(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収容し、キャリアボードに形成した複数の凹所に搭載されたパッケージの上面開口部に対し、リッドをシーム接合することで前記パッケージの開口部を封止するパッケージの封止装置であって、
回転軸が平行又は一致するように設けられた一対のローラ電極と、
前記一対のローラ電極それぞれを独立して上下動可能に支持する電極支持部と、
前記キャリアボードを載置してこのキャリアボードを水平方向に移動させるステージとを有し、
前記一対のローラ電極がシーム接合を終えて被接合物の一方であるリッドから離隔するときに、前記一対のローラ電極の間隙に位置する作用端を用いて前記リッドをローラ電極から離隔させる方向に押圧する押圧部を設けたことを特徴とするパッケージの封止装置。
【請求項２】
前記押圧部の作用端は、前記一対のローラ電極がシーム接合のためにリッドに転接しているときには、このリッドから離隔していることを特徴とする請求項１に記載のパッケージの封止装置。
【請求項３】
前記押圧部は、その作用端と一体的に設けられた支え部を有し、この支え部の先端が前記キャリアボードの上面に当接して下降が制限されることで、前記作用端の下降が制限されることを特徴とする請求項２に記載のパッケージの封止装置。
【請求項４】
前記押圧部は、前記電極支持部のいずれか一方に回転可能に支持され、この回転軸を中心として前記作用端と前記支え部の先端とが一体的に円弧状に回転することを特徴とする請求項３に記載のパッケージの封止装置。
【請求項５】
シーム接合時の前記支え部の先端は、前記キャリアボードの上面であって、このキャリアボードに形成された前記複数の凹所のうち、前記キャリアボードのシーム接合時の移動方向と直交する方向に並んで隣接する凹所の間隙を通過してこのキャリアボードと相対的に移動することを特徴とする請求項３又は４のいずれかに記載のパッケージの封止装置。
【請求項６】
前記押圧部は、前記リッドに対する前記作用端の押圧力を調節する押圧力調整手段を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のパッケージの封止装置。
【請求項７】
前記支え部の先端には、前記キャリアボードの上面との摩擦軽減部材を設けたことを特徴とする請求項３乃至５のいずれかに記載のパッケージの封止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品を収納したパッケージの開口部に金属製の蓋板であるリッドをシーム接合するパッケージの封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水晶振動子、弾性表面波フィルタ等の電子部品をパッケージの内部に気密封止する方法として、パラレルシーム接合法が広く用いられている。図７は従来からあるシールリング付きパッケージの断面図であり、まずセラミック基板５１に金属製シールリング５２をろう接してなるパッケージ５３の内部に水晶振動子等の電子部品５４を収納し、この電子部品５４をワイヤ５５によって外リード５６に電気的に接続したものを準備する。このパッケージ５３の開口部にはコバール等からなるリッド５７が位置決めされて載置される。
【０００３】
このとき、位置決めされたリッド５７がシーム接合されるまでに何らかの外力で位置ずれしてしまったり、シーム接合を開始するためにローラ電極が接触することで位置ずれしてしまうことを避けるために、リッドは通常スポット接合によって仮付けされる。この仮付けは作業性の理由から一般に一対のローラ電極で行われることが多く、図８（ａ）で示すように、リッド５７の対向する２辺、例えば対向する一対の短辺の略中央部に一対のテーパ付きのローラ電極５８Ａ，５８Ｂを接触させ、転接させることなく電極間に通電し、そのままローラ電極５８Ａ，５８Ｂを上昇させてリッド５７から離隔させる。
【０００４】
そして図８（ｂ）で示すように、このリッド５７の対向する一対の短辺の一端（符号イ）にローラ電極５８Ａ，５８Ｂを一定の加圧条件の下で接触させ、この状態でパッケージ５３をステージ５９と共に矢印アの方向に移動させると同時にローラ電極５８Ａ，５８Ｂにパルセーション通電を行い、このとき発生する抵抗発熱により前記リッド５７の対向する一対の短辺をパッケージ５３の上面にシーム接合する。このようにして一対の短辺のシーム接合が終了すると、ローラ電極５８Ａ，５８Ｂを一旦上昇移動させて電極間隔を調整すると共に、図８（ｃ）に示すようにパッケージ５３をステージ５９と共に水平面内にて９０°回転させる。その後、再びローラ電極５８Ａ，５８Ｂを下降させて他の対向する２辺、すなわち対向する一対の長辺を同様にシーム接合し、封止を完成させる。
【０００５】
このように図７および図８に基づいて一つのパッケージ５３の封止工程を説明したが、実際の製品の製造現場では図９に示すように、パッケージ５３はキャリアボード６０にマトリクス状に多数搭載される。このキャリアボード６０の上面には、マトリクス状に複数の凹所６０Ａが設けられており、パッケージ５３の下部をこれら凹所６０Ａに勘合させることでパッケージ５３を位置決めする。そして電子部品を収容し、上面が開口した状態の複数のパッケージ５３は、キャリアボード６０に搭載された状態で、まず真空および加熱チャンバーに収納される。このチャンバー内の真空環境でパッケージ５３が加熱されることで、品質の劣化の原因となる水分、酸素および溶剤が除去される。
【０００６】
次にパッケージ５３を搭載したキャリアボード６０は仮付けステージに搬送され、搭載された全てのパッケージ５３の開口部にリッドが仮付けされたのち短辺シームステージへと搬送される。ここで全てのリッドの短辺がパッケージ５３の上面にシーム接合されたのち長辺シームステージへ搬送され、全てのリッドの長辺がシーム接合されることでパッケージ５３の封止が完成する。ここで、仮付けステージ、短辺シームステージおよび長辺シームステージを、窒素等の不活性ガスで満たしたチャンバー内に収納する場合もあるが、最後の長辺シームステージのみを真空チャンバー内に収納することで、リッドの全周をシーム接合する前、つまり残された２辺である一対の対向する長辺をシーム接合する前に、電子部品の周囲環境であるパッケージ５３の内部空間を真空環境にした状態で封止を完了することができる。なお、リッドのシーム接合において短辺と長辺とは、必ずしもこの順序で行わねばならないわけではない。
【０００７】
このように行われるパッケージ５３の封止作業において、リッド５７の短辺のシーム接合終了時、または長辺のシーム接合の終了時に、接合を終えたローラ電極５８A，５８Bをリッドから離隔させるために上昇させる動作を行うが、このとき上昇するローラ電極５８Ａ，５８Ｂにリッド５７が付着することで、パッケージ５３ごとキャリアボード６０から浮き上がり、キャリアボード６０の凹所６０Aから位置ずれしてしまうという問題がある。これに対して特許文献１は、図１０に示すように、リッド５７の対向する２辺にローラ電極５８A，５８Bを転接させると共に通電してシーム接合を行い（図１０（ａ））、シーム接合終了後ローラ電極５８Ａ，５８Ｂへの通電を停止し（図１０（ｂ））、次にパッケージ５３を接合方向とは反対の方向に微小距離移動させ（図１０（ｃ））、その後ローラ電極５８Ａ，５８Ｂを上昇させてリッド５７から離隔させる（図１０（ｄ））技術を開示している。これにより、ローラ電極５８Ａ，５８Ｂが上昇する前に微小角度逆回転することで、ローラ電極５８Ａ，５８Ｂへのリッド５７の付着が引き剥がされるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平６−２２４３１５号公報（第２−３頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１で開示された技術は非常に有効であるが、大量生産の場で多数のパッケージ封止を行う過程において、ごく僅かな確率で、微小角度ローラ電極を逆回転させた後にもローラ電極にリッドが付着する事例がある。この原因は解明できていないが、大量生産を行う中で、僅かな確率であるにしろ、ローラ電極にリッドが付着することでパッケージがキャリアボードの凹所から飛び出してしまった場合には、この飛び出してしまったパッケージとローラ電極との意図せぬ干渉を引き起こす危険性があり、製品であるパッケージにダメージを与えるだけでなく、ローラ電極を含む封止装置にダメージを与えてしまう可能性がある。
【００１０】
また前述したように、封止すべき複数のパッケージをキャリアボード上にマトリクス状に搭載し、短辺シーム接合と長辺シーム接合に工程を分けてシーム接合作業を行う場合、シーム接合のために移動するキャリアボードの移動方向は、一方向のみであるのが作業時間短縮の観点からも理想であるのに対し、特許文献１で開示された技術を適用すると、パッケージ１個毎にキャリアボードを接合のための移動とは反対の方向に移動せねばならず、さらにローラ電極を微小角度逆回転するまでにローラ電極への通電を停止して、リッドとパッケージとに介在する溶融したろう材が凝固するのを待たねばならないので、いっそう封止作業に時間を要してしまう。これらに要する時間が製品のコストアップにつながることは言うまでもない。
【００１１】
そこで、本発明はこれらの課題を解決すべく、確実にシーム接合終了時のローラ電極とリッドとの付着を防止すると共に、シーム接合に要する時間の増加を招かないようにすることで、安定した生産とコストアップの回避とを両立可能なパッケージの封止装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は第１の態様として、電子部品を収容し、キャリアボードに形成した複数の凹所に搭載されたパッケージの上面開口部に対し、リッドをシーム接合することで前記パッケージの開口部を封止するパッケージの封止装置であって、回転軸が平行又は一致するように設けられた一対のローラ電極と、前記一対のローラ電極それぞれを独立して上下動可能に支持する電極支持部と、前記キャリアボードを載置してこのキャリアボードを水平方向に移動させるステージとを有し、前記一対のローラ電極がシーム接合を終えて被接合物の一方であるリッドから離隔するときに、前記一対のローラ電極の間隙に位置する作用端を用いて前記リッドをローラ電極から離隔させる方向に押圧する押圧部を設けたことを特徴とするパッケージの封止装置を提供する。
【００１３】
これにより、シーム接合が終了して一対のローラ電極が上昇するときに、リッドがローラ電極に付着することでパッケージが持ち上がるのを防止することができる。また、一度のシーム接合動作毎にキャリアボードを接合方向とは反対の方向に移動させる必要がなくなり、シーム接合作業に要する時間が短縮できる。
【００１４】
また本発明は第２の態様として、前記押圧部の作用端は、前記一対のローラ電極がシーム接合のためにリッドに転接しているときには、このリッドから離隔していることを特徴とする第１の態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００１５】
これにより、一対のローラ電極がリッドに転接してシーム接合を行っている間、押圧部の作用端がリッドに接触することでリッドへ意図せぬ外力が加わる心配がない。
【００１６】
また本発明は第３の態様として、前記押圧部は、その作用端と一体的に設けられた支え部を有し、この支え部の先端が前記キャリアボードの上面に当接して下降が制限されることで、前記作用端の下降が制限されることを特徴とする第２の態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００１７】
これにより、キャリアボードの上面と被接合物の一方であるリッドの上面との高低差が分かれば、シーム接合時における押圧部の作用端とリッドとの接触を確実に防ぐことができる。
【００１８】
また本発明は第４の態様として、前記押圧部は、前記電極支持部のいずれか一方に回転可能に支持され、この回転軸を中心として前記作用端と前記支え部の先端とが一体的に円弧状に回転することを特徴とする第３の態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００１９】
これにより、押圧部が回転軸を支点として回転可能に支持されるので、押圧部の全自重が作用端の押圧力とならないため、押圧力の設定範囲を小さな押圧力からの設定範囲とすることができる。
【００２０】
また本発明は第５の態様として、シーム接合時の前記支え部の先端は、前記キャリアボードの上面であって、このキャリアボードに形成された前記複数の凹所のうち、前記キャリアボードのシーム接合時の移動方向と直交する方向に並んで隣接する凹所の間隙を通過してこのキャリアボードと相対的に移動することを特徴とする第３又は第４のいずれかの態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００２１】
これにより、シーム接合のためにキャリアボードを接合方向に移動しても、支え部の先端がパッケージやリッドに干渉する心配がない。
【００２２】
また本発明は第６の態様として、前記押圧部は、前記リッドに対する前記作用端の押圧力を調節する押圧力調整手段を有することを特徴とする第１乃至第５のいずれかの態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００２３】
これにより、押圧部の自重を調節せずとも、適当な押圧力で作用端がリッドを押圧するよう容易に調整することができる。
【００２４】
さらに本発明は第７の態様として、前記支え部の先端には、前記キャリアボードの上面との摩擦軽減部材を設けたことを特徴とする第３乃至第５のいずれかの態様として記載のパッケージの封止装置を提供する。
【００２５】
これにより、支え部の先端とキャリアボードの上面とで摩擦が繰り返されても、支え部の先端の磨耗を小さく抑えることができ、シーム接合時における作用端のキャリアボード上面からの高さを長時間精度良く維持することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、ローラ電極をリッドに転接させつつ通電してリッドの対抗する２辺をシーム接合したのち、ローラ電極を微小角度逆回転させることなく上昇させてリッドから離隔させても、リッドがローラ電極に付着してパッケージが持ち上がる心配がない。したがって、確実にパッケージの持ち上がりを防ぐことが可能となるのに加えて、シーム接合に要する時間を短縮することができ、封止作業の品質の安定化と生産コストの低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係るパッケージの封止装置の構成を示す斜視図
【図２】本発明の実施形態に係る押圧部の構成を示す斜視図
【図３】本発明の実施形態に係る押圧部の動作を示す側面図
【図４】本発明の実施形態に係る押圧部の動作を示す側面図
【図５】本発明の実施形態に係る押圧部の動作を示す側面図
【図６】本発明の実施形態に係る押圧部の構成を示す斜視図
【図７】従来の技術を示すパッケージの断面図
【図８】従来の技術を示すシーム接合動作の平面図
【図９】従来の技術を示すシーム接合の工程図
【図１０】従来の技術を示すシーム接合動作の側面図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、添付図面を参照して、本発明に係るパッケージの封止装置を詳細に説明する。図１は本発明に係るパッケージの封止装置の概略構成を示す斜視図である。図１において符号１は本発明に係るパッケージの封止装置であり、２は接合ヘッド、３はステージである。そして、接合ヘッド２は概略次の構成からなる。符合４はベースプレートであり、図示しないモーター駆動機構により上下方向に移動可能に支持されている。また、符号５Ａ，５Ｂは一対の電極支持部であり、互いに間隙を空けてスライドレール６Ａとスライドブロック６Ｂからなるリニアガイド６を介することで、ベースプレート４に対して一対の電極支持部５Ａ，５Ｂがそれぞれ独立して上下方向に移動可能に支持されている。ここで、ベースプレート４の下部に突設したストッパー４Ａに対し、一対の電極支持部５Ａ，５Ｂの下部に設けた凸部が当接するようにすることで、ベースプレート４に対する電極支持部５Ａ，５Ｂの上下移動の下死点を構成している。したがって、ベースプレート４が下降して電極支持部５Ａ，５Ｂに設けたローラ電極がリッドに当接し、その後もベースプレート４が下降を続けることで、電極支持部５Ａ，５Ｂはリニアガイド６のみに支持された上下動自在な状態になる。また、このとき一対の電極支持部５Ａ，５Ｂは、それぞれ独立して上下動可能な状態となる。
【００２９】
電極支持部５Ａ，５Ｂそれぞれの下部には一対の絶縁ブロック７Ａ，７Ｂが固定され、さらにその下部には一対の電極ホルダ８Ａ，８Ｂが固定されている。そして電極ホルダ８Ａ，８Ｂには、一対のローラ電極９Ａ，９Ｂがその回転軸が平行または一致するように回転自在に支持され、さらにローラ電極９Ａ，９Ｂに通電するための給電ケーブル１０Ａ，１０Ｂが接続されて図示しない溶接電源の出力電流を導いている。ここで、ローラ電極９Ａ，９Ｂの回転軸が平行又は一致とあるのは、ローラ電極９Ａ，９Ｂは電極支持部５Ａ，５Ｂと共に、それぞれが独立して上下動可能であるので、これらの上下位置が一致したとき回転軸も一致することを指すものである。
【００３０】
符号１１は錘であり、電極支持部５Ａ，５Ｂの上面に搭載する錘１１の数量を調節することで、一対のローラ電極９Ａ，９Ｂがリッド１５に加える荷重を調整できるようにしている。さらに、符号１２は押圧部であり、一対の電極支持部５Ａ，５Ｂの一方（図１では５Ａ）に支持された一連の機構である。この押圧部１２の構成の詳細は後述するが、押圧部１２の一部である作用端は押圧片１３の下端であって、一対のローラ電極９Ａ，９Ｂの間隙に位置している。そして、キャリアボード１４を載置するステージ３は水平方向に移動可能に設けられ、キャリアボード１４の凹所に搭載され、リッド１５が載置された状態でマトリクス状に並んだパッケージ１６をローラ電極の位置を基準に位置決めし、シーム接合のために移動させる。
【００３１】
次に図１に符号１２で示した押圧部を図２に基づいて説明する。図２において符号１２は押圧部、１７は固定部材、１８は回転フレーム、１９は回転範囲調整部、１３は図１でも示した押圧片、２０，２０は一対の支え部である。ここで、固定部材１７は図１に示す一方の電極支持部５Ａに固定され、回転することなく電極支持部５Ａと一体的に上下に移動する。また、回転フレーム１８は回転軸である支点２１を中心として回転自在に固定部材１７に支持されており、回転範囲調整部１９が制限する角度範囲内で回転可能に支持されている。
【００３２】
また、回転フレーム１８に固定された押圧片１３は、ポリアセタール等絶縁性を有する薄板からなり、その下端１３Ａは直接リッドの上面を押圧する作用端である。さらに、回転フレーム１８に固定された一対の支え部２０，２０は、ステンレス製の丸棒からなり、それぞれの先端にはテフロン（デュポン社の登録商標）製の摩擦軽減部材２０Ａ，２０Ａがキャップ状に取り付けられている。このような構成であるので、作用端１３Ａを含む押圧片１３と一対の支え部２０，２０とは、回転フレーム１８を介して一体的に支点２１を中心として回転するものである。なお、回転範囲調整部１９の詳細な説明は後述する。
【００３３】
次に図３に基づいて押圧部１２の動作について詳細に説明する。図３にはキャリアボード１４に設けた凹所１４Ａにパッケージ１６が搭載され、さらにパッケージ上面にはリッド１５が載置された状態が側面図で示されている。また、図を見て手前側のローラ電極９Ｂの図示を省略して奥側のローラ電極９Ａのみを図示し、このローラ電極９Ａがリッド１５に転接しつつシーム接合を行っている状態、つまりキャリアボード１４が後方（矢印ウの方向）に移動している状態を示している。
【００３４】
このとき、支え部２０の先端がキャリアボード１４の上面に当接することで、押圧片１３は支え部２０および回転フレーム１８と共に一体的に回転する。この回転は支点２１を中心にして図を見て反時計方向の回転であり、押圧片１３の下端である作用端１３Ａがリッド１５の上面から寸法Ｘ上方に離隔する。支え部２０の先端に設けた摩擦軽減部材２０Ａの耐磨耗性やシーム接合の無調整連続稼動時間も考慮する必要があるが、この寸法Ｘは５０μｍ程度となるように設定すれば十分である。
【００３５】
次に回転範囲調整部１９の構成と機能について説明する。回転範囲調整部１９は板状部材をコの字状に折り曲げて成形し、固定部材１７に固定したものであり、上板１９Ａと下板１９Ｂが回転フレーム１８の上下に延出している。そして、上板１９Ａと回転フレーム１８の上面に凹設した凹所１８Ａの底面との間隙に押圧力調整手段である圧縮コイルバネ２２を嵌め込み、回転フレーム１８が図を見て時計方向に回転するように付勢させる。このようにすれば異なる反発力の圧縮コイルバネ２２が選択可能であるから、後述する作用端１３Ａによるリッド１５の上面に対する押圧力を調整することができる。一方回転範囲調整部１９の下板１９Ｂには調整ねじ２３が螺着されており、この調整ねじの上端が回転フレーム１８に当接することで、回転フレーム１８の時計方向の回転範囲が制限できるようになっている。
【００３６】
次に図４に基づいて、図３で示したシーム接合が最終端まで行われ、ローラ電極９Ａへの通電を停止した状態について説明する。この時点までキャリアボード１４の後方（矢印ウの方向）への移動が継続されていたことから、支え部２０の先端に設けた摩擦軽減部材２０Ａの下端がキャリアボード１４の上面を摺動し続けることで、作用端１３Ａとリッド１５の上面との離隔を維持する。また、図４の状態はローラ電極９Ａの中心がリッド１５の端部よりも前側に位置しているので、ローラ電極９Ａが若干下方に位置を変化させるのに伴い支点２１も僅かに下降する。その結果作用端１３Ａとリッド１５との間隔も厳密には寸法Ｘから寸法Ｙに変化するが、この変化は微小であり前述の寸法Ｘで例示した５０μｍがキャンセルされて作用端１３Ａがリッド１５と接触するような心配はない。
【００３７】
次に図５に基づいて、図４で示した位置からローラ電極９Ａを上昇させた状態について説明する。ローラ電極９Ａを上昇させることで、これに伴って支点２１が上昇し、支え部２０の先端もキャリアボード１４の上面から離隔する（図５で示す寸法Ｚ）。これにより押圧片１３は支え部２０および回転フレーム１８と共に回転する。この回転は支点２１を中心にして図を見て時計方向の回転であり、押圧片１３の下端である作用端１３Ａが図５で示す符号エの位置でローラ電極９Ａよりも下方に突出し、リッド１５の上面を下方に押圧する。したがって、リッド１５がローラ電極９Ａ（および／又は９Ｂ）に付着している場合にも、これを作用端１３Ａが引き離す。
【００３８】
また、ローラ電極９Ａと共に押圧部が上昇すると、支え部２０の先端はキャリアボード１４の上面から直ちには離隔せず、押圧部１２全体の重心が支点２１の直下に位置するまで支点２１を中心として図を見て時計方向に回転しようとする。これに対し、回転範囲調整部１９の下板１９Ｂに螺着された調整ねじ２３の上端が回転フレーム１８に当接することで、押圧部１２の図を見て時計方向の余分な回転動作を制限するようにしている。作用端１３Ａの作用点（図５に示す符号エ）はローラ電極９Ａよりも５０μｍ程度下方に突出すれば十分であるから、前記調整ねじ２３を調整してこれ以上押圧部が回転しないように制限することができる。
【００３９】
次に、図６に基づいて押圧部１２と複数のパッケージ１６を搭載したキャリアボード１４との位置関係について説明する。通常シーム接合を行う場合、図６に示すようにマトリクス状に設けたキャリアボード１６上面の凹所に複数のパッケージ１６を搭載し、これらパッケージ１６の上面にはリッド１５が載置される。そして、前後方向に一列に並んだリッド１５を次々とパッケージ１６にシーム接合（図６の場合対向する一対の長辺を接合）し、この一列のシーム接合が全数終了したらキャリアボード１４を左右方向に移動させ、隣接する他の一列のシーム接合を行う。
【００４０】
この場合全数の接合を最も短時間で終えるには、ある一列はキャリアボード１４を後方に向けて移動させつつシーム接合を行い、次に隣接する他の一列は前方に向けてキャリアボード１４を移動させつつシーム接合を行い、これを繰り返す方法を選択する。このような動作でシーム接合する場合も、前後方向のいずれかのみにキャリアボード１４を移動させつつシーム接合する場合も、押圧片１３がリッド１５の幅方向（図６では左右方向）の略中央に位置することで、一対のローラ電極によるリッド１５の対向する２辺のシーム接合が可能となるが、このとき一対の支え部２０，２０の先端が、図６における左右方向に並んで隣接するパッケージ１６の間隙を移動するようにすることで、これら支え部２０，２０とパッケージ１６との干渉を避けることができる。換言するとシーム接合時の支え部２０，２０の先端が、キャリアボード１４の上面であって、このキャリアボード１４に形成された凹所のうち、キャリアボード１４のシーム接合時の移動方向と直交する方向に並んで隣接する凹所の間隙を通過するように押圧部１２を構成するものである。
【００４１】
これまで支点２１を中心として円弧状に回転する押圧部１２を実施の形態として説明した。これを押圧部が電極支持部５Ａ，５Ｂのいずれかに上下方向に摺動可能に支持されたスライド式の押圧部としてもよいが、この場合、押圧部の全質量が下方への押圧力（支え部２０，２０の先端のキャリアボード１４の上面に対する押圧力）として作用してしまうので、極めて軽量の部材を選択して構成するか、または構成が複雑になってしまうが全質量のうち所定の質量をキャンセルする機構を追加するとよい。また本実施形態では、押圧片１３がポリアセタール等絶縁性を有する薄板からなるものと説明したが、これをステンレス等導電性を有する金属板の表面に絶縁皮膜のコーティングを施したものに代えても、近接する一対のローラ電極９Ａ，９Ｂとの短絡を防止することができるため使用可能である。さらに本実施形態では支え部２０の先端に摩擦軽減部材としてテフロン（デュポン社の登録商標）製のキャップ状の部材を設けたが、この先端部にキャスターを設けることで、滑り接触ではなく転がり接触となるようにしても摩擦軽減部材として成立する。
【符号の説明】
【００４２】
１  パッケージの封止装置
２  接合ヘッド
３  ステージ
４  ベースプレート
５Ａ，５Ｂ  電極支持部
６  リニアガイド
７Ａ，７Ｂ  絶縁ブロック
８Ａ，８Ｂ  電極ホルダ
９Ａ，９Ｂ  ローラ電極
１０Ａ，１０Ｂ  給電ケーブル
１１  錘
１２  押圧部
１３  押圧片
１４  キャリアボード
１５  リッド
１６  パッケージ
【図１】
0005796894.tif 000002
【図２】
0005796894.tif 000003
【図３】
0005796894.tif 000004
【図４】
0005796894.tif 000005
【図５】
0005796894.tif 000006
【図６】
0005796894.tif 000007
【図７】
0005796894.tif 000008
【図８】
0005796894.tif 000009
【図９】
0005796894.tif 000010
【図１０】
0005796894.tif 000011