(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アナログ回路および前記アナログ回路と電気的に接続されている第１のセンサー素子を有する第１の基板と、
デジタル回路を有する第２の基板と、
第２のセンサー素子を有する第３の基板と、
前記アナログ回路と前記デジタル回路とを電気的に接続するように前記第１の基板と前記第２の基板とを連結する第１の連結部と、
前記アナログ回路と前記第２のセンサー素子とを電気的に接続するように前記第１の基板と前記第３の基板とを連結する第２の連結部と、を有し、
前記第１の基板と前記第２の基板とは、平面視で互いに重なる位置に配置され、
前記アナログ回路は、前記第１の基板の前記第２の基板側の面に配置され、
前記デジタル回路は、前記第２の基板の前記第１の基板側の面に配置され、
前記第１のセンサー素子は、前記第１の基板の前記第２の基板と反対側の面に配置されていることを特徴とするモジュール。
【請求項２】
第３のセンサー素子を有する第４の基板と、
前記アナログ回路と前記第３のセンサー素子とを電気的に接続するように、前記第１の基板と前記第４の基板、または、前記第３の基板と前記第４の基板を連結する第３の連結部と、を有する、請求項１に記載のモジュール。
【請求項３】
前記第１の基板、前記第３の基板および前記第４の基板が互いに垂直に配置されている請求項２に記載のモジュール。
【請求項４】
前記第１のセンサー素子、前記第２のセンサー素子および前記第３のセンサー素子の各々は、加速度センサーまたは角速度センサーである請求項２または３に記載のモジュール。
【請求項５】
前記第１のセンサー素子、前記第２のセンサー素子および前記第３のセンサー素子の検出軸は、互いに直交している請求項４に記載のモジュール。
【請求項６】
インターフェース用のコネクターを備えた第５の基板と、
前記デジタル回路と前記コネクターとを電気的に接続するように、前記第２の基板と前記第５の基板とを連結する第４の連結部と、を有している請求項１ないし５のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項７】
前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方は、切欠部を有し、
前記切欠部から前記連結部が延出している請求項１ないし６のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項８】
前記アナログ回路は、電源回路、増幅回路、およびアナログ／デジタル変換回路の少なくとも１つを含み、
前記デジタル回路は、マイクロコントローラーを含む、請求項１ないし７のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項９】
固定面を複数備えた支持部材を有し、
前記第１の基板、前記第２の基板および前記第３の基板の各々は、前記固定面に沿って配置される請求項１ないし８のいずれか一項に記載のモジュール。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか一項に記載のモジュールを有することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モジュールおよび電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、物の姿勢等を検出するためのセンサーとして、ジャイロセンサーを備えた姿勢角度検出装置が知られている（例えは、特許文献１参照）。特許文献１に記載の姿勢角度検出装置は、フレキシブル基板上に、３つの振動子（ジャイロセンサー）を配置し、さらに、３つの振動子の検出軸が互いに直交するようにフレキシブル基板を折り曲げて構成されている。これにより、互いに直交する３軸の各軸まわりの角速度を検出することができる。
しかしながら、このような姿勢角度検出装置では、軟質で可撓性を有するフレキシブル基板に各振動子を配置するため、（１）振動子の実装が困難であること、（２）振動子を所望の姿勢とするのが困難であること、具体的には、振動子の検出軸が互いに直交した状態とし、さらにはその状態を維持するのが困難であること等の問題が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２１１４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、センサー素子の実装が簡単で、かつセンサー素子を所望の姿勢とすることができるモジュールおよび電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明のモジュールは、アナログ回路および前記アナログ回路と電気的に接続されている第１のセンサー素子を有する第１の基板と、
デジタル回路を有する第２の基板と、
第２のセンサー素子を有する第３の基板と、
前記アナログ回路と前記デジタル回路とを電気的に接続するように前記第１の基板と前記第２の基板とを連結する第１の連結部と、
前記アナログ回路と前記第２のセンサー素子とを電気的に接続するように前記第１の基板と前記第３の基板とを連結する第２の連結部と、を有し、
前記第１の基板と前記第２の基板とは、平面視で互いに重なる位置に配置され、
前記アナログ回路は、前記第１の基板の前記第２の基板側の面に配置され、
前記デジタル回路は、前記第２の基板の前記第１の基板側の面に配置され、
前記第１のセンサー素子は、前記第１の基板の前記第２の基板と反対側の面に配置されていることを特徴とする。
これにより、センサー素子の実装が簡単で、かつセンサー素子を所望の姿勢とすることができるモジュールが得られる。具体的には、第２の連結部を曲げ変形させることで、第１の基板に対するセンサー素子の姿勢を簡単に変化させることができ、簡単にセンサー素子の姿勢を一定に保つことができる。
【０００６】
本発明のモジュールでは、第３のセンサー素子を有する第４の基板と、
前記アナログ回路と前記第３のセンサー素子とを電気的に接続するように、前記第１の基板と前記第４の基板、または、前記第３の基板と前記第４の基板を連結する第３の連結部と、を有することが好ましい。
これにより、第１のセンサー素子、第２のセンサー素子および第３のセンサー素子の姿勢をそれぞれ独立して変化させることができる。
【０００７】
本発明のモジュールでは、前記第１の基板、前記第３の基板および前記第４の基板が互いに垂直に配置されていることが好ましい。
これにより、第１のセンサー素子、第２のセンサー素子および第３のセンサー素子を互いに直交した姿勢とすることができる。
【０００８】
本発明のモジュールでは、前記第１のセンサー素子、前記第２のセンサー素子および前記第３のセンサー素子の各々は、加速度センサーまたは角速度センサーであることが好ましい。
これにより、角速度または加速度を検出することができる。
本発明のモジュールでは、前記第１のセンサー素子、前記第２のセンサー素子および前記第３のセンサー素子の検出軸は、互いに直交していることが好ましい。
これにより、互いに直交する３軸の各軸まわりの角速度を検出することができる。
【００１０】
本発明のモジュールでは、インターフェース用のコネクターを備えた第５の基板と、
前記デジタル回路と前記コネクターとを電気的に接続するように、前記第２の基板と前記第５の基板とを連結する第４の連結部と、を有していることが好ましい。
これにより、信号の入力、出力が容易となる。
本発明のモジュールでは、前記第１の基板および前記第２の基板の少なくとも一方は、切欠部を有し、
前記切欠部から前記連結部が延出していることが好ましい。
これにより、各連結部を曲げ変形させ易くなる。
【００１１】
本発明のモジュールでは、前記アナログ回路は、電源回路、増幅回路、およびアナログ／デジタル変換回路の少なくとも１つを含み、
前記デジタル回路は、マイクロコントローラーを含むことが好ましい。
これにより、センサー素子で検出された信号を簡単かつ正確に出力することができる。
本発明のモジュールでは、固定面を複数備えた支持部材を有し、
前記第１の基板、前記第２の基板および前記第３の基板の各々は、前記固定面に沿って配置されることが好ましい。
これにより、簡単に、センサー素子の姿勢を維持することができる。
本発明の電子機器は、本発明のモジュールを有することを特徴とする。
これにより、信頼性に優れる電子機器が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明のモジュールの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すモジュールが備える回路基板の展開図である。
【図３】図２に示す回路基板を組み立てた状態を示す斜視図である。
【図４】図１に示すモジュールが備える角速度センサーの一例を示す平面図である。
【図５】図１に示すモジュールが備える支持部材を示す斜視図である。
【図６】回路基板が固定された支持部材の横断面図である。
【図７】回路基板が固定された支持部材の斜視図である。
【図８】図１に示すモジュールが備える台座の斜視図である。
【図９】図５に示す支持部材および図８に示す台座の平面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態にかかるモジュールが有する実装基板の平面図である。
【図１１】本発明のモジュールを搭載した電子機器の構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明のモジュールおよび電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．モジュール
≪第１実施形態≫
まず、本発明のモジュールの第１実施形態について説明する。
【００１４】
図１は、本発明のモジュールの第１実施形態を示す斜視図、図２は、図１に示すモジュールが備える回路基板の展開図、図３は、図２に示す回路基板を組み立てた状態を示す斜視図、図４は、図１に示すモジュールが備える角速度センサーの一例を示す平面図、図５は、図１に示すモジュールが備える支持部材を示す斜視図、図６は、回路基板が固定された支持部材の横断面図、図７は、回路基板が固定された支持部材の斜視図、図８は、図１に示すモジュールが備える台座の斜視図、図９は、図５に示す支持部材および図８に示す台座の平面図である。
【００１５】
なお、以下では、説明の都合上、図１中の図面上側を「上」、図面下側を「下」として説明を行う。また、図１に示すように、互いに直交する３軸を「ｘ軸」、「ｙ軸」および「ｚ軸」とする。ｚ軸は、台座７の法線方向と平行な軸であり、ｘ軸は、台座７の平面視にて、台座７の対向する１組の辺の延在方向と平行な軸であり、ｙ軸は、台座７の対向する他の１組の辺の延在方向と平行な軸である。
【００１６】
図１に示すモジュール１は、角速度センサー４１１〜４１３を備えており、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、ｚ軸まわりの角速度を検出することのできる３軸ジャイロセンサーモジュールである。このようなモジュール１は、利便性に優れ、例えば、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等に好適に利用することができる。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、モジュール１は、電子部品４と、電子部品４を実装する実装基板２と、実装基板２を支持、固定する支持部材３と、支持部材３を保持するケーシング６とを有している。なお、図１（ｂ）は、同図（ａ）に示すモジュール１の蓋部材１０の図示を省略した図である。
【００１８】
以下、これら各部材について順次説明する。
＜実装基板２＞
実装基板２は、硬質で変形し難いリジッド基板と、軟質で変形し易いフレキシブル基板とを組み合わせたリジッドフレキシブル基板である。このような実装基板２としては、例えば、フレキシブル基板の両側にガラスエポキシ基板等の硬質層を貼り付け、この部分をリジッド基板として用いるもの等、公知のリジッドフレキシブル基板を用いることができる。
【００１９】
図２（ａ）は、展開した状態の実装基板２を一方の面側から見た平面図、図２（ｂ）は、展開した状態の実装基板２を同図（ａ）とは反対の面側から見た平面図である。図２に示すように、実装基板２は、互いに離間して配置された第１のリジッド基板（第１の基板）２１、第２のリジッド基板（第２の基板）２２、第３のリジッド基板（第３の基板）２３、第４のリジッド基板（第４の基板）２４および第５のリジッド基板（第５の基板）２５と、これらを連結するフレキシブル基板２６とで構成されている。
【００２０】
フレキシブル基板２６は、第１のリジッド基板２１と第２のリジッド基板２２とを連結する第１の連結部２６１、第１のリジッド基板２１と第３のリジッド基板２３とを連結する第２の連結部２６２、第１のリジッド基板２１と第４のリジッド基板２４とを連結する第３の連結部２６３および第２のリジッド基板２２と第５のリジッド基板２５とを連結する第４の連結部２６４を有している。第１の連結部２６１、第２の連結部２６２、第３の連結部２６３および第４の連結部２６４は、それぞれ、可撓性を有しており、面方向への曲げ変形を容易に行うことができる。
【００２１】
また、第１のリジッド基板２１の両端部には孔部２１ａ、２１ｂが形成されており、第２のリジッド基板２２の両端部には孔部２２ａ、２２ｂが形成されており、第３のリジッド基板２３の両端部（対角関係にある両角部）には孔部２３ａ、２３ｂが形成されており、第４のリジッド基板２４の両端部（対角関係にある両角部）には孔部２４ａ、２４ｂが形成されており、第５のリジッド基板２５の両端部には孔部２５ａ、２５ｂが形成されている。これら孔部２１ａ〜２５ｂは、第１〜第５のリジッド基板２１〜２５を支持部材３に固定するのに用いられる。なお、孔部とは、一方の面から他方の面を貫通した構造と、一方の面に開口を有し他方の面に貫通しない構造の両方を含む。
【００２２】
このような実装基板２は、フレキシブル基板２６の各連結部２６１〜２６４を折り曲げる（湾曲させる）ことで、図３に示すような直方体状に変形させることができる。具体的には、各リジッド基板２１〜２５の表側実装面２１１〜２５１が内側を向くように連結部２６１〜２６４を折り曲げることで、隣接するリジッド基板同士が直交する直方体状に変形させることができる。この状態では、第１のリジッド基板２１が下面をなし、第２のリジッド基板２２が上面をなし、第３、第４、第５のリジッド基板２３、２４、２５が側面をなしている。図１に示すように、実装基板２は、このように変形した状態で支持部材３に支持、固定されている。言い換えれば、実装基板２は、支持部材３に対応する形状に変形できるように設計されている。
【００２３】
このように、実装基板２をリジッドフレキシブル基板で構成することにより、実装基板２を容易に変形させることができるため、実装基板２の支持部材３への固定が簡単となる。また、連結部２６１〜２６４によって各リジッド基板２１〜２５がひとまとまりに連結されているため、この点でも、実装基板２の支持部材３への固定を簡単かつ円滑に行うことができる。また、リジッド基板を複数備えることで、電子部品４の配置の自由度が増す。
【００２４】
また、硬質なリジッド基板に電子部品４を実装することにより、電子部品４（特に、角速度センサー４１１〜４１３）の不要な振動を抑制でき、モジュール１の検出精度が向上する。また、実装基板２に電子部品４を実装し易い。また、電子部品４の平行度が取り易く、特に、角速度センサー４１１〜４１３を簡単に、所望の姿勢とし、かつその姿勢を維持することができる。また、リジッド基板に電子部品４を実装することにより、電子部品４を高密度実装することもできる。
【００２５】
特に、本実施形態では、第１のリジッド基板２１は、その縁（外周）に開放する第１の切欠部２１ｃ、第２の切欠部２１ｄ、第３の切欠部２１ｅを有している。第１の切欠部２１ｃは、第１のリジッド基板２１の図２（ａ）中右側の辺に対して段差を付けて形成されており、この第１の切欠部２１ｃから第１の連結部２６１が延出している。同様に、第２の切欠部２１ｄは、第１のリジッド基板２１の図２（ａ）中上側の辺に対して段差を付けて形成されており、この第２の切欠部２１ｄから第２の連結部２６２が延出している。また、第３の切欠部２１ｅは、第１のリジッド基板２１の図２（ａ）中左側の辺に対して段差を付けて形成されており、この第３の切欠部２１ｅから第３の連結部２６３が延出している。
【００２６】
第１のリジッド基板２１に第１の切欠部２１ｃを形成することにより、第１の連結部２６１を、第１のリジッド基板２１との接続部付近（より第１のリジッド基板２１側）にて簡単に曲げ変形させることができ、また、曲げ変形させたときの曲率半径を比較的大きく保つことができる。また、折り曲がった部分の、第１のリジッド基板２１の外周からの過度な突出が抑制され、モジュール１の小型化を図ることができる。なお、第２の切欠部２１ｄおよび第３の切欠部２１ｅについても同様の効果が得られる。
【００２７】
また、本実施形態では、第２のリジッド基板２２は、その縁（外周）に開放する第４の切欠部２２ｃおよび第５の切欠部２２ｄを有している。第４の切欠部２２ｃは、第２のリジッド基板２２の図２（ａ）中左側の辺に対して段差を付けて形成されており、この第４の切欠部２２ｃから第１の連結部２６１が延出している。同様に、第５の切欠部２２ｄは、第２のリジッド基板２２の図２（ａ）中下側の辺に対して段差を付けて形成されており、この第５の切欠部２２ｃから第４の連結部２６４が延出している。
【００２８】
第２のリジッド基板２２に第４の切欠部２２ｃを形成することにより、第１の連結部２６１を、第２のリジッド基板２２との接続部付近（より第２のリジッド基板２２側）にて簡単に曲げ変形させることができ、また、曲げ変形させたときの曲率半径を比較的大きく保つことができる。また、折り曲がった部分の、第２のリジッド基板２２の外周からの過度な突出が抑制され、モジュール１の小型化を図ることができる。なお、第５の切欠部２２ｄについても同様の効果が得られる。
【００２９】
以上、実装基板２について説明した。なお、実装基板２の各リジッド基板２１〜２５およびフレキシブル基板２６には、図示しない導体パターンが形成されており、この導体パターンを介して複数の電子部品４が適切に電気接続されている。以下では、説明の便宜上、各リジッド基板２１〜２５の図２（ａ）にて図示されている面を「表側実装面」と言い、図２（ｂ）にて図示されている面を「裏側実装面」と言う。
【００３０】
また、実装基板２には、図示しないグランド層が形成されており、このグランド層が外部磁場を遮断する機能を発揮する。そのため、図３に示す状態にて、実装基板２の内側にある電子部品４（すなわち、表側実装面２１１〜２５１に実装されている電子部品４）については、モジュール１の外部からの外部磁場（外来ノイズ）による影響を排除することができる。
【００３１】
＜電子部品４＞
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、実装基板２には複数の電子部品４が実装されている。
実装基板２には、電子部品４として、１軸検出型の３つの角速度センサー４１１〜４１３と、３軸検出型の加速度センサー４２と、各種電子部品を駆動するための第１の電源回路４３１および第２の電源回路４３２と、センサー類（４１１〜４１３、４２）からの出力信号を増幅する増幅回路４４と、増幅回路４４で増幅されたアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル変換回路４５と、所望の制御を行うマイクロコントローラー４６と、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリー４７と、方位を検出する方位センサー（磁気センサー）４８と、インターフェース用のコネクター４９とが実装されている。なお、加速度センサー４２は、ここでは１素子で３軸検出する構造のものを用いているが、角速度センサーと同様に１軸検出の加速度センサーを３つ用いても良い。
【００３２】
以下、これら電子部品４の配置について詳細に説明する。
（第１のリジッド基板２１）
第１のリジッド基板２１の表側実装面２１１には、第１の電源回路４３１、増幅回路４４およびアナログ／デジタル変換回路４５が実装されており、裏側実装面２１２には、Ｚ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー（第１のセンサー素子）４１１および加速度センサー４２が実装されている。なお、角速度センサー４１１、加速度センサー４２を表側実装面２１１に実装し、第１の電源回路４３１、増幅回路４４、およびアナログ／デジタル変換回路４５を裏側実装面２１２に実装しても良い。
【００３３】
アナログ／デジタル変換回路４５は、表側実装面２１１に実装されている他の電子部品４（第１の電源回路４３１および増幅回路４４）に対してサイズが大きい。そのため、アナログ／デジタル変換回路４５を表側実装面２１１の中央部に配置するのが好ましい。これにより、アナログ／デジタル変換回路４５を第１のリジッド基板２１の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第１のリジッド基板２１の撓み変形に起因する不本意な振動が抑えられ、角速度センサー４１１〜４１３に不要な振動が伝わらず、角速度センサー４１１〜４１３（特に第１のリジッド基板２１に実装されている角速度センサー４１１）による角速度の検出精度が高まる。
【００３４】
また、角速度センサー４１１および加速度センサー４２は、裏側実装面２１２の縁部（特に、孔部２１ａ、２１ｂのいずれか一方の近傍）に配置するのが好ましい。後述するように、第１のリジッド基板２１は、孔部２１ａ、２１ｂを介してネジ止めされることにより支持部材３に固定される。そのため、孔部２１ａ、２１ｂの近傍（第１のリジッド基板２１の縁部）は、変形し難く、不要な振動が発生し難い。よって、このような場所に、角速度センサー４１１および加速度センサー４２を配置することで、より高精度に角速度および加速度を検出することができる。
【００３５】
また、角速度センサー４１１および加速度センサー４２を裏側実装面２１２に実装することにより、実装基板２が支持部材３に固定された状態にて、マイクロコントローラー４６との距離をより離間させることができる。また、角速度センサー４１１および加速度センサー４２とマイクロコントローラー４６との間に、第１のリジッド基板２１のグランド層を位置させることができる。そのため、マイクロコントローラー４６から発生する放射ノイズが、角速度センサー４１１および加速度センサー４２に悪影響を及ぼすのを防止でき、角速度センサー４１１および加速度センサー４２の検出精度を向上させることができる。
【００３６】
（第２のリジッド基板２２）
第２のリジッド基板２２の表側実装面２２１には、マイクロコントローラー４６が実装され、裏側実装面２２２には、マイクロコントローラー４６を起動する第２の電源回路４３２、データを保存する不揮発性メモリー４７および方位センサー４８が実装されている。
【００３７】
マイクロコントローラー４６は、第２のリジッド基板２２に実装された他の電子部品４（不揮発性メモリー４７および方位センサー４８）に対してサイズが大きい。そのため、マイクロコントローラー４６を表側実装面２２１の中央部に配置するのが好ましい。これにより、マイクロコントローラー４６を第２のリジッド基板２２の強度を補強する補強部材として効果的に用いることができる。そのため、第２のリジッド基板２２の撓み変形による不要な振動が抑えられ、角速度センサー４１１〜４１３に不要な振動が伝わらず、角速度センサー４１１〜４１３による角速度の検出精度が高まる。
【００３８】
また、マイクロコントローラー４６から発生する放射ノイズを第２のリジッド基板２２の前記グランド層によって遮断することができるため、方位センサー４８をマイクロコントローラー４６と反対の実装面に実装することにより、放射ノイズ（磁場）が方位センサー４８に達し、方位センサー４８に悪影響を及ぼすことを効果的に防止することができる。そのため、方位センサー４８の検出精度を向上させることができる。
【００３９】
（第３のリジッド基板２３）
第３のリジッド基板２３の表側実装面２３１には、ｘ軸まわりの角速度を検出する角速度センサー（第２のセンサー素子）４１２が実装されている。
（第４のリジッド基板２４）
第４のリジッド基板２４の表側実装面２４１には、ｙ軸まわりの角速度を角速度センサー（第３のセンサー素子）４１３が実装されている。
【００４０】
（第５のリジッド基板２５）
第５のリジッド基板２５の裏側実装面２５２には、インターフェース用のコネクター４９が実装されている。これにより、信号の出力や、温度補正係数等の信号の入力を簡単に行うことができる。
以上、電子部品４の配置について詳細に説明した。
【００４１】
実装基板２では、第１のリジッド基板２１に、第１の電源回路４３１、増幅回路４４、アナログ／デジタル変換回路４５を含むアナログ回路を形成し、第２のリジッド基板２２に、マイクロコントローラー４６を含むデジタル回路が形成されている。このように、アナログ回路とデジタル回路とを別の基板上に形成することにより、デジタル回路から生じる高周波ノイズがアナログ回路に伝播されるのを抑制でき、優れた信頼性および検出精度を発揮することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、アナログ回路用の電源と、デジタル回路用の電源とを別々に用意している。すなわち、アナログ回路用の電源として第１の電源回路４３１を備え、デジタル回路用の電源として第２の電源回路４３２を備えている。また、前記グランド層についても、アナログ回路用のグランド層と、デジタル回路用のグランド層とを別々に用意している。このような構成とすることにより、ノイズの発生をより効果的に抑制することができ、モジュール１の検出精度がより高くなる。
角速度センサー４１１〜４１３としては、角速度を検出することができれば、特に限定されず、公知の１軸検出型の角速度センサーを用いることができる。このような角速度センサー４１１〜４１３としては、例えば、図４に示すような振動片５を有するセンサーを用いることができる。
【００４３】
振動片５は、水晶（圧電材料）で構成されている。また、振動片５は、基部５１と、基部５１の両側から紙面縦方向へ延出する一対の検出用振動腕５２、５３と、基部５１の両側から紙面横方向へ延出する一対の連結腕５４、５５と、各連結腕５４、５５の先端部の両側から紙面縦方向へ延出する各一対の駆動用振動腕５６、５７、５８、５９とを有している。また、各検出用振動腕５２、５３の表面には検出用電極（図示せず）が形成されており、駆動用振動腕５６、５７、５８、５９の表面には駆動用電極（図示せず）が形成されている。
【００４４】
このような振動片５では、駆動用電極に電圧を印加することにより、駆動用振動腕５６、５８および駆動用振動腕５７、５９を、互いに接近・離間を繰り返すように振動させた状態にて、振動片５の法線Ａまわりの角速度ωが加わると、振動片５にコリオリ力が加わり、検出用振動腕５２、５３の振動が励起される。そして、検出用振動腕５２、５３の振動により発生した検出用振動腕５２、５３の歪を検出用電極で検出することにより、振動片５に加わった角速度を求めることができる。
【００４５】
［支持部材］
図５および図６に示すように、支持部材３は、略直方体状をなしており、対向配置された上面３１および下面３２と、これらを接続する４つの側面３３、３４、３５、３６とを有している。このような支持部材３では、少なくとも、隣り合う２つの側面と、上面３１または下面３２とが、互いに直交するように精度よく形成されている。なお、本実施形態では、隣り合う面の全てが互いに直交するように精度よく形成されている。
【００４６】
下面３２、側面３３および側面３４は、後述するように、角速度センサー４１１〜４１３が実装された第１、第３、第４のリジッド基板２１、２３、２４を固定する面である。そのため、これら３つの面を互いに直交するよう形成することにより、角速度センサー４１１〜４１３を互いの検出軸Ａ１〜Ａ３が直交した姿勢で正確に配置することができる。そのため、モジュール１によれば、各軸（ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸）まわりの角速度を高精度に検出することができる。
【００４７】
（側面３３）
側面３３は、第３のリジッド基板２３を固定する固定面を構成する。第３のリジッド基板２３は、その表側実装面２３１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３３に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３３の両端部から突出する２つの突起３３２、３３３を有し、この突起３３２、３３３に第３のリジッド基板２３に形成された孔部２３ａ、２３ｂが係合している。これにより、図７に示すように、第３のリジッド基板２３が側面３３に固定されている。
【００４８】
このように２つの突起３３２、３３３を用いることにより、側面３３に対する第３のリジッド基板２３の位置決めを行いつつ、側面３３に第３のリジッド基板２３を固定することができる。特に、側面３３の両端部に突起３３２、３３３を形成することで、突起３３２、３３３の離間距離が長くなり、第３のリジッド基板２３の位置決めをより精度よく行うことができる。
第３のリジッド基板２３の側面３３への固定は、さらに、接着剤による接着を併用することが好ましい。これにより、第３のリジッド基板２３を側面３３により強固に固定することができる。このことは、後述する他のリジッド基板２１、２２、２４、２５についても同様である。
【００４９】
また、支持部材３は、側面３３に開放する凹部３３１を有している。この凹部３３１は、角速度センサー４１２の位置および外形に対応して形成されており、第３のリジッド基板２３が側面３３に固定された状態では、凹部３３１内に角速度センサー４１２が収容されている。すなわち、凹部３３１は、支持部材３と角速度センサー４１２との接触を防止するための逃げ部を構成している。このような凹部３３１を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、モジュール１の小型化を図ることができる。
また、角速度センサー４１２の天頂面（第１のリジッド基板２１に実装された面とは反対側の面）と支持部材の凹部３３１の表面とを接着剤等により接合しても良い。このような構成とすることで、センサー素子と支持部材との接合を強固なものとすることができる。
【００５０】
（側面３４）
側面３４は、第４のリジッド基板２４を固定する固定面を構成する。第４のリジッド基板２４は、その表側実装面２４１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３４に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３４の両端部から突出する２つの突起３４２、３４３を有し、この突起３４２、３４３に第４のリジッド基板２４に形成された孔部２４ａ、２４ｂが係合している。これにより、図７に示すように、第４のリジッド基板２４が側面３４に固定されている。
【００５１】
また、支持部材３は、側面３４に開放する凹部３４１を有している。この凹部３４１は、角速度センサー４１３の位置および外形に対応して形成されており、第４のリジッド基板２４が側面３４に固定された状態では、凹部３４１内に角速度センサー４１３が収容されている。すなわち、凹部３４１は、支持部材３と角速度センサー４１３との接触を防止するための逃げ部を構成している。このような凹部３４１を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、モジュール１の小型化を図ることができる。
また、角速度センサー４１３の天頂面（第２のリジッド基板２２に実装された面とは反対側の面）と支持部材の凹部３４１の表面とを接着剤等により接合しても良い。このような構成とすることで、センサー素子と支持部材との接合を強固なものとすることができる。
【００５２】
（側面３５）
側面３５は、第５のリジッド基板２５を固定する固定面を構成する。第５のリジッド基板２５は、その表側実装面２５１を支持部材３側（内側）に向けた状態で側面３５に固定されている。すなわち、第５のリジッド基板２５は、コネクター４９をモジュール１の外側に露出させた状態で側面３５に固定されている。具体的には、支持部材３は、側面３５の両端部から突出する２つの突起３５２、３５３を有し、この突起３５２、３５３に第５のリジッド基板２５に形成された孔部２５ａ、２５ｂが係合している。これにより、図７に示すように、第５のリジッド基板２５が側面３５に固定されている。
【００５３】
（下面３２）
下面３２は、第１のリジッド基板２１を固定する固定面を構成する。第１のリジッド基板２１は、その表側実装面２１１を支持部材３側（内側）に向けた状態で下面３２に固定されている。具体的には、支持部材３は、下面３２の対角関係にある２つの角部に形成された２つのネジ穴３２ａ、３２ｂを有している。このネジ穴３２ａ、３２ｂに、第１のリジッド基板２１に形成された孔部２１ａ、２１ｂを合わせ、ネジ８１、８２によりネジ止めすることにより、図７に示すように、第１のリジッド基板２１が下面３２に固定されている。なお、ネジ穴３２ａ、３２ｂの代りに突起部を設け、この突起部と孔部２１ａ、２１ｂとを係合することにより固定してもよい。
【００５４】
また、支持部材３は、上面３１と下面３２とを貫通する貫通孔３７を有している。第１のリジッド基板２１を下面３２に固定した状態では、貫通孔３７内に、表側実装面２１１に実装された第１の電源回路４３１、増幅回路４４およびアナログ／デジタル変換回路４５が収容されている。すなわち、貫通孔３７は、角速度センサー４１３および加速度センサー４２の収容空間となっており、モジュールの小型化、薄型化に寄与する。また、貫通孔３７は、支持部材３と、第１の電源回路４３１、増幅回路４４およびアナログ／デジタル変換回路４５との接触を防止するための逃げ部を構成している。このような貫通孔３７を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、モジュール１の小型化（薄型化）を図ることができる。
【００５５】
（上面３１）
上面３１は、第２のリジッド基板２２を固定する固定面を構成する。第２のリジッド基板２２は、その表側実装面２２１を支持部材３側（内側）に向けた状態で上面３１に固定されている。具体的には、支持部材３は、上面３１の対角関係にある２つの角部に形成された２つのネジ穴３１ａ、３１ｂを有している。これらネジ穴３１ａ、３１ｂは、下面３２に形成されたネジ穴３２ａ、３２ｂと対向して形成されている。このネジ穴３１ａ、３１ｂに、第２のリジッド基板２２に形成された孔部２２ａ、２２ｂを合わせ、ネジ８３、８４によりネジ止めすることにより、図７に示すように、第２のリジッド基板２２が上面３１に固定されている。
【００５６】
また、前述したように、支持部材３は、貫通孔３７を有している。第２のリジッド基板２２を上面３１に固定した状態では、貫通孔３７内に、表側実装面２２１に実装されたマイクロコントローラー４６が収容されている。すなわち、貫通孔３７は、支持部材３とマイクロコントローラー４６との接触を防止するための逃げ部を構成している。このような貫通孔３７を形成することにより、支持部材３の内部スペースを有効活用することができ、モジュール１の小型化（薄型化）を図ることができる。
【００５７】
また、支持部材３には、上面３１と下面３２とをこれらの縁部にて貫通する２つの貫通孔３８１、３８２が形成されている。これら２つの貫通孔３８１、３８２は、上面３１の対角関係にある２つの角部であって、ネジ穴３１ａ、３１ｂが形成されていない２つの角部と、これら角部に対応する下面３２の角部とを貫通するように形成されている。このような貫通孔３８１、３８２は、後述するように、支持部材３を台座７にネジ止め固定する際に、ネジを挿入するためのネジ孔である。
【００５８】
また、支持部材３の構成材料としては、特に限定されないが、例えば外部から圧力が加わったときに変形を防止するために、硬質な材料であるのが好ましい。これにより、下面３２、側面３３および側面３４が互いに直交した状態をより確実に維持することができ、モジュール１の検出精度を高く維持することができる。
このような材料としては、特に限定されず、例えば、鉄、ニッケル、銅、アルミニウム等の各種金属、またはこれらのうちの少なくとも１種を含む合金または金属間化合物、さらには、これらの金属の酸化物等が挙げられる。このうち、合金としては、例えば、ステンレス鋼、インコネル、その他例えばジュラルミン等の各種アルミニウム系合金が挙げられる。
【００５９】
このように、支持部材３を金属材料で構成することにより、次のような効果を発揮することができる。すなわち、支持部材３を金属材料のような高い導電率を有する材料で構成すると、支持部材３によって、マイクロコントローラー４６等から発生する放射ノイズを遮断することができる。そのため、このような放射ノイズが、凹部３３１、３４１内の角速度センサー４１２、４１３に到達し、これらセンサーに悪影響を与えるのを防ぐことができる。その結果、角速度センサー４１２、４１３によって高精度に角速度を検出することができる。
【００６０】
また、前記硬質な材料としては、上記金属材料の他、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６１】
また、支持部材３の構成材料として、不要な振動を吸収する防振、免振機能を発揮することのできる弾性材料であるのも好ましい。このような材料としては、例えば、天然ゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、アクリルゴム、エチレン−プロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴムのような各種ゴム材料（特に加硫処理したもの）や、スチレン系、ポリオレフィン系、ポリ塩化ビニル系、ポリウレタン系、ポリエステル系、ポリアミド系、ポリブタジエン系、トランスポリイソプレン系、フッ素ゴム系、塩素化ポリエチレン系等の各種熱可塑性エラストマーが挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。
【００６２】
また、支持部材３の構成材料として、変形のし難さと、防振、免振機能とを両立させるために免振鋼を用いるのも好ましい。
このような支持部材３は、互いに直交する３つの面、すなわち下面３２、側面３３および側面３４を有しているため、下面３２に角速度センサー４１１が実装された第１のリジッド基板２１を固定し、側面３３に角速度センサー４１２が実装された第３のリジッド基板２３を固定し、側面３４に角速度センサー４１３が実装された第４のリジッド基板２４を固定するだけで、簡単かつ確実に、３つの角速度センサー４１１〜４１３を互いに直交して配置することができる。すなわち、角速度センサー４１１の検出軸Ａ１と、角速度センサー４１２の検出軸Ａ２と、角速度センサー４１３の検出軸Ａ３とが互いに直交するように配置することができる。そのため、簡単に、モジュール１の角速度の検出精度を向上させることができる。
【００６３】
また、角速度センサー４１２、４１３は、実装基板２よりも支持部材３側に位置している。そのため、角速度センサー４１２は、第３のリジッド基板２３によってモジュール１の外部への露出が防止され、角速度センサー４１３は、第４のリジッド基板２４によってモジュール１の外部への露出が防止されている。このような配置によれば、例えば、モジュール１の製造時や、モジュール１を他の電子機器に組み込む際に、角速度センサー４１２、４１３が、作業者や製造機器等と接触することがなく、これらセンサー類の破損を効果的に防止することができる。また、前述したように、実装基板２が有するグランド層によって、外部磁場を遮断することができるため、角速度センサー４１２、４１３が前記磁場の影響を受けることなく、これらセンサー類によって、精度よく加速度を検出することができる。
【００６４】
［ケーシング］
図１に示すように、ケーシング（保持部材）６は、支持部材３を固定する台座７と、台座７に固定された支持部材３を覆う蓋部材（キャップ）８とを有している。以下、台座７および蓋部材１０について順次説明する。
【００６５】
（台座７）
図８に示すように、台座７は、板状をなし、略矩形の平面視形状を有している。このように、台座７を略矩形の平面視形状とすることにより、モジュール１の外部からｘ軸、ｙ軸、ｚ軸（角速度センサー４１１〜４１３の検出軸Ａ１〜Ａ３）の各軸を確認し易く、モジュール１を図示しない対象物（例えば、電子機器側の回路基板）等に搭載する際に、その搭載（位置決め）がし易くなる。
【００６６】
また、台座７の下面は、ｘｙ平面（ｘ軸とｙ軸とで形成される平面）と平行である。これにより、モジュール１を対象物に実装したときに、対象物の実装面がｘｙ平面と平行となる。そのため、例えば、後述する電子機器５００等において、対象物の配設を簡単に行うことができ、モジュール１によって各軸まわりの角速度をより正確に検出することができる。
【００６７】
また、台座７の対角上に位置する２つの角部には、それぞれ、外周（外縁）に開放する長孔７１１、７１２が形成されている。これら長孔７１１、７１２は、互いに同じ方向に延在している。このような長孔７１１、７１２は、モジュール１を前記対象物に固定するためのネジ穴である。すなわち、長孔７１１、７１２は、モジュール１を対象物に固定するための固定部を構成する。この長孔７１１、７１２を用いて、モジュール１を対象物にネジ止めすることにより、モジュール１を対象物に簡単かつ確実に固定することができる。
【００６８】
ここで、長孔７１１、７１２のうちの一方をネジによって対象物に仮止めした状態とすると、このネジを回動中心としてモジュール１を対象物上にてｚ軸まわりに回動させることができる。そのため、まず、一方の長孔を用いてモジュール１を仮止め（ネジ止め）し、次いで、モジュール１のｚ軸まわりの位置決めを行い、次いで、他方の長孔をネジ止めし、最後に、両ネジを本締めすることにより、モジュール１をｚ軸まわりに精度よく位置決めした状態で対象物に固定することができる。
【００６９】
また、各長孔７１１、７１２を用いてモジュール１が対象物に仮止めされている状態では、モジュール１を対象物に対して長孔７１１、７１２の延在方向にスライドさせることができる。そのため、モジュール１を対象物に対してｘ軸方向およびｙ軸方向の位置を微細に調整することができる。これにより、対象物に対するモジュール１の位置決めをより精度よく行うことができる。
【００７０】
また、台座７には、上面の縁部を除く中央部に開放する凹部７２が形成されている。凹部７２は、台座７に支持部材３を固定した状態にて、第１のリジッド基板２１の裏側実装面２１２に実装された角速度センサー４１１および加速度センサー４２を収納する収納部として機能する。言い換えれば、凹部７２は、台座７と角速度センサー４１１および加速度センサー４２との接触を防止するための逃げ部を構成する。このような凹部７２を形成することによって、台座７のスペースを有効活用でき、モジュール１の小型化（薄型化）を図ることができる。
【００７１】
また、台座７には、４つのアライメント部７４１、７４２、７４３、７４４が形成されている。これらアライメント部７４１〜７４４は、台座７に対する支持部材３のｘ軸、ｙ軸およびｚ軸の各軸まわりの位置決めを行う機能を有している。具体的には、アライメント部７４１〜７４４は、角速度センサー４１２の検出軸Ａ２と、角速度センサー４１３の検出軸Ａ３とで形成される平面が、ｘｙ平面と平行となり、かつ、角速度センサー４１１の検出軸Ａ１がｚ軸と平行となるように、台座７に対して支持部材３を位置決めする機能を有している。
【００７２】
これら４つのアライメント部７４１〜７４４は、凹部７２の４つの角部に設けられており、凹部７２の底面から突出形成されている。また、アライメント部７４１、７４２、７４３、７４４は、ｘｙ平面と平行な平面で構成された載置面７４１ａ、７４２ａ、７４３ａ、７４４ａを有しており、これら４つの載置面７４１ａ〜７４４ａは、互いにｘｙ平面と平行な同一平面上に位置している。そのため、これら載置面７４１ａ〜７４４ａに支持部材３をその下面３２が載置面と対向するように載置すると、角速度センサー４１１の検出軸Ａ１がｚ軸と平行となる。このように、４つのアライメント部７４１〜７４４に支持部材３を載置するだけで、台座７に対する角速度センサー４１１のｘ軸およびｙ軸まわりの位置決めを簡単かつ精度よく行うことができる。
【００７３】
特に、本実施形態のように、４つのアライメント部７４１〜７４４を凹部７２の各角部に設けることにより、すなわち、凹部７２の縁部に間隔を隔てて設けることにより、これらアライメント部７４１〜７４２を互いに大きく離間させることができ、支持部材３をアライメント部７４１〜７４４に、より安定的に載置することができる。
このようなアライメント部７４１〜７４４のうち、対角関係にある２つのアライメント部７４２、７４４は、ネジ穴７６１、７６２を有している。ネジ穴７６１、７６２は、台座７（載置面７４１ａ〜７４４ａ）に載置された支持部材３を台座７に固定するためのネジ穴である。すなわち、ネジ穴７６１、７６２は、支持部材３を台座７に固定するための固定部を構成する。
【００７４】
ネジ穴７６１は、載置面７４２ａに開放するように形成されており、同様に、ネジ穴７６２は、載置面７４４ａに開放するように形成されている。また、図９に示すように、ｘｙ平面視にて、ネジ穴７６１、７６２の中心間距離Ｄは、支持部材３の貫通孔３８１、３８２の中心間距離Ｄ’とほぼ一致している。また、ネジ穴７６１、７６２の中心同士を結ぶ直線Ｌとｘ軸とのなす角θ１は、貫通孔３８１、３８２の中心（中心軸）同士を結ぶ直線Ｌ’と側面３４と平行な面のなす角θ１’とほぼ等しく、直線Ｌとｙ軸とのなす角θ２は、直線Ｌ’と側面３３と平行な面とのなす角θ２’とほぼ等しい。
【００７５】
そのため、ネジ穴７６１と貫通孔３８１とが対向（連通）するとともに、ネジ穴７６２と貫通孔３８２とが対向（連通）するように、支持部材３を台座７（載置面７４１ａ〜７４４ａ）に載置すると、支持部材３の側面３３に固定された角速度センサー４１２の検出軸Ａ２がｘ軸とほぼ平行となるとともに、側面３４に固定された角速度センサー４１３の検出軸Ａ３がｙ軸とほぼ平行となる。そして、ネジ８５、８６を貫通孔３８１、３８２を介してネジ穴７６１、７６２に締め付けることにより、角速度センサー４１１、４１２、４１３の検出軸Ａ１、Ａ２、Ａ３が、ｚ軸、ｘ軸、ｙ軸と平行な状態を維持した状態で支持部材３が台座７に完全に固定される（図１（ｂ）参照）。
【００７６】
このように、台座７によれば、貫通孔３８１、３８２とネジ穴７６１、７６２との位置合わせを行い、固定するだけで、台座７に対する支持部材３のｚ軸まわりの位置決めを簡単かつ精度よく行うことができる。言い換えれば、角速度センサー４１１、４１２、４１３の検出軸Ａ１、Ａ２、Ａ３がｚ軸、ｘ軸、ｙ軸と平行な状態となっていなければ、支持部材３を台座７に固定することができないので、支持部材３の台座７に対する位置決めをより確実に行うことができる。このように、ネジ穴７６１、７６２を支持部材３を台座７固定するための固定部として用いるとともに、支持部材３のｚ軸まわりの位置決めを行うアライメント部として用いることにより、支持部材３の台座７に対する位置決めをより正確に行うことができる。
なお、台座７への支持部材３の固定は、ネジ止めとともに接着剤による接合を併用してもよい。これにより、台座７と支持部材３との間に接着剤層が介在するため、支持部材３の不要な振動が抑制される。その結果、角速度センサー４１１〜４１３等の検出精度が向上する。
【００７７】
また、アライメント部７４１〜７４４のうち、対角関係にある２つのアライメント部７４１、７４３は、凹部７５１、７５２を有している。凹部７５１は、載置面７４１ａに開放するように形成されており、同様に、凹部７５２は、載置面７４３ａに開放するように形成されている。これら凹部７５１、７５２は、支持部材３を台座７に固定する際、台座７とネジ８２、８１の頭部（頭）との接触を防止するための逃げ部（収容部）を構成する。そのため、凹部７５１、７５２は、ネジ８２、８１の頭部を収納可能な形状および大きさをなしている。このような凹部７５１、７５２を設けることにより、支持部材３、台座７の破損や、支持部材３の変形等を防止することができ、モジュール１の信頼性が向上する。
【００７８】
なお、このような凹部７５１、７５２は、台座７に対する支持部材３のｚ軸まわりの位置決めを行う仮のアライメント部としても機能する。すなわち、凹部７５１、７５２にネジ８１、８２の頭部を収納するように、支持部材３を台座７に載置することにより、台座７に対する支持部材３のｚ軸まわりの位置決めを大まかに行うことができる。また、この状態では、支持部材３のｚ軸まわりの過度な回動が制限されるため、ネジ穴７６１、７６２と貫通孔３８１、３８２との位置合わせを簡単に行うことができる。
【００７９】
仮のアライメント部としての機能をより効果的に発揮させるために、凹部７５１は、当該凹部７５１内にてネジ８１の頭部のｘｙ平面方向への移動を規制できるような形状とすることが好ましい。凹部７５２についても同様である。これにより、凹部７５１、７５２にネジ８１、８２の頭部が収納された状態では、支持部材３のぐらつき（ｚ軸まわりの回動）がより抑えられ、上述した支持部材３の仮の位置決めをより効果的に行うことができる。
台座７の構成材料としては、特に限定されないが、制振特性を有する材料であるのが好ましい。これにより、支持部材３の不要な振動が抑えられ、角速度センサー４１１〜４１３等の検出精度が向上する。このような材料としては、例えば、マグネシウム合金、鉄系合金、銅合金、マンガン合金、Ｎｉ−Ｔｉ系合金などの各種制振合金が挙げられる。
【００８０】
以上、台座７の構成について詳細に説明した。
このような台座７によれば、支持部材３を簡単に固定することができるとともに、台座７に対する支持部材３のｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の各軸まわりの位置決めを簡単かつ高精度に行うことができる。そのため、優れた検出精度を発揮することができるモジュール１が得られる。
【００８１】
また、前述したように、モジュール１を対象物に実装する場合には、台座７の直交する２つの側面７ｃ、７ｄを基準に、対象物に対するｚ軸まわりの位置決めを行うことにより、角速度センサー４１２、４１３の検出軸Ａ２、Ａ３を簡単に所望の方向に向けることができる。具体的には、側面７ｃは、検出軸Ａ３と平行な面であり、側面７ｄは、検出軸Ａ２と平行な面である。そのため、これら側面７ｃ、７ｄを基準に位置決めを行うことにより、簡単に、角速度センサー４１２、４１３の検出軸Ａ２、Ａ３を簡単に所望の方向に向けることができる。また、これら側面７ｃ、７ｄの間には、長孔７１１、７１２が形成されておらず、互いに交わっているため、これら側面７ｃ、７ｄの接続部付近を基準に位置決めを行うことにより、より簡単かつ正確に、前述したような位置決めを行うことができる。
【００８２】
（蓋部材）
蓋部材１０は、支持部材３を覆うように台座７に固定される。これにより、電子部品４を保護することができる。また、蓋部材１０の側面には、開口１０１が形成されており、蓋部材１０が台座７に固定された状態にて、この開口１０１からコネクター４９が外部に露出している。これにより、外部機器とコネクター４９との電気接続を容易に行うことができる。台座７と蓋部材１０の固定方法は、特に限定されず、嵌合、螺合、接着剤による接合を用いることができる。
また、蓋部材１０は、ｘｙ平面視にて、台座７に形成された長孔７１１、７１２と重ならないように、２つの角部が切欠している。これにより、モジュール１の対象物（対象物）への固定を容易に行うことができる。
【００８３】
このような蓋部材１０の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
以上、ケーシング６について説明した。
【００８４】
モジュール１では、台座７の凹部７２に図示しない充填剤（モールド材）が充填されており、充填剤によって、凹部７２と第１のリジッド基板２１との隙間が埋められている。このような充填剤によって、第１のリジッド基板２１の裏側実装面２１２（角速度センサー４１１、加速度センサー４２）や、第１のリジッド基板２１から延出する連結部２６１、２６２、２６３が固定され、これにより、第１のリジッド基板２１に不要な振動が発生するのを効果的に防止することができるため、角速度センサー４１１〜４１３や加速度センサー４２の検出精度が向上する。
【００８５】
充填剤の構成材料としては、絶縁性を有するものが好ましい。このような材料としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体等のポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アイオノマー、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、その他フッ素系樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、ポリウレタン等、またはこれらを主とする共重合体、ブレンド体、ポリマーアロイ等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８６】
≪第２実施形態≫
次いで、本発明のモジュールの第２実施形態について説明する。
図１０は、本発明の第２実施形態にかかるモジュールが有する実装基板の平面図である。
以下、第２実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８７】
本願発明の第２実施形態にかかるモジュールは、実装基板の構成が異なる以外は、前記第１実施形態と同様である。
図１０に示すように、実装基板２Ａは、互いに離間して配置された第１のリジッド基板２１、第２のリジッド基板２２、第３のリジッド基板２３、第４のリジッド基板２４および第５のリジッド基板２５と、これらを連結するフレキシブル基板２６Ａとで構成されている。
【００８８】
また、フレキシブル基板２６Ａは、第１のリジッド基板２１と第２のリジッド基板２２とを連結する第１の連結部２６１、第１のリジッド基板２１と第３のリジッド基板２３とを連結する第２の連結部２６２、第３のリジッド基板２３と第４のリジッド基板２４とを連結する第３の連結部２６３Ａおよび第２のリジッド基板２２と第５のリジッド基板２５とを連結する第４の連結部２６４を有している。第１の連結部２６１、第２の連結部２６２、第３の連結部２６３Ａおよび第４の連結部２６４は、それぞれ、可撓性を有しており、面方向への曲げ変形を容易に行うことができる。
【００８９】
このような構成の実装基板２であっても、前述した第１実施形態で述べたように、第１のリジッド基板２１が下面をなし、第２のリジッド基板２２が上面をなし、第３〜第５のリジッド基板２３〜２５が側面をなすように、かつ、隣り合うリジッド基板同士が直交するように実装基板２を直方体状に変形させることができる。
このような第２実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【００９０】
２．電子機器
以上のようなモジュール１は、各種電子機器に組み込むことができる。以下、モジュール１を搭載した本発明の電子機器について説明する。図１１は、モジュール１を搭載した電子機器５００の構成の一例を示す図である。電子機器５００としては、特に限定されず、例えば、デジタルカメラ、ビデオカメラ、カーナビゲーションシステム、携帯電話、モバイルＰＣ、ロボット、ゲーム機、ゲームコントローラーなどが挙げられる。
【００９１】
図１１に示す電子機器５００は、モジュール１を含むセンサーモジュール５１０と、処理部５２０と、メモリー５３０と、操作部５４０と、表示部５５０とを有している。これらは、バス５６０にて接続されている。処理部（ＣＰＵ、ＭＰＵ等）５２０は、センサーモジュール５１０等の制御や電子機器５００の全体制御を行う。また処理部５２０は、センサーモジュール５１０により検出された角速度情報に基づいて処理を行う。例えば、角速度情報に基づいて、手ぶれ補正、姿勢制御、ＧＰＳ自律航法などのための処理を行う。メモリー５３０は、制御プログラムや各種データを記憶し、また、ワーク領域やデータ格納領域として機能する。操作部５４０は、ユーザーが電子機器５００を操作するためのものである。表示部５５０は、種々の情報をユーザーに表示するものである。
【００９２】
以上、本発明のモジュールおよび電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。
また、前述した実施形態では、実装基板に３つの角速度センサーが実装された構成について説明したが、角速度センサーの数は、これに限定されず、１つでもよいし、２つでもよい。また、角速度センサーの数に応じて、リジッド基板の数も変更してもよい。
また、前述した実施形態では、実装基板としてリジッドフレキシブル基板を用いた構成について説明したが、実装基板としてフレキシブル基板を用いてもよい。
【符号の説明】
【００９３】
１‥‥モジュール  ２、２Ａ‥‥実装基板  ２１‥‥第１のリジッド基板  ２１１‥‥表側実装面  ２１２‥‥裏側実装面  ２１ａ、２１ｂ‥‥孔部  ２１ｃ、２１ｄ、２１ｅ‥‥切欠部  ２２‥‥第２のリジッド基板  ２２１‥‥表側実装面  ２２２‥‥裏側実装面  ２２ａ、２２ｂ‥‥孔部  ２２ｃ、２２ｄ‥‥切欠部  ２３‥‥第３のリジッド基板  ２３１‥‥表側実装面  ２３ａ、２３ｂ‥‥孔部  ２４‥‥第４のリジッド基板  ２４１‥‥表側実装面  ２４ａ、２４ｂ‥‥孔部  ２５‥‥第５のリジッド基板  ２５１‥‥表側実装面  ２５２‥‥裏側実装面  ２５ａ、２５ｂ‥‥孔部  ２６、２６Ａ‥‥フレキシブル基板  ２６１‥‥第１の連結部  ２６２‥‥第２の連結部  ２６３、２６３Ａ‥‥第３の連結部  ２６４‥‥第４の連結部  ３‥‥支持部材  ３１‥‥上面  ３１ａ、３１ｂ‥‥ネジ穴  ３２‥‥下面  ３２ａ、３２ｂ‥‥ネジ穴  ３３‥‥側面  ３３１‥‥凹部  ３３２、３３３‥‥突起  ３４‥‥側面  ３４１‥‥凹部  ３４２、３４３‥‥突起  ３５‥‥側面  ３５２、３５３‥‥突起  ３６‥‥側面  ３７、３８１、３８２‥‥貫通孔  ４‥‥電子部品  ４１１、４１２、４１３‥‥角速度センサー  ４２‥‥加速度センサー  ４３１‥‥第１の電源回路  ４３２‥‥第２の電源回路  ４４‥‥増幅回路  ４５‥‥アナログ／デジタル変換回路  ４６‥‥マイクロコントローラー  ４７‥‥不揮発性メモリー  ４８‥‥方位センサー  ４９‥‥コネクター  ５‥‥振動片  ５１‥‥基部  ５２、５３‥‥検出用振動腕  ５４、５５‥‥連結腕  ５６、５７、５８、５９‥‥駆動用振動腕  ６‥‥ケーシング  ７‥‥台座  ７１１、７１２‥‥長孔  ７ｃ、７ｄ‥‥側面  ７２‥‥凹部  ７４１、７４２、７４３、７４４‥‥アライメント部  ７４１ａ、７４２ａ、７４３ａ、７４４ａ‥‥載置面  ７５１、７５２‥‥凹部  ７６１、７６２‥‥ネジ穴  ８１、８２、８３、８４、８５、８６‥‥ネジ  ９‥‥充填剤  １０‥‥蓋部材  １０１‥‥開口  ５００‥‥電子機器  ５１０‥‥センサーモジュール  ５２０‥‥処理部  ５３０‥‥メモリー  ５４０‥‥操作部  ５５０‥‥表示部  ５６０‥‥バス  Ａ１、Ａ２、Ａ３‥‥検出軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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