(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させて、その外周に砥粒を電気メッキにより固着させてなる固定砥粒式のワイヤーソーの製造方法であって、
メッキ液の外部に配され、電流供給手段により電流が供給される液外の回転ローラーと、前記メッキ液の内部に配される液内の回転ローラーとの間に、前記ワイヤーを複数回架け渡して前記メッキ液の内外を複数回往復させることを特徴とするワイヤーソーの製造方法。
【請求項２】
前記ワイヤーが、前記メッキ液内に少なくとも２つ配した前記液内の回転ローラーに架け渡される請求項１記載のワイヤーソーの製造方法。
【請求項３】
前記液外の回転ローラー及び／又は前記液内の回転ローラーの外周表面上に、ローラー円周方向に前記ワイヤーを複数回案内するガイド溝を設けた請求項１または２記載のワイヤーソーの製造方法。
【請求項４】
前記メッキ液内に配される撹拌手段により、メッキ液を撹拌する請求項１〜３のいずれかに記載のワイヤーソーの製造方法。
【請求項５】
前記ワイヤーを、前記の砥粒を含有するメッキ液に通過させた後に砥粒を含有しないメッキ液に通過させる請求項１〜４のいずれかに記載のワイヤーソーの製造方法。
【請求項６】
砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させて、その外周に砥粒を電気メッキにより固着させてなる固定砥粒式のワイヤーソーの製造装置であって、
メッキ液の外部に配される液外の回転ローラーと、前記メッキ液の内部に配される液内の回転ローラーと、前記液外の回転ローラーに電流を供給する電流供給手段とを備え、
前記液外の回転ローラーと前記液内の回転ローラーとの間に前記ワイヤーを複数回架け渡して前記メッキ液の内外を複数回往復させることを特徴とするワイヤーソーの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンの単結晶などに代表される各種電子材料のスライス工程などで使用される固定砥粒式のワイヤーソーの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種電子材料のスライス工程で使用される固定砥粒式ワイヤーソーは、ワイヤーの外周にダイヤモンド、ＣＢＮ等の砥粒を固着したものであり、ダイヤモンドの固着法としてレジンボンド法や電着法がある。しかしながら、レジンボンド法はレジンによる砥粒の保持力が弱いたいめに寿命が短く、また電着法は、寿命は長いものの生産性が悪いといった欠陥を持っている。
【０００３】
この改善策としては、ワイヤーに砥粒の粒径の５〜３５％の厚さのロー材、半田等による金属層を形成し、その金属層の溶融状態において砥粒を付着固化させる方法（特許文献１）や、金属材の溶融温度以下の温度で乾燥する仮付け用の液状接着材により砥粒をワイヤー表面に仮止めした後に金属材の加熱溶融によるろう付けを行う方法（特許文献２）などが提案されている。
【０００４】
ところで、一般に、ワイヤーなどの部材の表面に形成されるメッキの析出量は、部材がメッキ液と接触する表面積（浸漬表面積）、電流密度（単位面積を通過する電流）、メッキ液との接触時間（浸漬時間）の積により決せられる。そして、生産速度の向上を図るためには、浸漬時間を短縮する必要があり、そのためには、電流密度か浸漬表面積を増加させる必要があるが、電流密度と浸漬表面積とは密接に関連しており、浸漬表面積を増加させると電流密度が低下する。そこで、メッキの析出量を維持するためには、浸漬表面積を増加さるとともに、電流密度を維持するために、部材へ負荷する電流値を増加させる必要が生じる。ところが、電流値の増加は、部材の発熱を伴うため、部材が破損する可能性がある。特に部材がワイヤーの場合は、断線の可能性が高くなるという問題がある。また、現在一般的に行われている電着法では、一つのメッキ槽に収容されたメッキ液にワイヤーを通過させる際、ワイヤーはメッキ液に常時浸漬されており、その浸漬部分の両端のメッキ液の外側において１対の電極を設けて電流を負荷する方法が採用されている。この方法の場合、メッキ液に浸漬している部分には別途電極を設けていないため、ワイヤーの浸漬表面積を増加させる、即ち、浸漬距離を長くすると、上記の１対の電極間の距離が非常に長くなるため、電気抵抗が大きくなり、電流を流すことが困難になるという問題もある。さらに、浸漬表面積を増加させるためには、メッキ液（メッキ槽）の容量を大きくする必要があり、使用するメッキ液の量が増加するという生産コスト上の問題もある。
【０００５】
一方、超長尺素材の送致路上の２箇所に配置した主可動電極により、ワイヤーなどの超長尺素材に電流を供給しつつ超長尺素材を送致してメッキ液中を通過させ、かつ一対の主可動電極の間に配置した補助可動電極により、超長尺素材に電流を供給しつつ超長尺素材の長手方向への送致を補助して、遊離砥粒を超長尺素材に電着する方法が提案されている（特許文献３）。特許文献３に記載の方法によれば、一対の主可動電極の間に補助可動電極を配することなどにより、超長尺工具の走行速度を向上させ、メッキ工程における超長尺工具の製造時間を短縮することが可能とされている。
【０００６】
しかしながら、特許文献３に記載の方法でも、メッキ液とワイヤーとの接触面積（浸漬表面積）を確保するためには、メッキ液は大きなメッキ槽内に収容される必要があるうえ、補助電極を主電極とは別に設ける必要があり、生産性や生産コストの面で、さらなる改善の余地がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１２３０２４号公報
【特許文献２】特開２０１０−５８３号公報
【特許文献３】特開２００６−５５９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の問題点に鑑みて、本願発明の目的とするところは、生産性や生産コストの改善された固定砥粒式のワイヤーソーの製造方法および製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、鋭意検討した結果、メッキ液の外部に配される液外の回転ローラーと、前記メッキ液の内部に配される液内の回転ローラーとの間に前記ワイヤーを複数回架け渡して前記メッキ液の内外を複数回往復させること等により、上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
即ち、本発明の要旨は以下のとおりである。
【００１０】
（１）本発明は、砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させて、その外周に砥粒を電気メッキにより固着させてなる固定砥粒式のワイヤーソーの製造方法であって、メッキ液の外部に配され、電流供給手段により電流が供給される液外の回転ローラーと、前記メッキ液の内部に配される液内の回転ローラーとの間に、前記ワイヤーを複数回架け渡して前記メッキ液の内外を複数回往復させることを特徴とするワイヤーソーの製造方法に関する。
（２）本発明は、前記ワイヤーが、前記メッキ液内に少なくとも２つ配した前記液内の回転ローラーに架け渡される前記（１）記載のワイヤーソーの製造方法に関する。
（３）本発明は、前記液外の回転ローラー及び／又は前記液内の回転ローラーの外周表面上に、ローラー円周方向に前記ワイヤーを複数回案内するガイド溝を設けた前記（１）または（２）記載のワイヤーソーの製造方法に関する。
（４）本発明は、前記メッキ液内に配される撹拌手段により、メッキ液を撹拌する前記（１）〜（３）のいずれかに記載のワイヤーソーの製造方法に関する。
（５）本発明は、前記ワイヤーを、前記の砥粒を含有するメッキ液に通過させた後に砥粒を含有しないメッキ液に通過させる前記（１）〜（４）のいずれかに記載のワイヤーソーの製造方法に関する。
（６）本発明は、砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させて、その外周に砥粒を電気メッキにより固着させてなる固定砥粒式のワイヤーソーの製造装置であって、メッキ液の外部に配される液外の回転ローラーと、前記メッキ液の内部に配される液内の回転ローラーと、前記液外の回転ローラーに電流を供給する電流供給手段とを備え、前記液外の回転ローラーと前記液内の回転ローラーとの間に前記ワイヤーを複数回架け渡して前記メッキ液の内外を複数回往復させることを特徴とするワイヤーソーの製造装置に関する。
【発明の効果】
【００１１】
以上にしてなる本願発明に係るワイヤーソーの製造方法および製造装置は、従来の方法に比べ、固定砥粒式のワイヤーソーの生産性（生産速度）や生産コストが飛躍的に改善されたものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態の特徴部分を模式的に示した斜視図である。
【図２】本発明の第２実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図である。
【図３】本発明の第３実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図である。
【図４】図３に示す実施形態の斜視図である。
【図５】本発明の第４実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図である。
【図６】メッキ液の外部に配される液外の回転ローラーの一例を示す図である。
【図７】本発明の砥粒固定式のワイヤーソーの製造装置の概略構成を示す図である。
【図８】図７におけるメッキ槽の実施形態の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施形態を添付図面に基づき説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係るワイヤーソーの製造方法および製造装置の第１実施形態の特徴部分を模式的に示した斜視図である。図１に示すように、砥粒（図示せず）を含有するメッキ液１の外部には１つの液外の回転ローラー２が配され、メッキ液１の内部には１つの液内の回転ローラー３が配されており、各回転ローラー２、３は、それらの軸方向が平行で、メッキ液１の液面と平行になるようになるように配されている。また、液外の回転ローラー２には電流供給手段４から配線５を介して電流が供給され、液外の回転ローラー２とワイヤー６が電気的に接続されるように構成されている。そして、ワイヤー６は、液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３との間に複数回架け渡されてメッキ液１の内外を複数回往復するように走行する。図１に示す実施形態では、ワイヤー６が２つの回転ローラー２、３を螺旋状に巻き回すようにして（ワイヤー６により形成される螺旋の内側に２つの回転ローラー２、３が配される）、メッキ液１の内外を複数回往復するように構成されている。
【００１５】
そして、ワイヤー６には、液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３との間を１往復しているそれぞれの状態において、電流供給手段４により配線５および液外の回転ローラー２を介して所定値の電流が供給され、電流はワイヤー６中を液内の回転ローラー３から液外の回転ローラー２の方向に流れるため、電流量を過大に増加させることなく電流密度を維持することが可能であり、しかも浸漬表面積を飛躍的に増加させることが可能なため、生産速度を著しく増加させることができる。例えば、従来の方法のように１本のワイヤーのメッキ液浸漬部分の両端にのみ１対の電極を設けて負荷する電流値を基準とすれば、それと同じ電流値の電流を、回転ローラー２、３間で並列して配される各ワイヤー６の列ごとに負荷可能となり、その往復回数の２倍の電流値を負荷することが可能となる。また、ワイヤー６を回転ローラー２、３間に架け渡して複数回往復させるものであるため、主電極と補助電極を別々に設ける必要がなく、メッキ液（メッキ槽）の容量を大幅に小さくすることも可能である。そのため、生産スペースが確保されるとともに、メッキ液の使用量が大幅に低減され、生産コストを大幅に低減することが可能となる。
【００１６】
図１に示す例では、ワイヤー６がメッキ液１内外２つの回転ローラー２、３を螺旋状に巻き回すようにして走行するものであるが、ワイヤー６が回転ローラー２と回転ローラー３との間を横切るように走行させるものであっても良い。即ち、ワイヤーが「８」の字を描くようにして回転ローラー２と回転ローラー３との間に複数回架け渡されるように構成しても良い。
【００１７】
また、液外の回転ローラー２の形状としては、特に限定はなく、本発明の効果が得られる範囲で適宜変更可能である。但し、ワイヤー６の走行安定性、電流供給の安定性の観点からは、液外の回転ローラー２及び／又は前記液内の回転ローラー３の外周表面上に、ローラー円周方向に前記ワイヤーを複数回案内するガイド溝を設けるのが好ましい。ガイド溝の構造は、ワイヤー６の走行を妨げなければ特に限定はなく、円周方向に螺旋状の連続した凹部からなるもの、回転ローラー２の円周方向に１周の凹部が軸方向に複数形成されたもの（図６参照。符号７。）、などが挙げられるがこれらに限定されるものではない。また、ワイヤー６との接触部には電流供給手段４より供給される電流が供給可能なように、電気的に接続可能に構成される。例えば、液外の回転ローラー２全体を導電性材料としたり、液外の回転ローラー２のうち、ワイヤー６との接触部分に導電性材料を配したりすることなどが挙げられる。また、導電性材料としては、金属、導電性高分子等が挙げられるが、ワイヤー６との耐摩擦性や耐摩耗性の観点からは、金属が好ましい。
【００１８】
また、液内の回転ローラー３の形状、回転ローラー２と３の配置（位置関係）は、本発明の効果が得られる範囲で適宜変更可能である。例えば、液内の回転ローラー３の外周にも、回転ローラー２と同様のガイド溝を設けても良い。さらに、ワイヤー６を架け渡す回数（以下、往復回数とも称する。）は複数回即ち２回以上であれば特に限定はなく、ワイヤーの外周に固着させる砥粒の付着量などにより適宜選択すれば良い。
【００１９】
図２は、本発明の第２実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図である。本実施形態は、砥粒（図示せず）を含有するメッキ液１の内部に少なくとも２つの液内の回転ローラーを配する場合の例である。
このように、メッキ液内に少なくとも２つ液内の回転ローラーを配することで、ワイヤー６に負荷される応力が分散され、より安定したワイヤー走行が可能となる。
【００２０】
図２に示すように、本実施形態では、砥粒（図示せず）を含有するメッキ液１の外部には１つの液外の回転ローラー２が配され、メッキ液１の内部には１つの液内の回転ローラー３ａ、３ｂが配されており、側面から見て、回転ローラー２は、その回転軸中心が回転ローラー３ａと３ｂの回転軸中心を結ぶ線の垂直２等分線上に位置するように配されている。図２に示す実施形態では、各回転ローラー２、３ａ、３ｂは、それらの軸方向が平行で、メッキ液１の液面と平行になるようになるように配されている。また、液外の回転ローラー２には図示しない電流供給手段から配線を介して電流が供給され、液外の回転ローラー２とワイヤー６が電気的に接続されように構成されている。そして、ワイヤー６は、液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３ａ、３ｂとの間に複数回架け渡されてメッキ液１の内外を複数回往復するように走行する。図２に示す実施形態では、ワイヤー６が回転ローラー２、３ａ、３ｂを螺旋状に巻き回すようにして（ワイヤー６により形成される螺旋の内側に３つの回転ローラー２、３ａ、３ｂが配される）、メッキ液１の内外を複数回往復するように構成されている。
【００２１】
そして、図２に示す実施形態においても、図１に示す実施形態の場合と同様に、生産速度を著しく増加させることができ、生産スペースが確保されるとともに、メッキ液の使用量が大幅に低減され、生産コストを大幅に低減することが可能となる。本実施形態では、少なくとも２つの液内の回転ローラーを用いるため、ワイヤーの走行安定性が向上する。その結果、ワイヤーの走行速度を速くすることが可能となるため、往復回数などを適宜調整することで、より生産速度を向上することができる
【００２２】
尚、図２に示す例では、上記のように各回転ローラー２、３ａ、３ｂを配したが、本発明の効果が得られる範囲で、それらの配置を適宜選択すれば良い。また、液内の回転ローラーの数を３つにして、側面から見た配置がひし形などの四角形の各頂点となるように配しても良いし、必要に応じて適宜増加させても良い。
また、回転ローラー２、３ａ、３ｂの形状は、本発明の効果が得られる範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の第１実施形態の例の場合と同様に、回転ローラー２、３ａ、３ｂの外表面にその円周方向にガイド溝を形成しても良い。
さらに、ワイヤー６の往復回数は複数回即ち２回以上であれば特に限定はなく、ワイヤーの外周に固着させる砥粒の付着量などにより適宜選択すれば良い。
【００２３】
図３は、本発明の第３実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図であり、図４はその斜視図である。本実施形態も、各回転ローラー２、３ａ、３ｂの配置自体は、図２に示す実施形態と同じであるが、ワイヤー６の走行のさせ方を、先ず液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３ｂとの間で１回往復させ、次に、液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３ａとの間で一往復させる、という走行を順次繰り返して、液外の回転ローラー２と、液内の回転ローラー３ａ、３ｂと間にワイヤー６を複数回架け渡してメッキ液１の内外を複数回往復させるように構成した点で、図２に示す実施形態とは異なる。本構成においても、上述した各実施形態と同様の効果が期待できる。また、ワイヤー６がメッキ液内部では回転ローラー３ａ、３ｂとに交互に走行することになるため（図４参照）、各回転ローラーの軸方向に対して交差する方向（略垂直に交差）で隣接するワイヤー６の列同士の距離が大きくなり、ワイヤーと砥粒との接触機会の向上、ひいては砥粒の電着効率の向上が期待できる。
【００２４】
尚、図４に示す例では、ワイヤー６の走行のさせ方として、先ず液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３ｂとの間で１回往復させ、次いで、液外の回転ローラー２と液内の回転ローラー３ａとの間で一往復させる、という走行を順次繰り返す例を示したが、本発明の効果が得られる範囲で、適宜変更可能である。また、回転ローラー２、３ａ、３ｂの形状や配置は、本発明の効果が得られる範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の第１、２実施形態の例の場合と同様に、回転ローラー２、３ａ、３ｂの外表面にその円周方向にガイド溝を形成しても良い。さらに、ワイヤー６の往復回数は複数回即ち２回以上であれば特に限定はなく、ワイヤーの外周に固着させる砥粒の付着量などにより適宜選択すれば良い。
【００２５】
図５は、本発明の第４実施形態の特徴部分を模式的に示した側面図である。本実施形態は、砥粒（図示せず）を含有するメッキ液１の外部に２つの液外の回転ローラーを配し、メッキ液１の内部に１つの液内の回転ローラーを配する場合の例である。本実施形態の場合も、メッキ液１の外部に２つの液外の回転ローラーを配することで、走行中のワイヤー６に負荷される応力が分散され、より安定したワイヤー走行が可能となる。
【００２６】
図５に示すように、メッキ液１の外部には、ワイヤー６の走行方向に対して上流側に近い方には液外の回転ローラー２ａが、同じく下流側に近い方には液外の回転ローラー２ｂが配されている。本実施形態では、液外の回転ローラー２ａには、電流供給手段（図示せず）から配線（図示せず）を介して電流が供給され、液外の回転ローラー２ａとワイヤー６が電気的に接続されるように構成されている。また、液外の回転ローラー２ｂには、必要に応じて、同じく電流が供給され、液外の回転ローラー２ｂとワイヤー６が電気的に接続されるように構成してもよい。但し、ワイヤー６に負荷される電流量を増加させ、電流密度を維持する観点からは、回転ローラー２ａおよび２ｂに電流が供給されるのが好ましい。
【００２７】
本実施形態では、ワイヤー６の走行のさせ方としては、例えば、先ず、液外の回転ローラー２ａと液内の回転ローラー３との間で一往復させ、次いで、液外の回転ローラー２ｂと液内の回転ローラー３との間で一往復させる、という走行を順次繰り返す方法が挙げられるが、これに限定されない。尚、この例の場合は、ワイヤー６に適切に電流が供給されるように、回転ローラー２ａおよび２ｂに供給される電流値が電流供給手段（図示せず）により制御される。
【００２８】
また、回転ローラー２ａ、２ｂ、３の形状や配置は、本発明の効果が得られる範囲で適宜変更可能である。例えば、上記の第１〜３実施形態の例の場合と同様に、回転ローラー２ａ、２ｂ、３の外表面にその円周方向にガイド溝を形成しても良い。さらに、ワイヤー６の往復回数は複数回即ち２回以上であれば特に限定はなく、ワイヤーの外周に固着させる砥粒の付着量などにより適宜選択すれば良い。
【００２９】
本発明では、上述した各実施形態において、砥粒を含有するメッキ液１の内部に撹拌手段を配しても良い。このように撹拌手段を配することにより、メッキ液１内に存在する砥粒の分散性を向上させ、メッキ液内外の回転ロール間で往復して通過するワイヤー６の表面への砥粒の付着を均一にすることが可能となる。このような撹拌手段としては特に限定はなく、一般的な撹拌翼を用いることができる。撹拌翼の形状、配置位置、撹拌速度等は、メッキ液の性状、メッキ液内の回転ローラーの配置、数量、ワイヤー６の走行形態、往復回数などにより適宜選択すれば良い。
【００３０】
また、本発明では、上記の砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させ、洗浄したものを固定砥粒式のワイヤーソーとして使用することが可能であるが、必要により、砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させた後に、砥粒を含有しないメッキ液にワイヤーを通過させてもよい。これにより、ワイヤーへの砥粒の固着をより確実なものとすることができる。このような構成は、例えば、砥粒をワイヤーに仮固定する目的で、砥粒を含有するメッキ液にワイヤーを通過させた後に、砥粒を確実に固着する目的で、砥粒を含有しないメッキ液にワイヤーを通過させる場合に有効である。
【００３１】
本発明で用いる砥粒を含有するメッキ液の組成としては、特に限定はなく、砥粒を電気メッキにより固着させる際に用いられる一般的な成分組成のものを採用することができ、例えば、ニッケル含有有機酸、ニッケル含有無機酸などを含有するものが挙げられるが、これに限定されない。また、必要により、光沢剤、ｐＨ緩衝剤、などを適宜添加しても良い。
【００３２】
本発明で用いる砥粒としては、例えばダイヤモンド、ＣＢＮ等の超砥粒が挙げられるが、これらに限定されない。砥粒の粒径としても、ワイヤーソーとして用いることができる程度であれば特に限定はないが、例えば、ダイヤモンド砥粒であれば、５〜１００μｍであるとよい。
【００３３】
本発明で用いるワイヤーとしては、特に限定はなく、金属、非金属、各種のものを用いることができる。金属としては、従来と同様、タングステンワイヤーやピアノ線、焼きもどし温度４００℃以上のダイス鋼、ハイス、ステンレス鋼等を用いることができる。非金属としては、炭素繊維、アラミド繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、シリコンカーバイド繊維などを用いることができる。また、非金属性のものを用いる場合は、その表面に導電性を付与するための一般的なメッキ処理を施しておくとよい。
【００３４】
以下に、本発明に係るワイヤーソーの製造装置の一例を、図をもとに説明する。
【００３５】
図７は、本発明のワイヤーソーの製造装置の概略構成を示す図である。この製造装置１１は、ワイヤー６が送り出される送り出し機１２から、ワイヤー６の走行方向に沿って順に、アルカリ槽１３、水洗槽１４、酸槽１５、水洗槽１６、活性化槽１７、メッキ槽８、水洗槽１８、巻取り機１９とから構成される。このような製造装置１１により、送り出し機１２からワイヤー６を送り出し、アルカリ槽１３にてアルカリ脱脂し、水洗槽１４にて水洗し、酸槽１５にて酸洗し、水洗槽１６にて水洗し、活性化槽１７にて活性化処理して、メッキ槽８において砥粒をワイヤーの外周に固着し、水洗槽１８にて水洗し、巻取り機１９により巻き取られて、固定砥粒式のワイヤーソーが得られる。そして、得られたワイヤーソーは、各種の用途に供される。
【００３６】
図８は、図７におけるメッキ槽８をより詳細に示したものであり、上記の図１に示される第１実施形態の例におけるメッキ液１が収容されたメッキ槽８の具体例を示した側面図である。図８に示すように、メッキ槽８には、砥粒（図示せず）を含有するメッキ液１が収容され、メッキ液１の外部には液外の回転ローラー２が、内部には液内の回転ローラー３が配されており、メッキ槽８の底部には撹拌翼１０が配されている。また、ワイヤー６は、回転ローラー２と回転ローラー３の間に、複数回架け渡されメッキ液１の内外を複数回往復して走行している。そして、メッキ液１内に、ワイヤー６と平行して陽極９ａ、９ｂが配されている。このように、底部に配された撹拌翼１０によりメッキ液１が適度に撹拌されて、砥粒の分散状態が保持され、陽極９ａ、９ｂの近傍部において、ワイヤー６の外周にメッキ被膜が形成されるとともに、砥粒が付着し、固着する。
【００３７】
なお、図７、図８に示した構成は、本発明の実施形態の一例を示したものであり、他の構成を採用することができる。例えば、アルカリ槽１３から活性化槽１７に至る構成を、定法に従って他の構成にしても良いし（例えば、これらの各槽から必要に応じて適宜選択して配する構成など）、メッキ槽８の次に砥粒を含有しないメッキ液を収容するメッキ槽を配する構成を採用しても良いし、メッキ槽８の構成として、図１に示す実施形態以外の実施形態の液内外の回転ローラーの配置やワイヤーの走行方法を採用しても良い。
【００３８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこうした例に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施し得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００３９】
１  砥粒を含有するメッキ液
２、２ａ、２ｂ  液外の回転ローラー
３、３ａ、３ｂ  液内の回転ローラー
４  電流供給手段
５  配線
６  ワイヤー
７  ガイド溝
８  メッキ槽
９ａ、９ｂ  陽極
１０  撹拌翼
１１  固定砥粒式のワイヤーソーの製造装置
１２  送り出し機
１３  アルカリ槽
１４  水洗槽
１５  酸槽
１６  水洗槽
１７  活性化槽
１８  水洗槽
１９  巻取り機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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