(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体を呈し一方の端部が切り欠かれて直方体の第１の面と平行な取付面が形成されるとともに、該取付面に対して垂直にねじ穴が形成されたシャンクと、互いに平行な側面と上面から裏面に貫通して形成された取付穴と先端部に固着された切刃とを有し、該取付穴にねじを挿入して該取付面に形成されたねじ穴に螺合することにより該シャンクの該取付面に取り付けられたバイト工具と、からなるバイトユニットにおける該シャンクに対する該バイト工具の取付角度を調整するバイト工具の取付角度調整治具であって、
該取付角度調整治具は、該バイト工具が装着された該シャンクの該第１の面を上方にして載置された該バイトユニットを支持する支持ブロックと、該シャンクを該支持ブロックと挟持して固定するとともに該バイト工具の該シャンクに対する取付角度を調整する押さえブロックとを含み、
該支持ブロックは、該シャンクの上半分が露出する程度の深さと該シャンクが幅方向で余裕を持って収容される幅を有する溝と、該溝から溝の幅方向に所定距離離間した位置に該溝の長手方向と平行方向に延在し該溝に向かって低くなる斜面を有する土手部とを具備し、
該押さえブロックは、該支持ブロック上で露出した該シャンクの該第１の面に接触して該シャンクを固定する押さえ面を有する固定部と、該シャンクの該第１の面と直交する第２の面を係合する段差部と、該支持ブロックの該土手部に形成された該斜面とスライド係合する面取り部と、該面取り部が該溝に沿って延在する方向に該段差部の両端から張り出した第１及び第２のアーム部とを具備し、
該支持ブロックの該斜面に該押さえブロックが該面取り部をスライドさせて装着されると、該押さえブロックの該段差部によって該溝中に挿入された該シャンクが該溝の側面に突き当てられて固定され、
該第１のアーム部は、該支持ブロックと該押さえブロックで該シャンクを挟持して固定した状態で、該ねじを回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第１の所定角度に調整可能な第１突き当て面を有し、
該第２のアーム部は、該支持ブロックと該押さえブロックで該シャンクを挟持して固定した状態で、該ねじを回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第２の所定角度に調整可能な第２突き当て面を有し、
該第１突き当て面と該第２突き当て面が調整する角度が異なることを特徴とするバイト工具の取付角度調整治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、先端に切削用の切刃（チップ）が固定されたバイト工具をシャンクに固定する際に用いるバイト工具の取付角度調整治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの軽薄短小化を実現するための技術には様々なものがある。一例として、半導体ウエーハに形成されたデバイス表面に１０〜１００μｍ程度の高さのバンプと呼ばれる金属突起物を複数形成し、これらのバンプを配線基板に形成された電極に相対させて直接接合するフリップチップボンディングと呼ばれる実装技術が実用化されている。
【０００３】
半導体ウエーハのデバイス表面に形成されるバンプは、メッキやスタッドバンプといった方法により形成される。このため個々のバンプの高さは不均一であり、そのままでは複数のバンプを配線基板の電極に全て一様に接合するのは困難である。半導体ウエーハのデバイス表面に形成されたバンプは一般的に樹脂封止される。
【０００４】
また、高密度配線を実現するために、バンプと配線基板との間に異方性導電性フィルム（ＡＣＦ）を挟んで接合する集積回路実装技術がある。この実装技術の場合には、バンプの高さが不足すると接合不良を招くため、一定以上のバンプ高さが必要となる。
【０００５】
更に、ＷＬ−ＣＳＰ（Ｗａｆｅｒ−Ｌｅｖｅｌ  Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）では、ウエーハの状態で再配線層やバンプ（金属ポスト）を形成後、表面側を樹脂で封止している。
【０００６】
ＷＬ−ＣＳＰウエーハを切削ブレード等で各パッケージに分割すると、ウエーハを個片化したパッケージの大きさが半導体デバイスチップの大きさになるため、小型化及び軽量化の観点からも広く採用されている。
【０００７】
そこで、半導体ウエーハの表面に形成された複数のバンプを所望の高さへ揃えることが望まれている。バンプを所望の高さへ揃える方法として、一般的には研磨加工が採用されているが、作業時間が長いという問題があった。
【０００８】
この問題を解決する技術として、研削装置の研削ホイールのように高速回転するバイトホイールを用いてバンプを削り取り、バンプの高さを揃えるバイト切削装置が例えば特開２００４−３１９６９７号公報で提案されている。
【０００９】
特開２００４−３１９６９７号公報には、バイト工具の先端に固定された切刃（チップ）の偏磨耗を解消するために、一方向にしか移動させていなかった切削動作を往復動作させるといった方法が記載されている。この方法では、切刃先端の刃先の被加工物への接触部分は一定であるため、往復動作によって異なる接触部分が均等に磨耗するといった効果が得られる。
【００１０】
ところが、被加工物への接触部分に欠けが発生すると使用不能となってバイト工具の交換を余儀なくされる。このように切刃の一箇所に欠けが発生するだけでバイト工具を交換することは不経済である。
【００１１】
このため、実際使用される刃先が一部分であることを利用して、ある程度の長さの刃先を有する切刃（チップ)の角度を変更して被加工物の接触部分を変えることで、切刃を有効に利用する方法が提案されている（特開２００９−１２１０５号公報参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−７１３５号公報
【特許文献２】特開２００４−３１９６９７号公報
【特許文献３】特開２００９−１２１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献３で提案されている構造はシャンクの形状が複雑であるため製造コストが上昇することと、これまでバイト切削装置で使用してきたシャンクより太くなってしまうので、従来の装置で使用することができなくなり、バイト切削装置の改造も必要になるという問題がある。
【００１４】
また、従来のバイト切削装置で使用していたシャンクとバイト工具とでは３点の角度を固定する際、適当に中心、左右とバイト工具を回動させてバイト工具をシャンクに固定していたので、作業者によって固定角度にばらつきが発生し、切削結果が異なるという問題が発生していた。
【００１５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構造でバイト工具のシャンクに対する固定角度を所定の角度に調整可能なバイト工具の取付角度調整治具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明によると、直方体を呈し一方の端部が切り欠かれて直方体の第１の面と平行な取付面が形成されるとともに、該取付面に対して垂直にねじ穴が形成されたシャンクと、互いに平行な側面と上面から裏面に貫通して形成された取付穴と先端部に固着された切刃とを有し、該取付穴にねじを挿入して該取付面に形成されたねじ穴に螺合することにより該シャンクの該取付面に取り付けられたバイト工具と、からなるバイトユニットにおける該シャンクに対する該バイト工具の取付角度を調整するバイト工具の取付角度調整治具であって、該取付角度調整治具は、該バイト工具が装着された該シャンクの該第１の面を上方にして載置された該バイトユニットを支持する支持ブロックと、該シャンクを該支持ブロックと挟持して固定するとともに該バイト工具の該シャンクに対する取付角度を調整する押さえブロックとを含み、該支持ブロックは、該シャンクの上半分が露出する程度の深さと該シャンクが幅方向で余裕を持って収容される幅を有する溝と、該溝から溝の幅方向に所定距離離間した位置に該溝の長手方向と平行方向に延在し該溝に向かって低くなる斜面を有する土手部とを具備し、該押さえブロックは、該支持ブロック上で露出した該シャンクの該第１の面に接触して該シャンクを固定する押さえ面を有する固定部と、該シャンクの該第１の面と直交する第２の面を係合する段差部と、該支持ブロックの該土手部に形成された該斜面とスライド係合する面取り部と、該面取り部が該溝に沿って延在する方向に該段差部の両端から張り出した第１及び第２のアーム部とを具備し、該支持ブロックの該斜面に該押さえブロックが該面取り部をスライドさせて装着されると、該押さえブロックの該段差部によって該溝中に挿入された該シャンクが該溝の側面に突き当てられて固定され、該第１のアーム部は、該支持ブロックと該押さえブロックで該シャンクを挟持して固定した状態で、該ねじを回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第１の所定角度に調整可能な第１突き当て面を有し、該第２のアーム部は、該支持ブロックと該押さえブロックで該シャンクを挟持して固定した状態で、該ねじを回転軸にして揺動させた該バイト工具の側面を突き当てることで該バイト工具を該シャンクに対して第２の所定角度に調整可能な第２突き当て面を有し、該第１突き当て面と該第２突き当て面が調整する角度が異なることを特徴とするバイト工具の取付角度調整治具が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のバイト工具の取付角度調整治具によると、従来使用してきたシャンクとバイト工具を用いてシャンクに対するバイト工具の取付を所定の角度に容易に調整可能である。また、シャンクを支持ブロック上に載置し、押さえブロックをスライドさせて支持ブロックにかみ合わせることで、シャンクを突き当てて固定することができるため、ねじ締結時に動き易い回動方向への揺動が確実に押さえられ、ねじ締め作業時にシャンクの角で手を切ったりする危険を取り除くことができる。
【００１８】
更には、バイト工具を取付角度調整治具の突き当て面に突き当ててバイト工具をシャンクに固定するので、取付角度を常に一定の角度に容易に調整することができる。また、一つの取付角度調整治具で二つの角度の調整が可能なので、治具を調整する角度の数だけ用意する必要がないという効果も奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】バイト切削装置で切削するのに適した半導体ウエーハの斜視図である。
【図２】バイト切削装置の斜視図である。
【図３】バイト切削装置でのウエーハの切削加工工程を示す模式図である。
【図４】図４（Ａ）は本発明実施形態に係るバイトユニットの分解斜視図、図４（Ｂ）はバイトユニットの斜視図である。
【図５】バイトユニットのシャンクを間に挟んで固定する本発明実施形態の取付角度調整治具の分解斜視図である。
【図６】バイトユニットのシャンクを固定した状態の取付角度調整治具の斜視図である。
【図７】バイトユニットのシャンクを固定した状態の取付角度調整治具の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、バイト切削装置で切削するのに適した半導体ウエーハＷの斜視図が示されている。半導体ウエーハＷの表面においては、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画された各領域にそれぞれデバイス（チップ）Ｄが形成されている。
【００２１】
図１の拡大図に示すように、各デバイスＤの４辺には複数の突起状のバンプ５が形成されている。これらのバンプ５は、エポキシ樹脂やベンソシクロブテン（ＢＣＢ）等の図示しないアンダーフィル材内に埋設されている。
【００２２】
図２を参照すると、バイト切削装置２の斜視図が示されている。４はバイト切削装置２のベース（ハウジング）であり、ベース４の後方にはコラム６が立設されている。コラム６には、上下方向に伸びる一対のガイドレール（一本のみ図示）８が固定されている。
【００２３】
この一対のガイドレール８に沿ってバイト切削ユニット１０が上下方向に移動可能に装着されている。バイト切削ユニット１０は、そのハウジング２０が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１２に取り付けられている。
【００２４】
バイト切削ユニット１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０中に回転可能に収容されたスピンドル２２（図３参照）と、スピンドル２２の先端に固定されたマウント２４と、マウント２４に着脱可能に装着されたバイトホイール２５とを含んでいる。バイトホイール２５にはバイトユニット２６が着脱可能に取り付けられている。
【００２５】
バイト切削ユニット１０は、バイト切削ユニット１０を一対の案内レール８に沿って上下方向に移動するボールねじ１４とパルスモータ１６とから構成されるバイト切削ユニット送り機構１８を備えている。パルスモータ１６をパルス駆動すると、ボールねじ１４が回転し、移動基台１２が上下方向に移動される。
【００２６】
ベース４の中間部分にはチャックテーブル３０を有するチャックテーブル機構２８が配設されており、チャックテーブル機構２８は図示しないチャックテーブル移動機構によりＹ軸方向に移動される。３３は蛇腹であり、チャックテーブル機構２８をカバーする。
【００２７】
ベース４の前側部分には、第１のウエーハカセット３２と、第２のウエーハカセット３４と、ウエーハ搬送用ロボット３６と、複数の位置決めピン４０を有する位置決め機構３８と、ウエーハ搬入機構（ローディングアーム）４２と、ウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）４４と、スピンナ洗浄ユニット４６が配設されている。
【００２８】
また、ベース４の概略中央部には、チャックテーブル３０を洗浄する洗浄水噴射ノズル４８が設けられている。この洗浄水噴射ノズル４８は、チャックテーブル３０が装置手前側のウエーハ搬入・搬出領域に位置づけられた状態において、チャックテーブル３０に向かって洗浄水を噴射する。
【００２９】
図３に示すように、バイトユニット２６はバイトホイール２５に着脱可能に装着される。即ち、バイトホイール２５に形成した装着穴中にバイトユニット２６のシャンクを挿入して、ねじ締結することによりバイトユニット２６が着脱可能にバイトホイール２５に装着される。
【００３０】
半導体ウエーハＷのバンプ５の切削に際しては、スピンドル２２を約２０００ｒｐｍで回転させつつ、バイトホイール送り機構１８を駆動してバイトユニット２６の切刃をアンダーフィル材に所定深さ切り込ませ、チャックテーブル３０を矢印Ｙ方向に１ｍｍ／ｓの送り速度で移動させながら、アンダーフィル材とともにバンプ５をバイト工具で切削する。この切削加工時には、チャックテーブル３０は回転させずにＹ軸方向に加工送りする。
【００３１】
次に、図４を参照して、本発明の実施形態に係るバイトユニット２６について説明する。図４（Ａ）はバイトユニット２６の分解斜視図、図４（Ｂ）はその斜視図である。バイトユニット２６は直方体形状のシャンク５０と、シャンク５０に取り付けられたバイト工具６０とから構成される。
【００３２】
シャンク５０は第１の面（上面）５０ａと、底面５０ｂと、第１の面５０ａに直交する互いに平行な第１の側面５０ｃと、第２の側面５０ｄを有している。シャンク５０の一方の端部は切り欠かれて第１の面５０ａと平行な取付面５２が形成されている。取付面５２には取付面５２に対して垂直にねじ穴５６が形成されている。第１の面５０ａと取付面５２との間には円弧面形状の段差５４が形成されている。
【００３３】
６０はバイト工具であり、バイト工具本体６２と、バイト工具本体６２の先端部６２ｅに固着された切刃（チップ）６４とから構成される。バイト工具本体６２は、互いに平行な側面６２ｃ，６２ｄと、上面６２ａから裏面６２ｂに貫通して形成された取付穴６６を有している。
【００３４】
バイト工具６０の取付穴６６中にねじ６８を挿入してシャンク５０の取付面５２に形成されたねじ穴５６に螺合することにより、バイト工具６０がシャンク５０の取付面５２に取り付けられてバイトユニット２６が完成する。バイト工具６０は、ねじ６８を回転軸にして矢印Ａ方向に回動することによりシャンク５０に対する取付角度が調整される。
【００３５】
図５を参照すると、バイトユニット２６を間に挟んだ本発明実施形態の取付角度調整治具７０の分解斜視図が示されている。図６はバイトユニット２６のシャンク５０を間に挟んで固定した状態の取付角度調整治具７０の斜視図である。本実施形態の取付角度調整治具７０は、取付面５２がシャンク５０の第１の面５０ａに平行なシャンク５０、即ちフラットタイプのシャンクに適用される。
【００３６】
取付角度調整治具７０は、バイト工具６０が装着されたシャンク５０の第１の面５０ａを上方にして載置されたバイトユニット２６を支持する支持ブロック７２と、シャンク５０を支持ブロック７２と挟持して固定することで、バイト工具６０のシャンク５０に対する取付角度を調整する押さえブロック７４とから構成される。
【００３７】
支持ブロック７２は、シャンク５０の上半分が露出する程度の深さとシャンク５０が幅方向で余裕を持って収容される幅を有する溝７６と、溝７６から溝の幅方向に所定距離離間した位置に溝７６の長手方向と平行方向に延在し溝７６に向かって低くなる斜面８０を有する土手部７８とを含んでいる。
【００３８】
押さえブロック７４は、支持ブロック７２上で露出したシャンク５０の第１の面５０ａに接触してシャンク５０を固定する押さえ面８２ａを有する固定部８２と、シャンク５０の第１の面５０ａと直交する第１側面５０ｃ又は第２側面５０ｄと係合する段差部８４と、支持ブロック７２の土手部７８に形成された傾斜面８０とスライド係合する面取り部８６と、面取り部８６が溝７６に沿って延在する方向に段差部８４の両端から張り出した第１のアーム部８８と第２のアーム部９０とを含んでいる。
【００３９】
押さえブロック７４の第１のアーム部８８は、支持ブロック７２と押さえブロック７４でシャンク５０を挟持して固定した状態で、ねじ６８を回転軸にして揺動させたバイト工具６０の側面６０ｃを突き当てることで、バイト工具６０をシャンク５０に対して第１の所定角度に調整可能な第１突き当て面８９と、段差部８４と同一平面を形成する段差部９１とを有している。
【００４０】
第２のアーム部９０は、支持ブロック７２と押さえブロック７４でシャンク５０を挟持して固定した状態で、ねじ６８を回転軸にして揺動させたバイト工具６０の側面６０ｄを突き当てることで、バイト工具６０をシャンク５０に対して第２の所定角度に調整可能な第２突き当て面９１と、段差部８４と同一平面を形成する段差部９３とを有している。
【００４１】
バイトユニット２６のバイト工具６０のシャンク５０に対する取付角度を調整するには、バイトユニット２６のシャンク５０を支持ブロック７２の溝７６中に挿入する。次いで、押さえブロック７４を、押さえブロック７４の面取り部８６を支持ブロック７２の斜面８０にスライドさせて装着すると、図７に示すように、押さえブロック７４の段差部８４によって溝７６中に挿入されたシャンク５０が溝７６の側面７６ａに突き当てられるとともに、押さえブロック７４の固定部８２の押さえ面８２ａがシャンク５０の第１の面（上面）５０ａに接触することによりシャンク５０は溝７６中で固定される。尚、図７において、理解を助けるためにバイト工具６０とシャンク５０は取付面５２部分で縦断した状態で示されている。
【００４２】
図６に示すように、支持ブロック７２と押さえブロック７４でシャンク５０を挟持して固定した状態で、ねじ６８を緩めてねじ６８を回転軸にして揺動させたバイト工具６０の側面６０ｃを第１のアーム部８８の第１突き当て面８９に突き当てることで、バイト工具６０をシャンク５０に対して第１の所定角度（例えば１度）に調整し、この状態でねじ６８を締め付ける。
【００４３】
支持ブロック７２と押さえブロック７４でシャンク５０を挟持して固定した状態で、ねじ６８を締め付けるので、ねじ締結時に動き易い回動方向へのシャンク５０の揺動が確実に抑えられ、ねじ締め付け作業時にシャンク５０の角で手を切ったりする危険を取り除くことができる。
【００４４】
押さえブロック７４の第２のアーム部９０による取付角度の調整時には、バイトユニット２６のバイト工具６０を図５に示す状態と反対方向にしてシャンク５０を支持ブロック７２の溝７６中に挿入する。
【００４５】
そして、押さえブロック７４を支持ブロック７２上に装着して、シャンク５０を押さえ面８２ａと段差部８４で押さえて固定した後、ねじ６８を回転軸にして揺動させたバイト工具６０の側面６２ｄを第２突き当て面９１に突き当てることで、バイト工具６０をシャンク５０に対して第２の所定角度（例えば−１度）に調整し、この状態でねじ６８を締め付ける。
【符号の説明】
【００４６】
２    バイト切削装置
２５    バイトホイール
２６    バイトユニット
５０    シャンク
５２    取付面
６０    バイト工具
６２    バイト工具本体
６４    切刃（チップ）
７０    取付角度調整治具
７２    支持ブロック
７４    押さえブロック
７６    溝
８２    固定部
８２ａ    押さえ面
８４，９１，９３    段差部
８８    第１のアーム部
８９    第１突き当て面
９０    第２のアーム部
９１    第２突き当て面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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