(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
アキシャル方向の一端面に面着磁した多極磁石リングと、該多極磁石リングの着磁面に対して磁気検出面を対向させて配設したＧＭＲセンサとを備えた回転角度位置検出装置を有し、
前記ＧＭＲセンサは、９０度異なる磁束に向きの変化をＳＩＮ及びＣＯＳの２相信号として出力するＳＩＮセンサ部及びＣＯＳセンサ部がＩＣパッケージ内に組み込まれて構成され、該ＧＭＲセンサが前記ＳＩＮセンサ部及びＣＯＳセンサ部で感知される磁束密度を一致させるように前記多極磁石リングに対して半径方向にオフセットされて配置され、
前記ＳＩＮ及びＣＯＳの２相信号を個別に増幅する増幅回路の増幅率が、電気角内に生じる２周期の誤差を抑制するように調整され、
前記回転角度位置検出装置を構成する多極磁石リング及びＧＭＲセンサのうち、前記多極磁石リングを回転側輪に固定された磁性体で構成されるマグネットホルダに保持し、前記ＧＭＲセンサを固定側輪に固定された磁性体で構成され前記マグネットホルダとで磁気シールド機能を発揮するセンサハウジングに保持した状態で、当該ＧＭＲセンサが合成樹脂性のモールドで覆われている
ことを特徴とするセンサ付き転がり軸受。
【請求項２】
前記ＧＭＲセンサの半径方向のオフセット量は、９０度異なる２つの磁束方向の磁束密度が互いに近接する距離に選定されていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ付き転がり軸受。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴とする自動車。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴とする鉄道車両。
【請求項５】
請求項１又は２に記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴とする製鉄設備。
【請求項６】
請求項１又は２に記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴とする工作機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アキシャル方向に面着磁された多極磁石リングとこれに対向配置されたＧＭＲ素子とを備えたセンサ付き転がり軸受及びセンサ付き転がり軸受を使用した自動車、鉄道車両、製鉄設備、工作機械に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の回転角度位置検出装置としては、例えば回転軸に垂直な半径方向に磁束の発生部と磁束の吸引部が向く磁石と、第１、第２ホール素子を隣接配置し、第１ホール素子の磁気検出面に対して、第２ホール素子の磁気検出面を略直角方向に向けて隣接配置した第１、第２ホール素子とを相対回転する回転体の一方及び他方に設けるようにした回転角度検出装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、４極以上の磁極を表面に有する磁石回転子と、前記磁石回転子からの磁束を検知するセンサデバイスと、前記センサデバイスから得られる複数の信号を用いて前記磁石回転子の回転角に応じた回転角信号を出力する電子回路部とを備えた回転角検出装置であって、前記センサデバイスは、回転磁石の近傍に発生する回転磁界から異なる２つ以上の位相信号を出力する複数のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子を有し、前記複数のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子は、基準になる感磁方向を有する第１のスピンバルブ型巨大磁石磁気抵抗素子と、前記第１のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子とは異なる感磁方向を有する第２のスピンバルブ型巨大磁気抵抗効果素子とを備える回転角検出装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３２６２９１号公報
【特許文献２】特許第４２７３３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された従来例にあっては、半径方向に磁束の発生部と磁束の吸引部が向くリング状又は円板状の磁石に対して約４５度の角度で離れた位置に、第１磁気検出素子とこの第１磁気検出素子に隣接し配置された第１の磁気検出素子の磁気検出面に対して略直角補講に磁気検出面が向いた第２の磁気検出素子とを配置するようにしているので、第１の磁気検出素子及び第２の磁気検出素子の磁気検出面が磁石の外周面と平行に配置する必要があり、磁石の軸方向に長い設置スペースが必要となるという未解決の課題がある。
【０００６】
また、特許文献２に記載された従来例にあっては、回転磁石の軸心から半径方向に延長する線に対して所定角度傾斜した線間のセンサ配置角とセンサ傾斜角とを持たせることにより、理想的な正弦波の位置信号を得るようにしており、第１磁気検出素子及び第２磁気検出素子の配置を容易に行うことができないという未解決の課題がある。
そこで、本発明は、上記従来例の未解決の課題に着目してなされたものであり、磁石の軸方向における磁気検出素子の配置スペースを少なくするとともに、設置が容易なセンサ付き転がり軸受及びセンサ付き転がり軸受を使用した自動車、鉄道車両、製鉄設備、工作機械を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一の形態に係るセンサ付き転がり軸受は、アキシャル方向の一端面に面着磁した多極磁石リングと、該多極磁石リングの着磁面に対して磁気検出面を対向させて配設したＧＭＲセンサとを備えた回転角度位置検出装置を有し、前記ＧＭＲセンサは、９０度異なる磁束に向きの変化をＳＩＮ及びＣＯＳの２相信号として出力するＳＩＮセンサ部及びＣＯＳセンサ部がＩＣパッケージ内に組み込まれて構成され、該ＧＭＲセンサが前記ＳＩＮセンサ部及びＣＯＳセンサ部で感知される磁束密度を一致させるように前記多極磁石リングに対して半径方向にオフセットされて配置され、前記ＳＩＮ及びＣＯＳの２相信号を個別に増幅する増幅回路の増幅率が、電気角内に生じる２周期の誤差を抑制するように調整され、前記回転角度位置検出装置を構成する多極磁石リング及びＧＭＲセンサのうち、前記多極磁石リングを回転側輪に固定された磁性体で構成されるマグネットホルダに保持し、前記ＧＭＲセンサを固定側輪に固定された磁性体で構成され前記マグネットホルダとで磁気シールド機能を発揮するセンサハウジングに保持した状態で、当該ＧＭＲセンサが合成樹脂性のモールドで覆われていることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の他の形態に係るセンサ付き転がり軸受は、前記ＧＭＲセンサの半径方向のオフセット量が、９０度異なる２つの磁束方向の磁束密度が互いに近接する距離に選定されていることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明の一の形態に係る自動車は、上記の何れか１つに記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴としている。
また、本発明の一の形態に係る鉄道車両は、上記の何れか１つに記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴としている。
また、本発明の一の形態に係る製鉄設備は、上記の何れか１つに記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴としている。
また、本発明の一の形態に係る工作機械は、上記の何れか１つに記載のセンサ付き転がり軸受で支持された回転軸を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の回転角度位置検出装置によれば、アキシャル方向の一端面に面着磁した多極磁石リングに対して、ＧＭＲセンサの磁気検出面を対向させるとともに、半径方向にオフセットして配置することにより、軸方向の設置スペースを小さくするとともに、ＧＭＲセンサを多極磁石リングに対して対向配置するだけで傾ける必要がなく、ＧＭＲセンサの設置を容易に行うことができるという効果が得られる。
また、本発明によるセンサ付き転がり軸受によれば、ＧＭＲセンサの軸方向の設置スペースを小さくして、設置が容易となるセンサ付き転がり軸受を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る回転角度位置検出装置の一実施形態を示す概略構成図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２】回転角度位置検出装置の回路構成を示すブロック図である。
【図３】回転角度検出装置の作用の説明に供する特性線図である。
【図４】電気角と検出誤差との関係を示す特性線図である。
【図５】本発明の回転角度位置検出装置の他の例を示す断面図である。
【図６】本発明の回転角度位置検出装置を装着したセンサ付き転がり軸受を示す断面図である。
【図７】ＧＭＲセンサを搭載した基板の底面図である。
【図８】本発明に係るセンサ付き転がり軸受の他の例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の回転角度位置検出装置の一実施形態を示す概略構成図である。
図中、１は回転角度位置検出装置であって、この回転角度位置検出装置１は、多極磁石リング２と、これに対向配置されたＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ Ｍａｇｎｅｔ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ：巨大磁気抵抗）センサ２とを備えている。
【００１３】
多極磁石リング２は、図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、軸方向長さの短いリング体２ａの軸方向の一端面例えば上面に円周方向に例えば８個のＮ極及びＳ極が交互に着磁された着磁面２ｂが形成されている。
ＧＭＲセンサ３は、ＩＣパッケージ４内に、図２に示すように、ラジアル方向及びスラスト方向の９０度異なる感磁方向を持ちＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を出力するＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂが配設されている。これらＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂは、図示しないがそれぞれ４つのＧＭＲ素子をブリッジ接続した構成を有する。
【００１４】
そして、ＧＭＲセンサ３は、ＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂがラジアル方向及びスラスト方向の９０度異なる感磁方向を持っているので、図３に示すように、ＧＭＲセンサ３の幅方向の中心位置を多極磁石リング１の着磁面の半径方向の中心位置に対向させたオフセット量が“０”となる第１のオフセット位置ＯＰ１では、例えばＣＯＳ信号を出力するＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度は大きいが、ＳＩＮ信号を出力するＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度はＣＯＳセンサ部５Ｂの１／１０程度となり、実質的に１つのＣＯＳセンサ部５ＢのみがＣＯＳ信号を出力することになる。
【００１５】
ところが、ＧＭＲセンサ３をオフセット位置ＯＰ１よりに外側に移動させると、オフセット量が増加するに従って、ＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度が徐々に低下し、逆にＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度が徐々に増加する。
そして、オフセット位置ＯＰ１より外側の第２のオフセット位置ＯＰ２となると、ＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度がピークとなるとともに、ＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度がＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度より僅かに大きいが近接した値となる。
【００１６】
さらに、ＧＭＲセンサ３を第２のオフセット位置ＯＰ２より外側に移動させると、オフセット量が増加するに従って、ＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度が徐々に低下するとともに、ＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度も減少傾向を継続し、第２のオフセット位置ＯＰ２より僅かに外側のオフセット位置に達するとＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度と一致し、その後オフセット量の増加に応じてＳＩＮセンサ部５Ａで感知する磁束密度を下回り、第３のオフセット位置ＯＰ３でＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度が極めて小さい値で一致する。
【００１７】
このように、ＳＩＮセンサ部５Ａ及び５ＣＯＳセンサ部Ｂが図３に示す磁束密度特性を有することから、ＧＭＲセンサ３をオフセット量が“０”であるオフセット位置ＯＰ１に配置したのでは、ＣＯＳセンサ部５Ｂでは大きな磁束密度を感知することができるが、ＳＩＮセンサ部５Ａでは磁束密度を殆ど感知することができない。このため、ＳＩＮセンサ部５Ａから出力されるＳＩＮ信号を増幅器で増幅することにより、ＣＯＳセンサ部５Ｂから出力されるＣＯＳ信号のレベルに合わせることができる。しかしながら、センサ部の一方のみの出力信号を増幅したのでは、増幅誤差が生じ易く精度の高い回転位置を求めることはできない。
【００１８】
このため、本発明では、多極磁石リング２に対してＧＭＲセンサ３を、内蔵するＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度が接近する値となる第２のオフセット位置ＯＰ２に設置し、多極磁石リング２とＧＭＲセンサ３とのギャップについては多極磁石リング２の磁束の向きが十分検知できるだけの磁束密度が得られるように設定する。
【００１９】
本実施形態では、多極磁石リング２に対するＧＭＲセンサ３のオフセット量ＯＶとギャップＧＡＰとの比率をＯＶ：ＧＡＰ＝１：１に設定している。しかしなから、オフセット量ＯＶとギャップＧＡＰとの比率は磁極数や磁石材質によって得られる磁束密度特性が変わるため、実際の磁束密度特性に応じて最適な比率に設定することが好ましい。
重要な点は、ＧＭＲセンサ３のオフセットによって、ラジアル方向とスラスト方向の磁場を同程度に検知できればよく、ギャップＧＡＰの設定は磁束の検知に十分な磁束密度が得られればよいものである。
【００２０】
そして、ＧＭＲセンサ３のＧＭＲ素子５Ａ及び５Ｂから出力されるＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号は図２に示すようにＳＩＮ信号用増幅器１０Ａ及びＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂで増幅し、これらＳＩＮ信号用増幅器１０Ａ及びＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂの増幅信号をＡ／Ｄ変換器１１Ａ及び１１Ｂでデジタル信号に変換し、このＡ／Ｄ変換器１１Ａ及び１１Ｂから出力されるデジタルＳＩＮ信号及びデジタルＣＯＳ信号を角度演算処理回路１２に供給して、多極磁石リング２の回転角度位置を算出する。
【００２１】
ここで、ＳＩＮ信号用増幅器１０Ａ及びＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂは、互いに同一の構成で増幅特性が略一致する差動増幅器の構成を有する。すなわち、ＳＩＮ信号用増幅器１０Ａ及びＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂは、オペアンプ１５の反転入力側が抵抗Ｒ１を介してＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂの正極側の出力端子に接続されているとともに、帰還用抵抗Ｒ２を介してオペアンプ１５の出力端子に接続されている。また、オペアンプ１５の非反転入力側が抵抗Ｒ３を介してＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂの負極側出力端子に接続されているとともに、抵抗Ｒ４を介して接地されている。
したがって、両増幅器１０Ａ及び１０Ｂでは、入力電圧をｅ１及びｅ２とし、出力電圧をｅＯとすると、出力電圧ｅＯは、下記（１）式で表すことができる。
【００２２】
【数１】
0005724326.tif 000002
【００２３】
また、前述したように、ＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度が正確に一致するものではなく、ＧＭＲセンサ３から出力されるＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号に基づいて回転角度位置を算出する場合に、図４で点線図示の特性曲線Ｌ１で示すように、電気角内に２周期の検出誤差が生じ易い。
【００２４】
このため、図２におけるＳＩＮ信号用増幅器１０Ａのゲイン（増幅度）とＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂのゲイン（増幅度）とを誤差を解消可能な比率に設定して、両増幅器１０Ａ及び１０Ｂから出力される信号レベルを一致させる。すなわち、前述した図３の場合には、ＳＩＮ信号がＣＯＳ信号に対して磁束密度が低いので、この分を補正するようにＳＩＮ信号用増幅器１０Ａ又はＣＯＳ信号用増幅器１０Ｂの抵抗Ｒ１〜Ｒ４の一部を調整してＳＩＮ信号用増幅器１０ＡのゲインＧＡとＣＯＳ信号用増幅器１０ＢのゲインＧＢとの比率を例えばＧＡ：ＧＢ＝１．１：１．０に設定する。このように、ＳＩＮ信号用増幅器１０ＡのゲインＧＡとＣＯＳ信号用増幅器１０ＢのゲインＧＢとの比率を設定することにより、図４で実線図示の特性曲線Ｌ２で示すように、検出誤差を大幅に低減することができる。
【００２５】
このように、上記実施形態によると、多極磁石リング２の軸方向の一端に形成した着磁面と対向してＧＭＲセンサ３を配置し、且つＧＭＲセンサ３のＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を出力するＳＩＮセンサ部５Ａ及びＣＯＳセンサ部５Ｂで感知する磁束密度が略一致する接近した値となるように半径方向にオフセットさせることにより、ＧＭＲセンサ３から信号レベルが略等しいＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を得ることができる。このため、多極磁石リング２の着磁面に対してＧＭＲセンサ３を平行に配置することが可能となり、多極磁石リング２の軸方向の設置スペースを短くすることができるとともに、多極磁石リング２に対してＧＭＲセンサ３を傾けて設置する必要がなく、ＧＭＲセンサ３の設置を容易に行うことができる。
【００２６】
なお、上記実施形態においては、多極磁石リング２の外側にＧＭＲセンサ３をオフセットさせる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図５（ａ）に示すように、ＧＭＲセンサ３を半径方向内方にオフセットさせるようにしてもよい。同様に、多極磁石リング２の下面側に着磁面を形成した場合には、図５（ｂ）又は（ｃ）に示すように、ＧＭＲセンサ３を半径方向の外方又は内方に設置するようにすればよい。
【００２７】
次に、本発明による回転角度位置検出装置１をセンサ付き転がり軸受に適用した場合の実施形態を図６について説明する。
図６において、２１は自動車、鉄道車両、製鉄設備、工作機械等の回転軸に適用して回転速度を検出するセンサ付き転がり軸受であって、このセンサ付き転がり軸受２１は、互いに対向する回転側輪としての軸受内輪２２及び固定側輪としての軸受外輪２３と、これら軸受内輪２２及び軸受外輪２３間に介在された多数の転動体２４とで転がり軸受２５が構成されている。ここで、軸受内輪２２及び軸受外輪２３のそれぞれは、互いの対向面の軸方向両端側に軸方向端面より所定距離だけ転動体２４側に段部２６及び２７が形成されている。
【００２８】
軸受内輪２２には、前述した多極磁石リング２を保持する磁性体で構成されるマグネットホルダ３２が嵌合保持されている。また、軸受外輪２３には、マグネットホルダ３２を覆うように前述したＧＭＲセンサ３を多極磁石リング２に対して半径方向内方側にオフセットさせて保持する磁性体で構成されるセンサハウジング３６が嵌合保持されている。
マグネットホルダ３２は、軸受内輪２２の段部２６に圧入固定されて軸受内輪２２の軸方向端部より外方に僅かに突出する円筒部３２ａと、この円筒部３２ａの軸方向突出端部から半径方向に転がり軸受２５の軸受内輪２２及び軸受外輪２３間の軸受空間を覆うように延出する円環状板部３２ｂと、この円環状板部３２ｂの外周縁から軸方向外方に突出する円筒状のフランジ部３２ｃとから構成されている。
【００２９】
そして、多極磁石リング２が円環状板部３２ｂ及びフランジ部３２ｃに接触して、軸受空間の半径方向の略中央位置となるように例えば接着剤で固定保持されている。多極磁石リング２は、前述した図１に示すように、転がり軸受２５の軸方向の上端面に、円周方向にＮ極及びＳ極が交互に着磁された着磁面が形成されている。
センサハウジング３６は、軸受外輪２３の段部２７に圧入固定される外筒部３６ａと、この外筒部３６ａの外方端から半径方向に内方に軸受内輪２２まで延長する円環状板部３６ｂと、この円環状板部３６ｂの内方端から軸受内輪２２の軸方向端部に向かって延長し、軸受内輪２２に僅かな間隔を空けて対向する内筒部３６ｃとで多極磁石リング２を３方から覆う断面コ字状に形成されている。
【００３０】
このセンサハウジング３６には、前述した図１に示すＧＭＲセンサ３を実装した円環状の基板３７が、円環状板部３６ｂにＧＭＲセンサ３と多極磁石リング２とが所定のギャップを保ち且つ前述した第２のオフセット位置ＯＰ２に対応するオフセット量だけ半径方向内方側にずらして装着されている。
ここで、ＧＭＲセンサ３は、合成樹脂性のモールド３８によって覆われており、モールド３８と多極磁石リング２との対向面間に所定間隙のセンサギャップ３９が形成されている。したがって、センサギャップ３９は、磁性体で構成されるマグネットホルダ３２及びセンサハウジング３６によって四方から囲まれている。
【００３１】
また、基板３７には、図７に示すようにＧＭＲセンサ３から出力されるＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を信号処理する前述した増幅器１０Ａ，１０Ｂ、Ａ／Ｄ変換器１１Ａ，１１Ｂ及び回転角位置演算回路１２を含む信号処理回路４０を備えており、この信号処理回路４０で信号処理された回転角度位置信号が信号線４１を介して外部に出力される。
【００３２】
次に、上記実施形態の動作を説明する。
今、転がり軸受２５の軸受外輪２３をハウジング等の固定部に固定するとともに、軸受内輪２２内にブラシレスモータ等の三相電動モータ（図示せず）に連結された回転軸を嵌挿した組付状態とする。この状態で、三相電動モータを回転駆動させると、これに応じて軸受内輪２２が回転されて、多極磁石リング２が回転することにより、この多極磁石リング２に対向して配置されたＧＭＲセンサ３で多極磁石リング２の着磁パターンに応じた磁界を検出して、軸受内輪２２の回転速度に応じた周波数のＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を出力する。
【００３３】
このＳＩＮ信号及びＣＯＳ信号を基板３７上に実装された信号処理回路４０で信号処理することにより、軸受内輪２２の回転角度位置信号が算出され、算出された回転角度位置信号が信号線４１を介して外部に出力される。
このようにして、ＧＭＲセンサ３によって多極磁石リング２で発生される磁界を検出することにより、回転角度位置を検出することができるものであるが、前述したようにブラシレスモータ等の三相電動モータが近接配置されている場合には、この三相電動モータで発生される電気ノイズに起因する外部磁界が多極磁石リング２で形成される磁界を乱すおそれがある。
【００３４】
しかしながら、上記実施形態では、マグネットホルダ３２及びセンサハウジング３６が磁性体で構成され、これらマグネットホルダ３２及びセンサハウジング３６で多極磁石リング２、ＧＭＲセンサ３及びそれら間のセンサギャップ３９を四方から覆うようにしている。
このため、これら多極磁石リング２、ＧＭＲセンサ３及びセンサギャップ３９が外部に晒されることを防止することができるとともに、マグネットホルダ３２及びセンサハウジング３６が磁気シールドとしての機能を発揮することができる。この磁気シールド機能によって、近接配置された三相電動モータ等で発生される電気ノイズに起因する外部磁界の変化を遮蔽することができ、多極磁石リング２で発生する磁界が外部磁界によって乱れることを抑制してＧＭＲセンサ３によって多極磁石リング２で発生する磁界を正確に検出して正確な検出信号を出力することができる。
【００３５】
さらに、ＧＭＲセンサ３をモールド３８で覆うようにしているので、ＧＭＲセンサ３を構成するＩＣ部を外界から保護することが可能となり、センサＩＣ部の防塵及び防水性を高めることができる。
なお、上記実施形態においては、ＧＭＲセンサ３を多極磁石リング２の着磁面に対して半径方向内方に配置する場合について説明したが、これに限定されるものではなく、図８に示すように、センサホルダ３６内にＧＭＲセンサ３を多極磁石リング２の着磁面に対して半径方向外方に所定オフセット量だけオフセットさせて配置するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００３６】
１…回転角度位置検出装置、２…多極磁石リング、２ａ…リング体、２ｂ…着磁面、３３…ＧＭＲセンサ、４…ＩＣパッケージ、５Ａ…ＳＩＮセンサ部、５Ｂ…ＣＯＳセンサ部、１０Ａ…ＳＩＮ信号用増幅器、１０Ｂ…ＣＯＳ信号用増幅器、１１Ａ，１１Ｂ…Ａ／Ｄ変換器、１２…回転角度位置演算回路、２１…センサ付き転がり軸受、２２…軸受内輪、２３…軸受外輪、２４…転動体、２５…転がり軸受、３２…マグネットホルダ、３２ａ…円筒部、３２ｂ…円環状板部、３２ｃ…フランジ部、３６…センサハウジング、３６ａ…外筒部、３６ｂ…円環状板部、３６ｃ…内筒部、３７…基板、３８…モールド、３８ａ…円筒部、３９…センサギャップ、４０…信号処理回路、４１…信号線
【図１】
0005724326.tif 000003
【図２】
0005724326.tif 000004
【図３】
0005724326.tif 000005
【図４】
0005724326.tif 000006
【図５】
0005724326.tif 000007
【図６】
0005724326.tif 000008
【図７】
0005724326.tif 000009
【図８】
0005724326.tif 000010