(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口面に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在される変形可能なシールガスケットとを備えた基板収納容器であって、
容器本体の開口面内周と蓋体のいずれか一方に、シールガスケット用の取付溝を形成するとともに、他方には、シールガスケットに接触するシール形成面を形成し、
シールガスケットは、取付溝に嵌められる基体と、この基体から突出する延出片と、この延出片の先端部から曲がりながら伸びてシール形成面に接触する第一のシール片と、延出片の先端部以外の部分から突出する第二のシール片とを含み、この第二のシール片を延出片に略直交させてシール形成面に隣り合って続いているシール用の隣接面に接触させるようにし、開口面に蓋体が嵌め合わされた容器本体の内部圧力が増大した場合に、シール用の隣接面に第二のシール片を強く接触させるようにしたことを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
容器本体と蓋体のいずれかに、気体を置換する給排バルブを取り付け、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその正面の周縁部を断面略Ｚ字形に屈曲させ、この周縁部内周の段差肩面をシール形成面とするとともに、このシール形成面に隣り合って続いている容器本体の後方の周壁内面をシール用の隣接面とし、
容器本体の背面に対向する蓋体の対向面周縁部に取付溝をエンドレスに形成した請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
シールガスケットの延出片に、第二のシール片に隣接する柔軟性付与溝を形成し、この柔軟性付与溝により、第二のシール片の柔軟性を向上させるようにした請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
シールガスケットの第二のシール片を基体方向に曲げ、この第二のシール片の先端部を基体方向に指向させるとともに、第二のシール片の中央部付近を第一のシール片方向に向けるようにした請求項１、２、又は３記載の基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板等からなる基板の収納、保管、搬送、輸送に使用される基板収納容器に関し、特にシール構造の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来における基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを上下に並べて整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在されてシールする弾性変形可能なシールガスケットとを備え、表面に電子回路が形成される途中の半導体ウェーハを一時的に保管したり、工場の工程間を搬送されたり、あるいは航空機等で輸送される（特許文献１、２、３、４、５参照）。
【０００３】
容器本体は、所定の成形材料によりフロントオープンボックスに成形され、底板に、容器本体の内部の気体を空気から窒素ガス等の不活性ガスやドライエアに置換する複数の給排バルブが装着されており、この複数の給排バルブの給排作用により、半導体ウェーハ表面の酸化や腐食等の変質が防止される。
【０００４】
容器本体の開口した正面は、その周縁部が断面略Ｚ字形に屈曲形成されて外側に張り出し、この周縁部内周の段差肩面に、シールガスケット用のシール形成面が形成されている。また、蓋体は、容器本体の開口した正面に対応する正面矩形に形成され、周縁部にシールガスケット用の取付溝が周設されている。
【０００５】
シールガスケットは、蓋体の取付溝に嵌入される枠形の基体と、この基体から突出して取付溝の内面に圧接される嵌合突起と、基体に形成されて取付溝から突出するシール片とを備え、これら基体、嵌合突起、及びシール片が所定の成形材料により一体形成されている。このシールガスケットは、基板収納容器の外部から内部にパーティクル等が流入するのを確実に防止する観点から、シール片が容器本体の外側に湾曲しながら伸長して容器本体のシール形成面に密接し、基板収納容器の内部にパーティクル等が流入するのを防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２‐６８３６４号公報
【特許文献２】特開２００９‐２７２３７１号公報
【特許文献３】特開２０１０‐１２９７６５号公報
【特許文献４】特開２００９‐１７０５９１号公報
【特許文献５】特許第４２０１５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来における基板収納容器は、以上のように構成され、容器本体内に対するパーティクル等の流入を防止するのを主眼にシールガスケットが形成されているので、以下に示す問題がある。
先ず、容器本体の外側にシールガスケットのシール片が湾曲しながら伸びるので、容器本体内にパーティクル等が流入するのを有効に防ぐことができるものの、容器本体の内部圧力が増大すると、シール片の先端部が変形して容器本体内の気体が漏れ易くなることがある。
【０００８】
この場合に、基板収納容器内の空気を不活性ガスに置換しようとすると、内部圧力の増大と共に、不活性ガスが短時間で外部に漏洩することがあるので、気体の置換作業が遅延し、作業の効率化を図ることができないという問題が生じる。具体的には、基板収納容器内の酸素濃度や水分量が所定の値まで低下するのに長時間を要し、作業効率が悪化することとなる。この弊害を解消すべく、基板収納容器の気体の置換が不完全なままで運用しようとすると、半導体ウェーハが変質して製品の歩留まりが低下してしまうという問題が新たに生じるおそれがある。
【０００９】
また、基板収納容器が航空機で輸送される場合、航空機の高度の影響により外部の気圧が低下すると、この低下に伴い、基板収納容器の内部圧力が相対的に高まり、基板収納容器内の気体が漏出するおそれがある。このとき、航空機が着陸すると、基板収納容器の内圧が外圧よりも低下して減圧状態となり、容器本体に蓋体がシールガスケットを介して吸着してしまい、蓋体の取り外しが困難になる。
【００１０】
さらに、従来における基板収納容器は、容器本体のシール形成面にシールガスケットの長いシール片が強く密接して一定のシール性を確保するが、容器本体から蓋体が取り外される際、シール形成面にシール片がそのまま貼り付くことがある。このシール片の貼り付きは、シールガスケットの材質にも左右されるが、シール形成面に対するシール片の圧接が主な原因である。シール形成面にシール片が貼り付くと、蓋体の取り外しに支障を来たし、その結果、半導体ウェーハの加工や処理の中断を招くという問題が生じる。
【００１１】
本発明は上記に鑑みなされたもので、気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができ、しかも、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にして基板を円滑に加工等することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口面に嵌め合わされる蓋体と、これら容器本体と蓋体との間に介在される変形可能なシールガスケットとを備えたものであって、
容器本体の開口面内周と蓋体のいずれか一方に、シールガスケット用の取付溝を形成するとともに、他方には、シールガスケットに接触するシール形成面を形成し、
シールガスケットは、取付溝に嵌められる基体と、この基体から突出する延出片と、この延出片の先端部から曲がりながら伸びてシール形成面に接触する第一のシール片と、延出片の先端部以外の部分から突出する第二のシール片とを含み、この第二のシール片を延出片に略直交させてシール形成面に隣り合って続いているシール用の隣接面に接触させるようにし、開口面に蓋体が嵌め合わされた容器本体の内部圧力が増大した場合に、シール用の隣接面に第二のシール片を強く接触させるようにしたことを特徴としている。
【００１３】
なお、容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構を備えることができる。
また、容器本体と蓋体のいずれかに、気体を置換する給排バルブを取り付け、容器本体を正面の開口したフロントオープンボックスに形成してその正面の周縁部を断面略Ｚ字形に屈曲させ、この周縁部内周の段差肩面をシール形成面とするとともに、このシール形成面に隣り合って続いている容器本体の後方の周壁内面をシール用の隣接面とし、
容器本体の背面に対向する蓋体の対向面周縁部に取付溝をエンドレスに形成することができる。
【００１４】
また、シールガスケットの基体に、取付溝の対向する内面に接触するリブを突出形成し、第一のシール片の先端部に、シール形成面に接触する突起を形成することもできる。
また、シールガスケットの延出片に、第二のシール片に隣接する柔軟性付与溝を形成し、この柔軟性付与溝により、第二のシール片の柔軟性を向上させることが可能である。
さらに、シールガスケットの第二のシール片を基体方向に曲げ、この第二のシール片の先端部を基体方向に指向させるとともに、第二のシール片の中央部付近を第一のシール片方向に向けることが可能である。
【００１５】
ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくとも単数複数の半導体ウェーハ（φ２００、３００、４５０ｍｍタイプのシリコンウェーハや再生ウェーハ等）、液晶基板、液晶セル、石英ガラス等が含まれる。また、容器本体は、フロントオープンボックスタイプが主ではあるが、トップオープンボックスタイプやボトムオープンボックスタイプでも良い。この容器本体は、蓋体同様、透明、不透明、半透明を特に問うものではない。シールガスケット用の取付溝は、蓋体に形成される場合、蓋体の周縁部、具体的には、蓋体の裏面周縁部、あるいは蓋体の周壁に形成される。
【００１６】
シールガスケットは、エンドレスの枠形でも良いが、可撓性を有する細長い必要数の線条でも良い。このシールガスケットの第二のシール片は、延出片に略直交するが、この略直交には、厳密な意味の直交と、おおよそ直交すると認められる状態のいずれもが含まれる。また、シール形成面に隣接する隣接面は、シール形成面の下方又は後方に位置する面であることが好ましい。さらに、基板収納容器には、ＦＯＵＰやＦＯＳＢ等のタイプがあるが、特に問うものではなく、いずれでも良い。
【００１７】
本発明によれば、容器本体の開口面に蓋体が嵌め合わされると、シールガスケットの第一のシール片が撓んでシール形成面に接触し、容器本体と蓋体との間にシールが形成されて容器本体の外部から内部への塵埃等の流入を規制する。この際、第二のシール片は、シール形成面に隣接する隣接面に接触して容器本体の内部から外部に気体が漏れ出るのを規制する。この第二のシール片は、容器本体の内部圧力が増大すると、容器本体の隣接面に強く接触し、密封性を向上させる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、シールガスケットの第二のシール片がシール形成面に隣り合って続いているシール用の隣接面に接触して容器本体の内部から外部に気体が漏れ出るのを規制したり、容器本体の内部圧力が増大した場合に、シール用の隣接面に強く接触して密封性を向上させるので、基板収納容器内の気体を効率的に置換してその作業の迅速化や効率化を図ることができるという効果がある。また、容器本体からの蓋体の取り外しを容易にすることにより、基板を円滑に加工等することができる。
【００１９】
また、請求項２記載の発明によれば、容器本体の開口した正面に蓋体を深く嵌め合わせると、シールガスケットの第一のシール片が撓んでその先端部等を容器本体のシール形成面に密接し、第二のシール片が傾斜して容器本体の隣接面に接触するので、容器本体の内部から外部に気体が漏洩するのを防止することができる。
【００２０】
また、請求項３記載の発明によれば、柔軟性付与溝の形成により、第二のシール片の撓み量や変形量の増大が期待できる。
さらに、請求項４記載の発明によれば、隣接面に対して第二のシール片をより撓ませて接触範囲を拡大することができ、しかも、第二のシール片の形状の多用化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。
【図２】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す斜視説明図である。
【図３】本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図４】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に蓋体が嵌合される直前の状態を模式的に示す断面説明図である。
【図５】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体に蓋体が嵌合された状態を模式的に示す断面説明図である。
【図６】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態におけるシールガスケットを模式的に示す断面説明図である。
【図７】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における容器本体に蓋体が嵌合された状態を模式的に示す断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図５に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面７に嵌合される蓋体２０と、これら容器本体１と蓋体２０との間に介在される弾性変形可能なシールガスケット３０と、容器本体１の正面７に嵌合された蓋体２０を施錠する施錠機構４０とを備え、シールガスケット３０の基体３１から延出片３３を突出させ、この延出片３３に第一、第二のシール片３５・３７をそれぞれ一体形成することにより、蓋体２０が嵌合された容器本体１の内外にパーティクルや気体が流通するのを防止するようにしている。
【００２３】
半導体ウェーハＷは、図１に示すように、例えばφ３００ｍｍの薄く丸いシリコンウェーハからなり、周縁部に位置決め用のノッチが選択的に切り欠かれており、図示しない専用のロボットにより取り扱われる。この半導体ウェーハＷは、容器本体１内に水平に収納され、容器本体１の上下方向に２５枚又は２６枚が所定のピッチで整列する。
【００２４】
容器本体１、蓋体２０、施錠機構４０、及びこれらの構成部品は、所定の成形材料、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂により成形される。成形材料には、必要に応じ、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子等からなる導電剤、各種の帯電防止剤や紫外線吸収剤等が適宜添加される。
【００２５】
容器本体１は、図１に示すように、正面７の開口したフロントオープンボックスに形成され、内部両側、換言すれば、周壁を形成する両側壁の内面に、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対の支持片２が相対向して対設されるとともに、この一対の支持片２が上下方向に所定のピッチで配列されており、各支持片２が前後方向に細長い平坦な板形に形成される。
【００２６】
容器本体１の底板の前部両側と後部両側とには、図１に示す貫通孔３がそれぞれ厚さ方向に穿孔され、各貫通孔３に、容器本体１の内部の気体を空気から窒素ガス等の不活性ガスやドライエアに置換する給排バルブ４が着脱自在に装着されており、この複数の給排バルブ４の給気あるいは排気作用により、半導体ウェーハ表面の酸化や腐食等の変質が防止される。
【００２７】
各給排バルブ４は、特に限定されるものではないが、例えば容器本体１の貫通孔３にＯリングを介して螺嵌される円筒形の本体筒を備え、この本体筒の内部に、弁座が形成されるとともに、この弁座に接離する弁体がコイルバネを介し上下動可能に挿入されており、本体筒の開口した両端部のうち、少なくとも一端部には、パーティクル等を除去するフィルタがカバーキャップを介して装着される。
【００２８】
容器本体１の底板下面には、平面略Ｙ字形、三角形、多角形等のボトムプレート５が下方から装着され、このボトムプレート５の前部両側と後部中央とには、Ｖ字溝を備えた位置決め具がそれぞれ装着されており、各位置決め具が図示しない半導体加工装置の位置決めピンに上方から嵌合して基板収納容器を高精度に位置決めするよう機能する。また、容器本体１の天井の中央部には図１に示すように、平面矩形のロボティックフランジ６が着脱自在に装着され、このロボティックフランジ６が図示しない工場の天井搬送機構に把持される。
【００２９】
容器本体１の開口した正面７は、図１、図４、図５に示すように、周縁部が断面略Ｚ字形に屈曲形成されて幅方向あるいは高さ方向の外側に張り出し、この周縁部内周の張り出した段差肩面がシールガスケット３０用の平坦なシール形成面８に形成されており、このシール形成面８に隣接して区画する容器本体１後方の面、すなわち、容器本体１の周壁内面がシール用の隣接面９に形成される。容器本体１の正面周縁部における内周面の上部両側と下部両側とには、図１に示すように、施錠機構４０用の施錠穴１０がそれぞれ凹み形成される。
【００３０】
容器本体１の背面壁内面には、必要に応じ、非常時に半導体ウェーハＷの周縁後部に干渉可能な複数のリアリテーナが選択的に配列形成される。また、容器本体１の両側壁外面には、握持用の操作ハンドル１１がそれぞれ着脱自在に装着され、各側壁外面の下部には、搬送用のサイドレール１２が選択的に装着される。
【００３１】
蓋体２０は、図１等に示すように、容器本体１の正面７に対応する正面略矩形の蓋本体２１と、この蓋本体２１の開口した表面（正面）を被覆する表面プレート２８とを備え、これら蓋本体２１と表面プレート２８との間に施錠機構４０が介在して設置されており、容器本体１の開口した正面７に図示しない蓋体開閉装置により圧入して着脱自在に嵌合される。
【００３２】
蓋本体２１は、図１に示すように、断面略皿形に形成され、周壁の上部両側と下部両側とに、容器本体１の施錠穴１０に対向する施錠機構４０用の出没孔２２がそれぞれ貫通して穿孔されており、容器本体１の背面壁に対向する裏面の中央部には、半導体ウェーハＷの周縁前部を弾性片２３で水平に保持する縦長のフロントリテーナ２４が着脱自在に装着される。
【００３３】
蓋本体２１の裏面の周縁部は、図４や図５に示すように、容器本体１のシール形成面８に対向し、断面略Ｕ字形の取付溝２５が枠形に周設されており、この取付溝２５にシールガスケット３０が嵌入される。取付溝２５の相対向する一対の内面のうち、一方の内面（例えば、蓋本体２１の裏面寄りの内面）２６には、シールガスケット３０用の細長い係止突起２７が選択的に形成され、この係止突起２７がシールガスケット３０の脱落を防止する。
【００３４】
表面プレート２８は、同図に示すように、正面略矩形に形成され、蓋体２０の取り付け取り外し時に蓋体開閉装置に保持される。この表面プレート２８の両側部中央には、左右一対の操作孔２９がそれぞれ貫通して穿孔され、各操作孔２９に蓋体開閉装置の操作キーが挿通して施錠機構４０を施錠操作あるいは解錠操作する。
なお、表面プレート２８は、必要に応じ、蓋体開閉装置の複数の吸着パッドに選択的に真空吸着される。
【００３５】
シールガスケット３０は、図１ないし図５に示すように、蓋体２０の取付溝２５に嵌入される基体３１と、この基体３１から突出する変形可能な延出片３３と、この延出片３３から湾曲しつつ伸長してシール形成面８に圧接変形する第一のシール片３５と、延出片３３から突出する変形可能な第二のシール片３７とを一体に備え、これら基体３１、延出片３３、第一、第二のシール片３５・３７がエンドレスの枠形に形成される。
【００３６】
シールガスケット３０は、所定の成形材料、例えばポリエステル系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、フッ素系エラストマー、ウレタン系エラストマー等からなる熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、シリコーン系ゴムにより成形される。
【００３７】
係る成形材料には、シールガスケット３０に導電性や帯電防止性を付与したい場合、炭素繊維、金属繊維、金属酸化物、各種の帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、シールガスケット３０の表面固着性を改善したい場合には、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等の充填剤、ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等が適宜配合される。
【００３８】
シールガスケット３０の基体３１は、蓋本体２１の取付溝２５に対応して嵌入される断面矩形に形成され、内周面が取付溝２５の底面に接触し、外周面が取付溝２５から露出する。この基体３１の表裏面のうち、取付溝２５の係止突起２７に対向しない面には、複数の位置決めリブ３２が並べて突出形成され、この複数の位置決めリブ３２が取付溝２５の対向する他方の内面に圧接して変形することにより、シールガスケット３０の位置ずれや脱落が有効に防止される。各位置決めリブ３２は、必要に応じ、断面三角形や断面半円形等に形成される。
【００３９】
延出片３３は、基体３１の外周面から直線的に突出して容器本体１のシール形成面８方向に垂直に伸長する。この延出片３３には、第二のシール片３７の根元の末端部に隣接する一対の柔軟性付与溝３４がそれぞれ断面半円形に切り欠かれ、各柔軟性付与溝３４が第二のシール片３７の可撓性や柔軟性を向上させるよう機能する。
【００４０】
第一のシール片３５は、略円弧形に湾曲して延出片３３の先端部に一体形成され、容器本体１の背面壁方向やシール形成面８方向に広がりながら指向しており、先端部に断面円形の球状突起３６が一体的に膨出形成される。この球状突起３６は、容器本体１のシール形成面８に圧接してシールすることにより、容器本体１の外部から内部にパーティクル等（図５の細い矢印参照）が流入するのを防止する。
【００４１】
第二のシール片３７は、延出片３３の先端部以外の部分、例えば中間部付近から直線的に突出し、シール形成面８や延出片３３に直交してシール形成面８に隣接する隣接面９に接触するとともに、シール形成面８と隣接面９の間の角部を第一のシール片３５との間に挟持する。この第二のシール片３７は、隣接面９に接触してシールすることにより、容器本体１の内部から外部に不活性ガス等の気体（図５の太い矢印参照）が漏出するのを防止する。
【００４２】
施錠機構４０は、図１に示すように、蓋本体２１の内部両側に回転可能に軸支され、蓋体２０の表面側から蓋体開閉装置の操作キーに回転操作される左右一対の回転プレート４１と、蓋本体２１に内蔵され、各回転プレート４１の回転に連動して上下方向に往復動する複数の動力伝達プレート４２と、蓋本体２１の出没孔２２付近と各動力伝達プレート４２の先端部とに揺動可能に連結軸支され、蓋本体２１の出没孔２２から出没する複数の施錠爪４３とを備えて構成される。
【００４３】
このような施錠機構４０は、容器本体１の正面７に嵌合した蓋体２０の施錠時には、各回転プレート４１が一方向に回転して動力伝達プレート４２を蓋体２０の周壁方向にスライドさせ、各施錠爪４３が蓋本体２１の出没孔２２から揺動突出して容器本体１の施錠穴１０に係止することにより、蓋体２０が強固に施錠される。これに対し、蓋体２０の解錠時には、各回転プレート４１が反対方向に回転して動力伝達プレート４２を元の位置にスライド復帰させ、各施錠爪４３が容器本体１の施錠穴１０から離隔して蓋本体２１の出没孔２２内に揺動退没し、蓋体２０が解錠されて取り外し可能な状態となる。
【００４４】
上記構成において、容器本体１の開口した正面７に蓋体２０を嵌合してシールする場合には、先ず、容器本体１の開口した正面７に蓋体２０が蓋体開閉装置に保持された状態で浅く嵌合される（図４参照）。この際、蓋体２０は、完全に嵌合されていない状態なので、図４に示すように、容器本体１のシール形成面８にシールガスケット３０の球状突起３６が接触せず、容器本体１の隣接面９に第二のシール片３７が非接触の関係となる。
【００４５】
次いで、蓋体２０が蓋体開閉装置により深く圧入して嵌合され、施錠機構４０が施錠操作されると、シールガスケット３０の第一のシール片３５が外方向に撓んで球状突起３６を容器本体１のシール形成面８に密接し、容器本体１のシール形成面８と蓋体２０との間にシールが形成されて容器本体１の外部から内部にパーティクル等が流入するのを有効に防止する（図５参照）。
【００４６】
この際、第二のシール片３７は、第一のシール片３５の撓みに伴い、外方向に斜めに傾斜し、容器本体１の隣接面９に接触して容器本体１の内部から外部に不活性ガス等の気体が漏洩するのを防止する（図５参照）。この第二のシール片３７は、容器本体１の内部圧力が増大すると、容器本体１の隣接面９に押されて圧接し、シール性をより向上させる。このような第二のシール片３７の接触により、容器本体１の開口した正面７に蓋体２０が嵌合され、適切なシール状態が得られることとなる。
【００４７】
上記構成によれば、例え容器本体１の内部圧力が増大しても、シールガスケット３０の第二のシール片３７が圧接して適切にシールするので、容器本体１からの気体の漏洩を有効に防止することができる。したがって、基板収納容器内の空気を不活性ガスに置換する場合に、不活性ガスが短時間で外部に漏洩することが全くなく、気体を迅速に置換して作業の効率化を図ることができる。具体的には、基板収納容器内の酸素濃度や水分量を所定の値まで短時間で低下させることができる。
【００４８】
また、基板収納容器の気体の置換が不完全なままで運用する必要がないので、半導体ウェーハＷが変質して製品の歩留まりが低下するのを防止することができる。また、基板収納容器が航空機で輸送される場合に、例え基板収納容器の内部圧力が相対的に高まっても、基板収納容器内の気体が漏出するおそれを有効に排除することが可能となる。
【００４９】
また、単一のシール片にパーティクル等の流入防止機能と気体の漏洩防止機能とを付与するのではなく、これらの機能に応じて第一、第二のシール片３５・３７を形成し、これら第一、第二のシール片３５・３７により個別にシールするので、第一のシール片３５の長さを従来よりも短縮することが可能となる。したがって、容器本体１に蓋体２０がシールガスケット３０を介して吸着する事態を防ぐことができ、蓋体２０の簡易な取り外しが大いに期待できる。
【００５０】
さらに、第一のシール片３５を適切な長さに短縮することができるので、第一のシール片３５が貼り付く事態を防止することができる他、蓋体２０の開閉トラブルを防止したり、半導体ウェーハＷの加工や処理が中断するのを排除することが可能となる。
【００５１】
次に、図６と図７とは本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、シールガスケット３０の第二のシール片３７を直線的に形成するのではなく、第二のシール片３７を先細りに形成して基体３１方向にやや曲げ、第二のシール片３７の先端部を基体３１方向に僅かに指向させるとともに、第二のシール片３７の中央部３８やその近傍付近を第一のシール片３５方向に向けるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
【００５２】
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、第二のシール片３７が内向きに僅かに湾曲するので、容器本体１の隣接面９に対して第二のシール片３７をより撓ませて圧接範囲を拡大することができる。また、第二のシール片３７の形状の多用化も期待できる。
【００５３】
なお、上記実施形態では容器本体１の底板に複数の給排バルブ４を装着したが、蓋体２０に複数の給排バルブ４を装着しても良い。また、上記実施形態では容器本体１内にシール形成面８と隣接面９とをそれぞれ形成し、蓋体２０の裏面周縁部に取付溝２５を形成したが、蓋体２０の裏面や周面にシール形成面８と隣接面９とを形成し、容器本体１内に取付溝２５を形成してシールガスケット３０を嵌入しても良い。
【００５４】
また、シールガスケット３０の基体３１における表裏面の少なくとも一方の面に、単一の位置決めリブ３２を突出形成しても良い。さらに、上記実施形態では延出片３３に、第二のシール片３７の末端部に挟むよう一対の柔軟性付与溝３４を切り欠いたが、第二のシール片３７の末端部に隣接する単一の柔軟性付与溝３４を切り欠くことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明に係る基板収納容器は、半導体ウェーハやガラス基板等を取り扱う製造分野で使用することができる。
【符号の説明】
【００５６】
１        容器本体
４        給排バルブ
７        正面（開口面）
８        シール形成面
９        隣接面
２０      蓋体
２１      蓋本体
２５      取付溝
２６      内面
２７      係止突起
２８      表面プレート
３０      シールガスケット
３１      基体
３２      位置決めリブ
３３      延出片
３４      柔軟性付与溝
３５      第一のシール片
３６      球状突起
３７      第二のシール片
３８      中央部
４０      施錠機構
Ｗ        半導体ウェーハ（基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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