(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置の表示パネル上に配置される導電シートであって、
入力操作側に配置された第１導電部と、前記表示パネル側に配置された第２導電部とを有し、
前記第１導電部と前記第２導電部とが対向して配置され、
前記第１導電部は、一方向に配列され、それぞれ複数の第１電極が接続された金属細線による複数の第１導電パターンを有し、
前記第２導電部は、前記第１導電パターンの配列方向と直交する方向に配列され、それぞれ複数の第２電極が接続された金属細線による複数の第２導電パターンを有し、
前記第１導電パターンの占有面積をＡ１、前記第２導電パターンの占有面積をＡ２としたとき、
３．３≦Ａ２／Ａ１≦８
であり、
前記金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が６μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とする導電シート。
【請求項２】
請求項１記載の導電シートにおいて、
前記金属細線の線幅が５μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上４００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が５μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とする導電シート。
【請求項３】
請求項１又は２記載の導電シートにおいて、
さらに基体を有し、
前記第１導電部と前記第２導電部とが前記基体を間に挟んで対向して配置され、前記基体の厚みが７５μｍ以上３５０μｍ以下であることを特徴とする導電シート。
【請求項４】
請求項１記載の導電シートにおいて、
前記第１導電部及び／又は前記第２導電部に含まれ、前記第１電極と前記第２電極との間に配置される金属細線による補助電極と、
前記第２導電部に含まれ、前記第１電極に対応した部分に配置される金属細線による別の補助電極とを有することを特徴とする導電シート。
【請求項５】
請求項４記載の導電シートにおいて、
前記別の補助電極の占有面積が、前記第２電極の占有面積の１／２以下であることを特徴とする導電シート。
【請求項６】
請求項４又は５記載の導電シートにおいて、
前記第１電極に対応した部分に配置される金属細線による前記別の補助電極と、前記第１導電部の前記第１電極とが組み合わされて格子パターンが構成されることを特徴とする導電シート。
【請求項７】
請求項４〜６のいずれか１項に記載の導電シートにおいて、
前記第１電極は、網目状の金属細線からなることを特徴とする導電シート。
【請求項８】
請求項７記載の導電シートにおいて、
前記第２電極は、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、
前記第１電極は、前記第１の格子よりもサイズが大きい複数の第２の格子が組み合わされて構成され、
前記第２の格子は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有する長さ成分が存在することを特徴とする導電シート。
【請求項９】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の導電シートにおいて、
前記第１電極に対応した部分に配置される前記別の補助電極は、直線状の金属細線からなることを特徴とする導電シート。
【請求項１０】
請求項９記載の導電シートにおいて、
前記第２電極は、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、
前記別の補助電極を構成する前記直線状の金属細線は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有することを特徴とする導電シート。
【請求項１１】
請求項４〜８のいずれか１項に記載の導電シートにおいて、
前記第１電極に対応した部分に配置される前記別の補助電極は、網目状の金属細線からなることを特徴とする導電シート。
【請求項１２】
請求項１１記載の導電シートにおいて、
前記第２電極は、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、
前記別の補助電極は、前記第１の格子よりもサイズが大きい複数の第２の格子が組み合わされて構成され、
前記第２の格子は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有する長さ成分が存在することを特徴とする導電シート。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１項に記載の導電シートにおいて、
さらに基体を有し、
前記第１導電部と前記第２導電部とが前記基体を間に挟んで対向して配置されていることを特徴とする導電シート。
【請求項１４】
請求項１３記載の導電シートにおいて、
前記第１導電部が前記基体の一主面に形成され、
前記第２導電部が前記基体の他主面に形成されていることを特徴とする導電シート。
【請求項１５】
請求項４記載の導電シートにおいて、
さらに基体を有し、
前記第１導電部と前記第２導電部とが前記基体を間に挟んで対向して配置され、
前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれ網目状のパターンに形成され、
前記第２電極間の前記第１電極に対応する領域に、前記別の補助電極を構成する金属細線による補助パターンが形成され、
上面から見たとき、前記第１電極に隣接して前記第２電極が配置された形態とされ、前記第１電極と前記補助パターンとが対向することによる組合せパターンが形成され、前記組合せパターンは、網目状のパターンが組み合わされた形態を有することを特徴とする導電シート。
【請求項１６】
請求項１５記載の導電シートにおいて、
前記第１電極は、複数の第２小格子が組み合わされて構成された第１大格子を有し、
前記第２電極は、前記第２小格子よりもサイズが小さい複数の第１小格子が組み合わされて構成された第２大格子を有し、
前記組合せパターンは、前記第１大格子に隣接して前記第２大格子が配置された形態とされ、前記第１大格子と前記補助パターンとが対向することによる組合せパターンが形成され、前記組合せパターンは、２以上の前記第１小格子が組み合わされた形態を有することを特徴とする導電シート。
【請求項１７】
表示装置の表示パネル上に配置される導電シートを有するタッチパネルであって、
前記導電シートは、
入力操作側に配置された第１導電部と、前記表示パネル側に配置された第２導電部とを有し、
前記第１導電部と前記第２導電部とが対向して配置され、
前記第１導電部は、一方向に配列され、それぞれ複数の第１電極が接続された金属細線による複数の第１導電パターンを有し、
前記第２導電部は、前記第１導電パターンの配列方向と直交する方向に配列され、それぞれ複数の第２電極が接続された金属細線による複数の第２導電パターンを有し、
前記第１導電パターンの占有面積をＡ１、前記第２導電パターンの占有面積をＡ２としたとき、
３．３≦Ａ２／Ａ１≦８
であり、
前記金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が６μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とするタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電シート及びタッチパネルに関し、例えば投影型静電容量方式のタッチパネルに用いて好適な導電シート及びタッチパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
金属細線を用いた透明導電膜については、例えば、特許文献１及び２で開示されているように、研究が継続されている。
近時、タッチパネルが注目されている。タッチパネルは、ＰＤＡ（携帯情報端末）や携帯電話等の小サイズへの適用が主となっているが、パソコン用ディスプレイ等への適用による大サイズ化が進むと考えられる。
このような将来の動向において、従来の電極は、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用いていることから、抵抗が大きく、適用サイズが大きくなるにつれて、電極間の電流の伝達速度が遅くなり、応答速度（指先を接触してからその位置を検出するまでの時間）が遅くなるという問題がある。
そこで、金属製の細線（金属細線）にて構成した格子を多数並べて電極を構成することで表面抵抗を低下させることが考えられる。金属細線を電極に用いたタッチパネルとしては、例えば、特許文献３〜９が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００４／０２２９０２８号明細書
【特許文献２】国際公開第２００６／００１４６１号パンフレット
【特許文献３】特開平５−２２４８１８号公報
【特許文献４】米国特許第５１１３０４１号明細書
【特許文献５】国際公開第１９９５／２７３３４号パンフレット
【特許文献６】米国特許出願公開第２００４／０２３９６５０号明細書
【特許文献７】米国特許第７２０２８５９号明細書
【特許文献８】国際公開第１９９７／１８５０８号パンフレット
【特許文献９】特開２００３−０９９１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のように、タッチパネルの電極として、金属細線を用いる場合、金属細線は不透明な材料で作成されることから透明性や視認性が問題となる。電極として金属細線を用いた導電シートを表示装置上に置いて使用する際に、以下の２つのモードでも良好な視認性が必要とされる。１つは、表示装置を点灯・表示させた場合に、金属細線が視認され難く、可視光透過率が高く、また、表示装置の画素周期（例えば液晶ディスプレイのブラックマトリックスパターン）と導電パターンとの光干渉で生じるモアレ等のノイズが発生し難いこと。２つ目は、ディスプレーを消灯・黒画面とし、蛍光灯・太陽光・ＬＥＤ光等の外光の元で観察する際に、金属細線が視認され難いことである。
一般に、金属細線の線幅を細くすることにより視認性は向上するが、細線化により電極抵抗が上昇し、タッチ位置の検出感度が低下する不具合が生じるため、導電パターン、金属細線パターンの形状を最適化する必要があった。
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、タッチパネルにおいて、金属細線のパターンで電極を構成した場合においても、金属細線が視認され難く、高い透明性を確保することができ、しかも、検出感度の向上を図ることができる導電シート及びタッチパネルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［１］  第１の本発明に係る導電シートは、表示装置の表示パネル上に配置される導電シートであって、入力操作側に配置された第１導電部と、前記表示パネル側に配置された第２導電部とを有し、前記第１導電部と前記第２導電部とが対向して配置され、前記第１導電部は、一方向に配列され、それぞれ複数の第１電極が接続された金属細線による複数の第１導電パターンを有し、前記第２導電部は、前記第１導電パターンの配列方向と直交する方向に配列され、それぞれ複数の第２電極が接続された金属細線による複数の第２導電パターンを有し、前記第１導電パターンの占有面積をＡ１、前記第２導電パターンの占有面積をＡ２としたとき、
３．３≦Ａ２／Ａ１≦８
であり、前記金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が６μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とする。
通常、表示装置側の第２導電パターンは、電磁波によるノイズの影響を抑制することができる。すなわち、電磁波の電界成分を打ち消す方向に表皮電流が流れ、電磁波の磁界成分を打ち消す方向に渦電流が流れることで、電磁波によるノイズの影響を抑制することができる。特に、この第１の発明では、表示装置側の前記第２導電パターンの占有面積を前記第１導電パターンの占有面積よりも大きくしたので、第２導電パターンの表面抵抗を低くすることができ、例えば表示装置等からの電磁波によるノイズの影響を抑制する上で有利になる。
また、前記金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が６μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であるため、金属細線を視認し難く、高い透明性を確保することができる。
また、指のタッチ位置の検出方式として、自己容量方式を採用した場合に、指のタッチ位置から距離的に遠い第２電極であっても、第１電極と同等程度の信号電荷を蓄積させることができ、第１電極での検出感度と第２電極での検出感度をほぼ同等にすることができ、信号処理の負担を低減することができると共に、検出精度の向上も図ることができる。指のタッチ位置の検出方式として、例えば相互容量方式を採用した場合においても、占有面積の広い第２電極を駆動電極、第１電極を受信電極として使用することで、第１電極での受信感度を高めることが可能となる。
このように、第１の本発明に係る導電シートにおいては、金属細線のパターンで電極を構成した場合においても、金属細線が視認され難く、高い透明性を確保することができ、しかも、検出信号のＳ／Ｎ比の向上、検出感度の向上、検出精度の向上を図ることができる。
［２］  第１の本発明において、前記金属細線の線幅が５μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上４００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が５μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましい。
［３］  第１導電パターンと第２導電パターンとが一部において対向して、検出感度の低下をもたらす寄生容量が形成されたとしても、基体の厚みが７５μｍ以上３５０μｍ以下としたので、前記寄生容量を低く抑えることができ、検出感度の低下を抑制することができる。
［４］  第１の本発明において、前記第１導電部及び／又は前記第２導電部に含まれ、前記第１電極と前記第２電極との間に配置される金属細線による補助電極と、前記第２導電部に含まれ、前記第１電極に対応した部分に配置される金属細線による別の補助電極とを有することを特徴とする。
この場合、第２導電パターンの金属細線の占有面積を第１導電パターンよりも大幅に増やすことができ、電磁波等によるノイズの抑圧にさらに有利となる。
［５］  別の補助電極を構成する金属細線の占有面積を大きくすると、第１電極と第２電極の光透過率を均一にするために、第１電極の導電性が損なわれるおそれがある。そこで、前記別の補助電極における金属細線の占有面積が、前記第２電極における金属細線の占有面積の１／２以下であることが好ましい。
［６］  ［４］において、前記第１電極に対応した部分に配置される金属細線による前記別の補助電極と、前記第１導電部の前記第１電極とが組み合わされて格子パターンが構成されるようにすることを特徴とする。これにより、視認性の向上を図ることができる。
［７］  ［４］において、前記第１電極は、網目状の金属細線からなることを特徴とする。これにより、第１電極の導電性を向上させることができる。
［８］  この場合、前記第２電極は、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、前記第１電極は、前記第１の格子よりもサイズが大きい複数の第２の格子が組み合わされて構成され、前記第２の格子は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有する長さ成分が存在することが好ましい。
［９］  ［４］において、前記第１電極に対応した部分に配置される前記別の補助電極は、直線状の金属細線からなることを特徴とする。
［１０］  この場合、前記第２電極は、導電性を向上させる上で、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、前記別の補助電極を構成する前記直線状の金属細線は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有することが好ましい。
［１１］  ［４］において、前記第１電極に対応した部分に配置される前記別の補助電極は、網目状の金属細線からなるようにしてもよい。
［１２］  この場合、前記第２電極は、複数の第１の格子が組み合わされて構成され、前記別の補助電極は、前記第１の格子よりもサイズが大きい複数の第２の格子が組み合わされて構成され、前記第２の格子は、前記第１の格子の一辺の長さの実数倍の長さを有する長さ成分が存在するようにしてもよい。
［１３］  第１の本発明において、さらに基体を有し、前記第１導電部と前記第２導電部とが前記基体を間に挟んで対向して配置されていてもよい。
［１４］  この場合、前記第１導電部が前記基体の一主面に形成され、前記第２導電部が前記基体の他主面に形成されていてもよい。
［１５］  ［４］において、さらに基体を有し、前記第１導電部と前記第２導電部とが前記基体を間に挟んで対向して配置され、前記第１電極及び前記第２電極は、それぞれ網目状のパターンに形成され、前記第２電極間の前記第１電極に対応する領域に、前記別の補助電極を構成する金属細線による補助パターンが形成され、上面から見たとき、前記第１電極に隣接して前記第２電極が配置された形態とされ、前記第１電極と前記補助パターンとが対向することによる組合せパターンが形成され、前記組合せパターンは、網目状のパターンが組み合わされた形態を有するようにしてもよい。これにより、視認性の向上を図ることができる。
［１６］  この場合、前記第１電極は、複数の第２小格子が組み合わされて構成された第１大格子を有し、前記第２電極は、前記第２小格子よりもサイズが小さい複数の第１小格子が組み合わされて構成された第２大格子を有し、前記組合せパターンは、前記第１大格子に隣接して前記第２大格子が配置された形態とされ、前記第１大格子と前記補助パターンとが対向することによる組合せパターンが形成され、前記組合せパターンは、２以上の前記第１小格子が組み合わされた形態を有することが好ましい。
［１７］  第２の本発明に係るタッチパネルは、表示装置の表示パネル上に配置される導電シートを有するタッチパネルであって、前記導電シートは、入力操作側に配置された第１導電部と、前記表示パネル側に配置された第２導電部とを有し、前記第１導電部と前記第２導電部とが対向して配置され、前記第１導電部は、一方向に配列され、それぞれ複数の第１電極が接続された金属細線による複数の第１導電パターンを有し、前記第２導電部は、前記第１導電パターンの配列方向と直交する方向に配列され、それぞれ複数の第２電極が接続された金属細線による複数の第２導電パターンを有し、前記第１導電パターンの占有面積をＡ１、前記第２導電パターンの占有面積をＡ２としたとき、
３．３≦Ａ２／Ａ１≦８
であり、前記金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下、あるいは前記金属細線の線幅が６μｍより大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
以上説明したように、本発明に係る導電シート及びタッチパネルによれば、タッチパネルにおいて、金属細線のパターンで電極を構成した場合においても、金属細線が視認され難く、高い透明性を確保することができ、しかも、検出感度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施の形態に係るタッチパネルの構成を示す分解斜視図である。
【図２】積層導電シートを一部省略して示す分解斜視図である。
【図３】図３Ａは積層導電シートの一例を一部省略して示す断面図であり、図３Ｂは導電シートの他の例を一部省略して示す断面図である。
【図４】第１導電シートに形成される第１導電部のパターン例を示す平面図である。
【図５】第２導電シートに形成される第２導電部のパターン例を示す平面図である。
【図６】第１導電シートと第２導電シートを組み合わせて積層導電シートとした例を一部省略して示す平面図である。
【図７】第１変形例に係る第１導電部のパターン例を示す平面図である。
【図８】第１変形例に係る第２導電部のパターン例を示す平面図である。
【図９】第１変形例に係る第１導電部が形成された第１導電シートと第１変形例に係る第２導電部が形成された第２導電シートを組み合わせて積層導電シートとした例を一部省略して示す平面図である。
【図１０】第１補助線と第２補助線によって１つのラインが形成された状態を示す説明図である。
【図１１】第２変形例に係る第１導電部のパターン例を示す平面図である。
【図１２】第２変形例に係る第２導電部のパターン例を示す平面図である。
【図１３】第２変形例に係る第１導電部が形成された第１導電シートと第２変形例に係る第２導電部が形成された第２導電シートを組み合わせて積層導電シートとした例を一部省略して示す平面図である。
【図１４】第３変形例に係る第１導電部のパターン例を示す平面図である。
【図１５】第３変形例に係る第２導電部のパターン例を示す平面図である。
【図１６】本実施の形態に係る積層導電シートの製造方法を示すフローチャートである。
【図１７】図１７Ａは作製された感光材料を一部省略して示す断面図であり、図１７Ｂは感光材料に対する両面同時露光を示す説明図である。
【図１８】第１感光層に照射された光が第２感光層に到達せず、第２感光層に照射された光が第１感光層に到達しないようにして第１露光処理及び第２露光処理を行っている状態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明に係る導電シート及びタッチパネルの実施の形態例を図１〜図１８を参照しながら説明する。なお、本明細書において数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味として使用される。
【０００９】
先ず、本実施の形態に係る導電シートが使用されるタッチパネルについて、図１を参照しながら説明する。
タッチパネル１００は、センサ本体１０２と図示しない制御回路（ＩＣ回路等で構成）とを有する。センサ本体１０２は、本実施の形態に係る積層導電シート１２と、その上に積層された保護層１０６とを有する。積層導電シート１２及び保護層１０６は、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置１０８における表示パネル１１０上に配置されるようになっている。センサ本体１０２は、上面から見たときに、表示パネル１１０の表示画面１１０ａに対応した領域に配されたタッチ位置のセンサ部１１２と、表示パネル１１０の外周部分に対応する領域に配された端子配線部１１４（いわゆる額縁）とを有する。
【００１０】
積層導電シート１２は、図２に示すように、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂとが積層されて構成されている。
第１導電シート１０Ａは、第１透明基体１４Ａ（図３Ａ参照）の一主面上に形成された第１導電部１３Ａを有する。この第１導電部１３Ａは、図４にも示すように、金属細線１５（図３Ａ参照）による２以上の導電性の第１大格子１６Ａ（第１電極）が形成され、各第１大格子１６Ａは、それぞれ２以上の小格子１８が組み合わされて構成されている。各第１大格子１６Ａの辺の周囲には、第１大格子１６Ａと非接続とされた金属細線１５による第１補助パターン２０Ａ（補助電極）が形成されている。また、隣接する第１大格子１６Ａ間には、これら第１大格子１６Ａを電気的に接続する金属細線１５による第１接続部２２Ａが形成されている。第１接続部２２Ａは、小格子１８のｎ倍（ｎは１より大きい実数）のピッチを有する１以上の中格子２４（２４ａ〜２４ｄ）が配置されて構成されている。小格子１８は、ここでは一番小さい正方形状とされている。金属細線１５は例えば金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）又は銅（Ｃｕ）で構成されている。また、少なくとも第１透明基体１４Ａの厚みは７５μｍ以上３５０μｍ以下となっている。
【００１１】
第１大格子１６Ａの一辺の長さは、３〜１０ｍｍであることが好ましく、４〜６ｍｍであることがより好ましい。第１大格子１６Ａを構成する小格子１８の一辺の長さは５０〜５００μｍであることが好ましく、１５０〜３００μｍであることがさらに好ましい。
また、金属細線１５の線幅は、下限は１μｍ以上、３μｍ以上、４μｍ以上、もしくは５μｍ以上が好ましく、上限は１５μｍ以下、１０μｍ以下、９μｍ以下、８μｍ以下が好ましい。線幅が上記下限値未満の場合には、導電性が不十分となるためタッチパネル１００に使用した場合に、検出感度が不十分となる。他方、上記上限値を越えると導電性金属部に起因するモアレが顕著になったり、タッチパネル１００に使用した際に視認性が悪くなったりする。なお、上記範囲にあることで、導電性金属部のモアレが改善され、視認性が特によくなる。
【００１２】
さらに、２以上の第１大格子１６Ａが第１接続部２２Ａを介して一方向（第１方向：ｘ方向）に配列されて金属細線１５による１つの第１導電パターン２６Ａが構成され、２以上の第１導電パターン２６Ａがｘ方向と直交するｙ方向（第２方向）に配列され、隣接する第１導電パターン２６Ａ間は電気的に絶縁された第１絶縁部２８Ａが配されている。
【００１３】
第１導電パターン２６Ａとしては、第１大格子１６Ａを用いた例に限られない。例えば多数の小格子１８が配列されたメッシュパターンが絶縁部で帯状に区画され、それが平行に複数配置された導電パターンを使用することができる。例えば、それぞれ端子からｘ方向に延在し、且つ、ｙ方向に配列された２以上の帯状の第１導電パターン２６Ａを有するようにしてもよい。その他、各端子毎に複数の帯状のメッシュパターンが延在するパターンでもよい。また、第１補助パターン２０Ａとしては、第１導電パターン２６Ａと平行して配置され、且つ、例えば各小格子１８の一部が断線したメッシュパターンを用いるようにしてもよい。この場合、第１導電パターン２６Ａと接続されていてもよいし、分離されていてもよい。
【００１４】
そして、図４に示すように、第１大格子１６Ａの４つの辺３２、すなわち、隣接する第１大格子１６Ａと接続していない一方の頂点３０ａに隣接する第１辺３２ａ及び第２辺３２ｂ、並びに隣接する第１大格子１６Ａと接続していない他方の頂点３０ｂに隣接する第３辺３２ｃ及び第４辺３２ｄは、それぞれ直線形状を有する。換言すれば、第１辺３２ａの直線形状と第２辺３２ｂの直線形状との境界部分が第１大格子１６Ａの一方の頂点３０ａを構成し、第３辺３２ｃの直線部分と第４辺３２ｄの直線部分との境界部分が第１大格子１６Ａの他方の頂点３０ｂを構成している。
【００１５】
第１接続部２２Ａは、４つ分の小格子１８を含む大きさを有する中格子２４が４つ（第１中格子２４ａ〜第４中格子２４ｄ）、ジグザグ状に配列された形状を有する。すなわち、第１中格子２４ａは、第２辺３２ｂと第４辺３２ｄとの境界部分に存在し、１つの小格子１８とＬ字状の空間が形成された形状を有する。第２中格子２４ｂは、第１中格子２４ａの１つ辺に隣接し、正方形状の空間が形成された形状、すなわち、４つ分の小格子１８をマトリクス状に配列し、中央の十字を取り外したような形状を有する。第３中格子２４ｃは、第１中格子２４ａの１つの頂点に隣接すると共に、第２中格子２４ｂの１つの辺に隣接して配され、第２中格子２４ｂと同様の形状を有する。第４中格子２４ｄは、第３辺３２ｃと第１辺３２ａとの境界部分に存在し、第２中格子２４ｂの１つの頂点に隣接すると共に、第３中格子２４ｃの１つの辺に隣接して配され、第１中格子２４ａと同様に、１つの小格子１８とＬ字状の空間が形成された形状を有する。そして、小格子１８の配列ピッチをＰとしたとき、中格子２４の配列ピッチは２Ｐの関係を有している。
【００１６】
また、第１大格子１６Ａの４つの辺３２（第１辺３２ａ〜第４辺３２ｄ）の周辺には、それぞれ上述した第１補助パターン２０Ａが形成されており、各第１補助パターン２０Ａは、それぞれ小格子１８の一部を除去した形状が２以上、対応する辺（直線形状）に沿って配列された形状を有する。図４の例では、小格子１８の１つの辺を除去した形状（略Ｕ字状であって、２つの屈曲部を有し、且つ、１つの開口を有する形状：便宜的に略Ｕ字形状と記す）が、開口の部分を、第１大格子１６Ａの対応する辺に対して反対方向に向けて、１０個配列され、その配列ピッチが、第１大格子１６Ａの小格子１８の配列ピッチＰの２倍とされた例を示している。また、例えば第１辺３２ａの直線形状から第１補助パターン２０Ａの略Ｕ字形状までの最短距離は、小格子１８の内周側の１つの辺の長さとほぼ同一とされている。これは、第２辺３２ｂ〜第４辺３２ｄにおいても同様である。
【００１７】
また、第１絶縁部２８Ａには、第１大格子１６Ａと非接続とされた第１絶縁パターン３４Ａが形成されている。この第１絶縁パターン３４Ａは、２以上の小格子１８が配列された第１集合パターン部３６ａと、小格子１８が存在しない３つの空白部３８（３８ａ〜３８ｃ）とを有する。
具体的には、第１集合パターン部３６ａは、複数の小格子１８による４つの直線部分（２つの長い直線部分と２つの短い直線部分）が組み合わされて構成されている。各直線部分は、複数の小格子１８がそれぞれ頂点を結ぶように配列されて構成されている。３つの空白部３８は、第１絶縁部２８Ａを間に挟んで隣接する２つの第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂに注目したとき、第１集合パターン部３６ａにて囲まれた小格子１８の存在しない第１空白部３８ａと、一方の第１大格子１６Ａにおける他方の頂点３０ｂ付近の小格子１８が存在しない第２空白部３８ｂと、他方の第１大格子１６Ａにおける一方の頂点３０ａ付近の小格子１８が存在しない第３空白部３８ｃとで構成される。
【００１８】
４つの直線部分のうち、２つの長い直線部分は、それぞれ例えば７つの小格子１８がそれぞれ頂点を結ぶように配列されて構成され、一方の長い直線部分の一端に位置する小格子１８は、一方の第１大格子１６Ａの第３辺３２ｃに沿って配列された第１補助パターン２０Ａに対して、一方の第１大格子１６Ａの他方の頂点３０ｂ側に同一ピッチで隣接した位置に配され、他端に位置する小格子１８は、他方の第１大格子１６Ａの第１辺３２ａに沿って配列された第１補助パターン２０Ａに対して、他方の第１大格子１６Ａの一方の頂点３０ａ側に同一ピッチで隣接した位置に配されている。同様に、他方の長い直線部分の一端に位置する小格子１８は、一方の第１大格子１６Ａの第４辺３２ｄに沿って配列された第１補助パターン２０Ａに対して、一方の第１大格子１６Ａの他方の頂点３０ｂ側に同一ピッチで隣接した位置に配され、他端に位置する小格子１８は、他方の第１大格子１６Ａの第２辺３２ｂに沿って配列された第１補助パターン２０Ａに対して、他方の第１大格子１６Ａの一方の頂点３０ａ側に同一ピッチで隣接した位置に配されている。
【００１９】
２つの短い直線部分のうち、一方の短い直線部分は、一方の長い直線部分における一端から２番目の小格子１８と、他方の長い直線部分における一端から２番目の小格子１８とを結ぶ２つの小格子１８にて構成されている。同様に、他方の短い直線部分は、一方の長い直線部分における他端から２番目の小格子１８と、他方の長い直線部分における他端から２番目の小格子１８とを結ぶ２つの小格子１８にて構成されている。
【００２０】
そして、小格子１８の配列ピッチをＰとし、隣接する第１導電パターン２６Ａ間の最短距離、すなわち、一方の第１大格子１６Ａの他方の頂点３０ｂと他方の第１大格子１６Ａの一方の頂点３０ａとの間の距離を、第１絶縁部２８Ａの幅と定義したとき、第１絶縁部２８Ａの幅はｍ×Ｐ（ｍは１以上の整数）であり、且つ、第１絶縁パターン３４Ａのうち、第１絶縁部２８Ａの幅の方向の部分の最大長さ、すなわち、一方の短い直線部分のうち、一方の第１大格子１６Ａの他方の頂点３０ｂと対向する部分と、他方の短い直線部分のうち、他方の第１大格子１６Ａの一方の頂点３０ａと対向する部分との間の距離はｍ×Ｐ以下である。
【００２１】
このように、第１導電シート１０Ａにおいては、金属細線１５による１つの第１導電パターン２６Ａを、２以上の第１大格子１６Ａを第１方向に直列に接続して構成し、各第１大格子１６Ａを、それぞれ２以上の小格子１８を組み合わせて構成し、第１大格子１６Ａの辺の周囲に、第１大格子１６Ａと非接続とされた金属細線１５による第１補助パターン２０Ａを形成し、金属細線１５の線幅を１〜１５μｍ、小格子１８の一辺の長さを５０〜５００μｍにしたので、１つの電極を１つのＩＴＯ膜にて形成する構成よりも大幅に電気抵抗を低減することが可能となる。従って、この第１導電シート１０Ａを用いて例えば投影型静電容量方式のタッチパネル１００に適用した場合に、応答速度を速めることができ、タッチパネル１００の大サイズ化を促進させることができる。
各第１導電パターン２６Ａの一方の端部側に存在する第１電極１６Ａの開放端は、第１接続部２２Ａが存在しない形状となっている。各第１導電パターン２６Ａの他方の端部側に存在する第１電極１６Ａの端部は、第１結線部４０ａを介して金属細線による第１端子配線パターン４２ａに電気的に接続されている。
タッチパネル１００に適用した第１導電シート１０Ａは、図２に示すように、センサ部１１２に対応した部分に、上述した多数の第１導電パターン２６Ａが配列され、端子配線部１１４には各第１結線部４０ａから導出された金属細線１５による複数の第１端子配線パターン４２ａが配列されている。
【００２２】
図１の例では、第１導電シート１０Ａの外形は、上面から見て長方形状を有し、センサ部１１２の外形も長方形状を有する。端子配線部１１４のうち、第１導電シート１０Ａの一方の長辺側の周縁部には、その長さ方向中央部分に、複数の第１端子１１６ａが前記一方の長辺の長さ方向に配列形成されている。また、センサ部１１２の一方の長辺（第１導電シート１０Ａの一方の長辺に最も近い長辺：ｙ方向）に沿って複数の第１結線部４０ａが直線状に配列されている。各第１結線部４０ａから導出された第１端子配線パターン４２ａは、第１導電シート１０Ａの一方の長辺におけるほぼ中央部に向かって引き回され、それぞれ対応する第１端子１１６ａに電気的に接続されている。従って、センサ部１１２における一方の長辺の両側に対応する各第１結線部４０ａに接続された第１端子配線パターン４２ａは、ほぼ同じ長さにて引き回されることになる。もちろん、第１端子１１６ａを第１導電シート１０Ａのコーナー部やその近傍に形成してもよいが、複数の第１端子配線パターン４２ａのうち、最も長い第１端子配線パターン４２ａと最も短い第１端子配線パターン４２ａとの間に大きな長さ上の違いが生じ、最も長い第１端子配線パターン４２ａとその近傍の複数の第１端子配線パターン４２ａに対応する第１導電パターン２６Ａへの信号伝達が遅くなるという問題がある。そこで、本実施の形態のように、第１導電シート１０Ａの一方の長辺の長さ方向中央部分に、第１端子１１６ａを形成することで、局所的な信号伝達の遅延を抑制することができる。これは、応答速度の高速化につながる。
一方、第２導電シート１０Ｂは、図２、図３Ａ及び図５に示すように、第２透明基体１４Ｂ（図３Ａ参照）の一主面上に形成された第２導電部１３Ｂを有する。この第２導電部１３Ｂは、金属細線１５による２以上の導電性の第２大格子１６Ｂ（第２電極）が形成され、各第２大格子１６Ｂは、それぞれ２以上の小格子１８が組み合わされて構成され、各第２大格子１６Ｂの辺の周囲に、第２大格子１６Ｂと非接続とされた第２補助パターン２０Ｂ（補助電極）が形成されている。また、隣接する第２大格子１６Ｂ間には、これら第２大格子１６Ｂを電気的に接続する金属細線１５による第２接続部２２Ｂが形成されている。第２接続部２２Ｂは、小格子１８のｎ倍（ｎは１より大きい実数）のピッチを有する１以上の中格子２４（２４ｅ〜２４ｈ）が配置されて構成されている。第２大格子１６Ｂの一辺の長さについても、上述した第１大格子１６Ａと同様に、３〜１０ｍｍであることが好ましく、４〜６ｍｍであることがより好ましい。
【００２３】
さらに、２以上の第２大格子１６Ｂが第２接続部２２Ｂを介してｙ方向（第２方向）に配列されて１つの第２導電パターン２６Ｂが構成され、２以上の第２導電パターン２６Ｂがｘ方向（第１方向）に配列され、隣接する第２導電パターン２６Ｂ間は電気的に絶縁された第２絶縁部２８Ｂが配されている。
【００２４】
この第２導電パターン２６Ｂについても、第２大格子１６Ｂを用いた例に限られない。例えば多数の小格子１８が配列されたメッシュパターンが絶縁部で帯状に区画され、それが平行に複数配置された導電パターンを使用することができる。例えば、それぞれ端子からｙ方向に延在し、且つ、ｘ方向に配列された２以上の帯状の第２導電パターン２６Ｂを有するようにしてもよい。その他、各端子毎に複数の帯状のメッシュパターンが延在するパターンでもよい。また、第２補助パターン２０Ｂについても、第２導電パターン２６Ｂと平行して配置され、且つ、例えば各小格子１８の一部が断線したメッシュパターンを用いるようにしてもよい。この場合、第２導電パターン２６Ｂと接続されていてもよいし、分離されていてもよい。
そして、図５に示すように、第２大格子１６Ｂは、上述した第１大格子１６Ａと異なり、略八角形の形状を有し、４つの短辺４４（第１短辺４４ａ〜第４短辺４４ｄ）と４つの長辺４６（第１長辺４６ａ〜第４長辺４６ｄ）とを有する。第２接続部２２Ｂは、ｙ方向に隣接する一方の第２大格子１６Ｂの第１短辺４４ａと他方の第２大格子１６Ｂの第２短辺４４ｂとの間に形成され、第２絶縁部２８Ｂは、ｘ方向に隣接する一方の第２大格子１６Ｂの第３短辺４４ｃと他方の第２大格子１６Ｂの第４短辺４４ｄとの間に配されている。
第２大格子１６Ｂの４つの長辺、すなわち、一方の第２絶縁部２８Ｂと対向する第３短辺４４ｃに隣接する第１長辺４６ａ及び第２長辺４６ｂ、並びに他方の第２絶縁部２８Ｂと対向する第４短辺４４ｄに隣接する第３長辺４６ｃ及び第４長辺４６ｄは、それぞれ直線形状を有する。
【００２５】
第２接続部２２Ｂは、４つ分の小格子１８を含む大きさを有する中格子２４が４つ（第５中格子２４ｅ〜第８中格子２４ｈ）、ジグザグ状に配列された形状を有する。すなわち、第５中格子２４ｅは、第１短辺４４ａに存在し、１つの小格子１８とＬ字状の空間が形成された形状を有する。第６中格子２４ｆは、第５中格子２４ｅの１つ辺に隣接し、正方形状の空間が形成された形状、すなわち、４つ分の小格子１８をマトリクス状に配列し、中央の十字を取り外したような形状を有する。第７中格子２４ｇは、第５中格子２４ｅの１つの頂点に隣接すると共に、第６中格子２４ｆの１つの辺に隣接して配され、第６中格子２４ｆと同様の形状を有する。第８中格子２４ｈは、第２短辺４４ｂに存在し、第６中格子２４ｆの１つの頂点に隣接すると共に、第７中格子２４ｇの１つの辺に隣接して配され、第５中格子２４ｅと同様に、１つの小格子１８とＬ字状の空間が形成された形状を有する。そして、小格子１８の配列ピッチをＰとしたとき、中格子２４の配列ピッチは２Ｐの関係を有している。
【００２６】
また、第２大格子１６Ｂの４つの長辺４６（第１長辺４６ａ〜第４長辺４６ｄ）の周辺には、それぞれ上述した第２補助パターン２０Ｂが形成されており、各第２補助パターン２０Ｂは、それぞれ小格子１８の一部を除去した形状が２以上、対応する辺（直線形状）に沿って配列された形状を有する。図５の例では、小格子１８の１つの辺を除去した形状（略Ｕ字形状）が、開口の部分を、第２大格子１６Ｂの対応する長辺に対して反対方向に向けて、１０個配列され、その配列ピッチが、第２大格子１６Ｂの小格子１８の配列ピッチＰの２倍とされた例を示している。また、例えば第１長辺４６ａの直線形状から第２補助パターン２０Ｂの略Ｕ字形状までの最短距離は、小格子１８の内周側の１つの辺の長さとほぼ同一とされている。これは、第２長辺４６ｂ〜第４長辺４６ｄにおいても同様である。
【００２７】
また、第２絶縁部２８Ｂには、第２大格子１６Ｂと非接続とされた第２絶縁パターン３４Ｂが形成されている。この第２絶縁パターン３４Ｂは、２以上の小格子が配列された第２集合パターン部３６ｂと、それぞれ２つの略Ｕ字形状で構成された第１屈曲パターン部４８ａ及び第２屈曲パターン部４８ｂと、小格子１８が存在しない１つの空白部（第４空白部３８ｄ）とを有する。
具体的には、第２集合パターン部３６ｂは、図４に示した第１導電パターン２６Ａにおける第１絶縁パターン３４Ａの第１空白部３８ａに収まる数（例えば６つ）の小格子１８がそれぞれ頂点を結ぶようにマトリクス状に配列されて構成されている。
【００２８】
第１屈曲パターン部４８ａは、第２絶縁パターン３４Ｂの一方の端部（一方の第２大格子１６Ｂにおける第４短辺４４ｄと第３長辺４６ｃとの境界と、他方の第２大格子１６Ｂにおける第３短辺４４ｃと第１長辺４６ａとの境界との間）に形成された２つの略Ｕ字形状にて構成され、これら２つの略Ｕ字形状は一端で連結され、且つ、該一端での各辺のなす角がほぼ９０°とされている。
同様に、第２屈曲パターン部４８ｂは、第２絶縁パターン３４Ｂの他方の端部（一方の第２大格子１６Ｂにおける第４短辺４４ｄと第４長辺４６ｄとの境界と、他方の第２大格子１６Ｂにおける第３短辺４４ｃと第２長辺４６ｂとの境界との間）に形成された２つの略Ｕ字形状にて構成され、これら２つの略Ｕ字形状は一端で連結され、且つ、該一端での各辺のなす角がほぼ９０°とされている。
第４空白部３８ｄは、図４に示す第１絶縁パターン３４Ａの第１集合パターン部３６ａを構成する４つの直線部分が収まる形状の空白領域（小格子１８が存在しない領域）にて構成されている。
【００２９】
そして、小格子１８の配列ピッチをＰとし、隣接する第２導電パターン２６Ｂ間の最短距離、すなわち、一方の第２大格子１６Ｂの第４短辺４４ｄと他方の第２大格子１６Ｂの第３短辺４４ｃとの間の距離を、第２絶縁部２８Ｂの幅と定義したとき、第２絶縁部２８Ｂの幅はｎ×Ｐ（ｎは１以上の整数）であり、且つ、第２絶縁パターン３４Ｂのうち、第２絶縁部２８Ｂの幅の方向の部分の最大長さ、すなわち、第２集合パターン部３６ｂのうち、一方の第２大格子１６Ｂの第４短辺４４ｄと対向する部分と、他方の第２大格子１６Ｂの第３短辺４４ｃと対向する部分との間の距離は、ｎ×Ｐ以下、好ましくはｎ×Ｐ未満である。
また、１つ置き（例えば奇数番目）の第２導電パターン２６Ｂの一方の端部側に存在する第２電極１６Ｂの開放端、並びに偶数番目の第２導電パターン２６Ｂの他方の端部側に存在する第２電極１６Ｂの開放端には、それぞれ第２接続部２２Ｂが存在しない形状となっている。一方、奇数番目の各第２導電パターン２６Ｂの他方の端部側に存在する第２電極１６Ｂの端部、並びに偶数番目の各第２導電パターン２６Ｂの一方の端部側に存在する第２電極１６Ｂの端部は、それぞれ第２結線部４０ｂを介して金属細線による第２端子配線パターン４２ｂに電気的に接続されている。
タッチパネル１００に適用した第２導電シート１０Ｂは、図２に示すように、センサ部１１２に対応した部分に、多数の第２導電パターン２６Ｂが配列され、端子配線部１１４には各第２結線部４０ｂから導出された複数の第２端子配線パターン４２ｂが配列されている。
図１に示すように、端子配線部１１４のうち、第２導電シート１０Ｂの一方の長辺側の周縁部には、その長さ方向中央部分に、複数の第２端子１１６ｂが前記一方の長辺の長さ方向に配列形成されている。また、センサ部１１２の一方の短辺（第２導電シート１０Ｂの一方の短辺に最も近い短辺：ｘ方向）に沿って複数の第２結線部４０ｂ（例えば奇数番目の第２結線部４０ｂ）が直線状に配列され、センサ部１１２の他方の短辺（第２導電シート１０Ｂの他方の短辺に最も近い短辺：ｘ方向）に沿って複数の第２結線部４０ｂ（例えば偶数番目の第２結線部４０ｂ）が直線状に配列されている。
【００３０】
複数の第２導電パターン２６Ｂのうち、例えば奇数番目の第２導電パターン２６Ｂが、それぞれ対応する奇数番目の第２結線部４０ｂに接続され、偶数番目の第２導電パターン２６Ｂが、それぞれ対応する偶数番目の第２結線部４０ｂに接続されている。奇数番目の第２結線部４０ｂから導出された第２端子配線パターン４２ｂ並びに偶数番目の第２結線部４０ｂから導出された第２端子配線パターン４２ｂは、第２導電シート１０Ｂの一方の長辺におけるほぼ中央部に向かって引き回され、それぞれ対応する第２端子１１６ｂに電気的に接続されている。従って、例えば第１番目と第２番目の第２端子配線パターン４２ｂは、ほぼ同じ長さにて引き回され、以下同様に、第２ｎ−１番目と第２ｎ番目の第２端子配線パターン４２ｂは、それぞれほぼ同じ長さにて引き回されることになる（ｎ＝１、２、３・・・）。
もちろん、第２端子１１６ｂを第２導電シート１０Ｂのコーナー部やその近傍に形成してもよいが、上述したように、最も長い第２端子配線パターン４２ｂとその近傍の複数の第２端子配線パターン４２ｂに対応する第２導電パターン２６Ｂへの信号伝達が遅くなるという問題がある。そこで、本実施の形態のように、第２導電シート１０Ｂの一方の長辺の長さ方向中央部分に、第２端子１１６ｂを形成することで、局所的な信号伝達の遅延を抑制することができる。これは、応答速度の高速化につながる。
【００３１】
なお、第１端子配線パターン４２ａの導出形態を上述した第２端子配線パターン４２ｂと同様にし、第２端子配線パターン４２ｂの導出形態を上述した第１端子配線パターン４２ａと同様にしてもよい。
そして、この積層導電シート１２をタッチパネルとして使用する場合は、第１導電シート１０Ａ上に保護層１０６を形成し、第１導電シート１０Ａの多数の第１導電パターン２６Ａから導出された第１端子配線パターン４２ａと、第２導電シート１０Ｂの多数の第２導電パターン２６Ｂから導出された第２端子配線パターン４２ｂとを、例えばスキャンをコントロールする制御回路に接続する。
【００３２】
タッチ位置の検出方式としては、自己容量方式や相互容量方式を好ましく採用することができる。すなわち、自己容量方式であれば、第１導電パターン２６Ａに対して順番にタッチ位置検出のための電圧信号を供給し、第２導電パターン２６Ｂに対して順番にタッチ位置検出のための電圧信号を供給する。指先が保護層１０６の上面に接触又は近接させることで、タッチ位置に対向する第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６ＢとＧＮＤ（グランド）間の容量が増加することから、当該第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂからの伝達信号の波形が他の導電パターンからの伝達信号の波形と異なった波形となる。従って、制御回路では、第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂから供給された伝達信号に基づいてタッチ位置を演算する。一方、相互容量方式の場合は、例えば第１導電パターン２６Ａに対して順番にタッチ位置検出のための電圧信号を供給し、第２導電パターン２６Ｂに対して順番にセンシング（伝達信号の検出）を行う。指先が保護層１０６の上面に接触又は近接させることで、タッチ位置に対向する第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂ間の寄生容量に対して並列に指の浮遊容量が加わることから、当該第２導電パターン２６Ｂからの伝達信号の波形が他の第２導電パターン２６Ｂからの伝達信号の波形と異なった波形となる。従って、制御回路では、電圧信号を供給している第１導電パターン２６Ａの順番と、供給された第２導電パターン２６Ｂからの伝達信号に基づいてタッチ位置を演算する。このような自己容量方式又は相互容量方式のタッチ位置の検出方法を採用することで、保護層１０６の上面に同時に２つの指先を接触又は近接させても、各タッチ位置を検出することが可能となる。なお、投影型静電容量方式の検出回路に関する先行技術文献として、米国特許第４，５８２，９５５号明細書、米国特許第４，６８６，３３２号明細書、米国特許第４，７３３，２２２号明細書、米国特許第５，３７４，７８７号明細書、米国特許第５，５４３，５８８号明細書、米国特許第７，０３０，８６０号明細書、米国公開特許２００４／０１５５８７１号明細書等がある。
【００３３】
本実施の形態では、端子配線部１１４のうち、第１導電シート１０Ａの一方の長辺側の周縁部における長さ方向中央部分に複数の第１端子１１６ａを形成し、第２導電シート１０Ｂの一方の長辺側の周縁部における長さ方向中央部分に複数の第２端子１１６ｂを形成するようにしている。特に、図１の例では、第１端子１１６ａと第２端子１１６ｂとが重ならないように、且つ、互いに接近した状態で配列し、さらに、第１端子配線パターン４２ａと第２端子配線パターン４２ｂとが上下で重ならないようにしている。なお、第１端子１１６ａと例えば奇数番目の第２端子配線パターン４２ｂとが一部上下で重なる形態にしてもよい。
これにより、複数の第１端子１１６ａ及び複数の第２端子１１６ｂを、２つのコネクタ（第１端子用コネクタ及び第２端子用コネクタ）あるいは１つのコネクタ（第１端子１１６ａ及び第２端子１１６ｂに接続される複合コネクタ）及びケーブルを介して制御回路に電気的に接続することができる。
また、第１端子配線パターン４２ａと第２端子配線パターン４２ｂとが上下で重ならないようにしているため、第１端子配線パターン４２ａと第２端子配線パターン４２ｂ間での寄生容量の発生が抑制され、応答速度の低下を抑えることができる。
【００３４】
第１結線部４０ａをセンサ部１１２の一方の長辺に沿って配列し、第２結線部４０ｂをセンサ部１１２の両側の短辺に沿って配列するようにしたので、端子配線部１１４の面積を低減することができる。これは、タッチパネル１００を含めた表示パネル１１０の小型化を促進させることができると共に、表示画面１１０ａを印象的に大きく見せることができる。また、タッチパネル１００としての操作性も向上させることができる。
端子配線部１１４の面積をさらに小さくするには、隣接する第１端子配線パターン４２ａ間の距離、隣接する第２端子配線パターン４２ｂ間の距離を狭くすることが考えられるが、この場合、マイグレーションの発生防止を考慮すると、１０μｍ以上５０μｍ以下が好ましい。
【００３５】
その他、上面から見たときに、隣接する第１端子配線パターン４２ａ間に第２端子配線パターン４２ｂを配置することによって、端子配線部１１４の面積を小さくすることが考えられるが、パターンの形成ずれがあると、第１端子配線パターン４２ａと第２端子配線パターン４２ｂとが上下で重なり、配線間の寄生容量が大きくなるおそれがある。これは応答速度の低下をもたらす。そこで、このような配置構成を採用する場合は、隣接する第１端子配線パターン４２ａ間の距離を５０μｍ以上１００μｍ以下にすることが好ましい。
また、図１に示すように、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂの例えば各コーナー部に、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂの貼り合わせの際に使用する位置決め用の第１アライメントマーク１１８ａ及び第２アライメントマーク１１８ｂを形成することが好ましい。この第１アライメントマーク１１８ａ及び第２アライメントマーク１１８ｂは、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂを貼り合わせて積層導電シート１２とした場合に、新たな複合アライメントマークとなり、この複合アライメントマークは、該積層導電シート１２を表示パネル１１０に設置する際に使用する位置決め用のアライメントマークとしても機能することになる。
【００３６】
そして、第２導電シート１０Ｂ上に第１導電シート１０Ａを積層して積層導電シート１２としたとき、図６に示すように、第１導電パターン２６Ａの第１接続部２２Ａと第２導電パターン２６Ｂの第２接続部２２Ｂとが第１透明基体１４Ａ（図３Ａ参照）を間に挟んで対向し、第１導電パターン２６Ａの第１絶縁部２８Ａと第２導電パターン２６Ｂの第２絶縁部２８Ｂとが第１透明基体１４Ａを間に挟んで対向した形態となる。なお、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂの各線幅は同じであるが、図６では、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂの位置がわかるように、第１導電パターン２６Ａの線幅を太く、第２導電パターン２６Ｂの線幅を細くして誇張して図示してある。
【００３７】
積層した第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを上面から見たとき、第１導電シート１０Ａに形成された第１大格子１６Ａの隙間を埋めるように、第２導電シート１０Ｂの第２大格子１６Ｂが配列された形態となる。つまり、大格子が敷き詰められた形態となる。このとき、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの間に、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとが対向することによる組合せパターン（補助電極）が形成される。第１大格子１６Ａの例えば第１辺３２ａと該第１辺３２ａと対向する第２大格子１６Ｂの第２長辺４６ｂとの最短距離を第１透明基体１４Ａの一方の主面に投影した距離を、組合せパターンの幅と定義したとき、該組合せパターンの幅は、小格子１８の辺の長さの１倍以上の長さを有する。図６の例では、組合せパターンの幅は、小格子１８の辺の長さの２倍の長さを有する。これは、第１大格子１６Ａの第２辺３２ｂ〜第４辺３２ｄと、第２大格子１６Ｂの第２長辺４６ｂ〜第４長辺４６ｄとの関係も同様である。
【００３８】
従って、第１大格子１６Ａの第１補助パターン２０Ａにおける複数の略Ｕ字形状の各開口が第２大格子１６Ｂの長辺の各直線形状にて接続されたような形状になると共に、複数の略Ｕ字形状の各底部間が第２大格子１６Ｂの第２補助パターン２０Ｂにおける複数の略Ｕ字形状の各底部にて接続されたような形状になり、同様に、第２大格子１６Ｂの第２補助パターン２０Ｂにおける複数の略Ｕ字形状の各開口が第１大格子１６Ａの長辺の各直線形状にて接続されたような形状になると共に、複数の略Ｕ字形状の各底部間が第１大格子１６Ａの第１補助パターン２０Ａにおける複数の略Ｕ字形状の各底部にて接続されたような形状になって、結果的に複数の小格子１８が配列された形態となり、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界をほとんど見分けることができない状態となる。
【００３９】
ここで、例えば第１補助パターン２０Ａ及び第２補助パターン２０Ｂを形成しなかった場合は、組合せパターンの幅に相当する空白領域が形成され、これにより、第１大格子１６Ａの境界、第２大格子１６Ｂの境界が目立ってしまい、視認性が劣化するという問題が生じる。これを避けるために、第１大格子１６Ａの各辺に第２大格子１６Ｂの長辺を重ねて、空白領域をなくすことも考えられるが、重ね合わせの位置精度の僅かなズレにより、直線形状同士の重なり部分の幅が大きくなり（線太り）、これにより、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界が目立ってしまい、視認性が劣化するという問題が生じる。
【００４０】
これに対して、本実施の形態では、上述したように、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとの重なりにより、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界が目立たなくなり、視認性が向上する。
また、上述したように、例えば第１大格子１６Ａの各辺に第２大格子１６Ｂの長辺を重ねて、空白領域をなくした場合、第１大格子１６Ａの第１辺３２ａ〜第４辺３２ｄの直下に第２大格子１６Ｂの第１長辺４６ａ〜第４長辺４６ｄが位置することになる。このとき、第１辺３２ａ〜第４辺３２ｄ並びに第１長辺４６ａ〜第４長辺４６ｄもそれぞれ導電部分として機能することから、第１大格子１６Ａの辺と第２大格子１６Ｂの長辺との間に寄生容量が形成され、この寄生容量の存在が電荷情報に対してノイズ成分として働き、Ｓ／Ｎ比の著しい低下を引き起こす。しかも、各第１大格子１６Ａと各第２大格子１６Ｂ間に寄生容量が形成されることから、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂに多数の寄生容量が並列に接続された形態となり、その結果、ＣＲ時定数が大きくなるという問題がある。ＣＲ時定数が大きくなると、第１導電パターン２６Ａ（及び第２導電パターン２６Ｂ）に供給された電圧信号の波形の立ち上がり時間が遅くなり、所定のスキャン時間において位置検出のための電界の発生がほとんど行われなくなるおそれがある。また、第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂからの伝達信号の波形の立ち上がり時間又は立ち下がり時間も遅くなり、所定のスキャン時間において伝達信号の波形の変化を捉えることができなくなるおそれがある。これは、検出精度の低下、応答速度の低下につながる。つまり、検出精度の向上、応答速度の向上を図るためは、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂの数を減らしたり（分解能の低減）、適応させる表示画面のサイズを小さくするしかなく、例えばＢ５版、Ａ４版、それ以上の大画面に適用させることができないという問題が生ずる。
【００４１】
これに対して、本実施の形態では、図３Ａに示すように、第１大格子１６Ａの辺３２と、第２大格子１６Ｂの長辺４６との投影距離Ｌｆを小格子１８の一辺の長さの２倍の長さとほぼ同じにしている。そのため、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂ間に形成される寄生容量は小さくなる。その結果、ＣＲ時定数も小さくなり、検出精度の向上、応答速度の向上を図ることができる。なお、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとの組合せパターンでは、第１補助パターン２０Ａの各屈曲部と第２補助パターン２０Ｂの各屈曲部とがそれぞれ対向することになるが、第１補助パターン２０Ａは第１大格子１６Ａから非接続とされて電気的に絶縁となっており、第２補助パターン２０Ｂも第２大格子１６Ｂから非接続とされて電気的に絶縁となっているため、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂ間に形成される寄生容量の増加にはつながらない。
【００４２】
上述の投影距離Ｌｆの最適距離は、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂのサイズよりは、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂを構成する小格子１８のサイズ（線幅及び一辺の長さ）に応じて適宜設定することが好ましい。この場合、一定のサイズを有する第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂに対して、小格子１８のサイズが大きすぎると、透光性は向上するが、伝達信号のダイナミックレンジが小さくなることから、検出感度の低下を引き起こすおそれがある。反対に、小格子１８のサイズが小さすぎると、検出感度は向上するが、線幅の低減には限界があるため、透光性が劣化するおそれがある。
そこで、上述の投影距離Ｌｆの最適値（最適距離）は、小格子１８の線幅を１〜９μｍとしたとき、１００〜４００μｍが好ましく、さらに好ましくは２００〜３００μｍである。小格子１８の線幅を狭くすれば、上述の最適距離も短くできるが、電気抵抗が高くなってくるため、寄生容量が小さくても、ＣＲ時定数が高くなってしまい、結果的に検出感度の低下、応答速度の低下を引き起こすおそれがある。従って、小格子１８の線幅は上述の範囲が好ましい。
そして、例えば表示パネル１１０のサイズあるいはセンサ部１１２のサイズとタッチ位置検出の分解能（駆動パルスのパルス周期等）とに基づいて、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂのサイズ並びに小格子１８のサイズが決定され、小格子１８の線幅を基準に第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂ間の最適距離が割り出されることになる。
【００４３】
また、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂとが対向した部分を上面から見たとき、第２接続部２２Ｂの第５中格子２４ｅと第７中格子２４ｇとの交点が第１大格子１６Ａの第２中格子２４ｂのほぼ中心に位置し、第２接続部２２Ｂの第６中格子２４ｆと第８中格子２４ｈとの交点が第１大格子１６Ａの第３中格子２４ｃのほぼ中心に位置することとなり、これら第１中格子２４ａ〜第８中格子２４ｈの組み合わせによって、複数の小格子１８が形成された形態となる。すなわち、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂとが対向した部分に、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂの組み合わせによって、複数の小格子１８が配列された形態となり、周りの第１大格子１６Ａを構成する小格子１８や第２大格子１６Ｂを構成する小格子１８と見分けがつかなくなり、視認性が向上する。
第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂとが対向する部分としては、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂとが対向する部分が挙げられる。この場合、第１接続部２２Ａを構成する金属細線１５の一部と第２接続部２２Ｂを構成する金属細線１５の一部が対向し、寄生容量が形成されることになるが、小格子１８よりもサイズの大きい中格子２４同士の各一部が対向することになるため、金属細線１５が対向するポイントが少なく、しかも、第１透明基体１４Ａの厚みを７５μｍ以上３５０μｍ以下としているため、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂとの間に形成される寄生容量は非常に小さいものとなる。
【００４４】
また、第１絶縁部２８Ａの第１絶縁パターン３４Ａと第２絶縁部２８Ｂの第２絶縁パターン３４Ｂとが対向した部分を上面から見たとき、第１絶縁パターン３４Ａの第１集合パターン部３６ａと第２絶縁パターン３４Ｂの第４空白部３８ｄとが対向すると共に、第１絶縁パターン３４Ａの第１空白部３８ａと第２絶縁パターン３４Ｂの第２集合パターン部３６ｂとが対向する。また、第１絶縁パターン３４Ａの第２空白部３８ｂと第２絶縁パターン３４Ｂの第１屈曲パターン部４８ａとが対向すると共に、第１絶縁パターン３４Ａの第３空白部３８ｃと第２絶縁パターン３４Ｂの第２屈曲パターン部４８ｂとが対向することとなり、このとき、第１屈曲パターン部４８ａの各開口が第１大格子１６Ａの第３辺３２ｃと第４辺３２ｄの各直線形状（他方の頂点３０ｂ近傍の各直線形状）で接続されたような形状となり、第２屈曲パターン部４８ｂの各開口が第１大格子１６Ａの第１辺３２ａと第２辺３２ｂの各直線形状（一方の頂点３０ａ近傍の各直線形状）で接続されたような形状となる。これにより、第１絶縁パターン３４Ａと第２絶縁パターン３４Ｂとの組み合わせによって、複数の小格子１８が形成された形態となる。その結果、周りの第１大格子１６Ａを構成する小格子１８や第２大格子１６Ｂを構成する小格子１８と見分けがつかなくなり、視認性が向上する。
【００４５】
このように、積層導電シート１２においては、例えば投影型静電容量方式のタッチパネル１００に適用した場合に、応答速度を速めることができ、タッチパネル１００の大サイズ化を促進させることができる。
しかも、第１導電シート１０Ａの第１大格子１６Ａの周辺に形成された第１補助パターン２０Ａと第２導電シート１０Ｂの第２大格子１６Ｂの周辺に形成された第２補助パターン２０Ｂとの組み合わせによって複数の小格子１８が形づくられ、また、第１接続部２２Ａと第２接続部２２Ｂとの組み合わせによって複数の小格子１８が形づくられ、さらに、第１絶縁パターン３４Ａと第２絶縁パターン３４Ｂとの組み合わせによって複数の小格子１８が形づくられることから、第１導電シート１０Ａの第１大格子１６Ａと第２導電シート１０Ｂの第２大格子１６Ｂとの境界が目立たなくなり、局部的に線太りが生じる等の不都合もなくなり、全体として、視認性が良好となる。
また、多数の第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６ＢのＣＲ時定数を大幅に低減することができ、これにより、応答速度を速めることができ、駆動時間（スキャン時間）内での位置検出も容易になる。これは、タッチパネル１００の画面サイズ（縦×横のサイズで、厚みを含まず）の大型化を促進できることにつながる。
【００４６】
そして、この積層導電シート１２においては、第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積が第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積よりも大きく、第２大格子１６Ｂ（第２電極）における金属細線１５の占有面積が第１大格子１６Ａ（第１電極）における金属細線１５の占有面積よりも大きい。
通常、表示装置１０８側の第２導電パターン２６Ｂは、電磁波によるノイズの影響を抑制することができる。すなわち、電磁波の電界成分を打ち消す方向に表皮電流が流れ、電磁波の磁界成分を打ち消す方向に渦電流が流れることで、電磁波によるノイズの影響を抑制することができる。この積層導電シート１２においては、表示装置１０８側の第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積を第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積よりも大きくしたので、第２導電パターン２６Ｂの表面抵抗を７０オーム／ｓｑ．以下に低くすることができ、例えば表示装置１０８等からの電磁波によるノイズの影響を抑制する上で有利になる。
【００４７】
また、第２大格子１６Ｂにおける金属細線１５の占有面積を第１大格子１６Ａにおける金属細線１５の占有面積よりも大きくしたので、指のタッチ位置の検出方式として、自己容量方式を採用した場合に、指のタッチ位置から距離的に遠い第２大格子１６Ｂであっても、第１大格子１６Ａと同等程度の信号電荷を蓄積させることができ、第１大格子１６Ａでの検出感度と第２大格子１６Ｂでの検出感度をほぼ同等にすることができ、信号処理の負担を低減することができると共に、検出精度の向上も図ることができる。指のタッチ位置の検出方式として、例えば相互容量方式を採用した場合においても、金属細線１５の占有面積の広い第２大格子１６Ｂを駆動電極、第１大格子１６Ａを受信電極として使用することで、第１大格子１６Ａでの受信感度を高めることが可能となる。
【００４８】
このように、積層導電シート１２においては、金属細線１５のパターンで電極を構成した場合においても、高い透明性を確保することができ、しかも、検出信号のＳ／Ｎ比の向上、検出感度の向上、検出精度の向上を図ることができる。また、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂとが一部において対向して、寄生容量が形成されたとしても、第１透明基体１４Ａの厚みを７５μｍ以上３５０μｍ以下としたので、寄生容量を低く抑えることができ、検出感度の低下を抑制することができる。
ここで、第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積をＡ１、第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積をＡ２としたとき、１＜Ａ２／Ａ１≦２０であることが好ましい。さらに好ましくは、１＜Ａ２／Ａ１≦１０であり、特に好ましくは２≦Ａ２／Ａ１≦１０である。
また、第１大格子１６Ａにおける金属細線１５の占有面積をａ１、第２大格子１６Ｂにおける金属細線１５の占有面積をａ２としたとき、１＜ａ２／ａ１≦２０であることが好ましい。さらに好ましくは、１＜ａ２／ａ１≦１０であり、特に好ましくは、２≦ａ２／ａ１≦１０である。
【００４９】
上述の例では、第１大格子１６Ａの外形形状を図４に示すように四角形状とし、第２大格子１６Ｂの外形形状を図５に示すように八角形状としたが、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂの外形形状はこれらの形状に限定されることはなく、また、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂの大きさもタッチ位置を感知するのに十分な大きさがあればよい。
また、小格子１８の形状を正方形状としたが、その他、多角形状としてもよい。また、一辺の形状を直線状のほか、湾曲形状でもよいし、円弧状にしてもよい。円弧状とする場合は、例えば対向する２辺については、外方に凸の円弧状とし、他の対向する２辺については、内方に凸の円弧状としてもよい。また、各辺の形状を、外方に凸の円弧と内方に凸の円弧が連続した波線形状としてもよい。もちろん、各辺の形状を、サイン曲線にしてもよい。
【００５０】
上述した第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂにおいては、第１接続部２２Ａ及び第２接続部２２Ｂを構成する中格子２４の配列ピッチを小格子１８の配列ピッチＰの２倍に設定したが、その他、１．５倍、３倍等、中格子の数に応じて任意に設定することができる。中格子２４の配列ピッチは、その間隔が狭すぎたり、大きすぎたりすると、第１大格子１６Ａや第２大格子１６Ｂの配置が難しくなり、見栄えが悪くなることがあることから、小格子１８の配列ピッチＰの１〜１０倍が好ましく、１〜５倍がより好ましい。
また、小格子１８のサイズ（１辺の長さや対角線の長さ等）や、第１大格子１６Ａを構成する小格子１８の個数、第２大格子１６Ｂを構成する小格子１８の個数も、適用されるタッチパネル１００のサイズや分解能（配線数）に応じて適宜設定することができる。
【００５１】
次に、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂの変形例について図７〜図１５を参照しながら説明する。
第１変形例に係る第１導電部１３Ａは、図７に示すように、それぞれ第１方向（ｘ方向）に延在し、且つ、第２方向（ｙ方向）に配列され、多数の小格子１８にて構成された金属細線１５による２以上の第１導電パターン２６Ａと、各第１導電パターン２６Ａの周辺に配列された金属細線１５による第１補助パターン２０Ａとを有する。
第１導電パターン２６Ａは、２以上の第１大格子１６Ａが第１方向（ｘ方向）に直列に接続されて構成され、各第１大格子１６Ａは、それぞれ２以上の小格子１８が組み合わされて構成されている。また、第１大格子１６Ａの辺の周囲に、第１大格子１６Ａと非接続とされた上述の第１補助パターン２０Ａが形成されている。
【００５２】
隣接する第１大格子１６Ａ間には、これら第１大格子１６Ａを電気的に接続する金属細線１５による第１接続部２２Ａが形成されている。第１接続部２２Ａは、ｐ個（ｐは１より大きい実数）の小格子１８が第３方向（ｍ方向）に配列された大きさの中格子２４が配置されて構成されている。第１大格子１６Ａの第４方向（ｎ方向）に沿った辺のうち、中格子２４と隣接する部分には、小格子１８の１つの辺が欠除した第１欠除部５０Ａが形成されている。第３方向と第４方向とのなす角θは、６０°〜１２０°から適宜選択することができる。
また、隣接する第１導電パターン２６Ａ間は電気的に絶縁された第１絶縁部２８Ａが配されている。
第１補助パターン２０Ａは、第１大格子１６Ａの辺のうち、第３方向（ｍ方向）に沿った辺に沿って配列された複数の第１補助線５２Ａ（第４方向を軸線方向とする）と、第１大格子１６Ａの辺のうち、第４方向に沿った辺に沿って配列された複数の第１補助線５２Ａ（第３方向を軸線方向とする）と、第１絶縁部２８Ａにおいて、それぞれ２つの第１補助線５２ＡがＬ字状に組み合わされた２つのＬ字状パターン５４Ａが互いに対向して配置されたパターンとを有する。これら第１補助線５２Ａ及びＬ字状パターン５４Ａはそれぞれ長手方向の長さを短くして、ドット形状としてもよい。
【００５３】
一方、第２導電部１３Ｂは、図８に示すように、それぞれ第２方向（ｙ方向）に延在し、且つ、第２方向と直交する第１方向（ｘ方向）に配列され、多数の小格子１８にて構成された金属細線１５による２以上の第２導電パターン２６Ｂと、各第２導電パターン２６Ｂの周辺に配列された金属細線１５による第２補助パターン２０Ｂとを有する。
各第２導電パターン２６Ｂは、２以上の第２大格子１６Ｂが第２方向に直列に接続されて構成され、各第２大格子１６Ｂは、それぞれ２以上の小格子１８が組み合わされて構成されている。また、第２大格子１６Ｂの辺の周囲に、第２大格子１６Ｂと非接続とされた上述の第２補助パターン２０Ｂが形成されている。
図８に示すように、隣接する第２大格子１６Ｂ間には、これら第２大格子１６Ｂを電気的に接続する金属細線１５による第２接続部２２Ｂが形成されている。第２接続部２２Ｂは、ｐ個（ｐは１より大きい実数）の小格子１８が第４方向（ｎ方向）に配列された大きさの中格子２４が配置されて構成されている。第２大格子１６Ｂの第３方向（ｍ方向）に沿った辺のうち、中格子２４と隣接する部分には、小格子１８の１つの辺が欠除した第２欠除部５０Ｂが形成されている。中格子２４は、図８の例では、３個分の小格子１８が第４方向に配列された大きさを有する。さらに、第２導電部１３Ｂは、第２大格子１６Ｂ間に第１大格子１６Ａとほぼ同じ大きさの空白領域５６（光透過領域）内に形成された金属細線１５による第３補助パターン２０Ｃ（別の補助電極）を有する。
また、隣接する第２導電パターン２６Ｂ間は電気的に絶縁された第２絶縁部２８Ｂが配されている。
【００５４】
ここで、第２補助パターン２０Ｂは、第２大格子１６Ｂの辺のうち、第３方向に沿った辺に沿って配列された複数の第２補助線５２Ｂ（第４方向を軸線方向とする）と、第２大格子１６Ｂの辺のうち、第４方向に沿った辺に沿って配列された複数の第２補助線５２Ｂ（第３方向を軸線方向とする）と、第２絶縁部２８Ｂにおいて、それぞれ２つの第２補助線５２ＢがＬ字状に組み合わされた２つのＬ字状パターン５４Ｂが互いに対向して配置されたパターンとを有する。これら第２補助線５２Ｂ及びＬ字状パターン５４Ｂはそれぞれ長手方向の長さを短くして、ドット形状としてもよい。
第３補助パターン２０Ｃは、第３方向を軸線方向とする第３補助線５２Ｃ及び／又は第４方向を軸線方向とする第３補助線５２Ｃを有する。もちろん、２つの第３補助線５２ＣがＬ字状に組み合わされたＬ字状パターンを有してもよい。これら第３補助線５２Ｃ及びＬ字状パターンはそれぞれ長手方向の長さを短くして、ドット形状としてもよい。
【００５５】
図７に示すように、上述した第１導電部１３Ａにおける第１大格子１６Ａ内には、上述した第２導電部１３Ｂにおける第３補助パターン２０Ｃ（図８参照）に対応した欠除パターン５８（金属細線１５が存在しない空白パターン）が形成されている。すなわち、後述するように第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂとを重ね合わせたとき、第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６と第１大格子１６Ａとが対向することになる。空白領域５６には第３補助パターン２０Ｃが形成されていることから、第１大格子１６Ａには、第３補助パターン２０Ｃと対向する位置に該第３補助パターン２０Ｃと対応した欠除パターン５８が形成される。欠除パターン５８は、第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃに対応した大きさの欠除部６０（金属細線１５が間引きされた部分）を有する。つまり、第３補助線５２Ｃと対向する位置に該第３補助線５２Ｃとほぼ同じ大きさの欠除部６０が形成される。もちろん、第３補助パターン２０ＣにＬ字状パターンが存在すれば、該Ｌ字状パターンと対向する位置に該Ｌ字状パターンとほぼ同じ大きさの欠除部６０が形成される。
【００５６】
つまり、第１大格子１６Ａは、第２大格子１６Ｂを構成する小格子１８と同じ大きさの小格子（第１小格子１８ａ）と、該第１小格子１８ａよりもサイズの大きい小格子（第２小格子１８ｂ）とが組み合わされて構成されている。図７では、第２小格子１８ｂとして、２個分の第１小格子１８ａが第３方向に配列された形態（第１形態）のものと、２個分の第１小格子１８ａが第４方向に配列された形態（第２形態）のものを示している。第２小格子１８ｂは、これに限定されることなく、第１小格子１８ａの一辺の長さのｓ倍（ｓは１より大きい実数）の長さを有する長さ成分（辺など）が存在していればよく、該長さ成分は、例えば第１小格子１８ａの一辺の長さの１．５倍、２．５倍、３倍等、種々の組み合わせに設定することができる。また、第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃの長さについても、第２小格子１８ｂの大きさに対応して、第１小格子１８ａの一辺の長さのｓ倍（ｓは１より大きい実数）の長さを有するようにしてもよい。
第１補助パターン２０Ａ（第１補助線５２Ａ）、第２補助パターン２０Ｂ（第２補助線５２Ｂ）及び第３補助パターン２０Ｃ（第３補助線５２Ｃ）の線幅はそれぞれ３０μｍ以下から選択可能である。この場合、第１導電パターン２６Ａの線幅や第２導電パターン２６Ｂの線幅と同じでもよく、異なっていてもよい。ただ、第１導電パターン２６Ａ、第２導電パターン２６Ｂ、第１補助パターン２０Ａ、第２補助パターン２０Ｂ及び第３補助パターン２０Ｃの各線幅を同じにすることが好ましい。
【００５７】
そして、例えば第２導電シート１０Ｂ上に第１導電シート１０Ａを積層して積層導電シート１２としたとき、図９に示すように、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂとが交差して配置された形態とされ、具体的には、第１導電パターン２６Ａの第１接続部２２Ａと第２導電パターン２６Ｂの第２接続部２２Ｂとが第１透明基体１４Ａ（図３Ａ参照）を間に挟んで対向し、第１導電部１３Ａの第１絶縁部２８Ａと第２導電部１３Ｂの第２絶縁部２８Ｂとが第１透明基体１４Ａを間に挟んで対向した形態となる。
積層導電シート１２を上面から見たとき、図９に示すように、第１導電シート１０Ａに形成された第１大格子１６Ａの隙間を埋めるように、第２導電シート１０Ｂの第２大格子１６Ｂが配列された形態となる。このとき、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの間に、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとが対向することによる第１組合せパターン６２Ａ（補助電極）と、第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に形成された第３補助パターン２０Ｃ（別の補助電極）と第１大格子１６Ａ内に形成された欠除パターン５８とが対向することによる第２組合せパターン６２Ｂとが形成される。
【００５８】
第１組合せパターン６２Ａは、図１０に示すように、第１補助線５２Ａの軸線６４Ａと第２補助線５２Ｂの軸線６４Ｂとが一致し、且つ、第１補助線５２Ａと第２補助線５２Ｂとが重ならず、且つ、第１補助線５２Ａの一端と第２補助線５２Ｂの一端とが一致し、これにより、小格子１８の１つの辺を構成することとなる。つまり、第１組合せパターン６２Ａは、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。第２組合せパターン６２Ｂは、第１大格子１６Ａに形成された欠除パターン５８の欠除部６０を第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃで補完する形態となり、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。その結果、積層導電シート１２を上面から見たとき、図９に示すように、全体的に多数の小格子１８が敷き詰められた形態となり、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界をほとんど見分けることができない状態となる。
ところで、第１大格子１６Ａ内に欠除パターン５８を形成しなかった場合は、積層導電シート１２とした際に、第１大格子１６Ａに対応した部分の光透過率と第２大格子１６Ｂに対応した部分の光透過率とで差異が生じてしまい、視認性が劣化（第１大格子１６Ａや第２大格子１６Ｂが視認され易くなる）する。そこで、本実施の形態では、第１大格子１６Ａ内に欠除パターン５８を形成することで、第１大格子１６Ａに対応した部分の光透過率と第２大格子１６Ｂに対応した部分の光透過率とを均一にすることができ、視認性が向上する。
【００５９】
上述した例では、第１大格子１６Ａ内に形成される欠除パターン５８として、第３補助線５２Ｃと対向する位置に該第３補助線５２Ｃとほぼ同じ大きさの欠除部６０を形成するようにしたが、これに限定する必要はなく、第１大格子１６Ａに対応した部分の光透過率と第２大格子１６Ｂに対応した部分の光透過率とが均一になるようにすれば、第３補助線５２Ｃと対向する位置とは異なる位置に欠除部６０を形成してもよい。
ところで、第３補助パターン２０Ｃを構成する第３補助線５２Ｃの本数を多くすると、上述した光透過率を均一にするために、第１大格子１６Ａに形成される欠除部６０をその分多く形成する必要がある。この場合、第１大格子１６Ａの導電性が損なわれるおそれがある。そこで、第３補助パターン２０Ｃにおける金属細線の占有面積が、第２大格子１６Ｂにおける金属細線の占有面積の１／２以下であることが好ましく、さらに好ましくは１／４以下である。
【００６０】
また、この第１変形例に係る積層導電シート１２においても、第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積をＡ１、第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積をＡ２としたとき、１＜Ａ２／Ａ１≦２０であることが好ましい。さらに好ましくは、１＜Ａ２／Ａ１≦１０であり、特に好ましくは２≦Ａ２／Ａ１≦１０である。
また、第１大格子１６Ａにおける金属細線１５の占有面積をａ１、第２大格子１６Ｂにおける金属細線１５の占有面積をａ２としたとき、１＜ａ２／ａ１≦２０であることが好ましい。さらに好ましくは、１＜ａ２／ａ１≦１０であり、特に好ましくは、２≦ａ２／ａ１≦１０である。
【００６１】
この第１変形例では、第２導電パターン２６Ｂにおける第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に第３補助パターン２０Ｃを形成したので、第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積を第１導電パターン２６Ａよりも大幅に増やすことができ、例えば表示装置１０８等からの電磁波によるノイズの影響を抑制する上でさらに有利になる。
従って、金属細線１５のパターンで電極を構成した場合においても、高い透明性を確保することができ、しかも、検出信号のＳ／Ｎ比の向上、検出感度の向上、検出精度の向上を図ることができる。
【００６２】
次に、第２変形例に係る第１導電部１３Ａは、図１１に示すように、２以上の第１大格子１６Ａが第１方向（ｘ方向）に直列に接続されて構成されている。第１大格子１６Ａの辺の周囲には、第１大格子１６Ａと非接続とされた上述の第１補助パターン２０Ａが形成され、隣接する第１大格子１６Ａ間には、これら第１大格子１６Ａを電気的に接続する金属細線１５による第１接続部２２Ａが形成されている。
第１接続部２２Ａは、ｐ個（ｐは１より大きい実数）の第１小格子１８ａが第３方向（ｍ方向）に配列された大きさの第１中格子２４ａと、第３方向（ｍ方向）にｑ個（ｑは１より大きい実数）の第１小格子１８ａが配列され、第４方向（ｎ方向）にｒ個（ｒは１より大きい実数）の第１小格子１８ａが配列された大きさを有し、且つ、第１中格子２４ａと交差する第２中格子２４ｂとが配置されて構成されている。第１中格子２４ａは、図１１の例では、７個分の第１小格子１８ａが第３方向に配列された大きさを有し、第２中格子２４ｂは、第３方向に３個分の第１小格子１８ａが配列され、第４方向に５個分の第１小格子１８ａが配列された大きさを有する。第３方向と第４方向とのなす角θは、６０°〜１２０°から適宜選択することができる。
第１補助パターン２０Ａは、複数の第１補助線５２Ａ、Ｌ字状パターン等を有する。
【００６３】
一方、第２変形例に係る第２導電部１３Ｂは、図１２に示すように、２以上の第２大格子１６Ｂが第２方向（ｙ方向）に直列に接続されて構成され、各第２大格子１６Ｂは、それぞれ２以上の小格子１８が組み合わされて構成されている。また、第２大格子１６Ｂの辺の周囲に、第２大格子１６Ｂと非接続とされた第２補助パターン２０Ｂが形成されている。第２補助パターン２０Ｂは、複数の第２補助線５２Ｂと、Ｌ字状パターンと、第２補助線５２Ｂと小格子１８の一辺の長さ分の金属細線とが組み合わされたＵ字状パターン及びＥ字状パターンとを有する。
隣接する第２大格子１６Ｂ間には、これら第２大格子１６Ｂを電気的に接続する金属細線１５による第２接続部２２Ｂが形成されている。第２接続部２２Ｂは、ｐ個（ｐは１より大きい実数）の小格子１８が第４方向（ｎ方向）に配列された大きさの第１中格子２４ａと、第４方向（ｎ方向）にｑ個（ｑは１より大きい実数）の小格子１８が配列され、第３方向（ｍ方向）にｒ個（ｒは１より大きい実数）の小格子１８が配列された大きさを有し、且つ、第１中格子２４ａと交差する第２中格子２４ｂとが配置されて構成されている。第１中格子２４ａは、図１２の例では、７個分の第１小格子１８ａが第４方向に配列された大きさを有し、第２中格子２４ｂは、第４方向に３個分の第１小格子１８ａが配列され、第３方向に５個分の第１小格子１８ａが配列された大きさを有する。さらに、第２導電パターン２６Ａは、第２大格子１６Ｂ間における空白領域５６（光透過領域）内に、金属細線１５による第３補助パターン２０Ｃが形成されている。
【００６４】
第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に形成された第３補助パターン２０Ｃは、第３方向（ｍ方向）を軸線方向とする第３補助線５２Ｃと第４方向（ｎ方向）を軸線方向とする第３補助線５２Ｃとが交互に、且つ、電気的に絶縁された形態（例えば小格子１８の一辺の長さだけ離間した形態）で配列されたパターンを有する。
図１１に示すように、上述した第１大格子１６Ａ内には、上述した第２導電パターン２６Ｂにおける第３補助パターン２０Ｃ（図１２参照）に対応した欠除パターン５８（金属細線１５が存在しない空白パターン）が形成されている。欠除パターン５８は、第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃに対応した欠除部６０（金属細線１５が間引きされた部分）を有する。つまり、第３補助線５２Ｃと対向する位置に該第３補助線５２Ｃとほぼ同じ大きさの欠除部６０が形成される。
【００６５】
つまり、第１大格子１６Ａは、主として、第１小格子１８ａよりも大きいサイズを有する複数の第２小格子１８ｂが組み合わされて構成されている。図１１では、第２小格子１８ｂとして、２個分の第１小格子１８ａが第４方向に配列された第１形態と、２個分の第１小格子１８ａが第３方向に配列された第２形態を示している。第２小格子１８ｂは、これに限定されることなく、第１小格子１８ａの一辺の長さのｓ倍（ｓは１より大きい実数）の長さを有する長さ成分（辺など）が存在していればよく、例えば第１小格子１８ａの一辺の長さの１．５倍、２．５倍、３倍等、種々の組み合わせに設定することができる。また、第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃの長さについても、第２小格子１８ｂの大きさに対応して、第１小格子１８ａの一辺の長さのｓ倍（ｓは１より大きい実数）の長さ成分を有するようにしてもよい。
【００６６】
そして、第１大格子１６Ａは、２つの第１形態が第３方向に配列された組み合わせ（第１組み合わせ１９ａ）と、２つの第２形態が第４方向に配列された組み合わせ（第２組み合わせ１９ｂ）とが交互に配列されたパターンを有する。すなわち、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂとを重ね合わせたとき、隣接する第１形態間の金属細線（第４方向に延在）は、第３方向に延びる第３補助線５２Ｃと交差し、隣接する第２形態間の金属細線（第３方向に延在）は、第４方向に延びる第３補助線５２Ｃと交差することとなる。
従って、図１３に示すように、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとが対向することによる第１組合せパターン６２Ａは、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。
また、第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に形成された第３補助パターン２０Ｃと第１大格子１６Ａ内に形成された欠除パターン５８とが対向することによる第２組合せパターン６２Ｂは、第１大格子１６Ａに形成された欠除パターン５８の欠除部６０を第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃで補完する形態となり、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。その結果、積層導電シート１２を上面から見たとき、図１３に示すように、全体的に多数の小格子１８が敷き詰められた形態となり、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界をほとんど見分けることができない状態となる。
【００６７】
次に、第３変形例に係る第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂは、上述した第２変形例とほぼ同様の構成を有するが、第１大格子１６Ａのパターンと、第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に形成される第３補助パターン２０Ｃが以下のように異なる。
先ず、第３補助パターン２０Ｃについて説明すると、第３補助パターン２０Ｃは、図１５に示すように、第３方向（ｍ方向）を軸線方向とし、第４方向に配列された複数の第３補助線５２Ｃと、第４方向（ｎ方向）を軸線方向とし、第３方向に配列された複数の第３補助線５２Ｃとがそれぞれ交差したパターンを有する。すなわち、第３補助パターン２０Ｃは、第３方向に２個分の第１小格子１８ａが配列され、第４方向に２個分の第１小格子１８ａが配列された大きさを有する複数の第２小格子１８ｂが組み合わされて構成されている。
一方、第１大格子１６Ａは、図１４に示すように、上述した第３補助パターン２０Ｃ（図１５参照）に対応した欠除パターン５８が形成されている。欠除パターン５８は、第３補助パターン２０Ｃにおける第３補助線５２Ｃの交差部分と対向する位置に上述した第２小格子１８ｂとほぼ同じ大きさの欠除部６０が形成されている。すなわち、第１大格子１６Ａは、第３補助パターン２０Ｃを構成する第２小格子１８ｂと同じ大きさを有する第２小格子１８ｂが組み合わされて構成され、第３補助パターン２０Ｃに対して第３方向及び第４方向にそれぞれ第１小格子１８ａの一辺の長さ分だけずれた位置関係を有するパターンとされている。
【００６８】
従って、この第３変形例においても、図１３に示すように、第１補助パターン２０Ａと第２補助パターン２０Ｂとが対向することによる第１組合せパターン６２Ａは、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。
また、第２大格子１６Ｂ間の空白領域５６に形成された第３補助パターン２０Ｃと第１大格子１６Ａ内に形成された欠除パターン５８とが対向することによる第２組合せパターン６２Ｂは、第１大格子１６Ａに形成された欠除パターン５８の欠除部６０を第３補助パターン２０Ｃの第３補助線５２Ｃで補完する形態となり、２以上の小格子１８が組み合わされた形態となる。その結果、積層導電シート１２を上面から見たとき、図１３に示すように、全体的に多数の小格子１８が敷き詰められた形態となり、第１大格子１６Ａと第２大格子１６Ｂとの境界をほとんど見分けることができない状態となる。
【００６９】
上述の例では、第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを投影型静電容量方式のタッチパネル１００に適用した例を示したが、その他、表面型静電容量方式のタッチパネルや、抵抗膜式のタッチパネルにも適用することができる。
上述の積層導電シート１２では、図２及び図３Ａに示すように、第１透明基体１４Ａの一主面に第１導電部１３Ａを形成し、第２透明基体１４Ｂの一主面に第２導電部１３Ｂを形成して、積層するようにしたが、その他、図３Ｂに示すように、第１透明基体１４Ａの一主面に第１導電部１３Ａを形成し、第１透明基体１４Ａの他主面に第２導電部１３Ｂを形成するようにしてもよい。この場合、第２透明基体１４Ｂが存在せず、第２導電部１３Ｂ上に、第１透明基体１４Ａが積層され、第１透明基体１４Ａ上に第１導電部１３Ａが積層された形態となる。また、第１導電シート１０Ａと第２導電シート１０Ｂとはその間に他の層が存在してもよく、第１導電部１３Ａと第２導電部１３Ｂとが絶縁状態であれば、それらが対向して配置されてもよい。
【００７０】
次に、第１導電部１３Ａや第２導電部１３Ｂを形成する方法としては、例えば第１透明基体１４Ａ上及び第２透明基体１４Ｂ上に感光性ハロゲン化銀塩を含有する乳剤層を有する感光材料を露光し、現像処理を施すことによって、露光部及び未露光部にそれぞれ金属銀部及び光透過性部を形成して第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを形成するようにしてもよい。なお、さらに金属銀部に物理現像及び／又はめっき処理を施すことによって金属銀部に導電性金属を担持させるようにしてもよい。
【００７１】
一方、図３Ｂに示すように、第１透明基体１４Ａの一主面に第１導電部１３Ａを形成し、第１透明基体１４Ａの他主面に第２導電部１３Ｂを形成する場合、通常の製法に則って、最初に一主面を露光し、その後に、他主面を露光する方法を採用すると、所望のパターンを有する第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを得ることができない場合がある。特に、図４等に示すように、第１大格子１６Ａの辺３２の周囲に形成された第１補助パターン２０Ａ、第１絶縁部２８Ａに配置された第１絶縁パターン３４Ａ、並びに図５等に示すように、第２大格子１６Ｂの長辺４６の周囲に形成された第２補助パターン２０Ｂ、第２絶縁部２８Ｂに配置された第２絶縁パターン３４Ｂ等を均一に形成することは困難性が伴う。
【００７２】
そこで、以下に示す製造方法を好ましく採用することができる。
すなわち、第１透明基体１４Ａの両面に形成された感光性ハロゲン化銀乳剤層に対して一括露光を行って、第１透明基体１４Ａの一主面に第１導電部１３Ａを形成し、第１透明基体１４Ａの他主面に第２導電部１３Ｂを形成する。
【００７３】
この製造方法の具体例を、図１６〜図１８を参照しながら説明する。
先ず、図１６のステップＳ１において、長尺の感光材料１４０を作製する。感光材料１４０は、図１７Ａに示すように、第１透明基体１４Ａと、該第１透明基体１４Ａの一方の主面に形成された感光性ハロゲン化銀乳剤層（以下、第１感光層１４２ａという）と、第１透明基体１４Ａの他方の主面に形成された感光性ハロゲン化銀乳剤層（以下、第２感光層１４２ｂという）とを有する。
【００７４】
図１６のステップＳ２において、感光材料１４０を露光する。この露光処理では、第１感光層１４２ａに対し、第１透明基体１４Ａに向かって光を照射して第１感光層１４２ａを第１露光パターンに沿って露光する第１露光処理と、第２感光層１４２ｂに対し、第１透明基体１４Ａに向かって光を照射して第２感光層１４２ｂを第２露光パターンに沿って露光する第２露光処理とが行われる（両面同時露光）。図１７Ｂの例では、長尺の感光材料１４０を一方向に搬送しながら、第１感光層１４２ａに第１光１４４ａ（平行光）を第１フォトマスク１４６ａを介して照射すると共に、第２感光層１４２ｂに第２光１４４ｂ（平行光）を第２フォトマスク１４６ｂを介して照射する。第１光１４４ａは、第１光源１４８ａから出射された光を途中の第１コリメータレンズ１５０ａにて平行光に変換されることにより得られ、第２光１４４ｂは、第２光源１４８ｂから出射された光を途中の第２コリメータレンズ１５０ｂにて平行光に変換されることにより得られる。図１７Ｂの例では、２つの光源（第１光源１４８ａ及び第２光源１４８ｂ）を使用した場合を示しているが、１つの光源から出射した光を光学系を介して分割して、第１光１４４ａ及び第２光１４４ｂとして第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂに照射してもよい。
【００７５】
そして、図１６のステップＳ３において、露光後の感光材料１４０を現像処理することで、例えば図３Ｂに示すように、積層導電シート１２が作製される。積層導電シート１２は、第１透明基体１４Ａと、該第１透明基体１４Ａの一方の主面に形成された第１露光パターンに沿った第１導電部１３Ａ（第１導電パターン２６Ａ等）と、第１透明基体１４Ａの他方の主面に形成された第２露光パターンに沿った第２導電部１３Ｂ（第２導電パターン２６Ｂ等）とを有する。なお、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの露光時間及び現像時間は、第１光源１４８ａ及び第２光源１４８ｂの種類や現像液の種類等で様々に変化するため、好ましい数値範囲は一概に決定することができないが、現像率が１００％となる露光時間及び現像時間に調整されている。
【００７６】
そして、本実施の形態に係る製造方法のうち、第１露光処理は、図１８に示すように、第１感光層１４２ａ上に第１フォトマスク１４６ａを例えば密着配置し、該第１フォトマスク１４６ａに対向して配置された第１光源１４８ａから第１フォトマスク１４６ａに向かって第１光１４４ａを照射することで、第１感光層１４２ａを露光する。第１フォトマスク１４６ａは、透明なソーダガラスで形成されたガラス基板と、該ガラス基板上に形成されたマスクパターン（第１露光パターン１５２ａ）とで構成されている。従って、この第１露光処理によって、第１感光層１４２ａのうち、第１フォトマスク１４６ａに形成された第１露光パターン１５２ａに沿った部分が露光される。第１感光層１４２ａと第１フォトマスク１４６ａとの間に２〜１０μｍ程度の隙間を設けてもよい。
【００７７】
同様に、第２露光処理は、第２感光層１４２ｂ上に第２フォトマスク１４６ｂを例えば密着配置し、該第２フォトマスク１４６ｂに対向して配置された第２光源１４８ｂから第２フォトマスク１４６ｂに向かって第２光１４４ｂを照射することで、第２感光層１４２ｂを露光する。第２フォトマスク１４６ｂは、第１フォトマスク１４６ａと同様に、透明なソーダガラスで形成されたガラス基板と、該ガラス基板上に形成されたマスクパターン（第２露光パターン１５２ｂ）とで構成されている。従って、この第２露光処理によって、第２感光層１４２ｂのうち、第２フォトマスク１４６ｂに形成された第２露光パターン１５２ｂに沿った部分が露光される。この場合、第２感光層１４２ｂと第２フォトマスク１４６ｂとの間に２〜１０μｍ程度の隙間を設けてもよい。
第１露光処理及び第２露光処理は、第１光源１４８ａからの第１光１４４ａの出射タイミングと、第２光源１４８ｂからの第２光１４４ｂの出射タイミングを同時にしてもよいし、異ならせてもよい。同時であれば、１度の露光処理で、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂを同時に露光することができ、処理時間の短縮化を図ることができる。
【００７８】
ところで、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂが共に分光増感されていない場合、感光材料１４０に対して両側から露光すると、片側からの露光がもう片側（裏側）の画像形成に影響を及ぼすこととなる。
すなわち、第１感光層１４２ａに到達した第１光源１４８ａからの第１光１４４ａは、第１感光層１４２ａ中のハロゲン化銀粒子にて散乱し、散乱光として第１透明基体１４Ａを透過し、その一部が第２感光層１４２ｂにまで達する。そうすると、第２感光層１４２ｂと第１透明基体１４Ａとの境界部分が広い範囲にわたって露光され、潜像が形成される。そのため、第２感光層１４２ｂでは、第２光源１４８ｂからの第２光１４４ｂによる露光と第１光源１４８ａからの第１光１４４ａによる露光が行われてしまい、その後の現像処理にて第１積層導電シート１２Ａとした場合に、第２露光パターン１５２ｂによる導電パターン（第２導電部１３Ｂ）に加えて、該導電パターン間に第１光源１４８ａからの第１光１４４ａによる薄い導電層が形成されてしまい、所望のパターン（第２露光パターン１５２ｂに沿ったパターン）を得ることができない。これは、第１感光層１４２ａにおいても同様である。
【００７９】
これを回避するため、鋭意検討した結果、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの厚みを特定の範囲に設定したり、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの塗布銀量を規定することで、ハロゲン化銀自身が光を吸収し、裏面へ光透過を制限できることが判明した。本実施の形態では、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの厚みを１μｍ以上、４μｍ以下に設定することができる。上限値は好ましくは２．５μｍである。また、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの塗布銀量を５〜２０ｇ／ｍ２に規定した。
【００８０】
上述した両面密着の露光方式では、フイルム表面に付着した塵埃等で露光阻害による画像欠陥が問題となる。塵埃付着防止として、フイルムに導電性物質を塗布することが知られているが、金属酸化物等は処理後も残存し、最終製品の透明性を損ない、また、導電性高分子は保存性等に問題がある。そこで、鋭意検討した結果、バインダーを減量したハロゲン化銀により帯電防止に必要な導電性が得られることがわかり、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの銀／バインダーの体積比を規定した。すなわち、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの銀／バインダー体積比は１／１以上であり、好ましくは、２／１以上である。
【００８１】
上述のように、第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂの厚み、塗布銀量、銀／バインダーの体積比を設定、規定することで、図１８に示すように、第１感光層１４２ａに到達した第１光源１４８ａからの第１光１４４ａは、第２感光層１４２ｂまで達しなくなり、同様に、第２感光層１４２ｂに到達した第２光源１４８ｂからの第２光１４４ｂは、第１感光層１４２ａまで達しなくなり、その結果、その後の現像処理にて第１積層導電シート１２Ａとした場合に、図３Ｂに示すように、第１透明基体１４Ａの一方の主面には第１露光パターン１５２ａによる導電パターン（第１導電部１３Ａを構成するパターン）のみが形成され、第１透明基体１４Ａの他方の主面には第２露光パターン１５２ｂによる導電パターン（第２導電部１３Ｂを構成するパターン）のみが形成されることとなり、所望のパターンを得ることができる。
【００８２】
このように、上述の両面一括露光を用いた製造方法においては、導電性と両面露光の適性を両立させた第１感光層１４２ａ及び第２感光層１４２ｂを得ることができ、また、１つの第１透明基体１４Ａへの露光処理によって、第１透明基体１４Ａの両面に同一パターンや異なったパターンを任意に形成することができ、これにより、タッチパネル１００の電極を容易に形成することができると共に、タッチパネル１００の薄型化（低背化）を図ることができる。
【００８３】
上述の例は、感光性ハロゲン化銀乳剤層を用いて第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを形成する製造方法であるが、その他の製造方法としては、以下のような製造方法がある。
すなわち、第１透明基体１４Ａ上及び第２透明基体１４Ｂ上にめっき前処理材を用いて感光性被めっき層を形成し、その後、露光、現像処理した後にめっき処理を施すことにより、露光部及び未露光部にそれぞれ金属部及び光透過性部を形成して第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂを形成するようにしてもよい。なお、さらに金属部に物理現像及び／又はめっき処理を施すことによって金属部に導電性金属を担持させるようにしてもよい。
めっき前処理材を用いる方法のさらに好ましい形態としては、次の２通りの形態が挙げられる。なお、下記のより具体的な内容は、特開２００３−２１３４３７号公報、特開２００６−６４９２３号公報、特開２００６−５８７９７号公報、特開２００６−１３５２７１号公報等に開示されている。
（ａ）  透明基体上に、めっき触媒又はその前駆体と相互作用する官能基を含む被めっき層を塗布し、その後、露光・現像した後にめっき処理して金属部を被めっき材料上に形成させる態様。
（ｂ）  透明基体上に、ポリマー及び金属酸化物を含む下地層と、めっき触媒又はその前駆体と相互作用する官能基を含む被めっき層とをこの順に積層し、その後、露光・現像した後にめっき処理して金属部を被めっき材料上に形成させる態様。
【００８４】
その他の方法としては、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に形成された銅箔上のフォトレジスト膜を露光、現像処理してレジストパターンを形成し、レジストパターンから露出する銅箔をエッチングすることによって、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを形成するようにしてもよい。
あるいは、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に金属微粒子を含むペーストを印刷し、ペーストに金属めっきを行うことによって、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを形成するようにしてもよい。
あるいは、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂをスクリーン印刷版又はグラビア印刷版によって印刷形成するようにしてもよい。
あるいは、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂをインクジェットにより形成するようにしてもよい。
【００８５】
次に、本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂにおいて、特に好ましい態様であるハロゲン化銀写真感光材料を用いる方法を中心にして述べる。
本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの製造方法は、感光材料と現像処理の形態によって、次の３通りの形態が含まれる。
（１）  物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を化学現像又は熱現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
（２）  物理現像核をハロゲン化銀乳剤層中に含む感光性ハロゲン化銀黒白感光材料を溶解物理現像して金属銀部を該感光材料上に形成させる態様。
（３）  物理現像核を含まない感光性ハロゲン化銀黒白感光材料と、物理現像核を含む非感光性層を有する受像シートを重ね合わせて拡散転写現像して金属銀部を非感光性受像シート上に形成させる態様。
【００８６】
上記（１）の態様は、一体型黒白現像タイプであり、感光材料上に光透過性導電膜等の透光性導電性膜が形成される。得られる現像銀は化学現像銀又は熱現像銀であり、高比表面のフィラメントである点で後続するめっき又は物理現像過程で活性が高い。
上記（２）の態様は、露光部では、物理現像核近縁のハロゲン化銀粒子が溶解されて現像核上に沈積することによって感光材料上に光透過性導電性膜等の透光性導電性膜が形成される。これも一体型黒白現像タイプである。現像作用が、物理現像核上への析出であるので高活性であるが、現像銀は比表面の小さい球形である。
上記（３）の態様は、未露光部においてハロゲン化銀粒子が溶解されて拡散して受像シート上の現像核上に沈積することによって受像シート上に光透過性導電性膜等の透光性導電性膜が形成される。いわゆるセパレートタイプであって、受像シートを感光材料から剥離して用いる態様である。
【００８７】
いずれの態様もネガ型現像処理及び反転現像処理のいずれの現像を選択することもできる（拡散転写方式の場合は、感光材料としてオートポジ型感光材料を用いることによってネガ型現像処理が可能となる）。
ここでいう化学現像、熱現像、溶解物理現像、拡散転写現像は、当業界で通常用いられている用語どおりの意味であり、写真化学の一般教科書、例えば菊地真一著「写真化学」（共立出版社、１９５５年刊行）、Ｃ．Ｅ．Ｋ．Ｍｅｅｓ編「Ｔｈｅ  Ｔｈｅｏｒｙ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｇｒａｐｈｉｃ  Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ，  ４ｔｈ  ｅｄ．」（Ｍｃｍｉｌｌａｎ社、１９７７年刊行）に解説されている。本件は液処理に係る発明であるが、その他の現像方式として熱現像方式を適用する技術も参考にすることができる。例えば、特開２００４−１８４６９３号、同２００４−３３４０７７号、同２００５−０１０７５２号の各公報、特願２００４−２４４０８０号、同２００４−０８５６５５号の各明細書に記載された技術を適用することができる。
【００８８】
ここで、本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの各層の構成について、以下に詳細に説明する。
［第１透明基体１４Ａ、第２透明基体１４Ｂ］
第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂとしては、プラスチックフイルム、プラスチック板、ガラス板等を挙げることができる。
上記プラスチックフイルム及びプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル類；ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ＥＶＡ等のポリオレフィン類；ビニル系樹脂；その他、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド、ポリイミド、アクリル樹脂、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）等を用いることができる。
第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂとしては、ＰＥＴ（融点：２５８℃）、ＰＥＮ（融点：２６９℃）、ＰＥ（融点：１３５℃）、ＰＰ（融点：１６３℃）、ポリスチレン（融点：２３０℃）、ポリ塩化ビニル（融点：１８０℃）、ポリ塩化ビニリデン（融点：２１２℃）やＴＡＣ（融点：２９０℃）等の融点が約２９０℃以下であるプラスチックフイルム、又はプラスチック板が好ましく、特に、光透過性や加工性等の観点から、ＰＥＴが好ましい。積層導電シート１２に使用される第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂのような導電性フイルムは透明性が要求されるため、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂの透明度は高いことが好ましい。
【００８９】
［銀塩乳剤層］
第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの導電層（第１大格子１６Ａ、第１接続部２２Ａ、第１絶縁部２８Ａの第１絶縁パターン３４Ａ、第２大格子１６Ｂ、第２接続部２２Ｂ、第２絶縁部２８Ｂにおける第２絶縁パターン３４Ｂ、小格子１８等の導電部）となる銀塩乳剤層は、銀塩とバインダーの他、溶媒や染料等の添加剤を含有する。
本実施の形態に用いられる銀塩としては、ハロゲン化銀等の無機銀塩及び酢酸銀等の有機銀塩が挙げられる。本実施の形態においては、光センサーとしての特性に優れるハロゲン化銀を用いることが好ましい。
銀塩乳剤層の塗布銀量（銀塩の塗布量）は、銀に換算して１〜３０ｇ／ｍ２が好ましく、１〜２５ｇ／ｍ２がより好ましく、５〜２０ｇ／ｍ２がさらに好ましい。この塗布銀量を上記範囲とすることで、積層導電シート１２とした場合に所望の表面抵抗を得ることができる。
【００９０】
本実施の形態に用いられるバインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
本実施の形態の銀塩乳剤層中に含有されるバインダーの含有量は、特に限定されず、分散性と密着性を発揮し得る範囲で適宜決定することができる。銀塩乳剤層中のバインダーの含有量は、銀／バインダー体積比で１／４以上が好ましく、１／２以上がより好ましい。銀／バインダー体積比は、１００／１以下が好ましく、５０／１以下がより好ましい。また、銀／バインダー体積比は１／１〜４／１であることがさらに好ましい。１／１〜３／１であることが最も好ましい。銀塩乳剤層中の銀／バインダー体積比をこの範囲にすることで、塗布銀量を調整した場合でも抵抗値のばらつきを抑制し、均一な表面抵抗を有する積層導電シートを得ることができる。なお、銀／バインダー体積比は、原料のハロゲン化銀量／バインダー量（重量比）を銀量／バインダー量（重量比）に変換し、さらに、銀量／バインダー量（重量比）を銀量／バインダー量（体積比）に変換することで求めることができる。
【００９１】
＜溶媒＞
銀塩乳剤層の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒（例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等）、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。
本実施の形態の銀塩乳剤層に用いられる溶媒の含有量は、銀塩乳剤層に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して３０〜９０質量％の範囲であり、５０〜８０質量％の範囲であることが好ましい。
【００９２】
＜その他の添加剤＞
本実施の形態に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限は無く、公知のものを好ましく用いることができる。
［その他の層構成］
銀塩乳剤層の上に図示しない保護層を設けてもよい。本実施の形態において「保護層」とは、ゼラチンや高分子ポリマーといったバインダーからなる層を意味し、擦り傷防止や力学特性を改良する効果を発現するために感光性を有する銀塩乳剤層上に形成される。その厚みは０．５μｍ以下が好ましい。保護層の塗布方法及び形成方法は特に限定されず、公知の塗布方法及び形成方法を適宜選択することができる。また、銀塩乳剤層よりも下に、例えば下塗り層を設けることもできる。
【００９３】
次に、第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの作製方法の各工程について説明する。
［露光］
本実施の形態では、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを印刷方式によって施す場合を含むが、印刷方式以外は、第１導電部１３Ａ及び第２導電部１３Ｂを露光と現像等によって形成する。すなわち、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に設けられた銀塩含有層を有する感光材料又はフォトリソグラフィ用フォトポリマーを塗工した感光材料への露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線等の光、Ｘ線等の放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。
【００９４】
［現像処理］
本実施の形態では、乳剤層を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、ＰＱ現像液、ＭＱ現像液、ＭＡＡ現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フイルム社処方のＣＮ−１６、ＣＲ−５６、ＣＰ４５Ｘ、ＦＤ−３、パピトール、ＫＯＤＡＫ社処方のＣ−４１、Ｅ−６、ＲＡ−４、Ｄ−１９、Ｄ−７２等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。
本発明における現像処理は、未露光部分の銀塩を除去して安定化させる目的で行われる定着処理を含むことができる。本発明における定着処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる定着処理の技術を用いることができる。
上記定着工程における定着温度は、約２０℃〜約５０℃が好ましく、さらに好ましくは２５〜４５℃である。また、定着時間は５秒〜１分が好ましく、さらに好ましくは７秒〜５０秒である。定着液の補充量は、感光材料の処理量に対して６００ｍｌ／ｍ２以下が好ましく、５００ｍｌ／ｍ２以下がさらに好ましく、３００ｍｌ／ｍ２以下が特に好ましい。
【００９５】
現像、定着処理を施した感光材料は、水洗処理や安定化処理を施されるのが好ましい。上記水洗処理又は安定化処理においては、水洗水量は通常感光材料１ｍ2当り、２０リットル以下で行われ、３リットル以下の補充量（０も含む、すなわちため水水洗）で行うこともできる。
現像処理後の露光部に含まれる金属銀の質量は、露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上の含有率であることが好ましく、８０質量％以上であることがさらに好ましい。露光部に含まれる銀の質量が露光前の露光部に含まれていた銀の質量に対して５０質量％以上であれば、高い導電性を得ることができるため好ましい。
本実施の形態における現像処理後の階調は、特に限定されるものではないが、４．０を超えることが好ましい。現像処理後の階調が４．０を超えると、光透過性部の透光性を高く保ったまま、導電性金属部の導電性を高めることができる。階調を４．０以上にする手段としては、例えば、前述のロジウムイオン、イリジウムイオンのドープが挙げられる。
以上の工程を経て導電シートは得られるが、得られた導電シートの表面抵抗は０．１〜１００オーム／ｓｑ．の範囲にあることが好ましい。下限値は、１オーム／ｓｑ．以上、３オーム／ｓｑ．以上、５オーム／ｓｑ．以上、１０オーム／ｓｑ．以上であることが好ましい。上限値は、７０オーム／ｓｑ．以下、５０オーム／ｓｑ．以下であることが好ましい。このような範囲に表面抵抗を調整することで、面積が１０ｃｍ×１０ｃｍ以上の大型のタッチパネルでも位置検出を行うことができる。また、現像処理後の導電シートに対しては、さらにカレンダー処理を行ってもよく、カレンダー処理により所望の表面抵抗に調整することができる。
【００９６】
［物理現像及びめっき処理］
本実施の形態では、前記露光及び現像処理により形成された金属銀部の導電性を向上させる目的で、前記金属銀部に導電性金属粒子を担持させるための物理現像及び／又はめっき処理を行ってもよい。本発明では物理現像又はめっき処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属銀部に担持させてもよく、物理現像とめっき処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部に担持させてもよい。なお、金属銀部に物理現像及び／又はめっき処理を施したものを含めて「導電性金属部」と称する。
本実施の形態における「物理現像」とは、金属や金属化合物の核上に、銀イオン等の金属イオンを還元剤で還元して金属粒子を析出させることをいう。この物理現象は、インスタントＢ＆Ｗフイルム、インスタントスライドフイルムや、印刷版製造等に利用されており、本発明ではその技術を用いることができる。
また、物理現像は、露光後の現像処理と同時に行っても、現像処理後に別途行ってもよい。
本実施の形態において、めっき処理は、無電解めっき（化学還元めっきや置換めっき）、電解めっき、又は無電解めっきと電解めっきの両方を用いることができる。本実施の形態における無電解めっきは、公知の無電解めっき技術を用いることができ、例えば、プリント配線板等で用いられている無電解めっき技術を用いることができ、無電解めっきは無電解銅めっきであることが好ましい。
【００９７】
［酸化処理］
本実施の形態では、現像処理後の金属銀部、並びに、物理現像及び／又はめっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性をほぼ１００％にすることができる。
【００９８】
［導電性金属部］
本実施の形態の導電性金属部の線幅は、上述したように、下限は１μｍ以上、３μｍ以上、４μｍ以上、もしくは５μｍ以上が好ましく、上限は１５μｍ以下、１０μｍ以下、９μｍ以下、８μｍ以下が好ましい。線幅が上記下限値未満の場合には、導電性が不十分となるためタッチパネルに使用した場合に、検出感度が不十分となる。他方、上記上限値を越えると導電性金属部に起因するモアレが顕著になったり、タッチパネルに使用した際に視認性が悪くなったりする。なお、上記範囲にあることで、導電性金属部のモアレが改善され、視認性が特によくなる。小格子の一辺の長さは３０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは５０μｍ以上４００μｍ以下、最も好ましくは１００μｍ以上３５０μｍ以下である。また、導電性金属部は、アース接続等の目的においては、線幅は２００μｍより広い部分を有していてもよい。
本実施の形態における導電性金属部は、可視光透過率の点から開口率は８５％以上であることが好ましく、９０％以上であることがさらに好ましく、９５％以上であることが最も好ましい。開口率とは、第１大格子１６Ａ、第１接続部２２Ａ、第１絶縁部２８Ａの第１絶縁パターン３４Ａ、第２大格子１６Ｂ、第２接続部２２Ｂ、第２絶縁部２８Ｂにおける第２絶縁パターン３４Ｂ、小格子１８等の導電部を除いた透光性部分が全体に占める割合であり、例えば、線幅１５μｍ、ピッチ３００μｍの正方形の格子状の開口率は、９０％である。
【００９９】
［光透過性部］
本実施の形態における「光透過性部」とは、第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂのうち導電性金属部以外の透光性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、前述のとおり、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂの光吸収及び反射の寄与を除いた３８０〜７８０ｎｍの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が９０％以上、好ましくは９５％以上、さらに好ましくは９７％以上であり、さらにより好ましくは９８％以上であり、最も好ましくは９９％以上である。
露光方法に関しては、ガラスマスクを介した方法やレーザー描画によるパターン露光方式が好ましい。
【０１００】
［第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂ］
本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂにおける第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂの厚さは、７５〜３５０μｍであることが好ましい。７５〜３５０μｍの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、且つ、取り扱いも容易である。また、第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂ間の寄生容量も低減させることができる。
第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に設けられる金属銀部の厚さは、第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ上に塗布される銀塩含有層用塗料の塗布厚みに応じて適宜決定することができる。金属銀部の厚さは、０．００１ｍｍ〜０．２ｍｍから選択可能であるが、３０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましく、０．０１〜９μｍであることがさらに好ましく、０．０５〜５μｍであることが最も好ましい。また、金属銀部はパターン状であることが好ましい。金属銀部は１層でもよく、２層以上の重層構成であってもよい。金属銀部がパターン状であり、且つ、２層以上の重層構成である場合、異なる波長に感光できるように、異なる感色性を付与することができる。これにより、露光波長を変えて露光すると、各層において異なるパターンを形成することができる。
【０１０１】
導電性金属部の厚さは、タッチパネルの用途としては、薄いほど表示パネルの視野角が広がるため好ましく、視認性の向上の点でも薄膜化が要求される。このような観点から、導電性金属部に担持された導電性金属からなる層の厚さは、９μｍ未満であることが好ましく、０．１μｍ以上５μｍ未満であることがより好ましく、０．１μｍ以上３μｍ未満であることがさらに好ましい。
本実施の形態では、上述した銀塩含有層の塗布厚みをコントロールすることにより所望の厚さの金属銀部を形成し、さらに物理現像及び／又はめっき処理により導電性金属粒子からなる層の厚みを自在にコントロールできるため、５μｍ未満、好ましくは３μｍ未満の厚みを有する第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂであっても容易に形成することができる。
なお、本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａや第２導電シート１０Ｂの製造方法では、めっき等の工程は必ずしも行う必要はない。本実施の形態に係る第１導電シート１０Ａや第２導電シート１０Ｂの製造方法では銀塩乳剤層の塗布銀量、銀／バインダー体積比を調整することで所望の表面抵抗を得ることができるからである。なお、必要に応じてカレンダー処理等を行ってもよい。
【０１０２】
（現像処理後の硬膜処理）
銀塩乳剤層に対して現像処理を行った後に、硬膜剤に浸漬して硬膜処理を行うことが好ましい。硬膜剤としては、例えば、グルタルアルデヒド、アジポアルデヒド、２，３−ジヒドロキシ−１，４−ジオキサン等のジアルデヒド類及びほう酸等の特開平２−１４１２７９号に記載のものを挙げることができる。
［積層導電シート］
積層導電シートには、反射防止層やハードコート層等の機能層を付与してもよい。
【０１０３】
なお、本発明は、下記表１及び表２に記載の公開公報及び国際公開パンフレットの技術と適宜組合わせて使用することができる。「特開」、「号公報」、「号パンフレット」等の表記は省略する。
【０１０４】
【表１】
0005728412.tif 000002
【０１０５】
【表２】
0005728412.tif 000003
【実施例】
【０１０６】
以下に、本発明の実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。なお、以下の実施例に示される材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例により限定的に解釈されるべきものではない。
［第１実施例］
第１実施例は、実施例１〜９並びに比較例１及び２に係る積層導電シート１２について、第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積Ａ１と、第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積Ａ２との比（Ａ２／Ａ１）、並びに第１大格子１６Ａにおける金属細線１５の占有面積ａ１と、第２大格子１６Ｂにおける金属細線１５の占有面積ａ２との比（ａ２／ａ１）を変えた場合の第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂの表面抵抗の変化を確認し、併せて検出感度を評価した。実施例１〜９、比較例１及び２の内訳並びに評価結果を表３に示す。
【０１０７】
＜実施例１〜９、比較例１及び２＞
（ハロゲン化銀感光材料）
水媒体中のＡｇ１５０ｇに対してゼラチン１０．０ｇを含む、球相当径平均０．１μｍの沃臭塩化銀粒子（Ｉ＝０．２モル％、Ｂｒ＝４０モル％）を含有する乳剤を調製した。
また、この乳剤中にはＫ３Ｒｈ２Ｂｒ９及びＫ２ＩｒＣｌ６を濃度が１０−７（モル／モル銀）になるように添加し、臭化銀粒子にＲｈイオンとＩｒイオンをドープした。この乳剤にＮａ２ＰｄＣｌ４を添加し、さらに塩化金酸とチオ硫酸ナトリウムを用いて金硫黄増感を行った後、ゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が１０ｇ／ｍ２となるように、厚みが１５０μｍの第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂ（ここでは、共にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ））上に塗布した。この際、Ａｇ／ゼラチン体積比は２／１とした。
幅３０ｃｍのＰＥＴ支持体に２５ｃｍの幅で２０ｍ分塗布を行ない、塗布の中央部２４ｃｍを残すように両端を３ｃｍずつ切り落としてロール状のハロゲン化銀感光材料を得た。
（露光）
露光のパターンは、第１導電シート１０Ａについては図１１に示すパターンで、第２導電シート１０Ｂについては図１２に示すパターンで、Ａ４サイズ（２１０ｍｍ×２９７ｍｍ）の第１透明基体１４Ａ及び第２透明基体１４Ｂに行った。露光は上記パターンのフォトマスクを介して高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。第１小格子１８ａの一辺の長さが８０μｍ（第２小格子１８ｂの一辺の長さが１６０μｍ）、金属細線１５の幅が５μｍとなるようにパターン幅を調整した。
【０１０８】
（現像処理）
・現像液１Ｌ処方
ハイドロキノン                        ２０  ｇ
亜硫酸ナトリウム                      ５０  ｇ
炭酸カリウム                          ４０  ｇ
エチレンジアミン・四酢酸                ２  ｇ
臭化カリウム                            ３  ｇ
ポリエチレングリコール２０００          １  ｇ
水酸化カリウム                          ４  ｇ
ｐＨ                            １０．３に調整
・定着液１Ｌ処方
チオ硫酸アンモニウム液（７５％）    ３００  ｍｌ
亜硫酸アンモニウム・１水塩            ２５  ｇ
１，３−ジアミノプロパン・四酢酸        ８  ｇ
酢酸                                    ５  ｇ
アンモニア水（２７％）                  １  ｇ
ｐＨ                              ６．２に調整
上記処理剤を用いて露光済み感材を、富士フイルム社製自動現像機  ＦＧ−７１０ＰＴＳを用いて処理条件：現像３５℃  ３０秒、定着３４℃  ２３秒、水洗  流水（５Ｌ／分）の２０秒処理で行った。
（実施例１）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に２とした。
（実施例２）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に３とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例２に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例３）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に３．３とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例３に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例４）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に５とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例４に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例５）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に７とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例５に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例６）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に８とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例６に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例７）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に１０とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例７に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例８）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に１５とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例８に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（実施例９）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に２０とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、実施例９に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（比較例１）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に１とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、比較例１に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
（比較例２）
占有面積比Ａ２／Ａ１及びａ２／ａ１を共に２５とした点以外は、上述した実施例１と同様にして、比較例２に係る第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１０９】
（表面抵抗測定）
検出精度の良否を確認するために、第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの表面抵抗率をダイアインスツルメンツ社製ロレスターＧＰ（型番ＭＣＰ−Ｔ６１０）直列４探針プローブ（ＡＳＰ）にて任意の１０箇所測定した値の平均値である。
（検出感度の評価）
タッチパネルに対して指を一定方向に移動させることで、検出波形を取得し、取得した検出波形に基づいて検出感度を求めた。検出感度が予め設定したしきい値の１１０％を超えていれば「◎」、しきい値の９０％以上、１１０％以下であれば「○」、しきい値の９０％未満であれば「△」とした。
実施例１〜９、比較例１、２の結果を表３に示す。
【０１１０】
【表３】
0005728412.tif 000004
【０１１１】
表３から、比較例１及び２は検出感度が共に悪かった。比較例１については、第２導電パターン２６Ｂの表面抵抗が７５オーム／ｓｑ．と高く、電磁波によるノイズの影響を抑制できなかったものと考えられる。比較例２については、第２導電パターン２６Ｂの表面抵抗は大幅に低下したが、第１導電パターン２６Ａの表面抵抗が反対に１５０オーム／ｓｑ．と大きくなり、第１大格子１６Ａでの検出感度が低下したことが原因であると考えられる。
これに対して、実施例１〜９は共に検出感度が良好であった。特に、実施例３〜６は検出感度が非常に良好であった。
このことから、第１導電パターン２６Ａにおける金属細線１５の占有面積Ａ１と第２導電パターン２６Ｂにおける金属細線１５の占有面積Ａ２との比が１＜Ａ２／Ａ１≦２０であることが好ましく、さらに好ましくは、１＜Ａ２／Ａ１≦１０であり、特に好ましくは２≦Ａ２／Ａ１≦１０であることがわかる。また、第１大格子１６Ａにおける金属細線１５の占有面積ａ１、第２大格子１６Ｂにおける金属細線１５の占有面積ａ２との比が１＜ａ２／ａ１≦２０であることが好ましく、さらに好ましくは、１＜ａ２／ａ１≦１０であり、特に好ましくは、２≦ａ２／ａ１≦１０であることがわかる。
［第２実施例］
第２実施例は、上述した実施例１と同様にして作製した実施例１１〜１７並びに参考例１及び２に係る積層導電シート１２について、第１透明基体１４Ａの厚みを変えた場合の検出感度及び視認性を評価した。実施例１１〜１７、参考例１及び２の内訳並びに評価結果を表４に示す。
（透過率の測定）
第１透明基体１４Ａの透明性の良否を確認するために、第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂの透光部の透過率を分光光度計を用いて測定した。
（視認性の評価）
第２導電シート１０Ｂ上に第１導電シート１０Ａを積層して積層導電シート１２を作製し、その後、表示装置１０８（液晶ディスプレイ）の表示画面に積層導電シート１２を貼り付けてタッチパネル１００を構成した。その後、タッチパネル１００を回転盤に設置し、表示装置１０８を駆動して白色を表示させた際に、線太りや黒い斑点がないかどうか、また、タッチパネルの第１導電パターン２６Ａ及び第２導電パターン２６Ｂ、第１大格子１６Ａ及び第２大格子１６Ｂの境界が目立つかどうかを肉眼で確認した。
【０１１２】
【表４】
0005728412.tif 000005
【０１１３】
表４から、参考例１は視認性については良好であったが、検出感度が悪かった。これは、第１透明基体１４Ａの厚みが７０μｍと薄いため、第１導電パターン２６Ａと第２導電パターン２６Ｂとの間の寄生容量が大きく、この寄生容量の存在により、検出感度が悪化したものと考えられる。参考例２は検出感度及び視認性共に評価が悪かった。これは、第１透明基体１４Ａの厚みが４００μｍと非常に厚いため、自己容量方式の場合においては、第２導電パターン２６Ｂにおいて指のタッチ位置が認識し難くなり、相互容量方式の場合においては、第２大格子１６Ｂ（駆動電極）からの発信信号が第１大格子１６Ａ（受信電極）にて受信し難くなったものと考えられる。また、視認性の評価が悪くなった原因は、第１透明基体１４Ａの厚みが４００μｍと非常に厚いため、透光部での透過率が８０％と低く、透明性が低下したことによる。
これに対して、実施例１１〜１７は共に検出感度及び視認性が良好であった。特に、実施例１３〜１５は検出感度が非常に良好であった。
このことから、第１導電部１３Ａと第２導電部１３Ｂ間に介在する透明基体（ここでは第１透明基体１４Ａ）の厚みは、７５μｍ以上３５０μｍ以下が好ましく、さらに好ましくは８０μｍ以上２５０μｍ以下であり、特に好ましくは１００μｍ以上２００μｍ以下であることがわかる。
［第３実施例］
第３実施例は、上述した実施例１と同様にして作製した実施例２１〜２３並びに参考例１１に係る積層導電シート１２について、第２大格子１６Ｂにおける金属細線の占有面積ａ２と、第３補助パターン２０Ｃにおける金属細線の占有面積ａ３との比（ａ３／ａ２）を変えた場合の第１導電パターン２６Ａの表面抵抗の変化を確認し、併せて検出感度を評価した。実施例２１〜２３、参考例１１の内訳並びに評価結果を表５に示す。
【０１１４】
【表５】
0005728412.tif 000006
【０１１５】
表５から、参考例１１は、検出感度が悪かった。これは、第１導電パターン２６Ａの表面抵抗が１５０オーム／ｓｑ．と高く、第１大格子１６Ａでの検出感度が低下したことが原因であると考えられる。
これに対して、実施例２１〜２３は共に検出感度が良好であった。特に、実施例２３は検出感度が非常に良好であった。
このことから、第３補助パターン２０Ｃにおける金属細線の占有面積が、第２大格子１６Ｂにおける金属細線の占有面積の１／２以下であることが好ましく、さらに好ましくは１／４以下であることがわかる。
［第４実施例］
第４実施例は、サンプル１〜４９について視認性を評価した。視認性は、金属細線の視認され難さと透過率を評価した。サンプル１〜４９の内訳及び評価結果を表６及び表７に示す。
【０１１６】
＜サンプル１＞
サンプル１は、上述した第１実施例の実施例１と同様にして、ハロゲン化銀感光材料を作製し、該ハロゲン化銀感光材料に対して露光、現像処理を行って、金属細線の線幅が７μｍ、金属細線の線ピッチが７０μｍの第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル２〜７＞
サンプル２、３、４、５、６及び７は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１１７】
＜サンプル８＞
サンプル８は、金属細線の線幅が６μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル９〜１４＞
サンプル９、１０、１１、１２、１３及び１４は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル８と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１１８】
＜サンプル１５＞
サンプル１５は、金属細線の線幅が５μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル１６〜２１＞
サンプル１６、１７、１８、１９、２０及び２１は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル１５と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１１９】
＜サンプル２２＞
サンプル２２は、金属細線の線幅が４μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル２３〜２８＞
サンプル２３、２４、２５、２６、２７及び２８は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル２２と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１２０】
＜サンプル２９＞
サンプル２９は、金属細線の線幅が３μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル３０〜３５＞
サンプル３０、３１、３２、３３、３４及び３５は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル２９と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１２１】
＜サンプル３６＞
サンプル３６は、金属細線の線幅が２μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル３７〜４２＞
サンプル３７、３８、３９、４０、４１及び４２は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル３６と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１２２】
＜サンプル４３＞
サンプル４３は、金属細線の線幅が１μｍであること以外は、サンプル１と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
＜サンプル４４〜４９＞
サンプル４４、４５、４６、４７、４８及び４９は、金属細線の線ピッチが１００μｍ、２００μｍ、３００μｍ、４００μｍ、５００μｍ、６００μｍであること以外は、サンプル４３と同様にして第１導電シート１０Ａ及び第２導電シート１０Ｂを作製した。
【０１２３】
（視認性の評価）
＜金属細線の視認され難さ＞
サンプル１〜４９について、第２導電シート１０Ｂ上に第１導電シート１０Ａを積層して積層導電シート１２を作製し、その後、表示装置１０８の表示画面１１０ａに積層導電シート１２を貼り付けてタッチパネル１００を構成した。タッチパネル１００を回転盤に設置し、表示装置１０８を駆動して白色を表示させた際に、線太りや黒い斑点がないかどうか、また、タッチパネル１００の導電パターンの境界が目立つかどうかを肉眼で確認した。
そして、線太りや黒い斑点、並びに導電パターンの境界が目立たない場合を「◎」、線太り、黒い斑点及び導電パターンの境界のうち、いずれか１つが目立つ場合を「○」、線太り、黒い斑点及び導電パターンの境界のいずれか２つが目立つ場合を「△」、線太り、黒い斑点及び導電パターンの境界の全てが目立つ場合を「×」とした。
＜透過率＞
積層導電シート１２の透過率を分光光度計を用いて測定した。透過率が９０％以上を「◎」、８５％以上９０％未満を「○」、８０％以上８５％未満を「△」、８０％未満を「×」とした。
【０１２４】
【表６】
0005728412.tif 000007
【０１２５】
【表７】
0005728412.tif 000008
【０１２６】
表６及び表７から、金属細線の視認され難さと透過率が共に良好なのは、金属細線の線幅が６μｍ以上７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル４、５、１１及び１２、金属細線の線幅が３μｍ以上５μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル１７〜１９、２４〜２６、３１〜３３、金属細線の線幅が２μｍで、且つ、線ピッチが１００μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル３７〜４０、金属細線の線幅が１μｍで、且つ、線ピッチが７０μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル４３〜４７であった。
ここで、好ましいのは、金属細線の線幅が６μｍよりも大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル４及び５、並びに金属細線の線幅が６μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ以上５００μｍ以下であるサンプル１０〜１３、１７〜２０、２４〜２７、３１〜３４、３８〜４１、４５〜４８であった。
特に好ましいのは、金属細線の線幅が５μｍよりも大きく７μｍ以下で、且つ、線ピッチが３００μｍ以上４００μｍ以下であるサンプル４、５、１１及び１２、並びに金属細線の線幅が５μｍ以下で、且つ、線ピッチが２００μｍ〜４００μｍ以下であるサンプル１７〜１９、２４〜２６、３１〜３３、３８〜４０、４５〜４７であった。
なお、本発明に係る導電シート及びタッチパネルは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【０１２７】
１０Ａ…第１導電シート                １０Ｂ…第２導電シート
１２…積層導電シート                  １３Ａ…第１導電部
１３Ｂ…第２導電部                    １４Ａ…第１透明基体
１４Ｂ…第２透明基体                  １６Ａ…第１大格子（第１電極）
１６Ｂ…第２大格子（第２電極）        １８…小格子
２０Ａ…第１補助パターン（補助電極）
２０Ｂ…第２補助パターン（補助電極）
２０Ｃ…第３補助パターン（別の補助電極）
２６Ａ…第１導電パターン              ２６Ｂ…第２導電パターン
１００…タッチパネル                  １０２…センサ本体
１０８…表示装置                      １１０…表示パネル
１１２…センサ部                      １１４…端子配線部
【図１】
0005728412.tif 000009
【図２】
0005728412.tif 000010
【図３】
0005728412.tif 000011
【図４】
0005728412.tif 000012
【図５】
0005728412.tif 000013
【図６】
0005728412.tif 000014
【図７】
0005728412.tif 000015
【図８】
0005728412.tif 000016
【図９】
0005728412.tif 000017
【図１０】
0005728412.tif 000018
【図１１】
0005728412.tif 000019
【図１２】
0005728412.tif 000020
【図１３】
0005728412.tif 000021
【図１４】
0005728412.tif 000022
【図１５】
0005728412.tif 000023
【図１６】
0005728412.tif 000024
【図１７】
0005728412.tif 000025
【図１８】
0005728412.tif 000026