(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部との間に開閉ドアを有する更衣室と、除塵装置を有する除塵室とがその順にクリーンルームに連通して配置され、当該更衣室及び除塵室に前記クリーンルームの加圧エアーが導入され、
前記除塵装置は、
前記更衣室側に設けた前記クリーンルームの入室者に対して歩行状態で側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、
該ジェット除塵部と連通するとともに、前記クリーンルームとも連通し前記入室者に対して歩行状態でエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すエアーシャワー部と
を備えていることを特徴とするクリーンルームの除塵システム。
【請求項２】
前記更衣室は、クリーンスーツを清浄状態で保管するクリーンスーツ保管部を備えていることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの除塵システム。
【請求項３】
前記クリーンスーツ保管部は、前記クリーンスーツをハンガー掛けして保管し、保管している前記クリーンスーツの上部側を主に除塵するエアー除塵部を備え、前記ジェット除塵部は、前記クリーンスーツを着用した入室者の下肢部を主に除塵するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルームの除塵システム。
【請求項４】
前記除塵装置は、当該除塵装置を通過する入室者を事前に検出する通過センサを備え、該通過センサで入室者を検出したときに起動状態となり、前記通過センサで所定時間入室者を検出していないときに作動停止状態となることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載のクリーンルームの除塵システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの入室者に対して除塵を行うクリーンルームの除塵システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、クリーンルーム入室時は、更衣室で一般服からクリーンスーツに着替え、次いでエアーシャワーを浴びて除塵してから入場するようにしている。
このような従来技術として、例えば、外部に通じる入口とクリーンルームに通じる出口とを有する室内に、入口から出口に至る順路を設け、該順路に、少なくとも、一般着用ロッカー、手洗い器、無塵着用ロッカー、その他付帯設備及びエアーシャワーを当該順位で配置し、入口及び出口のそれぞれにドアを配置したクリーンルーム用更衣室が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、クリーンルームの入室者の着用物、及び搬入物にクリーンエアーを吹き付け、付着した塵埃を除去する際に、塵埃量を測定する測定手段と、その測定塵埃量によりクリーンエアーの風速、風量を制御する制御手段と、測定塵埃量を表示する表示手段とを備え、クリーンルームに開閉ドアを介して連接するエアーシャワー室が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１−１６７５４８号公報
【特許文献２】特開平７−１０３５３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１及び２に記載の従来例にあっては、少なくともクリーンルームの入口に開閉ドアが設けられている。このクリーンルーム開閉ドアは、一般的にクリーンルーム圧力と気密性の維持、又は隣接室間のクリーンエアーの流れ込み・清浄度変化を抑制する意味で設けられる。このドアはクリーンルームの入室者が１人又は数名が通過する毎に開閉されるので、例えば出退勤時のようにクリーンルームの入室者が多数いる場合には、一定区人数毎に区画・処理することと更にドアを開閉することで渋滞が発生し、スムーズな移動を行うことができないという未解決の課題がある。また、クリーンルームへの入室者がエアーシャワーを浴びる際に、所定時間立ち止まる必要があり、ここでも渋滞が生じるという未解決の課題がある。さらに、上記特許文献２に記載の従来例にあっては、エアーシャワーの後段にエアーシャワーを浴びるクリーンアップ室が設けられているので、塵埃除去率を高めることができるものであるが、エアーシャワー室及びクリーンアップ室間にもドアを配置するようにしており、クリーンルーム入室者のスムーズな移動を行うことができない。特に、多くの入場者を有する生産工場等では、クリーンルームへの全入室時間が非常に長くなるのが通例である。またドアの開閉により室間の圧力変動・オーバーシュートによる突発流等の外乱発生リスクが高い。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、クリーンルームへの入室者がスムーズに移動することができるクリーンルームの除塵システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一の態様に係るクリーンルームの除塵システムは、外部との間に開閉ドアを有する更衣室と、除塵装置を有する除塵室とがその順にクリーンルームに連通して配置され、当該更衣室及び除塵室に前記クリーンルームの加圧エアーが導入され、前記除塵装置は、前記更衣室側に設けた前記クリーンルームの入室者に対して歩行状態で側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、該ジェット除塵部と連通するとともに、前記クリーンルームとも連通し前記入室者に対して歩行状態でエアーを上方から下方に向けて層流状態で流すエアーシャワー部とを備えていることを特徴としている。
【０００７】
また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記更衣室は、クリーンスーツを清浄状態で保管するクリーンスーツ保管部を備えていることを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記クリーンスーツ保管部は、前記クリーンスーツをハンガー掛けして保管し、保管している前記クリーンスーツの上部側を主に除塵するエアー除塵部を備え、前記ジェット除塵部は、前記クリーンスーツを着用した入室者の下肢部を主に除塵するように構成されていることを特徴としている。
また、本発明の他の形態に係るクリーンルームの除塵システムは、前記除塵装置は、当該除塵装置を通過する入室者を事前に検出する通過センサを備え、該通過センサで入室者を検出したときに起動状態となり、前記通過センサで所定時間入室者を検出していないときに作動停止状態となることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、クリーンルームに連通して加圧される除塵室を備え、この除塵室内に少なくとも更衣室及び除塵装置を配置し、除塵装置に通過する入室者に側面からジェット気流を噴射するジェット除塵部と、このジェット除塵部及びクリーンルームと連通して入室者に層流状態でエアーを流すエアーシャワー部とを設けることにより、除塵室の内部及びクリーンルームとの間に開閉ドアを設ける必要がないとともに、除塵装置でクリーンルームの入室者が長く立ち止まることなく通過するだけで、必要な除塵効果を得ることができ、渋滞が発生することを確実に防止することができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係るクリーンルームの除塵システムを示す全体構成図である。
【図２】クリーンスーツ保管室を示す正面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線上の断面図である。
【図４】可動ルーバーの駆動機構を示す図である。
【図５】除塵装置の具体的構成を示す縦断面図である。
【図６】図５の平面図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ線上の断面図である。
【図８】図５のＣ−Ｃ線上の断面図である。
【図９】ジェット除塵部のパンカルーバー配置の問題点を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の一実施形態を示す全体構成図である。
図中、１はクリーンルームであって、このクリーンルーム１の入口２に除塵室３が配置されている。この除塵室３は、クリーンルーム１にドアを介在させることなく連通している。
除塵室３には、クリーンルーム１とは反対側における外部の更衣前室との間に開閉ドア４が配置され、この開閉ドア４の上部と天井との間に除塵室３内の圧力を調整する差圧ダンパー５が配置されている。
また、除塵室３には開閉ドア４とクリーンルーム１の入口２との間に、クリーンスーツを清浄な状態で保管する開閉自在なクリーンスーツ保管室６を有する更衣室７と、靴の履き替えを行う靴履替領域８と除塵装置９とがこれらの順に配置されている。
【００１１】
この除塵室３では、クリーンルーム１との間にドアが介在しないので、クリーンルーム１内を＋１５Ｐａ〜＋３０Ｐａに加圧する加圧エアーがそのまま導入充填されて加圧状態となり、この加圧状態の圧力が差圧ダンパー５によって調整される。このため、クリーンルーム１からの加圧エアーが除塵装置９、靴履替領域８及び更衣室７を、この順に通って差圧ダンパー５から排気されることになり、除塵室３で浮遊する塵埃がクリーンルーム１に侵入することが防止されている。
【００１２】
更衣室７に設けられたクリーンスーツ保管室６は、図２及び図３に示すように、例えば背中合わせに２つの保管部６１及び６２が所定空間を保って配置されている。各保管部６１及び６２のそれぞれは、前面を、上部側を除いて開放した筐体６３を有し、この筐体６３の前面に左右方向で例えば２枚のビニールカーテン６４ａ及び６４ｂが開閉可能に配置され、これらビニールカーテン６４ａ及び６４ｂが、その中央部に配設された磁石６５で吸引されて開閉可能とされている。
【００１３】
筐体６３内には、天井部６６の近傍に筐体の幅方向に延長して支持棒６７が配置され、この支持棒６７にハンガー６８に掛けられたクリーンスーツ６９が所定間隔（例えば９ｃｍ）で支持されている。この支持棒６７の左右方向に所定距離離れた位置における天井部６６にそれぞれクリーンスーツ６９に対してクリーンエアーを吹き付けて除塵する除塵エアー噴出部７１が形成されている。
【００１４】
これら除塵エアー噴出部７１は、天井部６６に形成された送風ファン部７２とこの送風ファン部７２のエアー吐出部に配置された高性能フィルタで構成されるフィルタ部７３とで構成されるフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット７４を備えている。このファンフィルタユニット７４のフィルタ部７３の下方側に圧力室７５が形成され、この圧力室７５に支持棒６７を挟むように２列の可動ルーバー７６ａ及び７６ｂが配置されている。これら可動ルーバー７６ａ及び７６ｂは、図４に拡大図示するように、左右方向の両端部が可動可能に支持された支持軸７７によって支持された下端部が円弧状に形成された断面Ｖ字形状の樋状部７８と、この樋状部７８の円弧状部に摺接してシールするシール部７９とを備えている。樋状部７８には、支持棒６７にハンガー掛けされたクリーンスーツ６９に対して個別に加圧エアーを噴射するエアー噴射孔８０が形成されている。
【００１５】
そして、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂの支持軸７７が、図４に示すように、リンク機構８１で連結されている。このリンク機構８１には中央リンク８２の中央位置に上下方向に延長する長孔８３を有する案内板８４が固定され、この案内板８４の長孔８３に電動モータ８５の回転軸に固定された円板８６に突出形成された係合ピン８７が係合されている。したがって、電動モータ８５を一定方向に回転駆動することにより、中央リンク８２が奥行き方向に往復動し、これによって可動ルーバー７６ａ及び７６ｂが同期して同一傾斜角で回動される。
【００１６】
これら可動ルーバー７６ａ及び７６ｂから噴射される加圧エアーの噴射範囲は、図３における左側に示すように、両者が同期してクリーンスーツ６９の肩口から腰下位置までの範囲に移動しながら吹き付けて除塵する。
噴出された加圧エアーは筐体６３の下部の床部に配置された脱臭機構９１で脱臭されてからエアー還流路８８を通って上方のファンフィルタユニット７４に戻される。ここで、脱臭機構９１としては、例えば発泡セラミックに酸化チタンを担持させた光触媒フィルタや、この光触媒フィルタと例えばブラックライトなどの紫外線ランプとを組にした光触媒カートリッジ等を適用することができる。この他、オゾンを使用した脱臭機構等任意の脱臭機構を適用することができる。さらに、エアー循環路８８の流路面積を利用し臭い因子との接触効果を上げる処方もある。
【００１７】
また、筐体６３内には、イオナイザ９０が幅方向に延長して配置され、このイオナイザ９０によってクリーンスーツ６９に帯電した静電気を除電する。
なお、ファンフィルタユニット７４の送風量はインバータ機能により高低風量に可変調整が出来る構成とされ、クリーンスーツ６９の保管数とその塵埃付着量に応じて任意の風量設定を可能とする為、運用場面に応じた省エネルギー管理をする事が出来る。例えば、図示しないタイマによって出退勤時間帯特に始業時ではクリーンスーツ６９への着替えが頻繁に行われるので高風量動作に制御され、その他は低風量動作に切り換えられる。また、出退勤時間帯で、ビニールカーテン６４ａ及び６４ｂを開放している状態では、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂを、エアー噴射孔８０を下方に向けた状態で固定することにより、外部汚染空気の誘引つまり濃度変動が大きい更衣室内の塵埃と更衣入退室者自身の持込み塵埃誘引を抑える事ができるので、好ましい。
【００１８】
一方、除塵装置９は、図５及び図６に示すように、靴履替領域８側に配置されたジェット除塵部１０と、このジェット除塵部１０に一端が連通し、他端がクリーンルーム１の入口２に連通するエアーシャワー部３０とを備えている。
ジェット除塵部１０は、図５〜図７に示すように、クリーンルーム１への入室者が通過する歩行通路１１に沿って３つのジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃが形成されている。各ジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃのそれぞれは、図７に示すように、歩行通路１１を挟む左右両側にジェット気流噴射機構１３が左右対称的に設けられている。このジェット気流噴射機構１３は、図５に示すように、前後２列で上下方向に４個のジェット気流を噴射するパンカルーバー１４ａ〜１４ｄが前後方向に所定間隔を保って２列配列されている。これらパンカルーバー１４ａ〜１４ｄのうち最上部のパンカルーバー１４ａは、図７に示すように、歩行者の腕部から腰部にかけてジェット気流を吹き付けるように垂直面から例えば４５°の噴射角でジェット気流を噴射する。
【００１９】
残りの３つのパンカルーバー１４ｂ〜１４ｄは、最上部のパンカルーバー１４ａから下方に離れた位置に上下方向の距離を短くして配置され、図７に示すように、噴射するジェット気流が互いに重なって歩行者の下肢に集中的に噴射されるように例えば垂直面から４５°の角度でジェット気流を噴射する。
また、ジェット気流噴射機構１３は、シロッコファン等で構成される加圧気体を送風する送風機１５を有し、この送風機１５の送風出口側に塵埃除去率の高い高性能フィルタ（ＨＥＰＡ：Ｈｉｇｈ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）１６を介して加圧気体を２列のパンカルーバー１４ａ〜１４ｄに分配する圧力室１７が配置されている。
【００２０】
さらに、ジェット除塵部１０の床１１には、パンカルーバー１４ａ〜１４ｄによって吹き付けられたジェット気流を通過させるグレーチング床１８が配置されている。そして、グレーチング床１８の下端側から送風機１５の入口までの間にジェット気流を還流させるエアー還流路１９が形成されている。
また、ジェット除塵部１０は、図５に示すように、隣接するジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃにおけるジェット気流噴射機構１３のクリーンルーム１側に静電気を除電するイオナイザ２０が上下方向に延長して配置されている。
【００２１】
一方、エアーシャワー部３０は、図５及び図６に示すように、歩行者通路３１の天井側に４台のフィルタ付送風機としてのファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄが歩行者通路３１に沿って配設されている。これらファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄのそれぞれは、上部側に吸引口が配設された送風ファン部３３と、この送風ファン部３３の下方側のエアー吹出し口に配置された高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）で構成されるフィルタ部３４とで構成されている。
【００２２】
そして、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃについてはフィルタ部３４が歩行者通路３１側に設置されて、フィルタ部３４を通じて除塵されたクリーンエアーが下方に向けて層流状態で送風される。これに対して、ファンフィルタユニット３２ｄについてはフィルタ部３４の下方にエアーカーテンを形成するエアーカーテン用カバー３５が配設され、このエアーカーテン用カバー３５のクリーンルーム１の入口２とは反対側の吐出口３５ａから送風されるクリーンエアーが床方向へのダウンフローを形成し、且つグレーチング床３７の下側からこのダウンフローを吸引する構成となっている。
【００２３】
これにより、上方向から下方向への一方向性流、つまりプッシュ＆プル方式の気流を形成することが出来る。
言い換えると、外乱に強いエアーバリア的流線を得たエアーカーテン３６が形成される。
また、エアーシャワー部３０でも、ジェット除塵部１０と同様に、床に、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄから吹き出されたクリーンエアーを通過させるグレーチング床３７が配置されている。そして、図８に示すように、グレーチング床３７の下端側から天井のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｄの送風ファンの吸気口までの間に左右の側壁内を通ってエアーを還流させるエアー還流路３８が形成されている。
【００２４】
そして、前述したジェット除塵部１０のジェット気流噴射機構１３及びエアーシャワー部３０のファンフィルタユニット３２ｄを除く３つのファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃは、図１に示すように、例えば靴履替領域８の除塵装置９側に配置された入室用通過センサ３９ｉ及びクリーンルーム１の入口２近傍に配置された退室用通過センサ３９ｏの検出信号が制御盤４０に供給されて動作する。この制御盤４０では、通過センサ３９ｉ及び３９ｏによって入室者及び退出者の通過が検出されたときにジェット気流噴射機構１３及びファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃを作動状態に制御し、通過センサ３９ｉ及び３９ｏで入退室者の通過を検知しなくなって所定時間が経過したときにジェット気流噴射機構１３及びファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃを非作動状態に制御する。ここで、通過センサ３９ｉ及び３９ｏとしては、歩行者通路を挟んで対向する発光素子及び受光素子で構成され、発光素子の発光が通過者に遮られることにより、通過者の検知を行う。
【００２５】
さらに、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０のグレーチング床３７の下面には、図６に示すようにクリーンルーム１への入室者の歩行速度に応じた点滅を行う表示灯４１が入室者を歩行させたい歩行経路に合わせて所定数配置されている。そして、各表示灯４１の近傍には、歩行者の靴先が着地する位置及び歩行者の体の向きを表す表示部４２が形成されている。ここで、表示部４２は、先頭から第２番目のジェット気流噴射領域１２ａ及び１２ｂまでは入室者の歩行に合わせた片足分の足型表示４２ａとされ、第３番目のジェット気流噴射領域では、表示灯４１を挟む位置に両足分の足型表示４２ｂとされている。両足分の足型表示４２ｂは、例えば手前側では背中を左側のジェット気流噴射機構１３に向ける姿勢となる足型表示とされ、クリーンルーム１側の奥側の表示灯４１を挟む位置では、背中側を右側のジェット気流噴射機構１３側に向ける姿勢となる足型表示とされている。
【００２６】
さらに、エアーシャワー部３０では、１つ置きの表示灯４１に対してそれぞれ左右交互の足型表示４２ｃが描かれている。
表示灯４１は、ランプの点灯速度を変えることで、入室者の歩行速度を指示することができる。また、特定のランプを所望の時間だけ点灯もしくは消灯することで、歩行者へ特定のランプがある場所に所望の時間だけ滞在するよう指示することができる。
【００２７】
表示灯４１の取り付け位置により、入室者の歩行経路を指示してもよい。たとえば、表示灯４１を蛇行して取り付けることで、入室者を蛇行して歩行させられ、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０での入室者の滞在時間をコントロールできる。
表示部４２は、足型表示に限定されるものではなく、たとえば矢印表示としてもよく、この矢印の向きを使って、歩行者の身体の向きをコントロールしてもよい。
以上のような表示灯４１または表示部４２を、単独もしくは組み合わせて使うことで、入室者の歩行速度や歩行経路、身体の向き、滞在時間を制御でき、入室待ち渋滞を解消するよう制御したり、入室者の付着塵埃を低減し、清浄度を高めたりすることができる。
【００２８】
次に、上記実施形態の動作について説明する。
今、出退勤時間帯ではない時間帯では、除塵室３内のクリーンスーツ保管室６はビニールカーテン６４ａ及び６４ｂが閉じられた閉状態となっており、この閉状態が磁石６５の吸引力によって保持されている。このクリーンスーツ保管室６内では、ファンフィルタユニット７４が低風量動作されて、内部の支持棒６７にハンガー６８で掛けられているクリーンスーツ６９の肩口から腰下にかけて可動ルーバー７６ａ及び７６ｂから噴射される加圧エアーが吹き付けられて、付着した塵埃が吹き飛ばされて除塵される。このとき、加圧エアーは、筐体６３の下部側からエアー還流路８８を通って上方のファンフィルタユニット７４に戻される。この際、加圧エアーは床下に配設された脱臭機構９１を通ってエアー還流路８８に向かう。このため、脱臭機構９１で光触媒等による加圧エアーの脱臭が行われる。本発明者等の実験では人体及び着用後のクリーンスーツからの臭い因子としては、アセトアルデヒド、オクタナール、デカナール等が確認されている。本クリーンスーツ保管室６では、アセトアルデヒド、オクタナール、デカナール等の臭い因子が脱臭された加圧エアーがクリーンスーツ保管室６内を循環するので、クリーンスーツ６９の脱臭を確実に行うことができる。この場合、脱臭機構９１として光触媒フィルタと紫外線ランプとを組み合わせた光触媒カートリッジを使用することにより、より確実な脱臭を行うことができる。
【００２９】
これと同時に、クリーンスーツ６９に帯電した静電気がイオナイザ９０によって除電されて、吹き飛ばされた塵埃がクリーンスーツ６９に再付着することを防止している。
この除塵の際に、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂが互いに同期してスイングされるので、クリーンスーツ６９に付着した塵埃を効率よく吹き飛ばすことができる。このため、塵埃残留率を低下させることができる。しかも、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂが支持軸７７で回動可能に支持されたＶ字形状の樋状部７８と、この樋状部７８に摺接するシール部７９とで構成される簡易な構成とされている。そして、樋状部７８でファンフィルタユニット７４から噴出される加圧エアーを集約して底部に形成されたエアー噴射孔８０から加圧エアーをクリーンスーツ６９に個別に吹き付ける。このとき、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂに突起類が存在しないので、カルマン渦の発生を抑制してクリーンスーツ６９毎に的確な除塵を行うことができる。
【００３０】
このように、クリーンスーツ６９はクリーンスーツ保管室６で保管する際に、塵埃の除塵及び静電気の除電を行うので、少なくとも上半身側の塵埃を払い落とした状態で保管される。
このようにクリーンルーム１への入退室がない時間帯では、エアーシャワー部３０におけるファンフィルタユニット３２ｄを除くジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０の動作が停止されて省エネルギー化されている。この状態では、クリーンルーム１内の加圧エアーがエアーカーテン３６を通じてエアーシャワー部３０に入り、その後ジェット除塵部１０を通り、靴履替え領域８及び更衣室７を通って差圧ダンパー５から外部に排気される。このため、除塵装置９に塵埃が浮遊していたとしても、この塵埃がクリーンルーム１内に侵入することは確実に阻止される。しかも、ファンフィルタユニット３２ｄによって常時エアーカーテン３６が形成されているので、このエアーカーテン３６によって塵埃のクリーンルーム１側への侵入が確実に阻止される。
【００３１】
なお、ファンフィルタユニット３２ｄによって形成されるエアーカーテン３６は、他のファンフィルタユニット３２ａ〜ｃと同じタイミング、すなわち入室者がいない場合は動作を停止し、入室者がいる場合は作動状態に制御されることで、さらに省エネルギー化を図ることもできる。入室者が通過したあと、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０での空気置換が終われば、ジェット除塵部１０およびエアーシャワー部３０は清浄化されているので、ファンフィルタユニット３２ｄは常時エアーカーテン３６を形成しなくてもよいためである。また、クリーンルーム１を加圧制御しているので、入室者がいない場合にファンフィルタユニット３２ｄの作動を停止しても、更衣室７側からクリーンルーム１側へ塵埃が流れ込む恐れが小さいためである。
【００３２】
また、出退勤時間帯では、クリーンスーツ保管室６のビニールカーテン６４ａ及び６４ｂを開放しておく。クリーンルーム１への入室者は、開閉ドア４から除塵室３内に入り、更衣室８で外着を脱ぎ、クリーンスーツ保管室６からクリーンスーツ６９を取り出して着用する。次いで、靴履替え領域８で靴を履き替えてから除塵装置９に入る。このとき、通過センサ３９ｉで入室者の通過が検出されるので、その検出信号が制御盤４０に送られてジェット除塵部１０のジェット気流噴射機構１３及びエアーシャワー部３０のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃが作動状態に制御される。
【００３３】
このため、入室者がジェット除塵部１０に入ると、図７に示すように、左右のジェット気流噴射機構１３のパンカルーバー１４ａ〜１４ｄからジェット気流が通過者の体側に噴射される。このとき、パンカルーバー１４ａによって通過者の腕部及び腰部の塵埃が吹き飛ばされ、パンカルーバー１４ｂ〜１４ｄによって通過者の下肢部の塵埃が吹き飛ばされる。
【００３４】
吹き飛ばされた塵埃はジェット気流とともにグレーチング床１８を通過し、その下部に設けられたエアー還流路１９を通じて左右側部のジェット気流噴射機構１３の送風機１５の吸気口に還流され、この送風機１５から吹き出されるジェット気流が高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）１６を通過することにより、除塵されてクリーンエアーとして通過者にジェット噴射される。
【００３５】
このように、ジェット除塵部１０では、ジェット気流によって通過者のクリーンスーツに付着している塵埃を下方のグレーチング床１８に向かって吹き飛ばし、このグレーチング床１８の下方に設けられたエアー還流路１９を通じてジェット気流噴射機構１３に還流されるので、吹き飛ばされた塵埃がジェット除塵部１０で浮遊することがなく、確実に回収される。このとき、クリーンスーツ６９はクリーンスーツ保管室６で保管している間に少なくとも上半部については除塵された状態で保管されている。このため、ジェット除塵部１０ではクリーンスーツ６９の下肢部分を集中的に除塵することにより、クリーンスーツ６９の除塵を完全に行うことができる。
【００３６】
そして、このジェット除塵部１０では、図６に示すように、通過者は床がグレーチング床１８であるので、このグレーチング床１８を視認しながら歩行することになる。このグレーチング床１８の下面に表示灯４１が配設され、この表示灯４１が歩行速度及び前進誘導を教示するように点滅している。このため、通過者は表示灯４１で教示される歩行速度（例えば９０ｃｍ／ｓｅｃ程度）で歩行する。また、通過者は表示灯４１の近傍に足型表示４２ａ及び４２ｂが描かれているので、この足型表示４２ａ及び４２ｂにしたがって歩行する。このため、ジェット気流噴射領域１２ａ及び１２ｂでは、歩行通路１１の略中央部を、前を向いて歩行する。これに対してジェット気流噴射領域１２ｃでは、一瞬両足を揃えて背中を進行方向左側のジェット気流噴射機構１３に向け、次いで一歩進んでから同様に一瞬両足を揃えて背中を進行方向右側のジェット気流噴射機構１３に向けることにより、クリーンスーツの前後の塵埃を吹き飛ばす。
【００３７】
このように、通過者を表示灯４１及び足型表示４２ａ，４２ｂで誘導することにより、適正な速度で歩行し、且つクリーンスーツの各部に隈なくジェット気流を浴びることにより、確実に除塵することができる。しかも、ジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃの隣接位置にはイオナイザ２０が配置されているので、このイオナイザ２０によってクリーンスーツ６９に帯電した静電気の除電が行われ、浮遊する塵埃がクリーンスーツ６９に再付着することを確実に防止することができる。
【００３８】
その後、入室者がジェット除塵部１０を通過すると、エアーシャワー部３０に入る。このエアーシャワー部３０では、同様に、表示灯４１及び足型表示４２ｃによって案内されて所定速度で歩行し、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃから下方に向けて吹き出される層流状態のクリーンエアーによって再度塵埃の払い落としが行われる。このエアーシャワー部３０でも、ファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃから吹き出される層流状態のクリーンエアーはグレーチング床３７を通過して、その下部に配設されたエアー還流路３８によって上方のファンフィルタユニット３２ａ〜３２ｃの送風ファン部３３に還流される。そして、この送風ファン部３３の吹き出し側に設けたフィルタ部３４によって除塵されてクリーンエアーとして吹き出される。
【００３９】
入室者は最後にファンフィルタユニット３２ｄで形成されるエアーカーテン３６を通過してクリーンルーム１の入口２からクリーンルーム１内に入る。
一方、クリーンルーム１からの退室者は、入口２の近傍の退室用通過センサ３９ｏを通過することにより、除塵装置９のジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０が動作状態となる。このため、エアーカーテン３６を通過してエアーシャワー部３０で層流状態のエアーによって塵埃を払い落とし、次いでジェット除塵部１０でジェット気流によってクリーンスーツ６９の下肢部を中心に除塵する。
【００４０】
次いで、靴履替領域８で靴を履き替えてから更衣室７に移動する。この場合も、クリーンスーツ保管室６のビニールカーテン６４ａ及び６４ｂは開かれている。ここで、退出者はクリーンスーツ６９を脱いでハンガー６８に掛けてから、ハンガー６８をクリーンスーツ保管室６の支持棒６７の所定装着位置に掛ける。その後、一般着に着替えてから開閉ドア４から外部に退室する。
【００４１】
このように、退室者が順次クリーンスーツ６９を脱いでハンガー６８に掛けてからハンガー６８をクリーンスーツ保管室６の支持棒６７に掛ける。
そして、最後の退室者が退室する際に、クリーンスーツ保管室６のビニールカーテン６４ａ及び６４ｂを閉じる。これによって、ハンガー６８に掛けられたクリーンスーツ６９に対して可動ルーバー７６ａ及び７６ｂによって加圧エアーが噴射されて、クリーンスーツ６９の上半部が除塵されるとともに、イオナイザ９０によってクリーンスーツ６９に帯電した静電気が除電される。
そして、出退勤時間帯が過ぎると、クリーンスーツ保管室６のファンフィルタユニット７４が低風量運転状態となり、省エネルギー状態で、クリーンスーツ６９の除塵及び除電を継続する。
【００４２】
このように、上記実施形態によると、除塵装置９で、クリーンルーム１の入室者に対して、ジェット除塵部１０でジェット気流によって塵埃を確実に吹き飛ばし、エアーシャワー部３０で残留する塵埃を払い落とし、最後にエアーカーテン３６によって最終的な払い落としを行うことができる。この過程を、所謂洗濯機に例えると、ジェット除塵部１０が洗いに相当し、エアーシャワー部３０が濯ぎに相当し、エアーカーテン３６が仕上げに相当し、３段階でクリーンスーツから塵埃を確実に払い落とすことができる。しかも、入室者が歩きながら除塵を行うことができるとともに、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０がクリーンルーム１にドアを介することなく連通している。このため、ドアの開閉による渋滞が生じることがなく、クリーンルーム１への入室をスムーズに行うことができる。
【００４３】
加えて、ジェット除塵部１０では、ジェット気流で塵埃をグレーチング床１８に向かって吹き飛ばし、エアー還流路１９を通じてジェット気流噴射機構に還流されるので、歩行により塵埃が誘引・再付着することを低減できる。そして、エアーシャワー室３０では、層流で塵埃をグレーチング床３７に向かって移動し、エアー還流路３８を通じて送風ファン部３３に還流されるので、歩行により塵埃が誘引・再付着することを低減できる。
【００４４】
また、クリーンスーツ保管室６では、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂから噴出される加圧エアーによって常時クリーンスーツ６９の除塵が行われるとともに、イオナイザ９０によって帯電した静電気の除電が行われ、クリーンスーツ６９の少なくとも上半部の除塵が確実に行われる。
そして、クリーンスーツ６９の下肢部については、入室者が着用した状態で、ジェット除塵部１０を通過することにより、パンカルーバー１４ｂ〜１４ｄによって下肢部に集中的にジェット気流を吹き付けて除塵するので、クリーンスーツ６９の全体を確実に除塵することができる。
【００４５】
因みに、図９に示すように、通過者の身長に合わせて、パンカルーバー１４ａ〜１４ｄを肩から腰下にかけて均等配置した場合には、通過者の下肢部に対する一番下側のパンカルーバー１４ｄからの距離が一番遠くなり、下肢部に到達するジェット気流の流速が遅くなって効果的な除塵を行うことができない。しかしながら、本実施形態では、上述したように通過者の下肢部に集中的にジェット気流を噴射するので、下肢部での除塵を効果的に行うことができる。
【００４６】
また、エアーシャワー部３０のクリーンルーム１の入口２に近い位置に、エアーカーテン３６を形成するようにしたので、除塵装置９とクリーンルーム１とをエアーカーテン３６で遮断することができ、浮遊する塵埃がクリーンルーム１に達することを確実に防止することができる。この場合、エアーカーテン３６の形成位置は、クリーンルーム１の入口２の直前に設けるよりは、入口２から離した位置に形成した方が、エアーカーテン３６を形成する気流がクリーンルーム１内に影響することを抑制することができる。
【００４７】
また、除塵装置９を通過センサで所定時間以上入退室者がいないことを検出した場合に、作動停止状態とし、入退室者を検出した場合に、作動状態とするので、省エネルギー運転を行うことができる。
なお、上記実施形態においては、クリーンスーツ保管室６で可動ルーバー７６ａ及び７６ｂを使用して加圧ガスを噴射する場合について説明したが、可動ルーバー７６ａ及び７６ｂを省略して、ファンフィルタユニット７４から直接エアーをクリーンスーツ６９に吹き掛けるようにしてもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、クリーンスーツ保管室６の開閉をビニールカーテン６４ａ及び６４ｂで行うようにした場合について説明したが、塵埃の発生が少ないものであれば、他の任意の開閉器具を使用することができる。
また、上記実施形態では、除塵装置９のジェット除塵部１０に３つのジェット気流噴射領域１２ａ〜１２ｃを形成した場合について説明したが、ジェット気流噴射領域の配置数はクリーンスーツへの塵埃付着量に応じて任意の配置数に設定することができる。
【００４９】
同様に、エアーシャワー部３０に設けるファンフィルタユニットの配置数もジェット除塵部１０での残留塵埃量に応じて任意の配置数とすることができる。
また、上記実施形態においては、ジェット除塵部１０及びエアーシャワー部３０を直線状に形成した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、平面から見てＣ字状やＵ字状等の任意の形状に形成することができる。
【符号の説明】
【００５０】
１…クリーンルーム、２…入口、３…除塵室、４…開閉ドア、５…差圧ダンパー、６…クリーンスーツ保管室、７…更衣室、８…靴履替領域、９…除塵装置、１０…ジェット除塵部、１１…歩行通路、１２ａ〜１２ｃ…ジェット気流噴射領域、１３…ジェット気流噴射機構、１４ａ〜１４ｄ…パンカルーバー、１５…送風機、１６…高性能フィルタ、１７…圧力室、１８…グレーチング床、１９…エアー還流路、２０…イオナイザ、３０…エアーシャワー部、３１…歩行者通路、３２ａ〜３２ｄ…ファンフィルタユニット、３３…送風ファン部、３４…フィルタ部、３５…エアーカーテン用カバー、３５ａ…吐出口、３６…エアーカーテン、３７…グレーチング床、３８…エアー還流路、６１，６２…保管部、６３…筐体、６４ａ，６４ｂ…ビニールカーテン、６７…支持棒、６８…ハンガー、６９…クリーンスーツ、７１…防塵エアー噴出部、７４…ファンフィルタユニット、７６ａ，７６ｂ…可動ルーバー、８０…エアー噴射孔、８１…リンク機構、８５…電動モータ、９０…イオナイザ、９１…脱臭機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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