(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザモジュールであって、
底部と、前記底部に対して略垂直に起立する側壁と、から構成されるパッケージと、
前記パッケージ内に設けられた複数の半導体レーザと、
複数の前記半導体レーザから出射されるレーザ光をそれぞれ反射する複数の反射ミラーと、
前記反射ミラーにより反射されたそれぞれのレーザ光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光されたレーザ光が結合される光ファイバと、
を具備し、
前記底部に対して、徐々に高さが高くなるように、階段状に半導体レーザ設置面が設けられ、
複数のそれぞれの前記半導体レーザは、互いに高さの異なるそれぞれの前記半導体レーザ設置面に配置され、
複数のそれぞれの前記反射ミラーの厚みは、レーザ光の断面形状の高さ以上、前記レーザ光の断面形状の高さ＋５０μｍ以下であり、
複数の前記反射ミラーは、上段の反射ミラーで反射したレーザ光が、下段の反射ミラーの上を通過するように、それぞれの前記反射ミラーが前記半導体レーザ設置面に対して略垂直に起立する起立部に、それぞれの前記半導体レーザ設置面に対応した高さで互いに高さを変えて接合され、
複数の前記反射ミラーは、前記半導体レーザの出射面に対向する前記起立部の側面にそれぞれ接合されることを特徴とする半導体レーザモジュール。
【請求項２】
前記起立部は、前記半導体レーザの出射方向に対して略垂直に設けられた、前記側壁であり、前記反射ミラーは、前記起立部の内側面に接合されることを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザモジュール。
【請求項３】
前記起立部は、前記パッケージの内部において前記底部の上に設けられた壁部材であり、前記反射ミラーは、前記起立部の側面に接合されることを特徴とする請求項１に記載の半導体レーザモジュール。
【請求項４】
前記壁部材は、前記半導体レーザ設置面を構成する材質と同一の材質で構成されることを特徴とする請求項３に記載の半導体レーザモジュール。
【請求項５】
前記壁部材は、前記反射ミラーを構成する材質と同一の材質で構成されることを特徴とする請求項３に記載の半導体レーザモジュール。
【請求項６】
前記反射ミラーは、前記反射ミラーを設置する際に把持するための把持部を有し、
前記把持部は、前記起立部の側面に対して略垂直な互いに平行な２面を有し、
前記反射ミラーの反射面が前記把持部に対して、所定の角度で形成されることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の半導体レーザモジュール。
【請求項７】
前記反射ミラーの前記起立部への接合部は、曲面で構成されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の半導体レーザモジュール。
【請求項８】
前記起立部の前記反射ミラーとの接合部には、凹部が形成されることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の半導体レーザモジュール。
【請求項９】
半導体レーザモジュールであって、
底部と、前記底部に対して略垂直に起立する側壁と、から構成されるパッケージと、
前記パッケージ内に設けられた複数の半導体レーザと、
複数の前記半導体レーザから出射されるレーザ光をそれぞれ反射する複数の反射ミラーと、
前記反射ミラーにより反射されたそれぞれのレーザ光を集光する集光レンズと、
前記集光レンズで集光されたレーザ光が結合される光ファイバと、
を具備し、
前記底部に対して、徐々に高さが高くなるように、階段状に半導体レーザ設置面が設けられ、
複数の前記半導体レーザは、互いに高さの異なるそれぞれの前記半導体レーザ設置面にそれぞれ配置され、
複数のそれぞれの前記反射ミラーの厚みは、レーザ光の断面形状の高さ以上、前記レーザ光の断面形状の高さ＋５０μｍ以下であり、
複数の前記反射ミラーは、上段の反射ミラーで反射したレーザ光が、下段の反射ミラーの上を通過するように、それぞれの前記反射ミラーが前記半導体レーザ設置面に対して略垂直に起立する起立部に、それぞれの前記半導体レーザ設置面に対応した高さで互いに高さを変えて接合され、
複数の前記反射ミラーは、前記半導体レーザの出射方向に対して略平行な前記パッケージの内側面にそれぞれ接合されることを特徴とする半導体レーザモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファイバへの結合効率の良い半導体レーザモジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の半導体レーザから出力された光を、光ファイバに結合する半導体レーザモジュールがある。このような、半導体レーザモジュールとしては、例えば、複数のレーザと、これに対応したレンズおよびミラーとを高さ方向に複数段に配置し、光ファイバに結合するレーザダイオードアッセンブリがある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７７３３９３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１１は、従来の半導体レーザモジュール１００を示す概略図である。なお、図１１は、パッケージ１０３の上面および図中手前側の壁部の透視図である。半導体レーザモジュール１００は、主に、パッケージ１０３、半導体レーザ１０５、レンズ１０７、１０９、１１３、反射ミラー１１１、光ファイバ１１５等から構成される。
【０００５】
パッケージ１０３の底部は、徐々に高さが高くなるように、階段状に形成される。それぞれの段上が、半導体レーザ設置面１１７となる。それぞれの半導体レーザ設置面１１７には、半導体レーザ１０５が設置される。
【０００６】
半導体レーザ１０５の前方（出射方向）には、レンズ１０７が配置される。また、さらにその前方には、レンズ１０９が配置される。レンズ１０７、１０９によって、半導体レーザ１０５から出射した光の縦方向および横方向それぞれがコリメートされる。
【０００７】
このようにしてコリメートされた光は、反射ミラー１１１で反射され、略垂直に方向を変える。なお、レンズ１０７、１０９、反射ミラー１１１は、それぞれの半導体レーザ１０５毎に配置され、同一の半導体レーザ設置面上に配置される。さらに、それぞれの反射ミラー１１１によって反射した光は、レンズ１１３によって集光され、光ファイバ１１５に結合される。
【０００８】
図１２（ａ）は、半導体レーザ１０５の出射方向の側面図であり、図１１のＶ−Ｖ線断面図である。前述の通り、それぞれの半導体レーザ１０５（図示せず）から出射したレーザ光１１９は、反射ミラー１１１によって反射される。すなわち、それぞれの半導体レーザ１０５から出射したレーザ光１１９は、それぞれ異なる高さに出射され、異なる高さに配置された反射ミラー１１１によって反射される。レンズ１１３は、これらの高さの異なるレーザ光１１９を集光することで、光ファイバ１１５に結合することができる。
【０００９】
図１２（ｂ）は、この際の反射ミラー１１１近傍の拡大図である。下段側（図中左側）および上段側（図中右側）のそれぞれの反射ミラー１１１では、レーザ光１１９が反射する。ここで、反射ミラー１１１の高さ（図中Ｙ）は、おおよそ１０００μｍ程度であるが、半導体レーザ設置面１１７の段差高さ（図中Ｗ）は、おおよそ３００μｍである。したがって、ミラー上でレーザ光１１９が照射できるエリアの高さは３００μｍである。また、レーザ光１１９の高さ（図中Ｘ）は、約２５０μｍである。したがって、レーザ光１１９の全てがミラー１１１に照射するよう、かつ下段のミラーに反射させたレーザ光１１９が当たらないようにするためには、反射ミラー１１１の上下に２５μｍ程度しか余裕が無い。
【００１０】
ここで、反射ミラー１１１は、半導体レーザ設置面１１７上に接着剤等により固定される。したがって、反射ミラー１１７は、接着剤の固定精度＋２０μｍ、−５μｍだけ上下方向に移動する。また、反射ミラー１１７の加工精度としては、±３０μｍ程度の公差を有する。したがって、接着剤の厚みのバラツキやミラーの加工精度が大きい方にずれると、下段側の反射ミラー１１１は、設計値よりも５０μｍも上方に突出する場合がある。
【００１１】
このように、下段側の反射ミラー１１１が上方に突出すると、上段側の反射ミラー１１１で反射するレーザ光１１９の一部が、下段側の反射ミラー１１１で遮蔽される恐れがある（図中矢印Ｚ）。すなわち、レーザ光１１９の一部が光ファイバ１１５方向に反射されなくなる恐れがある。
【００１２】
しかし、下段側の反射ミラー１１１をこれ以上下方に移動させることは困難である。また、反射ミラー１１１の寸法精度を厳しくすれば、コスト増となる。また、反射ミラー１１１のサイズを小さくしたのでは、前述したように、レーザ光１１９のサイズに対する余裕がさらに小さくなり、レーザ光１１９の全てを反射させるのが困難となる。また、段差高さを高くしたのでは、レーザ光１１９の高さ方向の差が大きくなるため、より大きなレンズ１１３が必要になるとともに、光ファイバ１１５への集光が困難となる。
【００１３】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、反射ミラーによって確実にレーザ光を反射し、光ファイバへの結合効率に優れる半導体レーザモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述した目的を達成するために、第１の発明は、半導体レーザモジュールであって、底部と、前記底部に対して略垂直に起立する側壁と、から構成されるパッケージと、前記パッケージ内に設けられた複数の半導体レーザと、複数の前記半導体レーザから出射されるレーザ光をそれぞれ反射する複数の反射ミラーと、前記反射ミラーにより反射されたそれぞれのレーザ光を集光する集光レンズと、前記集光レンズで集光されたレーザ光が結合される光ファイバと、を具備し、前記底部に対して、徐々に高さが高くなるように、階段状に半導体レーザ設置面が設けられ、複数のそれぞれの前記半導体レーザは、互いに高さの異なるそれぞれの前記半導体レーザ設置面に配置され、複数のそれぞれの前記反射ミラーの厚みは、レーザ光の断面形状の高さ以上、前記レーザ光の断面形状の高さ＋５０μｍ以下であり、複数の前記反射ミラーは、上段の反射ミラーで反射したレーザ光が、下段の反射ミラーの上を通過するように、それぞれの前記反射ミラーが前記半導体レーザ設置面に対して略垂直に起立する起立部に、それぞれの前記半導体レーザ設置面に対応した高さで互いに高さを変えて接合され、複数の前記反射ミラーは、前記半導体レーザの出射面に対向する前記起立部の側面にそれぞれ接合されることを特徴とする半導体レーザモジュールである。
【００１６】
前記反射ミラーは、前記反射ミラーを設置する際に把持するための把持部を有し、前記把持部は、前記起立部の側面に対して略垂直な互いに平行な２面を有し、前記反射ミラーの反射面が前記把持部に対して、所定の角度で形成されることが望ましい。
【００１７】
前記反射ミラーの前記起立部への接合部は、曲面で構成されてもよい。前記起立部の前記反射ミラーとの接合部には、凹部が形成されてもよい。
【００１８】
前記起立部は、前記半導体レーザの出射方向に対して略垂直に設けられた、前記側壁であり、前記反射ミラーは、前記起立部の内側面に接合されてもよい。前記起立部は、前記パッケージの内部において前記底部の上に設けられた壁部材であり、前記反射ミラーは、前記起立部の側面に接合されてもよい。前記壁部材は、前記半導体レーザ設置面を構成する材質と同一の材質で構成されてもよく、前記壁部材は、前記反射ミラーを構成する材質と同一の材質で構成されてもよい。
【００１９】
本発明によれば、反射ミラーが、半導体レーザ設置面に垂直な起立面に設置される。したがって、反射ミラーの接着剤等の厚みによる、高さ方向の変動が無い。
【００２０】
また、反射ミラーを起立面に固定するため、レーザ光１１９の垂直方向のビーム幅まで、反射ミラーを薄くすることができる。この際、反射ミラーの高さ方向の固定位置は、任意に調整することができる。したがって、レーザ光に対して適切な位置に反射ミラーを設置することができる。このため、レーザ光の大きさに対する反射ミラーの余裕代を小さくしても十分に適用可能である。
【００２１】
また、反射ミラーに把持部を形成することで、把持部を所定の装置等によって把持し、反射ミラーの固定位置を微調整することができる。したがって、反射ミラーの設置位置精度を高くすることができる。
【００２２】
また、反射ミラーと起立面との接合部を曲面とすれば、反射ミラーの方向等の調整が容易である。例えば、反射ミラーの凸面の一部を起立面に接触させた状態で反射ミラーの向きを微調整することで、反射ミラーの配置や方向を精度よく調整することができる。
【００２３】
また、起立面の一部に凹部を設け、反射ミラーを凹部に設置して固定することで、接着剤がパッケージ底部等に流出することを防止することができる。
【００２４】
また、起立面として、パッケージの内側面を用いれば、従来のパッケージをそのまま使用することができる。したがって、構造が簡易である。
【００２５】
また、起立面として、別途壁部材を用いることもできる。この場合には、パッケージとは異なる部材であるため、パッケージの変形等の影響を受けることが無い。したがって、反射ミラーの光軸がずれることがない。
【００２６】
また、この場合において、壁部材の材質を、半導体レーザ設置面を構成する材質と同質の材質とすることで、熱膨張の違いによる、光軸ずれ等の影響を抑制することができる。
または、壁部材の材質を、反射ミラーを構成する材質と同質の材質とすることで、接着が容易となる。また、反射ミラーと壁部材の熱膨張の違いによる、光軸ずれ等の影響を抑制することができる。
【００２７】
また、第２の発明は、半導体レーザモジュールであって、底部と、前記底部に対して略垂直に起立する側壁と、から構成されるパッケージと、前記パッケージ内に設けられた複数の半導体レーザと、複数の前記半導体レーザから出射されるレーザ光をそれぞれ反射する複数の反射ミラーと、前記反射ミラーにより反射されたそれぞれのレーザ光を集光する集光レンズと、前記集光レンズで集光されたレーザ光が結合される光ファイバと、を具備し、前記底部に対して、徐々に高さが高くなるように、階段状に半導体レーザ設置面が設けられ、複数の前記半導体レーザは、互いに高さの異なるそれぞれの前記半導体レーザ設置面にそれぞれ配置され、複数のそれぞれの前記反射ミラーの厚みは、レーザ光の断面形状の高さ以上、前記レーザ光の断面形状の高さ＋５０μｍ以下であり、複数の前記反射ミラーは、上段の反射ミラーで反射したレーザ光が、下段の反射ミラーの上を通過するように、それぞれの前記反射ミラーが前記半導体レーザ設置面に対して略垂直に起立する起立部に、それぞれの前記半導体レーザ設置面に対応した高さで互いに高さを変えて接合され、複数の前記反射ミラーは、前記半導体レーザの出射方向に対して略平行な前記パッケージの内側面にそれぞれ接合されることを特徴とする半導体レーザモジュールである。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、反射ミラーによって確実にレーザ光を反射し、光ファイバへの結合効率に優れる半導体レーザモジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】半導体レーザモジュール１を示す斜視図。
【図２】半導体レーザモジュール１を示す平面図。
【図３】（ａ）は、半導体レーザモジュール１を示す側面図であり、図２のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は反射ミラー近傍の拡大図。
【図４】レーザ光の形状を示す概念図であり、（ａ）は、図３のＢ−Ｂ線断面における形状を示す図、（ｂ）は、図３のＣ−Ｃ線断面における形状を示す図。
【図５】（ａ）は反射ミラー１１の形状を示す図、（ｂ）は反射ミラー１１ａの形状を示す図。
【図６】（ａ）は反射ミラー１１ｂの形状を示す図、（ｂ）は反射ミラー１１ｃの形状を示す図。
【図７】半導体レーザモジュール３０を示す平面図。
【図８】半導体レーザモジュール４０を示す平面図。
【図９】半導体レーザモジュール５０を示す平面図。
【図１０】半導体レーザモジュール５０を示す側面断面図
【図１１】半導体レーザモジュール１００を示す斜視図。
【図１２】（ａ）は、半導体レーザモジュール１００を示す側面図であり、図１１のＶ−Ｖ線断面図、（ｂ）は反射ミラー近傍の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、半導体レーザモジュール１を示す図であり、図１は斜視図、図２は平面図である。なお、図１は、パッケージ３の上面および図中手前側の側壁を透視した図である。半導体レーザモジュール１は、主に、パッケージ３、半導体レーザ５、レンズ７、９、１３、反射ミラー１１、光ファイバ１５等から構成される。
【００３１】
パッケージ３は、底部と、側面１９ａ、１９ｂから構成される。側面１９ａ、１９ｂは、パッケージ３の底部に対して、略垂直に起立する。また、側面１９ａ、１９ｂは、互いに垂直に配置される。なお、側面１９ａ、１９ｂは、例えば銅、銅合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金、アルミニウムや樹脂で構成される。また、パッケージ３の底部は、例えば銅、銅合金、アルミニウム、高熱伝導率を有すセラミック（例えば、窒化アルミ：ＡｌＮ、酸化ベリリウム：ＢｅＯ）等で構成される。
【００３２】
パッケージ３の内部において、底部は、徐々に高さが高くなるように、階段状に形成される。それぞれの段上が、半導体レーザ設置面１７となる。すなわち、半導体レーザモジュール１には、複数の半導体レーザ設置面１７が階段状に形成される。それぞれの半導体レーザ設置面１７には、半導体レーザ５が設置される。半導体レーザ５は予めサブマウント６に搭載されていてもよく、その半導体レーザ５が搭載されたサブマウント６（チップオンサブマウント：ＣＯＳ）を半導体レーザ設置面１７に搭載してもよい。
【００３３】
半導体レーザ５の前方（出射方向）には、レンズ７が配置される。図においては半導体レーザ５とは別に設けられているが、半導体レーザ５の出射端面に設けても良い。また、さらにその前方には、レンズ９が配置される。レンズ７、９は、それぞれの半導体レーザ５毎に配置され、同一の半導体レーザ設置面１７上に配置される。レンズ７、９は、半導体レーザ５から出射した光を、縦方向および横方向それぞれにコリメートするものである。レンズ７に関しては、半導体レーザ５と高さを調整後、サブマウント６の壁面に固定してもよい。
【００３４】
半導体レーザ５の出射方向に対向するように設けられる側面１９ａには、反射ミラー１１が固定される。半導体レーザ設置面１７に対する起立面である側面１９ａは、半導体レーザ設置面１７に略垂直な面であり、パッケージ３の側壁を構成するものである。反射ミラー１１は、前述したレンズ７、９によってコリメートされた光を略垂直に反射する。なお、それぞれの半導体レーザ５に対する、レンズ７、９、反射ミラー１１は、全て同一形状のものを使用することができる。
【００３５】
パッケージ３の底部には、半導体レーザ５の出射方向とは垂直な方向に向けて、レンズ１３が固定される。レンズ１３は、反射ミラー１１によって反射されたレーザ光を集光するものである。また、レンズ１３の背面側には、パッケージ３を貫通するように、光ファイバ１５が設けられる。レンズ１３で集光されたレーザ光は光ファイバ１５に結合される。
【００３６】
すなわち、図２に示すように、複数の半導体レーザ５が、それぞれの高さの半導体レーザ設置面１７に併設され、それぞれ略同一方向にレーザ光を出射する。半導体レーザ５の出射方向には、同一方向に、順に、レンズ７、９、反射ミラー１１が配置される。したがって、レーザ光は、レンズ７、９を介して、反射ミラー１１に照射される。さらに、それぞれの反射ミラー１１では、略同一方向に向けてレーザ光が反射される。それぞれの反射ミラー１１で反射されたレーザ光は、レンズ１３で集光されて光ファイバ１５に結合される。なお、２レンズ系を用いる場合は、半導体レーザ５側に、半導体レーザ５の積層方向に水平な方向に関してコリメートするレンズを、ミラー側に半導体レーザ５の積層方向に垂直な方向に関してコリメートするレンズを配置すると都合が良い。
【００３７】
また、半導体レーザ５の数や配置等は、図示した例に限られない。また、反射ミラー１１の反射面が曲面、球面等で形成され、半導体レーザ５から出射されたレーザ光の縦方向または横方向の広がりを、反射ミラー１１によってコリメートすることが可能であれば、対応するレンズ７、９は必ずしも必要ではない。
【００３８】
図３（ａ）は、半導体レーザ５の出射方向の側面図であり、図２のＡ−Ａ線断面図である。前述の通り、それぞれの半導体レーザ５（図示せず）から出射したレーザ光２０は、反射ミラー１１によって反射される。すなわち、それぞれの半導体レーザ５から出射したレーザ光２０は、それぞれ異なる高さに出射され、異なる高さに配置された反射ミラー１１によって反射される。
【００３９】
図４（ａ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ線断面におけるレーザ光の形状を示す概念図であり、図４（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ線断面におけるレーザ光の形状を示す概念図である。
【００４０】
図４（ａ）に示すように、レンズ１３に入射する前は、それぞれの反射ミラー１１によって反射されたレーザ光２０は、半導体レーザ設置面１７の高さに応じた、異なる高さを通過する。一方、レンズ１３を通過することで、光ファイバ１５の端面位置を焦点として、レーザ光２０が高さ方向に集光される。すなわち、レンズ１３は、高さの異なるレーザ光２０を集光することで、光ファイバ１１５に結合することができる。
【００４１】
図３（ｂ）は、反射ミラー１１近傍の拡大図である。下段側（図中左側）および上段側（図中右側）のそれぞれの反射ミラー１１では、レーザ光２０が反射する。ここで、レーザ光２０の高さ（図中Ｆ）は、約２５０μｍである。したがって、反射ミラー１１の厚み（図中Ｅ）は、これよりもわずかに大きければよい。例えば、２５０μｍ以上３００μｍ以下であればよい。また、半導体レーザ設置面１７の段差高さ（図中Ｄ）は、おおよそ３００μｍである。
【００４２】
ここで、図２に示すように、反射ミラー１１は、側面１９ａに接着剤等により固定される。すなわち、反射ミラー１１は、半導体レーザ設置面１７とは接着されることが無い。したがって、反射ミラー１１の下面と半導体レーザ設置面１７との間には、隙間を形成することができる。したがって、反射ミラー１１は、高さ方向の調整の自由度が大きい（図中矢印Ｈ方向）。
【００４３】
特に、前述したように、従来の反射ミラー１１１（図１２（ｂ））では、半導体レーザ設置面１１７上に設置される。このため、実際にはレーザ光が照射されない下部にも、反射ミラー１１１が配置される。これに対し、本発明では、反射ミラー１１は側面１９ａに固定される。このため、設置高さを容易に調整可能である。したがって、レーザ光２０の高さとほとんど同一の高さでも、確実に反射させることができる。
【００４４】
このように、反射ミラー１１の高さを調整することで、上段側のレーザ光２０（図中矢印Ｇ）の妨げになることを容易に防止することができる。なお、当然に、上段側の反射ミラー１１も容易に高さ調整が可能であることが言うまでもない。
【００４５】
なお、反射ミラー１１の接着面は、反射ミラー１１の底面ではなく側面となる。したがって、反射ミラー１１の接着に紫外線硬化接着剤を用いた場合、反射ミラー１１を把持するアーム等が紫外線照射の影になることがない。したがって、紫外線を反射ミラー１１の上方から斜めに照射すれば、接着面に容易に紫外線を照射することができる。すなわち、反射ミラー１１の接着面への紫外線の照射が容易である。
【００４６】
次に、反射ミラー１１について詳細に説明する。図５（ａ）は、反射ミラー１１を示す平面図である。反射ミラー１１は、側面１９ａに対して固定される接合面２３と、これに対して約４５°の角度で形成される反射面２１により構成される。反射ミラー１１は、例えばガラス製であり、反射面２１には、誘電体多層膜や金属等の薄膜が形成される。
【００４７】
なお、図５（ｂ）に示すような、反射ミラー１１ａを用いることもできる。反射ミラー１１ａは、反射面２１が凹曲面で構成される。このような、反射ミラー１１ａを用いることで、レーザ光を所望の形態に集光することもできる。
【００４８】
また、図６（ａ）に示すように、把持部２５を有する反射ミラー１１ｂを用いることもできる。把持部２５は、接合面２３（接合対象面）に対して略垂直であり、互いに平行な二つの対向面からなる。把持部２５を形成することで、例えば、図示を省略するアーム等によって、反射ミラー１１ｂを把持することができる。したがって、反射ミラー１１ｂを側面１９ａに接合する際、反射ミラー１１ｂの位置や方向を微調整することが容易である。
【００４９】
また、図６（ｂ）に示すように、接合面２３が曲面で構成される反射ミラー１１ｃを用いることもできる。なお、接合面２３の曲面は、一方向断面にのみ曲面であってもよく、球面にしてもよい。このようにすることで、反射ミラー１１ｃを側面１９ａに接合する際、接合面２３の一部を側面１９ａ等に接触した状態で、反射ミラー１１ｃの方向等を調整することが容易となる。したがって、反射ミラー１１ｃの方向の微調整することが容易である。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、反射ミラー１１等が半導体レーザ設置面１７に略垂直な起立面に固定される。このため、半導体レーザ設置面１７に対する高さ調整が容易である。したがって、あるレーザ光が、他の高さのレーザ光に対する反射ミラー等によって遮蔽されることがない。また、接着剤が硬化する際に収縮が生じても、反射ミラー１１等の高さ方向の位置ずれが生じることがない。したがって、結合効率の高い半導体レーザモジュールを得ることができる。
【００５１】
また、起立面がパッケージ３の側面１９ａであるため、構造が簡易である。また、反射ミラーは、全て同一形状のものを使用できるため、製造コストにも優れる。また、反射ミラー１１ｂ、１１ｃのように、把持部２５を有すれば、さらに、反射ミラーの微調整が容易である。
【００５２】
次に、他の実施形態について説明する。図７は、半導体レーザモジュール３０を示す平面図である。なお、以下の説明において、半導体レーザモジュール１と同様の機能を奏する構成については、図１〜図３と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。半導体レーザモジュール３０は、半導体レーザモジュール１と略同様の構成であるが、壁部材３１を用いる点で異なる。なお、以下の説明では、反射ミラー１１を用いる例について説明するが、他の形態の反射ミラー１１ａ、１１ｂ、１１ｃを用いることができることは言うまでもない。
【００５３】
半導体レーザモジュール３０では、パッケージ３底部の半導体レーザ設置面１７の段差形状が、レンズ９の位置まで形成される。レンズ９の背面側には、全ての半導体レーザ５の設置範囲にまたがるように、壁部材３１が設けられる。すなわち、壁部材３１は、パッケージ３の底部の平坦部に固定される。したがって、壁部材３１は、半導体レーザ設置面１７に対して略垂直に起立し、側面１９ａと略平行に設けられる。
【００５４】
反射ミラー１１は、壁部材３１に対して、それぞれの半導体レーザ５の高さに応じた高さに固定される。すなわち、反射ミラー１１は、壁部材３１に対して、それぞれ異なる高さに固定される。なお、反射ミラー１１の固定方法や、配置は、半導体レーザモジュール１における側面１９ａへの固定方法等と同様である。
【００５５】
壁部材３１は、例えば、半導体レーザモジュール３０の底部と同一の材質で構成することができる。前述の通り、半導体レーザモジュール３０の底部は、銅合金、アルミニウム、高熱伝導率を有すセラミック（例えば、窒化アルミ：ＡｌＮ、酸化ベリリウム：ＢｅＯ）等で構成される。したがって、壁部材３１を底部と同一の材質で構成することで、底部と壁部材３１とが略同一の線膨張係数を有することとなる。したがって、温度変化等に伴う変形等の影響を小さくすることができる。
【００５６】
また、壁部材３１としては、例えば、反射ミラー１１と同一の材質で構成してもよい。前述の通り、反射ミラー１１は、ガラス製である。したがって、壁部材３１を反射ミラー１１と同一の材質で構成することで、反射ミラー１１との接着性が優れる。したがって、反射ミラー１１と壁部材３１との接着が容易となる。
【００５７】
以上のように、半導体レーザモジュール３０によれば、半導体レーザモジュール１と同様の効果を得ることができる。また、反射ミラー１１を固定する壁部材３１をパッケージ３とは別に配置することで、壁部材３１の材質を側面１９ａの材質とは変えることができる。したがって、温度変化による変形や、反射ミラー１１との接着性等を考慮して、適宜材質を選択することができる。
【００５８】
次に、さらに、他の実施形態について説明する。図８は、半導体レーザモジュール４０を示す平面図である。半導体レーザモジュール４０は、半導体レーザモジュール１と略同様の構成であるが、側面１９ａに凹部４１を形成する点で異なる。
【００５９】
側面１９ａの、反射ミラー１１が固定される部位には、凹部４１が形成される。凹部４１は、側面１９ａに形成された窪みであり、反射ミラー１１は凹部４１内で固定される。
【００６０】
凹部４１が設けられることで、反射ミラー１１と側面１９ａとの接着部に用いられる接着剤が、パッケージ３の底部に流れ落ちることを防止することができる。したがって、接着剤がパッケージ３の底部やレンズ等に付着することを防止することができる。なお、凹部４１は、前述した壁部材３１に形成してもよい。
【００６１】
次に、さらに、他の実施形態について説明する。図９は、半導体レーザモジュール５０を示す平面図であり、図１０は、側面断面図である。半導体レーザモジュール５０は、半導体レーザモジュール１と略同様の構成であるが、反射ミラー５１が設けられる点と、反射ミラー５１の接着面が異なる。
【００６２】
半導体レーザモジュール５０では、反射ミラー５１が用いられる。反射ミラー５１は、対応する半導体レーザ５ごとにそれぞれ長さが異なる。例えば、図１０に示すように、最も長い反射ミラー５１を一番低い位置に固定し、上方に向かうにつれて長さの短い反射ミラー５１を順次固定すればよい。
【００６３】
反射ミラー５１は、側面１９ａとは略垂直な側面１９ｂに固定される。パッケージ３の側面１９ｂも側面１９ａと同様に、半導体レーザ設置面１７に対して略垂直な起立面である。
【００６４】
反射ミラー５１同士の間には、わずかにクリアランスを形成しても良く、または、接触させても良い。このように、半導体レーザモジュール５０のようにしても、反射ミラー５１が半導体レーザ設置面１７に固定されないため、高さ方向の調整が容易である。
【００６５】
以上、添付図を参照しながら、典型的なサイズを基に、本発明の実施の形態を説明したが、本発明の技術的範囲は、前述した実施の形態に左右されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６６】
例えば、前述した各種の実施形態は、互いに組み合わせることもできる。また、反射ミラーの反射面の形態や、レンズの形状は、適宜設定することができる。また、必要に応じて、フィルターなどの他の構成を設置してもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１、３０、４０、５０………半導体レーザモジュール
３………パッケージ
５………半導体レーザ
６………サブマウント
７………レンズ
９………レンズ
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、５１………反射ミラー
１３………レンズ
１５………光ファイバ
１７………半導体レーザ設置面
１９ａ、１９ｂ………壁面
２０………レーザ光
２１………反射面
２３………接合面
２５………把持部
３１………壁部材
４１………凹部
３５………溝
１００………半導体レーザモジュール
１０３………パッケージ
１０５………半導体レーザ
１０７………レンズ
１０９………レンズ
１１１………反射ミラー
１１３………レンズ
１１５………光ファイバ
１１７………半導体レーザ設置面
１１９………レーザ光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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