(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を搬送する搬送用ハンガーと、
めっき処理液を保持する槽体を有するめっき槽と、
被処理物を取り付けた搬送用ハンガーを前記めっき槽に降下させ、または被処理物をめっき処理した後で前記搬送用ハンガーを前記めっき槽から上昇させるための昇降機構と、
を備えた表面処理装置であって、
前記搬送用ハンガーが、被処理物の上部を把持する上部把持部と、被処理物の下部を把持する下部把持部とを備え、
前記めっき槽が、前記搬送用ハンガーを所定の移動方向に搬送する上部ガイドレールと、前記槽体の所定位置に設けられた、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる磁力発生部材と、を備えたこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項２】
被処理物を電気めっきするためのめっき槽であって、
被処理物の移動方向に延伸して設けられた、めっき処理液を保持する槽体と、
前記槽体内に設けられる陽極手段と、
被処理物を保持した状態で前記移動方向に移動する、被処理物を上部で把持する上部把持部および下部で把持する下部把持部を備えた搬送用ハンガーと、
前記槽体の上方に設けられた、前記搬送用ハンガーを前記移動方向に搬送する上部ガイドレールと、
前記槽体の所定位置に設けられた、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる磁力発生部材と、
を備えたことを特徴とするめっき槽。
【請求項３】
請求項１の表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーが、さらに、前記上部把持部と、前記下部把持部とを連結して枠体を構成する枠体部材を備え、
たこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項４】
請求項３の表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーの前記枠体部材が、前記上部把持部に一体に連結されており、
前記搬送用ハンガーの下部把持部が、前記枠体部材に対して相対的に移動可能な構造であること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項５】
請求項３の表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーの前記枠体部材が、前記下部把持部に一体に連結されており、
前記搬送用ハンガーの上部把持部が、前記枠体部材に対して相対的に移動可能な構造であること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５の表面処理装置において、
前記引力を生じさせる部材と搬送用ハンガーの下部把持部との間に引力が発生しない状態では、前記下部把持部からの荷重を弾性部材を介して受けて所定位置で釣り合うことにより、前記被処理物に張力が生じない状態とし、
前記引力を生じさせる部材と搬送用ハンガーの下部把持部との間に引力が発生した状態では、弾性部材の力に抗して、前記搬送用ハンガーの下部把持部が上部把持部に対して伸長することにより、前記被処理物に張力が生じた状態とすること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項７】
請求項１、３〜６のいずれかの表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーが、複数の前記下部把持部を固定するための下部固定部材を備えており、当該下部固定部材の内部に空洞を設けたこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項８】
請求項１、３〜７のいずれかの表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーの下部把持部のガイド棒に強磁性体を設け、
前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる前記部材として、前記槽体内の所定位置に下部ガイドレールを設け、前記搬送方向に沿って当該下部ガイドレールに硬磁性体を設けたこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項９】
請求項８の表面処理装置において、
前記下部ガイドレールには、前記搬送方向に延伸されるガイド溝が設けられており、
前記硬磁性体を当該ガイド溝の底部に用いたこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１０】
請求項３〜９のいずれかの表面処理装置において、
前記被処理物の長さに対応して前記枠体部材の長さを変更することにより、前記上部把持部および前記下部把持部の間隔を調節することが可能であり、かつ、前記被処理物の長さに対応して前記下部ガイドレールの高さ位置を調節することが可能なこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１１】
請求項１、３〜１０のいずれかの表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーの上部把持部および下部把持部のうち、少なくとも上部把持部が、被処理物の両面に対して通電経路が対称となるように構成されること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１２】
請求項１１の表面処理装置において、
前記搬送用ハンガーの上部把持部および下部把持部のうち、少なくとも上部把持部が、被処理物に対して対称な形状に成形され、かつ、対応する部分に同じ素材が用いられていること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１３】
請求項１、３〜１２のいずれかの表面処理装置において、さらに、
被処理物に向けてめっき処理液を噴出する噴出手段と、
前記噴出手段と被処理物との間に配置され、被処理物に向かう方向に成形された複数の長孔で構成される電界制限手段と、
を備えたことを特徴とする表面処理装置。
【請求項１４】
請求項１３の表面処理装置において、
前記噴出手段から噴出されためっき処理液が当たる部分の長孔の大きさを、めっき処理液が当たらない部分の長孔より小さく成形したこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４の表面処理装置において、
前記電界制限手段が、前記搬送用ハンガーの上部把持部の形状に対応して切り欠いて成形されていること、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１６】
請求項１〜１２のいずれかの表面処理装置において、
前記噴出手段と被処理物との間に配置され、被処理物に向かう方向に成形された複数の被処理物に向かう長孔で構成される電界制限手段と、
前記電界制限手段を両側から挟む、互いに電気的に接続した２つの導電性有孔板と、
を備えたこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１７】
被処理物を上部で把持する上部把持部および下部で把持する下部把持部を備え、陽極手段を有する槽体内において、電気めっきした被処理物を製造するために用いられる搬送用ハンガーを用いて、電気めっきした被処理物を製造する方法であって、
被処理物を保持した状態で前記移動方向に搬送用ハンガーを移動させたときに、前記槽体の所定位置に設けられた引力を生じさせる部材と前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で、磁力による引力を生じさせた状態で通電させて電気めっき処理を行うこと、
を特徴とする製造方法。
【請求項１８】
被処理物を伸張した状態で液処理する必要のある第１の処理槽と、
被処理物を伸張した状態で液処理する必要のない第２の処理槽と、
被処理物を保持した状態で前記処理槽内を移動する搬送用ハンガーであって、被処理物を上部で把持する上部把持部および下部で把持する下部把持部を備えた搬送用ハンガーと、
を備えた、表面処理装置であって、
前記第１の処理槽が、その上部に設けられた、前記搬送用ハンガーを搬送する上部ガイドレールと、その下部に設けられた、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる部材と、を備えており、
前記第２の処理槽が、その上部に設けられた、前記搬送用ハンガーを搬送する上部ガイドレールを備え、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で磁力による引力を生じさせる部材を備えないこと、
を特徴とする表面処理装置。
【請求項１９】
被処理物を上部で把持する上部把持部と、下部で把持する下部把持部と、を備えた搬送用ハンガーを用いて、陽極手段を有する槽体内において、電気めっきした被処理物を製造するための製造方法であって、
槽体に保持されるめっき処理液に、被処理物を上部把持部および下部把持部により保持した状態で搬送用ハンガーを浸漬させ、
被処理物を上部把持部および下部把持部により保持した状態で搬送用ハンガーを移動させ、
前記槽体の所定位置に設けられた引力を生じさせる磁力発生部材と、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で、磁力による引力を生じさせた状態で前記基板と陽極手段を通電させること、
を特徴とする製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、表面処理装置においてプリント基板などの板状ワークを電気めっきする技術に関し、特に、めっき処理の品質を向上するための技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
（i）従来の表面処理装置では、図２５Ａ、Ｂに示すように、搬送用ハンガーにおいて板状ワークＷが揺れが生じないようにラックに固定的に取り付け、当該ラックを搬送しながら表面処理を行っていた（特許文献１）。
【０００３】
（ii）また、従来は、板状ワークを搬送用ハンガーに固定するために、図２６に示すような形状のクランプ４８’（可動部材４８ａ’と固定部材４８ｂ’とで構成される）を用いていた（特許文献２）。
【０００４】
（iii）その他、めっき処理に関して、板状ワークに向かうめっき流の流路を制限する多孔板を配置することで、板状ワークへの電界の回り込みを防止する技術（特許文献３、４）や、板状ワークに向かう電気力線のばらつきを改善するために陽電極と板状ワークとの間に他の電極を設けるといった技術（特許文献５）も存在する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第３１５３５５０号
【特許文献２】特開２００７−１３１８６９号
【特許文献３】特公昭６４−８０７７号
【特許文献４】特開平６−１０１０９８号
【特許文献５】特開２００１−３３５９９１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
（i）しかし、図２５Ａ、Ｂに示す搬送用ハンガーのように、常に板状ワークを上下方向に引っ張って保持する場合、搬送時にアップダウンなどの衝撃で基板が外れたり、薄い基板が衝撃で破れるおそれがあった。一方で、めっき槽内においては、平面な状態でめっき処理するために基板を引っ張る必要性が存在した。液圧で板状ワークが揺動し、曲がった状態でめっきされると不良品となってしまうからである。
【０００７】
（ii）また、図２６に示す特許文献２のクランプは、基板に対して電気的に非対称であるため、基板の表裏で通電される電気量Ｉ1とＩ2が異なってしまい、基板の表裏でめっきの厚みに差が生じるという問題があった。
【０００８】
（iii）めっき槽内を循環する液流が緩やかな場合には、特許文献３、４に示すような多孔板を基板付近に配置することは行われていたが、めっき液流が激しい場合には適さないと考えられていた。また、特許文献５のコンダクターシェル構造は、電気力線のばらつきを改善することはできるが、液流を効果的に制限することはできなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）この発明の表面処理装置は、
被処理物を搬送する搬送用ハンガーと、
めっき処理液を保持する槽体を有するめっき槽と、
被処理物を取り付けた搬送用ハンガーを前記めっき槽に降下させ、または被処理物をめっき処理した後で前記搬送用ハンガーを前記めっき槽から上昇させるための昇降機構と、
を備えた表面処理装置であって、
前記搬送用ハンガーが、被処理物の上部を把持する上部把持部と、被処理物の下部を把持する下部把持部とを備え、
前記めっき槽が、前記搬送用ハンガーを所定の移動方向に搬送する上部ガイドレールと、前記槽体の所定位置に設けられた、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる部材と、を備えたこと、
を特徴とする。
【００１０】
これにより、めっき処理に必要なめっき槽内でだけワークを引っ張ることが可能となる。このため、めっき処理の品質向上を図ることができ、また、引っ張る必要がないときに引っ張ってしまうことで生じる、ワークの脱落や損傷の発生を防止することができる。
【００１１】
（２）この発明のめっき槽は、
被処理物を電気めっきするためのめっき槽であって、
被処理物の移動方向に延伸して設けられた、めっき処理液を保持する槽体と、
前記槽体内に設けられる陽極手段と、
被処理物を保持した状態で前記移動方向に移動する、被処理物を上部で把持する上部把持部および下部で把持する下部把持部を備えた搬送用ハンガーと、
前記槽体の上方に設けられた、前記搬送用ハンガーを前記移動方向に搬送する上部ガイドレールと、
前記槽体の所定位置に設けられた、前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる部材と、
を備えたことを特徴とする。
【００１２】
これにより、めっき処理時にワークを引っ張ることが可能となる。このため、めっき処理の品質向上を図ることができ、また、引っ張る必要がないときに引っ張ってしまうことで生じる、ワークの脱落や損傷の発生を防止することができる。
【００１３】
（３）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーが、さらに、前記上部把持部と、前記下部把持部とを連結して枠体を構成する枠体部材を備えたこと、
を特徴とする。
【００１４】
これにより、板状ワークの下端に把持された下部クランプから、板状ワークに必要以上の負荷がかかるのを防止することができる。
【００１５】
（４）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーの前記枠体部材が、前記上部把持部に一体に連結されており、
前記搬送用ハンガーの下部把持部が、前記枠体部材に対して相対的に移動可能な構造であること、
を特徴とする。
【００１６】
これにより、下部ガイドレールとの間で引力が発生したときに、搬送用ハンガーの下部クランプが、枠体部材に連結された上部クランプに対して相対的に移動することで、板状ワークに張力を与えることができる。
【００１７】
（５）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーの前記枠体部材が、前記下部把持部に一体に連結されており、
前記搬送用ハンガーの上部把持部が、前記枠体部材に対して相対的に移動可能な構造であること、
を特徴とする。
【００１８】
これにより、下部ガイドレールとの間で引力が発生したときに、枠体部材に連結された搬送用ハンガーの下部クランプが、上部クランプに対して相対的に移動することで、板状ワークに張力を与えることができる。
【００１９】
（６）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記下部ガイドレールと搬送用ハンガーの下部把持部との間に引力が発生する前は、前記下部把持部からの荷重を弾性部材を介して受けて所定位置で釣り合うことにより、前記被処理物に張力が生じない状態とし、
前記下部ガイドレールと搬送用ハンガーの下部把持部との間に引力が発生した後は、弾性部材の力に抗して、前記搬送用ハンガーの下部把持部が上部把持部に対して伸長することにより、前記被処理物に張力が生じた状態とすること、
を特徴とする表面処理装置またはめっき槽。
【００２０】
これにより、バネを介して搬送用ハンガーを伸長させることが可能となり、搬送されている時の板状ワークへの衝撃を吸収できるだけでなく、引力が発生した状態においても、引き伸ばし代を確保し、かつ、引出し時の衝撃を緩和することができる。
【００２１】
（７）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーが、複数の前記下部把持部を固定するための下部固定部材を備えており、当該下部固定部材の内部に空洞を設けたこと、
を特徴とする。
【００２２】
これにより、めっき槽内の処理液に浸された状態で、下部固定部材に浮力を生じさせることが可能となり、固定ガイドレールとの間に引力が発生した時に衝撃を緩和することができる。
【００２３】
（８）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーの下部把持部に強磁性体を設け、
前記搬送用ハンガーの下部把持部との間で引力を生じさせる前記部材として、前記槽体内に下部ガイドレールを設け、前記搬送方向に沿って当該下部ガイドレールに硬磁性体を設けたこと、
を特徴とする。
【００２４】
これにより、固定ガイドレールとの間に引力を発生させることができるとともに、搬送用ハンガーに磁石を用いないので、表面処理装置を構成する金属部分に搬送用ハンガーが磁力でひっつくのを防止できる。
【００２５】
（９）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記下部ガイドレールには、前記搬送方向に延伸されるガイド溝が設けられており、
前記硬磁性体を当該ガイド溝の底部に用いたこと、
を特徴とする。
【００２６】
これにより、めっき槽内において、ガイド溝に沿って搬送用ハンガー１５の下部を案内することができる。
【００２７】
（１０）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記被処理物の長さに対応して前記枠体部材の長さを変更することにより、前記上部把持部および前記下部把持部の間隔を調節することが可能であり、かつ、前記被処理物の長さに対応して前記下部ガイドレールの高さ位置を調節することが可能なこと、
を特徴とする。
【００２８】
これにより、サイズの異なる基板に対応して、板状ワークを引っ張った状態でめっき処理を行うことができる。
【００２９】
（１１）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーの上部把持部および下部把持部のうち、少なくとも上部把持部が、被処理物の両面に対して通電経路が対称となるように構成されること、
を特徴とする。
【００３０】
これにより、板状ワークの両面で通電量を均一化して、めっき厚を同じにすることが可能となり、めっき品質の向上が図られる。
【００３１】
（１２）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記搬送用ハンガーの上部把持部および下部把持部のうち、少なくとも上部把持部が、被処理物に対して対称な形状に成形され、かつ、対応する部分に同じ素材が用いられていること、
を特徴とする。
【００３２】
これにより、板状ワークの両面でクランプを介して通電経路を対称にすることが可能となり、めっき品質の向上が図られる。
【００３３】
（１３）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
被処理物に向けてめっき処理液を噴出する噴出手段と、
前記噴出手段と被処理物との間に配置され、被処理物に向かう方向に成形された複数の長孔で構成される電界制限手段と、
を備えたことを特徴とする。
【００３４】
これにより、めっき液の流速を維持しつつ、めっき処理時の電界集中を効果的に改善することが可能となり、めっき品質の向上が図られる。
【００３５】
（１４）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記噴出手段から噴出されためっき処理液が当たる部分の長孔の大きさを、めっき処理液が当たらない部分の長孔より小さく成形したこと、
を特徴とする。
【００３６】
これにより、基板付近におけるめっき液の流速ムラを改善しつつ、めっき処理時の電界集中を効果的に改善することが可能となり、めっき品質の向上が図られる。
【００３７】
（１５）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記電界制限手段が、前記搬送用ハンガーの上部把持部の形状に対応して切り欠いて成形されていること、
を特徴とする。
【００３８】
これにより、板状ワークを把持するクランプ付近における電界集中を効果的に改善することが可能となり、めっき品質の向上が図られる。
【００３９】
（１６）この発明の表面処理装置またはめっき槽は、
前記噴出手段と被処理物との間に配置され、被処理物に向かう方向に成形された複数の長孔で構成される電界制限手段と、
前記電界制限手段を両側から挟む、互いに電気的に接続した２つの導電性有孔板と、
を備えたこと、
を特徴とする。
【００４０】
これにより、さらに、めっき処理時の電界集中が効果的に改善され、めっき品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】表面処理装置１００を上方からみた平面図である。
【図２】図１に示す表面処理装置１００をα１方向から見た側面図である。
【図３】めっき槽２ａのα２−α２断面（図１）を示す図である。
【図４】搬送用ハンガー１５ａ（下部可動式）の構造を示す正面図である。
【図５】搬送用ハンガー１５ａ（下部可動式）のβ１−β１断面図（図５Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図５Ｂ）である。
【図６】図３のγ方向から見ためっき槽２の底面図である。
【図７】搬送用ハンガー１５ａのガイド棒が、下部ガイドレール１４のガイド溝１４ａに嵌った状態を示す詳細図である。
【図８】下部ガイドレール１４の上に達する前後における、搬送用ハンガー１５ａに作用する力の関係を示す正面図である。
【図９】搬送用ハンガー１５ｂ（上部可動式）の構造を示す正面図である。
【図１０】搬送用ハンガー１５ｂ（上部可動式）のβ１−β１断面図（図１０Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図１０Ｂ）である。
【図１１】下部ガイドレール１４の上に達する前後における、搬送用ハンガー１５ｂに作用する力の関係を説明する側面図である。
【図１２】他の実施形態におけるめっき槽２ｂ構成を示す図である。
【図１３】板状ワークＷと、多孔体Ｈと、２つの多孔電極Ｐ１、Ｐ２と、スパージャー１０６との配置関係を示す図である。
【図１４】スパージャー１０６の位置に対応して多孔体の孔サイズを変更した例を示す図である。
【図１５】他の実施形態における搬送用ハンガー１５ｃ（枠体無し）の構造を示す正面図である。
【図１６】他の実施形態における搬送用ハンガー１５ｄ（上下可動式）の構造を示す正面図である。
【図１７】他の実施形態における搬送用ハンガー１５ｄ（上下可動式）のβ１−β１断面図（図１７Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図１７Ｂ）である。
【図１８】他の実施形態におけるめっき槽２ｃの構成を示す図である。
【図１９】他の実施形態における搬送用ハンガー１５ｅの構成を示す図である。
【図２０】他の実施形態におけるめっき槽２ｄの構成を示す図である。
【図２１】搬送用ハンガー１５ａを搬送する機構を示す正面図である。
【図２２】搬送用ハンガー１５ａを搬送する機構を示す中央断面図である。
【図２３】昇降ガイドレールの上部に設けられる間欠搬送手段の構造を示す平面図である。
【図２４】位置決め搬送手段１８の構造を示す図である。
【図２５】従来技術の搬送用ハンガー１５０の構成を示す図である。図２５Ａは、搬送用ハンガー１５０の正面図であり、図２５Ｂは、搬送用ハンガー１５０のＡ−Ａ断面図である。
【図２６】従来技術のクランプ４８’の形状を示す図である。
【図２７】他の実施形態におけるめっき槽２ｅの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
１．表面処理装置３００の構成
図１および図２を用いて、めっき処理を行う表面処理装置３００について説明する。なお、図１は、表面処理装置３００を上方からみた平面図である。図２は、図１に示す表面処理装置３００をα１方向から見た側面図である。
【００４３】
図１および図２に示すように、表面処理装置３００は、いわゆるプッシャー式のめっき装置である。表面処理装置３００には、図１に示すような、直線状で高さの固定された固定ガイドレール１１、１３と、Ｕ字状で上下に昇降可能な昇降ガイドレール１０、１２が設けられている。固定ガイドレール１１、１３および昇降ガイドレール１０、１２には、被処理物、すなわち、めっき処理の対象である板状ワークＷ（プリント基板など）を保持するための搬送用ハンガー１５が、図１に示す矢印Ａ１、Ａ２および矢印Ｂ１、Ｂ２の方向に移動可能に装着されている。
【００４４】
図１のロード部８において、昇降ガイドレール１０が下降した状態で、搬送用ハンガー１５に板状ワークＷが装着される。板状ワークＷが装着された搬送用ハンガー１５は、昇降ガイドレール１０と共に上昇した後、図２に示す間欠搬送手段１７（図２３）の駆動により矢印Ａ１の方向に移動し、前処理槽１の上部まで板状ワークＷを運ぶ（図１の(c)参照）。この状態で、昇降ガイドレール１０が下降し、板状ワークＷを前処理槽１に漬けて前処理が行われる。
【００４５】
次に、昇降ガイドレール１０が再び上昇し、搬送用ハンガー１５に保持された板状ワークＷが、間欠搬送手段１７（図２３）の駆動によりさらに矢印Ａ１の方向に移動する。これにより、板状ワークＷは、めっき槽２の上部まで運ばれる（図１の降下位置(x)参照）。
【００４６】
この状態で、昇降ガイドレール１０が下降し、搬送用ハンガー１５と共に板状ワークＷをめっき槽２に漬ける。昇降ガイドレール１０が下降すると、図２に点線で示すように、固定ガイドレール１１と同じ高さになり、搬送用ハンガー１５が位置決め搬送手段１８の駆動により昇降ガイドレール１０から固定ガイドレール１１へ移動させられる。この実施形態では、めっき槽２の上方に設けられた固定ガイドレール１１を、上部ガイドレールと呼ぶこととする。
【００４７】
なお、図１に示すめっき槽２が、板状ワークＷを伸張した状態で液処理する必要のある第１の処理槽に相当し、前処理槽１、回収槽３、水洗槽４が、板状ワークＷを伸張した状態で液処理する必要のない第２の処理槽に相当する。
【００４８】
板状ワークＷを保持した搬送用ハンガー１５は、めっき槽２に浸された状態で、固定ガイドレール１１に沿って、直線搬送手段１９により矢印Ｂ１の直線方向に移動させられる（図１の(b)(a)参照）。さらに移動すると（図１の(g)参照）、送り出し搬送手段２０の駆動により、下降した状態にあるもう一方の昇降ガイドレール１２に、搬送用ハンガー１５が移し替えられる（図１の引き上げ位置(h)参照）。この状態で、昇降ガイドレール１２が上昇し、めっきの終了した板状ワークＷがめっき槽２から取り出される。
【００４９】
続いて、搬送用ハンガー１５は、図２に示す間欠搬送手段２２（図２３）の駆動により回収槽３の上部に位置するよう矢印Ａ２の方向に移動される。この状態にて、昇降ガイドレール１２が下降し、板状ワークＷが回収槽３に漬けられる。
【００５０】
次に、昇降ガイドレール１２が上昇して、搬送用ハンガー１５に保持された板状ワークＷが、間欠搬送手段２２の駆動により水洗槽４の上部まで運ばれる（図１の降下位置(l)参照）。この状態で、昇降ガイドレール１２が下降し、板状ワークＷが水洗槽４に漬けられて、めっき処理後の水洗いがなされる。
【００５１】
さらに、図１のアンロード部５において、昇降ガイドレール１２が下降した状態で、搬送用ハンガー１５から板状ワークＷが取り外される。板状ワークＷを取り外した搬送用ハンガー１５は、間欠搬送手段２２の駆動により前送りされ（図１の(l)参照）、この状態で昇降ガイドレール１２が下降して、搬送用ハンガー１５が剥離槽６の処理液に漬けられる。
【００５２】
剥離槽６では、剥離液の作用により、搬送用ハンガー１５に付着しためっきが取り除かれる。昇降ガイドレール１２が下降すると、図２に点線で示すように固定ガイドレール１３と同じ高さになり、搬送用ハンガー１５が位置決め搬送手段３１の駆動により昇降ガイドレール１２から固定ガイドレール１３へ移動させられる。
【００５３】
剥離槽６内の搬送用ハンガー１５は、固定ガイドレール１３に沿って、剥離槽６に浸された状態で、直線搬送手段２４により矢印Ｂ２の直線方向に移動される（図１の(m)(n)参照）。さらに移動すると（図１の(o)参照）、送り出し搬送手段２５の駆動により、下降した状態にある昇降ガイドレール１０に搬送用ハンガー１５が移し替えられる（図１の引き上げ位置(f)参照）。この状態で、昇降ガイドレール１０が上昇し、剥離の終了した搬送用ハンガー１５が剥離槽６から取り出される。さらに、搬送用ハンガー１５が、間欠搬送手段１７（図２３）の駆動により、水洗槽７の上部まで運ばれる（図１の(e)参照）。
【００５４】
この状態で、昇降ガイドレール１０が下降し、搬送用ハンガー１５が水洗槽７に漬けられて、剥離処理後の水洗いがなされ、再びロード８において板状ワークＷが取り付けられることになる。
【００５５】
以上のようなサイクルで、表面処理装置３００における搬送用ハンガー１５のめっき処理が繰り返される。
【００５６】
本発明では、めっき槽２において板状ワークＷに対してめっき処理を行っている間だけ、めっき槽２の底部に設けた下部ガイドレール１４（図３）によって生じる引力で搬送用ハンガー１５を下方向に引っ張ることで、板状ワークＷを引き延ばすこととし、その他の位置では、板状ワークＷの脱落や損傷を考慮して、板状ワークＷを引き伸ばさないよう構成している。
【００５７】
上記目的を達成するために用いられるめっき槽２および搬送用ハンガー１５の具体的な構成などについて以下に説明する。
【００５８】
２．めっき槽２ａおよび搬送用ハンガー１５ａの構成
図３に、本発明のめっき槽２ａのα２−α２断面（図１）を示す。図３に示すめっき槽２ａが備える槽体１００には、めっき液が所定高さまで充填されている。
【００５９】
槽体１００内でめっき処理される板状ワークＷは、その上端部が搬送用ハンガー１５の上部把持部である上部クランプ４８に把持されている。また、板状ワークＷの下端部は、搬送用ハンガー１５ａの下部把持部である下部クランプ４９に把持されている。搬送用ハンガー１５ａの下部クランプ４９は、上部クランプ４８に対して相対的に移動可能に構成されている。搬送用ハンガー１５ａは、下部クランプ４９に下部ガイドレール１４との間で引力を生じた状態（つまり、板状ワークＷを引っ張った状態）で、後述する搬送機構の駆動により、槽体１００内を移動することになる。
【００６０】
槽体１００の中には、めっきする金属イオンを供給するための陽極手段（可溶性陽極または不溶性陽極）１０２、１０４、板状ワークＷに向けてめっき処理液を噴出する噴出手段１０６、板状ワークＷの端部に電流が集中しないよう電流を遮蔽する遮蔽手段１０９、１１２、１１３などが設けられている。図３に示すめっき槽２内において、陽極手段１０２、１０４と板状ワークＷとの間で通電させることで、板状ワークＷにめっき処理を行うことができる。
【００６１】
［下部可動式の搬送用ハンガー１５ａの構成］
まず、図３に示す搬送用ハンガー１５ａの構造について、図４および図５を用いて説明する。この実施形態では、ワークのサイズが５００×５００ｍｍ、厚みが１ｍｍ以下の場合を例に説明する。なお、図４は、搬送用ハンガー１５ａ（下部可動式）の構造を示す正面図である。図５は、搬送用ハンガー１５ａ（下部可動式）のβ１−β１断面図（図５Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図５Ｂ）である。
【００６２】
図４に示すように搬送用ハンガー１５ａは、被処理物Ｗの上端を把持する複数の上部クランプ４８を備えており、これらの上部クランプ４８は、上部固定部材５０に固着されている。上部固定部材５０は、図５Ｂの側面図に示す連結部材４４を介して、上部ガイドレール１１などのガイドレールに対して摺動接触する摺動部材３５（図３）に連結されている。また、上部固定部材５０の両端部には、下方向に延伸される枠体部材５１が固着されており、枠体部材５１が、上部クランプ４８と下部クランプ４９とを連結して枠体を構成する。枠体部材５１は、円柱形に成形される。
【００６３】
さらに、搬送用ハンガー１５ａは、被処理物Ｗの下端を把持する複数の下部クランプ４９を備えており、これらの下部クランプ４９は、下部固定部材５２に固着されている。下部固定部材５２の下面には、下部ガイドレール１４に設けられる溝（図３に示すガイド溝６２）を通るガイド棒５５が２カ所設けられ、下部固定部材５２の両端部には、上部固定部材５０に固着された枠体部材５１の下端と摺動する丸孔が設けられている。ガイド棒５５の内部には、下部ガイドレール１４との間で引力を生じさせるための金属片５６が内包される。
【００６４】
以上のように、搬送用ハンガー１５ａの枠体部材５１が、上部クランプ４８に
一体に連結されることで、搬送用ハンガー１５ａの下部クランプ４９が、枠体部材５１（および上部クランプ４８）に対して相対的に移動可能な構造となっている。
【００６５】
上部固定部材５０の素材としては、ステンレスなどの導電性金属が用いられる。枠体部材５１の素材としては、ステンレスなどの導電性金属が用いられ、下部固定部材５２の両端部に設けられた孔と摺動接触する部分は、ＰＶＣ等の樹脂でコーティングされ、滑らかに摺動できるような構造となっている。下部固定部材５２の素材としては、ＰＶＣ等の樹脂が用いられる。ガイド棒５５の素材としては、低摩擦性の樹脂（ＰＰ、ＵＨＭＶＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等）が用いられる。ガイド棒５５の金属片５６の素材としては、強磁性体（鉄、コバルト、ニッケルなど）が用いられる。
【００６６】
また、搬送用ハンガー１５ａの枠体部材５１の下端には、下部固定部材５２等の荷重を支持するバネ５３が設けられている。さらに、枠体部材５１と下部クランプ４９の間には、リード線５４が接続されており、これにより枠体部材５１を介して下部クランプ４９に通電を行うことができる。
【００６７】
以上のように、搬送用ハンガー１５ａに枠体部材５１を設けたことで、板状ワークＷに対して、下端に把持された下部クランプ４９から必要以上の負荷がかかるのを防止することができる。
【００６８】
［ダブルクランプ構造］
各上部クランプ４８は、図５Ａに示すように、上部固定部材５０に対して開閉可能に取り付けられる２つの可動部材５７と、これらの可動部材の先端が閉じる方向に付勢する２つのバネ５８とで構成され（ダブルクランプ構造）、これらは導電性の鋼材で成形される。
【００６９】
図５Ａに示すように、上部クランプ４８は板状ワークＷに対して対称な形状に成形されており、かつ、対応する部分に同じ素材が用いられている。これにより、板状ワークＷの両面に対して通電経路が対称となるような構成とすることができ（電気的な抵抗の同一性を担保）、板状ワークＷの表裏でめっき処理の品質（厚みなど）を均一化することができる。
【００７０】
一方、各下部クランプ４９は、図５Ａに示すように、下部固定部材５２に対して開閉可能に取り付けられる１つの可動部材５９ａと、下部固定部材５２に固着される固着部材５９ｂと、可動部材５９ａの先端が閉じる方向に付勢する１つのバネ６０とで構成され（シングルクランプ構造）、これらは導電性の鋼材で成形される。
【００７１】
以上のように、上部クランプ４８のみをダブルクランプ構造とし、下部クランプ４９はシングルクランプ構造としている。なお、図３に示すように、上部クランプ４８は先端から半分程度がめっき液に浸されるので通電ムラによる問題が大きいのに対し、下部クランプ４９は全体がめっき液に浸されるので通電ムラによる問題はあまり生じない。
【００７２】
［下部ガイドレール１４の構造］
図３に示す下部ガイドレール１４の構造について、図６および図７を用いて以下に説明する。なお、図６は、めっき槽２ａ（図３）をγ方向から見た底面図である。図７は、搬送用ハンガー１５ａのガイド棒５５が、下部ガイドレール１４のガイド溝６２を通っている状態を示す詳細図である。
【００７３】
図６に示すように、下部ガイドレール１４は、めっき槽２の浸漬位置（図１の（ｘ）位置）と引上位置（図１の（ｈ）位置）との間に設けられる。また、下部ガイドレール１４の入口１４ａは、ガイド棒５５を案内するためテーパ状に成形されており、搬送される板状ワークＷに沿って搬送方向に延伸されるガイド溝６２が設けられている。図６に示すテーパを過ぎた位置からガイド溝６２の終端まで、ガイド溝６２の底部に永久磁石６１（硬磁性体）が連続して埋め込まれている。下部ガイドレール１４の永久磁石６１以外の部分は、鋼材から成形される。
【００７４】
図７に示すように、ガイド棒５５の底面とガイド溝６２の底面との間隔、およびガイド棒５５の側面とガイド溝６２の間隔は、引力が発生した状態で所定間隔の隙間ができるように設計される。ガイド棒５５の底面とガイド溝６２の底面との間隔Ｃ１は、例えば、２ｍｍに設定し、ガイド棒５５の側面とガイド溝６２の間隔Ｃ２は、例えば、１ｍｍに設定することができる。
【００７５】
上部ガイドレール１１からの電流は、順に、摺動部材３５、連結部材４４、上部固定部材５０、クランプ４８（または枠体部材５１を介してクランプ４９）の通電経路で、板状ワークＷに供給される。
【００７６】
［引力が発生する前後における力の関係］
つぎに、図８を用いて、搬送用ハンガー１５ａと下部ガイドレール１４に作用する力の関係について説明する。図８は、下部ガイドレール１４に達する前後において、搬送用ハンガー１５ａに作用する力の関係を示す図である。
【００７７】
図８に示すように、めっき槽２に降下した搬送用ハンガー１５ａが下部ガイドレール１４に達する前に作用する力は、バネ５３の力ＦS1と、搬送用ハンガー１５ａの下部荷重Ｍ（下部クランプ４９、下部固定部材５２、ガイド棒５５などの総重量）だけである（浮力ＦBは十分小さいため無視）。よって、力の釣り合いは、（式）２×ＦS1＝Ｍで表される。このとき、バネの縮みｘ1は、上式をＦS1＝ｋ×ｘ1に代入して、ｘ1＝Ｍ／２ｋ（ｋは、ばね定数）で得られる。
【００７８】
このように、下部ガイドレール１４と搬送用ハンガー１５の下部クランプ４９との間に引力が発生する前は、バネ５３が下部荷重を支持することで、板状ワークＷをたるんだ状態（板状ワークWに張力が生じない状態）とすることができる。バネ５３を介して搬送用ハンガー１５ａを伸長させたことで、板状ワークＷが搬送されている時の衝撃を吸収できるだけでなく、引力が発生した状態においても、引き伸ばし代を確保し、かつ、引出し時の衝撃を緩和することができる。
【００７９】
一方で、めっき槽２に降下した搬送用ハンガー１５ａが下部ガイドレール１４に達し、下部ガイドレール１４と搬送用ハンガー１５ａの下部把持部４９との間に引力Ｆｍ（ｒ）が発生した後は、バネ５３の力ＦS2に抗して、図８に示すように、搬送用ハンガーの下部クランプ４９が上部クランプ４８に対して下方向に移動し伸長することにより、板状ワークWを引っ張った状態（板状ワークWに張力が生じた状態）とすることができる。
【００８０】
搬送用ハンガー１５ａが下部ガイドレール１４に達したときに作用する力は、図８に示すように、バネ５３の力ＦS2（＞ＦS1）と下部荷重Ｍ（下部クランプ４９、下部固定部材５２、ガイド棒５５の総重量）に、下部ガイドレール１４との間に生じる引力Ｆm（ｒ）が追加される。よって、引力が生じた状態の力の釣り合いは、（式）２×ＦS2＝Ｍ＋２×Ｆm（ｒ）で表される。ここで、Ｆm（ｒ）は、永久磁石６１の中心からの距離により磁力Ｆmの大きさが変化することを示す。
【００８１】
板状ワークWに上下方向の張力を生じさせるためには、下部荷重Ｍと２つの引力Ｆm（ｒ）を合わせた力が、バネ５３の上向きの力（２×ＦS2）より大きいことが条件となる。すなわち、自然長に対するバネの縮みをｘ2としたとき、（式）Ｍ＋２×Ｆm（ｒ）＞２×ｋｘ2より、Ｆm（ｒ）＞ｋｘ2−Ｍ／２となる引力が生じるようにすればよい。図８に示す、バネ５３の縮みΔｘは、引力Ｆm（ｒ）が生じた状態の自然長に対するバネ５３の縮みｘ2から、引力Ｆm（ｒ）が生じない状態の自然長に対するバネ５３の縮みｘ1を差し引いて得られる。
【００８２】
［板状ワークＷの取り付けおよび取り外し方法］
板状ワークＷの搬送用ハンガー１５への取り付けおよび取り外し方法について、以下に説明する。
【００８３】
図１のロード部８における板状ワークＷの取り付け時には、搬送用ハンガー１５ａの下部固定部材５２を少し押し上げ、上部クランプ４８および下部クランプ４９（図４）は開放する。その状態で板状ワークＷを、チャック機構を備えた基板取付け装置（図示せず）により持ち上げて、板状ワークＷの上端および下端を上部クランプ４８および下部クランプ４９（図４）に挿入し、その後、クランプを閉じる。
【００８４】
このとき、搬送用ハンガー１５ａの下部固定部材５２から押し上げた状態を解除すると、図８に示す下部加重Ｍによりバネ５３が縮むが、その時に板状ワークＷがたるんだ状態となるように枠体部材５１の長さを調節するのが好ましい。
【００８５】
図１のアンロード部５における板状ワークＷの取り外し時には、まず、チャック機構を備えた基板取付け装置（図示せず）により板状ワークＷを挟んだ状態で、上部クランプ４８および下部クランプ４９（図４）を開放し、下部固定部材５２を少し押し下げて板状ワークＷを引き抜くことで、取り外すことができる。
【００８６】
３．第２の実施形態
上記実施形態では、下部可動式の搬送用ハンガー１５ａ（図４、図５）について説明したが、図９および図１０に示すような上部可動式の搬送用ハンガー１５ｂを採用してもよい。すなわち、搬送用ハンガー１５ｂの枠体部材５１が、下部クランプ４９に一体に連結され、搬送用ハンガー１５ｂの上部クランプ４８が、枠体部材５１（および上部クランプ４８）に対して相対的に移動可能な構成としてもよい。なお、図９は、上部可動式の搬送用ハンガー１５ｂの構造を示す図である。図１０は、上部可動式の搬送用ハンガー１５ｂのβ１−β１断面図（図１０Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図１０Ｂ）であり、それぞれが図４、図５に対応する。
【００８７】
図９に示すように搬送用ハンガー１５ｂは、被処理物Ｗの上端を把持する複数の上部クランプ４８を備えており、これらの上部クランプ４８は、上部固定部材５０’に固着されている。上部固定部材５０’は、図１０Ｂの側面図に示す連結部材４４を介して、上部ガイドレール１１などのガイドレールに対して摺動接触する摺動部材３５（図３）に連結されている。また、上部固定部材５０’の両端部には、下部固定部材５２に固着される枠体部材５１の上端と摺動する丸孔が設けられている。なお、枠体部材５１の上端が上部固定部材５０’に抵触しない位置に丸孔を設けるために、図５Ｂに示す上部固定部材５０と異なる形状を採用している。
【００８８】
さらに、搬送用ハンガー１５ｂは、被処理物Ｗの下端を把持する複数の下部クランプ４９を備えており、これらの下部クランプ４９は、下部固定部材５２に固着されている。下部固定部材５２の下面には、下部ガイドレール１４に設けられる溝（図３に示すガイド溝６２）を通るガイド棒５５が２カ所設けられ、下部固定部材５２の両端部には、上方向に延伸される枠体部材５１が固着されている。ガイド棒５５の内部には、下部ガイドレール１４との間で引力を生じさせるための金属片５６が内包される。枠体部材５１は、円柱形に成形される。
【００８９】
上部固定部材５０’の素材としては、ステンレスなどの導電性金属が用いられる。枠体部材５１の素材としては、ステンレスなどの導電性金属が用いられ、上部固定部材５０’の両端部に設けられた孔と摺動接触する部分は、ＰＶＣ等の樹脂でコーティングされ、滑らかに摺動できるような構造となっている。下部固定部材５２の素材としては、ＰＶＣ等の樹脂が用いられる。ガイド棒５５の素材としては、低摩擦性の樹脂（ＰＰ、ＵＨＭＶＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等）が用いられる。ガイド棒５５の金属片５６の素材としては、強磁性体（鉄、コバルト、ニッケルなど）が用いられる。
【００９０】
搬送用ハンガー１５ｂの枠体部材５１の上端には、下部固定部材５２等の荷重を支持するバネ６３が設けられている。さらに、枠体部材５１と下部クランプ４９の間には、通電部材６４が接続されており、これにより枠体部材５１を介して下部クランプ４９に通電を行うことができる。
【００９１】
上部クランプ４８のダブルクランプ構造および下部ガイドレール１４の構造は、図５Ａおよび図６および図７に示すものと同じである。
【００９２】
図１１に示す搬送用ハンガー１５ｂと下部ガイドレール１４に作用する力の関係についても、以下に示すように同様の関係である。
【００９３】
板状ワークWに上下方向の張力を生じさせるためには、下部荷重Ｍと２つの引力Ｆm（ｒ）を合わせた力が、バネ６３の上向きの力（２×ＦS2）より大きいことが条件となる。すなわち、自然長に対するバネ６３の縮みをｘ3としたとき、（式）Ｍ＋２×Ｆm（ｒ）＞２×ｋｘ3より、Ｆm（ｒ）＞ｋｘ3−Ｍ／２となる引力が生じるようにすればよい。なお、図１１に示すバネ６３の縮みΔｘは、引力Ｆm（ｒ）が生じた状態の自然長に対するバネ６３の縮みｘ3から、引力Ｆm（ｒ）が生じない状態の自然長に対するバネ６３の縮みｘ1を差し引いて得られる。
【００９４】
４．第３の実施形態
図３に示すめっき槽２ａでは、板状ワークＷに向けてめっき処理液を噴出する噴出手段であるスパージャー１０６を設けたが、さらに、図１２に示すめっき槽２ｂのように、板状ワークＷに向けてめっき処理液を噴出する噴出手段であるスパージャー１０６を設け、板状ワークＷとの間に、板状ワークＷに向かう方向に成形された複数の長孔で構成される電界制限手段である多孔体Ｈと、電界制限手段を両側から挟んで配置される、互いに電気的に接続した２つの導電性有孔板Ｐ１、Ｐ２と、を備えるように構成してもよい。
【００９５】
図１３は、板状ワークＷと、多孔体Ｈと、２つの多孔電極Ｐ１、Ｐ２と、スパージャー１０６との配置関係を示す図である。図１３に示すように、板状ワークＷから順に、多孔電極Ｐ１、多孔体Ｈ、多孔電極Ｐ２、スパージャー１０６が配列されている。このような配列により、板状ワークＷから多孔電極Ｐ１、Ｐ２、陽極手段まで順に、カソード（Ｗ）−アノード（Ｐ１）−カソード（Ｐ２）−アノード（１０２、１０４）の構造を形成することができる。なお、板状ワークＷの反対側も同じ配列である。
【００９６】
図１２示す１対のスパージャー１０６は、板状ワークＷを挟んでノズルがずれて配置されるように設けられている。多孔電極Ｐ１、Ｐ２は、導電性の鋼材で成形した枠に網状の導電素材を取り付けたものが用いられる。多孔電極Ｐ１、Ｐ２の配置は、めっき槽２ｂの所定位置に形成した凹部に嵌め込んで固定し、上部をワイヤーで電気的に接続して行う。
【００９７】
多孔体Ｈは、例えば、ハニカム形状の長孔が設けられたＰＶＣ製の素材を所望の厚みに成形されており、搬送方向に連続して配置される。多孔体Ｈとしては、例えば、厚みが数十ｍｍで、ハニカムの２面幅が数ｍｍ〜２０ｍｍ程度のものを用いることができる。多孔体Ｈは、多孔電極Ｐ１およびＰ２の間に挿入される。
【００９８】
上記のような構成により、多孔電極Ｐ１、Ｐ２により等電位面を板状ワークＷに近接して設けられる等の要因によって、めっき処理時における電界集中が効果的に改善される。
【００９９】
図１４は、スパージャー１０６の位置に対応して多孔体Ｈの孔サイズを変更した例を示す図である。図１４に示すように、スパージャー１０６の各ノズルに対応する位置、すなわち、噴出されためっき処理液が当たる部分Ｅ１の孔の大きさを、その他の部分Ｅ２より小さくしている。例えば、噴出されためっき処理液が当たる部分の孔の大きさを３mmとし、その他の部分の孔の大きさを１３mmとしている。具体的には、Ｅ１部分に対応する小さい孔サ  イズの多孔体を円柱状に成形し、これをＥ２部分に対応する大きい孔サイズの多孔体を円柱状にくり抜いた部分にはめ込む等して成形することができる。
【０１００】
このように孔のサイズを設定することで、板状ワークＷ付近において、めっき液の流速の均一化を図ることができ、めっき品質が向上する。
【０１０１】
５．その他の実施形態
なお、上記実施形態では、搬送用ハンガー１５ａに枠体部材５１を設けたが（図４、図５）、これに限定されるものではなく、図１５に示すように、枠体部材５１を設けない構造としてもよい。
【０１０２】
図１５に示す搬送用ハンガー１５ｃは、枠体部材５１およびバネ５３（６３）を除いたものとなっている。なお、下部クランプ４９に対しては上部クランプ４８に接続したリード線５４を介して通電すればよい。これにより、搬送用ハンガー１５ｃに枠体部材５１を設けないことで、板状ワークＷの取り付けが容易である。
【０１０３】
なお、上記実施形態では、上部可動式の搬送用ハンガー１５ａ（図４）について説明したが、さらに、図１６および図１７に示すように、枠体部材５１が上部固定部材５０に対して長さ調節が可能な構造を採用してもよい。図１６は、上下可動式の搬送用ハンガー１５ｄの構造を示す正面図である。図１７は、上下可動式の搬送用ハンガー１５ｄのβ１−β１断面図（図１７Ａ）およびβ２方向から見た側面図（図１７Ｂ）であり、それぞれが図４、図５に対応する。
【０１０４】
図１６に示す搬送用ハンガー１５ｄの枠体部材５１’は、上部固定部材５０に設けられた孔に挿入されている点で、図４に示す搬送用ハンガー１５ａと異なっている。また、搬送用ハンガー１５ｄの枠体部材５１’には、複数の切り欠き溝Ｄ１およびＤ２が設けられており、図１７Ｂに示すプランジャ７１の先端を切り欠き溝Ｄ１またはＤ２にはめ込むことで、板状ワークＷの長さに応じた所定位置に固定することが可能な構造となっている。
【０１０５】
なお、上記実施形態では、下部ガイドレール１４をめっき槽２の底に固定することとしたが、図１８に示すように、下部ガイドレール１４の高さを調節する高さ調節手段２２０を備えるようにしてもよい。
【０１０６】
図１８に示す高さ調節手段２２０は、駆動モータ２２０ａ、プーリー２２０ｂ、連結ワイヤ２２０ｃ、駆動ベルト２２０ｄとで構成されており、連結ワイヤ２２０ｃの一端はプーリー２２０ｂに固着されており、他端は下部ガイドレール１４に接続されている。駆動モータ２２０ａの駆動によって、ワイヤ２２０ｃがプーリー２２０ｂに巻き取られることで、下部ガイドレール１４が所定高さまで上昇する。
【０１０７】
なお、上記実施形態では、弾性部材としてバネを用いたが、その他の弾性部材（ゴムなど）を用いてもよい。
【０１０８】
なお、上記実施形態では、弾性部材であるバネ５３を介して上部クランプ４８および下部クランプ４９が相対的に移動可能な構造としたが（図３など）、弾性部材を設けないようにしてもよい。
【０１０９】
例えば、図１９に示すように、下部固定部材５２の内部に空洞５２ａを設ける等して浮力を生じさせ、めっき槽２内において、図３に示すバネ５３と併せて、またはバネ５３が存在しない場合でも板状ワークＷへの衝撃を緩和することができる。
【０１１０】
なお、上記実施形態では、浮力ＦBが十分小さいものとして無視したが（図８）、浮力ＦBが無視できない大きさの場合について説明する。
【０１１１】
図８に示す浮力ＦBを考慮するとき、めっき槽２に降下した搬送用ハンガー１５ａが下部ガイドレール１４に達する前に作用する力は、バネ５３の力ＦS1と、搬送用ハンガー１５ａの下部荷重Ｍ（下部クランプ４９、下部固定部材５２、ガイド棒５５などの総重量）と浮力ＦBである。よって、力の釣り合いは、（式）２×ＦS1＋ＦB＝Ｍで表される。このとき、バネの縮みｘ1は、上式をＦS1＝ｋ×ｘ1に代入して、ｘ1＝（Ｍ−ＦB）／２ｋで得られる。
【０１１２】
搬送用ハンガー１５ａがめっき槽２内に降下する前には、浮力ＦBは生じないので、力の釣り合いは、（式）２×ＦS0＝Ｍで表される。このとき、自然長に対するバネの縮みｘ0は、ＦS0＝ｋ×ｘ0より、ｘ0＝Ｍ／２ｋで得られる。ｘ0＞ｘ1であることから、搬送用ハンガー１５ａがめっき槽２内に降下した後、ＦB／２ｋ（＝ｘ0−ｘ1）だけバネ５３が伸びて、ハンガー１５ａが上方に移動する。
【０１１３】
搬送用ハンガー１５ａが下部ガイドレール１４に達したときに作用する力は、図８に示すように、バネ５３の力ＦS2（＞ＦS1）と下部荷重Ｍ（下部クランプ４９、下部固定部材５２、ガイド棒５５の総重量）と浮力ＦBに、下部ガイドレール１４との間に生じる引力Ｆm（ｒ）が追加される。よって、引力が生じた状態の力の釣り合いは、（式）２×ＦS2＋ＦB＝Ｍ＋２×Ｆm（ｒ）で表される。
【０１１４】
板状ワークWに上下方向の張力を生じさせるためには、下部荷重Ｍと２つの引力Ｆm（ｒ）を合わせた力が、バネ５３の上向きの力（２×ＦS2）と浮力ＦBを合わせた力より大きいことが条件となる。すなわち、自然長に対するバネの縮みをｘ2としたとき、（式）Ｍ＋２×Ｆm（ｒ）＞２×ｋｘ2＋ＦBより、Ｆm（ｒ）＞ｋｘ2＋（ＦB−Ｍ）／２となる引力が生じるようにすればよい。  なお、上記実施形態では、搬送用ハンガー１５のガイド棒５５に金属５６を設け、下部ガイドレール１４に永久磁石６１を設けて引力を生じさせたたが、これに限定されるものではなく、搬送用ハンガー１５のガイド棒５５に永久磁石を設け、下部ガイドレール１４に金属を設けたり、何れにも永久磁石を設けるようにしてもよい。
【０１１５】
なお、下部ガイドレール１４（図７）のガイド溝６２および上面を覆うように樹脂シートを貼り付けてもよい。これにより、樹脂シートを外すだけで、ガイド溝６２に溜まった鉄粉を容易に除去することができる利点がある。
【０１１６】
なお、上記実施形態では、下部ガイドレール１４にガイド溝６２を設けたが（図７）、これに限定されるものではなく、ガイド溝６２を設けないようにしてもよい。また、搬送用ハンガー１５に凹状のガイド溝を設け、下部ガイドレール１４に凸状のガイド部を設けてもよい。
【０１１７】
なお、上記実施形態では、永久磁石６１を設けた下部ガイドレール１４を槽体１００内に設けたが、これに限定されるものではなく、図２７に示すめっき槽２ｅのように、槽体１００の外部に永久磁石６１を設けて引力を生じさせてもよい。なお、この場合、槽体１００の素材は磁性体でないことが好ましい。
【０１１８】
なお、上記実施形態では、引力を生じさせるために永久磁石を用いたが、これに限定されるものではなく、電磁石などを採用してもよい。
【０１１９】
なお、上記実施形態では、上部クランプ４８のみをダブルクランプ構造としたが（図５Ａ）、下部クランプ４９のみをダブルクランプ構造としたり、上部クランプ４８および下部クランプ４９をダブルクランプ構造としてもよい。
【０１２０】
なお、上記実施形態では、クランプの形状を板状ワークＷに対して対称に成形したが、板状ワークＷの両側から同じ通電経路を有すればよく、他の形状を採用してもよい。
【０１２１】
なお、上記実施形態では、多孔体Ｈの孔を、ハニカム形状としたが（図１４）、他の形状としてもよい。また、多孔体Ｈの孔を、同じ断面積の孔としたが、テーパ孔、中央が断面積が大きく両端が断面積が小さい孔など他の形状としてもよい。
【０１２２】
なお、上記実施形態では、図１２に示す２つの多孔電極Ｐ１、Ｐ２を設けることとしたが、これを省略し、例えば、スパージャー１０６および多孔体Ｈの組合せとしてもよい。
【０１２３】
なお、上記実施形態では、図１２に示すスパージャー１０６を設けることとしたが、これを省略し、例えば、２つの多孔電極Ｐ１、Ｐ２および多孔体Ｈの組合せとしてもよい。
【０１２４】
なお、上記実施形態では、図１２に示す多孔体Ｈを設けることとしたが、これを省略し、例えば、２つの多孔電極Ｐ１、Ｐ２およびスパージャー１０６の組合せとしてもよい。
【０１２５】
なお、上記実施形態では、多孔体Ｈを平面としたが、図２０に示すように、上部クランプ４８の形状に対応して，所定間隔を設けるよう切り欠いて成形してもよい。
【０１２６】
なお、上記実施形態では、昇降ガイドレール１０、１２を備えた表面処理装置３００を用いてめっき処理を行ったが、昇降機構を備えない表面処理装置によって本発明を実施してもよい（例えば、特開２０１０−１２１１８５号公報、特開２０１０−１０６２８８号公報、特開２０１０−１００８９８号公報に示すような干満槽を備えたもの）。
【０１２７】
６．表面処理装置３００の各搬送機構について
図２１などを用いて、この発明の搬送用ハンガー１５の搬送機構について説明する。図２１は、固定ガイドレール１１に取り付けられた搬送用ハンガー１５ａの構造を示す図である。図２２は、図２１に示す搬送用ハンガー１５ａおよび固定ガイドレール１１の中央断面図である。
【０１２８】
図２１に示すように、搬送用ハンガー１５は、固定ガイドレール１１に対して摺動接触する摺動部材３５と、これらを連結する連結部材４４を有している。摺動部材３５および連結部材４４の材質としては、銅、真ちゅうなどが用いられる。
【０１２９】
また、図２２に示すように、摺動部材３５の上部にはチェーンベルト３９（図１に示す直線搬送手段１９を構成）に噛み合うワンウェイクラッチ方式のギア４０を有する軸受け３６が固着されている。このため、固定ガイドレール１１、１３上でチェーンベルト３９に噛み合うギヤ４０は、前送り時などにおいて図２１に示すＢ方向へのみ回転することができる。
【０１３０】
図２１に示すプッシャー当接面３７は、搬送用ハンガー１５の搬送手段である間欠搬送手段１７、２２のプッシャー１６（１６ａ〜ｄ）、２１（２２ａ〜ｄ）（図２３）が当接する部分である。
【０１３１】
図２２の爪当接部３２は、搬送用ハンガー１５の搬送手段である位置決め搬送手段１８の搬送爪３０（図１）が当接する部分である。これら搬送用ハンガー１５の各搬送手段について、以下に説明する。
【０１３２】
図２１に示す搬送用ハンガー１５は、表面処理装置３００において、以下の間欠搬送手段１７、２２、位置決め搬送手段１８、２３、直線搬送手段１９、２４、および送り出し搬送手段２０、２５によって搬送される。
【０１３３】
まず、図２に示す昇降ガイドレール１０、１２の上部に設けられた間欠搬送手段１７、２２は、それぞれ昇降ガイドレール１０、１２の（ｃ）〜（ｆ）、（ｈ）〜（ｋ）の位置にある搬送用ハンガー１５をプッシャー１６ａ〜１６ｄ、２１ａ〜２１ｄによって（図２３）で１ピッチずつ間欠搬送する。図２３は、昇降ガイドレール１０の上部に設けられる間欠搬送手段１７の構造を示す平面図である。
【０１３４】
図２に示す位置決め搬送手段１８は、固定ガイドレール１１に沿って設けられ、めっき槽２の上方の（ｘ）位置から被処理物浸漬部（基板浸漬部）２ａ内へ下降した搬送用ハンガー１５（図２を参照）を、固定ガイドレール１１に移し換えて（ｂ）の位置まで前送りする。このとき、前の（ａ）位置の板状ワークＷとの間隔を所定の幅Ｌ１（例えば、Ｌ１＝５ｍｍ）に調整する。
【０１３５】
図２４に、位置決め搬送手段１８の構造を示す。図２４に示す位置決め搬送手段１８は、固定ガイドレール１１に沿って別途設けられたレールに沿ってＸ、Ｙ方向に前後移動が可能であり、図２４Ａに示す状態でばねによってＺ方向に付勢される搬送爪３０を有する。これにより、搬送用ハンガー１５を搬送する際には、まずＸ方向に移動する際にはばねが縮んで図２２に示す爪当接部３２上（図２４Ｂの状態）を通過した後、逆方向（図２４ＣのＹ方向）に移動して搬送爪３０が搬送用ハンガー１５の爪当接部３２を引掛けて、搬送用ハンガー１５を図２に示すＢ１方向に搬送する。このとき、位置決め搬送手段１８の移動速度は、直線搬送手段１９で搬送される前の搬送用ハンガー１５に追いつくように、直線搬送手段１９の移動速度（つまり、チェーンベルト３９の移動速度）よりも速いことが必要である。なお、剥離槽６側の位置決め搬送手段２３も、図２４に示す上記めっき槽２側の位置決め搬送手段１８と同様の構造および動作を行う。
【０１３６】
直線搬送手段１９、２４は、位置決め搬送手段１８、２３で前送りされた搬送用ハンガー１５を、所定の間隔を維持しつつ（図１の矢印Ｂ１およびＢ２の方向）へ搬送する。
【０１３７】
送り出し搬送手段２０、２５は、直線搬送手段１９、２４でそれぞれ（ｇ）、（ｏ）位置まで搬送された搬送用ハンガー１５を、それぞれ昇降ガイドレール１２、１０の（ｈ）、（ｆ）位置に送り出して移し換える（図１）。なお、送り出し搬送手段２０、２５の構造および動作は、図２４に示す位置決め搬送手段１８と同じである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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