(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線基板の一面側を露光する一面側露光部と、
該プリント配線基板の他面側を露光する他面側露光部と、
前記一面側露光部と前記他面側露光部との間に設けられ、前記一面側露光部又は他面側露光部の一方の露光部で露光を終了したプリント配線基板を前記一方の露光部ではない他方の露光部で露光するために受け渡しを行う受け渡し部と、
前記プリント配線基板の一面側を吸着固定し、前記一面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する一面側吸着ハンドと、
前記プリント配線基板の他面側を吸着固定し、前記他面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する他面側吸着ハンドと、
前記一面側吸着ハンド又は他面側吸着ハンドの中の少なくとも１つに装着され、前記吸着ハンドを回転させることにより、ほぼ水平に配置されたプリント配線基板の上下を１８０度反転させるためのハンド回転機構と、を備え、
前記受け渡し部において、前記ハンド回転機構により吸着ハンドを回転させてプリント配線基板を反転し、前記一面側吸着ハンドと他面側吸着ハンド間でプリント配線基板の受け渡しを行う、
ことを特徴とするプリント配線基板の露光装置。
【請求項２】
前記一面側露光部と他面側露光部の受け渡し部側と反対側に設けられ、プリント配線基板を該露光部から搬入或いは搬出する搬入搬出装置と、
該搬入搬出装置に設けられた、プリント配線基板のプリアライメント装置と、を更に備え、
前記一面側露光部から他面側露光部へとプリント配線基板を流す工程と、反対に他面側露光部から一面側露光部へとプリント配線基板を流す工程の両方を行える、
ことを特徴とする請求項１の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント配線基板の露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板両面に回路が形成されるプリント配線基板を製造するための露光装置では、２台の露光装置を配列し、該露光装置間に基板の反転装置を設けて、基板両面の露光を行っている。また露光装置から反転装置へプリント配線基板をコンベアにより搬送する際や、反転装置による反転の際にプリント配線基板が基準位置からずれるため、この位置補正を行うために、反転装置の出口側にプリアライメント装置を設けている。
そのため、このような露光装置では、装置が複雑化し、ラインが長くなり、コスト上昇や製造時間の増長、生産性の低下など招く問題があった。
そのため、従来から種々の試みがなされており、例えば下掲特許文献１においては、プリント配線基板を固定して反転させることにより、位置ずれを防止して反転装置の出口側のプリアライメント装置を除去した提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２５１９２１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した従来の構成においては、プリアライメント装置の除去は可能であるが、露光装置から反転装置へ、また反転装置から露光装置へのプリント配線基板の搬送をするための搬送コンベアなどの搬送装置が必要であり、装置全体が依然として複雑である問題がある。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明のプリント配線基板の露光装置は、プリント配線基板の一面側を露光する一面側露光部と、該プリント配線基板の他面側を露光する他面側露光部と、前記一面側露光部と前記他面側露光部との間に設けられ、前記一面側露光部又は他面側露光部の一方の露光部で露光を終了したプリント配線基板を前記一方の露光部ではない他方の露光部で露光するために受け渡しを行う受け渡し部と、前記プリント配線基板の一面側を吸着固定し、前記一面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する一面側吸着ハンドと、前記プリント配線基板の他面側を吸着固定し、前記他面側露光部と前記受け渡し部間においてプリント配線基板を移送する他面側吸着ハンドと、前記一面側吸着ハンド又は他面側吸着ハンドの中の少なくとも１つに装着され、前記吸着ハンドを回転させることにより、ほぼ水平に配置されたプリント配線基板の上下を１８０度反転させるためのハンド回転機構と、を備え、前記受け渡し部において、前記ハンド回転機構により吸着ハンドを回転させてプリント配線基板を反転し、前記一面側吸着ハンドと他面側吸着ハンド間でプリント配線基板の受け渡しを行う、ことを特徴とする。
また本発明においては、前記一面側露光部と他面側露光部の受け渡し部側と反対側に設けられ、プリント配線基板を該露光部から搬入或いは搬出する搬入搬出装置と、該搬入搬出装置に設けられた、プリント配線基板のプリアライメント装置と、を更に備え、前記一面側露光部から他面側露光部へとプリント配線基板を流す工程と、反対に他面面側露光部から一面側露光部へとプリント配線基板を流す工程の両方を行える、ように構成することも可能である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明の露光装置によれば、従来の反転装置を用いず、受け渡し部において吸着ハンドにより直接プリント配線基板の受け渡しを行うため、プリント配線基板の基準位置のずれが生ずることがなく、そのため下流側の露光部の入口側にプリアライメント部を設ける必要がない。また、プリント配線基板の反転は吸着ハンドに設けられたハンド回転機構で行うため、反転装置も不要である。更に、一方の露光部から他方の露光部までは、すべて吸着ハンドによりプリント配線基板の移送が行われるため、この間に別途搬送装置を設ける必要がない、などの効果がある。また、生産ラインに対する柔軟な対応が可能になり、改造コストなども不要にできる、効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施形態を示す概略平面図。
【図２】本発明の一実施形態を示す概略立面図。
【図３】本発明の一実施形態の一面側及び他面側吸着ハンド５の立面図。
【図４】本発明の一実施形態の一面側及び他面側吸着ハンド５の平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明のプリント配線基板を製造するための露光装置の平面図、図２は立面図である。
この露光装置は、一面側の露光を行う一面側露光部１、受け渡し部２、他面側の露光を行う他面側露光部３を有し、これらが順番に直線状にほぼ等間隔に配設されている。露光部１は搬入搬出部１０を、露光部３は搬入搬出部３０をそれぞれ備えており、前工程からプリント配線基板９９を搬入し或いは次工程へとプリント配線基板９９を搬出する。
即ち前工程でフォトレジストを施されたプリント配線基板９９は搬入搬出部１０から露光部１、受け渡し部２、露光部３を経由し、一面側と他面側の表裏に露光され搬入搬出部３０から次工程に送られる。また、後述するように、逆の流れにも対応可能であり、その場合搬入搬出部３０から露光部３、受け渡し部２、露光部１を経て、搬入搬出部１０から次工程に送られる。
【０００９】
露光部１、３は、それぞれ基台１５、基台３５を備え、ここにプリント配線基板９９を載置し、位置合せ装置（図示せず）により位置合わせを行った後に、露光光源（図示せず）から露光光を発して、マスク（図示せず）に描かれたパターンをプリント配線基板９９上に焼き付けるように構成されている。
【００１０】
露光部１と露光部３の間には受け渡し部２が設定されており、ここでプリント配線基板９９の反転と受け渡しを行うようになっている。
【００１１】
この露光装置には、プリント配線基板９９の一面側を吸着し搬送する一面側吸着ハンド５と他面側を吸着し搬送する他面側吸着ハンド６が設けられている。吸着ハンド５は、搬入搬出部１０、露光部１、受け渡し部２にわたり、Ｘ方向に延びる走行レール５０を備えており、プリント配線基板９９を搬入搬出部１０から露光部１へ、また露光部１から受け渡し部２に搬送できるようになっている。また、逆方向に受け渡し部２から露光部１へ、露光部１から搬入搬出部１０に搬送できるように構成されている。
【００１２】
吸着ハンド６は、搬入搬出部３０、露光部３、受け渡し部２にわたり、Ｘ方向に延びる走行レール６０を備えており、プリント配線基板９９を受け渡し部２から露光部３へ、露光部３から搬入搬出部３０に搬送できるようになっている。また、逆方向に搬入搬出部３０から露光部３へ、露光部３から受け渡し部２に搬送できる搬送できるように構成されている。
なお、この実施形態では走行レール６０は走行レール５０の上方に配置されており、受け渡し部２において、後記するようにプリント配線基板９９が回動する際に接触しないだけの間隔をあけてある。
【００１３】
図３に示すように、吸着ハンド５は走行レール５０を走行する走行基台５１と該走行基台５１から上方向に延出して設けられたＺ軸５２を備えている。該Ｚ軸５２には基台１５の幅方向、Ｙ方向に延出するＹ軸５３が設けられており、Ｙ軸５３はＺ軸５２上を上下方向に昇降可能に装着されている。この構成によりＹ軸５３はＺ方向上下昇降可能に且つＸ方向に走行可能に構成されている。
【００１４】
Ｙ軸５３には吸着機構５４が装着されており、この吸着機構５４によりプリント配線基板９９を吸着固定し、プリント配線基板９９を搬送するように構成されている。
吸着機構５４は板状の矩形形状をなしており、図４に示すようにその中心線においてＹ軸５３に装着されている。
【００１５】
この実施形態では、吸着ハンド５にハンド回転機構７を備えており、Ｙ軸５３はハンド回転機構７の旋回モータ７０により３６０度回転可能に構成されている。この構成により吸着ハンド５はプリント配線基板９９をその中心線において１８０度回転させて反転させることが出来るように構成されている。
【００１６】
吸着ハンド６も同様に  図３に示すように、走行レール６０を走行する走行基台６１と該走行基台６１から上方向に延出して設けられたＺ軸６２を備えている。該Ｚ軸６２には基台３５の幅方向、Ｙ方向に延出するＹ軸６３が設けられており、Ｙ軸６３はＺ軸６２上を上下方向に昇降可能に装着されている。この構成によりＹ軸６３はＺ方向上下昇降可能に且つＸ方向に走行可能に構成されている。
【００１７】
Ｙ軸６３には吸着機構６４が装着されており、この吸着機構６４によりプリント配線基板９９を吸着固定し、プリント配線基板９９を搬送するように構成されている。
吸着機構６４は板状の矩形形状をなしており、図４に示すようにその中心線においてＹ軸６３に装着されている。
【００１８】
搬入搬出部１０はローラコンベア１１を備えており、ローラコンベア１１は前工程からのローラコンベア１１’と連続し、前工程からのプリント配線基板９９を搬入するように構成されている。また、逆にローラコンベア１１からローラコンベア１１’へプリント配線基板９９を搬出するように構成されている。
搬入搬出部３０も同様にローラコンベア３１を備えており、ローラコンベア３１は次工程からのローラコンベア３１’と連続し、次工程へプリント配線基板９９を搬出するように構成されている。また、逆にローラコンベア１１’からローラコンベア１１へプリント配線基板９９を搬入するように構成されている。
【００１９】
搬入搬出部１０と搬入搬出部３０はそれぞれプリアライメント装置であるアライメントプレート（図示せず）を備えており、更にアライメントプレートにはストッパ（図示せず）と移動可能なアライメントピン（図示せず）が設けられている。またアライメントプレートはプリント配線基板９９を吸着固定する吸着装置が備えられている。
アライメントプレートは昇降可能に構成され、前記ローラコンベア１１、ローラコンベア３１の下側に位置する状態と上側に位置する状態をとれるように構成されている。
そして、プリント配線基板９９をローラコンベア１１、ローラコンベア３１で受けると、アライメントプレートを上昇させてローラコンベア１１とローラコンベア３１を下に収め、ストッパによりプリント配線基板９９の進行方向位置を規制するとともにアライメントピンにより幅方向位置を調整してプリアライメントを行うように構成されている。プリアライメント後は、吸着装置によりプリント配線基板９９をプリアライメントした位置で固定するようになっている。
【００２０】
次に動作を説明する。図１と図２において、左から右にラインが流れる場合の動作を説明する。
前工程から、ローラコンベア１１’を介しローラコンベア１１上にプリント配線基板９９が搬送されると、ここでプリアライメントされ、アライメントプレートに吸着固定される。
このプリント配線基板９９の上方に吸着ハンド５が移動し、吸着機構５４が下降してプリント配線基板９９の上面を吸着固定して露光部１に搬送し、基台１５上にプリント配線基板９９を載置し、解放し、吸着ハンド５は所定の位置に退避する。
露光部１において、プリント配線基板９９のアライメントが行われたうえ、その一面側が露光される。
【００２１】
露光が終了したら、吸着機構５４により再びプリント配線基板９９の一面側を吸着し、プリント配線基板９９を受け渡し部２に搬送する。受け渡し部２において、ハンド回転機構７の旋回モータ７０を駆動し、図３に示すようにプリント配線基板９９を１８０度回転させ、プリント配線基板９９を反転する。これによりプリント配線基板９９の未露光な他面側が上方向に向く。
【００２２】
次いで、図２に示すように吸着ハンド６が受け渡し部２に移動し、その吸着機構６４が下降して、反転して上向きになっているプリント配線基板９９の他面側を吸着固定する。同時に吸着機構５４の固定を開放し、吸着ハンド６はプリント配線基板９９を露光部３に搬送し、プリント配線基板９９を基台３５に載置し、固定を開放して吸着ハンド６は所定の位置に退避する。プリント配線基板９９は基台３５上でアライメントされ、その他面側を露光される。
露光が終了したら、吸着機構６４によりプリント配線基板９９の他面側が吸着固定され、搬入搬出部３０へと搬送される。そして、プリント配線基板９９はローラコンベア３１からローラコンベア３１’に移送され、次工程に送られる。
【００２３】
上記では、左から右に流れるラインの場合について説明したが、右から左へ流れるラインの動作もほぼ同様であり、この場合は搬入搬出部３０においてプリアライメントが行われる。また受け渡し部２においては、他面側の露光を終了したプリント配線基板９９が吸着ハンド６により搬送され、ここで１８０度反転した吸着機構５４によりプリント配線基板９９の下側（一面側）が吸着され、吸着機構５４が１８０度回動して元に戻ることによりプリント配線基板９９を反転させる。他の動作は上記動作の逆であるので説明を省略する。
【００２４】
以上説明したように、本発明の露光装置によれば、吸着ハンド５によりプリント配線基板９９の搬送、反転が行われ、これを直接吸着ハンド６に受け渡しているため、プリント配線基板９９の位置ずれが生ずることがない。また、右側から左側へのラインの場合にも、吸着ハンド６によりプリント配線基板９９の搬送が行われ、直接吸着ハンド５に受け渡し、吸着ハンド５により反転されるため、同様にプリント配線基板９９の位置ずれが生ずることがない。そのため、反転装置や反転後のプリアライメント装置の必要がなく、装置を簡略化できる。また、受け渡し部２における反転はプリント配線基板９９の中心線を軸とした反転が行えるため、受け渡し部２自体のスペースも最少のものとすることができる。
更に、露光部１と露光部３の間では、ローラコンベアなどを用いないため、発塵が抑制される。
【符号の説明】
【００２５】
１：露光、２：受け渡し部、３：露光部、５：吸着ハンド、６：吸着ハンド、７：ハンド回転機構、１０：搬入搬出部、１１：ローラコンベア、１５：基台、３０：搬入搬出部、３１：ローラコンベア、３５：基台、５０：走行レール、５１：走行基台、５２：Ｚ軸、５３：Ｙ軸、５４：吸着機構、６０：走行レール、６１：走行基台、６２：Ｚ軸、６３：Ｙ軸、６４：吸着機構、７０：旋回モータ、９９：プリント配線基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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