(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
奥行のある測定対象（１）の幅寸法の測定装置であって、
絞り位置に前記幅方向に平行なスリットを備える第１のスリット絞り（６）を使用して、前記測定対象（１）の幅方向からの入射光を選択して平行光として出射するテレセントリック光学系（Ｔ）と、
前記テレセントリック光学系（Ｔ）から出射された光のＸ，Ｙ方向の焦点距離を異ならせる第１のシリンドリカルレンズ（１４）と、斜め方向のスリットを有して前記第１のシリンドリカルレンズ（１４）の出射光を選択的に通過させる第２のスリット絞り（５）及び前記第２のスリット絞り（５）の出射光の焦点距離を同じに合わせる第２のシリンドリカルレンズ（１５）を備える斜めスリット光学系（Ｎ）と、
前記斜めスリット光学系（Ｎ）からの出射光の焦点位置に置かれた撮像装置（４）、及び、
前記撮像装置（４）から得られた画像の、水平方向の最も細い幅を前記測定対象（１）の幅寸法として測定する画像処理装置（８）を備えることを特徴とする幅寸法の測定装置。
【請求項２】
前記テレセントリック光学系（Ｔ）は、前記第１のスリット絞り（６）を挟む対物レンズ（１１）とテレセントリック光学系内凸レンズ（１２）を備え、
前記第１のシリンドリカルレンズ（１４）はシリンドリカル凸レンズ、前記第２のシリンドリカルレンズ（１５）はシリンドリカル凹レンズであり、前記第１のシリンドリカルレンズ（１４）の前段には前記テレセントリック光学系内凸レンズ（１２）が配置され、前記第２のシリンドリカルレンズ（１５）の後段には斜めスリット光学系内凸レンズ（１６）が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の幅寸法の測定装置。
【請求項３】
前記幅寸法の測定装置は、前記測定対象（１）を後方から照射する面光源（２）を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の幅寸法の測定装置。
【請求項４】
前記第２のスリット絞り（５）が交換可能になっており、
前記測定対象（１）の奥行に応じた前記斜め方向のスリットの傾斜角度を有する前記第２のスリット絞り（５）に交換することを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の幅寸法の測定装置。
【請求項５】
前記測定対象（１）の奥行が長いほど、前記前記第２のスリット絞り（５）として前記斜め方向のスリット（Ｓ）の傾斜角度が大きいものを使用することを特徴とする請求項４に記載の幅寸法の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テレセントリック光学系を用いて撮影した画像から奥行のある測定対象物の幅寸法を測定する幅寸法の測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、奥行のある物品を正面から見た場合の横幅（幅寸法）を測定したいという要望がある。そして、奥行のある物品を正面から見た時の幅寸法を測定する方法の１つとして、テレセンメトリック光学系を使用した測定方法がある。テレセンメトリック光学系は、レンズ主軸に対して平行な光線のみを結像させるものであり、画角が殆どないために、奥行がある測定対象物の画像による幅寸法の測定に有用な光学系である。
【０００３】
幅寸法の測定が必要な奥行のある物品（測定対象物）の一例として、自動車用空調装置の熱交換器に近年使用され始めたインナーフィンチューブがある。インナーフィンチューブは、帯状板材が折り曲げられて偏平な管に形成され、管の内壁面に波状のインナーフィンの折り返し部がロウ付けされて多孔管が形成されたものであり、このようなインナーフィンチューブを採用した熱交換器が特許文献１に開示されている。インナーフィンチューブの幅寸法の測定が必要な理由は、インナーフィンのロウ付け不良があるとインナーフィンチューブの厚さが変化する（例えば特許文献２参照）ためであり、幅寸法の測定によりロウ付け不良を検出できるためである。このような幅寸法の測定が必要な奥行のある測定対象物は、工業製品の中に多い。
【０００４】
しかし、テレセンメトリック光学系を用いた寸法測定では、測定対象物がレンズ主軸に対して傾くと、奥行がある測定対象物の側面が見えて正確な測定ができないため、測定対象物の傾きにレンズの傾きを物理的に合致させて測定を行う必要があった。即ち、工業製品の検査工程において、テレセンメトリック光学系を使用して奥行がある物の幅の寸法測定を行う場合は、測定対象物又はレンズの角度を補正する必要があり、検査装置の機構の煩雑性を招くと共に、検査サイクル時間が長くなるという問題点があった。
【０００５】
この課題に対して、テレセンメトリック光学系を使用するが、レンズ本体、ＣＣＤカメラ、測定対象を一切動かさず、レンズ内の絞りを可動させ、角度を補正した画像を取得する技術が特許文献３に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１２５５９０号公報
【０００７】
【特許文献２】特開２０１０−２５４４７号公報
【０００８】
【特許文献３】特開２００９−９２５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、様々な方向に傾いた測定対象の幅寸法の計測では、個々の傾きに対して検査するカメラの向きをいちいち合致させていたので、多数の走査により膨大な時間が必要であった。また、特許文献３に開示のテレセンメトリック光学系を使用した幅寸法の検査システムでは、計測する対象物の傾斜に応じて可動絞り部の位置を高速で可動させなければならないので、耐久性に問題があった。
【００１０】
本発明は、上記問題に鑑み、直立すべき測定対象が傾斜している場合でも、可動部のないテレセンメトリック光学系を使用して、奥行のある全ての測定対象物の、画像による幅方向の寸法測定が可能な、幅寸法の測定装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の幅寸法の測定装置は、奥行のある測定対象１の幅寸法の測定装置であって、絞り位置に幅方向に平行なスリットを備える第１のスリット絞り６を使用して、測定対象１の幅方向からの入射光を選択して平行光として出射するテレセントリック光学系Ｔと、テレセントリック光学系Ｔから出射された光のＸ，Ｙ方向の焦点距離を異ならせる第１のシリンドリカルレンズ１４と、斜め方向のスリットを有して第１のシリンドリカルレンズ１４の出射光を選択的に通過させる第２のスリット絞り５及び第２のスリット絞り５の出射光の焦点距離を同じに合わせる第２のシリンドリカルレンズ１５を備える斜めスリット光学系Ｎと、斜めスリット光学系Ｎからの出射光の焦点位置に置かれた撮像装置４、及び、撮像装置４から得られた画像の、水平方向の最も細い幅を測定対象１の幅寸法として測定する画像処理装置８を備えることを特徴としている。
【００１２】
これにより、奥行のある被検査対称物が任意の角度で傾斜している場合でも、撮影した被検査対象物の画像による幅方向の寸法を測定することが可能である。
【００１３】
なお、上記に付した符号は、後述する実施形態に記載の具体的実施態様との対応関係を示す一例である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】幅寸法の測定装置の構成を示す構成図である。
【図２】（ａ）はテレセントリック光学系と斜めスリット光学系におけるレンズと絞りの配置を示す配置図、（ｂ）は（ａ）に示した第１のスリット絞りの正面図、（ｃ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りの正面図である。
【図３】（ａ）は測定対象が直立した状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図４】（ａ）は測定対象が直立した状態から左側に傾いた状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図５】（ａ）は測定対象が直立した状態から右側に傾いた状態の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象の矢印Ａ方向の矢視図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図６】（ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が３０°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図７】（ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が４５°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図８】（ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度が６０°の場合の正面図、（ｂ）は（ａ）に示した第２のスリット絞りを使用した時の、直立した測定対象を撮像装置で撮影した画像を示す図である。
【図９】（ａ）は図２（ｃ）に示した第２のスリット絞りのスリットの傾斜角度と撮影された画像におけるチルト角度及び被写界震度の関係を示す線図、（ｂ）は被写界震度に対する撮影された画像におけるチルト角度の関係を示す線図である。
【図１０】（ａ）は本発明で使用するテレセントリック光学系と斜めスリット光学系を並列に並べた光学系における測定対象から出た光の光路を側面から見た側面図、（ｂ）は（ａ）に示した光路を上方から見た平面図である。
【図１１】図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の上部から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。
【図１２】図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の中央から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。
【図１３】図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路において、測定対象の下部から出た水平方向に斜めに出た光束の第２のスリット絞り通過後の様子を説明する説明図である。
【図１４】（ａ）は２５本の円柱で構成された測定対象の一例を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）に示した測定対象を図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路の第１のスリット絞りの後段で撮影した時の画像を示す図、（ｃ）は（ａ）に示した測定対象を図１０（ａ）、（ｂ）に示した光路の第２のスリット絞りの後段にある撮像装置で撮影した時の画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態を説明する。各実施態様について、同一構成の部分には、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００１６】
図１は、幅寸法の測定装置１０の一実施例の構成を模式的に示すものであり、図２（ａ）は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎにおけるレンズと絞りの配置を示すものである。幅寸法の測定装置１０は、奥行のある測定対象１の幅寸法の測定装置であり、測定装置本体７の内部に、テレセントリック光学系Ｔと、斜めスリット光学系Ｎ、及び撮像装置４を備え、測定装置本体７の外部に画像処理装置８を備える。また、幅を測定する測定対象１は、この実施例では検査台３の上に置かれた面光源であるバックライト２の上に設置されており、背面から照射されるようになっている。
【００１７】
テレセントリック光学系Ｔは、対物レンズ１１と第１のスリット絞り６及び凸レンズ１２を備えている。第１のスリット絞り６は、対物レンズ１１と凸レンズ１２に挟まれており、対物レンズ１１の絞り位置に配置されている。テレセントリック光学系Ｔは、主光線がレンズ光軸に対して平行である光学系のことである。第１のスリット絞り６は、図２（ｂ）に示すように、測定対象１の幅方向に平行なスリットＳを備えており、測定対象１の幅方向からの入射光を選択して平行光として出射する。図１、図２では、第１のスリット絞り６は測定対象の幅方向に設けられているので、第１のスリット絞り６を通過するのは測定対象１の幅方向の光だけである。
【００１８】
一方、斜めスリット光学系Ｎは、テレセントリック光学系Ｔからの出射光が入射される凸レンズ１３、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４、１５、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４、１５に挟まれた斜めスリット絞り５及び凸レンズ１６を備える。第１のシリンドリカルレンズ１４はシリンドリカル凸レンズであり、第２のシリンドリカルレンズ１５はシリンドリカル凹レンズである。また、斜めスリット絞り５は、図２（ｃ）に示すように、測定対象１の幅方向に対して斜めに傾斜するスリットＳを備える。
【００１９】
第１のシリンドリカルレンズ１４は、テレセントリック光学系Ｔから出射された光のＸ，Ｙ方向の焦点距離を異ならせるものであり、第２のスリット絞り５は斜め方向のスリットＳを有して第１のシリンドリカルレンズ１４の出射光を選択的に通過させる。そして、第２のシリンドリカルレンズ１５は、第２のスリット絞り５の出射光の焦点距離を同じに合わせる働きをする。撮像装置４は、斜めスリット光学系Ｎからの出射光の焦点位置に置かれており、斜めスリット光学系Ｎから出射された測定対象１の画像を撮影する。撮像装置４としては、ＣＣＤ素子１７を内蔵するＣＣＤカメラを使用することができる。
【００２０】
図１に符号９で示す図形が、撮像装置４から得られた画像を示している。画像処理装置８にはコンピュータを使用することができ、画像処理装置８は、得られた画像９の水平方向の最も細い幅Ｗ２を、測定対象１の幅Ｗ１の寸法として測定する。
【００２１】
ここで、図１０から図１４を用いて、以上のように形成されたテレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを用いると、図１に示したような画像９が得られる理由について説明する。また、得られた画像９の水平方向の最も細い幅Ｗ２が、測定対象１の幅Ｗ１の寸法となるのかについて説明する。
【００２２】
図１０（ａ）は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを並列に並べた光学系における測定対象１から出た光の光路を側面から見たものであり、図１０（ｂ）は図１０（ａ）に示した光路を上方から見たものである。ここでは、測定対象１は、矩形の板状物を、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを並列に並べた光学系の光軸に対して平行に、所定間隔を開けて並べてたものであり、奥行を備えるものである。前述のように、テレセントリック光学系Ｔは対物レンズ１１、第１のスリット絞り６及び凸レンズ１２を備えており、斜めスリット光学系Ｎは凸レンズ１３、１６、第１と第２のシリンドリカルレンズ１４，１５及び第２のスリット絞り５を備えている。
【００２３】
図１０（ａ）に示すように、測定対象１の上部から出た破線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の上部に達する。また、測定対象１の中央の部分から出た実線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の中央に達する。更に、測定対象１の下部から出た一点差線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の下部に達する。
【００２４】
図１０（ｂ）は、３つの測定対象１から斜めに出た光の光路を示すものである。図１０（ｂ）には、測定対象１の前端面に垂直な方向（０度）の光を実線で示してあり、左側に斜めに出た光を破線で示してあり、右側に斜めに出た光を一点鎖線で示してある。各測定対象１から出た破線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の左側に達する。また、各測定対象１から出た実線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の中央に達する。更に、各測定対象１から出た一点差線で示す光は、テレセントリック光学系Ｔと斜めスリット光学系Ｎを通過すると、ＣＣＤカメラ４のＣＣＤ素子１７の右側に達する。
【００２５】
図１０（ａ）、（ｂ）に示した測定対象１から出た光を上部から出た光束、中央から出た光束及び下部から出た光束に分け、更に各光束を測定対象１に垂直な光束Ｃと左右に傾いた光束Ｌ，Ｒに分けた時の、各光束Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を図１１から図１３に示す。図１１から図１３により、測定対象１の各部位（上部、中央、下部）から出た光束Ｌ，Ｃ，Ｒの第２のスリット絞り５までの光路と、第２のスリット絞り５をどの光束Ｌ，Ｃ，Ｒが通過できるかが分かる。なお、光束Ｌ，Ｃ，Ｒは以後単に光Ｌ，Ｃ，Ｒと記す。
【００２６】
図１１は、測定対象１の上部から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の上部を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３からなるフィールドレンズの下部に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凸レンズ）１４で絞られ、第２のスリット絞り５の上部に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て左上がりのスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した左に傾いた光Ｌだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。
【００２７】
図１２は、測定対象１の中央から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の中央を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３の中央に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の中央に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て斜め方向のスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した傾きのない光Ｃだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。
【００２８】
図１３は、測定対象１の下部から出た３方向の光Ｌ，Ｃ，Ｒの光路を示すものである。光Ｌ，Ｃ，Ｒは、対物レンズ１１の下部を通過し、第１のスリット絞り６のスリットＳを通って凸レンズ１２，１３の上部に並んで達するが、並び順は左右逆になる。凸レンズ１２，１３を通過した光Ｌ，Ｃ，Ｒは、第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の下部に達する。このとき、光Ｌ，Ｃ，Ｒの並び順は元に戻る。第２のスリット絞り５に、測定対象１の方向から見て左上がりのスリットＳがある場合、第２のスリット絞り５を通過できるのは、スリットＳの位置と到達位置が一致した右に傾いた光Ｒだけであり、この角度の光しかスリットＳを通過できない。
【００２９】
図１４（ａ）は、測定対象１が縦横に所定間隔で規則正しく並べられた２５本の円柱Ｐである場合を示すものである。図１０から図１３を用いて説明したように、第１のスリット絞り６のスリットＳを通過できるのは一方向の光であり、この場合は幅Ｗ８の方向の光である。従って、測定対象１が図１４（ａ）に示すような２５本の円Ｐ柱である場合、幅Ｗ８の方向に延びるスリットＳを備える第１のスリット絞り６を通過する光は測定対象１の幅方向の光のみである。そして、幅方向の両端に位置する円柱ＰＬと円柱ＰＲは、主光軸から見ると傾いて見える。従って、第１のスリット絞り６を通過した光を撮像装置で撮影したとすると、図１４（ｂ）に示すような画像９が得られる。
【００３０】
ここで、図１４（ｂ）に示す画像９において、左上に位置する円柱の画像を画像９Ｘ、右下に位置する円柱の画像を画像９Ｙとする。図１３で説明したように、図１４（ｂ）の左上に位置する画像９Ｘは、凸レンズ１２，１３を通過した後に第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の右下に達してこれを通過する。また、図１１で説明したように、図１４（ｂ）の右下に位置する画像９Ｙは、凸レンズ１２，１３を通過した後に第１のシリンドリカルレンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５の左上に達してこれを通過する。この結果、図１４（ｂ）に示す画像９が凸レンズ１２，１３を通過した後にシリンドリカル凸レンズ１４で絞られ、第２のスリット絞り５を通過すると、図１４（ｃ）に示すような画像９が得られる。
【００３１】
ここで図３に戻って、本発明の幅寸法測定装置から得られる画像について説明する。図３（ａ）は、測定対象１が直立した状態の正面図を示しており、図３（ｂ）は図３（ａ）に示した測定対象１の矢印Ａ方向の矢視図である。このような測定対象１を図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図３（ｃ）に示す画像９が得られる。画像９は、測定対象１そのものの影の上下部分に、左と右に片方ずつ斜めに突出する側面影部が加わったものである。よって、得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さを画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。
【００３２】
ところで、図３（ａ）に示した幅Ｗの測定対象１を、図４（ａ）に示すように左側に傾けた場合、測定対象１を矢印Ａ方向から見ると図４（ｂ）のようになり、これを図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図４（ｃ）に示す画像９が得られた。図４（ｃ）に示す画像９では、左と右に片方ずつ突出する側面影部の間にある画像の最も短い水平方向の部分Ｗ２は上部側に移動している。しかしながら、水平方向の部分Ｗ２の長さを画像処理装置８で計測すると、図３（ｃ）に示す画像９から得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さと同じ値であった。従って、図４（ｃ）に示す画像９を画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。
【００３３】
同様に、図３（ａ）に示した幅Ｗの測定対象１を、図５（ａ）に示すように右側に傾けた場合、測定対象１を矢印Ａ方向から見ると図５（ｂ）のようになり、これを図１に示した幅寸法の測定装置１０で撮影すると、図５（ｃ）に示す画像９が得られた。図５（ｃ）に示す画像９では、左と右に片方ずつ突出する側面影部の間にある画像の最も短い水平方向の部分Ｗ３は下部側に移動している。しかしながら、水平方向の部分Ｗ２の長さを画像処理装置８で計測すると、図３（ｃ）に示す画像９から得られた画像９の最も細い水平方向の部分Ｗ１の長さと同じ値であった。従って、図５（ｃ）に示す画像９を画像処理装置８で計測すれば、測定対象１の幅Ｗを測定することが可能である。
【００３４】
図６（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、測定対象の幅方向から３０°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が３０°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが大きい。しかしながら、図６（ｂ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ４が現れるので、この部分Ｗ４の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。
【００３５】
図７（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、水平方向から４５°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が４５°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが、スリットＳの傾斜角度が３０°である場合に比べて小さい。しかしながら、図７（ｂ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ５が現れるので、この部分Ｗ５の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。
【００３６】
図８（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が、水平方向から６０°である場合を示すものである。第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度が６０°である場合は、図１に示した幅寸法の測定装置１０で測定対象１を撮影すると、得られた画像９の左右に突出する側面影部のチルト角ＴＡが、スリットＳの傾斜角度が４５°である場合に比べて小さい。しかしながら、図８（ｃ）に示すように、得られた画像９には最も細い測定対象の幅方向の部分Ｗ６が現れるので、この部分Ｗ６の長さを測定すれば、測定対象１の幅方向の長さＷを測定することができる。
【００３７】
図９（ａ）は、図２（ｃ）に示した第２のスリット絞り５のスリットＳの傾斜角度と撮影された画像におけるチルト角度ＴＡ及び被写界震度の関係を示すものである。図９（ａ）から、スリットＳの傾斜角度と被写界震度の関係が分かるので、第２のスリット絞り５は、測定対象の奥行に応じて、斜め方向のスリットＳの傾斜角度が異なるものに交換すれば良い。このため、図１に示した幅寸法の測定装置１０では、第２のスリット絞り５を交換できるようにすれば良い。そして、図９（ａ）に示す特性から、測定対象１の奥行が長いほど、第２のスリット絞り５として、斜め方向のスリットＳの傾斜角度が大きいものを使用すれば良いことが分かる。
【００３８】
図９（ａ）に示す特性から、スリットの傾斜角度は０から９０度の範囲であり、この範囲における被写界深度の大きさには上限があり、また、被写界深度とチルト角度とが背反の関係にあることも分かる。従って、本発明の幅寸法の測定装置１０には、図９（ｂ）に示す被写界震度に対する撮影された画像におけるチルト角度の関係から分かるように、適用が出来ない範囲があり、適用可能範囲に制限がある。
【００３９】
このように、本発明の幅寸法の測定装置では、測定装置に対して測定対象が傾いていても、第２のスリット絞りにあるスリットの傾斜角度を調整することで得られた画像の最も細い水平方向の部分の長さを測定すれば、測定対象の幅方向の長さが得られる。
【００４０】
また近年、自動車用空調装置の冷媒凝縮器に適用される熱交換器においては、素材費のコストダウンを図るために、多孔管を帯状板材を折り曲げてチューブを形成し、内部にインナーフィンを設ける板成型によるインナーフィンチューブが使用される。このようなインナーフィンチューブを採用した熱交換器では、インナーフィンチューブは、帯状板材が折り曲げられて偏平な管に形成され、管の内壁面に波状のインナーフィンの折り返し部がロウ付けされて多孔管が形成される。そして、インナーフィンのロウ付け不良があるとインナーフィンチューブの厚さが変化する。従って、このようなインナーフィンチューブの幅寸法の測定に本発明の幅寸法の測定装置は有効に使用することができる。
【符号の説明】
【００４１】
１    測定対象
４    撮像装置（ＣＣＤカメラ）
５    第２のスリット絞り（斜め絞り）
６    第１のスリット絞り
８    画像処理装置
９    画像
１０    幅寸法の測定装置
１１    対物レンズ
１２，１３、１６    凸レンズ
１４    第１のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凸レンズ）
１５    第２のシリンドリカルレンズ（シリンドリカル凹レンズ）
１７    ＣＣＤ素子
Ｓ    スリット
ＴＡ    チルト角度
【図１】
0005724917.tif 000002
【図２】
0005724917.tif 000003
【図３】
0005724917.tif 000004
【図４】
0005724917.tif 000005
【図５】
0005724917.tif 000006
【図６】
0005724917.tif 000007
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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