(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査装置であって、
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給する電流供給部と、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定する電圧測定部と、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲を記憶する記憶部と、
前記電流供給部から前記電流供給枝配線の組に前記検査電流が供給されている状態において前記電圧測定部によって測定された前記配線間電圧に基づく前記電気的パラメータと前記判定範囲とを比較することにより、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する処理部とを備えている短絡検査装置。
【請求項２】
前記一対の検査枝配線の両側に位置する一対の前記枝配線を前記補助枝配線として規定したときに、
前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの前記電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を前記電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項１記載の短絡検査装置。
【請求項３】
前記電流供給枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、
前記電圧測定枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている請求項２記載の短絡検査装置。
【請求項４】
前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線に隣接する１本の前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する請求項１記載の短絡検査装置。
【請求項５】
幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査方法であって、
前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給し、
前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定し、
前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲と前記測定した配線間電圧に基づく前記電気的パラメータとを比較して、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する短絡検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板に形成された幹配線から枝状に延出する複数の枝配線間における短絡の有無を検査する短絡検査装置および短絡検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の短絡検査装置として、特開２００５−３００２４０号公報に開示された短絡検査装置（回路配線検査装置）が知られている。この短絡検査装置は、幹配線とこの幹配線から枝状に延出する（引き出されている）複数の枝配線とを含み、枝配線の各々に２つの端点が設けられている回路配線を検査対象とする検査装置であり、隣接する一対の枝配線（第１枝配線および第２枝配線）のうちの第１枝配線側の２つの端点間と第２枝配線側の２つの端点間との間の短絡の有無を検査する。また、この検査装置は、この短絡検査を実行可能とするため、第１枝配線のうちの反幹配線側に位置する一方の端点と上記の一対の枝配線以外の第３枝配線との間に検査信号（電流）を供給する電流発生器と、第２枝配線側の２つの端点間に接続される電圧測定器と、電流発生器からの電流の供給状態および電圧測定器で測定された電圧に基づいて短絡の有無を判定する制御手段とを備えている。
【０００３】
上記の回路配線では、電流発生器から電流が供給され、かつ電圧測定器の読み値が０Ｖである場合には、第１枝配線の反幹配線側の端点→幹配線側の端点→幹配線→第３枝配線へと電流が流れるが、第２枝配線の幹配線側の端点および反幹配線側の端点間には電流が流れていない状態である。したがって、この状態のときには、この短絡検査装置では、制御手段は、上記した電流発生器からの電流の供給状態と電圧測定器の読み値とに基づいて、第１枝配線側の各端点間と第２枝配線側の各端点間との間に短絡なしと判定する。
【０００４】
一方、上記の回路配線では、電流発生器から電流が供給され、かつ電圧測定器の読み値が０Ｖでない場合には、第１枝配線と第２枝配線との間に短絡箇所があり、第１枝配線側から第２枝配線の各端点間に電流が流れている状態である。この短絡電流は、第１枝配線→第２枝配線→幹配線→第３枝配線へと流れる。したがって、この状態のときには、この短絡検査装置では、制御手段は、上記した電流発生器からの電流の供給状態と電圧測定器の読み値とに基づいて、第１枝配線側の各端点間と第２枝配線側の各端点間との間に短絡があると判定する。これにより、複数の枝配線のうちの隣接する一対の枝配線間における短絡の有無が検査される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３００２４０号公報（第６−９頁、第２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記の短絡検査装置には、以下の改善すべき課題が存在している。すなわち、この短絡検査装置では、第１および第２枝配線に対して、反幹配線側の端点および幹配線側の端点の２つの端点を規定して、検査対象とする一対の枝配線（第１および第２枝配線）のうちの第２枝配線側の２つの端点間に電圧測定器を接続する構成を採用している。このため、この短絡検査装置には、この一対の枝配線のうちの第１枝配線における幹配線側の端点と幹配線との間の部位、および一対の枝配線のうちの第２枝配線における幹配線側の端点と幹配線との間の部位の両部位間に短絡が存在しているときには、この短絡の有無を検査することが困難であるという改善すべき課題が存在している。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、一対の枝配線間の短絡を確実に検査し得る短絡検査装置および短絡検査方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の短絡検査装置は、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査装置であって、前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給する電流供給部と、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定する電圧測定部と、前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲を記憶する記憶部と、前記電流供給部から前記電流供給枝配線の組に前記検査電流が供給されている状態において前記電圧測定部によって測定された前記配線間電圧に基づく前記電気的パラメータと前記判定範囲とを比較することにより、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する処理部とを備えている。
【０００９】
請求項２記載の短絡検査装置は、請求項１記載の短絡検査装置において、前記一対の検査枝配線の両側に位置する一対の前記枝配線を前記補助枝配線として規定したときに、前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの前記電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を前記電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する。
【００１０】
請求項３記載の短絡検査装置は、請求項２記載の短絡検査装置において、前記電流供給枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、前記電圧測定枝配線の組は、前記一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および前記一対の補助枝配線のうちの当該他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている。
【００１１】
請求項４記載の短絡検査装置は、請求項１記載の短絡検査装置において、前記一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線に隣接する１本の前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記電圧測定部は、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のすべての枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、前記配線間電圧を測定する。
【００１２】
上記目的を達成すべく請求項５記載の短絡検査方法は、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線が形成された回路基板に対して前記各枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線として当該検査枝配線間の短絡の有無を検査する短絡検査方法であって、前記一対の検査枝配線のうちの少なくとも一方の検査枝配線側に位置する前記枝配線を補助枝配線として規定したときに、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として、当該電流供給枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ形成されたプロービング点から検査電流を供給し、前記一対の検査枝配線および前記補助枝配線のうちの任意の一対の枝配線の組であって、前記電流供給枝配線の組と少なくとも１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として、当該電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線の先端側にそれぞれ規定されたプロービング点間に発生する配線間電圧を測定し、前記一対の検査枝配線間に前記短絡の無い状態において前記検査電流の供給時に測定された前記配線間電圧に基づいて予め規定された当該配線間電圧に基づく電気的パラメータについての判定範囲と前記測定した配線間電圧に基づく前記電気的パラメータとを比較して、当該一対の検査枝配線間の前記短絡の有無を検査する。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１記載の短絡検査装置および請求項５記載の短絡検査方法では、複数の枝配線のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線の先端部にそれぞれ形成されたプロービング点を使用して、電流供給部および電圧測定部を接続する。したがって、この短絡検査装置および短絡検査方法によれば、一対の検査枝配線としての一対の枝配線間の全域に亘り、すなわち、この一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿った全域と、他方の枝配線における延出方向に沿った全域との間での短絡の発生の有無を確実に検査することができる。
【００１４】
また、請求項２記載の短絡検査装置では、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定し、電流供給部が接続される電流供給枝配線の組を構成する枝配線のいずれとも異なる一対の枝配線の組を電圧測定部が接続される電圧測定枝配線の組とする。したがって、この短絡検査装置によれば、各プロービング点に電流供給部および電圧測定部のプローブを１つずつ接触させる構成とすることができるため、各枝配線が狭ピッチで形成されていて、各プロービング点間のピッチも狭い場合であっても、１つのランドに２つのプローブを接触させる構成とは異なり、プローブをランドに確実に接触させることができる結果、狭ピッチで形成された各枝配線に対する短絡検査を確実に実行することができる。
【００１５】
また、請求項３記載の短絡検査装置では、電流供給枝配線の組は、一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線および一対の補助枝配線のうちのこの一方の検査枝配線側の補助枝配線で構成され、電圧測定枝配線の組は、一対の検査枝配線のうちの他方の検査枝配線および一対の補助枝配線のうちのこの他方の検査枝配線側の補助枝配線で構成されている。したがって、この短絡検査装置によれば、一対の検査枝配線が短絡していないときには、電圧測定部で検出する配線間電圧についての電圧経路を電流供給部から供給される検査電流についての電流経路と全く重ならないようにし（電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在しない構成とし）、一対の検査枝配線が短絡したときに、電圧経路が電流経路と重なる構成（電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在する構成）にすることができる。したがって、この短絡検査装置によれば、電圧測定部が測定する配線間電圧を、一対の検査枝配線が短絡していないときにゼロボルトにし、一対の検査枝配線が短絡しているときにゼロボルトでない電圧にすることができるため、判定範囲の設定作業を容易に行うことができる。
【００１６】
また、請求項４記載の短絡検査装置によれば、幹配線から枝状に延出する複数の枝配線のうちの両端に位置する枝配線についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】短絡検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】枝配線１２，１３を検査枝配線としたときの各枝配線１１〜１４への電流供給部２および電圧測定部３の接続状態を示す接続図である。
【図３】枝配線１４，１５を検査枝配線としたときの各枝配線１３〜１６への電流供給部２および電圧測定部３の接続状態を示す接続図である。
【図４】枝配線１２，１３を検査枝配線としたときの各枝配線１１〜１４への電流供給部２および電圧測定部３の他の接続状態を示す接続図である。
【図５】枝配線１２，１３を検査枝配線としたときの各枝配線１１〜１４への電流供給部２および電圧測定部３の他の接続状態を示す接続図である。
【図６】短絡検査装置１Ａの構成を示す構成図である。
【図７】枝配線１２，１３を検査枝配線としたときの各枝配線１２〜１４への電流供給部２および電圧測定部３の他の接続状態を示す接続図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、短絡検査装置および短絡検査方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、短絡検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００２０】
短絡検査装置１は、図１に示すように、電流供給部２、電圧測定部３、記憶部４、処理部５および表示部６を備え、幹配線Ｍの一方の側（同図では右側）へ並んで枝状に延出する複数（本例では一例として６つ）の枝配線１１，１２，１３，１４，１５，１６が形成された回路基板（不図示）に対して、両端の枝配線１１，１６を除く各枝配線１２〜１５のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線とし、かつ検査枝配線とした一対の枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として、各検査枝配線間の短絡の有無を検査する。また、短絡検査装置１は、上記の一対の枝配線の検査に際して、各枝配線１１，１２，１３，１４，１５，１６の先端部にそれぞれ形成されたランド２１，２２，２３，２４，２５，２６をプロービング点として使用する。
【００２１】
電流供給部２は、一例として、電流源２ａおよび一対のプローブ（電流供給プローブ）２ｂ，２ｃを備え、処理部５によって制御されて、各プローブ２ｂ，２ｃ間に検査電流（直流電流または交流電流。本例では一例として直流電流）Ｉを出力する。また、電流供給部２は、検査電流Ｉを各プローブ２ｂ，２ｃ間に出力しているときには、検査電流Ｉの電流値を示す電流データＤｉを処理部５へ出力する。
【００２２】
電圧測定部３は、一例として、電圧計３ａおよび一対のプローブ（電圧検出プローブ）３ｂ，３ｃを備え、各プローブ３ｂ，３ｃ間の電圧Ｖを測定する。また、電圧測定部３は、測定した電圧Ｖの電圧値を示す電圧データＤｖを処理部５へ出力する。記憶部４は、例えば、ＲＯＭやＲＡＭなどの半導体メモリや、ハードディスク装置で構成されて、処理部５を構成する後述のＣＰＵのための動作プログラムや、処理部５による後述の短絡検査処理において使用される判定範囲を示す判定データＤｒｅｆが予め記憶されている。
【００２３】
処理部５は、一例として、ＣＰＵを用いて構成されて、電流供給部２に対する動作制御、短絡検査処理、およびこの短絡検査処理の結果についての表示処理を実行する。表示部６は、一例としてＬＣＤなどの表示装置で構成されて、短絡検査処理の結果を画面に表示する。
【００２４】
次に、短絡検査装置１を用いた各枝配線１２〜１５に対する短絡検査方法について、短絡検査装置１の動作も併せて、図面を参照して説明する。
【００２５】
なお、検査枝配線となる各枝配線１２〜１５のうちの隣接する一対の枝配線としては、枝配線１２，１３、枝配線１３，１４、および枝配線１４，１５の３組が存在するが、各組に対して補助枝配線となる一対の枝配線については，以下のようにして予め規定されている。
【００２６】
一対の枝配線１２，１３が検査枝配線のときには、枝配線１２，１３の一方の側に位置する枝配線１１と、枝配線１２，１３の他方の側に位置する枝配線１４〜１６のうちの任意の１つの枝配線（例えば、枝配線１４）とが、枝配線１２，１３の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。また、一対の枝配線１３，１４が検査枝配線のときには、枝配線１３，１４の一方の側に位置する枝配線１１，１２のうちの任意の１つの枝配線（例えば、枝配線１２）と、枝配線１２，１３の他方の側に位置する枝配線１５，１６のうちの任意の１つの枝配線（例えば、枝配線１５）とが、枝配線１３，１４の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。また、一対の枝配線１４，１５が検査枝配線のときには、枝配線１４，１５の一方の側に位置する枝配線１１〜１３のうちの任意の１つの枝配線（例えば、枝配線１３）と、枝配線１４，１５の他方の側に位置する枝配線１６とが、枝配線１４，１５の両側に位置する補助枝配線としての一対の枝配線として規定されている。
【００２７】
次いで、一対の検査枝配線およびこの一対の検査枝配線に対して規定された一対の補助枝配線のすべての枝配線（４つの枝配線）のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として電流供給部２を接続すると共に、一対の検査枝配線および一対の補助枝配線のすべての枝配線のうちの電流供給枝配線の組のいずれとも相違する一対の枝配線の組（残りの２つの枝配線の組）を電圧測定枝配線の組として電圧測定部３を接続する。
【００２８】
具体的には、一対の枝配線１２，１３が検査枝配線であり、一対の枝配線１１，１４を補助枝配線としたときには、一例として、図２に示すように、これらの４つの枝配線１１〜１４のうちの一対の枝配線１３，１４の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線１３，１４の各ランド２３，２４に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、枝配線１１〜１４のうちの電流供給枝配線の組のいずれとも相違する一対の枝配線１１，１２の組（残りの２つの枝配線１１，１２の組）を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線１１，１２の各ランド２１，２２に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部２および電圧測定部３を接続することもできる。
【００２９】
また、一対の枝配線１３，１４が検査枝配線であり、一対の枝配線１２，１５を補助枝配線としたときには、一例として、図１に示すように、これらの４つの枝配線１２〜１５のうちの一対の枝配線１４，１５の組を電流供給枝配線の組として、各ランド２４，２５に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、残りの一対の枝配線１２，１３の組を電圧測定枝配線の組として、各ランド２２，２３に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部２および電圧測定部３を接続することもできる。
【００３０】
また、一対の枝配線１４，１５が検査枝配線であり、一対の枝配線１３，１６を補助枝配線としたときには、一例として、図３に示すように、これらの４つの枝配線１３〜１６のうちの一対の枝配線１５，１６の組を電流供給枝配線の組として、各ランド２５，２６に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、残りの一対の枝配線１３，１４の組を電圧測定枝配線の組として、各ランド２３，２４に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。この場合、電流供給枝配線の組を構成する各枝配線と電圧測定枝配線の組を構成する各枝配線とを入れ替えて、電流供給部２および電圧測定部３を接続することもできる。
【００３１】
このようにして規定した１つの電流供給枝配線の組への電流供給部２の接続、およびこの電流供給枝配線の組に対応する１つの電圧測定枝配線の組への電圧測定部３の接続が完了した後、短絡検査装置１では、処理部５が、電流供給部２に対して、電流供給枝配線の組とした一対の枝配線間への検査電流Ｉの供給を開始させると共に、電流供給部２から検査電流Ｉの電流値を示す電流データＤｉを入力する。
【００３２】
処理部５は、入力した電流データＤｉで示される検査電流Ｉの電流値がゼロでないときには、電流供給部２から検査電流Ｉが電流供給枝配線の組に対して正常に供給されていると判別して、短絡検査処理を実行する。この短絡検査処理では、処理部５は、電圧測定部３から電圧データＤｖを入力すると共に、現在の電圧測定枝配線の組および電流供給枝配線の組に対応する判定データＤｒｅｆを記憶部４から読み出して、電圧データＤｖで示される電圧Ｖ（電圧測定枝配線の組とした一対の枝配線間に発生している配線間電圧）の電圧値を判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と比較する。
【００３３】
一例として、図１に示すように、一対の枝配線１３，１４を検査枝配線とし、一対の枝配線１２，１５を補助枝配線として規定し、さらに、一対の枝配線１４，１５の組を電流供給枝配線の組とし、残りの一対の枝配線１２，１３の組を電圧測定枝配線の組とした例について説明する。この例において、検査枝配線としての各枝配線１３，１４間が短絡していないとき（短絡パターンＳＣが存在していないとき）には、電流供給部２から電流供給枝配線の組（枝配線１４，１５の組）に供給された検査電流Ｉは、同図中において実線で示した電流経路（ランド２４から枝配線１４、幹配線Ｍおよび枝配線１５を介してランド２５に至る経路）に流れるが、この電流経路と電圧測定部３が接続されている電圧経路（ランド２２から枝配線１２、幹配線Ｍおよび枝配線１３を介してランド２３に至る経路）との間には共通経路が存在しないため、この電圧経路には検査電流Ｉは流れない。これにより、電圧測定部３によって測定される電圧Ｖの電圧値はゼロボルトとなり、この電圧値を示す電圧データＤｖが処理部５に入力される。
【００３４】
一方、検査枝配線としての各枝配線１３，１４間が短絡しているとき（短絡パターンＳＣが存在しているとき）には、上記した電流経路（図１中において実線で示した電流経路）の他に、同図中において破線で示した新たな他の電流経路（ランド２４から枝配線１４、短絡パターンＳＣ、枝配線１３の一部、幹配線Ｍおよび枝配線１５を介してランド２５に至る経路）が形成される。この他の電流経路と上記した電圧経路との間には、枝配線１３の一部が共通経路として存在している。このため、この共通経路（枝配線１３の一部）において、検査電流Ｉの一部が流れることに起因して電圧降下が発生し、電圧測定部３によって測定される電圧Ｖの電圧値はゼロボルトではない電圧値となり、この電圧値を示す電圧データＤｖが処理部５に入力される。
【００３５】
したがって、検査枝配線としての各枝配線１３，１４間が短絡していないとき（各枝配線１３，１４間が正常な状態のとき）の電圧データＤｖで示される電圧値（本例ではゼロボルト）、および検査枝配線としての各枝配線１３，１４間が短絡しているとき（各枝配線１３，１４間が不良な状態のとき）の電圧データＤｖで示される電圧値（ゼロボルトではない電圧値）に基づく電気的パラメータ（本例では、この電圧値自体がこの電気的パラメータ）に基づいて、各枝配線１３，１４間が短絡していないときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれ、各枝配線１３，１４間が短絡しているときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれないような判定範囲を一例として決定して判定データＤｒｅｆとして記憶部４に記憶しておく。これにより、処理部５は、記憶部４から読み出した判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と電圧Ｖの電圧値とを比較して、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線１３，１４間が短絡していない（短絡パターンが存在していない）と判別し、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線１３，１４間が短絡している（短絡パターンＳＣが存在している）と判別する。これにより、短絡検査処理が完了する。
【００３６】
なお、各枝配線１３，１４間が短絡していないときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれず、各枝配線１３，１４間が短絡しているときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれるような判定範囲を決定して判定データＤｒｅｆとすることもできる。この場合、処理部５は、記憶部４から読み出した判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と電圧Ｖの電圧値とを比較して、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線１３，１４間が短絡していない（短絡パターンが存在していない）と判別し、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線１３，１４間が短絡している（短絡パターンＳＣが存在している）と判別する。
【００３７】
最後に、処理部５は、表示処理を実行して、短絡検査処理の結果を表示部６に表示させる。これにより、検査枝配線としての各枝配線１３，１４に対する短絡検査が完了する。短絡検査装置１では、他の一対の枝配線を検査枝配線として、図２，３に示すように、電流供給部２が対応する電流供給枝配線の組に接続され、かつ電圧測定部３が対応する電圧測定枝配線の組に接続される都度、処理部５が上記のように作動して、短絡検査処理を実行すると共に、短絡検査処理の結果を表示部６に表示させる。したがって、この短絡検査装置１では、表示部６に表示される内容を確認することにより、検査枝配線とした一対の枝配線間（枝配線１２，１３間、枝配線１３，１４間および枝配線１４，１５間）の全域に亘り、短絡が発生しているか否かを検査することが可能となっている。
【００３８】
このように、この短絡検査装置１および短絡検査方法では、複数の枝配線１２〜１５のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線１１〜１６の先端部にそれぞれ形成されたランド２１〜２６をプロービング点として使用して、電流供給部２および電圧測定部３を接続する。したがって、この短絡検査装置１および短絡検査方法によれば、一対の検査枝配線としての一対の枝配線間の全域に亘り、すなわち、この一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿った全域と、他方の枝配線における延出方向に沿った全域との間での短絡の発生の有無を確実に検査することができる。
【００３９】
また、この短絡検査装置１では、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定し（図１で示すように、一対の検査枝配線１３，１４に対しては、それらの両側に位置する一対の枝配線（この例では枝配線１２，１５）を補助枝配線として規定し）、電流供給部２が接続される電流供給枝配線の組を構成する枝配線１４，１５のいずれとも異なる一対の枝配線１２，１３の組を電圧測定部３が接続される電圧測定枝配線の組とする。したがって、この短絡検査装置１によれば、各ランド２２〜２５にプローブを１つずつ接触させる構成とすることができるため、各枝配線１１〜１６が狭ピッチで形成されていて、各ランド２１〜２６間のピッチも狭い場合であっても、１つのランドに２つのプローブを接触させる構成とは異なり、プローブをランドに確実に接触させることができる結果、狭ピッチで形成された各枝配線１２〜１５に対する短絡検査を確実に実行することができる。
【００４０】
また、この短絡検査装置１では、電流供給枝配線の組は、一対の検査枝配線１３，１４のうちの一方の検査枝配線１４および一対の補助枝配線１２，１５のうちのこの一方の検査枝配線１４側の補助枝配線１５で構成され、電圧測定枝配線の組は、一対の検査枝配線１３，１４のうちの他方の検査枝配線１３および一対の補助枝配線１２，１５のうちのこの他方の検査枝配線１３側の補助枝配線１２で構成されている。したがって、この短絡検査装置１によれば、一対の検査枝配線１３，１４が短絡していないときには、電圧測定部３で検出する電圧Ｖについての電圧経路を電流供給部２から供給される検査電流Ｉについての電流経路と全く重ならないようにし（電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在しない構成とし）、一対の検査枝配線１３，１４が短絡したときに、電圧経路が電流経路と重なる構成（電圧経路と電流経路との間に共通経路が存在する構成）にすることができる。このため、この短絡検査装置１によれば、電圧測定部３が測定する電圧Ｖを、一対の検査枝配線１３，１４が短絡していないときにゼロボルトにし、一対の検査枝配線１３，１４が短絡しているときにゼロボルトでない電圧にすることができるため、判定範囲の設定作業を容易に行うことができる。
【００４１】
なお、上記の構成に限定されない。例えば、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定する構成において、図４に示すように、一対の検査枝配線１２，１３を電流供給枝配線の組または電圧測定枝配線の組（同図では一例として電流供給枝配線の組）とし、一対の検査枝配線１２，１３の両側に位置する一対の補助枝配線１１，１４を電流供給枝配線の組および電圧測定枝配線の組のうちの残りの組（同図では一例として電圧測定枝配線の組）とする構成を採用することもできる。また、図５に示すように、各枝配線１１，１２，１３，１４のランド２１，２２，２３，２４に対する電流供給部２の各プローブ２ｂ，２ｃおよび電圧測定部３の各プローブ３ｂ，３ｃの接続位置が交互に位置するように（この例では、ランド２１側からプローブ３ｂ、プローブ２ｂ、プローブ３ｃ、プローブ２ｃの順に接続されるように）、電流供給枝配線の組および電圧測定枝配線の組を規定する構成を採用することもできる。
【００４２】
図４，５に示す上記の構成では、一対の検査枝配線１２，１３が短絡しているか否かに拘わらず、電圧測定部３についての電圧経路と電流供給部２についての電流経路とが常に一部において重なる状態（共通経路が存在する状態）となっている。しかしながら、図４，５に示すいずれの構成においても、電圧測定部３において測定される電圧Ｖが、一対の検査枝配線１２，１３が短絡しているときと、短絡していないときとで相違する。このため、この短絡の有無での電圧Ｖの相違を区別し得るように予め判定範囲を規定しておくことで、図４，５に示すいずれの構成においても、各枝配線１１〜１４の先端部にそれぞれ形成されたランド２１〜２４をプロービング点として使用して、隣接する一対の枝配線間（各同図では、一例として一対の検査枝配線１２，１３間）の短絡の有無を検査することができ、上記した短絡検査装置１と同様の効果を奏することができる。
【００４３】
また、一対の検査枝配線の両側に位置する一対の枝配線を補助枝配線として規定する例について上記したが、一対の検査枝配線のうちの一方の検査枝配線側に隣接する１つの枝配線を補助枝配線として規定する構成を採用することもできる。以下、この構成を採用した短絡検査装置１Ａについて、図６を参照して説明する。
【００４４】
まず、短絡検査装置１Ａの構成について説明する。なお、短絡検査装置１Ａと短絡検査装置１とは、上記したように一対の検査枝配線に対する補助枝配線の規定の仕方が主として相違するだけで、装置の構成については同一である。このため、短絡検査装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。
【００４５】
短絡検査装置１Ａは、電流供給部２、電圧測定部３、記憶部４、処理部５および表示部６を備え、幹配線Ｍの一方の側（同図では右側）へ枝状に延出する複数（本例では一例として５つを図示している）の枝配線１１，１２，１３，１４，１５が形成された回路基板（不図示）に対して、すべての枝配線１１〜１５のうちの隣接する任意の一対の枝配線をそれぞれ検査枝配線とし、かつ検査枝配線とした一対の枝配線のうちの一方の検査枝配線側に隣接する１つの枝配線を補助枝配線として、各検査枝配線間の短絡の有無を検査する。また、短絡検査装置１Ａは、短絡検査装置１と同様にして、各枝配線１１，１２，１３，１４，１５の先端部にそれぞれ形成されたランド２１，２２，２３，２４，２５をプロービング点として使用する。
【００４６】
次に、短絡検査装置１Ａを用いた複数の枝配線（各枝配線１１〜１５）に対する短絡検査方法について、短絡検査装置１Ａの動作と併せて説明する。
【００４７】
なお、検査枝配線となる各枝配線１１〜１５のうちの隣接する一対の枝配線としては、枝配線１１，１２、枝配線１２，１３、枝配線１３，１４、および枝配線１４，１５の４組が存在するが、各組に対して補助枝配線となる１つの枝配線については，以下のように予め規定されている。
【００４８】
一対の枝配線１１，１２が検査枝配線のときには、枝配線１１，１２のうちの一方の枝配線１２側に隣接する枝配線１３を補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線１２，１３が検査枝配線のときには、枝配線１２，１３のうちの一方の枝配線１３側に隣接する枝配線１４および他方の枝配線１２側に隣接する枝配線１１のいずれか（例えば、枝配線１４）が、補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線１３，１４が検査枝配線のときには、枝配線１３，１４のうちの一方の枝配線１４側に隣接する枝配線１５および他方の枝配線１３側に隣接する枝配線１２のいずれか（例えば、枝配線１５）が、補助枝配線として規定されている。また、一対の枝配線１４，１５が検査枝配線のときには、枝配線１４，１５のうちの一方の枝配線１４側に隣接する枝配線１３が、補助枝配線として規定されている。
【００４９】
次いで、一対の検査枝配線およびこれに対して規定された１つの補助枝配線のすべての枝配線（３つの枝配線）のうちの任意の一対の枝配線の組を電流供給枝配線の組として電流供給部２を接続すると共に、電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線の組を電圧測定枝配線の組として電圧測定部３を接続する。
【００５０】
例えば、一対の枝配線１１，１２が検査枝配線であり、枝配線１３を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの３つの枝配線１１〜１３のうちの任意の一対の枝配線（例えば、枝配線１２，１３）の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線１２，１３の各ランド２２，２３に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、枝配線１１〜１３のうちの電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線（例えば、枝配線１１，１３）の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線１１，１３の各ランド２１，２３に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。
【００５１】
また、一対の枝配線１２，１３が検査枝配線であり、１つの枝配線１４を補助枝配線としたときには、図６に示すように、一例として、これらの３つの枝配線１２〜１４のうちの一対の枝配線１３，１４の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線１３，１４の各ランド２３，２４に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、枝配線１２〜１４のうちの電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線（例えば、枝配線１２，１４）の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線１２，１４の各ランド２２，２４に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。
【００５２】
また、一対の枝配線１３，１４が検査枝配線であり、１つの枝配線１５を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの３つの枝配線１３〜１５のうちの一対の枝配線１３，１４の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線１３，１４の各ランド２３，２４に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、枝配線１３〜１５のうちの電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線（例えば、枝配線１３，１５）の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線１３，１５の各ランド２３，２５に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。
【００５３】
また、一対の枝配線１４，１５が検査枝配線であり、１つの枝配線１３を補助枝配線としたときには、図示はしないが、一例として、これらの３つの枝配線１３〜１５のうちの一対の枝配線１４，１５の組を電流供給枝配線の組として、この一対の枝配線１４，１５の各ランド２４，２５に電流供給部２のプローブ２ｂ，２ｃを接続する。また、枝配線１３〜１５のうちの電流供給枝配線の組と１つの枝配線が相違する一対の枝配線（例えば、枝配線１３，１５）の組を電圧測定枝配線の組として、この一対の枝配線１３，１５の各ランド２３，２５に電圧測定部３のプローブ３ｂ，３ｃを接続する。
【００５４】
このようにして規定した１つの電流供給枝配線の組への電流供給部２の接続、およびこの電流供給枝配線の組に対応する１つの電圧測定枝配線の組への電圧測定部３の接続が完了した後、短絡検査装置１では、処理部５が、電流供給部２に対して、電流供給枝配線の組とした一対の枝配線間への検査電流Ｉの供給を開始させると共に、電流供給部２から検査電流Ｉの電流値を示す電流データＤｉを入力する。
【００５５】
処理部５は、入力した電流データＤｉで示される検査電流Ｉの電流値がゼロでないときには、電流供給部２から検査電流Ｉが電流供給枝配線の組に対して正常に供給されていると判別して、短絡検査処理を実行する。この短絡検査処理では、処理部５は、電圧測定部３から電圧データＤｖを入力すると共に、現在の電圧測定枝配線の組および電流供給枝配線の組に対応する判定データＤｒｅｆを記憶部４から読み出して、電圧データＤｖで示される電圧Ｖ（電圧測定枝配線の組とした一対の枝配線間に発生している電圧）の電圧値を判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と比較する。
【００５６】
一例として、図６に示すように、一対の枝配線１２，１３を検査枝配線とし、１つの枝配線１４を補助枝配線として規定し、さらに、一対の枝配線１３，１４の組を電流供給枝配線の組とし、一対の枝配線１２，１４の組を電圧測定枝配線の組とした例について説明する。この例において、検査枝配線としての各枝配線１２，１３間が短絡していないとき（短絡パターンが存在していないとき）には、電流供給部２から電流供給枝配線の組（枝配線１３，１４の組）に供給された検査電流Ｉは、同図中において実線で示した電流経路（ランド２３から枝配線１３、幹配線Ｍおよび枝配線１４を介してランド２４に至る経路）に流れる。この例では、この電流経路は、電圧測定部３が接続されている電圧経路（ランド２２から枝配線１２、幹配線Ｍおよび枝配線１４を介してランド２４に至る経路）と、幹配線Ｍの一部および枝配線１４において重複している（幹配線Ｍの一部および枝配線１４を共通経路として共有している）。このため、電圧測定部３は、電流経路および電圧経路の共通経路に検査電流Ｉが流れることに起因して発生する電圧降下を電圧Ｖとして測定し、この電圧Ｖの電圧値を示す電圧データＤｖを処理部５に出力する。
【００５７】
一方、検査枝配線としての各枝配線１２，１３間が短絡しているとき（短絡パターンＳＣが存在しているとき）には、上記の電流経路（図６中において実線で示された経路）の他に、同図中において破線で示した新たな他の電流経路（ランド２３から枝配線１３、短絡パターンＳＣ、枝配線１２の一部、幹配線Ｍおよび枝配線１４を介してランド２４に至る経路）が形成される。このため、電流経路と電圧経路との共通経路が変化し、この変化後の共通経路に検査電流Ｉが流れることで発生する電圧降下も変化し、電圧測定部３から処理部５に出力される電圧データＤｖで示される電圧Ｖの電圧値も変化する。
【００５８】
したがって、検査枝配線としての各枝配線１２，１３間が短絡していないとき（各枝配線１２，１３間が正常な状態のとき）の電圧データＤｖで示される電圧値、およびこの枝配線１２，１３間が短絡しているとき（各枝配線１２，１３間が不良な状態のとき）の電圧データＤｖで示される電圧値に基づいて、各枝配線１２，１３間が短絡していないときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれ、各枝配線１２，１３間が短絡しているときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれないような判定範囲を決定して判定データＤｒｅｆとして記憶部４に記憶しておく。これにより、処理部５は、記憶部４から読み出した判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と電圧Ｖの電圧値とを比較して、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線１２，１３間が短絡していない（短絡パターンが存在していない）と判別し、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線１２，１３間が短絡している（短絡パターンＳＣが存在している）と判別する。これにより、短絡検査処理が完了する。
【００５９】
なお、各枝配線１２，１３間が短絡していないときの電圧データＤｖで示される電圧値は含まれず、各枝配線１２，１３間が短絡しているときの電圧データＤｖで示される電圧値が含まれるような判定範囲を決定して判定データＤｒｅｆとすることもできる。この場合、処理部５は、記憶部４から読み出した判定データＤｒｅｆで示される判定範囲と電圧Ｖの電圧値とを比較して、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれていないときには、各枝配線１２，１３間が短絡していない（短絡パターンが存在していない）と判別し、電圧Ｖの電圧値が判定範囲に含まれているときには、各枝配線１２，１３間が短絡している（短絡パターンＳＣが存在している）と判別する。
【００６０】
最後に、処理部５は、表示処理を実行して、短絡検査処理の結果を表示部６に表示させる。これにより、検査枝配線としての各枝配線１２，１３に対する短絡検査が完了する。短絡検査装置１Ａでは、他の一対の枝配線を検査枝配線として、電流供給部２が対応する電流供給枝配線の組に接続され、かつ電圧測定部３が対応する電圧測定枝配線の組に接続される都度、処理部５が上記のように作動して、短絡検査処理を実行すると共に、短絡検査処理の結果を表示部６に表示させる。したがって、この短絡検査装置１Ａでも、短絡検査装置１と同様にして、表示部６に表示される内容を確認することにより、検査枝配線としての一対の枝配線間に短絡が発生しているか否かを検査することが可能となっている。
【００６１】
このように、この短絡検査装置１Ａにおいても、複数の枝配線１１〜１５のうちの隣接する任意の一対の枝配線を検査枝配線として短絡検査する際に、各枝配線１１〜１５の先端部にそれぞれ形成されたランド２１〜２５をプロービング点として使用して、電流供給部２および電圧測定部３を接続する。したがって、この短絡検査装置１Ａによれば、短絡検査装置１と同様にして、検査枝配線としての一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置と、他方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置との間で短絡が発生していたとしても（短絡パターンＳＣが存在していたとしても）、その短絡の発生を確実に検査することができる。さらに、この短絡検査装置１Ａによれば、複数の枝配線１１〜１５のうちの両側に位置する枝配線１１，１５についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
【００６２】
なお、上記の一対の検査枝配線１２，１３のうちの一方の検査枝配線１３に隣接する１本の枝配線を補助枝配線として規定する構成において、例えば、図７に示すように、一対の検査枝配線１２，１３および補助枝配線１４のすべての枝配線のうちの真中に位置する枝配線（枝配線１３）を電流供給枝配線の組（枝配線１３，１４）および電圧測定枝配線の組（枝配線１２，１３）についての共通の枝配線として、電流供給部２および電圧測定部３の各プローブ２ｂ，２ｃ，３ｂ，３ｃを各枝配線（枝配線１２，１３，１４）のランド（ランド２２，２３，２４）に接続する構成を採用することもできる。
【００６３】
この構成においても、各枝配線１１〜１５の先端部にそれぞれ形成されたランド２１〜２５をプロービング点として使用するため、検査枝配線としての一対の枝配線のうちの一方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置と、他方の枝配線における延出方向に沿ったいずれの位置との間で短絡が発生していたとしても、その短絡の発生を確実に検査することができる。また、複数の枝配線のうちの両側に位置する枝配線１１，１５についても、検査枝配線として、隣接する枝配線との間の短絡の有無を検査することができる。
【００６４】
また、上記した短絡検査装置１，１Ａでは、電圧測定部３によって測定された電圧Ｖに基づく電気的パラメータとして、この電圧Ｖ自体を使用する構成（電圧Ｖとそれに対応させて予め規定された判定範囲（電圧値の範囲）とを比較して短絡の有無を検査する構成）を採用しているが、電圧Ｖに基づく電気的パラメータとして、電圧Ｖと検査電流Ｉとに基づいて算出される抵抗値（電圧測定枝配線の組を構成する一対の枝配線間の抵抗値）を使用する構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６５】
１  短絡検査装置
２  電流供給部
３  電圧測定部
５  処理部
１１〜１６  枝配線
１３，１４  検査枝配線
１２，１５  補助枝配線
２１〜２６  ランド（プロービング点）
Ｉ  検査電流
Ｍ  幹配線
【図１】
0005687943.tif 000002
【図２】
0005687943.tif 000003
【図３】
0005687943.tif 000004
【図４】
0005687943.tif 000005
【図５】
0005687943.tif 000006
【図６】
0005687943.tif 000007
【図７】
0005687943.tif 000008