(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象基板を複数の検査方法で検査する基板検査システムにおいて、
前記被検査対象基板を水平に載置するステージが自動検査用架台に取り付けられ、前記ステージを跨ぐように門型形状を呈するガントリに設けられた撮像部で前記被検査対象基板を撮像して検査する自動検査装置と、
前記自動検査用架台と別体に構成され前記自動検査装置を跨ぐ門型形状の脚部を有するマニュアルマクロ検査用架台上に配置され、前記被検査対象基板を保持し水平状態と目視検査に適した角度に揺動可能な基板ホルダと、前記基板ホルダに保持された前記被検査対象基板の上方から照明するマクロ照明光源とを有するマニュアルマクロ検査装置と、
前記自動検査装置と前記マニュアルマクロ検査装置に移動可能なハンドアームを有し、前記ハンドアームの上下移動方向に沿うように前記自動検査装置の基板搬入スペースの上に前記マニュアルマクロ検査装置の基板搬入スペースを配置し、前記自動検査装置と前記マニュアルマクロ検査装置に前記被検査対象基板を搬入出させる基板搬送ロボットと
を備えることを特徴とする基板検査システム。
【請求項２】
前記マニュアルマクロ検査用架台には、検査者が目視検査を行う作業スペースとなる検査作業台が形成され、
前記検査作業台を前記ガントリと干渉しない前記自動検査装置の空間に配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記自動検査装置の前記基板搬入スペースを前記マニュアルマクロ検査装置の検査作業台側に設け、前記検査作業台を前記自動検査装置のステージからずらした空間に配置したことを特徴とする請求項２に記載の基板検査システム。
【請求項４】
前記自動検査装置は、検査ヘッドを取り付ける移動型ガントリを有し、
前記検査作業台は、前記移動型ガントリの移動スペースより上の空間領域に配置されることを特徴とする請求項２に記載の基板検査システム。
【請求項５】
前記マニュアルマクロ検査装置は、前記基板ホルダをスライド可能に支持する一対のフレームを有し、前記フレームの基端部を前記自動検査装置のステージより外側の空間に延出させ、前記基板ホルダを前記一対のフレームに沿って下方に移動させて前記ステージより下方に迫り出させることを特徴とする請求項１に記載の基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられる大型基板の検査を行う基板検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイに用いられる基板の検査には、基板を所定角度に立ち上げた状態で基板表面側からのマクロ照明光を照射して基板からの反射光、又は基板を垂直に立ち上げた状態で基板裏面側からバックライト照明光を照射して透過光の散乱状況から目視により欠陥を判別する目視検査（マニュアルマクロ検査）がある。また、基板上の任意部位を顕微鏡などのミクロ検査部により拡大して欠陥を観察するミクロ検査がある。
【０００３】
ところで、近年のフラットディスプレイの大型化に伴って、フラットディスプレイを多面取りするマザーガラス基板も大型化し、例えば１５００ｍｍ×１８００ｍｍ以上の大型マザーガラス基板が登場してきている。このマザーガラスの大型化に伴い、マニュアルマクロ検査装置及びミクロ検査装置を含む基板の製造ラインも大型化してきている。
【０００４】
そこで、単一の装置でマニュアルマクロ検査及びミクロ検査を行うことで省スペース化を図る技術が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。このようなマニュアルマクロ検査及びミクロ検査を行う装置は、例えば、ミクロ検査装置の基板搭載部（基板ホルダ）を作業者側に起き上がらせる駆動部を備え、基板搭載部を起き上がらせた状態で基板の上方からマクロ照明光を照射して目視にて検査を行えるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３４４２９４号公報
【特許文献２】特開２０００−２８５３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来のマニュアルマクロ検査においては、基板を保持した基板ホルダを検査者の目視観察に適した傾斜角度に起き上がらせた状態で、マクロ照明光を基板の上方から照射して反射光を検出させるか、或いは、基板ホルダを垂直に起き上がらせた状態で、バックライト照明光を基板の後方から照射して透過光を検出させるため、基板ホルダは、基板の周縁のみを保持する中抜け構造のものを用いるのが望ましい。
【０００７】
しかしながら、中抜けの基板ホルダを用いると、基板中間部での基板保持力が弱いために基板に揺れが発生しやすく、拡大観察を行うミクロ検査においては像揺れなどの不具合が発生する。そのため、ミクロ検査においては、基板全体を水平に保持する一枚板で形成された基板ホルダを用いることが望ましい。
【０００８】
このように、マニュアルマクロ検査とミクロ検査とを単一の装置で行う場合、ミクロ検査を優先させると、一枚板で形成された基板ホルダを選択することになる。一枚板の基板ホルダを用いると、ガラス基板が透明なために基板ホルダ上のキズなどが見えて誤検出の要因となるばかりか、バックライト照明による目視検査ができないという問題があった。
【０００９】
更には、マニュアルマクロ検査とミクロ検査とを共通の基板ホルダを用いて行う場合、ミクロ検査装置の基板搭載部を起き上がらせることでマニュアルマクロ検査を行わせるため、マニュアルマクロ検査とミクロ検査とを同時に行うことができず、検査タクトタイムが長くなり、ひいては基板の生産効率を高めることができないという問題も生じる。
【００１０】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、生産効率及び検査性能を落とさずに省スペース化を図ることができる大型基板用の基板検査システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の基板検査システムは、被検査対象基板を複数の検査方法で検査する基板検査システムにおいて、上記被検査対象基板を水平に載置するステージが自動検査用架台に取り付けられ、上記ステージを跨ぐように門型形状を呈するガントリに設けられた撮像部で上記被検査対象基板を撮像して検査する自動検査装置と、上記自動検査用架台と別体に構成され上記自動検査装置を跨ぐ門型形状の脚部を有するマニュアルマクロ検査用架台上に配置され、上記被検査対象基板を保持し水平状態と目視検査に適した角度に揺動可能な基板ホルダと、上記基板ホルダに保持された上記被検査対象基板の上方から照明するマクロ照明光源とを有するマニュアルマクロ検査装置と、上記自動検査装置と上記マニュアルマクロ検査装置に移動可能なハンドアームを有し、上記ハンドアームの上下移動方向に沿うように上記自動検査装置の基板搬入スペースの上に上記マニュアルマクロ検査装置の基板搬入スペースを配置し、上記自動検査装置と上記マニュアルマクロ検査装置に上記被検査対象基板を搬入出させる基板搬送ロボットとを備える。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、マニュアルマクロ検査装置と自動検査装置とが互いに独立した装置であるため、マニュアルマクロ検査装置と自動検査装置による検査とを同時に行うことができ、両検査の稼働効率を低下させることがなく、マニュアルマクロ検査装置を自動検査装置の上方に配置して省スペース化を図っても生産効率が落ちない。
【００１３】
更には、マニュアルマクロ検査装置と自動検査装置とで共通の基板保持部を用いずに各検査装置に適した基板保持部を用いることができるため、検査性能が落ちない。
【００１４】
よって、本発明によれば、生産効率及び検査性能を落とさずに基板検査システムの省スペース化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板検査システムの内部構造を透視的に示す正面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る基板検査システムの基板搬入状態を示す概略左側面図である。
【図３】本発明の他の実施の形態に係る基板検査システムの内部構造を透視的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態に係る基板検査システムについて、図面を参照しながら説明する。
【００１７】
＜一実施の形態＞
図１は、本発明の一実施の形態に係る基板検査システム１の内部構造を透視的に示す正面図である。
図２は、基板検査システム１の基板搬入状態を示す概略左側面図である。
【００１８】
図１に示すように、基板検査システム１は、目視観察装置として作業者が目視で観察するマニュアルマクロ検査装置１０と、自動検査装置としてデジタル顕微鏡（撮像部）で撮像した画像を画像処理して欠陥を検出するミクロ検査装置２０と、外装２（二点鎖線で図示）とを備え、被検査対象基板として例えば一辺が１５００ｍｍ以上の大型ガラス基板であるフラットパネルディスプレイ用のマザーガラス基板（以降、単にガラス基板と呼ぶ）Ｇを検査する。
【００１９】
マニュアルマクロ検査装置１０は、基板保持部としてガラス基板Ｇを保持する基板ホルダ１１と、この基板ホルダ１１を作業者の目視検査に適した角度に傾ける揺動機構と、この揺動機構により傾けられた基板ホルダ１１に保持されたガラス基板Ｇの上方から照射するマクロ照明光源１６とを有する。さらに、マニュアルマクロ検査装置１０は、基板ホルダ１１を立ち上げた状態でガラス基板Ｇの裏面側から透過光を照射するバックライト照明光源１７（二点鎖線で図示）を有する。
【００２０】
揺動機構は、基板ホルダ１１の両側辺のほぼ中央に設けられたホルダ回動軸１１ａを軸支する２つのスライド部１２と、このスライド部１２をスライド可能に支持する２つのフレーム１３と、これらフレーム１３を所定の角度に回動させる駆動部とを有する。駆動部は、例えば、各フレーム１３をマニュアルマクロ検査装置の架台に回転可能に支持し、この回転支持軸と反対側の各フレーム１３の一端に２つのアーム部１４を連結し、これらアーム部１４を上下動させるスライド軸駆動部としての２つのティルト軸１５とから構成されている。駆動部は、２つのフレーム１３の回転軸に駆動モータを連結させたものでもよい。
【００２１】
なお、スライド部１２、フレーム１３、アーム部１４及びティルト軸１５は、それぞれ２つずつ配置されているが、図１の正面図では重なって位置するため、手前側のみが図に表れている。
【００２２】
マニュアルマクロ検査装置１０は、ミクロ検査装置２０の上方に配置され、このミクロ検査装置２０によるミクロ検査と独立して目視検査可能となっている。
マニュアルマクロ検査装置１０に採用される基板ホルダ１１は、矩形状に形成されたガラス基板Ｇの周縁を保持する中抜けの矩形枠構造を呈し、ホルダ回動軸１１ａを中心にして回動可能となっている。なお、図２に示すように、基板ホルダ１１は、複数の周縁保持部１１ｂによってガラス基板Ｇの周縁を保持している。
【００２３】
この基板ホルダ１１は、薄いガラス基板Ｇが撓まない程度に水平に保持するために、矩形枠の内部に断面形状が長方形に形成された支持部材を基板ホルダ１１の上面より低くなるように格子状に配置し、支持部材の上にガラス基板Ｇを吸着保持する吸着パッドを設けることが好ましい。この吸着パッドによりガラス基板Ｇの裏面を吸着することにより、基板ホルダ１１が揺動する際にガラス基板Ｇの揺れを押えることができる。
【００２４】
スライド部１２は、基板ホルダ１１を例えば基板ホルダ１１の互いに対向する２辺の中央において軸支する左右一対の１組で配置され、平行に配置された一対のフレーム１３に対し図示実線と図示一点鎖線で示す位置にスライド可能に係合している（符号１２−２，１２−３）。このスライド部１２がフレーム１３に沿ってスライドすることで、スライド部１２に軸支された基板ホルダ１１もフレーム１３に沿って図示実線と図示二点鎖線で示す位置にスライドする（符号１１−２，１１−３）。
【００２５】
各フレーム１３は、アーム部１４が連結された反対側の一端側に形成された軸受け部としてフランジ１３ａによって、図示しない目視検査用架台に固定された固定軸１８に回転可能に支持されている。各フレーム１３に連結されているアーム部１４が、鉛直方向に延びるティルト軸１５に沿って上下動することで（符号１４−１，１４−２）、各フレーム１３は、ガラス基板Ｇの搬出入時の水平状態（符号１３−１）と、検査者３の目視観察に適した傾斜状態（符号１３−２）とに回動する。また、これらフレーム１３の回動により、基板ホルダ１１及びスライド部１２も共に回動する（符号１１−１，１１−２，１２−１，１２−２）。
【００２６】
なお、マニュアルマクロ検査装置用の架台は、門型形状の脚部を有し、自動検査装置であるミクロ検査装置２０を跨ぐように配置されている。マニュアルマクロ検査装置１０の架台は、ミクロ検査装置２０の架台と独立して別体に配置される。このマニュアルマクロ検査装置１０は、検査者３がガラス基板を目視して観察する装置であることから、外部及び内部からの振動の影響が少なく、クリンルームの床に対して除振台を設けることなく直に置くことができる。自動検査装置であるミクロ検査装置は、外部からの振動の影響により撮像された画像が揺れて正確な検査ができなくなるため、架台に外部からの振動を減衰させる除振台を設けることが好ましい。このようにマニュアルマクロ検査装置用架台とミクロ検査用架台２４を別体に構成することが望ましい。
【００２７】
ミクロ検査装置２０は、ミクロ検査装置用架台２４に取り付けられガラス基板Ｇを水平に載置するステージ２１と、このステージ２１を跨ぐように配置され門型形状を呈する固定式のガントリ２２と、このガントリ２２に設けられリニアモータ等の駆動手段によりガラス基板Ｇの搬送方向と直交する１軸方向（図１の紙面に垂直な方向）に移動する顕微鏡２３と、ガラス基板Ｇを保持して搬送方向に搬送する図示しない基板搬送部とを有する。
【００２８】
ステージ２１としては、例えば、エアによりガラス基板Ｇを浮上させた状態でガラス基板Ｇの端部またはガラス基板Ｇの重心を通るセンターライン上を基板搬送部で保持して搬送する浮上ステージや、ガラス基板Ｇをフリーローラなどの回転体で支持した状態でガラス基板Ｇを基板搬送部で保持して搬送する転がりステージや、ガラス基板Ｇの裏面に接触してガラス基板Ｇを支持した状態で回転駆動する駆動ローラで搬送するローラコンベア等の基板搬送ステージを用いることができる。
【００２９】
また、ガントリ２２をステージ２１に沿って移動させる移動型ガントリを採用した場合には、ステージ２１を架台２４の上に固定させた固定型ステージを採用することができる。
【００３０】
マニュアルマクロ検査装置１０の基板ホルダ１１やフレーム１３等は、ミクロ検査装置２０のガントリ２２やステージ２１又は基板搬送ロボット４のハンドアーム４ａと干渉しないようにミクロ検査装置２０の空間領域に配置されている。
【００３１】
マニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置（自動検査装置）の全体を覆う外装２には、マニュアルマクロ検査装置１０におけるガラス基板Ｇの搬出入に用いられる基板搬出入用窓部２ａと、ミクロ検査装置２０におけるガラス基板Ｇの搬出入に用いられる基板搬出入用窓部２ｂとが形成されている。
【００３２】
マニュアルマクロ検査装置１０側の基板搬出入用窓部２ａは、ミクロ検査装置２０側の基板搬出入用窓部２ｂと同一形状・同一面積で且つ窓部２ｂの真上に設けられている。基板搬出入用窓部２ａと２ｂは、ガラス基板Ｇを１階のミクロ検査装置（自動検査装置）と２階のマニュアルマクロ検査装置に搬送する図２に示す基板搬送ロボット４のハンドアーム４ａの上下移動方向と一致するように配置される。このように基板搬出入用窓部２ａと２ｂに対応する両装置の基板搬入スペースが上下で同一の関係となるように配置することで、１つの基板搬送ロボット４によりガラス基板Ｇを１階に配置されるミクロ検査装置２０の基板搬入スペースと、２階に配置されるマニュアルマクロ検査装置１０の基板搬入スペースに供給することができる。また、基板搬送ロボット４を床に固定した状態でハンドアーム４ａを上下移動させるだけで、基板搬出入用窓部２ａと２ｂにハンドアーム４ａの位置合わせが容易になっている。マニュアルマクロ検査装置１０の架台には、検査者３が目視検査を行うための検査作業スペース２ｃとなる検査作業台が形成されている。
【００３３】
以下、上述の基板検査システム１を用いたガラス基板Ｇの検査について説明する。
基板検査システム１は、マニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置２０とが互いに独立した装置であるため、マニュアルマクロ検査及びミクロ検査を同時に行うことができる。
【００３４】
まず、マニュアルマクロ検査について説明する。
図２に示す基板搬送ロボット４により、複数本のハンドアーム４ａで支持したガラス基板Ｇを、外装２の基板搬出入用窓部２ａからマニュアルマクロ検査装置１０に搬入する。このときには、ティルト軸１５がアーム部１４を下方に移動させてあり、フレーム１３は水平状態（１３−１）に保たれている。また、基板ホルダ１１もフレーム１３と平行な水平状態（１１−１）に保たれている。
【００３５】
基板ホルダ１１上の基準位置にガラス基板Ｇが位置決めされて保持されると、ティルト軸１５がアーム部１４を上方に移動させる。これにより、アーム部１４に連結されたフレーム１３は、固定軸１８を中心に回動し、検査者３が目視検査を行う位置まで傾斜する（１３−２）。
【００３６】
そして、ホルダ回動軸１１ａを中心に基板ホルダ１１を揺動させると共にスライド部１２により基板ホルダ１１を検査者の視野位置（目の高さ位置）に対して上下方向に移動させながら、マクロ照明光源１６による反射光又はバックライト照明光源１７による透過光を検査者３が目視することでガラス基板Ｇのマニュアルマクロ検査を行う。なお、ガラス基板Ｇの裏面をマニュアルマクロ検査する場合には、基板ホルダ１１が反転する際にマクロ照明光源１６と干渉しない位置までフレーム１３を少し寝かせた状態で、ホルダ回動軸１１ａを中心に基板ホルダ１１を反転させる。
【００３７】
また、バックライト照明光源１７による透過光を用いて目視によりマクロ検査する場合には、基板ホルダ１１がマクロ照明光源１６に干渉しない程度に基板ホルダ１１を立ち上げると共に、基板ホルダ１１が検査者３に近づくようにフレーム１３を立上げるようにしてもよい。更に、基板ホルダ１１を立ち上げた状態で、バックライト照明光源１７が基板ホルダ１１の裏面に近づくように移動可能に設けてもよい。  マクロ検査が終了した後、ティルト軸１５によりアーム部１４を下降させることでフレーム１３を水平状態に回動させると共に基板ホルダ１１を水平状態に戻し、基板搬送ロボット４により基板搬出入用窓部２ａからガラス基板Ｇを搬出する。
【００３８】
ミクロ検査については、まず、図２に示す基板搬送ロボット４により、外装２の搬出入用窓部２ｂからガラス基板Ｇをミクロ検査装置２０に搬入する。
ステージ２１上にガラス基板Ｇが載置されると、このガラス基板Ｇを基準位置に位置決めする。位置決めした後、図示しない基板搬送部によりガラス基板Ｇを所定位置まで移動させ、この基板搬送部の搬送方向（図１の左右方向）と直交する方向（図１の紙面と垂直な方向）に顕微鏡２３が移動することで、顕微鏡２３によりガラス基板Ｇのミクロ検査を行う。
【００３９】
ミクロ検査が終了した後、図示しない基板搬送部によりガラス基板Ｇを搬出位置に戻し、基板搬送ロボット４により窓部２ｂからガラス基板Ｇを搬出する。
【００４０】
以上説明した本実施の形態では、ミクロ検査装置（自動検査装置）２０の装置内に検査者３が検査のために介在しないため、ミクロ検査装置（自動検査装置）２０の高さをガントリ２２と同等の高さに低く抑えることができる。このミクロ検査装置（自動検査装置）２０の上空の空間を利用してマニュアルマクロ検査装置１０を配置して２階建て構造とすることにより、両装置を併設したものに比べて設置スペースを小さくできる。
【００４１】
また、マニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置（自動検査装置）２０とが互いに独立した装置であるため、マクロ検査装置１０とミクロ検査装置（自動検査装置）２０による検査とを同時に行うことができ、両検査の稼働効率を低下させることがなく、マニュアルマクロ検査装置１０をミクロ検査装置２０の上方に配置して省スペース化を図っても生産効率が落ちない。
【００４２】
更には、マニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置（自動検査装置）２０とで共通の基板保持部を用いずに各検査装置１０，２０に適した基板保持部（基板ホルダ１１、ステージ２１）を用いることができるため、検査性能が落ちない。
【００４３】
よって、本実施の形態によれば、生産効率及び検査性能を落とさずに基板検査システム１の省スペース化を図ることができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、マニュアルマクロ検査装置１０よりも振動の影響を受けやすいミクロ検査装置２０をマニュアルマクロ検査装置１０の下方に配置し、かつマニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置（自動検査装置）２０を分離させて床に設置できるため、マニュアルマクロ検査装置１０からの振動がミクロ検査装置２０に伝達されることがなく精度の高いミクロ検査が可能になる。また、マニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置２０を別体構造にすることにより、現場での組立が容易となり、且つマニュアルマクロ検査装置１０とミクロ検査装置２０を分けて容易に輸送することが可能になる。
【００４５】
なお、自動検査装置としては、本実施の形態のミクロ検査装置２０に限らず、例えば、線幅測定装置、分光測光装置、レーザリペア装置等のように、拡大検査部（例えば顕微鏡）と拡大検査部により拡大された像を撮像する撮像部を有する拡大検査装置を含むものとする。また、自動検査装置としては、ラインセンサカメラによりガラス基板全体を撮像する自動マクロ検査装置も含まれる。即ち、自動検査装置は、マニュアル検査装置のように検査者が装置に張り付いてガラス基板を直視して検査するものとは異なり、検査者が装置から離れた位置で作業するできるものであればよい。この自動検査装置は、検査・観察時に検査者が張り付いている必要がない。このため、自動検査装置では、検査者が稼動中の装置内に入って検査することがないため、検査者が移動する検査作業スペースが不要となる分だけ自動検査装置の最大高さを低く押さえることができる。
【００４６】
例えば、自動検査装置の最大高さは、検査ヘッドを支持する門型のガントリの上面が最大高さとなる。自動検査装置では、基板を撮像する検査ヘッドが装置の高さの決定要因となるため、この検査ヘッドが取り付けられるガントリの上面が自動検査装置の最大高さ位置となる。この自動検査装置のガントリに干渉しないようにマニュアルマクロ検査装置を近接させて配置することでマニュアルマクロ検査装置の設置高さを低くすることができる。
【００４７】
また、本実施の形態のミクロ検査装置２０は、ガントリ２２が固定式でガラス基板Ｇをステージ２１上で搬送する例について説明したが、ガントリ２２を移動式としてガラス基板Ｇを静止させた状態で検査または観察を行うことにより、ガラス基板Ｇを水平に載置するステージを小さくでき、更なる省スペース化を図ることができる。
【００４８】
また、移動型ガントリを採用した場合、ガントリの移動スペース空間より上にマニュアルマクロ検査装置の検査作業台を配置することで、検査作業台を下げた分だけマニュアルマクロ検査装置の設置高さを低く抑えることができる。このように検査作業台を下げた分だけ、マニュアルマクロ検査装置の高さを低く抑えることができる。
【００４９】
この場合、ミクロ検査装置（自動検査装置）の基板搬入スペースをマニュアルマクロ検査装置の検査作業台側に設け、このミクロ検査装置（自動検査装置）をマニュアルマクロ検査装置の検査作業台から離れる方向にずらして配置することにより、ミクロ検査装置をずらした１階部分の空間領域にマニュアルマクロ検査装置の検査作業台を配置することが可能になる。この空間領域を設けることにより、ミクロ検査装置に干渉することなくマニュアルマクロ検査装置の検査作業台を低い位置に配置することが可能になる。
【００５０】
＜他の実施の形態＞
図３は、本発明の他の実施の形態に係る基板検査システム３１の内部構造を透視的に示す正面図である。
【００５１】
上述の一実施の形態の基板検査システム１は、ミクロ検査装置２０の上方のスペースで大型基板であるガラス基板Ｇのマニュアルマクロ検査を行うため、装置の総高さが例えば６ｍを超える場合もあり、工場によっては天井高さの点から基板検査システム１を配置できないことがある。
【００５２】
そこで、本実施の形態の基板検査システム３１は、上記基板検査システム１よりも更に高さを抑えることのできる構成としている。
図３に示すように、基板検査システム３１は、マニュアル検査装置としてのマニュアルマクロ検査装置４０と、自動検査装置としてのミクロ検査装置５０と、外装３２とを備える。
【００５３】
マニュアルマクロ検査装置４０は、大型基板としてのガラス基板Ｇを保持する基板ホルダ４１と、この基板ホルダ４１を検査者３３の目視観察に適した角度に傾ける揺動機構と、この揺動機構により傾けられた基板ホルダ４１に保持された被検査対象基板（ガラス基板）Ｇの上方から照射するマクロ照明光源４６とを有する。更に、マニュアルマクロ検査装置４０は、透過光による検査に用いるバックライト照明光源４７を有する。
【００５４】
揺動機構は、基板ホルダ４１のホルダ回動軸４１ａを軸支する２つのスライド部４２と、このスライド部４２をスライド可能に支持する２つのフレーム４３と、これらフレーム４３を所定角度に回動させる駆動部とを有する。この駆動部は、一端が各フレーム４３に連結された２つのアーム部４４と、ミクロ検査装置５０の上方に傾斜して配置されアーム部４４の残る他端を押し引きする２つのティルト軸４５とを有する。この実施形態の場合、フレーム４３は、所定角度に傾けられた状態であればよく、例えばフレーム４３を図３の実線で示す所定の角度に傾けた状態で固定させてもよい。この場合、フレーム４３を所定角度に傾けた状態で、フレーム４３の一端側（基端側）がミクロ検査装置（自動検査装置）５０の最大高さ位置Ｓよりも低い位置まで延出していれば、基板ホルダ４１をミクロ検査装置（自動検査装置）５０の外側に迫り出させることができる。好ましくは、フレーム４３をミクロ検査装置（自動検査装置）５０のステージ５１の外側に延出させることにより、基板ホルダ４１をステージ５１の外側に迫り出させることができる。
【００５５】
フレーム４３を所定角度に固定した場合、基板ホルダ４１を搬送ロボット４による基板搬入位置で水平状態に回動させるとともに、基板ホルダ４１を目視観察位置で基板目視観察に適した角度に回動させるとよい。
【００５６】
なお、本実施の形態においても、スライド部４２、フレーム４３、アーム部４４及びティルト軸４５は、それぞれ２つずつ配置されているが、図３の正面図では重なって位置するため、手前側のみが図に表れている。
【００５７】
マニュアルマクロ検査装置４０は、フレーム４３の一部、アーム部４４、ティルト軸４５、バックライト照明光源４７等（一時的には基板ホルダ４１及びスライド部４２）がミクロ検査装置５０の上方に配置される。この場合、ミクロ検査装置（自動検査装置）５０は、上方に配置されるマニュアルマクロ検査装置４０の検査作業スペース３２ｃに近い側にガラス基板Ｇの基板搬入スペース（３２ｂ）が設けられ、この基板搬入スペース（３２ｂ）の奥側にステージ５１を跨ぐように門型形状を呈する固定式のガントリ５２が配置されている。このミクロ検査装置５０の基板搬入スペース（３２ｂ）には、図２に示す搬送ロボット４がガラス基板Ｇをステージ５１上に搬入・搬出させるためのハンドアーム４ａの上下移動動作スペースが設定される。
【００５８】
ミクロ検査装置５０の基板搬入スペース（３２ｂ）とマニュアルマクロ検査装置４０の搬入スペース（３２ａ）が一致するようにマニュアルマクロ検査装置４０をミクロ検査装置５０の上方に配置することで、マニュアルマクロ検査装置４０をミクロ検査装置５０と干渉しない低い位置まで下げて設置することができる。
【００５９】
基板ホルダ４１は、矩形状に形成されたガラス基板Ｇの周縁を保持する中抜けの矩形枠構造を呈し、ホルダ回動軸４１ａを中心に回動可能となっている。
スライド部４２は、基板ホルダ４１を例えば基板ホルダ４１の互いに対向する２辺の中央において軸支する左右一対の１組で配置され、平行に配置された一対のフレーム４３に対し移動可能に係合している（符号４２−２，４２−３）。このスライド部４２の移動により、スライド部４２に軸支された基板ホルダ４１も移動する（符号４１−２，４１−３）。
【００６０】
なお、基板ホルダ４１は、ミクロ検査装置５０の上方にある位置（符号４１−２）と、一部（全部であってもよい）がミクロ検査装置５０の上端（面Ｓ）よりも下方にある位置（符号４１−３）とに、フレーム４３に沿って移動する。
【００６１】
各フレーム４３は、一端（下側）に形成されたフランジ４３ａによって、図示しない架台に固定された固定軸４８に連結されている。この固定軸４８は、ミクロ検査装置５０のステージ５１よりも前方で、かつミクロ検査装置５０の最上高さ位置（面Ｓ）よりも下方に設けられる。フレーム４３は、固定軸４８を回転中心にしてミクロ検査装置５０のステージ５１と干渉しないように図示矢印の範囲で回動する。
【００６２】
このように固定軸４８をミクロ検査装置５０のステージ５１から外れる前方に配置させ、フレーム４３の一端側（基端側）をミクロ検査装置５０のステージ５１よりも外側に迫り出させる。この迫り出したフレーム４３の部分にスライド部４２を移動させることで、スライド部４２に移動可能に設けられた基板ホルダ４１がミクロ検査装置５０の最上高さ位置よりも低いステージ５１の前方まで迫り出させることができる。本実施の形態では、基板ホルダ４１を自動検査装置であるミクロ検査装置５０の前方に迫り出させることにより、検査作業スペース３２ｃとなる検査作業台をミクロ検査装置（自動検査装置）５０から外れた前方に設けることが可能になる。
【００６３】
検査作業スペース３２ｃは、検査者３３がマニュアルマクロ検査装置４０の目視観察用窓に沿って配置されている。マニュアルマクロ検査装置４０の目視観察用窓は、フレーム４３に沿って最も下方に移動させたときの基板ホルダ４１の停止位置に合わせて設けられている。検査作業スペース３２ｃの検査作業台（作業用床部分）は、目視観察用窓よりも下側に配置され、検査者３３が目視観察のために移動する通路となっている。この検査作業台は、目視観察用窓の下側開口辺よりも低い位置、例えば検査者の腰の位置が下側開口辺となるように７５０〜１０００ｍｍ下げた位置に設けられる。この検査作業台を下げることにより、基板上方からマクロ照明光を照射するマクロ照明光源４６の取付け位置を低くすることが可能になるため、マニュアルマクロ検査装置４０の高さを低くすることができる。
【００６４】
検査者３３の観察高さ位置となる目視観察用窓とマクロ照明光源４６の配置位置関係は一定距離となるため、目視観察用窓を下げた分だけマクロ照明光源４６の取り付け位置を下げることができ、装置全体の高さを低く抑えることができる。
【００６５】
なお、検査作業スペース３２ｃの少なくとも一方の端には、検査者３３が登れる階段が設けられている。
【００６６】
各フレーム４３の他端側にはアーム部４４が連結されている。このアーム部４４が、傾斜して配置されたティルト軸４５により押し引きされることで、各フレーム４３は、水平面に対し傾斜した範囲内、本実施の形態では、ガラス基板Ｇの搬出入時の傾斜状態（符号４３−１）と検査者３３の目視観察に適した傾斜状態（符号４３−２）との間で回動する。このフレーム４３の回動により、基板ホルダ４１及びスライド部４２も共に回動する（符号４１−１，４１−２，４２−１，４２−２）。
【００６７】
なお、固定軸４８がミクロ検査装置５０の最大高さ位置となるガントリ５２の上端（面Ｓ）よりも下方に位置するため、フレーム４３の一部がミクロ検査装置５０の最大高さよりも下方に位置する。
【００６８】
ミクロ検査装置５０は、上述の一実施の形態のミクロ検査装置２０と同様に、ステージ５１と、固定式のガントリ５２と、検査部としての顕微鏡５３と、架台５４と、図示しない基板搬送部とを有する。なお、ミクロ検査装置５０の最大高さとなる上端（面Ｓ）は、本実施の形態では、ガントリ５２の上端である。
【００６９】
外装３２には、上述の一実施の形態の外装２と同様に、２つの基板搬出入用窓部３２ａ，３２ｂと検査作業スペース３２ｃとが形成されている。
【００７０】
以下、上述の基板検査システム３１を用いた基板検査について説明する。
まず、マニュアルマクロ検査について説明する。
上記第１の実施の形態と同様に基板搬送ロボット４により、外装３２の基板搬出入用窓部３２ａからガラス基板Ｇをマニュアルマクロ検査装置４０に搬入する。このとき、フレーム４３は、上述のように水平状態から傾斜した範囲内で回動するため水平状態には回動しないが（４３−１）、基板ホルダ４１は、ホルダ回動軸４１ａを中心にフレーム４３とは独立して水平状態に回動する（４１−１）。
【００７１】
水平状態の基板ホルダ４１にガラス基板Ｇが保持されると、まず、ホルダ回動軸４１ａを中心に基板ホルダ４１をフレーム４３と平行な状態まで回動させる。そして、ティルト軸４５がアーム部４４を押すことで、アーム部４４に連結されたフレーム４３は、固定軸４８を中心に回動し、検査者３３が目視検査を行う位置まで傾斜する（４３−２）。このように基板ホルダ４１、フレーム４３の順に回動させるか、或いは、基板ホルダ４１及びフレーム４３を同時に回動させることで、基板ホルダ４１の移動スペースを小さくすることができる。
【００７２】
そして、基板ホルダ４３を揺動させると共にスライド部４２により基板ホルダ４１を移動させながら、マクロ照明光源４６による反射光又はバックライト照明光源４７による透過光を検査者３３が目視することでガラス基板Ｇのマニュアルマクロ検査を行う。なお、ガラス基板Ｇの裏面をマニュアルマクロ検査する場合には、マクロ照明光源４６と干渉しないように、フレーム４３を少し寝かせた状態で、ホルダ回動軸４１ａを中心に基板ホルダ４１を反転させる。
【００７３】
マニュアルマクロ検査が終了した後、ティルト軸４５によりアーム部４４を引き戻しフレーム４３を寝かせた後（４３−１）、基板ホルダ４１を水平状態に回動させ（４１−１）、図示しない基板搬送ロボットにより基板搬出入用窓部３２ａからガラス基板Ｇを搬出する。このときには、フレーム４３、基板ホルダ４１の順に回動させるか、或いは、フレーム４３及び基板ホルダ４１を同時に回動させることで、基板ホルダ４１の移動スペースを小さくすることができる。
【００７４】
ミクロ検査については、上述した一実施の形態と同様であるため説明を省略する。
以上説明した本実施の形態においても、上述した一実施の形態と同様に、ミクロ検査装置（自動検査装置）５０の装置内に検査者３３が検査のために介在しないため、ミクロ検査装置（自動検査装置）５０の高さをガントリ５２と同等の高さに低く抑えることができる。このミクロ検査装置（自動検査装置）５０の上空の空間を利用してマニュアルマクロ検査装置４０を配置することにより、両装置を併設したものに比べて設置スペースを小さくすることができる。
【００７５】
また、マニュアルマクロ検査装置４０とミクロ検査装置（自動検査装置）５０とが互いに独立した装置であるため、マニュアルマクロ検査装置４０とミクロ検査装置（自動検査装置）５０によるミクロ検査とを同時に行うことができ、両検査の稼動効率を低下させることがなく、マニュアルマクロ検査装置４０をミクロ検査装置（自動検査装置）５０の上方に配置して省スペース化を図っても生産効率が落ちない。
【００７６】
更には、マニュアルマクロ検査装置４０とミクロ検査装置（自動検査装置）５０とで共通の基板保持部（基板ホルダ４１）を用いずに各検査装置４０，５０に適した基板保持部を用いることができるため、検査性能が落ちない。
【００７７】
よって、本実施の形態によっても、生産効率及び検査性能を落とさずに基板検査システム３１の省スペース化を図ることができる。
【００７８】
また、本実施の形態では、マニュアルマクロ検査装置４０よりも振動の影響を受けやすいミクロ検査装置５０をマニュアルマクロ検査装置４０の下方に配置し、かつマニュアルマクロ検査装置４０とミクロ検査装置５０を分離させて床に設置できるため、マニュアルマクロ検査装置４０からの振動がミクロ検査装置５０に伝達されることがなく精度の高いミクロ検査が可能になる。また、マニュアルマクロ検査装置４０とミクロ検査装置５０を分離せることにより、現場での組立が容易となり、且つ輸送も容易になる。
【００７９】
また、検査作業スペース３２ｃ側にガラス基板Ｇの搬入スペースを設け、この基板搬入スペースとなる図２に示す基板搬送ロボット４のハンドアーム４ａの上下移動動作スペースから外れた位置にガントリ５２を固定して設ける。このガントリ５２を検査作業スペース（検査作業台）３２ｃ側から遠ざけることで、検査作業スペース３２ｃ側のステージ５１の上方となる基板搬入スペース３２ｂ、すなわちハンドアーム４ａの上下移動動作スペースの上に広い空間を作ることが可能になる。
【００８０】
このようにマニュアルマクロ検査装置４０の検査作業スペース（検査作業台）をミクロ検査装置（自動検査装置）５０と干渉しない空間領域に配置することにより、検査作業台を低い位置に下げて設置することができ、この検査作業台を下げた分だけ装置全体の高さを低く抑えることができる。
【００８１】
また、マニュアルマクロ検査装置４０をミクロ検査装置５０の基板搬入スペースの上方にある空間に配置することにより、ミクロ検査装置５０の一部にマニュアルマクロ検査装置４０の一部を重ねて配置することが可能になるため、ミクロ検査装置５０とマニュアルマクロ検査装置４０を並べて配置した場合に比べて、重なり合った分だけ基板検査システム３１の省スペース化を図ることができる。
【００８２】
また、本実施の形態では、フレーム４３の回動中心である固定軸４８は、ミクロ検査装置５０の最大高さ位置となる上端（面Ｓ）よりも下方に位置するため、マニュアルマクロ検査装置４０のフレーム４３をミクロ検査装置５０のステージ５１の前方、且つ下方に迫り出させることができる。これにより、フレーム４３が下方に迫り出した分だけマニュアルマクロ検査装置４０の目視観察用窓を下方に下げることが可能になるため、さらに装置全体の高さを低く抑えることができる。
【００８３】
また、フレーム４３にスライド部４２を移動可能に設け、更にこのスライド部４２に基板ホルダ４１を移動可能に設けることにより、フレーム４３の基端部よりも更に下方に基板ホルダ４１を移動させることが可能になる。このように基板ホルダ４１を２段階にスライドさせる構成にすることで、基板ホルダ４１をミクロ検査装置（自動検査装置）５０の最上高さ位置よりも更に低い位置に移動させことが可能になる。これにより、目視観察用窓を低くし、この目視観察用窓と一定の距離関係を有するマクロ照明位置を低く抑えることができるため、容易に装置全体の高さを抑えることができる。
【００８４】
また、ティルト軸４５がミクロ検査装置５０の上方に位置することで、基板検査システム３１の省スペース化を図ることができる。
また、本実施の形態では、フレーム４３は、水平面に対し傾斜した範囲内で回動し（４３−１，４３−２）、基板ホルダ４１は、ガラス基板Ｇの搬出入時に、フレーム４３とは独立して水平状態に回動する。これにより、フレーム４３の移動スペースを抑えることができ、より一層、基板検査システム３１の省スペース化を図ることができる。
【００８５】
また、本実施の形態のように、ガラス基板Ｇの搬入時には、基板ホルダ４１、フレーム４３の順（又は同時）に回動させ、ガラス基板Ｇの搬出時には、フレーム４３、基板ホルダ４１の順（又は同時）に回動させることで、基板ホルダ４１の移動スペースを小さくすることができ、したがって、より一層、基板検査システム３１の省スペース化を図ることができる。
【００８６】
なお、本実施の形態では、上述のように、フレーム駆動部としてのティルト軸４５をミクロ検査装置の上方に配置するようにしているため基板検査システム３１のより一層の省スペース化を図ることができるが、フレーム駆動部を固定軸４８に直接接続されたものとしてもよい。その場合、駆動系容量は大きくなるが、フレーム駆動部がガラス基板Ｇの上方ではなく側方に配置されることで、クリーン性に優れた検査を行うことができ、検査性能をより一層高めることができる。
【００８７】
また、上記の各実施の形態では、自動検査装置のガントリを基板搬入スペースから外れた位置に固定した例で説明したが、基板搬入スペースに移動可能に設けられた移動式ガントリを採用することもできる。この移動式ガントリを採用した場合、フレーム１３，４２の基端（下端）を基板搬送ロボットの上下動移動動作スペースよりも上の位置まで延出させることも可能である。
【符号の説明】
【００８８】
１      基板検査システム
２      外装
２ａ，２ｂ      基板搬出入用窓部
２ｃ      検査作業スペース
３      検査者
４      基板搬送ロボット
４ａ      ハンドアーム
１０      マニュアルマクロ検査装置
１１      基板ホルダ
１１ａ      ホルダ回動軸
１１ｂ      周縁保持部
１２      スライド部
１３      フレーム
１３ａ      フランジ
１４      アーム部
１５      ティルト軸
１６      マクロ照明光源
１７      バックライト照明光源
１８      固定軸
２０      ミクロ検査装置（自動検査装置）
２１      ステージ
２２      ガントリ
２３      顕微鏡
２４      架台
３１      基板検査システム
３２      外装
３２ａ，３２ｂ      基板搬出入用窓部
３２ｃ      検査作業スペース
３３      検査者
４０      マニュアルマクロ検査装置
４１      基板ホルダ
４１ａ      ホルダ回動軸
４２      スライド部
４３      フレーム
４３ａ      フランジ
４４      アーム部
４５      ティルト軸
４６      マクロ照明光源
４７      バックライト照明光源
４８      固定軸
５０      ミクロ検査装置（自動検査装置）
５１      ステージ
５２      ガントリ
５３      顕微鏡
５４      架台
【図１】
0005722049.tif 000002
【図２】
0005722049.tif 000003
【図３】
0005722049.tif 000004