(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査処理位置に配設されて検査対象体についての検査処理を実行可能に構成された検査部と、前記検査対象体を保持部によって保持して、搬入位置、前記検査処理位置および搬出位置の各位置に搬送する搬送機構と、前記検査部による前記検査処理の実行および前記搬送機構による前記検査対象体の搬送を制御する制御部とを備えた検査装置であって、
判定処理位置に配設されて前記検査部による前記検査処理において不良と検査された前記検査対象体についての当該検査部による再検査処理の要否を判定する判定処理を実行可能に構成された判定部を備え、
前記判定部は、前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、不良箇所の有無、当該保持部に対する当該検査対象体の保持位置のずれの有無、および異物の付着の有無を少なくとも特定し、前記不良箇所が存在すると特定したときには、前記検査対象体が不良であるため当該検査対象体についての前記再検査処理を不要と判定し、前記保持位置のずれ、および前記異物の付着のいずれかが存在すると特定したときには、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定可能に構成され、
前記制御部は、前記検査部によって前記検査対象体が不良と検査されたときに、前記搬送機構を制御して当該不良と判定された検査対象体を前記判定処理位置に搬送させると共に、前記判定部を制御して当該検査対象体を対象とする前記判定処理を実行させ、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体を保持している前記保持部からの当該検査対象体の搬出を規制すると共に当該保持部に対する他の前記検査対象体の搬入を規制する搬出搬入規制処理を実行した後に、前記搬送機構を制御して当該再検査処理を要すると判定された検査対象体を前記検査処理位置に搬送させて、前記検査部を制御して当該検査対象体についての前記再検査処理を実行させる検査装置。
【請求項２】
クリーニング処理位置に配設されて前記検査対象体をクリーニング処理するクリーニング処理部を備え、
前記制御部は、前記検査対象体に付着した前記異物に起因して前記判定部によって当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体についての前記再検査処理に先立って、前記搬送機構を制御して当該検査対象体を前記クリーニング処理位置に搬送させると共に、前記クリーニング処理部を制御して当該検査対象体についての前記クリーニング処理を実行させる請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記判定処理位置とは異なる位置情報取得処理位置に配設されて前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、当該保持部に対する当該検査対象体の位置ずれ量を取得する検査位置補正情報取得部を備え、
前記検査部は、前記検査対象体にプロービング可能なプローブを備えて当該プローブを介して測定した測定結果に基づいて当該検査対象体を検査可能に構成され、
前記制御部は、前記検査位置補正情報取得部によって取得された前記位置ずれ量に応じて前記検査部に前記プローブをプロービングさせる位置を補正させる請求項１または２記載の検査装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の検査装置と、前記搬入位置において前記搬送機構の前記保持部に前記検査対象体を搬入する搬入機構と、前記搬出位置において前記搬送機構の前記保持部から前記検査対象体を搬出する搬出機構とを備えて構成された検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬入位置、検査処理位置および搬出位置の各位置に搬送機構によって検査対象体を搬送すると共に検査処理位置において検査対象体についての検査処理を実行可能に構成された検査装置および検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置（検査システム）として、特開２０００−１４７０４５号公報にプリント配線板検査装置（以下、単に「検査装置」ともいう）が開示されている。この検査装置は、検査対象のプリント基板を供給する（搬入する）供給部と、プリント基板を検査する検査部と、検査が完了したプリント基板を良品および不良品に振り分ける振分部と、プリント基板を搬送する回転テーブルとを備えて構成されている。この場合、上記の回転テーブルは、９０度ずつ回転させられることにより、供給部による供給位置（以下、「搬入位置」ともいう）、検査部による検査の実行位置（以下、「検査処理位置」ともいう）、および振分部によって搬出される位置（以下、「搬出位置」ともいう）の各位置にプリント基板を搬送することができるように構成されている。
【０００３】
この検査装置によるプリント基板の検査時には、まず、供給部が回転テーブル上にプリント基板を供給（搬入）する。次いで、回転テーブルが９０度回転させられることにより、プリント基板が搬入位置から検査処理位置に搬送される。続いて、検査部がプリント基板に対する検査処理を実行する。次いで、回転テーブルが９０度回転させられることにより、プリント基板が検査処理位置から搬出位置に搬送される。続いて、搬出位置に搬送されたプリント基板が良品と検査された基板のときには、振分部が、この良品の基板を回転テーブル上から搬出して良品の基板を収容するストッカに収容する。また、搬出位置に搬送されたプリント基板が不良品と検査された基板のときには、振分部が、この不良品の基板を回転テーブル上から搬出して不良品の基板を収容するストッカに収容する。以上により、プリント基板についての一連の検査処理が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１４７０４５号公報（第３−５頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の検査装置には、以下の解決すべき問題点がある。すなわち、従来の検査装置では、検査部による検査が完了したプリント基板を回転テーブルが検査処理位置から搬出位置に搬送し、振分部が良品のプリント基板および不良品のプリント基板に振り分けて搬出する構成が採用されている。この場合、不良品と検査されたプリント基板のなかには、実際には良品の回路基板であるにも拘わらず、例えば、検査部による検査時に、埃等の異物が検査ポイントに付着していたり、検査ポイントから位置ずれしてプロービングされたりして、正常な電気的検査が実施されずに不良品と検査されたものが存在することがある。したがって、この種の検査装置を用いた検査時には、検査が完了した際に、不良と検査されたプリント基板（検査対象体）について、不良箇所の有無をオペレータが目視によって再確認する作業が行われているのが現状である。
【０００６】
具体的には、検査装置によって不良品と検査されたプリント基板が存在するときには、目視によって不良箇所を確認して、パターンの欠損や短絡などの明らかな欠陥が存在するときには、不良品として検査を終了する。一方、目視による確認に際して見た目には不良箇所が存在しないときや、検査ポイントから位置ずれした部位にプローブの接触痕（プローブ痕：打痕）が見付かったときには、そのプリント基板を検査装置によって再び検査する。このため、この種の検査装置を用いた検査時には、検査装置によって不良品と検査されたプリント基板（検査対象体）をオペレータが目視によって再確認する作業が煩雑であると共に、オペレータが、再検査を要すると判断したときには、そのプリント基板（検査対象体）を再検査する際に検査装置に再びセットする作業が煩雑であるという問題点が存在する。
【０００７】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象体についての再検査処理の要否を容易に判定すると共に、必要と判定された検査対象体についての再検査処理を容易に実行し得る検査装置および検査システムを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、検査処理位置に配設されて検査対象体についての検査処理を実行可能に構成された検査部と、前記検査対象体を保持部によって保持して、搬入位置、前記検査処理位置および搬出位置の各位置に搬送する搬送機構と、前記検査部による前記検査処理の実行および前記搬送機構による前記検査対象体の搬送を制御する制御部とを備えた検査装置であって、判定処理位置に配設されて前記検査部による前記検査処理において不良と検査された前記検査対象体についての当該検査部による再検査処理の要否を判定する判定処理を実行可能に構成された判定部を備え、前記判定部は、前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、不良箇所の有無、当該保持部に対する当該検査対象体の保持位置のずれの有無、および異物の付着の有無を少なくとも特定し、前記不良箇所が存在すると特定したときには、前記検査対象体が不良であるため当該検査対象体についての前記再検査処理を不要と判定し、前記保持位置のずれ、および前記異物の付着のいずれかが存在すると特定したときには、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定可能に構成され、前記制御部は、前記検査部によって前記検査対象体が不良と検査されたときに、前記搬送機構を制御して当該不良と判定された検査対象体を前記判定処理位置に搬送させると共に、前記判定部を制御して当該検査対象体を対象とする前記判定処理を実行させ、当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体を保持している前記保持部からの当該検査対象体の搬出を規制すると共に当該保持部に対する他の前記検査対象体の搬入を規制する搬出搬入規制処理を実行した後に、前記搬送機構を制御して当該再検査処理を要すると判定された検査対象体を前記検査処理位置に搬送させて、前記検査部を制御して当該検査対象体についての前記再検査処理を実行させる。
【０００９】
また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、クリーニング処理位置に配設されて前記検査対象体をクリーニング処理するクリーニング処理部を備え、前記制御部は、前記検査対象体に付着した前記異物に起因して前記判定部によって当該検査対象体についての前記再検査処理を要すると判定されたときに、当該検査対象体についての前記再検査処理に先立って、前記搬送機構を制御して当該検査対象体を前記クリーニング処理位置に搬送させると共に、前記クリーニング処理部を制御して当該検査対象体についての前記クリーニング処理を実行させる。
【００１０】
さらに、請求項３記載の検査装置は、請求項１または２記載の検査装置において、前記判定処理位置とは異なる位置情報取得処理位置に配設されて前記保持部によって保持されている前記検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づき、当該保持部に対する当該検査対象体の位置ずれ量を取得する検査位置補正情報取得部を備え、前記検査部は、前記検査対象体にプロービング可能なプローブを備えて当該プローブを介して測定した測定結果に基づいて当該検査対象体を検査可能に構成され、前記制御部は、前記検査位置補正情報取得部によって取得された前記位置ずれ量に応じて前記検査部に前記プローブをプロービングさせる位置を補正させる。
【００１１】
また、請求項４記載の検査システムは、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置と、前記搬入位置において前記搬送機構の前記保持部に前記検査対象体を搬入する搬入機構と、前記搬出位置において前記搬送機構の前記保持部から前記検査対象体を搬出する搬出機構とを備えて構成されている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の検査装置では、制御部が、検査部によって検査対象体が不良と検査されたときに、搬送機構を制御して不良と判定された検査対象体を判定処理位置に搬送させると共に、判定部を制御して検査対象体を対象とする再検査処理の要否を判定する判定処理を実行させ、検査対象体についての再検査処理を要すると判定されたときに、その検査対象体を保持している保持部からの検査対象体の搬出を規制すると共に保持部に対する他の検査対象体の搬入を規制する搬出搬入規制処理を実行した後に、搬送機構を制御して再検査処理を要すると判定された検査対象体を検査処理位置に搬送させて、検査部を制御して検査対象体についての再検査処理を実行させる。
【００１３】
したがって、請求項１記載の検査装置によれば、検査部によって不良と検査された検査対象体についての再検査処理の要否が判定部によって自動的に判定されるため、不良と検査された検査対象体をオペレータが目視で確認する煩雑な作業を不要として、検査対象体についての再検査処理の要否を容易に判定することができる。また、再検査処理を実行するまでもなく明らかな欠陥が存在する検査対象体については、検査装置から搬出された後に、オペレータが欠陥の有無を目視で再確認する煩雑な作業を行うことなく、不良品であると確定することができる。さらに、再検査処理を要すると判定された検査対象体については、搬出搬入規制処理によって、搬送機構からの搬出が規制されると共に、その検査対象体を保持している保持部への他の検査対象体の搬入が規制されるため、再検査処理を要すると判定された検査対象体が基板検査装置から搬出されてしまう構成とは異なり、再検査処理を要すると判定された検査対象体についての再検査処理に際して、その検査対象体を基板検査装置に再度搬入するという煩雑な作業についても不要とすることができる。これにより、再検査処理を要する検査対象体を対象とする再検査処理を確実かつ容易に実行することができる。また、保持部によって保持されている検査対象体を撮像すると共に、その撮像データに基づいて検査対象体についての再検査処理の要否を判定するように判定部を構成したことにより、比較的簡易な構成であるにも拘わらず、検査部によって不良と検査される原因となり得る各種の状態が検査対象体に生じているか否かを確実かつ容易に確認することができる。これにより、再検査処理の要否を確実かつ容易に判定することができる。また、検査部が、接触型のプローブを使用して検査対象体を検査する構成においては、プロービング位置のずれに起因して、検査対象体が不良と検査されたときに、撮像データを解析することで、不良と検査された原因（プロービング位置のずれ）を特定することができるだけでなく、そのずれ量およびずれの方向を特定することで、検査部による再検査処理時にプロービング位置を補正させることができる。これにより、再検査処理時に再びプロービング位置にずれが生じて、良品の検査対象体が不良品であると誤って検査される事態を回避することができる。
【００１４】
また、請求項２記載の検査装置によれば、制御部が、検査対象体に付着した異物に起因して判定部によって検査対象体についての再検査処理を要すると判定されたときに、その検査対象体についての再検査処理に先立って、搬送機構を制御して検査対象体をクリーニング処理位置に搬送させると共に、クリーニング処理部を制御して検査対象体についてのクリーニング処理を実行させることにより、異物の付着に起因して不良と検査された検査対象体に異物が付着したまま再検査処理が実行されて再び不良と検査される事態を回避して、不良と検査された原因が「異物の付着」のときには、その検査対象体が良品であると正しく検査することができる。
【００１５】
さらに、請求項３記載の検査装置によれば、検査部が、検査位置補正情報取得部によって取得された位置ずれ量に応じてプローブをプロービングさせることにより、検査対象体上の任意の検査ポイントにプローブを正確にプロービングさせることができる。
【００１６】
また、請求項４記載の検査システムによれば、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置と、搬入位置において搬送機構の保持部に検査対象体を搬入する搬入機構と、搬出位置において搬送機構の保持部から検査対象体を搬出する搬出機構とを備えて構成したことにより、手作業で検査対象体を搬入・搬出する構成と比較して、各検査対象体についての一連の検査処理を迅速かつ容易に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】基板検査システム１０の構成を示すブロック図である。
【図２】基板検査装置１における各位置Ｐ１〜Ｐ８の位置関係について説明するための説明図である。
【図３】検査処理２０のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係る検査装置および基板検査システムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
図１に示す基板検査システム１０は、「検査システム」の一例であって、基板検査装置１、搬入機構２および搬出機構３を備えて、回路基板（図示せず）の良否を電気的に検査可能に構成されている。基板検査装置１は、「検査装置」の一例であって、カメラ１１，１３、検査部１２，クリーニング処理部１４、搬送機構１５、操作部１６、表示部１７および制御部１８を備えて構成されている。この場合、回路基板は、「検査対象体」の一例であって、後述する搬送機構１５の基板保持部１５ａに対する位置（保持位置）についての情報を得るためのフェデューシャルマークが基板面に印刷されると共に、複数の電子部品が実装されている（図示せず）。
【００２０】
カメラ１１は、制御部１８と相まって検査位置補正情報取得部を構成する。このカメラ１１は、図２に示すように、位置情報取得処理位置Ｐ３に配設されると共に、制御部１８からの制御信号Ｓ１に従って、搬送機構１５の基板保持部１５ａによって保持されている回路基板を撮像し、その撮像データＤ１を制御部１８に出力する。検査部１２は、検査処理位置Ｐ５に配設されると共に、制御部１８からの制御信号Ｓ２に従って回路基板を検査して、その検査結果を検査結果データＤ２として制御部１８に出力する。具体的には、本例の基板検査装置１では、一例として、検査部１２は、回路基板に対して規定された各検査ポイントにプロービングするための複数の接触型のプローブと、各プローブを介して各検査ポイント間の電気的パラメータ（電流値、電圧値および抵抗値等）を測定する測定部と、測定部による測定結果および検査用基準データに基づいて検査ポイントの良否を変別する判別部とを備えて構成されている。
【００２１】
カメラ１３は、制御部１８と相まって「判定部」を構成する。このカメラ１３は、図２に示すように、判定処理位置Ｐ６に配設されると共に、制御部１８からの制御信号Ｓ３に従って、搬送機構１５の基板保持部１５ａによって保持されている回路基板を撮像し、その撮像データＤ３を制御部１８に出力する。クリーニング処理部１４は、クリーニング処理位置Ｐ２に配設されると共に、一例として、制御部１８からの制御信号Ｓ４に従って、搬送機構１５の基板保持部１５ａによって保持されている回路基板に向けて圧縮空気を吹き付けて、回路基板の表面に付着している埃等の異物を除去するクリーニング処理を実行する。
【００２２】
搬送機構１５は、図２に示すように、一例として、８つの基板保持部１５ａ（「保持部」の一例）が４５度の等角度間隔で配設された「回転型搬送機構」であって、制御部１８からの制御信号Ｓ５に従い、各基板保持部１５ａによって保持されている回路基板を、搬入位置Ｐ１、クリーニング処理位置Ｐ２、位置情報取得処理位置Ｐ３、位置Ｐ４、検査処理位置Ｐ５、判定処理位置Ｐ６および搬出位置Ｐ７の各位置に順次搬送する。
【００２３】
この場合、この基板検査装置１では、一例として、上記の各位置Ｐ１〜Ｐ７と位置Ｐ８との合計８つの位置において基板保持部１５ａが停止するように構成されている。なお、本例の基板検査装置１では、上記の位置Ｐ４，Ｐ８においては、回路基板に対する処理が実施されず、この位置Ｐ４，Ｐ８が空きスペースとなっているが、例えば、検査部１２とは異なる「検査部」を位置Ｐ４に配設して、検査部１２による検査に先立って予備的検査を実行する構成や、搬出位置Ｐ７に加えて位置Ｐ８を「搬出位置」として、良品の回路基板を搬出位置Ｐ７から搬出し、かつ、不良品の回路基板を位置Ｐ８から搬出する構成を採用することができる。
【００２４】
操作部１６は、基板検査システム１０の動作条件についての入力操作や、後述する検査処理２０の開始・停止を指示するための各種の操作スイッチを備えている（図示せず）。表示部１７は、制御部１８の制御に従い、基板検査システム１０の各部の動作状態や、回路基板の検査結果などを表示する。
【００２５】
制御部１８は、基板検査システム１０を総括的に制御する。具体的には、制御部１８は、搬入機構２に対して制御信号Ｓｉを出力することにより、検査待機位置に載置された検査対象の回路基板を搬入位置Ｐ１に搬入させる。また、制御部１８は、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、回路基板を上記の各位置Ｐ１〜Ｐ７に順次搬送させる。さらに、制御部１８は、クリーニング処理部１４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、回路基板をクリーニング処理させる。また、制御部１８は、カメラ１１，１３に対して制御信号Ｓ１，Ｓ３をそれぞれ出力することにより、回路基板を撮像させる。
【００２６】
さらに、制御部１８は、カメラ１１から出力された撮像データＤ１に基づき、搬送機構１５の基板保持部１５ａによる回路基板の保持位置の位置ずれ量を取得する。また、制御部１８は、検査部１２に対して制御信号Ｓ２を出力することにより、回路基板を電気的に検査させる。さらに、制御部１８は、検査部１２から出力される検査結果データＤ２に基づき、検査部１２による検査が完了した回路基板についての再検査処理の要否を判定すると共に、再検査処理を要すると判定したときには、その回路基板についての再検査処理等を実行させる。また、制御部１８は、搬出機構３に対して制御信号Ｓｏを出力することにより、搬出位置Ｐ７から検査完了位置に回路基板を搬出させる。
【００２７】
一方、搬入機構２および搬出機構３は、一例として、検査対象の回路基板を吸着して保持する吸着機構と、吸着機構によって吸着保持されている回路基板を移動させる移動機構とを備え（図示せず）、制御部１８からの制御信号Ｓｉ，Ｓｏに従い、回路基板を搬入・搬出する。なお、本例の基板検査システム１０では、基板検査装置１の制御部１８が搬入機構２および搬出機構３を制御する（制御部１８が基板検査システム１０を総括的に制御する）構成を採用しているが、基板検査装置１を総括的に制御する「制御部」を設けると共に、この「制御部」とは別個に、基板検査装置１、搬入機構２および搬出機構３の動作タイミングを制御する「制御部」を設けてもよい。
【００２８】
この基板検査システム１０による回路基板の検査に際しては、まず、検査対象の回路基板を検査待機位置に載置した状態において、操作部１６の開始スイッチを操作する。この際に、制御部１８は、操作部１６からの操作信号に応じて図３に示す検査処理２０を開始する。この検査処理２０では、制御部１８は、まず、搬入機構２に対して制御信号Ｓｉを出力することにより、検査待機位置に載置されている回路基板を、搬入位置Ｐ１に位置している基板保持部１５ａ上に搬入させると共に（ステップ２１）、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、搬入機構２によって搬入された回路基板を保持させる。
【００２９】
次いで、制御部１８は、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、搬入位置Ｐ１からクリーニング処理位置Ｐ２に回路基板を搬送させると共に、クリーニング処理部１４に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、前述したクリーニング処理を実行させる（ステップ２２）。この際に、クリーニング処理部１４によって回路基板に向けて圧縮空気を吹き付けられることにより、回路基板の表面に異物が付着している場合には、この異物が除去される。
【００３０】
続いて、制御部１８は、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、クリーニング処理位置Ｐ２から位置情報取得処理位置Ｐ３に回路基板を搬送させると共に、位置情報取得処理位置Ｐ３に搬送された回路基板が後述する再検査処理の対象の回路基板ではないと判別し（ステップ２３）、基板保持部１５ａによる回路基板の保持位置の位置ずれ量を取得する位置情報取得処理を実行する（ステップ２４）。具体的には、制御部１８は、カメラ１１に対して制御信号Ｓ１を出力することにより、回路基板を撮像させると共に、カメラ１１から出力された撮像データＤ１を画像解析処理することにより、撮像データＤ１の画像内におけるフェデューシャルマークの位置に基づいて、基板保持部１５ａに対する回路基板の保持位置の位置ずれ量を特定する。
【００３１】
次いで、制御部１８は、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、位置情報取得処理位置Ｐ３から、位置Ｐ４および検査処理位置Ｐ５にこの順で回路基板を搬送させると共に、検査部１２に対して制御信号Ｓ２を出力することにより、搬送された回路基板を対象とする検査を実行させる（ステップ２５）。この際に、制御部１８は、カメラ１１から出力された撮像データＤ１に基づいて取得した上記の位置ずれ量を検査部１２に出力することにより、検査部１２による各検査ポイントへのプロービング位置を補正させる。これにより、検査部１２によって回路基板が検査されて、検査結果データＤ２が出力される
【００３２】
続いて、制御部１８は、検査部１２から出力された検査結果データＤ２に基づき、回路基板に不良箇所（欠陥）が存在するか否か（回路基板が不良品と検査されたか否か）を判別する（ステップ２６）。この際に、不良箇所が存在しないとき（検査部１２によって良品の回路基板と検査されたとき：再検査処理の要否を判定する「判定処理」を実行する必要がない状態の一例）には、制御部１８は、搬送機構１５を制御して、その回路基板を判定処理位置Ｐ６および搬出位置Ｐ７にこの順で搬送させると共に、搬出機構３に対して制御信号Ｓｏを出力することにより、その回路基板を良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ２７）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。
【００３３】
一方、検査結果データＤ２に基づき、回路基板に不良箇所（欠陥）が存在すると判別したときには（ステップ２６）、制御部１８は、その回路基板についての検査部１２による直前の検査が初回の検査であるか否か（再検査であるか否か）を判別する（ステップ２８）。この際に、直前の検査が初回の検査であると判別したとき（再検査処理の要否を判定する「判定処理」を実行する必要がある状態の一例）には、制御部１８は、搬送機構１５を制御して、その回路基板を検査処理位置Ｐ５から判定処理位置Ｐ６に搬送させると共に、その回路基板についての再検査処理の要否を判定する「判定処理」を実行する（ステップ２９）。具体的には、制御部１８は、カメラ１３に対して制御信号Ｓ３を出力することにより、回路基板を撮像させると共に、カメラ１３から出力された撮像データＤ３を画像解析処理することにより、検査部１２によって不良と検査された検査ポイント（言い替えれば、プロービングポイント）の状態（後述する「明らかな不良箇所の有無」、「基板保持部１５ａに対する回路基板の保持位置のずれの有無」、および「異物の付着の有無」）を特定する。
【００３４】
この際に、撮像データＤ３についての画像解析処理の結果、「導体パターンの欠損」、「実装されているべき電子部品の欠落や端子浮き」および「相互に絶縁されているべき導体パターンの短絡」などの明らかな不良箇所が存在すると確認されたときには（ステップ３０）、制御部１８は、搬送機構１５を制御して、その回路基板を搬出位置Ｐ７に搬送させると共に、搬出機構３に対して制御信号Ｓｏを出力することにより、その回路基板を不良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ３１）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。
【００３５】
また、上記の例示のような明らかな不良箇所が確認されなかったときには（ステップ３０）、制御部１８は、撮像データＤ３に基づいて特定した「基板保持部１５ａに対する回路基板の保持位置の位置ずれ量」が、前述した位置情報取得処理位置Ｐ３において撮像された撮像データＤ１に基づいて特定した「位置ずれ量」とは相違するか否か（上記の「保持位置のずれの有無」）を判別する（ステップ３２）。この際に、位置情報取得処理位置Ｐ３における撮像が完了してから検査処理位置Ｐ５における検査が実行されるまでの間に、基板保持部１５ａに対して回路基板に位置ずれが生じたときには、検査ポイントに対してプローブを正確にプロービングさせることができずに、検査部１２によって不良箇所が存在すると検査される。
【００３６】
したがって、撮像データＤ１に基づいて特定した「位置ずれ量」と、撮像データＤ３に基づいて特定した「位置ずれ量」とが相違するときに、制御部１８は、搬出機構３に対して制御信号Ｓｏを出力して、その回路基板が搬出位置Ｐ７に搬送されたときに基板保持部１５ａから搬出しないように規制すると共に、搬入機構２に対して制御信号Ｓｉを出力して、その回路基板を保持している基板保持部１５ａが搬入位置Ｐ１に移動させられたときにその基板保持部１５ａに他の回路基板を搬入しないように規制する（「搬出搬入規制処理」の一例）。
【００３７】
次いで、制御部１８は、搬送機構１５に対して制御信号Ｓ５を出力することにより、搬出位置Ｐ７、位置Ｐ８、搬入位置Ｐ１、クリーニング処理位置Ｐ２および位置情報取得処理位置Ｐ３にこの順で回路基板を搬送させると共に、基板保持部１５ａによる回路基板の保持位置の位置ずれ量を取得する上記の位置情報取得処理を再び実行する（ステップ２４）。これにより、基板保持部１５ａに対する回路基板の新たな「位置ずれ量」が取得される。続いて、制御部１８は、搬送機構１５を制御して検査処理位置Ｐ５に回路基板を搬送させ、その後に、検査部１２に制御信号Ｓ２を出力して再検査処理を実行させる（ステップ２５）。この際には、新たに特定された「位置ずれ量」に基づいて、各検査ポイントにプローブが正確にプロービングされる。この結果、良品の回路基板である旨の検査結果データＤ２が検査部１２から出力され、これに応じて、制御部１８は、不良箇所が存在しないと判別し（ステップ２６）、搬出機構３に対して良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ２７）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。
【００３８】
一方、撮像データＤ１に基づいて特定した「位置ずれ量」と、撮像データＤ３に基づいて特定した「位置ずれ量」とが同一であるとき（位置情報取得処理位置Ｐ３から判定処理位置Ｐ６まで搬送される間に基板保持部１５ａに対する回路基板の保持位置に新たな位置ずれが生じていないときには（ステップ３２）、制御部１８は、検査部１２によって不良箇所と検査された検査ポイントにおいて、プローブビング位置にずれが生じているか否かを判別する（ステップ３３）。具体的には、制御部１８は、撮像データＤ３を画像解析処理することにより、プロービング時に形成されるプローブ痕（打痕）を検出する。次いで、制御部１８は、検出した打痕が、規定された検査ポイントから位置ずれしているか否かを判別する。
【００３９】
この際に、検出した打痕が、規定された検査ポイントから位置ずれしているときには、制御部１８は、その「ずれ量」と、「ずれの方向」を特定する。次いで、制御部１８は、前述した「搬出搬入規制処理」を実行した後に、その回路基板が検査処理位置Ｐ５まで搬送されたときに、検査部１２を制御して、特定した「ずれ量」および「ずれの方向」に応じてプロービング位置を補正させて「再検査処理」を実行させる（ステップ２５）。この際には、検査ポイントにプローブが正確にプロービングされる結果、良品の回路基板である旨の検査結果データＤ２が検査部１２から出力され、これに応じて、制御部１８は、不良箇所が存在しないと判別して（ステップ２６）、搬出機構３に対して良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ２７）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。なお、プロービング位置のずれ量が、再検査処理時に補正可能な範囲を超えて大きい場合には、そのずれ量およびずれの方向に関する情報を蓄積しておくことで、後に、位置ずれの原因を特定したり、対策を検討したりすることができる。
【００４０】
また、検出した打痕が、規定された検査ポイントから位置ずれしていないとき（すなわち、明らかな欠陥箇所の存在を確認できず、判定処理位置Ｐ６に搬送されるまでの間に新たな位置ずれが生じておらず、かつ、プロービング位置にずれが生じていないとき）には、制御部１８は、検査部１２によって不良箇所と検査された検査ポイントに異物が付着しているか否かを判別する（ステップ３４）。この際に、異物が付着していないとき（すなわち、明らかな欠陥箇所の存在を確認できず、判定処理位置Ｐ６に搬送されるまでの間に新たな位置ずれが生じておらず、プロービング位置にずれが生じておらず、かつ、異物の付着も認められないとき）には、前述した「搬出搬入規制処理」を実行した後に、その回路基板が検査処理位置Ｐ５まで搬送されたときに、検査部１２を制御して「再検査処理」を実行させる（ステップ２５）。
【００４１】
この際に、再検査処理の結果、不良と検査されたときには（ステップ２６）、制御部１８は、その検査が初回の検査ではない（「再検査」である）と判別し（ステップ２８）、搬送機構１５を制御して、その回路基板を搬出位置Ｐ７に搬送させる。また、制御部１８は、搬出機構３に対して制御信号Ｓｏを出力することにより、その回路基板を不良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ３１）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。
【００４２】
また、撮像データＤ３に対する画像解析処理の結果、検査ポイントに異物が付着していると判別したときには（ステップ３４）、制御部１８は、前述した「搬出搬入規制処理」を実行した後に、その回路基板がクリーニング処理位置Ｐ２まで搬送されたときに、クリーニング処理部１４を制御して「クリーニング処理」を実行させる（ステップ２２）。これにより、検査ポイントに付着していた異物が除去される。次いで、制御部１８は、搬送機構１５を制御して、クリーニング処理位置Ｐ２から位置情報取得処理位置Ｐ３に回路基板を搬送させると共に、位置情報取得処理位置Ｐ３に搬送された回路基板が後述する再検査処理の対象の回路基板であると判別する（ステップ２３）。
【００４３】
続いて、制御部１８は、搬送機構１５を制御して、位置情報取得処理位置Ｐ３から、位置Ｐ４および検査処理位置Ｐ５にこの順で回路基板を搬送させると共に、検査部１２に対して制御信号Ｓ２を出力することにより、搬送された回路基板を対象とする再検査検査を実行させる（ステップ２５）。この際には、検査ポイントに付着していた異物が上記の「クリーニング処理」によって除去されているため、検査ポイントが正常であると検査されて、良品の回路基板である旨の検査結果データＤ２が検査部１２から出力される。これに応じて、制御部１８は、不良箇所が存在しないと判別し（ステップ２６）、搬出機構３に対して良品の基板として搬出位置Ｐ７から検査完了基板ストック位置に搬出させ（ステップ２７）、その回路基板についての検査処理２０を完了する。
【００４４】
なお、「検査装置」および「検査システム」についての理解を容易とするために、１枚の回路基板についての一連の処理を連続的に説明したが、実際には、例えば、搬入位置Ｐ１において基板保持部１５ａ上に搬入された回路基板がクリーニング処理位置Ｐ２に搬送された際に、搬入位置Ｐ１に位置している他の基板保持部１５ａ上に他の回路基板が搬入され、複数の回路基板が搬送機構１５の基板保持部１５ａによって保持された状態で、各位置毎に並行して別個の処理が実行される。
【００４５】
このように、この基板検査装置１では、制御部１８が、検査部１２によって回路基板が不良と検査されたときに、搬送機構１５を制御して不良と判定された回路基板を判定処理位置Ｐ６に搬送させると共に、カメラ１３によって撮像された撮像データＤ３に基づいてその回路基板についての「再検査処理」の要否を判定する「判定処理」を実行し、回路基板についての「再検査処理」を要すると判定したときに、その回路基板を保持している基板保持部１５ａからの回路基板の搬出を規制すると共にその基板保持部１５ａに対する他の回路基板の搬入を規制する「搬出搬入規制処理」を実行した後に、搬送機構１５を制御して「再検査処理」を要すると判定された回路基板を検査処理位置Ｐ５に搬送させて、検査部１２を制御して回路基板についての「再検査処理」を実行させる。
【００４６】
したがって、この基板検査装置１によれば、検査部１２によって不良と検査された回路基板についての再検査処理の要否がカメラ１３および制御部１８（判定部）によって自動的に判定されるため、不良と検査された回路基板をオペレータが目視で確認する煩雑な作業を不要として、回路基板についての再検査処理の要否を容易に判定することができる。また、再検査処理を実行するまでもなく明らかな欠陥が存在する回路基板については、基板検査装置１から搬出された後に、オペレータが欠陥の有無を目視で再確認する煩雑な作業を行うことなく、不良品であると確定することができる。さらに、再検査処理を要すると判定された回路基板については、「搬出搬入規制処理」によって、搬送機構１５からの搬出が規制されると共に、その回路基板を保持している基板保持部１５ａへの他の回路基板の搬入が規制されるため、再検査処理を要すると判定された回路基板が「基板検査装置」から搬出されてしまう構成とは異なり、再検査処理を要すると判定された回路基板についての再検査処理に際して、その回路基板を基板検査装置１に再度搬入するという煩雑な作業についても不要とすることができる。これにより、再検査処理を要する回路基板を対象とする再検査処理を確実かつ容易に実行することができる。
【００４７】
また、この基板検査装置１によれば、制御部１８が、回路基板に付着した異物に起因してその回路基板についての「再検査処理」を要すると判定したときに、その回路基板についての「再検査処理」に先立って、搬送機構１５を制御して回路基板をクリーニング処理位置Ｐ２に搬送させると共に、クリーニング処理部１４を制御して回路基板についての「クリーニング処理」を実行させることにより、異物の付着に起因して不良と検査された回路基板に異物が付着したまま再検査処理が実行されて再び不良と検査される事態を回避して、不良と検査された原因が「異物の付着」のときには、その回路基板が良品であると正しく検査することができる。
【００４８】
さらに、この基板検査装置１によれば、基板保持部１５ａによって保持されている回路基板を撮像すると共に、撮像データＤ３に基づいて回路基板についての「再検査処理」の要否を判定するようにカメラ１３および制御部１８（判定部）を構成したことにより、比較的簡易な構成であるにも拘わらず、検査部１２によって不良と検査される原因となり得る各種の状態が回路基板に生じているか否かを確実かつ容易に確認することができる。これにより、再検査処理の要否を確実かつ容易に判定することができる。また、プロービング位置のずれに起因して、回路基板が不良と検査されたときに、撮像データＤ３を解析することで、不良と検査された原因（プロービング位置のずれ）を特定することができるだけでなく、そのずれ量およびずれの方向を特定することで、検査部１２による再検査処理時にプロービング位置を補正させることができる。これにより、再検査処理時に再びプロービング位置にずれが生じて、良品の回路基板が不良品であると誤って検査される事態を回避することができる。
【００４９】
また、この基板検査システム１０によれば、上記の基板検査装置１と、搬入位置Ｐ１において搬送機構１５の基板保持部１５ａに回路基板を搬入する搬入機構２と、搬出位置Ｐ７において搬送機構１５の基板保持部１５ａから回路基板を搬出する搬出機構３とを備えて構成したことにより、手作業で回路基板を搬入・搬出する構成と比較して、各回路基板についての一連の検査処理を迅速かつ容易に実行することができる。
【００５０】
なお、「検査装置」および「検査システム」の構成は、上記した基板検査装置１および基板検査システム１０の構成に限定されない。例えば、搬入機構２および搬出機構３を備えて構成した基板検査システム１０を例に挙げて説明したが、搬入位置Ｐ１に対する回路基板の搬入、および搬出位置Ｐ７からの回路基板の搬出のいずれか（または双方）を手作業で実施する構成を採用することもできる。
【００５１】
この場合、回路基板の搬出を手作業で実施する構成では、一例として、「再検査処理」を要すると判定された回路基板が搬出位置Ｐ７まで搬送されたときに、「この回路基板を搬出しないで下さい」とのメッセージを出力し（表示部１７に対する文字列の表示や、そのようなメッセージの放音：「搬出搬入規制処理」の他の一例）すればよい。また、回路基板の搬入を手作業で実施する構成では、一例として、「再検査処理」を要すると判定された回路基板を保持している基板保持部１５ａが搬入位置Ｐ１まで移動したときに、「新たな回路基板を搬入しないで下さい」とのメッセージを出力し（表示部１７に対する文字列の表示や、そのようなメッセージの放音：「搬出搬入規制処理」の他の一例）すればよい。
【００５２】
また、搬入位置Ｐ１において基板保持部１５ａ上に搬入された回路基板について、カメラ１１による撮像に先立ってクリーニング処理位置Ｐ２においてクリーニング処理部１４によってクリーニング処理する構成を例に挙げて説明したが、検査部１２による初回の検査以前に上記のクリーニング処理を実行せずに、異物の付着に起因して不良箇所が存在すると検査された回路基板についてのみ、「再検査処理」に先立って「クリーニング処理」を実行する構成を採用することもできる。このような構成を採用する場合においては、上記のクリーニング処理位置Ｐ２に代えて、例えば位置Ｐ８にクリーニング処理部１４を配設してもよい。
【００５３】
さらに、搬送機構１５（各基板保持部１５ａ）を一定の向き（本例では、図２において時計回り）に回転させて回路基板を各位置に搬送する構成を例に挙げて説明したが、必要に応じて、搬送機構１５を逆回転させて、回路基板を任意の位置に搬送する構成を採用することもできる。また、回転搬送型の搬送機構１５に代えて、直線搬送型の「搬送機構」を採用することもできる（図示せず）。
【００５４】
また、検査部１２において接触型のプローブを用いて回路基板を電気的に検査する構成の基板検査装置１（基板検査システム１０）を例に挙げて説明したが、非接触型のプローブを用いて回路基板を電気的に検査する構成や、カメラによる撮像データに基づいて回路基板を光学的に検査する構成など各種の検査方式の構成を採用することもできる。加えて、「検査対象体」としての回路基板を検査する構成を例に挙げて説明したが、電子部品、電子機器、および電子機器を構成するユニットなどの各種の「検査対象体」を検査する「検査装置」および「検査システム」に本発明を適用することができるのは勿論である。
【符号の説明】
【００５５】
１０  基板検査システム
１  基板検査装置
２  搬入機構
３  搬出機構
１１，１３  カメラ
１２  検査部
１４  クリーニング処理部
１５  搬送機構
１５ａ  基板保持部
１８  制御部
２０  検査処理
Ｄ１，Ｄ３  撮像データ
Ｄ２  検査結果データ
Ｐ１  搬入位置
Ｐ２  クリーニング処理位置
Ｐ３  位置情報取得処理位置
Ｐ４，Ｐ８  位置
Ｐ５  検査処理位置
Ｐ６  判定処理位置
Ｐ７  搬出位置
Ｓ１〜Ｓ５，Ｓｉ，Ｓｏ  制御信号Ｓｏ
【図１】
0005818524.tif 000002
【図２】
0005818524.tif 000003
【図３】
0005818524.tif 000004