(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、
この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
液剤供給弁が設けられた液剤供給路を介して液剤タンクが前記洗浄槽に接続されてなり、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で前記液剤供給弁を開くことで、前記洗浄槽の内外の差圧を利用して前記液剤タンクからの液剤を前記洗浄槽内へ供給する液剤供給手段と、
前記液剤供給路に設けられ、液剤が流れたことを検出する流れ検出手段と、
前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定する制御手段とを備え、
前記液剤供給弁は、三方弁から構成され、
この三方弁は、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を前記洗浄槽と連通する第一位置と、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を大気と連通する第二位置とを切り替え、
前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定する
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、
前記制御手段は、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号と、前記圧力センサの検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定する
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、
前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出するが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出するか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定する
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
液体を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、
この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
液剤供給弁が設けられた液剤供給路を介して液剤タンクが前記洗浄槽に接続されてなり、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で前記液剤供給弁を開くことで、前記洗浄槽の内外の差圧を利用して前記液剤タンクからの液剤を前記洗浄槽内へ供給する液剤供給手段と、
前記液剤供給路に設けられ、液剤が流れたことを検出する流れ検出手段と、
前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定する制御手段とを備え、
前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、
前記液剤供給弁は、三方弁から構成され、
この三方弁は、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を前記洗浄槽と連通する第一位置と、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を大気と連通する第二位置とを切り替え、
前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出するが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出するか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定する
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
前記液剤タンク内の液剤の液位を検出する液位検出器を備え、
前記制御手段は、前記液位検出器により前記液剤タンク内の液位が設定より低いことを検出すると、運転開始を不能にする
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサと、
前記液剤タンク内の液剤の液位を検出する液位検出器とを備え、
前記制御手段は、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号と、前記圧力センサの検出信号と、前記液位検出器の検出信号とに基づき、前記液剤供給弁、前記流れ検出手段、前記液位検出器の異常を判定する
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄槽内に液体を貯留して被洗浄物を浸漬し、洗浄槽内を減圧する工程を含んで被洗浄物の洗浄を図る洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、先に、下記特許文献１に開示されるように、洗浄槽内に液体を貯留して被洗浄物を浸漬し、その貯留液を設定温度まで加温後、洗浄槽内を減圧して貯留液を沸騰させた状態で、洗浄槽内の液相部に外気を導入することで、貯留液を突沸させて被洗浄物の洗浄を図る洗浄装置を提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の洗浄装置では、洗浄槽内に洗浄剤などの液剤が所定量正しく供給されることが必要である。そこで、本発明が解決しようとする課題は、洗浄槽内に液剤が所定量正しく供給されたか否かの判定を行うことができる洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、液体を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、液剤供給弁が設けられた液剤供給路を介して液剤タンクが前記洗浄槽に接続されてなり、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で前記液剤供給弁を開くことで、前記洗浄槽の内外の差圧を利用して前記液剤タンクからの液剤を前記洗浄槽内へ供給する液剤供給手段と、前記液剤供給路に設けられ、液剤が流れたことを検出する流れ検出手段と、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定する制御手段とを備え、前記液剤供給弁は、三方弁から構成され、この三方弁は、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を前記洗浄槽と連通する第一位置と、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を大気と連通する第二位置とを切り替え、前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定することを特徴とする洗浄装置である。
【０００６】
請求項１および後述する請求項４に記載の発明によれば、液剤供給弁の開閉状態と、洗浄槽内への液剤の流れの有無との対応関係から、洗浄槽内への液剤の供給異常を判定することができる。
請求項１に記載の発明によれば、液剤供給弁に三方弁を用いることで、二方弁を用いた場合よりも夾雑物の噛み込みを防止して、液剤供給弁の開閉異常を低減することができる。また、三方弁の開閉状態と、洗浄槽内への液剤の流れの有無との対応関係から、洗浄槽内への液剤の供給異常を判定することができる。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、前記制御手段は、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号と、前記圧力センサの検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置である。
【０００８】
請求項２に記載の発明によれば、液剤供給弁の開閉状態と、洗浄槽内への液剤の流れの有無と、洗浄槽内の所定以上の圧力上昇の有無との対応関係から、洗浄槽内への液剤の供給異常を判定することができる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出するが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出するか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置である。
請求項４に記載の発明は、液体を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、この洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、液剤供給弁が設けられた液剤供給路を介して液剤タンクが前記洗浄槽に接続されてなり、前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧した状態で前記液剤供給弁を開くことで、前記洗浄槽の内外の差圧を利用して前記液剤タンクからの液剤を前記洗浄槽内へ供給する液剤供給手段と、前記液剤供給路に設けられ、液剤が流れたことを検出する流れ検出手段と、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号とに基づき、前記洗浄槽内への液剤の供給異常を判定する制御手段とを備え、前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサを備え、前記液剤供給弁は、三方弁から構成され、この三方弁は、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を前記洗浄槽と連通する第一位置と、前記液剤タンクから前記三方弁への液剤供給路を大気と連通する第二位置とを切り替え、前記制御手段は、前記三方弁を前記第一位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出するが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出するか、前記三方弁を前記第二位置とした状態で、液剤が流れたことを前記流れ検出手段が検出しないが、前記洗浄槽内の所定以上の圧力上昇を前記圧力センサが検出すると、前記洗浄槽内への液剤の供給異常と判定することを特徴とする洗浄装置である。
【００１２】
請求項３または請求項４に記載の発明によれば、液剤供給弁に三方弁を用いることで、二方弁を用いた場合よりも夾雑物の噛み込みを防止して、液剤供給弁の開閉異常を低減することができる。また、三方弁の開閉状態と、洗浄槽内への液剤の流れの有無と、洗浄槽内の所定以上の圧力上昇の有無との対応関係から、洗浄槽内への液剤の供給異常を判定することができる。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、前記液剤タンク内の液剤の液位を検出する液位検出器を備え、前記制御手段は、前記液位検出器により前記液剤タンク内の液位が設定より低いことを検出すると、運転開始を不能にすることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の洗浄装置である。
【００１４】
請求項５に記載の発明によれば、液剤タンク内の液位も考慮し、液位が設定より低い場合には運転開始を不能にすることで、洗浄不良を未然に防止することができる。
【００１５】
さらに、請求項６に記載の発明は、前記洗浄槽内の圧力を検出する圧力センサと、前記液剤タンク内の液剤の液位を検出する液位検出器とを備え、前記制御手段は、前記液剤供給弁への動作用出力信号と、前記流れ検出手段の検出信号と、前記圧力センサの検出信号と、前記液位検出器の検出信号とに基づき、前記液剤供給弁、前記流れ検出手段、前記液位検出器の異常を判定することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の洗浄装置である。
【００１６】
請求項６に記載の発明によれば、液剤供給弁、流れ検出手段および液位検出器の異常も判定することができ、メンテナンス箇所の指示も可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、洗浄槽内に液剤が所定量正しく供給されたか否かの判定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の洗浄装置の一実施例を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【図２】洗浄槽内への液剤の供給異常と、液位検出器、液剤供給弁およびフローセンサの故障の判定方法を示す図である。
【図３】図１の洗浄装置の変形例を示す図であり、洗浄槽と液剤供給手段以外の構成は省略して示している。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の洗浄装置１の一実施例を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【００２０】
本実施例の洗浄装置１は、液体が貯留され被洗浄物２が浸漬される洗浄槽３と、この洗浄槽３内への給水手段４と、洗浄槽３内への液剤供給手段５と、洗浄槽３内の貯留液を加温する加温手段６と、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する減圧手段７と、減圧された洗浄槽３内の液相部へ外気を導入する液相給気手段８と、減圧された洗浄槽３内の気相部へ外気を導入する気相給気手段９と、これら各手段４〜９を制御する制御手段（図示省略）とを備える。
【００２１】
被洗浄物２は、洗浄を図りたい物品であり、たとえば、医療器具、電子部品または機械部品である。なお、洗浄とは、文字通りの洗浄の他、濯ぎや除染なども含まれるものとする。
【００２２】
洗浄槽３は、内部空間の減圧に耐える中空容器である。洗浄槽３は、上方へ開口して中空部を有する洗浄槽本体１０と、この洗浄槽本体１０の開口部を開閉するドア１１とを備える。ドア１１を閉じた状態では、洗浄槽本体１０とドア１１との隙間はパッキン１２で封止される。
【００２３】
洗浄槽３には、圧力センサ１３と温度センサ１４とが設けられる。圧力センサ１３は、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出し、温度センサ１４は、洗浄槽３内の液相部の温度を検出する。
【００２４】
洗浄槽３には液体が供給されて貯留される。この液体は、その種類を特に問わないが、給水手段４による水（純水または軟水であってもよい）に、液剤供給手段５による液剤を混入して作られる。液剤は、特に問わないが、たとえば、洗浄剤、防食剤、防錆剤または中和剤である。
【００２５】
給水手段４は、洗浄槽３内に水を供給する。本実施例の給水手段４は、給水源（図示省略）からの給水路１５を洗浄槽３に接続して構成される。給水路１５には、給水弁１６が設けられる他、給水源からの水圧に応じて、給水弁１６より上流側に適宜、給水ポンプが設置される。その場合、給水ポンプの作動の有無は、給水弁１６の開閉と連動させればよい。いずれにしても、給水弁１６を開くことで、洗浄槽３内へ水が供給され、洗浄槽３内に所望量の水が貯留されると、給水弁１６が閉じられる。
【００２６】
液剤供給手段５は、洗浄槽３内に液剤を供給する。本実施例の液剤供給手段５は、液剤タンク１７が液剤供給路１８を介して洗浄槽３に接続されて構成される。液剤供給路１８には液剤供給弁１９が設けられており、減圧手段７により洗浄槽３内を減圧した状態で液剤供給弁１９を開くと、洗浄槽３の内外の差圧を利用して、液剤タンク１７内の液剤を洗浄槽３内へ供給することができる。液剤供給路１８は、洗浄槽３に接続されており、液剤は、最終的に洗浄槽３内の液相部に混入される。なお、液剤タンク１７内は、大気圧に開放状態にある。
【００２７】
液剤供給手段５についてさらに具体的に説明すると、本実施例では、液剤供給路１８には、液剤タンク１７の側から順に、流れ検出手段（フローセンサ２０）、オリフィス２１および液剤供給弁１９が設けられている。オリフィス２１を設けることで、洗浄槽３内への液剤の供給時の流量を安定させることができ、ひいては、液剤供給弁１９の開放時間で、洗浄槽３内への液剤の注入量を調整することができる。
【００２８】
流れ検出手段は、液剤が所定流量以上流れたか否かを検出する手段であり、流量計でもよいが、本実施例ではフローセンサ２０が用いられる。また、液剤供給弁１９は、液剤タンク１７からの液剤供給路１８を洗浄槽３と連通させるか大気開放するかを切り替えるように開閉する三方弁で構成される。つまり、この三方弁（１９）は、液剤タンク１７から三方弁（１９）への液剤供給路１８を洗浄槽３と連通させて大気開放側を閉とする第一位置と、液剤タンク１７から三方弁（１９）への液剤供給路１８を大気と連通させて洗浄槽３側を閉とする第二位置とを切り替える。
【００２９】
液剤供給路１８の基端部は、液剤タンク１７内に差し込まれ、液剤タンク１７の底部付近で開口する。さらに、液剤供給路１８には、フローセンサ２０より上流側（液剤タンク１７の側）に、逆止弁２３が設けられる。この逆止弁２３は、洗浄槽３の側から液剤タンク１７の側への液体の逆流を防止する。
【００３０】
液剤タンク１７には液位検出器２４が設けられており、液剤タンク１７内が所定以上低液位となったことを検出することができる。この液位検出器２４としては、たとえばフロート式のセンサが用いられるが、これに限らず、たとえば電気伝導度や光学を用いたセンサであってもよい。そして、液剤タンク１７内の液剤の残量が、後述するようにバッチ運転する洗浄装置１の一バッチの運転に必要な量よりも多いが、二バッチ分はない高さで、低液位を検出するのがよい。これにより、一旦、開始したバッチ運転は、液剤の不足により中断されることなく、最後まで運転可能となる。
【００３１】
加温手段６は、洗浄槽３内の貯留液を加温する。加温手段６は、その構成を特に問わず、たとえば蒸気ヒータでもよいが、本実施例では電気ヒータ２５とされる。この電気ヒータ２５は、洗浄槽３内の底部に配置される。
【００３２】
減圧手段７は、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する。具体的には、減圧手段７は、真空発生装置２６を備え、この真空発生装置２６は、排気路２７を介して、洗浄槽３内の気相部に接続されている。真空発生装置２６は、その具体的構成を特に問わないが、典型的には水封式の真空ポンプを備え、この真空ポンプより上流側に、吸引する気体に含まれる蒸気を凝縮させる熱交換器をさらに備えてもよい。
【００３３】
液相給気手段８は、減圧された洗浄槽３内の液相部へ、液相給気路２８を介して外気を導入する。液相給気路２８には、洗浄槽３へ向けて順に、フィルタ２９および液相給気弁３０が設けられている。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁３０を開くと、洗浄槽３の内外の差圧を利用して、フィルタ２９を介した空気を洗浄槽３内の貯留液中に導入することができる。
【００３４】
ところで、液相給気路２８からの空気は、洗浄槽３内の底部に設けた液相給気ノズル３１を介して、洗浄槽３内の貯留液中に導入される。液相給気ノズル３１は、洗浄槽３内の底部に、横向きに配置されたパイプである。液相給気ノズル３１は、洗浄槽３内の底部ではあるが底面から離隔して、水平に保持されている。そして、液相給気ノズル３１には、パイプの延出方向へ沿って設定間隔で、パイプの周側壁にノズル孔３２，３２，…が下方へ開口して形成されている。
【００３５】
気相給気手段９は、減圧された洗浄槽３内の気相部へ、気相給気路３３を介して外気を導入する。気相給気路３３には、洗浄槽３へ向けて順に、フィルタ３４および気相給気弁３５が設けられている。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で気相給気弁３５を開くと、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルタ３４を介した空気を洗浄槽３内へ導入して、洗浄槽３内を復圧することができる。気相給気弁３５を電磁弁から構成すれば、洗浄槽３内を瞬時に復圧することができ、気相給気弁３５を電動弁から構成すれば、洗浄槽３内を徐々に復圧することができる。
【００３６】
制御手段（図示省略）は、前記各センサ１３，１４，２０，２４の検出信号などに基づき、前記各手段４〜９を制御する制御器である。具体的には、給水弁１６、液剤供給弁１９、電気ヒータ２５、真空発生装置２６、液相給気弁３０、気相給気弁３５の他、圧力センサ１３、温度センサ１４、フローセンサ２０、液位検出器２４は、制御器に接続されている。そして、制御器は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、洗浄槽３内の被洗浄物２の洗浄を図る。また、制御器は、洗浄槽３内への液剤の投入異常を判定したり、液剤供給弁１９、フローセンサ２０および液位検出器２４の故障を判定したりする。
【００３７】
次に、本実施例の洗浄装置１の運転方法の一例について説明する。
まず、バスケット等に入れた被洗浄物２を洗浄槽３に入れて、洗浄槽３のドア１１を気密に閉じる。このとき、給水弁１６、液相給気弁３０、気相給気弁３５は閉じられると共に、液剤供給弁１９は第二位置の状態（非通電状態）にある。
【００３８】
また、液位検出器２４で液剤タンク１７内の液位を確認する。液位検出器２４が低液位を検出すると、制御器は、その旨報知して、液剤タンク１７への液剤の追加、または液剤タンク１７の付け替えを要請する。また、液位検出器２４が低液位を検出している限り、制御器は、洗浄装置１の運転開始を受け付けない。
【００３９】
液位検出器２４が低液位を検出しない場合、まず給水手段４により、被洗浄物２が浸漬されるよう所定高さまで、洗浄槽３内に水を供給する。洗浄槽３内に所望量の水が貯留されると、給水手段４による給水を停止する。給水手段４による洗浄槽３内への給水中、本実施例では減圧手段７を作動させて洗浄槽３内の減圧が図られる。
【００４０】
給水完了後も減圧手段７の作動を継続させておき、洗浄槽３内の圧力が液剤注入圧力以下になれば、液剤供給弁１９を開ける（三方弁を第一位置とする）。これにより、液剤タンク１７内の液剤が、洗浄槽３内へ供給される。液剤の供給量は、洗浄槽３内の圧力に応じて、液剤供給弁１９を開放する時間で調整できる。
【００４１】
洗浄槽３内への液剤の供給時、制御器は、液剤供給弁１９への動作用出力信号と、フローセンサ２０の検出信号とに基づき、洗浄槽３内への液剤の供給異常を判定する。
【００４２】
すなわち、液剤供給弁１９が第一位置の状態で、液剤の流れをフローセンサ２０が検出すれば、液剤の供給は正常になされたことになるが、液剤供給弁１９が第一位置の状態で、液剤の流れをフローセンサ２０が検出しなければ、制御器は、異常と判定してその旨報知する。たとえば、アラームを鳴らして、洗浄装置１の運転を停止させる。
【００４３】
また、液剤供給弁１９が第二位置の状態で、液剤の流れをフローセンサ２０が検出しなければ正常であるが、液剤供給弁１９が第二位置の状態で、液剤の流れをフローセンサ２０が検出すれば、制御器は、異常と判定してその旨報知する。たとえば、アラームを鳴らして、洗浄装置１の運転を停止させる。
【００４４】
さらに、制御器は、洗浄槽３内への液剤の供給中、圧力センサ１３により洗浄槽３内の圧力を監視して、所定以上の圧力上昇があれば、洗浄槽３内への液剤の供給異常と判定してその旨報知する。つまり、液剤タンク１７内の液剤が空になった場合、洗浄槽３内には空気が供給されるため、液剤供給弁１９の開放時間が同じでも、洗浄槽３内の圧力上昇が大きくなるのでこれを検出することで、洗浄槽３内への液剤の供給異常と判定することができる。
【００４５】
図２は、洗浄槽３内への液剤の供給異常と、液位検出器２４、液剤供給弁１９およびフローセンサ２０の故障の判定方法を示す図である。なお、液位検出器２４は、ここでは、液剤がある場合はＯＮ、液剤がなくなるとＯＦＦになるとする。また、フローセンサ２０は、液剤が所定量以上流れた場合、ＯＮになるとする。
【００４６】
制御器は、液位検出器２４の検出信号と、液剤供給弁１９への動作用出力信号と、フローセンサ２０の検出信号と、圧力センサ１３の検出信号（液剤供給弁１９の開放中の洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇の有無）とに基づき、洗浄槽３内への液剤の供給異常の判定の他、液位検出器２４、液剤供給弁１９およびフローセンサ２０の異常を判定する。そして、異常と判定した場合には、制御器は、その旨を報知し、判定結果に基づき異常を知らせる箇所のメンテナンスを要求すればよい。
【００４７】
（ａ）に示すように、液剤供給弁１９が第一位置にあるように出力した際に、フローセンサ２０がＯＮを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出したとする。この場合、液剤タンク１７内の液剤がなくなり、液剤タンク１７から洗浄槽３内へ外気が導入されたことになる。また、液位検出器２４およびフローセンサ２０の双方が故障であると判定できる。
【００４８】
（ｂ）に示すように、液剤供給弁１９が第一位置にあるように出力した際に、フローセンサ２０がＯＮを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出しなかったとする。この場合、液剤の投入は正常になされたことになり、また、いずれのセンサの故障も認められない。
【００４９】
（ｃ）に示すように、液剤供給弁１９が第一位置にあるように出力した際に、フローセンサ２０がＯＦＦを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出したとする。この場合、液剤タンク１７内の液剤がなくなり、液剤タンク１７から洗浄槽３内へ外気が導入されたことになる。また、液位検出器２４が故障であると判定できる。
【００５０】
（ｄ）に示すように、液剤供給弁１９が第一位置にあるように出力した際に、フローセンサ２０がＯＦＦを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出しなかったとする。この場合、液剤の投入は正常になされたが、フローセンサ２０が故障しているか、フローセンサ２０は正常であるが液剤供給弁１９が異常で開放できなかったため、液剤の投入異常があるかのいずれかとなる。
【００５１】
（ｅ）に示すように、液剤供給弁１９が第二位置にある際に、フローセンサ２０がＯＮを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出したとする。この場合、液剤供給弁１９が異常で漏れを生じたことになり、しかも液剤タンク１７から洗浄槽３内へ外気が導入されたことになる。また、液位検出器２４が故障し、フローセンサ２０も故障と判定できる。
【００５２】
（ｆ）に示すように、液剤供給弁１９が第二位置にある際に、フローセンサ２０がＯＮを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出しなかったとする。この場合、液剤供給弁１９が異常で漏れを生じたことになり、しかも液剤タンク１７から洗浄槽３内へ液剤が供給されたので、液剤が供給過多の状態にある。また、フローセンサ２０の故障と判定できる。
【００５３】
（ｇ）に示すように、液剤供給弁１９が第二位置にある際に、フローセンサ２０がＯＦＦを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出したとする。この場合、液剤供給弁１９が異常で漏れを生じたことになり、しかも液剤タンク１７から洗浄槽３内へ外気が導入されたことになる。また、液位検出器２４の故障と判定できる。
【００５４】
（ｈ）に示すように、液剤供給弁１９が第二位置にある際に、フローセンサ２０がＯＦＦを検出し、圧力センサ１３が洗浄槽３内の所定以上の圧力上昇を検出しなかったとする。この場合は、洗浄槽３内へ液剤は供給されておらず、正常である。
【００５５】
（ｉ）に示すように、液位検出器２４がＯＦＦを検出すれば、運転操作を受け付けないことは、前述したとおりである。
【００５６】
制御器は、洗浄槽３内に液剤が正常に供給されと判定した場合、その後、被洗浄物２の洗浄を図る。その具体的な方法は特に問わないが、たとえば、次のようになされる。
【００５７】
すなわち、まず、液剤の投入後には、洗浄槽３内を所定圧力まで減圧後に、液相給気弁３０を開いて復圧する操作を繰り返すことで、洗浄槽３内の貯留水への液剤の撹拌を図るのが好ましい。この際、各減圧は、洗浄槽３内の貯留液を沸騰させない圧力で足りるし、各復圧は、大気圧まで戻す必要はなく大気圧未満の圧力で足りる。
【００５８】
その後、加温手段６により洗浄槽３内の貯留液を設定温度まで加温後、減圧手段７により洗浄槽３内を減圧して貯留液を沸騰させ、この沸騰中に、洗浄槽３内からの排気を継続したまま、液相給気手段８により洗浄槽３の内外の差圧を利用して洗浄槽３内の液相部に外気を導入する。これにより貯留液を突沸させ、貯留液の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、貯留液を大きく揺動させることができ、被洗浄物２の洗浄を効果的に図ることができる。その後、洗浄槽３内の貯留液を再び設定温度まで加温し、洗浄槽３内を減圧後に洗浄槽３内の液相部に外気を導入することを繰り返すのがよい（液相給気パルス制御）。
【００５９】
あるいは、加温手段６により洗浄槽３内の貯留液を設定温度まで加温後、所定の終了条件を満たすまで、減圧手段７による洗浄槽３内からの排気を継続して洗浄槽３内の圧力を低下させる過程で、この減圧による貯留液の沸騰中に気相給気手段９により洗浄槽３内を貯留液の沸騰が止むまで瞬時に一時的に復圧することを繰り返してもよい（気相給気パルス制御）。
【００６０】
あるいは、前述した気相給気パルス制御と液相給気パルス制御とを所望順序で実行するなど、洗浄槽３内の減圧や復圧、バブリング（液相部への給気）などを適宜組み合わせて、被洗浄物２の洗浄を図ってもよい。
【００６１】
本発明の洗浄装置１は、前記実施例の構成に限らず適宜変更可能である。
洗浄装置１が被洗浄物２を洗浄後に濯ぎする構成の場合、洗浄装置１には液剤供給手段５が二つ以上設けられ、一方が洗浄剤を供給する手段、もう一方が濯ぎ剤（防食剤や、防食剤以外の液剤）を供給する手段とし、洗浄か濯ぎか、あるいは他の工程に応じて使い分けてもよい。具体的には、図３は、前記実施例における液剤供給手段５の変形例を示す図であり、液剤供給手段５以外の構成は省略して示している。この図の場合、洗浄装置１は、第一液剤供給手段５Ａと第二液剤供給手段５Ｂとを備える。各液剤供給手段５Ａ，５Ｂの構成は、前記実施例と同様であり、第一液剤供給手段５Ａの液剤タンク１７Ａに洗浄剤が入れられており、第二液剤供給手段５Ｂの液剤タンク１７Ｂに濯ぎ剤が入れられている。従って、洗浄槽３内へ洗浄剤を供給する際には、第一液剤供給手段５Ａの液剤供給弁１９Ａを第一位置にすればよいし、洗浄槽３内へ濯ぎ剤を供給するには、第二液剤供給手段５Ｂの液剤供給弁１９Ｂを第一位置にすればよい。その他の構成は前記実施例で述べたとおりである。
【符号の説明】
【００６２】
１  洗浄装置
２  被洗浄物
３  洗浄槽
４  給水手段
５  液剤供給手段
６  加温手段
７  減圧手段
８  液相給気手段
９  気相給気手段
１３  圧力センサ
１４  温度センサ
１７  液剤タンク
１８  液剤供給路
１９  液剤供給弁（三方弁）
２０  フローセンサ（流れ検出手段）
２４  液位検出器
２６  真空発生装置
【図１】
0005786417.tif 000002
【図２】
0005786417.tif 000003
【図３】
0005786417.tif 000004