(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納容器の基板収納領域に複数枚の基板を積層状態で収納し、前記収納容器に形成されている開口に向けて検出波を投射して基板の存否によって検出状態が変化する検出部が設けられている基板検出装置であって、
前記収納容器を前記基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送する搬送装置が設けられ、
前記検出部が、検出波を投射し且つ対象物からの反射された検出波を受信して対象物までの距離を検出する距離計にて構成され、
前記搬送装置にて搬送される前記収納容器の移動範囲の上流側端部に検査箇所が設定され、
前記距離計が、前記移動範囲の前記上流側端部よりも上流側に配設され且つ前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記開口に向けて検出波を投射してその投射した検出波が前記基板収納領域を基板の面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられ、且つ、
前記距離計が、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されている場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口を通過して前記基板収納領域に収納されている基板に投射され、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されていない場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口及び前記基板収納領域を通過して前記収納容器における前記検出波の投射方向の下流側に位置する容器内面部分に投射されるように設けられ、
前記距離計の検出値が、前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記基板収納領域に収納されている基板までの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、前記収納容器内に基板が存在していると判別する存否判別部を備えて構成されている基板検出装置。
【請求項２】
前記距離計が、前記基板積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設されている請求項１記載の基板検出装置。
【請求項３】
前記搬送装置が、前記収納容器に収納されている基板が下方側ほど前記搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で前記収納容器を載置搬送するように構成されている請求項２記載の基板検出装置。
【請求項４】
前記基板が、半導体ウェハであり、
前記距離計が、レーザー光を投光し且つ対象物にて反射されたレーザー光を受光して対象物までの距離を検出するレーザー式に構成されている請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、収納容器の基板収納領域に複数枚の基板を積層状態で収納し、前記収納容器に形成されている開口に向けて検出波を投射して基板の存否によって検出状態が変化する検出部が設けられている基板検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板検出装置は、収納容器における基板の存否を検出するものであり、従来では、収納容器の基板収納領域に基板を積層状態で収納し、その収納容器を基板収納領域の基板積層方向が上下方向に沿う姿勢でテーブルに載置して、基板の存否を検出するための透過型の存否センサを、基板の面方向に沿う方向に投光する状態で収納容器の前後に一対（投光用と受光用）設けており、昇降駆動機構により一対の存否センサを収納容器に対して基板収納領域の全幅に亘って相対的に昇降移動させることで、収納容器における基板の存否を検出していた（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１３５５０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の基板検出装置では、一対の存否センサを収納容器に対して基板収納領域に対して相対的に昇降移動させるため、収納容器における基板の存否の検出に時間がかかり、また、一対の存否センサを収納容器に対して相対的に昇降移動させる昇降駆動機構を設ける必要があるため、基板検出装置の構成が複雑なものとなっていた。
ところで、搬送装置にて収納容器を載置搬送するときに、物品収納棚に収納する姿勢等を考慮して、収納容器を基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送することがあり、このように搬送装置にて搬送される収納容器における基板の存否を検出する場合がある。
このような場合において、上記従来のように透過型の存否センサにて検出するときは、一対の存否センサのうちの一方が収納容器に対して搬送方向の下流側に位置することとなるため、搬送される収納容器に干渉しないように存否センサを設ける必要があり、存否センサを設置し難いものとなる。
また、反射型の存否センサとして、投光用と受光用との一対の存否センサ又は投光用と受光用とを兼用する１つの存否センサを収納容器に対して搬送方向の上流側に設けることで、収納容器に対して搬送方向の下流側に存否センサを設ける必要がなくなるため、存否センサを設置し易くなる。しかしながら、収納容器にて反射する検出波にて収納容器を基板と誤検出することを防ぐために、収納容器に検出光が収納容器を通過するための開口が形成されている必要があり、存否センサを検出光が収納容器を通過するように設ける必要がある。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、簡素な構成で且つ検出部の設置の制約が小さい基板検出装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明にかかる基板検出装置は、収納容器の基板収納領域に複数枚の基板を積層状態で収納し、前記収納容器に形成されている開口に向けて検出波を投射して基板の存否によって検出状態が変化する検出部が設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記収納容器を前記基板収納領域の基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で水平方向に載置搬送する搬送装置が設けられ、前記検出部が、検出波を投射し且つ対象物からの反射された検出波を受信して対象物までの距離を検出する距離計にて構成され、前記搬送装置にて搬送される前記収納容器の移動範囲の上流側端部に検査箇所が設定され、前記距離計が、前記移動範囲の前記上流側端部よりも上流側に配設され且つ前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記開口に向けて検出波を投射してその投射した検出波が前記基板収納領域を基板の面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられ、且つ、前記距離計が、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されている場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口を通過して前記基板収納領域に収納されている基板に投射され、前記検出箇所に位置する前記収納容器に基板が収納されていない場合は、前記距離計から投射された検出波が、前記開口及び前記基板収納領域を通過して前記収納容器における前記検出波の投射方向の下流側に位置する容器内面部分に投射されるように設けられ、前記距離計の検出値が、前記検査箇所に位置する前記収納容器の前記基板収納領域に収納されている基板までの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、前記収納容器内に基板が存在していると判別する存否判別部を備えて構成されている点にある。
【０００７】
すなわち、対象物までの距離を検出する距離計が、検査箇所に位置する収納容器の開口に向けて検出波を投射してその投射した検出波が基板収納領域を基板の面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられているため、距離計により検出される検出値は、収納容器に基板が収納されている場合と収納容器に基板が収納されていない場合とで異なる。そして、距離計の検出値が、検査箇所に位置する収納容器の基板収納領域に収納されている基板までの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、存否判別部にて収納容器内に基板が存在していると判別するように構成されており、収納容器内における基板の存否を検出できるようになっている。
【０００８】
そして、検出部は、１つの距離計にて構成されているため、検出部を配設する場合は、距離計を移動範囲の上流側端部に設定された検査箇所よりも上流側に配設するだけでよく、検査箇所より下流側に検出部を設ける必要がないため、距離計を収納容器に対して相対的に移動させる必要がなく、基板検出装置の構成の簡素化を図ることができ、また、搬送装置にて搬送される収納容器との干渉を避けるように検出部を配設する必要がなく、検出部を設置する場合の制約を小さくできる。
【０００９】
本発明にかかる基板検出装置の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記距離計が、前記基板の積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設されている点にある。
【００１０】
すなわち、距離計を、基板の積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設することで、基板収納領域に対して基板積層方向に収納容器の内面等の他物が隣接している場合に、基板の積層方向に対して平行となる方向に検出光を投光したときに比べて、基板収納領域と他物との投射方向での間隔を広くできる。そのため、収納容器に基板が収納されている場合と収納されていない場合との距離計により検出される検出値の差を大きくすることができ、存否判別部による収納容器内に基板が存在していることの判別を適確に行うことができる。
【００１１】
本発明にかかる基板検出装置の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記搬送装置が、前記収納容器に収納されている基板が下方側ほど前記搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で前記収納容器を載置搬送するように構成されている点にある。
【００１２】
すなわち、搬送装置を、収納容器に収納されている基板が下方側ほど搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で収納容器を載置搬送するように構成することで、収納容器を鉛直姿勢で載置搬送するものに比べて、基板収納領域と他物との投射方向での間隔をさらに広くできる。そのため、存否判別部による収納容器内に基板が存在していることの判別をより適確に行うことができる。
【００１３】
本発明にかかる基板検出装置の第４特徴構成は、第１〜第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記基板が、半導体ウェハであり、前記距離計が、レーザー光を投光し且つ対象物にて反射されたレーザー光を受光して対象物までの距離を検出するレーザー式に構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、距離計がレーザー式に構成されているため、コヒーレンスが高く、半導体ウェハの表面の色、模様、光沢の影響を受け難く、半導体ウェハまでの距離を適切に検出し易い。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】基板収納設備の一部切り欠き側面図
【図２】基板検出装置の斜視図
【図３】レーザー光の投光状態を示す側面図
【図４】制御ブロック図
【図５】フローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の基板検出装置の実施形態について、基板検出装置を基板収納設備に備えた場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、基板収納設備は、基板収納用の収納容器Ｃを収納するストッカー３と、当該ストッカー３の内部と外部との間に亘って収納容器Ｃを載置搬送する搬送装置１とが設けられている。尚、基板収納設備は、クリーンルーム内に設置されており、ストッカー３には、基板Ｗが収納された収納容器Ｃが収納されている。
【００１７】
そして、収納容器Ｃをストッカー３に収納する場合は、作業者が収納容器Ｃを搬送装置１の作業者用移載箇所Ｐに載せ、搬送装置１にて作業者用移載箇所Ｐからストッカー内移載箇所Ｑまで載置搬送し、庫内移載装置４にてストッカー内移載箇所Ｑに位置する収納容器Ｃをストッカー３の収納部（図示せず）に収納するように構成されている。
また、収納容器Ｃをストッカー３から取り出す場合は、収納部に収納されている収納容器Ｃを庫内移載装置４にてストッカー内移載箇所Ｑに取り出し、搬送装置１にてストッカー内移載箇所Ｑから作業者用移載箇所Ｐまで載置搬送し、作業者用移載箇所Ｐに位置する収納容器Ｃを作業者にて搬送装置１から降ろすように構成されている。
尚、作業者用移載箇所Ｐは、搬送装置１の搬送経路におけるストッカー３の外部に位置する箇所に設定されており、ストッカー内移載箇所Ｑは、搬送装置１の搬送経路におけるストッカー３の内部に位置する箇所に設定されている。
【００１８】
〔収納容器〕
図２及び図３に示すように、収納容器Ｃには、半導体ウェハである円板形状の基板Ｗを保持するスリット６が上下方向に沿って形成されており、そのスリット６が水平方向に複数形成されている。そして、収納容器Ｃの上部には、基板Ｗを出し入れするために挿抜口７が形成されている。
収納容器Ｃは、基板Ｗを挿抜口７から縦姿勢で挿入してスリット６に上方から差し込み、複数のスリット６の夫々に基板Ｗを保持させることで、収納容器Ｃの基板収納領域Ｓに複数枚の基板Ｗを容器前後方向に沿って積層状態で収納できるようになっている。尚、容器前後方向は基板Ｗの基板積層方向とは同じ方向となっている。
【００１９】
また、収納容器Ｃの下部には、収納容器Ｃ内を上下方向に空気が通流可能なように開口８が形成されている。この開口８は、容器前後方向視で収納された基板Ｗと一部重複する状態で形成されており、容器前後方向視で基板Ｗの下端部が目視可能に構成されている。収納容器Ｃの前面には、収納容器Ｃの固有情報を示すバーコードＢが添付されている。そして、収納容器Ｃは、挿抜口７及び開口８は常時開放されておりオープンカセットに構成されている。
【００２０】
〔搬送装置〕
搬送装置１は、作業者用移載箇所Ｐに位置する収納容器Ｃを載置支持する検査用載置台１Ｐ、ストッカー内移載箇所Ｑに位置する収納容器Ｃを載置支持するストッカー内載置台１Ｑ、及び、作業者用移載箇所Ｐとストッカー内移載箇所Ｑとの間で収納容器Ｃを載置搬送する搬送台車１９を備えて構成されている。
搬送台車１９は、水平方向に沿って走行自在な走行体２３と、その走行体２３に昇降自在に支持された載置台２０とを備えて構成されている。
ちなみに、搬送方向は、搬送装置１にて収納容器Ｃが搬送される方向、特に、走行体２３が走行移動することで収納容器Ｃが移動する方向であり、図１及び図２において矢印Ｘで示している。また、搬送方向の上流側及び下流側は、収納容器Ｃをストッカー３に収納するときの収納容器Ｃの搬送方向に基づいて、作業者用移載箇所Ｐが位置する側（図１における右側）を上流側、ストッカー内移載箇所Ｑが位置する側（図１における左側）を下流側としている。
そして、搬送装置１にて搬送される収納容器Ｃの移動範囲Ｋの上流側端部に作業者用移載箇所Ｐが設定され、搬送装置１にて搬送される収納容器Ｃの移動範囲Ｋの下流側端部にストッカー内移載箇所Ｑに設定されている。
【００２１】
搬送装置１は、収納容器Ｃを作業者用移載箇所Ｐからストッカー内移載箇所Ｑに搬送する場合、走行体２３が作業者用移載箇所Ｐに位置する収納容器Ｃの直下に位置する状態で載置台２０を上昇移動させて収納容器Ｃを検査用載置台１Ｐから持ち上げた後、走行体２３をストッカー内移載箇所Ｑの直下箇所まで走行移動させて収納容器Ｃを搬送方向に沿って移動させ、その後、載置台２０を下降移動させて収納容器Ｃをストッカー内載置台１Ｑに降ろして、収納容器Ｃを搬送するように構成されている。
また、収納容器Ｃをストッカー内移載箇所Ｑから作業者用移載箇所Ｐに搬送する場合は、収納容器Ｃを作業者用移載箇所Ｐからストッカー内移載箇所Ｑに搬送するときの逆に搬送装置１を作動させることで、収納容器Ｃを搬送するように構成されている。
【００２２】
検査用載置台１Ｐ、ストッカー内載置台１Ｑ及び搬送装置１の載置台２０の夫々は、収納容器Ｃを基板収納領域Ｓの基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢で載置支持するように構成されている。そのため、搬送装置１にて搬送される収納容器Ｃは、その基板収納領域Ｓの基板積層方向が搬送方向に沿う搬送姿勢となっており、搬送装置１が収納容器Ｃを搬送姿勢で搬送方向に沿って載置搬送するように構成されている。
【００２３】
また、検査用載置台１Ｐ、ストッカー内載置台１Ｑ及び搬送装置１の載置台２０は、収納容器Ｃに収納されている基板Ｗが下方側ほど搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で載置支持するように構成されている。つまり、搬送装置１は、収納容器Ｃを傾斜姿勢で載置搬送するように構成されている。
ちなみに、図１及び図２に示すように、搬送装置１にて搬送するときに収納容器Ｃが通る領域を移動範囲Ｋとしている。
【００２４】
〔基板検出装置〕
基板収納設備には、収納容器Ｃに形成されている開口８に向けて検出波を投射して基板Ｗの存否によって検出状態が変化する検出部１１が設けられた基板検出装置１０が設けられている。
そして、移動範囲Ｋの上流側端部が、基板検出装置１０にて基板Ｗの存否を検出する検査箇所に設定されており、作業者用移載箇所Ｐが検査箇所となっている。尚、基板収納設備は、搬送装置１と検出部１１（距離計１２）と後述する存否判別部ｈとを備えて構成されている。
【００２５】
検出部１１は、収納容器Ｃに形成されている開口８に向けてレーザー光を投光し且つ対象物にて反射されたレーザー光を受光して対象物までの距離を検出するレーザー式の距離計１２にて構成されている。
この距離計１２は、移動範囲Ｋの上流側端部よりも上流側に配設されており、移動範囲Ｋの上流側端部に位置する収納容器Ｃの開口８に向けてレーザー光を投光してその投光したレーザー光が基板収納領域Ｓを基板Ｗの面方向と交差する方向に通過自在な状態で設けられている。
【００２６】
また、距離計１２は、搬送方向の下流側に向けて斜め上方に向けて投光し、基板積層方向に対して傾斜する方向にレーザー光を投光するように配設されている。
そして、図３（ａ）に示すように、距離計１２が基板収納領域Ｓを基板Ｗの面方向と交差する方向に通過するようにレーザー光を投光しているため、基板収納領域Ｓに基板Ｗが収納されている場合は、その収納されている基板Ｗ（複数枚収納されている場合は最も搬送方向上流側に位置する基板Ｗ）にレーザー光が投光される。また、距離計１２が搬送方向の下流側に向けて斜め上方に向けてレーザー光を投光しているため、収納容器Ｃに基板Ｗが全く収納されていない場合でも、距離計１２から投光されたレーザー光が収納容器Ｃを通過せず、収納容器Ｃの内面に投射されるようになっている。
【００２７】
そのため、図３（ｂ）に示すように、収納容器Ｃに備えられているスリット６の全てに基板Ｗが保持されている満状態では、距離計１２にて距離Ｌ１に相当する検出値が検出され、図３（ｃ）に示すように、収納容器Ｃに備えられているスリット６のうちの最も搬送方向下流側に位置するスリット６にのみ基板Ｗが保持されている場合は、距離計１２にて距離Ｌ２に相当する検出値が検出される。また、図３（ａ）に示すように、収納容器Ｃに基板Ｗが全く収納されていない空状態では、距離計１２にて距離Ｌ３に相当する検出値が検出される。
【００２８】
〔制御装置〕
基板収納設備には、搬送装置１及び庫内移載装置４の作動を制御する制御装置Ｈが設けられており、この制御装置Ｈには、距離計１２の検出値が入力されている。そして、制御装置Ｈには、距離計１２の検出値が、検査箇所に位置する収納容器Ｃの基板収納領域Ｓに収納されている基板Ｗまでの距離として予め設定されている設定範囲内の値である場合に、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していると判別する存否判別部ｈが、プログラム形式で備えられている。
【００２９】
予め設定されている設定範囲としては、距離Ｌ１に相当する検出値から距離Ｌ２に相当する検出値までの範囲より許容範囲だけ広い範囲が設定されており、また、距離Ｌ３に相当する検出値が含まれない範囲が設定されている。
そのため、図３（ｂ）に示すように、収納容器Ｃが全てのスリット６に基板Ｗが収納されている満杯状態であり、距離計１２にて距離Ｌ１に相当する検出値が検出されている場合は、距離計１２の検出値が設定範囲内の値であるため、存否判別部ｈにて、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していると判別される。
また、収納容器Ｃの最も搬送方向の下流側に位置するスリット６にのみ基板Ｗが保持されており、距離計１２にて距離Ｌ２に相当する検出値が検出されている場合でも、距離計１２の検出値が設定範囲内の値であるため、存否判別部ｈにて、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していると判別される。
そして、図３（ｃ）に示すように、収納容器Ｃが空状態であり、距離計１２にて距離Ｌ３に相当する検出値が検出されている場合は、距離計１２の検出値が設定範囲外の値であるため、存否判別部ｈにて、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していないと判別される。
【００３０】
図４に示すように、基板収納設備には、搬送装置１の検査用載置台１Ｐに収納容器Ｃを載置して当該収納容器Ｃをストッカー３に収納するときに作業者が押し操作する投入スイッチ１４と、検査用載置台１Ｐ上に収納容器Ｃが存在しているか否かを検出する容器存否センサ１５と、検査用載置台１Ｐ上に位置している収納容器Ｃに添付されているバーコードＢを読み取るバーコードリーダ１６と、異常が生じたときに表示させる表示灯１７とが設けられている。そして、投入スイッチ１４の操作信号、容器存否センサ１５の検出情報、及び、バーコードリーダ１６の検出情報が制御装置Ｈに入力され、制御装置Ｈが、容器存否センサ１５の検出情報及び距離計１２の検出情報に基づいて、表示灯１７の作動を制御するように構成されている。
【００３１】
次に、収納容器Ｃをストッカー３に収納する場合における制御装置Ｈの制御について、図５に示すフローチャートに基づいて説明する。
作業者により投入スイッチ１４が操作されると、容器存否センサ１５からの検出情報に基づいて、作業者用移載箇所Ｐ（検査箇所）に収納容器Ｃが存在しているか否かを判別し、距離計１２の検出値に基づいて、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在しているか否かを判別する。
【００３２】
そして、作業者用移載箇所Ｐ（検査箇所）に収納容器Ｃが存在し、且つ、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していると判別した場合は、バーコードリーダ１６にてバーコードＢを読み取り、ストッカ−３における収納位置等を示す収納情報と収納容器Ｃの固有情報とを紐付けした状態で記憶し且つ収納容器Ｃを収納部に収納するべく搬送装置１及び庫内移載装置４の作動を制御する入庫処理が実行される。
尚、作業者用移載箇所Ｐ（検査箇所）に収納容器Ｃが存在していない、又は、収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していないと判別した場合は、表示灯１７の表示状態を異常を示す状態とするべく表示灯１７の作動を制御する異常処理が実行される。
【００３３】
ストッカー３に基板Ｗが収納された収納容器Ｃを収納する場合、作業者は基板Ｗが収納された収納容器Ｃを作業者用移載箇所Ｐに載置することとなるが、誤って基板Ｗが収納されていない空状態の収納容器Ｃを作業者用移載箇所Ｐに載置してしまうことがある。このような場合でも、表示灯１７が異常を示す表示状態となることで作業者が誤って作業者用移載箇所Ｐに空状態の収納容器Ｃを載置したことに気づくことでき、また、空状態の収納容器Ｃがストッカー３に収納されることを防止することができる。
【００３４】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、距離計１２を、基板Ｗの積層方向に対して傾斜する方向に検出波を投射するように配設したが、距離計１２を、基板Ｗの積層方向に対して平行となる方向に検出波を投射するように配設してもよい。
【００３５】
（２）  上記実施形態では、搬送装置１が、収納容器Ｃに収納されている基板Ｗが下方側ほど搬送方向の上流側に位置する傾斜姿勢となる状態で収納容器Ｃを載置搬送するように構成したが、搬送装置１が、収納容器Ｃに収納されている基板Ｗが下方側ほど搬送方向の下流側に位置する傾斜姿勢、又は、収納容器Ｃに収納されている基板Ｗが鉛直姿勢となる状態で収納容器Ｃを載置搬送するように構成してもよい。
【００３６】
（３）  上記実施形態では、設定範囲として、基板収納領域Ｓに収納されている複数枚の基板Ｗの全てを包括する範囲を設定して、距離計１２の検出値が設定範囲内である場合に、収納容器Ｃ内に一枚以上の基板Ｗが存在していると判別するように構成したが、設定範囲として、基板収納領域Ｓに収納されている複数枚の基板Ｗの夫々に対応する範囲を設定して、距離計１２の検出値が設定範囲内である場合に、収納容器Ｃにおける検出値が属する範囲に対応する収納部に基板Ｗが存在していると判別するように構成してもよい。
具体的には、例えば、図３に示すように、距離計１２にて距離Ｌ１に相当する検出値が検出されている場合は、収納容器Ｃ内の最も上流側の保持部に基板Ｗが存在していると判別し、距離計１２にて距離Ｌ２に相当する検出値が検出されている場合は、収納容器Ｃ内の最も下流側の保持部に基板Ｗが存在していると判別するように構成してもよい。
【００３７】
（４）  上記実施形態では、検出部１１を、レーザー式の距離計１２にて構成したが、検出部１１を、音波式等の距離計１２にて構成してもよい。
また、上記実施形態では、基板Ｗとして、半導体ウェハを収納容器Ｃに収納したが、ガラス基板等の他の基板を収納容器Ｃに収納してもよい。
【００３８】
（５）  上記実施形態では、存否判別部ｈにて収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していると判別した場合に、収納容器Ｃを収納部に収納するべく搬送装置１及び庫内移載装置４の作動を制御する入庫処理を実行して、ストッカー３に基板Ｗが収納された収納容器Ｃを収納するようにしたが、存否判別部ｈにて収納容器Ｃ内に基板Ｗが存在していないと判別した場合に、収納容器Ｃを収納部に収納するべく搬送装置１及び庫内移載装置４の作動を制御する入庫処理を実行して、ストッカー３に空状態の収納容器Ｃを収納するようにしたてもよい。
【符号の説明】
【００３９】
１    搬送装置
８    開口
１１    検出部
１２    距離計
Ｃ    収納容器
Ｋ    移動範囲
Ｐ    検査箇所
Ｓ    基板収納領域
Ｗ    基板（半導体ウェハ）
【図１】
0005741959.tif 000002
【図２】
0005741959.tif 000003
【図３】
0005741959.tif 000004
【図４】
0005741959.tif 000005
【図５】
0005741959.tif 000006