(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面側に樹脂層を有する薄板状のシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを前記基材の長手方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送された前記シートと前記基材とが前記対向状態を維持したまま通過するチャンバと、
前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内で、前記基材および前記シートを加熱する加熱手段と、
前記チャンバ内で、対向状態の前記基材と前記シートとを一括して、その厚さ方向に加圧する加圧手段とを備え、
前記チャンバ内では、前記搬送手段による前記基材と前記シートとの搬送を一旦停止し、その停止状態で、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧しつつ、前記加圧手段および前記加熱手段により前記対向状態の前記基材と前記シートとを加圧および加熱して、前記樹脂層と前記基材とを圧着し、
前記チャンバは、前記基材および前記シートが送り込まれる入口と、該入口から送り込まれた前記基材および前記シートが送り出される出口とを有し、
前記チャンバの前記入口および前記出口には、それぞれ、前記基材または前記シートに当接するシール部材が設置され、
繊維基材である前記基材に対して前記シートを積層する装置であり、
前記搬送手段は、前記シートの前記樹脂層と前記基材とが対向し、基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、
前記シール部材は、前記シートまたは前記基材の前記樹脂層側と反対側の面に当接するように構成され、
前記シール部材は、前記樹脂層を加熱して、前記基材に前記樹脂層を含浸させる加熱部を有する積層シート製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の積層シート製造装置において、
当該製造装置は、前記基材の一部が前記チャンバ内に位置するとともに、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側の領域および下流側の領域が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記加圧手段による加圧および前記加熱手段による加熱を行なうものである積層シート製造装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の積層シート製造装置において、
前記加圧手段は、対向する前記基材および前記シートを一方の側から、押圧する第一押圧部材と、
前記第一押圧部材に対して相対的に離間および接近可能に構成され、対向する前記基材および前記シートを他方の側から押圧する第二押圧部材と、を備える積層シート製造装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記チャンバは、互いに対向することで、前記減圧手段により減圧される減圧室を構成する第一の構造体と、第二の構造体とを備え、
前記第一の構造体および前記第二の構造体は、相対的に離間および接近可能に構成され、
前記第一の構造体と、前記第二の構造体との間に前記入口および前記出口が形成され、
少なくともいずれか一方の前記構造体の前記入口を区画する部分および少なくともいずれか一方の前記構造体の出口を区画する部分に前記シール部材が設けられている積層シート製造装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記搬送手段は、長尺状の基材と、この基材の長手方向に沿って間欠的に配置された複数のシート部を有する前記シートとを搬送し、
前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段で、前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたと判別された場合に、前記搬送手段の駆動を停止し、
前記判別手段で、前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたと判別されない場合に前記搬送手段の駆動を停止しないよう制御する制御手段とを備える積層シート製造装置。
【請求項６】
請求項５に記載の積層シート製造装置において、
前記シート部間の隙間の位置を検出する検出手段を有し、
前記判別手段では、前記検出手段で検出した隙間の位置が所定位置であるか否かを判別することで、前記基材の一部と、前記シート部とが前記チャンバ内の所定位置に搬送されたか否かを判別する積層シート製造装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記シートの樹脂層は、固形、半固形または液状の樹脂組成物で構成されている積層シート製造装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の積層シート製造装置を使用した積層シートの製造方法。
【請求項９】
一方の面側に樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、
チャンバ内に、前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを搬送する搬送工程と、
前記チャンバ内に前記シートと、このシートに対向する前記基材の一部の領域とが位置し、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側のおよび下流側の前記基材の他の一部が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記シートおよび前記基材の搬送を停止する工程と、
前記チャンバ内を減圧し、前記チャンバ内の前記基材の一部および前記シートを加熱するとともに、前記基材の一部および前記シートを加圧する工程とを含み、
前記搬送工程では、長尺状の繊維基材である前記基材と、前記シートの前記樹脂層とが対向し、前記基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、
前記基材の一部および前記シートを加圧する前記工程では、減圧手段により、前記チャンバ内を減圧するとともに、前記減圧手段により、前記基材の前記端面側から前記基材内部の気体を吸引し、
前記基材および前記シートを加熱するとともに、前記基材および前記シートを加圧して、前記基材内部に前記シートの樹脂層を含浸させる積層シートの製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートおよび前記基材の搬送を停止した後、前記減圧手段により、前記チャンバ内を減圧する前段において、
前記チャンバ内に位置する前記シートの前記樹脂層のチャンバ入口側の領域、およびチャンバ出口側の領域を溶融させて、前記基材に対し、前記樹脂層を含浸させる工程とを含む積層シートの製造方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートは複数のシート部から構成されており、
前記搬送工程では、長尺状の基材と、この基材の長手方向に沿って間欠的に配置された複数の前記シート部を有する前記シートとを搬送し、
搬送を停止する前記工程では、
前記チャンバ内に少なくとも一つのシート部と、このシート部に対向する前記基材の一部の領域とが搬送されるとともに、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側および下流側の前記基材の他の一部が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記基材および前記シートの搬送を停止する積層シートの製造方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の積層シートの製造方法において、
前記搬送工程の前段で、
前記基材に対し、その一部を固定するとともに、他の一部を固定せずに前記シート部を前記基材に対して配置する積層シートの製造方法。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートおよび前記基材の搬送を停止する前記工程では、
前記シートの前記シート部間の隙間の位置が所定位置まで搬送されたか否かを検出し、
所定の位置まで搬送されたと検出された場合に、前記シートおよび前記基材の前記搬送を停止する積層シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シート製造装置、積層シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子部品・電子機器等を小型化・薄膜化すべく、これに用いられる回路基板等を
小型化・薄膜化することが要求されている。この要求に答えるために、多層構造の回路基
板を用い、その各層を薄くすることが行なわれている。
【０００３】
多層構造の回路基板には、例えば、繊維基材の両面に、樹脂組成物シート（樹脂層）を配置してラミネート接着させたシートが使用されている（たとえば特許文献１参照）。
このシートは、繊維基材の両面に、Ｂステージの樹脂組成物シートを重ね合わせ、この積層体を加圧することで、製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３４０９５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような製造方法では、樹脂層の繊維基材に対する圧着が不十分となる可能性があり、その結果、繊維基材から樹脂層が剥離するおそれがあった。
なお、このような課題は、繊維基材と樹脂層とを積層する場合のみならず、樹脂層同士を積層する場合、繊維基材を含むプリプレグ同士を積層する場合においても、生じている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、一方の面側に樹脂層を有する薄板状のシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを前記基材の長手方向に沿って搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送された前記シートと前記基材とが前記対向状態を維持したまま通過するチャンバと、前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、前記チャンバ内で、前記基材および前記シートを加熱する加熱手段と、前記チャンバ内で、対向状態の前記基材と前記シートとを一括して、その厚さ方向に加圧する加圧手段とを備え、前記チャンバ内では、前記搬送手段による前記基材と前記シートとの搬送を一旦停止し、その停止状態で、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧しつつ、前記加圧手段および前記加熱手段により前記対向状態の前記基材と前記シートとを加圧および加熱して、前記樹脂層と前記基材とを圧着し、前記チャンバは、前記基材および前記シートが送り込まれる入口と、該入口から送り込まれた前記基材および前記シートが送り出される出口とを有し、前記チャンバの前記入口および前記出口には、それぞれ、前記基材または前記シートに当接するシール部材が設置され、繊維基材である前記基材に対して前記シートを積層する装置であり、前記搬送手段は、前記シートの前記樹脂層と前記基材とが対向し、基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、前記シール部材は、前記シートまたは前記基材の前記樹脂層側と反対側の面に当接するように構成され、前記シール部材は、前記樹脂層を加熱して、前記基材に前記樹脂層を含浸させる加熱部を有する積層シート製造装置が提供される。
【０００７】
この発明によれば、加圧手段の作動による基材と樹脂層との圧着と、減圧手段の作動によりチャンバ内に生じた減圧力による基材と樹脂層との圧着とが相まって、基材と樹脂層との接合が強化される。
【０００８】
さらに、本発明によれば、上述した積層シート製造装置を用いて積層シートを製造する方法も提供できる。
さらには、一方の面側に樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、チャンバ内に、前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを搬送する搬送工程と、前記チャンバ内に前記シートと、このシートに対向する前記基材の一部の領域とが位置し、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側のおよび下流側の前記基材の他の一部が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記シートおよび前記基材の搬送を停止する工程と、前記チャンバ内を減圧し、前記チャンバ内の前記基材の一部およびシートを加熱するとともに、前記基材の一部および前記シートを加圧する工程とを含み、前記搬送工程では、長尺状の繊維基材である前記基材と、前記シートの前記樹脂層とが対向し、前記基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、前記基材の一部および前記シートを加圧する前記工程では、減圧手段により、前記チャンバ内を減圧するとともに、前記減圧手段により、前記基材の前記端面側から前記基材内部の気体を吸引し、前記基材および前記シートを加熱するとともに、前記基材および前記シートを加圧して、前記基材内部に前記シートの樹脂層を含浸させる積層シートの製造方法も提供できる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、基材と樹脂層とが強固に固定された積層シート製造装置および積層シートの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図２】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図３】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図４】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図５】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図６】本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図である。
【図７】本発明の積層シート製造装置（第２実施形態）を示す概略断面平面図である。
【図８】積層シートを示す断面図である。
【図９】複数のシート部が基材上に間欠的に配置された状態を示す平面図である。
【図１０】図４のX-X方向の断面図である。
【図１１】繊維基材２の長手方向に沿った断面図であり、繊維基材２に対し、シート部が離間配置された状態を示す断面図である。
【図１２】本発明の積層シート製造装置の変形例を示す概略断面側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同一符号を付し、その詳細な説明は重複しないように適宜省略される。
以下、本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１〜図６は、それぞれ、本発明の積層シート製造装置（第１実施形態）の作動状態を順に示す概略断面側面図、図７は、本発明の積層シート製造装置（第２実施形態）を示す概略断面平面図、図８は、本発明の積層シートを示す断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図１〜図６および図８中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、図８は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。図９は、複数のシート部が基材上に間欠的に配置された状態を示す平面図である。
さらに、図１０は、図４のX-X方向の断面図である。図１１は、繊維基材２の長手方向に沿った断面図であり、繊維基材２に対し、シート部が離間配置された状態を模式的に示す断面図である。
【００１２】
図１〜図７に示す積層シート製造装置３０は、図８に示す構成の積層シート４０を製造する装置である。
【００１３】
<積層シート>
まず、積層シート４０について、図８を参照しつつ説明する。なお、積層シート４０をその長手方向の途中で所定の寸法に切断すると、プリプレグ１が得られる。
【００１４】
図８に示す積層シート４０は、その全体形状が帯状（長尺状）をなし、薄板状（平板状）の繊維基材（基材）２と、繊維基材２の一方の面（上面）側に位置し、固形または半固形の第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層（樹脂層）３と、繊維基材２の他方の面（下面）側に位置し、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層（樹脂層）４と、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４上にそれぞれ形成された金属層１２とを有する。この積層シート４０は、所定の寸法に切断されて使用される。
この積層シート４０は、図９に示すように、長尺状の繊維基材２の一方の面上に、第１の樹脂層（樹脂層）３および金属層１２で構成されるシート部５ａ（第１のシート部）が複数離間配置された構造となっている。
また、長尺状の繊維基材２の他方の面上に、第２の樹脂層（樹脂層）４および金属層１２で構成されるシート部５ｂ（第２のシート部）が複数離間配置された構造となっている。
第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂは、繊維基材２を挟んで対向する位置に配置される。
第１のシート部５ａ間の繊維基材２および第２のシート部５ｂ間の繊維基材２を切断することで、プリプレグ１が得られる。なお、各樹脂層３，４はＢ−ステージ状態である。
このプリプレグ１は、多層プリント配線板（回路基板）に使用されるものであり、コア材となるものである。プリプレグ１の金属層１２を選択的に除去して回路層を形成し、さらに、このプリプレグ１の表裏面に、他のプリプレグと回路層とを交互に積層することで、多層プリント配線板（回路基板）が得られる。
なお各樹脂層３，４はＢ−ステージ状態であり、コア材として使用する場合には、プリプレグ１を加熱硬化して、樹脂層３,４を完全硬化（Ｃステージ）する。
【００１５】
繊維基材２は、積層シート４０の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維や全芳香族ポリアミド樹脂繊維等を含むアラミド繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材が挙げられる。
なお、繊維基材は、上述した繊維のいずれか１種を使用してもよいし、２種以上を使用したものであってもよい。
【００１６】
これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート４０を切断して得られたプリプレグ１の機械的強度をより向上することができる。また、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。
【００１７】
このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス、Ｑガラス、石英ガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、Ｔガラス、石英ガラスまたはＱガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート４０をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。
【００１８】
繊維基材２の平均厚さＴは、特に限定されないが、１５０μｍ以下であるのが好ましく、１００μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜５０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、プリプレグ１（積層シート４０）の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、プリプレグ１の加工性・寸法安定性を向上することもできる。
【００１９】
この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、第２の樹脂組成物で構成されている。第１の樹脂組成物と第２樹脂組成物とは同じ組成物であってもよく、異なるものであってもよい。本実施形態では同じ組成物とする。
【００２０】
本実施形態では、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４上にそれぞれ金属層１２形成される。この金属層１２は、例えばエッチングやレーザ加工を施すことにより、配線部（導体パターン）となる。このため、第１の樹脂組成物、第２の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。
【００２１】
図８に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
本実施形態では、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは等しい。
さらに、第１の樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の厚みと、第２の樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の厚みとは等しい。第１の非含浸部３２の厚み、第２の非含浸部４２の厚みは、たとえば、２〜２０μｍである。なお、第１の含浸部３１の厚みと、第２の含浸部４１の厚みは異なっていてもよく、また、第１の非含浸部３２の厚みと、第２の非含浸部４２の厚みとが異なっていてもよい。なお、図８において符号２０は、含浸部３１、含浸部３２の境界を模式的に示す。
【００２２】
図１に示すように、第１の樹脂層３は、金属層１２が積層された状態で、薄板状の第１のシート部（シート部）５ａとして積層シート製造装置３０に供給される。第２の樹脂層４も、金属層１２が積層された状態で、薄板状の第２のシート部（シート部）５ｂとして積層シート製造装置３０に供給される。
【００２３】
金属層１２は、前述したように配線部に加工される部分であり、導電性を有する金属材料で構成された、例えば、銅箔、アルミ箔等の金属箔を、対応する樹脂層に接合すること、銅、アルミニウム等の金属箔を、対応する樹脂層の表面にメッキすること等により形成される。また、本実施形態では、第１の樹脂層３や第２の樹脂層４は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。
【００２４】
金属層１２と第１の樹脂層３や第２の樹脂層４とのピール強度は、０．３ｋＮ／ｍ以上あるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、例えば半導体装置との電気的な接続の信頼性をより向上させることができる。
なお、積層シート４０では、金属層１２を省略することもできる。
【００２５】
さて、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。
【００２６】
各樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。
【００２７】
硬化性樹脂には、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、マレイミド化合物、ポリウレタン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、ビスアリルナジイミド化合物、ビニルベンジル樹脂、ビニルベンジルエーテル樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂、シアネート樹脂、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂などが挙げられる。これらの中でも、硬化性樹脂は、ガラス転移温度が２００℃以上になる組合せが好ましい。例えば、スピロ環含有、複素環式、トリメチロール型、ビフェニル型、ナフタレン型、アントラセン型、ノボラック型の２または３官能以上のエポキシ樹脂、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）、マレイミド化合物、ベンゾシクロブテン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂を用いるのが好ましい。
【００２８】
前記硬化性樹脂の中でも、熱硬化性樹脂を用いることにより、さらに、後述する基板を作製した後において、硬化後の樹脂層３、４中において架橋密度が増加するので、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）の耐熱性の向上を図ることができる。
【００２９】
前記熱硬化性樹脂と充填材を併用することにより、プリプレグ１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、プリプレグ１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。
【００３０】
前記エポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００３１】
これらの中でも、エポキシ樹脂は、ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。ナフタレン型、アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の樹脂層３、４（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。ナフタレン型エポキシとしては、ＤＩＣ（株）製のＨＰ−４７００、ＨＰ−４７７０、ＨＰ−４０３２Ｄ、ＨＰ−５０００、ＨＰ-６０００、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられ、アリールアルキレン型エポキシ樹脂としては、日本化薬（株）製のＮＣ−３０００、ＮＣ−３０００Ｌ、ＮＣ−３０００−ＦＨ、日本化薬（株）製のＮＣ−７３００Ｌ、新日鐵化学（株）製のＥＳＮ−３７５等が挙げられる。アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に芳香族基とメチレン等のアルキレン基の組合せが一つ以上含むエポキシ樹脂のことをいい、耐熱性、難燃性、および機械的強度が優れる。また、ハロゲンフリーの配線板に対応する上では、実質的にハロゲンを含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３２】
前記シアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類やナフトール類とを反応させ、必要に応じて加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。また、このようにして調製された市販品を用いることもできる。
【００３３】
前記シアネート樹脂は、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂、及びナフトールアラルキル型シアネート樹脂等を挙げることができる。
【００３４】
また、前記シアネート樹脂は、分子内に２個以上のシアネート基（−Ｏ−ＣＮ）を有することが好ましい。例えば、２，２'−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、１，１'−ビス（４−シアナトフェニル）エタン、ビス（４−シアナト−３，５−ジメチルフェニル）メタン、１，３−ビス（４−シアナトフェニル−１−（１−メチルエチリデン））ベンゼン、ビス（４−シアナトフェニル）チオエーテル、ビス（４−シアナトフェニル）エーテル、１，１，１−トリス（４−シアナトフェニル）エタン、トリス（４−シアナトフェニル）ホスファイト、ビス（４−シアナトフェニル）スルホン、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）プロパン、１，３−、１，４−、１，６−、１，８−、２，６−又は２，７−ジシアナトナフタレン、１，３，６−トリシアナトナフタレン、４，４−ジシアナトビフェニル、及びフェノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ジシクロペンタジエン型等の多価フェノール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂、ナフトールアラルキル型の多価ナフトール類と、ハロゲン化シアンとの反応で得られるシアネート樹脂等が挙げられる。これらの中で、フェノールノボラック型シアネート樹脂が難燃性、及び低熱膨張性に優れ、２，２−ビス（４−シアナトフェニル）イソプロピリデン、及びジシクロペンタジエン型シアネート樹脂が架橋密度の制御、及び耐湿信頼性に優れている。特に、フェノールノボラック型シアネート樹脂が低熱膨張性の点から好ましい。また、更に他のシアネート樹脂を１種類あるいは２種類以上併用したりすることもでき、特に限定されない。
【００３５】
前記シアネート樹脂は、単独で用いてもよいし、重量平均分子量の異なるシアネート樹脂を併用したり、前記シアネート樹脂とそのプレポリマーとを併用したりすることもできる。
【００３６】
これらシアネート樹脂を用いることにより、効果的に耐熱性、及び難燃性を発現させことができる。
【００３７】
また、前記硬化性樹脂は、２種以上を併用して用いることもできる。例えば、硬化性樹脂として前記エポキシ樹脂を用いる場合、より難燃性を向上させる上で、前記シアネート樹脂を併用することができ、また、より耐熱性を向上させる上で、前記マレイミド化合物を併用することができる。さらに、硬化性樹脂として、前記シアネート樹脂を用いる場合は、より耐熱性や難燃性などを向上させる上で、前記エポキシ樹脂を併用することができる。
【００３８】
硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、樹脂組成物全体の５〜７０質量％であるのが好ましく、１０〜５０質量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、プリプレグ１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、プリプレグ１の機械的強度が低下する場合がある。
【００３９】
また、樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、プリプレグを薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）にしても、機械的強度に優れる基板を得ることができる。さらに、基板の低熱膨張化を向上することもできる。
【００４０】
無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填材は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。
【００４１】
また、樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の成分を配合することができる。他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系の消泡剤又はレベリング剤、カップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック、アントラキノン類等の着色剤等を挙げることができる。
【００４２】
<積層シート製造装置（積層シートの製造方法）の第１実施形態>
次に、積層シート４０の製造に用いる積層シート製造装置３０、すなわち、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置３０について、図１〜図６、図１０、図１１を参照しつつ説明する。
【００４３】
積層シート製造装置３０は、繊維基材２の一方の面（上面側）に配置された第一のシート５Ａと、繊維基材２とを圧着するとともに、繊維基材２の他方の面（上面側）に配置された第二のシート５Ｂと、繊維基材２とを圧着する装置である。
本実施形態では、第一のシート５Ａは離間配置された複数の第１のシート部５ａで構成され、複数の第二のシート５Ｂは、離間配置された複数の第２のシート部５ｂで構成されている。
ここで、繊維基材２の上面側の部分と第１のシート部（支持体）５ａの第１の樹脂層３とを接合し、繊維基材２の下面側の部分と第２のシート部（支持体）５ｂの第２の樹脂層４とを接合して、積層シート４０を製造する。
【００４４】
なお、図１〜図６中では、完成品、すなわち、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが接合されたものと、未完成品、すなわち、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが未だ接合されていないものとの区別を容易にするために、未完成品では、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが互いに離間した状態となっている。実際には、図１１の模式図に示すように、未完成品においては、繊維基材２と第１のシート部５ａとは接触しており、第２のシート部５ｂと繊維基材２とは接触している。また、チャンバ７には、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂが搬送されるが、このとき、繊維基材２の搬送方向に沿った端面（ＴＤ方向の端部の端面）は、第１のシート部５ａあるいは第２のシート部５ｂにより被覆されておらず、露出した状態となっている（図１０参照）。第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂの幅（搬送方向と直交する方向の長さ）は、繊維基材２の幅と等しいか、繊維基材２の幅よりも短いことが好ましい。
【００４５】
積層シート製造装置３０は、搬送手段６と、チャンバ７と、減圧手段８と、加圧手段９と、加熱手段９５とを備えている。以下、各部の構成について説明する。
【００４６】
搬送手段６は、例えばチャンバ７を介してその両側にそれぞれ配置されたベルトコンベアで構成されている。この搬送手段６は、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して図中の左側から右側（長手方向に沿って）、すなわち、水平方向に搬送することができる。すなわち、搬送手段６は、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとをチャンバ７内に供給するとともに、チャンバ７から繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを送り出す。
なお、搬送手段６は、その他、ピンチロールや巻き取りロールによる搬送でもよい。
【００４７】
また、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとは、搬送手段６により搬送されるときには、第１のシート部５ａの第１の樹脂層３に繊維基材２の上面が対向し、第２のシート部５ｂの第２の樹脂層４に繊維基材２の下面が対向した状態となっている。以下、この状態を「対向状態」と言う。
【００４８】
チャンバ７では、搬送手段６により搬送された繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが対向状態を維持したまま通過し、その際にこれらが接合される。
【００４９】
チャンバ７は、上下方向に互いに接近／離間する上側構造体（第一の構造体）７１と下側構造体（第二の構造体）７２とで構成されている。
上側構造体７１は、天板７１１と、天板７１１の縁部にその全周にわたって形成された側壁７１２とを有している。側壁７１２は、天板７１１の縁部から、下方に向かって突出している。下側構造体７２は、底板７２１と、底板７２１の縁部にその全周にわたって形成された側壁７２２とを有している。側壁７２２は、底板７２１の縁部から、上方に向かって突出している。
【００５０】
上側構造体７１と下側構造体７２とが所定距離以上、離間した状態（以下「開状態」と言う）では、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとをこれらの構造体７１,７２の内側に送り込むことができ、また、これらの構造体７１,７２の外側に向かって送り出すこともできる（図６参照）。チャンバ７では、上側構造体７１と下側構造体７２との間の図中左側の部分が入口７３となり、右側の部分が出口７４となる。より詳細に説明すると、繊維基材２等の搬送方向と直交する上側構造体７１の一対の側壁７１２のうち、搬送方向上流側に配置された側壁７１２Ａと、繊維基材２等の搬送方向と直交する下側構造体７２の一対の側壁７２２のうち、搬送方向上流側に配置された側壁７２２Ａとで前記入口が区画される。また、繊維基材２等の搬送方向と直交する上側構造体７１の一対の側壁７１２のうち、搬送方向下流側に配置された側壁７１２Ｂと、繊維基材２等の搬送方向と直交する下側構造体７２の一対の側壁７２２のうち、搬送方向下流側に配置された側壁７２２Ｂとで前記出口が区画される。側壁７１２Ａ，７２２Ａの対向する端面間が入口となり、側壁７１２Ｂ，７２２Ｂの対向する端面間が出口である。
【００５１】
上側構造体７１および下側構造体７２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ステンレス鋼、アルミニウム等の各種金属、またはこれらを含む合金が挙げられる。
【００５２】
上側構造体７１の入口７３を区画する部分（すなわち、側壁７１２Ａの端面）、出口７４を区画する部分（すなわち、側壁７１２Ｂの端面）には、それぞれ、弾性材料で構成されたシール部材７５が設置されている。また、下側構造体７２の入口７３を区画する部分（すなわち、側壁７２２Ａの端面）、出口７４を区画する部分（すなわち、側壁７２２Ｂの端面）にも、それぞれ、弾性材料で構成されたシール部材７６が設置されている。シール部材７５および７６は、それぞれ、その横断面形状が円形をなす部材である。シール部材７５は、上側構造体７１の側壁７１２Ａ，７１２Ｂの下部に固定され、シール部材７６は、下側構造体７２の側壁７２２Ａ，７２２Ｂの上部に固定されている。
【００５３】
そして、図２〜図４に示すように、上側構造体７１と下側構造体７２とが接近した状態（以下「閉状態」と言う）で、シール部材７５とシール部材７６とが繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して挟持する、すなわち、シール部材７５が第１のシート部５ａの金属層１２に密着し、シール部材７６が第２のシート部５ｂの金属層１２に密着する。この密着により、上側構造体７１と下側構造体７２とで画成された空間７７、すなわち、チャンバ７内の気密性が維持される。このとき、減圧手段８が作動することにより、空間７７内を減圧することができる。
なお、ここでは、図示しないが、上側構造体７１の４枚の側壁のうち、側壁７１２Ａ，７１２Ｂ以外の側壁の下端部にも、シール部材が配置されている。同様に、下側構造体７２の４枚の側壁のうち、側壁７２２Ａ，７２２Ｂ以外の側壁の上端部にもシール部材が配置されている。これにより、チャンバ７内の気密性を保つことができる。
【００５４】
なお、シール部材７５および７６は、それぞれ、図２〜図４に示す構成では第１のシート部５ａの金属層１２に密着し、第２のシート部５ｂの金属層１２に密着しているが、これに限定されず、例えば、繊維基材２の上面および下面に密着してもよい。
【００５５】
シール部材７５および７６の構成材料としては、特に限定されず、例えば、天然ゴム、
イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプ
レンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、ヒドリンゴム、ウレ
タンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）
や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル
系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素
化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または
２種以上を混合して用いることができる。
【００５６】
また、シール部材７５およびシール部材７６には、それぞれ、例えば電熱線で構成されたヒータ７８が内蔵されている。これにより、図２〜図４に示す状態で、第１のシート部５ａや第２のシート部５ｂを加熱することができる。これにより、各シート部の樹脂層による圧着が可能となるため、繊維基材２の減圧状態を維持することができる。すなわち、シール部材７５およびシール部材７６により、第１のシート部５ａや第２のシート部５ｂの搬送方向下流側の端部および上流側の端部が加熱されることで、各シート部５ａ、５ｂの樹脂層が溶融し、繊維基材２内部に含浸される。これにより、チャンバ７内に位置する繊維基材２の搬送方向下流側の領域および上流側の領域が樹脂層により、封止されることとなる。後述する減圧手段を駆動した場合、繊維基材２内部の気体が後述する減圧手段により吸引されて、繊維基材２の減圧状態を維持することができる。
なお、積層シート製造装置３０では、シール部材７５および７６が加圧手段や加熱手段の一部としても機能している。
また、シート部５ａ、５ｂのいずれか一方のみを繊維基材２に設ける場合には、繊維基材２のシート部と反対側の面に、シール部材が当接してもよい。この場合にも繊維基材２を介してシート部が間接的にシール部材に当接することとなり、樹脂層が加熱される。そして、加熱された樹脂層が繊維基材内部に含浸されることとなる。
【００５７】
減圧手段８は、チャンバ７内を負圧に減圧するものであり、ポンプ８１および接続管（チューブ）８２を２組有している。
【００５８】
一方の組（図中の上側）の接続管８２は、上側構造体７１の天板７１１に接続され、天板７１１に開口している。これにより、当該接続管８２がチャンバ７内に連通する。この接続管８２を介して一方の組のポンプ８１が上側構造体７１と接続される。
【００５９】
他方の組（図中の下側）の接続管８２は、下側構造体７２の底板７２１に接続され、底板７２１に開口している。これにより、当該接続管８２がチャンバ７内に連通する。この接続管８２を介して他方の組のポンプ８１が下側構造体７２と接続される。
【００６０】
各ポンプ８１は、それぞれ、チャンバ７の外側に設置され、例えば真空ポンプが適用される。各接続管８２は、それぞれ、例えばステンレス鋼等のような金属材料で構成された硬質管である。
【００６１】
そして、図３、図４に示すように、チャンバ７が閉状態で各ポンプ８１をそれぞれ作動させることにより、各接続管８２を介して空間７７内の空気Ｇを吸引することができ、よって、空間７７を確実に減圧することができる。
【００６２】
加圧手段９は、閉状態のチャンバ７内で、対向状態の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して、その厚さ方向に加圧するものである（図４参照）。
【００６３】
加圧手段９は、上側押圧部材（第一押圧部材）９１と、上側押圧部材９１に連結されたシリンダ９２と、下側押圧部材（第二押圧部材）９３と、下側押圧部材９３に連結されたシリンダ９４とを有している。
本実施形態では、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３の双方が駆動するが、いずれか一方のみが駆動して、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３が相対的に接近、離間する構成としてもよい。
【００６４】
上側押圧部材９１は、チャンバ７内に位置し、第１のシート部５ａをその上側から押圧する部材である。上側押圧部材９１は、平面矩形の板状をなし、その全長（繊維基材２等の搬送方向に沿った長さ）が、積層シート４０を切断してなるプリプレグ１（あるいは第１のシート部５ａ）の全長とほぼ同じかまたはそれよりも若干短い。また、上側押圧部材９１の幅（図１〜図６の紙面奥行き方向の長さ）は、プリプレグ１の幅よりも広い。
【００６５】
上側押圧部材９１の上面には、シリンダ９２が連結されている。シリンダ９２は、上側押圧部材９１を下側押圧部材９３に対して接近、離間させるための駆動手段である。シリンダ９２は、出没自在なロッド９２１を有し、当該ロッド９２１の出没により上側押圧部材９１を上下方向に移動させることができる。そして、上側押圧部材９１が下方に移動したときに、第１のシート部５ａをその上側から押圧することができる。なお、シリンダ９２は、ロッド９２１が上側構造体７１の天板７１１を貫通しており、ほとんどの部分がチャンバ７の外側に位置している。
【００６６】
下側押圧部材９３は、チャンバ７内に位置し、第２のシート部５ｂをその下側から押圧する部材である。下側押圧部材９３は、上側押圧部材９１と同様に、平面矩形の板状であり、その全長が、積層シート４０を切断してなるプリプレグ１（あるいは第２のシート部５ｂ）の全長とほぼ同じかまたはそれよりも若干短い。また、下側押圧部材９３の幅は、プリプレグ１の幅よりも広い。
【００６７】
下側押圧部材９３の下面には、シリンダ９４が連結されている。シリンダ９４は、下側押圧部材９３を上側押圧部材９１に対して接近、離間させるための駆動手段である。シリンダ９４は、出没自在なロッド９４１を有し、当該ロッド９４１の出没により下側押圧部材９３を上下方向に移動させることができる。そして、下側押圧部材９３が上方に移動したときに、第２のシート部５ｂをその下側から押圧することができる。なお、シリンダ９４は、ロッド９４１が下側構造体７２の底板７２１を貫通しており、ほとんどの部分がチャンバ７の外側に位置している。
なお、図１２に示すように、下側押圧部材９３の入口７３側、具体的には、下側押圧部材９３の入口７３側の側面に、上側押圧部材９１側に突出する凸部９０を設けてもよい。同様に、下側押圧部材９３の出口７４側、具体的には、下側押圧部材９３の出口７４側の側面に、上側押圧部材９１側に突出する凸部９０を設けてもよい。この凸部９０は、下側押圧部材９３を介して後述するヒータ９５により、加熱される。
凸部９０は、上側押圧部材９１とは対向する位置に形成される。凸部９０の上側押圧部材９１と反対側には、弾性部材Ｅが設けられている。第１のシート部５ａ、繊維基材２、第２のシート部５ｂを下側押圧部材９３および上側押圧部材９１で挟圧する際に、凸部９０は、第１のシート部５ａ、繊維基材２、第２のシート部５ｂを介して、上側押圧部材９１に当接する。ただし、弾性部材Ｅが設けられているので、凸部９０は、下側押圧部材９３の上面よりも、上側押圧部材９１側に突出してしまうことはない。凸部９０を第２のシート部５ｂに接触させることで、第２のシート部５ｂは、繊維基材２側に押圧されることとなる。すなわち、弾性部材Ｅが凸部９０の第２のシート部５ｂへの押圧力を調整する圧力調整機構となる。そして、凸部９０により、第２のシート部５ｂが加熱され、樹脂層４を繊維基材２に含浸させることができ、繊維基材２の一部を封止することができる。
【００６８】
シリンダ９２は、そのロッド９２１の突出量、すなわち、圧力の大きさを調整可能に構成されており、シリンダ９４も、そのロッド９４１の突出量、すなわち、圧力の大きさを調整可能に構成されている。これにより、繊維基材２に対する、第１のシート部５ａの第１の樹脂層３の含浸の程度（第１の含浸部３１の平均厚さｔａ1）と、第２のシート部５ｂの第２の樹脂層４の含浸の程度（第２の含浸部４１の平均厚さｔａ２）とを所望の大きさに調整することができる。
上側押圧部材９１および下側押圧部材９３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ステンレス鋼等のような金属材料を用いることができる。また、金属材料にゴム、ガラス板、特に表面平滑度の高い部材を対向する面に張り付けることもきる。これにより、さらに、平滑性に優れた積層シート４０を得ることできる。
【００６９】
シリンダ９２、９４としては、特に限定されず、例えば、油圧シリンダ、エアシリンダ
を用いることができる。
【００７０】
また、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３には、それぞれ、例えば電熱線で構成されたヒータ９５（加熱手段）が内蔵されている。これにより、上側押圧部材９１を介して第１のシート部５ａを確実に加熱することができるとともに、下側押圧部材９３を介して第２のシート部５ｂを確実に加熱することができる。
【００７１】
ヒータ９５は、本実施形態では上側押圧部材９１および下側押圧部材９３の双方に内蔵されているが、これに限定されず、例えば、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３のうちの一方にのみ内蔵されていてもよい。
【００７２】
さらに、図１に示すように、積層シート製造装置３０は、検出手段９６と、判別手段９７と、制御手段９８とを備える。
検出手段９６は、隣接する第１のシート部５ａ間の隙間（繊維基材２の露出部２１）、あるいは、隣接する第２のシート部５ｂ間の隙間（繊維基材２の露出部２１）を検出する。
本実施形態では、チャンバ７の入口側の露出部２１の位置を検出する。検出手段９６としては、ＣＣＤカメラ等があげられる。
判別手段９７は、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、各シート部５ａ、５ｂとが搬送されたか否かを判別する。具体的には、判別手段９７では、検出手段９６で検出した第１のシート部５ａ間の隙間、あるいは、第２のシート部５ｂ間の隙間が所定の位置にあるかどうかを判別する。ここでいう所定の位置とは、露出部２１がチャンバ７に入らずに、かつ、シート部５ａ、５ｂがチャンバ７からはみ出さない位置である。
制御手段９８は、判別手段９７で、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別された場合、すなわち、露出部２１が前述した所定の位置にあると判別された場合に、搬送手段６の駆動を停止する。一方で、制御手段９８は、判別手段９７で、前記チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別されない場合、すなわち、露出部２１が前述した所定の位置にないと判別された場合に搬送手段６の駆動を停止しないよう制御する。
【００７３】
なお、本実施形態では、検出手段９６により、チャンバ７入口側の露出部２１の位置を検出したが、これに限らず、チャンバ７出口側の露出部２１の位置を検出するようにしてもよい。この場合には、判別手段９７では、露出部２１が、所定の位置にあるかどうか判別する。
さらに、検出手段９６により、チャンバ７入口側の露出部２１の位置、チャンバ７出口側の露出部２１の位置の双方を検出してもよい。
【００７４】
次に、積層シート製造装置３０の作動状態、すなわち、積層シート製造装置３０により
積層シート４０が製造される状態（過程）について、図１〜図６を参照しつつ説明する。
【００７５】
積層シート製造装置３０では、繊維基材２は、チャンバ７内に連続的に供給される。そして、この連続的に供給される繊維基材２には、図１１に示すように、その上面側に長手方向に沿って複数の第１のシート部５ａが間隙５１を介して隣接して配置され、下面側にも複数の第２のシート部５ｂが間隙５２を介して隣接して配置されている。このような配置により、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂは、それぞれ、チャンバ７内に断続的に供給されることとなる。
ここで、第１のシート部５ａは、第１の樹脂層３と、第１の樹脂層３を支持する支持体である金属層１２とを含む。第２のシート部５ｂは、第２の樹脂層４と、第２の樹脂層４を支持する支持体である金属層１２とを含む。第１の樹脂層３、第２の樹脂層４は、固形または半固形の樹脂組成物で構成されており、Ｂ−ステージ状態である。
なお、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４は液状の樹脂組成物であってもよい。
繊維基材２は、図示しない供給ローラに巻回されており、この供給ローラから、繊維基材２がチャンバ７に向かって搬送される。繊維基材２がチャンバ７に向かって搬送される途中で、繊維基材２に対し、複数のシート部５ａ、複数のシート部５ｂを配置する。
ここで、搬送時に、繊維基材２に対するシート部５ａの位置ずれが生じないように、繊維基材２に対して、各シート部５ａの一部を固定するとともに他の一部を固定しない状態としておくことが好ましい。具体的には、たとえば、各シート部５ａの搬送方向下流側の端部を繊維基材２に圧着固定することが好ましい。
同様に、繊維基材２に対して、シート部５ｂの一部を固定するとともに他の一部を固定しない状態としておくことが好ましい。具体的には、たとえば、シート部５ｂの搬送方向下流側の端部を繊維基材２に圧着固定することが好ましい。
各シート部５ａ、５ｂの一部を繊維基材２に圧着固定する方法としては、たとえば、シールバー等の加熱手段により、各シート部５ａ、５ｂの一部を加熱して、樹脂層３，４の一部を溶融させ、繊維基材２に含浸させる方法があげられる。
【００７６】
なお、繊維基材２は、その上面の一部が間隙５１を介して露出し、下面の一部も間隙５２を介して露出している。積層シート４０では、繊維基材２の露出部２１、すなわち、繊維基材２の間隙５１、５２に対応した部分を、積層シート４０を切断してプリプレグ１を得る際の切断部として用いることができる。
また、前述したように、繊維基材２の搬送方向に沿った端面（ＴＤ方向の端部の端面）は、第１のシート部５ａあるいは第２のシート部５ｂにより被覆されておらず、露出した状態となっている。
【００７７】
搬送手段６により、チャンバ７内に繊維基材２、第１のシート部５ａおよび第２のシート部５ｂを搬送する。このとき、チャンバ７は、開状態となっている。検出手段９６において、隣接する第１のシート部５ａ間の隙間（繊維基材２の露出部２１）、あるいは、隣接する第２のシート部５ｂ間の隙間（繊維基材２の露出部２１）の位置を検出する。そして、判別手段９７で、検出手段９６で検出した第１のシート部５ａ間の隙間、あるいは、第２のシート部５ｂ間の隙間が所定の位置にあるかどうかを判別する。判別手段９７で、チャンバ７内の所定位置に繊維基材２の一部と、シート部５ａ、５ｂとが搬送されたと判別された場合に、搬送手段６の駆動を停止する。この停止状態は、チャンバ７内の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが接合するまで維持される。
図１に示すように、チャンバ７は、開状態となっており、入口７３を介して、対向状態の繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが挿入されている。なお、繊維基材２の一部はチャンバ７内に位置するものの、繊維基材２の他の一部は、チャンバ７よりも搬送方向下流側および上流側に位置し、チャンバ７から露出している。
また、チャンバ７に位置するシート部５ａ、５ｂ以外の他のシート部５ａ、５ｂはチャンバ７外部に位置している。
【００７８】
このとき、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３にそれぞれ内蔵されている各ヒータ９５が予め作動している。これにより、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３がそれぞれ熱を帯びた状態となる。
【００７９】
また、チャンバ７の上側構造体７１に設けられたシール部材７５と、下側構造体７２に設けられたシール部材７６とにそれぞれ内蔵されている各ヒータ７８も予め作動している。これにより、シール部材７５、７６がそれぞれ熱を帯びた状態となる。
【００８０】
次に、図２に示すように、上側構造体７１と下側構造体７２を接近させて、チャンバ７を閉状態とする。このとき、前述したように、チャンバ７の上側構造体７１のシール部材７５と、下側構造体７２のシール部材７６とで、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが一括して挟持される。これにより、チャンバ７の気密性が保たれる。
【００８１】
また、シール部材７５、７６がそれぞれ熱を帯びた状態となっている。これにより、第１のシート部５ａでは、金属層１２を介して第１の樹脂層３の両端部（搬送方向下流側および上流側の端部）がそれぞれ加熱される。この加熱により、第１の樹脂層３の両端部がそれぞれ溶融されて、繊維基材２に圧着（融着）する。また、第２のシート部５ｂでも、金属層１２を介して第２の樹脂層４の両端部がそれぞれ加熱される。この加熱により、第２の樹脂層４の両端部がそれぞれ溶融されて、繊維基材２に圧着する。溶融した樹脂層３、４は、繊維基材２内部に含浸され、チャンバ７内に位置する繊維基材２の搬送方向下流側および上流側の領域が封止されることとなる。このようにすることで、チャンバ７内部の気体が繊維基材２を通じてチャンバ７外部に漏れることが抑制できる。そのため、チャンバ７内部を減圧しやすくすることができるとともに、高真空とすることができる。
【００８２】
次に、図３に示すように、減圧手段８を作動させて、チャンバ７に対する減圧を開始する。減圧は、シリンダ９２の作動により上側押圧部材９１を下方に移動させ、シリンダ９４の作動により下側押圧部材９３を上方に移動させて、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとを一括して加圧するのに先立って、行われる。
これにより、空間７７が減圧状態となり、当該空間７７内に生じた減圧力（負圧）によって、繊維基材２と第１の樹脂層３との圧着と、繊維基材２と第２の樹脂層４との圧着とが補助される。
本実施形態では、前述したように、シート部５ａの一部が繊維基材２に固定され、他の一部が繊維基材２に対して固定されていない状態である。同様に、シート部５ｂの一部が繊維基材２に固定され、他の一部が繊維基材２に対して固定されていない状態である。
そのため、チャンバ７内を減圧することで、シート部５ａ、５ｂの繊維基材２に固定されていない領域が繊維基材２に接触することとなる。
さらに、減圧手段８を作動させることで、繊維基材２内部の気体（空気）が吸引されて、繊維基材２内部も減圧されることとなる。図１０に示すように、チャンバ内に位置する繊維基材２の搬送方向に沿った端面は、シート部５ａ、５ｂにより被覆されておらず、露出しているので、繊維基材２の搬送方向に沿った端面から、繊維基材２内部の気体が減圧手段８に吸引されることとなる。
なお、繊維基材２内の気体は、繊維基材２とシート部５ａとの間の隙間、繊維基材２とシート部５ｂとの間の隙間からも減圧手段８により吸引される。
これに加えて、前述したように、チャンバ７内に位置する繊維基材２の搬送方向下流側および上流側の領域に、樹脂層３，４が含浸しており、樹脂層３，４により封止された状態となっているので、チャンバ７内に位置する繊維基材２内部の気体を確実に吸引することができ、繊維基材２内部が減圧される。
なお、繊維基材２の搬送方向に沿った端部は、チャンバ７内部に位置し、チャンバ７からは露出しない。
【００８３】
次に、図４に示すように、減圧手段８の作動による減圧状態を維持しつつ、下側押圧部材９３を上方に移動させた後、上側押圧部材９１を下方に移動させる。これにより、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが一括して加圧される。
【００８４】
また、前述したように、上側押圧部材９１および下側押圧部材９３は、それぞれ、熱を帯びた状態となっている。これにより、第１のシート部５ａでは、金属層１２を介して第１の樹脂層３の中間部が加熱される。この加熱により、第１の樹脂層３の中間部が溶融されて、繊維基材２に圧着（融着）し、さらには、繊維基材２内部に樹脂層３が含浸されることとなる。また、第２のシート部５ｂでも、金属層１２を介して第２の樹脂層４の中間部が加熱される。この加熱により、第２の樹脂層４の中間部が溶融されて、繊維基材２に圧着し、さらには、繊維基材２内部に樹脂層４が含浸されることとなる。
【００８５】
積層シート製造装置３０では、このような加圧手段９の作動による圧着と、前述した減圧手段８の作動による圧着とが相まって、繊維基材２と第１の樹脂層３との接合と、繊維基材２と第２の樹脂層４との接合とが強化される。これにより、例えば第１の樹脂層３や第２の樹脂層４の厚さや組成によらず、当該各樹脂層が繊維基材２に確実かつ強固に接合された積層シート４０を製造することができる。また、製造された積層シート４０は、繊維基材２に各樹脂層の一部がそれぞれ含浸した図８に示すようなものとなる。
【００８６】
また、本実施形態では、チャンバ７内部を減圧手段８により減圧した状態で、繊維基材２に樹脂層３,４を含浸させている。これにより、含浸時に、繊維基材２内部の気体が減圧手段８により吸引された状態となる。そのため、繊維基材２中に残存した気体が気泡となってしまうことを抑制できる。これにより、ボイドが低減されたプリプレグを製造することができる。
さらに、チャンバ７内部を減圧手段８により減圧した状態で、繊維基材２に樹脂層３,４を含浸させている。換言すると、繊維基材２内部の気体が減圧手段で吸引された状態で、樹脂層を含浸させることとなるので、繊維基材２への樹脂層の含浸性を高めることができる。
【００８７】
なお、加圧手段９、加熱手段９５の作動条件、すなわち、加圧時間、加熱時間、加熱温度は、それぞれ、繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の各構成材料や厚さ等にもよるが、加圧時間としては、例えば、５〜１８０秒であるのが好ましく、１０〜１２０秒であるのがより好ましい。また、加熱時間としては、例えば、５〜１８０秒であるのが好ましく、１０〜１２０秒であるのがより好ましい。また、加熱温度としては、例えば、６０〜１５０度であるのが好ましく、８０〜１３０度であるのがより好ましい。
【００８８】
また、圧力としては、例えば、０．１〜３．０ＭＰａであるのが好ましく、０．５〜１．５ＭＰａであるのが好ましい。
【００８９】
次に、図５に示すように、減圧手段８の作動を停止して大気解放後、上側押圧部材９１を上方に移動させるとともに、下側押圧部材９３を下方に移動させる。上側構造体７１と下側構造体７２を離間させて、チャンバ７を開状態とする。
【００９０】
次に、図６に示すように、搬送手段６を作動させて、積層シート４０をチャンバ７の出口７４から送り出す。これに連動して、チャンバ７には、未だ接合されていない、繊維基材２と第１のシート部５ａと第２のシート部５ｂとが挿入される。
【００９１】
ここで、チャンバ７の出口７４からは、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂの積層体が大気圧下に順次、送り出される。このとき、露出部２１を屈曲させて、積層シート４０を折りたたみ、回収することができる。
そして、チャンバ７の出口７４から送り出された積層シート４０は、図示しない次工程により、繊維基材２の露出部２１で切断されることとなる。これにより、プリプレグ１が得られる。
なお、チャンバ７の出口７４から送り出された積層シート４０を折りたたまずに、すぐに露出部２１を切断してもよい。
【００９２】
また、積層シート製造装置３０では、露出部２１の位置を検出し、露出部２１が所定の位置にある場合に、搬送手段６の駆動を停止している。
露出部２１を、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂのチャンバ７に対する位置決めに用いることができる。これにより、図１に示すように１つのプリプレグ１を構成する、繊維基材２、第１のシート部５ａ、第２のシート部５ｂをチャンバ７内に確実に位置させることができ、その後の圧着を行なえば、プリプレグ１を確実に得ることができる。
【００９３】
さらに、本実施形態では、長尺状の繊維基材２をチャンバ７内に送り込んでいる。このように繊維基材２を長尺状としておくことで、繊維基材２の切断くず等の発生を抑制できる。
また、本実施形態では、シート５Ａ（５Ｂ）はあらかじめ裁断されて複数のシート部５ａとなっている。そして、このシート部５ａ（５ｂ）を繊維基材２上に離間配置している。このようにすることで、プリプレグ１を得る際に、シート部５ａ（５ｂ）を裁断する必要がない。
【００９４】
<積層シート製造装置（積層シートの製造方法）の第２実施形態>
以下、図７を参照して本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートの第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９５】
本実施形態は、前記第１実施形態で各シール部材にそれぞれ内蔵されていたヒータの配置位置が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００９６】
図７に示すように、上側構造体７１の内側には、２つのヒータ７８が支持されている。これと同様に、下側構造体７２の内側にも、２つのヒータ７８が支持されている。以下、上側構造体７１側のヒータ７８について代表的に説明する。
【００９７】
２つのヒータ７８のうちの一方のヒータ７８は、上側構造体７１内で、第１のシート部５ａの搬送方向前方（図７中の右側）に配置され、他方のヒータ７８は、第１のシート部５ａの搬送方向後方（図７中の左側）に配置されている。これにより、第１のシート部５ａを確実に加熱することができる。
【００９８】
以上、本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、積層シート製造装置および積層シートを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【００９９】
また、本発明の積層シート製造装置、積層シートの製造方法および積層シートは、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１００】
また、積層シートは、図８に示す構成では繊維基材の両面にそれぞれ樹脂層が接合されたものであるが、これに限定されず、繊維基材の片面にのみ樹脂層が接合されたものであってもよい。このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。
【０１０１】
また、積層シートは、図８に示す構成では繊維基材に第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物がそれぞれ含浸したものであるが、これに限定されず、例えば次のようなものであってもよい。１つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。２つ目の例は、繊維基材の厚さ方向全体にわたって第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。３つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない積層シート。４つ目の例は、繊維基材の厚さ方向の一部に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない積層シート。以上４つの例の積層シートでも、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。そして、このような構成の積層シートも積層シート製造装置で製造することができる。
【０１０２】
さらに、前記各実施形態では、繊維基材２と、樹脂層との積層シートを製造したが、これに限られず、たとえば、樹脂層の少なくとも一方の面に、他の樹脂層を積層して積層シートを製造してもよい。さらには、プリプレグの少なくとも一方の面に、樹脂層や他のプリプレグを積層して積層シートを製造してもよい。この場合には、回路基板に使用されるビルドアップ材として使用する積層シートを得ることができる。
また、前記実施形態では繊維基材２の一方の面側に第一シート５Ａを積層し、他方の面側に第二シート５Ｂを積層したが、繊維基材２の一方の面側にのみシートを積層してもよい。
また、前記実施形態では基材として繊維基材を使用したが、繊維基材以外の他の多孔質基材を使用してもよい。多孔質基材は、内部に搬送方向と直交する方向に連通するとともに、搬送方向に沿った端面に連通する孔が形成されていることが好ましい。このような多孔質基材においては、チャンバ７内で基材内部の気体を吸引することができる。
【０１０３】
本発明は、以下の構成に基づくものである。
（１）一方の面側に固形または半固形の樹脂組成物で構成された樹脂層を有する、長尺な薄板状の支持体の前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記支持体と前記基材とをその長手方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送された前記支持体と前記基材とが前記対向状態を維持したまま通過するチャンバと、前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内で、前記対向状態の前記支持体と前記基材とを一括して、その厚さ方向に加圧するとともに、加熱する加圧・加熱手段とを備え、前記チャンバ内では、前記搬送手段による前記支持体と前記基材との搬送を一旦停止し、その停止状態で、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧しつつ、前記加圧・加熱手段により前記対向状態の前記支持体と前記基材とを加圧・加熱して、前記樹脂層と前記基材とを圧着することを特徴とする積層シート製造装置。
（２）前記加圧・加熱手段による加圧に先立って、前記減圧手段による減圧を開始する上記（１）に記載の積層シート製造装置。
（３）前記支持体は、前記チャンバ内に断続的に供給され、前記基材は、前記チャンバ内に連続的に供給される上記（１）または（２）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（４）前記基材上では、その長手方向に沿って複数の前記支持体が間隙を介して隣接して配置されており、前記基材の前記間隙に対応した部分を、前記チャンバ内で前記支持体と前記基材との搬送を一旦停止する際の前記チャンバに対する位置決め部として用いる上記（３）に記載の積層シート製造装置。
（５）前記加圧・加熱手段は、前記対向状態の前記支持体と前記基材とをその一方の面側から押圧する上側押圧部材と、他方の面側から押圧する下側押圧部材とを有する上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（６）前記加圧・加熱手段は、前記上側押圧部材および前記下側押圧部材のうちの少なくとも一方の押圧部材に内蔵され、該一方の押圧部材を介して前記支持体を加熱するヒータを有する上記（５）に記載の積層シート製造装置。
（７）前記加圧・加熱手段は、その圧力の大きさを調整可能に構成されている上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（８）前記チャンバは、前記支持体と前記基材とが送り込まれる入口と、該入口から送り込まれた前記支持体と前記基材とが送り出される出口とを有し、前記入口および前記出口には、それぞれ、前記支持体または前記基材に密着して前記チャンバ内の気密性を維持するシール部材が設置されている上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（９）前記各シール部材は、それぞれ、前記支持体または前記基材を加熱可能に構成され、前記加圧・加熱手段の一部として機能する上記（８）に記載の積層シート製造装置。
（１０）前記チャンバは、互いに接近／離間する２つの構造体からなる上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（１１）前記減圧手段は、前記チャンバ内に連通するチューブと、該チューブを介して前記チャンバと接続されたポンプとを有する上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載の積層シート製造装置。
（１２）上記（１）ないし（１１）のいずれかに記載の積層シート製造装置を用いて前記積層シートを製造することを特徴とする積層シートの製造方法。
以下、参考形態の例を付記する。
＜付記＞
（付記１）
一方の面側に樹脂層を有する薄板状のシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シート製造装置であって、
前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを前記基材の長手方向に沿って搬送する搬送手段と、
前記搬送手段により搬送された前記シートと前記基材とが前記対向状態を維持したまま通過するチャンバと、
前記チャンバ内を減圧する減圧手段と、
前記チャンバ内で、前記基材および前記シートを加熱する加熱手段と、
前記チャンバ内で、対向状態の前記基材と前記シートとを一括して、その厚さ方向に加圧する加圧手段とを備え、
前記チャンバ内では、前記搬送手段による前記基材と前記シートとの搬送を一旦停止し、その停止状態で、前記減圧手段により前記チャンバ内を減圧しつつ、前記加圧手段および前記加熱手段により前記対向状態の前記基材と前記シートとを加圧および加熱して、前記樹脂層と前記基材とを圧着する積層シート製造装置。
（付記２）
付記１に記載の積層シート製造装置において、
前記基材は、繊維基材であり、
当該製造装置は、前記基材の一部が前記チャンバ内に位置するとともに、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側の領域および下流側の領域が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記加圧手段による加圧および前記加熱手段による加熱を行なうものである積層シート製造装置。
（付記３）
付記１または２に記載の積層シート製造装置において、
前記加圧手段は、対向する前記基材および前記シートを一方の側から、押圧する第一押圧部材と、
前記第一押圧部材に対して相対的に離間および接近可能に構成され、対向する前記基材および前記シートを他方の側から押圧する第二押圧部材と、を備える積層シート製造装置。
（付記４）
付記１乃至３のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記チャンバは、前記基材および前記シートが送り込まれる入口と、該入口から送り込まれた前記基材および前記シートが送り出される出口とを有し、
前記チャンバの前記入口および前記出口には、それぞれ、前記基材または前記シートに当接するシール部材が設置された積層シート製造装置。
（付記５）
付記４に記載の積層シート製造装置において、
繊維基材である前記基材に対して前記シートを積層する装置であり、
前記搬送手段は、前記シートの前記樹脂層と前記基材とが対向し、基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、
前記シール部材は、前記シートまたは前記基材の前記樹脂層側と反対側の面に当接するように構成され、
前記シール部材は、前記樹脂層を加熱して、前記基材に前記樹脂層を含浸させる加熱部を有する積層シート製造装置。
（付記６）
付記５に記載の積層シート製造装置において、
前記チャンバは、互いに対向することで、前記減圧手段により減圧される減圧室を構成する第一の構造体と、第二の構造体とを備え、
前記第一の構造体および前記第二の構造体は、相対的に離間および接近可能に構成され、
前記第一の構造体と、前記第二の構造体との間に前記入口および前記出口が形成され、
少なくともいずれか一方の前記構造体の前記入口を区画する部分および少なくともいずれか一方の前記構造体の出口を区画する部分に前記シール部材が設けられている積層シート製造装置。
（付記７）
付記１乃至６のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記搬送手段は、長尺状の基材と、この基材の長手方向に沿って間欠的に配置された複数のシート部を有する前記シートとを搬送し、
前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたか否かを判別する判別手段と、
前記判別手段で、前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたと判別された場合に、前記搬送手段の駆動を停止し、
前記判別手段で、前記チャンバ内の所定位置に前記基材の一部と、前記シート部とが搬送されたと判別されない場合に前記搬送手段の駆動を停止しないよう制御する制御手段とを備える積層シート製造装置。
（付記８）
付記７に記載の積層シート製造装置において、
前記シート部間の隙間の位置を検出する検出手段を有し、
前記判別手段では、前記検出手段で検出した隙間の位置が所定位置であるか否かを判別することで、前記基材の一部と、前記シート部とが前記チャンバ内の所定位置に搬送されたか否かを判別する積層シート製造装置。
（付記９）
付記１乃至８のいずれかに記載の積層シート製造装置において、
前記シートの樹脂層は、固形、半固形または液状の樹脂組成物で構成されている積層シート製造装置。
（付記１０）
付記１乃至９のいずれかに記載の積層シート製造装置を使用した積層シートの製造方法。
（付記１１）
一方の面側に樹脂層を有するシートの前記樹脂層を、長尺な薄板状の基材の片面または両面に接合して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、
チャンバ内に、前記樹脂層に前記基材が対向した対向状態で、前記シートと前記基材とを搬送する搬送工程と、
前記チャンバ内に前記シートと、このシートに対向する前記基材の一部の領域とが位置し、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側のおよび下流側の前記基材の他の一部が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記シートおよび前記基材の搬送を停止する工程と、
前記チャンバ内を減圧し、前記チャンバ内の前記基材の一部および前記シートを加熱するとともに、前記基材の一部および前記シートを加圧する工程とを含む積層シートの製造方法。
（付記１２）
付記１１に記載の積層シートの製造方法において、
前記搬送工程では、長尺状の繊維基材である前記基材と、前記シートの前記樹脂層とが対向し、前記基材の搬送方向に沿った端面が露出した状態で、前記基材および前記シートを前記チャンバ内に搬送し、
前記基材の一部および前記シートを加圧する前記工程では、減圧手段により、前記チャンバ内を減圧するとともに、前記減圧手段により、前記基材の前記端面側から前記基材内部の気体を吸引し、
前記基材および前記シートを加熱するとともに、前記基材および前記シートを加圧して、前記基材内部に前記シートの樹脂層を含浸させる積層シートの製造方法。
（付記１３）
付記１２に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートおよび前記基材の搬送を停止した後、前記減圧手段により、前記チャンバ内を減圧する前段において、
前記チャンバ内に位置する前記シートの前記樹脂層のチャンバ入口側の領域、およびチャンバ出口側の領域を溶融させて、前記基材に対し、前記樹脂層を含浸させる工程とを含む積層シートの製造方法。
（付記１４）
付記１３に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートは複数のシート部から構成されており、
前記搬送工程では、長尺状の基材と、この基材の長手方向に沿って間欠的に配置された複数の前記シート部を有する前記シートとを搬送し、
搬送を停止する前記工程では、
前記チャンバ内に少なくとも一つのシート部と、このシート部に対向する前記基材の一部の領域とが搬送されるとともに、前記基材の前記一部よりも搬送方向上流側および下流側の前記基材の他の一部が前記チャンバ外部に位置する状態で、前記基材および前記シートの搬送を停止する積層シートの製造方法。
（付記１５）
付記１４に記載の積層シートの製造方法において、
前記搬送工程の前段で、
前記基材に対し、その一部を固定するとともに、他の一部を固定せずに前記シート部を前記基材に対して配置する積層シートの製造方法。
（付記１６）
付記１４または１５に記載の積層シートの製造方法において、
前記シートおよび前記基材の搬送を停止する前記工程では、
前記シートの前記シート部間の隙間の位置が所定位置まで搬送されたか否かを検出し、
所定の位置まで搬送されたと検出された場合に、前記シートおよび前記基材の前記搬送を停止する積層シートの製造方法。
この出願は、２０１１年３月３０日に出願された日本特許出願２０１１−０８０３６３を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。
【符号の説明】
【０１０４】
１ プリプレグ
２ 繊維基材（基材）
２１ 露出部
３ 第１の樹脂層（樹脂層）
３１ 第１の含浸部
３２ 第１の非含浸部
４ 第２の樹脂層（樹脂層）
４１ 第２の含浸部
４２ 第２の非含浸部
５Ａ    シート
５Ｂ    シート
５ａ 第１のシート部（シート部）
５ｂ 第２のシート部（シート部）
５１、５２ 間隙
６ 搬送手段
７ チャンバ
７１ 上側構造体
７１１ 天板
７１２ 側壁
７１２Ａ    側壁
７１２Ｂ    側壁
７２ 下側構造体
７２１ 底板
７２２ 側壁
７２２Ａ    側壁
７２２Ｂ    側壁
７３ 入口
７４ 出口
７５、７６ シール部材
７７ 空間
７８ ヒータ
８ 減圧手段
８１ ポンプ
８２ 接続管（チューブ）
９ 加圧手段
９１ 上側押圧部材
９２ シリンダ
９２１ ロッド
９３ 下側押圧部材
９４ シリンダ
９４１ ロッド
９５ ヒータ（加熱手段）
９６    検出手段
９７    判別手段
９８    制御手段
１２ 金属層
２０ 界面
３０ 積層シート製造装置
４０ 積層シート
Ｇ 空気
Ｔ 平均厚さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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