(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔をあけて配置された一対の光透過性基板と、
前記一対の光透過性基板の対向面同士に密着し、切れ目を有して空間を囲むシール材と、
前記シール材の前記切れ目を塞いで、前記空間を封止して封止空間を形成するエンドシールと、
前記封止空間に満たされたオイルと、
前記オイル内に配置され、前記一対の光透過性基板間の前記間隔を保持するスペーサと、
一方の前記光透過性基板に形成された、開口部を有する遮光膜と、
前記オイル内に配置されたシャッタと、
前記開口部への光の通過及び遮断を制御するように、前記シャッタを機械的に駆動するための、前記オイル内に配置された駆動部と、
前記一対の光透過性基板の前記対向面の少なくとも一方上に形成された壁部と、
を有し、
前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部は、前記開口部を通過する光の有無及び強弱によって画像を表示する表示領域に配置され、
前記壁部は、前記シール材の前記切れ目と前記表示領域との最短経路を遮る位置に配置された部分を有し、前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部を構成する材料から形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載された表示装置において、
前記壁部は、前記一対の光透過性基板の前記対向面同士に密着していることを特徴とする表示装置。
【請求項３】
請求項２に記載された表示装置において、
前記壁部は、前記表示領域を囲むように配置され、前記最短経路を遮る前記位置を除いてスリットが形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項４】
請求項２に記載された表示装置において、
前記壁部は、前記切れ目と前記表示領域との間で、前記最短経路を遮る前記位置を通って直線状に延びるように形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項５】
請求項４に記載された表示装置において、
前記壁部は、複数の平行な直線に沿って延び、それぞれの前記直線に沿って延びる部分がスリットを有するように形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項６】
間隔をあけて配置された一対の光透過性基板と、
前記一対の光透過性基板の対向面同士に密着し、切れ目を有して空間を囲むシール材と、
前記オイル内に配置され、前記一対の光透過性基板間の前記間隔を保持するスペーサと、
一方の前記光透過性基板に形成された、開口部を有する遮光膜と、
前記空間内に配置されたシャッタと、
前記開口部への光の通過及び遮断を制御するように、前記シャッタを機械的に駆動するための、前記空間内に配置された駆動部と、
前記一対の光透過性基板の前記対向面の少なくとも一方上に形成された壁部と、
を有し、
前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部は、前記開口部を通過する光の有無及び強弱によって画像を表示する表示領域に配置され、
前記壁部は、前記シール材の前記切れ目と前記表示領域との最短経路を遮る位置に配置された部分を有するように、空セルを組み立てる工程と、
前記シール材の前記切れ目から前記空セルにオイルを注入する工程と、
を含み、
前記空セルを組み立てる工程で、前記スペーサ、前記シャッタ、前記駆動部及び前記壁部を、薄膜の成膜及びエッチングを含む複数回のプロセスで同時に形成し、
前記オイルを注入する工程で、前記空間の内部を外部よりも低気圧にして、前記シール材の前記切れ目から前記オイルを注入することを特徴とする表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳディスプレイ（Micro Electro Mechanical System Display）は、液晶ディスプレイに取って代わると期待されているディスプレイである（特許文献１参照）。このディスプレイは、偏光を利用した液晶シャッタ方式とは異なり、機械シャッタ方式によって光の透過窓を開閉することで画像を表示する。シャッタは薄膜からなり、１画素を構成するシャッタの縦横サイズは数100μｍオーダで厚みが数μｍオーダである。１シャッタの開閉により、１画素のオンオフ動作が可能となる。シャッタは、静電引力によって動作するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１９７６６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
シャッタは一対の光透過性基板の間にシールで囲まれたスペースに配置され、このスペースはオイルで満たされている。オイルは、シャッタの駆動のためのバネのくっつきを防止し、光透過性基板との光屈折率の差を小さくしている。
【０００５】
オイルは、シールの切れ目からなる注入口から注入され、注入口はオイルの注入後に樹脂で封止される。シャッタの開閉動作を高速化するため、低粘度のオイルが望まれるが、そうするとオイルが注入口を通過するときのスピードが速くなってシャッタにダメージを与えるという問題があった。
【０００６】
本発明は、機械式のシャッタが配置されたセルを満たすオイルを注入するときにシャッタに与えるダメージを減らすことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る表示装置は、間隔をあけて配置された一対の光透過性基板と、前記一対の光透過性基板の対向面同士に密着し、切れ目を有して空間を囲むシール材と、前記シール材の前記切れ目を塞いで、前記空間を封止して封止空間を形成するエンドシールと、前記封止空間に満たされたオイルと、前記オイル内に配置され、前記一対の光透過性基板間の前記間隔を保持するスペーサと、一方の前記光透過性基板に形成された、開口部を有する遮光膜と、前記オイル内に配置されたシャッタと、前記開口部への光の通過及び遮断を制御するように、前記シャッタを機械的に駆動するための、前記オイル内に配置された駆動部と、前記一対の光透過性基板の前記対向面の少なくとも一方上に形成された壁部と、を有し、前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部は、前記開口部を通過する光の有無及び強弱によって画像を表示する表示領域に配置され、前記壁部は、前記シール材の前記切れ目と前記表示領域との最短経路を遮る位置に配置された部分を有し、前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部を構成する材料から形成されていることを特徴とする。本発明によれば、シール材の切れ目からオイルを注入するときに、オイルの流れを壁部で弱めることができ、シャッタに与えるダメージを減らすことができる。また、壁部は、スペーサ、シャッタ及び駆動部を構成する材料から形成されるので、これらを同時に形成することで工程数の増加を避けることができる。
【０００８】
（２）（１）に記載された表示装置において、前記壁部は、前記一対の光透過性基板の前記対向面同士に密着していることを特徴としてもよい。
【０００９】
（３）（２）に記載された表示装置において、前記壁部は、前記表示領域を囲むように配置され、前記最短経路を遮る前記位置を除いてスリットが形成されていることを特徴としてもよい。
【００１０】
（４）（２）に記載された表示装置において、前記壁部は、前記切れ目と前記表示領域との間で、前記最短経路を遮る前記位置を通って直線状に延びるように形成されていることを特徴としてもよい。
【００１１】
（５）（４）に記載された表示装置において、前記壁部は、複数の平行な直線に沿って延び、それぞれの前記直線に沿って延びる部分がスリットを有するように形成されていることを特徴としてもよい。
【００１２】
（６）本発明に係る表示装置の製造方法は、間隔をあけて配置された一対の光透過性基板と、前記一対の光透過性基板の対向面同士に密着し、切れ目を有して空間を囲むシール材と、前記オイル内に配置され、前記一対の光透過性基板間の前記間隔を保持するスペーサと、一方の前記光透過性基板に形成された、開口部を有する遮光膜と、前記空間内に配置されたシャッタと、前記開口部への光の通過及び遮断を制御するように、前記シャッタを機械的に駆動するための、前記空間内に配置された駆動部と、前記一対の光透過性基板の前記対向面の少なくとも一方上に形成された壁部と、を有し、前記スペーサ、前記シャッタ及び前記駆動部は、前記開口部を通過する光の有無及び強弱によって画像を表示する表示領域に配置され、前記壁部は、前記シール材の前記切れ目と前記表示領域との最短経路を遮る位置に配置された部分を有するように、空セルを組み立てる工程と、前記シール材の前記切れ目から前記空セルにオイルを注入する工程と、を含み、前記空セルを組み立てる工程で、前記スペーサ、前記シャッタ、前記駆動部及び前記壁部を、薄膜の成膜及びエッチングを含む複数回のプロセスで同時に形成し、前記オイルを注入する工程で、前記空間の内部を外部よりも低気圧にして、前記シール材の前記切れ目から前記オイルを注入することを特徴とする。本発明によれば、シール材の切れ目からオイルを注入するときに、オイルの流れを壁部で弱めることができ、シャッタに与えるダメージを減らすことができる。また、壁部を、スペーサ、シャッタ及び駆動部を同時に形成するので、工程数の増加を避けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る表示装置の側面図である。
【図２】図１に示す表示装置の平面図である。
【図３】シャッタ及びその駆動部の斜視図である。
【図４】図２に示す表示装置のIV−IV線断面の拡大図である。
【図５】空セルの内部の一部を示す平面図である。
【図６】図５に示す構造のVI−VI線断面図である。
【図７】第２壁部、第２スペーサ部及び第２アンカー部を形成する工程を説明するための図である。
【図８】第２壁部、第２スペーサ部及び第２アンカー部を形成する工程を説明するための図である。
【図９】第２壁部、第２スペーサ部及び第２アンカー部を形成する工程を説明するための図である。
【図１０】第２壁部、第２スペーサ部及び第２アンカー部を形成する工程を説明するための図である。
【図１１】空セルにオイルを注入する工程を説明する図である。
【図１２】空セルにオイルを注入する工程を説明する図である。
【図１３】空セルにオイルを注入する工程を説明する図である。
【図１４】空セルにオイルを注入する工程を説明する図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る表示装置の変形例を示す図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る表示装置の他の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１５】
図１は、本発明の実施形態に係る表示装置の側面図である。表示装置は、一対の光透過性基板１０，１２（例えばガラス基板）を有する。一対の光透過性基板１０，１２は、間隔（図４参照）をあけて対向するように配置されている。図２は、図１に示す表示装置の平面図である。図２では、上側の光透過性基板１２を仮想線で示して内部構造を示してある。図２に示すように、下側の光透過性基板１０には、複数（多数）のシャッタ１４が設けられている。
【００１６】
図３は、シャッタ１４及びその駆動部の斜視図である。シャッタ１４は、半導体又は金属などの無機材料からなり、開口部１６を有するプレートである。開口部１６を光が通過し、開口部１６以外の部分で光を遮断する。開口部１６は一方向に長い形状になっている。なお、光は、図１に示すように、光透過性基板１０に重ねられたバックライト１８から供給される。
【００１７】
シャッタ１４は、第１バネ２０に支持されて光透過性基板１０から浮くようになっている。複数（図２では４つ）の第１バネ２０によってシャッタ１４が支持されている。第１バネ２０は、第１アンカー部２２で光透過性基板１０に固定されている。詳しくは、第１アンカー部２２は、光透過性基板１０に形成された第１配線２４上に設けられ、両者は電気的に接続されている。
【００１８】
第１バネ２０は、弾性変形可能な材料からなり、シャッタ１４の板面に平行な方向に変形できるように配置されている。詳しくは、第１バネ２０は、シャッタ１４から離れる方向（開口部１６の長さ方向に交差（例えば直交）する方向）に延びる第１部２６と、開口部１６の長さ方向に沿った方向であって開口部１６の長さ方向の中央から外方向に向かって延びる第２部２８と、さらにシャッタ１４から離れる方向（開口部１６の長さ方向に交差（例えば直交）する方向）に延びる第３部３０と、を有する。そして、シャッタ１４は、図３に矢印で示すように、開口部１６の長さ方向に交差（例えば直交）する方向に移動できるように第１バネ２０に支持されている。
【００１９】
光透過性基板１０には、第２アンカー部３２に支持された第２バネ３４が設けられている。第２アンカー部３２は、光透過性基板１０に形成された第２配線３６上に設けられ、両者は電気的に接続されている。第２バネ３４は、第１バネ２０の第２部２８よりもシャッタ１４から離れた側で、この第２部２８に対向するようになっている。第２アンカー部３２に電圧を印加し、第１バネ２０の第２部２８との電位差によって生じる静電引力によって、第２部２８が第２アンカー部３２に引き寄せられるようになっている。第２部２８が引き寄せられると、第２部２８と一体的な第１部２６を介して、シャッタ１４も引き寄せられる。つまり、第１バネ２０及び第２バネ３４は、シャッタ１４を機械的に駆動するための駆動部３８を構成するためのものである。駆動部３８も、半導体又は金属などの無機材料から構成されている。
【００２０】
図４は、図２に示す表示装置のIV−IV線断面の拡大図である。上側の光透過性基板１２には遮光膜４０が形成されている。遮光膜４０には、開口部４２が形成されている。シャッタ１４の上述した開口部１６と遮光膜４０の開口部４２は、対向する位置に配置されており、両者が連通すれば光が通過し、シャッタ１４の移動によって遮光膜４０の開口部４２が遮蔽されると光が遮断される。言い換えると、遮光膜４０の開口部４２への光の通過及び遮断を制御するように、シャッタ１４は機械的に駆動される。対応する１つの開口部１６及び１つの開口部４２によって１画素が構成され、多数の画素によって画像が表示されるようになっている。そのため、複数（多数）のシャッタ１４が設けられている。シャッタ１４及び駆動部３８は、開口部１６，４２を通過する光の有無及び強弱によって画像を表示する表示領域（図２参照）に配置されている。
【００２１】
図４に示すように、一対の光透過性基板１０，１２は、シール材４４によって間隔をあけて固定されている。シール材４４は一対の光透過性基板１０，１２の対向面同士に密着している。また、シール材４４は、図２に示すように、切れ目４６を有して空間を囲むように形成されている。詳しくは、シール材４４は、矩形の表示領域４８を囲む矩形輪郭に沿って延びる部分を有する。なお、矩形の表示領域４８に対応して一対の光透過性基板１０，１２も矩形になっている。そして、エンドシール５０が、シール材４４の切れ目４６を塞いで、シール材４４が囲む空間を封止して封止空間を形成している。
【００２２】
図４に示すように、封止空間にはオイル５２（例えばシリコーンオイル）が満たされている。シャッタ１４及び駆動部３８は、オイル５２内に配置されている。オイル５２によってシャッタ１４及び駆動部３８の動きによる振動を抑えることができ、第１バネ２０と第２バネ３４のくっつきも防止することができる。光透過性基板１０，１２がガラスからなる場合、ガラスと屈折率の近いオイル５２を使用すれば、オイル５２を満たすことで、一対の光透過性基板１０，１２との界面での光の反射を減らすことができる。
【００２３】
表示装置は、一対の光透過性基板１０，１２間の間隔を保持するスペーサ５４を有する。スペーサ５４も、オイル５２内に配置され、図２に示す表示領域４８に配置されている。図４に示すスペーサ５４は、上側の光透過性基板１２に設けられた第１スペーサ部５６と、下側の光透過性基板１０に設けられた第２スペーサ部５８と、が接合されて構成されている。第１スペーサ部５６は樹脂からなる。第２スペーサ部５８は、２層の樹脂部５８ａ，５８ｂと、その表面を覆う半導体膜や金属膜からなる無機部５８ｃと、を有する。
【００２４】
表示装置は、一対の光透過性基板１０，１２の対向面の少なくとも一方上に形成された壁部６０を有する。図４に示す例では、壁部６０は、一対の光透過性基板１０，１２の対向面同士に密着している。詳しくは、壁部６０は、上側の光透過性基板１２に設けられた第１壁部６２と、下側の光透過性基板１０に設けられた第２壁部６４と、が接合されて構成されている。壁部６０は、スペーサ５４、シャッタ１４及び駆動部３８を構成する材料から形成されている。図４に示す例では、第１壁部６２は樹脂からなる。第２壁部６４は、２層の樹脂部６４ａ，６４ｂと、その表面を覆う半導体膜や金属膜からなる無機部６４ｃと、を有する。
【００２５】
図２に示すように、壁部６０は、表示領域４８を囲むように配置されている。詳しくは、壁部６０は、矩形の表示領域４８を囲む矩形の輪郭上に配置されている。壁部６０は、シール材４４の切れ目４６と表示領域４８との最短経路を遮る位置に配置された部分を有している。すなわち、シール材４４の切れ目４６と表示領域４８との直線経路を遮るように壁部６０の少なくとも一部がある。言い換えると、シール材４４の切れ目４６と表示領域４８との間に壁部６０の少なくとも一部がある。壁部６０は、最短経路を遮る位置を除いてスリット６６が形成されている。
【００２６】
図２の例では、矩形の表示領域４８を囲む矩形輪郭において、シール材４４の切れ目４６に対向する直線上にはスリットは形成されない。壁部６０は、その直線上に延びる部分６０ａから、間隔をあけて、直交方向（シール材４４の切れ目４６から離れる方向）に延びる部分６０ｂを有しており、両者間にスリット６６が形成されている。また、シール材４４の切れ目４６から離れる方向に延びる部分６０ｂ自体にもスリット６６が形成されている。さらに、シール材４４の切れ目４６から離れる方向に延びる部分６０ｂと、表示領域４８を挟んでシール材４４の切れ目４６とは反対側に形成された部分６０ｃとの間（つまり角部）にもスリット６６が形成されている。また、表示領域４８を挟んでシール材４４の切れ目４６とは反対側に形成された部分６０ｃ自体にもスリット６６が形成されている。このように、壁部６０には複数のスリット６６が形成されている。スリット６６を通って、壁部６０で囲まれた領域の内外をオイル５２が流動できるようになっている。
【００２７】
表示装置は、空セルにオイル５２を充填した構造を有している。図５は、空セルの内部の一部を示す平面図である。図６は、図５に示す構造のVI−VI線断面図である。空セルは、上述したように、図１で下側に配置された光透過性基板１０上に設けられた第２壁部６４、第２スペーサ部５８及び第２アンカー部３２を含む。第２アンカー部３２は、第２壁部６４及び第２スペーサ部５８の表層と同じ無機材料（半導体又は金属）からなる。第２アンカー部３２は、立体的に立ち上がって光透過性基板１０から浮いた部分を有する。第２アンカー部３２の下には第２配線３６があり、両者の電気的な接続が図られている。なお、第２スペーサ部５８も第２配線３６上に配置されている。
【００２８】
図７〜図１０は、第２壁部６４、第２スペーサ部５８及び第２アンカー部３２を形成する工程を説明するための図である。
【００２９】
図７に示すように、図１で下側に配置された光透過性基板１０上に、第１樹脂層６８を形成する。例えば、フォトレジストなどの感光性樹脂をリソグラフィによってパターニングし、紫外線等で硬化させて第１樹脂層６８を形成する。第１樹脂層６８は、第２壁部６４の下層の樹脂部６４ａ及び第２スペーサ部５８の下層の樹脂部５８ａを構成する部分と、第２アンカー部３２の下側部分をかたどる部分と、を含む。第１樹脂層６８は、第２配線３６に載るように形成するが、第２アンカー部３２の第２配線３６との電気的接続部を避けて、つまり第２配線３６の一部を露出させるように形成する。
【００３０】
図８に示すように、第１樹脂層６８上に第２樹脂層７０を形成する。第２樹脂層７０も、フォトレジストなどの感光性樹脂をリソグラフィによってパターニングして形成する。第２樹脂層７０は、第２壁部６４の上層の樹脂部６４ｂ及び第２スペーサ部５８の上層の樹脂部５８ｂを構成する部分と、第２アンカー部３２の上側部分をかたどる部分と、を含む。第２樹脂層７０も、第２アンカー部３２の第２配線３６との電気的接続部を避けて、つまり第２配線３６の一部を露出させるように形成する。
【００３１】
図９に示すように、光透過性基板１０並びにその上に形成された部材（第２配線３６、第１樹脂層６８及び第２樹脂層７０）上に、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）やスパッタリングなどによって無機層７２（例えばａ−ＳｉＮ／Ａｌ膜）を形成し、これを、図１０に示すようにエッチングする。無機層７２は単層であってもよいし複数層であってもよい。エッチングによって、第２壁部６４の無機部６４ｃ、第２スペーサ部５８の無機部５８ｃ及び第２アンカー部３２が得られる。さらに、第２アンカー部３２の下に存在する第１樹脂層６８及び第２樹脂層７０を除去することで、図６に示す構造が得られる。
【００３２】
第２アンカー部３２の形成と同じプロセスで、シャッタ１４、第１アンカー部２２、第１バネ２０及び第２バネ３４も形成する。さらに、反対側の光透過性基板１２には、第１壁部６２及び第１スペーサ部５６を同時に形成する（図４参照）。
【００３３】
以上の工程で、スペーサ５４、シャッタ１４、駆動部３８及び壁部６０は、薄膜の成膜及びエッチングを含む複数回のプロセスで同時に形成される。
【００３４】
本実施形態に係る表示装置の製造方法は、上記工程を含み、その後に続く空セルの組み立て工程を含む。空セルは、間隔をあけて配置された一対の光透過性基板１０，１２を有し、両者間の構造は、オイル５２を有していない点を除き、上記表示装置の内容が該当する。つまり、空セルは、オイル５２を注入する前の状態である。
【００３５】
図１１〜図１４は、空セルにオイル５２を注入する工程を説明する図である。本実施形態では、オイル５２を注入する工程で、空間の内部を外部よりも低気圧にして、シール材４４の切れ目４６からオイル５２を注入する。
【００３６】
具体的には、図１１に示すように、シール材４４が空間を囲む空セル７４を用意する。また、真空槽７６に、オイル５２の入った容器７８を用意する。図１２に示すように、真空槽７６の内部を真空状態にした後に、シール材４４の切れ目４６（注入口）をオイル５２に接触させる。図１３に示すように、真空槽７６の密閉状態を解除して空気をリークすると、空セル７４の内部（シール材４４によって囲まれた空間）に、シール材４４の切れ目４６からオイル５２が充填される。オイル５２は、粘性が低いほど流入速度が速くなる。
【００３７】
本実施形態によれば、シール材４４の切れ目４６から表示領域４８にオイル５２を注入するときに、オイル５２の流れを壁部６０で弱めることができ、表示領域４８に配置されたシャッタ１４（図２参照）に与えるダメージを減らすことができる。また、壁部６０を、スペーサ５４、シャッタ１４及び駆動部３８と同時に形成するので、工程数の増加を避けることができる。こうして、図１４に示すようにオイル５２を充填する。その後、図２に示すように、切れ目４６をエンドシール５０で塞ぐ。
【００３８】
図１５及び図１６は、本発明の実施形態に係る表示装置の変形例を示す図である。
【００３９】
図１５に示す例では、壁部１６０は、切れ目４６と表示領域４８との間で、最短経路を遮る位置を通って直線状に延びるように形成されている。壁部１６０は、この位置にのみ形成され、表示領域４８を囲まないようになっている。少なくとも切れ目４６から流入したオイル５２（図１４参照）が表示領域４８に流入する手前で壁部１６０に当たるので、上述した効果を達成することができる。また、壁部１６０は、表示領域４８の幅を超える長さで連続的に形成されているので、オイル５２は表示領域４８の横から回り込むように流れるので、流路が長くなることでも流速を遅くすることもできる。
【００４０】
図１６に示す例では、壁部２６０は、複数の平行な直線に沿って延び、それぞれの直線に沿って延びる部分がスリット２６６を有するように形成されている。スリット２６６は互い違いに形成されているので、オイル５２（図１４参照）がジグザグに流れるようになっている。これにより、オイル５２の流路を長くすることができ、流速を遅くすることができる。
【００４１】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
【符号の説明】
【００４２】
１０  光透過性基板、１２  光透過性基板、１４  シャッタ、１６  開口部、１８  バックライト、２０  第１バネ、２２  第１アンカー部、２４  第１配線、２６  第１部、２８  第２部、３０  第３部、３２  第２アンカー部、３４  第２バネ、３６  第２配線、３８  駆動部、４０  遮光膜、４２  開口部、４４  シール材、４６  切れ目、４８  表示領域、５０  エンドシール、５２  オイル、５４  スペーサ、５６  第１スペーサ部、５８  第２スペーサ部、５８ａ  樹脂部、５８ｂ  樹脂部、５８ｃ  無機部、６０  壁部、６０ａ  壁部の一部、６０ｂ  壁部の一部、６０ｃ  壁部の一部、６２  第１壁部、６４  第２壁部、６４ａ  樹脂部、６４ｂ  樹脂部、６４ｃ  無機部、６６  スリット、６８  第１樹脂層、７０  第２樹脂層、７２  無機層、７４  空セル、７６  真空槽、７８  容器、１６０  壁部、２６０  壁部、２６６  スリット。
【図１】
0005731284.tif 000002
【図２】
0005731284.tif 000003
【図３】
0005731284.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005731284.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005731284.tif 000008
【図８】
0005731284.tif 000009
【図９】
0005731284.tif 000010
【図１０】
0005731284.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
0005731284.tif 000013
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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