(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明材料により筒状に形成され、軸方向の先端部に縮径された排気口を有するファーナスチューブと、
前記ファーナスチューブを外側から取り囲む筒状の加熱炉と、
前記ファーナスチューブの内部に配置され、試料を保持する試料保持手段と、
第１の支持台と、
第２の支持台と、
前記ファーナスチューブの軸方向の後端部を前記第１の支持台に固定するファーナスチューブ固定部と、
前記加熱炉を前記第２の支持台に固定する加熱炉固定部と、
前記ファーナスチューブの前記後端部に気密に接続される測定室と、
前記測定室内に配置され、前記試料の物性変化を測定する測定手段と、
前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続されると共に前記試料保持手段が前記加熱炉に覆われる測定位置と、前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段が前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉より後端側に露出する試料セット位置と、の間で前記第１の支持台及び前記第２の支持台を移動させる第１の移動手段と、
前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続された状態で、前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段の外側で前記ファーナスチューブが露出する試料観察位置に、前記第２の支持台のみを移動させる第２の移動手段と、を備える熱分析装置であって、
前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの外側から前記試料を観察可能である熱分析装置。
【請求項２】
前記第２の支持台は前記第１の支持台の上に載置され、前記第１の移動手段が前記第１の支持台を移動させる際に、前記第２の支持台が前記第１の支持台と一体となって移動する請求項１記載の熱分析装置。
【請求項３】
前記ファーナスチューブは、石英ガラス又はサファイアガラスからなる請求項１又は２記載の熱分析装置。
【請求項４】
前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの少なくとも一部を覆い、前記加熱炉の熱を伝えるための熱伝導部材をさらに備えた請求項１〜３のいずれかに記載の熱分析装置。
【請求項５】
前記熱伝導部材の熱伝導率が５０Ｗ／(ｍ・Ｋ)以上である請求項４に記載の熱分析装置。
【請求項６】
前記熱伝導部材の少なくとも一部を覆う断熱部材をさらに備えた請求項４又は５に記載の熱分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料を加熱し、温度変化に伴う試料の物理的変化を測定する熱分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、試料の温度特性を評価する手法として、試料を加熱し、温度変化に伴う試料の物理的変化を測定する熱分析といわれる手法が行われている。熱分析は、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義されており、測定対象（試料）の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する手法が全て熱分析とされる。一般的に用いられる熱分析は、(1)温度（温度差）を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量（重量変化）を検出する熱重量測定(TG)、(4)力学的特性を検出する熱機械分析(TMA)、及び(5)動的粘弾性測定(DMA)の5つの方法がある。
【０００３】
例えば、図８に示すように、上記熱重量測定(TG)を行う熱分析装置１０００として、筒状に形成されて先端部９ａに縮径された排気口９ｂを有するファーナスチューブ９と、ファーナスチューブ９を外側から取り囲む筒状の加熱炉３と、ファーナスチューブ９の内部に配置されて試料Ｓ１、Ｓ２をそれぞれ保持する試料ホルダ４１，４２と、ファーナスチューブ９の後端部９ｄに気密に接続される測定室３０と、測定室３０内に配置されて試料の重量変化を測定する重量検出器３２とを備えた構成が知られている（例えば、特許文献１〜３参照）。又、加熱炉３の下端から下方へ２つの支柱２１８が延び、支柱２１８は支持台２００に接続されている。さらに、ファーナスチューブ９の後端部９ｄの外側にフランジ部７が固定され、フランジ部７下端から下方へ１つの支柱２１６が延び、支柱２１６も支持台２００に接続されている。支持台２００及び測定室３０は基台１０上に載置され、支持台２００はリニアアクチュエータ２２０によってファーナスチューブ９の軸方向Ｏに進退可能になっている。
そして、加熱炉３は、試料ホルダ４１，４２をファーナスチューブ９の外側から加熱し、温度変化に伴う試料Ｓ１、Ｓ２の重量変化を重量検出器３２で検出可能になっている。
【０００４】
ここで、図９に示すように、試料ホルダ４１，４２に試料Ｓ１、Ｓ２をセットしたり、試料Ｓ１、Ｓ２を交換する際には、リニアアクチュエータ２２０によって支持台２００をファーナスチューブ９の先端側（図９の左側）に前進させ、支持台２００に固定された加熱炉３及びファーナスチューブ９も前進させる。これにより、試料ホルダ４１，４２がファーナスチューブ９より後端側に露出し、試料Ｓ１、Ｓ２のセットや交換が行える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３２６２４９号公報
【特許文献２】特開２００７−２３２４７９号公報
【特許文献３】特開平７−１４６２６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記した熱分析装置を用いると、必要とする熱物性値を検出することはできるが、熱分析中の試料の変化を可視的に観察することができないという問題がある。これは、一般にファーナスチューブ９が焼結アルミナ等のセラミック、又はインコネル（登録商標）等の耐熱性金属で形成されていると共に、加熱炉３がファーナスチューブ９を覆っているためである。
そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、熱分析中の試料の変化を観察可能な熱分析装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明の熱分析装置は、透明材料により筒状に形成され、軸方向の先端部に縮径された排気口を有するファーナスチューブと、前記ファーナスチューブを外側から取り囲む筒状の加熱炉と、前記ファーナスチューブの内部に配置され、試料を保持する試料保持手段と、第１の支持台と、第２の支持台と、前記ファーナスチューブの軸方向の後端部を前記第１の支持台に固定するファーナスチューブ固定部と、前記加熱炉を前記第２の支持台に固定する加熱炉固定部と、前記ファーナスチューブの前記後端部に気密に接続される測定室と、前記測定室内に配置され、前記試料の物性変化を測定する測定手段と、前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続されると共に前記試料保持手段が前記加熱炉に覆われる測定位置と、前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段が前記ファーナスチューブ及び前記加熱炉より後端側に露出する試料セット位置と、の間で前記第１の支持台及び前記第２の支持台を移動させる第１の移動手段と、前記ファーナスチューブの前記後端部が前記測定室に接続された状態で、前記加熱炉が前記測定位置よりも先端側へ前進し、前記試料保持手段の外側で前記ファーナスチューブが露出する試料観察位置に、前記第２の支持台のみを移動させる第２の移動手段と、を備える熱分析装置であって、前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの外側から前記試料を観察可能である。
この熱分析装置によれば、従来の熱分析装置のように測定位置及び試料セット位置で試料の測定及びセットを行うだけでなく、試料観察位置にて熱分析中の試料を観察することができる。
【０００８】
前記第２の支持台は前記第１の支持台の上に載置され、前記第１の移動手段が前記第１の支持台を移動させる際に、前記第２の支持台が前記第１の支持台と一体となって移動するようにしてもよい。
この熱分析装置によれば、測定位置及び試料セット位置に、ファーナスチューブ及び加熱炉を一体として確実に移動させることができる。
【０００９】
前記ファーナスチューブが石英ガラス又はサファイアガラスからなっていると耐熱温度が高いので好ましい。
【００１０】
前記試料観察位置にて、露出した前記ファーナスチューブの少なくとも一部を覆い、前記加熱炉の熱を伝えるための熱伝導部材をさらに備えていてもよい。
このようにすると、加熱炉の熱が熱伝導部材からファーナスチューブの露出部分へ伝達され、加熱状態を保った状態で試料を観察することができる。
【００１１】
前記熱伝導部材の熱伝導率が５０Ｗ／(ｍ・Ｋ)以上であるとよい。
前記熱伝導部材の少なくとも一部を覆う断熱部材をさらに備えていてもよい。
このようにすると、ファーナスチューブの露出部分の温度が低下し難くなり、加熱状態をより確実に保った状態で試料を観察することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、熱分析中の試料の変化を観察可能な熱分析装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】測定位置における本発明の実施形態に係る熱分析装置の構成を示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】試料セット位置における加熱炉及びファーナスチューブの位置を示す図である。
【図４】試料観察位置における加熱炉及びファーナスチューブの位置を示す図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図６】試料観察位置にて、熱伝導部材を断熱部材で覆う態様を示す斜視図である。
【図７】熱分析装置の変形例を示す斜視図である。
【図８】従来の熱重量測定(TG)装置を示す斜視図である。
【図９】従来の熱重量測定(TG)装置にて、試料のセットや交換を行う態様を示す図である。
【図１０】断熱部材の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、軸方向Ｏに沿ってファーナスチューブ９の先端部９ａ側を「先端（側）」とし、その反対側を「後端（側）」とする。
図１は本発明の実施形態に係る熱分析装置１００の構成を示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
熱分析装置１００は熱重量測定(TG)装置を構成し、筒状のファーナスチューブ９と、ファーナスチューブ９を外側から取り囲む筒状の加熱炉３と、ファーナスチューブ９の内部に配置されて試料Ｓ１、Ｓ２をそれぞれ保持する試料ホルダ（特許請求の範囲の「試料保持手段」に相当）４１，４２と、第１の支持台１２と、第１の支持台１２の上面に載置された第２の支持台１４と、ファーナスチューブ９の軸方向Ｏの後端部９ｄに接続される測定室３０と、測定室３０内に配置されて試料Ｓ１、Ｓ２の重量変化を測定する重量検出器３２（特許請求の範囲の「測定手段」に相当）と、第１の支持台１２及び測定室３０を自身の上面に載置する基台１０と、を備えている。
又、加熱炉３の軸方向両端近傍の下端から下方へ、それぞれ２つの支柱（特許請求の範囲の「加熱炉固定部」に相当）１８が延び、各支柱１８は第２の支持台１４の上面に接続されている。又、ファーナスチューブ９の後端部９ｄの外側にフランジ部７が固定され、フランジ部７の下端から下方へ１つの支柱（特許請求の範囲の「ファーナスチューブ固定部」に相当）１６が延びている。支柱１６は第１の支持台１２の上面に接続されている。なお、支柱１６は第２の支持台１４の後端よりも後端側に配置され、第２の支持台１４と干渉しないようになっている。
【００１５】
さらに、基台１０の軸方向Ｏに沿って溝が形成され、この溝にはリニア（線形）アクチュエータ（特許請求の範囲の「第１の移動手段」に相当）２２が配置されている。リニアアクチュエータ２２の後端側は第１の支持台１２に接続され、先端側（のサーボモータ）は基台１０に接続されている。そして、第１の支持台１２はリニアアクチュエータ２２により、上記溝に沿って軸方向Ｏに進退可能になっている。
又、第１の支持台１２の軸方向Ｏに沿って溝が形成され、この溝にリニアアクチュエータ（特許請求の範囲の「第２の移動手段」に相当）２４が配置されている。リニアアクチュエータ２４の後端側は第２の支持台１４に接続され、先端側（のサーボモータ）は第１の支持台１２に接続されている。そして、第２の支持台１４はリニアアクチュエータ２４により、第１の支持台１２の溝に沿って軸方向Ｏに進退可能になっている。
リニアアクチュエータ２２，２４は、例えばボールねじとサーボモータ等から構成されるが、軸方向Ｏに直線的に駆動するあらゆる公知のアクチュエータを用いることができる。
【００１６】
加熱炉３は、加熱炉３の内面を形成する円筒状の炉心管３ｃと、炉心管３ｃに外嵌されたヒータ３ｂと、両端に側壁を有する円筒状の外筒３ａとを有する（図２参照）。外筒３ａの両側壁の中心には、炉心管３ｃを挿通するための中心孔が設けられている。外筒３ａはヒータ３ｂを取り囲んで加熱炉３を保温するとともに、外筒３ａに適宜調整孔（図示せず）を設けて加熱炉３の温度調整を行うこともできる。なお、炉心管３ｃの内径はファーナスチューブ９の外径より大きく、加熱炉３はファーナスチューブ９（及びその内部の試料Ｓ１、Ｓ２）を非接触で加熱するようになっている。
【００１７】
ファーナスチューブ９は先端部９ａに向かってテーパ状に縮径し、先端部９ａは細長いキャピラリ状に形成されてその先端に排気口９ｂが開口している。そして、ファーナスチューブ９には適宜パージガスが後端側から導入され、このパージガスや、加熱による試料の分解生成物等が排気口９ｂを通じて外部に排気される。一方、ファーナスチューブ９の後端部９ｄの外側には、シール部材７１を介してリング状のフランジ部７が取り付けられている（図２参照）。
又、ファーナスチューブ９は透明材料により形成され、試料Ｓ１、Ｓ２をファーナスチューブ９の外側から観察可能である。ここで、透明材料とは、可視光を所定の光透過率で透過する材料であり、半透明材料も含む。又、透明材料としては石英ガラス又はサファイアガラスを好適に用いることができる。
なお、図２に示すように、ファーナスチューブ９の後端側には、詳しくは後述する銅製の熱伝導部材５０が被せられ、シール部材７１は熱伝導部材５０の外側に配置されて熱伝導部材５０をファーナスチューブ９に固定している。
【００１８】
試料ホルダ４１、４２には、軸方向Ｏ後端側に延びる天秤アーム４３、４４がそれぞれ接続され、天秤アーム４３、４４は互いに水平方向に並んでいる。そして、各試料ホルダ４１、４２には、それぞれ図示しない試料容器を介して試料Ｓ１、Ｓ２が載置されている。ここで、試料Ｓ１は測定試料（サンプル）であり、試料Ｓ２は基準物質（リファレンス）である。又、試料ホルダ４１、４２の直下には熱電対が設置され、試料温度を計測可能になっている。天秤アーム４３、４４、試料ホルダ４１、４２、及び図示しない試料容器は、例えば白金で形成されている。
【００１９】
測定室３０はファーナスチューブ９の後端に配置され、測定室３０の先端部には、ファーナスチューブ９に向かって軸方向Ｏ先端側に延びる管状のベローズ３４がシール部材７３を介して取り付けられている。ベローズ３４の先端側はフランジ部３６を形成し、フランジ部３６はフランジ部７にシール部材７２を介して気密に接続されている。このようにして、測定室３０とファーナスチューブ９の内部が連通し、各天秤アーム４３、４４の後端はファーナスチューブ９を通って測定室３０内部まで延びている。なお、シール部材７１〜７３としては、例えばＯリング、ガスケット等を用いることができる。
図２に示すように、測定室３０内に配置された重量検出器３２は、コイル３２ａと、磁石３２ｂと、位置検出部３２ｃとを備えている。位置検出部３２ｃは例えばフォトセンサーからなり、各天秤アーム４３、４４の後端側に配置されて天秤アーム４３、４４が水平な状態であるか否かを検出する。一方、コイル３２ａは各天秤アーム４３、４４の軸方向中心（支点）に取り付けられ、コイル３２ａの両側に磁石３２ｂが配置されている。そして、天秤アーム４３、４４が水平になるようにコイル３２ａに電流を流し、その電流を測定することにより、天秤アーム４３、４４先端の各試料Ｓ１、Ｓ２の重量を測定するようになっている。なお、重量検出器３２は、各天秤アーム４３、４４のそれぞれに設けられている。
【００２０】
又、図２に示すように、リニアアクチュエータ２２，２４、ヒータ３ｂ及び重量検出器３２はコンピュータ等からなる制御部８０によって制御される。具体的には、制御部８０はヒータ３ｂを通電制御し、所定の加熱パターンでファーナスチューブ９（各試料ホルダ４１、４２）を加熱すると共に、そのときの試料Ｓ１、Ｓ２の温度変化及び重量変化を重量検出器３２から取得する。又、制御部８０はリニアアクチュエータ２２，２４の動作を制御して、後述する測定位置、試料セット位置、及び試料観察位置に加熱炉３及びファーナスチューブ９を移動させる。
【００２１】
なお、フランジ部３６とフランジ部７とが気密に接続され、加熱炉３がファーナスチューブ９の各試料ホルダ４１、４２（つまり、試料Ｓ１、Ｓ２）を覆う位置を、「測定位置」と称する。
【００２２】
図３は、各試料ホルダ４１、４２に試料Ｓ１、Ｓ２をセット又は交換する場合の加熱炉３及びファーナスチューブ９の位置を示す。試料Ｓ１、Ｓ２をセット（配置）又は交換する場合には、第２の支持台１４を測定位置（図１、図２参照）のまま移動させず、第１の支持台１２のみをリニアアクチュエータ２２によってファーナスチューブ９の先端側（図３の左側）に前進させると、第１の支持台１２及び第２の支持台１４が一体となって移動する。これにより、各支持台１２、１４にそれぞれ固定されたファーナスチューブ９及び加熱炉３が上記測定位置よりも先端側へ前進すると、各試料ホルダ４１、４２がファーナスチューブ９及び加熱炉３より後端側に露出するので、試料Ｓ１、Ｓ２のセットや交換が行える。
ここで、図３に示すように、フランジ部３６とフランジ部７とが軸方向Ｏに離間し、各試料ホルダ４１、４２（つまり、試料Ｓ１、Ｓ２）がファーナスチューブ９及び加熱炉３よりも後端側に露出する位置を、「試料セット位置」と称する。
【００２３】
次に図４を参照し、本発明の特徴部分について説明する。図４に示すように、フランジ部３６とフランジ部７とが接続した状態で、加熱炉３が上記測定位置よりも先端側へ前進すると、各試料ホルダ４１、４２（つまり、試料Ｓ１、Ｓ２）の外側の位置でファーナスチューブ９が露出する。これにより、ファーナスチューブ９を介して熱分析中の試料Ｓ１、Ｓ２の変化を観察することができる。
具体的には、まず、図１に示す測定位置にて加熱炉３によって試料Ｓ１、Ｓ２を加熱した後、第１の支持台１２を測定位置（図１、図２参照）のまま移動させずに、リニアアクチュエータ２４によって第２の支持台１４のみをファーナスチューブ９の先端側（図３の左側）に、加熱炉３が各試料ホルダ４１、４２よりも先端に位置するまで前進させる。これにより、熱分析中の試料Ｓ１、Ｓ２を観察することができる。例えば、図４の例では、加熱炉３の後端側に露出したファーナスチューブ９の上方に撮像手段（例えば、カメラ、光学顕微鏡等）９０を配置し、熱分析中の試料Ｓ１、Ｓ２を観察している。
なお、図４に示すように、フランジ部３６とフランジ部７とが接続された状態で、加熱炉３が測定位置よりも先端側へ前進し、各試料ホルダ４１、４２の外側でファーナスチューブ９が露出する位置を、「試料観察位置」と称する。
【００２４】
ここで、測定位置で試料Ｓ１、Ｓ２を加熱した後で、加熱炉３をファーナスチューブ９の先端側に前進させることで、余熱によりファーナスチューブ９がしばらく加熱状態を保つことができ、ほぼ加熱時の試料Ｓ１、Ｓ２を観察することができる。
又、本実施形態では、ファーナスチューブ９の後端側に、銅製の５０が被せられると共に、熱伝導部材５０は各試料ホルダ４１、４２の位置でファーナスチューブ９の上半分が露出するように切り抜かれて窓Ｗを形成している。さらに断面図５に示すように、試料観察位置にて、熱伝導部材５０の先端側は加熱炉３の後端部に覆われている。
このため、加熱炉３で覆われた熱伝導部材５０の先端側から、加熱炉３の熱がファーナスチューブ９の露出部分へ伝達され、加熱状態を保った状態で試料Ｓ１、Ｓ２を観察することができる。特に、熱伝導部材５０の熱伝導率が５０Ｗ／(ｍ・Ｋ)以上であることが好ましい。熱伝導率が５０Ｗ／(ｍ・Ｋ)以上である材料として、Cu、Ag、Au、Ptなどが使用可能である。具体的には、Cuからなる熱伝導部材５０の片面又は両面に、酸化防止のためにNiメッキを施したものがコスト面からより好ましい。また、熱伝導部材５０のうち、加熱炉３及びファーナスチューブ９との接触部分であって、これらとの間で熱伝導に必要なが行われる部分のみを熱伝導率の高い材料（例えば上記材料）から構成し、他の部分をそれ以外の熱伝導率の低い材料から構成してもよい。なお、熱伝導部材５０は、ファーナスチューブ９の露出部分の少なくとも一部を覆っていればよい。また、熱伝導部材５０を、ファーナスチューブ９から着脱可能にすると、熱伝導部材５０の耐熱温度を超える温度で測定を行う通常の熱分析では熱伝導部材５０を外すことで、これら測定への対応も可能なためより好ましい。
【００２５】
さらに図６に示すように、試料観察位置にて、熱伝導部材５０の少なくとも一部を断熱部材６０で覆うと、ファーナスチューブ９の露出部分の温度が低下し難くなり、加熱状態をより確実に保った状態で試料Ｓ１、Ｓ２を観察することができる。断熱部材６０としては、例えばセラミックス系ファイバーシート等の高温耐熱性及び加工性が良好な材料を用いることができる。
なお、図６の例では、断熱部材６０が鞍型（断面が逆Ｕ字形）をなし、加熱炉３を前方に移動させてファーナスチューブ９から引き抜かなくても、ファーナスチューブ９の上から断熱部材６０を被せることが可能である。但し、断熱部材の形状は図６の例に限定されず、例えば図１０に示すように、断熱部材６２の断面を筒状とし、加熱炉３を前方に移動させてファーナスチューブ９から引き抜いた後、断熱部材６２内にファーナスチューブ９をその先端側から挿通してもよい。
【００２６】
図７は、基台１０ｘ、第２の支持台１４ｘ、支柱１８ｘ、及びリニアアクチュエータ２４ｘの構成が異なる熱分析装置１１０の変形例である。
図７において、加熱炉３の軸方向両端近傍の下端から、軸方向Ｏに垂直な方向に第１の支持台を跨ぐように、それぞれ２つの支柱（特許請求の範囲の「加熱炉固定部」に相当）１８ｘが延びている。又、第２の支持台１４ｘは、軸方向Ｏに垂直な方向にて第１の支持台を挟むようにして、基台１０ｘ上にそれぞれ１個ずつ配置され、各支柱１８ｘの両端は両第２の支持台１４の上面にそれぞれ接続されている。なお、後端側の支柱１８ｘは支柱１６よりも先端側に配置され、支柱１６と干渉しないようになっている。
さらに、第２の支持台１４ｘのそれぞれに対応し、基台１０の軸方向Ｏに沿って２つの溝が形成され、各溝にそれぞれリニアアクチュエータ２４ｘが配置されている。リニアアクチュエータ２４ｘの後端側は第２の支持台１４ｘに接続され、先端側（のサーボモータ）は基台１０に接続されている。そして、それぞれの第２の支持台１４ｘは、各リニアアクチュエータ２４ｘによって軸方向Ｏに進退可能になっている。
【００２７】
熱分析装置１１０においても、上述の測定位置、試料セット位置、及び試料観察位置に対応して、第１の支持台１２及び第２の支持台１４ｘが移動するようになっている。
但し、測定位置及び試料セット位置において、第１の支持台１２及び第２の支持台１４ｘは、それぞれリニアアクチュエータ２２、２４ｘによって独立に移動する。このため、リニアアクチュエータ２２、２４ｘがいずれも特許請求の範囲の「第１の移動手段」に相当する。
又、試料観察位置にて、第２の支持台１４ｘはリニアアクチュエータ２４ｘによって移動する。このため、リニアアクチュエータ２４ｘは特許請求の範囲の「第２の移動手段」にも相当する。
【００２８】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、第１の支持台、第２の支持台、ファーナスチューブ固定部及び加熱炉固定部の構成、配置状態等は上記した例に限定されない。又、第１の移動手段及び第２の移動手段の構成、配置状態等も上記した例に限定されない。
又、本発明の熱分析装置は、上記した熱重量測定(TG)装置の他、JIS K 0129:2005 "熱分析通則"に定義され、測定対象（試料）の温度をプログラム制御させた時の、試料の物理的性質を測定する全ての熱分析に適用可能である。具体的には、 (1)温度（温度差）を検出する示差熱分析(DTA)、(2)熱流差を検出する示差走査熱量測定(DSC)、(3)質量（重量変化）を検出する熱重量測定(TG)、(4)力学的特性を検出する熱機械分析(TMA)、及び(5)動的粘弾性測定(DMA)の5つの方法が挙げられる。
【符号の説明】
【００２９】
１００、１１０      熱分析装置
３      加熱炉
９      ファーナスチューブ
９ａ      ファーナスチューブの先端部
９ｂ      排気口
９ｄ      ファーナスチューブの後端部
１２      第１の支持台
１４、１４ｘ      第２の支持台
１６      ファーナスチューブ固定部
１８、１８ｘ      加熱炉固定部
２２      第１の移動手段
２４、２４ｘ      第２の移動手段
３０      測定室
３２      測定手段
４１、４２      試料保持手段（試料ホルダ）
５０      熱伝導部材
６０      断熱部材
Ｏ            軸方向
Ｓ１、Ｓ２      試料
【図１】
0005792660.tif 000002
【図２】
0005792660.tif 000003
【図３】
0005792660.tif 000004
【図４】
0005792660.tif 000005
【図５】
0005792660.tif 000006
【図６】
0005792660.tif 000007
【図７】
0005792660.tif 000008
【図８】
0005792660.tif 000009
【図９】
0005792660.tif 000010
【図１０】
0005792660.tif 000011