(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工歯車を加工する環状の工具ユニットと、
被加工歯車を回転自在に支持し、前記工具ユニットに相対的に近接離間するワーク支持ユニットと、を備え、
前記工具ユニットは、
ハウジングと、
前記ハウジングの内周側に回転自在に配置される環状の支持体と、
前記支持体の内周側に取り付けられ、被加工歯車に噛合する内歯車形状の工具と、
前記ハウジングの内周側に取り付けられた環状のステータ部、及び前記支持体の外周に取り付けられ、前記ステータ部と対向配置されるロータ部を有し、前記支持体を前記ハウジングに対して回転させる駆動手段と、
前記ハウジングに取り付けられ、前記支持体の回転角度位置を検出する検出手段と、
を備えている、歯車加工装置。
【請求項２】
前記ハウジングは、前記工具を挟んで、軸方向の一方に、前記駆動手段が配置される駆動手段収容部を有し、軸方向の他方には、前記検出手段を配置する検出手段収容部を有している、請求項１に記載の歯車加工装置。
【請求項３】
前記ハウジングに対して前記支持体を回転可能に支持し、前記駆動手段収容部と検出手段収容部との間に配置される環状のベアリングをさらに備え、
前記軸方向の外方の両端における前記ハウジングと支持体との隙間に第１の油密部を有し、
前記駆動手段収容部と、前記ベアリングとの間に第２の油密部を有している、請求項２に記載の歯車加工装置。
【請求項４】
冷却媒体が供給される熱交換部材をさらに備え、
当該熱交換部材は、前記ハウジングの内周壁とステータ部との間に取り付けられる基部、及び前記工具の軸方向における前記ハウジングの外側から前記ステータ部を覆う側面部、を備えている、請求項１から３のいずれかに記載の歯車加工装置。
【請求項５】
前記駆動手段収容部および前記検出手段収容部の各々に向かって空気を噴出する空気噴出手段をさらに備えている、請求項３に記載の歯車加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工歯車に、内歯車状の工具を噛合させて加工を行う歯車加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、歯車に対する仕上げ加工として、例えばホーニング加工が知られている。これらの加工においては、加工対象となる被加工歯車と砥石用歯車とを互いにかみ合わせた状態で、回転させて仕上げ加工を行っている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ホーニング加工を行う歯車仕上げ装置が記載されている。この装置では、加工対象となる歯車は、一対の固定具により軸方向の両端から挟むことで支持されており、両固定具の間に配置された、内歯車状の工具を有する環状の工具ヘッドを歯車に噛合させている。そして、この状態で工具ユニットを回転させることにより、歯車の仕上げを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２８８０４０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１に記載の装置では、工具ユニットの外部に配置されているモータにより、工具ユニット内の工具を回転させている。その際、モータの回転をベルト及びギアを介して伝達している。ところが、ギアにはバックラッシュが存在するため、工具を回転させる際の制御の精度が高くなかった。そのため、工具の回転位置を検出する精度も低く、これに起因して加工精度も高くはなかった。
【０００６】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、工具の回転位置の検出精度を向上し、これにより加工精度を高くすることが可能な歯車加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る歯車加工装置は、被加工歯車を加工する環状の工具ユニットと、被加工歯車を回転自在に支持し、前記工具ユニットに相対的に近接離間するワーク支持ユニットと、を備え、前記工具ユニットは、ハウジングと、前記ハウジングの内周側に回転自在に配置される環状の支持体と、前記支持体の内周側に取り付けられ、被加工歯車に噛合する内歯車形状の工具と、前記ハウジングの内周側に取り付けられた環状のステータ部、及び前記支持体の外周に取り付けられ前記ステータと対向配置されるロータ部を有し、前記支持体を前記ハウジングに対して回転させる駆動手段と、前記ハウジングに取り付けられ、前記支持体の回転角度位置を検出する検出器と、を備えている。
【０００８】
この構成によれば、工具ユニットにステータ部とロータ部で構成された駆動手段を有している。より詳細には、工具ユニットのハウジングに工具を支持する支持体を回転自在に配置するとともに、ハウジングにステータ部を取り付け、支持体にロータ部を配置することで、工具を回転させている。そのため、ギアを介さずに工具及び支持体を回転させることができ、これによって回転位置の検出精度を向上することができる。その結果、加工精度も向上することができる。
【０００９】
上記歯車加工装置において、ハウジングには、工具を挟んで、軸方向の一方に、駆動手段が配置される駆動手段収容部を設け、軸方向の他方に、検出手段を配置する検出手段収容部を設けることができる。この構成により、工具を挟んで駆動手段収容部及び検出手段収容部が配置されるため、工具ユニットをコンパクトにすることができる。例えば、被加工歯車を加工する場合には、該歯車の軸線と工具の軸線との間で交差角をつけるべく工具ユニットを傾ける必要があるが、工具の一方側に駆動手段と検出手段との両方が配置されていると、工具の一方側が大きく膨らみ工具ユニットを傾ける際、周囲の装置部品等に干渉することが考えられる。これに対して、上記のように工具を挟んで駆動手段と検出手段をそれぞれ配置すると、余分なスペースを要さず、装置をコンパクトにすることができる。
【００１０】
また、上記歯車加工装置においては、ハウジングに対し、支持体を回転可能に支持するとともに駆動手段収容部と検出手段収容部との間に配置される環状のベアリングをさらに設けることができる。そして、軸方向の外方の両端におけるハウジングと支持体との隙間に第１の油密部を設け、駆動手段収容部と、ベアリングとの間に第２の油密部と、を設けることができる。この構成によれば、第１の油密部によって、歯車の加工に際して発生する切り屑や、切削油がハウジング内の駆動手段収容部に浸入するのを防止することができる。さらに、第２の油密部を有しているため、万が一、駆動手段収容部に切り屑等が進入しても、これがベアリングに到達するのを防止することができる。このように、２つの油密部を設けることにより、ハウジング内への切り屑等の進入を防止することができ、歯車加工装置の駆動の不具合を防止することができる。
【００１１】
上記歯車加工装置においては、冷却媒体が供給される熱交換部材をさらに設けることができる。そして、この熱交換部材は、ハウジングの内周壁とステータ部との間に取り付けられる基部と、軸方向の外方においてステータ部を覆う側面部と、を備えたものとすることができる。この構成によれば、ステータ部の径方向外方、及び軸方向外方からステータ部を冷却することができるため、駆動手段の冷却効率を向上することができる。
【００１２】
また、上記歯車加工装置において、前記駆動手段収容部および前記検出手段収容部の各々に向かって空気を噴出する空気噴出手段をさらに設けることかできる。これにより、前記駆動手段収容部および前記検出手段収容部の各々の内圧が高くなりハウジング外の切削油や切り屑等がハウジング内に進入するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明に係る歯車加工装置によれば、工具の回転位置の検出精度を向上し、これにより加工精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る歯車加工装置の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１の歯車加工装置の平面図である。
【図３】図１の歯車加工装置の側面図である。
【図４】図1の歯車加工装置における工具ユニットのハウジングの正面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図５とは異なる位置におけるハウジングの断面図である。
【図８】図５及び図７とは異なる位置におけるハウジングの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る歯車加工装置の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１、図２、及び図３は、それぞれ本実施形態に係る歯車加工装置の正面図、平面図、及び側面図である。なお、以下の説明では、図１の左右をＸ軸方向、図１の上下をＺ軸、図２の上下をＹ軸方向と称し、これを基準に説明をしていく。
【００１６】
図１〜図３に示すように、本実施形態に係る歯車加工装置は、基台１上に配置された工具ユニット２及びワーク支持ユニット３を備えている。工具ユニット２は、環状に形成されたハウジング２１を有しており、その軸方向が、Ｘ軸方向に向くように配置されて、ワークＷである被加工歯車と噛合するようになっている。また、この工具ユニット２のハウジング２１は、通常の仕上加工に際し該歯車の軸線に対して交差角を形成するべくＹ軸周りに回転可能とし、更にはクラウニングを行うためにＺ軸周りに回転可能となっている。そのため、工具ユニット２は、基台１上に配置され、上述したハウジング２１を支持する支持台２３を備えている。図３に示すように、この支持台２３は基台１上をＺ軸周りに回転可能な基部２３１と、この基部２３１の両端からそれぞれ上方に延びる支持片２３２とを有し、全体としてＵ字型に形成されている。そして、ハウジング２１は両支持片２３２の間に配置され、回転可能に支持されている。すなわち、両支持片２３２には、ハウジング２１側に突出する軸部材２３３が設けられており、これらがハウジング２１の外周面にさし込まれることで、ハウジング２１が回転可能となっている。この構成により、支持台２３は、ハウジング２１とともにＺ軸周りに回転可能であり、さらにハウジング２１は、軸部材２３３を中心にＹ軸周りに回転可能となっている。
【００１７】
図１に示すように、ワーク支持ユニット３は、工具ユニット２を挟んで配置される主軸台３１と、心押し台３２とで構成されており、これらは、Ｘ軸方向に互いに近接離間し、ワークＷを回転自在に挟持するようになっている。主軸台３１は、基台１上に配置された支持ブロック３３上に配置されており、この支持ブロック３３が、Ｙ軸方向に配置されたレール３４上を移動可能となっている。また、主軸台３１は、支持ブロック３３上でＸ軸方向に配置されたレール３５上を移動可能となっている。そして、主軸台３１の先端には、Ｘ方向に突出しワークＷを支持する軸部材３１１が回転自在に設けられており、内蔵されているモータ（図示省略）によって回転駆動する。心押し台３２も同様に構成されており、基台１上をレール３７を介してＹ軸方向に移動可能なテーブル３６上に配置されている。そして、心押し台３２自身もレール３８を介してテーブル３６上をＸ軸方向に移動可能となっている。また、心押し台３２の先端には、ワークＷを支持する軸部材３２１が回転自在に設けられており、互いにハウジング２１に向かって移動し主軸台３１の軸部材３１１との間で、ワークＷを挟持するようになっている。主軸台３１と心押し台３２とは、一体的にＹ軸方向に移動するように制御されており、両者がワークＷを狭持した状態でＹ軸方向に移動し、ワークＷを工具ユニット２の工具に噛合・離間するようになっている。
【００１８】
次に、工具ユニットについて、図４〜図６を参照しつつ説明する。図４はハウジングの正面図、図５は図４のＡ−Ａ線断面図、図６は図５のＢ−Ｂ線断面図である。図４〜図６に示すように、ハウジング２１は、全体として環状に形成されているが、軸方向の中央部が径方向内方に陥没している。これにより、ハウジング２１の外周面には環状の凹部２１１が形成され、これに対応して内周面には凸部２１２が形成されている。そして、この凸部２１２の内周面には、スペーサによって所定間隔をおいて２個のベアリング４が配置されている。両ベアリング４の両外側には、これらの外輪側面に当接する一対の環状部材４１がハウジング２１に取り付けられており、ベアリング４を軸方向に固定している。また、ハウジング２１の内周側には、ベアリング４を介して、環状の支持体５が回転自在に取り付けられている。そして、この支持体５の内周面には、内歯車状の工具６が着脱自在に取り付けられている。
【００１９】
続いて、図７及び図８を参照しつつ、ベアリング４への潤滑構造について説明する。図７及び図８は、図５とは異なる周方向の位置におけるハウジング２１の断面図である。図７に示すように、ハウジング外周面の凹部２１１には、ベアリング４へと通ずる供給孔２１３が形成されており、オイルミストを供給するようになっている。また、両ベアリング４の外輪間には供給孔２１３から供給されたオイルミストを両ベアリング４へと分配するための流路を有する環状の分配部材４３が配置されている。両ベアリング４に供給されたオイルミストは前記環状部材４１によってベアリング外への漏出が堰き止められる。一方、図８に示すように、ハウジング２１には、供給孔２１３とは異なる位置で下面に開口形成された排出孔２１４が設けられている。この排出孔２１４は、両ベアリング４に対する潤滑を終えて液状化したオイルミストをハウジング２１の外部に排出するためのものである。
【００２０】
次に、図５に戻って、支持体５について説明する。同図に示すように、支持体５は、ハウジング２１の軸方向の一端部（図５の下側）とベアリング４を覆う基部５１と、この基部５１に連結され、ハウジング２１の他端部（図５の上側）を覆う延在部５２とで構成されている。これにより、工具ユニット２には、凸部２１２を挟んで軸方向に２つの空間が形成されている。すなわち、図５の下側には支持体５の基部５１とハウジング２１とで、電動モータを収容するためのモータ収容部２５が形成されている。一方、図５の上側には、支持体５の延在部５２とハウジング２１とで、検出器を収容するための検出器収容部２６が形成されており、この検出器によって支持体５の回転角度位置が検出される。
【００２１】
続いて、モータ収容部２５の構成について説明する。図５に示すように、モータ収容部２５には、熱伝導性の高い材料で、環状に形成された冷却ジャケット７が取り付けられている。この冷却ジャケット７は、ハウジング２１の内周面に沿って取り付けられる基部７１と、この基部７１に一体的に連結されハウジング２１の軸方向の外方を覆う側板部７２とで形成され、全体として断面Ｌ字型に形成されている。基部７１には、径方向外方に溝７１１が形成されており、この溝７１１とハウジング２１の内周面との間に環状に延びる環状空間が形成されている。そして、この環状空間には、図７に示すように、ハウジング２１の外周面に形成された供給孔７３から冷却油が供給されるようになっている。供給された冷却油は、環状空間をハウジング２１の周方向に流通した後、図８に示すように、供給孔７３とは異なるハウジング２１の外周面に形成された排出孔７４から、ハウジング２１の外部に排出されるようになっている。
【００２２】
図５及び図６に示すように、冷却ジャケット７の基部７１の内周面と側板部７２との段部には、環状に形成されたモータのステータ部８１が嵌合固定されている。一方、支持体５の外周面には、このステータ部８１と対向する位置に環状に形成されたモータのロータ部８２が固定されている。ステータ部８１には、ハウジング２１の凹部２１１を介して外部から導線（図示省略）が連結されており、ステータ部８１のコイルに対して電力を供給可能として電動モータが構成される。なお、ステータ部８１は及びロータ部８２は複数のコイルや磁石を備えた公知のものを使用することができる。
【００２３】
続いて、工具ユニット２において、加工中の切り屑や切削油等の異物の侵入を防止するための構造について説明する。図５に示すように、冷却ジャケット７の側板部７２には、径方向内方の先端に、環状の第１カバー部材９１が取り付けられている。一方、支持体５の軸方向の端部には、第１カバー部材９１と径方向に対向するように、環状の第２カバー部材９２が取り付けられている。第１カバー部材９１と第２カバー部材９２とは、境界の断面が階段状になるように端面が形成されている。また、この境界の一部に環状の空間が形成されるように、第１カバー部材９１の端部には周方向に延びる第１環状溝９４が形成されており、この溝９４に後述するエアパージ用の空気が供給される。ここで、第１カバー部材９１は、ハウジング２１に固定されているが、第２カバー部材９２は、支持体５に固定されているため、支持体５とともに回転する。したがって、両カバー部材９１，９２の境界は、固定部分と可動部分の境界であり、この境界から異物がハウジング２１内に進入し得る。そこで、これを防止するため、両カバー部材９１，９２の境界は上述したように、断面が階段状に形成され、ラビリンス構造（第１油密部）となっている。また、環状溝９４には、エアパージ用の空気が供給されるため、境界を通じてモータ収容部２５内の圧力を高めて異物が侵入するのを防止している。さらに、第２カバー部材９２には、第３カバー部材９３が取り付けられており、第１及び第２カバー部材９１，９２の境界を軸方向の外方から覆っている。これにより、第１及び第２カバー部材９１，９２の隙間に異物が侵入するのをさらに防止している。また、第３カバー部材９３と、第１及び第２カバー部材９１，９２の境界との間には、周方向に延びる第２環状溝９５が形成されており、第３カバー部材９３を超えて進入した異物は、この環状溝９５に収容される。この第２環状溝９５は前記第１環状溝９４の外側に隣接しているが、第１環状溝９４の内圧が高い為に第２環状溝９５内の異物は第１環状溝９４の側に移動することはない。
【００２４】
上記のような、ラビリンス構造（油密部）は、モータ収容部２５からベアリング４へ至る経路にも設けられている。図５に示すように、モータ収容部２５とベアリング４との間に取り付けられた環状部材４１は、支持体５に固定されているが、その境界がモータ収容部２５からベアリング４に至る経路４５を形成している。そして、この経路４５は、凹凸によって形成されており、ラビリンス構造（第２油密部）をなしている。したがって、モータ収容部２５の内圧が、環状部材４１と支持体５とで構成されるラビリンス構造ベアリング４を潤滑したオイルミストがモータ収容部２５に到達するのを防止している。なお、油密部の形態については特には限定されず、公知の形態を適宜適用することができる。なお、同様のラビリンス構造は検出器収容部２６にも設けられている。
【００２５】
また、図７に示すように、モータ収容部２５側の第１カバー部材９１には、前記第１環状溝９４への空気の供給孔９１３が開口され、ここから高圧空気が、冷却ジャケット７の側板部７２と第１カバー部材９１との間の長溝７４ａを介して再度、第１カバー部材９１の案内路９６ａから第１環状溝９４へ導入されるようになっている。また、図８に示すように、第２環状溝９５に溜まった異物は、第１カバー部材９１に形成された案内路９６ｂから、冷却ジャケット７の側板部７２と第１カバー部材９１との間の長溝７４ｂを介して第１カバー部材９１に開口した排出孔９１５から排出される。
【００２６】
続いて、検出器収容部２６について説明する。図５に示すように、検出器収容部２６には、支持体５の回転角度位置を検出する検出器が収容されている。この検出器は、支持体５の延在部５２に固定される環状の磁気メモリ付スケール８３と、ハウジング２１に固定される磁気エンコーダ８４とで構成されている。磁気エンコーダ８４は、磁気メモリスケール８３と対向するように配置されており、ハウジング２１の外部へと延びる導線８５と接続されている。また、検出器収容部２６を覆う油密部の構造は、モータ収容部２５とほぼ同様であり、同様の形態の第１〜第３カバー部材１０１〜１０３が取り付けられ第１・第２環状溝１０４・１０５を備えている。図７に示すように、第１環状溝１０４への空気供給は供給孔２１５から第１カバー部材１０１に設けられた案内路９７ａを通じて行われる。
【００２７】
さらに、図８に示すように、第２環状溝１０５内に溜まった異物は第１カバー部材１０１の案内路９７ｂを通じてハウジング２１の排出孔２１６から排出される。なお、前記排出孔２１４は、ハウジング２１内の各環状部材４１の内側面に臨む分岐通路２１４ａを有し、モータ収容部２５、検出器収容部２６内に供給された空気は各環状部材４１とハウジング２１の間の隙間から漏出しオイルミストと共にハウジング２１外へ排出される。
【００２８】
次に、支持体５への工具の取り付け構造について説明する。図５に示すように、支持体５の内周面の中心には、径方向に延びる凹部５５が形成されており、この凹部５５を覆うように、周方向に薄い帯状の溝５６が形成されている。凹部５５には、Ｌ字形の油孔５７の一端が連通しており他端は支持体５の外端面に開口し、プッシュピン５８が差し込まれている。そして、帯状の溝５６を覆うように、径方向の内側に環状の弾性部材５９が配置され、これを介して、上述した内歯車状の工具６が嵌め込まれている。支持体５の油孔５７、凹部５５及び溝５６には油が充填されており、プッシュピン５９を押し込み固定することで、油の圧力が増加する。これにより、弾性部材５９が径方向内方に突出するように変形し、工具６の外周面が押圧される。その結果、工具６が支持体５に固定される。一方、プッシュピン５８の固定を解き引き抜くと、油孔５７、凹部５５及び溝５６の油の圧力が低下して、弾性部材５９が元の形状に戻り、工具６が取り外し可能となる。但し、これ以外の工具の取り付け方法も採用可能である。
【００２９】
次に、上記のように構成された歯車加工装置の動作について説明する。まず、ワークＷとの間で所定の交差角を形成するために、工具ユニット２のハウジング２１をＹ軸周りに回転させ、工具６に応じた交差角の位置で位置決めする。次に、ワークＷを主軸台３１の軸部材３１１に取り付けた後、主軸台３１及び心押し台３２を互いに近接させ、工具ユニット２の中でワークＷを挟持する。この状態で、主軸台３１の軸部材３１１をワークＷとともに回転させる。これと並行して、モータを駆動し工具ユニット２の工具６をワークＷと同期するように、回転させる。続いて、主軸台３１及び心押し台３２を一体的にＹ軸方向に移動させ、ワークＷを工具６に近接させる。そして、ワークＷと工具６とを噛み合わせることで、ワークＷの加工を行う。また、必要に応じてハウジングをＺ軸周りに回転させ、ワークＷにクラウニングを施す。このとき、検出器が支持体５の回転角度位置を検出することで、工具６とワークＷの回転が同期するように、各モータの回転が制御される。また、このような加工作業と同時に、工具６とワークＷとの噛み合わせ部分に切削油を噴射し、加工部位の冷却、潤滑、切り屑除去を行う。こうして、所定時間加工を行った後、各モータの駆動を停止し、加工されたワークＷを取り外す。
【００３０】
上記加工中、工具ユニット２は次のように動作する。まず、ベアリング４に対しては、潤滑油を供給する。すなわち、図７に示す供給孔２１３から供給された潤滑油は、オイルミストとして両ベアリング４の隙間から分配部材４３を介して各ベアリング４に供給される。この潤滑油は環状の空間を周方向に流通しつつ図８に示す排出孔２１４から排出される。この過程でベアリング４に対して潤滑油が供給される。また、モータ収容部２５側において、空気の供給孔９１３から高圧の空気を供給する。この空気は、第１及び第２カバー部材９１，９２の境界に形成された第１環状溝９４に向けて放出される。そのため、この空気が壁となって、ハウジング２１内に切削油、切り屑が進入するのが防止される。また、第３カバー部材９３を超えて進入した油は、第２環状溝９５に一旦溜まり、排出孔９１５を経て外部に排出される。以上は、モータ収容部２５側の説明であるが、検出器収容部２６側のカバー部材１０１〜１０３においても同様の動作がなされる。さらに、冷却ジャケット７の溝７１１に冷却油が供給されることにより、冷却ジャケット７の基部７１及び側板部７２が冷却される。これにより、冷却ジャケット７に嵌合固定したステータ部８１が周方向外方及び軸方向の外方から冷却され、ステータ部８１が高温になるのを防止している。ワークＷの加工中は、以上のような動作が行われて工具ユニット２の安定的な動作が保証される。
【００３１】
以上のように、本実施形態では、工具ユニット２のハウジング２１に工具６を支持する支持体５を回転自在に配置している。そして、ハウジング２１にステータ部８１を取り付け、支持体５にロータ部８２を配置することで、工具６を電気的にダイレクト回転させている。したがって、従来技術のようなギアを介することなく、支持体５及び工具６を回転させることができるため、回転位置の検出精度を向上することができる。その結果、加工精度も向上することができる。
【００３２】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、上記実施形態では、工具ユニット２を固定し、ワーク支持ユニット３を工具ユニット２に近接させることで、加工を行っているが、これとは反対に、ワーク支持ユニット３を固定し、工具ユニット２を移動させても良い。また、ワーク支持ユニット３においては、主軸台３１と心押し台３２とでワークＷを狭持しているが、主軸台３１のみでワークＷを支持するような形態であってもよい。
【００３３】
上記実施形態では、検出器を、磁気メモリ付スケールと磁気エンコーダで構成しているが、これ以外の構成であってもよく、支持体５の回転角度位置を検出できるものであれば、特には限定されない。また、冷却構造は、水冷及び空冷のいずれでもよい。
【００３４】
また、上記実施形態では、油密部として３つのカバー部材９１〜９３を設けているが、固定部位であるハウジング２１と、可動部位である支持体５との隙間を塞ぐものであれば、その構成は特には限定されない。例えば、別体のカバー部材を設けずに、これらをハウジング２１や支持体５と一体的に形成することもできる。そして、この隙間から空気を噴出できるものであれば、エアパージの取り付け位置などは限定されない。
【符号の説明】
【００３５】
２  工具ユニット
２１  ハウジング
２５  モータ収容部（駆動手段収容部）
２６  検出器収容部（検出手段収容部）
３  ワーク支持ユニット
４  ベアリング
５  支持体
６  工具
７  冷却ジャケット（熱交換部材）
７１  基部
７２  側板部（側面部）
８１  ステータ部（駆動手段）
８２ロータ部（駆動手段）
８３  磁気メモリ付スケール（検出器）
８４  磁気エンコーダ（検出器）
【図１】
0005828157.tif 000002
【図２】
0005828157.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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