(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する方法であって、
積層工具内に多層グリーン・シート・スタックから前記多層グリーン・シート・スタックの焼結前に取り外し可能で、再利用可能な少なくとも１つの厚さ補償フレームを取り付けるステップを含み、前記少なくとも１つの厚さ補償フレームは、前記多層グリーン・シート・スタック内の個々のグリーン・シートの非機能性領域の少なくとも１つの幅に対応する少なくとも１つの幅を有し、
前記少なくとも１つの厚さ補償フレームの全高は、前記多層グリーン・シート・スタックの枕状の形態における中央区域と周辺区域との高低差に等しく、
前記少なくとも１つの厚さ補償フレームは、前記多層グリーン・シート・スタックの下に取り付けられ、
前記少なくとも１つの厚さ補償フレームは、ポリマー有機材料、および金属材料の少なくとも１つを含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に多層セラミック・チップ・キャリアの製作に関し、より詳細には、多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向（単軸方向）荷重分布を提供する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック電子部品をパッケージングする産業では一般に、多層セラミック（ＭＬＣ）技術を利用して、集積回路およびセラミック・コンデンサなどの微小電子デバイス用のセラミック・チップ・キャリア内に３次元回路を生成する。セラミック・チップ・キャリア内の３次元回路は、セラミック／ポリマー複合シート上に導電性ペースト・パターンを塗布することによって作製される。このセラミック／ポリマー複合シートは、「グリーン・シート」としても知られており、隣接するシート上の導電性ペースト・パターン間で垂直接続を可能とするために、このシート中に形成されたいくつかのビア・ホールも含み得る。ビアが穿孔された後で、これらのビア・ホール内に、かつ、グリーン・シートの表面に沿って導電性ペーストを塗布することによって、これらのグリーン・シートをスクリーン処理しパターン化する。次いで、一般にはこれらのグリーン・シートを指定した順序で積み重ね、適切な温度および圧力下で合わせて積層して中実積層体を形成する。この積み重ねおよび積層化の工程の後で、グリーン積層体を、焼結してセラミック・チップ・キャリアを形成するのに適切な、または機能的な寸法にダイシングする。
【０００３】
図１に、複数の個々のグリーン・シート１０１を積み重ね、積層して、ＭＬＣグリーン積層体を製作するための既存の装置および工程を示す。各グリーン・シート１０３上での導電性ペースト１０２の使用量に差があり（すなわち、ペースト材料のパターン密度の差）、そのため、導電性ペーストの使用量が、周辺区域１０４で少なく、中央区域１０５で多くなり、その結果、多数のグリーン・シートを積み重ねた後で、枕状の形態１０６になる。
【０００４】
典型的な最新の高性能ＭＬＣグリーン積層体が含む、Ｘ−Ｙ寸法が１５０ｍｍ×１５０ｍｍよりも大きいグリーン・シートの数は、３０層よりも多い（さらには１００層にもなる）ことがある。さらに、典型的なセラミック・グリーン・シートは、約５０〜５００ミクロン（μｍ）の厚さを有し、グリーン・シート表面上に形成された高さ約１０〜５０μｍのスクリーン・オン型導電性ペースト・パターンを備える。次いで、積層工具の上部および下部の鋼製基部プレート１０８を使用して、図１に示す上記で説明した枕形ＭＬＣスタックを高圧縮力下（矢印１０７）で圧縮して多層グリーン・シートのスタック全体を合わせて結合し、それによって中実グリーン積層体が形成される。
【０００５】
遺憾ながら、グリーン・シート・スタックの枕状の形態のために、積層体上部のグリーン・シートの周辺区域に沿って形成された導電性ペースト・パターン２０１は、図２および図３に示すように、スミアリングに関係する損傷を受けやすい。特に、導電性ペースト・パターンの縁部のスミアリング損傷は、枕形縁部区域に存在する少なくとも２枚の隣接するグリーン・シート間での不均一な剪断力によるものである。この剪断力は、高圧縮積層工程中に導電性ペースト・パターンに加えられる、中央平坦区域に存在する（単なる）垂直圧縮応力成分とは異なるものである。グリーン・シート・スタック内で（したがって、グリーン・シート積層体内で）スミアによって導電性ペースト・パターンが損傷を受けると、焼結後のＭＬＣチップ・キャリアは、電気的な欠陥品であるとみなされる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、枕作用によるスミアリングおよび損傷に関係する上記で説明した難点がないように複合多層セラミック・チップ・キャリアを形成し得ることが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記で論じた先行技術の欠点および欠陥は、多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する装置によって克服されるか、あるいは軽減される。実施形態の例では、この装置は、複数のグリーン・シート層を下から支持するように構成された基部プレートを備える。この基部プレートは、その外側縁部に隣接して配設された少なくとも１つの弾性的に取り付けられた荷重支持バーを有する。この少なくとも１つの荷重支持バーは、その上面が基部プレートの上面の上を選択した距離だけ延びるように１つまたは複数の付勢部材上に取り付けられる。
【０００８】
別の実施形態では、多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する装置は、グリーン・シート・スタックを受けるセグメント化されたフレーム・アセンブリを備える。このセグメント化されたフレーム・アセンブリは、少なくとも１対の個々のグリーン・シート間に配置される１つまたは複数のクーポンを横方向に挿入するように構成される。このセグメント化されたフレーム・アセンブリおよび１つまたは複数のクーポンは、前記個々のグリーン・シート対を相互に平坦にし、それらの間の横方向移動を妨げるように構成される。
【０００９】
別の実施形態では、多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する方法は、多層グリーン・シート・スタック内の少なくとも１枚のグリーン・シートの少なくとも１つの非機能性周辺領域上に犠牲ペースト・パターンを形成するステップと、この多層グリーン・シート・スタックを圧縮して積層体を形成し、この積層体を焼結し、犠牲ペースト・パターンを含む積層体の周辺縁部を除去するステップとを含む。
【００１０】
別の実施形態では、多層セラミック・チップ・キャリアの層を積層する際に均一な軸方向荷重分布を提供する方法は、積層工具内に少なくとも１つの厚さ補償フレームを取り付けるステップを含む。この少なくとも１つの厚さ補償フレームは、多層グリーン・シート・スタック内の個々のグリーン・シートの非機能性周辺領域の少なくとも１つの幅に対応する少なくとも１つの幅を有する。この少なくとも１つの厚さ補償フレームの全高は、多層グリーン・シートの枕作用スタックによって生成されるギャップを表す距離にほぼ等しい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】複数の個々のグリーン・シートを積み重ね、積層して、多層セラミック（ＭＬＣ）グリーン積層体を製作するための既存の装置および工程の断面図である。
【図２】導電性ペーストの使用量が、グリーン・シートの周辺区域で少なく、中央区域で多くなる場合に、複数のグリーン・シートを圧縮し積層することによって生じる「枕作用」による損傷を示す図である。
【図３】導電性ペーストの使用量が、グリーン・シートの周辺区域で少なく、中央区域で多くなる場合に、複数のグリーン・シートを圧縮し積層することによって生じる「枕作用」による損傷を示す図である。
【図４】本発明の実施形態に従って、非機能性周辺区域に沿って犠牲ペースト・ストリップ材料を塗布したグリーン・シートのコーナ区域を示す図である。
【図５】本発明の実施形態に従って、非機能性周辺区域に沿って犠牲ペースト・ストリップ材料を塗布したグリーン・シートのコーナ区域を示す図である。
【図６】図４の実施形態の断面図である。
【図７】図５の実施形態の断面図である。
【図８】図４および図６の犠牲ペーストによる実施形態に従って、グリーン・シートを積み重ね、積層化して、多層グリーン積層体を形成する工程についての断面図である。
【図９】図５および図７の犠牲ペーストによる実施形態に従って、グリーン・シートを積み重ね、積層化して、多層グリーン積層体を形成する工程についての断面図である。
【図１０】スミアリング損傷がない状態で形成されたことを除き、図２に示すものと同じ導電ペースト・パターンを示す図である。
【図１１】スミアリング損傷がない状態で形成されたことを除き、図３に示すものと同じ導電ペースト・パターンを示す図である。
【図１２】本発明の代替実施形態に従って使用する厚さ補償フレームの上面図である。
【図１３】グリーン・シート上に取り付けた図１２の補償フレームおよびグリーン・シートの概略断面図である。
【図１４】グリーン・シート・スタックにはさんだ複数の厚さ補償フレームを示す図である。
【図１５】グリーン・シート・スタックにはさんだ複数の厚さ補償フレームを示す図である。
【図１６】グリーン・シート・スタックを支持する複数の厚さ補償フレームを示す図である。
【図１７】本発明の代替実施形態に従って構成した積層工具の基部プレートの斜視図である。
【図１８】本発明の代替実施形態に従って構成した積層工具の基部プレートの斜視図である。
【図１９】図１８の線Ａ−Ａ’に沿って切断した断面図である。
【図２０】図１８の線Ｂ−Ｂ’に沿って切断した断面図である。
【図２１】図２０に示す付勢部材の代替実施形態を示す図である。
【図２２】本発明の代替実施形態による複数のクーポンを横方向に送り込むシステムを備えたセグメント化されたフレーム・アセンブリを有する積層工具を示す図である。
【図２３】本発明の代替実施形態による複数のクーポンを横方向に送り込むシステムを備えたセグメント化されたフレーム・アセンブリを有する積層工具を示す図である。
【図２４】本発明の代替実施形態による複数のクーポンを横方向に送り込むシステムを備えたセグメント化されたフレーム・アセンブリを有する積層工具を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本明細書では、上記で説明した多層グリーン・シートの枕形スタックを防ぎ、それによって、グリーン・シートの周辺区域の沿った導電性ペースト・パターンのスミアリング損傷をなくす方法および構造が開示される。その結果、最新のＭＣＭ製品についての電気回路設計の柔軟性が高くなる。
【００１３】
実施形態の一例では、多層グリーン・シートを積み重ねる方法は、グリーン・シートの非機能性周辺区域に沿って１本の追加の補償ストリップ（あるいは、複数の犠牲補償ペースト・ライン）をスクリーン処理することを特徴とする。これらの犠牲補償パターンは、例えば、多層グリーン・シート・スタック内の各グリーン・シート上にスクリーン処理され、機能性導電パターンと同じペースト高さを有する。このように構成すると、これら追加の非機能性補償パターンにより、積み重ね工程および後続の高圧積層工程において「枕作用」がなくなり、それによって、縁部スミアリング損傷を受けずに、各機能性導電パターンを均一かつ平行に圧縮し得る。高圧積層工程の後で、周辺区域に沿った追加の犠牲補償パターンを含む積層体の非機能性区域はダイシングにより切断され、機能性積層体は焼結工程に送られる。
【００１４】
犠牲補償ペースト・パターンに使用するペースト材料は、例えば、銅、モリブデン、タングステン、ニッケル、パラジウム、白金、銀、および金の粉体を他のポリマー材料と混合して形成したペーストを含めて、機能性導電ペースト・パターンに使用するものと同じにし得る。
【００１５】
図４および図５に、本発明の一実施形態に従って使用するのに適したグリーン・シートの例のコーナ区域を示す。図４では、１本の追加のペースト・ストリップ３０１を、グリーン・シート３０４の縁部に近い非機能性周辺区域に沿って塗布（スクリーン処理）する。グリーン・シート３０４は、機能性導電ライン３０３も含む。あるいは、図５は、グリーン・シート３０４の非機能性区域に沿って、複数のより細い個々のストリップ３０２を塗布することを特徴とする。
【００１６】
グリーン・シート３０４の非機能性区域に、１本の比較的広いペースト・ストリップ３０１を塗布するか（図４）、あるいは、複数のより細いストリップ３０２を塗布するか（図５）にかかわらず、（実施形態の例では）多層グリーン・スタック内の各グリーン・シート上での犠牲ストリップの高さは、機能性導電ライン３０３と同じペースト高さとする。このことを、それぞれ図４および図５の実施形態の断面図である図６および図７に具体的に示す。例えば、図６のグリーン・シート４０４の周辺部上に形成された広い犠牲ストリップ４０１は、機能性ストリップ４０３と同じ高さを有する。同様に、図７のグリーン・シート４０４の周辺部上に形成された細い犠牲ストリップ４０２も、機能性ストリップ４０３と同じ高さを有する。
【００１７】
図８および図９に、それぞれ図４／図６および図５／図７の犠牲ペーストによる実施形態に従って、グリーン・シートを積み重ね、積層化して、多層グリーン積層体５０２、５０５を形成する工程についての断面図を示す。いずれの場合でも、犠牲ペースト・ストリップ５０１、５０４には枕作用が現れないことに留意されたい。そのため、積層プレート５０３に圧縮力（矢印５０６）が加えると、この力は、機能性導電パターンすべてに均一に分布する。さらに、この圧縮応力は、各グリーン・シート層内のすべての機能性ライン・パターンに垂直に伝達され、剪断による損傷が生じないので、これらのライン・パターンはスミアリング損傷を受けない。このことを、図１０および図１１に示す。図１０および図１１には、スミアリング損傷がないことを除き、図２および図３に示すものと同じ導電ペースト・パターンを示す。これらのグリーン・シート層を均一に圧縮した後で、犠牲ペースト・パターンを有する周辺区域をダイシングにより切断し、その後の焼結工程によって、セラミック・チップ・キャリアの形成が完了する。
【００１８】
実施形態の別の例では、多層グリーン・シートを積み重ねる方法は、図１２に示す特定の幅、長さ、および厚さを有する（厚さ）補償フレーム７０１を使用することを特徴とする。さらに、補償フレーム７０１は、その各コーナのところに穴７０２を備える。穴７０２は、図１に示すものなどの積層工具の柱に補償フレーム７０１を取り付けるためのものである。この厚さ補償フレームに用いる材料は、グリーン・シートに用いるのと同じ材料（例えば、アルミナ系またはシリカ系のセラミック）、または他のポリマー有機材料（例えば、シリコーン・ゴム、マイラー、ポリエステル、テフロン（登録商標）、ポリイミド・フィルム）、さらには、金属材料（例えば、鋼、アルミニウム、銅など）とし得る。
【００１９】
グリーン・シート層に対して補償フレーム７０１をどのように配置するかに応じて、補償フレーム７０１の厚さは、積み重ねるグリーン・シートの厚さよりも薄いこともあり、または厚いこともあり、あるいは、等しいこともある。例えば、個々の補償フレームの厚さは、約２５μｍ〜約２０００μｍの範囲とし得る。これは、グリーン・シート上に形成される導電ペーストの高さの約１〜８０倍である。図１２の寸法ｘ’およびｙ’は、グリーン・シートの寸法ｘ’およびｙ’にほぼ等しく、寸法ｘおよびｙは、積層体の活動機能性区域の寸法に対応する。フレーム７０１の幅ｗは、グリーン・シートの非機能性区域に対応する。この場合も、この非機能性区域は、積層体の積み重ねおよび積層化が完了した後でダイシングにより切断する。
【００２０】
図１３は、図１２の補償フレーム８０１およびグリーン・シート８０２の断面を概略的に表現したものである。この断面図では、グリーン・シート８０２上の導電ペースト・パターン８０３の高さは、補償フレーム８０１の厚さ（高さ）にほぼ等しいことがわかる。それに加えて、補償フレーム８０１の厚さは、積み重ねるグリーン・シートの厚さよりも薄いこともあり、または厚いこともあり、あるいは、等しいこともある。とにかく、所与のグリーン・シート積層体で使用する各フレームの厚さおよび数は、得られる多層グリーン・シート・スタックにおいて「枕作用」がなくなるように選択され、計算され、かつ設計される。
【００２１】
一構成では、以下に示すように、均一な厚さの補償フレームを積層工具の基部のところに配置し、それによって各グリーン・シートを支持することができる。あるいは、図１４に示すように、グリーン・シート・スタック９０１の中に複数の補償フレーム９０２をはさむ。図には、導電ペースト・パターン９０３の断面も示す。この実施形態では、このようにはさんで使用するフレームに用いる材料は、グリーン・シートの材料と同じにすることもできるし、他のポリマー有機物またはシリコーン・ゴム金属材料とすることもできる。機能性グリーン・シートの間に補償フレームをはさむ順序は、枕作用をなくすことに関して最適な結果が得られるように位置決めされる。複数のはさんで使用するフレームを配置する順序の例では、例えば、１番目、５番目、１０番目、１５番目、２０番目、２５番目、．．．、Ｎ−５番目にフレームを配置し得る。ただし、Ｎは、所与のＭＬＣグリーン・シート積層体におけるグリーン・シートの総数である。より一般には、本願で用いる補償フレームをはさむ順序および補償フレームの特定の数は、各フレームの材料および厚さ、機能性グリーン・シートの総数、枕作用の度合い、および各グリーン・シート層上の導電ペーストの分布に依存し得る。
【００２２】
図１５に、図１４に示すような補償フレームをはさんだグリーン・シート・スタックが積層工具内にあるところも示す。複数の補償フレーム・シート１００１をはさんだグリーン・シート・スタックは、積層工具のブロック１００２と１００３の間に取り付けられるときに、枕作用スタックがなくなっている。この場合も、補償フレーム・シート１００１の幅は、グリーン・シート周辺部の非機能性領域の幅に対応する。グリーン・シート・スタックを高圧で押し付けた後で、焼結工程の前に、補償フレーム・シート１００１を有する周辺区域をダイシングにより切断する。
【００２３】
図１６に、先に論じたように積層工具の基部のところで使用する均一な厚さのフレームの代替実施形態を示す。補償フレームを、（グリーン・シート・スタック内で様々な場所にはさむ代わりに）この工具の基部のところで使用する場合、多層グリーン・シート・スタック１１０２の下に、均一な厚さのフレームまたは複数の補償フレーム１１０１を配置する。この場合、本願における補償フレーム１１０１の材料は、（グリーン・シートと同じ材料、または他のポリマー有機材料などで）使い捨てとすることもできるし、再利用可能なシリコーン・ゴム、および例えば鋼、銅、またはアルミニウム製の金属フレームとすることもできる。補償フレーム１１０１は、高圧積層操作の後で積層体から取り外し可能であり、（フレームのためにくぼみが形成された）非機能性周辺区域は、焼結前に単にダイシングにより切断する。
【００２４】
実施形態の別の例では、多層グリーン・シートを積み重ねる方法は、従来型積層工具を改変して枕作用をなくすことを特徴とする。図１７および図１８は、（例えば、ステンレス鋼製の）基部プレート１２０１の斜視図である。基部プレート１２０１は、その外側縁部に隣接して形成されたトレンチを有する。各トレンチには、弾性的に取り付けられた荷重支持バー１２０２が配設されている。これらの荷重支持バー１２０２は、グリーン・シートの非機能性周辺区域に対応する幾何形状を有する。図１８の詳細なコーナ部分でより具体的に示すように、荷重支持バー１２０２は、基部プレート１２０１の上面に対して相対的に高くなったところに置かれるように（無荷重状態で）付勢される。個々の付勢部材１２０３は、基部プレート１２０１のトレンチ１２０４内で、かつ、荷重支持バー１２０２の下に取り付けられる。これらの支持バーは、積層工具の基部プレート１２０１と同じ材料（例えば、ステンレス鋼）で作製し得る。
【００２５】
図１９および図２０は、それぞれ図１８の線Ａ−Ａ’および線Ｂ−Ｂ’に沿って切断した断面図である。図からわかるように、距離「ｘ」は、支持バー１３０２が基部プレートの上を延びる高さを表し、この高さは、（最初に図１で説明した）枕作用の高さとも等しい。この場合も、「ｗ」は、グリーン・シートの非機能性周辺区域の幅を表す。支持バー１３０２は概ね、Ｃ形であり、そのため、その両側面部１３０５ａ、１３０５ｂが、チャネル１３０４の対応する溝１３０６ａ、１３０６ｂで受けられる。図２０に具体的に示すように、各付勢部材１３０３は、チャネル１３０４の中央溝１３０７内に配設される。
【００２６】
付勢部材１３０３の機械的な特性は、多層グリーン積層体を積み重ねている間、かつ積み重ねた後で（ただし、圧縮する前に）、弾性的に取り付けられた支持バー１３０２の高さ「ｘ」が、荷重を受けていない工具とほぼ同じままに保たれ、そのため、枕作用がなくなるように選択される。さらに、これらの支持バーは、高圧積層中に、均一な軸方向荷重分布で、かつ剪断応力による損傷がない状態で、グリーン・シート上の周辺導体パターンを積層することができる機構を提供する。
【００２７】
図２０の実施形態の例では、付勢部材１３０３は、支持バー１３０２の最適な性能が得られるように選択された仕様およびばね定数（圧縮率）を有する金属製圧縮ばねである。ただし、付勢部材１３０３に関して、（例えば、図２１に示すような）シリコーン・ゴム・インサート、チューブ状の材料（例えば、銅）、または気泡材料を含めて、他の材料およびコンポーネントを用いることも企図されている。ただし、所望の付勢が得られる限り、材料の例はこれらに限定されるものではない。
【００２８】
最後に、実施形態の別の例では、多層グリーン・シートを積み重ねる方法は、枕作用をなくす新規な積層工具を構成することを特徴とする。図２２〜図２４に示すように、積層工具１４００は、複数のクーポン（シム）を横方向に送り込むシステムを有するセグメント化されたフレーム・アセンブリとして実施される。具体的には、積層工具１４００は、１組の下部フレーム・セグメント１４０２、下部フレーム・セグメント１４０２と係合する少なくとも１組の中央フレーム・セグメント１４０４、および中央フレーム・セグメント１４０４と係合する１組の上部フレーム・セグメント１４０６を備える。下部フレーム・セグメント１４０２は、その上部開口縁部１４０８を画定する陥凹部分を有する。
【００２９】
グリーン・シート・スタックの準備段階で、下部プレート１４１０は、下部フレーム・セグメント１４０２の組の下に配設され、まず、下部プレート１４１０は、それぞれ導電ペースト・トレース１４１３が上に形成された第１の複数のグリーン・シート１４１２ａを支持する。下部プレート１４１０は、その上に非粘着性フィルム（例えば、ポリエステル）を備えることがある。所与の数のグリーン・シート１４１２ａが、スタックの高さが上部開口縁部１４０８の高さとほぼ同じになるように下部プレート１４１０上に積み重ねられると、第１の複数のクーポン１４１４ａは、下部フレーム・セグメント１４２０間に横方向に挿入され、そのため、まず、下部フレーム・セグメント１４０２の上部開口縁部１４０８およびこの時点で一番上のグリーン・シートの周辺領域の上に置かれる。図２３に、クーポン１４１４ａが配置されたところの上面図を示す。
【００３０】
この時点で、少なくとも１組の中央フレーム・セグメント１４０４は、下部フレーム・セグメント１４０２の組の上に位置決めされる。さらに、この中央フレーム・セグメントの組は、未完成のグリーン・シート・スタック上に配置された第１の複数のクーポン１４１４ａの上面に接触する下部開口縁部１４１６を有するように構成されており、それによってこれらのクーポンの位置が固定される。その後、第２の複数のグリーン・シート１４１２ｂを、スタックの全高が中央フレーム・セグメント１４０４の上部開口縁部１４１８の高さに達するまで、第１の複数のクーポン１４１４ａおよびグリーン・シート１４１２ａ上に積み重ねる。クーポン１４１４ａの存在により、第１スタックの一番上のグリーン・シート１４１２ａが、第２スタックの一番下のグリーン・シート１４１２ｂに対して平らになるだけでなく、これらの間の横方向の動きが妨げられる。
【００３１】
次いで、第２の複数のクーポン１４１４ｂも、中央フレーム・セグメント１４０４間で横方向に挿入され、そのため、まず、中央フレーム・セグメント１４０４の上部開口縁部１４１８およびこの時点で一番上のグリーン・シートの周辺領域両方の上に置かれる。その後、上部フレーム・セグメント１４０６の組が配置されると、上部フレーム・セグメント１４０６の下部開口縁部１４２０と接触することによって、第２の複数のクーポン１４１４ｂの上面が固定される。最後に、第２の複数のクーポン１４１４ｂの上に積み重ねて第３の複数のグリーン・シート１４１２ｃを追加し、その後、（図示しない）任意選択の非粘着性フィルムおよび上部プレート１４２２を追加することによって、積層体スタックが完全に画定される。この時点で、（少なくとも１つの）中央フレーム・セグメントは、上部および下部のフレーム・セグメントに対して横方向に動くことができ、それによってクーポンの幅を変更し得るように構成されることに留意されたい。
【００３２】
横方向に送り込まれるクーポン１４１４ａ〜ｃの存在により、上部および下部のプレートが、単軸方向の力をグリーン・シート・スタックに、その圧縮中に伝達することができる。このスタックが下方向に圧縮されると、これらのフレーム・セグメントの開口縁部間に置かれたクーポン１４１４ａ〜ｃの部分は、図２４により具体的に示すように、グリーン・シートの周辺区域上に配設されたクーポンの残りの部分から剪断により切断される。先に示した実施形態と同様に、次いで、このスタックを焼結処理にかけ、その後、犠牲クーポンを含むスタックの切溝領域を除去する。
【００３３】
好ましい１つまたは複数の実施形態を参照して本発明を説明してきたが、本発明の範囲を逸脱することなく、様々な変更を加えることができ、これらの実施形態の要素の代わりに均等物を使用し得ることが当業者には理解されよう。さらに、本発明の本質的な範囲を逸脱することなく本発明の教示に特定の状況または材料を適合させるために多くの改変を加えることができる。したがって、本発明は、本発明を実施するために企図した最良の形態として開示した特定の実施形態に限定されず、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲に含まれるすべての実施形態を含むことが意図されている。
【符号の説明】
【００３４】
１０１  複数のグリーン・シート
１０２  導電性ペースト
１０３  グリーン・シート
１０４  周辺区域
１０５  中央区域
１０６  枕状の形態
１０７  圧縮力
１０８  基部プレート
２０１  導電ペースト・パターン
３０１  ペースト・ストリップ
３０２  ストリップ
３０３  機能性導電ライン
３０４  グリーン・シート
４０１  犠牲ストリップ
４０２  犠牲ストリップ
４０３  機能性ストリップ
４０４  グリーン・シート
５０１  犠牲ペースト・ストリップ
５０２  多層グリーン積層体
５０３  積層プレート
５０４  犠牲ペースト・ストリップ
５０５  多層グリーン積層体
５０６  圧縮力
７０１  補償フレーム
７０２  穴
８０１  補償フレーム
８０２  グリーン・シート
８０３  導電ペースト・パターン
９０１  グリーン・シート・スタック
９０２  補償フレーム
９０３  導電ペースト・パターン
１００１  補償フレーム・シート
１００２  積層ツールのブロック
１００３  積層ツールのブロック
１１０１  補償フレーム
１１０２  多層グリーン・シート・スタック
１２０１  基部プレート
１２０２  荷重支持バー
１２０３  付勢部材
１２０４  トレンチ
１３０２  支持バー
１３０３  付勢部材
１３０４  チャネル
１３０５ａ  側面部
１３０５ｂ  側面部
１３０６ａ  溝
１３０６ｂ  溝
１３０７  中央溝
１４００  積層工具
１４０２  下部フレーム・セグメント
１４０４  中央フレーム・セグメント
１４０６  上部フレーム・セグメント
１４０８  上部開口縁部
１４１０  下部プレート
１４１２ａ  グリーン・シート
１４１２ｂ  グリーン・シート
１４１２ｃ  グリーン・シート
１４１３  導電ペースト・トレース
１４１４ａ  クーポン
１４１４ｂ  クーポン
１４１６  下部開口縁部
１４１８  上部開口縁部
１４２０  下部開口縁部
１４２２  上部プレート
【図１】
0005710461.tif 000002
【図２】
0005710461.tif 000003
【図３】
0005710461.tif 000004
【図４】
0005710461.tif 000005
【図５】
0005710461.tif 000006
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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