローラ（２）間の自由空間を通り、前記ローラ（２）の支持水平面から突き出て、前記ガラス板（９）を支持し、
ｃ）駆動部（６）によって操作され、個々に制御可能であって、回転接合部（７）においてそれぞれ回転する２つのスライド部を備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記ローラコンベヤの駆動部は、かさ歯車駆動の形式であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ローラ（２）は、それぞれ専用のサーボ駆動を備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記持ち上げフレーム（８）は、駆動部を用いて持ち上げられ、前記駆動部は、レバー連鎖とねじ山のついたロッドの短縮を通して、持ち上げ部の偏向を引き起こすことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記交差補強材（４）の支持部は、ＰＥＥＫプラスチックで製造されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記機械的可動部は、排ガス放出がないようにカプセル化され、耐摩耗性材料から製造されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記ガラス板（１１）の位置決めは、レーザ及び／又はセンサを使って監視されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
フレキシブルサービスダクト（１２）は、専用の吸引抽出システムを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
薄い弱衝撃性の結晶板、特にガラス板（９）を、超クリーンルームにおいて、汚すことなく、正確に定義された水平配向及び位置決めするための方法において、
ａ）超クリーンルームで、ガラス板（９）は、ローラ（２）及び駆動部（３）を有するローラコンベヤによって位置決め部上を運搬され、前記ローラ（２）は、駆動源である、かさ歯車を使って、組又は個別に駆動され、
ｂ）前記ガラス板（９）は、前記ローラ（２）間の自由空間を通して下方よりその上に横たわる位置決めフレーム（５）を有する持ち上げフレーム（８）を持ち上げることにより位置決めされ、前記位置決めフレーム（５）は、交差補強材（４）を有し、該交差補強材（４）は、前記持ち上げフレームと回転可能な連結式の手法で接合され、支持部を有して前記ローラ（２）間の自由空間を通り、前記ローラ（２）の支持水平面から突き出て、前記ガラス板（９）を支持し、
ｃ）前記ガラス板（９）は、駆動部（６）により操作され、それぞれ個別に駆動可能であり、それぞれ回転接合部（７）において回転する２つのスライド部によって、衝撃のない方法で位置決めされ、
ｄ）位置決め操作の後、前記持ち上げフレーム（８）は前記ガラス板（９）が再度前記ローラ上に留まる位置まで下げられることを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記ローラコンベヤの駆動部は、かさ歯車駆動の形式であることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ローラ（２）は、それぞれ専用のサーボ駆動を備えることを特徴とする請求項９又は１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記持ち上げフレーム（８）は、駆動部を用いて持ち上げられ、前記駆動部は、レバー連鎖とねじ山のついたロッドの短縮を通して、持ち上げ部の偏向を引き起こすことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
前記交差補強材（４）の支持部は、ＰＥＥＫプラスチックで製造されることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
前記機械的可動部は、排ガス放出がないようにカプセル化され、耐摩耗性材料から製造されることを特徴とする請求項９乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記ガラス板（１１）の位置決めは、レーザ及び／又はセンサを使って監視されることを特徴とする請求項９乃至１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
フレキシブルサービスダクト（１２）は、専用の吸引抽出システムを有することを特徴とする請求項９乃至１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
プログラムをコンピュータによって実行する場合、請求項９乃至１６のいずれか一項に記載の方法を実行するためのプログラムコードを有することを特徴とするプログラム。
【請求項１８】
プログラムをコンピュータによって実行する場合、請求項９乃至１６のいずれか一項に記載の方法を実行するためのコンピュータプログラムのプログラムコードを有することを特徴とするコンピュータ読取可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
超クリーンルーム内における結晶構造、特にガラス板の処理は、当初、半導体を製造する技術において必要とされていた。やがて、太陽光発電及びＴＦＴスクリーンの製造が、この製造技術のとりわけ重要な応用分野であることが分かってきた。
【０００２】
適合した太陽モジュールは、建物の格子及び枠へ正確に統合することが可能である。半透明太陽電池だけでなく、透明部分を有する不透明太陽電池も、太陽光発電の光沢が光で満たされ現れるようにする。ここで、太陽電池は、時には太陽及びまぶしい輝きに対する要求される保護効果を担う。
【０００３】
そのような太陽光発電システムの製造には、第一に集積電子回路の生産における従来の操作条件が必要になる。しかしながら、太陽光発電システムの製造においては、表面積の広い弱衝撃性ガラス板を取り扱うため、いわゆるクリーンルームの状態がさらに必要になる。
【０００４】
弱衝撃性ガラスの製造及びさらに処理は、大きなフラットスクリーンの製造において要求され、また大量に要求される。現在、フラットスクリーンは、古いブラウン管モニターに取って代わり、値段も下がってきている。これらは、ＴＦＴ／ＬＣＤ技術に基づくものである。ここでは、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）は画面の個々の画素において液晶を利用することを示し、ＴＦＴは薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor）を示す。ＴＦＴは、液晶配向、ひいては光透過率を制御する小さなトランジスタ要素である。
【０００５】
フラットスクリーン・ディスプレイは、多数の画素からなる。順に、各々の画素は、赤、緑、及び青の色に関連する３つのＬＣＤセル（サブ画素）からなる。１５インチの画面（対角線上を計測）には、８０万個の画素又はおよそ２４０万個のＬＣＤセルが含まれる。
【０００６】
ＬＣＤセルは、偏光サングラスと同様の働きをする。２つの偏光ガラスを、一方が他方の上に来るようにして、互いに対して回転させると、最初は見ることができるが、次第に見えなくなり、そのうち何も見えなくなる。これは、偏光ガラスが特定面で振動する光波のみに対して透過するということに起因する。２つの偏光ガラスを、一方が他方の上に来るようにして、互いに対して９０度回転すると、いくらかの光は第一のガラスを通ることができるが、第二のガラスを通ることはできない。というのも、これはやってくる光の進行方向に対する直角平面であり、光波をカットするためである。
【０００７】
ＬＣＤセルは、同じ原理で働く。ＬＣＤセルは、互いに対して９０度回転した２つの偏光ガラスからなり、上記の原理により、光を通さない。液晶層は、光の振動面の向きを変えるという自然の特性を持ち、これら２つの偏光ガラスの間に位置する。この液晶層は、十分に厚く、第一の偏光ガラスを通る光の回転が９０度戻って、第二の偏光ガラスも通ることができ、例えば、観察者が肉眼で確認できる。
【０００８】
液晶分子が、電圧印加によって自然の位置から向きを変えると、セルを通る光が減少し、対応する画素が暗くなる。対応する電圧は、全てのＬＣＤセルの一部であるＴＦＴ素子によって生成される。ＬＣＤディスプレイのための光は、小さな蛍光灯によって、画面枠の後部で生成され、照明空間のためより大きな規模の蛍光灯が使用される。
【０００９】
各画素は、赤、緑、及び青色のためのカラーフィルターを有しているため、これらのフィルターの透明性を制御することによって、各画素は、希望の混色又は希望の色を確定することができる。
【００１０】
標準のオフィスへの適用のために、フラットスクリーンは、優れた鮮明さ及び十分な色品質を有する。人間工学的には、ＴＦＴはまた、より小さな空間しか必要としないことや、消費電力が管モニターの３分の１であること、放射線放出が著しく少ないことのように、多くの利点がある。
【００１１】
マイクロエレクトロニクスでは一般的であるが、ＴＦＴ画面の製造には、いわゆる超クリーンルームが必要である。これは、ライン運搬構造の小さなサイズという観点において、微細な粒子であっても製造過程中の障害になり得るためである。ＴＦＴ画面の製造において、そのようなライン障害は、画素の欠陥につながり得る。
【００１２】
クリーンルーム又は超クリーンルームは、浮遊微小粒子の濃度を制御する部屋である。室内に入った粒子又は室内で作られて蓄積された粒子の数ができるだけ少なくなる方法で構成及び利用され、温度、湿度、空気圧のような他のパラメータが、必要に応じて制御される。
【００１３】
一方、ＴＦＴ画面は、現在安価になってきており、他方では、大画面の需要が目立ってきており、それは、このタイプの画面が第一に主要なイベントで安易に利用可能であり、第二に、現在の製造技術に起因する手頃な値段で手に入るようになっているからである。
【００１４】
しかしながら、大きな画面を製造するには、超クリーンルームにおいてでも、大きな表面積を処理するため、ここでは薄ガラス板を処理するための特別な機械を必要とする。
【００１５】
このため、主として多軸型産業ロボットを使用することが可能である。
【００１６】
様々な製品を製造するための技術における、多軸型産業ロボットの様々な実施例の利用法を従来技術から得ることができる。このタイプの産業ロボットは、大きな空間で、主に扱いにくい重量物を運搬するのに使用されるが、より小さな機械部品の製造にも有益に使用できる。いずれの場合においても大事なのは、個々の保持動作、運搬動作、及び設置動作の連続した動作の再現可能な正確さである。
【００１７】
ここで、これらの連続した動作が行われる状態は、多くの場合において重要ではない。例えば、連続した動作でどんな騒音が発生するのか、動作がほこりの動き又は多少の潤滑剤の流出に関連があるのかは、大抵は重要でない。摩擦の原因になる、可動の機械部品の避けることのできない摩耗もまた、大抵は重要なことではない。
【００１８】
それに対し、汚染による危険にさらされる環境で働く場合、例えば食品加工工場、製薬工場、又は超クリーンルームでの半導体製造においてでも、このタイプの自然に派生する問題を考慮しなければならない。
【００１９】
そのため、EP1 541 296 A1は、掃気媒体で充満している多数の掃気室を有する、汚染による危険にさらされる環境で使用する、産業ロボットのような、遠隔操縦機の駆動装置の領域での、遠隔操縦機について開示している。この装置の場合の達成目的は、遠隔操縦機を構造的に簡易な方法で、特に安価に、汚染による危険にさらされる環境で安全に使用できる装置をさらに作り出すことにある。
【００２０】
この目的は、複数の駆動装置のグループの各々に関連する専用の掃気室によって達成される（請求項１）。
【００２１】
産業ロボットが使用される環境は、汚染により敏感であり、標準の環境に比べて、設計配置に関する要求がより高くなるが、このタイプの特別の要求は、超クリーンルームにおいて要求される状態と比較することはできない。
【００２２】
DE 20 2007 003 907 U1は、自動的にガラス板を仕分けするための装置を開示している。とりわけ、この文献には、左手及び／又は右手の停止帯（７）に対し、制御可能なローラ（８）によってガラス板の位置決めをする位置決め装置（１）について記載されており、位置決め装置（１）は、中心軸受（５）の周りを別々に回転可能な２つのフレームローラ運搬装置（１０）を備える。この位置決め装置（１）が、超クリーンルームの状態における操作を対象としていないこととは別に、この場合、厚みがあって比較的しっかりとしたガラス板の位置決めが、２つの停止帯（７）上で衝撃的に停止することによって行われる。これは、薄いガラス板の位置決めをする際には、破損の危険性があるため、全く不適切な位置決め処理である。この文献では、本発明による薄い弱衝撃性ガラス板を滑らかに位置決めすることについては、特に記載されていない。
【００２３】
DE 19 18 791 Aに記載の、板を運搬及び積み重ねるための装置においては、板の運搬速度及び積み重ねる速度を、先行技術による積み上げ操作に比べて大幅に増す必要があり、部分的に手動による補助がなされている。これは、各板の持ち上げ又は反転を２つの工程で行う点で、実質的に達成される。ここに記載の過程において、各々の板を処理するために、吸引装置（４）を使って板を固定接合し、別の回転可能な運搬装置に供給し、最終的に積み上げ部（１１）に運搬するまで、別の水平及び傾斜位置に移動させる。この文献では、薄い弱衝撃性ガラス板を、超クリーンルームの状態において、滑らか且つ柔軟に位置決めすることについて記載されていない。
【００２４】
DE 10 2005 039 453 A1は、さらに、平らな基板のためのモジュラー処理システムについて開示している。汚れからの保護のため、このタイプの、例えばＴＦＴ画面のような平らな基板が、特別な大気条件で処理するための囲いに依存している。このため、この文献で提案される発明によれば、処理システムの囲いが施されるが、モジュラー処理システムには、個々のモジュールに迅速にアクセスして、個々のモジュール間の迅速な運搬が可能な、超クリーンルームの状態であってもモジュール間の基板運搬が可能な運搬システムが提供される。これは、運搬部が、基板の停止に対応する囲い状の運搬室を有する点で達成され、囲いの寸法を基板の寸法、従って、必須の寸法まで小さくすることができる。超クリーンルームの状態において、所定の方法で処理システムを最大限に利用するための寸法があるが、この文献では、薄い弱衝撃性ガラス板の位置決めをする事項を取り扱っていない。
【００２５】
上記とは別に、大きなＴＦＴ画面を製造するのに使用される薄いガラス板は、その構造や比較的大質量のため、極小さな衝撃に対して極めて敏感である。従って、産業ロボットは、敏感性に欠け、位置精度も欠けることがあるため、超クリーンルームで大きくて薄いガラス板を処理するのにふさわしくない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
超クリーンルームの状態では、大きな弱衝撃性ガラス板を水平方向から垂直方向へ運搬するのに特別の配慮及び注意が必要である。
【００２７】
超クリーンルームを維持する際、特に高価な製品の製造時に注意すべきことは、人によって汚染の危険性があることである。ここで、予期せぬくしゃみによって、製造装置全体を破壊してしまう。同様に、このようなシステムにはさらに高い信頼性が要求される。適切に構成された産業ロボットを購入して操作するには、高い費用がかかるため、このようなシステムで有利な価格であることも、また重要である。
【００２８】
特に、産業ロボットを使って表面積の広い弱衝撃性ガラス板を取り扱う際、これらのような表面積の広いものを動かすことによって、振動することがある。これは、第一に吸引部による数箇所のみの接着、第二にそのようなロボットの連続した加速運動によって生じる可能性がある。これらのような振動現象によって、ガラスの破損の危険性がさらに高まる。
【００２９】
従って、本発明による装置及び方法はそれぞれ、製造過程または特定の製造過程への運搬を確かにする目的に基づき、超クリーンルームにおいて大きな薄いガラス板を位置決め及び調整する際に、人が介入せず、製造の外部から人が制御及び監視するものである。関連の装置は、信頼性があり、製造費用が安価でなければならない。ガラス板の連続した動きは、望ましくない振動を除外しなければならない。
【００３０】
この目的は、請求項１に記載する装置及び請求項９に記載する方法によって達成される。本発明による装置の詳細を下記に記載する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、ローラコンベヤの空間図である。
【図２】図２は、ローラ駆動部の図である。
【図３】図３は、ローラコンベヤ及び位置決め部の平面図である。
【図４】図４は、ローラコンベヤ及び運搬部の空間図である。
【図５】図５は、ローラコンベヤ、位置決め部、及び運搬部の空間図である。
【図６】図６は、運搬部及び設置装置の空間図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
超クリーンルームでは、マイクロ電子機器で使用されるように、超クリーンルームのクラスに対応して複数の階層的なエリアがある。このように、基材がその中で処理されている超クリーンルーム（クラス１０及びそれ以上）は、被膜や構造化のために要求されるシステムとは離れたエリアで囲まれている。真空技術に要求されるポンプは通常は階下に配置される。
【００３３】
アクセスは、通常、クリーンルームクラスの下降に従って一連の異なるクリーンルームエリアを通り超クリーンルームに至るものである。服装の変更は、一般的にはこれらのエリア間で要求される。床に接触する道具（例えば靴の底）で床を汚すことを最小限にするために、特別な粘着性のあるマットが各アクセスポイントに置かれている。超クリーンルームへのアクセス自体は、人や用具のための空気ロックを通って追加的に可能となり、強力な通気やフィルターシステムは、次々に、存在している粒子をぐるぐる回し、取り除き、従って、追加的な汚れは、外から部屋に持ち込まれることはない。
【００３４】
クリーンルームで用いられる用具は、耐磨耗表面を有するものでなければならない。組み立てられたシステムや装置は、層流に最小の分裂を引き起こすのみである。クリーンルームは一般的に、過度の圧力にさらされる（過度の圧力の換気扇）。
【００３５】
超クリーンルームで使用されるガラス板（９）は、前述の部屋の一つで洗浄され、複数の保護カバーの中に詰め込まれる。
【００３６】
これらの保護カバーは、その後、ガラス板（９）のそれぞれの過程操作に応じて、そして、要求されるクリーンルームや超クリーンルームの状態に応じて再び取り除かれる。
【００３７】
ガラス板（９）は、空気ロックやローラコンベヤが通る、本発明に係る方向決めや位置決めが行われる部屋に入る。
【００３８】
この種のローラコンベヤは、図１に示すように、一連の平行ローラ（２）から成る。ここで、それぞれのローラ（２）は、図１から分かるように、全てのローラに共通する専用のかさ歯車及び駆動部（３）によって操作される。ローラコンベヤは、固定板（１）に取り付け可能である。
【００３９】
図２は、このような駆動部を詳細に示した図である。ここで、下流に角ばったギア機構を有する細長い駆動モータが、中央軸に、より小さなかさ歯車を駆動するための大きなかさ歯車を使用することが分かる。この中央軸は、複数個所に取り付けられ、それぞれのローラ（２）の領域において、各々のローラ（２）上に直接位置する、さらなるかさ歯車を駆動するための、より小さなかさ歯車を支持する。この構成は安価であり、長期に渡って信頼性のある操作が可能である。かさ歯車駆動を使用することにより、安価な製造に加え、高い操作信頼性を達成できる。
【００４０】
これらのローラ（２）の軸受は、必要とされるクリーンルームの状態に応じて設計される。
【００４１】
しかしながら、この種のローラコンベヤは、それぞれが専用の電動駆動及び専用の制御システムを有する一続きのローラを備えることもあり、また、組になって駆動されるかさ歯車を備えることがある。ローラコンベヤは、１つ以上のガラス板（９）を次の目的位置に運搬する必要がある時にいつでも使われる。
【００４２】
仮にその後、図３に示すように、各ガラスプレート（９）が位置合わせ部の領域に至るなら、その位置はセンサで検出され、ガラス板（９）は、準備位置で停止に至る。図３は、その状態を上方から示した図であり、図を明確にするため、ガラス板は図示していない。
【００４３】
当業者が精通している構造の幅広い種類のセンサの様々な種類と範囲を、各要求に応じて、センサとして使用することができる。
【００４４】
ガラス板（９）の実際の位置決めのため、位置決めフレーム（５）を支えている持ち上げフレーム（８）は、ローラの下部で引き上げられ、この位置決めフレームは、ローラ間の自由空間を通り、ローラの支持水平面より突き出る支持部を有する交差補強材（４）を支えている。
【００４５】
持ち上げフレーム（８）は、専用駆動部を用いて引き上げられ、この駆動部は、レバー連鎖とねじ山のついたロッドの短縮を通して、持ち上げ部の偏向を引き起こす。しかしながら、当業者に知られる別のオプションを用いることも可能であり、この別のオプションは、持ち上げ動作を有し、超クリーンルームの状態に適合する。
【００４６】
位置決めフレーム（５）は、回転自在に乗せられる交差補強材（４）上にしっかり固定された支持部を支え、付着のない表面を有し、裏面側からガラス板（９）に接触して、その結果、後面を支える。
【００４７】
位置決めフレーム（５）は、最初に駆動部（６）によって個別に駆動される置換部を介して、置換支持部上に置き換え可能に取り付けられ、結果として、連結式の手法で回転可能に取り付けられた交差補強材（４）に接合され、２つの長手方向に延長する位置決めフレーム（５）の横桁は、異なる位置に配置される。
【００４８】
これは、位置決めフレーム（５）が、全体として平行に置き換えられるのみではなく、平行四辺形のような傾いた位置に変更されることを確証し、また位置決めフレーム（５）は、支持部上にあるガラス板（９）に衝撃を与えることなく所定の位置に動かす。
【００４９】
ガラス板（９）の正確な位置決めは、ラインレーザやマーキングを使って監視することができ、レーザ及び／又はセンサを使ってその位置を監視する。
【００５０】
それにより、ガラス板（９）を最大限正確な位置につけ、超クリーンルーム中でのさらなる工程に送ることができる。
【００５１】
これは、ガラス板（９）の正確な位置決めのための操作の後、センサにより監視され、持ち上げフレーム（８）は、ガラス板（９）が再びローラ上に留まる位置に下げられることで達成される。
【００５２】
一方、図３に示す、ローラ（２）間の空間及び、位置決めフレーム及びローラ（２）間を通ってそれらの間に配置される押離部上に位置する交差補強材（４）を、所望の置換動作に基づき、それぞれの場合に応じて設置することができる。
【００５３】
しかしながら、実際には、ガラス板（９）の小さな位置決め動作には、ローラ（２）間の関連の空間が、ガラス板（９）の位置合わせで通常の位置決めをされるものとして十分であることが予想される。
【００５４】
図４は、本発明による運搬装置の上にあるガラス板（９）の斜視図である。
【００５５】
図４に示す斜視図において、ガラス板（２）を運搬装置の上で水平方向に導くローラ（２）が、どのようにしてガラス板（２）を運搬フォークの横支柱（１３）及びそれに直角に接続される吸引ヘッド支持支柱（１４）の領域に運搬するのかを示す。吸引ヘッド支持支柱（１４）は、ローラ（２）と略並行に動く。ガラス板（９）の正確な位置決めは、ラインレーザやマーキング（別途図示せず）を使って監視することができ、レーザ及び／又はセンサを使ってその位置を監視する。
【００５６】
それにより、ガラス板（９）を最大限正確な位置に運搬し、超クリーンルーム中でのさらなる工程に送ることができる。
【００５７】
図４から分かるように、運搬装置はまた、固定板（１）で床に固定されている。運搬フォークの横支柱（１３）は、固定部、上方偏向ギア機構（１１）、及び特定の間隔をもって横桁を介してそれに接続された下方偏向ギア機構（１０）を介して固定板（１）上に取り付けられる。ここで、上方偏向ギア機構（１１）は、上方サーボ駆動（１７）によって駆動され、下方偏向ギア機構（１０）は、下方サーボ駆動（１６）によって駆動される。
【００５８】
例として、各々５つの吸引ヘッド（１５）を有する４つの吸引ヘッド支持支柱（１４）を、運搬フォークの横支柱（１３）上に示す。
【００５９】
運搬動作の前に、吸引ヘッド（１５）が吸引によって、関連のガラス板（９）に固定して装着され、それを運搬装置に接続する。フレキシブルサービスダクト（１２）は、排ガス規制されてカプセルで囲まれ、さらに専用の吸引抽出システムを有する。
【００６０】
図５は、本発明による位置決め装置及び本発明による運搬装置を組み合わせたものを示す図である。
【００６１】
図６の斜視図から、吸引ヘッド（１５）によって保持されるガラス板（９）が、設置装置（１８）の領域で直立位置に回転する様子が分かる。
【００６２】
水平位置から要求された垂直位置への実際の回転動作は、ここでは実質的に下方偏向ギア機構（１０）を使って実行される。その後、ガラス板（９）は、さらに水平方向及び垂直方向に、上方ギア機構（１１）を使って微調整される。
【００６３】
その後、ガラス板（１１）は、実際の使用目的に応じた被膜操作時まで設置装置（１８）内にとどまる。
【００６４】
運搬されるガラス板の寸法及び異なった寸法の設置装置の観点から、異なる状態に適応させるため、下方偏向ギア機構（１０）と上方偏向ギア機構（１１）とを接続する横桁が、これら２つの偏向ギア機構（１０、１１）の間隔がモーターによって変更できるような方法で構成される。関連のシステム部の現在の位置を、画面で監視するため、センサによる制御技術によって検出できる。システム部の位置の比較検出及びガラス板（９）の位置情報によって、希望する／実際の正確な比較の実行及び正確な位置結果を達成することができる。
【００６５】
例示を明確にするため、関連のシステム部は図示していない。
【００６６】
吸引ヘッド（１５）は、実質的にスペーサーブッシュを有し、スペーサーブッシュは下端に超クリーンルーム状態に適応するねじ結合部を有し、それにより、スペーサーブッシュは吸引ヘッド支持支柱（１４）に接続される。吸引ヘッド（１５）の内部には流量センサがあり、吸引部を通じて流れる空気を検知し、運搬装置を制御するために、それによって決定される測定値を送る。
【００６７】
この種の吸引部は、実質的にＰＥＥＫの略称で知られている高性能材料からなる。
【００６８】
このプラスチックは、好ましくは、例えばローラ（２）の支持のような、摩耗にさらされる部分にも使用される。
【００６９】
本発明にかかる装置は、産業ロボットを有する関連のシステムよりも製造費用が安価であり、高度に汚染のない環境を確実にするものである。また、操作信頼性及び安全性の欠如に関し、高い要求を満たすものである。特に、将来、広い表面積の画面や太陽光システムで使うような、広い表面積の薄い板を取り扱う際に、本発明による装置によって、一連の動作中における望まない振動を防ぎ、破損の危険性を大幅に減少させることができる。
【００７０】
設置装置（１８）に運搬する際に弱衝撃性のガラス板を保護する過程は、第一にガラス板（９）が偏向ギア機構（１１、１０）を通じて設置装置（１８）に向かって移動し、次に、発生する可能性のある振動がおさまった後、ガラス板をゆっくりと、さらなる過程のために必要な最終位置に移動させることによって微調整する点で達成される。
【００７１】
同様に、本発明による装置は、ガラス板（９）を垂直位置で被膜し、運搬装置を使って設置装置（１８）から水平位置にし、そのガラス板をさらなる製造工程のために、ローラ運搬装置上に置いた後に運搬するために使用することができる。
【００７２】
これに関連して、金属製の設置装置（１８）が、ガラス板（９）の処理中に、相当な温度上昇にさらされ、これらの温度上昇によって装置が変形してガラス板（９）の位置をずらすことに注目する必要がある。しかしながら、そのような変形が起こる法則は、物理的条件において既知であるため、数学的に決定できる。従って、ガラス板（９）の位置の結果的な変化が、処理操作において既知の変数として計算される限り、設置装置（１８）の温度の測定によって改善措置を行うことができる。
【００７３】
各場合における動作部及びセンサの双方向制御には、特別な制御プログラムが必要である。
【符号の説明】
【００７４】
（１）    基板、固定板
（２）    ローラ
（３）    ローラコンベヤ
（４）    押離部に対応する交差補強材
（５）    位置決めフレーム
（６）    置換部の駆動部
（７）    位置決めフレームの回転接合部
（８）    位置決め部のための持ち上げフレーム
（９）    ガラス板
（１０）  下方偏向ギア機構
（１１）  上方偏向ギア機構
（１２）  固定された、フレキシブルサービスダクト
（１３）  運搬フォークの横支柱
（１４）  吸引ヘッド支持支柱
（１５）  吸引ヘッド
（１６）  下方サーボ駆動
（１７）  上方サーボ駆動
（１８）  設置装置
【図１】
2011501476.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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