(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号に基づいて被駆動体を回転駆動させるモータと、
前記被駆動体の通過を検出して検出信号を出力する検出器と、
前記モータに前記駆動信号を送るとともに前記検出器から前記検出信号を取得する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記被駆動体が前記検出器を通過する通過時点における前記被駆動体の位置と、前記通過時点から前記検出器が前記検出信号を出力する出力時点までの検出遅れ期間における前記被駆動体の移動距離である第一距離と前記出力時点から前記制御部が前記検出信号を取得する取得時点までの取得遅れ期間における前記被駆動体の移動距離である第二距離との少なくとも一方の距離と、を用いて前記取得時点における前記被駆動体の実際の位置を求めるとともに、前記被駆動体の駆動開始時点から前記取得時点までに前記モータに出力した前記駆動信号によって定まる前記取得時点における前記被駆動体の理論上の位置を求め、前記実際の位置と前記理論上の位置との差に基づいて前記取得時点以降の前記駆動信号を定め、
前記検出器は光学センサであって、前記被駆動体に設けられた検出ピンの反射面からの光反射に応じて前記被駆動体の通過を検出し、
前記被駆動体の検出ピンの反射面は、前記被駆動体の回転軸から前記反射面までの距離ｒに基づく曲率１／ｒの曲面から形成されていることを特徴とする、駆動装置。
【請求項２】
駆動信号に基づいて被駆動体を駆動させるモータと、
前記被駆動体の通過を検出して検出信号を出力する検出器と、
前記モータに前記駆動信号を送るとともに前記検出器から前記検出信号を取得する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記被駆動体が前記検出器を通過する通過時点における前記被駆動体の位置と、前記通過時点から前記検出器が前記検出信号を出力する出力時点までの検出遅れ期間における前記被駆動体の移動距離である第一距離と前記出力時点から前記制御部が前記検出信号を取得する取得時点までの取得遅れ期間における前記被駆動体の移動距離である第二距離との少なくとも一方の距離と、を用いて前記取得時点における前記被駆動体の実際の位置を求めるとともに、前記被駆動体の駆動開始時点から前記取得時点までに前記モータに出力した前記駆動信号によって定まる前記取得時点における前記被駆動体の理論上の位置を求め、前記実際の位置と前記理論上の位置との差に基づいて前記取得時点以降の前記駆動信号を定め、
前記モータはステッピングモータであって、
前記駆動信号は前記ステッピングモータを駆動させるパルス信号であって、
前記制御部は、前記駆動開始時点から前記取得時点までに前記ステッピングモータに出力した前記パルス信号のパルス数から前記取得時点における前記被駆動体の理論上の位置を求めるとともに、前記被駆動体の前記実際の位置と前記理論上の位置との差に応じた修正パルス数を求めて前記取得時点以降の前記パルス信号の単位時間当たりのパルス数を前記修正パルス数だけ増減することを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の駆動装置であって、
前記制御部は、前記駆動信号によって定まる前記被駆動体の理論上の移動速度または加速度と前記検出遅れ期間とによって前記第一距離を求めることを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項１または２に記載の駆動装置であって、
前記制御部は、前記駆動信号によって定まる前記被駆動体の理論上の移動速度または加速度と前記取得遅れ期間とによって前記第二距離を求めることを特徴とする駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボットアームや搬送ステージ等を駆動させる駆動装置の駆動源として従来からステッピングモータ等のモータが使用されている。ステッピングモータの回転子の回転角θＭは、ステッピングモータに入力されるパルス信号のパルス数（ステップ数）Ｓと、予め定められた１パルス（ステップ）当たりのステップ角θＳＴとの積に等しい。このことから、パルス数Ｓを制御することによりステッピングモータの回転角θＭを制御することができる。
【０００３】
また、ロボットアーム等の被駆動体の１ステップ当たりの回転角をステッピングモータのステップ角θＳＴよりも微小にするため、従来からステッピングモータとロボットアームとの間に減速機が設けられることも多い。減速機の予め定められた減速比Ｒに応じて１ステップ当たりのロボットアームの回転角θＲはステッピングモータのステップ角θＳＴより小さくなる。このように、減速機を用いることによってロボットアームを高精度に位置制御することができる。
【０００４】
ここで、減速機は太陽ギヤ（または太陽ローラ）や遊星ギヤ（遊星ローラ）等、複数のギヤまたはローラの組合せによって構成されており、ギヤ間やローラ間のすべりが生じる場合がある。すべりが生じる分、図９に示すように、ロボットアーム１００の実際の回転角θＡＣＴはステッピングモータ１０２の回転角θＭと減速機１０４の減速比Ｒとの積である理論上の回転角θＣＡＬからずれてしまう。
【０００５】
そこで、すべりによるずれを補正するため、例えば特許文献１においては搬送ステージの実際の移動距離をリニアスケール等の検出器で検出し、検出された実際の移動距離と理論上の移動距離との差異に応じた補正パルスを求めてステッピングモータに入力している。また、特許文献２においては被駆動体の実際の回転角をエンコーダ等の検出器で検出し、検出された実際の回転角と理論上の回転角との差異に応じた補正パルスを求めてステッピングモータに入力している。
【０００６】
ここで、従来のすべり補正制御においては、被駆動体の実際の位置や角度を求める際に検出器が配置された位置や角度を利用している。すなわち、検出器を通過する時点（通過時点）における被駆動体の位置又は角度は、検出器が配置された位置や角度と等しくなることから、検出器が配置された位置や角度を通過時点における被駆動体の位置として算出している。また、被駆動体の理論上の位置や角度は制御部が検出信号を受け取った取得時点における理論上の位置や角度が用いられる。例えば被駆動体の駆動開始時点から取得時点までに制御部がモータに送った駆動信号のパルス数に基づいて被駆動体の理論上の位置や角度が算出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−３３７７８８号公報
【特許文献２】特開２００３−３３９１９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のすべり補正制御においては、図１０に示すように、被駆動体１００が検出器１０６を通過した時点（以下、この時点を通過時点ｔ０と呼ぶ）から検出器１０６が当該被駆動体１００の通過を検出するまでに掛かる遅れ（以下、この遅れを検出遅れΔｔｄと呼ぶ）が発生する。また、検出器１０６から検出信号を取得する制御部１０８では検出信号を取得するサンプリング周期が予め定められており、サンプリング周期に起因した遅れ（以下、この遅れを取得遅れΔｔｒと呼ぶ）が生じる。すなわち、通過時点ｔ０と、実際に制御部がそのデータを取得する時点（以下、この時点を取得時点ｔ１と呼ぶ）は同時ではなく、通過時点ｔ０に対して取得時点ｔ１＝（ｔ０＋Δｔｄ＋Δｔｒ）に時間差（遅れ）が生じる。ここで、取得時点ｔ１における被駆動体の理論上の回転角度はθＣＡＬ（ｔ０＋Δｔｄ＋Δｔｒ）で表される。
【０００９】
すなわち、従来のすべり補正制御においては、通過時点ｔ０における被駆動体の実際の回転角θＡＣＴ（ｔ０）と取得時点ｔ１における被駆動体の理論上の回転角θＣＡＬ（ｔ０＋Δｔｄ＋Δｔｒ）との差異を算出し、その差異に基づいて制御を行っている。しかし、この差異に基づいた制御においては誤差が含まれることになり、この誤差を修正し得るより精度の高いすべり補正制御に対する要求が高まっている。
【００１０】
そこで本発明は、検出器や制御部において発生する遅れを反映させたすべり補正を行うことができる駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本願発明は駆動装置に関する。当該駆動装置は、駆動信号に基づいて被駆動体を駆動させるモータと、被駆動体の通過を検出して検出信号を出力する検出器と、モータに駆動信号を送るとともに検出器から検出信号を取得する制御部と、を備えている。制御部は、被駆動体が検出器を通過する通過時点における被駆動体の位置と、通過時点から検出器が検出信号を出力する出力時点までの検出遅れ期間における被駆動体の移動距離である第一距離と出力時点から制御部が検出信号を取得する取得時点までの取得遅れ期間における被駆動体の移動距離である第二距離との少なくとも一方の距離と、を用いて取得時点における被駆動体の実際の位置を求める。さらに制御部は、被駆動体の駆動開始時点から取得時点までにモータに出力した駆動信号によって定まる取得時点における被駆動体の理論上の位置を求め、実際の位置と理論上の位置との差に基づいて取得時点以降の駆動信号を定める。
【００１２】
また、上記発明において、制御部は、駆動信号によって定まる被駆動体の理論上の移動速度または加速度と検出遅れ期間とによって第一距離を求めることが好適である。
【００１３】
また、上記発明において、制御部は、駆動信号によって定まる被駆動体の理論上の移動速度または加速度と取得遅れ期間とによって第二距離を求めることが好適である。
【００１４】
また、上記発明において、モータはステッピングモータであって、駆動信号はステッピングモータを駆動させるパルス信号であることが好適である。この場合において制御部は、駆動開始時点から取得時点までにステッピングモータに出力したパルス信号のパルス数から取得時点における被駆動体の理論上の位置を求めるとともに、被駆動体の実際の位置と理論上の位置との差に応じた修正パルス数を求めて取得時点以降のパルス信号のパルス数を修正パルス数だけ増減することが好適である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、検出器や制御部において発生する遅れを反映させたすべり補正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係る駆動装置を例示する図である。
【図２】検出ピンの反射面を例示する図である。
【図３】モータの移動パターンを例示した図である。
【図４】制御部とその周辺機器とを例示した図である。
【図５】制御部の取得遅れを説明する図である。
【図６】本実施形態に係るすべり補正制御を実施したときの結果を示す図である。
【図７】本実施形態に係るすべり補正制御を実施したときの結果を示す図である。
【図８】本実施形態に係るすべり補正制御を実施したときの結果を示す図である。
【図９】従来の駆動装置を例示する図である。
【図１０】検出遅れ及び取得遅れを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に本実施形態に係る駆動装置１０を例示する。駆動装置１０は、被駆動体１２に駆動力を伝達するモータ１４と、被駆動体１２の通過を検出する検出器１６と、モータ１４及び検出器１６と電気的に接続された制御部１８とを含んで構成されている。
【００１８】
モータ１４は例えばステッピングモータから構成され、制御部１８から送られるパルス信号に応じて駆動される。パルス信号のパルス数（ステップ数）をＳとし、１パルス当たりのモータ１４の回転角（ステップ角）をθＳＴとすると、モータ１４の理論上の回転角θＭはθＭ＝Ｓ・θＳＴにより求めることができる。
【００１９】
さらに、モータ１４の出力軸には減速機２０が接続されている。減速機２０はモータ１４の出力軸の回転速度、回転角を減じて出力する機器であり、例えば遊星ギヤ減速機、遊星ローラ減速機、ハーモニックドライブ（登録商標）減速機等から構成される。このうち、ギヤの噛み合わせに起因する回転むらやギヤノイズを軽減して滑らかな回転運動を得るため、遊星ローラ減速機を用いると好適である。
【００２０】
減速機２０には予め減速比Ｒが定められており、減速機２０の出力軸における理論上の回転角θＲはθＲ＝θＭ・Ｒから求めることができる。その一方で、減速機２０はギヤ間やローラ間で駆動力を伝達する際にすべりが発生する。このすべりの影響を受け、実際の減速機２０の出力軸の回転角は上記理論上の回転角θＲとは異なる値となる。
【００２１】
減速機２０の出力軸には被駆動体１２が接続されている。図１においては被駆動体１２としてロボットアームが接続されているが、搬送ステージや、溶接トーチ、ドリル、スプレーノズル等の任意のエンドエフェクタであってもよい。
【００２２】
駆動装置１０には、被駆動体１２の位置や角度を検出するための検出器１６が設けられる。検出器１６は、被駆動体１２の位置や角度を検出することができればどのような方式や構成であってもよい。本実施の形態では、光学センサを検出器１６として適用した場合について説明する。
【００２３】
検出器１６は、例えば固定部材２６に固定されており、被駆動体１２の移動経路に沿った位置に配置される。具体的には検出器１６は被駆動体１２の移動先である第一の停止角度θ１と第二の停止角度θ２との間の設置角度θＤ上に配置される。なお、図１においては第一の停止角度θ１＝０°とし、第一の停止角度θ１から時計回りに回転したときの角度を第二の停止角度θ２及び設置角度θＤとして表わす。
【００２４】
一方、被駆動体１２上には検出器１６に対する被検出子となる検出ピン２２が設けられている。検出ピン２２は駆動装置１０の回転軸Ｃから離れた被駆動体１２の先端部（図１ではアーム部の近傍）に設けられ、検出器１６と対向する反射面２４が形成されている。反射面２４は光信号等の反射を可能とするために例えば鏡面加工されている。検出器１６の検出面は、検出ピン２２が設置角度θＤを横切る際に検出ピン２２の反射面２４と対向するように配置される。検出器１６の検出面から出力された光は、検出ピン２２の反射面２４で反射して検出器１６に入射する。これにより、設置角度θＤの検出器１６を被駆動体１２が横切ったことが検出される。
【００２５】
ここで検出器１６は被駆動体１２の第一の停止角度θ１または第二の停止角度θ２の近傍に配置されると好適である。後述するように、検出器１６の検出結果に応じて減速機２０によるすべりが補正されるものの、その後は再びすべりによるずれが蓄積されていくことから、検出器１６通過後はすべりが極力小さい方が好ましい。そこで、本実施形態では検出器１６を被駆動体１２の停止角度の近傍に配置し、検出器１６通過後に生じるすべりを抑えている。具体的には、第一の停止角度θ１または第二の停止角度θ２と設置角度θＤとの角度差が０°〜１０°であると好ましい。例えば第一の停止角度θ１を０°とし、第二の停止角度θ２を９０°とすると、設置角度θＤは０°〜１０°または８０°〜９０°であると好適である。
【００２６】
なお、図１に示す実施形態においては検出ピン２２における反射面２４を検出器１６の検出面と平行な平面としたが、この形態に限られない。例えば、図２に示すように反射面２４の形状を、駆動装置１０の回転軸Ｃから反射面２４までの距離ｒに基づく曲率１／ｒの曲面となるように構成しても良い。反射面２４が平面であると、反射面２４の中心部分と外縁部分とで検出器１６との距離が変わってしまい、反射位置によって検出タイミングに誤差が生じるおそれがあるが、反射面２４を曲率１／ｒの曲面とすることで、反射面２４のいずれに位置にあっても検出器１６との距離が等しくなるため、反射位置による検出タイミングの誤差を抑制することができる。
【００２７】
また、制御部１８はＲＯＭやＲＡＭ等の記憶媒体やＣＰＵ等の演算回路を備えており、モータ１４及び検出器１６に電気的に接続されている。また、後述するようにエンコーダ１９を使用する際にはエンコーダ１９にも電気的に接続されている。制御部１８は、第一の停止角度θ１と第二の停止角度θ２との間を被駆動体１２が移動するために必要なパルス数の指令信号をモータ１４に出力するとともに、後述するように検出器１６からの検出信号に応じてモータ１４に対して補正信号を出力する。
【００２８】
また、制御部１８は指令信号の生成においてパルス周波数（単位時間当たりのパルス数）を変化させることでモータ１４の回転速度を制御する。例えば図３に示すように、被駆動体１２の駆動開始時から所定の速度までモータ１４の回転速度を上げる加速時と、所定の速度を保つ定常時と、所定の速度からモータ１４を停止させる減速時とに分けた場合、制御部１８はそれぞれの運転条件に応じてパルス周波数を設定する。例えば加速時においてはパルス周波数が０［ｋＨｚ］から漸増するように設定され、定常時では所定のパルス周波数となるように設定され、減速時においては当該所定のパルス周波数から０［ｋＨｚ］に向かって漸減するように設定される。検出器１６が第一の停止角度θ１または第二の停止角度θ２の近傍に配置されている場合には、検出器１６は被駆動体１２の加速時又は減速時に被駆動体１２を検知することになる。
【００２９】
図４には、制御部１８の主要構成とその周辺機器が示されている。制御部１８は、モータ１４に電気的に接続された指令信号発生部３０と、指令信号発生部３０に接続された理論角度演算部３２とを備えている。さらに、検出器１６の設置角度θＤが記憶された検出器角度設定部３４と、遅れ補正部３６とを備えている。さらに、検出器１６に電気的に接続された補正切替部３８を備えている。
【００３０】
理論角度演算部３２は、指令信号と減速機２０の減速比Ｒに基づいて任意の時刻ｔにおける被駆動体の理論上の角度θＣＡＬ（ｔ）を求める。なお、指令信号と減速比Ｒとに基づいて理論上の角度θＣＡＬ（ｔ）を求める代わりに、図１に示すエンコーダ１９からモータ１４の出力軸の回転角θＭを取得し、この回転角と減速比Ｒとに基づいて理論上の角度θＣＡＬ（ｔ）を求めてもよい。
【００３１】
遅れ補正部３６は、検出器１６の検出遅れ及び制御部１８の取得遅れを算出する。また、補正切替部３８は補正パルス信号をモータに帰還するフィードバックループの切断／接続の切り替えを行っている。
【００３２】
次に、制御部１８が行うすべり補正制御について説明する。制御部１８が検出器１６から検出信号を取得した時点（取得時点）ｔ１における被駆動体１２のすべり角Θ（ｔ１）は、取得時点ｔ１における被駆動体１２の理論上の角度θＣＡＬ（ｔ１）と、取得時点ｔ１における被駆動体１２の実際の回転角度θＡＣＴ（ｔ１）との差から求めることができる。
【００３３】
被駆動体１２の実際の回転角度θＡＣＴ（ｔ１）は以下のようにして求める。取得時点ｔ１は被駆動体１２が検出器１６を通過した時点（通過時点）ｔ０と、検出器１６の検出遅れ期間Δｔｄと、制御部１８の取得遅れ期間Δｔｒの和で表すことができる。このことから、時刻ｔ１における被駆動体１２の実際の回転角度θＡＣＴ（ｔ１）は、通過タイミングｔ０における被駆動体の回転角θＡＣＴ（ｔ０）と、検出器１６の検出遅れによる被駆動体１２の進み角Δθｄと、制御部１８の取得遅れによる被駆動体１２の進み角Δθｒから求めることができる。加えて、通過時点ｔ０における被駆動体１２の角度θＡＣＴ（ｔ０）は検出器１６の設置角度θＤに等しい。以上から、時刻ｔ１における被駆動体１２のすべり角Θ（ｔ１）は下記数式１のように表すことができる。
【００３４】
【数１】
0005656675.tif 000002
【００３５】
ここで、検出器１６の検出遅れとは、検出ピン２２が検出器１６を通過したときから検出器１６が当該検出ピン２２の通過を検出するまでに掛かる遅れ時間を指し、例えば検出器１６が検出ピン２２からの反射光を受けた際に、検出器１６の光学素子における光電変換及び電荷転送等に掛かる遅れ時間を指している。本実施形態においては、検出器１６の検出遅れ期間Δｔｄとして予め実測した遅れ期間を用いる。また、図５に示すように、制御部１８は予め定められたサンプリング周期毎に検出器１６からの検出信号（位置信号）を取得するように設定されており、検出器１６が当該検出ピン２２の通過を検出してから直近のサンプリングタイミングまでの期間が取得遅れ期間となる。本実施形態においては取得遅れ期間について、予め複数回サンプリングを行った際の取得遅れ期間Δｔｒの平均値ΔｔｒＡＶＥを用いている。
【００３６】
検出器１６の検出遅れに基づく進み角Δθｄはモータ１４の加速度α、検出器１６の検出遅れ期間Δｔｄ、減速機２０の減速比Ｒを用いて下記数式２のように表すことができる。
【００３７】
【数２】
0005656675.tif 000003
【００３８】
また、モータ１４の速度Ｖを用いて下記数式３のように表すこともできる。
【００３９】
【数３】
0005656675.tif 000004
【００４０】
ここで、モータ１４の加速度α及び速度Ｖはモータ１４に出力した駆動信号に基づいて算出する。例えばモータ回転速度を図３のように変化させるように駆動信号を定めた場合、取得時点ｔ１における駆動信号の周波数、モータ１４のステップ角、減速機２０の減速比Ｒ等から理論上の加速度又は速度を求め、この理論上の加速度又は速度を数式２、３に代入する。
【００４１】
さらに、制御部１８の取得遅れに基づく進み角Δθｒは下記数式４のように表すことができる。
【００４２】
【数４】
0005656675.tif 000005
【００４３】
また、モータ１４の速度Ｖを用いて下記数式５のように表すこともできる。
【００４４】
【数５】
0005656675.tif 000006
【００４５】
したがって、検出遅れ及び取得遅れに基づく進み角Δθは下記数式６のように表わすことができる。
【００４６】
【数６】
0005656675.tif 000007
【００４７】
また、モータ１４の速度Ｖを用いて下記数式７のように表わしてもよい。数式６または数式７を数式１に代入することにより被駆動体１２のすべり角Θ（ｔ１）を求めることができる。
【００４８】
【数７】
0005656675.tif 000008
【００４９】
再び図４を参照し、すべり補正制御時における制御部１８の各構成の動作について説明する。制御部１８の補正切替部３８が検出器１６からの検出信号（位置信号）を受信すると、すべり補正制御を実施するために補正切替部３８はモータ１４へのフィードバックループを切断状態から接続状態に切り替える。理論角度演算部３２は制御部１８が検出器１６から検出信号を取得したことを受け、取得時点ｔ１における被駆動体１２の理論上の角度θＣＡＬ（ｔ１）を算出する。すなわち、被駆動体１２の駆動開始時点から取得時点ｔ１までの期間に制御部１８からモータ１４に出力された駆動信号のパルス数Ｓ（ｔ１）とモータ１４のステップ角θＳＴと減速機２０の減速比Ｒとの積から被駆動体１２の理論上の角度θＣＡＬ（ｔ１）を求める。
【００５０】
また、遅れ補正部３６は数式６または数式７による演算を行い、検出遅れ及び取得遅れに基づく進み角Δθを出力する。理論角度演算部３２から出力された理論上の角度θＣＡＬ（ｔ１）と、検出器角度設定部３４から出力された設置角度θＤと、遅れ補正部３６から出力された進み角Δθとがそれぞれ数式１に基づいて演算され、取得時点ｔ１におけるすべり角Θ（ｔ１）が算出される。
【００５１】
さらに制御部１８は、すべり角Θ（ｔ１）に基づいて補正信号を生成する。補正信号におけるパルス数ΔＳは下記数式８に基づいて算出される。
【００５２】
【数８】
0005656675.tif 000009
【００５３】
補正信号はモータ指令信号発生部３０から出力された指令信号に加えられてモータ１４に送られる。補正信号が重畳された指令信号に基づいてモータ１４が駆動することにより、減速機２０によるすべりが補正される。例えばすべりに基づく補正パルス数ΔＳが１０である場合、取得時点ｔ１以降の指令信号のパルス数は予め設定されていたパルス数から１０増加し、その分モータの駆動量が増加する。
【００５４】
本実施形態におけるすべり補正制御を実施した際の結果を図６に示す。図６上段はモータ１４に送られる指令信号のパルス数にモータ１４のステップ角θＳＴと減速機２０の減速比Ｒを掛けた被駆動体１２の理論上の角度値と、減速機２０の出力軸の回転角度値、つまり被駆動体１２の実際の回転角度値の時間変化を示している。また、図６中段は被駆動体１２の回転速度変化を示している。また、図６下段はすべり補正量を示している。なお、図６の補正制御においては検出器１６の設置角度θＤを５°としている。つまり、第一の停止角度θ１（＝０°）から時計回りに５°の位置に検出器１６を配置している。さらに被駆動体１２の動作について、第一の停止角度θ１から第二の停止角度θ２まで回転させた後に再び第一の停止角度θ１に回転させるものとし、第一の停止角度θ１に戻る際にすべり補正制御を行っている。
【００５５】
図７に被駆動体１２が第二の停止角度θ２から第一の停止角度θ１に戻る際の拡大図を示す。図７下段において検出ピン２２の検出にともなってすべり補正が行われ、すべり角度Θが算出される。すべり角度Θに基づいて補正信号が指令信号に重畳される。これにより指令信号のパルス数が増え被駆動体１２はθ１に戻ることができる。なお、図７中段においてすべり補正実行時に回転速度が増加しているが、これは指令信号に補正信号が重畳した結果、単位時間当たりのパルス数が増加し、パルス周波数が増加したためである。
【００５６】
次に、図８に本実施形態におけるすべり補正制御を実施した場合の被駆動体１２の位置（塗りつぶし菱形プロットで示す）と、すべり補正制御を実施しなかった場合の被駆動体１２の位置（白抜き菱形プロットで示す）との比較を示す。図中横軸は被駆動体１２の負荷トルクを示し、縦軸は停止角度の位置からのずれを表わしている。図中左上に０．０点をプロットし、この点を目標とする停止角度とする。図８に示されているように、本実施形態におけるすべり補正制御を実施した場合の被駆動体１２はおおむね停止角度で停止しており、すべり補正制御を行わない場合と比較して停止角度までの移動を高精度に行うことができる。
【００５７】
なお、上述した実施形態においてはすべり補正制御の際に検出器１６の検出遅れと、制御部１８の取得遅れの両者に基づいてすべり角Θを算出していたが、この形態に限られず、少なくともどちらか一方の遅れをすべり角Θの算出に反映するようにしてもよい。このようにすることで、いずれの遅れも反映されていなかった従来のすべり補正制御よりも位置制御の精度の向上を図ることができる。また、考慮すべき遅れ要素を減らすことで演算処理の軽減が図られる等の利点がある。
【００５８】
また、上述した実施形態においては被駆動体１２とモータ１４との間に減速機２０を設けていたが、この形態に限られない。例えばモータ１４と被駆動体１２とを直接接続してもよい。この場合、被駆動体１２の理論上の角度θＣＡＬ（ｔ１）は被駆動体１２の駆動開始時点から取得時点ｔ１までの期間に制御部１８からモータ１４に出力された駆動信号のパルス数Ｓ（ｔ１）とモータ１４のステップ角θＳＴとの積から求める。また、補正信号におけるパルス数ΔＳを求める数式８については減速比Ｒを省略して演算を行う。
【符号の説明】
【００５９】
１０  駆動装置、１２  被駆動体、１４  モータ、１６  検出器、１８  制御部、１９  エンコーダ、２０  減速機、２２  検出ピン、２４  反射面、２６  固定部材、３０  指令信号発生部、３２  理論角度演算部、３４  検出器角度設定部、３６  遅れ補正部、３８  補正切替部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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