(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを碁盤目状にダイシングして形成した多数のダイが貼着されたダイシングシート上のダイをピックアップする吸着ノズルと、前記吸着ノズルでピックアップするダイの貼着部分を前記ダイシングシートの下面側から吸引して該ダイの貼着部分をシート剥離する剥離ステージと、前記剥離ステージを駆動する剥離ステージ駆動手段とを備え、前記剥離ステージは、前記ダイシングシートを吸引するシート吸引孔を有し、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着保持しながら、該ダイの貼着部分の手前側から前記剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイの貼着部分を前記シート吸引孔で徐々にシート剥離するダイピックアップ装置において、
前記シート吸引孔は、今回ピックアップするダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離する第１吸引孔と、次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離する第２吸引孔とからなり、前記第２吸引孔の面積が前記第１吸引孔の面積よりも狭くなるように形成され、
前記剥離ステージ駆動手段は、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイをピックアップする毎に、前記剥離ステージを次にピックアップするダイの貼着部分の手前側へ移動させて該剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせて前記第１吸引孔で該ダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離すると共に、前記第２吸引孔で該ダイの次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離することを特徴とするダイピックアップ装置。
【請求項２】
前記剥離ステージ駆動手段は、前記剥離ステージをダイの貼着部分の手前側からスライドさせる際に、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離された部分については未剥離部分よりもスライド速度を速くすることを特徴とする請求項１に記載のダイピックアップ装置。
【請求項３】
前記第２吸引孔は、複数のダイの貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離する共に、ピックアップ順序が後の方がシート剥離面積が小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイピックアップ装置。
【請求項４】
前記第１吸引孔及び前記第２吸引孔には、それぞれスライド方向側の縁部に凸部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
【請求項５】
前記第１吸引孔及び前記第２吸引孔は、Ｌ字状に連なるように形成され、該第１吸引孔が該第２吸引孔よりもスライド方向に突出していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイシングシートに貼着されたダイを吸着ノズルでピックアップする際に、吸着ノズルでピックアップするダイの貼着部分をダイシングシートの下面側から吸引して該ダイの貼着部分をシート剥離するダイピックアップ装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
ダイシングシートに貼着されたダイを剥離する方式には、突き上げ剥離方式とスライド剥離方式とがある。突き上げ剥離方式では、特許文献１（特開２０１０−１２９９４９号公報）に記載されているように、碁盤目状にダイシングされたウエハが貼着された伸縮可能なダイシングシート上のウエハから分割したダイを吸着ノズルで吸着してピックアップする際に、ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分をその真下から突き上げポットで突き上げて該ダイの貼着部分をダイシングシートから部分的に剥離させながら、吸着ノズルで該ダイを吸着してダイシングシートからピックアップするようにしている。
【０００３】
しかし、ダイが薄くて割れやすいダイの場合は、上記突き上げ剥離方式ではダイが割れてしまう可能性があるため、スライド剥離方式が用いられる。スライド剥離方式では、特許文献２（特許第３２０９７３６号公報）に記載されているように、多数のダイが貼着されたダイシングシート上のダイをピックアップする吸着ノズル（コレット）と、シート吸引孔を有する剥離ステージとを備え、吸着ノズルでダイシングシート上のダイを吸着保持しながら、該ダイの貼着部分の手前側から剥離ステージのシート吸引孔を該ダイの貼着部分の真下へスライドさせることで、該ダイの貼着部分を徐々にシート剥離するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１２９９４９号公報
【特許文献２】特許第３２０９７３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ダイピックアップ装置のタクトタイムを短縮するには、シート剥離速度を速くしてシート剥離に要する時間を短くすることが効果的であるが、上記特許文献２のようなスライド剥離方式では、薄くて割れやすいダイをシート剥離するため、剥離ステージのスライド速度を速くすると、薄いダイが割れてしまったり、シート剥離に失敗する可能性がある。このシート剥離の失敗を防ぐには、吸引力を大きくすれば良いが、吸引力を大きくすると、薄いダイが割れやすくなるため、吸引力を大きくできない。このため、剥離ステージのスライド速度を速くすることができず、シート剥離に要する時間が長くなってダイピックアップ装置のタクトタイムが長くなるという欠点があった。
【０００６】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、シート剥離に要する時間を短くしてタクトタイムを短縮できるダイピックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、ウエハを碁盤目状にダイシングして形成した多数のダイが貼着されたダイシングシート上のダイをピックアップする吸着ノズルと、前記吸着ノズルでピックアップするダイの貼着部分を前記ダイシングシートの下面側から吸引して該ダイの貼着部分をシート剥離する剥離ステージと、前記剥離ステージを駆動する剥離ステージ駆動手段とを備え、前記剥離ステージは、前記ダイシングシートを吸引するシート吸引孔を有し、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着保持しながら、該ダイの貼着部分の手前側から前記剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイの貼着部分を前記シート吸引孔で徐々にシート剥離するダイピックアップ装置において、前記シート吸引孔は、今回ピックアップするダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離する第１吸引孔と、次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離する第２吸引孔とからなり、前記第２吸引孔の面積が前記第１吸引孔の面積よりも狭くなるように形成され、前記剥離ステージ駆動手段は、シート剥離したダイを前記吸着ノズルでピックアップする毎に、前記剥離ステージを次にピックアップするダイの貼着部分の手前側へ移動させて該剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせて前記第１吸引孔で該ダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離すると共に、前記第２吸引孔で該ダイの次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離するようにしたものである。
【０００８】
この構成では、剥離ステージのシート吸引孔は、今回ピックアップするダイの貼着部分をシート剥離する第１吸引孔の他に、次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離する第２吸引孔を有するため、今回ピックアップするダイの貼着部分を第１吸引孔でシート剥離する際に、同時に次にピックアップするダイの貼着部分の一部を第２吸引孔で予備的にシート剥離することが可能となる。これにより、各ダイの貼着部分に対してそれぞれ２回のシート剥離動作が行われるため、従来のように各ダイの貼着部分を１回のシート剥離動作でシート剥離する場合と比較して、剥離ステージのスライド速度を速くしても、シート剥離性能を確保できると共に、ダイが割れないように吸引力を比較的小さく設定することができる。これにより、シート剥離に要する時間を短くしてタクトタイムを短縮することができる。
【０００９】
本発明は、剥離ステージをダイの貼着部分の手前側から該ダイの貼着部分の真下へスライドさせる速度を一定速度としても良いが、今回ピックアップするダイの貼着部分は、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離されているため、請求項２のように、剥離ステージをダイの貼着部分の手前側からスライドさせる際に、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離された部分については未剥離部分よりもスライド速度を速くするようにすると良い。このようにすれば、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離されなかった未剥離部分についてのみ剥離ステージのスライド速度を遅くして、ゆっくりとシート剥離することができるため、シート剥離に要する時間を効果的に短くしてタクトタイムを短縮することができる。
【００１０】
本発明は、第２吸引孔による予備的なシート剥離を１つのダイの貼着部分についてのみ行うようにしても良いし、或は、請求項３のように、第２吸引孔は、複数のダイの貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離する共に、ピックアップ順序が後の方がシート剥離面積が小さくなるように形成しても良い。このようにすれば、シート剥離性能を高めることができる。
【００１１】
また、請求項４のように、第１吸引孔及び第２吸引孔には、それぞれスライド方向側の縁部に凸部を設けるようにしても良い。このようにすれば、シート剥離するダイの貼着部分を凸部で浮かせながらシート剥離することができ、シート剥離性能を高めることができる。
【００１２】
本発明は、第１吸引孔と第２吸引孔をそれぞれ１個の孔で形成しても良いし、複数の孔で形成しても良い。第１吸引孔と第２吸引孔をそれぞれ１個の孔で形成する場合は、請求項５のように、第１吸引孔及び第２吸引孔をＬ字状に連なるように形成し、該第１吸引孔を該第２吸引孔よりもスライド方向に突出させるようにすると良い。この場合、第１吸引孔のスライド方向側端部の位置と第２吸引孔のスライド方向側端部の位置とのずれ量によって第２吸引孔で予備的にシート剥離する面積が決まり、例えば、第１吸引孔のスライド方向側端部の位置を第２吸引孔のスライド方向側端部の位置よりもダイのスライド方向長さの１／２の寸法だけずらした場合は、予備的にシート剥離する面積はダイの貼着面積のほぼ１／２となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は本発明の実施例１におけるダイピックアップ装置の斜視図である。
【図２】図２は実施例１のダイピックアップ装置をセットした部品実装機の斜視図である。
【図３】図３は実施例１のダイのシート剥離のスライド動作開始時の状態（ダイシングシートの図示を省略）を示す斜視図である。
【図４】図４は実施例１のダイのシート剥離のスライド動作終了時の状態（ダイシングシートの図示を省略）を示す斜視図である。
【図５】図５は実施例１のダイシングシート上の各ダイと剥離ステージの第１吸引孔と第２吸引孔との位置関係を説明する平面図である。
【図６】図６は実施例１のダイのシート剥離のスライド動作の途中の状態を示す部分拡大断面図である。
【図７】図７は実施例２におけるダイシングシート上の各ダイと剥離ステージの第１吸引孔と第２吸引孔との位置関係を説明する平面図である。
【図８】図８は実施例３におけるダイシングシート上の各ダイと剥離ステージの第１吸引孔と第２吸引孔との位置関係を説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態を具体化した３つの実施例１〜３を説明する。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例１を図１乃至図６を用いて説明する。
図１に示すように、本実施例のダイピックアップ装置１１は、マガジン保持部１２（トレイタワー）、パレット引き出しテーブル１３、パレット引き出し機構１４、サブロボット１５、シャトル機構１６、反転機構１７、剥離ステージ１８（図３〜図６参照）、ＮＧコンベア１９、ノズルチェンジャー２０等を備えた構成となっている。このダイピックアップ装置１１は、図２に示すように、部品実装機２５のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル１３を差し込んだ状態にセットされる。
【００１６】
ダイピックアップ装置１１のマガジン保持部１２内に上下動可能に収納されたマガジンには、ダイ２１を載せたウエハパレット２２と、トレイ部品を載せたトレイパレット（図示せず）とを多段に混載できるようになっている。ウエハパレット２２は、碁盤目状にダイシングされたウエハ（多数のダイ２１）を貼着した伸縮可能なダイシングシート２９（図６参照）を、円形の開口部を有するウエハ装着板２３にエキスパンドした状態で装着し、該ウエハ装着板２３をパレット本体２８にねじ止め等により取り付けた構成となっている。尚、ダイシングシート２９のエキスパンドは、どのような方法で行っても良く、例えば、ダイシングシート２９を下方から円形リングで押し上げた状態でウエハ装着板２３に装着すれば良い。
【００１７】
パレット引き出し機構１４は、ウエハパレット２２、トレイパレットのいずれかのパレットをマガジン保持部１２内のマガジンからパレット引き出しテーブル１３上に引き出すものであり、パレット上の部品やダイを部品実装機２５（図２参照）の吸着ノズル（図示せず）でピックアップする位置（以下「部品実装機用引き出し位置」という）と、マガジンに近い引き出し位置（以下「サブロボット用引き出し位置」という）とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成されている。部品実装機用引き出し位置は、パレット引き出しテーブル１３の前端の位置（マガジンから最も離れた位置）であり、サブロボット用引き出し位置は、サブロボット１５の吸着ノズル３０（図３参照）でウエハパレット２２のダイシングシート２９上のダイ２１を吸着可能な位置である。
【００１８】
サブロボット１５は、マガジン保持部１２の背面部（サブロボット用引き出し位置側の面）のうちのパレット引き出しテーブル１３の上方に位置して設けられ、ＸＺ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及び垂直方向）に移動するように構成されている。尚、サブロボット１５の移動方向をＸ方向のみとし、ウエハパレット２２に対するサブロボット１５のＹ方向（パレット引き出し方向）の相対的位置は、パレット引き出し機構１４によってウエハパレット２２をＹ方向に徐々に引き出すことで制御している。
【００１９】
このサブロボット１５には、複数本の吸着ノズル３０（図３参照）が下向きに設けられ、ピックアップするダイ２１のサイズに応じてノズルチェンジャー２０で吸着ノズル３０を交換できるようになっている。吸着ノズル３０の下端部には、ピックアップするダイ２１とほぼ同一のサイズ又はそれより少し小さいサイズのパッド部３０ａが設けられている。サブロボット１５には、カメラ２４が設けられ、このカメラ２４の撮像画像に基づいて、ピックアップ対象となるダイ２１の位置又はダイ２１の吸着姿勢を確認できるようになっている。
【００２０】
シャトル機構１６は、サブロボット１５の吸着ノズル３０でピックアップされた部品をシャトルノズル２６で受け取って部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップ可能な位置まで移送する。
【００２１】
反転機構１７は、サブロボット１５から受け取るダイ２１を必要に応じて上下反転させるものである。ダイ２１の種類によっては、ウエハパレット２２のダイシングシート２９に上下反対に貼着されたダイ（例えばフリップチップ等）が存在するためである。
【００２２】
剥離ステージ１８（図３参照）は、パレット引き出しテーブル１３の下側に配置され、剥離ステージ駆動手段であるＸＹロボット（図示せず）によってウエハパレット２２のダイシングシート２９の下面に沿ってＸＹ方向（パレット引き出しテーブル１３の幅方向及びその直角方向）に移動すると共に、ウエハパレット２２のダイシングシート２９の高さ位置に応じて剥離ステージ１８の高さ位置を上下動させる機能を備えている。そして、部品実装機用引き出し位置とサブロボット用引き出し位置のいずれの位置にウエハパレット２２を引き出した場合でも、部品実装機２５又はサブロボット１５の吸着ノズル３０で吸着ノズル３０上のダイ２１をピックアップする際に、該吸着ノズル３０のパッド部３０ａでダイシングシート２９上のダイ２１を吸着保持しながら、該ダイ２１の貼着部分の手前側から剥離ステージ１８を該ダイ２１の貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイ２１の貼着部分を徐々にシート剥離する。剥離ステージ１８の構成とシート剥離方法については、後で詳しく説明する。尚、ＮＧコンベア１９は、不良部品や吸着不良のダイ２１を排出するコンベアである。
【００２３】
以上のように構成したダイピックアップ装置１１の制御装置３２は、キーボード、マウス等の入力装置３３と、液晶ディスプレイ等の表示装置３４等の周辺装置を備えたコンピュータにより構成され、部品実装機２５に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択すると共に、その選択結果に応じてパレット引き出し機構１４、サブロボット１５及びシャトル機構１６、反転機構１７、剥離ステージ１８等の動作を次のように制御する。
【００２４】
（１）小さいダイ２１の場合
小さいダイ２１の場合は、サブロボット１５→シャトルノズル２６→部品実装機２５の吸着ノズルへのダイ２１のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部１２からウエハパレット２２を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット２２のダイシングシート２９上のダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。      
【００２５】
（２）上記以外のサイズのダイ２１の場合
ダイ２１のつかみ替えが可能なサイズのダイ２１の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部１２内のマガジンからウエハパレット２２をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット１５の吸着ノズル３０で当該ウエハパレット２２のダイシングシート２９上のダイ２１をピックアップし、当該ダイ２１をシャトル機構１６のシャトルノズル２６で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構１６のシャトルノズル２６からダイ２１を部品実装機２５の吸着ノズルでピックアップする。
【００２６】
（３）トレイ部品の場合
トレイ部品の場合は、マガジン保持部１２内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機２５の吸着ノズルで直接ピックアップする。
【００２７】
次に、剥離ステージ１８の構成とシート剥離方法を図３〜図６を用いて説明する。尚、図３及び図４では、ダイシングシート２９の図示を省略し、ダイ２１と剥離ステージ１８と吸着ノズル３０のみを図示している。
【００２８】
剥離ステージ１８は、パレット引き出しテーブル１３の下側に配置され、剥離ステージ駆動手段であるＸＹロボット（図示せず）によってウエハパレット２２のダイシングシート２９の下面に沿ってＸＹ方向に移動する。剥離ステージ１８には、ダイシングシート２９をその下面側から吸引するシート吸引孔４０が上向きに形成され、該シート吸引孔４０には、ダイ２１のシート剥離に適した圧力に調整された負圧が供給されるように構成されている。シート吸引孔４０は、今回ピックアップするダイ２１の貼着部分を該ダイ２１がピックアップ可能となるようにシート剥離する第１吸引孔４１と、次にピックアップするダイ２１の貼着部分の一部を予備的にシート剥離する第２吸引孔４２とから構成され、図５に示すように、第２吸引孔４２の面積が第１吸引孔４１の面積よりも狭くなるように形成されている。
【００２９】
本実施例１では、第１吸引孔４１と第２吸引孔４２がＬ字状に連なるように形成され、該第１吸引孔４１が該第２吸引孔４２よりもスライド方向に突出した開口形状となっている。この場合、第１吸引孔４１のスライド方向側端部の位置と第２吸引孔４２のスライド方向側端部の位置とのずれ量によって第２吸引孔４２で予備的にシート剥離する面積が決まり、例えば、第１吸引孔４１のスライド方向側端部の位置を第２吸引孔４２のスライド方向側端部の位置よりもダイ２１のスライド方向長さの１／２の寸法だけずらした場合は、予備的にシート剥離する面積はダイ２１の貼着面積のほぼ１／２となる。第１吸引孔４１と第２吸引孔４２とのスライド方向側端部の位置のずれ量は、ダイ２１のスライド方向長さの１／４〜３／４、好ましくは、１／３〜２／３の範囲内で設定すれば良い。
【００３０】
第１吸引孔４１と第２吸引孔４２には、それぞれスライド方向側の縁部に凸部４３，４４が形成され、シート剥離するダイ２１の貼着部分を凸部４３，４４で浮かせながらシート剥離するようになっている（図６参照）。尚、凸部４３，４４は、必ずしも各吸引孔４１，４２のスライド方向側の縁部全体に沿って一直線状に形成する必要はなく、当該縁部の一部に１個又は複数個の凸部を形成するだけでも良く、また、各吸引孔４１，４２のスライド方向とは異なる方向の縁部にも凸部を形成しても良い。
【００３１】
剥離ステージ１８を駆動するＸＹロボットは、シート剥離したダイ２１を吸着ノズル３０でピックアップする毎に、図３に示すように、剥離ステージ１８を次にピックアップするダイ２１の貼着部分の手前側へ移動させて、図４に示すように、該剥離ステージ１８を該ダイ２１の貼着部分の真下へスライドさせて第１吸引孔４１で該ダイ２１の貼着部分を該ダイ２１がピックアップ可能となるようにシート剥離すると共に、第２吸引孔４２で該ダイ２１の次にピックアップするダイ２１の貼着部分の一部を予備的にシート剥離するという動作を繰り返して、ダイシングシート２９に貼着されたダイ２１を順番にピックアップする。
【００３２】
このようにすれば、各ダイ２１の貼着部分に対してそれぞれ２回のシート剥離動作が行われるため、従来のように各ダイ２１の貼着部分を１回のシート剥離動作でシート剥離する場合と比較して、剥離ステージ１８のスライド速度を速くしても、シート剥離性能を確保できると共に、ダイ２１が割れないように吸引力（負圧）を比較的小さく設定することができる。これにより、シート剥離に要する時間を短くしてタクトタイムを短縮することができる。
【００３３】
本発明は、剥離ステージ１８をダイ２１の貼着部分の手前側から該ダイ２１の貼着部分の真下へスライドさせる速度を一定速度としても良いが、今回ピックアップするダイ２１の貼着部分は、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離されているため、本実施例１では、剥離ステージ１８をダイ２１の貼着部分の手前側からスライドさせる際に、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離された部分については未剥離部分よりもスライド速度を速くするようにしている。このようにすれば、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離されなかった未剥離部分についてのみ剥離ステージ１８のスライド速度を遅くして、ゆっくりとシート剥離することができるため、シート剥離に要する時間を効果的に短くしてタクトタイムを短縮することができる。
【００３４】
［その他の実施例］
上記実施例１では、第２吸引孔４２による予備的なシート剥離を１つのダイ２１の貼着部分についてのみ行うようにしたが、図７及び図８に示す実施例２，３では、予備的なシート剥離を行う第２吸引孔４２ａ，４２ｂを、２つのダイ２１の貼着部分に跨がるように形成し、該第２吸引孔４２ａ，４２ｂで２つのダイ２１の貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離する共に、ピックアップ順序が後の方がシート剥離面積が小さくなるように形成している。各実施例２，３においても、図７及び図８に示すように、第２吸引孔４２ａ，４２ｂの面積が第１吸引孔４１の面積よりも狭くなるように形成されている。
【００３５】
図７に示す実施例２では、第２吸引孔４２ａ，４２ｂを階段状に形成し、そのスライド方向側の縁部に凸部４４ａ，４４ｂを形成している。また、図８に示す実施例３では、第２吸引孔４２ａ，４２ｂのスライド方向側の縁部をスライド方向とは逆方向に傾斜させてそれらが一直線に連続するように形成し、そのスライド方向側の縁部に凸部４４ａ，４４ｂを形成している。図７、図８のいずれの実施例でも、各ダイ２１の貼着部分に対してそれぞれ３回のシート剥離動作が行われるため、シート剥離性能を高めることができる。
【００３６】
尚、予備的なシート剥離を行う第２吸引孔を３つ以上のダイ２１の貼着部分に跨がるように形成し、該第２吸引孔で３つ以上のダイ２１の貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離するようにしても良い。
【００３７】
また、上記各実施例１〜３では、第１吸引孔と第２吸引孔を連続して形成したが、第１吸引孔と第２吸引孔を分離して形成しても良く、また、第１吸引孔及び／又は第２吸引孔を、分離した複数の孔で構成しても良く、また、孔の形状も四角形に限定されず、円、楕円、長円、五角形以上の多角形等であっても良い。要は、ダイ２１の貼着部分にその下面側から吸引力（負圧）を作用させるように第１吸引孔と第２吸引孔を形成すれば良い。
【００３８】
その他、本発明は、ダイピックアップ装置１１の構成を適宜変更しても良い等、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３９】
１１…ダイピックアップ装置、１２…マガジン保持部、１３…パレット引き出しテーブル、１４…パレット引き出し機構、１５…サブロボット、１６…シャトル機構、１７…反転機構、１８…剥離ステージ、１９…ＮＧコンベア、２０…ノズルチェンジャー、２１…ダイ、２２…ウエハパレット、２３…ウエハ装着板、２４…カメラ、２５…部品実装機、２６…シャトルノズル、２８…パレット本体、２９…ダイシングシート、３０…吸着ノズル、３０ａ…パッド部、３２…制御装置、４０…シート吸引孔、４１…第１吸引孔、４２，４２ａ，４２ｂ…第２吸引孔、４３，４４，４４ａ，４４ｂ…凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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