(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子源から放出された電子をグリッド電極及びレンズ電極を介してターゲットへ衝突させることで前記ターゲットからＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、
所定の直流電圧を生成するＤＣ電源部と、
前記ＤＣ電源部から出力された直流電圧からパルス列を生成するインバータ回路と、
前記パルス列の電圧を所定の電圧に変換して出力するトランス回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を全波整流して前記レンズ電極に供給する全波整流回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を半波整流して前記グリッド電極に供給する半波整流回路と、
前記Ｘ線の発生期間における前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ負極性の電圧が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する制御回路部と、
を有するＸ線発生装置。
【請求項２】
電子源から放出された電子をカソード電極及びレンズ電極を介してターゲットへ衝突させることで前記ターゲットからＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、
所定の直流電圧を生成するＤＣ電源部と、
前記ＤＣ電源部から出力された直流電圧からパルス列を生成するインバータ回路と、
前記パルス列の電圧を所定の電圧に変換して出力するトランス回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を全波整流して前記レンズ電極に供給する全波整流回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を半波整流して前記カソード電極に供給する半波整流回路と、
前記Ｘ線の発生期間における前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ正極性の電圧が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する制御回路部と、
を有するＸ線発生装置。
【請求項３】
前記制御回路部は、
前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時を除く前記Ｘ線の発生期間において、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ負極性の電圧よりも正極性の電圧の期間が長いパルス列が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する請求項１記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記制御回路部は、
前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時を除く前記Ｘ線の発生期間において、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ正極性の電圧よりも負極性の期間が長いパルス列が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する請求項２記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記トランス回路は、
前記インバータ回路で生成されたパルス列を入力とし、前記全波整流回路と前記半波整流回路とに異なる電圧のパルス列が出力可能な、１入力２出力タイプである請求項１乃至４のいずれか１項記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記半波整流回路の出力電圧をバイアスするための、所定の直流電圧を生成するバイアス回路をさらに有する請求項１乃至５のいずれか１項記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項記載のＸ線発生装置と、
前記Ｘ線発生装置から照射されて被写体を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、
前記Ｘ線検出部で検出された被写体のＸ線画像を表示する表示部と、
前記Ｘ線発生装置、前記Ｘ線検出部及び前記表示部の動作を制御する制御部と、
を有するＸ線撮影装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＸ線を発生するＸ線発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線を発生するＸ線管には、従来から反射型ターゲットまたは透過型ターゲットを用いた構成が知られている。いずれの構成も電子源から放出された電子をターゲットに衝突させ、その衝突エネルギーによりターゲットからＸ線を発生させる方式である。発生したＸ線はＸ線管に設けられた透過窓を通して外部へ出射される。
【０００３】
一般に、Ｘ線管は、電子を放出する電子源と、電子源から放出された電子を集束するレンズ電極と、電子が衝突することでＸ線を発生するターゲットとを備えている。電子源にはフィラメント（直熱型の場合）やカソード電極（傍熱型の場合）等の電子放出源から電子を引き出すグリッド電極を備えている。フィラメント、カソード電極、グリッド電極、レンズ電極、ターゲット等には、外部の駆動回路からそれぞれ所要の電力が供給される。
【０００４】
また、例えばターゲットに透過型ターゲットを用いるＸ線管では、透過型ターゲットに電子が衝突すると、その衝突領域から全方向に向かってＸ線が放射される。そのため、透過型ターゲットのレンズ電極側には後方遮蔽部材が設けられ、透過型ターゲットの透過窓側には前方遮蔽部材が設けられている。これら後方遮蔽部材及び前方遮蔽部材を設けることで、Ｘ線が不要な方向へ放射されるのを抑制している。
【０００５】
通常、Ｘ線管では、Ｘ線の発生時に、電子放出源、グリッド電極、レンズ電極、ターゲット等に対する各電圧の印加順を制御する必要がある。また、Ｘ線の停止時に、電子放出源、グリッド電極、レンズ電極、ターゲット等に対する各電圧の印加停止順を制御する必要がある。
【０００６】
例えばＸ線の照射時、予めフィラメントやヒータに所定の電圧を印加して予熱しておき、グリッド電極及びレンズ電極に電子放出源から放出された熱電子をターゲットに到達させないための電圧（第１の電圧）を印加しておく。そして、実際にＸ線を発生させる際には、最初にターゲットに所定の高電圧を印加する。次にレンズ電極に電子放出源から放出された電子を集束させるための電圧（第２の電圧）を印加し、最後にグリッド電極に電子放出源から電子を引き出すための電圧（第２の電圧）を印加する。なお、フィラメントやヒータに対する予熱は、Ｘ線の照射指示の入力（グリッド電極への第２の電圧の印加）と同時にＸ線を安定して出射するために必要である。
【０００７】
一方、Ｘ線の停止時は、グリッド電極及びレンズ電極の順に第２の電圧から第１の電圧へ切り替え、続いてターゲットに対する高電圧の印加を停止し、最後にフィラメントやヒータに対する電圧印加を停止する。
【０００８】
ここで、例えばターゲットに高電圧が印加されていない状態でグリッド電極に第２の電圧が印加されると、電子放出源から引き出された電子はターゲット以外の部材（レンズ電極、後方遮蔽部材等）に衝突してしまう。そのため、意図しない不要なＸ線が発生するおそれがある。このとき、レンズ電極に第２の電圧が印加されていれば、電子放出源から引き出された電子が集束するため、後方遮蔽部材に衝突するのを抑制できる。但し、その場合は、電子放出源から引き出された電子の多くがレンズ電極に流れ込むため、レンズ電極やその駆動回路に過電流が流れてしまう。レンズ電極や駆動回路に過電流が流れる状態が長く続くと、レンズ電極や駆動回路が破損するおそれもある。
【０００９】
したがって、背景技術のＸ線発生装置では、Ｘ線管のフィラメント（またはヒータ）、グリッド電極、レンズ電極、ターゲットに対する電圧の印加順や停止順を制御できるように各電圧をそれぞれ独立した駆動回路で生成している。
【００１０】
なお、Ｘ線管の各電極に対する電圧の印加タイミングについては、例えば特許文献１にも記載されている。特許文献１には、電子放出源として用いるフィラメントあるいはカソード電極を加熱するヒータを予熱しておき、その後、グリッド電極に電圧を印加することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００２−２９９０９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述したように背景技術のＸ線発生装置では、Ｘ線管のフィラメント（またはヒータ）、グリッド電極、レンズ電極、ターゲットに対する電圧の印加順や停止順を制御できるように各電圧をそれぞれ独立した駆動回路で生成している。そのため、Ｘ線管の駆動回路の規模が大きくなり、Ｘ線発生装置の小型化を阻害する要因となっていた。
【００１３】
本発明は上述したような背景技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、背景技術よりも小型化が可能なＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため本発明のＸ線発生装置は、電子源から放出された電子をグリッド電極及びレンズ電極を介してターゲットへ衝突させることで前記ターゲットからＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、
所定の直流電圧を生成するＤＣ電源部と、
前記ＤＣ電源部から出力された直流電圧からパルス列を生成するインバータ回路と、
前記パルス列の電圧を所定の電圧に変換して出力するトランス回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を全波整流して前記レンズ電極に供給する全波整流回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を半波整流して前記グリッド電極に供給する半波整流回路と、
前記Ｘ線の発生期間における前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ負極性の電圧が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する制御回路部と、
を有する。
【００１５】
または、電子源から放出された電子をカソード電極及びレンズ電極を介してターゲットへ衝突させることで前記ターゲットからＸ線を発生させるＸ線発生装置であって、
所定の直流電圧を生成するＤＣ電源部と、
前記ＤＣ電源部から出力された直流電圧からパルス列を生成するインバータ回路と、
前記パルス列の電圧を所定の電圧に変換して出力するトランス回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を全波整流して前記レンズ電極に供給する全波整流回路と、
前記トランス回路から出力されたパルス列を半波整流して前記カソード電極に供給する半波整流回路と、
前記Ｘ線の発生期間における前記インバータ回路の最初の動作時及び最後の動作時、前記トランス回路から前記全波整流回路及び前記半波整流回路にそれぞれ正極性の電圧が出力されるように、前記インバータ回路の動作を制御する制御回路部と、
を有する。
【００１８】
上記のようなＸ線発生装置では、グリッド電極とレンズ電極、またはカソード電極とレンズ電極に所定の電圧を供給する各駆動回路のインバータ回路を共用できる。そのため、Ｘ線管の駆動回路の規模を背景技術よりも小さくできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、背景技術よりもＸ線発生装置の小型化が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明のＸ線発生装置を含むＸ線撮影装置の一構成例を示すブロック図である。
【図２】図１に示したＸ線管の一構成例を示す模式図である。
【図３】第１の実施の形態のＸ線管の駆動方法の一例を示す波形図である。
【図４】第１の実施の形態のＸ線発生装置の一構成例を示すブロック図である。
【図５】図４に示したレンズ電極及びグリッド電極駆動部の一構成例を示す回路図である。
【図６】図４に示したレンズ電極及びグリッド電極駆動部の動作波形の一例を示す波形図である。
【図７】第２の実施の形態のＸ線管の駆動方法の一例を示す波形図である。
【図８】第２の実施の形態のＸ線発生装置の一構成例を示すブロック図である。
【図９】図８に示したレンズ電極及びカソード電極駆動部の一構成例を示す回路図である。
【図１０】図８に示したレンズ電極及びカソード電極駆動部の動作波形の一例を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に本発明について図面を用いて説明する。
【００２２】
（第１の実施の形態）
図１は本発明のＸ線発生装置を含むＸ線撮影装置の一構成例を示すブロック図である。
【００２３】
図１に示すように、Ｘ線撮影装置１０は、Ｘ線発生装置１１、Ｘ線検出部１２、制御部１３及び表示部１４を備えている。
【００２４】
Ｘ線発生装置１１は、制御部１３の指示にしたがってＸ線を発生し、被写体（例えば人体）へＸ線を照射する。Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線を発生するＸ線管２０と、Ｘ線管２０の各電極に所要の電力を供給するＸ線電源駆動部１５とを備えている。Ｘ線管２０は、例えば電子源から放出された電子を透過型ターゲットに衝突させ、該透過型ターゲットからＸ線を発生させる電子管である。Ｘ線電源駆動部１５は、制御部１３の指示にしたがってＸ線管２０のフィラメント（またはヒータ）、グリッド電極、レンズ電極、透過型ターゲット等にそれぞれ所要の電力を供給する。
【００２５】
Ｘ線検出部１２は、Ｘ線発生装置１１から照射され、被写体を透過したＸ線を検出する。これにより被写体のＸ線画像を撮影できる。
【００２６】
表示部１４は、Ｘ線検出部１２で検出された被写体のＸ線画像を表示する。
【００２７】
制御部１３は、Ｘ線発生装置１１、Ｘ線検出部１２及び表示部１４の動作を制御する。例えば、制御部１３は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出部１２とによる被写体のＸ線撮影を制御する。また、制御部１３は、Ｘ線検出部１２で検出された被写体のＸ線撮影画像を表示部１４に表示させる。なお、図１に示すＸ線検出部１２や表示部１４は、Ｘ線撮影装置１０内に備える必要はなく、それぞれ独立した装置であってもよい。
【００２８】
図１に示す制御部１３は、例えば１台または複数台のコンピュータで実現できる。コンピュータは、ＣＰＵ等の主制御手段とＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等の記憶手段とを備えている。コンピュータは、記憶手段に格納されたプログラムにしたがって主制御手段により所定の処理を実行することで上述した制御部１３の機能を実現する。コンピュータには、ネットワークカード等の通信手段や、キーボード、ディスプレイ、タッチパネル等の入出力手段等を備えていてもよい。
【００２９】
次に、図２を用いて図１に示したＸ線管２０について説明する。
【００３０】
図２は図１に示したＸ線管の一構成例を示す模式図である。
【００３１】
図２に示すように、Ｘ線管２０は、電子源２１、レンズ電極２７、後方遮蔽部材２２、前方遮蔽部材２３、透過型ターゲット２４及び真空容器２９を備えている。Ｘ線管２０は、上述したように、電子源２１から電子を放出し、レンズ電極２７により該電子を集束させて透過型ターゲット２４に衝突させることでＸ線を発生させる。
【００３２】
真空容器２９は、電子源２１、レンズ電極２７、後方遮蔽部材２２、前方遮蔽部材２３及び透過型ターゲット２４を含むＸ線管２０内部を真空状態で維持する外囲器である。真空容器２９は、内部を１０-5パスカルオーダーの真空度で維持できればよく、ガラス、金属、セラミックス等で形成される。真空容器２９には、Ｘ線を透過させる開口であるＸ線透過窓２８が設けられている。Ｘ線透過窓２８には、例えばアルミニウム、ベリリウム等の軽元素金属、あるいはガラス等のセラミックス材料が用いられる。
【００３３】
電子源２１は、熱電子を放出する電子放出源であるフィラメント２５と、フィラメント２５から熱電子を引き出すためのグリッド電極２６と、電子源２１の電位を規定するカソード電極３４とを備えている。フィラメント２５とカソード電極３４とは絶縁されている。
【００３４】
電子放出源には、フィラメント２５あるいは含浸型のカソード電極等の熱陰極を用いてもよく、カーボンナノチューブ等の冷陰極を用いてもよい。電子放出源として含浸型のカソード電極を用いる場合は、不図示のヒータに所定の電圧を印加して加熱することでカソード電極から熱電子を放出させればよい。
【００３５】
フィラメント２５には、配線３０を介して所定の電圧が供給されて加熱される。カソード電極３４には、配線３５を介して電子源２１の電位を規定する所定の基準電圧が印加される。グリッド電極２６には、配線３１を介して電子源２１から電子を放出させない電圧である第１の電圧、または電子を放出させるための電圧である第２の電圧が印加される。第１の電圧は電子源２１と同電位または電子源２１の電位よりも低い電圧（負電圧）であり、第２の電圧は電子源２１の電位よりも高い電圧である。本実施形態では、電子源２１はカソード電極３４と同電位である。
【００３６】
レンズ電極２７は、電子源２１と後方遮蔽部材２２間に設けられ、レンズ作用により電子源２１から放出された電子を集束して電子線を形成する。レンズ電極２７には、配線３２を介してレンズ作用を生じさせない電圧である第１の電圧、またはレンズ作用を生じさせる電圧である第２の電圧が印加される。第１の電圧は電子源２１と同電位または電子源２１の電位よりも低い電圧（負電圧）であり、第２の電圧は電子源２１の電位よりも高い電圧である。
【００３７】
後方遮蔽部材２２は、透過型ターゲット２４の電子源２１側（後方）に設けられ、電子源２１から放出された電子を通過させる開口が設けられている。後方遮蔽部材２２は、電子が衝突することで透過型ターゲット２４から全方向に放射されるＸ線のうち、後方へ放射されるＸ線を遮蔽する。
【００３８】
前方遮蔽部材２３は、透過型ターゲット２４のＸ線透過窓２８側（前方）に設けられ、透過型ターゲット２４から発生したＸ線を通過させる開口が設けられている。前方遮蔽部材２３は、電子が衝突することで透過型ターゲット２４から全方向に放射されるＸ線のうち、Ｘ線透過窓２８以外の前方へ放射させるＸ線を遮蔽する。
【００３９】
透過型ターゲット２４は電子が衝突することでＸ線を発生する。Ｘ線の発生時、透過型ターゲット２４には、配線３３を介して電子源２１の電位を基準に所定の高電圧（例えば、１００ｋＶの直流電圧）が印加される。透過型ターゲット２４には、融点が高く、Ｘ線の発生効率がよい材料、例えばタングステン（Ｗ）やタンタル（Ｔａ）等の重金属が用いられる。透過型ターゲット２４に対する印加電圧は、Ｘ線管２０の用途や透過型ターゲット２４の材料によって異なる。例えば、透過型ターゲット２４がタングステンで形成され、医療用に用いられるＸ線管２０では、８０〜１１０ｋＶとなる。
【００４０】
次に、図３を用いて第１の実施の形態のＸ線管２０の駆動方法について説明する。
【００４１】
図３は、第１の実施の形態のＸ線管の駆動方法の一例を示す波形図である。
【００４２】
図３は、透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加タイミングと、グリッド電極２６及びレンズ電極２７に対する第１の電圧及び第２の電圧の印加タイミングとをそれぞれ示している。電子源２１からの電子の放出・停止はグリッド電極２６に対する印加電圧で制御される。なお、図３の横方向は時間軸を示している。図３に示す透過型ターゲット２４、レンズ電極２７及びグリッド電極２６に対する印加電圧は、図１に示した制御部１３の指示にしたがってＸ線電源駆動部１５により制御される。
【００４３】
制御部１３は、例えばＸ線撮影装置１０の主電源がＯＮされると、Ｘ線電源駆動部１５によりグリッド電極２６に第１の電圧を印加させ、レンズ電極２７に第１の電圧を印加させる。また、Ｘ線の発生時に電子源２１から熱電子が安定して放出されるように、予めフィラメント２５に所定の電圧を印加して加熱しておく。フィラメント２５に対する加熱開始は透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加開始よりも前に実施し、フィラメント２５に対する加熱の停止は透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加停止後に実施する。
【００４４】
図３に示すように、制御部１３は、まず時点Ｔ１にて、Ｘ線電源駆動部１５により透過型ターゲット２４に高電圧（所定電圧）を印加させる。透過型ターゲット２４に電圧印加を開始してから該印加電圧が所定の高電圧に到達するまでには時間を要する（期間Ｔ５）。制御部１３は、上記期間Ｔ５の情報を予め保持しておき、レンズ電極２７やグリッド電極２６に対する印加タイミングを決定すればよい。透過型ターゲット２４の印加電圧は時点Ｔ２で所定の高電圧に到達する。
【００４５】
透過型ターゲット２４の印加電圧が所定の高電圧に到達すると、制御部１３は、Ｘ線電源駆動部１５により、時点Ｔ８にてレンズ電極２７に第２の電圧を印加する。次に、時点Ｔ１０にてグリッド電極２６に第２の電圧を印加し、電子源２１から電子を放出させてＸ線管２０にＸ線を発生させる。
【００４６】
所要のＸ線の発生期間（期間Ｔ６）が経過すると、制御部１３は、Ｘ線電源駆動部１５により、時点Ｔ１１にてグリッド電極２６の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替え、電子源２１からの電子の放出を停止させる。次に、時点Ｔ９にてレンズ電極２７の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替える。その後、時点Ｔ３にて、透過型ターゲット２４に対する電圧印加を停止する。このとき、実際に透過型ターゲット２４の印加電圧が元の電圧（電子源２１の電位）に戻るのは、時点Ｔ４となる。
【００４７】
ここで、期間Ｔ５（Ｔ１〜Ｔ２）では、透過型ターゲット２４に電圧が印加されているが、電子源２１から電子が放出されていないため、Ｘ線は発生しない。一方、期間Ｔ６（Ｔ１０〜Ｔ１１）では、透過型ターゲット２４に所定の高電圧が印加され、かつレンズ電極２７及びグリッド電極２６に第２の電圧が印加されているため、Ｘ線透過窓２８からＸ線が出射される。この期間Ｔ６は、例えば１０ｍｓｅｃ〜１ｓｅｃ程度に設定される。電子源２１からの電子の放出は、時点Ｔ１１で停止するため、時点Ｔ３（透過型ターゲット２４に対する電圧印加の停止タイミング）は、時点Ｔ１１以降に設定すればよい。
【００４８】
上述したように、時点Ｔ１と時点Ｔ２間でグリッド電極２６に第２の電圧が印加されると、電子源２１から放出された電子がレンズ電極２７や後方遮蔽部材２２等に衝突し、不要なＸ線が発生してしまう。但し、その場合でもレンズ電極２７に第２の電圧が印加されていれば、後方遮蔽部材２２には電子がほとんど衝突しないため、不要なＸ線の発生が抑制される。そのため、真空容器２９の外部に不要なＸ線が漏洩することがない。
【００４９】
また、レンズ電極２７に印加する第１の電圧が電子源２１の電位よりも低く設定されている場合、時点Ｔ１と時点Ｔ２間でグリッド電極２６に第２の電圧が印加されても、電子源２１から放出された電子はレンズ電極２７によって電子源２１側へ戻される。したがって、この場合も不要なＸ線の発生が抑制される。
【００５０】
次に、図４を用いて第１の実施の形態のＸ線発生装置の構成について説明する。
【００５１】
図４は、第１の実施の形態のＸ線発生装置の一構成例を示すブロック図である。
【００５２】
図４に示すように、Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線電源駆動部１５及びＸ線管２０を有する構成である。
【００５３】
Ｘ線電源駆動部１５は、ＤＣ電源部４１、制御回路部４２、高電圧発生部４３、レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４、並びに電子源フィラメント駆動部４５を備えている。
【００５４】
ＤＣ電源部４１は、外部の直流電源または交流電源から電力を受給し、制御回路部４２、高電圧発生部４３、レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４、並びに電子源フィラメント駆動部４５に所定の直流電圧を供給する。
【００５５】
制御回路部４２は、制御部１３（図１参照）からの指示にしたがって、高電圧発生部４３、レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４、並びに電子源フィラメント駆動部４５の動作を制御する。
【００５６】
高電圧発生部４３は、インバータ回路４６、トランス回路４７及び昇圧回路４８を備え、透過型ターゲット２４に供給する、電子源２１の電位を基準電位（例えば−５０ｋＶ）とする直流電圧（約±５０ｋＶ）を生成する。インバータ回路４６は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路４６から出力された交流電圧はトランス回路４７を介して昇圧回路４８に供給される。昇圧回路４８は、インバータ回路４６から出力された交流電圧を昇圧し、約１００ｋＶの直流電圧に変換する。昇圧回路４８の出力電圧は透過型ターゲット２４とカソード電極３４に供給される。
【００５７】
レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４は、インバータ回路４９，６１と、トランス回路５０，６２と、全波整流回路５１，６３と、半波整流回路５２とを有する構成である。レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４は、レンズ電極２７及びグリッド電極２６に供給する、電子源２１の電位を基準電位（例えば−５０ｋＶ）とする直流電圧（第１の電圧及び第２の電圧）を生成する。インバータ回路４９、トランス回路５０、全波整流回路５１及び半波整流回路５２は、レンズ電極２７及びグリッド電極２６に供給する第２の電圧を生成する。インバータ回路６１、トランス回路６２及び全波整流回路６３は、グリッド電極２６に対して第２の電圧を印加していないとき、半波整流回路５２の出力電圧を第１の電圧に設定するためのバイアス電圧を生成する。以降、インバータ回路６１、トランス回路６２及び全波整流回路６３は、バイアス回路と称す。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、例えば電子源２１と同電位に設定する。
【００５８】
インバータ回路４９は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧（パルス列）に変換する。インバータ回路４９から出力されたパルス列は、該パルス列を入力とし、全波整流回路５１と半波整流回路５２とに異なる電圧のパルス列が出力可能な、例えば１入力２出力タイプのトランス回路５０に入力される。トランス回路５０は、レンズ電極２７用としてピーク電圧が約２ｋＶのパルス列を出力し、グリッド電極２６用としてピーク電圧が約２００Ｖのパルス列を出力する。なお、トランス回路５０は、１入力２出力タイプに限定されるものではなく、１入力１出力タイプのトランス回路５０を全波整流回路５１及び半波整流回路５２に対応して２つ備えていてもよい。トランス回路５０として、１入力２出力タイプのトランスを備えていれば、レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４の回路規模をより小さくできる。
【００５９】
レンズ電極２７用の約２ｋＶのパルス列は、全波整流回路５１により約１ｋＶの直流電圧に変換され、第２の電圧としてレンズ電極２７に供給される。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、上述したようにカソード電極３４と同電位とすればよい。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、例えば上記バイアス回路と同様の回路を設け、該バイアス回路で生成した電圧を全波整流回路５１の出力電圧に加算することで負電圧に設定してもよい。
【００６０】
グリッド電極２６用の約２００Ｖのパルス列は、半波整流回路５２により約１００Ｖの直流電圧に変換され、第２の電圧としてグリッド電極２６に供給される。グリッド電極２６に印加する第１の電圧は、上記バイアス回路により約−７０Ｖの直流電圧を生成し、半波整流回路５２の出力電圧に加算することで生成される。
【００６１】
上記バイアス回路が備えるインバータ回路６１は、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路６１から出力された交流電圧はトランス回路６２により約１４０Ｖの交流電圧に変換される。トランス回路６２から出力された交流電圧は、全波整流回路６３により約−７０Ｖの直流電圧に変換され、半波整流回路５２の出力電圧に加算される。
【００６２】
電子源フィラメント駆動部４５は、インバータ回路５３、トランス回路５４及び全波整流回路５５を備え、電子源２１のフィラメント２５に供給する約１０Ｖの直流電圧を生成する。インバータ回路５３は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路５３から出力された交流電圧はトランス回路５４により約２０Ｖの交流電圧に変換される。トランス回路５４から出力された交流電圧は、全波整流回路５５により約１０Ｖの直流電圧に変換され、電子源２１のフィラメント２５に供給される。
【００６３】
次に、図４に示したレンズ電極及びグリッド電極駆動部４４の具体的な構成例について図５を用いて説明する。
【００６４】
図５は、図４に示したレンズ電極及びグリッド電極駆動部の一構成例を示す回路図である。
【００６５】
図５に示すように、インバータ回路４９は、ブリッジ接続されたトランジスタＱ１〜Ｑ４を備え、ＤＣ電源部４１から約１００Ｖの直流電圧が供給される。インバータ回路４９は、制御回路部４２によりトランジスタＱ１及びＱ４、またはトランジスタＱ２及びＱ３が同時にＯＮ／ＯＦＦするように制御される。また、インバータ回路４９は、制御回路部４２によりトランジスタＱ１及びＱ２、並びにトランジスタＱ３及びＱ４が同時にＯＮしないように制御される。
【００６６】
トランジスタＱ１及びＱ４がＯＮのとき、インバータ回路４９からは正極性の電圧（以下、正極電圧と称す）が出力され、トランジスタＱ３とＱ２がＯＮのとき、インバータ回路４９からは負極性の電圧（以下、負極電圧と称す）が出力される。このようにして、インバータ回路４９は、ＤＣ電源部４１から供給される約１００Ｖの直流電圧を、振幅が約１００Ｖの交流電圧（パルス列）に変換する。
【００６７】
インバータ回路４９から出力されたパルス列は、例えば１入力２出力のトランス回路５０によりレンズ電極２７用の約２ｋＶのパルス列及びグリッド電極２６用の約２００Ｖのパルス列に変換される。
【００６８】
全波整流回路５１は、整流用ダイオードブリッジ回路５６及び平滑用コンデンサ５７を備え、トランス回路５０から出力された約２ｋＶのパルス列を約１ｋＶの直流電圧に変換する。全波整流回路５１の出力電圧は、第２の電圧としてレンズ電極２７に供給される。
【００６９】
半波整流回路５２は、整流用ダイオード５８、平滑用コンデンサ５９及びコンデンサ放電用抵抗６４を備え、トランス回路５０から出力された約２００Ｖのパルス列を約１００Ｖの直流電圧に変換する。
【００７０】
次に、本実施形態のレンズ電極及びグリッド電極駆動部４４の動作について図６を用いて説明する。
【００７１】
図６は、図４に示したレンズ電極及びグリッド電極駆動部の動作波形の一例を示す波形図である。
【００７２】
図３に示したように、本実施形態では、Ｘ線の照射時、先にレンズ電極２７に第２の電圧を印加し（Ｔ８）、その後、グリッド電極２６に第２の電圧を印加する（Ｔ１０）。また、Ｘ線の停止時、先にグリッド電極２６に印加する電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替え（Ｔ１１）、その後、レンズ電極２７に印加する電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替える（Ｔ９）。
【００７３】
図４に示したように、レンズ電極及びグリッド電極駆動部４４は、インバータ回路４９から出力されたパルス列を全波整流してレンズ電極２７に供給し、該パルス列を半波整流してグリッド電極２６に供給する。本発明では、この整流方式の違いを利用して上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間を確保する。具体的には、Ｘ線の発生期間におけるインバータ回路４９の最初の動作時及び最後の動作時、制御回路部４２は、トランス回路５０から全波整流回路５１及び半波整流回路５２にそれぞれ負極性の電圧が出力されるように、インバータ回路４９の動作を制御する。このようにすると、負極電圧を利用せずに整流する半波整流回路５２よりも先に、負極電圧も利用して整流する全波整流回路５１から直流電圧（第２の電圧）を出力させることができる。また、負極電圧を利用せずに整流する半波整流回路５２よりも後に、負極電圧も利用して整流する全波整流回路５１から出力される直流電圧を停止させることができる。すなわち、グリッド電極２６よりも先に、レンズ電極２７に第２の電圧を印加することが可能であり、グリッド電極２６よりも後に、レンズ電極２７の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替えることができる。なお、上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間は、全波整流回路５１及び半波整流回路５２にそれぞれ供給する負極電圧のパルス幅で設定できる。
【００７４】
また、本実施形態では、上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間を除くＸ線の発生期間において、トランス回路５０から全波整流回路５１及び半波整流回路５２にそれぞれ負極電圧よりも正極電圧の期間が長いパルス列が出力されるように、インバータ回路４９の動作を制御する。このようにすることで、半波整流回路５２から出力される第２の電圧の変動を低減できる。
【００７５】
以下では、フィラメント２５に所定の電圧が印加され、レンズ電極２７及びグリッド電極２６に第１の電圧が印加され、透過型ターゲット２４に所定の高電圧が印加されている状態からのレンズ電極２７及びグリッド電極２６の駆動方法について説明する。なお、Ｘ線の照射時間は１０ｍｓとし、制御部１３からのＸ線の照射指示に対して、Ｘ線発生装置１１は１回だけＸ線を照射する（単発照射）ものとする。この場合、Ｘ線の照射時間は、グリッド電極２６にパルス状に印加する第２の電圧のパルス幅によって制御できる。
【００７６】
図６に示すように、Ｘ線の照射時、制御回路部４２は、まずインバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。ここでは、トランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔａ１を１ｍｓとする。また、全波整流回路５１及びレンズ電極２７による負荷を考慮して、レンズ電極２７に供給する第２の電圧の立ち上がり時間を０．４ｍｓと推定し、該第２の電圧が安定するまでに要する時間を０．６ｍｓと推定する。
【００７７】
期間Ｔａ１では、インバータ回路４９から図６のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転させ、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を遮断し、図６のｉで示すようにグリッド電極２６に対する出力電圧を第１の電圧で維持する。
【００７８】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。この段階からグリッド電極２６にも第２の電圧が印加される。ここでは、トランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔａ２を２．２ｍｓとする。また、半波整流回路５２及びグリッド電極２６による負荷を考慮して、グリッド電極２６に供給する第２の電圧の立ち上がり時間を０．２ｍｓと推定する。この場合、グリッド電極２６に対する第２の電圧の印加時間は２．０ｍｓであり、Ｘ線の実照射時間は２．０５ｍｓと推定できる。
【００７９】
期間Ｔａ２では、インバータ回路４９から図６のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｉで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してグリッド電極２６に供給する。
【００８０】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。ここでは、トランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔｂ１を０．２ｍｓとする。
【００８１】
期間Ｔｂ１では、インバータ回路４９から図６のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転させ、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を遮断するため、期間Ｔａ２で平滑用コンデンサ５９に蓄積された電荷がコンデンサ放電用抵抗６４により放電される。したがって、図６のｉで示すようにグリッド電極２６に対する出力電圧は、期間Ｔｂ１内にて第２の電圧からほぼ第１の電圧まで低下する。この平滑用コンデンサ５９が放電することによる立下り期間におけるＸ線の照射時間は０．０５ｍｓと推定した。
【００８２】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。ここでは、期間Ｔａ２と同様に、トランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔｂ２を２．２ｍｓとする。
また、半波整流回路５２及びグリッド電極２６による負荷を考慮して、グリッド電極２６に供給する第２の電圧の立ち上がり時間を０．２ｍｓと推定した。この場合、グリッド電極２６に対する第２の電圧の印加時間は２．０ｍｓであり、Ｘ線の実照射時間は２．０５ｍｓと推定できる。
【００８３】
期間Ｔｂ２では、期間Ｔａ２と同様に、インバータ回路４９から図６のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｉで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してグリッド電極２６に供給する。
【００８４】
以降、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１〜Ｑ４を上記期間Ｔｂ１及び期間Ｔｂ２と同様に順次ＯＮ／ＯＦＦさせ、全波整流回路５１によりレンズ電極２７に第２の電圧を供給し、半波整流回路５２によりグリッド電極２６に第２の電圧を供給する。
【００８５】
上述したように、本実施形態ではＸ線の１回の照射時間を１０ｍｓに設定しており、期間Ｔｂ１を０．２ｍｓに設定し、期間Ｔｂ２を２．０ｍｓに設定している。そのため、Ｘ線の照射時、グリッド電極２６に供給する第２の電圧は、インバータ回路４９から出力される５周期のパルス列によって生成される。ここで、インバータ回路４９から出力されるパルス列の第１周期〜第４周期の長さはそれぞれ上記期間Ｔｂ２及びＴｂ１の長さに等しく、第５周期のみ長さが異なる。
【００８６】
第５周期のパルス生成時、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。このときのトランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔｅ１は１．７ｍｓとする。また、半波整流回路５２及びグリッド電極２６による負荷を考慮して、グリッド電極２６に供給する第２の電圧の立ち上がり時間を０．２ｍｓと推定し、グリッド電極２６に対する第２の電圧の印加時間を１．５ｍｓとする。これは、インバータ回路４９から出力されるパルス列の第１周期〜第４周期におけるＸ線の実照射時間の総計が８．４ｍｓであり、その後の立下り時におけるＸ線の推定実照射時間が０．０５ｍｓと推定できるため、期間Ｔｅ１における実照射時間を１．５５ｍｓと推定できるからである。
【００８７】
期間Ｔｅ１では、期間Ｔａ２と同様に、インバータ回路４９から図６のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図６のｉで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してグリッド電極２６に供給する。
【００８８】
制御回路部４２は、Ｘ線の照射期間における最後の動作時、インバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。ここでは、直前に終了するグリッド電極２６に対する印加電圧の立下り時間を考慮し、電子源２１から放出される電子をレンズ電極２７で確実に集束できるようにトランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔｅ２を２ｍｓとする。
【００８９】
期間Ｔｅ２では、インバータ回路４９から図６のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図６のｄ及びｅで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図６のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転させ、図６のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路５２は、図６のｇで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を遮断するため、図６のｉで示すようにグリッド電極２６に対する出力電圧は第２の電圧から第１の電圧まで低下する。この平滑用コンデンサ５９が放電することによる立下り期間におけるＸ線の照射時間は０．０５ｍｓと推定した。
【００９０】
最後に、レンズ電極２７に対する印加電圧が確実に立下がった時点で、透過型ターゲット２４に対する電圧印加を停止し、電子源２１のフィラメント２５に対する電圧印加を停止してＸ線の照射動作を終了する。
【００９１】
なお、上述したように、インバータ回路４９から出力するパレス列のパルス数及びパルス幅は、予め設定したＸ線の照射時間と、グリッド電極２６及びレンズ電極２７の負荷特性並びに各整流回路の特性とを考慮して決定すればよい。
【００９２】
また、本実施形態では、制御部１３からのＸ線の照射指示に対して１回だけＸ線を照射する単発照射を例にしてレンズ電極及びグリッド電極駆動部４４の動作を説明したが、制御部１３からのＸ線の照射指示に対してＸ線を連続して照射する連続照射の場合も、上述した単発照射の動作を繰り返すことで実現できる。
【００９３】
本実施形態のＸ線発生装置によれば、インバータ回路４９を共用してレンズ電極２７及びグリッド電極２６に供給する電圧を生成するレンズ電極及びグリッド電極駆動部４４を構成することで、Ｘ線管２０の各電極に対する印加電圧を生成する駆動回路の回路規模を背景技術よりも小さくできる。したがって、背景技術よりもＸ線発生装置の小型化が可能になる。
【００９４】
（第２の実施の形態）
次に本発明のＸ線発生装置の第２の実施の形態について説明する。
【００９５】
第２の実施の形態のＸ線発生装置は、図２に示したＸ線管２０のグリッド電極２６及びカソード電極３４に印加する電圧が第１の実施の形態と異なっている。すなわち、第２の実施の形態のＸ線発生装置では、図２に示したグリッド電極２６に代わってカソード電極３４にフィラメント２５から電子を引き出す機能を持たせる。グリッド電極２６には、電子源２１の電位を規定する所定の基準電圧（例えば−５０ｋＶ）が印加される。
【００９６】
また、本実施形態のＸ線発生装置１１では、グリッド電極２６の電位を基準に、フィラメント２５、カソード電極３４、レンズ電極２７及び透過型ターゲット２４にそれぞれ所定の電圧が供給される。
【００９７】
カソード電極３４には、電子源２１から電子を放出させない電圧である第１の電圧、または電子を放出させるための電圧である第２の電圧が印加される。第１の電圧は電子源２１と同電位または電子源２１の電位よりも高い電圧（正電圧）であり、第２の電圧は電子源２１の電位よりも低い電圧である。本実施形態では、電子源２１の電位は上述したようにグリッド電極２６と同電位である。
【００９８】
レンズ電極２７には、第１の実施の形態と同様に、レンズ作用を生じさせない電圧である第１の電圧、またはレンズ作用を生じさせる電圧である第２の電圧が印加される。第１の電圧は電子源２１と同電位または電子源２１の電位よりも低い電圧（負電圧）であり、第２の電圧は電子源２１の電位よりも高い電圧である。
【００９９】
透過型ターゲット２４には、第１の実施の形態と同様に、電子源２１の電位を基準に所定の高電圧（例えば、１００ｋＶの直流電圧）が印加される。Ｘ線管２０及びＸ線撮影装置１０の構成は、第１の実施の形態と同様であるため、ここではその説明を省略する。
【０１００】
まず、図７を用いて第２の実施の形態のＸ線管の駆動方法について説明する。
【０１０１】
図７は、第２の実施の形態のＸ線管の駆動方法の一例を示す波形図である。
【０１０２】
図７は、透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加タイミングと、カソード電極３４及びレンズ電極２７に対する第１の電圧及び第２の電圧の印加タイミングとをそれぞれ示している。電子源２１からの電子の放出・停止はカソード電極３４に対する印加電圧で制御される。なお、図７の横方向は時間軸を示している。図７に示す透過型ターゲット２４、レンズ電極２７及びカソード電極３４に対する印加電圧は、図１に示した制御部１３の指示にしたがってＸ線電源駆動部１５により制御される。
【０１０３】
制御部１３は、例えばＸ線撮影装置１０の主電源がＯＮされると、Ｘ線電源駆動部１５によりカソード電極３４に第１の電圧を印加させ、レンズ電極２７に第１の電圧を印加させる。また、Ｘ線の発生時に電子源２１から熱電子が安定して放出されるように、予めフィラメント２５に所定の電圧を印加して加熱しておく。フィラメント２５に対する加熱開始は透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加開始よりも前に実施し、フィラメント２５に対する加熱の停止は透過型ターゲット２４に対する高電圧の印加停止後に実施する。
【０１０４】
図７に示すように、制御部１３は、まず時点Ｔ１にて、Ｘ線電源駆動部１５により透過型ターゲット２４に高電圧（所定電圧）を印加させる。透過型ターゲット２４に電圧印加を開始してから該印加電圧が所定の高電圧に到達するまでには時間を要する（期間Ｔ５）。制御部１３は、上記期間Ｔ５の情報を予め保持しておき、レンズ電極２７やカソード電極３４に対する印加タイミングを決定すればよい。透過型ターゲット２４の印加電圧は時点Ｔ２で所定の高電圧に到達する。
【０１０５】
透過型ターゲット２４の印加電圧が所定の高電圧に到達すると、制御部１３は、Ｘ線電源駆動部１５により、時点Ｔ８にてレンズ電極２７に第２の電圧を印加する。次に、時点Ｔ１０にてカソード電極３４に第２の電圧を印加し、電子源２１から電子を放出させてＸ線管２０にＸ線を発生させる。
【０１０６】
所要のＸ線の発生期間（期間Ｔ６）が経過すると、制御部１３は、Ｘ線電源駆動部１５により、時点Ｔ１１にてカソード電極３４の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替え、電子源２１からの電子の放出を停止させる。次に、時点Ｔ９にてレンズ電極２７の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替える。その後、時点Ｔ３にて、透過型ターゲット２４に対する電圧印加を停止する。このとき、実際に透過型ターゲット２４の印加電圧が元の電圧（電子源２１の電位）に戻るのは、時点Ｔ４となる。
【０１０７】
ここで、期間Ｔ５（Ｔ１〜Ｔ２）では、透過型ターゲット２４に電圧が印加されているが、電子源２１から電子が放出されていないため、Ｘ線は発生しない。一方、期間Ｔ６（Ｔ１０〜Ｔ１１）では、透過型ターゲット２４に所定の高電圧が印加され、かつレンズ電極２７及びカソード電極３４に第２の電圧が印加されているため、Ｘ線透過窓２８からＸ線が出射される。この期間Ｔ６は、例えば１０ｍｓｅｃ〜１ｓｅｃ程度に設定される。電子源２１からの電子の放出は、時点Ｔ１１で停止するため、時点Ｔ３（透過型ターゲット２４に対する電圧印加の停止タイミング）は、時点Ｔ１１以降に設定すればよい。
【０１０８】
上述したように、時点Ｔ１と時点Ｔ２間でカソード電極３４に第２の電圧が印加されると、電子源２１から放出された電子がレンズ電極２７や後方遮蔽部材２２等に衝突し、不要なＸ線が発生してしまう。但し、その場合でもレンズ電極２７に第２の電圧が印加されていれば、後方遮蔽部材２２には電子がほとんど衝突しないため、不要なＸ線の発生が抑制される。そのため、真空容器２９の外部に不要なＸ線が漏洩することがない。
【０１０９】
また、レンズ電極２７に印加する第１の電圧が電子源２１の電位よりも低く設定されている場合、時点Ｔ１と時点Ｔ２間でカソード電極３４に第２の電圧が印加されても、電子源２１から放出された電子はレンズ電極２７によって電子源２１側へ戻される。したがって、この場合も不要なＸ線の発生が抑制される。
【０１１０】
次に、図８を用いて第２の実施の形態のＸ線発生装置の構成について説明する。
【０１１１】
図８は、第２の実施の形態のＸ線発生装置の一構成例を示すブロック図である。
【０１１２】
図８に示すように、Ｘ線発生装置１１は、Ｘ線電源駆動部１５及びＸ線管２０を有する構成である。
【０１１３】
Ｘ線電源駆動部１５は、ＤＣ電源部４１、制御回路部４２、高電圧発生部４３、レンズ電極及びカソード電極駆動部６５、並びに電子源フィラメント駆動部４５を備えている。
【０１１４】
ＤＣ電源部４１は、外部の直流電源または交流電源から電力を受給し、制御回路部４２、高電圧発生部４３、レンズ電極及びカソード電極駆動部６５、並びに電子源フィラメント駆動部４５に所定の直流電圧を供給する。
【０１１５】
制御回路部４２は、制御部１３（図１参照）からの指示にしたがって、高電圧発生部４３、レンズ電極及びカソード電極駆動部６５、並びに電子源フィラメント駆動部４５の動作を制御する。
【０１１６】
高電圧発生部４３は、インバータ回路４６、トランス回路４７及び昇圧回路４８を備え、透過型ターゲット２４に供給する、電子源２１の電位を基準電位（例えば−５０ｋＶ）とする直流電圧（約±５０ｋＶ）を生成する。インバータ回路４６は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路４６から出力された交流電圧はトランス回路４７を介して昇圧回路４８に供給される。昇圧回路４８は、インバータ回路４６から出力された交流電圧を昇圧し、約１００ｋＶの直流電圧に変換する。昇圧回路４８の出力電圧は透過型ターゲット２４とグリッド電極２６に供給される。
【０１１７】
レンズ電極及びカソード電極駆動部６５は、インバータ回路４９，６１と、トランス回路５０，６２と、全波整流回路５１，６３と、半波整流回路６６とを有する構成である。レンズ電極及びカソード電極駆動部６５は、レンズ電極２７及びカソード電極３４に供給する、電子源２１の電位を基準電位（例えばー５０ｋＶ）とする直流電圧（第１の電圧及び第２の電圧）を生成する。インバータ回路４９、トランス回路５０、全波整流回路５１及び半波整流回路６６は、レンズ電極２７及びカソード電極３４に供給する第２の電圧を生成する。インバータ回路６１、トランス回路６２及び全波整流回路６３は、カソード電極３４に対して第２の電圧を印加していないとき、半波整流回路６６の出力電圧を第１の電圧に設定するためのバイアス電圧を生成する。以降、インバータ回路６１、トランス回路６２及び全波整流回路６３は、バイアス回路と称す。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、例えば電子源２１と同電位に設定する。
【０１１８】
インバータ回路４９は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧（パルス列）に変換する。インバータ回路４９から出力されたパルス列は、該パルス列を入力とし、全波整流回路５１と半波整流回路６６とに異なる電圧のパルス列が出力可能な、例えば１入力２出力タイプのトランス回路５０に入力される。トランス回路５０は、レンズ電極２７用としてピーク電圧が約２ｋＶのパルス列を出力し、カソード電極３４用としてピーク電圧が約２００Ｖのパルス列を出力する。なお、トランス回路５０は、１入力２出力タイプに限定されるものではなく、１入力１出力タイプのトランス回路５０を全波整流回路５１及び半波整流回路６６に対応して２つ備えていてもよい。トランス回路５０として、１入力２出力タイプのトランスを備えていれば、レンズ電極及びカソード電極駆動部６５の回路規模をより小さくできる。
【０１１９】
レンズ電極２７用の約２ｋＶのパルス列は、全波整流回路５１により約１ｋＶの直流電圧に変換され、第２の電圧としてレンズ電極２７に供給される。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、上述したようにカソード電極３４と同電位とすればよい。レンズ電極２７に供給する第１の電圧は、例えば上記バイアス回路と同様の回路を設け、該バイアス回路で生成した電圧を全波整流回路５１の出力電圧に加算することで負電圧に設定してもよい。
【０１２０】
カソード電極３４用の約２００Ｖのパルス列は、半波整流回路６６により約−１００Ｖの直流電圧に変換され、第２の電圧としてカソード電極３４に供給される。カソード電極３４に印加する第１の電圧は、上記バイアス回路により約７０Ｖの直流電圧を生成し、半波整流回路６６の出力電圧に加算することで生成される。
【０１２１】
上記バイアス回路が備えるインバータ回路６１は、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路６１から出力された交流電圧はトランス回路６２により約１４０Ｖの交流電圧に変換される。トランス回路６２から出力された交流電圧は、全波整流回路６３により約７０Ｖの直流電圧に変換され、半波整流回路６６の出力電圧に加算される。
【０１２２】
電子源フィラメント駆動部４５は、インバータ回路５３、トランス回路５４及び全波整流回路５５を備え、電子源２１のフィラメント２５に供給する約１０Ｖの直流電圧を生成する。インバータ回路５３は、制御回路部４２の制御により、例えばＤＣ電源部４１から供給される直流電圧を、周波数が数ｋ〜数十ｋＨｚであり、ピーク電圧が１００Ｖ程度の交流電圧に変換する。インバータ回路５３から出力された交流電圧はトランス回路５４により約２０Ｖの交流電圧に変換される。トランス回路５４から出力された交流電圧は、全波整流回路５５により約１０Ｖの直流電圧に変換され、電子源２１のフィラメント２５に供給される。
【０１２３】
次に、図８に示したレンズ電極及びカソード電極駆動部６５の具体的な構成例について図９を用いて説明する。
【０１２４】
図９は、図８に示したレンズ電極及びカソード電極駆動部６５の一構成例を示す回路図である。
【０１２５】
図９に示すように、インバータ回路４９は、ブリッジ接続されたトランジスタＱ１〜Ｑ４を備え、ＤＣ電源部４１から約１００Ｖの直流電圧が供給される。インバータ回路４９は、制御回路部４２によりトランジスタＱ１及びＱ４、またはトランジスタＱ２及びＱ３が同時にＯＮ／ＯＦＦするように制御される。また、インバータ回路４９は、制御回路部４２によりトランジスタＱ１及びＱ２、並びにトランジスタＱ３及びＱ４が同時にＯＮしないように制御される。
【０１２６】
トランジスタＱ１及びＱ４がＯＮのとき、インバータ回路４９からは正極性の電圧（以下、正極電圧と称す）が出力され、トランジスタＱ３とＱ２がＯＮのとき、インバータ回路４９からは負極性の電圧（以下、負極電圧と称す）が出力される。このようにして、インバータ回路４９は、ＤＣ電源部４１から供給される約１００Ｖの直流電圧を、振幅が約１００Ｖの交流電圧（パルス列）に変換する。
【０１２７】
インバータ回路４９から出力されたパルス列は、例えば１入力２出力のトランス回路５０によりレンズ電極２７用の約２ｋＶのパルス列及びカソード電極３４用の約２００Ｖのパルス列に変換される。
【０１２８】
全波整流回路５１は、整流用ダイオードブリッジ回路５６及び平滑用コンデンサ５７を備え、トランス回路５０から出力された約２ｋＶのパルス列を約１ｋＶの直流電圧に変換する。全波整流回路５１の出力電圧は、第２の電圧としてレンズ電極２７に供給される。
【０１２９】
半波整流回路６６は、整流用ダイオード５８、平滑用コンデンサ５９及びコンデンサ放電用抵抗６４を備え、トランス回路５０から出力された約２００Ｖのパルス列を約−１００Ｖの直流電圧に変換する。
【０１３０】
次に、本実施形態のレンズ電極及びカソード電極駆動部６５の動作について図１０を用いて説明する。
【０１３１】
図１０は、図８に示したレンズ電極及びカソード電極駆動部の動作波形の一例を示す波形図である。
【０１３２】
図７に示したように、本実施形態では、Ｘ線の照射時、先にレンズ電極２７に第２の電圧を印加し（Ｔ８）、その後、カソード電極３４に第２の電圧を印加する（Ｔ１０）。また、Ｘ線の停止時、先にカソード電極３４に印加する電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替え（Ｔ１１）、その後、レンズ電極２７に印加する電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替える（Ｔ９）。
【０１３３】
図８に示したように、レンズ電極及びカソード電極駆動部６５は、インバータ回路４９から出力されたパルス列を全波整流してレンズ電極２７に供給し、該パルス列を半波整流してカソード電極３４に供給する。本発明では、この整流方式の違いを利用して上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間を確保する。具体的には、Ｘ線の発生期間におけるインバータ回路４９の最初の動作時及び最後の動作時、制御回路部４２は、トランス回路５０から全波整流回路５１及び半波整流回路６６にそれぞれ正極性の電圧が出力されるように、インバータ回路４９の動作を制御する。このようにすると、正極電圧を利用せずに整流する半波整流回路６６よりも先に、正極電圧も利用して整流する全波整流回路５１から直流電圧（第２の電圧）を出力させることができる。また、正極電圧を利用せずに整流する半波整流回路６６よりも後に、正極電圧も利用して整流する全波整流回路５１から出力される直流電圧を停止させることができる。すなわち、カソード電極３４よりも先に、レンズ電極２７に第２の電圧を印加することが可能であり、カソード電極３４よりも後に、レンズ電極２７の印加電圧を第２の電圧から第１の電圧に切り替えることができる。なお、上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間は、全波整流回路５１及び半波整流回路６６にそれぞれ供給する正極電圧のパルス幅で設定できる。
【０１３４】
また、本実施形態では、上記Ｔ８〜Ｔ１０の期間およびＴ１１〜Ｔ９の期間を除くＸ線の発生期間において、トランス回路５０から全波整流回路５１及び半波整流回路６６にそれぞれ正極電圧よりも負極電圧の期間が長いパルス列が出力されるように、インバータ回路４９の動作を制御する。このようにすることで、半波整流回路６６から出力される第２の電圧の変動を低減できる。
【０１３５】
以下では、フィラメント２５に所定の電圧が印加され、レンズ電極２７及びカソード電極３４に第１の電圧が印加され、透過型ターゲット２４に所定の高電圧が印加されている状態からのレンズ電極２７及びカソード電極３４の駆動方法について説明する。なお、Ｘ線の照射時間は１０ｍｓとし、制御部１３からのＸ線の照射指示に対して、Ｘ線発生装置１１は１回だけＸ線を照射する（単発照射）ものとする。この場合、Ｘ線の照射時間は、カソード電極３４にパルス状に印加する第２の電圧のパルス幅によって制御できる。
【０１３６】
図１０に示すように、Ｘ線の照射時、制御回路部４２は、まずインバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。ここでは、トランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔａ１を１ｍｓとする。また、全波整流回路５１及びレンズ電極２７による負荷を考慮して、レンズ電極２７に供給する第２の電圧の立上り時間を０．４ｍｓと推定し、該第２の電圧が安定するまでに要する時間を０．６ｍｓと推定する。
【０１３７】
期間Ｔａ１では、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧を遮断し、図１０のｎで示すようにカソード電極３４に対する出力電圧を第１の電圧で維持する。
【０１３８】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。この段階からカソード電極３４にも第２の電圧が印加される。ここでは、トランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔａ２を２．２ｍｓとする。また、半波整流回路６６及びカソード電極３４による負荷を考慮して、カソード電極３４に供給する第２の電圧の立下り時間を０．２ｍｓと推定する。この場合、カソード電極３４に対する第２の電圧の印加時間は２．０ｍｓであり、Ｘ線の実照射時間は２．０５ｍｓと推定できる。
【０１３９】
期間Ｔａ２では、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧をそのまま出力し、図１０のｎで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してカソード電極３４に供給する。
【０１４０】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。ここでは、トランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔｂ１を０．２ｍｓとする。
【０１４１】
期間Ｔｂ１では、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧を遮断するため、期間Ｔａ２で平滑用コンデンサ５９に蓄積された電荷がコンデンサ放電用抵抗６４により放電される。したがって、図１０のｎで示すようにカソード電極３４に対する出力電圧は、期間Ｔｂ１内にて第２の電圧からほぼ第１の電圧まで上昇する。この平滑用コンデンサ５９が放電することによる立上り期間におけるＸ線の照射時間は０．０５ｍｓと推定した。
【０１４２】
次に、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。ここでは、期間Ｔａ２と同様に、トランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔｂ２を２．２ｍｓとする。
また、半波整流回路６６及びカソード電極３４による負荷を考慮して、カソード電極３４に供給する第２の電圧の立下り時間を０．２ｍｓと推定した。この場合、カソード電極３４に対する第２の電圧の印加時間は２．０ｍｓであり、Ｘ線の実照射時間は２．０５ｍｓと推定できる。
【０１４３】
期間Ｔｂ２では、期間Ｔａ２と同様に、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧をそのまま出力し、図１０のｎで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してカソード電極３４に供給する。
【０１４４】
以降、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ１〜Ｑ４を上記期間Ｔｂ１及び期間Ｔｂ２と同様に順次ＯＮ／ＯＦＦさせ、全波整流回路５１によりレンズ電極２７に第２の電圧を供給し、半波整流回路６６によりカソード電極３４に第２の電圧を供給する。
【０１４５】
上述したように、本実施形態ではＸ線の１回の照射時間を１０ｍｓに設定しており、期間Ｔｂ１を０．２ｍｓに設定し、期間Ｔｂ２を２．０ｍｓに設定している。そのため、Ｘ線の照射時、カソード電極３４に供給する第２の電圧は、インバータ回路４９から出力される５周期のパルス列によって生成される。ここで、インバータ回路４９から出力されるパルス列の第１周期〜第４周期の長さはそれぞれ上記期間Ｔｂ２及びＴｂ１の長さに等しく、第５周期のみ長さが異なる。
【０１４６】
第５周期のパルス生成時、制御回路部４２は、インバータ回路４９のトランジスタＱ２及びＱ３をＯＮにし、トランジスタＱ１及びＱ４をＯＦＦにする。このときのトランジスタＱ２及びＱ３のＯＮ時間Ｔｅ１は１．７ｍｓとする。また、半波整流回路６６及びカソード電極３４による負荷を考慮して、カソード電極３４に供給する第２の電圧の立下り時間を０．２ｍｓと推定し、カソード電極３４に対する第２の電圧の印加時間を１．５ｍｓとする。これは、インバータ回路４９から出力されるパルス列の第１周期〜第４周期におけるＸ線の実照射時間の総計が８．４ｍｓであり、その後の立上り時におけるＸ線の推定実照射時間が０．０５ｍｓと推定できるため、期間Ｔｅ１における実照射時間を１．５５ｍｓと推定できるからである。
【０１４７】
期間Ｔｅ１では、期間Ｔａ２と同様に、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように負極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように負極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を反転出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧をそのまま出力し、図１０のｎで示すように平滑用コンデンサ５９により平滑してカソード電極３４に供給する。
【０１４８】
制御回路部４２は、Ｘ線の照射期間における最後の動作時、インバータ回路４９のトランジスタＱ１及びＱ４をＯＮにし、トランジスタＱ２及びＱ３をＯＦＦにする。ここでは、直前に終了するカソード電極３４に対する印加電圧の立上り時間を考慮し、電子源２１から放出される電子をレンズ電極２７で確実に集束できるようにトランジスタＱ１及びＱ４のＯＮ時間Ｔｅ２を２ｍｓとする。
【０１４９】
期間Ｔｅ２では、インバータ回路４９から図１０のｃで示すように正極電圧が出力され、トランス回路５０から図１０のｄ及びｋで示すように正極電圧が出力される。全波整流回路５１は、図１０のｆで示すようにトランス回路５０から出力された正極電圧をそのまま出力し、図１０のｈで示すように平滑用コンデンサ５７により平滑してレンズ電極２７に供給する。一方、半波整流回路６６は、図１０のｍで示すようにトランス回路５０から出力された負極電圧を遮断するため、図１０のｎで示すようにカソード電極３４に対する出力電圧は第２の電圧から第１の電圧まで上昇する。この平滑用コンデンサ５９が放電することによる立上り期間におけるＸ線の照射時間は０．０５ｍｓと推定した。
【０１５０】
最後に、レンズ電極２７に対する印加電圧が確実に立下がった時点で、透過型ターゲット２４に対する電圧印加を停止し、電子源２１のフィラメント２５に対する電圧印加を停止してＸ線の照射動作を終了する。
【０１５１】
なお、上述したように、インバータ回路４９から出力するパレス列のパルス数及びパルス幅は、予め設定したＸ線の照射時間と、カソード電極３４及びレンズ電極２７の負荷特性並びに各整流回路の特性とを考慮して決定すればよい。
【０１５２】
また、本実施形態では、制御部１３からのＸ線の照射指示に対して１回だけＸ線を照射する単発照射を例にしてレンズ電極及びカソード電極駆動部６５の動作を説明したが、制御部１３からのＸ線の照射指示に対してＸ線を連続して照射する連続照射の場合も、上述した単発照射の動作を繰り返すことで実現できる。
【０１５３】
本実施形態のＸ線発生装置によれば、インバータ回路４９を共用してレンズ電極２７及びカソード電極３４に供給する電圧を生成するレンズ電極及びカソード電極駆動部６５を構成することで、Ｘ線管２０の各電極に対する印加電圧を生成する駆動回路の回路規模を背景技術よりも小さくできる。したがって、背景技術よりもＸ線発生装置の小型化が可能になる。
【符号の説明】
【０１５４】
１０    Ｘ線撮影装置
１１    Ｘ線発生装置
１２    Ｘ線検出部
１３    制御部
１４    表示部
１５    Ｘ線電源駆動部
２０    Ｘ線管
２１    電子源
２２    後方遮蔽部材
２３    前方遮蔽部材
２４    透過型ターゲット
２５    フィラメント
２６    グリッド電極
２７    レンズ電極
２８    Ｘ線透過窓
２９    真空容器
３０、３１、３２、３３、３５    配線
３４    カソード電極
４１    ＤＣ電源部
４２    制御回路部
４３    高電圧発生部
４４    レンズ電極及びグリッド電極駆動部
４５    電子源フィラメント駆動部
４６、４９、５３、６１    インバータ回路
４７、５０、５４、６２    トランス回路
４８    昇圧回路
５１、５５、６３    全波整流回路
５２、６６    半波整流回路
５６    整流用ダイオードブリッジ回路
５７、５９    平滑用コンデンサ
５８    整流用ダイオード
６４    コンデンサ放電用抵抗
６５    レンズ電極及びカソード電極駆動部
【図１】
0005661432.tif 000002
【図２】
0005661432.tif 000003
【図３】
0005661432.tif 000004
【図４】
0005661432.tif 000005
【図５】
0005661432.tif 000006
【図６】
0005661432.tif 000007
【図７】
0005661432.tif 000008
【図８】
0005661432.tif 000009
【図９】
0005661432.tif 000010
【図１０】
0005661432.tif 000011