(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に薄膜材料を塗布する薄膜塗布装置であって、ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、
ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、
前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、
を含み、
前記複数のノズルヘッドは、ｘ方向に配列され、
ｘ方向に配列した前記複数のノズルヘッド各々は、前記複数のノズルヘッドのノズル各々をｙｚ平面に平行な仮想平面上に垂直投影したとき、該ノズル像各々が隣接するノズル像と相互に重ならないように配置され、
前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有し、
前記ホルダの位置決め機構は、ｘｚ平面に対して平行に設けられる基準面を有し、
前記複数のノズルヘッド各々は、ｘｚ平面に平行な端面を有し、該端面が前記ホルダの基準面に接触して配置され、
前記ホルダに設けられた基準面は、ｘｚ平面に平行な単一の平坦面、および該平坦面に一方の面が接触して配置され、ｙ方向に対する厚みがそれぞれ異なる複数のスペーサの他方の面によって構成され、
前記複数のノズルヘッド各々は、前記ｘｚ平面に平行な端面が前記複数のスペーサ各々の他方の面に接触して配置されており、該複数のスペーサ各々の他方の面と接触する端面から該端面に近い前記ノズル列の端部までの距離が全ノズルヘッドで同じになるように形成されている薄膜塗布装置。
【請求項２】
前記複数のスペーサは、最小の厚みを有する第１のスペーサと、２番目に小さい厚みを有する第２のスペーサと、を含み、
前記複数のスペーサ各々は、前記第１のスペーサの厚みと前記第２のスペーサの厚みとの差分の厚みよりも厚くなるように形成されている請求項１記載の薄膜塗布装置。
【請求項３】
基板に薄膜材料を塗布する薄膜塗布装置であって、ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、
ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、
前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、
を含み、
前記複数のノズルヘッドは、ｘ方向に配列され、
ｘ方向に配列した前記複数のノズルヘッド各々は、前記複数のノズルヘッドのノズル各々をｙｚ平面に平行な仮想平面上に垂直投影したとき、該ノズル像各々が隣接するノズル像と相互に重ならないように配置され、
前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有し、
前記ホルダの位置決め機構は、ｘｚ平面に対して平行に設けられる基準面を有し、
前記複数のノズルヘッド各々は、ｘｚ平面に平行な端面を有し、該端面が前記ホルダの基準面に接触して配置され、
前記ホルダに設けられた基準面は、ｘｚ平面に平行な単一の平坦面によって構成され、
前記複数のノズルヘッド各々は、前記ｘｚ平面に平行な端面が前記単一の平坦面に接触して配置されており、該単一の平坦面と接触する端面から該端面に近い前記ノズル列の端部までの距離が全ノズルヘッドで異なるように形成されている薄膜塗布装置。
【請求項４】
前記複数のノズルヘッドは、ｘｚ平面に平行な第１および第２の端面を有し、該第１の端面と該第１の端面に近い前記ノズル列の端部との距離が第１の距離で形成され、該第２の端面と該第２の端面に近い前記ノズル列の端部との距離が前記第１の距離とは異なる第２の距離で形成される第１および第２のノズルヘッドを含み、
前記第１のノズルヘッドは、前記第１の端面が前記単一の平坦面に接触して配置され、
前記第２のノズルヘッドは、前記第２の端面が前記単一の平坦面に接触して配置される請求項３記載の薄膜塗布装置。
【請求項５】
基板に薄膜材料を塗布する薄膜塗布装置であって、ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、
ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、
前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、
を含み、
前記複数のノズルヘッドは、ｘ方向に配列され、
ｘ方向に配列した前記複数のノズルヘッド各々は、前記複数のノズルヘッドのノズル各々をｙｚ平面に平行な仮想平面上に垂直投影したとき、該ノズル像各々が隣接するノズル像と相互に重ならないように配置され、
前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有し、
前記ホルダの位置決め機構は、ｘｚ平面に対して平行に設けられる基準面を有し、
前記複数のノズルヘッド各々は、ｘｚ平面に平行な端面を有し、該端面が前記ホルダの基準面に接触して配置され、
前記ホルダに設けられた基準面は、ｘｚ平面に平行で、ｙ方向位置が異なる第１および第２の平坦面によって構成され、
前記複数のノズルヘッドは、前記ｘｚ平面に平行な端面が前記第１の平坦面に接触して配置される第１のノズルヘッド群、および前記ｘｚ平面に平行な端面が前記第２の平坦面に接触して配置される第２のノズルヘッド群を含み、
前記第１のノズルヘッド群を構成するノズルヘッド各々は、前記ｘｚ平面に平行な端面から該端面に近い前記ノズル列の端部までの距離が、前記第１のノズルヘッド群を構成する全ノズルヘッドで異なるように形成されおり、
前記第２のノズルヘッド群を構成するノズルヘッド各々は、前記ｘｚ平面に平行な端面から該端面に近い前記ノズル列の端部までの距離が、前記第２のノズルヘッド群を構成する全ノズルヘッドで異なるように形成されている薄膜塗布装置。
【請求項６】
前記第１のノズルヘッド群を構成するノズルヘッド各々は、前記第２のノズルヘッド群を構成するノズルヘッド各々と同じ構造を有する請求項５記載の薄膜塗布装置。
【請求項７】
前記第１および第２のノズルヘッド群は、それぞれ、ｘｚ平面に平行な第１および第２の端面を有し、該第１の端面と該第１の端面に近い前記ノズル列の端部との距離が第１の距離で形成され、該第２の端面と該第２の端面に近い前記ノズル列の端部との距離が前記第１の距離とは異なる第２の距離で形成される第１および第２のノズルヘッドを含み、
前記第１のノズルヘッド群に含まれる第１のノズルヘッドは、前記第１の端面が前記第１の平坦面に接触して配置され、
前記第１のノズルヘッド群に含まれる第２のノズルヘッドは、前記第２の端面が前記第１の平坦面に接触して配置され、
前記第２のノズルヘッド群に含まれる第１のノズルヘッドは、前記第１の端面が前記第２の平坦面に接触して配置され、
前記第２のノズルヘッド群に含まれる第２のノズルヘッドは、前記第２の端面が前記第２の平坦面に接触して配置される請求項６記載の薄膜塗布装置。
【請求項８】
前記ホルダに設けられた平坦面は、該ホルダと一体的に形成されている請求項１〜７のいずれか１項記載の薄膜塗布装置。
【請求項９】
前記複数のノズルヘッド各々は、前記ノズル列を備える本体部、および前記ホルダの基準面と接触するｘｚ平面に平行な端面を有し、前記本体部を支持する支持部を含む請求項１〜８のいずれか１項記載の薄膜塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に薄膜材料を塗布する薄膜塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルヘッドを含む薄膜塗布装置から薄膜材料を液滴として吐出して、塗布対象物の表面に、薄膜を所定パターンで塗布する技術が知られている（たとえば特許文献１）。
【０００３】
このような技術において、たとえば、塗布対象物にはプリント配線基板が、薄膜材料にはソルダーレジストが用いられる。プリント配線基板は、基材および配線を含み、所定の位置に電子部品等がはんだ付けされる。ソルダーレジストは、プリント配線基板への電子部品等のはんだ付けのために、必要な導体部分を露出し、はんだ付けが不要な部分にはんだが付かないように配線板上に形成される絶縁膜である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３５４４５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一観点によれば、
基板に薄膜材料を塗布する薄膜塗布装置であって、ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、
ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、
前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、
を含み、
前記複数のノズルヘッドは、ｘ方向に配列され、
ｘ方向に配列した前記複数のノズルヘッド各々は、前記複数のノズルヘッドのノズル各々をｙｚ平面に平行な仮想平面上に垂直投影したとき、該ノズル像各々が隣接するノズル像と相互に重ならないように配置され、
前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有し、
前記ホルダの位置決め機構は、ｘｚ平面に対して平行に設けられる基準面を有し、
前記複数のノズルヘッド各々は、ｘｚ平面に平行な端面を有し、該端面が前記ホルダの基準面に接触して配置され、
前記ホルダに設けられた基準面は、ｘｚ平面に平行な単一の平坦面、および該平坦面に一方の面が接触して配置され、ｙ方向に対する厚みがそれぞれ異なる複数のスペーサの他方の面によって構成され、
前記複数のノズルヘッド各々は、前記ｘｚ平面に平行な端面が前記複数のスペーサ各々の他方の面に接触して配置されており、該複数のスペーサ各々の他方の面と接触する端面から該端面に近い前記ノズル列の端部までの距離が全ノズルヘッドで同じになるように形成されている薄膜塗布装置が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
精細なパターンで薄膜が塗布された基板を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、実施例による薄膜形成装置を示す側面図である。
【図２】図２Ａおよび図２Ｂは、実施例による薄膜塗布装置を示す底面図、および、薄膜塗布装置に対して塗布対象物を相対的に移動させながら、ノズルヘッドから吐出される薄膜材料を塗布対象物の表面に付着させる様子を示す側面図である。
【図３】図３Ａおよび図３Ｂは、実施例１による薄膜塗布装置を示す底面図および側面図である。
【図４】図４Ａおよび図４Ｂは、実施例２による薄膜塗布装置を示す底面図および側面図である。
【図５】図５は、実施例３による薄膜塗布装置を示す底面図である。
【図６】図６は、実施例４による薄膜塗布装置を示す底面図である。
【図７】図７は、実施例３による薄膜塗布装置の応用例を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
図１は、実施例による薄膜塗布装置が搭載された薄膜形成装置の構成を示す側面図である。この薄膜形成装置は、薄膜塗布装置２３、さらには定盤２０、フレーム２１、ステージ２２、ＣＣＤカメラ３０、および制御装置４０を含む構成である。定盤２０は、図中の座標系においてＸＹ平面に平行な面内に設置される。ステージ２２は、定盤２０上に配置される。フレーム２１は、定盤２０に固定され、Ｙ軸方向に沿って見たとき、ステージ２２を門型に囲むように配置され、ノズルヘッド２３およびＣＣＤカメラ３０が取り付けられる。制御装置４０は、薄膜形成装置の動作を制御する。
【００１０】
ステージ２２は、たとえば、定盤２０側から順に配置されるＹステージ２２ｙ、Ｘステージ２２ｘおよびθステージ２２θ等の移動機構、およびチャックプレート２２ａ等の保持機構を含む。Ｙステージ２２ｙ、Ｘステージ２２ｘおよびθステージ２２θは、それぞれボールネジやリニアモータ等の駆動機構を備える。チャックプレート２２ａは、塗布対象物、たとえばプリント配線基板５０を吸着保持する。θステージ２２θは、保持された塗布対象物５０を、ＸＹ平面に平行な面内で、Ｚ軸に平行な回転軸の周囲に回転させる。Ｘステージ２２ｘおよびＹステージ２２ｙは、それぞれ塗布対象物５０を、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動させることができる。チャックプレート２２ａによる塗布対象物５０の吸着は、制御装置４０によって制御される。Ｘ，Ｙ，θステージ２２ｘ，２２ｙ，２２θによる塗布対象物５０の移動は、各ステージの駆動機構を介して、制御装置４０によって制御される。なお、移動機構は、塗布対象物をＸ，Ｙ，θ方向にそれぞれ移動させることができる単一の可動ステージであってもかまわない。
【００１１】
フレーム２１は、２本の支柱２１ａ、２１ｂ、及び梁２１ｃを含む。支柱２１ａ、２１ｂは、定盤２０のＹ軸方向の略中央に立設される。梁２１ｃは、Ｘ軸方向に沿うように、支柱２１ａ、２１ｂに支持される。
【００１２】
薄膜塗布装置２３およびＣＣＤカメラ３０は、フレーム２１の梁２１ｃに取り付けられる。
【００１３】
薄膜塗布装置２３は、薄膜材料、たとえば光硬化剤が添加されたソルダーレジストを液滴としてチャックプレート２２ａに保持された塗布対象物５０に向けて吐出（滴下）する。薄膜塗布装置２３からの薄膜材料の吐出は、制御装置４０によって制御される。
【００１４】
ＣＣＤカメラ３０は、チャックプレート２２ａに保持された塗布対象物５０の表面を撮像する。移動機構により塗布対象物５０を移動させることで、塗布対象物５０上の任意の位置の撮像データを取得することができる。取得された撮像データは、制御装置４０に送信される。取得された撮像データにより、制御装置４０は、塗布対象物５０に薄膜材料を塗布させるべき位置の計測や、塗布した薄膜材料の検査を行うことができる。ＣＣＤカメラ３０による撮像、およびその撮像データの送信は、制御装置４０によって制御される。
【００１５】
制御装置４０は、記憶装置４０ａを含み、記憶装置４０ａには、塗布対象物５０上に塗布すべきパターンを定義する画像データ（ガーバデータ、ビットマップ等）が記憶されている。制御装置４０は、ＣＣＤカメラ３０による撮像データおよび記憶装置４０ａに記憶される画像データに基づいて、塗布対象物５０に塗布すべきパターンが塗布されるように、移動機構による塗布対象物５０の移動、および薄膜塗布装置２３からの薄膜材料の吐出を制御する。
【００１６】
塗布対象物５０は、Ｘ軸およびＹ軸方向に移動され、薄膜塗布装置２３の鉛直下方（Ｚ軸方向）において薄膜材料を付着される。
【００１７】
なお、図１では、ステージ２２に移動機構を備え、フレーム２１が固定される構成であるが、フレーム２１に移動機構を備える構成であってもかまわない。
【００１８】
図２Ａは、薄膜塗布装置２３の構成を示す底面図である。薄膜塗布装置２３は、複数のノズルヘッド２４ａ〜２４ｄと、複数のノズルヘッド２４ａ〜２４ｄを保持するホルダ２５と、を含む構成である。ホルダ２５には、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄがＸ負方向に向かって順に配列するように取り付けられている。また、ホルダ２５には、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄから吐出され、塗布対象物に塗布した薄膜材料、たとえば光硬化剤が添加された絶縁性を有するソルダーレジストを光硬化するための光源２６が取り付けられている。
【００１９】
ノズルヘッド２４ａの底面には、薄膜材料を塗布対象物に向かって吐出する複数のノズル２７が設けられている。複数のノズル２７は、たとえばＸ軸負方向とＸ軸正方向とに１列ずつ、計２列のノズル列２７Ｉ，２７ＩＩを構成する。ノズル列２７Ｉおよびノズル列２７ＩＩを構成するノズル２７は、それぞれＹ軸方向にピッチ２Ｐで等間隔に配置される。ノズル列２７ＩＩのノズル２７は、ノズル列２７Ｉのノズル２７に対して、Ｙ軸負方向にＰずらして配置される。つまり、ノズルヘッド２４ａに設けられるノズル２７は、Ｙ軸方向に沿ってピッチＰで千鳥配列した構成となる。ノズル列２７ＩのＹ軸正方向側端部は、ノズルヘッド２４ａのＹ軸正方向側端面から距離Ｌ離れた位置に設けられている。ノズル２７は、たとえばピッチＰが８０μｍ程度で配置される。
【００２０】
ノズルヘッド２４ｂ〜２４ｄの構造は、ノズルヘッド２４ａの構造と同一である。ノズルヘッド２４ｂ〜２４ｄは、ノズルヘッド２４ａに対してＹ軸負方向に、それぞれ２Ｐ／４，Ｐ／４，３Ｐ／４ずらして配置される。このとき、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面２８に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。
【００２１】
ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄのノズル２７各々はピエゾ素子を含んで構成され、電圧の印加に応じて薄膜材料を吐出する。薄膜材料の吐出は制御装置４０（図１）によって制御される。
【００２２】
図２Ｂは、薄膜塗布装置２３に対して塗布対象物５０を相対的に移動させながら、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄから吐出される薄膜材料を塗布対象物５０の表面に付着させる様子を示す側面図である。ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄおよび光源２６は、ホルダ２５の底面に取り付けられている。
【００２３】
制御装置４０（図１）は、薄膜塗布装置２３に対して塗布対象物５０を、ステージ２２（図１）を介して、たとえばＸ軸負方向に等速で移動させる。ＣＣＤカメラ３０（図１）による塗布対象物５０の撮像データ、および記憶装置４０ａ（図１）に記憶される塗布対象物５０に塗布すべきパターンの画像データに基づいて、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄの薄膜材料を吐出させるノズル２７各々に電圧パルスを印加する。ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄのノズル２７から吐出された薄膜材料は、塗布対象物５０の表面に付着する。
【００２４】
薄膜塗布装置２３を、塗布対象物５０に薄膜材料を塗布しながら、塗布対象物５０の一端側から他端側までＸ軸方向に沿って主走査する。その後、薄膜塗布装置２３をＹ軸方向に副走査して、再度、塗布対象物５０に薄膜材料を塗布しながら、塗布対象物５０の他端側から一端側までＸ軸方向に沿って主走査する。このような塗布操作を繰り返し行い、塗布対象物５０の表面全面に塗布すべきパターンの塗布を行う。なお、薄膜材料が光硬化剤を添加したソルダーレジストである場合、塗布対象物５０上に塗布されたソルダーレジストは、光源２６（この場合、Ｘ軸負方向側に配置される光源）の鉛直下方に移動してきたときに、光源２６によって光硬化される。
【００２５】
任意の時刻において、ノズルヘッド２４ａのノズル列２７Ｉから薄膜材料を吐出し、塗布対象物５０上の位置Ｘ１に薄膜材料を塗布したとする。このとき、塗布対象物５０上の位置Ｘ１のＹ軸方向には、薄膜材料がピッチ２Ｐで塗布される。
【００２６】
塗布対象物５０のＸ軸負方向への移動に伴って、塗布対象物５０上の位置Ｘ１もＸ軸負方向に移動する。塗布対象物５０上の位置Ｘ１が、ノズルヘッド２４ａのノズル列２７ＩＩの鉛直下方まで移動したとき、ノズルヘッド２４ａのノズル列２７ＩＩから薄膜材料を吐出し、塗布対象物５０上の位置Ｘ１に薄膜材料を塗布する。このとき、塗布対象物５０上の位置Ｘ１のＹ軸方向には、ノズルヘッド２４ａのノズル列２７Ｉによって塗布された薄膜材料と併せて、薄膜材料がピッチＰで塗布される。
【００２７】
さらに、塗布対象物５０上の位置Ｘ１はＸ軸負方向に移動する。塗布対象物５０上の位置Ｘ１が、ノズルヘッド２４ｂのノズル列２７Ｉ，２７ＩＩの鉛直下方までそれぞれ移動したとき、ノズルヘッド２４ｂのノズル列２７Ｉ，２７ＩＩからそれぞれ薄膜材料を吐出し、塗布対象物５０上の位置Ｘ１に薄膜材料を塗布する。このとき、塗布対象物５０上の位置Ｘ１のＹ軸方向には、ノズルヘッド２４ａによって塗布された薄膜材料と併せて、薄膜材料がピッチＰ／２で塗布される。
【００２８】
同様に、ノズルヘッド２４ｃ，２４ｄによって塗布対象物５０上の位置Ｘ１にそれぞれ薄膜材料を塗布した場合、塗布対象物５０上の位置Ｘ１のＹ軸方向には、ノズルヘッド２４ａ，２４ｂによって塗布された薄膜材料と併せて、薄膜材料がピッチＰ／４で塗布される。つまり、Ｙ軸方向において、ノズルヘッド２４ａ〜２４ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面２８（図２Ａ）に垂直投影した像と同じピッチで塗布対象物５０に薄膜材料が塗布される。たとえばノズルヘッド２４ａ〜２４ｄ各々の千鳥配列したノズル２７のピッチＰが８０μｍの場合、薄膜塗布装置２３は薄膜材料を２０μｍ程度のピッチで塗布することが可能である。
【００２９】
単一のノズルヘッド（たとえばノズルヘッド２４ａ）を用いた場合、Ｘ軸方向への１回の主走査で、薄膜材料をＹ軸方向にピッチＰで塗布することができる。薄膜塗布装置２３を用いた場合、Ｘ軸方向への１回の主走査で、薄膜材料をＹ軸方向にピッチＰ／４で塗布することができる。複数のノズルヘッドがＹ軸方向にずれて配置された薄膜塗布装置を用いることにより、単一のノズルヘッドを用いた場合よりも、効率的に精細なパターンの塗布を行うことが可能である。なお、塗布対象物に塗布される薄膜材料のＸ軸方向におけるピッチは、塗布対象物の主走査速度、およびノズルから薄膜材料を吐出させるタイミング（ないし周波数）を変化させることにより、容易に調整することができる。
【００３０】
薄膜塗布装置に設けられた複数のノズルヘッド各々は、薄膜材料がノズルに詰まる等の理由により、交換が必要な場合がありうる。特に、薄膜材料に光硬化剤が添加されたソルダーレジストを用いた場合、塗布対象物に反射した光などによって、ソルダーレジストがノズルから吐出される前に光硬化してしまい、ノズルを塞いでしまうことがある。ノズルヘッドを交換する際、交換されるノズルヘッドのノズルは、そのほかのノズルヘッドのノズルと併せてＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した際に、それらノズル像が隣接するノズル像と相互に重ならないように、配置される必要がある。より言えば、ＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影されるノズル像が、Ｙ軸方向に等間隔に配列される必要がある。薄膜塗布装置には、複数のノズルヘッドを所定の配置関係で容易に配置できるように、複数のノズルヘッド各々の配置位置を規定する位置決め機構が設けられていることが望ましいであろう。
【００３１】
以下、位置決め機構を備える薄膜塗布装置の構成について説明する。なお、以下では、薄膜塗布装置に設けられる光源の図示を省略する。
【００３２】
図３Ａおよび図３Ｂは、実施例１による薄膜塗布装置を示す底面図および側面図である。実施例１による薄膜塗布装置２３ａは、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄと、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄを保持するホルダ７０と、を含む構成である。
【００３３】
ホルダ７０は、板状部材によって構成され、板厚部７１および板薄部７２を有する。板厚部７１と板薄部７２との境界には、ＸＺ平面に平行な切り出し面７３が形成される。さらに、ホルダ７０には、切り出し面７３に一方の面が接触して配置され、Ｙ軸方向に対する厚みがそれぞれ異なる複数のスペーサ７４ａ〜７４ｄが設けられる。切り出し面７３、およびスペーサ７４ａ〜７４ｄ各々の他方の面は、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々のＹ軸方向に対する配置位置を規定する基準面となる。切り出し面７３およびスペーサ７４ａ〜７４ｄは、ホルダ７０の位置決め機構を構成する。
【００３４】
ノズルヘッド６０ａは、複数のノズル２７がピッチＰで千鳥配列される主要部６１ａ、およびＹ軸正方向側にＸＺ平面に平行な端面６３ａを有し、主要部６１ａを支持する支持部６２ａを含む構成である。主要部６１ａに設けられるノズル２７のＹ軸正方向端に配置されるノズル２７ａは、支持部６２ａのＹ軸正方向側端面６３ａから距離Ｌ離れて配置されている。ノズルヘッド６０ｂ〜６０ｄは、ノズルヘッド６０ａと同一の構造である。つまり、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、ノズルピッチＰ、端面６３ａ〜６３ｄからノズル２７ａまでの距離Ｌなど、すべてのノズルヘッドで同じである。
【００３５】
スペーサ７４ａ〜７４ｄは、Ｙ軸方向に対する厚みが、それぞれＴ，Ｔ＋２Ｐ／４，Ｔ＋Ｐ／４，Ｔ＋３Ｐ／４で形成されている。スペーサ７４ａ〜７４ｄ各々は、薄膜塗布装置２３ａを構成する１つの部品として、適当な強度を有している、つまり適当な厚みを有していることが好ましい。スペーサ７４ａ〜７４ｄ各々の厚みは、少なくとも最小の厚みを有するスペーサ７４ａ（Ｔ）と、２番目に小さい厚みを有するスペーサ７４ｃ（Ｔ＋Ｐ／４）との差分の厚み（Ｐ／４）よりも厚くすることが好ましい。より言えば、最小の厚みを有するスペーサ７４ａの厚みＴは、１ｍｍ以上であることが望ましい。
【００３６】
ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、その端面６３ａ〜６３ｄがスペーサ７４ａ〜７４ｄ各々の他方の面と接触するように取り付けられる。たとえば図３Ｂに例示するように、スペーサ７４ａ〜７４ｄ各々およびノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、ホルダ７０の板厚部７１にネジ７５などを介して固定される。このとき、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。このように、ノズルヘッド各々の端面を、スペーサ各々の他方の面に突き当てるように配置することにより、ノズルヘッド各々をそれらが所定の配置関係になるよう容易に配置することが可能となる。
【００３７】
次に、実施例２による薄膜塗布装置の構成について説明する。
【００３８】
図４Ａおよび図４Ｂは、実施例２による薄膜塗布装置を示す底面図および側面図である。実施例２による薄膜塗布装置２３ｂは、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄと、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄを保持するホルダ７０と、を含む構成である。
【００３９】
ホルダ７０は、板状部材によって構成され、板厚部７１および板薄部７２を有する。板厚部７１と板薄部７２との境界には、ＸＺ平面に平行な切り出し面７３が形成される。切り出し面７３は、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々のＹ軸方向に対する配置位置を規定する基準面となる。切り出し面７３は、ホルダ７０の位置決め機構を構成する。
【００４０】
ノズルヘッド６０ａは、複数のノズル２７がピッチＰで千鳥配列される主要部６１ａ、およびＹ軸正方向側にＸＺ平面に平行な端面６３ａを有し、主要部６１ａを支持する支持部６２ａを含む構成である。主要部６１ａに設けられるノズル２７のＹ軸正方向端に配置されるノズル２７ａは、支持部６２ａのＹ軸正方向側端面６３ａから距離Ｌ離れて配置されている。
【００４１】
ノズルヘッド６０ｂ〜６０ｄは、ノズルヘッド６０ａと同様の構成を有し、それぞれ主要部６１ｂ〜６１ｄ、および支持部６２ｂ〜６２ｄを含む構成である。ただし、主要部６１ｂ〜６１ｄ各々のノズル２７ａは、支持部６２ｂ〜６２ｄ各々のＹ軸正方向側端面６３ｂ〜６３ｄからそれぞれ距離Ｌ＋２Ｐ／４，Ｌ＋Ｐ／４，Ｌ＋３Ｐ／４離れて配置されている。つまり、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、それら端面６３ａ〜６３ｄからノズル２７ａまでの距離がすべてのノズルヘッドで異なっている。
【００４２】
ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、その端面６３ａ〜６３ｄが切り出し面７３と接触するように取り付けられる。たとえば図４Ｂに例示するように、たとえば図３Ｂに例示するように、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、ホルダ７０の板厚部７１にネジ７５などを介して固定される。このとき、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。このように、ノズルヘッド各々の端面を、切り出し面に突き当てるように配置することにより、ノズルヘッド各々をそれらが所定の配置関係になるよう容易に配置することが可能となる。
【００４３】
次に、実施例３による薄膜塗布装置の構成について説明する。
【００４４】
図５は、実施例３による薄膜塗布装置を示す底面図である。実施例３による薄膜塗布装置２３ｃは、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄと、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄを保持するホルダ７０と、を含む構成である。
【００４５】
ホルダ７０は、板状部材によって構成され、板厚部７１および板薄部７２を有する。板厚部７１と板薄部７２との境界には、ＸＺ平面に平行で、Ｙ軸方向位置が異なる第１および第２の切り出し面７３ａ，７３ｂが形成される。切り出し面７３ａ，７３ｂは、Ｙ軸方向にＰ／４ずらして形成されている。切り出し面７３ａ，７３ｂは、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々のＹ軸方向に対する配置位置を規定する基準面となる。切り出し面７３ａ，７３ｂは、ホルダ７０の位置決め機構を構成する。
【００４６】
ノズルヘッド６０ａは、複数のノズル２７がピッチＰで千鳥配列される主要部６１ａ、およびＹ軸正方向側にＸＺ平面に平行な端面６３ａを有し、主要部６１ａを支持する支持部６２ａを含む構成である。主要部６１ａに設けられるノズル２７のＹ軸正方向端に配置されるノズル２７ａは、支持部６２ａのＹ軸正方向側端面６３ａから距離Ｌ離れて配置されている。
【００４７】
ノズルヘッド６０ｂ〜６０ｄは、ノズルヘッド６０ａと同様の構成を有し、それぞれ主要部６１ｂ〜６１ｄ、および支持部６２ｂ〜６２ｄを含む構成である。ただし、主要部６１ｂ〜６１ｄ各々のノズル２７ａは、支持部６２ｂ〜６２ｄ各々のＹ軸正方向側端面６３ｂ〜６３ｄからそれぞれ距離Ｌ＋２Ｐ／４，Ｌ，Ｌ＋２Ｐ／４離れて配置されている。つまり、ノズルヘッド６０ａとノズルヘッド６０ｃとは同一の構造であり、ノズルヘッド６０ｂとノズルヘッド６０ｄとは同一の構造である。
【００４８】
ノズルヘッド６０ａ，６０ｂ各々は、その端面６３ａ，６３ｂが切り出し面７３ａと接触するように取り付けられる。つまり、同じ切り出し面７３ａに配置されるノズルヘッド６０ａ，６０ｂは、それら端面６３ａ，６３ｂからノズル２７までの距離が相互に異なっている。また、ノズルヘッド６０ｃ，６０ｄ各々は、その端面６３ｃ，６３ｄが切り出し面７３ｂと接触するように取り付けられる。つまり、同じ切り出し面７３ｂに配置されるノズルヘッド６０ｃ，６０ｄは、それら端面６３ｃ，６３ｄからノズル２７までの距離が相互に異なっている。このとき、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。
【００４９】
このように、ノズルヘッド各々の端面を、第１および第２の切り出し面にそれぞれ突き当てるように配置することにより、ノズルヘッド各々をそれらが所定の配置関係になるよう容易に配置することが可能となる。なお、第１および第２の切り出し面のＹ軸方向におけるズレ量を２Ｐ／４とし、端面６３ａ〜６３ｄ各々からノズル２７ａまでの距離をそれぞれＬ，Ｌ＋Ｐ／４，Ｌ，Ｌ＋Ｐ／４としてもよい。
【００５０】
次に、実施例４による薄膜塗布装置の構成について説明する。
【００５１】
図６は、実施例４による薄膜塗布装置を示す底面図である。実施例４による薄膜塗布装置２３ｄは、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄと、複数のノズルヘッド６０ａ〜６０ｄを保持するホルダ７０と、を含む構成である。
【００５２】
ホルダ７０は、板状部材によって構成され、板厚部７１および板薄部７２を有する。板厚部７１と板薄部７２との境界には、ＸＺ平面に平行で、Ｙ軸方向位置がそれぞれ異なり、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄに対応する複数の切り出し面７３ａ〜７３ｄが形成される。切り出し面７３ｂ〜７３ｄは、切り出し面７３ａに対してＹ軸負方向にそれぞれ２Ｐ／４，Ｐ／４，３Ｐ／４ずらして形成されている。切り出し面７３ａ〜７３ｄは、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々のＹ軸方向に対する配置位置を規定する基準面となる。切り出し面７３ａ〜７３ｄは、ホルダ７０の位置決め機構を構成する。
【００５３】
ノズルヘッド６０ａは、複数のノズル２７がピッチＰで千鳥配列される主要部６１ａ、およびＹ軸正方向側にＸＺ平面に平行な端面６３ａを有し、主要部６１ａを支持する支持部６２ａを含む構成である。主要部６１ａに設けられるノズル２７のＹ軸正方向端に配置されるノズル２７ａは、支持部６２ａのＹ軸正方向側端面６３ａから距離Ｌ離れて配置されている。ノズルヘッド６０ｂ〜６０ｄは、ノズルヘッド６０ａと同一の構造である。つまり、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、ノズルピッチＰ、端面６３ａ〜６３ｄからノズル２７ａまでの距離など、すべてのノズルヘッドで同じである。
【００５４】
ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、その端面６３ａ〜６３ｄが切り出し面７３ａ〜７３ｄ各々と接触するように取り付けられる。このとき、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。このように、ノズルヘッド各々の端面を、切り出し面各々に突き当てるように配置することにより、ノズルヘッド各々をそれらが所定の配置関係になるよう容易に配置することが可能となる。
【００５５】
実施例１〜４による薄膜塗布装置を用いることにより、所定の配置関係で容易に複数のノズルヘッド各々をホルダに取り付けることが可能となる。なお、ホルダに形成される切り出し面の相対的なズレ量、スペーサの厚み、ノズルヘッドの端面からその端面に最も近い位置に配置されるノズルまでの距離等は、±３μｍ程度の寸法精度で容易に形成することが可能である。
【００５６】
交換用ノズルヘッドの在庫管理コストの観点から、ノズルヘッド（ないしノズルヘッドの支持部）の種類は少ないほうが好ましい。したがって、在庫管理コストの観点から言えば、ノズルヘッド（ないしノズルヘッドの支持部）の種類が少ない、実施例１および実施例４による薄膜塗布装置が最も好ましく、実施例３による薄膜塗布装置が次に好ましい。
【００５７】
また、ホルダを製造する製造コストの観点から、ホルダに一体的に形成される切り出し面は、少ないほうが好ましく、単一の平坦面ないしＹ軸方向位置が異なる２つの平坦面で形成されることが好ましい。したがって、製造コストの観点から言えば、ホルダに一体的に形成される平坦面が少ない、実施例１および実施例２による薄膜塗布装置が最も好ましく、実施例３による薄膜塗布装置が次に好ましい。
【００５８】
さらに、薄膜塗布装置を構成する部品の部品コスト、および各種部品の組み立てコストの観点から、薄膜塗布装置を構成する部品点数は、少ないほうが好ましい。実施例１による薄膜塗布装置は複数のスペーサを含む分、実施例２〜４による薄膜塗布装置よりも部品点数が多くなる。したがって、部品コストおよび組み立てコストの観点から言えば、部品点数がより少ない、実施例２〜４による薄膜塗布装置が好ましい。
【００５９】
ただし、複数のスペーサの部品コスト、およびそれらをホルダに取り付けるための組み立てコストは、交換用ノズルヘッドの在庫管理コストおよびホルダを製造する製造コストと比較すると、相対的に低い。したがって、総合的なコストの観点からは、実施例１による薄膜塗布装置が最も望ましいと考えられる。
【００６０】
次に、薄膜塗布装置に用いるノズルヘッドの変形例について、実施例３による薄膜塗布装置を例に説明する。
【００６１】
図７は、実施例３による薄膜塗布装置の応用例を示す底面図である。ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ以外は、上記で説明した実施例３による薄膜塗布装置と同じ構造である。
【００６２】
ノズルヘッド６０ａは、複数のノズル２７がピッチＰで千鳥配列される主要部６１ａを含む。さらに、Ｙ軸正方向側およびＹ軸負方向側にそれぞれＸＺ平面に平行な第１の端面６３ａおよび第２の端面６４ａを有し、主要部６１ａを支持する支持部６２ａを含む構成である。支持部６２ａのＹ軸正方向側端面６３ａから、その端面６３ａに最も近い位置に配置されるノズル２７ａまでの距離がＬになるよう形成されている。さらに、支持部６２ａのＹ軸負方向側端面６４ａから、その端面６４ａに最も近い位置に配置されるノズル２７ｂまでの距離がＬ＋２Ｐ／４になるよう形成されている。
【００６３】
ノズルヘッド６０ｂ〜６０ｄは、ノズルヘッド６０ａと同一の構造を有している。つまり、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄ各々は、第１の端面６３ａ〜６３ｄ各々からノズル２７ａまでの距離Ｌ、第２の側端面６４ａ〜６４ｄ各々からノズル２７ｂまでの距離Ｌ＋２Ｐ／４などは、すべてのノズルヘッドで同じである。
【００６４】
ノズルヘッド６０ａは、その第１の端面６３ａがホルダ７０の切り出し面７３ａと接触するように配置される。ノズルヘッド６０ｂは、その第２の端面６４ｂが切り出し面７３ａと接触するように配置される。ノズルヘッド６０ｃは、その第１の端面６３ｃが切り出し面７３ａに対してＹ軸負方向にＰ／４ずれて設けられる切り出し面７３ｂと接触するように配置される。ノズルヘッド６０ｄは、第２の端面６４ｄが切り出し面７３ｂと接触するように配置される。このとき、ノズルヘッド６０ａ〜６０ｄのノズル２７をＹＺ平面に平行な仮想平面に垂直投影した像は、Ｙ軸方向にピッチＰ／４で等間隔に配列する。
【００６５】
このように、ノズルヘッドの両端面とノズル列の両端部との相対位置関係が調整されたノズルヘッドを形成することにより、薄膜塗布装置に用いるノズルヘッドの種類を半減することができる。実施例３による薄膜塗布装置の場合では、用いるノズルヘッドの種類を２種類から１種類にすることができる。
【００６６】
また、実施例２による薄膜塗布装置の場合では、第１の端面からその端面に近いノズル列の端部までの距離がＬであり、第２の端面からその端面に近いノズル列の端部までの距離がＬ＋２Ｐ／４であるノズルヘッドと、第１の端面からその端面に近いノズル列の端部までの距離がＬ＋Ｐ／４であり、第２の端面からその端面に近いノズル列の端部までの距離がＬ＋３Ｐ／４であるノズルヘッドと、を用いることにより、ノズルヘッドの種類を４種類から２種類にすることができる。
【００６７】
このようなノズルヘッドを用いることにより、在庫管理コストを低減させることが可能となる。
【００６８】
以上、実施例を用いて本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。
【００６９】
実施例では、２列のノズル列を有するノズルヘッドを４つ配列した薄膜塗布装置を用いたが、本発明はこれに限らない。ノズルヘッドは２つ以上で設けられていればよい。また、１つのノズルヘッドに設けられるノズル列は、１列、または３列以上で設けられてもよい。ノズルヘッド、ないし１つのノズルヘッドに設けられるノズル列を増加させることにより、１回の主走査でより精細なパターンの塗布を行うことが可能である。
【００７０】
また、実施例では、４つのノズルヘッドのＹ軸方向に対する相対的なズレ量をＰ／４単位としたが、たとえば（１＋１／４）Ｐや（２＋１／４）Ｐ単位でずらしてもよい。さらに、実施例では、ノズルヘッドの配置位置を規定する基準面を、ホルダと一体的に形成された切り出し面としたが、たとえば厚みの異なる別々の部材を組み合わせて、当該部材の平坦な側面を基準面として用いてもよい。
【００７１】
そのほか、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【符号の説明】
【００７２】
２１  フレーム
２１ａ，ｂ  支柱、
２１ｃ  梁、
２２  ステージ、
２２ａ  チャックプレート、
２２θ  θステージ、
２２ｘ  ｘステージ、
２２ｙ  ｙステージ、
２３  薄膜塗布装置、
２４ａ〜２４ｄ  ノズルヘッド、
２５  ホルダ、
２６  光源、
２７  ノズル、
２７Ｉ，ＩＩ  ノズル列、  
３０  ＣＣＤカメラ、
４０  制御装置、
４０ａ  記憶装置、
５０  塗布対象物、
６０ａ〜６０ｄ  ノズルヘッド、
６１ａ〜６１ｄ  主要部、
６２ａ〜６２ｄ  支持部、
６３ａ〜６３ｄ  第１の端面、
６４ａ〜６４ｄ  第２の端面、
７０  ホルダ、
７１  板厚部、
７２  板薄部、
７３  切り出し面、  
７４ａ〜７４ｂ  スペーサ、
７５  ネジ、
Ｐ  ノズルピッチ、
Ｔ  スペーサ厚さ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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