(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１固定部材と観察用試料としての断面試料と第２固定部材とがそれぞれ密着された状態で載置され、かつ、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入される試料載置部と、
前記試料載置部に電圧を導入する電圧導入手段と有し、
前記試料載置部は、前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを載置位置に位置決めする位置決め部を備えており、
前記位置決め部は、
前記断面試料の観察対象となる観察面を第１平面とし、当該第１平面に隣接して配置される、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の面を第２平面とし、
前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面を、前記断面試料の前記第１平面に対して平行で、かつ、当該第１平面から等距離の位置に位置決めする
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載の試料ホルダであって、
前記位置決め部は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面と前記断面試料の前記第１平面とを同一平面上に位置決めする
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項３】
請求項２に記載の試料ホルダであって、
前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とが、同一成分の材料によって構成されている
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項４】
請求項１に記載の試料ホルダであって、
前記位置決め部は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面を、前記断面試料の前記第１平面から所望の段差だけずれた位置に位置決めする
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項５】
請求項４に記載の試料ホルダであって、
前記第１固定部材及び前記第２固定部材は、同じ材質の材料で、かつ、前記断面試料とは異種材料によって構成されている
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載の試料ホルダであって、
前記所望の段差の大きさは、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の材質と前記断面試料の材質との違いに応じて決定される
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項７】
請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載の試料ホルダであって、
前記第１固定部材及び前記第２固定部材は、それぞれ、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方と前記断面試料とが前記試料載置部に載置されたときの前記第１平面と前記第２平面との離間距離を表す目印を備えている
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の試料ホルダであって、
前記位置決め部は、
前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを、前記断面試料に向けて照射される一次電子線の光軸方向の載置位置に位置決めする光軸方向位置決め部と、
前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを前記光軸方向に対して垂直に交差する取付方向の載置位置に位置決めする取付方向位置決め部とを備え、
前記光軸方向位置決め部は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面を、前記断面試料の前記第１平面に対して平行で、かつ、当該第１平面から等距離の位置に位置決めする
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項９】
請求項８に記載の試料ホルダであって、
前記試料載置部は、前記第１固定部材が収納される第１孔と前記第２固定部材が収納される第２孔とが連続して形成された取付孔が設けられており、
前記光軸方向位置決め部は、前記取付孔の前記一次電子線が入射される方向に開放された開口部を部分的に閉鎖する突出部によって構成されており、
前記取付方向位置決め部は、前記試料載置部の前記第１孔を囲む内壁面の中の、前記光軸方向に対して平行に配置され、かつ、前記第１固定部材の前記取付方向上の側面に当接する当接面によって構成されている
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項１０】
請求項９に記載の試料ホルダであって、
前記光軸方向位置決め部は、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の端面と前記断面試料の端面とに当接する当接面が、光軸方向位置決め面として、平面状に形成されており、
前記取付方向位置決め部を構成する前記当接面は、取付方向位置決め面として、平面状に形成されている
ことを特徴とする試料ホルダ。
【請求項１１】
試料ホルダの、第１固定部材と観察用試料としての断面試料と第２固定部材とがそれぞれ密着された状態で載置され、かつ、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入される試料載置部に対して、当該第１固定部材と当該断面試料と当該第２固定部材とを、当該断面試料に向けて照射される一次電子線の光軸方向の載置位置に位置決めする光軸方向位置決め部を予め設けておき、
前記断面試料の観察対象となる観察面を第１平面とし、当該第１平面に隣接して配置される、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の面を第２平面とし、前記光軸方向位置決め部によって、前記光軸方向に、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面を、前記断面試料の前記第１平面に対して平行で、かつ、当該第１平面から等距離の位置に位置決めしながら、前記光軸方向に対して垂直に交差する取付方向に、前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とをそれぞれ密着された状態で前記試料載置部に載置させ、その後に、前記第２固定部材を前記試料載置部に固定する
ことを特徴とする観察用試料固定方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の観察用試料固定方法であって、
さらに、前記試料載置部に対して、前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを前記取付方向の載置位置に位置決めする取付方向位置決め部を予め設けておき、
前記光軸方向位置決め部によって前記光軸方向に位置決めされた前記第１固定部材を、前記取付方向位置決め部によって前記取付方向の載置位置に位置決めし、さらに、前記光軸方向位置決め部によって前記光軸方向に位置決めされた前記断面試料及び前記第２固定部材を、前記第１固定部材に密着させ、その後に、前記第２固定部材を前記試料載置部に固定する
ことを特徴とする観察用試料固定方法。
【請求項１３】
請求項１１又は請求項１２に記載の観察用試料固定方法であって、
前記試料ホルダの上下方向を逆に配置し、前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを前記光軸方向位置決め部の上に載置して、前記第２固定部材を前記試料載置部に固定し、その後に、前記試料ホルダの上下方向を元に戻す
ことを特徴とする観察用試料固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡によって観察面が観察される観察用試料の保持に用いる試料ホルダであって、特に、断面試料を観察用試料とする場合に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料の良好な観察を可能にするに試料ホルダ、及び、その試料ホルダに観察用試料を固定する観察用試料固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡は、観察用試料（以下、単に「試料」と称する場合もある）が電子光学鏡筒の内部に配置され、電子銃から放出された一次電子線を磁界レンズによって収束（フォーカス）させて試料に照射し、その一次電子線の照射によって試料から放出される二次荷電粒子を検出することによって、試料の観察対象となる表面（以下、「観察面」と称する）の拡大像（以下、「試料像」と称する）を得る構成になっている。
【０００３】
その電子顕微鏡は、観察用試料として断面試料を観察する場合に、断面試料観察用の試料ホルダを用いる構成になっている。ここで、「断面試料」とは、一部分が割断された観察用試料を意味している。例えば、半導体製造業では、半導体ウェハの一部分を割断して、割断された半導体ウェハの断面部分を電子顕微鏡で観察することによって、半導体ウェハの欠陥の解析や製造プロセスの解析等を行っている。この場合に、その割断された半導体ウェハ等が、「断面試料」となる。
【０００４】
断面試料観察用の試料ホルダは、断面試料を電子顕微鏡に容易に装着するための部材である（例えば、特許文献１参照）。試料ホルダは、断面試料が内部に装填された状態で、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入されることによって、断面試料を観察に適した所定の位置に配置する。その際に、試料ホルダは、断面試料の観察面が一次電子線に対して垂直に交差するように、断面試料を保持する構成になっている。
【０００５】
特に、特許文献１に記載された試料ホルダは、一次電子線に対して、断面試料の観察位置を常に一定にする構成のものであり、断面試料を容易に電子顕微鏡に装着させることができ、断面試料を傾斜させても、視野逃げを回避する構成になっている。この特許文献１に代表される従来の試料ホルダは、断面試料の装填時に、断面試料の観察面の周囲が空間となる構成になっている。
【０００６】
ところで、電子顕微鏡は、その一形態として、走査電子顕微鏡がある。走査電子顕微鏡は、前記した電子顕微鏡の構成に対し、さらに、対物レンズの上方に設置された磁界式もしくは電界式の偏向器により、一次電子線を試料上で走査する機能が付加された構成になっている。
【０００７】
従来、走査電子顕微鏡は、試料をアース電位にして、試料像を得るものであったが、最近では、試料に負電圧を印加して、試料像を得るリターディング法（Ｄｅｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ法）が、一般的になってきている。「リターディング法」は、試料に数百〜数ｋＶ程度の負電圧（リターディング電圧）を印加し、一次電子線を試料の直前で減速させて、試料像を得る手法である。
【０００８】
リターディング法では、電子銃によって加速された一次電子線の電圧（加速電圧）をＶａｃｃとし、試料に印加された電圧（リターディング電圧）をＶｒとすると、一次電子線が試料に到達する時点での電圧（照射電圧（ただし、ランディングエネルギーと称する場合もある））Ｖｉが、Ｖｉ＝（Ｖａｃｃ−Ｖｒ）となる。
【０００９】
走査電子顕微鏡は、リターディング法を用いることにより、リターディング法を用いない場合（試料をアース電位においた場合）に比べて、照射電圧が同一であっても、高い画質の試料像を得ることができる。
【００１０】
例えば、Ｖａｃｃ＝１ｋＶでかつＶｒ＝０．５ｋＶの場合と、Ｖａｃｃ＝０．５ｋＶでかつＶｒ＝０Ｖの場合とでは、照射電圧Ｖｉは同じ０．５ｋＶになるが、前者の方が分解能（試料像が鮮明に見える度合い）を改善することができる。
【００１１】
また、走査電子顕微鏡は、リターディング手段を用いることにより、電子銃で実現できる最低加速電圧（例えばＶａｃｃ＝０．５ｋＶ）よりも低い照射電圧（例えばＶｉ＝０．１ｋＶ）で、試料像を得ることも可能になる。
【００１２】
このように、走査電子顕微鏡は、リターディング手段を用いることにより、試料の観察面の形態観察を高分解能で実現することができる。その他、走査電子顕微鏡は、リターディング手段を用いることにより、試料の帯電抑制や試料のダメージ軽減等の、種々の効果を得ることができる。
【００１３】
ところで、走査電子顕微鏡は、対物レンズと試料の配置関係により、アウトレンズ型、インレンズ型、セミインレンズ型の３種類に分類することができる。アウトレンズ型の走査電子顕微鏡は、試料を、対物レンズのレンズ磁界から完全に離れた位置に配置する構成になっている。インレンズ型の走査電子顕微鏡は、試料を、対物レンズのレンズ磁界間に配置する構成になっている。セミインレンズ型の走査電子顕微鏡は、アウトレンズ型とインレンズ型との中間の型であり、試料を、対物レンズのレンズ磁界間の中の、レンズ磁界の一部が漏洩する位置に配置する構成になっている。
【００１４】
以上の３種の走査電子顕微鏡のうち、インレンズ型の走査電子顕微鏡（以下、「インレンズＳＥＭ」と称する）は、対物レンズのレンズパワーを最も効率的に活用することができ、高分解能な試料像を取得できる点で、他の型よりも有利である。
【００１５】
しかしながら、インレンズＳＥＭは、試料を対物レンズのレンズ磁界間に配置する必要がある。そのため、インレンズＳＥＭは、試料を専用の試料ホルダの先端に装填させ、その試料ホルダを対物レンズのレンズ磁界間に挿入させる構成になっている。このようなインレンズＳＥＭは、試料及び試料ホルダが狭い空間に配置される。
【００１６】
一方、前記したリターディング法は、試料に一次電子線の加速電圧と同レベル（同じオーダー）の負電圧を印加する。そのため、リターディング法は、放電や漏電の恐れが考慮されて、インレンズＳＥＭでは、ほとんど採用されることがなかった。しかし、近年では、放電や漏電を防止する技術が開発されたため、インレンズＳＥＭは、リターディング法を採用することができるようになってきている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２０１０−５６０７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところで、リターディング法では、試料に負電圧を印加するため、試料の観察面の周囲に凹凸が存在すると、リターディング電界が試料の観察面の周囲で不均一になり、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象が発生する。
【００１９】
特に、インレンズＳＥＭは、レンズと試料との間の距離が短く、また、焦点深度が浅いため、このような現象がアウトレンズ型に比べて顕著に現れ易い。したがって、特に、インレンズＳＥＭは、リターディング法による試料の観察時に、リターディング電界が試料の観察面の周囲で不均一にならないようにする必要がある。
【００２０】
しかしながら、特許文献１に代表される従来の試料ホルダは、断面試料の装填時に、断面試料の観察面の周囲が空間となる。そのため、インレンズＳＥＭは、従来の試料ホルダを用いて、リターディング法による断面試料の観察を行った場合に、断面試料の観察面の周囲に、凹凸が存在する状態になる。その結果、インレンズＳＥＭは、リターディング電界が断面試料の観察面の周囲で不均一になり、これによって、前記した輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象が発生する。したがって、インレンズＳＥＭは、従来の試料ホルダを用いて、リターディング法による断面試料の観察を行った場合に、断面試料の良好な観察を行うことができなかった。
【００２１】
本発明は、前記した課題を解決するためになされたものであり、断面試料を観察用試料とする場合に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料の良好な観察を可能にする試料ホルダ、及び、その試料ホルダに観察用試料を固定する観察用試料固定方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
前記目的を達成するため、本発明は、電子顕微鏡によって観察面が観察される観察用試料の保持に用いる試料ホルダであって、第１固定部材と観察用試料としての断面試料と第２固定部材とがそれぞれ密着された状態で載置され、かつ、電子顕微鏡の電子光学鏡筒の内部に挿入される試料載置部と、前記試料載置部に電圧を導入する電圧導入手段と有し、前記試料載置部は、前記第１固定部材と前記断面試料と前記第２固定部材とを載置位置に位置決めする位置決め部を備えており、前記位置決め部は、前記断面試料の観察対象となる観察面を第１平面とし、当該第１平面に隣接して配置される、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の面を第２平面とし、前記第１固定部材及び前記第２固定部材の双方の前記第２平面を、前記断面試料の前記第１平面に対して平行で、かつ、当該第１平面から等距離の位置に位置決めする構成とする。
【００２３】
この試料ホルダは、位置決め部が、第１固定部材及び第２固定部材の双方の第２平面を、断面試料の観察面である第１平面に対して平行で、かつ、第１平面から等距離の位置に位置決めする構成となっている。
【００２４】
この試料ホルダは、断面試料を観察用試料とする場合に、断面試料の観察面（第１平面）の周囲のリターディング電界の不均一を打ち消すように、第１固定部材及び第２固定部材の第２平面を断面試料の観察面（第１平面）に隣接して配置することができる。そのため、この試料ホルダは、断面試料の観察面（第１平面）の周囲のリターディング電界の均一化を図ることができる。その結果、この試料ホルダは、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料の良好な観察を可能にする。
その他の手段は、後記する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、断面試料を観察用試料とする場合に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料の良好な観察を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】実施形態１に係るインレンズＳＥＭの概略構成図である。
【図２】実施形態１に係る試料ホルダの概略構成図である。
【図３】実施形態１に係る試料ホルダの分解斜視図である。
【図４Ａ】実施形態１に係る試料ホルダへの断面試料の固定方法の説明図（１）である。
【図４Ｂ】実施形態１に係る試料ホルダへの断面試料の固定方法の説明図（２）である。
【図４Ｃ】実施形態１に係る試料ホルダへの断面試料の固定方法の説明図（３）である。
【図５Ａ】実施形態１に係る試料ホルダの試料載置部の正面図である。
【図５Ｂ】実施形態１に係る試料ホルダの試料載置部の上面図である。
【図５Ｃ】実施形態１に係る試料ホルダの試料載置部の断面図である。
【図６】実施形態１に係る試料ホルダの試料載置部の等電位分布を示す図である。
【図７Ａ】実施形態２に係る試料ホルダの試料載置部の正面図である。
【図７Ｂ】実施形態２に係る試料ホルダの試料載置部の断面図である。
【図８Ａ】比較例に係る試料ホルダの試料載置部の等電位分布を示す図である。
【図８Ｂ】実施形態２に係る試料ホルダの試料載置部の等電位分布を示す図である。
【図９Ａ】実施形態３に係る試料ホルダの試料載置部の正面図である。
【図９Ｂ】実施形態３に係る試料ホルダの試料載置部の断面図である。
【図１０】実施形態３に係る試料ホルダの試料載置部の等電位分布を示す図である。
【図１１】実施形態４に係る試料ホルダに用いる第１スペーサ及び第２スペーサの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」と称する）につき詳細に説明する。なお、各図は、本発明を十分に理解できる程度に、概略的に示してあるに過ぎない。よって、本発明は、図示例のみに限定されるものではない。また、各図において、共通する構成要素や同様な構成要素については、同一の符号を付し、それらの重複する説明を省略する。
【００２８】
［実施形態１］
＜インレンズＳＥＭの構成＞
以下、図１を参照して、本実施形態１に係るインレンズＳＥＭ１０００の構成につき説明する。図１は、本実施形態１に係るインレンズＳＥＭ１０００の概略構成図である。
【００２９】
本実施形態１に係るインレンズＳＥＭ１０００は、後記する試料ホルダ１５が取り付けられるインレンズ型の走査電子顕微鏡である。図１に示すように、インレンズＳＥＭ１０００は、電子銃１、第１収束レンズ３、第２収束レンズ４、対物レンズ５、偏向コイル６、試料ステージ８、検出器９、増幅器１０、制御装置１１、処理装置１２、表示装置１３、及び、入力装置１４を有している。
【００３０】
観察用試料（以下、単に「試料」と称する場合もある）７は、断面試料観察用の試料ホルダ１５に装填される。その試料ホルダ１５は、インレンズＳＥＭ１０００の電子光学鏡筒４０に設けられた試料ステージ８に装着される。これにより、インレンズＳＥＭ１０００は、試料７が電子光学鏡筒４０の内部の所定の位置に配置される。その際に、試料ホルダ１５は、試料７を観察に適した方向に保持する。試料ホルダ１５の詳細については、後記する。
【００３１】
インレンズＳＥＭ１０００は、電子銃１が、一次電子線としての電子ビーム２を発生して、試料７の方向に放出する。インレンズＳＥＭ１０００は、電子銃１から放出された電子ビーム２を第１収束レンズ３及び第２収束レンズ４並びに対物レンズ５によって収束（フォーカス）させて、試料７に照射する。そして、インレンズＳＥＭ１０００は、電子ビーム２を偏向コイル６によって偏倚して、電子ビーム２によって試料７の観察対象となる表面（以下、「観察面」と称する）上を走査する。その際に、二次荷電粒子が、電子ビーム２の照射によって、試料７の観察面で発生し、試料７から放出される。
【００３２】
インレンズＳＥＭ１０００は、試料７から放出された二次荷電粒子を検出器９によって検出し、これによって、試料７の観察面の形状を表す画像信号を得る。インレンズＳＥＭ１０００は、画像信号を増幅器１０によって増幅し、処理装置１２によって映像信号に変換し、映像信号を表示装置１３に表示する。
【００３３】
インレンズＳＥＭ１０００は、試料ホルダ１５が試料ステージ８に装着されることにより、試料７が電子光学鏡筒４０の内部の対物レンズ５の間に配置される。また、インレンズＳＥＭ１０００は、制御装置１１が、第１収束レンズ３、第２収束レンズ４、対物レンズ５、及び、偏向コイル６の動作を制御する。また、インレンズＳＥＭ１０００は、処理装置１２が、入力装置１４から入力される情報に基づいて、試料ステージ８を制御する。
【００３４】
＜試料ホルダの構成＞
以下、図２及び図３を参照して、試料ホルダ１５の構成につき説明する。ここでは、試料７が例えば半導体ウェハ等の断面試料であるものとして説明する。以下、試料７を「断面試料７」と称する。
【００３５】
図２は、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の概略構成図である。図２は、試料ホルダ１５が試料ステージ８に装着された状態を示している。図３は、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の分解斜視図である。図３は、試料ホルダ１５の後記する試料載置部１７周りの構成を分解して示している。
【００３６】
図２に示すように、インレンズＳＥＭ１０００は、試料ステージ８が、電子光学鏡筒４０の外部から内部に貫通するように、電子光学鏡筒４０の側面の、対物レンズ５（図１参照）の近傍の位置に設けられている。試料ステージ８は、その内部に、電子光学鏡筒４０の外部と内部とを連通させる孔（真空フィードスルー）が設けられている。試料ホルダ１５は、長尺な棒状に形成されている。試料ホルダ１５は、その先端部分が電子光学鏡筒４０の側面から電子光学鏡筒４０の内部に挿入されるように、試料ステージ８に設けられたその真空フィードスルーの内部に挿入される。
【００３７】
試料ホルダ１５は、真空フィードスルーの内部に挿入される本体部１６、断面試料７が載置される試料載置部１７、真空を遮断するためのＯリング１８、試料ホルダ１５を挿入する際のガイドとなるガイドピン１９、及び、試料ホルダ１５を持つためのグリップ２０を有する。試料ホルダ１５は、本体部１６の先端部分に試料載置部１７が設けられており、本体部１６の後端部分にグリップ２０が設けられている。
【００３８】
試料ホルダ１５は、電圧ケーブル２２及び電圧導入線２４を有している。電圧ケーブル２２及び電圧導入線２４は、コネクタ２３を介してインレンズＳＥＭ１０００から印加される高電圧を試料載置部１７に導入する電圧導入手段である。
【００３９】
電圧ケーブル２２は、グリップ２０から試料ホルダ１５の外部に引き出された構成となっている。電圧ケーブル２２は、一端が電圧導入線２４に接続されており、他端がコネクタ２３に接続されている。電圧導入線２４は、本体部１６及びグリップ２０の内部に配設された構成となっている。電圧導入線２４は、一端が試料載置部１７に接続されており、他端が電圧ケーブル２２に接続されている。インレンズＳＥＭ１０００は、コネクタ２３を介して高電圧を試料ホルダ１５に印加する。印加された高電圧は、電圧ケーブル２２及び電圧導入線２４を介して、試料載置部１７に導入される。これにより、印加された高電圧は、電子ビーム２に対してリターディング電圧として作用する。
【００４０】
また、試料ホルダ１５は、図３に示すように、第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２を有している。第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２は、それぞれ、互いの間で断面試料７を挟み込み、断面試料７を固定する第１固定部材及び第２固定部材である。
【００４１】
第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２は、断面試料７とともに、試料載置部１７に設けられた取付孔１１０の内部に取り付けられることによって、試料載置部１７に載置される。第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、順番に、それぞれ密着された状態で取付孔１１０の内部に取り付けられる。
【００４２】
なお、ここでは、棒状の試料ホルダ１５の中心軸１０１の延伸方向を「ホルダ中心軸方向」と称し、電子ビーム２の照射方向を「光軸方向」と称し、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを取り付ける方向を「取付方向」と称する。また、ここでは、「ホルダ中心軸方向」と「光軸方向」と「取付方向」とは、それぞれが他の方向と垂直に交差する関係になっているものとして説明する。
【００４３】
第１スペーサ１２１は、長尺な平板状の部材として構成されている。第１スペーサ１２１は、電子ビーム２側に向けて配置される端面（以下、「スペーサ端面」と称する）４０２Ａが平面状に形成されている。また、第１スペーサ１２１は、スペーサ端面４０２Ａに対して垂直に交差する、対向して配置された２つの側面を備えている。
【００４４】
第１スペーサ１２１の２つの側面は、それぞれ、平面状に形成されており、その一方が後記する取付方向位置決め部２０２と当接（密着）する当接面となり、他方が断面試料７と当接する当接面となる。以下、一方の側面を「第１側面」と称し、他方の側面を「第２側面」と称する。第１側面は、ホルダ中心軸方向の両端部を除く略全域が平面状に形成されており、ホルダ中心軸方向の両端部のみが円弧状に形成されている。また、第２側面は、全域に亘って平面状に形成されている。そして、第１側面及び第２側面は、ホルダ中心軸方向の両端部を除く略全域が平行に形成されている。
【００４５】
第２スペーサ１２２は、長尺な平板状の部材として構成されている。第２スペーサ１２２は、第１スペーサ１２１よりも、ホルダ中心軸方向に長く形成されている。第２スペーサ１２２は、スペーサ端面４０２Ｂが平面状に形成されている。また、第２スペーサ１２２は、断面試料７と当接する側面を備えている。以下、この側面を「試料当接面」と称する。試料当接面は、全域に亘って平面状に形成されている。試料当接面は、スペーサ端面４０２Ｂに対して垂直に交差しており、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが試料載置部１７に載置されたときに、断面試料７を介して第１スペーサ１２１の第２側面に対向して配置される。
【００４６】
取付孔１１０は、ホルダ中心軸方向に対して、その両方向で閉鎖された構成となっている。また、取付孔１１０は、光軸方向に対して、その両方向に開放された構成となっている。
【００４７】
具体的には、取付孔１１０は、電子ビーム２が入射される方向に開放されているとともに、それとは逆向きの方向に開放された構成になっている。以下、電子ビーム２が入射される方向を「ビーム入射方向」と称し、逆向きの方向を「ビーム対向方向」と称する。また、取付孔１１０のビーム入射方向に開放された開口部を「取付孔１１０のビーム入射方向の開口部」と称し、取付孔１１０のビーム対向方向に開放された開口部を「取付孔１１０のビーム対向方向の開口部」と称する。
【００４８】
また、取付孔１１０は、取付方向に対して、その一方向にのみ開放された構成となっている。以下、取付孔１１０の取付方向に開放された開口部を「取付孔１１０の取付方向の開口部」と称する。また、取付孔１１０を取付方向で閉鎖する試料載置部１７の内壁面を「試料載置部１７の取付方向の内壁面」と称する。「試料載置部１７の取付方向の内壁面」は、後記する「取付方向位置決め部２０２」に相当する。
【００４９】
取付孔１１０は、第１スペーサ１２１が収納される第１孔１１１と、第２スペーサ１２２が収納される第２孔１１２とが連続して（繋がって）形成された構成になっている。
【００５０】
第１孔１１１は、第１スペーサ１２１が収納されるように、第１スペーサ１２１よりも、ホルダ中心軸方向に若干長く形成されている。なお、本実施形態１では、断面試料７が第２孔１１２に収納される場合を想定して説明している。そのため、本実施形態１では、第１孔１１１は、取付方向の奥行きが、第１スペーサ１２１の厚さ（第１スペーサ１２１の前記した「第１側面」から前記した「第２側面」までの距離）と同じ値か、又は、その値よりも若干短い値に設定されている。また、断面試料７は、ホルダ中心軸方向の幅が、第１スペーサ１２１よりも長く、かつ、第２スペーサ１２２よりも短く形成されている。
【００５１】
また、第２孔１１２は、第１孔１１１よりも、ホルダ中心軸方向に長く形成されている。具体的には、第２孔１１２は、第２スペーサ１２２が収納されるように、第２スペーサ１２２よりも、ホルダ中心軸方向に若干長く形成されている。
【００５２】
なお、本実施形態１では、前記した通り、断面試料７が第２孔１１２に収納される場合を想定して説明している。しかしながら、試料ホルダ１５は、断面試料７を第１孔１１１に収納するように構成することができる。この場合に、第１孔１１１は、取付方向の奥行きが、第１スペーサ１２１の厚さ（第１スペーサ１２１の前記した「第１側面」から前記した「第２側面」までの距離）よりも若干長い値に設定される。また、断面試料７は、ホルダ中心軸方向の幅が、第１スペーサ１２１よりも短く形成される。また、第２スペーサ１２２は、前記した試料当接面（断面試料７と当接する側面）の中の一部分（ただし、断面試料７と当接する部分）が、第１孔１１１側に突出する構成となる。
【００５３】
試料載置部１７は、前記した「取付孔１１０のビーム入射方向の開口部（取付孔１１０のビーム入射方向に開放された開口部）」を部分的に閉鎖する突出部が設けられている。この突出部は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを光軸方向の所定の位置に位置決めする光軸方向位置決め部２０１として機能する。
【００５４】
光軸方向位置決め部２０１は、断面試料７の観察面４０１を第１平面４０１とし、第１平面４０１に隣接して配置される、第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の双方のスペーサ端面４０２Ａ，４０２Ｂを第２平面４０２とし、第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の双方の第２平面４０２を、断面試料７の第１平面４０１に対して平行で、かつ、第１平面４０１から等距離の、光軸方向の所定の位置に位置決めする。
【００５５】
なお、本実施形態１では、「光軸方向の所定の位置」とは、第１スペーサ１２１のスペーサ端面（第２平面）４０２Ａと断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第２スペーサ１２２のスペーサ端面（第２平面）４０２Ｂとが同一平面上に配置される位置になっている。
【００５６】
本実施形態１では、光軸方向位置決め部２０１は、取付孔１１０のビーム入射方向の開口部に対して、ホルダ中心軸方向の後端側に設けられた第１光軸方向位置決め部２０１Ａと、ホルダ中心軸方向の先端側に設けられた第２光軸方向位置決め部２０１Ｂとによって構成されている。
【００５７】
また、試料載置部１７は、第１孔１１１を囲む内壁面の中の、前記した「試料載置部１７の取付方向の内壁面」が、第１スペーサ１２１の前記した「第１側面」に当接することにより、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを取付方向の所定の位置に位置決めする取付方向位置決め部２０２として機能する。
【００５８】
試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが、前記した「取付孔１１０の取付方向の開口部」又は前記した「取付孔１１０のビーム対向方向の開口部」から、順番に、それぞれ密着された状態で取付孔１１０の内部に取り付けられる。その際に、第１スペーサ１２１が、第１孔１１１に収納される。また、断面試料７と第２スペーサ１２２とが、第２孔１１２に収納される。
【００５９】
第２スペーサ１２２のホルダ中心軸方向の両端付近には、ねじ１３１を通すためのキリ孔１３０が設けられている。ねじ１３１は、第２スペーサ１２２のキリ孔１３０を介して、試料載置部１７の第２孔１１２の内部に設けられた雌ねじに嵌め込まれて、締め付けられる。これによって、ねじ１３１は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを、試料載置部１７の取付孔１１０の内部に設けられた取付方向位置決め部２０２に向けて押圧する。その結果、試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが、試料載置部１７に固定される。
【００６０】
＜試料ホルダへの断面試料の固定方法＞
以下、図４Ａ〜図４Ｃを参照して、試料ホルダ１５への断面試料７の固定方法につき説明する。なお、図４Ａ及び図４Ｂは、図３に示す試料ホルダ１５に対し、背面方向から見た構成を示している。また、図４Ｃは、図３に示す試料ホルダ１５に対し、同じ方向から見た構成を示している。
【００６１】
図４Ａに示すように、例えば、試料ホルダ１５は、中心軸１０１を中心にして、矢印方向に回転される。その結果、試料ホルダ１５は、上下方向が逆に配置された状態となる。このとき、試料載置部１７は、光軸方向位置決め部２０１の取付孔１１０に臨む内壁面２１１が上に向いた状態になる。
【００６２】
第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、その光軸方向位置決め部２０１の内壁面２１１の上に載置される。このとき、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、それぞれ、自重により、光軸方向位置決め部２０１の内壁面２１１と当接（密着）する。その結果、第１スペーサ１２１のスペーサ端面４０２Ａの両端部分（以下、「当接部２２１Ａ」と称する）と断面試料７の観察面４０１の両端部分（以下、「当接部２０７Ａ」と称する）と第２スペーサ１２２のスペーサ端面４０２Ｂの両端部分（以下、「当接部２２２Ａ」と称する）とが、光軸方向位置決め部２０１の内壁面２１１と当接する。このとき、光軸方向位置決め部２０１の内壁面２１１は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを光軸方向の所定の位置に位置決めする。
【００６３】
以下、光軸方向位置決め部２０１の内壁面２１１を「光軸方向位置決め面２１１」と称する。また、第１光軸方向位置決め部２０１Ａの内壁面２１１と第２光軸方向位置決め部２０１Ｂの内壁面２１１とを区別する場合に、第１光軸方向位置決め部２０１Ａの内壁面２１１を「光軸方向位置決め面２１１Ａ」と称し、第２光軸方向位置決め部２０１Ｂの内壁面２１１を「光軸方向位置決め面２１１Ｂ」と称する。光軸方向位置決め面２１１Ａと光軸方向位置決め面２１１Ｂとは、同一平面上に配置されている。
【００６４】
なお、本実施形態１では、「光軸方向の所定の位置」とは、前記した通り、第１スペーサ１２１のスペーサ端面（第２平面）４０２Ａと断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第２スペーサ１２２のスペーサ端面（第２平面）４０２Ｂとが同一平面上に配置される位置になっている。
【００６５】
試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが光軸方向位置決め部２０１の光軸方向位置決め面２１１の上に載置されると、ねじ１３１が、第２スペーサ１２２のキリ孔１３０を介して、試料載置部１７の第２孔１１２の内部に設けられた雌ねじに嵌め込まれて、締め付けられる。その結果、試料ホルダ１５は、図４Ｂに示す状態になる。すなわち、試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが、試料載置部１７に固定された状態になる。
【００６６】
試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが試料ホルダ１５の試料載置部１７に固定されると、中心軸１０１を中心にして、回転される。その結果、試料ホルダ１５は、図４Ｃに示すように、上下方向が元に戻された状態となる。
【００６７】
＜試料ホルダの試料載置部の構成＞
以下、及び、図５Ａ〜図５Ｃを参照して、試料ホルダ１５の試料載置部１７の構成につき説明する。図５Ａは、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の試料載置部１７の正面図である。図５Ｂは、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の試料載置部１７の上面図である。図５Ｃは、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の試料載置部１７の断面図である。図５Ａ〜図５Ｃは、いずれも、断面試料７が試料ホルダ１５に装填された状態（すなわち、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが試料ホルダ１５の試料載置部１７に載置された状態）を示している。
【００６８】
図５Ａ及び図５Ｂに示すように、試料ホルダ１５の試料載置部１７は、第１光軸方向位置決め部２０１Ａのビーム入射方向の面が平面状に形成されており、また、第２光軸方向位置決め部２０１Ｂのビーム入射方向の面が平面状に形成されている。以下、第１光軸方向位置決め部２０１Ａのビーム入射方向の面を「平面２９Ａ」と称し、第２光軸方向位置決め部２０１Ｂのビーム入射方向の面を「平面２９Ｂ」と称する。
【００６９】
また、試料ホルダ１５の試料載置部１７は、第１光軸方向位置決め部２０１Ａと第２光軸方向位置決め部２０１Ｂとの間のビーム入射方向の面が平面状に形成されている。以下、第１光軸方向位置決め部２０１Ａと第２光軸方向位置決め部２０１Ｂとを繋ぐ部分のビーム入射方向の面を「平面２９Ｃ」と称する。特に、平面２９Ｃと平面２９Ａと平面２９Ｂとを区別する場合に、平面２９Ｃを「中央の平面２９Ｃ」と称し、平面２９Ａを「側方の平面２９Ａ」と称し、平面２９Ｂを「側方の平面２９Ｂ」と称する。中央の平面２９Ｃは、第１光軸方向位置決め部２０１Ａの光軸方向位置決め面２１１Ａ、及び、第２光軸方向位置決め部２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ｂと同一平面上に配置されている。
【００７０】
また、試料ホルダ１５の試料載置部１７は、中央の平面２９Ｃと側方の平面２９Ａとを繋ぐ部分が平坦な傾斜面状に形成されているとともに、中央の平面２９Ｃと側方の平面２９Ｂとを繋ぐ部分が平坦な傾斜面状に形成されている。以下、中央の平面２９Ｃと側方の平面２９Ａとを繋ぐ部分の面を「傾斜面２９Ｄ」と称し、中央の平面２９Ｃと側方の平面２９Ｂとを繋ぐ部分の面を「傾斜面２９Ｅ」と称する。
【００７１】
図５Ａ及び図５Ｂに示すように、第１孔１１１及び第２孔１１２は、光軸方向に対して、その両方向に開放された構成となっており、また、取付方向に対して、その一方向にのみ開放された構成となっている。また、第１孔１１１及び第２孔１１２は、第１光軸方向位置決め部２０１Ａと第２光軸方向位置決め部２０１Ｂとによって、前記した「取付孔１１０のビーム入射方向の開口部」が部分的に閉鎖されている。そのため、第１孔１１１及び第２孔１１２は、ビーム入射方向に対して、中央の平面２９Ｃの領域で貫通孔になっているが、それ以外の領域（すなわち、平面２９Ａ及び傾斜面２９Ｄ並びに傾斜面２９Ｅ及び平面２９Ｂの領域）では貫通孔になっていない。
【００７２】
係る構成において、第１光軸方向位置決め部２０１Ａ及び第２光軸方向位置決め部２０１Ｂは、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが試料載置部１７に載置される場合に、光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂが、第１孔１１１及び第２孔１１２の底面となる（図４Ａ参照）。第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、その光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂの上に載置される。その結果、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、図５Ａに示すように、それぞれのホルダ中心軸方向の両端部が、光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接した状態になる。
【００７３】
試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂの上に載置されると、ねじ１３１が、第２スペーサ１２２のキリ孔１３０を介して、試料載置部１７の第２孔１１２の内部に設けられた雌ねじに嵌め込まれて、締め付けられる。これにより、試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが、試料載置部１７に固定された状態になる。
【００７４】
このとき、第１スペーサ１２１が、試料載置部１７の取付方向位置決め部２０２と当接する。これにより、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とは、図５Ｂ及び図５Ｃに示すように、各部材（第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２）の厚さに応じて、それぞれが取付方向の所定の位置に位置決めされる。なお、図５Ｃは、図５Ｂに示す線Ａ−Ａに沿って切断した試料載置部１７の断面形状を示している。
【００７５】
試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とが試料載置部１７に載置される場合に、最終的に、以下の状態になる。
【００７６】
図５Ａ及び図５Ｃに示すように、第１スペーサ１２１は、第２平面４０２Ａのホルダ中心軸方向の両端部（具体的には、当接部２２１Ａ（図４Ａ参照））が、光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する。そのため、第１スペーサ１２１は、第２平面４０２Ａが、必ず試料載置部１７の中央の平面２９Ｃ同一平面上に配置された状態になる。
【００７７】
また、断面試料７は、断面試料７の第１平面４０１のホルダ中心軸方向の両端部（具体的には、当接部２０７Ａ（図４Ａ参照））が、光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する。そのため、断面試料７は、第１平面４０１が、必ず試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと同一平面上に配置された状態になる。
【００７８】
また、第２スペーサ１２２は、第２平面４０２Ｂのホルダ中心軸方向の両端部（具体的には、当接部２２２Ａ（図４Ａ参照））が、光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する。そのため、第２スペーサ１２２は、第２平面４０２Ｂが、必ず試料載置部１７の中央の平面２９Ｃ同一平面上に配置された状態になる。
【００７９】
その結果、試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１の第２平面４０２Ａと断面試料７の第１平面４０１と第２スペーサ１２２の第２平面４０２Ｂと試料載置部１７の中央の平面２９Ｃとが、同一平面上に配置された状態になる。
【００８０】
なお、本実施形態１では、図５Ｂ及び図５Ｃに示すように、試料ホルダ１５は、第１スペーサ１２１の側面と断面試料７の側面との密着面が、電子ビーム２の光軸と試料ホルダ１５の本体部１６の中心軸１０１（図３参照）とを通る平面上に配置されている。以下、電子ビーム２の光軸と試料ホルダ１５の本体部１６の中心軸１０１とを通る平面を「垂直方向基準面５０２」と称する。
【００８１】
また、本実施形態１では、図５Ｃに示すように、試料ホルダ１５は、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂとが、同一平面上に配置される。以下、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂとが配置された平面を「光軸方向基準面５０１」と称する。光軸方向基準面５０１は、垂直方向基準面５０２と垂直に交差する構成になっている。
【００８２】
＜試料ホルダの試料載置部の等電位分布＞
図６は、本実施形態１に係る試料ホルダ１５の試料載置部１７の等電位分布を示す図である。図６は、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを試料ホルダ１５の試料載置部１７に載置して、リターディング電圧を試料載置部１７に印加した場合の、試料載置部１７の等電位分布の一例を示している。
【００８３】
図６に示すように、試料ホルダ１５は、試料載置部１７の周囲の等電位線５０３が、第１スペーサ１２１の第２平面４０２Ａの上、断面試料７の第１平面４０１の上、及び、第２スペーサ１２２の第２平面４０２Ｂの上で、ともに、均一となる。すなわち、試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２とを同一平面上に配置することにより、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲のリターディング電界を均一にしている。
【００８４】
このような試料ホルダ１５は、試料載置部１７によって観察用試料としての断面試料７を観察に適した方向に保持するとともに、電圧導入手段としての電圧ケーブル２２及び電圧導入線２４によってリターディング電圧を試料載置部１７に導入する構成になっている。そのため、試料ホルダ１５は、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の観察を容易に実現することができる。
【００８５】
しかも、試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲に、リターディング電界の不均一の要因になる凹凸が形成されない。そのため、試料ホルダ１５は、等電位線５０３が、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２とで、ともに均一になる。
【００８６】
その結果、試料ホルダ１５は、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の観察において、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができる。したがって、試料ホルダ１５は、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。このような試料ホルダ１５は、特に、インレンズ型の電子顕微鏡（インレンズＳＥＭ）に適用した場合に、より顕著な効果を得ることができる。
【００８７】
以上の通り、本実施形態１に係る試料ホルダ１５によれば、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【００８８】
［実施形態２］
実施形態１に係る試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２とを同一平面上に配置することにより、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲のリターディング電界を均一にしている。
【００８９】
しかしながら、実施形態１に係る試料ホルダ１５は、観察する断面試料７の材質によっては、このような構成では、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲のリターディング電界を均一にしきれない場合が考えられる。
【００９０】
例えば、実施形態１に係る試料ホルダ１５は、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の材質とが異なる場合に、物性値である誘電率がそれぞれ異なるため、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の内部の電位勾配との間に差が発生する。その結果、実施形態１に係る試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２との間で電位の差が発生する。
【００９１】
したがって、実施形態１に係る試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲のリターディング電界が断面試料７の材質と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の材質との違いに依存し、電位線５０３が断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２とで均一になる場合もあれば、不均一にもなる場合もある。
【００９２】
そこで、本実施形態２は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲の等電位線５０３が断面試料７の材質に依存して不均一になる場合に、等電位線５０３を均一にする試料ホルダ１５Ｂを提供する。
【００９３】
以下、図７Ａ及び図７Ｂを参照して、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂの構成につき説明する。図７Ａは、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂの試料載置部１７の正面図である。また、図７Ｂは、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂの試料載置部１７の断面図である。図７Ａ及び図７Ｂは、それぞれ、第１スペーサ１２１Ｂと断面試料７と第２スペーサ１２２Ｂとが、試料ホルダ１５Ｂの試料載置部１７に挿入された状態を示している。
【００９４】
ここでは、観察する断面試料７の材質の誘電率が本実施形態２で用いる第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質の誘電率よりも低い場合を想定して説明する。具体的には、断面試料７を半導体ウェハとし、その材質をＳｉとし、また、本実施形態２で用いる第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質をリン青銅とする場合を想定して説明する。
【００９５】
本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、実施形態１に係る試料ホルダ１５と比較すると、実施形態１に係る試料ホルダ１５の第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の代わりに、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂを用いる点で相違している。
【００９６】
図７Ａ及び図７Ｂに示すように、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂは、それぞれ、ビーム入射方向の面の中央部に第２平面４１２を有し、第２平面４１２の両側に、第２平面４１２から所望の高さだけ高い第３平面４１３を有する構成になっている。第３平面４１３は、試料載置部１７への載置時に、試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する部位である。
【００９７】
図７Ａに示す例では、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂは、第２平面４１２の中心軸方向の長さが、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃの長さと同じ長さに形成されている。ただし、第２平面４１２の中心軸方向の長さは、運用に応じて、中央の平面２９Ｃの長さよりも長く形成することも、また、短く形成することも可能である。
【００９８】
図７Ａに示すように、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂは、試料載置部１７への載置時に、第３平面４１３が試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接するとともに、第２平面４１２が試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接しない状態になる。また、図７Ｂに示すように、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂは、第２平面４１２が、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと異なる平面上（すなわち、光軸方向基準面５０１と異なる平面上）に配置される。
【００９９】
一方、図７Ａに示すように、断面試料７は、試料載置部１７への載置時に、観察面（第１平面）４０１が、試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する。そのため、図７Ｂに示すように、断面試料７は、観察面（第１平面）４０１が、必ず、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと同一平面上（すなわち、光軸方向基準面５０１上）に配置される。
【０１００】
したがって、試料ホルダ１５Ｂは、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２を、断面試料７の観察面（第１平面）４０１から所望の段差の大きさだけ低い位置に位置決めすることができる。
【０１０１】
図８Ａは、比較例に係る試料ホルダの試料載置部の等電位分布を示す図である。図８Ａは、実施形態１に係る試料ホルダ１５に対し、第１スペーサ１２１と断面試料７と第２スペーサ１２２とを試料ホルダ１５の試料載置部１７に載置して、リターディング電圧を試料載置部１７に印加した場合の、試料載置部１７の等電位分布の一例を示している。比較例では、実施形態２と同様に、断面試料７を半導体ウェハとし、その材質をＳｉとし、また、第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の材質をリン青銅とするものとして説明する。
【０１０２】
また、図８Ｂは、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂの試料載置部１７の等電位分布を示す図である。図８Ｂは、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂに対し、第１スペーサ１２１Ｂと断面試料７と第２スペーサ１２２Ｂとを試料ホルダ１５Ｂの試料載置部１７に載置して、リターディング電圧を試料載置部１７に印加した場合の、試料載置部１７の等電位分布の一例を示している。
【０１０３】
比較例に係る試料ホルダ１５は、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４０２とを、同一平面上に位置決めする。このような比較例に係る試料ホルダ１５は、図８Ａに示すように、第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２がともにリン青銅で形成されているため、第１スペーサ１２１の第２平面４０２の等電位線５０３と第２スペーサ１２２の第２平面４０２の等電位線５０３とが均一になる。
【０１０４】
しかしながら、比較例に係る試料ホルダ１５は、断面試料７がＳｉで形成されているため、第１平面４０１の等電位線５０３が第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の第２平面４０２よりも低くなる。この要因は、断面試料７の材質であるＳｉの誘電率が第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の材質であるリン青銅の誘電率よりも低いことにより、前記した通り、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２の内部の電位勾配との間に差が発生したためである。
【０１０５】
一方、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２を、断面試料７の観察面（第１平面）４０１から所望の段差の大きさだけ低い位置に位置決めする。
【０１０６】
これにより、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲にわずかな凹凸を形成して、この形状に起因する不均一なリターディング電界を発生させる。そして、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、この形状に起因する不均一なリターディング電界と、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの内部の電位勾配との間に差に起因する不均一なリターディング電界とを打ち消し合わせる。
【０１０７】
このような本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、図８Ｂに示すように、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２との全域に亘って、等電位線５０３を均一にすることができる。
【０１０８】
すなわち、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲で、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質との違いに依存しない、均一なリターディング電界を形成することができる。
【０１０９】
その結果、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、たとえ、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質とが異なっていても、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができ、電子顕微鏡（特に、インレンズＳＥＭ１０００）でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１１０】
なお、本実施形態２では、断面試料７の材質をＳｉとし、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質をリン青銅として説明した。しかしながら、この材質は、本実施形態２を分かり易く説明するために選定したものに過ぎない。断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質とは、断面試料７の材質の誘電率が第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質の誘電率よりも低い関係となるのであれば、前記した材質に特に限定するものではない。
【０１１１】
また、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、観察する断面試料７によっては、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの内部の電位勾配との差が大きくなりすぎる場合が考えられる。この場合に、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、第２平面４１２の位置を第３平面４１３の位置よりもその差に適した所望の高さだけ低くすると、リターディング電界が断面試料７の周囲に形成される凹凸に集中して強くなりすぎる。そのため、この場合に、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲の凹凸な形状に起因する不均一なリターディング電界と、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの内部の電位勾配との間に差に起因する不均一なリターディング電界とをうまく打ち消し合わすことができずに、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲のリターディング電界を均一にしきれないことが考えられる。その結果、この場合に、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象が発生する。
【０１１２】
ただし、このような場合であっても、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、例えば、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質を誘電率の低い半導体に変更する等のように、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂを交換することにより、対応することができる。この場合も、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂは、前記した材質に限定されるものではない。
【０１１３】
なお、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２と第３平面４１３との間の前記した「所望の高さ」は、材質に依存するリターディング電界の不均一を打ち消す程度の高さであり、各々の観察条件によって変わるため、必ずしも一定の値とはならない。そのため、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差（離間距離）の大きさがユーザの観察条件に適した所望の高さになっている第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂを複数提供する必要がある。ただし、前記した「所望の高さ」は、実際には数ミクロン程度の値となる。そのため、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、数十や数百といった膨大な数量の第１スペーサ１２１及び第２スペーサ１２２を提供することはない。
【０１１４】
以上の通り、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂによれば、実施形態１に係る試料ホルダ１５と同様に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１１５】
しかも、本実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂによれば、実施形態１に係る試料ホルダ１５に比べて、たとえ、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質とが異なっていても、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができ、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１１６】
［実施形態３］
実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、観察する断面試料７の材質の誘電率が第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質の誘電率よりも低い構成となっている。
【０１１７】
これに対して、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、観察する断面試料７の材質の誘電率が本実施形態３で用いる第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの材質の誘電率よりも高い構成となっている。
【０１１８】
以下、図９Ａ及び図９Ｂを参照して、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃの構成につき説明する。図９Ａは、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃの試料載置部１７の正面図である。また、図９Ｂは、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃの試料載置部１７の断面図である。図９Ａ及び図９Ｂは、それぞれ、第１スペーサ１２１Ｃと断面試料７と第２スペーサ１２２Ｃとが、試料ホルダ１５Ｃの試料載置部１７に挿入された状態を示している。
【０１１９】
本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂと比較すると、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂの第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの代わりに、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃを用いる点で相違している。
【０１２０】
図９Ａ及び図９Ｂに示すように、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃは、それぞれ、ビーム入射方向の面の中央部に第２平面５１２を有し、第２平面５１２の両側に、第２平面５１２から所望の高さだけ低い第３平面５１３を有する構成になっている。第３平面５１３は、試料載置部１７への載置時に、試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する部位である。
【０１２１】
図９Ａに示す例では、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃは、第２平面５１２の中心軸方向の長さが、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃの長さより若干短く形成されている。そのため、図９Ａに示すように、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃは、試料載置部１７への載置時に、第３平面５１３が試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接するとともに、第２平面５１２が試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接しない状態になる。また、図９Ｂに示すように、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃは、第２平面５１２が、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと異なる平面上（すなわち、光軸方向基準面５０１と異なる平面上）に配置される。
【０１２２】
一方、図９Ａに示すように、断面試料７は、試料載置部１７への載置時に、観察面（第１平面）４０１が試料載置部１７の光軸方向位置決め部２０１Ａ，２０１Ｂの光軸方向位置決め面２１１Ａ，２１１Ｂに当接する。そのため、図９Ｂに示すように、断面試料７は、観察面（第１平面）４０１が、必ず、試料載置部１７の中央の平面２９Ｃと同一平面上（すなわち、光軸方向基準面５０１上）に配置される。
【０１２３】
したがって、試料ホルダ１５Ｃは、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの第２平面５１２を、断面試料７の観察面（第１平面）４０１から所望の段差の大きさだけ高い位置に位置決めすることができる。
【０１２４】
図１０は、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃの試料載置部１７の等電位分布を示す図である。図１０は、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃに対し、第１スペーサ１２１Ｃと断面試料７と第２スペーサ１２２Ｃとを試料ホルダ１５Ｃの試料載置部１７に載置して、リターディング電圧を試料載置部１７に印加した場合の、試料載置部１７の等電位分布の一例を示している。
【０１２５】
本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの第２平面５１２を、断面試料７の観察面（第１平面）４０１から所望の段差の大きさだけ高い位置に位置決めする。
【０１２６】
これにより、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲にわずかな凹凸を形成して、この形状に起因する不均一なリターディング電界を発生させる。そして、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、この形状に起因する不均一なリターディング電界と、断面試料７の内部の電位勾配と第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの内部の電位勾配との間に差に起因する不均一なリターディング電界とを打ち消し合わせる。
【０１２７】
このような本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、図１０に示すように、断面試料７の観察面（第１平面）４０１と第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの第２平面５１２との全域に亘って、等電位線５０３を均一にすることができる。
【０１２８】
すなわち、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂと同様に、断面試料７の観察面（第１平面）４０１の周囲で、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの材質との違いに依存しない、均一なリターディング電界を形成することができる。
【０１２９】
その結果、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂと同様に、たとえ、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質とが異なっていても、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができ、電子顕微鏡（特に、インレンズＳＥＭ１０００）でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１３０】
以上の通り、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃによれば、実施形態１に係る試料ホルダ１５及び実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂと同様に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１３１】
しかも、本実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃによれば、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂと同様に、たとえ、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの材質とが異なっていても、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができ、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１３２】
［実施形態４］
実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差（離間距離）の大きさが、例えば、数ミクロン程度の値になる。そのため、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂは、見た目からでは、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの第２平面４１２が第３平面４１３に対してどの程度高いのか又は低いのかが分からなくなることが考えられる。この点については、実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃも、同様である。
【０１３３】
したがって、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂ及び実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、観察者が、各観察条件に適した第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂ、又は、各観察条件に適した第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃを、選定できないことが考えられる。
【０１３４】
また、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂ及び実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃは、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの材質として何が用いられているのかが分からなくなることが考えられる。
【０１３５】
そこで、本実施形態４では、第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差（離間距離）の値や第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄの材料等の属性情報が表示された第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄを用いる試料ホルダ１５Ｄを提供する。
【０１３６】
以下、図１１を参照して、本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄの構成につき説明する。図１１は、本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄに用いる第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄの上面図である。
【０１３７】
本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄは、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂ及び実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃと比較すると、第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂの代わりに、又は、第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃの代わりに、第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄを用いる点で相違している。
【０１３８】
その本実施形態４に用いる第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄは、図１１に示すように、実施形態２に用いる第１スペーサ１２１Ｂ及び第２スペーサ１２２Ｂ及び実施形態３に用いる第１スペーサ１２１Ｃ及び第２スペーサ１２２Ｃと比較すると、第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄの第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差（離間距離）の値を示す刻印を、目印５０４として、形成された構成になっている。
【０１３９】
なお、図１１に示す例では、第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄは、第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差の値が、目印５０４として、形成されている。しかしながら、第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄは、第２平面４１２と第３平面４１３との間の段差の値に加え、その材質も、目印５０４として、形成されていても良い。
【０１４０】
なお、目印５０４を形成する手法は、前記した刻印に限定されるものではなく、例えば、彩色によって形成しても良いし、属性情報を識別することができる形状によって形成しても良いし、また、観察者が各条件に適した第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄを正しく選定できるのであれば、特に限定されるものではない。
【０１４１】
以上の通り、本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄによれば、実施形態１〜実施形態３に係る試料ホルダ１５，１５Ｂ，１５Ｃと同様に、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１４２】
また、本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄによれば、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂ及び実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃと同様に、たとえ、断面試料７の材質と第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄの材質とが異なっていても、輝度むらや、像ひずみ、分解能の劣化等の現象の発生を最小限に抑制することができ、電子顕微鏡でのリターディング法による断面試料７の良好な観察を可能にする。
【０１４３】
しかも、本実施形態４に係る試料ホルダ１５Ｄによれば、実施形態２に係る試料ホルダ１５Ｂ及び実施形態３に係る試料ホルダ１５Ｃと比較すると、属性情報が表示された第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄを用いるため、観察者に適切な第１スペーサ１２１Ｄ及び第２スペーサ１２２Ｄを選択させることができる。
【０１４４】
本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。例えば、前記した実施形態は、本発明を分かり易く説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加・削除・置換をすることが可能である。
【符号の説明】
【０１４５】
１    電子銃
２    電子ビーム
３    第１収束レンズ
４    第２収束レンズ
５    対物レンズ
６    偏向コイル
７    観察用試料（断面試料）
８    試料ステージ
９    検出器
１０    増幅器
１１    制御装置
１２    処理装置
１３    表示装置
１４    入力装置
１５，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ    試料ホルダ
１６    本体部
１７    試料載置部
１８    Ｏリング
１９    ガイドピン
２０    グリップ
２２    電圧ケーブル
２３    コネクタ
２４    電圧導入線
２９Ａ    平面
２９Ｂ    平面
２９Ｃ    中央の平面
２９Ｄ    傾斜面
２９Ｅ    傾斜面
４０    電子光学鏡筒
１０１    中心軸
１１０    取付孔
１１１    第１孔
１１２    第２孔
１２１，１２１Ｂ，１２１Ｃ，１２１Ｄ    第１スペーサ（第１固定部材）
１２２，１２２Ｂ，１２２Ｃ，１２２Ｄ    第２スペーサ（第２固定部材）
１３０    キリ孔
１３１    ねじ
２０１    光軸方向位置決め部
２０１Ａ    第１光軸方向位置決め部
２０１Ｂ    第２光軸方向位置決め部
２０２    取付方向位置決め部
２０７Ａ，２２１Ａ，２２２Ａ    当接部
２１１（２１１Ａ，２１１Ｂ）    光軸方向位置決め面
２１２Ａ    取付方向位置決め面
４０１    観察面（第１平面）
４０２（４０２Ａ，４０２Ｂ），４１２（４１２Ａ，４１２Ｂ），５１２（５１２Ａ，５１２Ｂ）    スペーサ端面（第２平面）
４１３，５１３    第３平面
５０１    光軸方向基準面
５０２    垂直方向基準面
５０３    等電位線
５０４    目印
１０００    走査電子顕微鏡（インレンズＳＥＭ）
【図１】
0005709801.tif 000002
【図２】
0005709801.tif 000003
【図３】
0005709801.tif 000004
【図４Ａ】
0005709801.tif 000005
【図４Ｂ】
0005709801.tif 000006
【図４Ｃ】
0005709801.tif 000007
【図５Ａ】
0005709801.tif 000008
【図５Ｂ】
0005709801.tif 000009
【図５Ｃ】
0005709801.tif 000010
【図６】
0005709801.tif 000011
【図７Ａ】
0005709801.tif 000012
【図７Ｂ】
0005709801.tif 000013
【図８Ａ】
0005709801.tif 000014
【図８Ｂ】
0005709801.tif 000015
【図９Ａ】
0005709801.tif 000016
【図９Ｂ】
0005709801.tif 000017
【図１０】
0005709801.tif 000018
【図１１】
0005709801.tif 000019