(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線部材から延設されて圧電素子の電極に対向し、先端側で導電性接着剤を介して前記圧電素子の電極に固着接続される端子部であって、
前記圧電素子の電極に対向する絶縁層と、
該絶縁層上に積層されて前記先端側で前記電極に固着接続される配線層と、
前記電極に対向する前記絶縁層の基端側の対向面に設けられ前記基端側の延設方向に対する交差方向の両縁部間にわたる液止め凹部と、
を備えたことを特徴とする端子部。
【請求項２】
請求項１記載の端子部であって、
前記液止め凹部は、前記絶縁層に光分解加工によって形成された連続する複数の凹部、又は前記絶縁層をエッチングによって形成されたスリット状の凹部からなる、
ことを特徴とする端子部。
【請求項３】
請求項２記載の端子部であって、
前記配線層上に積層されたカバー絶縁層を備えた、
ことを特徴とする端子部。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の端子部であって、
前記液止め凹部は、前記延設方向に複数並設される、
ことを特徴とする端子部。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか一項に記載の端子部であって、
前記液止め凹部に対する基端側に、前記基端側の前記交差方向の両縁部間にわたり前記絶縁層及び前記圧電素子間に介在する液止め壁を設けた、
ことを特徴とする端子部。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の端子部であって、
前記液止め凹部に対する基端側が、前記先端側に対して前記交差方向で細く形成され且つ湾曲する、
ことを特徴とする端子部。
【請求項７】
請求項１〜５の何れか一項に記載の端子部であって、
前記液止め凹部に対する基端側が、前記先端側に対して前記圧電素子の電極から離反する離反部を備えた、
ことを特徴とする端子部。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の端子部であって、
前記先端側は、前記絶縁層に貫通形成されて前記配線層を前記圧電素子の電極側に露出させ前記導電性接着剤が内部に充填される孔部と、該孔部の周囲に設けられて前記絶縁層と前記圧電素子の電極との間に介在する液止め部材とを備えた、
ことを特徴とする端子部。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか一項に記載の端子部を備えた配線部材であり、ヘッド・サスペンションに取り付けられた圧電素子に対する給電を行うことを特徴とするフレキシャ。
【請求項１０】
請求項９記載のフレキシャを備えたヘッド・サスペンションであって、
基部及び該基部に支持されたロード・ビームを備え、
前記フレキシャは、前記ロード・ビームに取り付けられて情報読み書き用のヘッド部を備え、
前記圧電素子は、前記基部と前記ロード・ビームとの間に設けられて前記フレキシャからの電圧の印加状態に応じて変形し前記ロード・ビームを介して前記ヘッド部を前記基部に対してスウェイ方向に微少移動させる、
ことを特徴とするヘッド・サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の電極に対する導電性接着剤を用いた接続に関わる端子部、フレキシャ、及びヘッド・サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報機器の小型化、精密化が急速に進展し、微小距離での位置決め制御が可能なマイクロアクチュエータの需要が高まっている。例えば、光学系の焦点補正や傾角制御、インクジェットプリンタ装置、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ等の分野では、マイクロアクチュエータの要請が高い。
【０００３】
こうした要請に応える技術としては、いわゆるデュアル・アクチュエータ方式を採用した磁気ディスク装置がある（例えば特許文献１）。
【０００４】
デュアル・アクチュエータ方式の磁気ディスク装置では、ボイス・コイル・モータの他に、微小駆動用の圧電素子が設けられている。ボイス・コイル・モータは、磁気ディスク装置のヘッド・サスペンションが取り付けられたキャリッジを駆動する。圧電素子は、ヘッド・サスペンションのベース・プレート及びロード・ビーム間に位置して、給電状態に応じベース・プレートに対してロード・ビームを微小駆動する。
【０００５】
従って、デュアル・アクチュエータ方式では、ボイス・コイル・モータによるヘッド・サスペンションの旋回駆動に加え、圧電素子の給電状態に応じた変形によりロード・ビームを介して先端のヘッド部をスウェイ方向へ微少移動させることができる。これにより、ヘッド部の位置決めを高精度に行うことができる。
【０００６】
こうしたデュアル・アクチュエータ方式においては、ロード・ビームに配線部材としてのフレキシャが取り付けられ、このフレキシャを介して圧電素子への給電が行われる。
【０００７】
この場合、フレキシャと圧電素子との間は、導電性接着剤によって導通接続することが多い。具体的には、フレキシャから延設した端子部を圧電素子の電極に対向させ、端子部の先端側と圧電素子の電極との間を導電性接着剤で接着する。
【０００８】
しかし、導電性接着剤は、その硬化時の膨張や充填量の過多により、端子部の先端側から周辺に大きくはみ出すことがある。
【０００９】
このとき、フレキシャの端子部と圧電素子の電極との間で毛管現象が生じ、はみ出した導電性接着剤が端子部に沿ってフレキシャ側に流動することもある。この場合、導電性接着剤は、圧電素子に対するグランド側の役割を持つベース・プレート及びロード・ビーム間の圧電素子の取付部分（周辺の導電部材）にまで至って電気的短絡を生じさせる問題があった。
【００１０】
これに対し、端子部の先端側に液止めリングを設け、その内側に導電性接着剤を塗布する技術がある（例えば特許文献２及び３）。
【００１１】
この技術では、液止めリングを二重リングにしたり或いは液止めリングの内側に連通する接着剤溜りを更に設けることで、端子部の先端側に対する導電性接着剤のはみ出しを有効に防ぐことができる。
【００１２】
しかし、圧電素子自体が小型の場合等は、これに伴いフレキシャ側の端子部も小型になり、二重リング形状や接着剤溜り等のはみ出し防止構造を端子部の先端側に設けることができないことがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２０１０-０８６６４９号公報
【特許文献２】特開２０１０−１５４６３２号公報
【特許文献３】特開２０１０−１６５４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
解決しようとする問題点は、端子部の先端側で導電性接着剤のはみ出しを防止できない場合に導電性接着剤の配線部材側への流動を阻止できない点である。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、先端側で導電性接着剤のはみ出しを防止できない場合であっても導電性接着剤の配線部材側への流動を阻止するために、配線部材から延設されて圧電素子の電極に対向し、先端側で導電性接着剤を介して前記圧電素子の電極に固着接続される端子部であって、前記圧電素子の電極に対向する絶縁層と、該絶縁層上に積層されて前記先端側で前記電極に固着接続される配線層と、前記電極に対向する前記絶縁層の基端側の対向面に設けられ前記基端側の延設方向に対する交差方向の両縁部間にわたる液止め凹部とを備えたことを最も主な特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、先端側で導電性接着剤のはみ出しを防止できない場合でも、基端側の液止め凹部により導電性接着剤の配線部材側への流動を阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ヘッド・サスペンションを示す平面図である（実施例１）。
【図２】図１のヘッド・サスペンションの背面側から見た斜視図である（実施例１）。
【図３】フレキシャの端子部周辺を示す一部省略斜視図である（実施例１）。
【図４】図３のフレキシャを反転した一部省略斜視図である（実施例１）。
【図５】図４のフレキシャの端子部の拡大平面図である（実施例１）。
【図６】（ａ）は、図５のＶＩＡ−ＶＩＡ線矢視に係る断面図、（ｂ）は図５のＶＩＢ−ＶＩＢ線矢視に係る断面図である（実施例１）。
【図７】導電性接着剤の流動防止の実験結果を示す写真である（実施例１）。
【図８】フレキシャの端子部を圧電素子側から見た拡大平面図である（実施例２）。
【図９】図８のＩＸ−ＩＸ線矢視に係る断面図である（実施例２）。
【図１０】フレキシャの端子部を圧電素子側から見た拡大平面図である（実施例３）。
【図１１】図１０のＸＩ−ＸＩ線矢視に係る断面図である（実施例３）。
【図１２】変形例に係るフレキシャの端子部を圧電素子側から見た拡大平面図である（実施例３）。
【図１３】フレキシャの端子部を概略的に示す拡大平面図である（実施例４）。
【図１４】フレキシャの端子部を概略的に示す拡大側面図である(実施例５)。
【図１５】変形例に係るフレキシャの端子部を概略的に示す拡大側面図である(実施例５)。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
端子部の先端側で導電性接着剤のはみ出しを防止できない場合であっても導電性接着剤の配線部材側への流動を防止するという目的を、電極に対向する絶縁層の基端側の対向面に設けられ基端側の延設方向に対する交差方向の両縁部間にわたる液止め凹部によって実現した。
【００１９】
好ましくは、液止め凹部を、絶縁層に光分解加工によって形成された連続する複数の凹部、又は絶縁層にエッチングによって形成されたスリット状の凹部によって構成する。
【００２０】
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２１】
［ヘッド・サスペンションの概略構成］
図１は本発明の実施例１に係るヘッド・サスペンションを示す概略平面図、図２は図１のヘッド・サスペンションの背面側から見た斜視図である。
【００２２】
図１及び図２のように、ヘッド・サスペンション１は、基部３にロード・ビーム５が支持され、ロード・ビーム５の先端側で情報の読み書き用のヘッド部７が構成されている。
【００２３】
基部３は、ステンレスなど導電性のべース・プレート９に、ステンレスなど導電性の補強プレート１１の基端側を重ねてレーザー溶接などで結合されている。
【００２４】
べース・プレート９は、ボス部１３を一体に備え、ボス部１３を介してキャリッジ（図示せず）に取り付けられる。従って、ヘッド・サスペンション１は、キャリッジがボイス・コイル・モータ（図示せず）によって駆動されることで、全体して旋回駆動される。
【００２５】
補強プレート１１の先端には、ロード・ビーム５の結合部１５が形成されている。結合部１５に対する基端側には、圧電素子１７の取付部１９が形成されている。
【００２６】
取付部１９には、圧電素子１７を配置する開口部２１が形成され、開口部２１内にエッチング処理等による取付フランジ２３，２５が備えられている。この開口部２１内には、圧電素子１７が非導電性接着剤により固定されている。開口部２１のスウェイ方向両側には、可撓部２７，２９が設けられている。
【００２７】
圧電素子１７は、矩形の圧電セラミック、例えば矩形のＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる。圧電素子１７の一側面には、金メッキにより共通の電極３１ａが形成され、他側面には、金メッキにより一対の電極３１ｂ，３１ｃが形成されている。
【００２８】
この圧電素子１７は、基部３とロード・ビーム５との間に設けられて電極３１ａ，３１ｂ，３１ｃを介した電圧の印加状態に応じて変形し、ロード・ビーム５を介しヘッド部７を基部３に対してスウェイ方向に微少移動させる。
【００２９】
これにより、ヘッド・サスペンション１では、ボイス・コイル・モータによる旋回駆動と圧電素子１７による微小駆動とを行わせることができる。
【００３０】
なお、電極３１ｂ，３１ｃは、導電性接着剤３２によって補強プレート１１に対して接地（グランド）され、電極３１ａは、後述するフレキシャ４５の端子部５３に接続されている。
【００３１】
ロード・ビーム５は、基部３側の結合部１５にレーザー溶接等で結合され、情報の書き込み，読み取りを行うスライダ（図示せず）を支持した先端側のヘッド部７に負荷荷重を与える。具体的には、ロード・ビーム５は、例えばステンレス鋼薄板で形成され、剛体部３３とばね部３５とを含んでいる。
【００３２】
ばね部３５は、窓３７により二股に形成されて厚み方向の曲げ剛性を低下させている。このばね部３５の基端が、基部３側の結合部１５に結合される被結合部３９となっている。
【００３３】
剛体部３３は、ばね部３５から先端側に延設されて、その幅方向両縁には、レール部４１，４３が箱曲げにより板厚方向に立ち上げ形成されている。
【００３４】
剛体部３３の先端に、フレキシャ４５を介してヘッド部７のスライダが支持されている。
［フレキシャ］
図３は、フレキシャの端子部周辺を示す一部省略斜視図、図４は、図３のフレキシャを反転した一部省略斜視図、図５は、図４のフレキシャの端子部を示す拡大平面図、図６（ａ）は、図５のＶＩＡ−ＶＩＡ線矢視に係る断面図、図６（ｂ）は同ＶＩＢ−ＶＩＢ線矢視に係る断面図である。なお、図３〜図６のフレキシャは、図１、図２のフレキシャと若干形状は異なるが、基本的には同構造である。
【００３５】
フレキシャ４５は、図３及び図４のように、金属層４７と、金属層４７上のベース絶縁層４９と、ベース絶縁層４９上の配線層５１と、配線層５１上のカバー絶縁層５２とが圧電素子１７側から順に積層されて構成されている。なお、カバー絶縁層５２（図６参照）は省略することも可能である。
【００３６】
金属層４７は、ばね性を有する薄いステンレス鋼圧延板（ＳＳＴ）などの導電性薄板からなり、その厚みは、例えば１０〜２５μｍ程度に設定されている。
【００３７】
ベース絶縁層４９は、ポリイミド等の絶縁性材料からなり、その厚みは、例えば５〜２０μｍ程度に設定されている。
【００３８】
配線層５１は、所定のパターンに形成され、その厚みは、例えば４〜１５μｍ程度に設定される。配線層５１は、そのパターンの一端がヘッド部７のスライダに導通接続され（図１参照）、パターンの他端が外部接続用の端子部（図示せず）に接続されている。
【００３９】
カバー絶縁層５２は、配線層５１を覆って絶縁性の確保及び保護を行うものであり、ポリイミド等の絶縁性材料からなる。カバー絶縁層５２の厚みは、例えば０．５〜１０μｍ程度に設定されている。
【００４０】
このようなフレキシャ４５は、その中間部５４が圧電素子１７の電極３１ａ上を通っている（図１参照）。中間部５４では、フレキシャ４５の金属層４７がエッチング等によって除去されており、圧電素子１７の電極３１ａと補強プレート１１等の周囲の導電部材との間の短絡が防止されている。なお、金属層４７の除去は、エッチング等によって行われる。
【００４１】
この中間部５４には、圧電素子１７の電極３１ａに対する端子部５３が形成されている。
［端子部］
端子部５３は、図３〜図６のように、フレキシャ４５から延設されて圧電素子１７の電極３１ａに全体として対向している。端子部５３は、基本的に金属層４７が除去されたフレキシャ４５の中間部５４と同様の積層構造を有している。
【００４２】
すなわち、端子部５３は、図６のように、圧電素子１７の電極３１ａに対向するベース絶縁層４９、該ベース絶縁層４９上に積層された配線層５１、配線層５１上のカバー絶縁層５２が積層されて構成されている。
【００４３】
この端子部５３は、図３〜図５のように、フレキシャ４５側に一体の基端側である延設部５５及び先端側である先端部５７を備えている。
【００４４】
延設部５５では、ベース絶縁層４９が端子部５３の延設方向（長手方向）に対する交差方向（幅方向）での幅が漸次狭くなり、配線層５１がベース絶縁層４９上で略直線状に延びる。
【００４５】
先端部５７では、ベース絶縁層４９が延設部５５側からそのまま遷移した円形状となっており、配線層５１が延設部５５側に対して膨出した円形状になっている。この先端部５７において、銀ペースト等の液状の導電性接着剤５９を介して圧電素子１７の電極３１ａに固着接続される。
【００４６】
具体的には、先端部５７は、図６のように、ベース絶縁層４９にベース側孔部６１が貫通形成されている。このベース側孔部６１を介して配線層５１が圧電素子１７の電極３１ａ側に露出し、端子部５３の端子面６３が形成されている。なお、端子面６３は、金めっき等がなされて電気的接続性が向上されている。
【００４７】
ベース側孔部６１の周囲には、金属層４７を部分的に残した液止め部材としての液止めリング６５が設けられている。液止めリング６５の外周縁部は、先端部５７のベース絶縁層４９に対して放射方向に突出している。
【００４８】
液止めリング６５の内周側及びベース側孔部６１内には、導電性接着剤５９が充填・保持され、端子部５３の端子面６３と圧電素子１７の電極３１ａとが接着される。
【００４９】
この接着の際には、液止めリング６５が、端子部５３と圧電素子１７の電極３１ａとの間に介在する。これにより、端子部５３と圧電素子１７の電極３１ａとの間に生じる隙間を狭くし、かかる狭い隙間でベース側孔部６１内へ充填された導電性接着剤５９による毛管現象を発生させる。
【００５０】
このため、導電性接着剤５９は、狭い隙間内で拡散保持され、全体として液止めリング６５内に一次的に保持されて硬化する（図６の実線）。
【００５１】
なお、端子部５３の先端部５７には、ベース側孔部６１の反対側で、カバー絶縁層５２を貫通するカバー側孔部６７が設けられている。カバー側孔部６７は、配線層５１を外部に露出させて、プロービング等の導通試験を可能とする。
【００５２】
かかる本実施例の端子部５３は、図５及び図６のように、その延設部５５（基端側）に液止め凹部６９が設けられている。具体的には、圧電素子１７の電極３１ａに対向するベース絶縁層４９の対向面７１に液止め凹部６９が設けられている。
【００５３】
本実施例の液止め凹部６９は、端子部５３の延設方向に複数、例えば３本並設 されている。ただし、液止め凹部６９の数は、任意であり、１本又は２本或いは４本以上とすることも可能である。
【００５４】
各液止め凹部６９は、延設部５５の幅方向の両縁部５５ａ，５５ｂ間にわたって形成されている（図５参照）。本実施例では、液止め凹部６９が、ベース絶縁層４９に微細溝又はベース絶縁層４９の他の部分に対する粗面部を形成している。
【００５５】
この液止め凹部６９は、１列のレーザー照射痕からなっている。具体的には、液止め凹部６９は、例えばＵＶレーザーを照射することで、ベース絶縁層４９に光分解加工によって形成された連続する複数の微細凹部６９ａからなる。各微細凹部６９ａは、ＵＶレーザーのスポット径と略同一の径を有している。
【００５６】
なお、各液止め凹部６９は、複数列のレーザー照射痕によって形成しても良い。この場合は、複数列のレーザー照射痕を端子部５３の延設方向で連続させればよい。例えば、２列のレーザー照射痕を端子部５３の延設方向で連続させると、２列分の幅を有する液止め凹部を形成することが可能である。また、液止め凹部６９は、ＵＶレーザー以外であっても、ベース絶縁層４９の光分解が可能なレーザーの照射等によって形成することができる。
【００５７】
この液止め凹部６９は、導電性接着剤５９が端子部５３の先端部５７からはみ出しても、延設部５５に沿った流動を阻止することができる（図６の二点鎖線参照）。
【００５８】
すなわち、導電性接着剤５９は、その充填量の過多や硬化時の膨張により、端子部５３の先端部５７から液止めリング６５を超えてはみ出すことがある。
【００５９】
この場合は、端子部５３と圧電素子１７の電極３１ａとの間で毛管現象が生じ、はみ出した導電性接着剤５９が端子部５３の延設部５５に沿ってフレキシャ４５側に流動することもある。
【００６０】
このとき、液止め凹部６９は、導電性接着剤５９の毛管現象を遮断し或いは濡れ性を低下させ、それ以上に導電性接着剤５９が流動することを防止できる。なお、本実施例では、複数の液止め凹部６９によって確実に導電性接着剤５９の流動を防止することができるが、単一の液止め凹部６９であっても十分に導電性接着剤５９の流動を防止できる。
【００６１】
図７は、導電性接着剤の流動防止の実験結果を示す写真である。図７から明らかなように、本実施例では、端子部５３の先端部５７から導電性接着剤５９がはみ出し且つ延設部５５に沿ってフレキシャ４５側に流動しているものの、流動した導電性接着剤５９を液止め凹部６９から先端部５７側で留めることができている。
［実施例１の効果］
本実施例は、フレキシャ４５から延設されて圧電素子１７の電極３１ａに対向し、先端部５７（先端側）で導電性接着剤５９を介して圧電素子１７の電極３１ａに固着接続される端子部５３であって、圧電素子１７の電極３１ａに対向するベース絶縁層４９と、該ベース絶縁層４９上に積層されて先端部５７で電極３１ａに固着接続される配線層５１と、電極３１ａに対向するベース絶縁層４９の延設部５５（基端側）の対向面７１に設けられ延設部５５の幅方向の両縁部５５ａ，５５ｂ間にわたる液止め凹部６９とを備えた。
【００６２】
従って、本実施例の端子部５３では、導電性接着剤５９が延設部５５と圧電素子１７の電極３１ａとの間の毛管現象によりフレキシャ４５側に流動しても、液止め凹部６９により導電性接着剤５９の毛管現象を遮断し或いは濡れ性を低下させ、それ以上に導電性接着剤５９が流動することを防止できる。
【００６３】
従って、端子部５３は、その先端部５７で導電性接着剤５９のはみ出しを防止できない場合であっても、導電性接着剤５９のフレキシャ４５側への流動を阻止することができ、圧電素子１７との接合品質を向上することができる。
【００６４】
すなわち、本実施例では、導電性接着剤５９のはみ出しによる圧電素子１７と周辺の導電性部材との電気的短絡や剛性バランスの低下を抑制して、端子部５３と圧電素子１７との接合を高品質で行うことができる。
【００６５】
また、本実施例の液止め凹部６９は、ベース絶縁層４９に光分解加工によって形成された連続する複数の微細凹部６９ａからなる。
【００６６】
このため、本実施例では、先端部５７に従来のようなはみ出し防止構造を設けられない場合であっても、ＵＶレーザーの照射等によって容易且つ確実に液止め凹部６９を形成することができる。
【００６７】
しかも、かかる微細凹部６９ａからなる液止め凹部６９は、確実に導電性接着剤５９の毛管現象を遮断し或いは濡れ性を低下させ、それ以上の導電性接着剤５９の流動を確実に防止できる。
【００６８】
さらに、液止め凹部６９は、ＵＶレーザーの照射等による光分解加工で端子部５３の延設方向に複数並設することができ、より確実に導電性接着剤５９の毛管現象を遮断し或いは濡れ性を低下させることができる。
【００６９】
また、本実施例においては、先端部５７が、ベース絶縁層４９に貫通形成されて配線層５１を圧電素子１７の電極３１ａ側に露出させるベース側孔部６１と、該ベース側孔部６１の周囲に設けられて端子部５３と圧電素子１７の電極３１ａとの間に介在する液止めリング６５とを備え、導電性接着剤５９が、ベース側孔部６１内に充填される。
【００７０】
従って、本実施例では、端子部５３と圧電素子１７の電極３１ａとの間に生じる隙間を狭くし、かかる狭い隙間でベース側孔部６１内へ充填された導電性接着剤５９による毛管現象を発生させることができる。
【００７１】
このため、本実施例では、液止めリング６５で区画された狭い隙間内において、導電性接着剤５９を毛管現象によって拡散保持し、液止めリング６５内で導電性接着剤５９を一次的に保持硬化させることができる。そして、導電性接着剤５９のはみ出しが生じたとしても、上記のように液止め凹部６９によって導電性接着剤５９の流動を二次的に防止できる。
【００７２】
結果として、本実施例では、より確実に端子部５３と圧電素子１７との接合品質を向上することができる。
【００７３】
かかる端子部５３を有するフレキシャ４５は、圧電素子１７に対する給電を安定して確実に行わせることができる。
【００７４】
このフレキシャ４５を有するヘッド・サスペンション１は、圧電素子１７を安定して変形させることができ、ヘッド部７の微小駆動を安定して行わせることができる。
【実施例２】
【００７５】
図８は、本発明の実施例２に係るフレキシャの端子部を圧電素子側から見た平面図、図９は、図８のＩＸ−ＩＸ線矢視に係る断面図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号又は同符号にＡを付したものを用いて重複した説明を省略する。
【００７６】
本実施例は、上記実施例１の複数の連続する微細凹部６９ａからなる液止め凹部６９に代えて、スリット状の凹部である液止め凹部６９Ａを設けたものである。
【００７７】
本実施例の液止め凹部６９Ａは、ベース絶縁層４９Ａにエッチングにより形成され、ベース絶縁層４９Ａを端子部５３Ａの長手方向前後で分離している。なお、液止め凹部は、パーシャル・エッチングにより、ベース絶縁層に対する凹状に形成してもよい。
【００７８】
液止め凹部６９Ａ上には、配線層５１及びカバー絶縁層５２が通っており、分離したベース絶縁層４９Ａは、配線層５１及びカバー絶縁層５２によって接続されている。
【００７９】
かかる本実施例においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。また、本実施例の液止め凹部６９Ａは、ベース絶縁層４９Ａを分離させるスリット状であるため、エッチングにより容易に形成することができる。
【００８０】
このように構成しても、本実施例では、液止め凹部６９Ａ上を通る配線層５１及びカバー絶縁層５２によって分離したベース絶縁層４９を接続することができる。また、液止め凹部６９Ａ上の配線層５１は、カバー絶縁層５２によって補強されるので、端子部５３Ａの接着作業時に配線層５１が損傷することを抑制できる。
【実施例３】
【００８１】
図１０は、本発明の実施例３に係るフレキシャの端子部を圧電素子側から見た平面図、図１１は、図１０のＸＩ−ＸＩ線矢視に係る断面図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号又は同符号にＢを付したものを用いて重複した説明を省略する。
【００８２】
本実施例は、図１０及び図１１のように、実施例１に対して液止め壁７３を追加したものである。
【００８３】
液止め壁７３は、液止め凹部６９に対する端子部５３Ｂの基端側（フレキシャ４５側）において、金属層４７を部分的に残すことで形成されている。この液止め壁７３は、延設部５５Ｂの幅方向の両縁部５５ａ，５５ｂ間にわたって節煙層４９及び圧電素子１７間に介在する。
【００８４】
かかる本実施例においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができる。
【００８５】
加えて、本実施例では、液止め壁７３により端子部５３Ｂと圧電素子１７との隙間を狭くし、導電性接着剤５９に毛管現象を生じさせることができる。従って、導電性接着剤５９は、その狭い隙間内で拡散保持され、液止め壁７３外への流動が阻止される。
【００８６】
結果として、本実施例では、導電性接着剤５９が液止め凹部６９を超えてフレキシャ４５側に流動しても、液止め壁７３以上の導電性接着剤５９の流動を確実に防止できる。
【００８７】
また、液止め壁７３は、端子部５３Ｂの先端部５７Ｂに従来のようなはみ出し防止構造を設けられない場合であっても、先端部５７Ｂから離反した基端側の延設部５５Ｂにおいて確実に形成することができる。
【００８８】
本実施例の液止め壁７３は、図１２のように、実施例２に対して追加することも可能である。
【実施例４】
【００８９】
図１３は、本発明の実施例４に係るフレキシャの端子部を概略的に示す拡大平面図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号又は同符号にＣを付したものを用いて重複した説明を省略する。
【００９０】
本実施例は、実施例１に対して延設部５５Ｃの形状を変更したものである。
【００９１】
具体的には、端子部５３Ｃの延設部５５Ｃを、先端部５７Ｃに対するくびれ部となるように幅方向に細く形成しながら湾曲させている。
【００９２】
本実施例の延設部５５Ｃは、ベース絶縁層４９Ｃが配線層５１Ｃに倣って細く形成され且つ全体としてクランク状に湾曲している。クランク状の湾曲部７５ａ，７５ｂは、液止め凹部６９よりも端子部５３Ｃの基端側（フレキシャ４５側）に位置させる。
【００９３】
かかる実施例においても、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができるのに加え、導電性接着剤５９が液止め凹部６９を超えてフレキシャ４５側に流動しても、延設部５５Ｃにおいて導電性接着剤５９の流動を防止できる。
【００９４】
なお、本実施例の細くクランク状に湾曲した延設部を、実施例２や実施例３の構造にも適用することができる。
【実施例５】
【００９５】
図１４は、本発明の実施例５に係るフレキシャの端子部を示す概略側面図である。なお、本実施例では、上記実施例１と基本構成が共通するため、対応する構成部分に同符号又は同符号にＤを付したものを用いて重複した説明を省略する。
【００９６】
本実施例は、実施例１に対し離反部７７を追加したものである。
【００９７】
具体的には、端子部５３Ｄの延設部５５Ｄに、先端部５７よりも圧電素子１７の電極３１ａから離反する離反部７７を設けている。
【００９８】
本実施例の離反部７７は、液止め凹部６９よりもフレキシャ４５側に位置し、延設部５５Ｄを弧状に湾曲させて形成されている。この離反部７７は、圧電素子１７の電極３１ａ側に湾曲による弧状の凹部７８を備え、電極３１ａに対する反対側に湾曲による弧状の凸部８０を備えている。
【００９９】
かかる実施例では、上記実施例１と同様の作用効果を奏することができるのに加え、離反部７７によって端子部５３Ｄと圧電素子１７との隙間を大きくして毛管現象を遮断できる。
【０１００】
このため、導電性接着剤５９が液止め凹部６９を超えてフレキシャ４５側に流動しても、延設部５５Ｄの離反部７７において導電性接着剤５９の流動を防止できる。
【０１０１】
図１５は、実施例５の変形例に係るフレキシャの端子部を示す概略側面図である。
【０１０２】
図１５の変形例では、延設部５５Ｄに屈曲部７９を形成し、屈曲部７９に対するフレキシャ４５側全体を先端部５７よりも圧電素子１７の電極３１ａから離反する離反部７７ａとしたものである。
【０１０３】
かかる変形例においても、上記実施例５と同様の作用効果を奏することができる。
【０１０４】
なお、離反部７７，７７ａは、実施例２〜４の構造に追加することも可能である。
【符号の説明】
【０１０５】
１  ヘッド・サスペンション
１７  圧電素子
３１ａ  電極
４５  フレキシャ
４９  ベース絶縁層
５１  配線層
５２  カバー絶縁層
５３  端子部
５５  延設部（基端側）
５５ａ，５５ｂ  縁部
５７  先端部（先端側）
５９  導電性接着剤
６９  液止め凹部
６９ａ  微細凹部
７１  対向面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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