(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動される冷却キャンロール、冷却キャンロールに対向する側で冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段、および、冷却キャンロールの近傍に配置された回転駆動される前フィードロールを真空チャンバー内に備え、ロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺体を、上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側に対し上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置において、
上記前フィードロールが加熱ロールにより構成され、かつ、加熱ロールの外周面には搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与する幅拡げ機構を備えていると共に、該加熱ロールの幅拡げ機構が、加熱ロール外周面を被覆するゴム製被膜と、このゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロールの回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体とで構成されていることを特徴とする長尺体の表面処理装置。
【請求項２】
熱負荷を伴う上記表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体が上記前フィードロールにより予め加熱されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の長尺体の表面処理装置。
【請求項３】
回転駆動される冷却キャンロールの周速度より回転駆動される前フィードロールの周速度が遅く設定されていることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の長尺体の表面処理装置。
【請求項４】
熱負荷を伴う表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段で構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の長尺体の表面処理装置。
【請求項５】
熱負荷を伴う表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段で構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の長尺体の表面処理装置。
【請求項６】
真空チャンバー内においてロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺体を、回転駆動される前フィードロールを介し回転駆動される冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側に対して、冷却キャンロールに対向する側で冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理方法において、
冷却キャンロールの近傍位置でかつ長尺体の搬入側に配置された上記前フィードロールが外周面に幅拡げ機構を備えた加熱ロールで構成され、該加熱ロールの幅拡げ機構が、加熱ロール外周面を被覆するゴム製被膜と、このゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロールの回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体とで構成されており、かつ、搬送されてくる表面処理前における上記長尺体を前フィードロールにより予め加熱すると共に、表面処理前の上記長尺体に対し幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら上記冷却キャンロールへ搬入させることを特徴とする長尺体の表面処理方法。
【請求項７】
熱負荷を伴う表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体を上記前フィードロールにより予め加熱することを特徴とする請求項６に記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項８】
回転駆動される上記冷却キャンロールの周速度より回転駆動される上記前フィードロールの周速度を遅く設定することを特徴とする請求項６〜７のいずれかに記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項９】
上記冷却キャンロールの周速度に対して上記前フィードロールの周速度を０．０２％〜１％遅く設定することを特徴とする請求項８に記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項１０】
熱負荷を伴う表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段であることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項１１】
熱負荷を伴う表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段であることを特徴とする請求項６〜９のいずれかに記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項１２】
上記長尺体が長尺の耐熱性樹脂フィルムで構成され、かつ、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における耐熱性樹脂フィルムの成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に１００℃を加えた温度以下の範囲で、表面処理前における上記耐熱性樹脂フィルムを前フィードロールにより予め加熱することを特徴とする請求項１０に記載の長尺体の表面処理方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の長尺体の表面処理方法を用いて、長尺の耐熱性樹脂フィルムと、耐熱性樹脂フィルムの表面に成膜されたニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に成膜された銅薄膜層とで構成される銅張積層樹脂フィルム基板を製造する方法において、
真空チャンバー内に複数のスパッタリング成膜手段を設けると共に、複数のスパッタリング成膜手段を用いて耐熱性樹脂フィルムの表面にニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に銅薄膜層を連続して成膜することを特徴とする銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺状樹脂フィルム、金属箔、金属ストリップ等の長尺体を、前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロールの外周面と接していない長尺体の表面側に対して、スパッタリング等の熱負荷を伴う表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置と表面処理方法に係り、特に、表面処理の際、長尺状樹脂フィルム等の長尺体に皺の発生が起こり難い長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、フレキシブル配線基板が用いられている。フレキシブル配線基板は、耐熱性樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付耐熱性樹脂フィルムから作製される。近年、フレキシブル配線基板に形成される配線パターンはますます微細化、高密度化しており、金属膜付耐熱性樹脂フィルム自体が皺等のない平滑なものであることがより一層重要になってきている。
【０００３】
この種の金属膜付耐熱性樹脂フィルムの製造方法としては、接着剤により金属箔を耐熱性樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法と称される）、金属箔に耐熱性樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法と称される）、乾式めっき法（真空成膜法）若しくは乾式めっき法（真空成膜法）と湿式めっき法との組み合わせにより耐熱性樹脂フィルムに金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法と称される）等が従来から知られている。また、メタライジング法における上記乾式めっき法（真空成膜法）には、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等がある。
【０００４】
上記メタライジング法については、特許文献１に、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングした後、銅をスパッタリングしてポリイミド絶縁層上に導体層を形成する方法が開示されている。また、特許文献２に、銅ニッケル合金をターゲットとするスパッタリングで形成した第一の金属薄膜と、銅をターゲットとするスパッタリングで形成した第二の金属薄膜とが、この順でポリイミドフィルム上に積層されたフレキシブル回路基板用材料（すなわち、銅張積層樹脂フィルム基板）が開示されている。尚、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムに真空成膜を行って金属膜付耐熱性樹脂フィルムを製造する場合、以下に述べるスパッタリングウェブコーターを用いることが一般的である。
【０００５】
そして、上述したスパッタリング法は、一般に、成膜された金属薄膜等の密着力に優れる利点を有する反面、真空蒸着法に比べて耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が大きいといわれている。そして、成膜の際に耐熱性樹脂フィルムに大きな熱負荷がかかると、フィルムに皺が発生し易くなることも知られている。
【０００６】
この皺の発生を防ぐため、スパッタリングウェブコーターでは、ロール・ツー・ロール等により搬送される長尺耐熱性樹脂フィルムを、冷却機能を備える冷却キャンロールに密着させながら巻き付けることで成膜中の耐熱性樹脂フィルムを裏面側から冷却する方式が採用されている。例えば、特許文献３には、上記スパッタリングウェブコーターの一例である巻出巻取式（ロール・ツー・ロール方式）の真空スパッタリング装置が開示されている。この巻出巻取式の真空スパッタリング装置には、冷却キャンロールとして機能するクーリングロールを具備し、更に、クーリングロールの少なくとも耐熱性樹脂フィルムの搬入側（搬送上流側）にサブロール（前フィードロール）が設けられており、このサブロールによって耐熱性樹脂フィルムをクーリングロールに密着させる制御が行われている。
【０００７】
ところで、スパッタリング成膜の製造効率等を高める目的で長尺耐熱性樹脂フィルムの搬送速度を高めた場合、所望膜厚のスパッタリング成膜を短時間で行う必要があることから、その分、耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷がより大きくなるため、上述した冷却キャンロールの冷却作用のみでは耐熱性樹脂フィルムにおける皺の発生を完全に防止できない問題が存在した。また、フィルムの搬送速度が高く設定されていなくても、膜厚の薄い耐熱性樹脂フィルムが適用された場合、厚いフィルムと比較して耐熱性樹脂フィルムに与える熱負荷が相対的に大きくなるため、冷却キャンロールの冷却作用のみでは耐熱性樹脂フィルムにおける皺の発生を完全に防止できない問題が存在した。
【０００８】
そして、特許文献３のスパッタリング装置では円筒状の冷却キャンロールが適用されており、冷却キャンロールに巻き付けられた耐熱性樹脂フィルムの長さ方向にはロールによる搬送張力が作用する一方、長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向には上記張力が作用しないため、搬送速度を高めに設定しあるいは膜厚の薄い耐熱性樹脂フィルムを適用する等して耐熱性樹脂フィルムに作用する熱負荷が相対的に大きくなった場合、冷却キャンロールで冷却されているにもかかわらず、上記熱負荷に起因して長尺耐熱性樹脂フィルムの幅方向に皺が発生してしまうことがあった。
【０００９】
この問題を解消するため、特許文献４では、ロール端部側に較べロール中央部が高い太鼓型（クラウンロール形状：特許文献４から計算すると中央部が２〜３ｍｍ程度高い）の冷却キャンロール形状にすることで、フィルムの幅方向に皺が発生し難い装置を提案している。また、特許文献５では、冷却キャンロールに搬入される前の長尺耐熱性樹脂フィルムに対し、電子線衝撃加熱装置等の付加手段により加熱し、熱膨張により伸びた長尺耐熱性樹脂フィルムをエキスパンドロールのような「伸ばしロール」によりフィルムの幅方向へ拡張させた後、冷却キャンロールに搬入させる装置を提案し、非特許文献１では、ロール中央部に較べロール端部側が高い逆クラウン形状の冷却キャンロール構造を採用し、冷却キャンロール端部側の周速がロール中央部より速くなるようにしてフィルムの幅方向に皺が発生し難い装置を提案している。
【００１０】
しかし、特許文献４と非特許文献１に記載された各装置では、従来から広く利用されている円筒状の冷却キャンロール構造に変え、クラウン形状、逆クラウン形状の冷却キャンロールを新たに製造する必要があることから、装置の汎用性に欠けかつコスト高になる問題が存在し、他方、特許文献５に記載された装置においても、冷却キャンロールの搬入側に電子線衝撃加熱装置やエキスパンドロールのような「伸ばしロール」を設ける必要があることから、これ等付加部材の配置スペースが余分に必要となり、更に、装置内の構造が複雑になってしまう問題点を有していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報
【特許文献２】特許第３４４７０７０号公報
【特許文献３】特開昭６２−２４７０７３号公報
【特許文献４】特開平１０−８２４９号公報
【特許文献５】特開平２−１６６２８０号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】”The Mechanics of Web Handling”, David R. Roisum, Ph. D, TAPPI PRESS, (1998) p.83-84
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、長尺体に作用する熱負荷が相対的に増大した場合においても、冷却キャンロールを特別な形状に変更することなく、装置内に付加的部材のための余分な配置スペースを設ける必要もなく、更に、複雑な装置構造を採用することなく、上記熱負荷に起因した長尺体の皺発生を回避できる長尺体の表面処理装置と表面処理方法および銅張積層樹脂フィルム基板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
すなわち、請求項１に係る発明は、
回転駆動される冷却キャンロール、冷却キャンロールに対向する側で冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段、および、冷却キャンロールの近傍に配置された回転駆動される前フィードロールを真空チャンバー内に備え、ロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺体を、上記前フィードロールを介して冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側に対し上記表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理装置において、
上記前フィードロールが加熱ロールにより構成され、かつ、加熱ロールの外周面には搬送される長尺体に対しその幅方向へ向け張力を付与する幅拡げ機構を備えていると共に、該加熱ロールの幅拡げ機構が、加熱ロール外周面を被覆するゴム製被膜と、このゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロールの回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体とで構成されていることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２に係る発明は、
請求項１に記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う上記表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体が上記前フィードロールにより予め加熱されるようになっていることを特徴とし、
請求項３に係る発明は、
請求項１〜２のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
回転駆動される冷却キャンロールの周速度より回転駆動される前フィードロールの周速度が遅く設定されていることを特徴とし、
請求項４に係る発明は、
請求項１〜３のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段で構成されていることを特徴とし、
また、請求項５に係る発明は、
請求項１〜３のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理装置において、
熱負荷を伴う表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段で構成されていることを特徴とするものである。
【００１６】
次に、請求項６に係る発明は、
真空チャンバー内においてロール・ツー・ロール方式により搬送されてくる長尺体を、回転駆動される前フィードロールを介し回転駆動される冷却キャンロールの外周面に巻き付けると共に、冷却キャンロール外周面と接していない長尺体の表面側に対して、冷却キャンロールに対向する側で冷却キャンロール外周面に沿って配置された熱負荷を伴う表面処理手段により表面処理する長尺体の表面処理方法において、
冷却キャンロールの近傍位置でかつ長尺体の搬入側に配置された上記前フィードロールが外周面に幅拡げ機構を備えた加熱ロールで構成され、該加熱ロールの幅拡げ機構が、加熱ロール外周面を被覆するゴム製被膜と、このゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロールの回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体とで構成されており、かつ、搬送されてくる表面処理前における上記長尺体を前フィードロールにより予め加熱すると共に、表面処理前の上記長尺体に対し幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら上記冷却キャンロールへ搬入させることを特徴とする。
【００１７】
また、請求項７に係る発明は、
請求項６に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う表面処理手段により昇温される表面処理中における長尺体の温度以上に、表面処理前における長尺体を上記前フィードロールにより予め加熱することを特徴とし、
請求項８に係る発明は、
請求項６〜７のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
回転駆動される上記冷却キャンロールの周速度より回転駆動される上記前フィードロールの周速度を遅く設定することを特徴とし、
請求項９に係る発明は、
請求項８に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記冷却キャンロールの周速度に対して上記前フィードロールの周速度を０．０２％〜１％遅く設定することを特徴とし、
請求項１０に係る発明は、
請求項６〜９のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う表面処理手段が、スパッタリングによる成膜手段であることを特徴とし、
請求項１１に係る発明は、
請求項６〜９のいずれかに記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
熱負荷を伴う表面処理手段が、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段であることを特徴とし、
請求項１２に係る発明は、
請求項１０に記載の発明に係る長尺体の表面処理方法において、
上記長尺体が長尺の耐熱性樹脂フィルムで構成され、かつ、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における耐熱性樹脂フィルムの成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に１００℃を加えた温度以下の範囲で、表面処理前における上記耐熱性樹脂フィルムを前フィードロールにより予め加熱することを特徴とする。
【００１８】
次に、請求項１３に係る発明は、
請求項１２に記載の長尺体の表面処理方法を用いて、長尺の耐熱性樹脂フィルムと、耐熱性樹脂フィルムの表面に成膜されたニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に成膜された銅薄膜層とで構成される銅張積層樹脂フィルム基板を製造する方法において、
真空チャンバー内に複数のスパッタリング成膜手段を設けると共に、複数のスパッタリング成膜手段を用いて耐熱性樹脂フィルムの表面にニッケル合金またはクロムから成る下地金属層と、下地金属層の表面に銅薄膜層を連続して成膜することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る長尺体の表面処理装置並びに表面処理方法によれば、
冷却キャンロールの近傍位置でかつ長尺体の搬入側に配置された前フィードロールが外周面に幅拡げ機構を備えた加熱ロールで構成されていると共に、該加熱ロールの幅拡げ機構が、加熱ロール外周面を被覆するゴム製被膜と、このゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線を基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロールの回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体とで構成されており、搬送されてくる表面処理前における長尺体を前フィードロールにより予め加熱し、かつ、前フィードロールの幅拡げ機構により幅方向へ向け張力を付与しながら冷却キャンロールへ搬入させている。
【００２０】
このため、冷却キャンロールをクラウン形状、逆クラウン形状等の特別な形状に変更したり、電子線衝撃加熱装置やエキスパンドロール等の付加的部材を配置させる余分なスペースを装置内に設けたり、複雑な装置構造を採用することなく、熱負荷を伴う表面処理に起因した長尺体の皺発生を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】スパッタリングウェブコーター等の長尺体の表面処理装置における概略構成を示す説明図。
【図２】前フィードロール（幅拡げ機構を備えない金属製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が常温２０℃に設定）を備える表面処理装置において、冷却キャンロール上で耐熱性樹脂フィルム等の長尺体に皺が発生する現象を示す説明図。
【図３】前フィードロール（幅拡げ機構を備えないゴム製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備える表面処理装置において、冷却キャンロール上で耐熱性樹脂フィルム等の長尺体に皺が発生する現象を示す説明図。
【図４】前フィードロール（幅拡げ機構を備えないゴム製加熱ロールで構成されかつロール温度が１１０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備える表面処理装置において、冷却キャンロール上で耐熱性樹脂フィルム等の長尺体に皺が発生する現象を示す説明図。
【図５】前フィードロール（幅拡げ機構を備えるゴム製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備える表面処理装置において、冷却キャンロール上で耐熱性樹脂フィルム等の長尺体に皺が発生する現象を示す説明図。
【図６】前フィードロール（幅拡げ機構を備えるゴム製加熱ロールで構成されかつロール温度が１１０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備える表面処理装置において、冷却キャンロール上で耐熱性樹脂フィルム等の長尺体に皺が発生する現象が抑制されることを示す説明図。
【図７】幅拡げ機構を備えるゴム製加熱ロールで構成された本発明に係る前フィードロールの概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２３】
まず、真空チャンバー（減圧室）内に表面処理手段を具備する表面処理装置について、スパッタリングウェブコーターを例に挙げてその概略構成を説明する。
【００２４】
尚、このスパッタリングウェブコーター（表面処理装置）において、ロール・ツー・ロール方式で搬送される長尺の耐熱性樹脂フィルムを長尺体の一例として挙げている。
【００２５】
（１）スパッタリングウェブコーター
スパッタリングウェブコーター（表面処理装置）５０は、減圧室内に、図１に示すように長尺樹脂フィルム５２を巻き出す巻出ロール５１と、長尺樹脂フィルム５２を巻き取る巻取ロール６４と、巻出ロール５１と巻取ロール６４間に設けられかつ内部で温調された冷媒が循環していると共にサーボモータにより回転駆動される冷却キャンロール５６と、冷却キャンロール５６の上流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に巻出ロール５１から供給された長尺樹脂フィルム５２を冷却キャンロール５６に搬入させる前フィードロール５５と、冷却キャンロール５６の下流側に設けられかつサーボモータにより回転駆動されると共に冷却キャンロール５６から送り出される長尺樹脂フィルム５２を上記巻取ロール６４側へ搬出させる後フィードロール６１が配置された構造を有しており、かつ、表面処理手段（乾式めっき手段）としてマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０が、冷却キャンロール５６の対向側で冷却キャンロール５６の外周面に沿って設けられている。
【００２６】
また、上記巻出ロール５１から冷却キャンロール５６までの上流側搬送路上には、長尺樹脂フィルム５２を案内するフリーロール５３と、長尺樹脂フィルム５２の張力測定を行う張力センサーロール５４と、サーボモータにて回転駆動される前フィードロール５５がそれぞれ配置されている。そして、サーボモータにて回転駆動される冷却キャンロール５６に対しその周速度が遅くなるように調整された上記前フィードロール５５により長尺樹脂フィルム５２に搬入張力が作用し、張力センサーロール５４から送り出されて冷却キャンロール５６に向かう長尺樹脂フィルム５２が冷却キャンロール５６の外周面に密着し搬送されるようになっている。尚、冷却キャンロール５６に対する長尺樹脂フィルム５２の密着をより完全にさせるため、基準速度となる冷却キャンロール５６の周速度に対して上記前フィードロール５５の周速度を０．０２％〜１％遅く設定することが望ましい。０．０２％未満では長尺樹脂フィルム５２の密着効果が十分でなく、また、１％を越えると長尺樹脂フィルム５２に傷が入ることがあるからである。
【００２７】
また、冷却キャンロール５６から巻取ロール６４までの下流側搬送路上にも、サーボモータにて回転駆動される後フィードロール６１と、長尺樹脂フィルム５２の張力測定を行う張力センサーロール６２と、長尺樹脂フィルム５２を案内するフリーロール６３がそれぞれ配置されている。そして、冷却キャンロール５６に対しその周速度が同一若しくは速くなるように調整された上記後フィードロール６１により長尺樹脂フィルム５２に搬出張力が作用し、冷却キャンロール５６から巻取ロール６４側に向けて長尺樹脂フィルム５２が排出されるようになっている。
【００２８】
また、上記巻出ロール５１と巻取ロール６４では、パウダークラッチ等によるトルク制御によって、長尺樹脂フィルム５２の張力バランスが保たれるようになっている。更に、冷却キャンロール５６の回転とこれに連動して回転するサーボモータ駆動の前フィードロール５５と後フィードロール６１により、巻出ロール５１から長尺樹脂フィルム５２が巻き出されて上記巻取ロール６４に巻き取られるようになっている。
【００２９】
また、スパッタリングウェブコーター（表面処理装置）５０では、上述したように表面処理手段（乾式めっき手段）としてマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０が上記冷却キャンロール５６の外周面に沿って設けられている。
【００３０】
そして、スパッタリング成膜に際しては、スパッタリングウェブコーター５０の減圧室内を到達圧力１０-4Ｐａ程度まで減圧した後、スパッタリングガスの導入により０．１〜１０Ｐａ程度の圧力調整が行われる。スパッタリングガスにはアルゴン等公知のガスが使用され、目的に応じて更に酸素等のガスが添加される。スパッタリングウェブコーター（表面処理装置）５０の形状や材質に関しては、減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものが使用される。また、スパッタリングウェブコーター５０における減圧室内の減圧状態を維持するため、スパッタリングウェブコーター５０には、図示しないドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の装置が付設されている。
【００３１】
尚、金属膜のスパッタリング成膜の場合には、板状のターゲット（図示せず）を使用することができるが、板状ターゲットを用いた場合、ターゲット上にノジュール（異物の成長）が発生することがある。これが問題となる場合には、ノジュールの発生がなく、ターゲットの使用効率が高い円筒形のロータリーターゲットを使用することが好ましい。また、図１に示すスパッタリングウェブコーター（表面処理装置）５０は、熱負荷を伴う表面処理手段としてスパッタリングを想定したものであることからマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０が示されているが、熱負荷を伴う表面処理手段が蒸着処理等他のものである場合は、板状ターゲットに代えて他の表面処理手段を備えることもできる。尚、熱負荷を伴う他の表面処理手段として、ＣＶＤ（化学的気相成長）による成膜手段や、コロナ若しくはプラズマによる表面活性化手段等がある。
【００３２】
（２）前フィードロール
（2-1）本発明に係る表面処理装置並びに表面処理方法においては、上記冷却キャンロール５６の近傍位置でかつ長尺樹脂フィルム（長尺体）５２の搬入側に配置される前フィードロール５５が、外周面に幅拡げ機構を備えた加熱ロールで構成されていることを特徴とする。
【００３３】
そして、前フィードロールを構成する外周面に幅拡げ機構を備えた加熱ロールとしては、図７に示すように、例えばＩＨ（誘導加熱）方式の加熱ロール１１０外周面を被覆するフッ素ゴム等から成るゴム製被膜（図示せず）と、ゴム製被膜面上の軸方向略中央に位置する中心点をそれぞれ結んで形成される外周線１１０ａを基端側とし、この基端側から軸方向両端側へ向けてＶ字形状となるように対称的に伸びる互いに平行若しくは略平行でかつ上記Ｖ字形状先端が向かう方向と加熱ロール１１０の回転方向が同一となるようにゴム製被膜の外周面に設けられた複数の周期的溝体１１０ｂとで構成される前フィードロール１０１が挙げられる。
【００３４】
尚、前フィードロール１０１における上記周期的溝体１１０ｂの角度とその深さ、ピッチは、長尺樹脂フィルム（長尺体）５２の厚さ、密着力、搬送張力（上記冷却キャンロール５６への搬入張力）と抱き角（上記冷却キャンロール５６への搬入角）等により決定される。
【００３５】
（2-2）従来の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）に組み込まれている前フィードロールは、外周面に幅拡げ機構を設けていない金属製若しくはゴム製ロール（但し、加熱ロールではない）により構成されている。
【００３６】
ここで、本発明に係る表面処理装置並びに表面処理方法の効果を確認するため、外周面に幅拡げ機構を設けていないゴム製加熱ロールで構成された前フィードロールと、外周面に幅拡げ機構を設けたゴム製ロール（但し、加熱ロールではない）で構成された前フィードロールを別に製造し、これ等前フィードロールと従来の前フィードロールを、図１に示した表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）にそれぞれ個別に組み込んで以下に述べる比較試験を行っている。
【００３７】
また、構造が異なる「前フィードロール」をそれぞれ個別に組み込んだ図１に示す表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）において、表面処理された長尺樹脂フィルム（ポリイミドフィルムが用いられている）に皺が発生するメカニズムを分かり易く説明するため、表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）における「前フィードロール」、「冷却キャンロール」の各設定温度と位置関係、長尺樹脂フィルムの温度、搬送方向、フィルムに作用する張力の方向等を二次元平面に直して図２〜図６に表示している。
【００３８】
（３）比較試験
比較試験において、長尺樹脂フィルム（ポリイミドフィルム）の搬送速度は該フィルムに作用する熱負荷が相対的に大きくなる「８ｍ／分」とし、長尺樹脂フィルムの温度は該フィルムに張り付けた熱電対で測定し、かつ、全てのマグネトロンスパッタリングを用いて（マグネトロンスパッタへの投入総電力は６５ｋＷ）成膜している。
【００３９】
（3-1）前フィードロール（外周面に幅拡げ機構を備えない金属製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が常温２０℃に設定）を備えた図１の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）を用いて長尺樹脂フィルム（長尺体）に対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
前フィードロール１１を通過した長尺樹脂フィルム１０は、図２に示すように冷却キャンロール１２に搬入され、かつ、冷却キャンロール１２に密着し張り付いたままマグネトロンスパッタリングカソード１３、１４、１５、１６を通過するが、これ等スパッタリングカソード１３、１４、１５、１６の熱負荷により長尺樹脂フィルム１０は１１０℃付近まで加熱される。そして、冷却キャンロール１２上の長尺樹脂フィルム１０は加熱されて熱膨張するが、冷却キャンロール１２に拘束されているため伸びることができず皺１７が発生する。
【００４０】
尚、長尺樹脂フィルムの一例として用いたポリイミドフィルムの代表的な線熱膨張係数は１２ｐｐｍ／Ｋであり、長尺樹脂フィルムがポリイミドフィルムの場合、幅１０００ｍｍ当たり１０℃の上昇で０．１２ｍｍ伸びる計算になる。この現象は、前フィードロールが幅拡げ機構を備えないゴム製ロール（但し、加熱ロールではない）で構成されている場合も同様である。
【００４１】
（3-2）前フィードロール（外周面に幅拡げ機構を備えないゴム製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備えた図１の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
前フィードロール７１を通過した長尺樹脂フィルム７０は、図３に示すように６０℃に設定された冷却キャンロール７２に搬入され、かつ、冷却キャンロール７２により暖められて熱膨張する。このため、上記長尺樹脂フィルム７０は、冷却キャンロール７２上において図３の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ向けて若干伸びた状態でかつ冷却キャンロール７２に密着した状態でマグネトロンスパッタリングカソード７３、７４、７５、７６の配置領域へ搬送される。しかし、この領域においてマグネトロンスパッタリングカソード７３、７４、７５、７６の熱負荷により長尺樹脂フィルム７０は１１０℃付近まで加熱されるため、図３に示すように熱膨張により皺７７が発生してしまう。
【００４２】
（3-3）前フィードロール（外周面に幅拡げ機構を備えないゴム製加熱ロールで構成されかつロール温度が１１０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備えた図１の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
前フィードロール８１を通過した長尺樹脂フィルム８０は、図４に示すように前フィードロール８１により加熱されてフィルム温度が常温２０℃から１１０℃まで上昇し、長尺樹脂フィルム８０は熱膨張により図４の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ約１０８０ｐｐｍ［（１２ｐｐｍ／Ｋ）×（Δ９０℃＝１１０−２０）］拡がった状態となる。しかし、前フィードロール８１には幅拡げ機構が設けられていないため、冷却キャンロール８２へ搬入される前に図４に示すように皺８８が発生してしまう。
【００４３】
更に、１１０℃まで昇温した長尺樹脂フィルム８０が６０℃に設定された冷却キャンロール８２へ搬入されると、長尺樹脂フィルム８０は冷却されて図４の矢印方向（フィルム幅方向の内側方向）へ向かう収縮力が長尺樹脂フィルム８０に作用するが、長尺樹脂フィルム８０は冷却キャンロール８２に密着した状態（密着により収縮力が抑制された状態）でマグネトロンスパッタリングカソード８３、８４、８５、８６の配置領域へ搬送される。
【００４４】
そして、この領域においてマグネトロンスパッタリングカソード８３、８４、８５、８６の熱負荷により長尺樹脂フィルム８０は１１０℃付近まで加熱されて、図４の矢印方向（フィルム幅方向の内側方向）へ向かう上記収縮力は若干緩和されるが、前フィードロール８１に幅拡げ機構が設けられていないため上記収縮力に対する緩和作用には限界があるため、図４に示すように熱膨張により皺８７が発生してしまう。
【００４５】
（3-4）前フィードロール（外周面に幅拡げ機構を備えるゴム製ロールで構成されかつロール温度が常温２０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備えた図１の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
図７に示すような幅拡げ機構を備える前フィードロール９１を通過した長尺樹脂フィルム９０は、前フィードロール９１の幅拡げ機構により図５の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ向けて若干拡げられるが、前フィードロール９１のロール温度が常温２０℃であることから幅拡げ作用には限界がある。そして、図５に示すように６０℃に設定された冷却キャンロール９２に搬入され、かつ、冷却キャンロール９２により暖められて熱膨張し、上記長尺樹脂フィルム９０は、冷却キャンロール９２上において図５の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ若干伸びた状態でかつ冷却キャンロール９２に密着した状態でマグネトロンスパッタリングカソード９３、９４、９５、９６の配置領域へ搬送される。しかし、この領域においてマグネトロンスパッタリングカソード９３、９４、９５、９６の熱負荷により長尺樹脂フィルム９０は１１０℃付近まで加熱されるため、図５に示すように熱膨張により皺９７が発生してしまう。
【００４６】
（3-5）前フィードロール（外周面に幅拡げ機構を備えるゴム製加熱ロールで構成されかつロール温度が１１０℃に設定）と冷却キャンロール（ロール温度が６０℃に設定）を備えた図１の表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）を用いて長尺樹脂フィルムに対しマグネトロンスパッタリング成膜を行った場合
前フィードロール１０１を通過した長尺樹脂フィルム１００は、図６に示すように前フィードロール１０１により加熱されてフィルム温度が常温２０℃から１１０℃まで上昇し、長尺樹脂フィルム１００は熱膨張により図６の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ約１０８０ｐｐｍ［（１２ｐｐｍ／Ｋ）×（Δ９０℃＝１１０−２０）］拡げられた状態となり、更に、図７に示した前フィードロール１０１の幅拡げ機構により、図６の矢印方向（フィルム幅方向の外側方向）へ向け拡げられながら６０℃に設定された冷却キャンロール１０２に搬入される。
【００４７】
次に、１１０℃まで昇温した長尺樹脂フィルム１００が６０℃に設定された冷却キャンロール１０２へ搬入されると、長尺樹脂フィルム１００は冷却されて図６の矢印方向（フィルム幅方向の内側方向）へ向かう収縮力が長尺樹脂フィルム１００に作用するが、長尺樹脂フィルム１００は冷却キャンロール１０２に密着した状態（密着により収縮力が抑制された状態）でマグネトロンスパッタリングカソード１０３、１０４、１０５、１０６の配置領域へ搬送される。
【００４８】
そして、この領域においてマグネトロンスパッタリングカソード１０３、１０４、１０５、１０６の熱負荷により長尺樹脂フィルム１００は１１０℃付近まで加熱されるため、図６の矢印方向（フィルム幅方向の内側方向）へ向かう収縮力が緩和されると共に、上記前フィードロール１０１に幅拡げ機構が設けられているため、収縮力への緩和作用が増幅して図６に示すように長尺樹脂フィルム１００に皺が発生することはない。
【００４９】
尚、前フィードロール１０１を構成する上記加熱ロールの設定温度は、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における長尺樹脂フィルム１００の成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に１００℃を加えた温度以下、望ましくは、上記成膜時フィルム温度以上かつ該成膜時フィルム温度に３０℃を加えた温度以下の範囲に設定するとよい。前フィードロール１０１を構成する加熱ロールの設定温度が、熱負荷を伴うスパッタリング成膜手段により昇温される成膜中における長尺樹脂フィルム１００の成膜時フィルム温度に１００℃を加えた温度を越えると、長尺樹脂フィルム１００が前フィードロール１０１に搬入されたとき、長尺樹脂フィルム１００の急激な温度変化により前フィードロール１０１上で長尺樹脂フィルム１００に皺が発生することがあるからである。表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）において、上記長尺樹脂フィルム１００は減圧雰囲気下の真空チャンバー内を搬送されるため、前フィードロール１０１と冷却キャンロール１０２間の放熱は輻射熱のみであり、前フィードロール１０１と冷却キャンロール１０２間で長尺樹脂フィルム１００の温度が下がることもない。
【００５０】
（４）長尺体と銅張積層樹脂フィルム基板
（4-1）長尺体
表面処理の対象となる長尺体は、長尺状の樹脂フィルム、金属箔、金属ストリップ等が挙げられる。そして、樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような長尺樹脂フィルムや、ポリイミドフィルムのような長尺耐熱性樹脂フィルム等が例示される。
【００５１】
（4-2）銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）基板
本発明に係る長尺体の表面処理方法を用いて、銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）基板を製造することができる。
【００５２】
上記銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）基板としては、耐熱性樹脂フィルム表面にＮｉ、Ｎｉ系合金、クロム等からなる下地金属層と、下地金属層の表面に積層された銅薄膜層とで構成された構造体が例示される。このような構造を有する銅張積層樹脂フィルム基板は、サブトラクティブ法によりフレキシブル配線基板に加工される。ここで、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記銅薄膜層）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。
【００５３】
上記Ｎｉ合金等からなる層はシード層（下地金属層）と呼ばれ、銅張積層樹脂フィルム基板の電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性によりその組成が選択される。そして、シード層には、Ｎｉ−Ｃｒ合金またはインコネル、コンズタンタンやモネル等の各種公知の合金を用いることができる。また、銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）基板の金属膜（銅薄膜層）を更に厚くしたい場合は、湿式めっき法を用いて金属膜を形成することがある。尚、電気めっき処理（すなわち、電解めっき処理）のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとして無電解めっき処理を行い、二次めっきとして電解めっき処理等の湿式めっき法を組み合わせて行う場合もある。湿式めっき処理は、常法による湿式めっき法の諸条件を採用すればよい。
【００５４】
また、上記銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）に用いる耐熱性樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルムまたは液晶ポリマー系フィルムから選ばれる樹脂フィルムが挙げられ、銅張積層樹脂フィルムとしての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有する点から好ましい。
【００５５】
尚、上記銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）として、長尺耐熱性樹脂フィルムにＮｉ-Ｃｒ合金やＣｕ等の金属膜を積層した構造体を例示したが、上記金属膜以外に、目的に応じて酸化物膜、窒化物膜、炭化物膜等を用いることも可能である。
【実施例】
【００５６】
以下、本発明の実施例について比較例を挙げて具体的に説明する。
【００５７】
図１に示す表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）５０を用い、長尺樹脂フィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２には、幅５００ｍｍ、長さ１０００ｍ、厚さ２５μｍの東レ・デュポン株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「カプトン（登録商標）」を使用した。
【００５８】
また、冷却キャンロール５６は、直径８００ｍｍ、幅８００ｍｍで、冷却キャンロール本体表面にハードクロムめっきが施されている。
【００５９】
前フィードロール５５は、ＩＨ（誘導加熱）方式の加熱ロールで構成し、直径が１５０ｍｍ、有効幅５００ｍｍである。上記前フィードロール５５の周速度は、基準速度となる冷却キャンロール５６の周速度より０．１％遅い速度で回転させている。また、加熱ロールの表面に耐熱性フッ素ゴムが巻かれており、耐熱性フッ素ゴム表面に、フィルムの進行方向に広がる図７に示すような周期的溝体（幅拡げ機構）が形成されている。
【００６０】
尚、周期的溝体の溝の深さ０．２ｍｍ、溝の幅０．２ｍｍ、ピッチ１ｍｍで、かつ、Ｖ字形状先端の開き角度（リード角度）が７０°に設定されている。
【００６１】
また、上記耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に成膜される金属膜はシード層であるＮｉ−Ｃｒ膜の上にＣｕ膜を成膜するものとし、かつ、マグネトロンスパッタターゲット５７にはＮｉ−Ｃｒターゲットを用い、マグネトロンスパッタターゲット５８、５９、６０にはＣｕターゲットを用い、更に、アルゴンガスを３００ｓｃｃｍ導入し、各カソードへの印加電力は電力制御で成膜を行った。
【００６２】
また、上記巻出ロール５１と巻取ロール６４の張力は１００Ｎとした。巻出ロール５１に上記耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２をセットし、かつ、冷却キャンロール５６を経由して上記耐熱性ポリイミドフィルム５０の先端部を巻取ロール６４に取り付けた。
【００６３】
また、減圧室（真空チャンバー）を複数台のドライポンプにより５Ｐａまで排気した後、更に、複数台のターボ分子ポンプとクライオコイルを用いて３×１０-3Ｐａまで排気した。
【００６４】
そして、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２の搬送速度を設定した後、各マグネトロンスパッタカソード５７、５８、５９、６０にアルゴンガスを導入して電力を印加し、シード層を構成するＮｉ−Ｃｒ膜と、このＮｉ−Ｃｒ膜上に形成するＣｕ膜の成膜を開始した。
【００６５】
［実施例１］
上記加熱ロール外周面を被覆する耐熱性フッ素ゴム面に周期的溝体（幅拡げ機構）が形成された前フィードロール５５を組み込んだ表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）５０を用い、かつ、前フィードロール５５を介して冷却キャンロール５６上に耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２を巻きつけると共に、冷却キャンロール５６近傍に配置されたマグネトロンスパッタカソード５７、５８、５９、６０により耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２表面に対しスパッタリング成膜を行い、成膜終了後、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２が後フィードロール６１へ搬出される手前側の冷却キャンロール５６上で、熱負荷を伴うスパッタリング成膜による耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２の皺発生の有無を観察窓から目視にて観察した。
【００６６】
尚、前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度が２０℃に設定されているケースが図５の説明図に対応し、また、前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度が１１０℃に設定されているケースが図６の説明図に対応している。
【００６７】
また、マグネトロンスパッタリングカソード５７を構成する１枚のＮｉ−Ｃｒターゲットを用いてＮｉ−Ｃｒ層を成膜し、その膜厚は１０ｎｍである。また、マグネトロンスパッタリングカソード５８、５９、６０を構成する３枚のＣｕターゲットを用いてＣｕ膜を成膜し、その膜厚は１００ｎｍである。
【００６８】
また、フィルムの搬送速度は、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に小さい「４ｍ／分」と、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に大きい「８ｍ／分」の２種類を設定した。尚、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」の場合、目的の膜厚を得るには、フィルムの搬送速度が「４ｍ／分」のときと比較し、各スパッタリングカソードに２倍の電力を印加する必要（すなわち、フィルムに作用する熱負荷が２倍となる）がある。
【００６９】
そして、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」のとき、スパッタリングカソードへの印加総電力は「６５ｋＷ」である。尚、「８ｍ／分」で搬送し、スパッタリングカソードへ総電力「６５ｋＷ」を印加した場合のスパッタリング成膜時における耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２の温度（成膜時フィルム温度）を、フィルム表面に装着した熱電対で測定したところ、１１０℃であることが確認された。
【００７０】
（前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度）
以下の表１に示すように前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度を２０℃、４０℃、６０℃、８０℃、１１０℃、１２０℃の６種とし、かつ、冷却キャンロール５６のロール温度を２０℃と６０℃の２種に設定している。
【００７１】
（皺発生の有無）
そして、表１から以下のことが確認される。
【００７２】
（1）フィルムに作用する熱負荷が相対的に小さい「搬送速度が４ｍ／分」の場合、前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度に拘わらず、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生していないことが確認された。
【００７３】
（2）フィルムに作用する熱負荷が２倍となる「搬送速度が８ｍ／分」の場合、前フィードロールの温度が２０℃、４０℃、６０℃のときには耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生するが、前フィードロールの温度が８０℃のときにはわずかな皺しか確認されず、前フィードロールの温度が１１０℃、１２０℃のときには全く皺が発生していないことが確認された。
【００７４】
［比較例１］
外周面に周期的溝体（幅拡げ機構）が形成されていないゴム（耐熱性フッ素ゴム）製ロールで構成された前フィードロール５５を組み込んだ表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）５０を用い、かつ、前フィードロール５５を介して冷却キャンロール５６上に耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２を巻きつけると共に、冷却キャンロール５６近傍に配置されたマグネトロンスパッタカソード５７、５８、５９、６０により耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２表面に対しスパッタリング成膜を行い、成膜終了後、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２が後フィードロール６１へ搬出される手前側の冷却キャンロール５６上で、熱負荷を伴うスパッタリング成膜による耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２の皺発生の有無を観察窓から目視にて観察した。
【００７５】
尚、前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度が２０℃に設定されているケースが図３の説明図に対応し、また、前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度が１１０℃に設定されているケースが図４の説明図に対応している。
【００７６】
また、マグネトロンスパッタリングカソード５７を構成する１枚のＮｉ−Ｃｒターゲットを用いてＮｉ−Ｃｒ層を成膜し、その膜厚は１０ｎｍである。また、マグネトロンスパッタリングカソード５８、５９、６０を構成する３枚のＣｕターゲットを用いてＣｕ膜を成膜し、その膜厚は１００ｎｍである。
【００７７】
また、フィルムの搬送速度は、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に小さい「４ｍ／分」と、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に大きい「８ｍ／分」の２種類を設定した。尚、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」の場合、目的の膜厚を得るには、フィルムの搬送速度が「４ｍ／分」のときと比較し、各スパッタリングカソードに２倍の電力を印加する必要（すなわち、フィルムに作用する熱負荷が２倍となる）がある。
【００７８】
そして、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」のとき、スパッタリングカソードへの印加総電力は「６５ｋＷ」である。
【００７９】
（前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度）
以下の表２に示すように前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度を２０℃、４０℃、６０℃、８０℃、１１０℃、１２０℃の６種とし、かつ、冷却キャンロール５６のロール温度を２０℃と６０℃の２種に設定している。
【００８０】
（皺発生の有無）
そして、表２から以下のことが確認される。
【００８１】
（1）フィルムに作用する熱負荷が相対的に小さい「搬送速度が４ｍ／分」の場合、前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度に拘わらず、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生していないことが確認された。
【００８２】
（2）フィルムに作用する熱負荷が２倍となる「搬送速度が８ｍ／分」の場合、前フィードロールの温度が２０℃（図３の説明図参照）、４０℃、６０℃のときには耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生しており、また、前フィードロールの温度が８０℃、１１０℃（図４の説明図参照）、１２０℃のときでも、前フィードロール５５に加熱ロールが用いられているにも拘わらず耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生していることが確認された。
【００８３】
［比較例２］
外周面に周期的溝体（幅拡げ機構）が形成されていない金属製ロールで構成された前フィードロール５５を組み込んだ表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）５０を用い、かつ、前フィードロール５５を介して冷却キャンロール５６上に耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２を巻きつけると共に、冷却キャンロール５６近傍に配置されたマグネトロンスパッタカソード５７、５８、５９、６０により耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２表面に対しスパッタリング成膜を行い、成膜終了後、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２が後フィードロール６１へ搬出される手前側の冷却キャンロール５６上で、熱負荷を伴うスパッタリング成膜による耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２の皺発生の有無を観察窓から目視にて観察した。
【００８４】
尚、前フィードロール５５を構成する金属製ロールの温度が２０℃に設定されているケースが図２の説明図に対応している。
【００８５】
また、マグネトロンスパッタリングカソード５７を構成する１枚のＮｉ−Ｃｒターゲットを用いてＮｉ−Ｃｒ層を成膜し、その膜厚は１０ｎｍである。また、マグネトロンスパッタリングカソード５８、５９、６０を構成する３枚のＣｕターゲットを用いてＣｕ膜を成膜し、その膜厚は１００ｎｍである。
【００８６】
また、フィルムの搬送速度は、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に小さい「４ｍ／分」と、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に作用する熱負荷が相対的に大きい「８ｍ／分」の２種類を設定した。尚、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」の場合、目的の膜厚を得るには、フィルムの搬送速度が「４ｍ／分」のときと比較し、各スパッタリングカソードに２倍の電力を印加する必要（すなわち、フィルムに作用する熱負荷が２倍となる）がある。
【００８７】
そして、フィルムの搬送速度が「８ｍ／分」のとき、スパッタリングカソードへの印加総電力は「６５ｋＷ」である。
【００８８】
（前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度）
以下の表３に示すように前フィードロール５５を構成する加熱ロールの温度を２０℃、４０℃、６０℃、８０℃、１１０℃、１２０℃の６種とし、かつ、冷却キャンロール５６のロール温度を２０℃と６０℃の２種に設定している。
【００８９】
（皺発生の有無）
そして、表３から以下のことが確認される。
【００９０】
（1）フィルムに作用する熱負荷が相対的に小さい「搬送速度が４ｍ／分」の場合、前フィードロールと冷却キャンロールの設定温度に拘わらず、耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生していないことが確認された。
【００９１】
（2）フィルムに作用する熱負荷が２倍となる「搬送速度が８ｍ／分」の場合、前フィードロールの温度が２０℃（図２の説明図参照）、４０℃、６０℃のときには耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生しており、また、前フィードロールの温度が８０℃、１１０℃、１２０℃のときでも、前フィードロール５５に加熱ロールが用いられているにも拘わらず耐熱性ポリイミドフィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）５２に皺が発生していることが確認された。
【００９２】
【表１】
0005741517.tif 000002
【００９３】
【表２】
0005741517.tif 000003
【００９４】
【表３】
0005741517.tif 000004
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明に係る長尺体の表面処理装置並びに表面処理方法によれば、冷却キャンロールをクラウン形状、逆クラウン形状等の特別な形状に変更したり、電子線衝撃加熱装置やエキスパンドロール等の付加的部材を配置させる余分なスペースを装置内に設けたり、複雑な装置構造を採用することなく、熱負荷を伴う表面処理に起因した長尺体の皺発生を回避することが可能となるため、液晶テレビ、携帯電話等のフレキシブル配線基板に用いられる銅張積層樹脂フィルム（金属膜付耐熱性樹脂フィルム）の製造法として適用される産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００９６】
１０  長尺樹脂フィルム（長尺体）
１１  前フィードロール
１２  冷却キャンロール
１３、１４、１５、１６  マグネトロンスパッタリングカソード
１７  皺
５０  表面処理装置（スパッタリングウェブコーター）
５１  巻出ロール
５２  長尺樹脂フィルム（長尺耐熱性樹脂フィルム）（長尺体）
５３  フリーロール
５４  張力センサーロール
５５  前フィードロール
５６  冷却キャンロール
５７、５８、５９、６０  マグネトロンスパッタリングカソード
６１  後フィードロール
６２  張力センサーロール
６３  フリーロール
６４  巻取ロール
７０  長尺樹脂フィルム（長尺体）
７１  前フィードロール
７２  冷却キャンロール
７３、７４、７５、７６  マグネトロンスパッタリングカソード
７７  皺
８０  長尺樹脂フィルム（長尺体）
８１  前フィードロール
８２  冷却キャンロール
８３、８４、８５、８６  マグネトロンスパッタリングカソード
８７  皺
８８  皺
９０  長尺樹脂フィルム（長尺体）
９１  前フィードロール（幅拡げ機構を具備する）
９２  冷却キャンロール
９３、９４、９５、９６  マグネトロンスパッタリングカソード
９７  皺
１００  長尺樹脂フィルム（長尺体）
１０１  前フィードロール（幅拡げ機構を具備する）
１０２  冷却キャンロール
１０３、１０４、１０５、１０６  マグネトロンスパッタリングカソード
１１０  加熱ロール
１１０ａ  外周線
１１０ｂ  周期的溝体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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