(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送モジュール、及び、前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールから搬送される基板に対してプロセスを実行するプロセスモジュールを、少なくともモジュールとして備えた基板処理装置の構成情報を生成する装置であって、
前記搬送モジュールの基板搬送口に対応する辺を有する多角形の格子を表示する多角形格子表示手段と、
モジュールの設定位置として指定される、前記多角形格子表示手段により表示される多角形格子上の位置を取得する位置指定取得手段と、
前記位置指定取得手段による位置の取得に応じ、格子領域にモジュールの設定がなされたことを認識させる表示を行うモジュール表示手段と、
前記位置指定取得手段により取得した位置に設置するモジュールの識別情報を取得するモジュール識別情報取得手段と、
前記モジュール識別情報取得手段により取得したモジュールの識別情報と設置位置とが対応付けられた装置構成情報を生成する構成情報生成手段と、
を備えることを特徴とする構成情報設定装置。
【請求項２】
前記多角形格子表示手段は、四角形格子を表示させるものであることを特徴とする請求項１に記載の構成情報設定装置。
【請求項３】
基板を搬送する搬送モジュール、及び、前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールから搬送される基板に対してプロセスを実行するプロセスモジュールを、少なくともモジュールとして備えた基板処理装置の構成情報を生成する装置に読み込まれて実行されるプログラムであって、
前記搬送モジュールの基板搬送口に対応する辺を有する多角形の格子を表示する多角形格子表示手段と、
モジュールの設定位置として指定される、前記多角形格子表示手段により表示される多角形格子上の位置を取得する位置指定取得手段と、
前記位置指定取得手段による位置の取得に応じ、格子領域にモジュールの設定がなされたことを認識させる表示を行うモジュール表示手段と、
前記位置指定取得手段により取得した位置に設置するモジュールの識別情報を取得するモジュール識別情報取得手段と、
前記モジュール識別情報取得手段により取得したモジュールの識別情報と設置位置とが対応付けられた装置構成情報を生成する構成情報生成手段と、
を備えることを特徴とする構成情報設定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置の構成情報の設定に用いられる構成情報設定装置、および構成情報設定プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ワークを処理する装置において装置構成に関する情報を入力し、搬送速度などをシミュレーションする装置が示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−５７５８０号公報
【発明の概要】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されるワーク処理装置の設定では不定形の装置形状に応じて１つ１つの装置の設定を行わなければならず、煩雑である。特に、クラスターシステムなどでは、構成情報の取得により基板搬送時に搬送先を特定するのに必要な接続情報（以下、「アドレス」、「搬送アドレス」と記述することもある）を得る。しかし、この目的のためには上記システムは煩雑すぎる。
また、従来からクラスターシステムの構成が確定するごとに、システム作成者によって独自に設定されており、装置構成が変更されるたびに各モジュールの識別情報の設定に手間を要していた。さらに、装置構成の変更の度に、複雑な搬送アドレスを変更していて、これが誤動作の要因となっており、搬送アドレスとユーザの設定とを切り離す必要がある。
【０００５】
本発明の目的は、基板処理装置の構成情報を容易に設定可能な構成情報設定装置、および構成情報設定プログラムを提供することにある。
【０００６】
このような目的を達成するために、本発明は、基板を搬送する搬送モジュール、及び、前記搬送モジュールに接続され、前記搬送モジュールから搬送される基板に対してプロセスを実行するプロセスモジュールを、少なくともモジュールとして備えた基板処理装置の構成情報を生成する装置であって、前記搬送モジュールの基板搬送口に対応する辺を有する多角形の格子を表示する多角形格子表示手段と、モジュールの設定位置として指定される、前記多角形格子表示手段により表示される多角形格子上の位置を取得する位置指定取得手段と、前記位置指定取得手段による位置の取得に応じ、格子領域にモジュールの設定がなされたことを認識させる表示を行うモジュール表示手段と、前記位置指定取得手段により取得した位置に設置するモジュールの識別情報を取得するモジュール識別情報取得手段と、前記モジュール識別情報取得手段により取得したモジュールの識別情報と設置位置とが対応付けられた装置構成情報を生成する構成情報生成手段と、を備えることを特徴とする。 
【０００７】
なお、多角形格子表示手段は、実際に多角形格子を表示させるのみならず、例えば、四角形格子を表示させる場合に、外枠にのみ数字などで目盛を振る場合など多角形格子を認識させるような表示を行っている場合も含む。
【０００８】
本発明によれば、基板の装置構成情報の設定が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理システムを示した説明図である。
【図２】構成情報設定装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】本発明の一実施形態に係る仮想フィールドの一例を示した画面概略図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る、仮想フィールドへの装置構成情報の設定状態を示す画面概略図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る、コアアイコンの各辺の識別値の一例を示した説明図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る装置構成情報テーブルの一例を示した説明図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る搬送手順データの変換例を示す図である。
【図８】本発明の他の例を説明するための図である。
【図９】六角形の搬送モジュールの表示例を示す図である。
【図１０】接続不能箇所を表示させる例を示す図である。
【図１１】２階層の基板処理装置の設定画面を示す図である。
【図１２】経路判定機能を有する場合のフローである。
【図１３】経路判定状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、基板処理システムを示した説明図である。図１の基板処理システムは、基板処理装置１００と、構成情報設定装置５００と、を備える。基板処理装置１００は、制御装置７００と、任意の数のプロセスモジュール４００と、任意の数の搬送モジュール６００と、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｆｒｏｎｔ  Ｅｎｄ  Ｍｏｄｕｌｅ）１１０と、を含む。
【００１１】
処理装置、および、基板の搬送先としてのプロセスモジュール４００は、基板に対し処理を行うチャンバ、例えば、ドライエッチングなどが可能なエッチングチャンバ、加熱や冷却が可能な温度調整チャンバ、または、成膜チャンバを有する。成膜チャンバは、例えば、スパッタリング法またはＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜が可能なチャンバである。各プロセスモジュール４００には、自モジュール内のチャンバの種類に応じて、排気ポンプ、プラズマ生成用の電源、ガス導入系などの各基板処理用部材が設けられている。また、各プロセスモジュール４００には、自モジュール内の各基板処理用部材を制御して、基板に対し予め定められた処理を実行させるためのＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）などの制御装置が設けられている。
【００１２】
搬送装置としての搬送モジュール６００は、基板搬送手段としての搬送ロボット（不図示）が配置された搬送チャンバを有する。搬送チャンバは、他のチャンバと接続し、基板の受け渡しが可能な箇所としての複数の接続ポートを有する。本実施形態では、搬送チャンバは、４個の接続ポートを有している。なお、搬送チャンバが有する接続ポートの数は４個に限定されないことは言うまでもない。
【００１３】
搬送モジュール６００は、接続ポートを介して、プロセスモジュール４００と接続される。複数の接続ポートのうち、プロセスモジュールが接続された接続ポートが、接続箇所となる。また、搬送モジュール６００は、接続ポートを介して、他の搬送モジュールと接続可能である。搬送モジュール６００には、排気ポンプやアライナ（不図示）などの各構成要素が設けられている。また、搬送モジュール６００には、各構成要素を制御して、基板搬送動作を実行させるためのＰＬＣなどの制御装置が設けられている。搬送モジュール６００は、搬送ロボットを用いて、各プロセスモジュール４００に基板を搬送する。搬送ロボットは、本実施形態では、回転および伸縮自在なアームを有しており、指定されたプロセスモジュール４００に基板を搬送する。アライナは、搬送ロボット間での基板の受け渡しや基板の位置ずれの補正を行う。また、搬送モジュール６００は、ロードロックを介して、基板の入出力ポートであるＥＦＥＭ１１０と接続可能である。ロードロックは、基板を、搬送モジュール６００に設けられた搬送ラインに導入したり、基板を搬送ラインから離脱させるための装置である。ＥＦＥＭ１１０は、大気側から基板を搬送ラインまたはロードロックに導入したり、基板を大気側に搬送するための装置である。
【００１４】
制御装置７００は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）、ＰＬＣ等により構成される。制御装置７００は、プロセスモジュール４００と、搬送モジュール６００と、ＥＦＥＭ１１０と、を制御する。本実施形態では、１つの基板を搬送する順序及び搬送先を指定した搬送手順データを構成情報設定装置５００から取得し、この搬送手順データに基づいて各搬送モジュール６００に所定のタイミングでの基板の搬送を実行させる。また、プロセスモジュール４００に所定のタイミングで所定のプロセスを実行させる。
【００１５】
構成情報設定装置５００は、ユーザからの入力に基づき、少なくともモジュール識別情報と当該モジュール識別情報に対応するモジュールの接続位置の情報を含む基板処理装置の装置構成情報を生成する。また、本実施形態では、上述のように生成した装置構成情報に基づいて、搬送手順データの変換処理（後述する）を行い、基板処理装置１００に出力する。なお、構成情報設定装置５００は、２台以上のＰＣにより構成されてもよい。構成情報設定装置５００と基板処理装置１００間は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）またはＲＳ−２３２Ｃなどの規格によるネットワークを介して接続され、データ通信が可能になっている。
【００１６】
なお、構成情報設定装置５００は、ＣＰＵ５０１、液晶ディスプレイなどの表示装置５０６、キーボードなどの入力装置５０７、システムバス５０８を介してＣＰＵ５０１に接続され、表示装置５０６や入力装置５０７を制御するＩ／Ｆ５０５等を有する。ＣＰＵ５０１は、メモリ部に記憶されたプログラム（例えば、図２に示すプログラム等）等に基づいて、各種処理を制御する。メモリ部は、ハードディスクドライブなどの記憶装置５０４、ＣＰＵ５０１が動作するためのシステムワークメモリであるＲＡＭ５０２、プログラムやシステムソフトウェア等を格納するＲＯＭ５０３等を有している。
【００１７】
図２は、構成情報設定装置５００の動作を説明するためのフローチャートである。以下、図３〜図７も参照してこのフローを説明する。
まず、ステップＳ１０１において、構成情報設定装置５００は、表示装置５０６に多角形格子を表示する。本実施形態では、図３に示すような四角形格子２００（以下、「仮想フィールド２００」と記述することもある）を表示する。本実施形態では、単位格子は、搬送モジュールの接続ポートに対応する辺を当該搬送モジュールの接続ポート数分有する多角形としている。従って、搬送モジュール４００が４つの接続ポートを有することから、四角形格子としている。
また、図３の例では、各単位格子の領域（各フィールド領域）を識別可能な目盛が行方向、列方向の夫々に振ってある。これにより、ユーザがモジュールを設定すべき位置を正確に認識して設定できるだけでなく、ユーザがアドレスを認識することができる。
この状態において、ユーザからのモジュールを設定すべき位置の入力を待ち受ける（ステップＳ１０２）。入力装置５０７を介し四角形格子上の領域指定が行われたことを検知すると（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、次に、当該モジュールに関する情報（以下、モジュール情報）の入力を待ち受ける（ステップＳ１０３）。このとき、図示していないが、例えば、モジュール情報の入力を受付ける画面を各種入力項目と共に表示してもよい。もちろん、モジュールを設定すべき位置の指定を受付けるよりも前に、モジュール情報の指定の入力を受け付けるようしてもよい。
ステップＳ１０３においてモジュール情報を取得すると（ステップＳ１０３：ＹＥＳ）、対応するモジュールのアイコンを表示する（ステップＳ１０４）。図４の例では、搬送モジュール６００に対応づけられたコアアイコン３０１，３０２と、プロセスモジュール４００にそれぞれ対応づけられたプロセスアイコン３０３〜３０７と、ＥＦＥＭ１１０に対応付けられたＥＦＥＭアイコンを用いている。
【００１８】
ステップＳ１０５において、ステップＳ１０２及びＳ１０３において取得したモジュールを設定すべき位置及びこの位置に設定すべきモジュールに対応するモジュール情報に基づき装置構成情報を生成する。
図６は、装置構成情報の一例を示した説明図である。図６において、モジュールＩＤ（モジュール識別情報）とモジュールＮａｍｅ（モジュール種別情報）とＰｒｏｆｉｌｅ  Ｐａｔｈ（入力したデータ等を格納している場所）は、構成情報設定装置５００のユーザＩ／Ｆで受け付けられる。そして、記憶装置５０４に装置構成情報テーブルとして、各モジュールに対応付けて登録される。また、各モジュールの設置位置及び接続関係を特定可能な情報がアドレスとして、装置構成情報テーブルに登録される。このアドレスは、基板の搬送時に基板の搬送先を特定するための情報などとして利用される。なお、各プロセスモジュールおよび各プロセスモジュールのアドレスは、基板処理装置１００側の制御装置７００にも設定される。制御装置７００への設定は、構成情報設定装置５００が行ってもよいし、システム管理者が行ってもよい。
【００１９】
本実施形態におけるアドレスの割り当て法について説明する。本実施形態では、搬送モジュール６００にはフィールド識別情報を、プロセスモジュール４００には当該プロセスモジュール４００が接続する搬送モジュール６００のフィールド識別情報に、搬送モジュール６００の接続ポートの番号を組合せた階層的なアドレスを用いている。具体的には、図４において、コアアイコン３０１，３０２の各辺は、搬送モジュール６００上の接続ポートの設置位置を示す。コアアイコンの各辺には、その辺を識別するための識別値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）が予め設定され、記憶装置５０４に格納されている。
【００２０】
各プロセスアイコンには、搬送モジュールとの接続箇所を示す接続箇所指示部が設けられている。図４では、プロセスアイコンが有する辺のうち、台形の斜線部の辺の中で最短の辺が存在する辺が、接続箇所指示部として用いられる。
【００２１】
図４では、例えば、コアアイコン３０１は、フィールド識別情報としての行列番号「２４」の領域２０１に配置されている。また、例えば、プロセスアイコン３０３は、行列番号「２３」の領域２０１に配置され、プロセスアイコン３０３の接続箇所指示部３０３ａが、コアアイコン３０１の搬送モジュール６００の対応領域（行列番号「２４」の領域２０１）と隣接している。このため、接続箇所指示部３０３ａと行列番号「２４」の領域２０１との隣接箇所が、搬送モジュール６００およびプロセスモジュール４００の接続箇所となり、その識別値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）は２である。従って、プロセスアイコン３０３に対応するプロセスモジュール４００（図４，６ではモジュール識別情報「Ｃｈ−Ｂ」）のアドレスとして「２４２」が設定される。
図２に戻り、構成情報設定装置５００では、搬送手順データを取得し（ステップＳ１０６）、基板処理装置１００において用いることができる搬送手順データに変換する（ステップＳ１０７）。本実施形態では、搬送順序とモジュール識別情報が対応付けられた搬送順序データから、構成情報テーブルを参照し、搬送順序とアドレスが対応付けられた搬送順序データに変換する。
【００２２】
図７を例に説明すると、基板に対する処理の手順を記述した搬送順序データ（レシピ情報）を、ユーザＩ／Ｆからの入力等により取得する。レシピ情報は、例えば、Ｃｈ−Ａ→Ｃｈ−Ｃ→Ｃｈ−Ｂである。このレシピ情報では、基板が搬送されるモジュールのＩＤ（モジュール識別情報）が、搬送先指定データとして用いられている。また、レシピ情報では、モジュール間の工程経路が、矢印で示されている。このため、このレシピ情報（は、基板を、Ｃｈ−Ａで識別されるモジュール、Ｃｈ−Ｃで識別されるモジュール、Ｃｈ−Ｂで識別されるモジュールの順に搬送して処理する旨（基板の搬送順序および搬送先）を示している。本実施形態では、搬送先指定データとして、基本的にプロセスモジュール識別情報（Ｃｈ−ＩＤ）が用いられる。ただし、搬送先を特定できるデータであれば、その形式は限定されず、例えば、プロセスモジュール種別情報（Ｃｈ−Ｎａｍｅ）と他の情報との組み合わせでもよい。
【００２３】
次に、ステップＳ１０７において、装置構成情報テーブルに基づいて、レシピ情報中の搬送先指定データ（モジュールＩＤ）を、搬送先となるモジュールのアドレスに変換する。これにより変換後の搬送順序データは、「１４２→２４３→２４２」となり、基板処理装置１００に送信される。これを受信した基板処理装置１００では、さらに細かい制御用のデータ（例えば、「１４Ｃｏｒｅ２ｏｕｔ→１４Ｃｏｒｅ３ｉｎ→２４Ｃｏｒｅ１ｏｕｔ→２４Ｃｏｒｅ３ｉｎ」）に変換し、各搬送モジュール６００を制御する。
以上のように、搬送手順データをユーザが入力する時点では、モジュール識別情報とし、構成情報設定装置５００や基板処理装置１００で変換して用いることで、ユーザ側ではアドレスの付与ルール等の複雑なルールを記憶しなくても、簡単にレシピ設定ができる。また、装置の接続位置が変更されても、搬送順序データ自体に手を加える必要がないので、修正時のミス等による誤動作を防止できる。
【００２４】
以上のように、本実施形態では、仮想フィールドを格子状に構成している。従って、領域のそれぞれの識別情報（フィールド識別情報）として、領域の位置を示す情報である行列番号を用いることができる。この場合、搬送モジュールおよびプロセスモジュールのアドレスが、仮想フィールドにおけるモジュールの位置も示すことになり、アドレスに基づいて、モジュール間の接続関係を判定することが可能になる。
【００２５】
以上、実施形態について説明したが、本発明の適用は上記実施形態に限定されない。
なお、仮想フィールドの形状は、各領域２０１が格子状に配置された格子状領域にて形成される四角形に限らない。また、領域２０１の形状も四角形に限らず、搬送モジュールの構成（例えば、搬送モジュールが有する接続ポートの数）に応じて適宜変更可能であり、例えば、図８に示すような六角形格子や三角形格子でもよい。なお、図８中、符号３４１はプロセスアイコン、３４２はＥＦＥＭアイコン、３４３はコアアイコンである。
【００２６】
ただ、四角形格子とした場合、例えば、図９に示すような六角形の搬送モジュール６０１や八角形、それ以上の搬送モジュールを接続した場合でも、同じ格子領域を用いることができる。なお、この場合、例えば、奇数個の接続ポート５つの接続ポートしかない場合でも、例えば、図１０に示すように、ユーザの設定により又は予めなされた設定により、接続不能箇所を表示させる構成としてもよい。図中、３０９はコアアイコン、３０８はプロセスアイコン、３２１はＥＦＥＭに対応するＥＦＥＭアイコン、Ｔｒは搬送ロボットである。
【００２７】
また、例えば、搬送チャンバを上下方向にも接続する場合など、単位格子が立体からなる３次元格子（三角柱格子、立方格子、六角柱格子など）とすることもできる。ただ、搬送チャンバを上下方向に接続するような場合にも、図１１に示すように、階層ごとに２次元格子を表示して設定させるようにしてもよい。このとき、２以上の階層で対応して設置すべきモジュールは、いずれかの階層で設置位置の指定が行われたときに（アイコン３１１で示す位置への設置）、他の階層にも設定を促すアイコン３１２を表示させてもよい。
【００２８】
また、構成情報設定装置５００にさらに経路判定機能を持たせてもよい。この場合のフローの例を図１２に示す。図１２の例では、搬送手順データ及び装置構成情報を夫々取得し（ステップＳ２０１，Ｓ２０２）、これらに基づき搬送手順データにより指定されるモジュールと同種の処理を実行するモジュールが基板処理装置内に他に有るかを判定する（ステップＳ２０３）。これは、例えば図６に示す装置構成情報テーブル中の「モジュールＮａｍｅ」の情報からも判定できるし、この判定のためにさらに別の項目を設けてもよい。これにより、複数の同種モジュールがあることが判明した場合（ステップＳ２０４：ＹＥＳ）、搬送手順データにより指定されるモジュール、及び、同種モジュールを経由した経路を抽出し、各経路のモジュール間搬送数を算出する（ステップＳ２０５）。全経路について、モジュール間搬送数を算出後（ステップＳ２０６）、モジュール間搬送数が最小の経路を判定し（ステップＳ２０７）、最短経路として出力する（ステップＳ２０８）。
図１３に示す例では、同種のプロセスモジュールであるＣｈ-Ｄ、Ｃｈ-Ｇのうち、Ｃｈ-Ｄを経由する経路１はモジュール間搬送数が５であり、Ｃｈ−Ｇを経由する経路２よりも搬送距離が長くなるため、経路２が選択される。なお、図１３中、符号３２２はプロセスアイコンである。
これにより、工程にかかる時間を短縮できる。
【００２９】
また、上述の実施形態では、搬送チャンバの周囲にプロセスチャンバが接続するコア型の基板処理装置に適用されているが、これに限らず、搬送手段を有する搬送チャンバにさらに処理用部材が設けられ、搬送とプロセスが共に実行可能であるタイプ（例えば、インライン型）の基板処理装置にも本発明を適用可能である。
【００３０】
また、アドレス設定装置として使用しているが、アドレス設定に限らず、基板処理装置における構成情報の設定装置として用いてもよい。つまり、複数の搬送チャンバを相互に接続した場合に各搬送チャンバが配置される各位置を画像表示し、これに対し、実際に配置させる搬送チャンバやプロセスチャンバの位置の指定と、搬送チャンバやプロセスチャンバの情報を取得し、搬送チャンバやプロセスチャンバの情報と識別情報との対応を格納する装置として構成してもよい。
【００３１】
また、上記アドレスとして、プロセスチャンバに対しては搬送チャンバの位置情報に接続ポートの識別番号を付加したものを用いているが、プロセスチャンバに対しても位置情報をアドレスとして設定してもよい。すなわち、本実施形態では、構成情報には、その一要素として、搬送モジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのかを示す情報が含まれているが、該情報の代わりに、仮想フィールド上のプロセスモジュールの配置位置を構成情報に含ませても良い。本実施形態では、フィールド識別情報を予め記憶装置５０４に格納しているので、仮想フィールド上のプロセスモジュールの配置位置が特定できれば、該配置位置に対応するフィールド識別情報を取得することができる。よって、該フィールド識別情報を対応するプロセスモジュールのアドレスに設定すれば良い。
【００３２】
なお、仮想フィールド上における、搬送モジュールおよびプロセスモジュールの配置箇所の指定は、図４に示すようなアイコンを用いて行うことに限定されず、ユーザがシステム制御装置２の入力装置を介して、直接入力するようにしても良い。この場合は、例えば、図２に示す仮想フィールドにおいて、仮想フィールド２００の２行目４列目および１行目４列目に搬送モジュールを配置し、１行目３列目、２行目３列目、３行目４列目、２行目５列目、および１行目５列目にそれぞれ、プロセスモジュールを配置することをユーザが上記入力装置を介して入力するようにしても良い。記憶装置５０４には、仮想フィールド２００の各領域に対するフィールド識別情報が格納されているので、上記ユーザ入力により指定された領域のフィールド識別情報を抽出することにより、搬送モジュールおよびプロセスモジュールのアドレスを設定することができる。
【００３３】
また、上述の実施形態では、図１に示すように、構成情報設定装置５００と基板処理装置１００を分けているが、構成情報設定装置５００の機能を基板処理装置１００の制御装置２００に組み込んでもよい。同様に、基板処理装置１００の制御装置２００の機能を構成情報設定装置５００に組み込んでもよい。
【００３４】
また、前述した実施形態の機能を実現するように前述した実施形態の構成を動作させるプログラムを記憶媒体に記憶させ、該記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。即ちコンピュータ読み取り可能な記憶媒体も実施例の範囲に含まれる。また、前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体はもちろんそのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。
【００３５】
かかる記憶媒体としてはたとえばフロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性メモリカード、ＲＯＭを用いることができる。
【００３６】
また前述の記憶媒体に記憶されたプログラム単体で処理を実行しているものに限らず、他のソフトウエア、拡張ボードの機能と共同して、ＯＳ上で動作し前述の実施形態の動作を実行するものも前述した実施形態の範疇に含まれる。
【符号の説明】
【００３７】
５００  構成情報設定装置
１００  基板処理装置
【図４】
0005687031.tif 000002
【図５】
0005687031.tif 000003
【図６】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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