(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空被覆装置（３）の被覆チャンバ（１）内でテストガラス（２４，２４’’）を選択的に被覆しかつ光学的に測定するためのテストガラス変動システム（１０，１０’’）であって、被覆チャンバ（１）内に、被覆材料の流れを通る軌道において少なくとも１つの基板（７）を案内するための可動のターンテーブル（２）が配置されており、
テストガラス変動システム（１０，１０’’）が、テストガラスホルダ（８，８’’）を有しており、該テストガラスホルダ（８，８’’）が、テストガラス（２４，２４’’）を収容するためのテストガラスプレート（２６）と、該テストガラスプレート（２６）を選択的に覆うためのカバー（２８，２８’’）とを有しており、
テストガラス変動システム（１０）が、ターンテーブル（２）の回動軸線（５）に対してほぼ平行に方向付けられた軸線（５’）を中心としてテストガラスプレート（２６）を回動させるための回動装置（９）を有している形式のものにおいて、
ターンテーブル（２）に複数の凹部（６）が設けられており、該凹部（６）が、回動軸線（５）を中心とした１つの共通の大円（２３）に配置されており、
凹部（６）に、ディスク状の基板（７）またはテストガラスホルダ（８）が選択的に装着可能であり、
前記テストガラスプレート（２６）と前記カバー（２８，２８’’）とを含む前記テストガラスホルダ（８，８’’）が、ターンテーブル（２）に位置決め可能であり、かつ被覆チャンバ（１）から取出し可能である一のユニットを形成することを特徴とする、真空被覆装置の被覆チャンバ内でテストガラスを選択的に被覆しかつ光学的に測定するためのテストガラス変動システム。
【請求項２】
テストガラスプレート（２６）が、円板状のモニタガラス（２６’）によって形成されている、請求項１記載のテストガラス変動システム。
【請求項３】
モニタガラス（２６’）が、中心の開口（２７）を有している、請求項２記載のテストガラス変動システム。
【請求項４】
テストガラスプレート（２６）が、多数のテストガラス（２４’’）を収容するための支持プレート（２６’’）として形成されている、請求項１記載のテストガラス変動システム。
【請求項５】
テストガラス回動装置（９）が、持上げ／回動装置（３４）として形成されており、該持上げ／回動装置（３４）によって、
−テストガラスプレート（２６）が、ターンテーブル（２）に対して軸線方向（５’）に移動可能であり、
−カバー（２８，２８’’）が、テストガラスプレート（２６）に対して軸線方向（５’）に移動可能であり、
−テストガラスプレート（２６）が、軸線方向（５’）を中心として回動可能である、
請求項１から４までのいずれか１項記載のテストガラス変動システム。
【請求項６】
持上げ／回動装置（３４）が、カバー（２８，２８’’）を持ち上げるための第１の環状体（３７，３７’’）と、テストガラスプレート（２６）を持ち上げかつ回動させるための第２の環状体（３５，３５’’）とを有している、請求項５記載のテストガラス変動システム。
【請求項７】
持上げ／回動装置（３４）が、加工チャンバ（１）内に定置に配置されている、請求項５または６記載のテストガラス変動システム。
【請求項８】
持上げ／回動装置（３４）が、ターンテーブル（２）に配置されている、請求項５または６記載のテストガラス変動システム。
【請求項９】
ターンテーブル（２）に前記基板を装着するための基板ロードロック室（２０）が設けられている、請求項１から８までのいずれか１項記載のテストガラス変動システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空被覆装置の被覆チャンバ内でテストガラスを選択的に被覆しかつ光学的に測定するためのテストガラス変動システムであって、被覆チャンバ内に、被覆材料の流れを通る軌道において少なくとも１つの基板を案内するための可動のターンテーブルが配置されており、テストガラス変動システムが、テストガラスホルダを有しており、該テストガラスホルダが、テストガラスを収容するためのテストガラスプレートと、該テストガラスプレートを選択的に覆うためのカバーとを有しており、テストガラス変動システムが、ターンテーブルの回動軸線に対してほぼ平行に方向付けられた軸線を中心としてテストガラスプレートを回動させるための回動装置を有している形式のものに関する。
【０００２】
このような形式のテストガラス変動システムは、たとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書に記載されている。
【０００３】
干渉層とも呼ばれる光学的な多層系の製造は、たとえばバンドパスフィルタ、エッジフィルタ、冷光ミラー、ビームスプリッタおよび反射防止層のような光学式の製品において重要な役割を果たしている。このような被覆の目的は、設定された波長範囲内では多層系において可能な限り十分な透過率または反射率を達成するものの、それ以外の波長範囲では可能な限り滑らかに、無視できる透過率もしくは反射率を得ることである。この要求を満たすためには、多くの数の個別層が前提条件となる。たとえば１つの高屈折率の層と１つの低屈折率の層とが交互に基板に被着される。２つの高屈折率の層と２つの低屈折率の層とが直接連続してもよい。
【０００４】
このような複雑な層系の製造時、特に特殊な機能特性を備えた多層の製造時には、所望の層厚さおよび層特性を保証するために、基板に被着された機能層の規則的な測定もしくは検査が必要となる。このためには、テストガラスが使用される。このテストガラスには、それぞれ個々の層が析出され、検査される。複雑な光学式のフィルタの場合、フィルタ仕様を達成するために、複数回のテストガラス変動が必要となる。要求された精度に対して、テストガラスが基板の場所に配置されていなければならず、主として、基板と同様に被覆されなければならない。さらに、テストガラス変動は個々の被覆シーケンスの間に可能な限り自動化されて、すなわち、オペレータによるテストガラスの手による入れ換えなしに行われることが望ましい。
【０００５】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書に基づき、テストガラス変動器が公知である。この公知のテストガラス変動器によって、１回のテストガラス変動が被覆チャンバの閉鎖時に可能となる。被覆材料の少なくとも１つの流れを通る軌道において基板を案内するターンテーブルには、複数のテストガラスを収容するための保持部材が支承されている。この保持部材はターンテーブルと共に運動させられ、このターンテーブルに対して回動可能に支承されている。ターンテーブルの軌道に沿って配置されたステップ切換機構は、それぞれ１つのテストガラスをターンテーブルに対して相対的に定置の位置に切り換える。この位置では、ステップ切換機構と基板とが、ターンテーブルの設定可能な回転回数に対して交互に測定装置のビーム路と被覆材料の流れとを通して案内される。保持部材はカバーによって覆われている。このカバーはターンテーブルに定置に取り付けられていて、それぞれ１つのテストガラスしか被覆・測定位置において露出させない。保持部材の回動は、被覆チャンバの内部に配置された可動の切換フィンガによって行われる。この切換フィンガは、ターンテーブルの回転軌道に突入していて、保持部材に設けられた突起と協働する。保持部材の１つの突起への切換フィンガの係合時には、１つのテストガラスが測定窓との合致位置から送り出され、後続のテストガラスがその箇所に移動する。したがって、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書のテストガラス変動器によって、１回のテストガラス変動が被覆チャンバの閉鎖時に可能となる。しかし、テストガラス変動器へのローディングには、極めて手間がかかる。なぜならば、個々のテストガラスが基板ロードロック室を通ってテストガラス変動器の保持部材に挿入されなければならないからである。さらに、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書に示されたテストガラス変動器は、比較的少ない個数（４つ）のテストガラスしか収容することができず、これによって、多層系の製造時にテストガラスの（少なくとも）１回の手による入れ換えが必要となる。
【０００６】
したがって、本発明の課題は、公知先行技術を改良して、手による介入なしに被覆チャンバの内部で変動させることができるより多くの数のテストガラスが提供されるようにすることである。さらに、被覆チャンバ内へのテストガラスの供給が可能な限り簡単に実行されることが望ましい。
【０００７】
この課題を解決するために本発明に係るテストガラス変動システムでは、テストガラスホルダが、ユニットとしてターンテーブルに位置決め可能であり、被覆チャンバから取出し可能であるようにした。
【０００８】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、テストガラスプレートが、円板状のモニタガラスによって形成されている。
【０００９】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、モニタガラスが、中心の開口を有している。
【００１０】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、テストガラスプレートが、多数のテストガラスを収容するための支持プレートとして形成されている。
【００１１】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、テストガラス回動装置が、持上げ／回動装置として形成されており、該持上げ／回動装置によって、テストガラスプレートが、ターンテーブルに対して軸線方向に移動可能であり、カバーが、テストガラスプレートに対して軸線方向に移動可能であり、テストガラスプレートが、軸線方向を中心として回動可能である。
【００１２】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、持上げ／回動装置が、カバーを持ち上げるための第１の環状体と、テストガラスプレートを持ち上げかつ回動させるための第２の環状体とを有している。
【００１３】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、持上げ／回動装置が、加工チャンバ内に定置に配置されている。
【００１４】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、持上げ／回動装置が、ターンテーブルに配置されている。
【００１５】
本発明に係るテストガラス変動システムの有利な態様によれば、ターンテーブルに前記基板を装着するための基板ロードロック室が設けられている。
【００１６】
本発明によれば、テストガラス変動システムはテストガラスホルダを有している。このテストガラスホルダは、１つまたはそれ以上のテストガラスを収容するためのテストガラスプレートと、カバーとを備えている。このカバーはテストガラスプレートを覆っていて、内部に保持されたテストガラスを被覆に対して防護している。カバーは測定窓を備えている。この測定窓はテストガラスプレートの小さな領域しか被覆に対して露出しない。複数の測定窓および／または基準窓が設けられていてもよい。テストガラス変動システムの一部を成す回動装置によって、テストガラスプレートをカバーに対して回動させることができる。これによって、テストガラスプレートに固定されたそれぞれ異なるテストガラスが、測定窓の、テストガラスを被覆しかつ測定する領域に運動させられる。ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書と異なり、本発明に係るテストガラス変動システムでは、（テストガラスプレートとカバーとを備えた）テストガラスホルダが、閉鎖されたユニットを形成している。このユニットは、被覆したい基板同様、基板ロードロック室を通して被覆チャンバ内に導入することができ、ターンテーブルに位置決めすることができる。これによって、ターンテーブルへの特に簡単なかつ時間節約的なローディングが可能となる。ドイツ連邦共和国特許出願公開第３６０４６２４号明細書において必要となる、（ターンテーブルに固く結合された）テストガラス変動システムへの、基板ロードロック室を通して個々に供給されかつテストガラスプレートに位置決めされなければならないテストガラスの装着の代わりに、本発明に係るテストガラス変動システムの使用時には、テストガラスホルダへの装着もしくはテストガラスホルダの準備を被覆チャンバの外部でかつ時間的に基板交換に左右されずに実施することができる。このことは、人間工学的に有利であり、時間を節約する。さらに、比較的多数のテストガラスをテストガラスホルダに配置することができる。
【００１７】
テストガラスホルダのカバーは、テストガラスプレートに対して回動させることができ、持ち上げることができるように形成されている。被覆チャンバの内部での１回のテストガラス変動は、テストガラスホルダのカバーが持ち上げられ、テストガラスプレートが、設定された角度だけカバーに対して回動させられ、次いで、このカバーが再び降下させられるように実施される。テストガラスプレートを回動させるために使用される回動装置は、有利には持上げ／回動装置として形成されている。この持上げ／回動装置によって、ターンテーブルの回動軸線に対して平行な軸線を中心とした回動と、この軸線の方向への持上げ運動とを実施することができる。１回のテストガラス変動は、テストガラスプレートが軸線方向でターンテーブル（もしくはテストガラスホルダの、ターンテーブルに静止している基体）から持ち上げられ、カバーが軸線方向でテストガラスプレートから持ち上げられるように行われる。この両持上げ運動は同時に実施されてもよいし、時間的に互いにずらされて実施されてもよい。次いで、テストガラスプレートが回動させられる。これによって、テストガラスプレートの、カバーの測定窓の下方に位置する領域が入れ換えられ、カバーの測定窓の下方にテストガラスプレートの新たな領域が位置することになる。この新たな相対角度位置において、テストガラスプレートとカバーとが降下させられる。テストガラスホルダがターンテーブルにおいて被覆チャンバの被覆ステーションを通して運動させられると、テストガラスプレートの、ちょうど測定窓の下方に送り込まれた領域が被覆される。
【００１８】
円形のもしくは円筒状のテストガラスプレートに対するテストガラス変動のためには、持上げ／回動装置が、有利には２つの同心的な環状体を有している。両環状体は（有利には一緒に）高さ調節可能である。両環状体の一方は、制御して回動させることができる。回動可能な環状体がテストガラスプレートの持上げおよび回動のために働くのに対して、他方の環状体はカバーの持上げのために働く。
【００１９】
持上げ／回動装置は、被覆チャンバ内に定置に配置されていてよく、たとえば被覆ステーションの領域に位置していてよい。この態様では、１回のテストガラス変動をターンテーブルの設定された回動位置でしか行うことができない、つまり、テストガラスホルダが持上げ／回動装置の直上に位置している場合にしか行うことができない。択一的には、テストガラス回動装置をターンテーブル（またはターンテーブルと同期的に回動するターンプラットフォーム）に配置することが可能である。これは、テストガラス変動をターンテーブルの速度変更なしに被覆チャンバ内のあらゆる任意の位置で（たとえば測定ステーションと被覆ステーションとの間でのテストガラスホルダの搬送の間に）行うことができるという利点を有している。
【００２０】
本発明の第１の態様では、テストガラスプレートが円板状のモニタガラスである。この態様では、テストガラスプレート全体もしくはテストガラスプレートの、選択された任意の領域が、テストガラスとして働くことができる。モニタガラスは、有利には中心の開口を備えている。この開口を通して、光学的な測定の間に基準ビームを案内することができ、これによって、測定光のドリフトがコントロールされる。
【００２１】
本発明の第２の態様では、テストガラスプレートが、個別のテストガラスを収容するための多数の収容領域を備えている。この態様では、テストガラスがカバーの測定窓の直下に位置することになるように、テストガラスプレートが１回のテストガラス変動時にカバーに対して、設定された角度だけ回動させられる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１ａ】図２の１ａ−１ａ線に沿った、ターンテーブルを備えた被覆装置の断面図である。
【図１ｂ】図２の１ｂ−１ｂ線に沿った、ターンテーブルを備えた被覆装置の断面図である。
【図２】図１ａおよび図１ｂのターンテーブルの概略的な平面図である。
【図３ａ】第１の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムのテストガラスホルダの平面図である。
【図３ｂ】第１の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムのテストガラスホルダの断面図である。
【図３ｃ】第１の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムの持上げ／回動装置の断面図である。
【図４ａ】別の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムのテストガラスホルダの平面図である。
【図４ｂ】別の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムのテストガラスホルダの断面図である。
【図４ｃ】別の実施の形態における本発明に係るテストガラス変動システムの持上げ／回動装置の断面図である。
【００２３】
以下に、本発明を、図面に示した実施の形態につき詳しく説明する。
【００２４】
図１ａおよび図１ｂには、被覆チャンバ１の概略的な断面図が示してある。この被覆チャンバ１は真空被覆装置３の一部を成している。被覆チャンバ１内には、ターンテーブル２が位置している。このターンテーブル２は、制御可能なもしくは調整可能な回動装置４によって回動軸線５を中心として回動することができる。図２には、ターンテーブル２の平面図が示してある。このターンテーブル２には、複数の凹部６が設けられている。これらの凹部６は、軸線５を中心とした１つの共通の大円２３に配置されている。凹部６には、ディスク状の基板７またはテストガラスホルダ８を選択的に装着することができる。この基板７およびテストガラスホルダ８には、被覆チャンバ１において残ガス下で酸化物層が析出される。テストガラスホルダ８は、テストガラス回動装置９と一緒にテストガラス変動システム１０の部分を成している。
【００２５】
ターンテーブル２への基板７もしくはテストガラスホルダ８の装着は、被覆チャンバ１の１つの側壁に設けられた基板ロードロック室２０を通して行われる。基板７もしくはテストガラスホルダ８を取り出すために、被覆チャンバ１には、基板ロードロック室２０に直接対向して、軸線方向５に移動可能なパンチ２２を備えた持上げ装置２１が配置されている。１回の基板交換時には、持上げ装置２１のパンチ２２が下方から、ターンテーブル２の凹部領域６に設けられた貫通孔６’を通して案内され、その際、凹部領域６に位置する基板ディスク７もしくはテストガラスホルダ８がターンテーブル２から持ち上げられ、これによって、基板ディスク７もしくはテストガラスホルダ８を基板ロードロック室２０を介して取り出すことができる。この基板ロードロック室２０によって、第２以降のテストガラスホルダ８を容易に入れ換えることができ、ひいては、層の数が極めて多い場合でも、真空を遮断することなしにまたはテストガラスホルダに対して多くのスペースを失うことなしに、十分にモニタガラスを提供することができる。
【００２６】
被覆チャンバ１は被覆ステーション１１と測定ステーション１３とを有している。両ステーション１１，１３は、有利には遮蔽体によって互いに仕切られていて、この遮蔽体に設けられたスリットによってのみ互いに接続されている。被覆ステーション１１内には、スパッタリング装置１２が位置している。このスパッタリング装置１２では、公知の形式で反応性スパッタリングによってターゲットのスパッタリング材料が飛散させられる。被覆チャンバ１の壁および基板７もしくはテストガラスホルダ８には、スパッタリング材料・酸素複合体が堆積させられる。測定ステーション１３内には、光学式の測定装置１４が位置している。この光学式の測定装置１４によって、成長した層の光学的な特性、特に透過率および／または反射率を測定することができる。光学式の測定装置１４は、被覆チャンバ１の上方に配置された測定光源と、被覆チャンバ１の下方にかつ／または上方に配置された、透過放射線および／または反射放射線を測定するためのディテクタ１６とを有している。被覆チャンバ１の天井１７もしくは床１８には、真空密に窓１９が挿入されている。この窓１９を介して、測定光線１５が被覆チャンバ１を通して案内される。光学式の測定装置１４は、有利には単波長分光計または多波長分光計、特に分光光度計または分光楕円偏光計である。設定された層厚さの析出後、光学式の測定装置１４によって、光学的な損失を測定することができ、光学式の測定装置１４の信号に関連して層特性の調整を実施することができる。分光光度計の使用時には、設定されたスペクトル範囲内でかつ層厚さの関数として、透過率、吸収率および反射率を簡単に検出することができる。
【００２７】
図１に示した被覆ステーション１１のほかに、被覆チャンバ１内には、さらに別の加工領域（たとえばプラズマ加工領域、別のスパッタリング装置等）が設けられていてよい。さらに、別の測定ステーションが設けられていてよい。
【００２８】
回動装置４によって、ターンテーブル２が被覆チャンバ１内で制御もしくは調整されて回動軸線５を中心として回動させられる。その際、基板７とテストガラスホルダ８とが、１つの円形の運動軌道において少なくとも１回連続して被覆ステーション１１と測定ステーション１３とを通して運動させられる。テストガラスホルダ８は、図２に示したように、基板ディスク７にほぼ等しい直径を有しており、これによって、テストガラスホルダ８ならびに基板ディスク７をターンテーブル２の１つの任意の凹部６内に収容することができ、持上げ装置２１の使用下でターンテーブル２から取り出すことができる。
【００２９】
基板７に被着された被覆層を規則的に検査するためには、測定装置１４によって、テストガラスホルダ８内に収容されたテストガラス２４の測定が実施される。図３ａおよび図３ｂには、図１のテストガラスホルダ８の平面図（図３ａ）もしくは断面図（図３ｂ）が示してある。テストガラスホルダ８は管状の基体２５を有している。この基体２５には、円板状のテストガラスプレート２６が載置されている。このテストガラスプレート２６は中心の開口２７を有している。図３ａおよび図３ｂの実施の形態では、テストガラスプレート２６がモニタガラス２６’として、すなわち、中心の開口２７を備えた一様なディスク状のガラスプレートとして形成されている。モニタガラス２６’の選択された領域の、目的に即した被覆を達成するためには、モニタガラス２６’が、取外し可能な円形のカバー２８によって覆われている。このカバー２８は２つの開口、つまり、測定窓２９と基準窓３０とを備えている。ターンテーブル２に設けられたテストガラスホルダ８が被覆ステーション１１を通して運動させられると、モニタガラス２６’の、測定窓２９の下方に位置する領域３１が被覆されるのに対して、モニタガラス２６’の、カバー２８によって覆われた残り領域は被覆されないままである。
【００３０】
測定窓２９は、測定ステーション１３でのモニタガラス２６’の、測定窓２９に位置する領域３１の層厚さもしくは層特性を光学的に測定するために働く。カバー２８の真ん中に配置された基準窓３０は、モニタガラス２６’に被着された層を１００％測定するために働く。これによって、測定光のドリフトが回避される。図３の実施の形態では、両窓２９，３０が長方形の形を有している。しかし、両窓２９，３０は円形、楕円形等であってもよい。テストガラスホルダ８が被覆ステーション１１内にもたらされると、モニタガラス２６’の、測定窓２９の下方に位置する領域３１がスパッタリング媒体にさらされ、被覆される。被覆層の厚さおよび組成は測定ステーション１３で検出される。テストガラスホルダ８に位置するモニタガラス２６’は変動ステーション３２において、設定された角度３３だけ回動させられ、これによって、モニタガラス２６’の、（これまで被覆されていない）別の領域３１’が測定窓２９の下方に配置される。モニタガラス２６’のこの回動は、変動ステーション３２内に配置された回動装置９によって行われる。この回動装置９は、有利には持上げ／回動装置３４として形成されていて、図１ｂに示したように、ターンテーブル２の下方で被覆チャンバ１の床１８に取り付けられている。図１ｂの実施の形態では、変動ステーション３２が、被覆チャンバ１の、被覆ステーション１１と同じ領域に位置しており、これによって、持上げ／回動装置３４がスパッタリング装置１２の下方に配置されている。
【００３１】
持上げ／回動装置３４は、同心的に配置された２つの環状体３５，３７（図３ｃ参照）を有していて、両環状体３５，３７の共通の中心点３９が、ターンテーブル２に支承された基板ディスク７の大円２３のすぐ下方に位置するような被覆ステーション１１における位置に配置されている。内側の環状体３５は、制御装置（図示せず）によって軸線５’を中心として回動することができる。この軸線５’は内側の環状体３５の中心点３９を通って延びていて、ターンテーブル２の回動軸線５に対してほぼ平行に方向付けられている。さらに、環状体３５，３７は、制御装置によって一緒に軸線５’に対して平行に移動することができる。持上げ／回動装置３４は、両環状体３５，３７が個別に移動することができるように形成されていてもよいものの、これには、付加的な運動軸線が必要となる。したがって、両環状体３５，３７の共通の送り運動を提案することが有利である。
【００３２】
各環状体３５，３７は、一組の持上げエレメント３６，３８、本実施の形態では、ピン３６’，３８’を備えている。これらの持上げエレメント３６，３８は環状体３５，３７から移動方向５’に突出している。１回のテストガラス変動を実施したい（すなわち、テストガラスホルダ８のモニタガラス２６’を所定の角度３３だけ回動させたい）場合には、テストガラスホルダ８の中心点４０が環状体３５，３７の中心点３９の上方に位置することになるように、テストガラスホルダ８がターンテーブル２によって持上げ／回動装置３４に対して位置決めされる。その後、両環状体３５，３７が上向きに運動させられ、外側の環状体３７のピン３８’が、テストガラスホルダ８の基体２５に設けられた中空室４１内に進入するのに対して、内側の環状体３５のピン３６’は基体２５の内室４２に収容される。ピン３６’，３８’の長さは、環状体３５，３７の更なる送り時に外側の環状体３７のピン３８’がテストガラスホルダ８のカバー２８を持ち上げるのに対して、内側の環状体３５のピン３６’はモニタガラス２６’を持ち上げ、しかも、カバー２８がモニタガラス２６’から持ち上げられる間、モニタガラス２６’が基体２５から持ち上げられ、これによって、モニタガラス２６’もしくはカバー２８が、相互の接触および基体２５への接触なしに、ピン３６’；３８’に止まるように寸法設定されている。この位置では、モニタガラス２６’が内側の環状体３５の回転によって角度３３だけ回動させられるのに対して、基体２５およびカバー２８はその位置に留まる。こうして、当初に測定窓２９の下方に位置していたモニタガラス領域３１の代わりに、いまや、モニタガラス２６’の別の領域３１’が測定窓２９の下方に位置することになる。すなわち、モニタガラス２６’のこの回動によって、いわば１回の「テストガラス変動」が実施される。カバー２８に対するモニタガラス２６’の連続した回動によって、モニタガラス２６’のそれぞれ異なる領域３１，３１’を測定窓２９の領域に運動させることが可能となる。したがって、持上げ／回動装置３４によって、閉鎖された被覆チャンバ１の内部での全自動的なテストガラス変動が可能となる。
【００３３】
測定窓２９のサイズおよび位置は、モニタガラス２６’を回動によって少なくとも６つの異なる測定位置、有利には８つ（またはそれ以上）の異なる測定位置に運動させることができるように設定されている。図３ａおよび図３ｂの実施の形態では、モニタガラス２６’が１２５ｍｍの直径を有しているのに対して、測定窓２９は３８ｍｍ×１５ｍｍの寸法を有している。
【００３４】
被覆シーケンスは以下の通り実行される。まず、基板７と、被覆されていないモニタガラス２６’を有するテストガラスホルダ８とが、基板ロードロック室２０を通して被覆チャンバ１内に搬入され、ターンテーブル２の、基板７とテストガラスホルダ８とに対して設けられた位置６に搭載される。第１の被覆シーケンスでは、スパッタリング装置１２において、基板７と、モニタガラス２６’の、測定窓２９の下方に位置する領域３１とが、第１の被覆にさらされる。測定ステーション１３では、被覆の間、透過率および／または反射率の変化強度がその場測定され、ひいては、モニタガラス２６’の領域３１に堆積させられた層の厚さおよび性質が光学的に測定される。少なくとも１つの層、しかし、一般的には、多数の層の析出を含むこの第１の被覆プロセス後、テストガラスホルダ８が持上げ／回動装置３４に対して位置決めされ、上述したように、モニタガラス２６’の回動によって１回のテストガラス変動が実施され、これによって、いまや、領域３１の代わりに、モニタガラス２６’の新たな領域３１’が測定窓２９の下方に位置する。次いで、第２のその場測定を伴う第２の被覆シーケンスが実施される。このことは、最後の被覆シーケンスまで繰り返される。所望される被覆シーケンスの回数が、モニタガラス２６’に配置可能な被覆領域３１，３１’の数よりも多い場合には、テストガラスホルダ８を基板ロードロック室２０を介して、被覆されていない新たなテストガラスホルダに入れ換えることができる。
【００３５】
図４ａ〜図４ｃには、本発明に係るテストガラス変動システムの別の実施の形態が示してある。このテストガラス変動システム１０’’はテストガラスホルダ８’’を有している。このテストガラスホルダ８’’のテストガラスプレート２６は支持プレート２６’’によって形成されている。この支持プレート２６’’は個別の測定ガラス２４’，２４’’に対する開口を有している。本実施の形態では、測定ガラス２４’，２４’’が、４０ｍｍの長さおよび１６ｍｍの幅を備えた端側で丸められた細長いガラスプレート２４’’によって形成されている。このガラスプレート２４’’は対称的に支持プレート２６’’に配置されている。図４ｂの実施の形態では、支持プレート２６’’が８つの測定ガラス２４’’を収容することができる。これらの測定ガラス２４’’は、それぞれ隣り合った測定ガラスに対して４５゜の角度３３’’だけ回動させられている。支持プレート２６’’は真ん中に開口２７’’を有している。選択された測定ガラス２４’の、目的に即した被覆を達成するためには、支持プレート２６’’が、取外し可能な円形のカバー２８’’によって覆われている。図４ｂの断面図から明らかであるように、カバー２８’’は、（選択された１つの測定ガラス２４’を露呈させるための）測定窓２９’’と、（測定ステーション１３での光学的な測定の間の基準測定のための）基準窓３０’’とを有している。ターンテーブル２に設けられたテストガラスホルダ８’’が被覆ステーション１１を通して運動させられると、測定窓２９’’の下方に位置する測定ガラス２４’が被覆されるのに対して、カバー２８’’によって覆われた別の測定ガラス２４’’は被覆されないままである。被覆層の厚さおよび組成は測定ステーション１３で検出される。変動ステーション３２では、テストガラスホルダ８’’の支持プレート２６’’が、設定された角度３３’’だけ回動させられ、これによって、別の測定ガラス２４’’が、カバー２８’’に設けられた測定窓２９’’の下方に配置される。支持プレート２６’’のこの回動は、持上げ／回動装置３４’’として形成された回動装置９’’によって行われる。この回動装置９’’は被覆チャンバ１の床１８に取り付けられていて、同心的に配置された２つの環状体３５’’，３７’’（図４ｃ参照）を有している。両環状体３５’’，３７’’の中心点３９’’は、ターンテーブル２に支承された基板ディスク７の大円２３のすぐ下方に位置している。外側の環状体３５’’が、制御されて軸線５’を中心として回動することができるのに対して、環状体３５’’，３７’’は一緒に軸線５’に対して平行に移動することができる。各環状体３５’’，３７’’は、上向きに突出した環状のウェブ３６’’，３８’’の形の持上げエレメント３６，３８を備えている。１回のテストガラス変動時には、両環状体３５’’，３７’’が上方に運動させられる。その際、内側の環状体３７’’のウェブ３８’’が、カバー２８’’の、下向きに突出した管区分４３’’に衝突し、カバー２８’’を上方に押し上げるのに対して、外側の環状体３５’’のウェブ３６’’は支持プレート２６’’の下側の縁部４４’’に衝突し、支持プレート２６’’を持ち上げる。ウェブ３６’’，３８’’の長さは、両環状体３５’’，３７’’の共通の送り時に支持プレート２６’’がターンテーブル２から持ち上げられるのに対して、カバー２８’’は支持プレート２６’’から持ち上げられ、これによって、支持プレート２６’’とカバー２８’’とが、相互の接触およびターンテーブル２への接触なしにウェブ３６’’，３８’’に止まるように寸法設定されている。この位置では、支持プレート２６’’が外側の環状体３５’’の回転によって角度３３’’だけ回動させられるのに対して、環状体３８’’に保持されたカバー２８’’はその位置に留まり、これによって、当初に測定窓２９’’の下方に位置しているテストガラス２４’の代わりに、いまや、別のテストガラス２４’’が測定窓２９’’の下方に位置することになる。すなわち、カバー２８’’に対する支持プレート２６’’の連続した回動によって、それぞれ異なるテストガラス２４’，２４’’が測定窓２９’’の領域に運動することができる。すなわち、持上げ／回動装置３４’’によって、閉鎖された被覆チャンバ１の内部での全自動的なテストガラス変動が可能となる。
【符号の説明】
【００３６】
１  被覆チャンバ
２  ターンテーブル
３  真空被覆装置
４  回動装置
５  回動軸線
５’  軸線
６  凹部
６’  貫通孔
７  基板
８，８’’  テストガラスホルダ
９，９’’  回動装置
１０，１０’’  テストガラス変動システム
１１  被覆ステーション
１２  スパッタリング装置
１３  測定ステーション
１４  光学式の測定装置
１５  測定光線
１６  ディテクタ
１７  天井
１８  床
１９  窓
２０  基板ロードロック室
２１  持上げ装置
２２  パンチ
２３  大円
２４  テストガラス
２４’，２４’’  測定ガラス
２５  基体
２６  テストガラスプレート
２６’  モニタガラス
２６’’  支持プレート
２７，２７’’  開口
２８，２８’’  カバー
２９，２９’’  測定窓
３０，３０’’  基準窓
３１  領域
３１’  別の領域
３２  変動ステーション
３３，３３’’  角度
３４，３４’’  持上げ／回動装置
３５，３５’’  環状体
３６  持上げエレメント
３６’  ピン
３６’’  ウェブ
３７，３７’’  環状体
３８  持上げエレメント
３８’  ピン
３８’’  ウェブ
３９，３９’’  中心点
４０  中心点
４１  中空室
４２  内室
４３’’  管区分
４４’’  縁部
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図３ａ−３ｃ】
0005675632.tif 000005
【図４ａ−４ｃ】
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