(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形状物である被検査物の外観を検査する円筒形状物の外観検査装置において、
回転自在に設置され回転中心軸と同心に配置した前記被検査物の端面を接触させる端面治具と、
前記端面治具の被検査物を接触させる側面に回転中心軸と同心に設けられた円錐面状の照明反射部と、
前記端面治具と前記被検査物とを共回りさせる回転機構と、
前記照明反射部に照射する照明装置と、
この照明装置で照射され前記照明反射部および前記被検査物の内周面で順次反射された反射光により前記被検査物の内周面を撮像する撮像装置と、
を備えた円筒形状物の外観検査装置。
【請求項２】
請求項１において、前記回転機構は、被検査物をその軸心回りに回転させる駆動装置を有し、この駆動装置により、前記被検査物の端面に接触させた端面治具を共回りさせるものとした円筒形状物の外観検査装置。
【請求項３】
請求項１において、前記回転機構は、端面治具を被検査物の軸心回りに回転させる駆動装置を有し、この駆動装置により、前記端面治具に接触させた被検査物を共回りさせるものとした円筒形状物の外観検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項において、前記被検査物を軸受とし、この軸受における内輪の内周面を前記撮像装置で撮像するものとした円筒形状物の外観検査装置。
【請求項５】
請求項４において、前記端面治具と内輪端面とを接触させ、前記回転機構は、これら端面治具と内輪とを共回りさせるものとした円筒形状物の外観検査装置。
【請求項６】
請求項４において、前記端面治具と内輪端面および外輪端面とを接触させ、前記回転機構は、これら端面治具、内輪、および外輪を一体に共回りさせるものとした円筒形状物の外観検査装置。
【請求項７】
請求項４において、前記回転機構は、内輪と外輪とを同期回転させる駆動装置を有する円筒形状物の外観検査装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、前記回転機構は、被検査物の外周面の円周方向複数箇所を載置支持する複数の回転ローラーを有し、これら回転ローラーは、端面治具の回転中心軸にそれぞれ平行で回転自在に支持される円筒形状物の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、円筒形状物の外観検査装置に関し、例えば、軸受の内周面等の外観を検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
円筒形状物の内周面を検査する装置が種々提案されている。例えば、図９に示すように、先端に円錐状鏡面部が設けられたミラー部品５０を、検査対象の部品５１に挿入することで、貫通孔の内面に光を照射すると共に孔の内面画像を撮像する外観検査装置が提案されている（特許文献１）。
また図１０に示すように、ワークＷを基台５２に端面を上にして載置し、このワークＷの内側に反射体５３を配置し、投光手段５４によりワークＷの内周面に向けて照射する。ワークＷの内周面から反射した反射光は、反射体５３により方向を変え、撮像手段５５に受光される外観検査装置も提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−２０５２１８号公報
【特許文献２】特開平１１−４４６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の図９の外観検査装置では、照明だけでなく映像も反射させて撮像することから、ミラー部品５０の鏡面部は汚れが無いことが必須と考えられる。しかし、例えば、軸受製造ラインは、一般的に研磨工程等の他工程からのミストの侵入等がある場合もある。したがって、ミラー部品５０で実像を撮像する場合、このミラー部品５０がミスト等で汚れてしまう等ミラー部品５０の表面状態にばらつきが生じると、検査精度に影響することから、汚れに強い検査法が求められる。
ミラー部品５０は、軸受の外径・内径サイズに合わせてセットする必要がある段取り部品となる。このため、軸受の各種サイズに対応させるためには、複数の段取り部品を準備する必要があるため、段取り部品のコストが掛かる。
【０００５】
従来の図１０の外観検査装置では、撮像手段としていわゆるエリアカメラを使用しており、ワークＷが大型となった場合、カメラ分解能を高く維持したまま撮像するためには、円弧状に分割撮像する必要がある。このため、検査対象またはカメラを操作する必要がある。全体を１撮像で検査する場合、内径内部の非検査空間の撮像エリアとなり、無駄が生じると共に、高解像度のカメラが必要となり、高コストのシステムとなる。
【０００６】
ここでラインカメラによりワークを回転させて撮像することが考えられる。しかし軸受は、内輪と外輪が転動体を介し、自由に回転することから、ワーク全体を同一回転数で回転させ、回転数を測定することで全面検査が出来たことを測定するシステムの構築が必須となる。
【０００７】
この発明の目的は、汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる円筒形状物の外観検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の円筒形状物の外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査する円筒形状物の外観検査装置において、回転自在に設置され回転中心軸と同心に配置した前記被検査物の端面を接触させる端面治具と、前記端面治具の被検査物を接触させる側面に回転中心軸と同心に設けられた円錐面状の照明反射部と、前記端面治具と前記被検査物とを共回りさせる回転機構と、前記照明反射部に照射する照明装置と、この照明装置で照射され前記照明反射部および前記被検査物の内周面で順次反射された反射光により前記被検査物の内周面を撮像する撮像装置とを備えたものである。
【０００９】
この構成によると、照明装置から照射された光は、照明反射部および被検査物の内周面で順次反射される。撮像装置は、この反射光により被検査物の内周面を撮像する。端面治具は、被検査物の端面に接触しており、検査時、これら端面治具と被検査物とを、回転機構により共回りさせる。撮像装置で撮像した画像は、例えば、画像処理ユニットに取り込み、画像処理判定を行う。この判定結果を出力する等することで、被検査物の内周面の外観を検査し得る。
【００１０】
照明反射部に映った実体を検査するのではなく、照明反射部を単に照明を反射する部材として使用している。このため、照明反射部の全面または一部が汚れたとしても、検査精度の劣化を軽減し、被検査物を検査することが可能となる。
照明反射部は、照明のみを拡散させて照射させるものであるため、照明装置から拡散光を被検査物に照射し、照明装置と同じ側に設置された撮像装置で撮像可能となる。したがって、外観検査装置を設備化するうえで、設備前面に、照明装置、撮像装置を設置できるため、段取りやメンテナンスが容易となる。これにより外観検査装置全体のコスト低減を図ることができる。
また端面治具は、回転自在に設置され回転中心軸と同心に配置した被検査物の端面を接触させるうえ、回転機構がこれら端面治具と被検査物とを共回りさせる。このため、被検査物のサイズによらず、撮像装置の分解能を高く維持したまま、被検査物の内周面の全周を検査することができる。
【００１１】
前記回転機構は、被検査物をその軸心回りに回転させる駆動装置を有し、この駆動装置により、前記被検査物の端面に接触させた端面治具を共回りさせるものとしても良い。
前記回転機構は、端面治具を被検査物の軸心回りに回転させる駆動装置を有し、この駆動装置により、前記端面治具に接触させた被検査物を共回りさせるものとしても良い。
前記被検査物を軸受とし、この軸受における内輪の内周面を前記撮像装置で撮像するものとしても良い。この場合、軸受を回転機構により連続回転させて、検出したい欠陥等を検査し得る。
【００１２】
前記端面治具と内輪端面とを接触させ、前記回転機構は、これら端面治具と内輪とを共回りさせるものとしても良い。
前記端面治具と内輪端面および外輪端面とを接触させ、前記回転機構は、これら端面治具、内輪、および外輪を一体に共回りさせるものとしても良い。
これらの場合、端面治具と被検査物とを共回りさせる回転機構を簡単な構成にすることができ、コスト低減を図ることができる。
【００１３】
前記回転機構は、内輪と外輪とを同期回転させる駆動装置を有するものとしても良い。内輪は転動体を介して外輪に対し相対的に自由に回転するが、駆動装置により、内輪と外輪とを同期回転させることで被検査物全体を所望の回転数で回転させて、被検査物の内周面の全周を検査することができる。
前記前記回転機構は、被検査物の外周面の円周方向複数箇所を載置支持する複数の回転ローラーを有し、これら回転ローラーは、端面治具の回転中心軸にそれぞれ平行で回転自在に支持されるものとしても良い。このように複数の回転ローラーで被検査物の外周面を載置支持するため、これら回転ローラーの相対位置を変更するだけで、種々の外径寸法の被検査物を容易に載置できる。したがって、外観検査装置の汎用性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１４】
この発明の円筒形状物の外観検査装置は、円筒形状物である被検査物の外観を検査する円筒形状物の外観検査装置において、回転自在に設置され回転中心軸と同心に配置した前記被検査物の端面を接触させる端面治具と、前記端面治具の被検査物を接触させる側面に回転中心軸と同心に設けられた円錐面状の照明反射部と、前記端面治具と前記被検査物とを共回りさせる回転機構と、前記照明反射部に照射する照明装置と、この照明装置で照射され前記照明反射部および前記被検査物の内周面で順次反射された反射光により前記被検査物の内周面を撮像する撮像装置とを備えている。このため、汚れに強く、段取りやメンテナンスを容易化すると共に、コスト低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図２】同外観検査装置の正面図である。
【図３】同外観検査装置の画像処理装置のブロック図である。
【図４】この発明の他の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図５】この発明のさらに他の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図６】この発明のさらに他の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図７】この発明のさらに他の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態に係る外観検査装置の概略構成図である。
【図９】従来例の外観検査装置の断面図である。
【図１０】他の従来例の外観検査装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
この発明の第１の実施形態に係る外観検査装置を図１ないし図３と共に説明する。以下の説明は円筒形状物の外観検査方法についての説明をも含む。
この実施形態に係る外観検査装置は、図１に示すように、例えば、円筒形状物である被検査物を軸受１とし、この軸受１の外観を検査する装置に適用される。前記軸受１として、内外輪２，３および転動体４が組立てられた転がり軸受の組立品が検査に供される。この外観検査装置では、軸受１における、内輪２の内周面２ａ、外輪３の外周面３ａ、内外輪２，３の端面２ｂ，３ｂの性状がそれぞれ検査され、疵、素材欠陥、および加工不良の少なくともいずれか１つを検出可能となっている。図１、図２の例では、転がり軸受として玉軸受が適用されているが、ころ軸受や自動調心軸受を適用することも可能である。被検査物は、軸受１に限定されるものではなく、円筒形状物であれば良い。軸受１の組立品ではなく、内輪２、外輪３、および図示外の保持器のいずれか一つの軸受部品を被検査物としても良い。
【００１７】
図１に示すように、外観検査装置は、端面治具５と、照明反射部６と、回転機構７と、照明装置８，９，１０と、撮像装置１１，１２，１３と、モニタ１４と、画像処理装置１５とを有する。端面治具５は、この例では、水平軸心回りに回転自在に設置され、この回転中心軸Ｌ１と同心に配置した軸受１の外輪３の一端面を接触させるようになっている。端面治具５は、略円盤状に形成され、図示外の基台に、回転中心軸Ｌ１回りに回転自在に支持されている。端面治具５において、外輪３の一端面を接触させる一側面に、接触部１６、環状段差部１７、および照明反射部６がそれぞれ設けられている。接触部１６は、外輪３の一端面が接触する部分であり、環状段差部１７よりも軸方向に突出するように設けられる。この接触部１６の径方向寸法は、例えば、外輪３の外径寸法および内径寸法に応じて適宜定められる。
【００１８】
端面治具５の一側面には、この端面治具５の回転中心軸Ｌ１と同心に、円錐面状の照明反射部６が設けられている。この照明反射部６は、端面治具５の軸方向内方に向かうに従って凹となる円錐面状であり、照明装置８、撮像装置１１、および被検査面である内輪２の内周面２ａの位置関係等に応じて、円錐角αが定められる。また照明反射部６は、回転中心軸Ｌ１に対し３６０度同一形状の円錐面状に形成されている。
【００１９】
回転機構７について説明する。
図２に示すように、回転機構７は、端面治具５と被検査物とを共回りさせる機構であり、外輪３を回転させる駆動装置１８と、外輪３を押さえて外輪３の回転力により受動的に回転する外輪押えローラー１９と、軸方向に与圧力を与えて軸方向の隙間をなくして外輪３，転動体４，内輪２のそれぞれの摩擦力にて、外輪３が回転することにより前記外輪３と内輪２とを一体に回転させる内輪押えローラー２０とを有する。駆動装置１８は、前記基台に設置されており、２個の回転ローラー１８ａ，１８ａを有する。各回転ローラー１８ａ，１８ａは、端面治具の回転中心軸Ｌ１に対しそれぞれ平行で駆動装置１８により回転駆動可能に設けられる。これら回転ローラー１８ａ，１８ａは、外輪３の外周面３ａの円周方向二箇所を載置支持して外輪３に回転力を与えるものであり、外輪３の外径寸法に応じて互いに離隔させて設けられる。外輪３の外周面のうち円周方向位置の異なる二箇所を、２個の回転ローラー１８ａ，１８ａの外周面にそれぞれ載置させている。また安定的に外輪３を回転させるために、外輪３の外周面３の他の一箇所を、外輪押えローラー１９により押さえている。
【００２０】
図１に示すように、この外輪押えローラー１９は、回転中心軸Ｌ１に平行で回転自在に支持される。また外輪押えローラー１９は、外輪３が一定回転数で回転したかを計測する回転検出機構２２を有する。この回転検出機構２２は、例えばエンコーダが採用され、前記基台に設けられている。外輪３が駆動装置１８により回転力を与えられて回転すると、外輪押えローラー１９は、この外輪押えローラー１９の外周面と外輪３の外周面３ａとの摩擦力により、受動的に回転するようになっている。なお外輪押えローラー１９は、例えば上下移動可能に構成され、外輪押えローラー１９が外輪３の外周面３ａよりも径方向外方に離隔した上方位置にて軸受１を装置に着脱可能とし、外輪押えローラー１９が外輪３を押える下方位置（図１）にて軸受１が外観検査に供されるようになっている。
前記エンコーダでは、外輪押えローラー１９の回転に伴い、この外輪押えローラー１９と一体に図示外の回転スリット板が回転し、その回転を光学式センサ部で検出する。この光学式センサ部では、回転する回転スリット板の各スリットが発光素子と受光素子の光軸上を通過する毎に、発光素子からの放射光を受光素子で受光する。その検出信号を波形整形回路等で処理して、回転スリット板の回転すなわち外輪押えローラー１９および外輪３の回転を検出する。
【００２１】
内輪押えローラー２０は、その外周面で内輪２の一端面２ｂを押さえて軸受軸方向に与圧力を与えて軸方向の隙間をなくして、内外輪２，３および転動体４と共に一体回転するものである。この内輪押えローラー２０は、回転中心軸Ｌ１に直交する軸心Ｌ２回りに、回自在に支持される。内輪押えローラー２０は、内輪２が一定回転数で回転したかを検出する回転検出機構２４を有する。この回転検出機構２４も、前述のエンコーダが採用され、前記基台に設けられている。外輪３が駆動装置１８により回転力を与えられて回転すると、外輪３，転動体４，内輪２のそれぞれの摩擦力にてこれら軸受構成部品が一体回転するようになっている。なお内輪押えローラー２０は、前後（図１左右方向）に移動可能に構成され、内輪押えローラー２０が内輪２の端面２ｂよりも離隔した離隔位置にて軸受１を装置に着脱可能とし、内輪押えローラー２０が内輪２の端面２ｂを押える接触位置にて軸受１が外観検査に供されるようになっている。なおモニタ１４には、外輪押えローラー１９および外輪３の回転数と、内輪押えローラー２０および内輪２の回転数とがそれぞれ出力され、各回転数が一定回転数で回転しているか（つまり内外輪２，３および転動体４が一体に回転しているか）を目視確認し得る。
【００２２】
照明装置８は、照明反射部６に光を照射する装置であって、端面治具５の一側面に対向する設備前面（図１右側）に設置されている。この照明装置８は、内輪２の内周側空間を介して照明反射部６に照射する。撮像装置１１は、この照明装置８で照射され照明反射部６および内輪２の内周面２ａで順次反射された反射光により、内輪２の内周面２ａを撮像する。この撮像装置１１は、前記照明装置８と同様に設備前面で反射光の向きに対向する傾斜姿勢で設置される。
図２に示すように、照明装置９は、外輪３の外周面３ａに光を照射する装置であって、外輪３の半径方向外方に設置されている。撮像装置１２は、外輪３の半径方向外方に設置され、前記照明装置９で照射された外輪３の外周面３ａを撮像する。図１に示すように、照明装置１０は、内外輪２，３の端面２ｂ，３ｂに光を照射する装置であって、端面治具５の一側面に対向する設備前面に設置されている。撮像装置１３は、前記照明装置１０で照射された内外輪２，３の端面２ｂ，３ｂを撮像する。
【００２３】
各撮像装置１１，１２，１３、モニタ１４、および画像処理装置１５は電気的に接続され、各撮像装置１１，１２，１３で撮像された画像が、表示装置であるモニタ１４で表示されると共に、画像処理装置１５にて処理され、例えば、疵、素材欠陥、加工不良等の自動判別に用いられる。前記素材欠陥とは、例えば、黒皮残りやクラック等を意味し、前記加工不良とは、例えば、研石の当たり異常等を意味する。但し、これらの内容に限定されるものではない。
【００２４】
画像処理装置１５は、各撮像装置１１，１２，１３で撮像した画像を表面性状の判定を容易化した画像、つまり画像データに処理する画像処理手段１５ａと、この画像処理手段１５ａで処理された画像データを、欠陥候補を抽出した後、輝度や、長さ、面積等幾何学的な特徴により、定量評価できる閾値で判定を行う判定手段１５ｂと、各種定量評価するデータベースを記憶した記憶手段１５ｃとを有する。画像処理手段１５ａで実行する画像処理としては、例えば、２値化処理や、グレースケール処理、明暗を強調する処理、または濃淡の領域を計算する処理等、いずれの処理であっても良い。なお判定手段１５ｂは、内外輪２，３等に施された刻印やレーザーマーカーの認識のため、記憶手段ｃに事前に登録保存された文字との照合を行なう機能を有しても良い。
駆動装置１８により、内外輪２，３を一体に同一回転数で連続回転させながら、各被検査面の展開画像を撮像する。つまり外輪３の外周面３ａに照明装置９で光を照射し、前記外周面３ａの展開画像を撮像装置１２により撮像する。画像処理装置１５は、例えば、パーソナルコンピュータやマイクロコンピュータ等のコンピュータと、これに実行されるプログラムやデータからなるが、独立して設けられた電子回路であっても良い。
【００２５】
作用効果について説明する。
回転ローラー１８ａ，１８ａ上に、被検査物である軸受１を外輪３が接触するように載置し、外輪押えローラー１９により外輪３を上部から押さえる。次に、内輪２の一端面を内輪押えローラー２０で軸方向に加圧し、転動体４を介して、内外輪２，３を一体で回転できる状態にする。その後、駆動装置１８により、内外輪２，３を一体に連続回転させながら、各被検査面の展開画像を撮像する。つまり外輪３の外周面３ａに照明装置９で光を照射し、前記外周面３ａの展開画像を撮像装置１２により撮像する。内外輪２，３の端面２ｂ，３ｂに照明装置１０で光を照射し、前記端面２ｂ，３ｂの展開画像を撮像装置１３により撮像する。照明反射部６に照明装置８で光を照射し、照明反射部６および内輪２の内周面２ａで順次反射された反射光により、前記内周面２ａの展開画像を撮像する。撮像された各画像は、モニタ１４で表示されると共に、画像処理装置１５にて処理され、例えば、疵、素材欠陥、加工不良等の判定に用いられる。モニタ１４には、画像処理装置１５で判定された判定結果（疵：有りまたは無し）が各画像と共に表示される。
【００２６】
内輪２の内周面２ａを検査するとき、照明反射部６に映った実体を検査するのではなく、照明反射部６を単に照明を反射する部材として使用している。このため、照明反射部６の全面または一部が汚れたとしても、検査精度の劣化を軽減し、被検査物を検査することが可能となる。したがって、研磨工程等の他工程からのミストの侵入等がある軸受製造ラインにおいても、この外観検査装置を用いて軸受１を検査することができる。
照明反射部６は、照明のみを拡散させて照射させるものであるため、照明装置８から拡散光を被検査物に照射し、照明装置８と同じ側に設置された撮像装置１１で撮像可能となる。したがって、外観検査装置を設備化するうえで、設備前面に、照明装置８、撮像装置１１を設置できるため、段取りやメンテナンスが容易となる。これにより外観検査装置全体のコスト低減を図ることができる。
また端面治具５は、回転自在に設置され回転中心軸Ｌ１と同心に配置した軸受１の一端面を接触させるうえ、回転機構７がこれら端面治具５と軸受１とを共回りさせる。このため、軸受サイズによらず、撮像装置１１の分解能を高く維持したまま、内輪内周面２ａの全周を検査することができる。
【００２７】
他の実施形態について説明する。以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。
図４に示すように、円筒形状物である被検査物Ｗをその軸心回りに回転させる駆動装置２１を設けた構成としても良い。この駆動装置２１の回転軸２１ａに外輪押えローラー１９が設けられている。図５に示すように、端面治具５を被検査物Ｗの軸心回りに回転させる駆動装置２５を設けた構成としても良い。図５の駆動装置２５としては、端面治具５の他側面に同駆動装置２５の回転軸を連結したものであっても良いし、駆動装置２５により回転するローラの端面と、端面治具５の他側面との摩擦力により、端面治具５を回転させるものであっても良い。これらの場合、第１の実施形態のような内輪押えローラー２０や回転ローラー１８ａ，１８ａが不要となるため、外観検査装置の構造を簡単化でき、コスト低減を図れる。
【００２８】
図６に示すように、端面治具５の接触部１６と、軸受１の内輪端面とを接触させ、これら端面治具５と内輪２とを共に回転可能に設けた構成としても良い。図７に示すように、端面治具５の接触部１６と、内外輪２，３の端面とを接触させて固定し、端面治具５と内外輪２，３とが一体に回転する構成としても良い。これらの場合にも、同期回転させる他の駆動装置が不要となるため、外観検査装置の構造を簡単化でき、コスト低減を図れる。
【００２９】
図８に示すように、端面治具５の接触部と、内外輪２，３の端面とを接触させ、内外輪２，３を同期回転させる駆動装置２１，２３をそれぞれ設けても良い。この図８の例では、外輪押えローラー１９は、例えばモータ等の駆動装置２１により回転駆動可能に構成される。駆動装置２１は前記基台に設けられている。駆動装置２１により外輪押えローラー１９を回転させることで、この外輪押えローラー１９の外周面と外輪３の外周面３ａとの摩擦力により、外輪３を回転させるようになっている。この外輪回転時、図示しない回転ローラー１８ａ，１８ａ（図１）は、外輪３を支持すると共に、外輪３の外周面との摩擦力により回転する。回転検出機構２２は、内輪２と外輪３とを同期回転させるために用いられる。
【００３０】
内輪押えローラー２０は、例えばモータ等の駆動装置２３により回転駆動可能に構成される。駆動装置２３は前記基台に設けられている。駆動装置２３により内輪押えローラー２０を回転させることで、この内輪押えローラー２０の外周面と内輪２の一端面２ｂとの摩擦力により、内輪２を回転させるようになっている。回転検出機構２４も、例えば、前述のエンコーダ等が採用される。駆動装置２１，２３を制御する制御装置（図示せず）は、回転検出機構２２，２４からそれぞれ検出された内外輪２，３の回転数の情報が入力され、内外輪２，３つまり転がり軸受全体を同一回転数で回転させるように駆動装置２１，２３を同期制御する。
【符号の説明】
【００３１】
１…軸受
２…内輪
２ａ…内周面
３…外輪
５…端面治具
６…照明反射部
７…回転機構
８，９，１０…照明装置
１１，１２，１３…撮像装置
１８…駆動装置
２２，２４…回転検出機構
【図１】
0005794895.tif 000002
【図２】
0005794895.tif 000003
【図３】
0005794895.tif 000004
【図４】
0005794895.tif 000005
【図５】
0005794895.tif 000006
【図６】
0005794895.tif 000007
【図７】
0005794895.tif 000008
【図８】
0005794895.tif 000009
【図９】
0005794895.tif 000010
【図１０】
0005794895.tif 000011