(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査用プローブをそれぞれ保持すると共に互いにケーブルで接続された一対のプローブ保持部を検査対象の基板の表面に沿って移動させて当該基板に当該検査用プローブをプロービングさせるプロービング部と、当該プロービング部を制御する制御部と、前記プロービング部によってプロービングさせられた各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えた基板検査装置であって、
前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた上限距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、
前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記上限距離未満となる状態を維持させる基板検査装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離を前記上限距離よりも短く規定された規定距離以下に維持した状態で初期位置から目的位置に当該各プローブ保持部を移動させるための移動経路を特定すると共に、
前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記規定距離を超えたときには前記移動経路を修正して当該各プローブ保持部の移動を継続させ、
前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に前記検出部によって前記離反状態が検出されたときには当該各プローブ保持部の移動を停止させる請求項１記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、
前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記下限距離を超える状態を維持させる請求項１または２記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の第１方向に沿った距離が第１上限距離以上となる前記離反状態としての第１離反状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第１方向に直交する第２方向に沿った距離が第２上限距離以上となる前記離反状態としての第２離反状態を検出可能に構成され、
前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第１離反状態および第２離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第１方向に沿った距離が前記第１上限距離未満でかつ当該各検査用プローブ間の前記第２方向に沿った距離が前記第２上限距離未満となる状態を維持させる請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間のＡ方向に沿った距離が第１下限距離以下となる前記近接状態としての第１近接状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記Ａ方向に直交するＢ方向に沿った距離が第２下限距離以下となる前記近接状態としての第２近接状態を検出可能に構成され、
前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第１近接状態および第２近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記Ａ方向に沿った距離が前記第１下限距離を超えかつ当該各検査用プローブ間の前記Ｂ方向に沿った距離が前記第２下限距離を超える状態を維持させる請求項１から４のいずれかに記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にプロービングさせた検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板に対する電気的検査を実行する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、特開平７−３５８０８号公報に開示されたコンタクトプローブ移動式基板両面検査装置（以下、「基板検査装置」ともいう）が知られている。この基板検査装置は、複数のＸ−Ｙロボット、複数の上下スライド機構、複数のコンタクトプローブ、計算器および制御情報処理部等を備えて構成されている。この基板検査装置では、制御情報処理部が、ＣＡＤデータ等に基づいて各Ｘ−Ｙロボットを制御して、各コンタクトプローブをＸ−Ｙ方向に個別に移動させる。また、制御情報処理部は、各上下スライド機構を制御して各コンタクトプローブを上方（または下方）にそれぞれ移動させることにより、各コンタクトプローブを基板にコンタクト（プロービング）させる。また、計算器が、各コンタクトプローブを介して入力した電気信号に基づいて抵抗値を測定し、制御情報処理部が測定データの整理を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３５８０８号公報（第６頁、第１図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の基板検査装置を含む従来のこの種の基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この種の基板検査装置では、制御情報処理部が予め入力されたＣＡＤデータ等に基づいて各Ｘ−Ｙロボットを制御し、各コンタクトプローブを個別に移動させてプロービングを行っている。一方、例えば、抵抗値の僅かな差に基づいて対象体の良否を判定するような、ノイズの影響を受け易い検査を、この種の基板検査装置を用いて行うときには、ノイズの影響を抑制するために、各コンタクトプローブにそれぞれ設けられているシールド同士をケーブルで接続することがある。ここで、ケーブル自体によるノイズの拾い込みを低減するため、この種のケーブルの長さは比較的短く規定される。このため、各コンタクトプローブ同士間の離間距離がケーブルの長さ（ケーブル長）を超えたときには、ケーブルが切断したり、ケーブルの端部が接続されている部分（コンタクトプローブの端部や、コンタクトプローブを保持している保持部）が衝撃を受けて破損したりするおそれがある。この場合、ケーブル長を予め入力しておき、各コンタクトプローブをプロービングさせるべき各プロービングポイント間の距離が既に入力されているケーブル長よりも長いときには、コンタクトプローブを停止させるように（または、移動を開始させないように）制御情報処理部がＸ−Ｙロボットを制御することで、このような不都合を解消する方法も考えられる。しかしながら、例えば、２つのコンタクトプローブを初期位置から２つのプロービングポイントにそれぞれ移動させる際に、一方のコンタクトプローブを目的のプロービングポイントに移動させた後に他方のコンタクトプローブを目的のプロービングポイントに移動させるように（各コンタクトプローブが離れ離れとなるように）移動制御用のプログラムが作成されているときには、移動先である各プロービングポイント間の距離がケーブル長よりも短い場合であっても、コンタクトプローブの移動中に各コンタクトプローブ間の距離がケーブル長を超えるため、依然として、ケーブルの切断やコンタクトプローブの破損などが発生するおそれがあるという問題点が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、複数の検査用プローブ同士を接続するケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を防止しつつ、各検査用プローブを予め決められた移動範囲内で移動させて検査し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、検査用プローブをそれぞれ保持すると共に互いにケーブルで接続された一対のプローブ保持部を検査対象の基板の表面に沿って移動させて当該基板に当該検査用プローブをプロービングさせるプロービング部と、当該プロービング部を制御する制御部と、前記プロービング部によってプロービングさせられた各検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板に対する電気的検査を実行する検査部とを備えた基板検査装置であって、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた上限距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記上限距離未満となる状態を維持させる。
【０００７】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離を前記上限距離よりも短く規定された規定距離以下に維持した状態で初期位置から目的位置に当該各プローブ保持部を移動させるための移動経路を特定すると共に、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記規定距離を超えたときには前記移動経路を修正して当該各プローブ保持部の移動を継続させ、前記移動経路に沿った前記各プローブ保持部の移動中に前記検出部によって前記離反状態が検出されたときには当該各プローブ保持部の移動を停止させる。
【０００８】
また、請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が予め決められた下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の距離が前記下限距離を超える状態を維持させる。
【０００９】
また、請求項４記載の基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の第１方向に沿った距離が第１上限距離以上となる前記離反状態としての第１離反状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第１方向に直交する第２方向に沿った距離が第２上限距離以上となる前記離反状態としての第２離反状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第１離反状態および第２離反状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記第１方向に沿った距離が前記第１上限距離未満でかつ当該各検査用プローブ間の前記第２方向に沿った距離が前記第２上限距離未満となる状態を維持させる。
【００１０】
また、請求項５記載の基板検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載の基板検査装置において、前記検出部は、前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間のＡ方向に沿った距離が第１下限距離以下となる前記近接状態としての第１近接状態、および前記各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記Ａ方向に直交するＢ方向に沿った距離が第２下限距離以下となる前記近接状態としての第２近接状態を検出可能に構成され、前記制御部は、前記各プローブ保持部を前記基板の表面に沿って移動させる際に、前記検出部による前記第１近接状態および第２近接状態の検出結果に基づいて前記プロービング部を制御して、当該各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている前記各検査用プローブ間の前記Ａ方向に沿った距離が前記第１下限距離を超えかつ当該各検査用プローブ間の前記Ｂ方向に沿った距離が前記第２下限距離を超える状態を維持させる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の基板検査装置では、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による離反状態の検出結果に基づいて各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が上限距離未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、例えば、各プローブ保持部間にシールド接続用のケーブルが配設されている場合において、ケーブルの長さ（または、ケーブルの長さよりもやや短い長さ）を予め決められた距離として規定することで、そのケーブルの長さを超えて各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ同士が離間するような移動を確実に防止することができる結果、ケーブルの破損、およびケーブルの端部が接続されているプローブ保持部や検査用プローブの破損を確実に防止しつつ、各検査用プローブを移動させて検査することができる。
【００１２】
また、請求項２記載の基板検査装置では、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、移動経路を特定すると共に、移動経路に沿った各プローブ保持部の移動中に各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が、規定距離を超えたときには移動経路を修正して各プローブ保持部の移動を継続させ、移動経路に沿った各プローブ保持部の移動中に検出部によって離反状態が検出されたときには各プローブ保持部の移動を停止させる。このため、この基板検査装置によれば、各検査用プローブ間の距離が規定距離を超えた段階、つまり各プローブ保持部間にケーブルが配設されている場合において、そのケーブルが切断するまでにはまだ余裕がある段階では、移動経路を修正してプローブ保持部の移動を継続させ、各検査用プローブ間の距離が上限距離を超えた段階、つまりケーブルが切断するまでに余裕のない段階では、プローブ保持部の移動を直ちに停止させることができる。
【００１３】
また、請求項３記載の基板検査装置では、検出部が、各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ間の距離が下限距離以下となる近接状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて各検査用プローブ間の距離が下限距離を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、各プローブ保持部によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ同士や各プローブ保持部同士が接触するような移動を確実に防止することができる結果、互いの接触に起因する検査用プローブやプローブ保持部の破損を確実に防止することができる。
【００１４】
また、請求項４記載の基板検査装置では、検出部が、各検査用プローブ間の第１方向に沿った距離が第１上限距離以上となる第１離反状態、および各検査用プローブ間の第２方向に沿った距離が第２上限距離以上となる第２離反状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて各検査用プローブ間の第１方向に沿った距離が第１上限距離未満でかつ各検査用プローブ間の第２方向に沿った距離が第２上限距離未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、例えば、第１方向についての検出を行う光電センサ、および第２方向についての検出を行う光電センサの２つのセンサを備えた簡易な構成の検出部で第１離反状態および第２離反状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置のコストを低減しつつ、各プローブ保持部間に配設されているケーブル、プローブ保持部および検査用プローブの破損を確実に防止することができる。
【００１５】
また、請求項５記載の基板検査装置では、検出部が、各検査用プローブ間のＡ方向に沿った距離が第１下限距離以下となる第１近接状態、および各検査用プローブ間のＢ方向に沿った距離が第２下限距離以下となる第２近接状態を検出可能に構成され、制御部が、各プローブ保持部を基板の表面に沿って移動させる際に、検出部による検出結果に基づいて
各検査用プローブ間のＡ方向に沿った距離が第１下限距離を超えかつ各検査用プローブ間のＢ方向に沿った距離が第２下限距離Ｌｂ２を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置によれば、Ａ方向についての検出を行う光電センサ、およびＢ方向についての検出を行う光電センサの２つのセンサを備えた簡易な構成の検出部で第１近接状態および第２近接状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置のコストを低減しつつ、互いの接触に起因する検査用プローブやプローブ保持部の破損を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板保持部２およびプロービング部３の平面図である。
【図３】検出部４および第１移動機構１１の構成を示す構成図である。
【図４】第１許容範囲Ｒ１および第２許容範囲Ｒ２を示す図である。
【図５】プロービング制御処理５０のフローチャートである。
【図６】プロービング制御処理５０を説明する第１の説明図である。
【図７】プロービング制御処理５０を説明する第２の説明図である。
【図８】プロービング部３の構成および動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明に係る基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板保持部２、プロービング部３、検出部４、検査部５、操作部６、記憶部７、表示部８および制御部９を備えて、例えば、図２に示す基板１００に対する電気的検査を実行可能に構成されている。
【００１９】
ここで、基板１００は、一例として、図２に示すように、検査の終了後に互いに分離される複数（この例では、２４個）のピース１０１を有する多面取りの基板であって、全体として略長方形に形成されている。
【００２０】
基板保持部２は、基板１００を載置させる載置台２ａ（図２参照）を備えて構成されている。この場合、載置台２ａは、一例として、載置された基板１００を吸着して保持可能に構成されている。
【００２１】
プロービング部３は、図１，２に示すように、第１移動機構１１、複数（この例では２つ）の第２移動機構１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「第２移動機構１２」ともいう）、および第２移動機構１２と同数（この例では２つ）のプローブ保持部１３ａ，１３ｂ（以下、区別しないときには「プローブ保持部１３」ともいう）を備え、プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている検査用プローブ４１，４１の先端部を基板１００上のプロービングポイントに接触（プロービング）させるプロービング処理を実行可能に構成されている。
【００２２】
第１移動機構１１は、図２に示すように、基板保持部２の上方に配置され、基板保持部２によって保持されている基板１００の表面（つまり、基板保持部２における載置台の載置面）に沿って（以下、この面に沿った方向を「ＸＹ方向」ともいう）各プローブ保持部１３を移動可能に構成されている。具体的には、第１移動機構１１は、一例として、同図に示すように、ガイドレール２１ａ〜２１ｄ（以下、区別しないときには「ガイドレール２１」ともいう）、およびスライダ２２ａ〜２２ｆ（以下、区別しないときには「スライダ２２」ともいう）、並びに図３に示す第１Ｘ軸モータ２３ａ、第１Ｙ軸モータ２３ｂ、第２Ｘ軸モータ２３ｃおよび第２Ｙ軸モータ２３ｄを備えて構成されている。
【００２３】
ガイドレール２１ａ，２１ｂは、図２に示すように、平行に配置されている。スライダ２２ａ，２２ｂは、ガイドレール２１ａの長さ方向（第１方向およびＡ方向に相当し、同図に示すＸ方向）に沿ってスライド可能にガイドレール２１ａに配設され、スライダ２２ｃ，２２ｄは、ガイドレール２１ｂの長さ方向（Ｘ方向）に沿ってスライド可能にガイドレール２１ｂに配設されている。ガイドレール２１ｃは、ガイドレール２１ａ，２１ｂに対して直交するようにして、その両端部がスライダ２２ａ，２２ｃに固定され、ガイドレール２１ｄは、ガイドレール２１ａ，２１ｂに対して直交するようにして、その両端部がスライダ２２ｂ，２２ｄに固定されている。
【００２４】
スライダ２２ｅは、図２に示すように、ガイドレール２１ｃの長さ方向（第１方向に直交する第２方向、およびＡ方向に直交するＢ方向に相当し、同図に示すＹ方向）に沿ってスライド可能にガイドレール２１ｃに配設され、スライダ２２ｆは、ガイドレール２１ｄの長さ方向（Ｙ方向）に沿ってスライド可能にガイドレール２１ｄに配設されている。この場合、スライダ２２ａ，２２ｃは、第１Ｘ軸モータ２３ａ（図３参照）によって駆動され、スライダ２２ｂ，２２ｄは、第２Ｘ軸モータ２３ｃ（同図参照）によって駆動されて、各々が配設されているガイドレール２１に沿ってスライドさせられる。また、スライダ２２ｅは、第１Ｙ軸モータ２３ｂ（同図参照）によって駆動され、スライダ２２ｆは、第２Ｙ軸モータ２３ｄ（同図参照）によって駆動されて、各々が配設されているガイドレール２１に沿ってスライドさせられる。
【００２５】
第２移動機構１２ａは、図２に示すように、第１移動機構１１のスライダ２２ｅの上に配設され、プローブ保持部１３ａを上下方向（ＸＹ方向に直交するＺ方向）に移動させる。また、第２移動機構１２ｂは、同図に示すように、第１移動機構１１のスライダ２２ｆの上に配設され、プローブ保持部１３ｂを上下方向に移動させる。
【００２６】
各プローブ保持部１３ａ，１３ｂは、検査用プローブ４１を保持可能にそれぞれ構成され、第２移動機構１２によって上下方向に移動させられる。また、図２に示すように、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂには、ケーブル４２が架け渡されている。このケーブル４２は、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂにそれぞれ保持される各検査用プローブ４１に設けられている図外のシールド同士を電気的に接続するためのケーブルであって、両端部がプローブ保持部１３ａ，１３ｂを介して各検査用プローブ４１の端部にそれぞれ接続されている。
【００２７】
ここで、図２に示す多面取りの基板１００における各ピース１０１に対する電気的検査を行う際には、２つの検査用プローブ４１，４１間の最大の離間距離をピース１０１の対角線の長さ程度に規定したとしても、各ピース１０１上の任意の２つのプロービングポイントに対して各検査用プローブ４１，４１をそれぞれプロービングさせることができる。一方、ケーブル４２自体によるノイズの拾い込みを低減するため、なるべく短いケーブル４２を用いるのが好ましい。このため、この例では、その長さＬｄが基板１００のピース１０１の対角線の長さよりもやや長いケーブル４２を用いている。
【００２８】
検出部４は、後述する第１離反状態および第２離反状態、並びに後述する第１近接状態および第２近接状態を検出可能に構成されている。具体的には、検出部４は、図２に示すように、一例として、アーム３１ａ〜３１ｄ、光電センサ３２ａ〜３２ｄ（図３も参照：以下、区別しないときには「光電センサ３２」ともいう）および反射板３３ａ，３３ｂ（以下、区別しないときには「反射板３３」ともいう）を備えて構成されている。
【００２９】
この場合、図２に示すように、アーム３１ａはスライダ２２ａに取り付けられ、アーム３１ｂは、スライダ２２ｂに取り付けられている。また、アーム３１ｃは、スライダ２２ｅに取り付けられ、アーム３１ｄは、スライダ２２ｆに取り付けられている。また、光電センサ３２ａ，３２ｂは、アーム３１ａに取り付けられ、光電センサ３２ｃ，３２ｄは、アーム３１ｃに取り付けられている。また、反射板３３ａは、アーム３１ｂに取り付けられ、反射板３３ｂは、アーム３１ｄに取り付けられている。
【００３０】
また、各光電センサ３２は、一例として、反射型の光電センサであって、検出用のセンサ光を照射してその反射光の有無（強弱）を検出する。この場合、光電センサ３２の正面（対向位置）に反射板３３が位置しているときには反射光が強く、光電センサ３２の正面に反射板３３が位置していないときには反射光が弱いため、光電センサ３２は、反射光の強弱によって正面に反射板３３が位置しているか否かを検出する。なお、以下の説明において、正面に反射板３３が位置していることを光電センサ３２が検出している状態を「第１検出状態」ともいい、正面に反射板３３が位置していないことを検出している状態を「第２検出状態」ともいう。
【００３１】
また、この検出部４では、光電センサ３２ａ，３２ｂと反射板３３ａとにより、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間のＸ方向に沿った第１離反状態および第１近接状態が検出され、光電センサ３２ｃ，３２ｄと反射板３３ｂとにより、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間のＹ方向に沿った第２離反状態および第２近接状態が検出される。
【００３２】
具体的には、図２に示すように、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間のＸ方向に沿った第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１以上のときには、光電センサ３２ａが第２検出状態となり、これによって第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１以上となる第１離反状態が検出される。また、同図に示すように、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間のＹ方向に沿った第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２以上のときには、光電センサ３２ｃが第２検出状態となり、これによって第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２以上となる第２離反状態が検出される。
【００３３】
また、図８に示すように、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間の第１距離Ｌｍ１が第１下限距離Ｌｂ１以下のときには、光電センサ３２ｂが第１検出状態となり、これによって第１距離Ｌｍ１が第１下限距離Ｌｂ１以下となる第１近接状態が検出される。また、同図に示すように、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１間の第２距離Ｌｍ２が第２下限距離Ｌｂ２以下のときには、光電センサ３２ｄが第１検出状態となり、これによって第２距離Ｌｍ２が第２下限距離Ｌｂ２以下となる第２近接状態が検出される。
【００３４】
この場合、第１上限距離Ｌａ１および第２上限距離Ｌａ２は、ケーブル４２が架け渡されている各プローブ保持部１３ａ，１３ｂ同士（つまり、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂによってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１同士）をケーブル４２の長さＬｄ以上に離間させないために規定される距離であって、一例として、ケーブル４２の長さＬｄに対して１／√２を乗じ、さらに８０％程度の安全率を乗じた距離が第１上限距離Ｌａ１および第２上限距離Ｌａ２として予め決められている。また、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２は、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂにそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１，４１同士を接触させないために規定される距離であって、各プローブ保持部１３ａ，１３ｂの形状や検査用プローブ４１の長さ等に基づいて予め決められている。なお、以下の説明において、第１離反状態および第２離反状態を区別しないときには「離反状態」ともいい、第１近接状態および第２近接状態を区別しないときには「近接状態」ともいう。また、第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２を区別しないときには「距離Ｌｍ」ともいう。さらに、第１上限距離Ｌａ１および第２上限距離Ｌａ２を区別しないときには「上限距離Ｌａ」ともいい、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２を区別しないときには「下限距離Ｌｂ」ともいう。
【００３５】
検査部５は、制御部９の制御に従い、基板１００にプロービングさせられた検査用プローブ４１を介して入力した電気信号Ｓｉに基づき、基板１００に対する所定の電気的検査を実行する。操作部６は、各種の操作スイッチを備えて構成され、これらの操作スイッチが操作されたときに操作信号を出力する。
【００３６】
記憶部７は、基板１００についてのプロービング用データＤｐを記憶する。この場合、プロービング用データＤｐには、基板１００における検査用プローブ４１をプロービングさせるべきプロービングポイントの位置（ＸＹ座標）を示す情報等が含まれている。また、記憶部７は、第１上限距離Ｌａ１よりも短く規定された第１規定距離Ｌｃ１（図４参照）、および第２上限距離Ｌａ２よりも短く規定された第２規定距離Ｌｃ２（同図参照：以下、第１規定距離Ｌｃ１および第２規定距離Ｌｃ２を区別しないときには「規定距離Ｌｃ」ともいう）を示す距離データＤｄ１を記憶する。この場合、第１規定距離Ｌｃ１および第２規定距離Ｌｃ２は、ＸＹ方向に沿ったプローブ保持部１３の移動を開始させるか否かの判別や、プローブ保持部１３を移動させる移動経路Ｃ（図６，７参照）を変更するか否かの判別に用いられる。さらに、記憶部７は、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２を示す距離データＤｄ２を記憶する。表示部８は、制御部９の制御に従って検査結果を表示する。
【００３７】
制御部９は、操作部６から出力される操作信号に従い、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、制御部９は、図５に示すプロービング制御処理５０を実行し、プロービング部３によるプロービングを制御して、各プローブ保持部１３を移動させる。制御部９は、このプロービング制御処理５０において、図７に示すように、初期位置Ｐ１から目的位置Ｐ２に向けて、ＸＹ方向に沿って各プローブ保持部１３を移動させるための移動経路Ｃを、記憶部７に記憶されているプロービング用データＤｐに基づいて特定する。この場合、制御部９、各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが、第１規定距離Ｌｃ１、第２規定距離Ｌｃ２、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２によって規定される第１許容範囲Ｒ１（図４に網掛けで示す範囲）内となる状態を維持しつつ各プローブ保持部１３を移動させるようにこの移動経路Ｃを特定する。
【００３８】
また、制御部９は、移動経路Ｃに沿った各プローブ保持部１３の移動中において、各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１外となったときには、移動経路Ｃを修正して各プローブ保持部１３の移動を継続させる。さらに、制御部９は、移動経路Ｃに沿った各プローブ保持部１３の移動中において、検出部４によって離反状態が検出されたとき、つまり、各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが、第１上限距離Ｌａ１、第２上限距離Ｌａ２、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２によって規定される第２許容範囲Ｒ２（図４に一点鎖線で示す範囲）外となったときには、各プローブ保持部１３の移動を停止させる。なお、同図において、各検査用プローブ４１同士の離反によってケーブル４２が切断する限界を示す限界範囲Ｒ３を破線で示す。
【００３９】
次に、基板検査装置１を用いて、図２に示す基板１００に対する電気的検査を行う方法、およびその際の基板検査装置１における各部の動作について、添付図面を参照して説明する。なお、記憶部７には、基板１００についてのプロービング用データＤｐ、第１規定距離Ｌｃ１および第２規定距離Ｌｃ２を示す距離データＤｄ１、並びに第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２を示す距離データＤｄ２が予め記憶されているものとする。
【００４０】
まず、基板１００を基板保持部２の載置台２ａに載置して保持させる。続いて、操作部６を操作して、検査の開始を指示する。この際に、制御部９は、操作部６から出力された操作信号に従い、記憶部７からプロービング用データＤｐおよび距離データＤｄ１，Ｄｄ２を読み出す。
【００４１】
次いで、制御部９は、図５に示すプロービング制御処理５０を実行する。このプロービング制御処理５０では、制御部９は、プロービング用データＤｐに基づいて最初に検査用プローブ４１，４１をそれぞれプロービングさせるべき２つのプロービングポイントの位置（ＸＹ座標）を特定する（ステップ５１）。続いて、制御部９は、特定したＸＹ座標に基づき、２つのプロービングポイント間のＸ方向に沿った距離およびＹ方向に沿った距離、つまり、その２つのプロービングポイントに検査用プローブ４１，４１をそれぞれプロービングさせたと仮定したときの第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２を算出する（ステップ５２）。
【００４２】
次いで、制御部９は、距離データＤｄ１，Ｄｄ２によって示される第１規定距離Ｌｃ１、第２規定距離Ｌｃ２、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２によって規定される第１許容範囲Ｒ１（図４参照）と、算出した第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２とを比較して、第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２（距離Ｌｍ）が第１許容範囲Ｒ１内か否かを判別する（ステップ５３）。
【００４３】
制御部９は、上記したステップ５３において、第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２の双方（距離Ｌｍ）が第１許容範囲Ｒ１内であると判別したときには、続いて、上記した第１離反状態、第２離反状態、第１近接状態および第２近接状態のいずれか（離反状態または近接状態）が検出部４によって検出されたか否か、つまり、距離Ｌｍが、第１上限距離Ｌａ１、第２上限距離Ｌａ２、第１下限距離Ｌｂ１および第２下限距離Ｌｂ２によって規定される第２許容範囲Ｒ２（図４参照）内か否かを判別する（ステップ５４）。
【００４４】
制御部９は、上記したステップ５４において、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２内であると判別したときには、図７に示すように、各プローブ保持部１３の初期位置Ｐ１から目的位置Ｐ２（ステップ５１において特定したＸＹ座標であってプロービングポイントの上方の位置）に向けて、各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍを第１許容範囲Ｒ１内に維持した状態でプローブ保持部１３を移動させるための移動経路Ｃを特定する（ステップ５５）。次いで、制御部９は、プロービング部３の第１移動機構１１に対して、特定した移動経路Ｃに沿って各プローブ保持部１３ａ，１３ｂを移動させる移動処理の開始を指示する（ステップ５６）。なお、プロービング制御処理５０におけるプローブ保持部１３ａ，１３ｂ双方に関する説明では、以下、「プローブ保持部１３ａ，１３ｂ」を「プローブ保持部１３」としても説明する。
【００４５】
次いで、制御部９は、プローブ保持部１３の移動中に、距離Ｌｍが、第２許容範囲Ｒ２内か否か（離反状態または近接状態が検出部４によって検出されているか否か）を判別する（ステップ５７）。制御部９は、このステップ５７において、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２内であると判別したときには、移動中の検査用プローブ４１のＸＹ座標を算出し（ステップ５８）、続いて算出したＸＹ座標に基づいて距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１内か否かを判別する（ステップ５９）。
【００４６】
制御部９は、上記したステップ５９において、距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１内であると判別したときには、続いて、検査用プローブ４１のＸＹ座標とプロービングポイントのＸＹ座標とを比較し、検査用プローブ４１がプロービングポイントの上方に到達したか否かを判別する（ステップ６０）。制御部９は、このステップ６０において、検査用プローブ４１がプロービングポイントの上方に到達していないと判別したときには、ステップ５７を実行する。つまり、制御部９は、検査用プローブ４１がプロービングポイントの上方に到達するまで、ステップ５７〜６０を繰り返して実行する。
【００４７】
次いで、検査用プローブ４１がプロービングポイントの上方に到達したときには、制御部９は、ステップ５８においてその旨を判別し、続いて、第１移動機構１１に対して、移動経路Ｃに沿ったプローブ保持部１３の移動処理の停止を指示する（ステップ６１）。次いで、制御部９は、プロービング部３の第２移動機構１２に対して、基板１００上のプロービングポイントに向けて下向きに（Ｚ方向に沿って）プローブ保持部１３を予め決められた距離だけ移動させる移動処理の実行を指示する（ステップ６２）。これに応じて、第２移動機構１２が下向きの移動処理を実行し、これにより、プローブ保持部１３によって保持されている検査用プローブ４１の先端部がプロービングポイントにプロービング（接触）させられる。
【００４８】
続いて、制御部９は、検査部５に対して電気的検査の実行を指示する（ステップ６３）。これに応じて、検査部５が、検査用プローブ４１を介して入力した電気信号Ｓｉに基づいて基板１００に対する電気的検査を実行する。次いで、制御部９は、検査部５による検査の結果を表示部８に表示させる。続いて、検査部５による電気的検査が終了したときには、制御部９は、第２移動機構１２に対して、上向きに（Ｚ方向に沿って）プローブ保持部１３を予め決められた距離だけ移動させる移動処理の実行を指示する（ステップ６４）。これに応じて、第２移動機構１２が上向きの移動処理を実行し、これにより、プローブ保持部１３によって保持されている検査用プローブ４１の先端部がプロービングポイントから離反する。以上により、最初のプロービングポイントに対するプロービング処理およびそのプロービングポイントについての電気的検査が終了する。次いで、制御部９は、上記した各ステップを実行して、次のプロービングポイントに対するプロービング処理およびそのプロービングポイントについての電気的検査を実行させる。
【００４９】
一方、制御部９は、上記したステップ５３において距離Ｌｍ（第１距離Ｌｍ１および第２距離Ｌｍ２の少なくとも一方）が第１許容範囲Ｒ１外であると判別したときには、プロービング部３を制御してプローブ保持部１３を停止状態に維持させ、次いで、距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１外である旨、およびその理由として考えられるプロービングポイントの座標が誤っている旨を示す表示（座標エラー表示）を表示部８に行わせて（ステップ６５）、プロービング制御処理５０を終了する。また、制御部９は、上記したステップ５４において、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２外であると判別したときにも、プロービング部３を制御してプローブ保持部１３を停止状態に維持させる。ここで、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２外であるときには、何らかの原因で初期状態において各検査用プローブ４１が第２許容範囲Ｒ２を超えて離間している可能性がある。このため、制御部９は、この場合には、その旨を示す表示（現在位置エラー表示）を表示部８に行わせて（ステップ６６）、プロービング制御処理５０を終了する。
【００５０】
また、制御部９は、図６の（ａ）に示す初期位置Ｐ１から移動経路Ｃに沿ってプローブ保持部１３を移動させている途中（移動中）において、同図の（ｂ）に示すように、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２外となったときには、上記したステップ５７においてその旨を判別し、プロービング部３を制御して、プローブ保持部１３の移動を停止（緊急停止）させると共に（ステップ６７）、その旨を表示してプロービング制御処理５０を終了する。さらに、制御部９は、図７の（ａ）に示す初期位置Ｐ１から同図の（ｃ）に示す目的位置Ｐ２に向けて、移動経路Ｃに沿ってプローブ保持部１３を移動させている途中（移動中）において、同図の（ｂ）に示すように、何らかの原因で距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２内でかつ第１許容範囲Ｒ１外となったときには、移動経路Ｃを、例えば同図に示す移動経路Ｃｍに修正した後に（ステップ６８）、ステップ５７に戻ってプローブ保持部１３の移動を継続させる。なお、プローブ保持部１３の移動が停止状態である旨やその原因の報知方法として、上記した表示部８による表示に代えて（または、表示に加えて）、その旨を報知する音やアナウンスを図外の音声発生部から出力させる方法を採用することもできる。
【００５１】
ここで、この基板検査装置１では、上記したように、移動処理を開始させる以前において、計算上の距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１内か否かを判別するステップ５３の処理を行うことに加えて、距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２内か否か（離反状態または近接状態が検出部４によって検出されているか否か）を判別するステップ５４の処理を行っている。このため、この基板検査装置１では、例えば、演算ミスによって誤った距離Ｌｍが算出され、この距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１内であったとしても、実際の距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２外のときには、プローブ保持部１３の移動が開始されない結果、各プローブ保持部１３によって保持されている検査用プローブ４１同士が上限距離Ｌａ（ケーブル４２の長さＬｄ）を超えて離間するような移動が確実に防止される。
【００５２】
また、この基板検査装置１では、上記したようにプローブ保持部１３の移動中において、離反状態または近接状態が検出部４によって検出されているか否かを判別するステップ５７の処理、すなわち、実際の距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２内か否かを判別する処理を行っている。このため、この基板検査装置１では、例えば、２つのプローブ保持部１３を初期位置Ｐ１から２つの目的位置Ｐ２にそれぞれ移動させる場合において、本来であれば、２つの各プローブ保持部１３間の距離Ｌｍが第１許容範囲Ｒ１内である状態を維持しつつ２つの各プローブ保持部１３を同時に移動させるように移動制御用のプログラムを作成すべきところ、一方のプローブ保持部１３を目的の位置に移動させた後に他方のプローブ保持部１３を目的の位置に移動させるような（各プローブ保持部１３が離れ離れとなるような）誤った移動制御用のプログラムが作成されていたとしても、プローブ保持部１３の移動中において実際の距離Ｌｍが第２許容範囲Ｒ２外となったときには、プローブ保持部１３の移動が停止される。したがって、この基板検査装置１では、このような場合においても、ケーブル４２の長さＬｄを超えて各プローブ保持部１３同士が離間するような移動や、各プローブ保持部１３同士および各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１同士が接触するような移動が確実に防止される。
【００５３】
このように、この基板検査装置１では、制御部９が、各プローブ保持部１３を基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部４による離反状態の検出結果に基づいて各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが上限距離Ｌａ未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置１によれば、各プローブ保持部１３間にシールド接続用のケーブル４２が配設されている場合において、例えば、ケーブル４２の長さＬｄに対して１／√２を乗じた長さ（または、その長さよりもやや短い長さ）を上限距離Ｌａとして規定することで、そのケーブル４２の長さＬｄを超えて各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１同士が離間するような移動を確実に防止することができる結果、ケーブル４２の破損、およびケーブル４２の端部が接続されているプローブ保持部１３や検査用プローブ４１の破損を確実に防止しつつ、各検査用プローブ４１を移動させて検査することができる。
【００５４】
また、この基板検査装置１では、制御部９が、各プローブ保持部１３を基板１００の表面に沿って移動させる際に、移動経路Ｃを特定すると共に、移動経路Ｃに沿った各プローブ保持部１３の移動中に各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが規定距離Ｌｃを超えたときには移動経路Ｃを修正して各プローブ保持部１３の移動を継続させ、移動経路Ｃに沿った各プローブ保持部１３の移動中に検出部４によって離反状態が検出されたときには各プローブ保持部１３の移動を停止させる。このため、この基板検査装置１によれば、距離Ｌｍが規定距離Ｌｃを超えた段階、つまりケーブル４２が切断するまでにはまだ余裕がある段階では、移動経路Ｃを修正して、プローブ保持部１３の移動を継続させ、距離Ｌｍが上限距離Ｌａを超えた段階、つまりケーブル４２が切断するまでに余裕のない段階では、プローブ保持部１３の移動を直ちに停止させることができる。
【００５５】
また、この基板検査装置１では、検出部４が、各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１間の距離Ｌｍが下限距離Ｌｂ以下となる近接状態を検出可能に構成され、制御部９が、各プローブ保持部１３を基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部４による検出結果に基づいて距離Ｌｍが下限距離Ｌｂを超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置１によれば、各プローブ保持部１３によってそれぞれ保持されている各検査用プローブ４１同士や各プローブ保持部１３同士が接触するような移動を確実に防止することができる結果、互いの接触に起因する検査用プローブ４１やプローブ保持部１３の破損を確実に防止することができる。
【００５６】
また、この基板検査装置１では、検出部４が、各検査用プローブ４１間のＸ方向に沿った第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１以上となる第１離反状態、および各検査用プローブ４１間のＹ方向に沿った第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２以上となる第２離反状態を検出可能に構成され、制御部９が、各プローブ保持部１３を基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部４による検出結果に基づいて第１距離Ｌｍ１が第１上限距離Ｌａ１未満でかつ第２距離Ｌｍ２が第２上限距離Ｌａ２未満となる状態を維持させる。このため、この基板検査装置１によれば、Ｘ方向についての検出を行う光電センサ３２ａ、およびＹ方向についての検出を行う光電センサ３２ｃの２つのセンサを備えた簡易な構成の検出部４で第１離反状態および第２離反状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置１のコストを低減しつつ、各プローブ保持部１３間に配設されているケーブル４２、プローブ保持部１３および検査用プローブ４１の破損を確実に防止することができる。
【００５７】
また、この基板検査装置１では、検出部４が、各検査用プローブ４１間のＸ方向に沿った第１距離Ｌｍ１が第１下限距離Ｌｂ１以下となる第１近接状態、および各検査用プローブ４１間のＹ方向に沿った第２距離Ｌｍ２が第２下限距離Ｌｂ２以下となる第２近接状態を検出可能に構成され、制御部９が、各プローブ保持部１３を基板１００の表面に沿って移動させる際に、検出部４による検出結果に基づいて第１距離Ｌｍ１が第１下限距離Ｌｂ１を超えかつ第２距離Ｌｍ２が第２下限距離Ｌｂ２を超える状態を維持させる。このため、この基板検査装置１によれば、Ｘ方向についての検出を行う光電センサ３２ｂ、およびＹ方向についての検出を行う光電センサ３２ｄの２つのセンサを備えた簡易な構成の検出部４で第１近接状態および第２近接状態を確実に検出することができる結果、基板検査装置１のコストを低減しつつ、互いの接触に起因する検査用プローブ４１やプローブ保持部１３の破損を確実に防止することができる。
【００５８】
なお、基板検査装置１の構成は上記の構成に限定されない。例えば、反射型の光電センサ３２と反射板３３とを備えて検出部４を構成した例について上記したが、光電センサ３２および反射板３３に代えて、投光器および受光器を有する透過型の光電センサを備えて検出部４を構成することもできる。また、距離Ｌｍが上限距離Ｌａ以上のときに信号を出力する（または、それまで出力していた信号の出力を停止する）スイッチ、および距離Ｌｍが下限距離Ｌｂ以下のときに信号を出力する（または、それまで出力していた信号の出力を停止する）スイッチを、光電センサ３２および反射板３３に代えて備えて検出部４を構成することもできる。
【００５９】
また、Ｘ方向（第１方向）に沿った第１離反状態と、Ｙ方向に沿った第２離反状態とを別々に検出する検出部４を備えて、第１離反状態および第２離反状態の少なくとも一方が検出部４によって検出されているときに各プローブ保持部１３を停止状態に維持させる構成例について上記したが、各検査用プローブ４１間のＸ方向に沿った距離、および各検査用プローブ４１間のＹ方向に沿った距離ではなく、各検査用プローブ４１間の最短距離が予め決められた距離以上となる離反状態を検出する検出部を備え、離反状態が検出されたときに各プローブ保持部１３を停止状態に維持させる構成を採用することができる。一例として、一方のプローブ保持部１３によって保持されている検査用プローブ４１から他方のプローブ保持部１３によって保持されている検査用プローブ４１までの最短距離を非接触で測定する距離センサ（レーザ変位計）を備えて、その距離センサによって測定された距離が予め決められた距離（例えば、ケーブル４２の長さＬｄに対して８０％程度の安全率を乗じた距離）以上のときに、制御部９がプロービング部３を制御して各プローブ保持部１３を停止状態に維持させるように構成することができる。
【符号の説明】
【００６０】
１  基板検査装置
３  プロービング部
４  検出部
５  検査部
９  制御部
１３ａ，１３ｂ  プローブ保持部
３２ａ〜３２ｄ  光電センサ
４１  検査用プローブ
１００  基板
Ｌａ  上限距離
Ｌａ１  第１上限距離
Ｌａ２  第２上限距離
Ｌｂ  下限距離
Ｌｂ１  第１下限距離
Ｌｂ２  第２下限距離
Ｌｍ  距離
Ｌｍ１  第１距離
Ｌｍ２  第２距離
Ｓｉ  電気信号
【図１】
0005752466.tif 000002
【図２】
0005752466.tif 000003
【図３】
0005752466.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
0005752466.tif 000007
【図７】
0005752466.tif 000008
【図８】
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