(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、
上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、
上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程と、
タブ線を上記太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に上記接着フィルム上から仮貼りするタブ線配置工程と、
上記タブ線の上から熱加圧し、上記接着フィルムによって上記タブ線を上記太陽電池セルの表面に接続する接続工程とを有し、
上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、
上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
上記検出工程において、上記接着フィルムの配置ズレが検出された場合、上記接着フィルムを剥離し、再度、上記接着フィルム配置工程に付す請求項１記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
上記検出工程は、上記接着フィルム配置工程、上記タブ線配置工程に次いで行う請求項１記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
上記画像処理は、２値化処理である請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項５】
上記画像処理は、さらに上記接着フィルムを介して上記太陽電池セルの接着面に接着されるタブ線とを区別する請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項６】
上記太陽電池セルの受光面に配置される上記接着フィルムと、上記太陽電池セルの裏面に配置される上記接着フィルムとで、画像処理されたときに、互いに異なる色として認識される請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】
上記太陽電池セルの受光面に配置される上記接着フィルムは、２値化画像処理されたときに白色に識別される色であり、上記太陽電池セルの裏面に配置される上記接着フィルムは、２値化画像処理されたときに黒色に識別される色である請求項６に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項８】
太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、
上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、
上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程とを有し、
上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、
上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する接着フィルムの貼り合わせ方法。
【請求項９】
上記検出工程において、上記接着フィルムの配置ズレが検出された場合、上記接着フィルムを剥離し、再度、上記接着フィルム配置工程に付す請求項８記載の接着フィルムの貼り合わせ方法。
【請求項１０】
上記画像処理は、２値化処理である請求項８又は請求項９に記載の接着フィルムの貼り合わせ方法。
【請求項１１】
上記太陽電池セルの受光面に配置される上記接着フィルムと、上記太陽電池セルの裏面に配置される上記接着フィルムとで、画像処理されたときに、互いに異なる色として認識される請求項８〜請求項１０のいずれか１項に記載の接着フィルムの貼り合わせ方法。
【請求項１２】
上記太陽電池セルの受光面に配置される上記接着フィルムは、２値化画像処理されたときに白色に識別される色であり、上記太陽電池セルの裏面に配置される上記接着フィルムは、２値化画像処理されたときに黒色に識別される色である請求項１１に記載の接着フィルムの貼り合わせ方法。
【請求項１３】
太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、
上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、
上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程とを有し、
上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、
上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する接着フィルムの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タブ線によって複数の太陽電池セルが接続された太陽電池モジュールに関し、特にタブ線を太陽電池セルの電極に接着する接着フィルムを太陽電池セルの電極上に貼り合わせる太陽電池モジュールの製造方法、接着フィルムの貼り合わせ方法、接着フィルムの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば結晶シリコン系太陽電池モジュールでは、複数の隣接する太陽電池セルが、インターコネクタとなるタブ線により接続されている。タブ線は、その一端側を一の太陽電池セルの表面電極に接続され、他端側を隣接する太陽電池セルの裏面電極に接続することにより、各太陽電池セルを直列に接続する。このとき、タブ線は、一端側の一面側が一の太陽電池セルの表面電極に接着され、他端側の他面側が隣接する太陽電池セルの裏面電極に接着されている。
【０００３】
具体的に、太陽電池セルは、銀ペーストをスクリーン印刷すること等により、受光面にバスバー電極が形成され、裏面接続部にＡｇ電極が形成されている。なお、太陽電池セル裏面の接続部以外の領域はＡｌ電極やＡｇ電極が形成されている。
【０００４】
また、タブ線は、リボン状銅箔の両面にハンダコート層が設けられること等により形成される。具体的に、タブ線は、厚さ０．０５〜０．２ｍｍ程度に圧延した銅箔をスリットし、あるいは銅ワイヤーを平板状に圧延するなどして得た幅１〜３ｍｍの平角銅線に、ハンダメッキやディップハンダ付け等を施すことにより形成される。
【０００５】
太陽電池セルとタブ線との接続は、タブ線を太陽電池セルの各電極上に配置し、加熱ボンダーによって熱加圧することにより、タブ線表面に形成したハンダを溶融、冷却することにより行う（特許文献１）。
【０００６】
しかし、ハンダ付けでは約２６０℃と高温による接続処理が行われるため、太陽電池セルの反りや割れ、タブ線と表面電極及び裏面電極との接続部に生じる内部応力、さらにフラックスの残渣等により、太陽電池セルの表面電極及び裏面電極とタブ線との間の接続信頼性が低下することが懸念される。
【０００７】
そこで、従来、太陽電池セルの表面電極及び裏面電極とタブ線との接続に、比較的低い温度での熱圧着処理による接続が可能な導電性接着フィルムが使用されている（特許文献２）。このような導電性接着フィルムとしては、平均粒径が数μｍオーダーの球状または鱗片状の導電性粒子を熱硬化型バインダー樹脂組成物に分散してフィルム化したものが使用されている。
【０００８】
図１６に示すように、導電性接着フィルム５０は、表面電極及び裏面電極上に貼り合わせた後、タブ線５１が重畳され、タブ線５１の上から加熱ボンダーによって熱加圧される。これにより、図１７に示すように、導電性接着フィルム５０は、バインダー樹脂が流動性を示して電極、タブ線５１間より流出されるとともに、導電性粒子５４が電極５３とタブ線５１間に挟持されてこの間の導通を図り、この状態でバインダー樹脂が熱硬化する。このように、タブ線５１によって複数の太陽電池セル５２が直列接続されたストリングスが形成される。
【０００９】
導電性接着フィルム５０を用いてタブ線５１と表面電極及び裏面電極とが接続された複数の太陽電池セル５２は、ガラス、透光性プラスチックなどの透光性を有する表面保護材と、ＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate）等のフィルムからなる背面保護材との間に、エチレンビニルアセテート樹脂（ＥＶＡ）等の透光性を有する封止材により封止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−３５６３４９号公報
【特許文献２】特開２００８−１３５６５４号公報
【特許文献３】特開２０１０−１６２４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、導電性接着フィルム５０を太陽電池セルの電極５３上に貼り合わせる工程で位置ズレが発生した場合、タブ線５１を貼り付ける装置側ではこの位置ズレを認識せずにタブ線５１の貼り付けを行う。そして、タブ線５１は、導電性接着フィルム５０と完全に重畳せずに位置ズレが生じた状態で、熱加圧工程に付され、本圧着されてしまう。
【００１２】
これにより、太陽電池モジュールは、タブ線５１と電極５３との接着面積が少なくなり、機械的な接続強度や、電気的な接続信頼性を損なってしまう。導電性接着フィルム５０の貼り合わせ位置の位置ズレが大きい場合には、太陽電池セルとタブ線５１との接続不良が実使用に耐えられない程度まで大きくなり、ストリングそのものの歩留まりが低下してしまう。
【００１３】
一方で、導電性接着フィルム５０の貼り合わせ工程において、貼り合わせ位置の位置ズレが認識できれば、再度導電性接着フィルム５０を張り直す（リペア）ことが可能であり、太陽電池セルとタブ線５１との接続不良の発生を防止することができる。
【００１４】
そこで、本発明は、太陽電池セルの電極上に貼り合わせる接着フィルムの貼り合わせ位置の位置ズレを検出可能な太陽電池モジュールの製造方法、接着フィルムの貼り合わせ方法、接着フィルムの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述した課題を解決するために、本発明に係る太陽電池モジュールの製造方法は、太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程と、タブ線を上記太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に上記接着フィルム上から仮貼りするタブ線配置工程と、上記タブ線の上から熱加圧し、上記接着フィルムによって上記タブ線を上記太陽電池セルの表面に接続する接続工程とを有し、上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する。
【００１７】
また、本発明に係る接着フィルムの貼り合わせ方法は、太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程とを有し、上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する。
【００１８】
また、本発明に係る接着フィルムの検査方法は、太陽電池セル表面の所定の貼り付け位置に接着フィルムを仮貼りする接着フィルム配置工程と、上記接着フィルムが仮貼りされた上記太陽電池セルの表面を撮像する撮像工程と、上記太陽電池セル表面の画像データを画像処理することにより、上記接着フィルムが所定の位置に仮貼りされているかを検出する検出工程とを有し、上記接着フィルムは、上記画像データが画像処理されたときに、上記太陽電池セル表面の色と異なる色として識別される色であり、上記検出工程において、画像処理後の上記太陽電池セル表面上における上記接着フィルムの位置情報より、上記接着面における所定の位置に仮貼りされているか否かを検出する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、タブ線の接続前に、導電性接着フィルムの位置ズレの有無を検出するため、タブ線を導電性接着フィルムに完全に重畳させて接続することができる。これにより、本発明では、タブ線の機械的な接続強度や、電気的な接続信頼性を維持することができ、またストリングの歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】太陽電池モジュールを示す分解斜視図である。
【図２】太陽電池セルのストリングを示す断面図である。
【図３】太陽電池セルの裏面電極及び接続部を示す平面図である。
【図４】導電性接着フィルムを示す断面図である。
【図５】リール状に巻回された導電性接着フィルムを示す図である。
【図６】太陽電池モジュールの製造工程を示すフローチャートである。
【図７】導電性接着フィルムの仮貼り工程を示す側面図である。
【図８】貼着位置検査装置の構成を示すブロック図である。
【図９】太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１０】実施例に係る太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１１】実施例に係るバスバーレス太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１２】比較例に係る太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１３】比較例に係る太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１４】比較例に係る太陽電池セルの２値化画像を示す図である。
【図１５】太陽電池モジュールの他の製造工程を示すフローチャートである。
【図１６】従来の太陽電池モジュールを示す斜視図である。
【図１７】従来の太陽電池モジュールにおけるタブ線の接続工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明が適用された太陽電池モジュール、太陽電池モジュールの製造方法、接着フィルムの貼り合わせ方法、接着フィルムの検査方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】
［太陽電池モジュール］
本発明が適用された太陽電池モジュール１は、図１〜図３に示すように、複数の太陽電池セル２がインターコネクタとなるタブ線３によって直列に接続されたストリングス４を有し、このストリングス４を複数配列したマトリクス５を備える。そして、太陽電池モジュール１は、このマトリクス５が封止接着剤のシート６で挟まれ、受光面側に設けられた表面カバー７及び裏面側に設けられたバックシート８とともに一括してラミネートされ、最後に、周囲にアルミニウムなどの金属フレーム９が取り付けられることにより形成される。
【００２３】
封止接着剤としては、例えばエチレンビニルアセテート樹脂（ＥＶＡ）等の透光性封止材が用いられる。また、表面カバー７としては、例えば、ガラスや透光性プラスチック等の透光性の材料が用いられる。また、バックシート８としては、ガラスや、アルミニウム箔を樹脂フィルムで挟持した積層体等が用いられる。
【００２４】
太陽電池モジュール１の各太陽電池セル２は、光電変換素子１０を有する。光電変換素子１０は、単結晶型シリコン光電変換素子、多結晶型光電変換素子を用いる結晶シリコン系太陽電池や、アモルファスシリコンからなる薄膜シリコン系太陽電池、アモルファスシリコンからなるセルと微結晶シリコンやアモルファスシリコンゲルマニウムからなるセルとを積層させた多接合型の薄膜シリコン系太陽電池、いわゆる化合物薄膜系太陽電池、有機系、量子ドット型など、各種光電変換素子１０を用いることができる。
【００２５】
また、光電変換素子１０は、受光面側に内部で発生した電気を集電するフィンガー電極１２とフィンガー電極１２の電気を集電するバスバー電極１１とが設けられている。バスバー電極１１及びフィンガー電極１２は、太陽電池セル２の受光面となる表面に、例えばＡｇペーストがスクリーン印刷等により塗布された後、焼成されることにより形成される。また、フィンガー電極１２は、受光面の全面に亘って、例えば約５０〜２００μｍ程度の幅を有するラインが、所定間隔、例えば２ｍｍおきに、ほぼ平行に複数形成されている。バスバー電極１１は、フィンガー電極１２と略直交するように形成され、また、太陽電池セル２の面積に応じて複数形成されている。
【００２６】
また、光電変換素子１０は、受光面と反対の裏面側に、アルミニウムや銀からなる裏面電極１３が設けられている。裏面電極１３は、図２及び図３に示すように、例えばアルミニウムや銀からなる電極が、スクリーン印刷やスパッタ等により太陽電池セル２の裏面に形成される。裏面電極１３は、後述する導電性接着フィルム１７が貼り付けられるとともに、この導電性接着フィルム１７を介してタブ線３が接続されるタブ線接続部１４を有する。
【００２７】
そして、太陽電池セル２は、タブ線３によって、表面に形成された各バスバー電極１１と、隣接する太陽電池セル２の裏面電極１３とが電気的に接続され、これにより直列に接続されたストリングス４を構成する。タブ線３とバスバー電極１１及び裏面電極１３とは、後述する導電性接着フィルム１７によって接続される。
【００２８】
太陽電池セル２は、一般に受光面が濃紺とされ、受光面の撮影画像は例えば２値化による画像処理によって黒に変換される。また、太陽電池セル２は、裏面全面に亘ってアルミニウムや銀からなる裏面電極１３が設けられることにより、裏面の撮影画像は例えば２値化による画像処理によって白に変換される。
【００２９】
［タブ線］
タブ線３は、図２に示すように、隣接する太陽電池セル２Ｘ、２Ｙ、２Ｚの各間を電気的に接続する長尺状の導電性基材である。タブ線３は、例えば厚さ５０〜３００μｍに圧延された銅箔やアルミ箔をスリットし、あるいは銅やアルミなどの細い金属ワイヤーを平板状に圧延することにより、導電性接着フィルム１７とほぼ同じ幅の１〜３ｍｍ幅の平角の銅線を得る。そして、タブ線３は、この平角銅線に、金メッキ、銀メッキ、スズメッキ、ハンダメッキ等を施すことにより形成される。
【００３０】
［導電性接着フィルム］
導電性接着フィルム１７は、図４に示すように、バインダー樹脂２２に球状の導電性粒子２３が高密度に含有された熱硬化性のバインダー樹脂層である。本発明が適用された導電性接着フィルム１７は、撮影画像が画像処理されたときに、当該導電性接着フィルム１７が接続される太陽電池セル２の接着面の色と異なる色として識別される色である。これにより、太陽電池モジュール１は、導電性接着フィルム１７を貼り合わせた太陽電池セル２の画像データを元に画像処理を行うことで、正確に貼り合わせ位置の位置ズレを検出することができる。詳しくは後述する。
【００３１】
なお、導電性接着フィルム１７は、押し込み性の観点から、バインダー樹脂２２の最低溶融粘度が、１００〜１０００００Ｐａ・ｓであることが好ましい。導電性接着フィルム１７は、最低溶融粘度が低すぎると低圧着から本硬化の過程で樹脂が流動してしまい接続不良やセル受光面へのはみ出しが生じやすく、受光率低下の原因ともなる。また、最低溶融粘度が高すぎてもフィルム貼着時に不良を発生しやすく、接続信頼性に悪影響が出る場合もある。なお、最低溶融粘度については、サンプルを所定量回転式粘度計に装填し、所定の昇温速度で上昇させながら測定することができる。
【００３２】
［導電性粒子］
導電性接着フィルム１７に用いられる導電性粒子２３は、例えば、ニッケル、金、銀、銅などの金属粒子や、樹脂粒子をコア材とし最外層に金めっきなどを施したものなどを挙げることができる。
【００３３】
なお、導電性接着フィルム１７は、常温付近での粘度が１０〜１００００ｋＰａ・ｓであることが好ましく、さらに好ましくは、１０〜５０００ｋＰａ・ｓである。導電性接着フィルム１７の粘度が１０〜１００００ｋＰａ・ｓの範囲であることにより、導電性接着フィルム１７をリール状に巻装した場合において、いわゆるはみ出しによるブロッキングを防止することができ、また、所定のタック力を維持することができる。
【００３４】
［バインダー樹脂］
導電性接着フィルム１７のバインダー樹脂２２の組成は、上述のような特徴を害さない限り、特に制限されないが、より好ましくは、膜形成樹脂と、液状エポキシ樹脂と、潜在性硬化剤と、シランカップリング剤とを含有する。
【００３５】
膜形成樹脂は、平均分子量が１００００以上の高分子量樹脂に相当し、フィルム形成性の観点から、１００００〜８００００程度の平均分子量であることが好ましい。膜形成樹脂としては、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、フェノキシ樹脂等の種々の樹脂を使用することができ、その中でも膜形成状態、接続信頼性等の観点からフェノキシ樹脂が好適に用いられる。
【００３６】
液状エポキシ樹脂としては、常温で流動性を有していれば、特に制限はなく、市販のエポキシ樹脂が全て使用可能である。このようなエポキシ樹脂としては、具体的には、ナフタレン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂などを用いることができる。これらは単独でも、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、アクリル樹脂など他の有機樹脂と適宜組み合わせて使用してもよい。
【００３７】
潜在性硬化剤としては、加熱硬化型、ＵＶ硬化型などの各種硬化剤が使用できる。潜在性硬化剤は、通常では反応せず、何かしらのトリガーにより活性化し、反応を開始する。トリガーには、熱、光、加圧などがあり、用途により選択して用いることができる。なかでも、本願では、加熱硬化型の潜在性硬化剤が好適に用いられ、バスバー電極１１や裏面電極１３に加熱押圧されることにより本硬化される。液状エポキシ樹脂を使用する場合は、イミダゾール類、アミン類、スルホニウム塩、オニウム塩などからなる潜在性硬化剤を使用することができる。
【００３８】
シランカップリング剤としては、エポキシ系、アミノ系、メルカプト・スルフィド系、ウレイド系などを用いることができる。これらの中でも、本実施の形態では、エポキシ系シランカップリング剤が好ましく用いられる。これにより、有機材料と無機材料の界面における接着性を向上させることができる。
【００３９】
また、その他の添加組成物として、無機フィラーを含有することが好ましい。無機フィラーを含有することにより、圧着時における樹脂層の流動性を調整し、粒子捕捉率を向上させることができる。無機フィラーとしては、シリカ、タルク、酸化チタン、炭酸カルシウム、酸化マグネシウム等を用いることができ、無機フィラーの種類は特に限定されるものではない。
【００４０】
図５は、導電性接着フィルム１７の製品形態の一例を模式的に示す図である。この導電性接着フィルム１７は、剥離基材２４上にバインダー樹脂２２が積層され、テープ状に成型されている。このテープ状の導電性接着フィルムは、リール２５に剥離基材２４が外周側となるように巻回積層される。剥離基材２４としては、特に制限はなく、ＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate）、ＯＰＰ（Oriented Polypropylene）、ＰＭＰ（Poly-4-methlpentene−1）、ＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylene）などを用いることができる。また、導電性接着フィルム１７は、バインダー樹脂２２上に透明なカバーフィルムを有する構成としてもよい。
【００４１】
［着色剤の添加］
導電性接着フィルム１７の色は、画像処理されたときに、太陽電池セル２の接着面の色と異なる色として識別される色である。例えば、太陽電池セル２の受光面側に貼り合わせられる導電性接着フィルム１７の色は、２値化画像処理によって白と識別される色である。これは、結晶シリコン系の太陽電池セル２の場合、受光面がシリコン特有の濃紺色をしていることから２値化画像処理によって黒と識別されるためである。また、太陽電池セル２の裏面に貼り合わせられる導電性接着フィルム１７の色は、２値化画像処理によって黒と識別される色である。これは、結晶シリコン系の太陽電池セル２の裏面には、上述したようにＡｇやＡｌによる裏面電極が全面に亘って形成されていることから２値化画像処理によって白と識別されるためである。
【００４２】
この場合、太陽電池セル２の受光面側に貼り合わせられる導電性接着フィルム１７は、２値化画像処理によって白と識別されるように、バインダー樹脂２２に酸化チタンや酸化亜鉛等を添加することにより白色系の色に着色される。また、太陽電池セル２の裏面に貼り合わせられる導電性接着フィルム１７は、２値化画像処理によって黒と識別されるように、バインダー樹脂２２にカーボンブラック等を添加することにより黒色系の色に着色される。
【００４３】
なお、導電性接着フィルム１７は、リール形状に限らず、バスバー電極１１や裏面電極１３のタブ線接続部１４の形状に応じた短冊形状であってもよい。
【００４４】
図５に示すように導電性接着フィルム１７が巻き取られたリール製品として提供される場合、導電性接着フィルム１７の粘度を１０〜１００００ｋＰａ・ｓの範囲とすることにより、導電性接着フィルム１７の変形を防止し、所定の寸法を維持することができる。また、導電性接着フィルム１７が短冊形状で２枚以上積層された場合も同様に、変形を防止し、所定の寸法を維持することができる。
【００４５】
［製造方法・検査方法］
太陽電池モジュール１の製造工程は、図６に示すように、導電性接着フィルム１７を製造し（ステップＳ１）、導電性接着フィルム１７を太陽電池セル２の受光面及び裏面に仮貼りした後（ステップＳ２）、貼着位置の検査工程に付される（ステップＳ３）。貼着位置の検査によって位置ズレが検出された場合はリペア工程に付され（ステップＳ４）、再度導電性接着フィルム１７が仮貼りされる。また、位置ズレが検出されなかった場合は、複数の太陽電池セル２間に亘ってタブ線３が仮貼りされ、ストリングスが形成される（ステップＳ５）。その後、タブ線３上より熱加圧されることにより導電性接着フィルム１７を介してタブ線３と太陽電池セル２の各電極とが本厚着され（ステップＳ６）、ＥＶＡ等の封止材シートによって、表面カバー及びバックシートの間に封止されることにより（ステップＳ７）、太陽電池モジュール１が製造される。以下、詳述する。
【００４６】
上述した導電性接着フィルム１７は、導電性粒子２３と、膜形成樹脂と、液状エポキシ樹脂と、潜在性硬化剤と、シランカップリング剤と、酸化チタンや酸化亜鉛あるいはカーボンブラック等の着色材を溶剤に溶解させる。溶剤としては、トルエン、酢酸エチルなど、又はこれらの混合溶剤を用いることができる。溶解させて得られた樹脂生成用溶液を剥離シート上に塗布し、溶剤を揮発させることにより、導電性接着フィルム１７を得る。
【００４７】
そして、導電性接着フィルム１７は、表面電極用２本及び裏面電極用２本を所定の長さにカットされ、太陽電池セル２の表裏面の所定位置に仮貼りされる。このとき、白色系に着色された導電性接着フィルム１７は、太陽電池セル２の表面にほぼ平行に複数形成されている各バスバー電極１１上に仮貼りされ、黒色系に着色された導電性接着フィルム１７は、裏面電極１３のタブ線接続部１４上に仮貼りされる。
【００４８】
導電性接着フィルム１７を電極１１，１３上に仮貼りする工程では、図７に示すように、リール２５より引き出された導電性接着フィルム１７を各電極１１，１３の長さに応じてカットし各電極１１，１３上に搬送する。次いで、加熱ボンダー２６によってバインダー樹脂層が本硬化しないが流動性を示す程度に仮硬化させて仮貼りする。
【００４９】
次いで、太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７の貼り位置のズレを検出する工程に付される。この工程は、例えば貼着位置検査装置３０を用いて行うことができる。貼着位置検査装置３０は、太陽電池セル２の表面画像の輝度ないし色差に基づいて多値化データ、例えば２値化データを生成し、予め登録されている基準データと照合することにより、導電性接着フィルム１７が所定の位置に仮貼りされているかどうかを判定するものである。なお、本技術は、以下に説明する貼着位置検査装置３０に限らず、同様の機能を奏するあらゆる検査技術を用いることができることはもちろんである。
【００５０】
貼着位置検査装置３０は、図８に示すように、太陽電池セル２の表面画像を撮像する撮像部３１と、撮像部３１から供給された画像信号に対して、所定の信号処理を行う２値化部３２と、信号処理後の導電性接着フィルム１７の適正な位置情報が登録される不揮発性記憶部３３と、導電性接着フィルム１７の位置ズレを検出する位置ズレ検出部３４と、装置全体を制御する制御部３５とを備える。
【００５１】
撮像部３１は、画像を取り込む撮像レンズユニット３１ａと、撮像レンズユニット３１ａを介して入射した映像を取り込むＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子ユニット３１ｂとを備える。そして、撮像部３１は、太陽電池セル２の受光面や裏面に予め設けられたアライメントマークや、太陽電池セル２の外側縁などの基準との位置合わせを行ったうえで、導電性接着フィルム１７が仮貼りされた太陽電池セル２の受光面や裏面を撮影する。
【００５２】
２値化部３２は、撮像素子ユニット３１ｂに取り込まれた信号をＡ／Ｄ変換するＡＤ変換部３２ａと、ＡＤ変換部３２ａで変換されたデータを２値化処理する２値化処理部３２ｂとを有する。２値化処理部３２ｂは、ＡＤ変換部３２ａから供給されたデジタルデータを所定の方式で２値化処理する。２値化処理された太陽電池セル２の画像データは、太陽電池セル２の表面と導電性接着フィルム１７を構成する各画素が、それぞれ０又は１の値をもつ２値画像に変換される。２値化処理の方式には、画像全体の平均値と各画素の大小を比べる方式や、注目している画素の周囲の適当な範囲の平均値と大小を比べる方式等、公知の方式を用いることができる。
【００５３】
２値化部３２は、太陽電池セル２の受光面画像においては、白系の導電性接着フィルム１７を白色の画像に変換し、受光面のその他の領域は黒の画像として変換する。また、２値化部３２は、全面に亘ってＡｌ電極あるいはＡｇ電極が形成された太陽電池セル２の裏面においては、黒系の導電性接着フィルム１７を黒色の画像に変換し、裏面のその他の領域は白色として変換する。
【００５４】
不揮発性記憶部３３は、例えば、ＥＥＰＲＯＭ又はフラッシュＲＯＭ等で構成されており、予め太陽電池セル２のバスバー電極１１上あるいはタブ線接続部１４上に適正に仮貼りされた導電性接着フィルム１７の基準位置情報（座標値）を記憶保持する。基準位置情報は、例えば、各画素の座標と各座標に対応付けられた２値化情報からなり、太陽電池セル２に予め設けられたアライメントマークや太陽電池セル２の外側縁を基準に設定される。
【００５５】
位置ズレ検出部３４は、２値化部３２において２値化されたデータが一時記憶される２値化データエリア３４ａと、不揮発性記憶部３３に格納された基準位置情報（座標値）と２値化部３２で生成された太陽電池セル２上における導電性接着フィルム１７の位置情報（座標値）とを照合する照合部３４ｂと、照合の結果、位置ズレ量が所定の範囲内であるか判定する判定部３４ｃとからなる。照合部３４ｂは、２値化データエリア３４ａに記憶された太陽電池セル２の座標と不揮発性記憶部３３に記憶されている対応する座標との各２値化情報を対比し、導電性接着フィルム１７の貼着位置が不揮発性記憶部３３に記憶されている所定の位置からどの程度ずれているかを算出する。判定部３４ｃは、照合部３４ｂによって算出されたズレ量が、所定の許容値以内か否かを判定する。
【００５６】
制御部３５は、太陽電池セル２に導電性接着フィルム１７が仮貼りされると、撮像部３１によって導電性接着フィルム１７が仮貼りされた太陽電池セル２の表面（受光面及び裏面）を撮像し、２値化部３２によって太陽電池セル２表面の２値化画像データ（座標値）を生成する。
【００５７】
次いで、制御部３５は、位置ズレ検出部３４によって、導電性接着フィルム１７の位置情報（座標値）と、不揮発性記憶部３３に予め記憶されている適正に仮貼りされた導電性接着フィルム１７の基準位置情報（座標値）とを照合する。そして、制御部３５は、照合結果を元に判定部３４ｃによって位置ズレの量が所定の範囲か否かを判定する。
【００５８】
判定の結果、導電性接着フィルム１７の仮貼り位置がズレていないか、ズレ量が所定の範囲内である太陽電池セル２は、適正に仮貼りされたものとしてタブ線３の接続工程に付され、ズレ量が所定の範囲を超えている太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７を剥がし、再度仮貼りするリペア工程に付される。
【００５９】
図９に、太陽電池セル２の２値化画像の一例を示す。図９（ａ）に示すように、太陽電池セル２の受光面側において、２本のバスバー電極１１が設けられ、各バスバー電極１１上に導電性接着フィルム１７が仮貼りされた状態では、フィンガー電極１２及び導電性接着フィルム１７が白く変換され、受光面のその他の領域は黒く反転される。また、図９（ｂ）に示すように、太陽電池セル２の裏面においては、ＡｌあるいはＡｇからなる裏面電極１３が全面に亘って形成され、タブ線接続部１４上に２本の導電性接着フィルム１７が仮貼りされた状態では、導電性接着フィルム１７が黒く変換され、裏面のその他の領域は白く変換される。
【００６０】
制御部３５は、照合部３４ｂにおいて、２値化データエリア３４ａに格納されたデータ及び不揮発性記憶部３３に記憶されている２値化画像データのうち、導電性接着フィルム１７が仮貼りされる領域及びその周辺の画素に注目し、当該注目画素における座標及び当該座標に対応付けられた２値化情報を対比し、ズレ量を算出する。そして、制御部３５は、判定部３４ｃにおいて、ズレ量が所定の範囲にあるか否かを判定し、ズレ量が所定の範囲内である太陽電池セル２は、適正に仮貼りされたものとしてタブ線３の接続工程に付される。
【００６１】
［タブ線接続工程］
導電性接着フィルム１７が適正に仮貼りされた太陽電池セル２は、所定の長さにカットされたタブ線３が導電性接着フィルム１７上に重畳配置される。その後、導電性接着フィルム１７は、タブ線３の上から加熱ボンダーによって所定の温度、圧力で熱加圧されることにより、余剰のバインダー樹脂２２が各電極１１，１３とタブ線３との間より流出されるとともに導電性粒子２３がタブ線３と各電極１１，１３との間で挟持され、この状態でバインダー樹脂２２が硬化する。これにより、導電性接着フィルム１７は、タブ線３を各電極上に接着させると共に、導電性粒子２３がバスバー電極１１や裏面電極１３に接触し導通接続させることができる。
【００６２】
このようにして、太陽電池セル２を順次タブ線３によって接続し、ストリングス４、マトリクス５を形成していく。次いで、マトリクス５を構成する複数の太陽電池セル２は、ガラス、透光性プラスチックなどの透光性を有する表面カバー７と、ガラスやＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate）フィルム等からなるバックシート８との間に、エチレンビニルアセテート樹脂（ＥＶＡ）等の透光性を有する封止材のシート６により封止される。最後に、周囲にアルミニウムなどの金属フレーム９が取り付けられることにより太陽電池モジュール１が形成される。
【００６３】
［バスバーレス］
なお、太陽電池モジュール１は、上述したように、太陽電池セル２の受光面側にフィンガー電極１２と略直交するバスバー電極１１を設け、当該バスバー電極１１上に導電性接着フィルム１７及びタブ線３を積層させる構成の他、バスバー電極１１を設けることなく、フィンガー電極１２と直交するように導電性接着フィルム１７及びタブ線３を積層させるいわゆるバスバーレス構造としてもよい。
【００６４】
［一括ラミネート］
また、太陽電池モジュール１は、上述したように太陽電池セル２の各電極１１，１３上に導電性接着フィルム１７及びタブ線３を配置した後、加熱ボンダーによってタブ線３上を熱加圧させる工法の他、太陽電池セル２の表面及び裏面に導電性接着フィルム１７、タブ線３及び太陽電池セル２を封止するＥＶＡ等の透光性封止材シートを順次積層させ、減圧ラミネータを用いて一括してラミネート処理を行うことにより、タブ線３を各電極１１，１３上に熱加圧してもよい。
【００６５】
［本発明の効果］
本発明によれば、タブ線３の接続前に、導電性接着フィルム１７の位置ズレの有無を検出するため、タブ線３を導電性接着フィルム１７に完全に重畳させて接続することができる。これにより、太陽電池モジュール１は、タブ線３とバスバー電極１１あるいはタブ線接続部１４との接着面積を確保し、機械的な接続強度や、電気的な接続信頼性を維持することができ、またストリングの歩留まりを向上させることができる。
【００６６】
また、本発明によれば、タブ線３の接続前に導電性接着フィルム１７の位置ズレの有無を検出し、許容量を超える位置ズレが生じた場合にはリペア工程に付すことができ、位置ズレが生じた状態でタブ線３の接続を行うこともない。
【実施例１】
【００６７】
次いで、２値化画像を用いた導電性接着フィルムの位置ズレ検査において、画像処理されたときに太陽電池セル２の接着面の色と異なる色として識別される色である導電性接着フィルム１７を用いた場合と、その他の導電性接着フィルムを用いた場合とを対比した実施例について説明する。
【００６８】
この位置ズレ検査は、太陽電池セルの受光面及び裏面に導電性接着フィルムを仮貼りし、上述したように、導電性接着フィルムが仮貼りされた太陽電池セルの画像データを２値化処理し、各座標及び座標に対応付けられた２値化情報を求め、適正に仮貼りされた導電性接着フィルムの基準位置情報と対比することにより位置ズレ量を求めるものである。本実施例では、２本の導電性接着フィルムの一方を適正な仮貼り位置に、他方を適正な仮貼り位置よりズレた位置に仮貼りし、位置ズレを検出できるか否か検証した。
【００６９】
太陽電池セルは、６インチの多結晶シリコンセルを用い、各導電性接着フィルムの熱加圧条件は、１８０℃、１５秒、２ＭＰａである。各導電性接着フィルムは、エポキシ樹脂と線材硬化剤を有機溶剤で溶解した混合液に導電性粒子を均一に分散させた樹脂生成用溶液を剥離基材上に一定の厚み（乾燥後２５μｍ）に塗布し、乾燥させることにより作成した。また各導電性接着フィルムのサイズは、２ｍｍ×１５０ｍｍとした。
【００７０】
実施例１では、画像処理されたときに太陽電池セル２の接着面の色と異なる色として識別される色である導電性接着フィルム１７を用いた。すなわち、太陽電池セル２の受光面側に仮貼りされる導電性接着フィルム１７は樹脂生成用溶液に酸化チタンや酸化亜鉛を添加し白系に着色され、裏面に仮貼りされる導電性接着フィルム１７は樹脂生成用溶液にカーボンブラックを添加し黒系に着色されている。
【００７１】
比較例１では、なんら着色処理をしていない従来の導電性接着フィルム１８を用いた。比較例１の導電性接着フィルム１８は半透明である。
【００７２】
比較例２では、樹脂生成用溶液に酸化チタンや酸化亜鉛を添加し白色に着色した導電性接着フィルム１９を用いた。
【００７３】
比較例３では、樹脂生成用溶液にカーボンブラックを添加し黒色に着色した導電性接着フィルム２０を用いた。
【００７４】
検出結果を表１に示すとともに、図１０〜図１４に、実施例及び各比較例に係る２値化画像を示す。
【００７５】
【表１】
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図１０に実施例１にかかる太陽電池セルの２値化画像を示す。実施例１では、受光面においては黒に変換された受光面に対して導電性接着フィルムが白く変換され（図１０（Ａ））、裏面においては白く変換された裏面に対して導電性接着フィルムが黒く変換される（図１０（Ｂ））。したがって、実施例１は、適正な仮貼り位置周辺を含む注目画素における２値化データの対比、判定を確実に行うことができる。
【００７６】
すなわち、図１０（Ａ）に示すように、受光面において、左側の導電性接着フィルム１７は適正な位置に仮貼りされていることがわかる。一方、右側の導電性接着フィルム１７は適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされているため、白く変換されたバスバー電極１１が露出している。このため、本来は黒に変換されるべき座標が白く変換されていることから、導電性接着フィルム１７が適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされていることがわかる。
【００７７】
また、図１０（Ｂ）に示すように、裏面においても、適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされている場合は、本来は白に変換されるべき座標が導電性接着フィルム１７によって黒く変換され、黒に変換されるべき座標が裏面電極１３によって白く変換されることから、導電性接着フィルム１７が適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされていることがわかる。
【００７８】
また、実施例１にかかる導電性接着フィルム１７を用いることにより、バスバー電極１２を有しない、いわゆるバスバーレス構造の太陽電池セルにおいても、仮貼り位置からのズレが容易に分かる。すなわち、図１１（Ａ）に示すように、受光面において、適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされている場合は、本来は白に変換されるべき座標が受光面によって黒く変換され、黒に変換されるべき座標が導電性接着フィルム１７によって白く変換されることから、導電性接着フィルム１７が適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされていることがわかる。
【００７９】
また、図１１（Ｂ）に示すように、裏面においても、適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされている場合は、本来は白に変換されるべき座標が導電性接着フィルム１７によって黒く変換され、黒に変換されるべき座標が裏面電極１３によって白く変換されることから、導電性接着フィルム１７が適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされていることがわかる。
【００８０】
図１２に比較例１にかかる太陽電池セルの２値化画像を示す。図１２（Ａ）に示すように、比較例１では、導電性接着フィルム１８が半透明であるため、２値化されることにより黒く変換される。このため、受光面側では、導電性接着フィルム１８と太陽電池セルの受光面とを区別できず、位置ズレの有無や量を検出することができなかった。
【００８１】
図１３に比較例２にかかる太陽電池セルの２値化画像を示す。図１３（Ｂ）に示すように、比較例２では、導電性接着フィルム１９が２値化されることにより白く変換されるように着色されているため、裏面側では、導電性接着フィルム１９と太陽電池セルの裏面電極１３とを区別できず、位置ズレの有無や量を検出することができなかった。
【００８２】
図１４に比較例３にかかる太陽電池セルの２値化画像を示す。図１４（Ａ）に示すように、比較例３では、導電性接着フィルム２０が２値化されることにより黒く変換されるように着色されているため、受光面側では、導電性接着フィルム２０と太陽電池セルの受光面とを区別できず、位置ズレの有無や量を検出することができなかった。特にバスバーレス構造の太陽電池セル２においては、白く変換されるバスバー電極１２が設けられていないため、バスバー電極１２との相対的な位置関係より位置ズレの量を検出することもできない。
【００８３】
［タブ線の仮貼り位置の検査］
また、他の実施の形態として、図１５に示すように、太陽電池セル２に導電性接着フィルム１７を仮貼りし、導電性接着フィルム１７上にタブ線３を仮貼りした後、本圧着する前に貼着位置の検査を行ってもよい。すなわち、太陽電池モジュール１は、図１５に示すように、導電性接着フィルム１７を製造し（ステップＳ１１）、導電性接着フィルム１７を太陽電池セル２の受光面及び裏面に仮貼りした後（ステップＳ１２）、複数の太陽電池セル２間に亘ってタブ線３が仮貼りされ、ストリングス４が形成される（ステップＳ１３）。その後、貼着位置の検査工程に付され（ステップＳ１４）、貼着位置の検査によって位置ズレが検出された場合はリペア工程に付され（ステップＳ１５）、再度導電性接着フィルム１７が仮貼りされる。また、位置ズレが検出されなかった場合は、タブ線３上より熱加圧されることにより導電性接着フィルム１７を介してタブ線３と太陽電池セル２の各電極とが本厚着され（ステップＳ１６）、ＥＶＡ等の封止材シートによって、表面カバー７及びバックシート８の間に封止されることにより（ステップＳ１７）、太陽電池モジュール１が製造される。
【００８４】
ここで、タブ線３は、ハンダ等によってコーティングされることにより２値化されると白色に変換され、また、導電性接着フィルム１７の幅以上の幅に形成されている。
【００８５】
太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７及びタブ線３がいずれも適正な位置に仮貼りされている場合、受光面側においては、タブ線３のみが写る。したがって、このタブ線３の位置情報（座標値）とタブ線３が適正な仮貼り位置に仮貼りされたときのタブ線３の基準位置情報（座標値）とがほぼ一致することで導電性接着フィルム１７及びタブ線３がいずれも適正な位置に仮貼りされていることがわかる。
【００８６】
一方、太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７又はタブ線３のいずれかが適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされている場合、受光面側においては、白色に変換されたタブ線３及び導電性接着フィルム１７の幅が所定の幅よりも広がる。したがって、これらタブ線３及び導電性接着フィルム１７の位置情報（座標値）とタブ線３が適正な仮貼り位置に仮貼りされたときのタブ線３の基準位置情報（座標値）とが一致せず、貼りズレが生じていることがわかる。
【００８７】
また、太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７及びタブ線３がいずれも適正な位置に仮貼りされている場合、裏面側においては、導電性接着フィルム１７がタブ線３によって覆われ、裏面前面が白く変換される。したがって、このタブ線３の位置情報（座標値）とタブ線３が適正な仮貼り位置に仮貼りされたときのタブ線３の基準位置情報（座標値）とが一致することで導電性接着フィルム１７及びタブ線３がいずれも適正な位置に仮貼りされていることがわかる。
【００８８】
一方、太陽電池セル２は、導電性接着フィルム１７又はタブ線３のいずれかが適正な仮貼り位置よりズレて仮貼りされている場合、裏面側においては、黒く変換された導電性接着フィルム１７が露出する。したがって、これらタブ線３及び導電性接着フィルム１７の位置情報（座標値）とタブ線３が適正な仮貼り位置に仮貼りされたときのタブ線３の基準位置情報（座標値）とが一致せず、貼りズレが生じていることがわかる。
【００８９】
照合の結果、タブ線３及び導電性接着フィルム１７が適正な仮貼り位置に仮貼りされている場合には、太陽電池セル２は、タブ線３の本圧着工程に移る。照合の結果、タブ線３が適正な仮貼り位置に仮貼りされていない場合には、太陽電池セル２は、タブ線３を張り直すリペア工程に付される。
【００９０】
なお、タブ線３を仮貼りした後、本圧着する前に貼着位置の検査を行う場合、タブ線３を太陽電池セル２の受光面、裏面及び導電性接着フィルム１７と異なる色の材料でコーティングすると共に、タブ線３が仮貼りされた太陽電池セル２の表面画像の輝度ないし色差に基づいて３値化データを生成し、予め登録されている基準データと照合してもよい。このように、導電性接着フィルム１７とタブ線３と太陽電池セル２表面のその他の領域とを識別し、基準データの座標値と照合することで、導電性接着フィルム１７とタブ線３のいずれが、どの程度ズレて仮貼りされているかを判定することができる。
【００９１】
貼着位置の検査の結果、太陽電池セル２は、タブ線３及び導電性接着フィルム１７のいずれも適正な位置に仮貼りされている場合は、タブ線３の本圧着工程に付される。本圧着工程では、加熱ボンダーによってタブ線３上を熱加圧させる工法の他、太陽電池セル２の表面及び裏面に太陽電池セル２を封止するＥＶＡ等の透光性封止材シートを順次積層させ、減圧ラミネータを用いて一括してラミネート処理を行うことにより、タブ線３を各電極１１，１３上に熱加圧してもよい。
【００９２】
［両面受光タイプ］
また、本実施の形態に係る太陽電池モジュールでは、太陽電池セルの両面が受光面となるいわゆる両面受光タイプの太陽電池セルに適用することもできる。
【符号の説明】
【００９３】
１  太陽電池モジュール、２  太陽電池セル、３  タブ線、４  ストリングス、５  マトリクス、６  シート、７  表面カバー、８  バックシート、９  金属フレーム、１０  光電変換素子、１１  バスバー電極、１２  フィンガー電極、１３  裏面電極、１４  タブ線接続部、１７  導電性接着フィルム、２２  バインダー樹脂、２３  導電性粒子、２４  剥離基材、２５  リール、３０  貼着位置検査装置、３１  撮像部
【図１】
0005816466.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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