(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、
前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、
前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、
前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部と、
前記搬送装置の作動を制御する制御手段とを備えて構成されている物品保管設備であって、
前記不活性気体供給路における前記複数の収納部に対する不活性気体の供給状態を検出する供給状態検出手段が設けられ、
前記制御手段が、
前記供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されている許可収納部と不活性気体が適切に供給されていない禁止収納部とに区別して前記複数の収納部を管理し、不活性気体の供給状態の変化により前記許可収納部から前記禁止収納部に切り換わった前記収納部に収納されている前記搬送容器を前記許可収納部として管理されている前記収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている物品保管設備。
【請求項２】
前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、
前記供給状態検出手段として、前記複数の区画の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する区画用供給状態検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項３】
前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の区画の夫々に分岐供給する区画用供給部分と、前記区画用供給部分にて前記区画に供給された不活性気体を当該区画における前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分とを備えて構成され、
前記区画用供給部分と前記複数の収納部用供給部分との接続箇所の夫々に設けられて前記収納部用供給部分における不活性気体の圧力を調整する圧力調整手段が設けられ、
前記区画用供給状態検出手段として、前記複数の収納部用供給部分の夫々における不活性気体の圧力を検出する圧力検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記圧力検出手段の検出情報に基づいて、前記圧力調整手段にて調整された圧力に対して前記圧力検出手段にて異常な圧力が検出されている場合は、その異常な圧力が検出された前記区画用供給部分に対応する前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている請求項２記載の物品保管設備。
【請求項４】
前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分を備えて構成され、
前記収納部用供給部分と前記吐出部との接続箇所の夫々に設けられて前記吐出部に供給される不活性気体の流量を調整する流量調整手段と、
前記制御手段及び前記区画に属する複数の前記流量調整手段の間の通信を中継する中継手段とが設けられ、
前記区画用供給状態検出手段として、前記中継手段の異常を検出する中継異常検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記中継手段を介して前記流量調整手段の作動を制御し、前記中継異常検出手段の検出情報に基づいて、前記中継異常検出手段にて異常が検出された前記中継手段に対応する前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている請求項２又は３記載の物品保管設備。
【請求項５】
前記供給状態検出手段として、前記複数の収納部の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する収納部用供給状態検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記収納部用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記収納部を前記禁止収納部として管理するように構成されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の物品保管設備。
【請求項６】
前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、
前記供給状態検出手段として、前記収納部用供給状態検出手段に加えて、前記複数の区画の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する区画用供給状態検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理し、前記退避用搬送処理として、前記収納部用供給状態検出手段により不活性気体が適切に供給されていないことが検出されている前記収納部に収納されている前記搬送容器を優先的に前記許可収納部へ搬送するように構成されている請求項５記載の物品保管設備。
【請求項７】
前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の収納部の夫々に供給する収納部用供給部分を備えて構成され、
前記収納部用供給部分と前記吐出部との接続箇所の夫々に設けられて前記吐出部に供給される不活性気体の流量を調整自在な通流調整手段が設けられ、
前記収納部用供給状態検出手段として、前記通流調整手段の異常を検出する通流異常検出手段が設けられ、
前記制御手段が、前記通流異常検出手段の検出情報に基づいて、前記通流異常検出手段にて異常が検出された前記通流調整手段を介して不活性気体が供給される前記収納部を前記禁止収納部として管理するように構成されている請求項５又は６記載の物品保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部と、前記搬送装置の作動を制御する制御手段とを備えて構成されている物品保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品保管設備の従来例として、半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ等の搬送容器を収納自在な収納部を複数備え、その収納部の夫々に、不活性気体供給路にて例えば窒素ガスやアルゴンガス等の不活性気体を収納部に供給し、その不活性気体を吐出部にて搬送容器の内部に吐出する、パージ機能付きの物品保管棚を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
上記特許文献１では、搬送容器を収納部に収納したときに、吐出部から搬送容器の内部に不活性気体を吐出し、基板に不都合な酸素ガスや水蒸気等を搬送容器内から排出させて、収納部に収納される搬送容器を内部が不活性気体で充満された状態とすることで、搬送容器に収容された基板の酸化等の不具合が生じることを抑制するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１８２７４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来の物品保管設備では、不活性気体供給路の破損や不活性気体供給路の途中に設けられた圧力調整弁等の機器が故障したことにより、収納部に適切に不活性気体を供給することができなくなったとしても、その不活性気体を適切に供給することができない収納部に搬送容器を収納した状態が継続することとなる。そのため、収納部に適切に不活性気体を供給することができなくなった場合に、外気が搬送容器内に流入する等により搬送容器内の環境が悪化することで搬送容器内の基板に不具合が生じる場合があった。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、収納部に対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる物品保管設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる物品保管設備は、基板を密閉状態で収容する搬送容器を収納自在な複数の収納部と、前記複数の収納部に対して前記搬送容器を搬送自在な搬送装置と、前記複数の収納部の夫々に不活性気体を供給する不活性気体供給路と、前記不活性気体供給路にて前記収納部に供給された不活性気体を当該収納部に収納された前記搬送容器の内部に吐出する吐出部と、前記搬送装置の作動を制御する制御手段とを備えて構成されているものであって、その第１特徴構成は、
前記不活性気体供給路における前記複数の収納部に対する不活性気体の供給状態を検出する供給状態検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されている許可収納部と不活性気体が適切に供給されていない禁止収納部とに区別し
て前記複数の収納部を管理し、不活性気体の供給状態の変化により前記許可収納部から前記禁止収納部に切り換わった前記収納部に収納されている前記搬送容器を前記許可収納部として管理されている前記収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている点にある。
【０００８】
すなわち、制御手段による複数の収納部の管理は、供給状態検出手段の検出情報に基づいて管理されており、不活性気体が適切に供給されている収納部については許可収納部として管理され、不活性気体が適切に供給されていない収納部については禁止収納部として管理されている。そのため、搬送容器を収納部に収納するときに許可収納部を選択して収納することで、収納した搬送容器内に不活性気体を適切に供給することができる。
そして、不活性気体供給路の破損や不活性気体供給路の途中に設けられた圧力調整弁等の機器が故障し、収納部に供給される不活性気体が適正供給量より減少する、又は、収納部に全く不活性気体が供給されなくなる事態が発生した場合に、当該収納部が許可収納部から禁止収納部に切り換わる。
許可収納部から禁止収納部に切り換わった収納部に搬送容器が収納されている場合は、制御手段は退避用搬送処理を実行して、禁止収納部に切り換わった収納部に収納されている搬送容器を、許可収納部として管理されている他の収納部に搬送させる。
【０００９】
このように退避用搬送処理を実行して、搬送容器を許可収納部として管理されている収納部に搬送することで、その収納部には不活性気体が適切に供給されているため、搬送容器内に不活性気体を供給することができる。このように、収納部に対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。
【００１０】
本発明にかかる物品保管設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、前記供給状態検出手段として、前記複数の区画の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する区画用供給状態検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている点にある。
【００１１】
すなわち、区画用供給状態検出手段にて、区画の単位で不活性気体が適切に供給されているか否かを検出することができるため、制御手段による複数の収納部の管理は、不活性気体が適切に供給されていない区画に属する収納部については禁止収納部として管理される。
【００１２】
よって、例えば、供給状態検出手段にて複数の収納部の全てを一纏まりで不活性気体の供給状態を検出した場合は、制御手段にて、不活性気体が適切に供給されない場合は複数の収納部の全てが禁止収納部として管理されてしまうが、区画用供給状態検出手段にて、区画の単位で複数の収納部に対する不活性気体の供給状態を検出することで、制御手段にて、不活性気体が適切に供給されていない区画に属する収納部のみを禁止収納部として管理することができる。
そのため、不活性気体が適切に供給されなくなったとしても、それが一部の区画にのみ影響するものであれば、その影響のあった区画に属する収納部のみを禁止収納部として管理し、影響のない区画に属する収納部は許可収納部として管理することができるので、複数の収納部の全てが禁止収納部として管理されることを防止することができる。
【００１３】
本発明にかかる物品保管設備の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の区画の夫々に分岐供給する区画用供給部分と、前記区画用供給部分にて前記区画に供給された不活性気体を当該区画における前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分とを備えて構成され、前記区画用供給部分と前記複数の収納部用供給部分との接続箇所の夫々に設けられて前記収納部用供給部分における不活性気体の圧力を調整する圧力調整手段が設けられ、前記区画用供給状態検出手段として、前記複数の収納部用供給部分の夫々における不活性気体の圧力を検出する圧力検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記圧力検出手段の検出情報に基づいて、前記圧力調整手段にて調整された圧力に対して前記圧力検出手段にて異常な圧力が検出されている場合は、その異常な圧力が検出された前記区画用供給部分に対応する前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、区画用供給部分と収納部用供給部分との接続箇所に設けられた圧力調整手段に故障が生じ、圧力調整手段にて調整された圧力に対して圧力検出手段にて異常な圧力が検出された場合は、その圧力調整手段を介して不活性気体が供給されている収納部に対して適切に不活性気体が供給されていないとして、その異常な圧力が検出された区画用供給部分に対応する区画に属する収納部の全てが禁止収納部として管理される。
そして、圧力調整手段に異常が生じたために、収納部に不活性気体を適切に供給することができなくなった場合は、その収納部が許可収納部から禁止収納部に切り換わるため、退避用搬送処理が実行されて、管理状態が禁止収納部に切り換わった収納部に収納されている搬送容器が、許可収納部として管理されている他の収納部に搬送されるため、収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。
【００１５】
本発明にかかる物品保管設備の第４特徴構成は、第２又は第３特徴構成において、前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の収納部の夫々に分岐供給する収納部用供給部分を備えて構成され、前記収納部用供給部分と前記吐出部との接続箇所の夫々に設けられて前記吐出部に供給される不活性気体の流量を調整する流量調整手段と、前記制御手段及び前記区画に属する複数の前記流量調整手段の間の通信を中継する中継手段とが設けられ、前記区画用供給状態検出手段として、前記中継手段を介して前記流量調整手段の作動を制御し、前記中継手段の異常を検出する中継異常検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記中継異常検出手段の検出情報に基づいて、前記中継異常検出手段にて異常が検出された前記中継手段に対応する前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理するように構成されている点にある。
【００１６】
すなわち、制御手段と流量調整手段との通信を中継する中継手段に異常が生じていることが中継異常検出手段にて検出された場合は、中継手段を介して通信している流量調整手段にて適切に流量が調整されておらず当該流量調整手段を介して不活性気体が供給されている収納部に対して適切に不活性気体が供給されていないとして、その異常な圧力が検出された区画用供給部分に対応する区画に属する収納部の全てを禁止収納部として管理される。
そして、中継手段に異常が生じたために、収納部に不活性気体を適切に供給することができなくなった場合は、通流異常検出手段にて検出されて、その収納部が許可収納部から禁止収納部に切り換わる。これにより、退避用搬送処理が実行されて、管理状態が禁止収納部に切り換わった収納部に収納されている搬送容器が、許可収納部として管理されている他の収納部に搬送されるため、収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。
【００１７】
本発明にかかる物品保管設備の第５特徴構成は、第１〜第４特徴構成のいずれか１つにおいて、前記供給状態検出手段として、前記複数の収納部の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する収納部用供給状態検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記収納部用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記収納部を前記禁止収納部として管理するように構成されている点にある。
【００１８】
すなわち、収納部用供給状態検出手段にて、収納部の単位で不活性気体が適切に供給されているか否かを検出することができるため、制御手段による複数の収納部の管理は、不活性気体が適切に供給されていない収納部については許可収納部として管理され、不活性気体が適切に供給されていない収納部については禁止収納部として管理されている。
【００１９】
よって、収納部用供給状態検出手段にて、収納部の単位で複数の収納部に対する不活性気体の供給状態を検出することで、制御手段にて、不活性気体が適切に供給されていない収納部のみを禁止収納部として管理することができる。
そのため、不活性気体が適切に供給されなくなったとしても、それが一部の収納部にのみ影響するものであれば、その影響のあった収納部のみを禁止収納部として管理し、影響のない収納部は許可収納部として管理することができるので、必要以上に収納部が禁止収納部として管理されることを防止することができる。
【００２０】
本発明にかかる物品保管設備の第６特徴構成は、第５特徴構成において、前記複数の収納部が、複数の区画に区分けされ、前記供給状態検出手段として、前記収納部用供給状態検出手段に加えて、前記複数の区画の夫々に対する不活性気体の供給状態を検出する区画用供給状態検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記区画用供給状態検出手段の検出情報に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない前記区画に属する前記収納部の全てを前記禁止収納部として管理し、前記退避用搬送処理として、前記収納部用供給状態検出手段により不活性気体が適切に供給されていないことが検出されている前記収納部に収納されている前記搬送容器を優先的に前記許可収納部へ搬送するように構成されている点にある。
【００２１】
すなわち、収納部用供給状態検出手段にて、収納部の単位で不活性気体が適切に供給されているか否かを検出することができ、また、区画用供給状態検出手段にて、区画の単位で不活性気体が適切に供給されているか否かを検出することができる。
そして、制御手段が、区画用供給状態検出手段に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない区画に属する収納部について禁止収納部として管理したとしても、収納部用供給状態検出手段にて、当該区画に属する収納部について適切に不活性気体が供給されている状態が検出される場合が考えられる。
【００２２】
そのため、区画用供給状態検出手段に基づいて、不活性気体が適切に供給されていない区画に属する収納部について禁止収納部として管理した場合は、当該区画に属する収納部に収納されている搬送容器を、不活性気体が適切に供給されている他の区画に属する収納部に搬送することとなるが、このとき、収納部用供給状態検出手段にて不活性気体が適切に供給されていないことが検出されている収納部については、不活性気体が適切に供給されていることが検出されている収納部よりも優先的に搬送容器を搬送する。そのため、不活性気体が適切に供給されなくなった可能性が高い収納部に収納されている搬送容器を早期に許可収納部に搬送することで、基板に不具合が生じることを抑制することができる。
【００２３】
本発明にかかる物品保管設備の第７特徴構成は、第５又は第６特徴構成において、前記不活性気体供給路が、不活性気体を前記複数の収納部の夫々に供給する収納部用供給部分を備えて構成され、前記収納部用供給部分と前記吐出部との接続箇所の夫々に設けられて前記吐出部に供給される不活性気体の流量を調整自在な通流調整手段が設けられ、前記収納部用供給状態検出手段として、前記通流調整手段の異常を検出する通流異常検出手段が設けられ、前記制御手段が、前記通流異常検出手段の検出情報に基づいて、前記通流異常検出手段にて異常が検出された前記通流調整手段を介して不活性気体が供給される前記収納部を前記禁止収納部として管理するように構成されている点にある。
【００２４】
すなわち、収納部用供給部分と吐出部との接続箇所に設けられた通流調整手段に異常が生じ、その異常が通流異常検出手段にて検出された場合は、その通流調整手段を介して不活性気体が供給されている収納部に対して適切に不活性気体が供給されていないとして、その異常が検出された通流調整手段に対応する収納部が禁止収納部として管理される。
そして、通流調整手段に異常が生じたために、収納部に不活性気体を適切に供給することができなくなった場合は、その収納部が許可収納部から禁止収納部に切り換わるため、退避用搬送処理が実行されて、禁止収納部に切り換わった収納部に収納されている搬送容器が、許可収納部として管理されている他の収納部に搬送されるため、収納部に収納されている搬送容器内の基板に不具合が生じることを未然に防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】物品保管設備の縦断側面図
【図２】同設備の一部を示す縦断正面図
【図３】収納部の斜視図
【図４】収納部の正面図
【図５】区画への不活性気体の供給形態を表す図
【図６】収納部への不活性気体の供給形態を表す図
【図７】制御ブロック図
【図８】制御手段による収納部の管理状態を示す図
【図９】バイパス用切換弁を切り換え操作した状態を示す図
【図１０】フローチャート
【発明を実施するための形態】
【００２６】
本発明をパージ機能付きの物品保管設備に適用した場合の実施形態を図面に基づいて説明する。
（全体構成）
物品保管設備は、図１及び図２に示すように、基板Ｗを密閉状態で収容する搬送容器５０（以下、容器５０と略称する）を収納自在な収納部１０Ｓを上下左右に並設した保管棚１０と、複数の収納部１０Ｓ及び入出庫コンベヤＣＶに対して容器５０を搬送自在な搬送装置としてのスタッカークレーン２０とを備えた自動倉庫にて構成されている。尚、本実施形態では、基板Ｗを半導体ウェハーとし、その半導体ウェハーを収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を容器５０として保管している。
【００２７】
（容器５０の構成）
図４に示すように、容器５０は、基板Ｗを出し入れするための開口を備えたケーシング５１と、ケーシング５１の開口を閉じる着脱自在な蓋体とを備えて構成されている。
図１，図２及び図４に示すように、ケーシング５１の上面には、ホイスト式の搬送車Ｄにより把持されるトップフランジ５２が形成され、ケーシング５１の底部には、後述の如く、不活性気体としての窒素ガスを注入するために給気口５１ｉ及び排気口５１ｏが設けられている。図示は省略するが、給気口５１ｉには注入側開閉弁が設けられ、排気口５１ｏには、排出側開閉弁が設けられている。
つまり、容器５０は、基板Ｗを収容した状態で蓋体にて開口を閉じ、給気口５１ｉ及び排気口５１ｏの夫々の開閉弁が閉じ状態となることで、基板Ｗを密閉状態で収容するようになっている。
【００２８】
注入側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、給気口５１ｉに供給される窒素ガスの吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。
また、排出側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、容器５０内部の圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開き操作されるように構成されている。
【００２９】
（スタッカークレーン２０の構成）
図１に示すように、スタッカークレーン２０は、保管棚１０の前面側の床部に設けられた走行レールに沿って走行移動自在な走行台車２１と、その走行台車２１に立設されたマスト２２と、マスト２２の上端に設けられて図示しない上部ガイドレールと係合する上部枠２３と、上記マスト２２に案内される状態で昇降移動自在な昇降台２４とを備えて構成されている。
【００３０】
昇降台２４には、収納部１０Ｓや入出庫コンベヤＣＶに対して容器５０を移載する移載装置２５が装備されている。
そして、スタッカークレーン２０は、走行台車２１の走行移動、昇降台２４の昇降移動及び移載装置２５の移載作動により、入出庫コンベヤＣＶ上の容器５０を収納部１０Ｓに搬送する入庫作業、収納部１０Ｓの容器５０を入出庫コンベヤＣＶ上に搬送する出庫作業、及び、収納部１０Ｓの容器５０を他の収納部１０Ｓに搬送する退避作業とを実行するように構成されている。
【００３１】
（収納部１０Ｓの構成）
図２に示すように、保管棚１０には、上下方向に収納部１０Ｓが８段並設され、左右方向に収納部１０Ｓが９列（図２には４列のみ図示している）並設されており、収納部１０Ｓが７２箇所に設けられている。そして、図５に示すように、上下方向に並設された４段、左右方向に並設された３列の計１２箇所の収納部１０Ｓを１つの区画ＣＨとして、７２箇所の収納部１０Ｓが６つの区画ＣＨのいずれか１つに属するように区分けされている。このように、保管棚１０に設けられた複数の収納部１０Ｓが、複数の区画ＣＨに区分けされている。
【００３２】
図３に示すように、複数の収納部１０Ｓの夫々には、容器５０を載置支持する載置支持部１０ａが備えられており、収納部１０Ｓは、載置支持部１０ａに載置支持した状態で容器５０を収納するようになっている。
また、載置支持部１０ａには、容器５０の下面部に形成された被係合部（図示せず）に係合して当該容器５０を規定位置に位置決めするための３個の位置決め突起１０ｂと、容器５０が載置支持部１０ａ上に載置されているか否か（つまり、容器５０が収納部１０Ｓに収納されたか否か）を検出する２個の在荷センサ１０ｚとが設けられている。
【００３３】
また、図３及び図４に示すように、載置支持部１０ａには、収納部１０Ｓに収納された容器５０の内部に不活性気体としての窒素ガスを供給する吐出部としての吐出ノズル１０ｉと、容器５０の内部から排出された気体を通流する排出用通気体１０ｏとが設けられている。
図４に示すように、吐出ノズル１０ｉは、載置支持部１０ａ上の規定位置に容器５０が載置された状態で、その容器５０の下面部に備えられた給気口５１ｉに嵌合される箇所に設けられ、排出用通気体１０ｏは、載置支持部１０ａ上の規定位置に容器５０が載置された状態で、その容器５０の下面部に備えられた排気口５１ｏに嵌合される箇所に設けられている。
【００３４】
つまり、容器５０が収納部１０Ｓに収納されて載置支持部１０ａに載置されると、位置決め突起１０ｂにて規定位置に位置決めされて、吐出ノズル１０ｉが給気口５１ｉに嵌合状態に接続され、且つ、排出用通気体１０ｏが排気口５１ｏに嵌合状態に接続される。
そして、容器５０が載置支持部１０ａに載置支持された状態において、吐出ノズル１０ｉから大気圧よりも設定値以上高い圧力の窒素ガスを吐出させることにより、容器５０の給気口５１ｉより窒素ガスを容器５０の内部に注入し、容器５０の排気口５１ｏより容器内の気体を外部に排出させるように構成されている。
【００３５】
（窒素ガスの供給構成）
図５及び図６に示すように、物品保管設備には、複数の収納部１０Ｓに窒素ガスを供給する不活性気体供給路としての窒素ガス供給路６０が設けられている。次に、この窒素ガス供給路６０について説明する。尚、図５は、区画ＣＨの夫々に対して窒素ガスを供給する構成を示す図であり、図６は、収納部１０Ｓの夫々に対して窒素ガスを供給する構成を示す図である。尚、図６には、上下に並ぶ２つの区画ＣＨに対する部分のみを示している。
【００３６】
図５及び図６に示すように、窒素ガス供給路６０は、メイン供給部分６１と、メイン供給部分６１にて供給された窒素ガスを複数の区画ＣＨの夫々に分岐供給する区画用供給部分６２と、区画用供給部分６２にて区画ＣＨに供給された窒素ガスを当該区画ＣＨにおける複数の収納部１０Ｓの夫々に分岐供給する収納部用供給部分６３とを備えて構成されている。
【００３７】
図５に示すように、区画用供給部分６２は、メイン供給部分６１に接続された上流区画用供給部６２ａと、上流区画用供給部６２ａから分岐する複数の下流区画用供給部６２ｂとを備えて構成されている。上流区画用供給部６２ａには、区画ＣＨの数と同じ６経路の下流区画用供給部６２ｂが接続されている。
尚、上流区画用供給部６２ａは、メイン供給部分６１と同じ配管サイズとなっており、下流区画用供給部６２ｂは、上流区画用供給部６２ａより細い配管サイズとなっている。
【００３８】
図６に示すように、収納部用供給部分６３は、区画ＣＨの数と同じ６経路設けられており、その夫々が、区画用供給部分６２に接続された上流収納部用供給部６３ａと、上流収納部用供給部６３ａから分岐する中流収納部用供給部６３ｂと、中流収納部用供給部６３ｂから分岐する下流収納部用供給部６３ｃとを備えて構成されている。上流収納部用供給部６３ａには、区画ＣＨにおける収納部１０Ｓの段数と同じ３経路の中流収納部用供給部６３ｂが接続されており、中流収納部用供給部６３ｂには、区画ＣＨにおける収納部１０Ｓの列数と同じ４経路の下流収納部用供給部６３ｃが接続されている。
尚、上流収納部用供給部６３ａ及び中流収納部用供給部６３ｂは、下流区画用供給部６２ｂと同じ配管サイズとなっており、下流収納部用供給部６３ｃは、上流収納部用供給部６３ａ及び中流収納部用供給部６３ｂより細い配管サイズとなっている。
【００３９】
図５に示すように、メイン供給部分６１と区画用供給部分６２との接続箇所には、メイン供給部分６１から区画用供給部分６２に窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在なメインバルブ６５が設けられている。このメインバルブ６５を操作することにより、保管棚１０の単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。
【００４０】
図５及び図６に示すように、区画用供給部分６２と複数の収納部用供給部分６３との接続箇所の夫々には、区画用供給部分６２から収納部用供給部分６３に窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在な区画用バルブ６６と、区画用供給部分６２から収納部用供給部分６３に通流する窒素ガスの通流量を調整することにより収納部用供給部分６３における窒素ガスの圧力を調整する圧力調整手段としての圧力調整用バルブ６７と、収納部用供給部分６３における窒素ガスの圧力を検出する圧力検出手段としての圧力検出センサ６８とが設けられている。そして、区画用バルブ６６を操作することで、区画ＣＨの単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。
【００４１】
図６に示すように、収納部用供給部分６３と吐出ノズル１０ｉとの接続箇所には、収納部用供給部分６３から吐出ノズル１０ｉに窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切換自在な収納部用バルブ６９と、マスフローコントローラ４０とが設けられている。そして、収納部用バルブ６９を操作することで、収納部１０Ｓの単位で窒素ガスを供給する状態と供給しない状態とに切り換え自在に構成されている。
マスフローコントローラ４０には、収納部用供給部分６３から吐出ノズル１０ｉに供給される窒素ガスの通流量を調整する流量調整用バルブ７０と、収納部用供給部分６３から吐出ノズル１０ｉに通流する窒素ガスの流量を検出する流量検出センサ７１との機能が備えられている。つまり、マスフローコントローラ４０（流量調整用バルブ７０）が、吐出ノズル１０ｉに供給される窒素ガスの流量を調整する通流調整手段に相当する。
【００４２】
図６に示すように、複数の収納部用供給部分６３の２つを組として、組となる２つの収納部用供給部分６３同士を連通させる状態で、バイパス部分７２が設けられている。
このバイパス部分７２は、上下方向に隣接する２つの区画ＣＨに属する収納部用供給部分６３同士を連通させる状態で設けられており、６つの区画ＣＨに対して３経路設けられている。
また、バイパス部分７２には、バイパス部分７２を窒素ガスが通流可能な開き状態と通流不能な閉じ状態とに切り換え自在なバイパス用切換弁７３が設けられている。
尚、バイパス部分７２は、上流収納部用供給部６３ａ等と同じ配管サイズとなっている。
【００４３】
（制御構成）
図７に示すように、制御手段Ｈは、保管棚１０における容器５０の在庫状態等を管理するとともに、図外の上位コントローラからの入庫指令及び出庫指令に基づいてスタッカークレーン２０の作動を制御するように構成されている。
説明を加えると、制御手段Ｈは、上位コントローラから入庫指令が指令されると、在庫状態に基づいて、容器５０が収納されていない空の収納部１０Ｓの１つを収納対象の収納部１０Ｓとして選択し、容器５０を入出庫コンベヤＣＶから収納対象の収納部１０Ｓに搬送するべくスタッカークレーン２０の作動を制御する入庫搬送処理を実行する。また、制御手段Ｈは、上位コントローラから出庫指令が指令されると、在庫状態に基づいて、出庫対象の容器５０をそれが収納されている収納部１０Ｓから入出庫コンベヤＣＶ上に搬送するべくスタッカークレーン２０の作動を制御する出庫搬送処理を実行するように構成されている。
【００４４】
制御手段Ｈは、プログラマブルロジックコントローラＰに窒素ガスの供給量や窒素ガスを供給する収納部１０Ｓを示す供給情報を送信して、区画用バルブ６６、収納部用バルブ６９及び流量調整用バルブ７０（マスフローコントローラ４０）の作動を制御するように構成されている。次に、この区画用バルブ６６、収納部用バルブ６９及び流量調整用バルブ７０の作動を制御する制御構成について説明する。
ちなみに、圧力調整用バルブ６７及びバイパス用切換弁７３は、手動により操作されるように構成されている。
【００４５】
制御手段Ｈには、プログラマブルロジックコントローラＰとＩＯ拡張モジュールＡが通信自在に通信線にて接続されている。
プログラマブルロジックコントローラＰには、区画ＣＨに属する１２台のマスフローコントローラ４０が６区画分、計７２台のマスフローコントローラ４０が接続されている。
【００４６】
ＩＯ拡張モジュールＡは、複数の区画ＣＨの夫々に対応して設けられており、区画ＣＨの数と同じ６台設けられている。ＩＯ拡張モジュールＡには、対応する区画ＣＨに属する在荷センサ１０ｚ、圧力検出センサ６８、及び、マニホールド７４が接続されている。
在荷センサ１０ｚは、上述の如く各収納部１０Ｓに対して２個設けられており、１つの区画ＣＨに対して２４個設けられている。この２４個の在荷センサ１０ｚがＩＯ拡張モジュールＡに接続されている。
また、圧力検出センサ６８及びマニホールド７４は、複数の区画ＣＨの夫々に対応して設けられており、１個の圧力検出センサ６８と１個のマニホールド７４とがＩＯ拡張モジュールＡに接続されている。ちなみに、マニホールド７４は、対応する区画ＣＨに属する１個の区画用バルブ６６と１２個の収納部用バルブ６９を切換自在に構成されている。
【００４７】
そして、プログラマブルロジックコントローラＰは、制御手段Ｈからの供給情報に基づいて、ＩＯ拡張モジュールＡを介してマニホールド７４に指令情報を送信するように構成されている。マニホールド７４は指令情報に基づいて作動し、窒素ガスを供給する供給対象の収納部１０Ｓに対して窒素ガスを供給するように構成されている。
また、プログラマブルロジックコントローラＰは、制御手段Ｈからの供給情報に基づいて、マスフローコントローラ４０に指令情報を送信するように構成されている。マスフローコントローラ４０は、指令情報に応じた流量とするべく流量調整用バルブ７０を作動させて、吐出ノズル１０ｉから吐出する窒素ガスの流量を調整するように構成されている。
【００４８】
マスフローコントローラ４０は、流量調整用バルブ７０に異常が生じる等により流量検出センサ７１にて検出する流量が指令情報に応じた流量に達しない状態が設定時間の間継続した場合には、通流異常信号をプログラマブルロジックコントローラＰに出力するように構成されている。その通流異常信号はプログラマブルロジックコントローラＰから制御手段Ｈに送信される。
尚、マスフローコントローラ４０が、流量調整用バルブ７０（マスフローコントローラ４０）の異常を検出する通流異常検出手段に相当し、複数の収納部１０Ｓの夫々に対する窒素ガスの供給状態を検出する収納部用供給状態検出手段Ｓ２、及び、複数の収納部１０Ｓに対する窒素ガスの供給状態を検出する供給状態検出手段Ｓにも相当する。
【００４９】
ＩＯ拡張モジュールＡは、プログラマブルロジックコントローラＰからの指令情報に対して返答信号を出力するように構成されている。プログラマブルロジックコントローラＰは、指令情報に対してＩＯ拡張モジュールＡから返答信号がない場合、ＩＯ異常信号を制御手段Ｈに送信するように構成されている。
尚、プログラマブルロジックコントローラＰが、ＩＯ拡張モジュールＡの異常を検出する中継異常検出手段に相当し、複数の区画ＣＨの夫々に対する窒素ガスの供給状態を検出する区画用供給状態検出手段Ｓ１、及び、複数の収納部１０Ｓに対する窒素ガスの供給状態を検出する供給状態検出手段Ｓにも相当する。
【００５０】
マニホールド７４は、プログラマブルロジックコントローラＰからの指令情報に対して返答信号を出力するように構成されている。プログラマブルロジックコントローラＰは、指令情報に対してマニホールド７４から返答信号がない場合、流量異常信号を制御手段Ｈに送信するように構成されている。
尚、マニホールド７４と収納部用バルブ６９とで流量調整手段が構成されており、ＩＯ拡張モジュールＡが、制御手段Ｈと区画ＣＨに属する複数の流量調整手段との通信を中継する中継手段に相当する。
【００５１】
圧力検出センサ６８は、検出情報をプログラマブルロジックコントローラＰに出力するように構成されており、プログラマブルロジックコントローラＰは、圧力検出センサ６８にて検出された圧力が、指令情報に応じた圧力に対して設定圧力以上の乖離があった場合には、圧力異常信号を制御手段Ｈに対して送信するように構成されている。
尚、圧力検出センサ６８が、複数の区画ＣＨの夫々に対する窒素ガスの供給状態を検出する区画用供給状態検出手段Ｓ１、及び、複数の収納部１０Ｓに対する窒素ガスの供給状態を検出する供給状態検出手段Ｓに相当する。
【００５２】
制御手段Ｈは、供給状態検出手段Ｓの検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されている許可収納部と窒素ガスが適切に供給されていない禁止収納部とに区別して複数の収納部１０Ｓを管理し、窒素ガスの供給状態の変化により許可収納部から禁止収納部に切り換わった収納部１０Ｓに収納されている容器５０を許可収納部に搬送する退避用搬送処理を実行するように構成されている。
【００５３】
制御手段Ｈによる複数の収納部１０Ｓの管理について説明を加える。尚、図８（ａ）は、区画ＣＨに属する全ての収納部１０Ｓに窒素ガスが適切に供給されている区画ＣＨを示し、図８（ｂ）は、区画ＣＨに属する全ての収納部１０Ｓに窒素ガスが適切に供給されていない区画ＣＨを示し、図８（ｃ）は、区画ＣＨに属する一部の収納部１０Ｓに窒素ガスが適切に供給されていない区画ＣＨを例示している。そして、図８において、故障が生じた機器（図８（ｂ）では圧力調整バルブ）及び禁止収納部として管理されている収納部１０Ｓについてはグレー色で示している。
【００５４】
制御手段Ｈは、圧力検出センサ６８の検出情報に基づいて、圧力調整用バルブ６７にて調整された圧力に対して圧力検出センサ６８にて異常な圧力が検出され、プログラマブルロジックコントローラＰから圧力異常信号が送信された場合は、その異常な圧力が検出された区画用供給部分６２に対応する区画ＣＨに属する収納部１０Ｓの全てを禁止収納部として管理するように構成されている。（図８（ｂ）参照）
また、同様に、制御手段Ｈは、プログラマブルロジックコントローラＰの検出情報（ＩＯ異常信号、流量異常信号）に基づいて、プログラマブルロジックコントローラＰにて異常が検出されたＩＯ拡張モジュールＡ又はマニホールド７４に対応する区画ＣＨに属する収納部１０Ｓの全てを禁止収納部として管理するように構成されている。
【００５５】
そして、制御手段Ｈが、プログラマブルロジックコントローラＰの検出情報（通流異常信号）に基づいて、プログラマブルロジックコントローラＰにて異常が検出されたマスフローコントローラ４０を介して窒素ガスが供給される収納部１０Ｓを禁止収納部として管理するように構成されている。（図８（ｃ）参照）
【００５６】
このように、制御手段Ｈは、区画用供給状態検出手段Ｓ１の検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されている区画ＣＨに属する収納部１０Ｓの全てを許可収納部として管理し、収納部用供給状態検出手段Ｓ２の検出情報に基づいて、窒素ガスが適切に供給されていない収納部１０Ｓを禁止収納部として管理するように構成されている。そして、禁止収納部として管理されていない収納部１０Ｓを、許可収納部として管理するように構成されている。
【００５７】
次に、制御手段Ｈによる退避用搬送処理について説明する。
図１０に示すように、制御手段Ｈは、供給状態検出手段Ｓにて複数の収納部１０Ｓに対する不活性気体の供給状態が変化したことが検出されると、その変化に基づいて収納部１０Ｓの管理状態を切り換えるように構成されている。つまり、制御手段Ｈは、許可収納部として管理している収納部１０Ｓについて、圧力異常信号、通流異常信号、流量異常信号及びＩＯ異常信号のいずれかの異常信号が送信されると、当該収納部１０Ｓの管理状態を禁止収納部に切り換え、禁止収納部として管理している収納部１０Ｓについて、いずれの異常信号も送信されなくなると、当該収納部１０Ｓの管理状態を許可収納部に切り換えるように構成されている。
【００５８】
そして、制御手段Ｈは、在庫状態に基づいて、窒素ガスの供給状態の変化により管理状態が切り換えられた収納部１０Ｓに容器５０が収納されている場合、退避用搬送処理を実行して、管理状態が禁止収納部に切り換えられた収納部１０Ｓに収納されている容器５０を、許可収納部として管理されている収納部１０Ｓに搬送するようになっている。
ちなみに、禁止収納部として管理されている収納部１０Ｓについては、入庫搬送処理を実行するときに搬入対象の収納部１０Ｓとして選択せず、禁止収納部として管理されている収納部１０Ｓには容器５０を収納しないようになっている。
【００５９】
具体的には、例えば、図８（ａ）に示すように、区画ＣＨに属する収納部１０Ｓが許可収納部として管理されている場合において、圧力調整用バルブ６７が故障することで圧力検出センサ６８にて異常な圧力が検出され、制御手段Ｈに圧力異常信号が送信された場合は、図８（ｂ）に示すように、区画ＣＨに属する収納部１０Ｓの全てが禁止収納部として管理されることとなる。このような場合は、区画ＣＨに属する収納部１０Ｓに収納されている容器５０の全てを、他の区画ＣＨにおける許容収納部として管理されている収納部１０Ｓに搬送される。
【００６０】
このように退避用搬送処理を実行して、容器５０を許可収納部として管理されている収納部１０Ｓに搬送することで、その収納部１０Ｓには不活性気体が適切に供給されているため、容器５０内に不活性気体を供給することができる。そのため、収納部１０Ｓに対して適切に不活性気体を供給できなくなった場合でもその収納部１０Ｓに収納されている容器５０内の基板Ｗに不具合が生じることを未然に防ぐことができる。
【００６１】
そして、退避用搬送処理により、区画ＣＨに属する収納部１０Ｓに収納されている容器５０の全てを他の区画ＣＨに搬送するにあたり、収納部用供給状態検出手段Ｓ２により窒素ガスが適切に供給されていないことが検出されている収納部１０Ｓと、収納部用供給状態検出手段Ｓ２により窒素ガスが適切に供給されていることが検出されている収納部１０Ｓとがある場合、前者の収納部１０Ｓに収納されている容器５０を優先的に許可収納部として管理されている収納部１０Ｓに搬送するように構成されている。
【００６２】
制御手段Ｈは、複数の収納部１０Ｓの管理状態や異常が生じた機器を示す情報を表示するべくモニター７５の作動を制御するように構成されている。
また、モニター７５には、退避用搬送処理が終了した後、バイパス用切換弁７３の操作手順等の案内表示が表示される。
作業者は、モニター７５の表示内容と窒素ガス供給路６０の状態及びその途中に設けられた機器の状態から判断して、バイパス用切換弁７３を手動操作できるようになっている。
【００６３】
そして、図示はしないがバイパス用切換弁７３の切り換え状態を検出する切換状態検出手段としての切換状態検出センサが設けられており、制御手段Ｈは、区画用供給状態検出手段Ｓ１の検出情報と切換状態検出センサの検出情報とに基づいて、窒素ガスが適切に供給されておらず且つ当該区画ＣＨの収納部用供給部分６３に連通されているバイパス部分７２が窒素ガスを通流不能な区画ＣＨに属する収納部１０Ｓを禁止収納部として管理するように構成されている。
【００６４】
つまり、例えば、図９（ａ）に示すように、上側の区画ＣＨに対応する圧力調整用バルブ６７が故障することで制御手段Ｈに圧力異常信号が送信された場合は、その区画ＣＨに属する収納部１０Ｓの全てが禁止収納部として管理されることとなる。このような状態で、この区画ＣＨに接続されているバイパス部分７２に設けられたバイパス用切換弁７３を開き状態に切り換え操作することで、図９（ｂ）バイパス部分７２にて接続されている適切に窒素ガスが供給されている区画ＣＨから窒素ガスが供給されるようになっている。
そして、バイパス用切換弁７３が開き操作されることで禁止収納部として管理されている収納部１０Ｓが許可収納部として管理されることになる。よって、容器搬入処理にて収納対象の収納部１０Ｓとして選択されて搬入された容器５０が収納可能となるとともに、他の収納部１０Ｓの管理状態が禁止収納部に切り換わった場合に、その収納部１０Ｓに収納されている容器５０を受け入れできるようになる。
尚、制御手段Ｈは、区画用供給状態検出手段Ｓ１の検出情報と切換状態検出センサの検出情報とに基づいて、バイパス用切換弁７３が開き操作された場合は、窒素ガスが適切に供給されていない区画ＣＨに属する区画用バルブ６６を閉じ状態に切り換えるべく、区画用バルブ６６の作動を制御してもよい。
【００６５】
このように、バイパス用切換弁７３を閉じ状態に切り換えることで、区画ＣＨの単位で収納部１０Ｓに供給される窒素ガスの流量を各別に調整することができながら、窒素ガス供給路６０の破損や機器等が故障し、収納部１０Ｓに供給される不活性気体が適正供給量より減少する、又は、収納部１０Ｓに全く不活性気体が供給されなくなるなった場合に、バイパス用切換弁７３を開き状態に切り換えることで、窒素ガスが適切に供給されている区画ＣＨの収納部用供給部分６３から、窒素ガスが適切に供給されていない区画ＣＨの収納部用供給部分６３に、不活性気体を流動させることができる。
【００６６】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、供給状態検出手段Ｓとして、区画用供給状態検出手段Ｓ１と収納部用供給状態検出手段Ｓ２とを設けたが、区画用供給状態検出手段Ｓ１と収納部用供給状態検出手段Ｓ２とのうちのいずれか一方のみを設けてもよい。なお、収納部用供給状態検出手段Ｓ２のみを設ける場合、複数の収納部１０Ｓを複数の区画ＣＨに区分けしなくてもよい。
【００６７】
（２）上記実施形態では、区画用供給状態検出手段Ｓ１として、圧力検出手段と中継異常検出手段とを設けたが、圧力検出手段と中継異常検出手段とのいずれか一方のみを設けてもよく、また、区画用供給状態検出手段Ｓ１として、収納部用供給部分６３に通流する不活性気体の流量を検出する検出手段等、他の検出手段を設けてもよい。
【００６８】
（３）上記実施形態では、収納部用供給状態検出手段Ｓ２として、通流異常検出手段を設けたが、収納部用供給状態検出手段Ｓ２として、吐出部に供給される不活性気体の圧力を検出する検出手段等の、他の検出手段を設けてもよい。
【００６９】
（４）上記実施形態では、不活性気体供給路を、メイン供給部分６１と区画用供給部分６２と収納部用供給部分６３とを備えて構成したが、不活性気体供給路を、メイン供給部分６１と、そのメイン供給部分６１に接続された収納部用供給部分６３とを備えて構成してもよい。また、不活性気体供給路を、区画用供給部分６２と収納部用供給部分６３とを備えて構成して、区画用供給部分６２の夫々に対して不活性気体を供給する供給源を設けてもよい。
【００７０】
（５）上記実施形態では、自動倉庫に１つの保管棚１０を設け、その１つの保管棚１０に設けられた収納部１０Ｓを、許可収納部と禁止収納部とに区別して管理する収納部１０Ｓとしたが、自動倉庫に対向する状態で一対の保管棚１０を設け、その一対の保管棚１０に設けられた収納部１０Ｓを、許可収納部と禁止収納部とに区別して管理する収納部１０Ｓとしてもよく、また、複数の自動倉庫を設け、複数の自動倉庫に設けられた収納部１０Ｓを、許可収納部と禁止収納部とに区別して管理する収納部１０Ｓとしてもよい。
また、自動倉庫の保管棚１０に設けられた収納部１０Ｓの一部を、許可収納部と禁止収納部とに区別して管理する収納部１０Ｓとしてもよい。
また、天井搬送車（ホイスト式の搬送車Ｄ）の走行経路の側方又は下方に、天井搬送車の走行経路に沿って収納部１０Ｓを複数設け、この天井搬送車の走行経路に沿って設けた収納部１０Ｓを、許可収納部と禁止収納部とに区別して管理する収納部１０Ｓとしてもよい。
【００７１】
（６）上記実施形態では、基板Ｗを半導体ウェハーとし、搬送容器５０をＦＯＵＰとする構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、基板Ｗをレチクルとし、搬送容器５０をレチクル容器としてもよい。また、不活性気体を窒素ガスとしたが、不活性気体としては、窒素ガス以外にもアルゴンガス等、収容される基板Ｗに対して反応性の低い各種の気体を使用することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１０Ｓ  収納部
１０ｉ  吐出部
２０    搬送装置
４０    通流調整手段、通流異常検出手段
５０    搬送容器
６０    不活性気体供給路
６２    区画用供給部分
６３    収納部用供給部分
６７    圧力調整手段
６８    圧力検出手段
６９    流量調整手段
７０    通流調整手段
Ａ      中継手段
ＣＨ    区画
Ｈ      制御手段
Ｐ      中継異常検出手段
Ｓ      供給状態検出手段
Ｓ１    区画用供給状態検出手段
Ｓ２    収納部用供給状態検出手段
Ｗ      基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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