(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
保護カバー付きデバイスの製造方法であって、
複数の交差した分割予定ラインで区画された各領域にボンディングパッドを含むデバイスが形成されたデバイスウェーハを準備するデバイスウェーハ準備ステップと、
該ボンディングパッドに対応した保護カバーウェーハ上の領域に切削ブレードで溝を形成して該保護カバーウェーハの表面を加工する保護カバーウェーハ溝加工ステップと、
該保護カバーウェーハ溝加工ステップを実施する前または後に、保護カバーウェーハ裏面の中央を研削して凹部を形成するとともに該凹部を囲繞する環状凸部を形成する保護カバーウェーハ研削ステップと、
該デバイスウェーハの該ボンディングパッドに該溝を対応させて、該デバイスウェーハの該デバイスが形成された面と該保護カバーウェーハの該溝が形成された表面とを貼り合わせて貼り合せウェーハを形成する貼り合わせステップと、
該貼り合せウェーハの該保護カバーウェーハを切削ブレードで該溝に沿って切削して該ボンディングパッドを露出させるボンディングパッド露出ステップと、
該ボンディングパッド露出ステップの前または後に、該貼り合せウェーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割ステップと、を備える保護カバー付きデバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイス上に保護カバーが配設された保護カバー付きデバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば加速度センサや圧力センサ等のＭＥＭＳデバイスの製造工程では、ウェーハ上に形成された複数の分割予定ラインで区画された各領域にＭＥＭＳデバイスを配設したデバイスウェーハを形成する。その後、デバイスウェーハを分割予定ラインに沿って例えば特許文献１で開示される切削装置で切削して分割することで個々のＭＥＭＳデバイスを製造する。
【０００３】
多くのＭＥＭＳデバイスには、ＭＥＭＳ構造を保護するキャップと呼ばれる保護カバーが配設されている。保護カバーは、ＭＥＭＳデバイス上に配設されたボンディングパッドを露出させた状態でデバイス表面を覆ってＭＥＭＳ構造を保護する。
【０００４】
このような保護カバーが配設されたＭＥＭＳデバイスは、従来、次の手法で製造されていた。まず、デバイスウェーハのボンディングパッドに対応させた貫通孔をウェーハにエッチングで形成して保護カバーウェーハを形成する。次に、保護カバーウェーハの貫通孔とデバイスウェーハのボンディングパッドとを位置合わせして貼り合せる。そして、貼り合せたウェーハを分割予定ラインに沿って分割することでＭＥＭＳデバイスを製造していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３０７６４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、ウェーハにエッチングで貫通孔を形成するのでは、時間がかかる上にエッチャントの保管や廃棄等、管理が煩わしいという問題がある。さらに、近年はＭＥＭＳデバイスも小型化が進んでおり、１デバイスウェーハ当たりに形成されるデバイス数は増加傾向にある。一方で、ボンディングパッドに必要な領域や数は変らないため、保護カバーウェーハには多数の貫通孔を形成することになり、１つの保護カバーウェーハに占める貫通孔の割合も増加傾向にある。その結果、保護カバーウェーハの強度が下がり、搬送中や貼り付け中等、ハンドリング時に保護カバーウェーハが破損してしまうという問題が生じている。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みてなされたもので、その目的は、保護カバーウェーハを破損させることなく、容易に保護カバー付きデバイスを製造する保護カバー付きデバイスの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、保護カバー付きデバイスの製造方法であって、以下の各ステップにより構成される。
（１）複数の交差した分割予定ラインで区画された各領域にボンディングパッドを含むデバイスが形成されたデバイスウェーハを準備するデバイスウェーハ準備ステップ、
（２）ボンディングパッドに対応した保護カバーウェーハ上の領域に切削ブレードで溝を形成して保護カバーウェーハの表面を加工する保護カバーウェーハ溝加工ステップ、
（３）保護カバーウェーハ溝加工ステップを実施する前または後に、保護カバーウェーハ裏面の中央を研削して凹部を形成するとともに凹部を囲繞する環状凸部を形成する保護カバーウェーハ研削ステップ、
（４）デバイスウェーハのボンディングパッドに溝を対応させて、デバイスウェーハのデバイスが形成された面と保護カバーウェーハの溝が形成された表面とを貼り合わせて貼り合せウェーハを形成する貼り合わせステップ、
（５）貼り合せウェーハの保護カバーウェーハを切削ブレードで溝に沿って切削してボンディングパッドを露出させるボンディングパッド露出ステップ、
（６）ボンディングパッド露出ステップの前または後に、貼り合せウェーハを分割予定ラインに沿って分割する分割ステップ。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、エッチングをすることなく保護カバーからボンディングパッドを露出させることができるため、エッチャントの管理などの煩わしさが解消される。また、保護カバーウェーハの裏面に凹部を形成して凹部が環状凸部に囲繞された形状とすることで保護カバーウェーハの強度を高めることができるため、保護カバーに占める貫通孔の割合が高くなっても保護カバーウェーハの破損を防止することができ、保護カバーウェーハを薄化することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】デバイスウェーハの第一の例を示す斜視図である。
【図２】保護カバーウェーハに溝を形成する状態を示す斜視図である。
【図３】溝が形成された保護カバーウェーハの第一の例を示す斜視図である。
【図４】第一の例の保護カバーウェーハに第一の例のデバイスウェーハを貼り合わせた状態を示す断面図である。
【図５】第二の例の保護カバーウェーハに第一の例のデバイスウェーハを貼り合わせた状態を示す断面図である。
【図６】第一の例の保護カバーウェーハの裏面に凹部を形成する状態を示す斜視図である。
【図７】裏面に凹部が形成された第一の例の保護カバーウェーハを示す斜視図である。
【図８】第一の例のデバイスウェーハに第一の例の保護カバーウェーハを貼り合わせる状態を示す斜視図である。
【図９】第一の例の保護カバーウェーハを切削してボンディングパッドを露出させる状態を示す断面図である。
【図１０】貼り合わせウェーハを分割する状態を示す断面図である。
【図１１】デバイスウェーハの第二の例を示す平面図である。
【図１２】溝が形成された保護カバーウェーハの第三の例を示す平面図である。
【図１３】溝が形成された第三の例の保護カバーウェーハを示す斜視図である。
【図１４】第三の例の保護カバーウェーハに第二の例のデバイスウェーハを貼り合わせた状態を示す断面図である。
【図１５】第四の例の保護カバーウェーハに第二の例のデバイスウェーハを貼り合わせた状態を示す断面図である。
【図１６】第三の例の保護カバーウェーハを切削してボンディングパッドを露出させる状態を示す断面図である。
【図１７】貼り合わせウェーハを分割する状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
デバイス上にボンディングパッドが形成され、ボンディングパッドが露出した状態でデバイス表面が保護カバーによって覆われて構成される保護カバー付きデバイスを製造する方法について、以下に説明する。
【００１２】
１  第一の実施形態
（１）デバイスウェーハ準備ステップ
まず、図１に示すデバイスウェーハ１を準備する。このデバイスウェーハ１の表面１０には、複数の交差した分割予定ライン１１よって区画された領域にデバイス１２が形成されて構成されている。デバイス１２は、ＭＥＭＳ構造を有している。デバイス１２の周縁部には、結晶方位識別用のマークであるノッチ１４が形成されている。
【００１３】
図１において拡大して示すように、各デバイス１２には、表面側に突出した状態でボンディングパッド１３が形成されている。デバイスウェーハ１においては、一方の方向（図においては横方向）の分割予定ライン１１の両側に、分割予定ライン１１に沿って整列したボンディングパッド１３がそれぞれ形成されている。図１において示したボンディングパッド１３は、一方向に配置された各列ごとに、ボンディングパッド列１３ａ、１３ｂを構成している。
【００１４】
（２）保護カバーウェーハ溝加工ステップ
図２に示すように、デバイスウェーハ１の各デバイス１２を保護するための保護カバーウェーハ２の裏面２１をテープＴに貼着し、表面２０が露出した状態とする。テープＴの周縁部には、リング状に形成されたフレームＦが貼着され、保護カバーウェーハ２は、テープＴを介してフレームＦと一体となって支持された状態となっている。保護カバーウェーハ２の周縁部には、位置決めマーク２３が切り欠いた状態で形成されている。
【００１５】
保護カバーウェーハ２の表面２０には、その表面２０をデバイスウェーハ１の表面１０に対面させた場合にデバイスウェーハ１のボンディングパッド１３に対応する位置に、例えば、切削手段３を用いて切削により溝を形成し、表面２０を加工する。
【００１６】
テープＴを介してフレームＦに支持された保護カバーウェーハ２は、図示しない保持手段に保持されてＸ方向に移動可能となっている。一方、切削手段３は、Ｙ方向の軸心を有するスピンドル３０の先端部に切削ブレード３１が装着されナット３２によって固定されて構成されている。
【００１７】
フレームＦに支持された保護カバーウェーハ２をＸ方向に移動させるとともに、切削ブレード３１を回転させながら切削手段３を降下させ、保護カバーウェーハ２の表面２０に溝２２を形成する。溝２２を1本形成した後は、切削手段３をＹ方向に所定距離送りだし、同様の切削を行う。このようにして、デバイスウェーハ１のボンディングパッド１３に対応する位置に、順次溝２２を形成していく。このようにして、図３に示すように、複数の溝２２が表面２０に形成される。溝２２の形成位置の具体的な例を以下に示す。
【００１８】
例えば、図４に示すように、保護カバーウェーハ２の表面２０をデバイスウェーハ１の表面１０に対面させた場合に、分割予定ライン１１の両側に隣接して形成されている２列のボンディングパッド列１３ａ、１３ｂを構成する各ボンディングパッド１３が、１つの溝２２に収容されるようにする。この場合は、２列のボンディングパッド列が１つの溝に対応し、１列のボンディングパッド列に対して１つの溝を対応させるよりも、溝の形成にかかる時間を短縮することができる。
【００１９】
一方、図５に示すように、個々のボンディングパッド列１３ａ、１３ｂを構成するボンディブパッド１３の上方に、それぞれ１つの溝２２ａ、２２ｂを対応させて形成するようにしてもよい。この場合、ボンディングパッド１３の上方全域に溝２２ａ、２２ｂが存在する必要はなく、溝２２ａ、２２ｂの一部がボンディングパッド１３の上方にあればよい。
【００２０】
図４に示したように、個々の溝２２が２列のボンディングパッドに対応する位置に形成される場合は、図２に示した切削ブレード３１として、例えば刃厚が２００〜３００μｍほどあるタイプのものを用いれば、１ストロークの切削で１つの溝２２を形成することができ、効率がよい。以下では、図４の例に基づいて説明を続ける。
【００２１】
（３）保護カバーウェーハ研削ステップ
保護カバーウェーハ溝加工ステップを実施する前または後に、保護カバーウェーハ２の裏面の中央を研削する。かかる研削には、例えば図６に示す研削装置４を用いる。この研削装置４は、保護カバーウェーハ２を保持して回転可能な保持テーブル４０と、保護カバーウェーハ２に対して研削を施す研削手段４１とを備えている。研削手段４１は、全体が鉛直方向に昇降可能となっており、鉛直方向の軸心を有する回転軸４１０と、回転軸４１０の下端に装着されたホイール４１１と、ホイール４１１の下面に円環状に固着された研削砥石４１２とから構成されている。
【００２２】
保持テーブル４０においては、保護カバーウェーハ２の表面２０側が保持テーブル４０に保持され、裏面２１が露出した状態となる。そして、保持テーブル４０を矢印Ａの方向に回転させるとともに、回転軸４１０を矢印Ｂの方向に回転させながら研削手段４１を降下させ、回転する研削砥石４１２を保護カバーウェーハ２の裏面２１に接触させて研削を行う。このとき、裏面２１の全面ではなく、中央部のみを研削することにより中央部に凹部２１０を形成し、その周囲には、研削されずに元の厚みを維持した環状凸部２１１を形成し、図７に示すように、環状凸部２１１によって凹部２１０が囲繞された形状とする。このように、裏面２１の全面を研削せず、環状凸部２１１を残すことにより、保護カバーウェーハ２のその後の取り扱いが容易になり、破損しにくくなるため、全面を研削するよりも薄化が可能となる。
【００２３】
（４）貼り合わせステップ
保護カバーウェーハ研削ステップを実施した後、図８に示すように、デバイスウェーハ１のデバイス形成面である表面１０に保護カバーウェーハ２０の溝形成面である表面２０を対面させ、ノッチ１４と位置決めマーク２３とを位置合わせしてボンド剤などによってこれらを貼りあわせる。このとき、図４に示したように、ボンディングパッド１３に溝２２に収容され、ボンディングパッドと溝とが対応するように貼りあわせ、貼り合わせウェーハ５を形成する。
【００２４】
（５）ボンディングパッド露出ステップ
貼り合わせステップの実施後、貼り合せウェーハ５を構成する保護カバーウェーハ２を切削ブレードで溝２２に沿って切削することにより、ボンディングパッド１３を露出させる。
【００２５】
例えば、図９に示すように、刃厚の比較的薄い切削ブレード３１を高速回転させて溝２２の幅方向の両端部の上方にそれぞれ切り込ませることにより、溝２２の上方の端材２４を除去し、貫通孔２４ａを形成してボンディングパッド１３を露出させる。また、溝２２の幅とほぼ等しい刃厚を有する切削ブレードを用いて切削を行った場合は、一度の切削でボンディングパッド１３を露出させることができ、効率がよい上、端材２４の衝突による切削ブレード３１や切削装置の破損が生じるおそれがない。なお、図５に示したように、１列のボンディングパッドに対応させて１つの溝を形成した場合も、同様に切削をおこなえばよい。
【００２６】
このように、切削によって保護カバー２からボンディングパッド１３を露出させることができるため、エッチングをする必要がない。したがって、エッチャントの管理などの煩わしさが解消される。
【００２７】
（６）分割ステップ
ボンディングパッド露出ステップの実施前または後に、貼り合わせウェーハ５を分割予定ライン１１に沿って分割する。例えば図１０に示すように、刃厚の薄い切削ブレード３１を高速回転させて分割予定ライン１１に切り込ませてデバイスウェーハ１に表裏を貫通する溝１６を形成することにより、個々のデバイス１２ごとの保護カバー付きデバイス１５に分割する。こうして形成された各保護カバー付きデバイス１５は、ボンディングパッド１３が露出した状態で保護カバー２５によって保護された状態となる。
【００２８】
保護カバーウェーハ研削ステップでは、保護カバーウェーハ２の裏面に凹部２１０を形成して凹部２１０が環状凸部２１１に囲繞された形状とすることで保護カバーウェーハの強度を高めることができるため、保護カバー２に占める貫通孔２４ａの割合が高くなっても保護カバーウェーハ２を薄化することが可能となる。したがって、各保護カバー付きデバイス１５を構成する保護カバー２５を従来よりも薄くすることが可能となり、保護カバー付きデバイス１５を薄化することが可能となる。
【００２９】
２  第二の実施形態
（１）デバイスウェーハ準備ステップ
図１１に示すデバイスウェーハ６を準備する。このデバイスウェーハ６は、表面６０の複数の交差した分割予定ライン６１によって区画された領域にデバイス６２が形成されて構成され、図１１において拡大して示すように、表面６０においては、矩形の各デバイス６２の各辺に沿ってボンディングパッド６３がそれぞれ形成されている。１つの分割予定ライン６１の両側に配置された２列のボンディングパッド６３は、ボンディングパッド群６３ａを構成している。デバイスウェーハ６の周縁部には、結晶方位識別用のノッチ６４が形成されている。
【００３０】
（２）保護カバーウェーハ溝加工ステップ
デバイスウェーハ６を構成する各デバイスを保護カバーでカバーするにあたっては、例えば図１２に示す保護カバーウェーハ７を製造する。この保護カバーウェーハ７の表面７０には、例えば、図１１に示したボンディングパッド群６３ａを収容するための太い溝７２が縦横に形成される。この溝７２は、図２と同様に切削ブレードを用いて形成することができる。保護カバーウェーハ７の周縁部には、位置決めマーク７３が切り欠いた状態で形成されている。
【００３１】
（３）保護カバーウェーハ研削ステップ
保護カバーウェーハ溝加工ステップの前または後に、第一の実施形態と同様に、図６に示したように保護カバーウェーハ７の裏面７１を研削することにより、図１３に示す保護カバーウェーハ７のように、凹部７１０及び環状凸部７１１を形成し、環状凸部７１１によって凹部７１０が囲繞された形状とする。
【００３２】
（４）貼り合わせステップ
図１４に示すように、各ボンディングパッド群６３ａが溝７１に収容されるように、保護カバーウェーハ７の表面７０をデバイスウェーハ６の表面６０に対面させて貼り合わせ、貼り合わせウェーハ８を形成する。貼り合わせ時は、デバイスウェーハ６のノッチ６４と保護カバーウェーハ７の位置決めマーク７３とを位置合わせする。
【００３３】
なお、保護カバーウェーハ溝加工ステップにおいて、図１５に示すように、１列のボンディングパッド６３に対応する溝７２を形成することもでき、その場合は、各ボンディブパッド６３と1本の溝７２とが対面する。ボンディブパッド６３の全体が溝７２に収容される必要はなく、溝７２の一部がボンディングパッド６３の上方に位置していればよい。以下では、図１４の例に基づいて説明を続ける。
【００３４】
（５）ボンディングパッド露出ステップ
貼り合わせステップの実施後、図１６に示すように、貼り合せウェーハ８を構成する保護カバーウェーハ７を切削ブレードで溝７２に沿って切削することにより、ボンディングパッド６３を露出させる。図１６に示したように、刃厚の比較的薄い切削ブレード３１を溝７１の幅方向の両端部に切り込ませて溝７１の上方の端材７４を除去することにより貫通孔７４ａを形成してボンディングパッド６３を露出させてもよいし、溝７１の幅とほぼ等しい刃厚を有する切削ブレードを用いて一度の切削でボンディングパッド６３を露出させるようにしてもよい。なお、図１５に示したように、１列のボンディングパッドに対応させて１つの溝を形成した場合も、同様に切削をおこなえばよい。
【００３５】
このように、切削によって保護カバー７からボンディングパッド６３を露出させることができるため、エッチングをする必要がない。したがって、エッチャントの管理などの煩わしさが解消される。
【００３６】
（６）分割ステップ
ボンディングパッド露出ステップの実施前または後に、貼り合わせウェーハ８を分割予定ライン６１に沿って分割する。例えば図１７に示すように、高速回転する切削ブレード３１を分割予定ライン６１に切り込ませてデバイスウェーハ１に表裏を貫通する溝６６を形成することにより、個々のデバイス６２ごとの保護カバー付きデバイス６５に分割する。こうして形成された保護カバー付きデバイス６５は、ボンディングパッド６３が露出した状態で保護カバー７５によって保護された状態となる。
【００３７】
保護カバーウェーハ研削ステップでは、保護カバーウェーハ７の裏面に凹部７１０を形成して凹部７１０が環状凸部７１１に囲繞された形状とすることで保護カバーウェーハ７の強度を高めることができるため、保護カバー７に占める貫通孔７４ａの割合が高くなっても保護カバーウェーハ７を薄化することが可能となる。したがって、各保護カバー付きデバイス６５を構成する保護カバー７５を従来よりも薄くすることが可能となり、保護カバー付きデバイス６５を薄化することが可能となる。
【符号の説明】
【００３８】
１：デバイスウェーハ
１０：表面  １１：分割予定ライン  １２：デバイス
１３：ボンディングパッド
１３ａ、１３ｂ：ボンディングパッド列
１４：ノッチ
１５：保護カバー付きデバイス  １６：溝
２：保護カバーウェーハ
２０：表面  ２２（２２ａ、２２ｂ）：溝
２１：裏面  ２１０：凹部  ２１１：環状凸部
２３：位置決めマーク  ２４：端材  ２４ａ：貫通孔  ２５：保護カバー
３：切削手段  ３０：スピンドル  ３１：切削ブレード  ３２：ナット
４：研削装置
４０：保持テーブル
４１：研削手段  ４１０：回転軸  ４１１：ホイール  ４１２：研削ホイール
５：貼り合わせウェーハ
６：デバイスウェーハ
６０：表面  ６１：分割予定ライン  ６２：デバイス
６３：ボンディングパッド  ６３ａ：ボンディングパッド群
６４：ノッチ  ６５：保護カバー付きデバイス  ６６：溝
７：保護カバーウェーハ
７０：表面  ７２：溝
７１：裏面  ７１０：凹部  ７１１：環状凸部
７３：位置決めマーク  ７４：端材  ７４ａ：貫通孔  ７５：保護カバー
８：貼り合わせウェーハ
【図１】
0005711931.tif 000002
【図２】
0005711931.tif 000003
【図３】
0005711931.tif 000004
【図４】
0005711931.tif 000005
【図５】
0005711931.tif 000006
【図６】
0005711931.tif 000007
【図７】
0005711931.tif 000008
【図８】
0005711931.tif 000009
【図９】
0005711931.tif 000010
【図１０】
0005711931.tif 000011
【図１１】
0005711931.tif 000012
【図１２】
0005711931.tif 000013
【図１３】
0005711931.tif 000014
【図１４】
0005711931.tif 000015
【図１５】
0005711931.tif 000016
【図１６】
0005711931.tif 000017
【図１７】
0005711931.tif 000018