(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
前側および裏側を有する本体を有する主ウェハであって、前記主ウェハが前記裏側より上で終端する複数のブラインド電気バイアを含み、前記ブラインド電気バイアが導電コアを有し、前記コアの隣接する側方領域および端部領域に周囲絶縁体を有する、前記主ウェハと、
前記前側に固定されたハンドラ・ウェハと、を含むアセンブリを取得するステップと、
前記裏側で前記ブラインド電気バイアを露出させるステップであって、前記ブラインド電気バイアが裏側全体で様々な高さに露出される、ステップと、
前記裏側に第１の化学機械研磨プロセスを適用して、前記露出ステップの後に残っている前記コアの前記端部領域に隣接した前記周囲絶縁体を開放すると共に、前記バイア導電コア、前記コアの前記側方領域に隣接した前記周囲絶縁体、および前記主ウェハの前記本体を同一平面にするステップと、
前記裏側をエッチングして、前記裏側全体で前記バイアの各々の均一なスタンドオフ高さを与える、ステップと、
前記裏側全体に誘電体を堆積するステップと、
前記裏側に第２の化学機械研磨プロセスを適用して、前記バイアの前記導電コアに隣接した前記誘電体のみを開放するステップと、を含み、
前記ブラインド電気バイアを露出させる前記ステップが、
前記ブラインド・バイアがほぼ露出するまで前記裏側から材料を除去することによって前記主ウェハを薄化することと、
前記裏側をエッチングして前記バイアを前記様々な高さに露出させることと、を含む方法。
【請求項２】
前記アセンブリを取得するステップは、
シリコンを含む前記主ウェハを取得することと、
ガラスを含む前記ハンドラ・ウェハを取得することと、
前記主ウェハを前記ハンドラ・ウェハに結合することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ハンドラ・ウェハは全体の厚さのばらつきが５ミクロン未満である、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記薄化するステップが所望の深さまで実行され、前記薄化するステップが、
前記裏側に、前記所望の深さまで略３０ミクロンある深さまで粗い研磨ホイールを用いて研削動作を実行することと、
前記所望の深さまで前記粗い研磨ホイールよりも細かい研磨ホイールを用いて研削動作を実行することと、
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記裏側をエッチングして前記バイアを前記様々な高さに露出させる前記ステップが反応性イオン・エッチングを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記反応性イオン・エッチングが毎分４ミクロンで実行される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記裏側をエッチングして前記バイアを前記様々な高さに露出させる前記ステップがシリコン反応性イオン・エッチングを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記シリコン反応性イオン・エッチングが毎分１ミクロンで実行される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記様々な高さが３ミクロンから８ミクロンの範囲である、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記誘電体の前記堆積がプラズマ増強化学気相堆積によって実行される、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記誘電体の前記堆積によって前記バイアの上にキャップが生成され、前記第２の化学機械的研磨プロセスによって前記キャップが除去される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記裏側で前記複数のバイアの前記導電コアの上に複数の導電パッド構造を形成する追加ステップを更に含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記導電パッド構造がアンダーバンプ・メタライゼーション・パッドを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記アンダーバンプ・メタライゼーション・パッド上にＣ４はんだバンプを形成することを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記バイアの断面が、スロット状、バー状、環状、またはＣ型のいずれか１つからなる、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に電気および電子の分野に関し、更に具体的には、シリコン貫通電極（ＴＳＶ：ｔｈｒｏｕｇｈ−ｓｉｌｉｃｏｎ  ｖｉａ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン貫通電極（ＴＳＶ）は、シリコン・ウェハまたはダイを完全に通過する垂直電気接続である。ＴＳＶ技術は、例えば、３次元（３Ｄ）パッケージおよび３Ｄ集積回路の生成において重要である。
【０００３】
Ａｋｒａｍ等の米国特許出願公開第２００７−０２５７３７３号は、ブラインド・ウェハ相互接続ならびに関連する構造およびアセンブリを形成する方法を開示する。基板構造の裏側の面から対向する面上のボンド・パッドの下側までブラインド・ウェハ相互接続（ＢＷＩ：ｂｌｉｎｄ  ｗａｆｅｒ  ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔ）を形成するための方法は、裏側の面から止まり穴を形成し、それにパッシベーション層を形成し、止まり穴底部からパッシベーション材料を除去し、止まり穴内に少なくとも１つの導電層を堆積し、止まり穴にはんだまたは他の導電材料もしくは誘電材料を充填することを含む。
【０００４】
Ａｋｒａｍ等の米国特許出願公開第２００７−０１３２１０５号は、アルミニウム、銅、およびタングステン構造の選択的な活性化を開示する。金属めっきのために中間半導体デバイス構造上の金属構造を活性化する方法は、半導体基板上に少なくとも１つの第１の金属構造および少なくとも１つの第２の金属構造を含む中間半導体デバイス構造を設けることを含む。少なくとも１つの第１の金属構造は、少なくとも１つのアルミニウム構造、少なくとも１つの銅構造、またはアルミニウムおよび銅の混合物を含む少なくとも１つの構造を含み、少なくとも１つの第２の金属構造は、少なくとも１つのタングステン構造を含む。少なくとも１つの第１の金属構造および少なくとも１つの第２の金属構造の一方は、金属めっきのために活性化され、少なくとも１つの第１の金属構造および少なくとも１つの第２の金属構造の他方は活性化されない。また、中間半導体デバイス構造も開示される。
【０００５】
Ｏｌｉｖｅｒ等の米国特許出願公開第２００６−００４２９５２号は、バイア内の相互接続およびかかる相互接続を含むマイクロエレクトロニック被加工物を形成するための方法を開示する。最初に、被加工物全体を薄くすることなく被加工物の裏側部分から材料の大部分を除去することによって、ブラインド・バイアを形成することができる。大部分除去プロセスでは、例えば、被加工物内の中間の深さまで延出するが導電要素のコンタクト面までは延出しない第１の開口を形成することができる。第１の開口を形成した後、第１の開口における中間の深さから導電要素のコンタクト面まで第２の開口を形成する。第２の開口は、第１の開口の第１の幅より小さい第２の幅を有する。この方法は、更に、ブラインド・バイアに導電材料を充填し、続いて外側から被加工物をキャビティが除去されるまで薄くすることを含む。
【０００６】
シリコン貫通電極（ＴＳＶ）技術のための裏側薄化および処理（Ｔｈｅｒｏｎ  Ｒｏｗｂｏｔｈａｍの修士論文、Ｍ．Ｓ．Ｅ．Ｅ．、アーカンソー大学２００６年、国際論文要録の修士要録４５／０６巻３２５４ページで入手可能）は、チップ・スタッキング用途向けにシリコン貫通電極（ＴＳＶ）を生成するために行われた研究について論じている。この論文は、シリコン貫通電極の生成に伴う処理ステップ３つについて論じる。すなわち、ウェハ・ボンディング、ウェハ薄化、および裏側からのブラインド・バイア露出である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００７−０２５７３７３号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００７−０１３２１０５号
【特許文献３】米国特許出願公開第２００６−００４２９５２号
【特許文献４】米国特許第５，２４４，１４３号
【特許文献５】米国特許第５，７７５，５６９号
【特許文献６】米国特許第７，３２２，４２４号
【０００８】
【非特許文献１】シリコン貫通電極（ＴＳＶ）技術のための裏側薄化および処理（Ｔｈｅｒｏｎ  Ｒｏｗｂｏｔｈａｍの修士論文、Ｍ．Ｓ．Ｅ．Ｅ．、アーカンソー大学２００６年、国際論文要録の修士要録４５／０６巻３２５４ページ）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明により解決される課題の一つは、シリコン貫通電極を露出させ接触させるための高歩留まりの技法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の原理は、シリコン貫通電極を露出させ接触させるための高歩留まりの技法を提供する。例示的な方法は、前側および裏側を有する本体を有する主ウェハとハンドラ・ウェハ（ｈａｎｄｌｅｒ  ｗａｆｅｒ）とを含むアセンブリを取得するステップを含む。主ウェハは、裏側より上で（すなわちシリコン・ウェハの本体内で）終端する複数のブラインド電気バイアを有する。ブラインド電気バイアは、導電コアを有し、コアの隣接する側方領域および端部領域に周囲絶縁体を有する。ハンドラ・ウェハは、主ウェハの本体の前側に固定されている。追加のステップは、裏側でブラインド電気バイアを露出させることを含む。ブラインド電気バイアは、裏側全体で様々な高さに露出される。別のステップは、裏側に第１の化学機械研磨プロセスを適用して、露出ステップの後に残っているコアの端部領域に隣接した周囲絶縁体を開放すると共に、バイア導電コア、コアの側方領域に隣接した周囲絶縁体、および主ウェハの本体を同一平面にすることを含む。更に別のステップは、裏側をエッチングして、裏側全体でバイアの各々の均一なスタンドオフ高さを与えることを含む。更に、裏側全体に誘電体を堆積し、裏側に第２の化学機械研磨プロセスを適用して、バイアの導電コアに隣接した誘電体のみを開放する。
【００１１】
本発明のこれらおよび他の目的、特徴、および利点は、その例示的な実施形態の以下の詳細な説明を添付図面と関連付けて読むことによって明らかとなろう。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一態様に従った例示的なプロセスのための例示的な開始点を示し、この開始点は、ブラインド・バイア、デバイス、配線、および上面パッドを有し、ハンドラ・ウェハに結合された、完全に処理されたシリコン・ウェハを含む。
【図２】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図３】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図４】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図５】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図６】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図７】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図８】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図９】上述の例示的なプロセスにおける裏側処理ステップの例示的なシーケンスを示す。
【図１０】本発明の追加の態様に従ったＴＳＶの例示的な横断面を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の１つ以上の実施形態のための開始点は、完全に処理されたシリコン・ウェハであり、このウェハは、ブラインド・バイア（通例、シリコン・ウェハの本体内で、上側より下だがウェハ裏側より上の深さで終端する導電金属コアを有する絶縁バイア）、ならびに、ＦＥＴまたはバイポーラ・デバイス、配線層、および端子ボンディング・パッド等の標準的なマイクロエレクトロニクス製造において見られる特徴のいずれかの組み合わせを含む。更に、この完全に処理されたウェハは、多数の標準的な技法のいずれか１つを用いて別のハンドラ・ウェハに結合されていることは理解されよう。それらの技法は、限定ではないが、冶金ボンディング（例えばＣｕまたはＡｕ熱圧縮）、酸化物ボンディング、または接着剤ボンディングを含むことができる。かかる多くの技法は当業者には既知であり、利用可能である。１つ以上の実施形態においては、ポリイミド・ベースの接着剤を用いて、３５０℃のオーダーの温度で、完全に処理されたシリコン・ウェハにガラス・ウェハを結合する。この動作の最終結果は、図１に示すような、接着剤２２２によってウェハ２０２にボンディングされたガラス２３０を含む、ボイドの無い界面および頑丈に結合されたウェハ対である。限定でない例示的な実施形態において、接着剤の深さＢは約５ミクロンとし、ガラス２３０の厚さＡは約７００ミクロンとすることができる。
【００１４】
図面に関して、「上」および「下」の使用について一貫性を保つため、特に図面に示すような最初の前および裏の面に関して、１つ以上の実施形態においては、処理はブラインド・バイア（定義上、前面の下および裏面の上）から開始し、最終的には露出させて、金属が裏面より下になる（すなわち、それ「から突き出る」）または裏面と同一平面になるようにする。「上」および「下」等の言葉を用いる場合、要素が重力ベクトルに対していずれかの特定の方向に向いていなければならないことは必ずしも意味しない。更に、いくつかの例においては、バイアは裏面に対してのみ「ブラインドである」ことがある。更に別の説明として、バイアは、上および下からアクセスすることができない場合はいつでも厳密にいえばブラインドである。最初のシリコン・ウェハでは、それらは上パッドからアクセスできるが下からはできないのでブラインドである。ハンドラ２３０が取り付けられると、厳密にいえばそれらは両側からブラインドである、すなわち埋め込まれている。本明細書における例のように露出させた場合、それらはハンドラがあるために実際にはブラインドのままであるが、最初のウェハの観点からは、露出させた後は貫通バイアである。ハンドラは最後に（すなわち図９の後）取り外すことができ、その後は上パッドおよび下パッドにアクセスすることができ、従ってその時点でバイアはブラインド・バイアでなく使用可能「貫通バイア」である。
【００１５】
機械的研削モジュール
ハンドラ・ウェハのボンディングの後、ウェハ対（例えば公称約１．４ｍｍ厚さ）を市販のウェハ研削ツールに移す。機械的薄化は、例えば以下のような３つのステップを含む。すなわち、粗い研削、細かい研削、および最終研磨である。図２に示すように、最終目標深さは、約１１０μｍの合計の深さ「Ｚ」とし、公称１００μｍ深さのＴＳＶ２３２（寸法「Ｘ」）を覆う〜１０μｍのシリコン（寸法「Ｙ」）を残すように設定する。研削は、ウェハ２０２の裏側２３４上に実行する。粗い研削を用いてウェハの大部分を除去するが、粗い研削プロセスは極めて迅速であるものの、極めて粗い表面を生じ、表面の下の少なくとも〜３０μｍの深さまで損傷が入り込む。このため、最終目標に到達する前に少なくとも約３０μｍで粗い研削プロセスを停止し、次いで細かい研削ホイールに切り換えることが好ましい。細かい研削を用いて、最後の約３０μｍ（以上）のシリコンを除去しなければならない。これによって、粗い研削によって生成された表面下の損傷が効果的に除去される。
【００１６】
いったん最終目標に到達し、図２に示すように〜１０μｍのシリコンのみがＴＳＶを覆うようになると、最終シリコン研磨を用いて鏡面仕上げを生成しなければならない。最終研磨は、標準的なシリコン化学−機械研磨（ＣＭＰ）プロセスに類似したものであり、〜０．５μｍのシリコンを除去すれば良い。最終研磨が行われない場合、水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）または水酸化カリウム（ＫＯＨ）を用いたウェット・エッチングを行って、最終研削ホイールにより生じた「渦巻きパターン（ｓｗｉｒｌ  ｐａｔｔｅｒｎ）」を迅速に明らかにする。最終研磨によって、シリコン表面は汚れの無い状態になり、更に薄化するための準備が整う。また、イソプロピル・アルコール（ＩＰＡ）を用いてふいた後に水洗浄およびスピン乾燥を含むことができる適切なブラシ洗浄またはウェット洗浄プロセスを用いて、バイア露出ステップ中にエッチ・マスクとして機能することがある研磨スラリの痕跡を除去することが好ましい。
【００１７】
ＴＳＶ露出および裏側絶縁モジュール
図３から図６は、ＴＳＶ露出およびフィールド絶縁ステップを示す。１つ以上の実施形態において、このシーケンスは極めて重要である。なぜなら、ここでの裏側処理が不良であると、直接的に、ＦＢＥＯＬメタライゼーションの間のシリコン基板中のＴＳＶ漏れにつながり、入出力（Ｉ／Ｏ）、電力、および接地接続について一様に問題が生じるからである。図３を参照すると、ＴＳＶを露出させる好適な方法は、ブランケット・ディープ反応性イオン・エッチング（Ｄ−ＲＩＥ）（〜４μｍ／分）または適度に迅速な（〜１μｍ／分）Ｓｉ反応性イオン・エッチング（ＲＩＥ）プロセスを用いることである。均一な厚さのガラス・ハンドラを用いている場合、３分から６分後にウェハ裏側２３４の全体でＴＳＶパターンが露出される。もっと時間が長くなると、シリコンの粗さが増すと共に、ウェハ縁部の近くに「ブラック・シリコン」残留物が蓄積する。エッチングによって、最初の裏面２９０の下の深さＤまで材料が除去される。Ｄは、例えば約１０ミクロンとすることができる。
【００１８】
Ｄ−ＲＩＥプロセス自体における中央部と縁部のばらつきのため、およびガラス厚さの小さいばらつきのため、ＴＳＶは通常、ウェハ上の位置に応じて〜３μｍから〜８μｍだけ露出される。少なくとも〜３μｍだけウェハ上で全ＴＳＶを露出させることによって、以下のＣＭＰ平坦化プロセスにおいて、タングステン充填物を取り囲む酸化物シェル２３６および金属２３８自体の双方の開放を確実とすることが望ましい。このステップでは多数のスラリ（ｓｌｕｒｒｙ）を用いることができるが、タングステン、酸化物、およびシリコン・フィールドを同時研磨する際にタングステンを研磨するように設計されたスラリが極めて有効であることが示されている。研磨時間は、ＴＳＶの露出の初期高およびシリコン・フィールドの粗さの程度に応じて変動する。図４に示すように、第１の平坦化ステップの目標は、タングステン、酸化物、およびシリコンをできる限り同一平面とすることである。これによって、全てのＴＳＶ２３２の高さは効果的にゼロに「リセット」されるので、図５に示すように、第２のＤ−ＲＩＥプロセスを行って、ウェハ全体のあらゆる所で各ＴＳＶを取り囲むＳｉフィールドを精密な量だけくぼませることができる。
【００１９】
次のステップは、低温ＰＥＣＶＤプロセス（〜３００℃以下）を用いて裏側誘電体を堆積することである。低温プロセスによって、接着剤が真空プロセスの後まで残存し、ボイド形成につながり得るガス放出が最小限であることが確実となる。図６に示すように、良好な接着、電気的絶縁、ならびに水分および移動イオンに対する保護を与えるために、酸化物および窒化物材料の組み合わせ２４０が有用である。また、ＰＥＣＶＤ膜の引張性および圧縮性の性質を用いて、ウェハの前側でのレベルの最終的な圧縮性および引張性の特性のバランスを取り、これによって最終的な解放されたキャリアにおける歪みおよび反りを制御することができる。裏側プロセス・シーケンスにおける最終ステップは、酸化物ＣＭＰを用いて隆起したＴＳＶの上のＰＥＣＶＤ誘電積層物を除去することである。図７に示す、この酸化物「キャップ除去（ｃａｐ  ｋｎｏｃｋｏｆｆ）」ＣＭＰでは、ＴＳＶ２３２のタングステン金属コア２３８を除いて、ウェハ２０２の裏側２３４全体が絶縁される。最終裏側プロセスの検査の後、キャリアは最終的なＦＢＥＯＬ端子金属処理のための準備が整った状態である。限定ではない例において、距離「Ｃ」は約９０μｍとすることができる。
【００２０】
ＦＢＥＯＬモジュール
標準的な相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）ウェハにおいて典型的であるように、最終端子金属または「ウェハ・バンプ形成」プロセスは、適切なアンダーバンプ・メタライゼーション（ＵＢＭ）・パッドおよびＣ４（Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ  Ｃｏｌｌａｐｓｅ  Ｃｈｉｐ  Ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ）はんだバンプをウェハ全体に堆積することを含む。ＵＢＭのための典型的なプロセスは、金属スパッタリングの後にリソグラフィ、電解めっき、およびウェット・シード・エッチングを行ってパッドを画定することを含む。また、過去においては、整列シャドー・マスクを介した金属の蒸着を用いて成功している。この結果、図８に示すように、ＴＳＶタングステン・コア２３８に直接接触した整列パッド２５０を有するウェハが得られる。ＤｕＰｏｎｔ  ＲＩＳＴＯＮフォトレジスト（ＲＩＳＴＯＮはＥ．  Ｉ．  ＤｕＰｏｎｔ  Ｄｅ  Ｎｅｍｏｕｓ  ａｎｄ  Ｃｏｍｐａｎｙ（１９８９８デラウェア州ウィルミントン、マーケット・ストリート１００７の登録商標である）等の厚いレジスト・マスクを介して、はんだバンプを直接めっきすることも可能である。または、はんだバンプは、ＩＢＭ社のＣ４ＮＰプロセスにおけるように、型から濡れ性のあるＵＢＭパッドに移すことも可能である。ＩＢＭ社のＣ４ＮＰプロセスの態様は、米国特許第５，２４４，１４３号、第５，７７５，５６９号、および第７，３３２，４２４号において開示されている。図９に示す最終結果は、はんだバンプ２６０を有する薄いバンプ・シリコン・キャリア２０２であり、ガラス・ハンドラ２３０に取り付けられて、試験、ダイシング、ピック、およびアセンブリのための準備が整っている。以前の裏側プロセスと同様、ＵＢＭパッドおよびはんだバンプを製造するためにどの方法を選ぶ場合であっても、ガラスが裏に取り付けられたウェハに対応するためにはツール類を適切に選択しなければならない。当業者は、本明細書における教示が与えられれば、適切なツール類を容易に選択することができる。
【００２１】
検討として、ＴＳＶについての標準的な「バイア・ファースト」または「バイア・ミドル」プロセス・フローにおいては、ライン処理の初期または中期近くでシリコン・ウェハにブラインド・メタライズ・バイアを製造し、これらを露呈させてＴＳＶを形成するのはプロセスのかなり後であり、その前にＢＥＯＬ配線は完成している。典型的には、ウェハを、プロセス・フローまたは最終構造あるいはその両方に応じてシリコンまたはガラスである場合があるハンドラ・ウェハに取り付け、ブラインド・バイアを含むウェハを薄化する。ウェハを薄化し、バイアを露出し、裏側を絶縁し、電気パッドまたははんだ・ボールを追加するステップのシーケンスは、ＴＳＶの最終的な歩留まりにとって極めて重要である。間違って行われると、ＴＳＶが不良となる恐れがあり、信号および電力または接地ＴＳＶあるいはその両方の間において電気的な漏れが生じることがある。「バイア・ファースト」または「バイア・ミドル」ブラインド・バイアのディープ・シリコン・エッチングの間、同じ設計寸法のバイアであっても、ウェハの中央部から縁部までバイア深さにある程度のばらつきがあるのは一般的である。異なるサイズの特徴は通常、ＲＩＥの遅れのために異なる深さにエッチングされる。このため、ＦＥＯＬ層およびＢＥＯＬ層の下に埋め込まれたブラインド・バイアは、裏側処理の間ほぼ確実に異なる深さにある。
【００２２】
更に、ウェハの初期薄化の間にブラインド・バイアを含むウェハをサポートするためにハンドラ・ウェハを用いるのは一般的である。薄化は典型的に、粒度の粗いホイールを用い、次に粒度の細かいホイールを用いた裏側機械的研削によって達成される。研削ツールは、ウェハ全体のシリコン除去レートにおいて極めて均一とすることができるが、それらが取り付けられるハンドラ・ウェハは、特にガラスで生成される場合には厚さが均一でない場合がある。例えばウェッジ形のガラス片のようなハンドラの非均一性があると、そのばらつきによってシリコン・ウェハが薄化することになる。ブラインド・バイアの深さおよびハンドラの均一性におけるばらつきの最終結果は、ブラインド・バイアがウェハ全体の全ての位置で同時には露出されないということである。
【００２３】
本発明の態様が提供する方法は、機械的研削を用い、次いで２つの連続したプラズマ・エッチ／ＣＭＰプロセスを用いて、全てのＴＳＶを均一な高さに正確に露出させ、これによって、ウェハ裏側のフィールド全体で均一な絶縁体カバレージを確実とすると共に、電気パッド形成にとって重要な、ＴＳＶを直接取り囲む絶縁体の良好な完全性を確実とする。
【００２４】
更に、本発明の態様は一般化されたＴＳＶ構造に対応する。これは、簡単なホールとすることができるが、スロット、バー、環、Ｃ型等を含む、めっき技法によって充填することが不可能ではないが難しい多数の高アスペクト比の形状の１つとしても良い。すなわち図１０に示すように、ＴＳＶ２３２の横断面は、スロット状１７０２、バー状１７０４、環状１７０６、Ｃ型１７０８等とすることができる。
【００２５】
好適な実施形態においては、ＣＶＤタングステン充填を用い、２つの個別サイクルにおいてドライ・エッチングおよびＣＭＰを精密に組み合わせて、プロセスの終了時に全てのバイア２３２が精密に同一量だけ露出されることを確実とし、本質的に「高さリセット」特徴を提供する。
【００２６】
これまで述べた限定でない例に鑑み、一般的な意味において、例示的な方法は、前側および裏側２３４を有する本体を有する主ウェハ２０２とハンドラ・ウェハ２３０とを含むアセンブリを取得するステップを含むことは認められよう。主ウェハは、裏側２３４より上で終端する複数のブラインド電気バイア２３２を有する。ブラインド電気バイア２３２は導電コア２３８を有し、コアの隣接する側方および端部領域には周囲絶縁体２３６を有する。ハンドラ・ウェハ２３０は主ウェハ２０２の本体の前側に固定されている。このアセンブリは図１に示されている。
【００２７】
追加のステップは、裏側２３４でブラインド電気バイア２３２を露出させることを含む。図３に示すように、ブラインド電気バイアは、裏側全体で様々な高さ（限定ではないが一例として、約３ミクロンから約８ミクロンまで）に露出される。別のステップは、図４に示すように、裏側２３４に第１の化学機械研磨プロセスを適用して、露出ステップの後に残っているコアの端部領域に隣接した周囲絶縁体を開放すると共に、バイア導電コア、コアの側方領域に隣接した周囲絶縁体、および主ウェハの本体を同一平面にすることを含む。
【００２８】
更に別のステップは、図５に示すように、裏側をエッチングして、裏側全体でバイアの各々の均一なスタンドオフ高さを与えることを含む。更に、図６に示すように、裏側全体に誘電体２４０を堆積し（例えばバイア・プラズマ増強化学気層堆積によって）、図７に示すように、裏側に第２の化学機械研磨プロセスを適用して、バイアの導電コアに隣接した誘電体のみを開放する。
【００２９】
前述の取得ステップは、図１および図２に関連付けて説明したように、例えばシリコン・ウェハとすることができる主ウェハ２０２を取得することと、例えばガラスとすることができるハンドラ・ウェハ２３０を取得することと、主ウェハ２０２を前記ハンドラ・ウェハ２３０に結合することと、を含むことができる。好ましくは、ハンドラ・ウェハは、全体の厚さのばらつきが約５ミクロン未満である。
【００３０】
前述の結合ステップは、例えば、前側に接着剤２２２をコーティングすることと、ハンドラ・ウェハと前側との間にスペーサを配して主ウェハ２０２およびハンドラ・ウェハ２３０を整列させることと、整列させた主ウェハおよびハンドラ・ウェハを約１５０℃の周囲温度で１×１０−０３ｍｂａｒの真空に露出させることを含むことができる。更にまた、前述の結合ステップは、周囲温度を毎分約１０℃で約２３０℃に上昇させることと、スペーサを除去することと、周囲温度を毎分約１０℃で約３５０℃に上昇させることと、３５０℃の周囲温度で約１５分間、約１ＭＰａの周囲圧力を加えることと、主ウェハおよびハンドラ・ウェハを約２５分間、約１５０℃の温度に冷却することと、を含むことができる。
【００３１】
ブラインド電気バイア２３２を露出させるステップは、例えば、図２に示すように、ブラインド・バイアがほぼ露出するまで裏側から材料を除去することによってウェハを薄化することと、図３に示すように、裏側をエッチングしてバイアを様々な高さに露出させることと、を含むことができる。薄化するステップは、裏側に、所望の深さから３０ミクロン以上遠くまで粗い研削動作を実行することと、所望の深さまで細かい研削動作を実行することと、研磨動作を実行することと、を含むことができる。エッチングは、例えば毎分約４ミクロンのディープ反応性イオン・エッチングを例えば含むことができる。あるいは、エッチングは、例えば毎分約１ミクロンのシリコン反応性イオン・エッチングをたとえば含むことができる。
【００３２】
追加のステップは、図８に示すように、裏側で複数のバイアの導電コア２３８の上に複数の導電パッド構造２５０を形成することを含む。
【００３３】
１つ以上の実施形態においては、図６に最も良く示されるように、誘電体の堆積によってバイアの上にキャップが２９５生成され、第２の化学機械研磨プロセスによってキャップが除去される。
【００３４】
上述の方法は、集積回路チップの製造およびパッケージングにおいて用いることができる。特に、本明細書に記載した技法を用いてＴＳＶを露出させることができる。チップ設計は、例えばグラフィック・コンピュータ・プログラミング言語において生成し、コンピュータ記憶媒体（ディスク、テープ、物理ハード・ドライブ、または記憶アクセス・ネットワークにおけるもの等の仮想ハード・ドライブ等）に記憶することができる。設計者がチップもチップを製造するために用いられるフォトリソグラフィ・マスクも製造しない場合、設計者は得られた設計を物理的な手段によって（例えば設計を記憶している記憶媒体のコピーを与えることによって）または電子的に（例えばインターネットを介して）、かかるエンティティに直接的または間接的に送信すれば良い。次いで、フォトリソグラフィ・マスクを製造するために、記憶された設計を、例えばグラフィック設計システムＩＩ（ＧＤＳＩＩ）等の適切なフォーマットに変換することができ、これは通常ウェハ上に形成される当該チップ設計の多数のコピーを含む。フォトリソグラフィ・マスクを利用して、エッチングまたは他の方法で処理されるウェハの領域（またはその上の層あるいはその両方）を画定することができる。
【００３５】
この結果として得られる集積回路チップは、未加工のウェハ形態で（すなわち多数の未パッケージ・チップを有する単一のウェハとして）、ベア・ダイとして、またはパッケージされた形態で、製造業者によって配布することができる。後者の場合、チップは、単一チップ・パッケージ（マザーボードに取り付けられたリードを有するプラスチック・キャリアまたは他の高レベル・キャリア等）に、または多チップ・パッケージ（表面相互接続または埋め込み相互接続のいずれかまたは双方を有するセラミック・キャリア等）に、搭載することができる。いずれの場合であっても、次いでチップを、（ａ）マザーボード等の中間製品または（ｂ）最終製品のいずれかの一部として、他のチップ、離散回路要素、または他の信号処理デバイスあるいはそれら全てと集積することができる。最終製品は、おもちゃおよび他のローエンドまたは家庭用電子用途から、ディスプレイ、キーボード、または他の入力デバイス、および中央プロセッサを有する最先端のコンピュータ製品までの範囲に及ぶ集積回路チップを含むいずれかの製品とすることができる。本明細書に記載した技法は、３Ｄ用途向けのチップまたはチップ・スタック上にチップを、ウェハ上にチップを、パッケージ上にチップを、またはパッケージ上にパッケージを相互接続するために用いることができる。
【００３６】
上述した本発明の例示的な実施形態を多数の異なる方法で実施可能であることは、認められるであろうし、理解されるはずである。本明細書に述べた本発明の教示が与えられれば、当業者は本発明の他の実施を想定することができるであろう。
【００３７】
本発明の例示的な実施形態について添付図面を参照してここに記載したが、本発明はこれらの厳密な実施形態に限定されるわけではなく、本発明の範囲または精神から逸脱することなく当業者によって様々な他の変更および変形が可能であることは理解されよう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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