(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＣＤ素子をカメラ本体に備えたラインセンサカメラの角度調整装置であって、
基準プレートと、
ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通り、前記走査方向を含む面上で、かつ前記走査方向に平行となる第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、
該あおり調整用プレート上に搭載されるとともに、このあおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、
前記ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、
該回転調整用プレート上に搭載されるとともに、この回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、
を備え、
前記あおり調整用プレートと前記回転調整用プレートのいずれか一方のプレートが前記カメラ本体に固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、
前記他方のプレートが前記基準プレートに回転可能に支持され、
前記基準プレート、前記あおり調整用プレート、および前記回転調整用プレートは、それぞれのプレート面同士が重なって配置され、
それぞれの前記プレートに配置される前記あおり調整機構と前記回転調整機構とをそれぞれ同じ方向から操作して前記あおり角度と前記回転角度の２軸の調整が可能であることを特徴とするラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項２】
前記あおり調整機構は、軸方向を前記あおり調整用プレートの面方向に垂直となる方向に向けて配置するとともに、該あおり調整用プレートを厚さ方向に貫通させてねじ先端を下方に位置するプレートに当接可能としたマイクロメーターを備えていることを特徴とする請求項１に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【請求項３】
前記回転調整機構は、軸方向を前記回転調整用プレートの面方向に垂直となる方向に向けて配置するとともに、該回転調整用プレートを厚さ方向に貫通させてねじ先端を下方に位置するプレートに当接可能としたマイクロメーターを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載のラインセンサカメラの角度調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ラインセンサカメラの角度調整装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、連続シート状の検査対象物に照明装置からの光を照射し、その反射光あるいは透過光を受光器で撮像し、その画像信号を適当な画像処理装置で処理し、欠陥情報を抽出する欠陥検査装置を用いて検査対象物の欠陥検査が行われている。このような欠陥検査装置では、複数のラインＣＣＤカメラを同一方向に配列した構成のものが一般的に用いられている。
ところで、この種のラインＣＣＤカメラを使用した欠陥検査装置として、高分解能のカメラで歪が無い画像を入力するため、カメラの取り付け向きを精度良く調整する機構のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、対象物を主走査方向と直角な方向に副走査して撮像するラインセンサカメラにつき、その光軸回りの第１回転角度と、光軸および主走査方向の双方と直交する軸線の回りの第２回転角度とを調整してラインセンサカメラの取り付け向きを調整するようにしたラインセンサカメラの取り付け向き調整方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２０８５１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した特許文献１のラインセンサカメラの取り付け向きの調整方法では、第１回転角度と第２回転角度との各回転軸が互いに直交する方向に配置されるので、これらの回転角度調整機構がラインセンサカメラの周囲に複雑に配置され、各ラインセンサカメラ自体が大型化するという問題があった。
また、ラインセンサカメラを複数台配列させる構成の欠陥検査装置にあっては、隣り合うカメラ同士の間隔を最小にして配置するため、各ラインセンサカメラにおける２軸の角度調整を１方向から調整することが必要とされていた。
このように、複数台のカメラを配列する欠陥検査装置にあっては、角度調整における操作性と小型化とをバランスよく達成することが求められており、その点で改良の余地があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができるラインセンサカメラの角度調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置は、ＣＣＤ素子をカメラ本体に備えたラインセンサカメラの角度調整装置であって、基準プレートと、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通り、前記走査方向を含む面上で、かつ前記走査方向に平行となる第１軸線を中心にして回転するあおり調整用プレートと、あおり調整用プレート上に搭載されるとともに、このあおり調整用プレートを回転させてあおり角度を調整するためのあおり調整機構と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線を中心にして回転する回転調整用プレートと、回転調整用プレート上に搭載されるとともに、この回転調整用プレートを回転させて回転角度を調整するための回転調整機構と、を備え、あおり調整用プレートと回転調整用プレートのいずれか一方のプレートがカメラ本体に固定されるとともに、他方のプレートに対して回転可能に支持され、他方のプレートが基準プレートに回転可能に支持され、基準プレート、あおり調整用プレート、および回転調整用プレートは、それぞれのプレート面同士が重なって配置され、それぞれのプレートに配置されるあおり調整機構と回転調整機構とをそれぞれ同じ方向から操作してあおり角度と回転角度の２軸の調整が可能であることを特徴としている。
【０００８】
本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置によれば、あおり調整用プレート上に設けられているあおり調整機構を操作し、このあおり調整用プレートを第１軸線を中心にして回転させることで、カメラをＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向を中心とした回転によりあおり角度を調整することができる。また、回転調整用プレート上に設けられている回転調整機構を操作し、この回転調整用プレートを第２軸線を中心にして回転させることで、カメラをＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な方向を中心とした回転角度を調整することができる。このとき、あおり調整用プレートと回転調整用プレートとが回転可能に支持されているので、カメラ本体に対してあおり角度と回転角度との２軸の調整を同時に行うことができる。
【０００９】
そして、あおり調整用プレートと回転調整用プレートとが重なって配置されているため、それぞれのプレートに配置されるあおり調整機構と回転調整機構とをそれぞれ同じ方向から操作して、上述したあおり角度と回転角度との２軸の調整を行うことが可能である。
また、基準プレートとあおり調整用プレートと回転調整用プレートとが積層された状態で同一方向に重なって配置されるので、角度調整装置を備えたラインセンサカメラ全体の小型化が図れる。
【００１０】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置では、あおり調整機構は、軸方向をあおり調整用プレートの面方向に垂直となる方向に向けて配置するとともに、あおり調整用プレートを厚さ方向に貫通させてねじ先端を下方に位置するプレートに当接可能としたマイクロメーターを備えていることが好ましい。
【００１１】
この場合には、マイクロメーターを回転させてそのねじ先端を上下に移動させることで、あおり調整用プレートを第１軸線を中心にして回動させることができる。そして、マイクロメーターの軸方向が各プレートの重なる方向となるので、マイクロメーターが各プレートより面方向に張り出すことのない構造となり、ラインセンサカメラ全体の大きさを抑えることができる。
【００１２】
また、上記本発明のラインセンサカメラの角度調整装置では、回転調整機構は、軸方向を回転調整用プレートの面方向に垂直となる方向に向けて配置するとともに、回転調整用プレートを厚さ方向に貫通させてねじ先端を下方に位置するプレートに当接可能としたマイクロメーターを備えていることが好ましい。
【００１３】
この場合には、マイクロメーターを回転させてそのねじ先端を上下に移動させることで、あおり調整用プレートを第１軸線を中心にして回動させることができる。そして、マイクロメーターの軸方向が各プレートの重なる方向となるので、マイクロメーターが各プレートより面方向に張り出すことのない構造となり、ラインセンサカメラ全体の大きさを抑えることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置によれば、ラインセンサカメラに対する２軸の角度調整を同一方向からの操作により行えるので操作性に優れ、さらに２軸の角度調整を行うための基準プレート、あおり調整用プレート、および回転調整用プレートが重なって配置されているので小型化を図ることができ、これによりラインセンサカメラを複数配列させて構成される欠陥検査装置に好適となる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態による欠陥検査装置の一例を示す全体概要図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】カメラに設けられる角度調整装置の構成を示す側面図である。
【図４】同じく角度調整装置の構成を示す上面図である。
【図５】同じく角度調整装置の構成を示す正面図である。
【図６】同じく角度調整装置の構成を示す背面図である。
【図７】あおり調整による動作を示す側面図である。
【図８】回転調整による動作を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係るラインセンサカメラの角度調整装置について図面を参照して説明する。
図１および図２に示す本実施の形態の角度調整装置１０は、ＣＣＤ素子３（図５参照）とレンズ４をカメラ本体５に組み込んだ複数のラインセンサカメラ（以下、単に「カメラ２」という）を備えた欠陥検査装置１において、各カメラ２の角度（あおり角度θ１、回転角度θ２）を調整するためのものである。
【００１７】
欠陥検査装置１は、複数（ここでは８台）のカメラ２、２、…が支持台６に配列して設けられ、蛍光灯などの照明が組み込まれた照明装置７によって下面側から検査対象物８を照射し、その検査対象物８の透過光を撮像することで、検査対象物８上に存在する欠陥を検出し、欠陥位置情報、欠陥の面積、長さ、幅等を含む欠陥情報を取得するものである。そして、これらの欠陥情報は、適宜な処理に基づいて欠陥が判定されることになる。なお、本実施の形態では複数のカメラ２が配列される方向（図１、図２の紙面で左右方向）を走査方向Ｘという。
【００１８】
図３乃至図６に示すように、角度調整装置１０は、基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面においてＣＣＤ素子３の走査方向Ｘに直交する方向の中心を通り、走査方向Ｘを含む面上で、かつ走査方向Ｘに平行となる第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載されるとともに、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面３ａに対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備えて概略構成されている。
【００１９】
さらに、角度調整装置１０は、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定されるとともに、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定されている。そして、基準プレート１１、あおり調整用プレート２０、および回転調整用プレート３０がその順で重なって配置された構成となっている。
【００２０】
ここで、角度調整装置１０において、基準プレート１１と、あおり調整用プレート２０と、回転用調整プレート３０とがその順で配置される方向を上下方向Ｙといい、それぞれの面が平行に配置された状態で上下方向Ｙに沿った基準プレート１１側を下側といい、あおり調整用プレート２０側を上側という。また、角度調整装置１０において、カメラ２のレンズ４側を前方とし、その反対側を後方として以下説明する。
【００２１】
基準プレート１１は、平面視矩形をなし、前後方向に対向する両縁部には上方に向けて立設される第１前壁１２と第１後壁１３とが設けられた構成となっている。
第１前壁１２は、あおり調整用プレート２０によって支持されたカメラ２のレンズ４の下方に位置しており、前方から見てレンズ４の中心軸（光軸Ｌ）を中心として第１軸線Ｏ１に対して斜め下方４５度（図５の符号α）の所定位置に前記第２軸線Ｏ２が位置している。第１前壁１２には、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１２ａが設けられ、この凹部１２ａには後述する回転調整用プレート３０の第２前壁３２に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸をなす第１回転軸ピン３５が回転可能に支持されている。
第１後壁１３は、第２軸線Ｏ２に対応する位置に凹部１３ａが設けられ、この凹部１３ａには後述する回転調整用プレート３０の第２後壁３３に設けられるとともに第２軸線Ｏ２と同軸の第２回転軸ピン３６が回転可能に支持されている。
【００２２】
回転調整用プレート３０は、基準プレート１１より縦横の寸法が共に小さい平面視矩形をなし、基準プレート１１の第１前壁１２と第１後壁１３との間に配置され、前後方向に対向する両縁部には上方に向けて立設される第２前壁３２と第２後壁３３とが設けられるとともに、前方側の両側部には第２前壁３２にそれぞれ連設する第１側壁３４、３４が設けられた構成となっている。
【００２３】
第２前壁３２は、カメラ２のレンズ４の下方に位置しており、第２軸線Ｏ２と同軸で前方へ向けて突出する第１回転軸ピン３５が設けられている。この第１回転軸ピン３５は、上述した第１前壁１２の凹部１２ａに軸支されている。
第２後壁３３は、第２軸線Ｏ２と同軸で後方へ向けて突出する第２回転軸ピン３６が設けられ、この第２回転軸ピン３６が上述した第２後壁１３の凹部１３ａに軸支されている。
第１側壁３４は、第１軸線Ｏ１に対応する位置に凹部３４ａが設けられており、この凹部３４ａには後述するあおり調整用プレート２０の第２側壁２２、２２に設けられるとともに第１軸線Ｏ１と同軸をなすあおり軸ピン２３、２３が回転可能に支持されている。
【００２４】
回転調整機構３１は、第１マイクロメーター３７と、第１付勢部材３８とからなり、それぞれ図４に示す上面視で光軸Ｌを挟んで第２軸線Ｏ２と反対側に配置されている。
第１マイクロメーター３７は、その軸方向を回転調整用プレート３０に垂直な方向に向けたねじ軸３７１を回転調整用プレート３０を上方から厚さ方向に貫通させ、本体部３７２が回転調整用プレート３０の上面３０ａに固定されている。
【００２５】
第１付勢部材３８は、軸方向を回転調整用プレート３０に垂直な方向に向けて回転調整用プレート３０を厚さ方向に貫通させたボルト３８１と、ボルト３８１の上端に螺合するナット３８２と、ボルト３８１を挿通させた状態で回転調整用プレート３０の上面３０ａとナット３８２との間に配置されるばね材３８３とを備えている。ボルト３８１の下端は、基準プレート１１の上面１１ａに固定されている。ばね材３８３は、回転調整用プレート３０を基準プレート１１側へ近接する方向へ付勢した状態となっている。つまり、ねじ軸３７１の先端３７１ａは、第１付勢部材３８によって付勢された回転調整用プレート３０によって、常に基準プレート１１の上面１１ａに当接することになる。
【００２６】
そして、第１マイクロメーター３７と第１付勢部材３８との位置は、第１付勢部材３８が第１マイクロメーター３７よりも前方側に位置し、平面視で双方の軸（ねじ軸３７１、ボルト３８１の軸）とを結ぶ直線が第２軸線Ｏ２と平行になっている。
【００２７】
あおり調整用プレート２０は、回転調整用プレート３０より縦横の寸法が共に小さい平面視矩形をなし、さらに第１マイクロメーター３７と第１付勢部材３８とを避けるようにして切り欠いた形状をなしており、回転調整用プレート３０の第２前壁３２と第２後壁３３との間に配置された構成となっている。そして、あおり調整用プレート２０の前方側の両側部には、第２側壁２２が設けられ、さらにあおり調整用プレート２０の前方にはカメラ本体５が載置されて第２側壁２２にカメラ本体５の側面がねじ等の適宜な固定手段により固定されている。
【００２８】
各第２側壁２２には、第１軸線Ｏ１と同軸で外方（第１側壁３４側）へ向けて突出するあおり軸ピン２３が設けられている。あおり軸ピン２３は、それぞれ第１側壁３４の凹部３４ａに軸支されている。
【００２９】
あおり調整機構２１は、第２マイクロメーター２４と、第２付勢部材２５とからなり、それぞれ図４に示す上面視で光軸Ｌ上に配置されている。なお、第２付勢部材２５は、第２マイクロメーター２４よりも後方側に位置している。
第２マイクロメーター２４は、その軸方向をあおり調整用プレート２０に垂直な方向に向けたねじ軸２４１をあおり調整用プレート２０を上方から厚さ方向に貫通させ、本体部２４２があおり調整用プレート２０の上面２０ａに固定されている。
【００３０】
第２付勢部材２５は、軸方向をあおり調整用プレート２０に垂直な方向に向けてあおり調整用プレート２０を厚さ方向に貫通させたボルト２５１と、ボルト２５１の上端に螺合するナット２５２と、ボルト２５１を挿通させた状態であおり調整用プレート２０の上面２０ａとナット２５２との間に配置されるばね材２５３とを備えている。ボルト２５１の下端は、回転調整用プレート３０の上面３０ａに固定されている。ばね材２５３は、あおり調整用プレート２０を回転調整用プレート３０側へ近接する方向へ付勢した状態となっている。つまり、第２マイクロメーター２４のねじ軸２４１の先端２４１ａは、第２付勢部材２５によって付勢されたあおり調整用プレート２０によって、常に回転調整用プレート３０の上面３０ａに当接することになる。
【００３１】
回転軸ピン３５、３６及びあおり軸ピン２３と、それぞれに対応する凹部１２ａ、１３ａ、３４ａとの支持構造は、すべて共通した支持構造をなしており、凹部に支持させた軸ピンに対して凹部の開口側から棒状の軸ピン押さえ部材９によって押さえ付けることにより回転自在に支持された構造となっている。
【００３２】
なお、第１マイクロメーター３７および第２マイクロメーター２４は、それぞれの本体部３７２、２４２を回転させることでねじ軸３７１、２４１が軸方向に進退移動する一般的な構造のものが用いられている。さらに、本実施の形態では、本体部３７２、２４２の下端側に図３に示すような回転式のロック機構３７２ａ、２４２ａを有している。つまり、ロック機構３７２ａ、２４２ａをいずれか一方向に回転させることで本体部３７２、２４２の回転がロックされ、他方向に逆回転させることで本体部のロック状態が解除されるようになっている。この場合、ロック機構３７２ａ、２４２ａがそれぞれ本体部３７２、２４２に対して別体で且つ同軸に設けられており、ロック機構３７２ａ、２４２ａの操作によって本体部３７２、２４２による回転位置がずれることがない構成となっている。
【００３３】
次に、上述したように構成された角度調整装置１の作用について説明する。
図７に示すように、あおり調整用プレート２０上に設けられている第２マイクロメーター２４を一方向に回転させると、このあおり調整用プレート２０が第１軸線O１を中心にして回動する。
具体的には、あおり調整用プレート２０の後端側に設けられている第２マイクロメーター２４の先端２４１ａを前進（下方へ移動）させると、そのあおり調整用プレート２０の第２マイクロメーター２４の位置が回転調整用プレート３０に対して離反する方向（矢印Ｆ１方向）に持ち上がるため、あおり調整用プレート２０の前端は第１軸線Ｏ１回りに下向き（矢印Ｆ４方向）に回動することになる。つまり、あおり調整用プレート２０の前端に固定されるカメラ２は下向きに所定のあおり角度θ１をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ１）となる。ここで、符号Ｐ０のカメラ２の位置は、中立位置、すなわちあおり角度θ１が０となる位置を示している。なお、あおり調整用プレート２０上に設けられる第２付勢部材２５は、あおり調整用プレート２０が持ち上がることによりばね材２５３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
【００３４】
また、第２マイクロメーター２４を他方向に回転させてその先端２４１ａを後退（上方へ移動）させると、そのあおり調整用プレート２０の第２マイクロメーター２４の位置が回転調整用プレート３０に対して近接するように下降（矢印Ｆ２方向）するため、あおり調整用プレート２０の前端は第１軸線Ｏ１回りに上向き（矢印Ｆ３方向）に回動することになる。つまり、あおり調整用プレート２０の前端に固定されるカメラ２は上向きに所定のあおり角度θ１をもって回動した位置（破線Ｐ２）となる。そして、第２付勢部材２５は、あおり調整用プレート２０が下がることによりばね材２５３が中立位置Ｐ０よりもさらに伸びた状態となる。
【００３５】
このようにあおり調整用プレート２０をあおり調整機構２１により適宜回動させることにより、カメラ２をＣＣＤ素子面３において走査方向Ｘに直交する方向の中心を通る走査方向を中心とした回転によるあおり角度θ１を調整することができる。
【００３６】
また、回転調整用プレート３０上に設けられている第１マイクロメーター３７を一方向に回転させると、この回転調整用プレート３０が第２軸線Ｏ２を中心にして回転する。
具体的には、回転調整用プレート３０の幅方向（走査方向Ｘに平行な方向）の一端側（図５で紙面に向かって左側、図６で紙面に向かって右側）に設けられている第１マイクロメーター３７の先端３７１ａを前進（下方へ移動）させると、図８に示すように、その回転調整用プレート３０の第１マイクロメーター３７の位置が基準プレート１１に対して離反する方向（矢印Ｆ５方向）に持ち上がるため、回転調整用プレート２０の一端側は第２軸線Ｏ２回りに一方向（図８の正面視で時計回りの方向Ｆ５）に回動することになる。つまり、回転調整用プレート３０にあおり調整用プレート２０を介して固定されるカメラ２は所定の回転角度θ２をもって回動した位置（破線Ｐ３）となる。なお、回転調整用プレート３０上に設けられる第１付勢部材３８は、回転調整用プレート３０が持ち上がることによりばね材３８３が中立位置Ｐ０よりもさらに圧縮した状態となる。
【００３７】
また、第１マイクロメーター３７を他方向に回転させてその先端３７１ａを後退（上方へ移動）させると、その回転調整用プレート３０の第１マイクロメーター３７の位置が基準プレート１１に対して近接するように下降するため、回転調整用プレート３０の一端側が第２軸線Ｏ２回りに下向き（矢印Ｆ６方向）に回動することになる。つまり、回転調整用プレート３０のあおり調整用プレート２０を介して固定されるカメラ２は下向き（図８の正面視で反時計回りの方向Ｆ６）に所定の回転角度θ２をもって回動した位置（二点鎖線Ｐ４）となる。そして、第１付勢部材３８は、回転調整用プレート３０が下がることによりばね材３８３が中立位置Ｐ０よりもさらに伸びた状態となる。
【００３８】
このように、回転調整用プレート３０を回転調整機構３１により適宜回動させることにより、カメラ２をＣＣＤ素子面３に対する法線方向に平行な方向を中心とした回転角度θ２を調整することができる。
【００３９】
このとき、あおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが回転可能に支持されているので、カメラ本体５に対してあおり角度θ１と回転角度θ２との２軸の調整を同時に行うことができる。
【００４０】
そして、あおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが重なって配置されているため、それぞれのプレート２０、３０に配置されるあおり調整機構２１と回転調整機構３１とをそれぞれ同じ方向から操作して、上述したあおり角度θ１と回転角度θ２との２軸の調整を行うことが可能である。
【００４１】
また、基準プレート１１とあおり調整用プレート２０と回転調整用プレート３０とが積層された状態で同一方向に重なって配置されるので、角度調整装置１０を備えたカメラ２全体の小型化が図れる。
【００４２】
上述のように本実施の形態によるラインセンサカメラの角度調整装置では、カメラ２に対する２軸の角度調整を同一方向からの操作により行えるので操作性に優れ、さらに２軸の角度調整を行うための基準プレート１１、あおり調整用プレート２０、および回転調整用プレート３０が重なって配置されているので小型化を図ることができ、これによりカメラ２を複数配列させて構成される欠陥検査装置１に好適となる効果を奏する。
【００４３】
以上、本発明によるラインセンサカメラの角度調整装置の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本実施の形態ではあおり調整用プレート２０をカメラ２に固定させ、上からあおり調整用プレート２０、回転用調整プレート３０、基準プレート１１の順で重ねて配置させた構成としているが、これに限定されることはなく、回転用プレート３０をカメラ２に固定させる構成とすることも可能である。なお、この場合、上から回転用調整プレート３０、あおり調整用プレート２０、基準プレート１１の順となる。
【００４４】
また、あおり調整機構２１、回転調整機構３１の構成についても、本実施の形態に制限されることはなく、適宜な構造とすることが可能である。例えば、付勢部材２５、３８のばね材としてコイルばねでなく、板ばね等を採用してもよい。
【００４５】
さらに、第２軸線Ｏ２の位置を前方から見てレンズ４の中心軸（光軸Ｌ）を中心として第１軸線Ｏ１に対して斜め下方４５度としているが、この位置に制限されることはない。
さらにまた、各プレート１１、２０、３０の形状なども、カメラ２の大きさ、形状等の条件に対応して適宜変更することが可能である。
【００４６】
また、各プレート上のマイクロメーターと付勢部材との位置関係に制限されることもない。例えば、本実施の形態において、回転調整用プレート３０の第１付勢部材３８は、第１マイクロメーター３７よりも前方側に位置しているが、後方側であっても良い。あおり調整用プレート２０の第２付勢部材２５の場合も同様で、第２マイクロメーター２４よりも後方であることに制限されず、前方側に位置していても良い。
【００４７】
さらにまた、本実施の形態ではマイクロメーターを手動により調整する方法としているが、このマイクロメーターを自動制御する調整方法を採用することも可能である。例えば、マイクロメーターをモータドライブにすることで、パソコンからの制御が可能となる。また、リモートメンテナンスを行うことで、他場所からカメラの角度調整を行うことができるという効果がある。
【００４８】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００４９】
１  欠陥検査装置
２  カメラ（ラインセンサカメラ）
３  ＣＣＤ素子
３ａ  ＣＣＤ素子面
５  カメラ本体
８  検査対象物
１０  角度調整装置
１１  基準プレート
１２  第１前壁
１２ａ、１３ａ、３４ａ  凹部
１３  第１後壁
２０  あおり調整用プレート
２１  あおり調整機構
２２  第２側壁
２３  あおり軸ピン
２４  第２マイクロメーター
２５  第２付勢部材
３０  回転調整用プレート
３１  回転調整機構
３２  第２前壁
３３  第２後壁
３４  第１側壁
３５  第１回転軸ピン
３６  第１回転軸ピン
３７  第１マイクロメーター
３８  第１付勢部材
Ｘ  走査方向
Ｙ  上下方向
Ｌ  光軸
Ｏ１  第１軸線
Ｏ２  第２軸線
【図１】
0005717406.tif 000002
【図２】
0005717406.tif 000003
【図３】
0005717406.tif 000004
【図４】
0005717406.tif 000005
【図５】
0005717406.tif 000006
【図６】
0005717406.tif 000007
【図７】
0005717406.tif 000008
【図８】
0005717406.tif 000009