(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動領域を有する圧電部材と、
該圧電部材の前記振動領域との間に間隙を設けるようにして前記圧電部材を収納し、前記圧電部材の端面を覆い、且つ前記圧電部材の端部を挟持する第１ケースおよび第２ケースを有するケース部材と、
前記圧電部材の上面に設けられた第１電極と、
前記圧電部材の下面に設けられた第２電極と、
前記第１電極と接続され前記第１ケースの外表面に導出された上側電極材と、
前記第２電極と接続され前記第２ケースの外表面に導出された下側電極材とを備え、
前記上側電極材および前記下側電極材が、弾性を有するシート状の電極材からなり、
前記上側電極材および前記下側電極材のうちの少なくとも一方が、前記圧電部材の前記端面に当接していることを特徴とする圧電電子部品。
【請求項２】
前記第１ケースおよび前記第２ケースが同一の材料からなることを特徴とする請求項１に記載の圧電電子部品。
【請求項３】
前記ケース部材は、該ケース部材の外周に沿って前記第１ケースと前記第２ケースとを接合する接合部を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電電子部品。
【請求項４】
前記接合部は、前記圧電部材の主面と異なる高さに位置していることを特徴とする請求項３に記載の圧電電子部品。
【請求項５】
前記接合部は、前記圧電部材の側方に位置することを特徴とする請求項３または４に記載の圧電電子部品。
【請求項６】
前記圧電部材は、シムの少なくとも一方の主面に圧電素子が設けられてなり、前記シムの端部が前記第１ケースおよび前記第２ケースによって挟持されていることを特徴とする請求項１〜５に記載の圧電電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電発振子，加速度センサ，圧電発電部品等の圧電電子部品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、通信機器や電子機器にはマイクロコンピュータが使用されており、このようなマイクロコンピュータのクロック源として、圧電部材を内蔵した圧電発振子が広く用いられている。
【０００３】
また、従来からハードディスクドライブ等の電子機器に外部から加わる衝撃の検出等の用途に、圧電部材を内蔵した加速度センサが用いられている。
【０００４】
さらに、従来から、振動または熱等によるエネルギーを、電気エネルギーへと変換するエネルギー変換部品として、圧電部材を内蔵した圧電発電部品が用いられている。
【０００５】
このような圧電電子部品として、例えば特許文献１には、圧電部材の端面を露出させた状態で、この圧電部材を一対のケースで挟み込んだ圧電電子部品が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−74578号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示された圧電電子部品においては、圧電部材の端面が露出しているので、圧電部材とケースとの境界部も露出している。よって、この境界部は他の部材によって覆われていないので、圧電部材の振動部の周囲に設けられる空間の封止性が低下してしまうという問題点があった。
【０００８】
本発明は上記のような従来の技術における課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、封止性の高い圧電電子部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電電子部品は、振動領域を有する圧電部材と、該圧電部材の前記振動領域との間に間隙を設けるようにして前記圧電部材を収納し、前記圧電部材の端面を覆い、且つ前記圧電部材の端部を挟持する第１ケースおよび第２ケースを有するケース部材と、前記圧電部材の上面に設けられた第１電極と、前記圧電部材の下面に設けられた第２電極と、前記第１電極と接続され前記第１ケースの外表面に導出された上側電極材と、前記第２電極と接続され前記第２ケースの外表面に導出された下側電極材とを備え、前記上側電極材および前記下側電極材が、弾性を有するシート状の電極材からなり、前記上側電極材および前記下側電極材のうちの少なくとも一方が、前記圧電部材の前記端面に当接していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の圧電電子部品によれば、振動領域を有する圧電部材と、圧電部材の振動領域との間に間隙を設けるようにして圧電部材を収納するケース部材とを備え、ケース部材は、圧電部材の端面を覆い、且つ圧電部材の端部を挟持している第１ケースおよび第２ケースを有していることから、圧電部材とケース部材との境界部は、ケース部材に覆われることとなるので、圧電部材の振動部の周囲に設けられる空間の封止性を向上させることができる。また、上側電極材および下側電極材が、弾性を有するシート状の電極材からなることから、上側電極材および下側電極材を第１ケースおよび第２ケースに確実に接着させて設けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の一例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２】本発明の圧電電子部品の圧電部材の実施の形態の他の例を示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は図１に示す圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図であり、（ｂ）〜（ｆ）は、それぞれ本発明の実施の形態の他の例の圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図である。
【図４】（ａ）は接着シートが被着され、上側電極材が配置された第１ケースの例を示す縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す第１ケースを下方から見た平面図である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、それぞれ本発明の圧電電子部品の製造方法の実施の形態の一例を示す工程毎の縦断面図である。
【図６】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図７】本発明の圧電電子部品の圧電部材の実施の形態の他の例を示す縦断面図である。
【図８】本発明の圧電電子部品の圧電部材の実施の形態の他の例を示す縦断面図である。
【図９】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１０】（ａ）は図９に示す圧電電子部品の他方の端部を示す要部拡大図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、それぞれ本発明の実施の形態の他の例の圧電電子部品の他方の端部を示す要部拡大図である。
【図１１】（ａ）は図９に示す圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、それぞれ本発明の実施の形態の他の例の圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図である。
【図１２】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１３】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１４】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１５】（ａ）は図１４に示す圧電電子部品の他方の端部を示す要部拡大図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、それぞれ本発明の実施の形態の他の例の圧電電子部品の他方の端部を示す要部拡大図である。
【図１６】（ａ）は図１４に示す圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、それぞれ本発明の実施の形態の他の例の圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図である。
【図１７】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１８】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図１９】（ａ）は圧電電子部品の一方の端部を示す要部拡大図である。
【図２０】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２１】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２２】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２３】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す、（ｂ），（ｃ）に示す形態のＸ−Ｘ線における縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図であり、（ｃ）は（ａ）に示す圧電電子部品の第１ケースの下面図である。
【図２４】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す、（ｂ），（ｃ）に示す形態のＸ−Ｘ線における縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図であり、（ｃ）は（ａ）に示す圧電電子部品の第１ケースの下面図である。
【図２５】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す、（ｂ），（ｃ）に示す形態のＸ−Ｘ線における縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図であり、（ｃ）は（ａ）に示す圧電電子部品の第１ケースの下面図である。
【図２６】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す圧電電子部品の縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２７】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す、（ｃ）に示す形態のＸ−Ｘ線における縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電部材の分解斜視図であり、（ｃ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【図２８】（ａ）は本発明の圧電電子部品の実施の形態の他の例を示す、（ｃ）に示す形態のＸ−Ｘ線における縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す圧電部材の分解斜視図であり、（ｃ）は（ａ）に示す圧電電子部品について、第１ケースを接着する前の一例を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（第１実施形態）
図１（ａ）に示す例の圧電電子部品１において、圧電部材５，ケース部材（第１ケース14および第２ケース15），上側電極材16，下側電極材17，接着材18とを具備している。
【００１３】
圧電部材５は、圧電基板２、第１電極３、および第２電極４を含む。圧電基板２は、長方形状である。第１電極３は、圧電基板２の上面において一方の端部６から中央部にかけて設けられている。第２電極４は、圧電基板２の下面において他方の端部７から中央部にかけて、第１電極３と圧電基板２を挟んで互いに対向することにより振動領域をなすように設けられている。なお第１〜11実施形態における圧電部材とは、一般的な圧電素子のことを示す。
【００１４】
ケース部材（第１ケース14および第２ケース15）は、凹部８，９、一方のくぼみ10，11、他方のくぼみ12，13をそれぞれ有しており、圧電部材５を収納している。凹部８，９は、圧電部材５の上面または下面に対向しており、この凹部８，9により第１および第２ケ
ース部材14，15と圧電部材５の振動領域との間に間隙が設けられている。一方のくぼみ10，11および他方のくぼみ12，13によって、圧電部材５の端面が覆われ、圧電部材５の両端
部６，７が挟持されている。
【００１５】
上側電極材16は、第１ケース14の一方のくぼみ10から外表面にかけて設けられており、圧電部材５の上面の第１電極３に当接されている。
【００１６】
下側電極材17は、第２ケース15の他方のくぼみ13から外表面にかけて設けられており、圧電部材５の下面の第２電極４に当接されている。
【００１７】
接着材18は、第１ケース14の凹部８の開口の周囲と第２ケース15の凹部９の開口の周囲とを接着している。
【００１８】
以上のような構成により、圧電部材とケース部材との境界部は、ケース部材に覆われることとなるので、圧電部材の振動部の周囲に設けられる空間の封止性を向上させることができる。
【００１９】
また、圧電部材５の一方の端部６は第１および第２ケース14，15それぞれの一方のくぼみ10，11によって支持され、圧電部材５の他方の端部７は第１および第２ケース14，15それぞれの他方のくぼみ12，13によって支持され、第１ケース14の凹部８の開口の周囲と第２ケース15の凹部９の開口の周囲とは接着材18によって接着されているので、圧電部材５の両端部６，７の端面がともに第１ケース14および第２ケース15によって覆われていることとなるので、外部からの衝撃を第１および第２ケース14，15で吸収することができる。従って、圧電部材５に衝撃を伝わりにくくすることができる。
【００２０】
また、圧電部材５に衝撃が伝わるのを抑制できることから、圧電電子部品１を加速度センサとして用いた場合、加速度の正確な検出を行なうことが可能となる。
【００２１】
圧電電子部品１は、圧電発振子，加速度センサまたは圧電発電部品として用いられる。圧電発振子として圧電電子部品１を用いた場合には、通信機器や電子機器にはマイクロコンピュータ等のクロック源として使用される。加速度センサとして圧電電子部品１を用いた場合には、加速度による圧電基板２の歪みによって生じた電荷は、圧電基板２の上下面の第１電極３および第２電極４を介して検出されるものである。また、圧電発電部品として圧電電子部品１を用いた場合には、外部から加わる振動または熱等によるエネルギーが圧電基板２によって電気エネルギーに変換され、圧電基板２の上下面の第１および第２電極３，４を通じて出力されるものである。
【００２２】
圧電基板２は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒ１−ｘＴｉｘＯ３），チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３），ニオブ酸ナトリウム・カリウム（Ｎａ１−ｘＫｘＮｂＯ３），ビスマス層状化合物（例：ＭＢｉ４Ｔｉ４Ｏ１５、Ｍ：２価のアルカリ土類金属元素）等を基材とする圧電セラミックス、または水晶，タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）等の圧電単結晶からなる。
【００２３】
なお、圧電基板２は、例えば、長さが0.5〜15ｍｍ、幅が0.2〜10ｍｍ、厚みが50μｍ〜２ｍｍの直方体形状とする。
【００２４】
また、圧電電子部品１を圧電発振子として用いる際には、圧電基板２は全面で一様な厚みを有する必要はなく、厚み振動のエネルギー閉じ込めを良くして共振特性を向上する目的で、例えば、第１電極３と第２電極４とが対向している振動領域の圧電基板２の厚みを周囲の領域よりも薄く形成したり、または厚く形成したりすることができる。
【００２５】
さらに、圧電電子部品１を加速度センサおよび圧電発電部品として用いる際には、例え
ば、圧電基板２の中央部を厚く形成する等、圧電基板２において厚みの差を付けることで、振動の変位を大きくし、電荷の出力を大きくすることができる。特に、電荷の出力を大きくできるという点から、圧電基板２は、内部に電極が設けられた積層体を用いることが好ましい。
【００２６】
なお、圧電電子部品１を圧電発振子として用いる際には、圧電基板２の比誘電率の値は、高周波領域の共振特性に優れるという点から、1000以下であることが好ましい。また、圧電電子部品１を加速度センサおよび圧電発電部品として用いる際には、電荷の出力を大きくするという点から、圧電基板２の比誘電率の値は1000以上であることが好ましい。
【００２７】
圧電基板２がセラミック材料から成る場合は、原料粉末にバインダを加えてプレスする方法、あるいは原料粉末を水や分散剤とともにボールミルを用いて混合した後に乾燥し、バインダ，溶剤，可塑剤等を加えてドクターブレード法により成型する方法等によってグリーンシートとし、次に、1100〜1400℃のピーク温度で0.5〜８時間焼成して基板を形成
し、これに80〜200℃の温度にて、例えば、厚み方向に３〜６ｋＶ／ｍｍの電圧をかけて
分極処理を施すことによって、所望の圧電特性を有した圧電基板２が得られる。
【００２８】
また、圧電基板２が圧電単結晶材料からなる場合は、圧電基板２となる圧電単結晶材料のインゴット（母材）を所定の結晶方向となるように切断することによって、所望の圧電特性を有した圧電基板２が得られる。
【００２９】
第１および第２電極３，４は、導電性の観点からは金，銀，銅またはアルミニウム等の金属膜からなることが好ましい。第１および第２電極３，４の厚みは0.1〜５μｍの範囲
とすることが好ましい。第１および第２電極３，４となる金属膜を0.1μｍよりも厚くす
ることにより、例えば、大気中において高温にさらされた場合に、酸化によって導電性が低下することを抑制することができる。また、金属膜を５μｍよりも薄くすることにより、金属膜が応力で剥離するのを防ぐことができる。
【００３０】
このような第１および第２電極３，４となる金属膜の被着には、真空蒸着法，ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相堆積）法またはスパッタリング法等が利用できる
。
【００３１】
このとき、圧電基板２と第１および第２電極３，４との密着性を高めるために、例えば、クロムのように、圧電基板２を構成するセラミック材料との密着性が高い金属からなる下地電極層を予め設け、その上に所望の金属膜を設けてもよい。
【００３２】
また、第１および第２電極３，４は、例えば、銀または銅等の金属フィラーを含有し、低温ガラスをバインダとする導電性ペーストを、所定の温度で焼き付けて形成することもできる。この場合の第１および第２電極３，４の厚みは５〜30μｍの範囲とすることが好ましい。第１および第２電極３，４となる電極膜を５μｍよりも厚くすることにより、金属フィラー間の接触不良による導通抵抗の増大を抑制することができる。また、30μｍよりも薄くすることにより、第１および第２電極３，４の質量効果による圧電基板２の振動特性の劣化を防ぐことができる。
【００３３】
第１および第２電極３，４の寸法は、圧電基板２の寸法によって適宜設定される。例えば、圧電基板２の寸法が、長さが２ｍｍ、幅が0.5ｍｍ、厚みが0.2ｍｍである場合は、第１および第２電極３，４の寸法は、圧電基板２の長さ方向の寸法が1.5ｍｍであり、圧電
基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍである。
【００３４】
なお、図２に第１および第２電極３，４の他の構成の例を示す。図２に示すように、第
１電極３は、圧電基板２の上面および内部において一方の端部６から中央部にかけて設けられた対向電極部３ａと、対向電極部３ａ同士を接続している接続電極部３ｂとから成り、第２電極４は、圧電基板２の下面および内部において他方の端部７から中央部にかけて設けられ、対向電極部３ａと対向した対向電極部４ａと、対向電極部４ａ同士を接続している接続電極部４ｂとから成る。
【００３５】
このような構成とすることによって、例えば、圧電電子部品21を加速度センサまたは圧電発電部品として用いる際の電荷の出力を大きくすることができる。
【００３６】
なお、内部に電極が設けられた積層型の圧電基板２を製造する場合には、グリーンシートと内部用の電極とを交互に積層して積層体を形成し、この積層体を焼成した後に、圧電体層に分極処理を施して圧電基板２を得る。
【００３７】
第１ケース14および第２ケース15の材料は、例えば、フェノール系樹脂，ポリイミド系樹脂またはエポキシ系樹脂等の紫外線硬化型や熱硬化型の樹脂材料が使用される。また、ポリエーテルエーテルケトン等の熱可塑性樹脂を用いることもできる。これらの樹脂材料を用いた場合には、第１ケース14および第２ケース15の薄型化を図ることができ、また、第１および第２ケース14，15が割れにくくなるので好ましい。また、第１および第２ケース14，15の材料は、例えば、アルミナ，窒化アルミニウムまたは窒化珪素等のセラミック材料を用いることもできる。これらのセラミック材料を用いた場合には、剛性に優れるという点から好ましい。
【００３８】
第１ケース14および第２ケース15の全体の寸法は、圧電部材５の寸法によって適宜設定される。例えば、長さが0.7〜20ｍｍであり、幅が0.5〜15ｍｍであり、厚みが0.1ｍｍ〜
２ｍｍである。また、第１および第２ケース14，15の凹部の寸法は、例えば、長さが0.4
〜18ｍｍであり、幅が0.3〜13ｍｍであり、深さが50μｍ〜1.5ｍｍである。
【００３９】
一方および他方のくぼみ10〜13の寸法は、圧電基板２，第１および第２ケース14，15全体，凹部８，９の寸法によって適宜設定される。例えば、圧電基板２の寸法が、長さが２ｍｍ、幅が0.5ｍｍ、厚みが0.2ｍｍであり、第１および第２ケース14，15の全体の寸法が、長さが2.5ｍｍであり、幅が1.3ｍｍであり、厚みが0.25ｍｍであり、凹部８，９の寸法が、長さが1.8ｍｍであり、幅が0.9ｍｍであり、深さが0.15ｍｍである場合には、一方および他方のくぼみ10〜13の寸法は、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.15ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.6ｍｍであり、圧電基板２の厚み方向の寸法が0.1ｍｍである。
【００４０】
上側電極材16は、例えば、導電材料からなる金属フィラーを含有する熱硬化性樹脂からなる導電性ペーストを塗布した後、所定の温度で硬化させて形成される。または、導電材料からなる金属フィラーを含有する樹脂シートからなる、シート状の電極材を用いて形成される。これらの場合の上側電極材16の厚みは５〜50μｍの範囲とすることが好ましい。なお、金属フィラーは球形状または針形状等であって、銀または銅等の金属材料からなるものが使用される。
【００４１】
また、上側電極材16は、圧電電子部品１を製造している状態においては柔軟性および接着性を有しており、圧電電子部品１を製造し終わった後の状態においては弾性を有するようなシート状の電極材であることが好ましい。このような場合には、上側電極材16は、圧電電子部品１を製造している状態において柔軟性を有しているので、くぼみの内面から第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部にかけて設けられている段差形状に沿って、上側電極材16を第１ケース14に確実に接着させて設けることができる。また、第１ケース14に接着されたシート状の電極材である上側電極材16は、導電性ペーストを使用する場合と比較して厚みが制御しやすく、また、流動性が抑制されているため、圧電部材５の第１
電極３と第２電極４の対向部へ流れ出し、圧電部材５の特性が劣化することを防止することができる。また、シート状の電極材は、薄く形成することができるので、圧電電子部品１の全体の厚みを薄くすることができる。また、シート状の電極材は弾性を有していることから、圧電電子部品１を製品として使用している際に、圧電電子部品１の外部から加わった衝撃が圧電部材５に伝わるのを有効に防ぐことができる。
【００４２】
また、シート状の電極材は、シート状の樹脂材料の一方の面に、銀または銅等の金属材料からなる金属箔，金属膜または金属層が被着されているものでもよい。ここで、金属箔とは金属材料を延ばしたものであり、金属膜とは蒸着等によって形成される膜のことであり、金属層とは銀または銅等の微粒子が層状に多数被着されたものを示す。上側電極材として、このようなシート状の電極材を使用する場合には、金属箔，金属膜または金属層が設けられている面を、上側電極材16を圧電部材５の上面の第１電極３に当接させる。よって、第１電極３から、金属箔，金属膜または金属層を介しての電気的な導通を、第１ケース14の外表面側から有効に取り出すことができる。
【００４３】
上側電極材16の寸法の例を以下に示す。まず、圧電部材５の一方の端部６の上面に当接している面の部分は、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.1ｍｍであり、圧電基板２の幅方
向の寸法が0.5ｍｍである。また、圧電部材５の一方の端部６の端面の上側に対向してい
る面の部分は、圧電基板２の厚み方向の寸法が0.1ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸
法が0.5ｍｍである。また、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部は、圧電基板
２の長さ方向の寸法が0.2ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍである。
【００４４】
下側電極材17は、上側電極材16と同様のものを用いる。
【００４５】
接着材18は、第１および第２ケース14，15の凹部８，９の開口の周囲の全面同士を接着していてもよいし、第１および第２ケース14，15の凹部８，９の開口の周囲の面のうち周縁部同士を接着していてもよい。
【００４６】
接着材18の材料としては、エポキシ樹脂等の樹脂材料が用いられる。接着材18の厚みは５〜80μｍの範囲である。
【００４７】
また、図３（ａ）〜（ｆ）を用いて、圧電部材５の一方の端部６における接着材18の配置を以下に説明する。
【００４８】
図３（ａ）に示す例においては、接着材18は、上側電極材16をくぼみ10，11の外側で挟むように設けられている。この構成によって、上側電極材16が金属箔等の接着性を有しない部材からなる場合であっても、上側電極材16のうち第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第１および第２ケース14，15とは、両者の境界面において確実に接着されていることとなるので、圧電電子部品１の外部に露出している境界面から外気が侵入するのを有効に防止できる。
【００４９】
なお、図３（ｂ）に示すように、接着材218は、第１ケース14の一方のくぼみ10の内面
にまで延在し、上側電極材16と第１ケース14とを接着していてもよい。また、この接着剤218は、第２ケース15の一方のくぼみ11の内面にまで延在し、圧電部材５の一方の端部６
と第２ケース15とを接着していてもよい。この構成によれば、上側電極材16が金属箔等の接着性を有しない部材からなる場合であっても、上側電極材16のうち第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第１および第２ケース14，15とは、両者の境界面において、確実に接着されていることとなるので、圧電電子部品１の外部に露出している境界面から外気が侵入するのを有効に防止できる。
【００５０】
図３（ｃ）に示す例においては、接着材318は、上側電極材16のうち第１ケース14の凹
部８の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第１ケース14との間に介在し、両者を接着している。この構成によれば、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面にのみ接着材318を設け、その上に上側電極材16を設ければ、第２ケース15の凹部９の開口の周囲の面
側には接着材318を設ける必要がなくなるので、工数を削減することができ、圧電電子部
品１の製造の際の生産性を上げることができるので好ましい。
【００５１】
さらに、図３（ｃ）において、上側電極材16が接着性を有していることが好ましい。この場合には、上側電極材16のうち第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第２ケース15とが接着しているので、上側電極材16と第２ケース15とは両者の境界面において、確実に接着され、境界面に隙間が生じにくくなり、この境界面から外気が侵入するのを有効に防止することができるので好ましい。また、この接着性を有する上側電極材16は、圧電部材５の一方の端部６と第１ケース14とを接着しているので、圧電部材５が第１および第２ケース14，15によって強固に保持されることとなるので好ましい。
【００５２】
なお、接着材418は、図３（ｄ）に示すように、第１ケース14の一方のくぼみ10の内面
にまで延在し、第１ケース14と上側電極材16とを接着していてもよい。
【００５３】
図３（ｅ）に示す例においては、図３（ｃ）に示す接着材318を上側電極材16の下側に
配置して接着材518とした。この構成によれば、第２ケース15の凹部９の開口の周囲の面
にのみ接着材518を設けておけば、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面側には接着材518を設ける必要がなくなるので、工数を削減することができ、圧電電子部品１の製造の際の生産性を上げることができるので好ましい。
【００５４】
さらに、図３（ｅ）において、上側電極材16は接着性を有していることが好ましい。この場合には、上側電極材16のうち第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第１ケース14とが接着しているので、上側電極材16と第１ケース14とは、両者の境界面において、確実に接着されることによって境界面に隙間が生じにくくなり、この境界面から外気が侵入するのを有効に防止することができるので好ましい。また、この接着性を有する上側電極材16は、圧電部材５の一方の端部６と第１ケース14とを接着しているので、圧電部材５が第１および第２ケース14，15によって強固に保持されることとなるので好ましい。また、この接着性を有する上側電極材16は、圧電部材５の一方の端部６と第１ケース14とを接着する力も強固にしているので好ましい。
【００５５】
図３（ｆ）に示す例においては、図３（ｄ）に示す接着材418を上側電極材16の下側に
配置して接着材618とした。この構成によれば、圧電部材５が第１および第２ケース14，15によって強固に保持されることとなるので好ましい。
【００５６】
さらに、図３（ｆ）に示す上側電極材16は、図３（ｅ）と同様に、上側電極材16が接着性を有していることが好ましい。
【００５７】
また、図３（ｄ）においては、接着材418が第１ケース14の一方のくぼみ10の内面にま
で延在している例を示したが、図４に示す例のように、接着材718は、第１ケース14の凹
部８の開口の周囲の全面と、一方および他方のくぼみ10，12の内面と、凹部８の内面との全体にわたって設けられていてもよい。
【００５８】
この接着材718は、樹脂を第１ケース14に塗布することによって配置してもよいし、接
着シートを塗布することによって配置してもよいが、特に後者が好ましい。この場合には、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面と、一方および他方のくぼみ10，12の内面と
に、容易かつ確実に接着シート718を被着させることができるので、第１ケース14の凹部
８の開口の周囲の全面と第２ケースの凹部の開口の周囲の全面とを確実に接着でき、また、一方および他方のくぼみ10，12の内面と圧電基板２の一方および他方の端部６，７とを確実に接着できる。従って、圧電部材５の振動部の周囲に設けられる空間の封止性を向上させることができる。
【００５９】
また、この構成の場合には、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面と、一方および他方のくぼみ10，12の内面と、凹部８の内面との全体にわたって被着しているのは接着シート718であるため、その厚みを均一に薄くすることができる。従って、通常のペースト
状の接着材と比較し、塗布量を精密に制御できるので、圧電部材５の振動部付近の凹部８の内部空間を広く確保できるようになるため、第１ケース14の凹部８の内壁に被着した接着シート718の、圧電部材５の振動部への接触を起こりにくくすることができる。
【００６０】
次に、図４に示す例の第１ケース14を用いた圧電電子部品１の製造方法について、図５を参照して説明する。
【００６１】
まず、図５（ａ）に示すように、第１ケース14に、少なくとも凹部８の開口の周囲の全面を覆うように接着シート718を配置する。この工程においては、例えば、第１ケース14
に配置した接着シート718を、80〜150℃の温度で加熱した平板を用いて、0.05〜１ＭＰａの応力で10〜60秒の間プレスすることによって軟化させると同時に、接着シート718を第
１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面と仮接着させる。
【００６２】
なお、このように接着シート718を加熱によって軟化した状態とした際には、接着シー
ト718を構成する樹脂材料は流動性を有しているため、接着シート718が過度に変形しやすくなって、第１ケース14の開口の周囲の全面における接着シート718の厚みが不均一とな
り、第１ケース14および第２ケース15を接着させた際の封止性が低下してしまう。従って、接着シート718の樹脂材料にシリカ等の無機材料またはプラスチック等からなる針形状
または球形状のフィラーを２〜50質量％程度含ませて、接着シート718の流動性を調整す
ることが好ましい。これによって、接着シート718の形状を過度に変形しにくくして、接
着シート718と第１ケース14とを確実に接着させることができる。
【００６３】
さらに、この仮接着する際の接着シート718の過度な変形を抑えるためには、接着シー
ト718を構成する樹脂材料として、繊維製の布に樹脂材料を含浸させたプリプレグを用い
ることが特に好ましい。この場合には、加熱して溶融した接着シート718の樹脂を、繊維
製の布が保持することによって、樹脂の流動性を有効に抑制することができる。
【００６４】
なお、接着シート718を加熱・加圧する方法としては、加熱した平板でプレスする方法
に限られるものではないので、加熱したローラーで押圧する方法を採用してもよい。
【００６５】
次に、図５（ｂ）に示すように、接着シート718上の、第１ケース14の凹部８の開口の
周囲の一部側に、一方のくぼみ10の位置に合わせて上側電極材16を形成する。この工程においては、例えば、銀フィラーを含有するシート状の樹脂材料を所定の位置に転写することによって、上側電極材16を形成する。
【００６６】
次に、図５（ｃ）に示すように、接着シート718を第１ケース14の凹部８の開口の周囲
の全面と、一方および他方のくぼみ10，12の内面と、凹部８の内面との全体にわたって被着させる。なお、図５（ｃ）における符号21は、押圧部材を示している。この押圧部材21は、例えば、ゴム等の弾性体からなる。また、接着材718との接着性が低いシリコーンゴ
ムからなるものを用いることが好ましい。また、シリコーンゴムからなるものでなくとも、接着材718との接着性が低くなるよう表面処理を施すことが好ましい。また、図５（ｃ
）における一点鎖線は、凹部８の底面と一方および他方のくぼみ10，12の底面とに押圧部材21を押圧することによって、押圧部材21が凹部８の底面、または、一方および他方のくぼみ10，12の底面と平行な方向に弾性変形した押圧部材21が示されている。
【００６７】
この工程においては、押圧部材21によって、第１ケース14とは接着されていない部分の接着シート718を押圧しつつ、この押圧部材21を第１ケース14の凹部８と、一方および他
方のくぼみ10，12とに同時に挿入する方法を採用するとよい。
【００６８】
なお、この作業を行なう前に、接着シート718が配置された第１ケース14を、予め接着
シート718が載っていない方の面を下面として、80〜150℃の温度で加熱した平板の上に載せておくとよい。これによって、加熱した平板から第１ケース14を介して接着シート718
に熱が加わり、接着シート718が軟化して変形しやすくなる。
【００６９】
また、押圧部材21の形状は、第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の内部空間に沿った形状とし、その寸法は、押圧部材21を第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の内部空間に挿入した際に、凹部８の内壁、または一方および他方のくぼみ10，12の内壁との間に、50μｍ〜0.2ｍｍ程度のクリアランスがあることが好ましい。このような寸法とす
ることによって、押圧部材21を凹部８およびくぼみ10，12の内部空間に挿入する際に押圧部材21の位置が多少ずれたとしても、押圧部材21は凹部８およびくぼみ10，12の開口の範囲に収まるため、押圧部材21の先端が第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の開口の周囲の面に接触することを防ぐことができ、第１ケース14および押圧部材21が破損することを防ぐことができる。
【００７０】
また、図５（ｃ）に示す例のように、押圧部材21の先端の形状は、角をとって丸みを帯びた形状とすることが好ましい。押圧部材21の先端をこのような形状とすることによって、仮に押圧部材21を凹部８およびくぼみ10，12の内部空間に挿入する際の押圧部材21の位置がずれて押圧部材21の先端が第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の開口の周囲の面にわずかに接触した場合であっても、押圧部材21の先端と第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の開口の周囲の面とが互いに滑りやすくなり、第１ケース14および押圧部材21が破損することを防ぐことができる。
【００７１】
以上で説明した押圧部材21によって、第１ケース14とは接着されていない部分の接着シート718を押圧しつつ押圧部材21を凹部８およびくぼみ10，12の内部空間に挿入していく
と、接着シート718が第１ケース14の凹部８およびくぼみ10，12の深さ方向に伸び、その
後、凹部８およびくぼみ10，12の底面に接着シート718が被着する。そして、接着シート718を介して押圧部材21を凹部８およびくぼみ10，12の底面に押圧すると、押圧部材21は凹部８の底面、またはくぼみ10，12の底面と平行な方向に弾性変形し、前述したクリアランスの寸法分だけ変形する。図５（ｃ）に示す例においては、押圧部材21は同図中に一点鎖線で示すような形状となる。その結果、押圧部材21の側面が接着シート718を凹部８の底
面、またはくぼみ10，12の底面と平行な方向に伸ばしていき、接着シート718を凹部８お
よびくぼみ10，12の側壁に接着させることとなる。
【００７２】
以上のようにして、接着シート718を第１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面と、一
方および他方のくぼみ10，12の内面と、凹部８の内面との全体にわたって被着させることができる。
【００７３】
なお、接着シート718が第１ケース14に被着するのと同時に、上側電極材16も接着シー
ト718を介して、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の一部から一方のくぼみ10の内面に
わたって被着することとなる。
【００７４】
次に、図５（ｄ）に示すように、一方のくぼみ10で一方の端部６を、接着シート718お
よび上側電極材16を介して支持し、他方のくぼみ12で他方の端部７を、接着シート718介
して支持するようにして、圧電部材５を第１ケース14に仮接着させる。
【００７５】
そして、図５（ｅ）に示すように、第２ケース15を、一方のくぼみ11で一方の端部６を支持し、他方のくぼみ13で他方の端部７を、下側電極材17を介して支持するようにしつつ、凹部９の開口の周囲の全面を、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面に接着させて、圧電電子部品１を得る。
【００７６】
この工程においては、第１ケース14を120〜180℃の温度で加熱して、下方に0.01〜３ＭＰａの圧力によって15〜30分間加圧することによって、接着シート718，上側電極材16お
よび下側電極材17を構成する樹脂を硬化させることによって、圧電部材５を上側および下側電極材16，17に固定するとともに、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の全面と第２ケース15の凹部９の開口の周囲の全面とを接着する。
【００７７】
（第２実施形態）
以下に、図６を用いて、第２実施形態を説明する。なお、第１実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略し、異なる部分のみ説明する。異なる部分は、第１電極23，第１下側電極材19である。
【００７８】
第１電極23は、圧電基板２の上面において中央部に設けられた振動電極部23ａ、圧電基板２の一方の端部６において上面から端面を経て下面に延出されている接続電極部23ｃ、圧電基板２の上面において接続電極部23ｃの一方と振動電極部23ａの一方とを接続する引き出し電極部23ｂから成る。
【００７９】
振動電極部23ａ，引き出し電極部23ｂ，接続電極部23ｃの寸法は、圧電基板２の寸法によって適宜設定される。例えば、圧電基板２の寸法が、長さが２ｍｍ、幅が0.5ｍｍ、厚
みが0.2ｍｍである場合であれば以下のような寸法とすればよい。振動電極部23ａの寸法
は、圧電基板２の長さ方向の寸法が１ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍ
であり、厚みが１μｍである。引き出し電極部23ｂの寸法は、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.3ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍである。接続電極部23ｃの寸法は、上面の部分は、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.2ｍｍであり
、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍである。また、下面の部分
は、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.2ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、厚みが１μｍである。また、圧電基板２の端面の部分は、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍであり、圧電基板２の厚み方向の寸法が0.2ｍｍであり、厚みが１μｍである。
【００８０】
また、第１電極23および第２電極４が配置された圧電基板２を、圧電部材25という。
【００８１】
さらに、図７に示すように、第２電極４は、圧電基板２の他方の端部７側が圧電基板２の下面から端面を経て上面に延出されていることが好ましい。この場合には、図６に示す実施形態と比較して、圧電部材25の上面および下面同士において第１電極23および第２電極４の位置関係は互いに同じになる。よって、圧電部材25を第１ケース14または第２ケース15に配置する際に、圧電部材25の上下方向の向きを気にする必要がなくなり、製造効率が向上するため好ましい。
【００８２】
さらに、図８に示すように第１電極23および第２電極４の一部は、圧電基板２の内部に設けられていてもよい。このような構成とすることによって、図７に示した実施形態と比較して、例えば、圧電電子部品21を加速度センサまたは圧電発電部品として用いる際の電
荷の出力を大きくすることができる。
【００８３】
第１下側電極材19は、第２ケース15の一方のくぼみ11の内面に、圧電部材25の一方の端部６の下面に当接している面から圧電部材25の一方の端部６の端面の下側に対向している面および第２ケース15の凹部９の開口の周囲の面の一部にかけて、第２ケース15の外表面に延出するように設けられている。
【００８４】
第２下側電極材20は、第１実施形態で使用されたものと同様である。
【００８５】
このような第１および第２下側電極材19，20の構成によれば、圧電電子部品21を製造する際に、第２ケース15に第１および第２下側電極材19，20を設け、第２ケース15の凹部９の開口の周囲に接着材18を設けておけば、第１ケース14には何らの加工をすることなく、第１ケース14の凹部８の開口の周囲を、第２ケース15の凹部９の開口の周囲に接着するだけで圧電電子部品21を製造することができる。従って、圧電電子部品21を製造する際の生産性の向上を図ることができる。
【００８６】
なお、第２下側電極材20は、圧電部材25の他方の端部７の端面の下側に対して対向していれば、当接していてもしていなくてもよいが、特に、両者が当接している場合であって、さらに第２電極４が、図７および図８に示す構成となっている場合には、第２下側電極材20のうち、圧電部材25の他方の端部７の下面に当接している面に設けられた部分だけでなく、第２下側電極材20のうちの圧電部材25の他方の端部７の端面の下側に当接している面に設けられた部分も、第２電極４に当接することとなる。従って、第２下側電極材20と圧電部材25の第２電極４との電気的な接続を、図１に示した実施形態より確実なものとすることができる。
【００８７】
（第３実施形態）
以下に、図９を用いて、第３実施形態を説明する。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略し、異なる部分のみ説明する。異なる部分は、第１ケース14，下側電極材17，上側電極材16，接着材818である。
【００８８】
第１ケース14は、圧電部材５の上面に対向する凹部８を有しており、凹部８の開口の周囲の面のうち圧電部材５の一方の端部６側の一部で圧電部材５の一方の端部６を支持しており、凹部８の開口の周囲の面のうち圧電部材５の他方の端部７側の一部で圧電部材５の他方の端部７を支持している。
【００８９】
第１ケース14の全体の寸法は、例えば、長さが0.7〜20ｍｍであり、幅が0.5〜15ｍｍであり、厚みが0.1ｍｍ〜２ｍｍであるものとする。また、第１および第２ケース14，15の
凹部の寸法は、例えば、長さが0.4〜18ｍｍであり、幅が0.3〜13ｍｍであり、深さが50μｍ〜1.5ｍｍである。
【００９０】
なお、他方のくぼみ13の圧電基板２の厚み方向の寸法は、圧電基板２の厚み，第２ケース15の厚み，凹部９の深さによって適宜設定される。
【００９１】
例えば、圧電基板２の厚みが0.2ｍｍであり、第２ケース15の厚みが0.45ｍｍであり、
第２ケース15の凹部９の深さが0.35ｍｍである場合には、他方のくぼみ13の圧電基板２の厚み方向の寸法は、0.2ｍｍである。
【００９２】
下側電極材17の圧電基板２の厚み方向の寸法は、圧電基板２の厚みによって適宜設定される。
【００９３】
例えば、圧電基板２の厚みが0.2ｍｍである場合、下側電極材17の圧電基板２の厚み方
向の寸法は0.2ｍｍである。
【００９４】
上側電極材16は、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面のうち圧電部材５の一方の端部６側の一部に、圧電部材５の第１電極３に当接し、第１ケース14の外表面に延出するように設けられている。
【００９５】
上側電極材16の材料は、下側電極材17と同様のものとする。また、上側電極材16の寸法は、例えば、圧電基板２の長さ方向の寸法が0.35ｍｍであり、圧電基板２の幅方向の寸法が0.5ｍｍである。また、上側電極材16の厚みは５〜50μｍである。
【００９６】
また、図10（ａ）〜（ｅ）を用いて、圧電部材５の他方の端部７における接着材818の
配置を以下に説明する。
【００９７】
図10（ａ）に示す例においては、接着材18は、上側電極材16を第１および第２ケース14，15で挟むように設けられている。
【００９８】
なお、接着材918は、図10（ｂ）に示すように、第２ケース15の他方のくぼみ13の内面
にまで延在し、下側電極材17と第２ケース15とを接着していてもよい。
【００９９】
図10（ｃ）に示す例においては、接着材1018は、下側電極材17のうち第２ケース15の凹部９の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第２ケース15との間に介在し、両者を接着している。
【０１００】
なお、接着材1118は、図10（ｄ）に示すように、第２ケース15の他方のくぼみ13の内面にまで延在し、第２ケース15と下側電極材17とを接着していてもよい。
【０１０１】
図10（ｅ）に示す例においては、接着材1218は、下側電極材17のうち第２ケース15の凹部９の開口の周囲の面の一部に存在している部分と第１ケース14との間に介在し、両者を接着している。
【０１０２】
また、図11（ａ）〜（ｅ）を用いて、圧電部材５の一方の端部６における接着材818の
配置を以下に説明する。
【０１０３】
図11（ａ）に示す例においては、接着材818は、第１および第２ケース14，15で挟むよ
うに設けられている。
【０１０４】
なお、図11（ｂ）に示すように、接着材1318は、第２ケース15の一方のくぼみ11の内面にまで延在し、圧電部材５の一方の端部６と第２ケース15とを接着していてもよい。
【０１０５】
図11（ｃ）に示す例においては、接着材1418は、上側電極材16のうち第１および第２ケース14，15の外表面側の部分と第２ケース15との間に介在し、両者を接着している。
【０１０６】
なお、図11（ｄ）に示すように、接着材1518は、第２ケース15の一方のくぼみ11の内面にまで延在し、第２ケース15と圧電部材５の一方の端部６とを接着していてもよい。
【０１０７】
図11（ｅ）に示す例においては、接着材1618は、上側電極材16と第１ケース14との間に介在し、両者を接着している。
【０１０８】
また、接着材1118は、図４に示す例のように、第２ケース15の凹部９の開口の周囲の全
面と、一方および他方のくぼみ11，13の内面と、凹部９の内面との全体にわたって、接着シート718が被着されていてもよい。
【０１０９】
（第４実施形態）
図12を用いて、第４実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１１０】
第４実施形態の圧電電子部品41は、圧電部材25が両端でケース部材14，15に挟持されている。また、第２ケース15に、一方および他方のくぼみ11，13が形成されている。また、この一方および他方のくぼみ11，13に、第１および第２下側電極材19，20が配置されている。また、第１電極23は、振動電極部23ａ，接続電極部23ｃ，接続電極部23ｃからなる。また、第１ケース14には、凹部８が設けられており、くぼみは設けられていない。
【０１１１】
（第５実施形態）
以下に、図13を用いて、第５実施形態を説明する。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。なお、前述した第１電極３および第２電極34が配置された圧電基板２を、圧電部材35という。
【０１１２】
他の実施形態と異なる部分は、圧電部材35の両端の電極材が、ともに上側の電極材である構成にある。
【０１１３】
このような構成によれば、第１上側電極材25および第２上側電極材26が配置される面は、第１ケース14の凹部８の開口の周囲の面であり、この面は平面である。従って、第１上側電極材25および第２上側電極材26を、例えばくぼみ等の複雑な形状の部位に形成する必要がなくなるので、圧電電子部品51の製造が容易になり、生産性の向上を図ることができる。
【０１１４】
（第６実施形態）
以下に、図14を用いて、第６実施形態を説明する。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略し、異なる部分のみ説明する。異なる部分は、第１ケース14，接着材1718である。
【０１１５】
第１ケース14は、下面のうち圧電部材５の一方の端部６側の一部で圧電部材５の一方の端部６を支持しており、下面のうち圧電部材５の他方の端部７側の一部で圧電部材５の他方の端部７を支持しており、長方形状である。
【０１１６】
第１ケース14の全体の寸法は、例えば、長さが0.7〜20ｍｍであり、幅が0.5〜15ｍｍであり、厚みが0.1ｍｍ〜２ｍｍである。
【０１１７】
また、図15（ａ）〜（ｅ）を用いて、圧電部材５の他方の端部７における接着材1718の配置を以下に説明する。
【０１１８】
図15（ａ），（ｂ）および（ｅ）に示す接着材1718，1818，2118は、図10（ａ），（ｂ）および（ｅ）に示す接着材818，918，1218とは異なり、凹部８の開口の周囲の面でなく、第１ケース14の下面の周縁部に配置されている。
【０１１９】
図15（ｃ）および（ｄ）に示す接着材1918，2018は、図10（ｃ）および（ｄ）に示す接着材1018，1118と同様である。
【０１２０】
また、図16（ａ）〜（ｅ）を用いて、圧電部材５の一方の端部６における接着材1718の
配置を以下に説明する。
【０１２１】
図16（ａ），（ｂ）および（ｅ）に示す接着材1718，2218，2518は、図11（ａ），（ｂ）および（ｅ）に示す接着材818，1318，1618とは異なり、凹部８の開口の周囲の面でな
く、第１ケース14の下面の周縁部に配置されている。
【０１２２】
図16（ｃ）および（ｄ）に示す接着材2318，2418は、図11（ｃ）および（ｄ）に示す接着材1418，1518と同様である。
【０１２３】
（第７実施形態）
図17を用いて、第７実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１２４】
第７実施形態の圧電電子部品71は、圧電部材25が両端でケース部材14，15に挟持されている。また、第２ケース15に、一方および他方のくぼみ11，13が形成されている。また、この一方および他方のくぼみ11，13に、第１および第２下側電極材19，20が配置されている。また、第１電極23は、振動電極部23ａ，接続電極部23ｃ，接続電極部23ｃからなる。また、第１ケース14には、凹部もくぼみも設けられていない。
【０１２５】
（第８実施形態）
図18を用いて、第８実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１２６】
第８実施形態の圧電電子部品81は、圧電部材35が両端でケース部材14，15に挟持されている。また、第２ケース15に、一方および他方のくぼみ11，13が形成されている。また、第１および第２上側電極材25，26が、第１および第２ケース14，15間に配置されている。また、第２電極34は、振動電極部34ａ，接続電極部34ｃ，接続電極部34ｃからなる。また、第１ケース14には、凹部もくぼみも設けられていない。
【０１２７】
なお、第１〜第８実施形態の圧電電子部品において、第１ケース14および第２ケース15が同一の材料であることが好ましい。
【０１２８】
このような構成とすることにより、例えば、圧電部材とケース部材が接着されている場合と比較して、第１および第２ケース14，15の熱膨張率を近似させやすい。従って、熱膨張によって、第１および第２ケース14，15の境界で剥離することを抑制することができる。結果、封止性の高い圧電電子部品を提供することができる。
【０１２９】
なお、材料の種類が同一であるとは、例えば、第１および第２ケース14，15が樹脂材料からなり、同じエポキシ系樹脂からなることであり、また、同じ種類のセラミック材料からなること等を意味している。
【０１３０】
また、第１〜第８実施形態の圧電電子部品において、ケース部材14，15は、ケース部材14，15の外周に沿って第１ケース14と第２ケース15とを接合する接合部を有している。
【０１３１】
さらに、この接合部は、圧電部材５，25，35の主面と異なる高さに位置していることが好ましい。この構成の例は、第１および第２実施形態，図19に示す構成である。
【０１３２】
このような構成とすることにより、第１および第２ケースケース14，15同士の接合部と、第１および第２ケースケース14，15と圧電部材５，25，35の主面との接合部との間に、これらの接合部と直交する方向の接合部が含まれることとなる。よって、両接合部で亀裂
が生じたとしても、直交する方向の接合部で、亀裂の伸展を抑制することができる。
【０１３３】
さらに、接着材および上側電極材16を図３（ｂ），図３（ｆ）に示すような配置とすることが好ましい。この場合には、圧電部材５とケース部材14，15とを広い接着面積で接着させることができるので、亀裂の伸展をさらに抑制することができる。
【０１３４】
また、第１および第２実施形態の圧電電子部品において、第１および第２ケース14，15同士の接合部は、圧電部材５，25，35の側方に位置することが好ましい。この構成の例は、第１および第２実施形態である。
【０１３５】
このような構成とすることにより、この接合部が圧電部材５，25，35の上部または下部に位置する場合と比較して、同様の形状の第１および第２ケース14，15とすることができるので、製造の効率を向上させることができる。
【０１３６】
なお、本発明は上述した実施の形態の例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲において種々の変更，改良等が可能である。
【０１３７】
例えば、図１，図９および図14に示す圧電電子部品１，31，61は、第１ケース14および第２ケース15によって、圧電部材５が両端を挟持されているが、図20〜図22に示すように、圧電部材５は第１ケース14および第２ケース15によって、片端が挟持されていてもよい。
【０１３８】
なお、図20に示す第１ケース14および第２ケース15は、図１に示す第１ケース14および第２ケース15とは異なり、他方のくぼみ12，13が存在せず、圧電部材５の他方の端部７を挟持していない。
【０１３９】
なお、図21に示す第２ケース15は、図９に示す第２ケース15とは異なり、他方のくぼみ13が存在せず、圧電部材５の他方の端部７を挟持していない。
【０１４０】
なお、図22に示す第２ケース15は、図14に示す第２ケース15とは異なり、他方のくぼみ13が存在せず、圧電部材５の他方の端部７を挟持していない。
【０１４１】
なお、圧電部材５の両端が挟持されている圧電電子部品において、圧電部材５の振動領域は、圧電部材５の中央部分であるが、圧電部材５の片端が挟持されている圧電電子部品において、圧電部材５の振動領域は、圧電部材５のうち挟持されてない部分であることはいうまでもない。
【０１４２】
（第９実施形態）
図23を用いて、第９実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。図23に示す圧電電子部品121の形態のうち、図９に示すもの
と異なる部分は、圧電部材５の第１および第２電極３，４が両方とも圧電基板２の一方の端部６から他方の端部７側に延在している点である。また、他の異なる部分は、圧電部材５の一方の端部６が第１ケース14および第２ケース15に挟持されている点である。また、他の異なる部分は、第１電極３と接続されている電極材（第１電極材）16が、圧電部材５の自由端側からケース部材の外部に引き出されており、第２電極４と接続されている電極材（第２電極材）17が、圧電部材５の固定端側からケース部材の外部に引き出されていることである。
【０１４３】
なお、図23（ｂ）に示すように、第２電極材17は、第１電極３及び第１電極材16と接触しないように、圧電部材５の幅方向の一方側に寄せて設けられている。また、図23（ｂ）
に示すように、第１電極３は、第２電極材17と接触しないように、一部に切り欠きが設けられている。また、図23（ｃ）に示すように、第１電極材16は第２電極材17と接触しないように、圧電部材５の幅方向の他方側に寄せて設けられている。
【０１４４】
（第10実施形態）
図24を用いて、第10実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１４５】
図24に示す圧電電子部品131の形態のうち、図９に示すものと異なる部分について以下
に説明する。圧電部材５の一方の端部６は、第１ケース14および第２ケース15に挟持されている。また、第２電極４の一部が、圧電基板２の一方の端部６側の端面を介して上面に延在している。なお、第２電極４の端面の部分および延在部は、第１電極３と接触しないように、圧電部材５の幅方向の一方側に寄せて設けられている。また、第２電極材17は平面形状であるとともに、一端が第２電極４の延在部と接続され、他端が一方の端部６側から外部に延出されている。また、図24（ｂ）に示すように、この第２電極４の延在部が第１電極３と接触しないように、第１電極３は一部に切り欠きを有する形状としている。また、図24（ｃ）に示すように、第１電極材16および第２電極材17は、互いに接触しないよう離間して、双方とも上側ケース14に設けられている。従って、下側ケース15には電極材を設ける必要がないため、下側ケース15の一方のくぼみ11内に接着材を塗布しておけば、圧電部材５とくぼみ11内の接着材との接触面積を大きくすることができるので、圧電部材５の下側ケース15への接着力が大きくなるので好ましい。
【０１４６】
（第11実施形態）
図25を用いて、第11実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１４７】
図25に示す圧電電子部品141は、図14に示すものと異なる部分について以下に説明する
。圧電部材５の一方の端部６は、第１ケース14および第２ケース15に挟持されている。また、第１電極３、第２電極４および第２電極材17の構成は他の実施形態と同じであるが、第１電極材16の構成は他の実施形態と異なる。第１電極材16は、圧電部材５の一方の端部６側でのみ厚みが大きくなっている。これは、第１電極材16の厚み分だけ、上側ケース14との間に、圧電部材５の振動領域を確保するためである。
【０１４８】
（第12実施形態）
図26を用いて、第12実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１４９】
図26に示す圧電電子部品151における、図１の形態と異なる点は、ケース部材14，15に
挟持されている圧電部材35の構成である。本実施形態の圧電部材35は、シム29の少なくとも一方の主面に圧電素子31が設けられてなるものをいう。また、シム29の両端部は第１および第２ケース14，15によって挟持されている。
【０１５０】
また、本実施形態のうち、図１の形態と異なる部分は、圧電部材から外部へ電気的接続を取り出す構成である。図26に示す圧電部材35は、各圧電素子31の第１電極３の端部が圧電基板２の端面を介してシム29の一方側の端部６まで延在している。また、第１電極材16が、第１電極３の端部と接続されているとともに、一方のくぼみ10，11からケース部材14，15の外部にかけて設けられている。同様に、各圧電素子31の第２電極４の端部もシム29の他方側の端部７まで延在している。また、第２電極材17が、第２電極４の端部と接続されているとともに、他方のくぼみ12，13からケース部材14，15の外部にかけて設けられている。
【０１５１】
このような構成により、圧電部材35とケース部材14，15との境界部は、ケース部材14，15に覆われることとなるので、圧電部材35の振動部の周囲に設けられる空間の封止性を向上させることができる。
【０１５２】
また、圧電部材35は、ケース部材14，15で直接挟持されないので、強い衝撃が加わった場合でも、ケース部材14，15の挟持部での圧電基板２の割れを防止することができる。従って、信頼性の高い圧電電子部品151を提供することができる。
【０１５３】
また、このように圧電基板２の割れを防止できる効果が向上すれば、圧電部材35を薄くできる。従って、外部からの衝撃に対する圧電部材35の変位量を大きくできる。よって、例えば、圧電電子部品151を加速度センサとして用いた場合、加速度の検出感度を高くす
ることが可能となる。また、圧電電子部品151を圧電発電部品として用いた場合、発電量
を大きくすることが可能となる。
【０１５４】
なお、圧電電子部品151のケース部材14，15は、図９および図14に示すケース部材14，15であってもよい。
【０１５５】
また、シム29は、可撓性を有する板状部材である。また、シム29の材料は、樹脂、繊維強化プラスチックス等の複合材料、SUS等の金属が使用される。なお、図26〜28に示すシ
ム29の材料は、第１電極材16および第２電極材17の電気的短絡を防ぐため、絶縁性材料を使用する。また、例えば、圧電電子部品151を圧電発電部品として用いる場合には、シム29の密度、弾性率、熱膨張係数等を適切に選択することによって、発電量を設定すること
ができる。シム29の厚みは例えば、50μｍ〜0.5ｍｍである。
【０１５６】
（第13実施形態）
図27を用いて、第13実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１５７】
図27に示す圧電電子部品161における、図１の形態と異なる点は、ケース部材14，15に
挟持されている圧電部材45の構成である。本実施形態の圧電部材45は、シム29の少なくとも一方の主面に圧電素子31が設けられてなるものをいう。また、シム29の一端部は第１および第２ケース14，15によって挟持されている。
【０１５８】
なお、第１電極３において、圧電基板２の端面からシム29の端部まで延在している部分は、第２電極４と接触しないように圧電素子31の幅方向の一方側に寄せて設けている。
【０１５９】
また、第２電極４は、第１電極３と接触しないように一部に切り欠きを有するとともに、第１電極３の端部が延在しているのと同一の端部６まで引き出されている。
【０１６０】
また、第１電極材16および第２電極材17は、圧電部材45の幅方向の一方及び他方にそれぞれ分けて設けられており、それぞれ第１電極３および第２電極４の端部に接続され、ケース部材14，15の外部に引き出されている。
【０１６１】
なお、圧電電子部品161のケース部材14，15は、図21および図22に示すケース部材14，15であってもよい。
【０１６２】
（第14実施形態）
図28を用いて、第14実施形態を示す。なお、他の実施形態と同じ部分は同一の符号を付し、且つ、説明を省略する。
【０１６３】
図28に示す圧電電子部品171における、圧電部材55の基本的な構成は、他の実施形態と
同じであるが、他の実施形態と異なる点は、圧電素子31の構成である。圧電素子31は、第１電極３および第２電極４が圧電基板２の内部にも設けられている点である。この構成によって、圧電素子31において複数の第１電極３、第２電極４が交互に積層されている構成となる。従って、圧電電子部品171を加速度センサとして用いた場合に、取り出せる電荷
の量が大きくなるので好ましい。
【０１６４】
また、図28（ｂ）に示すように、圧電基板２の内部に設けられた第１電極３は、第２電極４と接触しないように切り欠きを有する形状である。また、複数の第１電極３は、端部６側の端面に設けられた電極によって互いに接続されている。また、複数の第１電極３は、第１電極材16によって互いに電気的に接続されていてもよい。以上の構成は、第２電極４においても同様とする。
【０１６５】
なお、圧電電子部品171のケース部材14，15は、図21および図22に示すケース部材14，15であってもよい。
【０１６６】
なお、本発明は上述した実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更，改良等が可能である。
【０１６７】
例えば、圧電電子部品１〜171を加速度センサとして用いる場合には、圧電部材５，25
，35，45，55は、水平方向に対して傾斜するように、例えば25°〜90°傾斜するようにして固定することもできる。これによって、垂直方向のみならず横方向の加速度も検知することが可能となる。
【符号の説明】
【０１６８】
１，21，31，41，51，61，71，81，91，101，111：圧電電子部品
２：圧電基板
３，23：第１電極
23ａ：振動電極部
23ｂ：引き出し電極部
23ｃ：接続電極部
４：第２電極
５，25，35，45，55：圧電部材
６：一方の端部
７：他方の端部
８，９：凹部
10，11：一方のくぼみ
12，13：他方のくぼみ
14：第１ケース
15：第２ケース
16：上側電極材（第１電極材）
17：下側電極材（第２電極材）
18，218〜618，818〜2518：接着材
718：接着材（接着シート）
19：第１下側電極材
20：第２下側電極材
21：押圧部材
25：第１上側電極材
26：第２上側電極材
29：シム
30：接着材
31：圧電素子
【図１】
0005709415.tif 000002
【図２】
0005709415.tif 000003
【図３】
0005709415.tif 000004
【図４】
0005709415.tif 000005
【図５】
0005709415.tif 000006
【図６】
0005709415.tif 000007
【図７】
0005709415.tif 000008
【図８】
0005709415.tif 000009
【図９】
0005709415.tif 000010
【図１０】
0005709415.tif 000011
【図１１】
0005709415.tif 000012
【図１２】
0005709415.tif 000013
【図１３】
0005709415.tif 000014
【図１４】
0005709415.tif 000015
【図１５】
0005709415.tif 000016
【図１６】
0005709415.tif 000017
【図１７】
0005709415.tif 000018
【図１８】
0005709415.tif 000019
【図１９】
0005709415.tif 000020
【図２０】
0005709415.tif 000021
【図２１】
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【図２２】
0005709415.tif 000023
【図２３】
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【図２４】
0005709415.tif 000025
【図２５】
0005709415.tif 000026
【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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