(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面視矩形状の開口部を備えるペリクル用枠体であって、
前記開口部の周縁を形成する枠部を備え、
前記枠部は、枠部の端部同士が化学反応型の接着剤で接合されてなる接合部を有し、
前記接着剤は、UV硬化型接着剤、熱硬化型接着剤及び嫌気性硬化型接着剤からなる群から選択される少なくとも１つの接着剤を含み、
前記接合部は、枠体の角部付近に設けられている、ペリクル用枠体。
【請求項２】
前記接着剤は、アクリル系嫌気性硬化型接着剤である、請求項１に記載のペリクル用枠体。
【請求項３】
前記接合部の平面形状は、複数の直線又は曲線が組み合わせられてなる形状である、請求項１又は２に記載のペリクル用枠体。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載のペリクル用枠体と、
前記ペリクル用枠体の前記開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜と、
を備える、ペリクル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（Thin Film Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィ工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いる大型ペリクル用枠体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルの両面側にペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、又はポリマー製の枠体の一方の縁面に、ポリマー又はガラス等の透明な薄膜を貼り付け、他方の縁面に、マスクに貼り付けるための貼着剤層（粘着材）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース又はセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つ枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に貼着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質、高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴ型ＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが要望されている。
【０００６】
例えば、特許文献１には、大型ペリクル用枠体の撓みや歪みに対応するために、枠体と枠体より弾性係数の大きい補強材を利用した枠体も提案されている。さらに、特許文献２には、高解像度を必要とする露光において使用される２００ｎｍ以下の紫外光露光に利用されるペリクル枠体であって、マスクの平坦性の精度に影響しないペリクル枠体として、弾性率が異なる２種類以上の材料を枠体の厚さ方向に接合した枠体を利用することも提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２８４９２７号公報
【特許文献２】特開２００９−０６３７４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところでペリクル枠体は、１枚のシート状母材からの打ち抜きにより、枠体１本を切り出すことが多い。これは、ペリクルの平坦性を確保する観点等に基づくものである。しかし、母材の平坦性によっては、使用できない母材が出てくる。また、使用できる母材でも、ペリクル枠体が大型化すればするほど、枠体の平坦性の精度を出すことは容易ではなく、製造工程にも手間がかかるため、歩留まり低下や、枠体のコスト高の原因になっている。
【０００９】
また、大型化すれば、枠体自体の自重、ペリクル膜の張力、温度変化に起因する応力といった各種要因により、枠体に撓みや歪みが発生する可能性があるため、剛性の高い１枚のシート状母材からの打ち抜きにより作製された枠体を一般的に使用している。このような撓みや歪みは、ペリクル膜を張り付けた後のフレームに、膜の張力により内側に向かって生じるが、フォトマスクメーカーの露光面積を確保したいという要求のため、撓みや歪みを出来るだけ小さくする必要がある。そこで、枠体の断面積を大きくしてペリクル枠体の剛性を向上させる方法があるが、有効露光面積等を考慮すると好ましくない。
【００１０】
上記のような理由より、コストの面から大型ペリクルで分割した枠体（以下、分割枠体という）を利用したい反面、剛性の面からの技術的課題のため、商品として実用化されていないのが現状である。
【００１１】
分割枠体を利用した文献としては、特許文献１等が紹介されている。かかる文献によると、剛性を確保するために接合部に枠体より剛性の高い部材を用いて摩擦攪拌溶接等の特殊な方法を使用する記載がある。しかし、摩擦攪拌溶接等には特殊な溶接技術が必要になる。
【００１２】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、ペリクルの枠体として使用に耐え得る剛性を確保した上で、寸法安定性を向上させ露光中の有効露光面積を保つことができるペリクルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明者らは、上述の目的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、接合部を有し、接合部の接合に特定の接着剤を用いたペリクル用枠体が上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１４】
すなわち、本発明に係るペリクル用枠体は、平面視矩形状の開口部を備えるペリクル用枠体であって、開口部の周縁を形成する枠部を備え、枠部は、枠部の端部同士が化学反応型の接着剤で接合されてなる接合部を有するものである。
【００１５】
接合部が１箇所の場合、１枚の母材からの切削時に、１枚物ほどの平坦性や寸法精度を求めなくても接合部で調整可能になり、結果として、母材からの切り出した場合と比較して枠体の寸法精度を向上させることができる。また、１本の部材を塑性変形させて枠体にすることも可能になるため母材の節約になる。さらに、２箇所以上の接合部を有する枠体は、少なくとも枠体を構成する部材を２つ以上に分けることができるため、製造工程上、ペリクル枠を構成する各パーツの加工精度や寸法精度を向上させることが容易となり、結果として、接合部が一箇所の場合と比較して枠体の寸法精度を向上させることができる。よって、枠体の寸法精度そのものを制御することを容易としたことで、枠体にペリクル膜を貼り付けた際の枠体の撓み量そのものを制御することが容易となり、ペリクル枠体の寸法安定性を向上せしめることが可能となる。ここで、各部材はできるだけ小さい方が、つまり、枠体を多数の部材で作成すればするほど、加工上のバラツキの観点から好ましい。
【００１６】
さらに、複数の部材で枠体を形成することで、母材の平坦性の良い箇所の切り出しが可能になり、接合後の枠体の平坦性も悪化させることもない。また、小さな母材から大きな枠体を作製することも可能であり、コストダウンのメリットや環境負荷の低減もある。
【００１７】
また、接合部を化学反応型の接着剤で接着させることで、枠体の剛性と寸法安定性を向上せしめることを可能とした。化学反応型の接着剤を用いることで、接合角度やクリアランスなどの狙いの寸法を調整した上で、外部刺激によって反応を開始させることができ、元のポジションを維持固定しやすいため、寸法安定性を向上させることができる。
【００１８】
中でも接着剤は、液状であることが好ましく、液状の接着剤を用いると接合部に接着剤が浸入し、接合部全体に液体が行き渡るために製造上及び剛性の観点から好ましい。さらに液状の中でも、アクリル系又はエポキシ系の接着剤が好ましい。アクリル系接着剤とは、反応前のモノマーが下記化学式（１）を有する接着剤であるが、中でも、紫外線によって硬化するUV硬化型接着剤、熱によって硬化する熱硬化型接着剤、空気を遮断することで硬化する嫌気性硬化型接着剤、微量な水分を開始剤として反応開始するシアノアクリレート（R=CN）型瞬間接着剤等がより好ましい（RはH又はC）。
【００１９】
【化１】
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【００２０】
また、エポキシ系の接着剤としては、１液型と２液型があり、どちらでも使用可能であるが、２液型のエポキシ系熱硬化型接着剤より１液型のエポキシ系熱硬化型の接着剤がペリクル製造プロセス上、有効であるため好ましい。実際に使用する接着剤の総量は微量であり、１液型の接着剤は、計量・混合やポットライフを意識しながら使用する必要もないため２液型の接着剤より好ましい。２液型を使用する場合は、計量精度を高めるために必要以上に多くの接着剤を使用し環境に負荷をかけることもあるし、環境負荷のことを気にしすぎて少量混合にすると計量精度が低下する傾向にあり、計量から反応開始までの時間が一定でないと反応性にバラツキが起こる。このため硬化度に違いが生じ、物性に違いが生じる可能性がある。この硬化度の違いは、接合箇所によって接着剤の厚さが不均一になったり、歪みの原因になったり、寸法のバラツキの原因になったりする可能性があるため、２液型を使用する場合は注意が必要になる。しかし、２液型でも有効な接着剤として、アクリル系では変性アクリル系の接着剤やエポキシ系では熱硬化型の接着剤が使用可能である。変性アクリル系の接着剤は、２液型ではあるが混合させる必要がなく、接合する片面各々に１液を塗布し圧着させるだけで硬化させることが可能である。
【００２１】
さらに、耐光性の面からはアクリル系の接着剤が好ましく、具体的には、Three Bond 2247、2242、2249G（何れもスリーボンド社製）、Three Bond  2083、2081D、2082C、2087L（何れもスリーボンド社製）、Three Bond 3923、3928、3920、 3925B、3921、3926、3055、3097（何れもスリーボンド社製）、アロンアルファシリーズ（東京合成社製）、Three Bond 1735、1721、1797、17X-050、1796、1735（何れもスリーボンド社製）、Loctite 638、 Loctite 601(ともにヘンケルジャパン製)、Three Bond1401シリーズ(スリーボンド製)などが好ましい。
【００２２】
アクリル系粘着剤の中でも、空気を遮断することで反応が促進する嫌気性硬化型接着剤がさらに好ましい。具体的な嫌気性硬化型接着剤としては、Loctite 638、 Loctite 601(ともにヘンケルジャパン製)が挙げられる。嫌気性硬化型接着剤であれば、接合部からはみ出した箇所では反応が起こりにくく、ふき取り易いことからアウトガスと発塵を最小限に抑えることができ、さらには接合も強固であるため好ましい。
【００２３】
本発明に用いる接着剤以外の接合方法として、かしめは接着剤を補強するのに利用できる。接着剤を利用することは様々な接合形状を可能にし、接合強度も実用上使用可能なレベルの剛性を保てるため好ましい。一方で接着剤を使用しないでレーザー溶接で接合した場合は、接合強度は高いが、接合部に凹凸が生じるため極端に接合部のみ平坦性が悪くなり、また外観も好ましくない。また、接着剤を使用しないで焼きバメで接合した場合は、嵌合の際にプレス等の余計な圧力が不要なため外観上は良いが、熱伝導率の高いアルミ合金の場合は、焼きバメの効果が期待できず接合強度が低くなる可能性があるため好ましくない。冷しバメも焼きバメと同様な効果になり好ましくい。
【００２４】
以上のように、これまではペリクルの剛性及び平坦性を確保する観点等に基づき、ペリクル枠体は１枚のシート状母材から打ち抜きにより切り出すことが多かった。しかし、本発明はそのような技術常識に反して成し、寸法安定性を向上させることを達成した。
【００２５】
また、本発明に係るペリクルは、前記ペリクル用枠体と、前記ペリクル用枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ペリクルの枠体として使用に耐え得る剛性を確保した上で、寸法安定性を向上させ露光中の有効露光面積を保つことができるペリクルを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係るペリクルの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の平面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係るペリクル用枠体の平面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（単純形状）の拡大斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大平面図である。
【図６】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大側面図である。
【図８】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大側面図である。
【図９】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大平面図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）いずれも、本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大平面図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るペリクル用枠体の接合部（複雑形状）の拡大斜視図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係るペリクル用枠体の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明を実施するための形態（実施形態）について詳細に説明する。なお、本発明は、下記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
【００２９】
最初に、本発明の実施形態に係るペリクルについて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る大型ペリクル１を示す斜視図である。大型ペリクル１は、大型ペリクル用枠体２と、大型ペリクル用枠体２の上縁面２ｅに接着された大型ペリクル膜３と、を備えている。なお、図示しないが、大型ペリクル１は、大型ペリクル用枠体２の下縁面に塗布された貼着剤層と、貼着剤層に粘着されこの貼着剤層を保護する保護フィルムと、をさらに備えている。
【００３０】
大型ペリクル用枠体２は、例えばアルミニウム、アルミニウム合金（５０００系、６０００系、７０００系等）、鉄及び鉄系合金、セラミックス（ＳｉＣ、ＡｌＮ、Ａｌ２Ｏ３等）、セラミックスと金属との複合材料（Ａｌ−ＳｉＣ、Ａｌ−ＡｌＮ、Ａｌ−Ａｌ2Ｏ3等）、炭素鋼、工具鋼、ステンレスシリーズ等からなり、平面視略矩形状を呈している。枠体の表面処理としては、アルマイト処理、塗装、塗料コーティング、めっき処理、低融点ガラスフリット処理、ＣＶＤ処理、スパッタ法などによるＰＶＤ処理などを採用することができる。
【００３１】
大型ペリクル用枠体２は、一対の長辺２ａ，２ｂと、この長辺２ａ，２ｂよりも短い一対の短辺２ｃ，２ｄと、から構成されており、矩形状の開口部４を有している。開口部４の開口面積は、１０００ｃｍ2以上とされるのが好ましく、３０００ｃｍ2以上とされるのがより好ましく、５０００ｃｍ2以上とされるのがさらに好ましい。なお、開口部４の開口面積は、３５０００ｃｍ2以下とされるのが好ましい。
【００３２】
一対の長辺２ａ，２ｂは、例えば幅が９．０ｍｍの柱状部材からなり、その長さは、例えば８００ｍｍである。一対の短辺２ｃ，２ｄは、幅が例えば７．０ｍｍの柱状部材からなり、その長さは、例えば４８０ｍｍである。つまり、短辺２ｃ，２ｄの平面視（上面視）における幅は、長辺２ａ，２ｂの幅よりも狭い。大型ペリクル用枠体２の角部５の曲率は、例えば、Ｒ＝２ｍｍである。また、大型ペリクル用枠体２の短辺２ｃ、２ｄの側面６には、溝部７が長手方向（辺方向）に沿って設けられている。
【００３３】
大型ペリクル膜３は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体、フッ素系ポリマー、又はシクロオレフィン系ポリマー等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下０．１μｍ以上が好ましい。この大型ペリクル膜３は、大型ペリクル用枠体２の開口部４を覆うように上縁面２ｅに展張され、ペリクル枠体２に貼着支持されている。
【００３４】
大型ペリクル膜３を大型ペリクル用枠体２の上縁面２ｅに接着する接着剤としては、例えば、アクリル樹脂接着剤、エポキシ樹脂接着剤、シリコーン樹脂接着剤、又は含フッ素シリコーン接着剤等のフッ素系ポリマーを用いることができる。また、貼着支持する粘着材としては、スチレンエチレンブチレンスチレン、スチレンエチレンプロピレンスチレン、もしくはオレフィン系等のホットメルト粘着材、シリコーン系粘着材、アクリル系粘着材、又は発泡体を基材とした粘着テープ又は発泡ホットメルト等を用いることができる。粘着材層の厚さは、大型ペリクル用枠体２の厚さと粘着材厚さの合計が、規定された大型ペリクル膜３とフォトマスクの距離を越えない範囲で設定されるのが好ましく、例えば、０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下とされるのが好ましい。
【００３５】
また、大型ペリクル膜３をフォトマスクに貼り付けた際に貼着剤層の内側に空間が存在すると、該空間に異物が滞留する可能性がある。そのため、大型ペリクル用枠体２の下縁面に粘着剤を塗布する際には、大型ペリクル１をフォトマスクに貼り付ける際の加圧で粘着剤層が潰れて広がることを考慮した上で、加圧時に開口部４に粘着剤がはみ出さない程度に大型ペリクル用枠体２の開口部４内側寄りに塗布することが好ましい。具体的には、貼着剤層内側の空間の幅が粘着剤層の塗布幅の０．３５倍以内となるように塗布することが好ましい。粘着剤層の塗布幅は大型ペリクル用枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅に対し０．３〜０．６倍であることが好ましく、大型ペリクル用枠体２の各辺２ａ〜２ｄに沿って塗布することが好ましい。粘着材を保護する保護フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート樹脂、又はポリエチレン樹脂からなるフィルムを用いることができる。また、粘着材の粘着力に応じて、離型剤、例えばシリコーン系離型剤、又はフッ素系離型剤を、保護フィルムの表面に塗布しても良い。保護フィルムの厚さは、例えば、０．０１ｍｍ以上１ｍｍ以下が好ましい。
【００３６】
次いで、本発明の実施形態に係るペリクル用枠体について説明する。
【００３７】
まず、本発明の一実施形態に係る大型ペリクル用枠体２について、図２を参照しながら説明する。図２（８分割構造）は、図１に示すような大型ペリクルに用いられる大型ペリクル用枠体２を上から見た図（平面図）である。なお、図１においては、接合部の記載を省略している。
【００３８】
大型ペリクル用枠体２において、開口部４の周縁部を構成する枠部は、一対の長辺２ａ、２ｂを各々構成する部材である分割枠体２１ａ、２１ｂと、分割枠体２１ａ、２１ｂの長手方向両端部に接合部Ｊを介して連接され、大型ペリクル用枠体２の有する４箇所の角部５を各々形成する部材である分割枠体２１ｅ、２１ｈ、２１ｆ、２１ｇと、分割枠体２１ｅ、２１ｈ、２１ｆ、２１ｇの開放端同士を、接合部Ｊを介して架橋して一対の短辺２ｃ、２ｄを各々構成する部材である分割枠体２１ｃ、２１ｄと、から形成されている。すなわち、大型ペリクル用枠体２は、開口部４の周縁部を構成する枠部の軸方向に沿って、８箇所の接合部Ｊを有している。
【００３９】
また、図２において大型ペリクル用枠体２は分割枠体２１ａを基点とし、開口部４の開口軸を基準とした時計回り方向に、分割枠体２１ｅ、分割枠体２１ｄ、分割枠体２１ｆ、分割枠体２１ｂ、分割枠体２１ｇ、分割枠体２１ｃ、分割枠体２１ｈ、分割枠体２１ａの順に接続されて形成されている。ここで、接合箇所の数としては、２箇所以上あればよいが、好ましくは、２〜３０箇所、より好ましくは、２〜２０箇所、さらに好ましくは、３〜１５箇所である。
【００４０】
大型ペリクル用枠体２において、長辺２ａと長辺２ｂの長さは等しく形成されており、短辺２ｃと短辺２ｄの長さは等しく形成されている。また、分割枠体２１ａと分割枠体２１ｂの形状は実質的に同一であり、分割枠体２１ｃと分割枠体２１ｄの形状は実質的に同一であり、さらに、角部５を各々形成する分割枠体２１ｅ、２１ｈ、２１ｆ、２１ｇの形状も実質的に同一である。具体的には、図２において、分割枠体２１ａ，２１ｂの長さは、例えば７００ｍｍであり、分割枠体２１ｃ、２１ｄの長さは、例えば３８０ｍｍである。
【００４１】
ペリクル用枠体２の各辺２ａ〜２ｄの幅は、露光面積を確保する観点からは細ければ細いほど好ましいが、細すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル用枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺の長さに対して剛性を考慮すると、幅は３ｍｍ〜２５ｍｍ程度とすることができる。また、ペリクル用枠体２の厚さに関しても薄ければ薄いほど軽くて扱いやすい大型ペリクル１となるが、薄すぎるとペリクル膜３の展張時にペリクル膜３の張力でペリクル用枠体２が撓んでしまうという問題が生じるおそれがある。各辺２ａ〜２ｄの長さに応じて両者のバランスから、ペリクル用枠体２の厚さは好ましくは４．５ｍｍ〜１２ｍｍ程度とすることができる。
【００４２】
また、図３（４分割）は、図２と異なる分割枠体を使用した場合の一例（他の実施形態）である。図３について説明すると、大型ペリクル用枠体８において、開口部９の周縁部を構成する枠部は、一対の長辺８ａ、８ｂを各々構成する分割枠体８１ａ、８１ｂと、一対の短辺８ｃ、８ｄを各々構成する分割枠体８１ｃ、８１ｄとから形成されている。すなわち、大型ペリクル用枠体８は、開口部９の周縁部を構成する枠部の長手方向に沿って、４箇所の接合部Ｊを有している。大型ペリクル用枠体８において、長辺８ａと長辺８ｂの長さは等しく形成されており、短辺８ｃと短辺８ｄの長さは等しく形成されている。
【００４３】
図２及び図３ともに、接合部Ｊは角部付近に設けた構成を例として示したが、各辺の各々必要箇所に設けてもよい。接合部を角部付近に設ける場合は、一本の辺を切り出すため、生産性が高くなると共に、剛性の高い角部付近を接合することで一枚の母材からの切り出し物と同等の剛性を保つことができ、さらには、角部の直角性を出しやすくなるため寸法安定性がよくなり露光中の有効露光面積を保つことができる。また、各辺の各々必要箇所に設ける場合は、ペリクル作製工程内の加熱等による熱膨張を接合部で緩和でき、また各パーツ事の平坦性を得ることが容易になり寸法精度が高まるため好ましいが、剛性や直角性、寸法安定性等を考慮すると少なくとも角部付近に接合部を設ける方がより好ましい。
【００４４】
接合部の形状は、接合する接着剤厚さが、１．０ｍｍ以下であれば如何なる形状でも良い。接合部の平面形状（接合部を上方又は側方から見たときの形状）は、単純形状よりも複雑形状の方が好ましい。ここで、単純形状とは、図４に示すように、接合部Ｊの平面形状が、部材の長さ方向に対して略直角な方向に延在する直線となることを意味する。また、複雑形状とは、単純形状と比較して相対的に接着面積が大きくなる形状（例えば、複数の直線又は曲線が組み合わせられてなる形状）を意味する。複雑形状としては、例えば図５のような形状を採用することができ、図６のように接着剤使用部がペリクル枠の接合面の側面に剥き出しになることを極力抑えた形状がさらに好ましい。また、図７のように枠体の厚さ方向からみると階段形状を呈するもの、図８のような斜め形状、図９のような接合部Ｊを構成する一方の部材の端部が凸形状とされているもの、図１０のようなくびれ形状、図１１のように枠体の端部中央が四角柱状の凸形状になっているものなど、種々の形状を採用することができる。くびれ形状の場合は、丸形のピアス形状、楔形状、角形状、三角形状、その他種々の形状（例えばジグゾーパズルで用いられるような形状）を採用することができる。
【００４５】
また、接着剤の塗布量にもよるが、接合する場合に接着剤の枠体表面へのはみ出し量を少なくするために接着剤溜り等を接合部の内部に設計し、そこに余分な接着剤を吸収できる形状を作製してもよい。
【００４６】
ペリクル工程内で、枠体はペリクル膜を展張した後に、不要膜をカッティングする工程があるがその際に膜の張力により枠体が内側に撓む傾向がある。そのため、単純形状より接着面積が大きくなる複雑形状の方が、内側への撓み時の応力を緩和でき、接合部でのガタや隙間等ができない形状になるために好ましい。
【００４７】
接合部の形状にもよるが、１箇所の接合部における接合箇所（凸部や凹部の箇所）の個数は、１個から複数個存在してもよい。幅や接合部の形状で適宜設定可能であるが、より好ましくは、１個〜６個が好ましく、さらに好ましくは、１個〜３個が好ましい。
【００４８】
この時の接合強度は、１０ｋｇｆ以上が好ましい。これ以上であれば、ペリクル膜を展張した時の内側への撓みにも耐えうるものになり、ペリクルのハンドリング時にも寸法が保たれることになり、ペリクルとして実用上問題のないものとなる。好ましくは、１５ｋｇｆ以上であり、さらには好ましくは２５ｋｇｆ以上である。
【００４９】
本発明は、上述の実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、各分割枠体の形状をある程度揃えているが、各分割枠体の形状が夫々相違していても差し支えない。
【実施例】
【００５０】
次に、実施例及び比較例を挙げて本実施形態をより具体的に説明するが、本実施形態はその要旨を超えない限り、下記の実施例に限定されるものではない。
【００５１】
（寸法安定性の測定方法）
測定装置は、レーザー変位計（キーエンス製LJ−G030）を用いて行った。正四角形の標準サンプルを枠体の外寸にあわせて１本ずつ作成した。それとは別に、下期実施例及び比較例の条件でそれぞれ１例につき５サンプル作成し、正四角形の標準サンプルと外寸同士の大きさの差異を比較した。外寸同士の差異が一番大きい箇所が、５サンプル中１サンプルでも１．０ｍｍ以上あれば×、０．５ｍｍ以上１．０ｍｍ未満であれば△、０．５ｍｍ未満であれば○とした。
【００５２】
（接合強度テストの測定方法）
測定装置は、イマダのデジタルフォースゲージを使用した。接合部を含む１００ｍｍの棒状の枠体の一部を作製し、接合部は端から５０ｍｍの所とした。枠体の一部の幅方向を上面にむけて、接合部から枠体の長さ方向に１０ｍｍあけて幅方向からチャッキング（固定）し、チャッキング箇所から接合部の逆方向に１０ｍｍの箇所に、平面方向と側面方向から測定装置により圧をかけた。
【００５３】
［実施例１］
大型ペリクル用枠体の材質（全ての分割枠体の材質）はアルミニウム合金、厚さを４．０ｍｍとし、長辺は、幅が６．０ｍｍ、長さが４３０ｍｍとした。また、短辺は、幅が６．０ｍｍ、長さが３００ｍｍで、短辺側全長に渡って溝が設けられており、溝の深さは２ｍｍ、溝の高さは１．５ｍｍであった。また、角部は曲率がＲ＝２ｍｍであった。その他は図２のとおりに大型ペリクル用枠体を形成した。分割部材２１ａ，２１ｂの長さは３７０ｍｍであり、分割部材２１ｃ，２１ｄの長さは２４０ｍｍであった。接合部Ｊは全て、図４のような単純形状にした。接着剤は、嫌気性硬化型のアクリル系接着剤（商品名  ヘンケルロックタイト６３８（ヘンケル社製））を使用し、接着させた枠体を作製した。目視検査をした結果、外観上は問題がなかった。
【００５４】
また、別途、接合強度テスト用に接合部を形成した１００ｍｍの棒状のサンプルを２本作成した。接合強度テストの結果を表1に示した。
【００５５】
次に、大型ペリクル用枠体に対し、粘着剤としてスチレンエチレンブチレンスチレン系のホットメルト粘着剤、厚さ１．４ｍｍをペリクル枠体の各辺に沿って塗布した。別途、基板上にセルロースエステルのペリクル膜をスピンコート法により成膜し、その膜を仮枠に接着させ、その後基板から剥離させた。この仮枠は、アルミニウム製のものを使用した。その後、前記ホットメルト粘着材を塗布した大型ペリクル用枠体に、ホットメルト粘着剤が塗布されていない反対側の面に、アクリル系の膜接着剤を塗布し、仮枠のペリクル膜を接着させ硬化し、余剰膜を切断した。寸法安定性の結果を表１に記載した。
【００５６】
［実施例２］
長辺の幅が９．０ｍｍ、長さが８００ｍｍ、短辺の幅が７．０ｍｍ、長さが４８０ｍｍ、角部の曲率がＲ＝０ｍｍと設定された。それ以外の溝の長さ深さ、枠体の厚さは実施例１と同様に２本作製した。実施例２では図３のような分割枠体にし、８１ｃ、８１ｄが４８０ｍｍ、８１ａ、８１ｂが７９０ｍｍとした。接合部Ｊの平面形状は、図５のような１辺が４ｍｍの正三角形の形状を採用し、このような正三角形の凸部（凹部）を接合端面に対して１個設けた以外は、実施例１と同様にして作製した。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。実施例１と同様に接合強度テストを行った。その結果を表1に示した。枠体はその後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１に記載する。
【００５７】
〔実施例３〕
長辺の幅が２１．０ｍｍ、長さが２０００ｍｍ、短辺の幅が１９．５ｍｍ、長さが１８００ｍｍ、角部の曲率をＲ＝０ｍｍと設定し、枠体の厚さを６．０ｍｍとした。それ以外の溝の長さ深さは実施例１と同様にした。実施例３では図１２のような分割枠体にし、５１ｃ、５１ｃ´、５１ｄ、５１ｄ´の長さを各々９００ｍｍとし、５１ａ、５１ａ´、５１ｂ、５１ｂ´の長さを各々９８２ｍｍとした。接合部Ｊの形状は、図１０のようなくびれ形状にし、このようなくびれ形状の凸部を接合端面に対して３個設けることとした。凸部の根元側の最大横寸法を２．１ｍｍに設定し、凸部の先端側の最大横寸法を４．５ｍｍに設定した以外は、実施例１と同様に作製した。目視検査を行った結果、外観上は問題がなかった。実施例１と同様に接合強度テストを行った。その結果を表1に示した。枠体はその後、ホットメルト粘着材の厚さを２．０ｍｍにした以外は実施例１と同様にペリクルを作製し、同じように評価を行った。その結果を表１に記載する。
【００５８】
［参考例１］
接合部Ｊの形状を図４のような単純形状として、接着剤ではなくレーザー溶接を行い接合した以外は、実施例１と同様にして大型ペリクル用枠体を作製し、同様にペリクルを作製した。評価方法も実施例１と同様に行った。その結果を表１に記載する。外観は、接合部Ｊに凹凸が発生し、異物が挟まってしまったのでペリクルとしては不合格レベルであった。
【００５９】
［参考例２］
接合部Ｊの形状を実施例２と同様にして、接着剤ではなくレーザー溶接を行い接合した以外は、実施例２と同様にしてペリクルを作成した。評価方法は実施例１と同様に行い、その結果を表１に提示した。比較例１と同様に、外観は、接合部Ｊに凹凸が発生し、異物が挟まってしまったのでペリクルとして不合格レベルであった。
【００６０】
［参考例３］
接合部Ｊの形状を実施例３と同様にして、接着剤ではなくレーザー溶接を行い接合した以外は、実施例３と同様にしてペリクルを作成した。評価方法は実施例１と同様に行い、その結果を表１に提示した。
【００６１】
〔参考例４〕
接合部Ｊの形状を実施例３と同様にして、接着剤ではなく焼きバメを行い溶接した以外は、実施例３と同様にしてペリクルを作成した。評価方法は実施例１と同様に行い、その結果を表１に提示した。
【００６２】
〔参考例５〕
接合部Ｊの形状を実施例３と同様にして、接着剤ではなく冷しバメを行い溶接した以外は、実施例３と同様にしてペリクルを作成した。評価方法は実施例１と同様に行い、その結果を表１に提示した。
【００６３】
〔比較例１〕
接合部のない一枚ものの枠体を作成した。長辺の幅が９．０ｍｍ、長さが８００ｍｍ、短辺の幅が７．０ｍｍ、長さが４８０ｍｍ、角部の曲率がＲ＝２．０ｍｍと設定された。それ以外の溝の長さ深さ、枠体の厚さは実施例１と同様に２本作製した。評価方法は実施例１と同様に行い、その結果を表１に提示した。
【００６４】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、分割枠体を用いたペリクル枠体であって、大型ペリクルの分野で利用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１…ペリクル、２…ペリクル用枠体、３…ペリクル膜、４・９…開口部、２１ａ・２１ｂ・２１ｃ・２１ｄ・２１ｅ・２１ｆ・２１ｇ・２１ｈ・８１ａ・８１ｂ・８１ｃ・８１ｄ…分割枠体、Ｊ…接合部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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