(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車と、
物品に対して処理を行う物品処理装置に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部とが設けられ、
前記天井搬送車の走行経路が、前記物品授受部の上方を前記物品処理装置と前記物品授受部とが並ぶ並び方向と交差する経路長手方向に沿って設定され、
前記天井搬送車が、前記支持体の昇降により前記物品授受部の第１支持位置に物品を受け渡し自在で且つ前記支持体の昇降により前記物品授受部の第２支持位置から物品を受け取り自在に構成され、
前記第１支持位置及び前記第２支持位置と、前記物品処理装置が物品に対して処理を行う処理位置と、の間で物品を搬送する地上側搬送装置を備えて構成されている物品搬送設備であって、
前記第１支持位置の物品と前記第２支持位置の物品と前記処理位置の物品とが、平面視及び経路長手方向視の何れでも直線状に並ぶように、前記第１支持位置と前記第２支持位置と前記処理位置とが、前記並び方向に沿って並ぶ状態で前記物品授受部に設定され、
前記天井搬送車が、前記第１支持位置の直上と前記第２支持位置の直上とに前記並び方向に沿って前記支持体を移動操作する移動操作手段を備えて構成されている物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品授受部が、前記経路長手方向に沿って複数並設されている請求項１記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記並び方向において、前記処理位置と前記第２支持位置との間に前記第１支持位置が設定され、
前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御する制御手段が設けられ、
前記制御手段が、前記天井搬送車にて前記第１支持位置に物品を受け渡した後、当該物品を前記地上側搬送装置にて前記第１支持位置から前記処理位置に搬送するとともに前記天井搬送車にて前記第２支持位置の物品を受け取り、その後、前記処理位置での処理が終了した物品を前記地上側搬送装置にて前記処理位置から前記第２支持位置に搬送するべく、前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御するように構成されている請求項１又は２記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記地上側搬送装置が、物品の底面における一部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記処理位置と前記第１支持位置との間で物品を搬送自在な処理側搬送台と、物品の底面における前記処理側搬送台にて載置支持されない部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記第１支持位置と前記第２支持位置との間で物品を搬送自在な授受側搬送台とを備え、前記処理側搬送台と前記授受側搬送台とが相対的に昇降移動することで前記処理側搬送台と前記授受側搬送台との間で物品を受け渡し自在に構成されている請求項３記載の物品搬送設備。
【請求項５】
物品が、複数枚の基板を収納可能で且つ基板の出し入れ口を塞ぐ蓋が着脱自在に備えられている基板収納容器であって、
前記処理位置が、前記基板収納容器における蓋の開閉処理、及び、前記基板収納容器に対して基板を出し入れする出し入れ処理を行う位置である請求項１〜４のいずれか１項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車と、物品に対して処理を行う物品処理装置に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部とが設けられ、前記天井搬送車の走行経路が、前記物品授受部の上方を前記物品処理装置と前記物品授受部とが並ぶ並び方向と交差する経路長手方向に沿って設定され、前記天井搬送車が、前記支持体の昇降により前記物品授受部の第１支持位置に物品を受け渡し自在で且つ前記支持体の昇降により前記物品授受部の第２支持位置から物品を受け取り自在に構成され、前記第１支持位置及び前記第２支持位置と、前記物品処理装置が物品に対して処理を行う処理位置との間で物品を搬送する地上側搬送装置を備えて構成されている物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送設備の従来例として、第１支持位置と第２支持位置とを天井搬送車の走行方向に沿って並ぶ状態で物品授受部に設定し、天井搬送車が第１支持位置に対応する位置に停止した状態で第１支持位置に物品を受け渡し、天井搬送車が第２支持位置に対応する位置に停止した状態で第２支持位置から物品を受け取るように構成されたものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この従来の物品搬送設備では、物品授受部に第１支持位置と第２支持位置とが、天井搬送車の走行経路に沿って並ぶ状態で設けられており、天井搬送車が第１支持位置に対応する位置に停止させた状態で第１支持位置に物品を受け渡した後、天井搬送車を第２支持位置に対応する位置に走行させて、天井搬送車が第２支持位置に対応する位置に停止させた状態で第２支持位置から物品を受け取るようになっている。このようにして、従来の物品搬送設備では、天井搬送車にて物品授受部へ物品を受け渡した後、当該天井搬送車にて物品授受部から物品を受け取ることができるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２４４４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来の物品搬送設備では、第１支持位置と第２支持位置とが、天井搬送車の走行経路に沿って並ぶ状態で設けられているため、物品授受部が天井搬送車の走行経路に沿う経路長手方向に長いものとなっている。
そのため、例えば、経路長手方向に並設されている物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合等では、物品授受部も経路長手方向に複数並設する必要があるが、経路長手方向に長い物品授受部では設置スペースを確保し難いものとなっていた。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、天井搬送車にて物品授受部へ物品を受け渡した後、当該天井搬送車にて物品授受部から物品を受け取ることができながら、物品授受部の設置スペースを確保し易い物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる物品搬送設備は、天井側に配設された走行レールに案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在で且つ物品を支持する支持体を昇降自在に備えた天井搬送車と、物品に対して処理を行う物品処理装置に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部
とが設けられ、前記天井搬送車の走行経路が、前記物品授受部の上方を前記物品処理装置と前記物品授受部とが並ぶ並び方向と交差する経路長手方向に沿って設定され、前記天井搬送車が、前記支持体の昇降により前記物品授受部の第１支持位置に物品を受け渡し自在で且つ前記支持体の昇降により前記物品授受部の第２支持位置から物品を受け取り自在に構成され、前記第１支持位置及び前記第２支持位置と、前記物品処理装置が物品に対して処理を行う処理位置と、の間で物品を搬送する地上側搬送装置を備えて構成されているものであって、その第１特徴構成は、
前記第１支持位置の物品と前記第２支持位置の物品と前記処理位置の物品とが、平面視及び経路長手方向視の何れでも直線状に並ぶように、前記第１支持位置と前記第２支持位置と前記処理位置とが、前記並び方向に沿って並ぶ状態で前記物品授受部に設定され、前記天井搬送車が、前記第１支持位置の直上と前記第２支持位置の直上とに前記並び方向に沿って前記支持体を移動操作する移動操作手段を備えて構成されている点にある。
【０００８】
すなわち、天井搬送車に、第１支持位置の直上と第２支持位置の直上とに並び方向に沿って支持体を移動操作する移動操作手段を備えられているため、天井搬送車を物品授受部に対応する位置に停止させた状態で且つ支持部を移動操作手段にて第１支持位置の直上に移動させた状態で、支持部を昇降させることで、物品授受部の第１支持位置に物品を受け渡すことができ、また、天井搬送車を物品授受部に対応する位置に停止させた状態で且つ支持部を移動操作手段にて第２支持位置の真上に移動させた状態で、支持部を昇降させることで、物品支持部の第２支持位置から物品を受け取ることができる。このように、天井搬送車にて物品授受部へ物品を受け渡した後、当該天井搬送車にて物品授受部から物品を受け取ることができる。
【０００９】
そして、第１支持位置と第２支持位置と処理位置とが、物品処理装置と物品授受部とが並ぶ並び方向に沿って並ぶ状態で物品授受部に設定されており、この並び方向は、経路長手方向とは交差する経路横幅方向であるため、物品授受部の経路長手方向での長さを短くすることができる。
そのため、例えば、経路長手方向に並設されている物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合等では、物品授受部も経路長手方向に複数並設する必要があるが、物品授受部は経路長手方向に短くできるため、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなる。
【００１０】
本発明にかかる物品搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記物品授受部が、前記経路長手方向に沿って複数並設されている点にある。
【００１１】
すなわち、物品処理装置が経路長手方向に沿って複数並設されており、その複数の物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合、又は、物品処理装置に対して複数の物品授受部を設ける場合では、物品授受部を経路長手方向に沿って複数並設する必要があるが、物品授受部は経路長手方向に短くできるため、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなる。
【００１２】
本発明にかかる物品搬送設備の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成において、前記並び方向において、前記処理位置と前記第２支持位置との間に前記第１支持位置が設定され、前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御する制御手段が設けられ、前記制御手段が、前記天井搬送車にて前記第１支持位置に物品を受け渡した後、当該物品を前記地上側搬送装置にて前記第１支持位置から前記処理位置に搬送するとともに前記天井搬送車にて前記第２支持位置の物品を受け取り、その後、前記処理位置での処理が終了した物品を前記地上側搬送装置にて前記処理位置から前記第２支持位置に搬送するべく、前記天井搬送車及び前記地上側搬送装置の作動を制御するように構成されている点にある。
【００１３】
すなわち、並び方向において、処理位置と第２支持位置との間に第１支持位置が設定されているため、第２支持位置に物品が位置していたとしても、地上側搬送装置にて、物品を第１支持位置から処理位置に搬送することができる。つまり、天井搬送車が第１支持位置に物品を受け渡した後、天井搬送車が第２支持位置から物品を受け取る前に、地上側搬送装置は、第１支持位置の物品を処理位置に向けて搬送を開始することができる。よって、天井搬送車による物品の授受と地上側搬送装置による物品の搬送とを効率よく行うことができる。
【００１４】
本発明にかかる物品搬送設備の第４特徴構成は、第３特徴構成において、前記地上側搬送装置が、物品の底面における一部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記処理位置と前記第１支持位置との間で物品を搬送自在な処理側搬送台と、物品の底面における前記処理側搬送台にて載置支持されない部分を載置支持して前記並び方向に移動することで前記第１支持位置と前記第２支持位置との間で物品を搬送自在な授受側搬送台とを備え、前記処理側搬送台と前記授受側搬送台とが相対的に昇降移動することで前記処理側搬送台と前記授受側搬送台との間で物品を受け渡し自在に構成されている点にある。
【００１５】
すなわち、授受側搬送台にて物品を載置支持して当該物品を第２支持位置に位置させた状態で、天井搬送車から第１支持位置に受け渡された物品を処理側搬送台にて載置支持することができ、また、その物品を処理側搬送台にて処理位置に搬送することができる。
そして、天井搬送車が第２支持位置の物品を受け取った後、処理側搬送台にて物品を処理位置から第１支持位置に搬送させ、処理側搬送台及び授受側搬送台を第１支持位置に位置させた状態で授受側搬送台を処理側搬送台に対して相対的に上昇移動させることで、物品を処理側搬送台から授受側搬送台に受け渡し、授受側搬送台にて物品を第１支持位置から第２支持位置に搬送させることができる。
【００１６】
従って、物品を支持する台として、処理側搬送台と授受側搬送台とを設けるだけでよく、例えば、第１支持位置及び第２支持位置の夫々に物品を支持する固定支持台を設け、さらに、第１支持位置の固定支持台から処理位置に物品を搬送する搬送台及び処理位置から第２支持位置の固定支持台に物品を搬送する搬送台を設ける場合に比べて、地上側搬送装置の構成の簡素化を図ることができる。
【００１７】
本発明にかかる物品搬送設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、物品が、複数枚の基板を収納可能で且つ基板の出し入れ口を塞ぐ蓋が着脱自在に備えられている基板収納容器であって、前記処理位置が、前記基板収納容器における蓋の開閉処理、及び、前記基板収納容器に対して基板を出し入れする出し入れ処理を行う位置である点にある。
【００１８】
すなわち、天井搬送車にて物品授受部へ基板収納容器を受け渡した後、当該天井搬送車にて物品授受部から物品を受け取ることができ、また、物品授受部の経路長手方向での長さを短くすることができる。そのため、例えば、蓋の開閉処理や基板の出し入れ処理を行う物品処理装置を経路長手方向に並設し、その物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設ける場合等でも、物品授受部は経路長手方向に短くできるため、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】物品搬送設備の横側面図
【図２】天井搬送車が第１支持位置に物品を受け渡す状態を示す正面図
【図３】天井搬送車が第２支持位置から物品を受け取る状態を示す正面図
【図４】天井搬送車が保管棚との間で物品を授受する状態を示す正面図
【図５】物品の搬送作用側面図
【図６】物品の搬送作用平面図
【図７】別実施形態における天井搬送車が保管棚との間で物品を授受する状態を示す正面図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜図４に示すように、物品搬送設備には、天井側に配設された走行レール２に案内支持された状態で走行経路に沿って走行自在な天井搬送車１と、物品Ｗに対して処理を行う物品処置装置としての処理装置３に隣接する状態で床側に設けられた物品授受部としての容器授受部４と、天井に吊り下げ支持されて複数の物品Ｗを保管可能な保管棚５とが設けられている。
尚、走行経路に沿う方向を経路長手方向と称し、前後方向に直交する水平方向を経路横方向と称する場合がある。
【００２１】
図２に示すように、物品Ｗは、複数枚の基板８を収納可能で且つ基板８の出し入れ口を塞ぐ蓋１１が着脱自在に備えられている基板収納容器９であり、本実施形態では、基板８を半導体ウェハーとし、その半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を基板収納容器９としている。
【００２２】
基板収納容器９は、基板８を出し入れするための開口を備えたケーシング１０と、ケーシング１０の開口を閉じる着脱自在な蓋１１とを備えて構成されている。
そして、ケーシング１０の上面には、天井搬送車１の支持機構１８にて支持されるトップフランジ１２が形成され、ケーシング１０の底面には、容器授受部４に設けられた地上側搬送装置６の位置決め突起２５が係合する被係合部１３（図６参照）が備えられている。
【００２３】
処理装置３は、基板収納容器９における蓋１１の開閉処理、基板収納容器９に対する基板８の出し入れ処理、及び、取り出した基板８に対する加工や洗浄等の各種の処理を行うように構成されており、基板収納容器９及びそれから取り出された基板８に対して処理を行うように構成されている。この処理装置３には、図１に示すように、基板収納容器９を密着させた状態で蓋１１を開閉し且つ基板８を出し入れする処理口７が経路長手方向に並ぶ状態で複数設けられている。処理口７の夫々に対して容器授受部４が設けられており、容器授受部４は、経路長手方向に沿って複数並設されている。
【００２４】
〔天井搬送車〕
図２〜図４に示すように、天井搬送車１は、物品Ｗを支持する支持機構１８を昇降自在に備えており、支持機構１８の昇降により容器授受部４の第１支持位置Ｐ１に基板収納容器９を受け渡し自在で且つ支持機構１８の昇降により容器授受部４の第２支持位置Ｐ２から基板収納容器９を受け取り自在に構成されている。次に、この天井搬送車１について説明を加える。
図１に示すように、天井搬送車１は、走行レール２上を走行経路に沿って走行する走行部１５と、走行レール２の下方に位置するように走行部１５に吊り下げ支持され且つ基板収納容器９を昇降移動自在に支持する本体部１６とを備えて構成されている。
【００２５】
天井搬送車１の本体部１６には、物品Ｗを支持する支持部としての支持機構１８と、支持機構１８を昇降移動させる昇降操作機構１９と、昇降操作機構１９及び支持機構１８を走行部１５の真下の引退位置及び走行部１５に対して経路横幅方向にずらした突出位置にスライド移動させる移動操作手段としてのスライド操作機構２０と、支持機構１８にて支持された基板収納容器９の上方側及び経路前後側を覆うカバー体２１とを備えて構成されている。
【００２６】
支持機構１８には、横軸心周りに揺動自在な一対の把持爪１８ａが備えられており、一対の把持爪１８ａは、把持爪１８ａの姿勢を基板収納容器９のトップフランジ１２を把持する把持姿勢とトップフランジ１２に対する把持を解除する解除姿勢とに姿勢変更自在に構成されている。
昇降操作機構１９は、先端部に支持機構１８を連結支持した巻き取りベルト１９ａを巻取り及び繰出し自在に構成されており、巻き取りベルト１９ａを巻き取り及び繰り出し操作することで、支持機構１８及びそれに支持された基板収納容器９を昇降移動させるように構成されている。
【００２７】
図２〜図４に示すように、スライド操作機構２０は、昇降操作機構１９を連結支持する支持体２０ａを経路横幅方向に沿ってスライド移動自在に構成されており、支持体２０ａを経路横幅方向にスライド移動させることで、支持機構１８及びそれに支持された基板収納容器９が走行レール２の直下で且つ第１支持位置Ｐ１の直上に位置する引退位置（図２参照）と、支持機構１８及びそれに支持された基板収納容器９を走行レール２に対して経路横幅方向の一方側に位置して第２支持位置Ｐ２の直上に位置する突出位置（図３及び図４参照）とに移動自在に構成されている。このようにスライド操作機構２０は、第１支持位置Ｐ１の直上と第２支持位置Ｐ２の直上とに経路横幅方向に沿って支持機構１８を移動操作するように構成されている。
【００２８】
天井搬送車１の走行経路は、容器授受部４の上方を処理装置３と容器授受部４とが並ぶ経路横幅方向（並び方向）と交差する経路長手方向に沿って設定されており、天井搬送車１の走行経路（走行レール２）は、容器授受部４における第１支持位置Ｐ１の真上に位置している。ちなみに、天井搬送車１が走行移動するときは、巻き取りベルト１９ａが巻き取られ且つ支持体２０ａを引退位置にスライド移動させた走行用状態となっている。また、走行用状態において、基板収納容器９を搬送するときは基板収納容器９を把持するべく把持爪１８ａが把持姿勢になっており、基板収納容器９を搬送しないときは把持爪１８ａが解除姿勢になっている。
【００２９】
図２に示すように、天井搬送車１の作動は制御手段としての制御装置Ｈにて制御されており、制御装置Ｈは、基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１に受け渡す受渡処理と、基板収納容器９を第２支持位置Ｐ２から受け取る受取処理とを実行するべく、天井搬送車１の作動を制御するように構成されている。
受渡処理では、図２に示すように、基板収納容器９を支持する天井搬送車１を容器授受部４に対応する停止位置に停止させた状態で、巻き取りベルト１９ａの繰り出した後に把持爪１８ａの解除姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１に受け渡し、その後、巻き取りベルト１９ａを巻き取る。
また、受取処理では、図３に示すように、基板収納容器９を支持しない天井搬送車１を容器授受部４に対応する停止位置に停止させた状態で、支持体２０ａを突出位置にスライド移動させ、巻き取りベルト１９ａを繰り出した後に把持爪１８ａを把持姿勢に姿勢変更させて、基板収納容器９を第２支持位置Ｐ２から受け取り、その後、巻き取りベルト１９ａを巻き取り、支持体２０ａを引退位置にスライド移動させる。
【００３０】
また、制御装置Ｈは、基板収納容器９を保管棚５に入れる保管処理と、基板収納容器９を保管棚５から取り出す取出処理とを実行するべく、天井搬送車１の作動を制御するように構成されている。取出処理は、図４に示すように、天井搬送車１を保管棚５の収納位置に対応する停止位置に停止させた状態で行われる点、及び、巻き取りベルト１９ａの繰り出し及び巻き取り量が異なる点以外は受取処理と同様である。また、保管処理は、取出処理を逆の手順で実行することで行われる。
尚、容器授受部４と保管棚５とは、経路長手方向で異なる位置に設けられている。また、容器授受部４における第２支持位置Ｐ２と保管棚５における基板収納容器９を支持する位置とは、走行レール２に対して経路横幅方向で同じ側で且つ同じ距離に設定されている。
【００３１】
〔容器授受部〕
図２〜図４に示すように、容器授受部４は、処理装置３に隣接する状態で床側に設けられている。容器授受部４には、天井搬送車１から基板収納容器９を受け取る第１支持位置Ｐ１と、天井搬送車１に基板収納容器９を受け渡す第２支持位置Ｐ２と、処理装置３が基板収納容器９に対して処理を行う処理位置Ｐ３とが設定されている。これら第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２と処理位置Ｐ３とは、経路横幅方向に沿って一直線上に並ぶ状態で容器授受部４に設定されており、処理位置Ｐ３と第２支持位置Ｐ２との間に第１支持位置Ｐ１が設定されている。また、基板収納容器９を処理位置Ｐ３に位置させた状態で、処理装置３が当該基板収納容器９の蓋１１を開閉し且つ基板収納容器９に対して基板８を出し入れするようになっており、処理位置Ｐ３が開閉処理と出し入れ処理を行う位置となっている。
【００３２】
そして、第１支持位置Ｐ１と処理位置Ｐ３とは、これらに位置する基板収納容器９が経路横幅方向で重複するように設定されており、このように第１支持位置Ｐ１と処理位置Ｐ３とを設定することで、容器授受部４の経路横幅方向での大きさのコンパクト化が図られている。
また、第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２とは、これらに位置する基板収納容器９が経路横幅方向で重複しないように設定されており、第２支持位置Ｐ２に別の基板収納容器９が載置支持されている状態で、天井搬送車１から第１支持位置Ｐ１に基板収納容器９を受け取り自在に構成されている。
【００３３】
そして、容器授受部４には、第１支持位置Ｐ１及び第２支持位置Ｐ２と処理位置Ｐ３との間で基板収納容器９を搬送する地上側搬送装置６が備えられている。
この地上側搬送装置６は、基板収納容器９の底面における一部分を載置支持して経路横幅方向に移動することで処理位置Ｐ３と第１支持位置Ｐ１との間で基板収納容器９を搬送自在な処理側搬送台２３と、基板収納容器９の底面における処理側搬送台２３にて載置支持されない部分を載置支持して経路横幅方向に移動することで第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２との間で基板収納容器９を搬送自在な授受側搬送台２４とを備え、処理側搬送台２３と授受側搬送台２４とが相対的に昇降移動することで処理側搬送台２３と授受側搬送台２４との間で基板収納容器９を受け渡し自在に構成されている。
【００３４】
地上側搬送装置６について説明を加えると、図６に示すように、処理側搬送台２３は、矩形状から一部が切り欠かれた形状に形成されており、授受側搬送台２４は、処理側搬送台２３及び授受側搬送台２４が第１支持位置Ｐ１に位置している状態において、処理側搬送台２３の切り欠きに収まる形状に形成されている。これにより、授受側搬送台２４は、基板収納容器９の底面における処理側搬送台２３にて載置支持されない部分を載置支持できるように構成されている。
また、処理側搬送台２３における切り欠きの周囲部、及び、授受側搬送台２４の外周縁部の夫々には、基板収納容器９の被係合部１３に係合するキネマティックピンである位置決め突起２５が３箇所に備えられており、３箇所の位置決め突起２５が基板収納容器９の被係合部１３に係合することで各搬送台２３，２４上の規定位置に位置決めされるように構成されている。
【００３５】
図５及び図６に示すように、地上側搬送装置６は、処理側搬送台２３を第１支持位置Ｐ１と処理位置Ｐ３とに水平移動自在に備えて、処理側搬送台２３を第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に移動させることで、処理側搬送台２３に載置支持された基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に搬送し、処理側搬送台２３を処理位置Ｐ３から第１支持位置Ｐ１に移動させることで、処理側搬送台２３に載置支持された基板収納容器９を処理位置Ｐ３から第１支持位置Ｐ１に搬送するように構成されている。
【００３６】
また、地上側搬送装置６は、授受側搬送台２４を第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２とに水平移動自在に備えて、授受側搬送台２４を第１支持位置Ｐ１から第２支持位置Ｐ２に移動させることで、授受側搬送台２４に載置支持された基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１から第２支持位置Ｐ２に搬送するように構成されている。
【００３７】
そして、授受側搬送台２４は昇降移動自在に構成されており、処理側搬送台２３及び授受側搬送台２４が第１支持位置Ｐ１に位置する状態で、授受側搬送台２４を処理側搬送台２３に対して上昇移動させることで、処理側搬送台２３から授受側搬送台２４に基板収納容器９を受け渡すように構成されている。
つまり、地上側搬送装置６は、処理側搬送台２３にて基板収納容器９を処理位置Ｐ３から第１支持位置Ｐ１に搬送した後、授受側搬送台２４を上昇移動させて処理側搬送台２３から授受側搬送台２４に基板収納容器９を受け渡し、その後、授受側搬送台２４にて基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１から第２支持位置Ｐ２に搬送するようにして、基板収納容器９を処理位置Ｐ３から第２支持位置Ｐ２に搬送するように構成されている。
【００３８】
図２に示すように、制御装置Ｈは、天井搬送車１の作動に加えて、地上側搬送装置６の作動を制御するように構成されており、図５に示すように、天井搬送車１にて第１支持位置Ｐ１に基板収納容器９を受け渡した後、当該基板収納容器９を地上側搬送装置６にて第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に搬送するとともに天井搬送車１にて第２支持位置Ｐ２の基板収納容器９を受け取り、その後、処理位置Ｐ３での処理が終了した基板収納容器９を地上側搬送装置６にて処理位置Ｐ３から第２支持位置Ｐ２に搬送するべく、天井搬送車１及び地上側搬送装置６の作動を制御するように構成されている。
【００３９】
次に、容器授受部４の第２支持位置Ｐ２に位置する授受側搬送台２４に基板収納容器９が支持されている状態において、天井搬送車１が容器授受部４との間で基板収納容器９を授受する場合について、制御装置Ｈによる天井搬送車１及び地上側搬送装置６の作動の制御について説明を加える。
【００４０】
まず、図５（ａ）に示すように、受渡処理を実行して、天井搬送車１から第１支持位置Ｐ１に位置する処理側搬送台２３上に基板収納容器９を受け渡す。その後、図５（ｂ）に示すように、続けて受取処理を実行して、天井搬送車１が第２支持位置Ｐ２に位置する授受側搬送台２４上の基板収納容器９を受け取る。
【００４１】
そして、処理側搬送台２３上に基板収納容器９を受け渡した後の受渡処理の実行中（巻き取りベルト１９ａの巻き取り中）、又は、その後の受取処理の実行中に、図５（ｂ）及び図６（ｂ）に示すように、処理側搬送台２３を移動させて基板収納容器９を第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に移動させる。
処理装置３による基板収納容器９に対する処理が完了した後、図５（ｃ）（ｄ）及び図６（ｃ）（ｄ）に示すように、処理側搬送台２３及び授受側搬送台２４を移動させて、基板収納容器９を処理位置Ｐ３から第２支持位置Ｐ２に移動させる。
【００４２】
このように、天井搬送車１に、第１支持位置Ｐ１の直上と第２支持位置Ｐ２の直上とに経路横幅方向に沿って支持機構１８を移動操作するスライド操作機構２０を備え、第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２と処理位置Ｐ３とを、経路横幅方向に沿って並ぶ状態で容器授受部４に設定することで、天井搬送車１にて容器授受部４へ基板収納容器９を受け渡した後、当該天井搬送車１にて容器授受部４から基板収納容器９を受け取ることができながら、処理装置３の経路長手方向での大きさが小さい場合でも容器授受部４の設置スペースを確保し易いものとなっている。
【００４３】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、保管棚５を、走行レール２に対して第２支持位置Ｐ２と経路横幅方向で同じ側に設けたが、図７に示すように、保管棚５を、走行レール２に対して第２支持位置Ｐ２と経路横幅方向で異なる側に設けてもよく、また、第２支持位置Ｐ２と経路横幅方向で同じ側と異なる側との両側に設けてもよい。
この場合、スライド操作機構２０を、引退位置と突出位置とに加えて、支持機構１８及びそれに支持された基板収納容器９を走行レール２に対して経路横幅方向の他方側に位置する他方側突出位置に支持体２０ａを移動自在に構成する。
また、保管棚５を、天井搬送車１による物品Ｗの搬送及び地上側搬送装置６による物品Ｗの搬送の邪魔にならないように、走行レール２の直下で且つ物品授受部の直上に設けてもよい。
【００４４】
（２）上記実施形態では、地上側搬送装置６を、第１支持位置Ｐ１と処理位置Ｐ３とに移動自在な処理側搬送台２３と第１支持位置Ｐ１と第２支持位置Ｐ２とに移動自在な授受側搬送台２４とを備えて構成したが、地上側搬送装置６は、第２支持位置Ｐ２に位置する物品Ｗを支持する支持台（上記実施形態では授受側搬送台２４）と、第２支持位置Ｐ２に物品Ｗが存在する状態で第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に物品Ｗを搬送自在で且つ第１支持位置Ｐ１及び第２支持位置Ｐ２のいずれにも物品Ｗが存在しない状態で処理位置Ｐ３から第２支持位置Ｐ２に物品Ｗを搬送自在に構成された搬送機構（上記実施形態では処理側搬送台２３と授受側搬送台２４とで構成）を備えていればよい。
具体例を挙げると、例えば、地上側搬送装置６を、物品Ｗを載置支持する固定支持台を第２支持位置Ｐ２に設け、物品Ｗを第１支持位置Ｐ１から処理位置Ｐ３に搬送自在で且つ処理位置Ｐ３から固定支持台上に受渡自在な搬送台を設けて構成してもよい。
【００４５】
（３）上記実施形態では、走行レール２を、第１支持位置Ｐ１の直上に設けたが、走行レール２を、第２支持位置Ｐ２の直上に設けてもよい。また、走行レール２を、第１支持位置Ｐ１の直上と第２支持位置Ｐ２の直上との夫々に設けて平行して２経路設けてもよい。
【００４６】
（４）上記実施形態では、処理位置Ｐ３と第２支持位置Ｐ２との間に第１支持位置Ｐ１を設定したが、処理位置Ｐ３と第１支持位置Ｐ１とを経路横幅方向に離間した状態で設定し、これら処理位置Ｐ３と第１支持位置Ｐ１との間に第２支持位置Ｐ２を設定してもよい。
【００４７】
（５）上記実施形態では、物品処理装置に対して複数の物品授受部を設けることで、物品授受部を経路長手方向に沿って複数並設したが、物品処理装置を経路長手方向に沿って複数並設し、その複数の物品処理装置の夫々に対して物品授受部を設けることで、物品授受部を経路長手方向に沿って複数設置してもよい。
また、物品授受部を経路長手方向に沿って複数並設したが、物品授受部を経路長手方向に分散させた状態で複数設置してもよい。尚、単体の物品授受部を設置する場合において、物品授受部の設置が物品処理装置の税路長手方向の幅内に限られている場合でも、物品授受部の設置スペースを確保し易いものとなっている。
【符号の説明】
【００４８】
１    天井搬送車
２    走行レール
３    物品処理装置
４    物品授受部
８    基板
９    基板収納容器
１１    蓋
１８    支持部
２０    移動操作手段
２３    処理側搬送台
２４    授受側搬送台
Ｐ１  第１支持位置
Ｐ２  第２支持位置
Ｐ３  処理位置
Ｗ    物品
【図１】
0005713202.tif 000002
【図２】
0005713202.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005713202.tif 000005
【図５】
0005713202.tif 000006
【図６】
0005713202.tif 000007
【図７】
0005713202.tif 000008