(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、
屈曲された屈曲部と、前記素子基板が配される面に接着される接着部と、樹脂からなる基材と、前記基材に積層され前記エネルギー発生素子に電気的に接続される、前記屈曲部の稜線を跨いで延在する電気配線と、を備えたフレキシブル配線基板と、
を有する液体吐出ヘッドであって、
前記フレキシブル配線基板は、前記基材に積層され前記接着部にかかるように前記稜線を跨いで配された、前記エネルギー発生素子に電気的に接続されていない第１の金属層と、前記稜線に沿って配された、前記エネルギー発生素子に電気的に接続されていない第２の金属層と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記第１の金属層のうち、前記接着部にかかる部分は、前記屈曲部の近傍で途切れていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１の金属層は、前記稜線に沿う方向に関して複数配されていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
複数の前記第１の金属層が配される領域における前記金属層の配設密度は、前記稜線を跨ぐ前記電気配線が配される領域のうちの、前記電気配線の配設密度が最も小さい領域における該配設密度と等しい、または該配設密度より大きいことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして代表的なインクジェット記録ヘッドとしては、特許文献１に記載された構成が知られている。
【０００３】
特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドにおいては、記録素子基板にフレキシブル配線基板が接続されており、フレキシブル配線基板を介してインクを吐出するための電気信号や電力が記録素子基板に供給される。また、フレキシブル配線基板の端部には、外部から電気信号を受け取る電気コンタクト基板が接続されている。記録素子基板と電気コンタクト基板とは、インク供給ユニットの異なる面に接合されているため、それらを接続するフレキシブル配線基板は屈曲された屈曲部を有している（特許文献１の図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−０７６４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のフレキシブル配線基板に設けられた、記録素子基板と電気コンタクト基板とを電気的に接続する配線は、屈曲部の稜線を跨るように、屈曲部の全域にわたって配されている。フレキシブル配線基板は樹脂のフィルムを含む構成であるので、屈曲された部分は、フィルムの反力によってもとの形状に戻りやすい。フレキシブル配線の屈曲部に配線が配された領域では、配線の塑性変形によって、フレキシブル配線基板の屈曲状態を維持しやすい。
【０００６】
しかしながら、フレキシブル配線基板の屈曲部に、配線が配されていない部分が連続する領域がある構成を採用する場合がある。この場合、配線が配されていない屈曲部の領域ではフィルムの反力によってフレキシブル配線基板の屈曲状態を維持しにくいため、その屈曲の曲率半径が大きくなり、インク供給ユニットから外側へ張り出してしまう恐れがある。また、フレキシブル配線基板がインクジェット記録ヘッド本体に接着されている場合、配線が配されていない部分が連続する領域では、屈曲状態からもとに戻ろうとする反力が大きいため、この反力によってフレキシブル配線基板が剥がれて浮きあがる恐れがある。これにより、インクジェット記録ヘッドの走査時に、フレキシブル配線基板がインクジェット記録装置内部の部品や記録用紙と接触してこれらを損傷してしまう恐れがある。
【０００７】
そこで、本発明は、液体吐出ヘッドに用いられるフレキシブル配線基板の屈曲部の外側への張り出しや接着部の浮き上がりの恐れを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、屈曲された屈曲部と、前記素子基板が配される面に接着される接着部と、樹脂からなる基材と、前記基材に積層され前記エネルギー発生素子に電気的に接続される、前記屈曲部の稜線を跨いで延在する電気配線と、を備えたフレキシブル配線基板と、を有する液体吐出ヘッドであって、前記フレキシブル配線基板は、前記基材に積層され前記接着部にかかるように前記稜線を跨いで配された、前記エネルギー発生素子に電気的に接続されていない第１の金属層と、前記稜線に沿って配された、前記エネルギー発生素子に電気的に接続されていない第２の金属層と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明では、フレキシブル配線基板の屈曲部の稜線を跨いで配された金属層の塑性変形を利用して、フレキシブル配線基板が屈曲状態からもとに戻ろうとする反力を低減し、屈曲状態を維持することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、液体吐出ヘッドに用いられるフレキシブル配線基板の屈曲部の張り出しや接着部の浮き上がりの恐れを低減できるので、信頼性の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。
【図２】図１のインクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図３】記録素子ユニットを示す分解斜視図である。
【図４】本発明に係る第１の実施形態のフレキシブル配線基板を示す上面図である。
【図５】本発明に係る第２の実施形態のフレキシブル配線基板を示す上面図である。
【図６】本発明に係る第３の実施形態のフレキシブル配線基板を示す上面図である。
【図７】フレキシブル配線基板の屈曲部を説明するための図であり、（ａ）は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの部分断面図、（ｂ）は比較例のインクジェット記録ヘッドの部分断面図である。
【図８】フレキシブル配線基板の層構成を説明するための部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（液体吐出ヘッド）
図１から図３は、本発明に係る実施形態としてのインクジェット記録ヘッド１を説明するための図面である。図１は、インクジェット記録ヘッド１の斜視図である。図２は、インクジェット記録ヘッド１の分解斜視図である。図３は、図２に示す記録素子ユニット１０の分解斜視図である。以下、これらの図面を参照して説明する。
【００１３】
図１に示されるインクジェット記録ヘッド１は、図２に示すように、記録素子ユニット１０とインク供給ユニット２０とを有している。図３に示すように、記録素子ユニット１０は、記録素子基板１１、第１のプレート１２、第２のプレート１３、フレキシブル配線基板１４、電気コンタクト基板１５を有している。インク供給ユニット２０は、記録素子ユニット１０にインクを供給するためのユニットである。
【００１４】
記録素子基板１１は、例えばシリコン基板と吐出口プレートとで構成される。シリコン基板には、インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としての複数の記録素子（不図示）が配置されており、各記録素子に電力を供給するＡｌ等の配線が成膜技術により形成されている。吐出口プレートには、複数の記録素子に対応して、流路とインクを吐出する吐出口とがフォトリソグラフィ技術により形成されている。シリコン基板には、流路を介して吐出口に連通するように、吐出口にインクを供給するための供給口（不図示）が複数形成されている。
【００１５】
二枚の記録素子基板１１は、記録素子基板１１の供給口が第１のプレート１２に形成された複数の供給口１６にそれぞれ連通し、かつ第１のプレート１２に対して精度よく位置決めされた上で接着固定される。第１のプレート１２の材料としては、例えば酸化アルミニウムなどが用いられる。記録素子基板１１の枚数やサイズ等は、本実施形態で説明した二枚の構成に限られるものではなく、用途によって使い分ければよい。
【００１６】
第２のプレート１３は、フレキシブル配線基板１４が接着されるプレートであり、例えばセラミックスで形成されている。また、第２のプレート１３は、第１のプレート１２に接着される。これにより、フレキシブル配線基板１４と記録素子基板１１との電気接続を行う際に、それぞれの高さを合わせて平面上で電気接続できるようになっている。
【００１７】
フレキシブル配線基板１４は、記録素子基板１１に対してインクを吐出するための電気信号を印加する電気信号経路を形成する部材である。フレキシブル配線基板１４には、記録素子基板１１に対応する開口部１４ａが形成されている。開口部１４ａからその内部へ突出するインナーリードは、この開口部１４ａ内に収められた記録素子基板１１の電気接続部と電気的に接続される。フレキシブル配線基板１４の端部には、インクジェット記録装置本体からの電気信号を受けとる外部信号入力端子を有するリジッド基板である電気コンタクト基板１５が電気的に接続されている。本実施形態では、配線基板はフレキシブル配線基板１４と電気コンタクト基板１５といった別体の配線基板で構成されているが、フレキシブル配線基板１４に外部信号入力端子を設けた構成であってもよい。
【００１８】
（第１の実施形態）
次に、本発明に係る第１の実施形態のフレキシブル配線基板について説明する。図４は、第１の実施形態のフレキシブル配線基板１４を説明するための上面図であり、フレキシブル配線基板１４内に配された配線を点線で示している。また、図４では、後述する本配線とダミー配線との配置を説明するために、フレキシブル配線基板１４のテープ基材４０１を透視して、一部の配線を実線で示している。
【００１９】
図８は、図１のＡ−Ａ断面における、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３との一部を示す部分断面図である。図８を参照して、フレキシブル配線基板１４の構成について詳細に説明する。本実施形態のフレキシブル配線基板１４は、例えばＴＡＢテープであり、絶縁部材であるテープ基材４０１上に銅箔の配線４０４が積層されている。テープ基材４０１と配線４０４とは、第１の接着材４０３で接合され、さらに第２の接着材４０５によってカバーフィルム４０２が接合されている。フレキシブル配線基板１４は、カバーフィルム４０２側が接着材１７によって第２のプレート１３に接着される。ここで、テープ基材４０１とカバーフィルム４０２とは樹脂材料からなり、例えば、テープ基材４０１にはポリイミド樹脂、カバーフィルム４０２にはアラミド樹脂が用いられる。なお、フレキシブル配線基板１４の材料や構成は特に上記のものに限定されない。
【００２０】
フレキシブル配線基板１４は、第２のプレート１３上から第１のプレート１２の一側面側に折り曲げられており、フレキシブル配線基板１４の端部に接続された電気コンタクト基板１５がインク供給ユニット２０の一面に固定される（図１参照）。第２のプレート上に配される部分は、第２のプレート１３に対して接着された接着部１４ｄである（図３参照）。図３の破線で囲った領域が、フレキシブル配線基板１４の折り曲げられた部分である屈曲部１４ｂである。また、図３の一点鎖線で示す直線は、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃである。第２のプレート１３に対して接着される接着部１４ｄは、屈曲部１４ｂに隣接して設けられる。
【００２１】
フレキシブル配線基板１４を屈曲する際には、屈曲部１４ｂの最終的な曲率半径よりも小さく屈曲させた後に、再度屈曲させてその曲率半径を調節することが望ましい。一度小さく屈曲させて配線４０４を塑性変形させ、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂに曲げぐせをつけることで、屈曲部１４ｂが外側へ張り出す恐れを低減している。
【００２２】
図７は、図１に示すＢ−Ｂ断面における、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂを含むインクジェット記録ヘッド１の部分断面図である。図７（ａ）は、本実施形態の電気配線４０４ａ（以下、「本配線」と称す）が配されている領域における屈曲部１４ｂを含む部分断面図を示す。また、図７（ｂ）は、比較例のフレキシブル配線基板の、本配線４０４ａが配されていない領域における屈曲部１４ｂを含む部分断面図を示す。ここで、本配線４０４ａとは、フレキシブル配線基板に設けられた、記録素子基板と電気コンタクト基板とを電気的に接続する配線４０４を示す。また、フレキシブル配線基板の本配線４０４ａが配されていない領域は、本配線４０４ａが配されていない部分が連続している領域であるので、該領域における本配線４０４ａが配設される密度は０である。すなわち、本配線４０４ａが配されていない領域では、本配線４０４ａが配された領域と比べて、本配線４０４ａが配設される密度が小さい。
【００２３】
図７（ｂ）に示すように、本配線４０４ａが配されていない領域で、テープ基材やカバーフィルムの反力によりフレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂが外側へ張り出したりする恐れがある。また、フレキシブル配線基板１４の接着部１４ｄが剥がれて浮きあがったりする恐れがある。
【００２４】
そこで、図４（ａ）に示すように、本実施形態では、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂにおいて、記録素子基板１１の記録素子に電気的に接続される本配線４０４ａが配されていない領域に、銅箔等の金属層としてのダミー配線４０４ｂが形成されている。すなわち、ダミー配線４０４ｂは屈曲部１４ｂの稜線１４ｃを跨いで配されることになる。ここで、ダミー配線４０４ｂは、記録素子に電気的に接続されていない金属層を指す。
【００２５】
これにより、ダミー配線４０４ｂの塑性変形を利用して、屈曲部１４ａにおける屈曲状態を維持しやすくすることができる。したがって、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂが外側へ張り出したり、接着されたフレキシブル配線基板１４が剥がされたりする恐れを低減できる。これにより、フレキシブル配線基板１４がインクジェット記録装置内部の部品に接触して損傷する恐れを低減することができる。また、フレキシブル配線基板１４が損傷されると、その損傷部からインクが侵入し、記録素子基板１１とフレキシブル配線基板１４との電気接続部にインクが付着してしまう恐れがあった。本実施形態の構成によると、フレキシブル配線基板１４の損傷の恐れを低減できるので、損傷部からのインク侵入の恐れを低減することができる。さらに、インクジェット記録ヘッド１の製造時においても、フレキシブル配線基板１４を屈曲させて屈曲部１４ｂを形成する際に、フレキシブル配線基板１４に曲げぐせをつけやすくなるので、その製造も容易に行うことが可能となる。
【００２６】
なお、図４（ａ）は、配線４０４の配設方向に関するフレキシブル配線基板１４の中央部にダミー配線４０４ｂが配され、そのダミー配線４０４ｂの領域の両側に、本配線４０４ａが配される構成であった。しかし、本配線４０４ａ及びダミー配線４０４ｂの配される位置はこれに限定されるものではなく、図４（ｂ）に示すように、フレキシブル配線基板１４の中央部に本配線４０４ａが配され、その両側にダミー配線４０４ｂが配される構成であってもよい。
【００２７】
また、図４（ｃ）は、図３等に示した、２枚の記録素子基板１１に対応してフレキシブル配線基板１４の開口１４ａが２つ設けられた場合の、フレキシブル配線基板１４の上面図を示す。
【００２８】
本実施形態においては、図４のようにフレキシブル配線基板１４を上面図で示すと、屈曲部１４ｂにおいて、本配線４０４ａ及びダミー配線４０４ｂは屈曲部１４ｂの稜線１４ｃに対して垂直に交差するように設けられている。ダミー配線４０４ｂが屈曲部１４ｂの稜線１４ｃを跨いで配されていればフレキシブル配線基板１４に曲げぐせを付けることができるが、このように稜線に対して配線が垂直に交差する構成は、曲げぐせをより付けやすいという点で好ましいものである。
【００２９】
また、本実施形態においては、ダミー配線４０４ｂを複数配設した構成であったが、本配線が配されていない領域全体を覆うように広い面積を有するダミー配線を例えば一つ設けた構成であってもよい。
【００３０】
なお、屈曲部１４ｂの、本配線４０４ａが配設される領域における本配線４０４ａの配設密度と、ダミー配線４０４ｂが配設される領域におけるダミー配線４０４ｂの配設密度と、が同程度であることが望ましい。これにより、屈曲部１４ｂにおいて、本配線４０４ａが配設された領域とダミー配線４０４ｂが配設された領域とで、フレキシブル配線基板１４の厚みを略一定とすることができ、フレキシブル配線基板１４を屈曲部１４ｂで一様に屈曲させられるためである。
【００３１】
また、同様に接着部１４ｄにおいても、本配線４０４ａが配設される領域における本配線４０４ａの配設密度と、ダミー配線４０４ｂが配設される領域におけるダミー配線４０４ｂの配設密度と、が同程度であることが望ましい。これにより、接着部１４ｄにおいて、フレキシブル配線基板１４の厚みを略一定とすることができるので、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３とを確実に接着することができるためである。なお、本配線４０４ａの配設密度が、本配線４０４ａが配設される領域内で一様でない場合がある。この場合には、ダミー配線４０４ｂの配設密度を、本配線４０４ａが配された領域のうちの、本配線４０４ａの配設密度が最も小さい領域における配設密度と等しい、またはこの配設密度より大きくすることが好ましい。これにより、フレキシブル配線基板１４の厚みを、屈曲部１４ｂや接着部１４ｄにおいて、本配線４０４ａの配設密度とダミー配線４０４ｂの配設密度とをできる限り等しくし、フレキシブル配線基板１４の厚みを略一定にすることができるためである。
【００３２】
（第２の実施形態）
図５は、本発明に係る第２の実施形態としてのフレキシブル配線基板１４を説明するための上面図であり、フレキシブル配線基板１４内に配された配線を点線で示している。また、図５では、本配線とダミー配線との配置を説明するために、フレキシブル配線基板１４のテープ基材４０１を透視して、一部の配線を実線で示している。
【００３３】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂにおいて、記録素子基板１１の記録素子に電気的に接続される本配線４０４ａが配されていない領域にダミー配線４０４ｂが形成された構成となっている。これにより、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂにおける屈曲状態を維持しやすくすることができ、外側へ張り出しや接着部の浮き上がりの恐れを低減することができる。
【００３４】
更に、本実施形態は、フレキシブル配線基板１４の、第２のプレート１３と接着される接着部１４ｄに、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃを跨ぐように形成されたダミー配線４０４ｂとは繋がらない、別のダミー配線４０４ｃ（別の金属層）が形成されている。
【００３５】
フレキシブル配線基板１４は屈曲部１４ｂに形成された配線４０４の塑性変形により屈曲された状態を維持するが、テープ基材４０１やカバーフィルムが屈曲状態からもとに戻ろうとする反力は依然として生じている。本実施形態は、ダミー配線４０４ｂと接着部１４ｄに配されるダミー配線４０４ｃとが繋がらない構成としている。ダミー配線４０４ｂが屈曲部１４ｂの近傍で途切れているので、テープ基材４０１等の反力によって接着部１４ｄのうちの屈曲部１４ｂ近傍の部分が第２のプレート１３から万一剥がれてしまったとしても、接着部１４ｄ全体にその反力が伝わりにくい。ダミー配線４０４ｂが、屈曲部１４ｂから接着部１４ｄにかかり、屈曲部１４ｂの近傍で途切れずに繋がっている（第１の実施形態）と、ダミー配線４０４ｂの剛性により、万一の部分的な剥がれが接着部１４ｄ全体に広がる恐れがあるからである。この様に本実施形態は、万一の部分的な剥がれを屈曲部１４ｂの近傍で留めやすくし、接着部１４ｄ全体が第２のプレート１３から剥がれる恐れを一層低減することができるので好ましい。
【００３６】
また、上述のフレキシブル配線基板１４の剥がれの観点からは、ダミー配線４０４ｂが屈曲部１４ｂの近傍で途切れており、ダミー配線４０４ｃが配されていない構成、すなわち、屈曲部１４ｂの近傍にダミー配線４０４ｂが配されるだけの構成であってもよい。本実施形態のように、接着部１４ｄにダミー配線４０４ｃを配することで、フレキシブル配線基板１４の接着部１４ｄの厚みを略一定にすることができる。これにより、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３とを確実に接着することが可能となるので、本実施形態の構成がより好ましい。
【００３７】
また、本実施形態では、ダミー配線４０４ｂの一部が、第２のプレート１３に接着される接着部にかかる構成となっている。このように、接着部１４ｄのうちの屈曲部１４ｄの近傍の部分でダミー配線４０４ｂが途切れ、更に屈曲されたダミー配線４０４ｂが屈曲部１４ｂから接着部１４ｄにかかる構成とすることで、フレキシブル配線基板１４の屈曲状態を一層維持しやすくなる。
【００３８】
更に、ダミー配線の途切れている部分の距離、すなわちダミー配線４０４ｂとダミー配線４０４ｃとの間隔を、複数の配線４０４の配設方向に関する配線４０４間の間隔程度とし、フレキシブル配線基板１４の厚みをできる限り一様にすることが望ましい。
【００３９】
ダミー配線は、本配線４０４ａと異なり、フレキシブル配線基板１４内における配置の自由度が高い。このため、本実施形態のように、屈曲部１４ｂにかかるダミー配線と繋がらない別のダミー配線４０４ｃを配することが可能となる。
【００４０】
なお、図５では、ダミー配線４０４ｃの配設方向は、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃに交差する方向であったが、この方向は特に限定されるものではない。
【００４１】
（第３の実施形態）
図６は、本発明に係る第３の実施形態としてのフレキシブル配線基板１４を説明するための上面図であり、フレキシブル配線基板１４内に配された配線を点線で示している。また、図６では、本配線とダミー配線との配置を説明するために、フレキシブル配線基板１４のテープ基材４０１を透視して、一部の配線を実線で示している。
【００４２】
本実施形態においても、上述の実施形態と同様に、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂにおいて、記録素子基板１１の記録素子に電気的に接続される本配線４０４ａが配されていない領域に、ダミー配線４０４ｂが形成された構成となっている。これにより、フレキシブル配線基板１４の屈曲部１４ｂにおける屈曲状態を維持しやすくすることができ、外側へ張り出しや接着部の浮き上がりの恐れを低減することができる。
【００４３】
また、第２の実施形態と同様に、フレキシブル配線基板１４の、第２のプレート１３との接着部１４ｄにおいて、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃを跨ぐように形成されたダミー配線４０４ｂとは繋がらないダミー配線４０４ｃが形成されている。これにより、フレキシブル配線基板１４が第２のプレート１３から剥離する恐れを低減できる。
【００４４】
更に、本実施形態においては、フレキシブル配線基板１４の接着部１４ｄに配されるダミー配線４０４ｃは、ダミー配線４０４ｂと交差する方向に沿って配されている。
【００４５】
ここで、上述したフレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３との密着性について、図８を用いて説明する。フレキシブル配線基板１４の断面における配線４０４が配された部分の厚みｔ１は、フレキシブル配線基板１４の断面における配線４０４が配されておらず、接着材のみが埋まっている部分の厚みｔ２よりも大きい。なお、図８は説明のために厚みの差を誇張して示している。
【００４６】
そのため、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３とを接着させた場合に、配線４０４が配されている部分に対応するカバーフィルム４０２は、確実に第２のプレート１３と接着される。しかし、配線４０４が配されていない部分では、フレキシブル配線基板１４の厚みが小さいために、第２のプレートと接着するための接着材１７の不足やその硬化収縮により、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３との間に隙間Ｇが生じる可能性がある。
【００４７】
ここで、ダミー配線４０４ｃが、ダミー配線４０４ｂと同様に、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃと交差する方向に配されると、上述したフレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３との隙間は、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃに交差する方向に生じることとなる。一方、上述した様に、屈曲部１４ｂの反力によって屈曲部１４ｂの近傍においてフレキシブル配線基板１４が第２のプレート１３から剥離してしまい、その剥離した部分からインクが侵入することがある。この場合、記録素子基板１１に向かう方向に隙間が形成されているために、インクが隙間を通って記録素子基板１１とフレキシブル配線基板１４との電気接続部に付着してしまう恐れがある。
【００４８】
本実施形態では、ダミー配線４０４ｃを、屈曲部１４ｂの稜線１４ｃに沿って配設した構成としている。このような構成とすることで、フレキシブル配線基板１４と第２のプレート１３との間に万一隙間が生じたとしても、この隙間は屈曲部１４ｂの稜線１４ｃに沿って設けられるので、インクが隙間を通って記録素子基板１１に向かう恐れを低減できる。したがって、屈曲部１４ｂの近傍でフレキシブル配線基板１４が第２のプレート１３から万一剥離してしまった場合にも、上述した隙間を通って記録素子基板１１の電気接続部にインクが付着する恐れを低減することができる。
【００４９】
なお、上述の実施形態においては配線４０４を形成する材料を銅としたが、材料は特にこれに限定されず、金やアルミであってもよい。また、本配線とダミー配線とが異なる材料で形成されていてもよい。本配線４０４ａとダミー配線４０４ｂとを同じ材料を用いて形成すると、フレキシブル配線基板１４の製造時の、本配線を形成する工程中に、ダミー配線４０４ｂも一緒に形成することができるのでより好ましい。
【符号の説明】
【００５０】
１  インクジェット記録ヘッド
１１  記録素子基板（素子基板）
１４  フレキシブル配線基板
１４ｂ  屈曲部
１４ｃ  屈曲部の稜線
４０４ａ  本配線（電気配線）
４０４ｂ  ダミー配線（金属層）
【図１】
0005713633.tif 000002
【図２】
0005713633.tif 000003
【図３】
0005713633.tif 000004
【図４】
0005713633.tif 000005
【図５】
0005713633.tif 000006
【図６】
0005713633.tif 000007
【図７】
0005713633.tif 000008
【図８】
0005713633.tif 000009