(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の結晶性ドメインを有する多結晶の電子顕微鏡像に含まれる複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、
前記フーリエ像の角度に対する強度を演算し、
前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶粒の方位を有する結晶性ドメインに分類することを特徴とする結晶粒方位の分析方法。
【請求項２】
前記領域の結晶性ドメインへの分類は、多変量カーブ分解法を用いることを特徴とする請求項１に記載の分析方法。
【請求項３】
前記フーリエ像の所定角度範囲内に含まれる前記フーリエ像の強度を積算し、前記角度に対する前記強度の分布を生成し、
前記分布に基づいて、前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶性ドメインに分類することを特徴とする請求項１または２記載の結晶粒方位の分析方法。
【請求項４】
前記領域の結晶性ドメインへの分類は、多変量カーブ分解法を用い、前記電子顕微鏡像内の前記複数の領域の位置にそれぞれ対応する前記分布から、主成分を抽出し、
前記抽出された主成分に対する前記複数の領域の位置における濃度を算出し、
前記複数の領域の位置のうち特定の主成分に対する濃度が所定値より高い位置を、同じ結晶性ドメインと分類することを特徴とする請求項３記載の結晶粒方位の分析方法。
【請求項５】
複数の結晶性ドメインを有する多結晶の電子顕微鏡像が入力される入力部と、
前記電子顕微鏡像に含まれる複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、前記フーリエ像の角度に対する強度を演算する演算部と、
前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶粒の方位を有する結晶性ドメインに分類する分析部と、を具備することを特徴とする結晶粒方位の分析装置。
【請求項６】
前記分析部は、多変量カーブ分解法を用いて前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶粒の方位を有する結晶性ドメインに分類する多変量解析部を含むことを特徴とする請求項５に記載の結晶粒方位の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、結晶粒方位の分析方法および結晶粒方位の分析装置に関し、例えば、電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分析する結晶粒方位の分析方法および結晶粒方位の分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多結晶試料等の結晶配向性を結晶性ドメイン毎に測定する様々な方法が提案されている。例えば、Ｘ線回折法によって得られるコッセルパターンの回折図形を用い結晶の配向を判別する方法が知られている（例えば、特許文献１）。また、電子線回折法によって得られる菊池パターンの回折図形を用い結晶の配向を判別する方法が知られている。例えば、走査電子顕微鏡において後方散乱電子が形成する菊池パターンを解析するＥＢＳＰ（Electron Back Scattering Pattern）法が知られている（例えば、非特許文献１）。２次元の位置情報に対して、取得されたラマンスペクトルに対して多変量カーブ分解法を用いる方法が知られている（例えば、非特許文献２）。この方法により、ラマンスペクトルを分類することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−１１９４４５号公報
【非特許文献１】株式会社コベルコ科研  こべるにくす  vol. 9, APR (2000) pp.10-11.
【非特許文献２】Analytica Chimica Acta, 500 (2003) 195.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
多結晶を形成する結晶性ドメインがナノサイズまで微細化すると、ナノサイズの空間分解能が求められる。汎用Ｘ線装置による測定では、空間分解能が足りない。ナノサイズのドメインの分析には、電子顕微鏡を用いる方法が有力である。しかしながら、ＥＢＳＰでは、像のノイズが高いこと、方位決定のアルゴリズムが複雑であることに加え、空間分解能も数十ｎｍであり、要求される空間分解能に一桁足りない。透過型電子顕微鏡は、空間分解能は十分であるものの、ドメインを特定するためには、出現している回折スポットに対して暗視野像を測定することとなる。いずれの方法についても、自動的に結晶性ドメインの分析を行なうことはできない。
【０００５】
本結晶粒方位の分析方法および結晶粒方位の分析装置は、結晶性ドメインを自動的に分析することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
例えば、複数の結晶性ドメインを有する多結晶の電子顕微鏡像に含まれる複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、前記フーリエ像の角度に対する強度を演算し、前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶粒の方位を有する結晶性ドメインに分類することを特徴とする結晶粒方位の分析方法を用いる。
【０００７】
例えば、複数の結晶性ドメインを有する多結晶の電子顕微鏡像が入力される入力部と、前記電子顕微鏡像に含まれる複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、前記フーリエ像の角度に対する強度を演算する演算部と、前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の前記領域を、前記複数の結晶性ドメインのうち対応する結晶粒の方位を有する結晶性ドメインに分類する分析部と、を具備することを特徴とする結晶粒方位の分析装置を用いる。
【発明の効果】
【０００８】
本結晶粒方位の分析方法および結晶粒方位の分析装置によれば、結晶性ドメインを自動的に分析することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、透過型電子顕微鏡の模式図である。
【図２】図２は、実施例１に係る結晶粒方位の分析装置として機能するコンピュータのブロック図である。
【図３】図３は、実施例１に係る結晶粒方位の分析装置の機能ブロック図である。
【図４】図４は、実施例１に係る結晶粒方位の分析方法を示すフローチャートである。
【図５】図５（ａ）から図５（ｃ）は、実施例１におけるデータ処理を示す模式図（その１）である。
【図６】図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施例１におけるデータ処理を示す模式図（その２）である。
【図７】図７（ａ）から図７（ｃ）は、実施例１において生成されたヒストグラムのデータの例を示す図である。
【図８】図８は、多変量解析部が行なう処理を示すフローチャートである。
【図９】図９は、図７の多次元行列データのうち２次元位置座標を１次元に配列した図である。
【図１０】図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、主成分毎の濃度の２次元画像の例である。
【図１１】図１１は、電子顕微鏡像に、図１０（ａ）の領域６２と図１０（ｂ）の領域６４を重ねた図である。
【図１２】図１２は、実施例２の電子顕微鏡像である。
【図１３】図１３は、実施例２の第２像の例を示す像である。
【図１４】図１４は、実施例２の主成分の濃度分布の２次元画像を示す図である。
【図１５】図１５は、実施例２の電子顕微鏡像中の分類したドメインを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図面を参照に、実施例について説明する。
【実施例１】
【００１１】
図１は、透過型電子顕微鏡の模式図である。図１のように、透過型電子顕微鏡２０は、チャンバ２１、電子銃２２、集束レンズ２３、対物レンズ２４、投影レンズ２６および検出器２７を備えている。電子銃２２から出射された電子ビーム２８は、集束レンズ２３、対物レンズ２４を介し試料２５に焦点を結ぶ。試料２５を透過した電子ビーム２８は、投影レンズ２６を介し検出器２７に至る。検出器２７により、電子顕微鏡像が生成される。電子顕微鏡像はコンピュータ１０に出力される。
【００１２】
透過型電子顕微鏡２０としては、例えば高分解能透過型電子顕微鏡（ＨＲＴＥＭ）または高分解能走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いることができる。透過型電子顕微鏡としては、原子分解能像が得られる程度の高分解能電子顕微鏡であることが好ましい。
【００１３】
図２は、実施例１に係る結晶粒方位の分析装置として機能するコンピュータのブロック図である。コンピュータ１０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１、表示装置１２、入力装置１３、出力装置１４、主記憶装置１５、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１６、記憶媒体用ドライブ１７、通信インターフェース１８および内部バス１９を備えている。表示装置１２は、例えば液晶パネル等の表示パネルを含み、処理結果等を表示する。入力装置１３は、例えばキーボード、マウスおよびタッチパネル等であり、処理データ等を入力する。出力装置１４は、例えばプリンタであり、処理結果等を出力する。主記憶装置１５は、例えばＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の揮発性メモリであり、処理中のデータを記憶する。ＨＤＤ１６は、例えば電子顕微鏡像データ、処理中または処理後のデータを記憶する。記憶媒体用ドライブ１７は、記憶媒体４０に格納されたプログラムをインストールする際に用いる。または、処理後のデータを記憶媒体４０に記憶させる。通信インターフェース１８は、電子顕微鏡２０から電子顕微鏡像データを取得する。内部バス１９は、コンピュータ１０内の各装置を接続する。
【００１４】
プログラムを格納するコンピュータ１０が読み取り可能な記憶媒体４０として可搬型記憶媒体を用いることができる。可搬型記憶媒体としては、例えば、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）ディスク、ＤＶＤ（Digital Video Disc）ディスク、ブルーレイディスクまたはＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等を用いることができる。記憶媒体４０として、フラッシュメモリまたはＨＤＤ等を用いてもよい。
【００１５】
図３は、実施例１に係る結晶粒方位の分析装置の機能ブロック図である。コンピュータ１０は、図２に図示した各部材とソフトウエアとの協働により図３のように機能する。入力部３０には、電子顕微鏡２０から電子顕微鏡像が入力される。演算部３２は、電子顕微鏡像の複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことにより、フーリエ像を生成し、フーリエ像の角度に対する強度を演算する。分析部３８は、フーリエ像の強度に基づいて、電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分析する。分析部３８は、さらに、多変量解析部３６を含む。多変量解析部３６は、多変量カーブ分解法を用いて電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分類する。
【００１６】
図４は、実施例１に係る結晶粒方位の分析方法を示すフローチャートである。図５（ａ）から図６（ｂ）は、実施例１におけるデータ処理を示す模式図である。図４のように、入力部３０は、電子顕微鏡２０から電子顕微鏡像５０の２次元データを取得する（ステップＳ１０）。図５（ａ）は電子顕微鏡像５０の２次元画像を示している。図５（ａ）を参照し、電子顕微鏡像５０のＸおよびＹのサイズは、例えば４０ｎｍ×４０ｎｍであり、原子の配列に対応する像が撮像されている。
【００１７】
次に、図４のように、演算部３２は、電子顕微鏡像５０から第１像５２を切り出す（ステップＳ１２）。図５（ａ）のように、例えば、電子顕微鏡像５０のうち３ｎｍ×３ｎｍの範囲を第１像５２として切り出す。電子顕微鏡像５０のうち例えば左上の第１像５２ａの中心位置座標を（Ｘ１、Ｙ１）とし、第１像５２ａを切り出す。
【００１８】
次に、図４のように、演算部３２は、窓関数を演算する（ステップＳ１４）。図５（ｂ）のように、第１像５２ａに窓関数を掛ける演算を行なう。これにより、窓関数を掛けた第１像５４ａが生成される。窓関数は、フーリエ変換した後の像のシグナル−ノイズ比を高めるために用いるものである。ステップＳ１４は行なわなくともよい。
【００１９】
次に、図４のように、演算部３２は、第１像５４をフーリエ変換することにより、フーリエ像である第２像５６を生成する（ステップＳ１６）。図５（ｃ）のように、窓関数を掛けた第１像５４ａをフーリエ変換することにより第２像５６ａが得られる。第２像５６ａ中に出現するスポット５３は、結晶性ドメインの特定の面方位に起因する。よって、同じドメインに含まれている第２像５６は、同じパターンとなる。また、同じ結晶面であっても角度が異なるドメインに含まれる第２像５６同士は、スポット５３の位置が回転して現れる。
【００２０】
次に、図４のように、演算部３２は、第２像５６から角度に対する強度の分布を生成する（ステップＳ１８）。図６（ａ）のように、第２像５６ａの中心５５を中心に一定角度θｉ（例えば６°）の範囲に含まれる第２像５６の強度の積算を、−９０°から９０°まで、一定角度θｉ間隔で求める。ここで、例えば、−Ｙ方向を−９０°、Ｙ方向を９０°、Ｘ方向を０°とする。一定角度θｉは、例えば１°等、任意に定めることができる。図６（ｂ）は、−９０°から９０°までの角度に対する強度のヒストグラムである。なお、図６（ｂ）のヒストグラムは例であり、図６（ａ）の第２像５６ａから作成したヒストグラムではない。第２像５６内にスポット５３のある角度において強度が強くなる。このように、角度に対する強度の分布として、角度に対する強度のヒストグラムを生成する。例えば、第１像５２が非晶質の領域の場合、第２像５６に強いスポット５３が出現しないため、ヒストグラムにはピークが出現しない。第１像５２が結晶の領域の場合、第２像５６には、面方位特有のスポット５３が出現する。よって、ヒストグラムには特定角度においてピークが出現する。
【００２１】
次に、図４のように、演算部３２は、第１像５２ａの位置座標（Ｘ１、Ｙ１）と角度と強度の分布を主記憶装置１５またはＨＤＤ１６に記憶させる（ステップＳ２０）。次に、ＣＰＵ１１は、最後の第１像５２かを判断する（ステップＳ２２）。Ｎｏの場合、第１像５２をインクリメントする（ステップＳ２４）。ステップＳ１２に戻る。例えば、図５（ａ）において、所定寸法（例えば１ピクセル）Ｘ方向にシフトさせた位置座標が（Ｘ２、Ｙ１）の第１像５２ｂを次の第１像５２とする。このように、所定寸法Ｘ方向にシフトさせがら第１像５２に対応するヒストグラム５８を生成する。電子顕微鏡像５０の右端の第１像５２のヒストグラムを生成した後、第１像５２ａからＹ方向に所定寸法（例えば１ピクセル）シフトさせた位置座標が（Ｘ１、Ｙ２）の第１像５２ｃからヒストグラムを生成する。このようにして、電子顕微鏡像５０全体から複数の第１像５２を切り出し、第１像５２の位置座標に対応したヒストグラムを生成する。
【００２２】
図５（ａ）において、電子顕微鏡像５０の右下の位置座標が（Ｘｎ、Ｙｍ）の第１像５２ｄを切り出し、ヒストグラムを生成した後、図４のステップＳ２２において、ＣＰＵ１１はＹｅｓと判定する。次に、分析部３８は、結晶性ドメインの分析を行なう（ステップＳ２６）。
【００２３】
実施例１においては、演算部３２は、図５（ａ）のように、隣接する第１像５２が重なるように第１像５２を切り取っているが、隣接する第１像５２が重ならないように第１像５２を切り取ってもよい。しかしながら、精度のよいドメインの分類を行なうためには、隣接する第１像５２は重なっていることが好ましい。また、演算部３２は、電子顕微鏡像５０から任意の第１像５２を切り出してもよい。例えば、電子顕微鏡像５０のうち、原子配列が観察できる領域を第１像５２として切り出してもよい。電子顕微鏡像５０のうち、原子配列が観察できない領域を第１像５２として切り出さなくてもよい。
【００２４】
図７（ａ）から図７（ｃ）は、実施例１において生成されたヒストグラムのデータの例を示す図である。図７（ａ）のように、第１像５２の位置座標に対応し、角度に対する強度のヒストグラム５８が４次元行列データとして生成される。例えば、図７（ｂ）は、図７（ａ）の位置座標（Ｘ１、Ｙ１）におけるヒストグラム５８である。図７（ｃ）は、図７（ａ）の位置座標（Ｘ２、Ｙ１）におけるヒストグラム５８である。このように、第１像５２の個数に対応する数のヒストグラム５８が４次元行列データとして、主記憶装置１５またはＨＤＤ１６に格納されている。
【００２５】
実施例１では、多変量カーブ分解法を用い、ドメインを分類する方法を説明する。２次元位置座標に対して、ラマンスペクトルを多変量カーブ分解法を用い解析する方法は非特許文献２に記載されている。
【００２６】
図８は、多変量解析部が行なう処理を示すフローチャートである。図８のように、分析部３８に含まれる多変量解析部３６は、１または複数の主成分を抽出する（ステップＳ３０）。次に、多変量解析部３６は、各位置座標の濃度分布を算出する（ステップＳ３２）。多変量解析部３６は、各位置座標の濃度分布からドメインの分類を行なう（ステップＳ３４）。実施例１では、図７（ａ）に示したデータのうち、第１像５２の位置座標に対して、分布（例えばヒストグラム）を非特許文献２と同様の多変量カーブ分解法を用い結晶性ドメインの分類を行なう。
【００２７】
図９は、図７の多次元行列データのうち２次元位置座標を１次元に配列した図である。図９のように、２次元座標（Ｘ１、Ｙ１）、…、（Ｘ１、Ｙ２）、…（Ｘｎ、Ｙｍ）を１次元座標１、…、ｎ＋１、…、ｎ×ｍに変換する。１次元位置座標に対応し、各ヒストグラムデータが関連付けられた行列データＤとなる。ここで、主成分行列Ｓと濃度分布行列Ｃとを用い、データＤ＝ＣＳＴとする。主成分は、抽出されたヒストグラムの主成分である。濃度は、各位置データにおける主成分の割合である。例えば、ドメインＤＡに対応する主成分ＰＡとドメインＤＢに対応する主成分ＰＢが抽出された場合を考える。例えば、座標１のヒストグラムが、主成分ＰＡが８０％、主成分ＰＢが２０％の場合、座標１のヒストグラムは主成分ＰＡのヒストグラム×０．８＋主成分ＰＢのヒストグラム×０．２で表される。
【００２８】
図８のステップＳ３０においては、多変量解析部３６は、行列データＤから１または複数の主成分を抽出する。次に、ステップＳ３２において、多変量解析部３６は各位置座標の濃度分布行列Ｃを算出する。図９の１次元座標を元の２次元位置座標に戻し、主成分毎に各位置座標に対する濃度の２次元画像を得る。
【００２９】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、主成分毎の濃度の２次元画像の例である。図１０（ａ）は、主成分ＰＡの２次元画像６０ａである。位置座標（Ｘ、Ｙ）は、図５（ａ）の電子顕微鏡像５０の位置座標に対応する。図１０（ａ）中の領域６２は、主成分ＰＡの濃度が所定値より高い領域である。この領域６２は、主に主成分ＰＡのヒストグラムを得ることができる領域である。同様に、図１０（ｂ）は、主成分ＰＢの２次元画像６０ｂである。図１０（ｂ）中の領域６４は、主成分ＰＢの濃度が所定値より高い領域である。この領域６４は、主に主成分ＰＢのヒストグラムを得ることができる領域である。
【００３０】
図１１は、電子顕微鏡像５０に、図１０（ａ）の領域６２と図１０（ｂ）の領域６４を重ねた図である。図８のステップＳ３４において、図１１のように、電子顕微鏡像５０のうち領域６２は、主成分ＰＡのヒストグラムが得られるドメインＤＡである。電子顕微鏡像５０のうち領域６４は、主成分ＰＢのヒストグラムが得られるドメインＤＢである。このようにして、電子顕微鏡像５０内のドメインＤＡとＤＢとを分類することができる。
【００３１】
実施例１によれば、図４のステップＳ１２およびＳ１６のように、電子顕微鏡像５０の複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像（例えば第２像５６）を生成する。ステップＳ１８のように、第２像５６の角度に対する強度を演算する。ステップＳ２６のように、強度に基づいて、電子顕微鏡像５０内の結晶性ドメインを分析する。第２像５６の角度に対する強度は、第１像５２が同じドメイン内であれば同じとなる。よって、フーリエ変換した第２像５６の角度を用いてドメインを分析することにより、多結晶試料等の結晶性ドメインを自動的に分析することができる。
【００３２】
また、結晶性ドメインの分析方法として、実施例１のように例えば多変量カーブ分解法を用いることができる。多変量カーブ分解法以外の多変量解析法を用いてもよい。
【００３３】
さらに、図６（ａ）および図６（ｂ）のように、第２像５６の所定角度範囲θｉ内に含まれる第２像５６の強度を積算し、角度に対する強度の分布を生成する。図４のステップＳ２６において、この分布に基づいて、電子顕微鏡像５０内の結晶性ドメインを分析する。このように、角度に対する強度の分布を用いることにより、簡単に、ドメインの分析を行なうことができる。
【００３４】
さらに、多変量カーブ分解法を用いる場合、図８のステップＳ３０のように、電子顕微鏡像５０内の複数の領域の位置にそれぞれ対応する分布から、主成分を抽出する。ステップＳ３２のように、抽出された主成分に対する各位置の濃度を算出する。図１１のように、特定の主成分に対する濃度が所定値より高い位置を、同じドメインと分類する。このようにして、結晶性ドメインの分類を行なうことができる。
【００３５】
なお、図６（ｂ）の例のように、角度に対する強度の分布は、角度範囲が１８０度の分布であればよい。第２像５６は、点対称の像となるためである。さらに、対称性の高い結晶については、角度範囲が狭くともよい。
【００３６】
また、実施例１においては、角度に対する強度の分布としてヒストグラムを例に説明したが、ヒストグラム以外にも、分布を表現するものであればよい。
【実施例２】
【００３７】
実施例２は、実施例１の具体例である。図１２は、実施例２の電子顕微鏡像である。図１２の電子顕微鏡像５０は、多結晶試料をＳＴＥＭ法を用い観察した像である。図１３は、実施例２の第２像の例を示す像である。図１３の第２像Ａ〜Ｈは、それぞれ図１２の電子顕微鏡像５０から切り出した各第１像Ａ〜Ｈをフーリエ変換することにより生成された第２像Ａ〜Ｈである。図１３のように、第２像Ａ〜Ｈはそれぞれ異なるパターンを示している。
【００３８】
図１４は、実施例２の主成分の濃度分布の２次元画像を示す図である。図１２の電子顕微鏡像５０について、実施例１の方法を用い、１６個の主成分を抽出した。図１４の各画像は、各主成分Ｐ１〜Ｐ１６の２次元画像６０である。なお、図１４は、出力したカラー画像を白黒画像として図示しているため、必ずしも画像の濃淡と濃度とは対応しない。例えば、図１４のＰ１〜Ｐ４、Ｐ６の領域７０は、濃度が所定値より高い領域を示している。また、主成分Ｐ１〜Ｐ１６のうち、主成分Ｐ７、Ｐ１０およびＰ１４は、図６（ｂ）のようなヒストグラムにおいて強いピークは出現しなかった。よって、主成分Ｐ７、Ｐ１０およびＰ１４は、非晶質領域の主成分であることがわかる。
【００３９】
図１５は、実施例２の電子顕微鏡像中の分類したドメインを示す図である。図１４の主成分Ｐ１〜Ｐ４、Ｐ６内の濃度の高い領域７０を、電子顕微鏡像５０に重ねて表示した。主成分Ｐ１〜Ｐ４およびＰ６に対応する領域７０はそれぞれ１つの結晶性ドメインを形成している。これらの結晶性ドメインは、同様の格子縞が形成されているが、格子縞の角度が異なるドメインであることがわかる。
【００４０】
実施例２のように、実際の電子顕微鏡像を用い、結晶性ドメインの分類を自動で行なうことができる。
【００４１】
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【００４２】
実施例１〜２を含む実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
付記１：電子顕微鏡像の複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、前記フーリエ像の角度に対する強度を演算し、前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分析することを特徴とする結晶粒方位の分析方法。
付記２：前記結晶性ドメインの分析は、多変量カーブ分解法を用いることを特徴とする付記１に記載の分析方法。
付記３：前記フーリエ像の所定角度範囲内に含まれる前記フーリエ像の強度を積算し、前記角度に対する前記強度の分布を生成し、前記分布に基づいて、前記電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分析することを特徴とする付記１または２記載の結晶粒方位の分析方法。
付記４：前記結晶性ドメインの分析は、多変量カーブ分解法を用い、前記電子顕微鏡像内の前記複数の領域の位置にそれぞれ対応する前記分布から、主成分を抽出し、前記抽出された主成分に対する前記複数の領域の位置における濃度を算出し、前記複数の領域の位置のうち特定の主成分に対する濃度が所定値より高い位置を、同じドメインと分類することを特徴とする付記３記載の結晶粒方位の分析方法。
付記５：前記角度は、前記フーリエ像の中心を中心とする角度であることを特徴とする付記３または４記載の結晶粒方位の分析方法。
付記６：前記分布は、前記角度の範囲が１８０度であることを特徴等する付記５記載の結晶粒方位の分析方法。
付記７：前記分布は、前記角度に対する前記強度のヒストグラムであることを特徴とする付記３から６のいずれか一項に記載の結晶粒方位の分析方法。
付記８：電子顕微鏡像が入力される入力部と、前記電子顕微鏡像の複数の領域それぞれについてフーリエ変換を行なうことによりフーリエ像を生成し、前記フーリエ像の角度に対する強度を演算する演算部と、前記強度に基づいて、前記電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分析する分析部と、を具備することを特徴とする結晶粒方位の分析装置。
付記９：前記分析部は、多変量カーブ分解法を用いて前記電子顕微鏡像内の結晶性ドメインを分類分けする多変量解析部を含むことを特徴とする付記８に記載の結晶粒方位の分析装置。
【符号の説明】
【００４３】
１０            コンピュータ
２０            電子顕微鏡
３２            演算部
３６            多変量解析部
３８            分析部
５０            電子顕微鏡像
５２            第１像
５６            第２像
５８            ヒストグラム
【図１】
0005668561.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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