(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部とで構成されるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンモータユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、
前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、
上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルＡと、
サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、
前記トップパネルは、前記サイドパネルＡの上面部分ではさむようにして固定し、
前記トップパネルは、対向する二辺を断面Ｃの字型の形状に折り曲げ、トップパネル折曲部を設け、
前記サイドパネルＡは、前記トップパネルを挟むときに前記トップパネルに対向する辺をＬ字型の形状に折り曲げ、サイドパネル折曲部を設け、
このサイドパネル折曲部で受けるように前記トップパネルを固定し、
前記ファンモータユニットは、前記トップパネル折曲部と前記サイドパネル折曲部によって支えられたファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記サイドパネルＢは上面側にくし型に折り曲げ部を形成して、前記トップパネルの上面部分と結合される請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記サイドパネルＡ及び前記サイドパネルＢ下面側に、内周側に突出する断面コの字形状のフィルタ取付フランジを形成し、
このフィルタ取付フランジにフィルター固定用の穴を設けた請求項１または２記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に薄型テレビ等に使用されるフラットパネルディスプレイ等を製造する工場のクリーンルーム内に設置されるパネルの製造装置や搬送装置、パネルを一時保管する保管庫（クリーンストッカー）等に設置される大型のファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来この種ファンフィルターユニットは、ファンモータを収納するチャンバー部は１つの薄板より構成され、ファンモータはファンモータの支持具によってチャンバーの吸込口側に設けられた固定部に固定される構造となっていた。（これに類似する先行文献としては、例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２７１４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年フラットパネルの大型化に伴い、パネルを製造する製造装置、パネルを搬送する搬送装置、パネルを保管する保管庫（クリーンストッカー）は大型化の傾向にあり、従来の構造のファンフィルターユニットでは、一つの薄板でチャンバー壁面を構成していたため大型化が困難であった。すなわち、一つの薄板でチャンバーを大型化すると、チャンバーの上面部にたわみが生じ、この上面部のたわみにより、上面部に固定されたファンモータとチャンバーと隣接して取り付けられたフィルターの上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、ファンモータを収納するチャンバー部を複数の薄板を連結して構成することでチャンバーの大型化を図り、ファンフィルターユニットの大型化を容易に実現し、チャンバーの上面部のたわみを抑える大型のファンフィルターユニットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的を達成するために、本発明のファンフィルターユニットは、空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部とで構成されるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンモータユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルＡと、サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、前記トップパネルは、前記サイドパネルＡの上面部分ではさむようにして固定し、前記トップパネルは、対向する二辺を断面Ｃの字型の形状に折り曲げ、トップパネル折曲部を設け、前記サイドパネルＡは、前記トップパネルを挟むときに前記トップパネルに対向する辺をＬ字型の形状に折り曲げ、サイドパネル折曲部を設け、このサイドパネル折曲部で受けるように前記トップパネルを固定し、前記ファンモータユニットは、前記トップパネル折曲部と前記サイドパネル折曲部によって支えられたものであって、これにより初期の目的を達成するものである。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように本発明は、複数の薄板を連結してチャンバー部を構成することで、ファンフィルターユニットの大型化を図り、チャンバーの上面部のたわみを抑えるファンフィルターユニット提供することを目的とするものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態を示すファンモータユニットの斜視図
【図２】同ファンモータユニットのＡ−Ａ側断面図
【図３】本発明の一実施の形態を示すチャンバーとファンモータユニットの斜視分解図
【図４】本発明の一実施の形態を示すトップパネル、サイドパネルＡ、ファンモータユニットの組付図
【図５】本発明の一実施の形態を示すトップパネル、サイドパネルＡ、サイドパネルＢの組付図
【図６】本発明の一実施の形態を示すチャンバーの斜視図
【図７】本発明の一実施の形態を示すコの字形状部を表す斜視図
【図８】同コの字形状部のＢ−Ｂ側断面図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１０】
（実施の形態１）
図１、図２に示すのは、ファン１とモータ２とを有しているファンモータユニット６である。ファン１はモータ２の回転軸に取り付けられてファンモータ３を構成している。そして、ファンモータ３は支持具４に支えられてオリフィス５に取り付けられている。
【００１１】
次に、チャンバー７の構成について説明する。図３に示すようにチャンバー７は吸込口１１を有したトップパネル８と、チャンバー７の上面の一部と側面とを一体にした２つのサイドパネルＡ９と、サイドパネルＡ９に隣接した側面を形成する２つのサイドパネルＢ１０とで構成される。トップパネル８とサイドパネルＡ９とサイドパネルＢ１０は、リベットで締結され、上面には吸込口を、下面にはクリーンルームへの清浄空気の供給口を備えた箱型形状のチャンバー７を形成する。
【００１２】
図４に示すように、トップパネル８は、２つのサイドパネルＡ９の上面部分ではさむようにして固定される。さらに詳細に説明する。トップパネル８の長辺側の端部には、断面をほぼＣの字型の形状に折り返したトップパネル折曲部１２が設けられている。そして、トップパネル８に対向するサイドパネルＡ９の上面部分の端部には、Ｌ字型の形状に折り曲げたサイドパネル折曲部１３が設けられている。言い換えれば、このサイドパネル折曲部１３は、サイドパネルＡ９の天面部分から階段状に二度折り曲げられていることになる。そして、その下の段（天面と平行な面）でトップパネル８のトップパネル折曲部１２を受けるように固定される。
【００１３】
図５に示すように、トップパネル８とサイドパネルＡ９が固定された状態のものにサイドパネルＢ１０が固定される。詳細に説明すると、サイドパネルＢ１０には、トップパネル８、サイドパネルＡ９側に折り曲げ、トップパネル８とサイドパネルＡ９の接合部分に対応する部分を切り欠いてくし型にした接合部１４が設けられている。この接合部１４は、その切欠き部分にトップパネル８とサイドパネルＡ９の接合部分を挿入する。そして、トップパネル８・サイドパネルＡ９と、サイドパネルＢ１０の上面部分とをネジなどで結合する。このくし型の接合部１４によれば、トップパネル８とサイドパネルＡ９との接合部分（トップパネル折曲部１２とサイドパネル折曲部１３）との干渉を無くすことが可能な構成となる。
【００１４】
このようにして、図６に示すように、上面には吸込口を、下面には供給口を備えた箱型形状のチャンバー７を形成する。
【００１５】
図７には、サイドパネルＡ９とサイドパネルＢ１０の下面側に設けられたフィルター２０の固定用のフィルター固定穴２１と、フィルター固定穴２１が設けられたコの字型形状のフィルター取付フランジ部となるフィルター固定部１５を示す。このフィルター固定部１５は、コの字型にしてチャンバー７の内周側に突出した内フランジ形状になっているので、フィルター２０とチャンバー７との接合面を確保することができる。さらに、図８に示すようなチャンバー７の外寸よりフィルター２０の外寸が小さい構造を実現することが可能となる。また、図示しないが、フィルター固定穴２１には、ナットが取り付けられ、フィルター２０とチャンバー７は、シール材を介してチャンバー７とねじで締結される。
【００１６】
次にファンモータユニット６の取り付けについて説明する。
【００１７】
図４に示すように、ファンモータユニット６はトップパネル折曲部１２に固定される。トップパネル８は、トップパネル折曲部１２がサイドパネルＡ９の端部のサイドパネル折曲部１３で支えられて固定される。そのため、ファンモータユニット６は、トップパネル８のトップパネル折曲部１２とサイドパネルＡ９のサイドパネル折曲部１３によって支えられることになる。従って、チャンバー７の上面のたわみを抑えることができ、チャンバー７が大型化しても、ファンモータユニット６がフィルター２０の上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れを無くすことができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
そして、この目的を達成するために本発明は、空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを駆動させる制御基板と、前記制御基板を収納する制御ボックスと、前記ファンモータおよび前記制御ボックスを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターユニットを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバーは、空気吸込口を有したトップパネルと、天面の一部と側面とを一体にしたサイドパネルＡと、サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、サイドパネルＡとサイドパネルＢには前記フィルターの固定用の穴が設けられ、前記トップパネルは、サイドパネルＡの天面部分ではさむようにして固定されたファンフィルターユニットとしてきわめて有用なものとなる。
【符号の説明】
【００１９】
１  ファン
２  モータ
３  ファンモータ
４  支持具
５  オリフィス
６  ファンモータユニット
７  チャンバー
８  トップパネル
９  サイドパネルＡ
１０  サイドパネルＢ
１１  吸込口
１２  トップパネル折曲部
１３  サイドパネル折曲部
１４  接合部
１５  フィルター固定部
２０  フィルター
２１  フィルター固定穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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