(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と、前記第１の面の反対側の第２の面と、側面と、発光層と、を含む半導体層と、
前記第２の面上に設けられたｐ側電極と、
前記側面に設けられたｎ側電極と、
前記ｐ側電極上に設けられ、前記ｐ側電極と電気的に接続された第１のｐ側金属層と、
第１部分と第２部分とを有し、前記半導体層の周辺領域に設けられ、前記ｎ側電極と電気的に接続された第１のｎ側金属層と、
前記第１のｎ側金属層の前記第１部分の上に設けられた第１の絶縁層と、
前記第１のｐ側金属層上で前記第１のｐ側金属層と電気的に接続するとともに、前記第１の絶縁層を介して前記第１のｎ側金属層の前記第１部分の上に重なっている第２のｐ側金属層と、
前記第１のｎ側金属層の前記第２部分の上に設けられ、前記第１のｎ側金属層と電気的に接続された第２のｎ側金属層と、
を備えた半導体発光装置。
【請求項２】
前記第１のｎ側金属層は、前記ｎ側電極の周囲を連続して囲み、前記半導体層よりも厚い請求項１記載の半導体発光装置。
【請求項３】
前記第２のｐ側金属層上に設けられ、前記第２のｐ側金属層よりも厚い第３のｐ側金属層と、
前記第２のｎ側金属層上に設けられ、前記第２のｎ側金属層よりも厚い第３のｎ側金属層と、
をさらに備えた請求項１または２に記載の半導体発光装置。
【請求項４】
前記第３のｐ側金属層の側面及び前記第３のｎ側金属層の側面に設けられた第２の絶縁層をさらに備えた請求項３記載の半導体発光装置。
【請求項５】
前記第１の面上に設けられた蛍光体層をさらに備えた請求項１〜４のいずれか１つに記載の半導体発光装置。
【請求項６】
前記蛍光体層は、前記周辺領域にも広がっている請求項５記載の半導体発光装置。
【請求項７】
前記ｎ側電極の一部は、前記側面から前記第１の面をこえて突出し、前記第１の面上の前記蛍光体層の周囲を囲んでいる請求項５記載の半導体発光装置。
【請求項８】
前記ｎ側電極の前記一部の周囲にも、前記ｎ側電極と電気的に接続された前記第１のｎ側金属層が設けられている請求項７記載の半導体発光装置。
【請求項９】
前記第１のｐ側金属層は、前記発光層を含む発光領域の全領域を覆っている請求項１〜８のいずれか１つに記載の半導体発光装置。
【請求項１０】
互いに分離された複数の前記半導体層を含み、
前記複数の半導体層間で前記側面に設けられた前記ｎ側電極どうしが電気的に接続されている請求項１〜９のいずれか１つに記載の半導体発光装置。
【請求項１１】
前記複数の半導体層の隣り合う側面間に、前記第１のｎ側金属層が設けられている請求項１０記載の半導体発光装置。
【請求項１２】
前記第１のｎ側金属層は、それぞれの前記半導体層の周囲を連続して囲んでいる請求項１１記載の半導体発光装置。
【請求項１３】
前記複数の半導体層の隣り合う側面間に設けられた前記ｎ側電極の表面が絶縁膜で被覆されていて、当該絶縁膜上に前記第１のｐ側金属層が設けられている請求項１０記載の半導体発光装置。
【請求項１４】
前記第１のｐ側金属層は、前記複数の半導体層間で連続して設けられている請求項１３記載の半導体発光装置。
【請求項１５】
前記第２のｐ側金属層は、前記複数の半導体層間で連続して設けられている請求項１０〜１４のいずれか１つに記載の半導体発光装置。
【請求項１６】
前記周辺領域で前記第１のｎ側金属層と前記第２のｐ側金属層との間に設けられたバリスタであって、前記第１のｎ側金属層と電気的に接続された第１の電極と、前記第２のｐ側金属層と電気的に接続された第２の電極とを有するバリスタをさらに備えた請求項１〜１５のいずれか１つに記載の半導体発光装置。
【請求項１７】
第１の面と前記第１の面の反対側の第２の面と側面と発光層とを含む半導体層と、前記第２の面上に設けられたｐ側電極と、前記側面に設けられたｎ側電極と、をそれぞれが含み、基板上で分離された複数のチップにおける前記ｐ側電極上に前記ｐ側電極と電気的に接続された第１のｐ側金属層を形成する工程と、
前記複数のチップのうちの対象チップを、前記第１のｐ側金属層側を支持体に支持させて、前記基板から前記支持体に移す工程と、
前記支持体上における前記ｎ側電極の周囲に、前記ｎ側電極と電気的に接続された第１のｎ側金属層を形成する工程と、
前記支持体を除去し、前記支持体が除去された前記第１のｎ側金属の表面上に、第１の絶縁層を形成する工程と、
前記第１のｐ側金属層上で前記第１のｐ側金属層と電気的に接続し、且つ前記第１のｐ側金属層上から前記第１の絶縁層上に広がる第２のｐ側金属層を形成する工程と、
前記半導体層の周辺領域で前記第１のｎ側金属層上に設けられ、前記第１の絶縁層を貫通して前記第１のｎ側金属層と電気的に接続された第２のｎ側金属層を形成する工程と、
を備えた半導体発光装置の製造方法。
【請求項１８】
前記複数の半導体層を分離する溝が前記基板の表面にも形成され、前記基板の表面に凹部及び凸部が形成され、
前記溝に面する前記半導体層の前記側面及び前記基板の前記凸部の側面に、前記ｎ側電極が形成され、
前記基板を裏面側から前記溝に達するまで研削することで前記チップが複数に分離されて、前記第１のｐ側金属層側が前記支持体に支持され、
前記第１の面上に残っている前記基板を除去して、前記第１の面上に前記ｎ側電極で囲まれた空間を形成し、
前記空間に蛍光体層を形成する請求項１７記載の半導体発光装置の製造方法。
【請求項１９】
前記支持体を除去した後、前記第１のｐ側金属層の表面を前記第１のｎ側金属層の表面よりも突出させて、前記第１のｐ側金属層の表面と前記第１のｎ側金属層の表面との間に段差を形成し、
前記段差を被覆するように前記第１のｐ側金属層の表面上および前記第１のｎ側金属層の表面上に前記第１の絶縁層を形成し、
前記第１のｐ側金属層の表面上の前記第１の絶縁層を除去して前記第１のｐ側金属層の表面を露出させつつ、前記第１のｎ側金属層の表面上には前記第１の絶縁層を残す請求項１７または１８に記載の半導体発光装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体発光装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
大電力を注入するＬＥＤ（Light Emitting Diode）では、高い放熱性が求められる。ＬＥＤパッケージの外形を大きくすると放熱に有利になる。また、ウェーハレベルでのパッケージングは大幅なコスト削減に有利であるが、さらに、放熱に対する要求を満足するパッケージ構造のための生産性の高い技術が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７１２７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の実施形態は、放熱性及び生産性に優れた半導体発光装置及びその製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態によれば、半導体発光装置は、半導体層と、ｐ側電極と、ｎ側電極と、第１のｐ側金属層と、第１のｎ側金属層と、第１の絶縁層と、第２のｐ側金属層と、第２のｎ側金属層と、を備えている。前記半導体層は、第１の面と、前記第１の面の反対側の第２の面と、側面と、発光層と、を含む。前記ｐ側電極は、前記第２の面上に設けられている。前記ｎ側電極は、前記側面に設けられている。前記第１のｐ側金属層は、前記ｐ側電極上に設けられ、前記ｐ側電極と電気的に接続されている。前記第１のｎ側金属層は、第１部分と第２部分とを有し、前記半導体層の周辺領域に設けられ、前記ｎ側電極と電気的に接続されている。前記第１の絶縁層は、前記第１のｎ側金属層の前記第１部分の上に設けられている。前記第２のｐ側金属層は、前記第１のｐ側金属層上で前記第１のｐ側金属層と電気的に接続するとともに、前記第１の絶縁層を介して前記第１のｎ側金属層の前記第１部分の上に重なっている。前記第２のｎ側金属層は、前記第１のｎ側金属層の前記第２部分の上に設けられ、前記第１のｎ側金属層と電気的に接続されている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】第１実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図２】第１実施形態の半導体発光装置の模式平面図。
【図３】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１１】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１２】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１３】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１４】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１５】第１実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１６】第２実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図１７】第２実施形態の半導体発光装置におけるチップの模式斜視図。
【図１８】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１９】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２０】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２１】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２２】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２３】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２４】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２５】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２６】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２７】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２８】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図２９】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３０】第２実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３１】第３実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図３２】第３実施形態の半導体発光装置の模式平面図。
【図３３】実装基板及び第３実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図３４】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３５】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３６】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３７】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３８】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図３９】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４０】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４１】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４２】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４３】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４４】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４５】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４６】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４７】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４８】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図４９】第３実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５０】第４実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図５１】第４実施形態の半導体発光装置の模式平面図。
【図５２】実装基板及び第４実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図５３】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５４】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５５】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５６】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５７】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５８】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図５９】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６０】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６１】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６２】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６３】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６４】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６５】第４実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６６】第５実施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図６７】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６８】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図６９】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７０】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７１】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７２】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７３】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７４】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７５】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７６】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７７】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７８】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図７９】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８０】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８１】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８２】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８３】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８４】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８５】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８６】第５実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８７】第６施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図８８】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図８９】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９０】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９１】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９２】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９３】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９４】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９５】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９６】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９７】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９８】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図９９】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１００】第６実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０１】第７施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図１０２】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０３】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０４】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０５】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０６】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０７】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０８】第７実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１０９】第８施形態の半導体発光装置の模式断面図。
【図１１０】第８実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１１１】第８実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【図１１２】第８実施形態の半導体発光装置の製造方法を示す模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
【０００８】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の半導体発光装置１ａの模式断面図である。
【０００９】
半導体発光装置１ａは、チップ３と、チップ３よりも厚く、且つ大きな平面サイズのパッケージ部（または配線部）と、蛍光体層３５とを有する。
【００１０】
チップ３は、半導体層１５を含む。半導体層１５は、第１の面１５ａと、その反対側に設けられた第２の面とを有する。半導体層１５の第１の面（図１において下面）１５ａから主に光が外部に放出される。
【００１１】
半導体層１５は、第１の半導体層１１と第２の半導体層１２を有する。第１の半導体層１１及び第２の半導体層１２は、例えば窒化ガリウムを含む材料からなる。第１の半導体層１１は、例えば電流の横方向経路として機能するｎ型層などを含む。第２の半導体層１２は、ｐ型層と発光層（活性層）１２ａを含む。
【００１２】
半導体層１５の第２の面は凹凸形状に加工され、発光層１２ａの一部が除去されている。したがって、半導体層１５の第２の面は、発光層１２ａを含む（または発光層１２ａに対向する）領域４と、発光層１２ａを含まない（または発光層１２ａに対向しない）領域５とを有する。
【００１３】
第２の面における領域４上に、ｐ側電極１６が設けられている。ｐ側電極１６は、発光層１２ａの発光光に対して反射性を有する金属、例えば銀やアルミニウムを含む。
【００１４】
半導体層１５における、発光層１２ａを含まない第１の半導体層１１の側面１５ｃに、ｎ側電極１７が設けられている。ｎ側電極１７は、側面１５ｃの全面にわたって設けられ、第１の半導体層１１の周囲を連続して囲んでいる。また、ｎ側電極１７の一部は、第２の面における発光層１２ａを含まない領域５上にも設けられている。ｎ側電極１７も、発光層１２ａの発光光に対して反射性を有する金属、例えば銀やアルミニウムを含む。
【００１５】
第２の面における領域５と領域４との間の段差は、絶縁膜２１で覆われている。領域５上のｎ側電極１７は、絶縁膜２１で覆われている。また、ｐ側電極１６の一部も絶縁膜２１で覆われている。絶縁膜２１は、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜などの無機膜である。
【００１６】
絶縁膜２１及びｐ側電極１６上には、第１のｐ側金属層２３が設けられている。第１のｐ側金属層２３は、絶縁膜２１に形成された開口を通じて、ｐ側電極１６と電気的に接続している。
【００１７】
第１のｐ側金属層２３は、後述するように、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２２が、第１のｐ側金属層２３と絶縁膜２１との間、および第１のｐ側金属層２３とｐ側電極１６との間に設けられている。
【００１８】
第１のｐ側金属層２３の側面には、絶縁膜２４が設けられている。絶縁膜２４は、第１のｐ側金属層２３の側面の全面を覆っている。絶縁膜２４は、例えば、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜などの無機膜である。あるいは、ポリイミドのような有機絶縁膜を用いることも可能である。
【００１９】
ｎ側電極１７の周囲には、第１のｎ側金属層２６が設けられている。第１のｎ側金属層２６は、チップ３よりも厚く、第１のｐ側金属層２３の周囲にも設けられている。
【００２０】
図２（ａ）は、チップ３と第１のｎ側金属層２６との平面配置関係を表す模式平面図である。
【００２１】
第１のｎ側金属層２６は、半導体層１５の側面１５ｃ及びその側面１５ｃに設けられたｎ側電極１７の周囲を連続して囲んでいる。
【００２２】
第１のｎ側金属層２６は、後述するように、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２５が、第１のｎ側金属層２６とｎ側電極１７との間に設けられている。金属膜２５は、ｎ側電極１７の側面の全面に設けられている。第１のｎ側金属層２６は、金属膜２５を介して、ｎ側電極１７と電気的に接続されている。
【００２３】
第１のｎ側金属層２６と第１のｐ側金属層２３との間には絶縁膜２４が設けられ、第１のｎ側金属層２６と第１のｐ側金属層２３とは短絡していない。
【００２４】
第１のｎ側金属層２６の表面（図１における上面）と、第１のｐ側金属層２３の表面（図１における上面）との間には、第１の絶縁層（以下、単に絶縁層という）２７の膜厚分の段差が形成されている。すなわち、第１のｎ側金属層２６の表面は、第１のｐ側金属層２３の表面よりも、チップ３側に後退している。
【００２５】
絶縁層２７は、第１のｎ側金属層２６の表面上に設けられている。絶縁層２７は、例えば樹脂層である。あるいは、絶縁層２７として無機物を用いることもできる。絶縁層２７の表面と第１のｐ側金属層２３の表面とは面一な平坦面になっている。
【００２６】
第１のｐ側金属層２３上には、第２のｐ側金属層２９が設けられている。第２のｐ側金属層２９は、第１のｐ側金属層２３上から絶縁層２７上に広がって設けられ、第１のｐ側金属層２３よりも広い面積を有する。
【００２７】
第２のｐ側金属層２９は、後述するように、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２８が、第２のｐ側金属層２９と第１のｐ側金属層２３との間、及び第２のｐ側金属層２９と絶縁層２７との間に設けられている。第２のｐ側金属層２９は、金属膜２８を介して、第１のｐ側金属層２３と電気的に接続されている。
【００２８】
また、絶縁層２７上には、第２のｐ側金属層２９に対して離間して、第２のｎ側金属層３０が設けられている。第２のｎ側金属層３０は、半導体層１５（チップ３）の周辺領域で、第１のｎ側金属層２６上に設けられ、絶縁層２７の一部に形成された開口２７ａを通じて、第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。
【００２９】
第２のｎ側金属層３０は、後述するように、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２８が、第２のｎ側金属層３０と第１のｎ側金属層２６との間、及び第２のｎ側金属層３０と絶縁層２７との間に設けられている。第２のｎ側金属層３０は、金属膜２８を介して、第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。
【００３０】
第２のｐ側金属層２９において絶縁層２７に対する反対側の面上には、第３のｐ側金属層（またはｐ側金属ピラー）３１が設けられている。第３のｐ側金属層３１は、第２のｐ側金属層２９よりも厚い。あるいは、第３のｐ側金属層３１を第２のｐ側金属層２９とは別に設けずに、第２のｐ側金属層２９自体を厚くしてもよい。
【００３１】
第２のｎ側金属層３０において絶縁層２７に対する反対側の面上には、第３のｎ側金属層（またはｎ側金属ピラー）３２が設けられている。第３のｎ側金属層３２は、第２のｎ側金属層３０よりも厚い。あるいは、第３のｎ側金属層３２を第２のｎ側金属層３０とは別に設けずに、第２のｎ側金属層３０自体を厚くしてもよい。
【００３２】
また、絶縁層２７上には、第２の絶縁層として樹脂層３３が設けられている。樹脂層３３は、第２のｐ側金属層２９の周囲、第３のｐ側金属層３１の周囲、第２のｎ側金属層３０の周囲、および第３のｎ側金属層３２の周囲を覆っている。
【００３３】
第２のｐ側金属層２９における第３のｐ側金属層３１との接続面以外の面、および第２のｎ側金属３０における第３のｎ側金属層３２との接続面以外の面は、樹脂層３３で覆われている。また、樹脂層３３は、第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との間に充填して設けられ、第３のｐ側金属層３１の側面及び第３のｎ側金属層３２の側面を覆っている。
【００３４】
第３のｐ側金属層３１における第２のｐ側金属層２９に対する反対側の面は、樹脂層３３で覆われずに露出され、実装基板に接合されるｐ側外部端子３１ａとして機能する。第３のｎ側金属層３２における第２のｎ側金属層３０に対する反対側の面は、樹脂層３３で覆われずに露出され、実装基板に接合されるｎ側外部端子３２ａとして機能する。
【００３５】
図２（ｂ）は、半導体発光装置１ａにおける実装面側の模式平面図である。ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａの形状、位置、大きさの比率などは図示する形態に限られない。
【００３６】
第３のｐ側金属層３１、第３のｎ側金属層３２及び樹脂層３３のそれぞれの厚さは、半導体層１５の厚さよりも厚い。なお、第３のｐ側金属層３１及び第３のｎ側金属層３２のアスペクト比（平面サイズに対する厚みの比）は１以上であることに限らず、その比は１よりも小さくてもよい。
【００３７】
第３のｐ側金属層３１、第３のｎ側金属層３２及びこれらを補強する樹脂層３３は、半導体層１５を含むチップ３の支持体として機能する。したがって、半導体層１５を形成するために使用した基板を後述するように除去しても、第３のｐ側金属層３１、第３のｎ側金属層３２及び樹脂層３３を含む支持体によって、半導体層１５を安定して支持し、半導体発光装置１ａの機械的強度を高めることができる。
【００３８】
また、半導体発光装置１ａを実装基板に実装した状態で半導体層１５に加わる応力を、ピラー状の第３のｐ側金属層３１及び第３のｎ側金属層３２が吸収することで緩和することができる。
【００３９】
第１のｐ側金属層２３、第２のｐ側金属層２９および第３のｐ側金属層３１は、ｐ側外部端子３１ａとｐ側電極１６との間を電気的に接続するｐ側配線部を形成する。第１のｎ側金属層２６、第２のｎ側金属層３０および第３のｎ側金属層３２は、ｎ側外部端子３２ａとｎ側電極１７との間を電気的に接続するｎ側配線部を形成する。
【００４０】
それら金属層の材料としては、銅、金、ニッケル、銀などを用いることができる。これらのうち、銅を用いると、良好な熱伝導性、高いマイグレーション耐性及び絶縁材料との優れた密着性が得られる。
【００４１】
第１の半導体層１１は、ｎ側電極１７及びｎ側配線部を介して、ｎ側外部端子３２ａと電気的に接続されている。発光層１２ａを含む第２の半導体層１２は、ｐ側電極１６及びｐ側配線部を介して、ｐ側外部端子３１ａと電気的に接続されている。
【００４２】
樹脂層３３は、実装基板と熱膨張率が同じもしくは近いものを用いるのが望ましい。そのような樹脂層として、例えばエポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂などを一例として挙げることができる。
【００４３】
半導体層１５の第１の面１５ａ上には、蛍光体層３５が設けられている。蛍光体層３５は、保護膜３４を介して第１のｎ側金属層２６上にも設けられ、チップ３の周辺領域にも広がっている。
【００４４】
蛍光体層３５は、発光層１２ａの発光光（励起光）を吸収し波長変換光を発光可能な粉末または粒子状の複数の蛍光体を含む。蛍光体は、発光層１２ａの発光光および蛍光体の発光光（波長変換光）に対して透明な透明体として例えば透明樹脂に分散されている。半導体発光装置１ａは、発光層１２ａからの光と、蛍光体による波長変換光との混合光を放出可能である。
【００４５】
例えば、蛍光体が黄色光を発光する黄色蛍光体とすると、ＧａＮ系材料である発光層１２ａからの青色光と、蛍光体層３５における波長変換光である黄色光との混合色として、白色または電球色などを得ることができる。あるいは、蛍光体層３５は、複数種の蛍光体（例えば、赤色光を発光する赤色蛍光体と、緑色光を発光する緑色蛍光体）を含む構成であってもよい。
【００４６】
第１の面１５ａには、フロスト処理により微細凹凸が形成され、光取り出し効率の向上が図られている。第１のｎ側金属層２６における絶縁層２７とは反対側の面（図１において下面）には、上記フロスト処理時の保護膜（絶縁膜）３４が形成されている。また、保護膜３４は、ｎ側電極１７における第１の面１５ａ側の端部、および金属膜２５における第１の面１５ａ側の端部も覆って保護している。
【００４７】
実施形態の半導体発光装置１ａによれば、ｎ側電極１７を半導体層１５の側面１５ｃに設けている。このため、第２の面におけるｐ側電極１６の被覆率を大きくできる。結果として、ｐ側電極１６が設けられる領域である発光層１２ａを含む領域４の面積を大きくでき、チップ３の平面サイズの小型化を図りつつ、大きな発光面の確保が可能になる。チップサイズの小型化はコスト低減をもたらす。
【００４８】
半導体層１５の第２の面上には、第２の面のほぼ全面を覆う第１のｐ側金属層２３が設けられている。第１のｐ側金属層２３上には、第１のｐ側金属層２３よりも広い面積で第２のｐ側金属層２９が設けられ、第２のｐ側金属層２９上には第１のｐ側金属層２３よりも広い面積で第３のｐ側金属層３１が設けられている。
【００４９】
発光層１２ａで発生した熱は、ｐ側電極１６、金属膜２２、第１のｐ側金属層２３、金属膜２８、第２のｐ側金属層２９及び第３のｐ側金属層３１を含むｐ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ等によって実装基板と接合されるｐ側外部端子３１ａから実装基板へと放熱される。前記ｐ側金属体（配線部）は、チップ３よりも広い面積で且つ厚く第２の面上に設けられているため、高い放熱性が得られる。
【００５０】
また、発光層１２ａで発生した熱は、ｎ側電極１７、金属膜２５、第１のｎ側金属層２６、金属膜２８、第２のｎ側金属層３０及び第３のｎ側金属層３２を含むｎ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ等によって実装基板と接合されるｎ側外部端子３２ａから実装基板へと放熱される。この放熱経路は、チップ３の周囲に設けられチップ３よりも面積が広く厚い第１のｎ側金属層２６を含む。したがって、チップ３の側面側からの放熱性も高い。
【００５１】
チップ３における主たる光取り出し面である第１の面１５ａ以外の第２の面及び側面が、チップ３よりも体積の大きい、すなわち熱容量の大きい金属体で囲まれている。したがって、過渡的、瞬間的な加熱に対しても高い信頼性を有する。なおかつ、そのような金属体でチップ３を補強した構造が得られ、半導体発光装置１ａは機械的強度にも優れる。
【００５２】
次に、図３（ａ）〜図１５を参照して、第１実施形態の半導体発光装置１ａの製造方法について説明する。
【００５３】
図３（ａ）は、基板１０の主面上に、第１の半導体層１１及び第２の半導体層１２を含む半導体層１５が形成されたウェーハの断面を表す。基板１０の主面上に第１の半導体層１１が形成され、その第１の半導体層１１の上に第２の半導体層１２が形成される。
【００５４】
例えば、窒化ガリウム系材料からなる第１の半導体層１１及び第２の半導体層１２は、サファイア基板上にＭＯＣＶＤ（metal organic chemical vapor deposition）法でエピタキシャル成長させることができる。
【００５５】
第１の半導体層１１は、下地バッファ層、ｎ型ＧａＮ層を含む。第２の半導体層１２は、発光層１２ａ、ｐ型ＧａＮ層を含む。発光層１２ａは、青、紫、青紫、近紫外、紫外光などを発光するものを用いることができる。
【００５６】
基板１０上に半導体層１５を形成した後、図示しないレジストを用いた例えばＲＩＥ（Reactive Ion Etching）で、第２の半導体層１２を選択的に除去して、図３（ｂ）に示すように、第１の半導体層１１を選択的に露出させる。第１の半導体層１１が露出された領域５は発光層１２ａを含まない。
【００５７】
また、図示しないレジストマスクを用いた例えばＲＩＥで、半導体層１５を貫通し基板１０に達する溝３６を形成する。溝３６は、ウェーハ状態の基板１０上で例えば格子状の平面パターンで形成される。半導体層１５は、溝３６によって基板１０上で複数に分離される。溝３６に、半導体層１５（第１の半導体層１１）の側面１５ｃが露出する。
【００５８】
なお、半導体層１５を複数に分離する工程は、以下に説明するｐ側電極１６及びｎ側電極１７を形成した後に行ってもよい。
【００５９】
半導体層１５の第２の面における発光層１２ａを含む領域４上（第２の半導体層１２の表面上）には、図３（ｃ）に示すように、ｐ側電極１６が形成される。
【００６０】
溝３６に露出する半導体層１５の側面１５ｃには、ｎ側電極１７が形成される。ｎ側電極１７は、溝３６を埋めない。
【００６１】
第２の面において、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７が形成されていない面には、絶縁膜２１が形成される。ｐ側電極１６上の絶縁膜２１の一部は開口される。その後、熱処理により、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７を半導体層１５にオーミックコンタクトさせる。
【００６２】
図３（ｃ）において基板１０上の露出部には、図４（ａ）に示す金属膜２２がコンフォーマルに形成される。金属膜２２は、発光層１２ａの発光光に対して反射性を有する金属、例えばアルミニウムを含む。したがって、第２の面側において、ｐ側電極１６とｎ側電極１７との間にも反射メタルが設けられ、ｐ側電極１６とｎ側電極１７との間から第２の面側に向かう光を第１の面１５ａ側に向けて反射させることができる。
【００６３】
そして、その金属膜２２上にレジスト３７を選択的に形成し、金属膜２２を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。レジスト３７は、溝３６内及び溝３６上に形成される。
【００６４】
この電解メッキにより、金属膜２２上に第１のｐ側金属層２３が形成される。第１のｐ側金属層２３は、絶縁膜２１に形成された開口を通じて、ｐ側電極１６と接続される。
【００６５】
次に、レジスト３７を除去し、さらに、図４（ｂ）に示すように、シードメタルとして使った金属膜２２の露出部を除去する。これにより、金属膜２２を通じたｐ側電極１６とｎ側電極１７との接続が分断される。
【００６６】
次に、例えばＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法で、露出部の全面に、図４（ｃ）に示す絶縁膜２４をコンフォーマルに形成した後、溝３６内の絶縁膜２４を除去する。ｎ側電極１７は露出され、第１のｐ側金属層２３の上面及び側面は絶縁膜２４で覆われている。
【００６７】
次に、図５（ａ）に示すように、絶縁膜２４の上面に、支持体として例えば樹脂製のフィルム（またはシート）３８を貼り付ける。そして、図５（ｂ）に示すように、基板１０上のチップ３から選択された対象チップ３を基板１０上から除去して、フィルム３８に移す。基板１０から除去されたチップ３は、第１のｐ側金属層２３を介してフィルム３８に支持される。
【００６８】
基板１０がサファイア基板の場合、レーザーリフトオフ法によって、基板１０とチップ３とを分離することができる。図５（ｂ）に示すように、基板１０の裏面側から対象チップ３の第１の半導体層１１に向けてレーザ光Ｌが照射される。レーザ光Ｌは、基板１０に対して透過性を有し、第１の半導体層１１に対しては吸収領域となる波長を有する。
【００６９】
レーザ光Ｌが基板１０と第１の半導体層１１との界面に到達すると、その界面付近の第１の半導体層１１はレーザ光Ｌのエネルギーを吸収して分解する。例えばＧａＮ系材料の第１の半導体層１１はガリウム（Ｇａ）と窒素ガスに分解する。この分解反応により、基板１０と第１の半導体層１１との間に微小な隙間が形成され、基板１０と第１の半導体層１１とが分離する。
【００７０】
第１のｐ側金属層２３は、発光層１２ａを含む領域４の全面を覆い、半導体層１５の第２の面のほぼ全面にわたって設けられている。したがって、半導体層１５が、第１のｐ側金属層２３によって支持され、機械的に補強されている。
【００７１】
このため、基板１０がなくなっても、半導体層１５は安定して支持される。また、第１のｐ側金属層２３を形成する金属（例えばＣｕ）は、ＧａＮ系材料の半導体層１５に比べて柔軟な材料である。そのため、基板１０上に半導体層１５を形成するエピタキシャル成長時に発生した大きな内部応力が、基板１０の剥離時に一気に開放されても、半導体層１５が破壊されることを回避できる。
【００７２】
次に、図６（ａ）に示すように、フィルム３８の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２５を形成する。金属膜２５は、第１の面１５ａからｎ側電極１７の側面及び絶縁膜２４の側面を経てフィルム３８表面に至るまでの露出面全面に形成される。
【００７３】
そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、図６（ｂ）に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。第１のｎ側金属層２６の表面（図６（ｂ）における下面）は、必要に応じて研削され、図７（ａ）に示すように平坦化される。
【００７４】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図７（ａ）に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。
【００７５】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図７（ｂ）に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。
【００７６】
そして、その段差を被覆するように、絶縁膜２４の表面上および第１のｎ側金属層２６の表面上に、絶縁層２７を形成する。
【００７７】
次に、例えばＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図８（ａ）に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。第１のｎ側金属層２６の表面上には絶縁層２７が残される。
【００７８】
以上説明したプロセスによれば、第１のｐ側金属層２３を絶縁層２７から露出させるための開口アライメントが不要である。
【００７９】
次に、図８（ｂ）に示すように、チップ３の周辺領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【００８０】
次に、図９（ａ）に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上および第１のｐ側金属層２３の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【００８１】
これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。第２のｐ側金属層２９は、第１のｐ側金属層２３上からチップ３の周辺領域の絶縁層２７上にまで広がって形成される。第２のｎ側金属層３０は、第２のｐ側金属層２９が広がる周辺領域とはチップ３を挟んだ反対側の周辺領域上に設けられる。
【００８２】
第２のｐ側金属層２９は、第１のｐ側金属層２３上の金属膜２８を介して、第１のｐ側金属層２３と電気的に接続される。第２のｎ側金属層３０は、開口２７ａ内に形成された金属膜２８を介して、第１のｎ側金属層２６と電気的に接続される。
【００８３】
次に、図９（ｂ）に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【００８４】
これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【００８５】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図１０に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続、および第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との接続が分断される。
【００８６】
次に、絶縁層２７上に、図１１に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【００８７】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図１１における下面）を研削して、図１２に示すように、第１の面１５ａ上の金属膜２５を露出させ、さらにその金属膜２５を除去して第１の面１５ａを露出させる。
【００８８】
次に、図１３に示すように、第１のｎ側金属層２６の表面上および第１の面１５ａ上に保護膜３４を形成し、第１の面１５ａ上の保護膜３４は除去される。
【００８９】
露出された第１の面１５ａは洗浄された後、図１４に示すように、凹凸を形成するフロスト処理が行われる。第１の面１５ａに微小凹凸を形成することで、光取り出し効率を向上できる。
【００９０】
フロスト処理は例えば強塩基が使われる。銅（Ｃｕ）と銀（Ａｇ）は強塩基に対して耐腐食性を有する。したがって、第１のｎ側金属層２６及び金属膜２５に銅を、ｎ側電極１７に銀を使えば、保護膜３４は形成しなくてもよい。ｎ側電極１７に、強塩基によって腐食してしまうアルミニウムを使用する場合には、保護膜３４によってアルミニウムを強塩基から保護する必要がある。
【００９１】
フロスト処理の後、図１５に示すように、第１の面１５ａ上、および第１のｎ側金属層２６上に、蛍光体層３５が形成される。
【００９２】
樹脂層３３の表面は研削され、図１に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【００９３】
チップ３がフィルム３８に移されるまでの工程は、ウェーハ状態の基板１０上の複数のチップ３に対して一括して同時に行われる。
【００９４】
基板１０からフィルム３８に移される対象チップ３は、図５（ｂ）では１つか表されないが、複数の対象チップ３が基板１０からフィルム３８へ移される。そして、チップ３がフィルム３８に移された後の工程は、フィルム３８上の複数のチップ３に対して一括して同時に行われる。
【００９５】
そして、図６（ｂ）において第１のｎ側金属層２６を形成した後は、その第１のｎ側金属層２６を介して複数のチップ３をウェーハとして扱える。したがって、フィルム３８が除去された後の工程も、ウェーハ状態の複数のチップ３に対して一括して同時に行われる。
【００９６】
そして、チップ３とチップ３との間の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７、第１のｎ側金属層２６、保護膜３４および蛍光体層３５を切断（ダイシング）して、図１に示す半導体発光装置１ａに個片化する。
【００９７】
ダイシング領域には、半導体層１５は設けられず、例えばＧａＮ系の半導体層１５よりも柔軟性がある樹脂と金属が設けられている。このため、ダイシング時に半導体層１５が受けるダメージを回避することができる。
【００９８】
ダイシングされる前までの前述した各工程は、ウェーハ状態で一括して行われる。したがって、ダイシング後に、個々のチップ３ごとに、支持体の形成、配線部の形成、放熱体の形成、およびチップ３の保護を行う必要がなく、大幅な生産コストの低減が可能になる。
【００９９】
チップ３自体は基板１０上でのウェーハ工程で製造でき、パッケージ部（配線部）の構造及びプロセスに依存せずに、小型化することができる。したがって、チップコストを低減できる。そして、チップサイズは小さくしつつも、チップ３を基板１０から別の支持体（フィルム３８）に移し替えて前述した工程を進めることで、高い放熱性及び機械的強度を与えるパッケージ部（配線部）を実現できる。
【０１００】
複数のチップ３を基板１０からフィルム３８に移したときに、フィルム３８上での各チップ３８の位置が所望の位置から多少ずれても、図８（ｂ）の工程で絶縁層２７に形成する開口２７ａの位置を第１のｐ側金属層２３から十分に離すことで、ｐ側とｎ側とを短絡させることなく配線部を形成することができる。
【０１０１】
したがって、基板１０上からフィルム３８上に複数のチップ３を最整列させるにあたっては、高い位置精度は要求されず、生産性が高く低コストな方法を選択することができる。
【０１０２】
ここで比較例として、ｎ側電極を第２の面に設けて、第２の面上でｎ側電極と上層の金属層とをコンタクトさせた構造では、同じ第２の面上に設けられるｐ側電極やｐ側金属層の存在が制約となり、大きなコンタクト面積の確保は困難である。
【０１０３】
これに対して実施形態によれば、ｎ側電極１７を半導体層１５の側面１５ｃに形成することで、チップ３及びｐ側の配線部と重ならないチップ３の周辺領域で、ｎ側電極１７を上層の金属層３０とコンタクトさせることができる。このことも、ｎ側電極１７側からの放熱性を高くする。
【０１０４】
すなわち、実施形態によれば、チップ３を小型化しつつ、放熱性及び機械的強度に優れた構造を高い生産性で実現でき、低コスト及び高信頼性の半導体発光装置１ａを提供することができる。
【０１０５】
以下、他の実施形態について説明する。第１実施形態と同じ要素には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【０１０６】
（第２実施形態）
図１６は、第２実施形態の半導体発光装置１ｂの模式断面図である。
【０１０７】
半導体発光装置１ｂは、複数のチップ３と、チップ３よりも厚く、且つ大きな平面サイズのパッケージ部（または配線部）と、蛍光体層３５とを有する。
【０１０８】
図１７（ａ）及び（ｂ）は、半導体発光装置１ｂが含む複数のチップ３の模式斜視図である。図１７（ａ）には、例えば４つのチップ３を示す。あるいは、図１７（ｂ）に示すように、半導体発光装置１ｂは、さらに多くのチップ３を含んでいてもよい。
【０１０９】
それぞれのチップ３は、第１の面１５ａ、第２の面、側面１５ｃおよび発光層１２ａを含む半導体層１５を有する。複数の半導体層１５は、溝３６によって互いに分離されている。溝３６は、例えば格子状の平面パターンで形成されている。
【０１１０】
溝３６の側面にｎ側電極１７が形成されている。すなわち、溝３６を挟んで他の半導体層１５に隣り合う側面１５ｃに、ｎ側電極１７が形成されている。分割された各半導体層１５のすべての側面１５ｃにｎ側電極１７が設けられている。このため、半導体層１５の外側の側面だけにｎ側電極１７を設ける場合に比べて、半導体発光装置１ｂにおけるｎ側電極１７の総面積が大きくなり、ｎ側電極１７のコンタクト抵抗を低減することができる。
【０１１１】
複数の半導体層１５間で側面１５ｃに設けられたｎ側電極１７どうしは、溝３６の底部でつながっている。したがって、複数の半導体層１５間で側面１５ｃに設けられたｎ側電極１７どうしが電気的に接続されている。
【０１１２】
これにより、各チップ３への電流分布を均一にすることができる。また、各チップ３の側面の熱抵抗を低くでき、各チップ３の放熱性を高めることができる。
【０１１３】
電流密度を上げていくと、平面視において内側への電流供給が困難になりやすい。これに対して、本実施形態によれば、半導体層１５を微細に分割し、分割された各半導体層１５の側面１５ｃに設けたｎ側電極１７を利用して内側まで電流を供給できる。
【０１１４】
ウェーハ状態でのリソグラフィにより、微細な溝３６を形成することができるため、溝３６を形成することによる発光面積の損失は最小限に抑えられる。
【０１１５】
第１のｐ側金属層２３、第２のｐ側金属層２９および第３のｐ側金属層３１は、複数のチップ３上で、複数のチップ３を含む領域に連続して広がり、複数のチップ３を一体に補強している。
【０１１６】
次に、図１８（ａ）〜図３０を参照して、第２実施形態の半導体発光装置１ｂの製造方法について説明する。
【０１１７】
前述した図３（ｃ）に示す工程までは、第１実施形態と同様に進められる。ただし、第２実施形態では、図１８（ａ）に示すように、溝３６内の絶縁膜２１は除去せずに残しておく。
【０１１８】
その後、図１８（ｂ）に示すように、基板１０上の露出部に金属膜２２を形成した後、その金属膜２２上にレジスト３７を選択的に形成し、金属膜２２を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０１１９】
この電解メッキにより、金属膜２２上に第１のｐ側金属層２３が形成される。第１のｐ側金属層２３は、複数のチップ３に対して共通に連続して一体に形成される。第１のｐ側金属層２３は、絶縁膜２１に形成された開口を通じて、それぞれのチップ３のｐ側電極１６と接続される。
【０１２０】
次に、レジスト３７を除去し、さらに、図１９（ａ）に示すように、シードメタルとして使った金属膜２２の露出部を除去する。
【０１２１】
次に、例えばＣＶＤ法で、露出部の全面に、絶縁膜２４をコンフォーマルに形成した後、図１９（ｂ）に示すように第１のｐ側金属層２３で連結された部分の外側にある溝３６’内の絶縁膜２１と絶縁膜２４を除去し、図２０（ａ）に示すように、絶縁膜２４の上面に、支持体として例えば樹脂製のフィルム（またはシート）３８を貼り付ける。
【０１２２】
そして、図２０（ｂ）に示すように、基板１０上のチップ３から選択された対象チップ３を基板１０上から除去して、フィルム３８に移す。基板１０から除去されたチップ３は、第１のｐ側金属層２３を介してフィルム３８に支持される。
【０１２３】
基板１０がサファイア基板の場合、レーザーリフトオフ法によって、基板１０とチップ３とを分離することができる。
【０１２４】
複数のチップ３が連続した一体の第１のｐ側金属層２３で補強されているため、複数チップ３をあたかも１チップのように処理できる。また、チップ３が分割された状態で共通の第１のｐ側金属層２３で支持されているため、同サイズのひとつながりのチップの場合よりもチップ３にかかる応力を緩和できる。
【０１２５】
次に、図２１（ａ）に示すように、フィルム３８上の露出部に金属膜２５を形成した後、その金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０１２６】
これにより、図２１（ｂ）に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。
【０１２７】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図２２（ａ）に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。
【０１２８】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図２２（ｂ）に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。
【０１２９】
そして、その段差を被覆するように、絶縁膜２４の表面上および第１のｎ側金属層２６の表面上に、絶縁層２７を形成する。
【０１３０】
次に、例えばＣＭＰ法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図２３（ａ）に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。第１のｎ側金属層２６の表面上には絶縁層２７が残される。
【０１３１】
次に、図２３（ｂ）に示すように、チップ３の周辺領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【０１３２】
次に、図２４に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上および第１のｐ側金属層２３の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０１３３】
これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。第２のｐ側金属層２９は、第１のｐ側金属層２３上からチップ３の周辺領域の絶縁層２７上にまで広がって形成される。第２のｎ側金属層３０は、第２のｐ側金属層２９が広がる周辺領域とはチップ３を挟んだ反対側の周辺領域上に設けられる。
【０１３４】
次に、図２５に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０１３５】
これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０１３６】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図２６に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続、および第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との接続が分断される。
【０１３７】
次に、絶縁層２７上に、図２７に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０１３８】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図２７における下面）を研削して、図２８に示すように、第１の面１５ａ上の金属膜２５を露出させ、さらにその金属膜２５を除去して第１の面１５ａを露出させる。
【０１３９】
露出された第１の面１５ａは洗浄された後、図２９に示すように、凹凸を形成するフロスト処理が行われる。
【０１４０】
フロスト処理の後、図３０に示すように、第１の面１５ａ上、および第１のｎ側金属層２６上に、蛍光体層３５が形成される。
【０１４１】
樹脂層３３の表面は研削され、図１６に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０１４２】
そして、所望の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７、第１のｎ側金属層２６および蛍光体層３５を切断（ダイシング）して、図１６に示す半導体発光装置１ｂに個片化する。
【０１４３】
第２実施形態によれば、チップ３が複数に分割された状態で、前述した一連の工程が進められて、複数のチップ３を含む半導体発光層１ｂが得られる。このため、チップ３にかかる機械的な応力を低減することができ、信頼性が高い。
【０１４４】
（第３実施形態）
図３１は、第３実施形態の半導体発光装置１ｃの模式断面図である。  
図３２（ａ）は、半導体発光装置１ｃにおけるチップ３、第１のｎ側金属層２６および蛍光体層３５の平面配置関係を表す模式平面図である。  
図３２（ｂ）は、半導体発光装置１ｃにおける実装面側の模式平面図である。
【０１４５】
半導体発光装置１ｃは、チップ３と、チップ３よりも厚く、且つ大きな平面サイズのパッケージ部（または配線部）と、蛍光体層３５とを有する。
【０１４６】
第３実施形態の半導体発光装置１ｃにおいても、発光層１２ａを含まない第１の半導体層１１の側面１５ｃに、ｎ側電極１７が設けられている。ｎ側電極１７は、側面１５ｃの全面にわたって設けられ、第１の半導体層１１の周囲を連続して囲んでいる。
【０１４７】
さらに、ｎ側電極１７の一部は、側面１５ｃから第１の面１５ａをこえて図３１において下方に突出している。後述する図４８に示すように、第１の面１５ａ上に、周囲をｎ側電極１７で囲まれた空間４３が形成され、その空間４３に蛍光体層３５が設けられる。第１の面１５ａから突出したｎ側電極１７は、第１の面１５ａ上の蛍光体層３５の周囲を連続して囲んでいる。
【０１４８】
第１の面１５ａから突出したｎ側電極１７の周囲にも、金属膜２５を介して第１のｎ側金属層２６が設けられている。第１のｎ側金属層２６は、チップ３よりも厚く、ｎ側電極１７及び金属膜２５を介して、半導体層１５及び蛍光体層３５の周囲を連続して囲んでいる。
【０１４９】
図３３は、第３実施形態の半導体発光装置１ｃが実装基板１００上に実装された状態の模式断面図である。
【０１５０】
実装基板１００上には絶縁膜１０１が設けられ、その絶縁膜１０１上に配線層１０２及び１０３が設けられている。配線層１０２と配線層１０３とは、実装基板１００上で絶縁分離されている。ｐ側外部端子３１ａは、接合材として例えばはんだ１０４によって、配線層１０２に接合されている。ｎ側外部端子３２ａは、例えばはんだ１０４によって、配線層１０３に接合されている。
【０１５１】
半導体発光装置１ｃは、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａを含む実装面を、実装基板１００側に向けた状態で実装される。その状態で、第１の面１５ａ及び第１の面１５ａ上の蛍光体層３５は、実装基板１００の上方に向く。
【０１５２】
第３実施形態によれば、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７によって囲まれた蛍光体層３５が設けられている。ｎ側電極１７として、発光層１２ａの発光光および蛍光体層３５の波長変換光に対して反射性を有する金属を用いると、チップ３の側面及び蛍光体層３５の側面からの光の漏れを回避でき、光取り出し効率が向上する。
【０１５３】
また、実装基板表面の上方への指向性を強めた配光を実現可能であり、実装基板表面への反射板の形成などが不要となり、照明器具の光学設計が容易となり、コスト低減が図れる。
【０１５４】
発光層１２ａで発生した熱は、図３３において矢印Ａで表されるように、第２の面側から、第１のｐ側金属層２３、金属膜２８、第２のｐ側金属層２９及び第３のｐ側金属層３１を含むｐ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ１０４を介して実装基板１００へと放熱される。前記ｐ側金属体（配線部）は、チップ３よりも広い面積で且つ厚く第２の面側に設けられているため、高い放熱性が得られる。
【０１５５】
また、発光層１２ａで発生した熱は、図３３において矢印Ｂで表すように、ｎ側電極１７、金属膜２５、第１のｎ側金属層２６、金属膜２８、第２のｎ側金属層３０及び第３のｎ側金属層３２を含むｎ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ１０４を介して実装基板１００へと放熱される。この放熱経路は、チップ３の周囲に設けられチップ３よりも面積が広く厚い第１のｎ側金属層２６を含む。したがって、チップ３の側面側からの放熱性も高い。
【０１５６】
次に、図３４（ａ）〜図４９を参照して、第３実施形態の半導体発光装置１ｃの製造方法について説明する。
【０１５７】
第３実施形態では、基板４１として例えばシリコン基板上に半導体層１５が形成される。基板４１上に半導体層１５を形成した後、図示しないレジストを用いた例えばＲＩＥで、第２の半導体層１２を選択的に除去して、図３４（ａ）に示すように、第１の半導体層１１を選択的に露出させる。第１の半導体層１１が露出された領域５は発光層１２ａを含まない。
【０１５８】
また、図示しないレジストマスクを用いた例えばＲＩＥで溝４２を形成し、半導体層１５を複数に分離する。溝４２は、半導体層１５を貫通し、基板４１の表面にも形成される。したがって、基板４１の表面に、凸部４１ａ及び凹部４１ｂが形成される。
【０１５９】
半導体層１５の第２の面における発光層１２ａを含む領域上には、図３４（ｂ）に示すように、ｐ側電極１６が形成される。
【０１６０】
ｎ側電極１７は、溝４２に面する半導体層１５の側面１５ｃ及び基板４１の凸部４１ａの側面に形成される。ｎ側電極１７は、溝４２内を埋めない。
【０１６１】
第２の面において、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７が形成されていない面には、絶縁膜２１が形成される。ｐ側電極１６上の絶縁膜２１の一部は開口される。その後、熱処理により、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７を半導体層１５にオーミックコンタクトさせる。
【０１６２】
次に、基板４１上の露出部に、図３５（ａ）に示す金属膜２２がコンフォーマルに形成される。そして、その金属膜２２上にレジスト３７を選択的に形成し、金属膜２２を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。レジスト３７は、溝４２内及び溝４２上に形成される。
【０１６３】
この電解メッキにより、金属膜２２上に第１のｐ側金属層２３が形成される。第１のｐ側金属層２３は、絶縁膜２１に形成された開口を通じて、ｐ側電極１６と接続される。
【０１６４】
次に、レジスト３７を除去し、さらに、図３５（ｂ）に示すように、シードメタルとして使った金属膜２２の露出部を除去する。これにより、金属膜２２を通じたｐ側電極１６とｎ側電極１７との接続が分断される。
【０１６５】
次に、例えばＣＶＤ法で、露出部の全面に、図３６（ａ）に示す絶縁膜２４をコンフォーマルに形成した後、溝４２内の絶縁膜２４を除去する。ｎ側電極１７は露出される。
【０１６６】
次に、図３６（ｂ）に示すように、絶縁膜２４の上面に、支持体として例えば樹脂製のフィルム（またはシート）３８を貼り付ける。
【０１６７】
そして、基板４１の裏面を、溝４２に達するまで研削する。これにより、基板４１を介してウェーハ状につながっていたチップ３は、フィルム３８上で複数に分離される。第１の面１５ａ上におけるｎ側電極１７で囲まれた領域には、基板４１の凸部４１ａの一部が残される。
【０１６８】
次に、複数に分離されたチップ３間の距離を拡大させる。以降で続けられるプロセスにとって、高精度なチップ３間距離は求められない。したがって、例えば伸縮性を有するフィルム３８を使い、そのフィルム３８を拡張させて、図３７に示すように、フィルム３８上に支持された複数チップ３間の距離を広げる方法を用いることができる。
【０１６９】
あるいは、フィルム３８上からチップ３をピックアップして、別の支持体上にチップ間距離を広げて再配列してもよい。この場合でも、高精度なチップ３間距離は求められないため、高速な実装機を用いてチップ３を再配列することが可能である。
【０１７０】
次に、図３８に示すように、フィルム３８上の露出部に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２５を形成する。そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０１７１】
これにより、図３９に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。
【０１７２】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図４０に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。
【０１７３】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図４１に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。
【０１７４】
そして、その段差を被覆するように、絶縁膜２４の表面上および第１のｎ側金属層２６の表面上に、絶縁層２７を形成する。
【０１７５】
次に、例えばＣＭＰ法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図４２（ａ）に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。第１のｎ側金属層２６の表面上には絶縁層２７が残される。
【０１７６】
次に、図４２（ｂ）に示すように、チップ３の周辺領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【０１７７】
次に、図４３に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上および第１のｐ側金属層２３の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。
【０１７８】
次に、図４４に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０１７９】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図４５に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続、および第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との接続が分断される。
【０１８０】
次に、絶縁層２７上に、図４６に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０１８１】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図４６における下面）を研削し、さらに金属膜２５を除去して、図４７に示すように、第１の面１５ａ上に残されていた基板４１の表面を露出させる。
【０１８２】
次に、第１の面１５ａ上に残っている基板４１を除去する。基板４１はシリコン基板であるため、ウェットエッチングやドライエッチングによって容易に基板４１を除去することができる。
【０１８３】
基板４１の除去により、図４８に示すように、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７で囲まれた空間４３が形成される。その後、第１の面１５ａに対してフロスト処理が行われる。
【０１８４】
フロスト処理の後、空間４３に、図４９に示すように、蛍光体層３５が埋め込まれる。蛍光体層３５を第１の面１５ａ上にだけに形成することが可能であり、材料使用効率がよい。
【０１８５】
その後、樹脂層３３の表面は研削され、図３１に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０１８６】
そして、チップ３とチップ３との間の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７および第１のｎ側金属層２６を切断（ダイシング）して、図３１に示す半導体発光装置１ｃに個片化する。
【０１８７】
（第４実施形態）
図５０は、第４実施形態の半導体発光装置１ｄの模式断面図である。  
図５１（ａ）は、半導体発光装置１ｄにおけるチップ３、第１のｎ側金属層２６および蛍光体層３５の平面配置関係を表す模式平面図である。  
図５１（ｂ）は、半導体発光装置１ｄにおける実装面側の模式平面図である。
【０１８８】
第４実施形態の半導体発光装置１ｄは、複数のチップ３を含む点で、第３実施形態の半導体発光装置１ｃと異なる。図５１（ａ）及び（ｂ）に示すように、半導体発光装置１ｄは、例えば４つのチップ３を含む。あるいは、半導体発光装置１ｄが含むチップ３は４つに限らず、それより少なくても多くてもよい。
【０１８９】
隣り合う半導体層１５の側面１５ｃ間には、ｎ側電極１７及び金属膜２５を介して、第１のｎ側金属層２６が設けられている。図５１（ａ）に示すように、第１のｎ側金属層２６は、それぞれのチップ３の周囲を連続して囲んでいる。すなわち、チップ３の外側に設けられた第１のｎ側金属層２６と、チップ３間に設けられた第１のｎ側金属層２６とは一体に形成され、電気的につながっている。ｎ側電極１７及び金属膜２５は、側面１５ｃの周囲を連続して囲み、チップ３間に設けられた第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。
【０１９０】
また、隣り合う蛍光体層３５の側面間にも、ｎ側電極１７及び金属膜２５を介して、第１のｎ側金属層２６が設けられている。第１のｎ側金属層２６は、それぞれの蛍光体層３５の周囲を連続して囲んでいる。ｎ側電極１７及び金属膜２５も、蛍光体層３５の側面の周囲を連続して囲んでいる。
【０１９１】
第４実施形態によれば、チップ３間に設けられた第１のｎ側金属層２６、金属膜２５及びｎ側電極１７を含むｎ側金属体（またはｎ側配線部）により、各チップ３への電流分布を均一にすることができる。また、各チップ３の側面の熱抵抗を低くでき、各チップ３の放熱性を高めることができる。
【０１９２】
図５２は、第４実施形態の半導体発光装置１ｄが実装基板１００上に実装された状態の模式断面図である。
【０１９３】
複数のチップ３のそれぞれのｐ側電極１６は、第１のｐ側金属層２３及び第２のｐ側金属層２９を介して、共通の第３のｐ側金属層３１に電気的に接続されている。その第３のｐ側金属層３１のｐ側外部端子３１ａは、例えばはんだ１０４によって、配線層１０２に接合されている。
【０１９４】
複数のチップ３のそれぞれのｎ側電極１７は、第１のｎ側金属層２６及び第２のｎ側金属層３０を介して、共通の第３のｎ側金属層３２に電気的に接続されている。その第３のｎ側金属層３２のｎ側外部端子３２ａは、例えばはんだ１０４によって、配線層１０３に接合されている。
【０１９５】
半導体発光装置１ｄは、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａを含む実装面を、実装基板１００側に向けた状態で実装される。その状態で、各チップ３の第１の面１５ａ及び第１の面１５ａ上の蛍光体層３５は、実装基板１００の上方に向く。
【０１９６】
第４実施形態によれば、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７によって囲まれた蛍光体層３５が設けられている。ｎ側電極１７として、発光層１２ａの発光光および蛍光体層３５の波長変換光に対して反射性を有する金属を用いると、チップ３の側面及び蛍光体層３５の側面からの光の漏れを回避でき、光取り出し効率が向上する。
【０１９７】
また、実装基板表面の上方への指向性を強めた配光を実現可能であり、実装基板表面への反射板の形成などが不要となり、照明器具の光学設計が容易となり、コスト低減が図れる。
【０１９８】
発光層１２ａで発生した熱は、図５２において矢印Ａで表されるように、第２の面側から、第１のｐ側金属層２３、金属膜２８、第２のｐ側金属層２９及び第３のｐ側金属層３１を含むｐ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ１０４を介して実装基板１００へと放熱される。前記ｐ側金属体（配線部）は、チップ３よりも広い面積で且つ厚く第２の面側に設けられているため、高い放熱性が得られる。
【０１９９】
また、発光層１２ａで発生した熱は、図５２において矢印Ｂで表すように、ｎ側電極１７、金属膜２５、第１のｎ側金属層２６、金属膜２８、第２のｎ側金属層３０及び第３のｎ側金属層３２を含むｎ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ１０４を介して実装基板１００へと放熱される。この放熱経路は、チップ３の周囲に設けられチップ３よりも面積が広く厚い第１のｎ側金属層２６を含む。したがって、チップ３の側面側からの放熱性も高い。
【０２００】
次に、図５３（ａ）〜図６５を参照して、第４実施形態の半導体発光装置１ｄの製造方法について説明する。
【０２０１】
フィルム３８上で基板４１の裏面を溝４２に達するまで研削し、チップ３を複数に分離する工程までは、前述した第３実施形態と同じように進められる。
【０２０２】
その後、図５３（ａ）に示すように、別の支持体としてのフィルム（またはシート）４８上に、複数のチップ３を再配列する。
【０２０３】
基板４１を研削するためのフィルム３８上では、個々のチップ３は等間隔で配列されている。これに対して、フィルム４８上では、１つの半導体発光装置１ｄに含まれることになる複数のチップ群ごとにまとめられ、それらチップ群間の距離をフィルム３８に支持されていた状態よりも広げて再配列される。
【０２０４】
そして、図５３（ｂ）に示すように、フィルム４８上の露出部に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２５を形成する。金属膜２５は、隣り合うチップ３間の側面にもコンフォーマルに形成される。そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０２０５】
これにより、図５４に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。さらに、第１のｎ側金属層２６は、チップ３間にも埋め込まれる。
【０２０６】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図５５に示すように、フィルム４８が剥離される。フィルム４８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。
【０２０７】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図５６に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。
【０２０８】
そして、その段差を被覆するように、絶縁膜２４の表面上および第１のｎ側金属層２６の表面上に、絶縁層２７を形成する。
【０２０９】
次に、例えばＣＭＰ法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図５７に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。第１のｎ側金属層２６の表面上には絶縁層２７が残される。
【０２１０】
次に、図５８に示すように、チップ３の周辺領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【０２１１】
次に、図５９に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上および第１のｐ側金属層２３の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。
【０２１２】
次に、図６０に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０２１３】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図６１に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続、および第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との接続が分断される。
【０２１４】
次に、絶縁層２７上に、図６２に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０２１５】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図６２における下面）を研削し、さらに金属膜２５を除去して、図６３に示すように、第１の面１５ａ上に残されていた基板４１の表面を露出させる。
【０２１６】
次に、第１の面１５ａ上に残っている基板４１を除去する。基板４１の除去により、図６４に示すように、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７で囲まれた空間４３が形成される。その後、第１の面１５ａに対してフロスト処理が行われる。
【０２１７】
フロスト処理の後、空間４３に、図６５に示すように、蛍光体層３５が埋め込まれる。蛍光体層３５を第１の面１５ａ上にだけに形成することが可能であり、材料使用効率がよい。
【０２１８】
その後、樹脂層３３の表面は研削され、図５０に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０２１９】
そして、チップ３とチップ３との間の所望の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７および第１のｎ側金属層２６を切断（ダイシング）して、図５０に示す半導体発光装置１ｄに個片化する。
【０２２０】
（第５実施形態）
図６６は、第５実施形態の半導体発光装置１ｅの模式断面図である。
【０２２１】
第５実施形態の半導体発光装置１ｅも、第４実施形態と同様に複数のチップ３を含む。ただし、第５実施形態の半導体発光装置１ｅでは、複数のチップ３に対して共通に連続した一体の蛍光体層３５が設けられている。
【０２２２】
蛍光体層３５は、複数のチップ３の第１の面１５ａ上でｎ側電極１７によって連続して囲まれている。ｎ側電極１７として、発光層１２ａの発光光および蛍光体層３５の波長変換光に対して反射性を有する金属を用いると、チップ３の側面及び蛍光体層３５の側面からの光の漏れを回避でき、光取り出し効率が向上する。
【０２２３】
複数の半導体層１５間で側面１５ｃに設けられたｎ側電極１７どうしは、溝３６の底部側でつながっている。したがって、複数の半導体層１５間で側面１５ｃに設けられたｎ側電極１７どうしが電気的に接続されている。
【０２２４】
これにより、各チップ３への電流分布を均一にすることができる。また、各チップ３の側面の熱抵抗を低くでき、各チップ３の放熱性を高めることができる。
【０２２５】
第１のｐ側金属層２３、第２のｐ側金属層２９および第３のｐ側金属層３１は、複数のチップ３上で、複数のチップ３を含む領域に連続して広がり、複数のチップ３を一体に補強している。
【０２２６】
次に、図６７（ａ）〜図８６を参照して、第５実施形態の半導体発光装置１ｅの製造方法について説明する。
【０２２７】
基板４１上に半導体層１５を形成した後、図示しないレジストを用いた例えばＲＩＥで、第２の半導体層１２を選択的に除去して、第１の半導体層１１を選択的に露出させる。第１の半導体層１１が露出された領域５は発光層１２ａを含まない。
【０２２８】
その後、図６７（ａ）に示すように、半導体層１５上にレジスト膜４４を形成し、そのレジスト膜４４をマスクに用いた例えばＲＩＥで半導体層１５を複数に分離する。
【０２２９】
次に、図６７（ｂ）に示すように、半導体層１５上にレジスト膜４５を形成し、そのレジスト膜４５をマスクに用いた例えばＲＩＥで、基板４１の表面に溝４２を形成する。この溝４２により、基板４１の表面に凸部４１ａ及び凹部４１ｂが形成される。
【０２３０】
溝４２を形成した後、レジスト膜４５を除去する（図６８（ａ））。そして、半導体層１５の第２の面における発光層１２ａを含む領域上に、図６８（ｂ）に示すように、ｐ側電極１６が形成される。
【０２３１】
ｎ側電極１７は、溝４２に面する半導体層１５の側面１５ｃ及び基板４１の凸部４１ａの側面に形成される。
【０２３２】
第２の面において、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７が形成されていない面には、絶縁膜２１が形成される。絶縁膜２１は、溝４２内のｎ側電極１７を覆う。ｐ側電極１６上の絶縁膜２１の一部は開口される。その後、熱処理により、ｐ側電極１６及びｎ側電極１７を半導体層１５にオーミックコンタクトさせる。なお、熱処理は、絶縁膜２１をｐ側電極１６上で開孔する前に行っても構わない。
【０２３３】
次に、基板４１上の露出部に、図６９に示す金属膜２２がコンフォーマルに形成される。そして、その金属膜２２上にレジスト３７を選択的に形成し、金属膜２２を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。レジスト３７は、溝４２上に形成される。
【０２３４】
この電解メッキにより、金属膜２２上に第１のｐ側金属層２３が形成される。第１のｐ側金属層２３は、溝４２で囲まれる領域内の複数のチップ３間で共通に連続して形成される。第１のｐ側金属層２３は、絶縁膜２１に形成された開口を通じて、ｐ側電極１６と接続される。
【０２３５】
次に、レジスト３７を除去し、さらに、図７０に示すように、シードメタルとして使った金属膜２２の露出部を除去する。
【０２３６】
次に、例えばＣＶＤ法で、露出部の全面に、図７１に示す絶縁膜２４をコンフォーマルに形成した後、溝４２内の絶縁膜２４および絶縁膜２１を除去する。溝４２内のｎ側電極１７は露出される。
【０２３７】
次に、図７２に示すように、絶縁膜２４の上面に、支持体として例えば樹脂製のフィルム（またはシート）３８を貼り付ける。
【０２３８】
そして、基板４１の裏面を溝４２に達するまで研削する。これにより、基板４１を介してウェーハ状につながっていた複数のチップ３は、任意の数の単位で、溝４２の位置で分離される。第１の面１５ａ上におけるｎ側電極１７で囲まれた領域には、基板４１の凸部４１ａの一部が残される。
【０２３９】
次に、溝４２によって分離され、それぞれが複数のチップ３を含む複数の素子間の距離を拡大させる。図７３は、基板４１の研削時の状態から隣の素子との間隔が拡大された１つの素子を示す。この１つの素子は、複数のチップ３を含む。
【０２４０】
以降で続けられるプロセスにとって、高精度な素子間距離は求められない。したがって、例えば伸縮性を有するフィルム３８を使い、そのフィルム３８を拡張させて、フィルム３８上に支持された複数素子間の距離を広げる方法を用いることができる。
【０２４１】
あるいは、基板４１の研削に使ったフィルム３８上から素子をピックアップして、別の支持体上に素子間距離を広げて再配列してもよい。この場合でも、高精度な素子間距離は求められないため、高速な実装機を用いて素子を再配列することが可能である。
【０２４２】
１つの素子において、複数のチップ３が連続した一体の第１のｐ側金属層２３で補強されているため、複数チップ３をあたかも１チップのように処理できる。また、チップ３が分割された状態で共通の第１のｐ側金属層２３で支持されているため、同サイズのひとつながりのチップの場合よりもチップ３にかかる応力を緩和できる。
【０２４３】
そして、図７４に示すように、フィルム３８上の露出部に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２５を形成する。そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０２４４】
これにより、図７５に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。
【０２４５】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図７６に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。
【０２４６】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図７７に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。
【０２４７】
そして、その段差を被覆するように、絶縁膜２４の表面上および第１のｎ側金属層２６の表面上に、絶縁層２７を形成する。
【０２４８】
次に、例えばＣＭＰ法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図７８に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。第１のｎ側金属層２６の表面上には絶縁層２７が残される。
【０２４９】
次に、図７９に示すように、チップ３の周辺領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【０２５０】
次に、図８０に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上および第１のｐ側金属層２３の表面上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。
【０２５１】
次に、図８１に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０２５２】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図８２に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続、および第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との接続が分断される。
【０２５３】
次に、絶縁層２７上に、図８３に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０２５４】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図８３における下面）を研削し、さらに金属膜２５を除去して、図８４に示すように、第１の面１５ａ上に残されていた基板４１の表面を露出させる。
【０２５５】
次に、第１の面１５ａ上に残っている基板４１を除去する。基板４１の除去により、図８５に示すように、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７で囲まれた空間４３が形成される。その後、第１の面１５ａに対してフロスト処理が行われる。
【０２５６】
フロスト処理の後、空間４３に、図８６に示すように、蛍光体層３５が埋め込まれる。蛍光体層３５を第１の面１５ａ上にだけに形成することが可能であり、材料使用効率がよい。
【０２５７】
その後、樹脂層３３の表面は研削され、図６６に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０２５８】
そして、所望の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７および第１のｎ側金属層２６を切断（ダイシング）して、図６６に示す半導体発光装置１ｅに個片化する。
【０２５９】
（第６実施形態）
図８７は、第６実施形態の半導体発光装置１ｆの模式断面図である。
【０２６０】
第６実施形態の半導体発光装置１ｆは、バリスタ（varistor）５１を有する。第６実施形態では、前述した第３実施形態の半導体発光装置にバリスタを追加した構造を例示するが、他の実施形態の半導体発光装置にバリスタを追加してもよい。
【０２６１】
バリスタ５１は、第１のｐ側金属層２３の周辺領域における、第１のｎ側金属層２６と第２のｐ側金属層２９との間に設けられている。
【０２６２】
バリスタ５１は、第１の電極（または端子）５２と第２の電極（または端子）５３とを有する。第１の電極５２は、金属膜２５を介して第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。第２の電極５３は、金属膜２８を介して第２のｐ側金属層２９と電気的に接続されている。
【０２６３】
したがって、バリスタ５１は、ｐ側外部端子３１ａとｎ側外部端子３２ａとの間に電気的に接続されている。すなわち、チップ３とバリスタ５１とは、ｐ側外部端子３１ａとｎ側外部端子３２ａとの間に並列接続されている。
【０２６４】
バリスタ５１は、両電極５２及び５３間の電圧が低い場合には電気抵抗が高いが、ある程度以上に電圧が高くなると急激に電気抵抗が低くなる特性を有する。
【０２６５】
したがって、バリスタ５１は、チップ３をサージ電圧から保護する保護素子として機能し、静電破壊に強い半導体発光装置１ｆを提供することができる。
【０２６６】
次に、図８８（ａ）〜図１００を参照して、第６実施形態の半導体発光装置１ｆの製造方法について説明する。
【０２６７】
図３７に示す工程までは、第３実施形態と同様に進められる。そして、第６実施形態では、図８８（ａ）に示すように、フィルム３８上におけるチップ３の隣の領域に、バリスタ５１も搭載される。バリスタ５１の第２の電極５３がフィルム３８に貼り付けられる。
【０２６８】
次に、図８８（ｂ）に示すように、フィルム３８上の露出部に、メッキのシードメタルとして使われる金属膜２５を形成する。金属膜２５は、バリスタ５１の露出面もコンフォーマルに覆う。
【０２６９】
そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。これにより、図８９に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。フィルム３８上のバリスタ５１は金属膜２５を介して第１のｎ側金属層２６で覆われる。
【０２７０】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図９０に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜２４の表面が露出する。さらに、バリスタ５１の第２の電極５３も露出される。
【０２７１】
そして、金属膜２５及び第１のｎ側金属層２６をエッチバックして、図９１に示すように、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面を、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出させて、第１のｐ側金属層２３の表面及び絶縁膜２４の表面と、第１のｎ側金属層２６の表面との間に段差を形成する。また、バリスタ５１の第２の電極５３も、第１のｎ側金属層２６の表面よりも突出する。
【０２７２】
そして、絶縁膜２４の表面上、第１のｎ側金属層２６の表面上、およびバリスタ５１の第２の電極５３上に、絶縁層２７を形成する。
【０２７３】
次に、例えばＣＭＰ法で、絶縁膜２４の表面上の絶縁層２７及び絶縁膜２４を除去して、図９２に示すように第１のｐ側金属層２３の表面を露出させる。また、バリスタ５１の第２の電極５３上の絶縁層２７も除去され、第２の電極５３の表面も露出される。
【０２７４】
次に、図９３に示すように、チップ３の外周のバリスタ５１がない領域上の絶縁層２７に選択的に開口２７ａを形成して、第１のｎ側金属層２６の一部を露出させる。
【０２７５】
次に、図９４に示すように、開口２７ａ内、絶縁層２７の表面上、第１のｐ側金属層２３の表面上、およびバリスタ５１の第２の電極５３上に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、レジスト３９を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０２７６】
これにより、金属膜２８上に、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。第２のｐ側金属層２９は、第１のｐ側金属層２３上及びバリスタ５１の第２の電極５３上に形成され、金属膜２８を介して、第１のｐ側金属層２３及びバリスタ５１の第２の電極５３と電気的に接続される。
【０２７７】
次に、図９５に示すように、レジスト４０を用いて、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０２７８】
これにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０２７９】
次に、レジスト４０を除去し、さらに、図９６に示すように、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。これにより、金属膜２８を通じた、第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０との接続が分断される。
【０２８０】
次に、絶縁層２７上に、図９７に示す樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層２７、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０２８１】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図９７における下面）を研削し、さらに金属膜２５を除去して、図９８に示すように、第１の面１５ａ上に残っている基板４１を露出させる。
【０２８２】
次に、ウェットエッチングやドライエッチングによって基板４１を除去する。基板４１の除去により、図９９に示すように、第１の面１５ａ上にｎ側電極１７で囲まれた空間４３が形成される。その後、第１の面１５ａに対してフロスト処理が行われる。
【０２８３】
フロスト処理の後、空間４３に、図１００に示すように、蛍光体層３５が埋め込まれる。蛍光体層３５を第１の面１５ａ上にだけに形成することが可能であり、材料使用効率がよい。
【０２８４】
樹脂層３３の表面は研削され、図８７に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０２８５】
そして、所望の位置で、樹脂層３３、絶縁層２７及び第１のｎ側金属層２６を切断（ダイシング）して、図８７に示す半導体発光装置１ｆに個片化する。
【０２８６】
図８８（ａ）の工程におけるフィルム３８上でのバリスタ５１の搭載位置は高い位置精度は要求されず、生産性を高めてコスト低減を図れる。
【０２８７】
（第７実施形態）
図１０１は、第７実施形態の半導体発光装置１ｇの模式断面図である。
【０２８８】
半導体発光装置１ｇは、チップ３と、チップ３よりも厚く、且つ大きな平面サイズのパッケージ部（または配線部）と、蛍光体層３５とを有する。
【０２８９】
半導体層１５の第２の面における発光層１２ａを含む領域４上に、ｐ側電極１６が設けられている。ｐ側電極１６は、ｐ側バリアメタル６２で覆われている。
【０２９０】
半導体層１５の側面１５ｃにｎ側電極１７が設けられている。ｎ側電極１７は、ｎ側バリアメタル６１で覆われている。
【０２９１】
第２の面におけるｎ側バリアメタル６１とｐ側バリアメタル６２との間の段差は、絶縁膜２１で覆われている。
【０２９２】
第７実施形態では、第１のｐ側金属層としてｐ側スタッドバンプ６４が、ｐ側電極１６上に設けられている。ｐ側スタッドバンプ６４は、ｐ側バリアメタル６２を介してｐ側電極１６と電気的に接続している。
【０２９３】
ｎ側電極１７及びｎ側バリアメタル６１の周囲には、第１のｎ側金属層２６が設けられている。第１のｎ側金属層２６は、チップ３よりも厚く、半導体層１５の側面１５ｃ、ｎ側電極１７及びｎ側バリアメタル６１の周囲を連続して囲んでいる。
【０２９４】
第１のｎ側金属層２６は、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２５が、第１のｎ側金属層２６とｎ側バリアメタル６１との間、および第１のｎ側金属層２６とｎ側電極１７との間に設けられている。また、第１のｎ側金属層２６の表面（図１０１における上面）にも、金属膜２５が設けられている。
【０２９５】
半導体層１５（チップ３）の周辺領域における金属膜２５上には、ｎ側スタッドバンプ６５が設けられている。ｎ側スタッドバンプ６５は、金属膜２５を介して、第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。
【０２９６】
第１のｎ側金属層２６上には、金属膜２５を介して、絶縁層６３が設けられている。絶縁層６３は例えば樹脂層である。あるいは、絶縁層６３として無機物を用いることもできる。絶縁層６３は、ｎ側バリアメタル６１上、絶縁膜２１上、ｐ側バリアメタル６２上、ｐ側スタッドバンプ６４の周囲、およびｎ側スタッドバンプ６５の周囲にも設けられている。
【０２９７】
絶縁層６３の表面、ｎ側スタッドバンプ６５の上面、およびｐ側スタッドバンプ６４の上面は、面一な平坦面になっている。
【０２９８】
絶縁層６３の表面上には、第２のｐ側金属層２９が設けられている。第２のｐ側金属層２９は、チップ３の直上からチップ３の周辺領域上に広がって設けられ、ｐ側電極１６の面積及びｐ側バリアメタル６２の面積よりも広い面積を有する。
【０２９９】
第２のｐ側金属層２９は、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２８が、第２のｐ側金属層２９と絶縁層６３との間に設けられている。第２のｐ側金属層２９は、金属膜２８を介して、ｐ側スタッドバンプ６４と電気的に接続されている。
【０３００】
また、絶縁層６３上には、第２のｐ側金属層２９に対して離間して、第２のｎ側金属層３０が設けられている。第２のｎ側金属層３０は、例えば電解メッキ法で形成される銅を含む。そのメッキ時のシードメタルである金属膜２８が、第２のｎ側金属層３０と絶縁層６３との間に設けられている。
【０３０１】
第２のｎ側金属層３０は、半導体層１５（チップ３）の周辺領域で、ｎ側スタッドバンプ６５上に設けられている。第２のｎ側金属層３０は、金属膜２８、ｎ側スタッドバンプ６５及び金属膜２５を介して、第１のｎ側金属層２６と電気的に接続されている。
【０３０２】
第２のｐ側金属層２９において絶縁層６３に対する反対側の面上には、第３のｐ側金属層（またはｐ側金属ピラー）３１が設けられている。第２のｎ側金属層３０において絶縁層６３に対する反対側の面上には、第３のｎ側金属層（またはｎ側金属ピラー）３２が設けられている。
【０３０３】
また、絶縁層６３上には、第２の絶縁層として樹脂層３３が設けられている。樹脂層３３は、第２のｐ側金属層２９の周囲、第３のｐ側金属層３１の周囲、第２のｎ側金属層３０の周囲、および第３のｎ側金属層３２の周囲を覆っている。
【０３０４】
第２のｐ側金属層２９における第３のｐ側金属層３１との接続面以外の面、および第２のｎ側金属３０における第３のｎ側金属層３２との接続面以外の面は、樹脂層３３で覆われている。また、樹脂層３３は、第３のｐ側金属層３１と第３のｎ側金属層３２との間に充填して設けられ、第３のｐ側金属層３１の側面及び第３のｎ側金属層３２の側面を覆っている。
【０３０５】
第３のｐ側金属層３１における第２のｐ側金属層２９に対する反対側の面は、樹脂層３３で覆われずに露出され、実装基板に接合されるｐ側外部端子３１ａとして機能する。第３のｎ側金属層３２における第２のｎ側金属層３０に対する反対側の面は、樹脂層３３で覆われずに露出され、実装基板に接合されるｎ側外部端子３２ａとして機能する。
【０３０６】
第１のｐ側金属層としてのｐ側スタッドバンプ６４、第２のｐ側金属層２９および第３のｐ側金属層３１は、ｐ側外部端子３１ａとｐ側電極１６との間を電気的に接続するｐ側配線部を形成する。
【０３０７】
第１のｎ側金属層２６、ｎ側スタッドバンプ６５、第２のｎ側金属層３０および第３のｎ側金属層３２は、ｎ側外部端子３２ａとｎ側電極１７との間を電気的に接続するｎ側配線部を形成する。
【０３０８】
半導体層１５の第１の面１５ａ上には、蛍光体層３５が設けられている。半導体発光装置１ｇは、発光層１２ａからの光と、蛍光体層３５による波長変換光との混合光を放出可能である。
【０３０９】
第７実施形態の半導体発光装置１ｇにおいても、ｎ側電極１７を半導体層１５の側面１５ｃに設けている。このため、ｐ側電極１６が設けられる領域である発光層１２ａを含む領域４の面積を大きくでき、チップ３の平面サイズの小型化を図りつつ、大きな発光面の確保が可能になる。
【０３１０】
発光層１２ａで発生した熱は、ｐ側電極１６、ｐ側バリアメタル６２、ｐ側スタッドバンプ６４、金属膜２８、第２のｐ側金属層２９及び第３のｐ側金属層３１を含むｐ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ等によって実装基板と接合されるｐ側外部端子３１ａから実装基板へと放熱される。前記ｐ側金属体（配線部）は、チップ３よりも広い面積で且つ厚く第２の面上に設けられているため、高い放熱性が得られる。
【０３１１】
また、発光層１２ａで発生した熱は、ｎ側電極１７、ｎ側バリアメタル６１、金属膜２５、第１のｎ側金属層２６、ｎ側スタッドバンプ６５、金属膜２８、第２のｎ側金属層３０及び第３のｎ側金属層３２を含むｎ側の金属体（配線部）を伝導し、さらに、はんだ等によって実装基板と接合されるｎ側外部端子３２ａから実装基板へと放熱される。この放熱経路は、チップ３の周囲に設けられチップ３よりも面積が広く厚い第１のｎ側金属層２６を含む。したがって、チップ３の側面側からの放熱性も高い。
【０３１２】
次に、図１０２（ａ）〜図１０８を参照して、第７実施形態の半導体発光装置１ｇの製造方法について説明する。
【０３１３】
ｐ側電極１６、ｎ側電極１７および絶縁膜２１の形成までは、第１実施形態と同様に進められる。そして、第７実施形態では、図１０２（ａ）に示すように、ｐ側電極１６上にｐ側バリアメタル６２が形成される。ｐ側バリアメタル６２は、ｐ側電極１６の上面及び側面を覆って保護する。さらに、ｎ側電極１７上及びｎ側電極１７の側面に、ｎ側バリアメタル６１が形成される。ｎ側バリアメタル６１は、ｎ側電極１７の上面及び側面を覆って保護する。
【０３１４】
次に、図１０２（ｂ）に示すように、チップ３上に絶縁膜６６が形成される。絶縁膜６６は、ｎ側バリアメタル６１、ｐ側バリアメタル６２および絶縁膜２１を覆う。絶縁膜６６の上面は平坦化される。絶縁膜６６は、例えば感光性ポリイミドである。
【０３１５】
次に、図１０３（ａ）に示すように、絶縁膜６６の上面に、支持体として例えば樹脂製のフィルム（またはシート）３８を貼り付ける。そして、図１０３（ｂ）に示すように、基板１０上のチップ３から選択された対象チップ３を基板１０上から除去して、フィルム３８に移す。サファイア基板である基板１０は、レーザーリフトオフ法によって、半導体層１５と分離することができる。
【０３１６】
次に、図１０４（ａ）に示すように、フィルム３８上の露出部に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２５を形成する。そして、金属膜２５を電流経路としたＣｕ電解メッキを行う。
【０３１７】
これにより、図１０４（ｂ）に示すように、金属膜２５上に第１のｎ側金属層２６が形成される。第１のｎ側金属層２６は、チップ３の周辺および第１の面１５ａ上に形成される。第１のｎ側金属層２６の表面（図１０４（ｂ）における下面）は、必要に応じて研削され、図１０５（ａ）に示すように平坦化される。
【０３１８】
第１のｎ側金属層２６の形成後、図１０５（ａ）に示すように、フィルム３８が剥離される。フィルム３８の剥離により、金属膜２５及び絶縁膜６６の表面が露出する。
【０３１９】
そして、絶縁膜６６を、例えば酸素を用いたアッシング法により除去する。これにより、図１０５（ｂ）に示すように、ｐ側バリアメタル６２の上面が露出する。あるいは、絶縁膜６６はすべてを除去することに限らず、ｐ側バリアメタル６２上の絶縁膜６６に開口を形成して、ｐ側バリアメタル６２の上面を露出させてもよい。
【０３２０】
次に、図１０６（ａ）に示すように、ｐ側バリアメタル６２上にｐ側スタッドバンプ６４を形成する。また、チップ３の周辺領域における金属膜２５上にｎ側スタッドバンプ６５を形成する。
【０３２１】
次に、図１０６（ｂ）に示すように、金属膜２５上に絶縁層６３を形成した後、絶縁層６３の上面を平坦化する。ｐ側スタッドバンプ６４の上面及びｎ側スタッドバンプ６５の上面も平坦化され、絶縁層６３から露出される。絶縁層６３は、ｐ側スタッドバンプ６４の周囲及びｎ側スタッドバンプ６５の周囲を覆う。
【０３２２】
次に、図１０７に示すように、絶縁層６３の表面、ｐ側スタッドバンプ６４の上面及びｎ側スタッドバンプ６５の上面に、メッキのシードメタルとして機能する金属膜２８を形成する。そして、第１実施形態と同様に、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキにより、金属膜２８上に第２のｐ側金属層２９と第２のｎ側金属層３０が形成される。さらに、金属膜２８を電流経路としたＣｕ電解メッキにより、第２のｐ側金属層２９上に第３のｐ側金属層３１が、第２のｎ側金属層３０上に第３のｎ側金属層３２が形成される。
【０３２３】
上記メッキに使ったレジストを除去した後、さらに、シードメタルとして使った金属膜２８の露出部を除去する。そして、絶縁層６３上に樹脂層３３を形成する。樹脂層３３は、絶縁層６３、第２のｐ側金属層２９、第２のｎ側金属層３０、第３のｐ側金属層３１、および第３のｎ側金属層３２を覆う。
【０３２４】
次に、第１のｎ側金属層２６の表面（図１０７における下面）を研削して、第１の面１５ａ上の金属膜２５を露出させ、さらにその金属膜２５を除去して、図１０８に示すように、第１の面１５ａを露出させる。露出された第１の面１５ａは洗浄された後、凹凸を形成するフロスト処理が行われる。
【０３２５】
フロスト処理の後、図１０１に示すように、第１の面１５ａ上、および第１のｎ側金属層２６上に、蛍光体層３５が形成される。
【０３２６】
また、樹脂層３３の表面は研削され、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０３２７】
そして、チップ３とチップ３との間の位置で、樹脂層３３、絶縁層６３、金属膜２５、第１のｎ側金属層２６、および蛍光体層３５を切断（ダイシング）して、図１０１に示す半導体発光装置１ｇに個片化する。
【０３２８】
ダイシング領域には、半導体層１５は設けられず、例えばＧａＮ系の半導体層１５よりも柔軟性がある樹脂と金属が設けられている。このため、ダイシング時に半導体層１５が受けるダメージを回避することができる。
【０３２９】
ダイシングされる前までの前述した各工程は、ウェーハ状態で一括して行われる。したがって、ダイシング後に、個々のチップ３ごとに、支持体の形成、配線部の形成、放熱体の形成、およびチップ３の保護を行う必要がなく、大幅な生産コストの低減が可能になる。
【０３３０】
（第８実施形態）
図１０９は、第８実施形態の半導体発光装置１ｈの模式断面図である。
【０３３１】
この半導体発光装置１ｈでは、第１のｎ側金属層２６の側面２６ａにも蛍光体層３５が設けられている。
【０３３２】
これにより、半導体層１５の側面から放出された（漏れた）光を、第１のｎ側金属層２６の側面２６ａに設けた蛍光体層３５に入射させることができ、色度ばらつきの抑制が可能となる。
【０３３３】
また、第８実施形態の半導体発光装置１ｈでは、第２のｐ側金属層２９上に、複数の第３のｐ側金属層３１を設けている。複数の第３のｐ側金属層３１間にも樹脂層３３が設けられ、樹脂層３３は複数の第３のｐ側金属層３１を補強している。
【０３３４】
次に、図１１０〜図１１２を参照して、第８実施形態の半導体発光装置１ｈの製造方法について説明する。
【０３３５】
第１実施形態における図１４に示す工程まで、第１実施形態と同様に進められる。その後、図１１０に示すように、保護膜３４の表面及び第１の面１５ａに、エッチングマスクとして機能するハードマスク７１を形成する。ハードマスク７１は、例えばシリコン窒化膜である。
【０３３６】
ハードマスク７１はパターニングされ、開口７１ａを有する。そして、開口７１ａから露出する保護膜３４が選択的に除去され、第１のｎ側金属層２６の表面が開口７１ａに露出する。
【０３３７】
そして、開口７１ａを通じて、例えば銅を含む第１のｎ側金属層２６をウェットエッチングする。これにより、図１１１に示すように、第１のｎ側金属層２６にくぼみ２６ｂが形成される。
【０３３８】
そして、図１１２に示すように、ハードマスク７１上およびくぼみ２６ｂに蛍光体層３５を形成する。
【０３３９】
その後、樹脂層３３が研削され、図１０９に示すように、ｐ側外部端子３１ａ及びｎ側外部端子３２ａが露出される。
【０３４０】
その後、くぼみ２６ｂの位置で、蛍光体層３５、絶縁層２７および樹脂層３３を切断し、図１０９に示す半導体発光装置１ｈに個片化する。
【０３４１】
第１の面１５ａ上にはハードマスク７１が残されるが、ハードマスク７１として用いられる例えばシリコン窒化膜は、発光層１２ａの発光光に対して透過性を有するため、光取り出しの妨げにならない。
【０３４２】
むしろ、例えば窒化ガリウムを含む第１の面１５ａに、その窒化ガリウムと空気との間の屈折率を有するシリコン窒化膜が設けられていると、第１の面１５ａを通じた光の取り出し方向で、媒質の屈折率が大きく変化するのを防いで、光の取り出し効率を向上できる。
【０３４３】
以上述べた少なくともひとつの実施形態によれば、チップを小型化しつつ、放熱性及び機械的強度に優れた構造を高い生産性で実現でき、低コスト及び高信頼性の半導体発光装置を提供することができる。
【０３４４】
蛍光体層としては、以下に例示する赤色蛍光体層、黄色蛍光体層、緑色蛍光体層、青色蛍光体層を用いることができる。
【０３４５】
赤色蛍光体層は、例えば、窒化物系蛍光体ＣａＡｌＳｉＮ３：Ｅｕやサイアロン系蛍光体を含有することができる。
【０３４６】
サイアロン系蛍光体を用いる場合、特に、
（Ｍ１−ｘ，Ｒｘ）ａ１ＡｌＳｉｂ１Ｏｃ１Ｎｄ１・・・組成式（１）
（ＭはＳｉ及びＡｌを除く少なくとも１種の金属元素であり、特に、Ｃａ若しくはＳｒの少なくとも一方が望ましい。Ｒは発光中心元素であり、特に、Ｅｕが望ましい。ｘ、ａ１、ｂ１、ｃ１、ｄ１は、次の関係を満たす。０＜ｘ≦１、０．６＜ａ１＜０．９５、２＜ｂ１＜３．９、０．２５＜ｃ１＜０．４５、４＜ｄ１＜５．７）を用いることができる。
【０３４７】
組成式（１）で表されるサイアロン系蛍光体を用いることで、波長変換効率の温度特性が向上し、大電流密度領域での効率をさらに向上させることができる。
【０３４８】
黄色蛍光体層は、例えば、シリケート系蛍光体（Ｓｒ，Ｃａ，Ｂａ）２ＳｉＯ４：Ｅｕを含有することができる。
【０３４９】
緑色蛍光体層は、例えば、ハロ燐酸系蛍光体（Ｂａ，Ｃａ，Ｍｇ）１０（ＰＯ４）６・Ｃｌ２：Ｅｕやサイアロン系蛍光体を含有することができる。
【０３５０】
サイアロン系蛍光体を用いる場合、特に、
（Ｍ１−ｘ，Ｒｘ）ａ２ＡｌＳｉｂ２Ｏｃ２Ｎｄ２・・・組成式（２）
（ＭはＳｉ及びＡｌを除く少なくとも１種の金属元素であり、特に、Ｃａ若しくはＳｒの少なくとも一方が望ましい。Ｒは発光中心元素であり、特に、Ｅｕが望ましい。ｘ、ａ２、ｂ２、ｃ２、ｄ２は、次の関係を満たす。０＜ｘ≦１、０．９３＜ａ２＜１．３、４．０＜ｂ２＜５．８、０．６＜ｃ２＜１、６＜ｄ２＜１１）を用いることができる。
【０３５１】
組成式（２）で表されるサイアロン系蛍光体を用いることで、波長変換効率の温度特性が向上し、大電流密度領域での効率をさらに向上させることができる。
【０３５２】
青色蛍光体層は、例えば、酸化物系蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕを含有することができる。
【０３５３】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０３５４】
１ａ〜１ｈ…半導体発光装置、３…チップ、１０，４１…基板、１１…第１の半導体層、１２ａ…発光層、１２…第２の半導体層、１５…半導体層、１５ａ…第１の面、１５ｃ…側面、１６…ｐ側電極、１７…ｎ側電極、２１，２４…絶縁膜、２３…第１のｐ側金属層、２６…第１のｎ側金属層、２７…絶縁層、２９…第２のｐ側金属層、３０…第２のｎ側金属層、３１…第３のｐ側金属層、３１ａ…ｐ側外部端子、３２…第３のｎ側金属層、３２ａ…ｎ側外部端子、３３…樹脂層、３５…蛍光体層、５１…バリスタ
【図１】
0005710532.tif 000002
【図２】
0005710532.tif 000003
【図３】
0005710532.tif 000004
【図４】
0005710532.tif 000005
【図５】
0005710532.tif 000006
【図６】
0005710532.tif 000007
【図７】
0005710532.tif 000008
【図８】
0005710532.tif 000009
【図９】
0005710532.tif 000010
【図１０】
0005710532.tif 000011
【図１１】
0005710532.tif 000012
【図１２】
0005710532.tif 000013
【図１３】
0005710532.tif 000014
【図１４】
0005710532.tif 000015
【図１５】
0005710532.tif 000016
【図１６】
0005710532.tif 000017
【図１７】
0005710532.tif 000018
【図１８】
0005710532.tif 000019
【図１９】
0005710532.tif 000020
【図２０】
0005710532.tif 000021
【図２１】
0005710532.tif 000022
【図２２】
0005710532.tif 000023
【図２３】
0005710532.tif 000024
【図２４】
0005710532.tif 000025
【図２５】
0005710532.tif 000026
【図２６】
0005710532.tif 000027
【図２７】
0005710532.tif 000028
【図２８】
0005710532.tif 000029
【図２９】
0005710532.tif 000030
【図３０】
0005710532.tif 000031
【図３１】
0005710532.tif 000032
【図３２】
0005710532.tif 000033
【図３３】
0005710532.tif 000034
【図３４】
0005710532.tif 000035
【図３５】
0005710532.tif 000036
【図３６】
0005710532.tif 000037
【図３７】
0005710532.tif 000038
【図３８】
0005710532.tif 000039
【図３９】
0005710532.tif 000040
【図４０】
0005710532.tif 000041
【図４１】
0005710532.tif 000042
【図４２】
0005710532.tif 000043
【図４３】
0005710532.tif 000044
【図４４】
0005710532.tif 000045
【図４５】
0005710532.tif 000046
【図４６】
0005710532.tif 000047
【図４７】
0005710532.tif 000048
【図４８】
0005710532.tif 000049
【図４９】
0005710532.tif 000050
【図５０】
0005710532.tif 000051
【図５１】
0005710532.tif 000052
【図５２】
0005710532.tif 000053
【図５３】
0005710532.tif 000054
【図５４】
0005710532.tif 000055
【図５５】
0005710532.tif 000056
【図５６】
0005710532.tif 000057
【図５７】
0005710532.tif 000058
【図５８】
0005710532.tif 000059
【図５９】
0005710532.tif 000060
【図６０】
0005710532.tif 000061
【図６１】
0005710532.tif 000062
【図６２】
0005710532.tif 000063
【図６３】
0005710532.tif 000064
【図６４】
0005710532.tif 000065
【図６５】
0005710532.tif 000066
【図６６】
0005710532.tif 000067
【図６７】
0005710532.tif 000068
【図６８】
0005710532.tif 000069
【図６９】
0005710532.tif 000070
【図７０】
0005710532.tif 000071
【図７１】
0005710532.tif 000072
【図７２】
0005710532.tif 000073
【図７３】
0005710532.tif 000074
【図７４】
0005710532.tif 000075
【図７５】
0005710532.tif 000076
【図７６】
0005710532.tif 000077
【図７７】
0005710532.tif 000078
【図７８】
0005710532.tif 000079
【図７９】
0005710532.tif 000080
【図８０】
0005710532.tif 000081
【図８１】
0005710532.tif 000082
【図８２】
0005710532.tif 000083
【図８３】
0005710532.tif 000084
【図８４】
0005710532.tif 000085
【図８５】
0005710532.tif 000086
【図８６】
0005710532.tif 000087
【図８７】
0005710532.tif 000088
【図８８】
0005710532.tif 000089
【図８９】
0005710532.tif 000090
【図９０】
0005710532.tif 000091
【図９１】
0005710532.tif 000092
【図９２】
0005710532.tif 000093
【図９３】
0005710532.tif 000094
【図９４】
0005710532.tif 000095
【図９５】
0005710532.tif 000096
【図９６】
0005710532.tif 000097
【図９７】
0005710532.tif 000098
【図９８】
0005710532.tif 000099
【図９９】
0005710532.tif 000100
【図１００】
0005710532.tif 000101
【図１０１】
0005710532.tif 000102
【図１０２】
0005710532.tif 000103
【図１０３】
0005710532.tif 000104
【図１０４】
0005710532.tif 000105
【図１０５】
0005710532.tif 000106
【図１０６】
0005710532.tif 000107
【図１０７】
0005710532.tif 000108
【図１０８】
0005710532.tif 000109
【図１０９】
0005710532.tif 000110
【図１１０】
0005710532.tif 000111
【図１１１】
0005710532.tif 000112
【図１１２】
0005710532.tif 000113