(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
選択的に酸化された酸化領域および酸化されていない電流狭窄領域を含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、
前記面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域よりも大きく形成され、
より内側に位置する面発光レーザの開口部は、より外側に位置する面発光レーザの開口部よりも小さいことを特徴とする面発光レーザアレイ。
【請求項２】
選択的に酸化された酸化領域および酸化されていない電流狭窄領域を含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、
前記面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域よりも大きく形成され、
各面発光レーザは、円環状の部分を含む誘電体を開口部に有し、
より内側に位置する面発光レーザの前記誘電体の内径の大きさは、より外側に位置する面発光レーザの前記誘電体の内径の大きさよりも大きいことを特徴とする面発光レーザアレイ。
【請求項３】
光によって被走査面を走査する光走査装置であって、
請求項１もしくは請求項２のいずれかに記載の面発光レーザアレイを有する光源と、
該光源からの光を偏向する光偏向器と、
該光偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と
を有することを特徴とする光走査装置。
【請求項４】
少なくとも１つの像担持体と、
該像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する少なくとも１つの請求項３に記載の光走査装置と
を有することを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
請求項４に記載の画像形成装置であって、
前記画像情報は、多色のカラー画像情報であることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリンタや複写機等の画像形成装置に設けられる光走査装置の光源、ならびに、光ディスク装置の光ピックアップの光源、光伝送システムの光送受信モジュールや光通信装置などの光源として用いられる垂直共振器型の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｃａｖｉｔｙ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｌａｓｅｒ）を複数配列してなる面発光レーザアレイに係り、特に、素子間の熱干渉に起因する性能低下を防ぐのに好適な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
垂直共振器型の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）は、基板に垂直な方向に光を射出するものであり、基板に平行な方向に光を射出する端面発光型の半導体レーザよりも低価格、低消費電力、小型、２次元デバイスに好適、かつ、高性能であることから、近年、注目されている。
【０００３】
このような面発光レーザの応用分野としては、プリンタにおける光書き込み系の光源（発振波長：７８０ｎｍ帯）や、光ディスク装置における書き込み用光源（発振波長：７８０ｎｍ帯、８５０ｎｍ帯）、光ファイバを用いるＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）などの光伝送システムの光源（発振波長：１．３μｍ帯、１．５μｍ帯）が挙げられる。さらには、ボード間、ボード内、集積回路（ＬＳＩ：Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）のチップ間、および集積回路のチップ内の光伝送用光源などとしても期待されている。
【０００４】
このように、面型発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）は、端面型レーザと比較して消費電力が少なく、モード安定性に優れ、さらに、高集積化が容易であることから、通信分野や画像記録分野への応用が期待され近年盛んに研究開発が行われている。
【０００５】
このようなＶＣＳＥＬを含む半導体レーザにおいて、発振波長は、活性層材料のバンドギャップによって決定されるが、可視領域〜近赤外領域においては、ＡｌＧａＡｓ、（Ａｌ）ＧａＩｎＰ、（Ａｌ）ＧａＩｎＡｓＰ系材料等が研究されている。この内、ＡｌＧａＡｓ系材料については特に古くから多く研究報告がなされている。
【０００６】
多くのＶＣＳＥＬにおいては、高い効率の良い電流注入、および、メサ側面での無効電流の影響の低減のため、活性層近傍に何らかの電流狭窄手段を設けている。
【０００７】
例えば、非特許文献１および非特許文献２に報告されているような、ＡｌＡｓ層を高温水蒸気中で酸化することによって得られるＡｌＯx電流狭窄を用いる技術が広く用いられている。
【０００８】
特に、ＶＣＳＥＬは、基板に対して垂直にレーザ光を取り出すことが可能で、高密度の集積化が比較的容易であるという特徴を有しており、例えば、特許文献１に記載のような構成が提案されている。
【０００９】
複数の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）を配列してなる面発光レーザアレイ（以下「ＶＣＳＥＬアレイ」とも記載）は、その用途の性格上、複数の素子のうち１素子でも性能が低下すると、面発光レーザアレイとしての機能が損なわれるため、各素子寿命は均一であることが望ましい。
【００１０】
しかし、面発光レーザをアレイ状に高密度に集積して用いる場合、面発光レーザが互いの熱干渉が発生し特性が変動する。例えば、特許文献１における図２に記載されている構成では、各面発光レーザが３×３の略正方形に配置されている。そのため、外周部の面発光レーザに対して、中央の面発光レーザは、より多くの熱干渉を受ける。したがって、面発光レーザの素子寿命は、この熱の影響を受けやすい特性のひとつであるので、このような構成の場合、特に中央の面発光レーザの素子寿命が短くなることは明白である。
【００１１】
特許文献２においては、その図１および図２の構成に関連して、高密度の集積化に対する配線容量の均一化については記述されているが、各面発光レーザの熱干渉については一切記載されていない。
【００１２】
これに対して、特許文献３においては、面発光レーザアレイにおける熱干渉について記述されている。特に、熱干渉を大きく受ける面発光レーザほど電流狭窄層における酸化されていない電流狭窄領域の径を大きくすることによって寿命の均一化する技術が提案されている。
【００１３】
しかし、各面発光レーザ毎に電流狭窄領域の径が異なると、同時に放射角も変化するため、面発光レーザアレイ内の面発光レーザが発振するレーザ光の均一性が損なわれてしまう。しかしながら、特許文献３においては、このような、電流狭窄領域の径の変化による放射角の変化については一切記述がなされていない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
解決しようとする問題点は、従来の、面発光レーザアレイにおける高密度の集積化に伴う各素子の熱干渉に対応する技術、例えば、熱干渉を大きく受ける面発光レーザほど電流狭窄領域の径を大きくする技術では、電流狭窄領域の径の変化に伴う放射角の変化により、面発光レーザアレイ内の各面発光レーザが発振するレーザ光の均一性が損なわれてしまう点である。
【００１５】
本発明の目的は、これら従来技術の課題を解決し、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命を均一とし、かつ、各面発光レーザより放出されるレーザ光の放射角を少なくとも略均一とし、面発光レーザアレイの性能の向上を可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するため、本発明の面発光レーザアレイ（ＶＣＳＥＬアレイとも言う）は、
（１）選択的に酸化された酸化領域と、酸化されていない電流狭窄領域（この領域が導電領域となる）とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、アレイ配列においてより内側に位置するレーザの電流狭窄領域の径（つまり、電流狭窄領域の面積）は、アレイ配列においてより外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径（つまり、電流狭窄領域の面積）よりも大きく形成され、より内側に位置する面発光レーザの開口部は、より外側に位置する面発光レーザの開口部よりも小さく、光走査装置や、画像形成装置等の電気機器に用いられる。
（２）あるいは、本発明の面発光レーザアレイは、選択的に酸化された酸化領域と、酸化されていない電流狭窄領域（この領域が導電領域となる）とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、アレイ配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径（つまり、電流狭窄領域の面積）は、アレイ配列においてより外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）よりも大きく形成され、各面発光レーザは、円環状の部分を含む誘電体を開口部に有し、より内側に位置する面発光レーザの前記誘電体の内径の大きさは、より外側に位置する面発光レーザの前記誘電体の内径の大きさよりも大きく、光走査装置や、画像形成装置等の電気機器に用いられる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、面発光レーザアレイ上に構成された全ての面発光レーザの寿命がほぼ均一で、放射角が少なくもほぼ均一な面発光レーザアレイ（ＶＣＳＥＬアレイともいう）を提供することが可能となる。さらに、このような面発光レーザアレイを用いた光走査装置や、画像形成装置等の電気機器の高寿命化および高品質化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】面発光レーザアレイにおける電流狭窄領域の面積と素子寿命との相関関係例を示す説明図である。
【図２】面発光レーザアレイにおける電流狭窄領域の面積とレーザ光の放射角との相関関係例を示す説明図である。
【図３】従来の面発光レーザアレイにおける面発光レーザの配置例を示す説明図である。
【図４】図３における面発光レーザの熱干渉による温度変化例を示す説明図である。
【図５】本発明に係る面発光レーザアレイの第１の構成例を示す平面図と断面図である。
【図６】図５に示す面発光レーザアレイにおける開口部と放射角との相関関係例を示す説明図である。
【図７】本発明に係る面発光レーザアレイの第２の構成例を示す平面図と断面図である。
【図８】図７に示す面発光レーザアレイにおける開口部と放射角との相関関係例を示す説明図である。
【図９】本発明に係る面発光レーザアレイの第３の構成例を示す平面図と断面図である。
【図１０】本発明に係る面発光レーザアレイにおける面発光レーザの配置例を示す説明図である。
【図１１】図１０に示す各レーザ素子の構成例を示す説明図である。
【図１２】本発明に係る画像形成装置としてのレーザプリンタの構成例を示す断面図である。
【図１３】本発明に係る光走査装置の構成例を示す断面図である。
【図１４】本発明に係る画像形成装置としてのカラープリンタの構成例を示す断面図である。
【図１５】本発明に係る光送受信モジュールを用いた光通信装置の構成例を示すブロック図である。
【図１６】本発明に係る面発光レーザアレイを用いた電気機器としての光ディスク装置の構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図を用いて本発明を実施するための形態例を説明する。
【００２０】
図９においては、本発明に係る面発光レーザアレイを構成するレーザ素子（ＶＣＳＥＬ）の具体的な層構造を示している。
【００２１】
半導体基板９９上に、第一反射鏡９８と活性層９７および第二反射鏡９３からなる共振器９６が形成され、第二反射鏡９３上にコンタクト層９０が形成され、コンタクト層９０上に第二電極９２が形成され、半導体基板９９の下側に第一電極１００が形成されている。
【００２２】
コンタクト層９０における第二電極９２が形成されていない箇所が開口部９４であり、活性層９７と第二反射鏡９３間には電流狭窄層９５が形成されている。この電流狭窄層９５は、メサを形成後に、酸化されていない電流狭窄層９５に選択酸化を行い、酸化領域（または選択酸化領域という）と、酸化されていない電流狭窄領域とにより、電流狭窄構造を形成する。なお、この電流狭窄領域に電流が導電する。
【００２３】
半導体基板９９は、（１１１）方向に１５°傾斜したｎ−ＧａＡｓ基板を用いている。第一反射鏡９８は、ｎ−ＡｌＡｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓを１／４波長ずつ積層したペアを４０．５ペア積層している。
【００２４】
活性層９７を含む共振器９６は、ほぼ格子整合の（Ａｌ０．１Ｇａ０．９）０．５Ｉｎ０．５Ｐを厚さ１波長で積層しており、活性層９７は、フォトルミネッセンス発光波長が７８０ｎｍのＧａＩｎＰＡｓ／ＧａＩｎＰ  ＴＱＷより形成されている。
【００２５】
また、第二反射鏡９３は、ｐ−Ａｌ０．９Ｇａ０．１Ａｓ／Ａｌ０．３Ｇａ０．７Ａｓを１／４波長ずつ積層したペアを２５ペア積層しており、その共振器９６寄り３ペア目に、ＡｌＡｓ層が３０ｎｍ含まれており、当該ＡｌＡｓ層を、水蒸気雰囲気中で加熱することにより、酸化領域と、電流狭窄領域とを形成し電流狭窄層９５を形成する。
【００２６】
また、第二反射鏡９３上には、高ドープされたｐ＋＋ＧａＡｓコンタクト層が形成されている。さらに、半導体基板９９の裏面には、ＡｕＧｅ／Ｎｉ／Ａｕよりなる第一電極１００が形成される。また、コンタクト層９０には、Ｃｒ／ＡｕＺｎ／Ａｕよりなる第二電極９２が電気的に接続されている。
【００２７】
このように、本例の面発光レーザは、半導体基板９９上に、第一反射鏡９８と活性層９７および第二反射鏡９３を順次に積層する。また、半導体基板９９の裏面に電気的に接続された第一電極１００と、第二の反射鏡９３上に電気的に接続された第二電極９２とを構成する。さらに、この第二反射鏡９３の上面にはレーザ光を取り出す開口部９４を形成する。また、第一反射鏡９８もしくは第二反射鏡９３内部もしくは隣接する部位に、第一反射鏡９８もしくは第二反射鏡９３に含まれる層よりもＡｌ組成の高い層を有する。このＡｌ組成の高い層の周囲を選択酸化して得られる電流狭窄層９５を形成する。なお、第二反射鏡９３、活性層９７を含む共振器をメサポスト状に加工されている。本例の面発光レーザアレイは、このように形成、構成された面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）を複数、配列してなる。
【００２８】
そして、本例の面発光レーザアレイにおいては、アレイのより中心部に位置する面発光レーザの電流狭窄層９５の形状が、アレイのより外側に位置する面発光レーザに対して大きく形成され、かつ、面発光レーザの開口部９４が、電流狭窄層９５の大きさ（サイズ）に応じて当該面発光レーザにより放出されるレーザ光の放射角が一定になるように形成されている。
【００２９】
あるいは、詳細を後述する図５に示すように、開口部９４において、反射率を調整する誘電体が円環状もしくは円環の一部を除去した形状に形成されている場合には、上述のように、アレイのより中心部に位置する面発光レーザの電流狭窄層９５の形状を、アレイのより外側に位置する面発光レーザに対して大きめに形成し、かつ、開口部９４上に形成された反射率調整用の誘電体が、電流狭窄層９５の大きさに応じて当該面発光レーザにより放出されるレーザ光の放射角が一定になるように形成される。
【００３０】
以下、面発光レーザアレイの一般的な特性に関して説明する。
【００３１】
面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）は、駆動電流が少ないため、高速動作が可能で、かつ、高集積化が容易であることから、面発光レーザアレイとして、光インターコネクションや、電子写真などの画像記録分野における高速データ転送用の光源、および、光ディスク装置などの書き込み用（光ピックアップ用）の光源等として近年注目を集めている。
【００３２】
一方で、データ伝送速度の向上や画像記録密度・記録速度の向上は目覚しく、面発光レーザアレイにおいては、面発光レーザをより一層の高密度化が求められている。
【００３３】
このような高集積化が進行するに伴い、面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの間隔は狭くなる。その結果、各面発光レーザを同時に駆動した場合、初期特性や素子寿命など、面発光レーザ間の熱干渉に起因する性能低下が顕在化するようになってきた。
【００３４】
しかも、これらの性能低下は、面発光レーザアレイ内において均一ではない。つまり、面発光レーザアレイの中心部に存在する面発光レーザほど、周囲の熱干渉の影響を大きく受けるため、性能低下は顕著になる。
【００３５】
特許文献３において記載されているように、図１に示す電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）と寿命の相関より、全面発光レーザの電流狭窄径（電流狭窄領域の面積）を大きくすることにより、面発光レーザアレイとしての長寿命化は可能である。
【００３６】
しかしながら、特許文献３に示された技術では、面発光レーザの寿命の「均一化」に対しては、本質的な解決方法とはなりえない。さらに、特許文献３に記載の技術を用いて、全面発光レーザの電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）を大きくすることで、面発光レーザアレイとしての長寿命化を図った場合、面発光レーザアレイの全体での消費電力が著しく増加するため、製品化には好ましくない。
【００３７】
また、面発光レーザアレイは、この面発光レーザアレイを構成する面発光レーザのひとつでも故障した場合、データ転送エラーや画質低下画像の乱れなどの弊害を引き起こす、そのため、面発光レーザアレイの寿命は、最も性能低下の早い素子の寿命によって決まってしまう。
【００３８】
前述したように、面発光レーザアレイは、面発光レーザアレイの中心部ほどより大きな熱干渉を受け、面発光レーザの寿命は環境温度に大きく依存している。そこで、面発光レーザアレイの中心部ほど、何らかの寿命延長対策を施し、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命を「均一化」しなければならない。
【００３９】
図１に示される電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）と寿命の相関より、面発光レーザアレイを構成する面発光レーザのメサポスト径と、電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）を調整することで長寿命化を図ることができる。
【００４０】
しかし、図２に示すように、電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）を各面発光レーザ毎に調整することで、レーザ光の放射角も同時に変化する。なお、図２においては、後述する開口部Ａを３．５μｍ、開口部Ｂを１０μｍと固定した場合の電流狭窄領域の径と、放射角の関係を示す図である。従って、電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）の調整だけでは、寿命と放射角が共に均一となる面発光レーザアレイを得ることはできない。
【００４１】
図３においては、５行５列２５素子を集積した面発光レーザアレイの配置例を示している。このような配置の場合、アレイの四隅にある素子Ａ１１、Ａ１５、Ａ５１、Ａ５５は周囲の面発光レーザが少ない（隣接する面発光レーザが３つ）ため熱干渉の影響は比較的少ない。一方、素子Ｃ３３は、周囲のすべての面発光レーザ（隣接する面発光レーザが８つ）の熱干渉を受けるため、最も性能低下が激しい。
【００４２】
図３における同一行（図の横方向）の面発光レーザについて考察すると、各々の面発光レーザ、いわゆる素子Ａ１１〜Ａ１５の温度は図４のグラフに示されるように、以下のようになる。以下のように、面発光レーザは、他の面発光レーザからの熱干渉がある。
【００４３】
Ａ１１＜Ａ１２＜Ａ１３＞Ａ１４＞Ａ１５
【００４４】
すなわち、最外周に存在する面発光レーザ間であっても、各々の面発光レーザが受ける熱干渉の程度には分布が存在する。
【００４５】
同様に、同一列（図３の縦方向）の面発光レーザＡ１１〜Ａ５１の温度についても、以下のようになる。以下のように、面発光レーザは、他の面発光レーザからの熱干渉がある。
【００４６】
Ａ１１＜Ａ２１＜Ａ３１＞Ａ４１＞Ａ５１
【００４７】
従って、以上のことからも、面発光レーザアレイ中で、最も熱干渉を大きく受けるのは素子Ｃ３３であることが容易に理解できる。
【００４８】
また、図３を構成する面発光レーザは、前述の図９で説明した構成を有している。また、図７に示すように、本例においては、電流狭窄層９５および開口部９４はいずれも正方形である。なお、正方形で説明するが、円形状などであってもよい。
【００４９】
図７では、本例の面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの上部部分のみの構造を、上面側からと断面で示しており、第二反射鏡７３上に形成された開口部Ｂ７４と第二反射鏡７３および電流狭窄層７５が示されている。つまり、開口部Ｂ７４は、第二反射鏡７３上に設けられた第二電極７２が形成されていない領域を指す。
【００５０】
この図７に示されている開口部Ｂ７４の大きさによって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角は変化する。ここで、開口部Ｂの大きさ（一辺の長さ）と、放射角の関係は、図８に示されている。図８においては、電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）が２２ｕｍ２で、開口部Ａが３．５ｕｍ２として固定した場合での、開口部Ｂ７４と放射角との相関関係を示している。
【００５１】
以下、電流狭窄層７５の電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）、さらに、それらに対応した開口部Ｂ７４の径（開口部Ｂ７４の面積）によって、面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角を調整する技術について説明する。
【００５２】
尚、電流狭窄領域の面積の設定においては、メサポスト形状による技術を用いることが容易であるが、その他の技術であっても、所望の電流狭窄領域の面積が得られるのであれば、いかなる技術を用いても良い。
【００５３】
図３に示すように面発光レーザを配列した面発光レーザアレイにおいて、面発光レーザＡ１１の電流狭窄領域の面積が１６ｕｍ２（４×４ｕｍ）で、開口部Ｂの径が１０ｕｍで、開口部Ａ＝３．５ｕｍとした場合、図２を参照すると放射角は７．３ｄｅｇとなる。
【００５４】
一方、図３における面発光レーザＣ３３の電流狭窄領域の面積を素子の延命を目的に２８ｕｍ２（５．３×５．３ｕｍ）として、開口部Ｂの径を面発光レーザＡ１１と同一の１０ｕｍとし、開口部Ａ＝３．５ｕｍとした場合、図２を参照すると放射角は６．０ｄｅｇ．となり、面発光レーザＡ１１の放射角とは１．３ｄｅｇ．の差が発生する。
つまり、図２のように、電流狭窄領域を大きくすると、放射角が小さくなるという関係にある。
【００５５】
また、図８で示したように、開口部Ｂを大きくすると、放射角が小さくなるという関係にある。そこで、面発光レーザＡ１１の開口部Ｂの径を１６ｕｍとすると、当該面発光レーザＡ１１の放射角は、６．６ｄｅｇ．となる。つまり、開口部Ｂの径を大きくして、放射角を小さくすることを試みることができる。また、面発光レーザＣ３３の開口部Ｂの径を４．５ｕｍとすると、当該面発光レーザＣ３３の放射角は６．６ｄｅｇ．となる。つまり、開口部Ｂの径を小さくして、放射角を大きくすることを試みる。このような調整により、面発光レーザＡ１１と、面発光レーザＣ３３の放射角と同一とすることができる。
【００５６】
このように、電流狭窄領域の面積を利用して、全ての素子に対して、開口径Ｂ７４の大きさを調整することによって、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命および放射角を均一にすることができる。
【００５７】
次に、図５に例示す構成の面発光レーザについて説明する。この図５では、図７と同様に、本例の面発光レーザアレイを構成する面発光レーザの上部部分のみの構造を、上面側からと断面で示している。第二反射鏡５３上に形成された反射率調整層５１の内径からなる開口部Ａ５４および電流狭窄層５５が示されている。つまり、反射率調整層５１は、先に示した開口部Ｂの中に設けられる。また、開口部Ａ５４は、反射率調整層５１の内径である。
【００５８】
この図５に示されている反射率調整層５１の内径である開口部Ａ５４の大きさによって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角は変化する。反射率調整層５１の内径である開口部Ａ５４と、放射角の関係は、図６に示されている。図６においては、電流狭窄領域の径が２２ｕｍ２、開口部Ｂが１０ｕｍと固定した場合での、開口部Ａ５４と放射角との相関関係を示している。この図６から、反射率調整層５１の内径である開口部Ａ５４を大きくすると、放射角が大きくなるという関係にある。
【００５９】
以下、図７，図８での場合と同様に、電流狭窄層５５の電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）、さらに、それらに対応した開口部Ａ５４の径によって、当該面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角を調整する技術について説明する。
【００６０】
尚、本例においても、電流狭窄層５５の電流狭窄領域の径の形状と、第二電極５２で形成される開口部Ｂの形状は、いずれも正方形である。また、電流狭窄領域の面積の設定に関しても、同様に、メサポスト形状による技術を用いることが容易であるが、その他の技術であっても、所望の電流狭窄領域の面積が得られるのであれば、いかなる技術を用いても良い。
【００６１】
図３に示す面発光レーザを配列した面発光レーザアレイにおいて、面発光レーザＡ１１の電流狭窄領域の面積が１６ｕｍ２（４×４ｕｍ）で、面発光レーザＣ３３の電流狭窄領域の面積が素子の延命を目的に２８ｕｍ２（５．３×５．３ｕｍ）の場合で、例えば、図５に示すような開口部Ａ５４を有する反射率を調整する部材（反射率調整層５１）が存在しない場合を想定する。この場合、図２の例からは、面発光レーザＡ１１と面発光レーザＣ３３の放射角は、それぞれ７．３ｄｅｇ．と６．０ｄｅｇ．となり、１．３ｄｅｇ．の差が発生する。
【００６２】
このような放射角の差を、図５における反射率調整層５１の開口径Ａ５４によって補正する場合は、次のように調整することができる。
面発光レーザＡ１１と面発光レーザＣ３３の開口径Ａ５４を、それぞれ、２．０ｕｍと７．５ｕｍとすることにより、それぞれの放射角はそれぞれ７．０ｄｅｇ．および６．９ｄｅｇ．となり、両者の放射角は略同一(ほぼ均一)となる。
【００６３】
このように、電流狭窄領域の面積を利用して、全ての素子に対して、開口径Ａ５４の補正を加えて調整することによって、面発光レーザアレイを構成する各面発光レーザの寿命および放射角を少なくともほぼ均一にすることができる。
【００６４】
図１０においては、このような電流狭窄領域の面積と反射率調整層５１の開口径Ａおよび第二電極を形成しない部分である開口径Ｂの大きさを調整することによって、各面発光レーザの寿命および放射角を少なくともほぼ均一にした面発光レーザアレイの配列構成を示している。
【００６５】
この図１０においては、３×３配置のＶＣＳＥＬアレイの各素子（Ａ１１〜１３，Ａ２１〜２３，Ａ３１〜３３）の配置例を示している。ここで、全ての素子のメサポストの形状を以下のように設定する。また本例においては、電流狭窄領域の形状および開口部Ｂはいずれも正方形である。
【００６６】
＜メサポストのサイズ＞：
Ａ１１、Ａ１３、Ａ３１、Ａ３３  ：２５×２４ｕｍ（縦×横）
Ａ１２、Ａ２１、Ａ２３、Ａ３２  ：２５．５×２４．５ｕｍ（縦×横）
Ａ２２  ：２６．３×２５．３ｕｍ（縦×横）
【００６７】
このようなＶＣＳＥＬアレイを、一定時間、水蒸気酸化を行うと、以下のような電流狭窄領域が形成される。
【００６８】
＜電流狭窄領域のサイズ＞：
Ａ１１、Ａ１３、Ａ３１、Ａ３３  ：４．０×４．０ｕｍ=１６ｕｍ２
Ａ１２、Ａ２１．Ａ２３、Ａ３２  ：４．５×４．５ｕｍ=２０ｕｍ２
Ａ２２  ：５．３×５．３ｕｍ=２８ｕｍ２
【００６９】
次に、開口部Ａおよび開口部Ｂを以下のように設定すると、各素子より放出されるレーザ光の放射角はすべて６．８ｄｅｇ．となり、全素子の寿命と放射角を均一にすることができる。
【００７０】
＜開口部Ａ，Ｂのサイズ＞：
Ａ１１、Ａ１３、Ａ３１、Ａ３３  ：１３ｕｍ−３ｕｍ（開口部Ａ−開口部Ｂ）
Ａ１２、Ａ２１、Ａ２３、Ａ３２  ：１０ｕｍ−３．５ｕｍ（開口部Ａ−開口部Ｂ）
Ａ２２  ：８ｕｍ−６ｕｍ（開口部Ａ−開口部Ｂ）
【００７１】
このような例における全ての面発光レーザのメサポスト形状と電流狭窄領域の径（電流狭窄領域の面積）、および、反射率調整層の内径である開口部Ａと第二電極が形成されない領域である開口部Ｂの対応付けを図１１に示す。この図１１に示すサイズで、メサポスト形状と電流狭窄領域の径、および、開口部Ａと開口部Ｂのそれぞれを形成することにより、全ての面発光レーザの寿命と放射角を均一にすることができる。
【００７２】
以下、図１２〜図１６を用いて、このような、本発明に係る面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置と、この光走査装置を設けた画像形成装置、および、光ディスク装置等の電気製品、ならびに、光インターコネクションなどの光通信装置について説明する。
【００７３】
すなわち、本発明に係る面発光レーザアレイを、光によって被走査面を走査する光走査装置における光源として用い、この光源からの光を偏向手段により偏向し、偏向手段で偏向された光を走査光学系により被走査面上に集光することにより、結果として長寿命で高品質な光走査装置を提供することができる。
【００７４】
また、このような光走査装置を画像形成装置に設け、この画像形成装置において、具備した少なくとも１つの像担持体に対して、光走査装置から、画像情報が含まれる光を走査する構成とすることにより、結果として長寿命で高品質な画像形成装置を提供することができる。
【００７５】
また、本発明に係る面発光レーザアレイを、光ディスク装置における光ピックアップ用の光源や光インターコネクションなどの光通信装置用の光源として用いることにより、光ディスク装置等の電気機器ならびに光通信装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。
【００７６】
まず、図１２を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた光走査装置を具備した画像形成装置としてのレーザプリンタ１０００に関して説明する。
【００７７】
図１２に示すレーザプリンタ１０００は、光走査装置１０１０と、感光体ドラム１０３０、帯電チャージャ１０３１、現像ローラ１０３２、転写チャージャ１０３３、除電ユニット１０３４、クリーニングユニット１０３５、トナーカートリッジ１０３６、給紙コロ１０３７、給紙トレイ１０３８、レジストローラ対１０３９、定着ローラ１０４１、排紙ローラ１０４２、排紙トレイ１０４３、通信制御装置１０５０、および上記各部を統括的に制御するプリンタ制御装置１０６０などを備えている。尚、これらは、プリンタ筐体１０４４の中の所定位置に収容されている。
【００７８】
通信制御装置１０５０は、ネットワークなどを介してパソコン等の上位装置１０７０との双方向の通信を制御する。感光体ドラム１０３０は、円柱状の部材であり、その表面には感光層が形成されている。すなわち、感光体ドラム１０３０の表面が被走査面である。そして、感光体ドラム１０３０は、図１２における矢印方向に回転するようになっている。
【００７９】
帯電チャージャ１０３１、現像ローラ１０３２、転写チャージャ１０３３、除電ユニット１０３４およびクリーニングユニット１０３５は、それぞれ感光体ドラム１０３０の表面近傍に配置されている。そして、感光体ドラム１０３０の回転方向に沿って、帯電チャージャ１０３１→現像ローラ１０３２→転写チャージャ１０３３→除電ユニット１０３４→クリーニングユニット１０３５の順に配置されている。
【００８０】
帯電チャージャ１０３１は、感光体ドラム１０３０の表面を均一に帯電させる。光走査装置１０１０は、帯電チャージャ１０３１で帯電された感光体ドラム１０３０の表面を、上位装置からの画像情報に基づいて変調された光束により走査し、感光体ドラム１０３０の表面に画像情報に対応した潜像を形成する。ここで形成された潜像は、感光体ドラム１０３０の回転に伴って現像ローラ１０３２の方向に移動する。尚、この光走査装置１０１０の構成については後述する。
【００８１】
トナーカートリッジ１０３６にはトナーが格納されており、このトナーは現像ローラ１０３２に供給される。現像ローラ１０３２は、感光体ドラム１０３０の表面に形成された潜像にトナーカートリッジ１０３６から供給されたト尚付着させて画像情報を顕像化させる。ここでトナーが付着した潜像（以下では、便宜上「トナー像」ともいう）は、感光体ドラム１０３０の回転に伴って転写チャージャ１０３３の方向に移動する。
【００８２】
給紙トレイ１０３８には記録紙１０４０が格納されている。この給紙トレイ１０３８の近傍には給紙コロ１０３７が配置されており、この給紙コロ１０３７は、記録紙１０４０を給紙トレイ１０３８から１枚ずつ取り出し、レジストローラ対１０３９に搬送する。
【００８３】
レジストローラ対１０３９は、給紙コロ１０３７によって取り出された記録紙１０４０を一旦保持するとともに、記録紙１０４０を感光体ドラム１０３０の回転に合わせて感光体ドラム１０３０と転写チャージャ１０３３との間隙に向けて送り出す。
【００８４】
転写チャージャ１０３３には、感光体ドラム１０３０の表面のト尚電気的に記録紙１０４０に引きつけるために、トナーとは逆極性の電圧が印加されている。この電圧により、感光体ドラム１０３０の表面のトナー像が記録紙１０４０に転写される。ここで転写された記録紙１０４０は、定着ローラ１０４１に送られる。
【００８５】
定着ローラ１０４１では、熱と圧力とが記録紙１０４０に加えられ、これによってトナーが記録紙１０４０上に定着される。ここで定着された記録紙１０４０は、排紙ローラ１０４２を介して排紙トレイ１０４３に送られ、排紙トレイ１０４３上に順次スタックされる。
【００８６】
除電ユニット１０３４は、感光体ドラム１０３０の表面を除電する。クリーニングユニット１０３５は、感光体ドラム１０３０の表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。残留トナーが除去された感光体ドラム１０３０の表面は、再度帯電チャージャ１０３１に対向する位置に戻る。
【００８７】
次に、図１３を用いて、光走査装置１０１０の構成と動作について説明する。図１３に示すように、光走査装置１０１０は、偏向器側走査レンズ６１１ａ、像面側走査レンズ６１１ｂ、ポリゴンミラー６１３、光源６１４、カップリングレンズ６１５、開口板６１６、シリンドリカルレンズ６１７、反射ミラー６１８、および走査制御装置（図示省略）などを備えている。そして、これらは、ハウジング６３０の中の所定位置に組み付けられている。
【００８８】
以下、便宜上、主走査方向に対応する方向を「主走査対応方向」と略述し、副走査方向に対応する方向を「副走査対応方向」と略述して説明する。
【００８９】
カップリングレンズ６１５は、光源６１４から出力された光束を略平行光とする。開口板６１６は、開口部を有し、カップリングレンズ６１５を介した光束のビーム径を規定する。シリンドリカルレンズ６１７は、開口板６１６の開口部を通過した光束を、反射ミラー６１８を介してポリゴンミラー６１３の偏向反射面近傍に副走査対応方向に関して結像する。
【００９０】
光源６１４とポリゴンミラー６１３との間の光路上に配置される光学系は、偏向器前光学系とも呼ばれている。本例では、偏向器前光学系は、カップリングレンズ６１５と開口板６１６とシリンドリカルレンズ６１７と反射ミラー６１８とから構成されている。
【００９１】
ポリゴンミラー６１３は、一例として内接円の半径が１８ｍｍの６面鏡を有し、各鏡がそれぞれ偏向反射面となる。このポリゴンミラー６１３は、副走査対応方向に平行な軸の周りを等速回転しながら、反射ミラー６１８からの光束を偏向する。
【００９２】
偏向器側走査レンズ６１１ａは、ポリゴンミラー６１３で偏向された光束の光路上に配置されている。像面側走査レンズ６１１ｂは、偏向器側走査レンズ６１１ａを介した光束の光路上に配置されている。そして、この像面側走査レンズ６１１ｂを介した光束が、感光体ドラム１０３０の表面に照射され、光スポットが形成される。
【００９３】
この光スポットは、ポリゴンミラー６１３の回転に伴って感光体ドラム１０３０の長手方向に移動する。すなわち、感光体ドラム１０３０上を走査する。このときの光スポットの移動方向が「主走査方向」である。また、感光体ドラム１０３０の回転方向が「副走査方向」である。
【００９４】
ポリゴンミラー６１３と感光体ドラム１０３０との間の光路上に配置される光学系は、走査光学系とも呼ばれている。本例では、走査光学系は、偏向器側走査レンズ６１１ａと像面側走査レンズ６１１ｂとから構成されている。
【００９５】
尚、偏向器側走査レンズ６１１ａと像面側走査レンズ６１１ｂの間の光路上、および像面側走査レンズ６１１ｂと感光体ドラム１０３０の間の光路上の少なくとも一方に、少なくとも１つの折り返しミラーが配置されても良い。
【００９６】
尚、画像形成装置としては、図１２に示すレーザプリンタ１０００に限定されるものではない。要するに、図１３に例示した光走査装置１０１０を備えた画像形成装置であれば良い。
【００９７】
例えば、レーザ光によって発色する媒体（例えば、用紙）に直接、レーザ光を照射する画像形成装置であっても良い。
【００９８】
また、像担持体として銀塩フィルムを用いた画像形成装置であっても良い。この場合には、光走査により銀塩フィルム上に潜像が形成され、この潜像は通常の銀塩写真プロセスにおける現像処理と同等の処理で可視化することができる。そして、通常の銀塩写真プロセスにおける焼付け処理と同等の処理で印画紙に転写することができる。このような画像形成装置は光製版装置や、ＣＴスキャン画像等を描画する光描画装置として実施できる。
【００９９】
また、図１４に示されるように、本例の面発光レーザアレイを、複数の感光体ドラムを備えるカラープリンタ２０００に設けることでも良い。
【０１００】
この図１４に示すカラープリンタ２０００は、４色（ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー）を重ね合わせてフルカラーの画像を形成するタンデム方式の多色カラープリンタであり、ブラック用のステーション（感光体ドラムＫ１、帯電装置Ｋ２、現像装置Ｋ４、クリーニングユニットＫ５、および転写装置Ｋ６）と、シアン用のステーション（感光体ドラムＣ１、帯電装置Ｃ２、現像装置Ｃ４、クリーニングユニットＣ５、および転写装置Ｃ６）と、マゼンタ用のステーション（感光体ドラムＭ１、帯電装置Ｍ２、現像装置Ｍ４、クリーニングユニットＭ５、および転写装置Ｍ６）と、イエロー用のステーション（感光体ドラムＹ１、帯電装置Ｙ２、現像装置Ｙ４、クリーニングユニットＹ５、および転写装置Ｙ６）と、光走査装置２０１０と、転写ベルト２０８０と、定着ユニット２０３０などを備えている。
【０１０１】
各感光体ドラムは、図１４中の矢印の方向に回転し、各感光体ドラムの周囲には、回転方向に沿って、それぞれ帯電装置、現像装置、転写装置、クリーニングユニットが配置されている。各帯電装置は、対応する感光体ドラムの表面を均一に帯電する。帯電装置によって帯電された各感光体ドラム表面に光走査装置２０１０により光が照射され、各感光体ドラムに潜像が形成されるようになっている。
【０１０２】
そして、対応する現像装置により各感光体ドラム表面にトナー像が形成される。さらに、対応する転写装置により、転写ベルト２０８０上の記録紙に各色のトナー像が転写され、最終的に定着ユニット２０３０により記録紙に画像が定着される。
【０１０３】
この光走査装置２０１０は、本発明に係る面発光レーザアレイ（ＶＣＳＥＬアレイ）からなる光源を色毎に有しており、図１３における光走査装置１０１０と同様な効果を得ることができる。また、カラープリンタ２０００は、光走査装置２０１０を備えているため、図１２に示すレーザプリンタ１０００と同様な効果を得ることができる。
【０１０４】
尚、カラープリンタ２０００では、各部品の製造誤差や位置誤差等によって色ずれが発生する場合がある。このような場合であっても、光走査装置２０１０の各光源が、本発明に係る面発光レーザアレイを有していると、点灯させる各発光部を変更することで、色ずれを低減することができる。
【０１０５】
次に、図１５を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた光送受信モジュールおよび当該光送受信モジュールを用いた光通信装置について説明する。
【０１０６】
図１５おいては、本発明に係る面発光レーザアレイ１４０１ａ，１４０２ａと、面発光レーザアレイ１４０１ａ，１４０２ａの各素子から出射されたレーザ光を受光して電気信号に変換出力する受光素子１４０１ｂ，１４０２ｂを、ボード１４０１，１４０２上に設け、光送受信モジュールを構成している。
【０１０７】
また、ボード１４０１，１４０２上には、面発光レーザアレイ１４０１ａ，１４０２ａを駆動する駆動回路、および、受光素子１４０１ｂ，１４０２ｂからの出力の信号処理を行う制御回路等が搭載されている。
【０１０８】
ボード１４０１，１４０２上の面発光レーザアレイ１４０１ａ，１４０２ａの各面発光レーザ素子と受光素子１４０１ｂ，１４０２ｂのそれぞれは相互に、光ファイバ１４０３を介して、光信号の送受信を行う光通信装置構成となっている。
【０１０９】
ボード１４０１，１４０２は、さらに、図示していないコンピュータ装置等の通信装置に接続され、データ処理が行われる。
【０１１０】
このように、本例の面発光レーザアレイを用いることにより、光送受信モジュールの高寿命化および高品質化を図ることができ、かつ、それを用いた光通信装置の長寿命化および高品質化を図ることができる。
【０１１１】
次に、図１６を用いて、本発明に係る面発光レーザアレイを用いた電気機器の例として、光ディスク装置について説明する。
【０１１２】
図１６において、本例の光ディスク装置は、光ディスク１５０１へのデータの書き込みや、光ディスク１５０１に書き込まれたデータの再生に、本発明に係る面発光レーザアレイからなるレーザ装置１５０２を用いている。
【０１１３】
光ディスク装置では、光ディスク１５０１へのデータの書き込み時、レーザ装置１５０２から光ディスク１５０１へ向けて信号光(レーザ光)を出射し、この信号光を、コリメートレンズ１５０３により平行光とし、ビームスプリッタ１５０４を透過してλ／４偏光板１５０５で偏光状態を調節した後、レーザ光照射用対物レンズ１５０６により光ディスク１５０１の表面に集光させる。
【０１１４】
また、光ディスク１５０１に記録されたデータを読み出す際には、レーザ装置１５０２から、データ信号がのっていないレーザ光を書き込み時と同じ経路をたどって光ディスク１５０１の表面に照射し、光ディスク１５０１の表面で反射させたレーザ光を、レーザ光照射用対物レンズ１５０６、λ／４偏光板１５０５を経由し、ビームスプリッタ１５０４により光軸の方向を９０°変えて、再生光用対物レンズ１５０７で信号検出用受光素子１５０８の表面に集光させ、この信号検出用受光素子１５０８において、レーザ光が示すデータ信号を電気信号に変換して信号光再生回路１５０９に出力する。そして、この信号光再生回路１５０９において、電気信号を元の信号に再生する。
【０１１５】
このように、本発明に係る面発光レーザアレイを光ディスク装置に用いることにより、光ディスク装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。
【０１１６】
以上、図１〜図１６を用いて説明したように、本例の面発光レーザアレイ（ＶＣＳＥＬアレイ）は、選択的に酸化された酸化領域と酸化領域によって囲まれた、酸化されていない電流狭窄領域とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）は、より外側に位置するレーザ素子の電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）よりも大きなサイズで形成され、レーザ光を出射する開口部は、電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）の大きさに応じて各レーザ素子から放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成される。
【０１１７】
あるいは、本例の面発光レーザアレイは、選択的に酸化された酸化領域とこの酸化領域によって囲まれた、酸化されていない電流狭窄領域とを含む電流狭窄層を有する面発光レーザを複数、基板上に配列してなる面発光レーザアレイであって、面発光レーザの配列においてより内側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）は、より外側に位置する面発光レーザの電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）よりも大きなサイズで形成され、レーザ光を出射する開口部に設けられた反射率調整用の誘電体の面積は、電流狭窄領域（電流狭窄領域の面積）の大きさに応じて各面発光レーザから放出されるレーザ光の放射角が一定になる大きさで形成される。
【０１１８】
これにより、構成する全ての面発光レーザの寿命が均一で、放射角が均一な面発光レーザアレイを提供することが可能となる。
【０１１９】
また、光によって被走査面を走査する光走査装置において、このような面発光レーザアレイを光源として用い、面発光レーザアレイからの光を光偏向器により偏向し、この光偏向器で偏向された光を走査光学系により被走査面上に集光する構成とすることにより、当該光走査装置による高い精度の光走査が可能となる。
【０１２０】
また、このような面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置を、モノクロあるいは多色カラーの複写機やプリンタ等の画像形成装置に設けることにより、当該光走査装置を用いて、像担持体に対して画像情報に応じて変調された光を走査する構成とすることにより、当該画像形成装置における高品質な画像形成が可能となる。
【０１２１】
また、本例の面発光レーザアレイを光源として用い、この面発光レーザアレイを駆動する駆動回路と、レーザ光を受光して電気信号に変換して出力する受光素子とを有する光送受信モジュールを構成することにより、高精度な情報通信が可能となる。
【０１２２】
また、光信号を用いて情報の伝達を行う光通信装置に、本例の面発光レーザアレイを設け、この面発光レーザアレイから出射される光ビームによって光信号を生成する構成とすることにより、光通信装置の高品質化を図ることが可能となる。
【０１２３】
また、本例の面発光レーザアレイを、例えば、光ディスク装置等の電気機器における光源として用いることにより、当該電気機器の高品質化を図ることが可能となる。
【０１２４】
このように、本例によれば、高品質な面発光レーザアレイを提供することが可能である。そして、このような高品質な面発光レーザアレイを光源として用いた光走査装置は、高い精度の光走査を行うのに適している。さらに、この光走査装置を用いた画像形成装置は、高品質の画像を形成するのに適している。また、本例の面発光レーザアレイを光源として用いた光ディスク装置等の電気機器、ならびに光通信装置の長寿命化と高品質化を図ることができる。
【０１２５】
尚、本発明は、図１〜図１６を用いて説明した例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、図１０に示す例では、３行３列９素子を集積したＶＣＳＥＬアレイ（面発光レーザアレイ）を示しているが、図３に例示されるような５行５列２５素子を集積したＶＣＳＥＬアレイ（面発光レーザアレイ）においても適用することができる。
【符号の説明】
【０１２６】
５１：反射率調整層、５２：第二電極、５３：第二反射鏡、５４：開口部Ａ、５５：電流狭窄層、７２：第二電極、７３：第二反射鏡、７４：開口部Ｂ、７５：電流狭窄層、９０：コンタクト層、９１：面発光レーザ素子（ＶＣＳＥＬ）、９２：第二電極、９３：第二反射鏡、９４：開口部、９５：電流狭窄層、９６：共振器、９７：活性層、９８：第一反射鏡、９９：半導体基板、１００：第一電極、６１１ａ：偏向器側走査レンズ（走査光学系の一部）、６１１ｂ：像面側走査レンズ（走査光学系の一部）、６１３：ポリゴンミラー（光偏向器）、６１４：光源、６１５：カップリングレンズ、６１６：開口板、６１７：シリンドリカルレンズ、６１８：反射ミラー、６３０：ハウジング、１０００：レーザプリンタ（画像形成装置）、１０１０：光走査装置、１０３０：感光体ドラム（像担持体）、１０３１：帯電チャージャ、１０３２：現像ローラ、１０３３：転写チャージャ、１０３４：除電ユニット、１０３５：クリーニングユニット、１０３６：トナーカートリッジ、１０３７：給紙コロ、１０３８：給紙トレイ、１０３９：レジストローラ対、１０４０：記録紙、１０４１：定着ローラ、１０４２：排紙ローラ、１０４３：排紙トレイ、１０４４：プリンタ筐体、１０５０：通信制御装置、１０６０：プリンタ制御装置、１０７０：上位装置、１４０１，１４０２：ボード、１４０１ａ，１４０２ａ：面発光レーザアレイ、１４０１ｂ，１４０２ｂ：受光素子、１４０３：光ファイバ、１５０１：光ディスク、１５０２：レーザ装置、１５０３：コリメートレンズ、１５０４：ビームスプリッタ、１５０５：λ／４偏光板、１５０６：レーザ光照射用対物レンズ、１５０７：再生光用対物レンズ、１５０８：信号検出用受光素子、１５０９：信号光再生回路、２０００：カラープリンタ（画像形成装置）、２０１０：光走査装置、２０３０：定着ユニット、２０８０：転写ベルト、ＬＡ：面発光レーザアレイ、Ｋ１：感光体ドラム（ブラック用）、Ｋ２：帯電装置（ブラック用）、Ｋ４：現像装置（ブラック用）、Ｋ５：クリーニングユニット（ブラック用）、Ｋ６：転写装置（ブラック用）、Ｃ１：感光体ドラム（シアン用）、Ｃ２：帯電装置（シアン用）、Ｃ４：現像装置（シアン用）、Ｃ５：クリーニングユニット（シアン用）、Ｃ６：転写装置（シアン用）、Ｍ１：感光体ドラム（マゼンタ用）、Ｍ２：帯電装置（マゼンタ用）、Ｍ４：現像装置（マゼンタ用）、Ｍ５：クリーニングユニット（マゼンタ用）、Ｍ６：転写装置（マゼンタ用）、Ｙ１：感光体ドラム（イエロー用）、Ｙ２：帯電装置（イエロー用）、Ｙ４：現像装置（イエロー用）、Ｙ５：クリーニングユニット（イエロー用）、Ｙ６：転写装置（イエロー用）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１２７】
【特許文献１】特開２０００−１１４６５６（特許第３９６５８０１号公報）
【特許文献２】特開２００２−３１４１９１（特許第４１３４５２５号公報）
【特許文献３】特開２００５−２１６９２５（特許第４５５２４４３号公報）
【非特許文献】
【０１２８】
【非特許文献１】ＩＥＥＥ  ＰＨＯＴＯＮＩＣＳ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ  ＬＥＴＴＥＲＳ，  ＶＯＬ．１１，  ＮＯ．１２，  ＤＥＣＥＮＢＥＲ  １９９９  ｐ．１５３９−１５４１
【非特許文献２】ＪＯＵＲＮＡＬ  ＯＦ  ＬＩＧＨＴＷＡＶＥ  ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ，  ＶＯＬ．２２，  ＮＯ．１２，  ＤＥＣＥＭＢＥＲ  ２００４  ｐ．２８２８−２８３３
【図１】
0005783493.tif 000002
【図２】
0005783493.tif 000003
【図３】
0005783493.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
0005783493.tif 000010
【図１０】
0005783493.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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