(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
パレットにマトリックス状に形成された複数の搭載孔に搭載された複数ワークの電気的特性を計測する電子部品計測装置であって、
前記パレットの上部に載置されるコンタクトリテーナであって複数のコンタクト孔が前記搭載孔に対面してマトリックス状に設けられたコンタクトリテーナと、
前記コンタクトリテーナの上方に昇降可能に配置されて当該コンタクトリテーナに押し付けられる電極ブロックであって、前記コンタクトリテーナの各コンタクト孔に対応する部位に電極ピンを有する電子部品計測装置において、
前記コンタクトリテーナは、前記コンタクト孔が形成されたリテーナプレートの下面に可撓性膜が取り付けられ、該可撓性膜の上面に、前記マトリックス状の各コンタクト孔の内周縁近くに対向配置した一対の接触座と、該接触座から前記可撓性膜の下方に突出し計測すべき各ワークの電極パッドの上部に夫々に配置される一対のコンタクトピンを備え、
前記電極ブロックは、前記の各接触座に対応する位置に一対の電極ピンを具備したものであり、
前記電極ブロックの各電極ピンで前記リテーナプレートの各接触座を押圧して前記接触座下方の各コンタクトピンを前記各ワークの電極パッドに押し付け各ワークの電気的特性を計測するようにしたことを特徴とする電子部品計測装置。
【請求項２】
前記コンタクトリテーナを降下させ前記パレットの上部に当接させて、前記リテーナのコンタクトピンを前記接触座に接触させることを特徴とする請求項１に記載の電子部品計測装置。
【請求項３】
前記電極ピンは、外筒に摺動自在に挿入された接触ピンを備えたポゴ電極であることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品計測装置。
【請求項４】
前記の各一対の接触座は、長軸の方向が同一の楕円形であり、各一対のコンタクトピンは前記長軸上で互いに近づく方向に偏芯して前記各接触座に設けられ、各一対の電極ピンは前記各コンタクトピンから前記楕円形の外周側に遠ざかる方向に偏芯した位置に設けられて、前記各接触座を押圧するようにしたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電子部品計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品計測装置に関し、特に水晶振動子などの超小型の電子部品の電気的特性を計測するための電子部品計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、水晶振動子を周波数調整のためにイオンビームによりエッチングを行うためのエッチング装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このエッチング装置は、パレットマトリックス上に多数の水晶振動子のワークを搭載し、下方に設けられたイオンビーム発射装置から発射されたイオンビームをワークの底部に照射することによりエッチングを行い、周波数調整を行う。この際、各ワークの電極パッドに接続した周波数計測手段により各々のワークの周波数を計測し、周波数が適正値になるとイオンビームの入射口のシャッタを閉鎖することにより、イオンビームを遮断するようにしている。このような水晶振動子やＬＳＩのような超小型電子部品の計測装置として、コンタクトピン（ポゴピン）をワークの電極に接触させることにより周波数特性などの電気的特性の計測を行う装置がある（特許文献２参照）。
【０００３】
図８は、従来のコンタクトピンによる電子部品計測装置の一例を示している。同図に示すように、パレット４０の搭載孔４０aに収容されたワークＷの電極パッド４１にコンタクトピン（ポゴピン）４２を接触させることにより計測を行うものである。ワークＷのサイズは一定ではなく、搭載孔４０aに対して小さすぎる場合は搭載孔４０a内でがたつきを生じることがあり、その場合コンタクトピン４２が電極パッド４１に正確に当たらず、接触不良により正確な測定ができない。そこで、パレット４０の上に鉄板などのプレート４４を載せ、このプレート４４の開口部にブリッジ状に設けられた押え片４４aでワークＷの上面を押さえるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＵＳ６２７３９９１号公報
【特許文献２】特開２０１０−２８１６７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献２に示すような従来の電子部品計測装置では、計測時にコンタクトピンを下動させて電極パッドに接触させる必要がある。つまり、コンタクトピンは電極パッドに接触・離脱を繰り返すことになる。ワークＷが水晶振動子のような超小型（例えば２．０×１．６ミリメータ以下、電極パッドは１ミリメータ以下）のワークＷの場合、搭載孔内で極微小でもワークＷの位置がずれると電極パッドに対して接触不良となり、測定が不正確もしくは不能になるという問題があった。
【０００６】
ワークＷのサイズは一定ではなく、仮にパレット４０の搭載孔４０aの寸法に対して僅かでも小さいと、ワークＷが搭載孔内でがたつき、位置ずれを生じやすい。このようにワークＷの位置ずれを生じると、コンタクトピン４２が電極パッド４１に正確に接触できないという現象が生じる。そこで、図８に示すように、プレート４４を使用し、ワークＷを動かないように抑えておく必要がある。このように、プレート４４を使用する方法は作業が煩雑であるばかりでなく、ワークＷの高さが小さい場合は押え片４４aがワークＷに接触しないことがあり、その場合はワークＷを確実に固定することができず、測定が不正確もしくは不能になるという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決したもので、超小型のワークを簡単かつ高精度で測定することができるきる電子部品計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、請求項１記載の電子部品計測装置は、  パレットに形成された搭載孔に搭載されたワークの電気的特性を計測する電子部品計測装置であって、前記パレットの上部に載置されるコンタクトリテーナと、前記コンタクトリテーナの上部に載置される電極ブロックと、を備え、前記コンタクトリテーナは、コンタクト孔が形成されたリテーナプレートの下面に可撓性膜が取り付けられ、該可撓性膜上面に露出する接触座から該可撓性膜下方に突出し、計測すべきワークの電極の上部に配置されるコンタクトピンを備えたものであり、電極ブロックは、ブロック体に下方に突出する電極ピンを取り付けたものであり、記電極ピンで前記接触座を押圧して前記コンタクトピンを前記ワークの電極パッドに押し付けて、ワークの電気的特性を計測するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の電子部品計測装置は、前記パレットの上部にコンタクトリテーナを載置した状態で、前記コンタクトピンは前記接触座に接触状態にあることを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の電子部品計測装置は、前記電極ピンは、外筒に摺動自在に挿入された接触ピンを備えたポゴ電極であることを特徴とする請求項１又は２記載電子部品計測装置。
【００１１】
請求項４記載の電子部品計測装置は、前記ワークは、マトリクス状の搭載孔を有するパレットに搭載され、前記コンタクト孔は前記搭載孔に対応してマトリクス状に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５記載の電子部品計測装置は、前記コンタクトピンおよび接触座は、１個のワークに対して一対設けられ、各々の前記接触座は、長軸の方向が同一である楕円形であり、前記コンタクトピンは互いに近づく方向に偏芯して前記接触座に設けられ、前記電極ピンは前記コンタクトピンから外方に遠ざかる方向に偏芯した位置で前記接触座を押圧するようにしたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の電子部品計測装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、コンタクト膜にコンタクトピンを取り付けたコンタクトリテーナをワーク上に載せ、電極ブロックの電極ピンでコンタクトピンを操作するようにしたので、超小型の電子部品でも確実にワークのコンタクトピンを電極パッドに接触させることができ、簡単かつ高精度で小型のワークの電気的特性を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の電子部品計測装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明の電子部品計測装置の縦断側面図である。
【図３】本発明の電子部品計測装置の要部を示す縦断側面図である。
【図４】計測時の電子部品計測装置の要部を示す縦断側面図である。
【図５】コンタクト膜の平面図である。
【図６】計測用電極ブロックの平面図である。
【図７】計測時のコンタクト膜およびワーク部分の平面図である。
【図８】従来の電子部品計測装置であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の電子部品計測装置を備えたエッチッグ装置の搬送ボート部分の斜視図、図２は、本発明の電子部品計測装置の縦断側面図である。
【００１６】
図１、図２において、搬送ボート１上にパレット２が取り付けられている。搬送ボート１は、多数の入射孔３が形成されたアパーチャ４と、このアパーチャ４の両側に形成された側板５とを備えている。アパーチャ４の４周には突縁６が形成され、突縁６の内側に凹部７が形成され、この凹部７に上記アパーチャ４が形成されている。突縁６上には複数の水平ガイドロール８が設けられ、側板５の両側には垂直ガイドロール１０が設けられており、エッチング装置のガイドレール９に沿って搬送されようになっている。
【００１７】
凹部７にパレット２が嵌め込まれている。パレット２には、水晶振動子などのワークＷを搭載するための角型の搭載孔１１がマトリックス状に多数形成されている。パレット１の搭載孔１１にワークＷを搭載し、搬送ボート１をエッチング装置（図示せず）に送り込み、プラズマイオンをシャッタ１２で制御してエッチング加工を施すようになっている。パレット１上には、本発明の電子部品計測装置の一部をなすコンタクトリテーナ１５が取り付けられている。
【００１８】
図３、図４は、コンタクトリテーナ１５の詳細を示す断面図、図５は、コンタクト膜の平面図である。コンタクトリテーナ１５は、搭載孔１１に対応したコンタクト孔１６がマトリクス状に形成されたリテーナプレート１７と、このトリテーナプレート１７の下面に取り付けられたコンタクト膜１８と、このコンタクト膜１８に取り付けられたコンタクトピン１９とにより構成されている。
【００１９】
コンタクト膜１８は、可撓性の合成樹脂フィルムからなり、リテーナプレート１７の下面に貼りつけられている。コンタクトピン１９は、可撓性膜１８の上面に露出する接触座２０の下面に一体に設けられており、全体が導電性金属で構成されている。図５に示すように、接触座２０は楕円形をなし、コンタクトピン１９は接触座２０の内方（対向する接触座２０に近づく方向）に偏芯して設けられている。接触座２０およびコンタクトピン１９は１つのコンタクト孔１６に対して２個設けられている。図４に示すように、リテーナプレート１７上には電極ブロック２１がセットされる。
【００２０】
図６は、電極ブロックの平面図である。図６において、電極ブロック２１は、ブロック体２６と、ブロック体２６に取り付けられた電極ピン２２とで構成されている（図１参照）。ブロック体２６は長方体状のブロックであって、２×１６個の電極ピン取付部２４が形成され、１箇所の電極ピン取付部２４には４個の差込孔２５が形成されている。４個の差込孔２５のうち、対角線上の２個の差込孔を選択し、これに電極ピン２２を差し込んで固定する。
【００２１】
図３に示すように、電極ピン２２は、ブロック体２６に取り付けられた外筒２２aと、この外筒２２aの下部に摺動自在に挿入された接触子２２ｂとで構成され、接触子２２ｂは外筒２２aに収容されたばね２３により支持されている。電極ピン２２は、例えばポゴ電極が用いられる。
【００２２】
次に、電子部品の計測操作を説明する。
搬送ボート１をエッチング装置の外方に引き出した状態で、パレット１の搭載孔１１にエッチング加工する水晶振動子等のワークＷをセットする（図３参照）。そして、コンタクトリテーナ１５をパレット４の上面に載置する。これにより、可撓性膜１８のコンタクトピン１９の先端は、ワークＷの対角線上の角部に設けられた電極パッド３０に軽く接触する。
この状態で、図４に示すように電極ブロック２１をコンタクトリテーナ１５のリテーナプレート１７上に載せ、電極ピン２２でコンタクトピン１９の接触座２０を押圧する。これにより、電極可撓性膜１８が下方に僅かに湾曲してコンタクトピン１９がワークＷの電極パッド３０に強く接触し、確実な電気的導通がされる状態となる。この状態で、搬送ボート１をエッチング装置（図示せず）に送り込み、エッチング加工を施す。電極ピン２２は導線を介して測定計器（図示せず）に接続されており、エッチング加工中に各ワークＷの周波数特性その他の電気的特性を計測する。そして、シャッタ１２の開閉操作により、最適の電気的特性を得られるまでエッチングを施す。
【００２３】
上述のように、コンタクトリテーナ１５に設けたコンタクト膜１８に設けたコンタクトピン１９をワークＷの電極パッド３０に接触させるようにしたことにより、コンタクト膜１８の弾性力でコンタクトピン１９をワークＷに常時接触させ、ワークＷを抑えた状態で計測することができ、従来のようにプレートでワークＷを固定する必要がなくなる。
【００２４】
図７に示すように、接触座２０を偏芯した形状、すなわち、電極ピン２２をコンタクトピン１９より接触座２０の外方（対向する接触座２０から遠くなる方向）に偏芯した位置に設けることにより、どんなサイズのワーク（例えば、寸法が２．０×１．６ミリメータ以下の超小型ワーク）でも電極ピン２２の位置および接触座２０の位置およびサイズを変えることなく、共通してコンタクトリテーナ１５を使用できる利点がある。また、ワークＷの電極パッド３０の位置やサイズによってコンタクトピン１９の位置を変更するだけで、どんなワークにも対応ができる利点がある。但し、接触座２０を円形とし、その中心にコンタクトピン１９を設け、電極ピンはコンタクトピンの直上を押すように構成することも可能であり、接触座２０を偏芯形状に限定するものではない。
【符号の説明】
【００２５】
２  パレット
１５  コンタクトリテーナ
１６  コンタクト孔
１７  リテーナプレート
１８  コンタクト膜
１９  コンタクトピン
２０  接触座
２１  電極ブロック
２２  電極ピン
２２a  外筒
２２ｂ  接触子
２６  ブロック体
３０  電極パッド
Ｗ  ワーク
【図１】
0005824247.tif 000002
【図２】
0005824247.tif 000003
【図３】
0005824247.tif 000004
【図４】
0005824247.tif 000005
【図５】
0005824247.tif 000006
【図６】
0005824247.tif 000007
【図７】
0005824247.tif 000008
【図８】
0005824247.tif 000009