(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材にシートを貼付するシート貼付装置であって、
前記板状部材の一方の面に液状の再接着剤を塗布することで再接着層を積層する積層手段と、
前記シートを繰り出す繰出手段と、
前記板状部材における前記再接着層が積層された面に前記シートを押圧して貼付する押圧手段と、
前記板状部材を保持可能なテーブルを有し、当該テーブルを前記押圧手段に対して移動させる移動手段と、
前記再接着層を流動化させる流動化手段と、
制御手段とを備え、
前記押圧手段は、前記シートを押圧する押圧ローラと、前記押圧ローラの昇降量を調整する厚み制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記シートの繰出速度、前記押圧ローラの昇降量、前記再接着層の流動化の状態および前記テーブルの移動速度を制御することで、前記再接着層の厚みを制御することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記板状部材に前記シートが貼付された後に、前記再接着剤を固形化させる固形化手段を備えることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
板状部材にシートを貼付するシート貼付方法であって、
前記板状部材を保持可能なテーブルと、前記シートを押圧する押圧ローラと、前記板状部材に積層される再接着層を流動化させる流動化手段とを用い、
前記テーブルに保持された前記板状部材の一方の面に液状の再接着剤を塗布することで再接着層を積層し、
前記シートを繰り出し、
前記押圧ローラに対して前記テーブルを移動させて、前記押圧ローラで前記板状部材における前記再接着層が積層された面に前記シートを押圧して貼付するとともに、前記シートの繰出速度、前記押圧ローラの昇降量、前記再接着層の流動化の状態および前記テーブルの移動速度を制御することで、前記再接着層の厚みを制御することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置、およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シートを半導体ウェハ（以下「ウェハ」と称す場合がある）に貼付する構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１の構成では、それぞれ帯状の接着シートとカバーシートとが重なりあった原シートを原シート供給部でウェハ上に供給し、貼付ローラが原シート上を転動しながらウェハに原シートを貼り付け、カッターユニットがウェハの周縁に沿って接着シートとカバーシートとを切断する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２５７８９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、ウェハを個片化したチップを用いる電子機器などにおいては、複数のチップを積層して多くの電子回路を設けることで、例えば当該電子機器の高性能化を図ることが行われている。しかしながら、特許文献１のような構成では、予め接着剤層が設けられた接着シートを用意しなければならないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、予め接着剤層が設けられた接着シートを用意する必要のないシート貼付装置、およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、板状部材にシートを貼付するシート貼付装置であって、前記板状部材の一方の面に液状の再接着剤を塗布することで再接着層を積層する積層手段と、前記シートを繰り出す繰出手段と、前記板状部材における前記再接着層が積層された面に前記シートを押圧して貼付する押圧手段と、前記板状部材を保持可能なテーブルを有し、当該テーブルを前記押圧手段に対して移動させる移動手段と、前記再接着層を流動化させる流動化手段と、制御手段とを備え、前記押圧手段は、前記シートを押圧する押圧ローラと、前記押圧ローラの昇降量を調整する厚み制御手段とを備え、前記制御手段は、前記シートの繰出速度、前記押圧ローラの昇降量、前記再接着層の流動化の状態および前記テーブルの移動速度を制御することで、前記再接着層の厚みを制御する、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記板状部材に前記シートが貼付された後に、前記再接着剤を固形化させる固形化手段を備える、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、板状部材にシートを貼付するシート貼付方法であって、前記板状部材を保持可能なテーブルと、前記シートを押圧する押圧ローラと、前記板状部材に積層される再接着層を流動化させる流動化手段とを用い、前記テーブルに保持された前記板状部材の一方の面に液状の再接着剤を塗布することで再接着層を積層し、前記シートを繰り出し、前記押圧ローラに対して前記テーブルを移動させて、前記押圧ローラで前記板状部材における前記再接着層が積層された面に前記シートを押圧して貼付するとともに、前記シートの繰出速度、前記押圧ローラの昇降量、前記再接着層の流動化の状態および前記テーブルの移動速度を制御することで、前記再接着層の厚みを制御する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、板状部材に液状の再接着剤を塗布することで再接着層を積層してから、当該再接着層にシートを貼付するため、予めシートに再接着層が設けられた接着シートを用意する必要がなくなり、例えば再接着剤とシートとの組み合わせを任意に設定することができる。また、流動化手段を用いるため、流動化した再接着剤を板状部材上に短時間で均一に広げることができ、再接着層を適切な厚さに制御できる。さらに、押圧手段に厚み制御手段を設けることで、シートを板状部材に押し付けると同時に再接着層の厚みを制御することができ、再接着層の厚みの精度と均一化の向上を図ることができる。
なお、再接着層とは、当該再接着層を介して板状部材に貼付したシートを再接着層から剥離した後に、当該再接着層を介して板状部材を他のものに接着することができるものを意味する。
【００１０】
この際、固形化手段を用いれば、板状部材にシートを貼付した後の工程に応じて、適切な状態に再接着層を固形化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】本発明の変形例に係る積層手段を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態を誇張して示している。
本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
図１において、シート貼付装置１は、板状部材としてのウェハＷＦに液状の再接着剤ＡＤを塗布することで再接着層ＡＤ１を積層して、当該再接着層ＡＤ１にシートＳＴを貼付するものである。再接着剤ＡＤとしては、液体にすることが可能なものであれば、特に限定されることはないが、本実施形態では、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性、熱重合性などを有するものを用いる。
このシート貼付装置１は、シートＳＴが所定間隔で帯状の剥離シートＲＬ上に擬似接着などにより仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、ウェハＷＦに再接着層ＡＤ１を積層する積層手段３と、繰り出されたシートＳＴをウェハＷＦに押圧して再接着層ＡＤ１を介して貼付する押圧手段４と、ウェハＷＦと押圧手段４とを相対移動させる移動手段５と、再接着層ＡＤ１を固形化する固形化手段６と、を備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段７によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１３】
繰出手段２は、原反ＲＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、支持ローラ２１から引き出された原反ＲＳを案内するガイドローラ２２，２３と、原反ＲＳの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬからシートＳＴを剥離する剥離板２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２７と、駆動機器としての回動モータ２９によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２８とを備え、その全体がフレーム２０に支持されている。
【００１４】
積層手段３は、フレーム２０に固定されて図１中紙面直交方向に延びる保持部３１と、当該保持部３１内に設けられ、図示しない再接着剤供給手段から供給される再接着剤ＡＤを加熱することで流動化する流動化手段としての第１ヒータ３２と、流動化した再接着剤ＡＤを霧状にしてウェハＷＦに噴き付けることでウェハＷＦ上に再接着層ＡＤ１を積層する噴霧手段３３とを備える。
噴霧手段３３としては、ウェハＷＦの上面全体に再接着剤ＡＤを噴き付け可能な構成であれば特に限定されることはないが、移動手段５によるウェハＷＦの左方向への移動に伴って、再接着剤ＡＤの噴き付け範囲を紙面直交方向に広げたり狭めたりすることができる構成とされ、ウェハＷＦのみに再接着剤ＡＤを噴き付けることができるものとなっている。このような構成としては、例えば、ウェハＷＦよりも小さい円形や多角形の噴霧口を有する噴霧手段３３を紙面直交方向に移動可能に設け、当該噴霧手段３３の移動範囲を調整する構成としてもよいし、紙面直交方向に延びる長円状や長方形状の噴霧口を有する噴霧手段３３を固定して、当該噴霧口の開口範囲を調整する構成としてもよい。
【００１５】
押圧手段４は、支持部４２を介して回転可能に支持されるとともに、シートＳＴをウェハＷＦに向かって押圧して貼付する押圧ローラ４１と、支持部４２に出力軸４３が固定され、押圧ローラ４１を上下方向に移動させる駆動機器としての直動モータ４４と、押圧ローラ４１内に設けられ、再接着層ＡＤ１を加熱することで当該再接着層ＡＤ１を流動化することができる流動化手段としての第２ヒータ４５とを備える。
直動モータ４４は、制御手段７の制御により押圧ローラ４１の昇降量を調整することで、再接着層ＡＤ１の厚みを制御する厚み制御手段として機能する。
【００１６】
移動手段５は、ウェハＷＦが載置され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸引手段によって当該ウェハＷＦを吸着保持可能なテーブル５１と、テーブル５１の下面にスライダ５２が固定された駆動機器としての単軸ロボット５３とを備え、スライダ５２をスライド駆動することで、テーブル５１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１７】
固形化手段６は、押圧手段４よりも左側に設けられ、ウェハＷＦとシートＳＴとの間に積層された再接着層ＡＤ１を固形化する。この固形化手段６としては、再接着層ＡＤ１の硬化特性に応じた硬化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層ＡＤ１が冷却硬化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風を送風する送風装置、加熱硬化タイプの場合、コイルヒータや赤外線を利用した熱風送風装置、エネルギー線硬化タイプの場合、紫外線を照射する紫外線照射装置やマイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。
【００１８】
以上のシート貼付装置１において、シートＳＴをウェハＷＦに貼付する手順としては、まず、原反ＲＳを図１に示すようにセットする。そして、制御手段７に電気的に接続された図示しないタッチパネルやキーボード等の操作手段によって起動信号が入力されると、制御手段７は、予め設定された条件で、回動モータ２５，２９を駆動して原反ＲＳを繰り出す。そして、シートＳＴの繰出方向先端部が剥離板２４によって所定量剥離され、当該先端部が図示しないセンサに検出されると、回動モータ２５，２９の駆動を停止してスタンバイ状態となる。
【００１９】
そして、図示しない搬送手段がテーブル５１上にウェハＷＦを載置すると、図示しない吸着保持手段がウェハＷＦの吸着を開始し、単軸ロボット５３を駆動してテーブル５１を左方向に搬送する。そして、このテーブル５１の搬送に合わせ、第１ヒータ３２で流動化された再接着剤ＡＤを噴霧手段３３で霧状にして、ウェハＷＦ上に噴き付けることで再接着層ＡＤ１を積層する。このように、霧状の再接着剤ＡＤを噴き付けることで、再接着剤ＡＤをウェハＷＦ上に短時間で均一に積層することができる。また、この再接着層ＡＤ１の積層の際、制御手段７は、再接着剤ＡＤの粘度が低くなりすぎてウェハＷＦから流れ落ちないように、かつ、厚みが均一となる状態で再接着層ＡＤ１が積層されるように、第１ヒータ３２、噴霧手段３３、および単軸ロボット５３を制御する。
【００２０】
この後、当該テーブル５１が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、制御手段７は、回動モータ２５，回動モータ２９を駆動して、テーブル５１の搬送に同期させてシートＳＴを繰り出し、押圧ローラ４１がシートＳＴをウェハＷＦに押圧して貼付する。このとき、制御手段７は、操作手段による設定に基づいて、シートＳＴの繰出速度、押圧ローラ４１の昇降量、第２ヒータ４５の加熱温度、およびテーブル５１の移動速度を制御する。この制御によって、ウェハＷＦの搬送中に再接着層ＡＤ１の温度が低下して固形化した場合でも再接着層ＡＤ１を再度流動化させることができ、押圧ローラ４１の所定の押圧力での押圧により再接着層ＡＤ１の厚みの精度や均一性を更に向上させるとともに、シートＳＴの皺の発生や気泡の混入が生じることなくウェハＷＦに貼付することができる。
テーブル５１が押圧手段４よりも左側に搬送されると、制御手段７は、固形化手段６を駆動して再接着層ＡＤ１を固形化することで、厚みが適切に制御された再接着層ＡＤ１を介して、シートＳＴをウェハＷＦに貼付したシート貼付体を製造することができる。このシート貼付体は、図示しない搬送装置で例えばダイシング装置等の外部装置に搬送され、テーブル５１が元の位置に戻り、以降同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、ウェハＷＦに液状の再接着剤ＡＤを塗布することで再接着層ＡＤ１を積層してから、シートＳＴを貼付するため、予めシートＳＴに再接着層ＡＤ１が設けられた接着シートを用意する必要がなくなり、例えば再接着剤ＡＤとシートＳＴとの組み合わせを任意に設定することができる。
【００２２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２３】
例えば、上記実施形態の積層手段３の代わりに、図２に示すような積層手段３Ａを用いてもよい。積層手段３Ａは、保持部３１と、第１ヒータ３２と、第１ヒータ３２で流動化した再接着剤ＡＤを滴下する滴下手段３３Ａと、テーブル５１Ａに設けられた駆動機器としての回動モータ３４Ａによって高速回転可能なスピンテーブル３５Ａとを備え、スピンテーブル３５Ａに載置されたウェハＷＦ上に滴下手段３３Ａで再接着剤ＡＤを滴下し、回動モータ３４Ａでスピンテーブル３５Ａを回転させて再接着剤ＡＤを遠心力で広げることで、再接着層ＡＤ１を形成する。このような積層手段３Ａでは、第１ヒータ３２による再接着剤ＡＤの流動化の状態、スピンテーブル３５Ａの回転速度によって、再接着層ＡＤ１の厚みを制御することが可能となる。
【００２４】
また、本発明の流動化手段としては、再接着層ＡＤ１の特性に応じた流動化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層ＡＤ１が冷却流動化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風を送風する送風装置、加熱流動化タイプの場合、コイルヒータや赤外線を利用した熱風送風装置、エネルギー線流動化タイプの場合、紫外線を照射する紫外線照射装置やマイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。つまり、再接着剤ＡＤを流動化させることが可能なものであれば特に限定されることはない。
さらには、第１ヒータ３２をテーブル５１内に設けてもよいし、図１における保持部３１よりも左側に設けてもよい。また、押圧ローラ４１内に第２ヒータ４５を設けなくてもよいし、第２ヒータ４５の代わりに押圧ローラ４１の温度を下げる固形化手段としての冷却手段を設けて、シートＳＴを押圧すると同時に再接着層ＡＤ１を固形化してもよい。
また、繰出手段を帯状の剥離シート上に帯状のシートが仮着された原反を支持する構成とし、当該帯状のシートを板状部材に貼付する前に、カッター刃やレーザカッター等の切断手段で帯状のシートを所定形状に切断して所定形状のシートを形成してから当該シートを繰り出す構成としてもよい。
さらに、繰出手段を帯状の剥離シート上に帯状のシートが仮着された原反を繰り出す構成とし、押圧手段で帯状のシートを板状部材に貼付した後に、カッター刃やレーザカッター等の切断手段で帯状のシートを所定形状に切断する切断手段を設ける構成としてもよい。
【００２５】
また、本発明におけるシートＳＴの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、シートＳＴに接着剤層が設けられた２層構造の所謂接着シートや、シートＳＴ接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等３層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板、鋼板、樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００２６】
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２７】
１…シート貼付装置
２…繰出手段
３，３Ａ…積層手段
４…押圧手段
６…固形化手段
３２，４５…第１，第２ヒータ（流動化手段）
４４…直動モータ（厚み制御手段）
ＡＤ…再接着剤
ＡＤ１…再接着層
ＳＴ…シート
ＷＦ…ウェハ（板状部材）
【図１】
0005830377.tif 000002
【図２】
0005830377.tif 000003