(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのパルスワイヤ（ウィーガンドワイヤ）センサを有するセグメントカウンタのカウント値と、物体の並進動作、および／または、回転動作を検出するための精密位置センサのポジション値とを全ての状況下で全ポジション値へと変換することにより、セグメントカウンタと精密位置センサとを同期させるための方法であって、
同期化のために必要とされる情報が、前記少なくとも１つのパルスワイヤの最後の磁化方向から得られ、最後の決定されたセグメントに関する情報が、メモリから得られ、現在の半分以下のセグメントに関する情報が、前記精密位置センサから得られ、
前記物体の並進動作あるいは回転動作の動作シーケンスに対応したパルスワイヤの磁化方向およびカウンタの読み取り値の補正情報を記憶した補正テーブルを用いて前記セグメントカウントと前記精密位置センサとの同期化を行うことを特徴とする方法。
【請求項２】
２つのインダクタコイルがパルスワイヤの周囲に巻回されてなるパルスワイヤセンサを使用する方法であって、
所定の外部電流を第１のインダクタコイルである励磁コイルへ供給して第２のインダクタコイルである検出コイルで応答を測定することによってパルスワイヤの磁化方向を決定し、誘発パルスの存在に関係なく、更なる処理のために応答信号を評価エレクトロニクスへ入力することを特徴とする請求項１の記載の方法。
【請求項３】
１つのインダクタコイルだけがパルスワイヤの周囲に巻回されてなるパルスワイヤセンサを含む方法であって、
この単一のインダクタコイルである検出コイルが、電流の供給と、応答信号の発生とに使用されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
電流をインダクタコイルへ供給することにより引き起こされる電圧から誘発パルスを識別するために、前記電流が、所定の関数の増減勾配にしたがって供給されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
それぞれのパルスワイヤを特徴付ける磁化方向が、それと関連付けられる少なくとも１つの磁場感知プローブにより測定されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
パルスワイヤの磁化方向を検出するためにホールプローブ、または、ＧＭＲセンサが、前記磁場感知プローブとして使用されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも１つのパルスワイヤセンサ（Ｗｓ）を有するセグメントカウンタ（２１）と、セグメントの精密分解能のための位置センサと、電流を供給してパルスを検出するとともに全ポジション値を形成するための評価エレクトロニクス（１から１３）とを備えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載の方法を実行するための装置。
【請求項８】
少なくとも１つのパルスワイヤセンサ（Ｗｓ）を有するセグメントカウンタ（２１）と、セグメントの精密分解能のための精密位置センサ（２１）と、前記少なくとも１つの磁場感知プローブ（ＭＳ）を読み出して全ポジション値を形成するための評価エレクトロニクス（１から１３）とを備えることを特徴とする請求項１、請求項５、請求項６のいずれか１つに記載の方法を実行するための装置。
【請求項９】
値をカウントするための補正ロジック回路（８）、補正テーブル（６）および全ポジション値を得るための全ポジション値形成ロジック回路（１１）が、ハードワイヤードロジックの形態を成すことを特徴とする請求項７または請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
値をカウントするための補正ロジック回路（８）、補正テーブル（６）および全ポジション値を得るための全ポジション値形成ロジック回路（１１）のためにプロセッサが使用されることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
論理演算の一部のためにハードワイヤードロジックが使用され、処理される残りのデータのためにプロセッサが使用されることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つのパルスワイヤ（ウィーガンドワイヤ）センサ（Ｐｕｌｓｅ  ｗｉｒｅ（Ｗｉｅｇａｎｄ  ｗｉｒｅ）ｓｅｎｓｏｒ）を有するセグメントカウンタと、物体の並進動作、および／または、回転動作の絶対検出のための精密位置センサとを同期させるための方法および前記方法を実行するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
パルスワイヤおよびウィーガンドワイヤは、ウィーガンドセンサとして形成されるときに、それぞれがそれらの周囲に巻回される検出コイルを有する強磁性要素である。
強磁性体において最初に不規則に方向付けられる磁気領域は、磁区、または、ワイスドメインと称されるが、外力に晒されると、単一のドメインを形成するように整列する。
特定の方向および大きさの外部磁場の印加により、このドメインがフリップし、それにより、出力信号として拾い上げることができる電圧パルスが検出コイルに発生する。
外部磁場の方向に連続波の形態で整列する状態へとフリップする要素磁石の運動エネルギーは十分に高く、そのため、ウィーガンドセンサと関連付けられるコイルからの電気エネルギーを信号パルスのために使用できるだけでなく、メモリを含む電子カウンタのためにも使用できる（欧州特許第０７２４７１２号明細書［０００９］参照）。
【０００３】
強磁性体では、異なる磁化方向の隣接する原子の磁気モーメントの相互作用がかなり強力であり、そのため、ブロッホ壁と称される移行層により互いから分離される上述したワイスドメインのそのような磁気モーメントの配向がもたらされる。
ここで、例えば、そのような強磁性要素を機械的に引き伸ばして１つのワイヤを形成することにより、均一な磁化方向を有する単一のドメインを恒久的に形成することができる。
そのようなドメインが特定の大きさおよび方向の外部磁場内に置かれる場合には、そのようなドメインの全体はフリップしないが、その要素磁石は、特定の開始位置、好ましくはワイヤの一端から、ドミノ効果のように外部磁場の方向にフリップする。
これは、強磁性要素内に有限速度の再配向波をもたらす。
しかしながら、励磁磁石（Ｅｘｃｉｔｉｎｇ  ｍａｇｎｅｔ）の速度と比べてこの速度は高く、これがこのドメインの「フリッピング」と称される場合がある理由である。
【０００４】
しかしながら、この再磁化の誘発方向は、実際の再磁化方向と混同されてはならない。
誘発方向は、いずれの磁極へ向かってワイス領域が「フリップする」のかを表す。
一方、再磁化方向は、励磁磁石の誘発極の極性（Ｎ極またはＳ極）をもたらし、パルスワイヤの磁化方向をもたらす。
励磁磁石の極性および位置に関する情報を判断し、適切なカウントのための情報を判断するために、強磁性要素に追加のセンサ要素を割り当てて、強磁性要素を誘発する時点で、生成された電圧パルスでの励磁磁石の運動方向を判断するための完全な情報として利用できるようにすることが公知である。欧州特許第１５６５７５５号を参照されたい。
【０００５】
そのようなウィーガンドセンサによって発生されるカウントパルスの質は、既に直面した磁場強度に大きく依存する。
最適なカウントパルスは、磁場の１つの方向での誘発前に反対方向で飽和磁場強度が達成された場合にだけ得ることができる。
これが達成されない場合には、動作が、双極モードから、カウントパルスが一方向でしか十分なエネルギーを解放できない単極モードへと変化する場合がある。
【０００６】
これによってもたらされる状態は、ウィーガンドセンサを含む位置検出器による絶対位置検出の要件に矛盾する。
これは、位置検出器と関連付けられるカウンタにより検出される最後の位置と、その動作に入った後に検出される現在の位置との間で異なる、想定し得る動き（右／左、前／後）が生じた場合があり、それにより、最適でないカウントパルスに起因して測定結果が歪められるからである。
カウントパルスを誘発させる、磁場を発生させる永久磁石の更なる動きだけが、この不確実性を終わらせる。
しかしながら、そのような動きを強いることが常に可能であるとは限らない。
【０００７】
最大でほぼ２つ程度のセグメントを有してもよい簡単なセグメントカウンタがこの不確実性に完璧に対処できる。
しかしながら、そのようなセグメントカウンタと精密位置エンコーダ（精密位置センサ）とを結合することは異なる問題である。
この場合、一貫した全ポジション値を確保するために、定期的に生じる精密ポジション値を１つのセグメントに対して正確に割り当てなければならない。
このため、セグメントカウンタによって検出される最後の事象と現在の位置との間の動きシーケンスの正確な知識が、必要不可欠である。
この知識は、欧州特許第１５６５７５５号の追加のセンサ要素によっても判断されない。なぜなら、かかるセンサ要素は、その算術符号での適切なカウントのために、ウィーガンドワイヤを誘発する時点で励磁磁石の極性を判断するだけだからである。
【０００８】
関連するロジックと組み合わせて、励磁磁場の方向の変化の結果として最適でない、または、欠落しているカウントパルスを補正する方向依存カウンタを設計するために、２つのウィーガンドセンサを使用することが、例えば、米国特許第７，５５９，０１２号に開示されている。
しかしながら、そのような補正は、欠落しているカウントパルス後に発生される第２のカウントパルスの後にしか行うことができない。
しかし、この第２のカウントパルスが誘発される前に監視される物体が動きを停止する場合には、これにより、そのような補正が不可能になり、カウント結果は、依然として誤っており、または、不正確である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】欧州特許第０７２４７１２号公報
【特許文献２】米国特許第７，５５９，０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、ウィーガンドセンサに基づくセグメントカウンタの値と精密位置エンコーダ（精密位置センサ）の値とを正確に同期させるための、新規なスペースおよびコストを節約した方法を提供することによって、また、この方法を実行するための手段を提供することによってこれを改善することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
最後に発生されたパルスがカウントには弱すぎた場合であっても、励磁磁石が依然としてウィーガンドセンサを通過し、それにより、現在の位置に関して最後にカウントされたパルス以後に、ウィーガンドセンサが新たなパルスに関してバイアスされ、このバイアスの磁化方向が励磁磁石によってとられる経路に依存するという考慮に基づき、上述した目的は、補正に必要な情報が、少なくとも１つのパルスワイヤの最後の磁化方向、メモリからの最後に決定されたセグメントに関する情報、および実際の半分以下のセグメントに関する精密位置エンコーダの情報から派生するという点において、本発明にしたがって達成される。
【００１２】
したがって、監視される物体に強固に結合される磁石の動作履歴に関するそのような情報は、十分でない場合には、カウントプロセスの曖昧さを解くために必要とされるが、パルスワイヤの磁化方向に含まれる。
これは、ウィーガンドセンサのパルスワイヤが最後のバイアス方向を記憶する磁区を有するからである。
この磁化方向の知識を利用すると、位置感知検出器によりカウントされる回転、および／または、セグメントの正確な一貫した割り当てが可能になる。
結果として、精密位置エンコーダとともにセグメントエンコーダを使用することにより、常に、ウィーガンドセンサのカウント値と精密位置センサのポジション値とから絶対全ポジション値を形成することができる。
本明細書中に明示的に記載されないテーブルは、回転、および／または、セグメントがカウントに記憶されるウィーガンドセンサの値に加えられ、または、このウィーガンドセンサの値から差し引かれなければならない状態をリストアップする。
【００１３】
全ポジション値を得るためのセグメントカウンタのカウント値および精密位置エンコーダのポジション値のエラーの無い変換は、絶対同期化のために絶対に必要とされる情報の１つが少なくとも１つのパルスワイヤの磁化方向から得られ、パルスワイヤの磁化方向が、所定の外部電流を第１コイルへ供給して第２コイルで応答を測定することによって決定され、誘発パルスが存在するかどうかに関係なく、更なる処理のために応答信号が評価カウントロジックに供給されるという点において達成される。
【００１４】
本発明の他の特徴によれば、パルスワイヤの磁化方向は、パルスワイヤを取り囲むインダクタコイルのうちの１つに対して所定の電流を供給することによって決定でき、それにより、パルスワイヤの要素磁石がフリップし、その結果、パルスワイヤの磁化方向に応じてそれぞれのインダクタコイルで誘発される信号がその後に更なる処理のために評価エレクトロニクスに供給される。
【００１５】
本発明の他の特徴によれば、それぞれのパルスワイヤを特徴付ける磁化方向は、それに割り当てられる少なくとも１つの磁場感知プローブによって測定される。
【００１６】
本発明に係る方法を実行するための装置は、少なくとも１つのパルスワイヤエンコーダを有するセグメントカウンタと、セグメントの精密分解能のための位置センサと、補正されたカウント値と精密ポジション値とから全ポジション値を形成するために、電流を供給してパルスを検出することによりパルスワイヤの磁化方向を評価する評価エレクトロニクスとを備えることにより、本発明にしたがって特徴付けられる。
【００１７】
本発明の有利な実施例が従属請求項に規定される。
【００１８】
本発明の更なる利点、特徴および想定し得る用途は、図面に示される実施例と組み合わせて、以下の説明から明らかになる。
説明、特許請求の範囲および図面の全体にわたって、以下の符号の説明に記載される用語および関連する参照符号が使用される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】２つのウィーガンドセンサをそれぞれ使用するセグメントカウンタの動作バージョン１および動作バージョン２を示している。
【図２】図１に示される動作と関連付けられる、時間ｔにわたる２つのウィーガンドセンサからの信号を示している。
【図３】それぞれが２つのインダクタコイルを有する２つのウィーガンドセンサを用いて本発明に係る方法を実行するための、セグメントカウンタの第１の実施例である。
【図４】それぞれが１つのインダクタコイルと１つの磁場感知センサとを有する２つのウィーガンドセンサを用いて本発明の方法を実行するための、セグメントカウンタの第２の実施例である。
【図５】図３の実施例のブロック図である。
【図６】図４の実施例のブロック図である。
【図７】１つのウィーガンドセンサのみを伴う本発明の一実施例のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
発明の理解を容易にするため、図１は、図３に示されるような２つのウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２を有するセグメントカウンタの動作、すなわち、方向の逆転を伴わない動作バージョン１と、方向の逆転を伴う動作バージョン２とを示している。
この場合、検出される回転体の動作に関連付けられ、かつ、Ｎ極とＳ極とを含む永久磁石（励磁磁石）ＥＭの位置の変化が、時間軸ｔ上の時間Ｔ１から時間Ｔｘで示される。
周知のように、ウィーガンドセンサＷｓはインダクタコイルである検出コイルＳｐを含み、この検出コイルＳｐから電圧信号の形態をなす信号Ｕａ／Ｕｂを拾い上げることができる。
【００２１】
図２は、方向逆転を伴わず、疑似パルスが無い動作バージョン１と、方向逆転および疑似パルスを伴う動作バージョン２とにおける、関連するウィーガンドセンサＷｓの信号Ｕａと信号Ｕｂとの時間ｔにわたる概略図である。
また、図２は、時間ｔにわたる、カウントに関して評価された関連する信号Ａ、信号Ｂおよび結果として得られるカウント値を示している。
そこには２つの共通のカウントバージョンが示されており、このカウントバージョンでは、新たなセグメントへ入る際に、すなわち、信号Ａの立ち上がり時に、または、先行するセグメントから出る際に、すなわち、信号Ｂの立ち下り時に、カウントが行われる。
いずれの場合においても、値Ｎから値（Ｎ＋１）のカウントが既に時間Ｔｘで行われている。
【００２２】
図１および図２に示されるように、一方において、動作バージョン１は、十分な磁場強度の存在に起因して時間Ｔ１から時間Ｔ６で正確なウィーガンドの信号Ａ、信号Ｂを生成する。
しかしながら、他方において、動作バージョン２では、検出される回転体の回転方向の逆転に起因して、ウィーガンドワイヤＷｇのバイアスが時間Ｔ３で不十分となり、それにより、関連するウィーガンドパルスが時間Ｔ４で低下し、そのため、このパルスを検出できない。
これは、両方の動作バージョンにおいて時間Ｔｘで値（Ｎ＋１）をとるカウント値の望ましくない歪みをもたらすが、それは、実際には、動作バージョン２において値Ｎでなければならない。
【００２３】
両方の動作バージョンでは、時間Ｔ２におけるプラスパルスが信号Ｕａの最後に検出されて評価されたパルスであり、また、時間Ｔ６におけるマイナスパルスが信号Ｕｂの最後に検出されて評価されたパルスである。
両方の動作バージョンの違いは、時間Ｔ５におけるウィーガンドワイヤＷｇの磁気バイアスであるが、これは周知であり、かつ、本発明にしたがって使用される。
上述した動作ダイアグラムにおいて、時間Ｔｘにおける図１に示される最終位置（永久磁石（励磁磁石）ＥＭのＮ極が電流コイルＢから離れて面する側にある）のこの場合には、信号Ａ、信号Ｂの現在の値に関する情報がカウンタに記憶され、それにより、ウィーガンドワイヤＷｇがそのＮ極によってバイアスされて得られるカウンタ読み取り値を直ちに使用でき、一方、正しい全ポジション値を得るために、ウィーガンドワイヤＷｇがそのＳ極によってバイアスされて得られるカウンタ読み取り値を最初に「１」だけ減少させなければならない。
ここには明確に示されていない他の全ての動作シーケンスおよび結果として生じる信号Ａ、信号Ｂに関する状態、ウィーガンドワイヤＷｇの磁化方向およびカウンタ読み取り値においては、それぞれの補正情報が補正テーブル６に記憶される。
【００２４】
図３は、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２が２つの同心コイル（Ｓｐ１、Ｅｓ１／Ｓｐ２、Ｅｓ２）のそれぞれによって取り囲まれるバージョンを示しており、これらの同心コイル（Ｓｐ１、Ｅｓ１／Ｓｐ２、Ｅｓ２）のうち、例えば、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２に近い検出コイルＳｐ１／Ｓｐ２は、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２から更に遠くに離れる励磁コイルＥｓ１／Ｅｓ２に供給される電流への応答のために使用される。
互いに隣り合って取り付けられる２つの同心コイル（Ｓｐ１、Ｅｓ１／Ｓｐ２、Ｅｓ２）の配置は同様に適している。
永久磁石（励磁磁石）ＥＭの動作によって誘発されるノーマルパルスの評価のため、いずれかのコイルを使用し、または、更には、両方の同心コイル（Ｓｐ１、Ｅｓ１／Ｓｐ２、Ｅｓ２）を同時に使用することができる。
同心コイル（Ｓｐ１、Ｅｓ１／Ｓｐ２、Ｅｓ２）間の直接的なクロスカップリングを低く維持するとともに、例えば、誘発パルスをエッジの急な勾配に基づいて更に確実に検出できるようにするために、電流が増減勾配で供給されるのが有益である。
【００２５】
図４では、励磁コイルＥｓ１／Ｅｓ２の代わりに磁場感知センサＭｓ１／Ｍｓ２が使用される。
この磁場感知センサＭｓ１／Ｍｓ２は、それぞれのウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２の磁化方向を直接測定する。
【００２６】
セグメントカウンタを形成するウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２のカウント信号と、監視される物体のシャフト２０に接続される、移動される物体、すなわち、ここでは簡潔に回転される物体とする物体の、それぞれの全ポジション値の形成のための精密位置センサとしての精密位置エンコーダ２１のポジション値とを評価するため、例えば、図５のブロック図として示される構成が使用される。
【００２７】
この目的のため、ウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２の信号ラインが、信号評価回路４、５を介して、ロジックカウント回路３と、テーブル６によって供給される同期化ロジック７とに接続される。
電流が、電流発生器９、１０により、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２から更に遠くに離れる両方のウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２のインダクタコイルである励磁コイルＥｓ１／Ｅｓ２に対して供給される。
【００２８】
ロジックカウント回路３には、不揮発性メモリ１、並びに、値をカウントするための補正ロジック回路８およびウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２のカウンタ信号と精密位置エンコーダ２１とをリンクさせるための全ポジション値形成ロジック回路１１が割り当てられる。
周知のように、上述した回路要素は、固有エネルギー源２によって、および／または、外部エネルギー源１３によって給電される。
その結果、決定された全ポジション値をインタフェース１２を介して拾い上げることができる。
ウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２によって発生されるエネルギーを蓄えるためにキャパシタＣが使用される。
【００２９】
図６は、図４に示されるタイプの配置における同じタイプのブロック図を示している。
したがって、全ての回路要素が同じ記号表示を有する。
【００３０】
図７は、（例えば、欧州特許第１５６５７５５号に係る）１つのウィーガンドセンサＷｓ１だけを使用する構成を示している。
ここで、パルス評価および誘導電流の供給の両方のために、単一の検出コイルＳｐ１が使用される。
例えば、異なる振幅、または、立ち上がり時間に基づき、計測光学で一般に用いられる技術を使用して、電流源により発生される電圧信号からパルスを識別すること（検出すること）が行われる。
【００３１】
図５から図７の精密位置センサとしての精密位置エンコーダ２１に関しては、任意の一般的な市販の光センサ、磁気センサ、容量センサ、または、他のタイプのセンサを使用できる。
【００３２】
本発明に係る全ての手段（図５、図６、図７）は、信号評価回路４、５およびロジックカウント回路３を使用して、既存の外部エネルギー源１３の供給の場合に基づく動作においておよび固有エネルギー源２の供給の場合に基づく動作（米国特許第６，６１２，１８８号、または、欧州特許第０７２４７１２号、または、同第１５６５７５５号参照）において、いずれも、ウィーガンドセンサＷｓ１／Ｗｓ２からのパルスの評価時に連続的なセグメントカウント値が不揮発性メモリ１に記憶されるという共通点がある。
【００３３】
図５および図７に示されるように、外部エネルギー源１３の供給による作用時、同期化ロジック回路７は、それぞれの電流発生器９、１０を制御するとともに、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２の応答、記憶データ、精密位置エンコーダ２１の現在の位置および補正テーブル６から補正値を決定する。
このようにして値をカウントするための補正ロジック回路８で補正されたセグメントカウンタのカウンタ読み取り値は、その後、簡単な全ポジション値形成ロジック回路１１において精密位置エンコーダ２１の値と組み合わされ、それにより、全ポジション値が与えられ、この全ポジション値は、その後、インタフェース１２を介して出力される。
外部エネルギー源１３からの供給が確保される限りにおいて、この値は、その後、監視される物体の動きに基づいて連続的に更新され、したがって、所要絶対位置に対応する。
【００３４】
図６に示される装置では、初期化が同様に行われるが、この場合には電流供給源である電流発生器９、１０が存在せず、また、ウィーガンドワイヤＷｇ１／Ｗｇ２の磁化方向は、関連する磁場感知センサＭｓ１／Ｍｓ２の信号から直接に集められる。
簡潔にするため、図は回転を測定するための構成だけを示しているが、方法および手段のいずれも同様に直線動作を測定するのに適する。
【符号の説明】
【００３５】
１      ・・・  不揮発性メモリ
２      ・・・  固有エネルギー源
３      ・・・  カウンタロジック回路
４      ・・・  信号評価回路
５      ・・・  信号評価回路
６      ・・・  補正テーブル
７      ・・・  同期化ロジック回路
８      ・・・  値をカウントするための補正ロジック回路（評価ロジック回路）
９      ・・・  電流発生器
１０    ・・・  電流発生器
１１    ・・・  全ポジション値形成ロジック回路
１２    ・・・  インタフェース
１３    ・・・  外部エネルギー源
２０    ・・・  シャフト（回転軸）
２１    ・・・  精密位置エンコーダ（精密位置センサ）
Ｃ      ・・・  固有エネルギーを蓄えるためのキャパシタ
ＥＭ    ・・・  永久磁石（励磁磁石）
Ｈ      ・・・  ホールプローブ
Ｗｇ１  ・・・  ウィーガンドワイヤ
Ｗｇ２  ・・・  ウィーガンドワイヤ
Ｓｐ１  ・・・  検出コイル
Ｓｐ２  ・・・  検出コイル
Ｗｓ１  ・・・  ウィーガンドセンサ
Ｗｓ２  ・・・  ウィーガンドセンサ
ＭＳ１  ・・・  磁場感知センサ
ＭＳ２  ・・・  磁場感知センサ
Ｅｓ１  ・・・  励磁コイル
Ｅｓ２  ・・・  励磁コイル
Ｒ      ・・・  回転方向を示す矢印
【図１】
0005730809.tif 000002
【図２】
0005730809.tif 000003
【図３】
0005730809.tif 000004
【図４】
0005730809.tif 000005
【図５】
0005730809.tif 000006
【図６】
0005730809.tif 000007
【図７】
0005730809.tif 000008