(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を有するチャンバを備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、
前記搬送面は、
前記フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、
幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して、前記フィルム状物の幅方向における端部を途中に含むように該幅方向に広がり、搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有し、
前記一対の脇領域には、該脇領域毎に、流体を前記面方向と異なる面外方向に噴出する孔部が、前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って搬送方向に列となるように設けられ、
前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて、前記フィルム状物の幅方向における端部を途中に含むようにして前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備え、
前記脇開口部は、
前記フィルム状物の幅方向において前記孔部の両側において設けられるとともに、前記チャンバの内側に位置する入口から前記搬送面に位置する出口まで延び前記流体を前記中央領域へガイドするガイド部を有し、
前記孔部は、前記チャンバの厚み方向に延びるように形成されていることを特徴とする、
浮揚搬送装置。
【請求項２】
前記孔部として、複数の孔が互いに前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って間隔を空けて設けられることを特徴とする、
請求項１に記載の浮揚搬送装置。
【請求項３】
前記複数の孔は、それぞれ、面積が０．００２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であることを特徴とする、
請求項２に記載の浮揚搬送装置。
【請求項４】
前記複数の孔は、それぞれ、径の最大値が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることを特徴とする、
請求項２に記載の浮揚搬送装置。
【請求項５】
前記複数の孔は、それぞれ、丸形、三角形、四角形、または多角形のいずれかの形状を呈することを特徴とする、
請求項２または３に記載の浮揚搬送装置。
【請求項６】
前記孔部は、スリットであることを特徴とする、
請求項１に記載の浮揚搬送装置。
【請求項７】
前記孔部における幅方向の中心を基準にする場合、一方の前記脇領域に設けられる前記孔部は、他方の前記脇領域に設けられる前記孔部との間隔が、前記フィルム状物の幅と比較して±５ｍｍ以内の範囲であることを特徴とする、
請求項１〜６のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項８】
前記一対の脇領域は、前記孔部が複数列設けられていることで、複数の幅の前記フィルム状物に適用できることを特徴とする、
請求項１〜７に記載の浮揚搬送装置。
【請求項９】
前記複数の脇開口部には、該脇開口部が設けられる前記脇領域毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、
請求項１〜８に記載の浮揚搬送装置。
【請求項１０】
前記複数の孔部には、列毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、
請求項８〜９のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項１１】
前記開口部として、前記中央領域に設けられて無方向に流体を噴出する複数の中央開口部を備えることを特徴とする、
請求項１〜１０のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項１２】
前記中央開口部には、前記脇開口部に供給される流体の経路とは異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、
請求項１１に記載の浮揚搬送装置。
【請求項１３】
前記搬送面を二つ備え、
前記二つの搬送面は、互いに対向して、前記フィルム状物が通る所定の隙間を形成することを特徴とする、
請求項１〜１２のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項１４】
前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域を備える曲面と、該曲面と連続する平面と、を備えてなり、
前記開口部として、前記平面に設けられて前記曲面に向けて流体を面方向に噴出する複数の平面開口部を備えることを特徴とする、
請求項１〜１３のいずれかに記載の浮揚搬送装置。
【請求項１５】
前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域をセットとして、該セットを幅方向に繰り返して有することを特徴とする、
請求項１〜１４に記載の浮揚搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。）を流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フィルム状物をエアなどの流体によって浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この浮揚搬送装置は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた平面、または断面視で円弧形もしくは楕円弧形をなす曲面からなる搬送面を備えている。
【０００３】
搬送面は、フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において中央領域の両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有してなり、一対の脇領域には、それぞれ、開口部として、他方の脇領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部が備えられている。
【０００４】
この浮揚搬送装置によれば、脇開口部から他方の脇領域に向けて面方向に流体を噴出するので、フィルム状物を浮揚させつつ搬送できると共に、当該フィルム状物を幅方向にセンタリングできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−０１８４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような浮揚搬送装置であっても、フィルム状物は幅方向に±４ｍｍ程度蛇行するので、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させることが望まれていた。
【０００７】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させた浮揚搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた搬送面を有するチャンバを備えてなり、所定の幅を有するフィルム状物を前記複数の開口部から噴出する流体によって前記搬送面から浮揚させつつ搬送する浮揚搬送装置であって、前記搬送面は、前記フィルム状物の幅方向中央に対応して搬送方向に延びる中央領域と、幅方向において前記中央領域の両脇にそれぞれ位置して、前記フィルム状物の幅方向における端部を途中に含むように該幅方向に広がり、搬送方向に延びる一対の脇領域と、を有し、前記一対の脇領域には、該脇領域毎に、流体を前記面方向と異なる面外方向に噴出する孔部が、前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って搬送方向に列となるように設けられ、前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて、前記フィルム状物の幅方向における端部を途中に含むようにして前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備え、前記脇開口部は、前記フィルム状物の幅方向において前記孔部の両側において設けられるとともに、前記脇開口部は、前記フィルム状物の幅方向において前記孔部の両側において設けられるとともに、前記チャンバの内側に位置する入口から前記搬送面に位置する出口まで延び前記流体を前記中央領域へガイドするガイド部を有し、前記孔部は、前記チャンバの厚み方向に延びるように形成されていることを特徴とする、浮揚搬送装置である。
【０００９】
本発明によれば、フィルム状物のセンタリング性能を向上させられる。具体的には、フィルム状物の寸法や材質、あるいは搬送する速度などによって異なるが、フィルム状物の幅方向の蛇行量を、従来の１０分の１以下である±０．３ｍｍ程度に収められる。
【００１０】
（２）本発明はまた、前記孔部として、複数の孔が互いに前記フィルム状物の幅方向における端部に沿って間隔を空けて設けられることを特徴とする、上記（１）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１１】
（３）本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、面積が０．００２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であることを特徴とする、上記（２）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１２】
（４）本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、径の最大値が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることを特徴とする、上記（２）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１３】
（５）本発明はまた、前記複数の孔は、それぞれ、丸形、三角形、四角形、または多角形のいずれかの形状を呈することを特徴とする、上記（２）または（３）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１４】
（６）本発明はまた、前記孔部は、スリットであることを特徴とする、上記（１）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１５】
（７）本発明はまた、前記孔部における幅方向の中心を基準にする場合、一方の前記脇領域に設けられる前記孔部は、他方の前記脇領域に設けられる前記孔部との間隔が、前記フィルム状物の幅と比較して±５ｍｍ以内の範囲であることを特徴とする、上記（１）〜（６）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１６】
（８）本発明はまた、前記開口部として、前記一対の脇領域にそれぞれ複数設けられて前記中央領域に向けて流体を面方向に噴出する脇開口部を備えることを特徴とする、上記（１）〜（７）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００１７】
（９）本発明はまた、前記一対の脇領域は、前記孔部が複数列設けられていることで、複数の幅の前記フィルム状物に適用できることを特徴とする、上記（８）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１８】
（１０）本発明はまた、前記複数の脇開口部には、該脇開口部が設けられる前記脇領域毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記（８）または（９）に記載の浮揚搬送装置である。
【００１９】
（１１）本発明はまた、前記複数の孔部には、列毎に、互いに異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記（８）〜（１１）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００２０】
（１２）本発明はまた、前記開口部として、前記中央領域に設けられて無方向に流体を噴出する複数の中央開口部を備えることを特徴とする、上記（８）〜（１１）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００２１】
（１３）本発明はまた、前記中央開口部には、前記脇開口部に供給される流体の経路とは異なる経路からの流体が供給されることを特徴とする、上記（１２）に記載の浮揚搬送装置である。
【００２２】
（１４）本発明はまた、前記搬送面を二つ備え、前記二つの搬送面は、互いに対向して、前記フィルム状物が通る所定の隙間を形成することを特徴とする、上記（８）〜（１３）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００２３】
（１５）本発明はまた、前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域を備える曲面と、該曲面と連続する平面と、を備えてなり、前記開口部として、前記平面に設けられて前記曲面に向けて流体を面方向に噴出する複数の平面開口部を備えることを特徴とする、上記（８）〜（１４）のいずれかに記載の浮揚搬送装置である。
【００２４】
（１６）本発明はまた、前記搬送面は、前記中央領域および前記一対の脇領域をセットとして、該セットを幅方向に繰り返して有することを特徴とする、上記（８）に記載の浮揚搬送装置である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の上記（１）〜（１６）に記載の浮揚搬送装置によれば、フィルム状物の幅方向のセンタリング性能を向上させられる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の部分拡大斜視図である。
【図２】図１に示す中央領域に設けられる中央開口部をエアチャンバの内側から視た斜視図である。
【図３】図１に示す一対の脇領域にそれぞれ設けられる脇開口部をエアチャンバの内側から視た斜視図である。
【図４】図１に示す浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図５】図１に示す浮揚搬送装置の正面図であり、（Ａ）はフィルム状物の定常状態を示し、（Ｂ）はフィルム状物が蛇行した状態を示す。
【図６】図１に示す浮揚搬送装置を適用した乾燥システムに係る概略構成図である。
【図７】図１に示す浮揚搬送装置を適用した洗浄システムに係る概略構成図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明の第２〜第５実施形態に係る浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図９】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第６〜第８実施形態に係る浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図１０】（Ａ）は本発明の第９実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の側面図である。
【図１１】（Ａ）および（Ｂ）は、本発明の第１０および第１１実施形態に係る浮揚搬送装置における搬送面の断面図である。
【図１２】本発明の第１２実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図１３】本発明の第１３実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図１４】本発明の第１４実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【図１５】（Ａ）は本発明の第１５実施形態に係る浮揚搬送装置の正面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す浮揚搬送装置の側面図である。
【図１６】本発明の第１６実施形態に係る浮揚搬送装置の外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して、本発明の第１〜第１６実施形態に係る浮揚搬送装置について詳細に説明する。
【００２８】
［第１実施形態］まず、図１〜図４を用いて第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０の構成について説明する。図１（Ａ）は、浮揚搬送装置１０の外観斜視図である。図１（Ｂ）は、浮揚搬送装置１０の部分拡大斜視図である。図２は、中央領域Ｐに設けられる中央開口部１７をエアチャンバ１２の内側から視た斜視図である。図３は、一対の脇領域Ｑ，Ｒにそれぞれ設けられる脇開口部２２をエアチャンバ１２の内側から視た斜視図である。図４は、浮揚搬送装置１０における搬送面１５の断面図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成の図示を適宜省略する。
【００２９】
図１に示す浮揚搬送装置１０は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、走行するフィルム状物Ｆ１の途中に配置される。この浮揚搬送装置１０は、ブロア装置１１で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。フィルム状物Ｆ１は、エアチャンバ１２における幅方向の中心に全体に満たされるように配置される。浮揚搬送装置１０は、本体となるエアチャンバ１２と、このエアチャンバ１２にブロア装置１１からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、を備えている。なお、フィルム状物Ｆ１を走行させる駆動源（図示省略）としては、ＢＥＬＬＭＡＴＩＣ株式会社（東京都西多摩郡瑞穂町）が市販するサクションローラなどを採用できる。以下、浮揚搬送装置１０の各構成について説明する。
【００３０】
エアチャンバ１２は、断面視でかまぼこ型をなす長尺形を呈する金属製である。ただし、エアチャンバ１２は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。これらの場合、後述する第２の用途例のように水溶液中で用いるときに腐食しない。このエアチャンバ１２は、両側面に設けられた一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１５と、を備えている。
【００３１】
一対の供給口には、それぞれ、供給管１３または１４が接続される。エアチャンバ１２内には、一対の供給管１３，１４を通じて一対の供給口から、ブロア装置１１で圧縮されたエアが供給される。なお、供給口の一方を蓋などで閉塞して、一方の供給管１３または１４を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。例えば、供給管１３が接続される供給口を蓋などで閉塞して、供給管１４を通じてエアの供給を受けるようにしてもよい。
【００３２】
搬送面１５は、断面視で半円弧形の曲面１５ａと、この曲面１５ａに滑らかに連続する一対の平面１５ｂと、からなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１５は、一方（図面における上側）の平面１５ｂ、曲面１５ａ、他方（図面における下側）の平面１５ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。すなわち、搬送面１５は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に１８０°転換する。
【００３３】
曲面１５ａは、フィルム状物Ｆ１の幅方向中央に対応して搬送方向（Ａ１→Ａ２）に延びる中央領域Ｐと、幅方向において中央領域Ｐの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００３４】
中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Ｑ，Ｒの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ，Ｒの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒを合わせた幅、すなわち、搬送面１５の幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００３５】
各脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の外側、すなわち、搬送面１５の外側には、スペース（符号省略）が設けられている。なお、中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒの幅は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅などによって適宜設定される。
【００３６】
図４に示すように、中央領域Ｐには、図２（Ａ）に示す中央開口部１７が複数設けられている。各中央開口部１７は、エアチャンバ１２の内側に突出する突状部１８を備えている。突状部１８は、断面視で半円弧形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に半円形の一対の内孔１８ａ，１８ｂを形成すると共に、中央領域Ｐの表面に矩形の外孔１８ｃを形成する。
【００３７】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、一対の内孔１８ａ，１８ｂから外孔１８ｃを通じて中央領域Ｐからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。具体的に、図面に矢印で示すように、一対の内孔１８ａ，１８ｂを通ったエアは、外孔１８ｃの直下で互いにぶつかって流速が弱まる。流速が弱まったエアは、四方八方に拡散する無方向の流れ、すなわち、フィルム状物Ｆ１に対する略直交方向で当該フィルム状物Ｆ１を押し上げる方向の流れを形成して、外孔１８ｃを通じてフィルム状物Ｆ１を押し上げる。なお、中央開口部１７におけるエアの無方向の流れは、搬送面１５の面方向と異なる面外方向の流れ、すなわち、面方向に対する直角方向の流れを主体とする。中央開口部１７の開口率は、全ての内孔１８ａ，１８ｂの面積の合計を中央領域Ｐの面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００３８】
なお、本実施形態では、中央開口部１７は、断面視で半円弧形を呈する突状部１８を備えているが、これに限定されず、図２（Ｂ）に示す突状部１９を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部１９は、断面視でＶ字形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に三角形の一対の内孔１９ａ，１９ｂを形成すると共に、中央領域Ｐの表面に矩形の外孔１９ｃを形成する。あるいは、図２（Ｃ）に示す突状部２０を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部２０は、断面視でコ字形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に矩形の一対の内孔２０ａ，２０ｂを形成すると共に、中央領域Ｐの表面に矩形の外孔２０ｃを形成する。
【００３９】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、図３（Ａ）に示す脇開口部２２が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各脇開口部２２は、エアチャンバ１２の内側に突出する突状部２４を備えている。突状部２４は、三角錐の二つの側面をなす形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に三角形の内孔２４ａを形成すると共に、脇領域Ｑ，Ｒの表面に三角形の外孔２４ｂを形成する。内孔２４ａは、突状部２４における脇領域Ｑ，Ｒの幅方向外側に形成されている。
【００４０】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、内孔２４ａから外孔２４ｂを通じて各脇領域Ｑ，Ｒからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。具体的に、図面に矢印で示すように、内孔２４ａを通ったエアは、中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れ（図１（Ｂ）における矢印Ｂ１方向の流れ）を形成して、外孔２４ｂを通じて搬送面１５の面方向に噴出する。すなわち、脇領域Ｑに設けられる脇開口部２２と、脇領域Ｒに設けられる脇開口部２２とは、互いに対向するエアの流れを形成する。脇領域Ｑに設けられる脇開口部２２からのエアの流量と、脇領域Ｒに設けられる脇領域２２からのエアの流量とは、互いに略同一となるように設定されている。
【００４１】
なお、本実施形態では、脇開口部２２は、三角錐の二つの側面をなす形を呈する突状部２４を備えているが、これに限定されず、図３（Ｂ）に示す突状部２５を備えているようにしてもよい。具体的に、突状部２５は、球面の一部をなす形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に半楕円形の内孔２５ａを形成すると共に、脇領域Ｑ，Ｒの表面に半楕円形の外孔２５ｂを形成する。内孔２５ａは、突状部２５における脇領域Ｑ，Ｒの幅方向外側に形成されている。
【００４２】
あるいは、図３（Ｃ）に示す突状部２６を備えるようにしてもよい。具体的に、突状部２６は、四角錐の三つの側面をなす形を呈しており、エアチャンバ１２の内側に台形の内孔２６ａを形成すると共に、脇領域Ｑ，Ｒの表面に三角形の外孔２６ｂを形成する。内孔２６ｂは、突状部２６における脇領域Ｑ，Ｒの幅方向外側に形成されている。
【００４３】
各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑに設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒに設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ１の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。
【００４４】
これらの各孔部２３は、複数の孔２７を備えている。複数の孔２７は、それぞれが円形を呈し、互いに所定の間隔を空けて設けられている。各孔部２７の大きさは、特に限定されないが、それぞれ、面積が０．０２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であること、すなわち、π≒３．１４であるから、面積が０．０７８５ｍｍ２以上７８．５ｍｍ２以下であることが好ましい。あるいは、径の最大値が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００４５】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、孔部２３を通じて面外方向（図１（Ｂ）における矢印Ｂ２方向）に噴出して、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ１が幅方向に位置決めされる。
【００４６】
なお、本実施形態では、孔部２３は、円形を呈する複数の孔２７を備えているが、これに限定されず、楕円その他の丸形、あるいは、三角形、四角形などの多角形を呈する複数の小孔（図示省略）を備えるようにしてもよい。この場合、複数の小孔は、プレス打抜き（パンチング）によって形成される。あるいは、孔部２３として、スリット（図示省略）を構成するようにしてもよい。
【００４７】
図１に戻って説明する。各平面１５ｂは、それぞれ、平面領域Ｓを有してなる。各平面領域Ｓには、それぞれ、平面開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、搬送方向に一対の列となるように孔部２３が設けられている。各平面開口部は、図３（Ａ）に示す脇開口部２２と同様の形状を呈する。すなわち、各平面開口部は、エアチャンバ１２の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。ただし、内孔は、突状部における平面領域Ｓの搬送方向外側に形成されている。
【００４８】
エアチャンバ１２に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて平面領域Ｓからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。具体的に、内孔を通ったエアは、外孔を通じて曲面１５ａに向けて搬送方向に沿った流れ（図１（Ｂ）における矢印Ｂ３方向の流れ）を形成して、搬送面１５の面方向に噴出する。これにより、各平面１５ｂにおけるフィルム状物Ｆ１の安定性を保ち、バタツキに起因する品質不良の発生をなくせる。
【００４９】
各平面領域Ｓにおける平面開口部の開口率は、それぞれ、一方または他方の平面領域Ｓにおける全ての内孔の面積の合計を一方または他方の平面領域Ｓの面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００５０】
各孔部２３は、平面領域Ｓにおける幅方向の外側にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一対の孔部２３は、互いの間隔が、フィルム状物Ｆ１の幅と略同じになるように設定されている。なお、各平面１５ｂは、平面領域Ｓを有していなくてもよい。すなわち、各平面１５ｂは、複数の平面開口部や一対の孔部２３が設けられていない只の平面であってもよい。
【００５１】
次に、浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作について、図５に基づいて説明する。図５は、浮揚搬送装置１０の正面図であり、（Ａ）はフィルム状物Ｆ１の定常状態を示し、（Ｂ）はフィルム状物Ｆ１が蛇行した状態を示す。
【００５２】
図５（Ａ）に示すように、浮揚搬送装置１０によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物Ｆ１は、定常状態において、幅方向における両端部が、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心、すなわち、孔部２３に重なるように位置する。各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、そのうちの略５０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。この定常状態において、脇領域Ｑに設けられた脇開口部２２からのエアの力は、脇領域Ｒに設けられた脇開口部２２からのエアの力との間で均衡が保たれる。各脇領域Ｑ，Ｒに設けられた孔部２３からのエアの力は、定常状態に維持する力としてフィルム状物Ｆ１に作用する。
【００５３】
一方、図５（Ｂ）に示すように、浮揚搬送装置１０によって浮揚されつつ搬送されるフィルム状物Ｆ１は、何らかの原因により蛇行した状態において、幅方向における両端部が、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心からズレるように位置する。各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、そのうちの５０％より多い領域、またはそのうちの５０％より少ない領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。例えば、脇領域Ｑは、そのうちの略８０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なり、脇領域Ｒは、そのうちの略２０％の領域がフィルム状物Ｆ１と重なる。このフィルム状物Ｆ１が蛇行した状態において、脇領域Ｑに設けられた脇開口部２２からのエアの力は、脇領域Ｒに設けられた脇開口部２２からのエアの力との間で均衡が崩れている。
【００５４】
フィルム状物Ｆ１が脇領域Ｑの方向に蛇行している場合、脇領域Ｑに設けられた脇開口部２２からのエアの力が、脇領域Ｒに設けられた脇開口部２２からのエアの力と比較して大きい。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部２２全体としてのエアの力は、脇領域Ｑから脇領域Ｒの方向、すなわち、フィルム状物Ｆ１が定常状態に復帰する方向に作用する。この力は、フィルム状物Ｆ１のズレが大きいほど大きく、定常状態に近いほど小さい。脇領域Ｑの方向に蛇行していたフィルム状物Ｆ１は、定常状態にほぼ復帰し、あるいは、さらに脇領域Ｒの方向に蛇行する。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部２２全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、次第に定常状態にほぼ復帰する。そして、孔部２３からのエアがフィルム状物Ｆ１の端部に作用して、最終的に定常状態に復帰する。
【００５５】
フィルム状物Ｆ１が脇領域Ｒの方向に蛇行している場合、脇領域Ｒに設けられた脇開口部２２からのエアの力が、脇領域Ｑに設けられた脇開口部２２からのエアの力と比較して大きい。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部２２全体としてのエアの力は、脇領域Ｒから脇領域Ｑの方向、すなわち、フィルム状物Ｆ１が定常状態に復帰する方向に作用する。脇領域Ｒの方向に蛇行していたフィルム状物Ｆ１は、定常状態にほぼ復帰し、あるいは、さらに脇領域Ｑの方向に蛇行する。脇領域Ｑ，Ｒに設けられた脇開口部２２全体としてのエアの力は、定常状態に近付くにつれて漸次小さくなるので、次第に定常状態にほぼ復帰する。そして、孔部２３からのエアがフィルム状物Ｆ１の端部に作用して、最終的に定常状態に復帰する。
【００５６】
各脇領域Ｑ，Ｒに設けられた孔部２３からのエアの力は、定常状態に復帰した後にさらに他方の脇領域Ｑ，Ｒの方向に蛇行することを防止する力としてフィルム状物Ｆ１に作用する。
【００５７】
次に、浮揚搬送装置の用途例について説明する。
【００５８】
［第１の用途例］まず、浮揚搬送装置の第１の用途例について、図６に基づいて説明する。図６は、浮揚搬送装置１０を適用した乾燥システム２９に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置１０，３１へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００５９】
図６に示す乾燥システム２９は、フィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚搬送しつつ乾燥させるシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置１０，３１を適用している。この乾燥システム２９は、システムの中核をなす乾燥炉３０と、この乾燥炉３０内に適宜配置された複数の浮揚搬送装置１０と、これら複数の浮揚搬送装置１０と共に乾燥炉３０内に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、乾燥炉３０からエアを回収し、回収したエアを圧縮してから各浮揚搬送装置１０，３１に供給するブロア装置１１と、このブロア装置１１が回収するエアを濾過するフィルタ３２と、各浮揚搬送装置１０，３０に供給されるエアを加熱するヒーター３３と、各浮揚搬送装置１０，２０に供給されるエアの圧力を計測する圧力計３４と、を備えている。
【００６０】
複数の浮揚搬送装置１０は、乾燥炉３０内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置１０には、フィルム状物Ｆ１がＳ字形を描くように巻き掛けられる。これにより、乾燥炉３０の省スペースを実現する。二つの浮揚搬送装置３１は、乾燥炉３０におけるフィルム状物Ｆ１の入口３０ａまたは出口３０ｂの傍らに、それぞれ配置されている。これら二つの浮揚搬送装置３１は、それぞれ、断面視で９０°の円弧形を呈する曲面からなる搬送面（符号省略）を備えている。各浮揚搬送装置３１には、フィルム状物Ｆ１がＬ字形を描くように巻き掛けられる。各浮揚搬送装置１０，３１に供給されたエアは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００６１】
［第２の用途例］次に、浮揚搬送装置３６の第２の用途例について、図７に基づいて説明する。図７は、浮揚搬送装置１０を適用した洗浄システム３７に係る概略構成図である。なお、浮揚搬送装置３１へのエアの供給経路の図示は適宜省略する。
【００６２】
図７に示す洗浄システム３７は、フィルム状物Ｆ１を、酸性やアルカリ性を示す水溶液などの液体Ｌによって浮揚搬送しつつ洗浄するシステムであり、本発明に係る浮揚搬送装置３６，３１を適用している。浮揚搬送装置３６は、所定の幅を有する一のフィルム状物Ｆ１を液体Ｌによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ポンプ３９で圧縮された液体Ｌの供給を受けて、当該液体Ｌをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。なお、浮揚搬送装置３６の基本構成は、浮揚搬送装置１０と同様である。
【００６３】
洗浄システム３７は、システムの中核をなす液槽３８と、この液槽３８内に適宜配置され、液体に浸された複数の浮揚搬送装置３６と、液槽３８から液体Ｌを回収し、回収した液体Ｌを各浮揚搬送装置３６に供給するポンプ３９と、液槽３８内の液体面上方に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、液槽３８外に適宜配置された二つの浮揚搬送装置３１と、各浮揚搬送装置３１にエアを供給するブロア装置（図示省略）と、を備えている。
【００６４】
複数の浮揚搬送装置３６は、液槽３８内に、上下に平行に、かつ、上下が互い違いとなるようにそれぞれ配置されている。これら複数の浮揚搬送装置３６には、フィルム状物Ｆ１がＳ字形を描くように巻き付けられる。これにより、液槽３８の省スペースを実現する。各浮揚搬送装置３６に供給された液体Ｌは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００６５】
液槽３８内の二つの浮揚搬送装置３１、および液槽３８外の二つの浮揚搬送装置３１は、液槽３８におけるフィルム状物Ｆ１の入口３８ａまたは出口３８ｂの傍らに、それぞれ配置されている。各浮揚搬送装置３１には、フィルム状物Ｆ１がＬ字形を描くように巻き付けられる。各浮揚搬送装置３１に供給されたエアは、フィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【００６６】
このように、浮揚搬送装置１０によれば、フィルム状物Ｆ１のセンタリング性能を向上させられる。具体的には、フィルム状物Ｆ１の寸法や材質、あるいは搬送する速度などによって異なるが、フィルム状物Ｆ１の幅方向の蛇行量を、従来の１０分の１以下である±０．３ｍｍ程度に収められる。
【００６７】
［第２実施形態］次に、図８（Ａ）を用いて、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５の構成について説明する。図８（Ａ）は、浮揚搬送装置６５における搬送面６７の断面図である。
【００６８】
なお、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５の特徴部分のみを説明し、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様の構成、作用、および効果についての説明は省略する。後述する第３〜第１６実施形態についても、特徴部分のみを説明し、他の実施形態と同様の構成、作用、および効果についての説明は、図面に符号を付すなどして省略する。
【００６９】
図８（Ａ）に示す浮揚搬送装置６５は、互いに異なる所定の幅を有する二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。各フィルム状物Ｆ１，Ｆ２は、エアチャンバ６６における幅方向の中心に配置される。なお、相対的に幅が狭いフィルム状物をＦ１とし、相対的に幅が広いフィルム状物をＦ２として説明する。
【００７０】
浮揚搬送装置６５は、エアチャンバ６６などを備えている。エアチャンバ４９は、フィルム状物Ｆ１またはＦ２を搬送する搬送面６７などを備えている。
搬送面６７は、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の幅方向中央に対応して搬送方向（Ａ１→Ａ２）に延びる中央領域Ｐと、幅方向において中央領域Ｐの両脇にそれぞれ位置して搬送方向に延びる一対の脇領域Ｑ，Ｒと、搬送方向に延びて脇領域Ｑを二つの脇領域Ｑ１，Ｑ２に分ける中間領域Ｔと、搬送方向に延びて脇領域Ｒを二つの脇領域Ｒ１，Ｒ２に分ける中間領域Ｕと、を有してなる。
【００７１】
中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して狭くなるように設定されている。一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１を合わせた幅は、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００７２】
一対の中間領域Ｔ，Ｕの幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の中間領域Ｔ，Ｕの面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、および一対の中間領域Ｔ，Ｕを合わせた幅は、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して狭くなるように設定されている。
【００７３】
一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の幅は、互いに同一となるように設定されている。すなわち、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の面積は、互いに同一となるように設定されている。中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、一対の中間領域Ｔ，Ｕ、および一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２を合わせた幅、すなわち、搬送面６７の幅は、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して広くなるように設定されている。
【００７４】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心は、それぞれ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の外側、すなわち、搬送面６７の外側には、スペース（符号省略）が設けられている。
【００７５】
なお、中央領域Ｐの幅は、フィルム状物Ｆ１の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。また、中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、および一対の中間領域Ｔ，Ｕを合わせた幅は、フィルム状物Ｆ２の幅の５０％以上７０％以下となるように設定されていることが好ましい。ただし、中央領域Ｐ、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１、一対の中間領域Ｔ，Ｕ、および一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２の幅は、それぞれ、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の幅などによって適宜設定される。
【００７６】
中央領域Ｐには、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と異なり、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。エアチャンバ６６に供給されたエアは、中央領域Ｐからフィルム状物Ｆ１またはＦ２に噴き付けられることはない。
【００７７】
各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ１，Ｒ１における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑ１に設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒ１に設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ１の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ１の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。
【００７８】
エアチャンバ６６に供給されたエアは、脇開口部２２を通じて中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Ｑ１，Ｒ１からフィルム状物Ｆ１またはＦ２に噴き付けられると共に、孔部２３を通じてフィルム状物Ｆ１の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ１が幅方向に位置決めされる。
【００７９】
脇領域Ｑ１における脇開口部２２の開口率は、脇領域Ｑ１における全ての内孔２４ａ（図３（Ａ）参照）の面積の合計を脇領域Ｑ１の面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。脇領域Ｒ１における脇開口部２２の開口率は、脇領域Ｑ１における脇開口部２２の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００８０】
各中間領域Ｔ，Ｕには、中央開口部１７または脇開口部２２のような開口部は設けられていない。エアチャンバ６６に供給されたエアは、各中間領域Ｔ，Ｕからフィルム状物Ｆ２に噴き付けられることはない。
【００８１】
各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ２，Ｒ２における幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、一方の脇領域Ｑ２に設けられる孔部２３は、他方の脇領域Ｒ２に設けられる孔部２３との間隔が、フィルム状物Ｆ２の幅と略同じになるように設定されている。ただし、各孔部２３の互いの間隔は、孔部２３における幅方向の中心を基準にする場合、フィルム状物Ｆ２の幅と比較して、±５ｍｍ以内のズレが許容できる。
【００８２】
エアチャンバ６６に供給されたエアは、脇開口部２２を通じて中央領域Ｐに向けて搬送方向と直交する流れを形成して、各脇領域Ｑ２，Ｒ２からフィルム状物Ｆ２に噴き付けられると共に、孔部２３を通じてフィルム状物Ｆ２の幅方向における端部に噴き付けられ、フィルム状物Ｆ２が幅方向に位置決めされる。
【００８３】
脇領域Ｑ２，Ｒ２における脇開口部２２の開口率は、それぞれ、脇領域Ｑ１における脇開口部２２の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００８４】
なお、浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【００８５】
フィルム状物Ｆ２を浮揚させつつ搬送する場合、何らかの原因によりフィルム状物Ｆ２が蛇行したときであっても、脇領域Ｑ１に設けられた脇開口部２２からのエアの力は、脇領域Ｒ１に設けられた脇開口部２２からのエアの力との間で均衡が保たれている。すなわち、各脇領域Ｑ１，Ｒ１に設けられた脇開口部２２からのエアがフィルム状物Ｆ２に影響を及ぼすことはない。
【００８６】
［第３実施形態］次に、図８（Ｂ）を用いて、第３実施形態に係る浮揚搬送装置６９の構成について説明する。図８（Ｂ）は、浮揚搬送装置６９における搬送面７１の断面図である。
【００８７】
図８（Ｂ）に示す浮揚搬送装置６９は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置６９は、エアチャンバ７０などを備えている。エアチャンバ７０は、搬送面７１などを備えている。搬送面７１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【００８８】
中央領域Ｐには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。
【００８９】
各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に二の列となるように孔部２３が設けられている。幅方向における内側の各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の内側にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。幅方向における外側の各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の外側にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【００９０】
なお、浮揚搬送装置６９におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００９１】
［第４実施形態］次に、図８（Ｃ）を用いて、第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３の構成について説明する。図８（Ｃ）は、浮揚搬送装置７３における搬送面６３の断面図である。
【００９２】
図８（Ｃ）に示す浮揚搬送装置７３は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置７３は、エアチャンバ７４などを備えている。エアチャンバ７４は、搬送面６３などを備えている。
【００９３】
搬送面６３は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【００９４】
中央領域Ｐには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と異なり、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ１，Ｑ２，Ｒ１，Ｒ２には、それぞれ、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられている。
【００９５】
各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と異なり、中間開口部（図示省略）が複数設けられている。各中間開口部は、図２（Ａ）に示す中央開口部１７と同様の形状を呈する。すなわち、各中間開口部は、エアチャンバ７４の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。エアチャンバ７４に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、各中間領域Ｔ，Ｕからフィルム状物Ｆ２に噴き付けられる。
【００９６】
中間領域Ｔにおける中間開口部の開口率は、中間領域Ｔにおける全ての内孔の面積の合計を中間領域Ｔの面積で除してから１００を乗じた値と定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。中間領域Ｕにおける中間開口部の開口率は、中間領域Ｔにおける中間開口部の開口率と同様に定義した場合、３％を超えないことが好ましく、１％以下であることがより好ましい。
【００９７】
なお、浮揚搬送装置７３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【００９８】
フィルム状物Ｆ１を浮揚させつつ搬送する場合、各中間領域Ｔ，Ｕに設けられた中間開口部からのエアは、各脇領域Ｑ２，Ｒ２に設けられた脇開口部２２からのエアをフィルム状物Ｆ１から遮蔽する。これにより、各脇領域Ｑ２，Ｒ２に設けられた脇開口部２２からのエアがフィルム状物Ｆ１に作用することを防止する。
【００９９】
フィルム状物Ｆ２を浮揚させつつ搬送する場合、何らかの原因によりフィルム状物Ｆ２が蛇行したときであっても、脇領域Ｑ１に設けられた脇開口部２２からのエアの力は、脇領域Ｒ１に設けられた脇開口部２２からのエアの力との間で均衡が保たれている。すなわち、各脇領域Ｑ１，Ｒ１に設けられた脇開口部２２からのエアがフィルム状物Ｆ２に影響を及ぼすことはない。
【０１００】
［第５実施形態］次に、図８（Ｄ）を用いて、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９の構成について説明する。図８（Ｄ）は、浮揚搬送装置８９における搬送面９１の断面図である。
【０１０１】
図８（Ｄ）に示す浮揚搬送装置８９は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置８９は、エアチャンバ９０などを備えている。エアチャンバ９０は、搬送面９１などを備えている。搬送面９１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１０２】
中央領域Ｐには、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と異なり、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。このため、中央領域Ｐの幅が広い場合には、フィルム状物Ｆ１におけるエアが噴き付けられない領域が広くなり、当該フィルム状物Ｆ１を浮揚させる力が不足する傾向にある。すなわち、中央領域Ｐの幅は、狭く設定されていることが好ましい。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるよう孔部２３が設けられている。
【０１０３】
なお、浮揚搬送装置８９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１０４】
［第６実施形態］次に、図９（Ａ）を用いて、第６実施形態に係る浮揚搬送装置１４０の構成について説明する。図９（Ａ）は、浮揚搬送装置１４０における搬送面１４９の断面図である。
【０１０５】
図９（Ａ）に示す浮揚搬送装置１４０は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１４０は、エアチャンバ１４４などを備えている。エアチャンバ１４４は、搬送面１４９などを備えている。搬送面１４９は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１０６】
中央領域Ｐには、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１０７】
なお、浮揚搬送装置１４０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１０８】
［第７実施形態］次に、図９（Ｂ）を用いて、第７実施形態に係る浮揚搬送装置１７４の構成について説明する。図９（Ｂ）は、浮揚搬送装置１７４における搬送面１７６の断面図である。
【０１０９】
図９（Ｂ）に示す浮揚搬送装置１７４は、選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、各フィルム状物Ｆ１，Ｆ２は、エアチャンバ１７５における幅方向の一端を基準に配置される。この浮揚搬送装置１７４は、グラビア印刷等に用いられる。
【０１１０】
浮揚搬送装置１７４は、エアチャンバ１７５などを備えている。エアチャンバ１７５は、搬送面１７６などを備えている。搬送面１７６は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒと、中間領域Ｔと、脇領域Ｑ２と、を有してなる。
【０１１１】
脇領域Ｑ１における幅方向の中心は、脇領域Ｒにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と重なるように設定されている。脇領域Ｑ２における幅方向の中心は、脇領域Ｒにおける幅方向の中心と共に、フィルム状物Ｆ２の幅方向における端部と重なるように設定されている。
【０１１２】
中央領域Ｐには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。各脇領域Ｑ１，Ｒ，Ｑ２には、それぞれ、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。中間領域Ｔには、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５と同様、中間開口部が設けられていない。
【０１１３】
なお、浮揚搬送装置１７４におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第２実施形態に係る浮揚搬送装置６５におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【０１１４】
［第８実施形態］次に、図９（Ｃ）を用いて、第８実施形態に係る浮揚搬送装置１７８の構成について説明する。図９（Ｃ）は、浮揚搬送装置１７８における搬送面１８０の断面図である。
【０１１５】
図９（Ｃ）に示す浮揚搬送装置１７８は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１７８は、エアチャンバ１７９などを備えている。エアチャンバ１７９は、搬送面１８０などを備えている。搬送面１８０は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１１６】
中央領域Ｐには、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と異なり、脇開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。脇開口部は、図２（Ａ）に示す中央開口部１７と同様の形状を呈する。すなわち、各脇開口部は、エアチャンバ１７９の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。
【０１１７】
なお、浮揚搬送装置１７８におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作と異なり、各脇領域Ｑ，Ｒに設けられた孔部２３からのエアの力のみによってなされる。このように、本発明は、中央領域Ｐに向けて流体を面方向に噴出する脇開口部２２（図３（Ａ）参照）を備えていなくてもよい。
【０１１８】
［第９実施形態］次に、図１０を用いて、第９実施形態に係る浮揚搬送装置７６の構成について説明する。図１０（Ａ）は、浮揚搬送装置７６の外観斜視図である。図１０（Ｂ）は、浮揚搬送装置７６の側面図である。
【０１１９】
図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）に示す浮揚搬送装置７６は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置７６は、本体となる第１エアチャンバ７７と、この第１エアチャンバ７８と対をなす第２エアチャンバ７８と、第１エアチャンバ７７にブロア装置１１からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、第２エアチャンバ７８にブロア装置１１からのエアを供給する供給管７９と、を備えている。
【０１２０】
第１エアチャンバ７７は、断面視で凸となる略底浅茶碗形を呈する。この第１エアチャンバ７７は、一対の供給口（図示省略）と、搬送面８０と、を備えている。
【０１２１】
搬送面８０は、断面視で凸となる円弧形の曲面８０ａと、この曲面８０ａに滑らかに連続する一対の平面８０ｂと、からなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面８０は、一方（図面における右側）の平面８０ｂ、曲面８０ａ、他方（図面における左側）の平面８０ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。すなわち、搬送面８０は、搬送方向を、矢印Ａ１からＡ２の方向に約１２０°転換する。
【０１２２】
搬送面８０は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１２３】
中央領域Ｐには、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。
【０１２４】
各脇領域Ｑ，Ｒには、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１２５】
第２エアチャンバ７８は、断面視で凹となる略底浅茶碗形を呈する。この第２エアチャンバ７８は、上面に設けられた供給口（図示省略）と、搬送面８１と、を備えている。
【０１２６】
搬送面８１は、断面視で凹となる円弧形の曲面８１ａと、この曲面８１ａに滑らかに連続する一対の平面８１ｂと、からなる。この第２エアチャンバ７８の搬送面８１は、第１エアチャンバ７７の搬送面８０と対向して、その搬送面８０と共に、フィルム状物Ｆ１が通る隙間を形成する。搬送面８１は、一方（図面における右側）の平面８１ｂ、曲面８１ａ、他方（図面における左側）の平面８１ｂの順に流れる方向を、フィルム状物Ｆ１の搬送方向とする。
【０１２７】
搬送面８１は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１２８】
中央領域Ｐには、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が設けられていない。
【０１２９】
各脇領域Ｑ，Ｒには、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９と同様、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。すなわち、第２エアチャンバ７８の各孔部２３は、第１エアチャンバ７７の孔部２３と対向するように設けられている。
【０１３０】
なお、浮揚搬送装置７６におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第５実施形態に係る浮揚搬送装置８９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１３１】
［第１０実施形態］次に、図１１（Ａ）を用いて、第１０実施形態に係る浮揚搬送装置８３の構成について説明する。図１１（Ａ）は、浮揚搬送装置８３における搬送面８６，８７の断面図である。
【０１３２】
図１１（Ａ）に示す浮揚搬送装置８３は、二つのフィルム状物Ｆ１，Ｆ２から選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を、エアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置８３は、第１エアチャンバ８４と、第２エアチャンバ８５と、などを備えている。第１エアチャンバ８４は、搬送面８６などを備えている。搬送面８６は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【０１３３】
第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３と同様、中間領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、中間開口部が複数設けられている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、脇開口部２２が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１３４】
第２エアチャンバ８５は、搬送面８７などを備えている。搬送面８７は、第１エアチャンバ８４の搬送面８６と対向して、その搬送面８６と共に、フィルム状物Ｆ１またはＦ２が通る隙間を形成する。搬送面８７は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ１，Ｒ１と、一対の中間領域Ｔ，Ｕと、一対の脇領域Ｑ２，Ｒ２と、を有してなる。
【０１３５】
搬送面８７は、搬送面８６と同様であり、中間領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ１，Ｒ１には、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各中間領域Ｔ，Ｕには、それぞれ、中間開口部が複数設けられている。各脇領域Ｑ２，Ｒ２には、それぞれ、脇開口部２２が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１３６】
なお、浮揚搬送装置８３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作は、第４実施形態に係る浮揚搬送装置７３におけるフィルム状物Ｆ１，Ｆ２のセンタリング動作に準ずる。
【０１３７】
［第１１実施形態］次に、図１１（Ｂ）を用いて、第１１実施形態に係る浮揚搬送装置１０４の構成について説明する。図１１（Ｂ）は、浮揚搬送装置１０４における搬送面１０７，１０８の外観斜視図である。
【０１３８】
図１１（Ｂ）に示す浮揚搬送装置１０４は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１０４は、第１エアチャンバ１０５と、第２エアチャンバ１０６と、などを備えている。第１エアチャンバ１０５は、搬送面１０７などを備えている。搬送面１０７は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１３９】
第６実施形態に係る浮揚搬送装置１４０と同様、中間領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１４０】
第２エアチャンバ１０６は、搬送面１０８などを備えている。搬送面１０８は、第１エアチャンバ１０５の搬送面１０７と対向して、その搬送面１０７と共に、フィルム状物Ｆ１が通る隙間を形成する。搬送面１０８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１４１】
搬送面１０８は、搬送面１０７と同様であり、中間領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１４２】
なお、浮揚搬送装置１０４におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第６実施形態に係る浮揚搬送装置１４０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１４３】
［第１２実施形態］次に、図１２を用いて、第１２実施形態に係る浮揚搬送装置１０９の構成について説明する。図１２は、浮揚搬送装置１０９の外観斜視図である。
【０１４４】
図１２に示す浮揚搬送装置１０９は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置１１０，１１１で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。
【０１４５】
この浮揚搬送装置１０９は、本体となる一対の第１エアチャンバ１１２と、これら一対の第１エアチャンバ１１２と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１１３と、一対の第１エアチャンバ１１２にブロア装置１１０からのエアを供給する二対の供給管１３，１４と、一対の第２エアチャンバ１１３にブロア装置１１１からのエアを供給する二つの供給管１１４と、を備えている。
【０１４６】
第１エアチャンバ１１２は、搬送面１１５などを備えている。搬送面１１５は、曲面１１５ａと一対の平面１１５ｂとからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１４７】
曲面１１５ａは、曲面領域Ｖを有してなる。この曲面領域Ｖには、曲面開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が幅方向に繰り返して設けられている。各曲面開口部は、図２（Ａ）に示す中央開口部１７と同様の形状を呈する。すなわち、各曲面開口部は、第１エアチャンバ１１２の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。第１エアチャンバ１１２に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、曲面領域Ｖからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【０１４８】
一対の平面１１５ｂは、それぞれ、平面領域Ｓを有してなる。各平面領域Ｓには、それぞれ、平面開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が繰り返して設けられている。
【０１４９】
第２エアチャンバ１１３は、搬送面１１６などを備えている。搬送面１１６は、平行四辺形（略長方形）の平面１１６ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１５０】
平面１１６ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。本実施形態では、五つのセットを繰り返す。各中央領域Ｐおよび各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、平行四辺形（略長方形）を呈する。
【０１５１】
各中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１５２】
一対の第１エアチャンバ１１２と、一対の第２エアチャンバ１１３とは、各第１エアチャンバ１１２の平面１１５ｂと、各第２エアチャンバ１１３の平面１１６ａと、が連続し、すなわち、各第１エアチャンバ１１２の搬送面１１５と、各第２エアチャンバ１１３の搬送面１１６と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能となる。
【０１５３】
なお、浮揚搬送装置１０９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１５４】
［第１３実施形態］次に、図１３を用いて、第１３実施形態に係る浮揚搬送装置１２０の構成について説明する。図１３は、浮揚搬送装置１２０の外観斜視図である。
【０１５５】
図１３に示す浮揚搬送装置１２０は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１２０は、本体となる一対の第１エアチャンバ１１８と、これら一対の第１エアチャンバ１１８と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１２１と、二対の供給管１３，１４と、二つの供給管１１４と、を備えている。
【０１５６】
第１エアチャンバ１１８は、搬送面１１９などを備えている。搬送面１１９は、曲面１１９ａと一対の平面１１９ｂとからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。曲面１１９ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。各中央領域Ｐおよび各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、平面展開視で平行四辺形（略長方形）を呈する。
【０１５７】
各中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１５８】
各平面１１９ｂは、それぞれ、平面領域Ｓを有してなる。各平面領域Ｓには、それぞれ、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０と同様、平面開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が繰り返して設けられている。
【０１５９】
第２エアチャンバ１２１は、搬送面１２２などを備えている。搬送面１２２は、平面１２２ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１６０】
平面１２２ａは、平面領域Ｗを有してなる。この平面領域Ｗには、平面開口部（図示省略）が複数設けられていると共に、搬送方向に対の列となるように孔部２３が繰り返して設けられている。各平面開口部は、図２（Ａ）に示す中央開口部１７と同様の形状を呈する。すなわち、各平面開口部は、第２エアチャンバ１２１の内側に突出する突状部を備えてなり、突状部が内孔と外孔とを形成する。第２エアチャンバ１２１に供給されたエアは、内孔から外孔を通じて無方向の流れを形成して、平面領域Ｗからフィルム状物Ｆ１に噴き付けられる。
【０１６１】
一対の第１エアチャンバ１１８と、一対の第２エアチャンバ１２１とは、各第１エアチャンバ１１８の平面１１９ｂと、各第２エアチャンバ１２１の平面１２２ａと、が連続し、すなわち、各第１エアチャンバ１１８の搬送面１１９と、各第２エアチャンバ１２１の搬送面１２２と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能となる。
【０１６２】
なお、浮揚搬送装置１２０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１２実施形態に係る浮揚搬送装置１０９におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。本実施形態の浮揚搬送装置１２０は、一対の第２エアチャンバ１２１を備えているが、これら一対の第２エアチャンバ１２１を備えないようにしてもよい。
【０１６３】
［第１４実施形態］次に、図１４を用いて、第１４実施形態に係る浮揚搬送装置１６０の構成について説明する。図１４は、浮揚搬送装置１６０の外観斜視図である。
【０１６４】
図１４に示す浮揚搬送装置１６０は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１６０は、本体となる一対の第１エアチャンバ１５７と、第２エアチャンバ１２１と、などを備えている。
【０１６５】
第１エアチャンバ１５７は、搬送面１５８などを備えている。搬送面１５８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットを幅方向に繰り返して有する。各中央領域Ｐおよび各脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、平面展開視で平行四辺形（略長方形）を呈する。
【０１６６】
第１３実施形態に係る浮揚搬送装置１２０と同様、各中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１６７】
一対のエアチャンバ１５７と、一対の第２エアチャンバ１２１とは、各エアチャンバ１５７の平面１５８ｂと、各第２エアチャンバ１２１の平面１２２ａと、が連続し、すなわち、各エアチャンバ１５７の搬送面１５８と、各第２エアチャンバ１２１の搬送面１２２と、が連続して周面をなすように配置される。これにより、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能となる。
【０１６８】
なお、浮揚搬送装置１６０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１３実施形態に係る浮揚搬送装置１２０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。本実施形態の浮揚搬送装置１６０は、一対の第２エアチャンバ１２１を備えているが、これら一対の第２エアチャンバ１２１を備えないようにしてもよい。
【０１６９】
［第１５実施形態］次に、図１５を用いて、第１５実施形態に係る浮揚搬送装置１２５の構成について説明する。図１５（Ａ）は、浮揚搬送装置１２５の正面図である。図１５（Ｂ）は、浮揚搬送装置１２５の側面図である。
【０１７０】
図１５（Ａ）および図１５（Ｂ）に示す浮揚搬送装置１２５は、一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置である。この浮揚搬送装置１２５は、本体となるエアチャンバ１２６と、供給管１２７と、を備えている。
【０１７１】
エアチャンバ１２６は、直方体の形を呈する。このエアチャンバ１２６は、供給口（図示省略）と、搬送面１２８と、を備えている。
【０１７２】
供給口には、供給管１２７が接続される。エアチャンバ１２６内には、供給管１２７を通じて供給口から、ブロア装置１１で圧縮されたエアが供給される。
【０１７３】
搬送面１２８は、平面１２８ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。この搬送面１２８は、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有してなる。
【０１７４】
中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。各孔部２３は、脇領域Ｑ，Ｒにおける幅方向の中心にそれぞれ設けられ、フィルム状物Ｆ１の幅方向における端部と略重なるように設定されている。
【０１７５】
なお、浮揚搬送装置１２５におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１７６】
［第１６実施形態］次に、図１６を用いて、第１６実施形態に係る浮揚搬送装置１６３の構成について説明する。図１６は、浮揚搬送装置１６３の外観斜視図である。
【０１７７】
図１６に示す浮揚搬送装置１６３は、螺旋状に巻き付けた一のフィルム状物Ｆ１をエアによって浮揚させつつ搬送する装置であり、ブロア装置１６４，１６５，１６６で圧縮されたエアの供給を受けて、当該エアをフィルム状物Ｆ１に噴き付ける。
【０１７８】
この浮揚搬送装置１６３は、本体となる第１エアチャンバ１６７と、この第１エアチャンバ１６７と共に本体となる一対の第２エアチャンバ１６８と、第１エアチャンバ１６７にブロア装置１６４からのエアを供給する一対の供給管１３，１４と、一対の第２エアチャンバ１６８にブロア装置１６５，１６６からのエアを供給する二対の供給管１６９，１７０と、を備えている。
【０１７９】
第１エアチャンバ１６７は、円柱形を呈する。この第１エアチャンバ１６７は、一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１７１と、を備えている。搬送面１７１は、円柱面１７１ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１８０】
円柱面１７１ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を一つのセットとして、当該セットが螺旋状を呈するように幅方向に繰り返して有する。
【０１８１】
中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１８２】
第２エアチャンバ１６８は、円柱形を呈する。この第２エアチャンバ１６８は、一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１７２と、を備えている。搬送面１７２は、円柱面１７２ａからなり、フィルム状物Ｆ１と対向する。
【０１８３】
円柱面１７２ａは、中央領域Ｐと、一対の脇領域Ｑ，Ｒと、を有する。中央領域Ｐおよび一対の脇領域Ｑ，Ｒは、それぞれ、環状を呈する。
【０１８４】
中央領域Ｐには、中央開口部１７（図２（Ａ）参照）が複数設けられている。各脇領域Ｑ，Ｒには、それぞれ、脇開口部２２（図３（Ａ）参照）が複数設けられていると共に、搬送方向に一の列となるように孔部２３が設けられている。
【０１８５】
第１エアチャンバ１６７には、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を螺旋状に巻き付けることが可能である。各第２エアチャンバ１６８には、中央領域Ｐを基準としてフィルム状物Ｆ１を巻き付けることが可能であり、各第２エアチャンバ１６８は、フィルム状物Ｆ１の搬送方向を９０°転換する。
【０１８６】
なお、浮揚搬送装置１６３におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作は、第１実施形態に係る浮揚搬送装置１０におけるフィルム状物Ｆ１のセンタリング動作に準ずる。
【０１８７】
本発明は、上記各実施形態および上記用途例に限られるものではなく、その趣旨および技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【０１８８】
すなわち、上記各実施形態において、搬送面は、流体を噴出する複数の開口部が設けられた平面、または、断面視で円弧形をなす曲面からなるが、円柱面、楕円柱面、または、断面視で楕円弧形をなす曲面からなるようにしてもよい。
【０１８９】
あるいは、上記各実施形態において、互いに異なる所定の幅を有する三つ以上のフィルム状物から選択された一のフィルム状物を、浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、各フィルム状物に対応して、孔部２３を複数の列となるように設ければよい。
【０１９０】
あるいは、上記各実施形態において、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２を、エアによって浮揚させつつ搬送することに代えて、水などの液体、その他の流体によって浮揚させつつ搬送するようにしてもよい。この場合、洗浄、改質、または鍍金を行う装置などに適用できる。
【０１９１】
あるいは、上記各実施形態において、エアチャンバの内部の空間を、複数の領域の各々に対応するように仕切る仕切板（図示省略）を備えるようにしてもよい。この場合、各空間に対し、専用のブロア装置で圧縮されたエアを個別に供給することで、エアの供給を各領域の状況に応じて個別に制御できる。
【０１９２】
例えば、選択された一のフィルム状物Ｆ１またはＦ２を浮揚させつつ搬送する装置の場合、各脇領域Ｑ２，Ｒ２に設けられた脇開口部２２、および各中間領域Ｔ，Ｕに設けられた中間開口部からエアを噴出させないようにすることも可能となる。
【０１９３】
仕切板を備えることに加えて、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の蛇行量を検知するセンサ（図示省略）と、このセンサによる検知結果に基づいて各ブロア装置を制御する制御ユニット（図示省略）と、を備えるようにしてもよい。制御ユニットは、センサによってフィルム状物Ｆ１，Ｆ２の蛇行量が検知された場合、各ブロア装置の羽根（図示省略）の回転速度を適宜変更させて、フィルム状物Ｆ１，Ｆ２の蛇行が修正されるようにエアの量を制御する。
【０１９４】
センサおよび制御ユニットを備えることに加えて、エアの量を調整する複数の電磁弁を備えるようにしてもよい。制御ユニットは、センサによる検知結果に基づいて複数の電磁弁を制御する。電磁弁は、制御ユニットによる制御下において開閉され、各ブロア装置から供給されるエアの量を調節する。この場合、ブロア装置の羽根の回転速度を適宜変更する必要がない。
【０１９５】
あるいは、上記各実施形態および上記各用途例の構成を、可能な範囲で他の実施形態または他の用途例に適用してもよい。
【符号の説明】
【０１９６】
１０，３１，３６，６５，６９，７３，７６，８３，８９，１０４，１０９，１２０，１２５，１４０，１６０，１６３，１７４，１７８  浮揚搬送装置
１５，６７，７１，８０，８１，８６，８７，９１，１０７，１０８，１１５，１１６，１１９，１２２，１２８，１４９，１５８，１７１，１７２，１７６，１８０  搬送面
１５ａ，８０ａ，８１ａ，１１５ａ，１１９ａ，１５８ａ，  曲面
１５ｂ，６３ｂ，８０ｂ，８１ｂ，１１５ｂ，１１６ａ，１１９ｂ，１２２ａ，１２８ａ，１５８ｂ，  平面
１７  中央開口部
２２  脇開口部
２３  孔部
２７  孔
Ｆ１，Ｆ２  フィルム状物
Ａ１，Ａ２  搬送方向
Ｐ  中央領域
Ｑ，Ｑ１，Ｑ２，Ｒ，Ｒ１，Ｒ２  脇領域
Ｓ，Ｗ  平面領域
Ｔ，Ｕ  中間領域
Ｖ  曲面領域
Ｌ  液体
【図１】
0005723709.tif 000002
【図２】
0005723709.tif 000003
【図３】
0005723709.tif 000004
【図４】
0005723709.tif 000005
【図５】
0005723709.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005723709.tif 000008
【図８】
0005723709.tif 000009
【図９】
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【図１０】
0005723709.tif 000011
【図１１】
0005723709.tif 000012
【図１２】
0005723709.tif 000013
【図１３】
0005723709.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
0005723709.tif 000016
【図１６】
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