(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化ケイ素が複数の炭素質材料を覆っており、かつ前記複数の炭素質材料を接続している炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法であって、
粒子状の窒化ケイ素と粒子状の炭素質材料を混合して成形することにより成形体を得る工程と、
前記成形体を焼成することにより、前記炭化ケイ素−炭素複合材を得る工程とを備え、
前記炭素質材料の粒子径が、１μｍ〜５００μｍの範囲内であり、
前記窒化ケイ素の粒子径が、前記炭素質材料の粒子径の１／１００〜１／５の範囲内であり、
前記複数の炭素質材料を接続している前記炭化ケイ素が、前記成形体を焼成する際に、前記窒化ケイ素と前記炭素質材料が反応することにより形成された炭化ケイ素である、炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法。
【請求項２】
前記窒化ケイ素と前記炭素質材料とバインダーとを混合し、前記窒化ケイ素が表面に付着した前記炭素質材料を含む混合物を得、前記混合物を成形することにより前記成形体を得る請求項１に記載の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法。
【請求項３】
前記窒化ケイ素と炭素質材料との体積比が５：９５〜５０：５０である成形体を用いる請求項１または２に記載の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法。
【請求項４】
前記成形体の焼成を１７００℃以上で行う請求項１〜３のいずれか一項に記載の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、黒鉛などの炭素と炭化ケイ素とを複合化した炭化ケイ素−炭素複合材が知られている。例えば特許文献１には、炭素基材とＳｉＯ２ガスとを反応させて、炭化ケイ素で被覆された炭素基材を製造する方法が開示されている。また、特許文献２には、炭素と炭化ケイ素とを混合後、焼成して、炭化ケイ素と炭素との複合材を製造する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５１８６６号公報
【特許文献２】特開２０１１−５１８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
炭化ケイ素−炭素複合材のさらなる有力な製造方法が求められている。
【０００５】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、新規な炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法は、窒化ケイ素と炭素質材料を含む成形体を焼成する工程を備える。炭素質材料の表面には窒化ケイ素が付着していることが好ましい。
【０００７】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法においては、窒化ケイ素と炭素質材料とバインダーとを混合し、窒化ケイ素が表面に付着した炭素質材料を含む混合物を得、混合物を成形して成形体を得ることが好ましい。
【０００８】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法においては、ゲルキャスティング法により成形体を得ることができる。
【０００９】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法においては、粒子状の窒化ケイ素を用いてもよい。
【００１０】
窒化ケイ素の粒子径は、炭素質材料の粒子径の１／１００〜１／５の範囲内であることが好ましい。
【００１１】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法においては、窒化ケイ素と炭素質材料との体積比が５：９５〜５０：５０である成形体を用いることが好ましい。
【００１２】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法においては、成形体の焼成を１７００℃以上で行うことが好ましい。
【００１３】
本発明の炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法は、複数の炭素質材料を覆っており、かつ複数の炭素質材料を接続している炭化ケイ素を有する炭化ケイ素−炭素複合材を製造するための方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、新規な炭化ケイ素−炭素複合材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る製造方法によって得られる炭化ケイ素−炭素複合材の略図的断面図である。
【図２】実施例１で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）である。
【図３】実施例２で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）である。
【図４】実施例３で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）である。
【図５】実施例４で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）である。
【図６】実施例５で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）である。
【図７】比較例１で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材表面の走査型電子顕微鏡写真である。
【図８】比較例２で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材表面の走査型電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１７】
実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１８】
（炭化ケイ素−炭素複合材１）
図１は、本実施形態に係る製造方法によって得られる炭化ケイ素−炭素複合材を示す略図的断面図である。まず、図１を参照しながら、本実施形態に係る製造方法によって得られる炭化ケイ素−炭素複合材の構成について説明する。
【００１９】
炭化ケイ素−炭素複合材１は、複数の炭素質材料２と、炭化ケイ素３とからなる複合材である。
【００２０】
炭素質材料２は、例えばりん状黒鉛、りん片状黒鉛、土状黒鉛等からなる天然黒鉛、コークスやメソフェーズ小球体を原料とした人造黒鉛などが好ましく用いられる。炭素質材料は、粒子状であってもよい。すなわち、炭素質材料２は、炭素粒子であってもよい。炭素質材料２の粒子径は、５０ｎｍ〜５００μｍ程度であることが好ましく、１μｍ〜２５０μｍ程度であることがより好ましく、５μｍ〜１００μｍ程度であることがさらに好ましい。炭素質材料２の粒子径が小さすぎると、凝集してしまう可能性ある。炭素質材料２が凝集しすぎると、炭化ケイ素−炭素複合材１が炭素の特性を得られない場合がある。一方、炭素質材料２の粒子径が大きすぎると、焼成したセラミックス―炭素複合材の強度が低下する場合がある。複数の炭素質材料２は、１種類の炭素質材料２のみを含んでいてもよいし、複数種類の炭素質材料２を含んでいてもよい。
【００２１】
炭化ケイ素３は、複数の炭素質材料２の間に形成されている。炭化ケイ素３は、複数の炭素質材料２を覆っており、かつ複数の炭素質材料２を接続している。炭化ケイ素３は、連続した構造を有していることが好ましい。炭化ケイ素３は、３次元網目構造を有していることがより好ましい。すなわち、複数の炭素質材料２は、３次元網目構造を有する炭化ケイ素３によって一体化されていることが好ましい。炭化ケイ素−炭素複合材１において、炭化ケイ素３中に炭素粒子２が分散していることが好ましい。炭化ケイ素３中に炭素粒子２が塊状となって分散していてもよい。
【００２２】
なお、炭化ケイ素３は、連続したひとつの塊により構成されていてもよいし、孤立した複数の塊により構成されていてもよい。
【００２３】
炭化ケイ素−炭素複合材１における炭素質材料２と炭化ケイ素３との体積比（炭素質材料２の体積：炭化ケイ素３の体積）は、９５：５〜５０：５０であることが好ましく、９０：１０〜７０：３０であることがより好ましい。
【００２４】
炭化ケイ素３の厚みは、１００ｎｍ〜１０μｍ程度であることが好ましい。
【００２５】
炭化ケイ素−炭素複合材１は、焼結助剤由来の化合物を含んでいてもよい。焼結助剤としては、Ｙ２Ｏ３などの酸化イットリウム、Ａｌ２Ｏ３等の酸化アルミニウム、ＣａＯなどの酸化カルシウム、ＳｉＯ２などの酸化ケイ素、その他の希土類酸化物などが挙げられる。
【００２６】
次に、炭化ケイ素−炭素複合材１の製造方法の一例を説明する。
【００２７】
（成形体作製工程）
窒化ケイ素が表面に付着した炭素質材料２を含む成形体を作製する。
【００２８】
炭素質材料２の表面に付着させる窒化ケイ素の形状は、特に限定されない。例えば粒子状、被膜状などが挙げられる。
【００２９】
窒化ケイ素が粒子状である場合、窒化ケイ素の粒子径は、５０ｎｍ〜１０μｍ程度であることが好ましく、１００ｎｍ〜１μｍ程度であることがより好ましい。
【００３０】
窒化ケイ素の粒子径は、炭素質材料２の粒子径の１／１００〜１／５の範囲内であることが好ましい。この場合、炭素質材料２の表面の実質的に全体を窒化ケイ素で覆うことが可能となる。窒化ケイ素の粒子径は、炭素質材料２の粒子径の１／５０〜１／１０の範囲内であることがより好ましく、１／４０〜１／２０の範囲内であることがさらに好ましい。
【００３１】
窒化ケイ素と炭素質材料２との混合割合（窒化ケイ素の体積：炭素質材料２の体積（体積比））は、５：９５〜５０：５０であることが好ましく、１０：９０〜３０：７０であることがより好ましい。
【００３２】
炭素質材料２の表面に窒化ケイ素を付着させる方法は、特に限定されない。例えば、炭素質材料２と窒化ケイ素とを混合すればよい。具体例としては、気相法、液相法、ミキサー等を用いて窒化ケイ素と炭素質材料２とを混合する機械的混合方法、スラリー法またはこれらを組み合わせた方法が挙げられる。気相法の具体例としては、化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）、転化法（ＣＶＲ法）などが挙げられる。液相法の具体例としては、例えば、化学沈殿法等が挙げられる。スラリー法の具体例としては、例えばゲルキャスト法、スリップキャスティング、テープキャスティングなどが挙げられる。
【００３３】
窒化ケイ素が表面に付着した炭素質材料２を成形する方法は、特に限定されない。例えばゲルキャスト法によれば、炭素質材料２の表面への窒化ケイ素の付着と成形とを同時に行うことができる。ゲルキャスト法では、液体である溶媒及びバインダーを混合してスラリーとし、このスラリー中に炭素質材料を添加し、混合した後、乾燥させて固形混合物が得られる。例えば、バインダーとしてアクリアミドとＮ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミドを加えたイソプロパノール有機溶媒に炭素粉末と窒化ケイ素粉末を加え、自転・公転ミキサーで撹拌することで、スラリーを調製し、そのスラリーを型に入れ乾燥させ、成形体を得る。
【００３４】
（焼成工程）
次に、成形体を焼成する。焼成方法としては、例えば、放電プラズマ焼結法などが挙げられる。
【００３５】
成形体の焼成温度や焼成時間、焼成雰囲気の種類、焼成雰囲気の圧力等は、使用する材料の種類、形状、大きさ等に応じて適宜設定することができる。焼成温度は、例えば１７００℃以上とすればよい。焼成温度は、１７００℃〜２１００℃程度であることが好ましく、１８００℃〜２０００℃程度であることがより好ましい。焼成時間は、例えば、５分間〜２時間程度とすることができる。焼成雰囲気の種類は、例えば、真空、窒素、アルゴンなどの不活性ガス雰囲気とすることができる。焼成雰囲気の圧力は、例えば、０．０１ＭＰａ〜１０ＭＰａ程度とすることができる。
【００３６】
焼成工程において、炭素質材料２の表面に炭化ケイ素３が形成される。このとき、炭化ケイ素３は、複数の炭素質材料２の間に形成される。すなわち、焼成工程において、複数の炭素質材料２は、炭化ケイ素３により覆われ、かつ炭化ケイ素３により接続される。なお、炭化ケイ素−炭素複合材１には、窒化ケイ素が残っていてもよい。
【００３７】
本実施形態の製造方法によって得られる炭化ケイ素−炭素複合材１は、炭化ケイ素を原料として得られる炭化ケイ素−炭素複合材に比して、強度、熱伝導度などの点で優れている。これは、原料として炭化ケイ素を用いるよりも、窒化ケイ素を用いる方が、焼成工程において、炭素質材料２の表面にて炭化ケイ素３をより低温で形成しやすく、炭化ケイ素の焼結が進みやすくなることに起因するのではないかと考えられる。すなわち、炭化ケイ素を原料にした場合、焼結の駆動力は粒子表面エネルギーの減少に依存するしかないが、窒化ケイ素を原料にした場合は、窒化ケイ素から炭化ケイ素に転換する化学反応が焼結をさらに促進するものと考えられる。焼結が進むほど、炭化ケイ素−炭素複合材１における炭化ケイ素３の連続性は高まり、炭化ケイ素３の連続性が高くなるほど、強度や熱伝導度は向上すると考えられる。すなわち、本実施形態の製造方法では、窒化ケイ素を原料として用いているため、強度、熱伝導度などの点で優れた炭化ケイ素−炭素複合材１が得られるものと考えられる。
【００３８】
本実施形態に係る製造方法によれば、原料として炭化ケイ素を使用しなくても、より低温で炭化ケイ素−炭素複合材１を簡易に製造することができる。
【００３９】
以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではない。本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。
【００４０】
（実施例１）
以下のようにして炭化ケイ素−炭素複合材１と実質的に同様の構成を有する炭化ケイ素−炭素複合材を作製した。
【００４１】
炭素質材料２として黒鉛（メソフェーズ小球体、東洋炭素株式会社製）を使用した。窒化ケイ素として、宇部興産株式会社製のＳｉ３Ｎ４を使用した。
【００４２】
黒鉛（１０ｇ）と、窒化ケイ素（４．６３ｇ）と焼結助剤としてのＡｌ２Ｏ３（０．３１ｇ）及びＹ２Ｏ３（０．１５ｇ）とを混合した粉末と、アクリルアミド（８ｇ）及びＮ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド（１ｇ）をイソプロパノール（４５ｇ）に溶解したバインダー溶液（３．５７ｇ）とをゲルキャスティング法により混合し、混合物をプラスティックモールドにキャスティングした。混合物中の黒鉛とセラミックスとの体積比は８０：２０であった。得られた混合物を常圧下、８０℃で１２時間乾燥して乾燥物を得た。次に、乾燥物を真空中、７００℃で１時間加熱してバインダーであるアクリルアミドを除去した。さらに、放電プラズマ焼結法にて、３０ＭＰａの圧力を印加しつつ、１７００℃で５分間、真空条件でパルス通電焼結した。その結果、炭化ケイ素−炭素複合材として、炭化ケイ素−黒鉛複合材が得られた。
【００４３】
得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を下記の要領で測定した。結果を下記の表１に示す。
【００４４】
〔かさ密度〕
アルキメデス法により、かさ密度を測定した。具体的には、ＪＩＳ  Ａ１５０９−３に基づき測定した。
【００４５】
〔相対密度〕
上記の方法で測定したかさ密度と、同じサンプルの理論密度(気孔のない状態おける密度)との比により相対密度を計算した（ＪＩＳ  Ｚ２５００−３４０７を参照）。
【００４６】
〔曲げ強度〕
３点曲げ強度試験により、曲げ強度を測定した。具体的には、ＪＩＳ  Ａ１５０９−４に基づき測定した。
【００４７】
〔熱伝導率〕
レーザーフラッシュ法により、熱伝導率を測定した。具体的には、ＪＩＳ  Ｒ１６５０−３に基づき測定した。
【００４８】
実施例１で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）を図２に示す（倍率１０００倍）。
【００４９】
（実施例２）
１７５０℃でパルス通電焼結したこと以外は、実施例１と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。実施例２で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）を図３に示す（倍率１０００倍）。
【００５０】
（実施例３）
１８００℃でパルス通電焼結したこと以外は、実施例１と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。実施例３で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）を図４に示す（倍率１０００倍）。
【００５１】
（実施例４）
１９００℃でパルス通電焼結したこと以外は、実施例１と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。実施例４で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）を図５に示す（倍率１０００倍）。
【００５２】
（実施例５）
黒鉛（１０ｇ）と、窒化ケイ素（５．９６ｇ）と焼結助剤としてのＡｌ２Ｏ３（０．３９ｇ）及びＹ２Ｏ３（０．２０ｇ）とを混合した粉末と、有機モノマーとしてアクリルアミドを含んだ１−プロパノール（３．８３ｇ）とをゲルキャスティング法により混合したこと以外は、実施例４と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。混合物中の黒鉛とセラミックスとの体積比は８０：２０であった。
【００５３】
得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。
【００５４】
実施例５で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材の走査型電子顕微鏡写真（（ａ）表面（ｂ）破断面）を図６に示す（（ａ）が倍率５００倍、（ｂ）が倍率１０００倍）。
【００５５】
（比較例１）
黒鉛（１０ｇ）と、炭化ケイ素（ＳｉＣ  ４．５０ｇ）と焼結助剤としてのＡｌ２Ｏ３（０．３０ｇ）及びＹ２Ｏ３（０．１５ｇ）とを混合した粉末と、アクリルアミド（８ｇ）及びＮ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド（１ｇ）をイソプロパノール（４５ｇ）に溶解したバインダー溶液（３．０３ｇ）とをゲルキャスティング法により混合したこと以外は、実施例４と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。混合物中の黒鉛とセラミックスとの体積比は７５：２５であった。
【００５６】
得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。比較例１で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材表面の走査型電子顕微鏡写真を図７に示す（倍率１０００倍）。
【００５７】
（比較例２）
黒鉛（１０ｇ）と、炭化ケイ素（ＳｉＣ  ５．９６ｇ）と焼結助剤としてのＡｌ２Ｏ３（０．３９ｇ）及びＹ２Ｏ３（０．２０ｇ）とを混合した粉末と、有機モノマーとしてアクリルアミドを含んだ１−プロパノール（３．２４ｇ）とをゲルキャスティング法により混合したこと以外は、実施例４と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。混合物中の黒鉛とセラミックスとの体積比は７０：３０であった。
【００５８】
得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。比較例２で得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材表面の走査型電子顕微鏡写真を図８に示す（倍率１０００倍）。
【００５９】
（比較例３）
黒鉛（１０ｇ）と、窒化アルミニウム（ＡｌＮ  ３．５４ｇ）と焼結助剤としてのＹ２Ｏ３（０．１９ｇ）とを混合した粉末と、アクリルアミド（８ｇ）及びＮ，Ｎ’−メチレンビスアクリルアミド（１ｇ）をイソプロパノール（４５ｇ）に溶解したバインダー溶液（２．４９ｇ）とをゲルキャスティング法により混合したこと以外は、実施例４と同様にして、炭化ケイ素−黒鉛複合材を得た。混合物中の黒鉛とセラミックスとの体積比は７０：３０であった。
【００６０】
得られた炭化ケイ素−黒鉛複合材のかさ密度、相対密度、曲げ強度及び熱伝導率を実施例１と同様にして測定した。結果を下記の表１に示す。
【００６１】
【表１】
0005748564.tif 000002
【符号の説明】
【００６２】
１…炭化ケイ素−炭素複合材
２…炭素質材料
３…炭化ケイ素
【図１】
0005748564.tif 000003
【図２】
0005748564.tif 000004
【図３】
0005748564.tif 000005
【図４】
0005748564.tif 000006
【図５】
0005748564.tif 000007
【図６】
0005748564.tif 000008
【図７】
0005748564.tif 000009
【図８】
0005748564.tif 000010