(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の少なくとも一方の面に、樹脂からなる複数のレンズ部が２次元的に配置されたウエハレンズの少なくとも一方の面に、複数の開口部を有するスペーサーが接合されたスペーサー付ウエハレンズにおいて、前記スペーサーは、ガラス繊維強化樹脂、フィラー強化樹脂、および有機−シリカハイブリッドのいずれかで形成されており、前記レンズ部の光軸が該スペーサーの開口部を貫くように配置され、前記スペーサーの曲げ弾性率が２ＧＰａ以上、７ＧＰａ以下であることを特徴とするスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項２】
前記スペーサーは、エポキシ樹脂−シリカハイブリッドまたはアクリル−シリカハイブリッドで形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項３】
前記スペーサーの厚みが０．１ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項４】
前記スペーサーの光透過率が、波長３５０ｎｍで、３０％以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項５】
前記複数のレンズ部が前記基板の両面にそれぞれ配置され、両面の前記レンズ部が実質的に共通の光軸を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項６】
前記レンズ部の光軸が貫く開口を有する絞りを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項７】
ＩＲカット層を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズから前記レンズ部の光軸と平行な面で切り出された撮像用レンズであって、少なくとも前記基板の一方の面に該レンズ部および前記スペーサーが配置されたことを特徴とする撮像用レンズ。
【請求項９】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズを第２ウエハレンズとし、第１基板に硬化性樹脂を含有する複数のレンズ部が２次元的に配置された第１ウエハレンズおよび前記第２ウエハレンズとが積層されたウエハレンズ積層体であって、第１ウエハレンズが第２ウエハレンズの前記スペーサーとは反対の面に積層されていることを特徴とするウエハレンズ積層体。
【請求項１０】
第１ウエハレンズと第２ウエハレンズの間にスペーサーを有することを特徴とする請求項９に記載のウエハレンズ積層体。
【請求項１１】
前記第１ウエハレンズおよび前記第２ウエハレンズがそれぞれ、前記絞りを有することを特徴とする請求項９または１０に記載のウエハレンズ積層体。
【請求項１２】
前記第１ウエハレンズがＩＲカット層を有することを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項に記載のウエハレンズ積層体。
【請求項１３】
請求項９〜１２のいずれか１項に記載のウエハレンズ積層体から光軸と平行な面で切り出された撮像用レンズであって、少なくとも１つのレンズ部を有する第１基板、前記レンズ部と共通の光軸を有するレンズ部を有する第２基板及びスペーサーを有することを特徴とする撮像用レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は樹脂製の光学素子からなる撮像用レンズ、個片化することにより撮像用レンズを製造するためのスペーサー付ウエハレンズ及びウエハレンズ積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学レンズの製造分野においては、ガラス平板に熱硬化性樹脂等の硬化性樹脂からなるレンズ部（光学素子）を設けることで、耐熱性の高い撮像用レンズを得る技術が検討されている。
【０００３】
このような撮像用レンズを工業的に製造する方法として、ガラス平板に硬化性樹脂を塗布して、レンズを成形するための形状が２次元的に多数設けられた型を型押しして硬化させることにより、多数のレンズ部が２次元的に配置されたウエハレンズを形成し、このウエハレンズをレンズ部の光軸と平行な面で断裁することにより、個片化された撮像用レンズを得る方法が提案されている。このような製造方法においては、ウエハレンズを作業台に設置し断裁する際に、レンズ部が作業台に接触してレンズ部を傷つけることが無いように、予めレンズ部に対応する位置に開口を設けたスペーサーを、その開口縁でレンズ部を囲むように、ガラス平板のレンズ部形成面に接着する工程を採用することが出来る。
【０００４】
また、複数のウエハレンズのレンズ部を対向させて積層することにより、ウエハレンズ積層体を作製する場合に、対向するレンズ部どうしが接触しないように両方のウエハレンズの間にスペーサーを挟んで接着することでウエハレンズ積層体を作製し、こうして得られたウエハレンズ積層体を切断して個片化し、上下方向に積層された複数のレンズ部を１セットとする、複数の基板を有する撮像用レンズを製造することも提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
なお、光学部材において形成された層の密着性を向上させるための技術としては特許文献２にあるように光学部材の表面での反射を抑制するための反射防止膜と、それを形成する基材との間にシランカップリング剤を含む層を設けることで、反射防止膜の基材に対する密着性を高める技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−３０１０６１号公報
【特許文献２】特開２０００−２４１６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したようなウエハレンズまたはウエハレンズ積層体をレンズ部毎に切断する場合、本発明者の検討によれば、基板からレンズ部が剥離する事があり、さらに基板に一体的に絞りを形成した場合には、これに加えてレンズ部と絞りを形成した基板、基板と絞り、各々の界面での切断による剥離の問題が更に生ずることがあることが判明した。
【０００８】
切断時の剥離を防止するために、基板とレンズ部の間における密着力の改善をはかること、また絞りを有する場合には、レンズ部と絞りの間および絞りと基板の間の各層間の密着力を改善することが考えられる。
【０００９】
本発明者の検討によれば、基板と樹脂層との密着性を向上するため、またスペーサーと樹脂層との密着性を向上するために、特許文献２に示されるように、基板にシランカップリング剤処理を行い、スペーサーにシランカップリング剤処理を行ったとしても、ダイシングの際の剥離の改善は不十分である。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ウエハレンズおよびウエハレンズ積層体を切断してレンズ部毎に個片化し撮像用レンズを製造する際に、ウエハレンズの下部、ウエハレンズ間に規定の弾性率のスペーサーを貼り付け、ダイシング時に発生する応力を緩和させ、ウエハレンズの各層間およびウエハレンズとスペーサーとの間の剥離および割れを防止することを目的とする。
【００１１】
また前記ウエハレンズおよびウエハレンズ積層体が絞りを有する場合、絞りが基板から剥離するのを防止し、レンズ部が絞りおよび基板から剥離することを防止しすることを目的とする。また本発明は前記剥離による故障のないスペーサー付ウエハレンズ、ウエハレンズ積層体、撮像用レンズを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題は以下の手段により解決される。
【００１３】
１．基板の少なくとも一方の面に、樹脂からなる複数のレンズ部が２次元的に配置されたウエハレンズの少なくとも一方の面に、複数の開口部を有するスペーサーが接合されたスペーサー付ウエハレンズにおいて、前記スペーサーは、ガラス繊維強化樹脂、フィラー強化樹脂、および有機−シリカハイブリッドのいずれかで形成されており、前記レンズ部の光軸が該スペーサーの開口部を貫くように配置され、前記スペーサーの曲げ弾性率が２ＧＰａ以上、７ＧＰａ以下であることを特徴とするスペーサー付ウエハレンズ。
【００１４】
２．前記スペーサーは、エポキシ樹脂−シリカハイブリッドまたはアクリル−シリカハイブリッドで形成されていることを特徴とする前記１に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００１５】
３．前記スペーサーの厚みが０．１ｍｍ以上、０．８ｍｍ以下であることを特徴とする前記１または２に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００１６】
４．前記スペーサーの光透過率が、波長３５０ｎｍで、３０％以上であることを特徴とする前記１〜３のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００１７】
５．前記複数のレンズ部が前記基板の両面にそれぞれ配置され、両面の前記レンズ部が実質的に共通の光軸を有することを特徴とする前記１〜４のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００１８】
６．前記レンズ部の光軸が貫く開口を有する絞りを有することを特徴とする前記１〜５のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００１９】
７．ＩＲカット層を有することを特徴とする前記１〜６のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズ。
【００２０】
８．前記１〜７のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズから前記レンズ部の光軸と平行な面で切り出された撮像用レンズであって、少なくとも前記基板の一方の面に該レンズ部および前記スペーサーが配置されたことを特徴とする撮像用レンズ。
【００２１】
９．前記１〜７のいずれか１項に記載のスペーサー付ウエハレンズを第２ウエハレンズとし、第１基板に硬化性樹脂を含有する複数のレンズ部が２次元的に配置された第１ウエハレンズおよび前記第２ウエハレンズとが積層されたウエハレンズ積層体であって、第１ウエハレンズが第２ウエハレンズの前記スペーサーとは反対の面に積層されていることを特徴とするウエハレンズ積層体。
【００２２】
１０．第１ウエハレンズと第２ウエハレンズの間にスペーサーを有することを特徴とする前記９に記載のウエハレンズ積層体。
【００２３】
１１．前記第１ウエハレンズおよび前記第２ウエハレンズがそれぞれ、前記絞りを有することを特徴とする前記９または１０に記載のウエハレンズ積層体。
【００２４】
１２．前記第１ウエハレンズがＩＲカット層を有することを特徴とする前記９〜１１のいずれか１項に記載のウエハレンズ積層体。
【００２５】
１３．前記９〜１２のいずれか１項に記載のウエハレンズ積層体から光軸と平行な面で切り出された撮像用レンズであって、少なくとも１つのレンズ部を有する第１基板、前記レンズ部と共通の光軸を有するレンズ部を有する第２基板及びスペーサーを有することを特徴とする撮像用レンズ。
【発明の効果】
【００２６】
スペーサーが接合されたウエハレンズおよびウエハレンズ積層体を切断してレンズ部毎に個片化し撮像用レンズを製造する際に、ウエハレンズの各層間およびウエハレンズとスペーサーとの間の剥離および割れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】ウエハレンズの一実施形態の断面図である。
【図２】（ａ）スペーサー付ウエハレンズの１実施形態の模式的な斜視分解図である。（ｂ）スペーサー付ウエハレンズの１実施形態の外観図である。
【図３】ウエハレンズの作製方法を示す図である。
【図４】（ａ）ウエハレンズにスペーサーを接着する工程を示す図である。（ｂ）ダイシングを行う前の状態を示す図である。
【図５】他の実施形態に用いられる基板であって、絞りが形成された後の構成を示す断面図である。
【図６】（ａ）ウエハレンズにスペーサーを接合する工程を示す図である。（ｂ）ダイシングを行う前の状態を示す図である。
【図７】第１ウエハレンズと第２ウエハレンズがスペーサーを介して積層されたウエハレンズ積層体の一実施形態の断面図である。
【図８】ダイシングを行う前のウエハレンズ積層体の一実施形態の断面図である。
【図９】ウエハレンズの他の一実施形態の断面図であり、（ａ）は第１ウエハレンズの断面図を、（ｂ）は第２ウエハレンズの断面図を、（ｃ）は第１ウエハレンズのスペーサー部と第２ウエハレンズのスペーサー部を接着して積層したウエハレンズ積層体の断面図である。
【図１０】（ａ）スペーサー付ウエハレンズから切り出された撮像用レンズの一実施形態の断面図である。（ｂ）ウエハレンズ積層体から切り出された撮像用レンズの一実施形態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００２９】
（ウエハレンズ）
本実施形態のウエハレンズ１は図１に示すように、基板上に複数のレンズ部４２、５２が形成された構造を有する。後述するように、ウエハレンズ１を光軸と平行（基板面と垂直）な面で切断して個々のレンズ部に分割することにより、撮像用レンズを作製できる。なお、本実施形態では基板の両面にレンズ部を有するウエハレンズを例として説明するが、基板の片面のみにレンズ部を有するウエアレンズであっても構わない。
【００３０】
図１に示す通り、ウエハレンズ１は主にガラス基板１０、ＩＲカット層１２、絞り２０，３０、樹脂部４０，５０で構成されている。図１は図２（ｂ）のＩ−Ｉ線断面図（Ｉ−Ｉ線が２個のレンズ部を通る）からスペーサーを省略した図である。
【００３１】
基板１０はウエハレンズ１の中央部に配置されており、基板１０の上にはＩＲカット層１２と遮光層２０とが形成されており、基板１０の下には遮光層３０が形成されている。各遮光層２０、３０には後述するように部分的に開口が形成されており、絞りとして機能する。基板１０の上部には樹脂部４０が形成されており、樹脂部４０は絞り２０の上面及び開口部を覆っている。基板１０の下部には樹脂部５０が形成されており、樹脂部５０は絞り３０の下面及び開口部を覆っている。
【００３２】
図２（ａ）はウエハレンズ１にスペーサーを接着して作製したスペーサー付ウエハレンズの層構成を示す模式的な斜視分解図である。なお、図２（ａ）ではＩＲカット層１２は図示を省略している。絞り２０，３０はウエハレンズ１に対する光量調整を行う要素である。絞り２０，３０は、遮光性の材料で構成されており、基板１０の上面と下面とにそれぞれ成膜されている。
【００３３】
絞り２０には円形状を呈する複数の開口部２２が形成され、絞り３０には円形状を呈する複数の開口部３２が形成されている。
【００３４】
樹脂部４０には複数のレンズ部４２がアレイ状に並んで形成されている。レンズ部４２は上側に凸状を呈した部位であり、その表面が光学面となっている。樹脂部５０にも複数のレンズ部５２がアレイ状に並んで形成されている。レンズ部５２は下側に凸状を呈した部位であり、その表面が光学面となっている。
【００３５】
以上のウエハレンズ１では、図２（ａ）において、上から順にレンズ部４２，開口部２２，開口３２，レンズ部５２が上下方向において対応した位置に配置されており、レンズ部４２とレンズ部３２とは共通の光軸を有している。これらを平面視した場合にすべてその位置が一致している。
【００３６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）のパーツを積層した状態を示す外観図である。
【００３７】
次に、ウエハレンズ１の製造方法について説明する。
【００３８】
まず、基板１０の片面に、真空蒸着、スパッタなどを用いて、ＩＲカット層１２を設ける。そして、図３（ａ）に示す通り、公知のフォトエッチング技術を用いて基板１０のＩＲカット層１２上に絞り２０を形成する。詳しくは、基板１０に対して、蒸着やスパッタリング等の方法で不透明な金属膜を成膜し、その後フォトレジスト工程により金属膜に開口（光透過部）２２を形成する方法等がある。暗色のフォトレジストで成膜を行い、フォトレジスト工程で開口を形成することにより、フォトレジスト自体で絞りを形成するようにしてもよい。
【００３９】
その後、図３（ｂ）に示す通り、ガラス基板１０上に未硬化の硬化性樹脂を載置しておいて上方から成形型６０を押圧し、成形型６０のキャビティ６２に未硬化の硬化性樹脂を充填する。
【００４０】
その後、図３（ｂ）に示す通り、成形型６０の上方から光照射する。成形型６０は硬化性樹脂を硬化させる波長の光を透過する透光性を有しており、その光が成形型６０を透過して未硬化の硬化性樹脂に入射し、硬化性樹脂が硬化する。その結果、樹脂部４０（レンズ部４２を含む）が形成される。
【００４１】
その後、樹脂部４０が形成されたガラス基板１０を成形型６０から離型して裏返し、図３（ｃ）に示す通り、ガラス基板１０の他方の面に公知のリフトオフ技術や印刷法等を用いて絞り３０を形成する。
【００４２】
その後、図３（ｄ）に示す通り、ガラス基板１０上に未硬化の硬化性樹脂を載置しておいて上方から成形型８０を押圧し、成形型８０のキャビティ８２に未硬化の硬化性樹脂を充填する。
【００４３】
その後、成形型８０のキャビティ８２に未硬化の硬化性樹脂を充填した状態で上方から光照射する。成形型８０も成形型６０と同様に透光性であるから、その光が成形型８０を透過して未硬化の硬化性樹脂に入射し、硬化性樹脂が硬化する。その結果、樹脂部５０（レンズ部５２を含む）が形成される。
【００４４】
その後、樹脂部５０が形成されたガラス基板１０を形成型８０から離型し、ウエハレンズ１が製造される。
【００４５】
図３（ａ）〜（ｄ）の工程の後に、図４（ａ）に示す通り、ウエハレンズ１の樹脂部５０の上面又はスペーサー１４０の下面に接着剤１４２を塗布し、ウエハレンズ１に対しスペーサー１４０を載置する。その後、スペーサー１４０の側から光を照射して接着剤１４２を硬化させ、スペーサー１４０をウエハレンズ１に固定し、スペーサー付ウエハレンズ６を作製する。
【００４６】
スペーサーが固定されたスペーサー付ウエハレンズ６は、裏返してスペーサー１４０を下にして作業台に設置され、上からダイサーにより個々のレンズ部間に位置する切断線１７０に沿って切断されることにより、絞りとともに切断され、個片の撮像用レンズに分割される。
【００４７】
図１の絞り２０の代わりに、図５に示すように、スペーサーの接着位置に絞り部材の無い領域を設けた絞り１２０、１３０を設けた基板を用いることも出来る。この場合、絞り１２０、１３０を設けた基板を用いて作製したウエハレンズ３に、図６（ａ）に示すように、スペーサー１４０を接着し、光照射して接着剤１４２を硬化し、スペーサー付ウエハレンズ６を作製する。
【００４８】
光照射は、スペーサー１４０の側から行ってもよいし、ウエハレンズ３の側から行ってもよいし、両側から行ってもよい。なお、図５においては、基板１０の両面にＩＲカット層１２、１３を設けているが、基板の片面のみに設けるようにしてもよい。また、後述するように複数のウエハレンズを積層したウエハレンズ積層体の場合は、別のウエハレンズにＩＲカット層が設けられている場合は、ＩＲカット層を省略することもできる。
【００４９】
その後、図６（ｂ）に示すように、スペーサー１４０を下にして作業台に載置し、上からダイサーにより個々のレンズ部間に位置する切断線１７１に沿って切断されることにより、絞りを切断することなくスペーサー付ウエハレンズが切断され、個片の撮像用レンズに分割される。ここで、ウエハレンズ３の絞りの無い部分７３、８３内をダイシングすることにより、絞りと基板との密着性が低い場合などに、その部分での剥離や割れを低減することができる。
【００５０】
（ウエハレンズ積層体）
本実施形態のウエハレンズ積層体１００の断面図を図７に示す。ウエハレンズ積層体１００はスペーサー付ウエハレンズ６（第２ウエハレンズ）およびウエハレンズ２（第１ウエハレンズ）が、接着剤１５２、スペーサー１５０および接着剤１５４を介して接合された構造を有する。
【００５１】
第２ウエハレンズであるスペーサー付ウエハレンズ６は、図６に示したウエハレンズ３にスペーサー１４０が接着剤１４２を介して接合されたものである。但し、基板１０上にＩＲカット層は設けられていない。
【００５２】
第１ウエハレンズであるウエハレンズも図６に示したウエハレンズ３と類似した構成を持つものであり、基板１０の両面に設けられた絞り１２０、１３０を有しており、絞り１２０、１３０はスペーサーの接着領域に絞り部材を有していない形態である。基板１０の両面にはレンズ部４２、５２を有する樹脂部４０、５０が硬化性樹脂により形成されている。ＩＲカット層１２は基板１０の片面のみに設けられている。
【００５３】
以下にウエハレンズ積層体１００の作製方法について説明する。
【００５４】
まず、図５で説明したのと同様の手順でウエハレンズ３を作製し、更に図６（ａ）で説明した同様の手順でスペーサー１４０を接着して、スペーサー付ウエハレンズ６を作製する。
【００５５】
第２ウエハレンズには、図１のウエハレンズ１（スペーサーの接着領域に絞り部材を有する形態）を用いることも可能であるが、スペーサーの接着領域に絞り部材を有しない形態を持つウエハレンズを用いた方が、個片の撮像用レンズに切り分けるときに絞りの無い部分をダイシングすることになり、剥離や割れの低減に有利である。
【００５６】
図７において、ウエハレンズ２（第１ウエハレンズ）にも前記第２ウエハレンズと同様に、スペーサー１５０を接着剤１５２で接合する。
【００５７】
前記第１ウエハレンズのスペーサー１５０と前記第２ウエハレンズの絞りの無い領域８３の樹脂部５０の非レンズ部とを接着剤１５４を介して貼合し、第１ウエハレンズ側から光を照射することにより接着剤を硬化し、図７に示すウエハレンズ積層体１００を作製する。
【００５８】
なお、接着には光硬化型の接着剤を用いたが、第１ウエハレンズの絞りはスペーサーの接着部分が透明であり、照射光が第１ウエハレンズの絞りにより遮蔽されないため、速やかに接着剤が硬化する。
【００５９】
光照射は第１ウエハレンズ側から行われるため、第２ウエハレンズはスペーサーの接着部分において絞りが存在しても接着剤の硬化に支障は無い。このため、図１のウエハレンズ１を第２ウエハレンズとしてもよいが、上述したように、ダイシングによる剥離や割れ低減の観点からは、スペーサーの接着領域に絞り部材を有しないウエハレンズ３を用いることが好ましい。
【００６０】
（撮像用レンズ）
撮像用レンズは、基板の少なくとも一方の面に硬化性樹脂を有するレンズ部を有し、被写体を結像することが可能なレンズであり、少なくとも基板の一方の面に開口部を有するスペーサーを有し、レンズ部の光軸が開口部を貫くようにスペーサーが配置されている。
【００６１】
撮像用レンズは１本の光軸を共有する複数のレンズ部を有することが好ましく、１枚の基板の両面にレンズ部を有する構造でもよく、またレンズ部を有する複数の基板を積層した構造であっても良い。
【００６２】
例えば１枚の基板の両面にレンズ部を有する構造の撮像用レンズを作製する場合、図６（ｂ）のウエハレンズのスペーサー１４０を作業台に接するように設置し、樹脂部４０側から図６（ｂ）に示した切断線１７１でダイシングする。
【００６３】
また、例えば、図７に示したウエハレンズ積層体から、２枚の基板を積層した構造の撮像用レンズを作製する場合、図８に示すとおり、第２ウエハレンズ側のスペーサー１４０を作業台に接するように設置し、樹脂部４０側から図８に示した切断線１８０でダイシングすることにより個片の撮像用レンズが得られる。
【００６４】
従って、撮像用レンズは少なくとも一方の面にスペーサーを有し、該スペーサーに撮像素子を接合することにより容易に撮像装置を作製することができる。
【００６５】
（ダイシング）
ウエハレンズのダイシングは、従来公知の切断具を用いて行うことが出来るが、例えば、回転刃を用いるダイサーを使用し、刃の回転数を３０００ｒｐｍ〜５００００ｒｐｍ、切断速度１〜１０ｍｍ／ｓｅｃとすることが好ましい。
【００６６】
なお、ダイシング中は、ダイシング部分で粉塵が舞うため、好ましくはダイシング部分に対し防塵用の流体（例えば、純水）を流しながら（噴出しながら）切断することが好ましい。
【００６７】
ウエハレンズのダイシングによってスペーサーも同時にダイシングされるので、スペーサーの弾性率が、高すぎると各部材の剥離、割れによる故障が発生しやすくなり、弾性率が低すぎると切断時の力により変形しやすいので、切断位置の精度が低下する。本実施形態においては、後述するように、スペーサーの曲げ弾性率を所定の範囲に規定することにより、ダイシング時における問題の発生を回避している。
【００６８】
上記により、１枚のウエハレンズまたはウエハレンズ積層体から、図１０（ａ）、（ｂ）に示すような複数のレンズ部が共通する一本の光軸を有する撮像用レンズを複数作製することができる。
【００６９】
（基板）
第１基板、第２基板ともに透明であり、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、セラミックまたはガラスを用いることが出来るが、特にガラスが好ましい。
【００７０】
（樹脂部）
樹脂部にはレンズ部とレンズ部周囲に位置する非レンズ部とが形成されている。樹脂部は透明な硬化性樹脂で構成されている。硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂などが挙げられるが、光硬化性樹脂が好ましい。
【００７１】
樹脂部が光硬化性樹脂から形成される場合、樹脂部は以下の方法で形成される。
【００７２】
硬化性樹脂を樹脂部の成形型（透明）に充填し、ガラス製の基板に押し付け、成形型を通して紫外線を照射する。樹脂が硬化してレンズ部と非レンズ部が形成される。
【００７３】
非レンズ部の厚さは図１に示すようにレンズ部の頂点の厚さより薄くても良いし、図９（ａ）のスペーサー部（非レンズ部）９２および図９（ｂ）のスペーサー部（非レンズ部）９３のようにレンズ部の頂点の厚さより厚い領域を含むようにしても良い。非レンズ部が厚い領域を含む場合、図９（ｃ）のように、第１基板と第２基板との間隔を適切に保つことができ、スペーサーを省略することが可能である。
【００７４】
前記光硬化性樹脂としては、例えば下記に示すようなアクリル樹脂，アリルエステル樹脂，エポキシ系樹脂などが使用可能である。
【００７５】
アクリル樹脂，アリルエステル樹脂を使用する場合にはラジカル重合により反応硬化させることができ、エポキシ樹脂を使用する場合にはカチオン重合により反応硬化させることができる。
【００７６】
樹脂の詳細は下記（１）〜（３）の通りである。
【００７７】
（１）アクリル樹脂
重合反応に用いられる（メタ）アクリレートは特に制限はなく、一般的な製造方法により製造された下記（メタ）アクリレートを使用することができる。エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、エーテル（メタ）アクリレート、アルキル（メタ）アクリレート、アルキレン（メタ）アクリレート、芳香環を有する（メタ）アクリレート、脂環式構造を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。これらを１種類又は２種類以上を用いることができる。
【００７８】
特に脂環式構造を持つ（メタ）アクリレートが好ましく、酸素原子や窒素原子を含む脂環構造であってもよい。例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、シクロペンチル（メタ）アクリレート、シクロヘプチル（メタ）アクリレート、ビシクロヘプチル（メタ）アクリレート、トリシクロデシル（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノール（メタ）アクリレートや、イソボロニル（メタ）アクリレート、水添ビスフェノール類のジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。また特にアダマンタン骨格を持つと好ましい。例えば、２−アルキル−２−アダマンチル（メタ）アクリレート（特開２００２−１９３８８３号公報参照）、アダマンチルジ（メタ）アクリレート（特開昭５７−５００７８５号公報）、アダマンチルジカルボン酸ジアリル（特開昭６０−１００５３７号公報参照）、パーフルオロアダマンチルアクリル酸エステル（特開２００４−１２３６８７号公報参照）、新中村化学製  ２−メチル−２−アダマンチルメタクリレート、１，３−アダマンタンジオールジアクリレート、１，３，５−アダマンタントリオールトリアクリレート、不飽和カルボン酸アダマンチルエステル（特開２０００−１１９２２０号公報参照）、３，３′−ジアルコキシカルボニル−１，１′ビアダマンタン（特開２００１−２５３８３５号公報参照）、１，１′−ビアダマンタン化合物（米国特許第３３４２８８０号明細書参照）、テトラアダマンタン（特開２００６−１６９１７７号公報参照）、２−アルキル−２−ヒドロキシアダマンタン、２−アルキレンアダマンタン、１，３−アダマンタンジカルボン酸ジ−ｔｅｒｔ−ブチル等の芳香環を有しないアダマンタン骨格を有する硬化性樹脂（特開２００１−３２２９５０号公報参照）、ビス（ヒドロキシフェニル）アダマンタン類やビス（グリシジルオキシフェニル）アダマンタン（特開平１１−３５５２２号公報、特開平１０−１３０３７１号公報参照）等が挙げられる。
【００７９】
また、その他反応性単量体を含有することも可能である。（メタ）アクリレートであれば、例えば、メチルアクリレート、メチルメタアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタアクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルメタアクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタアクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタアクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタアクリレート、などが挙げられる。
【００８０】
多官能（メタ）アクリレートとして、例えば、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールセプタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。
【００８１】
（２）アリルエステル樹脂
アリル基を持ちラジカル重合による硬化する樹脂で、例えば次のものが挙げられるが、特に以下のものに限定されるわけではない。
【００８２】
芳香環を含まない臭素含有（メタ）アリルエステル（特開２００３−６６２０１号公報参照）、アリル（メタ）アクリレート（特開平５−２８６８９６号公報参照）、アリルエステル樹脂（特開平５−２８６８９６号公報、特開２００３−６６２０１号公報参照）、アクリル酸エステルとエポキシ基含有不飽和化合物の共重合化合物（特開２００３−１２８７２５号公報参照）、アクリレート化合物（特開２００３−１４７０７２号公報参照）、アクリルエステル化合物（特開２００５−２０６４号公報参照）等が挙げられる。
【００８３】
（３）エポキシ樹脂
エポキシ樹脂としては、エポキシ基を持ち光又は熱により重合硬化するものであれば特に限定されず、硬化開始剤としても酸無水物やカチオン発生剤等を用いることができる。エポキシ樹脂は硬化収縮率が低いため、成形精度の優れたレンズとすることができる点で好ましい。
【００８４】
エポキシの種類としては、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂が挙げられる。その一例として、ビスフェノールＦジグリシジルエーテル、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、２，２′−ビス（４−グリシジルオキシシクロヘキシル）プロパン、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカーボキシレート、ビニルシクロヘキセンジオキシド、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）−５，５−スピロ−（３，４−エポキシシクロヘキサン）−１，３−ジオキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシル）アジペート、１，２−シクロプロパンジカルボン酸ビスグリシジルエステル等を挙げることができる。
【００８５】
硬化剤は硬化性樹脂材料を構成する上で使用されるものであり特に限定はない。
【００８６】
硬化剤としては、酸無水物硬化剤やフェノール硬化剤等を好ましく使用することができる。酸無水物硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、３−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、４−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸、あるいは３−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸と４−メチル−ヘキサヒドロ無水フタル酸との混合物、テトラヒドロ無水フタル酸、無水ナジック酸、無水メチルナジック酸等を挙げることができる。
【００８７】
また、必要に応じて硬化促進剤が含有される。硬化促進剤としては、硬化性が良好で、着色がなく、硬化性樹脂の透明性を損なわないものであれば、特に限定されるものではないが、例えば、２−エチル−４−メチルイミダゾール（２Ｅ４ＭＺ）等のイミダゾール類、３級アミン、４級アンモニウム塩、ジアザビシクロウンデセン等の双環式アミジン類とその誘導体、ホスフィン、ホスホニウム塩等を用いることができ、これらを１種、あるいは２種以上を混合して用いてもよい。
【００８８】
（スペーサー）
スペーサーはウエハレンズまたはウエハレンズ積層体をダイシングする際に、作業台との接触によりレンズ部に傷が付かないようにするたに、また、ウエハレンズを積層してウエハレンズ積層体を形成する際に、一方のウエハレンズのレンズ部が他のウエハレンズと接触して傷が付かないようにするために設けられる。スペーサーはダイシングの際、基板や樹脂部と一緒に断裁される。
【００８９】
また、スペーサー付ウエハレンズまたはウエハレンズ積層体に設けられたスペーサーと、撮像素子が２次元的に配列されたアレイを、個々のレンズ部と撮像素子が対応する位置となるように接着して、レンズ部と撮像素子を有する多数の撮像装置が、２次元的に配列した積層体を作製してから、この積層体をダイシングして個片の撮像装置に切り分けることにより、撮像装置を効率的に作製することができる。
【００９０】
スペーサーの材料は、軟質ガラス、樹脂、有機無機ハイブリッド材料他、特に限定されないが、耐熱性の有る樹脂、または、耐熱性の有る有機無機ハイブリッド材料が良い。有機無機ハイブリッド材料は、耐熱性の有るガラス繊維強化樹脂、フィラー強化樹脂、有機−シリカハイブリッド等が良い。特に有機シリカハイブリッドが良く、中でも、エポキシ樹脂−シリカハイブリッドおよびアクリル−シリカハイブリッドは、レンズ樹脂部との接着性も良好で好ましい。
【００９１】
ガラス繊維強化樹脂としては、例えば、住友ベークライト社製スミライトＥＬ−３７６２や菱電化成社製ＰＧＥ−６７７１等が挙げられる。エポキシ樹脂−シリカハイブリッドおよびアクリル−シリカハイブリッドは、荒川化学工業社製コンポラセンＥ、コンポラセンＡＣ等が挙げられる。
【００９２】
また、耐熱性の樹脂としては、ポリイミドが好ましく、三菱ガス化学株式会社製のネオプリム３４３０は透過率も高いので好ましい。
【００９３】
スペーサーの厚みは、レンズ部と撮像素子との間隔あるいは積層される複数のレンズ部間の間隔を適切に保つような値とする。スペーサーの厚みは、レンズ部の光学的特性、撮像素子の性能、撮像用レンズとして求められる機能や用途などにもよるが、概ね０．１ｍｍ以上０．８ｍｍ以下が好ましく、０．２ｍｍ以上、０．６ｍｍ以下が更に好ましい。０．１ｍｍ以上の場合、取り扱いが容易で、また、応力緩和性が高く、剥離、割れの故障が生じにくい。また、０．８ｍｍ以下であると、透過率が高く好ましい。
【００９４】
スペーサーの透過率は、ウエハレンズとスペーサーを光硬化性接着剤を用いて接合する際に、スペーサーを通して接着剤に光を照射して硬化するために、スペーサーは光の透過率が高いことが重要である。波長３５０ｎｍの光の透過率が３０％以上であれば、レンズやウエハレンズとの貼合わせ時にＵＶ硬化が速く進み好ましい。更に好ましくは、５０％以上である。
【００９５】
スペーサーの曲げ弾性率は、１．５ＧＰａ以上、３０ＧＰａ以下、より好ましくは、２ＧＰａ以上、７ＧＰａ以下とする。この範囲内であれば、ダイシングの際に、切断応力を吸収し、絞りやレンズ、ＩＲカット部材の剥離、割れ、ガラス基材の脆性破壊が発生しにくい。曲げ弾性率が１．５ＧＰａ以上であれば、スペーサーが歪みにくく高い切断精度を保てる。また、３０ＧＰａ以下であれば、ダイシングの際に切断応力を吸収する効果が大きい。なお、前記曲げ弾性率はＪＩＳ  Ｋ  ７２０３に準拠して測定される。
【００９６】
曲げ弾性率が上記範囲のスペーサーを用いることで、上述したようなダイシング時における問題の発生が回避される詳細な理由は不明であるが、ウエハレンズ作製の工程、スペーサーの接着工程、ウエハレンズの積層工程等において、ウエハレンズに内部応力が蓄積されており、これがダイシングによって一気に解放されるのを、スペーサーの曲げ弾性によって吸収することにより、内部応力の解放による衝撃を緩和することが一つの要因であると推測される。
【００９７】
（絞り）
絞りとしては、ＵＶ又は熱で硬化するネガ型レジスト、又はポジ型レジストに黒色フィラーを含有させたものや、酸化クロムで主に構成されているもの等がある。
【００９８】
絞り部材の形成位置については、基板と接する位置、レンズ樹脂層形成後、レンズ樹脂層上に部分的に形成する、基板自体を一部黒色化する、ＩＲカット部材上に形成する等、様々な形態がとれる。基板またはＩＲカット部材上に形成する方法の例としては、基板上に絞りを気相堆積法や塗布法でベタに形成した後、レンズ部分の周囲を覆うように平面視環状に加工する等が挙げられる。
【００９９】
絞りは、レンズ個片化の際のダイシング位置にない場合でも、剥離や割れ等の故障が発生しやすいが、本発明の構成の場合、絞りがレンズ個片化の際のダイシング位置にある場合でも、剥離や割れ等の故障は発生しにくい。
【０１００】
第１ウエハレンズと第２ウエハレンズを作製し、第１ウエハレンズの樹脂部の非レンズ部にスペーサーを接合し、更に該スペーサーと第２ウエハレンズとを光硬化性接着剤を使って接合するときに、第１ウエハレンズ側から照射した光が絞り部材により遮蔽されず接着剤に届くように、第１ウエハレンズが、スペーサーの接着領域において、絞り部材が存在しない領域７３、８３ことが好ましい（図７参照）。
【０１０１】
図５は、ＩＲカット層１２を設けた基板１０の両面に、公知のフォトエッチングやリフトオフ技術を用いて、上記の絞り１２０、１３０を設けたときの断面図である。レンズ部の光軸が貫く開口部７４、８４の他に、絞り部材の存在しない領域７３、８３を有している。
【０１０２】
（ＩＲカット層）
ＩＲカット層は、公知の真空蒸着法やスパッタ、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを使用して、基板と接する位置や絞り部材上、レンズ樹脂層形成後、レンズ樹脂層上に形成する等、様々な構成をとることができる。
【０１０３】
ＩＲカット部材は二酸化ケイ素、酸化チタン等の層が交互に積層されて構成されており、最上面は、二酸化ケイ素の層である。
【０１０４】
ＩＲカット部材は赤外線を遮光するための部材であり、波長３６５ｎｍの光に対しては５０％以上の透過率を有している。
【実施例】
【０１０５】
以下、本発明の実施例及び比較例を説明する。
【０１０６】
［実施例１］
０．５ｍｍ厚、直径１０ｃｍのホウケイ酸ガラス製の基板の両面（Ｓ１面、Ｓ２面）に、それぞれ７層の二酸化ケイ素の層と酸化チタンの層を交互に積層し、最表面が２酸化ケイ素の層である総厚１．２μｍのＩＲカット層を蒸着機で成膜した。
【０１０７】
次に、ＩＲカット層上に、総厚８００ｎｍの複数層の酸化クロム層を有する金属膜を蒸着機で成膜し、ポジ型フォトレジストを公知の方法で塗布、乾燥した。その後、マスクを用いて、レジストの露光・現像処理を行い、さらに露光部のクロム化合物をエッチングで除去し、不要なレジストを除去後、１３０℃、２分加熱して、レンズ部に対応する開口部と、スペーサーの接着部に対応する絞り部材の無い部分と、アライメントマークとを有する酸化クロム系の絞りを形成した。Ｓ２面にも同様に絞りを形成することにより、図５に示すような、ＩＲカット層及び絞りが形成された基板を作製した。
【０１０８】
こうして作製した基板のＳ１面に、エポキシ系樹脂を滴下し、成形型（１０個の撮像用レンズが作製できる成形型）で押圧しながら、１５２００ｍＪ／ｃｍ２の照射量のＵＶ光を照射し、樹脂を硬化させた。Ｓ２面にも同様に樹脂の滴下、成形型の押圧、及び、樹脂の硬化を行った後、両面の成形型を離型して、レンズ部を有する樹脂部を形成しウエハレンズを作製した。
【０１０９】
次いで、このウエハレンズを裏返し、図６（ａ）に示すように、レンズ部の光軸対応位置に開口部を有するスペーサー１４０として厚さ１．０ｍｍのＰＧＥ−６７７１（（ガラスエポキシ（ガラス繊維強化樹脂）、菱電化成製、曲げ弾性率：２１．４ＧＰａ、３５０ｎｍ光透過率：１３．３％）を、Ｓ２面に接着剤ＵＶＸ−Ｂ１８（電気化学工業製）を介して接合し、スペーサー側から、６７００ｍＪ／ｃｍ２のＵＶ光を照射し、８０℃で１時間加熱し、接着剤を硬化させスペーサー付ウエハレンズを作製した。
【０１１０】
その後、このスペーサー付ウエハレンズのスペーサーを台座に接触させ固定し、公知のダイサーでブレード回転数２００００ｒｐｍ、切断速度４ｍｍ／ｓの条件にて、図６（ｂ）の切断線１７１に相当する位置をＳ１面（スペーサーとは反対側）からダイシングして、１０個の撮像用レンズを得た。
【０１１１】
上記ダイシングを下記により評価し、結果を表１に記した。
【０１１２】
（ダイシング後の剥離、割れの評価）
ダイシングして得られた、個片レンズの断面を顕微鏡で観察し、レンズ部や絞り、ＩＲカット部材、基材の層間の剥離、割れ等の故障のレベルを評価した。評価レベルの詳細は以下の通り。
【０１１３】
５・・・レンズ部や絞り、ＩＲカット部材、基材の層間の剥離、割れ等が発生している個片レンズの個数が０個
４・・・前記同様の故障が発生している個片レンズの個数が１個
３・・・前記同様の故障が発生している個片レンズの個数が２個
２・・・前記同様の故障が発生している個片レンズの個数が３個以上７個以下
１・・・前記同様の故障が発生している個片レンズの個数が８個以上
（ダイシング後の切断精度評価）
得られた個片レンズの切断した４辺の寸法を測定し、設計値とのずれ量を確認し、レベルを３段階で評価した。評価レベルの詳細は以下の通り。
【０１１４】
３・・・設計値とのずれ量が±４０μ未満
２・・・設計値とのずれ量が±４０μ以上６０μ未満
１・・・設計値とのずれ量が±６０μ以上
［実施例２〜１６］
（撮像用レンズ（個片）の作製）
実施例１において、樹脂部の硬化性樹脂、絞りの材料と形状、ＩＲカット層、スペーサーを表１のように変えたほかは同様にして、実施例２〜１６を実施した。評価結果を表１に記す。なお、実施例２、３にはＩＲカット層は設けず、実施例４では絞りを設けなかった。樹脂部の材料がアクリル系樹脂の場合はＵＶ光の照射量は９５００ｍＪ／ｃｍ２である。
【０１１５】
表１に記載の記号の内容について以下に述べる。
【０１１６】
（樹脂部の材料）
Ｃ：エポキシ系樹脂
Ｄ：アクリル系樹脂
（絞りの材料）
Ｅ：酸化クロム系
Ｆ：黒色レジスト系
（絞りの形状）
Ｑ：スペーサー接着部分に絞り部材が無い形状
Ｒ：スペーサー接着部分に絞り部材が有る形状
（スペーサーの材料）
Ｇ：ＰＧＥ−６７７１・・・菱電化成製、ガラスエポキシ（ガラス繊維強化樹脂）
Ｈ：コンポラセンＥ・・・荒川化学工業社製、エポキシ樹脂−シリカハイブリッド
Ｉ：コンポラセンＡＣ・・・荒川化学工業社製、アクリル−シリカハイブリッド
Ｊ：ネオプリムＬ−３４３０・・・三菱瓦斯化学社製、ポリイミド
Ｋ：スミライトＥＬ−３７６２・・・住友ベークライト社製、ガラス繊維強化エポキシ
Ｌ：ＵＲ４８００・・・東洋紡社製、ポリウレタン
Ｍ：ＪＦ−３０Ｇ・・・東洋紡社製、ガラス繊維強化ポリアミド
なお、実施例４では絞りを設けなかった。また実施例２、３ではＩＲカット層を設けなかった。
【０１１７】
黒色レジスト系の絞りは、ＩＲカット部材上に、黒色フィラーとエポキシ樹脂を含有する、ネガ型レジスト材料を、スピンコート法で塗布、乾燥し、２μｍ厚の膜を形成後、マスクを用いて、レジストの露光・現像処理を行い、２００℃、２０分間加熱して、光透過部、アライメントマークを有する絞りを形成した。
【０１１８】
［実施例１７、１９、２０］
（第２ウエハレンズの作製）
ＩＲカット層を設けず、スペーサーを表１のスペーサーに換えた他は実施例１と同様にスペーサー付ウエハレンズを作製し、第２ウエハレンズとした。ただし、樹脂部にはアクリル系光硬化性樹脂を用い、スペーサーは表１に記載の実施例１７、１９、２０に対応するスペーサーを用いた。ここでは、スペーサーの接合されていない側をＳ３面と呼び、接合されている側をＳ４面と呼ぶ。
【０１１９】
（第１ウエハレンズの作製）
０．５ｍｍ厚、直径１０ｃｍのホウケイ酸ガラス基板の片面（Ｓ１面）に、実施例１のウエハレンズと同様にＩＲカット層を設け、絞りを形成し、樹脂部を形成し、第１ウエハレンズを作製した。ただし、前記樹脂部はアクリル系光硬化性樹脂を用いて両面に形成した。なお、第１ウエハレンズのＳ１面と反対の面をＳ２面と呼ぶ。
【０１２０】
（ウエハレンズ積層体の作製）
第１ウエハレンズのＳ２面に表１に記載のスペーサーを、上記第２ウエハレンズの作製と同様の方法で接着した。
【０１２１】
第２ウエハレンズのＳ３面に接着剤を介して第１ウエハレンズの前記スペーサーを接着し、第１ウエハレンズ側からＵＶ光を照射し、接着剤を硬化させたウエハレンズ積層体を作製した。
【０１２２】
次いで、実施例１同様、ダイシングして、１０個の個片の撮像用レンズ積層体を得た。
【０１２３】
（ダイシング後の剥離、割れの評価）と（ダイシング後の切断精度評価）は、実施例１と同様に行った。
【０１２４】
［実施例１８］
（第１ウエハレンズの作製）
実施例１７の第１ウエハレンズの作製と同様にして、第１ウエハレンズを作製した。ただし、樹脂部を形成する際に、レンズ部と共にスペーサー部を形成する成形型を使用して、図９（ａ）に示すスペーサー部９２を有する樹脂部５０を形成するようにした。
【０１２５】
（第２ウエハレンズの作製）
実施例１７の第２ウエハレンズの作製と同様に、もう１枚の基板の両面にも樹脂部を有するウエハレンズを作製した。ただし、樹脂部を形成する際に、レンズ部と共にスペーサー部を形成する成形型を使用して、図９（ｂ）に示すスペーサー部９３を有する樹脂部４０を形成するようにした。このウエハレンズのスペーサー部を有する側とは反対側の樹脂部の非レンズ部とスペーサー１９０とを接着剤１５８を介して接着し、第２ウエハレンズを作製した。スペーサーには表１のスペーサーを用いた。
【０１２６】
（ウエハレンズ積層体の作製）
図９（ｃ）に示すとおり、接着剤を介して第１ウエハレンズのスペーサー部と第２ウエハレンズのスペーサー部とを接着剤１５６を介して接着し第１ウエハレンズ側からＵＶ光を照射し、接着剤を硬化し、ウエハレンズ積層体を得た。
【０１２７】
次いで、実施例１と同様に、ダイシングして、１０個の個片の撮像用レンズを得た。
【０１２８】
（ダイシング後の剥離、割れの評価）と（ダイシング後の切断精度評価）は、実施例１と同様に行った。
【０１２９】
［比較例１、５、７］
実施例１において、スペーサーを表１のように換えた他は同様にして、比較例１、５、７のウエハレンズを作製した。
【０１３０】
次いで、実施例１と同様に、ダイシングして、１０個の個片の撮像用レンズを得た。
【０１３１】
（ダイシング後の剥離、割れの評価）と（ダイシング後の切断精度評価）は、実施例１と同様に行った。
【０１３２】
［比較例２、３］
比較例１において、絞りを設けない（比較例２）またはＩＲカット層を設けない（比較例３）の他は同様に、比較例２、３のウエハレンズを作製し、比較例１と同様にダイシングして評価した。
【０１３３】
［比較例４、６、８］
実施例１７において、スペーサーを表１に記載のスペーサーに換えた他は同様にして、比較例４、６、８のウエハレンズ積層体を作製した。
【０１３４】
次いで、実施例１と同様に、ダイシングして、１０個の個片の撮像用レンズを得た。
【０１３５】
（ダイシング後の剥離、割れの評価）と（ダイシング後の切断精度評価）は、実施例１と同様に行った。
【０１３６】
なお、曲げ弾性率の測定方法はＪＩＳ  Ｋ  ７２０３に準拠して測定したデータである。
【０１３７】
表１に記載の記号について説明する。
【０１３８】
（ウエハレンズ構造）
Ａ：ウエハレンズ
Ｂ：ウエハレンズ積層体
（樹脂部）
Ｃ：エポキシ系
Ｄ：アクリル系
（絞り材料）
Ｅ：酸化クロム系
Ｆ：黒色レジスト系
（絞り形状）
Ｑ：スペーサー接着部分に絞り部材が無い形状
Ｒ：スペーサー接着部分に絞り部材が有る形状
（スペーサー）
Ｎ：ホウケイ酸ガラス
Ｏ：ＳＣＲ１０１１・・・シリコーンゴム（信越化学工業株式会社製）
Ｐ：ＭＰ５・・・マグネシウム合金
結果を表１に記した。
【０１３９】
【表１】
0005668446.tif 000002
【０１４０】
表１より、曲げ弾性率が１．５ＧＰａ以上、３０ＧＰａ以下であるスペーサーを有する撮像用レンズ、ウエハレンズ、またはその積層体は、ダイシング時に、切断精度が高く、絞りやレンズ、ＩＲカット部材の剥離、割れ等の故障が発生しにくいことがわかる。
【符号の説明】
【０１４１】
１  ウエハレンズ
２  ウエハレンズ
３  ウエハレンズ
４  ウエハレンズ
５  ウエハレンズ
６  スペーサー付ウエハレンズ
１０  基板
１２  ＩＲカット層
１３  ＩＲカット層
２０  絞り（遮光層）
２２  開口部
３０  絞り（遮光層）
３２  開口部
４０  樹脂部
４２  レンズ部
５０  樹脂部
５２  レンズ部
６０  成形型
６２  キャビティ
７４  開口部
８０  成形型
８２  キャビティ
８４  開口部
９２  スペーサー部
９３  スペーサー部
１００  ウエハレンズ積層体
１２０  絞り（遮光層）
１３０  絞り（遮光層）
１４０  スペーサー
１４２  接着剤
１５０  スペーサー
１５２  接着剤
１５４  接着剤
１５６  接着剤
１５８  接着剤
１７０  切断線
１７１  切断線
１８０  切断線
１９０  スペーサー
【図１】
0005668446.tif 000003
【図２】
0005668446.tif 000004
【図３】
0005668446.tif 000005
【図４】
0005668446.tif 000006
【図５】
0005668446.tif 000007
【図６】
0005668446.tif 000008
【図７】
0005668446.tif 000009
【図８】
0005668446.tif 000010
【図９】
0005668446.tif 000011
【図１０】
0005668446.tif 000012