(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
上型および下型と、
樹脂が流入する流入口およびエアを排出する排出口を備え、前記上型および下型によって形成される所定形状の空間であるキャビティと、
前記排出口から単位時間当たりに排出されたエアの排出量を計測して、計測値として出力する計測手段と、
前記流入口から前記キャビティ内へ樹脂を流入させ、前記計測値が所定の値より小さくなった時、前記樹脂を前記計測値が所定の値より小さくなった時の流入速度よりも大きい所定の流入速度で流入させる樹脂流入手段と、
を備える射出成形装置。
【請求項２】
前記所定の値は、前記排出口の一部から単位時間当たりに排出されたエア排出量である、請求項１記載の射出成形装置。
【請求項３】
前記樹脂流入手段は、前記流入速度を前記所定の流入速度まで増加させた後、０に変更する、請求項１または２記載の射出成形装置。
【請求項４】
前記キャビティ内の樹脂を所定の応力で加圧する加圧手段をさらに備え、
前記加圧手段は、前記流入速度が０に変更された時、前記加圧を開始する、請求項３記載の射出成形装置。
【請求項５】
前記樹脂流入手段を駆動する駆動手段をさらに備え、
前記駆動手段は、前記樹脂流入手段を一定の駆動速度で駆動し、前記計測値が所定の値より小さくなった時、前記駆動速度を所定の駆動速度まで増加させる、請求項１乃至４のいずれか１項記載の射出成形装置。
【請求項６】
前記キャビティは複数の排出口を備え、
前記計測手段は、全ての前記複数の排出口から排出されたエアの単位時間当たりの総排出量を計測し、
前記所定の値は、前記流入口から最も遠い位置に配置された排出口の一部から単位時間当たりに排出されたエア排出量である、請求項２乃至５のいずれか１項記載の射出成形装置。
【請求項７】
樹脂が流入する流入口およびエアを排出する排出口を備えると共に上型および下型によって形成される所定形状の空間であるキャビティに前記樹脂を充填させる射出成形方法であって、
前記流入口から前記キャビティ内へ樹脂を流入させ、
前記排出口から単位時間当たりに排出されたエアの排出量を計測して計測値として出力し、
前記計測値が所定の値より小さくなった時、前記樹脂を前記計測値が所定の値より小さくなった時の流入速度よりも大きい所定の流入速度で流入させる、射出成形方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、射出成形装置および射出成形方法に関し、特に、半導体や高周波デバイス、電子デバイスを熱硬化樹脂によってモールドする射出成形装置および射出成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や高周波デバイス、電子デバイス等を熱硬化樹脂によってモールドする成形工程は、加熱された上下金型間のキャビティ内にモールドされる部材を配置し、加熱溶融した熱硬化樹脂をキャビティ内に充填した後、熱硬化樹脂の加圧・硬化を行う。被モールド部材を熱硬化樹脂によってモールドする技術は、例えば、特許文献１−３に開示されている。
【０００３】
ここで、特許文献３には、熱硬化樹脂内に形成されるボイドを低減できるモールド装置が開示されている。特許文献３のモールド装置の断面図を図１０に示す。図１０は、特許文献３のモールド装置９００を用いてモールドしている工程を上方から見た時の断面図である。図１０（ａ）において、樹脂を供給するポット９１０の右側に複数のキャビティ９３０を備えた金型９２０が、ポット９１０の周囲にボイド樹脂取り込み部９４０が配置されている。そして、図１０（ｂ）に示すように、加圧・硬化時に消滅する気泡Ｖ１を含んだ熱硬化樹脂をキャビティ９３０側へ、ボイドとして残存する可能性が高い比較的大きな気泡Ｖ２を含んだ熱硬化樹脂をボイド樹脂取り込み部９４０側へ流入させる。ことにより、キャビティ９３０内の熱硬化樹脂内にボイドが形成されることを抑制する。樹脂が加圧・硬化されることにより気泡Ｖ１は消滅し、図１０（ｃ）に示すように、キャビティ９３０内の熱硬化樹脂内に形成されるボイドを低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１００８９４号公報
【特許文献２】特開平９−２５４１８１号公報
【特許文献３】特開平８−１５６０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献３のモールド装置９００は、キャビティ９３０内の熱硬化樹脂内にボイドが形成されることを抑制することができるものの、別途、ボイド樹脂取り込み部９４０をポット９１０の周囲に配置して、熱硬化樹脂の流入方向をキャビティ９３０側とボイド樹脂取り込み部９４０側とに制御する必要があり、装置が大がかりになる。
【０００６】
本発明は上記の問題に鑑みてなされたものであり、ボイドとして残存する可能性が高い気泡を含んだ熱硬化樹脂がキャビティ内で加圧・硬化されることを抑制することができる、単純な構成の射出成形装置および射出成形方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明に係る射出成形装置は、上型および下型と、樹脂が流入する流入口およびエアを排出する排出口を備え、上型および下型によって形成される所定形状の空間であるキャビティと、排出口から単位時間当たりに排出されたエアの排出量を計測して、計測値として出力する計測手段と、流入口からキャビティ内へ樹脂を流入させ、計測値が所定の値より小さくなった時、樹脂を計測値が所定の値より小さくなった時の流入速度よりも大きい所定の流入速度で流入させる樹脂流入手段と、を備える。
【０００８】
上記目的を達成するために本発明に係る射出成形方法は、樹脂が流入する流入口およびエアを排出する排出口を備えると共に上型および下型によって形成される所定形状の空間であるキャビティに樹脂を充填する。該射出成形方法は、流入口からキャビティ内へ樹脂を流入させ、排出口から単位時間当たりに排出されたエアの排出量を計測して計測値として出力し、計測値が所定の値より小さくなった時、樹脂を計測値が所定の値より小さくなった時の流入速度よりも大きい所定の流入速度で流入させる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る射出成形装置および射出成形方法は、排出口から単位時間当たりに排出されるエアの排出量を計測することによって樹脂が排出口に流入し始めた状態を検出し、樹脂の流入速度を増大させる。樹脂が完全に充填される前に流入速度を増大させることによって、樹脂内の気泡を圧縮して消滅させることができる。該射出成形装置および射出成形方法は、樹脂内にボイドが形成されることを抑制するために、エアの排出量を計測する計測手段を追加するだけでよく、従って、単純な構成の射出成形装置を用いてボイドとして残存する可能性が高い気泡を含んだ熱硬化樹脂がキャビティ内で加圧・硬化されることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る射出成形装置１０の断面図の一例である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る射出成形装置１００の断面図の一例である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る射出成形装置１００のキャビティ１３０周辺の上面図の一例である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る射出成形装置１００のエアベント１３２ｃの正面図の一例である。
【図５】本発明の第２の実施形態の第１工程における（ａ）射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例、（ｂ）キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態の一例である。
【図６】本発明の第２の実施形態の第２工程における（ａ）射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例、（ｂ）キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態の一例である。
【図７】本発明の第２の実施形態の第３工程における（ａ）射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例、（ｂ）キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態の一例である。
【図８】本発明の第２の実施形態の第４工程における（ａ）射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例、（ｂ）キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態の一例である。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る射出成形装置１００の射出荷重、流量速度、プランジャ１４０の位置およびプランジャ１４０の駆動速度の推移の一例である。
【図１０】特許文献３のモールド装置９００のモールド工程を上方から見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（第１の実施形態）
第１の実施形態について説明する。本実施形態に係る射出成形装置１０の断面図の一例を図１に示す。図１において、本実施形態に係る射出成形装置１０は、上型２０、下型３０、キャビティ４０、計測手段５０および樹脂流入手段６０を備える。
【００１２】
上型２０および下型３０は、図示しない型締め機構によって開口状態または型締め状態に維持される。上型２０および下型３０はそれぞれ所定の形状に形成された凹部を備え、上型２０および下型３０が型締め状態に維持された時、上型２０の凹部と下型３０の凹部とによりキャビティ４０が形成される。キャビティ４０は、樹脂が流入する流入口４１とキャビティ４０内のエアを排出する排出口４２とを備える。ここで、排出口４２はキャビティ４０内の流入口４１から最も遠い位置に配置される。該キャビティ４０内に配置された被モールド部材が、上型２０および下型３０によって型締めされる。
【００１３】
計測手段５０は、キャビティ４０の排出口４２から単位時間当たりに排出されるエアの排出量を計測する。そして、計測手段５０は、計測結果を計測値として樹脂流入手段６０へ出力する。
【００１４】
樹脂流入手段６０は、キャビティ４０内へ樹脂を流入させる。本実施形態では、樹脂流入手段６０は、樹脂を一定の流入速度Ｖ１でキャビティ４０内へ流入させる。そして、樹脂流入手段６０は、計測手段５０から入力した計測値が所定の値より小さくなった時、流入速度をＶ１からＶ１より大きい所定のＶ２に増大させる。なお、樹脂流入手段６０は、樹脂を所定の圧力でキャビティ４０内へ流入させることもできる。この場合でも、樹脂流入手段６０は、計測手段５０から入力した計測値が所定の値より小さくなった時、樹脂を所定の流入速度Ｖ２でキャビティ４０内へ流入させる。
【００１５】
ここで、樹脂流入手段６０は、計測手段５０から入力された計測値がゼロ近傍の所定の値より小さくなった時に流入速度Ｖ２で樹脂をキャビティ４０内へ流入させる。すなわち、樹脂流入手段６０は、キャビティ４０内に樹脂が完全に充填される直前の、樹脂が排出口４２に流入し始めた時、樹脂の流入速度を高速のＶ２に設定する。樹脂がキャビティ４０内に完全充填される前に、樹脂を高速で流入することにより、樹脂内の気泡を圧縮して消滅させることができる。
【００１６】
ここで、キャビティ４０内に樹脂が半分程度しか充填されていない状態で流入速度を高速のＶ２に切り換えた場合、被モールド部材が樹脂に押圧されてダメージを受ける可能性が高くなる。一方、排出口４２に樹脂が完全に充填された後に流入速度を高速のＶ２に切り換えた場合、排出口４２から流れ出た樹脂が固化してエアの押し出しを妨げるため、気泡の圧縮を効果的に行うことができない。
【００１７】
なお、樹脂流入手段６０は、樹脂の流入速度を高速のＶ２に切り替えた後、速やかに流入速度を０に切り換える。そして、射出成形装置１０は、樹脂の流入速度が０に切り換わった後、充填工程から加圧工程へ移行する。
【００１８】
以上のように、本実施形態に係る射出成形装置１０は、排出口４２から単位時間当たりに排出されるエアの排出量を計測する計測手段５０を配置し、樹脂が排出口４２に流入し始めた状態を検出して、樹脂流入手段６０が流入速度を高速のＶ２に設定する。この場合、樹脂内の気泡が圧縮され、気泡を消滅させることができる。該射出成形装置１０は、樹脂内にボイドが形成されることを抑制するために、エアの排出量を計測する計測手段５０を追加するだけでよく、従って、ボイドの発生を容易に抑制することができる。
【００１９】
なお、充填工程における樹脂の流入速度を一定の流入速度Ｖ１に設定する場合、樹脂流入手段６０は、エア流量の平均値と経過時間とから排出されたエア流量の累積値を演算し、該累積値が所定の値に達した時に計測値と所定の値との比較を開始することにより、樹脂が排出口４２に流入し始めた状態を効率よく検出することができる。
【００２０】
（第２の実施形態）
第２の実施形態について説明する。本実施形態に係る射出成形装置は、ベアチップを熱硬化樹脂でモールドする。本実施形態に係る射出成形装置および被モールド部材の正面断面図の一例を図２に示す。本実施形態では、ワイヤ２３０を用いてリードフレーム２２０と電気的に接続されたベアチップ２１０を図２には図示されない熱硬化樹脂２４０でモールドし、射出成形品２００を成形する。なお、図２ではリードフレーム２２０の上に１つのベアチップ２１０を搭載した例を示したが、ベアチップ２１０、リードフレーム２２０およびワイヤ２３０の数や大きさは特に限定されない。
【００２１】
図２において、射出成形装置１００は、上型１１０、下型１２０、キャビティ１３０、プランジャ１４０、駆動源１５０、駆動制御部１６０および流量センサ１７０を備える。
【００２２】
上型１１０および下型１２０は、熱硬化樹脂２４０を加熱および加圧する。キャビティ１３０は、上型１１０および下型１２０にそれぞれ所望の形状に形成された凹部である。該キャビティ１３０内に熱硬化樹脂２４０が充填されて所望の形に固化されることにより、射出成形品２００が成形される。
【００２３】
プランジャ１４０は、下型１２０内に配置され、該プランジャ１４０の上方に形成されている空間に熱硬化樹脂２４０が供給される。プランジャ１４０が上方へ移動することにより、熱硬化樹脂２４０がキャビティ１３０内へ流れ込む。
【００２４】
駆動源１５０は、所定の速度でプランジャ１４０を上方へ駆動する。本実施形態において、駆動源１５０がプランジャ１４０を一定の駆動速度Ｖ１で上方に駆動することにより、熱硬化樹脂２４０が一定量づつキャビティ１３０内に流入する。さらに、駆動源１５０は、駆動制御部１６０から制御信号を受信した時、プランジャ１４０を所定の駆動速度Ｖ２で上方に駆動する。
【００２５】
駆動制御部１６０は、流量センサ１７０から入力した後述の流量速度が所定の値を下回った時、駆動源１５０へ制御信号を出力する。
【００２６】
流量センサ１７０は、キャビティ１３０内から排出される単位時間当たりのエア流量を測定する。図２において、本実施形態に係る流量センサ１７０は、上型１１０の側面に密着配置されている。なお、流量センサ１７０を上型１１０および下型１２０と接続された配管の内部等に配置することもできる。
【００２７】
流量センサ１７０によるエア流量の測定について説明する。キャビティ１３０周辺の上面図の一例を図３に示す。本実施形態では、キャビティ１３０を方形に形成し、キャビティ１３０のほぼ中央にベアチップ２１０が位置するように、リードフレーム２２０を型締めする。そして、キャビティ１３０の一端に熱硬化樹脂２４０の流入口であるゲート１３１が、残りの３つの端部にエアを排出するためのエアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃが形成されている。図３において、エアベント１３２ｃがゲート１３１と対向し、エアベント１３２ｃはゲート１３１から最も離れた位置にある。
【００２８】
エアベント１３２ｃの正面図の一例を図４に示す。図４は、図３をＡ−Ａ側から見た図である。図４において、エアベント１３２ｃは、断面が方径の開口である。本実施形態では、エアベント１３２ｃの開口高さを１０〜２０μｍ程度に設定した。なお、本実施形態では、他の２つのエアベント１３２ａ、１３２ｂもエアベント１３２ｃと同様の形状に形成した。
【００２９】
流量センサ１７０は、上型１１０の側面に密着配置され、エアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃから排出されるエアは、全て流量センサ１７０へ流れ込む。そして、熱硬化樹脂２４０がゲート１３１からキャビティ１３０内部に流入されるのに伴い、流量センサ１７０は、エアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃを介してキャビティ１３０から排出されたエアの単位時間当たりの流量（以下、流量速度と記載する。）を計測し、計測した流量速度を駆動制御部１６０へ出力する。
【００３０】
駆動制御部１６０は、流量センサ１７０から入力した流量速度がＦ０を下回った時、駆動源１５０へ制御信号を出力する。本実施形態においてＦ０は、熱硬化樹脂２４０の流入口であるゲート１３１から最も遠い位置に配置されたエアベント、すなわち、エアベント１３２ｃの一部から単位時間当たりに排出されたエア排出量に設定されている。
【００３１】
本実施形態に係る射出成形装置１００を用いて射出成形品２００を成形する手順について説明する。第１工程における射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例を図５（ａ）に、キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態を図５（ｂ）に示す。同様に、第２および第３工程における射出成形装置１００および射出成形品２００の断面図の一例を図６乃至８（ａ）に、キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入状態を図６乃至８（ｂ）に示す。
【００３２】
また、第１乃至４工程における、射出荷重、流量速度、プランジャ１４０の位置およびプランジャ１４０の駆動速度の推移を図９に示す。ここで、射出荷重は図示しない樹脂加圧機構によりキャビティ１３０内の熱硬化樹脂２４０へ印加する荷重の大きさである。流量速度は、流量センサ１７０が測定した、３つのエアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃから排出される総エアの単位時間当たりの流量である。
【００３３】
ベアチップ２１０、リードフレーム２２０およびワイヤ２３０を熱硬化樹脂２４０でモールドする場合、先ず、図示しない型締め機構により上型１１０および下型１２０を開いた状態に維持し、上型１１０および下型１２０を図示しない加熱源により１７５〜１８０℃程度に加熱する。この状態で、下型１２０に形成されたキャビティ１３０の上にリードフレーム２２０を配置する。さらに、プランジャ１４０上方の空間内に熱硬化樹脂２４０を供給すると、下型１２０が１７５〜１８０℃程度に加熱されていることから、熱硬化樹脂２４０は供給直後に溶融し始める。
【００３４】
この状態で、型締め機構によって下型１２０を上昇させ、図５（ａ）に示すように、リードフレーム２２０を上型１１０と下型１２０とにより型締めする（第１工程）。型締め力は、型締めするリードフレーム２２０の材質によって異なるが、例えば、金属製のリードフレーム２２０の場合は１００〜３５０Ｍｐａ程度である。
【００３５】
この時、図５（ｂ）に示すように、キャビティ１３０内への熱硬化樹脂２４０の流入はない。また、図９に示すように、射出荷重、流量速度、プランジャ１４０の位置およびプランジャ１４０の駆動速度はいずれも０である。
【００３６】
リードフレーム２２０の型締めが完了し、粘度が最も低い状態まで熱硬化樹脂２４０が溶融した時（約８〜１０秒後）、駆動源１５０はプランジャ１４０の駆動を開始する（第２工程）。駆動源１５０が、プランジャ１４０を一定の駆動速度Ｖ１で上方に駆動することにより、図６（ａ）に示すように、熱硬化樹脂２４０がゲート１３１からキャビティ１３０の内部へ流入し始める。
【００３７】
この時、図６（ｂ）に示すように、エアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃからエアが排出される。エアベント１３２ａ、１３２ｂ、１３２ｃから排出されたエアは流量センサ１７０へ流出し、流量センサ１７０は、流量速度を計測して駆動制御部１６０へ出力する。すなわち、図９に示すように、流量速度は０からＦ１へ増大する。また、図９において、プランジャ１４０の位置が０から徐々に上昇し始め、プランジャ１４０の駆動速度は０からＶ１に増加する。なお、射出荷重は０のままである。
【００３８】
ここで、熱硬化樹脂２４０の駆動速度を大きくすると、熱硬化樹脂２４０の流動抵抗により、リードフレーム２２０とベアチップ２１０とを接続しているワイヤ２３０が変形もしくは断線する危険性が高くなる。従って、駆動源１５０は、ワイヤ２３０にダメージを与えない駆動速度で熱硬化樹脂２４０が流入するようにプランジャ１４０を駆動する。本実施形態において、この時のプランジャ１４０の駆動速度はＶ１＝２〜３ｍｍ／ｓｅｃ程度である。
【００３９】
さらに、駆動速度Ｖ１でプランジャ１４０を上方へ駆動すると、熱硬化樹脂２４０がゲート１３１寄りのエアベント１３２ａ、１３２ｂまで流れ込む。図７（ａ）、（ｂ）において、エアベント１３２ａ、１３２ｂに熱硬化樹脂２４０が流れ込むことにより、エアベント１３２ａ、１３２ｂからのエアの排出が停止する。エアベント１３２ａ、１３２ｂからのエア排出が停止することにより、全てのエアがエアベント１３２ｃから排出されるようになる。すなわち、エアベント１３２ｃからの流量速度が３倍になり、流量センサ１７０で計測される流量速度は変わらずＦ１となる。
【００４０】
すなわち、図９において、流量センサ１７０から出力される値は、Ｆ１に維持される。一方、プランジャ１４０の駆動速度がＶ２からＶ１へ減少すると共にプランジャ１４０の位置の増加率が小さくなる（勾配が緩くなる）。なお、射出荷重は０のままである。
【００４１】
さらに、駆動速度Ｖ１でプランジャ１４０を上昇させると、熱硬化樹脂２４０は、ゲート１３１から最も離れた位置にあるエアベント１３２ｃまで流れ込む。図８（ａ）、（ｂ）において、熱硬化樹脂２４０が最終のエアベント１３２ｃまで流れ込むことにより、エアベント１３２ｃからのエアの流出が急速に減少する。そして、流量センサ１７０からの出力値が予め設定されたＦ０になった時、駆動制御部１６０が駆動源１５０へ制御信号を出力する（第３工程）。駆動源１５０は、制御信号が入力された時、プランジャ１４０の駆動速度を所定のＶ２まで増加させる。ここで、Ｆ０は、例えば、０近傍の所定の値や、流量速度の軌跡が予め把握できている場合はＦ１の８０％値等に設定することができる。
【００４２】
該制御信号は、キャビティ１３０内に熱硬化樹脂２４０が完全に充填される直前の、熱硬化樹脂２４０が最も離れた位置にあるエアベント１３２ｃに流入し始めた時に出力される。この時にプランジャ１４０の駆動速度を所定のＶ２まで増加させることにより、熱硬化樹脂２４０内に含まれている気泡が圧縮されて消滅する。
【００４３】
ここで、流量センサ１７０からの出力値がＦ０になる前、すなわち、ワイヤ２３０が熱硬化樹脂２４０に覆われる前にプランジャ１４０の駆動速度を大きくした場合、熱硬化樹脂２４０に押圧されてワイヤ流れが起こりやすくなる。一方、流量センサ１７０からの出力値が０になった後で駆動速度を大きくした場合、充填工程において熱硬化樹脂２４０が低速のままキャビティ１３０内に完全に充填され、気泡の圧縮がしきれない状態で加圧されるため、熱硬化樹脂２４０内にボイドが形成される可能性が高くなる。
【００４４】
第３工程の説明に戻る。駆動源１５０は、プランジャ１４０を所定の駆動速度Ｖ２で数ミリ秒程度駆動した後、プランジャ１４０の駆動速度をＶ２から０に変更する。射出成形装置１００は、プランジャ１４０の駆動速度が０になった時、図示しない樹脂加圧機構を制御して熱硬化樹脂２４０の加圧を開始する。そして、射出荷重がＰｗ１に達した時、充填工程から保圧工程へ切り換える。本実施形態では、樹脂加圧機構は熱硬化樹脂２４０を射出荷重Ｐｗ１＝１０〜１５ＭＰａで保圧する。樹脂加圧機構は、熱硬化樹脂２４０が硬化するまで（例えば、硬化時間８０秒〜１２０秒程度の間）、射出荷重Ｐｗ１＝１０〜１５ＭＰａを維持する。
【００４５】
図９において、第３工程では、流量速度はＦ１からＦ０を通過して０になる。さらに、プランジャ１４０の駆動速度がＶ１からＶ２へ増加された後、０に変更される。これにより、プランジャ１４０の位置は、急激に上昇した後、最高位置Ｐｓ１に保持される。また、射出荷重は駆動速度が０になった時、０からＰｗ１に向けて増加を開始する。
【００４６】
そして、熱硬化樹脂２４０が硬化した後、射出荷重を開放して、型締め荷重を開放すると共にプランジャ１４０を初期の位置まで下降させる（第４工程）。すなわち、図９において、射出荷重がＰｗ１から０に向かって小さくなる。また、プランジャ１４０を下方に駆動させることにより、プランジャ１４０がＰｓ１の位置から初期位置まで下降する。その後、下型１２０を下降させてベアチップ２１０、リードフレーム２２０およびワイヤ２３０が熱硬化樹脂２４０によりモールドされることにより成形された射出成形品２００を取り出し、プランジャ１４０を０地点へ戻す。
【００４７】
以上のように、本実施形態に係る射出成形装置１００は、流量センサ１７０からの出力値がＦ０になった時、プランジャ１４０の駆動速度を所定のＶ２まで増加させる。射出成形装置１００が、キャビティ１３０内に熱硬化樹脂２４０が完全に充填される直前の、熱硬化樹脂２４０が最も離れた位置にあるエアベント１３２ｃに流入し始めた状態を検出してプランジャ１４０の駆動速度を所定のＶ２まで増加させることにより、熱硬化樹脂２４０内に含まれている気泡を圧縮して消滅させることができる。従って、本実施形態に係る射出成形装置１００は、ボイドとして残存する可能性が高い気泡を含んだ熱硬化樹脂２４０がキャビティ１３０内で加圧・硬化されることを容易に抑制することができる。
【００４８】
さらに、キャビティ１３０内に熱硬化樹脂２４０がほぼ充填され、ワイヤ流れが発生する確率が低い状態の時に駆動速度を高速のＶ２に変更することにより、モールド工程に要する時間を短縮することもできる。なお、流量速度の検出を高精度で行うために、真空源を追加して脱気成形を行うこともできる。
【符号の説明】
【００４９】
１０    射出成形装置
２０    上型
３０    下型
４０    キャビティ
５０    計測手段
６０    樹脂流入手段
１００    射出成形装置
１１０    上型
１２０    下型
１３０    キャビティ
１４０    プランジャ
１５０    駆動源
１６０    駆動制御部
１７０    流量センサ
２００    射出成形品
２１０    ベアチップ
２２０    リードフレーム
２３０    ワイヤ
２４０    熱硬化樹脂
【図１】
0005699735.tif 000002
【図２】
0005699735.tif 000003
【図３】
0005699735.tif 000004
【図４】
0005699735.tif 000005
【図５】
0005699735.tif 000006
【図６】
0005699735.tif 000007
【図７】
0005699735.tif 000008
【図８】
0005699735.tif 000009
【図９】
0005699735.tif 000010
【図１０】
0005699735.tif 000011