(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
上部と下部とは硬度が異なり、上部の硬度は下部の硬度より大きい、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項２】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
厚さ方向全体に渡って延在すると共に軸線方向全体に渡って延在するスリットが形成されている、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項３】
該スリットは半径方向に対して３０度乃至７０度の傾斜角度で傾斜せしめられている、請求項２記載の遮光部材。
【請求項４】
該スリットは内周面から外周面まで凸円弧形状に延在せしめられている、請求項２記載の遮光部材。
【請求項５】
該凸円弧形状は内周面の内径よりも大きい曲率半径を有する、請求項４記載の遮光部材。
【請求項６】
該スリットに対して直径方向反対側において、周方向に間隔をおいて外周面から突出する一対の把持片が形成されている、請求項２から５までのいずれかに記載の遮光部材。
【請求項７】
該スリットの周方向片側近傍から該スリットから遠ざかる方向に該スリットの他側近傍まで周方向に延びる弾性部材が埋設されている、請求項２から６までのいずれかに記載の遮光部材
【請求項８】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
下部には下端から上方に延びる円環状の切り目が少なくとも１個配設されている、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項９】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
下部には半径方向に延びる切り目が周方向に間隔をおいて複数個配設されている、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項１０】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
下端部には被検出部材が埋設されている、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項１１】
試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、
全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持され、
該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌される補助リングを含み、遮光部材の該上部の内周面には、該補助リングに対応した環状リンング収容溝が形成され、或いは下方を向いた環状肩面が形成され該環状肩面より上方の内径は該補助リングの外径よりも小さく該環状肩面より下方の内径は該補助リングの外径と同一乃至これより大きい、
ことを特徴とする遮光部材。
【請求項１２】
該補助リングは弾性材料から形成されており、該対物レンズ組立体の該外周面に軸線方向位置調整自在に被嵌される、請求項１１記載の遮光部材。
【請求項１３】
該対物レンズ組立対の該外周面に軸線方向に間隔をおいて被嵌される２個の補助リングを含む、請求項１１又は１２記載の遮光部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、それに限定されるものではないが特にラマン顕微鏡の如き微弱な光を検出する顕微鏡に好都合に適用することができる遮光部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ラマン顕微鏡においては、微弱なラマン散乱光を検出するために、周囲の光即ち環境光を遮断することが重要である。また、試料を照明するレーザー光が周囲に漏れることが充分に防止されることも重要である。そこで、従来は、下記特許文献１乃至３に開示されている如く、顕微鏡の少なくとも主要部を覆う金属薄板製カバー部材を配設し、その少なくとも一部を開閉自在に構成していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１１０４５号公報
【特許文献２】特開２００８−２６２０３１号公報
【特許文献３】特開２００９−９８２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
然るに、上記カバー部材は比較的高価である。加えて、ステージ上に被検査物即ち試料を載置する或いは試料をステージ上から取り出す際には、カバー部材の少なくとも一部を開閉動せしめることが必要であり、操作が煩雑であった。
【０００５】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、充分安価に製造することができるにも拘らず、環境光を充分に遮光することができ、そしてまたステージ上へ試料を載置する或いはステージ上から試料を取り出す際に特別な操作を加える必要がない、新規且つ改良された遮光部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者等は鋭意検討の結果、全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を対物レンズ組立体の外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持される形態を基本形態とし、かかる基本形態に種々の改良を加えた遮光部材によって、上記主たる技術的課題を達成することができることを見出した。
【０００７】
即ち、本発明によれば、上記主たる技術的課題を達成するための遮光部材として、試料が載置されるステージと該ステージに対向する対物レンズ組立体とを具備し、該対物レンズ組立体は円筒形状の外周面を有する顕微鏡に適用される遮光部材にして、全体として略円筒形状であり、少なくとも上部は円筒形状の内周面を有し、軟質重合体から形成されていて、上部を対物レンズ組立体の外周面に被嵌することによって該対物レンズ組立体に保持される形態を基本形態とし、（１）上部と下部とは硬度が異なり、上部の硬度は下部の硬度より大きい、（２）厚さ方向全体に渡って延在すると共に軸線方向全体に渡って延在するスリットが形成されている、（３）下部には下端から上方に延びる円環状の切り目が少なくとも１個配設されている、（４）下部には半径方向に延びる切り目が周方向に間隔をおいて複数個配設されている、（５）下端部には被検出部材が埋設されている、或いは（６）該対物レンズ組立体の該外周面に被嵌される補助リングを含み、遮光部材の該上部の内周面には、該補助リングに対応した環状リンング収容溝が形成され、或いは下方を向いた環状肩面が形成され該環状肩面より上方の内径は該補助リングの外径よりも小さく該環状肩面より下方の内径は該補助リングの外径と同一乃至これより大きい、ことを特徴とする遮光部材が提供される。
【０００８】
好ましくは、該スリットは半径方向に対して３０度乃至７０度の傾斜角度で傾斜せしめられている、或いは内周面から外周面まで凸円弧形状に延在せしめられているのが好都合である。該凸円弧形状は内周面の内径よりも大きい曲率半径を有するのが好適である。好ましくは、該スリットに対して直径方向反対側において、周方向に間隔をおいて外周面から突出する一対の把持片が形成されている。該スリットの周方向片側近傍から該スリットから遠ざかる方向に該スリットの他側近傍まで周方向に延びる弾性部材が埋設されているのが好都合である。好適実施形態においては、該補助リングは弾性材料から形成されており、該対物レンズ組立体の該外周面に軸線方向位置調整自在に被嵌される。該対物レンズ組立対の該外周面に軸線方向に間隔をおいて被嵌される２個の補助リングを含むのが好都である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の遮光部材によれば、安価に製造することができるにも拘らず、単に対物レンズ組立体の外周面には被嵌することによって環境光を充分に遮光することができる。ステ−ジ上に試料を載置する或いはステージ上から試料を取り出す際には、単にステージに対して対物レンズを離隔する方向に相対的に移動せしめればよく、対物レンズ組立体から遮光部材を離脱せしめる必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に従って構成された遮光部材が適用されるラマン顕微鏡の要部を示す部分断面図。
【図２】本発明に従って種々の改良が施される遮光部材の基本形態を示す斜面図。
【図３】図２に図示する遮光部材を図１に図示するラマン顕微鏡の対物レンズ組立体に適用した状態を示す部分断面図。
【図４】図３に図示する状態からステージを若干上昇せしめて、対物レンズ組立体に対して遮光部材を若干上方に変位せしめた状態を示す部分断面図。
【図５】図３に図示する状態からステージを若干上昇せしめて、遮光部材の下端部を若干弾性的に圧縮して状態を示す部分断面図。
【図６】本発明に従って構成された遮光部材の変形例を示す斜面図。
【図７】本発明に従って構成された遮光部材の他の変形例を示す斜面図。
【図８】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す斜面図。
【図９】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１０】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す斜面図。
【図１１】図１０に図示する遮光部材の平面図。
【図１２】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１３】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１４】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す底面図。
【図１５】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１６】図１５に図示する遮光部材の使用形態を示す斜面図。
【図１７】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１８】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図１９】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【図２０】本発明に従って構成された遮光部材の更に他の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本発明に従って構成された遮光部材の好適実施形態について、更に詳述する。
【００１２】
図１には、本発明に従って構成された遮光部材が適用されるラマン顕微鏡の要部が簡略に図示されている。図示のラマン顕微鏡は実質上水平に延在せしめられているステージ２を含んでいる。鋼板の如き適宜の金属板から形成することができるステージ２は、Ｘ方向（図１において左右方向）、Ｙ方向(図１において紙面に垂直な方向)及びＺ方向（図１において上下方向）に移動自在に装着されており、手動操作することができる移動機構(図示していない)によってＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向に適宜に移動せしめられる（所望ならば、ステージ２をＺ方向に移動せしめることに代えて或いはこれに加えて、後述する対物レンズ組立体１２をＺ方向に移動せしめることもできる）。ステージ２の中央部には上下方向に貫通する開口４が形成されている。ステージ２の下方には、コンデンサレンズ組立体６が昇降動自在に配設されており、手動操作することができる昇降動機構（図示していない）によって昇降動せしめられる。ステージ２の下面にはコンデンサレンズ組立体６を囲繞する適宜の遮光カバー８が配設されており、ステージ２の下面とコンデンサレンズ組立体６の周囲は環境光から遮光されている。ステージ２の上方には対物レンズレボルバー１０（図１にその一部のみを図示している）が配設されている。この対物レンズレボルバー１０には複数個の対物レンズ組立体１２（図１にはそのうちの１個のみを図示している）が装着されており、対物レンズレボルバー１０を回転せしめることによって所要の対物レンズ組立体１２がステージ２の開口４に対向して位置せしめられる。対物レンズ組立体１２の主部外周面は円筒形状であり、下端部外周面は逆円錐台形状である。ステージ２の上面には、例えば開口４を跨って延在する支持ガラス板１４が載置され、試料１６はこの支持ガラス板１４上に載置される。図示のラマン顕微鏡の上述したとおりの構成は当業者には周知のものであるので、その詳細な説明は本明細書においては省略する。
【００１３】
本発明に従って種々の改良が施される遮光部材の基本形態を図示している図２を参照して説明を続けると、図示の遮光部材１８は円筒形状であり、その内径ｄは上記対物レンズ組立体１２の主部外周面の外径Ｄに対応せしめられている。Ｄ−ｄは０乃至２ｍｍ（０ｍｍ≦Ｄ−ｄ≦２．０ｍｍ、特に０．５乃至１．５ｍｍ（０．５ｍｍ≦Ｄ−ｄ≦１．５ｍｍ）、であるのが好適である。遮光部材１８の高さｈは、図３に図示するとおり、被検出物１６を実際に検出する際に、遮光部材１８の下端面をステージ２の上面に接触せしめた時に対物レンズ組立体１２の主部外周面に遮光部材１８の上端部が係合せしめられている状態が確立されるのに適した長さであることが重要である。
【００１４】
上記遮光部材１８は軟質重合体から形成されており、充分な遮光性を有すると共に充分な弾性及び伸張性を有し、そしてまた充分に軽量であることが重要である。詳述すると、充分な遮光性を有するために、遮光部材１８における内周面から外周面への透過率は、ラマン顕微鏡に使用される３００乃至１０００ｎｍの波長領域の光の透過率が１％以下、特に１×１０−４％以下、であるのが好適である。透過率を低減するためには軟質重合体にカーボンブラックを混入して着色することが望ましい。充分な弾性及び伸張性の点から、遮光部材１８の反発弾性率（ＪＩＳＫ６２５５）は４０％以上、特に３０％以上、であり、圧縮永久歪率（ＪＩＳＫ６３０１）は４０％以下、特に３０％以下、であるのが好ましい。加えて、遮光部材１８は３０％以上、特に１００％以上、伸張せしめても破断しない材料から形成されていることが望ましい。また、遮光部材１８のアスカーＣ型硬度は１０乃至４０、特に２０乃至３０、であり、充分容易に手で変形することができることが望まれる。遮光部材１８は充分に軽量であり、後述するとおりにして対物レンズ組立体１２に被嵌された遮光部材１８が落下することなく対物レンズ組立体１２に保持されることが重要であり、遮光部材１８の比重は１以下、特に０．５以下であるのが好都合である。上述したとおりの諸特性を充足する好適軟質重合体としては、独立気泡スポンジ、特にカーボンブラックで着色されたクロロプレン系ゴムスポンジを挙げることができる。クロロプレン系ゴムスポンジＣ−４３０５は、独立気泡スポンジであり、カーボンブラックで着色されており、アスカーＣ型硬度が２５、比重が０．１９であり、１５０％伸張せしめた特に破断が開始し、厚さ１０ｍｍの場合の３００乃至１０００ｎｍの波長範囲の光の透過率が１×１０−５％以下であり、遮光部材１８の材料として好適に使用することができる。
【００１５】
図２に図示する遮光部材１８は、ステージ２を下降せしめて対物レンズ組立体１２の下端から充分に離隔せしめた後に、対物レンズ組立体１２の下端から上方に移動せしめ、半径方向に幾分伸張せしめて、図３に図示する如く、その上部を対物レンズ組立体１２の主部外周面に被嵌して使用することができる。遮光部材１８はそれ自身の弾性把持作用によって対物レンズ組立体１２に被嵌された状態に保持される。遮光部材１８の下端部は対物レンズ組立体１２の下端を越えて下方に延出していることが重要である。ステージ２を図３に図示する位置まで上昇せしめてステージ２の上面を遮光部材１８の下端面に当接せしめると、ステージ２の上面と共に支持ガラス板１４及び試料１６は、対物レンズ組立体１２と遮光部材１８によって囲繞され、環境光から遮断されると共に、試料１６に照射されるレーザー光が周囲に漏れることが充分確実に防止される。焦点整合等のためにステージ２を若干上昇せしめた場合、遮光部材１８の弾性把持力が比較的小さいときには、図４に図示する如く、対物レンズ組立体１２に対して遮光部材１８が上方に若干変位してステージ２の上昇が補償され、遮光部材１８の弾性把持力が比較的大きいときには、図５に図示する如く、遮光部材１８の下端部が若干弾性的に圧縮されてステージ２の上昇が補償される。ステージ２上に支持ガラス板１４及び試料１６を載置する際或いはステージ２上から支持ガラス１４及び試料１６を取り出す際には、単にステージ２を下降せしめて対物レンズ組立体１２及び遮光部材１８から離隔せしめるだけでよい。対物レンズ組立体１２から遮光部材１８を離脱せしめる必要はない。
【００１６】
図６乃至図２０は、上記基本形態に本発明に従って種々の改良が施された遮光部材の種々の実施形態を図示している。図２に図示する遮光部材１８はその全体が単一の軟質重合体から形成されているが、図６に図示する変形例においては上部１８ａと下部１８ｂとは異なった軟質重合体から形成されている。上部１８ａは硬度が比較的大きい軟質重合体から形成され下部１８ｂは硬度が比較的小さい軟質重合体から形成されている。対物レンズ組立体１２の外周面に被嵌される上部１８ａは比較的硬い故に、充分強固に対物レンズ組立体１２に装着することができ、他方下部１８ｂは比較的柔らかい故に、容易に弾性変形してステージ２、支持ガラス板１４或いは試料１６に確実に密着される。
【００１７】
図７に図示する変形例においては、厚さ方向全体に渡って延在すると共に高さ方向即ち軸線方向全体に渡って延在するスリット２０が形成されている。更に、スリット２０の周方向片側近傍からスリット２０から遠ざかる方向にスリット２０の他側近傍まで円弧状に延びる弾性部材２２が埋設されている。弾性部材２２の軸線方向長さは遮光部材１８の軸線方向長さと同一（従って、軸線方向においては遮光部材１８の全長に渡って弾性部材２２が存在する）或いはこれによりも短くてもよい。弾性部材２２は例えばバネ鋼薄板から形成することができる。かような遮光部材１８によれば、スリット２０の両側部を弾性的に離隔せしめてスリット２０を拡張することによって、対物レンズ組立体１２の下方からではなくて側方から遮光部材１８を対物レンズ組立体１２に被嵌せしめることができる（従って、遮光部材１８を対物レンズ組立体１２に被嵌する際にステージ２を下降せしめて対物レンズ組立体１２から離隔せしめる必要がない）。スリット２０を相当拡張せしめても、対物レンズ組立体１２に遮光部材１８を被嵌した後においては弾性部材２２の弾性作用によってスリット２０は充分確実に閉じられ、遮光部材１８は充分堅固に対物レンズ組立体１２に保持される。
【００１８】
図８に図示する変形例においては、スリット２０は半径方向に対して３０度乃至７０度であるのが好適である傾斜角度αをなして延びている。かような遮光部材１８によれば、対物レンズ組立体１２に遮光部材１８を被嵌した後にスリット２０が完全に閉じられることなく幾分かの間隙が生成された場合でも、生成された間隙は半径方向に対して傾斜して延在する故に、遮光作用が毀損されることがない。
【００１９】
図９に図示する変形例においては、スリット２０に対して直径方向反対側において、周方向に間隔をおいて外周面から突出する一対の把持片２４が一体に形成されている。かような遮光部材１８においては、一対の把持片２４を把持して相互に接近せしめる方向に強制することによって充分容易にスリット２０を拡張することができる。
【００２０】
図１０及び図１１に図示する変形例においては、スリット２０は内周面から外周面まで円弧形状に延在せしめられている。スリット２０の曲率半径φは内周面の半径ｒよりも大きく設定されている。スリット２０の両端部(図１１に符号Ｘで示す領域)においては軟質重合体が省略されており、破損し易い鋭い先端部の存在が回避されている。かような遮光部材１８においては、対物レンズ組立体１２の外径の変動に応じて遮光部材１８の内径が拡張されても、スリット２０に間隙が生成されることが可及的に回避される。
【００２１】
図１２に図示する変形例においては、遮光部材１８の上部内周面は円筒形状であるが、これよりも下方の内周面は下方に向かって内径が漸次増大する円錐台形状である。かような遮光部材１８によれば、試料１６或いは試料１６が載置されている支持ガラス板１４が対物レンズ組立体１２の主部外周面を超えて幾分張り出す形態のものであっても、遮光部材１８内に収容することができる。
【００２２】
図１３に図示する変形例においては、遮光部材１８の下部には下端から上方に延びる円環状の切れ目２６が同心状に３個形成されている。所望ならば、１個又は２個或いは４個以上の円環状切れ目を形成することもできる。かような遮光部材１８においては、試料１６或いは試料１６が載置されている支持ガラス板１４が対物レンズ組立体１２の主部外周面を超えて幾分張り出す形態のものである場合でも、遮光部材１８の下部が充分容易に半径方向外方に変位して試料１６或いは試料１６が載置されている支持ガラス板１４を覆うことができる。
【００２３】
図１４に図示する変形例においては、遮光部材１８の下部に同心状に３個の環状切れ目２６を形成することに加えて、半径方向に内周面から外周面まで延びる複数個(図示の場合は８個)の切れ目２８が周方向に等間隔をおいて配設されている。所望ならば、環状切れ目２６を省略して半径方向に延びる複数個の切れ目２８のみを配設することもできる。
【００２４】
図１５に図示する変形例においては、遮光部材１８の上部１８ａの内径ｄ１は対物レンズ組立体１２の外径Ｄに対応した寸法であるが、下部１８ｂの内径ｄ２は上部１８ａの内径ｄ１よりも相当大きく設定されている。かような遮光部材１８は、試料１６が比較的大きくて対物レンズ組立体１２の外周面を超えて延在する場合に好都合に使用することができる。図１６に図示する如く、試料１６が遮光部材１８の下部１８ｂの内周面を超えて長く延在する場合には、試料１６の形状に応じて遮光部材１８の下部１８ｂを適宜に切り欠いて試料１６が遮光部材１８を超えて延出するのを許容する切欠３０を形成することができる。
【００２５】
図１７に図示する変形例においては、遮光部材１８の下端部に、例えば円環状の永久磁石でよい被検出部材３２が埋設されている。一方、ステージ２には、近接スイッチから構成することができる検出器３４が１個乃至周方向に間隔を置いて複数個配設されている。かような変形例においては、図１１に図示する状態、即ち対物レンズ組立体１２に遮光部材１８が被嵌されていて、ステージ２の上面と共に支持ガラス板１４及び試料１６が対物レンズ組立体１８と遮光部材１８によって囲繞されて環境光から遮断された状態が確立されると、検出器３４が被検出部材３２を検知し、レーザー光によって試料１６を照射することが許容される態が確立されていることを示す信号が生成される。
【００２６】
図１８に図示する変形例においては、遮光部材１８には対物レンズ組立体１２の主部外周面に被嵌される補助リング３６が付設されている。補助リング３６はばね鋼の如き適宜の弾性材料から形成されており、対物レンズ組立体１２の主部外周面に弾性的に保持されると共に軸線方向に位置調整自在であるのが好都合である。遮光部材１８自体においては、その上部内周面に、上記補助リング３６の形状及び寸法に対応した環状リング収容溝３８が形成されている。図１８に図示する如く、遮光部材１８はそのリング収容溝３８内に補助リング３６を収容した状態にせしめて対物レンズ組立体１２に装着される。かような形態の遮光部材１８においては、対物レンズ組立体１２に対する補助リング３６の軸線方向位置を微細に調整することによって対物レンズ組立体１２に対する遮光部材１８の軸線方向位置を微細に設定することができる。例えば、試料のレーザー光照射部位を変更するために対物レンズ組立体１２に対してステージ２を図１８に置いて左右方向或いは紙面に垂直な方向に移動せしめる際に、薄い試料１６が遮光部材１８に接触して汚染されることを確実に回避するために、遮光部材１８の下端面を試料１６の上面よりも若干だけ上方に位置せしめることができる（かくしても遮光部材１８による遮光効果の阻害は比較的小さい）。
【００２７】
図１９に図示する遮光部材１８は、図１８に図示する遮光部材１８に代えて補助リング３６と共に使用することができる。図１９に図示する遮光部材１８においては、上部内周面に下方を向いた環状肩面４０が規定されており、環状肩面４０より上方の内径は補助リング３６の外径より大きくて対物レンズ組立体１２の主部外周面の外径に対応せしめられており、環状肩面４０より下方の内径は補助リング３６の外径と同一乃至これより幾分大きい。かような遮光部材１８は、その内周面に規定されている環状肩面４０を補助リング３６の環状上面に係止せしめることによって、対物レンズ組立体１２に装着される。対物レンズ組立体１２に対する補助リング３６の軸線方向位置を微細に調整することによって、対物レンズ組立体１２に対する遮光部材１８の軸線方向位置を微細に設定することができる。
【００２８】
図２０に図示する実施形態においては、対物レンズ組立体１２の主部外周面に軸線方向に間隔をおいて２個の補助リング３６が被嵌されている。上部内周面に環状肩面４０が使用される場合、例えば試料１６を交換する際には、図２０に図示する如く、遮光部材１８の環状肩面４０を上方に位置する補助リング３６の環状上面に係止せしめて対物レンズ組立体１２に遮光部材１８を装着し、遮光部材１８の下端面を対物レンズ組立体１２の下端面よりも上方に後退せしめることができ、試料１６にレーザー光を照射する際には、図２０に二点鎖線で図示する如く、遮光部材１８を下方に変位せしめてその環状肩面４０を下方に位置する補助リング３６の環状上面に係止せしめて対物レンズ組立体１２に遮光部材１８を装着し、遮光部材１８の下端面をステージ２の上面に当接せしめて環境光を所要とおりに遮光することができる。
【符号の説明】
【００２９】
２：ステージ
１２：対物レンズ組立体
１６：試料
１８：遮光部材
２０：スリット
２２：弾性部材
２４：把持片
２６：切れ目
２８：切れ目
３２：被検出部材
３６：補助リング
３８：環状リング収容溝
４０：環状肩面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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