(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の電極部を有した基板を保持する基板保持部と、ＡＣＦテープに保護テープが貼り付けられて成るテープ部材が巻き付けられたリールを有し、リールより繰り出されるテープ部材から電極部の長さに応じた長さのＡＣＦテープをテープ切片として切り出してその切り出したテープ切片を基板保持部に保持された基板の電極部に貼着する複数の貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置であって、
複数の貼着ヘッドの少なくともひとつにリールが取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープの長さ及び切り出そうとするテープ切片の長さから、リール取り付け時点において、各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープから切り出すことができるテープ切片の数を初期残切片数として算出する初期残切片数算出手段と、
初期残切片数算出手段により算出された各貼着ヘッドの初期残切片数に基づいて、複数の貼着ヘッド間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序を設定するヘッド作動順序設定手段と、
ヘッド作動順序設定手段により設定された貼着ヘッドの作動順序に従って各貼着ヘッドにテープ切片の貼着動作を行わせる貼着動作実行手段とを備えたことを特徴とするテープ切片貼着装置。
【請求項２】
複数の電極部を有した基板を保持する基板保持部と、ＡＣＦテープに保護テープが貼り付けられて成るテープ部材が巻き付けられたリールを有し、リールより繰り出されるテープ部材から電極部の長さに応じた長さのＡＣＦテープをテープ切片として切り出してその切り出したテープ切片を基板保持部に保持された基板の電極部に貼着する複数の貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置によるテープ切片貼着方法であって、
複数の貼着ヘッドの少なくともひとつにリールが取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープの長さ及び切り出そうとするテープ切片の長さから、リール取り付け時点において各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープから切り出すことができるテープ切片の数を初期残切片数として算出する工程と、
算出した各貼着ヘッドの初期残切片数に基づいて、複数の貼着ヘッド間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序を設定する工程と、
設定した貼着ヘッドの作動順序に従って各貼着ヘッドにテープ切片の貼着動作を行わせる工程とを含むことを特徴とするテープ切片貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板が備える複数の電極部のそれぞれにＡＣＦテープの切片（テープ切片）を貼着するテープ切片貼着装置及びテープ切片貼着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル製造システムによる液晶パネル製造作業では、基板の上面に設けられた複数の電極部のそれぞれにＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電膜のテープ（ＡＣＦテープ）の切片（テープ切片）を貼着するテープ切片貼着工程があり、このテープ切片貼着工程におけるテープ切片の貼着作業にはテープ切片貼着装置としてのＡＣＦ貼着装置が用いられる。
【０００３】
ＡＣＦ貼着装置は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部の上方に設けられた貼着ヘッドを備えており、ＡＣＦテープは、その粘着面にセパレータと呼ばれる保護テープが貼り付けられたテープ部材の状態でリールに巻き付けられて供給される。リールは貼着ヘッドに取り付けられ、貼着ヘッドは、その取り付けられたリールから繰り出されるテープ部材から電極部の長さに応じた長さのＡＣＦテープをテープ切片として切り出して基板保持部に保持された基板の電極部に貼着する。このようなＡＣＦ貼着装置の中には複数の貼着ヘッドを備えたものもあり（例えば、特許文献１）、複数の電極部に対して複数の貼着ヘッドによりテープ切片の同時貼着を行うことで、基板の生産効率を向上させることができるようになっている。
【０００４】
ＡＣＦ貼着装置では、リールに残っているＡＣＦテープの長さがテープ切片を切り出すことができない程度に少なくなった（テープ切れとなった）ときには、テープ切れとなったリールを貼着ヘッドから取り外して新たなリールを取り付けるテープ交換作業を行う。このテープ交換作業はＡＣＦ貼着装置によるテープ切片の貼着作業を停止させたうえで行い、テープ交換作業が終わったら、改めて貼着作業を開始させる。
【０００５】
ここで、貼着ヘッドが複数設けられている場合には、通常、各貼着ヘッドはそれぞれ等分の割合でテープ切片の貼着動作を行うので、各貼着ヘッドそれぞれに新しいリールを同時に取り付けてテープ切片の貼着作業を開始すれば、複数の貼着ヘッドは同時期にテープ切れとなってテープ交換のためにテープ切片の貼着作業を中断させる機会は少なくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１６８１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来のＡＣＦ貼着装置において、リールはテープ切れとなる前に貼着ヘッドから取り外されることがあり、またテープ切れとなる前に取り外されたリールが別の貼着ヘッドに取り付けられて使用されることもある。このため、リールに残っているＡＣＦテープの長さが互いに異なる複数の貼着ヘッドがそれぞれ等分の割合でテープ切片の貼着動作を行った場合には、貼着ヘッド間でテープ切れが起きるタイミングが異なるケースが多く、テープ交換作業のためにテープ切片の貼着作業を中断させる機会が頻繁になってテープ切片の貼着作業の作業効率が低下するおそれがあるという問題点があった。
【０００８】
そこで本発明は、テープ切片の貼着作業を中断させる機会を少なくして作業効率を向上させることができるようにしたテープ切片貼着装置及びテープ切片貼着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載のＡＣＦ貼着装置は、複数の電極部を有した基板を保持する基板保持部と、ＡＣＦテープに保護テープが貼り付けられて成るテープ部材が巻き付けられたリールを有し、リールより繰り出されるテープ部材から電極部の長さに応じた長さのＡＣＦテープをテープ切片として切り出してその切り出したテープ切片を基板保持部に保持された基板の電極部に貼着する複数の貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置であって、複数の貼着ヘッドの少なくともひとつにリールが取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープの長さ及び切り出そうとするテープ切片の長さから、リール取り付け時点において、各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープから切り出すことができるテープ切片の数を初期残切片数として算出する初期残切片数算出手段と、初期残切片数算出手段により算出された各貼着ヘッドの初期残切片数に基づいて、複数の貼着ヘッド間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序を設定するヘッド作動順序設定手段と、ヘッド作動順序設定手段により設定された貼着ヘッドの作動順序に従って各貼着ヘッドにテープ切片の貼着動作を行わせる貼着動作実行手段とを備えた。
【００１０】
請求項２に記載のテープ切片貼着方法は、複数の電極部を有した基板を保持する基板保持部と、ＡＣＦテープに保護テープが貼り付けられて成るテープ部材が巻き付けられたリールを有し、リールより繰り出されるテープ部材から電極部の長さに応じた長さのＡＣＦテープをテープ切片として切り出してその切り出したテープ切片を基板保持部に保持された基板の電極部に貼着する複数の貼着ヘッドとを備えたＡＣＦ貼着装置によるテープ切片貼着方法であって、複数の貼着ヘッドの少なくともひとつにリールが取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープの長さ及び切り出そうとするテープ切片の長さから、リール取り付け時点において各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープから切り出すことができるテープ切片の数を初期残切片数として算出する工程と、算出した各貼着ヘッドの初期残切片数に基づいて、複数の貼着ヘッド間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序を設定する工程と、設定した貼着ヘッドの作動順序に従って各貼着ヘッドにテープ切片の貼着動作を行わせる工程とを含む。
【発明の効果】
【００１１】
本発明では、複数の貼着ヘッドの少なくともひとつにリールが取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープの長さ及び切り出そうとするテープ切片の長さから、リール取り付け時点において各貼着ヘッドのリールに残っているＡＣＦテープから切り出すことができるテープ切片の数を初期残切片数として算出し、その算出した各貼着ヘッドの初期残切片数に基づいて、複数の貼着ヘッド間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序（ヘッド作動順序）を設定して、その設定したヘッド作動順序に従って各貼着ヘッドにテープ切片の貼着動作を行わせるようになっているので、貼着ヘッド間でテープ切れとなるタイミングをほぼ一致させることができる。このため、テープ切片の貼着作業を中断させる機会が少なくなり、テープ切片の貼着作業の作業効率、ひいては液晶パネル製造システムによる基板の生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大斜視図
【図４】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大正面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の部分拡大正面図
【図６】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の制御系統を示すブロック図
【図７】本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置の制御系統を示すブロック図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するテープ切片の貼着作業の実行手順を示す図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置が実行するテープ切片の貼着作業の実行手順を示す図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるヘッド作動順序の設定手順を示すフローチャート
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるヘッド作動順序の流れを示すフローチャート
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるヘッド作動順序の流れを示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示すテープ切片貼着装置の一例としてのＡＣＦ貼着装置１は、その上流工程側に配置された電極部洗浄装置や下流工程側に配置された仮圧着装置や本圧着装置等とともに液晶パネル製造システム（いずれも図示せず）を構成しており、上流工程側の電極部洗浄装置から長方形の液晶パネルの基板２を受け取った後、その基板２に設けられた複数の電極部３Ｂ（各電極部は複数の電極３から成る）のそれぞれにＡＣＦテープ４を短冊状に切断して得られるテープ切片４ｓを貼着して下流工程側の仮圧着装置に受け渡すものである。
【００１４】
図１、図２及び図３において、ＡＣＦ貼着装置１は、基台１０、基台１０上に設けられた基板保持部移動機構１１によって移動自在に設けられた基板保持部１２、基台１０の上方を水平方向に延びた横フレーム１３ａを有する門型フレーム１３、門型フレーム１３の横フレーム１３ａに沿って移動自在に設けられた２つの貼着ヘッド１４及び２つの貼着ヘッド１４の下方に設けられたバックアップステージ１５を備えている。以下、説明の便宜上、横フレーム１３ａの延びる方向であって２つの貼着ヘッド１４が移動する水平方向をＡＣＦ貼着装置１の左右方向（Ｘ軸方向）とし、２つの貼着ヘッド１４の移動方向と直交する水平方向をＡＣＦ貼着装置１の前後方向（Ｙ軸方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。更に、左右方向（Ｘ軸方向）のうち、図１の紙面左側を左方、図１の紙面右側を右方とし、前後方向（Ｙ軸方向）のうち、図１の紙面手前側（オペレータが作業をする側であって、図２の紙面左方）を前方、図１の紙面奥側（図２の紙面右方）を後方とする。
【００１５】
図１において、ＡＣＦテープ４は片面に保護テープであるセパレータＳｐが貼り付けられたテープ部材Ｔｐの状態で供給される。基板２上の複数の電極部３Ｂは、一の長辺と一の短辺のそれぞれの端部に一列に並んで設けられており、基板２の一の長辺と一の短辺のそれぞれには、複数の電極部３Ｂから成る電極部列３Ｌが形成された状態となっている。
【００１６】
図１、図２及び図３において、基板保持部移動機構１１はＸテーブル１１ａ、Ｙテーブル１１ｂ及びθテーブル１１ｃの相互の相対移動によって基板保持部１２を（すなわち基板２を）水平面内で移動させる。基板保持部１２は、基板２上の長辺側若しくは短辺側に設けられた電極部列３ＬがＸ軸方向に延びるように（すなわち複数の電極部３ＢがＸ軸方向に並ぶように）基板２を水平姿勢に保持する。すなわち本実施の形態において、基板保持部１２は、複数の電極部３Ｂを有した基板２を保持するものとなっている。
【００１７】
図２及び図４において、各貼着ヘッド１４は門型フレーム１３の横フレーム１３ａに沿って移動自在な平板状のベース部２０に、テープ搬送部２１、ツール昇降シリンダ２２によって昇降される押し付けツール２３、テープ切断部２４及び撮像カメラ２５を備えている。
【００１８】
図４において、テープ搬送部２１は、テープ部材Ｔｐを繰り出して供給するリール３１、リール３１より供給されるテープ部材Ｔｐを真空吸引して回収するテープ回収部３２及びリール３１からテープ回収部３２までの間のテープ部材Ｔｐを案内する複数の案内ローラ（第１案内ローラ３３ａ、第２案内ローラ３３ｂ、第３案内ローラ３３ｃ及び一対の第４案内ローラ３３ｄ）から成る。
【００１９】
図４において、第１案内ローラ３３ａはベース部２０の左方上部に上下方向に延びて形成されたローラ移動溝２０ａ内を移動自在であり、図示しない付勢部材によって上方に付勢されている。第２案内ローラ３３ｂは第１案内ローラ３３ａの下方のベース部２０の左側下部に設けられており、第３案内ローラ３３ｃは第２案内ローラ３３ｂの右方のベース部２０の右側下部に設けられている。一対の第４案内ローラ３３ｄは第３案内ローラ３３ｃの上方のベース部２０の右側中央部に左右方向に並んで設けられている。
【００２０】
図４において、リール３１から供給されるテープ部材Ｔｐは、第１案内ローラ３３ａ、第２案内ローラ３３ｂ、第３案内ローラ３３ｃ及び一対の第４案内ローラ３３ｄによってこの順で案内され（一対の第４案内ローラ３３ｄではテープ部材Ｔｐは両面が左右方向から挟まれた状態となる）、テープ回収部３２に送られる。
【００２１】
図４において、テープ部材Ｔｐは、第１案内ローラ３３ａがローラ移動溝２０ａ内で上方に付勢されることによって適度なテンションが与えられ、第１案内ローラ３３ａと第２案内ローラ３３ｂの間ではベース部２０の左側領域を垂直方向に延びた姿勢に保持され、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃの間では、ベース部２０の下側領域を左右方向（Ｘ軸方向）に延びた水平姿勢に保持される。またテープ部材Ｔｐは、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間及び一対の第４案内ローラ３３ｄとテープ回収部３２との間では、ベース部２０の右側領域を垂直方向に延びた姿勢に保持される。
【００２２】
図４において、テープ搬送部２１は、テープ回収部３２によってテープ部材Ｔｐを吸引するとともに一対の第４案内ローラ３３ｄでテープ部材Ｔｐの流れの下流側へ送りながらリール３１からテープ部材Ｔｐを繰り出すことによってテープ部材Ｔｐを順方向（第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃとの間の水平搬送領域を左から右に流れる方向。図４中に示す矢印Ａ）に搬送することができ、テープ回収部３２によってテープ部材Ｔｐを吸引するとともに一対の第４案内ローラ３３ｄでテープ部材Ｔｐの流れの上流側へ送りながらリール３１によりテープ部材Ｔｐを巻き取ることによってテープ部材Ｔｐを逆方向（上記水平搬送領域を右から左に流れる方向）に搬送することができる。
【００２３】
図４において、押し付けツール２３はツール昇降シリンダ２２により所定の初期位置（図４に示す位置）とその下方のテープ押し付け位置との間で移動され、押し付けツール２３は、初期位置にあるときには第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃによって水平方向に案内されるテープ部材Ｔｐよりも上方の位置に位置し、テープ押し付け位置にあるときには、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃによって水平方向に案内されるテープ部材Ｔｐよりも下方の位置に位置する。
【００２４】
図４において、押し付けツール２３にはヒータ２３ｈが内蔵されており、このヒータ２３ｈを作動させることによって押し付けツール２３の全体を加熱することができる。
【００２５】
図４において、テープ切断部２４は第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間の位置に設けられており、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間を垂直に延びるテープ部材Ｔｐの右方領域に設けられたカッター２４ａ及びテープ部材Ｔｐの左方領域においてカッター２４ａと水平方向に対向する位置（すなわちカッター２４ａとの間でテープ部材Ｔｐを挟む位置）に設けられた背板部２４ｂを有して成る。
【００２６】
図４において、カッター２４ａは左方の切断位置と右方の待機位置との間で水平方向（すなわち、テープ部材Ｔｐの面に直交する方向）に移動自在であり、切断位置に位置した状態において、セパレータＳｐを切断することなく、ＡＣＦテープ４のみを切断する。なお、カッター２４ａがＡＣＦテープ４に押し付けられたとき、背板部２４ｂはテープ部材Ｔｐの左面のセパレータＳｐを支持してテープ部材Ｔｐに対するカッター２４ａの押し付け荷重の反力をとる当て板として機能する。
【００２７】
図５において、第３案内ローラ３３ｃと一対の第４案内ローラ３３ｄの間を垂直方向に延びるテープ部材Ｔｐの右面のＡＣＦテープ４は、その先端部がカッター２４ａによるＡＣＦテープ４の切断位置Ｍよりも長さＬｓだけ引き上げられた状態でテープ切断部２４によって切断される。この長さＬｓは、基板２上のテープ切片４ｓを貼着しようとする電極部３ＢのＸ軸方向の寸法に対応する長さ（すなわち電極部３Ｂの長さに応じた長さ）であり、テープ部材ＴｐからＡＣＦテープ４のみがテープ切断部２４によって切断されることによって、セパレータＳｐ上に長さＬｓのテープ切片４ｓが形成される。
【００２８】
図４において、撮像カメラ２５はベース部２０の右側下方に撮像視野を下方に向けて設けられており、ベース部２０の水平方向への移動に応じて移動し、基板保持部１２に保持された基板２の左右両端部に設けられた位置決め用のマーク（図示せず）の撮像を行う。
【００２９】
基板保持部１２に保持された基板２の移動（位置決め）動作は、ＡＣＦ貼着装置１が備える制御装置４０（図１及び図６）が前述の基板保持部移動機構１１の作動制御を行うことによってなされる。
【００３０】
各貼着ヘッド１４の門型フレーム１３の横フレーム１３ａに対する左右方向（Ｘ軸方向）への移動は、制御装置４０が図示しないアクチュエータ等から成るベース部移動機構４１（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３１】
テープ搬送部２１によるテープ部材Ｔｐの搬送動作は、制御装置４０がリール３１を駆動するリール駆動モータ４２（図２及び図６）とテープ回収部３２を駆動するテープ回収部駆動機構４３（図２及び図６）及び一対の第４案内ローラ３３ｄを駆動するローラ駆動機構４４（図２及び図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３２】
テープ部材ＴｐにおけるＡＣＦテープ４の先頭部の位置は、回転数検出センサ４５（図６）によって検出される一対の第４案内ローラ３３ｄのうちの一方の回転数の情報と、この一方の第４案内ローラ３３ｄの半径のデータ等から制御装置４０において算出される。
【００３３】
テープ切断部２４におけるカッター２４ａの左右方向への移動動作、すなわちカッター２４ａによるＡＣＦテープ４の切断動作は、制御装置４０がカッター２４ａを左右方向に移動させるカッター駆動シリンダ４６（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３４】
押し付けツール２３の昇降動作は、制御装置４０がツール昇降シリンダ２２の作動制御を行うことによってなされる（図６）。また、押し付けツール２３に内蔵されたヒータ２３ｈ（図４）による押し付けツール２３の加熱動作は、制御装置４０がヒータ作動機構４７（図６）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３５】
撮像カメラ２５による撮像動作制御は制御装置４０によってなされる（図６）。撮像カメラ２５によって撮像された画像データは制御装置４０に送られ、制御装置４０の画像認識部４０ａ（図６）において画像認識される。
【００３６】
図６において、制御装置４０には入出力装置としてのタッチパネル４８が接続されており、オペレータＯＰ（図３）はこのタッチパネル４８を介して制御装置４０からのメッセージを受けることができるとともに、タッチパネル４８を介して制御装置４０に対して必要な指令入力を行うことができる。
【００３７】
図６において、制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、貼着動作プログラム記憶部４０ｃに記憶された貼着動作プログラムに従って各貼着ヘッド１４にテープ切片４ｓの貼着作業（基板２の各電極部３Ｂにテープ切片４ｓを貼着させる作業）を行わせる。ここで、２つの貼着ヘッド１４がどうような順序で作動してテープ切片４ｓの貼着作業を行っていくかについては、後述するヘッド作動順序設定部４０ｋで設定された２つの貼着ヘッド１４の作動順序（ヘッド作動順序）に従うことから、貼着動作プログラムには定められていない（但し、ヘッド作動順序設定部４０ｋでヘッド作動順序が設定された後、その設定されたヘッド作動順序を貼着動作プログラムに反映させることで、ヘッド作動順序を貼着動作プログラムの一部として管理するようにしてもよい）。
【００３８】
制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、テープ切片４ｓの貼着作業を実行する場合には、先ず、基板２上の一方の電極部列３Ｌがバックアップステージ１５の直上に位置するように基板保持部１２を移動させて基板２の位置決めを行った後、これからテープ切片４ｓの貼着作業を行わせようとする貼着ヘッド１４を左右方向（Ｘ軸方向）に移動させ、その貼着ヘッド１４が備える押し付けツール２３の左端がテープ切片４ｓを貼着しようとする電極部３Ｂの左端の直上に位置するようにして貼着ヘッド１４の位置決めを行う（図８（ａ））。
【００３９】
制御装置４０は、上記貼着ヘッド１４の位置決めと並行して、テープ搬送部２１によりテープ部材Ｔｐを順方向に搬送し（図８（ａ）中に示す矢印Ｂ１）、ＡＣＦテープ４の先頭部がテープ切断部２４によるＡＣＦテープ４の切断位置Ｍを通り過ぎて電極部３ＢのＸ軸方向の長さに相当する長さＬｓだけ上方の位置に位置するようにしてＡＣＦテープ４の先頭部の位置決めを行う（図８（ａ））。そして、制御装置４０は、カッター駆動シリンダ４６の作動制御を行ってカッター２４ａを待機位置から切断位置に移動させ（図８（ａ）中に示す矢印Ｃ）、ＡＣＦテープ４の切断を行って、セパレータＳｐ上に長さＬｓのテープ切片４ｓを形成させる（図８（ａ））。
【００４０】
制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、セパレータＳｐ上に長さＬｓのテープ切片４ｓを形成させたら、テープ搬送部２１によってテープ部材Ｔｐを逆方向に搬送し（図８（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、セパレータＳｐ上に形成させたテープ切片４ｓを押し付けツール２３の下方（これからテープ切片４ｓを貼着しようとする電極部３Ｂの直上）に位置決めする（図８（ｂ））。
【００４１】
制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、上記のようにしてテープ切片４ｓの位置決めを行ったら、ツール昇降シリンダ２２の作動制御を行って初期位置に位置した押し付けツール２３をテープ押し付け位置まで下降させ（図８（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）、ヒータ２３ｈで予め加熱しておいた押し付けツール２３によってテープ切片４ｓを基板２上の電極部３Ｂに貼着させる（図８（ｃ））。このテープ切片４ｓの貼着動作では、制御装置４０は、テープ切片４ｓをセパレータＳｐごと基板２の縁部（この基板２の縁部の下面はバックアップステージ１５によって支持されている）に押し付けるようにする。
【００４２】
制御装置４０は、押し付けツール２３によって基板２上の電極部３ＢにＡＣＦテープ４を貼着させたら、押し付けツール２３を初期位置まで上昇させる（図９（ａ）。図中に示す矢印Ｄ２）。図９（ａ）に示すように、押し付けツール２３を初期位置に上昇させても、第２案内ローラ３３ｂと第３案内ローラ３３ｃの間のテープ部材Ｔｐは、テープ切片４ｓが電極部３Ｂに貼着されていることから、下方に引っ張られた状態が維持される。
【００４３】
制御装置４０は押し付けツール２３を初期位置まで上昇させたら、貼着ヘッド１４を左方に移動させつつ（図９（ｂ）及び図９（ｃ）中に示す矢印Ｅ）、テープ搬送部２１によってテープ部材Ｔｐを順方向に搬送する（図９（ｂ）及び図９（ｃ）中に示す矢印Ｂ３）。これにより、基板２上に貼着されたテープ切片４ｓの上面に貼り付いているセパレータＳｐは上方に引っ張り上げられながら、電極部３Ｂに貼着されたテープ切片４ｓから剥離される（図９（ｃ））。
【００４４】
このように各貼着ヘッド１４は、ＡＣＦテープ４に保護テープであるセパレータＳｐが貼り付けられて成るテープ部材Ｔｐが巻き付けられたリール３１を有し、リール３１より繰り出されるテープ部材Ｔｐから電極部３Ｂの長さに応じた長さのＡＣＦテープ４をテープ切片４ｓとして切り出してその切り出したテープ切片４ｓを基板保持部１２に保持された基板２の電極部３Ｂに貼着するものとなっている。
【００４５】
図４及び図７において、各リール３１の側面にはリール側メモリ３１ｍが設けられている。このリール側メモリ３１ｍには、そのリール３１に残っているＡＣＦテープ４の長さ（以下、「テープ残長」と称する）のデータが記憶される。リール側メモリ３１ｍには、リール３１のＡＣＦテープ４が全く使用されていない状態ではＡＣＦテープ４の未使用時の長さが記録されており、その後、そのリール３１が貼着ヘッド１４に取り付けられて使用された（テープ切片４ｓが切り出された）後、貼着ヘッド１４から取り外されるときに、その貼着ヘッド１４の取り外しの時点でリール３１に残っているＡＣＦテープ４の長さがテープ残長として記録される（後述）。
【００４６】
図６及び図７において、制御装置４０には、リーダライタ制御部４０ｄ、テープ残長記憶部４０ｅ、切片長さ記憶部４０ｆ、初期残切片数算出部４０ｇ、初期残切片数記憶部４０ｈ、ヘッド作動順序設定部４０ｋ、貼着動作カウンタ４０ｍ、残切片数算出部４０ｐ及びテープ残長算出部４０ｑが設けられている。
【００４７】
制御装置４０にはオペレータＯＰによって操作されるリーダライタＬＷを接続させることができ（図６及び図７）、リーダライタ制御部４０ｄは、オペレータＯＰによって操作されるリーダライタＬＷを介して各リール３１のリール側メモリ３１ｍにアクセスし、オペレータＯＰによる所定の操作に応じ、リール側メモリ３１ｍに記憶されたテープ残長のデータを読み出して制御装置４０のテープ残長記憶部４０ｅに書き込むアップロード動作と、制御装置４０のテープ残長記憶部４０ｅに記憶されたテープ残長のデータを読み出してリール側メモリ３１ｍに書き込むダウンロード動作を行う（図７）。
【００４８】
制御装置４０の切片長さ記憶部４０ｆには、ＡＣＦテープ４から切り出そうとするテープ切片４ｓの長さ（以下、「切片長さ」と称する。この切片長さはＬｓに等しい）のデータが記憶されている。
【００４９】
初期残切片数算出部４０ｇは、２つの貼着ヘッド１４の少なくとも一方についてリール３１の取り付け（例えば、リール交換時におけるリール３１の取り付け）を行ったリール取り付け時に、テープ残長記憶部４０ｅに記憶された各リール３１のテープ残長のデータを読み出すとともに切片長さ記憶部４０ｆから切片長さを読み出し、各リール３１に残っているＡＣＦテープ４から切り出すことができるテープ切片４ｓの数を「初期残切片数」として算出して、その算出した残切片数を初期残切片数記憶部４０ｈに記憶させる（図７）。
【００５０】
ヘッド作動順序設定部４０ｋは、２つの貼着ヘッド１４の少なくとも一方についてリール３１の取り付けがなされたことを検知した場合に、初期残切片数算出部４０ｇにより算出された（初期残切片数記憶部４０ｈに記憶された）各リール３１の初期残切片数に基づいて、後述の要領によってヘッド作動順序を設定する。
【００５１】
貼着動作カウンタ４０ｍは、各貼着ヘッド１４について、テープ切片４ｓの貼着動作の実行数をカウントする。
【００５２】
残切片数算出部４０ｐは、初期残切片数記憶部４０ｈに記憶された各リール３１の初期残切片数を初期の残切片数とし、以後、貼着動作カウンタ４０ｍによって貼着ヘッド１４による貼着動作がカウントされるたびに残切片数の数を減じて各貼着ヘッド１４における現在の残切片数を求める。
【００５３】
テープ残長算出部４０ｑは、テープ残長記憶部４０ｅに記憶された各リール３１のＡＣＦテープ４のテープ残長に対し、貼着動作カウンタ４０ｍによって貼着ヘッド１４の貼着動作がカウントされるたびにＡＣＦテープ４のテープ残長からテープ切片４ｓのひとつ分の長さに相当する長さＬｓを減じてテープ残長記憶部４０ｅに記憶（上書き記憶、すなわち更新記憶）させる。これによりテープ残長記憶部４０ｅには、常に各貼着ヘッド１４の現在のテープ残長が記録された状態となる。
【００５４】
なお、このように各ＡＣＦテープ４のテープ残長がそのＡＣＦテープ４のリール３１側面に設けられたリール側メモリ３１ｍに記憶される構成に変えて、各リール３１にはＩＤ（識別符）が記載されたバーコードのみが設けられ、別のデータ管理装置でリール３１のＩＤとテープ残長とが関連付けて記憶されるようにしてもよい。
【００５５】
ヘッド作動順序の設定では、先ず、初期残切片数算出部４０ｇが、テープ残長記憶部４０ｅに記憶された各貼着ヘッド１４のリール３１のＡＣＦテープ４のテープ残長を読み出すとともに（図１０に示すステップＳＴ１）、切片長さ記憶部４０ｆに記憶された切片長さを読み出す（図１０に示すステップＳＴ２）。このときテープ残長記憶部４０ｅから読み出すテープ残長のデータは、２つの貼着ヘッド１４のうち、テープ交換を行った方では新たに取り付けるリール３１のテープ残長記憶メモリ３１ｍからリーダライタＬＷによって読み出されてテープ残長記憶部４０ｅに書き込まれたデータであり、テープ交換を行った方でない方では、もともとテープ残長記憶部４０ｅに記憶されていたデータである。
【００５６】
制御装置４０の初期残切片数算出部４０ｇは、テープ残長記憶部４０ｅから各貼着ヘッド１４のＡＣＦテープ４のテープ残長を読み出すとともに、切片長さ記憶部４０ｆから切片長さを読み出したら、その読み出した各貼着ヘッド１４のＡＣＦテープ４のテープ残長と切片長さとに基づいて、各貼着ヘッド１４の初期残切片数を算出し、その値を初期残切片数記憶部４０ｈに記憶させる（図１０に示すステップＳＴ３）。
【００５７】
このように、本実施の形態において、制御装置４０の初期残切片数算出部４０ｇは、各貼着ヘッド１４が備えるリール３１に残っているＡＣＦテープ４の長さ（テープ残長）及び切り出そうとするテープ切片４ｓの長さ（切片長さ）から、各貼着ヘッド１４が備えるリール３１に残っているＡＣＦテープ４から切り出すことができるテープ切片４ｓの数を初期残切片数として算出する初期残切片数算出手段として機能し、上記のステップＳＴ３は、各貼着ヘッド１４が備えるリール３１に残っているＡＣＦテープ４の長さ（テープ残長）及び切り出そうとするテープ切片４ｓの長さ（切片長さ）から、各貼着ヘッド１４が備えるリール３１に残っているＡＣＦテープ４から切り出すことができるテープ切片４ｓの数を残切片数として算出する残切片数算出工程となっている。
【００５８】
初期残切片数算出部４０ｇが、各貼着ヘッド１４の初期残切片数を算出してその値を初期残切片数記憶部４０ｈに記憶させたら、ヘッド作動順序設定部４０ｋが、初期残切片数記憶部４０ｈに記憶された各貼着ヘッド１４の初期残切片数に基づいて、２つの貼着ヘッド１４間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッドの作動順序（ヘッド作動順序）を設定する（図１０に示すステップＳＴ４）。
【００５９】
このように、本実施の形態において、制御装置４０のヘッド作動順序設定部４０ｋは、残切片数算出手段である初期残切片数算出部４０ｇにより算出された各貼着ヘッド１４の初期残切片数に基づいて、２つの貼着ヘッド１４間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッド１４の作動順序（ヘッド作動順序）を設定するヘッド作動順序設定手段として機能し、上記のステップＳＴ４は、ステップＳＴ３の残切片数算出工程で算出した各貼着ヘッド１４の残切片数に基づいて、２つの貼着ヘッド１４間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくようなヘッド作動順序を設定するヘッド作動順序設定工程となっている。
【００６０】
ヘッド作動順序設定部４０ｋにおいて行うヘッド作動順序の設定では、例えば、初期残切片数記憶部４０ｈに記憶された左右２つの貼着ヘッド１４のリール３１についてテープ切片４ｓの残切片数を比較した結果、オペレータＯＰから見て右側に位置する貼着ヘッド１４（以下、右側の貼着ヘッド１４）のリール３１のテープ切片４ｓの残切片数が、オペレータＯＰから見て左側に位置する貼着ヘッド１４（以下、左側の貼着ヘッド１４）のリール３１のテープ切片４ｓの残切片数の２倍であった場合には、右側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作と左側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作の実行頻度が２：１（すなわちテープ切片４ｓの消費比率が２：１）の比率となるサイクルでテープ切片４ｓの貼着動作を実行させるヘッド作動順序（図１１（ａ）又は図１１（ｂ）のフローチャート参照）を設定する。
【００６１】
図１１（ａ）のフローチャートに示すヘッド作動順序は、左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ１１）を行った後、更に左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ１２）を行い、その後、右側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着（ステップＳＴ１３）を行うサイクルでテープ切片４ｓの貼着を行うものであり、図１１（ｂ）のフローチャートに示すヘッド作動順序は、左側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ２１）と右側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ２２）を同時に行った後、左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ２３）を行うサイクルでテープ切片４ｓの貼着を行うものである。
【００６２】
或いはヘッド作動順序設定部４０ｋは、上記のケースにおいて、最初に、残切片数が多い方の左側の貼着ヘッド１４のみによってテープ切片４ｓの貼着動作を実行し、２つの貼着ヘッド１４における残切片数が等しくなったところで、２つの貼着ヘッド１４による同時貼着（２つの貼着ヘッド１４を同時に動作させて行うテープ切片４ｓの貼着）或いは２つの貼着ヘッド１４による交互貼着（２つの貼着ヘッド１４を交互に動作させて行うテープ切片４ｓの貼着）を実行するヘッド作動順序（図１２（ａ）又は図１２（ｂ）のフローチャート参照）を設定することもできる。
【００６３】
図１２（ａ）のフローチャートに示すヘッド作動順序は、左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ３１）を行った後、残切片数算出部４０ｐにより検出される各貼着ヘッド１４における現在の残切片数に基づいて、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になったかどうかの判断を行い（ステップＳＴ３２）、その結果、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になっていなかった場合にはステップＳＴ２１に戻って左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作を行い、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になっていた場合には、左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ３３）と右側のみの貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ３４）を交互に行う動作（交互貼着）を繰り返すものである。
【００６４】
一方、図１２（ｂ）のフローチャートに示すヘッド作動順序は、左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作（ステップＳＴ４１）を行った後、残切片数算出部４０ｐにより検出される各貼着ヘッド１４における現在の残切片数に基づいて、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になったかどうかの判断を行い（ステップＳＴ４２）、その結果、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になっていなかった場合にはステップＳＴ２１に戻って左側の貼着ヘッド１４のみによるテープ切片４ｓの貼着動作を行い、左側の貼着ヘッド１４における残切片数と右側の貼着ヘッド１４における残切片数とが同数になっていた場合には、左側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着（ステップＳＴ４３）と右側の貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着（ステップＳＴ４４）を同時に行う動作（同時貼着）を繰り返すものである。
【００６５】
上述のようにしてヘッド作動順序設定部４０ｋがヘッド作動順序を設定したら、貼着動作実行部４０ｂが、ヘッド作動順序設定部４０ｋにおいて設定したヘッド作動順序に従って各貼着ヘッド１４にテープ切片４ｓの貼着動作を行わせる。
【００６６】
制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、残切片数算出部４０ｐにおいて算出される２つのリール３１それぞれの残切片数の少なくとも一方が「０」となったことを検知したときには、貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着動作を停止させるとともに、前述のタッチパネル４８に、オペレータＯＰにテープ交換作業が必要である方の貼着ヘッド１４の名称（「右側の貼着ヘッド」、「左側の貼着ヘッド」など）と、その貼着ヘッド１４についてテープ交換作業を行うように促すメッセージを表示させる。
【００６７】
オペレータＯＰは、タッチパネル４８にテープ交換作業が必要である方の貼着ヘッド１４の名称とその貼着ヘッド１４についてテープ交換作業を行うよう促すメッセージが出力されたら、テープ交換を行うべきリール３１を貼着ヘッド１４から取り外したうえで、リーダライタＬＷを用いて、取り外したリール３１が備えるテープ残長記憶メモリ３１ｍにそのリール３１のＡＣＦテープ４のテープ残長のデータを書き込む。これにより、貼着ヘッド１４から取り外されたリール３１のテープ残長記憶メモリ３１ｍには、そのリール３１が貼着ヘッド１４から取り外された時点でのＡＣＦテープ４のテープ残長が記録され、リール３１を取り外したときでもそのリール３１のテープ残長のデータがそのリール３１に（テープ残長記憶メモリ３１ｍに）保持されることとなり、次に同一又は別の貼着ヘッド１４に取り付けられたときに行われるヘッド作動順序の設定の際に必要なデータとして用いることができる（前述したように、各リール３１に設けたＩＤのバーコードとデータ管理装置を用いた構成でも同様のことが行える）。
【００６８】
次に、ＡＣＦ貼着装置１により基板２上に形成された電極部列３Ｌを構成する各電極部３Ｂにテープ切片４ｓを貼着する作業（テープ切片貼着方法）の実行手順を説明する。このテープ切片４ｓを貼着する作業では、制御装置４０は、先ず、上流工程側の電極部洗浄装置から送られてきた基板２を図示しない基板搬入機構によって搬入し、基板保持部１２の上面に保持させる。
【００６９】
制御装置４０は、基板２の搬入及び保持を行ったら、基板２上に形成された電極部列３Ｌがバックアップステージ１５の直上に位置するように基板保持部移動機構１１を作動させて基板保持部１２を移動させ、基板２の位置決めを行う。この基板２の位置決めの際、制御装置４０は２つの貼着ヘッド１４をそれぞれＸ軸方向に移動させ、各貼着ヘッド１４に備えられた撮像カメラ２５によって、基板２の左右両端部に設けられた位置決め用のマークを撮像する。そして、得られた位置決め用のマークの画像データを画像認識部４０ａにおいて画像認識することによって、基板２のバックアップステージ１５に対する位置ずれを求め、位置ずれが起きている場合には基板２の位置決めを改めて行う。
【００７０】
制御装置４０は、基板２の位置決めを行ったら、２つの貼着ヘッド１４の作動制御を行って、バックアップステージ１５の直上に位置させた電極部列３Ｌを構成する各電極部３Ｂを対象とするテープ切片４ｓの貼着作業を行う。このテープ切片４ｓの貼着作業では、制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂが、貼着動作プログラム記憶部４０ｃに記憶された貼着動作プログラムと、前述の手順によりヘッド作動順序設定部４０ｋで設定されたヘッド作動順序に従って、基板２上の電極部３Ｂ（基板２の長辺側及び短辺側それぞれに設けられた電極部列３Ｌの各電極部３Ｂ）にテープ切片４ｓを貼着する。
【００７１】
このように本実施の形態において、制御装置４０の貼着動作実行部４０ｂは、ヘッド作動順序設定手段であるヘッド作動順序設定部４０ｋにより設定されたヘッド作動順序に従って２つの貼着ヘッドにテープ切片４ｓの貼着動作を行わせる貼着動作実行手段として機能し、上記のテープ切片４ｓの貼着作業は、ステップＳＴ４のヘッド作動順序設定工程で設定したヘッド作動順序に従って各貼着ヘッド１４にテープ切片４ｓの貼着動作を行わせる工程となっている。
【００７２】
制御装置４０は、テープ切片４ｓの貼着作業が終了したら、図示しない基板搬出機構によって基板２を下流工程側の仮圧着装置に搬出する。これにより基板２の１枚当たりのテープ切片４ｓの貼着作業が終了する。
【００７３】
このように本実施の形態におけるＡＣＦ貼着装置１を用いたテープ切片４ｓの貼着作業では、搬入した１枚の基板２についてのテープ切片４ｓの貼着が終わるとその基板２を搬出し、また新たに基板２を搬入してテープ切片４ｓの貼着を行うが、このようなテープ切片４ｓの貼着作業において、少なくとも一方の貼着ヘッド１４がテープ切れとなったときには、その旨の報知がタッチパネル４８を通じてなされてオペレータＯＰはテープ切れとなった方のテープ交換を行う。この少なくとも一方の貼着ヘッド１４におけるテープ交換時にはヘッド貼着順序が新たに設定されて２つの貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着作業が再開されるので、仮にテープ交換時に２つの貼着ヘッド１４の間にテープ残量の差が生じていたとしても、そのまま２つの貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着作業が進めば、一方の貼着ヘッド１４がテープ交換時期になったときには他方の貼着ヘッド１４もテープ交換時期となり、２つの貼着ヘッド１４について同時にテープ交換を行うことができるので、テープ交換のためにＡＣＦ貼着装置１によるテープ切片４ｓの貼着作業を中断する機会は一度で済む。
【００７４】
また、テープ交換後、２つの貼着ヘッド１４がともにテープ切れとなる前に、何らかの理由によって一方の貼着ヘッド１４についてテープ交換を行ったとしても、そのテープ交換を行った時点からまた新たにヘッド貼着順序が設定されるので、その後、２つの貼着ヘッド１４によるテープ切片４ｓの貼着作業が進行すれば、やはり２つの貼着ヘッド１４はほぼ同時にテープ切れとなり、１回の作業中断で２つの貼着ヘッド１４のテープ交換を行うことができる。
【００７５】
以上説明したように、本実施の形態におけるテープ切片貼着装置であるＡＣＦ貼着装置１（及びＡＣＦ貼着装置１によるテープ切片貼着方法）では、２つの貼着ヘッド１４の少なくともひとつにリール３１が取り付けられたリール取り付け時点における各貼着ヘッド１４のリール３１に残っているＡＣＦテープ４の長さ（テープ残長）及び切り出そうとするテープ切片４ｓの長さ（切片長さ）から、リール取り付け時点において各貼着ヘッド１４のリール３１に残っているＡＣＦテープ４から切り出すことができるテープ切片４ｓの数を初期残切片数として算出し、その算出した各貼着ヘッド１４の初期残切片数に基づいて、２つの貼着ヘッド１４間における初期残切片数の差が次第に小さくなっていくような貼着ヘッド１４の作動順序（ヘッド作動順序）を設定して、その設定したヘッド作動順序に従って各貼着ヘッド１４にテープ切片４ｓの貼着動作を行わせるようになっているので、貼着ヘッド１４間でテープ切れとなるタイミングをほぼ一致させることができる。このため、テープ切片４ｓの貼着作業を中断させる機会が少なくなり、テープ切片４ｓの貼着作業の作業効率、ひいては液晶パネル製造システムによる基板２の生産性の向上を図ることができる。
【００７６】
なお、ＡＣＦ貼着装置１のタイプによっては、各貼着ヘッド１４の可動範囲が異なることがあり（例えば、装置サイズのコンパクト化のため）、或る貼着ヘッド１４によればテープ切片４ｓの貼着を行うことができる場所であっても他の貼着ヘッド１４ではテープ切片４ｓの貼着を行うことができないといったケースも起り得る。このような場合には本発明の適用を部分的に外さざるをえないケースも出てくるが、そのようなケースであっても本発明を適用することでＡＣＦ貼着装置１による作業全体における上記効果は十分に得られる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
テープ切片の貼着作業を中断させる機会を少なくして作業効率を向上させることができるようにしたテープ切片貼着装置及びテープ切片貼着方法を提供する。
【符号の説明】
【００７８】
１  ＡＣＦ貼着装置（テープ切片貼着装置）
２  基板
３Ｂ  電極部
４  ＡＣＦテープ
４ｓ  テープ切片
１２  基板保持部
１４  貼着ヘッド
３１  リール
４０ｂ  貼着動作実行部（貼着動作実行手段）
４０ｇ  初期残切片数算出部（初期残切片数算出手段）
４０ｋ  ヘッド作動順序設定部（ヘッド作動順序設定手段）
Ｔｐ  テープ部材
Ｓｐ  セパレータ（保護テープ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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