(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方が再検査対象の電子部品を収容する再検査対象収容体となる良品用収容体と不良品用収容体を保持し、電子部品を検査して検査結果に応じて前記良品用収容体と前記不良品用収容体に電子部品を分類する電子部品検査装置であって、
電子部品を観測する観測手段と、
前記観測手段の観測結果を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する検査手段と、
前記検査手段の判定結果に基づき、電子部品を良品用収容体と不良品用収容体の何れかに分類する第１の分類手段と、
前記再検査対象収容体に収容された電子部品の当該収容体内での位置を示す識別情報を生成する識別情報生成手段と、
電子部品の前記観測結果と当該電子部品の位置を示す前記識別情報を関連付けて記憶する記憶手段と、
前記観測結果から前記再検査対象収容体に収容された電子部品の良品と不良品の別を異なる観点、手法又は精度で再判定するための再検査手段と、
前記観測結果に関連付けられた前記識別情報に前記再検査手段による再判定の結果を更に関連付ける再判定情報生成手段と、
前記再検査手段の再判定結果に基づき、当該再判定結果に関連付けられた前記識別情報が示す位置の電子部品を良品用収容体又は不良品用収容体の何れかに再分類する第２の分類手段と、を備え、
前記再検査対象収容体は、電子部品を収容する収容領域を複数有し、
前記第１の分類手段は、連続する収容領域に一定数の電子部品を連続して充填し、電子部品を充填した連続領域の隣の一領域を空の収容領域のままとすること、
を特徴とする電子部品検査装置。
【請求項２】
前記再検査対象収容体には、連続する電子部品の列が空の収容領域で区画されて複数形成され、
前記識別情報は、電子部品の属する列と列内の並び順番で示されること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品検査装置。
【請求項３】
前記第２の分類手段は、
電子部品を保持して前記良品用収容体又は前記不良品用収容体から離脱させる保持手段と、
前記保持手段が電子部品を離脱させる位置に電子部品の収容領域を順次位置させるように、前記再検査対象収容体を移動させる再供給手段と、
所定位置に移動する前記収容領域を順次撮像し、前記一定数の移動ごとに前記空の収容領域の存在を確認する送りミス検出手段と、
を備え、
前記送りミス検出手段が前記一定数毎に前記空の収容領域の存在を確認できなければ、前記再分類を中止すること、
を特徴とする請求項１又は２記載の電子部品検査装置。
【請求項４】
ウェハリングに貼着された電子部品を前記第１の分類手段に供給する供給部を備え、
前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、
前記再検査手段は、前記ダイシングライン情報に基づき、良品又は不良品と再判定した電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品を同一の品質と再判定すること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の電子部品検査装置。
【請求項５】
前記再検査手段は、
前記観測結果を表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、
を備えること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品検査装置。
【請求項６】
ウェハリングに貼着された電子部品を前記第１の分類手段に供給する供給部を備え、
前記再検査手段は、
前記観測結果を表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、
を備え、
前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、
前記表示部は、前記ダイシングライン情報に基づき、表示中の電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品の観測結果情報を連続して表示すること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の電子部品検査装置。
【請求項７】
前記第１の分類手段と前記第２の分類手段は、共通の機器により構成されること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を検査して品質に応じて分類する電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品検査装置は、電子部品を検査して、その検査結果に応じて良品と不良品とを区別し、電子部品の良品用の収容体と不良品用の収容体に分類する。電子部品の検査は、例えば、電子部品の傷、汚れ及び破損の有無をチェックする外観検査、電子部品の電気特性をチェックする電気特性検査、又はこれらの混合等である。【０００３】
検査の基準が厳しいと、良品であった電子部品を不良品の収容体に分類してしまうオーバーキル率が高まり、生産効率が低下する。検査の基準が緩いと、不良品であった電子部品を良品として出荷してしまい、品質にバラツキが生じ、検査の信頼性が低下してしまう。一部品当たりの単価の高いＩＣやＬＳＩ等の集積回路の電子部品においては、オーバーキル率が高かったり、品質にバラツキが生じたりすることは特に問題である。【０００４】
そこで、良品群に不良品が含まれていないか、又は不良品群に良品が含まれていないか、それらを検査項目、検査手法又は検査精度を代えて再検査することのできる電子部品検査装置が望まれる。しかしながら、電子部品の観察段階と観察結果の解析及び判定段階とからなる検査のうち、観察段階のやり直しは、電子部品一個当たりの生産に要する時間が長くなり、生産効率が低下してしまう。【０００５】
そのため、電子部品をウェハリングから剥がす前にウェハリングをスキャンし、コンピュータ解析により外観検査してから、電子部品をウェハリングから剥がす前にスキャン結果を更に目視で確認し、目視により再検査する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この技術は、最初のスキャンによる検査結果データと、検査結果データの主体である電子部品のウェハリング上の位置データを関連づけ、欠陥のあった電子部品の位置データに基づき、検査結果データをスクリーンに表示するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１３４２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ウェハから電子部品を個々に剥がし取ってから電子部品を検査したい場合がある。例えば、ウェハに電子部品を貼着したままの場合、電子部品の露出面しか外観検査をすることができない。また、ウェハに電子部品を貼着したままの場合、電子部品の電気特性の検査をすることができない場合がある。【０００８】
このような場合、電子部品は、一度ウェハリングからピックアップされて、電子部品を検査するユニットに運ばれ、検査結果に応じて分類され、その分類後に改めて再検査と再分類が行われることになる。この手法の場合、いくら供給元であるウェハリング上の電子部品と検査結果とを紐付けし、検査結果を基に品質の再判定を行ったとしても、そもそも、分類先のどの位置に収容されている電子部品の検査結果を再判定しているのか特定できないため、再検査の結果を基に再分類することが不可能であった。【０００９】
そのため、電子部品を検査及び分類した後に、再検査及び再分類する電子部品検査装置においては、検査により得られた検査結果をいくら保存しようとも、再検査及び再分類ができず、高オーバーキル率又は品質のバラツキの問題を解決することができなかった。【００１０】
本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、電子部品を検査及び分類した後に、その検査結果を用いて再検査及び再分類することができ、オーバーキル率の低下又は品質のバラツキを抑制できる電子部品検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電子部品検査装置は、一方が再検査対象の電子部品を収容する再検査対象収容体となる良品用収容体と不良品用収容体を保持し、電子部品を検査して検査結果に応じて前記良品用収容体と前記不良品用収容体に電子部品を分類する電子部品検査装置であって、電子部品を観測する観測手段と、前記観測手段の観測結果を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する検査手段と、前記検査手段の判定結果に基づき、電子部品を良品用収容体と不良品用収容体の何れかに分類する第１の分類手段と、前記再検査対象収容体に収容された電子部品の当該収容体内での位置を示す識別情報を生成する識別情報生成手段と、電子部品の前記観測結果と当該電子部品の位置を示す前記識別情報を関連付けて記憶する記憶手段と、前記観測結果から前記再検査対象収容体に収容された電子部品の良品と不良品の別を異なる観点、手法又は精度で再判定するための再検査手段と、前記観測結果に関連付けられた前記識別情報に前記再検査手段による再判定の結果を更に関連付ける再判定情報生成手段と、前記再検査手段の再判定結果に基づき、当該再判定結果に関連付けられた前記識別情報が示す位置の電子部品を良品用収容体又は不良品用収容体の何れかに再分類する第２の分類手段と、を備え、前記再検査対象収容体は、電子部品を収容する収容領域を複数有し、前記第１の分類手段は、連続する収容領域に一定数の電子部品を連続して充填し、電子部品を充填した連続領域の隣の一領域を空の収容領域のままとすること、を特徴とする。
【００１３】
前記再検査対象収容体には、連続する電子部品の列が空の収容領域で区画されて複数形成され、前記識別情報は、電子部品の属する列と列内の並び順番で示されるようにしてもよい。【００１４】
前記第２の分類手段は、電子部品を保持して前記良品用収容体又は前記不良品用収容体から離脱させる保持手段と、前記保持手段が電子部品を離脱させる位置に電子部品の収容領域を順次位置させるように、前記再検査対象収容体を移動させる再供給手段と、所定位置に移動する前記収容領域を順次撮像し、前記一定数の移動ごとに前記空の収容領域の存在を確認する送りミス検出手段と、を備え、前記送りミス検出手段が前記一定数毎に前記空の収容領域の存在を確認できなければ、前記再分類を中止するようにしてもよい。【００１５】
ウェハリングに貼着された電子部品を前記第１の分類手段に供給する供給部を備え、前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、前記再検査手段は、前記ダイシングライン情報に基づき、良品又は不良品と再判定した電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品を同一の品質と再判定するようにしてもよい。【００１６】
前記再検査手段は、前記観測結果を表示する表示部と、前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、を備えるようにしてもよい。【００１７】
ウェハリングに貼着された電子部品を前記第１の分類手段に供給する供給部を備え、前記再検査手段は、前記観測結果を表示する表示部と、前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、を備え、前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、前記表示部は、前記ダイシングライン情報に基づき、表示中の電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品の観測結果情報を連続して表示するようにしてもよい。【００１８】
前記第１の分類手段と前記第２の分類手段は、共通の機器により構成されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、電子部品の観測結果と其の電子部品の収容体上の位置とが関連づけられるので、観測結果に基づき再判定し、その再判定結果を基に電子部品を再分類することができ、オーバーキル率の低下又は品質のバラツキを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施形態に係る電子部品検査装置の概略構成を示す構成図である。
【図２】第１の実施形態に係る分類装置の構成を示す構成図である。
【図３】第１の実施形態に係る分類装置の制御部の構成を示す構成図である。
【図４】第１の実施形態に係り観測結果記憶部に記憶されるデータを示す模式図である。
【図５】第１の実施形態に係る再検査装置の構成を示す構成図である。
【図６】第１の実施形態に係り再検査装置が表示する表示画面を示す模式図である。
【図７】電子部品検査装置の分類モードの制御動作を示すフローチャートである。
【図８】電子部品検査装置の再検査の動作を示すフローチャートである。
【図９】電子部品検査装置の再分類モードの制御動作における電子部品の再供給を示すフローチャートである。
【図１０】電子部品検査装置の再分類モードの制御動作における電子部品の再分類を示すフローチャートである。
【図１１】電子部品の収容位置と観測結果情報が関連づけられる状態を示す模式図である。
【図１２】第２の実施形態に係る電子部品検査装置の制御部の構成を示すブロック図である。
【図１３】ウェハ上の電子部品の並びを示す模式図である。
【図１４】第２の実施形態に係り観測結果記憶部に記憶されるデータを示す模式図である。
【図１５】第２の実施形態に係り再検査装置が表示する表示画面を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
（構成）
（電子部品検査装置）
以下、本発明に係る電子部品検査装置の第１の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、第１の実施形態に係る電子部品検査装置の概略構成を示す構成図である。電子部品検査装置１は、電子部品の検査及び再検査の結果に応じて電子部品を良品と不良品に分類及び再分類する。再検査の際には、電子部品の検査時に取得した観測結果を異なる観点、手法、又は精度で解析し、再検査結果を導く。異なる観点又は手法とは、例えば再検査者による観測結果の目視である。
【００２２】
ここで、電子部品は電気製品に使用される部品である。電子部品としては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。良品とは、検査又は再検査によって一定の品質基準に達した電子部品であり、不良品とは、検査及び再検査によって一定の品質基準に未達の電子部品である。良品又は不良品の何れかに分類された電子部品が再検査及び再分類される。分類及び再分類では、電子部品を品質別に梱包する。
【００２３】
この電子部品検査装置１は、検査分類装置３と再検査装置２を備える。検査分類装置３と再検査装置２は、所謂コンピュータを有し、ＬＡＮ等のネットワークによりデータ通信可能に接続されている。または、検査分類装置３が備えるコンピュータを再検査装置２として機能させることもできる。検査分類装置３は、電子部品を検査し、検査結果に応じて電子部品を良品と不良品に分類する。再検査装置２は、検査分類装置３で良品又は不良品の何れかに分類された電子部品の観測結果を用いた再検査を支援する。更に、検査分類装置３は、再検査装置２で再検査された電子部品を再検査結果に応じて良品と不良品に再分類する。再検査される電子部品は品質基準に依る。品質基準を厳しく設定した場合、不良品に分類した電子部品を再検査し、品質基準を緩く設定した場合、良品に分類した電子部品を再検査する。
【００２４】
（分類装置）
図２は、検査分類装置３の詳細構成を示す構成図である。検査分類装置３は、架台３ａの上面に電子部品の搬送経路３ｂを配設し、搬送経路３ｂに沿って検査予定及び再検査済みの電子部品を複数同時に整列搬送する。検査予定の電子部品と再検査済みの電子部品は、別工程で搬送する。
【００２５】
この検査分類装置３は、検査予定の電子部品を搬送経路３ｂに供給する供給ユニット３３と再検査済みの電子部品を搬送経路３ｂに再供給する再供給ユニット３８を備えている。供給ユニット３３と再供給ユニット３８よりも搬送方向下流側には、良品収容ユニット３６と不良品収容ユニット３７を配列し、検査結果及び再検査結果に応じて良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７が電子部品を収容する。
【００２６】
供給ユニット３３と良品収容ユニット３６及び不良品収容ユニット３７との間の搬送経路３ｂ上には、電子部品の各種観測ユニット３５ａ〜３５ｅが配列される。各種観測ユニット３５ａ〜３５ｅは、供給ユニット３３から供給された検査予定の電子部品を搬送経路３ｂ上で観測し、観測結果を得る。再供給ユニット３８から供給された電子部品は、再検査装置２で再検査され、検査分類装置３での検査を要せず、これら観測ユニット３５ａ〜３５ｅを通過する。
【００２７】
この検査分類装置３の搬送経路３ｂは環状であり、経路始端と終端とが接続されている。そのため、電子部品が搬送経路３ｂ上から離脱せずに供給ユニット３３に再度進入することを防ぐべく、供給ユニット３３の直前には強制排出ビン３９が配置されている。
【００２８】
架台３ａの内部には、これら搬送経路３ｂ、供給ユニット３３、観測ユニット３５ａ〜３５ｅ、良品収容ユニット３６、不良品収容ユニット３７、及び再供給ユニット３８を制御するコンピュータやコントローラで構成される制御部４を備えている。制御部４は、電子部品の観測結果を評価し、電子部品の評価に応じた分類を制御するとともに、再検査装置２とデータ通信可能に接続され、観測結果を再検査装置２に出力する。また、制御部４は、再検査装置２から再検査結果を受信し、再検査結果に応じた電子部品の再分類を制御する。架台３ａの内部には、制御部４の他、検査分類装置３を駆動するための電源、ケーブル類、コンプレッサや空気管が収容されている。
【００２９】
各部について詳述する。搬送経路３ｂは、架台３ａの上面に設置された搬送テーブル３１により形成される。搬送テーブル３１は、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有し、周方向に間欠的に所定角度ずつ、架台３ａの上面と平行に回転する。搬送テーブル３１の動力源はダイレクトドライブモータ３２である。搬送テーブル３１は、ダイレクトドライブモータ３２を介して架台３ａの上面より高い位置に拡がる。
【００３０】
搬送テーブル３１の外周には、吸着ノズル３１ａが取り付けられている。吸着ノズル３１ａは、その軸線方向に沿って昇降可能となっている。この吸着ノズル３１ａは、搬送テーブル３１の外周に沿って円周等配位置で、且つ搬送テーブル３１の中心から同一距離に複数取り付けられる。搬送テーブル３１が星形の場合、その搬送テーブル３１は、アームを放射状に配してなり、アームの先端に吸着ノズル３１ａが取り付けられる。
【００３１】
吸着ノズル３１ａは電子部品の保持手段である。吸着ノズル３１ａは内部が中空で一端が開口し、開口端を架台３ａの上面に向けて搬送テーブル３１からぶら下がる。吸着ノズル３１ａの内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。吸着ノズル３１ａは、供給ユニット３３、観測ユニット３５ａ〜３５ｅ、良品収容ユニット３６、不良品収容ユニット３７、及び再供給ユニット３８に向けて順番に下降して、これらユニットに対して真空破壊や大気解放によって電子部品を離脱させて電子部品を渡し、又はこれらユニットの電子部品を開口端で吸着して電子部品をピックアップし、各ユニットから電子部品を搬送経路３ｂに戻す。
【００３２】
この搬送テーブル３１と吸着ノズル３１ａにより電子部品の分類手段が構成され、吸着ノズル３１ａの開口端の回転軌跡が電子部品の搬送経路３ｂとなる。すなわち、ダイレクトドライブモータ３２は、１ピッチずつ間欠回転するように制御部４により制御される。そのピッチは、吸着ノズル３１ａの配置間隔に等しい。これにより、吸着ノズル３１ａは、搬送テーブル３１の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止し、吸着ノズル３１ａの軸線方向に昇降する。この停止位置に供給ユニット３３、観測ユニット３５ａ〜３５ｅ、良品収容ユニット３６、不良品収容ユニット３７、及び再供給ユニット３８を設けることで、吸着ノズル３１ａは、これらユニットを搬送経路３ｂに沿って順次経て、電子部品に対する検査、分類及び再分類の処理が可能となる。
【００３３】
供給ユニット３３は、電子部品が個片にダイシングされてウェハリングＷＲに保持されている場合、リングホルダ３３ａ及びピックアップ装置３３ｂを備えている。リングホルダ３３ａは、ウェハリングＷＲを保持し、ピックアップ装置３３ｂは、ウェハリングＷＲから電子部品を１つずつピックアップして搬送経路３ｂに供給する。
【００３４】
このリングホルダ３３ａは、電子部品の貼着面を搬送テーブル３１の外縁に向けてウェハリングＷＲを縦置きする。すなわち、吸着ノズル３１ａの移動面に対してウェハリングＷＲを直交させている。ピックアップ装置３３ｂは、一点から一平面上を放射状に延びるアームを有し、その放射面は、吸着ノズル３１ａの移動面とウェハリングＷＲが拡がる平面に直交する。各アーム先端には吸着ノズル３１ａが備えられる。吸着ノズル３１ａは、軸をアームに沿わせて延設され、電子部品を吸着する開口端を放射方向外方に向ける。このピックアップ装置３３ｂは、搬送テーブル３１の下方に潜り込み、ピックアップ装置３３ｂの頂点と搬送経路３ｂとが重なる位置に設置され、真横でウェハリングＷＲと向かい合う。
【００３５】
ピックアップ装置３３ｂは、吸着ノズル３１ａを放射中心で間欠回転させる。リングホルダ３３ａは、突き上げピン（不図示）で電子部品を裏側から突き上げ、ウェハリングＷＲと向き合う吸着ノズル３１ａにウェハリングＷＲ上の電子部品を渡す。電子部品を受け取ったピックアップ装置３３ｂの吸着ノズル３１ａは、搬送テーブル３１の吸着ノズル３１ａとピックアップ装置３３ｂの頂点で向き合い、この搬送テーブル３１の吸着ノズル３１ａに電子部品を渡す。これにより、供給ユニット３３は、電子部品を搬送経路３ｂに供給する。
【００３６】
観測ユニット３５ｃ〜３５ｅは、電子部品の外観検査の資料となる観測結果を取得する。外観検査は、電子部品に対する傷、汚れ又は破損の有無のチェックであり、画像解析による検査である。観測結果は、電子部品の外観画像データである。観測ユニット３５ｃ〜３５ｅは、各々がＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子とレンズを有するカメラであり、撮像光学系が個々に定められた電子部品の面を向き、その面を撮像する。
【００３７】
例えば、観測ユニット３５ｃは、電子部品の底面を撮像し、観測ユニット３５ｄは、電子部品の隣り合う２側面を撮像し、観測ユニット３５ｅは、他の隣り合う２側面を撮像する。電子部品の底面は、吸着ノズル３１ａによる保持面とは反対の面である。観測ユニット３５ｃ〜３５ｅは、それぞれ制御部４とデータ通信可能に信号線で接続されており、外観画像データを制御部４へ送信する。
【００３８】
観測ユニット３５ａと観測ユニット３５ｂは、観測ユニット３５ｃ〜３５ｅによる観測結果取得の前処理ユニットであり、電子部品を規定の適正姿勢に補正する。この観測ユニット３５ａは、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子とレンズを有するカメラであり、撮像光学系が電子部品の底面を向き、その面を撮像する。撮像データは、制御部４へ送信される。制御部４では、撮像データを解析して電子部品の姿勢ズレを測定する。姿勢ズレは、電子部品の向きのズレ及び中心の位置ズレである。
【００３９】
観測ユニット３５ｂは、電子部品を載置するステージを有し、ステージを載置面に沿って２次元のそれぞれの方向に移動させ、またステージを載置面と直交する回転軸で回転させる。２次元の各方向の移動量及び回転量は、制御部４が測定した姿勢ズレを解消する量であり、制御部４から送信される姿勢ズレを解消する補正データに従う。
【００４０】
尚、この電子部品検査装置１は、外観検査に限らず、各種の検査を実行可能としてもよい。例えば、観測ユニット３５ａ〜３５ｅに電気特性検査等のユニットを混在させてもよいし、電気特性検査のユニットのみで構成されていてもよい。電気特性検査は、電子部品に電圧印加又は電流注入を行い、電子部品の電圧、電流、抵抗、又は周波数、ロジック信号に対する出力信号等を検査する。
【００４１】
良品収容ユニット３６及び不良品収容ユニット３７は、空領域に電子部品を収容する収容体Ｔをそれぞれ保持し、収容体Ｔを１ピッチ又は２ピッチずつ移動させて、空領域を搬送経路３ｂの直下に位置させる。良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の直上に位置した吸着ノズル３１ａが電子部品を離脱させることにより、空領域に電子部品が梱包される。
【００４２】
この良品収容ユニット３６及び不良品収容ユニット３７は、例えばテーピングユニットである。収容体Ｔはキャリアテープである。キャリアテープは、帯の長さに沿ってポケットを有し、このポケットに電子部品が梱包される。テーピングユニットは、キャリアテープを帯の長さに沿って１ピッチ又は２ピッチずつ移動させて、空領域である空のポケットを搬送経路３ｂの直下に移動させる。また、テーピングユニットは、電子部品が梱包されたキャリアテープのポケットを封止するようにシールを圧着していく。
【００４３】
良品収容ユニット３６と不良品収容ユニット３７は１ピッチ移動を原則とするが、再検査対象が良品の電子部品である場合、良品収容ユニット３６は、収容体Ｔを１ピッチずつ一定回数だけ移動させる毎に、収容体Ｔの２ピッチ移動を１回挟む。再検査対象が不良品の電子部品である場合、不良品収容ユニット３７は、収容体Ｔを１ピッチずつ一定回数だけ移動させる毎に、収容体Ｔの２ピッチ移動を１回挟む。梱包する電子部品を一定数毎に明示的に区分し、多数の電子部品の個々を列数と並び順番で特定容易とするためである。
【００４４】
これら良品収容ユニット３６と不良品収容ユニット３７は、テーピングユニットに限らず、他の各種の収容体を移動させるユニットであってもよい。他の収容体としては、ウェハリングＷＲやトレイ等を挙げることができる。また、良品収容ユニット３６と不良品収容ユニット３７は、同種のユニットに限らず、一方がテーピングユニットで他方がリングホルダ３３ａ等のように異種のユニットであってもよい。
【００４５】
再供給ユニット３８は、再検査を経て再分類の対象となった電子部品を梱包する収容体Ｔを保持し、その電子部品を搬送経路３ｂ上に再供給する。不良品収容ユニット３７が不良品と判定された電子部品を収容する場合、作業員が不良品収容ユニット３７から収容体Ｔを取り出し、再供給ユニット３８にセットする。また、再供給ユニット３８は、収容体Ｔの一点に撮像光学系を向けたカメラを有し、画像内において空領域の存在を確認する。電子部品が梱包されていない空領域が現れる一定数ごとのタイミングで空領域が存在せず、又は其れ以外のタイミングで空領域が存在した場合は、エラーを報知して検査分類装置３の駆動を停止させる。
【００４６】
この再供給ユニット３８は、検査予定の電子部品を収容している収容体と、再検査を経て再分類の対象となった電子部品を梱包する収容体Ｔとが同種である場合、供給装置３３と再供給装置３８の何れか一方が他方を兼ねるようにしてもよい。例えば、検査予定の電子部品の収容体がウェハリングＷＲであり、再供給ユニット３８が保持する収容体ＴもウェハリングＷＲである場合、検査予定の電子部品の分類と再検査済みの電子部品の再分類が別工程であるため、供給装置３３が再供給装置３８を兼ねることもできる。
【００４７】
再検査対象の電子部品を梱包する収容体Ｔがキャリアテープの場合、再供給ユニット３８はディテーパーである。ディテーパーは、キャリアテープからシールを剥がしつつ、キャリアテープを走行させることで、再分類する電子部品を搬送経路３ｂの直下に順次移動させる。再分類する電子部品を搬送経路３ｂの直下に移動させると、搬送テーブル３ｂの吸着ノズル３１ａが直下の電子部品を吸着し、搬送経路３ｂに沿って周回する。
【００４８】
（制御部）
制御部４は、図３に示すように、検査分類装置３の各部を制御して、検査予定の電子部品を検査及び分類させる分類モード制御部４１と、検査分類装置３の各部を制御して、再検査済みの電子部品を再分類させる再分類モード制御部４９を備える。
【００４９】
分類モード制御部４１は、供給ユニット３３の稼動、ダイレクトドライブモータ３２の間欠回転と１ピッチ毎の回転量、吸着ノズル３１ａの昇降と吸着及び離脱、観測ユニット３５ａ〜３５ｅの駆動タイミング、電子部品の姿勢ズレと補正量を導くための観測ユニット３５ａの撮像データ解析、補正量データを送信することによる観測ユニット３５ｂの制御、良品収容ユニット３６と不良品収容ユニット３７の収容体Ｔの移動タイミング、良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の１ピッチ移動又は２ピッチ移動の指令、吸着ノズル３１ａの良品収容ユニット３６直上での電子部品離脱又は不良品収容ユニット３７直上での電子部品離脱の選択及び指令を制御する。
【００５０】
再分類モード制御部４９は、再供給ユニット３８の収容体Ｔの移動量、ダイレクトドライブモータ３２の間欠回転と１ピッチ毎の回転量、吸着ノズル３１ａの昇降と吸着及び離脱、再分類する電子部品を収容する良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の収容体Ｔの移動タイミング、再分類する電子部品を収容する良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の収容体Ｔの移動量を制御する。この再分類モード制御部４９は、再検査装置２によって生成された再判定情報を制御部４の再判定情報受信部４８で受信し、その再判定情報に従って検査分類装置３を制御する。
【００５１】
すなわち、分類モード制御部４１と再分類制御部４９は、再検査予定の電子部品を収容する良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の１ピッチ移動又は２ピッチ移動を管理及び制御する収容ユニット制御部４２を一構成要素とする。
【００５２】
また、この制御部４は、電子部品の観測結果を評価し、電子部品を検査結果に応じて電子部品の収容先を良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７に決定し、決定に従って検査分類装置３を制御する。この制御部４は、観測結果受信部４３と検査部４４と識別情報生成部４５と観測結果記憶部４６と送信部４７を備える。
【００５３】
観測結果受信部４３は、主にＬＡＮアダプタやＲＳ２３２／４８５等のシリアルポートインターフェースを含み構成され、観測ユニット３５ｃ〜３５ｅから観測結果のデータである観測結果情報ｉ１を受信する。
【００５４】
検査部４４は、主にＣＰＵを含み構成され、観測結果情報ｉ１を解析して、電子部品の品質を判定し、判定の結果を示す判定情報ｉ２を生成する。判定情報ｉ２は電子部品の良品又は不良品の別を示す。判定情報ｉ２は分類モード制御部４１へ出力される。分類モード制御部４１は、判定情報ｉ２に従って、電子部品を保持する吸着ノズル３１ａの昇降及び電子部品離脱タイミングと、良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の収容体Ｔの移動を制御し、電子部品を良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７に収容させる。
【００５５】
識別情報生成部４５は、主にＣＰＵを含み構成され、図４に示すように、観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２に対して識別情報ｉ３を関連付ける。識別情報ｉ３は、観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２の主体である電子部品を識別する情報である。
【００５６】
この識別情報ｉ３は、図４に示すように、電子部品の分類後の収容先である収容体Ｔ内での位置を示す。一定数ごとに２ピッチ移動させられる収容体Ｔには、一定数ごとに空領域が存在する。空領域で挟まれる一定数の電子部品群は、一単位のロットとして認識し得る。識別情報ｉ３は、このロットナンバーである電子部品群の列数と、列の中での並び順番で構成される。
【００５７】
ここで、収容ユニット制御部４２は、再検査予定の電子部品を収容する良品収容ユニット３６又は不良品収容ユニット３７の１ピッチ移動又は２ピッチ移動を管理及び制御している。識別情報生成部４５は、収容ユニット制御部４２による電子部品の収容位置の管理及び制御に従って、電子部品の収容体Ｔ内での位置を特定し、識別情報ｉ３を生成及び関連付ける。
【００５８】
観測結果記憶部４６は、主にメモリを含み構成され、互いに関連付けられた観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を記憶する。観測結果送信部４７は、主にＬＡＮアダプタやＲＳ２３２／４８５等のシリアルポートインターフェースを含み構成され、再検査予定の電子部品の観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を再検査装置２に送信する。
【００５９】
（再検査装置）
次に、再検査装置２の詳細構成について説明する。図５は、再検査装置２の詳細を示す構成図である。図５に示すように、再検査装置２は、受信部２３と、観測結果記憶部２５と、表示部２１と、操作部２２と、再判定情報生成部２６と、送信部２４を備え、検査分類装置３から受信した観測結果情報ｉ１を再検査する。本実施形態の再検査装置２では、観測結果情報ｉ１を表示し、再検査者に観測結果情報ｉ１を目視させ、目視による再検査を支援する。
【００６０】
受信部２３は、主にＬＡＮアダプタやＲＳ２３２／４８５等のシリアルポートインターフェースを含み構成され、検査分類装置３から再検査の対象となっている電子部品の観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を受信する。観測結果記憶部２５は、主にＲＡＭを含み構成され、受信した観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を記憶する。
【００６１】
表示部２１は、主に液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等の表示スクリーンを備えるディスプレイとＣＰＵを含み構成され、観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３をＧＵＩ画面に再検査者の操作に応答して順次表示する。操作部２２は、主にマウスやタッチパネル等の入力インターフェースであり、表示部２１に表示されたＧＵＩ画面を操作する。
【００６２】
再判定情報生成部２６は、主にＣＰＵを含み構成され、操作部２２が受け付けた操作に応じて観測結果情報ｉ１に関連付けられた判定情報ｉ２を更新する。具体的には、判定情報ｉ２が示す電子部品の良品又は不良品の別を変更する。
【００６３】
送信部２４は、主にＬＡＮアダプタやＲＳ２３２／４８５等のシリアルポートインターフェースを含み構成され、検査分類装置３へ観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を返す。検査分類装置３へ返される一部の判定情報ｉ２は再判定情報生成部２６により変更されている。この送信部２４から返される観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３が検査分類装置３の再判定情報受信部４８に記憶される。
【００６４】
図６は、表示部２１のＧＵＩ画面を示す模式図である。図６に示すように、画面内には、観測結果情報ｉ１、判定情報ｉ２及び識別情報ｉ３が配置される。観測結果情報ｉ１が外観検査による画像データの場合は、画面内に電子部品の外観を写した画像を表示する。また、画面内には、判定情報ｉ２を不良品に変更するＮＧボタン２２ａ、判定情報ｉ２を良品に変更するＧＯＯＤボタン２２ｂ、画面内の観測結果情報ｉ１、判定情報ｉ２及び識別情報ｉ３を次の電子部品に変更する送りボタン２２ｃが表示される。更に、画面内には、操作部２２の操作によって画面内を移動するカーソル２２ｄが表示される。
【００６５】
再検査者は、画面内の観測結果情報ｉ１を目視し、表示中の判定情報ｉ２と異なる判定を下す場合には、ＮＧボタン２２ａ又はＧＯＯＤボタン２２ｂをカーソル２２ｄを用いて押下する。この押下を契機として、再判定情報生成部２６は、判定情報ｉ２を押下ボタンに応じた内容に更新する。また、カーソル２２ｄを用いて送りボタン２２ｃが押下されると、表示部２１は、表示中の識別情報ｉ３の次の電子部品に対応する判定情報ｉ２及び識別情報ｉ３を表示する。
【００６６】
（動作）
（分類モード動作）
以上のような電子部品検査装置１の分類モードにおける制御動作について説明する。図７は、電子部品検査装置１の分類モードの制御動作を示すフローチャートである。尚、本制御動作では、電子部品の品質基準を厳しく設定しておき、不良品収容ユニット３７の保持する収容体Ｔを再検査対象の電子部品が収容される再検査対象収容体として、この収容体Ｔに良品と不良品の電子部品が混在し得る状態を例に説明している。
【００６７】
まず、供給ユニット３３では、リングホルダ３３ａが保持するウェハリングＷＲからピックアップ装置３３ｂが電子部品を順次ピックアップする。ピックアップ装置３３ｂは間欠回転し、電子部品をピックアップした吸着ノズル３１ａを頂点に順次位置させ、向かい合わせになった搬送テーブル３ｂ側の吸着ノズル３１ａに電子部品を順次渡す。
【００６８】
搬送テーブル３ｂの吸着ノズル３１ａに保持された各電子部品は、搬送テーブル３ｂの間欠回転により、観測ユニット３５ａ及び３５ｂで姿勢を順次補正され、各観測ユニット３５ｃ〜３５ｅに順次受け渡されて、観測ユニット３５ｃ〜３５ｅにより各電子部品の観測結果情報ｉ１が順次生成される。
【００６９】
ここまでの検査分類装置３の駆動中、ステップＳ０１において、収容ユニット制御部４２は、再検査予定の電子部品が収納される列Ｎと並び順番Ｍとを１に予め初期化しておく。
【００７０】
次に、ステップＳ０２において、観測結果受信部４３は、観測ユニット３５ｃ〜３５ｅから最初に搬送された電子部品の観測結果情報ｉ１を受信する。外観検査のための観測ユニット３５ｃ〜３５ｅの場合、観測結果情報ｉ１は、電子部品の外観画像データである。電気特性検査のための観測ユニット３５ｃ〜３５ｅの場合、観測結果情報ｉ１は、電子部品の電圧値、電流値、抵抗値、周波数、又はロジック信号に対する出力信号等である。
【００７１】
観測結果情報ｉ１を受信すると、ステップＳ０３において、検査部４４は、この観測結果情報ｉ１を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する。観測結果情報ｉ１が画像データの場合、検査部４４は、画像データに対して２値化や強調処理を行い、電子部品の外形を示す線像で囲まれる領域内に傷、汚れ又は破損を示す線像が存在するかスキャンする。傷、汚れ又は破損を示す線像を構成するピクセルが一定数以上であれば、検査部４４は電子部品を不良と判定し、一定数未満であれば、検査部４４は電子部品を良品と判定する。
【００７２】
ステップＳ０４において、電子部品が良品であると判定されると（ステップＳ０４，Ｙｅｓ）、この電子部品は、吸着ノズル３１ａにより良品収容ユニット３６まで運ばれ、ステップＳ０５において、良品収容ユニット３６が保持する収容体Ｔに収容される。
【００７３】
電子部品が良品と判定されず（ステップＳ０４，Ｎｏ）、電子部品が不良品と判定されると、ステップＳ０６において、収容ユニット制御部４２は、並び順番Ｍが最大値であるか判定する。収容ユニット制御部４２は、並び順番Ｍの最大値を予め記憶している。この並び順番Ｍの最大値は、再検査予定の電子部品の各ロットに含まれる個数に相当する。
【００７４】
並び順番Ｍが最大値でなければ（ステップＳ０６，Ｎｏ）、ステップＳ０７において、不良品収容ユニット３７は、収容ユニット制御部４２の制御により、保持している収容体Ｔを１ピッチ移動させる。すなわち、電子部品が収容されない空領域を作出しない。そして、収容ユニット制御部４２は、ステップＳ０８において、並び順番Ｍを１インクリメントする。
【００７５】
一方、並び順番Ｍが最大値であれば（ステップＳ０６，Ｙｅｓ）、ステップＳ０９において、不良品収容ユニット３７は、収容ユニット制御部４２の制御により、保持している収容体Ｔを２ピッチ移動させる。すなわち、電子部品が収容されない空領域を作出する。そして、収容ユニット制御部４２は、ステップＳ１０において、列Ｎを１インクリメントし、並び順番Ｍを１に初期化する。
【００７６】
そして、ステップＳ１１において、分類モード制御部４１は、不良品と判定された電子部品を不良品収容ユニット３７の直上に位置させ、吸着ノズル３１ａに電子部品を離脱させることで、電子部品を空領域に収容させる。
【００７７】
また、ステップＳ１２において、識別情報生成部４５は、収容した電子部品の収容位置を示す識別情報ｉ３を生成する。すなわち、識別情報生成部４５は、収容ユニット制御部４２がステップＳ０８及びＳ１０でカウントした列Ｎ及び並び順番Ｍの数値情報を取得し、その列Ｎ及び並び順番Ｍの数値情報を識別情報ｉ３とする。そして、ステップＳ１３において、観測結果記憶部４６は、不良品収容ユニット３７に収容した電子部品の観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３とを関連付けて記憶する。
【００７８】
この検査及び分類が全電子部品について終了していなければ（ステップＳ１４，Ｎｏ）、ステップＳ０２に戻り、各電子部品について観測結果情報ｉ１を取得し、良品と不良品の別を判定し、不良品の場合には収容位置を決定しながら、不良品と判定された電子部品の資料情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３とを関連付けていく。
【００７９】
（再検査動作）
図８は、電子部品検査装置１の再検査の動作を示すフローチャートである。再検査は、分類モードの終了後の次工程で行われる。再検査装置２は、ステップＳ２１において、観測結果受信部４３は、検査分類装置３から互いに関連付けられた観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を受信する。これら情報の送受信タイミングに特に限定はないが、例えば、検査分類装置３が収容体Ｔに収まりきる全電子部品の検査及び分類を終えた後、検査分類装置３が再検査装置２へ送信するようにしてもよい。また、検査分類装置３を再検査者が操作して、その操作に応答して検査分類装置３へ情報の送信を要求し、その要求に応答して検査分類装置３から再検査装置２へ送信するようにしてもよい。
【００８０】
観測結果情報ｉ１等を受信すると、ステップＳ２２において、表示部２１は、互いに関連付けられた観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３をＧＵＩ画面に表示する。このＧＵＩ画面には、判定情報ｉ２を不良品に変更するＮＧボタン２２ａ、判定情報ｉ２を良品に変更するＧＯＯＤボタン２２ｂ、画面内の観測結果情報ｉ１、判定情報ｉ２及び識別情報ｉ３を次の電子部品に変更する送りボタン２２ｃも表示する。
【００８１】
再検査者が観測結果情報ｉ１を目視して電子部品を再検査し、ステップＳ２３において良品と判定するＧＯＯＤボタン２２ｂを押下し（ステップＳ２３，Ｙｅｓ）、又はステップＳ２４において不良品と判定するＮＧボタン２２ａを押下すると（ステップＳ２４，Ｙｅｓ）、ステップＳ２５において、再判定情報生成部２６は、そのボタン押下に応答し、表示中の電子部品の判定情報ｉ２をボタン押下に対応した良品又は不良品の情報に更新する。
【００８２】
そして、再検査対象の全ての電子部品につき、目視による再検査が終了すると、送信部２４は、観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２と識別情報ｉ３を検査分類装置３へ送信する。この判定情報ｉ２には再検査の結果が反映されている。送信タイミングは、再検査の終了を示す操作を再検査者が入力したことを契機とし、又は検査分類装置３の再分類の稼動が開始される際に検査分類装置３が要求したことを契機としてもよい。
【００８３】
（再分類モード動作）
図９は、電子部品検査装置１の再分類モードの制御動作における電子部品の再供給を示すフローチャートである。尚、本制御動作では、電子部品の品質基準を厳しめに設定しておき、不良品収容ユニット３７の保持する収容体Ｔを再検査対象収容体として、この収容体Ｔに良品と不良品の電子部品が混在し得る状態を例に説明している。また、再供給ユニット３８が備えるカメラは、吸着ノズル３１ａが電子部品をピックアップする位置の１つ手前のポジションを撮像するように配置されているものとする。
【００８４】
この再分類モードは、分類モードの動作と再検査を経て次工程で行われる。まず、作業者は、ステップＳ３１において、不良品収容ユニット３７から不良品と判定された電子部品が梱包された収容体Ｔを取り出し、再供給ユニット３８にセットする。また、再分類モード制御部４９は、ステップＳ３２において、再分類予定の電子部品の列Ｎと並び順番Ｍとを１に予め初期化しておく。
【００８５】
そして、再供給ユニット３８は、ディテーパーの場合、収容体Ｔから封止シールを剥がしながら、Ｎ列Ｍ番目の電子部品を吸着ノズル３１ａの直下に移動させる。再分類モード制御部４９は、ステップＳ３３において、吸着ノズル３１ａを制御してＮ列Ｍ番目の電子部品をピックアップさせ、搬送経路３ｂに沿って搬送させる。
【００８６】
再分類モード制御部４９は、ステップＳ３４において、再供給ユニット３８が有するカメラの画像を確認し、空領域が存在しているか判定する。空領域の存在は、例えばカメラの画像を２値化及び強調処理し、空領域の内部に電子部品の外形線が存在するか解析すればよい。
【００８７】
カメラの画像に空領域が存在しておらず（ステップＳ３４，Ｎｏ）、Ｍが最大値でなければ（ステップＳ３５，Ｎｏ）、再分類モード制御部４９は、ステップＳ３６において、収容体Ｔを１ピッチ移動させるとともに、ステップＳ３７において、Ｍを１インクリメントし、電子部品のピックアップが終了するまで（ステップＳ４１，Ｙｅｓ）、Ｎ列Ｍ番目の電子部品のピックアップ及び搬送を繰り返す。Ｍが最大値でなければ、その隣の空領域検出位置には、空領域が存在しないのが正常だからである。
【００８８】
カメラの画像に空領域が存在し（ステップＳ３４，Ｙｅｓ）、Ｍが最大値である場合には（ステップＳ３８，Ｙｅｓ）、再分類モード制御部４９は、ステップＳ３９において、収容体Ｔを２ピッチ移動させるとともに、ステップＳ４０において、Ｎを１インクリメントするとともにＭを１に初期化し、電子部品のピックアップが終了するまで（ステップＳ４１，Ｙｅｓ）、Ｎ列Ｍ番目の電子部品のピックアップ及び搬送を繰り返す。Ｍが最大値である場合、その隣の空領域検出位置には、空領域が存在するのが正常だからであり、空領域を通過して次のロットの電子部品をピックアップするために２ピッチ移動させているものである。
【００８９】
一方、カメラの画像に空領域が存在していないが（ステップＳ３４，Ｎｏ）、Ｍが最大値である場合（ステップＳ３５，Ｙｅｓ）、又はカメラの画像に空領域が存在しているが（ステップＳ３４，Ｙｅｓ）、Ｍが最大値でない場合（ステップＳ３８，Ｎｏ）、再分類モード制御部４９は、ステップＳ４２において、収容体Ｔの移動に機械的なエラーがあったことを報知して、検査分類装置３の駆動を停止させる。
【００９０】
すなわち、電子部品は、Ｍ個ずつの一群となって連続的に梱包されており、その一群は空領域に挟まれているはずである。Ｍが最大となったときには、カメラには空領域が映っているはずであり、空領域の不存在は、収容体Ｔの移動に機械的なミスがあったものと推定できる。また、Ｍが最大でないときには一群の電子部品が続いており空領域が映っていないはずであり、空領域の存在は、収容体Ｔの移動に機械的なミスがあったものと推定できる。
【００９１】
報知は、検査分類装置３に警報機やパトランプを備え、これら機器を作動させてもよいし、検査分類装置３が備えるディスプレイに表示してもよいし、検査分類装置３とネットワークを介して接続される監視用のコンピュータのディスプレイに表示するようにしてもよい。
【００９２】
次に、電子部品検査装置１の再分類モードの制御動作における電子部品の再分類を説明する。図１０は、電子部品検査装置１の再分類モードの制御動作における電子部品の再分類を示すフローチャートである。本制御動作では、電子部品の品質基準を厳しめに設定しておき、不良品収容ユニット３７に良品と不良品の電子部品が混在し得る状態を例に説明している。
【００９３】
最初の検査で不良品と判定された電子部品の収容体Ｔが再供給ユニット３８にセットされ、Ｎ列Ｍ番目の電子部品のピックアップ及び搬送がなされて以降、電子部品の再供給のための空領域チェック動作と並行する動作である。すなわち、ステップＳ５１において、最初の検査で不良品と判定された電子部品の収容体Ｔを再供給ユニット３８にセットし、ステップＳ５２において、Ｎ列Ｍ番目の電子部品をピックアップ及び搬送させる。尚、不良品収容ユニット３７には、再検査により不良品と判定された電子部品を梱包するための新しい収容体Ｔをセットしておく。
【００９４】
そして、ステップＳ５３において、再分類モード制御部４９は、Ｎ列Ｍ番目の電子部品が良品収容ユニット３６に到達すると、Ｎ列Ｍ番目の電子部品を再検査により良品か判定する。具体的には、再分類モード制御部４９は、再判定情報受信部４８を介して受信したＮ列Ｍ番目の識別情報ｉ３に関連付けられた判定情報ｉ２を読み込み、判定情報ｉ２が良品を示すか判定する。
【００９５】
判定の結果、Ｎ列Ｍ番の電子部品が再検査により良品であると（ステップＳ５４，Ｙｅｓ）、ステップＳ５５において、再分類モード制御部４９は、良品収容ユニット３６の収容体ＴにＮ列Ｍ番の電子部品を梱包させる。
【００９６】
すなわち、吸着ノズル３１ａを良品収容ユニット３６に向けて降下させる。良品収容ユニット３６は、収容体Ｔを移動させ、吸着ノズル３１ａの直下に空領域を用意しておく。降下した吸着ノズル３１ａは、保持していたＮ列Ｍ番目の電子部品を空領域に向けて離脱させる。
【００９７】
一方、判定の結果、Ｎ列Ｍ番の電子部品が再検査により不良品であると（ステップＳ５４，Ｎｏ）、再分類モード制御部４９は、良品収容ユニット３６では、電子部品を離脱させず、そのまま搬送経路３ｂを更に搬送させる。そして、ステップＳ５６において、再検査により不良品と判定されたＮ列Ｍ番目の電子部品が不良品収容ユニット３７に到達すると（ステップＳ５６，Ｙｅｓ）、ステップＳ５７において、再分類モード制御部４９は、不良品収容ユニット３７の収容体ＴにＮ列Ｍ番の電子部品を梱包させる。
【００９８】
すなわち、吸着ノズル３１ａを不良品収容ユニット３７に向けて降下させる。不良品収容ユニット３７は、収容体Ｔを移動させ、吸着ノズル３１ａの直下に空領域を用意しておく。降下した吸着ノズル３１ａは、保持していたＮ列Ｍ番目の電子部品を空領域に向けて離脱させる。
【００９９】
（作用効果）
この電子部品検査装置１は、電子部品を観測する観測ユニット３５ａ〜３５ｅと、観測ユニット３５ａ〜３５ｅの観測結果情報ｉ１を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する検査部４４と、検査部４４の判定情報ｉ２に基づいて電子部品を良品用と不良品用の各収容体Ｔの何れかに分類する第１の分類手段とを備えている。第１の分類手段は、本実施形態において、搬送テーブル３１と吸着ノズル３１ａによりなる。
【０１００】
また、再検査対象収容体に収容された電子部品の当該収容体内での位置を示す識別情報ｉ３を生成する識別情報生成部４５を備え、電子部品の観測結果情報ｉ１と当該電子部品の位置を示す識別情報ｉ３を関連付けて観測結果記憶部４６に記憶する。
【０１０１】
更に、観測結果情報ｉ１から再検査対象収容体に収容された電子部品の良品と不良品の別を再判定するための再検査装置２を備え、再判定情報生成部２６により観測結果情報ｉ１に関連付けられた識別情報ｉ３に再判定の結果を更に関連付ける。再判定の結果は、判定情報ｉ２を更新することで関連づける。
【０１０２】
そして、第２の分類手段により、再検査装置２の再判定結果に基づき、当該再判定結果に関連付けられた識別情報ｉ３が示す位置の電子部品を良品用又は不良品用の収容体Ｔの何れかに再分類するようにした。第２の分類手段は、本実施形態では第１の分類手段と共通の機器であり、検査分類装置３の搬送テーブル３１と吸着ノズル３ａである。
【０１０３】
この電子部品検査装置１によれば、図１１に示すように、電子部品の収容体Ｔ上の位置を示す識別情報ｉ３を介して検査済みの電子部品Ｄと其の観測結果情報ｉ１とが結びつけられる。そのため、この観測結果情報ｉ１を用いて再検査を行い、その再検査により良否が再判定された電子部品Ｄを特定することができる。従って、観測結果情報ｉ１を利用して再検査し、その結果に応じた電子部品Ｄへの処置が可能となる。この再検査処理が可能となることにより、新たな観測結果情報ｉ１の取得処理を行うことなく、精度良く電子部品Ｄの良品と不良品とを再検査できる。
【０１０４】
例えば、搬送開始からＫ番目に整列する電子部品は、観測ユニット３５ａ〜３５ｅによってＫ番目に観測される。そして、この観測によりＫ番目という整列番号が付帯した観測結果情報ｉ１が発生し、このＫ番目の電子部品に対して観測結果情報ｉ１を解析することで良品又は不良品の別が判定される。
【０１０５】
ここでＫ番目の観測結果情報ｉ１の判定以前に、Ｍａ個（ロット内の電子部品の最大数≧Ｍａ＋１）の不良品が発生したものとする。この場合、不良品発生のカウントによりＭａという値は予め記憶されており、Ｋ番目の観測結果情報ｉ１の解析による不良品との判定がなされると、Ｍａを１インクリメントしたＭａ＋１という識別情報ｉ３が発生する。そして、Ｋ番目の観測結果情報ｉ１に対して、不良品を示す判定情報ｉ２と、新たに発生したＭａ＋１という識別情報ｉ３が関連づけられて記憶される。
【０１０６】
この判定処理の間、Ｋ番目に整列する電子部品は、Ｋ番目に良品収容ユニット３７に到達するが、Ｋ番目という整列番号が付帯した観測結果情報ｉ１に関連づけられた判定情報ｉ２が不良品を示すので、そのまま通過し、不良品収容ユニット３８の収容体Ｔに収容される。
【０１０７】
このとき、連続する収容領域に既にＭａ個の電子部品が収容されており、このＫ番目の電子部品は、識別情報ｉ３と同じＭａ＋１番目の収容領域に収容されることとなる。従って、識別情報ｉ３と収容体Ｔ内での位置とが一致し、識別情報ｉ３を介して収容体Ｔ内での位置と観測結果情報ｉ１と判定情報ｉ２とが紐付けられる。
【０１０８】
そのため、収容体Ｔ内に収容されている何れの電子部品に関する観測結果情報ｉ１を再判定しているのか特定でき、再判定の結果に応じて其の電子部品を再分類することが可能となる。
【０１０９】
また、少なくとも再検査対象収容体は、キャリアテープ等のように電子部品を収容する収容領域を複数有する。第１の分類手段は、連続する収容領域に一定数の電子部品を連続して充填し、電子部品を充填した連続領域の隣の一領域を空の収容領域のままとした。
【０１１０】
すなわち、収容体Ｔは、電子部品の並び順番Ｍが最大値であるか否かによって、次の電子部品の収容のために１ピッチ移動又は２ピッチ移動する。そのため、収容体Ｔには、図１１に示すように、一定数の電子部品Ｄが各収容領域Ｐに連続して並び、一定数の電子部品群同士の間に一個分の空領域Ｐａが配置されることとなる。
【０１１１】
この空領域Ｐａは収容体Ｔの機械的な送りミスを検出する目印として機能する。再分類のために電子部品を搬送経路３ｂへ再供給する際、再供給ユニット３８が備えるカメラが送りミス検出手段として機能して、一定数ごとに空領域Ｐａが存在しなければ、または一定数以外で空領域Ｐａが存在すれば、収容体Ｔの移動に機械的なミスが発生したことを検出できる。そのため、再検査により良品と判定した電子部品を不良品用の収容体Ｔに収容し、再検査により不良品と判定した電子部品を良品用の収容体Ｔに収容してしまうといったズレ発生を防ぐことが可能となる。送りミスが発生した場合には、制御部４は、再分類を中止すればよい。
【０１１２】
例えば、電子部品を搬送経路３ｂに再供給するポジションのｋ個前のポジションに存在する収容領域を撮像するカメラを設置したものとし、一定数をＣとする。このとき、再供給ユニット３８において、空領域Ｐａを前回検出してからＣピッチの収容体Ｔの移動により、再びカメラの撮影ポジションには空領域Ｐａが存在するはずであり、それ以外のタイミングでは、空領域Ｐａは撮像されないはずである。
【０１１３】
しかしながらＣピッチの移動以外で空領域Ｐａが撮像されたり、Ｃピッチの移動で空領域Ｐａが撮像されなかったりした場合、再供給ユニット３８は規定通りの収容体Ｔの移動に失敗して、移動ズレが生じている。この移動ズレは、電子部品の並び順によって良品と不良品を区別していた制御態様において、良品を不良品として再分類し、不良品を良品として再分類してしまう事態につながるため、ただちに再分類を中止する。
【０１１４】
（第２の実施形態）
次に第２の実施形態に係る電子部品検査装置１について図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、第１の実施形態と同一構成、同一機能については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【０１１５】
図１２は、第２の実施形態に係る電子部品検査装置１の制御部４の構成を示すブロック図である。図１２に示すように、電子部品検査装置１において制御部４は、リングホルダ制御部５０を備える。リングホルダ制御部５０は、リングホルダ３３ａの駆動を制御して、搬送経路３ｂに電子部品を供給させる。具体的には、供給する電子部品を指定し、指定する電子部品を搬送経路３ｂに供給するようにリングホルダ３３ａによるウェハリングＷＲの平面移動の各次元方向の移動量と突き上げピンによる電子部品の突き上げタイミングを制御している。
【０１１６】
供給する電子部品は、ウェハリングＷＲ上の電子部品の並び位置で指定する。並び位置は、図１３に示すように行列で指定される。すなわち、ウェハリングＷＲ上にはマッピング処理によって電子部品が行列によって特定されている。
【０１１７】
識別情報生成部４５は、図１４に示すように、この電子部品のウェハリングＷＲ上の位置を行列で示されるダイシングライン情報ｉ４を観測結果情報ｉ１、判定情報ｉ２及び識別情報ｉ３に更に関連づける。
【０１１８】
例えば、分類モード制御部４１は、搬送経路３ｂに整列搬送する各電子部品を搬送順にダイシングライン情報ｉ４によって特定しておき、観測結果情報ｉ１の検査部４４への入力タイミングに同期して、順番にダイシングライン情報ｉ４を渡していく。つまり、検査部４４では、ダイシングライン情報ｉ４と観測結果情報ｉ１とが関連づけられていることとなる。識別情報生成部４５は、その関連づけがされたダイシングライン情報ｉ４と観測結果情報ｉ１と判定結果情報ｉ２とが互いに関連づけられた状態で入手する。
【０１１９】
再検査装置２は、互いに関連づけられたダイシングライン情報ｉ４と観測結果情報ｉ１と判定結果情報ｉ２と識別情報ｉ３を受信する。図１５は、この再検査装置２の表示部２１が表示するＧＵＩ画面を示す模式図である。表示部２１は、このＧＵＩ画面に、ボタン２２ｅ、ボタン２２ｆ及びボタン２２ｇを更に配置する。
【０１２０】
ボタン２２ｅは、同一ダイシングラインを閲覧する操作を受け付ける。表示部２１は、このボタン２２ｅが押下された後、送りボタン２２ｃが押下されると、現在表示している電子部品と同一ダイシングラインに並んだ電子部品を表示する。
【０１２１】
具体的には、現在表示している観測結果情報ｉ１に関連づけられたダイシングライン情報ｉ４と行又は列が同一のダイシングライン情報ｉ４を観測情報記憶部２５から検索し、該当のダイシングライン情報ｉ４とこれに関連づけられた観測結果情報ｉ１と判定結果情報ｉ２と識別情報ｉ３をキューにストックする。そして、送りボタン２２ｃが押下されると、そのキューから互いに関連づけられた観測結果情報ｉ１と判定結果情報ｉ２と識別情報ｉ３を順次表示する。
【０１２２】
ボタン２２ｆは、同一行のダイシングラインに関する判定情報ｉ２を全て不良品に変更する操作を受け付ける。再判定情報生成部２６は、このボタン２２ｆが押下されると、現在表示している電子部品と同一行のダイシングラインに並んだ電子部品について全て不良品と判定する。
【０１２３】
具体的には、現在表示している観測結果情報ｉ１に関連づけられたダイシングライン情報ｉ４の行と同一のダイシングライン情報ｉ４を観測情報記憶部２５又はキューから検索し、該当のダイシングライン情報ｉ４に関連づけられた判定結果情報ｉ２を不良品の判定に変更する。
【０１２４】
ボタン２２ｇは、同一列のダイシングラインに関する判定情報ｉ２を全て良品に変更する操作を受け付ける。再判定情報生成部２６は、このボタン２２ｇが押下されると、現在表示している電子部品と同一列のダイシングラインに並んだ電子部品について全て不良品と判定する。
【０１２５】
具体的には、現在表示している観測結果情報ｉ１に関連づけられたダイシングライン情報ｉ４の列と同一のダイシングライン情報ｉ４を観測情報記憶部２５又はキューから検索し、該当のダイシングライン情報ｉ４に関連づけられた判定結果情報ｉ２を不良品の判定に変更する。
【０１２６】
このように、この電子部品検査装置１において識別情報生成部４５は、識別情報ｉ３に電子部品のウェハリングＷＲ上の行列位置を示すダイシングライン情報ｉ４を更に関連づけるようにした。ウェハリングＷＲが有するウェハは、行列方向にダイシングされ、ダイシングの際の不具合は同一ダイシングラインに波及することが多い。
【０１２７】
そのため、再検査装置３の再判定情報生成部２６は、ダイシングライン情報ｉ４に基づき、良品又は不良品と再判定した電子部品とウェハリングＷＲ上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品を同一の品質と再判定するようにした。これにより、再検査に要する時間を大幅に短縮できる。特に、観測結果情報ｉ１を目視にて確認し、再検査者の手作業により判定情報ｉ２を変更する場合、再検査に要する時間を飛躍的に短縮でき、再検査者の労力削減となるとともに、再検査者の注意力散漫による誤判定を低減できる。
【０１２８】
また、表示部２１が、表示中の電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品の観測結果情報ｉ１を連続して表示するようにしても、ダイシングラインの区別なく、電子部品を観測結果情報ｉ１の目視により順次再検査するのに比べれば、大幅な時間短縮及び労力削減となる。
【０１２９】
（その他の実施形態）
以上、各実施形態を例として説明したが、電子部品検査装置１は、電子部品の検査及び再検査の結果に応じて電子部品を良品と不良品に分類及び再分類し、再検査の際には、電子部品の検査時に取得した観測結果を異なる観点、手法又は精度で解析し、再検査結果を導くものであれば、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【０１３０】
例えば、保持手段として吸着ノズル３１ａを例に採り説明したが、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品を機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、搬送テーブル３１は環状方式を例に採り説明したが、直線搬送方式であってもよい。そもそも、搬送テーブル３１に保持手段を取り付けることなく、多関節のアームに保持手段を取り付け、アームの稼働により保持手段を供給ユニット３３から各収容体Tに移動させるようにしてもよい。
【０１３１】
また、分類手段は、検査に応じた分類と再検査に応じた再分類とにおいて共通の搬送テーブル３１と吸着ノズル３１ａとしたが、分類と再分類とに応じて搬送経路を変えるようにしてもよい。
【０１３２】
また、収容体Ｔは、キャリアテープに限らず、平面上に収容領域をアレイ状に並べたトレイであってもよいし、ウェハリングＷＲであってもよい。
【０１３３】
更に、搬送経路３ｂ上に並ぶ観察ユニットは単一種に限らず、複数の異種の検査項目のユニットを並べるようにしてもよく、異種の検査項目を総合して良品及び不良品の別を判定するようにしてもよい。
【０１３４】
また、本実施形態では、検査と異なる手法である目視によって再検査を行ったが、観察結果情報ｉ１を異なる解析手法でコンピュータ解析するようにして人手に依らず再判定するようにしてもよく、検査時の解析よりも詳細で精密な同一解析手法でコンピュータ解析するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１３５】
１  電子部品検査装置
２  再検査装置
２１  表示部
２２  操作部
２３  受信部
２４  送信部
２５  観測結果記憶部
２６  再判定情報生成部
３  検査分類装置
３ａ  架台
３ｂ  搬送経路
３１  搬送テーブル
３１ａ  吸着ノズル
３２  ダイレクトドライブモータ
３３  供給ユニット
３３ａ  リングホルダ
３３ｂ  ピックアップ装置
３５ａ〜３５ｅ  観測ユニット
３６  良品収容ユニット
３７  不良品収容ユニット
３８  再供給ユニット
３９  強制排出ビン
４  制御部
４１  分類モード制御部
４２  収容ユニット制御部
４３  観測結果受信部
４４  検査部
４５  識別情報生成部
４６  観測結果記憶部
４７  観測結果送信部
４８  再判定情報受信部
４９  再分類モード制御部
５０  リングホルダ制御部
ｉ１  観測結果情報
ｉ２  判定情報
ｉ３  識別情報
ｉ４  ダイシングライン情報
【要約】
電子部品を検査及び分類した後に、その検査結果を用いて再検査及び再分類することができ、オーバーキル率の低下又は品質のバラツキを抑制できる電子部品検査装置を提供する。電子部品の観測結果情報ｉ１を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定し、判定情報ｉ２に基づいて電子部品を品質別の収容体に分類する。このとき、電子部品の分類先である収容体内での位置を示す識別情報ｉ３を生成し、観測結果情報ｉ１と当該電子部品の位置を示す識別情報ｉ３を関連付けておく。観測結果情報ｉ１に基づき電子部品の品質を再判定し、その観測結果情報ｉ１に関連付けられた識別情報ｉ３に再判定の結果を更に関連付ける。そして、再判定の結果に基づき、識別情報ｉ３が示す位置の電子部品を品質別の収容体に再分類する。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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