(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路中に設けられた流量制御バルブの上流側と下流側とをバイパスする管路中に設けられ、前記流量制御バルブの上流側の流体圧力を第１の測定圧、前記流量制御バルブの下流側の流体圧力を第２の測定圧とし、前記第１の測定圧と第２の測定圧との差を検出する差圧センサと、前記第１の測定圧と基準圧との差を検出する圧力センサとを備えた差圧／圧力複合センサの異常診断方法であって、
前記流量制御バルブの開度を全閉とし、さらに前記流量制御バルブの下流側を大気開放することによって、前記第２の測定圧を大気圧とする第１ステップと、
前記第１ステップによって前記第２の測定圧が大気圧とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第１の測定圧と第２の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第１の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第１の測定圧と第２の測定圧との差と第１の測定圧と基準圧との差との比較結果として評価指標を求める第２ステップと、
前記第２ステップによって求められた評価指標と予め設定されている使用限界値とを比較し、前記評価指標が前記使用限界値を超えていた場合には、前記差圧／圧力複合センサに異常が生じたことを知らせる第３ステップと、
前記第３ステップにおいて前記評価指標が前記使用限界値を超えていなかった場合、前記使用限界値よりも低めに設定されている切替閾値と前記評価指標とを比較し、前記評価指標が前記切替閾値を超えていた場合には、前記差圧／圧力複合センサの交換を促す第４ステップと
を備えることを特徴とする差圧／圧力複合センサの異常診断方法。
【請求項２】
請求項１に記載された差圧／圧力複合センサの異常診断方法において、
前記基準圧は大気圧であり、
前記第２ステップは、
前記第１ステップによって前記第２の測定圧が大気圧とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第１の測定圧と第２の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第１の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第１の測定圧と第２の測定圧との差と第１の測定圧と基準圧との差との比較結果として前記評価指標を求める
ことを特徴とする差圧／圧力複合センサの異常診断方法。
【請求項３】
請求項１に記載された差圧／圧力複合センサの異常診断方法において、
前記基準圧は真空圧であり、
前記第２ステップは、
前記第１ステップによって前記第２の測定圧が大気圧とされている状態で、前記差圧センサによって検出される前記第１の測定圧と第２の測定圧との差および前記圧力センサによって検出される前記第１の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第１の測定圧と第２の測定圧との差と第１の測定圧と基準圧との差との比較結果として前記評価指標を求める
ことを特徴とする差圧／圧力複合センサの異常診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサとを備えた差圧／圧力複合センサの異常診断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、流体の流量を測定する方法として、流路に絞りを設け、絞りの上流と下流の圧力差が流速に比例することを利用して、絞りの上流と下流の圧力差を測定して流量に変換する方法がある。このような場合、通常は差圧センサが用いられる。差圧センサは、２種類の測定圧をセンサダイアフラムに同時に受け、その差圧を検出するセンサである。一方、このような流量計測がなされるとき、静圧、すなわち大気圧を基準としたゲージ圧、又は真空圧を基準とした絶対圧を測定し、流体の密度変化の補正を同時に行うことがある。前述のとおり、差圧センサは、２点間の圧力差を測るものなので、静圧自体を測ることはできない。
【０００３】
そこで、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサとを組み合わせた差圧／圧力複合センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この差圧／圧力複合センサでは、封入液が封止されたボディの内部空間に、差圧測定用の差圧センサと静圧測定用の圧力センサを収容している。
【０００４】
この差圧／圧力複合センサは、１つのセンサで差圧と静圧を検出することができる長所を有するが、差圧センサと圧力センサの何れか一方が異常となるとセンサの検出出力の信頼性が損なわれる。そこで、従来は、例えば特許文献２に開示されているように、正常時の差圧センサの出力値を基準として差圧センサの正常時の上下限の範囲を定め、この上下限の範囲を差圧センサの出力値が逸脱すれば差圧センサの異常と判断し、同様に、正常時の圧力センサの出力値を基準として圧力センサの正常時の上下限の範囲を定め、この上下限の範囲を圧力センサの出力値が逸脱すれば圧力センサの異常と判断していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−４２８７８号公報
【特許文献２】特開２００３−２１４９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献２に開示されている方法では、差圧センサの出力値と圧力センサの出力値の２つを評価指標としているため、差圧センサと圧力センサの両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておかなければならず、処理も複雑となるという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、差圧／圧力複合センサの正常／異常の判断を１つの評価指標で行うことが可能な差圧／圧力複合センサの異常診断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的を達成するために本発明は、流体が流れる流路中に設けられた流量制御バルブの上流側と下流側とをバイパスする管路中に設けられ、流量制御バルブの上流側の流体圧力を第１の測定圧、流量制御バルブの下流側の流体圧力を第２の測定圧とし、第１の測定圧と第２の測定圧との差を検出する差圧センサと、第１の測定圧と基準圧との差を検出する圧力センサとを備えた差圧／圧力複合センサの異常診断方法であって、流量制御バルブの開度を全閉とし、さらに流量制御バルブの下流側を大気開放することによって、第２の測定圧を大気圧とする第１ステップと、第１ステップによって第２の測定圧が大気圧とされている状態で、差圧センサによって検出される第１の測定圧と第２の測定圧との差および圧力センサによって検出される第１の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第１の測定圧と第２の測定圧との差と第１の測定圧と基準圧との差との比較結果として評価指標を求める第２ステップと、第２ステップによって求められた評価指標と予め設定されている使用限界値とを比較し、評価指標が使用限界値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサに異常が生じたことを知らせる第３ステップと、第３ステップにおいて評価指標が使用限界値を超えていなかった場合、使用限界値よりも低めに設定されている切替閾値と評価指標とを比較し、評価指標が切替閾値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサの交換を促す第４ステップとを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明において、例えば、基準圧を大気圧とした場合、差圧センサによって検出される第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差および圧力センサによって検出される第１の測定圧と基準圧（大気圧）との差が取得され、この取得された第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（大気圧）との差との比較結果として評価指標が求められる。そして、この評価指標と予め設定されている使用限界値とが比較され、評価指標が使用限界値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサに異常が生じたことが知らされる。評価指標が使用限界値を超えていなかった場合、使用限界値よりも低めに設定されている切替閾値と評価指標とが比較され、評価指標が切替閾値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサの交換が促される。この場合、差圧／圧力複合センサが正常であれば、第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（大気圧）との差は等しくなるはずである。したがって、第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（大気圧）との差との比較結果として求められる評価指標を使用限界値や切替閾値と比較することにより、１つの評価指標から差圧／圧力複合センサの異常の有無を判定することができる。
【００１０】
本発明において、例えば、基準圧を真空圧とした場合、差圧センサによって検出される第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差および圧力センサによって検出される第１の測定圧と基準圧（真空圧）との差が取得され、この取得された第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（真空圧）との差との比較結果として評価指標が求められる。そして、この評価指標と予め設定されている使用限界値とが比較され、評価指標が使用限界値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサに異常が生じたことが知らされる。評価指標が使用限界値を超えていなかった場合、使用限界値よりも低めに設定されている切替閾値と評価指標とが比較され、評価指標が切替閾値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサの交換が促される。この場合、差圧／圧力複合センサが正常であれば、第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（真空圧）との差は、例えば第１の測定圧と基準圧（真空圧）との差から大気圧を差し引けば、等しくなるはずである。したがって、第１の測定圧と第２の測定圧（大気圧）との差と第１の測定圧と基準圧（真空圧）との差との比較結果として求められる評価指標を使用限界値や切替閾値と比較することにより、１つの評価指標から差圧／圧力複合センサの異常の有無を判定することができる。
【００１２】
なお、本発明において、基準圧は大気圧や真空圧に限られるものではない。また、本発明において、差圧センサや圧力センサは、それぞれセンサチップとして独立したものであってもよく、１チップ上に形成されたものであってもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第２の測定圧が大気圧とされている状態で、差圧センサによって検出される第１の測定圧と第２の測定圧との差および圧力センサによって検出される第１の測定圧と基準圧との差を取得し、この取得した第１の測定圧と第２の測定圧との差と第１の測定圧と基準圧との差との比較結果として評価指標を求め、この評価指標と予め設定されている使用限界値とを比較し、評価指標が前記使用限界値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサに異常が生じたことを知らせ、評価指標が使用限界値を超えていなかった場合、使用限界値よりも低めに設定されている切替閾値と評価指標とを比較し、評価指標が切替閾値を超えていた場合には、差圧／圧力複合センサの交換を促すようにしたので、差圧／圧力複合センサの正常／異常の判断を１つの評価指標で行うことが可能となり、差圧センサと圧力センサの両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておく必要がなくなり、処理も簡単となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施に用いる流量計測機能付きバルブの要部の構成を示す図である。
【図２】この流量計測機能付きバルブに設けられた差圧／圧力複合センサの要部の断面図である。
【図３】この流量計測機能付きバルブにおけるコントローラが有する異常診断機能を説明するためのフローチャートである。
【図４】コントローラからバルブ（流量制御バルブ）へ全閉指令が送られ、さらに２次側が大気開放された状態を示す図である。
【図５】バルブ（流量制御バルブ）が全閉とされ、さらに２次側が大気開放された時の差圧／圧力複合センサへの測定圧Ｐ１，Ｐ２の印加状態を示す図である。
【図６】異常診断機能により求められる評価指標ΔＰＧのトレンドを例示する図である。
【図７】コントローラが有する異常診断機能の機能ブロック図である。
【図８】静圧ＰＧとして絶対圧を測定するようにした場合の差圧／圧力複合センサの要部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の実施に用いる流量計測機能付きバルブ１００の要部の構成を示す図である。図１において、１は流体が流れる流路Ｌ１中に設けられたバルブ（流量制御バルブ）、２はバルブ１を駆動するアクチュエータ、３はアクチュエータ２の駆動を制御するコントローラ、４はバルブ１の上流側（１次側）と下流側（２次側）とをバイパスする管路Ｌ２中に設けられた差圧／圧力複合センサ、５はバルブ１の２次側を大気開放するためのバルブ（大気開放バルブ）である。なお、コントローラ３は実際にはアクチュエータ２に内蔵されているが、この例では分かり易いようにアクチュエータ２の外部に示している。また、コントローラ３はバルブ５の開閉も制御し、通常はバルブ５を全閉としている。
【００１６】
図２に差圧／圧力複合センサ４の要部の断面図を示す。図２において、４１は金属製のボディであり、管路Ｌ２の上流側管路Ｌ２１と下流側管路Ｌ２２との間に設けられている。ボディ４１は、内部空間として、隔壁４１−１によって区画された第１の空間４１−２と第２の空間４１−３とを有している。隔壁４１−１には、第１の空間４１−２と第２の空間４１−３とを連通する貫通路４１−４と、第１の空間４１−２とボディ４１の外部空間とを連通する連通路４１−５が設けられている。第１の空間４１−２の開口部４１−２ａには第１の金属ダイアフラム（第１の受圧ダイアフラム）４２−１が設けられており、第２の空間４１−３の開口部４１−３ａには第２の金属ダイアフラム（第２の受圧ダイアフラム）４２−２が設けられている。
【００１７】
４３は差圧センサチップであり、その中央部を薄肉状としてセンサダイアフラムＳ１が形成されており、このセンサダイアフラムＳ１の一方の面４３ａに対する他方の面４３ｂに凹部４３ｃが形成されている。差圧センサチップ４３は、センサダイアフラムＳ１の一方の面４３ａを第１の受圧ダイアフラム４２−１に臨むようにして、センサダイアフラムＳ１の他方の面４３ｂに通ずる連通路４４を隔壁４１−１の貫通路４１−４に連通させるようにして、第１の空間４１−２に位置する隔壁４１−１の壁面４１−１ａに台座４５を介して接合されている。台座４５は筒状とされており、その中空部４５ａと差圧センサチップ４３の凹部４３ｃとによって、センサダイアフラムＳ１の他方の面４３ｂに通ずる連通路４４が形成されている。差圧センサチップ４３はシリコンなどから成り、台座４５はシリコンやガラスなどから成る。
【００１８】
４６は圧力センサチップであり、その中央部を薄肉状としてセンサダイアフラムＳ２が形成されており、このセンサダイアフラムＳ２の一方の面４６ａに対する他方の面４６ｂに凹部４６ｃが形成されている。圧力センサチップ４６は、センサダイアフラムＳ２の一方の面４６ａを第１の受圧ダイアフラム４２−１に臨むようにして、センサダイアフラムＳ２の他方の面４６ｂに通ずる連通路４７を隔壁４１−１の連通路４１−５に連通させるようにして、第１の空間４１−２に位置する隔壁４１−１の壁面４１−１ａに台座４８を介して接合されている。台座４８は筒状とされており、その中空部４８ａと圧力センサチップ４６の凹部４６ｃとによって、センサダイアフラムＳ２の他方の面４６ｂに通ずる連通路４７が形成されている。圧力センサチップ４６はシリコンなどから成り、台座４８はシリコンやガラスなどから成る。
【００１９】
ボディ４１には、第１の空間４１−２を第１の封入室４９−１として、第１の圧力伝達用媒体４０−１が封止されている。また、第２の空間４１−３および隔壁４１−１の貫通路４１−４および差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１の他方の面４３−１ｂに通ずる連通路４４を第２の封入室４９−２として、第２の圧力伝達用媒体４０−２が封止されている。圧力伝達用媒体４０−１，４０−２としては、シリコーンオイル等の非圧縮性流体が用いられる。
【００２０】
この差圧／圧力複合センサ４では、バルブ１の１次側の流体圧力が測定圧Ｐ１として第１の受圧ダイアフラム４２−１に加わり、この第１の受圧ダイアフラム４２−１が受けた測定圧Ｐ１が第１の圧力伝達用媒体４０−１を介して差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１の一方の面４３ａに伝達され、バルブ１の２次側の流体圧力が測定圧Ｐ２として第２の受圧ダイアフラム４２−２に加わり、この第１の受圧ダイアフラム４２−２が受けた測定圧Ｐ２が第２の圧力伝達用媒体４０−２を介して差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１の他方の面４３ｂに伝達される。その結果、差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１が測定圧Ｐ１と測定圧Ｐ２との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号が差圧ΔＰを示す信号（以下、この信号を差圧信号ΔＰと呼ぶ）として差圧センサチップ４３から出力される。この差圧信号ΔＰはコントローラ３へ送られる。差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１には、差圧信号ΔＰを出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
【００２１】
また、この差圧／圧力複合センサ４では、バルブ１の１次側の流体圧力が測定圧Ｐ１として第１の受圧ダイアフラム４２−１に加わり、この第１の受圧ダイアフラム４２−１が受けた測定圧Ｐ１が第１の圧力伝達用媒体４０−１を介して圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２の一方の面４６ａに伝達され、ボディ１の外部空間の圧力（大気圧）が基準圧Ｐ３として圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２の他方の面４６ｂに伝達される。その結果、圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２が測定圧Ｐ１と基準圧（大気圧）Ｐ３との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号が静圧ＰＧを示す信号（以下、この信号を静圧信号ＰＧと呼ぶ）として圧力センサチップ４６から出力される。この静圧信号ＰＧはコントローラ３へ送られる。圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２には、静圧信号ＰＧを出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
【００２２】
コントローラ３は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現され、基本機能としてバルブ１の流量制御機能に加え、本実施の形態特有の機能として差圧／圧力複合センサ４の異常診断機能を有している。
【００２３】
〔流量制御機能〕
先ず、コントローラ３が有する流量制御機能について説明する。コントローラ３は、差圧／圧力複合センサ４からの差圧信号ΔＰを入力とし、この入力された差圧信号ΔＰに基づいて、バルブ１を流れている現在の流体の流量Ｑｐｖを計測する。そして、この計測した流量Ｑｐｖと上位から与えられる設定流量Ｑｓｐとを比較し、Ｑｐｖ＝Ｑｓｐとなるようにアクチュエータ２へ駆動指令を送り、バルブ１の開度を制御する。
【００２４】
〔異常診断機能〕
次に、コントローラ３が有する異常診断機能について説明する。コントローラ３は、一定期間が経過する毎に異常診断として、差圧／圧力複合センサ４の定期検査を実行する。図３にコントローラ３が実行する定期検査のフローチャートを示す。
【００２５】
コントローラ３は、定期検査の実行日となると（ステップＳ１０１のＹＥＳ）、図４に示すように、アクチュエータ２へ全閉指令を送り、バルブ（流量制御バルブ）１を全閉とし、さらにバルブ（大気開放バルブ）５へ全開指令を送り、バルブ５を全開とする（ステップＳ１０２）。これにより、バルブ１の２次側が大気開放され、図５に示すように、差圧／圧力複合センサ４における差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１の他方の面４３ｂに加えられる測定圧Ｐ２が大気圧とされる。このとき、差圧センサチップ４３のセンサダイアフラムＳ１の一方の面４３ａと圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２の一方の面４６ａには、バルブ１の１次側の流体圧力が測定圧Ｐ１として加わっている。
【００２６】
コントローラ３は、バルブ１の２次側を大気開放させた状態（測定圧Ｐ２が大気圧とされている状態）で、その時の差圧センサチップ４３からの差圧信号ΔＰと圧力センサチップ４６からの静圧信号ＰＧを取得する（ステップＳ１０３）。すなわち、差圧センサチップ４３によって検出される測定圧Ｐ１（１次側の流体圧力）と測定圧Ｐ２（大気圧）との差である差圧ΔＰを取得し、圧力センサチップ４６によって検出される測定圧Ｐ１（１次側の流体圧力）と基準圧Ｐ３（大気圧）との差である静圧ＰＧを取得する。
【００２７】
そして、コントローラ３は、その取得した差圧ΔＰと静圧ＰＧとの差を評価指標ΔＰＧとして求める（ステップＳ１０４）。この時、差圧／圧力複合センサ４が正常であれば、取得した差圧ΔＰと静圧ＰＧとは等しく、評価指標ΔＰＧは零となるはずである。
【００２８】
次に、コントローラ３は、その求めた評価指標ΔＰＧと予め設定されている使用限界値とを比較する（ステップＳ１０５）。ここで、評価指標ΔＰＧが使用限界値を超えていれば（ステップＳ１０５のＹＥＳ）、直ちに警報信号を出力し（ステップＳ１０８）、差圧／圧力複合センサ４に異常が生じたことを知らせる。
【００２９】
評価指標ΔＰＧが使用限界値を超えていなければ（ステップＳ１０５のＮＯ）、コントローラ３は、評価指標ΔＰＧと切替閾値とを比較する（ステップＳ１０６）。この切替閾値は使用限界値よりも低めに設定されている。コントローラ３は、評価指標ΔＰＧが切替閾値を超えていれば（ステップＳ１０６のＹＥＳ）、センサ交換信号を出力し（ステップＳ１０６）、差圧／圧力複合センサ４の交換を促す。評価指標ΔＰＧが切替閾値を超えていなければ（ステップＳ１０６のＮＯ）、ステップＳ１０１へ戻り、定期検査を繰り返す。
【００３０】
このようにして、コントローラ３は、一定期間が経過する毎に異常診断として、差圧／圧力複合センサ４の定期検査を実行する。図６に評価指標ΔＰＧのトレンドを例示する。通常は、図６に示されるように、評価指標ΔＰＧは時間の経過に伴って大きくなって行く。この場合、一定期間が経過する毎に求められる評価指標ΔＰＧが切替閾値を超えた時点で、センサ交換信号が出力される。
【００３１】
これにより、大きな出力異常が認められる前に異常を察知して、差圧／圧力複合センサ４を交換することが可能となり、トラブルを最小限に抑えることが可能となる。また、差圧／圧力複合センサ４を使用限界直前まで有効に活用でき、交換コストを削減することが可能となる。また、評価指標ΔＰＧが使用限界値を超えた場合には直ちに警報信号が出力されるので、差圧／圧力複合センサ４の大きな出力異常にも速やかに対処することが可能となる。また、差圧／圧力複合センサ４を取り外して検査するなど、差圧／圧力複合センサ４の正常／異常を定期的に確認する必要もない。
【００３２】
また、差圧／圧力複合センサ４の正常／異常の判断を１つの評価指標ΔＰＧで行うことができるので、差圧センサチップ４３と圧力センサチップ４６の両方に対して正常時の上下限の範囲を記憶させておく必要がなくなり、処理も簡単となる。
【００３３】
図７にコントローラ３が有する異常診断機能の機能ブロック図を示す。同図において、３−１は差圧・静圧取得部、３−２は評価指標算出部、３−３は異常判定部である。
【００３４】
差圧・静圧取得部３−１は、一定期間が経過する毎に、アクチュエータ２にバルブ１の全閉指令を送り、さらにバルブ５に全開指令を送り、差圧センサチップ４３からの差圧信号ΔＰと圧力センサ４６からの静圧信号ＰＧを取得する。
【００３５】
評価指標算出部３−２は、差圧・静圧取得部３−１が取得した差圧信号ΔＰから得られる差圧ΔＰと静圧信号ＰＧから得られる静圧ＰＧとの差を評価指標ΔＰＧとして求める。
【００３６】
異常判定部３−３は、評価指標算出部３−２からの評価指標ΔＰＧを入力とし、評価指標ΔＰＧが使用限界値を超えていれば警報信号を出力し、評価指標ΔＰＧが使用限界値を超えておらず、切替閾値を超えていればセンサ交換信号を出力する。
【００３７】
なお、上述した実施の形態において、コントローラ３からのセンサ交換信号や警報信号は、通信で上位装置へ送るようにしてもよく、流量計測機能付きバルブ１００においてその信号に基づく表示を行わせるようにしてもよい。
【００３８】
また、上述した実施の形態では、基準圧Ｐ３を大気圧とし静圧ＰＧとしてゲージ圧を測定するものとしたが、基準圧Ｐ３を真空圧とし静圧ＰＧとして絶対圧を測定するようにしてもよい。
【００３９】
図８に静圧ＰＧとして絶対圧を測定するようにした場合の差圧／圧力複合センサ４の要部の断面図を示す。以下、図２に示した差圧／圧力複合センサ４と区別するために、図２に示した差圧／圧力複合センサ４を差圧／圧力複合センサ４Ａとし、図８に示した差圧／圧力複合センサ４を差圧／圧力複合センサ４Ｂとする。
【００４０】
この差圧／圧力複合センサ４Ｂでは、差圧／圧力複合センサ４Ａがボディ４１に連通路４１−５を設けていたのに対し、この連通路４１−５をボディ４１からなくし、圧力センサチップ４６のセンサダイアフラムＳ２の他方の面４６ｂに通ずる連通路４７を真空としている。これにより、基準圧Ｐ３が真空圧とされ、絶対圧を示す静圧信号ＰＧがコントローラ３へ送られるものとなる。
【００４１】
この差圧／圧力複合センサ４Ｂでは、静圧信号ＰＧから得られる静圧ＰＧ（絶対圧）から大気圧を差し引いた値を静圧ＰＧ’として求め、差圧信号ΔＰから得られる差圧ΔＰとその求めた静圧ＰＧ’との差を評価指標ΔＰＧとして求める。この時、差圧／圧力複合センサ４Ｂが正常であれば、差圧ΔＰと静圧ＰＧ’とは等しく、評価指標ΔＰＧは零となるはずである。したがって、差圧ΔＰと静圧ＰＧ’との差を評価指標ΔＰＧとすることにより、上述した実施の形態と同様にして差圧／圧力複合センサ４Ｂの異常の有無を判定することができる。
【００４２】
なお、この場合、静圧ＰＧ（絶対圧）から差し引く大気圧は、標準大気圧としてもよいし、その時の大気圧としてもよい。また、差圧信号ΔＰから得られる差圧ΔＰに大気圧を加算した値を差圧ΔＰ’として求め、この求めた差圧ΔＰ’と静圧信号ＰＧから得られる静圧ＰＧ（絶対圧）との差を評価指標ΔＰＧとして求めるようにしてもよい。
【００４３】
また、上述した実施の形態では、差圧センサを差圧センサチップ４３とし、圧力センサを圧力センサチップ４６とし、ボディ４１内にそれぞれ独立して収容するようにしたが、差圧センサと圧力センサを１チップ上に形成して１つのセンサチップとし、このセンサチップをボディ４１内に収容するようにしてもよい。
【００４４】
また、上述した実施の形態では、差圧センサチップ４３や圧力センサチップ４６を圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージを形成したタイプとしたが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間（容量室）を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。
【００４５】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…バルブ（流量制御バルブ）、２…アクチュエータ、３…コントローラ、Ｌ１…流路、Ｌ２…管路、Ｌ２１…上流側管路、Ｌ２２…下流側管路、４（４Ａ，４Ｂ）…差圧／圧力複合センサ、５…バルブ（大気開放バルブ）、４０−１…第１の圧力伝達用媒体、４０−２…第２の圧力伝達用媒体、４１…ボディ、４１−１…隔壁、４１−２…第１の空間、４１−３…第２の空間、４１−４…貫通路、４１−５…連通路、４２−１…第１の受圧ダイアフラム、４２−２…第２の受圧ダイアフラム、４３…差圧センサチップ、Ｓ１…センサダイアフラム、４４…連通路、４５…台座、４６…圧力センサチップ、Ｓ２…センサダイアフラム、４７…連通路、４８…台座、４９−１…第１の封入室、４９−２…第２の封入室、３−１…差圧・静圧取得部、３−２…評価指標算出部、３−３…異常判定部、１００…流量計測機能付きバルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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