(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段と、
上記複数の赤外カメラを移動させる移動手段と、
上記少なくとも２つの赤外カメラが、上記検出をおこなう際と、上記判定をおこなう際とで、視野を変えるように上記移動手段を制御する制御手段とをさらに備えていることを特徴とする配線欠陥検出装置。
【請求項２】
上記制御手段は、上記判定をおこなう際に、上記少なくとも２つの赤外カメラの視野の中心が一致するように上記移動手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の配線欠陥検出装置。
【請求項３】
複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段をさらに備え、
上記少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれの上記部分画像に、当該少なくとも２つの赤外カメラのうちの任意の赤外カメラが発する熱に由来した異常画像が含まれる場合には、上記部分画像から当該異常画像をトリミングしたトリミング画像に対応する視野領域のうち、当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれに共通する領域に対応する画像同士を比較することによって、上記判定をおこなうことを特徴とする配線欠陥検出装置。
【請求項４】
上記検出をおこなう際に、上記少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複していることを特徴とする請求項１から３までの何れか１項に記載の配線欠陥検出装置。
【請求項５】
請求項１から４までの何れか１項に記載の配線欠陥検出装置の上記赤外カメラの異常を検知する異常検知方法であって、
少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定工程を含むことを特徴とする異常検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルおよび太陽電池パネル等のパネルに形成された配線の欠陥検出に好適な、赤外カメラを具備する配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知する異常検知方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶パネルの製造プロセスには、例えば、アレイ（ＴＦＴ）工程、セル（液晶）工程、および、モジュール工程などがある。このうち、アレイ工程では、透明基板上に、ゲート電極、半導体膜、ソース・ドレイン電極、保護膜、および、透明電極が形成された後、アレイ欠陥検査が行なわれ、電極や配線等の短絡や断線等の欠陥の有無が検査される。
【０００３】
通常、アレイ欠陥検査には、配線の端部にプローブを接触させ、配線両端における電気抵抗や、隣接する配線間の電気抵抗および／または電気容量を測定する方法が用いられている。しかしながら、この方法によるアレイ欠陥検査において、配線部の欠陥の有無を検出できても、その欠陥の位置を特定するのは容易ではなかった。欠陥の位置を特定する検査方法の一例として作業者が基板を顕微鏡で観察して特定する目視検査があるが、この検査方法は作業者の負担が大きく、また、目視では欠陥の判別が難しく、欠陥の位置を誤ることもあった。
【０００４】
このため、基板を赤外カメラで撮影して画像処理を行い、欠陥位置を特定する赤外検査が提案されている。
【０００５】
特許文献１は、赤外検査に関するものであり、図１３に示すように、薄膜トランジスタ液晶基板において、走査線８１１〜８１５と信号線８２１〜８２５との間に電圧Ｖを与えることで短絡欠陥８０３を発熱させる。一方で、走査線８１１〜８１５および信号線８２１〜８２５を電圧印加前後に破線８０６に沿って赤外顕微鏡で画像信号を検出し、検出した画像信号の差をとり、Ｘ、Ｙ方向への投影を算出することにより、短絡欠陥８０３の画素番地を特定する技術が開示されている。
【０００６】
また近年では、比較的大型のパネル（例えば６０型の液晶パネル）を搭載した装置が多く流通するようになり、大型パネルの製造が盛んになっている。そして、その製造ラインでは、上述と同様に、配線部の欠陥を検査するために複数の赤外カメラを用いて１つの大型パネルの欠陥検査をおこなう方法がある。
【０００７】
複数の赤外カメラを用いた方法として、物体表面温度の異常を、２つの赤外カメラを用いて、物体表面の右側と左側とを撮影することによって、監視する方法が特許文献２に開示されている。
【０００８】
ところで、上述のように赤外カメラを用いた欠陥検査装置においては、赤外カメラ自体、より具体的には赤外カメラの受光領域に汚れがあると、正確な欠陥検出が実施できず、パネルの製品不良を招く虞がある。そのため、欠陥検査装置のメンテナンスとして、赤外カメラの汚れの有無を検出する機構が搭載されているものがある。
【０００９】
特許文献３は、パネルの配線欠陥装置ではないが、赤外カメラの汚れの有無を検出する機構が搭載されている技術が開示されている。特許文献３では、車両に搭載されて車両周辺を撮像する撮像装置の異常の有無を検知する撮像装置の異常検知装置が開示されている。この撮像装置の異常検知装置は、複数の撮像装置の撮像により得られた各複数の撮像装置の画像の輝度値に基づき各複数の撮像装置毎の画像の輝度分散値を算出する輝度分散値算出手段と、上記輝度分散値算出手段により算出された複数の上記輝度分散値に応じて上記撮像装置の異常の有無を検知する異常検知手段とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平６−５１０１１号公報（１９９４年２月２５日公開）
【特許文献２】特開平１１−６７６９号公報（１９９９年１月１２日公開）
【特許文献３】特開２００６−１５７７４０号公報（２００６年６月１５日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献３の構成では、複数の撮像装置は、互いに光軸が平行で、地表から同じ高さになるように固定されていた状態であるため、複数の赤外センサ間で異なる対象物が視野内にある場合に、汚れの有無を正しく判定することができない場合がある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、配線欠陥の検出を行う、複数の赤外カメラを実装した配線欠陥検出において、当該複数の赤外カメラの異常を適切に検知することができ、よって、従来構成よりも検査信頼性の高い配線欠陥検出を実現することができる配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知するための異常検知方法を提供することにある。
【００１３】
そこで、本願発明者らは、複数の赤外カメラを同じ条件下のもとで異常の有無を検査することによって、上述の目的を実現することを見出した。
【００１４】
すなわち、本発明に係る配線欠陥検出装置は、上記の課題を解決するために、
複数の赤外カメラを備え、当該複数の赤外カメラのそれぞれがパネルの部分領域の赤外画像を得ることによって、当該パネルに設けられた配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、
少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定手段をさらに備えていることを特徴としている。
【００１５】
上記の構成によれば、少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれについて、重複している視野領域の画像を用いて当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かを判定する。すなわち、このように、同一領域を撮像することにより、複数の赤外カメラ間で異なる対象物が視野内にある従来構成の場合と比較して、赤外カメラの異常を、精度よく検知することができる。
【００１６】
また、上記の構成によれば、赤外カメラの画素単位の比較が可能となるため、異常検知感度が向上する。
【００１７】
また、本発明に係る配線欠陥検出装置は、上記の構成に加えて、
上記複数の赤外カメラを移動させる移動手段と、
上記少なくとも２つの赤外カメラが、上記検出をおこなう際と、上記判定をおこなう際とで、視野を変えるように上記移動手段を制御する制御手段とをさらに備えていることが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、配線の欠陥を検出する場合と、赤外カメラに異常があるか否かを判定する場合とで、上記複数の赤外カメラの配置が異なるように上記移動手段を制御する制御手段を備えている。そのため、配線の欠陥を検出する際には、複数の赤外カメラが全て互いに異なる領域を撮像するように構成していても、赤外カメラに異常があるか否かを判定する場合に赤外カメラを移動手段により移動させて重複領域を撮像することができる。換言すれば、上記の構成によれば、複数の赤外カメラが全て互いに異なる視野を撮像して配線の欠陥を検出することができるため、配線欠陥検出を効率的に行うことができるとともに、赤外カメラの異常を精度よく検知することができる。
【００１９】
また、本発明に係る配線欠陥検出装置は、上記の構成に加えて、
上記制御手段は、上記判定をおこなう際に、上記少なくとも２つの赤外カメラの視野の中心が一致するように上記移動手段を制御することが好ましい。
【００２０】
上記の構成によれば、上記少なくとも２つの赤外カメラの視野の中心が一致するように上記移動手段を制御するので、少なくとも２つの赤外カメラの視野の大部分を重複領域として上記判定に利用することができることから、異常を検知する領域を広く確保することができる。
【００２１】
また、本発明に係る配線欠陥検出装置は、上記の構成に加えて、
上記検出をおこなう際に、上記少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複していることが好ましい。
【００２２】
上記の構成によれば、配線の欠陥の検出をおこなう場合と、赤外カメラの異常の判定をおこなう場合とで、赤外カメラの位置を変える必要がない。そのため、欠陥検出と異常判定とを間隔をあげずに実行することができる。
【００２３】
また、本発明に係る配線欠陥検出装置は、上記の構成に加えて、
上記少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれの上記部分画像に、当該少なくとも２つの赤外カメラのうちの任意の赤外カメラが発する熱に由来した異常画像が含まれる場合には、上記部分画像から当該異常画像をトリミングしたトリミング画像に対応する視野領域のうち、当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれに共通する領域に対応する画像同士を比較することによって、上記判定をおこなうことが好ましい。
【００２４】
例えばパネルを赤外カメラで撮像する場合、赤外カメラの配置位置によっては、自らが映り込む場合がある。そして、赤外カメラが駆動により発熱している場合には、熱がパネルによって反射され、赤外画像にあたかもパネルが発熱しているかのような画像が形成される。これは、赤外カメラの異常の有無を判定する場合であっても同様で、撮像対象に赤外カメラの熱が反射して、赤外画像の一部にその熱に由来する異常画像が形成される。このような異常画像は、赤外カメラの異常の有無の判定において、汚れがある（異常がある）と誤って判定される原因になる。そこで、本発明の上記構成によれば、そのような異常画像をトリミングして除き、そのトリミング後の画像（トリミング画像）のうちの、各カメラに共通する視野に対応した部分を用いて赤外カメラの異常の有無を判定する。そのため、上述のような異常がある（汚れがある）と誤って判定される虞はなく、信頼性の高い検知を実現することができる。このような映り込みは、赤外カメラの視野の中心を通る軸が、撮像対象面に対して垂直に位置している場合に多い。
【００２５】
また、或る赤外カメラに、上記パネルを介して、別の赤外カメラの熱が映り込む場合も同様である。このような映り込みは、当該或る赤外カメラの視野の中心を通る軸を通る軸が、撮像対象面に対して垂直ではない所定の角度を有して傾斜している場合に多い。
【００２６】
また、本発明に係る、赤外カメラの異常検知方法は、上記の課題を解決するために、
上記の構成を具備した配線欠陥検出装置の上記赤外カメラの異常を検知するカメラ異常検知方法であって、
少なくとも２つの上記赤外カメラの視野が少なくとも一部において互いに重複しているときに当該少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれから得られる赤外画像における、当該重複している領域に対応する部分画像に基づいて、当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かの判定をおこなう判定工程を含むことを特徴としている。
【００２７】
上記の構成によれば、少なくとも２つの赤外カメラのそれぞれについて、重複している視野領域の画像を用いて当該少なくとも２つの赤外カメラに異常があるか否かを判定する。すなわち、このように、同一領域を撮像することにより、複数の赤外カメラ間で異なる対象物が視野内にある従来構成の場合と比較して、赤外カメラの異常を、精度よく検知することができる。
【００２８】
また、上記の構成によれば、赤外カメラの画素単位の比較が可能となるため、異常検知感度が向上する。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は、配線欠陥の検出を行う、複数の赤外カメラを実装した配線欠陥検出において、当該複数の赤外カメラの異常を適切に検知することができ、よって、従来構成よりも検査信頼性の高い配線欠陥検出を実現することができる配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知するための異常検知方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の主要な構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の斜視図である。
【図３】マクロセンサを構成する各赤外カメラの撮像視野を表した平面図である。
【図４】汚れの検知をおこなうときのマクロセンサを構成する各赤外カメラの撮像視野を表した平面図である。
【図５】汚れの検知をおこなうフローを示した図である。
【図６】或る赤外カメラに別の赤外カメラが発した熱が映り込んだ状態の図である。
【図７】液晶パネルとプローブの平面図である。
【図８】赤外検査によって短絡欠陥を検知するフローを示した図である。
【図９】画素部の欠陥を示す模式図である。
【図１０】本発明の他の実施形態において、汚れの検知をおこなうときのマクロセンサを構成する各赤外カメラの撮像視野を表した平面図である。
【図１１】本発明の他の実施形態において、汚れの検知をおこなうフローを示した図である。
【図１２】本発明のさらに別の実施形態を示す図である。
【図１３】従来技術を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
〔実施形態１〕
以下、図面を参照して、本発明に係る実施の一態様を詳細に説明する。本実施形態においては、複数の赤外センサを用いて液晶パネルの全面を撮影することで、走査線および信号線を赤外センサで走査する手間を省き、欠陥検査に要する時間を短縮することのできる欠陥検査装置に関して、当該複数の赤外センサの異常を適切に検知して、従来構成よりも検査信頼性の高い配線欠陥検出を実現することができる配線欠陥検出装置、および当該赤外センサの異常を検知するための異常検知方法について説明する。
【００３２】
図１は、実施の一態様である欠陥検査装置１００の主要な構成を示すブロック図である。欠陥検査装置１００は、マザー基板１上に形成された複数の液晶パネル２を１枚ずつ順々に配線等の短絡欠陥を検査するものであり、赤外センサ３、センサ移動手段４、主制御部５、電圧印加部６、データ記憶部７、プローブ８、および、プローブ移動手段９を備える。ここで、主制御部５は、プローブ移動手段９、赤外センサ３、センサ移動手段４、および、電圧印加部６を制御する制御手段であり、後述する赤外カメラの異常判定をおこなう判定手段でもある。電圧印加部６は、プローブ８に電気的に接続されており、液晶パネル２の走査線および信号線に電圧を印加する。データ記憶部７は、主制御部５と接続され、画像データを記憶する。
【００３３】
図２は、本実施形態に係る欠陥検査装置１００を示した斜視図である。欠陥検査装置１００は、図１に示す主要な構成に加えて、基板アライメントステージ１１、アライメントカメラ１２、および、光学カメラ１３を備える。欠陥検査装置１００の詳細について、図１および図２に基づいて説明する。
【００３４】
基板アライメントステージ１１には、基板移動手段（図示せず）によって、マザー基板１が載置され、マザー基板１の位置が調整される。アライメントカメラ１２は、基板アライメントステージ１１の上方に設置され、主制御部５により制御され、マザー基板１の位置を確認する。光学カメラ１３は、主制御部５により制御され、赤外センサ３で検知された短絡欠陥を可視画像として撮影するために用いる。光学カメラ１３は、プローブ８を撮影し、位置合わせを行うのに用いることもできる。
【００３５】
ここで、プローブ８は、液晶パネル２の走査線および信号線に電圧を印加するためのものであり、プローブ移動手段９は、マザー基板１に形成された複数の液晶パネル２を１枚ずつ順々に検査するために、検査する液晶パネル２毎の端子部にプローブ８が当接するようにプローブ８を移動させるものである。そして、プローブ移動手段９は、プローブ保持部９ａ、ガントリーガイドレール９ｂ、上下ガイドレール９ｃ、ガイド保持部９ｄ、および、シフトガイドレール９ｅを備える。ガントリーガイドレール９ｂ、上下ガイドレール９ｃ、および、シフトガイドレール９ｅは、各ガイドレールの長手方向沿いに独立してプローブ８を移動させることができる。図２に示すＸＹＺ座標系は、後述のシフトガイドレール９ｅの長手方向をＸ軸方向、ガントリーガイドレール９ｂの長手方向をＹ軸方向とし、上下ガイドレール９ｃの長手方向をＺ軸方向とすると、プローブ保持部９ａは、プローブ８を保持し、ガントリーガイドレール９ｂのＹ軸方向にスライド可能に設置され、上下ガイドレール９ｃは、ガントリーガイドレール９ｂがＺ軸方向にスライド可能に取り付けられている。ガイド保持部９ｄは、上下ガイドレール９ｃを保持し、シフトガイドレール９ｅのＸ軸方向にスライド可能に設置されている。
【００３６】
また、赤外センサ３は、液晶パネル２の赤外画像を取得するためのものであり、マクロセンサ３ａ、および、ミクロセンサ３ｂを備える。マクロセンサ３ａは、４つの赤外カメラ（複数の赤外カメラ）を備え、これら４つの赤外カメラの撮像領域を合わせることで視野を広げ、液晶パネル２の全面を一度で撮影することができる。マクロセンサ３ａについては、後に詳述する。また、ミクロセンサ３ｂは、赤外カメラを１つ備え、液晶パネル２の局部を視野に入れることができる。
【００３７】
また、センサ移動手段４は、赤外センサ３を液晶パネル２上へ移動させるものであり、センサ保持部４ａ、４ｂ、４ｃ、シフトガイドレール４ｄ、ガイド保持部４ｅ、および、ガントリーガイドレール４ｆを備える。センサ保持部４ａはマクロセンサ３ａを、センサ保持部４ｂはミクロセンサ３ｂを、センサ保持部４ｃは光学カメラ１３をそれぞれ保持する。センサ保持部４ａ〜４ｃは、シフトガイドレール４ｄ上を独立してスライド可能に設置されている。シフトガイドレール４ｄは、長手方向がＹ軸と平行になるように設置されており、ガイド保持部４ｅに保持されている。ガイド保持部４ｅは、ガントリーガイドレール４ｆにスライド可能に設置されている。ガントリーガイドレール４ｆは、その長手方向がＸ軸と平行になるように設置されている。
【００３８】
プローブ移動手段９およびセンサ移動手段４は、別々のガイドレールを有し、基板アライメントステージ１１の上方を互いに干渉されずに移動することができる。このため、液晶パネル２にプローブ８を接触させた状態で、さらに、液晶パネル２上にマクロセンサ３ａ、ミクロセンサ３ｂ、および、光学カメラ１３を移動させることができる。
【００３９】
以下に、４つの赤外カメラから構成されるマクロセンサ３ａについて詳述する。
【００４０】
図３は、１枚の液晶パネル２全体をマクロセンサ３ａの４つの赤外カメラの撮像視野で撮像する場合の、液晶パネル２と、４つの赤外カメラの撮像視野との位置関係を示した模式図である。図３に示すように、各赤外カメラは撮像視野の一部の領域において他の３つのカメラの撮像視野の一部と重複するように、撮像視野の大きさおよび赤外カメラの位置が調整されている。そのため、液晶パネル２の表面を漏れなく撮像し、欠陥を漏れなく検出することができる。
【００４１】
ところで、欠陥を漏れなく検出するには、上述した撮像視野の割付の調整に加えて、赤外カメラ自体が本来の撮像性能を発揮してこそ実現される。例えば、赤外カメラのレンズなどの受光経路に何かが付着していたり、傷があったり（以下、これらを総称して「汚れ」と称する）して、光が妨げられることがあっては、いくら撮像視野の割付が適切に調整されていても、欠陥を見逃す虞がある。そこで、本発明では、赤外カメラの受光経路に汚れがあるか否かを検知して、赤外カメラ自体が本来の撮像性能を発揮できるようにメンテナンスする機構を具備している。具体的には、本実施形態では、基板アライメントステージ１１上に液晶パネル（マザー基板）が配置されていない状態（期間）に、マクロセンサ３ａを構成する４つの赤外カメラが、基板アライメントステージ１１を撮像して、当該４つの赤外カメラのそれぞれに、汚れがあるか否かを検知する。
【００４２】
そして、本実施形態において特徴的な点としては、基板アライメントステージ１１の所定の確認位置Ｒに、マクロセンサ３ａを構成する４つの赤外カメラのそれぞれの撮像中心を一致させるように、当該４つの赤外カメラの配置を変えて、各赤外カメラが同じ領域を撮像する点にある。これにより、各赤外カメラが同じ撮影条件下で撮影することになるので、汚れの有無を正確に検知することができる。図４は、この条件について説明する模式図である。図４に示すように、本実施形態では、４つの赤外カメラ全ての撮像中心を、基板アライメントステージ１１の或る１つの位置に合わせる。これにより、同じ対象物が４つの赤外カメラ全ての視野内に入ることになる。
【００４３】
図５は、マザー基板がない状態で赤外カメラの異常チェックを行うフローを示した図である。
【００４４】
Ｓ３１（ステップ３１をＳ３１と記す。以下、同様。）において、基板アライメントステージ１１（図２）のあらかじめ決められた確認位置Ｒにマクロセンサ３ａの１つの赤外カメラ３３１を移動し、赤外画像Ｐ１を撮像する。赤外画像Ｐ１は、データ記憶部７（図１）に一旦格納される。
【００４５】
Ｓ３２では、Ｓ３１に続いて、先ほどとは異なる赤外カメラ３３２を確認位置Ｒに移動し、赤外画像Ｐ２を撮像する。赤外画像Ｐ２は、データ記憶部７（図１）に一旦格納される。
【００４６】
Ｓ３３では、Ｓ３２に続いて、さらに別の赤外カメラ３３３を確認位置Ｒに移動し、赤外画像Ｐ３を撮像する。赤外画像Ｐ３は、データ記憶部７（図１）に一旦格納される。
【００４７】
Ｓ３４では、Ｓ３３に続いて、最後に残った赤外カメラ３３４を確認位置Ｒに移動し、赤外画像Ｐ４を撮像する。赤外画像Ｐ３は、データ記憶部７（図１）に一旦格納される。
【００４８】
Ｓ３５において、上記赤外画像Ｐ１〜Ｐ４の比較を行う。具体的には、Ｓ３５では、データ記憶部７（図１）に格納していた赤外画像Ｐ１〜Ｐ４を読み出し、まず、比較対象外領域（異常画像）がある場合は、比較対象外領域中の画素情報を使用しないように設定（トリミング）して、比較対象領域（トリミング画像）のみを抽出する（領域抽出工程）。
【００４９】
ここで、上記比較対象外領域について説明する。マクロセンサ３ａを構成する４つの赤外カメラは、駆動によって自ら熱を発する。そのため、赤外カメラ同士の位置関係によっては、基板アライメントステージ１１が反射面となって、或る赤外カメラに、駆動中の他の赤外カメラの熱が映り込む場合がある（図６）。このような映り込みは、検知の精度を落とすことになる。そこで、この不都合な映り込み画像（比較対象外領域の画像）を、当該或る赤外カメラによって撮像された撮像画像から除くことで、基板アライメントステージ１１そのものを撮像して、或る赤外カメラの撮像性能をまさに反映している画像を得ることができる。比較対象外領域の有無は、或る赤外カメラの撮像視野の位置、当該撮像視野の広さ、および、或る赤外カメラの入射光の光軸と基板アライメントステージ１１表面とのなす角度を考慮するとともに、他の赤外カメラの撮像視野の位置と広さと他の赤外カメラの入射光の光軸と基板アライメントステージ１１表面とのなす角度を考慮することによって、予測することができる。この一連の画像処理は、主制御部５（図１）で行う。
【００５０】
そして、Ｓ３５では、次に、赤外画像Ｐ１〜Ｐ４のそれぞれについて、抽出した比較対象領域内の全画素の値の平均値Ｍ１〜Ｍ４を算出する。次に平均値Ｍ１〜Ｍ４の差分ＤＭ１２（Ｍ１とＭ２の差分をＤＭ１２とする。）、ＤＭ１３（Ｍ１とＭ３の差分をＤＭ１３とする。）、ＤＭ１４（Ｍ１とＭ４の差分をＤＭ１４とする。）を算出する。
【００５１】
Ｓ３６では、Ｓ３５に続いて、あらかじめ決められた差分閾値とＳ３５において算出した値（ＤＭ１２〜ＤＭ１４）とを比較する。例えば、ＤＭ１２のみが上記差分閾値以上であった場合には赤外カメラ３３２が異常、ＤＭ１３のみが上記差分閾値以上であった場合には赤外カメラ３３３が異常、ＤＭ１２〜ＤＭ１４の全てが上記差分閾値以上であった場合には赤外カメラ３３１が異常であると判定できる。
【００５２】
ここで、Ｓ３５での比較値の算出方法およびＳ３６での比較方法は本実施例記載の方法に限定される必要はない。例えば別の実施例としては、Ｓ３５における赤外画像Ｐ１と赤外画像Ｐ２との比較においては、比較対象領域内の各画素について赤外画像Ｐ１の値と赤外画像Ｐ２の値の差分を算出することが考えられ得る。Ｓ３６においては、あらかじめ決められた差分閾値以上の上記差分がある画素数の比較対象領域内の全画素数に占める割合が、あらかじめ決められた異常画素割合閾値よりも大きい場合に異常と判断することができる。
【００５３】
以上が赤外カメラの異常の有無の検知方法（判定工程）である。なお、本発明は、或る赤外カメラの視野のなかの一部分に異常がある場合（例えば、汚れの付着など）にその検知をおこなうことができるだけでなく、視野全体に異常がある場合（例えば、受光面全体の異常）にも判定することができる。
【００５４】
以上の方法を、液晶パネルの配線欠陥を検出する工程の前に行い、一部の領域に異常が検知された場合には、汚れの除去であったり、赤外カメラの一部あるいは全体を別のものに取り替えたりなどの対応をとることができる。
【００５５】
続いて、異常の無い（あるいは異常が無くなった）赤外カメラによって構成されたマクロセンサ３ａを用いた配線欠陥検出方法を説明する。本実施形態では、プローブを介して液晶パネル２の走査線および信号線に電圧を印加し、欠陥部に電流が流れることによる発熱を、上記マクロセンサ３ａ、ミクロセンサ３ｂで計測し、欠陥部の位置を特定する方法を用いる。以下、プローブの構成と欠陥検査方法について、図７および図８を用いて詳述する。
【００５６】
図７（ａ）は、マザー基板１に形成される液晶パネル２の平面図である。液晶パネル２には、走査線と信号線が交差する各交点にＴＦＴが形成された画素部１７と、走査線と信号線をそれぞれ駆動する周辺回路部１８が形成されている。液晶パネル２の縁部には、端子部１９ａ〜１９ｄが設けられており、端子部１９ａ〜１９ｄは画素部１７や周辺回路部１８の各配線と繋がっている。
【００５７】
図７（ｂ）は、液晶パネル２に設けられた端子部１９ａ〜１９ｄと導通させるためのプローブの一例を表した平面図である。プローブ８は、液晶パネル２の大きさとほぼ同じ大きさの枠状の形状をなしており、端子部１９ａ〜１９ｄに対応した複数のプローブ針２１ａ〜２１ｄを備えている。複数のプローブ針２１ａ〜２１ｄは、図示しないスイッチングリレーを介して、プローブ針２１の一本ずつを個別に、電圧印加部６に接続できるようになっている。このため、プローブ８は、端子部１９ａ〜１９ｄにつながる複数の配線を選択的に接続させ、または複数の配線をまとめて接続させることができる。
【００５８】
また、プローブ８は、液晶パネル２とほぼ同じ大きさの枠状の形状をなしているため、端子部１９ａ〜１９ｄとプローブ針２１ａ〜２１ｄの位置を合わせる際に、プローブ８の枠部の内側から光学カメラ１３で確認する。
【００５９】
図８は、赤外検査によって短絡欠陥を検知するフローを示した図である。マザー基板１に形成された複数の液晶パネル２について、Ｓ１（ステップ１をＳ１と記す。以下、同様。）からＳ９のステップにより、順次、欠陥検査が実施される。
【００６０】
Ｓ１では、欠陥検査装置１００の基板アライメントステージ１１にマザー基板１が載置され、ＸＹ座標軸と平行になるよう基板の位置が調整される。Ｓ２では、プローブ移動手段９によりプローブ８が検査対象となる液晶パネル２の上部に移動され、プローブ針２１ａ〜２１ｄが液晶パネル２の端子部１９ａ〜１９ｄに接触される。
【００６１】
Ｓ３では、各種欠陥のモードに対応して、配線が選択され、導通させるプローブ針２１の切り替えが行なわれる。Ｓ４は、欠陥ブロック２４内の配線に印加する電圧値を設定している。配線に印加する電圧値は、電圧印加部６によって調整され、通常、数十ボルト程度の電圧が印加される。
【００６２】
図９は、一例として、画素部１７に生じる欠陥の位置を模式的に示している。図９（ａ）は、例えば、走査線と信号線のように、配線Ｘと配線Ｙが上下に交差する位置で短絡した欠陥部２３を示している。このような欠陥部２３は、導通させるプローブ針２１を、図７に示した２１ａと２１ｄ、若しくは、２１ｂと２１ｃに切り替えることで、欠陥部２３に電流が流れ、発熱する。
【００６３】
図９（ｂ）は、例えば、走査線と補助容量線のように、隣接する配線Ｘの配線間で短絡した欠陥部２３を示している。このような欠陥部２３は、導通させるプローブ針２１を、２１ｂの奇数番と２１ｄの偶数番に切り替えることで、欠陥部２３に電流が流れ、発熱する。
【００６４】
図９（ｃ）は、例えば、信号線と補助容量線のように、隣接する配線Ｙの配線間で短絡した欠陥部２３を示している。このような欠陥部２３は、導通させるプローブ針２１を、２１ａの奇数番と２１ｃの偶数番に切り替えることで、欠陥部２３に電流が流れ、発熱する。
【００６５】
Ｓ５では、マクロセンサ３ａによって、液晶パネル２全面の赤外検査が行われる。ここで、マクロセンサ３ａは、欠陥部２３から放出される赤外光を検出することで欠陥部２３の位置を絞り込むことができる。このため、マクロセンサ３ａを走査せずに液晶パネル２の全面を計測することができ、赤外検査の時間を短縮することができる。
【００６６】
Ｓ６では、センサ移動手段４は、ミクロセンサ３ｂを、Ｓ５で検出された欠陥がミクロセンサ３ｂの視野に収まるように移動する。Ｓ７では、ミクロセンサ３ｂによって、液晶パネル２局所の赤外検査が行われる。電流が流れて発熱した欠陥部２３を、ミクロセンサ３ｂで撮影し、欠陥部２３から放出される赤外光を検出する。マクロセンサ３ａにより、発熱部の位置が絞り込まれているため、ミクロセンサ３ｂを、直接、発熱部に合わせることができ、欠陥部２３の修正に必要となる欠陥の種類などの情報について、さらに詳細な計測を短時間で行なうことができる。計測された熱画像は、欠陥部２３の温度が周辺よりも高く表示されるので、欠陥部２３と配線の位置関係から欠陥位置が特定され、データ記憶部７に記憶される。
【００６７】
Ｓ８は、検査中の液晶パネル２について、各種欠陥モードの全検査が終了しているか判断され、未検査の欠陥モードがあれば、Ｓ３に戻り、次の欠陥モードに合せてプローブ８の接続が切り替えられ、欠陥検査が繰り返される。
【００６８】
Ｓ９は、検査中のマザー基板１について、全ての液晶パネル２のアレイ欠陥検査が終了しているか判断され、未検査の液晶パネル２が残っていれば、Ｓ１に戻り、次の検査対象となる液晶パネル２にプローブが移動されて、欠陥検査が繰り返される。
【００６９】
以上により、配線の欠陥の有無が検出される。
【００７０】
（本実施形態の作用効果）
以上のように、本実施形態の欠陥検査装置１００によれば、マクロセンサ３ａの４つの赤外センサの各撮像領域が少なくとも一部の領域において重複している重複領域に対応した温度測定結果を比較して、異常（汚れ）があるか否かを判定している。このように、同一領域を撮像することにより、複数の赤外センサ間で異なる対象物が視野内にある従来構成の場合と比較して、赤外センサの異常を、精度よく検知することができる。また、赤外センサの画素単位の比較が可能となるため、異常検知感度が向上する。
【００７１】
〔実施形態２〕
本発明に係る他の実施形態について、図１０および図１１に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
【００７２】
上述した実施形態１では、汚れの検知の際に、マクロセンサ３ａの４つの赤外カメラは、基板アライメントステージ１１（図１）の表面を撮像している。これに対して、本実施形態では、汚れの検知の際に、基板アライメントステージ１１（図１）上に液晶パネル２を載置して、液晶パネル２をマクロセンサ３ａの４つの赤外カメラによって撮像して、その撮像画像から、実施形態１と同じ方法で、汚れの有無を検知する。
【００７３】
図１０は、４つの赤外カメラ全ての撮像中心が、基板アライメントステージ１１上に載置した液晶パネル２の或る１つの位置に合わした状態を示す図であり、上述の実施形態１の図４に対応した図である。これにより、同じ対象物が４つの赤外カメラ全ての視野内に入ることになる。
【００７４】
図１１は、マザー基板が在る状態で赤外カメラの異常チェックを行うフローを示した図である。
【００７５】
Ｓ５１ではマザー基板のアライメントを行い、基板上の液晶パネル位置を算出する。
【００７６】
Ｓ５２では、Ｓ５１に続いて、あらかじめ決められた赤外カメラの異常（汚れ）の検知時の液晶パネル位置にプローブ８（図１）を移動する。この液晶パネル位置とは、パネル内にプローブ８が存在しないことを実現したプローブ８の退避位置のことである。
【００７７】
Ｓ５３では、Ｓ５２に続いて、図１０に示すように、赤外カメラの異常チェック時の液晶パネルの中央位置Ｒに赤外カメラの視野中央が一致するように赤外カメラ３３１を移動し、赤外画像Ｐ１´を撮像する。
【００７８】
Ｓ５４では、Ｓ５３に続いて、Ｓ５３の赤外カメラ３３１と同様に、赤外カメラ３３２の視野中央が液晶パネルの中央位置Ｒに一致するように赤外カメラ３３２を移動し、赤外画像Ｐ２´を撮像する。
【００７９】
Ｓ５５では赤外カメラ３３３について、Ｓ５６では赤外カメラ３３４について同様に実施する。
【００８０】
Ｓ５７は、実施形態１で説明したＳ３５と同様の処理を、Ｓ５８は、実施形態１で説明したＳ３６と同様の処理を行うことで異常（汚れ）を検知することができる。
【００８１】
このように、本実施形態によれば、液晶パネル２を用いて汚れの検知を行っている。実施形態１との対比において本実施形態の有利な点としては、比較対象外領域を特定する場合に、基板アライメントステージで反射の有無を特定するよりも、実際の液晶パネルを用いて行うほうが正確に特定することができる点にある。これにより、汚れのより厳密な検知をおこなうことができる。
【００８２】
〔実施形態３〕
本発明に係る他の実施形態について、図１２に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
【００８３】
上述の実施形態１では、配線欠陥を検出するときのマクロセンサ３ａの４つの赤外カメラの配置と、汚れを検知するときの当該４つの赤外カメラの配置とが異なる場合について説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、配線欠陥を検出するときと、汚れを検知するときとで当該４つの赤外カメラの配置を変えない態様であってもよい。
【００８４】
図１２は、本実施形態のマクロセンサ３ａの４つの赤外カメラの配置を模式的に示した図であり、図１２（ａ）は、実施形態１の図３と同一である。本実施形態では、図１２（ａ）に示す撮像視野を動かすことなく、汚れを検知し、その後、配線欠陥を検出する。
【００８５】
汚れを検知するときには、撮像視野同士が重複している領域（図１２（ｂ）中の斜線を付した領域）を用いて、汚れの有無を検出する。検出方法は、実施形態１において説明した方法を用いることができる。
【００８６】
本実施形態では、実施形態１に比べて重複領域が狭い、すなわち、異常の有無を検知する領域が狭いため、実施形態１よりも汚れ検知の精度は劣るが、マクロセンサ３ａの４つの赤外カメラを移動させる必要がない分、パネルの製造効率を落とすことがない。
【００８７】
なお、本実施形態の構成も、或る赤外カメラの視野のなかの一部分に異常がある場合（例えば、汚れの付着など）にその検知をおこなうことができるだけでなく、視野全体に異常がある場合（例えば、受光面全体の異常）にも判定することができる。
【００８８】
なお、上述した各実施形態では、液晶パネルの配線欠陥を検出する態様について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機ＥＬ（Electroluminescence）パネルの配線、プリント基板回路、半導体基板回路などの配線を有する基板を対象とすることができる。
【００８９】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００９０】
本発明は、液晶パネルなどの配線を有する半導体基板の配線状態の検査に用いることができる。
【符号の説明】
【００９１】
１  マザー基板
２  液晶パネル
３  赤外センサ（赤外カメラ）
３ａ  マクロセンサ（赤外カメラ）
３ｂ  ミクロセンサ（赤外カメラ）
４  センサ移動手段（移動手段）
４ａ〜４ｃ  センサ保持部
４ｄ  シフトガイドレール
４ｅ  ガイド保持部
４ｆ  ガントリーガイドレール
５  主制御部
６  電圧印加部
７  データ記憶部
８  プローブ
９  プローブ移動手段
９ａ  プローブ保持部
９ｂ  ガントリーガイドレール
９ｃ  上下ガイドレール
９ｄ  ガイド保持部
９ｅ  シフトガイドレール
１１  基板アライメントステージ
１２  アライメントカメラ
１３  光学カメラ
１７  画素部
１８  周辺回路部
１９ａ〜１９ｄ  端子部
２１  プローブ針
２１ａ〜２１ｄ  プローブ針
２３  欠陥部
２４  欠陥ブロック
１００  欠陥検査装置
３３１  赤外カメラ
３３２  赤外カメラ
３３３  赤外カメラ
３３４  赤外カメラ
Ｒ  確認位置（液晶パネルの中央）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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