(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための顕微観察方法であって、
複数種の構成材料を含む観察対象物の表面を平滑に研磨する研磨工程と、研磨した前記観察対象物の表面に少なくとも光を吸収又は散乱する薄膜を形成する薄膜形成工程とを実施することにより観察用試料を作製し、さらに、該観察用試料を光源として着色光を用いて光学顕微鏡によって観察する観察工程を実施する顕微観察方法であって、
前記複数種の構成材料を含む観察対象物はセメント硬化物であることを特徴とする顕微観察方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、観察対象物を光学顕微鏡によって観察するための顕微観察方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の顕微観察方法としては、様々な方法が知られており、例えば、表面に凹凸がありアルミナセラミックのみからなる均質な集積回路用基板を観察対象物として、該基板上に金の薄膜を形成して観察用試料を作製し、該観察用試料を光学顕微鏡によって観察する方法などが知られている（特許文献１）。
斯かる顕微観察方法によれば、均質な観察対象物における表面の凹凸を確認することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５９−１６８３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これに対して、観察対象物表面の凹凸を確認できるだけではなく、複数種の構成材料を含む観察対象物の各材料を視覚的に確認できる顕微観察方法が要望されている。
【０００５】
本発明は、上記の観点等に鑑み、観察対象物を構成する複数種の材料を視覚的に確認できる顕微観察方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決すべく、本発明に係る顕微観察方法は、光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための顕微観察方法であって、複数種の構成材料を含む観察対象物の表面に少なくとも光を吸収又は散乱する薄膜を形成する薄膜形成工程を実施することにより観察用試料を作製し、さらに、該観察用試料を光学顕微鏡によって観察する観察工程を実施することを特徴とする。
【０００７】
上記構成からなる顕微観察方法においては、観察対象物が複数種の構成材料を含むことから、前記観察工程で得られる観察像において、各材料の屈折率又は反射率の違いが明暗の差となって表される。また、前記薄膜形成工程で形成された薄膜が光を吸収又は散乱できるため、観察用試料表面で反射した光の一部が吸収又は散乱され、観察用試料表面において正反射した光が抑制され得る。即ち、観察を妨げる正反射された光を抑制することができ、観察における意図しない光を抑制できる。従って、顕微観察方法においては、観察対象物を構成する各材料を視覚的に確認することができる。
【０００８】
本発明に係る顕微観察方法は、前記観察対象物の表面を平滑に研磨する研磨工程と、研磨した観察対象物の表面に前記薄膜を形成する前記薄膜形成工程とを実施することにより観察用試料を作製する。
【０００９】
本発明に係る顕微観察方法は、前記観察工程において、光学顕微鏡の光源として着色光を用いる。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように、本発明に係る顕微観察方法は、観察対象物を構成する複数種の材料を視覚的に確認できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】試験例１における観察像の写真。
【図２】試験例２における観察像の写真。
【図３】試験例３における観察像の写真。
【図４】試験例４における観察像の写真。
【図５】比較例１における観察像の写真。
【図６】試験例５における観察像の写真。
【図７】試験例６における観察像の写真。
【図８】比較例２における観察像の写真。
【図９】試験例７における観察像の写真。
【図１０】試験例８における観察像の写真。
【図１１】試験例９における観察像の写真。
【図１２】試験例１０における観察像の写真。
【図１３】比較例３における観察像の写真。
【図１４】試験例１１及び１２における観察像の写真。
【図１５】比較例４における観察像の写真。
【図１６】試験例１３〜１５における観察像の写真。
【図１７】比較例５における観察像の写真。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る顕微観察方法の実施形態について説明する。
【００１３】
本実施形態の顕微観察方法は、光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための顕微観察方法であって、複数種の構成材料を含む観察対象物の表面に少なくとも光を吸収又は散乱する薄膜を形成する薄膜形成工程を実施することにより観察用試料を作製し、さらに、該観察用試料を光学顕微鏡によって観察する観察工程を実施するものである。
【００１４】
前記顕微観察方法においては、複数種の構成材料を含む観察対象物の表面を平滑に研磨する研磨工程と、研磨した観察対象物の表面に少なくとも光を吸収又は散乱する薄膜を形成する薄膜形成工程とを実施することにより観察用試料を作製し、さらに、該観察用試料を光学顕微鏡によって観察する観察工程を実施する。
【００１５】
前記観察対象物は、異なる屈折率又は異なる反射率を有する複数種の構成材料が混在したものである。
前記観察対象物としては、セメントが水和反応したセメント水和物と骨材とが少なくとも構成材料として混在しているセメント硬化物が挙げられる。
該セメント硬化物の原料であるセメントとしては、例えば、ＪＩＳ  Ｒ５２１１〜５２１３により規定されるセメントが挙げられる。具体的には、高炉スラグを含む高炉セメント（ＪＩＳ  Ｒ５２１１）、シリカを含むシリカセメント（ＪＩＳ  Ｒ５２１２）、フライアッシュを含むフライアッシュセメント（ＪＩＳ  Ｒ５２１３）などが挙げられる。
また、前記セメント硬化物としては、セメント水和物と細骨材とが混在したモルタル、又は、セメント水和物と粗骨材と細骨材とが混在したコンクリート、セメント水和物とガラス繊維と細骨材とが混在したガラス繊維強化セメント（ＧＲＣ）等が挙げられる。
さらに、前記観察対象物としては、具体的には例えば、粘板岩を薄い板状に加工したスレート、石膏ボード、ピータイル等が挙げられる。
【００１６】
前記顕微観察方法において、視覚的に確認できる観察対象物の構成材料としては、具体的には、例えば、セメント水和物などのセメント由来物質、結晶性シリカや非結晶性シリカなどのシリカ材料、ガラス材料、アスベスト、高炉スラグ、フライアッシュ（石炭灰）、骨材などが挙げられる。
【００１７】
なお、前記顕微観察方法においては、観察像において観察される材料の形状から、観察対象物に含まれている材料を確認することができる。具体的には、観察像においては、アスペクト比の大小により、例えば、ガラス材料としてのガラス粉やガラスファイバーを確認できる。
また、前記顕微観察方法においては、前記観察工程にて５０００倍程度の倍率で観察することにより、セメント水和物の種類、即ち、原料として用いられたセメントの種類が確認され得る。
【００１８】
前記研磨工程では、通常、光学顕微鏡によって観察する観察対象物の表面を物理的に平滑に研磨する。斯かる研磨を行うことにより、観察対象物表面の凹凸が抑えられ、観察対象物表面の凹凸の影響を受けた反射光又は屈折光が抑制される。凹凸の影響を受けた反射光又は屈折光が抑えられる分、観察対象物を構成する各材料それぞれの反射率又は屈折率の影響を受けた反射光又は屈折光が、観察像において直接的に認識され得る。そして、各材料の反射率又は屈折率に対応して反射又は屈折した光が、明暗等の差となって観察像に表され得る。このように、前記研磨工程を実施することにより、観察対象物表面の凹凸により生じ得る悪影響、即ち、観察対象物表面における光の拡散反射などを抑えることができる。
【００１９】
前記研磨工程では、物理的な研磨方法として、例えば、バフ研磨方法を採用することができる。
また、前記研磨工程では、必要に応じて、エッチングなどの化学的な研磨を行うことができる。
【００２０】
前記研磨工程では、ＪＩＳ  Ｂ０６０１（１９９４）に規定される算術平均粗さ（Ra）が５μｍ未満となるように観察対象物の表面を研磨することが好ましく、１μｍ以下となるように観察対象物の表面を鏡面研磨することがより好ましい。
なお、前記研磨工程は、従来公知の方法により、一般的な装置を用いて実施することができる。また、算術平均粗さ（Ra）は、市販の表面粗さ計を用いて測定することができる。
【００２１】
前記薄膜形成工程では、観察対象物における研磨した表面上に、少なくとも光を吸収又は散乱する薄膜を形成する。研磨した観察対象物の表面に該薄膜を形成することにより、試料表面における光の正反射が薄膜によって抑制される。従って、観察を妨げる光の正反射が抑制され、観察像が見やすいものになる。
前記薄膜は、少なくとも光を吸収又は散乱するものである。光の散乱としては、具体的には、例えば、光の反射又は屈折が挙げられる。また、前記薄膜は、さらに光を回折する性能を有していてもよい。
【００２２】
前記薄膜の材質としては、少なくとも光を吸収又は散乱するものであれば特に限定されず、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、白金−パラジウム（Ｐｔ−Ｐｄ）合金などの金属、二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）や二酸化チタン（ＴｉＯ2）などの無機酸化物、又は炭素（Ｃ）等が挙げられる。なかでも、薄膜の材質としては、薄膜の成膜性及び安定性に優れるという点で、前記金属又は炭素（Ｃ）などの導電性物質が好ましく、金（Ａｕ）がより好ましい。
また、前記薄膜としては、例えば、所定の屈折率を有する樹脂、微粒子が分散されて所定の屈折率を有するように調整された反射防止塗料などの塗料、又は、光学顕微鏡の技術分野において一般的に用いられている浸液、屈折率調整液、屈折液等の観察用液体を用いて形成したものを採用することができる。
【００２３】
前記薄膜は、可視光などの光が透過できる厚みに形成する。該薄膜の厚みは、特に限定されないが、通常、１ｎｍ〜１μｍである。
なお、前記薄膜の厚みによって、観察される観察像の色が変わり得る。具体的には、光源として可視光の白色光を用いた場合、金で形成された薄膜の厚みが変わることにより、観察像全体の色調が、例えば黄系、オレンジ系、又は緑系の色になり得る。
【００２４】
前記薄膜形成工程では、前記薄膜を従来公知の一般的な方法によって形成することができる。具体的には、例えば、蒸着によって金（Ａｕ）や炭素（Ｃ）の薄膜を形成することができる。
【００２５】
前記薄膜形成工程において行う蒸着としては、物理的蒸着、化学的蒸着などが挙げられ、観察対象物を変質させるおそれが小さいという点で、物理的蒸着が好ましい。
前記物理的蒸着としては、抵抗加熱蒸着や電子ビーム（ＥＢ）蒸着などの真空蒸着、イオン化蒸着、スパッタリングなどを採用することができる。前記物理的蒸着としては、より簡便に行うことができ、しかも観察対象物表面における凹凸を覆うように成膜できるという点で、抵抗加熱蒸着や電子ビーム（ＥＢ）蒸着などの真空蒸着が好ましい。
なお、前記薄膜形成工程においては、電気鍍金や化学鍍金によっても薄膜を形成することができる。
【００２６】
前記薄膜形成工程は、同種の薄膜材料を用いて、又は、異種の薄膜材料を用いて、複数回実施することができる。即ち、前記薄膜形成工程を複数回実施することにより、同種の又は異種の膜が複数積層したものを形成することができる。複数の膜が積層していることにより、特定の屈折率を有する材料を確認することがより確実に行えるという利点がある。
具体的には、例えば、細骨材とガラス粒子とが混在した観察対象物に対して、二酸化ケイ素の薄膜を形成した後に金の薄膜を形成した観察用試料を作製した場合、光学顕微鏡を用いた観察において白色光を光源として用いることにより、より確実に細骨材を確認することができる。詳しくは、二酸化ケイ素及びガラスの屈折率が近似しているため、観察像において、ガラス粒子の形状が確認できなくなる。また、二酸化ケイ素の薄膜表面からの反射光は、外側に積層された金の薄膜によって吸収させることができる。従って、観察像において、ガラス粒子が確認できなくなる分、細骨材をより確実に確認することができる。
【００２７】
前記観察工程では、光源として、紫外光、赤外光、又は可視光を用いて、上述のごとく作製した観察用試料を光学顕微鏡によって観察する。
【００２８】
前記光学顕微鏡としては、観察用試料に対する光の反射又は屈折を利用して観察できるものであれば、特に限定されるものではなく、従来公知の一般的なものを用いることができる。
前記光学顕微鏡としては、具体的には、例えば、実体顕微鏡、偏光顕微鏡、金属顕微鏡、コンフォーカル（共焦点）顕微鏡、レーザー顕微鏡、ＣＣＤカメラ付き顕微鏡、Ｃ−ＭＯＳカメラ付き顕微鏡等が挙げられる。
なお、光源として可視光以外の紫外光又は赤外光を採用しても、上記のＣＣＤカメラ付き顕微鏡を用いることなどにより、観察像を視覚的に認識することができる。
【００２９】
前記光源としての紫外光は、１０ｎｍ以上３６０ｎｍ未満の波長の光を含むものである。また、前記光源としての赤外光は、７００ｎｍ以上１０００μｍ以下の波長の光を含むものである。また、前記光源としての可視光は、３６０ｎｍ以上７００ｎｍ未満の波長の光を含むものである。
【００３０】
前記可視光としては、具体的には例えば、波長の異なる可視光が混在する白色光を用いることができる。また、可視光としては、白色光の他、青色光、赤色光、緑色光などの着色光を用いることができる。即ち、前記観察工程では、これら各色の可視光を光源として用いることができる。
【００３１】
前記白色光及び着色光は、ＪＩＳ  Ｚ８１１０「色の表示方法−光源色の色名」に従って決められるものである。
具体的には、前記白色光は、上記ＪＩＳ規格における「基本色名」の白に該当するものである。また、前記着色光は、上記ＪＩＳ規格における「基本色名」の白以外に該当するものである。
また、前記着色光としての前記青色光は、上記ＪＩＳ規格における「基本色名」の青緑、青、青紫に該当するものである。前記着色光としての前記赤色光は、上記ＪＩＳ規格における「基本色名」の赤、黄赤に該当するものである。前記着色光としての前記緑色光は、上記ＪＩＳ規格における「基本色名」の緑、黄緑に該当するものである。
【００３２】
前記観察工程では、白色光によって観察を行った場合、例えば金の薄膜で反射された光は、光学顕微鏡観察において、黄系の色となって認識される。
具体的には、前記観察工程では、セメント水和物、高炉スラグ、細骨材、及び粗骨材が混在したコンクリートを観察対象物として、該コンクリートの表面に金の薄膜を形成した観察用試料を、光源として白色光を用いて光学顕微鏡によって観察すると、セメント水和物が黒系〜濃いオレンジ系の色となって確認でき、高炉スラグがオレンジ系の色となって確認できる。また、細骨材及び粗骨材がオレンジ系の色となって確認できる。
【００３３】
前記観察工程では、観察対象物の各構成材料がより確認されやすくなるという点で、光学顕微鏡の光源として着色光を用いる。詳しくは、光源として白色光を用いると、前記薄膜にて反射又は屈折された光が着色した光になり得る。このような場合、前記薄膜にて反射又は屈折された光が白色に近い色になるように、光源として着色光を用いることにより、観察像がより見えやすくなる。
具体的には、前記観察工程では、例えば、青色光によって観察を行うことにより、金の薄膜で反射された光が白色に近い色となって認識され、光学顕微鏡観察において観察対象物の各構成材料がより確認されやすくなる。
【００３４】
前記着色光としては、具体的には、金の薄膜で反射された光が白色に近い色となって認識されるという点で、青色光を用いることが好ましい。
【００３５】
なお、前記観察工程では、得られた観察像をさらに画像処理し、例えばコントラストを上げることなどにより、観察対象物を構成する複数種の材料をより確実に確認することができる。また、色温度補正フィルタ（ＮＣＢフィルタ）、単色フィルタ（ＧＩＦフィルタ）、又は減光フィルタ（ＮＤフィルタ）などを用いることにより、観察対象物を構成する複数種の材料をより確実に確認することができる。
【００３６】
本発明は、上記例示の顕微観察方法に限定されるものではない。
また、一般の顕微観察方法において用いられる種々の態様を、本発明の効果を損ねない範囲において、採用することができる。
【実施例】
【００３７】
次に実施例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３８】
まず、以下に示すようにして、観察用試料を作製した。
【００３９】
（作製例１）
観察対象物として、高炉スラグ、セメント水和物、細骨材、及び粗骨材を含むコンクリート（セメント硬化物）を用いた。
コンクリートを４０ｍｍ×４０ｍｍ×１０ｍｍの直方体状に切り出し、その１面を、平面研磨装置（マルトー社製  機器名「ＭＧ−４０３」カップ刃を改造したもの）及び回転式乾式鏡面研磨装置（ムサシノ電子社製  機器名「ＭＡ−３００Ｄ」）を用いて、算術平均粗さ（Ra）が５μｍ未満となるように平滑に研磨することにより、研磨工程を行った。
次に、研磨面に対して、抵抗加熱方式の真空蒸着装置（日本電子社製  製品名「ＪＥＥ−４Ｘ」）を用いて金を蒸着し、厚み１００〜５００オングストロームの範囲となるように薄膜を形成し、薄膜形成工程を行った。なお、真空度１×１０-6torrの蒸着条件とし、４５°傾斜させた被蒸着試料を回転させながら蒸着を行った。このようにして観察用試料を作製した。
【００４０】
（作製例２）
薄膜形成工程において炭素を蒸着した点以外は、作製例１と同様にして観察用試料を作製した。
【００４１】
（作製例３）
薄膜形成工程を行わなかった点以外は、作製例１と同様にして観察用試料を作製した。
【００４２】
続いて、光学顕微鏡を用いて、作製した各観察用試料を観察した。
【００４３】
（試験例１）
作製例１の光学顕微鏡観察用試料を、光学顕微鏡（ＣＣＤカメラ付きデジタルマイクロスコープ  キーエンス社製 製品名「ＶＨＸ−５００」）を用いて観察し、観察工程を実施した。なお、光源として白色光を用い、倍率を１００倍とした。
【００４４】
（試験例２：実施例１）
光源として青色光を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００４５】
（試験例３）
作製例２の光学顕微鏡観察用試料を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００４６】
（試験例４：実施例２）
作製例２の光学顕微鏡観察用試料を用いた点、光源として青色光を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００４７】
（試験例５）
倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。なお、観察部位は、試験例１と異なる。
【００４８】
（試験例６）
倍率を１０００倍とした点、試験例１より白色光の強度を大きくして顕微鏡のＣＣＤ感度を落とした点、顕微鏡付属の画像処理機能によりホワイトバランスを調節した点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。なお、観察部位は、試験例１と異なる。
【００４９】
（試験例７）
倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００５０】
（比較例１）
作製例３の光学顕微鏡観察用試料を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００５１】
（比較例２）
倍率を１０００倍とした点以外は、比較例１と同様にして観察工程を実施した。なお、観察部位は、比較例１と異なる。
【００５２】
試験例１〜７及び比較例１及び２において観察して得られた観察像を図１〜図９に示す。詳しくは、試験例１〜４の観察像をそれぞれ図１〜４に示す。また、比較例１の観察像を図５に示す。また、試験例５及び６の観察像をそれぞれ図６及び７に示す。また、比較例２の観察像を図８に示す。なお、図６〜８は、観察用試料の同じ部分の観察像である。
試験例７の観察像を図９に示す。
【００５３】
金の薄膜を形成した試料（作製例１）を白色光によって観察した図１の観察像（試験例１）においては、オレンジ系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。
一方、金の薄膜を形成した試料（作製例１）を青色光によって観察した図２の観察像（試験例２）においては、白系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。
また、炭素の薄膜を形成した試料（作製例２）を白色光によって観察した図３の観察像（試験例３）においては、白系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。
また、炭素の薄膜を形成した試料（作製例２）を青色光によって観察した図４の観察像（試験例４）においては、青系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。
これに対し、薄膜を形成しなかった試料（作製例３）を白色光によって観察した図５の観察像（比較例１）においては、骨材２及びセメント水和物１を確認することが困難である。なお、濃い黒系の色となっている部分は、空隙４である。
【００５４】
金の薄膜を形成した試料（作製例１）を白色光によって観察した図６の観察像（試験例５）においては、オレンジ系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。
また、金の薄膜を形成した試料（作製例１）を、上述のごとき観察条件で観察し、画像処理によりホワイトバランスを調節した図７の観察像（試験例６）においては、図６の観察像よりも、骨材２における色がより白系に近い色になっている。
これに対し、薄膜を形成しなかった試料（作製例３）を白色光によって観察した図８の観察像（比較例２）においては、骨材２及びセメント水和物１を確認することが困難である。
【００５５】
金の薄膜を形成した試料（作製例１）を白色光によって観察した図９の観察像（試験例７）においては、オレンジ系の色となった部分が骨材２であると確認でき、黒系の色となった部分がセメント水和物１であると確認できる。また、鋭角を有しオレンジ系の色を有する多角形状物が高炉スラグ３であると確認できる。
【００５６】
（試験例８〜１０  試験例９：実施例３、試験例１０：実施例４）
それぞれ光源として白色光、赤色光、緑色光を用い、試験例１における光学顕微鏡観察用試料の観察部分とは異なる部分について試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００５７】
（比較例３）
作製例３（薄膜形成工程なし）の試料を用い、試験例８〜１０の観察部分に相当する部分について、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００５８】
試験例８〜１０の観察像をそれぞれ図１０〜１２に、また、比較例３の観察像を図１３に示す。図１０〜１２に示すように、試験例８〜１０の観察像においては、黒系の色で表されたセメント水和物１及び白系の色で表された骨材２を確認することができる。一方、図１３に示すように、比較例３の観察像においては、セメント水和物１及び骨材２を確認することが困難である。比較例３の観察像においては、観察対象物表面における光の正反射により、セメント水和物１及び骨材２を確認することが困難になっていると考えられる。
【００５９】
続いて、ガラス繊維を含む観察対象物を用いて観察用試料を作製し、作製した試料を用いて観察工程を実施した。
【００６０】
（作製例４）
観察対象物として、セメント水和物とガラス繊維と細骨材とが混在したガラス繊維強化セメント（ＧＲＣ）を用いた点以外は、作製例１と同様にして観察用試料を作製した。
（作製例５）
薄膜形成工程を行わなかった点以外は、作製例４と同様にして観察用試料を作製した。
【００６１】
（試験例１１）
作製例４の観察用試料を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６２】
（試験例１２：実施例５）
作製例４の観察用試料を用い、光源として可視光の青色光を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６３】
（比較例４）
作製例５の観察用試料を用いた点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６４】
試験例１１及び１２の観察像をそれぞれ図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示す。また、比較例４の観察像を図１５に示す。図１４（ａ）、図１４（ｂ）に示すように、試験例１１及び１２の観察像においては、白く表されたガラス繊維５を確認することができる。一方、図１５に示すように、比較例４の観察像においては、ガラス繊維５を確認することが困難である。
【００６５】
（試験例１３）
作製例４の観察用試料を用いた点、倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６６】
（試験例１４：実施例６）
作製例４の観察用試料を用いた点、光源として青色光を用いた点、倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６７】
（試験例１５）
作製例４の観察用試料を用いた点、減光フィルタ（ＮＤ１６）を用いた点、倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６８】
（比較例５）
作製例５の観察用試料を用いた点、倍率を１０００倍とした点以外は、試験例１と同様にして観察工程を実施した。
【００６９】
試験例１３〜１５の観察像をそれぞれ図１６（ａ）〜図１６（ｃ）に示す。また、比較例５の観察像を図１７に示す。図１６（ａ）〜図１６（ｃ）に示すように、試験例１３〜１５の観察像においては、白く表されたガラス繊維５を確認することができる。一方、図１７に示すように、比較例５の観察像においては、ガラス繊維５を確認することが困難である。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明の顕微観察方法は、観察対象物を構成する材料を視覚的に確認でき、例えば、様々な無機物質材料が混在した複合物の分析のために使用され得る。具体的には、例えば、透明材料、又は、モルタルやコンクリートの簡易的材料分析において好適に使用される。
【符号の説明】
【００７１】
１：セメント水和物、  ２：骨材、  ３：高炉スラグ、  ４：空隙、  ５：ガラス繊維
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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