(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平な環状の移動経路に沿って等間隔で複数組設置され前記移動経路に沿って移動する箱状のチャンバー本体と、各チャンバー本体に対応して設置され、前記チャンバー本体と共に真空チャンバーを構成し、前記チャンバー本体が前記移動経路に沿って移動するとき共に移動するチャンバー蓋と、前記チャンバー本体が前記移動経路上の所定の開領域を移動するとき前記チャンバー蓋を開く開閉機構と、少なくとも前記開閉機構が開かないチャンバー蓋を開く補助開閉機構と、前記補助開閉機構を制御する制御装置を備え、前記チャンバー本体が前記移動経路に沿って移動する過程で、被包装物が充填された包装袋を前記真空チャンバー内で減圧処理する真空処理機において、前記制御装置は通常運転モードと部品交換モードの切り換えが可能であり、前記部品交換モードへの切換信号と、全ての真空チャンバーの減圧状態の解除を示す減圧解除信号と、前記チャンバー本体の停止を示す停止信号に基づき前記補助開閉機構を作動させ、これにより全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開状態とすることを特徴とする真空処理機。
【請求項２】
前記チャンバー本体は回転するテーブルの周囲に等間隔で設置され、前記テーブルの回転に伴い前記移動経路に沿って移動し、前記開閉機構は、前記テーブルの近傍に固定配置された開閉カムと、前記チャンバー本体の移動に伴い前記開閉カムに接触して転動するカムローラと、前記カムローラと前記チャンバー蓋を連結すると共に前記カムローラの変位を前記チャンバー蓋に伝達する伝達機構からなり、前記補助開閉機構は、前記カムローラが接触しない退避位置と接触する作用位置の間を移動自在に設置された補助カムと、前記補助カムを前記退避位置と作用位置の間で移動させる駆動機構からなり、前記制御装置は前記駆動機構を作動させて前記補助カムを前記作用位置に移動させ、これにより前記カムローラが変位してチャンバー蓋が開くことを特徴とする請求項１に記載された真空処理機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバー内で被包装物が充填された袋に対し減圧処理を行う真空処理機に関する。
【背景技術】
【０００２】
テーブルの周囲に等間隔で複数組設置され、前記テーブルの回転に伴い水平面内を円形の移動経路に沿って移動する箱状のチャンバー本体と、各チャンバー本体に対応して設置され、閉じたときチャンバー本体と共に真空チャンバーを構成し、チャンバー本体が前記移動経路に沿って移動するとき共に移動するチャンバー蓋と、チャンバー本体が前記移動経路上を移動するとき所定のタイミングでチャンバー蓋を開閉するチャンバー蓋開閉機構を備え、前記真空チャンバー内で被包装物が充填された袋に対し減圧処理を行う真空処理機が、例えば特許文献１〜５により公知である。
【０００３】
特許文献１には、チャンバー本体内に空袋を受け入れ（チャンバー本体内に設置したグリッパーで空袋の上縁部を保持）、前記空袋を開口して被包装物を充填した後、チャンバー蓋を閉めて真空チャンバー内を減圧し、充填後の袋に対し減圧処理及び袋口のシールを行う縦型真空処理機が記載されている。
特許文献２，３には、チャンバー本体内に被包装物を充填した袋を受け入れ（チャンバー本体内に設置したグリッパーで袋の両側縁部を保持）、チャンバー蓋を閉めて真空チャンバー内を減圧し、前記袋に対し減圧処理及び袋口のシールを行う縦型真空処理機が記載されている。この真空処理機に隣接してロータリー型充填機が設置され（２ローター型充填真空処理機）、ロータリー型充填機により被包装物を袋に充填し、その袋を受け渡し装置を介して前記真空処理機が受け入れる。
【０００４】
特許文献４には、チャンバー本体内に被包装物を充填した袋を横に寝かせた状態で受け入れ（チャンバー本体内に設置した受け台上に被包装物が充填された袋が置かれる）、チャンバー蓋を閉めて真空チャンバー内を減圧し、前記袋に対し減圧処理及び袋口のシールを行う横型真空処理機が記載されている。
特許文献５には、チャンバー本体内に被包装物が充填され袋口がシールされた袋を横にした状態で受け入れ（チャンバー本体内に設置した受け台上に被包装物が充填された袋が置かれる）、チャンバー蓋を閉めて真空チャンバー内を減圧し、前記袋をプレスして整形する横型真空処理機が記載されている。
【０００５】
従来の真空処理機のチャンバー蓋開閉機構は、一般にチャンバー本体の移動経路に沿った形で固定配置された開閉カムと、チャンバー本体の回転移動に伴い前記開閉カムのカム面に接触して転動するカムローラと、前記カムローラとチャンバー蓋を連結すると共に前記カムローラの変位をチャンバー蓋に伝達する伝達機構（カムローラと伝達機構は各真空チャンバーごとに設置されている）からなる。この構造により、チャンバー本体が前記移動経路を移動する間、所定の開位置でチャンバー蓋が開き、続く所定の閉位置でチャンバー蓋が閉じ、これが全ての真空チャンバーにおいて一回転ごとに機械的に繰り返される。このため、真空処理機の処理スピードを変更しても、チャンバー蓋の開閉は前記処理スピードに問題なく追従し得る（常に所定のタイミング（移動経路上の前記開位置及び閉位置）で開閉する）利点がある。
【０００６】
しかし、真空処理機の長期使用に伴い、真空チャンバー内に設置されたシール部材やグリッパー等の部品の交換が必要となる。この部品交換は真空処理機の全ての真空チャンバーにおいて同時に行う必要がある。チャンバー蓋が開くのは前記移動経路のうち限られた開領域（前記開位置と閉位置の間）のみであるから、部品交換にあたっては、まず真空処理機を停止させ、チャンバー蓋が開いた真空チャンバー（前記開領域で停止した真空チャンバー）について部品交換をまず行い、次に真空処理機を再起動させ、それまでチャンバー蓋が閉じていた真空チャンバーが前記開領域に移動してチャンバー蓋が開いたとき、再度停止させ、当該真空チャンバーについて部品交換を行う。これを繰り返すことにより、全ての真空チャンバーについて部品交換を行うようにしていた。
しかし、多数の真空チャンバーを備える真空処理機において、再起動と停止を何度も繰り返して部品交換を行うのは、作業者の負担が大きく、安全性の低下、生産性向上の生涯となっていた。
【０００７】
一方、特許文献２には、前記移動経路の前記開位置でチャンバー蓋を開き、前記閉位置でチャンバー蓋を閉じる固定された開閉カムのほかに、上面が平坦な環状の補助カムを前記開閉カムに沿って設置することが記載されている。この補助カムは、真空処理機による処理数が設定値に達したあと、アクチュエータの作動により前記開閉カムより高く上昇し、チャンバー蓋開閉機構のカムローラを押し上げ、前記移動経路上を移動する全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開く。なお、特許文献２に記載された真空処理機の外側近傍に洗浄ノズルを備える洗浄装置が設置され、前記補助カムが上昇している間も真空チャンバーの回転移動は継続し、前記洗浄ノズルの前に次々移動してくる真空チャンバー内に、前記洗浄ノズルから洗浄液が噴射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第２９６７１４９号公報
【特許文献２】特許第３４８３７７６号公報
【特許文献３】特開平９-４８４０９号公報
【特許文献４】特開平１１-２４０５０７号公報
【特許文献５】特開平１０-２３６４２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
チャンバー蓋の開閉を行う固定された開閉カムのほかに、特許文献２に記載された補助カムを設置し、全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開状態に保持すれば、先に述べた部品交換を、真空処理機の再起動と停止を何度も繰り返すことなく実施でき、作業者の負担が軽減されるものと考えられる。
しかし、特許文献２には、全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開状態にするタイミング（又は条件）について明確な記載がない。わずかに、真空処理機による処理数が設定値に達したとき、真空ラインのノーマルオープンの開閉弁を閉鎖すること、及び真空処理機による処理数が設定値に達したあと前記補助カムを上昇させ、全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開くことのみであり、真空処理機の耐久性、安全性について十分な配慮がなされているとは言い難い。例えば真空チャンバー内の減圧状態が解除されていないとき前記補助カムを上昇させることがあるとすれば、真空処理機の耐久性、安全性は大きく損なわれる。また、特許文献２では、真空処理機を停止する（真空チャンバーの移動を止める）必要のある部品交換作業については考慮されていない。
【００１０】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされてもので、真空チャンバーの部品交換に際し、全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開状態に保持して作業者の負担を軽減すると同時に、真空処理機の耐久性、安全性を確保することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、水平な環状の移動経路に沿って等間隔で複数組設置され前記移動経路に沿って移動する箱状のチャンバー本体と、各チャンバー本体に対応して設置され、前記チャンバー本体と共に真空チャンバーを構成し、前記チャンバー本体が前記移動経路に沿って移動するとき共に移動するチャンバー蓋と、前記チャンバー本体が前記移動経路上の所定の開領域を移動するとき前記チャンバー蓋を開く開閉機構と、少なくとも前記開閉機構が開かないチャンバー蓋を開く補助開閉機構と、前記補助開閉機構を制御する制御装置を備え、前記チャンバー本体が前記移動経路に沿って移動する過程で、被包装物が充填された包装袋を前記真空チャンバー内で減圧処理する真空処理機を改良したもので、前記制御装置は通常運転モードと部品交換モードの切り換えが可能であり、前記部品交換モードへの切換信号と、全ての真空チャンバーの減圧状態の解除を示す減圧解除信号と、前記チャンバー本体の停止を示す停止信号に基づき前記補助開閉機構を作動させ、これにより全ての真空チャンバーのチャンバー蓋を開状態とすることを特徴とする。
【００１２】
上記真空処理機には、例えば特許文献１のように、チャンバー本体に空袋を受け入れ、前記空袋に被包装物を充填した後、チャンバー蓋を閉じ、真空チャンバー内で減圧処理及び袋口のシールを行うタイプ、特許文献２〜４のように、チャンバー本体に被包装物を充填した袋を受け入れ、チャンバー蓋を閉じ、真空チャンバー内で減圧処理及び袋口のシールを行うタイプ、特許文献５のように、チャンバー本体に被包装物を充填しかつ袋口をシールした袋を受け入れ、チャンバー蓋を閉じ、真空チャンバー内で減圧処理（袋の整形を含む）行うタイプが含まれる。また、チャンバー本体の移動形態については、間欠移動タイプと連続移動タイプの両方があり得る。
【００１３】
前記真空処理機は例えば次のような具体的形態を有する。すなわち、前記チャンバー本体は回転するテーブルの周囲に等間隔で設置され、前記テーブルの回転に伴い円形の移動経路に沿って移動する。前記開閉機構は、前記テーブルの近傍に固定配置された開閉カムと、前記チャンバー本体の移動に伴い前記開閉カムに接触して転動するカムローラと、前記カムローラと前記チャンバー蓋を連結すると共に前記カムローラの変位を前記チャンバー蓋に伝達する伝達機構からなる。前記補助開閉機構は、前記カムローラが接触しない退避位置と接触する作用位置の間を移動自在に設置された補助カムと、前記補助カムを前記退避位置と作用位置の間で移動させる駆動機構からなる。さらに、前記制御装置は前記駆動機構を作動させて前記補助カムを前記作用位置に移動させ、これにより前記カムローラが変位してチャンバー蓋が開くようになっている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、全てのチャンバー本体（真空チャンバー）の移動を停止し、真空処理機の耐久性、安全性を確保しつつチャンバー蓋を開状態に保持し、部品交換作業における作業者の負担を軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る真空処理機の全体平面図（通常運転モード）である。
【図２】真空処理機のうち特にチャンバー蓋の開閉機構及び補助開閉機構の側面断面図である。
【図３】本発明に係る真空処理機の全体平面図（部品交換モード）である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図１〜３を参照して、本発明に係る真空処理機について、具体的に説明する。
図１及び図２に示すように、充填機１と真空処理機２が併設され（２ローター式真空包装装置といわれるタイプ）、両機の間に受け渡し装置３が設置されている。この２ローター式真空包装装置は、充填機１で袋に被包装物を充填し、これを受渡し装置３により真空処理機２に受渡し、真空処理機２で袋の減圧処理及び袋口のシールを行うようにした装置である。
【００１７】
充填機１は、互いに接近・離反し得る複数対のグリッパー４が間欠回転（図１において左回転）するテーブル５の周囲に等間隔で設置され、各停止位置（テーブル上の数字１〜１０は停止位置を示す）に各工程（下記（１）〜（１０））を実行する装置が設置されたもので、テーブル５が一回転する間に、袋６の供給、被包装物の充填、袋口のシール等の各種包装処理工程が順次行われる。
（１）停止位置１にコンベアマガジン式給袋装置７が設置されている。コンベアマガジン式給袋装置７により袋６がグリッパー４に供給され把持される。
（２）停止位置２に印字装置８が設置されている。印字装置８により袋６の表面に製造年月日が印字される。
【００１８】
（３）停止位置３に袋口開口装置９と開口保持装置１１が設置されている。袋口開口装置９の一対の吸盤１２により袋６の袋口が開口され、次いで開口された袋口に開口保持装置１１の一対の開口保持爪１３が差し込まれる。この開口保持装置１１はいわゆる追従式であり、テーブル５の間欠回転に伴い、グリッパー４及び袋６と共に停止位置３から停止位置４に移動し、停止位置４において後述する液体充填ノズル１４が袋６内に挿入された直後に上昇して袋６から抜け出し、停止位置３に復帰移動する。
【００１９】
（４）停止位置４に液体充填ノズル１４が設置されている。液体充填ノズル１４が袋６に挿入され、液体が充填される。
（５）停止位置５にホッパー１５が設置されている。ホッパー１５が袋６に挿入され、固形物が充填される。
（６）停止位置６に液体充填ノズル１６が設置されている。液体充填ノズル１６が袋６に挿入され、液体が充填される。
（７）停止位置７にエア噴出ノズル１７が設置されている。エア噴出ノズル１７が袋６に挿入され、噴出エアにより袋口のシール予定部が清掃される。
【００２０】
（８）停止位置８に第１シール装置１８が設置されている。袋６の袋口が一対の熱板１９に挟まれシール（第１シール）される。
（９）停止位置９に第２シール装置２１が設置されている。袋６の袋口が一対の熱板２２に挟まれシール（第２シール）される。
（１０）停止位置１０に冷却装置２３が設置されている。袋６のシール部が一対の冷却板２４に挟まれて冷却され、次いで一対の冷却板２４が袋６を挟んだまま所定距離後退（図１において左方向に移動）して開き、袋６を開放する。袋６の開放後、一対の冷却板２４は開いたまま元の待機位置（図１に示す位置）に復帰移動し、袋６は下方に設置された製品袋搬出コンベア２０により搬出される。
【００２１】
なお、充填機１による以上の包装処理工程は、充填機１で被包装物を充填した袋６がそのまま袋製品になる（真空処理機２による真空処理を行わない）場合のものである。充填機１で被包装物を充填した袋６を、続いて真空処理機２に送り真空処理を行う場合は、上記（８），（９）の第１，第２シール工程は実施されない。（１０）の冷却工程についても冷却板２４の冷却（水冷）は行う必要がない。
【００２２】
真空処理機２は、移動及び停止を繰り返しながら間欠回動（図１において右回転）するテーブル２５を備え、テーブル２５の周囲にチャンバー本体２６が等間隔で設置され、各チャンバー本体２６に対応してチャンバー蓋２７が開閉自在に設置され、このチャンバー本体２６とチャンバー蓋２７により真空チャンバー２８が構成されている。チャンバー本体２６は、テーブル２５の間欠回転に伴い水平な円形の移動経路上を間欠移動し（テーブル上の数字１〜１２は停止位置を示す）、テーブル２５が一回転する間に、被包装物充填済みの袋６の受け入れ、チャンバー蓋２７の閉鎖、真空チャンバー２８内での減圧処理及び袋口のシール等の各種真空処理行程が順次行われる。
【００２３】
チャンバー本体２６は、テーブル２５の周囲に開口を外側方向に向けて放射状に等間隔で取り付けられている。チャンバー蓋２７は、チャンバー本体２６の開口に対し開閉機構２９により開閉され、閉じたときチャンバー本体２６とその開口周縁部で密着し、真空チャンバー２８を構成する。真空チャンバー２８内には、袋６のシール予定部のやや下を把持するグリッパー３１（特許第２５３８４７３号公報参照）や、エアシリンダ３２で進退する受台３３とヒータ装置３４からなるシール装置が、それぞれチャンバー本体２６側とチャンバー蓋２７側に設置されている。チャンバー本体２６には、減圧機構として真空ポンプ及び切替弁と接続された真空配管（いずれも図示せず）が連結され、チャンバー本体２６とチャンバー蓋２７との密着部（チャンバ蓋２７の開口周縁部）にはパッキン３５がその全周にわたって挿着されている。チャンバー蓋２７の上端にはレバー３６が固定され、レバー３６の先に取り付けられた軸３７が、チャンバー本体２６の上端に固定された支持部材３８に回動自在に支持されている。
【００２４】
開閉機構２９は、テーブル２５に上下動自在に設置された垂直の昇降軸３９と、昇降軸３９に取り付けられたカムローラ４１と、カムローラ４１が接触し転動する開閉カム４２と、中間部を支持部材３８に軸４０を介して軸支され、先端がリンク４４を介しチャンバー蓋２７に連結され、基端がリンク４５を介し昇降軸３９の先端に連結されたチャンバー蓋開閉アーム４６からなる。なお、開閉カム４２は、図１，２に示すようにテーブル２５の近傍（下方位置）に平面視円弧状に固定配置され、カムローラ４１が開閉カム４２の下向きのカム面４３に接触していないとき、すなわち円弧状の開閉カム４２がない領域では、チャンバ蓋ー２７は自重により閉じられ、図２に実線で示すように、昇降軸３９及びカムローラ４１は持ち上げられた状態にある。
【００２５】
そして、テーブル２５の間欠回転に伴い、真空チャンバー２８及び昇降軸３９等が回転し、カムローラ４１が開閉カム４２のカム面４３の一方の傾斜部（図示せず）に接触、転動するとき、昇降軸３９が押し下げられ、開閉アーム４６が軸４３を中心として回動し、チャンバー蓋２７は軸３７を中心に回動して開く（図２の２点鎖線参照）。続いて、カムローラ４１がカム面４３の平坦部４３ａに接触、転動する間、昇降軸３９は上下動せず、チャンバー蓋２７は開いた状態を保ち、さらにカムローラ４１がカム面４３の他方の傾斜部４３ｂに接触、転動する間、昇降軸３９は上昇し、チャンバー蓋２７が閉じるようになっている。カムローラ４１がカム面４３から外れ（図２に示す状態）、次に前記一方の傾斜部に接触し、転動を開始するまで、チャンバー蓋２７は閉じた状態を保つ（図２の実線参照）。
【００２６】
上記真空処理機２には、補助開閉機構４７が設置されている。補助開閉機構４７は、図２に示すように、テーブル２５の近傍に待避位置と作用位置の間で移動自在に配置された補助カム４８と、補助カム４８を待避位置と作用位置の間で移動（昇降）させる補助カム駆動機構４９からなる。
補助カム４８は平面視円弧状をなす平坦な板状の部材であり、カムローラ４１の移動経路の真上の位置に配置され、前記待避位置（上昇位置）では、図２に実線で示すようにカムローラ４１が接触しない高い位置にあり、前記作用位置（下降位置）では、図２に２点鎖線で示すようにカム面５１がカムローラ４１に接触してこれを押し下げ、これにより昇降軸３９が押し下げられ、チャンバー蓋２７が開く。開閉カム４２と補助カム４８は、図１に示すようにいずれも平面視円弧状で径は異なるが共通の中心を有し、カムローラ４１の移動経路に沿って一部（開閉カム４２のカム面４３の両端の傾斜部と補助カム４８の両端部）が重複して配置されている。開閉カム４２と補助カム４８のカムローラ４１が接触、転動するカム面４３，５１は、共通のカムローラ４１に接触し得るようにごく近接して配置されている。
【００２７】
補助カム駆動機構４９は、テーブル２５が設置された機台５２の上面に立設した複数個のスタンド５３と、各スタンド５３上に設置されたサーボモータ５４と、各サーボモータ５４の出力軸に固定され、補助カム４８のカム面５１を外した箇所に形成された雌ねじ部に螺合するねじ軸５５、各スタンド５３上に立設され、補助カム４８のカム面５１を外した箇所に形成された穴に摺動自在に嵌まるガイド軸５６からなる。前記サーボモータ５４が作動するとねじ軸５５が回転し、補助カム４８が図２の実線で示す位置（待避位置）と２点鎖線で示す位置（作用位置）の間を昇降する。補助カム４８が前記作用位置に下降したとき、前記開閉機構２９が開くチャンバー蓋を含め、真空処理機２の全てのチャンバー蓋が開く。
【００２８】
前記補助開閉機構４７は、図１に示す制御装置５０により作動が制御される。制御装置５０のスイッチにより、真空処理機２の運転を通常運転モードと部品交換モードの間で切り換えが可能であり、通常運転モードを選択すると、真空処理機２は、各停止位置（テーブル上の数字１〜１２は停止位置を示す）において、真空処理工程が例えば下記のように実行される。
（１）停止位置１では、チャンバー蓋２７が全開状態（カムローラ４１が開閉カム４２のカム面４３の平坦部４３ａに接触している）であり、被包装物を充填した袋６が受け渡し装置３からチャンバー本体２６内に送られ、開いていたグリッパー３１が閉じ、シール予定部のやや下方位置が把持される。なお、図２において５７はグリッパー３１の開閉機構の一部であり（特許第２５３８４７３号公報参照）、グリッパー３１はチャンバー本体２７が前記移動経路に沿って移動する間、この開閉機構により所定のタイミングで開閉する。
【００２９】
（２）チャンバー本体２７が停止位置１から停止位置３に移動する間、カムローラ４１が開閉カム４２のカム面４３の平坦部４３ａ〜傾斜部４３ｂに接触、転動し、閉じるチャンバー蓋２７とチャンバー本体２６内に設置した図示しない整形板との間で袋６の整形が行われる（特許文献３参照）。停止位置３では、カムローラ４１は開閉カム４２のカム面４３から外れ、チャンバー蓋２７は完全に閉じる。
（３）続いて真空チャンバー２８内が順次所定圧まで真空引きされ（停止位置４で予備真空引き、停止位置５で一次真空引き、停止位置６で二次真空引き）、これにより袋６の減圧処理が行われ、続いて停止位置７でエアシリンダ３２が作動し、受台３３とヒータ装置３４により減圧下で袋６の熱シールが行われる。
【００３０】
（４）停止位置８〜１０にかけてシール部の冷却が行われた後、真空チャンバー２８内に大気が導入されて真空チャンバー２８内の減圧状態が解除され、次いでカムローラ４１が開閉カム４２のカム面４３の前記一方の傾斜部（傾斜部４３ｂとは反対側の端部に形成された傾斜部）に接触、転動してチャンバー蓋２７が開きはじめ、さらに停止位置１１ではカムローラ４１が開閉カム４２のカム面４３の平坦部４３ａに接触し、チャンバー蓋２７が完全に開く。
（５）停止位置１２では、グリッパー３１が開き、真空処理を受けた袋６が真空処理製品袋搬出コンベア５８上に落下し、合流シュート５９により製品袋搬出コンベア２０上に移され、搬出される。
【００３１】
一方、真空処理製品の生産が終了して、真空処理機２から全ての真空処理製品が排出された後（以後、真空処理機２は袋６の存在しない空運転となる）、制御装置５０において、オペレーターによるスイッチ操作で通常運転モードから部品交換モードに切り換えると、制御装置５０は全ての真空チャンバー２８の減圧状態を解除し（前記減圧機構の真空ポンプを停止し又は切換弁を閉じる）、所定時間経過後（例えばテーブル２５が１回転以上回転した後）、真空処理機２の空運転を停止（真空チャンバー２８の間欠回転を停止）させる。なお、前記空運転により、全ての真空チャンバー２８の減圧状態が実際に解除される（大気圧に戻る）。続いて、制御装置５０は、部品交換モードへの切換信号、全真空チャンバー２８の減圧状態の解除信号、及び真空処理機２の停止信号に基づき、補助カム駆動機構４９（サーボモータ５４）を作動させ、補助カム４８を待機位置から作用位置へ下降させる。なお、前記減圧状態の解除信号として、解除操作を示す信号（例えば前記真空ポンプの停止信号、前記切換弁の閉信号）のほか、実際に全ての真空チャンバー２８内の減圧状態が解除されたことを示す検知信号、例えば前記真空配管等に設置した圧力センサー（図示せず）の検知信号（大気圧検知信号）を用いることができる。
【００３２】
真空処理機２の空運転が停止した時点では、開閉機構２９の作用により、停止位置１１，１２及び停止位置１ではチャンバー蓋２７が完全に開き、停止位置２では閉じかけ、停止位置３〜１０では閉じている。ここで、補助カム４８が待機位置から作用位置へ下降すると、補助カム４８のカム面５１の高さが開閉カム４２のカム面４３の平坦部４３ａの高さと一致するまで下降し、停止位置２〜１０において真空チャンバー２８のカムローラ４１が補助カム４８により押し下げられ、各チャンバー蓋２７が一斉に開き、結局、開閉機構２９によりすでに開いていた真空チャンバーを含め、１２個全ての真空チャンバー２８のチャンバー蓋２７が完全に開状態となる。この状態を図３に示す（充填機１及び受渡し装置３にも袋６が存在しない）。なお、補助開閉機構４７が作動する時点で全ての真空チャンバー２８の減圧状態が解除されているので、チャンバー蓋２７を開く際に真空処理機２の各部、特に補助開閉機構４７、開閉機構２９及びチャンバー蓋２７等に無理な力が掛からず、真空処理機２の耐久性、安全性を確保することができる。
【００３３】
この状態で、各真空チャンバー２８について必要な部品交換を行った後、制御装置５０において部品交換モードから通常運転モードに切り換えると、制御装置５０が補助カム駆動機構４９（サーボモータ５４）を逆に作動させ、補助カム４８をそれまでの作用位置から待機位置へ復帰上昇させる。これにより、停止位置１〜１２におけるチャンバー蓋２７の開閉は、開閉機構２９のみにより行われるようになり、図２に示す通常運転時の形態に戻る。なお、この例では、部品交換モードから通常運転モードに切り換えたとき、真空処理機２の運転（空運転）は行われない。あとは制御装置５０を含む真空処理機２の主電源をオフにすれば、作業終了となる。
【００３４】
なお、上記の例では、制御装置５０において通常運転モードから部品交換モードに切り換えた後、真空チャンバー２８の減圧状態の解除操作と真空処理機２の空運転の停止操作が自動的に制御装置５０により行われるように設定されていたが、これらの操作をオペレーターが行った後、通常運転モードから部品交換モードに切り換えるようにしてもよい。
この場合、真空処理製品の生産が終了して、真空処理機２から全ての真空処理製品が排出された後（以後、真空処理機２は袋６の存在しない空運転となる）、オペレーターによるスイッチ操作で全ての真空チャンバー２８の減圧状態を解除し（前記減圧機構の真空ポンプを停止し又は切換弁を閉じる）、所定時間経過後（例えばテーブル２５が１回転以上回転した後）、同じくオペレーターによるスイッチ操作で真空処理機２の空運転を停止する。次いでオペレーターによるスイッチ操作で通常運転モードから部品交換モードに切り換えると、制御装置５０は、全真空チャンバー２８の減圧状態の解除信号、真空処理機２の停止信号、及び部品交換モードへの切換信号に基づき、補助カム駆動機構４９（サーボモータ５４）を前記のように作動させる。
【００３５】
受渡し装置３は、第１受渡し装置６１と図示しない第２受渡し装置からなる。第１受渡し装置６１は、充填機１の冷却装置２３の冷却板２４から開放された袋６を受け取り、真空処理機２の停止位置１の方向に搬送し、前記第２受渡し装置に引き渡す装置である。第１受渡し装置６１は、本質的に特開昭５８−３４３２９号公報に記載された袋詰め充填装置と同様の構造を有し、間欠的に回転する一対のチェーンコンベア（フレーム６２内に配置されている）と、前記チェーンコンベアに等間隔で多数設置され、それぞれ固定爪と可動爪からなり、前記可動爪が前記固定爪に対し常時閉じるように付勢され、前記可動爪が閉じたとき袋６の両側縁部を把持する各一対のグリッパー６３，６３と、搬送方向（図１において左方向）の特定の停止位置（最初の停止位置と最後の停止位置）に配置され、同位置に停止したグリッパー６３，６３を開く図示しないプッシャーを備える。
【００３６】
前記グリッパー６３，６３は、前記最初の停止位置で、同位置に配置された前記プッシャーにより前記可動爪が開かれ、次いで閉じて冷却装置２３の冷却板２４から開放された袋６の両側縁部を把持し、チェーンコンベアの移動に伴い袋６の厚み方向に間欠的に搬送する。前記最後の停止位置では、同位置に配置された前記プッシャーにより再び前記可動爪が開かれ、前記第２受渡し装置に引き渡す。前記第２受け渡し装置（例えば特許第２５３８４７３号公報参照）は、袋６の上縁部を把持し、真空処理機２の停止位置１に停止した真空チャンバー２８のグリッパー３１に引き渡す。
【符号の説明】
【００３７】
１  充填機
２  真空処理機
３  受渡し装置
６  袋
２６  チャンバー本体
２７  チャンバー蓋
２８  真空チャンバー
２９  開閉機構
４１  カムローラ
４２  開閉カム
４７  補助開閉機構
４８  補助カム
４９  補助カム駆動機構
５０  制御装置
５４  サーボモータ
【図１】
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【図２】
0005805584.tif 000003
【図３】
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