(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道と、該軌道に沿って該軌道の側方に設けられ被搬送物を一時的に保管する一時保管棚と、前記被搬送物を前記軌道に沿って搬送すると共に前記被搬送物を前記一時保管棚に移載可能な搬送車とを備える搬送システムであって、
前記一時保管棚は、所定箇所に反射板を有しており、
前記搬送車は、
前記軌道を走行する走行部と、
前記被搬送物を把持する把持部、及び前記把持部を下方に移動させる昇降部を含んでおり、前記側方に移動可能な移動部と、
前記移動部に設けられており、前記一時保管棚の前記反射板を検出可能な反射板検出部と
を有しており、
前記反射板は、前記移動部が前記一時保管棚に移載可能な位置まで伸長された場合に前記反射板検出部による検出が可能となり、前記一時保管棚に移載可能な位置まで伸長されていない場合には前記反射板検出部による検出は不可能となるように設けられており、
前記搬送車が、前記移動部を前記側方に移動させて前記一時保管棚と前記搬送車との間で前記被搬送物を移載する際に、前記反射板検出部が前記反射板を検出できるか否かを確認し、前記反射板検出部によって前記反射板を検出できない場合には、移載動作を停止する
ことを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記反射板検出部は、前記搬送車が下方の移載位置との間で被搬送物を移載する際に、前記反射板に加えて、前記搬送車の周囲に存在する移載の障害となる障害物を検出可能であることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記反射板検出部において、前記反射板を検出する反射板検出モードと、前記障害物を検出する障害物検出モードとを切替えるモード切替手段を更に備えることを特徴とする請求項２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記モード切替手段は、前記搬送車が前記一時保管棚に前記被搬送物を移載しているか否かに基づいて、前記反射板検出モードと前記障害物検出モードとを切替えることを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板が収容された容器等の被搬送物を、軌道に沿って走行する搬送車によって搬送する搬送システムの技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送システムとして、例えば天井に敷設された軌道上を複数の搬送車が走行することによって、被搬送物を搬送するものがある。搬送車は、軌道に沿うように設けられた一時保管棚（例えば、バッファ等）との間で、被搬送物の受け渡し（即ち、移載）が可能とされている。
【０００３】
被搬送物の移載は、軌道の真下に位置するバッファに対してのみならず、軌道から見て横方向に位置するバッファに対しても行うことが可能である。このような横移載を実現する搬送システムでは、搬送車に取り付けられた障害物センサを用いて、搬送車の下方に存在する障害物を検出するという技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２０８８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
横移載は、例えば軌道の真下方向への移載と比べて、側方への移動を伴う分だけ移載時の不具合が発生しやすい。具体的には、例えば横移載時に側方へ伸長する機構の故障等に起因して、被搬送物の移載を正常に行えなくなってしまう場合が考えられる。特に、前述の伸長機構がベルト駆動式である場合には、ベルト切れが発生することが考えられるが、このベルト切れを検知することは困難である。
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に係る技術では、単に搬送車周辺の障害物を検出するのみであって、横移載時の不具合を検出することについては何ら言及されていない。即ち、周囲の障害物を検出できたとしても、横移載時の動作異常については検出することができない。従って、特許文献１に係る技術には、移載時の不具合を十分なまでに低減させることが困難であるという技術的問題点がある。
【０００７】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、一時保管棚に対して好適に被搬送物を移載することが可能な搬送システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、軌道と、該軌道に沿って該軌道の側方に設けられ被搬送物を一時的に保管する一時保管棚と、前記被搬送物を前記軌道に沿って搬送すると共に前記被搬送物を前記一時保管棚に移載可能な搬送車とを備える搬送システムであって、前記一時保管棚は、所定箇所に反射板を有しており、前記搬送車は、前記軌道を走行する走行部と、前記被搬送物を把持する把持部、及び前記把持部を下方に移動させる昇降部を含んでおり、前記側方に移動可能な移動部と、前記移動部に設けられており、前記一時保管棚の前記反射板を検出可能な反射板検出部とを有しており、前記反射板は、前記移動部が前記一時保管棚に移載可能な位置まで伸長された場合に前記反射板検出部による検出が可能となり、前記一時保管棚に移載可能な位置まで伸長されていない場合には前記反射板検出部による検出は不可能となるように設けられており、前記搬送車が、前記移動部を前記側方に移動させて前記一時保管棚と前記搬送車との間で前記被搬送物を移載する際に、前記反射板検出部が前記反射板を検出できるか否かを確認し、前記反射板検出部によって前記反射板を検出できない場合には、移載動作を停止する。
【０００９】
本発明の搬送システムによれば、その動作時には、例えば天井に敷設された軌道に沿って走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）等の搬送車によって、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等の被搬送物が搬送される。軌道上には、複数の搬送車が備えられており、各搬送車は各々に与えられた搬送命令に基づいて被搬送物を搬送する。
【００１０】
本発明の搬送システムでは、軌道に沿って該軌道の側方に一時保管棚が設けられている。即ち、軌道から側方に逸れた位置に一時保管棚が設けられている。一時保管棚は、搬送車によって搬送される被搬送物を一時的に保管することが可能に構成されている。
【００１１】
搬送車は、軌道を走行する走行部を有している。また、被搬送物を把持する把持部及び把持部を下方に移動させる昇降部を含んでおり、側方（即ち、一時保管棚の方向）に移動する移動部を有している。被搬送物の移載時には、移動部に含まれる各部位の位置が調整されることで被搬送物の移載が行われる。例えば、搬送車及び一時保管棚間で被搬送物を移載する際には、先ず移動部自体が側方に移動され、続いて昇降部が把持部を一時保管棚へと降ろす。このような移動部による側方移動を伴う移載を、以下では適宜「横移載」と称する。
【００１２】
本発明に係る一時保管棚は、所定箇所に反射板を有するように構成されている。一方で、搬送車における移動部には、一時保管棚における反射板を検出する反射板検出部が設けられている。反射板検出部は、移動部における把持部に設けられてもよいし、昇降部に設けられてもよい。或いは、移動部の他の部分に設けられてもよい。反射板は、例えば反射率の高い金属等によって構成されており、反射板検出部は、例えば光を照射すると共に反射光を検出するような光センサ等によって構成されている。尚、一時保管棚に設けられる反射板は、必ずしもリフレクタのような高反射体でなくともよく、搬送車に設けられた反射板検出部によって存在（即ち、位置）が確認できるようなものであればよい。
【００１３】
ここで本発明では特に、一時保管棚及び搬送車間で、移動部が側方に移動して被搬送物を移載する際（即ち、横移載時）には、反射板検出部による反射板の検出が行われる。尚、本発明に係る「移載する際」とは、一時保管棚及び搬送車間で被搬送物が受け渡しされる瞬間を意味するものではなく、移載動作が開始されてから完了するまでの期間を意味している。ここで、反射板検出部によって反射板が検出できない場合には、移載動作の異常が検出され、移載動作が停止される。即ち、装置故障やシステムの不具合等により、横移載動作が正常に行われていないと判定され、移載動作が中止される。
【００１４】
上述したように移載動作を停止させれば、異常が検出されているにもかかわらず、移載動作が続行されてしまうことを防止できる。従って、移載動作の異常に起因して発生する様々な不具合を未然に防ぐことが可能である。移載動作を中止する場合には、典型的には、システム全体の動作が停止されるが、移載動作の異常が検出された搬送車或いはシステムの一部分の停止で済む場合には、部分的な停止であっても構わない。
【００１５】
一時保管棚への移載は、例えば軌道の真下に位置するポート等への移載と比べて、側方への移動を伴う分だけ移載時の不具合が発生しやすい。よって、上述したような異常検出手段が設けられていないとすれば、異常に気付かず移載が行われ、被搬送物の落下や破損を招くおそれがある。
【００１６】
しかるに本発明では、上述したように、一時保管棚に設けられた反射板を搬送車の移動部に設けられた反射板検出部が検出することで、移載動作の異常を確実に検出することができる。即ち、反射板が設けられる「所定箇所」は、正常な移載動作であれば反射板検出部によって検出可能な位置であって、異常な移載動作では検出できないような位置であり、この反射板を利用することで、比較的簡単な構成で移載動作の異常を検出することが可能となる。
【００１７】
以上説明したように、本発明の搬送システムによれば、移載動作の異常を確実に検出できるため、一時保管棚に対して好適に被搬送物を移載することが可能である。
【００１８】
本発明の搬送システムの一態様では、前記反射板検出部は、前記搬送車が下方の移載位置との間で被搬送物を移載する際に、前記反射板に加えて、前記搬送車の周囲に存在する移載の障害となる障害物を検出可能である。
【００１９】
この態様によれば、反射板検出部によって、搬送車の周囲に存在する障害物が検出されるため、反射板を用いた移載動作の異常検出に加えて、障害物に起因する不具合を防止することができる。
【００２０】
ここで検出される障害物は、例えば搬送システムの周囲にいる作業員等である。反射板検出部において作業員が検出された場合には、例えば搬送システムの動作が一時停止される。このようにすれば、システムの安全性を効果的に向上させることが可能となる。
【００２１】
上述した反射板検出部が障害物を検出する態様では、前記反射板検出部において、前記反射板を検出する反射板検出モードと、前記障害物を検出する障害物検出モードとを切替えるモード切替手段を更に備えるように構成してもよい。
【００２２】
この場合、反射板検出部は、反射板を検出する反射板検出モードと、障害物を検出する障害物検出モードとの２種類のモードを有している。反射板検出モードにおいては、上述したように反射板が検出されない場合に移載動作が停止される。一方で、障害物検出モードにおいては、障害物が検出された場合に走行状況の異常が検出される。
【００２３】
このように、反射板検出モードでは、反射板検出部において検出が行われない場合に異常が検出され、障害物検出モードでは、逆に反射板検出部において検出が行われた場合に異常が検出される。即ち、反射板検出モード及び障害物検出モードでは、異常を検出する際の判断基準が異なる。従って、反射板の検出及び障害物の検出を、１つのセンサで行うことは容易には考えられない。
【００２４】
これに対し本態様では、反射板検出モード及び障害物検出モードを切替えるモード切替手段が備えられている。このため、反射板の検出及び障害物の検出を状況に応じて適宜切替えて行うことが可能である。
【００２５】
上述したモード切替手段を備える態様では、前記モード切替手段は、前記搬送車が前記一時保管棚に前記被搬送物を移載しているか否かに基づいて、前記反射板検出モードと前記障害物検出モードとを切替えるように構成してもよい。
【００２６】
この場合、モード切替手段は、先ず搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載しているかを判定する。具体的には、搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載するような動作を開始しているか否か、或いは一時保管棚に被搬送物を移載するように搬送命令を受けているか否かを判定する。
【００２７】
続いて、モード切替手段は、搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載していると判定した場合には、反射板検出部のモードを反射板検出モードに切替える。他方、搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載していないと判定した場合には、反射板検出部のモードを障害物検出モードに切替える。
【００２８】
上述したように、反射板の検出は、横移載時の動作異常を検出するための工程である。よって、反射板の検出は、搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載する場合に行われれば済む。従って、搬送車が一時保管棚に被搬送物を移載しているか否かを判断基準とすれば、容易且つ的確にモードの切替えを行うことが可能である。
【００２９】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。
【図２】車上コントローラの構成を示すブロック図である。
【図３】搬送車の構成を示す側面図である。
【図４】ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図（その１）である。
【図５】ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図（その２）である。
【図６】実施形態に係る搬送システムのモード切替え動作を示すフローチャートである。
【図７】実施形態に係る搬送システムの一時保管棚へのＦＯＵＰ移載時の動作を示すフローチャートである。
【図８】ＦＯＵＰ存在確認動作を示す側面図（その１）である。
【図９】正常時の反射板検出動作を示す側面図（その１）である。
【図１０】ＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図である。
【図１１】異常時の反射板検出動作を示す側面図（その１）である。
【図１２】実施形態に係る搬送システムの一時保管棚からのＦＯＵＰ移載時の動作を示すフローチャートである。
【図１３】ＦＯＵＰ存在確認動作を示す側面図（その２）である。
【図１４】正常時の反射板検出動作を示す側面図（その２）である。
【図１５】異常時の反射板検出動作を示す側面図（その２）である。
【図１６】障害物の検出動作を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３２】
先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を示す平面図である。また図２は、車上コントローラの構成を示すブロック図である。
【００３３】
図１において、本実施形態に係る搬送システムは、軌道１００と、搬送車２００と、コントローラ３００とを備えて構成されている。
【００３４】
軌道１００は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムやステンレス等の金属から構成される。
【００３５】
搬送車２００は、軌道１００上に複数配置されており、軌道１００上を走行することによって被搬送物であるＦＯＵＰを搬送することが可能である。
【００３６】
また搬送車２００は、車上コントローラ２０５を夫々有している。車上コントローラ２０５は、コントローラ３００から搬送指令を受け取り、搬送車２００の走行を制御する。尚、車上コントローラ２０５は、搬送車２００の走行を制御するだけでなく、搬送車２００に備えられた各機器を総括的に制御するという機能も有している。
【００３７】
図２において、車上コントローラ２０５は、走行制御部２０６、モード切替部２０７、異常検出部２０８及び移載制御部２０９を備えて構成されている。
【００３８】
走行制御部２０６は、コントローラ３００から受け取った搬送命令に応じて、搬送車２００の走行を制御する。
【００３９】
モード切替部２０７は、本発明の「モード切替手段」の一例であり、後述する障害物検出センサにおけるモードを、異常検出モード又は障害物検出モードに切替える。
【００４０】
異常検出部２０８は、障害物検出センサが異常検出モードとされている場合に、移載動作の異常を検出する。移載制御部２０９は、異常検出部２０８において移載動作の異常が検出された場合に、移載動作を中止させる。
【００４１】
尚、図２では、車上コントローラ２０５に含まれる部位のうち、本実施形態に関わりの深いもののみを図示したが、この他にも搬送車２００の制御を行うための様々な機能を有する部位が備えられる。
【００４２】
図１に戻り、コントローラ３００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成されており、車上コントローラ２０５を介して、搬送車２００に搬送指令を与えることが可能に構成されている。
【００４３】
尚、ここでの図示は省略しているが、軌道１００に沿った位置には、ＦＯＵＰを一時的に保管する一時保管棚が複数設けられている。この一時保管棚の構成については、後に詳述する。
【００４４】
次に、搬送車のより具体的な構成について、図３を参照して説明する。ここに図３は、搬送車の構成を示す側面図である
【００４５】
図３において、搬送車２００は、走行部２１０、本体部２２０、移動部２３０、昇降部２３５、昇降ベルト２４０、把持部２５０、ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０、障害物検出センサ２７０及び傾き防止装置２８０を備えて構成されている。
【００４６】
搬送車２００は、走行部２１０が例えばリニアモータ等によって推進力を与えることで、走行ローラ２１５が転動されつつ、軌道１００に沿って走行する。走行部２１０の下面には、本体部２２０が吊り下がる形で取り付けられている。
【００４７】
本体部２２０には、移動部２３０が取り付けられている。移動部２３０は、軌道１００の側方（即ち、図における左右方向）に移動することが可能である。移動部２３０の下面には、昇降部２３５が取り付けられている。
【００４８】
昇降部２３５の下面には、被搬送物４００を把持する把持部２５０が昇降ベルト２４０によって取り付けられている。把持部２５０は、昇降ベルト２４０を巻き出す或いは巻き取ることで、本体部２２０に対し昇降可能である。尚、図３では、説明の便宜上、昇降部２３５から昇降ベルト２４０が一部巻き出されている状態を図示しているが、昇降ベルト２４０は、移載動作を行う際を除いては殆ど巻き取られ、昇降部２３５と把持部２５０とは互いに当接した状態とされる（図８参照）。これにより、搬送中のＦＯＵＰ４００の揺れを抑制することができる。
【００４９】
ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０は、例えば光センサ等であり、本体部２２０に設けられている。ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０は、軌道１００の側方に設けられる一時保管棚にＦＯＵＰが存在しているか否かを確認できるように構成されている。尚、ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０は、一時保管棚のＦＯＵＰを検出できるのであれば、本体部２２０以外の部位に設けられていてもよい。
【００５０】
障害物検出センサ２７０は、本発明の「反射板検出部」の一例であり、昇降部２３５の中心付近に設けられている。但し、障害物検出センサ２７０は、昇降部２３５ではなく、移動部２３０や把持部２５０等に設けられてもよい。障害物検出センサ２７０は、一時保管棚に設けられた反射板を検出可能に構成されている。また、搬送車２００の下側を走査して搬送車の周囲の障害物を検出可能に構成されている。
【００５１】
傾き防止装置２８０は、搬送車２００が横移載を行う際に、軌道１００と接触するように伸びることで、搬送車２００のバランスが崩れてしまうことを防止する。
【００５２】
次に、搬送車によるＦＯＵＰの移載方法について、図４及び図５を参照して説明する。ここに図４及び図５は夫々、ＦＯＵＰの移載方法を示す斜視図である。
【００５３】
図４において、搬送車２００が軌道１００の真下に位置する一時保管棚５１０上のＦＯＵＰ４００を移載する際には、先ず搬送車２００が軌道１００上を走行して、一時保管棚５１０上に設置されたＦＯＵＰ４００の上方に停止する。
【００５４】
続いて、図に示すように、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出されることで把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。そして、把持部２５０とＦＯＵＰ４００との位置の微調整が行われ、ＦＯＵＰ４００が把持される。
【００５５】
ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降ベルト２４０が巻き取られ、把持部２５０及び把持されたＦＯＵＰ４００が本体部２２０の位置まで上昇する。そして、再び搬送車２００が軌道１００上を走行して、ＦＯＵＰ４００が搬送される。
【００５６】
図５において、ＦＯＵＰ４００が軌道１００の側方にそれた位置にある一時保管棚５２０に設置されている場合には、移動部２３０が軌道１００の側方に移動した後に、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０がＦＯＵＰ４００の位置まで降下する。このように動作することで、軌道１００からＦＯＵＰ４００の横移載を行うことが可能となる。
【００５７】
次に、本実施形態に係る搬送システムの異常検出動作について、図６から図１５を参照して詳細に説明する。
【００５８】
先ず、異常検出のモード切替え動作について、図６を参照して説明する。ここに図６は、本実施形態に係る搬送システムのモード切替え動作を示すフローチャートである。
【００５９】
図６において、本実施形態に係る搬送システムでは、搬送車２００における異常検出モードを切替えるために、先ず搬送車２００に対して搬送命令が出されているか否かを判定する（ステップＳ０１）。搬送命令が出されている場合（ステップＳ０１：ＹＥＳ）、搬送命令に対応するＦＯＵＰ４００の移載が、横移載（即ち、一時保管棚５２０への移載）であるか否かを判定する（ステップＳ０２）。
【００６０】
ここで、搬送命令に対応するＦＯＵＰ４００の移載が横移載であると判定されると（ステップＳ０２：ＹＥＳ）、モード切替部２０７（図２参照）によって、搬送車２００の異常検出モードが反射板検出モードに切替えられる。一方で、搬送命令が出されていない場合（ステップＳ０１：ＮＯ）や、横移載でない場合（ステップＳ０２：ＮＯ）、搬送車２００の異常検出モードが、障害物検出モードに切替えられる。即ち、横移載が行われる場合には、反射板検出モードが選択され、それ以外の場合には、障害物検出モードが選択される。
【００６１】
次に、搬送車２００が一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００を移載する場合の異常検出動作について、図７から図１１を参照して説明する。ここに図７は、本実施形態に係る搬送システムの一時保管棚へのＦＯＵＰ移載時の動作を示すフローチャートである。また図８は、ＦＯＵＰ存在確認動作を示す側面図（その１）であり、図９は、正常時の反射板検出動作を示す側面図（その１）である。更に図１０は、ＦＯＵＰ移載時の動作を示す側面図であり、図１１は、異常時の反射板検出動作を示す側面図（その１）である。
【００６２】
図７において、ＦＯＵＰ４００を一時保管棚５２０に移載する搬送車２００は、先ず対象の一時保管棚５２０に対応する位置まで軌道１００を走行する（ステップＳ１１）。即ち、一時保管棚５２０に対して、ＦＯＵＰ４００を移載可能な位置に移動する。
【００６３】
続いて搬送車２００は、ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０によって、一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００が存在しているか否かを確認する（ステップＳ１２）。即ち、これからＦＯＵＰ４００を移載しようとする一時保管棚５２０に、既にＦＯＵＰ４００が置かれていないかを確認する（図８参照）。
【００６４】
ここで、一時保管棚５２０に既にＦＯＵＰ４００が存在している場合（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、一時保管棚５２０への移載を行うことはできないので、異常検出部２０８（図２参照）が移載動作の異常を検出する（ステップＳ１３）。異常が検出されると、移載制御部２０９（図２参照）によって移載動作が中止され、コントローラ３００に対して移載を中止したことが報告される。尚、移載動作の中止に代えて、他の動作（例えば、移載動作のやり直し、移載動作の変更等）を行うようにしても構わない。
【００６５】
一方で、一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００が存在しない場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、移動部２３０が駆動され、軌道１００の側方に伸長する（ステップＳ１４）。これにより、ＦＯＵＰ４００を把持した把持部２５０が、一時保管棚５２０の真上に移動される（図９参照）。
【００６６】
続いて搬送車２００は、障害物検出センサ２７０によって、一時保管棚５２０に設けられた反射板６００を検出できるか否かを確認する（ステップＳ１５）。ここで特に、反射板６００は、図９に示すように、移動部２３０が完全に伸長された場合に検出可能な位置に設けられている。よって、反射板６００が検出されると（ステップＳ１５：ＹＥＳ）、横移載動作が正常に行われていると判断され、実際にＦＯＵＰ４００の移載動作が行われる。
【００６７】
具体的には、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０及びＦＯＵＰ４００が一時保管棚５２０まで降下する（ステップＳ１６）。即ち、図１０に示すような状態となる。更に、把持部２５０が駆動され、ＦＯＵＰ４００が離される（ステップＳ１７）。ＦＯＵＰ４００が離されると、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き取られ（ステップＳ１８）、移動部２３０が本体部２２０に収納される（ステップＳ１９）。このようにして、ＦＯＵＰ４００の移載動作は完了する。
【００６８】
他方、障害物検出センサ２７０によって反射板６００が検出できない場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、異常検出部２０８によって移載動作に異常が発生したと判断され、移載制御部２０９によってシステムが一時的に停止される（ステップＳ１３）。反射板６００は、上述したように移動部２３０が完全に伸長された場合に検出可能な位置に設けられている。よって、反射板６００が検出されない場合には、何らかの原因によって、移動部２３０が完全に伸長されていないと考えることができる。
【００６９】
図１１において、例えば移動部２３０が故障し、中途半端な位置で停止してしまったとすると、仮に以降の移載動作（即ち、ステップＳ１６〜ステップＳ１９）が行われたとしても、ＦＯＵＰ４００を正常に移載することはできない。例えば、図に示すような位置で移載動作が行われたとすると、ＦＯＵＰ４００が一時保管棚５２０に収まらず、落下してしまうおそれもある。
【００７０】
これに対し、本実施形態に係る搬送システムは、障害物検出センサ２７０及び反射板６００によって横移載動作の異常を検出することができるため、極めて好適にＦＯＵＰ４００の横移載を行うことができる。
【００７１】
次に、搬送車２００が一時保管棚５２０からＦＯＵＰ４００を移載する場合の異常検出動作について、図１２から図１５を参照して説明する。ここに図１２は、本実施形態に係る搬送システムの一時保管棚からのＦＯＵＰ移載時の動作を示すフローチャートである。また図１３は、ＦＯＵＰ存在確認動作を示す側面図（その２）であり、図１４は、正常時の反射板検出動作を示す側面図（その２）である。更に図１５は、異常時の反射板検出動作を示す側面図（その２）である。
【００７２】
図１２において、ＦＯＵＰ４００を一時保管棚５２０から移載する搬送車２００は、先ず対象の一時保管棚５２０に対応する位置まで軌道１００を走行する（ステップＳ２１）。即ち、一時保管棚５２０から、ＦＯＵＰ４００を移載可能な位置に移動する。
【００７３】
続いて搬送車２００は、ＦＯＵＰ存在確認センサ２６０によって、一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００が存在しているか否かを確認する（ステップＳ２２）。即ち、これからＦＯＵＰ４００を移載しようとする一時保管棚５２０に、対象となるＦＯＵＰ４００が置かれているかを確認する（図１３参照）。
【００７４】
ここで、一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００が存在していない場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、ＦＯＵＰ４００の移載を行うことはできないので、異常検出部２０８が移載動作の異常を検出する（ステップＳ２３）。異常が検出されると、移載制御部２０９（図２参照）によって移載動作が中止され、コントローラ３００に対して移載を中止したことが報告される。
【００７５】
一方で、一時保管棚５２０にＦＯＵＰ４００が存在している場合（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、移動部２３０が駆動され、軌道１００の側方に伸長する（ステップＳ２４）。これにより、ＦＯＵＰ４００を把持する把持部２５０が、一時保管棚５２０の真上に移動される（図１４参照）。
【００７６】
続いて搬送車２００は、障害物検出センサ２７０によって、一時保管棚５２０に設けられた反射板６００を検出できるか否かを確認する（ステップＳ２５）。ここで特に、反射板６００は、図１４に示すように、移動部２３０が完全に伸長された場合に検出可能な位置に設けられている。よって、反射板６００が検出されると（ステップＳ２５：ＹＥＳ）、横移載動作が正常に行われていると判断され、実際にＦＯＵＰ４００の移載動作が行われる。
【００７７】
具体的には、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き出され、把持部２５０及びＦＯＵＰ４００が一時保管棚５２０まで降下する（ステップＳ２６）。更に、把持部２５０が駆動され、ＦＯＵＰ４００が把持される（ステップＳ２７）。ＦＯＵＰ４００が把持されると、昇降部２３５によって昇降ベルト２４０が巻き取られ（ステップＳ２８）、移動部２３０が本体部２２０に収納される（ステップＳ２９）。このようにして、ＦＯＵＰ４００の移載動作は完了する。
【００７８】
他方、障害物検出センサ２７０によって反射板６００が検出できない場合（ステップＳ１５：ＮＯ）、異常制御部２０８によって移載動作に異常が発生したと判断され、移載制御部２０９によってシステムが一時的に停止される（ステップＳ２３）。反射板６００は、上述したように移動部２３０が完全に伸長された場合に検出可能な位置に設けられている。よって、反射板６００が検出されない場合には、何らかの原因によって、移動部２３０が完全に伸長されていないと考えることができる。
【００７９】
図１５において、例えば移動部２３０が故障し、中途半端な位置で停止してしまったとすると、仮に以降の移載動作（即ち、ステップＳ２６〜ステップＳ２９）が行われたとしても、ＦＯＵＰ４００を正常に移載することはできない。例えば、図に示すような位置で移載動作が行われたとすると、把持部２５０はＦＯＵＰ４００を把持できない。
【００８０】
これに対し、本実施形態に係る搬送システムは、障害物検出センサ２７０及び反射板６００によって横移載動作の異常を検出することができるため、極めて好適にＦＯＵＰ４００の横移載を行うことができる。
【００８１】
次に、障害物検出モード時の動作について、図１６を参照して説明する。ここに図１６は、障害物の検出動作を示す側面図である。
【００８２】
図１６において、例えばポート５１０へのＦＯＵＰ４００移載時には、モード切替部２０７によって、搬送車２００の異常検出モードが障害物検出モードとされる。障害物検出センサ２７０は、障害物検出モードとされると、反射板６００の検出に代えて、搬送車２００の周囲の障害物の検出を行う。
【００８３】
具体的には、障害物検出センサ２７０は、図に示すような作業員８００を障害物として検出する。作業員８００が障害物として検出されると、システムの動作が一時的に停止される。このようにすれば、作業員８００の安全を確保しつつ、好適にＦＯＵＰ４００の搬送及び移載が行える。
【００８４】
以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、ＦＯＵＰ４００移載時におけるシステムの異常を確実に検出できる。従って、極めて好適にＦＯＵＰ４００を搬送及び移載することが可能である。
【００８５】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００８６】
１００…軌道、２００…搬送車、２１０…走行部、２１５…走行ローラ、２２０…本体部、２３０…移動部、２３５…昇降部、２４０…昇降ベルト、２５０…把持部、２６０…ＦＯＵＰ存在確認センサ、２７０…障害物検出センサ、２８０…傾き防止装置、３００…コントローラ、４００…ＦＯＵＰ、５１０…ポート、５２０…一時保管棚、６００…反射板、８００…作業員
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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