(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段により、該撮像手段の光軸と同軸に配置された状態で光線が照射される円錐状または円錐台状の対象物の外周面を撮像し、その撮像データに基づいて前記対象物を検査する検査装置であって、
前記撮像手段と前記対象物との間に、前記光軸に交差する方向に向けて光線を放射する光源と、
前記撮像手段と前記対象物との間に配置され、前記光源から放射された光線を、前記撮像手段の光軸方向に沿って前記対象物側に向けて反射するハーフミラーと、
該ハーフミラーと前記対象物との間に前記光軸と同軸に配置され、外周面に前記ハーフミラーにより反射された光線が入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材と、
該内ミラー部材よりも大径の円錐台状の孔部が前記光軸と同軸に貫設され、該孔部の内周面に、前記内ミラー部材の外周面により反射された光線が入射する外ミラー部材と、を備え、
該外ミラー部材は、前記内ミラー部材の外周面から前記孔部の内周面に入射した光線を、前記対象物の外周面に垂直に入射するように反射することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の検査装置であって、
前記内ミラー部材は、前記孔部内に配置されるとともに、前記外ミラー部材に固定部材を介して固定され、
該固定部材は、光線が透過可能に形成されるとともに、前記ハーフミラーと前記内ミラー部材との間に配置されていることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項２記載の検査装置であって、
前記固定部材における前記光軸方向の両面は、前記光軸に直交していることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の検査装置であって、
前記孔部は、前記外ミラー部材において前記対象物側を向く裏面に開口していることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
光線が照射される円錐状または円錐台状の対象物における外周面の撮像データに基づいて、該対象物を検査する検査方法であって、
請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置を用い、
前記光源から放射され前記ハーフミラーにより反射された光線を、前記内ミラー部材の外周面、および前記孔部の内周面に反射させて、前記対象物の外周面に垂直に入射させることで、前記対象物の外周面に対して垂直に反射させ、前記対象物の外周面に入射するまでに通過した経路を戻るように、前記孔部の内周面および前記内ミラー部材の外周面に反射させた後、前記ハーフミラーを透過させて前記撮像手段に入射させることを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、下記特許文献１に示すような、撮像手段により、該撮像手段の光軸と同軸に配置された状態で光線が照射される円錐状または円錐台状の対象物の外周面を撮像し、その撮像データに基づいて対象物を検査する検査装置が知られている。
【０００３】
また、この種の検査装置として一般に、前記撮像手段に加え、対象物の外周面に、その径方向の外側から全域にわたって一様に光線を照射する光源を更に備える構成も知られている。この検査装置では、光源から放射される光線を、対象物の外周面により前記光軸方向に沿って撮像手段側に反射させて直接、撮像手段に入射させる。
そしてこの検査装置では、例えば、撮像手段から得られた撮像データ中で、予め設定されている基準の濃淡差より大きい濃淡差がある部分、およびその広さを検出すること等で、傷の有無を検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−９４５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の両検査装置ではいずれも、撮像手段により撮像される対象物の外周面のうち、撮像手段の光軸方向に沿った撮像手段側に位置する部分と、その反対側に位置する部分と、の焦点を同時に合わせることが困難であり、対象物を高精度に検査し難かった。
ここでこの問題を解消するために、撮像手段と対象物とを相対的に移動させながら対象物の外周面を全域にわたって撮像することも考えられるが、この場合、撮像に時間がかかるという問題がある。またこの場合、撮像手段と対象物とを相対的に移動させる移動機構を設ける必要があるため、検査装置が複雑になってしまう。
【０００６】
また、前記従来の両検査装置のうち、後者の検査装置では、光源から放射された光線のうち、前述の傷に反射した光線も撮像手段に入射し易く、撮像手段で得られた撮像データ中で、対象物の外周面のうち、前述の傷の部分と、その他の部分と、の間で濃淡の差が生じ難くなり、検査精度を確保することが困難になるおそれもある。
【０００７】
本発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
本発明に係る検査装置は、撮像手段により、該撮像手段の光軸と同軸に配置された状態で光線が照射される円錐状または円錐台状の対象物の外周面を撮像し、その撮像データに基づいて前記対象物を検査する検査装置であって、前記撮像手段と前記対象物との間に、前記光軸に交差する方向に向けて光線を放射する光源と、前記撮像手段と前記対象物との間に配置され、前記光源から放射された光線を、前記撮像手段の光軸方向に沿って前記対象物側に向けて反射するハーフミラーと、該ハーフミラーと前記対象物との間に前記光軸と同軸に配置され、外周面に前記ハーフミラーにより反射された光線が入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材と、該内ミラー部材よりも大径の円錐台状の孔部が前記光軸と同軸に貫設され、該孔部の内周面に、前記内ミラー部材の外周面により反射された光線が入射する外ミラー部材と、を備え、該外ミラー部材は、前記内ミラー部材の外周面から前記孔部の内周面に入射した光線を、前記対象物の外周面に垂直に入射するように反射することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る検査方法は、光線が照射される円錐状または円錐台状の対象物における外周面の撮像データに基づいて、該対象物を検査する検査方法であって、前記検査装置を用い、前記光源から放射され前記ハーフミラーにより反射された光線を、前記内ミラー部材の外周面、および前記孔部の内周面に反射させて、前記対象物の外周面に垂直に入射させることで、前記対象物の外周面に対して垂直に反射させ、前記対象物の外周面に入射するまでに通過した経路を戻るように、前記孔部の内周面および前記内ミラー部材の外周面に反射させた後、前記ハーフミラーを透過させて前記撮像手段に入射させることを特徴とする。
【００１０】
これらの発明では、光源から放射されハーフミラーにより反射された光線が、円錐状または円錐台状の内ミラー部材の外周面、および円錐台状の孔部の内周面を反射して、対象物の外周面に全域にわたって入射する。このとき光線が、対象物の外周面に垂直に入射することから、この光線は、対象物の外周面に対して垂直に反射され、対象物の外周面に入射するまでに通過した経路を戻るように、孔部の内周面および内ミラー部材の外周面を反射する。そして内ミラー部材の外周面により、前記光軸方向に沿って撮像手段側に向けて反射させられた後、ハーフミラーを透過して撮像手段に入射する。
【００１１】
以上のように、対象物の外周面を垂直に反射した光線が、撮像手段に前記光軸方向に沿って入射するので、撮像手段に前記光軸方向に沿って入射する光線が、対象物の外周面から撮像手段に入射するまでに通過する経路の長さを、その光線が対象物の外周面において反射した位置によらず同等にすることができる。
これにより、対象物の外周面を、全域にわたって焦点を合わせた状態で一度に撮像することが可能になり、対象物を、短時間で高精度に検査することができる。
【００１２】
またこのように、対象物の外周面を、全域にわたって焦点を合わせた状態で一度に撮像することができるので、例えば、撮像手段と対象物とを相対的に移動させる移動機構を設けるとともに、該移動機構により撮像手段と対象物とを相対的に移動させながら対象物の外周面を全域にわたって撮像するといった必要がなく、当該検査装置の簡素化を図ることができる。
【００１３】
さらに、対象物の外周面に対して垂直に反射された光線が、外ミラー部材および内ミラー部材を反射した後、撮像手段に前記光軸方向に沿って入射するので、対象物の外周面に付いた傷に反射して該外周面に対して垂直に反射されなかった光線を、撮像手段に入射させ難くすることが可能になり、対象物の外周面に付いている傷の形態によらず、この傷を十分に検出することができる程度に、撮像手段により確実に撮像することができる。
【００１４】
また、本発明に係る検査装置では、前記内ミラー部材は、前記孔部内に配置されるとともに、前記外ミラー部材に固定部材を介して固定され、該固定部材は、光線が透過可能に形成されるとともに、前記ハーフミラーと前記内ミラー部材との間に配置されていてもよい。
【００１５】
この場合、内ミラー部材が、孔部内に配置されているので、当該検査装置の小型化を図ることができる。
さらに固定部材が、ハーフミラーと内ミラー部材との間に配置されているので、固定部材を設けることによって当該検査装置が大型になるのを抑えることもできる。
【００１６】
また、本発明に係る検査装置では、前記固定部材における前記光軸方向の両面は、前記光軸に直交していてもよい。さらに前記孔部は、前記外ミラー部材において前記対象物側を向く裏面に開口していてもよい。
【００１７】
この場合、固定部材における前記光軸方向の両面が、前記光軸に直交しているので、前記光軸方向に沿って固定部材を透過する光線が前記両面を通過する際に、該光線が屈折するのを抑えることが可能になり、対象物を確実に高精度に検査することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、簡素化を図りつつ、対象物を短時間で高精度に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置の縦断面図である。
【図２】図１に示す検査装置の作用を説明する縦断面図である。
【図３】図１に示す検査装置の作用を説明する要部の縦断面図である。
【図４】図１に示す検査装置の作用を説明する要部の縦断面図である。
【図５】図１に示す検査装置の構成を説明する要部の縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照し、本発明の一実施形態に係る検査装置を説明する。
図１に示すように、検査装置１０は、撮像手段１１により、該撮像手段１１の光軸Ｏと同軸に配置された状態で光線Ｌが照射される円錐状または円錐台状の対象物Ｔの外周面Ｔ１を撮像し、その撮像データに基づいて対象物Ｔを検査する。
【００２１】
ここで図示の例では、撮像手段１１の光軸Ｏ方向は鉛直方向に一致しており、撮像手段１１および対象物Ｔは、撮像手段１１側が上側になり、かつ対象物Ｔ側が下側になるように配置されている。また対象物Ｔは円錐台状とされ、当該検査装置１０に備えられた図示しない被保持手段により、上方から下方に向かうに従い漸次、拡径する向きに保持されている。
【００２２】
検査装置１０は、撮像手段１１と対象物Ｔとの間に、前記光軸Ｏに交差する方向に向けて光線Ｌを放射する光源１２と、撮像手段１１と対象物Ｔとの間に配置され、光源１２から放射された光線Ｌを、鉛直方向に沿って下方に向けて反射するハーフミラー１３と、ハーフミラー１３と対象物Ｔとの間に前記光軸Ｏと同軸に配置され、外周面１４ａにハーフミラー１３により反射された光線Ｌが入射する円錐状または円錐台状の内ミラー部材１４と、内ミラー部材１４よりも大径の円錐台状の孔部１５が前記光軸Ｏと同軸に貫設され、該孔部１５の内周面１５ａに、内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌが入射する外ミラー部材１６と、光源１２およびハーフミラー１３を上方から覆うカバー部材１７と、を備えている。
【００２３】
外ミラー部材１６は、表裏面が前記光軸Ｏに直交する水平方向に沿う板状に形成されるとともに、前記光軸Ｏに対して水平方向にずらされて（図１に示す例では、紙面左側にずらされて）配置されている。また、外ミラー部材１６において上方を向く表面には、前記光軸Ｏと同軸に配置された取付け孔１８が形成されており、前記孔部１５は、該取付け孔１８を通して外ミラー部材１６の表面に開口している。
【００２４】
孔部１５は、取付け孔１８よりも大径であるとともに、上方から下方に向かうに従い漸次、拡径しており、外ミラー部材１６において下方を向く裏面に開口している。孔部１５の内周面１５ａの母線ｇ１の長さは、対象物Ｔの外周面Ｔ１の母線ｇ２の長さよりも長くなっている。
【００２５】
内ミラー部材１４は、上方から下方に向かうに従い漸次、拡径する円錐台状に形成されており、内ミラー部材１４の外周面１４ａの母線ｇ３の長さは、対象物Ｔの外周面Ｔ１の母線ｇ２の長さよりも長くなっている。また、前記光軸Ｏに沿った縦断面視において、前記光軸Ｏに対する内ミラー部材１４の外周面１４ａの母線ｇ３の傾斜角度ｘは、例えば約４５度程度となっており、内ミラー部材１４の外周面１４ａにより反射された光線Ｌは、水平方向に沿って前記孔部１５の内周面１５ａに向かう。
【００２６】
また内ミラー部材１４は、孔部１５内に配置されるとともに、外ミラー部材１６に固定部材１９を介して固定されている。
固定部材１９は、光線Ｌが透過可能に形成されるとともに、ハーフミラー１３と内ミラー部材１４との間に配置されており、固定部材１９において鉛直方向の両側を向く表裏面（両面）が、前記光軸Ｏに直交している。本実施形態では、固定部材１９は、前記取付け孔１８内に嵌合された板状ガラスにより構成されるとともに前記光軸Ｏと同軸に配置されており、固定部材１９において下方を向く裏面に、内ミラー部材１４の上端縁が固定されている。なお図示の例では、内ミラー部材１４の下端縁は、孔部１５の下端開口面上に位置している。
【００２７】
カバー部材１７は、下面部が全域にわたって下方に向けて開口する中空直方体状に形成され、前記光軸Ｏに対して、前記外ミラー部材１６が該光軸Ｏに対してずらされた方向である一方側にずらされて配置されるとともに下方から外ミラー部材１６により閉塞されており、カバー部材１７と外ミラー部材１６との間には、前記光源１２および前記ハーフミラー１３が配置された配置空間Ｓが形成されている。
【００２８】
また、カバー部材１７の上面部には、前記光軸Ｏと同軸に配置された通過孔２０が貫設されており、該通過孔２０内には、例えば板状ガラス等により構成され光線Ｌが透過可能な透過部材２１が嵌合されている。透過部材２１において鉛直方向の両側を向く表裏面は、前記光軸Ｏに直交している。
なお透過部材２１の表裏面、および前記固定部材１９の表裏面には、無反射コーティングが施されていてもよい。
【００２９】
ハーフミラー１３は、前記光軸Ｏ上に配置されるとともに、前記一方側から、前記光軸Ｏを挟んで水平方向に沿った他方側に向かうに従い漸次、上方から下方に向かうように、前記光軸Ｏに対して傾斜しており、図示の例では、前記光軸Ｏに対するハーフミラー１３の傾斜角度ａは、例えば約４５度程度となっている。
【００３０】
光源１２は、前記配置空間Ｓのうち、前記一方側の端部内に配置されており、当該光源１２において前記他方側を向き水平方向に直交する放射面１２ａから光線Ｌを放射する。なお光源１２としては、例えばＬＥＤ光源やハロゲン光源、メタハラ光源などを採用することが可能であり、光源１２の発光色も、対象物Ｔに応じて適宜変更することができる。
【００３１】
また光源１２とハーフミラー１３との間には、偏光フィルタ２２が配設されている。偏光フィルタ２２は、光源１２の放射面１２ａを全面にわたって前記他方側から覆うとともに、光源１２から放射される光線Ｌの散乱を規制しており、光源１２の放射面１２ａから放射され偏光フィルタ２２を通過した光線Ｌは、水平方向に沿って前記光軸Ｏに向かう。
【００３２】
撮像手段１１は、例えばエリアカメラ等により構成されるとともに、撮像手段１１が得る撮像データは、明視野像となっている。
また撮像手段１１には、図示しない処理部が接続されており、該処理部は、例えば、撮像手段１１から得られた撮像データ中で、予め設定されている基準の濃淡差より大きい濃淡差がある部分、およびその広さを検出すること等で、傷の有無を検査する。
【００３３】
そして本実施形態では、外ミラー部材１６は、内ミラー部材１４の外周面１４ａから前記孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する。図示の例では、外ミラー部材１６における孔部１５の内周面１５ａに反射された光線Ｌは、対象物Ｔの外周面Ｔ１のうち、鉛直方向における中央に位置する部分に、該外周面Ｔ１に対して９０度の角度をなして入射する。
【００３４】
以上のように構成された検査装置１０を用いて対象物Ｔを検査する検査方法では、光源１２から放射されハーフミラー１３により反射された光線Ｌが、固定部材１９を透過した後、円錐台状の内ミラー部材１４の外周面１４ａ、および円錐台状の孔部１５の内周面１５ａを反射して、対象物Ｔの外周面Ｔ１に全域にわたって入射する。このとき光線Ｌが、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射することから、図２に示すように、この光線Ｌは、対象物Ｔの外周面Ｔ１に対して垂直に反射され、対象物Ｔの外周面Ｔ１に入射するまでに通過した経路を戻るように、孔部１５の内周面１５ａおよび内ミラー部材１４の外周面１４ａを反射する。そして内ミラー部材１４の外周面１４ａにより、鉛直方向に沿って上方に向けて反射させられた後、固定部材１９、ハーフミラー１３および透過部材２１を透過して、撮像手段１１の図示しないレンズ部に入射する。
【００３５】
すなわち本実施形態では、図３および図４に示すように、孔部１５の内周面１５ａに写る対象物Ｔの外周面Ｔ１の虚像を第１虚像Ｖ１とすると、撮像手段１１は、内ミラー部材１４の外周面１４ａに映る第１虚像Ｖ１の虚像である第２虚像Ｖ２を撮像することとなる。ここで前述のように光線Ｌが、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射することから、第２虚像Ｖ２は、前記光軸Ｏに直交する図示しない直交面上に位置することとなり、第２虚像Ｖ２と、前記レンズ部のレンズ中心と、の間の鉛直方向に沿った距離は、第２虚像Ｖ２の全域にわたって同等となる。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態に係る検査装置１０および検査方法によれば、対象物Ｔの外周面Ｔ１を垂直に反射した光線Ｌが、撮像手段１１に鉛直方向に沿って入射するので、撮像手段１１に鉛直方向に沿って入射する光線Ｌが、対象物Ｔの外周面Ｔ１から撮像手段１１に入射するまでに通過する経路の長さを、その光線Ｌが対象物Ｔの外周面Ｔ１において反射した位置によらず同等にすることができる。
これにより、対象物Ｔの外周面Ｔ１を、全域にわたって焦点を合わせた状態で一度に撮像することが可能になり、対象物Ｔを、短時間で高精度に検査することができる。例えば本実施形態のように、撮像データ中で濃淡差を検出して傷の有無を検査する場合には、対象物Ｔの外周面Ｔ１における鉛直方向の位置によらず、前記濃淡差に基づいて高精度に傷の有無を検査することができる。
【００３７】
またこのように、対象物Ｔの外周面Ｔ１を、全域にわたって焦点を合わせた状態で一度に撮像することができるので、例えば、撮像手段１１と対象物Ｔとを相対的に移動させる移動機構を設けるとともに、該移動機構により撮像手段１１と対象物Ｔとを相対的に移動させながら対象物Ｔの外周面Ｔ１を全域にわたって撮像するといった必要がなく、当該検査装置１０の簡素化を図ることができる。
【００３８】
また、対象物Ｔの外周面Ｔ１に対して垂直に反射された光線Ｌが、外ミラー部材１６および内ミラー部材１４を反射した後、撮像手段１１に鉛直方向に沿って入射するので、対象物Ｔの外周面Ｔ１に付いた傷に反射して該外周面Ｔ１に対して垂直に反射されなかった光線Ｌを、撮像手段１１に入射させ難くすることが可能になり、対象物Ｔの外周面Ｔ１に付いている傷の形態によらず、この傷を十分に検出することができる程度に、撮像手段１１により確実に撮像することができる。
【００３９】
また図１に示すように、水平方向に直交する光源１２の放射面１２ａから、水平方向に沿って放射された光線Ｌが、ハーフミラー１３に入射するので、光源１２から放射された光線Ｌが、ハーフミラー１３、内ミラー部材１４および外ミラー部材１６を反射して、対象物Ｔの外周面Ｔ１に到達するまでに通過する経路の長さを、その光線Ｌが対象物Ｔの外周面Ｔ１において入射する位置によらず同等にすることができる。
これにより、対象物Ｔの外周面Ｔ１を全域にわたって同等の照明条件で照射することが可能になり、検査精度を確保し易くすることができる。
【００４０】
また内ミラー部材１４が、孔部１５内に配置されているので、当該検査装置１０の小型化を図ることができる。
さらに固定部材１９が、ハーフミラー１３と内ミラー部材１４との間に配置されているので、固定部材１９を設けることによって当該検査装置１０が大型になるのを抑えることもできる。
さらにまた、固定部材１９の表裏面が、前記光軸Ｏに直交しているので、鉛直方向に沿って固定部材１９を透過する光線Ｌが前記表裏面を通過する際に、該光線Ｌが屈折するのを抑えることが可能になり、対象物Ｔを確実に高精度に検査することができる。
【００４１】
また、通過孔２０内に透過部材２１が嵌合されているので、例えば、ハーフミラー１３に埃やミストが付着するのを抑制すること等が可能になり、検査精度を一層確保し易くすることができる。
【００４２】
なお、本発明の技術的範囲は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前記実施形態では、前記縦断面視において、前記光軸Ｏに対する内ミラー部材１４の外周面１４ａの母線ｇ３の傾斜角度ｘは、例えば約４５度程度となっているものとしたが、外ミラー部材１６が、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射した光線Ｌを、対象物Ｔの外周面Ｔ１に垂直に入射するように反射する構成であれば、これに限られるものではない。例えば図５に示すように、前記縦断面視において、前記傾斜角度ｘ（度）と、内ミラー部材１４の外周面１４ａを反射した光線Ｌが孔部１５の内周面１５ａに入射する入射角度ｙ（度）と、前記光軸Ｏに対する対象物Ｔの外周面Ｔ１の母線ｇ２の傾斜角度θ（度）と、が、下記（１）式を満たすような構成を採用することができる。
２ｘ＋２ｙ−θ＝９０  ・・・  （１）
すなわち前記縦断面視において、内ミラー部材１４の外周面１４ａから孔部１５の内周面１５ａに入射する光線Ｌが、その入射点を通りかつ鉛直方向に沿って延在する仮想線Ｖとなす角度をα（度）とし、この光線Ｌの反射光が前記仮想線Ｖとなす角度をβ（度）とすると、
α＋β＋２ｙ＝１８０  ・・・  （２）
α＝２ｘ  ・・・  （３）
β＝１８０−９０−θ＝９０−θ  ・・・  （４）
となることから、これらの（２）〜（４）式より、前記（１）式の関係が求められる。
【００４３】
また透過部材２１、カバー部材１７、偏光フィルタ２２、固定部材１９はなくてもよい。
さらに内ミラー部材１４は、孔部１５内に配置されていなくてもよい。
【００４４】
また、前記実施形態では、前記光軸Ｏに対するハーフミラー１３の傾斜角度ａが、例えば約４５度程度となっているものとしたが、これに限られるものではなく、例えば、光源１２から放射される光線Ｌが、前記光軸Ｏに直交する直交面に対して傾斜する方向に放射される場合などには、ハーフミラー１３が、光源１２から放射された光線Ｌを、鉛直方向に沿って下方に向けて反射するように、前記傾斜角度ａを適宜変更することができる。
【００４５】
また前記実施形態では、撮像手段１１および対象物Ｔが、撮像手段１１側が上側になり、かつ対象物Ｔ側が下側になるように配置されているものとしたが、上下が逆転していてもよい。
さらに前記実施形態では、撮像手段１１の光軸Ｏ方向が鉛直方向に一致しているものとしたが、これに限られず、例えば水平方向など他の方向に一致していてもよい。
【００４６】
その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、前記実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、前記した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１０  検査装置
１１  撮像手段
１２  光源
１３  ハーフミラー
１４  内ミラー部材
１４ａ  外周面
１５  孔部
１５ａ  内周面
１６  外ミラー部材
Ｌ  光線
Ｏ  光軸
Ｔ  対象物
Ｔ１  外周面
【図１】
0005820634.tif 000002
【図２】
0005820634.tif 000003
【図３】
0005820634.tif 000004
【図４】
0005820634.tif 000005
【図５】
0005820634.tif 000006