(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々基板を搬送または処理する複数のモジュールを備えた基板処理装置において、
前記モジュールに対してインターロックをかける要因を検出し、検出信号を出力する検出部と、
前記検出部から前記検出信号を受け取って、前記要因を検出したことのアラーム情報を親アラーム情報として出力すると共に、当該要因が受け持ち範囲のモジュールに関連するときには、当該関連する全てのモジュールがインターロック動作を行うための指令信号を出力するインターロック管理部と、
前記モジュールごとに設けられ、モジュールをコントロールすると共に、前記インターロック管理部からの指令信号に基づいてモジュールに対してインターロック動作を行うことと、前記インターロック管理部が前記指令信号を出力した要因と同じ要因に対応して発報されるアラーム情報を、前記親アラーム情報に含まれるアラーム名称と同じアラーム名称を含む子アラーム情報として出力することと、を行う複数のモジュールコントローラと、
前記インターロック管理部から送られた親アラーム情報と前記モジュールコントローラから送られた子アラーム情報とについて、アラーム名称を用いて親子関係を判断し、親アラーム情報及び子アラーム情報を互いに関連付けることによってグループ化されたアラーム情報を作成することと、前記グループ化されたアラーム情報を表示させること、とを行うアラーム管理部と、を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記アラーム管理部は、前記グループ化された表示に対して、親アラーム情報についてリカバリ動作の指示を行うと子アラーム情報についても当該リカバリ動作を行う一括リカバリ機能を備えていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
子アラーム情報のリカバリ動作は、親アラーム情報のリカバリ動作とは関連せずに独自に行う個別リカバリを行うモードを更に備え、前記一括リカバリを行うモードと個別リカバリを行うモードとのいずれかを選択する選択部を備えていることを特徴とする請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
各々基板を搬送または処理する複数のモジュールを備えた基板処理装置のアラーム管理方法において、
装置に対してインターロックをかける要因を検出し検出信号を出す工程と、
この検出信号を受け取ったインターロック管理部が、前記要因を検出したことのアラーム情報を親アラーム情報として出力すると共に、当該要因が受け持ち範囲のモジュールに関連するときには、当該関連する全てのモジュールがインターロック動作を行うための指令信号を出力する工程と、
前記モジュールごとに設けられ、モジュールをコントロールする複数のモジュールコントローラが、前記インターロック管理部からの指令信号に基づいてモジュールに対してインターロック動作を行うことと、前記インターロック管理部が前記指令信号を出力した要因と同じ要因に対応して発報されるアラーム情報を、前記親アラーム情報に含まれるアラーム名称と同じアラーム名称を含む子アラーム情報として出力することと、を行う工程と、
前記インターロック管理部及びモジュールコントローラの各々からアラーム情報が送られたときに、これらアラーム情報に含まれるアラーム名称に基づいて親子関係を判断し、親アラーム情報及び子アラーム情報を互いに関連付けることによってグループ化されたアラーム情報を作成することと、前記グループ化されたアラーム情報を表示させること、とを行う工程と、を含むことを特徴とする基板処理装置のアラーム管理方法。
【請求項５】
グループ化された表示に対して、親アラーム情報についてリカバリ動作の指示を行うと子アラーム情報についても当該リカバリ動作を行う一括リカバリを行う工程と、を含むことを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置のアラーム管理方法。
【請求項６】
子アラーム情報のリカバリを行う工程には、親アラーム情報のリカバリ動作とは関連せずに独自に行う個別リカバリを行うモードを更に備え、前記一括リカバリを行うモードと個別リカバリを行うモードとのいずれかを選択する工程を含むことを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置のアラーム管理方法。
【請求項７】
複数のモジュールを備えた基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記プログラムは請求項４ないし６のいずれか一つに記載された基板処理装置のアラーム管理方法を実行するためにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対する処理を行う基板処理装置から発報されるアラームを管理する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板である半導体ウエハ（以下、ウエハという）の表面に集積回路の積層構造を形成したり、ＦＰＤ（Flat Panel Display）やＰＶ（Photo Voltaic）パネルなどの各種基板を製造したりする工程においては、ウエハ等への成膜処理やエッチング処理、フォトリソグラフィ工程におけるレジスト膜の塗布、現像処理など、種々のプロセス処理を行う基板処理装置が利用されている。
【０００３】
これらの基板処理装置には、装置内に設けられている各種のセンサから取得した情報やプロセスレシピの制御パラメータの設定値などを操作ディスプレイなどに表示して、その稼働状況を監視できるようになっているものがある。
【０００４】
基板処理装置の稼働状況を監視する際に重要な情報の一つとして、プロセス変数が設定範囲を外れた場合や、センサが装置の異常を検出した場合などに発報するアラームがある。アラームには、発生箇所や不具合の内容などを示す情報が含まれており、その内容に応じた適切な処置を実行することにより基板処理装置の稼動状態を正常に維持し、また装置を損傷から保護することができる。
【０００５】
一旦発報されたアラームは、予め設定されたリカバリ動作の実行を条件にその発報状態が解除されるようになっていることが多い。また、複数のアラームが発報した場合には、見落としやリカバリ動作の実行漏れを防ぐため、全てのアラームを例えば時系列順に表示し、各々について必要なリカバリ動作を実行しないと、全てのアラームの発報状態を解除できない場合がある。
【０００６】
一方で基板処理装置は、例えばインターロックの発生要因が１つ発生すると、装置内の複数の機器にてインターロックが作動してこれらの機器が停止する設定となっていることにより、短時間に数十以上のアラームが発報することがある。このような場合であっても、実際の処置が必要なアラームは、前記インターロックの発生要因を報知する１つのアラームだけであり、この発生要因が解消されれば、他のアラームに必要なリカバリ動作は例えば「処理続行」の指示やアラームの「表示削除」指示など、簡単なものに過ぎないこともある。このような場合であっても、数十ものアラームの一つ一つのリカバリ動作を確認しながら実行することはオペレータにとって負担が大きい。
【０００７】
特許文献１には、基板の処理中などに発生したトラブルの発生時間、発生箇所及びアラーム（警報）の名称を一覧形式で表示すると共に、アラームの種類に応じたリカバリ動作を実行する操作ボタン（アラームリスタートボタンやキャンセルリスタートボタン）を備えた操作ディスプレイ（警報画面）に表示する基板処理装置が記載されているが、複数のアラームを効率的に管理する技術は記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−３０７６１２号公報：段落００５４〜００５５、図９
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような背景の下になされたものであり、複数のアラーム情報に対するリカバリ動作を効率的に実行することが可能な基板処理装置、基板処理装置のアラーム管理方法及びこの方法を記憶した記憶媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、各々基板を搬送または処理する複数のモジュールを備えた基板処理装置において、
前記モジュールに対してインターロックをかける要因を検出し、検出信号を出力する検出部と、
前記検出部から前記検出信号を受け取って、前記要因を検出したことのアラーム情報を親アラーム情報として出力すると共に、当該要因が受け持ち範囲のモジュールに関連するときには、当該関連する全てのモジュールがインターロック動作を行うための指令信号を出力するインターロック管理部と、
前記モジュールごとに設けられ、モジュールをコントロールすると共に、前記インターロック管理部からの指令信号に基づいてモジュールに対してインターロック動作を行うことと、前記インターロック管理部が前記指令信号を出力した要因と同じ要因に対応して発報されるアラーム情報を、前記親アラーム情報に含まれるアラーム名称と同じアラーム名称を含む子アラーム情報として出力することと、を行う複数のモジュールコントローラと、
前記インターロック管理部から送られた親アラーム情報と前記モジュールコントローラから送られた子アラーム情報とについて、アラーム名称を用いて親子関係を判断し、親アラーム情報及び子アラーム情報を互いに関連付けることによってグループ化されたアラーム情報を作成することと、前記グループ化されたアラーム情報を表示させること、とを行うアラーム管理部と、を備えていることを特徴とする。
【００１１】
上述の基板処理装置は以下の特徴を備えていてもよい。  
（ａ）前記アラーム管理部は、前記グループ化された表示に対して、親アラーム情報についてリカバリ動作の指示を行うと子アラーム情報についても当該リカバリ動作を行う一括リカバリ機能を備えていること。
（ｂ）子アラーム情報のリカバリ動作は、親アラーム情報のリカバリ動作とは関連せずに独自に行う個別リカバリを行うモードを更に備え、前記一括リカバリを行うモードと個別リカバリを行うモードとのいずれかを選択する選択部を備えていること。  
（ｃ）前記モジュールコントローラによりコントロールされるモジュールは、基板に対して処理を行うための処理モジュールであること。
（ｄ）前記モジュールコントローラは、前記インターロック管理部を介して検出信号を受け取ること、または前記モジュールコントローラは、前記検出部から検出信号を受け取ること。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、複数のモジュールにインターロックをかける要因となる現象が起こったことのアラーム情報を親アラームとし、インターロックが動作したことのアラーム情報を子アラームとして、複数のアラーム情報をグループ化するので、これらグループ化されたアラーム情報に対して一括してリカバリ動作を行うことができ、複数のアラーム情報に対するリカバリ動作を効率的に実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態に係わる液処理装置の横断平面図である。
【図２】前記液処理装置の外観斜視図である。
【図３】前記液処理装置に設けられている液処理モジュールの縦断側面図である。
【図４】前記液処理モジュールの配置を示す模式図である。
【図５】前記液処理モジュールが共用している搬送、排気及び薬液系統の説明図である。
【図６】前記液処理装置内のアラーム発報システムの一部を示すブロック図である
【図７】前記アラーム発報システムの第１の作動例を示す説明図である。
【図８】前記アラーム発報システムの第２の作動例を示す説明図である。
【図９】前記アラーム発報システムにて出力されるアラーム情報の例を示す説明図である。
【図１０】前記液処理装置のアラーム発報画面を示す第１の説明図である。
【図１１】前記アラーム発報画面の第２の説明図である。
【図１２】前記アラーム発報画面の第３の説明図である。
【図１３】前記アラーム発報画面の第４の説明図である。
【図１４】前記アラーム発報画面の第５の説明図である。
【図１５】前記アラーム発報画面の第６の説明図である。
【図１６】前記アラーム発報画面の第７の説明図である。
【図１７】前記アラーム発報画面の第８の説明図である。
【図１８】前記アラーム発報画面の第９の説明図である。
【図１９】前記アラーム発報画面の第１０の説明図である。
【図２０】前記アラーム発報画面の第１１の説明図である。
【図２１】他のアラーム発報システムの第１の作動例を示す説明図である。
【図２２】他のアラーム発報システムの第２の作動例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、実施の形態に係わる基板処理装置の一例として、基板であるウエハＷの表面の洗浄を行う液処理装置１に本発明を適用した例を説明する。図１の横断平面図、図２の外観斜視図に示すように、液処理装置１は、複数のウエハＷを収容したキャリアであるＦＯＵＰ１００を載置する載置ブロック１１と、載置ブロック１１に載置されたＦＯＵＰ１００からのウエハＷの搬入・搬出を行う搬入出ブロック１２と、搬入出ブロック１２と後段の液処理ブロック１４との間でウエハＷの受け渡しを行う受け渡しブロック１３と、ウエハＷに液処理を施すための液処理ブロック１４とを備えている。載置ブロック１１を手前としたとき、載置ブロック１１、搬入出ブロック１２、受け渡しブロック１３、液処理ブロック１４は、手前側からこの順に、隣接して設けられている。
【００１５】
載置ブロック１１は、複数のウエハＷを水平状態で収容するＦＯＵＰ１００を載置台１１１上に載置する。搬入出ブロック１２は、ＦＯＵＰ１００から払い出されたウエハＷの搬送を行う。受け渡しブロック１３は、ウエハＷの受け渡しを行う。搬入出ブロック１２および受け渡しブロック１３は、筐体内に収められている。
【００１６】
搬入出ブロック１２は、第１のウエハ搬送モジュール１２１を有している。第１のウエハ搬送モジュール１２１は、ウエハＷを保持する搬送アーム１２２、および搬送アーム１２２を前後に移動させる機構を有している。また第１のウエハ搬送モジュール１２１は、ＦＯＵＰ１００の配列方向に延びる水平ガイド１２３（図１参照）に沿って移動する機構、垂直方向に設けられた不図示の垂直ガイドに沿って移動する機構、水平面内で搬送アーム１２２を回転させる機構を有している。この第１のウエハ搬送モジュール１２１により、ＦＯＵＰ１００と受け渡しブロック１３との間でウエハＷが搬送される。
【００１７】
受け渡しブロック１３は、ウエハＷを載置可能な受け渡し棚１３１を有している。受け渡しブロック１３では、この受け渡し棚１３１を介して搬入出ブロック１２、液処理ブロック１４との間でウエハＷの受け渡しが行われるようになっている。
【００１８】
液処理ブロック１４は、複数の液処理モジュール２が配置された液処理部１４１と、ウエハＷの搬送が行われる搬送部１４２とを筐体内に収めた構成となっている。搬送部１４２は、受け渡しブロック１３との接続部を基端として、前後方向に伸びる空間内に第２のウエハ搬送モジュール１４３を配置してなる。第２のウエハ搬送モジュール１４３は、ウエハＷを保持する搬送アーム１４４、および搬送アーム１４４を前後に移動させる機構を有している。
【００１９】
また、第２のウエハ搬送モジュール１４３は、前後方向に伸びる水平ガイド１４５（図１参照）に沿って移動する機構、垂直方向に設けられた垂直ガイド１４６に沿って移動する機構、水平面内で搬送アーム１４４を回転させる機構を有している。この第２のウエハ搬送モジュール１４３により、既述の受け渡し棚１３１と各液処理モジュール２との間でウエハＷの搬送が行われる。図２に示した１４７は、液処理ブロック１４の空間内に清浄空気を供給するＦＦＵである。
【００２０】
図１に示すように液処理部１４１には、搬送部１４２を形成する空間が伸びる方向に沿って、複数台の液処理モジュール２が並べて配置されている。  
各液処理モジュール２は、例えばスピン処理によりウエハＷの液処理を１枚ずつ行うことができる。図３の縦断側面図に例示するように液処理モジュール２は、アウターチャンバー２１内に配置されたウエハ保持部２３にてウエハＷをほぼ水平に保持し、このウエハ保持部２３を鉛直軸周りに回転させることによりウエハＷを回転させる。そして回転するウエハＷの上方にノズルアーム２４を進入させ、その先端部に設けられたノズル部２４１から処理液及びリンス液を予め定められた順に供給することによりウエハの上面側（表面を上面に向けて保持されている場合には表面、裏面を上面に向けている場合には裏面）の液処理が行われる。
【００２１】
液処理は、例えばアルカリ性の処理液であるＳＣ１液（アンモニアと過酸化水素水の混合液）によるパーティクルや有機性の汚染物質の除去→リンス液である脱イオン水（DeIonized Water：ＤＩＷ）によるリンス洗浄→酸性薬液である希フッ酸水溶液（以下、ＤＨＦ（Diluted HydroFluoric acid））による自然酸化膜の除去→ＤＩＷによるリンス洗浄が行われる。また、これらの処理に際し、ブラシや液体スプレーによる物理的洗浄を行ってもよい。これらの薬液はアウターチャンバー２１やその内側に配置されたインナーカップ２２に受け止められて排液口２１１、２２１より排出される。またアウターチャンバー２１内の雰囲気は排気口２１２より排気されている。薬液による液処理を終えたら、ウエハＷを回転させながらその上面にＩＰＡ（IsoPropyl Alcohol）を供給し、ＩＰＡを振り切るＩＰＡ乾燥を行う。
【００２２】
上述の構成を備えた液処理モジュール２は、既述のように搬送部１４２を形成する空間に沿って並べて配置されている。この配置状態について詳しく説明すると、液処理モジュール２は搬送部１４２に沿って例えば５台ずつ列を成しており、当該列は搬送部１４２を挟んで両側に設けられていると共に、上下２段に積層されている。従って、本例の液処理装置１は、合計２０台の液処理モジュール２を備えていることになる。図１に示した符号１４１ａは、下段側の液処理部を示し、符号１４１ｂは上段側の液処理部を示している。
【００２３】
このように配置された２０台の液処理モジュール２について、各液処理モジュール２を区別するための管理番号を付す。図４の模式図に示すように、下段側の液処理部１４１ａにおいて、載置ブロック１１側から見て搬送部１４２の左手の列の液処理モジュール２に対し、手前側から順に２０１〜２０５の管理番号を付し、搬送部１４２の右手の列の液処理モジュール２について２０６〜２１０の管理番号を付す。また、上段側の液処理部１４１ｂについては、搬送部１４２の左手の列の液処理モジュール２に対し３０１〜３０５、右手の列の液処理モジュール２について３０６〜３１０の管理番号を付す。
【００２４】
また、これら２０台の液処理モジュール２は、ウエハＷの搬入出を行う第２のウエハ搬送モジュール１４３や、各液処理モジュール２の排気口２１２に接続されている排気管などの排気系統、ノズル部２４１へ薬液やリンス液の供給を行う薬液供給系統を、複数台の液処理モジュール２にて共用する構成となっている。図５のテーブルに示すように本例では、１つのウエハ搬送系統（第２のウエハ搬送モジュール１４３）を全液処理モジュール２にて共用している。
【００２５】
一方、排気系統は、５台の液処理モジュール２毎に１つの排気系統を共用し、管理番号２０１〜２０５は第１系統、管理番号２０６〜２１０は第２系統、管理番号３０１〜３０５は第３系統、管理番号３０６〜３１０は第４系統の排気系統に各々接続されている。薬液系統についても、排気系統と同様にグループ化された液処理モジュール２が、各グループに対応する薬液系統に接続されて第１〜第４の薬液系統を形成している。
【００２６】
また図２に示すように液処理部１４を構成する筐体の側壁面には、各液処理モジュール２を収容する位置にモジュールサイドカバー１５１が設けられており、各モジュールサイドカバー１５１は液処理部１４の筐体から着脱自在に構成されている。また、液処理モジュール２からの排気系統、薬液の供給系統が収容されている位置にも、図５に示したグループ毎に、着脱自在な排気・薬液系サイドカバー１５２が設けられている。さらに図２に示した１５３は、搬送部１４２内の第２のウエハ搬送モジュール１４３（以下、アラーム管理上はプロセス・アームと呼ぶ）にアクセスするために、液処理装置１の後端面に設けられたＰＡ（プロセス・アーム）リアサイドカバーである。
【００２７】
以上に説明した構成を備える液処理装置１は、図１に示すように主制御部４に接続されている。主制御部４は図示しないＣＰＵと記憶部とを備えたコンピュータからなり、記憶部には液処理装置１の作用、即ちＦＯＵＰ１００からウエハＷを順次、払い出し、搬入出ブロック１２、受け渡しブロック１３を介して各液処理モジュール２に搬送し、ウエハＷの液処理を行ってから、搬入時とは反対の経路でウエハＷを搬送してＦＯＵＰ１００に収納するまでの動作に係わる制御についてのステップ（命令）群が組まれたプログラムが記録されている。このプログラムは、例えばハードディスク、コンパクトディスク、マグネットオプティカルディスク、メモリーカードなどの記憶媒体に格納され、そこからコンピュータにインストールされる。
【００２８】
また本例の液処理装置１は、背景技術にて説明した複数のアラーム発報時におけるオペレータへの負担を軽減するため、これらのアラームに対するリカバリ動作を一括して実行することができる。以下、当該機能を実現するために液処理装置１内に設けられているアラーム発報システムの構成及びその作用について図６〜図８を参照しながら説明する。
【００２９】
本例の液処理装置１のように、半導体の製造プロセスにて使用される基板処理装置では、発生箇所や不具合の内容などに応じて数十〜数百種類ものアラームが設定される場合がある。例えば図６は、液処理モジュールに対して実行されるインターロックの作動システム及びこれに伴うアラーム発報システムの一部を示している。図６に示したシステム部分は、図２に示した各液処理モジュール２のモジュールサイドカバー１５１や搬送部１４２のＰＡリアサイドカバー１５３が開いたとき、開いたカバー１５１、１５３に応じて予め設定された位置の液処理モジュール２を停止するインターロックを作動させ、そのアラームを発報する機能を実行する部分に相当している。
【００３０】
モジュールカバーセンサ４１ａ〜４１ｃは、各液処理モジュール２を収容する位置に設けられたモジュールサイドカバー１５１の開放を検出するセンサである。これらのセンサ４１ａ〜４１ｃは、モジュールサイドカバー１５１が閉じているときにはインターロック管理部４２と電気的に導通状態となっており、この導通状態が断絶状態に切り替わったときモジュールサイドカバー１５１が開状態となったことが検出される。
【００３１】
モジュールサイドカバー１５１が開いたことを検出すると、インターロック管理部４２は、モジュールカバーセンサ４１ａ〜４１ｃが作動したモジュールサイドカバー１５１に対応する位置の液処理モジュール２を停止させる設定となっており、対応するモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃに向けてインターロックの作動命令を出力する。インターロック管理部４２からインターロックの作動命令を受け取ったモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃは、対応する液処理モジュール２の停止動作を実行する。
【００３２】
一方、ＰＡリアカバーセンサ４１ｄは、全ての液処理モジュール２に共通の搬送系に設けられたＰＡリアサイドカバー１５３の開放を検出するセンサである。ＰＡリアカバーセンサ４１ｄは、既述のモジュールカバーセンサ４１ａ〜４１ｃと同様に、ＰＡリアサイドカバー１５３が閉じているときインターロック管理部４２と電気的に導通状態であり、ＰＡリアサイドカバー１５３が開くと断絶状態に切り替わる。
【００３３】
そしてＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことを検出すると、インターロック管理部４２は、搬送系を共用する全ての液処理モジュール２（管理番号２０１〜２１０、３０１〜３１０）を停止させる設定となっており、全モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃに向けてインターロックの作動命令を出力する。
【００３４】
これらのインターロックが作動したとき、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃからはこのインターロックにより液処理モジュール２を停止させたことを示すアラーム情報がアラーム管理部４０に向けて出力される。主制御部４は、タッチパネルディスプレイ５などのインターフェース部と接続されており、アラーム情報を受け取ったアラーム管理部４０は、当該アラーム情報に基づくアラームをタッチパネルディスプレイ５に表示し、アラームの発報を行う。
【００３５】
そしてタッチパネルディスプレイ５に表示されたアラームを確認したオペレータが、アラームの対象となったカバー１５１、１５３を閉じると、カバーセンサ４１ａ〜４１ｄがこれらのカバー１５１、１５３の閉鎖を検出したことがインターロック管理部４２に出力される（各カバーセンサ４１ａ〜４１ｄとインターロック管理部４２とが導通状態となる）。さらに、オペレータがタッチパネルディスプレイ５を介して所定のリカバリ動作を実行すると、当リカバリ動作が行われたことを示す情報が主制御部４からインターロック管理部４２に出力されて、インターロックの作動状態が解除される。
【００３６】
これらの作用につき、上記カバーセンサ４１ａ〜４１ｄは、液処理装置１に対してインターロックをかける要因を検出する検出部に相当する。また、インターロック管理部４２は受け持ち範囲（図６の例では、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ）にインターロックの動作のための信号を出力する役割を果たしている。そしてモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃは液処理モジュール２をコントロールすると共にカバーセンサ４１ａ〜４１ｄからの検出信号に基づいてインターロック動作を実行する機能を備えているといえる。
【００３７】
ここでＰＡリアカバーセンサ４１ｄがＰＡリアサイドカバー１５３の開放を検出した場合には、図７に実線の矢印で示すように、インターロック管理部４２から、管理番号２０１〜２１０、３０１〜３１０の液処理モジュール２に接続されたモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃにインターロックの作動命令が出力される。この結果、合計２０台の液処理モジュール２が停止し、このインターロックの作動に対応するアラーム情報がアラーム管理部４０に向けて出力される。
【００３８】
こうしてアラーム管理部４０が多数のアラーム情報を受け付け、それらの依頼に基づいて全てのアラームを整理せずに発報すると、背景技術にて説明したようにオペレータは個別のアラームに対するリカバリ動作を一つ一つ実行しなければならなくなり負担が大きい。
【００３９】
そこで本例の液処理装置１は、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃからのアラーム情報と並行して、インターロック管理部４２からもアラーム情報を出力する。そして、インターロック管理部４２からのアラーム情報に基づいて発報されるアラームを「親アラーム」、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃのアラーム情報に基づいて発報されるアラームを「子アラーム」として互いに関連づけを行っている。この結果、インターロックをかける要因（ＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことの検出）と、この要因への対応（液処理モジュール２に対するインターロックの作動）により発報された複数のアラームが互いに関連付けてグループ化される。
【００４０】
このようにインターロックの要因とその要因に対応して発報される複数のアラームを一つのグループにまとめることにより、複数のアラームに対して一括して必要な処置（ＰＡリアサイドカバー１５３を閉じること及びタッチパネルディスプレイ５からのリカバリ動作）を講ずることが可能となる。
【００４１】
「親アラーム、子アラーム」の関連付け方法としては、種々の手法が考えられる。本例では、図９の左から２列分のアラームテーブル４２１、４３１に示すように、インターロックの種類に応じて出力されるアラーム情報に含まれる名称情報をインターロック管理部４２やモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃに予め記憶させておく。そして、インターロックの発生要因（ＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことの検出）に応じて出力するアラームを選択し（例えば図９の例では「ＰＡリアサイドカバーエラー」）、インターロック管理部４２はここに親アラームであることを示す情報（「***」）を付加して、アラーム管理部４０にアラーム情報を出力する（「***_ＰＡリアサイドカバーエラー」）。
【００４２】
一方、管理番号２０１の液処理モジュール２をコントロールするモジュールコントローラ４３ａは、インターロック管理部４２と共通のアラーム名称情報（「ＰＡリアサイドカバーエラー」）に、親アラームを示す情報（「***」）とは異なる情報を付加して（例えば自己の管理番号「201」）、アラーム管理部４０に出力する（「201_ＰＡリアサイドカバーエラー」）。この考え方と同様に、管理番号２０２の液処理モジュール２のモジュールコントローラ４３ｂは、「202_ＰＡリアサイドカバーエラー」をアラーム情報として出力する。
【００４３】
インターロック管理部４２やモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃよりアラームの情報を受け取ったアラーム管理部４０は、共通のアラーム名称を持つ情報の内、「***」の文字列が付加された情報を親アラームとする。一方、他の文字列が付加された情報を子アラームとしてアラーム情報の親子関係を判断し、親子関係にあるアラームについてグループ化された表示をタッチパネルディスプレイ５に対して行う。
【００４４】
このように、インターロック管理部４２やモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃにてアラームの親子関係を示す情報を付加してアラーム管理部４０へアラーム情報を出力することにより、アラーム管理部４０は予め親子関係が定義されたアラームを発報することが可能となる。この結果、アラーム管理部４０は共通の名称情報を有するアラームをまとめて、そのうち所定の付加情報（「***」）を有するアラームを親アラームとすればよいので、短時間で多数のアラームをグループ化して発報することができる。
【００４５】
以上に説明したように、インターロック管理部４２は、カバーセンサ４１ａ〜４１ｄからのインターロック要因の検出信号（モジュールサイドカバー１５１が開いたことの検出）を受け取って当該要因を検出したことのアラーム情報を親アラーム情報として出力する機能を備えていることになる。また、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃについてもインターロックが作動したことのアラーム情報を子アラーム情報として出力する機能を有している。
【００４６】
一方、図８に示す例のように、管理番号２０１の液処理モジュール２のモジュールサイドカバー１５１が開いたことを検出した場合には、インターロックが作動して停止する液処理モジュール２は１台だけであり、その結果として発生するアラームの数も少ない。そこで本例では、情報が１つしか出力されないアラームに対しては、インターロック管理部４２からの親アラームの情報を出力せずにモジュールコントローラ４３ａから出力される情報に基づいて単独のアラームが発報されるようになっている。この場合は、各モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃより出力されるアラームの情報には子アラームであることを示す情報が付加されない。  
但し、この際にモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃから出力されるアラームの情報に常に子アラームであることを示す情報を付加し、アラーム管理部４０はインターロック管理部４２から親アラームの情報を受け取ったか否かにより、子アラームのグループ化を行うか否かを判断してもよい。  
ここで図６〜図８に一点鎖線で囲んで示すように、インターロック管理部４２、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ、主制御部４（アラーム管理部４０）は、全体として液処理装置１の制御部４００を構成している。
【００４７】
このように親子関係が定義されグループ化して表示されたアラーム情報に対し、アラーム管理部４０は、親アラーム情報についてリカバリ動作の指示を行うと、子アラーム情報についても当該リカバリ動作を一括して行う一括リカバリ機能を備えている。この一括リカバリ機能を含むアラームの発報及びそのリカバリ動作等の具体例について図１０〜図２０を参照しながら説明する。
【００４８】
図１０は、ＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことの検出に伴ってタッチパネルディスプレイ５に表示されるアラーム発報画面の一例を示している。図中、５１は発報したアラームの名称及びその発報時刻が並べて表示されるアラーム表示部である。アラーム表示部５１は、該当するアラーム名称の表示部分にタッチすることにより、当該アラームを選択することができる。また、５１１はアラーム表示部５１に表示可能な数よりも多いアラームが発報した場合にアラームの表示範囲を移動させるスクロールバーである。
【００４９】
図１０のアラーム発報画面には、各種操作ボタンが表示されている。展開ボタン５２１は、アラーム表示部５１で選択された親アラームとグループになっている表示可能な子アラームの表示指示を出すときに使用する。一方、折りたたみボタン５２２は子アラームの表示を消して親アラームのみを表示する指示を出すときに使用する。
【００５０】
ソートボタン５２３は、予め設定されたソート項目に基づいてアラームを並べ替える指示を出すときに使用し、絞り込みボタン５２４は所定の絞り込み項目に適合するアラームのみをアラーム表示部５１に表示する指示を出すときに使用する。リカバリボタン５２５はアラーム表示部５１で選択されたアラームに対するリカバリ動作に関連する操作領域を表示するためのボタンであり、画面切替ボタン５６は当該アラーム発報画面を閉じて、タッチパネルディスプレイ５の表示を例えば液処理装置１の運転画面に切り替えるためのボタンである。  
以下、タッチパネルディスプレイ５上で枠線や名称がグレーで表示されているボタンは、操作の実行指示を出すことができないことを示している。また、黒の枠内がグレーで塗りつぶされているボタンは、当該画面でそのボタンが操作されたこと（若しくはこれから操作すること）を示している。
【００５１】
図１０にて「ＰＡリアサイドカバーエラー」の親アラームが表示されたアラーム表示部５１内の当該アラームを選択し、展開ボタン５２１を押すと、このアラームと親子関係にある子アラームがグループ化して表示される（図１１）。本例のアラーム表示部５１では、親アラームの下方側に、アラーム名称の記載開始位置を親アラームよりも右側にずらして表示することにより、子アラームであることを示している。
【００５２】
図１１に示すように、リカバリボタン５２５を押すと、アラーム表示部５１の右側の領域にリカバリ操作表示部５３が表示される。このリカバリ操作表示部５３内には、アラーム表示部５１内で選択されている親アラームについての全ての子アラームを選択する指示を出力する一括選択ボタン５３１、アラーム表示部５１内アラーム名称を個別にタッチして、アラームの選択指示を出力する個別選択ボタン５３２が表示されている。
【００５３】
本例のリカバリ操作表示部５３では３種類のリカバリ動作を実行することが可能となっている。再試行ボタン５３３は、アラームの発報要因を解消した（例えばＰＡリアサイドカバー１５３を閉じた）後にアラームの発報要因が検出されないかどうか（ＰＡリアサイドカバー１５３の検出確認）の再試行を指示する。処理続行ボタン５３４は予め設定された処理の続行を指示する。表示削除ボタン５３５は、当該アラームの削除のみを指示する。但し、各アラームに対するリカバリ動作の種類はこれに限られるものではなく、アラーム発報システムの設計に基づき、他のリカバリ動作を設定してもよい。
【００５４】
また実行ボタン５３６は、選択されたボタン５３３〜５３５に対応するリカバリ動作の実行を指示し、削除ボタン５３７はアラーム表示部５１にて選択されたアラームをリカバリ動作の実行対象から削除する操作を指示する。
【００５５】
図１１のリカバリ操作表示部５３にて、例えば一括選択ボタン５３１を選択すると、図１２に示すようにアラーム表示部５１に表示されている全ての親アラーム、子アラームが選択され、これらのアラームに対して実行可能なリカバリ動作のボタン５３３〜５３５が指定可能となる。「ＰＡリアサイドカバーエラー」のアラームにおいては、ＰＡリアサイドカバー１５３を閉じる処置が必要である一方、当該アラーム発報画面ではＰＡリアサイドカバー１５３の検出確認を再試行する再試行ボタン５３３の指定が可能となる。
【００５６】
そこで再試行ボタン５３３を指定し、実行ボタン５３６にタッチすると、図６に示したインターロック管理部４２にてＰＡリアカバーセンサ４１ｄの導通確認を行い、導通状態が確認されれば、インターロックが解除されてアラームの発報状態が解消する（図１３）。
【００５７】
また図１１の状態で一括選択ボタン５３１を押す代わりに個別選択ボタン５３２を押すと、アラーム表示部５１内のアラーム名称をタッチして当該アラームを個別に選択することが可能となる。このとき親アラームを選択すると、付随する子アラームも全選択され図１２と同様の状態となる。一方、子アラームの名称にタッチすると、当該子アラームのみが選択され（当該子アラームを表示するアラーム表示部５１内のカラムがグレーで塗りつぶされ）、その後再試行ボタン５３３を選択し、実行ボタン５３６を押すと当該子アラームについてのリカバリ動作が実行される。
【００５８】
このように個別選択ボタン５３２は、図１１に示すように未選択の親アラーム、子アラームが列挙されたアラーム表示部５１から、親アラームのリカバリ動作とは関連せずに独自にリカバリ動作を行う子アラームを選択する際に用いられる。これらの観点から、一括選択ボタン５３１及び個別選択ボタン５３２は、親子アラームのリカバリ動作を一括して行うか、個別に行うかを選択する選択部としての役割を果たしているといえる。
【００５９】
このように、複数のアラームに対するリカバリ動作を同時に実行すると、一つ一つのアラームを選択してリカバリ動作を実行する場合に比べて効率的にリカバリ動作を実行できる。一方で例えば機器の補修などの理由で特定の液処理モジュール２のアラームを発報した状態で維持し、液処理モジュール２が動作しないようにしたい場合がある。そのため、本例のアラーム発報画面では、特定のアラームをリカバリ動作の対象から削除することも可能になっている。
【００６０】
例えば削除するアラームについては、図１２のアラーム表示部５１上で削除したいアラーム名称の表示部分をタッチして、削除対象を特定する。削除対象のアラームを選択して削除ボタン５３７を押すと、図１４に示すように当該アラームの選択状態が解除される（図１４では、アラーム名称を表示するカラムが白色になっている）。しかる後、再試行ボタン５３３を押すと、現在、選択されている親アラーム、子アラームに対して再試行のリカバリ動作が実行され、図１５に示すように先に選択が除外された子アラームのみが単独で発報している状態となる。
【００６１】
残っている子アラームの発報状態を解消する場合には、リカバリボタン５２５を押してリカバリ操作表示部５３を表示し、個別選択ボタン５３２を押してアラーム表示部５１に表示されている対象のアラームを選択する。しかる後、当該選択されたアラームへの再試行を実行して（再試行ボタン５３３及び実行ボタン５３６を押して）全てのアラームに対するリカバリ動作を実行すると、全てのアラームの発報状態が解消する（図１３）。
【００６２】
図１６〜図１７は、複数の親子アラームが発報した場合のアラーム発報画面の例である。図１６に示すように、複数種類の親アラームが発報した場合に、双方の親アラームを指定して展開ボタン５２１を押すと、図１７のアラーム表示部５１に示すように各アラームに対応する子アラームが親アラーム毎にグループ化して表示される。
【００６３】
この状態でリカバリボタン５２５を押してリカバリ操作表示部５３を表示させ、一括選択ボタン５３１を押してから一括して処理したい親アラームを押すとその親アラームと同じグループの子アラームが全て選択され、これらのアラームに対して実行可能なリカバリ動作のボタンが指定可能となる。例えば「排気モーター原点確認エラー」においては、排気系統のモーターの原点調整が必要である一方、当該アラーム発報画面では原点確認を再試行する再試行ボタン５３３の指定が可能となる。
【００６４】
そして再試行ボタン５３３を指定し、実行ボタン５３６をタッチすると、排気モーターの原点確認が行われ、原点が確認されれば、インターロックが解除されて指定されたアラームに関する発報状態が解消する。しかしながら複数の親アラームが発報している場合には、先のリカバリ動作で選択、実行されなかったアラームが残っている。これらのアラームに対してもアラームの一括選択、実行可能なリカバリ動作の実行（例えば「モニタリングシステムエラー」の例では「処理続行」）をすることにより、全てのアラームの発報状態が解消されることになる（図１３）。
【００６５】
またアラームの一括選択に際して複数の親アラームを選択し、リカバリ動作を実行する場合には、発報状態を解消するためのリカバリ動作が異なる複数種類のアラームが選択されているので、リカバリ操作表示部５３においても複数種類のリカバリを選択することが可能となる。
【００６６】
そして例えば再試行ボタン５３３を指定して実行ボタン５３６を押すと、当該リカバリ動作により発報状態を解消可能なアラームが消える。このときアラームは、既に一括選択がされているので処理続行ボタン５３４を指定して実行ボタン５３６を押せば「モニタリングシステムエラー」の発報状態が解消される。  
また上述の例とは反対に、処理続行のリカバリ動作を実行すると、「モニタリングシステムエラー」の発報状態が解消され、「排気モーター原点確認エラー」のアラームが残ることになる。
【００６７】
以上に説明した例では１種類の親子アラームに対して実行可能なリカバリ動作は１種類としたが、アラームを解消可能なリカバリ動作が複数種類設定されていてもよい。この場合には、選択可能な複数のリカバリ動作のうち、何れかを実行することにより、当該リカバリ動作により発報状態を解消可能なアラームが消えることになる。
【００６８】
またさらに、共通の親アラームでグループ化される複数の子アラームに対して、種類の異なるリカバリ動作の実行を必要とする設定としてもよい。例えば、共通のアラーム発報要因（例えばＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことの検出）に対し、液処理モジュール２の停止と、ＰＡ（第２の搬送モジュール１４３）の停止といった複数種類のインターロックを作動させる場合に、このような設定がされる場合がある。この場合に、親アラームの発報を解消するリカバリ動作が実行された後でも、先に一括選択がされていれば、残っている子アラームについて再度選択することなくリカバリ動作の実行を受け付けることができる。
【００６９】
次に図１８、図１９を参照しながら、ソートボタン５２３の機能について説明する。例えば図１６に示した複数種類の親アラームが発報している場合に、これらの親アラームを指定して展開ボタン５２１を押した後、ソートボタン５２３を押すと、アラーム表示部５１の右側の領域にソート操作表示部５４が表示される（図１８）。本例では、アラームを液処理モジュール２単位でソートする（並べ替える）モジュールソートボタン５４１、排気系統単位でソートする排気系統ソートボタン５４２、薬液供給系統単位でソートする薬液系統ソートボタン５４３、ＰＡの搬送系統単位でソートする搬送系統ソートボタン５４４が表示されている。
【００７０】
ここで例えばモジュールソートボタン５４１を押すと、図１８に示すように各アラームが液処理モジュール２の管理番号毎に並べ替えられる。ソートを実行した後のアラーム表示部５１では、「２０１モジュール、２０２モジュール」などのソート項目の情報が表示される。そして各ソート項目の下に、アラーム名称の記載開始位置を右側にずらして表示することにより、当該アラームが各ソート項目に含まれることを示している。また、本例ではいずれの液処理モジュール２にも含まれない親アラームについて、ソート項目ごとにソートされた子アラームとは別に、アラーム表示部５１の最上段側にまとめて表示してある。なお、例えばソートボタン５２３を再度押して、当該ソートボタン５２３の選択状態を解除すればアラーム表示部５１の表示はもとの状態に戻る（この場合、ソート操作表示部５４は表示されない）。
【００７１】
この状態でリカバリボタン５２５を押し、リカバリ操作表示部５３を表示して親子アラームの一括選択を行うと、アラーム表示部５１に表示されているアラームがソートされた状態のまま、親子アラームが一括選択される。そして、当該一括選択されたアラームに対応するリカバリ動作を実行すると、一括選択されたアラームの発報状態が解消される。
【００７２】
図１９は、図５にグループ分けを示した排気系統単位でアラームをソートした場合の表示例を示している。アラーム表示部５１には、液処理モジュール２の管理番号にてグループ分けされていることを示すソート項目情報が表示されている（「２０１−２０５排気系統」）。この状態で、リカバリボタン５２５を押し、リカバリ操作表示部５３を表示すると親子アラームの一括選択、リカバリ動作の実行が可能となる。さらに残ったアラームについても親子アラームの一括選択とリカバリ動作を続けて実行することが可能であるが、重複説明となるので図示は省略する。
【００７３】
ここでソート操作表示部５４に表示するソート項目は、図１８、図１９に示したものに限定されるものではなく、例えば発報したアラームの種類などに応じて適宜変更してよい。これらの例ではアラーム表示部５１に液処理モジュール２のアラームが例示されているので、ソート操作表示部５４には液処理モジュール２に関するソート項目が列挙されている。この例とは別に第１のウエハ搬送モジュール１２１や第２のウエハ搬送モジュール１４３に関するアラームが複数発報している場合には、例えば「電源系統」などのソート項目を設けてもよい。
【００７４】
さらにソート項目は、図１８、図１９に列挙した「モジュール、排気系統」などの機器別の概念で設定する場合に限らず、例えば日付別、アラームの重要度別などの概念でソート項目を設定してもよい。これらの場合には、ソート項目を概念別に切り替えられるようにしてもよい。  
またリカバリ動作を実行するにあたって、複数のアラームを選択する際に、アラーム表示部５１に表示されているソート項目情報にタッチすることにより、当該ソート項目に含まれるアラームを一括選択してもよい。
【００７５】
次いで図２０を参照して絞り込みボタン５２４の機能についての説明を行う。例えば図１６に示した複数種類の親アラームが発報している場合に、これらの親アラームを指定して展開ボタン５２１を押した後、絞り込みボタン５２４を押すとアラーム表示部５１の右側の領域に絞り込み操作表示部５５が表示される（図２０参照）。本例では、アラームをリカバリ動作の種類に応じて絞り込みを行う、再試行絞り込みボタン５５１、処理続行絞り込みボタン５５２、表示削除絞り込みボタン５５３の３種類の項目が表示されている。そしてアラーム表示部５１に表示されているアラームの種類に応じて、これら３種類の絞り込みボタン５５１〜５５３の選択可否が切り替えられる。
【００７６】
例えば再試行絞り込みボタン５５１を選択すると、図２０に示すようにアラーム表示部５１に表示されるアラームが「再試行」のリカバリ動作により発報状態を解消可能なアラームのみが表示される。その後、リカバリボタン５２５を押し、リカバリ操作表示部５３を表示すると絞り込み表示された親子アラームについて一括選択、リカバリ動作の実行が可能である点はソート操作をした後に一括選択を行う既述の例と同様である。
【００７７】
そして絞り込み表示された全てのアラームに対してリカバリ動作が実行されると、アラーム表示部５１に表示されるアラームはなくなるが、絞り込みボタン５２４を再度押して、当該絞り込みボタン５２４の選択状態を解除すれば、リカバリ動作が実行されていない発報中のアラームが表示される。
【００７８】
ここで絞り込み操作表示部５５に表示される絞り込み項目は、図２０に列挙したリカバリ動作の内容で設定する場合に限らず、例えばアラームの重要度などの概念で絞り込み項目を設定してもよい。これらの場合には、絞り込み項目を概念別に切り替えられるようにしてもよい。  
またソートボタン５２３と絞り込みボタン５２４は重複選択が可能であり、例えば図１８や図１９に示すように発報中のアラームをソート表示した後、リカバリ動作別の絞り込みをしてもよいし、反対に絞り込み表示の後にソート表示を行ってもよい。
【００７９】
本実施の形態に係わる液処理装置１によれば以下の効果がある。複数の液モジュール２にインターロックをかける要因が起こったことのアラーム情報を親アラームとし、インターロックが作動したことのアラーム情報を子アラームとして、複数のアラーム情報をグループ化するので、これらグループ化されたアラーム情報に対して一括してリカバリ動作を行うことができる。
【００８０】
ここでアラームの発報システムについて、図６に示したように各モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃはインターロック管理部４２の作動命令に基づいてインターロックを作動させる場合に限定されない。例えば図２１、図２２に示すように各モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃが直接ＰＡリアカバーセンサ４１ｄやモジュールカバーセンサ４１ａ〜４１ｃの導通状態を確認し、ＰＡリアサイドカバー１５３やモジュールサイドカバー１５１が開いたことを検出した場合には自らインターロックを作動させてもよい。
【００８１】
この場合に図２１に示したインターロック管理部４２は、ＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことを検出した状態となったとき親アラームの情報をアラーム管理部４０に出力する動作のみを実行し、インターロックの作動には関与していないようにも見える。しかしながら図６にて説明したように当該図は液処理装置１のインターロック作動システムの一部を抜き出して示したものであり、インターロック管理部４２は図２１に示していない他のモジュール（例えば第１のウエハ搬送モジュール１２１や第２のウエハ搬送モジュール１４３など）を受け持ち範囲として、これらのモジュールに対してインターロックの作動命令を出力する機能を備えている。
これら図２１、図２２に示したブロック図においても、インターロック管理部４２、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ、主制御部４（アラーム管理部４０）は、全体として液処理装置１の制御部４００を構成している。
【００８２】
ここで、制御部４００内におけるインターロック管理部４２、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ、アラーム管理部４０の構成の仕方は、図６〜８、図２１〜２２に示した例に限られるものではない。例えば主制御部４０内にアラーム管理部４０とインターロック管理部４２との双方の機能を持たせてもよいし、各図中のインターロック管理部４２と同様に、現場型のマイクロコンピュータ内にアラーム管理部４０の機能を持たせてもよい。またインターロック管理部４２、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ、アラーム管理部４０の各機能は、複数のマイクロコンピュータやコントローラ等に分けて設けられていてもよい。このように液処理装置１の制御部４００を構成するマイクロコンピュータやコントローラ等の制御装置群中にこれらインターロック管理部４２、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃ、アラーム管理部４０の機能が含まれていれば、当該制御部４００を備える液処理装置１は、本発明の技術的範囲に含まれている。
【００８３】
以上に説明した各実施の形態では、共通のアラーム情報に予め設定した情報（親アラームの場合は「***」、子アラームの場合は液処理モジュール２の管理番号「201、202」など）を付加して親アラームと子アラームとの識別を行っているが、アラームの親子を識別する手法はこれに限られない。例えばインターロック管理部４２やモジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃは新たな情報の付加を行わずにアラーム管理部４０に対してアラームの情報を出力してもよい。例えばアラーム管理部４０は当該アラーム情報を出力したモジュールを識別して、インターロック管理部４２から出力されたアラーム情報を親アラーム、モジュールコントローラ４３ａ〜４３ｃから出力されたアラーム情報を子アラームと識別する場合などが考えられる。この場合、情報を出力したモジュールを識別する情報としてはＭＡＣ（Media Access Control）アドレスなどが挙げられる。
【００８４】
また親アラーム、子アラームによりグループ化されるアラームの対象は、図７、図２１等に示した液処理モジュール２をインターロックで停止する場合に限られるものではない。例えば複数台のＰＡ（第２のウエハ搬送モジュール１４３）を備える液処理装置１にてこれらのＰＡをインターロックで停止する場合のアラーム発報などにおいても本発明は適用することができる。
【００８５】
そして親アラーム、子アラームによってグループ化されるインターロックが作動するモジュールは、共通の液処理装置１内に複数設けられている液処理モジュール２などに限られるものではない。即ち、液処理モジュール２を１台だけ備える液処理装置１について、ＰＡリアサイドカバー１５３が開いたことにより、液処理モジュール２とＰＡ（第２のウエハ搬送モジュール１４３）とにインターロックが作動して複数のアラームが発報する場合にも本発明は適用することができる。
【００８６】
さらにまた、本発明を適用可能な基板処理装置はウエハＷの洗浄を行う液処理装置１に限定されるものではない。ウエハＷやガラス基板等にレジスト液を塗布し、露光後の現像を行う塗布、現像装置に設けられているスピン塗布モジュールや加熱モジュール、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、ＡＬＤ（Atomic Layer Deposition）などによる成膜を行う成膜装置の成膜モジュール、プラズマを利用したエッチング装置やアッシング装置などの処理モジュールやこれらの装置の搬送モジュールなど、インターロックが作動するモジュールを備えた各種の基板処理装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００８７】
Ｗ          ウエハ
１          液処理装置
２          液処理モジュール
４          主制御部
４０        アラーム管理部
４１ａ〜４１ｃ
モジュールカバーセンサ
４１ｄ      ＰＡリアカバーセンサ
４２        インターロック管理部
４３        モジュールコントローラ
【図１】
0005742635.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図２１】
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【図２２】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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