(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＨＦ帯の信号を第１ポイントから第２ポイントへ伝達するための信号伝達媒体であって、第１ポイントとの間で信号の受け渡しを行う第１端部と、第２ポイントとの間で信号の受け渡しを行う第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とを繋ぐ可撓性の伝送線路部とを有し、
前記伝送線路部は、
リボン状のフレキシブルプリント基板の略中央部に形成され、前記第１端部および前記第２端部の信号線同士を導通させるストリップ導体と、
前記フレキシブルプリント基板から互いに１８０度異なる方向に略等間隔で平行に配備された一対の接地シートと、を含み、
前記一対の接地シートは、それぞれ絶縁性部材から成る可撓性スペーサで部分的に支持されており、
各接地シートと前記ストリップ導体との間が空洞であり、
前記第１端部と前記第２端部の少なくとも一方から、前記ストリップ導体と電気的に接続された信号プローブチップ、および、前記接地シートと電気的に接続された接地プローブチップが露出している、
信号伝送媒体。
【請求項２】
前記ストリップ導体の幅および前記一対の接地シートの空洞内の間隔が、それぞれ、前記ストリップ導体を伝送する信号の波長の１／４未満である、
請求項１記載の信号伝送媒体。
【請求項３】
前記第１端部と前記第２端部の少なくとも一方に、前記信号プローブチップおよび前記接地プローブチップに代えて、前記ストリップ導体を伝送する信号を他の種類の高周波信号伝送媒体へ導くための伝送媒体変換機構が設けられている、
請求項１又は２記載の信号伝送媒体。
【請求項４】
前記他の種類の高周波信号伝送媒体が導波管であり、
前記伝送媒体変換機構は、前記一対の接地シートが前記導波管の開口部と同じサイズに削除して形成されたシート開口部と、前記導波管のフランジとの取付部とを含んで構成されている、
請求項３記載の信号伝送媒体。
【請求項５】
ＥＨＦ帯の信号を第１ポイントから第２ポイントへ伝達するための信号伝達媒体であって、
リボン状のフレキシブルプリント基板の略中央部に形成され、前記第１端部および前記第２端部の信号線同士を導通させるストリップ導体と、
前記フレキシブルプリント基板から互いに１８０度異なる方向に略等間隔で平行に配備された一対の接地シートと、を含み、
前記一対の接地シートは、それぞれ絶縁性部材から成る可撓性スペーサで部分的に支持されており、
各接地シートと前記ストリップ導体との間が空洞であり、
前記ストリップ導体の幅および前記一対の接地シートの空洞内の間隔が、それぞれ、前記ストリップ導体を伝送する信号の波長の１／４未満である、
高周波信号伝送媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主としてＥＨＦ（Extremely High Frequency）帯（３０ＧＨｚ〜３０００ＧＨｚ）のような高周波信号を、２つの装置間で伝送するための信号伝送媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
有線による信号伝送では、装置間における信号の送受信が安定して行われる。信号の伝送速度は年々高速化しており、ＥＨＦ帯の高周波信号に対しても有線で伝送することが実用化されつつある。そのために、装置間で信号を伝送するために用いられる信号伝送媒体も、高速化に対応する必要がある。信号伝送媒体は、単純な２装置間の信号の伝送の他にも、例えば、ＥＨＦ帯の高周波信号を処理する半導体チップの特性評価において、被評価デバイスである半導体チップと測定器との間を接続する目的でも用いられる。
【０００３】
半導体チップの評価において高周波数信号を測定するための測定系は、例えば、測定ポートがフランジを有する導波管で構成される測定器と、信号伝送媒体とにより構成される。信号伝送媒体は、一端に評価デバイスに接触するプローブチップを備えたプローブヘッドを有し、他端に導波管のフランジに接続するためのコネクタを有する伝送線路部により構成される。伝送線路部には、同軸ケーブル、導波管、或いはストリップ線路等を用いることができる。
【０００４】
同軸ケーブルは、可撓性があり、取り回しが容易であるために、測定系を比較的自由に構成することができる。しかし、例えば１１０ＧＨｚの信号を伝送する場合、同軸ケーブルは、中心導体外径が０．４ｍｍ、外側導体内径が１ｍｍ以下のサイズとなる。加工精度上、このような同軸ケーブルの実現は困難である。そのために、現在、１１０ＧＨｚ以上で使用できる同軸ケーブルは存在しない。
導波管やストリップ線路は、高周波信号の伝送という点では同軸ケーブルよりも優れている。しかし導波管では、可撓性が無いために、測定系の構成に制限ができてしまい、測定系を自由に構成することができない。ストリップ線路では、誘電体が不可欠であるために誘電体によるロスが大きくなり、正確な測定が困難になる。
このように、現状、ＥＨＦ帯のような高周波信号を２つの装置間で伝送させる上で最適な信号伝送媒体は、市場に登場していない。
【０００５】
特許文献１、２は、上記のような測定系に用いられる従来の信号伝送媒体についての発明である。いずれも、高周波信号の伝送を目的としており、伝送線路部に、一端にプローブヘッドを有するストリップ線路を用いている。特許文献３は、伝送線路部に、一端にプローブヘッドを有する同軸ケーブルを用いている。
【０００６】
高周波信号の伝送に好適なストリップ線路として、サスペンデッド・ストリップ線路が提案されている。例えば、非特許文献１に紹介されているのが、それである。サスペンデッド・ストリップ線路は、高Ｑファクタ、広い帯域幅、温度に対する特性の安定性等の点で、従来のストリップ線路よりも優れているといわれている。しかし、非特許文献１に紹介されているサスペンデッド・ストリップ線路は、可撓性が無いために、測定系の構成に制限ができてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−１２２６０２号公報
【特許文献２】特開２００２−２９０１１５号公報
【特許文献３】特開２００１−３４９９０３号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】「Reviewing the Basic of Suspended Striplines」MicrowaveJournal 2002-10 Vol.45,No.10,ISSN 0192-6225
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記の問題に鑑み、可撓性を有しつつ高周波信号の伝送も可能な信号伝送媒体を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以上のような課題を解決する本発明の信号伝送媒体は、ＥＨＦ帯の信号を第１ポイントから第２ポイントへ伝達するための信号伝達媒体であって、第１ポイントとの間で信号の受け渡しを行う第１端部と、第２ポイントとの間で信号の受け渡しを行う第２端部と、前記第１端部と前記第２端部とを繋ぐ可撓性の伝送線路部とを有する。前記伝送線路部は、リボン状のフレキシブルプリント基板の略中央部に形成され、前記第１端部および前記第２端部の信号線同士を導通させるストリップ導体と、前記フレキシブルプリント基板から互いに１８０度異なる方向に略等間隔で平行に配備された一対の接地シートと、を含み、前記一対の接地シートは、それぞれ絶縁性部材から成る可撓性スペーサで部分的に支持されており、各接地シートと前記ストリップ導体との間に空洞が形成されている。前記第１端部と前記第２端部の少なくとも一方から、前記ストリップ導体と電気的に接続された信号プローブチップ、および、前記接地シートと電気的に接続された接地プローブチップが露出している。
【００１１】
本発明の信号伝送媒体の伝送線路部は、フレキシブルプリント基板、接地シート、及び可撓性スペーサを用いることで可撓性を有したものになる。また、接地シートとストリップ導体との間に空洞が形成されることで、この空洞内を電気力線が通ることになるために、高周波信号伝送時の誘電体損失に伴う伝送損失が抑制され、高効率の伝送が実現される。
本発明の信号伝送媒体は、例えば、前記ストリップ導体の幅および前記一対の接地シートの空洞内の間隔が、それぞれ、前記ストリップ導体を伝送する信号の波長の１／４未満に構成されると、高次モードの信号伝搬が抑制され、良好な特性のストリップ線路となる。
【００１２】
本発明の信号伝送媒体は、例えば、前記第１端部と前記第２端部の少なくとも一方に、前記信号プローブチップおよび前記接地プローブチップに代えて、前記ストリップ導体を伝送する信号を他の種類の高周波信号伝送媒体へ導くための伝送媒体変換機構が設けらた構成であってもよい。
この場合、例えば前記他の種類の高周波信号伝送媒体が導波管である場合に、前記伝送媒体変換機構が、前記一対の接地シートが前記導波管の開口部と同じサイズに削除して形成されたシート開口部と、前記導波管のフランジとの取付部とを含んで構成される。
【００１３】
本発明の高周波信号伝送媒体は、ＥＨＦ帯の信号を第１ポイントから第２ポイントへ伝達するための信号伝達媒体であって、リボン状のフレキシブルプリント基板の略中央部に形成され、前記第１端部および前記第２端部の信号線同士を導通させるストリップ導体と、前記フレキシブルプリント基板から互いに１８０度異なる方向に略等間隔で平行に配備された一対の接地シートと、を含み、前記一対の接地シートは、それぞれ絶縁性部材から成る可撓性スペーサで部分的に支持されており、各接地シートと前記ストリップ導体との間が空洞に形成されている。前記ストリップ導体の幅および前記一対の接地シートの空洞内の間隔が、それぞれ、前記ストリップ導体を伝送する信号の波長の１／４未満である。
このような構成の高周波信号伝送媒体は、可撓性を有しており、誘電体損失に伴う伝送損失が極めて小さく低損失となる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のような本発明の信号伝送媒体では、ストリップ導体がリボン状のフレキシブルプリント基板上に形成され、一対の接地シートが可撓性スペーサで部分的に支持されるために、可撓性を有しつつ高周波信号の伝送も可能になる。また、接地シートとストリップ導体との間が空洞に形成されているために、高周波信号伝送時の誘電体損失に伴う伝送損失が抑制され、高効率の伝送が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】被測定デバイスの特性評価を行うための測定系の全体構成図である。
【図２】一体型プローブの全体構成図である。
【図３】伝送線路部の断面図である。
【図４】導波管変換部の詳細な構成図である。
【図５】導波管変換部が測定器に接続さた状態を説明する図である。
【図６】伝送線路部とプローブ部との接続部分の拡大図である。
【図７】図６におけるＡ−Ａ断面図である。
【図８】図６におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図９】分図（ａ）、（ｂ）は、可撓性スペーサの製造方法の説明図である。
【図１０】分図（ａ）、（ｂ）は、ストリップ導体の製造方法の説明図である。
【図１１】分図（ａ）、（ｂ）は、ストリップ導体と可撓性スペーサとを接着して伝送線路部を製造する方法の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
この実施の形態では、プローブ部と導波管変換部とを有する信号伝送媒体の例を説明する。便宜上、このような信号伝送媒体を一体型プローブと呼ぶ。図１は、この一体型プローブを用いた、被測定デバイスの特性評価を行うための測定系の全体構成図である。
【００１７】
この測定系は、第１ポイントとなる測定器２に一体型プローブ１を接続し、プローブ微動装置３で一体型プローブ１を微動させつつ、試料台４上に配置された第２ポイントとなる被測定デバイス５の特性評価を行うためのものである。
一体型プローブ１は、高周波信号、例えばＥＨＦ帯の信号の伝送を可能とする可撓性のある伝送線路部１０を有しており、伝送線路部１０の一端には、測定器２との間で信号の受け渡しを行うための導波管変換部２０が形成されている。また、伝送線路部１０の他端には、被測定デバイス５との間で信号の受け渡しを行うためのプローブ部３０が形成されている。
【００１８】
測定器２は、例えば一体型プローブ１により伝送された高周波信号を所定のディスプレイに表示することで、信号の状態を視認可能に出力する。測定器２は、一体型プローブ１の導波管変換部２０が接続される測定ポートを備える。
高周波信号を受信するために測定ポートは導波管で構成されており、導波管のフランジに、導波管変換部２０が接続される。
【００１９】
プローブ微動装置３は、その先端に一体型プローブ１のプローブ部３０が取り付けられるプローブ支持部６を有している。プローブ微動装置３を操作することでプローブ支持部６が動作して、プローブ部３０の位置を微動させることができる。
【００２０】
被測定デバイス５は、例えば半導体チップであり、測定時にプローブ部３０が接触するためのプローブパッドが形成されている。この被測定デバイス５は、高周波信号、例えばＥＨＦ帯の信号の送受信が可能となっている。被測定デバイス５が載置される試料台４は、測定時に被測定デバイス５を試料台４上で固定するとともに、被測定デバイス５を最適な位置に移動させる。
プローブ微動装置３及び試料台４により、プローブ部３０と被測定デバイス５の位置が調整されて接触され、測定が行われる。
【００２１】
図２は、一体型プローブ１の全体構成図である。
一体型プローブ１は、上述の通り、伝送線路部１０、導波管変換部２０、プローブ部３０とを有するが、これらがそれぞれ分離して、測定時にのみ接続されるような構成であってもよい。但し、測定結果の安定性、測定系の構築のし易さを考慮すれば、一体型である方が便利である。
【００２２】
伝送線路部１０は、図３の断面図に示されるような構成のものである。すなわち、伝送線路部１０は、ストリップ導体１１と、一対の接地シート１２とを備えている。ストリップ導体１１は、リボン状のフレキシブルプリント基板１３の略中央部に形成された線状の導体である。ストリップ導体１１により、導波管変換部２０とプローブ部３０との信号線同士が導通する。一対の接地シート１２は、フレキシブルプリント基板１３から互いに１８０度異なる方向に略等間隔で平行に配備された導体シートである。
ストリップ導体１１及び一対の接地シート１２は、電気伝導度ができるだけ高い素材で構成された方がよく、また、そのために表面が平滑であることが望ましい。フレキシブルプリント基板１３は、誘電体損失が小さく、絶縁性が高く、屈曲性を有する素材、例えばポリイミド、テフロン（登録商標）、液晶ポリマー等の有機絶縁シート材が好ましい。
【００２３】
一対の接地シート１２は、絶縁性部材から成る可撓性スペーサ１４により部分的に支持されている。可撓性スペーサ１４により、ストリップ導体１１と接地シート１２との間には、空洞１５が形成される。可撓性スペーサ１４は、フレキシブルプリント基板１３と同様の素材により、可撓性をもつことができる。
このような構造にすることで、伝送線路部１０は、可撓性を持ったサスペンデッド・ストリップ線路になる。
【００２４】
空洞１５は、空気で満たされる。そのためにストリップ導体１１と接地シート１２との間は、誘電損失が空気中の値と等しくなり、実効比誘電率（εｒ）が約１．０、実効誘電損失（ｔａｎδ）が略０となる。
ストリップ導体１１が高周波信号を伝送するときには、ストリップ導体１１と接地シート１２との間に、断面に対して平行に電界が生じる。電気力線の殆どは空洞１５を通る。そのために、誘電体損失に伴う伝送損失が極めて小さくなり、低損失のストリップ線路が実現できる。
【００２５】
ストリップ導体１１の幅及び一対の接地シート１２の空洞１５内の間隔は、ストリップ導体１１を伝送する信号の波長の１／４未満であれば、高次モードの信号伝搬が抑制されて、良好な特性のストリップ線路となる。
【００２６】
例えば１００ＧＨｚの高周波信号を伝送する場合、空気中の信号の波長はλｏ＝３［ｍｍ］である。空洞１５は空気で満たされるために、ストリップ導体１１を伝送する信号の波長（λ）も空気中の波長と同じになる（λ＝λｏ／√εｒ：εｒ≒１）。
そのために、ストリップ導体の幅（ｗ）及び接地シート１２間の間隔（Ｂ）は、以下の式を満たせばよい。
ストリップ導体１１の幅（ｗ）＜λ／４＝０．７５［ｍｍ］
接地シート１２間の間隔（Ｂ）＜λ／４＝０．７５［ｍｍ］
【００２７】
可撓性スペーサ１４間の間隔（Ａ）が小さすぎる場合、空洞１５内の電界を引き込んで伝送モードに影響を与えることが考えられる。そのために可撓性スペーサ１４間の間隔（Ａ）は、電界に影響を与えない程度に大きい方がよい。好適には、以下の式を満たす構成がよい。
可撓性スペーサ１４間の間隔（Ａ）≧ｎλ
（ｎ：可撓性スペーサの誘電率により決まる定数）
【００２８】
伝送線路部１０は、高周波になるほどストリップ導体１１の幅を狭くでき、接地シート１２間の間隔を狭くできる。つまり、周波数が高くなるほど、伝送線路部１０は、薄く、小さく構成することができる。
【００２９】
図４は、導波管変換部２０の詳細な構成図である。
本実施形態において導波管変換部２０は、伝送線路部１０よりも幅が広く形成される。これは、測定器２の測定ポートの導波管の開口部と同じサイズに後述する開口部２１を形成し、導波管のフランジに接続しやすくするためである。伝送線路部１０の幅が、導波管の開口部のサイズよりも十分に大きく、フランジに接続しやすければ、導波管変換部２０を伝送線路部１０よりも幅広く形成する必要はない。
【００３０】
開口部２１は、上述の通り測定器２の測定ポートの導波管の開口部と同じサイズに形成される。開口部２１からは、ストリップ導体１１が露出するようになっており、接地シート１２及び可撓性スペーサ１４は削除される。開口部２１から露出するストリップ導体１１の長さ（ｈ）は、伝送する高周波信号の波長の略１／４に相当する。１００ＧＨｚの高周波信号を伝送する場合には、ｈ＝０．７５［ｍｍ］になる。さらに導波管変換部２０には、ネジ穴２２が設けられており、導波管変換部２２は、ネジによりフランジに締止される。
【００３１】
図５は、導波管変換部２０が測定器２の測定ポートの導波管２４に接続さた状態を説明する図である。導波管変換部２０は、測定ポートの導波管２４のフランジ２３と導波管終端器２５とに挟持され、ネジ２６により締止される。フランジ２３の導波管変換部２０側の面及び導波管終端器２５の導波管変換部２０側の面は、それぞれ導波管変換部２０の接地シート１２に電気的に接触する。
【００３２】
導波管終端器２５には、導波管２４の開口部と同じサイズの開口部２７が設けられている。導波管変換部２０の締止時には、導波管２４から導波管変換部２０の開口部２１を介して導波管終端器２５の開口部２７までが、一連の空洞になる。導波管終端器２５の開口部２７の底面から導波管変換部２０の開口部２１に露出したストリップ導体２１までの距離（ｄ）は、伝送する高周波信号の波長の略１／４になるようにする。１００ＧＨｚの高周波信号を伝送する場合には、ｄ＝０．７５［ｍｍ］になる。
【００３３】
このような構成により導波管変換部２０を導波管２４に接続することで、一体型プローブ１と測定器２との間で、効率よく信号が伝搬することができる。
【００３４】
図６は、伝送線路部１０とプローブ部３０との接続部分の拡大図である。
プローブ部３０は、伝送線路部１０上に誘電層３３を形成し、その上に信号プローブチップ３１及び２本の接地プローブチップ３２を設けた構成になっている。絶縁層３３により、信号プローブチップ３１及び２本の接地プローブチップ３２は伝送線路部１０の接地シート１２から分離される。伝送線路部１０のストリップ導体１１は、プローブ部３０部分ではテーパ状になっており、幅が信号プローブチップ３１の基端部分の幅と同程度になっている。また、プローブ部３０下の伝送線路部１０では、空洞１５が誘電体スペーサにより埋められる。
【００３５】
信号プローブチップ３１は、ストリップ導体１１に接続されている。図７は、図６のＡ−Ａ断面図であり、信号プローブチップ３１とストリップ導体１１との接続状態を表している。
信号プローブチップ３１は、基端側で信号ビア３４を介してストリップ導体１１に接続される。信号ビア３４は、誘電層３３、接地シート１２、誘電体スペーサ３６、及びフレキシブルプリント基板１３を貫通してストリップ導体１１に接続される。信号ビア３４を接地シート１２から分離するために、信号ビア３４と接地シート１２との間にも誘電層３３が形成される。
【００３６】
接地プローブチップ３２は、接地シート１２に接続されている。図８は、図６のＢ−Ｂ断面図であり、接地プローブチップ３２と接地シート１２との接続状態を表している。２本の接地プローブチップ３２は、同じように接地シート１２に接続される。
接地プローブチップ３２は、基端側で接地ビア３５を介して接地シート１２に接続される。接地ビア３５は、誘電層３３及び誘電体スペーサ３６を貫通して２つの接地シート１２に接続される。接地ビア３５は、ストリップ導体１１の位置からずれて配置されるので、接地ビア３５がストリップ導体１１に影響を与えることはない。
【００３７】
信号プローブチップ３１及び２本の接地プローブチップ３２の先端は、被測定デバイス５の表面に形成されたプローブパッドの配置に合致するように長さや間隔が調整される。
【００３８】
［製造方法］
次に、上記のように構成される一体型プローブ１の伝送線路部１０の製造方法を、図９〜１１により説明する。
【００３９】
図９（ａ）、（ｂ）は、可撓性スペーサ１４の製造方法を説明するための図面である。
まず、図９（ａ）にあるように、セパレータフィルム４１、接着シート４２、可撓性スペーサ１４になるポリイミド４３、接着シート４２、セパレータフィルム４１の順に積層して、２つの治具４０で挟み込むことにより、これらを仮接着する。接着シート４２には、例えばエポキシ系の接着剤が用いられ２５［μｍ］の厚みで形成される。セパレータフィルム４１は、治具４０と接着シート４２とが接着することを防止する目的で用いられ、可撓性スペーサ１４の製造後に除去される。
ポリイミド４３の厚さは、接地シート１２間の間隔Ｂとなるために、伝送線路部１０で伝送される信号の周波数に応じて決められる。
【００４０】
仮接着後、図９（ｂ）にあるように、一方の治具４０を取り除き、その取り除いた面にメタルマスク４４を配置する。メタルマスク４４側からレーザ光を照射することで、メタルマスク４４によりマスクされていない部分の、セパレータフィルム４１、接着シート４２、及びポリイミド４３を除去する。残ったポリイミド４３が可撓性スペーサ１４になる。メタルマスク４４による開口寸法が可撓性スペーサ１４間の間隔Ａを決めることになる。そのために、メタルマスク４４による開口寸法は、ポリイミド４３の誘電率及び伝送線路部１０で伝送される信号の周波数に応じて決められる。
セパレータフィルム４１、接着シート４２、及びポリイミド４３をレーザ除去加工した後、メタルマスク４４を取り除く。このようにして可撓性スペーサ１４が製造される。
【００４１】
図１０（ａ）、（ｂ）は、ストリップ導体１１の製造方法を説明するための図面である。
まず、図１０（ａ）にあるように、治具４５上に、金属製、例えば銅から成る金属シート４６、フレキシブルプリント基板１３になるポリイミド４７、金属シート４６の順に積層して、その上に、フォトレジストシート４９を積層圧着し、さらに、マスク４８を配置する。マスク４８の幅により、完成時のストリップ導体１１の幅が決まる。この状態で紫外線照射等のフォトリソグラフィ技術により、マスク４８で隠されている部分を残して、フォトレジストシート４９を現像除去する。さらに、現像除去されていないフォトレジスト４９を、金属シート４６を除去するためのエッチングマスクとして、フォトレジストシート４９で被覆されている部分を残して金属シート４６を除去する。ポリイミド４７の他方の面についても、フォトリソグラフィ技術による金属シート４６の除去を行う。これにより、図１０（ｂ）に示すように、ポリイミド４７の両面に、所定の幅の金属シート４６が形成される。このポリイミド４７の両面に残った金属シート４６が、ストリップ導体１１になる。
【００４２】
図１１（ａ）、（ｂ）は、ストリップ導体１１と可撓性スペーサ１４とを接着して伝送線路部１０を製造する方法を説明するための図面である。
まず、治具５０上に、接地シート１２になる金属製、例えば銅からなる金属シート５１を形成し、その上に図９（ｂ）で製造した可撓性スペーサ１４を接着させる。この際、接着シート４２により金属シート５１を接着させる。このような構成を２つ用意し、それらの間に図１０（ｂ）で製造したストリップ導体１１のフレキシブルプリント基板１３になるポリイミド４７を挟み込む。この際、接着シート４２によりポリイミド４７を接着させる。
このようにして、図１１（ａ）にあるように、図１０（ｂ）で製造したストリップ導体１１を図９（ｂ）で製造した２つの可撓性スペーサ１４で挟み、高温加圧接着する。
その後、図１１（ｂ）にあるように、治具５０を取り除き、必要に応じて外縁を切断、成形することで伝送線路部１０が完成する。完成した伝送線路部１０の一端に導波管変換部２０を取り付け、他端にプローブ部３０を取り付けることで、一体型プローブ１が製造される。
【００４３】
［変形例］
上記の説明において、被測定デバイス５からの出力を測定器２で測定する形態を採用しているが、被測定デバイス５に対してプローブ部３０により給電するような形態であってもよい。つまり、一体型プローブ１により、被測定デバイス５からの出力信号を測定器２に伝送する他に、信号発生器等からの入力信号を被測定デバイス５に入力するような構成であってもよい。
【００４４】
また、一体型プローブ１のプローブ部３０を導波管変換部２０に取り替えて、伝送線路部１０の両端を導波管変換部２０にしてもよい。
このような構成では、２つの導波管間を伝送線路部１０で接続することができる。導波管が一方の装置の入力ポートと他方の装置の出力ポートを構成するものであった場合、伝送線路部１０を介して、該２つの装置間で高周波信号の伝送が可能になる。
【００４５】
また、一体型プローブ１の導波管変換部２０をブローブヘッド３０に取り替えて、伝送線路部１０の両端をプローブ部３０にしてもよい。
このような構成では、ある部位と他の部位とをブローブヘッド３０で接続することで、２つの部位間で高周波信号の伝送が可能になる。
【００４６】
さらに、可撓性のある伝送線路部１０だけで、信号伝送媒体を構成してもよい。すなわち、導波管変換部２０およびプローブ部３０を無くし、図示しない種々のコネクタあるいは信号変換線路を接続するようにしてもよい。これにより、可撓性のある伝送線路部１０の特質を活かしつつ、高周波信号伝送の用途に対して、よりフレキシブルに対応することができる。
【００４７】
あるいは、ストリップ導体１１が複数形成されてもよい。例えば、ストリップ導体１１が２本の場合は、いわゆる差動信号を伝送する場合に適しており、１つのリボン状のフレキシブルプリント基板１３で高速差動信号伝送媒体を構成することもできる。
【符号の説明】
【００４８】
１…一体型プローブ、１０…伝送線路部、１１…ストリップ導体、１２…接地シート、１３…フレキシブルプリント基板、１４…可撓性スペーサ、１５…空洞、２０…導波管変換部、２１…開口部、２２…ネジ穴、２３…フランジ、２４…導波管、２５…導波管終端器、２６…ネジ、２７…開口部、３０…プローブ部、３１…信号プローブチップ、３２…接地プローブチップ、３３…誘電層、３４…信号ビア、３５…接地ビア、３６…誘電体スペーサ、２…測定器、３…プローブ微動装置、４…試料台、５…被測定デバイス、６…プローブ支持部、４０，４５，５０…治具、４１…セパレータフィルム、４２…接着シート、４３，４７…ポリイミド、４４…メタルマスク、４６，５１…金属シート、４８…マスク、４９…フォトレジストシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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