(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面を有する第１基板と、
前記第１主面と向かい合う第２主面と、第１凹凸部を有し前記第２主面と反対側にある第３主面と、を有する光透過性の第２基板であって、前記第２主面は、第２凹凸部を有し、前記第２凹凸部の高さは、１μｍ以上５０μｍ以下である第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間に設けられたシール部と、
前記第１基板と前記第２基板と前記シール部とで封止された空間内に設けられた積層体であって、
光透過性の第１電極と、
前記第１基板と前記第１電極との間に設けられた光反射性の第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた有機発光層と、
を含む積層体と、
前記第２基板と前記積層体との間に設けられるとともに、前記シール部と前記積層体との間に延在する中間層であって、前記中間層の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値は、前記第２基板の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値よりも小さい中間層と、
を備え、
前記第１主面に対して垂直な方向に沿った、前記第２主面と前記積層体との間の距離は、２μｍ以上５００μｍ以下である有機電界発光素子。
【請求項２】
前記積層体は、前記第２電極と前記有機発光層との間に設けられた光透過性の第３電極をさらに含む請求項１記載の有機電界発光素子。
【請求項３】
前記第２基板は、外縁部と、前記外縁部の内側の内側部と、を有し、
前記第２主面は、前記内側部において後退しており、
前記外縁部の少なくとも一部は、前記積層体の側面と対向する請求項１又は２に記載の有機電界発光素子。
【請求項４】
前記積層体の側面と前記外縁部との間の距離は、５μｍ以上１０００μｍ以下である請求項３記載の有機電界発光素子。
【請求項５】
前記中間層は、樹脂部と、前記樹脂部に分散され前記樹脂部の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率粒子と、を含む請求項１〜４のいずれか１つに記載の有機電界発光素子。
【請求項６】
前記中間層は、吸湿性を有する複数の吸湿性粒子を含む請求項１〜５のいずれか１つに記載の有機電界発光素子。
【請求項７】
前記積層体は、前記第１電極と対向する複数の前記第２電極を含み、
前記複数の第２電極のそれぞれは、第１方向に延び、前記第１方向に対して垂直な第２方向に並び、
前記有機発光層は、前記第１電極と前記複数の第２電極のそれぞれとの間に設けられる請求項１〜６のいずれか１つに記載の有機電界発光素子。
【請求項８】
前記第１凹凸部は、前記第３主面において前記複数の第２電極と対向する部分のみに設けられる請求項７記載の有機電界発光素子。
【請求項９】
前記積層体と前記中間層との間に設けられた保護膜をさらに備えた請求項１〜８のいずれか１つに記載の有機電界発光素子。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の有機電界発光素子と、
前記第１電極と前記第２電極とに電気的に接続され、前記第１電極及び前記第２電極を介して前記有機発光層に電流を供給する電源部と、
を備えた照明装置。
【請求項１１】
第１主面を有する第１基板と、
前記第１基板の上に設けられた積層体であって、光透過性の第１電極と、前記第１基板と前記第１電極との間に設けられた光反射性の第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に設けられた有機発光層と、を含む積層体と、
を含む加工体を準備する工程と、
第２主面と、第１凹凸部を有し前記第２主面と反対側にある第３主面と、を有する光透過性の第２基板であって、前記第２主面は、第２凹凸部を有し、前記第２凹凸部の高さは、１μｍ以上５０μｍ以下である第２基板を準備する工程と、
前記第２主面を前記第１主面に対向するように前記第２基板と前記加工体とを互いに対向させ、前記第１主面に対して垂直な方向に沿った前記第２主面と前記積層体との間の距離を２μｍ以上５００μｍ以下にし、前記第１基板と前記第２基板との間にシール部を形成し、前記第１基板と前記第２基板と前記シール部とで前記積層体を封止するとともに、中間層であって、前記中間層の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値が、前記第２基板の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値よりも小さい中間層を、前記第２基板と前記積層体との間に形成し、かつ前記シール部と前記積層体との間に延在させる工程と、
を備えた有機電界発光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、有機電界発光素子、照明装置及び有機電界発光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機電界発光素子を光源として用いた照明装置がある。有機電界発光素子において、発光効率の向上が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１５７４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、高い発光効率を有する有機電界発光素子、照明装置及び有機電界発光素子の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の実施形態によれば、第１基板と、第２基板と、シール部と、積層体と、中間層と、を備えた有機電界発光素子が提供される。前記第１基板は、第１主面を有する。前記第２基板は、前記第１主面と向かい合う第２主面と、第１凹凸部を有し前記第２主面と反対側にある第３主面と、を有する。前記第２基板は、光透過性を有する。前記第２主面は、第２凹凸部を有する。前記第２凹凸部の高さは、１μｍ以上５０μｍ以下である。前記シール部は、前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる。前記積層体は、前記第１基板と前記第２基板と前記シール部とで封止された空間内に設けられる。前記積層体は、第１電極と、第２電極と、有機発光層と、を含む。前記第１電極は、光透過性を有する。前記第２電極は、前記第１基板と前記第１電極との間に設けられる。前記第２電極は、光反射性を有する。前記有機発光層は、前記第１電極と前記第２電極との間に設けられる。前記中間層は、前記第２基板と前記積層体との間に設けられるとともに、前記シール部と前記積層体との間に延在する。前記中間層の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値は、前記第２基板の屈折率と前記第１電極の屈折率との差の絶対値よりも小さい。前記第１主面に対して垂直な方向に沿った、前記第２主面と前記積層体との間の距離は、２μｍ以上５００μｍ以下である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１の実施形態に係る有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る有機電界発光素子の一部の構成を例示する模式的断面図である。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の一部の構成を例示する模式的断面図である。
【図４】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図５】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の特性を例示するグラフ図である。
【図６】図６（ａ）〜図６（ｆ）は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式図である。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）は、参考例の有機電界発光素子の構成及び特性を例示する模式図である。
【図８】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図９】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図１０】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図１１】図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式図である。
【図１２】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図１３】第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。
【図１４】第２の実施形態に係る照明装置の構成を例示する模式図である。
【図１５】図１５（ａ）〜図１５（ｃ）は、第３の実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図１６】図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、第３の実施形態に係る有機電界発光素子の別の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。
【図１７】第３の実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示するフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。  
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。  
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図１に表したように、有機電界発光素子１１０は、第１基板８１と、第２基板８２と、積層体５０と、中間層６０と、を備える。  
第１基板８１は、第１主面８１ａを有する。第１基板８１は、例えば、光透過性を有する。第１基板８１は、例えば、透明である。
【０００９】
ここで、第１主面８１ａに対して垂直な第１方向をＺ軸方向とする。第１主面８１ａに対して平行な１つの方向をＸ軸方向とする。第１主面８１ａに対して平行でＸ軸方向に対して垂直な方向をＹ軸方向とする。Ｘ軸方向及びＹ軸方向は、Ｚ軸方向に対して垂直な方向である。Ｚ軸方向は、第１基板８１の厚さ方向に相当する。
【００１０】
第２基板８２は、第１主面８１ａと互いに向かい合う第２主面８２ａと、Ｚ軸方向において第２主面８２ａと反対側の第３主面８２ｂと、を有する。第２基板８２は、例えば、光透過性を有する。第２基板８２は、例えば、透明である。
【００１１】
積層体５０は、第１電極１０と、第２電極２０と、有機発光層４０と、を含む。  
第１電極１０は、第１基板８１と第２基板８２との間に設けられる。第１電極１０は、光透過性を有する。第１電極１０は、例えば、透明電極である。
【００１２】
第２電極２０は、第１基板８１と第１電極１０との間に設けられる。第２電極２０は、光反射性を有する。第２電極２０の光反射率は、第１電極１０の光反射率よりも高い。本願明細書においては、第１電極１０の光反射率よりも高い光反射率を有している状態を光反射性という。第１電極１０の光透過率は、第２電極２０の光透過率よりも高い。本願明細書においては、第２電極２０の光透過率よりも高い光透過率を有している状態を光透過性という。例えば、第１基板８１の光透過率及び第２基板８２の光透過率は、第２電極２０の光透過率よりも高い。
【００１３】
有機発光層４０は、第１電極１０と第２電極２０との間に設けられる。有機発光層４０は、例えば、第１電極１０と第２電極２０とを介して電圧が印加された場合に、電子と正孔とを再結合させ、励起子を生成する。有機発光層４０は、例えば、励起子が放射失活する際の光の放出を利用して発光する。
【００１４】
本願明細書において、「積層」は、接して重ねられる状態の他に、間に他の要素が挿入されて重ねられる状態を含む。この例において、積層体５０の積層方向は、Ｚ軸方向である。
【００１５】
第２基板８２は、外縁部８３と、外縁部８３の内側の内側部８４と、を有する。第２主面８２ａは、内側部８４において後退している。第２基板８２は、例えば、第２主面８２ａに凹部８５を有する。内側部８４は、例えば、第２基板８２を第１主面８１ａに投影したときに、凹部８５と重なる部分である。外縁部８３は、例えば、第２基板８２を第１主面８１ａに投影したときに、凹部８５と重ならない部分である。
【００１６】
第２基板８２は、第１主面８１ａの上に設けられ、積層体５０を覆う。外縁部８３の少なくとも一部は、積層体５０の側面５０ｓと対向する。Ｚ軸方向に沿った、第２主面８２ａと積層体５０との間の距離Ｄ１は、例えば、２μｍ以上５００μｍ以下である。また、外縁部８３と積層体５０の側面５０ｓとの間の距離Ｄ２は、例えば、５μｍ以上１０００μｍ以下である。
【００１７】
第１基板８１と外縁部８３との間には、シール部８６が設けられている。第２基板８２は、例えば、シール部８６を介して第１基板８１の第１主面８１ａに接着される。これにより、第１基板８１と第２基板８２とによって、積層体５０が封止される。シール部８６には、例えば、紫外線硬化樹脂などが用いられる。
【００１８】
第２基板８２は、第１凹凸部７１と、第２凹凸部７２と、を有する。  
第３主面８２ｂは、第１凹凸部７１を有する。第１凹凸部７１は、光透過性を有する。第１凹凸部７１は、例えば、透明である。第１凹凸部７１は、複数の凹凸７１ａを有する。第１凹凸部７１は、例えば、複数の凹凸７１ａによって、有機発光層４０から放出された光（以下、発光光と称す）の進行方向を変化させる。第１凹凸部７１は、例えば、複数の凹凸７１ａによって、発光光を散乱もしくは屈折させる。これにより、第１凹凸部７１は、例えば、発光光の第３主面８２ｂでの全反射を抑える。
【００１９】
複数の凹凸７１ａは、例えば、半球状のマイクロレンズＭＬである。第１凹凸部７１は、例えば、複数のマイクロレンズＭＬをマトリクス状に並べたマイクロレンズシートＭＳである。マイクロレンズＭＬの高さ（Ｚ軸方向に沿う長さ）は、例えば、１５μｍ（１μｍ以上５０μｍ以下）である。すなわち、マイクロレンズＭＬの直径は、例えば、３０μｍ（２μｍ以上１００μｍ以下）である。凹凸７１ａの形状は、マイクロレンズＭＬに限ることなく、任意の形状でよい。第１凹凸部７１と第２基板８２との間には、第１接着層７３が設けられる。第１凹凸部７１は、例えば、第１接着層７３を介して第３主面８２ｂに貼り付けられる。
【００２０】
第２主面８２ａは、第２凹凸部７２を有する。第２凹凸部７２は、第２基板８２の内側部８４の部分に設けられる。第２凹凸部７２は、例えば、凹部８５の底面８５ａに設けられる。第２凹凸部７２は、光透過性を有する。第２凹凸部７２は、例えば、透明である。第２凹凸部７２は、複数の凹凸７２ａを有する。第２凹凸部７２は、例えば、複数の凹凸７２ａによって、発光光の進行方向を変化させる。第２凹凸部７２は、例えば、複数の凹凸７２ａによって、発光光を散乱もしくは屈折させる。これにより、第２凹凸部７２は、例えば、発光光の第２主面８２ａでの全反射を抑える。
【００２１】
第２凹凸部７２は、例えば、第１凹凸部７１と実質的に同じマイクロレンズシートＭＳである。複数の凹凸７２ａは、例えば、凹凸７１ａと実質的に同じマイクロレンズＭＬである。第２凹凸部７２と第２基板８２との間には、第２接着層７４が設けられる。第２凹凸部７２は、例えば、第２接着層７４を介して第２主面８２ａに貼り付けられる。第１接着層７３及び第２接着層７４は、固化して剥離抵抗力を発揮する接着剤でもよいし、高粘性の液体またはゲル状の固体を含む粘着剤でもよい。
【００２２】
中間層６０は、第２基板８２と積層体５０との間に設けられる。この例において、中間層６０は、第２凹凸部７２と積層体５０との間に設けられる。中間層６０は、第２基板８２の外縁部８３と、積層体５０の側面５０ｓと、の間にも設けられる。中間層６０は、例えば、第１主面８１ａと第２主面８２ａとの間の隙間に充填される。中間層６０は、光透過性を有する。中間層６０は、例えば、透明である。中間層６０の屈折率と第１電極１０の屈折率との屈折率差の絶対値は、第２基板８２の屈折率と第１電極１０の屈折率との屈折率差の絶対値よりも小さい。中間層６０の屈折率は、第１電極１０の屈折率に近い。これにより、中間層６０は、例えば、発光光の第１電極１０の表面での全反射を抑える。すなわち、有機電界発光素子１１０では、中間層６０によって、積層体５０に閉じこもる光（薄膜モード）を中間層６０まで効率良く取り出すことができる。
【００２３】
第２凹凸部７２の凹凸７２ａの径が、可視光の波長オーダーである３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ未満の場合、散乱及び屈折の効果が小さくなる。マイクロレンズＭＬの高さを、例えば、１μｍ以上５０μｍ以下とすることにより、散乱及び屈折の効果を適切に得ることができる。これにより、中間層６０まで取り出した光を外部に取り出すことができる。
【００２４】
凹凸７２ａをフォトリソグラフィなどを用いて形成する方法もある。しかしながら、フォトリソグラフィなどを用いる方法では、加工する構造体の膜厚が１０μｍ以下のいわゆる薄膜プロセスとなる。この場合、凹凸７２ａの直径が、２μｍよりも大きいと、凹凸７２ａを理想的なレンズ形状にするためには、凹凸７２ａの高さを１μｍ程度に厚くする必要が生じる。すると、薄膜の内部応力によるクラックが生じ、凹凸７２ａの加工が困難になる。それにより、適切な形状の凹凸７２ａを安定的に形成することが難しい。これに対して、マイクロレンズシートＭＳを貼り付けて第２凹凸部７２を形成する構成では、適切な形状の凹凸７２ａを容易に得ることができる。なお、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２は、マイクロレンズシートＭＳに限ることなく、例えば、レンチキュラレンズシートや、格子形状またはピラミッド構造を有するシートなど、他の光学フィルムを用いてもよい。また、第１凹凸部７１の構成及び第２凹凸部７２の構成は、発光光の進行方向を変化させることができる任意の構成でよい。第１凹凸部７１の構成は、第２凹凸部７２の構成と異なっていてもよい。
【００２５】
有機電界発光素子１１０において、発光光は、第１電極１０、中間層６０、第２凹凸部７２、第２基板８２、及び、第１凹凸部７１を透過して、有機電界発光素子１１０の外部に出射する。すなわち、有機電界発光素子１１０は、第１基板８１の上側に向けて光を放出するトップエミッション型（上面発光型）の発光素子である。
【００２６】
有機電界発光素子１１０では、発光光の第１電極１０の表面での全反射が、中間層６０によって抑えられる。すなわち、有機電界発光素子１１０では、薄膜モードを中間層６０まで効率良く取り出すことができる。有機電界発光素子１１０では、発光光の第２主面８２ａでの全反射が、第２凹凸部７２によって抑えられる。これにより、中間層６０まで取り出した光を、外部モード、もしくは基板モードに効率よく変換することができる。有機電界発光素子１１０では、発光光の第３主面８２ｂでの全反射が、第１凹凸部７１によって抑えられる。すなわち、有機電界発光素子１１０では、基板モードも効率良く取り出すことができる。このように、有機電界発光素子１１０では、発光光の、全反射に起因する光取り出し効率の低下を抑えることができる。これにより、有機電界発光素子１１０では、高い発光効率を得ることができる。
【００２７】
距離Ｄ１が２μｍよりも小さいと、例えば、第２凹凸部７２が、積層体５０に接触してしまう。また、距離Ｄ１が２μｍよりも小さい場合に、積層体５０に接触しないように凹凸７２ａを形成すると、例えば、凹凸７２ａが小さくなりすぎて光取り出し効率を向上させる効果が得られなくなってしまう。一方、距離Ｄ１が５００μｍよりも大きいと、例えば、有機電界発光素子１１０が厚くなってしまう。また、距離Ｄ１を５００μｍよりも大きくしつつ、有機電界発光素子１１０の厚さ（Ｚ軸方向に沿う長さ）を抑えようとすると、例えば、第２基板８２の強度が低下してしまう。このため、距離Ｄ１は、２μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。
【００２８】
距離Ｄ２が５μｍよりも小さいと、例えば、有機電界発光素子１１０の製造が困難になる。一方、距離Ｄ２が１０００μｍよりも大きいと、例えば、有機電界発光素子１１０が無駄に大きくなってしまう。このため、距離Ｄ２は、５μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。
【００２９】
有機電界発光素子１１０では、第２基板８２の外縁部８３と、積層体５０の側面５０ｓと、の間にも、中間層６０が設けられている。これにより、例えば、シール部８６から浸入する水分などから有機発光層４０などをより適切に保護することができる。例えば、水分や酸素を捕捉する乾燥剤の機能、または、水分や酸素を通さない封止機能を、中間層６０に持たせる。こうすれば、例えば、有機電界発光素子１１０の保管寿命を高めることができる。また、中間層６０に光散乱性を持たせれば、横方向に伝搬して取り出せない薄膜モードの光の一部を取り出すことができる。
【００３０】
また、中間層６０を設けることによって、横方向の光の伝搬距離を広げることができる。例えば、第２電極２０にＡｌやＡｇを用い、反射率が９０％程度である場合、薄膜モードの光は、積層体５０内において１０回程度反射する。この場合の横方向の光の伝搬距離は、例えば、数μｍ程度である。これに対し、中間層６０を設けた場合には、横方向の光の伝搬距離を数１０〜数１００μｍ程度にすることができる。これにより、例えば、凹凸７２ａのピッチが大きい場合や凹凸７２ａが格子状の場合などに凹凸７２ａに光が入射して曲げられる可能性を高めることができる。これにより、光取り出し効率を向上させることができる。
【００３１】
図２は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の一部の構成を例示する模式的断面図である。  
図２に表したように、有機発光層４０は、発光部４３を含む。有機発光層４０は、必要に応じて、第１層４１及び第２層４２の少なくともいずれかをさらに含むことができる。発光部４３は、可視光の波長を含む光を放出する。第１層４１は、発光部４３と第１電極１０との間に設けられる。第２層４２は、発光部４３と第２電極２０との間に設けられる。
【００３２】
発光部４３には、例えば、Ａｌｑ３（トリス(８−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム）、Ｆ８ＢＴ（ポリ(9,9-ジオクチルフルオレン-ｃｏ-ベンゾチアジアゾール）及びＰＰＶ（ポリパラフェニレンビニレン）などの材料を用いることができる。発光部４３には、ホスト材料と、ホスト材料に添加されるドーパントと、の混合材料を用いることができる。ホスト材料としては、例えばＣＢＰ（4,4'−N,N'-ビスジカルバゾリルール−ビフェニル）、ＢＣＰ（2,9−ジメチル-4,7 ジフェニル−1,10−フェナントロリン）、ＴＰＤ（2,9−ジメチル-4,7 ジフェニル−1,10−フェナントロリン）、ＰＶＫ（ポリビニルカルバゾール）及びＰＰＴ（ポリ（３−フェニルチオフェン））などを用いることができる。ドーパント材料としては、例えば、Ｆｌｒｐｉｃ（イリジウム(III)ビス(4,6-ジ-フルオロフェニル)-ピ. リジネート-N,C2'-ピコリネート）、Ｉｒ（ｐｐｙ）３（トリス (２−フェニルピリジン)イリジウム）及びＦｌｒ６（ビス（２，４−ジフルオロフェニルピリジナト）−テトラキス（１−ピラゾリル）ボラート−イリジウム（ＩＩＩ））などを用いることができる。
【００３３】
第１層４１は、例えば、正孔注入層として機能する。第１層４１は、例えば、正孔輸送層として機能する。第１層４１は、例えば、正孔注入層として機能する層と、正孔輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第１層４１は、正孔注入層として機能する層及び正孔輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。
【００３４】
第２層４２は、例えば、電子注入層として機能する層を含むことができる。第２層４２は、例えば、電子輸送層として機能する層を含むことができる。第２層４２は、例えば、電子注入層として機能する層と、電子輸送層として機能する層と、の積層構造を有しても良い。第２層４２は、電子注入層として機能する層及び電子輸送層として機能する層とは別の層を含んでも良い。なお、第１電極１０を陰極とし、第２電極２０を陽極とし、第１層４１を電子注入層または電子輸送層として機能させ、第２層４２を正孔注入層または正孔輸送層として機能させてもよい。
【００３５】
例えば、有機発光層４０は、可視光の波長の成分を含む光を放出する。例えば、有機発光層４０から放出される光は、実質的に白色光である。すなわち、有機電界発光素子１１０から出射する光は白色光である。ここで、「白色光」は、実質的に白色であり、例えば、赤色系、黄色系、緑色系、青色系及び紫色系などの白色の光も含む。
【００３６】
第１電極１０は、例えば、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ及びＴｉよりなる群から選択された少なくともいずれかの元素を含む酸化物を含む。第１電極１０には、例えば、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化錫、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）膜、フッ素ドープ酸化錫（ＦＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物を含む導電性ガラスを用いて作製された膜（例えばＮＥＳＡなど）などを用いることができる。第１電極１０は、例えば、陽極として機能する。第１電極１０の屈折率は、例えば、１．７以上２．２以下である。
【００３７】
第２電極２０は、例えば、アルミニウム及び銀の少なくともいずれかを含む。例えば、第２電極２０には、アルミニウム膜が用いられる。さらに、第２電極２０として、銀とマグネシウムとの合金を用いても良い。この合金にカルシウムを添加しても良い。第２電極２０は、例えば、陰極として機能する。
【００３８】
第１基板８１には、例えば、石英ガラス、アルカリガラス及び無アルカリガラスなどの透明ガラスが用いられる。第１基板８１は、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネイト、ポリメチルメタクリエート、ポリプロピレン、ポリエチレン、非晶質ポリオレフィン及びフッ素系樹脂などの透明樹脂でもよい。第２基板８２には、例えば、光透過性を有する材料が用いられる。第２基板８２には、例えば、第１基板８１と実質的に同じ材料を用いることができる。第１基板８１及び第２基板８２の屈折率は、例えば、１．４以上１．７以下である。
【００３９】
第１凹凸部７１には、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、または、ポリプロピレンなどを用いることができる。第２凹凸部７２には、例えば、第１凹凸部７１と実質的に同じ材料を用いることができる。第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２の屈折率は、例えば、１．５（１．４以上１．７以下）である。
【００４０】
図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子の一部の構成を例示する模式的断面図である。  
図３（ａ）に表したように、中間層６０は、樹脂部６１と、樹脂部６１に分散され、樹脂部６１の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率粒子６２と、を含む。
【００４１】
樹脂部６１には、例えば、アクリル系樹脂（例えば、屈折率＝１．４９）、または、トリアジン系樹脂（例えば、屈折率＝１．７〜１．８）などのポリマー樹脂が用いられる。高屈折率粒子６２には、例えば、酸化チタン（例えば、屈折率＝２．７）、または、酸化ジルコニウムなどが用いられる。中間層６０の屈折率は、樹脂部６１に複数の高屈折率粒子６２を分散させることにより、例えば、１．７以上２．２以下に調整される。これにより、中間層６０の屈折率が、第１電極１０の屈折率に近くなる。発光光の第１電極１０の表面での全反射が、中間層６０によって抑えられる。例えば、屈折率１．４９のアクリル系樹脂を樹脂部６１に用い、屈折率２．７の酸化チタンを高屈折率粒子６２に用いる。このとき、樹脂部６１に対する高屈折率粒子６２の比率を例えば２０％とする。これにより、中間層６０の屈折率を約１．７とすることができる。また、樹脂部６１に対する高屈折率粒子６２の比率を例えば６０％とする。これにより、中間層６０の屈折率を約２．２とすることができる。
【００４２】
中間層６０は、樹脂部６１と高屈折率粒子６２とを含む構成に限ることなく、例えば、１．７以上２．２以下の屈折率と、光透過性と、を有する構成であればよい。中間層６０は、固形状でもよいし液状でもよい。
【００４３】
図３（ｂ）に表したように、中間層６０は、例えば、吸湿性を有する複数の吸湿性粒子６３を、さらに含んでもよい。複数の吸湿性粒子６３は、例えば、樹脂部６１に分散される。複数の吸湿性粒子６３には、例えば、酸化カルシウム、シリカ、または、酸化バリウムなどが用いられる。これにより、例えば、積層体５０を水分からより適切に保護することができる。
【００４４】
図４は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図４に表したように、有機電界発光素子１１１の積層体５０は、第３電極３０を、さらに含む。  
第３電極３０は、第２電極２０と有機発光層４０との間に設けられる。第３電極３０は、光透過性を有する。第３電極３０は、例えば、透明電極である。第３電極３０には、例えば、第１電極１０と実質的に同じ材料が用いられる。第３電極３０の厚さは、例えば、１０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下である。
【００４５】
第３電極３０は、例えば、フッ化リチウムやフッ化セシウムなどの電子注入層、または、Ａｌｑ３やＢＣＰなどの電子輸送層として機能する第２層４２と接する。例えば、第３電極３０にリチウムやセシウムを含める。これにより、例えば、第３電極３０や第２層４２に電子を注入し易くすることができる。第２層４２は、例えば、フッ化リチウムやフッ化セシウムなどの電子注入層として機能する層を含むことができる。第２層４２は、例えば、Ａｌｑ３やＢＣＰなどの電子輸送層として機能する層を含むことができる。なお、第２層４２を正孔注入層または正孔輸送層として機能させる場合、第３電極３０は、正孔注入層または正孔輸送層に接する。
【００４６】
図１に表した有機電界発光素子１１０の構成において、発光光の一部は、第２電極２０で反射し、有機発光層４０、第１電極１０、中間層６０、及び、第２基板８２を介して外部に出射する。有機発光層４０と第２電極２０との距離が、およそ２００ｎｍ以下の場合には、有機発光層４０で発生した発光光の一部は、エバネッセント波として、第２電極２０に到達する。このとき、エバネッセント波の波数と表面プラズモンの波数とが一致すると、表面プラズモン共鳴が発生する。表面プラズモン共鳴によって生成された電界により、有機発光層４０において、エバネッセント波が誘導され、発光光のうちのエバネッセント波の比率が増加する。すると、発光光のうちの、外部に取り出すことのできる伝搬光成分が減少する。すなわち、表面プラズモン共鳴が発生すると、有機電界発光素子１１０の発光効率が低下する。
【００４７】
有機電界発光素子１１１では、第２電極２０と有機発光層４０との間に、例えば、屈折率が１．７〜２．２程度で、消衰係数が０．００１程度であるＩＴＯなどの第３電極３０を設けた。これにより、第２電極２０にＡｌやＡｇなどの反射性の電極を用いた場合に比べて、表面プラズモン共鳴が抑えられる。また、第３電極３０を１０ｎｍ以上、より好ましくは５０ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の範囲で設けることにより、有機発光層４０と第２電極２０との距離が離れる。これにより、第２電極２０に到達するエバネッセント波の強度が減衰し、表面プラズモン共鳴を抑えることができる。これにより、有機電界発光素子１１１では、例えば、表面プラズモン共鳴に起因する発光効率の低下を抑えることができる。
【００４８】
また、表面プラズモン共鳴の発生を抑える方法として、例えば、電子注入層や電子輸送層として、または正孔注入層や正孔輸送層として機能する第２層４２を厚くする方法もある。しかしながら、第２層４２を厚くする方法では、駆動電圧の上昇やタクトタイムの増加が懸念される。第３電極３０を形成する方法では、導電率の高い薄膜を、スパッタリング法などで形成するため、成膜レートを早くできる。真空蒸着で形成する、導電率の低い有機材料である第２層４２を厚くする方法に比べ、駆動電圧の上昇やタクトタイムの増加を抑えることもできる。
【００４９】
図５は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の特性を例示するグラフ図である。  
図５は、有機電界発光素子１１１の光線追跡シミュレーションの結果を表わすグラフ図である。図５の横軸は、中間層６０の屈折率ｎである。縦軸は、光取り出し効率ＬＥ（％）である。  
シミュレーションでは、第２基板８２、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２の屈折率を１．５とした。中間層６０の屈折率を１．７〜２．０の範囲で変化させた。第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２において、直径１０μｍのマイクロレンズＭＬを凹凸７１ａ及び凹凸７２ａとした。シミュレーションでは、Ｚ軸方向に見たときのマイクロレンズＭＬの密度（充填率）を変化させた。シミュレーションでは、中間層６０の屈折率、及び、マイクロレンズＭＬの密度を変化させた場合の、光取り出し効率の変化を求めた。
【００５０】
図５において、特性ＣＨ１は、マイクロレンズＭＬの密度を１５％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ２は、マイクロレンズＭＬの密度を２３％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ３は、マイクロレンズＭＬの密度を４０％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ４は、マイクロレンズＭＬの密度を５８％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ５は、マイクロレンズＭＬの密度を９１％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。
【００５１】
図６（ａ）〜図６（ｆ）は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式図である。  
図６（ａ）〜図６（ｆ）は、Ｚ軸方向に見たときの密度を変化させたマイクロレンズＭＬの一例を表す。  
図６（ａ）は、格子状に配列したマイクロレンズＭＬにおいて、隣り合うマイクロレンズＭＬどうしが接した状態を表す。すなわち、マイクロレンズＭＬの直径をＬとしたとき、図６（ａ）は、マイクロレンズＭＬの中心間距離をＬとした状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／４で表され、７８．５％である。  
図６（ｂ）は、格子状に配列したマイクロレンズＭＬにおいて、マイクロレンズＭＬの中心間距離を１．２Ｌとした状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／（４×１．２２）で表され、５４．５％である。  
図６（ｃ）は、格子状に配列したマイクロレンズＭＬにおいて、マイクロレンズＭＬの中心間距離を１．５Ｌとした状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／（４×１．５２）で表され、３４．９％である。  
図６（ｄ）は、格子状に配列したマイクロレンズＭＬにおいて、マイクロレンズＭＬの中心間距離を２Ｌとした状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／１６で表され、１９．６％である。  
図６（ｅ）は、六方最密状に配列したマイクロレンズＭＬにおいて、マイクロレンズＭＬの中心間距離をＬとした状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／２√３で表され、９０．６％である。  
図６（ｆ）は、Ｘ軸方向に並ぶマイクロレンズＭＬの中心間距離を２Ｌ、Ｙ軸方向に並ぶマイクロレンズＭＬの中心間距離を２√３Ｌとした長方形状に配列し、かつその長方形の中心に１つのマイクロレンズＭＬを配置した状態である。このとき、単位面積あたりのマイクロレンズＭＬの密度は、π／８√３で表され、２２．７％である。
【００５２】
図７（ａ）及び図７（ｂ）は、参考例の有機電界発光素子の構成及び特性を例示する模式図である。  
図７（ａ）は、参考例の有機電界発光素子１１９の構成を例示する模式的断面図である。図７（ｂ）は、参考例の有機電界発光素子１１９の特性を例示するグラフ図である。図７（ｂ）の横軸は、中間層６０の屈折率ｎである。縦軸は、光取り出し効率ＬＥ（％）である。  
図７（ａ）に表しように、参考例の有機電界発光素子１１９は、有機電界発光素子１１１から第１凹凸部７１を省略した構成である。  
シミュレーションでは、有機電界発光素子１１９の構成において、中間層６０の屈折率、及び、マイクロレンズＭＬの密度を変化させた場合の、光取り出し効率の変化も求めた。
【００５３】
図７（ｂ）に表したように、特性ＣＨ６は、マイクロレンズＭＬの密度を１５％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ７は、マイクロレンズＭＬの密度を２３％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ８は、マイクロレンズＭＬの密度を４０％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ９は、マイクロレンズＭＬの密度を５８％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。特性ＣＨ１０は、マイクロレンズＭＬの密度を９１％とし、中間層６０の屈折率ｎを変化させた場合の光取り出し効率ＬＥを表す。
【００５４】
図５及び図７（ｂ）に表したように、有機電界発光素子１１１では、有機電界発光素子１１９よりも高い光取り出し効率ＬＥが得られた。また、有機電界発光素子１１１及び有機電界発光素子１１９の双方において、マイクロレンズＭＬの密度を高めるほど、高い光取り出し効率ＬＥが得られた。特性ＣＨ１〜特性ＣＨ５の結果から、マイクロレンズＭＬの密度は、０．４以上であることが好ましい。これにより、良好な光取り出し効率ＬＥが得られる。また、特性ＣＨ１〜特性ＣＨ５の結果から、中間層６０の屈折率ｎは、１．８以上２．０以下であることが好ましい。これにより、良好な光取り出し効率ＬＥが得られる。
【００５５】
図８は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図８に表したように、有機電界発光素子１１２は、保護膜６６を、さらに備える。  
保護膜６６は、積層体５０と中間層６０との間に設けられる。保護膜６６は、例えば、積層体５０の側面５０ｓと、積層体５０の上面５０ｕと、を覆う。保護膜６６には、例えば、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）が用いられる。保護膜６６を設けることにより、積層体５０を水分などからより適切に保護することができる。また、ＳｉＮの屈折率は、例えば、１．８以上２．０以下である。ＳｉＮの屈折率は、第１電極１０の屈折率に近い。保護膜６６にＳｉＮを用いることにより、例えば、第１電極１０と保護膜６６との間における全反射を抑えることができる。例えば、保護膜６６に起因する有機電界発光素子１１２の発光効率の低下を抑えることができる。保護膜６６を設ける場合には、第２主面８２ａと保護膜６６との距離を上述のＤ１の値とする。なお、有機電界発光素子１１０において保護膜６６を設けてもよい。保護膜６６は、ＳｉＮに限らず、屈折率が第１電極１０の屈折率に近い材料であればよい。また、有機材料、無機材料などの複数の材料の積層膜でもよい。
【００５６】
図９は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図９に表したように、有機電界発光素子１１３においては、第２凹凸部７２が省略されている。例えば、中間層６０において高屈折率粒子６２の濃度や粒径を高めることにより、中間層６０で発光光の進行方向を変化させることができる。例えば、粒径を可視光の波長オーダーである３８０ｎｍ〜７８０ｎｍ以上とすると、発光光に対する散乱性を中間層６０に持たせることができる。中間層６０で発光光の進行方向を変化させられる場合には、中間層６０によって発光光の第２主面８２ａでの全反射を抑えることができる。従って、例えば、中間層６０によって発光光の進行方向を変化させられる場合などには、必ずしも第２凹凸部７２を設ける必要がない。
【００５７】
図１０は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図１０に表したように、有機電界発光素子１１４の第２基板８２の第３主面８２ｂは、第１凹凸部７１を有する。第１凹凸部７１は、複数の凹凸７１ａを有する。有機電界発光素子１１４の第２基板８２の第２主面８２ａは、第２凹凸部７２を有する。第２凹凸部７２は、複数の凹凸７２ａを有する。この例において、複数の凹凸７１ａ及び複数の凹凸７２ａは、例えば、ピラミッド状またはプリズム状である。第３主面８２ｂに形成された複数の凹凸７１ａでも、発光光の第３主面８２ｂでの全反射を抑えることができる。第２主面８２ａに形成された複数の凹凸７２ａでも、発光光の第２主面８２ａでの全反射を抑えることができる。第３主面８２ｂに形成された複数の凹凸７１ａ及び第２主面８２ａに形成された複数の凹凸７２ａは、例えば、フロスト処理などによって形成することができる。このように、第１凹凸部７１は、例えば、第３主面８２ｂを加工して形成してもよい。第２凹凸部７２は、例えば、第２主面８２ａを加工して形成してもよい。なお、有機電界発光素子１１３と同様に、第２凹凸部７２を省略することも可能である。
【００５８】
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式図である。  
図１１（ａ）は、有機電界発光素子１１５の構成を例示する模式的断面図である。図１１（ｂ）は、有機電界発光素子１１５の一部の構成を例示する模式的平面図である。  
図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に表したように、有機電界発光素子１１５の第２電極２０は、第１電極１０の一部と対向する。有機電界発光素子１１５において、第２電極２０は、例えば、複数設けられる。隣り合う２つの第２電極２０の間に、開口部２２が設けられる。開口部２２は、例えば、複数設けられる。複数の開口部２２は、例えば、複数の第２電極２０のそれぞれの間に設けられる。
【００５９】
複数の第２電極２０のそれぞれは、例えば、Ｙ軸方向に沿って延びる帯状である。複数の第２電極２０は、例えば、Ｘ軸方向に並べられる。これにより、複数の第２電極２０は、縞状のパターン形状に形成される。複数の第２電極２０のそれぞれの間隔は、例えば、一定である。複数の第２電極２０のパターン形状は、例えば、格子状でもよい。複数の第２電極２０のパターン形状は、任意である。
【００６０】
有機電界発光素子１１５では、第１電極１０と複数の第２電極２０とが対向する部分の有機発光層４０が、発光領域４４となる。有機電界発光素子１１５において、発光光は、発光領域４４から放出される。
【００６１】
有機電界発光素子１１５では、外部から入射する外光が、例えば、第２基板８２、中間層６０、第１電極１０、有機発光層４０、第３電極３０、開口部２２、及び、第１基板８１を透過する。このように、有機電界発光素子１１５は、発光光を出射させつつ、外部から有機電界発光素子１１５に入射する外光を透過させる。このように、有機電界発光素子１１５は、光透過性を有する。有機電界発光素子１１５は、例えば、透明である。有機電界発光素子１１５においては、有機電界発光素子１１５を介して、背景の像を視認できる。すなわち、有機電界発光素子１１５は、シースルー可能な薄膜状または板状の光源である。この有機電界発光素子１１５を照明装置に応用した場合、照明機能の他に、背景像を透過させる機能により、種々の新たな応用が可能になる。
【００６２】
また、有機電界発光素子１１５の構成では、例えば、有機発光層４０を形成する前に、第１基板８１の上に第２電極２０を形成することができる。有機発光層４０の上に第２電極２０を形成する構成では、例えば、第２電極２０のパターニングの際に、エッチングなどによって有機発光層４０に悪影響を与えてしまうことが懸念される。このため、有機発光層４０の上に第２電極２０を形成する構成では、第２電極２０のパターニングに制約があり、第２電極２０を高精細に形成することが難しい。これに対して、有機電界発光素子１１５の構成では、第２電極２０のパターニングが、有機発光層４０に悪影響を与えることがない。従って、有機電界発光素子１１５の構成では、例えば、第２電極２０を高精細に形成することができる。なお、第３電極３０及び第２凹凸部７２は、省略可能である。また、積層体５０の上に保護膜６６を設けてもよい。また、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２として有機電界発光素子１１４の形状を用いてもよい。
【００６３】
図１２は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図１２に表したように、有機電界発光素子１１６の第１凹凸部７１は、第３主面８２ｂ上において発光領域４４と対向する部分にのみ設けられている。すなわち、第１凹凸部７１は、第２電極２０のパターン形状と実質的に同じパターン形状に形成されている。この例において、第１凹凸部７１は、例えば、縞状のパターン形状に形成されている。有機電界発光素子１１６の第２凹凸部７２は、第２主面８２ａ上において発光領域４４と対向する部分にのみ設けられている。第２凹凸部７２は、第１凹凸部７１と同様に、例えば、第２電極２０のパターン形状と実質的に同じ縞状のパターン形状に形成される。
【００６４】
有機電界発光素子１１５の構成では、透過する外光の進行方向が、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２で変化する。このため、有機電界発光素子１１５の構成では、透明性が低下する。一方、有機電界発光素子１１６において、外光の少なくとも一部は、第１凹凸部７１の設けられていない第２主面８２ａの部分、及び、第２凹凸部７２の設けられていない第３主面８２ｂの部分を透過する。第２主面８２ａの部分を透過する外光の進行方向は、実質的に変化しない。第３主面８２ｂの部分を透過する外光の進行方向は、実質的に変化しない。これにより、有機電界発光素子１１６では、例えば、高い透明性が得られる。例えば、有機電界発光素子１１６の透明性は、有機電界発光素子１１５の透明性よりも高い。
【００６５】
図１３は、第１の実施形態に係る別の有機電界発光素子の構成を例示する模式的断面図である。  
図１３に表したように、有機電界発光素子１１７の第２基板８２は、例えば、板状または薄膜状である。有機電界発光素子１１７において、第２基板８２は、第２主面８２ａに凹部８５を有していない。有機電界発光素子１１７において、第２主面８２ａは、例えば、実質的に平面である。有機電界発光素子１１７では、第１基板８１と第２基板８２との間のＺ軸方向の距離をシール部８６によって規定している。この構成は、例えば、シール部８６に粒状のスペーサ（図示は省略）を含めることによって実現できる。例えば、シール部８６に粒状の複数のスペーサを分散させ、複数のスペーサの径によって、第１基板８１と第２基板８２との間の距離が規定される。
【００６６】
有機電界発光素子１１７において、中間層６０の側面は、シール部８６によって覆われる。有機電界発光素子１１７において、シール部８６の厚さ（Ｚ軸方向に沿う長さ）は、例えば、５μｍ以上１００μｍ以下である。より好ましくは、例えば、１０μｍ以上２０μｍ以下である。これにより、例えば、水分の浸入などを抑えることができる。シール部８６の厚さは、例えば、シール部８６に分散させるスペーサの径と実質的に同じである。
【００６７】
有機電界発光素子１１７の厚さは、例えば、１００μｍ以上５０００μｍ以下である。従って、有機電界発光素子１１７において、第２主面８２ａと積層体５０との間の距離Ｄ１は、例えば、４μｍ以上９９μｍ以下である。より好ましくは、９μｍ以上１９μｍ以下である。これにより、例えば、水分の浸入などをより抑えることができる。
【００６８】
有機電界発光素子１１７のように、第２基板８２は、板状または薄膜状でもよい。この有機電界発光素子１１７においても、高い発光効率を得ることができる。
【００６９】
（第２の実施形態）  
図１４は、第２の実施形態に係る照明装置の構成を例示する模式図である。  
図１４に表したように、本実施形態に係る照明装置２１０は、第１の実施形態に係る有機電界発光素子（例えば有機電界発光素子１１０）と、電源部２０１と、を備える。
【００７０】
電源部２０１は、第１電極１０と第２電極２０とに電気的に接続される。電源部２０１は、第１電極１０及び第２電極２０を介して有機発光層４０に電流を供給する。  
本実施形態に係る照明装置２１０によれば、高い発光効率を有する照明装置を提供できる。
【００７１】
（第３の実施形態）  
本実施形態は、有機電界発光素子の製造方法に係る。本実施形態は、照明装置の製造方法の一部に対応する。  
図１５（ａ）〜図１５（ｃ）は、第３の実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。  
図１５（ａ）に表したように、例えば、第１基板８１の第１主面８１ａの上に、第２電極２０を形成する。第２電極２０の上に、有機発光層４０を形成する。有機発光層４０の上に、第１電極１０を形成する。これにより、第１主面８１ａの上に、積層体５０を形成する。例えば、第１主面８１ａの上に積層体５０を形成し、第１基板８１と積層体５０とを含む加工体１１０ｗを準備する。
【００７２】
図１５（ｂ）に表したように、第１基板８１とは別に、第２基板８２を準備する。第２基板８２には、例えば、エッチングなどにより、第２主面８２ａに凹部８５を形成する。第２基板８２の第３主面８２ｂに、例えば、第１接着層７３を介してマイクロレンズシートＭＳを貼り付けることにより、第１凹凸部７１を形成する。第２基板８２の第２主面８２ａに、例えば、第２接着層７４を介してマイクロレンズシートＭＳを貼り付けることにより、第２凹凸部７２を形成する。マイクロレンズシートＭＳを貼り付ける方法では、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２を簡単に形成することができる。
【００７３】
図１５（ｃ）に表したように、例えば、真空貼り合わせ装置などを用いることにより、減圧下で第１基板８１と第２基板８２とを貼り合わせる。これにより、加工体１１０ｗの上に、第２基板８２を設ける。例えば、減圧下において、第１主面８１ａと第２主面８２ａとの間の隙間に、中間層６０となる材料を充填する。これにより、第２基板８２と積層体５０との間に、中間層６０を形成する。
【００７４】
このように、有機電界発光素子１１０では、第１主面８１ａと第２主面８２ａとの間に材料を充填することによって中間層６０を形成することができる。このため、有機電界発光素子１１０では、例えば、凹凸７２ａを埋めるための平坦化層などを成膜する場合に比べて、製造工程を簡略化できる。
【００７５】
第１基板８１と第２基板８２とを貼り合わせる際に、第１主面８１ａ、または、第２主面８２ａの外縁部８３の部分に、例えば、シール部８６となる紫外線硬化樹脂などを予め塗布しておく。上記のように、第１基板８１と第２基板８２とを貼り合わせ、第２基板８２と積層体５０との間に中間層６０を形成した後、例えば、予め塗布した紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。これにより、シール部８６が形成され、シール部８６を介して第１基板８１と第２基板８２とが接着される。  
以上により、有機電界発光素子１１０が完成する。
【００７６】
なお、有機電界発光素子１１１の製造においては、第２電極２０の上に第３電極３０を形成し、第３電極３０の上に有機発光層４０を形成する。有機電界発光素子１１２の製造においては、積層体５０を形成した後に保護膜６６を形成する。有機電界発光素子１１３の製造においては、第２凹凸部７２の形成が省略される。有機電界発光素子１１４の形成においては、第２基板として第１凹凸部７１と第２凹凸部７２を有するものを用いる。有機電界発光素子１１５の製造においては、第２電極２０を、開口２２を有する形状になるように形成する。有機電界発光素子１１６の製造においては、第２電極２０を、開口２２を有する形状になるように形成するのに加えて、第２電極２０と対向する位置に第１凹凸部７１および第２凹凸部７２を形成する。
【００７７】
図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、第３の実施形態に係る有機電界発光素子の別の製造方法を例示する工程順模式的断面図である。  
図１６（ａ）に表したように、第１凹凸部７１及び第２凹凸部７２が形成された第２基板８２を準備した後、例えば、滴下注入（One Drop Fill：ＯＤＦ）プロセスなどにより、第２基板８２の第２主面８２ａの上に、中間層６０となる材料の液滴９０を滴下する。
【００７８】
図１６（ｂ）に表したように、液滴９０を滴下させた第２基板８２の上に、予め準備した加工体１１０ｗを載せ、第１基板８１と第２基板８２とを貼り合わせる。このように、中間層６０となる材料は、第２基板８２側に塗布してもよい。
【００７９】
図１７は、第３の実施形態に係る有機電界発光素子の製造方法を例示するフローチャート図である。  
図１７に表したように、実施形態に係る有機電界発光素子１１０の製造方法は、加工体１１０ｗを準備するステップＳ１１０と、第２基板８２を準備するステップＳ１２０と、中間層６０を形成するステップＳ１３０と、を含む。加工体１１０ｗの準備は、加工体１１０ｗを形成することの他に、例えば、予め形成された加工体１１０ｗを有機電界発光素子１１０の製造に使用可能な状態にすることを含む。第２基板８２の準備は、第２基板８２を形成することの他に、予め形成された第２基板８２を有機電界発光素子１１０の製造に使用可能な状態にすることを含む。有機電界発光素子１１０の製造に使用可能な状態することとは、例えば、加工体１１０ｗを覆って空気などから加工体１１０ｗを保護する保護膜を取り除く処理である。例えば、窒素を充填した環境から加工体１１０ｗや第２基板８２を取り出す処理である。例えば、加工体１１０ｗや第２基板８２を真空貼り合わせ装置などの半導体製造装置にセットする処理である。
【００８０】
ステップＳ１１０では、例えば、図１５（ａ）に関して説明した処理を実施する。ステップＳ１２０では、例えば、図１５（ｂ）に関して説明した処理を実施する。ステップＳ１３０では、例えば、図１５（ｃ）に関して説明した処理を実施する。ステップＳ１３０では、例えば、図１６（ａ）及び図１６（ｂ）に関して説明した処理を実施してもよい。  これにより、高い発光効率を有する有機電界発光素子１１０が製造される。
【００８１】
実施形態によれば、高い発光効率を有する有機電界発光素子、照明装置及び有機電界発光素子の製造方法が提供される。
【００８２】
なお、本願明細書において、「垂直」及び「平行」は、厳密な垂直及び厳密な平行だけではなく、例えば製造工程におけるばらつきなどを含むものであり、実質的に垂直及び実質的に平行であれは良い。
【００８３】
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明した。しかし、本発明の実施形態は、これらの具体例に限定されるものではない。例えば、有機電界発光素子に含まれる、第１基板、第１凹凸部、第２基板、第１電極、第２電極、有機発光層、積層体、中間層、第２凹凸部、第３電極、外縁部、内側部、樹脂部、高屈折率粒子、吸湿性粒子及び加工体、並びに、照明装置に含まれる電源部などの各要素の具体的な構成に関しては、当業者が公知の範囲から適宜選択することにより本発明を同様に実施し、同様の効果を得ることができる限り、本発明の範囲に包含される。  
また、各具体例のいずれか２つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
【００８４】
その他、本発明の実施の形態として上述した有機電界発光素子、照明装置及び有機電界発光素子の製造方法を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての有機電界発光素子、照明装置及び有機電界発光素子の製造方法の成長方法も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。
【００８５】
その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【００８６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８７】
１０…第１電極、  ２０…第２電極、  ２２…開口部、  ３０…第３電極、  ４０…有機発光層、  ４１…第１層、  ４２…第２層、  ４３…発光部、  ４４…発光領域、  ５０…積層体、  ５０ｓ…側面、  ５０ｕ…上面、  ６０…中間層、  ６１…樹脂部、  ６２…高屈折率粒子、  ６３…吸湿性粒子、  ６６…保護膜、  ７１…第１凹凸部、  ７１ａ…凹凸、  ７２…第２凹凸部、  ７２ａ…凹凸、  ７３…第１接着層、  ７４…第２接着層、  ８１…第１基板、  ８１ａ…第１主面、  ８２…第２基板、  ８２ａ…第２主面、  ８２ｂ…第３主面、  ８３…外縁部、  ８４…内側部、  ８５…凹部、  ８５ａ…底面、  ８６…シール部、  ９０…液滴、  １１０、１１１、１１２、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１９…有機電界発光素子、  １１０ｗ…加工体、  ２０１…電源部、  ２１０…照明装置、  ＣＨ１〜ＣＨ１０…特性、  Ｄ１、Ｄ２…距離、  Ｌ…直径、  ＭＬ…マイクロレンズ、  ＭＳ…マイクロレンズシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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