(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に接触されるマスクと、
前記基板に接触された前記マスク上を摺動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを転写するスキージと、
前記マスクの下方に設けられ、２つの回転体、これら２つの回転体の間に掛け渡されたペーパー部材、前記２つの回転体の間から前記ペーパー部材を上方に押し上げる押し上げ部材及び前記２つの回転体を駆動して前記ペーパー部材を前進方向に進行させることにより前記ペーパー部材の前記押し上げ部材の上面に位置する部位を更新させる回転体駆動部を備えたクリーニングヘッドと、
前記クリーニングヘッドを昇降及び往復移動させるヘッド移動機構と、
前記ペーパー部材に溶剤を滴下する溶剤滴下手段と、
前記押し上げ部材が前記ペーパー部材を押し上げて形成される前記ペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、前記ペーパー部材を前進方向に進行させたときに該ペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域内に前記ペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置するように前記回転体駆動部を作動させ、前記下方進行傾斜領域内に位置させた前記使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に溶剤が滴下されるように前記溶剤滴下手段を制御した後、前記前進方向とは反対の後進方向に前記ペーパー部材を進行させることによって、溶剤が滴下された前記溶剤滴下部位が前記押し上げ部材の上面に位置するとともに溶剤を滴下した前記溶剤滴下部位から流下した溶剤によって少なくとも一部が覆われた前記使用済み部位が前記下方進行傾斜領域内にとどまるように前記回転体駆動部を作動させる制御装置と、
前記押し上げ部材の上面に位置する前記ペーパー部材の前記溶剤滴下部位が前記マスクの下面に押し付けられた状態で摺動するように前記クリーニングヘッドを移動させるべく前記ヘッド移動機構を制御するヘッド移動制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
基板に接触されるマスクと、前記基板に接触された前記マスク上を摺動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを転写するスキージと、前記マスクの下方に設けられ、２つの回転体、これら２つの回転体の間に掛け渡されたペーパー部材、前記２つの回転体の間から前記ペーパー部材を上方に押し上げる押し上げ部材及び前記２つの回転体を駆動して前記ペーパー部材を前進方向に進行させることにより前記ペーパー部材の前記押し上げ部材の上面に位置する部位を更新させる回転体駆動部を備えたクリーニングヘッドと、前記ペーパー部材に溶剤を滴下する溶剤滴下手段とを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、
前記押し上げ部材が前記ペーパー部材を押し上げて形成される前記ペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、前記ペーパー部材を前進方向に進行させたときに該ペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域内に前記ペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置するように前記回転体駆動部を作動させる工程と、
前記下方進行傾斜領域内に位置させた前記使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に前記溶剤滴下手段から溶剤を滴下させる工程と、
前記溶剤滴下部位に溶剤を滴下させた後、前記ペーパー部材を前進方向とは反対の後進方向に進行させることによって、溶剤が滴下された前記溶剤滴下部位が前記押し上げ部材の上面に位置するとともに溶剤を滴下した前記溶剤滴下部位から流下した溶剤によって少なくとも一部が覆われた前記使用済み部位が前記下方進行傾斜領域内にとどまるように前記回転体駆動部を作動させる工程と、
前記押し上げ部材の上面に位置された前記ペーパー部材の前記溶剤滴下部位が前記マスクの下面に押し付けられた状態で摺動するように前記クリーニングヘッドを移動させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスクを介して基板にペーストを転写するスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は基板の電極上に半田等のペーストを印刷する装置であり、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたスクリーン印刷用のマスクを電極とパターン孔が合致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せ、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させる。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、基板に対するスクリーン印刷作業が進むと、マスクの下面に付着したペーストの影響によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このためスクリーン印刷機には、２つの回転体の間に掛け渡されたペーパー部材を押し上げ部材によって上方に押し上げ、その押し上げた部分のペーパー部材をマスクの下面に対して摺動させることによってマスクの下面に付着したペーストを拭き取るクリーニングヘッドが備えられている（例えば、特許文献１参照）。このクリーニングヘッドでは、２つの回転体を駆動してペーパー部材を前進方向に進行させることにより、ペーパー部材の押し上げ部材の上面に位置する部位を更新させることができるようになっている。
【０００４】
上記クリーニングヘッドを用いたマスククリーニングには、ペーパー部材の溶剤を含ませていない部位をマスクに対して摺動させて行う乾式クリーニングと、ペーパー部材の溶剤を含ませた部位をマスクに対して摺動させて行う湿式クリーニングとがあり、通常は乾式クリーニングを行い、湿式クリーニングは乾式クリーニングを所定回数行うごとに、その所定回数目の乾式クリーニングに続けて湿式クリーニングを行う。ここで、湿式クリーニングを行う場合には、押し上げ部材がペーパー部材を押し上げて形成されるペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、ペーパー部材を前進方向に進行させたときにペーパー部材が上方に向かって進行する領域となる上方進行傾斜領域内にペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置し、その下方進行傾斜領域内に位置させた使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に溶剤を滴下した後、ペーパー部材を前進方向に進行させることによってペーパー部材の溶剤が滴下された溶剤滴下部位が押し上げ部材の上面に位置するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２８０４５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の場合には、上方進行傾斜領域内に位置した溶剤滴下部位に溶剤を滴下させた際、その溶剤を滴下させた溶剤滴下部位からペーパー部材に沿って下方に流下した溶剤が、溶剤滴下部位の範囲を超えてペーパー部材の新しい部位（未使用部位）を汚損することから、その次のマスククリーニング（乾式クリーニング）において使用できる部位は溶剤が流下して広がった部位（溶剤流下部位）の最後尾よりも更に後方の部位となり、溶剤によって汚損された溶剤流下部位の分だけペーパー部材の無駄が生じるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、溶剤を滴下させた際にそこから流下した溶剤によってペーパー部材の未使用部位が徒に汚損されることのないスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板に接触されるマスクと、前記基板に接触された前記マスク上を摺動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを転写するスキージと、前記マスクの下方に設けられ、２つの回転体、これら２つの回転体の間に掛け渡されたペーパー部材、前記２つの回転体の間から前記ペーパー部材を上方に押し上げる押し上げ部材及び前記２つの回転体を駆動して前記ペーパー部材を前進方向に進行させることにより前記ペーパー部材の前記押し上げ部材の上面に位置する部位を更新させる回転体駆動部を備えたクリーニングヘッドと、前記クリーニングヘッドを昇降及び往復移動させるヘッド移動機構と、前記ペーパー部材に溶剤を滴下する溶剤滴下手段と、前記押し上げ部材が前記ペーパー部材を押し上げて形成される前記ペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、前記ペーパー部材を前進方向に進行させたときに該ペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域内に前記ペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置するように前記回転体駆動部を作動させ、前記下方進行傾斜領域内に位置させた前記使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に溶剤が滴下されるように前記溶剤滴下手段を制御した後、前記前進方向とは反対の後進方向に前記ペーパー部材を進行させることによって、溶剤が滴下された前記溶剤滴下部位が前記押し上げ部材の上面に位置するとともに溶剤を滴下した前記溶剤滴下部位から流下した溶剤によって少なくとも一部が覆われた前記使用済み部位が前記下方進行傾斜領域内にとどまるように前記回転体駆動部を作動させる制御装置と、前記押し上げ部材の上面に位置する前記ペーパー部材の前記溶剤滴下部位が前記マスクの下面に押し付けられた状態で摺動するように前記クリーニングヘッドを移動させるべく前記ヘッド移動機構を制御するヘッド移動制御手段とを備えた。
【０００９】
請求項２に記載のスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法は、基板に接触されるマスクと、前記基板に接触された前記マスク上を摺動し、前記マスクを介して前記基板にペーストを転写するスキージと、前記マスクの下方に設けられ、２つの回転体、これら２つの回転体の間に掛け渡されたペーパー部材、前記２つの回転体の間から前記ペーパー部材を上方に押し上げる押し上げ部材及び前記２つの回転体を駆動して前記ペーパー部材を前進方向に進行させることにより前記ペーパー部材の前記押し上げ部材の上面に位置する部位を更新させる回転体駆動部を備えたクリーニングヘッドと、前記ペーパー部材に溶剤を滴下する溶剤滴下手段とを備えたスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法であって、前記押し上げ部材が前記ペーパー部材を押し上げて形成される前記ペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、前記ペーパー部材を前進方向に進行させたときに該ペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域内に前記ペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置するように前記回転体駆動部を作動させる工程と、前記下方進行傾斜領域内に位置させた前記使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に前記溶剤滴下手段から溶剤を滴下させる工程と、前記溶剤滴下部位に溶剤を滴下させた後、前記ペーパー部材を前進方向とは反対の後進方向に進行させることによって、溶剤が滴下された前記溶剤滴下部位が前記押し上げ部材の上面に位置するとともに溶剤を滴下した前記溶剤滴下部位から流下した溶剤によって少なくとも一部が覆われた前記使用済み部位が前記下方進行傾斜領域内にとどまるように前記回転体駆動部を作動させる工程と、前記押し上げ部材の上面に位置された前記ペーパー部材の前記溶剤滴下部位が前記マスクの下面に押し付けられた状態で摺動するように前記クリーニングヘッドを移動させる工程とを含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、押し上げ部材がペーパー部材を押し上げて形成されるペーパー部材の２つの傾斜領域のうち、ペーパー部材を前進方向に進行させたときにペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域内にペーパー部材の使用済み部位の最後尾が位置し、その下方進行傾斜領域内に位置させた使用済み部位の最後尾の後方に設定した溶剤滴下部位に溶剤を滴下するようになっており、溶剤滴下部位から溶剤滴下部位の範囲を超えて流下する溶剤は使用済み部位には達するものの、ペーパー部材の未使用部位に達することはない。このため、溶剤を滴下した際にそこから流下した溶剤によってペーパー部材の未使用部位が徒に汚損されることはなく、ペーパー部材の無駄が生じることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニングヘッドの斜視図（ｂ）側断面図
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するマスククリーニング作業の手順を説明する図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャート
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図７】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するマスククリーニング作業の手順を説明する図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するマスククリーニング作業の手順を説明する図
【図１０】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が実行するマスククリーニング作業の手順を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、上面に多数の電極２ａが設けられた基板２を搬入し、その搬入した基板２の電極２ａ上に半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷する作業（スクリーン印刷作業）を実行するものであり、基台１０に設けられた基板保持ユニット移動機構１１、基板保持ユニット移動機構１１によって移動される基板保持ユニット１２、基板保持ユニット１２の上方に設定されたマスクホルダ１３、マスクホルダ１３によって水平姿勢に保持されたマスク１４、マスク１４の下方を移動自在に設けられたカメラユニット１６、マスク１４の上方を移動自在に設けられたスキージユニット１７、マスク１４の下方に設けられたクリーニングヘッド１８、クリーニングヘッド１８が備えるペーパー部材３２（後述）に溶剤ＹＺを滴下する溶剤滴下手段としての溶剤滴下部１９及びスクリーン印刷機１の各部の作動制御を行う制御装置２０を備えている。以下の説明では、基板２の搬送方向をＸ軸方向（左右方向）とし、Ｘ軸と直交する水平面内方向をＹ軸方向（前後方向）とする。また、上下方向をＺ軸とする。
【００１３】
図１において、マスクホルダ１３は、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向した断面「Ｌ」字状の左右一対のマスク載置部材１３ａから成る。マスク１４は、薄肉金属製で矩形の板状部材から成るマスク本体１４ａ、マスク本体１４ａの外縁に取り付けられた樹脂（例えばポリエステル）製のシート状部材１４ｂ及びシート状部材１４ｂの外縁を支持することによってシート状部材１４ｂの周囲を支持する矩形のマスク枠１４ｗを有して成り、マスク本体１４ａには基板２の電極２ａに対応する多数のパターン孔１４ｈが設けられている。
【００１４】
図１において、基板２上の一の対角位置には２つの基板側マーク２ｍが設けられており、マスク本体１４ａにはこれら２つの基板側マーク２ｍに対応して２つのマスク側マーク１４ｍが設けられている。２つの基板側マーク２ｍと２つのマスク側マーク１４ｍを上下に対向させた状態で基板２を上昇させてマスク１４に基板２を接触させると、基板２の電極２ａとマスク本体１４ａに設けられたパターン孔１４ｈとが合致した状態となる。
【００１５】
図１及び図２において、基板保持ユニット１２は、基台１０に対して昇降自在に設けられたベース部１２ａ、ベース部１２ａに取り付けられてＸ軸方向に基板２を搬送するコンベア１２ｂ、コンベア１２ｂによって搬送されて所定の基板保持位置に位置決めされた基板２を下受け部材１２ｃによって下受けした状態で昇降させる基板昇降シリンダ１２ｄ及び基板昇降シリンダ１２ｄによって押し上げられた基板２をＹ軸方向からクランプして保持する一対のクランプ部材１２ｅを有して成る。コンベア１２ｂによる基板２の搬送及び位置決め動作、基板昇降シリンダ１２ｄによる基板２の昇降動作及び一対のクランプ部材１２ｅによる基板２のクランプ動作は制御装置２０によって制御される。
【００１６】
基板保持ユニット移動機構１１はＸＹＺロボットから成り、制御装置２０によって作動制御されて基板保持ユニット１２を水平面内で移動（回転も含む）させるとともに、基板保持ユニット１２を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる。
【００１７】
図１及び図２において、カメラユニット１６は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１６ａと、撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１６ｂを備えて成り、制御装置２０により作動制御されるカメラユニット移動機構１６Ｍ（図２）によってマスクホルダ１３に保持されたマスク１４の下方の水平面内を移動する。
【００１８】
下方撮像カメラ１６ａの撮像動作及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作は制御装置２０によって制御され、下方撮像カメラ１６ａの撮像動作によって得られた画像データ及び上方撮像カメラ１６ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置２０に送られて制御装置２０の画像認識部２０ａ（図２）において画像認識される。
【００１９】
図１及び図２において、スキージユニット１７は、図示しない直交テーブル機構及びそのアクチュエータから成るスキージユニット移動機構１７Ｍの作動によってマスク１４の上方をＹ軸方向に移動自在なベース部１７ａの下方に、Ｙ軸方向に対向して設けられた２つのスキージ１７ｂを備えた構成を有しており、各スキージ１７ｂは、ベース部１７ａに取り付けられた２つの空圧シリンダ１７ｃによってそれぞれ独立してベース部１７ａの下方を昇降されるようになっている。スキージユニット移動機構１７Ｍの作動制御及び各空圧シリンダ１７ｃの作動によるスキージ１７ｂの昇降制御は制御装置２０によってなされる。
【００２０】
図３（ａ），（ｂ）において、クリーニングヘッド１８は、ケーシング３０、ケーシング３０内にＸ軸回りに回転自在に設けられた２つの回転体３１ａ，３１ｂ（繰り出し側の回転体３１ａ及び巻き取り側の回転体３１ｂ）、これら２つの回転体３１ａ，３１ｂの間に掛け渡されたペーパー部材３２、２つの回転体３１ａ，３１ｂの間からペーパー部材３２を上方に押し上げるノズル３３（押し上げ部材）及び２つの回転体３１ａ，３１ｂを同一の方向に駆動してペーパー部材３２を前進方向（図３（ａ），（ｂ）中に示す矢印Ａ１の方向）に進行させることによりペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置する部位を更新させる回転体駆動部としての２つの回転体駆動モータ３４ａ，３４ｂを備えている。
【００２１】
図３（ａ），（ｂ）において、ノズル３３はＸ軸方向に延びており、上端に矩形の真空吸引口３３ａを有している。この真空吸引口３３ａはペーパー部材３２を介してマスク１４の下面に下方から当接される。
【００２２】
クリーニングヘッド１８は図示しない直交座標ロボットから成るクリーニングヘッド移動機構１８Ａ（図２）によってマスク１４の下方をマスク１４に対して昇降自在であるとともに、Ｙ軸方向の移動範囲Ｒ（図４（ａ））内を往復移動自在になっている。クリーニングヘッド移動機構１８Ａは制御装置２０によって作動制御される。
【００２３】
２つの回転体３１ａ，３１ｂの回転動作によりペーパー部材３２を前進方向に進行させる動作及び前進方向とは反対の後進方向に進行させる動作は、制御装置２０が前述の２つの回転体駆動モータ３４ａ，３４ｂを作動させることによってなされる。また、ノズル３３の真空吸引口３３ａを介した真空吸引動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構１８Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２４】
制御装置２０は、クリーニングヘッド１８によりマスク１４の下面のクリーニング（マスククリーニング）を行うときには、先ず、クリーニングヘッド移動機構１８Ａの作動制御を行って、クリーニングヘッド１８をマスク１４の後下方の所定の初期位置からクリーニングヘッド１８を上昇させ（図４（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、ペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置した部分をマスク１４の下面に接触させた後（図４（ａ）。上昇・接触工程）、吸引機構１８Ｂの作動制御を行ってノズル３３に真空吸引を行わせながら、クリーニングヘッド１８をマスク１４の後端位置Ｒ１から前端位置Ｒ２へ向けてＹ軸方向に移動させることにより（図４（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、ペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置した部分でマスク１４の下面に付着しているペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）を拭き取る（拭き取り工程）。そして、クリーニングヘッド１８がマスク本体１４ａの前端位置Ｒ２を超えた所定のクリーニング終端位置Ｒ３に達したことを検知したら（図４（ｃ））、２つの回転体３１ａ，３１ｂを作動させてペーパー部材３２のノズル３３の上面に位置する部分を更新させたうえで（更新工程）、クリーニングヘッド１８をマスク１４に対して下降させ（図４（ｃ）中に示す矢印Ｂ３。下降工程）、そこからクリーニングヘッド１８をマスク１４の後端位置Ｒ１側へＹ軸方向に移動させて（図４（ｄ）中に示す矢印Ｂ４）、クリーニングヘッド１８を初期位置に復帰させる（図４（ｄ）。初期位置復帰工程）。
【００２５】
溶剤滴下部１９は、クリーニングヘッド１８が上記クリーニング終端位置Ｒ３に位置したときに、ノズル３３がペーパー部材３２を押し上げて形成されるペーパー部材３２の２つの傾斜領域（上方進行傾斜領域Ｔ１及び下方進行傾斜領域Ｔ２。図３（ａ），（ｂ））のうち、ペーパー部材３２を前進方向に進行させたときにペーパー部材が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域Ｔ２内に溶剤ＹＺを滴下し得る位置に設けられている（図４（ｂ））。溶剤滴下部１９による溶剤ＹＺの滴下制御は制御装置２０によってなされる。
【００２６】
このような構成のスクリーン印刷機１が行うスクリーン印刷作業では、制御装置２０は先ず、スクリーン印刷機１の外部から投入された基板２をコンベア１２ｂによって搬入し、基板保持位置に位置決めする（図５に示すステップＳＴ１）。そして、基板昇降シリンダ１２ｄによる基板２の押し上げ（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ）とクランプ部材１２ｅによる基板２のクランプ（図６（ａ）中に示す矢印Ｄ）を行って基板２を保持する（図６（ａ）。図５に示すステップＳＴ２）。なお、上記基板２の保持では、基板２は上面の高さがクランプ部材１２ｅの上面の高さと同じになるように基板昇降シリンダ１２ｄによって押し上げられる。
【００２７】
制御装置２０は、上記のようにして基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１６Ｍの作動制御を行い、下方撮像カメラ１６ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍの直上に位置させたうえで下方撮像カメラ１６ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせてその画像データから基板２の位置を把握するとともに、上方撮像カメラ１６ｂをマスク本体１４ａに設けられたマスク側マーク１４ｍの直下に位置させたうえで上方撮像カメラ１６ｂにマスク側マーク１４ｍの撮像を行わせてその画像データからマスク１４の位置を把握する。そして、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１４ｍとが上下に対向するようにして、マスク１４に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図５に示すステップＳＴ３）。
【００２８】
制御装置２０は、マスク１４に対する基板２の位置合わせが終わったら、基板保持ユニット移動機構１１の作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図６（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材１２ｅがマスク１４の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材１２ｅ及び基板２それぞれの上面をマスク１４の下面に接触させる（図５に示すステップＳＴ４。図６（ｂ））。これにより基板２上の電極２ａとマスク１４のパターン孔１４ｈとが合致した状態となる。
【００２９】
制御装置２０は基板２をマスク１４に接触させたら、スキージ１７ｂによるスキージングを行って、予めマスク１４上に供給されたペーストＰｔを基板２の電極２ａに転写させる（図５に示すステップＳＴ５）。
【００３０】
このスキージングは、具体的には、スキージユニット１７が備える２つのスキージ１７ｂのうちの一方を下動させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｆ１）、マスク１４の上面に当接させた状態を維持したままベース部１７ａを水平方向（図７（ａ）中に示す矢印Ｇ）に移動させることによって行う。これによりマスク１４上でスキージ１７ｂが摺動し、マスク１４上のペーストＰｔはスキージ１７ｂによって掻き寄せられてマスク１４のパターン孔１４ｈ内に押し込まれ、各基板２の電極２ａ上に転写される。
【００３１】
すなわち本実施の形態において、スキージ１７ｂは、基板２に接触されたマスク１４上を摺動し、マスク１４を介して基板２にペーストＰｔを転写するものとなっている。
【００３２】
制御装置２０は、スキージングを行って基板２の電極２ａにペーストＰｔを転写させたら、マスク１４に当接させていたスキージ１７ｂを上動させたうえで（図７（ｂ）中に示す矢印Ｆ２）、基板保持ユニット移動機構１１を作動させ、基板保持ユニット１２を下降させることによって基板２及び一対のクランプ部材１２ｅをマスク１４から離間させ（図７（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、版離れを行う（図５に示すステップＳＴ６。図７（ｂ））。これにより基板２の電極２ａ上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。
【００３３】
制御装置２０は版離れが終わったら、クランプ部材１２ｅを開かせたうえで基板昇降シリンダ１２ｄを作動させて基板２を下降させ、基板２の両端を一対のコンベア１２ｂ上に降ろす。これにより基板保持ユニット１２による基板２の保持が解除された状態となる（図２参照。図５に示すステップＳＴ７）。
【００３４】
制御装置２０は基板２の保持を解除したら、コンベア１２ｂを作動させて基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図５に示すステップＳＴ８）。
【００３５】
制御装置２０は基板２を搬出したら、基板２の投入待ち状態に入り（図５に示すステップＳＴ９）、一定時間内に基板２が投入されてきた場合にはステップＳＴ１に戻って新たに基板２の搬入を行い、一定時間内に基板２が投入されてこなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００３６】
スクリーン印刷機１は上記手順によって基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業を数枚〜十数枚（或いは数十枚）の基板２に対して行うごとにクリーニングヘッド１８を用いたマスククリーニングを実行する。
【００３７】
クリーニングヘッド１８を用いたマスククリーニングには、ペーパー部材３２の溶剤ＹＺを含ませていない部位をマスク１４に対して摺動させて行う乾式クリーニングと、ペーパー部材３２の溶剤ＹＺを含ませた部位をマスク１４に対して摺動させて行う湿式クリーニングとがあり、通常は前述の手順（図４（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ））で乾式クリーニングを行い、乾式クリーニングを所定回数行うごとに、その所定回数目の乾式クリーニングに続けて湿式クリーニングを行う。
【００３８】
制御装置は、乾式クリーニングにおける拭き取り工程（図８（ａ）→図８（ｂ））を実行した後、続けて湿式クリーニングを行わない場合には、ペーパー部材３２を前進方向に進行させることによって（図８（ｃ）中に示す矢印Ａ１）、今回の乾式クリーニングの拭き取り工程で生じたペーパー部材３２上の使用済み部位Ｓ０を下方進行傾斜領域Ｔ２に送り、その使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐがノズル３３の上面の前端部に位置するようにして次回の乾式クリーニングに備える（図８（ｃ））。
【００３９】
一方、制御装置２０は、乾式クリーニングにおける拭き取り工程（図８（ａ）→図８（ｂ））を実行した後、続けて湿式クリーニングを行う場合には、ペーパー部材３２を前進方向に進行させることによって（図９（ａ）中に示す矢印Ａ１）、今回の乾式クリーニングの拭き取り工程で生じたペーパー部材３２の使用済みＳ０を下方進行傾斜領域Ｔ２に送り、その使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐの後方の未使用部位のうち、溶剤ＹＺを滴下しようとする領域として設定した溶剤滴下部位Ｓの最後尾Ｑが溶剤滴下部１９の直下に位置するようにする（図９（ａ）。ペーパー部材前進工程）。そして、制御装置２０は、溶剤滴下部位Ｓの最後尾Ｑが溶剤滴下部１９の直下に位置するようにしたら、溶剤滴下部１９の作動制御を行って、溶剤滴下部１９から溶剤ＹＺを滴下させ、溶剤滴下部位Ｓに溶剤ＹＺが含まれるようにする（図９（ｂ）。溶剤滴下工程）。このとき、溶剤ＹＺを含ませた溶剤滴下部位Ｓから流下した溶剤ＹＺがペーパー部材３２上に形成する溶剤流下部位ＹＲは、使用済み部位Ｓ０の少なくとも一部を覆うようになる。
【００４０】
制御装置２０は、溶剤滴下部位Ｓに溶剤ＹＺを滴下させたら、２つの回転体駆動モータ３４ａ，３４ｂを作動させ、ペーパー部材３２を前進方向とは反対の後進方向に進行させることによって（図９（ｃ）中に示す矢印Ａ２。ペーパー部材後進工程）、溶剤ＹＺが滴下された溶剤滴下部位Ｓがノズル３３の上面に位置するとともに、溶剤ＹＺを滴下した溶剤滴下部位Ｓから流下した溶剤ＹＺによって少なくとも一部が覆われた使用済み部位Ｓ０が下方進行傾斜領域Ｔ２内にとどまるようにする（図９（ｃ））。
【００４１】
制御装置２０は、上記のように、溶剤滴下部位Ｓがノズル３３の上面に位置するようにしたら、クリーニングヘッド１８を上昇させて（図４（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、ペーパー部材３２のクリーニングヘッド１８の上面に位置する部位をマスク１４の下面に接触させた後（図４（ａ））、ノズル３３に真空吸引を行わせながら、クリーニングヘッド１８をマスク１４の後端位置Ｒ１からクリーニング終端位置Ｒ３までＹ軸方向に移動させて（図４（ｂ）中に示す矢印Ｂ２。クリーニングヘッド移動工程）、マスク１４の下面のクリーニング（湿式クリーニング）を行う（図１０（ａ）→図１０（ｂ））。
【００４２】
また、制御装置２０は、上記湿式クリーニングを実行した後は、ペーパー部材３２を前進方向に進行させることによって（図１０（ｃ）中に示す矢印Ａ１）、今回の湿式クリーニングの拭き取り工程で使用済みとなった溶剤滴下部位Ｓの最後尾Ｑがノズル３３の上面の前端部に位置するようにして次回の乾式クリーニングに備える（図１０（ｃ））。
【００４３】
このように、スクリーン印刷機１におけるマスククリーニング方法は、ノズル３３がペーパー部材３２を押し上げて形成されるペーパー部材３２の２つの傾斜領域のうち、ペーパー部材３２を前進方向に進行させたときにペーパー部材３２が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域Ｔ２内にペーパー部材３２の使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐが位置するように回転体駆動部（２つの回転体駆動モータ３４ａ，３４ｂ）を作動させる工程（前述のペーパー部材前進工程）、下方進行傾斜領域Ｔ２内に位置させた使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐの後方に設定した溶剤滴下部位Ｓに溶剤滴下部１９から溶剤ＹＺを滴下させる工程（前述の溶剤滴下工程）、溶剤滴下部位Ｓに溶剤ＹＺを滴下させた後、ペーパー部材３２を前進方向とは反対の後進方向に進行させることによって、溶剤ＹＺが滴下された溶剤滴下部位Ｓがノズル３３の上面に位置するとともに溶剤ＹＺを滴下した溶剤滴下部位Ｓから流下した溶剤ＹＺによって少なくとも一部が覆われた使用済み部位Ｓ０が下方進行傾斜領域Ｔ２内にとどまるように回転体駆動部を作動させる工程（前述のペーパー部材後進工程）及びノズル３３の上面に位置されたペーパー部材３２の溶剤滴下部位Ｓがマスク１４の下面に押し付けられた状態で摺動するようにクリーニングヘッド１８を移動させる工程（前述のクリーニングヘッド移動工程）を含むものとなっている。
【００４４】
また、本実施の形態において、制御装置２０は、下方進行傾斜領域Ｔ２内にペーパー部材３２の使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐが位置し、その下方進行傾斜領域Ｔ２内に位置させた使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐの後方に設定した溶剤滴下部位Ｓに溶剤滴下部１９から溶剤ＹＺが滴下された後、ペーパー部材３２を前進方向とは反対の後進方向に進行させることによって、溶剤ＹＺが滴下された溶剤滴下部位Ｓがノズル３３の上面に位置するとともに溶剤ＹＺを滴下した溶剤滴下部位Ｓから流下した溶剤ＹＺによって少なくとも一部が覆われた使用済み部位Ｓ０が下方進行傾斜領域Ｔ２内にとどまるように回転体駆動部である２つの回転体駆動モータ３４ａ，３４ｂを作動させる回転体駆動部制御手段として機能する。更に、制御装置２０は、回転体駆動部制御手段としての自身によってノズル３３の上面に位置されたペーパー部材３２の溶剤滴下部位Ｓがマスク１４の下面に押し付けられた状態で摺動するようにクリーニングヘッド１８を移動させるヘッド移動制御手段としても機能する。
【００４５】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１及びスクリーン印刷機１におけるマスククリーニング方法では、ノズル３３がペーパー部材３２を押し上げて形成されるペーパー部材３２の２つの傾斜領域のうち、ペーパー部材３２を前進方向に進行させたときにペーパー部材３２が下方に向かって進行する領域となる下方進行傾斜領域Ｔ２内にペーパー部材３２の使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐが位置し、その下方進行傾斜領域Ｔ２内に位置させた使用済み部位Ｓ０の最後尾Ｐの後方に設定した溶剤滴下部位Ｓに溶剤ＹＺを滴下するようになっており、溶剤滴下部位Ｓから溶剤滴下部位Ｓの範囲を超えて流下する溶剤ＹＺは使用済み部位Ｓ０には達するものの、ペーパー部材３２の未使用部位に達することはない。このため、溶剤滴下部位Ｓに溶剤ＹＺを流下した際に溶剤滴下部位Ｓから流下した溶剤ＹＺによってペーパー部材３２の未使用部位が汚損されることはなく、ペーパー部材３２の無駄が生じることを防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
溶剤を滴下させた際にそこから流下した溶剤によってペーパー部材の未使用部位が徒に汚損されることのないスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスククリーニング方法を提供する。
【符号の説明】
【００４７】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１４  マスク
１７ｂ  スキージ
１８  クリーニングヘッド
１９  溶剤滴下部（溶剤滴下手段）
２０  制御装置（回転体駆動部制御手段、ヘッド移動制御手段）
３１ａ，３１ｂ  回転体
３２  ペーパー部材
３３  ノズル（押し上げ部材）
３４ａ，３４ｂ  回転体駆動モータ（回転体駆動部）
Ｓ  溶剤滴下部位
Ｓ０  使用済み部位
Ｐ  使用済み部位の最後尾
Ｔ２  下方進行傾斜領域
ＹＺ  溶剤
Ｐｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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