(57)【要約】  本発明は、ウェーハ、ＰＣ基板、ハイブリッド回路、精密機械又は電気機械部品、光学器械、医療装置などのワークピースの洗浄装置（１００）に関する。好ましくは、本発明の装置（１００）は、ほぼ平らなディスク形状を有するディスクドライブ構成部品を洗浄するために使用されることができる。本装置の簡単で容易に維持できる構造は、洗浄液の流れの下で、沈水状態でワークピースの表面から異物を除去するために、この装置内に洗浄液の一方向の流れを与える。洗浄液の一方向の流れは、装置（１００）の入口への洗浄液の流れの汲み上げ、及び出口の外部への洗浄液の流れの取り出しを同時にする手段によって達成される。洗浄液の一方向の流れは、クリーンにされたワークピースの表面に除去された異物が再び堆積するのを防ぐ。
2011529395.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）であって、
ａ）  前記洗浄液の流れの下で、沈水状態で前記ワークピースを洗浄するための洗浄タンク（１０２）と、
ｂ）  前記洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）に供給するために、前記洗浄タンク（１０２）の第１の端部に取着された洗浄液供給チャンバ（１１０）と、
ｃ）  前記洗浄タンク（１０２）から使用済み洗浄液を排出するために、前記洗浄タンク（１０２）の第２の端部に取着された洗浄液排出チャンバ（１２０）と、
ｄ）  前記洗浄タンク（１０２）の入口に装着された少なくとも１つの流れ規制プレート（１０４）と、を具備し、
この装置は、前記洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）に積極的に汲み上げること、及び使用済み洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）の外部に積極的に取り出すことによって、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する手段をさらに具備する、洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項２】
前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内の圧力は、ほぼ等しい、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項３】
前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、回路を形成するように、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）、前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液排出チャンバ（１２０）と連続して接続された少なくとも１つのポンプであり、かくして、前記洗浄液の流れは、前記洗浄タンク（１０２）に汲み上げられる前記洗浄液の量が、前記洗浄タンク（１０２）の外部に取り出される前記使用済み洗浄液の量にほぼ等しいようにして、同時に、かつ連続的に前記洗浄タンク（１０２）から汲み上げられ、かつ前記洗浄タンク（１０２）の外部に取り出される、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項４】
前記回路は、前記洗浄液をろ過するために、前記ポンプの上流側に位置されたろ過手段をさらに有する、請求項３の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項５】
前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、前記洗浄液を前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げるために、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に接続された少なくとも１つのポンプと、前記洗浄液を前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出すために、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に接続された少なくとも１つのポンプと、であり、かくして、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げられる洗浄液の量は、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出される洗浄液の量にほぼ等しい、請求項１の洗浄液の使用によりワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項６】
前記洗浄液排出チャンバ（１２０）は、前記第１の端部に対向している端部に取着されている、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項７】
前記流れ規制プレート（１０４）は、前記洗浄タンク（１０２）への流路全体を囲むようにして、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に装着されている、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項８】
前記流れ規制プレート（１０４）は、複数の水路アパーチャを有する、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項９】
この装置（１００）は、前記洗浄タンク（１０２）の前記出口のところに配置され、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）への流路全体を覆っている第２の流れ規制プレート（１０６）をさらに有する、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１０】
前記第２の流れ規制プレート（１０６）は、複数のスリットを有する、請求項９のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１１】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に接続するために、徐々にフレア状に広がった閉じたチャンバである、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１２】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、ほぼ垂直な漏斗形状部（１１４）を有し、幅広の上側部分（１１２）を形成するように上向きにフレア状に広がった、閉じた拡散漏斗状マニホルドであり、前記幅広の上側部分の側壁は、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に取着されている、請求項１１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１３】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記流れ規制プレート（１０４）にほぼ垂直な前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内に設置された少なくとも１つのバッフルプレート（１１６）をさらに有する、請求項１１又は１２のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１４】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記第１のバッフルプレート（１１６）と前記流れ規制プレート（１０４）との間に設置された第２のバッフルプレート（１１８）をさらに有する、請求項１１ないし１３のいずれか１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１５】
前記第１のバッフルプレート（１１６）と前記流れ規制プレート（１０４）との間に設置された前記第２のバッフルプレート（１１８）は、自由可動端に対して前記流れ規制プレート（１０４）の中間部分から傾斜している、請求項１４のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１６】
前記バッフルプレート（１１６、１１８）は、複数の水路アパーチャを穿孔されている、請求項１３ないし１５のいずれか１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１７】
前記洗浄液排出チャンバ（１２０）は、前記洗浄タンク（１０２）からの使用済み洗浄液の排出のために、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）の実質的な鏡像である、請求項１の洗浄液の使用によりワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１８】
この装置（１００）は、前記第２の流れ規制プレート（１０６）の上縁から延びたオーバーフロー手段をさらに有し、前記洗浄液が前記洗浄タンク（１０２）の最大水位を超過したとき、前記洗浄液が、前記洗浄タンクから前記オーバーフロー手段（１０８）を通って逃げる、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１９】
前記オーバーフロー手段（１０８）は、前記第２の流れ規制プレート（１０６）の前記上縁のところの複数のノッチの形態の複数のスロットである、請求項１８のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項２０】
この装置は、前記洗浄タンク（１０２）から前記オーバーフロー手段（１０８）を通って逃げた洗浄液を受けるように、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に隣接しているオーバーフローチャンバ（１２６）をさらに有する、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項２１】
前記洗浄タンク（１０２）には、超音波エネルギを与えるための超音波ユニットが装備されている、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークピースを、特に、洗浄液の流れの下で、沈水状態で媒体又は基板ディスクを洗浄するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータメモリ用のハードディスクドライブは、自動製造プロセスによって大量生産されている。ハードディスクドライブの生産に関するさまざまな単位プロセスがある。これらの単位プロセス中、ディスクの表面に付着された残留化学物質、小さな粒状物及び異物は、除去される必要がある。従って、この自動製造プロセスの一態様は、製造プロセス中、少なくとも１回ディスクを洗浄している。
【０００３】
多くの自動ディスク洗浄マシンが共通に有するいくつかの処理工程がある。１つめは、洗浄されていないディスクがディスク洗浄マシンに容易に積載されることができる積載手段である。２つめは、ディスクがクリーニング溶液で洗浄される洗浄ステーションである。３つめは、ディスクが濯がれる濯ぎエリアである。４つめは、ディスクが乾燥される乾燥ステーションである。
【０００４】
これらの従来の洗浄マシンは、ある欠点及び問題を有する。これらのうちの１つは、ワークピースが、洗浄ステーションから濯ぎエリアに直接移動されるということである。この状況では、洗浄ステーションで、又は移動中に起きた汚染は、ワークピースが移動されてクリーニング溶液を含んだ濯ぎタンクに浸されたとき、濯ぎエリアへ直接もたらされる。さらに、構成要素の数及び装置のサイズをも増加させるので、洗浄及び濯ぎのために複数のステーションを使用するのは、非能率的である。
【０００５】
さらに、クリーニングタンク中のワークピースを超音波にさらすことによって異物を除去する超音波洗浄装置がある。しかし、各ワークピースに作用する超音波は、通常、均一ではない。それ故、異物は、いくつかの場合に有効に、又は一貫して除去することができない。
【０００６】
さらに、さまざまな流水タイプの洗浄マシンが技術的に知られており、例えば、実開昭６１−１３０３８９号公報、特開昭６４−６３０８６号公報及び米国特許第５，７０９，２３５号のようなマシンを開示している多くの特許文献がある。米国特許第５，７０９，２３５号に開示されている洗浄装置は、気圧調節された液体供給セクション、複数の規則的なプレート及び流路のところに位置された高耐性メンブレンの使用によって、洗浄容器内に層流を形成するように試みた。この発明の構造は、複雑であり、また、気圧調節された液体供給セクション及び高抵抗メンブレンの使用が、生産コストを増加させた。さらに、この発明は、液体が効果的に流れるように、比較的長い洗浄容器を必要とし、これによって、物品のサイズを必然的に増加させる。
【発明の概要】
【０００７】
本発明は、より単純な構造を有し、コストと時間とを節約するアプローチでワークピースの異物を効果的に除去することができる装置を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明の装置は、製造プロセス中、さまざまな装置、又はウェーハ、ＰＣ基板、ハイブリッド回路、精密機械又は電気機械、光学器械、医療装置などのような部分（部品）を含むさまざまなワークピースを洗浄するために使用されることができる。好ましくは、本発明の装置は、ほぼ平らなディスク形状を有するディスクドライブ構成部品を洗浄するために使用されることができる。
【０００９】
本発明の装置は、流水洗浄液の一方向の流れの下で、沈水状態でワークピースの表面から異物を除去することができる。
【００１０】
本発明の装置は、洗浄液が洗浄タンクの入口から洗浄タンクの出口へと一方向に流れることを可能にし、ワークピースの表面から除去された異物がクリーンにされたワークピース上に再び堆積するのを防ぐ。
【００１１】
異物がワークピースから除去されたとき、前記一方向の流れは、ワークピースから異物を運び去り、洗浄タンクの出口を通してこれらを排出する。
【００１２】
洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去するための本発明の装置（１００）は、  
ａ）  前記洗浄液の流れの下で、沈水状態で前記ワークピースを洗浄するための洗浄タンク（１０２）と、  
ｂ）  前記洗浄液を前記洗浄タンクに供給するために、前記洗浄タンク（１０２）の第１の端部に取着された洗浄液供給チャンバ（１１０）と、  
ｃ）  前記洗浄タンク（１０２）から使用済み洗浄液を排出するために、前記洗浄タンク（１０２）の第２の端部に取着された洗浄液排出チャンバ（１２０）と、  
ｄ）  前記洗浄タンク（１０２）の入口に装着された少なくとも１つの流れ規制プレート（１０４）と、を具備し、  
この装置は、前記洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）に積極的に汲み上げること、及び使用済み洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）の外部に積極的に取り出すことによって、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する手段をさらに具備する。
【００１３】
本発明の一実施の形態によれば、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、回路を形成するように、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）、前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液排出チャンバ（１２０）と連続して接続された少なくとも１つのポンプである。代わって、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、前記洗浄液を前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げるために、つまり押圧するために、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に接続された少なくとも１つのポンプと、前記洗浄液を前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出すために、つまり吸引するために、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に接続された少なくとも１つのポンプと、である。
【００１４】
前記洗浄液の流れは、前記洗浄タンク（１０２）から同時に、かつ連続的に汲み上げられる、及び取り出される。前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げられた洗浄液の量は、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）から外部に取り出される洗浄液の量にほぼ等しい。
【００１５】
本発明の他の実施の形態によれば、他の特徴部分は、添付図面、及び以下の詳細な説明から明らかになる。
【００１６】
よりよい図示説明を与えるために、本発明が、添付図面を参照して説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明に係る装置の斜視図である。
【図２】図２は、本発明に係る装置の他の斜視図である。
【図３】図３は、１つの壁が取り除かれた、本発明に係る装置の斜視図である。
【図４】図４は、本発明に係る装置の横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明で使用されるような「（ポンプで）汲み上げる（“pumped into”）」及び「取り出す（“extracted out”）」との用語は、装置に接続された少なくとも１つのポンプを使用することによって、洗浄液を洗浄タンクへと、及び洗浄タンクから外部に「押し引きする（“push and pull”）」方法を参照する。
【００１９】
製造プロセス中にワークピースの表面から異物（contaminant）を除去するための装置がここに説明される。図１並びに図３を参照すると、本発明の一実施の形態によるワークピースの表面から異物を除去するための装置（１００）は、洗浄タンク（１０２）を有する。この洗浄タンク（１０２）には、洗浄されるワークピースが置かれる。洗浄タンク（１０２）の内部には、洗浄されるワークピースが洗浄液の流れの下で所定の位置に取り付けられるように、洗浄プロセス中にその位置にワークピースを取り付けるための取り付け手段（図示されない）がある。本発明の洗浄タンク（１０２）は、好ましくは、正方形か長方形の形状の、４辺を有するタンクである。この洗浄タンク（１０２）の一端では、洗浄液供給チャンバ（１１０）が、洗浄液を洗浄タンク（１０２）に供給するために、この洗浄タンクに取着されている。また、洗浄液供給チャンバ（１１０）が取着された一端に対向している他端では、洗浄液排出チャンバ（１２０）が、使用済み洗浄液を洗浄タンク（１０２）から排出するために、この洗浄タンクに取着されている。
【００２０】
図１ないし図３に示されるように、洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記洗浄タンク（１０２）の入口に接続されるように、徐々にフレア状に広がっている（flare out）閉じたチャンバである。好ましくは、洗浄液供給チャンバ（１１０）は、ほぼ垂直な漏斗形状部（１１４）を有する閉じた拡散漏斗状マニホルド（diffuser funnel manifold）であり、その側壁のところで前記洗浄タンク（１０２）の入口に接続されたより幅広の上側部分（１１２）を形成するように、上向きにフレア状に広がっている。前記洗浄液排出チャンバ（１２０）は、鏡のように、洗浄タンク（１０２）の中心垂直分割線に対して洗浄液供給チャンバ（１１０）の実質的な鏡像であり、すなわち、垂直な漏斗形状部（１２４）を有し、洗浄タンク（１０２）の出口に取着されたより幅広の上側部分（１２２）を形成するように、上向きにフレア状に広がっている。前記洗浄液供給チャンバ（１１０）、洗浄タンク（１０２）及び洗浄液排出チャンバ（１２０）は、好ましくは、逆さまにされたＵの頂部のところに位置されたほぼ水平位置に配置された洗浄タンクを有するようにして、逆さまにされたＵ形状に組み立てられる。
【００２１】
ここに参照されるような洗浄液は、純水、超純水、化学溶液又は他の適切な液体のような処理水（treated water）を含んでいる。
【００２２】
本発明の装置は、前記洗浄液を洗浄タンク（１０２）に積極的に（positive）ポンプで汲み上げること、及び使用済み洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）の外部に積極的に取り出すことによって、前記洗浄タンク（１０２）の入口及び出口の間の一方向の（uni-directional）流れを形成する手段をさらに有する。
【００２３】
本発明の一実施の形態では、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する手段は、回路を形成するように、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）、前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液排出チャンバ（１２０）と連続して接続された少なくとも１つのポンプであり、これによって、前記洗浄液の流れが、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成するように、同時に、かつ連続的に前記洗浄タンク（１０２）にポンプで汲み上げられる、及び洗浄タンク（１０２）の外部に取り出される。
【００２４】
この実施の形態では、前記回路は、洗浄液を再利用するための他の機能を有してもよい。この再利用回路は、洗浄液をろ過するように、前記ポンプの上流側に位置されたろ過手段をさらに有することができる。この再利用回路の詳細は、この説明の次の部分でさらに説明される。
【００２５】
他の実施の形態では、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する手段は、前記洗浄液を前記洗浄液供給チャンバ（１１０）にポンプで汲み上げるように、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に接続された少なくとも１つのポンプと、前記洗浄液を前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出すように、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に接続された少なくとも１つのポンプとである。
【００２６】
両実施の形態では、洗浄液を洗浄タンク（１０２）にポンプで汲み上げること、及び洗浄液を洗浄タンク（１０２）の外部に取り出すことは、連続的に、かつ同時に行われる。洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げられる洗浄液の量は、洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出される洗浄液の量とほぼ等しい。
【００２７】
本発明によれば、流れ規制プレート（１０４）が、洗浄タンク（１０２）の入口に装着されている。この流れ規制プレート（１０４）は、洗浄タンク（１０２）への洗浄液の流路全体を横切る位置に装着されている。装置の性能を向上させるために、複数の孔が穿孔された流れ規制プレートが、洗浄タンク（１０２）の入口に装着されることができる。
【００２８】
上で述べられた流れ規制プレート（１０４）は、所定の間隔で離間して配置された複数の水路アパーチャを有する。これらアパーチャは、好ましくは、円形状であるが、例えば、正方形、楕円形、長方形、又はその他の適切な形状のような、他の幾何学形状に製造されることができる。
【００２９】
複数の孔が穿孔された複数の流れ規制プレートが使用されるならば、複数の穿孔された複数の流れ規制プレートの構造は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３０】
本発明の装置（１００）は、洗浄液を規制するための少なくとも１つのバッフルプレートをさらに有することができる。バッフルプレート（１１６）は、好ましくは、流れ規制プレート（１０４）の上流側に、洗浄液供給チャンバ（１１０）内に設置される。好ましくは、バッフルプレート（１１６）は、幅広の上側部分（１１２）と垂直な漏斗部（１１４）との間に設置され、流れ規制プレート（１０４）にほぼ垂直である。バッフルプレート（１１６）もまた、複数の水路アパーチャを穿孔されている。バッフルプレート（１１６）の目的は、入ってくる洗浄液の速度を減少させ、洗浄液の圧力を等しくすることである。
【００３１】
必要であるか望ましいならば、複数のバッフルプレートが、複数の孔が穿孔された流れ規制プレート（１０４）の上流側に設けられることができる。複数のバッフルプレートが使用される場合、バッフルプレートの構造は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。実施の形態のうちの１つとして図３並びに図４に示されるように、第２のバッフルプレート（１１８）は、第１のバッフルプレート（１１６）と流れ規制プレート（１０４）との間に設けられる。流れ規制プレート（１０４）及び第１のバッフルプレート（１１６）と同じように、第２のバッフルプレート（１１８）は、複数のアパーチャを穿孔されている。好ましくは、第２のバッフルプレート（１１８）の一端は、流れ規制プレート（１０４）の中間部分に置かれ、自由可動端に対して下向きに傾斜している。
【００３２】
本発明の装置（１００）は、洗浄タンク（１０２）から前記洗浄液排出チャンバ（１２０）への流路全体を覆っている、前記洗浄タンク（１０２）の出口のところに第２の流れ規制プレート（１０６）をさらに有することができる。この第２の流れ規制プレート（１０６）は、使用済み洗浄液の排出のための複数のスリットを有し、装置内に一方向の流れを形成し、かつ維持するのを助けることができる。
【００３３】
本発明によれば、オーバーフロー手段（１０８）が、前記洗浄タンク（１０２）の出口のところに第２の流れ規制プレート（１０６）の上縁から延びている。図２並びに図３に見られるように、オーバーフロー手段（１０８）は、その上縁に沿った複数のノッチの形態である複数のスロットを有する。
【００３４】
オーバーフロー手段（１０８）は、洗浄タンク（１０２）を通る洗浄液の連続的な移送を可能にする。これは単純で経済的なやり方で動作中に均一な洗浄液の水位を確実にし、かくして、洗浄タンク（１０２）内の洗浄液の一方向の流れを確実にする。オーバーフロー手段（１０８）は、洗浄液排出チャンバ（１２０）に隣接しているほぼ閉じたオーバーフローチャンバ（１２６）で囲まれている。洗浄タンク（１０２）中の洗浄液がその最大水位を超過したとき、洗浄液は、オーバーフロー手段（１０８）を通って前記オーバーフローチャンバ（１２６）へと逃げる。
【００３５】
動作中、洗浄されるワークピースは、機械式アーム（図示されない）によって洗浄タンク（１０２）へ運ばれ、洗浄タンク（１０２）内の取り付け手段の使用によって所定の位置に取り付けられる。そして、洗浄液は、洗浄液供給チャンバ（１１０）の底部に接続された、噴出パイプ（図示されない）によって装置へ供給される。洗浄液の一定の流れが、バッフルプレート（１１６、１１８）によって、幅広の上側部分（１１２）へと洗浄液供給チャンバ（１１０）の垂直な漏斗部（１１４）の底部から上向きに均一に導かれる。バッフルプレートの存在により、洗浄液の速度は減少され、また、洗浄液は、洗浄液供給チャンバ（１１０）の幅広の上側部分（１１２）の縁部又は側部に広げられる。そして、洗浄液は、オーバーフローチャンバ（１２６）中へと前記オーバーフロー手段（１０８）のノッチをわたって流れるまで、複数の孔が穿孔された流れ規制プレート（１０４）を介して洗浄タンク（１０２）に取り入れられる。洗浄液がこのようにして洗浄タンク（１０２）へ連続的に取り入れられる一方、使用済み洗浄液は、洗浄タンク内に洗浄液の一方向の流れが形成され、かつ維持されるように、洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出される。
【００３６】
穿孔された規制プレート（１０４）は、穿孔を通って、かつ洗浄タンク（１０２）を横切って、洗浄液を分配し、均一に前方に流れさせる。穿孔を通る洗浄液の均一な流れは、ほぼ平行な流れのパターンをもたらし、かくして、洗浄タンク（１０２）内の一方向の流れをもたらす。
【００３７】
装置中の洗浄液の一定の一方向の流れを確実にするために、洗浄液の流れは、好ましくは、実質的に高い流量で維持される。
【００３８】
洗浄タンク（１０２）の入口から洗浄タンク（１０２）の出口に流れ込む一方向の洗浄液は、前記洗浄タンク（１０２）内に置かれたワークピースの表面から異物を除去する。ワークピースから除去された異物は、ワークピースから運び去られ、使用済み洗浄液と一緒に洗浄液排出チャンバ（１２０）に排出される。洗浄タンク（１０２）内の洗浄液の一方向の流れは、異物が洗浄液の流れに再び入り、洗浄されたワークピースの表面上に再び堆積するのを防ぐ。本発明の重要な特徴部分は、前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内の圧力がほぼ等しいということである。それ故、洗浄液供給チャンバ（１１０）中の洗浄液は、通常の方法に対立するものとして、気圧調節されない。
【００３９】
本発明の好ましい実施の形態では、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）から排出された使用済み洗浄液は、再循環され、洗浄液排出チャンバ（１２０）と洗浄液供給チャンバ（１１０）との間に与えられる再利用回路によって再使用されることができる。再利用回路は、洗浄液排出チャンバ（１２０）から排出される使用済み洗浄液を収集するための流路と、使用済み洗浄液を洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出し、かつ収集された洗浄液を前記流路から洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げるためのポンプと、洗浄液をろ過するために前記ポンプの上流側に位置されたろ過手段とを有する。前記洗浄液排出チャンバ（１２０）から収集された使用済み洗浄液は、流路へと向けられ、再使用のために洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げられる、又は押圧される前に、異物を除去するためのろ過手段を通してろ過される。
【００４０】
洗浄液が装置中を循環している間、所定の量の新鮮な洗浄液が、異物除去能力を向上させるために装置へ絶えず取り入れられる。過度の洗浄液が装置へ取り入れられたとき、過度の量の洗浄液が、前記オーバーフロー手段によって装置の外部に流れ出る。これによって、ワークピースの表面から除去された異物が、前記オーバーフロー手段のノッチを通って装置の外部に排出される。
【００４１】
好ましくは、洗浄液供給チャンバ（１１０）、洗浄タンク（１０２）、洗浄液排出チャンバ（１２０）及び再利用回路は、装置から排出される液体、及び装置に取り入れられる液体が等しいように、１つの一体的な構造として構成され、かくして、装置の一方向の効果を確実にする。
【００４２】
望まれれば、本発明の洗浄タンクは、超音波ユニットをさらに装備されることができる。この超音波ユニットは、ワークピースを超音波にさらすことによって洗浄能力を向上させ、ワークピースからの異物の効果的な除去を促進する。
【００４３】
本発明の特定の実施の形態の上の記述は、図示及び説明のために示されてきた。これらは、開示された正確な形態に本発明を制限することを意図するものではなく、明らかに、多くの修正及び変更が可能である。当業者が、本発明、及びさまざまな変更を含むさまざまな実施の形態を利用可能であるように、本発明の原理及びその実際の適用形態を説明するのに最も適切であるようにして選択され説明された実施の形態は、特定の意図された目的対象に適している。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって規定されることが意図されている。
【図１】
2011529395.tif 000003
【図２】
2011529395.tif 000004
【図３】
2011529395.tif 000005
【図４】
2011529395.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月8日(2010.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）であって、
ａ）  前記洗浄液の流れの下で、沈水状態で前記ワークピースを洗浄するための洗浄タンク（１０２）と、
ｂ）  前記洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）に供給するために、前記洗浄タンク（１０２）の第１の端部に取着された洗浄液供給チャンバ（１１０）と、
ｃ）  前記洗浄タンク（１０２）から使用済み洗浄液を排出するために、前記洗浄タンク（１０２）の第２の端部に取着された洗浄液排出チャンバ（１２０）と、
ｄ）  前記洗浄タンク（１０２）の入口に装着された少なくとも１つの流れ規制プレート（１０４）と、
ｅ）  前記洗浄タンク（１０２）から逃げた洗浄液を受けるように、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に隣接しているオーバーフローチャンバ（１２６）と、
ｆ）  前記流れ規制プレート（１０４）にほぼ垂直な前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内に設置された少なくとも１つのバッフルプレート（１１６）と、を具備し、
この装置は、前記洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）に積極的に汲み上げること、及び使用済み洗浄液を前記洗浄タンク（１０２）の外部に積極的に取り出すことによって、前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する手段をさらに具備し、
前記オーバーフローチャンバ（１２６）は、前記汲み上げ手段に前記オーバーフロー洗浄液を導くように、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の前記出口に接続された出口を有する、洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項２】
前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内の圧力は、ほぼ等しい、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項３】
前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、回路を形成するように、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）、前記洗浄タンク（１０２）及び前記洗浄液排出チャンバ（１２０）と連続して接続された少なくとも１つのポンプであり、かくして、前記洗浄液の流れは、前記洗浄タンク（１０２）に汲み上げられる前記洗浄液の量が、前記洗浄タンク（１０２）の外部に取り出される前記使用済み洗浄液の量にほぼ等しいようにして、同時に、かつ連続的に前記洗浄タンク（１０２）から汲み上げられ、かつ前記洗浄タンク（１０２）の外部に取り出される、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項４】
前記回路は、前記洗浄液をろ過するために、前記ポンプの上流側に位置されたろ過手段をさらに有する、請求項３の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項５】
前記洗浄タンク（１０２）の入口と出口との間の一方向の流れを形成する前記手段は、前記洗浄液を前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げるために、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に接続された少なくとも１つのポンプと、前記洗浄液を前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出すために、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）に接続された少なくとも１つのポンプと、であり、かくして、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）に汲み上げられる洗浄液の量は、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）の外部に取り出される洗浄液の量にほぼ等しい、請求項１の洗浄液の使用によりワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項６】
前記洗浄液排出チャンバ（１２０）は、前記第１の端部に対向している端部に取着されている、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項７】
前記流れ規制プレート（１０４）は、前記洗浄タンク（１０２）への流路全体を囲むようにして、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に装着されている、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項８】
前記流れ規制プレート（１０４）は、複数の水路アパーチャを有する、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項９】
この装置（１００）は、前記洗浄タンク（１０２）の前記出口のところに配置され、前記洗浄液排出チャンバ（１２０）への流路全体を覆っている第２の流れ規制プレート（１０６）をさらに有する、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１０】
前記第２の流れ規制プレート（１０６）は、複数のスリットを有する、請求項９のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１１】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に接続するために、徐々にフレア状に広がった閉じたチャンバである、請求項１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１２】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、ほぼ垂直な漏斗形状部（１１４）を有し、幅広の上側部分（１１２）を形成するように上向きにフレア状に広がった、閉じた拡散漏斗状マニホルドであり、前記幅広の上側部分の側壁は、前記洗浄タンク（１０２）の前記入口に取着されている、請求項１１の洗浄液を使用することによってワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１３】
前記洗浄液供給チャンバ（１１０）は、前記流れ規制プレート（１０４）にほぼ垂直な前記洗浄液供給チャンバ（１１０）内に設置された少なくとも１つのバッフルプレート（１１６）をさらに有する、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１４】
前記第１のバッフルプレート（１１６）と前記流れ規制プレート（１０４）との間に設置された前記第２のバッフルプレート（１１８）は、自由可動端に対して前記流れ規制プレート（１０４）の中間部分から傾斜している、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１５】
前記バッフルプレート（１１６、１１８）は、複数の水路アパーチャを穿孔されている、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１６】
前記洗浄液排出チャンバ（１２０）は、前記洗浄タンク（１０２）からの使用済み洗浄液の排出のために、前記洗浄液供給チャンバ（１１０）の実質的な鏡像である、請求項１の洗浄液の使用によりワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１７】
この装置（１００）は、前記第２の流れ規制プレート（１０６）の上縁から延びたオーバーフロー手段をさらに有し、前記洗浄液が前記洗浄タンク（１０２）の最大水位を超過したとき、前記洗浄液が、前記洗浄タンクから前記オーバーフロー手段（１０８）を通って逃げる、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１８】
前記オーバーフロー手段（１０８）は、前記第２の流れ規制プレート（１０６）の前記上縁のところの複数のノッチの形態の複数のスロットである、請求項１７のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【請求項１９】
前記洗浄タンク（１０２）には、超音波エネルギを与えるための超音波ユニットが装備されている、請求項１のワークピースの表面から異物を除去する装置（１００）。
【国際調査報告】
2011529395.tif 000007
2011529395.tif 000008