(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ同期して回転する上下一対ずつの多数の搬送ローラ(1)(1a)が搬送方向に並列され、基板(2)の両端部がその搬送ローラ(1)(1a)外周の各基板挟持体(3)間に挟持されて搬送される基板の搬送装置において、
その各搬送ローラ(1)(1a)は、その軸線方向に互いに離間して、回転軸(4)の外周に一対の前記基板挟持体(3)がその回転軸(4)と共に回転するように設けられ且つ、少なくとも一方側の各基板挟持体(3)は回転軸(4)の軸線方向に移動自在に被嵌され、
その一方側の各基板挟持体(3)は、そのスライドロット(6)の両側を支持する支持面(5a)が設けられた嵌着部(5)を有し且つ、その各嵌着部(5)は前記搬送方向に一直線上に並列され、
その各嵌着部(5)は、スライドロット(6)の幅の間隔を空けて対向された一対の支持面(5a)からなり、その各支持面(5a)が前記スライドロッド(6)の両側に接するように構成され、
上下一対の搬送ローラ(1)(1a)の対向する両嵌着部(5)にスライドロット(6)が、前記軸線に直交して一直線上に挿通され、
そのスライドロット(6)に、前記搬送方向に離間して、同期する少なくとも一対のアクチュエータ(7)が連結され、そのアクチュエータ(7)の往復方向の駆動により、多数の上下一対ずつの各基板挟持体(3)が同時に前記軸線方向に移動するように構成されたことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板の搬送装置において、
前記各搬送ローラ(1)(1a)に、その軸線方向に離間して、少なくとも一対の第１の搬送部(8)と第２の搬送部(8a)が配置され、各搬送部(8)(8a)に互いに離間して一対の前記基板挟持体(3)が設けられ且つ、各搬送部(8)(8a)の各一方側の各基板挟持体(3)は回転軸(4)の軸線方向に移動自在に被嵌され、
その各一方側の各基板挟持体(3)は、そのスライドロット(6)の両側を支持する支持面(5a)が設けられた嵌着部(5)を有し、
各搬送部(8)(8a)の各上下一対の搬送ローラ(1)(1a)の対向する両嵌着部(5)に、それぞれスライドロット(6)(6a)が、前記軸線に直交して挿通され、
その各スライドロット(6)(6a)にアクチュエータ(7)が連結され、そのアクチュエータ(7)の往復方向の駆動により、多数の上下一対ずつの各基板挟持体(3)が同時に前記軸線方向に移動するように構成されたことを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の基板の搬送装置において、
前記スライドロット(6)に、その長手方向に離間した位置で且つ前記一方側で、少なくとも一対の前記アクチュエータ(7)が並列して連結され、それらの各アクチュエータ(7)が互いに同期して駆動される基板の搬送装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子素子等に用いる基板が、エッチングや洗浄等の各種処理を行なう際の基板の搬送装置において、その基板の幅に応じて、搬送路を迅速に拡縮できるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１に記載の装置は、上下一対の搬送ローラを多数搬送方向に並列して、一対のローラ間に基板を挟持して搬送するものである。このような搬送ローラにおいて、基板の幅が異なる場合、その都度搬送ローラの支持部間を一本づつ変更する必要があった。
次に特許文献２に記載の基板表面処理装置は、ローラ軸にその軸方向に位置をずらして複数の係止用凹部を設け、各ローラ部材にその係止部に対してローラ軸の径方向へ係脱可能な被係止部を設け、この被係止部が係止凹部に係合され、基盤の幅に応じて各係止凹部の位置を設定できるようにしたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平０３−０６１３３０号公報
【特許文献２】特開平０９−１４８４００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のいずれの装置も、基板の幅が異なる度ごとに、その支持部を一本づつ変更する必要があり、その作業が極めて面倒である欠点があった。そこで、本発明はこれらの問題点を解決することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の本発明は、それぞれ同期して回転する上下一対ずつの多数の搬送ローラ(1)(1a)が搬送方向に並列され、基板(2)の両端部がその搬送ローラ(1)(1a)外周の各基板挟持体(3)間に挟持されて搬送される基板の搬送装置において、
その各搬送ローラ(1)(1a)は、その軸線方向に互いに離間して、回転軸(4)の外周に一対の前記基板挟持体(3)がその回転軸(4)と共に回転するように設けられ且つ、少なくとも一方側の各基板挟持体(3)は回転軸(4)の軸線方向に移動自在に被嵌され、
その一方側の各基板挟持体(3)は、そのスライドロット(6)の両側を支持する支持面(5a)が設けられた嵌着部(5)を有し且つ、その各嵌着部(5)は前記搬送方向に一直線上に並列され、
その各嵌着部(5)は、スライドロット(6)の幅の間隔を空けて対向された一対の支持面(5a)からなり、その各支持面(5a)が前記スライドロッド(6)の両側に接するように構成され、
上下一対の搬送ローラ(1)(1a)の対向する両嵌着部(5)にスライドロット(6)が、前記軸線に直交して一直線上に挿通され、
そのスライドロット(6)に、前記搬送方向に離間して、同期する少なくとも一対のアクチュエータ(7)が連結され、そのアクチュエータ(7)の往復方向の駆動により、多数の上下一対ずつの各基板挟持体(3)が同時に前記軸線方向に移動するように構成されたことを特徴とする基板の搬送装置である。
【０００６】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の基板の搬送装置において、
前記各搬送ローラ(1)(1a)に、その軸線方向に離間して、少なくとも一対の第１の搬送部(8)と第２の搬送部(8a)が配置され、各搬送部(8)(8a)に互いに離間して一対の前記基板挟持体(3)が設けられ且つ、各搬送部(8)(8a)の各一方側の各基板挟持体(3)は回転軸(4)の軸線方向に移動自在に被嵌され、
その各一方側の各基板挟持体(3)は、そのスライドロット(6)の両側を支持する支持面(5a)が設けられた嵌着部(5)を有し、
各搬送部(8)(8a)の各上下一対の搬送ローラ(1)(1a)の対向する両嵌着部(5)に、それぞれスライドロット(6)(6a)が、前記軸線に直交して挿通され、
その各スライドロット(6)(6a)にアクチュエータ(7)が連結され、そのアクチュエータ(7)の往復方向の駆動により、多数の上下一対ずつの各基板挟持体(3)が同時に前記軸線方向に移動するように構成されたことを特徴とする基板の搬送装置である。
【０００７】
請求項３に記載の本発明は、請求項１または請求項２に記載の基板の搬送装置において、
前記スライドロット(6)に、その長手方向に離間した位置で且つ前記一方側で、少なくとも一対の前記アクチュエータ(7)が並列して連結され、それらの各アクチュエータ(7)が互いに同期して駆動される基板の搬送装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の基板の搬送装置は、アクチュエータ７に連結されたスライドロット６が上下一対の搬送ローラ１、１ａの各基板挟持体３にその軸線に直行して挿通され、少なくとも一対の同期するアクチュエータ７の往復方向の駆動により、並列された多数の上下一対ずつの各基板挟持体３が同時に軸線方向に移動するように構成し且つ、各基板挟持体３に、スライドロット６の両側を支持する支持面5aが設けられた嵌着部５を有し、その各嵌着部５は前記搬送方向に一直線上に並列され、その各嵌着部５は、スライドロット６の幅の間隔を空けて対向された一対の支持面5aからなり、その各支持面5aが前記スライドロッド６の両側に接するように構成されたから、基板２の幅に応じて軸線方向に互いに離間する一対の基板挟持体３間の距離を極めて簡単な構成で容易に且つ迅速に拡縮することができる。
【０００９】
上記構成において、請求項２に記載のように各搬送ローラ１、１ａにその軸線方向に離間して、少なくとも一対の搬送部８、８ａが配置されたものにおいて、それぞれにスライドロット６、６ａが配置された場合には、各搬送部８、８ａにおける搬送路幅をそれぞれ任意の幅にすることができる。
【００１０】
上記構成において、請求項３に記載のようにスライドロット６に一対のアクチュエータ７を並列して連結し、各アクチュエータ７を互いに同期して駆動するようにした場合には、より確実にその搬送路の幅を迅速に拡縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の基板の搬送装置の要部正面図であり、図２のＩ−Ｉ矢視断面略図。
【図２】同基板搬送装置の要部平面略図。
【図３】図２のIII−III矢視拡大図およびその右側面図。
【図４】同装置のアクチュエータ７の駆動ロッド15とスライドロット６の取付状態を示す拡大図。
【図５】同装置の搬送部８の搬送幅をＳ１からＳ２に変化させた説明図。
【図６】本発明の第２実施例の平面図であって、第１の搬送部８と第２の搬送部８ａとを有するもの。
【図７】同正面図であって、それが第１処理室24内部に配置された状態を示す。
【図８】同第１処理室24の平面図。
【図９】第１処理室24の縦断面図説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、図面に基づいて本発明の実施の形態につき説明する。
本発明の基板の搬送装置は、図９に示すごとく、一例として基板２をエッチング室や洗浄室、乾燥室等に連続的に通過させるため、上下一対の搬送ローラ１、１ａを多数搬送方向に並列したものである。
【００１３】
図２は、その搬送装置の要部平面図を示し、そのＩ−Ｉ矢視断面略図が図１に示されている。図１において、その搬送部８には、上下一対の搬送ローラ１、１ａが多数並列される。各搬送ローラ１、１ａの回転軸４の外周には、互いに離間して軸線方向に一対の基板挟持体３が配置され、その基板挟持体３にＯリング14が被嵌され、その上下一対のＯリング14間に、図１に示す如く、基板２の両端が挟持される。そして、一方の各搬送ローラ１ａのウォームギア10とウォーム９とが歯合され、そのウォーム９が図示しないモータで回転駆動されることにより搬送ローラ１ａが回転する。そして、その搬送ローラ１ａが平歯車11を介して他方の搬送ローラ１を逆方向に回転し、基板２をそれらの軸線と直行する方向に移動させるものである。
【００１４】
なお、図１および図２において、基板２の搬送部８を構成する左右一対の基板挟持体３は、その左側のみ軸方向に移動可能であり、右側はその搬送ローラ１の回転軸４に固定されている。即ち、右側の基板挟持体３は搬送ローラ１に図示しない止めピン等により固定され、右側の基板挟持体３は回転軸４の軸線方向に移動自在に被嵌されている。即ち、基板挟持体３はその内周が回転軸４およびキー22に整合する筒状に形成され、その内面にキー溝23が設けられている。そして、このキー溝23に整合するキー22が回転軸４に突設され、両者が嵌着された状態で、その基板挟持体３は軸線方向の右方および左方に移動することができる。この例では、駆動側となる搬送ローラ1a側に鍔部12が突設されるとともに、その鍔部12の搬送部８側の小径部にリング溝13が設けられ、そこにゴム弾性を有するＯリング14が被嵌されている。
【００１５】
なお、図２の記載では隣接する搬送ローラ１に対して一つおきに鍔部12が存在しているが、その位置では下側の搬送ローラ1aに鍔部が存在する。そして、その下側が駆動側であり、平歯車11を介して、その回転が上側の搬送ローラ１に伝えられるものである。図２で鍔部12を有する搬送ローラ12は、それが駆動側のローラで、その下側は従動ローラである。その従動ローラには鍔部12は存在しない。
次に、図１および図２において、多数の上下一対づつの基板挟持体３はスライドロット６によって軸線方向に同時に移動される。これは、基板２の幅に整合するように基板挟持体３間の位置を変更するためである。
そのためのスライドロット６は、上下一対の各基板挟持体３の左端部に設けた嵌着部５に挿通される。
【００１６】
この例では、基板挟持体３の左端部に凹陥した小径部が存在し、その小径部の両側に対向するフランジ部が設けられ、その立上げ面に支持面5aが形成される。フランジ部間の距離はスライドロット６の幅に整合する。そして、図３のごとく、そのスライドロット６が上下一対の搬送ローラ１、１ａの対向する嵌着部５間に挿通される。すると、スライドロット６の両側が各嵌着部５の支持面5aに案内される。このスライドロット６は、図２に示すごとく並列した多数の上下一対の搬送ローラ１、１ａの間を同時に貫通する。そして、このスライドロット６は、図１および図２に示すごとく、アクチュエータ７から延長する駆動ロッド15の先端に第１ブロック16および第２ブロック17を介して接続される。即ち、駆動ロッド15の先端には第１ブロック16が設けられ、その凹部にスライドロット６が嵌着する。その状態で、それらに第２ブロック17が被嵌され、ボルト18を介して第２ブロック17と第１ブロック16が締結固定される。
【００１７】
アクチュエータ７はその駆動ロッド15が長手方向に往復駆動されるものであって、一例として、ギアドモータ等により、任意の距離の往復移動を実現することができる。その移動距離の設定は図示しない、制御盤で行うことができる。
各搬送ローラ１、１ａは、その両端部が図１および図２に示すごとく、仕切板21を貫通する（右側部分の仕切板21を省略）。そして、その貫通部には各搬送ローラ１、１ａに軸受20が設けられている。また、アクチュエータ７の駆動ロッド15も同様に仕切板21を貫通する。そして、この例では、基板２が図２の矢印方向に移動し、一対の搬送ローラ１、１ａの間にその両端縁が挟持されて搬送される。このとき、基板２の幅に左右一対の各基板挟持体３の間隔が整合するように、アクチュエータ７の駆動により調整される。即ち、軸線方向に離間する両基板挟持体３の鍔部12の間隔が基板２の幅に整合するように、アクチュエータ７が駆動される。
【００１８】
（作用）
次に、各基板挟持体３間の距離を縮小する場合につき述べる。
図５において（Ａ）は、搬送ローラ１の軸方向に離間する一対の基板挟持体３間の距離がＳ１になっている。次に、基板２の幅がＳ２に変更される場合、アクチュエータ７を駆動し、その駆動ロッド15を右方に所定長さ突出させる。するとスライドロット６に接する各基板挟持体３が右方に移動し、各基板挟持体３間の距離がＳ２となる。このとき、図３において回転軸４のキー22が基板挟持体３のキー溝23に嵌着したまま、基板挟持体３が右方に移動するため、その回転軸４の回転力はそのまま基板挟持体３に伝達される。そして、上下の基板挟持体３に設けたＯリング14間に基板２が挟持され、その回転によって各基板挟持体３の軸線方向に直行する方向に基板２が搬送される。なお、図２の例では一本のみのアクチュエータ７が記載されているが、一つのスライドロット６に対し少なくともそのスライドロット６の長手方向の２箇所にアクチュエータ７を配置し、それらを同期してスライドロット６を軸線方向に移動することが好ましい。
【００１９】
次に、図６および図７は本発明の第２実施形態を示し、この例が図１のそれらと異なる点は、搬送ローラ１、１ａの軸線方向に第１の搬送部８と第２の搬送部8aが配置され、２つの基板２を並列して搬送できるようにしたものである。
各搬送部８、８ａの中心側の基板挟持体３は固定され、両側に位置する基板挟持体３はそれぞれアクチュエータ７、スライドロット６、６ａを介して軸線方向に移動できるように構成されている。そして、それらが図７のごとく一対の仕切板21間に配置され、この例ではそこに第１処理室24が配置されている。そして、両側に位置するアクチュエータ７をそれぞれ駆動することにより、各搬送部８、８ａの幅をそれぞれ任意に拡縮することができる。他の構成は前記第１実施形態のそれと同一である。
【００２０】
この例では、図８、図９に示すごとく搬送路に沿って第１処理室24、第２処理室26が配置され、それぞれその搬送路に沿って、上下にノズル27が配置されている。それとともに、第１処理室24と第２処理室26との境にそれぞれアクチュエータ７が配置され、それらが同期して駆動され、各搬送部８、８ａの幅を基板２の幅に整合させるものである。  
【符号の説明】
【００２１】
１  搬送ローラ
1a  搬送ローラ
２  基板
３  基板挟持体
４  回転軸
５  嵌着部
5a  支持面
６  スライドロット
6a  スライドロット
７  アクチュエータ
【００２２】
８  搬送部
8a  搬送部
９  ウォーム
10  ウォームギア
11  平歯車
12  鍔部
13  リング溝
14  Ｏリング
15  駆動ロッド
【００２３】
16  第１ブロック
17  第２ブロック
18  ボルト
19  カラー
20  軸受
21  仕切板
22  キー
23  キー溝
24  第１処理室
26  第２処理室
27  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005744451.tif 000009
【図９】
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