(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化水素樹脂と、
上記炭化水素樹脂を溶解するための溶剤とを含み、
上記溶剤が、縮合多環式炭化水素および飽和脂肪族炭化水素を含むことを特徴とする接着剤組成物。
【請求項２】
上記縮合多環式炭化水素は、２つの単環が縮合されてなる炭化水素であり、
上記２つの単環が５員環及び６員環、又は２つの６員環であることを特徴とする請求項１に記載の接着剤組成物。
【請求項３】
上記溶剤の含有量は、上記炭化水素樹脂の重量を１００重量部としたとき、１００重量部以上、２０００重量部以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の接着剤組成物。
【請求項４】
上記炭化水素樹脂がシクロオレフィンポリマーであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の接着剤組成物。
【請求項５】
熱重合禁止剤と、
上記熱重合禁止剤を溶解し、上記溶剤とは異なる組成からなる添加溶剤とをさらに含むことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の接着剤組成物。
【請求項６】
上記熱重合禁止剤は、フェノール系の熱重合禁止剤であることを特徴とする請求項５に記載の接着剤組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は接着剤組成物に関するものであり、例えば、半導体ウエハ等の基板を加工する製造工程において用いられる接着剤組成物に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、デジタルＡＶ機器及びＩＣカード等の高機能化に伴い、搭載される半導体シリコンチップ（以下、チップ）を小型化及び薄型化することによって、パッケージ内にシリコンを高集積化する要求が高まっている。例えば、ＣＳＰ（chip size package）又はＭＣＰ（multi-chip package）に代表されるような複数のチップをワンパッケージ化する集積回路において、薄型化が求められている。パッケージ内のチップの高集積化を実現するためには、チップの厚さを２５〜１５０μｍの範囲にまで薄くする必要がある。
【０００３】
しかしながら、チップのベースになる半導体ウエハ（以下、ウエハ）は、研削することにより肉薄になるため、その強度は弱くなり、ウエハにクラック又は反りが生じ易くなる。また、薄板化することによって強度が弱くなったウエハを自動搬送することは困難であるため、人手によって搬送しなければならず、その取り扱いが煩雑であった。
【０００４】
そのため、研削するウエハにサポートプレートと呼ばれる、ガラス、硬質プラスチック等からなるプレートを貼り合わせることによって、ウエハの強度を保持し、クラックの発生およびウエハの反りを防止するウエハハンドリングシステムが開発されている。ウエハハンドリングシステムによりウエハの強度を維持することができるため、薄板化した半導体ウエハの搬送を自動化することができる。
【０００５】
ウエハハンドリングシステムにおいて、ウエハとサポートプレートとは粘着テープ、熱可塑性樹脂、接着剤等を用いて貼り合わせられる。そして、サポートプレートが貼り付けられたウエハを薄板化した後、ウエハをダイシングする前にサポートプレートを基板から剥離する。このウエハとサポートプレートとの貼り合わせに接着剤を用いた場合、接着剤を溶解してウエハをサポートプレートから剥離する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、接着剤組成物を構成する樹脂の種類によって、液状形態で保存した際に時間が経過するにつれ白濁化が生じるという問題がある。この問題は特に接着剤組成物を低温にて保管した場合に顕著に起こり得る。
【０００７】
そこで、製品安定性により優れた接着剤組成物の開発が求められている。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、製品安定性に優れた接着剤組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂と、上記炭化水素樹脂を溶解するための溶剤とを含み、上記溶剤が、縮合多環式炭化水素を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、製品安定性に優れた接着剤組成物を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る接着剤組成物は、炭化水素樹脂と、上記炭化水素樹脂を溶解するための溶剤とを含み、上記溶剤が、縮合多環式炭化水素を含む構成である。
【００１２】
本発明の接着剤組成物の用途は特に限定されないが、例えば、半導体ウエハ（以下、ウエハ）の製造工程に使用可能であり、中でも、薄化されたウエハの破損及び汚れを防ぐために、該ウエハを支持基板（以下、サポートプレート）に一時的に接着する用途において好適に用いることができる。
【００１３】
〔炭化水素樹脂〕
炭化水素樹脂は、炭化水素骨格を有し、単量体成分を重合してなる樹脂である。炭化水素樹脂としては、例えば、シクロオレフィンポリマー（以下、「樹脂Ａ」ともいう）、ならびにテルペン系樹脂、ロジン系樹脂及び石油系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂（以下、「樹脂Ｂ」ともいう）が挙げられる。
【００１４】
シクロオレフィンポリマーは、単量体成分であるシクロオレフィンモノマーを重合してなる樹脂である。シクロオレフィンモノマーとしては、例えば、ノルボルネン、ノルボルナジエン等の二環体、ジシクロペンタジエン、ジヒドロキシペンタジエン等の三環体、テトラシクロドデセン等の四環体、シクロペンタジエン三量体等の五環体、テトラシクロペンタジエン等の七環体、又はこれら多環体のアルキル（メチル、エチル、プロピル、ブチル等）置換体、アルケニル（ビニル等）置換体、アルキリデン（エチリデン等）置換体、アリール（フェニル、トリル、ナフチル等）置換体等が挙げられる。樹脂（Ａ）としては、これらシクロオレフィンモノマーのうち１種のみを重合させてなるものであってもよいし、２種以上を重合させてなるものであってもよい。
【００１５】
また、樹脂（Ａ）に含まれる単量体成分はシクロオレフィンモノマーに限定されるものではなく、当該シクロオレフィンモノマーと重合可能な他のモノマーを含有していてもよい。他のモノマーとしては、例えば、直鎖状又は分岐鎖状のアルケンモノマーが挙げられ、そのようなアルケンモノマーとしては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテン、イソブテン、及び１−ヘキセン等のα−オレフィンが挙げられる。なお、アルケンモノマーは１種のみ用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００１６】
樹脂（Ａ）の分子量は特に限定されないが、例えば、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー（ＧＰＣ）によるポリスチレン換算値として測定した重量平均分子量（Ｍｗ）が５０，０００〜２００，０００であり、より好ましくは５０，０００〜１５０，０００である。樹脂（Ａ）の重量平均分子量が上記範囲内であれば、成膜後にクラックが発生し難く、且つ特定の溶剤への溶解性を得ることができる。
【００１７】
また、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分は、その５モル％以上がシクロオレフィンモノマーであることが高耐熱性（低い熱分解、熱重量減少性）の点から好ましく、１０モル％以上がシクロオレフィンモノマーであることがより好ましく、２０モル％以上がさらに好ましい。上限は特に限定されないが、８０モル％以下であることが溶解性及び溶液での経時安定性の点から好ましく、７０モル％以下であることがさらに好ましい。他のモノマーとして、直鎖状又は分岐鎖状のアルケンモノマーを含有する場合、樹脂（Ａ）を構成する単量体成分全体に対して１０〜９０モル％であることが溶解性及び柔軟性の点から好ましく、２０〜８５モル％がさらに好ましく、３０〜８０モル％が特に好ましい。
【００１８】
単量体成分の重合方法及び重合条件は、特に限定されるものではなく、従来公知の方法を用いて行なえばよい。
【００１９】
樹脂（Ａ）として用いられ得る市販品としては、例えば、三井化学社製の「ＡＰＥＬ（商品名）」、ポリプラスチックス社製の「ＴＯＰＡＳ（商品名）」、日本ゼオン社製の「ＺＥＯＮＯＲ（商品名）」及び「ＺＥＯＮＥＸ（商品名）」、ならびにＪＳＲ社製の「ＡＲＴＯＮ（商品名）」が挙げられる。
【００２０】
樹脂（Ｂ）は、上述したようにテルペン系樹脂、ロジン系樹脂及び石油系樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種の樹脂である。テルペン系樹脂としては、例えば、テルペン樹脂、テルペンフェノール樹脂、変性テルペン樹脂、水添テルペン樹脂及び水添テルペンフェノール樹脂等が挙げられる。ロジン系樹脂としては、例えば、ロジン、ロジンエステル、水添ロジン、水添ロジンエステル、重合ロジン、重合ロジンエステル及び変性ロジン等が挙げられる。石油系樹脂としては、例えば、脂肪族又は芳香族石油樹脂、水添石油樹脂、変性石油樹脂、脂環族石油樹脂及びマロン・インデン石油樹脂等が挙げられる。これらの中でも、特に、水添テルペン樹脂及び水添テルペンフェノール樹脂が好ましい。
【００２１】
樹脂（Ｂ）の分子量は特に限定されないが、例えば、ＧＰＣによるポリスチレン換算値として測定した重量平均分子量（Ｍｗ）が３００〜１０，０００であり、より好ましくは５００〜５,０００である。樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が上記範囲内であれば、成膜後にクラックが発生し難く、且つ高い耐熱性（熱分解性・昇華性への耐性）が得られる。
【００２２】
なお、樹脂（Ａ）と樹脂（Ｂ）とを混合して使用してもよい。樹脂（Ａ）の含有量が炭化水素樹脂全体の４０重量部以上であることが好ましく、６０重量部以上であることがより好ましい。樹脂（Ａ）の含有量が炭化水素樹脂全体の４０重量部以上である場合には、柔軟性とともに高い耐熱性（熱分解性）が発揮できる。
【００２３】
〔溶剤〕
溶剤は、炭化水素樹脂を溶解する機能を有し、縮合多環式炭化水素を含むように構成されている。
【００２４】
縮合多環式炭化水素とは、２つ以上の単環がそれぞれの環の辺を互いに１つだけ供給してできる縮合環の炭化水素であり、本発明では２つの単環が縮合されてなる炭化水素を用いることが好ましい。
【００２５】
そのような炭化水素としては、５員環及び６員環の組み合わせ、又は２つの６員環の組み合わせが挙げられる。５員環及び６員環を組み合わせた炭化水素としては、例えば、インデン、ペンタレン、インダン、テトラヒドロインデン等が挙げられ、２つの６員環を組み合わせた炭化水素としては、例えば、ナフタレン、テトラヒドロナフタリン（テトラリン）及びデカヒドロナフタリン（デカリン）等が挙げられる。
【００２６】
また、溶剤に含まれる成分は上記縮合多環式炭化水素のみであってもよいし、例えば、飽和脂肪族炭化水素等の他の成分を含有していてもよい。この場合、縮合多環式炭化水素の含有量が炭化水素溶剤全体の４０重量部以上であることが好ましく、６０重量部以上であることがより好ましい。縮合多環式炭化水素の含有量が炭化水素溶剤全体の４０重量部以上である場合には、上記樹脂に対する高い溶解性が発揮できる。縮合単環式炭化水素と飽和脂肪族炭化水素との混合比が上記範囲内であれば、縮合単環式炭化水素の臭気を緩和させることができる。
【００２７】
飽和脂肪族炭化水素としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、メチルオクタン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン等の直鎖状の炭化水素、炭素数３から１５の分岐状の炭化水素、ｐ−メンタン、ｏ−メンタン、ｍ−メンタン、ジフェニルメンタン、１，４−テルピン、１，８−テルピン、ボルナン、ノルボルナン、ピナン、ツジャン、カラン、ロンギホレン等が挙げられる。
【００２８】
なお、本発明の接着剤組成物における溶剤の含有量としては、成膜する接着層の厚さに応じて適宜調整すればよいが、例えば、炭化水素樹脂の重量を１００重量部としたとき、１００重量部以上、２，０００重量部以下であることが好ましい。溶剤の含有量が上記範囲内であれば、粘度調整容易となる。
【００２９】
〔熱重合禁止剤〕
本発明において、接着剤組成物は熱重合禁止剤を含有する構成であってもよい。熱重合禁止剤は、熱によるラジカル重合反応を防止する機能を有する。具体的には、熱重合禁止剤はラジカルに対して高い反応性を示すため、モノマーよりも優先的に反応してモノマーの重合を禁止する。そのような熱重合禁止剤を含む接着剤組成物は、高温環境下（特に、２５０℃〜３５０℃）において重合反応が抑制される。
【００３０】
例えば半導体製造工程において、サポートプレートが接着されたウエハを２５０℃で１時間加熱する高温プロセスがある。このとき、高温により接着剤組成物の重合が起こると高温プロセス後にウエハからサポートプレートを剥離する剥離液への溶解性が低下し、ウエハからサポートプレートを良好に剥離することができない。しかし、熱重合禁止剤を含有している本発明の接着剤組成物では熱による酸化及びそれに伴う重合反応が抑制されるため、高温プロセスを経たとしてもサポートプレートを容易に剥離することができ、残渣の発生を抑えることができる。
【００３１】
熱重合禁止剤としては、熱によるラジカル重合反応を防止するのに有効であれば特に限定されるものではないが、フェノールを有する熱重合禁止剤が好ましい。これにより、大気下での高温処理後にも良好な溶解性が確保できる。そのような熱重合禁止剤としては、ヒンダードフェノール系の酸化防止剤を用いることが可能であり、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、メチレンブルー、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、モノベンジルエーテル、メチルヒドロキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン、ｎ−ブチルフェノール、フェノール、ヒドロキノンモノプロピルエーテル、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス（２−メチルフェノール）、４，４’−（１−メチルエチリデン）ビス（２，６−ジメチルフェノール）、４，４’−［１−〔４−（１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）フェニル〕エチリデン］ビスフェノール、４，４’，４”−エチリデントリス（２−メチルフェノール）、４，４’，４”−エチリデントリスフェノール、１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、３，９−ビス［２−（３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−プロピオニルオキシ）−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ（５，５）ウンデカン、トリエチレングリコール−ビス−３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオネート、ｎ−オクチル−３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート、ペンタエリスリルテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］（商品名ＩＲＧＡＮＯＸ１０１０、チバ・ジャパン社製）、トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルヒドロキシベンジル）イソシアヌレート、チオジエチレンビス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］が挙げられる。熱重合禁止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００３２】
熱重合禁止剤の含有量は、炭化水素樹脂の種類、ならびに接着剤組成物の用途及び使用環境に応じて適宜決定すればよいが、例えば、炭化水素樹脂を１００重量部としたとき、０．１重量部以上、１０重量部以下であることが好ましい。熱重合禁止剤の含有量が上記範囲内であれば、熱による重合を抑える効果が良好に発揮され、高温プロセス後において、接着剤組成物の剥離液に対する溶解性の低下をさらに抑えることができる。
【００３３】
また、本発明の接着剤組成物は、熱重合禁止剤を溶解し、上記炭化水素樹脂を溶解するための溶剤とは異なる組成からなる添加溶剤を含有する構成であってもよい。添加溶剤としては、特に限定されないが、接着剤組成物に含まれる成分を溶解する有機溶剤を用いることができる。
【００３４】
有機溶剤としては、例えば、接着剤組成物の各成分を溶解し、均一な溶液にすることができればよく、任意の１種又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３５】
有機溶剤の具体例としては、例えば、極性基として酸素原子、カルボニル基又はアセトキシ基等を有するテルペン溶剤が挙げられ、例えば、ゲラニオール、ネロール、リナロール、シトラール、シトロネロール、メントール、イソメントール、ネオメントール、α−テルピネオール、β−テルピネオール、γ−テルピネオール、テルピネン−１−オール、テルピネン−４−オール、ジヒドロターピニルアセテート、１，４−シネオール、１，８−シネオール、ボルネオール、カルボン、ヨノン、ツヨン、カンファーが挙げられる。また、γ−ブチロラクトン等のラクトン類；アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン（ＣＨ）、メチル−ｎ−ペンチルケトン、メチルイソペンチルケトン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール等の多価アルコール類；エチレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、又はジプロピレングリコールモノアセテート等のエステル結合を有する化合物、前記多価アルコール類又は前記エステル結合を有する化合物のモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテル等のモノアルキルエーテル又はモノフェニルエーテル等のエーテル結合を有する化合物等の多価アルコール類の誘導体（これらの中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）が好ましい）；ジオキサンのような環式エーテル類や、乳酸メチル、乳酸エチル（ＥＬ）、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類；アニソール、エチルベンジルエーテル、クレジルメチルエーテル、ジフェニルエーテル、ジベンジルエーテル、フェネトール、ブチルフェニルエーテル等の芳香族系有機溶剤等を挙げることができる。
【００３６】
添加溶剤の含有量は、熱重合禁止剤の種類等に応じて適宜決定すればよいが、例えば、熱重合禁止剤を１重量部としたとき、１重量部以上、５０重量部以下であることが好ましく、１〜３０重量部がさらに好ましく、１〜１５重量部が最も好ましい。熱重合禁止剤の含有量が上記範囲内であれば、熱重合禁止剤を十分に溶解することができる。
【００３７】
〔その他の成分〕
なお、接着剤組成物には、本発明における本質的な特性を損なわない範囲において、混和性のある他の物質をさらに含んでいてもよい。例えば、接着剤の性能を改良するための付加的樹脂、可塑剤、接着補助剤、安定剤、着色剤及び界面活性剤等、慣用されている各種添加剤をさらに用いることができる。
【００３８】
以下に実施例を示し、本発明の実施の形態についてさらに詳しく説明する。もちろん、本発明は以下の実施例に限定されるものではなく、細部については様々な態様が可能であることはいうまでもない。さらに、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、それぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。また、本明細書中に記載された文献の全てが参考として援用される。
【実施例】
【００３９】
〔接着剤組成物の作製〕
以下に示す表１，２の組成で接着剤組成物を作製した。
【００４０】
炭化水素樹脂としては、下記の化学式（Ｉ）に示す三井化学社製の「ＡＰＥＬ（商品名）８００８Ｔ  ＣＯＣ、Ｍｗ＝１００，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．１、ｍ：ｎ＝８０：２０（モル比）」（以下、ＣＯＣ１という）、「ＡＰＥＬ（商品名）８００９Ｔ  ＣＯＣ、Ｍｗ＝１２０，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．２、ｍ：ｎ＝７５：２５（モル比）」（以下、ＣＯＣ２という）及び「ＡＰＥＬ（商品名）６０１３Ｔ  ＣＯＣ、Ｍｗ＝８０，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝２．０、ｍ：ｎ＝５２：４８（モル比）」（以下、ＣＯＣ３という）を用いた。
【００４１】
【化１】
0005681502.tif 000002
【００４２】
熱重合禁止剤としては、Ｃｉｂａ社製の「ＩＲＧＡＮＯＸ（商品名）１０１０」を用いた。溶剤としてはナカライテスク社製のテトラヒドロナフタリン及びデカヒドロナフタリン、ヤスハラケミカル社製のｐ−メンタン、ならびにリモネンを用いた。また、添加溶剤としては、日本テルペン社製のジヒドロターピニルアセテートを用いた。
【００４３】
〔実施例１〜６〕
実施例１〜６では、以下の表１に示す炭化水素樹脂を溶剤に溶解させた後、熱重合禁止剤を添加溶剤に溶解したものを混合させ接着剤組成物を調整し、接着剤組成物の製品安定性を評価した。なお、表中、括弧内に示す数値の単位は「重量部」である。
【００４４】
【表１】
0005681502.tif 000003
【００４５】
（製品安定性の評価）
製品安定性の評価は、容器に各実施例において作製した接着剤組成物を貯留し、５℃で１ヶ月放置した後、炭化水素樹脂が析出することによって白濁化が生じるか否かを観察し、評価した。
【００４６】
評価の判断基準は、紫外分光光度計ＵＶ３６００（島津製作所）によって測定される全光線透過率によって算出した濁度による判断とし、濁度１０未満であれば「○」、濁度１０以上であれば「×」と評価した。その結果、実施例１〜６のすべてにおいて白濁化は確認されず、１ヶ月経過した後であっても製品安定性に優れていることがわかった。
【００４７】
〔比較例１〜３〕
比較例１〜３では、以下の表２に示す組成で、実施例１〜６と同様の方法で接着剤組成物を作製し、作製した接着剤組成物の製品安定性を評価した。
【００４８】
【表２】
0005681502.tif 000004
【００４９】
表２に示すように、比較例１では溶剤としてｐ−メンタンを使用し、比較例２では溶剤としてリモネンを使用した。また、比較例３では溶剤として添加溶剤と同じジヒドロターピニルアセテートを使用した。このように、縮合多環式炭化水素を含まない溶剤を用いた結果、１ヶ月後にはいずれも白濁化が観察された。
【００５０】
〔実施例７〜９〕
実施例７〜９では、実施例１〜６および比較例１〜３の接着剤組成物において使用した炭化水素樹脂とは異なる種類の炭化水素樹脂を使用した。具体的には、ノルボルネンとエチレンとをメタロセン触媒にて共重合したシクロオレフィンコポリマー（ポリプラスチックス社製「ＴＯＰＡＳ（商品名）８００７Ｘ１０」）を単独で使用した。
【００５１】
なお、上記シクロオレフィンコポリマーは、以下の化学式（ＩＩ）に示すエチレン及び化学式（ＩＩＩ）に示すノルボルネンの繰り返し単位を、ｘ：ｙ＝３５：６５で含むＣＯＣ  Ａ（Ｍｗ＝９５，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝１．９）、ｘ：ｙ＝２４：７６で含むＣＯＣ  Ｂ（Ｍｗ＝７０，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝１．６）、ｘ：ｙ＝２０：８０で含むＣＯＣ  Ｃ（Ｍｗ＝６０，０００、Ｍｗ／Ｍｎ＝１．５）の３種類を用意した。
【００５２】
【化２】
0005681502.tif 000005
【００５３】
【化３】
0005681502.tif 000006
【００５４】
また、添加溶剤としてはテトラヒドロナフタリン（ナカライテスク社製）を使用し、熱重合禁止剤及び添加溶剤には実施例１〜６と同じものを使用した。
【００５５】
実施例７〜９ではこれらの材料を以下の表３に示す組み合わせで接着剤組成物を作製し、作製した接着剤組成物に対して実施例１〜６と同様に剥離性及び製品安定性について評価した。なお、括弧内の数値の単位は「重量部」である。
【００５６】
【表３】
0005681502.tif 000007
【００５７】
製品安定性の評価は、実施例１〜６と同様に、容器に各実施例において作製した接着剤組成物を貯留し、５℃で１ヶ月放置した後、炭化水素樹脂が析出することによって白濁化が生じるか否かを観察して行なった。その結果、実施例７〜９において用いたＣＯＣ  Ａ、ＣＯＣ  Ｂ、ＣＯＣ  Ｃは元々白濁が少ないポリマーであるが、さらに透明性が増し、１ヶ月経過した後であっても製品安定性に優れていることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係る接着剤組成物は、例えば、微細化された半導体装置の製造工程おいてに好適に利用することができる。