(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象を光学的に検査する光学的プローブ（１）であって、
該光学的プローブ（１）は、固定プローブ部材と、該固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸（３）を中心として回転可能なプローブ部材（５）とを有し、  前記回転可能プローブ部材（５）は測定光線を出力させる少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）を有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離ｄ（１５）を以て前記光出力側から前記回転軸（３）に対して垂直に出射し、
測定対象を垂直に照明するために、前記少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）の各光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）に対して、測定光線を偏向させる固有の偏向光学系が前記回転可能プローブ部材（５）内に配置されており、前記偏向光学系は前記回転軸（３）に沿って並べて配置されている、光学的プローブ（１）において、
前記偏向光学系は測定光線に対して部分的に透過性かつ部分的に偏向性であり、前記偏向光学系に入射する光線は、一部はそれぞれ前記少なくとも２つの光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）へと偏向され、一部は真っ直ぐ次の偏向光学系へと導かれる、
ことを特徴とする光学的プローブ（１）。
【請求項２】
前記光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）は前記回転軸(３)に沿って前記異なる焦点距離ｄ（１５）に従って順に位置決めされている、請求項１記載のプローブ（１）。
【請求項３】
前記回転可能プローブ部材（５）は結合部位（１８）を介して前記固定プローブ部材と接続されている、請求項１又は２記載のプローブ（１）。
【請求項４】
前記結合部位（１８）はフェルール（２０）によって前記回転可能プローブ部材（５）に形成されている、請求項３記載のプローブ（１）。
【請求項５】
前記結合部位（１８）はＬＷＬ（ライトガイド）回転接合によって形成されている、請求項３記載のプローブ（１）。
【請求項６】
前記回転可能プローブ部材（５）は前記フェルール（２０）と光学素子（３０）とをまとめる又は安定化させるスリーブ（２５）を有している、請求項４又は５記載のプローブ（１）。
【請求項７】
前記各偏向光学系はそれぞれ正確に１つのプリズムを含んでいる、請求項１から６のいずれか１項記載のプローブ（１）。
【請求項８】
前記偏向光学系は前記回転軸（３）に沿って並べて配置されている、請求項７記載のプローブ（１）。
【請求項９】
前記光出力側（１０ａ；１０ｂ；１０ｃ）のそれぞれを独立してスイッチオン又はオフする切換装置が設けられている、請求項１から８のいずれか１項記載のプローブ（１）。
【請求項１０】
測定対象を干渉法により測定するための装置であって、干渉計が請求項１から９のいずれか１項記載のプローブ（１）と接続されていることを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に従った、測定対象を光学的に検査する光学的プローブと、このプローブを用いて測定対象を干渉法により測定する装置とに関する。
【０００２】
例えば部品の工業生産では、製造プロセス中又は製造プロセス後に部品を光学的に検査することが公知である。その際、部品表面は光学的プローブによって照明され、部品表面の利用可能な画像が得られる。これに関連して「光スキャン」も話題に上る。プローブは「スキャンアーム」とも呼ばれる。
【０００３】
とりわけ、固定的なプローブ部材と回転可能なプローブ部材とに分割される光学的プローブも使用されている。このような装置は例えばDE 100 57 540 A1に記載されている。この刊行物によれば、この種の装置は、測定対象をスキャンするために比較的簡単に照準させることでき、また精確な回転スキャンのためのプローブ部材の設計も可能にする。したがって、例えば、噴射ノズルの非常に狭い孔を回転プローブ部材によって内側からスキャンすることができる。それゆえ、有利なことに、測定対象自体を回転させる必要はない。しかし、例えば様々な孔径の複数の部品を測定する場合には、すべての部品を上記刊行物に記載されたたった１つのプローブで検査することは不可能である。なぜなら、プローブの焦点距離が固定値に設定されているからである。１つの部品をそれぞれ互いに異なる大きさの直径をもつ様々な部位で測定しなければならない場合にも、同じ問題が生じる。
【０００４】
一方、DE 197 14 202 A1からは、表面を光学的に検査するための別の装置が公知である。この場合、検査すべき測定対象の２つの異なる部位を同時に２つの測定光線で照明することができる。特に、１つの実施例では、互いに平行でない２つの測定光線によって、測定対象の、１つの平面内にない２つの部位を同時に垂直に照明することが可能である。つまり、このプローブは２つの異なる視線を提供する。この場合、回転プローブ部材は設けられていない。
【０００５】
したがって、今までに知られている光学的プローブでは、たった１つのプローブ部材によって様々な内径を測定することはできない。とりわけ、残念ながら、たった１つの部品の測定であっても、その１つの部品が複数の部位で異なる内径を有している場合には、プローブを交換し、新しいプローブを新たに調節しなければならない。
【０００６】
発明の利点
本発明による光学的プローブ及びこのプローブを備えた本発明による装置は、プローブを非常に柔軟に使用することができるという利点を有している。有利には、本発明によるプローブは異なる大きさの内径を複数測定する場合でも交換する必要がない。
【０００７】
したがって、測定すべき検査面とプローブとの間の距離が変化しても、新しいプローブを設置して、新たに調節する必要がなくなる。
【０００８】
本発明の有利な実施形態は従属請求項に示されており、以下の実施例の説明で説明される。
【０００９】
以下、図面と以下の説明とに基づいて本発明の実施例を詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】先行技術から公知のプローブを示す。
【図１ａ】図１の一部を示す。
【図２】本発明によるプローブの実施例を示す。
【図２ａ】図２の一部を示す。
【００１１】
実施例の説明
図１には、まず先行技術から公知の光学的プローブ２が示されている。プローブ２は固定プローブ部材とこのプローブ部材に機械的及び光学的に結合された回転可能プローブ部材４を有している。見易さのため、図１では、回転可能プローブ部材４しか記入されていない。図示されていない固定プローブ部材から回転可能プローブ部材４へと光線９がガイドされる。この光線はさらに光学素子３０を介して出力領域１１の光学出力側１０へと導かれる。
【００１２】
回転可能プローブ部材はフェルール２０を介して固定プローブ部材４と接続されている。スリーブ２５が安定的にフェルール２０と光学素子３０をプローブ部材４へとまとめている。
【００１３】
図１では、プローブ２の出力領域１１が拡大して表示されている。とりわけ、測定対象の照明のために光出力側１０しか設けられていないことが見て取れる。また図１ａには、より分かり易いように、プローブ２の回転軸３に対して垂直に出射する集束された測定光線１２が図式的に示されている。
【００１４】
これと比較して、図２及び２ａには、測定対象を光学的に検査する本発明のプローブの実施例が示されている。本発明のプローブは、図示されていない固定プローブ部材と、この固定プローブ部材に機械的及び光学的に結合された、回転軸３を中心として回転可能なプローブ部材５を有している。回転可能プローブ部材５は測定光線を出力する少なくとも２つの光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃを有しており、測定光線は互いに異なる焦点距離を以てこれら光出力側から回転軸３に対して垂直に出射する。
【００１５】
図２ａには、出力領域１３が拡大表示されているので、複数の出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃをはっきりを認識することができる。ここでは例として３つの出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃが示されている。集束測定光線１２ａ；１２ｂ；１２ｃは互いに異なる長さないし焦点距離ｄを有している。図２ａにおいて参照番号１５で示されている焦点距離ｄとは、回転可能プローブ部材５の回転軸３と集束測定光線１２ａ；１２ｂ；１２ｃの焦点との間の距離のことである。回転軸３は今の例では同時に回転可能プローブ部材５の対称軸でもある。測定光線の焦点は理想的なケースでは正確に測定対象の表面に当たる。
【００１６】
これで、非常に有利なことに、孔の幅が異なっても、プローブ１又は回転可能プローブ部材５だけで内側から測定することができる。なぜならば、互いに異なる焦点距離ｄをもった複数の出力側が提供されるからである。
【００１７】
さらに、図２ａから分かるように、光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃを回転軸３に沿ってそれぞれの異なる焦点距離ｄ １５に従って順に配置することが薦められる。この例では、出力側はプローブ端まで焦点距離ｄの降順で配置されている。したがって、そのときの具体的な孔の幅にとって適正な出力側を迅速かつ系統的に決定することができる。
【００１８】
その他に、回転可能プローブ部材５は結合部位１８を介して固定プローブ部材と接続されている。光線９はこの結合部位１８を介して図示されていない固定プローブ部材から回転可能プローブ部材５へと導かれる。結合部位１８は有利にはフェルール２０によって回転可能プローブ部材５に形成されている。有利には、このフェルール２０の中をグラスファイバが貫通しており、光線９はこのグラフファイバに入射する。これによって、例えば回転可能プローブ部材５の損傷によって必要が生じた場合に、回転可能プローブ部材５の素速い交換が可能になる。実用では、例えば２．５ｍｍ幅のフェルール２０が使用される。
【００１９】
さらに、回転可能プローブ部材５は、フェルール２０と光学素子３０をまとめたり安定化させるスリーブ２５を有している。こうして、小型であると同時に頑強な装置が得られる。これらの光学素子３０は測定光線の集束及び／又は偏向に使用される。補助的に、これらの光学素子を１つ又は複数の金属管によって支持したり、さらには安定化してもよい。
【００２０】
結合部位１８がスリーブ２５によって形成されているか否かに関係なく、結合部位１８は回転接合によっても実現可能である。ＬＷＬ（ライトガイド）回転接合の形態の回転接合を設けると、特に有利である。
【００２１】
測定対象を垂直に照明するために回転可能プローブ部材５からの測定光線が正しく偏向されるように、測定光線の光路には偏向光学系が必要である。１つの実施例としては、少なくとも２つの光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃの各光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃに対してそれぞれ１つの偏向光学系を回転可能プローブ部材５内に配置することが薦められる。これによって、個々の光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃのそれぞれに対して焦点距離ｄを正確に設定することが容易になる。なお、各偏向光学系はちょうど１つのプリズムを含んでいる。
【００２２】
偏向光学系は回転軸３に沿って並べて配置してよい。その際重要なことは、所望の焦点距離ｄを実現するために、偏向光学系を非常に正確に向き付けしなければならないということである。偏向光学系に入射する光線９は、一部は各出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃの方へ偏向され、一部は真っ直ぐに次の偏向光学系へと導かれる。したがって、偏向光学系は部分的に透過性であり、部分的に偏向性である。
【００２３】
別の実施形態では、個々の光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃを独立してスイッチオン又はオフするための切換装置がプローブ１に設けられている。それゆえ、ユーザは有利には特定の出力側を活動化又は非活動化させることができる。
【００２４】
ところで、測定対象の表面で反射した測定光線は再びプローブ１ないし回転可能プローブ部材５によって受け取られる。典型的には、反射した測定光線はそれまでの光路を逆方向に進む、すなわち、プローブ１の出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃにおいて再び回転可能プローブ部材５の中に入り、結合部位１８において回転軸可能プローブ部材５を出る。「出力側」という概念は、当業者には周知のように、測定対象によって反射された測定光線には当てはまらない。プローブ１全体から再び出た測定光線はさらに評価ユニットに接続された検出ユニットへと導かれる。こうして、プローブ１によって照明された測定対象の分析が可能となる。
【００２５】
これまでに説明したプローブ１のすべての実施形態は公知の干渉計に接続させるのに適している。これらは一緒になって測定対象の干渉法による測定のための装置を形成する。理想的には、干渉計は光ファイバによってプローブ１と接続されている。典型的な干渉計の構造は既に例えば冒頭で引用した文献DE 100 57 540 A1に詳細に記載されているので、ここではさらに説明しない。ただ、干渉計は検出ユニットの他に評価ユニットも含んでいてよいことだけ強調しておきたい。
【００２６】
要約すると、固定プローブ部材と回転可能プローブ部材５とを有する光学的プローブ１を説明してきたが、この光学的プローブ１を用いれば、孔径の異なる非常に多様な部品を測定することができる。このために、回転可能プローブ部材５には、測定光線を出射させる少なくとも２つの光出力側１０ａ；１０ｂ；１０ｃが設けられており、測定光線は互いに異なる焦点距離ｄ １５を以てこれらの光出力側から回転可能プローブ部材５の回転軸に対して垂直に出射する。さらには、公知の干渉計と上記プローブ１とを含んだ装置も提案された。概して言えば、これにより、測定対象が異なっても非常に多様に使用できる光学的プローブ１が達成される。
【図１】
0005709524.tif 000002
【図１ａ】
0005709524.tif 000003
【図２】
0005709524.tif 000004
【図２ａ】
0005709524.tif 000005