(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス流通部の端部を構成する接続部材が複数の接続されるガス流通接続部に用いられるシール用パッキンであって、
中央に設けられた開口部と、該開口部を一端とし、所定の厚みを有して相対向する所定長さの平坦面を有する突状部と、該突状部の他端に設けられた段差を一端とし、少なくとも一部に前記突状部よりも薄肉の所定長さの平坦面を有する側面部と、を備え、
前記接続部材の少なくとも１つと、前記突状部の一端および平坦面において係止してシールを形成するとともに、前記接続部材の少なくとも他の１つと、前記突状部の他端に形成された角部においてシールを形成することを特徴とするガス流通部接続用パッキン。
【請求項２】
前記側面部の一部に、１以上の、該側面部よりも厚肉の厚肉部を有することを特徴とする請求項１記載のガス流通部接続用パッキン。
【請求項３】
前記側面部の他端に、該側面部よりも厚肉の厚肉部を備え、前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくとも１つとシールを形成することを特徴とする請求項１または２記載のガス流通部接続用パッキン。
【請求項４】
ガス流通部の端部を構成する接続部材が複数の接続されるガス流通接続部であって、
中央に設けられた開口部と、該開口部を一端とし、所定の肉厚を有し、相対向する所定長さの平坦面を有する突状部と、該突状部の他端に段差を有し、前記突状部よりも薄い肉厚の所定長さの平坦面を少なくとも一部に有する側面部と、を備えたガス流通部接続用パッキンを用いるとともに、
前記接続部材の少なくとも１つが、内周面が前記ガス流通路に接するスリーブおよび前記側面部と対向する平面部を備え、該スリーブの外周面および該平面部において前記突状部の一端および平坦面が係止してシールを形成し、前記接続部材の少なくとも他の１つが、ガス流通路に接する内周面の一端に所定長さの傾斜部を備え、該傾斜部において前記突状部の他端に形成された角部が押圧されて変形してシールを形成することを特徴とするガス流通接続部。
【請求項５】
前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくともいずれかの該平面部の一部に、前記ガス流通部および前記パッキンの外周端部との間を周回するように溝部が設けられ、前記側面部の一部が変形して該溝部に挿入され、シールが形成されることを特徴とする請求項４記載のガス流通接続部。
【請求項６】
前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくともいずれかの該平面部の一部に、前記ガス流通部および前記パッキンの外周端部との間を周回するように溝部が設けられ、前記側面部の一部に１以上の該側面部よりも厚肉の厚肉部を有する前記パッキンの、該厚肉部の一部が変形して該溝部に挿入され、シールが形成されることを特徴とする請求項４または５記載のガス流通接続部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス流通部接続用パッキンおよびそれを用いたガス流通接続部に関し、例えば、半導体や太陽電池等の生産装置や研究設備等において使用される材料ガスや各種プロセスにおいて使用される液化ガスや特殊ガス等のガス供給装置において用いられるガス流通部接続用パッキンおよびそれを用いたガス流通接続部に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体や太陽電池等（例えば成膜材料等）を生産する製造装置や新たな素材を開発する研究設備、あるいは各種プロセスにおいては、各種の材料ガスや特殊ガスあるいは液体材料ガス等が多用されている。こうしたガスの中には、高い吸着性や強い腐食性を有するもの、あるいは空気中の水分と反応や吸湿して変質するもの等があり、ガス供給配管系は、外気と遮蔽あるいは密閉され、上記製造装置等に供給されて消費される。
【０００３】
こうしたガス供給配管系には多くのガス流通接続部が備えられ、定期的に保守点検のための取外し作業や取り付け作業が行なわれる。このため、ガス流通接続部においては、配管系を構成する接続部材に接続するナット間に導入するパッキンが多く用いられる。このとき、例えばガスシリンダーとガス供給装置の接続は、ガス漏洩の危険性が非常に高い箇所であるため、こうしたシールに用いられるパッキンに対しては、その変形量を管理すべく、ナットの締め付けトルクが管理される。つまり、トルク値が管理・校正されたトルクレンチを使用し、規定値内のトルクで締付け、ガス漏洩を防止する必要がある。トルクレンチのトルク値が管理・校正されていない場合は、締付を実施してもガス漏洩が発生する可能性がある。一方、こうした管理を必要としない構成を有するガス流通接続部は、従前からガス供給装置における課題の１つであり、種々の検討がなされてきた。
【０００４】
例えば、メスナットを過剰に締め付けた場合でも、合成樹脂製ガスケットの変形量を最小限に抑制することができることを目的として、図７に示すようなガスシリンダーバルブ接続継手が提案されている（例えば特許文献１参照）。具体的には、グランド１０５を着脱自在に嵌合するメスナット１０４内周のネジ部と、ガスシリンダーバルブ出口１０３外周のネジ部とを螺合させつつ前記グランド１０５とガスシリンダーバルブ出口１０３との間に介在する合成樹脂製ガスケット１０６を押圧して、前記ガスシリンダーバルブ出口１０３に接続するガスシリンダーバルブ接続継手において、前記ガスケット１０６の外周に過剰締め付けを防止する金属製リング１０７を装着した。ここで、１０８はスラストベアリングを、１０９はワイヤ−リングを、１１０はガス漏洩試験のための貫通孔を、１１１はメスナット外周の円形部を示す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３２５４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記のようなガス流通接続部には、以下の課題が生じることがあった。
（ｉ）従前のガス流通接続部においては、供給するガス種が腐食性を有する場合はパッキン材を考慮し、反応性・耐食性など安全かつシール性の高いパッキンを使用しなければならない。また、腐食性ガスは反応性がきわめて高いため、ガス供給設備に導入するパッキン材は合成樹脂系の材料は使用できず、耐食性の優れた金属材料を選択することが望ましい。しかしながら、金属材料のパッキンは高硬度のため、トルクレンチを使用し、規定内のトルク値で締付けても、シール性が乏しく、ガス漏洩を防止することができないという問題があった。
（ii）金属製リングを装着したガスケットを用いたガス流通接続部においては、金属性リング以外は合成樹脂製のパッキン材を使用しているため、酸化、反応性が高いガス供給装置には使用できないという問題がある。また、ガスケットのシール性は、従前同様、ガスケットの平面部における面全体の変形量に依存することから、その一部で異常な変形が生じた場合には、シール性が破壊され、その漏洩箇所の特定・修復が難しいという課題があった。特にガスケットに異常がなく、接続部材のシール表面のキズ等があった場合には、その漏洩箇所の特定はさらに困難となる。
【０００７】
本発明の目的は、高い吸着性や強い腐食性を有するガス種あるいは反応性の高いガス種等に対しても、簡便な構成で、外気との接触なくガス流通路の確実なシールを確保し、かつシール面積を低減して低トルクでシール面に潰れ代が形成され、確実なシール部を構成することができるガス流通部接続用パッキンおよびそれを用い、保守が容易で、再現性のよい確実なシール部を構成することができるガス流通接続部を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、以下に示すガス流通部接続用パッキンおよびそれを用いたガス流通接続部によって上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００９】
本発明は、ガス流通部の端部を構成する接続部材が複数の接続されるガス流通接続部に用いられるシール用パッキンであって、
中央に設けられた開口部と、該開口部を一端とし、所定の厚みを有して相対向する所定長さの平坦面を有する突状部と、該突状部の他端に設けられた段差を一端とし、少なくとも一部に前記突状部よりも薄肉の所定長さの平坦面を有する側面部と、を備え、
前記接続部材の少なくとも１つと、前記突状部の一端および平坦面において係止してシールを形成するとともに、前記接続部材の少なくとも他の１つと、前記突状部の他端に形成された角部においてシールを形成することを特徴とする。
【００１０】
上記のように、各種製造設備には、所定の制御条件の基に、種々のガスが連続的あるいは断続的に供給されることから、不純物の混入がないことは無論のこと、短時間で簡便な操作によって保守が可能なガス供給配管系が要求される。特に、高い吸着性や強い腐食性を有するガス種、あるいは空気中の水分と反応や吸湿して変質するガス種については、そのガス供給配管系の接続部において、その接続操作の安定性とシールの確実性が重要となる。本発明は、接続部材の中間に配設され、１の接続部材と広い面で係止してガス流路の外気とのシールを形成するとともに、パッキンに形成された角部において他の接続部材と接触し、角部の変形によりガス流路と外気とのシールを形成することを特徴とする。こうした構成によって、高い吸着性や強い腐食性を有するガス種あるいは反応性の高いガス種等に対しても、簡便な構成で、外気との接触なくガス流通路の確実なシールを確保し、かつシール面積を低減して低トルクでシール面に潰れ代が形成され、確実なシール部を構成することが可能となった。
【００１１】
具体的には、パッキンを用いたシールの形成におけるトルク量は、パッキンの変形がより小容量（局部的）であるほど小さく、ガス流通路においては、その周回をパッキンの一部と接続部材との線接触あるいはこれに近い接触をさせることが好ましい。本発明は、接続部材とパッキンとの接触によるシールを、突状部の角部という小容量の部位における変形によって形成することによって、非常に小さなトルクでシール面に潰れ代が形成され、確実なシール部を構成することを可能にした。
【００１２】
本発明は、上記ガス流通部接続用パッキンであって、前記側面部の一部に、１以上の、該側面部よりも厚肉の厚肉部を有することを特徴とする。
上記のように、本発明に係るガス流通部接続用パッキンは、低トルクでガス流路の外気との確実なシール部を構成する上において、パッキンに形成された角部の変形が重要な役割を果たしている。本発明は、さらに、その角部に繋がる側面部の一部に厚肉部を設けることによって、角部の変形によるシール性を強化することができることを見出した。角部の変形によって生じたパッキンの歪を該厚肉部において吸収するとともに、角部への反発力の発生によって、よりシール性を強化することができる。また、突状部以外に形成された厚肉部は、接続部材とのシール面を新たに形成することができるとともに、後述するように、接続部材における溝部の配設によって、さらに２重のシール機能を有する構成とすることが可能となった。特に、内部圧力が高いガス流路に用いるガス流通部接続用に好適である。
【００１３】
本発明は、上記ガス流通部接続用パッキンであって、前記側面部の他端に、該側面部よりも厚肉の厚肉部を備え、前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくとも１つとシールを形成することを特徴とする。
ガス流路の外気との確実なシール部を構成する上において、１つのシール構造によって形成されるのではなく、複数のシール構造によって形成されることが好ましい場合がある。本発明は、突状部以外に形成された厚肉部を側面部の他端（一端は突状部）に設け、複数のシール構造とするとともに、最も最外周面で外気を遮断するシールを形成することによって、より確実なシール部を構成することができる。
【００１４】
本発明は、ガス流通部の端部を構成する接続部材が複数の接続されるガス流通接続部であって、
中央に設けられた開口部と、該開口部を一端とし、所定の肉厚を有し、相対向する所定長さの平坦面を有する突状部と、該突状部の他端に段差を有し、前記突状部よりも薄い肉厚の所定長さの平坦面を少なくとも一部に有する側面部と、を備えたガス流通部接続用パッキンを用いるとともに、
前記接続部材の少なくとも１つが、内周面が前記ガス流通路に接するスリーブおよび前記側面部と対向する平面部を備え、該スリーブの外周面および該平面部において前記突状部の一端および平坦面が係止してシールを形成し、前記接続部材の少なくとも他の１つが、ガス流通路に接する内周面の一端に所定長さの傾斜部を備え、該傾斜部において前記突状部の他端に形成された角部が押圧されて変形してシールを形成することを特徴とする。
上記ガス流通部接続用パッキンは、低トルクでシール面に潰れ代が形成され、少ないシール面積で確実なシール部を構成することができる。本発明は、こうしたパッキンを効果的に用いるガス流通接続部として、１つを、内周面がガス流通路に接するように備えられたスリーブの外周面およびにおいて該パッキンの突状部の一端および平坦面と係止させ、他の１つを、ガス流通路に接する内周面の一端に所定長さの傾斜部を備え、該傾斜部においてパッキンの角部を押圧させることによって、保守が容易で、再現性のよい確実なシールを形成することができる。
【００１５】
本発明は、上記ガス流通接続部であって、前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくともいずれかの該平面部の一部に、前記ガス流通部および前記パッキンの外周端部との間を周回するように溝部が設けられ、前記側面部の一部が変形して該溝部に挿入され、シールが形成されることを特徴とする。
上記のように、ガス流路と外気の間に複数のシール構造が形成されることが好ましい場合がある。本発明は、パッキンの突状部におけるシール構造に加え、接続部材の平面部とパッキンの側面部（厚肉部を含む）との間のシール面（面接触）、さらに該平面部の一部に設けられた溝部へ挿入されるパッキンの一部の変形による新たなシール（線接触に近い）が形成されることによって、より確実なシール部を構成することができる。
【００１６】
また、本発明は、上記ガス流通接続部であって、前記側面部と対向する平面部を有する前記接続部材の少なくともいずれかの該平面部の一部に、前記ガス流通部および前記パッキンの外周端部との間を周回するように溝部が設けられ、前記側面部の一部に１以上の該側面部よりも厚肉の厚肉部を有する前記パッキンの、該厚肉部の一部が変形して該溝部に挿入され、シールが形成されることを特徴とする。
パッキンを用いたシールの形成におけるトルク量は、パッキンの変形がより小容量（局部的）であるほど小さく、ガス流通路においては、その周回をパッキンの一部と接続部材との線接触あるいはこれに近い接触をさせることが好ましい。本発明は、接続部材とパッキンの側面部との接触によるシール形成を、側面部の一部に厚肉部を設けて小容量化し、さらに接続部材に溝部を設け、該溝部へのパッキンの局部的な変形によるシール部分の小容量化によって、複数のシール構造を有しても、非常に小さなトルクでシール面に潰れ代が形成され、突状部の角部における変形と同様、確実なシール部を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るガス流通部接続用パッキンの１の構成例を示す概略図
【図２】本発明に係るガス流通部接続部の１の構成例を示す概略図
【図３】本発明に係るガス流通部接続用パッキンの他の構成例を例示する説明図
【図４】本発明に係るガス流通部接続用パッキンの他の構成例を例示する説明図
【図５】本発明に係るガス流通部接続部の他の構成例を示す概略図
【図６】本発明に係るガス流通部接続部のシール特性の検証結果を示す概略図
【図７】従来技術に係るガスシリンダーバルブ接続継手を例示する概略図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係るガス流通部接続用パッキン（以下「本パッキン」という）は、中央に設けられた開口部と、該開口部を一端とし、所定の厚みを有して相対向する所定長さの平坦面を有する突状部と、該突状部の他端に設けられた段差を一端とし、少なくとも一部に突状部よりも薄肉の所定長さの平坦面を有する側面部と、を備え、接続部材の少なくとも１つと、開口部および突状部の平坦面において係止してシールを形成するとともに、接続部材の少なくとも他の１つと、突状部の他端に形成された角部においてシールを形成することを特徴とする。以下、図面を参照しながら説明する。
【００１９】
＜本パッキンの基本構成例＞
図１は、本パッキンの基本的な構成を例示する概略図である。本パッキン１０は、その中央に、内部にガスが流通可能な開口部１を有し、開口部１を一端（２ａ）とし、所定の厚み２ｄを有して相対向する所定長さ２Ｌの平坦面２ｂを有する突状部２と、突状部２の他端２ｃに設けられた段差３ａを一端とし、少なくとも一部に突状部２よりも薄肉の所定長さ３Ｌの平坦面３ｂを有する側面部３と、を備える。他端には、段差３ａによって角部２ｃが形成される。本パッキン１０は、例えば２つの接続部材の中間に配設され、後述するように、突状部２の一端２ａおよび平坦面２ｂにおいて１の接続部材と係止し、ガス流路の外気とのシールを形成するとともに、角部２ｃ（他端）において他の接続部材と接触し、角部２ｃが変形することによって、ガス流路と外気とのシールを形成することができる。
【００２０】
このとき、突状部２の一端２ａおよび平坦面２ｂと１の接続部材は、面接触することによって、十分なシール性を確保するとともに、突状部２に対する押圧を分散することによって、突状部２の変形を低減し、本パッキン１０の係止を確実に行なうことができる。一方、角部２ｃと他の接続部材は、角部２ｃの変形に伴う所定幅の線接触に近い接触を行なうことによって、低トルクでシール面に潰れ代が形成され、確実なシール部を構成するとともに、小さなシール面積（接触面積）による十分なシール性を確保することができる。
【００２１】
対象となるガスは、特に限定することはない。ヘリウム（Ｈｅ）やアルゴン（Ａｒ）等の希ガスあるいは窒素ガス（Ｎ２）等のような反応性が低く安定性の高いガスだけではなく、特に高い吸着性や強い腐食性を有するガス種あるいは反応性の高いガス種などには、その特徴を有効に活かすことができる。具体的には、ＮＨ３，ＢＣＬ３，ＣＬ２，ＳｉＨ２ＣＬ２，Ｓｉ２Ｈ６、ＨＢｒ、ＨＦ、Ｎ２Ｏ、Ｃ３Ｆ８、ＳＦ６、ＷＦ６等に代表される材料ガス等を挙げることができる。
【００２２】
本パッキンは、成形性および所定の弾性あるいは変形性を有するものであれば、特に限定されるものではく、対象となるガス種によって、種々の材料を用いることができる。例えば、反応性が低いガス等に対しては、ネオプレンゴムやイソプレンゴム等の高弾性樹脂や銅やアルミニウム等の変形容易な金属を用いることができる。一方、反応性や吸着性の強いガス等に対しては、例えばフッ素ゴムやフッ素樹脂あるいはブタジエンゴム等の耐蝕性樹脂やステンレス鋼（ＳＵＳ−３１６Ｌ等）やハステロイ（ＴＭ）やニッケル等を用いることが好ましい。
【００２３】
本パッキンは、上記形態に限定されるものではなく、例えば図２（Ａ）〜（Ｄ）に例示する構成を用いることができる。具体的には、図２（Ａ）のように、１つの平坦面２ｂのみを有する突状部２を備えた構成を挙げることができる。一端２ａと側面部３から繋がる平坦面３ｃによって１の接続部材と係止してシールを形成し、角部２ｃにおいて他の接続部材とのシールを形成することができる。平坦部３ｃ全体でシール面を形成することができ、かつ角部２ｃの変形による歪を大きく吸収することができる。また、角部２ｃは必ずしも直角をいうものではなく、図２（Ｂ）のように、丸みを有する角部２ｃを備えた構成を挙げることができる。保守された場合において繰り返し使用される場合に、角部２ｃの損傷を緩和することができ、確実なシールを確保することができる。同様に、角部２ｃ以外の端部の角についても、丸みを有する構成を挙げることができる。図１，図２（Ａ）に例示した構成について、各々図２（Ｃ），（Ｄ）のように、一端２ａの両角および側面部３の他端３ｅの両角について、丸みを構成することができる。
【００２４】
＜本パッキンを用いたガス流通接続部の基本構成例＞
本パッキン１０を用いたガス流通接続部（以下「本接続部」という）の実施の形態について、説明する。図３（Ａ）は、図１に例示された本パッキン１０を備えた本接続部によって、ガス充填容器（図示せず）に接続された容器弁２０とガス供給装置（図示せず）への供給流路３０が接続される基本的な構成を例示する概略図である。ガス供給装置への充填ガスの供給時に、容器弁２０に供給流路３０が接続され、未使用時あるいは点検時には接続が解かれる。使用時には、容器弁２０を構成するバルブ２１の操作によって、開閉弁２２が移動し、ガス充填容器内部に繋がるガス流通路２３が、本パッキン１０を介して供給流路３０と接続され、充填ガスがガス供給装置に供給される。供給流路３０は、外気への充填ガスの漏洩が生じないように、容器弁２０の開部２４にナット２５によって固定される。容器弁２０および供給流路３０を構成する各部の素材は、堅牢な構造を形成することが可能であれば特に制限はないが、半導体用特殊材料ガス供給装置等に使用される場合には、耐蝕性を必要とすることから、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ−３１６Ｌ等）やハステロイ（ＴＭ）やニッケルなどを使用することが好ましい。
【００２５】
このとき、ガス流通接続部は、Ａ部を拡大する図３（Ｂ）に例示するように、接続部材の少なくとも１つ（ここでは、供給流路３０）が、内周面３２ａがガス流通路３１に接するスリーブ３２および平面部３３を備え、スリーブ３２の外周面３２ｂおよび平面部３３の平坦面３３ａにおいて、本パッキン１０の一端２ａおよび平坦面２ｂが係止されてシールを形成する。接続部材の少なくとも他の１つ（ここでは、容器弁２０）の開部２４の内周面２４ａがガス流通路２３に接し、内周面２４ａの一端に所定長さの傾斜部２４ｃを備え、傾斜部２４ｃにおいて本パッキン１０の角部２ｃが押圧されて変形してシールを形成する。
【００２６】
詳細には、さらに拡大する図３（Ｃ）に例示するように、スリーブ３２の外周面３２ｂおよび平面部３３の平坦面３３ａにおいて、本パッキン１０の一端２ａおよび平坦面２ｂとの面接触によるシールが形成され、容器弁２０の傾斜部２４ｃにおいて、本パッキン１０の角部２ｃとの線接触に近いシールが形成される。容器弁２０のナット２５の締め付け操作によって、本パッキン１０の突状部２が変形し、一端２ａおよび平坦面２ｂにおいて、外周面３２ｂおよび平坦面３３ａに対する押圧が高くなり、広範囲の強固なシール面を形成することができるとともに、本パッキン１０の変形の支えとなる。一方、本パッキン１０の角部２ｃは、突状部２の他の部位よりも大きく変形し、容器弁２０の傾斜部２４ｃに、より強く密着した状態を形成し、強固なシール面を形成することができる。このとき、小容量の角部２ｃは、小さな力で大きな変形を生じさせることができることから、低トルクで確実なシールを形成することができる。
【００２７】
＜本パッキンの他の構成例＞
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、本パッキン１０の他の構成を例示する概略図である。側面部３の一部に、１以上の、側面部３よりも厚肉の厚肉部３ｆを有することを特徴とする。厚肉部３ｆを設けることによって、角部２ｃの変形によって生じた本パッキン１０の歪を厚肉部３ｆにおいて吸収するとともに、角部２ｃへの反発力の発生によって、よりシール性を強化することができる。また、突状部２以外に形成された厚肉部３ｆは、接続部材とのシール面を新たに形成することができる。具体的には、図４（Ａ）のように、側面部３の中央に厚肉部３ｆを備えた構成を挙げることができる。既述の突状部２での（ａ）一端２ａと平坦面３ｃによるシール、（ｂ）角部２ｃによるシールに加え、側面部３での（ｃ）厚肉部３ｆと接続部材との面接触によるシールを形成することができる。また、角部２ｃの部分的な変形は、本パッキン１０を部分的に特定方向に押圧する力や引張る力が生じ易く、長期使用における歪による本パッキン１０の弾性やシール機能を弱くすることがある。厚肉部３ｆは、こうした押圧等を吸収する役割を果し、歪の発生を緩和させることができ、強固なシール面を形成することができる。
【００２８】
また、図４（Ｂ）のように、側面部３の他端３ｅに厚肉部３ｇを備えた構成を挙げることができる。上記（ａ）〜（ｃ）のシール構造を有するとともに、最も最外周面（他端３ｅ）で外気を遮断するシールを形成することによって、より確実なシール部を構成することができる。また、図４（Ｃ）のように、側面部３の中央，他端３ｅに厚肉部３ｆ，３ｇを備えた構成を挙げることができる。上記（ａ）〜（ｃ）のシール構造、および最外周面での外気を遮断するシール構造を形成するとともに、歪の発生を緩和させる機能を有することができる。
【００２９】
＜ガス流通接続部の他の構成例＞
次に、ガス流通接続部を構成する接続部材について、異なる形態の接続部材を用いたガス流通接続部の構成例について説明する。具体的には、図５に例示するように、容器弁２０または／および供給流路３０において、本パッキン１０の側面部３と対向する容器弁２０の平面部２４ｂまたは／および供給流路３０の平面部３３の平坦部３３ａに、周回状の溝部２４ｄまたは／および３３ｄが設けられ、側面部３（本構成例のように、図４（Ａ）、（Ｃ）に例示するパッキンを用いた場合においては、厚肉部３ｆ）の一部が変形して溝部２４ｄまたは／および３３ｄに挿入され、シールが形成されることを特徴とする。
【００３０】
本パッキン１０の突状部２におけるシール構造に加え、本パッキン１０の一部の変形による溝部２４ｄまたは／および３３ｄへの挿入による、線接触に近い新たなシールが形成されることによって、より確実なシール部を構成することができる。厚肉部３ｆを有する本パッキン１０が用いられた場合には、さらに平面部２４ｂまたは／および３３と厚肉部３ｆとの間に、面接触のシールが形成されて、一層確実なシール部を構成することができる。また、平面部２４ｂまたは／および３３と厚肉部３ｆとのシール形成は、本パッキン１０の側面部３全体ではなく厚肉部３ｆを設けて小容量化し、さらに溝部２４ｄまたは／および３３ｄを設け、溝部２４ｄまたは／および３３ｄへの本パッキン１０の局部的な変形によるシール部分の小容量化によって、複数のシール構造を有しても、非常に小さなトルクでシール面に潰れ代が形成され、突状部２の角部２ｃにおける変形と同様、確実なシール部を構成することができる。
【００３１】
＜本ガス流通接続部におけるシール特性の検証＞
本ガス流通接続部におけるシール特性について、従来のガス容器弁との比較検証試験を行った。
（１）実験条件
接続部材に相当する開部２４と供給流路３０を除き、同一のガス容器弁を用いて、加圧条件の充填ガスの圧力の経時変化を追跡し、そのシール特性を検証した。具体的には、ガス容器バルブ出口に圧力計を備えた密閉流路を設置し、バルブを開として充填ガスであるヘリウム（Ｈｅ）を１４．７ＭＰａＧ封入し、圧力の安定を確認した後、バルブを閉とし、圧力計の指示を追跡した。このとき、ガス容器弁の締め付けトルクは、ともに４５Ｎ・ｍとした。
（１−２）実験結果
図６に例示するように、両者のシール特性に顕著な差異が見られた。具体的には、経過時間約５００ｓｅｃに対して、従来のパッキンについては、約１０ＭＰａの圧力低下が見られた。一方、本パッキンを用いた本ガス流通接続部においては、その間全くリークが見られないという結果が得られた。本パッキンおよび本ガス流通接続部の優れた機能を証明することができた。
【符号の説明】
【００３２】
１    開口部
２    突状部
２ａ  一端
２ｂ  平坦面
２ｃ  角部（他端）
２ｄ  突状部の厚み
２Ｌ  突状部の長さ
３    側面部
３ａ  段差
３ｂ，３ｃ  平坦面
１０  本パッキン
２０  容器弁
２１  バルブ
２２  開閉弁
２３  ガス流通路
２４  開部
２４ａ  内周面
２４ｃ  傾斜部
２５  ナット
３０  供給流路
３１  ガス流通路
３２  スリーブ
３２ａ  内周面
３２ｂ  外周面
３３  平面部
３３ａ  平坦面
【図１】
0005816578.tif 000002
【図２】
0005816578.tif 000003
【図３】
0005816578.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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