(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を供給する供給部と、
前記供給部から供給された前記電子部品を収容する収容部と、
前記供給部から前記電子部品を吸引して保持しながら、前記供給部と前記収容部を含む経路を移動し、前記収容部で前記電子部品を離脱させる吸着ノズルと、
前記電子部品を離脱させた後に前記吸着ノズルが一時停止する前記経路内の１箇所に設けられ、前記吸着ノズルの開口に差し込まれる針部と、
を備えること、
を特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記電子部品を離脱させた後に前記吸着ノズルが移動する移動軌跡上に設けられ、前記吸着ノズルの詰まりを検出する検出部と、
を更に備えること、
を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記検出部は、
前記吸着ノズルの開口を撮影するカメラと、
前記カメラが撮影した画像を解析する解析部と、
を含むこと、
を特徴とする請求項２記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記検出部は、
前記吸着ノズルの開口と接触する接触部と、
前記接触部内の流量を計測する計測部と、
を含むこと、
を特徴とする請求項２記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記針部の設置箇所に設けられ、当該設置箇所に停止した前記吸着ノズルを前記針部に向けて昇降させるノズル昇降部を更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記針部の設置箇所に設けられ、当該設置箇所に停止した前記吸着ノズルに向けて前記針部を昇降させる針昇降部を更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記針部の設置箇所に設けられ、前記吸着ノズルから引き抜かれた前記針部にエアーを吹き付けるブロアを更に備えること、
を特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記電子部品は、０．４ｍｍ×０．２ｍｍサイズを含む０．６ｍｍ×０．３ｍｍサイズ以下であり、
前記吸着ノズルは、前記電子部品の平面に収まる先端開口径であること、
を特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着ノズルによって電子部品を搬送する電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、組み立てから出荷までの間、各種目的でハンドラとも呼ばれる電子部品搬送装置により搬送される。例えば、電子部品は、組み立て工程後、各種検査等の処理を経るために搬送される。電子部品搬送装置は、電子部品の搬送経路中に各種の処理ユニットを備え、電子部品を搬送しながら各種処理を行う。また、一方の収容体から他方の収容体に電子部品を移載するべく、一方の収容体から電子部品を搬送経路に乗せ、他方の収容体へ向けて移動させ、他方の収容体に入れ替える。
【０００３】
搬送経路に沿った電子部品の搬送方式として、吸着ノズルを利用した方式がある。電子部品搬送装置は、吸着ノズルと、この吸着ノズルを移動させる駆動体を備え、吸着ノズルに電子部品を吸引保持させつつ、駆動体により吸着ノズルを移動させる。駆動体は、例えば円盤や星型のターレットテーブルである。ターレットテーブルの外周囲に吸着ノズルを配置し、ターレットテーブルを回転させる。吸着ノズルは、電子部品を保持しながら、ターレットテーブルの縁に沿って周回する。
【０００４】
吸着ノズルは、吸引力により電子部品を吸着することで保持するため、吸着ノズルの開口に詰まりが発生してはならない。吸着ノズルの開口に詰まりが発生すると、吸引力が低下し、搬送中に電子部品が落下するトラブルが生じる虞があり、生産効率が落ちるためである。吸着ノズルに詰まる異物は、電子部品搬送装置の設置環境に舞う塵や埃、電子部品にレーザーマーキング時に発生する煤等である。そこで、従来は、定期的に吸着ノズルから空気を噴出させることで、吸着ノズルの内部に入り込んだ異物を除去していた。
【０００５】
近年、電子部品は、微小化技術の進展という技術的背景、電気製品の小型化という需要上の背景から、小型化が進んでいる。０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）や０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）といったサイズの電子部品も電気製品に使用され始めている。
【０００６】
吸着ノズルは、負圧によって電子部品を吸い付けることにより、電子部品を保持する。従って、吸着ノズルの開口径は、空気が漏れる隙間が生じないように、電子部品の平面に収まるサイズでなくてはならない。０６０３サイズの電子部品を搬送する場合には、少なくとも０．３ｍｍ径未満の開口径でなくてはならず、０４０２サイズの電子部品を搬送する場合には、少なくとも０．２ｍｍ径未満の開口径でなくてはならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−２０３７１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
吸着ノズルの開口径が小さいと、吸着ノズルの内壁と異物との摩擦抵抗が増加する。電子部品が小型化してくると、吸着ノズルの開口の小径化に伴って、空気の噴出では十分に異物を除去できなくなる可能性がある。異物の除去が足りない状態で放置すると、吸引力が低下し、搬送中の落下トラブルが再燃する虞がある。
【０００９】
異物が詰まった吸着ノズルはメンテナンスまで使用禁止にするという考え方もある。異物が詰まった吸着ノズルは、搬送経路中をスルーするのみで、電子部品を搬送させない。しかしながら、電子部品の組み立てから出荷までの間、吸着ノズルの稼働率の低下に比例して電子部品の搬送量を低下させることになり、生産量が落ちてしまう。
【００１０】
本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、吸着ノズルの開口が小径化しても異物が除去される電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電子部品搬送装置は、電子部品を供給する供給部と、前記供給部から供給された前記電子部品を収容する収容部と、前記供給部から前記電子部品を吸引して保持しながら、前記供給部と前記収容部を含む経路を移動し、前記収容部で前記電子部品を離脱させる吸着ノズルと、前記電子部品を離脱させた後に前記吸着ノズルが一時停止する前記経路内の１箇所に設けられ、前記吸着ノズルの開口に差し込まれる針部と、を備えること、を特徴とする。
【００１２】
前記電子部品を離脱させた後に前記吸着ノズルが移動する移動軌跡上に設けられ、前記吸着ノズルの詰まりを検出する検出部と、を更に備えるようにしてもよい。
【００１３】
前記検出部は、前記吸着ノズルの開口を撮影するカメラと、前記カメラが撮影した画像を解析する解析部と、を含むようにしてもよい。
【００１４】
前記検出部は、前記吸着ノズルの開口と接触する接触部と、前記接触部内の流量を計測する計測部と、を含むようにしてもよい。
【００１５】
前記針部の設置箇所に設けられ、当該設置箇所に停止した前記吸着ノズルを前記針部に向けて昇降させるノズル昇降部を更に備えるようにしてもよい。
【００１６】
前記針部の設置箇所に設けられ、当該設置箇所に停止した前記吸着ノズルに向けて前記針部を昇降させる針昇降部を更に備えるようにしてもよい。
【００１７】
前記針部の設置箇所に設けられ、前記吸着ノズルから引き抜かれた前記針部にエアーを吹き付けるブロアを更に備えるようにしてもよい。
【００１８】
前記電子部品は、０．４ｍｍ×０．２ｍｍサイズを含む０．６ｍｍ×０．３ｍｍサイズ以下であり、前記吸着ノズルは、前記電子部品の平面に収まる先端開口径であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、針部で吸着ノズルの開口を貫通させ、異物による閉塞を破るため、吸着ノズルの開口が小径化して内壁の摩擦抵抗が上がっても、異物による電子部品の詰まりを除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す平面図である。
【図２】第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す側面図である。
【図３】第１の実施形態に係る詰まり除去ユニットの構成を示す側面図である。
【図４】第１の実施形態に係る詰まり除去ユニットによる閉塞防止の作用図である。
【図５】第１の実施形態に係る針部への付着物を吹き飛ばす作用図である。
【図６】第１の実施形態の変形例に係る詰まり除去ユニットの構成を示す側面図である。
【図７】第１の実施形態の変形例に係る吸着ノズルと針部の高さの時間変化を示すグラフである。
【図８】第２の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す平面図である。
【図９】第２の実施形態に係る電子部品搬送装置の詰まり検出部を示すブロック図である。
【図１０】第２の実施形態に係るカメラが捉えた吸着ノズルの状態を示す画像の模式図である。
【図１１】第２の実施形態の変形例に係る吸着ノズルと針部の高さの時間変化を示すグラフである。
【図１２】第２の実施形態の変形例に係る詰まり検出部を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（第１の実施形態）
まず、第１の実施形態に係る電子部品搬送装置について、図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２２】
（構成）
図１及び図２に示す電子部品搬送装置１は、経路１１に沿って電子部品Ｄを搬送する。経路１１には供給ユニット２と収容ユニット３が配置される。供給ユニット２は、１個ずつ電子部品Ｄを経路１１との交差点へ移動させる。収容ユニット３は、経路１１を搬送された電子部品Ｄを収容する。供給ユニット２と収容ユニット３との間には、各種の処理ユニットが配置可能となっている。処理ユニットは、電子部品Ｄに対して検査、加工、分類及びマーキング等の処理を行う装置、またこれら処理のために電子部品Ｄの姿勢を補正する等の補助装置である。処理ユニットとしては、位置決めユニット４１、電気特性測定ユニット４２、外観検査ユニット４３、及びマーキングユニットが挙げられる。
【００２３】
経路１１はターレットテーブル５１と吸着ノズル６で形成される。ターレットテーブル５１は、１点を中心にして放射状に同一半径で拡がる円盤又は星形等の形状を有する。ターレットテーブル５１は、架台１２に載置され、所定高さで水平方向に拡がっている。ターレットテーブル５１の駆動源は、ダイレクトドライブモータ５２である。ダイレクトドライブモータ５２は、ターレットテーブル５１の底面に接続され、ターレットテーブル５１を架台１２表面から所定高さに支持している。このダイレクトドライブモータ５２は、ターレットテーブル５１を円周方向に所定角度ずつ間欠的に回転させる。
【００２４】
吸着ノズル６は、ターレットテーブル５１の外縁に沿って円周等配位置で取り付けられる。そのため、吸着ノズル６は、ターレットテーブル５１の間欠回転により、各停止位置１１ａで順次停止する。換言すると、停止位置１１ａは、ターレットテーブル５１と同軸円周上に、ターレットテーブル５１の１ピッチの回転角で分割した各点である。
【００２５】
この吸着ノズル６は、吸引により電子部品Ｄを保持し、吸引解除により電子部品Ｄを離脱させる。すなわち、経路１１は、吸着ノズル６の移動軌跡であり、ターレットテーブル５１の外周である。吸着ノズル６は内部に中空管６１を有する（図４参照）。吸着ノズル６は、架台１２に向かって下方に向き、その先端に開口６２を有する。開口６２は中空管６１に繋がっている。中空管６１は、開口６２とは反対側端で真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通する。この吸着ノズル６は、空気圧回路に負圧が発生することにより、電子部品Ｄを開口６２で吸着し、真空破壊や大気解放されると、吸引力を失って開口６２から電子部品Ｄを離脱させる。
【００２６】
吸着ノズル６は、ターレットテーブル５１の外縁に軸受けを介して取り付けられている。軸受けはターレットテーブル５１と垂直な軸線を有し、吸着ノズル６は、軸受け内部を摺動して昇降可能となっている。吸着ノズル６は、進退駆動部７によって押し下げられることで、ターレットテーブル５１と直交する方向に下降する。この進退駆動部７は、吸着ノズル６の停止位置１１ａ、且つターレットテーブル５１の外縁直上に設置される。進退駆動部７から延ばした鉛直線上に吸着ノズル６の基端が存在する。進退駆動部７とターレットテーブル５１に固定関係は無く、進退駆動部７は位置不動である。進退駆動部７は、モータとカム機構とロッド７１を有し、モータの回転力をカム機構で直線運動に変換して、ロッド７１に伝達する。ロッド７１は、吸着ノズル６の停止位置１１ａに向けて延び、停止位置１１ａに存在する吸着ノズル６の上端に対して上方から当接し、更に吸着ノズル６を下方に押し下げる。
【００２７】
供給ユニット２、位置決めユニット４１、電気特性測定ユニット４２、外観検査ユニット４３及び収容ユニット３は、架台１２に設置され、ターレットテーブル５１の外縁直下に入り込むことで、吸着ノズル６の停止位置１１ａ下方に設置される。吸着ノズル６は、各進退駆動部７から外力を受けることで昇降し、昇降により供給ユニット２から電子部品Ｄを受領し、位置決めユニット４１、電気特性測定ユニット４２、及び外観検査ユニット４３と電子部品Ｄを授受し、最後に昇降により収容ユニット３に電子部品Ｄを渡す。
【００２８】
ここで、電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品であり、半導体素子等がパッケージングされてなる。半導体素子としては、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等が挙げられる。本電子部品搬送装置１で搬送される電子部品Ｄは、０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）を含む０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）以下の小型品に対して特に好適である。そのため、吸着ノズル６の開口６２の径は、この小型の電子部品Ｄの平面に収まる大きさであり、電子部品Ｄの短辺以下である。例えば、吸着ノズル６の開口６２の径は、０．２ｍｍ程度以下が望ましい。
【００２９】
吸着ノズル６の停止位置１１ａの一箇所には、この吸着ノズル６に詰まった異物６３を除去する詰まり除去ユニット８が設置される。詰まり除去ユニット８の設置位置は、円環状の経路１１を供給ユニット２と処理ユニットで分割すると、処理ユニットが並設される処理区間とは異なる電子部品が移動しない空区間である。異物６３は、塵、埃又はレーザーマーキング時に発生する煤である。図３に示すように、この詰まり除去ユニット８は、針部８１、進退駆動部７及びブロア８２を備える。
【００３０】
針部８１は極細の長棒であり、吸着ノズル６との接触により座屈可能な柔軟性を有する。針部８１は、例えば電気特性測定用のプローブ針を用いることができる。針部８１の棒径は吸着ノズル６の開口径未満であり、例えば０．２ｍｍの吸着ノズル６の開口径に対して、針部８１の棒径は０．１ｍｍである。架台１２にはベース８３が設置され、針部８１は、そのベース８３に支持されて吸着ノズル６の開口６２に向けて延びている。ベース８３は、架台１２からターレットテーブル５１に向けて嵩上げされた台である。針部８１は、その軸延長線上方に吸着ノズル６の開口６２が存在するように、停止した吸着ノズル６の架台１２への鉛直方向投影位置に設置される。
【００３１】
この針部８１の設置位置にも吸着ノズル６を挟んで進退駆動部７が設置される。吸着ノズル６は、この進退駆動部７により針部８１に向けて昇降可能となっている。針部８１の上端部の位置は、進退駆動部７によって下降した吸着ノズル６の開口６２の位置よりも高い。
【００３２】
ベース８３には針部８１に加えてブロア８２が設置される。ブロア８２は、針部８１の上端部に向けてエアを噴出させる。ブロア８２は、例えば空気圧回路に接続された空気管である。空気管の開口端が針部８１の上端部に向けて配置される。また、針部８１は静電気除去のためにベース８３を通じてアースされている。
【００３３】
（作用）
ダイレクトドライブモータ５２が１ピッチ回転すると、１機の吸着ノズル６が供給ユニット２の上方で停止する。この吸着ノズル６は、進退駆動部７により降下し、供給ユニット２から電子部品Ｄをピックアップする。供給ユニット２は、例えばパーツフィーダである。パーツフィーダは、底面から縁まで螺旋状の溝が穿設されたボウルと、一端がボウルの縁に接続して他端が経路１１と接続する直線上のレールにより構成され、ボウルの揺動とレールの斜方運動によってボウル内の電子部品を経路１１上に案内する。吸着ユニットは、このレール先端に降下し、レール先端の電子部品Ｄを吸引して再上昇する。
【００３４】
供給ユニット２から電子部品Ｄを受け取った吸着ノズル６は、ダイレクトドライブモータ５２がターレットテーブル５１を間欠回転させるごとに、処理区間において、姿勢を補正する位置決めユニット４１、電気特性を測定する電気特性測定ユニット４２、カメラ９１等により外観を検査する外観検査ユニット４３を経由して、収容ユニット３の直上に位置する。
【００３５】
収容ユニット３の直上に位置した吸着ノズル６は、進退駆動部７により降下させられ、収容ユニット３に電子部品Ｄを離脱させる。この収容ユニット３は、例えばテーピングユニットである。テーピングユニットは、長手方向に沿って多数のポケットが並設されたキャリアテープを、ターレットテーブル５１の回転タイミングに合わせてポケット距離分ずつ移動させ、経路１１上に空のポケットを順番に配置する。吸着ノズル６は、吸引解除によって、この空のポケットに電子部品Ｄを離脱させる。
【００３６】
電子部品Ｄを未保持となった吸着ノズル６は、収容ユニット３を通過して、空区間内に設置された詰まり除去ユニット８の直上で停止する。この吸着ノズル６は、進退駆動部７により針部８１に向けて下降させられる。図４の（ａ）に示すように、吸着ノズル６は、電子部品搬送装置１の設置エリアに舞う塵や埃、又はレーザーユニット時に発生する煤等の異物６３を吸い込み、開口６２が閉塞する虞がある。
【００３７】
図４の（ｂ）に示すように、進退駆動部７により下降した吸着ノズル６の開口６２は、やがて針部８１の上端よりも下に降り、吸着ノズル６に針部８１が差し込まれることになる。吸着ノズル６に差し込まれた針部８１は、貫通により開口６２の閉塞を破る。そのため、図４の（ｃ）に示すように、進退駆動部７から受ける外力が解除されて吸着ノズル６が再上昇することにより、吸着ノズル６から針部８１が引き抜かれると、吸着ノズル６内の詰まりが解消される。
【００３８】
尚、針部８１は、座屈可能な柔軟性を有しており、針部８１と吸着ノズル６の位置に精度誤差が生じても、吸着ノズル６の開口６２に案内されやすい。また、座屈可能な柔軟性を有しているために、針部８１による吸着ノズル６の傷付きを防止する。更に案内容易とするために、吸着ノズル６の開口６２をテーパ状にしてもよい。
【００３９】
吸着ノズル６から引き抜かれた針部８１には、吸着ノズル６に詰まった異物６３が付着する場合がある。しかし、図５に示すように、ブロア８２が針部８１の上端に向けてエアを噴出させており、異物６３は吹き飛ばされる。すなわち、ブロア８２は、吸着ノズル６に進入する範囲にエアを吹き掛けるように配置されればよい。尚、針部８１はアースにより静電気が除去されており、異物６３はブロア８２により除去容易となっている。
【００４０】
（効果）
このように、この電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄを供給する供給ユニット２と、供給ユニット２から供給された電子部品Ｄを収容する収容ユニット３を、電子部品を吸引する吸着ノズル６によって搬送する。そして、針部８１を、電子部品Ｄを離脱させた後に吸着ノズル６が一時停止する経路１１内の１箇所に設け、吸着ノズル６の開口６２に差し込むようにした。
【００４１】
これにより、吸着ノズル６内の付着物の除去に確実性が増し、電子部品の搬送途中での落下トラブルを防止することができる。また、付着物の発生により吸引力が低下した吸着ノズル６を不使用とする必要がなく、電子部品の搬送効率が向上し、電子部品の生産速度が上がる。
【００４２】
特に、吸着ノズル６の開口径は、電子部品に収まる範囲としなくてはならないが、０４０２サイズを含む０６０３サイズ以下の電子部品に開口径を合わせると、開口径が極細となり、吸着ノズル６内の配管抵抗が高くなるため、配管内エア流量が制限されてしまい、吸着ノズル６から異物６３が噴出しにくい。しかしながら、この電子部品搬送装置１では、このような小型の電子部品を搬送するために吸着ノズル６の開口径が小さくとも、確実に異物６３を取り除くことができる。
【００４３】
（変形例１）
第１の実施形態では、針部８１を吸着ノズル６に差し込むために、吸着ノズル６を針部８１に向けて下降させた。図６は、この変形例に係る詰まり除去ユニット８を示す側面図である。図６に示すように、針部８１はスリーブ体８３ａに固定されている。スリーブ体８３ａは、ターレットテーブル５１の平面と平行に延びた円筒状のカムフォロア８３ｂを有する。カムフォロア８３ｂは、カム８３ｃの周面と当接している。カム８３ｃは、カム軸をターレットテーブル５１の平面と平行に延ばし、カム軸とモータ８３ｄのモータ軸とを同軸状に接続している。カム８３ｃの周面はカム面となっており、カム面は狭径区間と広径区間を有する。
【００４４】
モータ８３ｄの回転に伴ってカムフォロア８３ｂをカム８３ｃの広径区間で従動させ、スリーブ体８３ａを全体的に上方に押し上げる。これにより、針部８１側が吸着ノズル６に向かって移動する。このように、吸着ノズル６と針部８１は相対的に接離されればよく、針部８１を吸着ノズル６側へ上昇させて差し込むようにしてもよい。
【００４５】
この変形例では、吸着ノズル６への針部８１の差込移動を、吸着ノズル６の経路１１に沿った移動と独立させることができる。図７は、吸着ノズル６と針部８１の移動軌跡を示している。図７に示すように、吸着ノズル６が詰まり除去ユニット８に到達する直前から針部８１を上昇させ、吸着ノズル６が詰まり除去ユニット８に到達したタイミングとほぼ変わらずに、針部８１を吸着ノズル６に差し込むことができる。従って、詰まり除去ユニット８による異物除去処理に要する時間を最小限に留めることができ、電子部品Ｄに対する搬送や他の処理に影響を与えることがない。
【００４６】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る電子部品搬送装置１について図面を参照しつつ詳細に説明する。第１の実施形態と同一構成及び同一機能については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４７】
（構成）
図８に示すように、この電子部品搬送装置１は、経路１１上に詰まり検出部９を備える。詰まり検出部９は、詰まり除去ユニット８と同じ空区間に設置される。空区間において、吸着ノズル６の移動方向最下流に供給ユニット２が配置され、その上流に詰まり除去ユニット８が配置される。詰まり除去ユニット８の上流側及び下流側に詰まり検出部９が配置される。詰まり検出部９は、空の吸着ノズル６の移動軌跡上に設置できればよく、吸着ノズル６が停止する空きの停止位置１１ａに限られない。
【００４８】
この詰まり検出部９は、吸着ノズル６内の異物６３を検出する。詰まり除去ユニット８よりも吸着ノズル６の移動方向上流側に設置された場合、吸着ノズル６内の異物６３を検出してから、詰まり除去ユニット８で吸着ノズル６の異物６３を除去できる。この詰まり検出部９は、図９に示すように、カメラ９１と光源９２と画像解析部９３と制御部９４とを備える。
【００４９】
カメラ９１は、吸着ノズル６の開口６２が移動する軌跡に向けて下方から画像を撮影する。このカメラ９１は、吸着ノズル６が直上を通過する際に、吸着ノズル６の開口６２を撮影する。光源９２は、吸着ノズル６の開口６２に向けて照射するように、カメラ９１と同じく吸着ノズル６の移動軌跡の下方に設置される。
【００５０】
画像解析部９３は、所謂コンピュータであり、カメラ９１が撮影した画像を解析し、開口６２に詰まりが生じているか判定する。例えば、図１０の（ａ）に示すように、画像内の開口オブジェクトの縁は、光源９２により照らされており、詰まりが無い状態では、明度の高いリング６４が円形の暗部を囲む画像が形成される。一方、図１０の（ｂ）に示すように、開口６２内に異物６３が存在すると、異物６３も光源９２により照らされ、明度が高くなる。そうすると、画像内において、リング６４に囲まれた暗部の形は、円形から崩れている。画像解析部９３は、暗部の形状を判定し、吸着ノズル６の詰まりが存在するか判定する。
【００５１】
制御部９４は、所謂コンピュータであり、画像解析部９３が詰まり有りと判定すると、詰まりが生じている吸着ノズル６が詰まり除去ユニット８に到達した際に、吸着ノズル６に対する進退駆動部７、又は針部８１に対するモータ８３ｄを駆動させ、吸着ノズル６に針部８１を差し込ませる。
【００５２】
画像解析部９３と制御部９４は、電子部品搬送装置１の全体を制御するコンピュータに解析のためのプログラムと詰まり除去用のプログラムをインストールして機能させてもよい。すなわち、このコンピュータを、ダイレクトドライブモータ５２の制御、吸着ノズル６の吸引及び吸引解除、及び進退駆動部７の制御、並びに供給ユニット２、収容ユニット３、位置決めユニット４１、電気特性測定ユニット４２、及び外観検査ユニット４３の制御を並行して、画像解析部９３と制御部９４として機能させてもよい。
【００５３】
尚、カメラ９１を詰まり除去ユニット８よりも下流側に設けることで、異物除去の成否を解析することもできる。従って、詰まり検出部９は、詰まり確認用に詰まり除去ユニット８よりも上流に設けてもよいし、異物除去の成否判断用に詰まり除去ユニット８よりも下流に設けてもよいし、両方に設けるようにしてもよい。
【００５４】
詰まり検出部９を詰まり除去ユニット８よりも下流に設け、異物除去の失敗と判断した場合、制御部９４は、ターレットテーブル５１を１ピッチ逆転させ、再度異物除去を実行させてもよい。又は詰まり除去に失敗した吸着ノズル６をターレットテーブル５１の１周分について使用せず、詰まり除去ユニット８に再度到達したときに異物除去を再実行させるようにしてもよい。
【００５５】
（作用）
図１１は、詰まり除去ユニット８の動作タイミングを示すタイミングチャートである。上流側から詰まり検出部９のカメラ９１と詰まり除去ユニット８がこの順で隣り合って設置されているものとする。図１１に示すように、ターレットテーブル５１が停止する各時間帯において、解析部が異物６３を検出していない状態では、その次の時間帯における詰まり除去ユニット８の駆動は行わない。一方、解析部が異物６３を検出すると、その次の時間帯、すなわち詰まりが生じている吸着ノズル６が詰まり除去ユニット８に到達した時間帯において、詰まり除去ユニット８を駆動させて、異物６３を除去する。
【００５６】
（効果）
このように、電子部品Ｄを離脱させた後に吸着ノズル６が移動する移動軌跡上に、吸着ノズル６の詰まりを検出する詰まり検出部９を備えるようにした。これにより、吸着ノズル６の詰まりを確認した上で詰まり除去ユニット８を駆動させることができ、吸着ノズル６に詰まりがない場合にまで詰まり除去ユニット８を駆動させることはないので、針部８１の磨耗が抑制され、針部８１の交換作業頻度が少なくなり、電子部品Ｄの生産効率が向上する。また、吸着ノズル６の異物除去の成否が確認可能となり、搬送途中での電子部品Ｄの落下トラブルを更に防止することができる。
【００５７】
（変形例２）
吸着ノズル６が吸引する吸引量を検出することでも詰まりは検出可能である。図１２は、変形例に係る詰まり検出部９の構成を示す側面図である。図１２に示すように、この詰まり検出部９は、接触部９５と流量計９６と流量解析部９７と制御部９４を備える。接触部９５は、吸着ノズル６の停止位置１１ａに設置され、吸着ノズル６の開口６２と対向する。この接触部９５は、上面に開口を有し、下降してきた吸着ノズル６と接触する。接触部９５の内部には、開口を一端とする中空管が通る。
【００５８】
吸着ノズル６に接触部９５が接触すると、吸着ノズル６の内部と接触部９５の内部が連通し、吸着ノズル６の吸引力が接触部９５内部に及び、接触部９５内に空気の流動が生じる。接触部９５の中空管内には流量計９６が設置されている。流量計９６は、接触部９５内部の流量を計測するセンサである。例えば、流量計９６は、例えば吸着ノズル６を下流側とする上流側に向けたピトー管である。
【００５９】
この流量解析部９７は、流量の閾値を予め記憶し、流量計９６が検出した流量と閾値とを比較する。比較の結果、閾値を流量が下回ると、吸着ノズル６に異物有りと判定する。制御部９４は、流量解析部９７が異物有りと判定すると、詰まり除去ユニット８を駆動させる。
【００６０】
このように、詰まり検出部９としては、吸着ノズル６の開口６２と接触する接触部９５と、接触部９５内の流量を計測する流量計９６とを備え、吸着ノズル６の吸引力の低下によって詰まりを判定するようにしてもよい。
【００６１】
（他の実施形態）
以上のように本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この新規な実施形態は、そのほかの様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００６２】
例えば、本実施形態では、円環状の経路１１を例に挙げたが、電子部品Ｄの搬送機構としては、直線搬送方式であってもよく、また複数のターレットテーブル５１で一の経路１１を構成するようにしてもよい。また、各種の処理ユニットは、上記した種類に限られず、置き換え、数の変更、及び配置順序の変更も可能である。
【００６３】
供給ユニット２及び収容ユニット３としては、パーツフィーダのほか、ダイシングされた電子部品Ｄが貼り付けられたウェハを保持するウェハホルダ、電子部品Ｄをアレイ状に並べたトレイを平面移動させるＸＹステージ等であってもよい。更に、供給ユニット２は、電子部品Ｄが収容されたキャリアテープが装着され、キャリアテープのポケットを経路１１との交差点に順に送り出すテープフィーダであってもよい。
【００６４】
供給ユニット２及び収容ユニット３がウェハホルダの場合、ウェハホルダと経路１１との間に中継装置を介在させてもよい。中継装置は、ウェハホルダから電子部品Ｄをピックアップし、吸着ノズル６に向けるロータリーピックアップ等である。ロータリーピックアップは、ウェハホルダと経路１１上の吸着ノズル６とに向かい合うように吸着ノズルを往復運動させる装置である。
【００６５】
針部８１を吸着ノズル６に差し込むタイミングは、吸着ノズル６が詰まり除去ユニット８に到達する度、及び詰まりが検出された時点について説明したが、同じ吸着ノズル６が経路１１を複数周して、詰まり除去ユニット８に複数回目に到達する度としてもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１  電子部品搬送装置
１１  経路
１１ａ  停止位置
１２  架台
２  供給ユニット
３  収容ユニット
４１  位置決めユニット
４２  電気特性測定ユニット
４３  外観検査ユニット
５１  ターレットテーブル
５２  ダイレクトドライブモータ
６  吸着ノズル
６１  中空管
６２  開口
６３  異物
６４  リング
７  進退駆動部
７１  ロッド
８  詰まり除去ユニット
８１  針部
８２  ブロア
８３  ベース
８３ａ  スリーブ体
８３ｂ  カムフォロア
８３ｃ  カム
８３ｄ  モータ
９  詰まり検出部
９１  カメラ
９２  光源
９３  画像解析部
９４  制御部
９５  接触部
９６  流量計
９７  流量解析部
Ｄ  電子部品
【要約】
【課題】吸着ノズルの開口が小径化しても異物が除去される電子部品搬送装置を提供する。
【解決手段】電子部品搬送装置１は、電子部品Ｄを供給する供給ユニット２と、供給ユニット２から供給された電子部品Ｄを収容する収容ユニット３を、電子部品Ｄを吸引する吸着ノズル６によって搬送する。電子部品Ｄを離脱させた後に吸着ノズル６が一時停止する経路１１内の１箇所には、針部８１が備えられる。針部８１は、極細の長棒である。吸着ノズル６の開口６２と針部８１は向かい合わせになったときに、吸着ノズル６と針部８１を相対的に動かし、吸着ノズル６の開口６２に針部８１を差し込むことで、吸着ノズル６の開口６２を貫通させ、吸着ノズル６の詰まりを除去する。
【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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