(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラス梁で上階を支持するクリーンルームに用いられる空調システムであって、
前記トラス梁内に設けられて室内の空気を吸い込んで冷却する空気冷却装置と、
前記トラス梁内に設けられて前記空気冷却装置で冷却された空気が流れる送風路と、
当該送風路の近傍に設けられて、前記送風路を流れる空気を浄化して室内に吹き出す空気清浄化装置と、
前記送風路の近傍に設けられて室内を照明する照明装置と、を備え、
前記トラス梁には、略平行な複数本の設備レールが設けられ、
前記空気清浄化装置は、当該設備レール上に当該設備レールに沿って移動可能に配置され、
前記照明装置は、当該設備レールから吊り下げ支持され、
前記送風路は、上面が室内に開放されるとともに、側面および下面には、風を通さない板状の閉鎖パネルおよび風を通す板状の開放パネルが着脱可能に取り付けられ、前記空気冷却装置および前記空気浄化装置のメンテナンス用の通路を兼用することを特徴とする空調システム。
【請求項２】
前記空気冷却装置は、上部の吸込口から吸い込んで下部の吹出口から吹き出す構造であり、
前記送風路は、前記空気冷却装置の吹出口と略同じ高さであり、
前記空気清浄化装置は、前記送風路よりも下方に位置することを特徴とする請求項１に記載の空調システム。
【請求項３】
前記送風路に沿って設備配管が設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の空調システム。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかの空調システムを備えることを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調システムおよびクリーンルームに関する。詳しくは、トラス梁で上階を支持するクリーンルーム、および、このクリーンルームに用いられる空調システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、工業製品や医薬品に塵埃が混入するのを防ぐため、空気中の塵埃を大幅に低減したクリーンルームが設けられる。具体的には、クリーンルームの内部に製品の製造装置を配置して、塵埃の少ない環境で製造装置を稼働させる。
【０００３】
例えば、このクリーンルームは、二重床、二重壁、二重天井となっており、床面にはスリットが形成され、天井面には全面に亘って空気清浄装置が設けられている。各空気清浄装置は、天井裏空間の空気を吸い込んで清浄化し、下方に吹き出す。この吹き出した空気は、クリーンルーム内を通って、スリットから二重床の床下空間に流入し、二重壁の内部を通って、再び天井裏空間に至る。
このクリーンルームによれば、室内全体を高い清浄度に維持することができる。
【０００４】
ところで、以上のようなクリーンルームでは、クリーンルーム全体に亘って高い空気の清浄度を維持するため、天井面に多くの空気清浄装置を設置する必要があり、空気清浄装置の設置費用や運転費用が高くなる。
また、二重天井、二重壁、二重床を構築するので、クリーンルーム以外の空間が必要となり、施工コストも高くなる、という問題があった。
【０００５】
以上の問題を解決するため、局所クリーン化方式のクリーンルームが提案されている（特許文献１参照）。局所クリーン化方式とは、クリーンルーム全体の空気清浄度をある程度のレベルに抑えておき、製造装置が設置される一部の空間についてのみ高い空気清浄度とするものである。
【０００６】
具体的には、クリーンルームを二重床、二重壁、二重天井とせず、天井付近には、室内の空気を吸い込んで冷房負荷を処理して室内に吹き出す熱交換装置と、この熱交換装置の吹き出した空気を吸い込んで清浄化処理して室内の局所に向けて吹き出す空気清浄装置と、が設けられる。
ここで、熱交換装置は、下面の吸込口から空気を吸い込んで、側面の吹出口から吹き出す構造である。空気清浄装置は、上面の吸込口から空気を吸い込んで、下面の吹出口から吹き出す構造である。そのため、空気清浄装置は、熱交換装置下方に配置されている。
【０００７】
この特許文献１に示されたクリーンルームによれば、熱交換装置により冷房負荷を処理した空気が側方に吹き出されると、この空気は、空気清浄装置に吸い込まれて清浄化処理がなされ、下方に吹き出される。この吹き出された空気は、室内を循環して、その後再び上昇し、熱交換装置に回収される。よって、二重床、二重壁、二重天井を設けないので、室内空間を有効利用でき、さらに、クリーンルームの施工コストを低減できる。
【０００８】
また、熱交換装置および空気清浄装置を、局所的に空気清浄度を高めたい空間の天井面付近に配置することにより、局所クリーン化を実現でき、空気清浄装置の設置費用や運転費用を低減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−２１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、近年、クリーンルームに収容される製造装置が大型化しており、天井高を高くすることが要請されている。また、製造装置のレイアウト変更に対応するため、クリーンルーム内の柱を極力無くして、大スパン化することも要請されている。
クリーンルームを大スパン化する場合には、施工コストを考慮すると、クリーンルームの上階あるいは屋根の支持構造としてトラス梁を採用することが必要となる。
【００１１】
このようなトラス梁を採用した大スパンのクリーンルームに対して、特許文献１の空調システムを適用すると、以下のような問題がある。
すなわち、空気清浄装置を製造装置の直上に配置する必要があるが、特許文献１に記載の空調システムでは、熱交換装置と空気清浄装置とを一組として配置する必要があるため、空気清浄装置の配置に制約があり、空気清浄装置をフレキシブルにレイアウトできない。よって、製造装置をクリーンルーム内の任意の位置に設置することができないうえに、製造装置のレイアウト変更に容易に対応できない、という問題がある。
【００１２】
本発明は、製造装置をクリーンルーム内の任意の位置に設置することができ、かつ、製造装置のレイアウト変更に容易に対応できる空調システムおよびクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に記載の空調システムは、トラス梁で上階を支持するクリーンルームに用いられる空調システムであって、前記トラス梁内に設けられて室内の空気を吸い込んで冷却する空気冷却装置と、前記トラス梁内に設けられて前記空気冷却装置で冷却された空気が流れる送風路と、当該送風路の近傍に設けられて前記送風路を流れる空気を清浄化して室内に吹き出す空気清浄化装置と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、上階をトラス梁で支持する構造としたので、クリーンルームを大スパン化することができる。また、従来のように天井面や天井裏空間を設けないので、天井材が不要となり、施工コストを削減できる。
【００１５】
また、トラス梁内に空気冷却装置および送風路を設け、この送風路の近傍に空気清浄化装置を設けたので、トラス梁の下端が有効天井高さとなるから、有効天井高さを大きく確保したり、階高を低く設定したりすることができる。また、空気清浄化装置は、送風路の近傍の範囲であれば任意の位置に配置できるため、空気清浄化装置のレイアウトがフレキシブルとなる。よって、製造装置をクリーンルーム内の任意の位置に設置することができ、かつ、製造装置のレイアウト変更に容易に対応できる。
【００１６】
請求項１に記載の空調システムは、前記送風路は、メンテナンス用の通路を兼用することを特徴とする。
【００１７】
天井高を高くすると、空気冷却装置や空気清浄化装置など天井付近に設置した機器を床面からメンテナンスするのが困難である。
そこで、この発明によれば、送風路をメンテナンス用の通路と兼用したので、天井高を高くしても、作業員が送風路を通って容易に空気冷却装置や空気清浄化装置などの機器にアクセスできるから、容易に機器をメンテナンスできる。
【００１８】
請求項１に記載の空調システムは、前記送風路は、前記トラス梁に支持されるフレームと、当該フレームに着脱可能に取り付けられた板状のパネルと、を備えることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、送風路を、トラス梁に支持されるフレームと、このフレームに着脱可能に取り付けられた板状のパネルと、を含んで構成した。
よって、風を通さない閉鎖パネルと風を通す開放パネルとを用意し、閉鎖パネルを用いて冷気の流路を形成するとともに、冷気が流入あるいは流出する部分には、開放パネルを用いて、送風路から空気清浄化装置に冷気が流れるようにする。ここで、開放パネルとは、例えば、エキスパンドメタル製のパネルや、パンチングメタル製のパネルが挙げられる。
また、閉鎖パネルおよび開放パネルを適宜交換することで、空気清浄化装置のレイアウト変更に応じて、冷気の流れを容易に変更できる。
【００２０】
請求項２に記載の空調システムは、前記空気冷却装置は、上部の吸込口から吸い込んで下部の吹出口から吹き出す構造であり、前記送風路は、前記空気冷却装置の吹出口と略同じ高さであり、前記空気清浄化装置は、前記送風路よりも下方に位置することを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、空気冷却装置を上部の吸込口から吸い込んで下部の吹出口から吹き出す構造とし、送風路を空気冷却装置の吹出口と略同じ高さとし、空気清浄化装置を送風路よりも下方に配置した。
よって、製造装置の発熱による暖かい空気は、自然に上昇して送風路の上方の空間に溜まる。この溜まった空気は、空気冷却装置の上部の吸込口から吸い込まれて冷却され、下部の吹出口から吹き出す。この吹き出した冷気は、送風路を通り、この送風路よりも下方に位置する空気清浄化装置に至る。空気清浄化装置は、この冷気を清浄化して室内に吹き出す。
このように送風路の上方の空間を室内熱負荷の熱溜り層として利用して、温度成層にできるだけ逆らわずに空気を移動させるので、省エネルギー化を実現できる。
【００２２】
請求項１に記載の空調システムは、前記送風路の近傍に設けられて室内を照明する照明装置をさらに備えることを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、送風路の近傍に照明装置を設けたので、天井高を高くしても、作業員が送風路を通って容易に照明装置にアクセスできるから、照明装置のメンテナンスが容易になる。
【００２４】
請求項１に記載の空調システムは、前記トラス梁に支持される略平行な複数本の設備レールを備え、前記空気清浄化装置は、当該設備レール上に当該設備レールに沿って移動可能に配置され、前記照明装置は、当該設備レールから吊り下げ支持されることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、トラス梁に支持される設備レールを設け、空気清浄化装置を設備レール上にこの設備レールに沿って移動可能に配置し、照明装置を設備レールから吊り下げ支持した。
よって、空調システムを建築構造と一体化することができ、従来のような吊りボルトやぶどう棚などが不要となるので、資材を削減できるうえに、耐震性を向上できる。
また、空気清浄化装置を設備レールに沿ってスライドさせて任意の位置に配置できるので、空気清浄化装置のレイアウト変更が容易となる。
【００２６】
請求項３に記載の空調システムは、前記送風路に沿って設備配管が設けられることを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、送風路に沿って設備配管を設けたので、天井高を高くしても、作業員が送風路を通って容易に設備配管にアクセスできるから、設備配管のメンテナンスが容易になる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、上階をトラス梁で支持する構造としたので、クリーンルームを大スパン化することができる。また、従来のように天井面や天井裏空間を設けないので、天井材が不要となり、施工コストを削減できる。また、トラス梁内に空気冷却装置および送風路を設け、この送風路の近傍に空気清浄化装置を設けたので、トラス梁の下端が有効天井高さとなるから、有効天井高さを大きく確保したり、階高を低く設定したりすることができる。また、空気清浄化装置は、送風路の近傍の範囲であれば任意の位置に配置できるため、空気清浄化装置のレイアウトがフレキシブルとなる。よって、製造装置をクリーンルーム内の任意の位置に設置することができ、かつ、製造装置のレイアウト変更に容易に対応できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態に係る空調システムが適用されたクリーンルームの概略構造を示す断面図である。
【図２】前記実施形態に係る空調システムの平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る空調システム１０が適用されたクリーンルーム１の概略構造を示す断面図である。
クリーンルーム１は、床２、壁３Ａ、３Ｂ、上階としての屋根４で囲まれた空間であり、天井高が高く、大スパンの大空間である。
【００３１】
ここで、図１中左側の壁を壁３Ａ、図１中右側の壁を壁３Ｂとする。壁３Ａ、３Ｂには、それぞれ、複数本の柱５Ａ、５Ｂが設けられており、隣り合う柱５Ａ同士あるいは柱５Ｂ同士の間には、壁３Ａ、３Ｂに沿って延びる主トラス梁６Ａ、６Ｂが架設されている（図２参照）。
この主トラス梁６Ａと主トラス梁６Ｂとの間には、図１中左右方向に延びるトラス梁２０が架設されており、屋根４は、このトラス梁２０により支持されている。
このクリーンルーム１には、天井材が設けられておらず、屋根４の下面がクリーンルーム１の天井面となっている。
【００３２】
空調システム１０は、トラス梁２０内に設けられた空気冷却装置１１と、トラス梁２０内に設けられた送風路としてのコールドアイル１２と、このコールドアイル１２の近傍に設けられた空気清浄化装置１３、送風装置１４、および照明装置１５（図２参照）と、を備える。
【００３３】
空気冷却装置１１は、壁３Ａ、３Ｂに沿って設けられ、空気を吸い込んで冷却し、この冷却した空気を吹き出すものである。
コールドアイル１２は、トラス梁２０に沿って延びており、空気冷却装置１１で冷却された空気（冷気）が流れる。
空気清浄化装置１３は、コールドアイル１２を流れる空気を清浄化して室内下方に吹き出すものである。
送風装置１４は、室内下方の空気を室内上方に送るものである。
【００３４】
これら空気冷却装置１１、コールドアイル１２、空気清浄化装置１３、および送風装置１４により、クリーンルーム１の室内で空気が上下に循環する循環路Ａ、Ｂを形成する。
【００３５】
クリーンルーム１の室内には、２台の大型の製造装置７、８が設置されている。
このうち、製造装置７は、高い空気清浄度が必要とされる装置であるため、循環路Ａにより、この製造装置７に高清浄度の空気を供給する。つまり、循環路Ａは、空気の清浄化を主として行う。
また、製造装置８は、発熱量が大きいため、循環路Ｂにより、この製造装置８の排熱を含む高温の空気を空調する。つまり、循環路Ｂは、空気の清浄化に加えて、製造装置８の周囲の室温の調節も行う。
【００３６】
循環路Ａは、以下のようにして形成される。
すなわち、製造装置７の直上には、空気清浄化装置１３が設置され、この空気清浄化装置１３の図１中左右両側には、送風装置１４が設置されている。
送風装置１４の両端には、ビニールカーテン１４１が設けられている。このビニールカーテン１４１は、室内下方の空気を局所的に吸い込むためのものである。
【００３７】
循環路Ａでは、送風装置１４により、室内下方の空気がコールドアイル１２の上方の天井面付近に送られる。天井面付近に溜まった空気は、空気冷却装置１１に吸い込まれて冷却された後に吹き出される。空気冷却装置１１から吹き出した冷気は、コールドアイル１２を流れて、空気清浄化装置１３により清浄化されて、製造装置７に向かって吹き出される。これにより、製造装置７に高清浄度の空気が供給される。
【００３８】
循環路Ｂは、以下のようにして形成される。
すなわち、製造装置８の図１中左右両側面の上方には、空気清浄化装置１３が設置されている。
【００３９】
循環路Ｂでは、製造装置８からの発熱により空気が暖められて、この暖められた空気は、上昇してコールドアイル１２の上方の天井面付近に溜まる。この溜まった空気は、空気冷却装置１１に吸い込まれて冷却された後に吹き出される。空気冷却装置１１から吹き出した冷気は、コールドアイル１２を流れて、空気清浄化装置１３により清浄化されて、製造装置８の側面に向かって吹き出される。
【００４０】
図２は、空調システム１０の平面図である。図３は、空調システム１０のＡ−Ａ断面図であり、図４は、空調システム１０のＢ−Ｂ断面図である。
【００４１】
トラス梁２０は、略水平に延びる上弦材２１と、この上弦材２１の所定間隔下方で略水平に延びる下弦材２２と、斜め方向に延びて上弦材２１と下弦材２２とを連結する斜材２３と、略鉛直方向に延びて上弦材２１と下弦材２２とを連結する束材２４、とを備える。
【００４２】
互いに略平行に延びる下弦材２２同士の間には、複数本の角パイプ２２１が互いに略平行にかつ下弦材２２に略直交して架設されている。
角パイプ２２１同士の上には、複数本の設備レール２５が互いに略平行にかつ角パイプ２２１に略直交して架設される。これにより、設備レール２５は、トラス梁２０に略平行となっている。
設備レール２５は、上下を逆にしたＴ字形状のＴバーであり、平板状の基部２５１と、この基部２５１の中央から上方に延びる突部２５２と、を備える。
また、図示しないが、上述のビニールカーテン１４１は、この設備レール２５から吊り下げられている。
【００４３】
互いに略平行に延びる上弦材２１同士の間には、複数本の吊材受け２１１が略平行に架設されている。この吊材受け２１１は、角パイプ２２１よりも粗いピッチで設けられている。この吊材受け２１１は、吊材２１２を介して、コールドアイル１２を吊り下げ支持している。
【００４４】
ここで、トラス梁２０の梁成の空間は、上から順に、熱溜り層Ｐ、温度制御層Ｑ、清浄度制御層Ｒ、照明層Ｓの４つの層に区画される。
熱溜り層Ｐは、室内の暖かい空気が上昇して溜まる層であり、コールドアイル１２の上端より上の層である。
温度制御層Ｑは、冷却された空気（冷気）が流れる層であり、具体的には、コールドアイル１２が設けられる層である。
清浄度制御層Ｒは、空気清浄化装置１３により冷気を清浄化する層であり、具体的には、コールドアイル１２の下端から設備レール２５までの層である。
照明層Ｓは、照明装置１５が設けられる層であり、設備レール２５よりも下の層である。
【００４５】
空気冷却装置１１は、図２に示すように、主トラス梁６Ａ、６Ｂに沿って複数台設けられ、主トラス梁６Ａ、６Ｂおよびトラス梁２０に支持される。この空気冷却装置１１には、上部の熱溜り層Ｐの高さ位置に吸込口が設けられ、下部の温度制御層Ｑの高さ位置に吹出口が設けられている。
この空気冷却装置１１は、上部の吸込口から空気を吸い込んで冷却し、下部の吹出口から吹き出す。
【００４６】
空気清浄化装置１３は、矩形平版状であり、上面に吸込口が設けられ、下面に吹出口が設けられている。この空気清浄化装置１３は、上面の吸込口から吸い込んだ空気を清浄化して、下面の吹出口から下方に吹き出す。
【００４７】
この空気清浄化装置１３の両端側は、設備レール２５の基部２５１に載置されている。設備レール２５の突部２５２は、空気清浄化装置１３の両端面を押えており、これにより、この空気清浄化装置１３は、設備レール２５に沿ってスライド可能である。
【００４８】
この空気清浄化装置１３は、設備レール２５を適宜増設することにより、任意の位置に集中して設置することもできる。
例えば、図２中二点鎖線Ｍで示す領域は、ブース型高清浄エリアであり、空気清浄化装置１３が正方形状に集中して配置されている。また、図２中二点鎖線Ｎで示す領域は、ライン型高清浄エリアであり、空気清浄化装置１３が一列に集中して配置されている。
【００４９】
照明装置１５は、矩形状であり、この照明装置１５の両端は設備レール２５の基部２５１に吊り下げ固定されている。この照明装置１５は、設備レール２５の任意の位置に設置可能である。
【００５０】
コールドアイル１２は、空気冷却装置１１の吹出口から略水平に延びている。このコールドアイル１２は、メンテナンス用の通路を兼用しており、図３に示すように作業員Ｘが通行可能となっている。
【００５１】
コールドアイル１２は、図２に示すように、平面視では、主トラス梁６Ａ、６Ｂに沿って延びる主送風路１２Ａと、この主送風路１２Ａから分岐してトラス梁２０に略平行に延びる複数の分岐送風路１２Ｂと、を備える。
送風路１２Ａ、１２Ｂは、図３に示すように、断面視では、上方が開放された略コの字形状であり、平板状の床部１２１と、この床部１２１の両端に立設された一対の平板状の手摺部１２２と、を備える。一部の手摺部１２２にはラック１２３が設けられ、このラック１２３には設備配管１２４が敷設されている。これにより、設備配管１２４はコールドアイル１２に沿って延びている。
【００５２】
これら送風路１２Ａ、１２Ｂの床部１２１および手摺部１２２は、図示しないフレームと、このフレームに着脱可能に取り付けられたパネル１２５〜１２７と、で構成される。
パネル１２５〜１２７は、風を通さない鋼板製の閉鎖パネル１２５と、床部１２１に用いられて風を通すエキスパンドメタル製の開放パネル１２６と、手摺部１２２に用いられて風を通すパンチングメタル製の開放パネル１２７と、で構成される。
【００５３】
送風路１２Ａ、１２Ｂには、基本的に閉鎖パネル１２５が用いられて冷気の流路が形成されるが、冷気が流入あるいは流出する部分には、開放パネル１２６、１２７が用いられる。
具体的には、上述の複数の空気冷却装置１１の吹出口は、主送風路１２Ａの手摺部１２２に面している。この手摺部１２２の空気冷却装置１１の吹出口に対向する部分は、開放されている。
【００５４】
また、空気清浄化装置１３は、コールドアイルの分岐送風路１２Ｂの近傍、具体的には、分岐送風路１２Ｂの床部１２１の直下、あるいは、手摺部１２２の側方に設けられている。
床部１２１の空気清浄化装置１３に対向する部分には、エキスパンドメタル製の開放パネル１２６が用いられている。また、手摺部１２２の空気清浄化装置１３に対向する部分には、パンチングメタル製の開放パネル１２７が用いられている。
【００５５】
以上の空調システム１０により暖気を冷却して清浄化する動作は、以下のようになる。
まず、暖気は上昇して熱溜り層Ｐに溜まる。この熱溜り層Ｐに溜まった暖気は、空気冷却装置１１の吸込口に吸い込まれて冷却され、吹出口から吹き出される。空気冷却装置１１の吹出口から吹き出した冷気は、温度制御層Ｑであるコールドアイル１２の主送風路１２Ａに流入し、分岐送風路１２Ｂに流れる。分岐送風路１２Ｂに流れた冷気は、開放パネル１２６、１２７を通って外部に流れ出て、空気清浄化装置１３の上面の吸込口に吸い込まれる。空気清浄化装置１３に吸い込まれた空気は、清浄化されて、空気清浄化装置１３の下面の吹出口から下方に吹き出される。
【００５６】
次に、空調システム１０の空気清浄化装置１３および照明装置１５のレイアウトを変更する手順について説明する。
まず、空気清浄化装置１３および照明装置１５を設備レール２５に沿って任意の位置に移動する。その後、移動前の空気清浄化装置１３に対向する開放パネル１２６、１２７を閉鎖パネル１２５に交換する。次に、移動後の空気清浄化装置１３に対向する閉鎖パネル１２５を開放パネル１２６、１２７に交換する。
【００５７】
本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）、屋根４をトラス梁２０で支持する構造としたので、クリーンルーム１を大スパン化することができる。また、従来のように天井面や天井裏空間を設けないので、天井材が不要となり、施工コストを削減できる。
【００５８】
また、トラス梁２０内に空気冷却装置１１およびコールドアイル１２を設け、このコールドアイル１２の近傍に空気清浄化装置１３を設けたので、トラス梁２０の下端が有効天井高さとなるから、有効天井高さを大きく確保したり、階高を低く設定したりすることができる。また、空気清浄化装置１３は、コールドアイル１２の近傍の範囲であれば任意の位置に配置できるため、空気清浄化装置１３のレイアウトがフレキシブルとなる。よって、製造装置７、８をクリーンルーム１内の任意の位置に設置することができ、かつ、製造装置７、８のレイアウト変更に容易に対応できる。
【００５９】
（２）コールドアイル１２をメンテナンス用の通路と兼用したので、天井高を高くしても、作業員がコールドアイル１２を通って容易に空気冷却装置１１や空気清浄化装置１３などの機器にアクセスできるから、容易に機器をメンテナンスできる。
【００６０】
（３）コールドアイル１２を、トラス梁２０に支持されるフレームと、このフレームに着脱可能に取り付けられた板状のパネル１２５〜１２７と、を含んで構成した。
よって、風を通さない閉鎖パネル１２５と風を通す開放パネル１２６、１２７とを用意し、閉鎖パネル１２５を用いて冷気の流路を形成するとともに、冷気が流入あるいは流出する部分には、開放パネル１２６、１２７を用いて、コールドアイル１２から空気清浄化装置１３に冷気が流れるようにする。
また、閉鎖パネル１２５および開放パネル１２６を適宜交換することで、空気清浄化装置１３のレイアウト変更に応じて、冷気の流れを容易に変更できる。
【００６１】
（４）空気冷却装置１１を上部の吸込口から吸い込んで下部の吹出口から吹き出す構造とし、コールドアイル１２を空気冷却装置１１の吹出口と略同じ高さとし、空気清浄化装置１３をコールドアイル１２よりも下方に配置した。
よって、製造装置８の発熱による暖かい空気は、自然に上昇してコールドアイル１２の上方の空間に溜まる。この溜まった空気は、空気冷却装置１１の上部の吸込口から吸い込まれて冷却され、下部の吹出口から吹き出す。この吹き出した冷気は、コールドアイル１２を通り、このコールドアイル１２よりも下方に位置する空気清浄化装置１３に至る。空気清浄化装置１３は、この冷気を清浄化して室内に吹き出す。
このようにコールドアイル１２の上方の空間を室内熱負荷の熱溜り層Ｐとして利用して、温度成層にできるだけ逆らわずに空気を移動させるので、空気冷却装置１１の吸込空気と吹出空気との温度差を大きくとることが可能であり、省エネルギー化を実現できる。
【００６２】
（５）コールドアイル１２の近傍に照明装置１５を設けたので、天井高を高くしても、作業員がコールドアイル１２を通って容易に照明装置１５にアクセスできるから、照明装置１５のメンテナンスが容易になる。
【００６３】
（６）トラス梁２０に支持される設備レール２５を設け、空気清浄化装置１３を設備レール２５の上にこの設備レール２５に沿って移動可能に配置し、照明装置１５を設備レール２５から吊り下げ支持した。
よって、空調システム１０を建築構造と一体化することができ、従来のような吊りボルトやぶどう棚などが不要となるので、資材を削減できるうえに、耐震性を向上できる。
また、空気清浄化装置１１を設備レール２５に沿ってスライドさせて、任意の位置に配置できるので、空気清浄化装置１１のレイアウト変更が容易となる。
【００６４】
（７）コールドアイル１２に沿って設備配管１２４を設けたので、天井高を高くしても、作業員がコールドアイル１２を通って容易に設備配管１２４にアクセスできるから、設備配管１２４のメンテナンスが容易になる。
【００６５】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６６】
１…クリーンルーム
２…床
３Ａ、３Ｂ…壁
４…屋根（上階）
５Ａ、５Ｂ…柱
６Ａ、６Ｂ…主トラス梁
７、８…製造装置
１０…空調システム
１１…空気冷却装置
１２…コールドアイル（送風路）
１２Ａ…主送風路
１２Ｂ…分岐送風路
１３…空気清浄化装置
１４…送風装置
１５…照明装置
２０…トラス梁
２１…上弦材
２２…下弦材
２３…斜材
２４…束材
２５…設備レール
１２１…床部
１２２…手摺部
１２３…ラック
１２４…設備配管
１２５…閉鎖パネル
１２６、１２７…開放パネル
１４１…ビニールカーテン
２１１…吊材受け
２１２…吊材
２２１…角パイプ
２５１…基部
２５２…突部
Ａ、Ｂ…循環路
Ｍ…ブース型高清浄エリア
Ｎ…ライン型高清浄エリア
Ｐ…熱溜り層
Ｑ…温度制御層
Ｒ…清浄度制御層
Ｓ…照明層
Ｘ…作業員
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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