(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光光が結像されて所定のマスクパターンが露光される対象ワークの基準平面に対する位置および姿勢を制御する載置ステージであって、
前記基準平面に対して固定的に設けられたベース部材と、
前記基準平面に沿う第１方向に移動可能に前記ベース部材上に設けられた第１駆動機構と、
該第１駆動機構により支持される第１スライダと、
前記基準平面に沿いかつ前記第１方向に対して傾斜する第２方向に移動可能に、前記第１スライダ上で前記第１方向に間隔を置いて対を為して設けられた２つの第２駆動機構と、
該各第２駆動機構により個別に支持される２つの第２スライダと、
前記対象ワークを載置すべく前記両第２スライダを前記第１方向に架け渡して前記基準平面に沿って設けられた平面調整板と、を備え、
前記平面調整板と一方の前記第２スライダとは、一端が板側第１支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第１支持点で一方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第１連結部で連結され、
該第１連結部は、前記板側第１支持点と前記スライダ側第１支持点との位置関係を変更することなく、前記板側第１支持点および前記スライダ側第１支持点を含む基準軸線回りの前記平面調整板と一方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容し、
前記平面調整板と他方の前記第２スライダとは、一端が板側第２支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第２支持点で他方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第２連結部で連結され、
該第２連結部は、前記基準平面に沿う第３方向での前記板側第２支持点と前記スライダ側第２支持点との相対的な位置の変化を許容するとともに、前記基準平面に直交する方向回りの前記平面調整板と他方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容し、
前記第３方向は、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜することを特徴とする載置ステージ。
【請求項２】
前記第１方向と前記第２方向とは、直交することを特徴とする請求項１に記載の載置ステージ。
【請求項３】
前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜する直線上に位置されていることを特徴とする請求項２に記載の載置ステージ。
【請求項４】
前記第３方向は、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする請求項３に記載の載置ステージ。
【請求項５】
前記第３方向は、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際における前記スライダ側第１支持点と前記スライダ側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする請求項３に記載の載置ステージ。
【請求項６】
前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記基準位置とされた際、互いを結ぶ線分の延在方向が前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して４５度の傾斜を為していることを特徴とする請求項３ないし請求項５のいずれか１項に記載の載置ステージ。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の載置ステージであって、
さらに、前記基準平面に直交する第４方向での前記対象ワークの位置および該第４方向に対する傾斜の変更のために前記平面調整板上に設けられた第４方向調整板と、
該第４方向調整板の前記第４方向での位置および該第４方向に対する傾斜を変更させる第４方向駆動機構と、を備え、
該第４方向駆動機構は、前記第４方向調整板を支持する少なくとも３つの支持部と、該各支持部を前記第４方向に移動させる駆動本体部と、を有し、
該駆動本体部は、少なくとも一部を前記第１スライダと前記第２スライダとの間に位置させつつ前記平面調整板の下側に設けられ、
前記各支持部は、前記第４方向で見て、前記平面調整板の下方の前記駆動本体部に接続するとともに、前記平面調整板の上方で前記第４方向調整板を支持していることを特徴とする載置ステージ。
【請求項８】
前記各支持部は、前記第４方向調整板に対する支持位置を変化させることなく該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第１支持部と、
前記第４方向調整板に対する支持位置を前記第１支持部による支持位置との線分方向に変更自在に、かつ前記第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第２支持部と、
前記第４方向調整板に対する支持位置を変更自在に、かつ該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第３支持部と、を有することを特徴とする請求項７に記載の載置ステージ。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の載置ステージを用いることを特徴とする露光装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板や液晶基板等の基板が載置される載置ステージ、およびそれを搭載する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトレジストなどの感光材料を塗布した対象ワークの表面に、所定のマスクパターンを露光装置により露光し、その後エッチング工程により基板上にマスクパターンを形成するフォトリソグラフィ法が種々の分野で広く応用されており、プリント配線基板や液晶基板等も露光装置を用いて製造されている。このような露光装置では、所定のパターンが形成されたマスクを透過した露光光を投影レンズで対象ワーク上に結像させることにより、対象ワーク上に所定のマスクパターンを形成するものがある。この露光装置では、対象ワーク上の所望の位置に結像させるために、対象ワークを移動可能に保持する載置ステージを用いることが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この従来の露光装置の載置ステージは、Ｙ軸方向に延びる２本のＹレール上のそれぞれに移動自在にＹスライダを設け、その両Ｙスライダを架け渡すようにＸレールを設け、Ｘレール上に移動自在にＸスライダを設け、そのＸスライダを載置台としている。この載置ステージでは、２つのＹスライダのＹレール上での位置を同期させて制御することにより、Ｙ軸方向でのＸレールの位置、すなわちその上のＸスライダに載置される対象ワークのＹ軸方向での位置を決定するＹ軸駆動機構として機能する。また、２つのＹスライダのＹレール上での位置を個別に制御することにより、Ｘ−Ｙ平面上でのＸレールの回転姿勢、すなわち対象ワークの回転姿勢を決定する回転駆動機構として機能する。さらに、ＸスライダのＸレール上での位置を制御することにより、決定されたＸレールの位置および姿勢に応じたＸ軸方向での対象ワークの位置を決定するＸ軸駆動機構として機能する。このため、上記した載置ステージでは、対象ワークをＸ−Ｙ平面上における任意の位置で任意の回転姿勢とすることができることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９４７６５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記した載置ステージでは、Ｙ軸駆動機構および回転駆動機構として機能する２つのＹスライダと２つのＹレールとの上に、Ｘ軸駆動機構が設けられて構成されている。このため、Ｘ軸駆動機構自体が回転機構により回転駆動されることから、Ｘ軸方向での対象ワークの位置を決定するためには、Ｘレールの回転姿勢に応じてＸスライダの位置制御を変更する必要があるので、対象ワークの位置姿勢制御が複雑なものとなってしまい、対象ワークを高精度に位置姿勢制御することが困難となってしまう。
【０００６】
また、上記した載置ステージでは、書面上では対象ワークをＸ−Ｙ平面上における任意の位置で任意の回転姿勢とすることが可能ではあるが、実際には、ＹスライダにおけるＸレールの保持のための機構に精密かつ複雑な構成が必要となってしまうので、高い精度で対象ワークの位置姿勢制御をすることが困難となってしまう。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、簡単な構成で、対象ワークの位置姿勢制御を極めて高い精度で行うことのできる載置ステージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、露光光が結像されて所定のマスクパターンが露光される対象ワークの基準平面に対する位置および姿勢を制御する載置ステージであって、前記基準平面に対して固定的に設けられたベース部材と、前記基準平面に沿う第１方向に移動可能に前記ベース部材上に設けられた第１駆動機構と、該第１駆動機構により支持される第１スライダと、前記基準平面に沿いかつ前記第１方向に対して傾斜する第２方向に移動可能に、前記第１スライダ上で前記第１方向に間隔を置いて対を為して設けられた２つの第２駆動機構と、該各第２駆動機構により個別に支持される２つの第２スライダと、前記対象ワークを載置すべく前記両第２スライダを前記第１方向に架け渡して前記基準平面に沿って設けられた平面調整板と、を備え、前記平面調整板と一方の前記第２スライダとは、一端が板側第１支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第１支持点で一方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第１連結部で連結され、該第１連結部は、前記板側第１支持点と前記スライダ側第１支持点との位置関係を変更することなく、前記板側第１支持点および前記スライダ側第１支持点を含む基準軸線回りの前記平面調整板と一方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容し、前記平面調整板と他方の前記第２スライダとは、一端が板側第２支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第２支持点で他方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第２連結部で連結され、該第２連結部は、前記基準平面に沿う第３方向での前記板側第２支持点と前記スライダ側第２支持点との相対的な位置の変化を許容するとともに、前記基準平面に直交する方向回りの前記平面調整板と他方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容し、前記第３方向は、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜することを特徴とする。 
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の載置ステージであって、前記第１方向と前記第２方向とは、直交することを特徴とする。 
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の載置ステージであって、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜する直線上に位置されていることを特徴とする。 
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の載置ステージであって、前記第３方向は、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする。 
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の載置ステージであって、前記第３方向は、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際における前記スライダ側第１支持点と前記スライダ側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることを特徴とする。 
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項３ないし請求項５のいずれか１項に記載の載置ステージであって、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記基準位置とされた際、互いを結ぶ線分の延在方向が前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して４５度の傾斜を為していることを特徴とする。 
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の載置ステージであって、さらに、前記基準平面に直交する第４方向での前記対象ワークの位置および該第４方向に対する傾斜の変更のために前記平面調整板上に設けられた第４方向調整板と、該第４方向調整板の前記第４方向での位置および該第４方向に対する傾斜を変更させる第４方向駆動機構と、を備え、該第４方向駆動機構は、前記第４方向調整板を支持する少なくとも３つの支持部と、該各支持部を前記第４方向に移動させる駆動本体部と、を有し、該駆動本体部は、少なくとも一部を前記第１スライダと前記第２スライダとの間に位置させつつ前記平面調整板の下側に設けられ、前記各支持部は、前記第４方向で見て、前記平面調整板の下方の前記駆動本体部に接続するとともに、前記平面調整板の上方で前記第４方向調整板を支持していることを特徴とする。 
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の載置ステージであって、前記各支持部は、前記第４方向調整板に対する支持位置を変化させることなく該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第１支持部と、前記第４方向調整板に対する支持位置を前記第１支持部による支持位置との線分方向に変更自在に、かつ前記第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第２支持部と、前記第４方向調整板に対する支持位置を変更自在に、かつ該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第３支持部と、を有することを特徴とする。 
【００１８】
請求項９に記載の露光装置は、請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の載置ステージを用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の載置ステージによれば、両第２スライダの第２方向での相対的な位置により平面調整板の回転姿勢を設定することができ、その両第２スライダの相対的な位置関係を維持したまま当該両第２スライダを同期させて駆動制御することにより、平面調整板の回転姿勢を維持したまま平面調整板を第２方向に移動させることができ、第１スライダを第１方向に移動させることにより第２方向での位置に拘らず平面調整板の回転姿勢を維持したまま平面調整板を第１方向に移動させることができる。これにより、平面調整板の第１方向（第１方向）の位置調整のための機構と、平面調整板の第２方向（第２方向）の位置調整のための機構と、の２つの構成で、それぞれの位置調整に影響を及ぼすことなく平面調整板の回転姿勢を設定することのできる回転駆動機構を形成することができる。このように、平面調整板の回転姿勢の変化の影響を受けることなく、平面調整板における第２方向での位置と第１方向での位置とを個別に調整することができるので、平面調整板の回転姿勢に拘らず同一の制御方法により平面調整板すなわち対象ワークの位置を調整することができる。
【００２０】
上記した構成に加えて、前記平面調整板と一方の前記第２スライダとは、一端が板側第１支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第１支持点で一方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第１連結部で連結され、該第１連結部は、前記板側第１支持点と前記スライダ側第１支持点との位置関係を変更することなく、前記板側第１支持点および前記スライダ側第１支持点を含む基準軸線回りの前記平面調整板と一方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容し、前記平面調整板と他方の前記第２スライダとは、一端が板側第２支持点で前記平面調整板に接続し、かつ他端がスライダ側第２支持点で他方の前記第２スライダに接続すべく、前記基準平面に直交する方向に延在する第２連結部で連結され、該第２連結部は、前記基準平面に沿う第３方向での前記板側第２支持点と前記スライダ側第２支持点との相対的な位置の変化を許容するとともに、前記基準平面に直交する方向回りの前記平面調整板と他方の前記第２スライダとの相対的な回転を許容することとすると、基準軸線に対する板側第２支持点およびスライダ側第２支持点の位置関係と平面調整板の回転姿勢とを一対一で対応させることができる。このため、両第２スライダの相対的な位置関係により、平面調整板すなわち対象ワークの回転姿勢を高い精度で設定することができる。
【００２１】
上記した構成に加えて、前記第３方向は、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜することとすると、第１方向と第２方向との角度関係に拘らず、両第２スライダを相対的に第２方向に移動させることにより、平面調整板を回転させることができる。
【００２２】
上記した構成に加えて、前記第１方向と前記第２方向とは、直交することとすると、より効率よく平面調整板すなわち対象ワークの位置を設定することができる。
【００２３】
上記した構成に加えて、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際、前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して傾斜する直線上に位置されていることとすると、平面調整板すなわち対象ワークの回転方向に拘らず、一方の第２スライダに対して他方の第２スライダを円滑に移動させることができる。
【００２４】
上記した構成に加えて、前記第３方向は、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることとすると、移動されたスライダ側第２支持点上に第３方向が位置するように、平面調整板を基準軸線回りに回転させることができる。このため、平面調整板すなわち対象ワークの回転姿勢を設定する際の、一方の第２スライダに対する他方の第２スライダの移動量の設定を容易なものとすることができる。
【００２５】
上記した構成に加えて、前記第３方向は、前記両第２スライダが前記第２方向への移動の基準となる基準位置とされた際における前記スライダ側第１支持点と前記スライダ側第２支持点とを結ぶ線分の延在方向であることとすると、移動されたスライダ側第２支持点を含む第３方向上に板側第２支持点が位置するように、平面調整板を基準軸線回りに回転させることができる。このため、平面調整板すなわち対象ワークの回転姿勢を設定する際の、一方の第２スライダに対する他方の第２スライダの移動量の設定を容易なものとすることができる。
【００２６】
上記した構成に加えて、前記板側第１支持点と前記板側第２支持点とは、前記両第２スライダが前記基準位置とされた際、互いを結ぶ線分の延在方向が前記第１方向と前記第２方向とのそれぞれに対して４５度の傾斜を為していることとすると、対象ワークの回転方向の差異による影響を極めて小さなものとすることができる。
【００２７】
上記した構成に加えて、さらに、前記基準平面に直交する第４方向での前記対象ワークの位置および該第４方向に対する傾斜の変更のために前記平面調整板上に設けられた第４方向調整板と、該第４方向調整板の前記第４方向での位置および該第４方向に対する傾斜を変更させる第４方向駆動機構と、を備え、該第４方向駆動機構は、前記第４方向調整板を支持する少なくとも３つの支持部と、該各支持部を前記第４方向に移動させる駆動本体部と、を有し、該駆動本体部は、少なくとも一部を前記第１スライダと前記第２スライダとの間に位置させつつ前記平面調整板の下側に設けられ、前記各支持部は、前記第４方向で見て、前記平面調整板の下方の前記駆動本体部に接続するとともに、前記平面調整板の上方で前記第４方向調整板を支持していることとすると、第４方向駆動機構を設けることによる高さ寸法（基準平面に直交する方向で見た大きさ寸法）の増大を抑制することができる。
【００２８】
上記した構成に加えて、前記各支持部は、前記第４方向調整板に対する支持位置を変化させることなく該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第１支持部と、前記第４方向調整板に対する支持位置を前記第１支持部による支持位置との線分方向に変更自在に、かつ前記第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第２支持部と、前記第４方向調整板に対する支持位置を変更自在に、かつ該第４方向調整板に対する支持角度を変更自在に支持する第３支持部と、を有することとすると、第４方向調整板が、第４方向駆動機構の第１支持部が固定された箇所を基点として、基準平面に直交する方向回りに回動することを防止することができる。このため、各第４方向駆動機構による支持高さ位置（第４方向で見た支持位置）を適宜変更することにより、平面調整板において設定された位置および回転姿勢の変更を招くことなく、第４方向調整板すなわち対象ワークの第４方向での位置および第４方向に対する傾きを設定することができる。
【００２９】
上記した載置ステージを用いた露光装置では、載置ステージにおいて対象ワークが極めて高い精度で位置および回転姿勢が設定されていることから、当該対象ワークにマスクパターン像を適切に露光することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本願発明に係る露光装置１０の構成を模式的に示す説明図である。
【図２】載置ステージ３０の構成を模式的に示す斜視図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面図である。
【図４】載置ステージ３０におけるベース部材３１、両Ｙ軸駆動機構３２、Ｙ軸スライダ３３、両Ｘ軸駆動機構３４および両Ｘ軸スライダ３５の様子を示す図２と同様の斜視図である。
【図５】図４にＸＹ調整板３６および各連結部（５１、５２、５３、５４）を加えた様子を示す図２と同様の斜視図である。
【図６】両Ｘ軸スライダ３５、ＸＹ調整板３６および各連結部（５１、５２、５３、５４）の位置関係を説明するための説明図である。
【図７】第１連結部５１の構成を模式的に示す斜視図である。
【図８】第２連結部５２の構成を模式的に示す斜視図である。
【図９】第３連結部５３の構成を模式的に示す斜視図である。
【図１０】第４連結部５４の構成を模式的に示す斜視図である。
【図１１】図５に各Ｚ軸駆動機構３７を加えた様子を示す図２と同様の斜視図である。
【図１２】Ｚ軸駆動機構３７Ａの構成の説明のために、その駆動本体部の周辺を拡大して示す図３と同様の断面図である。
【図１３】図６に示す両Ｘ軸スライダ３５とＸＹ調整板３６とが各連結部（５１、５２、５３、５４）により連結された模式図をＺ軸方向の上側から見た様子を示す説明図である。
【図１４】図１３と同様の説明図であり、（ａ）がＸ軸スライダ３５Ｂを正面視して左側（Ｘ軸方向の負側）に移動した様子を示し、（ｂ）がＸ軸スライダ３５Ｂを正面視して右側（Ｘ軸方向の正側）に移動した様子を示している。
【図１５】基準軸線Ｂａを原点Ｏとする座標上での基準ＸＹ調整板３６´を示す説明図である。
【図１６】図１５と同様の説明図であり、（ａ）が基準ＸＹ調整板３６´を正側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の負側へＸｓだけ移動させた様子を示し、（ｂ）が基準ＸＹ調整板３６´を負側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の正側へＸｓだけ移動させた様子を示している。
【図１７】図１５と同様の説明図であり、（ａ）が正側へＡ度回転された基準ＸＹ調整板３６´を移動する様子を示し、（ｂ）が負側へＡ度回転された基準ＸＹ調整板３６´を移動する様子を示している。
【図１８】座標位置（Ｘ０、Ｙ０）が、基準原点Ｏｂを回転中心として任意の回転角度θｒだけ回転移動された座標位置を（Ｘ１、Ｙ１）を示す説明図である。
【図１９】他の例の第２連結部５２´の構成を模式的に示す斜視図である。
【図２０】他の例における図１６と同様の説明図であり、（ａ）が基準ＸＹ調整板３６´を正側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の負側へＸｓだけ移動させた様子を示し、（ｂ）が基準ＸＹ調整板３６´を負側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の正側へＸｓだけ移動させた様子を示している。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下に、本願発明に係る載置ステージ３０の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【実施例】
【００３２】
先ず、本願発明に係る載置ステージ３０を用いた露光装置１０の概略的な構成について説明する。図１は、本願発明に係る露光装置の一例としての露光装置１０の構成を模式的に示す説明図である。露光装置１０は、図１に示すように、光軸方向に沿って出射側から順に、光源１１と、コールドミラー１２と、露光シャッタ１３と、紫外線バンドパスフィルタ１４と、インテグレータレンズ１５と、コリメータレンズ１６と、平面鏡１７と、マスクステージ１８と、マスクブラインド１９と、投影レンズ２０と、倍率補正部２１と、載置ステージ３０（投影露光ステージ）と、を有する。この露光装置１０は、露光光として紫外線を用いている。
【００３３】
光源１１は、露光に用いる露光光としての紫外線の照射のために設けられており、本実施例では、水銀ランプ１１ａが楕円反射鏡（楕円鏡）１１ｂの第１焦点位置に配置されて構成されている。この光源１１では、水銀ランプ１１ａから出射された出射光を、楕円反射鏡１１ｂで反射してコールドミラー１２へと進行させる。
【００３４】
コールドミラー１２は、入射した光のうち、赤外領域の熱線を透過させるとともに他の波長帯域の光を反射するものであり、入射した光から赤外領域の熱線を分離することができる。このため、光源１１からの出射光は、コールドミラー１２により赤外領域の熱線が分離されて、露光シャッタ１３もしくは紫外線バンドパスフィルタ１４へと進行する。
【００３５】
その露光シャッタ１３は、コールドミラー１２により反射された出射光の透過および遮断の切り替えを可能とすべく、コールドミラー１２から紫外線バンドパスフィルタ１４へと向かう光路（後述する照射光路）上に出し入れ自在とされている。この露光シャッタ１３は、光路上から退避されると後述するように対象ワーク２２の露光を可能とし、光路上に位置されると対象ワーク２２の露光を停止させる。
【００３６】
紫外線バンドパスフィルタ１４は、入射した光のうち紫外線のみの透過を許すものであり、本実施例では、波長３６５ｎｍの水銀のスペクトル線であるｉ線の透過を許すｉ線バンドパスフィルタにより構成されている。このため、コールドミラー１２により反射された出射光は、紫外線バンドパスフィルタ１４により紫外線（ｉ線）の波長帯域のみの光（実際には、ｉ線の波長帯域の近傍の強度が高い光）とされて、インテグレータレンズ１５へと進行する。
【００３７】
インテグレータレンズ１５は、入射した光の照度ムラを打ち消して照射面において周辺部まで均一で明るい照度分布とする。このため、紫外線バンドパスフィルタ１４を経て紫外線（ｉ線）の波長帯域のみの光とされた入射光は、インテグレータレンズ１５により均一な照度分布とされてコリメータレンズ１６へと進行する。
【００３８】
コリメータレンズ１６は、入射した光を平行光（光束）として出射する。このため、インテグレータレンズ１５を経て均一な照度分布とされた出射光は、コリメータレンズ１６により平行光とされて平面鏡１７へと進行し、その平面鏡１７により反射されてマスクステージ１８へと進行する。
【００３９】
マスクステージ１８は、パターンが形成されたマスク１８ａを、平面鏡１７により反射された出射光の光路上に位置させつつ当該光路の光軸に直交する方向に移動可能に保持する。また、マスクステージ１８は、図示は略すが、マスク１８ａの取り外しが可能とされており、マスク１８ａとは異なるパターンが形成されたマスクへの交換が可能とされている。このため、平面鏡１７により反射された出射光は、マスク１８ａを透過することにより、マスク１８ａに形成されたパターンの形状に応じたものとされて投影レンズ２０へと進行する。
【００４０】
このことから、露光装置１０では、光源１１から、コールドミラー１２、露光シャッタ１３、紫外線バンドパスフィルタ１４、インテグレータレンズ１５、コリメータレンズ１６および平面鏡１７を経る光路が、マスク１８ａを露光光としての紫外線（ｉ線）で照射するための照射光学系として機能する。
【００４１】
このマスクステージ１８と投影レンズ２０との間に、マスクブラインド１９が設けられている。マスクブラインド１９は、マスク１８ａを経た出射光の光路上に進退自在に設けられており、マスク１８ａのマスクパターンのうち所望の領域のみのマスクパターン像を、載置ステージ３０に載置された後述する対象ワーク２２上に適切に形成すべく、マスク１８ａのマスクパターンに応じて適宜光路上に進出される。
【００４２】
投影レンズ２０は、載置ステージ３０上の後述する対象ワーク２２に、マスク１８ａに形成されたパターンを適切に露光するためのものであり、マスクステージ１８に保持されたマスク１８ａのパターンの像（以下、マスクパターン像ともいう）を、適宜変倍して載置ステージ３０に載置された後述する対象ワーク２２の表面に形成する。すなわち、投影レンズ２０は、載置ステージ３０に載置された状態の対象ワーク２２の表面を結像面として、当該結像面とマスク１８ａとを光学的に共役な位置関係としている。露光装置１０では、上述したように、露光光として紫外線（ｉ線）を用いることから、投影レンズ２０は、露光光である紫外線（ｉ線）に対して高精度に収差補正されて設定されている。このため、投影レンズ２０は、マスク１８ａを透過した出射光が入射されると、マスク１８ａのマスクパターン像を載置ステージ３０上の結像面（後述する対象ワーク２２上）に適切に形成する。
【００４３】
この投影レンズ２０と載置ステージ３０との間に、倍率補正部２１が設けられている。倍率補正部２１は、載置ステージ３０上に載置される後述する対象ワーク２２における歪みに応じて、載置ステージ３０上の結像面に形成するマスクパターン像を変形させるものである。この倍率補正部２１は、光路に直交する面で見て、任意の方向での倍率を適宜変化させることにより、結像面でのマスクパターン像を変形させる。倍率補正部２１は、例えば、光路方向に複数枚のガラス板を並列し、各ガラス板を適宜湾曲させたり回転させたりする構成とすることで、実現することができる。
【００４４】
このように、露光装置１０では、マスクブラインド１９、投影レンズ２０および倍率補正部２１が、所定のパターンが形成されたマスク１８ａを透過した露光光としての紫外線を、載置ステージ３０上の結像面（後述する対象ワーク２２上）にマスクパターン像として結像させる投影光学系として機能する。
【００４５】
載置ステージ３０では、マスクパターンの露光のために対象ワーク２２が載置される。この載置ステージ３０は、載置される対象ワーク２２の表面を投影レンズ２０の結像面に一致させて対象ワーク２２を保持することができるとともに、保持した対象ワーク２２を投影光路に直交する面に沿って移動させることが可能とされている。この載置ステージ３０における対象ワーク２２の移動は、本実施例では、載置ステージ３０の内方に設けられた駆動制御部（図示せず）の制御下で行われる。この載置ステージ３０の構成については、後に詳細に説明する。なお、載置ステージ３０における対象ワーク２２の移動は、手動により行うものであってもよい。
【００４６】
その対象ワーク２２は、シリコンウエハやガラス基板やプリント基板等に、紫外線（ｉ線）に対して光反応するフォトレジスト等の感光材料が塗布または張り付けられて形成されている。このため、対象ワーク２２は、紫外線（ｉ線）の照射により露光可能とされている。
【００４７】
この露光装置１０では、照射光学系において、光源１１から出射された出射光が、コールドミラー１２、紫外線バンドパスフィルタ１４、インテグレータレンズ１５、コリメータレンズ１６および平面鏡１７を経て、マスクステージ１８へと到達することにより、マスクステージ１８に保持されたマスク１８ａを紫外線（ｉ線）で一様に照射する。すると、露光装置１０では、投影光学系すなわちマスクブラインド１９、投影レンズ２０および倍率補正部２１の機能により、載置ステージ３０上の結像面に、紫外線（ｉ線）によるマスクパターン像が適切に形成される。このことから、露光装置１０では、対象ワーク２２を結像面に沿う適切な位置（姿勢）とすることにより、対象ワーク２２にマスクパターン像を適切に露光することができる。このマスクパターン像に対する対象ワーク２２の位置、すなわち光学的に投影光学系（主に、投影レンズ２０）を経たマスク１８ａに対する対象ワーク２２の位置は、載置ステージ３０が保持する対象ワーク２２を結像面上で適宜移動させることにより、調整する（アライメントする）ことができる。
【００４８】
本発明に係る露光装置１０で用いる載置ステージ３０は、図２および図３に示すように、ベース部材３１と、２つのＹ軸駆動機構３２と、Ｙ軸スライダ３３と、２つのＸ軸駆動機構３４と、２つのＸ軸スライダ３５と、ＸＹ調整板３６と、３つのＺ軸駆動機構３７と、Ｚ軸調整板３８と、リフト機構３９と、チャックプレート４０と、を有する。
【００４９】
ベース部材３１は、上述した投影光学系に対する対象ワーク２２（図１参照）の位置関係を設定する際の基準となる基準平面に沿って延在する板状部材であり、当該投影光学系に対して固定的に設けられている。この基準平面は、上述した投影光学系によりマスクパターン像が結像される位置、すなわち投影レンズ２０によりマスク１８ａと光学的に共役な位置関係とされた結像面である。基準平面は、本実施例では、当該投影光学系の光軸方向をＺ軸方向として、そのＺ軸に直交する平面であるＸ−Ｙ平面に平行な平面とする。このＺ軸方向の正の側は、載置ステージ３０から上述した投影光学系へと向かう側（図２を正面視して上側）とし、本明細書では、載置ステージ３０における上側とも言う。このため、ベース部材３１は、Ｘ−Ｙ平面に沿って延在している。このベース部材３１の上面に、２つのＹ軸駆動機構３２が設けられている。
【００５０】
２つのＹ軸駆動機構３２は、図２ないし図４に示すように、ベース部材３１の上面において、Ｘ軸方向で見た両端位置に設けられている。この両Ｙ軸駆動機構３２は、ベース部材３１に対するＹ軸方向への駆動力をＹ軸スライダ３３へと付与するものである。そのＹ軸スライダ３３は、中央に貫通孔３３ａを有する板状を呈し、基準平面に沿って設けられている。
【００５１】
各Ｙ軸駆動機構３２は、後述するＸ軸駆動機構３４と基本的に同様の構成であり、Ｙ軸固定子３２ａと、一対のベース側Ｙ軸ガイド部材３２ｂと、図示は略すが、Ｙ軸可動子と、一対のスライダ側Ｙ軸ガイド部材と、を有する。Ｙ軸固定子３２ａは、ベース部材３１の上面において、異なる磁極が隣り合うように複数の永久磁石がＹ軸方向に整列されて形成されており、所謂マグネットトラックを構成している。両ベース側Ｙ軸ガイド部材３２ｂは、ベース部材３１の上面において、Ｙ軸固定子３２ａを挟むように対を為して設けられており、Ｙ軸方向に延在している。この両ベース側Ｙ軸ガイド部材３２ｂは、Ｙ軸スライダ３３の下面（裏面）に設けられた一対のスライダ側Ｙ軸ガイド部材（図示せず）と、延在方向（Ｙ軸方向）への摺動自在な嵌合が可能とされている。図示を略すＹ軸可動子は、Ｙ軸スライダ３３の下面（裏面）において、一対のスライダ側Ｙ軸ガイド部材（図示せず）の間に設けられており、Ｚ軸方向（上下方向）でＹ軸固定子３２ａと対向可能とされている。このＹ軸可動子（図示せず）には、電流の印加が可能とされたコイルが収容されている。
【００５２】
各Ｙ軸駆動機構３２では、Ｙ軸可動子（図示せず）とＹ軸固定子３２ａとの間での磁力による吸引反発力を適宜作用させることにより、当該Ｙ軸可動子が固定されたＹ軸スライダ３３をベース部材３１に対してＹ軸方向に適宜移動させることができる。このため、本実施例では、Ｙ軸方向が基準平面に沿う第１方向として機能し、両Ｙ軸駆動機構３２が第１駆動機構として機能し、Ｙ軸スライダ３３が第１スライダとして機能する。このベース部材３１上におけるＹ軸スライダ３３の位置を検出するために、図示は略すが位置検出素子が設けられている。なお、両Ｙ軸駆動機構３２は、単一のＹ軸スライダ３３を移動させるものであることから、双方が同期されて制御される。
【００５３】
載置ステージ３０では、その内方に設けられた駆動制御部（図示せず）により、両Ｙ軸可動子（図示せず）への印加電流を同期的に制御して、当該両Ｙ軸可動子と両Ｙ軸固定子３２ａとの間での磁力による吸引反発力を適宜作用させることにより、当該両Ｙ軸可動子が固定されたＹ軸スライダ３３をベース部材３１に対して適宜移動させる。このとき、上述した駆動制御部（図示せず）では、この移動が磁力による吸引反発力を利用するものであることから、設定した移動目標位置へと適切に移動するように、位置検出素子（図示せず）からの位置情報に基づいてサーボ制御を行う。このＹ軸スライダ３３に、２つのＸ軸駆動機構３４が設けられている。
【００５４】
２つのＸ軸駆動機構３４は、Ｙ軸スライダ３３の上面において、Ｙ軸方向で見た両端位置に設けられている。この各Ｘ軸駆動機構３４は、Ｙ軸スライダ３３に対するＸ軸方向への駆動力を、対応するＸ軸スライダ３５（３５Ａ、３５Ｂ）へと付与するものである。その両Ｘ軸スライダ３５は、Ｘ軸方向で見て略等しい長さ寸法とされた板状を呈し、Ｚ軸方向で見て等しい高さ位置（上下位置）で基準平面に沿って設けられている。
【００５５】
各Ｘ軸駆動機構３４は、Ｘ軸固定子３４ａと、一対のベース側Ｘ軸ガイド部材３４ｂと、Ｘ軸可動子３４ｃと、一対のスライダ側Ｘ軸ガイド部材３４ｄと、を有する。Ｘ軸固定子３４ａは、Ｙ軸スライダ３３の上面において、異なる磁極が隣り合うように複数の永久磁石がＹ軸方向に整列されて形成されており、所謂マグネットトラックを構成している。両ベース側Ｘ軸ガイド部材３４ｂは、Ｙ軸スライダ３３の上面において、Ｘ軸固定子３４ａを挟むように対を為して設けられており、Ｘ軸方向に延在している。この両ベース側Ｘ軸ガイド部材３４ｂは、対応するスライダ側Ｘ軸ガイド部材３４ｄの延在方向への摺動自在な嵌合が可能とされている。Ｘ軸可動子３４ｃは、Ｘ軸スライダ３５の下面（裏面）に設けられており、Ｚ軸方向（上下方向）でＸ軸固定子３４ａと対向可能とされている（図３参照）。このＸ軸可動子３４ｃには、電流の印加が可能とされたコイルが収容されている。Ｘ軸可動子３４ｃの両側に、一対のスライダ側Ｘ軸ガイド部材３４ｄが設けられている。
【００５６】
この２つのＸ軸駆動機構３４は、一方（個別に述べるときは３４Ａとする）がＸ軸スライダ３５Ａに対応されて設けられており、他方が（個別に述べるときは３４Ｂとする）がＸ軸スライダ３５Ｂに対応されて設けられている。すなわち、Ｘ軸駆動機構３４Ａは、一方のＸ軸スライダ３５ＡをＸ軸方向に移動させるべく設けられており、そのＸ軸可動子３４ｃがＸ軸スライダ３５Ａの下面に設けられている。また、Ｘ軸駆動機構３４Ｂは、他方のＸ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向に移動させるべく設けられており、そのＸ軸可動子３４ｃがＸ軸スライダ３５Ｂの下面に設けられている。
【００５７】
各Ｘ軸駆動機構３４では、Ｘ軸可動子３４ｃとＸ軸固定子３４ａとの間での磁力による吸引反発力を適宜作用させることにより、対応するＸ軸スライダ３５（３５Ａもしくは３５Ｂ）をＹ軸スライダ３３に対してＸ軸方向に適宜移動させることができる。このため、本実施例では、Ｘ軸方向が基準平面に沿いかつ第１方向に対して傾斜する第２方向として機能し、各Ｘ軸駆動機構３４が第２駆動機構として機能し、各Ｘ軸スライダ３５が第２スライダとして機能する。このＹ軸スライダ３３上における各Ｘ軸スライダ３５Ａ、３５Ｂの位置を検出するために、図示は略すが位置検出素子が設けられている。なお、本実施例では、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５ＢとがＸ軸方向での移動可能な範囲の中央位置にある状態、すなわちＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５ＢとがＹ軸スライダ３３の上面においてＸ軸方向での中央位置でＹ軸方向に整列している状態（図４等参照）を、両Ｘ軸駆動機構３４による駆動制御（Ｘ軸方向への移動）の基準位置としている。
【００５８】
載置ステージ３０では、その内方に設けられた駆動制御部（図示せず）により、各Ｘ軸可動子３４ｃへの印加電流が個別に制御されて、Ｘ軸可動子３４ｃとＸ軸固定子３４ａとの間での磁力による吸引反発力を適宜作用させることにより、Ｘ軸可動子３４ｃが固定されたＸ軸スライダ３５（３５Ａもしくは３５Ｂ）がＹ軸スライダ３３に対して適宜個別にもしくは一体的に移動される。このとき、上述した駆動制御部（図示せず）では、この移動が磁力による吸引反発力を利用するものであることから、設定した移動目標位置へと適切に移動するように、位置検出素子（図示せず）からの位置情報に基づいてサーボ制御を行う。この２つのＸ軸スライダ３５を架け渡すように、ＸＹ調整板３６が設けられている（図５参照）。
【００５９】
ＸＹ調整板３６は、対象ワーク２２（図１参照）のＸ−Ｙ方向での位置およびＸ−Ｙ平面に沿う回転姿勢の設定（調整）のために設けられている。このＸＹ調整板３６は、図５に示すように、板状を呈し、両Ｘ軸スライダ３５の上方で、当該Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとを基準平面に沿って架け渡すように、延在されている。ＸＹ調整板３６は、基本的には、第１連結部５１でＸ軸スライダ３５Ａに連結されるとともに、第２連結部５２でＸ軸スライダ３５Ｂに連結されている。本実施例では、その第１連結部５１および第２連結部５２に加えて、第３連結部５３でＸ軸スライダ３５Ａに連結されるとともに、第４連結部５４でＸ軸スライダ３５Ｂに連結されている。この各連結部（５１、５２、５３、５４）は、Ｚ軸方向に延在されており、上側の一端でＸＹ調整板３６に接続するとともに、下側の他端でＸ軸スライダ３５（３５Ａ、３５Ｂ）に接続している。
【００６０】
ここで、図６に示すように、ＸＹ調整板３６において、第１連結部５１が接続された箇所を板側第１支持点Ｓｂ１とし、第２連結部５２が接続された箇所を板側第２支持点Ｓｂ２とし、第３連結部５３が接続された箇所を板側第３支持点Ｓｂ３とし、第４連結部５４が接続された箇所を板側第４支持点Ｓｂ４とする。また、Ｘ軸スライダ３５Ａにおいて、第１連結部５１が接続された箇所をスライダ側第１支持点Ｓｓ１とし、第３連結部５３が接続された箇所をスライダ側第３支持点Ｓｓ３とする。さらに、Ｘ軸スライダ３５Ｂにおいて、第２連結部５２が接続された箇所をスライダ側第２支持点Ｓｓ２とし、第４連結部５４が接続された箇所をスライダ側第４支持点Ｓｓ４とする。本実施例では、ＸＹ調整板３６における各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）は、Ｚ軸方向からみると、正方形を描くように配置されている。
【００６１】
その第１連結部５１は、板側第１支持点Ｓｂ１とスライダ側第１支持点Ｓｓ１とをＺ軸方向で見て同一直線上に位置させつつ相対的な位置関係を固定した状態で、両支持点Ｓｂ１、Ｓｓ１を含む基準軸線Ｂａ回りにＸ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容するように、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とを連結する。本実施例では、第１連結部５１は、図７に示すように、Ｘ軸スライダ３５Ａに固定されＺ軸方向に延出された連結基部分５１ａと、その延出端部分５１ｂに対して回転可能に設けられた回転部分５１ｃと、を有する。この連結基部分５１ａは、全体に円筒状を呈し、その中心軸線（Ｂａ）がＺ軸方向に沿うものとされている。この回転部分５１ｃは、連結基部分５１ａの延出端部分５１ｂを取り囲む環状を呈し、延出端部分５１ｂに対して連結基部分５１ａの中心軸線（Ｂａ）回りに回転自在とされている。第１連結部５１では、回転部分５１ｃがＸＹ調整板３６に固定的に取り付けられている。
【００６２】
この第１連結部５１では、連結基部分５１ａの中心軸線（Ｂａ）回りに、連結基部分５１ａと回転部分５１ｃとの相対的な回転が可能であることから、連結基部分５１ａが設けられたＸ軸スライダ３５Ａと、回転部分５１ｃが設けられたＸＹ調整板３６と、の上記中心軸線（Ｂａ）回りの相対的な回転を許容しつつ、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とを連結している。このため、第１連結部５１では、連結基部分５１ａの中心軸線が基準軸線Ｂａとなり、連結基部分５１ａの中心位置がスライダ側第１支持点Ｓｓ１となり、回転部分５１ｃの中心位置が板側第１支持点Ｓｂ１となる。
【００６３】
第２連結部５２は、板側第２支持点Ｓｂ２とスライダ側第２支持点Ｓｓ２とをＸ−Ｙ平面に沿う第３方向への相対的な位置の変化を許容し、かつＺ軸方向回りにＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容するように、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とを連結する（図６等参照）。この第２連結部５２は、本実施例では、図８に示すように、Ｘ軸スライダ３５Ｂに固定されＺ軸方向に延出された連結基部分５２ａと、その連結基部分５２ａに対して回転可能とされた連結回転部分５２ｂと、その上端面に固定されたレール保持部分５２ｃと、そのレール保持部分５２ｃに摺動可能に保持されるレール５２ｄと、そのレール５２ｄに固定された取付部分５２ｅと、を有する。この連結基部分５２ａは、全体に円筒状を呈し、その中心軸線がＺ軸方向に沿うものとされている。連結回転部分５２ｂは、連結基部分５２ａよりも小さな径寸法の円柱状を呈し、その連結基部分５２ａ上の同心位置に設けられている。この連結回転部分５２ｂは、連結基部分５２ａに対して当該連結基部分５２ａの中心軸線回りに回転自在とされている。レール保持部分５２ｃは、Ｘ−Ｙ平面に沿う方向であって、Ｘ軸方向（第２方向）およびＹ軸方向（第１方向）に対して傾斜する第３方向へと摺動可能にレール５２ｄを保持することが可能とされている。レール５２ｄは、第３方向に延在された棒状を呈し、取付部分５２ｅに固定されている。取付部分５２ｅは、全体に円柱状を呈し、ＸＹ調整板３６に固定的に取り付けられている。このため、レール５２ｄは、取付部分５２ｅを介してＸＹ調整板３６に固定されていることとなる。このレール５２ｄの延在方向すなわち第３方向は、本実施例では、ＸＹ調整板３６上において板側第２支持点Ｓｂ２と板側第１支持点Ｓｂ１とを結ぶ線分の延在方向に一致するものとされており、各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）が描く正方形の対角線と一致されている。このため、第３方向は、両Ｘ軸駆動機構３４が駆動制御の基準位置とされると、Ｘ軸方向（第２方向）およびＹ軸方向（第１方向）に対して４５度の傾斜を有するものとなる。
【００６４】
この第２連結部５２では、レール５２ｄとレール保持部分５２ｃとの第３方向への相対的な移動が可能であるとともに、そのレール保持部分５２ｃが設けられた連結回転部分５２ｂの中心軸線回りに、連結回転部分５２ｂと連結基部分５２ａとの相対的な回転が可能である。このため、第２連結部５２は、連結基部分５２ａが設けられたＸ軸スライダ３５Ｂと、レール５２ｄ（取付部分５２ｅ）が設けられたＸＹ調整板３６と、の第３方向への相対的な変位を許容し、かつ連結基部分５２ａ（連結回転部分５２ｂ）の中心軸線回りのＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６との相対的な回転を許容しつつ、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とを連結している。このため、第２連結部５２では、連結基部分５２ａの中心位置がスライダ側第２支持点Ｓｓ２となり、レール５２ｄ（取付部分５２ｅ）の中心位置が板側第２支持点Ｓｂ２となる。この第２連結部５２は、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとが駆動制御の基準位置とされた際、板側第２支持点Ｓｂ２とスライダ側第２支持点Ｓｓ２とをＺ軸方向で見て同一直線上に位置させる（レール５２ｄの中心位置（取付部分５２ｅの中心軸線）と連結基部分５２ａの中心軸線とが一致する）基準位置となるように位置設定されて、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とにそれぞれ設けられている。
【００６５】
第３連結部５３は、板側第３支持点Ｓｂ３とスライダ側第３支持点Ｓｓ３とをＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な位置の変化を許容し、かつＺ軸方向回りにＸ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容するように、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とを連結する（図６等参照）。本実施例では、第３連結部５３は、図９に示すように、Ｘ軸スライダ３５Ａに固定された第１レール５３ａと、その第１レール５３ａを摺動可能に保持する第１レール保持部分５３ｂと、その第１レール保持部分５３ｂに固定された固定板部分５３ｃと、その固定板部分５３ｃに固定された第２レール保持部分５３ｄと、その第２レール保持部分５３ｄに摺動可能に保持される第２レール５３ｅと、その第２レール５３ｅに固定された回転軸部分５３ｆと、その回転軸部分５３ｆに対して回転可能に設けられた回転部分５３ｇと、を有する。この第１レール５３ａは、Ｙ軸方向に延在された棒状を呈する。第１レール保持部分５３ｂは、第１レール５３ａの延在方向へと摺動可能に第１レール５３ａを保持することが可能とされている。固定板部分５３ｃは、板状を呈し、下面側に第１レール保持部分５３ｂが設けられるとともに、上面側に第２レール保持部分５３ｄが設けられており、第１レール保持部分５３ｂと第２レール保持部分５３ｄとの位置関係を固定している。第２レール保持部分５３ｄは、Ｘ軸方向へと摺動可能に第２レール５３ｅを保持することが可能とされている。第２レール５３ｅは、Ｘ軸方向に延在された棒状を呈し、その延在方向に移動自在に第２レール保持部分５３ｄに保持されている。回転軸部分５３ｆは、全体に円柱状を呈し、中心軸線がＺ軸方向に沿うように第２レール５３ｅに固定されている。回転部分５３ｇは、回転軸部分５３ｆを取り囲む環状を呈し、その回転軸部分５３ｆに対して当該回転軸部分５３ｆの中心軸線回りに回転自在とされている。第３連結部５３では、回転部分５３ｇがＸＹ調整板３６に固定的に取り付けられている。
【００６６】
この第３連結部５３では、第１レール５３ａと第１レール保持部分５３ｂ（それが固定板部分５３ｃを介して固定された第２レール保持部分５３ｄ）とのＹ軸方向への相対的な移動が可能であり、かつ第２レール保持部分５３ｄと第２レール５３ｅとのＸ軸方向への相対的な移動が可能であり、しかもその第２レール５３ｅに設けられた回転軸部分５３ｆの中心軸線回りに、回転軸部分５３ｆと回転部分５３ｇとの相対的な回転が可能である。このため、第３連結部５３は、第１レール５３ａが設けられたＸ軸スライダ３５Ａと、回転部分５３ｇが設けられたＸＹ調整板３６と、のＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な変位を許容し、かつ回転軸部分５３ｆの中心軸線回りの相対的な回転を許容しつつ、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とを連結している。このため、第３連結部５３では、第１レール５３ａの中心位置がスライダ側第３支持点Ｓｓ３となり、回転部分５３ｇの中心位置が板側第３支持点Ｓｂ３となる。この第３連結部５３は、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとが駆動制御の基準位置とされた際、板側第３支持点Ｓｂ３とスライダ側第３支持点Ｓｓ３とをＺ軸方向で見て同一直線上に位置させる（回転軸部分５３ｆの中心軸線と第１レール５３ａの中心位置を含むＺ軸方向に沿う直線とが一致する）基準位置となるように位置設定されて、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とにそれぞれ設けられている。すなわち、第３連結部５３は、板側第３支持点Ｓｂ３とスライダ側第３支持点Ｓｓ３とのＺ軸方向で見た間隔を変動させることなく（当該間隔を所定の大きさ寸法に維持しつつ）、板側第３支持点Ｓｂ３とスライダ側第３支持点Ｓｓ３とのＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な位置の変動を可能とするものである。
【００６７】
第４連結部５４は、板側第４支持点Ｓｂ４とスライダ側第４支持点Ｓｓ４とをＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な位置の変化を許容し、かつＺ軸方向回りにＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容するように、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とを連結する（図６等参照）。本実施例では、第４連結部５４は、図１０に示すように、Ｘ軸スライダ３５Ｂに固定された第１レール５４ａと、その第１レール５４ａを摺動可能に保持する第１レール保持部分５４ｂと、その第１レール保持部分５４ｂに固定された固定板部分５４ｃと、その固定板部分５４ｃに固定された第２レール保持部分５４ｄと、その第２レール保持部分５４ｄに摺動可能に保持される第２レール５４ｅと、その第２レール５４ｅに固定された回転軸部分５４ｆと、その回転軸部分５４ｆに対して回転可能に設けられた回転部分５４ｇと、を有する。この第１レール５４ａは、Ｘ軸方向に延在された棒状を呈する。第１レール保持部分５４ｂは、第１レール５４ａの延在方向へと摺動可能に第１レール５４ａを保持することが可能とされている。固定板部分５４ｃは、板状を呈し、下面側に第１レール保持部分５４ｂが設けられるとともに、上面側に第２レール保持部分５４ｄが設けられており、第１レール保持部分５４ｂと第２レール保持部分５４ｄとの位置関係を固定している。第２レール保持部分５４ｄは、Ｙ軸方向へと摺動可能に第２レール５４ｅを保持することが可能とされている。第２レール５４ｅは、Ｙ軸方向に延在された棒状を呈し、その延在方向に移動自在に第２レール保持部分５４ｄに保持されている。回転軸部分５４ｆは、全体に円柱状を呈し、中心軸線がＺ軸方向に沿うように第２レール５４ｅに固定されている。回転部分５４ｇは、回転軸部分５４ｆを取り囲む環状を呈し、その回転軸部分５４ｆに対して当該回転軸部分５４ｆの中心軸線回りに回転自在とされている。第４連結部５４では、回転部分５４ｇがＸＹ調整板３６に固定的に取り付けられている。
【００６８】
この第４連結部５４では、第１レール５４ａと第１レール保持部分５４ｂ（それが固定板部分５４ｃを介して固定された第２レール保持部分５４ｄ）とのＸ軸方向への相対的な移動が可能であり、かつ第２レール保持部分５４ｄと第２レール５４ｅとのＹ軸方向への相対的な移動が可能であり、しかもその第２レール５４ｅに設けられた回転軸部分５４ｆの中心軸線回りに、回転軸部分５４ｆと回転部分５４ｇとの相対的な回転が可能である。このため、第４連結部５４は、第１レール５４ａが設けられたＸ軸スライダ３５Ｂと、回転部分５４ｇが設けられたＸＹ調整板３６と、のＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な変位を許容し、かつ回転軸部分５４ｆの中心軸線回りの相対的な回転を許容しつつ、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とを連結している。このため、第４連結部５４では、第１レール５４ａの中心位置がスライダ側第４支持点Ｓｓ４となり、回転部分５４ｇの中心位置が板側第４支持点Ｓｂ４となる。この第４連結部５４は、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとが駆動制御の基準位置とされた際、板側第４支持点Ｓｂ４とスライダ側第４支持点Ｓｓ４とをＺ軸方向で見て同一直線上に位置させる（回転軸部分５４ｆの中心軸線と第１レール５４ａの中心位置を含むＺ軸方向に沿う直線とが一致する）基準位置となるように位置設定されて、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とにそれぞれ設けられている。すなわち、第４連結部５４は、板側第４支持点Ｓｂ４とスライダ側第４支持点Ｓｓ４とのＺ軸方向で見た間隔を変動させることなく（当該間隔を所定の大きさ寸法に維持しつつ）、板側第４支持点Ｓｂ４とスライダ側第４支持点Ｓｓ４とのＸ−Ｙ平面に沿う方向への相対的な位置の変動を可能とするものである。
【００６９】
このため、ＸＹ調整板３６は、ベース部材３１上において、Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向に適宜移動させることによりＹ軸方向の位置の調整が可能であるとともに、両Ｘ軸スライダ３５（３５Ａ、３５Ｂ）を一体的にＸ軸方向に適宜移動させることによりＸ軸方向の位置の調整が可能であり、Ｘ−Ｙ平面に沿う移動が自在とされている。また、ＸＹ調整板３６は、図６に示すように、ベース部材３１上において、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとを個別にＸ軸方向に適宜移動させることにより、基準軸線Ｂａを回転中心としてＺ軸方向回りで見た回転姿勢を適宜調整することが可能とされている（矢印Ａ１参照）。このとき、ＸＹ調整板３６では、基準軸線Ｂａを基点とする回転に起因する板側第２支持点Ｓｂ２およびスライダ側第２支持点Ｓｓ２と、板側第３支持点Ｓｂ３およびスライダ側第３支持点Ｓｓ３と、板側第４支持点Ｓｂ４およびスライダ側第４支持点Ｓｓ４と、のＸ−Ｙ平面に沿う方向での変動分が、第２連結部５２における第３方向への変位と、第３連結部５３および第４連結部５４におけるＸ−Ｙ平面に沿う方向への変位と、で、吸収されることにより、両Ｘ軸スライダ３５（３５Ａ、３５Ｂ）による支持が可能とされている。また、ＸＹ調整板３６では、第２連結部５２が第３方向への変位のみを許容する構成とされていることから、Ｘ軸スライダ３５Ａに対するＸ軸スライダ３５Ｂの位置関係とＸＹ調整板３６の基準軸線Ｂａ回りの回転姿勢とを一対一で対応させることができる。このため、本実施例では、ＸＹ調整板３６が平面調整板として機能し、両Ｘ軸駆動機構３４と両Ｘ軸スライダ３５とが回転駆動機構としての機能も有する。このＸＹ調整板３６における、Ｘ−Ｙ平面に沿う状態での位置および回転姿勢の調整の制御については、後に詳細に説明する。
【００７０】
このＸＹ調整板３６には、中心位置を取り囲むように設けられた３つの支持部挿通孔３６ａ、３６ｂ、３６ｃと、その中央に設けられた中央貫通孔３６ｄと、が設けられている。３つの支持部挿通孔３６ａ、３６ｂ、３６ｃは、３つのＺ軸駆動機構３７に対応して設けられている。中央貫通孔３６ｄは、Ｚ軸方向から見てＹ軸スライダ３３の貫通孔３３ａよりも小さな大きさ寸法とされており、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとが駆動制御の基準位置とされた際、当該貫通孔３３ａの中心に位置するものとされている。
【００７１】
その３つのＺ軸駆動機構３７は、ＸＹ調整板３６の下側（裏面側）に設けられている（図１１および図１２参照）。各Ｚ軸駆動機構３７は、対象ワーク２２（図１参照）のＺ軸方向での位置およびＺ軸方向に対する傾斜の設定（調整）のために設けられている。この３つのＺ軸駆動機構３７は、本実施例では、図１１に示すように、１つ（個別に述べるときは３７Ａとする）がＸ軸スライダ３５Ａの上方に位置されており、残りの２つ（個別に述べるときは３７Ｂ、３７Ｃとする）がＸ軸スライダ３５Ｂの上方に位置されている。この各Ｚ軸駆動機構３７は、基本的な構成は等しいものであることから、Ｚ軸駆動機構３７Ａの概略的な構成を説明し、他については省略する。
【００７２】
Ｚ軸駆動機構３７Ａは、図１２に示すように、駆動モータ３７ａと、変換部３７ｂと、伝達軸３７ｃと、スライド軸受部３７ｄと、第１移動部３７ｅと、第１ガイド部３７ｆと、第２ガイド部３７ｇと、第２ガイド保持部３７ｈと、第２移動部３７ｉと、第３ガイド部３７ｊと、第３ガイド保持部３７ｋと、ボールジョイント軸３７ｌと、球面軸受部３７ｍと、Ｚ軸移動部３７ｎと、を有する。
【００７３】
駆動モータ３７ａは、載置ステージ３０の内方に設けられた駆動制御部（図示せず）により、印加電流が適宜制御されて、回転制御される。この駆動モータ３７ａは、本実施例では、ステッピングモータが用いられている。この駆動モータ３７ａの出力軸は、変換部３７ｂに接続されている。この変換部３７ｂには、伝達軸３７ｃも接続されており、駆動モータ３７ａ（その出力軸）の回転運動を、伝達軸３７ｃのＹ軸方向への進退運動に変換する。その伝達軸３７ｃは、Ｙ軸方向に延在された棒状を呈し、スライド軸受部３７ｄにＹ軸方向への進退自在に保持されている。そのスライド軸受部３７ｄは、ＸＹ調整板３６の裏面（下側の面）に固定されており、駆動モータ３７ａから駆動力が付与された伝達軸３７ｃが、Ｙ軸方向に進退移動することを補助する。
【００７４】
その伝達軸３７ｃに、第１移動部３７ｅが固定されている。この第１移動部３７ｅは、上面がＸ−Ｙ平面に沿いかつ下面がＸ−Ｙ平面に対して傾斜する所謂くさび形状を呈し、上面部で第１ガイド部３７ｆを摺動自在に保持している。その第１ガイド部３７ｆは、Ｙ軸方向に延在された棒状を呈し、ＸＹ調整板３６の裏面（下側の面）に固定されている。このため、第１移動部３７ｅは、伝達軸３７ｃのＹ軸方向への進退移動に伴って、Ｙ軸方向への進退移動することが可能とされている。
【００７５】
この第１移動部３７ｅの下面に沿うように、第２ガイド部３７ｇが固定されている。この第２ガイド部３７ｇは、棒状を呈し、Ｙ−Ｚ平面に沿いかつＹ軸に傾斜する方向に延在している。この第２ガイド部３７ｇは、第２ガイド保持部３７ｈに保持される。その第２ガイド保持部３７ｈは、第２ガイド部３７ｇを延在方向に摺動自在に保持可能とされており、第２移動部３７ｉに固定されている。
【００７６】
その第２移動部３７ｉは、全体に柱状を呈し、Ｙ軸方向に延出する腕部分３７ｏを有する。腕部分３７ｏの上面は、第１移動部３７ｅの下面と平行とされている。この腕部分３７ｏの上面に、第２ガイド保持部３７ｈが固定されている。第２移動部３７ｉには、Ｙ軸方向で見て腕部分３７ｏが延出された側とは反対側に、第３ガイド部３７ｊが固定されている。この第３ガイド部３７ｊは、棒状を呈し、Ｚ軸方向に延在している。第３ガイド部３７ｊは、第３ガイド保持部３７ｋに保持される。この第３ガイド保持部３７ｋは、第３ガイド部３７ｊを延在方向に摺動自在に保持可能とされており、ＸＹ調整板３６の延出壁３６ｅに固定されている。この延出壁３６ｅは、ＸＹ調整板３６の裏面（下側の面）から、Ｚ軸方向に沿って下側へと延出されている。
【００７７】
このため、第２移動部３７ｉは、第１移動部３７ｅがＹ軸方向へと進退移動されると、その第１移動部３７ｅに第２ガイド部３７ｇおよび第２ガイド保持部３７ｈを介して接続されていることにより、第３ガイド保持部３７ｋと第３ガイド部３７ｊとの案内方向であるＺ軸方向へと進退移動される。すなわち、第２移動部３７ｉは、伝達軸３７ｃが最も進出する（第１移動部３７ｅが駆動モータ３７ａから離間する）と、Ｚ軸方向で下側へと移動し、伝達軸３７ｃが最も後退する（第１移動部３７ｅが駆動モータ３７ａに接近する）と、Ｚ軸方向で上側へと移動する。このことから、各Ｚ軸駆動機構３７は、所謂クサビ機構とされている。このＺ軸方向に進退移動される第２移動部３７ｉおよび第３ガイド部３７ｊと、ＸＹ調整板３６に固定されてＺ軸方向の高さ位置が一定とされた延出壁３６ｅおよび第３ガイド保持部３７ｋと、は、下部がＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとの間の空間に位置されている。
【００７８】
この第２移動部３７ｉの上部にボールジョイント軸３７ｌが設けられている。このボールジョイント軸３７ｌは、Ｚ軸方向に延出されて設けられており、その延出端が球状（３７ｐ）とされている。ボールジョイント軸３７ｌの球状部３７ｐは、球面軸受部３７ｍにより保持されている。この球面軸受部３７ｍは、ボールジョイント軸３７ｌの球状部３７ｐを、その球面形状に沿って摺動自在に保持している。球面軸受部３７ｍの上方にＺ軸移動部３７ｎが設けられている。このＺ軸移動部３７ｎは、柱状を呈している。Ｚ軸移動部３７ｎは、第２移動部３７ｉに対して、ボールジョイント軸３７ｌの球状部３７ｐの中心位置回りに、揺動自在とされている。
【００７９】
このため、Ｚ軸駆動機構３７Ａでは、駆動モータ３７ａが適宜回転駆動されることにより第１移動部３７ｅがＹ軸方向へと進退移動し、この第１移動部３７ｅのＹ軸方向への進退移動に伴って第２移動部３７ｉがＺ軸方向へと進退移動し、その第２移動部３７ｉにボールジョイント軸３７ｌおよび球面軸受部３７ｍを介して取り付けられたＺ軸移動部３７ｎが、スライド軸受部３７ｄ、第１移動部３７ｅおよび第３ガイド保持部３７ｋを介して取り付けられたＸＹ調整板３６に対してＺ軸方向で進退移動する。
【００８０】
各Ｚ軸駆動機構３７は、上述したように、ＸＹ調整板３６の各支持部挿通孔（３６ａ、３６ｂ、３６ｃ）に個別に対応して設けられている。具体的には、図１１に示すように、Ｚ軸駆動機構３７ＡのＺ軸移動部３７ｎは、支持部挿通孔３６ａに挿通されており、Ｚ軸駆動機構３７ＢのＺ軸移動部３７ｎは、支持部挿通孔３６ｂに挿通されており、Ｚ軸駆動機構３７ＣのＺ軸移動部３７ｎは、支持部挿通孔３６ｃに挿通されている。各Ｚ軸駆動機構３７では、Ｚ軸移動部３７ｎの上方に、Ｚ軸調整板３８の支持のための調整板支持部（３７ｑ、３７ｒ、３７ｓ）が設けられている。このため、本実施例では、Ｚ軸方向が基準平面に直交する第４方向となり、Ｚ軸調整板３８が第４方向調整板として機能し、各Ｚ軸駆動機構３７が第４方向駆動機構として機能する。また、各Ｚ軸駆動機構３７では、駆動モータ３７ａ、変換部３７ｂ、伝達軸３７ｃ、スライド軸受部３７ｄ、第１移動部３７ｅ、第１ガイド部３７ｆ、第２ガイド部３７ｇ、第２ガイド保持部３７ｈ、第２移動部３７ｉ、第３ガイド部３７ｊ、第３ガイド保持部３７ｋ、ボールジョイント軸３７ｌ、球面軸受部３７ｍおよびＺ軸移動部３７ｎが駆動本体部として機能する。
【００８１】
Ｚ軸駆動機構３７ＡのＺ軸移動部３７ｎ上に設けられる調整板支持部３７ｑは、全体に円柱状を呈し、Ｚ軸調整板３８の裏面（下側の面）に対して所定の位置で固定される。すなわち、調整板支持部３７ｑは、ボールジョイント軸３７ｌと球面軸受部３７ｍとにより揺動自在とされたＺ軸移動部３７ｎ上に設けられていることから、Ｚ軸調整板３８のＸ−Ｙ平面に対する傾斜の変化を許容（支持角度を変更自在に）しつつＺ軸調整板３８の所定の位置を固定的に支持している。このため、調整板支持部３７ｑは、第４方向駆動機構における第１支持部として機能する。
【００８２】
Ｚ軸駆動機構３７ＢのＺ軸移動部３７ｎ上に設けられる調整板支持部３７ｒは、長尺なガイドレールを有し、図示は略すがＺ軸調整板３８の裏面に設けられたガイドレール保持部により摺動可能に当該ガイドレールが保持されることにより、Ｚ軸調整板３８の裏面に接続される。このガイドレールは、延在方向の延長線上にＺ軸駆動機構３７Ａの調整板支持部３７ｑ（Ｚ軸移動部３７ｎ）の軸線が位置するように、換言すると、当該軸線へ向けて延在するように、位置設定されている。この調整板支持部３７ｒは、ボールジョイント軸３７ｌと球面軸受部３７ｍとにより揺動自在とされたＺ軸移動部３７ｎ上に設けられていることから、Ｚ軸調整板３８のＸ−Ｙ平面に対する傾斜の変化を許容（支持角度を変更自在に）しつつＺ軸調整板３８の裏面をガイドレールの延在方向へと変位自在に支持している。このため、調整板支持部３７ｒは、第４方向駆動機構における第２支持部として機能する。
【００８３】
Ｚ軸駆動機構３７ＣのＺ軸移動部３７ｎ上に設けられる調整板支持部３７ｓは、全体に円柱状を呈し、Ｚ軸調整板３８の裏面に摺動自在に当接される。すなわち、調整板支持部３７ｓは、ボールジョイント軸３７ｌと球面軸受部３７ｍとにより揺動自在とされたＺ軸移動部３７ｎ上に設けられていることから、Ｚ軸調整板３８のＸ−Ｙ平面に対する傾斜の変化を許容（支持角度を変更自在に）しつつＺ軸調整板３８を移動自在に支持している。このため、調整板支持部３７ｓは、第４方向駆動機構における第３支持部として機能する。
【００８４】
そのＺ軸調整板３８は、図２に示すように、対象ワーク２２（図１参照）を吸着保持するチャックプレート４０の固定的な載置を可能とする板状部材である。Ｚ軸調整板３８は、各Ｚ軸駆動機構３７を同期させて駆動することにより、Ｚ軸方向で見た高さ位置が調整される。また、Ｚ軸調整板３８は、各Ｚ軸駆動機構３７を適宜個別に駆動することにより、Ｘ−Ｙ平面に対する傾斜が調整される。このとき、Ｚ軸調整板３８では、Ｚ軸駆動機構３７Ａの調整板支持部３７ｑが固定された箇所が基点となり、その調整板支持部３７ｑ、Ｚ軸駆動機構３７Ｂの調整板支持部３７ｒおよびＺ軸駆動機構３７Ｃの調整板支持部３７ｓの高さ位置の差異に起因するそれぞれの間隔の変動分が、調整板支持部３７ｒにおけるガイドレールの延在方向への変位と、調整板支持部３７ｓにおける変位と、で、吸収されることにより、各Ｚ軸駆動機構３７による支持が可能とされている。また、Ｚ軸調整板３８では、Ｚ軸駆動機構３７Ｂの調整板支持部３７ｒがガイドレールの延在方向への変位のみを許容する構成とされていることから、Ｚ軸駆動機構３７Ａの調整板支持部３７ｑが固定された箇所を基点として、Ｚ軸方向回りに回動することが防止されている。
【００８５】
このＺ軸調整板３８には、図３に示すように、工具顕微鏡４１と超音波センサ４２とが設けられている。この工具顕微鏡４１と超音波センサ４２とは、図示は略すが中央挿通孔３８ａの内周縁部に固定されている。その工具顕微鏡４１は、中央挿通孔３８ａから下方へと、ＸＹ調整板３６の中央貫通孔３６ｄおよびＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとの間の空間に延在されている。工具顕微鏡４１は、露光装置１０の投影光学系に対するＺ軸調整板３８（ＸＹ調整板３６）の基準位置の調整に用いる顕微鏡であり、光軸方向が中央挿通孔３８ａを介して固定されたＺ軸調整板３８が基準姿勢とされた状態においてＺ軸方向に等しいものとされている。このＺ軸調整板３８の基準姿勢は、各Ｚ軸駆動機構３７（調整板支持部（３７ｑ、３７ｒ、３７ｓ））による支持の高さ位置が等しいものとされた状態、すなわちベース部材３１を基準としてＸ−Ｙ平面に沿う状態をいう。この工具顕微鏡４１は、光軸を露光装置１０の投影光学系の投影光軸と一致させることにより、露光装置１０の投影光学系に対するＸ−Ｙ平面に沿う方向で見たＺ軸調整板３８（ＸＹ調整板３６）の位置を基準位置とするように配置されている。また、工具顕微鏡４１は、チャックプレート４０上に対象ワーク２２が吸着保持された際、当該対象ワーク２２を基準平面に沿うものとすべく、上述したチャックプレート４０が取り付けられるＺ軸調整板３８のＺ軸方向で見た位置（高さ位置）の調整のためにも用いることが可能とされている。
【００８６】
超音波センサ４２は、Ｚ軸調整板３８の中央挿通孔３８ａから下方へと、ＸＹ調整板３６の中央貫通孔３６ｄおよびＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとの間の空間に延在されている。この超音波センサ４２は、チャックプレート４０上に平坦な対象ワーク２２が吸着保持（載置）されているか否かの判別のために設けられている。超音波センサ４２は、検出方向が、Ｚ軸調整板３８が基準姿勢とされた状態においてＺ軸方向に等しいものとされている。
【００８７】
図２および図３に示すように、Ｚ軸調整板３８の下方に、リフト機構３９（図２および図３参照）が設けられている。このリフト機構３９は、チャックプレート４０上で、対象ワーク２２（図１参照）をＺ軸方向（正確にはＺ軸を含む高さ方向）に移動させるものである。リフト機構３９は、リフトベース３９ａと、複数のリフトピン３９ｂと、を有する。リフトベース３９ａは、図示を略す上下駆動部によりＺ軸方向へと変位自在に保持された枠部材である。この上下駆動部（図示せず）は、Ｚ軸調整板３８の裏面（下側の面）に取り付けられている。このため、リフトベース３９ａは、Ｚ軸調整板３８のＸ−Ｙ平面に対する傾斜に拘らず、上下駆動部（図示せず）により、Ｚ軸調整板３８とＸＹ調整板３６との間で、Ｚ軸調整板３８の板面に直交する方向で見た位置（Ｚ軸を含む高さ方向の位置）が変位自在とされている。このリフトベース３９ａに各リフトピン３９ｂが設けられている。
【００８８】
各リフトピン３９ｂは、リフトベース３９ａからＺ軸方向の上側に突起された筒状部材であり、上端面に載置される対象ワーク２２（図１参照）の吸着保持が可能とされている。この各リフトピン３９ｂは、Ｚ軸調整板３８に設けられたピン挿通孔３８ｂおよびチャックプレート４０に設けられたピン挿通孔４０ａ（図３参照）を経て、チャックプレート４０の上方へと突出可能とされている。このリフト機構３９は、各リフトピン３９ｂをチャックプレート４０の上方へと突出させた状態で、当該各リフトピン３９ｂの上端面に載置された対象ワーク２２（図１参照）を吸着保持し、その後リフトベース３９ａを下降させて各リフトピン３９ｂをチャックプレート４０側へと引き込むことにより、吸着保持した対象ワーク２２をチャックプレート４０上に載置させる。
【００８９】
そのチャックプレート４０は、複数の吸着孔４０ｂを有する。その各吸着孔４０ｂは、載置された対象ワーク２２（図１参照）の吸着保持が可能とされている。この各吸着孔４０ｂによる吸着動作は、リフト機構３９の動作とともに、載置ステージ３０の内方に設けられた駆動制御部（図示せず）の制御下で行われる。
【００９０】
この載置ステージ３０では、チャックプレート４０の上方へと突出させた各リフトピン３９ｂの上端面に載置された対象ワーク２２（図１参照）を吸着保持し、その対象ワーク２２を、リフト機構３９の動作により、チャックプレート４０による吸着保持へと移行する。その後、載置ステージ３０では、チャックプレート４０で吸着保持した対象ワーク２２の状態に応じて、当該対象ワーク２２を露光装置１０の投影光学系の結像面（基準平面）に沿う適切な位置（姿勢）とする。具体的には、ベース部材３１上において、両Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向に、かつ両Ｘ軸スライダ３５（３５Ａ、３５Ｂ）をＸ軸方向に適宜移動させることにより、チャックプレート４０、Ｚ軸調整板３８および各Ｚ軸駆動機構３７を介してＸＹ調整板３６に設けられた対象ワーク２２のＸ−Ｙ平面に沿う位置および回転姿勢を調整する。また、各Ｚ軸駆動機構３７による支持位置を適宜変更することにより、チャックプレート４０およびＺ軸調整板３８を介してＸＹ調整板３６に設けられた対象ワーク２２のＺ軸方向での位置（高さ位置）およびＸ−Ｙ平面に対する傾斜を調整する。これにより、露光装置１０では、対象ワーク２２にマスクパターン像を適切に露光することができる。
【００９１】
次に、両Ｙ軸スライダ３３および両Ｘ軸スライダ３５を用いた対象ワーク２２すなわちＸＹ調整板３６のＸ−Ｙ平面に沿う状態での位置および回転姿勢の調整について、図１３ないし図１８を用いて説明する。図１３は、図６に示す両Ｘ軸スライダ３５とＸＹ調整板３６とが各連結部（５１、５２、５３、５４）により連結された模式図をＺ軸方向の上側から見た様子を示す説明図であり、図１４は、図１３と同様の説明図であり、（ａ）がＸ軸スライダ３５Ｂを正面視して左側（Ｘ軸方向の負側）に移動した様子を示し、（ｂ）がＸ軸スライダ３５Ｂを正面視して右側（Ｘ軸方向の正側）に移動した様子を示している。
【００９２】
先ず、図１３に示す基準位置から、両Ｙ軸スライダ３３およびＸ軸スライダ３５Ａを固定した状態で、Ｘ軸スライダ３５ＢのみをＸ軸方向に移動させる場面を考える（図１４参照）。この場合、各連結部（５１、５２、５３、５４）の作用により、図１４に示すように、第１連結部５１の中心軸である基準軸線Ｂａ回りにＸＹ調整板３６が回転される。この回転姿勢は、第１連結部５１における連結状態に対する第２連結部５２における連結状態、すなわち基準軸線Ｂａ（板側第１支持点Ｓｂ１およびスライダ側第１支持点Ｓｓ１）に対する板側第２支持点Ｓｂ２およびスライダ側第２支持点Ｓｓ２の位置関係により決定する。これは、第１連結部５１が基準軸線Ｂａ回りにＸ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容するとともに、第２連結部５２がＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６との第３方向への相対的な変位を許容しかつ連結基部分５２ａの中心軸線回りの相対的な回転を許容することによる。ここで、以下の説明では、ＸＹ調整板３６における板側第１支持点Ｓｂ１と板側第２支持点Ｓｂ２を結ぶ直線である第３方向を、Ｘ−Ｙ平面上で見たＸＹ調整板３６の回転姿勢の目安とする回転目安線Ｒｍとし、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとが駆動制御の基準位置とされた際の回転目安線Ｒｍ（第３方向）の延在方向を回転基準線Ｒｂとする。この回転基準線Ｒｂは、本実施例では、Ｘ軸方向（第２方向）およびＹ軸方向（第１方向）に対して４５度の傾斜を有する。
【００９３】
Ｘ軸スライダ３５ＢのみがＸ軸方向に移動すると、図１４（ａ）および（ｂ）に示すように、Ｘ−Ｙ平面上で見て、Ｘ軸スライダ３５Ａのスライダ側第１支持点Ｓｓ１が移動しないのに対して、Ｘ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２がＸ軸方向へと移動する。すると、第２連結部５２が、スライダ側第２支持点Ｓｓ２に対して、ＸＹ調整板３６上で固定された板側第２支持点Ｓｂ２を、当該ＸＹ調整板３６上の第３方向である回転目安線Ｒｍに沿って移動可能に連結するものであることから、ＸＹ調整板３６は、移動されたスライダ側第２支持点Ｓｓ２上に回転目安線Ｒｍが位置するように、基準軸線Ｂａ回りに回転する。
【００９４】
ここで、以下の説明では、理解容易のために、図１５に示すように、各連結部（５１、５２、５３、５４）によるＸＹ調整板３６における各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）からなる正方形を基準ＸＹ調整板３６´とする。この図１５では、基準ＸＹ調整板３６´（ＸＹ調整板３６）の回転中心となる基準軸線Ｂａを原点Ｏとし、正面視して上下方向をＹ軸とするとともに上側を正側とし、左右方向をＸ軸とするとともに右側を正側とし、反時計方向を基準ＸＹ調整板３６´（ＸＹ調整板３６）の回転方向正側（図１６（ａ）および図１７（ａ）参照）とする。また、その基準ＸＹ調整板３６´において、板側第１支持点Ｓｂ１と板側第３支持点Ｓｂ３とを結ぶ辺の半分の長さ寸法をＡｘとし、板側第１支持点Ｓｂ１と板側第４支持点Ｓｂ４とを結ぶ辺の半分の長さ寸法をＡｙとする。さらに、Ｙ軸方向に対して回転基準線Ｒｂが為す回転基準角度をθｂとし、回転基準線Ｒｂに対して回転目安線Ｒｍが為す角度すなわち基準ＸＹ調整板３６´（ＸＹ調整板３６）の基準姿勢からの基準軸線Ｂａ回りの回転角度をθｒ（図１６参照）とする。なお、本実施例では、すべての角度を「°（度）」の単位で示すものとする。ついで、Ｘ軸駆動機構３４ＡすなわちＸ軸スライダ３５ＡのＸ軸方向への移動量をＸｍとし、Ｘ軸駆動機構３４ＢすなわちＸ軸スライダ３５ＢのＸ軸方向への移動量をＸｓとし、基準軸線Ｂａ（第１連結部５１）側に位置するＹ軸駆動機構３２のＹ軸方向への移動量をＹｍとし、反対側に位置するＹ軸駆動機構３２のＹ軸方向への移動量をＹｓとする。なお、本実施例では、２つのＹ軸駆動機構３２は、単一のＹ軸スライダ３３に対して設けられて常に同期されて制御されることから、移動量Ｙｓと移動量Ｙｍとは等しいものとなる。
【００９５】
基準ＸＹ調整板３６´を基準位置から任意の回転角度θｒまで回転させるために、Ｘ軸スライダ３５Ｂを基準位置から移動量Ｘｓまで移動させた様子を図１６に示す。この図１６は、上述したように、Ｘ軸スライダ３５ＢのみをＸ軸方向に移動すると、そのスライダ側第２支持点Ｓｓ２上に回転目安線Ｒｍを位置させるように、基準ＸＹ調整板３６´が基準軸線Ｂａ（スライダ側第１支持点Ｓｓ１）回りに回転することに基づく。図１６では、（ａ）が基準ＸＹ調整板３６´を正側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の負側へＸｓだけ移動させた様子を示し、（ｂ）が基準ＸＹ調整板３６´を負側へＡ度回転させるべく、Ｘ軸スライダ３５ＢをＸ軸方向の正側へＸｓだけ移動させた様子を示している。このＸ軸スライダ３５Ｂにおける基準位置からの移動量Ｘｓは、次式（１）で示すことができる。なお、式（１）では、Ｘ軸スライダ３５ＢのみをＸ軸方向に移動するものであることから、移動量Ｘｍ、移動量Ｙｓおよび移動量Ｙｍは、いずれも０となる。
【００９６】
【数１】
0005677025.tif 000002
【００９７】
この式（１）により、Ｘ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを相対的に移動量Ｘｓだけ移動させることにより、基準ＸＹ調整板３６´すなわちＸＹ調整板３６をＸ−Ｙ平面に沿う状態での任意の回転姿勢（基準姿勢から任意の回転角度θｒだけ回転した姿勢）とすることができる。
【００９８】
次に、回転中心を基準ＸＹ調整板３６´の中心位置に変換することを考える。これは、式（１）で示す各移動量は、Ｘ軸スライダ３５ＢのみをＸ軸方向に移動した場面において、基準ＸＹ調整板３６´が基準軸線Ｂａ（スライダ側第１支持点Ｓｓ１）回りに回転角度θｒだけ回転させるために必要な値を示すものであることによる。このため、図１７に示すように、基準軸線Ｂａ回りに回転角度θｒだけ回転させた基準ＸＹ調整板３６´の中心位置が、基準位置にある基準ＸＹ調整板３６´の中心位置となるように（矢印Ａ２参照）、回転後の基準ＸＹ調整板３６´の回転姿勢を維持したまま移動させる（矢印Ａ３参照）。この図１７では、（ａ）が正側へＡ度回転された基準ＸＹ調整板３６´を移動する様子を示し、（ｂ）が負側へＡ度回転された基準ＸＹ調整板３６´を移動する様子を示している。また、図１７では、基準位置にある基準ＸＹ調整板３６´を一点鎖線で示し、回転後の基準ＸＹ調整板３６´を実線で示し、回転姿勢が維持されて移動された基準ＸＹ調整板３６´を二点鎖線で示している。このときの各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍは、次式（２）で示すことができる。なお、この式（２）では、式（１）による基準ＸＹ調整板３６´の回転姿勢を維持したまま移動させるものであることから、移動量Ｘｓと移動量Ｘｍとが等しいものとなり、移動量Ｙｓと移動量Ｙｍとが等しいものとなる。
【００９９】
【数２】
0005677025.tif 000003
【０１００】
この式（２）により、式（１）で任意の回転姿勢とされた基準ＸＹ調整板３６´を、その中心位置が基準位置にある基準ＸＹ調整板３６´の中心位置となるように（矢印Ａ２参照）、変位させることができる（二点鎖線で示す基準ＸＹ調整板３６´および矢印Ａ３参照）。このため、式（１）および式（２）で示す各移動量を加算したものが、基準位置にある基準ＸＹ調整板３６´の中心位置回りに、当該基準ＸＹ調整板３６´を回転角度θｒだけ回転させるために必要な各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍとなる。
【０１０１】
次に、回転中心を任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）に変換することを考える。これは、式（１）および式（２）で示す各移動量は、基準位置にある基準ＸＹ調整板３６´の中心位置を回転中心とするものであることによる。このため、図１８に示すように、座標位置（Ｘ０、Ｙ０）が、基準原点Ｏｂを回転中心として任意の回転角度θｒだけ正側もしくは負側に回転移動された座標位置を（Ｘ１、Ｙ１）として、座標位置（Ｘ１、Ｙ１）から座標位置（Ｘ０、Ｙ０）へと移動させるための移動量（矢印Ａ４参照）を求める。この移動量（矢印Ａ４参照）におけるＸ軸方向の移動量が移動量Ｘｓおよび移動量Ｘｍとなり、Ｙ軸方向の移動量が移動量Ｙｓおよび移動量Ｙｍとなる。この各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍは、次式（３）で示すことができる。なお、式（３）では、基準原点Ｏｂと座標位置（Ｘ０、Ｙ０）とを結ぶ線分がＸ軸に対して為す角度をθ０で示している。
【０１０２】
【数３】
0005677025.tif 000004
【０１０３】
この式（３）は、基準原点Ｏｂを回転中心として回転角度θｒだけ回転された基準ＸＹ調整板３６´の回転姿勢を維持したまま、その回転後の基準ＸＹ調整板３６´において、基準姿勢（回転前）の基準ＸＹ調整板３６´における任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）に相当する座標位置（Ｘ１、Ｙ１）を、座標位置（Ｘ０、Ｙ０）に移動させるものとなる。なお、この式（３）において、基準原点Ｏｂから見た任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）の角度θ０は、下記の条件で示すことができる。
【０１０４】
【数４】
0005677025.tif 000005
【０１０５】
このため、基準姿勢の基準ＸＹ調整板３６´における中心位置を基準原点Ｏｂとみなすと、式（１）、式（２）および式（３）で示す各移動量を加算したものが、任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）回りに、基準ＸＹ調整板３６´を回転角度θｒだけ回転させるために必要な各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍとなる。基準姿勢の基準ＸＹ調整板３６´における中心位置を基準原点Ｏｂとみなす場合、基準原点Ｏｂを原点（Ｘ＝０、Ｙ＝０）として、回転中心としたい任意の位置の座標（Ｘ０、Ｙ０）を求めるとともに、その座標位置（Ｘ０、Ｙ０）と基準原点Ｏｂとを結ぶ線分がＸ軸に対して為す角度θ０を求める。
【０１０６】
また、基準軸線Ｂａを基準原点Ｏｂとみなすと、式（１）および式（３）で示す各移動量を加算したものが、任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）回りに、基準ＸＹ調整板３６´を回転角度θｒだけ回転させるために必要な各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍとなる。
【０１０７】
このように、載置ステージ３０では、Ｘ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを適宜移動させることで、ＸＹ調整板３６を任意の回転角度θｒでの回転姿勢とすることができる。このＸＹ調整板３６における回転姿勢は、式（１）を用いて算出した任意の回転角度θｒに応じる移動量Ｘｓだけ、Ｘ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを移動させるだけで設定することができる。
【０１０８】
また、載置ステージ３０では、両Ｘ軸スライダ３５を一体的にＸ軸方向へ適宜移動するとともに、Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向へ適宜移動することにより、任意の回転姿勢としたＸＹ調整板３６を、その回転姿勢を維持したままＸ軸方向およびＹ軸方向に適宜移動させることができる。このとき、式（２）を用いて算出した任意の回転角度θｒに応じる各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍだけ、両Ｘ軸スライダ３５およびＹ軸スライダ３３を移動させることにより、基準位置にあるＸＹ調整板３６を、その中心位置回りに任意の回転角度θｒだけ回転させた状態とすることができる。また、式（２）および式（３）、もしくは式（３）を用いて算出した任意の回転角度θｒに応じる各移動量Ｘｓ、Ｘｍ、Ｙｓ、Ｙｍだけ、両Ｘ軸スライダ３５およびＹ軸スライダ３３を移動させることにより、基準位置にあるＸＹ調整板３６を、任意の座標位置（Ｘ０、Ｙ０）回りに任意の回転角度θｒだけ回転させた状態とすることができる。
【０１０９】
本実施例では、上述したようにＸＹ調整板３６における各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）が正方形を形作る（基準ＸＹ調整板３６´）位置関係とされており、その一辺の長さ寸法が４３０ｍｍとされている。このことから、長さ寸法Ａｘ＝長さ寸法Ａｙ＝２１５ｍｍとなり、回転基準角度θｂ＝４５度となる。このため、上述した両Ｙ軸スライダ３３および両Ｘ軸スライダ３５を用いたＸＹ調整板３６（基準ＸＹ調整板３６´）のＸ−Ｙ平面に沿う状態での回転姿勢の調整のための式（１）は次式（１´）で表すことができる。
【０１１０】
【数５】
0005677025.tif 000006
【０１１１】
また、式（２）は次式（２´）で表すことができる。
【０１１２】
【数６】
0005677025.tif 000007
【０１１３】
なお、式（３）およびその角度θ０の条件については、回転中心を原点とする座標位置（Ｘ０、Ｙ０）およびその角度θ０で示すものであることから、上述した通りである。
【０１１４】
このように、本発明に係る載置ステージ３０（露光装置１０）では、ベース部材３１の上にＹ軸駆動機構３２によりＹ軸方向（第１方向）に移動自在にＹ軸スライダ３３を設け、そのＹ軸スライダ３３の上にＹ軸方向に離間した２つのＸ軸駆動機構３４ＢによりＸ軸方向（第２方向）に移動自在に２つのＸ軸スライダ３５を設け、このＸ軸スライダ３５をＹ軸方向で架け渡すようにＸＹ調整板３６（平面調整板）が設けられている。このため、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５ＢとのＸ軸方向での相対的な位置によりＸＹ調整板３６の回転姿勢を設定することができ、そのＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとの相対的な位置関係を維持したまま当該両Ｘ軸スライダ３５を同期させて駆動制御することにより、ＸＹ調整板３６の回転姿勢を維持したままＸＹ調整板３６をＸ軸方向に移動させることができ、Ｙ軸スライダ３３をＹ軸方向に移動させることによりＸ軸方向での位置に拘らずＸＹ調整板３６の回転姿勢を維持したままＸＹ調整板３６をＹ軸方向に移動させることができる。このことから、ＸＹ調整板３６のＹ軸方向（第１方向）の位置調整のための機構と、ＸＹ調整板３６のＸ軸方向（第２方向）の位置調整のための機構と、の２つの構成で、それぞれの位置調整に影響を及ぼすことなくＸＹ調整板３６の回転姿勢を設定することのできる回転駆動機構を形成することができる。このように、ＸＹ調整板３６の回転姿勢の変化の影響を受けることなく、ＸＹ調整板３６におけるＸ軸方向での位置とＹ軸方向での位置とを個別に調整することができるので、ＸＹ調整板３６の回転姿勢に拘らず同一の制御方法によりＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２のＸ−Ｙ平面上での位置を調整することができる。よって、簡単な構成でかつ簡単な位置姿勢制御であるにも拘らず、極めて高い精度でＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２のＸ−Ｙ平面上での位置および回転姿勢を設定することができる。
【０１１５】
また、載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｙ軸駆動機構の上方にＸ軸駆動機構が設けられており、そのＸ軸駆動機構が回転駆動機構としても機能する構成とされていることから、高さ寸法（Ｚ軸方向で見た大きさ寸法）の増大を抑制することができる。
【０１１６】
さらに、載置ステージ３０（露光装置１０）では、式（１）で求めた移動量ＸｓだけＸ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを移動させることにより、ＸＹ調整板３６（基準ＸＹ調整板３６´）をＸ−Ｙ平面に沿う状態での任意の回転姿勢（基準姿勢から任意の回転角度θｒだけ回転した姿勢）とすることができ、その後、式（２）および式（３）で示すように、Ｘ軸方向およびＹ軸方向へと適宜移動させることにより、任意の座標位置をＸＹ調整板３６の回転中心とすることができる。このため、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２を、簡易な制御で、Ｘ−Ｙ平面に沿う状態での任意の座標位置を回転中心とした任意の回転姿勢とすることができる。
【０１１７】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とが、基準軸線Ｂａ回りの相対的な回転を許容する第１連結部５１により連結されるとともに、Ｘ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とが、第３方向への相対的な変位を許容しかつ連結基部分５２ａの中心軸線回りの相対的な回転を許容する第２連結部５２により連結されていることから、基準軸線Ｂａに対する板側第２支持点Ｓｂ２およびスライダ側第２支持点Ｓｓ２の位置関係とＸＹ調整板３６の回転姿勢とを一対一で対応させることができる。このため、簡易な構成であるにも拘らず、Ｘ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを適宜移動させることにより、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の回転姿勢を高い精度で設定することができる。
【０１１８】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、第２連結部５２がＸ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２に対してＸＹ調整板３６の板側第２支持点Ｓｂ２を第３方向に沿って移動可能に連結するものであり、その第３方向がＸＹ調整板３６上において板側第２支持点Ｓｂ２から板側第１支持点Ｓｂ１へと向かう方向である回転目安線Ｒｍとされていることから、移動されたスライダ側第２支持点Ｓｓ２上に回転目安線Ｒｍが位置するように、ＸＹ調整板３６を基準軸線Ｂａ回りに回転させることができる。このため、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の回転姿勢を設定する際の、Ｘ軸スライダ３５Ａに対するＸ軸スライダ３５Ｂの移動量Ｘｓの設定を容易なものとすることができる。
【０１１９】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、第１連結部５１が基準軸線Ｂａ回りにＸ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とが相対的に回転することを許容する構成であるとともに、第２連結部５２がＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６との第３方向への相対的な変位を許容しかつ連結基部分５２ａの中心軸線回りの相対的な回転を許容する構成であることから、簡易な構成であるにも拘らず、Ｘ軸スライダ３５Ａに対するＸ軸スライダ３５ＢのＸ軸方向の位置を設定するだけで、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の回転姿勢を極めて高い精度で設定することができる。
【０１２０】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｙ軸スライダ３３の移動方向である第１方向と、両Ｘ軸スライダ３５の移動方向である第２方向と、が直交されていることから、より効率よくＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の位置および回転姿勢を設定することができる。
【０１２１】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、両Ｘ軸スライダ３５が基準位置とされた状態において、第１連結部５１における板側第１支持点Ｓｂ１およびスライダ側第１支持点Ｓｓ１と、第２連結部５２における板側第２支持点Ｓｂ２およびスライダ側第２支持点Ｓｓ２と、を結ぶ線分の延在方向が、第１方向および第２方向のそれぞれに傾斜されていることから、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の回転方向に拘らず、Ｘ軸スライダ３５Ａに対してＸ軸スライダ３５Ｂを円滑に移動させることができる。特に、本実施例では、上述した線分の延在方向が第１方向および第２方向のそれぞれに対して４５度の傾斜とされていることから、対象ワーク２２の回転方向の差異による影響を極めて小さなものとすることができる。
【０１２２】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、各Ｚ軸駆動機構３７が、ＸＹ調整板３６（平面調整板）の支持部挿通孔（３６ａ、３６ｂ、３６ｃ）を経て当該ＸＹ調整板３６の上方に突出する調整板支持部（３７ｑ、３７ｒ、３７ｓ）を、駆動本体部（３７ａ〜３７ｎ）がＸＹ調整板３６に対して第４方向（Ｚ軸方向）に各々進退させる構成とされている。その駆動本体部（３７ａ〜３７ｎ）は、ＸＹ調整板３６の裏面側に設けられているとともに、下方の一部がＸ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５Ｂとの間の空間に位置されている。このため、高さ寸法（Ｚ軸方向で見た大きさ寸法）の増大を抑制することができる。これは、各Ｚ軸駆動機構３７は、ＸＹ調整板３６の上方に配置されたＺ軸調整板３８（第４方向調整板）の、ＸＹ調整板３６に対する第４方向（Ｚ軸方向）での位置および第４方向に対する傾き（Ｘ−Ｙ平面に対する傾き）を変更するものであることから、一般的にはＸＹ調整板３６の上方に設けられることによる。特に、本実施例では、駆動本体部（３７ａ〜３７ｎ）の他部が、Ｚ軸方向（第４方向）で見て、ＸＹ調整板３６のＸ−Ｙ平面に沿う位置および回転姿勢の調整を可能とすべく、Ｙ軸スライダ３３と両Ｘ軸スライダ３５とを連結する各連結部（５１、５２、５３、５４）が設けられた位置に配置されていることから、各Ｚ軸駆動機構３７を設けることによる高さ寸法（Ｚ軸方向で見た大きさ寸法）の増大を、大幅に抑制することができる。
【０１２３】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、各Ｚ軸駆動機構３７が、ＸＹ調整板３６の上方に配置されたＺ軸調整板３８（第４方向調整板）のＸＹ調整板３６に対する第４方向（Ｚ軸方向）での位置を設定する機能と、当該Ｚ軸調整板３８（第４方向調整板）の第４方向に対する傾き（Ｘ−Ｙ平面に対する傾き）を設定する機能と、を併せ持つものであることから、それぞれの機能のための構成を個別に設けることに比較して、高さ寸法（Ｚ軸方向で見た大きさ寸法）を大幅に抑制することができる。
【０１２４】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、ＸＹ調整板３６のＹ軸方向（第１方向）の位置調整のための機構およびＸＹ調整板３６のＸ軸方向（第２方向）の位置調整のための機構の２つの構成で、ＸＹ調整板３６のＹ軸方向（第１方向）の位置調整のための機能と、ＸＹ調整板３６のＸ軸方向（第２方向）の位置調整のための機能と、ＸＹ調整板３６の回転姿勢を設定するための機能と、を実現し、かつ単一の構成である各Ｚ軸駆動機構３７で、Ｚ軸調整板３８のＸＹ調整板３６に対するＺ軸方向での位置を設定する機能と、当該Ｚ軸調整板３８の第４方向に対する傾きを設定する機能と、を実現し、さらに各Ｚ軸駆動機構３７がＺ軸方向で見てＸ軸方向（第２方向）の位置調整のための機構と重なる構成とされていることから、極めて小さな構成（大きさ寸法）で５つの機能を具備することができる。
【０１２５】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｚ軸調整板３８が、Ｚ軸駆動機構３７Ａの調整板支持部３７ｑにより回転自在に支持され、かつＺ軸駆動機構３７Ｂの調整板支持部３７ｒによりガイドレールの延在方向への変位のみが許容されて支持され、しかもＺ軸駆動機構３７Ｃの調整板支持部３７ｓにより変位自在に支持されていることから、Ｚ軸駆動機構３７Ａの調整板支持部３７ｑが固定された箇所を基点として、Ｚ軸方向回りに回動することが防止されている。このため、各Ｚ軸駆動機構３７による支持高さ位置（Ｚ軸方向で見た支持位置）を適宜変更することにより、ＸＹ調整板３６において設定されたＸ−Ｙ平面に沿う状態での位置および回転姿勢の変更を招くことなく、Ｚ軸調整板３８すなわち対象ワーク２２の第４方向（Ｚ軸方向）での位置および第４方向に対する傾き（Ｘ−Ｙ平面に対する傾き）を設定することができる。
【０１２６】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、リフト機構３９のリフトベース３９ａが、Ｚ軸調整板３８（第４方向調整板）の下方において、各Ｚ軸駆動機構３７の調整板支持部（３７ｑ、３７ｒ、３７ｓ）により形成されたＺ軸調整板３８とＸＹ調整板３６（平面調整板）との間の空間に配置されているとともに、当該空間内でＺ軸方向（第４方向）に移動可能とされていることから、リフト機構３９を設けることによる高さ寸法（Ｚ軸方向で見た大きさ寸法）の増大を、大幅に抑制することができる。
【０１２７】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、対象ワーク２２（ＸＹ調整板３６）のＸ−Ｙ平面に沿う位置および回転姿勢の設定のためのＸ軸駆動機構３４およびＸ軸スライダ３５が、Ｙ軸スライダ３３の上面においてＹ軸方向で見た両端位置に個別に設けられ、かつその両Ｘ軸スライダ３５をＹ軸方向に架け渡すようにＸＹ調整板３６（平面調整板）が設けられていることから、そのＸＹ調整板３６の下方において、両Ｘ軸スライダ３５の移動に拘らず容量が略一定の空間を、両Ｘ軸スライダ３５の間に形成することができる。このため、当該空間を配置スペースとして利用することができるので、大きさ寸法の増大を抑制することができる。例えば、載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｚ軸調整板３８に中央挿通孔３８ａを設けるとともにＸＹ調整板３６に中央貫通孔３６ｄを設けていることから、Ｚ軸調整板３８上に載置されるチャックプレート４０すなわちそこに吸着保持される対象ワーク２２に対する露光装置１０の投影光学系に位置設定のための工具顕微鏡４１を、両Ｘ軸スライダ３５の間に形成した空間に配置することができる。また、載置ステージ３０（露光装置１０）では、Ｚ軸調整板３８に中央挿通孔３８ａを設けるとともにＸＹ調整板３６に中央貫通孔３６ｄを設けていることから、Ｚ軸調整板３８上に載置されるチャックプレート４０に、対象ワーク２２が載置されているか否かの判別のための超音波センサ４２を、両Ｘ軸スライダ３５の間に形成した空間に配置することができる。
【０１２８】
載置ステージ３０（露光装置１０）では、チャックプレート４０に対象ワーク２２が載置されているか否かの判別のために、超音波センサ４２を用いていることから、チャックプレート４０上での高さ位置（Ｚ軸方向で見た位置）に拘らず対象ワーク２２の有無を検出することができる。
【０１２９】
露光装置１０では、載置ステージ３０において対象ワーク２２が極めて高い精度で位置および回転姿勢が設定されていることから、対象ワーク２２にマスクパターン像を適切に露光することができる。
【０１３０】
したがって、本発明に係る載置ステージ３０（露光装置１０）では、簡単な構成で、対象ワーク２２の位置姿勢制御を極めて高い精度で行うことができる。
【０１３１】
なお、上記した実施例では、本発明に係る載置ステージの一例としての載置ステージ３０について説明したが、露光光が結像されて所定のマスクパターンが露光される対象ワークの基準平面に対する位置および姿勢を制御する載置ステージであって、前記基準平面に対して固定的に設けられたベース部材と、前記基準平面に沿う第１方向に移動可能に前記ベース部材上に設けられた第１駆動機構と、該第１駆動機構により支持される第１スライダと、前記基準平面に沿いかつ前記第１方向に対して傾斜する第２方向に移動可能に、前記第１スライダ上で前記第１方向に間隔を置いて対を為して設けられた２つの第２駆動機構と、該各第２駆動機構により個別に支持される２つの第２スライダと、前記対象ワークを載置すべく前記両第２スライダを前記第１方向に架け渡して前記基準平面に沿って設けられた平面調整板と、を備える載置ステージであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１３２】
また、上記した実施例では、第１連結部５１および第２連結部５２が上述したように構成されていたが、第１連結部が、基準軸線Ｂａ回りの相対的な回転を許容しつつＸ軸スライダ３５ＡとＸＹ調整板３６とを連結するものであって、第２連結部が、第３方向への相対的な変位を許容しかつ連結基部分５２ａの中心軸線回りの相対的な回転を許容しつつＸ軸スライダ３５ＢとＸＹ調整板３６とを連結するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。
【０１３３】
さらに、上記した実施例では、第３連結部５３および第４連結部５４が設けられていたが、これらは両Ｘ軸スライダ３５の上方においてＸＹ調整板３６を安定して支えるために設けられているものであることから、ＸＹ調整板３６側の支持点（Ｓｂ３、Ｓｂ４）に対する両Ｘ軸スライダ３５側の支持点（Ｓｓ３、Ｓｓ４）のＺ軸方向での間隔を変動させることなくＸ−Ｙ方向での位置の変動を許容するものであればよく、上記した実施例に限定されるものではない。このことから、第１連結部５１と第２連結部５２とにより、両Ｘ軸スライダ３５の上方においてＸＹ調整板３６を安定して支えることができるものであれば、第３連結部５３および第４連結部５４は設けなくてもよい。
【０１３４】
上記した実施例では、第２連結部５２における第３方向が、ＸＹ調整板３６上において板側第２支持点Ｓｂ２から板側第１支持点Ｓｂ１へと向かう方向（回転目安線Ｒｍ）とされていたが、Ｘ軸スライダ３５ＡとＸ軸スライダ３５ＢとのＸ軸方向での相対的な位置によりＸＹ調整板３６の回転姿勢を設定することができるものであればよいことから、ＸＹ調整板３６における各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）の位置関係に対して変動することのない一定の方向、もしくはＸ軸スライダ３５Ｂ上において変動することのない一定の方向であればよく、上記した実施例に限定されるものではない。その実施例とは異なる一例を、以下で図１９および図２０を用いて説明する。この例では、両Ｘ軸駆動機構３４が駆動制御の基準位置とされた状態において、Ｘ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２から、Ｘ軸スライダ３５Ａのスライダ側第１支持点Ｓｓ１へと向かう方向を第３方向とするものである。この場合、例えば、第２連結部５２（図８参照）の代わりに、図１９に示す第２連結部５２´を用いればよい。この第２連結部５２´は、Ｘ軸スライダ３５Ｂに固定されＺ軸方向に延出された連結基部分５２ａ´と、その上端面に固定されたレール保持部分５２ｂ´と、そのレール保持部分５２ｂ´に摺動可能に保持されるレール５２ｃ´と、そのレール５２ｃ´に固定された回転軸部分５２ｄ´と、その回転軸部分５２ｄ´に対して回転可能に設けられた回転部分５２ｅ´と、を有する。この連結基部分５２ａ´は、全体に段付きの円筒状を呈し、その中心軸線がＺ軸方向に沿うものとされている。レール保持部分５２ｂ´は、Ｘ−Ｙ平面に沿う方向であって、Ｘ軸方向（第２方向）およびＹ軸方向（第１方向）に対して傾斜する第３方向へと摺動可能にレール５２ｃ´を保持することが可能とされている。レール５２ｃ´は、第３方向に延在された棒状を呈し、回転軸部分５２ｄ´に固定されている。回転軸部分５２ｄ´全体に円柱状を呈し、中心軸線がＺ軸方向に沿うようにレール５２ｃ´に固定されている。回転部分５２ｅ´は、回転軸部分５２ｄ´を取り囲む環状を呈し、その回転軸部分５２ｄ´に対して当該回転軸部分５２ｄ´の中心軸線回りに回転自在とされている。第２連結部５２´では、回転部分５２ｅ´がＸＹ調整板３６に固定的に取り付けられている。このため、レール５２ｃ´は、Ｘ軸スライダ３５Ｂに対して延在方向が固定されていることとなる。このレール５２ｃ´の延在方向すなわち第３方向は、この例では、両Ｘ軸駆動機構３４が駆動制御の基準位置とされた状態において、Ｘ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２から、Ｘ軸スライダ３５Ａのスライダ側第１支持点Ｓｓ１へと向かう方向とされており、各支持点（Ｓｓ１、Ｓｓ２、Ｓｓ３、Ｓｓ４）が描く正方形の対角線と一致されている。このため、上記した実施例の設定に合わせると、第３方向は、常にＸ軸方向（第２方向）およびＹ軸方向（第１方向）に対して４５度の傾斜を有するものとなる。このような構成の場合、上記した実施例の制御式（１）を、次式（４）に変更する必要がある。
【０１３５】
【数７】
0005677025.tif 000008
【０１３６】
また、上記した実施例のように、ＸＹ調整板３６における各支持点（Ｓｂ１、Ｓｂ２、Ｓｂ３、Ｓｂ４）が正方形を形作る（基準ＸＹ調整板３６´）位置関係とされており、その一辺の長さ寸法が４３０ｍｍとされているものとすると、長さ寸法Ａｘ＝長さ寸法Ａｙ＝２１５ｍｍとなり、回転基準角度θｂ＝４５度となる。このため、上述した両Ｙ軸スライダ３３および両Ｘ軸スライダ３５を用いたＸＹ調整板３６（基準ＸＹ調整板３６´）のＸ−Ｙ平面に沿う状態での回転姿勢の調整のための式（４）は次式（４´）で表すことができる。
【０１３７】
【数８】
0005677025.tif 000009
【０１３８】
この例の構成であっても、基本的に上記した実施例の載置ステージ３０（露光装置１０）と同様の構成であることから、基本的に上記した実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１３９】
それに加えて、第２連結部５２´がＸ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２に対してＸＹ調整板３６の板側第２支持点Ｓｂ２を第３方向に沿って移動可能に連結するものであり、その第３方向が両Ｘ軸駆動機構３４が駆動制御の基準位置とされた状態において、Ｘ軸スライダ３５Ｂのスライダ側第２支持点Ｓｓ２から、Ｘ軸スライダ３５Ａのスライダ側第１支持点Ｓｓ１へと向かう方向とされていることから、移動されたスライダ側第２支持点Ｓｓ２を含む第３方向上に板側第２支持点Ｓｂ２が位置するように、ＸＹ調整板３６を基準軸線Ｂａ回りに回転させることができる。このため、ＸＹ調整板３６すなわち対象ワーク２２の回転姿勢を設定する際の、Ｘ軸スライダ３５Ａに対するＸ軸スライダ３５Ｂの移動量Ｘｓの設定を容易なものとすることができる。
【０１４０】
以上、本発明の載置ステージおよびそれを用いた露光装置を実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については、この実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【符号の説明】
【０１４１】
１０  露光装置
２２  対象ワーク
３０  載置ステージ
３１  ベース部材
３２  （第１駆動機構としての）Ｙ軸駆動機構
３３  （第１スライダとしての）Ｙ軸スライダ
３４  （第２駆動機構としての）Ｘ軸駆動機構
３５  （第２スライダとしての）Ｘ軸スライダ
３６  （平面調整板としての）ＸＹ調整板
３７  （第４方向駆動機構としての）Ｚ軸駆動機構
３７ｑ  （第１支持部としての）調整板支持部
３７ｒ  （第２支持部としての）調整板支持部
３７ｓ  （第３支持部としての）調整板支持部
３８  （第４方向調整板としての）Ｚ軸調整板
５１  第１連結部
５２、５２´  第２連結部
Ｂａ  基準軸線
Ｓｂ１  板側第１支持点
Ｓｂ２  板側第２支持点
Ｓｓ１  スライダ側第１支持点
Ｓｓ２  スライダ側第２支持点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
0005677025.tif 000020
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
0005677025.tif 000025
【図１７】
0005677025.tif 000026
【図１８】
0005677025.tif 000027
【図１９】
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【図２０】
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