(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、
前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた可撓性の基板を有し、
前記基板は、折り曲げ可能な可撓性基板からなり、
前記磁気コアは、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第２の磁性材と、を有し、前記第１の磁性材の一端部と前記第２の磁性材の一端部とが、連結部により前記基板を挟んで連結され、
前記被測定電流路の軸方向から見て、前記第１の磁性材と前記第２の磁性材とが、前記第１の磁性材の他端部と前記第２の磁性材の他端部とが重なるようにして円形状に配置され、
前記可撓性基板の他方側主面に前記磁電変換素子を実装し、
前記可撓性基板を折り曲げて、 
前記第１の磁性材の前記他端部と前記第２の磁性材の前記他端部との間に前記磁電変換素子を配置したことを特徴とする電流センサ。
【請求項２】
被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、
前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた基板を有し、
前記磁気コアは、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と、前記基板の他方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第２の磁性材と、を有し、前記第１の磁性材の一端部と前記第２の磁性材の一端部とが、連結部により前記基板を挟んで連結され、
前記被測定電流路の軸方向から見て、前記第１の磁性材と前記第２の磁性材とが、前記第１の磁性材の他端部と前記第２の磁性材の他端部とが重なるようにして円形状に配置され、
前記第１の磁性材の前記他端部と前記第２の磁性材の前記他端部との間に前記磁電変換素子を配置し、
前記第１の磁性材、前記第２の磁性材及び前記連結部は、薄板状の母材から切り取った長尺部材を合計１８０°折り曲げて一体で設けられていることを特徴とする電流センサ。
【請求項３】
前記磁電変換素子がホール素子であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電流センサ。
【請求項４】
被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、
前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた基板を有し、
前記磁気コアは、前記基板の一方側で前記穴の周囲に配置され、切れ目の入った薄板状で円環状の導体からなる基部と、前記基部の２つの端部から垂直に延設された第１の突設部及び第２の突設部と、を有し、
前記第１の突設部と前記第２の突設部とが対向して設けられ、前記磁電変換素子が前記第１の突設部と前記第２の突設部との間に設けられ、
前記基部、前記第１の突設部及び前記第２の突設部は、薄板状の母材から切り取った長尺部材を折り曲げて一体で設けられ、
前記磁気コアの基部の厚み方向と前記基板の厚み方向とが一致していることを特徴とする電流センサ。
【請求項５】
前記長尺部材は、Ω字状の形状であり、
前記第１の突設部と前記第２の突設部とは、前記長尺部材の両端を折り曲げて設けられたことを特徴とする請求項４記載の電流センサ。
【請求項６】
前記磁電変換素子が磁気抵抗素子であることを特徴とする請求項４又は５に記載の電流センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定電流路に流れる電流を検出する電流センサに関し、特に、磁電変換素子と磁気コアとを備えた電流センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種機器の制御や監視のために、被測定電流路に流れる電流を非接触で検出るための電流センサが広く利用されている。この種の電流センサとして、被測定電流路に流れる電流から生じる磁界を感知する磁電変換素子と磁気コアとを備えた電流センサを用いることが一般的に知られている。
【０００３】
従来例の特許文献１では、磁電変換素子としてホール素子を用い、環状に曲げ成形された磁気コアを備えた電流センサ（非接触センサと言う）が提案されている。図１２に示す非接触センサ８００は、導線（被測定対象）８２３の周囲を取り囲むように配置された非接触式センサコア（磁気コア）８４１と、非接触式センサコア８４１の挟持用間隙８４１ａに配置されたホール素子（図示していない）とを備え、環状に曲げ成形された長尺部材８４５を貫く導線８２３に流れる電流を測定できるとしている。しかしながら、非接触式センサコア８４１の材質が、例えばパーマロイ等の導電性を有する素材の場合、導線８２３と長尺部材８４５との間に寄生容量が発生し、この寄生容量により、導線（被測定対象）８２３に流れる電流の変化が無くても、電圧が変わっただけで容量結合の影響を受け電流センサの出力が変動し、その結果、電流センサの特性がばらつくと言う問題があった。
【０００４】
そこで、この寄生容量を低減する方法として、図１３に示す比較例のように、磁気コアＰＣの厚みを薄くして、被測定電流路ＣＢと磁気コアＰＣとの対向する面積を狭くすることにより、寄生容量を低減することが考えられる。図１３に示す比較例の電流センサ９００は、被測定電流路ＣＢ挿通される円形の貫通孔Ｐｈを有した基板ＰＣＢと、基板ＰＣＢを取り囲むように配置された厚みの薄い円形状の磁気コアＰＣと、磁気コアＰＣの間隙Ｐｇに配置され、基板ＰＣＢに実装された磁電変換素子ＰＥとを備えて構成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２１５１６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、比較例のような構成にすると、磁電変換素子ＰＥを磁気コアＰＣの間隙Ｐｇに配置しても、間隙Ｐｇ間に生じる平行磁界領域Ａ１が狭く、磁電変換素子ＰＥは漏れ磁界領域Ａ２の磁気も検出するようになり、磁電変換素子ＰＥが配置される位置のずれにより、検出する磁気にばらつきが生じ、その結果、特性ばらつきが大きい電流センサ９００になってしまうと言った問題が生じる。そこで、従来例と比較例の問題を同時に解決するような電流センサが望まれていた。
【０００７】
本発明は、上述した課題を解決するもので、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性ばらつきが抑えられた電流センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この課題を解決するために、本発明の電流センサは、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた可撓性の基板を有し、前記基板は、折り曲げ可能な可撓性基板からなり、前記磁気コアは、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第２の磁性材と、を有し、前記第１の磁性材の一端部と前記第２の磁性材の一端部とが、連結部により前記基板を挟んで連結され、前記被測定電流路の軸方向から見て、前記第１の磁性材と前記第２の磁性材とが、前記第１の磁性材の他端部と前記第２の磁性材の他端部とが重なるようにして円形状に配置され、前記可撓性基板の他方側主面に前記磁電変換素子を実装し、前記可撓性基板を折り曲げて、前記第１の磁性材の前記他端部と前記第２の磁性材の前記他端部との間に前記磁電変換素子を配置したことを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、本発明の電流センサは、被測定電流路の周囲に薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と第２の磁性材とを円形状に配置し、重なった第１の磁性材の他端部と第２の磁性材の他端部との間に磁電変換素子を配置したので、被測定電流路と第１の磁性材及び第２の磁性材との対向する面積が狭くなり、被測定電流路と第１の磁性材及び第２の磁性材との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動を抑えることができ、しかも磁電変換素子が重なった他端部間に配置されているので、広い平行磁界領域中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサを得ることができる。
【００１０】
本発明によれば、本発明の電流センサは、第１の磁性材、第２の磁性材及び連結部の磁気コアが、薄板状の母材から切り取った長尺部材を曲げて一体で設けられているので、基板を挟むようにして設けられた磁気コアを容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コアを安価に作製することができる。
【００１１】
本発明によれば、本発明の電流センサは、可撓性基板の一方側主面に磁気コアを形成し、可撓性基板を折り曲げて用いたので、磁気コアが可撓性基板で支えられるため、磁気コアとしてより薄い磁性材を用いることができる。このことにより、被測定電流路と第１の磁性材及び第２の磁性材との間に発生する寄生容量をより小さくすることができる。しかも、磁性材を薄くすることで、材料費を抑えることができ、磁気コアを安価に作製することができる。
【００１２】
本発明の電流センサは、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた基板を有し、前記磁気コアは、前記基板の一方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と、前記基板の他方側に備えられ前記穴の周囲に配置された薄板状で円弧状の導体からなる第２の磁性材と、を有し、前記第１の磁性材の一端部と前記第２の磁性材の一端部とが、連結部により前記基板を挟んで連結され、前記被測定電流路の軸方向から見て、前記第１の磁性材と前記第２の磁性材とが、前記第１の磁性材の他端部と前記第２の磁性材の他端部とが重なるようにして円形状に配置され、前記第１の磁性材の前記他端部と前記第２の磁性材の前記他端部との間に前記磁電変換素子を配置し、前記第１の磁性材、前記第２の磁性材及び前記連結部は、薄板状の母材から切り取った長尺部材を合計１８０° 折り曲げて一体で設けられていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の電流センサは、前記磁電変換素子がホール素子であることを特徴とする。
【００１４】
本発明によれば、本発明の電流センサは、第１の磁性材と第２の磁性材とが重なった他端部間に、磁電変換素子として素子の厚み方向に感度軸を有するホール素子を配置できるので、他端部間の挟隙に薄い厚みの方向で磁電変換素子（ホール素子）を配置することができる。このことにより、広い平行磁界領域中で磁気をより検出できるとともに、第１の磁性材の他端部と第２の磁性材の他端部との間を狭くすることができ、電流センサを薄くすることができる。
【００１５】
本発明の電流センサは、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を検出する磁電変換素子と、前記被測定電流路の回りに発生する磁束を集束する磁気コアとを備えた電流センサであって、前記被測定電流路が挿通される円形の穴の空いた基板を有し、前記磁気コアは、前記基板の一方側で前記穴の周囲に配置され、切れ目の入った薄板状で円環状の導体からなる基部と、前記基部の２つの端部から垂直に延設された第１の突設部及び第２の突設部と、を有し、前記第１の突設部と前記第２の突設部とが対向して設けられ、前記磁電変換素子が前記第１の突設部と前記第２の突設部との間に設けられ、前記基部、前記第１の突設部及び前記第２の突設部は、薄板状の母材から切り取った長尺部材を折り曲げて一体で設けられ、前記磁気コアの基部の厚み方向と前記基板の厚み方向とが一致していることを特徴とする。
【００１６】
本発明によれば、本発明の電流センサは、被測定電流路の周囲に薄板状で円環状の導体からなる基部を配置し、基部の２つの端部から垂直に延設された第１の突設部及び第２の突設部との間に磁電変換素子を配置したので、被測定電流路と磁気コアの基部との対向する面積が狭くなり、被測定電流路と磁気コアの基部との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動を抑えることができ、しかも磁電変換素子が対向した第１の突設部及び第２の突設部との間に配置されているので、広い平行磁界領域中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサを得ることができる。
【００１７】
本発明の電流センサの前記長尺部材は、Ω字状の形状であり、前記第１の突設部と前記第２の突設部とは、前記長尺部材の両端を折り曲げて設けられたことを特徴とする。
【００２０】
また、本発明の電流センサは、前記磁電変換素子が磁気抵抗素子であることを特徴としている。
【００２１】
本発明によれば、本発明の電流センサは、基板に対して垂直になるように設けられた第１の突設部及び第２の突設部との間に、素子の主面方向に感度軸を有する磁気抵抗素子を配置できるので、磁電変換素子（磁気抵抗素子）を基板に対して面実装することができる。このことにより、広い平行磁界領域中で磁気を検出できるとともに、平行磁界領域中に容易に磁電変換素子（磁気抵抗素子）を実装することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の電流センサは、被測定電流路の周囲に薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材と第２の磁性材とを円形状に配置し、重なった第１の磁性材の他端部と第２の磁性材の他端部との間に磁電変換素子を配置したので、被測定電流路と第１の磁性材及び第２の磁性材との対向する面積が狭くなり、被測定電流路と第１の磁性材及び第２の磁性材との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動を抑えることができ、しかも磁電変換素子が重なった他端部間に配置されているので、広い平行磁界領域中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサを得ることができる。
【００２３】
また、本発明の電流センサは、被測定電流路の周囲に薄板状で円環状の導体からなる基部を配置し、基部の２つの端部から垂直に延設された第１の突設部及び第２の突設部との間に磁電変換素子を配置したので、被測定電流路と磁気コアの基部との対向する面積が狭くなり、被測定電流路と磁気コアの基部との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動を抑えることができ、しかも磁電変換素子が対向した第１の突設部及び第２の突設部との間に配置されているので、広い平行磁界領域中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサを得ることができる。
【００２４】
したがって、本発明は、被測定電流路に電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子でより正確に検出することができ、特性ばらつきが抑えられた電流センサを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態の電流センサを説明する上面構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態の電流センサを説明する構成図であって、図２（ａ）は、図１に示すＹ２側から見た側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示すＸ２側から見た側面図であり、図２（ｃ）は、図１に示すＸ１側から見た側面図である。
【図３】本発明の第１実施形態の電流センサを説明する図であって、薄板状の母材から型抜きされた長尺部材の平面図である。
【図４】本発明の第２実施形態の電流センサを説明する上面構成図である。
【図５】本発明の第２実施形態の電流センサを説明する構成図であって、図５（ａ）は、図４に示すＹ２側から見た側面図であり、図５（ｂ）は、図４に示すＸ１側から見た側面図である。
【図６】本発明の第２実施形態の電流センサを説明する図であって、薄板状の母材から型抜きされた長尺部材の平面図である。
【図７】本発明の第３実施形態の電流センサを説明する上面構成図である。
【図８】本発明の第３実施形態の電流センサを説明する構成図であって、図８（ａ）は、図７に示すＹ２側から見た側面図であり、図８（ｂ）は、図７に示すＸ２側から見た側面図であり、図８（ｃ）は、図７に示すＸ１側から見た側面図である。
【図９】本発明の第１実施形態の電流センサの変形例を説明する図であって、図９（ａ）は、変形例１における上面構成図であって、図９（ｂ）は、変形例２における側面構成図である。
【図１０】本発明の第２実施形態の電流センサの変形例３を説明する図であって、図１０（ａ）は、上面構成図であって、図１０（ｂ）は、側面構成図である。
【図１１】本発明の第２実施形態の電流センサの変形例４を説明する側面構成図である。
【図１２】従来例における電流センサ（非接触センサ）を説明する斜視図である。
【図１３】比較例における電流センサを説明する図であって、図１３（ａ）は、上面構成図であって、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示すＹ２側から見た側面構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態の電流センサ１０１を説明する上面構成図である。図２は、本発明の第１実施形態の電流センサ１０１を説明する構成図であって、図２（ａ）は、図１に示すＹ２側から見た側面図であり、図２（ｂ）は、図１に示すＸ２側から見た側面図であり、図２（ｃ）は、図１に示すＸ１側から見た側面図である。図３は、本発明の第１実施形態の電流センサ１０１を説明する図であって、薄板状の母材１５から型抜きされた長尺部材１７の平面図である。
【００２８】
本発明の第１実施形態の電流センサ１０１は、図１に示すように、磁束を集束する磁気コア１１と、磁気を検出する磁電変換素子１３と、被測定電流路ＣＢが挿通される円形の穴１９ａの空いた基板１９とを備えて構成される。
【００２９】
先ず、磁気コア１１は、導電性を有する軟磁性体、例えばパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ合金）を用い、図１及び図２に示すように、基板１９の一方側に備えられた第１の磁性材Ｍ１と、基板１９の他方側に備えられた第２の磁性材Ｍ２と、第１の磁性材Ｍ１の一端部Ｍ１ａと第２の磁性材Ｍ２の一端部Ｍ２ａとを連結する連結部１１ｒとを有して構成されている。また、磁気コア１１の第１の磁性材Ｍ１は、薄板状で円弧状の形状になっており、内周側を被測定電流路ＣＢと対向させて穴１９ａの周囲に配置している。同様にして、磁気コア１１の第２の磁性材Ｍ２は、薄板状で円弧状の形状になっており、内周側を被測定電流路ＣＢと対向させて穴１９ａの周囲に配置している。なお、本発明の第１実施形態の第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２は、半円状の形状の円弧状になっているが、半円状に限るものでは無く、どちらか一方が優弧でどちらか一方が劣弧の組み合わせであっても良い。
【００３０】
また、磁気コア１１の連結部１１ｒは、図２に示すように、第１の磁性材Ｍ１の一端部Ｍ１ａから連続して延設され、基板１９を挟んで、第２の磁性材Ｍ２の一端部Ｍ２ａと連結している。本発明の第１実施形態の第１の磁性材Ｍ１、第２の磁性材Ｍ２及び連結部１１ｒは、一体で形成されている。また、図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、被測定電流路ＣＢの軸Ｂｊ方向から見て、第１の磁性材Ｍ１と第２の磁性材Ｍ２とが、他端部Ｍ１ｂと他端部Ｍ２ｂとが重なり、一端部Ｍ１ａと一端部Ｍ２ａとが重なるようにして、円形状に配置されている。そして、第１の磁性材Ｍ１、連結部１１ｒ、第２の磁性材Ｍ２と繋がって、被測定電流路ＣＢを取り囲むように配置されているので、磁気コア１１は、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに被測定電流路ＣＢの回りに発生する磁束を集束している。また、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す他端部Ｍ１ｂと他端部Ｍ２ｂとが重なる部分において、磁気コア１１により被測定電流路ＣＢの回りに発生する磁束を集束しているので、広い平行磁界領域ＪＡを形成している。なお、第１の磁性材Ｍ１と第２の磁性材Ｍ２とから形成される円形の形状は、重なる部分が生じるように、各円弧の角度が合わせて３６０°を超えていれば良い。なお、連結部１１ｒは、間隙が小さければ離れていても良く、例えば基板１９が極端に薄い場合、基板１９の厚み分の間隙部を設けて連結部を構成することもできる。
【００３１】
以上のように構成された磁気コア１１は、薄板状で被測定電流路ＣＢの周囲に配置されているので、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。
【００３２】
また、本発明の第１実施形態の磁気コア１１の製造方法は、先ず、薄板状の母材１５を準備し、図３に示すように、Ｓ字状の形状の型を用い母材１５にプレス加工を行うことにより、Ｓ字状の形状の長尺部材１７を作製する。次に、図３に示す折り目線ＰＬ１及び折り目線ＰＬ２に沿って、各々９０°の折り曲げ加工を行う。最後に、図２（ａ）に示すように、第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２が連結部１１ｒを介して、基板１９を挟むように配置するとともに、図１に示すように、磁気コア１１が基板１９の穴１９ａを取り囲むように配置する。このようにして、薄板状の母材１５から切り取った長尺部材１７を折り曲げて一体で設けられた磁気コア１１を得ることができる。これにより、基板１９を挟むようにして設けられた磁気コア１１を容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コア１１を安価に作製することができる。なお、長尺部材１７の作製にあたり、型を用いてプレス加工で行ったが、レーザ加工を用いても良い。
【００３３】
次に、磁電変換素子１３は、素子の垂直方向ＶＤ（言い換えると素子の厚み方向）に感度軸を有するホール素子を用い、図１及び図２に示すように、第１の磁性材Ｍ１の他端部Ｍ１ｂと第２の磁性材Ｍ２の他端部Ｍ２ｂとの間に配置した。そして、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を広い平行磁界領域ＪＡで検出している。これにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子（ホール素子）１３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０１を得ることができる。しかも、上述したように、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２との間に発生する寄生容量が小さいので、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、特性バラツキがより抑えられた電流センサ１０１を得ることができる。
【００３４】
また、磁電変換素子１３として素子の厚み方向ＶＤに感度軸を有するホール素子を用いたので、他端部Ｍ１ｂと他端部Ｍ２ｂとの挟隙に薄い厚みの方向で磁電変換素子（ホール素子）１３を配置することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気を検出できるとともに、第１の磁性材Ｍ１の他端部Ｍ１ｂと第２の磁性材Ｍ２の他端部Ｍ２ｂとの間を狭くすることができ、電流センサ１０１を薄くすることができる。
【００３５】
なお、図１及び図２に示す磁電変換素子１３は、構成を模式的に示した図であり、実際に用いる際は、基板１９にベアチップ実装されるか、熱硬化性の合成樹脂でパッケージングして基板１９に実装される。
【００３６】
最後に、基板１９は、ガラス入りのエポキシ樹脂からなるプリント配線板（Printed  Circuit  Board、ＰＣＢ）を用い、図１に示すように、被測定電流路ＣＢが挿通できるように、円形の穴１９ａが設けられている。なお、プリント配線板（ＰＣＢ）を用いたが、フレキシブルプリント配線板（Flexiible  Printed  Circuits、ＦＰＣ）であっても良い。
【００３７】
以上により、本発明の電流センサ１０１は、被測定電流路ＣＢの周囲に薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材Ｍ１と第２の磁性材Ｍ２とを円形状に配置し、重なった第１の磁性材Ｍ１の他端部Ｍ１ｂと第２の磁性材Ｍ２の他端部Ｍ２ｂとの間に磁電変換素子１３を配置したので、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、しかも磁電変換素子１３が重なった他端部（Ｍ１ｂ及びＭ２ｂ）間に配置されているので、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子１３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０１を得ることができる。
【００３８】
また、第１の磁性材Ｍ１、第２の磁性材Ｍ２及び連結部１１ｒの磁気コア１１が、薄板状の母材１５から切り取った長尺部材１７を曲げて一体で設けられているので、基板１９を挟むようにして設けられた磁気コア１１を容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コア１１を安価に作製することができる。
【００３９】
また、第１の磁性材Ｍ１と第２の磁性材Ｍ２とが重なった他端部（Ｍ１ｂ、Ｍ２ｂ）間に、磁電変換素子１３として素子の厚み方向ＶＤに感度軸を有するホール素子を配置できるので、他端部（Ｍ１ｂ、Ｍ２ｂ）間の挟隙に薄い厚みの方向で磁電変換素子（ホール素子）１３を配置することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気を検出できるとともに、第１の磁性材Ｍ１の他端部Ｍ１ｂと第２の磁性材Ｍ２の他端部Ｍ２ｂとの間を狭くすることができ、電流センサ１０１を薄くすることができる。
【００４０】
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態の電流センサ１０２を説明する上面構成図である。図５は、本発明の第２実施形態の電流センサ１０２を説明する構成図であって、図５（ａ）は、図４に示すＹ２側から見た側面図であり、図５（ｂ）は、図４に示すＸ１側から見た側面図である。図６は、本発明の第２実施形態の電流センサ１０２を説明する図であって、薄板状の母材２５から切り取られた長尺部材２７の平面図である。第２実施形態の電流センサ１０２は、第１実施形態に対し、磁気コア２１の形状と配置が異なる。なお、第１実施形態と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４１】
本発明の第２実施形態の電流センサ１０２は、図４に示すように、磁束を集束する磁気コア２１と、磁気を検出する磁電変換素子２３と、被測定電流路ＣＢが挿通される円形の穴２９ａの空いた基板２９とを備えて構成される。
【００４２】
先ず、磁気コア２１は、導電性を有する軟磁性体、例えばパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ合金）を用い、図４及び図５に示すように、切れ目の入った薄板状で円環状の導体からなる基部Ｋ１と、基部Ｋ１の２つの端部（Ｋ１ａ及びＫ１ｂ）から垂直に延設された第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２とを有して構成され、本発明の第２実施形態の基部Ｋ１、第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２は、一体で形成されている。また、磁気コア２１は、基板２９の一方側に設けられ、円環状の内周側を被測定電流路ＣＢと対向させて、穴２９ａの周囲に配置されている。また、磁気コア２１の第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２は、第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２とが略平行になうように対向して設けられているとともに、基板２９に対して垂直に延設されるように配置されている。なお、本発明の第２実施形態の基部Ｋ１は、円形の形状の円環状になっているが、円形の形状に限るものでは無く、例えば鈍角を有する形状の円環状であっても良い。
【００４３】
また、磁気コア２１は、第１の突設部Ｔ１、基部Ｋ１、第２の突設部Ｔ２と繋がって、被測定電流路ＣＢを取り囲むように配置されているので、磁気コア２１は、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに被測定電流路ＣＢの回りに発生する磁束を集束している。また、図４及び図５に示す第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２が対向する部分において、磁気コア２１により被測定電流路ＣＢの回りに発生する磁束を集束しているので、広い平行磁界領域ＪＡを形成している。
【００４４】
以上のように構成された磁気コア２１は、薄板状で被測定電流路ＣＢの周囲に配置されているので、被測定電流路ＣＢと磁気コア２１の基部Ｋ１との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと基部Ｋ１との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。
【００４５】
また、本発明の第２実施形態の磁気コア２１の製造方法は、本発明の第１実施形態の磁気コア１１の製造方法と同様にして、先ず、薄板状の母材２５を準備し、図６に示すように、Ω字状の形状の型を用い母材２５にプレス加工を行うことにより、Ω字状の形状の長尺部材２７を作製する。次に、図６に示す折り目線ＰＬ３及び折り目線ＰＬ４に沿って、Ｙ１側に１８０°の折り曲げ加工を行ない、更に折り目線ＰＬ５に沿ってＸ１側に、折り目線ＰＬ６に沿ってＸ２側に１８０°の折り曲げ加工を行なう。更に、折り目線ＰＬ７及び折り目線ＰＬ８に沿って各々９０°の折り曲げ加工を行なう。最後に、図５（ａ）に示すように、基板２９の一方側に配置するとともに、図４に示すように、磁気コア２１が基板２９の穴２９ａを取り囲むように配置する。このようにして、薄板状の母材２５から切り取った長尺部材２７を折り曲げて一体で設けられた磁気コア２１を得ることができる。これにより、基板２９の一方側に配置され、基板２９に対して一部が立体的に設けられた磁気コア２１を容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コア２１を安価に作製することができる。
【００４６】
次に、磁電変換素子２３は、図４及び図５に示すように、素子の水平方向ＨＤ（言い換えると素子の主面方向）に感度軸を有する磁気抵抗素子を用い、第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２が対向する部分の間に配置した。そして、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を広い平行磁界領域ＪＡで検出している。これにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子（磁気抵抗素子）２３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０２を得ることができる。しかも、上述したように、被測定電流路ＣＢと磁気コア２１の基部Ｋ１との間に発生する寄生容量が小さいので、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、特性バラツキがより抑えられた電流センサ１０２を得ることができる。なお、磁電変換素子２３は、第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２が対向するそれぞれの面の間に全て収まるように好適に構成したが、全て収まるようにしなくても良い。
【００４７】
また、磁電変換素子２３として素子の主面方向ＨＤに感度軸を有する磁気抵抗素子を用いたので、基板２９に対して垂直になるように設けられた第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２との間に、素子の主面方向ＨＤに感度軸を有する磁電変換素子（磁気抵抗素子）２３を基板２９に対して面実装することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気をより検出できるとともに、平行磁界領域ＪＡ中に容易に磁電変換素子（磁気抵抗素子）２３を実装することができる。
【００４８】
なお、図４及び図５に示す磁電変換素子２３は、構成を模式的に示した図であり、実際に用いる際は、基板２９にベアチップ実装されるか、熱硬化性の合成樹脂でパッケージングして基板２９に実装される。
【００４９】
最後に、基板２９は、ガラス入りのエポキシ樹脂からなるプリント配線板（ＰＣＢ）を用い、図４に示すように、被測定電流路ＣＢが挿通できるように、円形の穴２９ａが設けられている。また、磁気コア２１は、第１の突設部Ｔ１と第２の突設部Ｔ２以外の部分が基板２９により支持されているので、より厚みの薄い磁気コア２１にすることができる。このことにより、被測定電流路ＣＢと磁気コア２１の基部Ｋ１との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと基部Ｋ１との間に発生する寄生容量をより小さくすることができる。なお、プリント配線板（ＰＣＢ）を用いたが、フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）であっても良い。
【００５０】
以上により、本発明の電流センサ１０２は、被測定電流路ＣＢの周囲に薄板状で円環状の導体からなる基部Ｋ１を配置し、基部Ｋ１の２つの端部（Ｋ１ａ及びＫ１ｂ）から垂直に延設された第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２との間に磁電変換素子２３を配置したので、被測定電流路ＣＢと磁気コア２１の基部Ｋ１との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと磁気コア２１の基部Ｋ１との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、しかも磁電変換素子２３が対向した第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２との間に配置されているので、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子２３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０２を得ることができる。
【００５１】
また、基部Ｋ１、第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２の磁気コア２１が、薄板状の母材２５から切り取った長尺部材２７を曲げて一体で設けられているので、基板２９の一方側に配置され、基板２９に対して一部が立体的に設けられた磁気コア２１を容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コア２１を安価に作製することができる。
【００５２】
また、基板２９に対して垂直になるように設けられた第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２との間に、素子の主面方向ＨＤに感度軸を有する磁気抵抗素子を配置できるので、磁電変換素子（磁気抵抗素子）２３を基板２９に対して面実装することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気をより検出できるとともに、平行磁界領域ＪＡ中に容易に磁電変換素子（磁気抵抗素子）２３を実装することができる。
【００５３】
［第３実施形態］
図７は、本発明の第３実施形態の電流センサ１０３を説明する上面構成図である。図８は、本発明の第３実施形態の電流センサ１０３を説明する構成図であって、図８（ａ）は、図７に示すＹ２側から見た側面図であり、図８（ｂ）は、図７に示すＸ２側から見た側面図であり、図８（ｃ）は、図７に示すＸ１側から見た側面図である。第３実施形態の電流センサ１０３は、第１実施形態に対し、基板３９の構成が異なる。なお、第１実施形態と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５４】
本発明の第３実施形態の電流センサ１０３は、図７に示すように、磁束を集束する磁気コア３１と、磁気を検出する磁電変換素子３３と、被測定電流路ＣＢが挿通される円形の穴３９ａの空いた基板３９とを備えて構成される。
【００５５】
先ず、基板３９は、折り曲げ可能な可撓性基板からなり、一般に用いられているフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）を用いている。フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）は、ポリイミド樹脂（ＰＩ）等の素材のフィルム基材上に設けられた銅（Ｃｕ）等の金属箔が、所望の配線パターンが得られるように片側にパターニングされている。そして、図８に示すように、被測定電流路ＣＢが挿通できるように、円形の穴３９ａ及び穴３９ｂが２箇所設けられており、この２つの穴（３９ａ及び３９ｂ）が一致するように、１８０°折り曲げられている。
【００５６】
次に、磁気コア３１は、導電性を有する粉末軟磁性体、例えばパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ合金）や金属ガラスの粉体がＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン）等の合成樹脂中に分散されたコンポジット材を用い、図７及び図８に示すように、第１の磁性材Ｍ３と、第２の磁性材Ｍ４と、第１の磁性材Ｍ３の一端部Ｍ３ａと第２の磁性材Ｍ４の一端部Ｍ４ａとを連結する連結部３１ｒとを有して構成されている。また、磁気コア３１の第１の磁性材Ｍ３は、薄板状で円弧状の形状になっており、内周側を被測定電流路ＣＢと対向させて穴３９ａの周囲に配置している。同様にして、磁気コア３１の第２の磁性材Ｍ４は、薄板状で円弧状の形状になっており、内周側を被測定電流路ＣＢと対向させて穴３９ａの周囲に配置している。
【００５７】
そして、可撓性基板（基板３９）が折り曲げられた際に、図７、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、被測定電流路ＣＢの軸Ｂｊ方向から見て、可撓性基板（基板３９）の一方側主面に形成された第１の磁性材Ｍ３と可撓性基板（基板３９）の一方側主面に形成された第２の磁性材Ｍ４とが、第１の磁性材Ｍ３の他端部Ｍ３ｂと第２の磁性材Ｍ４の他端部Ｍ４ｂとが重なるとともに、第１の磁性材Ｍ３の一端部Ｍ３ａと第２の磁性材Ｍ４の一端部Ｍ４ａとが重なるようにして円形状に配置されている。そして、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す他端部Ｍ３ｂと他端部Ｍ４ｂとが重なる部分において、磁気コア３１により被測定電流路ＣＢの回りに発生する磁束を集束しているので、広い平行磁界領域ＪＡを形成している。
【００５８】
また、本発明の第３実施形態の磁気コア３１は、スクリーン印刷法を用い、パーマロイ（Ｆｅ−Ｎｉ合金）や金属ガラスの粉体がＡＢＳ（アクリロニトリルブタジエンスチレン）等の合成樹脂中に分散された磁性体ペーストを可撓性基板（基板３９）の一方側主面に所望のパターンで印刷し、加熱硬化させることより、作製することができる。そして、可撓性基板（基板３９）の一方側主面に作製された磁気コア３１は、可撓性基板（基板３９）を折り曲げるだけで、第１の磁性材Ｍ３と第２の磁性材Ｍ４とが、他端部Ｍ３ｂと他端部Ｍ４ｂとが重なり、一端部Ｍ３ａと一端部Ｍ４ａとが重なるようにして、円形状に配置することができる。これにより、可撓性基板（基板３９）を挟むようにして設けられた磁気コア３１を容易に作製することができる。このことにより、製造コストが抑えられた磁気コア３１を安価に作製することができる。
【００５９】
以上のように構成された磁気コア３１は、薄板状で被測定電流路ＣＢの周囲に配置されているので、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。更に、磁気コア３１が可撓性基板で支えられるため、磁気コア３１としてより薄い磁性材を用いることができる。このため、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との対向する面積がより一層狭くなり、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との間に発生する寄生容量をより一層小さくすることができる。しかも、磁性材を薄くすることで、材料費を抑えることができ、磁気コア３１を安価に作製することができる。なお、スクリーン印刷法を用いて、可撓性基板（基板３９）の一方側主面に磁気コア３１を作製したが、薄いシートの磁気コアを予め作製し、可撓性基板の一方側主面に貼り付けて、作製しても良い。
【００６０】
最後に、磁電変換素子３３は、素子の垂直方向ＶＤ（言い換えると素子の厚み方向）に感度軸を有するホール素子を用い、図７及び図８に示すように、可撓性基板（基板３９）の他方側主面に実装し、第１の磁性材Ｍ３の他端部Ｍ３ｂと第２の磁性材Ｍ４の他端部Ｍ４ｂとの間になるように配置した。そして、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を広い平行磁界領域ＪＡで検出している。これにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子（ホール素子）３３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０３を得ることができる。しかも、上述したように、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との間に発生する寄生容量が小さいので、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、特性バラツキがより抑えられた電流センサ１０３を得ることができる。
【００６１】
また、磁電変換素子３３として素子の厚み方向ＶＤに感度軸を有するホール素子を用いたので、他端部Ｍ３ｂと他端部Ｍ４ｂとの挟隙に薄い厚みの方向で磁電変換素子（ホール素子）３３を配置することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気をより検出できるとともに、第１の磁性材Ｍ３の他端部Ｍ３ｂと第２の磁性材Ｍ４の他端部Ｍ４ｂとの間を狭くすることができ、電流センサ１０３を薄くすることができる。
【００６２】
以上により、本発明の電流センサ１０３は、被測定電流路ＣＢの周囲に薄板状で円弧状の導体からなる第１の磁性材Ｍ３と第２の磁性材Ｍ４とを円形状に配置し、重なった第１の磁性材Ｍ３の他端部Ｍ３ｂと第２の磁性材Ｍ４の他端部Ｍ４ｂとの間に磁電変換素子３３を配置したので、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との対向する面積が狭くなり、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との間に発生する寄生容量を小さくすることができる。このため、容量結合によって引き起こされる電流センサの出力変動が抑えられ、しかも、磁電変換素子３３が重なった他端部（Ｍ３ｂ及びＭ４ｂ）間に配置されているので、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気を検出することができる。このことにより、被測定電流路ＣＢに電流が流れたときに発生する磁気を磁電変換素子３３でより正確に検出することができ、特性バラツキが抑えられた電流センサ１０３を得ることができる。
【００６３】
また、可撓性基板（基板３９）の一方側主面に磁気コア３１を形成し、可撓性基板を折り曲げて用いたので、磁気コア３１が可撓性基板で支えられるため、磁気コア３１としてより薄い磁性材を用いることができる。このことにより、被測定電流路ＣＢと第１の磁性材Ｍ３及び第２の磁性材Ｍ４との間に発生する寄生容量をより小さくすることができる。しかも、磁性材を薄くすることで、材料費を抑えることができ、磁気コア３１を安価に作製することができる。
【００６４】
また、第１の磁性材Ｍ３と第２の磁性材Ｍ４とが重なった他端部（Ｍ３ｂ、Ｍ４ｂ）間に、磁電変換素子３３として素子の厚み方向ＶＤに感度軸を有するホール素子を配置できるので、他端部（Ｍ３ｂ、Ｍ４ｂ）間の挟隙に薄い厚みの方向で磁電変換素子（ホール素子）３３を配置することができる。このことにより、広い平行磁界領域ＪＡ中で磁気をより検出できるとともに、第１の磁性材Ｍ３の他端部Ｍ３ｂと第２の磁性材Ｍ４の他端部Ｍ４ｂとの間を狭くすることができ、電流センサ１０３を薄くすることができる。
【００６５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
【００６６】
図９は、本発明の第１実施形態の電流センサ１０１の変形例を説明する図であって、図９（ａ）は、変形例１における電流センサＣ１０１の上面構成図であって、図９（ｂ）は、変形例２における電流センサＣ２０１の側面構成図である。図１０は、本発明の第２実施形態の電流センサ１０２の変形例３を説明する図であって、図１０（ａ）は、電流センサＣ３０２上面構成図であって、図１０（ｂ）は、電流センサＣ３０２側面構成図である。図１１は、本発明の第２実施形態の電流センサ１０２の変形例４を説明する電流センサＣ４０２側面構成図である。
【００６７】
＜変形例１＞
上記第１実施形態では、第１の磁性材Ｍ１及び第２の磁性材Ｍ２が半円状の形状の円弧状の構成であったが、半円状に限るものでは無く、図９（ａ）に示すように、第１の磁性材ＭＣ１が優弧で第２の磁性材ＭＣ２が劣弧の組み合わせの磁気コアＣ１１であっても良い。
【００６８】
＜変形例２＞
上記第１実施形態の基板１９に対して、図９（ｂ）に示すように、ＭＩＤ（Molded  Interconnect  Devices）等の立体配線された基板Ｃ１９に置き替え、磁電変換素子１３を基板Ｃ１９に埋め込むように構成しても良い。このことにより、第１の磁性材Ｍ１の他端部Ｍ１ｂと第２の磁性材Ｍ２の他端部Ｍ２ｂとの間を狭くすることができ、磁電変換素子１３により検出精度を向上させられるとともに、電流センサＣ２０１をより薄く作製することができる。
【００６９】
＜変形例３＞
上記第２実施形態では、磁気コア２１の第１の突設部Ｔ１及び第２の突設部Ｔ２の作製の際に、折り曲げ加工を数回にわたり行なったが、図１０に示すように、各々１回の折り曲げ加工で、磁気コアＣ３１の第１の突設部ＴＣ１及び第２の突設部ＴＣ２を作製した構成であっても良い。
【００７０】
＜変形例４＞
上記第２実施形態では、磁電変換素子２３に磁気抵抗素子を用いた構成にしたが、図１１に示すように、ホール素子を用いた磁電変換素子Ｃ４３構成でも良い。このことにより、磁気コアＣ４１の第１の突設部ＴＣ３と第２の突設部ＴＣ４とが対向する部分の間を狭くすることができ、磁電変換素子Ｃ４３で磁気をより検出することができる。その際には、磁電変換素子Ｃ４３として、ＳＩＰ(Single  Inline  Package)タイプのパッケージを用いるのが良い。
【００７１】
本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１１、２１、３１、Ｃ１１、Ｃ３１、Ｃ４１  磁気コア
１１ｒ、３１ｒ  連結部
Ｍ１、Ｍ３、ＭＣ１  第１の磁性材
Ｍ２、Ｍ４、ＭＣ２  第２の磁性材
Ｍ１ａ、Ｍ２ａ、Ｍ３ａ、Ｍ４ａ  一端部
Ｍ１ｂ、Ｍ２ｂ、Ｍ３ｂ、Ｍ４ｂ  他端部
１３、２３、３３、Ｃ４３  磁電変換素子
１５、２５  母材
１７、２７  長尺部材
１９、２９、３９、Ｃ１９  基板
１９ａ、２９ａ、３９ａ、３９ｂ  穴
Ｋ１  基部
Ｋ１ａ、Ｋ１ｂ  端部
Ｔ１、ＴＣ１、ＴＣ３  第１の突設部
Ｔ２、ＴＣ２、ＴＣ４  第２の突設部
ＣＢ  被測定電流路
１０１、１０２、１０３、Ｃ１０１、Ｃ２０１、Ｃ３０２、Ｃ４０２  電流センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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