(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルの先端部に配置される絶縁部材であって、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に沿った互いに逆向きの第１の面及び第２の面を有する絶縁部材と、
前記同軸ケーブルのシグナル導体に電気的に接続され、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に配置されるシグナル端子と、
前記同軸ケーブルのグランド導体に電気的に接続され、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に前記シグナル端子と並んで配置されるグランド端子であって、前記グランド端子の先端部が前記絶縁部材の第２の面側に折れ曲がり、前記絶縁部材の第２の面から突出するグランド端子と、
前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置される補助グランド導体であって、前記補助グランド導体の先端部に前記絶縁部材の側に折れ曲がった弾性変形片を有する補助グランド導体と、
を備え、
前記補助グランド導体が前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置されるとき、前記弾性変形片が弾性変形した状態で、前記絶縁部材の第２の面から突出する前記グランド端子の先端部と接触し、
前記絶縁部材の第２の面は、前記補助グランド導体と接触する主面と、前記主面から窪んだ底面と、を有し、
前記グランド端子の先端部は、前記主面を超えないように前記底面から突出する、
ことを特徴とするケーブルアッセンブリ。
【請求項２】
同軸ケーブルの先端部が挿入される挿入穴が形成される筐体と、
前記同軸ケーブルの先端部に配置される絶縁部材であって、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に沿った互いに逆向きの第１の面及び第２の面を有する絶縁部材と、
前記同軸ケーブルのシグナル導体に電気的に接続され、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に配置されるシグナル端子と、
前記同軸ケーブルのグランド導体に電気的に接続され、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に前記シグナル端子と並んで配置されるグランド端子であって、前記グランド端子の先端部が前記絶縁部材の第２の面側に折れ曲がり、前記絶縁部材の第２の面から突出するグランド端子と、
前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置される補助グランド導体であって、前記補助グランド導体の先端部に前記絶縁部材の側に折れ曲がった弾性変形片を有する補助グランド導体と、
を備え、
前記補助グランド導体が前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置されるとき、前記弾性変形片が弾性変形した状態で、前記絶縁部材の第２の面から突出する前記グランド端子の先端部と接触し、
前記絶縁部材の第２の面は、前記補助グランド導体と接触する主面と、前記主面から窪んだ底面と、を有し、
前記グランド端子の先端部は、前記主面を超えないように前記底面から突出する、
ことを特徴とするコネクタ。
【請求項３】
前記絶縁部材には、前記グランド端子の先端部が挿入される挿入穴が形成され、
前記グランド端子の先端部は、前記挿入穴を通って前記第２の面から突出する、
請求項２に記載のコネクタ。
【請求項４】
前記筐体は、前記挿入穴の内側に凸部を有し、
前記凸部と前記絶縁部材との間に、前記補助グランド導体の先端部よりも基端側が位置する、
請求項２又は３に記載のコネクタ。
【請求項５】
前記補助グランド導体の先端部は、前記弾性変形片とは逆側に折れ曲がる抜け止め片をさらに有する、
請求項４に記載のコネクタ。
【請求項６】
前記補助グランド導体は、先端部よりも基端側に、前記同軸ケーブルのグランド導体と接触するアームをさらに有する、
請求項２ないし５の何れかに記載のコネクタ。
【請求項７】
請求項１に記載のケーブルアッセンブリを備えることを特徴とするマザーボード。
【請求項８】
請求項２ないし６の何れかに記載のコネクタを備えることを特徴とするマザーボード。
【請求項９】
請求項１に記載のケーブルアッセンブリを備えることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項１０】
請求項２ないし６の何れかに記載のコネクタを備えることを特徴とする半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケーブルアッセンブリ、コネクタ及び半導体試験装置に関し、特には、信号伝送特性の向上を実現する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、同軸ケーブルが差し込まれ、同軸ケーブルと電子機器とを電気的に接続するコネクタが知られている。こうした同軸ケーブルでは、グランド導体がシグナル導体を囲む同軸構造が採用されており、グランド導体が外部からの電磁波を遮断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２２６７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、同軸ケーブルの先端部には、シグナル導体及びグランド導体のそれぞれに接続され、相手方端子との接触に供されるシグナル端子とグランド端子とが設けられる。こうした先端部においても、グランド端子がシグナル端子を囲む同軸構造が採用されることが好ましい。
【０００５】
しかしながら、端子密度向上の要請により、グランド端子がシグナル端子を囲む同軸構造の採用が困難な場合があり、そのために信号伝送特性が劣化するおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、端子密度の向上を図りつつも、信号伝送特性の劣化を抑制することが可能なケーブルアッセンブリ、コネクタ及び半導体試験装置を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明のケーブルアッセンブリは、同軸ケーブルと、前記同軸ケーブルの先端部に配置される絶縁部材と、前記同軸ケーブルのシグナル導体に電気的に接続されるシグナル端子と、前記同軸ケーブルのグランド導体に電気的に接続されるグランド端子と、補助グランド導体と、を備える。前記絶縁部材は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に沿った互いに逆向きの第１の面及び第２の面を有する。前記シグナル端子は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に配置される。前記グランド端子は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に前記シグナル端子と並んで配置され、前記グランド端子の先端部は、前記絶縁部材の第２の面側に折れ曲がり、前記絶縁部材の第２の面から突出する。前記補助グランド導体は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置され、前記補助グランド導体の先端部に前記絶縁部材の側に折れ曲がった弾性変形片を有する。前記補助グランド導体が前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置されるとき、前記弾性変形片が弾性変形した状態で、前記絶縁部材の第２の面から突出する前記グランド端子の先端部と接触する。
【０００８】
また、本発明のコネクタは、同軸ケーブルの先端部が挿入される挿入穴が形成される筐体と、前記同軸ケーブルの先端部に配置される絶縁部材と、前記同軸ケーブルのシグナル導体に電気的に接続されるシグナル端子と、前記同軸ケーブルのグランド導体に電気的に接続されるグランド端子と、補助グランド導体と、を備える。前記絶縁部材は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に沿った互いに逆向きの第１の面及び第２の面を有する。前記シグナル端子は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に配置される。前記グランド端子は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第１の面に前記シグナル端子と並んで配置され、前記グランド端子の先端部は、前記絶縁部材の第２の面側に折れ曲がり、前記絶縁部材の第２の面から突出する。前記補助グランド導体は、前記同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延び、前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置され、前記補助グランド導体の先端部に前記絶縁部材の側に折れ曲がった弾性変形片を有する。前記補助グランド導体が前記絶縁部材の第２の面と向かい合って配置されるとき、前記弾性変形片が弾性変形した状態で、前記絶縁部材の第２の面から突出する前記グランド端子の先端部と接触する。
【０００９】
また、本発明の半導体試験装置は、上記本発明のケーブルアッセンブリ又は上記本発明のコネクタを備える。また、本発明のマザーボードは、上記本発明のケーブルアッセンブリ又は上記本発明のコネクタを備える。
【００１０】
本発明によると、同軸ケーブルの先端部の挿入方向に延びるシグナル端子及びグランド端子が絶縁部材の第１の面で並ぶので、端子密度の向上を図ることが可能である。また、絶縁部材の第２の面に補助グランド導体が配置されるので、信号伝送特性の劣化を抑制することが可能である。特に、グランド端子と補助グランド導体とが接触して同電位となるので、信号伝送特性の劣化を抑制する効果が高められる。
【００１１】
また、本発明の一態様において、前記絶縁部材の第２の面は、前記補助グランド導体と接触する主面と、前記主面から窪んだ底面と、を有し、前記グランド端子の先端部は、前記主面を超えないように前記底面から突出する。これによると、グランド端子の先端部が補助グランド導体を傷つけることを抑制することが可能である。
【００１２】
また、本発明の一態様において、前記絶縁部材には、前記グランド端子の先端部が挿入される挿入穴が形成され、前記グランド端子の先端部は、前記挿入穴を通って前記第２の面から突出する。これによると、補助グランド導体の弾性変形片が接触するときのグランド端子の先端部の位置ずれを抑制することが可能である。
【００１３】
また、本発明の一態様において、前記筐体は、前記挿入穴の内側に凸部を有し、前記凸部と前記絶縁部材との間に、前記補助グランド導体の先端部よりも基端側が位置する。これによると、補助グランド導体の弾性変形する範囲を凸部よりも先端側の部分に限定して、弾性復帰力のばらつきを抑制することが可能である。
【００１４】
また、本発明の一態様において、前記補助グランド導体の先端部は、前記弾性変形片とは逆側に折れ曲がる抜け止め片をさらに有する。これによると、抜け止め片が筐体の凸部に係ることで、補助グランド導体の抜けを抑制することが可能である。
【００１５】
また、本発明の一態様において、前記補助グランド導体は、先端部よりも基端側に、前記同軸ケーブルのグランド導体と接触するアームをさらに有する。これによると、補助グランド導体の接点が増加することで、補助グランド導体の電位の更なる安定化を図ることが可能である。特に、補助グランド導体の先端側と基端側とに接点が設けられることで、スタブのような枝分かれ部分を低減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る半導体試験装置を概略的に表す図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係るコネクタの斜視図である。
【図２Ｂ】上記コネクタの分解斜視図である。
【図３】上記コネクタの斜視図である。
【図４】筐体の断面図である。
【図５Ａ】同軸ケーブルの先端部の斜視図である。
【図５Ｂ】同軸ケーブルの先端部の分解斜視図である。
【図５Ｃ】同軸ケーブルの先端部の斜視図である。
【図５Ｄ】図７Ｃの要部拡大図である。
【図６Ａ】補助グランド導体の平面図である。
【図６Ｂ】補助グランド導体の側面図である。
【図７Ａ】筐体に補助グランド導体が挿入された状態を表す断面図である。
【図７Ｂ】図５Ａの要部拡大図である。
【図８Ａ】筐体に同軸ケーブルの先端部及び補助グランド導体が挿入された状態を表す断面図である。
【図８Ｂ】図６Ａの要部拡大図である。
【図９Ａ】本発明の一実施形態に係るケーブルアッセンブリの斜視図である。
【図９Ｂ】図９Ａの要部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明のケーブルアッセンブリ、コネクタ及び半導体試験装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、半導体試験装置１００を概略的に表す図である。半導体試験装置１００は、テストヘッド１０５と、テストヘッド１０５上に配置されるマザーボード１０４と、マザーボード１０４上に配置されるパフォーマンスボード１０３と、パフォーマンスボード１０３上に配置されるデバイスソケット１０２と、を備えている。
【００１９】
試験対象となる半導体１０１は、デバイスソケット１０２に装着される。パフォーマンスボード１０３の下面には、複数のコネクタ１１３が設けられている。各コネクタ１１３は、パフォーマンスボード１０３及びデバイスソケット１０２を介して、半導体１０１に電気的に接続される。
【００２０】
マザーボード１０４の上面には、複数のコネクタ１１４が設けられており、各コネクタ１１４には、マザーボード１０４に収容される同軸ケーブル５０の上端が挿入されている。マザーボード１０４の下面には、複数のコネクタ１０が設けられており、各コネクタ１０には、マザーボード１０４に収容される同軸ケーブル５０の下端が挿入されている。
【００２１】
テストヘッド１０５の上面には、コネクタ１０と嵌合する複数のコネクタ８０が設けられている。各コネクタ８０は、テストヘッド１０５の回路基板の端部に取り付けられ、試験モジュール１０６に接続されている。各試験モジュール１０６は、試験装置本体１０７からの指示に応じて試験信号を発生し、半導体１０１に出力する。
【００２２】
図２Ａ、図２Ｂ及び図３は、コネクタ１０の斜視図である。これらの図では、一部の挿入孔２０ａ及び同軸ケーブル５０のみが示されている。図４は、筐体２の断面図である。図５Ａ〜図５Ｄは、同軸ケーブル５０の先端部の斜視図である。図６Ａ及び図６Ｂは、補助グランド導体４の平面図及び側面図である。図７Ａ及び図７Ｂは、補助グランド導体４が挿入された筐体２を表す断面図である。図８Ａ及び図８Ｂは、同軸ケーブル５０の先端部及び補助グランド導体４が挿入された筐体２を表す断面図である。図９Ａ及び図９Ｂは、ケーブルアッセンブリ１の斜視図である。
【００２３】
これらの図では、同軸ケーブル５０の挿入方向を前方向とし、その反対方向を後方向とし、同軸ケーブル５０の先端部に対して補助グランド導体４が配置される方向を上方向または下方向とする。
【００２４】
図２Ａ及び図２Ｂに示されるように、コネクタ１０は、概略箱状の雄型コネクタとして構成されており、雌型コネクタである相手方のコネクタ８０に挿入される。コネクタ１０には、複数の同軸ケーブル５０が取り付けられる。また、相手方のコネクタ８０は、回路基板９０の端部に取り付けられる。
【００２５】
図３及び図４に示されるように、コネクタ１０は、複数の挿入孔２０ａが形成された概略箱状の筐体２と、挿入孔２０ａに挿入される同軸ケーブル５０の先端部に配置されるグランド端子５４、シグナル端子５６及び支持絶縁部５８（図５Ａ〜図５Ｄを参照）と、挿入孔２０ａに挿入される補助グランド導体４と、を有している。
【００２６】
筐体２は、前後方向に貫通する複数の挿入穴２０ａが形成された概略箱状の本体部２０と、本体部２０の後面の周縁から後方向に延び、本体部２０の後面を囲む枠状の延長部２１と、延長部２１の端部から上下方向に広がるフランジ部２３と、を有している。挿入孔２０ａの内側には、上下方向の各側に位置するストッパ２０１，２０３と、前方向の端部に位置する凸部２０５と、前後方向に延びる溝部２０７と、その途中に位置するストッパ２０９と、が設けられている。
【００２７】
図５Ａ〜図５Ｄに示されるように、同軸ケーブル５０において、ケーブル部５２の先端部には、グランド端子５４と、シグナル端子５６と、支持絶縁部５８と、が取り付けられている。
【００２８】
ケーブル部５２は、シグナル導体５２ａと、シグナル導体５２ａを囲む筒状のグランド導体５２ｂと、シグナル導体５２ａとグランド導体５２ｂの間に介在する誘電体部５２ｃと、グランド導体５２ｂを覆う外皮部５２ｄと、を有している。ケーブル部５２の先端部では、前方向に向かうに従ってグランド導体５２ｂ、誘電体部５２ｃ及びシグナル導体５２ａがこの順に露出している。
【００２９】
支持絶縁部５８は、絶縁性の樹脂材料からなり、前後方向に延びて上面及び下面を有する概略板状に成型され、ケーブル部５２の誘電体部５２ｃに取り付けられる。支持絶縁部５８の後部には、周面状に窪んだ谷部５８１と、上方向に突出する一対の挟持部５８３と、が設けられている。ケーブル部５２の誘電体部５２ｃは谷部５８１に接着され、ケーブル部５２のシグナル導体５２ａは一対の挟持部５８３に挟まれる。支持絶縁部５８の前方向の端部には、上下方向に貫通する２つの挿入穴５８ａ，５８ｂが左右方向に並んで形成されている。
【００３０】
支持絶縁部５８の前方向の端部のうち下面の右半分には、凹部５８ｃが形成されている。すなわち、支持絶縁部５８の下面は、主面５８８と、主面５８８から窪んだ凹部５８ｃの底面５８９と、を含んでいる。凹部５８ｃは、上下方向に貫通する挿入穴５８ｂと連続しており、底面５８９に挿入穴５８ｂの開口が形成されている。凹部５８ｃは、下方向のみならず、前方向に向けても開放されている。
【００３１】
シグナル端子５６は、導電性の金属材料からなり、前後方向に延びる概略板状に成形され、支持絶縁部５８の上面に配置される。シグナル端子５６は、ケーブル部５２のシグナル導体５２ａに半田付けされる後部５６ｂと、後部５６ｂに対して左方向にずれた前部５６ａと、を有している。シグナル端子５６の前方向の端部５６９は、下方に向けて折れ曲がっており、支持絶縁部５８の挿入穴５８ａに挿入される。なお、シグナル端子５６と支持絶縁部５８とは、オーバーモールド工法によって一体的に成形してもよいし、別々に成形してから組み付けてもよい。
【００３２】
グランド端子５４は、導電性の金属材料からなり、支持絶縁部５８に取り付けられると共に、ケーブル部５２のグランド導体５２ｂに半田付けされる。グランド端子５４は、軸心が前後方向を向いた半筒状部５４ｂと、半筒状部５４ｂの右側部から前方向に延びる延伸部５４ａと、を有している。半筒状部５４ｂには、抜け止め用の切り起こし片５４ｃが設けられている。なお、図５Ａは、半筒状部５４ｂが半八角筒状に形成された例を表し、図５Ｂは、半筒状部５４ｂが半円筒状に形成された例を表している。
【００３３】
半筒状部５４ｂの内側には支持絶縁部５８が嵌め込まれ、半筒状部５４ｂと支持絶縁部５８とで筒状を為す。半筒状部５４ｂと支持絶縁部５８とで形成される空間の内側には、ケーブル部５２の先端部が配置される。ケーブル部５２のグランド導体５２ｂは、半筒状部５４ｂに半田付けされる。半筒状部５４ｂは、ケーブル部５２のシグナル導体５２ａ及びシグナル端子５６の後部５６ｂの周囲の少なくとも半周分を覆う。
【００３４】
延伸部５４ａは、前後方向に延びる概略板状に成形されており、一部が断面Ｌ字状に折り曲げられている。延伸部５４ａは、支持絶縁部５８の上面に、シグナル端子５６の前部５６ａと左右方向に並んで配置される。延伸部５４ａの前方向の端部５４９は、下方に向けて折れ曲がっており、支持絶縁部５８の挿入穴５８ｂに挿入される。
【００３５】
延伸部５４ａの前方向の端部５４９は、挿入穴５８ｂを通って、支持絶縁部５８の底面５８９から主面５８８を超えない範囲で突出する。すなわち、この端部５４９は、底面５８９よりも下方向かつ主面５８８よりも上方向の範囲に収まるように底面５８９から下方向に向けて突出しており、主面５８８よりも下方向には突出していない。
【００３６】
図６Ａ及び図６Ｂに示されるように、補助グランド導体４は、導電性の金属材料からなり、打ち抜かれた金属板が折り曲げられることによって成型される。補助グランド導体４は、上記グランド端子５４と同程度の長さで前後方向に延びている。補助グランド導体４は、後部４１と、後部４１に対して上方向にずれた前部４２と、後部４１と前部４２の間に設けられた段差部４３と、を有している。
【００３７】
後部４１には、上方向に曲げ起こされた、下方向に弾性変形可能な概略Ｌ字状のアーム４６が設けられている。前部４２の前方向の端部には、上方向に折れ曲がった、下方向に弾性変形可能な弾性変形片４５と、下方向に折り返された掛爪部４４と、が左右方向に並んで設けられている。
【００３８】
以下、コネクタ１０の組み立てについて説明する。図７Ａ及び図７Ｂは、筐体２の挿入孔２０ａに補助グランド導体４が挿入された状態を表す断面図である。図８Ａ及び図８Ｂは、筐体２の挿入孔２０ａにさらに同軸ケーブル５０の先端部が挿入された状態を表す断面図である。
【００３９】
図７Ａ及び図７Ｂに示されるように、筐体２の挿入孔２０ａには、始めに補助グランド導体４が挿入される。補助グランド導体４は、筐体２の挿入孔２０ａのうち、上下方向の内側（図では下側）に配置される。補助グランド導体４は、後部４１がストッパ２０３よりも後方向に位置し、前部４２がストッパ２０３よりも前方向に位置するように配置される。補助グランド導体４の前方向への移動は、段差部４３がストッパ２０３に当接することによって規制される。
【００４０】
また、前部４３の前方向の端部に設けられた弾性変形片４５及び掛爪部４４は、凸部２０５よりも前方向に位置する。補助グランド導体４の後方向への移動は、掛爪部４４が凸部２０５に引っ掛かることによって規制される。また、弾性変形片４５は、支持絶縁部５８の主面５８８（図５Ｄを参照）が配置される位置Ｄよりも上下方向の外側（図では上側）に位置する。
【００４１】
なお、補助グランド導体４の挿入は、複数の補助グランド導体４が後方向の端部に設けられた共通化部４９によって繋がった状態で行われる（図６Ａを参照）。この共通化部４９は、補助グランド導体４の挿入後に折り取られる。なお、複数の補助グランド導体４の電位を共通化するために、共通化部４９が折り取られなくともよい。
【００４２】
図８Ａ及び図８Ｂに示されるように、筐体２の挿入孔２０ａには、補助グランド導体４が挿入された後に同軸ケーブル５０の先端部が挿入される。同軸ケーブル５０の先端部は、支持絶縁部５８が補助グランド導体４と向かい合うように、挿入孔２０ａの内側に配置される。同軸ケーブル５０の先端部の前方向への移動は、グランド端子５４の半筒状部５４ｂの前端がストッパ２０１に突き当たることによって規制される。
【００４３】
グランド端子５４の半筒状部５４ｂに設けられた切り起こし片５４ｃは、挿入孔２０ａの内側に形成された溝部２０７に挿入され、ストッパ２０９よりも前方向に配置される。同軸ケーブル５０の先端部の後方向への移動は、切り起こし片５４ｃがストッパ２０９に引っ掛かることによって規制される。
【００４４】
同軸ケーブル５０の先端部が筐体２の挿入孔２０ａに挿入されると、補助グランド導体４の後部４１に設けられたアーム４６が下方向に弾性変形して、接触圧を生じる。具体的には、アーム４６は、ケーブル部５２のグランド導体５２ｂ（図５Ｂ及び図５Ｃを参照）と接触する。これによって、ケーブル部５２のグランド導体５２ｂと、グランド端子５４と、補助グランド導体４とが電気的に接続され、互いに同電位となる。
【００４５】
また、同軸ケーブル５０の先端部が筐体２の挿入孔２０ａに挿入されるとき、支持絶縁部５８の主面５８８（図５Ｃ及び図５Ｄを参照）が補助グランド導体４の前部４２と摺接する。そして、同軸ケーブル５０の先端部が挿入孔２０ａの奥に到達するとき、補助グランド導体４の前部４２に設けられた弾性変形片４５は、支持絶縁部５８の凹部５８ｃの底面５８９や、この底面５８９から突出するグランド端子５４の延伸部５４ａの端部５４９によって押下げられて、下方向に弾性変形する。このように弾性変形片４５が弾性変形した状態で延伸部５４ａの端部５４９と接触することで、両者の間に接触圧が生じる。これによっても、ケーブル部５２のグランド導体５２ｂと、グランド端子５４と、補助グランド導体４とが電気的に接続され、互いに同電位となる。また、補助グランド導体４の前部４２のうち、弾性変形片４５よりも後方向の部分は、支持絶縁部５８と凸部２０５とによって挟まれる。
【００４６】
なお、筐体２の挿入孔２０ａに挿入された同軸ケーブル５０の先端部と補助グランド導体４とは、図９Ａ及び図９Ｂに示されるような態様で挿入孔２０ａの内側に配置されている。同軸ケーブル５０の先端部と補助グランド導体４とは、ケーブルアッセンブリ１を構成する。
【００４７】
以上に説明した本実施形態によると、補助グランド導体がグランド端子５４及びグランド導体５２ｂと同電位となるので、信号伝送特性の劣化を抑制する効果を高めることが可能である。特に、補助グランド導体４の弾性変形片４５とアーム４６とがグランド端子５４やグランド導体５２ｂに接触することで、電位の安定化を図ることが可能であると共に、スタブのような枝分かれ部分を低減することが可能である。
【００４８】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。
【００４９】
図５Ａ〜図９Ｂでは、筐体２の上側に設けられた挿入孔２０ａに挿入される同軸ケーブル５０の先端部及び補助グランド導体４を対象としたため、同軸ケーブル５０の先端部の下方向に補助グランド導体４が配置されていたが、筐体２の下側に設けられた挿入孔２０ａに挿入される場合には、これらの図と上下方向が逆転する。
【符号の説明】
【００５０】
１  ケーブルアッセンブリ、１０，８０  コネクタ、２  筐体、２０  本体部、２０ａ  挿入孔、２１  延長部、２３  フランジ部、２０１，２０３  ストッパ、２０５  凸部、２０７  溝部、２０９  ストッパ、４  補助グランド導体、４１  後部、４２  前部、４３  段差部、４４  掛爪部、４５  弾性変形片、４６  アーム、４９  共通化部、５０  同軸ケーブル、５２  ケーブル部、５２ａ  シグナル導体、５２ｂ  グランド導体、５２ｃ  誘電体部、５２ｄ  外皮部、５４  グランド端子、５４ａ  延伸部、５４ｂ  半筒状部、５４ｃ  切り起こし片、５４９  端部、５６  シグナル端子、５６ａ  前部、５６ｂ  後部、５６９  端部、５８  支持絶縁部、５８ａ，５８ｂ  挿入穴、５８ｃ  凹部、５８１  谷部、５８３  挟持部、５８８  主面、５８９  底面、８０  コネクタ、９０  回路基板、１００  半導体試験装置、１０１  半導体、１０２  デバイスソケット、１０３  パフォーマンスボード、１０４  マザーボード、１０５  テストヘッド、１０６  試験モジュール、１０７  試験装置本体、１１３，１１４  コネクタ。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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