(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面とは反対側の裏面に電極が設けられた太陽電池セルと、絶縁性基材の一方の表面に配線が設けられた配線基板と、を備えた配線基板付き太陽電池セルを製造する方法であって、
前記太陽電池セルの前記裏面と前記配線基板の表面との間の少なくとも一部に第１の接着材を配置する工程と、
前記太陽電池セルの前記裏面の前記電極上および前記配線基板の前記配線上の少なくとも一方に導電性物質を含む導電性接着材を配置する工程と、
前記太陽電池セルの前記裏面上および前記配線基板の前記絶縁性基材上の少なくとも一方に熱硬化性の第２の樹脂を含む第２の接着材を配置する工程と、
前記太陽電池セルの前記裏面と前記配線基板の前記表面とを対向させて、前記電極と前記配線との位置合わせをする工程と、
前記第１の接着材に含まれる第１の樹脂を硬化して前記太陽電池セルと前記配線基板とを仮固定する工程と、
前記導電性物質を加熱して溶融した後に固化する工程と、を含み、
前記第１の樹脂のガラス転移点は前記導電性物質の融点よりも低く、
前記加熱のとき、前記第１の樹脂はガラス転移点以上の温度になって軟化し、前記第２の樹脂は硬化する、配線基板付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項２】
前記第１の接着材は、光硬化型樹脂を含み、
前記太陽電池セルと前記配線基板とを仮固定する工程は、前記第１の接着材に光を照射することによって前記第１の接着材を硬化する、請求項１に記載の配線基板付き太陽電池セルの製造方法。
【請求項３】
前記第１の接着材を配置する工程は、前記太陽電池セルの周縁部に前記第１の接着材を配置する工程を含む、請求項１または２に記載の配線基板付き太陽電池セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板付き太陽電池セルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池セルは次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池セルの種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池セルが主流となっている。
【０００３】
現在、最も多く製造および販売されている太陽電池セルは、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成の両面電極型太陽電池セルである。
【０００４】
また、太陽電池セルの受光面には電極を形成せず、太陽電池セルの裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池セルの開発も進められている。
【０００５】
たとえば、特許文献１（特開２０１０−５０３４１号公報）には、配線基板上に裏面電極型太陽電池セルを設置した後に封止材中に封止することによって太陽電池モジュールとする方法が記載されている。
【０００６】
特許文献１に記載の方法おいては、セルエッジ部に充填材を塗布して硬化させることで、配線基板上への裏面電極型太陽電池セルのアライメントおよび固定を精度良く行なうことが可能となり、高効率かつ高品質の太陽電池モジュールを作製することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−５０３４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の特許文献１に記載の方法においては、裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間に設置されたハンダおよび接着材などが、真空圧着させる工程で裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間に加えられた圧力によって潰れる。そのため、裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔は狭くなる傾向にある。
【０００９】
一方、セルエッジ部に塗布された充填材は、封止材中に封止する工程の前にその少なくとも一部が硬化されるため、セルエッジ部においては、裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔は変化しにくい。
【００１０】
したがって、特許文献１に記載の方法によって製造された太陽電池モジュールにおいては、セルエッジ部では裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔が維持される一方で、セルエッジ部よりも内側では裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔が狭くなるため、裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔を均一にすることができなかった。
【００１１】
その結果、裏面電極型太陽電池セルが反った状態で透明樹脂中に封止され、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板の配線との間の接続不良が生じて、太陽電池モジュールの信頼性が低下するという問題があった。また、裏面電極型太陽電池セルが反らないように圧着力を弱めた場合にも、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板の配線との間の隙間の発生による接続不良が生じやすくなって、太陽電池モジュールの信頼性が低下するという問題があった。
【００１２】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、信頼性の低下を抑制することができる配線基板付き太陽電池セルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、受光面とは反対側の裏面に電極が設けられた太陽電池セルと、絶縁性基材の一方の表面に配線が設けられた配線基板と、を備えた配線基板付き太陽電池セルを製造する方法であって、太陽電池セルの裏面と配線基板の表面との間の少なくとも一部に第１の接着材を配置する工程と、太陽電池セルの裏面の電極上および配線基板の配線上の少なくとも一方に導電性物質を含む導電性接着材を配置する工程と、太陽電池セルの裏面上および配線基板の絶縁性基材上の少なくとも一方に熱硬化性の第２の樹脂を含む第２の接着材を配置する工程と、太陽電池セルの裏面と配線基板の表面とを対向させて電極と配線との位置合わせをする工程と、第１の接着材に含まれる第１の樹脂を硬化して太陽電池セルと配線基板とを仮固定する工程と、導電性物質を加熱して溶融した後に固化する工程と、を含み、第１の接着材のガラス転移点は導電性物質の融点よりも低く、加熱のとき、第１の樹脂はガラス転移点以上の温度になって軟化し、第２の樹脂は硬化する配線基板付き太陽電池セルの製造方法である。ここで、第１の接着材は光硬化型樹脂を含み、太陽電池セルと配線基板とを仮固定する工程は第１の接着材に光を照射することによって第１の接着材を硬化するものであることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の配線基板付き太陽電池セルの製造方法において、第１の接着材を配置する工程は、太陽電池セルの周縁部に第１の接着材を配置する工程を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、信頼性の低下を抑制することができる配線基板付き太陽電池セルの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ）〜（ｆ）は、実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルの製造方法について図解する模式的な断面図である。
【図２】実施の形態１の本固定する工程における第１の接着材の粘度変化、第２の接着材の粘度変化および加熱温度の変化と、経過時間との関係の一例を示す図である。
【図３】実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルの模式的な平面図である。
【図４】実施の形態１の太陽電池モジュールの端部の模式的な断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｇ）は、実施の形態１で用いられる裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【図６】実施の形態１で用いられる裏面電極型太陽電池セルを裏面側から見たときの一例の模式的な平面図である。
【図７】実施の形態１で用いられる裏面電極型太陽電池セルを裏面側から見たときの他の一例の模式的な平面図である。
【図８】実施の形態１で用いられる裏面電極型太陽電池セルを裏面側から見たときのさらに他の一例の模式的な平面図である。
【図９】実施の形態１で用いられる配線基板の模式的な平面図である。
【図１０】（ａ）〜（ｆ）は、実施の形態２の配線基板付き太陽電池セルの製造方法について図解する模式的な断面図である。
【図１１】実施の形態２の本固定する工程における第１の接着材の粘度変化、第３の樹脂の粘度変化および加熱温度の変化と、経過時間との関係の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表すものとする。また、後述する各工程の間に他の工程が含まれていてもよい。
【００２８】
＜実施の形態１＞
図１（ａ）〜図１（ｆ）の模式的断面図を参照して、本発明の配線基板付き太陽電池セルの製造方法の一例である実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
【００２９】
（第１の接着材を配置する工程）
まず、図１（ａ）に示すように、配線基板１０の表面上に第１の接着材３１を配置する工程を行なう。ここで、配線基板１０は、絶縁性基材１１と、絶縁性基材１１の一方の表面上に設けられたｎ型用配線１２とｐ型用配線１３と、を含んでいる。そして、配線基板１０の絶縁性基材１１の表面の周縁部に第１の接着材３１が配置される。第１の接着材３１は、たとえば未硬化の状態で配置される。
【００３０】
第１の接着材３１としては、ガラス転移点を有する樹脂であって、一旦硬化した後にガラス転移点以上の温度に加熱されることによって再度軟化する樹脂である第１の樹脂を含むものであれば特に限定なく用いることができる。第１の樹脂は、光硬化型樹脂および／または熱硬化型樹脂を含むことが好ましい。
【００３１】
第１の樹脂が光硬化型樹脂を含む場合には、後述する仮固定する工程において、裏面電極型太陽電池セルを加熱する必要がないため、熱による裏面電極型太陽電池セルへのダメージおよび変形を防止することができる傾向にある。また、第１の樹脂が光硬化型樹脂を含む場合には、後述する仮固定する工程において、硬化が必要な部分だけに容易に光を照射すればよいため、第１の樹脂を硬化する時間および後述する本固定する工程において第１の樹脂が軟化するまでの時間を短縮することができる傾向にある。そのため、配線基板付き太陽電池セルの製造効率を向上することができる。
【００３２】
また、第１の樹脂が熱硬化型樹脂を含む場合には、後述する仮固定する工程において、後述する本固定する工程の加熱装置などを流用することが可能となり、新たな生産設備を導入する必要がなくなるため、配線基板付き太陽電池セルの製造コストを低減することができる。また、第１の樹脂を部分的に加熱することができる場合には、裏面電極型太陽電池セルへの加熱が抑えられるため、第１の樹脂が光硬化型樹脂を含む場合と同様に、熱による裏面電極型太陽電池セルへのダメージおよび変形を有効に防止することができる傾向にある。
【００３３】
光硬化型樹脂としては、光の照射により硬化する樹脂を用いることができ、たとえば、紫外線（波長１ｎｍ以上４００ｎｍ以下の光）の照射により硬化する紫外線硬化型樹脂などを用いることができる。第１の樹脂が紫外線硬化型樹脂を含む場合には、第１の接着材３１への紫外線の照射により、紫外線が照射された部分の第１の接着材３１を選択的に硬化することができる。このような紫外線硬化型樹脂としては、たとえば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂およびウレタン樹脂からなる群から選択された少なくとも１種を樹脂成分として含む紫外線硬化型樹脂を用いることができる。
【００３４】
熱硬化型樹脂としては、加熱により硬化する樹脂を用いることができ、たとえば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂およびウレタン樹脂からなる群から選択された少なくとも１種を樹脂成分として含む熱硬化型樹脂を用いることができる。
【００３５】
本実施の形態においては、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点が、後述する導電性接着材に含まれる導電性物質の融点よりも低くされる。これにより、後述するように、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板１０の配線との間の電気的な接続の信頼性をさらに向上することができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の機械的な接続の信頼性をさらに向上することができる。
【００３６】
第１の接着材３１の配置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることができるが、なかでも、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷を用いた場合には、簡易に、低コストでかつ短時間で第１の接着材３１を配置することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態においては、配線基板１０の絶縁性基材１１の表面上に第１の接着材３１を配置する場合について説明するが、後述する裏面電極型太陽電池セルの裏面上に第１の接着材３１を配置してもよく、後述する裏面電極型太陽電池セルの裏面上および配線基板１０の絶縁性基材１１の表面上の双方に第１の接着材３１を配置してもよい。
【００３８】
また、後述の位置合わせする工程の後に、裏面電極型太陽電池セルの裏面と絶縁性基材１１の表面とに跨るように第１の接着材３１を配置してもよい。この場合には、第１の接着材３１の配置方法としてディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることが好ましい。
【００３９】
特に、第１の接着材３１は、裏面電極型太陽電池セルの周縁部に配置されることが好ましい。この場合には、後述する位置合わせ工程後に第１の接着材３１を配置しやすくなる傾向にある。また、第１の接着材３１が露出しているため、後述する仮固定する工程において、第１の接着材３１に光を照射して第１の接着材３１を硬化させる場合に、光を効率良く照射して短時間で第１の接着材３１を硬化することができる傾向にある。また、後述する仮固定する工程において、第１の接着材３１を加熱して第１の接着材３１を硬化させる場合に、第１の接着材３１が露出しており、第１の接着材３１のみを加熱することができるため、熱による裏面電極型太陽電池セルへのダメージおよび変形を防止することができる傾向にある。また、第１の接着材３１は後述する本固定する工程において加圧により変形することから、第１の接着材３１の近傍に裏面電極型太陽電池セルの電極や配線基板１０の配線を配置すると、変形した第１の接着材３１が裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板１０の配線との電気的な接続を妨げるおそれがある。したがって、第１の接着材３１を発電効率が比較的高くない裏面電極型太陽電池セルの周縁部に配置することによって、発電効率の低下を抑制しながら裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板１０の配線との電気的な接続を確保することができる。なお、仮に、第１の接着材３１が配線基板１０の絶縁性基材１１の表面上のみに配置された場合であっても、後述する仮固定する工程の段階で、配置された第１の接着材３１が裏面電極型太陽電池セルの周縁部に存在する場合には、第１の接着材３１は、裏面電極型太陽電池セルの周縁部に配置されていることになる。
【００４０】
（第２の接着材を配置する工程）
次に、図１（ｂ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の裏面上に第２の接着材３４を配置する工程を行なう。裏面電極型太陽電池セル８は、半導体基板１を有するとともに、半導体基板１の一方の表面である裏面に設けられたｎ型用電極６とｐ型用電極７とを有している。ここで、ｎ型用電極６とｐ型用電極７とは極性の異なる電極である。なお、第２の接着材３４も、たとえば未硬化の状態で配置される。
【００４１】
半導体基板１の裏面には、ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３がそれぞれ形成されており、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７はそれぞれｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３に接するように形成されている。
【００４２】
ｎ型用電極６およびｐ型用電極７は、それぞれ、半導体基板１の裏面に形成されたパッシベーション膜４の開口部におけるｎ型不純物拡散領域２上およびｐ型不純物拡散領域３上に形成されている。
【００４３】
半導体基板１の裏面と反対側の表面である受光面には、テクスチャ構造が形成されるとともに、テクスチャ構造上に反射防止膜５が形成されている。
【００４４】
第２の接着材３４は、たとえば、図１（ｂ）に示すように、隣り合うｎ型用電極６とｐ型用電極７との間の裏面電極型太陽電池セル８の裏面の領域上に配置されるが、この領域上に配置することに限定されるものではない。
【００４５】
第２の接着材３４としては、後述する本固定する工程において硬化する樹脂である第２の樹脂を含むものであれば特に限定されないが、第２の接着材３４に含まれる第２の樹脂はＢステージ状態となることができる樹脂であることが好ましい。Ｂステージ状態とは、第２の樹脂が未硬化でありながら固体のように形状を維持している状態のことである。Ｂステージ状態となることができる第２の樹脂としては、たとえば、樹脂中に揮発性の溶剤が混合されており、塗布後に溶剤を揮発させることによって樹脂が硬化反応していないままで粘度を上げることができる樹脂、または複数の樹脂の混合体であって、加熱などによって１つの樹脂の粘度を下げて別の樹脂中に入り込ませ、別の樹脂の体積を膨張させることで別の樹脂が硬化反応していないままで粘度を上げることができる樹脂などが挙げられる。
【００４６】
また、第２の樹脂のガラス転移点は、第１の樹脂のガラス転移点よりも高いことが好ましい。後述する本固定する工程において、第１の接着材３１は、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に加熱されて軟化する。この場合に、第２の接着材３４に含まれる第２の樹脂のガラス転移点を、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点よりも高くすることによって、本固定する工程中における第２の樹脂の硬化反応による第２の接着材３４の粘度の速やかな上昇を促すことができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との電気的な接続の安定性が向上するとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との機械的な接続を効率的に行なうことができる傾向にある。
【００４７】
さらに、第２の樹脂のガラス転移点は、後述する本固定する工程で第２の樹脂が加熱される温度よりも高いことがより好ましい。この場合には、後述する本固定する工程において、第２の樹脂の硬化反応による第２の接着材３４の粘度上昇を妨げないようにすることができるため、より速く確実に第２の接着材３４を硬化することができる傾向にある。
【００４８】
第２の接着材３４の配置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることができるが、なかでも、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷を用いた場合には、簡易に、低コストでかつ短時間で第２の接着材３４を配置することができる。
【００４９】
なお、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８の裏面上に第２の接着材３４を配置する場合について説明するが、配線基板１０の絶縁性基材１１上に第２の接着材３４を配置してもよく、裏面電極型太陽電池セル８の裏面上および配線基板１０の絶縁性基材１１の表面上の双方に第２の接着材３４を配置してもよい。
【００５０】
（第２の接着材を仮硬化する工程）
次に、第２の接着材３４を仮硬化する工程を行なうことが好ましい。第２の接着材３４を仮硬化することによって、後述する位置合わせ工程において、裏面電極型太陽電池セル
８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせ中に第２の接着材３４が裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間に粘着して位置合わせ動作を阻害したり、適切な位置以外の部分に第２の接着材３４が粘着してしまうことを抑制することできる傾向にある。
【００５１】
ここで、第２の接着材３４を仮硬化する工程は、第２の接着材３４中の第２の樹脂をＢステージ状態とする工程を含むことが好ましい。第２の樹脂をＢステージ状態とすることによって第２の接着材３４を仮硬化した場合には、第２の樹脂は未硬化の状態であるため、後述する本固定する工程において第２の樹脂を硬化させることにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との機械的な接続の信頼性を向上することができる傾向にある。また、第２の樹脂をＢステージ状態とすることによって、第２の樹脂をガラス転移点未満の温度に加熱した場合でも第２の樹脂を軟化させることができる傾向にある。さらに、Ｂステージ状態の第２の樹脂においては架橋などの硬化反応が進んでいないため、後述する本固定する工程において、第２の樹脂本来の流動性や接着力を損なうことなく第２の樹脂を硬化することができ、第２の接着材３４によって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを強固に固定することができる傾向にある。
【００５２】
（導電性接着材を配置する工程）
また、裏面電極型太陽電池セル８の裏面のｎ型用電極６の表面上およびｐ型用電極７の表面上にそれぞれ導電性接着材３０を配置する工程を行なう。導電性接着材３０は、固体状の導電性物質３２を含み、導電性物質３２を第３の樹脂３３中に含有することが好ましい。このような導電性接着材３０を用いた場合には、導電性物質３２を溶融させることなく導電性接着材３０を配置することができ、導電性物質３２の融点まで加熱する必要がないため、裏面電極型太陽電池セル８の熱によるダメージおよび変形を有効に防止することができる傾向にある。また、導電性接着材３０は、たとえば、第３の樹脂３３が未硬化の状態で配置される。
【００５３】
導電性物質３２としては、導電性材料であれば特に限定なく用いることができるが、たとえば固体状の半田などを用いることができる。固体状の半田としては、たとえば、粒状、フレーク状および粉末状からなる群から選択された少なくとも１種の形状を有する半田などを用いることができる。また、第３の樹脂３３としては、後述する本固定する工程において硬化する樹脂であれば特に限定されないが、たとえば、エポキシ樹脂、アクリル樹脂およびウレタン樹脂からなる群から選択された少なくとも１種を樹脂成分として含む熱硬化型樹脂および／または光硬化型樹脂、またはＢステージ状態とすることができる樹脂などを用いることができる。
【００５４】
第３の樹脂３３として、Ｂステージ状態とすることができる樹脂を用いた場合には、導電性接着材３０の配置後に第３の樹脂３３をＢステージ状態として導電性接着材３０を仮硬化することが好ましい。この場合には、後述する位置合わせする工程において、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせ中に第３の樹脂３３が裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間に粘着して位置合わせ動作を阻害したり、適切な位置以外の部分に第３の樹脂３３が粘着してしまうことを抑制することできる傾向にある。
【００５５】
また、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３のガラス転移点は、第１の接着材３１に含まれるガラス転移点よりも高いことが好ましい。上述したように、後述する本固定する工程において、第１の接着材３１は、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に加熱されて軟化する。この場合に、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３のガラス転移点を、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点よりも高くすることによって、本固定する工程中における第３の樹脂３３の硬化反応による粘度の速やかな上昇を促すことができる。これにより、第３の樹脂３３による裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との電気的な接続の信頼性が向上するとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との機械的な接続を効率的に行なうことができる傾向にある。
【００５６】
導電性接着材３０の配置方法としては、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法を用いることができるが、なかでも、スクリーン印刷を用いることが好ましい。スクリーン印刷を用いた場合には、簡易に、低コストで、かつ短時間で導電性接着材３０を配置することができる。
【００５７】
なお、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極上に導電性接着材３０を配置する場合について説明するが、配線基板１０の配線上に導電性接着材３０を配置してもよく、裏面電極型太陽電池セル８の電極上および配線基板１０の配線上の双方に導電性接着材３０を配置してもよい。
【００５８】
また、第１の接着材３１を配置する工程、第２の接着材３４を配置する工程および導電性接着材３０を配置する工程の順序は特に限定されず、たとえば、これらの少なくとも２つの工程を並行して行なってもよい。
【００５９】
（位置合わせする工程）
次に、図１（ｃ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の裏面と、配線基板１０の表面とを対向させて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを位置合わせする工程を行なう。なお、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを位置合わせする工程は、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とが向かい合う位置になるように行なうことができる。
【００６０】
ここで、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを位置合わせする工程においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とが対向するように、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせを行なうことができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との電気的接続の信頼性、および裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との機械的接続の信頼性を向上することができる。
【００６１】
（仮固定する工程）
次に、図１（ｄ）に示すように、第１の接着材３１を硬化して硬化状態の第１の接着材３１ａとすることによって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを仮固定する工程を行なう。仮固定する工程は、第１の接着材３１への光の照射および／または加熱により、第１の接着材３１を硬化して硬化状態の第１の接着材３１ａとすることによって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との位置関係を固定することにより行なうことができる。
【００６２】
なお、仮固定する工程において、第１の接着材３１の全体を硬化してもよいが、第１の接着材３１を部分的に硬化することが好ましい。この場合には、第１の接着材３１の必要な部分のみへの光の照射および／または加熱によって第１の接着材３１を部分的に硬化すればよいため、上述した理由と同様の理由により、配線基板付き太陽電池セルの製造効率を向上することができる傾向にある。また、加熱によって第１の接着材３１を硬化する場合は、熱による裏面電極型太陽電池セルへのダメージおよび変形を有効に防止することができる傾向にある。
【００６３】
（本固定する工程）
次に、図１（ｅ）および図１（ｆ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを本固定する工程を行なう。
【００６４】
本固定する工程は、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを加圧して裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の間隔を狭くしながら、第１の接着材３１ａ、第２の接着材３４および導電性接着材３０を加熱することにより行なうことができる。
【００６５】
たとえば、まず、第１の接着材３１ａ、第２の接着材３４および導電性接着材３０を第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂のガラス転移点未満の温度まで加熱する工程を行なう。この工程後の段階では、第１の接着材３１ａ、第２の接着材３４および導電性接着材３０はいずれも軟化していない。
【００６６】
次に、図１（ｅ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間に互いの距離が狭まる方向へ圧力を加える工程を行なう。裏面電極型太陽電池セル８は、加圧によって、配線基板１０に対して矢印４０の方向に相対的に移動させられる。このとき、仮固定された裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを加熱する工程を行なってもよいが、第１の接着材３１ａ、第２の接着材３４および導電性接着材３０が第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂のガラス転移点未満の温度である段階で、上記圧力を加える工程を行なうことが好ましい。この段階では、第１の接着材３１ａは軟化していないので、当該加圧による配線基板１０に対する裏面電極型太陽電池セル８の相対的な移動が制限されている。これにより、後述する工程において、配線基板１０に対する裏面電極型太陽電池セル８の相対的な位置を固定したまま第１の接着材３１ａを軟化させて変形させることが可能となる。
【００６７】
次に、第１の接着材３１ａ、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度をさらに高くすることによって、これらの接着材の温度を第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に加熱する工程を行なう。これにより、第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂の粘度が低下して、第１の接着材３１ａが変形可能な軟化状態の第１の接着材３１となる。
【００６８】
ここで、第２の接着材３４は、第２の接着材３４に含まれる第２の樹脂のガラス転移点未満の温度となるように加熱されることが好ましい。これにより、第１の接着材３１ａの粘度を低下させて第１の接着材３１ａを変形可能な軟化状態の第１の接着材３１とする一方で、第２の接着材３４の粘度の速やかな上昇を促すことができる。
【００６９】
また、導電性接着材３０は、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３のガラス転移点未満の温度となるように加熱されることがより好ましい。これにより、第３の樹脂３３の硬化反応による粘度の速やかな上昇を促すことができる。
【００７０】
裏面電極型太陽電池セル８は、第１の接着材３１の変形により、裏面電極型太陽電池セル８の全体が配線基板１０の方向に移動することになるため、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全体にわたって裏面電極型太陽電池セル８の裏面と配線基板１０の表面との間の間隔を狭くすることができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の間隔を均一にすることができる。また、裏面電極型太陽電池セル８を配線基板１０の方向に加圧することによって、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間の隙間の発生による接続不良が生じにくくなる。
【００７１】
次に、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度をさらに高くすることによって、これらの接着材の温度を導電性接着材３０に含まれる固体状の導電性物質３２の融点以上の温度に加熱した後に冷却する工程を行なう。これにより、固体状の導電性物質３２が溶融し、図１（ｆ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間に凝集する。そして、これらの間に凝集した溶融状態の導電性物質３２が固化することによって裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間を電気的に接続する。また、第１の樹脂が硬化して硬化状態の第１の接着材３１ａとなり、第２の樹脂が硬化して硬化状態の第２の接着材３４ａとなり、第３の樹脂３３が硬化して硬化状態の第３の樹脂３３ａとなる。これらの硬化状態の樹脂によって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とが機械的に接続される。以上により、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とが本固定されて、実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルが製造される。
【００７２】
ここで、第２の接着材３４の加熱温度は、第２の接着材３４に含まれる第２の樹脂のガラス転移点未満の温度であることが好ましい。この場合には、第２の接着材３４は加圧および加熱中に硬化状態となることができ、冷却や加圧解除の際に配線基板１０に対する裏面電極型太陽電池セル８の相対的な位置がずれてしまうことを防ぐことができる。同様に、導電性接着材３０の加熱温度は、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３のガラス転移点未満の温度であることが好ましい。この場合には、加熱によって導電性物質３２が溶融している間に第３の樹脂３３を硬化状態とすることができる。したがって、溶融状態で裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間に凝集した導電性物質３２の周りに硬化状態の第３の樹脂３３が隣接している状態となるため、冷却によって導電性物質３２が固化する際に導電性物質３２が再び拡がってしまうことを防ぐことができる。
【００７３】
図２に、実施の形態１の本固定する工程における第１の接着材の粘度変化、第２の接着材の粘度変化および加熱温度の変化と、経過時間との関係の一例を示す。なお、図２において、１点鎖線が経過時間に対する第１の接着材の粘度の変化を示し、２点鎖線が経過時間に対する第２の接着材の粘度の変化を示し、実線が経過時間に対する加熱温度の変化を示している。
【００７４】
図２の横軸の（ａ）の時点は、第１の接着材３１によって配線基板１０に仮固定された裏面電極型太陽電池セル８を本固定する前の時点を示している。（ａ）の時点で、第２の接着材に含まれる第２の樹脂はＢステージ状態となっており、第２の接着材３４は未硬化の状態ではあるが、粘度が高い状態となっている。
【００７５】
図２の横軸の（ｂ）の時点は、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度が第１の樹脂のガラス転移点に到達する前の温度の時点を示している。（ｂ）の時点で、常圧の状態から、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の互いの距離が狭まる方向への加圧を開始する。
【００７６】
図２の横軸の（ｃ）の時点は、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度が第１の樹脂のガラス転移点以上となった時点を示している。（ｃ）の時点で、第１の接着材３１は軟化して粘度が低下する。第２の接着材は加熱温度の上昇により粘度が低下する。裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とは、互いに距離が狭まる方向に加圧されているため、粘度が低下した第１の接着材３１はこの圧力によって厚さが低減するように潰れ、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間が狭くなる。
【００７７】
図２の横軸の（ｄ）の時点は、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度が導電性物質３２の融点以上となった時点を示している。（ｄ）の時点で、導電性接着材３０に含まれる導電性物質３２（半田など）が溶融することによって、裏面電極型太陽電池セル８の電極の表面と配線基板１０の配線の表面との間に濡れ広がる。また、導電性物質３２の固体から液体への状態変化により、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間がさらに狭くなる。（ｄ）の時点においても、第１の接着材３１の粘度および第２の接着材３４の粘度はそれぞれ低粘度であるため、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の圧力によって第１の接着材３１は厚さが低減するようにさらに潰れ、また、第２の接着材３４も変形するため、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間がさらに狭くなる。
【００７８】
図２の横軸の（ｅ）の時点は、（ｄ）の時点から、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度を導電性物質３２の融点以上の温度で保持して経過した時点を示している。（ｅ）の時点で、第２の接着材３４に含まれる第２の樹脂のガラス転移点は本固定する工程で加熱される温度よりも高くなっているため、第２の樹脂の硬化反応の進行に伴い、第２の接着材３４は次第に硬化して、その粘度が上昇していく。
【００７９】
図２の横軸の（ｆ）の時点は、第２の接着材３４の硬化反応が進んで所望の粘度に達した時点を示している。（ｆ）の時点で、第１の接着材３１、第２の接着材３４および導電性接着材３０の加熱温度を低下させるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の互いの距離が狭まる方向への加圧を停止し、常圧の状態に戻す。これにより、第１の接着材３１も加熱前の硬化状態に戻るが、第２の接着材３４が既に硬化して裏面電極型太陽電池セル８は配線基板１０に固定されているため、第１の接着材３１は潰れた状態で再度硬化することになる。
【００８０】
その後、太陽電池モジュールの製造プロセスまたは太陽電池モジュールの使用環境において太陽電池モジュールの温度が第１の樹脂のガラス転移点以上の温度になった場合には第１の接着材３１は軟化するが、第２の接着材３４を硬化状態に保持することによって、裏面電極型太陽電池セル８は配線基板１０に強固に固定されることになる。
【００８１】
本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを位置合わせした状態で第１の接着材３１の硬化によって仮固定を行ない、その後、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との距離が互いに狭まる方向に圧力をかけることで、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間を狭めて、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを密接に接続する。このとき、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に第１の接着材３１を加熱することによって第１の接着材３１は軟化して変形することができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせがされた状態を維持しながら、裏面電極型太陽電池セル８全体を配線基板１０と向かい合う方向へ相対的に移動させて裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間を狭めることができる。その結果、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との隙間の大きさの均一性を向上することができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８の反りなどの機械的な応力が裏面電極型太陽電池セル８にかかることを抑制することができる。
【００８２】
したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との距離が互いに狭まる方向に加圧して裏面電極型太陽電池セル８の裏面全面と配線基板１０とを十分に圧着させた状態でこれらを固定することができることから、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の機械的な接続の信頼性を向上することができる。また、裏面電極型太陽電池セル８の裏面全面と配線基板１０とを十分に圧着させた状態でこれらを固定することにより、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間の隙間の発生による接続不良が生じにくくなることから、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間の電気的な接続の信頼性を向上することができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の機械的な接続の信頼性を向上することができる。
【００８３】
また、本実施の形態においては、第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点を、導電性接着材３０に含まれる導電性物質３２の融点よりも低くしているため、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせがされた状態を維持しながら、電極と配線との間の隙間を狭めた後に導電性物質３２を溶融する。これにより、溶融した導電性物質は電極および配線の表面に濡れ広がるとともに電極と配線とを密接に接続し、その後冷却して固化することによって、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを電気的かつ機械的に接続している。これにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との密着性を十分に高めることができることから、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間の電気的な接続の信頼性をさらに向上することができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の機械的な接続の信頼性をさらに向上することができる。
【００８４】
（配線基板付き太陽電池セル）
図３に、実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルの模式的な平面図を示す。図３に示すように、配線基板付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セル８の電極設置側の表面である裏面と、配線基板１０の配線設置側の表面と、が向かい合うようにして裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とが配置されている。
【００８５】
ここで、本実施の形態においては、１枚の配線基板１０上に１６枚の裏面電極型太陽電池セル８を配置しているが、この構成に限定されないことは言うまでもなく、たとえば１枚の配線基板１０上に１枚の裏面電極型太陽電池セル８を配置した構成としてもよい。
【００８６】
（太陽電池モジュール）
図４に、実施の形態１の太陽電池モジュールの端部の模式的な断面図を示す。ここで、太陽電池モジュールは、実施の形態１の配線基板付き太陽電池セルが、透光性支持部材１７と裏面保護材１９との間の透光性封止材１８中に封止されることにより構成されている。
【００８７】
図４に示す太陽電池モジュールは、たとえば、以下のようにして製造することできる。まず、ガラスなどの透光性支持部材１７と、エチレンビニルアセテート（ＥＶＡ）などの透光性封止材１８と、配線基板付き太陽電池セルと、透光性封止材１８と、ポリエステルフィルムなどの裏面保護材１９と、をこの順に積層する。そして、透光性支持部材１７と裏面保護材１９との間を加圧しながら加熱し、これらの透光性封止材１８を溶融した後に硬化して一体化して封止することにより製造することができる。
【００８８】
なお、太陽電池モジュールを作製する場合は、上記の裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを本固定する工程は、上記の封止時に行なうことが好ましい。すなわち、第１の接着材３１の硬化により仮固定した後の裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０を透光性封止材１８で挟み込み、裏面電極型太陽電池セル８の受光面（電極形成側の裏面とは反対側の表面）側の透光性封止材１８上に透光性支持部材１７を積層し、受光面側とは反対側の透光性封止材１８上に裏面保護材１９を積層して、積層体を形成する。したがって、積層体は、裏面保護材１９、透光性封止材１８、配線基板１０、裏面電極型太陽電池セル８、透光性封止材１８および透光性支持部材１７がこの順に積層されて構成されている。
【００８９】
その後、透光性支持部材１７と裏面保護材１９との間に互いの距離が狭まる方向の圧力を加えながら加熱し、これらの透光性封止材１８を溶融した後に硬化して一体化して封止することによって太陽電池モジュールを作製することができる。
【００９０】
裏面電極型太陽電池セル８を透光性封止材１８によって透光性支持部材１７に接着して封止してなる太陽電池モジュールにおいては、裏面電極型太陽電池セル８と透光性封止材１８と透光性支持部材１７とを順に積層し、これをラミネータなどによって加熱および加圧する工程が一般的に用いられている。裏面電極型太陽電池セル８が仮固定された配線基板１０を透光性封止材１８によって透光性支持部材１７に接着して封止することによって太陽電池モジュールを製造する場合には、上記の本固定する工程は、上記のラミネータなどによって加熱および加圧する工程に含めることができる。
【００９１】
これにより、所定の温度に加熱しながら裏面電極型太陽電池セル８の全面を均一に加圧することができるため、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との密着性を向上させて、電気的かつ機械的な接続を得ることができる。また、配線基板１０に接続された裏面電極型太陽電池セル８を透光性支持部材１７と透光性封止材１８とによって封止することができる。これらの理由により、本固定する工程を透光性封止材１８中への封止時に行なうことによって、信頼性の高い太陽電池モジュールを製造することができる。
【００９２】
また、透光性支持部材１７と裏面保護材１９との間の加圧は、真空雰囲気で行なわれることが好ましい。真空雰囲気において、上記の積層体に透光性支持部材１７と裏面保護材１９との間の加圧を行なうことによって、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との隙間が狭くなる際に裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間に空隙が残らないように透光性封止材１８中に封止することができる。これにより、裏面電極型太陽電池セル８の電極と、配線基板１０の配線との密着性をさらに向上させることができるため、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間の電気的な接続の信頼性をさらに向上することができるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の機械的な接続の信頼性をさらに向上することができる。なお、本明細書において、真空雰囲気とは、１×１０3Ｐａ以下の圧力の雰囲気のことを意味する。
【００９３】
なお、実施の形態１の太陽電池モジュールは、裏面保護材１９、透光性封止材１８、配線基板１０、裏面電極型太陽電池セル８、透光性封止材１８および透光性支持部材１７がこの順に積層されて構成されているが、裏面保護材１９および裏面保護材１９と配線基板１０との間に配置される透光性封止材１８を省いて、配線基板１０が裏面保護材１９を兼ねていてもよい。この場合には、透光性支持部材１７と配線基板１０との間に加圧を行なうことになる。
【００９４】
（裏面電極型太陽電池セル）
上記において、裏面電極型太陽電池セル８としては、たとえば以下のようにして製造した裏面電極型太陽電池セル８を用いることができる。以下、図５（ａ）〜図５（ｇ）の模式的断面図を参照して、実施の形態１で用いられる裏面電極型太陽電池セル８の製造方法の一例について説明する。
【００９５】
まず、図５（ａ）に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。半導体基板１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型のいずれかの導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。
【００９６】
次に、図５（ｂ）に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。
【００９７】
スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができる。
【００９８】
次に、図５（ｃ）に示すように、半導体基板１の裏面に、ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ｎ型不純物拡散領域２は、たとえば、ｎ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、ｐ型不純物拡散領域３は、たとえば、ｐ型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。
【００９９】
ｎ型不純物拡散領域２およびｐ型不純物拡散領域３はそれぞれ図５の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、ｎ型不純物拡散領域２とｐ型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。
【０１００】
ｎ型不純物拡散領域２はｎ型不純物を含み、ｎ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、ｎ型不純物としては、たとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができる。
【０１０１】
ｐ型不純物拡散領域３はｐ型不純物を含み、ｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、ｐ型不純物としては、たとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。
【０１０２】
ｎ型不純物を含むガスとしては、たとえばＰＯＣｌ3のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、ｐ型不純物を含むガスとしては、たとえばＢＢｒ3のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。
【０１０３】
次に、図５（ｄ）に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical  Vapor  Deposition）法などの方法により形成することができる。
【０１０４】
パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。
【０１０５】
パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。
【０１０６】
次に、図５（ｅ）に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。
【０１０７】
テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。
【０１０８】
反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。
【０１０９】
次に、図５（ｆ）に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、ｎ型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、ｐ型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。
【０１１０】
なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。
【０１１１】
次に、図５（ｇ）に示すように、コンタクトホール４ａを通してｎ型不純物拡散領域２に接するｎ型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通してｐ型不純物拡散領域３に接するｐ型用電極７と、を形成することによって、裏面電極型太陽電池セル８を製造することができる。
【０１１２】
図６に、上記のようにして製造した裏面電極型太陽電池セル８を裏面側から見たときの一例の模式的な平面図を示す。図６に示すように、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７はそれぞれ櫛形状に形成されており、櫛形状のｎ型用電極６の櫛歯に相当する部分と櫛形状のｐ型用電極７の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるようにｎ型用電極６およびｐ型用電極７が配置されている。その結果、櫛形状のｎ型用電極６の櫛歯に相当する部分と櫛形状のｐ型用電極７の櫛歯に相当する部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されることになる。
【０１１３】
裏面電極型太陽電池セル８の裏面のｎ型用電極６およびｐ型用電極７のそれぞれの形状および配置は、図６に示す構成に限定されず、配線基板１０のｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３にそれぞれ電気的に接続可能な形状および配置であればよい。
【０１１４】
図７に、裏面電極型太陽電池セル８を裏面側から見たときの他の一例の模式的な平面図を示す。図７に示すように、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７はそれぞれ同一方向に伸長（図７の上下方向に伸長）する帯状に形成されており、半導体基板１の裏面において上記の伸長方向と直交する方向にそれぞれ１本ずつ交互に配置されている。
【０１１５】
図８に、裏面電極型太陽電池セル８を裏面側から見たときのさらに他の一例の模式的な平面図を示す。図８に示すように、ｎ型用電極６およびｐ型用電極７はそれぞれ点状に形成されており、点状のｎ型用電極６の列（図８の上下方向に伸長）および点状のｐ型用電極７の列（図８の上下方向に伸長）がそれぞれ半導体基板１の裏面において１列ずつ交互に配置されている。
【０１１６】
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板の一方の表面側（裏面側）のみにｎ型用電極およびｐ型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal  Wrap  Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面側と反対側の裏面側から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
【０１１７】
（配線基板）
図９に、実施の形態１で用いられる配線基板の模式的な平面図を示す。ここで、配線基板１０は、絶縁性基材１１を有するとともに、絶縁性基材１１の一方の表面に設けられた櫛形状のｎ型用配線１２と、櫛形状のｐ型用配線１３と、帯状の接続用配線１４とを有している。
【０１１８】
ここで、ｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３はそれぞれ櫛形状であり、ｎ型用配線１２の櫛歯に相当する部分とｐ型用配線１３の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるようにｎ型用配線１２およびｐ型用配線１３がそれぞれ配置されている。その結果、ｎ型用配線１２の櫛歯に相当する部分とｐ型用配線１３の櫛歯に相当する部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置される。また、櫛歯の長手方向において互いに背を向けて向かい合う櫛形状のｎ型用配線１２と櫛形状のｐ型用配線１３とが帯状の接続用配線１４で電気的に接続されている。
【０１１９】
配線基板１０は、たとえば以下のようにして製造することができる。まず、たとえばＰＥＮフィルムなどの絶縁性基材１１を用意し、その絶縁性基材１１の一方の表面の全面にたとえば金属箔または金属プレートなどの導電性物質を貼り合わせる。たとえば所定の幅にカットされた絶縁性基材１１のロールを引き出し、絶縁性基材１１の一方の表面に接着剤を塗布し、絶縁性基材１１の幅よりやや小さくカットされたたとえば金属箔などの導電性物質のロールを重ね合わせて加圧・加熱することで貼り合わせることができる。
【０１２０】
次に、絶縁性基材１１の表面に貼り合わされた導電性物質の一部をフォトエッチングなどにより除去して導電性物質をパターンニングすることによって、絶縁性基材１１の表面上に裏面電極型太陽電池セル８の電極の形状に合わせてパターンニングされた導電性物質からなるｎ型用配線１２、ｐ型用配線１３および接続用配線１４を含む配線を形成する。これにより、配線基板１０を製造することができる。
【０１２１】
絶縁性基材１１の材質としては、電気絶縁性の材質であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：Polyethylene  terephthalate）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：Polyethylene  naphthalate）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：Polyphenylene  sulfide）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ：Polyvinyl  fluoride）およびポリイミド（Polyimide）からなる群から選択された少なくとも１種の樹脂を含む材質を用いることができる。
【０１２２】
絶縁性基材１１の厚さは特に限定されず、たとえば２５μｍ以上１５０μｍ以下とすることができる。
【０１２３】
絶縁性基材１１は、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【０１２４】
配線の材質としては、導電性の材質のものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
【０１２５】
配線の厚さも特に限定されず、たとえば１０μｍ以上５０μｍ以下とすることができる。
【０１２６】
配線の形状も上述した形状に限定されず、適宜設定することができるものであることは言うまでもない。
【０１２７】
配線の少なくとも一部の表面には、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂ半田、およびＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む導電性物質を設置してもよい。この場合には、配線基板１０の配線と裏面電極型太陽電池セル８の電極との電気的接続を良好なものとすることができるとともに、配線の耐候性を向上させることができる傾向にある。
【０１２８】
配線の少なくとも一部の表面には、たとえば防錆処理や黒化処理などの表面処理を施してもよい。
【０１２９】
配線も、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
【０１３０】
＜実施の形態２＞
以下、図１０（ａ）〜図１０（ｆ）の模式的断面図を参照して、本発明の配線基板付き太陽電池セルの一例である実施の形態２の配線基板付き太陽電池セルの製造方法について説明する。実施の形態２の配線基板付き太陽電池セルの製造方法は、第２の接着材３４を用いていない点で、実施の形態１と異なっている。
【０１３１】
まず、図１０（ａ）に示すように、配線基板１０の表面上に第１の接着材３１を配置する工程を行なう。次に、図１０（ｂ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の裏面のｎ型用電極６の表面上およびｐ型用電極７の表面上にそれぞれ導電性接着材３０を配置する工程を行なう。
【０１３２】
次に、導電性接着材３０の第３の樹脂３３を仮硬化する工程を行なうことが好ましい。第３の樹脂３３を仮硬化することによって、後述する位置合わせ工程において、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との位置合わせ中に第３の樹脂３３が裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間に粘着して位置合わせ動作を阻害したり、適切な位置以外の部分に第３の樹脂３３が粘着してしまうことを抑制することできる傾向にある。
【０１３３】
ここで、第３の樹脂３３を仮硬化する工程は、第３の樹脂３３をＢステージ状態とする工程を含むことが好ましい。第３の樹脂３３をＢステージ状態とすることによって第３の樹脂３３を仮硬化した場合には、第３の樹脂３３は未硬化の状態であるため、後述する本固定する工程において第３の樹脂３３を硬化させることにより、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との機械的な接続の信頼性を向上することができる傾向にある。また、第３の樹脂３３をＢステージ状態とすることによって、第３の樹脂３３をガラス転移点未満の温度に加熱した場合でも第３の樹脂３３を軟化させることができる傾向にある。さらに、Ｂステージ状態の第３の樹脂３３においては架橋などの硬化反応が進んでいないため、後述する本固定する工程において、第３の樹脂３３本来の流動性や接着力を損なうことなく第３の樹脂３３を硬化することができ、第３の樹脂３３によって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを強固に固定することができる傾向にある。
【０１３４】
次に、図１０（ｃ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の裏面と、配線基板１０の表面とを対向させて裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線とを位置合わせする工程を行なう。
【０１３５】
次に、図１０（ｄ）に示すように、第１の接着材３１を硬化して硬化状態の第１の接着材３１ａとすることによって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを仮固定する工程を行なう。
【０１３６】
次に、図１０（ｅ）および図１０（ｆ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを本固定する工程を行なう。
【０１３７】
本固定する工程は、たとえば、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とを加圧して裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の間隔を狭くしながら、第１の接着材３１ａおよび導電性接着材３０を加熱することにより行なうことができる。
【０１３８】
たとえば、まず、第１の接着材３１ａおよび導電性接着材３０を第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂のガラス転移点未満の温度まで加熱する工程を行なう。この工程後の段階では、第１の接着材３１ａおよび導電性接着材３０はいずれも軟化していない。
【０１３９】
次に、第１の接着材３１ａおよび導電性接着材３０の温度が第１の接着材３１に含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に到達するよりも前に、図１０（ｅ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０の間に互いの距離が狭まる方向へ加圧する工程を行なうことが好ましい。裏面電極型太陽電池セル８は、加圧によって、配線基板１０に対して矢印４０の方向に相対的に移動させられる。
【０１４０】
次に、第１の接着材３１ａおよび導電性接着材３０の加熱温度をさらに高くすることによって、これらの接着材の温度を第１の接着材３１ａに含まれる第１の樹脂のガラス転移点以上の温度に加熱する工程を行なう。
【０１４１】
ここで、導電性接着材３０は、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂のガラス転移点未満の温度となるように加熱されることが好ましい。これにより、第１の接着材３１ａの粘度を低下させて第１の接着材３１ａを変形可能な軟化状態の第１の接着材３１とする一方で、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３の硬化反応による導電性接着材３０の粘度の速やかな上昇を促すことができる。
【０１４２】
次に、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度をさらに高くすることによって、これらの接着材の温度を導電性接着材３０に含まれる固体状の導電性物質３２の融点以上の温度に加熱した後に冷却する工程を行なう。これにより、固体状の導電性物質３２が溶融し、図１０（ｆ）に示すように、裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間に凝集する。そして、これらの間に凝集した溶融状態の導電性物質３２が固化することによって裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間を電気的に接続する。また、第１の樹脂が硬化して硬化状態の第１の接着材３１ａとなり、第３の樹脂３３が硬化して硬化状態の第３の樹脂３３ａとなる。これらの硬化状態の樹脂によって裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とが機械的に接続される。以上により、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とが本固定されて、実施の形態２の配線基板付き太陽電池セルが製造される。
【０１４３】
ここで、導電性接着材３０の加熱温度は、導電性接着材３０に含まれる第３の樹脂３３のガラス転移点未満の温度であることが好ましい。この場合には、第３の樹脂３３の硬化反応による粘度上昇を妨げないようにすることができるため、第３の樹脂３３は加圧および加熱中に硬化状態となることができ、冷却や加圧解除の際に配線基板１０に対する裏面電極型太陽電池セル８の相対的な位置がずれてしまうことを防ぐことができる。また、導電性物質３２が溶融している間に第３の樹脂３３を硬化状態とすることができるため、溶融状態で裏面電極型太陽電池セル８の電極と配線基板１０の配線との間に凝集した導電性物質３２の周りに硬化状態の第３の樹脂３３が隣接している状態となり、冷却によって導電性物質３２が固化する際に導電性物質３２が再び拡がってしまうことを防ぐことができる。
【０１４４】
図１１に、実施の形態２の本固定する工程における第１の接着材の粘度変化、第３の樹脂３３の粘度変化および加熱温度の変化と、経過時間との関係の一例を示す。なお、図１１において、１点鎖線が経過時間に対する第１の接着材の粘度の変化を示し、２点鎖線が経過時間に対する第３の樹脂３３の粘度の変化を示し、実線が経過時間に対する加熱温度の変化を示している。
【０１４５】
図１１の横軸の（ａ）の時点は、第１の接着材３１によって配線基板１０に仮固定された裏面電極型太陽電池セル８を本固定する前の時点を示している。（ａ）の時点で、第３の樹脂３３はＢステージ状態となっており、第３の樹脂３３は未硬化の状態ではあるが、粘度が高い状態となっている。
【０１４６】
図１１の横軸の（ｂ）の時点は、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度が第１の樹脂のガラス転移点に到達する前の温度の時点を示している。（ｂ）の時点で、常圧の状態から、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の互いの距離が狭まる方向への加圧を開始する。
【０１４７】
図１１の横軸の（ｃ）の時点は、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度が第１の樹脂のガラス転移点以上となった時点を示している。（ｃ）の時点で、第１の接着材３１は軟化して粘度が低下する。第３の樹脂３３は加熱温度の上昇により粘度が低下する。裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０とは、互いに距離が狭まる方向に加圧されているため、粘度が低下した第１の接着材３１はこの圧力によって厚さが低減するように潰れ、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間が狭くなる。
【０１４８】
図１１の横軸の（ｄ）の時点は、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度が導電性物質３２の融点以上となった時点を示している。（ｄ）の時点で、導電性接着材３０に含まれる導電性物質３２（半田など）が溶融することによって、裏面電極型太陽電池セル８の電極の表面と配線基板１０の配線の表面との間に濡れ広がる。また、導電性物質３２の固体から液体への状態変化により、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間がさらに狭くなる。（ｄ）の時点においても、第１の接着材３１の粘度および第３の樹脂３３の粘度はそれぞれ低粘度であるため、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の圧力によって第１の接着材３１は厚さが低減するようにさらに潰れ、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の隙間がさらに狭くなる。
【０１４９】
図１１の横軸の（ｅ）の時点は、（ｄ）の時点から、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度を導電性物質３２の融点以上の温度で保持して経過した時点を示している。（ｅ）の時点で、第３の樹脂３３のガラス転移点は本固定する工程で加熱される温度よりも高くなっているため、第３の樹脂３３は硬化反応が進行し、次第に硬化して、その粘度が上昇していく。
【０１５０】
図１１の横軸の（ｆ）の時点は、第３の樹脂３３の硬化反応が進んで所望の粘度に達した時点を示している。（ｆ）の時点で、第１の接着材３１および導電性接着材３０の加熱温度を低下させるとともに、裏面電極型太陽電池セル８と配線基板１０との間の互いの距離が狭まる方向への加圧を停止し、常圧の状態に戻す。これにより、第１の接着材３１も加熱前の硬化状態に戻るが、第３の樹脂３３が既に硬化して裏面電極型太陽電池セル８は配線基板１０に固定されているため、第１の接着材３１は潰れた状態で再度硬化することになる。
【０１５１】
その後、太陽電池モジュールの製造プロセスまたは太陽電池モジュールの使用環境において太陽電池モジュールの温度が第１の樹脂のガラス転移点以上の温度になった場合には第１の接着材３１は軟化するが、第３の樹脂３３が硬化状態に保持することによって、裏面電極型太陽電池セル８は配線基板１０に強固に固定されることになる。
【０１５２】
実施の形態２における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、その説明については省略する。
【実施例】
【０１５３】
＜実施例１＞
まず、ＰＥＮからなる絶縁性基材上に、櫛形状のｎ型用配線と、櫛形状のｐ型用配線と、帯状の接続用配線と、がそれぞれ形成された配線基板を作製した。なお、ｎ型用配線、ｐ型用配線および接続用配線は、それぞれ銅配線とされた。
【０１５４】
ここで、ｎ型用配線およびｐ型用配線は、ｎ型用配線の櫛歯に相当する部分とｐ型用配線の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるように配置されており、ｎ型用配線の櫛歯に相当する部分とｐ型用配線の櫛歯に相当する部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されていた。また、櫛歯の長手方向において互いに背を向けて向かい合う櫛形状のｎ型用配線と櫛形状のｐ型用配線とが帯状の接続用配線で電気的に接続されていた。
【０１５５】
次に、配線基板の絶縁性基材の表面に紫外線硬化型エポキシ樹脂（電気化学工業（株）製のハードロック）からなる仮固定用接着材をディスペンサ塗布により配置した。ここで、仮固定用接着材は、後述する裏面電極型太陽電池セルの周縁部の一部と配線基板とが仮固定される位置に配置された。
【０１５６】
次に、ｎ型シリコン基板の裏面のｎ型不純物拡散領域上に形成された帯状のｎ型用電極と、ｐ型不純物拡散領域上に形成された帯状のｐ型用電極とが１本ずつ交互に配置された裏面電極型太陽電池セルを作製した。ここで、ｎ型用電極およびｐ型用電極はそれぞれＡｇ電極であって、隣り合うｎ型用電極とｐ型用電極との間の距離は７５０μｍとした。また、ｎ型用電極およびｐ型用電極のそれぞれの幅は５０μｍ〜１５０μｍとし、ｎ型用電極およびｐ型用電極のそれぞれの高さは３μｍ〜１３μｍとした。また、仮固定用接着材によって仮固定される裏面電極型太陽電池セルの周縁部の一部の領域には、ｎ型用電極およびｐ型用電極を形成しなかった。
【０１５７】
次に、裏面電極型太陽電池セルの裏面の隣り合うｎ型用電極とｐ型用電極との間に未硬化の熱硬化型エポキシ樹脂（ナガセケムテックス（株）製のＤＥＮＡＴＩＴＥ）からなる第１の絶縁性接着材をスクリーン印刷により設置した。その後、第１の絶縁性接着材をエポキシ樹脂が架橋反応しない程度の温度まで加熱することでＢステージ状態とした（仮硬化）。
【０１５８】
次に、裏面電極型太陽電池セルのｎ型用電極上およびｐ型用電極上にそれぞれ半田接合材（（株）タムラ製作所製のスーパーアルゼライト）をスクリーン印刷により設置した。ここで使用した半田接合材は、Ｓｎ−Ｂｉ系の半田粒子（導電性接着材）が熱硬化型エポキシ樹脂（第２の絶縁性接着材）中に分散した半田接合材で、幅が概ね１５０μｍ、高さが概ね３０μｍとなるように設置した。
【０１５９】
次に、裏面電極型太陽電池セルの裏面のｎ型用電極およびｐ型用電極のそれぞれが配線基板のｎ型用配線およびｐ型用配線に対向するように、配線基板上に裏面電極型太陽電池セルを重ね合わせた後に位置合わせを行なった。なお、本実施例においては、１枚の配線基板上に１６枚の裏面電極型太陽電池セルを設置して、１６枚の裏面電極型太陽電池セルが電気的に直列に接続されるようにした。
【０１６０】
次に、仮固定用接着材に紫外線（波長３６５ｎｍ）を照射することによって仮固定用接着材の一部を硬化して裏面電極型太陽電池セルと配線基板との仮固定を行なった。ここで、紫外線は、裏面電極型太陽電池セルの裏面と配線基板の表面とが対向する領域に照射した。
【０１６１】
その後、仮固定後の裏面電極型太陽電池セルと配線基板とを裏面電極型太陽電池セル側を下側として真空ラミネータに投入して、加熱および加圧することによって、配線基板付き太陽電池セルが封止材中に封止された実施例１の太陽電池モジュールを作製した。
【０１６２】
より具体的には、仮固定後の裏面電極型太陽電池セルと配線基板とを、裏面電極型太陽電池セルが上側となるようにして、シート状のＥＶＡからなる封止材（受光面側封止材）の上に積載し、その上に、別のシート状のＥＶＡからなる封止材（裏面側封止材）とガラス基板とを、この順に積載して、ガラス基板、受光面側封止材、裏面電極型太陽電池セル、配線基板、裏面側封止材からなる積層体を作製した。次に、この積層体を表裏反転してガラス基板が最下層となるようにした後に、ＰＥＴ樹脂を含んだ積層構造からなる裏面保護フィルムを裏面側封止材の上にさらに積載して積層体の一部とし、真空ラミネート装置にセットして、真空引きを１８０秒間実施した。そして、裏面保護フィルムとガラス基板との間に挟まれた上記の積層体をその積層方向に加圧を開始するとともに積層体への加熱を開始した。そして、部分的に硬化させた仮固定用接着材の硬化部分を加熱温度の上昇により軟化させて仮固定用接着材を変形させながら加圧して裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔を狭くしつつ加熱温度をさらに上昇させ、半田接合材中の半田粒子を溶融させて、さらに裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔を十分に狭くした。なお、仮固定用接着材のガラス転移点未満の温度の時点から加圧を開始した。半田粒子を溶融させた状態で加熱および加圧を維持し、第１の絶縁性接着材および半田接合材中の第２の絶縁性接着材を架橋させ硬化させた。そして、第１の絶縁性接着材および半田接合材中の第２の絶縁性接着材が所望のレベルまで硬化した後に、加熱および加圧を解除し、半田を固化した。
【０１６３】
以上により、裏面電極型太陽電池セルの電極と配線基板の配線とが半田により電気的に接続されるとともに、裏面電極型太陽電池セルのｎ型シリコン基板と配線基板の絶縁性基材とが、仮固定用接着材、第１の絶縁性接着材および第２の絶縁性接着材でそれぞれ本固定されて機械的に接続された配線基板付き太陽電池セルが封止材中に封止された実施例１の太陽電池モジュールを作製した。
【０１６４】
上記のようにして作製した実施例１の太陽電池モジュールの裏面電極型太陽電池セルの裏面と配線基板の表面との間の隙間の大きさは、後述する比較例の太陽電池モジュールと比較して、十分な程に狭くなっているとともに、裏面電極型太陽電池セルの裏面と配線基板の表面との間に配置された仮固定用接着材が潰れることで、裏面電極型太陽電池セルの裏面の全面に渡って配線基板との間の隙間の大きさの均一性も向上していることが確認された。
【０１６５】
＜実施例２＞
第１の絶縁性接着材を使用せずに、半田接合材に含まれる第２の絶縁性接着材にＢステージ状態となることができる樹脂を使用したこと以外は実施例１と同様にして、実施例２の太陽電池モジュールを作製した。
【０１６６】
すなわち、裏面電極型太陽電池セルの裏面の隣り合うｎ型用電極とｐ型用電極との間に第１の絶縁性接着材を設置せずに、裏面電極型太陽電池セルのｎ型用電極上およびｐ型用電極上にそれぞれ半田接合材をスクリーン印刷により設置した。ここで使用した半田接合材は、Ｓｎ−Ｂｉ系の半田粒子（導電性接着材）が熱硬化型エポキシ樹脂（第２の絶縁性接着材）中に分散した半田接合材である点は実施例１と同様であるが、熱硬化型エポキシ樹脂がＢステージ状態とすることができる樹脂である点が異なっている。これを幅が概ね２５０μｍ、高さが概ね３０μｍとなるように設置した。これ以外は、実施例１と同様にして、実施例２の太陽電池モジュールを作製した。
【０１６７】
上記のようにして作製した実施例２の太陽電池モジュールの裏面電極型太陽電池セルの裏面と配線基板の表面との間の隙間の大きさも、後述する比較例の太陽電池モジュールと比較して、十分な程に狭くなっているとともに、均一性も向上していることが確認された。
【０１６８】
＜比較例＞
仮固定用接着材に実施例１の第１の絶縁性接着材を用い、仮固定工程で硬化反応させて硬化させたこと以外は実施例１と同様にして、比較例の太陽電池モジュールを作製した。
【０１６９】
＜評価＞
上記のようにして作製された実施例１、実施例２および比較例の太陽電池モジュールのそれぞれについて、これらの太陽電池モジュールをそれぞれ−４０〜８５℃の範囲内で温度を繰り返し上下させる雰囲気中に放置する温度サイクル試験を行なった。
【０１７０】
温度サイクル試験の結果、実施例１および実施例２の太陽電池モジュールは、それぞれ、比較例の太陽電池モジュールと比べて、裏面電極型太陽電池セルのクラック発生や出力低下などの不具合が発生するのを抑えることができることが確認された。
【０１７１】
このように、実施例１および実施例２の太陽電池モジュールが、比較例の太陽電池モジュールと比べて信頼性の低下を抑制できることが確認された。その理由としては、実施例１および実施例２の太陽電池モジュールは、仮固定工程において部分的に硬化した仮固定用接着材の硬化部分を軟化して仮固定用接着材を変形させながら裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間の間隔を狭くする工程を行なって作製されたため、裏面電極型太陽電池セルの端部および中心部のそれぞれにおける裏面電極型太陽電池セルと配線基板との間隔が比較例の太陽電池モジュールと比べて均一であり、裏面電極型太陽電池セルに反りなどが発生しにくかったことによるものと考えられる。
【０１７２】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１７３】
本発明は、配線基板付き太陽電池セルの製造方法に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【０１７４】
１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２  ｎ型不純物拡散領域、３  ｐ型不純物拡散領域、４  パッシベーション膜、４ａ，４ｂ  コンタクトホール、５  反射防止膜、６  ｎ型用電極、７  ｐ型用電極、８  裏面電極型太陽電池セル、１０  配線基板、１１  絶縁性基材、１２  ｎ型用配線、１３  ｐ型用配線、１４  接続用配線、１７  透光性支持部材、１８  透光性封止材、１９  裏面保護材、３０  導電性接着材、３１，３１ａ  第１の接着材、３２  導電性物質、３３，３３ａ  第３の樹脂、３４，３４ａ  第２の接着材、４０  矢印。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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