(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波発生源と、
前記超音波発生源より発生された超音波エネルギを伝達する一または複数の振動伝達ブロックと、
前記振動伝達ブロックを個別に着脱自在に保持する保持手段と、
前記振動伝達ブロックと接し、前記振動伝達ブロックより伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、
を含むことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
被洗浄基板を回動させる保持台と、
前記被洗浄基板に洗浄液を供給する洗浄ノズルと、
を含む請求項１記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記保持手段は前記複数の振動伝達ブロックを、相互に接した状態で保持することを特徴とする請求項１又は２記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記保持手段は前記複数の振動伝達ブロックを、間に超音波の減衰部材を介在させて保持することを特徴とする請求項１又は２記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変であることを特徴とする請求項１〜４うち、いずれか一項記載の洗浄装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項記載の洗浄装置を使った洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は洗浄装置および洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体素子の製造では、大口径ウェハの使用が進んでいる。これに伴い、ウェハの洗浄工程においても枚葉式のスピン洗浄が主流になりつつある。枚葉式のスピン洗浄では、大型の洗浄槽を用いて行うディップ式洗浄と比べてウェハ面内で均一な洗浄処理が行いやすい。また枚葉式スピン洗浄では、ウェハ表面から除去した汚染物質がウェハ表面に再付着しにくい、洗浄液やリンス用純水の使用量を抑制できる、洗浄装置の立ち上げが短時間で行える、などの好ましい特徴が得られる。
【０００３】
スピン洗浄装置では一般に、超音波洗浄によりウェハを洗浄する。このようなスピン洗浄装置はふつう、ウェハの表面に超音波ノズルから洗浄液を噴射し、同時に、超音波ノズル内部の振動子を発振させて超音波を発生させ、超音波ノズルから噴射される洗浄液を媒体として超音波をウェハ表面に伝搬させ、超音波のエネルギを利用してウェハ表面の洗浄を促進する構成を有する。
【０００４】
図１に、超音波ノズルを用いて行う従来のスピン洗浄装置の概略を示す。
【０００５】
図１を参照するに図示のスピン洗浄装置は超音波ノズル２を有し、前記超音波ノズルには、図示しない供給ラインを介して洗浄液が供給される。前記超音波ノズル２はウェハ１に向けて前記洗浄液をジェット３として噴射し、噴射された洗浄液のジェット３が前記ウェハ１を洗浄する。前記超音波ノズル２は図示しない超音波発振器によりケーブル２Ａを介して駆動され、前記超音波ノズル２に内蔵された、図示していない超音波振動子を動作させる。前記超音波振動子により発生した超音波は洗浄液のジェット３に重畳され、前記洗浄液のジェット３を媒体として前記ウェハ１の表面に伝搬する。さらに前記ウェハ１を回転させながら前記超音波ノズル２に、前記超音波ノズル２を保持するアーム２Ｂにより往復運動をさせれば、前記超音波ノズル２から噴射された洗浄液３がウェハ表面に当たる照射点４が、ウェハの回転中心と外周の間を往復運動し、前記照射点４を、ウェハの全面に渡り通過させることができる。その結果、前記ウェハ１の全面を前記洗浄液で洗浄することが可能となる。
【０００６】
ところで近年では、半導体素子の微細化が進んでいる結果、製造工程途中において、表面に非常に壊れやすい微細な構造物（パターン）が形成されたウェハを洗浄しなければならない場合が増えている。例えば、比誘電率の値を下げる目的でポアと呼ばれる微細な空孔を内部に一様に分布させた、多孔質シリカ（ポーラスシリカ）などの、いわゆるｌｏｗ−Ｋ材料から成る層間絶縁膜中に微細な銅配線を有する多層配線構造を、ダマシン法やデュアルダマシン法により形成することが行われている。このような場合、弾性率が低く、また機械強度も低い層間絶縁膜に対し、反応性のドライエッチングによって幅が１００ｎｍを下回るような微細な配線溝やビアホールが形成されることがある。このような微細な構造を形成されたウェハに対して超音波ノズルを用いて超音波洗浄を行うと、超音波が与えるダメージによって、ウェハ表面の微細な構造ないしパターンが破壊されることがある。
【０００７】
このような問題を回避するためには、ウェハ表面に形成されたパターンの構造的な強度に応じて、ウェハ表面の単位面積当たりに照射される超音波のエネルギを調整することが望ましい。
【０００８】
図１に示したような超音波ノズルを利用した洗浄装置においては、超音波がウェハ表面の構造物に与えるダメージを小さくできるように、超音波ノズルに内蔵されている超音波振動子を駆動させるための超音波発振器に、駆動出力を調整できる機構が備えられていることが多く、ある範囲内であれば超音波の出力を調整することが可能である。しかし、上記のように最近の微細な構造を担持したウェハに対しては、このような調整を行っても超音波出力が大き過ぎる場合があり、このような場合には、さらに小さい出力での駆動が可能となるように、超音波発振器の電子回路に修正を加えることが必要になる。
【０００９】
しかし、超音波発振器の電子回路の修正によって駆動出力を小さくできたとしても、超音波ノズルに内蔵されている超音波振動子には形状や構造によって決まる固有の振動条件ないし振動モードがあり、駆動出力がある下限を下回ると、安定した振動が成立しないことがある。一方、高い周波数を使用する場合には、超音波振動子の駆動出力が一定値を下回ると、超音波が超音波ノズルから噴射された洗浄液中で急激に減衰し、ウェハ表面に到達しないことがある。
【００１０】
このように、超音波ノズルを使用する場合には、非常に小さな駆動出力で振動子を動作させて、ウェハ表面に超音波を照射することは、従来困難であった。
【００１１】
このような問題に対して、ウェハに与える超音波のダメージをできるだけ小さくする目的で、振動体を利用した超音波の照射方法が提案されている。図２（Ａ），（Ｂ）に、このような振動体を利用する超音波洗浄の例を示す。ただし図２（Ａ）はウェハを含む洗浄装置の全体を示す斜視図、図２（Ｂ）は前記ウェハの洗浄部を拡大して示す側面図である。
【００１２】
図２（Ａ），（Ｂ）を参照するに、三角柱形状の例えばセラミック部材よりなる振動体５の一つの平坦面５Ａに超音波振動子６が設置されており、前記振動体５はアーム６Ａに保持されて、前記三角柱形状の別の平坦面５Ｂがウェハ１の被洗浄面と平行に、かつわずかな距離を隔てて向かい合うように保持される。ここで前記ウェハ１に対して前記振動体５の平坦面５Ｂから超音波が照射されるので、前記振動体５の前記平坦面５Ｂを、超音波照射面７と呼ぶことにする。前記超音波振動子６は、図示しない超音波発振器により、ケーブル６Ｂを介して駆動され、超音波を発生する。
【００１３】
図２（Ａ），（Ｂ）の構成では、さらに前記ウェハ１の被洗浄面上に洗浄液供給ノズル８から洗浄液３を供給され、前記振動体５の超音波照射面７とウェハ１の間にできた空間を洗浄液３によって完全に満たす。この状態で超音波振動子６を駆動させると、発生した超音波は、振動体５の内部を伝搬し、超音波照射面７の全体から洗浄液３へと伝達され、洗浄液３中を伝搬して、被洗浄面であるウェハ１の表面に到達する。超音波照射面７の振動の仕方ないし振動モードは、超音波振動子６の振動モードや振動体５の形状や材質で決まるので、これらは事前にシミュレーションによって予測され、目的に応じて振動体５の設計に反映される。図２には、三角柱形状のセラミック部材を前記振動体５として採用した例を示したが、このような振動体５の材質や形状、構造は、様々である。
【００１４】
このような振動体を利用する方法では、超音波振動子で発生した超音波振動のエネルギが、振動体中を伝搬する過程で減衰し、また、超音波の照射が前記超音波照射面７の全面においてなされるため、振動のエネルギが分散し、被洗浄面の単位面積当たりに照射される超音波エネルギ密度は、図１のような超音波ノズル２を使った場合に比べて大幅に小さくなり、ウェハ表面に与える超音波のダメージを小さくする効果が得られる。
【００１５】
また、前記超音波照射面７から洗浄液に向かって照射された超音波は、厚くても数ミリメートル、多くの場合はわずか１ｍｍ前後、あるいはそれ以下の厚さの洗浄液３の膜中を伝搬するだけで被洗浄面に達するので、たとえ振動体の表面での単位面積当たりの超音波振動のエネルギが微小であっても、大きな減衰を伴わずに被洗浄面に超音波を照射することができ、確実に洗浄の効果を発揮させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００３−１８１３９４号公報
【特許文献２】特開２００３−３１５４０号公報
【特許文献３】特開２００５−１５８９１３号公報
【特許文献４】特開２００２−１２４７号公報
【特許文献５】特開２００８−３０６１０８号公報
【特許文献６】特開２００６−７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
一般に、このような超音波の照射を利用する洗浄においては、超音波が被洗浄物に与えるダメージの大きさと、超音波による洗浄効果の大きさは、互いに相反する関係にある。すなわち、超音波のエネルギ密度を大きくすると、洗浄効果は増すが、被洗浄物、すなわちウェハ上の微細な構造物に与えるダメージは大きくなる。逆に、超音波のエネルギ密度を小さくすると、被洗浄物に与えるダメージを小さくできるが、洗浄効果は小さくなる。しかし、ウェハ表面に形成された微細な構造物を破壊することなく、効率良く洗浄作業を行うためには、ウェハ表面に形成された構造物の機械的強度に応じて、照射する超音波のエネルギ密度を、構造物の破壊を生じない範囲でできるだけ大きく設定できることが望ましい。
【００１８】
前記図２（Ａ），（Ｂ）に示した振動体５では、前記超音波照射面７の振動の仕方は、超音波振動子６の振動の仕方や振動体５の形状、材質、構造などで決まってしまい、超音波振動子６の出力調整範囲は限られている。また、振動体５中における超音波エネルギ密度の減衰の仕方は変化させることができない。このため、振動体５の超音波照射面７からウェハ１に向けて照射される単位面積当たりの超音波のエネルギ密度を任意に調整することは、従来困難であった。
【００１９】
このため、先に図２（Ａ），（Ｂ）で説明した振動体５を用いて行う超音波洗浄において、超音波照射面７から照射される超音波の単位面積当たりのエネルギ密度を調整するためには、狙いとするエネルギ密度の値に応じて、その都度、超音波振動子６を交換したり、あるいは振動体５を交換したりしなければならなかった。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
一の側面によれば洗浄装置は、超音波発生源と、前記超音波発生源より発生された超音波エネルギを伝達する一または複数の振動伝達ブロックと、前記振動伝達ブロックを個別に着脱自在に保持する保持手段と、前記振動伝達ブロックと接し、前記振動伝達ブロックより伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、を含む。
【発明の効果】
【００２１】
前記一の側面による洗浄装置では、超音波伝達部を構成する振動伝達ブロックを適宜着脱することにより、前記超音波発生源と放射部材との間の距離を調整することができ、これにより、前記放射部材から洗浄液の膜中に照射される超音波エネルギの密度を適宜調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】超音波ノズルを使ったウェハ洗浄の例を示す図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は、振動体を使った別のウェハ洗浄の例を示す図である。
【図３Ａ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットの構成を示す側面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる超音波ノズルを示す側面図である。
【図３Ｃ】図３Ｂの超音波ノズルを示す正面図である。
【図３Ｄ】図３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる振動伝達ブロックを示す側面図および正面図である。
【図３Ｅ】図３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる放射部材を示す側面図および正面図である。
【図３Ｆ】図３Ｅの放射部材を超音波洗浄ユニットに装着した状態を示す正面図である。
【図３Ｇ】図３Ｄの振動伝達ブロックを超音波洗浄ユニットに装着した状態を示す正面図である。
【図３Ｈ】図３Ｂ，図３Ｃの超音波ノズルを超音波洗浄ユニットに装着した状態を示す正面図である。
【図４】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットを使った基板洗浄の例を示す側面図である。
【図５】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットの原理を説明する図である。
【図６Ａ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットにおける超音波エネルギの調整原理を説明する図（その１）である。
【図６Ｂ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットにおける超音波エネルギの調整原理を説明する図（その２）である。
【図７】（Ａ）〜（Ｃ）は、第１の実施形態による超音波エネルギの調整を示す図である。
【図８Ａ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットで使われる放射部材の例を示す正面図および側面図である。
【図８Ｂ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットで使われる放射部材の別の例を示す正面図および側面図である。
【図８Ｃ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットで使われる放射部材のさらに例を示す正面図および側面図である。
【図９Ａ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットが使われる洗浄装置の一部を待機状態について示す図である。
【図９Ｂ】第１の実施形態による超音波洗浄ユニットが使われる洗浄装置の一部を動作状態について示す図である。
【図１０Ａ】図９Ａ中、矢印Ａの方向から見た側面図である。
【図１０Ｂ】図９Ｂ中、矢印Ｂの方向から見た側面図である。
【図１１】（Ａ）〜（Ｃ）は、第１の実施形態による超音波洗浄ユニットが使われる洗浄装置の全体を示す、それぞれ上面図、正面図、側面図である。
【図１２】（Ａ）〜（Ｃ）は、第２の実施形態による超音波エネルギの調整を示す図である。
【図１３Ａ】第３の実施形態による超音波洗浄ユニットを示す側面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる超音波振動ユニットを示す側面図および正面図である。
【図１３Ｃ】図１３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる振動伝達ブロックを示す側面図および正面図である。
【図１３Ｄ】図１３Ａの超音波洗浄ユニットで使われる放射部材を示す側面図および正面図である。
【図１４Ａ】実施形態による超音波洗浄ユニットを使ったダマシン法による配線構造の形成例を示す断面図（その１）である。
【図１４Ｂ】実施形態による超音波洗浄ユニットを使ったダマシン法による配線構造の形成例を示す断面図（その２）である。
【図１４Ｃ】実施形態による超音波洗浄ユニットを使ったダマシン法による配線構造の形成例を示す断面図（その３）である。
【図１４Ｄ】実施形態による超音波洗浄ユニットを使ったダマシン法による配線構造の形成例を示す断面図（その４）である。
【図１４Ｅ】実施形態による超音波洗浄ユニットを使ったダマシン法による配線構造の形成例を示す断面図（その５）である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１の実施形態）
図３Ａ〜図３Ｈは、第１の実施形態による洗浄装置で使われる超音波洗浄ユニット２０の構成を示す図である。ただし図３Ａは前記超音波洗浄ユニット２０の側面図を、図３Ｂおよび図３Ｃは、前記図３Ａの超音波洗浄ユニット２０で使われる超音波ノズルのそれぞれ側面図および正面図を示す。図３Ｄは、前記図３Ａの超音波洗浄ユニット２０で使われる振動伝達ブロックを側面図および正面図で示す図、図３Ｅは、前記超音波洗浄ユニット２０で使われる放射部材を側面図および正面図で示す図、図３Ｆは、図３Ｅに示す放射部材２３が超音波洗浄ユニット２０中において着脱およびスライド自在に保持されている様子を示す正面図、図３Ｇは、図３Ｄに示す振動伝達ブロック２２Ａが超音波洗浄ユニット２０中において着脱およびスライド自在に保持されている様子を示す正面図、図３Ｈは図３Ｂ，図３Ｃに示す超音波ノズル２１が前記超音波洗浄ユニット２０中において着脱およびスライド自在に保持されている様子を示す正面図である。
【００２４】
最初に図３Ａを参照するに、前記超音波照射ユニット２０は超音波ノズル２１と、超音波を照射する放射部材（ホーン）２３とを含み、前記超音波ノズル２１と前記放射部材２３とは保持部材２４により保持されている。前記保持部材２４は、枠を構成する四本の互いに平行なガイド部材２４ａ〜２４ｄより構成されている。前記保持部材２４は例えばステンレス鋼材、フッ素系樹脂材などより形成することができる。
【００２５】
さらに前記超音波照射ユニット２０では、前記放射部材２３と超音波ノズル２１の間に、例えば石英片よりなる複数の振動伝達ブロック２２Ａを積層した超音波伝達部２２が、やはり前記保持部材２４により保持されて、設けられている。
【００２６】
図３Ｂおよび図３Ｃは、前記超音波ノズル２１を示す側面図および正面図である。
【００２７】
図３Ｂおよび図３Ｃを参照するに、前記超音波ノズル２１の前面には円錐形状のノズル２１Ｎが形成されており、前記ノズル２１Ｎの頂点には、洗浄液を吐出するノズル開口部２１ａが形成されている。
【００２８】
前記超音波ノズル２１には、前記保持部材２４上への装着のため、装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２が形成されており、前記装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２の各々は、一辺が１５ｍｍ〜４０ｍｍ、例えば２０ｍｍの寸法の正方形形状を有し、前記保持部２４を構成するガイド部材２４ａ〜２４ｄと係合するため四隅に切欠き２１ｈが形成されている。図３Ｃの正面図よりわかるように、図示の実施例では前記切欠き２１ｈは、前記ガイド部材２４ａ〜２４ｄに対応して、四箇所に形成されている。
【００２９】
図３Ｄは、前記超音波伝達部２２を構成する個々の振動伝達ブロック２２Ａの側面図および正面図を示す。
【００３０】
前記振動伝達ブロック２２Ａは、厚さが１ｍｍ〜２０ｍｍ、例えば５ｍｍで、先にも述べたように例えば石英片よりなり、前記超音波ノズル２１の装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２と、正面図で見て同じ形状、寸法を有している。
【００３１】
前記振動伝達ブロック２２Ａは平坦で平滑な上下端面を有し、隣接する振動伝達ブロック２２Ａと密着した状態で積層され、前記超音波伝達部２２を構成する。その際、前記超音波伝達部２２に含まれる振動伝達ブロック２２Ａの数は可変であり、前記超音波伝達部２２は、一又は複数の振動伝達ブロック２２Ａの積層により構成されている。前記振動伝達ブロック２２Ａのうち、最下端のものは、前記放射部材２３と結合する。
【００３２】
このように超音波伝達部２２を振動伝達ブロック２２Ａの積層により構成する場合、一の振動伝達ブロック２２Ａと次の振動伝達ブロック２２Ｂとの間に水膜を形成しておけば、超音波の伝達を促進することができる。このような水膜は、前記振動伝達ブロックを積層する際に、間に少量の水滴を介在させることにより、形成することができる。
【００３３】
図３Ｅは、前記放射部材２３の側面図および平面図を示す。
【００３４】
前記放射部材２３も、例えば前記振動伝達ブロック２２Ａと同様な石英片よりなり、先の超音波ノズル２１の装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２と同様な装着部２３Ｈが一体的に形成されている。前記装着部２３Ｈは図３Ｅよりわかるように正面図において前記装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２あるいは振動伝達ブロック２２と同じく、一辺が１５ｍｍ〜４０ｍｍ、例えば２０ｍｍの正方形を有し、四隅には、前記保持部材２４の枠を構成するガイド部材２４ａ〜２４ｂと係合するための切欠き２３ａが形成されている。前記放射部材２３の上端面は、対応する振動伝達ブロック２２Ａの下端面に密着するように、平坦で平滑な平面を形成する。
【００３５】
図示の例では、前記放射部材２３は、先端が縮小した高さが例えば２０ｍｍの円錐形ホーン部２３Ｂを有し、前記円錐形の頂部には、直径が例えば８ｍｍの平坦な円形の放射面２３ｂが形成されている。ただし、以下に説明するように、ホーン部２３Ｂは先端が縮小した円錐形状を有する必要はなく、他の形状を有してもよい。
【００３６】
また前記振動伝達ブロック２２Ａおよび放射部材２３は石英片よりなる必要はなく、超音波の伝搬が良好であり、化学薬品に侵されにくく、不純物の溶出が少ない材料であれば、他の材料を使うことも可能である。このような材料としては、石英の他にアルミナや窒化ケイ素，炭化珪素，ステンレス鋼材などが挙げられる。
【００３７】
前記保持部材２４は、図３Ａに示すように前記ガイド部材２４ａ〜２４ｄが基部２４Ｐから上方に平行に延在する構成を有しており、図３Ａに示すように超音波洗浄ユニット２０ではその最下部において、前記放射部材２３が図３Ｆの正面図に示すように、前記装着部２３Ｈの切欠き２３ａを前記ガイド部材２４ａ〜２４ｄに係合させ、また前記装着部２３Ｈの端面を前記保持部材２３の基部２３Ｐに係合させて保持されている。
【００３８】
同様に、前記超音波伝達部２２を構成する一または複数の振動伝達ブロック２２Ａは、その最下端部のものが前記放射部材２３に密接して、図３Ｇに示すように切欠き２２ａを前記保持部材２４のガイド部材２４ａ〜２４ｄに係合させることにより着脱およびスライド自在に保持され、さらに前記最下端部の振動伝達ブロック２２Ａ上に、必要に応じて次の振動伝達ブロック２２Ａが密接して、同様に着脱およびスライド自在に保持される。その際、前記最下端部の振動伝達ブロック２２Ａと放射部材２３との間にも、先に説明したように水膜を形成しておくのが好ましい。このように前記超音波伝達部２２を一または複数の振動伝達ブロック２２Ａの積層により構成することにより、前記超音波伝達ブロック２２中に超音波を伝搬させた場合、振動伝達ブロック２２Ａとこれに隣接する振動伝達ブロック２２Ａの間の界面、あるいは最下部の振動伝達ブロック２２Ａと放射部材２３との間の界面において上下に、すなわち伝搬方向に対して前後に超音波を複雑に反射あるいは吸収させることができ、これにより前記放射部材２３に伝搬する超音波のエネルギを調整することが可能となる。
【００３９】
また図３Ａの構成では、前記振動伝達ブロック２２Ａよりなる超音波伝達部２２の上方に前記超音波ノズル２１を、図３Ｈの正面図に示すように、前記保持部材２４のガイド部材２４ａ〜２４ｄを装着部材２１Ｈ１，２１Ｈ２の切欠部２１ｈに係合させることにより着脱およびスライド自在に保持した状態で配設している。
【００４０】
なお図３Ａの構成において前記放射部材２３，振動伝達ブロック２２Ａおよび超音波ノズル２１は前記ガイド部材２４ａ〜２４ｄに、摩擦力により保持されており、前記振動伝達ブロック２２Ａは適宜着脱可能であり、また前記超音波ノズル２１も前記ガイド部材２４ａ〜２４ｄの延在方向にスライドさせることが可能である。
【００４１】
図４は本実施形態による超音波洗浄ユニット２０の動作を説明する側面図である。
【００４２】
図４を参照するに、洗浄対象物であるウェハ、すなわち被洗浄基板３１が、洗浄装置内の図示しない支持台上に水平に載置された状態で固定されており、この状態で前記支持台を回転させて、ウェハ３１を水平に回転させる。
【００４３】
図４に示すように、先に図３Ａ〜３Ｅで説明した超音波洗浄ユニット２０は、前記保持部材２４に固定された支持アーム２５により支持されている。前記支持アーム２５は、図示しない駆動機構に接続されており、前記支持アーム２５を駆動することにより超音波洗浄ユニット２０を前記ウェハ３１上で、前記放射部材２３先端の放射面２３ｂが、常に前記ウェハ３１の表面と一定の間隔を置いて平行に向かい合うように、移動させられる。
【００４４】
さらに図４に示すように、前記超音波洗浄ユニット２０の近くには洗浄液供給ノズル３２が設置されており、前記洗浄液供給ノズル３２は前記ウェハ３１の表面に、矢印３２Ａに示すように洗浄液を供給する。その際、前記ウェハ３１が回転しているため、ウェハ３１の表面に供給された洗浄液は、ウェハ３１上に均一に濡れ広がり、ウェハ３１上に均一な厚さの洗浄液の膜３２Ｂを形成する。
【００４５】
そこで前記放射面２３ｂとウェハ３１の表面の間隔は、ウェハ３１の表面に形成される洗浄液膜３２Ｂ中に前記放射面２３ｂが確実に浸漬し、かつ、洗浄動作中に前記放射面２３ｂが前記ウェハ３１の表面に接触することがないような範囲で設定される。具体的には、前記間隔は一般に最大でも２〜３ｍｍ程度で、多くの場合は１ｍｍ前後である。
【００４６】
本実施形態では、前記超音波ノズル２１の内部に前記ライン２１Ａを介して一定の流量、例えば１．５リットル／分〜２リットル／分で洗浄液を供給し、前記超音波ノズル２１のノズル開口部２１ａから洗浄液を、矢印２１Ｌのように、前記超音波伝達部２２を指向して吐出させる。その結果、前記超音波ノズル２１から吐出した洗浄液は、積層されて前記超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック状部材２２Ａのうち、前記放射部材２３から最も遠く前記超音波ノズル２１に最も近い振動伝達ブロック２２Ａの中央部に衝突し、その後、前記保持部材２４を構成するガイド部材２４ａ〜２４ｄの間を通って前記ウェハ３１の表面へと流れ、前記膜３２Ｂを形成する洗浄液に合流する。
【００４７】
そこでこの状態で前記超音波ノズル２１に前記ケーブル２１Ｂを介して高周波電力信号を供給し、前記超音波ノズル２１に内蔵されている超音波振動子を動作させると、前記超音波振動子で発生した超音波が、前記超音波ノズル２１から吐出される矢印２１Ｌで示す洗浄液を媒体として伝搬し、前記振動伝達ブロック２２Ａのうち、最も超音波ノズル２１に最も近いものに照射される。本実施例では、超音波ノズル２１には、発振周波数３ＭＨｚ、出力６０Ｗの物を使用している。
【００４８】
なお前記超音波ノズル２１から吐出する液体は、前記超音波振動子で発生した超音波を前記振動伝達ブロック２２Ａに伝達させるだけであるので、超音波の伝搬の媒体と成り得るものであれば、どのような液体でも問題はない。しかし、本実施形態の構造では、超音波ノズル２１から前記振動伝達ブロック２２Ａへと吐出された液体は、前記振動伝達ブロック２２Ａに衝突したあと、先にも説明したように周囲に飛散して結局ウェハ３１の表面へと流れ落ちる。このため、洗浄効果を得ることを目的に洗浄液供給ノズル３２からウェハ３１上に供給している洗浄液が、この超音波の媒体となった液体と混合することにより、前記膜３２Ｂにおいて洗浄液の洗浄効果が低下する可能性がある。これに対し、超音波ノズル２１から吐出させる液体にも、前記膜３２Ｂを構成する洗浄液と同じ洗浄液を使用すれば、このような問題を回避することができる。
【００４９】
このようにして積層された振動伝達ブロック２２Ａのうちの最も超音波ノズル２１に近い振動伝達ブロック２２Ａに照射された超音波は、隣接する振動伝達ブロック２２Ａへと次々に伝搬しつつ、そのエネルギを、徐々に減衰させていく。その際、本実施形態では、特に前記超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック２２Ａの個数を着脱自在に変更可能に構成しているため、このような振動伝達ブロック２２Ａの個数を適宜変更することにより、単に前記超音波ノズル２１と放射部材２３との距離を変化させて前記放射部材２３に供給される超音波エネルギを変化させる効果に加えて、前記振動伝達ブロック２２Ａ相互の界面における超音波の反射あるいは吸収の効果が、前記界面の数の変化により大きく変化し、このため、前記放射部材２３に到達する超音波エネルギを効果的に調整することが可能となる。
【００５０】
前記放射部材２３に到達した超音波は、先端の放射面２３ｂから、前記ウェハ３１の表面に形成された洗浄液の膜３２Ｂを介してウェハ３１の表面へと伝達され、ウェハ３１の表面の洗浄を促進する。
【００５１】
図５は、上に説明した本実施形態の超音波洗浄ユニット２０の原理を簡略化して示す図である。
【００５２】
本実施形態では、先に図２で説明した超音波振動子を振動体に固定する構成ではなく、超音波振動子を内蔵した超音波ノズル２１を使用し、前記超音波ノズル２１から吐出された矢印２１Ｌで示す洗浄液が、前記超音波伝達部２２のうち、前記放射部材２３とは反対側の端部に位置する振動伝達ブロック２２Ａに当たる構成を採用する。前記超音波伝達部２２は、前記超音波ノズル２１から出射して前記放射部材２３に至る超音波の経路上に配置されており、その結果、前記超音波伝達部２２において前記振動伝達ブロック２２Ａは、前記超音波の経路上に順次配列されている。
【００５３】
そこで前記超音波ノズル２１から洗浄液を矢印２１Ｌの方向に吐出させ、同時に前記超音波ノズル２１に内蔵された超音波振動子を動作させる。その結果、前記超音波ノズル２１から吐出された洗浄液が前記超音波伝達部２２のうち、最上端の振動伝達ブロック２２Ａに衝突すると、前記洗浄液に重畳された超音波が、最初は前記洗浄液３を媒体として、次いで前記超音波伝達部２２において積層された振動伝達ブロック２２Ａを媒体として順次伝搬し、前記放射部材２３に到達する。前記放射部材２３に到達した超音波は、その先端にある放射面２３ｂから前記ウェハ３１の表面に形成された洗浄液の膜３２Ｂ中へと照射され、さらに前記ウェハ３１の表面へと到達し、ウェハ３１の表面の洗浄を促進する。その際、前記超音波伝達部２２は、互いに独立な振動伝達ブロック２２Ａを積み重ねているだけなので、その数を自在に変更することができる。
【００５４】
本実施形態はまた、図３Ａ〜図３Ｅで説明した超音波洗浄ユニット２０を使った洗浄装置を提供する。
【００５５】
本実施形態による洗浄装置は、保持台上で回動される被洗浄基板３１の表面に洗浄液を供給し、前記洗浄液の膜３２Ｂを形成する洗浄液供給ノズル３２と、前記洗浄液の膜３２Ｂ中に超音波を照射する超音波照射ユニット２０と、を含み、前記超音波照射ユニット２０は、超音波発生源となる超音波ノズル２１と、前記超音波発生源で発生された超音波エネルギを伝達する媒体と、前記洗浄液の膜３２Ｂ中に挿入され、前記洗浄液の膜３２Ｂ中に、前記媒体を伝達された超音波エネルギを放射する放射部材２３と、を含み、前記媒体は、前記超音波エネルギの伝搬経路に配置された一または複数の振動伝達ブロック２２Ａよりなる超音波伝達部２２を含み、前記一または複数の振動伝達ブロック２２Ａは、前記超音波エネルギの伝搬経路上に、保持手段２４により保持されて配置され、前記保持手段２４は、前記一又は複数の振動伝達ブロック２２Ａの各々を、個別に着脱自在に保持し、前記超音波発生源２１と前記放射部材２３との間の距離が可変であることを特徴とする。
【００５６】
以下引き続き、第６Ａ，６Ｂ図を用いて、本実施形態における超音波エネルギの調整例について説明する。
【００５７】
図６Ａは、前記超音波伝達部２２において積層される振動伝達ブロック２２Ａの数を１０個としているが、このような場合には、まず超音波伝達部２２の長さが長くなることから、前記超音波伝達部２２内部を伝搬する超音波の経路が長くなり、超音波のエネルギの減衰を大きくすることができる。またその際に前記超音波伝達部２２中には、両端を除いても９箇所に振動伝達ブロック２２Ａ同士が接する界面が存在し、かかる界面における反射あるいは吸収の効果により、超音波エネルギの減衰をさらに大きくすることができる。これにより、放射部材２３の放射面２３ｂから照射される単位面積当たりの超音波のエネルギを減少させることが可能となる。
【００５８】
一方図６Ｂの場合には、前記超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック２２Ａの個数が４個に減少されており、これに伴って、前記超音波伝達部２２における超音波の伝搬経路が短縮されている。その結果、前記超音波伝達部２２中における超音波のエネルギの減衰は小さくなり、前記放射部材２３の放射面２３ｂから照射される単位面積当たりの超音波エネルギ密度は、図６Ａの場合に比べて増大する。また、図６Ｂの構成では、前記超音波伝達部２２中において振動伝達ブロック２２Ａ同士が接する界面の数が、両端を除いて３箇所と、図６Ａの場合と比べて大きく減少しており、かかる界面における超音波の反射あるいは吸収による減衰の効果が図６Ａの場合と比べて大きく減少する。
【００５９】
このように本実施形態では、超音波伝達部２２において積層される振動伝達ブロック２２Ａの数を調整することにより、前記放射部材２３の放射面２３ｂから照射される単位面積当たりの超音波のエネルギ密度を、自在に、かつ微細に調整することができる。すなわち本実施形態によれば、前記ウェハ３１の表面に形成された微細な構造物の機械的強度に応じて、前記超音波洗浄ユニット２０のから照射される単位面積当たりの超音波のエネルギ密度を繊細に調整して、前記ウェハ３１の表面の構造物の破壊を生じない範囲でできるだけ大きく設定することが可能となり、構造物を破壊させることなく効率良く洗浄作業を行うことが可能となる。
【００６０】
なお本実施例において、前記超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック状２２Ａの界面に薄い樹脂フィルムなどの超音波減衰部材を介在させ、超音波エネルギの吸収を促進することも可能である。また樹脂フィルムに限らず、前記振動伝達ブロック２２Ａの間に適当な材質と厚さの超音波減衰部材を介在させることにより、前記放射部材２３に到達する超音波エネルギを、自在に調整することが可能である。
【００６１】
図７（Ａ）〜図７（Ｃ）は、図６Ａ，６Ｂに示した超音波伝達部２２中における振動伝達部材２２Ａの個数を変えることにより，超音波の照射エネルギの大きさを調整する方法の具体例を示す。
【００６２】
図７（Ａ）〜（Ｃ）を参照するに、図７（Ａ）の例では前記超音波伝達部２２が７個の振動伝達ブロック２２Ａを積層し最も大きな長さを有しているのに対し、図７（Ｂ）の例では前記超音波伝達部２２が５個の振動伝達ブロック２２Ａを積層して中間の長さを有しており、図７（Ｃ）の例では前記超音波伝達部２２がわずか３個の振動伝達ブロック２２Ａを積層して最も短い長さを有しているが、いずれの例でも前記超音波ノズル２１の先端部と超音波伝達部２２の端部のうち、前記放射部材２３から遠い側の端部、すなわち図示の状態で上端部との間の距離Ｌ０は一定に維持されており、その結果、前記超音波ノズル２１の先端部と前記放射部材２３との間の距離が、図７（Ａ）〜図７（Ｃ）で、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３（Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３）と変化しているのがわかる。
【００６３】
その結果、前記放射部材２３から被洗浄基板３１表面の洗浄液の膜３２Ｂ中に放射される超音波のエネルギ密度は、前記超音波ノズル２１を同じ出力で駆動した場合、図７（Ｃ）の構成が最も大きく、図７（Ａ）の例が最も小さくなる。
【００６４】
本実施形態では、このように前記超音波伝達部２２の長さに応じて前記超音波ノズル２１の位置が移動ないしスライドされるが、このような超音波ノズル２１の移動を可能とするため、前記保持部材２４は、前記図３Ｂおよび図３Ｃで説明したように前記超音波ノズル２１の装着部２１Ｈ１，２１Ｈ２の切欠部２１ｈに係合することで、前記保持部材２４をスライド自在に保持している。
【００６５】
本実施形態では、超音波ノズル２１を使うことにより、前記超音波ノズル２１中の超音波振動子で発生した超音波を、前記超音波振動子から前記超音波伝達部２２に直接に伝搬させず、変形自在な洗浄液、すなわち液体を媒体として伝搬させるように構成しており、これにより、前記超音波伝達部２２の構造、形状、材質などの選択、交換を自由に行うことが可能となる。
【００６６】
また本実施形態において前記超音波ノズル２１の代わりに、水などの液体を充填し両端を封止した中空シリンダを使い、前記中空シリンダの一端に超音波振動子を設け、他端を前記超音波伝達部２２に当接することによっても、本実施形態と同様な超音波エネルギ密度の調整を行うことが可能である。
【００６７】
図８Ａ〜図８Ｃは、本実施形態で使われる様々な放射部材２３の例を示す。
【００６８】
このうち図８Ａは先に図３Ｅで説明したものに対応しており、放射部材２３は円錐形のホーン部２３Ｂを有し、その先端部に平坦な放射面２３ｂが形成されている。また前記放射部材２３には、切欠き２３ａを有する装着部２３Ｈが設けられており、前記切欠き２３ａを前記保持部２４のガイド部材２４ａ〜２４ｄに係合させることにより、前記放射部材２３も前記保持部材２４に着脱自在に保持される。
【００６９】
図８Ｂに示す例は、前記ホーン部２３Ｂとして円錐台形状のものを使った例で、図８Ａの例に比べて放射面２３ｂの面積が増大している。このため、同じ構成の超音波洗浄ユニット２０において図８Ａの放射部材２３を図８Ｂの放射部材２３と交換することにより、前記洗浄液の膜３２Ｂ中に放射される超音波のエネルギ密度をさらに低減することが可能となる。
【００７０】
図８Ｃに示す例は、前記ホーン部２３Ｂとして円筒形状のものを使った例で、図８Ａや図８Ｂの例に比べて放射面２３ｂの面積がさらに増大している。このため、同じ構成の超音波洗浄ユニット２０において図８Ａあるいは図８Ｂの放射部材２３を図８Ｃの放射部材２３と交換することにより、前記洗浄液の膜３２Ｂ中に放射される超音波のエネルギ密度をさらに低減することが可能となる。
【００７１】
次に、本実施形態による超音波洗浄ユニット２０を使った洗浄装置６０について図９Ａ，図９Ｂを参照しながら説明する。
【００７２】
図９Ａ，図９Ｂは、前記本実施形態による超音波洗浄ユニット２０を搭載した洗浄装置６０において、ウェハの洗浄が行われる洗浄チャンバ３９を示す平面図である。ここで図９Ａ，図９Ｂの平面図は、いずれも前記洗浄チャンバを、鉛直上方から見ている。以下に説明するように、図９Ａは実際の洗浄がなされていない待機状態を示し、図９Ｂは実際の洗浄がなされている洗浄状態を示す。
【００７３】
図９Ａを参照するに、前記洗浄チャンバ３９は、被洗浄基板であるウェハ３１の洗浄を行うべく前記洗浄装置６０の上面に設けられた空間であり、カップ４０により画成されて鉛直上方に向いて開いた円形の大きな開口部を含む。
【００７４】
前記洗浄チャンバ３９の中心部には、前記ウェハ３１を水平に支持、固定し、さらに回転させるためのウエハチャックが設置されている。前記ウエハチャックは、図９Ａの平面図ではウェハ３１の下側に隠れているため、図示されていない。また前記洗浄チャンバ３９の外縁部には前記カップ４０が設けられており、前記カップ４０は、前記ウェハ３１を回転させながら行う洗浄の際、洗浄液が前記洗浄チャンバ４０の外部へと飛散するのを防止する。
【００７５】
さらに前記洗浄チャンバ３９の両側には、ガイドレール４１Ａ，４１Ｂが設置されており、前記ガイドレール４１Ａ，４１Ｂに沿ってそれぞれスライダ４２Ａ，４２Ｂが自在に往復運動をする。
【００７６】
前記２つのスライダ４２Ａ，４２Ｂの間には台座４３が渡されていて、前記台座４３の中央には、支持アーム２５を介して先に説明した超音波洗浄ユニット２０が設置されている。前記支持アーム２５は、第４図において説明したとおり、前記超音波洗浄ユニット２０の保持部材２４に固定されている。
【００７７】
ここで前記超音波洗浄ユニット２０は前記図３Ａ〜図３Ｈで詳細を説明した物と同一であり、図９Ａにおいては細部の図示を省略している。また同様に図示は省略するが、前記洗浄チャンバ３９内には、前記ウェハ３１上に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル３２が、台座４３を介して前記超音波洗浄ユニット２０の近傍に設置されていて、前記超音波洗浄ユニット２０の近傍の位置において前記ウェハ３１上に洗浄液を供給する。
【００７８】
先にも述べたように、図９Ａは実際には洗浄作業を行っていない待機状態、例えば前記ウェハ３１の交換作業を行っている状態などを示しており、前記超音波洗浄ユニット２０は、前記洗浄チャンバ３９の外部の待避位置２０Ｔに退避しているのがわかる。
【００７９】
一方洗浄作業を開始すると、図９Ｂに示すように前記超音波洗浄ユニット２０は前記洗浄チャンバ３９内に移動し、さらに鉛直方向にも移動して、先に図４で説明したように、前記超音波洗浄ユニット２０の放射面２３ｂが、洗浄に適した所定の位置まで接近する。
【００８０】
さらに図９Ｂの状態では前記ウェハ３１を回転させ、前記ウェハ３１上に前記洗浄液供給ノズル３２から洗浄液を供給することにより、前記ウェハ３１の表面に洗浄液の膜３２Ｂを形成する。さらにこの状態で前記超音波洗浄ユニット２０中において前記超音波ノズル２１から洗浄液の吐出と超音波の照射が開始され、洗浄作業が開始される。洗浄作業中、前記スライダ４２Ａ，４２Ｂをガイドレール４１Ａ，４１Ｂに沿って矢印Ｘに示すように往復運動させることで、前記超音波の放射面２３ｂが前記ウェハ３１の全面を掃引し、ウェハ３１の全面が洗浄される。
【００８１】
図１０Ａおよび図１０Ｂは、それぞれ前記図９Ａおよび図９Ｂにおける前記被洗浄基板すなわちウェハ３１の近傍を、図９Ａおよび図９Ｂにおいて矢印Ａおよび矢印Ｂの方向から見た拡大正面図である。
【００８２】
図１０Ａを参照するに、前記ウェハ３１はカップ４０により囲まれた洗浄チャンバ３９中において、回動軸６０Ｍ上にチャック６０Ｃにより固定されて保持されているが、図９Ａの待機状態では前記ガイドレール４１Ａ，４１Ｂが上昇しており、これに伴って前記超音波洗浄ユニット２０も台座４３共々、前記洗浄チャンバ３９を画成するカップ４０の上縁よりも高い位置に上昇しているのがわかる。
【００８３】
一方図１０Ｂの洗浄作業中には前記超音波洗浄ユニット２０は前記高い位置のまま前記カップ４０の上縁を超えて洗浄チャンバ３９に入り、そのまま下降して前記ウェハ３１の上面に近接した、洗浄に適した所定の位置に到達する。この状態で前記スライダ４２Ａ，４２Ｂをガイドレール４１Ａ，４１Ｂに対して移動させることにより、前記超音波洗浄ユニット２０は前記台座４３もろとも、前記ウェハ３１の表面を移動し、所望の洗浄がなされる。
【００８４】
図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）は、本実施形態による洗浄装置６０の全体を示す、それぞれ上面図、全面図および側面図である。
【００８５】
図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）を参照するに、前記洗浄装置６０は筐体６５を有し、前記筐体６５の上面には、前記図９Ａ，図９Ｂに示した洗浄チャンバ３９やガイドレール４１など、洗浄作業に必要な構成要素が配置されている。さらに前記筐体６５の上面には、洗浄前後のウェハを収容するためのウェハラック６７Ａ，６７Ｂや、前記ウェハラック６７Ａ，６７Ｂと洗浄チャンバ３９の間でウェハの搬送を行うウェハ搬送機構６６などが設置されている。これら前記筐体６５上の構成要素が雰囲気中の浮遊異物によって汚染されることを防止するため、前記筐体６５の上面には、これらの構成要素を覆ってクリーンブース６９が設置されており、前記クリーンブースの内部は、極めて清浄度の高い環境に維持されている。また洗浄装置６０の操作は、前記筐体６５の上面に設けられた操作パネル６８を介してなされるが、実際の洗浄プロセスは、自動化された処理レシピに対応したプログラムに従って、コンピュータの制御下で行われる。
【実施例１】
【００８６】
本実施例を用いて、本発明の効果を確認する実験を行った。
【００８７】
直径８インチ（２００ｍｍ）のシリコンウエハの表面に、厚さ２００ｎｍのポーラスシリカの膜を形成した。この膜に対してドライエッチングにより加工を行い、Ｌ／Ｓ＝６０／６０ｎｍ、深さ１００ｎｍの一様な縞状パターンを形成した。このウェハの表面に平均粒径０．１５μｍのシリカ（ＳｉＯ２）微粒子を片面当たり３万個程度付着させて試料とした。パターン検査装置を使用して、洗浄によってパターンの破壊が発生していないかを検査するとともに、洗浄前後でウェハ表面に付着しているシリカ粒子の数を計測し、洗浄によってどれだけのシリカ粒子が除去されたか（除去率）を算出した。評価の目安として、付着させた微粒子の９９％を洗浄除去できたところで、洗浄が完了したものと判定することとした。
【００８８】
本実施例の超音波洗浄ユニット２０において、超音波伝達部２２を構成している一つの振動伝達ブロック２２Ａの大きさは、２０ｍｍ角の正方形で厚さ５ｍｍとした。また、放射部材２３は、前記ブロック状部材２２Ａの一つの片側面中央部に高さ２０ｍｍの円錐台形の突起をホーン２３Ｂとして設けた構成とし、前記ホーン２３Ｂ先端の面、すなわち超音波照射面は、直径８ｍｍの円形とした。前記振動伝達ブロック２２Ａおよび放射部材２３の材質は、いずれも合成石英とした。
【００８９】
また前記超音波ノズル２１内部の超音波振動子で発生させる超音波の振動周波数は３ＭＨｚ、出力は６０Ｗとした。洗浄液には、超純水中に水素ガスを１．５ｍ／Ｌの濃度で溶解させた水素溶解水を使用した。超音波ノズルからは、２．０Ｌ／ｍｉｎの流量でこの水素溶解水を噴射させた。超音波ノズル２１のノズル開口部２１ａからこれに最も近い振動伝達ブロック２２Ａの後端までの距離は、３０ｍｍに固定した。
【００９０】
実験では前記ウェハ３１を１５０ｒｐｍの速度で回転させ、洗浄液供給ノズル３２から、超純水中に水素ガスを１．５ｍ／Ｌの濃度で溶解させた水素溶解水を供給し、ウェハが回転している状態で、ウェハ表面に膜３２Ｂが厚さ２ｍｍで形成されるように流量を調整した。放射面２３ｂとウェハ３１の表面の間隔は、１．０ｍｍで一定とした。また実験では、前記超音波洗浄ユニット２０をウェハ３１上、ウェハ３１の中心とウェハの外周のとの間で、５０ｍｍ／ｓｅｃの速度で往復運動をさせた。
【００９１】
最初の実験では前記放射部材２３上に前記振動伝達ブロック状２２Ａを９個積み重ね、前記超音波伝達部２２の長さを４５ｍｍ、前記放射部材２３の先端、すなわち放射面２３ｂから超音波伝達部２２の後端までの距離を７０ｍｍとして洗浄を行った。この構成の場合、洗浄が完了するまでに平均で５４０秒を要した。また、洗浄終了後に、ウェハ表面のパターンの破壊は一切認められなかった。
【００９２】
次の実験では、前記超音波ノズル２１からこれに最も近い振動伝達ブロック２２Ａまでの距離を一定にしたまま、前記振動伝達ブロック状２２Ａの個数を１個にまで減らし、前記放射部材２３の先端から超音波伝達部２２の後端までの距離を３０ｍｍとして洗浄を行った。この場合には、少なくとも３０秒間の洗浄で、ウェハ表面のパターンに破壊が発生するのが確認された。
【００９３】
次に、前記振動伝達ブロック２２Ａの数を一つずつ増やし、すなわち超音波伝達部２２の長さを５ｍｍずつ長くして、洗浄実験を行った。その結果、前記振動伝達ブロック２２Ａの数が５個になったところで、すなわち、放射部材２３の先端から超音波伝達部２２の後端までの距離が５０ｍｍになったところで、洗浄時間の長さにかかわらず、パターンの破壊が発生しなくなった。そして、その場合の洗浄完了までの所要時間は、９０秒であった。
【００９４】
このように、超音波伝達部２２の長さを、振動伝達ブロック２２Ａを追加削除することで調整することにより、前記ウェハ３１の表面に形成されたパターンを破壊しない範囲で照射する超音波のエネルギの大きさをほぼ最大限まで大きくすることができ、調整前と比較して、洗浄時間を大幅に短縮することが確認された。
【００９５】
以上のように、本実施形態により、洗浄処理時に洗浄液中に放射される超音波のエネルギ密度の微調整が実際に可能であり、これにより、ウェハ表面に形成されたパターンの破壊を生じさせることなく、ウェハ表面に付着した異物の除去効率を大幅に向上させられることが、実験的に確認された。
【００９６】
なお本実施形態において、使用可能な洗浄液は、実験に使った水素溶解水に限定されるものではなく、本実施形態は、界面活性剤、キレート剤、ｐＨ調整剤、有機溶剤等の成分を含む様々な組成の洗浄液についても有効である。
【００９７】
（第２の実施形態）
図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）は，前記図３Ａ〜図３Ｈで説明した超音波洗浄ユニット２０において、超音波ノズル２１から超音波伝達部２２までの距離をｌ１，ｌ２，ｌ３と変化させ、これにより前記放射部材２３から放射される超音波エネルギを調整する、第２の実施形態にかかる超音波エネルギの調整方法を示す。図中、先に説明した部分には対応する参照符号を付し、説明を省略する。
【００９８】
図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）を参照するに、本実施形態では超音波伝達部２２に含まれる振動伝達ブロック２２Ａの個数はいずれの場合も同じで３個であるが、前記超音波ノズル２１の先端部、すなわちノズル開口部２１ａから超音波伝達部２２の後端、すなわち前記放射部材２３から遠い側の端面までの距離が、ｌ１，ｌ２，ｌ３（ｌ１＞ｌ２＞ｌ３）と変化しており、本実施形態では、前記超音波ノズル２１から吐出された洗浄液を伝搬して前記超音波伝達部２２に到達する超音波エネルギが，洗浄液中を伝搬する距離が長くなるほど大きく減衰する現象を使って、前記放射部材２３から放射される超音波エネルギ、従って超音波エネルギ密度を調整する。
【００９９】
本実施形態では、超音波伝達部２２中の振動伝達ブロック２２Ａについては変更をしないため、隣接する振動伝達ブロック２２Ａの界面における反射吸収により超音波エネルギを調整することはできないが、前記保持部材２４上にスライドおよび着脱自在に保持されている超音波ノズル２１の位置を前後にスライドさせて変更するだけでよいため、前記超音波伝達部２２に到達する超音波エネルギ、従って放射部材２３から放射せる超音波エネルギあるいは超音波エネルギ密度を、簡単に調整することができる。
【０１００】
（第３の実施形態）
図１３Ａ〜図１３Ｄは、第３の実施形態による超音波洗浄ユニット２０Ｂの構成を示す図である。ただし図１３Ａは前記超音波洗浄ユニット２０Ｂの側面図を、図１３Ｂは、前記図１３Ａの超音波洗浄ユニット２０Ｂで使われる超音波源のそれぞれ側面図および正面図を示し、図３Ｃは、前記図３Ａの超音波洗浄ユニット２０Ｂで使われる振動伝達ブロックを側面図および正面図で示す図、図１３Ｄは前記図１３Ａの超音波洗浄ユニット２０Ｂで使われる放射部材２３を側面図および正面図で示す図である。
【０１０１】
図１３Ｃの振動伝達ブロック２２Ａおよび図１３Ｄの放射部材２３については、先の実施形態と同じであり説明を省略する。
【０１０２】
本実施形態では、超音波源として前記超音波ノズル２１の代わりに、平坦な振動面を有する超音波振動子７１Ａと、これに接合された、図１３Ｃの振動伝達ブロック２２Ａと同じ構成の振動体７１Ｂとよりなる超音波振動ユニット７１を使う。ここで超音波振動子７１Ａと振動体７１Ｂとは切り離さず、一体の部材とすることで、安定な超音波振動を持続することが可能となる。
【０１０３】
本実施形態では、この超音波振動ユニット７１にも、前記保持部材２４を構成するガイド部材２４ａ〜２４ｄと係合する切欠きを形成しておくことにより、前記超音波振動ユニット７１を前記保持部材２４上に、前記超音波ノズル２１の場合と同様に、スライドおよび着脱自在に保持することができる。
【０１０４】
そこでこのような超音波振動ユニット７１を、前記超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック２２Ａのうち、前記放射部材２３から遠い側の端部に当接することで、発生した超音波を前記放射部材２３から、洗浄液の膜３２Ｂ中に放射することができる。
【０１０５】
またこの場合に、先の実施形態と同様に超音波伝達部２２を構成する振動伝達ブロック２２Ａの個数を変更することにより、前記放射部材２３に到達し、放射される超音波エネルギ、従ってその密度を、自在に調整することができる。
【０１０６】
（第４の実施形態）
図１４Ａ〜図１４Ｅは、先の実施形態による超音波洗浄ユニット２０あるいは２０Ｂを使った、ダマシン法による配線構造の形成例を示す図である。
【０１０７】
図１４Ａを参照するに、ｌｏｗ−Ｋ誘電体膜、例えば多孔質膜などよりなる層間絶縁膜８１中にはレジストパターンＲをマスクとしたドライエッチングにより配線溝８１Ａが形成される。
【０１０８】
次に図１４Ｂの工程において、このようにして配線溝８１Ａが形成された層間絶縁膜８１の表面を、先の超音波洗浄ユニット２０あるいは２０Ｂを使って洗浄し、ドライエッチングの際に付着した異物や不純物を除去する。
【０１０９】
次に図１４Ｃの工程において前記図１４Ｂの構造上に、前記配線溝８１Ａを含むようにＴａやＴｉなどの高融点金属よりなるバリアメタル膜８２がスパッタ法などにより形成され、さらに図１４Ｄの工程において前記バリアメタル膜８２上に前記配線溝８１Ａを充填するようにＣｕ層８３が、電解メッキ法により形成される。
【０１１０】
さらに図１４Ｅの工程において、前記層間絶縁膜８１上のＣｕ層８３を、前記層間絶縁膜８１の表面が露出するまで化学機械研磨（ＣＭＰ）を行うことにより、層間絶縁膜８１中にＣｕ配線パタ―ン８３Ａがバリアメタル８２膜を介して充填された配線構造が得られる。
【０１１１】
さらに図１４Ｅの構造に対し、図１４Ｂと同様な超音波洗浄を行った後、図１４Ａ〜図１４Ｅのプロセスを繰り返すことにより、所望の多層配線構造を形成することができる。
【０１１２】
本実施形態では、図１４Ｂの工程、あるいは図１４Ｅの工程の後の洗浄工程において図３Ａ〜図３Ｈで説明した超音波洗浄ユニット２０あるいは図１３Ａ〜図１３Ｄで説明した超音波洗浄ユニット２０Ｂを使い、かつ洗浄の際の超音波エネルギないし超音波エネルギ密度を、層間絶縁膜８１上に形成された配線溝８１Ａなど、微細なパターンないし構造物を損傷させない範囲で可能な限り大きく設定することにより、効率的な洗浄を短時間で行うことが可能となる。
【０１１３】
以上、本発明を好ましい実施形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した要旨内において様々な変形・変更が可能である。
（付記１）
被洗浄基板を回動させる保持台と、
前記被洗浄基板表面に洗浄液を供給し、前記洗浄液の膜を形成する洗浄液ノズルと、
前記洗浄液の膜中に超音波を照射する超音波照射ユニットと、
を含み、
前記超音波照射ユニットは、
超音波発生源と、
前記超音波発生源で発生された超音波エネルギを伝達する媒体と、
前記洗浄液の膜中に挿入され、前記洗浄液の膜中に、前記媒体を伝達された超音波エネルギを放射する放射部材と、
を含み、
前記媒体は、前記超音波エネルギの伝搬経路に配置された一または複数の振動伝達ブロックよりなる超音波伝達部を含み、
前記一または複数の振動伝達ブロックは、前記超音波エネルギの伝搬経路上に、保持手段により保持されて配置され、
前記保持手段は、前記一又は複数の振動伝達ブロックの各々を、個別に着脱自在に保持し、
前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変であることを特徴とする洗浄装置。
（付記２）
前記超音波伝達部は一端が前記放射部材に結合され、他端に前記超音波発生源からの超音波エネルギが供給されることを特徴とする付記１記載の洗浄装置。
（付記３）
前記超音波伝達部は前記振動伝達ブロックを複数個含み、前記保持手段は前記複数個の振動伝達ブロックを、相互に密接した状態で保持することを特徴とする付記１または２記載の洗浄装置。
（付記４）
前記超音波伝達部は前記振動伝達ブロックを複数個含み、前記保持手段は前記複数個の振動伝達ブロックを、間に超音波の減衰部材を介在させて保持することを特徴とする付記１または２記載の洗浄装置。
（付記５）
前記保持部材は前記超音波発生源を、前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離が可変となるように保持することを特徴とする付記１〜４のうち、いずれか一項記載の洗浄装置。
（付記６）
前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離を設定する際、前記超音波発生源と前記超音波伝達部との間の距離は、前記超音波伝達部において前記振動ブロックを着脱することで一定に維持されることを特徴とする付記１〜５のうち、いずれか一項記載の洗浄装置。
（付記７）
前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離を設定する際、前記超音波発生源と前記超音波伝達部との間の距離が変化されることを特徴とする付記１〜５のうち、いずれか一項記載の洗浄装置。
（付記８）
前記超音波発生源は、前記洗浄液を供給される超音波ノズルを含み、前記超音波ノズルは前記超音波伝達部に、前記超音波ノズルに供給された前記洗浄液を、前記超音波を重畳して吐出することを特徴とする付記１〜７のうち、いずれか一項記載の洗浄装置。
（付記９）
前記超音波ノズルから吐出した洗浄液は、前記超音波伝達部と共に、前記媒体の一部を構成することを特徴とする付記８記載の洗浄装置。
（付記１０）
前記超音波発生源は、前記超音波伝達部のうち、前記放射部材に結合された一端とは反対側の他端に固着されていることを特徴とする付記１〜６のうち、いずれか一項記載の洗浄装置。
（付記１１）
前記超音波発生源と前記放射部材との間の距離の設定は、前記超音波伝達部において前記振動伝達ブロックを、一または複数個着脱することによりなされることを特徴とする付記１０記載の洗浄装置。
（付記１２）
付記１〜１１のいずれか一項記載の洗浄装置を使った基板の洗浄方法。
【符号の説明】
【０１１４】
１  ウェハ
２，２１  超音波ノズル
２Ａ，２１Ｂ  ケーブル
２Ｂ  アーム
３  洗浄液ジェット
４  照射点
５  振動体
５Ａ，５Ｂ  平坦面
６  超音波振動子
６Ａ  アーム
６Ｂ  ケーブル
７  超音波照射面
８，３２  洗浄液供給ノズル
２０，２０Ｂ  超音波洗浄ユニット
２０Ｔ  待避位置
２１Ａ  洗浄液供給ライン
２１Ｌ，３２Ａ  洗浄液
２１Ｎ  ノズル
２１Ｈ１，２１Ｈ２  装着部
２１ａ  ノズル開口部
２１ｈ，２２ａ，２３ａ  切欠き
２２  超音波伝達部
２２Ａ  振動伝達ブロック
２３  放射部材
２３Ｂ  ホーン部
２３Ｈ  装着部
２３ｂ  照射面
２４  保持部材
２４Ｐ  基部
２４ａ〜２４ｄ  ガイド部材
２５  アーム
３１  ウェハ
３２Ｂ  洗浄液膜
３９  洗浄チャンバ
４０  カップ
４１Ａ，４１Ｂ  ガイドレール
４２Ａ，４２Ｂ  スライダ
４３  台座
６０  洗浄装置
６０Ｃ  チャック
６０Ｍ  回動軸
６５  筐体
６６  ウェハ搬送機構
６７Ａ，６７Ｂ  ウェハラック
６８  操作パネル
６９  クリーンブース
７１  超音波振動ユニット
７１Ａ  超音波振動子
７１Ｂ  振動体
７１Ｈ  装着部
７１ａ  切欠き
８１  層間絶縁膜
８１Ａ  配線溝
８２  バリアメタル膜
８３  Ｃｕ層
８３Ａ  Ｃｕ配線パタ―ン
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
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【図３Ｈ】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【図１４Ｅ】
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