(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
極細径の孔をあけるための極細のドリルであって、
シャンク部と、このシャンク部に設けられたドリル軸部と、を具備し、
前記ドリル軸部は、前記シャンク部の先端から延びる軸部本体と、この軸部本体の先端に設けられた角錐状の切れ刃部と、を備え、前記軸部本体は、加工孔との間から切屑が排出されるように形成され、前記切れ刃部は、複数の三角形状の側面部と、隣り合うこの側面部の間の少なくとも一つの角部に形成された切れ刃としての稜線と、を有していて、
前記シャンク部の内部及び前記ドリル軸部の内部にはクーラント穴が形成され、このクーラント穴は前記切れ刃部の前記側面部で開口し、
前記軸部本体は、断面角形状の本体部と、前記本体部の少なくとも先端側で、前記クーラント穴が開口する前記側面部と対応するように前記本体部の外側に一体的に形成された膨出部と、を有し、前記クーラント穴はこの膨出部に掛るように又はこの膨出部に接近若しくは接するように前記側面部で開口している、ことを特徴とする極細のドリル。
【請求項２】
前記膨出部の先端面は、前記クーラント穴が開口する前記側面部の底辺部から前記軸部本体の基端部側に向かって斜め外側に傾斜するように形成されていて、前記クーラント穴はこの先端面に掛かるように又はこの先端面に接近若しくは接するように前記側面部で開口している、ことを特徴とする請求項１記載の極細のドリル。
【請求項３】
前記膨出部の先端面は、前記クーラント穴が開口する前記側面部と同一の角度で傾斜するように形成されている、ことを特徴とする請求項２記載の極細のドリル。
【請求項４】
前記切れ刃部の複数の前記側面部は非開口面部を含んでいて、前記クーラント穴は前記切れ刃部の前記非開口面部では開口せず、前記非開口面部と対応する前記本体部の外側には前記膨出部が形成されていない、ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の極細のドリル。
【請求項５】
極細径の孔をあけるための極細のドリルであって、
シャンク部と、このシャンク部に設けられたドリル軸部と、を具備し、
前記ドリル軸部は、前記シャンク部の先端から延びる角柱状の軸部本体と、この軸部本体の先端に設けられた角錐状の切れ刃部と、を備え、前記軸部本体は、加工孔との間から切屑が排出されるように形成され、前記切れ刃部は、複数の三角形状の側面部と、隣り合うこの側面部の間の少なくとも一つの角部に形成された切れ刃としての稜線と、を有していて、
前記切れ刃部には開口面部が設けられ、前記シャンク部の内部及び前記ドリル軸部の内部にはクーラント穴が形成され、このクーラント穴は前記切れ刃部の前記開口面部で開口し、
前記切れ刃部の隣り合う前記側面部の間の少なくとも一つの角部には、稜線が消失するように面取り部が形成され、
前記面取り部が前記開口面部を形成している、ことを特徴とする極細のドリル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシリコンウェハやガラス、セラミックス又はシリコン等の硬脆性材料製品などに極めて小径の孔をあけるのに適した極細のドリルに関する。
【背景技術】
【０００２】
加工対象物（被加工物）に孔をあけるドリルとしては、ドリル軸部の先端から基端部にかけて螺旋状の刃溝が形成され、ドリル軸部の先端に設けられた切れ刃の回転により生じる加工対象物の切屑をこの刃溝を通して排出できるように構成されたものが使用されている（例えば特許文献１の図４参照）。螺旋状の刃溝を有するこのようなドリルは、加工対象物が例えば金属材製で比較的軟質であり、孔あけ加工時に生じる切屑が連続している場合には、連続する切屑をこの螺旋状の刃溝に沿って効率よく排出できるが、加工対象物が例えばガラス製で比較的脆く、孔あけ加工時に生じる切屑が粉末状になる場合には、特に効果的な切屑排出機能を発揮するものとは言えないので、このようなドリルを使用しても加工孔に切屑が溜りやすい。しかも、加工対象物に形成すべき孔が例えば０．３ｍｍ乃至１．０ｍｍ程度の極細径の孔であり、ドリル軸部が極細の場合には、螺旋状の刃溝の形成によりドリル軸部の強度は著しく低下するので、加工対象物が例えばシリコン製で硬質であると、溜った切屑によってドリルが簡単に破損するおそれがある。
【０００３】
そこで、ガラス、セラミックス又はシリコン等の硬脆性材料製品などへの極細径の孔あけに用いられる極細のドリル軸部として、正四角柱状の軸部本体の先端に正四角錐状の切り刃部を形成した、螺旋状の刃溝を有しないものも開示されている（例えば特許文献１の図１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１７９５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の図１に記載されたようなドリル軸部は、螺旋状の刃溝を有しないので強度が高く、しかも、孔あけ加工時に軸部本体の正方形の輪郭と加工対象物に形成された円形の加工孔又は研削孔との間に隙間を形成するので、加工対象物の切屑が粉末状の場合にはこの隙間を通して切屑を排出できる機能を有している。
【０００６】
しかしながら、軸部本体の正方形の輪郭と加工対象物の円形の研削孔との間の隙間は加工対象物の切屑を強制的に排出するようには作用しないので、研削孔が深くなるにつれて切屑を研削孔の外に排出しにくくなってしまう。したがって、深い孔を孔あけ加工する際には、ドリルによる研削−研削孔からのドリルの抜き出し−研削孔へのクーラント液の供給による切屑の排出−研削孔へのドリルの挿入といった研削サイクルを頻繁に繰り返さなければならず、孔あけ加工に長時間を要することとなる。しかも、研削孔が深くなるとクーラント液を供給しても研削孔の底に溜った切屑を十分に排出できなくなってしまう。
【０００７】
そこで本発明は、加工対象物に微細径又は極細径の孔をあける際の切屑の排出を効果的に行うことができる極細のドリルの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するための本発明の極細のドリルは、極細径の孔をあけるための極細のドリルであって、シャンク部と、このシャンク部に設けられたドリル軸部と、を備え、前記ドリル軸部は、前記シャンク部の先端から延びる角柱状の軸部本体と、この軸部本体の先端に、例えば一体的に設けられた角錐状又はほぼ角錐状の切れ刃部と、を有し、前記切れ刃部は、複数の三角形状又はほぼ三角形状の側面部と、隣り合う又は周方向で隣り合うこの側面部の間の少なくとも一つの角部に形成された切れ刃としての稜線と、を有していて、前記切れ刃部には開口面部が設けられ、前記シャンク部の内部及び前記ドリル軸部の内部にはクーラント穴が形成され、このクーラント穴は前記切れ刃部の前記開口面部で開口しているものである。開口面部の開口から切れ刃部の先端にクーラント液が供給され、切れ刃部が冷却されるとともに、軸部本体と加工孔又は研削孔との隙間から例えば粉末状の切屑がクーラント液に流されて強制的に排出される。例えば、軸部本体の先端の断面形状又は先端面形状と切れ刃部の底面形状とは一致するように構成される。例えば、軸部本体が四角柱状又は六角柱状である場合には切れ刃部は四角錘状又は六角錘状に形成され、軸部本体の先端面の各辺部と切れ刃部の底面部の各辺部が一致するように構成される。
【０００９】
切れ刃部の少なくとも一つの側面部が開口面部（開口側面部）を形成するように構成できるが、この場合には、軸部本体の少なくとも先端側で開口面部と対応する外面部に膨出部又は張出部を形成し、クーラント穴がこの膨出部若しくは張出部に掛かって又はこの膨出部若しくは張出部に接近若しくは接して開口面部で開口するように構成するのが好ましい。このような膨出部又は張出部の外面は、軸部本体の角形状の先端面又は角形状の断面の対角線を直径とする円内又は円上に位置させることができる。このように構成することにより、クーラント穴を大径に形成しても軸部本体又はドリル軸部の強度が大きく低下することはなくなる。より具体的には、膨出部又は張出部の先端面を開口面部（三角形状又はほぼ三角形状の開口面部）の底辺部から軸部本体の基端部側に向かって斜め外側に傾斜するように形成し、クーラント穴をこの先端面に掛かるように又はこの先端面に接近若しくは接するように開口面部で開口させる。膨出部又は張出部の先端面は開口面部（開口面部が折れ曲がっている場合は開口面部の基部側）と同一の角度で傾斜するように形成されているのが好ましい。ここでは切れ刃部の複数の側面部が非開口面部を含み、クーラント穴は切れ刃部の非開口面部では開口していないことが好ましく、軸部本体の非開口面部と対応する外面部には膨出部も張出部も形成されていないことが効果的である。例えば、切れ刃部の側面部は開口面部と非開口面部とから構成される。加工対象物の切屑は、例えば非開口面部に対応する軸部本体の外面部と加工孔又は研削孔との間から排出される。
【００１０】
切れ刃部の周方向で隣り合う側面部の間の角部には切れ刃としての稜線が形成されるが、少なくとも一つの角部に面取り部を設けて稜線を消失又はほとんど消失させることができる。切れ刃部は、基部側から先端側に向かって傾斜が緩やかになるように多段に形成することができる。すなわち、切れ刃部は、頂点又は先端から外面に沿って底面部の外縁まで延びる線分が折れ曲がり、多段の角錐形状を形成している場合がある。すなわち、切れ刃部の側面部は折れ曲がって形成される場合がある。あるいは、切れ刃部のそれぞれの側面部を外側に凸となるように膨らますことができる。切れ刃部の角部に面取り部を設ける場合にはこの面取り部を開口面部とすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る極細のドリルを用いれば、例えば極細径の深孔を短時間で加工することが可能となり、また、切屑を効率的に排出して極細のドリルが損傷するのを確実に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る極細のドリルの全体形状を示す図である。
【図２】第１のドリル軸部を示す斜視図である。
【図３】第１のドリル軸部の平面図である。
【図４】第１のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図５】クーラント穴の別の形状を示す図である。
【図６】第１のドリル軸部の変形例を示す図である。
【図７】第２のドリル軸部の斜視図である。
【図８】第２のドリル軸部の平面図である。
【図９】第２のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図１０】第３のドリル軸部の斜視図である。
【図１１】第３のドリル軸部の平面図である。
【図１２】第３のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図１３】第３のドリル軸部の変形例を示す図である。
【図１４】第４のドリル軸部の斜視図である。
【図１５】第４のドリル軸部の平面図である。
【図１６】第４のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図１７】第４のドリル軸部の変更例を示す図である。
【図１８】第５のドリル軸部の斜視図である。
【図１９】第５のドリル軸部の平面図である。
【図２０】第５のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図２１】第５のドリル軸部の変更例を示す図である。
【図２２】第６のドリル軸部の斜視図である。
【図２３】第６のドリル軸部の平面図である。
【図２４】第６のドリル軸部の先端側の側面図である。
【図２５】第６のドリル軸部の先端側の別の側面図である。
【図２６】第６のドリル軸部の切れ刃部の変更例の斜視図である。
【図２７】第６のドリル軸部の切れ刃部の変更例の平面図である。
【図２８】孔加工状態を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１４】
まず、図１を参照して本発明に係る極細のドリルの全体形状を説明する。
【００１５】
ドリル１は、例えばガラス、セラミックス又はシリコン等の硬脆性材料製品に０．３ｍｍ乃至１．０ｍｍの極細径の孔をあけるための極細のマイクロドリルであり、シャンク部３と、このシャンク部３に例えばロウ付けにより基端部５が固定されたドリル軸部７と、を備えている。シャンク部３の材料としては、超微粒子超硬合金、超々微粒子超硬合金、ハイスピード鋼又はステンレスを用いることができ、ドリル軸部７の材料としては、超微粒子超硬合金や超々微粒子超硬合金にダイヤモンドコーティングを施したもの、単結晶ダイヤモンド、ＰＣＤダイヤモンド又は超微粒子超硬合金や超々微粒子超硬合金にダイヤモンド電着を施したものを用いることができる。
【００１６】
図２乃至図６を参照してドリル軸部７の第１の実施の形態を説明する。
【００１７】
第１のドリル軸部７は、基端部５がシャンク部３の先端に固定されてこのシャンク部３から延びる正四角柱状の軸部本体９と、この軸部本体９の先端に例えば一体的に設けられた、軸部本体９の先端面１１又は先端断面と一致する正方形状の底面部を有する正四角錐状の切れ刃部１３と、を備え、切れ刃部１３は周方向で隣り合う三角形状の側面部１５の間の４つの角部それぞれに形成された４つの稜線１７を有していて、それぞれの稜線１７は切れ刃として機能するように形成されている。切れ刃部１３の４つの側面部１５のうち、対向するように位置している第１の一対の側面部１５ａは開口面部を形成する開口側面部であり、対向するように位置している第２の一対の側面部１５ｂは非開口面部を形成する非開口側面部であって、シャンク部３から軸部本体９を通って切れ刃部１３に延びるクーラント穴１９はそれぞれの開口側面部１５ａで楕円形状又は長円形状に開口（符号２１参照）している。クーラント穴１９は、軸部本体９の中央を通る穴本体２３と、軸部本体９の先端付近で穴本体２３から二股状に分岐して開口側面部１５ａで開口する分岐部２５と、から形成されているが、図５に示すように、軸部本体９を通って開口側面部１５ａで開口する２本の別々のストレートに延びる穴部２７を有するように形成してもよい。なお、図６に示すように、軸部本体９にアンダーカット２８やマージン（面取り）３０を形成することもできる。なお、第１のドリル軸部７は、全体を一体的に形成したり、例えば軸部本体９の先端部分を形成する基部及び切れ刃部１３を有する先端側部材と軸部本体９の先端部分以外を形成する主体部材とを接着することにより形成することができる。
【００１８】
図７乃至図９を参照してドリル軸部７の第２の実施の形態を説明する。
【００１９】
第２のドリル軸部７は、基端部５がシャンク部３の先端に固定されてこのシャンク部３から延びる軸部本体２９と、この軸部本体２９の先端に例えば一体的に設けられた切れ刃部３１と、軸部本体２９に一体的に形成された膨出部３３と、を備えている。軸部本体２９は正四角柱状のものとして形成されているが（図８の一点鎖線参照）、この正四角柱状の軸部本体２９の対向するように位置している一対の細長い長方形状の外面部には断面円弧状の一対の膨出部３３が一体的に設けられていて、軸部本体２９及び膨出部３３は正方形の対向する一対の辺を円弧状に膨出させた断面形状を有している。膨出部３３の先端面部３５は、軸部本体２９の基端部５側に向かって斜め外側に傾斜するように形成されている。切れ刃部３１は、軸部本体２９の先端面３７又は先端断面と一致する正方形状の底面部を有する正四角錐状に形成され、周方向で隣り合う三角形状の側面部３９の間の角部それぞれに形成された４つの稜線４１を有していて、それぞれの稜線４１は切れ刃として機能するように形成されている。膨出部３３の外面は、軸部本体２９の正方形状の先端面３７の対角線を直径とする円内又は円上に位置している。切れ刃部３１の４つの側面部３９のうち、一対の膨出部３３に対応する一対の側面部３９ａは開口面部を形成する開口側面部であり、一対の膨出部３３の間に位置する一対の側面部３９ｂは非開口面部を形成する非開口側面部であって、シャンク部３から軸部本体２９を通って切れ刃部３１に延びるクーラント穴４３は、それぞれの開口側面部３９ａで膨出部３３の先端面部３５に掛かって楕円形状又は長円形状に開口（符号４５参照）している。膨出部３３の先端面部３５は開口側面部３９ａの底辺部４７に連なり、開口側面部３９ａと同一の傾きで傾斜するように広がっている。クーラント穴４３は、軸部本体２９の中央を通る穴本体４９と、軸部本体２９の先端付近で穴本体４９から二股状に分岐して開口側面部３９ａ及び膨出部３３の先端面部３５で開口する分岐部５１と、から形成されているが、軸部本体２９を通って開口側面部３９ａ及び膨出部３３の先端面部３５で開口する２本の別々の穴部５３を有するように形成してもよい。この場合、２本の穴部５３それぞれは、開口側面部３９ａ及び膨出部３３の先端面部３５で開口するまで、膨出部３３の内側部分に入り込んで軸部本体２９内を直線状に延びるように形成される。なお、第２のドリル軸部７は、全体を一体的に形成したり、例えば軸部本体２９の先端部分（先端面部３５を全体的に含んだ部分）及び切れ刃部３１を有する先端側部材と軸部本体２９の先端部分以外を形成する主体部材とを接着することにより形成することができる。
【００２０】
図１０乃至図１３を参照してドリル軸部７の第３の実施の形態を説明する。
【００２１】
第３のドリル軸部７は膨出部３３と異なる形状の膨出部又は張出部５５を有しているが、その他の点は第２のドリル軸部７と同一の構成を有しているので、同一構成の部分には同一の符号を付してその説明を基本的には省略する。
【００２２】
第３のドリル軸部７の軸部本体２９は正四角柱状のものとして形成されているが（図１１の一点鎖線参照）、正四角柱状の軸部本体２９の対向するように位置している一対の細長い長方形状の外面部には断面三角形状の一対の膨出部５５が一体的に設けられていて、軸部本体２９及び膨出部５５は正方形の対向する一対の辺を三角形状に膨出させた断面形状を有している。膨出部又は張出部５５の先端面部５７は、軸部本体２９の基端部５側に向かって斜め外側に傾斜するように形成され、切れ刃部３１の開口側面部３９ａの底辺部４７に連なり、開口側面部３９ａと同一の傾きで傾斜するように広がっている。
【００２３】
なお、図１３に示すように、一対の膨出部又は張出部５５に対応する一対の側面部３９のうちの一方のみを開口側面部３９ａとし、クーラント穴をこの開口側面部３９ａで膨出部５５の先端面部５７に掛かるように開口させてもよい。
【００２４】
図１４乃至図１７を参照してドリル軸部７の第４の実施の形態を説明する。
【００２５】
第４のドリル軸部７は、基端部５がシャンク部３の先端に固定されてこのシャンク部３から延びる軸部本体５９と、この軸部本体５９の先端に例えば一体的に設けられた切れ刃部６１と、軸部本体５９に一体的に形成された膨出部６３と、を備えている。軸部本体５９は正八角柱状のものとして形成されているが（図１５の一点鎖線参照）、この正八角柱状の軸部本体５９の細長い長方形状の８つの外面部は周方向で互い違いに膨出面部と非膨出面部に区分され、４つの膨出面部には断面円弧状の膨出部６３が一体的に設けられていて、軸部本体５９及び膨出部６３は正八角形の辺を一つおきに円弧状に膨出させた断面形状を有している。膨出部６３の先端面部６５はそれぞれ、軸部本体５９の基端部５側に向かって斜め外側に傾斜するように形成されている。切れ刃部６１は、軸部本体５９の正八角形状の先端面６７又は先端断面と一致する正八角形状の底面部を有する正八角錐状に形成され、周方向で隣り合う三角形状の側面部６９の間の角部それぞれに形成された８つの稜線７１を有していて、それぞれの稜線７１は切れ刃として機能するように形成されている。膨出部６３の外面は、軸部本体５９の正八角形状の先端面６７の対角線を直径とする円内又は円上に位置している。切れ刃部６１の８つの側面部６９のうちの膨出部６３に対応する側面部６９ａは開口面部を形成する開口側面部であり、開口側面部６９ａの間の側面部６９ｂは非開口面部を形成する非開口側面部であって、シャンク部３から軸部本体５９を通って切れ刃部６１に延びるクーラント穴７３は、それぞれの開口側面部６９ａで開口側面部６９ａの底辺部７５に接するように楕円形状又は長円形状に開口（符号７７参照）している。膨出部６３の先端面部６５は開口側面部６９ａの底辺部７５に連なり、開口側面部６９ａと同一の傾きで傾斜するように広がっている。クーラント穴７３は、軸部本体５９の中央を通る穴本体７９と、軸部本体５９の先端付近で穴本体７９から４本に分岐して開口側面部６９ａで開口する分岐部８１と、から形成されているが、軸部本体５９を通って開口側面部６９ａで開口する４本の別々のストレートの穴部８３（２本のみ仮想線で表示）を有するように形成してもよい。第４のドリル軸部７は、全体を一体的に形成したり、例えば軸部本体５９の先端部分（先端面部６５を全体的に含んだ部分）及び切れ刃部６１を有する先端側部材と軸部本体５９の先端部分以外を形成する主体部材とを接着することにより形成することができる。
【００２６】
なお、図１７に示すように、軸部本体５９を正六角柱状のものとして形成し（図１７の一点鎖線参照）、この正六角柱状の軸部本体５９の対向するように位置している細長い長方形状の一対の外面部に断面円弧状の２つの膨出部６３を設け、軸部本体５９及び膨出部６３を正六角形の対向している一対の辺を円弧状に膨出させた断面形状を有するように形成し、一対の膨出部６３に対応する一対の側面部６９のみを開口側面部６９ａとして、クーラント穴をこの開口側面部６９ａで開口側面部６９ａの底辺部７５に接するように楕円形状又は長円形状に開口（符号７７参照）させてもよい。
【００２７】
図１８乃至図２１を参照してドリル軸部７の第５の実施の形態を説明する。
【００２８】
第５のドリル軸部７は、基端部５がシャンク部３の先端に固定されてこのシャンク部３から延びる軸部本体８５と、この軸部本体８５の先端に例えば一体的に設けられた切れ刃部８７と、軸部本体８５に一体的に形成された膨出部又は張出部８９と、を備えている。軸部本体８５は、正四角柱状のものとして形成されているが（図１８及び図１９の一点鎖線参照）、この正四角柱状の軸部本体８５の細長い長方形状の４つの外面部にはそれぞれ、断面三角形状の４つの膨出部８９が一体的に設けられていて、軸部本体８５及び膨出部８９は正方形の各辺を三角形状に膨出又は張り出させた断面形状を有している。膨出部又は張出部８９の先端面部９１はそれぞれ、軸部本体８５の基端部５側に向かって斜め外側に傾斜するように形成されている。切れ刃部８７は、軸部本体８５の正四角形状の先端面９３又は先端断面と一致する正方形状の底面部を有する正方形状に形成され、周方向で隣り合う三角形状の側面部９５の間の４つの角部それぞれに４つの稜線９７を有していて、それぞれの稜線９７は切れ刃として機能するように形成されている。膨出部又は張出部８９の外面の頂点個所９９は、軸部本体８５の正方形状の先端面９３の対角線を直径とする円内又は円上に位置している。切れ刃部８７の４つの側面部９５はそれぞれ、開口面部を形成する開口側面部であり、シャンク部３から軸部本体８５を通って切れ刃部８７に延びるクーラント穴１０１は、それぞれの側面部９５で膨出部又は張出部８９の先端面部９１に掛かって四角形状又は菱形状に開口（符号１０３参照）している。膨出部又は張出部８９の先端面部９１は側面部９５の底辺部１０５に連なり、側面部９５と同一の傾きで傾斜するように広がっている。クーラント穴１０１は、軸部本体８５の中央を通る穴本体１０７と、軸部本体８５の先端付近で穴本体１０７から４本に分岐して側面部９５及び膨出部又は張出部８９の先端面部９１で開口する分岐部１０９と、から形成されているが、軸部本体８５を通って側面部９５及び膨出部又は張出部８９の先端面部９１で開口する４本の別々の穴部１１０を有するように形成してもよい。ここでは、軸部本体８５と加工孔との隙間は、具体的には、膨出部又は張出部８９と加工孔との間の隙間となる。第５のドリル軸部７は、全体を一体的に形成したり、例えば軸部本体８５の先端部分（先端面部９１を全体的に含んだ部分）及び切れ刃部８７を有する先端側部材と軸部本体８５の先端部分以外を形成する主体部材とを接着することにより形成することができる。
【００２９】
なお、図２１に示すように、対向するように位置する一対の側面部９５のみを開口側面部とし、この開口側面部９５及び対応する膨出部又は張出部８９の先端面部９１にクーラント穴を四角形状又は菱形状に開口（符号１０３参照）させてもよい。  
【００３０】
図２２乃至図２７を参照してドリル軸部７の第６の形態を説明する。
【００３１】
第６のドリル軸部７は、基端部５がシャンク部３の先端に固定されてこのシャンク部３から延びる正四角柱状の軸部本体１１１と、この軸部本体１１１の先端に例えば一体的に設けられた、軸部本体１１１の先端面１１３又は先端断面と一致する正方形状の底面部を有する正四角錐状の切れ刃部１１５と、を備え、切れ刃部１１５は急な傾斜の基部側１１７と、比較的緩やかな傾斜の先端側１１９と、を一体的に有する２段構成となっているが、緩やかな傾斜の先端部をさらに一体的に有する３段構成とすることもできる。切れ刃部１１５の周方向で隣り合うほぼ三角形状の側面部１２３（側面部１２３はほぼ三角形状ではあるが２段に折れ曲がっている）の間にはそれぞれ、角部（全体で４つの角部）が設けられ、軸部本体１１１の先端面１１３の一方の対角線に沿って位置する一対の角部にはそれぞれ、稜線１２５が形成されていて、それぞれの稜線１２５は切れ刃として機能する。一対の稜線１２５はそれぞれ、切り刃部１１５の頂点から底面部の隅部まで延びているが、切り刃部１１５の頂点と底面部の隅部を結ぶ直線よりも外側に位置する屈曲点１２７を通り、この屈曲点１２７で屈曲するように形成されている。より具体的には、稜線１２５は、切り刃部１１５の頂点から屈曲点１２７まで直線状に比較的緩やかに傾斜して延び、この屈曲点１２７で屈曲して底面部の隅部まで直線状に急に傾斜して延びている。また、軸部本体１１１の先端面１１３の他方の対角線に沿って位置する一対の角部にはそれぞれ、面取りが施されて平面状の面取り部１３１が形成されていて、切れ刃として機能する稜線はほとんど画成されていない。面取り部１３１は頂点よりもやや基部側から軸部本体１１１の上端部まで延びている。切れ刃部１１５の４つの側面部１２３はいずれも非開口面部を形成する非開口側面部であるが、一対の面取り部１３１は開口面部を形成していて、シャンク部３から軸部本体１１１を通って切れ刃部１１５に延びるクーラント穴１３３はそれぞれの面取り部１３１で楕円形状又は長円形状に開口（符号１３５参照）している。クーラント穴１３３は、軸部本体１１１の中央を通る穴本体１３５と、軸部本体１１１の先端付近で穴本体１３５から二股状に分岐して面取り部１３１で開口する分岐部１３７と、から形成されているが、軸部本体１１１を通って面取り部１３１で開口する２本の別々のストレートに延びる穴部１３９を有するように形成してもよい。第６のドリル軸部７は、全体を一体的に形成したり、例えば軸部本体１１１の先端部分及び切れ刃部１１５を有する先端側部材と軸部本体１１１の先端部分以外を形成する主体部材とを接着することにより形成することができる。
【００３２】
なお、図２６及び図２７に示すように、それぞれの側面部１２３を外側に湾曲させて形成しても、基部側の傾斜が急であり、先端側の傾斜が緩やか又は比較的緩やかな切り刃部１１５を形成できる。ここでも、軸部本体１１１の先端面１１３の一方の対角線に沿って位置する一対の角部にはそれぞれ、稜線１２５が形成されていて、それぞれの稜線１２５は切れ刃として機能する。一対の稜線１２５はそれぞれ、切り刃部１１５の頂点から底面部の隅部まで延びているが、切り刃部１１５の頂点と底面部の隅部を結ぶ直線よりも外側に凸となるように円弧状に膨らんでいる。また、軸部本体１１１の先端面１１３の他方の対角線に沿って位置する一対の角部には、それぞれ面取りが施されて平面状の面取り部１３１が形成されていて、切れ刃として機能する稜線はほとんど画成されていない。面取り部１３１は切り刃部１１５の頂点よりもやや基部側から軸部本体１１１の上端部まで延びている。切れ刃部１１５の４つの側面部１２３はいずれも非開口面部を形成する非開口側面部であるが、一対の面取り部１３１は開口面部を形成していて、シャンク部３から軸部本体１１１を通って切れ刃部１１５に延びるクーラント穴１３３（図２５参照）はそれぞれの面取り部１３１で楕円形状又は長円形状に開口（符号１３５参照）している。
【００３３】
以上のようなドリル軸部７を用いると、図２８ａに示すような洗浄及び冷却のステップ動作を繰り返しながら孔加工を行う必要はなく、図２８ｂに示すような連続した孔加工が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の極細のドリルは例えば半導体製造装置の部品の孔あけ加工に使用できる。
【符号の説明】
【００３５】
１                                          ドリル
３                                          シャンク部
７                                          ドリル軸部
９、２９、５９、８５、１１１                軸部本体
１３、３１、６１、８７、１１５              切れ刃部
１５、３９、６９、９５、１２３              側面部
１７、４１、７１、９７、１２５              稜線
１５ａ、３９ａ、６９ａ、９５、１３１        開口面部
２３、４３、７３、１０１、１３３            クーラント穴
【要約】
【課題】加工対象物に微細径の孔をあける際の切屑の排出を効果的に行うことができる極細のドリルを提供する。
【解決手段】ドリル軸部７を、正四角柱状の軸部本体９と、この軸部本体９の先端に一体的に設けた正四角錐状の切れ刃部１３と、を備えるように構成する。切れ刃部１３の周方向で隣り合う三角形状の側面部１５の間のそれぞれの角部に、切れ刃として機能する稜線１７を形成する。切れ刃部１３の４つの側面部１５のうちの一対の側面部１５ａを開口側面部とし、シャンク部から軸部本体９を通って切れ刃部１３に延びるクーラント穴がそれぞれの開口側面部１５ａで開口するように構成する。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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