(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値をそれぞれ入力する入力部と、
測定対象の試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定する測定部と、
前記他の装置において測定された前記基準試料についての周波数特性データおよび算出された当該基準試料についての各パラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値として前記入力部を介して入力する入力処理、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして前記測定部によって測定する周波数特性データ測定処理、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行する処理部とを備え、
前記処理部は、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、
前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、
前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、
前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する等価回路パラメータ測定装置。
【請求項２】
前記入力部は、外部記憶媒体または電気通信回線を介して、前記他の測定装置において測定された前記基準試料についての前記周波数特性データ、および当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての前記各パラメータの前記パラメータ値を入力するインターフェース回路で構成されている請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置。
【請求項３】
他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値としてそれぞれ入力する入力処理と、
前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理と、
前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして測定する周波数特性データ測定処理と、
前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行し、
新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、
前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、
前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、
前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する等価回路パラメータ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の等価回路についてのパラメータを測定する等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、下記特許文献１に開示された定数測定器が知られている。この定数測定器は、制御部と、端子切替部と、インピーダンス測定部と、インピーダンス記憶部と、インピーダンス極小・極大点探索部と、Ｔ型回路網変換部と、アドミタンスピーク点探索部と、共振回路計算部と、並列回路合成部と、等価回路表示部とを有している。
【０００３】
この定数測定器では、通信機器のＡ端子と、Ｂ端子と、接地端子との３端子のうちの２端子間で測定したインピーダンス変化における極小点または極大点付近のインピーダンスの周波数範囲を狭めて詳しく再測定する命令を出し、測定した端子間のインピーダンス測定値を、上記の通信機器がＴ型回路網であると仮定した場合におけるこのＴ型回路網のそれぞれのインピーダンスに変換し、それぞれのアドミタンスに変換し、そのピーク点を探索し、ピーク点の周波数とアドミタンスとに基づいて、直列共振回路を仮定し、共振回路定数を計算し、次のピーク点探索の命令を出し、計算した回路定数を、モード合成によって並列回路に合成し、通信機器のコモンモード等価回路を表示する。
【０００４】
この定数測定器によれば、測定ポイント間隔を、従来に比べて１桁以上、または、さらに狭くすることができる通信機器のコモンモード等価回路を導出することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−６２０４５号公報（第７−１８頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ユーザが、上記のような測定装置を複数有する場合に、すべての測定装置が同一メーカの同一機種である場合もあるが、異なるメーカのものである場合もある。
【０００７】
後者の場合には、一般的に、メーカ毎に測定装置に予め記憶させる通信機器（試料）の等価回路（例えば、図４，５に示されるようなインダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒで規定される通信機器（試料）毎の回路）についての算出アルゴリズムの演算式が異なっている。また、この算出アルゴリズムの演算式が同じであったとしても、演算式で使用する各定数（インダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒ）の導出方法が異なる場合がある。このため、各測定装置で同じ通信機器（試料）についての等価回路のパラメータを測定したとしても、同じ結果が得られないという解決すべき課題が存在している。
【０００８】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、同じ試料についての等価回路のパラメータを測定したときに他の測定装置と同じ値のパラメータ値を測定し得る等価回路パラメータ測定装置および等価回路パラメータ測定方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置は、他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値をそれぞれ入力する入力部と、測定対象の試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定する測定部と、前記他の装置において測定された前記基準試料についての周波数特性データおよび算出された当該基準試料についての各パラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値として前記入力部を介して入力する入力処理、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして前記測定部によって測定する周波数特性データ測定処理、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行する処理部とを備え、前記処理部は、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する。
【００１０】
また、請求項２記載の等価回路パラメータ測定装置は、請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置において、前記入力部は、外部記憶媒体または電気通信回線を介して、前記他の測定装置において測定された前記基準試料についての前記周波数特性データ、および当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての前記各パラメータの前記パラメータ値を入力するインターフェース回路で構成されている。
【００１１】
また、請求項３記載の等価回路パラメータ測定方法は、他の測定装置において測定された基準試料についての予め規定された各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データ、並びに当該他の測定装置において当該周波数特性データに基づいて算出された当該基準試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を入力周波数特性データおよび入力パラメータ値としてそれぞれ入力する入力処理と、前記入力周波数特性データに基づいて、前記基準試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値で当該パラメータ値に対応する前記入力パラメータ値を除算することにより、当該各パラメータについてのパラメータ補正係数を算出するパラメータ補正係数算出処理と、前記基準試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す周波数特性データを測定周波数特性データとして測定する周波数特性データ測定処理と、前記入力周波数特性データで示される前記インピーダンスを前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスで除算することにより、前記各周波数におけるインピーダンスについてのインピーダンス補正係数を算出すると共に、前記入力周波数特性データで示される前記位相から前記測定周波数特性データで示される前記位相を減算することにより、前記各周波数における位相についての位相補正値を算出する特性データ補正係数算出処理とを実行し、新たな試料についての前記各パラメータを算出する際に、前記新たな試料について前記周波数特性データ測定処理を実行して、当該試料について前記各周波数でのインピーダンスおよび位相を示す前記測定周波数特性データを取得する周波数特性データ取得処理と、前記取得した前記新たな試料についての前記測定周波数特性データで示される前記インピーダンスに前記インピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ当該測定周波数特性データで示される前記位相に前記位相補正値を加算して補正位相に補正して、補正周波数特性データを算出する周波数特性データ補正処理と、前記補正周波数特性データに基づいて前記新たな試料の等価回路についての前記各パラメータのパラメータ値を算出すると共に、当該算出したパラメータ値に前記パラメータ補正係数を乗算することにより、当該算出したパラメータ値を補正するパラメータ補正処理とを実行する。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の等価回路パラメータ測定装置および請求項３記載の等価回路パラメータ測定方法によれば、新たな試料についての測定周波数特性データを測定したときに、各周波数でのインピーダンスにインピーダンス補正係数を乗算して補正インピーダンスに補正し、かつ測定周波数特性データで示される位相に位相補正値を加算して補正位相に補正し、この補正後のインピーダンスおよび補正位相に基づいて、新たな試料の等価回路についての各パラメータのパラメータ値を算出したときに、このパラメータ値に各パラメータ補正係数を乗算することにより、他の測定装置と同じ試料についての等価回路のパラメータについてのパラメータ値を測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値と同じ値のパラメータ値を測定することができる。
【００１３】
請求項２記載の等価回路パラメータ測定装置によれば、他の測定装置において測定された基準試料についての周波数特性データ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データに基づいて算出された基準試料の等価回路についての各パラメータ値が記憶されている外部記憶媒体を入力部に接続したり、この周波数特性データおよび各パラメータ値が伝送される電気通信回線を入力部に接続したりするだけで、この外部記憶媒体または電気通信回線を介して、他の測定装置での周波数特性データ、および各パラメータ値を短時間で、しかも簡易に入力することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】等価回路パラメータ測定装置１の構成図である。
【図２】補正用データ算出処理５０の動作を説明するためのフローチャートである。
【図３】パラメータ測定処理６０の動作を説明するためのフローチャートである。
【図４】等価回路の一例を示す回路図である。
【図５】等価回路の他の例を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、等価回路パラメータ測定装置１および等価回路パラメータ測定方法の実施の形態について説明する。
【００１６】
最初に、等価回路パラメータ測定装置１（以下、「測定装置１」ともいう）の構成について、図面を参照して説明する。
【００１７】
測定装置１は、図１に示すように、入力部２、測定部３、操作部４、記憶部５、処理部６および出力部７を備え、測定部３に接続された測定対象としての試料８の等価回路についての各パラメータを測定可能に構成されている。本例では一例として、試料８の等価回路は、図４で示されるように、インダクタンスＬ、キャパシタンスＣおよび抵抗Ｒの各パラメータで構成されているものとする。
【００１８】
入力部２は、他の測定装置（試料８について測定される等価回路は、測定装置１によって測定される等価回路とは相違しているものの検査装置１と同様にして各パラメータＬ，Ｃ，Ｒで構成されており、この各パラメータＬ，Ｃ，Ｒを測定可能に構成されている測定装置）において測定された基準試料（例えば、特定の正常な試料８）８ｒについての予め規定された各周波数でのインピーダンスＺｒａおよび位相θｒａをその各周波数に対応付けた周波数特性データＤＦｒａ、並びにこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤＦｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａをそれぞれ入力する。また、入力部２は、入力した周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを処理部６に出力する。また、入力部２は、周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａの入力および処理部６への出力については、処理部６からの要求に応じて実行する。
【００１９】
本例では一例として、入力部２は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリなどの外部記憶媒体用のインターフェース回路で構成されて、外部記憶媒体９に記憶されている他の測定装置の上記した周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを入力する。なお、ＲＳ−２３２Ｃ、ＧＰＩＢ、有線ＬＡＮまたは無線ＬＡＮなどの各種の通信方式の電気通信回線に接続されるインターフェース回路で入力部２を構成し、これらの通信方式に従って他の測定装置から電気通信回線を介して伝送されて来る周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを入力（受信）する構成を採用することもできる。
【００２０】
測定部３は、プローブ３ａを介して試料８（基準試料８ｒを含む）を接続可能に構成されて、接続された試料８について上記した各周波数（他の測定装置の周波数と同じ周波数）でのインピーダンスＺｒｂおよび位相θｒｂをその周波数に対応付けた周波数特性データＤＦｒｂを測定する。また、測定部３は、測定した周波数特性データＤＦｒｂを処理部６に出力する。また、測定部３は、周波数特性データＤＦｒｂの測定および処理部６への出力については、処理部６からの要求に応じて実行する。
【００２１】
操作部４は、例えば操作キー（図示せず）を複数備え、操作された操作キーに予め割り当てられた処理を処理部６に対して実行させるための命令データＤｃｍｄを処理部６に出力する。記憶部５は、ＲＡＭなどの半導体メモリや、ＨＤＤ（Hard disk drive）で構成されて、他の測定装置の上記した周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａや、測定部３によって測定された周波数特性データＤＦｒｂなどを記憶する。
【００２２】
処理部６は、例えばＣＰＵで構成されて、入力部２および測定部３に対する制御を実行すると共に、補正用データ算出処理およびパラメータ測定処理を実行する。また、処理部６は、パラメータ測定処理において測定した試料８の等価回路についての各パラメータのパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを出力部７に出力する。出力部７は、一例として、液晶ディスプレイなどの表示装置で構成されて、測定されたパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを画面に表示する。なお、表示装置に代えて、外部装置（外部記憶媒体などの外部記憶装置を含む）とのインターフェース回路で出力部７を構成して、この外部装置にパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを出力することもできる。
【００２３】
次いで、測定装置１による上記の各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂの測定動作と共に、このパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂの測定方法について図面を参照して説明する。
【００２４】
測定装置１では、処理部６が、まず、パラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂの測定に先立ち、図２に示す補正用データ算出処理５０を実行する。この補正用データ算出処理５０では、処理部６は、最初に、入力処理を実行する（ステップ５１）。なお、この入力処理の実行に際しては、他の測定装置において測定された基準試料８ｒについての周波数特性データＤＦｒａ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤＦｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａが記憶された外部記憶媒体９が入力部２に予め接続されているものとする。
【００２５】
入力処理では、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤｃｍｄ（外部記憶媒体９から周波数特性データＤＦｒａ等の読み込みを指示する命令データ）を入力したときに、入力部２に対して、周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａの外部記憶媒体９からの入力（読み込み）と、入力した周波数特性データＤＦｒａ，および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａの処理部６への出力とを要求する。
【００２６】
入力部２は、この処理部６からの要求に応じて、外部記憶媒体９から周波数特性データＤＦｒａ，および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを読み出して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤＦｒａ，および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを入力して、周波数特性データＤＦｒａを入力周波数特性データとして（以下、「入力周波数特性データＤＦｒａ」ともいう）記憶部５に記憶させると共に、各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを入力パラメータ値として（以下、「入力パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａ」ともいう）記憶部５に記憶させる。これにより、入力処理が完了する。
【００２７】
処理部６は、上記の入力処理に引き続いて、パラメータ補正係数算出処理を実行する（ステップ５２）。このパラメータ補正係数算出処理では、処理部６は、まず、記憶部５に記憶させた入力周波数特性データＤＦｒａに基づいて、基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１を算出する。この場合、処理部６は、測定装置１での等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを算出するための算出アルゴリズム（予め規定されたアルゴリズム）を用いて、入力周波数特性データＤＦｒａから各パラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを算出して、パラメータ値ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１として記憶部５に記憶する。
【００２８】
次いで、処理部６は、このパラメータ補正係数算出処理において算出した各パラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂで、各パラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂに対応する入力パラメータ値ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１を除算することにより、各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋＬ（＝ＤＬｒａ１／ＤＬｂ），ｋＣ（＝ＤＣｒａ１／ＤＣｂ），ｋＲ（＝ＤＲｒａ１／ＤＲｂ）を算出して記憶部５に記憶させる。これにより、パラメータ補正係数算出処理が完了する。
【００２９】
続いて、処理部６は、周波数特性データ測定処理を実行する（ステップ５３）。この周波数特性データ測定処理に際しては、まず、測定部３に各プローブ３ａを介して基準試料８ｒを接続する。この場合、この基準試料８ｒとして、他の測定装置において上記の周波数特性データＤＦｒａ等を測定したときに使用した基準試料８ｒと同じもの（同一の基準試料８ｒ、または同じ特性を示す別の基準試料８ｒ）を使用する。この状態において、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤｃｍｄ（測定部３に対して試料８の周波数特性データＤＦｂ（基準試料８ｒについては周波数特性データＤＦｒｂ）の測定を指示する命令データ）を入力したときに、測定部３に対して、基準試料８ｒについての周波数特性データＤＦｒｂの測定と、測定した周波数特性データＤＦｒｂの処理部６への出力とを要求する。
【００３０】
測定部３は、この処理部６からの要求に応じて、基準試料８ｒについての周波数特性データＤＦｒｂ（各周波数でのインピーダンスＺｒｂおよび位相θｒｂ）を測定して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤＦｒｂを入力して、周波数特性データＤＦｒｂを測定周波数特性データとして（以下、「測定周波数特性データＤＦｒｂ」ともいう）記憶部５に記憶させる。なお、基準試料８ｒについては、測定部３による周波数特性データＤＦｒｂの測定後に、測定部３から取り外される。これにより、周波数特性データ測定処理が完了する。
【００３１】
次いで、処理部６は、特性データ補正係数算出処理を実行する（ステップ５４）。この特性データ補正係数算出処理では、まず、処理部６は、各周波数における入力周波数特性データＤＦｒａで示されるインピーダンスＺｒａを、対応する周波数における測定周波数特性データＤＦｒｂで示されるインピーダンスＺｒｂで除算することにより、各周波数におけるインピーダンスＺｒｂについてのインピーダンス補正係数ｍ（＝Ｚｒａ／Ｚｒｂ）を算出して記憶部５に記憶する。また、処理部６は、各周波数における入力周波数特性データＤＦｒａで示される位相θｒａから、対応する周波数における測定周波数特性データＤＦｒｂで示される位相θｒｂを減算することにより、各周波数における位相θｒｂについての位相補正値ｎ（＝θｒａ−θｒｂ）を算出して記憶部５に記憶する。これにより、特性データ補正係数算出処理が完了し、補正用データ算出処理５０についても完了する。以上により、測定装置１は、新たな試料８についての等価回路の各パラメータＬ，Ｃ，Ｒを算出可能な状態となる。
【００３２】
このようにして算出されたインピーダンス補正係数ｍは、一般的には周波数毎に相違する値となり、また位相補正値ｎについても、一般的に周波数毎に相違する値となる。
【００３３】
次に、測定装置１による新たな試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂの測定動作について説明する。
【００３４】
測定装置１では、測定部３に試料８が接続されている状態において、処理部６は、図３に示すパラメータ測定処理６０を実行する。このパラメータ測定処理６０では、処理部６は、まず、周波数特性データ取得処理を実行する（ステップ６１）。
【００３５】
この周波数特性データ取得処理では、処理部６は、操作キーに対する操作が行われた操作部４から命令データＤｃｍｄ（測定部３に対して試料８の周波数特性データＤＦｂの測定（取得）を指示する命令データ）を入力したときに、測定部３に対して、試料８についての周波数特性データＤＦｂの測定と、測定した周波数特性データＤＦｂの処理部６への出力とを要求する。
【００３６】
測定部３は、この処理部６からの要求に応じて、試料８についての周波数特性データＤＦｂ（各周波数でのインピーダンスＺｂおよび位相θｂ）を測定して、処理部６に出力する。処理部６は、この周波数特性データＤＦｂを入力（取得）して、周波数特性データ（測定周波数特性データ）ＤＦｂを記憶部５に記憶させる。これにより、周波数特性データ取得処理が完了する。
【００３７】
次いで、処理部６は、周波数特性データ補正処理を実行する（ステップ６２）。この周波数特性データ補正処理では、処理部６は、取得した新たな試料８についての測定周波数特性データＤＦｂで示される各周波数でのインピーダンスＺｂにインピーダンス補正係数ｍを乗算して補正インピーダンスＺｂ１に補正し、かつ測定周波数特性データＤＦｂで示される位相θｂに位相補正値ｎを加算して補正位相θｂ１に補正する。また、この補正によって算出された補正インピーダンスＺｂ１および補正位相θｂ１を補正周波数特性データＤＦｂ１として記憶部５に記憶させる。
【００３８】
これにより、この周波数特性データ補正処理によって得られた補正インピーダンスＺｂ１および補正位相θｂ１は、測定装置１で測定している試料８を他の測定装置（上記したステップ５１において、入力部２を介して入力した周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを測定した測定装置）で測定したときに得られるインピーダンスＺａ１および補正位相θａ１に一致させられる（揃えられる）。
【００３９】
続いて、処理部６は、パラメータ補正処理を実行する（ステップ６３）。このパラメータ補正処理では、処理部６は、まず、補正周波数特性データＤＦｂ１に基づいて、試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１を算出する。次いで、処理部６は、算出した各パラメータ値ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１に、記憶部５から読み出した各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋＬ，ｋＣ，ｋＲを乗算することにより、各パラメータ値ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１を各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについての最終的なパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂに補正して記憶部５に記憶させる。これにより、パラメータ測定処理６０が完了する。
【００４０】
この結果、このパラメータ補正処理によって得られたパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂは、測定装置１で測定している試料８を他の測定装置（上記したステップ５１において、入力部２を介して入力した周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを測定した測定装置）で測定したときに得られるパラメータ値ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａに一致させられる。
【００４１】
最後に、処理部６は、算出（測定）した試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを出力部７としての表示装置の画面に表示させる。
【００４２】
このように、この測定装置１および等価回路パラメータ測定方法では、他の測定装置において測定された基準試料８ｒの周波数特性データ（入力周波数特性データ）ＤＦｒａおよび基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値（入力パラメータ値）ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａと、この入力周波数特性データＤＦｒａに基づいて測定装置１が算出した等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１とに基づいて、各パラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ補正係数ｋＬ，ｋＣ，ｋＲを算出する。また、測定装置１が測定した基準試料８ｒの周波数特性データＤＦｒｂと他の測定装置において測定された基準試料８ｒの周波数特性データ（入力周波数特性データ）ＤＦｒａとに基づいて、インピーダンスＺｒｂのインピーダンス補正係数ｍと、位相θｒｂの位相補正値ｎとを算出する。また、新たな試料８についての周波数特性データ（測定周波数特性データ）ＤＦｂを測定したときには、測定周波数特性データＤＦｂで示される各周波数でのインピーダンスＺｂにインピーダンス補正係数ｍを乗算して補正インピーダンスＺｂ１に補正し、かつ測定周波数特性データＤＦｂで示される位相θｂに位相補正値ｎを加算して補正位相θｂ１に補正することにより、上記の他の測定装置で測定したときに得られるインピーダンスＺａ１および補正位相θａ１に一致させ、このインピーダンスＺａ１および補正位相θａ１（周波数特性データＤＦｂ１）に基づいて、新たな試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１を算出し、最後に、このパラメータ値ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１に各パラメータ補正係数ｋＬ，ｋＣ，ｋＲを乗算することにより、上記の他の測定装置でこの試料８を測定したときに得られるパラメータ値ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａに一致するパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂに補正する。
【００４３】
したがって、この測定装置１および等価回路パラメータ測定方法によれば、他の測定装置と同じ試料８についての等価回路のパラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ値を測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａと同じ値のパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを測定することができる。
【００４４】
また、この測定装置１によれば、外部記憶媒体９に記憶されているデータを入力するインターフェース回路で入力部２を構成したことにより、他の測定装置において測定された基準試料８ｒについての周波数特性データＤＦｒａ、およびこの他の測定装置においてこの周波数特性データＤＦｒａに基づいて算出された基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａが記憶されている外部記憶媒体９を入力部２に接続するだけで、この外部記憶媒体９を介して、他の測定装置での周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを短時間で、しかも簡易に入力することができる。
【００４５】
なお、上記の例では、他の測定装置において測定された周波数特性データＤＦｒａ、および基準試料８ｒの等価回路についての各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを１つの測定装置１に入力することにより、他の測定装置と同じ試料８についての等価回路のパラメータＬ，Ｃ，Ｒについてのパラメータ値を１つの測定装置１で測定したときに、他の測定装置で測定されるパラメータ値ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａと同じ値のパラメータ値ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂを測定できるように構成しているが、他の測定装置において測定された周波数特性データＤＦｒａ、および各パラメータ値ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａを複数の測定装置に入力し、この複数の測定装置において上記した測定装置１と同様にして、試料８の等価回路についての各パラメータＬ，Ｃ，Ｒのパラメータ値を測定（算出）することにより、他の測定装置で測定されるパラメータ値ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａと同じ値のパラメータ値をこの複数の測定装置で測定できるように構成することもできる。
【００４６】
また、上記の測定装置１や他の測定装置について、３つのパラメータＬ，Ｃ，Ｒを含む等価回路の各パラメータ値を算出する例を挙げて説明したが、３つのパラメータＬ，Ｃ，Ｒのうちの少なくとも１つを含む等価回路の各パラメータを算出する構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００４７】
１  測定装置
２  入力部
３  測定部
６  処理部
８  試料
８ｒ  基準試料
ＤＦｂ  測定周波数特性データ
ＤＦｂ１  補正周波数特性データ
ＤＦｒａ  入力周波数特性データ
ＤＦｒｂ  測定周波数特性データ
ＤＬａ，ＤＣａ，ＤＲａ  パラメータ値
ＤＬｂ，ＤＣｂ，ＤＲｂ  パラメータ値
ＤＬｂ１，ＤＣｂ１，ＤＲｂ１  パラメータ値
ＤＬｒａ，ＤＣｒａ，ＤＲｒａ  パラメータ値
ＤＬｒａ１，ＤＣｒａ１，ＤＲｒａ１  パラメータ値
ｋＬ，ｋＣ，ｋＲ  パラメータ補正係数
ｍ  インピーダンス補正係数
ｎ  位相補正値
Ｚａ１  インピーダンス
Ｚｂ  インピーダンス
Ｚｂ１  補正インピーダンス
Ｚｒａ  インピーダンス
Ｚｒｂ  インピーダンス
θａ１  補正位相
θｂ  位相
θｂ１  補正位相
θｒａ  位相
θｒｂ  位相
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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