(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の主面と、前記一対の主面に隣接する矩形の４つの側面と、前記４つの側面の１つである第１の側面の長手方向に並列して配置され、かつ前記第１の側面から前記第１の側面に対向する第２の側面まで連通して前記第１の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室と、を有する平板状の圧電部材を形成する工程であって、第１の圧電プレートの１つの面に複数の溝を形成し、その後、前記第１の圧電プレートの前記１つの面と第２の圧電プレートとを接合することで、前記複数の溝を前記複数の圧力室として構成し、全体として平板状の接合体である前記圧電部材を形成する工程と、
前記第１の圧電プレートに前記第２の圧電プレートを接合する前または接合した後に、前記複数の圧力室の内壁面に第１の電極を形成する工程と、
前記平板状の圧電部材の前記一対の主面の一方に段差を形成する工程であって、前記第１の側面に隣接し前記複数の圧力室に対向する第１の領域を、前記第２の側面に隣接し前記第１の領域とともに前記一方の主面を二分する第２の領域に対して凹ませて、前記第１の領域と前記第２の領域との間に段差を形成する工程と、
前記段差を形成した圧電部材における圧力室同士の間で、かつ前記第１の側面と前記段差との間の一部を切断することによって、前記圧電部材を、互いに独立した前記複数の圧力室が前記段差から延びた櫛状に加工する工程と、
櫛状に加工された複数の前記圧電部材を互いに積層し、積層された複数の前記圧電部材の前記第２の領域同士を互いに接合する工程と、
前記第２の領域同士が接合された前記複数の櫛状の圧電部材の外表面に第２の電極を形成する工程と、を有する、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第２の電極が、前記第１の側面をマスキングした状態でスパッタリング、蒸着、またはめっきによって形成される、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記第１の電極が、無電解めっきによって形成される、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１の圧電プレートに前記第２の圧電プレートを接合する前に前記第１の電極を形成する工程を行い、該工程は、前記複数の溝の各々に第１の個別電極を形成する工程と、前記第２の圧電プレートにおける前記複数の溝に対応する位置に第２の個別電極を形成する工程とを、含み、
前記圧電部材を形成する工程において、前記第１の個別電極と前記第２の個別電極とが電気的に接続するように前記第１の圧電プレートと前記第２の圧電プレートを接合する、請求項１から３までのいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１の個別電極を、スパッタリング、蒸着、またはめっきによって形成する、請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第１の個別電極と前記第２の個別電極とを金属接合し、該金属接合部分を前記第１の圧電プレートと前記第２の圧電プレートの接合部分とする、請求項４または５に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１の電極を覆う保護膜を形成する工程を有する、請求項１から６までのいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を吐出する液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、記録装置として、インクを吐出して被記録媒体に画像を記録するインクジェット記録装置が知られている。インクジェット記録装置には、一般的に、インクを吐出するための液体吐出ヘッドが搭載されている。
【０００３】
液体吐出ヘッドがインクを吐出する機構として、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）に代表される圧電部材によって変形可能な圧力室を用いる機構が知られている。圧力室には、インクが流れる液体供給路と、インクを吐出する吐出口とが設けられている。圧力室の容積収縮時にインクは吐出口から液滴として吐出され、圧力室の容積膨張時に液体供給路にインクが導入される。
【０００４】
近年、インクに含まれている水分による被記録媒体の変形（カールやコックリングなど）を低減するために、インクの水分量を減らした高粘度インクの使用が検討されている。高粘度のインクを吐出するためには、大きな吐出力が求められる。この求めに対し、断面形状が円形や矩形の筒形状の圧電部材で圧力室を形成したグールドタイプと呼ばれる筒型圧電部材が提案されている。グールドタイプの液体吐出ヘッドでは、筒状の圧電部材が内外方向（径方向）に一様に変形することにより圧力室を膨張および収縮させる。グールドタイプの液体吐出ヘッドは、圧力室の壁面が全て変形し、インクの吐出力に寄与するので、１つの壁面を振動板で形成したタイプの液体吐出ヘッドと比較して大きなインク吐出力を得られる。
【０００５】
圧電部材を用いた液体吐出ヘッドによる印字において、印字速度を維持したままより高い解像度を得るためには、複数の吐出口をより高密度で液体吐出ヘッドに配置する必要がある。これに伴い、各々の吐出口に対応させて設けられる圧電部材は、より小型でかつ高密度に配置可能な構造が求められている。圧力室を高密度に配置可能な液体吐出ヘッドの製造方法が特許文献１に開示されている。
【０００６】
特許文献１に開示された製造方法では、まず、複数の溝を有する圧電プレートを、溝の長手方向を揃えて複数積層する。積層された複数の圧電プレートは、溝の長手方向と直交する方向に切断される。切断された圧電プレートは、溝部分が圧力室になる。その後、各々の圧力室を分離するために圧力室間の圧電部材を一定の深さまでダイシングにより除去する。そして、圧電プレートの上下には配線基板、オリフィスプレートとマニホールドが接続されることで液体吐出ヘッドは完成する。特許文献１に開示された製造方法によれば、圧力室を二次元状に配置できるので圧力室を高密度に配置することが可能となる。また、この製造方法によれば、圧電プレートに溝を形成するほうが孔を形成するよりも加工しやすいため、精度良く圧力室を形成できるとされている。
【０００７】
また、特許文献２には、複数の筒型圧電部材を千鳥状の２次元マトリクス状に配列することによって、吐出口の高密度化を図った液体吐出ヘッドの製造方法が開示されている。その製造方法では、複数の凹部を有する型へ向けて超微粒子化された圧電部材をエアロゾルノズルから噴射して型へ堆積させ、凹部の中心にフェムト秒レーザーなどで圧力室、吐出口となる貫通口を設けている。この製造方法はエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）と呼ばれる方法で、減圧された（５０〜１ｋＰａ程度）チャンバー内で微粒子を型に対して数百ｍ／ｓで噴射する。噴射された微粒子は型に衝突すると運動エネルギーが熱エネルギーに変換されて常温で固化される。このような製造方法で圧電部材を一体的に成形することによって、吐出口配置の精度の向上及び圧電部材の製造工程を簡素化できるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１６８３１９号公報
【特許文献２】特開２００６−３２７１６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
グールドタイプの液体吐出ヘッドにおいて、より高粘度のインクを吐出する（吐出力をより大きくする）ためには、圧力室を、アスペクト比（吐出口側の開口径に対する圧力室の長さの比）が高い形状、すなわち細長い形状にする必要がある。特許文献１に記載の製造方法では、圧力室を高アスペクト比形状で加工しようとするとダイサーなどによる２次元状の深溝加工が必要となる。しかし、ＰＺＴなどの圧電部材は脆性材料であるため、高アスペクト比の圧力室構造になるほどダイシングブレードの振動や洗浄液の水圧により圧力室の破損が懸念される。この懸念を払拭する手段として圧力室どうしの間隔を広くする方法が考えられるが、この場合、圧力室の高密度配置が困難になる。従って、特許文献１に開示された製造方法は、圧力室の高密度配置を確保して高粘度のインクを吐出することが困難である。
【００１０】
また、特許文献２に開示された製造方法では、現状、エアロゾルデポジション法で形成された圧電部材は、原理上は焼成することなく圧電部材として利用可能であるが、そのままではボイドなどの構造欠陥が内部に存在するために圧電特性が非常に低い。そのため、６００〜１０００℃程度で熱処理を行うことによって欠陥を回復させバルクの圧電部材並みの圧電特性を得ている。このように熱処理工程を施すと圧電部材は縮んでしまうので、精度良い圧力室の形成が困難になる。
【００１１】
本発明の目的は、上記の問題点を鑑みなされたもので、圧力室を高密度および高精度に配置するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、互いに対向する一対の主面と、前記一対の主面に隣接する矩形の４つの側面と、前記４つの側面の１つである第１の側面の長手方向に並列して配置され、かつ前記第１の側面から前記第１の側面に対向する第２の側面まで連通して前記第１の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室と、を有する平板状の圧電部材を形成する工程であって、第１の圧電プレートの１つの面に複数の溝を形成し、その後、前記第１の圧電プレートの前記１つの面と第２の圧電プレートとを接合することで、前記複数の溝を前記複数の圧力室として構成し、全体として平板状の接合体である前記圧電部材を形成する工程と、前記第１の圧電プレートに前記第２の圧電プレートを接合する前または接合した後に、前記複数の圧力室の内壁面に第１の電極を形成する工程と、前記平板状の圧電部材の前記一対の主面の一方に段差を形成する工程であって、前記第１の側面に隣接し前記複数の圧力室に対向する第１の領域を、前記第２の側面に隣接し前記第１の領域とともに前記一方の主面を二分する第２の領域に対して凹ませて、前記第１の領域と前記第２の領域との間に段差を形成する工程と、前記段差を形成した圧電部材における圧力室同士の間で、かつ前記第１の側面と前記段差との間の一部を切断することによって、前記圧電部材を、互いに独立した前記複数の圧力室が前記段差から延びた櫛状に加工する工程と、櫛状に加工された複数の前記圧電部材を互いに積層し、積層された複数の前記圧電部材の前記第２の領域同士を互いに接合する工程と、前記第２の領域同士が接合された前記複数の櫛状の圧電部材の外表面に第２の電極を形成する工程と、を有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、圧力室を高密度及び高精度に配置するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の製造方法により製造された液体吐出ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置の概略構成図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録装置に設けられた液体吐出ヘッドユニットの吐出口の配置図である。
【図３】図１に示すインクジェット記録装置に設けられた液体吐出ヘッドユニットの外観示す斜視図である。
【図４】図３に示す液体吐出ヘッドユニットの分解斜視図である。
【図５】図３に示す切断線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図６】本発明の実施形態１における液体吐出ヘッドの製造方法のうち工程１から工程５までを説明するための斜視図である。
【図７】本発明の実施形態１における液体吐出ヘッドの製造方法のうち工程６から工程８までを説明するための斜視図である。
【図８】本発明の実施形態１における液体吐出ヘッドの製造方法のうち工程９を説明するための斜視図である。
【図９】本発明の実施形態１における液体吐出ヘッドの製造方法のうち工程１０を説明するための斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態１及び２における液体吐出ヘッドの他の製造方法の工程の一部を説明するための斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態２における液体吐出ヘッドの製造方法のうちの工程１から工程７までを説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（実施形態１）
まず、本発明の製造方法により製造された液体吐出ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置の構成について説明する。図１は、本発明の製造方法により製造された液体吐出ヘッドが搭載されたインクジェット記録装置の概略構成を示す図である。図１に示す記録装置では、搬送ベルト１０４の上に記録媒体１０２が載置されている。搬送ベルト１０４は、搬送ローラー１０３に張架され、無端ベルト状である。搬送ベルト１０４を駆動することによって、記録媒体１０２は、搬送方向（図１の矢印参照）に搬送される。
【００１６】
また、図１に示すインクジェット記録装置には、インクを吐出可能な液体吐出ヘッドユニット１０１が設けられている。液体吐出ヘッドユニット１０１は、記録媒体１０２の幅に対応した範囲に対応して配列された複数の吐出口３０８が形成された液体吐出ヘッド３０３を有する。液体吐出ヘッド３０３は、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｂｋ）の４色に対応して、記録媒体の搬送方向に並置される。記録媒体１０２を搬送しながら液体吐出ヘッド３０３から各インクを吐出させることによって、高速なフルカラー記録が行われる。
【００１７】
次に、液体吐出ヘッドユニット１０１の吐出口３０８の配置について図２を参照しながら説明する。インク色毎に設けられている各液体吐出ヘッドユニット１０１の構造は共通している。液体吐出ヘッド１０１では、図２に示すように、インク液滴を吐出する吐出口３０８を２次元状に配置することによって高密度化を図るようにした短尺の液体吐出ヘッドを形成している。この短尺の液体吐出ヘッドを複数繋ぎ合わせることによって、液体吐出ヘッドユニット１０１は、全体で被記録媒体の全幅に対応する長さとなるようにして１つの長尺のフルラインヘッドを構成している。
【００１８】
次に、図１に示すインクジェット記録装置に搭載されている液体吐出ヘッドユニット１０１の構成ついて説明する。
【００１９】
図３は、液体吐出ヘッドユニット１０１の外観を示す斜視図である。図４は、図３に示す液体吐出ヘッドユニット１０１の分解斜視図である。図５は、図３に示す切断線Ａ−Ａに沿った断面図である。液体吐出ヘッドユニット１０１では、記録媒体１０２側からオリフィスプレート３０４、液体吐出ヘッド３０３、流体制御プレート３０２、マニホールド３０１が順に積層接合されて構成されている。
【００２０】
オリフィスプレート３０４には、圧力室３０７で加圧されたインクが液滴として吐出する吐出口３０８が備えられている。
【００２１】
液体吐出ヘッド３０３は、全体が圧電部材で構成され、各吐出口３０８に対応した位置に長い筒状の流路構造をした圧力室３０７が２次元状に配置されている。圧力室３０７の内壁面には、第１の電極３０９が形成され、圧力室３０７の外壁面には第２の電極３１０（ＧＮＤ電極）が形成されている。筒状の圧力室３０７を形成し、第１の電極３０９と第２の電極３１０で挟まれた部分の圧電部材がインクを吐出する圧電アクチュエータ５０２として機能する。また、流体制御プレート３０２と接する面には第１の電極３０９、第１の電極用パッド３１１、第２の電極用パッド３１２が形成されている。これらのパッドにフレキシブルケーブルなどを電気的に接続することで各配線を駆動回路部（不図示）へと引き出すことが可能となる。
【００２２】
流体制御プレート３０２には、後方絞り３０６が各圧力室３０７に対応した位置に設けられている。後方絞り３０６は、圧電アクチュエータ５０２の駆動によって生じるインクの流動が吐出口側に強く生じるようにインクの逆流を制限するものである。流体制御プレート３０２は各電極と接しているので樹脂、ガラス、セラミクスなどの絶縁性材料で形成される必要がある。
【００２３】
マニホールド３０１には、ポンプ１０５によってインクタンク１０６からインクが流入するインク供給口３０５と、インク供給口３０５に連通した共通流路５０１が形成されている。液体吐出ヘッド３０３内に形成されている各圧力室３０７は、共通流路５０１を介して連通している。
【００２４】
次に本実施例の液体吐出ヘッド３０３の製造方法について説明する。
【００２５】
図６は、本実施形態の液体吐出ヘッド３０３の製造方法のうち、工程１から工程５までを説明するための斜視図である。
【００２６】
工程１は、図６（ａ）に示すように、平板状の第１の圧電プレート６０１に、複数の溝６０２を形成する工程である。各溝６０２は、矩形の４つの側面の一つである側面６（第１の側面）から側面６に対向する側面７（第２の側面）まで延び、側面６の長手方向Ｘに互いに間隔をとって配置される。溝６０２は、均一に所定の深さとする必要があるので、深さ制御において精度が高いダイシング加工などにより形成することが望ましい。溝６０２の空洞部分の一部が圧力室３０７として機能する。
【００２７】
工程２は、図６（ｂ）に示すように、各溝６０２に第１の個別電極６０３を形成する工程である。第１の個別電極６０３のパターニングは、リフトオフ、レーザーやダイシングでのパターニングなどで形成する。リフトオフで形成する場合は、電極パターンを残さない部分にレジストが残るようにフォトリソグラフィで形成し、その上部からスパッタリングや蒸着によって電極となる金属層をレジストのパターンを含めて全面に形成する。そして、レジストを除去することでレジスト上部に成膜されていた金属膜がレジストと共に剥離して、最終的に所望の金属膜のパターンが得られる。また、レーザーやダイシングを用いる場合は、まず全面にスパッタリング、蒸着や無電解めっきなどで金属膜を成膜する。この時、ダイシングで加工された溝６０２の壁面は垂直に近い形状をしているのでスパッタや蒸着では十分に成膜されない場合がある。そのような場合には、無電解めっきでの成膜が好適である。そして、成膜された金属膜の不要な部分をレーザーやダイシングによって除去することで所望の個別電極パターンが得られる。
【００２８】
工程３は、図６（ｃ）に示すように、第１の圧電プレート６０１の裏面に、段差６０９を形成する工程である。段差６０９によって、側面６に隣接し、溝６０２に対向する第１の領域が、側面７に隣接し、第１の領域とともに第１の圧電プレート６０１の裏面を二分する第２の領域に対して凹む。換言すると、第１の圧電プレート６０１の側面６側に、第１の圧電プレート６０１の厚さ方向Ｚに関する厚さが、側面７側の厚さより小さい部分が形成される。本実施形態では、第１の領域を切り欠き６０４と称し、また、第２の領域をベース部６０７と称する。切り欠き６０４は、ベース部６０７を残して、溝６０２の底部に達しない所望の深さまでフライス加工などの切削加工によって形成される。切り欠き６０４の部分に対応した溝６０２の空洞部分が、最終的に圧力室３０７となる。
【００２９】
工程４は、図６（ｄ）に示すように、平板状の第２の圧電プレート６０８の表面に第２の個別電極６０５のパターニングを形成する工程である。第２の圧電プレート６０８は、第１の圧電プレート６０１と同一寸法の平面形状を有しているが、厚さは同じである必要はない。第２の個別電極６０５パターンのパターニングは、上述したリフトオフや金属膜のエッチングなどによって形成され、第１の個別電極６０３に対応する位置に形成される。
【００３０】
工程５は、図６（ｄ）、（ｅ）に示すように、第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを、前記第１の個別電極６０３と第２の個別電極６０５とが電気的に接続するように接合する工程である。これにより、平板状の接合体６２０（圧電部材）が完成する。平板状の接合体６２０において、段差６０９が形成された第１の圧電プレート６０１の裏面６１と、第２の圧電プレートの、第２の個別電極６０５が形成されていない裏面６２とが一対の主面を構成している。なお、工程５以降は、圧力室３０７内部に形成された電極を単に第１の電極３０９と称する。接合方法としては、フリップチップボンダーなどの装置を用いて接着剤での接合する方法や、第１の個別電極６０３と第２の個別電極６０５を金属接合する方法がある。工程５により、側面６側の開口（第１の側面側の開口）からインクを吐出する複数の圧力室３０７が一次元状に配列された流路構造が形成される。
【００３１】
図７は、本実施形態の液体吐出ヘッド３０３の製造方法のうち、工程６から工程８までを説明するための斜視図である。
【００３２】
工程６は、図７（ａ）に示すように、接合体６２０に形成された複数の圧力室３０７を分離する間隙６０６を形成する工程である。間隙６０６は、側面６から段差６０９に到達する部分まで切断することによって形成される。これにより、互いに独立した複数の圧力室３０７が段差６０９から延びた櫛状体６３０（櫛状の圧電部材）が完成する。切断方法としては、レーザーやダイサーによるハーフダイシングなどを用いる。ハーフダイシングの場合、ベース部６０７にＲ形状ができてしまう懸念があるので、厚いダミー基板に接合された第１、第２の圧電プレート６０１、６０８を仮接着してダミー基板部分の深さまでダイシングブレードが入るようにハーフダイシングを行う。これにより、ベース部６０７のＲ形状を防止することが可能となる。
【００３３】
工程７は、図７（ｂ）に示すように、複数の櫛状体６３０を互いに接合する工程である。これにより、積層体６４０が完成する。工程７では、複数の櫛状体６３０は、側面６を揃えて、ベース部６０７を接合することによって、積層体６４０が完成する。接合方法には、ベース部６０７に接着剤を塗布したものを複数枚積層することで接着する方法や、金属膜をスパッタや蒸着でベース部６０７を含む切り欠き形成面の全面に成膜した金属膜を用いた金属接合による方法を用いる方法がある。工程７によって、複数の圧力室３０７が長手方向Ｘに間隙６０６で分離され、厚さ方向Ｚに段差６０９で分離され、二次元状に配置されることになる。
【００３４】
工程８は、図７（ｃ）に示すように、積層体６４０の外表面に第２の電極３１０を形成する工程である。第２の電極３１０は、積層体６４０の側面６（圧力室３０７の吐出口側の開口面を含む）を全てマスキングテープやレジストなどによって覆った状態で無電解めっきを行うことによって形成される。これにより積層体６４０の側面６へのめっき膜の付着を防止しながら、他の部分には全周に渡ってめっき膜を成膜することが可能となる。
【００３５】
図８は、本実施形態の液体吐出ヘッド３０３の製造方法のうち工程９を説明するための斜視図である。
【００３６】
工程９は、積層体６４０の側面７（圧力室３０７の共通流路側の開口面を含む）に、第１の電極３０９を引き出すための配線パターンを形成する工程である。図８（ａ）に示すように、工程８では積層体６４０の側面６を除いて全周に第２の電極３１０が形成されているので、圧力室３０７の内壁面に形成された第１の電極３０９と第２の電極３１０とが導通している。そのため、工程９では、この導通を分離して図８（ｂ）に示すような配線パターンを形成する。配線パターンには、フレキシブルケーブルなどと電気的に接続するための第１の電極用パッド３１１と、第２の電極用パッド３１２がそれぞれ含まれる。両電極パッドは、圧力室３０７が形成されていない端部に形成される。配線パターンの形成方法には、レーザーのアブレーションによる方法やレジストのフォトリソグラフィを併用した金属膜のエッチングを用いる方法がある。
【００３７】
図９は、本実施形態の液体吐出ヘッド３０３の製造方法のうち工程１０および工程１１を説明するための斜視図である。
【００３８】
工程１０は、分極処理を行う工程である。この分極処理では、圧電部材のキュリー点付近まで加熱した状態で、第１の電極３０９と、第２の電極３１０に高電界が印加される。この分極処理によって、圧電アクチュエータ５０２は内外方向（図９（ａ）の矢印８０１参照）に分極される。よって、駆動信号に応じて圧力室３０７を膨張および収縮させるような変形が可能となる。第１の電極３０９と第２の電極３１０について、電圧の正負の組み合わせは特に限定されない。
【００３９】
工程１１は、図９（ｂ）に示すように、第１の電極３０９を覆う保護膜３１９を形成する工程である。保護膜３１９は、圧力室３０７に供給されるインクから第１の電極３０９を保護する目的で形成される。圧力室３０７が微細な筒形状を有した構造や圧電部材や接着剤などの構成材料を考慮すると、保護膜３１９の材料としてはパリレンが好適である。パリレンは気相で成膜することができるので圧力室内部にも一様に成膜することが可能である。また、優れた耐薬品性を有しているのでインク耐性も十分である。また、最高で４００℃程度までの耐熱性を有しているので、圧電アクチュエータ５０２の駆動による温度上昇や再分極が必要となった場合にも対応可能である。
【００４０】
上述した液体吐出ヘッドの製造方法では、複数の圧力室３０７が一次元状に配置された平板状の接合体６２０ごとに、段差６０９の形成や圧力室同士の間の切断といった各圧力室３０７を分離するための加工を施している。そのため、ある一つの平板状の接合体６２０に上記の加工を施している最中に振動が発生しても、その振動は、他の平板状の接合体６２０に形成された圧力室３０７には影響しないので圧力室が損傷しにくくなる。よって、圧力室同士の間隔を広げなくても高アスペクト比の圧力室を形成できるようになるので、圧力室の高密度配置を確保するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能となる。また、本実施形態の製造方法によれば、圧力室３０７を均一（高精度）に作製することが出来るのでインクの吐出量や吐出速度といった吐出性能を均一化することが可能である。
【００４１】
なお、本実施形態の製造方法では、工程３で第１の圧電プレートに段差６０９を形成した後、工程５で第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合している。しかし、本発明では、図１０に示すように、第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合する工程の後、第１の圧電プレートに段差６０９を形成する工程を行ってもよい。
【００４２】
（実施形態２）
本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
【００４３】
図１１は、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法のうち、工程１から工程７までを説明するための斜視図である。なお、以下、実施形態１で説明した製造方法と相違する点を中心に詳細に説明し、実施形態１で説明した製造方法と同じ点については詳細な説明を省略する。
【００４４】
工程１は、実施形態１で説明した工程１と同様に、平板状の第１の圧電プレート６０１に複数の溝６０２を形成する工程である（図１１（ａ）参照）。工程２は、実施形態１で説明した工程３と同様に、第１の圧電プレート６０１の裏面に段差６０９を形成する工程である（図１１（ｂ）参照）。工程３は、実施形態１で説明した工程５と同様に、第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合する工程である（図１１（ｃ）、（ｄ）参照）。
【００４５】
実施形態１の製造方法では、工程２および工程４で第１の個別電極６０３、６０５をそれぞれ形成した後、工程５で第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８を接合していた。一方、本実施形態の製造方法では、第１の個別電極６０３、６０５を形成する前に第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合する。
【００４６】
工程４は、実施形態１で説明した工程６と同様に、間隙６０６を形成する工程である（図１１（ｅ）参照）。工程５は、実施形態１で説明した工程７と同様に、複数の櫛状体６３０を互いに積層する工程である（図１１（ｆ）参照）。
【００４７】
工程６は、無電解めっきによって第１の電極３０９および第２の電極３１０を形成する工程である。図１１（ｇ）に示すように、圧力室３０７の内壁面および外壁面を含む、露出面全体にめっき膜１００１が成膜される。
【００４８】
工程７は、図１１（ｈ）に示すように、圧力室３０７の吐出口側の開口面に成膜されためっき膜１００１を除去する工程である。除去の方法は、レーザー、研磨やダイシングなどである。研磨やダイシングで金属膜の除去を行う場合には、圧力室３０７が破損するおそれがある。そのため、圧力室３０７どうしの隙間部分に容易に除去可能なレジストなどの樹脂を充填して補強を行った上で加工を行うことが望ましい。工程７以降は、実施形態１で説明した工程９〜工程１１が行われる。
【００４９】
本実施形態の製造方法では、第１の電極３０９と第２の電極３１０の形成工程を簡素化することが可能となるので全体の製造方法の工程も簡素化することが出来る。
【００５０】
また、本実施形態の製造方法では、工程２で第１の圧電プレートに段差６０９を形成した後、工程３で第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合している。しかし、本発明では、図１０に示すように、第１の圧電プレート６０１と第２の圧電プレート６０８とを接合する工程の後、第１の圧電プレートに段差６０９を形成する工程を行ってもよい。
【符号の説明】
【００５１】
３０７ 圧力室
３０９ 第１の電極
３１０ 第２の電極
６０９ 段差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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