(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０）と、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０）において、
前記支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に前記流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、
前記直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられて、前記直動支持孔（２８）をその一端部側で前記流入口（２６）に連通した前圧室（２８Ａ）と、他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前記前圧室（２８Ａ）側に突出するか又は前記ピストン部（４１）のうち前記前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した第１弁体（４０）と、
前記前圧室（２８Ａ）のうち前記第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、前記流出口（２７）に連通するか又は前記流出口（２７）を兼ねた前記第１弁口（３０）と、
前記第１弁体（４０）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、
前記第１弁体（４０）の中心部に貫通形成された中心孔（４０Ａ）と、
前記中心孔（４０Ａ）の一端部に設けられて、前記後圧室（２８Ｂ）と反対側を向いた面（４２Ｍ）で開口した前記第２弁口（５０）と、
前記第１弁体（４０）に形成されて、前記中心孔（４０Ａ）の中間部と前記前圧室（２８Ａ）との間を連通する連通孔（４０Ｂ）と、
駆動源（１３）から動力を受けて直動し、前記中心孔（４０Ａ）に先端部が収容された直動シャフト（８０）と、
前記直動シャフト（８０）の先端に設けられた前記第２弁体（５１）と、
前記中心孔（４０Ａ）のうち前記連通孔（４０Ｂ）より前記後圧室（２８Ｂ）側に配置され、オリフィス（４４）を通して前記前圧室（２８Ａ）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を常時連通する第１の圧力導入路（４６）と、
前記後圧室（２８Ｂ）のうち前記第１弁体（４０）との対向面（２８ＢＭ）で開口し、前記直動支持孔（２８）と同軸上に配置されて、開口面積が前記第１弁口（３０）より小さなパイロット弁口（６０）と、
前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を、前記パイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、
前記直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなして、前記パイロット弁口（６０）を開閉可能なパイロット弁体（６１）と、
前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、
前記直動シャフト（８０）の外側面と前記パイロット弁体（６１）の内側面との間を前記オリフィス（４４）より絞るか又はシールして、前記パイロット弁口（６０）が閉じたときの前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間の前記加圧流体の移動を規制する流体移動規制手段（６３）と、
前記直動シャフト（８０）の中間部から側方に張り出し、前記直動シャフト（８０）がその直動可能範囲の一端から他端に向かう途中で前記パイロット弁体（６１）に当接して前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するパイロット押圧部（８１）と、を備えたことを特徴とする流量制御弁（１０）。
【請求項２】
前記第２弁口（５０）が閉弁状態から一定の弁開度になる位置まで前記第２弁体（５１）が移動する間に、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、前記第２弁口（５０）が前記一定の弁開度より更に開く方向に前記第２弁体（５１）が移動する間に、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に当接して、前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の流量制御弁（１０）。
【請求項３】
加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、
前記支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に前記流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、
前記直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、前記直動支持孔（２８）を、その一端部側で前記流入口（２６）に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前記前圧室（２８Ａ）側に突出するか又は前記ピストン部（４１）のうち前記前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した前記第１弁体（４０Ｖ）と、
前記前圧室（２８Ａ）のうち前記第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、前記流出口（２７）に連通するか又は前記流出口（２７）を兼ねた前記第１弁口（３０）と、
前記第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、
前記前圧室（２８Ａ）と前記後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、
前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を、前記第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、
前記パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、
前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、
駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中で前記パイロット弁体（６１）に当接して前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、前記第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、
前記支持ベース（２０）に形成されて、前記前圧室（２８Ａ）の内面のうち前記第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が前記流出口（２７）をなし、中間部分に、前記第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された前記第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備え、
前記直線駆動部材（８０）は、前記第２弁体（５１）を有した直線可動部材（８０Ｂ）を、前記パイロット押圧部（８１）を有した直線駆動部材本体部（８０Ａ）が前記直線駆動部材（８０）全体の直動方向と同方向に直動可能に支持しかつ、直線可動部材付勢手段（８２）にて、前記直線可動部材（８０Ｂ）を前記直線駆動部材本体部（８０Ａ）に対して前記第２弁口（５０）側に付勢した構造をなし、
前記直線可動部材（８０Ｂ）が前記直線駆動部材本体部（８０Ａ）と一体になって前記第２弁口（５０）側に移動して前記第２弁体（５１）が開弁位置から閉弁位置に移動する間は、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、前記第２弁体（５１）が閉弁位置に配置されたときに、前記第２弁口（５０）と前記パイロット弁口（６０）が共に閉状態となり、前記第２弁体（５１）が閉弁位置に至ってから前記直線駆動部材本体部（８０Ａ）のみが前記第２弁口（５０）側に移動する間に、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に当接して、前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したことを特徴とする流量制御弁（１０Ｖ）。
【請求項４】
加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、
前記支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に前記流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、
前記直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、前記直動支持孔（２８）を、その一端部側で前記流入口に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前記前圧室（２８Ａ）側に突出するか又は前記ピストン部（４１）のうち前記前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した前記第１弁体（４０Ｖ）と、
前記前圧室（２８Ａ）のうち前記第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、前記流出口（２７）に連通するか又は前記流出口（２７）を兼ねた前記第１弁口（３０）と、
前記第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、
前記前圧室（２８Ａ）と前記後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、
前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を、前記第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、
前記パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、
前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、
駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中で前記パイロット弁体（６１）に当接して前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、前記第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、
前記支持ベース（２０）に形成されて、前記前圧室（２８Ａ）の内面のうち前記第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が前記流出口（２７）をなし、中間部分に、前記第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された前記第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備えると共に、
駆動源（１３）から動力を受けて直動しかつその直動方向に延び、先端に前記第２弁体（５１）を有すると共に中間部から側方に張り出した前記パイロット押圧部（８１）を有する前記直線駆動部材（８０）としての直動シャフト（８０）と、
前記第２の圧力導入路（６５）の途中に設けられ、前記直動シャフト（８０）が貫通したサブ後圧室（６６）と、
前記サブ後圧室（６６）の一端に配置された前記パイロット弁口（６０）と、
前記直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなして、前記パイロット弁口（６０）を開閉可能な前記パイロット弁体（６１）と、
前記直動シャフト（８０）の外側面と前記パイロット弁体（６１）の内側面との間を前記オリフィス（４４）より絞るか又はシールして、前記パイロット弁口（６０）が閉じたときの前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間の前記加圧流体の移動を規制する流体移動規制手段（６３）とを備えたことを特徴とする流量制御弁（１０Ｖ）。
【請求項５】
前記直動シャフト（８０）のうち軸方向の中間部より前記第２弁口（５０）側を構成し、前記第２弁体（５１）を先端に有した先端シャフト部（８０Ｂ）と、
前記直動シャフト（８０）のうち軸方向の中間部より前記第２弁口（５０）と反対側を構成し、前記パイロット押圧部（８１）を有して前記先端シャフト部（８０Ｂ）を直動可能に支持する基端シャフト部（８０Ａ）と、
前記基端シャフト（８０Ａ）に対して前記先端シャフト（８０Ｂ）を前記第２弁口（５０）側に付勢するシャフト付勢手段（８２）とを備えて、
前記先端シャフト部（８０Ｂ）が前記基端シャフト部（８０Ａ）と一体になって前記第２弁口（５０）側に移動して前記第２弁体（５１）が開弁位置から閉弁位置に移動する間は、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、前記第２弁体（５１）が閉弁位置に配置されたときに、前記第２弁口（５０）と前記パイロット弁口（６０）が共に閉状態となり、前記第２弁体（５１）が閉弁位置に至ってから前記基端シャフト部（８０Ａ）のみが前記第２弁口（５０）側に移動する間に、前記パイロット押圧部（８１）が前記パイロット弁体（６１）に当接して、前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したことを特徴とする請求項１又は４に記載の流量制御弁（１０）。
【請求項６】
前記直動支持孔（２８）の中間部に張られて、前記前圧室（２８Ａ）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を気密状態に隔絶し、前記ピストン部（４１）が直動を許容された状態で固定されたダイヤフラム（２９）を備えたことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１つの請求項に記載の流量制御弁（１０）。
【請求項７】
加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、前記加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、
前記支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に前記流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、
前記直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、前記直動支持孔（２８）を、その一端部側で前記流入口に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前記前圧室（２８Ａ）側に突出するか又は前記ピストン部（４１）のうち前記前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した前記第１弁体（４０Ｖ）と、
前記前圧室（２８Ａ）のうち前記第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、前記流出口（２７）に連通するか又は前記流出口（２７）を兼ねた前記第１弁口（３０）と、
前記第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、
前記前圧室（２８Ａ）と前記後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、
前記流出口（２７）と前記後圧室（２８Ｂ）との間を、前記第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、
前記パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、
前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、
駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中で前記パイロット弁体（６１）に当接して前記パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、前記第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、
前記支持ベース（２０）に形成されて、前記前圧室（２８Ａ）の内面のうち前記第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が前記流出口（２７）をなし、中間部分に、前記第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された前記第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備え、
前記第１弁口（３０）を通過した加圧流体を排出するための前記流出口（２７Ａ）と、前記第２弁口（５０Ｖ）を通過した加圧流体を排出するための前記流出口（２７Ｂ）とを別個にして設けたことを特徴とする流量制御弁（１０Ｖ）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加圧流体が流れる流路の途中に開口面積が異なる２つの弁口を有し、それら２つの弁口を開閉する２つの弁体を備えた流量制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流量制御弁として、図１９に示すように、開口面積が比較的小さい小弁口１と、開口面積が比較的大きい大弁口２を備えたものが知られている。この流量制御弁では、大弁体４を直動可能に支持する弁体収容部屋６が、大弁体４に備えたピストン部４Ａによって、流入口に連通する前圧室６Ａと、後圧室６Ｂとに区画されている。これら前圧室６Ａと後圧室６Ｂは、大弁体４に設けられたオリフィス８によって常時連通している。そして、大弁口２が、前圧室６Ａのうち大弁体４との対向面で開口して流出口に連通し、小弁口１が、後圧室６Ｂのうち大弁体４との対向面で開口し、迂回路７を介して流出口に連通している。また、小弁口１に対して大弁体４と反対側には、直動部材５が配置され、この直動部材５に一体に備えた小弁体３にて小弁口１が開閉される構成になっている。直動部材５が可動ストロークの前端位置が配置されると、小弁口１及び大弁口２が共に閉じた状態になり、直動部材５と共に小弁体３を後退させていくと小弁口１のみが開いていく。小弁口１が開くと、オリフィス８によって前圧室６Ａと後圧室６Ｂに差圧が生じ、その差圧がある程度大きくなると、大弁体４が後圧室６Ｂ側へ移動して、大弁口２が開く。これにより、この流量制御弁では、図２０に示すように、直動部材５が可動ストロークの前端側に配置されたときには、直動部材５の位置に応じて比較的小さな流量の流体を流し、直動部材５が可動ストロークの後端側に位置したときには、比較的大きな流量の流体を流すことができる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第２６４５８５４号公報（第２ページ右欄第３５〜５０行、図４、図５及び図６）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した流量制御弁では、小弁体３を後退させたときに、大弁口２が開くタイミングがばらついてしまい（図２０参照）、流量制御が困難であるという問題があった。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、流量制御を容易に行うことができる流量制御弁の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係る流量制御弁（１０）は、加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０）と、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０）において、支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられて、直動支持孔（２８）をその一端部側で流入口（２６）に連通した前圧室（２８Ａ）と、他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前圧室（２８Ａ）側に突出するか又はピストン部（４１）のうち前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した第１弁体（４０）と、前圧室（２８Ａ）のうち第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、流出口（２７）に連通するか又は流出口（２７）を兼ねた第１弁口（３０）と、第１弁体（４０）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、第１弁体（４０）の中心部に貫通形成された中心孔（４０Ａ）と、中心孔（４０Ａ）の一端部に設けられて、第１弁体（４０）のうち後圧室（２８Ｂ）と反対側を向いた面（４２Ｍ）で開口した第２弁口（５０）と、第１弁体（４０）に形成されて、中心孔（４０Ａ）の中間部と前圧室（２８Ａ）との間を連通する連通孔（４０Ｂ）と、駆動源（１３）から動力を受けて直動し、中心孔（４０Ａ）に先端部が収容された直動シャフト（８０）と、直動シャフト（８０）の先端に設けられた第２弁体（５１）と、中心孔（４０Ａ）のうち連通孔（４０Ｂ）より後圧室（２８Ｂ）側に配置され、オリフィス（４４）を通して前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間を常時連通する第１の圧力導入路（４６）と、後圧室（２８Ｂ）のうち第１弁体（４０）との対向面（２８Ｂ）で開口し、直動支持孔（２８）と同軸上に配置されて、開口面積が第１弁口（３０）より小さなパイロット弁口（６０）と、流出口（２７）と後圧室（２８ＢＭ）との間を、パイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなして、パイロット弁口（６０）を開閉可能なパイロット弁体（６１）と、パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、直動シャフト（８０）の外側面とパイロット弁体（６１）の内側面との間をオリフィス（４４）より絞るか又はシールして、パイロット弁口（６０）が閉じたときの流出口（２７）と後圧室（２８Ｂ）との間の加圧流体の移動を規制する流体移動規制手段（６３）と、直動シャフト（８０）の中間部から側方に張り出し、直動シャフト（８０）がその直動可能範囲の一端から他端に向かう途中でパイロット弁体（６１）に当接してパイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するパイロット押圧部（８１）と、を備えたところに特徴を有する。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１記載の流量制御弁（１０）において、 第２弁口（５０）が閉弁状態から一定の弁開度になる位置まで第２弁体（５１）が移動する間に、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、第２弁口（５０）が一定の弁開度より更に開く方向に第２弁体（５１）が移動する間に、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に当接して、パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したところに特徴を有する。
【０００８】
請求項３の発明に係る流量制御弁（１０Ｖ）は、加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、直動支持孔（２８）を、その一端部側で流入口に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前圧室（２８Ａ）側に突出するか又はピストン部のうち前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した第１弁体（４０Ｖ）と、前圧室（２８Ａ）のうち第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、流出口（２７）に連通するか又は流出口（２７）を兼ねた第１弁口（３０）と、第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、流出口（２７）と後圧室（２８Ｂ）との間を、第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中でパイロット弁体（６１）に当接してパイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、支持ベース（２０）に形成されて、前圧室（２８Ａ）の内面のうち第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が流出口（２７）をなし、中間部分に、第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備え、直線駆動部材（８０）は、第２弁体（５１）を有した直線可動部材（８０Ｂ）を、パイロット押圧部（８１）を有した直線駆動部材本体部（８０Ａ）が直線駆動部材（８０）全体の直動方向と同方向に直動可能に支持しかつ、直線可動部材付勢手段（８２）にて、直線可動部材（８０Ｂ）を直線駆動部材本体部（８０Ａ）に対して第２弁口（５０）側に付勢した構造をなし、直線可動部材（８０Ｂ）が直線駆動部材本体部（８０Ａ）と一体になって第２弁口（５０）側に移動して第２弁体（５１）が開弁位置から閉弁位置に移動する間は、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、第２弁体（５１）が閉弁位置に配置されたときに、第２弁口（５０）とパイロット弁口（６０）が共に閉状態となり、第２弁体（５１）が閉弁位置に至ってから直線駆動部材本体部（８０Ａ）のみが第２弁口（５０）側に移動する間に、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に当接して、パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したところに特徴を有する。
【００１０】
請求項４の発明に係る流量制御弁（１０Ｖ）は、加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、直動支持孔（２８）を、その一端部側で流入口に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前圧室（２８Ａ）側に突出するか又はピストン部のうち前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した第１弁体（４０Ｖ）と、前圧室（２８Ａ）のうち第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、流出口（２７）に連通するか又は流出口（２７）を兼ねた第１弁口（３０）と、第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、流出口（２７）と後圧室（２８Ｂ）との間を、第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中でパイロット弁体（６１）に当接してパイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、支持ベース（２０）に形成されて、前圧室（２８Ａ）の内面のうち第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が流出口（２７）をなし、中間部分に、第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備えると共に、駆動源（１３）から動力を受けて直動しかつその直動方向に延び、先端に第２弁体（５１）を有すると共に中間部から側方に張り出したパイロット押圧部（８１）を有する直線駆動部材（８０）としての直動シャフト（８０）と、第２の圧力導入路（６５）の途中に設けられ、直動シャフト（８０）が貫通したサブ後圧室（６６）と、サブ後圧室（６６）の一端に配置されたパイロット弁口（６０）と、直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなして、パイロット弁口（６０）を開閉可能なパイロット弁体（６１）と、直動シャフト（８０）の外側面とパイロット弁体（６１）の内側面との間をオリフィス（４４）より絞るか又はシールして、パイロット弁口（６０）が閉じたときの流出口（２７）と後圧室（２８Ｂ）との間の加圧流体の移動を規制する流体移動規制手段（６３）とを備えたところに特徴を有する。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１又は４に記載の流量制御弁（１０）において、直動シャフト（８０）のうち軸方向の中間部より第２弁口（５０）側を構成し、第２弁体（５１）を先端に有した先端シャフト部（８０Ｂ）と、直動シャフト（８０）のうち軸方向の中間部より第２弁口（５０）と反対側を構成し、パイロット押圧部（８１）を有して先端シャフト部（８０Ｂ）を直動可能に支持する基端シャフト部（８０Ａ）と、基端シャフト（８０Ａ）に対して先端シャフト（８０Ｂ）を第２弁口（５０）側に付勢するシャフト付勢手段（８２）とを備えて、先端シャフト部（８０Ｂ）が基端シャフト部（８０Ａ）と一体になって第２弁口（５０）側に移動して第２弁体（５１）が開弁位置から閉弁位置に移動する間は、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に対して離間した状態を維持して接近し、第２弁体（５１）が閉弁位置に配置されたときに、第２弁口（５０）とパイロット弁口（６０）が共に閉状態となり、第２弁体（５１）が閉弁位置に至ってから基端シャフト部（８０Ａ）のみが第２弁口（５０）側に移動する間に、パイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）に当接して、パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動するように構成したところに特徴を有する。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れか１つの請求項に記載の流量制御弁（１０）において、直動支持孔（２８）の中間部に張られて、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間を気密状態に隔絶し、ピストン部（４１）が直動を許容された状態で固定されたダイヤフラム（２９）を備えたところに特徴を有する。
【００１３】
請求項７の発明に係る流量制御弁（１０Ｖ）は、加圧流体を内部に取り込むための流入口（２６）と外部に排出するための流出口（２７）とを外面に備えた支持ベース（２０）の内部に、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）を開閉する第１弁体（４０Ｖ）と、加圧流体の通過可能な開口面積が比較的小さい第２弁口（５０Ｖ）を開閉する第２弁体（５１）とを備えた流量制御弁（１０Ｖ）において、支持ベース（２０）の内部に形成されて直線状に延び、その一端部に流入口（２６）が連通した直動支持孔（２８）と、直動支持孔（２８）に直動可能に組み付けられ、直動支持孔（２８）を、その一端部側で流入口に連通した前圧室（２８Ａ）と他端部側の後圧室（２８Ｂ）とに区画するピストン部（４１）と、そのピストン部（４１）から前圧室（２８Ａ）側に突出するか又はピストン部のうち前圧室（２８Ａ）に臨む部分に配置された第１弁本体部（４２）とを有した第１弁体（４０Ｖ）と、前圧室（２８Ａ）のうち第１弁本体部（４２）との対向面（２８ＡＭ）で開口し、流出口（２７）に連通するか又は流出口（２７）を兼ねた第１弁口（３０）と、第１弁体（４０Ｖ）を閉弁位置に付勢する第１弁体付勢手段（４３）と、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間をオリフィス（４４Ｖ）を通して常時連通した第１の圧力導入路（４６Ｖ）と、流出口（２７）と後圧室（２８Ｂ）との間を、第１弁口（３０）より小さい開口面積のパイロット弁口（６０）を通して連通可能な第２の圧力導入路（６５）と、パイロット弁口（６０）を開閉するパイロット弁体（６１）と、パイロット弁体（６１）を閉弁位置に付勢するパイロット弁体付勢手段（６２）と、駆動源（１３）から動力を受けて直動し、その直動可能範囲の一端から他端に向かう途中でパイロット弁体（６１）に当接してパイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置に押圧移動させるパイロット押圧部（８１）と、第２弁体（５１）とを有した直線駆動部材（８０）と、支持ベース（２０）に形成されて、前圧室（２８Ａ）の内面のうち第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が流出口（２７）をなし、中間部分に、第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）と、その弁体収容部（５６）の端部に配置された第２弁口（５０Ｖ）とを有する小流量排出路（５５）とを備え、第１弁口（３０）を通過した加圧流体を排出するための流出口（２７Ａ）と、第２弁口（５０Ｖ）を通過した加圧流体を排出するための流出口（２７Ｂ）とを別個にして設けたところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の流量制御弁（１０，１０Ｖ）では、第１弁体（４０）のピストン部（４１）により区画された前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）が、第１の圧力導入路（４６，４６Ｖ）により常時連通しているので、パイロット弁口（６０）が閉じた状態では、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）の内圧が等しくなって、第１弁体付勢手段（４３）により第１弁体（４０）が閉弁位置に配置される。そして、直動シャフト（８０）又は直動駆動部材（８０）が移動することによりパイロット押圧部（８１）がパイロット弁体（６１）を押圧移動させると、パイロット弁口（６０）が開き、後圧室（２８Ｂ）の加圧流体が第２の圧力導入路（６５）を通って流出口（２７）へ逃げる。ここで、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）とは、オリフィス（４４，４４Ｖ）を通して連通しているので、後圧室（２８Ｂ）の内圧が前圧室（２８Ａ）の内圧よりも低くなり、この差圧によって第１弁体（４０）が開弁位置へ押され、第１弁口（３０）が開く。即ち、開口面積が比較的大きい第１弁口（３０）は、パイロット弁口（４０）の開閉に起因して開閉される。また、開口面積が比較的小さい第２弁口（５０）は、前圧室（２８Ａ）と流出口（２７）を連通するように配置され、直動シャフト（８０）又は直動駆動部材（８０）に備えた第２弁体（５１）によって開閉される。このように、本発明の流量制御弁（１０，１０Ｖ）では、第１弁口（３０）を開閉するためのパイロット弁口（６０）とは別に、比較的小さい流量の加圧流体を流すための第２弁口（５０）を備え、第２弁口（５０）を開いたときに加圧流体が流れる流路にオリフィス（４４）が含まれない構成になっている。この構成によれば、第２弁口（５０）を開いたときの流量に影響を与えることなくオリフィス（４４）を小さくすることができるので、パイロット弁体（６１）が僅かに開いた瞬間に第１弁体（４０）を移動させることで、第１弁口（３０）が開くタイミングのばらつきを抑えて、流量制御を容易に行うことが可能になる。また、本発明の構成によれば、オリフィス（４４）を小さくすることに伴ってパイロット弁口（６０）の開口面積を小さくすることができるので、パイロット弁口（４０）の開弁操作に伴う駆動力を小さくすることが可能になる。
【００１６】
また、本発明の構成によれば、第２弁体（５１）とパイロット弁体（６１）とを、共通の駆動源（１３）で移動させることができる。ここで、第２弁体（５１）及びパイロット弁体（６１）は、請求項３，５の発明のように、第２弁体（５１）を開弁位置から閉弁位置へ移動させる間は、パイロット弁口（６０）を閉状態に維持し、第２弁口（５１）が閉弁位置に配置されたときに、第２弁口（５０，５０Ｖ）とパイロット弁口（６０）が共に閉状態となり、第２弁体（５１）が閉弁位置に至ってから直動シャフト（８０）又は直動駆動部材（８０）のみが移動する間に、パイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置へ押圧移動させる構成であってもよいし、請求項２の発明のように、第２弁体（５１）を閉弁位置から第２弁口（５０，５０Ｖ）が一定の弁開度になる位置まで移動させてからパイロット弁体（６１）を閉弁位置から開弁位置へ押圧移動させる構成であってもよい。なお、請求項３，５の構成によれば、開口面積が異なる第１弁口（３０）と第２弁口（５０，５０Ｖ）の任意の一方のみを開くことができ、２種類の流量変化特性を任意に選んで流量制御を行うことが可能になる。また、請求項２の構成によれば、第２弁口（５０，５０Ｖ）が一定の弁開度になるまでは、第２弁口（５０，５０Ｖ）の弁開度のみを調整して比較的小さな流量を制御し、第２弁口（５０，５０Ｖ）が一定の弁開度になった後は、第１弁口（３０）を開いて比較的大きな流量の流体を流すことができる。
【００１７】
ここで、直動支持孔（２８）と第１弁体（４０）のピストン部（４１）とは、直動支持孔（２８）の内側面とピストン部（４１）との隙間を小さくしてなるオリフィスを備えた構成であってもよいし、ピストン部（４１）の外周部に直動支持孔（２８）の内側面に摺接するピストンリングを備えた構成であってもよいし、請求項６の発明のように、直動支持孔（２８）の中間部に張られて、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との間を気密状態に隔絶し、ピストン部（４１）が直動を許容された状態で固定されたダイヤフラム（２９）を備えた構成であってもよい。なお、請求項６の構成によれば、前圧室（２８Ａ）と後圧室（２８Ｂ）との気密性を損なうことなくピストン部（４１）をスムーズに直動させることができる。
【００１８】
また、第２弁口（５０，５０Ｖ）は、請求項１の発明のように、第１弁体（４０）の中心部に貫通形成された中心孔（４０Ａ）に設けられ、第１弁体（４０）のうち第１弁口（３０）との対向面で開口した構成であってもよいし、請求項３，４，７の発明のように、前圧室（２８Ａ）の内面のうち第１弁口（３０）と異なる位置に開口した導入開口（５５Ａ）を一端に有すると共に他端が流出口（２７）をなす小流量排出路（５５）を備えて、その小流量排出路（５５）の中間部分で第２弁体（５１）を直動可能に収容した弁体収容部（５６）の端部に配置された構成であってもよい。ここで、請求項１の発明では、さらに、パイロット弁体（６１）が直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなし、第１弁体（４０）の中心孔（４０Ａ）に、直動シャフト（８０）の先端部を収容した構成、即ち、第１弁体（４０）、第２弁体（５１）及びパイロット弁体（６１）が、直動シャフト（８０）と同軸上に配置された構成になっているので、流量制御弁（１０）のコンパクト化が図られる。
【００１９】
なお、請求項４の発明のように、第２の圧力導入路（６５）の途中に直動シャフト（８０）が貫通したサブ後圧室（６６）を設けて、そのサブ後圧室（６６）の一端にパイロット弁口（６０）を配置し、第２弁体（５１）を直動シャフト（８０）の先端に設けると共に、パイロット弁体（６１）を直動シャフト（８０）の中間部に直動可能に嵌合された環形状をなす構成、即ち、第２弁体（５１）及びパイロット弁体（６１）が、直動シャフト（８０）と同軸上に配置された構成とすれば、流量制御弁（１０Ｖ）のコンパクト化が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る流量制御弁の側断面図
【図２】第１弁口と第２弁口が共に閉じた状態の流量制御弁の側断面図
【図３】第２弁口が開いた状態の流量制御弁の側断面図
【図４】パイロット弁口が開いた状態の流量制御弁の側断面図
【図５】第１弁口が開いた状態の流量制御弁の側断面図
【図６】第１弁体周辺の側断面図
【図７】（Ａ）パイロット弁体周辺の側断面図、（Ｂ）パイロット弁体の拡大側断面図
【図８】流量変化特性を示したグラフ
【図９】第２実施形態に係る流量制御弁の側断面図
【図１０】直動シャフトの前端部周辺の側断面図
【図１１】パイロット弁体周辺の側断面図
【図１２】第３実施形態に係る流量制御弁の側断面図
【図１３】流量変化特性を示したグラフ
【図１４】第４実施形態に係る流量制御弁の側断面図
【図１５】変形例に係る流量制御弁の側断面図
【図１６】変形例に係る第１弁体の側断面図
【図１７】変形例に係る第１弁体の側断面図
【図１８】（Ａ）変形例に係るパイロット弁体周辺の側断面図、（Ｂ）その拡大図
【図１９】従来の流量制御弁の側断面図
【図２０】従来の流量制御弁の流量変化特性を示したグラフ
【発明を実施するための形態】
【００２２】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図１〜図８に基づいて説明する。図１に示すように、本実施形態の流量制御弁１０は、同図の上下に延びた柱状の支持ベース２０の一端部に駆動源としてのステッピングモータ１３を備えている。なお、以下の説明において、流量制御弁１０のうちステッピングモータ１３を備えた側を「後側」といい、その反対側を「前側」ということとする。
【００２３】
ステッピングモータ１３は、支持ベース２０と同軸上に延びた円筒ケース１４の外側にリング状のステータ側界磁部１５を嵌合固定して備える一方、円筒ケース１４の内側にロータ側界磁部１６（永久磁石）を回転可能に収容している。そして、直動シャフト８０がロータ側界磁部１６の中心を貫通した状態に固定され、支持ベース２０の同軸上に延びている。
【００２４】
直動シャフト８０のうちロータ側界磁部１６より後側部分には、線材を螺旋状に巻回してなる螺旋ガイド１７が一体回転可能に固定され、その螺旋ガイド１７に係合リング１８が係合している。係合リング１８は、螺旋ガイド１７のうち軸方向で隣り合った線材同士の隙間の一部に収まったリング状をなしかつ側方に当接アーム１８Ａを張り出して備えている。また、円筒ケース１４の後端部を閉塞する蓋体１４Ａからは、直動シャフト８０と平行にストッパーシャフト１９が垂下されている。そして、係合リング１８の当接アーム１８Ａがこのストッパーシャフト１９に当接した状態で、ロータ側界磁部１６が回転することで、係合リング１８が螺旋ガイド１７に対して相対回転し、直動シャフト８０が円筒ケース１４に対して前後方向に直動する。直動シャフト８０は、支持ベース２０の内部における中心部に突入していて、ステッピングモータ１３の駆動により支持ベース２０内を前進及び後退する。
【００２５】
図２に示すように、支持ベース２０の側面には、加圧流体を導入するための流入口２６と、排出するための流出口２７が１つずつ設けられている。また、支持ベース２０の内部には、支持ベース２０の中心軸上を直線状に延びた直動支持孔２８が設けられ、この直動支持孔２８の前端部に側方から流入口２６が連通している。
【００２６】
直動支持孔２８は、第１弁体４０を支持ベース２０の中心軸に沿って直動可能に支持している。この第１弁体４０は、直動支持孔２８の内側面に嵌合したピストン部４１と、ピストン部４１の中心部から前方に突出して前端部が側方に拡がった第１弁本体部４２とを有し、ピストン部４１によって、直動支持孔２８を、前側に位置して流入口２６に連通した前圧室２８Ａと、後側に位置する後圧室２８Ｂとに区画している。
【００２７】
図５に示すように、前圧室２８Ａのうち第１弁本体部４２と対向した対向面２８ＡＭには、流出口２７に連通する第１弁口３０が開口している。そして、第１弁本体部４２の前端部が第１弁口３０の開口縁部に接離することで、第１弁体４０が第１弁口３０を開閉するようになっている（図４及び図５参照）。また、後圧室２８Ｂのうちピストン部４１との対向面２８ＢＭとピストン部４１との間には、第１圧縮コイルバネ４３（本発明の「第１弁体付勢手段」に相当する）が設けられ、これにより、第１弁体４０が閉弁位置に付勢されている。
【００２８】
詳細には、後圧室２８Ｂの後端部は、支持ベース２０の径方向における中心寄り部分が縮径されていて、ピストン部４１は、中心部から後側に突出してなる中央突部４１Ａを備えている。そして、第１圧縮コイルバネ４３は、後圧室２８Ｂのうち縮径された部分の内側に一端部が嵌合され、中央突部４１Ａの外側に他端部が嵌合されることで、位置決めされている。
【００２９】
図４に示すように、後圧室２８Ｂの対向面２８ＢＭのうち支持ベース２０の中心軸上に配置された部分には、第１弁口３０よりも開口面積が小さなパイロット弁口６０が開口し、このパイロット弁口６０を通して、後圧室２８Ｂが流出口２７に連通している。具体的には、支持ベース２０の内部には、直動支持孔２８の後側から直動支持孔２８の側方を通って流出口２７に連通する圧抜流路６５（本発明の「第２の圧力導入路」に相当する）が設けられ、この圧抜流路６５と後圧室２８Ｂとの間の区画壁６５Ｈに、パイロット弁口６０が貫通形成されている。そして、上述した直動シャフト８０が、圧抜流路６５とパイロット弁口６０を貫通して、直動支持孔２８の内部に突入している。
【００３０】
後圧室２８Ｂ内には、環形状をなして、直動シャフト８０の中間部に直動可能に嵌合されたパイロット弁体６１が設けられている。パイロット弁体６１は、ピストン部４１との間に設けられた第２圧縮コイルバネ６２（本発明の「パイロット弁体付勢手段」に相当する）によってパイロット弁口６０側に付勢されている。詳細には、第２圧縮コイルバネ６２は、パイロット弁体６１のうちパイロット弁口６０と反対側の端部に形成された中央突部６１Ｔに一端部が嵌合され、ピストン部４１の中央突部４１Ａに突出形成された位置決め突部４１Ｂに他端部が嵌合されることで、位置決めされている。
【００３１】
また、直動シャフト８０には、側方に張り出してパイロット弁体６１の後端部と当接可能なパイロット押圧部８１が設けられ、図２から図４への変化に示すように、直動シャフト８０がその直動範囲の前端位置に向かう途中で、パイロット弁体６１がパイロット押圧部８１に押圧されて前方へ移動可能となっている。そして、パイロット弁体６１の後端部がパイロット弁口６０の開口縁部に接離することで、パイロット弁口６０が開閉されるようになっている。
【００３２】
図７（Ａ）に示すように、パイロット弁体６１には、環状をなして直動シャフト８０外側面との間をシールするパッキン６３（「流体移動規制手段」に相当する）が設けられ、パイロット弁口６０が閉じたときに、後圧室２８Ｂの加圧流体が圧抜流路６５へ逃げないようになっている。
【００３３】
詳細には、パイロット弁体６１は、パイロット弁口６０側を構成する弁本体部６１Ａと、パイロット弁口６０と反対側を構成する弁本体支持部６１Ｂとの間にパッキン６３を挟んだ構造になっている。図７（Ｂ）に拡大して示すように、弁本体部６１Ａ及び弁本体支持部６１Ｂは、直動シャフト８０との間に隙間を有する一方、パッキン６３は、内径が直動シャフト８０の外径よりも小さくなっていて、内縁部が直動シャフト８０の外側面を摺動可能になっている。これにより、パイロット弁体６１が閉弁位置に配置された状態で直動シャフト８０が移動しても、後圧室２８Ｂと圧抜流路６５の間がシールされるようになっている。
【００３４】
図６に示すように、直動シャフト８０の先端部は、第１弁体４０の中心部を貫通した中心孔４０Ａに収容されている。この中心孔４０Ａの後端部は、直動シャフト８０の外側面との隙間を絞ってなるオリフィス４４になっている。また、第１弁体４０には、中心孔４０Ａの中間部から側方に延びた側方孔４０Ｂ（本発明の「連通孔」に相当する）が設けられ、この側方孔４０Ｂを介して、中心孔４０Ａが前圧室２８Ａに連通している。即ち、後圧室２８Ｂは、オリフィス４４を介して前圧室２８Ａに連通している。
【００３５】
詳細には、中心孔４０Ａの内側面には、後端位置と前端寄り位置の２箇所に、直動シャフト８０をガイドするカラー４５，４５が設けられ、中心孔４０Ａのうちカラー４５，４５に挟まれた領域と、前側のカラー４５より前方に配置された領域のそれぞれの領域から側方孔４０Ｂ，４０Ｂが側方に延びている。なお、中心孔４０Ａのうち後側のカラー４５と直動シャフト８０との間の隙間が、上述したオリフィス４４になっている。また、中心孔４０Ａのうち後側に配置された側方孔４０Ｂよりも後側の部分が、本発明に係る第１の圧力導入路４６になっている。
【００３６】
また、本実施形態では、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂが、直動支持孔２８の中間部に張られたダイヤフラム２９によって気密状態に隔絶されるようになっている。具体的には、ダイヤフラム２９は、環状をなして、その外側部分が、支持ベース２０のうち直動支持孔２８の内側面を構成する壁部に固定されると共に、内側部分が、ピストン部４１の外側面から中心に向かって形成された環状隙間を通って中心部に固定され、これにより、前圧室２８Ａの加圧流体が、直動支持孔２８の内側面とピストン部４１との間の隙間を通って、後圧室２８Ｂへ漏れないようになっている。
【００３７】
中心孔４０Ａの前端部には、第１弁本体部４２の前端面４２Ｍで開口した第２弁口５０が設けられ、この第２弁口５０を通して中心孔４０Ａが流出口２７（図１参照）に連通する。第２弁口５０は、開口面積がパイロット弁口６０の開口面積よりも小さくなっていて、直動シャフト８０の先端に設けられた第２弁体５１によって開閉されるようになっている（図２及び図３参照）。
【００３８】
具体的には、図２に示すように、直動シャフト８０は、上述のパイロット押圧部８１を有した基端シャフト部８０Ａと、基端シャフト部８０Ａに直動可能に支持された先端シャフト部８０Ｂと、先端シャフト部８０Ｂを基端シャフト部８０Ａに対して前方に付勢する第３圧縮コイルバネ８２とを備えていて、その先端シャフト８０Ｂの先端に第２弁体５１が設けられている。
【００３９】
詳細には、基端シャフト８０Ａの前端部は、筒状をなして、先端シャフト８０Ｂの後端部を収容している。先端シャフト８０Ｂの後端部には、側方に張り出したフランジが設けられ、そのフランジと基端シャフト８０Ａの筒部の奥面との間に第３圧縮コイルバネ８２が配置されている。また、図６に示すように、基端シャフト８０Ａの筒部の前端には、係止カラー８３が圧入されて、先端シャフト８０Ｂが抜け止めされている。
【００４０】
なお、第２弁体５１は、円錐形状をなし、中心孔４０Ａは、前側のカラー４５が配置された位置よりも前側でテーパー状に絞られている。そして、中心孔４０Ａのうちテーパー部分より前側の部分が第２弁口５０になっている。
【００４１】
本実施形態の流量制御弁１０の構成に関する説明は以上である。次に、本実施形態の流量制御弁１０の作用効果について説明する。流量制御弁１０は、流入口２６にパイプ等を接続して加圧流体を支持ベース２０内に流入可能な状態とし、流出口２７にパイプ等を接続して外部に加圧流体を排出可能な状態にしておく。そして、流量制御弁１０のステッピングモータ１３（図１参照）にパルス信号を付与することで、弁開度を変更してパイプから他のパイプに流れる流体の流量を制御する。具体的には、ステッピングモータ１３にパルス信号を付与すると、そのパルス信号のパルス数に応じて直動シャフト８０が回転し、支持ベース２０内を前進又は後退する。これにより、直動シャフト８０を任意の直動位置に位置制御することができる。
【００４２】
直動シャフト８０をその直動可能範囲の中間位置に配置すると、図２に示すように、直動シャフト８０のパイロット押圧部８１がパイロット弁体６１の後方に離間し、図２には表されていないが、直動シャフト８０の基端シャフト部８０Ａの係止カラー８３が先端シャフト部８０Ｂのフランジから前方に離間した状態になる。そして、第２圧縮コイルバネ６２によってパイロット弁体６１が後方に付勢されて、パイロット弁口６０が閉じられ、第３圧縮コイルバネ８２（図６参照）によって第２弁体５０が前方に付勢されて、第２弁口５０が閉じられる。
【００４３】
ここで、前圧室２８Ａには、流入口２６から加圧流体が導入され、その前圧室２８Ａの加圧流体は、第１弁体４０の側方孔４０Ｂ、中心孔４０Ａ、オリフィス４４を通って後圧室２８Ｂへと導入されている。そして、パイロット弁口６０が閉じられた状態では、前圧室２８Ａの内圧と後圧室２８Ａと内圧とが等しくなって、第１弁体４０のうち中心部から離れた部分では、前圧室２８Ａ内の加圧流体から受ける内圧と、後圧室２８Ｂ内の加圧流体から受ける内圧とが相殺される。その結果、第１弁体４０は、中心部で後圧室２８Ｂ内の加圧流体から受ける内圧と、流出口２７側の加圧流体から受ける内圧との差圧によって、前方に付勢される。また、第１弁体４０は、第１圧縮コイルバネ４３によっても前方に付勢され、これらにより、第１弁口３０が閉じられる。即ち、直動シャフト８０が中間位置に配置されたときには、流量制御弁１０を通過する流体の流量は「０」になる（図８のＲ２部参照）。なお、本実施形態では、第１弁体４０が、第１圧縮コイルバネ４３に加えて、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂとの差圧及び流出口２７と前圧室２８Ａとの差圧によっても閉弁位置に押圧されているので、第１弁口３０のシール性が増す。なお、これら差圧も本発明の「第１弁体付勢手段」に相当する。
【００４４】
直動シャフト８０を中間位置より後退させていくと、図３に示すように、直動シャフト８０の基端シャフト部８０Ａ（係止カラー８３）が先端シャフト部８０Ｂに係止して、第２弁体５１が後方に引っ張られる。これにより、第２弁体５１が第２弁口５０の開口縁部から離間して、第２弁口５０が開き、流入路２６から流出口２７へと流体が流れる。この状態では、前圧室２８Ａの内圧が後圧室２８Ｂの内圧よりも低くなって第１弁体４０が前方に押され、第１弁口３０は閉じたままである。そして、直動シャフト８０を更に後退させると、第２弁口５０の弁開度が大きくなっていき、その弁開度の増加に応じて流出口２７から排出される流体の流量が増加していく（図８のＲ１部参照）。即ち、直動シャフト８０を中間位置から前進させたときには、比較的小さな流量の流体が直動シャフト８０の直動位置に応じて流れる。
【００４５】
直動シャフト８０を中間位置から前進させていくと、先端シャフト部８０Ｂの後端部が基端シャフト部８０Ａの筒部の奥側に受容されていき、その途中で、パイロット押圧部８１がパイロット弁体６１の後端部に当接して、パイロット弁体６１が前方に押される。これにより、図４に示すように、パイロット弁体６１がパイロット弁口６０の開口縁から離間して、パイロット弁口６０が開き、後圧室２８Ｂから圧抜流路６５を通って流出口２７へと加圧流体が流れる。ここで、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂは、オリフィス４４を介して連通しているので、後圧室２８Ｂの内圧は低下する一方で、前圧室２８Ａの内圧は高い状態が維持され、その差圧により、第１弁体４０が第１圧縮コイルバネ４３の付勢力に抗して後方に押され、第１弁口３０が開く（図５参照）。このように、本実施形態の流量制御弁１０では、直動シャフト８０が中間位置から前進すると、パイロット弁口６０の開弁に伴って第１弁口３０も開き、比較的大きな流量の流体が流れる（図８のＲ３部参照）。
【００４６】
なお、第１弁体４０が後方へ押されると、第１弁本体部４２と当接している第２弁体５１も後方に押される。ここで、第２弁体５１を備えた先端シャフト部８０Ｂは、第３圧縮コイルバネ８２によって基端シャフト部８０Ａの筒部のさらに奥側へと受容することができ、これにより、第１弁体４０と第２弁体５１は、一体となって後方に移動することが可能になっている。
【００４７】
第１弁口３０及びパイロット弁口６０が開いた状態から駆動シャフト８０を後退させると、パイロット弁口６０の弁開度が徐々に小さくなっていき、直動シャフト８０が直動可能範囲の中間位置に至ったときに、パイロット弁口６０が閉じられる。すると、後圧室２８Ｂの内圧が前圧室２８Ａの内圧と等しくなって、加圧流体が第１弁体４０を前方に押す力と、加圧流体が第１弁体４０を後方に押す力が釣り合う。そして、第１弁体４０は、第１圧縮コイルバネ４３の付勢力によって、前方へ移動し、第１弁口３０が閉じられる。
【００４８】
このように、本実施形態の流量制御弁１０では、開口面積が比較的大きな第１弁口３０は、パイロット弁口６０の弁開度に起因して開閉され、開口面積が比較的小さい第２弁口５０は、直動シャフト８０に備えた第２弁体５１によって開閉される。そして、本実施形態では、第１弁口３０を開閉するためのパイロット弁口６０と、比較的小さい流量の加圧流体を流すための第２弁口５０とを別個に備え、第２弁口５０を開いたときに加圧流体が流れる流路にオリフィス４４が含まれない構成になっていて、この点が、小弁口１がパイロット弁口と兼用されて、小弁口１を開いたときの流路にオリフィス８が含まれている従来の流量制御弁（図１９参照）とは異なっている。本実施形態の構成によれば、第２弁口５０を開いたときの流量に影響を与えることなくオリフィス４４を小さくすることができるので、パイロット弁体６１が僅かに開いた瞬間に第１弁体４０を移動させることで、第１弁口３０が開くタイミングのばらつきを抑えて、流量制御を容易に行うことが可能になる。また、本実施形態の構成によれば、オリフィス４４を小さくすることに伴ってパイロット弁口６０の開口面積を小さくすることができ、ステッピングモータ１３の小型化が可能になる。さらに、オリフィス４４とは無関係に、第２弁口５０の開口面積を小さくすることができるので、微小な流量制御が可能となる。
【００４９】
また、本実施形態の流量制御弁１０では、第１弁体４０、第２弁体５１及びパイロット弁体６１が、直動シャフト８０と同軸上に配置された構成になっているので、流量制御弁１０のコンパクト化が図られる。
【００５０】
［第２実施形態］
以下、本発明の第２実施形態を図９〜図１１に基づいて説明する。図９に示すように、本実施形態に係る流量制御弁１０Ｖは、第１弁体４０Ｖが直動シャフト８０と同軸上に配置されていない点が、第１実施形態の流量制御弁１０と大きく異なっている。
【００５１】
具体的には、本実施形態の流量制御弁１０Ｖでは、支持ベース２０Ｖが、第１実施形態の支持ベース２０よりも、横方向（図９における左右方向）に長くなっていて、流入口２６に近い側に直動支持孔２８が配置され、流入口２６から離れた側にステッピングモータ１３を収容した円筒ケース１４及び直動シャフト８０（本発明の「直動駆動部材」に相当する）が配置されている。また、第１弁体４０Ｖは、第１実施形態の第１弁体４０とは、中心孔４０Ａ及び側方孔４０Ｂが設けられていない点が異なっていて、その他の構成は第１弁体４０と同じになっている。
【００５２】
また、支持ベース２０Ｖには、前圧室２８Ａに連通する流出口２７が２つ設けられ、一方の流出口２７は、第１実施形態と同様に、支持ベース２０Ｖの側面に配置され、他方の流出口２７は、支持ベース２０Ｖの前面のうち直動シャフト８０の中心軸上に配置されている。なお、以下では、支持ベース２０Ｖの側面に配置された流出口２７を「第１流出口２７Ａ」と、支持ベース２０Ｖの前面に配置された流出口２７を「第２流出口２７Ｂ」と、区別して呼ぶことにする。
【００５３】
流量制御弁１０Ｖでは、圧抜流路６５が、後圧室２８Ｂから側方に延びて直動シャフト８０の中心軸を横切り、直動シャフト８０の側方を通って第１流出口２７Ａに連通している。詳細には、圧抜流路６５のうち直動シャフト８０が貫通した部分は、直動シャフト８０の中心軸に沿った直線状をなし、パイロット弁口６０を有した区画壁６６Ｈによって前後方向（直動シャフト８０の中心軸方向）に区画されている。そして、区画壁６６Ｈによって区画された前側の部分が、後圧室２８Ｂに連通してパイロット弁体６１を収容するサブ後圧室６６になっている（図１１参照）。
【００５４】
また、支持ベース２０Ｖには、前圧室２８Ａから流入口２６と反対側へ延びて、支持ベース２０Ｖの前面で開口して上述の第２流出口２７Ｂを形成する小流量排出路５５が設けられている。
【００５５】
図１０に示すように、小流量排出路５５の中間部には、直動シャフト８０と同軸上で直線状に延びた弁体収容部５６が設けられている。弁体収容部５６は、上述したサブ後圧室６６の前側に配置され（図９参照）、弁体収容部５６とサブ後圧室６６との間の区画壁５６Ｈを直動シャフト８０が貫通し、第２弁体５１が弁体収容部５６に直動可能に収容されている。また、弁体収容部５６とサブ後圧室６６の間には、直動シャフト８０の外側面と区画壁５６Ｈとの間の隙間を絞ってなるオリフィス４４Ｖが設けられ、これにより、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂとが常時連通している。
【００５６】
弁体収容部５６の前端部には、第２弁体５１によって開閉される第２弁口５０Ｖが設けられている。具体的には、弁体収容部５６のうち第２弁体５１と対向した面における中心部からは、円筒状の支持スリーブ５８が突出し、その支持スリーブ５８の軸心孔５８Ａが、前側寄り位置でテーパー状に絞られ、そのテーパー部分と軸心孔５８Ａの前端部との間を連絡するように、軸心孔５８Ａの前端部より小さい内径の円形孔である第２弁孔５０Ｖが形成されている。なお、第２弁口５０Ｖの開口面積は、第１実施形態の第２弁口５０と同じになっている。
【００５７】
流量制御弁１０Ｖのその他の構成は、上記第１実施形態と同一であるので、重複する説明は省略する。なお、小流量排出路５５のうち前圧室２８Ａ側の端部開口５５Ａが、本発明の「導入開口」に相当する。また、本実施形態では、小流量排出路５５のうち端部開口５５Ａから弁体収容部５６までの部分と、オリフィス４４Ｖと、圧抜流路６５のうちサブ後圧室６６から後圧室２８Ｂまでの部分とによって、本発明に係る第１の圧力導入路４６Ｖが構成されている。
【００５８】
本実施形態の流量制御弁１０Ｖによれば、上記第１実施形態と同様の効果を奏することができる。また、第２弁体５１とパイロット弁体６１が、直動シャフト８０と同軸上に配置されているので、流量制御弁１０Ｖのコンパクト化が図られる。
【００５９】
［第３実施形態］
以下、本発明の第３実施形態を、図１２〜図１３に基づいて説明する。本実施形態の流量制御弁１０Ｗは、第１実施形態の流量制御弁１０を変形したものであり、図１２に示すように、パイロット弁体６０とパイロット押圧部８１の配置が反対になっている。具体的には、パイロット弁体６１は、第１実施形態とは、前後が逆向きに配置され、圧抜流路６５のうち後圧室２８Ｂの後側部分に収容されている。そして、圧抜流路６５のパイロット弁体６１との対向面とパイロット弁体６１との間に配置された第２圧縮コイルバネ６２によって前方に付勢されている。また、パイロット押圧部８１は、パイロット弁体６１よりも前方に配置されている。その他の構成については、第１実施形態と同一の符号を付すことで、説明を省略する。
【００６０】
本実施形態の流量制御弁１０Ｗでは、直動シャフト８０を前端位置に配置すると、第２圧縮コイルバネ６２によってパイロット弁体６１が前方に付勢されて、パイロット弁口６０が閉じられ、第３圧縮コイルバネ８２によって第２弁体５１が前方に付勢されて、第２弁口５０が閉じられる。このとき、第１実施形態で説明したのと同様に、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂとは内圧が等しくなって、第１弁口３０も閉じられる。即ち、直動シャフト８０が前端位置に配置されたときには、流量制御弁１０Ｖを通過する流体の流量は、「０」になる（図１３参照）。
【００６１】
直動シャフト８０を前端位置から後退させていくと、基端シャフト部８０Ａが先端シャフト部８０Ｂに係止して、第２弁体５１が後方に引っ張られる。そして、第２弁体５１が第２弁口５０の開口縁から離間して、第２弁口５０が開き、流出口２７から加圧流体が排出される。直動シャフト８０を更に後退させると、第２弁口５０の弁開度が大きくなっていき、その弁開度に応じて流出口２７から排出される流体の流量が増加していく（図１３のＳ３部参照）。そして、直動シャフト８０が直動可能範囲の中間位置に配置されると、第２弁口５０の弁開度が一定となる（図１３のＳ２部参照）。
【００６２】
直動シャフト８０を中間位置から後退させていくと、パイロット押圧部８１がパイロット弁体６１を後方へ押圧移動させ、パイロット弁口６０が開く。そして、第１実施形態で説明したのと同様にして、第１弁口３０が開き、比較的大きな流量の流体が流量制御弁１０Ｗから排出される（図１３のＳ１部参照）。
【００６３】
このように、本実施形態の流量制御弁１０Ｗでは、第２弁口５０が一定の弁開度になるまでは、第２弁口５０の弁開度のみを調整して比較的小さな流量を制御し、第２弁口５０が一定の弁開度になった後は、第１弁口３０を開いて比較的大きな流量の流体を流すことができる。
【００６４】
［第４実施形態］
以下、本発明の第４実施形態を、図１４に基づいて説明する。図１４に示すように、本実施形態の流量制御弁１０Ｘは、第３実施形態と同様に、第２実施形態を流量制御弁１０Ｖにおけるパイロット弁体６１とパイロット押圧部８１の配置を逆向きにしたものである。
【００６５】
本実施形態の流量制御弁１０Ｘによれば、上記第２実施形態と同様の効果を奏することができる。なお、流量制御弁１０Ｘは、第３実施形態の流量制御弁１０Ｗと同様の流量変化特性を示す（流量制御弁１０Ｗの流量変化特性については、図１３を参照）。
【００６６】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
【００６７】
（１）上記第２，４実施形態では、第１弁口３０を通過した加圧流体を排出するための第１流出口２７Ａと、第２弁口５０Ｖを通過した加圧流体を排出するための第２流出口２７Ｂとが別個に設けられていたが、図１５に示すように、第１弁口３０を通過した加圧流体と、第２弁口５０Ｖを通過した加圧流体とが共通の流出口２７から排出されるようにした構成としてもよい。
【００６８】
（２）上記第２，４実施形態では、第２弁体５１とパイロット弁体６１とが直動シャフト８０と同軸上に配置されていたが、同軸上に配置されていなくてもよい。
【００６９】
（３）上記第３，４実施形態の流量制御弁では、直動シャフト８０を後退させていくと、第２弁口５０，５０Ｖの弁開度が一定になった後で、第１弁口３０が開く構成であったが、第２弁口５０，５０Ｖの弁開度が一定となる前に、第１弁口３０が開いてもよい。なお、この場合の流量変化特性は、従来の流量制御弁の流量変化特性（図２０参照）と同様になる。
【００７０】
（４）上記第１、３実施形態の第１弁口３０、或いは、上記第２、４実施形態の第２弁口５０Ｖを流出口とした構成であってもよい。
【００７１】
（５）上記実施形態では、第１圧縮コイルバネ４３と、前圧室２８Ａと後圧室２８Ｂとの差圧及び流出口２７と前圧室２８Ａとの差圧とによって、本発明の「第１弁体付勢手段」が構成されていたが、差圧のみで構成されてもよい。
【００７２】
（６）図１６に示すように、第１弁体１４０のピストン部１４１に、その前面で開口した凹部１４１Ａを設けると共に、前圧室２８Ａに、第１弁口３０が先端面で開口した突部２８Ｔを設け、その突部２８Ｔが凹部１４１Ａの奥面に突き合わされた構成であってもよい。なお、この構成では、凹部１４１Ａの奥面１４１Ｍが、本発明の「第１弁本体部」に相当する。
【００７３】
（７）上記第１，３実施形態では、第２弁口５０を第１弁口３０の後側に配置していたが、第１弁口３０と同じ前後位置或いは第１弁口より前側に配置されるようにしてもよい。具体的には、図１７に示すように、第１弁体１４０Ｖの第１弁本体部１４２が、第１弁口３０内に突入する突部１４２Ｔを有し、その突部１４２Ｔの先端面で第２弁口５０が開口した構成であってもよい。
【００７４】
（８）上記実施形態では、パイロット弁体６１の内側面と直動シャフト８０の外側面との間がパッキン６３によりシールされた構成であったが、図１８（Ａ）及び図１８（Ｂ）に示すように、パイロット弁体１６１Ｖの内側面と直動シャフト８０の外側面との間に、オリフィス１４４Ｖよりも小さな隙間１６３Ｖ（本発明の「流体移動規制手段」に相当する）を設けた構成であってもよい。なお、図１８（Ｂ）では、第１弁体１４０Ｖと直動シャフト８０との間にオリフィス１４４Ｖが形成された例が示されているが、上記第２，４実施形態と同様に、区画壁５６Ｈと直動シャフト８０との間にオリフィス１４４Ｖが形成されてもよい。
【００７５】
（９）上記実施形態では、第２弁口５０の開口面積が、パイロット弁口６０の開口面積よりも小さくなっていたが、第１弁口３０の開口面積よりも小さければ、パイロット弁口６０の開口面積と同じかそれ以上の大きさであってもよい。
【符号の説明】
【００７６】
１０，１０Ｖ，１０Ｗ，１０Ｘ    流量制御弁
１３    ステッピングモータ（駆動源）
２６    流入口
２７    流出口
２８    直動支持孔
２８Ａ    前圧室
２８Ｂ    後圧室
２９    ダイヤフラム
３０    第１弁口
４０，４０Ｖ，１４０，１４０Ｖ    第１弁体
４０Ａ    中心孔
４０Ｂ    側方孔（連通孔）
４１，１４１    ピストン部
４２，１４２    第１弁本体部
４３    第１圧縮コイルバネ（第１弁体付勢手段）
４４，４４Ｖ    オリフィス
４６，４６Ｖ    第１の圧力導入路
５０，５０Ｖ    第２弁口
５１    第２弁体
５５    小流量排出路
５６    弁体収容部
６０    パイロット弁口
６１    パイロット弁体
６２    第２圧縮コイルバネ（パイロット弁体付勢手段）
６３    パッキン（流体移動規制手段）
６５    圧抜流路（第２の圧力導入路）
６６    サブ後圧室
８０    直動シャフト（直動駆動部材）
８０Ａ    基端シャフト部
８０Ｂ    先端シャフト部
８１    パイロット押圧部
８２    第３圧縮コイルバネ（シャフト付勢手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２０】
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【図２１】
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【図１９】
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