(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラススケールを対象物に保持させるガラススケール保持構造において、
前記ガラススケールの幅以下の幅で且つ該ガラススケールの測定軸方向の長さより長く成形されるとともに、該ガラススケールの該測定軸方向の両端から自身の端部がそれぞれ突出した状態で該ガラススケールを固定する金属薄板と、
該金属薄板の突出した端部にそれぞれに設けられるとともに、前記対象物に脱着可能に該金属薄板を保持させる固定機構と、を備え、
該金属薄板が該対象物に保持される際には、該固定機構により該金属薄板に対して前記測定軸方向の張力が付与されるとともに、該金属薄板の突出した端部を除く背面が一か所以上で該対象物に当接されることを特徴とするガラススケール保持構造。
【請求項２】
前記ガラススケールと前記金属薄板との間に弾性層が更に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のガラススケール保持構造。
【請求項３】
前記金属薄板の少なくとも一方の突出した端部に設けられた前記固定機構は、前記測定軸方向に対して傾斜する傾斜面を備えるとともに前記対象物に固定される固定部材と、ねじの該固定部材への螺合状態で該傾斜面に沿った移動と固定とが可能とされるとともに前記金属薄板の突出した端部に固定される移動部材とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラススケール保持構造。
【請求項４】
前記金属薄板の幅方向における少なくとも一方の端部の厚みが該金属薄板の幅方向における中央部の厚みに比べて厚くされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のガラススケール保持構造。
【請求項５】
ガラススケールを対象物に保持させるガラススケールの保持方法において、
前記ガラススケールの幅以下の幅で且つ該ガラススケールの測定軸方向の長さより長く成形されるとともに、該ガラススケールの該測定軸方向の両端から自身の端部がそれぞれ突出した状態で該ガラススケールが固定された金属薄板を準備する工程と、
該金属薄板の一方の突出した端部を前記対象物に脱着可能に取付ける工程と、
該金属薄板に対して該測定軸方向に張力を付与し、且つ該金属薄板の突出した端部を除く背面が一か所以上で該対象物に当接されるように、該金属薄板のもう一方の突出した端部を該対象物に脱着可能に取付ける工程と、
を含むことを特徴とするガラススケールの保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法に係り、特に、ガラススケールを対象物に保持させるためのガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能なガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リニアエンコーダなどに用いられるガラススケール１６の保持には、図５に示す如く、対象物ＳＪ（スケールホルダ）の表面に一端が固定された板ばねＳＰが用いられる。このため、ガラススケール１６を対象物ＳＪに簡単に保持させることが可能である。また、ガラススケール１６は板ばねＳＰの押付力のみで保持されるので、ガラススケール１６若しくは対象物ＳＪに熱応力が生じても、その熱応力で生じるひずみを互いに干渉させずに板ばねＳＰで容易に逃がすことが可能である。しかし、図５に示すようにガラススケール１６を保持するためには、最低限対象物ＳＪにガラススケール１６の幅Ｗ２より広い幅Ｗ３の取付け寸法を設ける必要がある。即ち、図５に示す構造では、ガラススケール１６が小型であっても、取付け寸法が大きくなってしまう不具合が生じてしまう。
【０００３】
そこで、取付け寸法を小さくするために、図６に示すスケール６６の保持構造の適用が考えられる（特許文献１）。特許文献１では、スケール６６が強力接着剤６４で金属テープ６２に固定され、金属テープ６２を対象物ＳＪに両面テープ６８で貼付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３２５２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術は、周囲温度や湿度の変化に対して安定性が低いプリント配線基板をスケール６６に用いたときに金属テープ６２の線膨張係数でスケール６６の膨張を制御して安定させるためのものである。即ち、もともとスケール６６がガラススケールである場合には、スケール自体の安定性が高いので、図６に示す構造とすることはスケールの保持構造を単に複雑にすることとなり意味がなく、相応の構造とは考えられない。
【０００６】
そこで、スケールの保持構造の簡略化のために、ガラススケールを直接対象物に両面テープで貼付けることが考えられる。しかし、この場合には、ガラススケールの貼付けミスが発生すると、ガラススケールが薄くて両面テープが強力であるときには貼り直そうとしてもガラススケールをはがすことが困難となり、最悪ガラススケールを破損させるおそれが出てくる。
【０００７】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、ガラススケールを対象物に保持させるためのガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能なガラススケール保持構造、及びガラススケールの保持方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願の請求項１に係る発明は、ガラススケールを対象物に保持させるガラススケール保持構造において、前記ガラススケールの幅以下の幅で且つ該ガラススケールの測定軸方向の長さより長く成形されるとともに、該ガラススケールの該測定軸方向の両端から自身の端部がそれぞれ突出した状態で該ガラススケールを固定する金属薄板と、該金属薄板の突出した端部にそれぞれに設けられるとともに、前記対象物に脱着可能に該金属薄板を保持させる固定機構と、を備え、該金属薄板が該対象物に保持される際には、該固定機構により該金属薄板に対して前記測定軸方向の張力を付与するとともに、該金属薄板の突出した端部を除く背面を一か所以上で該対象物に当接させたことにより、前記課題を解決したものである。
【０００９】
本願の請求項２に係る発明は、前記ガラススケールと前記金属薄板との間に弾性層を更に設けるようにしたものである。
【００１０】
本願の請求項３に係る発明は、前記金属薄板の少なくとも一方の突出した端部に設けられた前記固定機構に、前記測定軸方向に対して傾斜する傾斜面を備えるとともに前記対象物に固定される固定部材と、ねじの該固定部材への螺合状態で該傾斜面に沿った移動と固定とが可能とされるとともに前記金属薄板の突出した端部に固定される移動部材と、を備えるようにしたものである。
【００１１】
本願の請求項４に係る発明は、前記金属薄板の幅方向における少なくとも一方の端部の厚みを該金属薄板の幅方向における中央部の厚みに比べて厚くするようにしたものである。
【００１２】
本願の請求項５に係る発明は、ガラススケールを対象物に保持させるガラススケールの保持方法において、前記ガラススケールの幅以下の幅で且つ該ガラススケールの測定軸方向の長さより長く成形されるとともに、該ガラススケールの該測定軸方向の両端から自身の端部がそれぞれ突出した状態で該ガラススケールが固定された金属薄板を準備する工程と、該金属薄板の一方の突出した端部を前記対象物に脱着可能に取付ける工程と、該金属薄板に対して該測定軸方向に張力を付与し、且つ該金属薄板の突出した端部を除く背面が一か所以上で該対象物に当接されるように、該金属薄板のもう一方の突出した端部を該対象物に脱着可能に取付ける工程と、を含むようにしたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ガラススケールを対象物に保持させるためのガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るリニアエンコーダの概略斜視図
【図２】同じくガラススケール保持構造の概略模式図（上面図（Ａ）、側面図（Ｂ））
【図３】本発明の第２実施形態に係るガラススケール保持構造の概略模式図
【図４】本発明の第１実施形態、第３実施形態に係るそれぞれの金属薄板の形状を示す模式図（Ａ）、（Ｂ）
【図５】ガラススケールを板ばねで保持する従来技術を示す模式図
【図６】温度や湿度に不安定なスケールを保持する従来技術を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１６】
最初に、第１実施形態に係るリニアエンコーダの構成について、主に図１、図２を用いて説明する。
【００１７】
リニアエンコーダ１００は光電式であり、図１に示す如く、ガラススケール１１６と検出ヘッド１３８とを備える。このため、リニアエンコーダ１００では、ガラススケール１１６に成形された光学格子で、検出ヘッド１３８に内蔵された光源（図示せず）から出射された光が変調され、その変調された光を検出ヘッド１３８に内蔵された受光素子（図示せず）で検出する。検出された光から検出ヘッド１３８に対するガラススケール１１６の測定軸方向（Ｘ方向）の変位が求められる。
【００１８】
前記ガラススケール１１６は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、幅Ｗ２（Ｙ方向の長さ）、測定軸方向（Ｘ方向）の長さＬ２、厚みＴ３（Ｚ方向の長さ）を備えている。具体的に、本実施形態では、厚みＴ３は１〜５ｍｍ、長さＬ２は１ｍ以下とされている。なお、ガラススケール１１６の素材は、汎用的に使用されるガラスとされているが、広い温度範囲でゼロ膨張特性を有し、耐熱衝撃性の高い低膨張ガラスなどであってもよい。
【００１９】
ガラススケール１１６は、図２（Ｂ）に示す如く、弾性接着剤で成形された弾性層１１４（厚みＴ２）で金属薄板１１２に接着・固定されている（両面テープで固定することで弾性層を成形してもよい）。なお、本実施形態では、厚みＴ２は０．２〜０．５ｍｍとされている。金属薄板１１２は、細長いテープ形状であり、その幅Ｗ１がガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭く、且つその長さＬ１がガラススケール１１６の測定軸方向の長さＬ２より長く成形されている。本実施形態では、金属薄板１１２は例えば、鉄やアルミニウムを素材としている。また、金属薄板１１２の厚みＴ１は１ｍｍ以下とされているので、金属薄板１１２を容易に切断成形することができる。
【００２０】
金属薄板１１２は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、ガラススケール１１６の測定軸方向の両端から端部１１２Ａがそれぞれ突出した状態でガラススケール１１６を固定している。突出した端部１１２Ａにはそれぞれ、貫通孔１１２Ｂが成形されている。２つの貫通孔１１２Ｂをねじ１１８の雄ねじ部１１８Ａが貫通し、その雄ねじ部１１８Ａがそれぞれ対象物ＳＪに成形されたねじ穴に螺合され、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持される。即ち、貫通孔１１２Ｂとねじ１１８とは、金属薄板１１２の突出した端部１１２Ａにそれぞれに設けられるとともに、対象物ＳＪに脱着可能に金属薄板１１２を保持する固定機構としての機能を備えている。なお、対象物ＳＪの２つのねじ穴の間隔は、ねじ１１８がねじ穴に螺合されると金属薄板１１２に対して測定軸方向の張力を付与するように、２つの貫通孔１１２Ｂの間隔よりも長くされている。２つのねじ穴の間の対象物ＳＪの表面は平坦である。このため、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持された際には、金属薄板１１２の裏面の全面が測定軸方向で対象物ＳＪに当接することとなる。
【００２１】
次に、ガラススケール１１６を対象物ＳＪに保持させる手順を、図２（Ａ）、（Ｂ）に基づいて説明する。
【００２２】
まず、ガラススケール１１６が固定された金属薄板１１２を準備する。ここで、金属薄板１１２の幅Ｗ１は、ガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭い。このため、ガラススケール１１６への金属薄板１１２の接着・固定のための位置決め（ガラススケール１１６の幅Ｗ２から金属薄板１１２がはみ出ないようする位置決め）は容易に行うことができる。
【００２３】
次に、金属薄板１１２の一方の突出した端部１１２Ａを対象物ＳＪに脱着可能に取付ける。即ち、金属薄板１１２の一方の端部１１２Ａの貫通孔１１２Ｂに１つ目のねじ１１８の雄ねじ部１１８Ａを貫通させ、対象物ＳＪに成形されたねじ穴の一つに、その雄ねじ部１１８Ａを螺合させる。
【００２４】
次に、金属薄板１１２に対して測定軸方向に張力を付与し、且つ金属薄板１１２の背面の全面で対象物ＳＪに当接するように、金属薄板１１２のもう一方の突出した端部１１２Ａを対象物ＳＪに脱着可能に取付ける。即ち、金属薄板１１２のもう一方の端部１１２Ａの貫通孔１１２Ｂに２つ目のねじ１１８の雄ねじ部１１８Ａを貫通させ、対象物ＳＪに成形されたねじ穴のもう一つに、その雄ねじ部１１８Ａを螺合させる。このとき、対象物ＳＪの２つのねじ穴の間隔は、ねじ１１８がねじ穴に螺合されると金属薄板１１２に対して測定軸方向の張力を適切に付与するように、２つの貫通孔１１２Ｂの間隔よりも長くされている（この適切な張力は、金属薄板１１２に塑性変形を生じさせない程度の力とすることができる）。このため、２つ目のねじ１１８がねじ穴に螺合され、金属薄板１１２の背面の全面で対象物ＳＪに当接される状態までくると、金属薄板１１２に対して測定軸方向の張力が安定した状態で付与される。
【００２５】
図５に示す従来技術においては、前述のように板ばねＳＰを用いることで取付け寸法Ｗ３がガラススケール１６の幅Ｗ２に比べて増大してしまっている。それだけではなく、板ばねＳＰを対象物ＳＪに固定するためのタップＴＰを精度よく一定間隔（例えば７５〜１００ｍｍ）でガラススケール１６の全長に亘り対象物ＳＪに加工する必要があり、ガラススケール１６を対象物ＳＪに保持させるためにはその加工負担が大きく、コストアップの要因であった。
【００２６】
これに対して、上述したように本実施形態においては、金属薄板１１２がガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭い幅Ｗ１で且つガラススケール１１６の測定軸方向の長さＬ２より長く成形されている。そして、金属薄板１１２がガラススケール１１６の測定軸方向の両端から端部１１２Ａがそれぞれ突出した状態でガラススケール１１６を固定している。このため、ガラススケール１１６の幅方向（Ｙ方向）における取付け寸法の増大をなくして、ガラススケール１１６を対象物ＳＪに保持させることができる。
【００２７】
同時に、本実施形態においては、１〜５ｍｍの厚みＴ３のガラススケール１１６が、０．２〜０．５ｍｍの厚みＴ２の弾性層１１４を介して１ｍｍ以下の厚みＴ１の金属薄板１１２に固定されている。即ち、ガラススケール１１６の保持構造の厚み（ガラススケール１１６の厚みＴ３を除く）は、ガラススケール１１６の厚みＴ３に比べて、薄く構成することができる。
【００２８】
ここで、特許文献１のスケール６６の保持構造では、図６に示す如く、対象物ＳＪとスケール６６との間に金属テープ６２と強力接着剤６４と両面テープ６８とが介在している。特許文献１では、金属テープ６２でスケール６６の膨張率を制御するという趣旨から、金属テープ６２は相応の厚みを必要とする、即ち最低でもスケール６６の厚みと同程度とする必要がある。これに対して、本実施形態においては、金属薄板１１２がそのような機能を備える必要がなく薄くでき、特許文献１のスケール６６の保持構造に比べても、厚みの観点で取付け寸法の増大を回避し、小型化することが可能である。
【００２９】
そして、本実施形態においては、金属薄板１１２の端部１１２Ａにそれぞれ設けられた貫通孔１１２Ｂにねじ１１８が貫通されて、ねじ１１８がそれぞれ対象物ＳＪのねじ穴に螺合される。このため、金属薄板１１２を対象物ＳＪから容易に取り外すことができ、ガラススケール１１６を損傷させることなく、ガラススケール１１６の対象物ＳＪへの保持のやり直しを容易に行うことができる。このため、ガラススケール１１６の位置の調整が可能となる。
【００３０】
更に、本実施形態においては、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持される際には、ねじ１１８のねじ穴への螺合により金属薄板１１２に対して測定軸方向の張力が付与されるとともに、金属薄板１１２の背面の全面で対象物ＳＪに当接される。このため、ガラススケール１１６が外乱（振動）で共振すること（ガラススケール１１６が波打つような挙動をすること）を防止することができる。なお、金属薄板１１２に対する張力の付与は、対象物ＳＪのねじ穴の間隔と２つの貫通孔１１２Ｂの間隔との正確な加工精度に依存させずに、単に金属薄板１１２を別の部材で測定軸方向に引っ張った状態で対象物ＳＪに金属薄板１１２をねじ１１８で固定するようにしてもよい。
【００３１】
また、本実施形態においては、２つのねじ１１８の対象物ＳＪのねじ穴への螺合でガラススケール１１６の保持がなされる。即ち、対象物ＳＪの加工負担も図５に示した従来技術に比べて少なく、低コストで且つ極めて簡便な手段でガラススケール１１６の保持を行うことができる。
【００３２】
また、本実施形態においては、ガラススケール１１６と金属薄板１１２との間に弾性層１１４を更に設けている。このため、仮に金属薄板１１２に付与される張力が大きく金属薄板１１２に大きなひずみが生じても、そのひずみがガラススケール１１６に伝わることを回避することができる。
【００３３】
したがって、本実施形態によれば、ガラススケール１１６を対象物ＳＪに保持させるためのガラススケール１１６の取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケール１１６を保持することが可能である。このため、本実施形態では、ガラススケールのサイズを小さくした場合には、顕著にそのガラススケールのサイズメリット（軽薄短小の特徴）を生かすことが可能となる。
【００３４】
本発明について第１実施形態を挙げて説明したが、本発明は第１実施形態に限定されるものではない。即ち本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことはいうまでもない。
【００３５】
例えば、第１実施形態においては、貫通孔１１２Ｂとねじ１１８（と対象物ＳＪのねじ穴）とで固定機構の機能を発揮していたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図３（Ａ）、（Ｂ）に示す第２実施形態の如くであってもよい。なお、ここでは、第１実施形態と異なる固定機構２２０について説明し、それ以外の説明については重複を避けるため省略する。
【００３６】
第２実施形態においては、図３（Ａ）、（Ｂ）に示す如く、金属薄板２１２の一方の端部２１２Ａに設けられた固定機構２２０は、固定部材２２２と移動部材２２４とを備える。固定部材２２２において、反金属薄板側に凹部２２２Ａが設けられ、その凹部２２２Ａの成形により測定軸方向に対して傾斜する傾斜面２２２Ｂが成形されている。そして、凹部２２２Ａには傾斜面２２２Ｂと略平行にねじ穴２２２Ｄが成形されている。そして、凹部２２２Ａの成形されていない固定部材２２２の部分には貫通孔２２２Ｃが成形され、その貫通孔２２２Ｃにねじ２２６が係合し、固定部材２２２が対象物ＳＪに成形された凹部ＰＴに固定される。
【００３７】
一方、移動部材２２４において、金属薄板側に凹部２２４Ａが設けられ、その凹部２２４Ａの成形により測定軸方向に対して傾斜する傾斜面２２４Ｂが成形されている。なお、傾斜面２２２Ｂ、２２４Ｂの傾斜角度は同一とされ、互いに当接する状態とされる。そして、凹部２２２Ａでは金属薄板２１２の端部２１２Ａが固定されている。そして、凹部２２４Ａの成形されていない移動部材２２４の部分には傾斜面２２４Ｂと略平行に貫通孔２２４Ｃが成形されている。その貫通孔２２４Ｃにねじ２２８が係合し、ねじ２２８の固定部材２２２（のねじ穴２２２Ｄ）への螺合状態で移動部材２２４の傾斜面２２２Ｂに沿った移動と固定とが可能とされている。なお、金属薄板２１２のもう一方の端部２１２Ａには第１実施形態と同じく貫通孔が成形されて、端部２１２Ａがねじ２１８で対象物ＳＪに取付けられる。
【００３８】
ガラススケール２１６を対象物ＳＪに保持させる際には、金属薄板２１２の一方の端部２１２Ａを第１実施形態と同じく、ねじ２１８で取付ける。そして、固定機構２２０のうちの固定部材２２２を対象物ＳＪに取付けた後に、金属薄板２１２のもう一方の端部２１２Ａに固定された移動部材２２４をねじ２２８で、固定部材２２２に固定する。なお、図３（Ｂ）で示す如く、凹部ＰＴの形状はこの時点で金属薄板２１２の背面の全面で対象物ＳＪに当接するようにされている。
【００３９】
このため、本実施形態においては、第１実施形態と異なり、対象物ＳＪのねじ穴間隔の精度に影響を受けることなく、容易且つ安定に金属薄板２１２に張力を付与することができる。なお、本実施形態においては、一方の端部２１２Ａにのみ固定機構２２０を適用したが、金属薄板の両方の端部に適用してもよい。また、固定機構２２０が例えばテーパー形状を１軸或いは２軸方向でその傾斜面に備えることで、ガラススケール２１６の保持の際に１軸或いは２軸方向への位置決めを同時に行ってもよい。
【００４０】
或いは、固定機構が、ねじを使わない構成でもよい。例えば金属薄板の一方の端部に伸縮可能なフック形状部材を設け、もう一方の端部にピンが嵌合可能な貫通孔を設ける。そして、対象物ＳＪには前記フック形状部材で係合可能な第１凹部と前記ピンが嵌合可能な第２凹部とを設けておく。ガラススケールを対象物ＳＪに保持させる際には、前記フック形状部材を対象物ＳＪの第１凹部に係合させたうえで、前記ピンを金属薄板の貫通孔と対象物ＳＪの第２凹部に嵌合させるようしてもよい（順序が逆でもよい）。その際には、フック形状部材の伸縮具合で、金属薄板に張力を付与することが可能となる。
【００４１】
また、第１実施形態においては、図４（Ａ）に示す如く、金属薄板１１２の厚みが幅方向（Ｙ方向）で均一とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図４（Ｂ）に示す第３実施形態の如くであってもよい。なお、ここでは、第１実施形態と異なる金属薄板３１２について説明し、それ以外の説明については重複を避けるため省略する。
【００４２】
第３実施形態においては、金属薄板３１２の幅方向（Ｙ方向）における両端部の厚みが金属薄板３１２の幅方向における中央部の厚みに比べて厚くされている（この際においても、その厚みＴ１は１ｍｍ以下とされている）。このため、金属薄板３１２は、高い剛性を備え、第１実施形態の金属薄板１１２に比べて屈曲しにくい。
【００４３】
従って、本実施形態においては、ガラススケール３１６へ伝わる外乱（振動）を更に低減することができる。なお、本実施形態においては、金属薄板３１２の中央部よりも厚くされている部分３１２Ｃは、金属薄板３１２の成形当初において成形してもよい。或いは、当初の均一な厚みの金属薄板からその幅方向の端部を９０度に曲げる、或いは完全に折り返して成形してもよい。また、本実施形態においては、金属薄板３１２の幅方向の両端部の厚みが金属薄板３１２の幅方向における中央部の厚みに比べて厚くされていたが、いずれか一方の端部だけが中央部の厚みに比べて厚くされていてもよい。
【００４４】
また、上記実施形態においては、金属薄板の幅Ｗ１がガラススケールの幅Ｗ２よりも狭くされていたが、幅Ｗ１が幅Ｗ２以下であればよい。
【００４５】
また、上記実施形態においては、金属薄板の背面の全面で対象物に当接して対象物ＳＪに保持されていたが、本発明はこれに限定されない。金属薄板の突出した端部を除く背面が一か所以上で該対象物に当接されていればよく、その際でも外乱（振動）で金属薄板が共振することを相応に防止することができる。
【００４６】
また、上記実施形態においては、ガラススケールと金属薄板との間に弾性層が更に設けられていたが、本発明はこれに限定されずに、弾性層がなく、例えば、ガラススケールと金属薄板とが強力接着剤で固定されていてもよい。
【００４７】
また、上記実施形態においては、金属薄板を対象物に保持させるのに２箇所の固定機構だけが用いられていたが、本発明はこれに限定されない。例えば金属薄板を対象物に保持させる際に、単独では困難な固定補助手段を固定機構と併用してもよい。固定補助手段による固定方法としては、例えば、２つの固定機構の間の金属薄板の背面と対象物との当接する部分の一か所以上を軽い衝撃で外れる程度の瞬間接着剤の接着量で接着することなどを用いることができる。
【００４８】
また、上記実施形態においては、光電式のリニアエンコーダであったが、本発明はこれに限定されず、電磁誘導式や磁気式などであってもよく、ガラススケールが用いられればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、特にガラススケールを有するリニアエンコーダに適用することが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１６、１１６、２１６、３１６…ガラススケール
６２…金属テープ
６４…強力接着剤
６６…スケール
６８…両面テープ
１００…リニアエンコーダ
１１２、２１２、３１２…金属薄板
１１２Ａ、２１２Ａ…端部
１１４、２１４、３１４…弾性層
１１８、２１８、２２６、２２８…ねじ
１３８…検出ヘッド
２２０…固定機構
２２２…固定部材
２２４…移動部材
【図１】
0005728308.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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