(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッシュ値を有する複数のメッシュからなるマップデータを取得するマップデータ取得部と、
前記マップデータを表示するための表示画面を有する表示部と、
前記表示画面のピクセルサイズよりも大きい擬似ピクセルサイズを設定する設定部と、
前記表示画面上のピクセルを擬似ピクセルにグループ化するグループ化部と、
前記表示画面上における前記メッシュのメッシュサイズが、前記擬似ピクセルサイズのα倍（αは正の定数）よりも小さい場合に、各擬似ピクセル内のメッシュのメッシュ値の平均値を算出する平均値算出部と、
前記擬似ピクセル内の各ピクセルを、前記平均値に対応する表示色で表示することにより、前記表示画面上に前記マップデータを表示する表示処理部とを備え、
前記平均値算出部は、
各擬似ピクセル内のメッシュのメッシュ値を順番に読み込み、
前記読み込みの際に、Ｎ回目（Ｎは２以上の整数）のメッシュ値の読み込み以降は、各メッシュ値を読み込むごとに、１回目に読み込んだメッシュ値から、現在のｉ回目（ｉはＮ以上の整数）に読み込んだメッシュ値までの平均値を算出し、
ｉ回目の平均値とｉ−１回目の平均値との差分が閾値よりも小さいか否かを判断し、
前記差分がｉ回目までｍ回（ｍは２以上の整数）連続して前記閾値よりも小さい場合、ｉ回目の平均値を、前記表示画面上に表示するための前記平均値として採用する、
ことを特徴とするマスク製造用装置。
【請求項２】
ｉ回目の平均値とｉ−１回目の平均値との差分と比較するための前記閾値は、ｉ回目の平均値に依存する値であることを特徴とする請求項１に記載のマスク製造用装置。
【請求項３】
前記平均値算出部は、前記平均値を、各メッシュのメッシュ値と、各擬似ピクセル内に含まれる各メッシュの面積とに基づいて算出することを特徴とする請求項１に記載のマスク製造用装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子ビーム描画装置又はマスク検査装置等のマスク製造用装置に係り、例えば、マップデータを表示する表示部を備えるマスク製造用装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リソグラフィ技術は、半導体デバイスの微細化の進展を担う重要な技術である。近年、半導体デバイスに要求される回路線幅は、年々微細化されている。そのため、半導体製造プロセスのリソグラフィ工程では、高精度のマスクパターンを有するフォトマスクが必要とされている。
【０００３】
このようなフォトマスクは、例えば、電子ビーム描画技術（荷電粒子ビーム描画技術）により作製可能である。電子ビーム描画技術は、優れた解像性を有しており、高精度のマスクパターンを作製するのに適している。
【０００４】
図１４は、従来の可変成形型の電子ビーム描画装置３０１の構成を示す概略的な機器構成図である。
【０００５】
第１のアパーチャ３１３には、電子ビーム源３１１から照射された電子ビーム３１２を成形するための第１の開口３１４が設けられている。第１の開口３１４は、矩形の形状を有している。また、第２のアパーチャ３１５には、第１の開口３１４を通過した電子ビーム３１２を所望の矩形形状に成形するための第２の開口３１６が設けられている。第２の開口３１６は、可変成形開口と呼ばれる。
【０００６】
電子ビーム源３１１から照射された電子ビーム３１２は、第１の開口３１４を通過し、偏向器により偏向され、第２の開口３１６の一部を通過した後、ステージ３１８上に設置された試料３１７の描画領域に照射される。試料３１７は、例えば、フォトマスク作製用のマスクブランクスである。このように、電子ビーム３１２を第１の開口３１４と第２の開口３１６の両方を通過させて、任意の形状に成形する方式を、可変成形方式という（例えば、特許文献１、２を参照）。
【０００７】
以下、従来の電子ビーム描画装置３０１の問題点について説明する。
【０００８】
電子ビーム描画装置３０１の中には、照射量マップ等のマップデータを表示するための表示部（ビューワ）を備えるものが存在する。この場合、マップデータのデータ規模が大きくなると、マップデータの表示に時間がかかるという問題がある。
【０００９】
従来のマップデータは比較的データ規模が小さく（例えば数ＧＢ）、特にマップデータの表示の高速化を考える必要はなかった。しかしながら、近年、徐々に大規模なマップデータ（例えば数１００ＧＢ）が作成されており、今後もさらにデータ規模が増加すると予想される。
【００１０】
このような大規模なマップデータを取り扱う場合、マップデータ内の広い範囲を画面上に表示する際に、画面上の１ピクセル中に多数のメッシュが配置されるため、上述のように、マップデータの表示に時間がかかるという問題が生じる。かといって、高速化のために、１ピクセル中の全メッシュを読み込まずに、一部のメッシュのみを読み込む処理を採用すると、読み込んだメッシュ以外のメッシュのメッシュ情報が欠落し、表示が不正確となる場合があると予想される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−２３１４４６号公報
【特許文献２】特開２０１０−７３９０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、マップデータを高速かつ高精度に表示することが可能な荷電粒子ビーム描画装置又はマスク検査装置等のマスク製造用装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一態様であるマスク製造用装置は、メッシュ値を有する複数のメッシュからなるマップデータを取得するマップデータ取得部と、マップデータを表示するための表示画面を有する表示部と、表示画面のピクセルサイズよりも大きい擬似ピクセルサイズを設定する設定部と、表示画面上のピクセルを擬似ピクセルにグループ化するグループ化部と、表示画面上におけるメッシュのメッシュサイズが、擬似ピクセルサイズのα倍（αは正の定数）よりも小さい場合に、各擬似ピクセル内のメッシュのメッシュ値の平均値を算出する平均値算出部と、擬似ピクセル内の各ピクセルを、平均値に対応する表示色で表示することにより、表示画面上にマップデータを表示する表示処理部と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
なお、上述した平均値算出部は、平均値として、各擬似ピクセル内の一部のメッシュのメッシュ値の平均値を算出することが望ましい。
【００１５】
また、上述した平均値算出部は、各擬似ピクセル内のメッシュのメッシュ値を順番に読み込み、読み込みの際に、Ｎ回目（Ｎは２以上の整数）のメッシュ値の読み込み以降は、各メッシュ値を読み込むごとに、１回目に読み込んだメッシュ値から、現在のｉ回目（ｉはＮ以上の整数）に読み込んだメッシュ値までの平均値を算出し、ｉ回目の平均値とｉ−１回目の平均値との差分が閾値よりも小さいか否かを判断し、差分がｉ回目までｍ回（ｍは２以上の整数）連続して閾値よりも小さい場合、ｉ回目の平均値を、表示画面上に表示するための平均値として採用することが望ましい。
【００１６】
さらにまた、上述したｉ回目の平均値とｉ−１回目の平均値との差分と比較するための閾値は、ｉ回目の平均値に依存する値であることが望ましい。
【００１７】
さらに、上述した平均値算出部は、平均値を、各メッシュのメッシュ値と、各擬似ピクセル内に含まれる各メッシュの面積とに基づいて算出することが望ましい。
【００１８】
なお、上述したマスク製造用装置は、荷電粒子ビーム描画装置又はマスク検査装置に適用することが望ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、マップデータを高速かつ高精度に表示することが可能な荷電粒子ビーム描画装置又はマスク検査装置等のマスク製造用装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態の電子ビーム描画装置の構成を示す概略的な機器構成図である。
【図２】表示画面上に表示されるマップデータについて説明するための図である。
【図３】第１実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【図４】面積Ｗｎの算出方法について説明するための図である。
【図５】第２実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【図６】読み込みメッシュ群の選択方法の例を示した図である。
【図７】読み込みメッシュ群の選択方法の例を示した図である。
【図８】読み込みメッシュ群の選択方法の例を示した図である。
【図９】読み込みメッシュ群の選択方法の例を示した図である。
【図１０】第３実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【図１１】読み込み順序の設定方法の例を示した図である。
【図１２】第３実施形態の効果について説明するための図である。
【図１３】第４実施形態のマスク検査装置の構成を示す概略的な機器構成図である。
【図１４】従来の電子ビーム描画装置の構成を示す概略的な機器構成図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態として、マスク製造用装置の代表的な電子ビーム描画装置１０１の構成を示す概略的な機器構成図である。
【００２３】
図１の電子ビーム描画装置１０１は、可変成形型の電子ビーム描画装置である。図１の電子ビーム描画装置１０１は、本発明の荷電粒子ビーム描画装置の例である。図１の電子ビーム描画装置１０１は、描画部１１１と、制御部１１２とを備えている。
【００２４】
描画部１１１は、図１に示すように、試料１２１を設置するためのＸＹステージ１２２と、ＸＹステージ１２２が収容された描画室１２３と、描画室１２３の上部に設置された電子鏡筒１２４とを備えている。試料１２１の例としては、フォトマスク作製用のマスクブランクスが挙げられる。
【００２５】
また、電子鏡筒１２４は、電子銃１４１と、照明レンズ１４２と、第１のアパーチャ１４３と、投影レンズ１４４と、第１の偏向器１４５と、第２のアパーチャ１４６と、対物レンズ１４７と、第２の偏向器１４８とを備えている。
【００２６】
電子銃１４１から照射された電子ビーム１３１は、照明レンズ１４２を通過し、第１のアパーチャ１４３に照射される。第１のアパーチャ１４３に照射された電子ビーム１３１は、第１のアパーチャ１４３で成形された後、投影レンズ１４４を通過し、第１の偏向器１４５により偏向され、第２のアパーチャ１４６の所定位置に照射される。そして、第２のアパーチャ１４６に照射された電子ビーム１３１は、第２のアパーチャ１４６で所望の矩形形状に成形された後、対物レンズ１４７を通過し、第２の偏向器１４８により偏向され、ＸＹステージ１２２上に設置された試料１２１の描画領域に照射される。こうして、描画領域にパターンが描画される。
【００２７】
一方、制御部１１２は、図１に示すように、制御計算機２０１と、描画データ格納部２０２と、擬似ピクセル表示用データ格納部２０３と、表示部２０４と、偏向制御回路２１１と、ＤＡＣ（デジタル・アナログ変換）アンプ２１２とを備えている。描画データ格納部２０２と、擬似ピクセル表示用データ格納部２０３は、同じ記憶装置内に設けられていてもよいし、異なる記憶装置内に設けられていてもよい。これらの記憶装置の例としては、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）が挙げられる。
【００２８】
また、制御計算機２０１は、マップデータ取得部２２１と、設定部２２２と、グループ化部２２３と、平均値算出部２２４と、表示処理部２２５と、メモリ２２６とを備えている。符号２２１〜２２５のブロックは、プログラムによりソフトウェア的に実現されたものでもよいし、回路によりハードウェア的に実現されたものでもよい。また、これらのブロックは、ファームウェアで実現してもよいし、ソフトウェア、ハードウェア、ファームウェアのうちの任意の組合せにより実現してもよい。
【００２９】
図１の電子ビーム描画装置１０１は、照射量マップ等のマップデータを表示するための表示部２０４を備えている。マップデータは、ブロック２２１〜２２５により行われるマップデータ表示処理により、表示部２０４の表示画面上に表示される。
【００３０】
以下、ブロック２２１〜２２５により行われるマップデータ表示処理について、詳細に説明する。
【００３１】
図２は、表示部２０４の表示画面上に表示されるマップデータについて説明するための図である。
【００３２】
図２に示す領域ＲMは、マップの大きさを表す。また、図２に示す領域ＲCは、マップが表示されるキャンバスの大きさを表す。マップＲMのうち、キャンバスＲCの中の部分が、表示画面上に表示される。
【００３３】
また、図２に示す符号Ｍは、マップデータを構成する１メッシュを表す。マップデータは、このようなメッシュＭを複数有している。そして、各メッシュＭは、描画データから算出されたメッシュ値を有している。メッシュ値の例としては、電子ビーム照射量などが挙げられる。
【００３４】
また、図２に示す符号Ｐは、表示画面上の１ピクセルを表す。表示画面は、このようなピクセルＰを複数有している。図２では、図面作成の便宜上、キャンバスＲCが、６×５ピクセルで構成されているが、現実にはこれより多くのピクセルで構成されている。キャンバスＲCは例えば、５８０×５８０ピクセルで構成される。
【００３５】
図２では、各ピクセルＰが、複数のメッシュＭを含んでいることに留意されたい。このようなマップデータを表示する際、１ピクセルＰ中の全てのメッシュＭを読み込み、全てのメッシュＭを対応する表示色で塗りつぶすと、１ピクセルＰを何度も塗りつぶすことになるため、マップデータの表示に時間がかかるという問題が生じる。本実施形態では、この問題を、以下のようなマップデータ表示方法により解決する。
【００３６】
図３は、第１実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【００３７】
図３(ａ)において、ＬMは、各メッシュＭのメッシュサイズを表し、ＬPは、各ピクセルＰのピクセルサイズを表す。
【００３８】
本実施形態では、図３(ａ)に示すように、実際のピクセルＰよりも大きい擬似ピクセルＰ’を想定し、表示画面上のピクセルＰを擬似ピクセルＰ’にグループ化する。図３(ａ)には、２×２個のピクセルＰをグループ化して設定された１個の擬似ピクセルＰ’が示されている。
【００３９】
図３(ａ)において、ｋ×ＬPは、各擬似ピクセルの擬似ピクセルサイズを表す。擬似ピクセルサイズｋ×ＬPは、実際のピクセルサイズＬPよりも大きい値に設定される。よって、ｋは、２以上の整数である。本実施形態では、ｋの値は、２に設定されている。
【００４０】
なお、擬似ピクセルサイズは、横方向のサイズをｋX×ＬPに設定し、縦方向のサイズをｋY×ＬPに設定するというように、横方向のサイズと縦方向のサイズを、別々の値に設定しても構わない。ｋX、ｋYは、ｋX≧１、ｋY≧１、及びｋX≠ｋYを満たす整数である。
【００４１】
次に、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値の平均値Ａを算出する。平均値Ａは、次の式（１）で求められる。
Ａ ＝ (ΣP'Ｖｎ×Ｗｎ)／ΣP'Ｗｎ  ・・・（１）
【００４２】
式（１）において、Ｖｎは、各メッシュＭのメッシュ値を表す。また、Ｗｎは、各擬似ピクセルＰ’内に含まれる各メッシュＭの面積を表す。より正確には、Ｗｎは、この面積を、１メッシュの面積で割った値を表す。よって、ピクセルＰ’内に全体が含まれているメッシュＭでは、Ｗｎの値は１となり、ピクセルＰ’内に一部が含まれているメッシュＭでは、Ｗｎの値は１よりも小さい値となる。
【００４３】
なお、符号ｎは、メッシュ同士を区別するためのメッシュ番号を表す。また、ΣP'は、擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭについて和を取ることを意味する。
【００４４】
次に、本実施形態では、ある擬似ピクセルＰ’内の平均値がＡである場合、その擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で１回だけ塗りつぶす（図３(ｂ)参照）。こうして、表示画面上にマップデータが表示される。
【００４５】
なお、各ピクセルＰの表示色は、どのように設定しても構わない。例えば、平均値Ａに応じて、各ピクセルＰの階調値を変化させてもよいし、各ピクセルの輝度値を変化させてもよい。また、各ピクセルの表示色は、カラーでもモノクロでも構わない。
【００４６】
以上のように、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値の平均値Ａを算出し、該擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で１回だけ塗りつぶす。
【００４７】
これにより、本実施形態では、各ピクセルＰを何度も塗りつぶす場合に比べて、マップデータの表示を短時間で行うことができる。また、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内の全メッシュＭのメッシュ値を読み込み、これらのメッシュ値を平均値Ａに反映させているため、メッシュ情報をある程度保持した精度の高いマップデータを表示させることができる。
【００４８】
このように、本実施形態によれば、マップデータを高速かつ高精度に表示することが可能となる。
【００４９】
なお、擬似ピクセルサイズｋ×ＬPは、どのような値に設定してもよいが、ｋの値が大きいと、表示速度は速くなるが、マップの精度は低くなる。一方、ｋの値が小さいと、表示速度は遅くなるが、マップの精度は高くなる。そのため、ｋの値は、表示速度とマップ精度のバランスを考慮して設定することが望ましい。
【００５０】
（１）面積Ｗｎの算出方法
次に、図４を参照し、面積Ｗｎの算出方法について説明する。図４は、面積Ｗｎの算出方法について説明するための図である。
【００５１】
図４に示すＭｎは、擬似ピクセルＰ’内に一部が含まれているメッシュを表す。図４において、(ｘn，ｙn)は、メッシュＭｎの座標を表す。また、(ｘ，ｙ)は、擬似ピクセルＰ’の座標を表す。
【００５２】
メッシュＭｎが、擬似ピクセルＰ’内に含まれているか否かは、擬似ピクセルＰ’の座標(ｘ，ｙ)、擬似ピクセルサイズｋ×ＬP、メッシュＭｎの座標(ｘ，ｙ)、及びメッシュサイズＬMから算出可能である。また、擬似ピクセルＰ’内に含まれているメッシュＭｎの面積Ｗｎも、これらの値から算出可能である。よって、本実施形態では、平均値Ａを算出する際、これらの値を利用することで、面積Ｗｎを算出することができる。
【００５３】
（２）第１実施形態におけるマップデータ表示処理の手順
次に、再び図３を参照し、第１実施形態におけるマップデータ表示処理の手順について説明する。以下の説明中で登場するブロック２２１〜２２５に関しては、図１を参照されたい。
【００５４】
まず、マップデータ取得部２２１が、表示対象のマップデータを取得する。マップデータの例としては、描画データ格納部２０２内の描画データから作成された照射量マップ等が挙げられる。
【００５５】
次に、設定部２２２が、上述したｋの値を設定することで、擬似ピクセルサイズを設定する。設定部２２２は、擬似ピクセルサイズを、例えば、擬似ピクセル表示用データ格納部２０３から取得する。
【００５６】
次に、グループ化部２２３が、表示画面上のピクセルＰを、擬似ピクセルＰ’にグループ化する。グループ化部２２３は、例えば、ｋ＝２という設定に基づいて、ピクセルＰを２×２個ずつグループ化する。
【００５７】
なお、設定部２２２、グループ化部２２３による処理は、マップデータ取得部２２１による処理よりも先に行っても構わない。
【００５８】
次に、平均値算出部２２４が、上記表示画面上におけるメッシュサイズと、擬似ピクセルサイズとを比較する。そして、平均値算出部２２４は、メッシュサイズが、擬似ピクセルサイズのα倍よりも小さい場合（即ち、ＬM＜α×ｋ×ＬPの場合）に、高速化表示フローに入る。
【００５９】
なお、αは、上記の比較処理の閾値を決める正の定数であり、本実施形態では、α＝１である。αの値は、例えば、０＜α≦１の範囲内の値に設定される。例えば、α＝１は、擬似ピクセルＰ’内に１メッシュ以上含まれるか否かの条件に相当し、α＝０．５は、擬似ピクセルＰ’内に４メッシュ以上含まれるか否かの条件に相当する。αの値が小さくなるほど、高速化表示フローに入る条件が厳しくなる。
【００６０】
高速化表示フローでは、平均値算出部２２４がまず、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭを読み込む。次に、平均値算出部２２４は、これらのメッシュＭのメッシュ値Ｖｎ及び面積Ｗｎを式（１）に代入し、平均値Ａを算出する。
【００６１】
そして、表示処理部２２５は、擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。こうして、表示画面上にマップデータが表示される。
【００６２】
以上のように、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値の平均値Ａを算出し、該擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。これにより、本実施形態では、マップデータを高速かつ高精度に表示することが可能となる。
【００６３】
以下、第１実施形態の変形例である第２から第４実施形態について説明する。第２から第４実施形態については、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【００６４】
（第２実施形態）
図５は、第２実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【００６５】
第１実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内の全てのメッシュＭのメッシュ値を対象に、平均値Ａを算出する。これに対し、第２実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内の一部のメッシュＭのメッシュ値を対象に、平均値Ａを算出する。図５(ａ)では、平均値Ａを算出する際に読み込み対象となるメッシュＭが、斜線で示されている。
【００６６】
第２実施形態における平均値Ａは、第１実施形態と同様、式（１）で求められる。ただし、第２実施形態では、ΣP'の和を、図５(ａ)にて斜線で示すメッシュＭのみを対象として計算する。
【００６７】
第２実施形態には、第１実施形態に比べ、メッシュＭの読み込み時間が短く、マップデータをより高速に表示できるという利点がある。一方、第２実施形態では、第１実施形態に比べ、マップの精度が低下する可能性がある。よって、第２実施形態を採用する場合には、必要なマップ精度を確保できる程度に、読み込み対象のメッシュＭの個数を減らすことが望ましい。
【００６８】
（１）第２実施形態におけるマップデータ表示処理の手順
次に、引き続き図５を参照し、第２実施形態におけるマップデータ表示処理の手順について説明する。以下の説明中で登場するブロック２２１〜２２５に関しては、図１を参照されたい。
【００６９】
まず、マップデータ取得部２２１が、表示対象のマップデータを取得する。次に、設定部２２２が、上述したｋの値を設定することで、擬似ピクセルサイズを設定する。次に、グループ化部２２３が、表示部２０４の表示画面上のピクセルＰを、擬似ピクセルＰ’にグループ化する。
【００７０】
次に、平均値算出部２２４が、上記表示画面上におけるメッシュサイズと、擬似ピクセルサイズとを比較する。そして、平均値算出部２２４は、メッシュサイズが、擬似ピクセルサイズのα倍よりも小さい場合（即ち、ＬM＜α×ｋ×ＬPの場合）に、高速化表示フローに入る。
【００７１】
高速化表示フローでは、平均値算出部２２４がまず、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭを読み込む。ただし、平均値算出部２２４は、各擬似ピクセルＰ’内の全メッシュＭではなく、平均値Ａを算出する際に使用するメッシュＭのみ（即ち、図５(ａ)にて斜線で示すメッシュＭのみ）を読み込む。次に、平均値算出部２２４は、これらのメッシュＭのメッシュ値Ｖｎ及び面積Ｗｎを式（１）に代入し、平均値Ａを算出する。
【００７２】
そして、表示処理部２２５は、擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。こうして、表示画面上にマップデータが表示される。
【００７３】
（２）読み込みメッシュ群の選択方法
次に、図６〜図９を参照し、第２実施形態における読み込みメッシュ群の選択方法について説明する。図６〜図９は、読み込みメッシュ群の選択方法の例を示した図である。
【００７４】
本実施形態では、例えば、読み込みメッシュ群を選択するための何らかのパラメータをユーザが指定し、平均値算出部２２４が、指定されたパラメータに基づいて、読み込みメッシュ群を選択する、という方法が採用される。
【００７５】
図６には、ユーザが指定するパラメータとして、読み込みメッシュ群の割合を採用した場合の例が示されている。図６(ａ)、(ｂ)、(ｃ)にはそれぞれ、読み込みメッシュ群の割合が７５％、５０％、２５％の場合の例が示されている。図６の例では、ユーザが指定した割合に応じて、該割合に対応する本数の行が規則的に選択される。なお、図７に示すように、行の代わりに列を選択するようにしても構わない。
【００７６】
また、読み込みメッシュ群は、図８(ａ)、(ｂ)に示すように、ランダムに選択しても構わない。図８(ａ)には、読み込みメッシュ群を、メッシュ単位でランダムに選択する例が示されている。また、図８(ｂ)には、読み込みメッシュ群を、行単位又は列単位でランダムに選択する例が示されている。これらの場合、読み込みメッシュ群の割合、個数、行数、列数等を、ユーザが指定できるようにしてもよい。
【００７７】
また、図９には、読み込みメッシュ群の選択方法のその他の例が示されている。
【００７８】
本実施形態では、読み込みメッシュの選択方法として、以上のいずれの方法を採用しても構わない。また、本実施形態では、図６〜図９に示した例以外の方法を採用しても構わない。
【００７９】
以上のように、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内の一部のメッシュＭのメッシュ値の平均値Ａを算出し、該擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。これにより、本実施形態では、第１実施形態に比べ、マップデータをより高速に表示することが可能となる。
【００８０】
（第３実施形態）
図１０は、第３実施形態におけるマップデータ表示方法を説明するための図である。
【００８１】
本実施形態では、図１０(ａ)に示すように、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値を順番に読み込む。この際、Ｎ回目（Ｎは２以上の整数）のメッシュ値の読み込み以降は、各メッシュ値を読み込むごとに、式（２）で表される平均値Ａiを算出する。
Ａi ＝ (ΣiＶｉ×Ｗｉ)／ΣiＷｉ  ・・・（２）
【００８２】
ここで、Ａiは、１回目に読み込んだメッシュ値Ｖ１から、現在のｉ回目（ｉはＮ以上の整数）に読み込んだメッシュ値Ｖｉまでの平均値を表す。また、Σiは、１回目に読み込んだメッシュからｉ回目に読み込んだメッシュまでの全メッシュについて、和を取ることを意味する。なお、Ｎの値は、最小値の２に設定してもよいし、計算時間の短縮が望まれる場合には、３以上の値に設定してもよい。
【００８３】
また、Ｎ回目のメッシュ値の読み込み以降はさらに、各メッシュ値を読み込むごとに、ｉ回目の平均値Ａiとｉ−１回目の平均値Ａi-1との差分|Ａi−Ａi-1|が閾値δ（δは正の実数）よりも小さいか否かを判断する（式（３）参照）。
|Ａi−Ａi-1| ＜ δ  ・・・（３）
【００８４】
そして、差分|Ａi−Ａi-1|がｉ回目までｍ回（ｍは２以上の整数）連続して閾値δよりも小さい場合には、ｉ回目の平均値Ａiを、表示画面上に表示するための平均値Ａとして採用する（図１０(ｂ)参照）。
【００８５】
第３実施形態には、第１実施形態と第２実施形態の両方の利点を享受できるという利点がある。第３実施形態では、全メッシュＭを読み込む前に平均値Ａの算出が終了する可能性があるため、第２実施形態と同様に、第１実施形態に比べ、メッシュＭの読み込み時間が短く、マップデータをより高速に表示できる。また、第３実施形態では、式（３）の閾値処理により平均値Ａiの値が収束傾向にあるか否かを判定することができるため、精度の悪い平均値Ａiを採用してしまうことを回避することができる。
【００８６】
よって、第３実施形態によれば、表示速度の向上とマップ精度の劣化防止を両立することができる。
【００８７】
なお、上述のｍの値は、表示速度とマップ精度のバランスを考慮して設定することが望ましい。ｍの値が大きくなるほど、表示速度は低下するが、マップ精度は向上する。
【００８８】
（１）第３実施形態におけるマップデータ表示処理の手順
次に、引き続き図１０を参照し、第３実施形態におけるマップデータ表示処理の手順について説明する。以下の説明中で登場するブロック２２１〜２２５に関しては、図１を参照されたい。
【００８９】
まず、マップデータ取得部２２１が、表示対象のマップデータを取得する。次に、設定部２２２が、上述したｋの値を設定することで、擬似ピクセルサイズを設定する。次に、グループ化部２２３が、表示部２０４の表示画面上のピクセルＰを、擬似ピクセルＰ’にグループ化する。
【００９０】
次に、平均値算出部２２４が、上記表示画面上におけるメッシュサイズと、擬似ピクセルサイズとを比較する。そして、平均値算出部２２４は、メッシュサイズが、擬似ピクセルサイズのα倍よりも小さい場合（即ち、ＬM＜α×ｋ×ＬPの場合）に、高速化表示フローに入る。
【００９１】
高速化表示フローでは、平均値算出部２２４がまず、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値を順番に読み込む。この際、平均値算出部２２４は、Ｎ回目のメッシュ値の読み込み以降は、各メッシュ値を読み込むごとに、式（２）で表される平均値Ａiを算出する。
【００９２】
また、平均値算出部２２４は、Ｎ回目のメッシュ値の読み込み以降は、各メッシュ値を読み込むごとに、平均値Ａiと平均値Ａi-1との差分|Ａi−Ａi-1|が閾値δよりも小さいか否かを判断する。
【００９３】
ここで、本実施形態では、閾値δとして、ｉ回目の平均値Ａiに依存する値を採用する。具体的には、以下の式（４）で表される閾値δを採用する。
δ ＝ β×Ａi  ・・・（４）
【００９４】
ただし、βは、正の定数であり、本実施形態では、β＝１／１０００である。ただし、βの値は、１／１０００以外の値であってもよい。βの値が小さくなるほど、式（３）の条件は厳しくなる。
【００９５】
そして、平均値算出部２２４は、差分|Ａi−Ａi-1|がｉ回目までｍ回連続して閾値δよりも小さい場合には、ｉ回目の平均値Ａiを、表示画面上に表示するための平均値Ａとして採用する。ｍの値は例えば、Ｎの値の２倍に設定される（ｍ＝２×Ｎ）。
【００９６】
次に、表示処理部２２５は、擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。こうして、表示画面上にマップデータが表示される。
【００９７】
なお、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内の全メッシュＭを読み込み対象としてもよいし、各擬似ピクセルＰ’内の一部のメッシュＭのみを読み込み対象としてもよい。前者の場合、平均値Ａiの値が最後まで式（３）を満たさなかった場合には、各擬似ピクセルＰ’内の全メッシュＭが読み込まれることとなる。一方、後者の場合には、平均値Ａiの値が最後まで式（３）を満たさなかった場合、上記一部のメッシュＭの読み込みが終了した時点で、その時点の平均値Ａiが、表示画面上に表示する平均値Ａとして採用される。
【００９８】
（２）読み込み順序の設定方法
次に、図１１を参照し、第３実施形態におけるメッシュＭの読み込み順序の設定方法について説明する。図１１は、読み込み順序の設定方法の例を示した図である。
【００９９】
本実施形態では、メッシュＭの読み込み順序は、どのように設定しても構わない。例えば、図１１(ａ)に示すように、読み込み順序を、行単位又は列単位で規則的に設定しても構わない。また、図１１(ｂ)に示すように、読み込み順序を、メッシュ単位でランダムに設定しても構わない。また、読み込み順序は、行単位又は列単位でランダムに設定しても構わない。
【０１００】
なお、図１１(ａ)では、メッシュＭをまんべんなく読み込むような順序が採用されている。具体的には、最初に中心行のメッシュＭを読み込んだ後、中心行よりも下の行と、中心行よりも上の行を、交互に読み込んでいる。このような読み込み順序には、例えば、読み込まれるメッシュ値の偏りを防止できるという効果がある。
【０１０１】
（３）第３実施形態の効果
次に、図１２を参照し、第３実施形態の効果について説明する。図１２は、第３実施形態の効果について説明するための図である。
【０１０２】
図１２の横軸は、各メッシュＭの読み込み順番ｉを表す。また、図１２の縦軸は、ｉ番目に読み込まれたメッシュＭのメッシュ値を表す。図１２は、本発明者らが第３実施形態のマップデータ表示方法を実際に行った際の結果を示したグラフである。この際、１擬似ピクセル当たりのメッシュ数は５０×５０個に設定し、また、Ｎ＝５０、ｍ＝１００の値を採用した。即ち、Ｎの値は、１擬似ピクセル内の１行分のメッシュ数に等しい値に設定した。
【０１０３】
図１２によれば、全メッシュ数が２５００個なのに対し、読み込みは５００個ほどで終了していることが解る。これにより、図１２の実験の際の読み込み時間は、全メッシュを読み込む場合の１／５程度に短縮されている。
【０１０４】
また、図１２では、読み込み終了時点の平均値Ａiが、全メッシュを読み込んだ場合の平均値Ａに近い値であることが解る。このことから、読み込み終了時点の平均値Ａiは、最終的な平均値Ａのよい近似値となっていることが解る。
【０１０５】
以上のように、本実施形態では、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値を順番に読み込み、１回目に読み込んだメッシュ値から現在のｉ回目に読み込んだメッシュ値までの平均値Ａiを算出し、ｉ回目の平均値とｉ−１回目の平均値との差分|Ａi−Ａi-1|がｉ回目までｍ回連続して閾値δよりも小さい場合、ｉ回目の平均値を、表示画面上に表示する平均値Ａとして採用する。
【０１０６】
これにより、本実施形態では、第１実施形態と第２実施形態の両方の利点を享受することが可能となる。即ち、本実施形態によれば、メッシュＭの読み込み時間の短縮しつつ、これによるマップ精度の悪化を抑制することが可能となる。
【０１０７】
（第４実施形態）
第１から第３実施形態におけるマップデータ表示処理は、図１の電子ビーム描画装置１０１だけでなく、図１３のマスク検査装置２１にも適用可能である。図１３は、第４実施形態のマスク検査装置２１の構成を示す概略的な機器構成図である。このマスク検査装置２１は、電子ビーム描画装置１０１と同様にマスク製造用装置の代表的なものである。
【０１０８】
図１３のマスク検査装置２１は、検査対象のマスクＭが設置されるステージ１と、モータ２（２Ａ〜２Ｃ）と、レーザ干渉計３と、光源４と、透過照明光学系５と、反射照明光学系６と、対物レンズ７と、結像レンズ８（８Ａ、８Ｂ）と、ＴＤＩセンサ９（９Ａ、９Ｂ）とを備えている。
【０１０９】
また、透過照明光学系５は、ビームスプリッタ５１と、ミラー５２と、コンデンサレンズ５３とを備えている。また、反射照明光学系６は、ミラー６１と、ビームスプリッタ６２とを備えている。
【０１１０】
図１３のマスク検査装置２１はさらに、マスクＭの欠陥検査に関する全体的な制御を行う制御計算機１１を備えている。制御計算機１１には、バス１２を介して、記憶装置１３と、ステージ１を制御するステージ制御部１４と、展開部１５と、参照部１６と、比較部１７と、位置検出部１８と、表示部１９が接続されている。記憶装置１３は例えば、ＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）である。
【０１１１】
本実施形態の表示部１９は、図１の表示部２０４と同様、マップデータを表示するために使用される。また、本実施形態の制御計算機１１は、図１の制御計算機２０１と同様、ブロック２２１〜２２６を備えているものとする。これにより、本実施形態のマスク検査装置２１は、第１から第３実施形態におけるマップデータ表示処理を実行することができる。
【０１１２】
本実施形態では、第１〜第３実施形態と同様、各擬似ピクセルＰ’内のメッシュＭのメッシュ値の平均値Ａを算出し、該擬似ピクセルＰ’内の各ピクセルＰを、平均値Ａに対応する表示色で表示する。これにより、本実施形態によれば、第１〜第３実施形態と同様、マップデータを高速かつ高精度に表示することが可能となる。
【０１１３】
以上、本発明の具体的な態様の例を、第１から第４実施形態により説明したが、本発明は、荷電粒子ビーム粒子装置、マスク検査装置に限らず、レジスト塗布装置、マスクスキャナ等にも適用可能であり、実施形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１１４】
１：ステージ、２：モータ、３：レーザ干渉計、４：光源、５：透過照明光学系、
６：反射照明光学系、７：対物レンズ、８：結像レンズ、９：ＴＤＩセンサ、
１１：制御計算機、１２：バス、１３：記憶装置、１４：ステージ制御部、
１５：展開部、１６：参照部、１７：比較部、１８：位置検出部、１９：表示部、
２１：マスク検査装置、５１：ビームスプリッタ、５２：ミラー、
５３：コンデンサレンズ、６１：ミラー、６２：ビームスプリッタ、
１０１：電子ビーム描画装置、１１１：描画部、１１２：制御部、
１２１：試料、１２２：ＸＹステージ、１２３：描画室、１２４：電子鏡筒、
１３１：電子ビーム、１４１：電子銃、１４２：照明レンズ、
１４３：第１のアパーチャ、１４４：投影レンズ、１４５：第１の偏向器、
１４６：第２のアパーチャ、１４７：対物レンズ、１４８：第２の偏向器、
２０１：制御計算機、２０２：描画データ格納部、
２０３：擬似ピクセル表示データ格納部、２０４：表示部、
２１１：偏向制御回路、２１２：ＤＡＣアンプ、
２２１：マップデータ取得部、２２２：設定部、２２３：グループ化部、
２２４：平均値算出部、２２５：表示処理部、２２６：メモリ、
３０１：電子ビーム描画装置、３１１：電子ビーム源、３１２：電子ビーム、
３１３：第１のアパーチャ、３１４：第１の開口、３１５：第２のアパーチャ、
３１６：第２の開口、３１７：試料、３１８：ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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