(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータと、通常運用時の運用モード時及びマニュアルモード時に使用される運用パラメータとを含む装置パラメータの編集を行う為の表示部と、前記装置パラメータを格納するパラメータデータ格納領域と、前記運用パラメータを保存する運用パラメータデータファイルを少なくとも格納するファイル格納領域と、前記編集後のセットアップパラメータによって前記セットアップパラメータを上書きするセットアップパラメータ更新プログラムを少なくとも格納するプログラム格納領域を含む記憶部と、を有する操作部と、基板を処理する処理室を制御するプロセス制御部と、を少なくとも具備した基板処理装置であって、
前記操作部は、
前記パラメータデータ格納領域に書込まれた前記セットアップパラメータを編集画面に表示し、前記編集画面で前記セットアップパラメータが編集された後、編集後のセットアップパラメータを前記プロセス制御部にダウンロードし、
前記プロセス制御部は、
ダウンロードされた前記編集後のセットアップパラメータで前記処理室を制御可能か判断し、判断結果を前記操作部にダウンロードし、
前記操作部は、
前記判断結果が正常か判断し、正常の場合、前記編集後のセットアップパラメータを前記パラメータデータ格納領域に上書きし、
前記セットアップパラメータ更新プログラムは、前記ファイル格納領域にアクセスしない様構成されたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記編集画面には、パラメータを保存する保存ボタンが表示されない様に構成されている請求項１の基板処理装置。
【請求項３】
前記操作部は、
前記プロセス制御部から受信した前記判断結果が異常であった場合、前記編集後のセットアップパラメータを再度ダウンロードするか、又はアラームを発生して前記編集画面を再度表示する様に構成されている請求項１の基板処理装置。
【請求項４】
更に、前記表示部に装置モード切替ボタンを表示する様に構成され、
前記操作部は、前記装置モード切替ボタンにより、前記運用モード、前記セットアップモード、及び前記マニュアルモードの３つの装置モードを切替え可能に構成されている請求項１の基板処理装置。
【請求項５】
前記運用モードと前記セットアップモード間の切替えができない様に構成されている請求項４の基板処理装置。
【請求項６】
前記パラメータデータ格納領域に格納されている前記セットアップパラメータは、前記セットアップモードから前記マニュアルモードに切替える際、前記運用パラメータで上書きされる様に構成されている請求項４の基板処理装置。
【請求項７】
保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータと、通常運用時の運用モード時及びマニュアルモード時に使用される運用パラメータとを含む装置パラメータの編集を行う工程を有するパラメータ編集方法であって、前記装置パラメータの編集を行う工程は、パラメータデータ格納領域に書込まれた前記セットアップパラメータの編集を行う工程と、前記運用パラメータの編集を行う工程とを有し、
前記セットアップパラメータの編集を行う工程では、
前記パラメータデータ格納領域に書込まれた前記セットアップパラメータを編集画面に表示する工程と、
前記編集画面で前記セットアップパラメータが編集された後、編集後のセットアップパラメータをダウンロードする工程と、
ダウンロードされた前記編集後のセットアップパラメータで基板を処理する処理室を制御可能か判断し、判断結果をダウンロードする工程と、
前記判断結果が正常か判断し、正常の場合、前記編集後のセットアップパラメータを前記パラメータデータ格納領域に上書きする工程と、
を有し、前記運用パラメータを保存する運用パラメータデータファイルを少なくとも格納するファイル格納領域にアクセスしない様にすることを特徴とするパラメータ編集方法。
【請求項８】
請求項１の基板処理装置で実行されるセットアップパラメータを更新する為のセットアップパラメータ更新プログラムであって、
前記セットアップパラメータが編集された後の編集後のセットアップパラメータをダウンロードする処理と、
前記編集後のセットアップパラメータをパラメータデータ格納領域に上書きする処理と、
を含むセットアップパラメータ更新プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を処理する複数の部品で構成される基板処理装置、特に制御を行うパラメータの編集を行う基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置を納入する際には、基板処理装置が具備する各アクチュエータの配線確認や、動作確認、真空チャンバのリークチェック等の調整作業が行われる。
【０００３】
例として、リークチェックコマンドを実行する際には、該当するプロセスチャンバでアラームが発生していないことが前提となっているが、例えばハードインターロック信号の一つが未接続或は故障している場合、該当するハードインターロックアラームが発生し、リークチェックを実行できない。この時、装置パラメータの項目の１つである前記ハードインターロックアラームのレベル設定にて、「異常が発生していたらアラームを発生させるレベル」から「アラームが発生していても無視するレベル」に変更し、アラームを発生させない様にする必要がある。
【０００４】
前記ハードインターロック信号を接続した後、或は該ハードインターロック信号の故障の修理が完了した後、調整時に変更した装置パラメータを元に戻さないままで通常運用を行った場合、変更した装置パラメータに沿って基板処理が実行される。従って、前記ハードインターロックが発生しても基板処理装置の運転が停止しない様にパラメータが変更されたままである為、発生しているアラームの内容によっては不良製品を生み出す、或は安全に運用できなくなる虞れがある。
【０００５】
一方、基板処理装置を構成する部品毎にメンテナンス時の動作を指示するメンテナンスコマンドを設定し、メンテナンスコマンドをパラメータ化し、且つメンテナンスコマンドモニタ画面を設け、操作画面での設定を可能としている基板処理装置として、特許文献１に示されるものがある。
【０００６】
然し乍ら、部品毎のメンテナンス作業の場合も納入時の調整作業と同様、作業が終了した後にパラメータを元に戻さないままで通常運用を行うと、不良製品を生み出す、或は安全に運用できなくなる虞れがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】ＷＯ２０１０／３２４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は斯かる実情に鑑み、装置パラメータの設定に係る信頼性の低下を解決し、安全に調整でき、又保守作業から通常運用に容易に且つ確実に移行できる装置パラメータを設定可能な基板処理装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、装置パラメータの編集を行う為の表示部と、前記装置パラメータを保存する記憶部とを有する操作部と、該操作部からダウンロードされる前記装置パラメータを実行する制御部とを具備し、前記装置パラメータは調整作業や故障の修理や定期的な保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータと、通常運用時の運用モード時に使用される運用パラメータとを有し、前記セットアップパラメータが編集された場合でも前記運用パラメータが影響を受けない様構成された基板処理装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、装置パラメータの編集を行う為の表示部と、前記装置パラメータを保存する記憶部とを有する操作部と、該操作部からダウンロードされる前記装置パラメータを実行する制御部とを具備し、前記装置パラメータは調整作業や故障の修理や定期的な保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータと、通常運用時の運用モード時に使用される運用パラメータとを有し、前記セットアップパラメータが編集された場合でも前記運用パラメータが影響を受けない様構成されたので、前記セットアップパラメータが編集された後で通常運用された場合にも、不良品の製造や通常運用時の危険を防止することができるという優れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に於ける基板処理装置の概略構成図である。
【図２】本発明に於ける基板処理装置を制御する為の制御系の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に於ける処理炉の構成を示す概略断面図である。
【図４】本発明に於ける操作部の詳細を示すブロック図である。
【図５】本発明に於ける運用パラメータ更新の流れを示す作用説明図である。
【図６】本発明に於けるセットアップパラメータ更新の流れを示す作用説明図である。
【図７】本発明に於ける装置モードの運用モードからセットアップモードへの切替えを説明するシーケンス図である。
【図８】本発明に於ける装置モードのセットアップモードから運用モードへの切替えを説明するシーケンス図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説明する。
【００１３】
先ず、図１に於いて、本発明に於ける基板処理装置について説明する。尚、図１中に示されるのは、基板処理装置の一例である枚葉型の基板処理装置の概略的な構成であり、ウェーハ搬送用ロボットやプロセスチャンバが複数台、及びキャリア受渡し用のロードロック室が２式接続された並列冗長の構成となっている。又、前記基板処理装置に於ける基板（ウェーハ）の搬送にはキャリアが用いられている。
【００１４】
枚葉型の基板処理装置１は２チャンネルで構成されており、第１の処理モジュール２及び第２の処理モジュール３により構成されている。前記第１の処理モジュール２は、インライン接続された真空気密可能な基板処理室としての第１のプロセスチャンバ４と、該第１のプロセスチャンバ４の前段に設けられた前室としての真空気密可能な第１のバキュームロックチャンバ５とから構成されている。
【００１５】
前記第２の処理モジュール３は、インライン接続された真空気密可能な基板処理室としての第２のプロセスチャンバ６と、該第２のプロセスチャンバ６の前段に設けられた前室としての真空気密可能な第２のバキュームロックチャンバ７とから構成されている。
【００１６】
前記第１のプロセスチャンバ４と前記第１のバキュームロックチャンバ５とは第１のゲートバルブ８を介して気密に接続され、前記第２のプロセスチャンバ６と前記第２のバキュームロックチャンバ７とは第２のゲートバルブ９を介して気密に接続されている。
【００１７】
前記第１のバキュームロックチャンバ５には、第２の基板搬送装置としての第１の真空ロボットハンドラ１１が、前記第１のプロセスチャンバ４、前記第１のバキュームロックチャンバ５間に於いてウェーハ１８を搬送可能に設けられている。前記第２のバキュームロックチャンバ７には、第２の基板搬送装置としての第２の真空ロボットハンドラ１２が、前記第２のプロセスチャンバ６、前記第２のバキュームロックチャンバ７間に於いてウェーハ１８を搬送可能に設けられている。
【００１８】
又、前記第１のバキュームロックチャンバ５と前記第２のバキュームロックチャンバ７は、それぞれウェーハ１８を保持可能な多段型ステージ、例えば上下２段のステージを有し、該多段型ステージの、上段の第１のバッファステージ（ＬＳ）１９及び第２のバッファステージ（ＬＳ）２０ではウェーハ１８を保持し、下段の第１のクリーンステージ（ＣＳ）２１及び第２のクリーンステージ（ＣＳ）２２ではウェーハ１８を冷却可能となっている。
【００１９】
前記第１のバキュームロックチャンバ５は、第１のローダドア１６を介して大気搬送室としての大気ローダ１３と気密に接続され、前記第２のバキュームロックチャンバ７は、第２のローダドア１７を介して前記大気ローダ１３と気密に接続されている。又、該大気ローダ１３には、１台の第１の基板搬送装置としてのローダハンドラ１５が装備されると共に、基板位置補正装置としてのアライナ１４が設けられている。前記ローダハンドラ１５は前記第１のバキュームロックチャンバ５と前記第２のバキュームロックチャンバ７へウェーハ１８を搬入搬出可能であり、又前記ローダハンドラ１５は第１のロードポート２３（後述）、第２のロードポート２４（後述）にウェーハ１８を搬送可能であり、前記アライナ１４は搬送時のウェーハ１８のずれの補正やノッチを一定方向に合わせるノッチ合せ（以下、アラインメントと称す）が可能となっている。
【００２０】
又、前記第１のバキュームロックチャンバ５及び前記第２のバキュームロックチャンバ７の反対側には、基板収納部としての第１のロードポート２３及び第２のロードポート２４が設けられている。前記第１のロードポート２３及び前記第２のロードポート２４は、複数枚のウェーハ１８が保持可能な第１のキャリア２５及び第２のキャリア２６を、前記基板処理装置１外部と受渡し可能に構成されていると共に、少なくともキャリアＩＤをリード／ライトすることができる。
【００２１】
上述した前記第１の真空ロボットハンドラ１１及び前記第２の真空ロボットハンドラ１２、前記ローダハンドラ１５、前記第１のゲートバルブ８及び前記第２のゲートバルブ９、前記第１のローダドア１６及び前記第２のローダドア１７、前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６のガス導入・排気機構、温度制御・プラズマ放電機構や、前記第１のバキュームロックチャンバ５及び前記第２のバキュームロックチャンバ７の冷却機構等は、制御用コントローラである操作部２８により制御される様になっている。
【００２２】
本実施例に於ける基板処理装置１の構成では、前記第１のプロセスチャンバ４の一式と前記第１のバキュームロックチャンバ５の一式を対とし、前記第２のプロセスチャンバ６の一式と前記第２のバキュームロックチャンバ７の一式を別の対として、２つのラインを前記大気ローダ１３に接続する。尚、本実施例の構成では２ラインとなっているが、更に多くのラインで構成してもよい。
【００２３】
前記基板処理装置１には、基板処理を制御する為の操作部２８が接続されており、該操作部２８は搬送制御、プロセス制御を行う手段を持つ様に構成される。図２は前記基板処理装置１の制御系を示すブロック図である。
【００２４】
図２中、２７は複数の基板処理装置１にそれぞれ設けられた操作部２８と所要の通信手段、例えばＬＡＮ２９を介して接続されたＨＯＳＴコントローラであり、該ＨＯＳＴコントローラ２７は前記操作部２８を介して各基板処理装置１に対して自動運転指示が行える様になっている。
【００２５】
又、前記操作部２８は、基板処理工程に於ける搬送制御を行う搬送制御部３１と、基板処理工程に於ける前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６内でのプロセス制御を行う第１のプロセス制御部３２と第２のプロセス制御部３３と所要の通信手段、例えばＬＡＮ３４を介して接続されている。
【００２６】
前記搬送制御部３１には、前記第１の真空ロボットハンドラ１１及び前記第２の真空ロボットハンドラ１２の駆動を制御する真空ロボット制御部３５、前記ローダハンドラ１５の駆動を制御する大気ロボット制御部３６、流量制御器やバルブ、ポンプ等を制御し、前記第１のバキュームロックチャンバ５及び前記第２のバキュームロックチャンバ７、前記大気ローダ１３の給排系を制御する流量制御部３７、排気制御部３８が接続されている。
【００２７】
前記第１のプロセス制御部３２には、前記第１のプロセスチャンバ４に供給するガスの流量を制御する流量制御部３９、前記第１のプロセスチャンバ４内の圧力を制御する圧力制御部４０、前記第１のプロセスチャンバ４内の温度を制御する温度制御部４１、前記第１のプロセスチャンバ４に於けるガスの供給、排気を行う際のバルブの開閉を制御するバルブ制御部４２が接続されている。尚、前記第２のプロセス制御部３３の構成は、前記第１のプロセス制御部３２の構成と同様であるので説明を省略する。
【００２８】
前記操作部２８には入力された指示データや設定されたパラメータデータ、レシピ、各種プログラムが格納されると共に、モニタ表示、ロギングデータ、アラーム解析、装置パラメータ編集等の画面を表示する機能を有し、指示データやパラメータデータ、レシピ等に従って前記搬送制御部３１や前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３に対して装置パラメータ（後述）を含む制御コマンドを送信し、基板処理工程全体の運用制御を行う様になっている。
【００２９】
本実施例に於ける前記基板処理装置１では、運用モード、マニュアルモード、セットアップモードの３つの装置モードが設定されている。運用モードは前記ＨＯＳＴコントローラ２７からの指示による前記基板処理装置１の自動運転を想定した装置モードであり、該基板処理装置１が連続して自動運転できる様自動化できる処理を自動的に行う様構成されており、大部分のマニュアル操作、即ち前記操作部２８からの手動での指示が行えない様になっている。
【００３０】
又、マニュアルモードは該操作部２８からの手動での指示による前記基板処理装置１のマニュアル運転を想定した装置モードであり、前記ＨＯＳＴコントローラ２７からの指示を受付けない様になっている。更に、セットアップモードは前記基板処理装置１の修理及び保守作業時に於ける、前記操作部２８からの手動での指示によるマニュアル運転を想定した装置モードであり、前記ＨＯＳＴコントローラ２７からの指示は受付けない様になっている。
【００３１】
尚、上記した３つの装置モードは、運用モード、マニュアルモード間の切替え、及びマニュアルモード、セットアップモード間の切替えは可能であるが、運用モード、セットアップモード間の切替えができない様になっている。
【００３２】
装置モードの設定の他に、前記基板処理装置１の運転を行う為には、前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６や、前記第１の真空ロボットハンドラ１１及び前記第２の真空ロボットハンドラ１２、前記ローダハンドラ１５等に対して装置パラメータを設定する必要がある。本実施例では、装置パラメータとして、第１のプロセスチャンバパラメータ、第２のプロセスチャンバパラメータ、システムパラメータの３つのパラメータが定義されている。
【００３３】
第１のプロセスチャンバパラメータは制御範囲が前記第１のプロセスチャンバ４であり、第２のプロセスチャンバパラメータは制御範囲が前記第２のプロセスチャンバ６であり、システムパラメータは制御範囲が前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６以外、即ち前記第１の真空ロボットハンドラ１１及び前記第２の真空ロボットハンドラ１２、前記ローダハンドラ１５と装置全体であり、前記基板処理装置１毎に１つ設定される。
【００３４】
前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３は、それぞれ上記したシステムパラメータ、第１のプロセスチャンバパラメータ、第２のプロセスチャンバパラメータに従って各制御部を制御する様になっている。
【００３５】
更に、第１のプロセスチャンバパラメータ、第２のプロセスチャンバパラメータ、システムパラメータには、運用モード及びマニュアルモードで使用する運用パラメータ、セットアップモードで使用するセットアップパラメータの様に、各装置モードに対応した２種類のパラメータがそれぞれ設定されており、運用パラメータ及びセットアップパラメータの何れか一方に従って各制御部が制御される様になっている。
【００３６】
尚、前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６は、前記操作部２８でメンテナンス、非メンテナンスの設定が可能となっている。前記第１のプロセスチャンバ４及び前記第２のプロセスチャンバ６が非メンテナンス指定されていた場合には運用パラメータを使用した自動運転の対象となり、メンテナンス指定の場合には自動運転の対象外となる。又、メンテナンス指定されていた場合、前記第１のプロセスチャンバパラメータ及び前記第２のプロセスチャンバパラメータは装置モードに拘らずセットアップパラメータが使用される様になっている。
【００３７】
前記基板処理装置１に於けるウェーハ１８の搬送工程に於いては、前記操作部２８から出力されたシステムパラメータが前記搬送制御部３１に受信されると、例えば前記第１の処理モジュール２の場合、先ず前記搬送制御部３１からウェーハ１８の搬送指示が前記大気ロボット制御部３６に対して送信される。該大気ロボット制御部３６は前記搬送制御部３１からの指示に従って、該当するウェーハ１８を前記第１のキャリア２５から前記第１のバキュームロックチャンバ５の前記第１のバッファステージ１９に搬送する。ウェーハ１８の搬送後、前記排気制御部３８によって前記第１のバキュームロックチャンバ５が所定の負圧に減圧され、ウェーハ１８が前記第１のプロセスチャンバ４内に搬送された後、前記第１のプロセス制御部３２が前記操作部２８から送信された第１のプロセスチャンバパラメータに従って各制御部３９〜４２に対して指示を出すことで、ウェーハ１８に対する成膜処理が行われる。
【００３８】
次に、図３に於いて、前記基板処理装置１のプロセスチャンバの詳細について説明する。尚、下記では前記第１のプロセスチャンバ４について説明し、前記第２のプロセスチャンバ６は前記第１のプロセスチャンバ４と同様の構成であるので説明を省略する。
【００３９】
本実施例に於ける前記第１のプロセスチャンバ４はプラズマ処理装置４４であり、該プラズマ処理装置４４は処理室４５を形成する真空容器４６を具備している。該真空容器４６の側面には、被処理基板としてのウェーハ１８を前記処理室４５内に搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口４７が開設され、該ウェーハ搬入搬出口４７はゲートバルブ４８によって開閉される様になっている。
【００４０】
又、前記真空容器４６の底面には排気ライン４９の一端が接続されており、該排気ライン４９の他端は真空排気手段としての真空排気装置５１に接続されている。前記排気ライン４９の途中には排気コンダクタンス調整手段としての排気コンダクタンス調整弁５２が介設されている。該排気コンダクタンス調整弁５２には排気コンダクタンス調整弁制御装置５３が電気的に接続されており、該排気コンダクタンス調整弁制御装置５３には前記処理室４５内の圧力を検出する圧力センサ５４が電気的に接続されている。前記排気コンダクタンス調整弁制御装置５３は、前記圧力センサ５４及び前記第１のプロセス制御部３２からの指示に基づき、前記排気コンダクタンス調整弁５２を制御することにより前記処理室４５内の圧力が調整される。
【００４１】
前記真空容器４６の前記処理室４５内には、アノード電極（陽極）５５が設置されている。該アノード電極５５の内部にはガス通路５６が形成されており、前記アノード電極５５の下面にはシャワー板５７が前記ガス通路５６を画成する様に嵌込まれている。前記シャワー板５７には多数個の吹出し口５８がガスをシャワー状に吹出す様に穿設されている。前記アノード電極５５の前記ガス通路５６には、ガス導入手段としてのガス導入ライン５９が接続されており、前記ガス通路５６には前記ガス導入ライン５９から種々のガスが導入される様になっている。
【００４２】
又、前記真空容器４６の前記処理室４５の下部にはカソード電極（陰極）６１が設置されている。該カソード電極６１は、ウェーハ１８を載置した状態で保持する基板載置台（サセプタ）を兼用する様に構成されており、サセプタ兼用の前記カソード電極６１には保持したウェーハ１８を加熱するヒータ（図示せず）が内蔵されている。
【００４３】
前記アノード電極５５と前記カソード電極６１との間には、高周波電力供給手段としての高周波発振器６２がインピーダンス整合器６３を介して接続されており、前記高周波発振器６２は前記第１のプロセス制御部３２と通信線６４によって接続されている。前記高周波発振器６２は前記第１のプロセス制御部３２からの指示により、前記インピーダンス整合器６３を介して前記アノード電極５５と前記カソード電極６１との間に高周波電力を印加する様になっている。
【００４４】
前記カソード電極６１には、自己バイアス電圧検出手段としての電圧計６５が接続されており、該電圧計６５は検出結果を通信線６６を介して前記第１のプロセス制御部３２にフィードバックする様に構成されている。尚、該第１のプロセス制御部３２にはＨＤＤ等の記憶装置６７、モニタ等の表示装置６８、マウスやキーボード等の入力装置６９が接続されているが、前記記憶装置６７、前記表示装置６８、前記入力装置６９を前記操作部２８で代用してもよいのは言う迄もない。
【００４５】
前記第１のプロセス制御部３２には、ソフトウェアの機能として、進行波電力量及び累積自己バイアス電圧の管理機能が組込まれており、前記第１のプロセス制御部３２はプラズマ処理に関するデータとして、進行波電力値を前記高周波発振器６２から前記通信線６４を介して取得し、前記記憶装置６７に格納する様になっている。又、前記第１のプロセス制御部３２は、プラズマ処理に関するデータとして、自己バイアス電圧値を前記電圧計６５から前記通信線６６を介して取得し、前記記憶装置６７に格納する様になっている。
【００４６】
次に、前記プラズマ処理装置４４によるウェーハ１８への成膜について説明する。
【００４７】
成膜対象であるウェーハ１８が前記ウェーハ搬入搬出口４７に搬送されると、前記ゲートバルブ４８が開かれ、ウェーハ１８が前記ウェーハ搬入搬出口４７から前記処理室４５内に搬入され、サセプタを兼用する前記カソード電極６１上に載置される。ウェーハ１８が前記カソード電極６１上に保持された後、前記ウェーハ搬入搬出口４７が前記ゲートバルブ４８によって閉じられ、前記処理室４５内が前記真空排気装置５１によって前記排気ライン４９及び前記排気コンダクタンス調整弁５２を通じて排気される。
【００４８】
前記処理室４５内が所定の圧力に維持された状態で、原料ガスが前記ガス導入ライン５９から前記ガス通路５６に導入され、前記処理室４５内に前記シャワー板５７の前記吹出し口５８からシャワー状に吹出される。前記処理室４５内の圧力を一定に維持する方法としては、前記圧力センサ５４から出力されて前記排気コンダクタンス調整弁制御装置５３に入力される信号に基づき、前記排気コンダクタンス調整弁５２が制御されるフィードバック制御方法が使用される。
【００４９】
又、前記処理室４５内が所定の圧力に維持された状態で、前記第１のプロセス制御部３２に前記入力装置６９から設定された電力値が前記通信線６４を介して前記高周波発振器６２に出力され、該高周波発振器６２より高周波電力が発生される。該高周波発振器６２より発生された高周波電力は、前記インピーダンス整合器６３を通して前記アノード電極５５に印加され、該アノード電極５５に高周波電力が印加されると、該アノード電極５５と前記カソード電極６１との間にプラズマが生成される。この様にして生成されたプラズマにより、前記処理室４５内にシャワー状に吹出された原料ガスが分解又は活性化され、前記カソード電極６１上に載置されたウェーハ１８上に堆積し、膜が形成される。
【００５０】
次に、図４を用い、本実施例に於ける操作部２８の構成の詳細について説明する。
【００５１】
該操作部２８は、ＣＰＵ７１、入出力部７２、モニタ等の表示部７３、マウスやキーボード等の設定指示部７４、メモリやＨＤＤ等の記憶部７５を有している。尚、前記表示部７３をタッチパネルとすることで、該表示部７３と前記設定指示部７４を一体としてもよい。
【００５２】
前記記憶部７５は、各制御部毎、即ち前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３にそれぞれ対応したパラメータデータ格納領域７６及びファイル格納領域７７を有し、各制御部に共通のプログラム格納領域７８を有している。更に、前記パラメータデータ格納領域７６には制御用データバッファ７９、編集用データバッファ８０がそれぞれ形成されている。
【００５３】
個々の前記ファイル格納領域７７は運用パラメータデータファイル８２が格納されると共に、テンポラリ領域８１が形成されている。ここで、前記運用パラメータデータファイル８２は編集後の運用パラメータを保存したデータファイルである。又、前記プログラム格納領域７８にはパラメータ編集プログラム８３、運用パラメータ更新プログラム８４、セットアップパラメータ更新プログラム８５、装置モード切替プログラム８６、運用→セットアップ切替プログラム８７、セットアップ→運用切替プログラム８８等のプログラムが格納されている。
【００５４】
尚、前記パラメータデータ格納領域７６及び前記ファイル格納領域７７は、前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３の何れに対しても同様の構成となっているので、以下では前記第１のプロセス制御部３２について説明し、前記搬送制御部３１、前記第２のプロセス制御部３３についての説明は省略する。
【００５５】
前記制御用データバッファ７９と前記編集用データバッファ８０は、マニュアルモードとセットアップモードとで共通に使用され、前記制御用データバッファ７９にはマニュアルモードで前記第１のプロセス制御部３２の制御を行う為の運用パラメータが書込まれ、セットアップモードでセットアップパラメータが書込まれる。
【００５６】
マニュアルモードに於いては、前記編集用データバッファ８０は運用パラメータの編集時に、前記運用パラメータデータファイル８２より読込まれた運用パラメータが書込まれるバッファであり、前記編集用データバッファ８０に書込まれた運用パラメータは編集可能となっており、編集された運用パラメータを元に前記制御用データバッファ７９の運用パラメータが更新される。
【００５７】
前記制御用データバッファ７９の運用パラメータが更新されることで、更新された運用パラメータに従って、各制御部３９〜４２が前記第１のプロセス制御部３２により制御される様になっている。
【００５８】
又、セットアップモードに於いては、前記編集用データバッファ８０はセットアップパラメータの編集時に、前記制御用データバッファ７９の運用パラメータがセットアップパラメータとして書込まれるバッファであり、前記編集用データバッファ８０に書込まれたセットアップパラメータは編集可能となっており、編集されたセットアップパラメータを元に前記制御用データバッファ７９のセットアップパラメータが更新される。
【００５９】
前記制御用データバッファ７９のセットアップパラメータが更新されることで、更新されたセットアップパラメータに従って、各制御部３９〜４２が前記第１のプロセス制御部３２により制御される様になっている。
【００６０】
又、前記テンポラリ領域８１はマニュアルモードに於いて、編集された前記編集用データバッファ８０の運用パラメータを一時ファイルとして一時的に保存する領域である。前記運用パラメータデータファイル８２は、前記テンポラリ領域８１に一時的に保存された運用パラメータがデータファイルとして保存されたものである。
【００６１】
前記パラメータ編集プログラム８３は、作業者により前記設定指示部７４から入力された指示に従って、前記編集用データバッファ８０に書込まれた運用パラメータ及びセットアップパラメータの編集を行う。前記運用パラメータ更新プログラム８４は編集後の運用パラメータによって、前記制御用データバッファ７９の運用パラメータの更新を行う。前記セットアップパラメータ更新プログラム８５は編集後のセットアップパラメータによって、前記制御用データバッファ７９のセットアップパラメータの更新を行う様になっている。
【００６２】
又、前記装置モード切替プログラム８６は、作業者が前記設定指示部７４から入力した指示に従って、前記表示部７３の表示を装置モード切替画面へと切替える機能を有し、前記運用→セットアップ切替プログラム８７は、作業者が前記設定指示部７４から入力した指示に従って、装置モードをマニュアルモードからセットアップモードへと切替える機能を有し、前記セットアップ→運用切替プログラム８８は、作業者が前記設定指示部７４から入力した指示に従って、装置モードをセットアップモードからマニュアルモードへと切替える機能を有している。
【００６３】
次に、図５に於いて、運用パラメータの更新について説明する。尚、運用パラメータの更新は、装置モードがマニュアルモードである時にのみ可能となっている。
【００６４】
運用パラメータの更新を行う際には、前記表示部７３に表示されている編集ボタンを作業者が前記設定指示部７４を介して押下する。編集ボタンの押下により前記パラメータ編集プログラム８３が起動し、前記表示部７３の表示をパラメータ編集画面へと切替える。
【００６５】
該パラメータ編集画面には、前記編集用データバッファ８０に書込まれた運用パラメータが表示され、作業者は前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示された前記第１のプロセス制御部３２の運用パラメータを所望の数値へと変更した後、前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示されている保存ボタンを押下する。又、前記搬送制御部３１、前記第２のプロセス制御部３３の運用パラメータについても上記と同様の処理が行われる。
【００６６】
作業者により前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示された保存ボタンが押下されると、前記運用パラメータ更新プログラム８４が起動し、該運用パラメータ更新プログラム８４は、編集後の運用パラメータを前記テンポラリ領域８１に一時ファイルとして保存する（図５中のI ）と共に、編集後の運用パラメータより編集内容を含むダウンロード電文を作成する。例えば第１のプロセスチャンバパラメータのみの編集を行った際には、作成されたダウンロード電文は、前記運用パラメータ更新プログラム８４により前記入出力部７２を介して前記第１のプロセス制御部３２へのみ送信される（図５中のII）。
【００６７】
前記第１のプロセス制御部３２は、前記操作部２８から受信したダウンロード電文より、編集された運用パラメータで各制御部３９〜４２が制御可能であるかを判断し、判断結果をダウンロード応答電文として前記操作部２８に送信する（図５中のIII ）。受信されたダウンロード応答電文は、前記運用パラメータ更新プログラム８４により正常かどうかが判断され、正常応答の場合には前記編集用データバッファ８０に格納されている編集後の運用パラメータを前記制御用データバッファ７９に書込み、編集前の運用パラメータに上書きする（図５中のIV）。同時に、前記テンポラリ領域８１に一時ファイルとして保存されていた運用パラメータの名称を変更し、データファイルである前記運用パラメータデータファイル８２として保存し（図５中のV ）、最後に前記テンポラリ領域８１に保存された運用パラメータを削除することで運用パラメータの更新が完了する。
【００６８】
運用パラメータの更新が完了することで、前記搬送制御部３１及び前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３は、前記制御用データバッファ７９に書込まれている運用パラメータに従って各制御部を制御し、マニュアル運転が開始される。
【００６９】
尚、該当する制御部から受信したダウンロード応答電文が異常応答の判断であった場合には、再度ダウンロード電文を作成し、送信する様にしてもよいし、アラーム等により再度前記編集用データバッファ８０の運用パラメータの編集を行う様、作業者に促す様にしてもよい。
【００７０】
次に、図６に於いて、セットアップパラメータの更新について説明する。尚、セットアップパラメータの更新は、装置モードがセットアップモードである時にのみ可能となっている。
【００７１】
セットアップパラメータの更新を行う際には、作業者が前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示されている編集ボタンを押下する。編集ボタンの押下により前記パラメータ編集プログラム８３が起動し、前記表示部７３の表示をパラメータ編集画面へと切替える。
【００７２】
該パラメータ編集画面には前記編集用データバッファ８０に書込まれたセットアップパラメータが表示され、作業者は前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示された前記第１のプロセス制御部３２のセットアップパラメータを所望の数値へと変更した後、前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示されているダウンロードボタンを押下する。又、前記搬送制御部３１、前記第２のプロセス制御部３３のセットアップパラメータについても、上記と同様の処理が行われる。尚、セットアップモードに於けるパラメータ編集画面には、マニュアルモードに於けるパラメータ編集画面とは異なり、パラメータの保存ボタンが表示されていない。
【００７３】
作業者が前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示されたダウンロードボタンを押下すると、前記セットアップパラメータ更新プログラム８５が起動し、該セットアップパラメータ更新プログラム８５は、編集後のセットアップパラメータより編集内容を含むダウンロード電文を作成する。例えば第１のプロセスチャンバパラメータのみの編集を行った際には、作成されたダウンロード電文は、前記セットアップパラメータ更新プログラム８５により前記入出力部７２を介して前記第１のプロセス制御部３２へのみ送信される（図６中のI ）。
【００７４】
前記第１のプロセス制御部３２は、受信したダウンロード電文より編集された運用パラメータで各制御部３９〜４２が制御可能であるかを判断し、判断結果をダウンロード応答電文として前記操作部２８に送信する（図６中のII）。受信されたダウンロード応答電文は、前記セットアップパラメータ更新プログラム８５により正常かどうかが判断され、正常応答の場合には前記編集用データバッファ８０に格納されている編集後のセットアップパラメータで、前記制御用データバッファ７９のセットアップパラメータを上書きする（図６中のIII ）。上書きの完了でセットアップパラメータの更新が完了する。この時、前記セットアップパラメータ更新プログラム８５は、セットアップパラメータの更新処理時に前記テンポラリ領域８１及び前記運用パラメータデータファイル８２へのアクセスを一切行わない様になっている。
【００７５】
セットアップパラメータの更新が完了することで、前記搬送制御部３１及び前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３は、前記制御用データバッファ７９に書込まれているセットアップパラメータに従って各制御部を制御し、修理、保守作業が開始される。
【００７６】
尚、制御部から受信したダウンロード応答電文が異常応答の判断であった場合には、再度ダウンロード電文を送信する様にしてもよいし、アラーム等により再度前記編集用データバッファ８０の編集を行う様、作業者に促す様にしてもよい。
【００７７】
尚、前記第１のプロセス制御部３２は、前記制御用データバッファ７９に書込まれた運用パラメータ及びセットアップパラメータが更新されることで各制御部３９〜４２の制御を開始するが、前記制御用データバッファ７９は、マニュアルモードとセットアップモードとで共通のものが使用されるので、前記第１のプロセス制御部３２での制御は、運用パラメータとセットアップパラメータとで区別されない様になっている。又、前記搬送制御部３１、前記第２のプロセス制御部３３についても同様に、各制御部の制御を行う際には運用パラメータとセットアップパラメータとで区別されない様になっている。
【００７８】
次に、図７を参照して、装置モードをマニュアルモードからセットアップモードに切替える場合について説明する。
【００７９】
前記表示部７３には常時装置モード切替ボタンが表示されており、作業者が前記設定指示部７４を介して装置モード切替ボタンを押下することで、前記装置モード切替プログラム８６が起動し、該装置モード切替プログラム８６により前記表示部７３の表示が装置モード切替画面へと切替る。
【００８０】
装置モード切替画面には運用→セットアップ切替ボタンが表示されており、作業者が前記設定指示部７４を介して運用→セットアップ切替ボタンを押下することで、前記運用→セットアップ切替プログラム８７が起動する。該運用→セットアップ切替プログラム８７により、全ての運用パラメータ、即ち前記搬送制御部３１の前記編集用データバッファ８０に格納された運用パラメータ、第１のプロセス制御部３２の前記編集用データバッファ８０に格納された運用パラメータ、第２のプロセス制御部３３の前記編集用データバッファ８０に格納された運用パラメータが、それぞれ前記制御用データバッファ７９に格納された運用パラメータで上書きされる。
【００８１】
これは、セットアップパラメータの初期値を直前迄各制御部３１〜３３を制御していた運用パラメータと同じ値にする為である。尚、前記編集用データバッファ８０の運用パラメータの編集が完了しない状態で、作業者により運用→セットアップ切替ボタンが前記設定指示部７４を介して押下された場合には、編集中の運用パラメータが前記制御用データバッファ７９の運用パラメータで上書きされ、消去される。
【００８２】
該編集用データバッファ８０の更新後、前記パラメータ編集プログラム８３が自動的に起動し、前記表示部７３の表示がパラメータ編集画面へと切替り、前述したセットアップパラメータの更新と同様の処理が行われる。
【００８３】
作業者は前記設定指示部７４を介して前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３のセットアップパラメータを所望の数値に変更した後、前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示されたダウンロードボタンを押下することで、前記編集用データバッファ８０のセットアップパラメータから編集内容が含まれるダウンロード電文が作成され、該当する制御部、図７中では前記搬送制御部３１と前記第１のプロセス制御部３２とのダウンロード電文とダウンロード応答電文の授受が順次行われる。
【００８４】
送信したダウンロード電文に対する前記搬送制御部３１からのダウンロード応答電文が正常応答であれば、次いで前記第１のプロセス制御部３２に対してダウンロード電文を送信し、該第１のプロセス制御部３２からのダウンロード応答電文が正常応答であれば、先ず前記搬送制御部３１の編集後のセットアップパラメータで前記制御用データバッファ７９の運用パラメータを上書きして更新し、前記第１のプロセス制御部３２についても同様にセットアップパラメータを更新する。
【００８５】
前記制御用データバッファ７９に格納されるセットアップパラメータが更新されることで、マニュアルモードからセットアップモードへの切替えが完了する。セットアップパラメータの更新が完了すると、前記搬送制御部３１及び前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３は、前記制御用データバッファ７９に書込まれているセットアップパラメータに従って各制御部を制御し、修理、保守作業が開始される。
【００８６】
尚、前記搬送制御部３１及び前記第１のプロセス制御部３２からのダウンロード応答電文が異常応答であった場合については、セットアップパラメータの更新の場合と同様であるので説明を省略する。
【００８７】
次に、図８を参照して、装置モードをセットアップモードからマニュアルモードに切替える場合について説明する。
【００８８】
作業者が前記設定指示部７４を介して前記表示部７３に表示された装置モード切替ボタンを押下することで、前記装置モード切替プログラム８６が起動し、該装置モード切替プログラム８６により前記表示部７３の表示を装置モード切替画面へと切替える。
【００８９】
装置モード切替画面にはセットアップ→運用切替ボタンが表示されており、作業者が前記設定指示部７４を介してセットアップ→運用切替ボタンを押下することで、前記セットアップ→運用切替プログラム８８が起動する。該セットアップ→運用切替プログラム８８により、前記搬送制御部３１の前記運用パラメータデータファイル８２から運用パラメータが読込まれ、前記第１のプロセス制御部３２の前記運用パラメータデータファイル８２から運用パラメータが読込まれ、第２のプロセス制御部３３の前記運用パラメータデータファイル８２から運用パラメータが読込まれる。
【００９０】
運用パラメータの読込み後、前記セットアップ→運用切替プログラム８８により読込んだ運用パラメータの内容を含むダウンロード電文が作成され、該当する制御部、図８中では全ての制御部、即ち前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３とのダウンロード電文とダウンロード応答電文の授受が順次行われる。
【００９１】
送信したダウンロード電文に対する前記搬送制御部３１からのダウンロード応答電文が正常応答であれば、次いで前記第１のプロセス制御部３２に対してダウンロード電文を送信する。該第１のプロセス制御部３２からのダウンロード応答電文が正常であれば、次いで前記第２のプロセス制御部３３に対してダウンロード電文を送信する。該第２のプロセス制御部３３からのダウンロード応答電文も正常応答であれば、先ず前記搬送制御部３１の前記運用パラメータデータファイル８２から運用パラメータを再度読込み、読込んだ運用パラメータで前記搬送制御部３１の前記制御用データバッファ７９及び前記編集用データバッファ８０に格納されているセットアップパラメータを上書きして更新し、前記第１のプロセス制御部３２及び前記第２のプロセス制御部３３についても同様に、前記運用パラメータデータファイル８２から読込んだ運用パラメータでセットアップパラメータを上書きして更新する。
【００９２】
尚、前記制御用データバッファ７９及び前記編集用データバッファ８０に格納されているセットアップパラメータは、装置モードをマニュアルモードからセットアップモードに切替えることによって運用パラメータで上書きされ、消去されるので、前記基板処理装置１の修理、保守を行う毎に作業者により毎回設定される。従って、前記制御用データバッファ７９及び前記編集用データバッファ８０に格納されているセットアップパラメータは、セットアップモードの時にのみ存在する一時ファイルとして作成される。
【００９３】
前記制御用データバッファ７９及び前記編集用データバッファ８０が更新されることで、セットアップモードからマニュアルモードへの切替えが完了する。切替えの完了後、作業者により前記設定指示部７４を介して処理の実行指示が入力されると、前記搬送制御部３１及び前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３は、各制御用データバッファ７９に書込まれている運用パラメータに従って各制御部を制御し、マニュアル運転が開始される。尚、作業者が処理の実行指示を入力する前に、運用パラメータの更新を行う際には、前述した運用パラメータの更新と同様の処理が行われる。
【００９４】
尚、前記搬送制御部３１、前記第１のプロセス制御部３２、前記第２のプロセス制御部３３からのダウンロード応答電文が異常応答であった場合については、運用パラメータの更新の場合と同様であるので説明を省略する。
【００９５】
上述の様に、本実施例に於ける基板処理装置では、運用パラメータとセットアップパラメータとで同様の前記制御用データバッファ７９と前記編集用データバッファ８０を使用している。従って、セットアップパラメータ更新の際に、前記セットアップパラメータ更新プログラム８５は前記テンポラリ領域８１及びデータファイルである前記運用パラメータデータファイル８２に対して一切アクセスを行わせない様にすることで、セットアップモード時のセットアップパラメータの編集が自動運転時の運用パラメータに影響を及すことを防止することができ、運用パラメータを変更した状態で自動運転を行うことによる、不良品の製造や運用時の危険を防止することができる。
【００９６】
又、装置モードをセットアップモードからマニュアルモードへ切替えた際には、運用パラメータを前記パラメータデータ格納領域７６に格納された前記運用パラメータデータファイル８２から読込み、修理、保守用に変更された前記制御用データバッファ７９及び前記編集用データバッファ８０のセットアップパラメータを、読込んだ運用パラメータで自動的に上書きするので、装置モードを変更するだけで自動的に運用パラメータを復帰させることができ、修理、保守作業からの復帰作業時間を低減させることができる。
【００９７】
更に、セットアップモードに於いて、セットアップパラメータの編集を行う際には、編集を行った制御部に対してのみダウンロード電文の作成、送信を行うので、修理、保守作業時に不要な処理をスキップすることができ、修理、保守作業自体の時間を低減させることができる。
【００９８】
尚、本実施例の基板処理装置は、枚葉装置だけではなく、縦型装置や横型装置を含むバッチ式装置にも適用可能である。又、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置の様なガラス基板を処理する装置であっても適用可能である。
【００９９】
又、本実施例に適用される基板処理装置を用いた成膜処理には、例えばＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理や、金属を含む膜を形成する処理等を含み、更に露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置、プラズマを利用したＣＶＤ装置等他の基板処理装置に対しても適用可能であることは言う迄もない。
【０１００】
（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
【０１０１】
（付記１）装置パラメータの編集を行う為の表示部と、前記装置パラメータを保存する記憶部とを有する操作部と、該操作部からダウンロードされる前記装置パラメータを実行する制御部とを具備し、前記装置パラメータは調整作業や故障の修理や定期的な保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータと、通常運用時の運用モード時に使用される運用パラメータとを有し、前記セットアップパラメータが編集された場合でも前記運用パラメータが影響を受けない様構成されたことを特徴とする基板処理装置。
【０１０２】
（付記２）前記記憶部は、前記運用パラメータをファイルとして格納する付記１の基板処理装置。
【０１０３】
（付記３）前記操作部は、セットアップモード時に前記セットアップパラメータを一時ファイルとして作成し、前記制御部へダウンロードする付記１の基板処理装置。
【０１０４】
（付記４）前記操作部は、セットアップモード時に前記運用パラメータに対してアクセスさせることがない付記１又は付記２の基板処理装置。
【０１０５】
（付記５）前記操作部は、マニュアルモード移行時に前記セットアップパラメータを前記運用パラメータで上書きし、消去する付記３又は付記４の基板処理装置。
【０１０６】
（付記６）前記操作部は、マニュアルモード移行時に前記運用パラメータを前記制御部へダウンロードする付記３又は付記４の基板処理装置。
【０１０７】
（付記７）表示部を介して装置パラメータの編集を行う工程と、制御部が前記装置パラメータが保存される記憶部を有する操作部からダウンロードされた前記装置パラメータを実行する工程とを有する基板処理装置であって、前記装置パラメータの編集を行う工程は、調整作業や故障の修理や定期的な保守作業時のセットアップモード時に使用されるセットアップパラメータの編集を行う工程と、通常運用時の運用モード時に使用される運用パラメータの編集を行う工程とを有し、前記セットアップパラメータの編集を行う工程では前記運用パラメータが影響を受けないことを特徴とする基板処理装置の制御方法。
【符号の説明】
【０１０８】
１              基板処理装置
２              第１の処理モジュール
３              第２の処理モジュール
２８            操作部
３１            搬送制御部
３２            第１のプロセス制御部
３３            第２のプロセス制御部
４４            プラズマ処理装置
７３            表示部
７４            設定指示部
７５            記憶部
７６            パラメータデータ格納領域
７７            ファイル格納領域
７８            プログラム格納領域
７９            制御用データバッファ
８０            編集用データバッファ
８２            運用パラメータデータファイル
８４            運用パラメータ更新プログラム
８５            セットアップパラメータ更新プログラム
８７            運用→セットアップ切替プログラム
８８            セットアップ→運用切替プログラム
【図１】
0005681422.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
0005681422.tif 000007
【図７】
0005681422.tif 000008
【図８】
0005681422.tif 000009