(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を介した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置の取付け方法であって、
前記取付け面は支持部を有し、
前記ロードポート装置は、前記支持部の上に載置されて前記取付け面に対する前記ロードポートの取付け高さを規定する被支持部と、前記支持部に対する前記ロードポート装置の相対高さを変更可能な高さ変更手段と、を有し、
前記高さ変更手段により前記被支持部が前記支持部より高くなる位置に前記相対高さを設定し、
前記ロードポート装置を前記取付け面に対して接近させ、
前記高さ変更手段により前記相対高さを小さくすることで前記被支持部を前記支持部に当接させ、
前記ロードポート装置を前記取付け面に固定する、工程を有し、
前記高さ変更手段は、前記取付け面から等しい距離に配置されて前記相対高さを変更可能な一対の第一の支持ユニットと、前記第一の支持ユニットとは異なる位置に配置されて前記第一の支持ユニットとは独立して前記相対高さを変更可能な第二の支持ユニットと、を有し、
前記第一の支持ユニットは、前記相対高さの方向における位置移動が可能であり且つ任意の位置で固定可能な第一の支持位置移動部材と、前記第一の支持位置移動部材を介して前記ロードポート装置を支持可能な第一の支持部とを有して、前記第一の支持位置移動部材を前記相対高さ方向の任意の位置で固定することで前記相対高さを変更し、
前記第二の支持ユニットは、前記相対高さの方向における位置移動が可能であり且つ任意の位置で固定可能な第二の支持位置移動部材と、前記第二の支持位置移動部材を介して前記ロードポート装置を支持可能な第二の支持部とを有して、前記第二の支持位置移動部材を前記相対高さ方向の任意の位置で固定することで前記相対高さを変更し、
前記相対高さの変更は第一の支持ユニットにおける前記第一の支持位置移動部材の前記相対高さ方向の位置の変更および固定、及び第二の支持ユニットにおける前記第二の支持位置移動部材の前記高さ方向の位置の変更および固定を各々別個に行うことで実行することを特徴とするロードポート装置の取付け方法。
【請求項２】
前記ロードポート装置は前記取付け面への固定をなすための固定部を有し、前記固定部を固定可能な懸架固定部を有する懸架枠体と、
前記ロードポート装置の被支持部に対して下方から当接して前記ロードポート装置を上方に支持可能な懸架枠固定側支持部と、
前記懸架枠体及び前記懸架枠側固定側支持部を支持する支持体と、
前記支持体に配置されて前記支持体を前記床面に平行に支持し且つ前記支持体に対して前記床面に垂直な方向に相対移動可能な脚部と、
前記支持体に配置されて前記支持体を前記床面に平行に移動可能に支持し、且つ前記支持体に対して前記床面に垂直な方向に相対移動可能なキャスター部と、を有する運搬架台を用い、
前記懸架枠固定側支持部の上方に前記ロードポート装置の前記被支持部を位置させ、
前記脚部により前記支持体を前記床面に対して持ち上げることにより前記懸架枠固定側支持部を前記被支持部に接触させて前記懸架枠固定側支持部による前記被支持部の支持を行わせ、
前記キャスター部が前記床面に接触することにより前記支持枠体を支持し、
前記脚部による前記支持枠体の支持を解除し、
前記ロードポート装置を前記運搬架台により移動させ、前記ロードポート装置の前記取付け面への接近を行う取付け方法であって、
前記被支持部を前記支持部より高い位置とする設定は、前記ロードポート装置の前記取付け面への接近を行う前に行われることを特徴とする請求項１に記載の取付け方法。
【請求項３】
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、前記ポッド内に対して前記開口を記した前記被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ前記被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に設けられた支持部によって被支持部が下方より支持され且つ前記取付け面に設けられた固定部に固定されることで前記取付け面に取り付けられるロードポート装置、を支持し且つ運搬する運搬架台であって、
前記取付け面に固定される前記ロードポート装置のベース部材を前記固定部と同じ位置にて固定可能な懸架体と、
前記ロードポート装置の被支持部に対して下方から当接して前記ロードポート装置を上方に支持可能な懸架枠固定側支持部と、
前記懸架体及び前記懸架枠固定側支持部を支持する支持枠体であって、床面に対して平行な面内に配置されるコの字形状を有する支持枠体と、
前記支持枠体に配置されて前記支持枠体を前記床面に平行に支持し且つ前記支持枠体に対して前記床面に垂直な方向に相対移動可能な脚部と、
前記支持枠体に配置されて前記支持枠体を前記床面に平行に移動可能に支持し、且つ前記支持枠体に対して前記床面に垂直な方向に相対移動可能なキャスター部と、を有することを特徴とする運搬架台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持された被処理物であるウエハを半導体処理装置間で移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。より詳細には、半導体処理装置にロードポート装置を取付ける方法及び当該方法の使用時に用いられロードポート装置の運搬用架台に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。
【０００３】
ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。ポッドが実際に載置される載置テーブル上の載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避させられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６３５２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ロードポート装置の半導体処理装置への取付け時において、ロードポート装置はある程度の高さまで持ち上げられた後、半導体処理装置の取付け面に対して位置合わせを行った上で取付けられる。ロードポート装置はある程度の重量を有することからこの様な位置合わせ作業は困難を伴うが、当該装置が設置される所謂クリーンルームの性格上、位置合わせ用の過大な装置を設置することは困難である。このため、例えば特許文献１に示されるように、ロードポート装置自体に搬送用の車輪と高さ調整用の機能を付加する構成が提案されている。
【０００６】
ここで、半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。これに伴って、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化されている。このため、ロードポート装置も大型化し、その重量も大きく増大せざるを得ない状況にある。この様な重量の増加は非常に大きく、単純な人力による位置合わせは不可能となる。また、特許文献１に示されるリフト装置で対応しようとした場合には、本体を持ち上げるための構成が大きくなりすぎ、リフト装置自体の重量が半導体処理装置の取付け面に対して過大な負荷を与えてしまうといった問題が生ずる可能性がある。
【０００７】
本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、大型化した半導体処理装置に対しても容易に位置決め且つ取付けが可能なロードポート装置の取付け方法、及び当該方法に供せられるロードポート装置の運搬架台の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置の取付け方法は、被処理物を挿脱するための開口を有し被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、ポッド内に対して開口を介した被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置の取付け方法であって、取付け面は支持部を有し、ロードポート装置は、支持部の上に載置されて取付け面に対するロードポートの取付け高さを規定する被支持部と、支持部に対するロードポート装置の相対高さを変更可能な高さ変更手段と、を有し、高さ変更手段により被支持部が支持部より高くなる位置に相対高さを設定し、ロードポート装置を取付け面に対して接近させ、高さ変更手段により相対高さを小さくすることで被支持部を支持部に当接させ、ロードポート装置を取付け面に固定する、工程を有することを特徴とする。
【０００９】
なお、上述した取付け方法にあっては、ロードポート装置は取付け面に固定を為すための固定部を有し、固定部を固定可能な懸架固定部を有する懸架体と、ロードポート装置の被支持部に対して下方から当接してロードポート装置を上方に支持可能な懸架支持部と、懸架体及び懸架支持部を支持する支持体と、支持体に配置されて支持体を床面に平行に支持し且つ支持体に対して床面に垂直な方向に相対移動可能な脚部と、支持体に配置されて支持体を床面に平行に移動可能に支持し、且つ支持体に対して床面に垂直な方向に相対移動可能なキャスター部と、を有する運搬架台を用い、懸架支持部の上方にロードポート装置の被支持部を位置させ、脚部により支持体を床面に対して持ち上げることにより懸架支持部を被支持部に接触させて懸架支持部による被支持部の支持を行わせ、キャスター部が床面に接触することにより支持枠体を支持し、脚部による支持枠体の支持を解除し、ロードポート装置を運搬架台により移動させ、ロードポート装置の取付け面への接近を行う取付け方法であって、被支持部を支持部より高い位置とする設定は、ロードポート装置の取付け面への接近を行う前に行われることが好ましい。
【００１０】
また、上記方法において、高さ変更手段は、取付け面から等しい距離に配置されて相対高さを変更可能な一対の第一の支持ユニットと、第一の支持ユニットとは異なる位置に配置されて第一の支持ユニットとは独立して相対高さを変更可能な第二の支持ユニットと、を有し、相対高さの変更は第一の支持ユニット及び第二の支持ユニットを各々別個に変更して行うことが好ましい。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る運搬架台は、被処理物を挿脱するための開口を有し被処理物を収容するポッドの蓋を開閉して、ポッド内に対して開口を介した被処理物の挿脱の実施を可能とし、且つ被処理物に所定の処理を施す半導体処理装置の取付け面に取り付けられるロードポート装置、を支持し且つ運搬する運搬架台であって、取付け面に固定されるロードポート装置のベース部材を固定可能な懸架体と、ロードポート装置の被支持部に対して下方から当接してロードポート装置を上方に支持可能な支持部と、懸架体及び支持部を支持する支持枠体であって、床面に対して平行な面内に配置されるコの字形状を有する支持枠体と、支持枠体に配置されて支持枠体を床面に平行に支持し且つ支持枠体に対して床面に垂直な方向に相対移動可能な脚部と、支持枠体に配置されて支持枠体を床面に平行に移動可能に支持し、且つ支持枠体に対して床面に垂直な方向に相対移動可能なキャスター部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、より大型化した半導体処理装置に対応して重量が大幅に増加したロードポート装置であっても、容易且つ正確に半導体処理装置に対して取り付けることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置を側面から見た状態の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示すロードポート装置を載置台側から見た状態と、該ロードポート装置が取付けられる取付け面との位置関係とを模式的に示す図である。
【図３】図１に示すロードポート装置にあって、特徴部分を図１と同様の様式で拡大してこれを示す図である。
【図４】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の下部での固定様式を、図２と同様の様式にて拡大して模式的に示す図である。
【図５】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図６】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図７】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図８Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ａに示す工程について、固定側支持部を拡大して示す図である。
【図９Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定する際の一工程を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ａに示す状態において、後方車輪が配置される位置から固定支持部を見た状態を模式的に示す図である。
【図１０Ａ】図１に示すロードポート装置を取付け面に固定した後の状態を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ａに示す状態において、前方車輪が配置される位置から固定支持部を見た状態を模式的に示す図である。
【図１１Ａ】本発明の一実施形態に係るロードポート装置用の運搬架台を側方から見た状態での概略構成を模式的に示す図である。
【図１１Ｂ】図１１に示す運搬架台を同図中の矢印１１Ｂ方向から見た状態での概略構成を示す図である。
【図１１Ｃ】図１１に示す運搬架台を同図中の矢印１１Ｃ方向から見た状態での概略構成を示す図である。
【図１２Ａ】図１１Ａに示す運搬架台に対してロードポート装置１００を載置する際の手順における一段階を模式的に示す図である。
【図１２Ｂ】図１１Ａに示す運搬架台に対してロードポート装置１００を載置する際の手順における一段階を模式的に示す図である。
【図１２Ｃ】図１１Ａに示す運搬架台に対してロードポート装置１００を載置する際の手順における一段階を模式的に示す図である。
【図１２Ｄ】図１１Ａに示す運搬架台に対してロードポート装置１００を載置する際の手順における一段階を模式的に示す図である。
【図１３Ａ】運搬架台１からロードポート装置１００を降ろす手順における当初段階を図１１Ａと同様の様式にて模式的に示す図である。
【図１３Ｂ】図１３Ａに示す運搬架台１及びロードポート装置１００が分離された状態を示す図である。
【図１４Ａ】図１３Ａに示す構成について、ロードポート装置１００の積み降ろしに関連する構成を拡大して示す図である。
【図１４Ｂ】図１４Ａに示す構成について、図１１Ｂと同様の様式にて且つ主要構成を拡大して示す図である。
【図１５Ａ】図１４Ａに示した段階に続くロードポート装置１００の分離手順を示す図である。
【図１５Ｂ】図１５Ａに示す状態を図１４Ｂと同様の様式にて示す図である。
【図１６】ロードポート装置１００の分離手順に関して、図１５Ａの次の段階を示す図である。
【図１７Ａ】ロードポート装置１００の分離手順に関して、図１６の次の段階を示す図である。
【図１７Ｂ】図１７Ａに示す状態を図１４Ｂと同様の様式にて示す図である。
【図１８】他の態様に係る運搬架台１からロードポート装置１００を降ろす更なる手順について、当初段階を図１１Ａと同様の様式にて模式的に示す図である。
【図１９】図１８に示す構成におけるロードポート装置１００の分離手順に関して、図１８の次の段階について主要部構成を拡大して示す図である。
【図２０】ロードポート装置１００の分離手順に関して、図１９の次の段階を示す図である。
【図２１】図２０の次の段階について、該運搬架台１とロードポート装置１００とをロードポート装置１００側から見た状態を示す図である。
【図２２】ロードポート装置１００の分離手順に関して、図２１の次の段階を示す図である。
【図２３】図１８に示したロードポート装置１００を運搬架台１から分離可能と空いた状態を図１８と同様の様式にて示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施形態について詳述するに際し、本発明に係る方法を行う際に好適に用いられるロードポート装置について以下に図面を参照して説明する。該ロードポート装置１００を側方から見た状態を図１に示す。なお、同図中には、該ロードポート装置１００が取付けられる半導体処理装置側の取付け面５０も同時に図示している。取付け面５０にはロードポート装置１００を支持する固定側支持部５１、該固定側支持部に設けられた位置調整手段５３、及び固定側固定部５５が設置されている。固定側支持部５１は、取付け面５０の下端両隅に各々一個配置されて当該ロードポート装置１００を主として支持する。また、位置調整手段５３は例えば公知のボルトナット等から成り、後述する接続プレート１１１を介してロードポート装置１００の取付け面５０に対する取付け位置の調整を可能としている。固定側固定部５５は固定側支持部５１の配置に対応して各々の上方において水平方向で一対となるように配置され、ロードポート装置１００の高さ方向の中央近傍に一対、及び上端に一対配置される。これら固定側固定部５５により、取付け面５０に対するロードポート装置１１１の固定が為される。
【００１５】
図に示すロードポート装置１００は、接続プレート１１１、メインベース１１３、載置台１１５、ドア１１７、開口部カバー部材１２１、ロードポート移動機構１５０及び不図示のドア駆動機構を有する。接続プレート１１１は前述した固定側固定部５５及び固定側支持部５１各々に対応して配置され、これらの水平方向の対に対面するように取付け面５０に対して平行且つ各々も平行に延在するように配置される板状の部材より構成される。本発明に係るロードポート装置は、ウエハが挿脱される開口を有して該ウエハが収容されるポッド（不図示）に対し、その蓋を開閉して該開口を介してポッドへのウエハの挿脱の実施を可能とする。なお、ウエハは本発明における被処理物に対応する。載置台１１５上にはこのポッドが載置される。また、ドア１１７は、載置台１１５上に載置されたポッドの蓋を保持可能であって、動作時においては取付け面５０に対して半導体処理装置の内部側から後述する第一の開口部１２３の開閉を行う。
【００１６】
メインベース１１３は一対として用いられ、各々が個々の接続プレート１１１に対して接続されており、接続プレート１１１を介して取り付け面５０に対して垂直に並立するように配置される。また、メインベース１１３は、載置台１１５の下方に配置されて、該載置台１１５及び該載置台１１５に付随してこれに載置されたポッドを駆動する不図示のポッド駆動機構を支持する。また、本形態において、メインベース１１３は、不図示のドア駆動機構を介してドア１１７を支持する。開口部カバー部材１２１は、取付け面５０に設けられた半導体処理装置側の取付け面側開口部５７を閉鎖して、外部空間から半導体処理装置内にいたる経路を、ドア１１７により開閉可能な第一の開口部１２３に制限している。当該開口部カバー１２１も、メインベース１１３に対して固定されている。
【００１７】
ロードポート装置１００の下端に配置される接続プレート１１１について、当該接続プレート１１１が固定側支持部材５１に支持された状態を図４に拡大して示す。該接続プレート１１１には、固定側支持部５１と当接可能なローラ状の被支持部材１１２ａが配置され、当該被支持部材１１２ａが固定側支持部５１により支持されることでロードポート装置１００自体の支持が為される。また、当該接続プレート１１１には、その両端に配置される被支持部材１１２ａの内側に締結固定手段１１２ｂが配置され、取付け面５０側に配置される締結部５９に対して当該締結手段１１２ｂが固定される。これら締結部５９及び締結手段１１２ｂによって、取付け面５０の下端に対するロードポート装置１００の固定が行われる。これらロードポート装置１００側の被支持部材１１２ａ等と取付け面５０側の締結部５９等との対応関係を参考のために、図２中において矢印にて示す。
【００１８】
次に本発明において高さ変更手段として機能するロードポート移動機構１５０について詳述する。図３は図１に示したロードポート装置１００におけるロードポート移動機構１５０を拡大して示している。ロードポート移動機構１５０は、取付け面５０側に配置される第一の支持ユニット１６０と、該第一の支持ユニット１６０よりも取付け面５０よりも離れて配置される第二の支持ユニット１８０とを有する。ここで、第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０は、共に向かい合って配置される一対のメインベース１１３各々の外側面下端に１つずつ配置される。第一の支持ユニット１６０は、被支持部材１１２ａとの相対高さが変更、変化可能となっている。第一の支持ユニット１６０は、前方車輪１６１、前方車輪支持部１６３、前方車輪調整ボルト１６５、支持部固定ボルト１６６、支持スライダ１６７、及び支持スライダ固定治具１６９を有する。ロードポート装置１００が取付け面５０に取付けられる際に、一対の前方車輪１６１は共に取付け面５０から等しい距離に位置するように配されている。即ち、第一の支持ユニット１６０は取付け面５０から等しい距離に一対配置される。
【００１９】
メインベース１１３は下端より上方向に延在するガイド溝１１３ａを有し、支持スライダ１６７が該ガイド溝１１３ａに対して上下方向にスライド可能に収容される。スライダ固定治具１６９は、例えばボルト等から構成される。支持スライダ１６７に設けられた上下方向に延在する長孔１６７ａを介して、メインベース１１３のガイド溝１１３ａ内に設けられたネジ孔１６９ａと該スライダ固定治具（本形態ではボルト）１６９との締結等より、支持スライダ１６７とメインベース１１３との位置関係を調整し且つ固定する。前方車輪１６１は、前方車輪支持部１６３によって動作可能に支持される。該前方車輪支持部１６３は支持スライダ１６７により支持されており、前方車輪調整ボルト１６５によって支持スライダ１６７との位置関係、特にガイド溝１１３ａの延在方向に関して位置関係の調整が可能とされており、支持固定ボルト１６６と支持スライダ１６７に設けられたネジ孔との締結により支持スライダ１６７に対して固定される。
【００２０】
第二の支持ユニット１８０は、第一の支持ユニット１６０とは異なる位置に独立して配置され、後方車輪１８１、後方車輪支持部１８３、後方車輪調整ボルト１８５、及び支持固定ボルト１８７を有する。後方車輪１８１は、後方車輪支持部１８３によって動作可能に支持される。該後方車輪支持部１８３はメインベース１１３により支持されており、後方車輪調整ボルト１８５によってメインベース１１３との位置関係、特にメインベース１１３のガイド溝１１３ｂの延在方向に関して位置関係の調整が可能とされている。支持部固定ボルト１８７は後方車輪支持部１８３に設けられた上下方向に延在する長孔１８７ａを介してメインベース１１３のガイド溝１１３ａ内に設けられたネジ孔と締結する。なお、後方車輪１８１の配置は、取付け面５０にロードポート装置１００を取付ける際に、前述した前方車輪１６１に対して取り付け面５０よりも遠い位置とされる。第一の支持ユニット１６０における前方車輪１６１の位置調整範囲は、位置調整可能な支持スライダ１６７を介してメインベース１１３による支持を為す態様とすることにより、第二の支持ユニット１８０における後方車輪１８１の位置調整範囲よりも大きく設定されている。
【００２１】
なお、これら支持ユニット１６０、１８０における車輪の位置調整機構は、公知の所謂ボルトナット、及び長孔を組み合わせることにより構成している。しかし、上述した調整範囲の相違を確保し且つ取付け面５０に対してロードポート装置１００の的確な位置決めが可能であれば、その他の種々の構成からなる位置決め機構を用いることが可能である。また、ロードポート装置１００が搬送される床１０との位置関係を調整し、且つその調整範囲が床との距離において上述の条件を満たせば、各々の車輪調整ボルト１６５、１８５及び支持スライダ１６７による個々の車輪１６１、１８１の調整方向は上述したガイド溝１１３ａの延在方向に限定されない。
【００２２】
次に、本発明の第一の実施形態である、当該ロードポート装置１００の実際の取付け面５０への取付け方法について説明する。図５、８Ａ、９Ａ及び１０Ａは、図１と同様の様式にて、取付け前の段階での取付け面５０及びロードポート装置１００を夫々示している。取付け前の段階では、前方車輪１６１及び後方車輪１８１が回転可能に床１０に当接しており、ロードポート装置１００自体を移動可能としている。また、前方車輪調整ボルト１６５、支持スライダ１６７、及びスライダ固定治具１６９、及び後方車輪調整ボルト１８５により、被支持部材１１２ａが固定側支持部５１よりも高い位置に存在するようにメインベース１１３の床からの位置が調整されている。即ち、取付け高さの範囲の上端を超える位置、予め定められた所定の高さよりも高い位置に被支持部材１１２ａが配置されるように予め前方車輪１６１及び後方車輪１８１の位置をセットしておく。なお、被支持部材１１２ａは固定側支持部５１（支持部）に支持されてロードポート装置１００の取付け高さを規定している。この状態でロードポート装置１００の開口部カバー部材１２１が取付け面側開口部５７を閉鎖するように、ロードポート装置１００を取付け面５０に接近させる。この接近操作は、各接続プレート１１１は図中矢印にて示されるように、設けられた貫通孔に対応する固定側固定部５５が挿貫し、且つ対応した固定側支持部５１の真上に被支持部材１１２ａが位置するところで停止される。なお、該貫通孔は前述した取付け高さ範囲に対応する開口広さを有し、前述した両輪によりセットされたロードポート装置の高さ範囲の上端にあっても、固定側固定部材５５の挿貫が可能となるように構成される。この、接近の際の固定側支持部５１と被支持部材１１２ａとの位置関係の変化について、図５において円にて囲った領域を拡大して時系列的に図６及び図７に示す。
【００２３】
開口部カバー部材１２１と取付け面５０との間隔が所定の距離以下となった図７に示す状態となった段階で、ロードポート装置１００の移動を停止する。次いで、図８Ａに示すように、前方車輪調整ボルト１６５及び後方車輪調整ボルト１８５を調整して、メインベース１１３を床１０方向に降下させる。即ち、前方車輪１６１及び後方車輪１８１各々のロードポート装置１００本体に対する配置を、個別相対的に移動させる。即ち高さ変更手段を操作して前記被支持部材の相対高さを下げる操作を行う。なお、各々の車輪の相対移動は個別に行われることが好ましいが、例えば独立したロードポート装置１００用のリフト機構等を用いて同時に行うこととしても良い。この操作により、被支持部材１１２ａが固定側支持部５１に当接し、メインベース１１３の降下が停止される。この当接状態を、図６或いは７と同様の様式にて図８Ｂに示す。続いて、固定側固定部５５に対する接続プレート１１１の仮固定、及び締結部５９に対する締結手段１１２ｂの仮固定を行う。その際、一対の前方車輪１６１は両者共に床１０に接しており、当該前方車輪１６１によってもメインベース１１３は床１０より支持されている（図９Ａ及び９Ｂ参照）。なお、図９Ｂ及び後述する図１０Ｂは、後方車輪１８１が配置される位置から前方車輪１６１或いは固定側支持部５１を見た状態を模式的に示す図である。
【００２４】
仮固定によりロードポート装置１００の取付け面５０からの離間が防止できた後、第一の支持ユニット１６０によるメインベース１１３の支持を停止する。即ち、支持スライダ１６７及びスライダ固定治具１６９を用いて前方車輪１６１を大きく上昇させ、該先方車輪１６１が床１０と設置する余地を無くす。この状態を図１０Ｂ及び１０Ｂに示す。また、後方車輪１８１も後方車輪調整ボルト１８５の操作によって床１０より離間させても良い。次いで、位置調整機構５３を調整することにより取付け面５０に対するメインベース１１３、載置台１１５等の配置の微調整を行う。また、仮固定していた接続プレート１１１等の固定具合を調節して、取付け面５０に対するメインベース１１３、開口部カバー１２１等の傾き等の微調整を行い、その上でロードポート装置１００を取付け面５０へ正式に固定する。以上の操作を行うことにより、ロードポート装置１００を持ち上げる等を為す負荷の大きな作業を行うことがなくとも、重量の大きなロードポート装置１００を取付け面５０に対して容易且つ好適に固定することが可能となる。
【００２５】
また、本発明の如く、前方車輪１６１を単独にて昇降可能としていることから、後方車輪１８１にて部分的にロードポート装置１００の重量を担わせた状態で取付け面５０への接続プレート１１１の位置調整を行うことが容易である。このことから、ロードポート装置１００の取付け姿勢の調整が容易となる。更に、前方車輪１６１と後方車輪１８１とを独立して昇降可能であることから、何れか一方を床１０から僅かに離す等によって取付け面５０に対するロードポート装置１００の傾きも調整可能である。従って、例えば取付け面５０側に傾けて取付け操作を行うことによってより安全に取付け操作を行うことも可能となる。また、前方車輪１６１の床１０からの離間操作を、微少量の昇降を行う前方車輪調整ボルト１６５及び支持部固定ボルト１６６と、相対的に長い長さの昇降を行う支持スライダ１６７及びスライダ固定治具１６９と、により行う態様としている。これにより、メインベース１１３と床１０との微小な位置調整と、前方車輪１６１の床１０との当接可能性のない位置への迅速な移動と、の両立が可能となる。
【００２６】
なお、ロードポート装置１００の固定後、第二の支持ユニット１８０は後方車輪１８１を降下させて床１０と当接させておくことが好ましい。例えば、何らかの原因によって中段及び上段の接続プレート１１１の固定が解除された場合であっても、当該後方車輪１８１が設置していることにより、ロードポート装置１００が取付け面５０から離れて倒れることを防止することが出来る。この場合、この倒れ防止効果を好適に得るために、図示の如く後方車輪支持部１８３をＬ字型の構造とし、メインベース１１３の接続プレート１１１との連結側端面とは逆の端面より、後方車輪１８１がその外方に突き出すように配置されることが好ましい。また、本実施形態では第二の支持ユニットを一対配置する構成を例示しているが、これを単体として用いても良い。この場合、当該後方車輪１８１は一対のメインベース１１３が向かい合う中間点に配置される等、前方車輪１６１と協同してロードポート装置１００を安定的に支持できる位置に配置されれば良い。
【００２７】
また、例示したロードポート装置１００では、接続プレート１１１の取付け面５０への固定は、所謂ボルト-ナット様式により固定することとしている。しかし、本発明は当該様式に限定されるものではなく、より好適には位置調整が可能な公知の種々の締結、固定構造を用いることが可能である。また、該ロードポート装置１００は、接続プレート１１１を介して位置決めされた各々板状の一対のメインベース１１３によって載置台１１５、ドア１１７等が支持される構造とすることによって、軽量化が図られた構造を例示している。しかし、従来から公知の、取付け面５０に対して平行に配置される板状態をベースプレートとし、種々の構成を当該ベースプレートによって支持する態様からなるロードポート装置を用いることも可能である。この場合、ベースプレートより当該ロードポート装置１００におけるメインベース１１３に対応する構造体を付加し、該構造体に対して第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０を配置すれば良い。
【００２８】
従って、第一の支持ユニット１６０及び第二の支持ユニット１８０が取付けられる部材は、本形態における接続プレート１１１及びメインベース１１３を含む構造体として、即ち取付け面５０に直接的に取付けられ且つこれら支持ユニットにより支持されるベース部材として総称される。該ロードポート装置１００に例示される構成の場合は、取付け面５０に固定可能であって取付け面５０に平行に延在する接続プレート１１１と、接続プレート１１１に連結されて接続プレート１１１の取付け面５０への固定時に取付け面５０より突出するように配置される板状体からなるメインベース１１３と、からベース部材が構成されると言える。なお、本形態の如くメインベース１１３に対してこれら支持ユニット１６０、１８０を直接配する構成とすることにより、各々の車輪１６１、１８１がロードポート装置１００より荷重を受ける際の剛性を確保することを可能としている。
【００２９】
次に、本発明に係るロードポート装置１００の取り付け方法を実行するに際して好適に用いられる、本発明の一実施形態であるロードポート装置の運搬架台１の一態様について説明する。図１１Ａは該運搬架台１を側方から見た状態での概略構成を示し、図１１Ｂは同図における矢印１１Ｂ方向から運搬架台１１を見た状態の概略構成を示し、図１１Ｃは図１１Ａにおける矢印１１Ｃ方向から運搬架台１を見た場合の概略構成を各々示している。なお、これら図中においては、前述したロードポート装置１００が該運搬架台１に支持された状態を二点鎖線にて示している。また、前述したロードポート装置１００において説明された構成であって、本運搬架台１においても例示される構成に関して同じ参照番号によりこれを示し、詳細な説明については以下の説明において省略することとする。
【００３０】
該運搬架台１は、支持枠体１１、懸架枠体１３、脚部１５、及びキャスター部１７を主たる構成として有する。支持枠体１１は平行に配置された一対の平行部１１ａと各々の平行部１１ａの一方の端部を接続する一対の接続部１１ｂとから構成されるコの字状の部材からなり、床面１０に対して該コの字を含む平面が略平行となるように配置される。懸架枠体１３も同様にコの字状の部材からなり、該コの字の開放部の２端が支持枠体１１において平行に延在する平行部１１ａにより支持される。即ち、懸架枠体１３は、床面１０に対して略平行に配置される支持枠体１１の平行部１１ａ上において、該支持枠体１１より垂直に起立するように支持、固定される。脚部１５は、支持枠体１１の平行部１１ａ各々の両端部に配置され、脚部底面１５ａが床面１０と当接して支持枠体１１を床面１０から所定の高さに支持する。脚部１５は例えば所謂ボルト-ナット様式で平行部１１ａに対して取付けられており、支持枠体１１に対して脚部底面１５ａが相対的にその距離を変化させることが可能となっている。キャスター部１７は車輪部１７ａが床面１０と接触可能であり、該車輪部１７ａを駆動可能に保持する車輪保持部１７ｂにより支持枠体１１に取付けられる。本形態では、キャスター部１７は脚部１５に対応して各々の近傍、本形態では脚部１５の内側に配置されており、脚部１５と同様に車輪部１７ａと支持枠体１１との距離を相対的に変化させることが可能となっている。車輪保持部１７ｂに設けられている長孔に沿ってキャスター部１７は昇降可能であり、該長孔内に配置されるボルトと平行部１１ａに設けられるネジ孔とが締結してキャスター部１７が支持枠体１１に対して固定される。なお、本実施形態では、脚部１５は支持枠体１１に配置されて該支持枠体１１を床面１０と平行に支持し且つ該床面１０に垂直な方向に対して該支持枠体１１を相対的に移動可能としているが、支持方向及び移動方向は前述した所定高さの維持及び高さの変更が可能であれば当該方向に限定されない。また、該床面１０に対して支持枠体１１を平行に移動可能なキャスター部１７についても支持方向及び移動方向に関して同様である。
【００３１】
懸架枠体１３は、脚部１５及びキャスター部１７による支持枠体１１の支持位置よりも支持枠体１１の重心側であって、ロードポート装置１００が懸架された状態において懸架枠体１３とロードポート装置１００とを加えた構造物の重心が支持枠体１１の重心位置と一致するように配置されている。また、懸架枠体１３のロードポート装置１００を取付ける懸架面１３ａには、前述した取付け面５０と同様の構成である、ロードポート装置１００を支持する懸架枠固定側支持部１５１、該懸架枠固定側支持部に設けられた懸架枠位置調整手段１５３、懸架枠固定側固定部１５５、及び懸架枠締結部１５９が設置されている。実際にロードポート装置１００を保持し、運搬する際には、これら構成を用いて半導体処理装置の取付け面１０に対してロードポート装置１００を取付ける際と同様の様式にて該ロードポート装置１００を懸架面１３ａに対して固定する。
【００３２】
次に、該運搬架台１に対してロードポート装置１００を支持させる際の手順について説明する。図１２Ａ〜１２Ｄは運搬架台１に対するロードポート装置１００の取付け手順を順次示すものであって、各々図１１Ａと同様の態様にて各段階での状態を各々示し、図１２Ａ〜１２Ｃは床面１０近傍のみを、図１２Ｄは全体像を各々示している。まず、キャスター部１７によって床面１０から所定の高さに維持されている支持枠体１１のコの字の内側に、ロードポート装置１００を侵入させ、被支持部材１１２ａが懸架枠固定側支持部１５１の直上となるように配置させてロードポート装置１００を停止させる。その際、ロードポート装置１００における被支持部材１１２ａの床面１０からの高さが、取付け面５０における固定側支持部５１の床面からの高さよりも所定の基準範囲以上高くなるように予め調整しておく。また、運搬架台１に関しては図１２Ａに矢印にて示すように、キャスター部１７の車輪部１７ａを支持枠体１１に最も近づけた状態、即ち支持枠体１１が床面１０に対して最も近づいた状態となるように予め調整しておく。同時に、脚部１５も脚部底面１５ａが床面１０より離れた状態としておく。
【００３３】
ロードポート装置１００の所定位置での停止後、ロードポート装置１００に関しては接続プレート１１１を懸架枠固定側固定部１５５に対して懸架面１３ａに対して移動可能なレベルで仮止めする。次に、図１２Ｂ示すように脚部１５を支持枠体１１から離すように動かして脚部底面１５ａを床面１０に接触させ更に当該動作を継続して車輪部１７ａを床面１０から浮かせる或いは持ち上げる。当該動作に伴って懸架枠側固定支持部１５１が被支持部材１１２ａと当接し、更に該被支持部材１１２ａを介してロードポート装置１００自体も床面１０より離される。このロードポート装置１００は仮固定されているため、ロードポート装置１００は後方車輪１８１側に倒れることなく、上方に持ち上げられる。即ち、ロードポート装置１００の前方車輪１６１及び後方車輪１８１が床面１０から離れた状態が得られる。この状態で脚部１５の調整を停止し、続いて図１２Ｃに示すようにキャスター部１７の車輪部１７ａを支持枠体１１から離す方向への位置調整を行う。当該調整は、車輪部１７ａの全てが床面１０に接触した段階で停止される。また、キャスター部１７も、支持部１１を支持する状態となる。
【００３４】
この状態より図１２Ｄに示すように脚部１５を上昇させ、床面１０から離す。以上の操作を経ることにより、ロードポート装置１００を支持した運搬架台１がキャスター部１７により床面１０上を移動可能な状態となる。この状態より運搬架台１を移動させることによって、ロードポート装置１００を容易に移動させることが可能となる。また、予めロードポート装置１００における被支持部材１１２ａの床面１０に対する高さを設定し、この設定状態を維持したまま半導体製造装置の取付け面５０近傍まで搬送することが可能となる。従って、被支持部材１１２ａが取付け面５０の固定側支持部５１により相対的に高い姿勢でロードポート装置１００が導入されることとなり、取付け面５０の近傍にロードポート装置１００を持ち上げるための構成が不要となるという効果が得られる。従って、ロードポート装置１００を下降させる動作のみで、これを取付け面５０に取付けることが出来る。或いは、本実施形態において例示したロードポート装置１００の場合には、ロードポート移動機構１５０に求められる高さ調整範囲を運搬架台１にある程度担わせることが可能となり、ロードポート装置１００の構成の簡略化を進めることが可能となるという効果も得られる。なお、上記の手順ではロードポート装置１００における前方車輪１６１及び後方車輪１８１と被支持部材１１２ａとの相対高さは、運搬架台１に対してこれを載置する前に予め設定していることとしている。しかし、例えば図１２Ｂ或いは図１２Ｃに示した段階においてこの高さ設定を行うこととしても良い。当該段階にて高さ設定を行うことにより、高さ設定のための機構を配する必要が無くなり、取付け操作をより容易に行うことが可能となる。
【００３５】
なお、上述した実施形態では支持枠体１１及び懸架枠体１３をコの字状の形状からなることとしているが、ロードポートの支持手順で述べた操作が可能であればこれら構成の形状は該コの字状に限定されない。また、本実施形態では脚部１５及びキャスター部１７を支持枠体１１における向かい合った平行部１１ａの外側であって、各々コの字状の四隅に配することとし、且つ脚部１５が隅側に配置されることとしている。当該構成とすることにより構造上ある程度の高さを有した運搬架台１を安定した状態で移動させることが可能となる。しかし、支持枠体１１の相対的上下動及び移動時の安定性が担保できれば、これらの配置或いは個数は当該形態に限定されない。また、脚部１５及びキャスター部１７の支持枠体１１に対する相対高さの変更を為す構成は、例示した所謂ボルト-ナット様式に限定されず、スライダ、アクチュエータ、等種々の公知の位置調整用の機構を用いることが可能である。
【００３６】
次に、運搬架台１からロードポート装置１００を降ろす手順について説明する。なお、当該手順の説明に際して、前述した運搬架台１とは異なる形態のものを例示してこれを用いる。また、前述した運搬架台1の構成と同様の構成或いは同様の作用、機能等を呈する構成に関しては同じ参照番号を用いてこれを示し、ここでの説明は省略する。本運搬架台１は、前述した実施例の如く懸架枠体１３が単なる枠形状からなるのではなく、2つの枠体を連結して立体的な構造体としている。また、懸架枠体１３側に配置されるキャスター部１７は脚部１５よりも外側、より詳細には懸架枠体１３よりも外方に突き出した位置に配置されている。強度を増すために懸架枠体１３を立体的とすること、当該配置にキャスター部１７を設けることとにより、懸架枠体１３が高さを有する構造体であるにもかかわらず、床面１０に対する安定した移動を得ることが可能となる。
【００３７】
図１３Ａは、図１１Ａと略同様の様式にて運搬架台１に対してロードポート装置１００が支持された状態を示している。また、図１３Ｂは、図１３Ａに示した運搬架台１よりロードポート装置１００が降ろされた状態を示している。以下、図１２Ａ等と同様の様式にてロードポート装置１００を降ろす際のこれら構成の各段階の動作を図によって示し、実際の操作について詳述する。図１４Ａは、図１３Ａに示された状態について、キャスター部１７、脚部１５等の構成を拡大して示している。また、図１４Ｂは、これら構成を図１１Ｂと同様の様式であって且つこれらを拡大して示している。更に、図１５Ａは図１４Ａの次の段階であり、図１５Ｂはその段階での図１４Ｂに対応する図であり、図１６は更に次の段階を、図１７Ａは図１３Ｂの如く運搬架台1よりロードポート装置１００が降ろされて分離可能となった状態を各々示している。
【００３８】
ロードポート装置１を降ろすに際して、まず図１４Ａに示すように、運搬架台１の前方及び後方の車輪部１７ａを各々上昇可能な状態となるように、該車輪部１７ａの指示枠体１１に対する固定を解除する。同時に、ロードポート装置１００を運搬架台１に対して固定するための締結手段１１２ｂ、懸架枠固定側固定部１５５等の各部材を緩めておく。なお、この段階でロードポート装置１００が運搬架台１から落下等によって急な分離を起こさないように、これら固定用の手段は緩める範囲に留めておく。車輪部１７ａは床面から適当な距離に離間可能な状態とするが、この段階では任意の位置での固定は行わない。
【００３９】
続いて図１５Ａ或いは図１５Ｂに示すように、脚部１５を操作して支持枠体１１を現状位置から降下させ、床１０に対して接近させる。この脚部１５の操作は、ロードポート装置１００における前方車輪１６１及び後方車輪１８１が床１０に当接するまで行われる。その際、固定されていない車輪部１７ａは支持枠体１１の降下に拘らず床１０との当接状態を維持し、支持枠体１１に対して相対的に上昇することとなる。前方車輪１６１及び後方車輪１８１が完全に接地し、ロードポート装置１００が安定して床１０によって支持された状態となった後、ロードポート装置１００を運搬架台１に固定していた各種固定手段を完全に開放した状態とする。これにより、ロードポート装置１００は運搬架台１によって支持される部分が大幅に減少する。但し、この状態では運搬架台１は脚部１５によって支持されており床１０に対する移動が出来ず、実質的には分離できない状態にある。
【００４０】
次に、図１６に示すように、車輪部１７ａを更に上昇させ、上方端にて固定する。この状態で、更に脚部１５の操作を改めて始め、支持枠体１１を更に降下させて床１０に接近させる。脚部１５の操作は、図１７Ａ及び図１７Ｂに示すように車輪部１７ａが再度床１０に当接し、脚部１５自身が床１０から十分な距離だけ隔離するまで行われる。当該操作によって床１０に支持されるロードポート装置１００よりも更に下方に支持枠体１１が降下し、接続プレート１１１に付随する部材と固定側支持部５１に付随する部材との間が図１７Ｂに示すように十分な隙間有する状態となる。この操作によってロードポート装置１００と運搬架台１とを完全に分離し、各々別個に移動させることが可能となる。図１３Ｂは、この状態を経た後にロードポート装置１００と運搬架台１とを分離させた状態を模式的に示している。
【００４１】
なお、以上に述べた操作では、ロードポート装置１００自体には何等操作を加えず、運搬架台１側のみの操作によってロードポート装置１００を降ろす場合について述べた。当該構成では、運搬架台１に対して確実且つ安定してロードポート装置１００の所謂積み降ろしを行うことが可能である。しかし、例えば図１６に示す状態を得る際に、運搬架台１の移動を安全且つ静粛に行うために、車輪部１７ａを確実に動作範囲の上端に固定することが求められる。しかし、実際に当該操作が行われる所謂クリーンルーム等の空間は狭く、この操作に手間取る場合も考えられる。以下の実施形態は、このような場合を考慮したものである。
【００４２】
本形態では、前方側の車輪部１７ａが固定されており、支持枠体１１に対する相対的な上下位置が変化できない構成を例示している。図１８は本実施形態において支持枠体１上にロードポート装置１００が載置された状態であって、図１３Ａ或いは図１４Ａに示す状態に対応した状態を示している。なお、本形態においても、前述した構成の各要素と同様のものについて同じ参照番号を用いてこれらを示すこととし、ここでの詳述は省略する。なお、図２３はロードポート装置１００が運搬架台１から分離可能となった状態を図１８と同じ様式にて示すものである、図１９、２０、２２はロードポート装置１００を降ろす手順について主要部構成を拡大して段階的に示し、図２１は図２０から図２２に至る途中で為される操作について、該運搬架台１とロードポート装置１００とをロードポート装置１００側から見た状態を各々示している。
【００４３】
本形態では、まず図１９に示すように、予め後方車輪１８１を予め上方の所定位置に固定する。この状態で後方の車輪部１７ａのみの固定を緩めて上下方向への移動を可能とし、更に図２０に示すように前方及び後方の脚部１５を操作して前方車輪１６１を床１０と接地させる。同時に後方車輪１８１を下方に移動させ、床１０から所定の高さ、例えば２０ｍｍの位置にあらためて固定する。続いて、図２１に示すロードポート装置１００を運搬架台１に固定している各構成について、下部の接続プレート１１１を運搬架台１に固定している締結部５９、上部の接続プレート１１１を固定側固定部５５に固定している上部ボルト５６ａ、及び中央部の接続プレート１１１を固定側固定部５５に固定している中央部ボルト５６ｂを、この順にて外していく。
【００４４】
この操作を行うことにより、ロードポート装置１００はその自重によって後方車輪１８１側に徐々に傾き、後方車輪１８１が床１０に接地することによりこの傾きが停止する。以上の操作によって、ロードポート装置１００は床１０によって支持された状態となる。また、その際、運搬架台１側の前方の車輪部１７ａ及び後方の脚部１５は床１０によって支持され、上下動可能な後方の車輪部１７ａは床１０と当接状態にある。ここで、後方の車輪部１７ａを床１０から適当な高さに固定し、更に前方及び後方の脚部１５を操作し、支持枠体１１を降下させて床１０に接近させることにより、図２３に示すように、後方の車輪部１７ａも床１０により支持された状態となる。以上の操作によって、ロードポート装置１００及び運搬架台１が各々独立して床１０に対して移動可能となり、これらの分離が終了する。以上の構成とすることにより、比較的操作が困難となる場合の多い前方の車輪部１７ａの上下操作を行うことなく、運搬架台１とロードポート装置１００との分離が可能となる。
【００４５】
以上述べたように、本発明によれば、ロードポート装置の床面からの高さを調節可能とする機構をロードポート装置に付与し、当該機構により予め所定の取付け高さの範囲よりも高い位置に取付け用の各部材を配置し、取付け面とロードポート装置との水平方向の位置関係がある程度定まった段階でロードポート装置の高さを下げて取付け面に対して取り付ける態様としている。当該方法を用いることにより、大型化した半導体処理装置向けのロードポート装置であっても、容易且つ正確な取付けを実施することが可能となる。また、本発明に係る運搬架台を用いることにより、取付け面に対するロードポート装置の高さを容易且つ簡易な手法により予め設定し、その設定高さを維持した状態で半導体処理装置近傍までロードポート装置を搬送することが可能となる。従って、半導体処理装置近傍にロードポート装置の昇降用の機構等を配する必要が無くなり、所謂製造ラインの簡素化等も進めすことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１：運搬架台、１０：床、  １１：支持枠体、  １１ａ：平行部、  １１ｂ：接続部、１３：懸架枠体、  １３ａ：懸架面、  １５：脚部、  １５ａ：脚部底面、  １７：キャスター部、  １７ａ：車輪部、  １７ｂ：車輪部保持部、  ５０：取付け面、  ５１：固定側支持部、  ５３：位置調整手段、  ５５：固定側固定部、  ５６ａ：上部ボルト、  ５６ｂ：中央部ボルト、  ５７：取付け面側開口部、  ５９：締結部、  １００：ロードポート装置、  １１１：接続プレート、  １１２ａ：被支持部材、  １１２ｂ：締結手段、  １１３：メインベース、  １１３ａ：ガイド溝、  １１３ｂ：ネジ孔、  １１５：載置台、  １１７：ドア、  １２１：開口部カバー部材、  １２３：第一の開口部、  １５０：ロードポート移動機構、  １５１：懸架枠固定側支持部、  １５３：懸架枠位置調整部、  １５５：懸架枠固定側固定部、  １５９：懸架枠締結部、  １６０：第一の支持ユニット、  １６１：前方車輪、  １６３：前方車輪支持部、  １６３ａ：前方車輪支持部内長孔、  １６４：ネジ、  １６５：前方車輪調整ボルト、  １６６：支持部固定ボルト、  １６７：支持スライダ、  １６９：スライダ固定治具、  １８０：第二の支持ユニット、  １８１：後方車輪、  １８３：後方車輪支持部、  １８５：後方車輪調整ボルト、  １８７：支持部固定ボルト、  １８７ａ：長孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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