(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の搬送方向に沿って搬送された基板を基板搬入位置から搬入してスクリーン印刷を施し、印刷後の基板を前記搬送方向の下流側に設定される基板搬出位置から搬出するスクリーン印刷装置において、
前記基板にスクリーン印刷を施す印刷実行部と、
前記搬送方向と直交する特定方向に沿って移動可能に設けられ、前記基板搬入位置から搬入された基板を保持して、前記印刷実行部により設定される印刷位置にて印刷工程に供するとともに、印刷後の基板を前記基板搬出位置から搬出する、少なくとも一台の基板支持テーブルと、
前記基板支持テーブルを前記特定方向に沿って少なくとも前記基板搬入位置から前記基板搬出位置の間で往復移動するテーブル駆動機構と
を備え、
前記基板搬入位置と前記基板搬出位置は、少なくとも何れか一方が二つ一組であり、且つ前記特定方向に沿う装置中心線に対し非対称に設定されているものであり、
前記印刷実行部を前記特定方向に沿って駆動する印刷実行部駆動機構と、
前記基板支持テーブルが前記基板の搬入から前記基板の搬出までに移動を要する基板搬送経路上において、前記印刷位置を設定するよう前記印刷実行部を駆動するように前記印刷実行部駆動機構を制御する制御手段と
を設けている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
請求項１記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、前記基板搬送経路中において、当該基板搬送経路の中央位置よりも、当該基板搬入位置から前記基板を前記基板支持テーブルが受け取る受取位置と前記基板搬出位置に前記基板支持テーブルが前記基板を送出する送出位置の何れか一方に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷工程に先立って前記基板支持テーブルと前記印刷実行部とを前記特定方向において相対的に移動することにより、当該基板支持テーブルに支持された前記基板に所定の前工程を実行する前工程処理手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記前工程処理手段が当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブルの停止位置と前記基板搬出位置までの間に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項４】
請求項３記載のスクリーン印刷装置において、
前記制御手段は、前記前工程処理手段が当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブルの停止位置に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷工程後に前記基板支持テーブルと前記印刷実行部とを前記特定方向において相対的に移動することにより、所定の後工程を実行する後工程処理手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記後工程処理手段が当該後工程を開始するときの当該基板支持テーブルの位置に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項６】
請求項１から５の何れか１項に記載のスクリーン印刷装置において、
前記基板支持テーブルは、前記特定方向に並置されて対をなしており、
前記印刷実行部は、一対の前記基板支持テーブル毎に設けられた一対の前記印刷位置を個別に設定するものであり、
前記基板支持テーブル駆動機構は、一対の前記基板支持テーブルを個別に駆動するものであり、
前記印刷実行部駆動機構は、一対の前記印刷実行部を個別に駆動するものであり、
前記制御手段は、前記印刷実行部毎に印刷位置を設定するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項７】
請求項６記載のスクリーン印刷装置において、
一対の前記印刷実行部の動線が前記特定方向において重複する共有エリアが設定されており、
前記制御手段は、
一対の前記印刷実行部の並行動作中に両印刷実行部の干渉の発生を予見する手段と、
前記干渉の発生が予見された場合には、少なくとも何れか一方の印刷実行部に設定される印刷位置を変更するように前記印刷実行部駆動機構を制御する印刷位置設定手段と
を備えている
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項８】
請求項７記載のスクリーン印刷装置において、
前記印刷位置設定手段は、前記干渉の発生が予見された場合には、一対の前記印刷実行部の双方が干渉回避可能な対向間隔を折半する退避距離だけ退避するように前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである
ことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷装置に関し、特に、プリント配線板（Printed Wiring Board: PWB）等の基板に電子部品を実装するための前処理として、当該基板にクリーム半田や導電性ペースト等をスクリーン印刷するスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、プリント回路板（Printed Circuit Board: PCB）の製造ラインに組み込まれ、上流側から搬送されてくる基板に導電性ペースト等のスクリーン印刷を施して下流側の部品実装装置に送り出すものである。この種のスクリーン印刷装置の多くは、特許文献１に開示されるように、装置内の一つの印刷部に対して一枚ずつ基板を受け入れて印刷処理を施しつつ部品実装装置に送り出すものが一般的である。そのため、スクリーン印刷装置に搬出入される基板の経路を当該スクリーン印刷装置の中央部に設定し、スクリーン印刷を施す印刷位置も、基板搬送経路上の中央位置に設定していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２０５３９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、近年、基板を支持する基板支持テーブルを基板の搬送方向と直交する特定方向に移動可能に構成して、基板支持テーブルに基板の搬送経路を、当該搬送方向と直交する特定方向に振り分ける振り分け機能を持たせる要請が増えてきている。そのような場合に、印刷位置が基板搬送経路上の中央位置に設定されていると、無駄な動線が発生し、スループットが低くなるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、基板の搬出入方向と直交する方向に沿って移動可能に構成された基板支持テーブルを用いて、スループットを高めることのできるスクリーン印刷装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、所定の搬送方向に沿って搬送された基板を基板搬入位置から搬入してスクリーン印刷を施し、印刷後の基板を前記搬送方向の下流側に設定される基板搬出位置から搬出するスクリーン印刷装置において、前記基板にスクリーン印刷を施す印刷実行部と、前記搬送方向と直交する特定方向に沿って移動可能に設けられ、前記基板搬入位置から搬入された基板を保持して、前記印刷実行部により設定される印刷位置にて印刷工程に供するとともに、印刷後の基板を前記基板搬出位置から搬出する、少なくとも一台の基板支持テーブルと、前記基板支持テーブルを前記特定方向に沿って少なくとも前記基板搬入位置から前記基板搬出位置の間で往復移動するテーブル駆動機構とを備え、前記基板搬入位置と前記基板搬出位置は、少なくとも何れか一方が二つ一組であり、且つ前記特定方向に沿う装置中心線に対し非対称に設定されているものであり、前記印刷実行部を前記特定方向に沿って駆動する印刷実行部駆動機構と、前記基板支持テーブルが前記基板の搬入から前記基板の搬出までに移動を要する基板搬送経路上において、前記印刷位置を設定するよう前記印刷実行部を駆動するように前記印刷実行部駆動機構を制御する制御手段とを設けていることを特徴とするスクリーン印刷装置である。この態様では、基板搬入位置と基板搬出位置とが、特定方向に沿う装置中心線に対して非対称に設定されている場合であっても、前記基板支持テーブルが基板の搬入から基板の搬出までの移動に要する基板搬送経路上で印刷工程を実行することができるので、単純に装置中央部に印刷位置が配置されている場合に比べて短くなる。そのため、基板支持テーブルの特定方向における移動経路を全体として短縮し、スループットの向上に寄与することが可能になる。しかも印刷実行部を特定方向に移動させることによって、印刷位置を必要に応じて調整することが可能になる。この結果、基板搬入位置または基板搬出位置のレイアウト態様や、基板支持テーブルの運転状況に応じて、印刷位置を変更することができ、一層効率よく印刷工程を処理することができる。
【０００７】
好ましい態様において、前記制御手段は、前記基板搬送経路中において、当該基板搬送経路の中央位置よりも、当該基板搬入位置から前記基板を前記基板支持テーブルが受け取る受取位置と前記基板搬出位置に前記基板支持テーブルが前記基板を送出する送出位置の何れか一方に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである。この態様では、基板搬入位置から印刷位置までの動作タイミングまたは印刷位置から基板搬出位置までの動作タイミングが可及的に短くなるので、より好適にスループットの向上を図ることができる。
【０００８】
好ましい態様において、前記印刷工程に先立って前記基板支持テーブルと前記印刷実行部とを前記特定方向において相対的に移動することにより、当該基板支持テーブルに支持された前記基板に所定の前工程を実行する前工程処理手段をさらに備え、前記制御手段は、前記前工程処理手段が当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブルの停止位置と前記基板搬出位置までの間に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである。この態様では、印刷工程に先立って、当該前工程が終了したときの基板支持テーブルの停止位置と前記基板搬出位置との間に前記印刷位置が設定されるので、印刷工程に移行する基板は、当該基板支持テーブルの停止位置から搬出方向と逆向きに移動することなく、印刷工程に移行することができる。また、印刷工程後の基板は、基板搬出位置に対して逆方向に移動することなく、搬出されることになる。従って、前工程から搬出に至るまでの動線のロスを解消することができる。ここで、「前工程」は、例えば、基板に設定された標識を認識する「マーク認識」工程であってもよい。また、部品実装後に分割される多面取りの基板のいくつかに設定された不良マークを認識する「バッドマーク認識」工程であってもよい。或いは、基板上に付着した異物を検査する「異物検査」工程であってもよい。また、「基板支持テーブルの停止位置と前記基板搬出位置との間」は、基板の搬送経路が逆戻りしない範囲内で種々の範囲に設定することが可能である。例えば、印刷工程後に基板支持テーブルと印刷実行部とを相対的に変位してクリーニング処理を実施する場合には、当該クリーニング処理の開始位置に設定していてもよい。
【０００９】
好ましい態様において、前記制御手段は、前記前工程処理手段が当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブルの停止位置に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである。この態様では、前工程が終了した時点で、基板支持テーブルを停止し、印刷工程に移行することができるので、前工程後の基板がその後の移動によって位置ずれを起こすおそれがない。従って、印刷工程における基板とスクリーンマスクとの位置決めが精緻になるという利点がある。
【００１０】
好ましい態様において、前記印刷工程後に前記基板支持テーブルと前記印刷実行部とを前記特定方向において相対的に移動することにより、所定の後工程を実行する後工程処理手段をさらに備え、前記制御手段は、前記後工程処理手段が当該後工程を開始するときの当該基板支持テーブルの位置に前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである。この態様では、後工程を実施する際、当該後工程を開始するときの基板支持テーブルの位置に前記印刷位置が設定されるので、後工程に移行する基板は、当該印刷位置から搬出方向と逆向きに移動することなく、直ちに後工程に移行することができる。従って、印刷工程から搬出に至るまでの動線のロスを解消することができる。ここで、「後工程」は、例えば、印刷工程後のスクリーンマスクの重装面を清浄する「クリーニング処理」工程であってもよい。或いは、印刷後の基板上の印刷状態を検査する「印刷後検査」工程であってもよい。
【００１１】
好ましい態様において、前記基板支持テーブルは、前記特定方向に並置されて対をなしており、前記印刷実行部は、一対の前記基板支持テーブル毎に設けられた一対の前記印刷位置を個別に設定するものであり、前記基板支持テーブル駆動機構は、一対の前記基板支持テーブルを個別に駆動するものであり、前記印刷実行部駆動機構は、一対の前記印刷実行部を個別に駆動するものであり、前記制御手段は、前記印刷実行部毎に印刷位置を設定するものである。この態様では、基板支持テーブル、印刷実行部をそれぞれ２つ一組にしてスループットを向上させることとしているので、スクリーン印刷装置の上流側と下流側の少なくとも一方が２系統の基板搬送ラインを有するデュアル搬送式の製造ラインにおいても、充分な処理能力（スループット）を発揮することが可能になる。
【００１２】
好ましい態様において、一対の前記印刷実行部の動線が前記特定方向において重複する共有エリアが設定されており、前記制御手段は、一対の前記印刷実行部の並行動作中に両印刷実行部の干渉の発生を予見する手段と、前記干渉の発生が予見された場合には、少なくとも何れか一方の印刷実行部に設定される印刷位置を変更するように前記印刷実行部駆動機構を制御する印刷位置設定手段とを備えている。この態様では、干渉の発生が予見された場合には、印刷位置設定手段が少なくとも何れか一方の印刷実行部に設定される印刷位置を変更するように印刷実行部駆動機構を制御する。これにより、一対の印刷実行部は、共有エリアが設定されている場合においても、干渉を回避しつつ印刷工程を並行することができる。
【００１３】
好ましい態様において、前記印刷位置設定手段は、前記干渉の発生が予見された場合には、一対の前記印刷実行部の双方が干渉回避可能な対向間隔を折半する退避距離だけ退避するように前記印刷位置を設定するように前記印刷実行部駆動機構を制御するものである。この態様では、同時に一対の印刷実行部が共有エリアに進入しようとする場合に、双方が干渉を回避するための対向間隔を折半するので、両印刷実行部での退避動作が等配され、何れにも退避時間が偏ることなく退避処理を実行することができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、基板搬入位置と基板搬出位置とが、特定方向に沿う装置中心線に対して非対称に設定されている場合であっても、基板の搬送経路上で印刷工程を実行することができるので、基板支持テーブルの特定方向における移動経路を全体として短縮し、スループットの向上に寄与することが可能になるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の一形態に係るスクリーン印刷装置の平面略図である。
【図２】図１のスクリーン印刷装置の側面略図である。
【図３】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す斜視図である。
【図４】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す平面略図である。
【図５】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す平面拡大略図である。
【図６】図１のスクリーン印刷装置の印刷実行部を示す斜視図である。
【図７】図１のスクリーン印刷装置のヘッドの具体的構成を示す側面図である。
【図８】図１のスクリーン印刷装置のヘッドの具体的構成を示す斜視図である。
【図９】図１のスクリーン印刷装置のマスク保持機構を示す平面略図である。
【図１０】図１のスクリーン印刷装置の制御構成を示すブロック図である。
【図１１】図１のスクリーン印刷装置に記憶されているデータの一部を示すエンティティリレーションシップ（ＥＲ）図である。
【図１２】図１に係るスクリーンマスクの寸法関係を示す平面略図である。
【図１３】図１のスクリーン印刷装置の寸法関係を示す平面略図である。
【図１４】本発明を適用可能なスクリーン印刷装置の別のレイアウト／寸法関係を示す平面略図である。
【図１５】本発明を適用可能なスクリーン印刷装置のさらに別のレイアウト／寸法関係を示す平面略図である。
【図１６】本発明の第１実施形態に係る生産フローを示すフローチャートである。
【図１７】図１６における初期印刷位置設定サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１８】図１６における初期印刷位置設定サブルーチンの別の態様を示すフローチャートである。
【図１９】図１６における印刷位置調整処理サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２０】図１９の実行結果に基づく基板支持テーブルの移動範囲を示す説明図である。
【図２１】図１６における印刷位置調整処理サブルーチンの別の態様を示すフローチャートである。
【図２２】本発明の第２実施形態に係る生産フローを示すフローチャートである。
【図２３】図２２における初期印刷位置設定サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２４】本発明に関連する参考例を示す平面略図である。
【図２５】本発明のさらに別の態様を示す平面略図である。
【図２６】本発明のさらに別の態様を示す平面略図である。
【図２７】本発明のさらに別の態様を示す平面略図である。
【図２８】図２５から図２７の態様に適用可能な印刷位置調整処理サブルーチンを示すフローチャートである。
【図２９】図２５から図２７の態様に適用可能な印刷位置調整処理サブルーチンの別の態様を示すフローチャートである。
【図３０】本発明に関連する別の参考例を示す平面略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１７】
図１および図２を参照して、本実施形態に係るスクリーン印刷装置１は、その下流側にデュアル搬送型の部品実装装置Ｍｔを連結した状態でプリント回路板（PCB）の製造ラインに組み込まれるものである。図示の例では、スクリーン印刷装置１は、並列に配置された２台のローダＬ１、Ｌ２（第１ローダＬ１、第２ローダＬ２という）と、１台の部品実装装置Ｍｔとの間に介設されており、上流側の各ローダＬ１、Ｌ２から繰り出されてくる基板Ｗにスクリーン印刷を施して、下流側の部品実装装置Ｍｔに送り出す構成になっている。
【００１８】
なお、以下の説明では、製造ラインにおける基板Ｗの搬送方向をＸ軸方向、水平面上でＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、これらＸ軸、Ｙ軸の両方向に直交する方向（鉛直方向）をＺ軸方向としてスクリーン印刷装置１の説明を行う。本実施形態において、Ｙ軸方向は、本発明の「特定方向」の一例である。
【００１９】
第１、第２ローダＬ１、Ｌ２には、それぞれ第１、第２ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２が設けられている。他方、部品実装装置Ｍｔには、ベルトコンベア対ＣＭ１、ＣＭ２（第１ベルトコンベア対ＣＭ１、第２ベルトコンベア対ＣＭ２ともいう）が設けられている。基板Ｗは、これらベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２、ＣＭ１、ＣＭ２に沿って搬送される。そして、スクリーン印刷装置１には、第１、第２ローダＬ１、Ｌ２に臨む基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２が当該基板搬送方向の上流側に設定されているとともに、第１、第２ベルトコンベア対ＣＭ１、ＣＭ２に臨む基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２が設定されている。図示の通り、本実施形態に係る基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２と、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２は、当該スクリーン印刷装置１のＹ軸方向に沿う中心線ＯＹに対して非対称に設定されている。
【００２０】
スクリーン印刷装置１は、その基台２上に、基板Ｗを支持するための２つの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ（第１基板支持テーブル１０Ａ、第２基板支持テーブル１０Ｂともいう）と、これら基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ毎に設けられて対をなす印刷実行部２０Ａ、２０Ｂ（第１印刷実行部２０Ａ、第２印刷実行部２０Ｂともいう）とを備えている。
【００２１】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、そのＸ軸方向上流側端部に基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２（第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２ともいう）を有する一方、Ｘ軸方向上流側端部に基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２（第１基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２という）を有している。図示の実施形態では、第１基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２は、第１基板搬入位置ＥｎＰ１、第２基板搬入位置ＥｎＰ２上に設けられている。スクリーン印刷装置１は、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１から搬入し、印刷実行部２０Ａにより設定される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２にてスクリーン印刷を施し、当該印刷工程後の基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から部品実装装置Ｍｔの第１ベルトコンベア対ＣＭ１に搬出する一方で、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２から装置内に搬入し、印刷実行部２０Ｂにより設定される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２にてスクリーン印刷を施し、当該印刷工程後の基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から部品実装装置Ｍｔの第２ベルトコンベア対ＣＭ２に搬出するように構成されている。このようにスクリーン印刷装置１内には、ローダＬ１（Ｌ２）に臨む基板搬入位置ＥｎＰ１（ＥｎＰ２）からローダＣＭ１（ＣＭ２）に臨む基板搬出位置ＥｘＰ２までの移動に要する基板搬送経路ＰＨ１、ＰＨ２が設定されている。
【００２２】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に細長の平面視略長方形の形状を有しており、ねじ軸４Ａ、４Ｂ、モータ５Ａ、５Ｂ等によって具体化される基板支持テーブル駆動機構により、個別にＹ軸方向に移動するように構成されている。すなわち、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、基台２上に設けられたＹ軸方向に延びる共通の固定レール３上に移動自在に支持されており、それぞれねじ軸４Ａ、４Ｂを介してモータ５Ａ、５Ｂにより駆動されるように構成されている。そして、後述する制御ユニット６０によるモータ制御に基づき、第１基板支持テーブル１０Ａは、第１ローダＬ１から繰り出される基板Ｗを第１基板搬入部Ｅｎ１で受け取り可能な受取位置及び基板Ｗを第１基板搬出部Ｅｘ１から下流側の部品実装装置Ｍｔのベルトコンベア対ＣＭ１に送り出し可能な送出位置と、印刷工程においてスクリーン印刷が施される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２との間で移動する。第２基板支持テーブル１０Ｂは、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを第２基板搬入部Ｅｎ２で受け取り可能な受取位置及び基板Ｗを第２基板搬出部Ｅｘ２から下流側の部品実装装置Ｍｔのベルトコンベア対ＣＭ２に送り出し可能な送出位置と、印刷工程においてスクリーン印刷が施される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２との間で移動するようになっている。加えて、第１基板支持テーブル１０Ａ及び第２基板支持テーブル１０Ｂは、予め設定された順序で交互に印刷工程に移行する。ねじ軸４Ａ、４Ｂには、ロータリエンコーダが取り付けられており、後述する制御ユニット６０は、ロータリエンコーダの検出値に基づいて、対応する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの位置情報と速度情報を取得できるようになっている。本実施形態においては、Ｙ軸方向において、何れかの基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が移動可能な範囲をテーブル可動ピッチＴｐｈと呼称する（図２、並びに図１３から図１５参照）。このテーブル可動ピッチＴｐｈは、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が後述する前工程や後工程を処理するため、前記基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２間（および、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２間）よりも幾分広く設定されている（後述する図２０参照）。
【００２３】
各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｘ軸方向に延びるベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂと、このベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂ上の基板Ｗを印刷可能に保持するクランプユニット１４と、このクランプユニット１４をベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂに沿ってＸ軸方向に移動させるためのクランプユニット駆動機構等とを備える。
【００２４】
上記ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂは、ベルトコンベアからなり、基板支持テーブル１０ＡにおいてＸ軸方向上流側の端部が基板搬入部Ｅｎ１、Ｘ軸方向下流側の端部が基板搬出部Ｅｘ１となり、基板支持テーブル１０ＢにおいてＸ軸方向上流側の端部が基板搬入部Ｅｎ２、Ｘ軸方向下流側の端部が基板搬出部Ｅｘ２となる。ベルトコンベアは、第１ローダＬ１、第２ローダＬ２から繰り出される基板Ｗを基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２で受け取り、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２から基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ上に設定される所定の位置まで搬送する（以上を基板の搬入と言う）とともに、印刷工程後の基板Ｗを基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２まで搬送し、さらに基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２から部品実装装置Ｍｔの第１、第２ベルトコンベア対ＣＬ１、ＣＬ２へ搬送する（以上を基板の搬出と言う）ものである。
【００２５】
図２を参照して、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの各ベース部材１４０は固定レール３上にＹ軸方向に移動可能に支持され、各ベース部材１４０上にはベース部材１４０に対してＸ軸方向に移動可能にＸテーブル１４１が設けられている。Ｘテーブル１４１のＹ方向両端部には、それぞれベルトコンベア１２Ａ（１２Ｂ）を支持するアーム部材１６１，１６１が設けられている。
【００２６】
上記クランプユニット１４は、両アーム部材１６１の中間においてＸテーブル１４１上に設けられ、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから基板Ｗを持ち上げて支持するバックアップ機構と、アーム部材１６１，１６１に設けられ、バックアップ機構によりリフトアップされた基板Ｗを固定するクランプ機構とを備える。
【００２７】
バックアップ機構は、所定配列の複数本のバックアップピン１５１を備え、かつボールネジ機構等を介して上記Ｘテーブル１４１上に昇降可能に支持されるバックアップテーブル１５０と、ボールネジ機構等の駆動用のモータ１５２等とを含み、このモータ１５２の駆動によりボールネジ機構等が作動し、バックアップテーブル１５０が所定の解放位置とこの位置から上昇した作動位置とに変位するように構成されている。ここで、解放位置は、バックアップピン１５１の先端位置がベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂに支持された基板Ｗの下面より低くなる位置（図２の右側の基板支持テーブル１０Ｂにおいて示す位置）であり、作動位置は、同基板Ｗの下面よりバックアップピン１５１の先端位置が高くなる位置（図２の左側の基板支持テーブル１０Ａにおいて示す位置）である。従って、このバックアップ機構は、図２の左側に示すように、バックアップテーブル１５０が作動位置に配置されたときに基板Ｗをベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから持ち上げる。
【００２８】
クランプ機構は、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂの上方位置においてアーム部材１６１，１６１に配置されて、Ｘ軸方向に互いに平行に延びる一対のクランプ部材１６０と、クランプ部材駆動用のアクチュエータ、例えば二方向型のエアシリンダ１６２とを含む。両クランプ部材１６０のうち一方側のものは、アーム部材１６１に対してＹ軸方向に変位可能に組付けられており、前記エアシリンダ１６２の駆動により、Ｙ軸方向に沿って解放位置とクランプ位置とに変位する。つまり、クランプ機構は、一方側のクランプ部材１６０が解放位置からクランプ位置に変位することにより、前記バックアップ機構により持ち上げられた基板Ｗを他方側のクランプ部材１６０と共にＹ軸方向に挟み込んでクランプし、クランプ位置から解放位置に変位することにより、クランプした基板Ｗを解放するように構成されている。
【００２９】
なお、印刷工程では、このようにクランプユニット１４によりベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂから持ち上げられてクランプ部材１６０にクランプされた状態の基板Ｗに対して後記スクリーンマスク２０６を重装するようになっている。クランプユニット１４は、前記印刷実行部２０によるスクリーン印刷が可能となる状態に基板をベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂからリフトアップさせて保持する。
【００３０】
各アーム部材１６１は、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂを外側（Ｙ軸方向における外側）から抱え込むように形成された上で、一方のアーム部材１６１はＸテーブル１４１上一方端部に固定され、他方のアーム部材１６１はＸテーブル１４１上Ｙ軸方向に固定された固定レール１６４に沿ってスライド可能に設けられている。他方のアーム部材１６１のスライド量を調整することで、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂのコンベア幅を調整し、各種のＹ方向基板幅の基板Ｗに対応可能としている。さらに、Ｙ方向基板幅に対応させたベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂのコンベア幅によらず、ベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂと各クランプ部材１６０とのＹ軸方向の相対位置が一定に保持することで、基板ＷのＹ方向基板幅によらず基板Ｗを正確にクランプ可能としている。
【００３１】
図３、図４を参照して、基台２には、印刷実行部２０を担持する装置フレーム６が設置されている。装置フレーム６は、門型の構造体であり、基台２の四隅に立設されたピラー６ａを有している。Ｙ軸方向に沿って対向するピラー６ａの対には、梁部６ｂが一体的に設けられており、梁部６ｂの上面には、Ｙ軸方向に延びる２本一組のガイドレール７が取り付けられている。本実施形態において、印刷実行部２０は、このガイドレール７上に設置され、Ｙ軸方向に沿って往復移動可能に構成されている。印刷実行部２０の移動範囲は、図２に示したテーブル可動ピッチＴｐｈに対応している。
【００３２】
印刷実行部２０は、スクリーンマスク保持機構２００と、スクリーンマスク保持機構２００をＸ軸方向に配設されるスキージユニット保持機構４００とを備えている。
【００３３】
スクリーンマスク保持機構２００は、装置フレーム６のガイドレール７上に設置されるスライダ２０１と、このスライダ２０１に対し、位置調整機構３００を介して連結される本体２０２と、本体２０２に対し、上下に昇降可能に連結されたマスク昇降部２０３と、マスク昇降部２０３の下端に設けられたクランプ部２０４と、クランプ部２０４によって担持されたマスク固定部材２０５と、マスク固定部材２０５に固定されたスクリーンマスク２０６とを備えている。
【００３４】
スライダ２０１は、Ｘ軸方向の一端側と他端側とに配設されて対をなし、それぞれが装置フレーム６に設けられた図略のボールねじ機構に連結されている。このボールねじ機構は、Ｙ軸サーボモータ２１０（図１０参照）によって駆動されるようになっており、スライダ２０１は、ボールねじ機構を介してＹ軸サーボモータ２１０に駆動されることにより、Ｙ軸方向に往復移動するようになっている。
【００３５】
本体２０２は、平面視矩形の枠状に形成された構造体であり、装置フレーム６のＸ軸方向上流側のスライダ２０１に立設された上流側構造体２０２ａと、下流側のスライダ２０１に立設された下流側構造体２０２ｂと、両構造体２０２ａ、２０２ｂをＸ軸方向に沿って連結する桟２０２ｃとを一体に備えている。
【００３６】
マスク昇降部２０３は、昇降機構２１１を介して本体２０２の内側部に連結されている。昇降機構２１１は、各構造体２０２ａ、２０２ｂの前後２箇所に配設される４組のボールねじ機構２１１ａと、各ボールねじ機構２１１ａの頂部に設けられたプーリ２１１ｂと、各構造体２０２ａ、２０２ｂ、並びに前方の桟２０２ｃに配設された複数のアイドルプーリ２１１ｃと、これらプーリ２１１ｂ、２１１ｃ間に張設される動力伝達ベルト２１１ｄと、下流側構造体２０２ｂに取り付けられたマスクＺ軸サーボモータ２１１ｅとを備えており、マスクＺ軸サーボモータ２１１ｅの鉛直線回りのトルクが、当該マスクＺ軸サーボモータ２１１ｅの出力プーリ２１１ｆから動力伝達ベルト２１１ｇを介して下流側構造体２０２ｂのアイドルプーリ２１１ｃに伝達され、さらに動力伝達ベルト２１１ｄからプーリ２１１ｂを介して各ボールねじ機構２１１ａのねじ部に伝達されることにより、各ボールねじ機構２１１ａのねじ部が一斉に同一方向に回動し、ねじ部に螺合するナット部と連結されたマスク昇降部２０３が昇降するように構成されている。これにより、マスク昇降部２０３は、直下に位置する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が作動位置にリフトアップしている基板Ｗに対し、スクリーンマスク２０６が重装される重装位置と、この重装位置よりも上方にスクリーンマスク２０６を上昇させる解放位置との間で、スクリーンマスク２０６を昇降させることができるようになっている。
【００３７】
クランプ部２０４は、マスク昇降部２０３の下端部分に設けられ、マスク固定部材２０５の四隅を着脱自在にクランプするものである。クランプ部２０４は、エアシリンダでＺ軸方向に駆動される可動部材と、この可動部材との間でマスク固定部材２０５を挟持する固定部材とを備えており、オペレータの操作で図略の位置決め部材によって位置決めされたマスク固定部材２０５を堅固に保持することができるようになっている。
【００３８】
マスク固定部材２０５は、中央にスクリーン印刷用の開口部２０５ａが形成された矩形の枠体で具体化されており、この開口部２０５ａを塞ぐように予め組付けられたスクリーンマスク２０６が着脱自在に固定されている。
【００３９】
スクリーンマスク２０６は、基板Ｗに印刷される回路パターンに対応する孔が形成された印刷エリア２０７が形成されている。
【００４０】
上記スライダ２０１と本体２０２とを連結する位置調整機構３００は、Ｚ軸方向に沿って回動可能な連結軸を介して、スライダ２０１と本体２０２を連結する複数の連結部材３０１と、連結部材３０１の一部を当該連結軸回りに駆動する駆動部材３０２と、駆動部材３０２をＹ軸方向に沿って往復移動させるマスクＹ軸サーボモータ３０３等を含んでおり、スライダ２０１に対し、本体２０２をＺ軸回りに揺動できるようになっている。これにより、撮像ユニット５０で認識されたスクリーンマスク２０６の実装位置と基板Ｗの位置とに基づいてマスクＹ軸サーボモータ３０３を駆動することにより、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持されている基板Ｗと、スクリーンマスク２０６の印刷エリア２０７との平行度を微調整することが可能になる。
【００４１】
上記スキージユニット保持機構４００は、クリーム半田、導電ペースト等のペーストをスクリーンマスク２０６上でローリング（混練）しながら拡張するものである。図示の例では、マスク昇降部２０３の内側壁に、Ｙ’軸方向に延びる一対の固定レール２０３ａが設けられ、この固定レール２０３ａにスキージユニット保持機構４００が横架されて、Ｙ軸方向に往復移動可能に連結されている。ここで、Ｙ’軸方向とは、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２に設定された座標系におけるものであり、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２のＲ軸方向の回動量が０の場合、基台２上に設定された座標系のＹ軸方向と一致する。以下、このＹ’軸方向に直交する水平方向をＸ’軸方向という。
【００４２】
図５を参照して、スキージユニット保持機構４００は、基台２のＸ軸方向に延びて、両固定レール２０３ａに連結される筐体４０１と、この筐体４０１の上部に配置されたスキージ往復駆動機構（Ｙ’軸駆動機構）４０２と、筐体４０１に対し上下に昇降可能に連結されるスキージユニット４０３と、スキージユニット４０３を上下に昇降駆動させるスキージヘッド昇降機構４０４とを備えている。
【００４３】
Ｙ’軸駆動機構４０２は、軸芯がＸ’軸に沿って配置されたサーボモータ４０２ａと、このサーボモータ４０２ａの出力プーリ４０２ｂに対し、平行に配置された動力伝達シャフト４０２ｃと、動力伝達シャフト４０２ｃの両端部に設けられ、当該動力伝達シャフト４０２ｃの回転力によって、固定レール２０３ａに対し、筐体４０１をＹ’軸方向沿いに相対的に移動させる平行運動力に変換する動力伝達部４０２ｄと、動力伝達シャフト４０２ｃに取り付けられたプーリ４０２ｅと、プーリ４０２ｅと出力プーリ４０２ｂとの間に巻回された動力伝達ベルト４０２ｆとを備えており、サーボモータ４０２ａの回転力によって、筐体４０１がマスク昇降部２０３に対し、相対的に予め設定されたストローク範囲内で往復移動可能に構成されている。
【００４４】
他方、スキージヘッド昇降機構４０４は、筐体４０１の上端後部に立設される門型枠状のフレーム体４０４ａと、フレーム体４０４ａ内に配置され、軸芯がＺ軸方向に沿うサーボモータ４０４ｂと、フレーム体４０４ａのサーボモータ４０４ｂの側部に併設されたボールねじ機構４０４ｃとを備えている。サーボモータ４０４ｂの出力プーリ４０４ｄは、フレーム体４０４ａの上方に配置されており、その側部には、ボールねじ機構４０４ｃの入力プーリ４０４ｅがＸ’軸に沿って対向している。両プーリ４０４ｄ、４０４ｅ間には、動力伝達ベルト４０４ｆが巻回されておりボールねじ機構４０４ｃのねじ部が双方向に回転駆動されることによって、このねじ部に螺合する図略のナット部が上下に昇降するようになっている。上記ナット部は、スキージユニット４０３と一体化されており、このナット部の昇降によって、スキージユニット４０３は、当該スキージユニット４０３が担持するスキージ４１をスクリーンマスク２０６上に着地させる印刷位置と、この印刷位置よりも上方に退避させる退避位置との間で昇降する。
【００４５】
図６に示すように、フレーム体４０４ａの前部には、上下に延びる一対のガイドレール４０５が固定されており、スキージユニット４０３は、このガイドレール４０５によって上下に往復移動可能に連結されている。
【００４６】
図７〜図９を参照して、スキージユニット４０３は、メインフレーム４１０と、メインフレーム４１０に連結されるサブフレーム４２０とを有している。
【００４７】
メインフレーム４１０の上部壁の下面には、ロードセル等の圧力センサ４１１を介装した支持部４１２が垂設されており、支持部４１２には、Ｙ’軸方向に延びる第１支持軸４１３が固定されている。サブフレーム４２０は、第１支持軸４１３に対し、軸受を介して連結されることにより、この支持部４１２に対し、第１支持軸４１３回りに揺動自在に支持されている。図示の例において、メインフレーム４１０の背面には、フレーム体４０４ａのガイドレール４０５と連結される凹部４１０ａが形成されている。
【００４８】
サブフレーム４２０には、スキージ組付部に相当するユニット組付部材４２１が第２支持軸４２２（スキージ支持用の横軸）を介して回動可能に支持されるとともに、このユニット組付部材４２１を駆動するスキージ回動機構が搭載されている。
【００４９】
ユニット組付部材４２１は、Ｘ’軸方向に細長い長方形の板状部材であり、このユニット組付部材４２１に、スキージ４１とこれを保持するスキージホルダ４２とが着脱自在に組付けられている。そして、スキージ４１の片面がペースト押圧のための作業面４１ａとされ、この作業面４１ａとは反対側の面の側方に第２支持軸４２２（スキージ支持用の横軸）が位置する状態で、この第２支持軸４２２にユニット組付部材４２１を介してスキージ４１が回動可能に支持されている。
【００５０】
ユニット組付部材４２１を支持する前記第２支持軸４２２は、サブフレーム４２０を貫通して反対側に突出しており、この突出部分にはプーリ４２３がキー結合により装着固定されている。そして、駆動源としてのサーボモータ４２４がサブフレーム４２０に固定され、このサーボモータ４２４の出力軸に装着されるプーリ４２５と前記プーリ４２３とに亘って駆動ベルト４２６が装着され、さらにこの駆動ベルト４２６に対してその外周側からテンションプーリ４２７が圧接することにより駆動ベルト４２６が張設されている。つまり、これらサーボモータ４２４、プーリ４２５，４２３，４２７および駆動ベルト４２６等により上記スキージ回動機構が構成されており、サーボモータ４２４の作動によりユニット組付部材４２１が第２支持軸４２２回りに正逆回転駆動される。なお、サブフレーム４２０に対するユニット組付部材４２１の原点位置が検知され、サーボモータ４２４の回転角制御に用いられる基準位置が求められる。そして、このユニット組付部材４２１の正逆回転により、前記作業面４１ａがスクリーンマスク２０６に対して平行に対面する状態より片側に傾斜した状態と反対側に傾斜した状態とにわたり、スキージ４１が第２支持軸４２２回りの回動により姿勢変更可能とされるようになっている。
【００５１】
スキージユニット保持機構４００のスキージホルダ４２は、アルミニウム合金等の軽合金からなるＸ’軸方向の細長い板状部材である。一方、スキージ４１は、例えば硬質ウレタン、あるいはステンレスからなるＸ’軸方向に細長い長方形の板状部材で、図８に示すように、スキージホルダ４２に重ね合わされた状態で当該ホルダ４２に保持されている。
【００５２】
スキージ４１の幅寸法は、スキージ４１の往動時に前記作業面４１ａがペーストに接触する範囲とスキージ４１の復動時に前記作業面４１ａがペーストに接触する範囲とがラップするように設定されている。
【００５３】
詳細図を省略しているが、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂのスクリーンマスク２０６を清浄するため、第１、第２基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの適所には、クリーニングユニット３０Ａ、３０Ｂが併設されている（図１０参照）。クリーニングユニット３０Ａ、３０Ｂは、スクリーンマスク２０６の下面に摺接可能なパッドと、このパッドを介してスクリーンマスク２０６を負圧吸引する吸引ノズルとを含むクリーニングヘッドを備えており、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢがＹ軸方向に移動する際に、このクリーニングヘッドを対応するスクリーンマスク２０６の下面に摺接させることにより、当該スクリーンマスク２０６の下面やパターン孔内に溜まったペーストを除去する。クリーニングヘッドは、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに対して昇降可能に構成されており、清掃時のみスクリーンマスク２０６に摺接可能な作動位置に配置され、それ以外はこの作動位置から下降した退避位置に配置されるように構成されている。
【００５４】
図２に示すように、印刷実行部２０には、撮像ユニット５０が併設されている。撮像ユニット５０は、スクリーンマスク２０６と基板Ｗとの相対的な位置関係を画像認識するためのものであり、スクリーンマスク２０６の下面に記されるマークや記号等の複数の標識を下側から撮像する２個のマスク認識カメラ５０Ａと、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持されている基板Ｗのマークや記号等の複数の標識を上側から撮像する２個の基板認識カメラ５０Ｂからなる。各マスク認識カメラ５０Ａは、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２にＸ’軸方向、Ｙ’軸方向に移動可能に配置され、各基板認識カメラ５０Ｂは、スクリーンマスク保持機構２００の本体２０２に固定配置されている。各マスク認識カメラ５０Ａは、図外のＸ’−Ｙ’ロボットに連結されることにより水平方向に二次元的に移動可能に設けられており、後述する制御ユニット６０によるＸ’−Ｙ’ロボットの制御に基づき、スクリーンマスク２０６の段取り時等にスクリーンマスク２０６の下側に進入してスクリーンマスク２０６の下面の上記各標識を撮像する。一方、各基板認識カメラ５０Ｂは、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が印刷実行部２０に搬送された時、基板Ｗ上記各標識を撮像する。両カメラ５０Ａ，５０Ｂにより認識されたスクリーンマスク２０６の２つの標識（フィデューシャルマーク）位置と基板上の２つの標識（フィデューシャルマーク）位置は、スクリーンマスク２０６の基板ＷとのＲ軸方向位置合わせを前提としたＲ軸方向角度に基づき、Ｘ’Ｙ’座標系から基台２上のＸ−Ｙ座標系に座標変換された後、スクリーンマスク２０６のＲ軸方向位置調整と、基板ＷのＸＹ位置調整が実施される。
【００５５】
図１０に示すように、制御ユニット６０（本発明の印刷位置設定手段、テーブル移動制御手段の一例である）は、マイクロプロセッサ等で構成される演算処理部６１と、印刷処理のためのトランザクションデータ等を記憶する印刷プログラム記憶部６２と、制御に要するマスタデータ等を記憶するデータ記憶部６３と、前記モータ５Ａ、５Ｂ等のアクチュエータ類を駆動するアクチュエータ制御部６４と、種々のインターフェース等で構成される外部入出力部６５と、キャプチャーボード等で構成される画像処理部６６とを有しており、各アクチュエータ類や、マスク認識カメラ５０Ａ等のカメラ類は、全てこの制御ユニット６０によって制御可能に電気的に接続されている。従って、前記基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂおよび印刷実行部２０による一連の印刷処理動作、つまり基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２での第１ローダＬ１、第２ローダＬ２から繰り出されてくる基板Ｗの受け取り、基板Ｗへのスクリーン印刷および基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２からの基板Ｗの搬出の一連の動作は、この制御ユニット６０により統括的に制御される。また制御ユニット６０には、処理状態をＧＵＩ等で表示可能な表示ユニット７０と、ポインティングディバイス等で構成される図略の入力装置とが接続されており、オペレータの操作によって、トランザクション用のデータ入力や、制御処理を実現するプログラムの設定や変更等ができるようになっている。なお、印刷プログラム記憶部６２とデータ記憶部６３とは、何れもＲＯＭ、ＲＡＭ、補助記憶装置等を組み合わせて実現される論理的な概念である。
【００５６】
図１１を参照して、制御ユニット６０のデータ記憶部６３には、スクリーンマスク２０６に関するデータを保存するスクリーンマスクオブジェクト６０１と、印刷実行部２０に関するデータを保存する印刷実行部オブジェクト６０２と、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに関するデータを保存する基板支持テーブルオブジェクト６０３と、スクリーン印刷装置１に関するデータを保存する印刷装置オブジェクト６０４と、動作項目オブジェクト６０５と、干渉管理オブジェクト６０６とを備えている。これらのオブジェクト６０１〜６０６は、何れもデータベースシステムにおいて、２次元マトリックス（行と列）でデータを保存するデータの集合のことをいい、以下の説明では、オブジェクト６０１〜６０６の項目（列）を属性、オブジェクト６０１〜６０６の実現値（列に割り当てられる実際の値）を行という。また、図において、（ＰＫ）は主キーを、（ＦＫ）は外部キーを、それぞれ表わしている。主キーは、オブジェクト６０１〜６０６内において、行を一意に識別する属性である。外部キーは、主キーと同じ値を持つことによって、当該主キーを有するオブジェクト６０１〜６０６のデータを参照するためのものである。さらに、図中の矢印は、オブジェクト６０１〜６０６間の関係（リレーションシップ）を表わしており、矢印の終点側のオブジェクトにある外部キーが矢印の起点側のオブジェクトにある主キーを参照していることを示している。各オブジェクト６０１〜６０６は、論理的な存在であり、実装時には、それぞれを単一のデータファイル（例えば、ＣＳＶファイル）で構成してもよく、或いは正規化を考慮して、複数のデータファイルで構成してもよい。
【００５７】
スクリーンマスクオブジェクト６０１は、マスク品番を主キーとし、縦寸法Ｍｙ、横寸法Ｍｘ、マスク中心座標、印刷エリア中心座標等を属性として有している（図１２参照）。このスクリーンマスクオブジェクト６０１を参照することにより、制御ユニット６０は、スクリーン印刷装置１に装着されたスクリーンマスク２０６の種類や、その寸法関係を制御のパラメータとして参照することが可能になる。ここで、スクリーンマスクオブジェクト６０１のＸ軸中心座標は、スクリーンマスク２０６のＸ軸方向に沿う中心線ＸＣ１、ＸＣ２（図１２参照）を特定する座標をいう。
【００５８】
印刷実行部オブジェクト６０２は、印刷実行部品番を主キーとして、マスク品番、縦寸法、横寸法、中心座標、マスクオフセット量Ｏｓ等の属性を有している。マスク品番は、当該印刷実行部２０に装着されるスクリーンマスク２０６を特定するための外部キーであり、このキーによって、スクリーンマスクオブジェクト６０１は、印刷実行部オブジェクト６０２に関連づけられている。なお、理解を容易にするため、以下の説明では、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの中心座標Ｙｄ１、Ｙｄ２（図１２参照）がスクリーンマスク２０６の中心座標とそれぞれ等しいものとする。
【００５９】
また、マスクオフセット量Ｏｓは、関連づけられたスクリーンマスク２０６と、印刷実行部２０のＸ軸中心線との間に生じるＹ軸方向のオフセット量Ｏｓ１、Ｏｓ２を示している（図１２参照）。このオフセット量Ｏｓを事前に登録しておくことにより、制御ユニット６０は、後述するように効率的なスクリーン印刷を実現することが可能になる。
【００６０】
基板支持テーブルオブジェクト６０３は、テーブル品番を主キーとして、基板支持テーブル１０Ａまたは１０Ｂを構成するユニットの属性を保存するものである。
【００６１】
印刷装置オブジェクト６０４は、印刷装置品番を主キーとして、スクリーン印刷装置１を制御するために、必要な諸元を属性として備えている。印刷装置オブジェクト６０４には、Ａサイド（図１の下側に示すＹ軸方向の一端側。以下同様。）の基板支持テーブル１０Ａに採用されたユニットを基板支持テーブルオブジェクト６０３と関連づけるＡサイド基板支持テーブル品番と、Ｂサイド（図１の上側に示すＹ軸方向の他端側。以下同様。）の基板支持テーブル１０Ｂに採用されたユニットを基板支持テーブルオブジェクト６０３と関連づけるＢサイド基板支持テーブル品番とを外部キーとして含んでおり、これらによって、スクリーン印刷装置１に採用された基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの移動範囲や、移動速度等の情報を参照することが可能になっている。また、印刷装置オブジェクト６０４には、当該スクリーン印刷装置１に採用されたＡサイドの印刷実行部２０Ａと関連づける印刷実行部品番と、Ｂサイドの印刷実行部２０Ｂと関連づける印刷実行部品番とを外部キーとして有しており、このリレーションシップによって、当該スクリーン印刷装置１に採用された第１、第２印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの諸元を参照することができるようになっている。図示の例において、印刷装置オブジェクト６０４には、図２に示したテーブル可動ピッチＴｐｈと、第１基板搬入部Ｅｎ１と第２基板搬入部Ｅｎ２とのＹ軸方向の対向間隔である搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎと、第１基板搬出部Ｅｘ１と第２基板搬出部Ｅｘ２とのＹ軸方向の対向間隔である搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔと、スクリーン印刷装置１に設定された共有エリア（図１参照）と、クリーニング時における最大クリーニング移動量と、受取位置と、送出位置の座標を含む属性が設定されている（図１３〜図１５参照）。これにより、スクリーン印刷装置１の仕様に応じて、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ、並びに第１、第２印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの干渉管理を実現することが可能になる。なお、本実施形態では、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉しない仕様に適用された場合を想定しているが、基板の干渉を回避するために、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂと同様の手法を適用することが可能であることは、いうまでもない。さらに、印刷装置オブジェクト６０４には、当該スクリーン印刷装置１が図１３〜図１５の何れの型式を採用したものであるかを識別する装置型式と、排他型フラグとが含まれている。
【００６２】
装置型式は、スクリーン印刷装置１の型式によって、アルゴリズムを変更するための属性である。例えば、Ｙ軸方向に沿う装置中心線ＯＹに対して非対称な態様として、図１、図１３に示したように、各基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２、並びに基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２が、スクリーン印刷装置１のＸ軸中心線ＯＸに対し、対称形に配置されている一方、基板搬入部Ｅｎ１、Ｅｎ２間のＹ軸方向の距離（搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎ）が、基板搬出部Ｅｘ１、Ｅｘ２間のＹ軸方向の距離（搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔ）よりも長い場合、或いは、図１４に示したように、搬入側Ｙ軸ピッチＰｉｎが、搬出側Ｙ軸ピッチＰｏｕｔよりも短い場合がある。そのような場合には、後述するように、印刷位置を設定するアルゴリズムを適宜変更することが好ましい。
【００６３】
さらに、図１５に示したように、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２同士の組み合わせ、および基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２同士の組み合わせのうち、何れか一方（図示の例では双方）がスクリーン印刷装置１のＸ軸中心線ＯＸに対して非対称に配置されている場合もある。そのような場合には、さらに別の手法を講じた方が好ましい。本実施形態では、装置型式を印刷装置オブジェクト６０５に持たせることにより、スクリーン印刷装置１の設置態様に応じて、後述するサブルーチンを切り換えることができるようになっている。
【００６４】
次に、印刷装置オブジェクト６０５の排他型フラグは、図１３〜図１５に例示した各仕様のスクリーン印刷装置１において、第１、第２印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが同時に共有エリアに進入することを全く許容できない排他的な型式であるか否かを判定するものである。排他型フラグは、スクリーン印刷装置１の組み合わせを決定し、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２や、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２を設定したときに、事前に設定される値である。例えば、図１３、図１４の型式であれば、第１基板搬入位置ＥｎＰ１と第１基板搬出位置ＥｘＰ１が、第２基板搬入位置ＥｎＰ２と第２基板搬出位置ＥｘＰ２に対してスクリーン印刷装置１のＸ軸方向の中心線ＯＸに対し、対称形になっているので、双方がＹ軸方向に所定量退避することにより（この間隔を退避距離ＲＬという）、干渉することなく、一部分を共有エリアに進入させることが可能になる。他方、図１５の型式であれば、何れかが印刷位置として共有エリアを占有していると、他方が基板の搬入または搬出を妨げられるおそれがある。そこで、本実施形態では、スクリーン印刷装置１毎に、排他的であるか否かを排他型フラグで識別できるようにしている。排他型フラグは、例えばＢｏｏｌｅａｎ型であり、Ｔｒｕｅの場合には、当該スクリーン印刷装置１が排他型の型式であることを示す。なお、排他型フラグを設定している場合には、干渉回避の判別をするために他のパラメータを参照したり、演算したりする必要がないので、判断処理が迅速になるが、演算に支障がない場合には、排他型フラグを省略し、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２や、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２に基づいて干渉の有無を動的に演算（導出）するようにしてもよい。
【００６５】
次に、動作項目オブジェクト６０５は、スクリーン印刷を実現する上で、制御ユニット６０がチェックすべき基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの動作を記憶するためのものであり、動作項目を主キーとして、動作タイミングを保存している。動作項目は、例えば、「基板搬入動作」「フィデューシャルマーク認識動作」「印刷後検査動作」「マスククリーニング動作」「基板搬出時動作」等であり、動作タイミングは、「印刷前」「印刷後」等である。
【００６６】
干渉管理オブジェクト６０６は、印刷装置品番と動作項目とを主キーとする連関エンティティであり、スクリーン印刷装置１毎に、干渉管理が必要な動作項目と、干渉回避のための移動量（必要シフト量）ＳＦと、所要時間を設定したものである。この干渉管理オブジェクト６０６に所要時間を設けているので、制御ユニット６０は、当該所要時間に基づき、進入可能な時間帯を予測したり、或いは、一対の前記印刷実行部２０Ａ（２０Ｂ）の並行動作中に両印刷実行部２０Ａ（２０Ｂ）の干渉共有エリアに進入可能な時間帯を予見したりすることが可能になる。
【００６７】
本実施形態では、図１１に示したように、動作項目オブジェクト６０５と、干渉管理オブジェクト６０６とを設けたので、例えば、以下の表１に示すようなデータを記憶し、制御パラメータとすることが可能である。
【００６８】
【表１】
0005723221.tif 000002
【００６９】
表１は、各図１３〜図１５に対応する装置において、干渉回避が必要な動作項目毎に必要シフト量ＳＦを表したものである。必要シフト量ＳＦは、当該動作を実行するために、共有エリアに進入するＹ軸方向の長さの絶対値で設定されている。
【００７０】
次に、この制御ユニット６０の制御に基づくスクリーン印刷装置１の印刷工程について説明する。
【００７１】
図１６を参照して、制御ユニット６０は、まず、初期印刷位置設定サブルーチンを実行し（ステップＳ１）、各基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの基板Ｗに対するスクリーン印刷を開始する上で、好適な印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を設定する。次いで、制御ユニット６０は、第１基板支持テーブル１０Ａと第２基板支持テーブル１０Ｂとを並行動作させ、それぞれにおいて、基板の搬入（ステップＳ２）と、前工程（ステップＳ３）と、印刷位置調整処理サブルーチン（ステップＳ３０）と、版合わせ（Ｘテーブル１４１のＸ方向位置調整による基板ＷのＸ方向位置調整、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂのモータ５Ａ、５Ｂによる基板ＷのＹ方向位置調整、スクリーンマスク保持機構の回転駆動機構によるスクリーンマスク保持機構の本体のＲ軸方向位置調整によるスクリーンマスク２０６のＲ軸方向位置調整）（ステップＳ５）と、クリーム半田を掻き取る掻取動作（ステップＳ６）と、版離れ（ステップＳ７）と、印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２からの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの退出動作を含む後工程（ステップＳ８）と、退出後に印刷済の基板Ｗを搬出する搬出動作（ステップＳ９）とを生産枚数分だけ繰り返し実行する。各ステップのうち、前工程（ステップＳ３）には、例えば、基板Ｗの標識を認識する「マーク認識」、部品実装後に分割される多面取りの基板Ｗのいくつかに設定された不良マークを認識する「バッドマーク認識」、さらに基板Ｗ上に付着した異物を検査する「異物検査」等の工程が含まれる。また、後工程（ステップＳ８）は、例えば、印刷工程後のスクリーンマスク２０６の重装面を必要に応じて清浄する「クリーニング処理」工程や、或いは、印刷後の基板Ｗ上の印刷状態を検査する「印刷後検査」工程が含まれる。
【００７２】
次に図１６の初期印刷位置設定サブルーチンＳ１について、図１７及び図１８を参照しながら説明する。ここで、初期印刷位置設定サブルーチンＳ１は、例えば、図１７に示す態様と、図１８に示す態様の２種類をとることが可能である。
【００７３】
まず、図１７の態様について説明する。制御ユニット６０は、基板支持テーブルオブジェクト６０３と基板印刷装置オブジェクト６０４から、対応する受取位置の座標を参照する（ステップＳ１０１）。次いで、この座標が共有エリア内であるか否かを印刷装置オブジェクト６０４の設定値に基づいて、判定する（ステップＳ１０２）。仮に共有エリア内であれば、制御ユニット６０は、さらに印刷装置オブジェクト６０４の排他型フラグを参照し（ステップＳ１０３）、排他型フラグがＴｒｕｅであるか否かを判定する（ステップＳ１０４）。
【００７４】
仮に排他型フラグがＴｒｕｅの場合、共有エリアに印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定することができないので、制御ユニット６０は、相手方の印刷実行部２０Ｂ（２０Ａ）から離反する方向に退避し、基板搬送経路ＰＨ１、ＰＨ２上において、共有エリア外に印刷位置を設定してメインルーチンに復帰する（ステップＳ１０５）。他方、排他型フラグがＦａｌｓｅの場合、制御ユニット６０は、退避距離ＲＬを下記（１）式に基づいて演算する（ステップＳ１０６）。
【００７５】
【数１】
0005723221.tif 000003
【００７６】
図１２から明らかなように、（１）式の退避距離ＲＬは、両印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが干渉しない所定の対向間隔ＷＬを半分ずつ折半したものであり、これによって、何れの印刷実行部２０Ａ、２０Ｂも均等に退避した位置で印刷工程を実行することができるようになっている。ここで、対向間隔ＷＬは、テーブル可動ピッチＴｐｈにおいて、Ａサイドの原点からＹ軸方向にＡサイドの基板支持テーブル１０Ａが移動した距離をＣ１、Ｂサイドの原点からＹ軸方向にＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂが移動した距離をＣ２、Ａサイドの基板支持テーブル１０Ａの中心（印刷実行部２０Ａの中心Ｙｄ１）からＢサイドの基板支持テーブル１０Ｂに対向する対向部分までの距離をＬｙ１、Ｂサイドの基板支持テーブル１０Ｂの中心（印刷実行部２０Ｂの中心Ｙｄ２）からＡサイドの基板支持テーブル１０Ａに対向する対向部分までの距離をＬｙ２とした場合、以下に示す（２）式によって定義されるものである。
【００７７】
【数２】
0005723221.tif 000004
【００７８】
なお、ＡサイドとＢサイドを区別するために、図１２では、上述した各距離Ｃ１、Ｃ２、Ｌｙ１、Ｌｙ２の他、スクリーンマスク２０６のＸ軸方向寸法をＭｘ１、Ｍｘ２、Ｙ軸方向寸法をＭｙ１、Ｍｙ２、Ｘ軸方向の中心線をＸＣ１、ＸＣ２とそれぞれ表記し、印刷エリア２０７のＸ軸方向中心線をＭＣ１、ＭＣ２とそれぞれ表記している。
【００７９】
次いで、この退避距離ＲＬに基づいて、最初に参照した受取位置の値を補正し、その位置を初期の印刷位置に設定する（ステップＳ１０７）。この処理により、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、基板Ｗの搬入を完了した時点で直ちに印刷工程に移行することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【００８０】
なお、ステップＳ１０２の判定で、基板搬入位置が共有エリアではない場合、制御ユニット６０は、直ちに受取位置を基板搬入位置ＥｎＰ１（ＥｎＰ２）に設定する（ステップＳ１０８）。
【００８１】
次に、図１８の態様では、図１７の態様におけるステップＳ１０１をステップＳ１１１とし、ステップＳ１０７、Ｓ１０８をそれぞれステップＳ１１７、Ｓ１１８としている点が図１７と相違している。
【００８２】
すなわち、図１８の態様では、ステップＳ１１１では、受取位置に代えて、退出位置の座標を参照することとし、印刷位置は、参照された退出位置の座標または、退出位置を補正した座標としている点が相違している。制御ユニット６０に図１７、図１８に例示したような態様のプログラムを実装することにより、制御ユニット６０は、基板搬入位置ＥｎＰ１（ＥｎＰ２）、または基板搬出位置ＥｘＰ１（ＥｘＰ２）に印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定することが可能になる。
【００８３】
制御ユニット６０には、印刷装置オブジェクト６０４の「装置型式」属性に基づいて、例えば、図１３に示す態様（型式）のスクリーン印刷装置１の場合、図１７を選択し、図１４に示す態様（型式）のスクリーン印刷装置１の場合、図１８を選択するように、予め設定されている。図１５に示す態様（型式）のスクリーン印刷装置１の場合、何れかのフローチャートが採用されるように予め設定される。これにより、各印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが何れも相手側と干渉せずにしかも基板搬送経路ＰＨ１（ＰＨ２）上に印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定することが可能になる。
【００８４】
次に、図１６の印刷位置調整処理サブルーチンＳ３０について、図１９を参照しながら説明する。
【００８５】
図１６に示したように、このサブルーチンは、ステップＳ３の前工程が実施された後に実行される。上述のように、前工程では、基板Ｗの識別対象（フィデューシャルマーク、バッドマーク、異物を含む包括概念）の位置を撮像するため、当該基板Ｗを支持する基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が、Ｙ軸方向に移動する。この移動により、当該基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）と相対的な移動関係にある撮像ユニット５０の２個の基板認識カメラ５０Ｂが、それぞれ対応する識別対象を撮像し、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、最終の識別対象が撮像された時点で停止する。
【００８６】
図１９を参照して、この状態で制御ユニット６０は、モータ５Ａ（５Ｂ）のエンコーダ等の情報に基づき、まず、停止した基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が共有エリア内であるか否かを判定する（ステップＳ３０１）。
【００８７】
仮に共有エリアである場合、さらに制御ユニット６０は、干渉管理オブジェクト６０６の所要時間等を参照し、当該基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が印刷を終了するまでに、相手側の基板支持テーブル１０Ｂ（１０Ａ）が共有エリアに入るかどうか、すなわち、印刷中に干渉が生じる可能性があるかどうかを判定する（ステップＳ３０２）。
【００８８】
仮に印刷中に干渉が生じる可能性があると判定した場合、制御ユニット６０は、印刷装置オブジェクト６０４の排他型フラグを参照し、排他型フラグがＴｒｕｅであるか否かを判定する（ステップＳ３０３）。
【００８９】
仮に排他型フラグがＴｒｕｅの場合、制御ユニット６０は、相手方の印刷実行部２０Ｂ（２０Ａ）から離反する方向に退避し、共有エリア外に印刷位置を設定してメインルーチンに復帰する（ステップＳ３０４）。他方、排他型フラグがＦａｌｓｅの場合、制御ユニット６０は、退避距離ＲＬを（１）式に基づいて演算する（ステップＳ３０５）。次いで、制御ユニット６０は、この退避距離ＲＬに基づいて、停止している基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の停止位置座標を補正し、補正した座標を印刷位置の座標に設定する（ステップＳ３０６）。この処理により、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、前工程を完了した位置から干渉を回避することのできるごく僅かな距離だけ移動して、印刷工程に移行することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【００９０】
他方、ステップＳ３０１の判定で、基板支持テーブルの停止位置が共有エリア外であった場合、またはステップＳ３０２の判定で、干渉が生じないと判定される場合、制御ユニット６０は、前工程終了位置を印刷位置に設定する（ステップＳ３０７）。これにより、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、前工程を完了した位置で直ちに印刷工程に移行することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【００９１】
図２０を参照して、前工程で基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が停止する位置は、パターン１からパターン３で例示したように、多様な態様をとるが、何れの場合においても、図１９のフローに基づいて印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定することにより、前工程が終了した最終位置を基準にして印刷位置の設定が決定されるので、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、一端停止した位置から仮想線で示すような、印刷位置を中央に固定した場合の動線ロスを排除することができ、印刷工程に移行することができる。従って、本実施形態においては、前工程後の印刷工程への移行を極めて短時間にスムーズに行うことができ、しかも干渉を回避して並行動作を実現することが可能になる。なお、図２０の実線矢印で示したように、印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）の設定は、当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの停止位置と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２までの間であれば、どの位置であってもよい。例えば、印刷工程後に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとを相対的に変位してクリーニング処理を実施する場合には、当該クリーニング処理の開始位置に設定していてもよい。これにより、基板Ｗの搬送経路が逆戻りしない範囲内で種々の範囲に設定することが可能である。
【００９２】
なお、図１３、図１４に示す態様のスクリーン印刷装置１において、印刷工程が同期して実行される状況では、図２１に示す印刷位置調整処理サブルーチンＳ３０も実現可能である。
【００９３】
図２１を参照して、同図に示す態様では、図１９のステップＳ３０１、Ｓ３０２に代えて、現時点での相手方との対向間隔ＷＬ（図１２参照）を演算し（ステップＳ３１１）、次いで、干渉リミットＬｉを（３）式によって演算している（ステップＳ３１２）。
【００９４】
【数３】
0005723221.tif 000005
【００９５】
ここで、干渉リミットＬｉとは、両基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが干渉しない範囲で近接できる最短距離である。次いで、対向間隔ＷＬと干渉リミットＬｉとを比較し（ステップＳ３１３）、対向間隔ＷＬが干渉リミットＬｉよりも小さい場合には、ステップＳ３０５、ステップＳ３０６を実行することとしている。このフローによっても、干渉を回避しつつ、前工程を完了した位置で直ちに印刷工程に移行することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【００９６】
他方、上述した図１６の生産フローは、印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）の調整を前工程の動作位置によって設定していたが、後工程の動作位置に基づいて設定することも可能である。例えば、後工程の一例として、クリーニング工程を実施する場合には、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が移動し、この移動に伴って、当該基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）に設置されている図略のクリーニングユニットのクリーニングヘッドが、スクリーンマスク下面に付着している余剰のクリーム半田を除去することにより、スクリーンマスクが清浄される。その場合、品番が変更されるたびに基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）移動量や移動開始位置も変更されることになる。そこで図２２では、初期印刷位置設定サブルーチンＳ１、印刷位置調整処理サブルーチンＳ３０に代えて、最初に後工程を基準にして、印刷位置を設定することとしている（ステップＳ４０）。
【００９７】
図２３を参照して、同図に示す初期印刷位置設定サブルーチンＳ４０では、後工程を開始する際に、共有エリアに進入する必要があるか否かを判定し（ステップＳ４０１）、必要がある場合には、排他型フラグがＴｒｕｅであるか否かを判定する（ステップＳ４０３）。
【００９８】
仮に排他型フラグがＴｒｕｅの場合、共有エリアに印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定することができないので、制御ユニット６０は、相手方の印刷実行部２０Ｂ（２０Ａ）から離反する方向に退避し、基板搬送経路ＰＨ１（ＰＨ２）上において、共有エリア外に印刷位置ＳＰ１（ＳＰ２）を設定してメインルーチンに復帰する（ステップＳ４０４）。
【００９９】
他方、排他型フラグがＦａｌｓｅの場合、制御ユニット６０は、退避距離ＲＬを（１）式に基づいてする（ステップＳ４０５）。次いで、制御ユニット６０は、この退避距離ＲＬに基づいて、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）が後工程を開始する座標を基板搬送経路ＰＨ１（ＰＨ２）上に補正し、補正した座標を印刷位置の座標に設定する（ステップＳ４０６）。この処理により、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、干渉を回避することのできる印刷位置から僅かな距離だけ移動して、後工程に移行することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【０１００】
他方、ステップＳ４０１の判定で、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）の後工程開始位置が共有エリア外であった場合、制御ユニット６０は、前工程終了位置を印刷位置に設定する（ステップＳ４０７）。これにより、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）は、印刷工程を終了した位置から直ちに後工程を開始することができ、動線のロスを可及的に低減することが可能になる。
【０１０１】
以上説明したように、本実施形態は、Ｘ軸方向に沿う基板搬送方向に沿って搬送された基板Ｗを基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２から搬入してスクリーン印刷を施し、印刷後の基板Ｗを搬送方向の下流側に設定される基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２から搬出するスクリーン印刷装置において、基板Ｗにスクリーン印刷を施す印刷実行部２０Ａ、２０Ｂと、Ｘ軸方向に沿う基板搬送方向と直交する特定方向としてのＹ軸方向に沿って移動可能に設けられ、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２から搬入された基板Ｗを保持して印刷実行部２０Ａ、２０Ｂにより設定される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２にて印刷工程に供するとともに、印刷後の基板Ｗを基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２から搬出する、少なくとも一台の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に沿って少なくとも基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２から基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２の間で往復移動するテーブル駆動機構とを備え、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２は、Ｙ軸方向に沿う装置中心線ＯＹに対し非対称に設定されているものであり、印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが基板Ｗの搬入から基板Ｗの搬出までの移動に要する基板搬送経路ＰＨ上に設定されているスクリーン印刷装置１である。このため本実施形態では、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２とが、Ｙ軸方向に沿う装置中心線ＯＹに対して非対称に設定されている場合であっても、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが基板Ｗの搬入から基板Ｗの搬出までの移動に要する基板搬送経路ＰＨ上で印刷工程を実行することができるので、単純に装置中央部に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２が配置されている場合に比べて短くなる。そのため、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢのＹ軸方向における移動経路を全体として短縮し、スループットの向上に寄与することが可能になる。
【０１０２】
また、本実施形態では、印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２は、基板搬送経路ＰＨ中において、当該基板搬送経路ＰＨの中央位置よりも、当該基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２から基板Ｗを基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが受け取る受取位置と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２に基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂが基板Ｗを送出する送出位置の何れか一方に寄せられている。このため本実施形態では、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２から印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２までの動作タイミングまたは印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２から基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２までの動作タイミングが可及的に短くなるので、より好適にスループットの向上を図ることができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、印刷工程に先立って基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動することにより、当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂに支持された基板Ｗに所定の前工程を実行する前工程処理手段としての撮像ユニット５０等と、当該前工程を終了したときの当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの停止位置と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２までの間に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を設定するように印刷実行部駆動機構を制御する印刷位置設定手段としての制御ユニット６０とをさらに備えている。このため本実施形態では、印刷工程に先立って、基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動させることによって種々の前工程を実施する際、当該前工程が終了したときの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの停止位置と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２との間に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２が設定されるので、印刷工程に移行する基板Ｗは、当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの停止位置から搬出方向と逆向きに移動することなく、印刷工程に移行することができる。また、印刷工程後の基板Ｗは、基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２に対して逆方向に移動することなく、搬出されることになる。従って、前工程から搬出に至るまでの動線のロスを解消することができる。
【０１０４】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、前工程を終了したときの当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの停止位置を印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２に設定するものである。このため本実施形態では、前工程が終了した時点で、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを停止し、印刷工程に移行することができるので、前工程後の基板Ｗがその後の移動によって位置ずれを起こすおそれがない。従って、印刷工程における基板Ｗとスクリーンマスクとの位置決めが精緻になるという利点がある。
【０１０５】
また、本実施形態では、印刷工程後に基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動することにより、所定の後工程を実行する後工程処理手段（撮像ユニット５０等）と、後工程処理手段が当該後工程を開始するときの当該基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの位置に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を設定するように印刷実行部駆動機構を制御する制御ユニット６０とをさらに備えている。このため本実施形態では、印刷工程後に基板支持テーブル１０Ａ、１０ＢをＹ軸方向に移動させることにより、後工程を実施する際、当該後工程を開始するときの基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの位置に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２が設定されるので、後工程に移行する基板Ｗは、当該印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２から搬出方向と逆向きに移動することなく、直ちに後工程に移行することができる。従って、印刷工程から搬出に至るまでの動線のロスを解消することができる。
【０１０６】
また、本実施形態では、印刷実行部２０Ａ、２０ＢをＹ軸方向に沿って駆動する、Ｙ軸サーボモータ２１０等を要素とする印刷実行部駆動機構を設けている。このため本実施形態では、印刷実行部２０Ａ、２０ＢをＹ軸方向に移動させることによって、印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を必要に応じて調整することが可能になる。この結果、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２または基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２のレイアウト態様や、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂの運転状況に応じて、印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を変更することができ、一層効率よく印刷工程を処理することができる。
【０１０７】
また、本実施形態では、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂは、Ｙ軸方向に並置されて対をなしており、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ毎に設けられて対をなしており、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ駆動機構は、一対の基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂを個別に駆動するものであり、基板搬入位置ＥｎＰ１、ＥｎＰ２と基板搬出位置ＥｘＰ１、ＥｘＰ２は、少なくとも何れか一方が二つ一組である。このため本実施形態では、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂをそれぞれ２つ一組にしてスループットを向上させることとしているので、スクリーン印刷装置の上流側と下流側の少なくとも一方が２系統の基板Ｗ搬送ラインを有するデュアル搬送式の製造ラインにおいても、充分な処理能力（スループット）を発揮することが可能になる。
【０１０８】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂを個別に駆動して対応する基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂ毎に印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を設定する印刷実行部駆動機構としても機能する。
【０１０９】
また、本実施形態では、一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの動線がＹ軸方向において重複する共有エリアが設定されており、制御ユニット６０が一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの並行動作中に両印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの干渉の発生を予見した場合には、少なくとも何れか一方の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂに設定される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を変更するように印刷実行部駆動機構を制御するものである。このため本実施形態では、干渉の発生が予見された場合には、制御ユニット６０が少なくとも何れか一方の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂに設定される印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を変更するように印刷実行部駆動機構を制御する。これにより、一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂは、共有エリアが設定されている場合においても、干渉を回避しつつ印刷工程を並行することができる。
【０１１０】
また、本実施形態では、制御ユニット６０は、干渉の発生が予見された場合には、一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの双方が干渉回避可能な対向間隔ＷＬを折半する退避距離だけ退避するように印刷位置ＳＰ１、ＳＰ２を設定するものである。このため本実施形態では、同時に一対の印刷実行部２０Ａ、２０Ｂが共有エリアに進入しようとする場合に、双方が干渉を回避するための対向間隔ＷＬを折半するので、両印刷実行部２０Ａ、２０Ｂでの退避動作が等配され、何れにも退避時間が偏ることなく退避処理を実行することができる。
【０１１１】
本発明は、図２５〜図２７に示したように、基板支持テーブルと印刷実行部がそれぞれ一台ずつに設定されたスクリーン印刷装置１であっても同様に適用することが可能である。その場合、上述した「干渉」という概念はなくなるので、図１７、図１８、並びに図２３のサブルーチンを採用する際には、図２８及び図２９に示すように、ステップＳ１０１、Ｓ１０８（または、ステップＳ１１１、Ｓ１１８）のみを実行するか、図２３に示すようにステップＳ４０７のみを実行すればよい。
【０１１２】
また、図１９または図２１のステップＳ３０７を実行するだけで、図２０に示したように印刷位置を設定し、動線ロスを解消することが可能となる。
【０１１３】
以上説明したように、本実施形態によれば、基板搬入位置ＥｎＰ１と基板搬出位置ＥｎＰ２とが、Ｙ軸方向に沿う中心線ＯＹに対して非対称に設定されている場合であっても、基板Ｗの搬送に要する基板搬送経路ＰＨ上で印刷工程を実行することができるので、基板支持テーブル１０Ａ（１０Ｂ）のＹ軸方向における動線を全体として短縮し、スループットの向上に寄与することが可能になるという顕著な効果を奏する。
【０１１４】
上述したスクリーン印刷装置１は、本発明の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【０１１５】
具体的には図示していないが、基板Ｗをスクリーン印刷装置１に搬入または搬出する態様としては、基板搬入部Ｅｎ１、第２基板搬入部Ｅｎ２に受け渡しベルトコンベア対を設けた構成を採用してもよい。その場合には、第１ローダＬ１、第２ローダＬ２の各ベルトコンベア対ＣＬ、ＣＬ２と第１、第２基板支持テーブル１０Ａ、２０Ａの対応するベルトコンベア対１２Ａ、１２Ｂとの位置決めが機械的に決定されるので、制御が容易になるという利点がある。
【０１１６】
同様に、基板搬出部Ｅｘ１、第２基板搬出部Ｅｘ２に受け渡しベルトコンベア対を設けた構成を採用してもよい。
【０１１７】
また、基板搬入部と基板搬出部の何れか一方にのみ受け渡しコンベアを設けてもよい。
【０１１８】
また、基板支持テーブル１０Ａ等における基板Ｗの具体的な支持構造、印刷実行部２０等における具体的なスクリーンマスク２０６の保持構造、あるいはスキージユニット保持機構４００の具体的な構造等は、必ずしも上記実施形態のスクリーン印刷装置１のものに限定されるものではない。
【０１２０】
また、前工程での最終停止位置、後工程での移動開始位置は、基板支持テーブル１０Ａ、１０Ｂと印刷実行部２０Ａ、２０Ｂとの相対的な移動であり、印刷実行部２０Ａ、２０Ｂの移動により定まる位置であってもよい。
【０１２１】
その他、本発明の特許請求の範囲内で種々の設計変更が可能であることは、いうまでもない。
【符号の説明】
【０１２２】
１  スクリーン印刷装置
１０Ａ、１０Ｂ  基板支持テーブル
２０Ａ、２０Ｂ  印刷実行部
５０  撮像ユニット
６０  制御ユニット
２０６  スクリーンマスク
ＥｎＰ１、ＥｎＰ２  基板搬入位置
ＥｘＰ１、ＥｘＰ２  基板搬出位置
ＷＬ  対向間隔
Ｍｔ  部品実装装置
ＯＹ  Ｙ軸中心線
Ｏｓ  マスクオフセット量
ＰＨ１、ＰＨ２  基板搬送経路
ＲＬ  退避距離
Ｗ  基板
【図１】
0005723221.tif 000006
【図２】
0005723221.tif 000007
【図４】
0005723221.tif 000008
【図５】
0005723221.tif 000009
【図６】
0005723221.tif 000010
【図７】
0005723221.tif 000011
【図８】
0005723221.tif 000012
【図９】
0005723221.tif 000013
【図１０】
0005723221.tif 000014
【図１１】
0005723221.tif 000015
【図１２】
0005723221.tif 000016
【図１３】
0005723221.tif 000017
【図１４】
0005723221.tif 000018
【図１５】
0005723221.tif 000019
【図１６】
0005723221.tif 000020
【図１７】
0005723221.tif 000021
【図１８】
0005723221.tif 000022
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３】
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