(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＶＯＣを含む処理対象ガスが通流する処理対象ガス通流路を内部に有するＶＯＣ除害炉と、
前記処理対象ガス通流路において前記処理対象ガスの通流方向に互いに離間して配設された一対の蓄熱材と、
前記処理対象ガス通流路における、前記一対の蓄熱材の間に配設されたヒータと、
前記ＶＯＣ除害炉における、前記処理対象ガス通流路の両端部のそれぞれを臨む位置にそれぞれ設けられた一対の処理対象ガス導入孔および一対の処理対象ガス排出孔と、
前記両処理対象ガス導入孔にそれぞれ接続された一対の処理対象ガス導入管と、
前記両処理対象ガス排出孔にそれぞれ接続された一対の処理対象ガス排出管と、
前記両処理対象ガス排出管にそれぞれ取り付けられた一対のＶＯＣ吸着材と、
前記両処理対象ガス排出管の前記ＶＯＣ吸着材よりも下流側にそれぞれ接続された一対の空気導入管と、
前記両処理対象ガス導入管にそれぞれ取り付けられ、いずれか一方の前記処理対象ガス導入管が閉じられた状態を交互に繰り返す一対の処理対象ガス導入管用バルブと、
前記両処理対象ガス排出管における、前記空気導入管よりも下流側にそれぞれ取り付けられ、前記処理対象ガス通流路の同じ端部側に取り付けられた前記処理対象ガス導入管用バルブとは逆の開閉状態を繰り返す一対の処理対象ガス排出管用バルブと、
前記両空気導入管にそれぞれ取り付けられ、同じ前記処理対象ガス排出管に取り付けられた前記処理対象ガス排出管用バルブとは逆の開閉状態を繰り返す一対の空気導入管用バルブとを備えていることを特徴とするＶＯＣ除害装置。
【請求項２】
前記両処理対象ガス排出管にそれぞれ接続されており、前記両ＶＯＣ吸着材をバイパスする一対のバイパス管と、
前記両バイパス管にそれぞれ取り付けられた一対のバイパスバルブと、
前記両バイパス管によるバイパス区間の前記両処理対象ガス排出管にそれぞれ取り付けられた一対の処理対象ガス排出管閉止バルブとを更に備えており、
前記バイパスバルブおよび前記処理対象ガス排出管閉止バルブが閉じた状態で、前記処理対象ガス排出管用バルブが開状態になると同時に前記処理対象ガス排出管閉止バルブも開状態となり、所定量の前記処理対象ガス通流路内の処理対象ガスが前記ＶＯＣ吸着材を通過した後で前記処理対象ガス排出管閉止バルブが閉じ られるとともに前記バイパスバルブが開状態となり、前記処理対象ガス排出管用バルブが閉まると同時に前記バイパスバルブも閉じられるようになっていること を特徴とする請求項１に記載のＶＯＣ除害装置。
【請求項３】
前記両処理対象ガス排出管において前記ＶＯＣ吸着材よりも下流側に接続され、高温空気を導入する一対の高温空気導入管と、
前記両高温空気導入管に取り付けられ、前記空気を高温に加熱する一対の空気加熱ヒータと、
前記高温空気導入管に取り付けられた高温空気用バルブとを更に備えており、
同じ前記処理対象ガス排出管に取り付けられた前記処理対象ガス排出管用バルブが開いているときにおいて前記空気導入管用バルブおよび前記高温空気用バルブは閉じられており、前記処理対象ガス排出管用バルブが閉じられると、前記高温空気用バルブが開き、その後、前記高温空気用バルブが閉じるとともに前記空気導入管用バルブが開くようになっていることを特徴とする請求項１または２に記載のＶＯＣ除害装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理対象ガスに含まれているホルムアルデヒド、トルエン、フロン類、ベンゼン、クロロメタンおよびシクロヘキサン等の揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を除去する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホルムアルデヒド、トルエン、フロン類、ベンゼン、ジクロロメタンおよびシクロヘキサンなどの揮発性有機化合物（=Volatile Organic Compounds、以下、「ＶＯＣ」という。）は、洗浄剤や溶剤、あるいは燃料として幅広く利用されている一方で、例えばシックハウス症候群などの健康障害を引き起こす原因となることから、空気中のＶＯＣを除去するためのＶＯＣ除去装置が開発されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
特許文献１のロータリー式ＶＯＣ除去装置１は、図６に示すように、ケーシング２と、仕切板３と、処理対象ガス通流路４と、再生ガス通流路５と、処理対象ガスＦに含まれたＶＯＣを吸着する円柱状のＶＯＣ吸着ロータ７とで構成されている。
【０００４】
ケーシング２は、ＶＯＣ吸着ロータ７が回転可能に嵌め込まれ、処理対象ガス通流路４と、再生ガス通流路５の一部を構成する内部空間９を有しており、該内部空間９にＶＯＣ吸着ロータ７が嵌め込まれたとき、ＶＯＣ吸着ロータ７の両側端とケーシング２の内壁との間に小空間９ａ、９ｂが形成される。
【０００５】
仕切板３は、小空間９ａ、９ｂにそれぞれ配置され、小空間９ａ、９ｂを周方向に仕切る板材である。仕切板３により、小空間９ａは個別空間９ａ１および９ａ２に仕切られ、また、小空間９ｂも個別空間９ｂ１および９ｂ２に仕切られている。個別空間９ａ１、９ｂ１および個別空間９ａ１、９ｂ１を臨むＶＯＣ吸着ロータ７における通流孔８の内部空間で、処理対象ガスＦを通流させる処理対象ガス通流路４が構成され、また、個別空間９ａ２、９ｂ２および個別空間９ａ２、９ｂ２を臨むＶＯＣ吸着ロータ７における通流孔８の内部空間で、水蒸気が添加された再生ガスＨを通流させる再生ガス通流路５が構成されている。
【０００６】
ＶＯＣ吸着ロータ７は、ケーシング２の内部空間９において、その中心軸６を中心として回転可能に収容されており、また、中心軸６の軸線方向に多数の通流孔８が形成されている。これにより、ＶＯＣ吸着ロータ７が回転すると、ＶＯＣ吸着ロータ７の各通流孔８は、処理対象ガス通流路４に位置する状態と再生ガス通流路５に位置する状態とを繰り返すことになり、ある通流孔８が処理対象ガス通流路４に位置しているとき、当該通流孔８には処理対象ガスＦが通流し、ＶＯＣ吸着ロータ７が回転して当該通流孔８が再生ガス通流路５に移動したとき、当該通流孔８には再生ガスＨが通流する。
【０００７】
このＶＯＣ除去装置１によれば、処理対象ガスＦがＶＯＣ吸着ロータ７の通流孔８を通流する際、処理対象ガスＦに含まれたＶＯＣが通流孔８の壁面で吸着・捕集されるので、通流孔８から出てくる処理対象ガスＦ’中のＶＯＣ濃度を低減することができる。
【０００８】
続いて、ＶＯＣが吸着された通流孔８が再生ガス通流路５に移動すると、今度は、水蒸気を含む再生ガスＨが当該通流孔８を通流し、通流孔８の壁面に吸着されたＶＯＣは再生ガスＨからの熱によって再び分離され、再生ガスＨ’とともに通流孔８から排出される。
【０００９】
このようにＶＯＣを吸着した通流孔８のＶＯＣ吸着能力は、再生ガスＨが通流することによって再生される。そして、ＶＯＣ吸着能力が再生された通流孔８は、ＶＯＣ吸着ロータ７が回転することによって再び処理対象ガス通流路４に移動し、処理対象ガスＦ中のＶＯＣの吸着除去を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−２３９１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に記載されているようなロータリー式ＶＯＣ除去装置１では、ＶＯＣの除去効率をいくら改善したとしても９５％程度が限界であり、以前に比べて更に高い環境基準（ほぼ１００％の除去効率）を要求する最近の顧客要望には応えることができなかった。
【００１２】
何故ならば、ロータリー式ＶＯＣ除去装置１の場合、ＶＯＣ吸着ロータ７は常時回転しているので、機械的見地から処理対象ガスＦや再生ガスＨとの接触時間に関係してＶＯＣの脱着に直接影響を与えるＶＯＣ吸着ロータ７の幅には自ずと制限があること、処理対象ガス通流路４と再生ガス通流路５との間を仕切る仕切板３ａ、３ｂの端面を、円柱状のＶＯＣ吸着ロータ７の前後の摺接面に対して気密的に接触させることができず、当該仕切板３ａ、３ｂの端面と、ＶＯＣ吸着ロータ７の前後の摺接面との隙間ＸからＶＯＣを含む処理対象ガスＦがリーク（図中Ｚ）してしまうこと（特に、個別空間９ｂ側において、僅かであるがＶＯＣを含む再生ガスＨが処理済の低ＶＯＣ処理対象ガスＦ’に混入すること、）、および個別空間９ａ、９ｂの仕切板３ａ、３ｂの位置をＶＯＣ吸着ロータ７の回転速度に合わせてねじれた位置に配置したとしても特に仕切板３ａ側の境界近傍で、ＶＯＣを多量に含む再生ガスＨの極く一部が処理済の低ＶＯＣ処理対象ガスＦ’側の領域に移行してしまい、処理済の処理対象ガスＦ’のＶＯＣ濃度を上げる原因となるからである。
【００１３】
なお、前記リークに対して、仕切板３ａ、３ｂの端面に、可撓性のあるエラストマー（ゴム弾性体）を取り付けるとともに、当該エラストマーをＶＯＣ吸着ロータ７の摺接面に接するように配置し、上述した隙間を埋めることによってリークＺを低減することも考えられるが、この場合、リークＺの問題にはある程度対応できるようになるものの、再生ガスＨによるＶＯＣ吸着効率を高めるために再生ガスＨの温度を高める必要があることから、エラストマーの耐熱性が問題となり現実的でない。
【００１４】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みて開発されたものである。それ故に本発明の主たる課題は、ＶＯＣの除去効率を極大化してほぼ１００％の除去率を達成することが出来るＶＯＣ除害装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載した発明は、
「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦが通流する処理対象ガス通流路２８を内部に有するＶＯＣ除害炉１２と、
前記処理対象ガス通流路２８において前記処理対象ガスＦの通流方向に互いに離間して配設された一対の蓄熱材３２と、
前記処理対象ガス通流路２８における、前記一対の蓄熱材３２の間に配設されたヒータ３４と、
前記ＶＯＣ除害炉１２における、前記処理対象ガス通流路２８の両端部４２、４４のそれぞれを臨む位置にそれぞれ設けられた一対の処理対象ガス導入孔３６および一対の処理対象ガス排出孔３８と、
前記両処理対象ガス導入孔３６にそれぞれ接続された一対の処理対象ガス導入管１４と、
前記両処理対象ガス排出孔３８にそれぞれ接続された一対の処理対象ガス排出管１６と、
前記両処理対象ガス排出管１６にそれぞれ取り付けられた一対のＶＯＣ吸着材１８と、
前記両処理対象ガス排出管１６の前記ＶＯＣ吸着材１８よりも下流側にそれぞれ接続された一対の空気導入管２０と、
前記両処理対象ガス導入管１４にそれぞれ取り付けられ、いずれか一方の前記処理対象ガス導入管１４が閉じられた状態を交互に繰り返す一対の処理対象ガス導入管用バルブ２２と、
前記両処理対象ガス排出管１６における、前記空気導入管２０よりも下流側にそれぞれ取り付けられ、前記処理対象ガス通流路２８の同じ端部４２、４４側に取 り付けられた前記処理対象ガス導入管用バルブ２２とは逆の開閉状態を繰り返す一対の処理対象ガス排出管用バルブ２４と、
前記両空気導入管２０にそれぞれ取り付けられ、同じ前記処理対象ガス排出管１６に取り付けられた前記処理対象ガス排出管用バルブ２４とは逆の開閉状態を繰り返す一対の空気導入管用バルブ２６とを備えていることを特徴とするＶＯＣ除害装置１０」である。
【００１６】
なお、本明細書では煩雑さを避けるため、特に区別して説明する必要のある場合はアルファベットの枝番を付すが、原則的には同じ機能のものには同一番号を付して説明する。図面はアルファベットの枝番を付して表示する。
【００１７】
本発明に係るＶＯＣ除害装置１０によれば、図１に示すように、図中右側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ａ、左側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ｂ、および右側の空気導入管用バルブ２６ａが開けられ、残りのバルブが全て閉じられた状態において、一方の空気導入管２０ａを通って空気ＡがＶＯＣ吸着材１８ａを通過して（除害処理中ではＶＯＣ吸着材１８ａから離脱させたＶＯＣを伴って）ＶＯＣ除害炉１２における処理対象ガス通流路２８の一端部４２（図中右下部）に導入されると共に、処理対象ガス導入管用バルブ２２ａが開いている一方の処理対象ガス導入管１４ａを通って処理対象ガスＦがＶＯＣ除害炉１２の処理対象ガス通流路２８に導入される。処理対象ガス通流路２８に導入された処理対象ガスＦおよび空気Ａが一方（図中右側）の蓄熱材３２ａを通過する際に撹拌されて十分に混合した後、他方（図中左側）の蓄熱材３２ｂに到達するまでの間に、ヒータ３４からの熱（除害処理中では高濃度ＶＯＣの自燃による熱）を受けた処理対象ガスＦ中のＶＯＣは、空気中の酸素でほぼ完全に燃焼して無害・無臭化される。
【００１８】
ＶＯＣが燃焼することによって高温となった処理対象ガスＦは、他方（図中左側）の蓄熱材３２ｂを通過する際に当該蓄熱材３２ｂを加熱すると同時に自身は冷却され、然る後、処理対象ガス通流路２８の他端部４４（図中左下部）から処理対象ガス排出孔３８ｂを介して他方の処理対象ガス排出管１６ｂ内に入り、ＶＯＣ吸着材１８ｂをそのまま通過して外部に放出される。このような状態を所定の時間維持した後、すべてのバルブの開閉状態を、図２に示すように、逆に切り換える。
【００１９】
このバルブの開閉状態が切り替わるタイミングにおいて、処理対象ガス通流路２８の一端部４２からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの間にはＶＯＣを含む未処理の処理対象ガスＦＲが存在しているが、各バルブの開閉状態が切り替わった直後からは、処理対象ガス通流路２８内の処理対象ガスＦの通流方向が逆転することから、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０に到達しなかった処理対象ガスＦＲ（＝ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ）は再び処理対象ガス通流路２８の一端部４２に流されて処理対象ガス排出管１６ａに入る。そして処理対象ガス排出管１６aのＶＯＣ吸着材１８aによって未燃焼の処理対象ガスＦＲから当該ＶＯＣ吸着材１８aでＶＯＣを取り除くことができ、バルブ切り替えに伴う高濃度未処理の処理対象ガスＦＲの大気放出が阻止される。換言すれば、バルブ切り替え方式のバッチ式ＶＯＣ除害装置１０における問題点を解消することが出来るのである。この点はバルブが切り替わって逆転した場合も同じである。
【００２０】
なお、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０に達しなかった前述の処理対象ガスＦＲは高温になっておらず、バルブ切り替えによって流れが逆転した当該処理対象ガスＦＲを受けたＶＯＣ吸着材１８もそれほど高温にはならないことから、ＶＯＣを確実に吸着することができる。然る後、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０を通過して高温になった処理対象ガスＦ（蓄熱材３２である程度冷却されている）が通流するようになると、昇温したＶＯＣ吸着材１８の吸着能力は低下していくが、この段階では高効率で分解された処理対象ガスＦ中にＶＯＣは殆んど残っていないことから、吸着能力の低下は問題にならない。
【００２１】
この点を更に詳述すると、他方の空気導入管２０ｂを通過した空気ＡがＶＯＣ除害炉１２の処理対象ガス通流路２８の他端部４４（図中左下部）に導入されると共に、同他端部４４に他方の処理対象ガス導入管１４ｂを通って処理対象ガスＦが導入される。処理対象ガス通流路２８に導入された処理対象ガスＦおよび空気Ａは、処理対象ガス通流路２８内を先程とは逆方向に通流し、直前まで高温の処理対象ガスＦによって加熱されていた他方（図中左側）の蓄熱材３２ｂによって加熱される。他方の蓄熱材３２ｂに加熱された処理対象ガスＦは、一方の蓄熱材３２ａに到達するまでの間に蓄熱材３２ｂからの熱（および必要に応じてヒータ３４からの熱）を受けることにより、当該処理対象ガスＦ中のＶＯＣがＶＯＣ燃焼ゾーン４０において空気Ａ中の酸素でほぼ完全に燃焼して無害・無臭化される。
【００２２】
ＶＯＣが燃焼することによって高温となった処理対象ガスＦは、一方の蓄熱材３２ａを通過する際に当該蓄熱材３２ａを加熱すると同時にこれにより熱を奪われて冷却され、然る後、処理対象ガス通流路２８の一端部４２から処理対象ガス排出孔３８ａを介して一方の処理対象ガス排出管１６ａ内に入り、ＶＯＣ吸着材１８ａを通過して前述同様そのまま外部に放出される。
【００２３】
このとき、処理対象ガスＦ（および空気Ａ）は、他方の蓄熱材３２ｂによって加熱されているので、ヒータ３４から当該処理対象ガスＦに与えるべき熱量をより少なくすることができ、処理対象ガスＦ中のＶＯＣ濃度が高く、蓄熱材３２の温度をＶＯＣの燃焼温度以上に高めることができる場合には、ヒータ３４からの熱量が不要となり、外部からの熱供給がなくても連続してＶＯＣの燃焼（自燃）を継続することができるようになる。
【００２４】
また、ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲの量は処理対象ガス通流路２８の端部４２、４４からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの空間容積に限られているので余裕を持つことが好ましいが、最小限として、各ＶＯＣ吸着材１８の容量は当該容積に応じた分でよい。
【００２５】
さらに言えば、空気導入管２０を通って処理対象ガス排出管１６に導入される空気Ａには、上述のようにＶＯＣ燃焼用の酸素源という役割だけでなく、ＶＯＣ燃焼後の処理対象ガスＦが通流することによって昇温したＶＯＣ吸着材１８を冷却する役割も有している。
【００２６】
所定の時間が経過して、各バルブの開閉状態が切り替わると、空気導入管２０ａから処理対象ガス排出管１６ａに導入された空気ＡがＶＯＣ吸着材１８ａ内を逆流し、当該ＶＯＣ吸着材１８ａを冷却することになる。このように冷却されたＶＯＣ吸着材１８は再びＶＯＣ吸着能力を取り戻すので、次に各バルブの開閉状態が切り替わった時には、上述のように、処理対象ガスＦからＶＯＣを取り除くことができる。
【００２７】
なお、上記の場合、「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ」のＶＯＣを吸着したＶＯＣ吸着材１８の温度が高温の処理対象ガスＦによって不所望に高められ、ＶＯＣ吸着材１８から分離したＶＯＣが大気放出される処理ガス中に含まれるおそれがあるため、ＶＯＣ吸着材１８に至る処理対象ガス排出管１６を長くしたり、当該処理対象ガス排出管１６の冷却装置を設けたりする等、ＶＯＣ吸着材１８が高温にならないようにすることが好ましい。
【００２８】
請求項２に記載した発明は、請求項１に記載のＶＯＣ除害装置１０の改良に関し、
「前記両処理対象ガス排出管１６にそれぞれ接続されており、前記両ＶＯＣ吸着材１８をバイパスする一対のバイパス管５０と、
前記両バイパス管５０にそれぞれ取り付けられた一対のバイパスバルブ５２と、
前記両バイパス管５０によるバイパス区間の前記両処理対象ガス排出管１６にそれぞれ取り付けられた一対の処理対象ガス排出管閉止バルブ５４とを更に備えており、
前記バイパスバルブ５２および前記処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じた状態で、前記処理対象ガス排出管用バルブ２４が開状態になると同時に前記処理対象ガス排出管閉止バルブ５４も開状態となり、所定量の前記処理対象ガス通流路２８内の処理対象ガスＦが前記ＶＯＣ吸着材１８を通過した後で前記処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じられるとともに前記バイパスバルブ５２が開状態となり、前記処理対象ガス排出管用バルブ２４が閉まると同時に前記バイパスバルブ５２も閉じられるようになっている」ことを特徴とする。
【００２９】
請求項２のＶＯＣ除害装置１０によれば（図４）、処理対象ガス排出管用バルブ２４ｂが開状態になったとき、すなわち「バルブの開閉状態」が切り換わったときには、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４ｂおよび請求項１で示すように処理対象ガス導入管用バルブ２２ａが開状態となり、処理対象ガス通流路２８の他端部４４からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの間に存在する「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ」がＶＯＣ吸着材１８ｂに流入してＶＯＣが吸着される。
【００３０】
そして、所定時間（あるいは所定風量）の処理対象ガスＦＲ（＝ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ）が当該ＶＯＣ吸着材１８ｂを通過した後、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４ｂが閉じられるとともにバイパスバルブ５２ｂが開状態となるので、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０を通過してＶＯＣが燃焼することにより高温になった処理対象ガスＦはバイパス管５０ｂを通り、ＶＯＣ吸着材１８ｂを通過することなく排出される。
【００３１】
このため、「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ」のＶＯＣを吸着したＶＯＣ吸着材１８の温度が高温の処理対象ガスＦによって不所望に高められるのを回避できるので、ＶＯＣ吸着材１８が高温になることによって当該ＶＯＣ吸着材１８に吸着されたＶＯＣが不所望に分離してしまい、処理対象ガスＦとともに排出されるのを防止することができる。
【００３２】
請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載のＶＯＣ除害装置１０の改良に関し、
「前記両処理対象ガス排出管１６において前記ＶＯＣ吸着材１８よりも下流側に接続され、高温空気を導入する一対の高温空気導入管６０と、
前記両高温空気導入管６０に取り付けられ、前記空気Ａを高温に加熱する一対の空気加熱ヒータ６２と、
前記高温空気導入管６０に取り付けられた高温空気用バルブ６４とを更に備えており、
同じ前記処理対象ガス排出管１６に取り付けられた前記処理対象ガス排出管用バルブ２４が開いているときにおいて前記空気導入管用バルブ２６および前記高温空気用バルブ６４は閉じられており、前記処理対象ガス排出管用バルブ２４が閉じられると、前記高温空気用バルブ６４が開き、その後、前記高温空気用バルブ６４が閉じるとともに前記空気導入管用バルブ２６が開くようになっている」ことを特徴とする。
【００３３】
請求項３のＶＯＣ除害装置１０によれば（図５）、処理対象ガス排出管用バルブ２４ａが閉状態になったとき、高温空気用バルブ６４ａが開くことにより、空気加熱ヒータ６２ａで加熱された高温空気ＨＡが処理対象ガス排出管１６ａに入った後、ＶＯＣ吸着材１８ａに導入される。ＶＯＣ吸着材１８ａに高温空気ＨＡが導入されることにより、ＶＯＣ吸着材１８ａが高温になってＶＯＣが分離され、高温空気ＨＡとともにＶＯＣ吸着材１８ａからＶＯＣ除害炉１２内（＝処理対象ガス通流路２８）に流入し、処理対象ガス導入管１４ａから導入された処理対象ガスＦ中のＶＯＣとともにＶＯＣ燃焼ゾーンにて燃焼除害される。
【００３４】
所定量（あるいは所定時間）の高温空気ＨＡをＶＯＣ吸着材１８ａに通した後、高温空気用バルブ６４ａが閉じられるとともに空気導入管用バルブ２６ａが開き、常温の空気がＶＯＣ吸着材１８ａに流入する。これにより、直前まで高温空気ＨＡによって加熱されたＶＯＣ吸着材１８ａが常温空気によって冷却され、再びＶＯＣの吸着能力を取り戻す。
【００３５】
然る後、処理対象ガス排出管用バルブ２４ａが再び開状態となり、処理対象ガス通流路２８の「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ」がＶＯＣ吸着材１８ａに流入してきたときには、吸着能力を取り戻したＶＯＣ吸着材１８ａによって当該ＶＯＣが処理対象ガスＦＲから分離される。もちろん、他方のＶＯＣ吸着材１８ｂについても同様である。
【００３６】
このように、請求項３のＶＯＣ除害装置１０によれば、ＶＯＣ吸着材１８に吸着されたＶＯＣを分離し、再びＶＯＣ除害炉１２内に送り込んで燃焼させる「再生工程」を実施することができるので、ＶＯＣ吸着材１８における吸着能力の限度までＶＯＣが蓄積されるのを回避して、長期間連続してＶＯＣを含む処理対象ガスＦを処理し続けることができるようになる。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、ほとんどのＶＯＣを燃焼除去できるともに、燃焼除去しきれない僅かなＶＯＣもＶＯＣ吸着材で取り除くようにしているので、ＶＯＣの除去効率を極大化してほぼ１００％の除去率を達成することができる。また、ＶＯＣの燃焼熱を利用することによってヒータが供給すべき熱量を少なく、あるいはゼロにして、省エネルギ化を促進可能なＶＯＣ除害装置を提供することができた。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明が適用されたＶＯＣ除害装置を示す図である。
【図２】本発明が適用されたＶＯＣ除害装置（各バルブの開閉切り換え後）を示す図である。
【図３】本発明が適用されたＶＯＣ除害装置の他の実施例を示す図である。
【図４】本発明が適用されたＶＯＣ除害装置の他の実施例を示す図である。
【図５】本発明が適用されたＶＯＣ除害装置の他の実施例を示す図である。
【図６】従来技術を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明が適用されたＶＯＣ除害装置１０について、図面を用いて説明する。ＶＯＣ除害装置１０は、図１に示すように、ＶＯＣ除害炉１２と、処理対象ガス導入管１４と、処理対象ガス排出管１６と、ＶＯＣ吸着材１８と、空気導入管２０と、処理対処ガス導入管用バルブ２２と、処理対象ガス排出管用バルブ２４と、空気導入管用バルブ２６とを備えている。
【００４０】
ＶＯＣ除害炉１２は、その内部にＶＯＣを含む処理対象ガスＦが通流する処理対象ガス通流路２８を内部に有する箱状体であり、必要に応じて、金属製のケーシングおよびその内面に配設された耐火材で形成されている。また、本実施例では、ＶＯＣ除害炉１２の内底面から内天面に向けて耐火材製の仕切壁３０が立設されており、図中右下から図中左下にかけて「逆Ｕ字状」に延びる処理対象ガス通流路２８が形成されている。なお、処理対象ガス通流路２８の形状はこれに限られるものではなく、例えば、図３に示すように、図中右端から図中左端にかけて一直線状に延びるようなものであってもよい。
【００４１】
また、ＶＯＣ除害炉１２には、一対の蓄熱材３２と、ヒータ３４とが配設されており、処理対象ガス通流路２８の両端部（図中左右下端部）を臨む位置には、一対の処理対象ガス導入孔３６および一対の処理対象ガス排出孔３８がそれぞれ設けられている。
【００４２】
一対の蓄熱材３２は、上述のようにＶＯＣ除害炉１２内に形成された処理対象ガス通流路２８において、処理対象ガスＦの通流方向において互いに離間して配設されており、後述するように、ＶＯＣが燃焼することによって高温になった処理対象ガスＦからの熱を受けるとともに、ＶＯＣ燃焼前の低温の処理対象ガスＦを加熱する役割を有している。本実施例では、処理対象ガス通流路２８が「逆Ｕ字状」に形成されていることから、仕切壁３０を挟むようにして一対の蓄熱材３２を配設することにより、「処理対象ガスＦの通流方向において互いに離間して配設」するようになっているが、図３のような一直線状の処理対象ガス通流路２８の場合には、一対の蓄熱材３２は互いに物理的に離間して配置されることになる。なお、蓄熱材３２の材質としては熱容量の大きい金属やセラミック等が考えられ、また、その形状としては、処理対象ガスＦを通流させる多数の孔を有するハニカム構造が考えられるが、材質および形状についてはこれに限られるものではない。
【００４３】
ヒータ３４は、処理対象ガス通流路２８における、一対の蓄熱材３２の間（本実施例では、ＶＯＣ除害炉１２の内側頂部）に配設された電気ヒータであり、図示しない電源装置からの電力を用いて、一対の蓄熱材３２間の空間（＝ＶＯＣ燃焼ゾーン４０）をＶＯＣの燃焼温度以上に加熱する役割を有している。なお、ヒータ３４は電気ヒータに限られず、燃焼式バーナや大気圧プラズマを使用してもよい。
【００４４】
なお、ヒータ３４に加えて（あるいはヒータ３４に替えて）、一対の蓄熱材３２の間に燃焼用触媒を設けてもよい。燃焼用触媒を設けることにより、後述するように、いずれかの蓄熱材３２で加熱された処理対象ガスＦ（およびＶＯＣ）を当該燃焼用触媒で着火できるので、ヒータ３４を停止した後でも安定してＶＯＣの燃焼を継続することができる。
【００４５】
処理対象ガス導入管１４は、ＶＯＣ除害炉１２に形成された一対の処理対象ガス導入孔３６にそれぞれ接続された一対のパイプあるいはダクトであり、ＶＯＣ除害炉１２に接続されたのとは反対の端は、図示しない処理対象ガスＦの発生源に接続されている。なお、処理対処ガス導入管１４の材質は、その内部を通流する処理対象ガスＦの種類や温度によって腐食等の損傷を受け難いものであれば、どのような材質を選択してもよい。このことは、他の管やバルブにおいても同様である。
【００４６】
処理対象ガス排出管１６は、ＶＯＣ除害炉１２に形成された一対の処理対象ガス排出孔３８にそれぞれ接続された一対のパイプあるいはダクトであり、ＶＯＣ除害炉１２に接続されたのとは反対の端は、ＶＯＣ除害後の処理対象ガスＦの排出先（図示せず）に接続されている。
【００４７】
ＶＯＣ吸着材１８は、一対の処理対象ガス排出管１６にそれぞれ取り付けられた、処理対象ガスＦからＶＯＣを吸着除去する部材であり、ゼオライトや活性炭等を用いてハニカム構造に形成されて、ケーシング４１内に収容されている。もちろん、ＶＯＣ吸着材１８の材質や形状はこれらに限られるものではない。
【００４８】
空気導入管２０は、一対の処理対象ガス排出管１６において、ＶＯＣ吸着材１８よりも下流側にそれぞれ接続された一対のパイプあるいはダクトであり、処理対象ガス排出管１６に接続されたのとは反対の端は、送風機等の空気供給源（図示せず）に接続されている。
【００４９】
処理対処ガス導入管用バルブ２２は、一対の処理対象ガス導入管１４にそれぞれ取り付けられた一対のバルブであり、手動あるいは自動により、いずれか一方の処理対象ガス導入管１４が閉じられた状態を交互に繰り返すようになっている。
【００５０】
処理対象ガス排出管用バルブ２４は、処理対象ガス排出管１６における空気導入管２０よりも下流側にそれぞれ取り付けられた一対のバルブであり、手動あるいは自動により、処理対象ガス通流路２８の同じ端部側に取り付けられた処理対象ガス導入管用バルブ２２（つまり、図１中、右側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ａであれば、同じく右側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ａ）とは逆の開閉状態を繰り返すようになっている。
【００５１】
空気導入管用バルブ２６は、空気導入管２０にそれぞれ取り付けられた一対のバルブであり、同じ処理対象ガス排出管１６に取り付けられた処理対象ガス排出管用バルブ２４（つまり、図１中、右側の空気導入管用バルブ２６ａであれば、同じく右側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ａ）とは逆の開閉状態を繰り返すようになっている。
【００５２】
要するに、図１における右側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ａが開状態のときには、右側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ａは閉状態、右側の空気導入管用バルブ２６ａは開状態になり、左側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ｂおよび空気導入管用バルブ２６ｂは閉状態、左側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ｂは開状態となる。右側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ａが閉状態のときにはこれの逆になる。
【００５３】
本実施例に係るＶＯＣ除害装置１０を用いて処理対象ガスＦ中のＶＯＣを除害する手順について説明すると、最初に、ヒータ３４を起動して一対の蓄熱材３２間の処理対象ガス通流路２８をＶＯＣの燃焼温度まで加熱し、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０を形成する。
【００５４】
然る後、図１における右側の処理対象ガス導入管用バルブ２２ａを開く（これにより、左側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ｂ、および右側の空気導入管用バルブ２６ａが開けられ、残りのバルブが全て閉じられた状態になる。）ことにより、右側の空気導入管２０ａを通って空気ＡがＶＯＣ除害炉１２における処理対象ガス通流路２８の一端部４２（図中右下部）に導入されるとともに、右側の処理対象ガス導入管１４ａを通って処理対象ガスＦが処理対象ガス通流路２８の一端部４２に導入される。
【００５５】
処理対象ガス通流路２８に導入された処理対象ガスＦおよび空気Ａが右側の蓄熱材３２ａを通過する際に撹拌されて十分に混合した後、左側の蓄熱材３２ｂに到達するまでの間に、ヒータ３４からの熱を受けた処理対象ガスＦ中のＶＯＣは、空気Ａ中の酸素でほぼ完全に燃焼して無害・無臭化される。
【００５６】
ＶＯＣが燃焼することによって高温となった処理対象ガスＦは、左側の蓄熱材３２ｂを通過する際にこの蓄熱材３２ｂを加熱すると同時に自身は冷却され、然る後、処理対象ガス通流路２８の他端部４４（図中左下部）から処理対象ガス排出孔３８ｂを介して他方の処理対象ガス排出管１６ｂ内に入り、ＶＯＣ吸着材１８ｂを通過して外部に放出される。
【００５７】
このような状態を所定の時間維持した後、すべてのバルブの開閉状態を、図２に示すように、逆に切り換える。各バルブの開閉状態を切り換えるタイミングについては、高温の処理対象ガスＦを受けるＶＯＣ吸着材１８ｂの温度が高くなり、吸着したＶＯＣを再び分離してしまうような温度に達するよりも前であることが好適である。さもないと、ＶＯＣ吸着材１８ｂから分離したＶＯＣが処理対象ガスＦとともに処理対象ガス排出管１６ｂから排出されてしまうからである。
【００５８】
すべてのバルブの開閉状態を切り換えることより、左側の空気導入管２０ｂを通過した空気ＡがＶＯＣ除害炉１２の処理対象ガス通流路２８の他端部４４に導入されるとともに、同他端部４４に他方の処理対象ガス導入管１４ｂを通って処理対象ガスＦが導入される。
【００５９】
処理対象ガス通流路２８に導入された処理対象ガスＦおよび空気Ａは、処理対象ガス通流路２８内を先程とは逆方向に通流し、ＶＯＣが燃焼した後の高温の処理対象ガスＦによって加熱された左側の蓄熱材３２ｂによって加熱される。左側の蓄熱材３２ｂに加熱された処理対象ガスＦは、右側の蓄熱材３２ａに到達するまでの間に蓄熱材３２ｂからの熱（および必要に応じてヒータ３４からの熱）を受けることにより、当該処理対象ガスＦ中のＶＯＣが空気Ａ中の酸素でほぼ完全に燃焼して無害・無臭化される。
【００６０】
ＶＯＣが燃焼することによって高温となった処理対象ガスＦは、右側の蓄熱材３２ａを通過する際に当該蓄熱材３２ａを加熱すると同時に冷却され、然る後、処理対象ガス通流路２８の一端部４２から処理対象ガス排出孔３８ａを介して右側の処理対象ガス排出管１６ａ内に入り、ＶＯＣ吸着材１８ａを通過して外部に放出される。
【００６１】
このとき、処理対象ガスＦ（および空気Ａ）は、左側の蓄熱材３２ｂから加熱されているので、ヒータ３４から当該処理対象ガスＦに与える熱量をより少なくすることができ、処理対象ガスＦ中のＶＯＣ濃度が高く、蓄熱材３２の温度をＶＯＣの燃焼温度以上に高めることができる場合にはヒータ３４からの熱量が不要となり、外部からの熱供給がなくても（つまり、ヒータ３４を停止しても）連続してＶＯＣの燃焼を継続することができるようになる。
【００６２】
加えて、各バルブの開閉状態が切り替わるタイミングにおいて、処理対象ガス通流路２８の一端部４２からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの間にはＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲが存在しているが、各バルブの開閉状態が切り替わった直後からは、処理対象ガス通流路２８内における処理対象ガスＦの通流方向が逆転することから、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０に到達しなかった処理対象ガスＦＲは再び処理対象ガス通流路２８の一端部４２に流されて処理対象ガス排出管１６ａに入る。
【００６３】
ここで、本発明のＶＯＣ除害装置１０は、処理対象ガス排出管１６にＶＯＣ吸着材１８が取り付けられているので、上述のように処理対象ガス排出管１６ａに入った処理対象ガスＦＲから当該ＶＯＣ吸着材１８ａでＶＯＣを取り除くことができ、処理対象ガス排出管１６を通ってＶＯＣが排出されるのを防止することができる。なお、「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲ」の量は処理対象ガス通流路２８の端部４２、４４からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの空間容積に限られているので、各ＶＯＣ吸着材１８の容量は当該容積に応じた分でよい。
【００６４】
さらに言えば、空気導入管２０を通って処理対象ガス排出管１６に導入される空気Ａには、上述のようにＶＯＣ燃焼用の酸素源という役割だけでなく、ＶＯＣ燃焼後の処理対象ガスＦが通流することによって昇温したＶＯＣ吸着材１８を冷却する役割も有している。
【００６５】
すなわち、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０に達しなかった処理対象ガスＦＲは高温になっておらず、当該処理対象ガスＦＲを受けたＶＯＣ吸着材１８もそれほど高温にはならないことから、ＶＯＣを確実に吸着することができる。然る後、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０を通過して高温になった処理対象ガスＦ（蓄熱材３２である程度冷却されている）が通流するようになると、昇温したＶＯＣ吸着材１８の吸着能力は低下していくが、この段階では処理対象ガスＦ中にＶＯＣは残っていないことから、吸着能力の低下は問題にならない。
【００６６】
所定の時間が経過して、各バルブの開閉状態が切り替わると、空気導入管２０ａから処理対象ガス排出管１６ａに導入された空気ＡがＶＯＣ吸着材１８ａ内を逆流し、当該ＶＯＣ吸着材１８ａを冷却することになる。このように冷却されたＶＯＣ吸着材１８は再びＶＯＣ吸着能力を取り戻すので、次に各バルブの開閉状態が切り替わった時には、上述のように、処理対象ガスＦＲからＶＯＣを取り除くことができる。
【００６７】
本実施例のＶＯＣ除害装置１０によれば、ほとんどのＶＯＣを燃焼除去できるともに、燃焼除去しきれない僅かなＶＯＣもＶＯＣ吸着材１８で取り除くようにしているので、ＶＯＣの除去効率を極大化してほぼ１００％の除去率を達成することができる。また、ＶＯＣの燃焼熱を利用することによってヒータ３４が供給すべき熱量を少なく、あるいはゼロにして、省エネルギ化も促進可能である。
【００６８】
なお、各バルブの開閉状態の切り替えのタイミングは、所定の時間が経過したとき、あるいは処理対象ガスＦの流入量が所定の量になったとき、または、ＶＯＣ吸着材１８の温度が所定の温度に達したとき等が考えられる。
【００６９】
ところで、上述したＶＯＣ除害装置１０の他の実施例として、図４に示すように、ＶＯＣ吸着材１８のバイパスラインを設けてもよい。すなわち、図４に示すＶＯＣ除害装置１０は、バイパス管５０と、バイパスバルブ５２と、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４とを更に備えている。
【００７０】
バイパス管５０は、一対の処理対象ガス排出管１６のそれぞれに対応し、一端が対応するＶＯＣ吸着材１８の上流側、他端が当該ＶＯＣ吸着材１８の下流側における当該処理対象ガス排出管１６に接続されており、処理対象ガスＦがＶＯＣ吸着材１８をバイパスさせるためのパイプあるいはダクトである。
【００７１】
バイパスバルブ５２は、一対のバイパス管５０にそれぞれ取り付けられた一対のバルブであり、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４は、一対のバイパス管５０によるバイパス区間５６における処理対象ガス排出管１６にそれぞれ取り付けられた一対のバルブである。
【００７２】
バイパスバルブ５２および処理対象ガス排出管閉止バルブ５４は、手動あるいは自動により、バイパスバルブ５２および処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じた状態で、処理対象ガス排出管用バルブ２４が開状態になると同時に処理対象ガス排出管閉止バルブ５４も開状態となり、所定量の処理対象ガス通流路２８内の処理対象ガスＦがＶＯＣ吸着材１８を通過した後で処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じられるとともにバイパスバルブ５２が開状態となり、処理対象ガス排出管用バルブ２４が閉まると同時にバイパスバルブ５２も閉じられるようになっている。もちろん、ＶＯＣ吸着材１８の上流側においてＶＯＣ濃度を連続的に測定しておき、ＶＯＣ濃度が急減したとき（つまり、ＶＯＣを含む処理対象ガスＦＲがすべてＶＯＣ吸着材１８に流入し終わったとき）に、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じるとともに、バイパスバルブ５２を開くようにしてもよい。
【００７３】
このＶＯＣ除害装置１０によれば、上述したＶＯＣ除害装置１０の作用効果に加えて、処理対象ガス排出管用バルブ２４が開状態になったとき、すなわち「バルブの開閉状態」が切り換わったときには、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が開状態となり、処理対象ガス通流路２８の一端部４２からヒータ３４近傍のＶＯＣ燃焼ゾーン４０までの間に存在する「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦ」がＶＯＣ吸着材１８に流入してＶＯＣが吸着される。
【００７４】
そして、所定量の処理対象ガスＦ（＝ＶＯＣを含む処理対象ガスＦ）が当該ＶＯＣ吸着材１８を通過した後、処理対象ガス排出管閉止バルブ５４が閉じられるとともにバイパスバルブ５２が開状態となるので、ＶＯＣ燃焼ゾーン４０を通過してＶＯＣが燃焼することにより高温になった処理対象ガスＦはバイパス管５０を通り、ＶＯＣ吸着材１８を通過することなく排出される。
【００７５】
このため、ＶＯＣを吸着したＶＯＣ吸着材１８の温度が高温の処理対象ガスによって不所望に高められるのを回避できるので、ＶＯＣ吸着材１８が高温になることによって当該ＶＯＣ吸着材１８に吸着されたＶＯＣが不所望に分離してしまい、処理対象ガスＦとともに排出されるのを防止することができる。
【００７６】
また、更に別の実施例として、図５に示すように、ＶＯＣ吸着材１８を再生するための高温空気ＨＡを供給できるようにしてもよい。すなわち、図５に示すＶＯＣ除害装置１０は、高温空気導入管６０と、空気加熱ヒータ６２と、高温空気用バルブ６４とを更に備えている。
【００７７】
高温空気導入管６０は、一対の処理対象ガス排出管１６において、ＶＯＣ吸着材１８よりも下流側にそれぞれ接続された一対のパイプあるいはダクトであり、処理対象ガス排出管１６に接続されたのとは反対の端は、送風機等の空気供給源（図示せず）に接続されている。
【００７８】
空気加熱ヒータ６２は、一対の高温空気導入管６０のそれぞれに取り付けられ、外部から供給された空気Ａを加熱して高温空気ＨＡにするための装置であり、電気式、燃料バーナ式、大気圧プラズマ式等、どのようなタイプのものでも使用できる。
【００７９】
高温空気用バルブ６４は、高温空気導入管６０にそれぞれ取り付けられた一対のバルブであり、手動あるいは自動により、同じ処理対象ガス排出管１６に取り付けられた処理対象ガス排出管用バルブ２４（つまり、図５中、右側の高温空気用バルブ６４ａであれば、同じく右側の処理対象ガス排出管用バルブ２４ａ）が開いているときにおいて空気導入管用バルブ２６および高温空気用バルブ６４は閉じられており、処理対象ガス排出管用バルブ２４が閉じられると、先に高温空気用バルブ６４が開き、その後、当該高温空気用バルブ６４が閉じるとともに空気導入管用バルブ２６が開くようになっている。
【００８０】
この実施例のＶＯＣ除害装置１０によれば、処理対象ガス排出管用バルブ２４が閉状態になったとき、高温空気用バルブ６４が開くことにより、空気加熱ヒータ６２で加熱された高温空気ＨＡが処理対象ガス排出管１６に入った後、ＶＯＣ吸着材１８に導入される。ＶＯＣ吸着材１８に高温空気ＨＡが導入されることにより、ＶＯＣ吸着材１８が高温になってＶＯＣが分離され、高温空気ＨＡとともにＶＯＣ吸着材１８からＶＯＣ除害炉１２内（＝処理対象ガス通流路２８）に流入し、処理対象ガス導入管１４から導入された処理対象ガスＦ中のＶＯＣとともにＶＯＣ燃焼ゾーン４０にて燃焼除害される。
【００８１】
所定量（あるいは所定時間）の高温空気ＨＡをＶＯＣ吸着材１８に通した後、高温空気用バルブ６４が閉じられるとともに空気導入管用バルブ２６が開き、常温の空気がＶＯＣ吸着材１８に流入する。これにより、高温空気ＨＡによって加熱されたＶＯＣ吸着材１８が常温空気によって冷却され、再びＶＯＣの吸着能力を取り戻す。
【００８２】
然る後、処理対象ガス排出管用バルブ２４が再び開状態となり、処理対象ガス通流路２８の「ＶＯＣを含む処理対象ガスＦ」がＶＯＣ吸着材１８に流入してきたときには、吸着能力を取り戻したＶＯＣ吸着材１８によって当該ＶＯＣが処理対象ガスＦから分離される。
【００８３】
このように、ＶＯＣ吸着材１８に吸着されたＶＯＣを分離し、再びＶＯＣ除害炉１２内に送り込んで燃焼させる「再生工程」を実施することができるので、ＶＯＣ吸着材１８における吸着能力の限度までＶＯＣが蓄積されるのを回避して、長期間連続してＶＯＣを含む処理対象ガスＦを処理し続けることができるようになる。
【符号の説明】
【００８４】
１０…ＶＯＣ除害装置
１２…ＶＯＣ除害炉
１４…処理対象ガス導入管
１６…処理対象ガス排出管
１８…ＶＯＣ吸着材
２０…空気導入管
２２…処理対象ガス導入管用バルブ
２４…処理対象ガス排出管用バルブ
２６…空気導入管用バルブ
２８…処理対象ガス通流路
３０…仕切壁
３２…蓄熱材
３４…ヒータ
３６…処理対象ガス導入孔
３８…処理対象ガス排出孔
４０…ＶＯＣ燃焼ゾーン
４１…ケーシング
４２…（処理対象ガス通流路の）一端部
４４…（処理対象ガス通流路の）他端部
５０…バイパス管
５２…バイパスバルブ
５４…処理対象ガス排出管閉止バルブ
５６…バイパス区間
６０…高温空気導入管
６２…空気加熱ヒータ
６４…高温空気用バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
0005675508.tif 000006
【図６】
0005675508.tif 000007