(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動子を有するスライダの移動経路に沿って連設される複数の固定子ユニットと、各固定子ユニットに取り付けられ、当該スライダの前記可動子と対向する固定子とを備え、コントローラの制御によって前記固定子と前記可動子との間に吸引力を発生させながら当該移動経路に沿って前記スライダを移動させるリニアモータにおいて、
隣接する固定子ユニット同士を電気的に接続する接続手段を設け、
各固定子ユニットは、
当該固定子と対向する範囲で移動している前記スライダを検出して位置検出信号を出力する位置検出手段と、
前記接続手段を介して両側に接続された位置検出手段からそれぞれ出力された位置検出信号を合成する位置検出信号合成部と、
前記位置検出信号合成部が合成した信号を前記コントローラに出力する位置検出信号出力部と、
前記固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を前記コントローラに出力する存在検出手段と、
前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との間の断線を検出する断線検出手段と、
前記断線検出手段が前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との断線を検出したことに基づいて、前記コントローラに出力される前記存在検出信号の出力パターンを正常時と弁別可能な不法パターンに切り換える出力変更手段と
を備えている
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアモータにおいて、
前記存在検出手段は、前記スライダに対し長手方向が前記移動経路に沿って設けられたスケールの全長にわたる範囲において少なくとも４箇所に配設された複数のセンサを含み、
前記断線検出手段は、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか一方との間で断線を検出した場合に第１異常信号を出力する第１異常信号出力部と、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか他方の固定子ユニットとの間で断線を検出した場合に第２異常信号を出力する第２異常信号出力部とを含み、
前記出力変更手段は、断線が検出されている場合に、前記複数のセンサのうち、特定のセンサの出力端子を当該センサから前記第１異常信号出力部に切り換えるとともに、前記特定のセンサとは別のセンサの出力端子を当該別のセンサから前記第２異常信号出力部に切り換えるスイッチとを含む
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項２記載のリニアモータにおいて、
前記出力変更手段は、前記複数のセンサのうち、両端に位置する端側のセンサの出力をスケール検出の状態とし、前記端側のセンサの間にあるセンサの何れかの出力を前記第１、第２異常信号としてスケール未検出の状態とするものである
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
可動子を有し、且つ線状の移動経路に沿って移動可能に配置されるスライダと、
前記移動経路に沿って連設され、前記可動子を対向する固定子をそれぞれ有する複数の固定子ユニットによって構成され、前記スライダを前記移動経路に沿って駆動するリニアモータと
を備え、前記固定子と前記可動子との間に吸引力を発生させながら当該移動経路に沿って前記スライダを移動させるリニア搬送装置において、
隣接する固定子ユニット同士を電気的に接続する接続手段と、前記スライダを駆動している固定子ユニットを親機とし、該親機の両側に連設された固定子ユニットを子機として制御するコントローラとを設け、
前記固定子ユニットは、
前記固定子と対向する範囲で移動している前記スライダを検出して位置検出信号を出力する位置検出手段と、
前記接続手段を介して当該両側にそれぞれ連設された固定子ユニットの位置検出手段からそれぞれ出力された位置検出信号を合成する位置検出信号合成部と、
前記位置検出信号合成部が合成した信号を当該親機の位置検出信号として前記コントローラに出力する位置検出信号出力部と、
前記固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を前記コントローラに出力する存在検出手段と、
前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との間の断線を検出する断線検出手段と、
前記断線検出手段が前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との断線を検出したことに基づいて、前記親機としての固定子ユニットから前記コントローラに出力される前記存在検出信号の出力パターンを正常時と弁別可能な不法パターンに切り換える出力変更手段と
をそれぞれ備えている
ことを特徴とするリニア搬送装置。
【請求項５】
請求項４記載のリニア搬送装置において、
前記存在検出手段は、前記スライダに対し長手方向が前記移動経路に沿って設けられたスケールの全長にわたる範囲において少なくとも４箇所に配設された複数のセンサを含み、
前記断線検出手段は、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか一方との間で断線を検出した場合に第１異常信号を出力する第１異常信号出力部と、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか他方の固定子ユニットとの間で断線を検出した場合に第２異常信号を出力する第２異常信号出力部とを含み、
前記出力変更手段は、断線が検出されている場合に、前記複数のセンサのうち、特定のセンサの出力端子を当該センサから前記第１異常信号出力部に切り換えるとともに、前記特定のセンサとは別のセンサの出力端子を当該別のセンサから前記第２異常信号出力部に切り換えるスイッチとを含む
ことを特徴とするリニア搬送装置。
【請求項６】
請求項５記載のリニア搬送装置において、
前記出力変更手段は、前記複数のセンサのうち、両端に位置する端側のセンサの出力をスケール検出の状態とし、前記端側のセンサの間にあるセンサの何れかの出力を前記第１、第２異常信号としてスケール未検出の状態とするものである
ことを特徴とするリニア搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ並びにリニア搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に開示されたリニアモータが知られている。同リニアモータは、可動子と、可動子を有するスライダの移動経路に配置される複数の固定子ユニットとを備えている。各固定子ユニットは、スライダの可動子と対向する固定子を備えている。固定子と可動子は、一方が表面の磁極が交互に異なる永久磁石を一方向に配列してなる界磁子であり、他方がコイルを装着したコアを具備した電機子である。そして、リニアモータは、所定のコントローラによる前記コイルへの通電制御によって、固定子と可動子との間に吸引力を発生させながら、前記移動経路に沿ってスライダを移動させる。また、スライダの位置を検出するため、スライダには、磁気スケールが設けられる一方、各固定子ユニットには、磁気スケールを検出するセンサが設けられ、これらがリニアモータのリニアスケールを構成している。例えば、特許文献１に開示されているリニアモータのリニアスケールは、スライダに取り付けられたスケールと、このスケールを検出して波形信号を出力する位置検出センサと、この波形検出センサの原点位置を特定する信号を出力する原点位置センサと、位置検出センサ及び原点位置センサを固定子ユニットに取り付けるセンサ基板とを備えていた。そして、スライダの移動位置に応じて、位置検出センサおよび原点位置センサが信号を出力し、これらの信号に基づいて、スライダの位置を検出するようにしていた。
【０００３】
一方、一般に、センサとコントローラとの間の断線を検出するため、断線検出装置が開発されている。例えば、特許文献２〜４に開示されている断線検出装置は、センサと制御装置との間の信号線に並行して、センサの出力が入力される断線検出用のコンパレータが設けられており、正常時にはコンパレータの出力がロウ（Ｌ）となり、断線時には、コンパレータの出力がハイ（Ｈ）になるような参照電圧を同コンパレータに印加した構成が開示されている。また、位置エンコーダの故障を検出するために、特許文献４に開示される断線検出装置では、複数のセンサの出力パターンのうち、異常が発生しているときの出力パターンを「不法パターン」として予め設定しておき、この不法パターンを検出した場合に故障を表示する機器も開示している。
【０００４】
上述のような断線検出装置を特許文献１に開示されたリニアモータや、或いは複数のリニアモータを連設して構成されるリニア搬送装置に適用する場合、リニアスケールのセンサ基板に上述のようなコンパレータを設け、位置検出センサまたは原点位置センサに断線が生じた場合には、当該コンパレータの出力をコントローラに入力する構成が考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１０１５５２号公報
【特許文献２】特開平７−１４１５８３号公報
【特許文献３】特開平６−８３４５１号公報
【特許文献４】特開平９−８９５９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年のリニア搬送装置においては、スケールの長さよりも長いストローク範囲でスライダの位置検出を実現するため、互いに隣接する固定子ユニットの各位置検出センサおよび原点位置センサをセンサの種類毎に合成（加算回路で加算）する構成が採用されつつある。そのような場合には、上述のようなコンパレータを採用しても、断線を充分に検出することができない場合があった。例えば、スライダを駆動している固定子ユニットを親機とし、この親機の両側に隣接する固定子ユニットを子機として機能させる場合、親機とコントローラとの間では、故障検出が可能となる。また、親機と子機との間では、各信号線にコンパレータを設けることにより、何れの子機との間に断線が生じているのか、検出することも可能である。しかしながら、２台の子機から親機に接続される信号が合成される構成であるために、親機で子機との間の断線を検出することができたとしても、これをコントローラに伝達する術がなかった。そのため、コントローラでは、何れの子機と親機との間に断線が生じているのか、判定することができないという問題を解決することができないことになる。
【０００７】
かかる不具合を解消するため、各子機とコントローラとの間に断線検出用の回路を設けることが考えられる。しかし、子機専用に断線検出用回路を設けることは、個々のセンサ基板の配線構造が複雑化し、製造工数が増えるので、コストが嵩み、好ましくない。
【０００８】
しかも、スケールの長さよりも長いストローク範囲でスライダの位置を検出するリニアモータないしリニア搬送装置においては、電源投入時に、スライダを移動させることなく、スライダの位置を検出する存在検出センサをセンサ基板に設けることも要請されている。そのため、センサ基板に搭載可能なセンサや素子の制約は、ますます大きくなり、子機専用に断線検出用回路を設けることは、事実上困難であった。
【０００９】
本発明は、上述した課題に鑑みてなされたものであり、複数の固定子ユニットを連設してリニアモータを構成し、互いに隣接する固定子ユニットを接続して位置検出信号を合成して長尺のスライダを検出することが可能であり、しかも、互いに接続されている固定子ユニット間に生じている断線をコントローラに出力することのできるリニアモータ並びにリニア搬送装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、可動子を有するスライダの移動経路に沿って連設される複数の固定子ユニットと、各固定子ユニットに取り付けられ、当該スライダの前記可動子と対向する固定子とを備え、コントローラの制御によって前記固定子と前記可動子との間に吸引力を発生させながら当該移動経路に沿って前記スライダを移動させるリニアモータにおいて、隣接する固定子ユニット同士を電気的に接続する接続手段を設け、各固定子ユニットは、当該固定子と対向する範囲で移動している前記スライダを検出して位置検出信号を出力する位置検出手段と、前記接続手段を介して両側に接続された位置検出手段からそれぞれ出力された位置検出信号を合成する位置検出信号合成部と、前記位置検出信号合成部が合成した信号を前記コントローラに出力する位置検出信号出力部と、前記固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を前記コントローラに出力する存在検出手段と、前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との間の断線を検出する断線検出手段と、前記断線検出手段が前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との断線を検出したことに基づいて、前記コントローラに出力される前記存在検出信号の出力パターンを正常時と弁別可能な不法パターンに切り換える出力変更手段とを備えていることを特徴とするリニアモータである。この態様では、それぞれが位置検出手段を有する複数の固定子ユニットを連設し、両側に接続された位置検出手段からそれぞれ出力された検出された位置信号を位置検出信号合成部で合成することにより、当該固定子ユニットの固定子よりも長いストローク範囲で位置検出を実現することができる。一方、本態様では、固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を出力する存在検出手段を備えているので、電源投入時に、スライダを移動させることなく、スライダの位置を検出する要請にも応えることができるようになっている。かかる構成において、位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に信号を出力する両側にそれぞれ連設された固定子ユニットの少なくとも何れか一方との間に断線が生じている場合、断線検出手段は、この断線を検出する。すると出力変更手段は、存在検出手段の出力パターンを、正常時の出力パターンと弁別可能な不法パターンに切り換える。このため、この不法パターンの存在検出信号に基づき、コントローラは、両側にそれぞれ連設された固定子ユニットの何れかとの間で断線が生じていることを判定することが可能となる。そのため、隣接する固定子ユニット間で生じた断線をコントローラに伝達するための信号系統を改めて設ける必要がない。従って、個々のセンサ基板の配線構造が単純にまとまり、製造工数も増加しないので、コストの抑制に寄与することが可能となる。しかも、存在検出手段を利用することによって、コントローラに対し、断線検出を伝達可能にしているので、存在検出手段を設けているにもかかわらず、接続手段等の回路構成の集積化やレイアウトに大きな制約を来す恐れもない。
【００１１】
好ましい態様のリニアモータにおいて、前記存在検出手段は、前記スライダに対し長手方向が前記移動経路に沿って設けられたスケールの全長にわたる範囲において少なくとも４箇所に配設された複数のセンサを含み、前記断線検出手段は、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか一方との間で断線を検出した場合に第１異常信号を出力する第１異常信号出力部と、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか他方の固定子ユニットとの間で断線を検出した場合に第２異常信号を出力する第２異常信号出力部とを含み、前記出力変更手段は、断線が検出されている場合に、前記複数のセンサのうち、特定のセンサの出力端子を当該センサから前記第１異常信号出力部に切り換えるとともに、前記特定のセンサとは別のセンサの出力端子を当該別のセンサから前記第２異常信号出力部に切り換えるスイッチとを含む。この態様では、両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち、一方との間で断線が生じている場合には、存在検出手段の複数のセンサのうち、第１異常信号出力部に割り当てられた特定のセンサの出力端子から第１異常信号が出力される不法パターンが生成される。同様に、両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち、他方との間で断線が生じている場合には、存在検出手段の複数のセンサのうち、第２異常信号出力部に割り当てられた別のセンサの出力端子から第２異常信号が出力される不法パターンが生成される。従って、親機からの不法パターンに基づいて、何れの子機が断線しているのかを特定することが可能となり、メンテナンスが容易になる。
【００１２】
本発明の別の態様は、可動子を有し、且つ線状の移動経路に沿って移動可能に配置されるスライダと、前記移動経路に沿って連設され、前記可動子を対向する固定子をそれぞれ有する複数の固定子ユニットによって構成され、前記スライダを前記移動経路に沿って駆動するリニアモータとを備え、前記固定子と前記可動子との間に吸引力を発生させながら当該移動経路に沿って前記スライダを移動させるリニア搬送装置において、隣接する固定子ユニット同士を電気的に接続する接続手段と、前記スライダを駆動している固定子ユニットを親機とし、該親機の両側に連設された固定子ユニットを子機として制御するコントローラとを設け、前記固定子ユニットは、前記固定子と対向する範囲で移動している前記スライダを検出して位置検出信号を出力する位置検出手段と、前記接続手段を介して当該両側にそれぞれ連設された固定子ユニットの位置検出手段からそれぞれ出力された位置検出信号を合成する位置検出信号合成部と、前記位置検出信号合成部が合成した信号を当該親機の位置検出信号として前記コントローラに出力する位置検出信号出力部と、前記固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を前記コントローラに出力する存在検出手段と、前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との間の断線を検出する断線検出手段と、前記断線検出手段が前記位置検出信号合成部と、この位置検出信号合成部に接続される位置検出手段との断線を検出したことに基づいて、前記親機としての固定子ユニットから前記コントローラに出力される前記存在検出信号の出力パターンを正常時と弁別可能な不法パターンに切り換える出力変更手段とをそれぞれ備えていることを特徴とするリニア搬送装置である。この態様では、複数の固定子ユニットのうち、スライダを駆動している固定子ユニットを親機とし、この親機の両側に隣接する固定子ユニットを子機として機能させ、当該子機の位置検出信号を合成して親機の出力した位置検出信号として制御に供することにより、当該親機の両側で移動しているスライダの位置をも検出することができる。よって、親機は、当該親機の固定子よりも長いストローク範囲で位置検出を実現することができる。また、固定子ユニット毎に位置検出手段と、位置検出信号合成部と、位置検出信号出力部とを備えているので、各固定子ユニットは、それぞれが親機として機能し、子機として機能することが可能となる。一方、各固定子ユニットは、固定子と対向する範囲に存在する前記スライダを検出して存在検出信号を出力する存在検出手段を備えているので、電源投入時に、スライダを移動させることなく、スライダの位置を検出する要請にも応えることができるようになっている。かかる構成において、親機に接続される子機の何れか一方が断線している場合、断線検出手段は、この断線を検出する。すると出力変更手段は、存在検出手段の出力パターンを、正常時の出力パターンと弁別可能な不法パターンに切り換える。このため、この不法パターンの存在検出信号に基づき、コントローラは、リニアモータの何れか一方の子機と親機との間で断線が生じていることを判定することが可能となる。
【００１３】
好ましい態様のリニア搬送装置において、前記存在検出手段は、前記スライダに対し長手方向が前記移動経路に沿って設けられたスケールの全長にわたる範囲において少なくとも４箇所に配設された複数のセンサを含み、前記断線検出手段は、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか一方との間で断線を検出した場合に第１異常信号を出力する第１異常信号出力部と、前記移動経路の両側にそれぞれ連設された固定子ユニットのうち何れか他方の固定子ユニットとの間で断線を検出した場合に第２異常信号を出力する第２異常信号出力部とを含み、前記出力変更手段は、断線が検出されている場合に、前記複数のセンサのうち、特定のセンサの出力端子を当該センサから前記第１異常信号出力部に切り換えるとともに、前記特定のセンサとは別のセンサの出力端子を当該別のセンサから前記第２異常信号出力部に切り換えるスイッチとを含む。この態様では、親機の両側にある子機のうち、一方の子機と親機とが断線している場合には、存在検出手段の複数のセンサから第１異常信号出力部に割り当てられた特定のセンサの出力端子から第１異常信号が出力される不法パターンが生成される。同様に、他方の子機と親機とが断線している場合には、存在検出手段の複数のセンサから第２異常信号出力部に割り当てられた別のセンサの出力端子から第２異常信号が出力される不法パターンが生成される。従って、親機からの不法パターンに基づいて、何れの子機が断線しているのかを特定することが可能となり、メンテナンスが容易になる。
【００１４】
また、各態様において、前記出力変更手段は、前記複数のセンサのうち、両端に位置する端側のセンサの出力をスケール検出の状態とし、前記端側のセンサの間にあるセンサの何れかの出力を前記第１、第２異常信号としてスケール未検出の状態とするものであることが好ましい。その場合には、スケールが存在すれば、必ず、スケール検出の状態となるべきセンサの出力がスケール未検出の状態に切り換えられるので、簡易且つ確実に異常検出を行うことができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明によれば、スライダを駆動しているリニアモータを親機とし、この親機の両側に隣接するリニアモータを子機として機能させることによって、親機は、固定子よりも長いストローク範囲で位置検出を実現することができる一方、存在検出手段によって、電源投入時に、スライダを移動させることなく、スライダの位置を検出することができる。しかも、親機に接続される子機の何れか一方が断線している場合に、存在検出手段を利用して親機と子機との間に生じている断線をコントローラに出力することができるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の一形態に係るリニア搬送装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態に係るリニアモータの要部を示す斜視図である。
【図３】図１の実施形態に係るリニアモータの側面略図である。
【図４】図１の実施形態に係る固定子ユニットを４連にしたときの正面図である。
【図５】図１の実施形態に係るリニアモータのリニアスケールの概略構成を示す説明図である。
【図６】図１の実施形態に係るリニアモータのリニアスケールの概略構成を示す説明図である。
【図７】図１の実施形態に係る固定子ユニットを子機として使用する場合のセンサ部分（リニアスケール部分）の回路構成を示す回路図である。
【図８】図１の実施形態に係る固定子ユニットを親機として使用する場合のセンサ部分（リニアスケール部分）の回路構成を示す回路図である。
【図９】図１の実施形態に係る親機に割り当てられるセンサ群の構成を示す説明図である。
【図１０】図１の実施形態に係る位置センサの出力特性を示すタイミングチャートである。
【図１１】図１の実施形態における各センサの出力特性を示す図である。
【図１２】図１の実施形態に係る断線検出機能の必要性を説明するための説明図である。
【図１３】図１の実施形態に係る断線検出機能を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１８】
まず、図１を参照して、本発明の実施形態に係るリニア搬送装置１０は、平面視長方形に延びる基台１１と、基台１１の上に設けられる一対のリニア駆動部２０Ａ、２０Ｂと、各リニア駆動部２０Ａ、２０Ｂによって駆動される可動子としてのスライダ３０とを備えている。また、本実施形態では、スライダ３０を一方（往動側）のリニア駆動部２０Ａの下流端から他方（復動側）のリニア駆動部２０Ｂの上流端へ循環させる第１の循環装置４０と、他方のリニア駆動部２０Ｂの下流端から一方のリニア駆動部２０Ａの上流端へ循環させる第２の循環装置５０とが設けられている。
【００１９】
基台１１は、それぞれ四隅に高さ調整可能な脚を設けた複数のテーブル１１Ａを組み合わせたものである。各テーブル１１Ａは、何れも枠材により骨組みとして長方体を形成し、底板と天井板とを設けた構造体である。以下の説明では、基台１１の長手方向を仮にＸ方向とし、このＸ方向に直交する水平方向をＹ方向とする。また、Ｙ方向の一端側（図３の左側）を仮に前方とする。また、図４において、図の右側を仮に一端（リニア駆動部２０Ａでは、上流端、リニア駆動部２０Ｂでは、下流端）とし、左側（リニア駆動部２０Ａでは、下流端、リニア駆動部２０Ｂでは、上流端）を仮に他端とする。
【００２０】
各リニア駆動部２０Ａ、２０Ｂは、Ｘ方向に沿って、基台１１上で互いに平行に延びており、前方のリニア駆動部２０Ａ（図１の手前側）がＸ方向一端側から他端側へスライダ３０を駆動する往路（移動経路）を形成し、後方のリニア駆動部２０Ｂ（図１の後ろ側）がＸ方向他端側から一端側へスライダ３０を駆動する復路（移動経路）を形成している。本実施形態において、これら各リニア駆動部２０Ａ及び２０Ｂは、スライダ３０の可動子とともにリニアモータを構成するものであり、何れも同一仕様に設けられた複数（図示の例では、４つ）の駆動ユニット１００を連設して構成されている。
【００２１】
図１を参照して、リニア搬送装置１０の第１の循環装置４０は、往路側のリニア駆動部２０Ａの他端側の下流端に対向してスライダ３０を受取可能な受取位置と、復路側のリニア駆動部２０Ｂの他端側の上流端に対向して、スライダ３０を載置可能とされ受け渡し可能な受け渡し位置との間で往復移動可能に構成された搬送ユニット４１と、搬送ユニット４１を受取位置と受け渡し位置との間に駆動する駆動ユニット４２と、スライダ３０に係合離脱可能且つＸ方向に移動可能とされ、係合した状態のスライダ３０をリニア駆動部２０Ａの下流端から受取位置に位置する搬送ユニット４１上へＸ方向に移動することで、スライダ３０の受取動作を行うスライダ移送ユニット４３と、スライダ３０に係合離脱可能且つＸ方向に移動可能とされ、受取位置からＹ方向移動により受け渡し位置に位置する搬送ユニット４１上から、係合した状態のスライダ３０をリニア駆動部２０Ｂの上流端へＸ方向に移動することで、スライダ３０の受け渡しを動作を行うスライダ移送ユニット４４とを備えており、往路側のリニア駆動部２０Ａから搬送されたスライダ３０を同じ姿勢のまま、復路側のリニア駆動部２０Ｂに循環させることができるようになっている。
【００２２】
また、第２の循環装置５０は、復路側のリニア駆動部２０Ｂの一端側の下流端に対向してスライダ３０を受取可能な受取位置と、往路側のリニア駆動部２０Ａの一端側の上流端に対向して、スライダ３０を受け渡し可能な受け渡し位置との間で往復移動可能に構成された搬送ユニット５１と、搬送ユニット５１を受取位置と受け渡し位置との間に駆動する駆動ユニット５２と、スライダ３０に係合離脱可能且つＸ方向に移動可能とされ、係合した状態のスライダ３０をリニア駆動部２０Ｂの下流端から受取位置に位置する搬送ユニット５１上へＸ方向に移動することで、スライダ３０の受取動作を行うスライダ移送ユニット５３と、スライダ３０に係合離脱可能且つＸ方向に移動可能とされ、受取位置からＹ方向移動により受け渡し位置に位置する搬送ユニット５１上から、係合した状態のスライダ３０をリニア駆動部２０Ａの上流端へＸ方向に移動することで、スライダ３０の受け渡しを動作を行うスライダ移送ユニット５４とを備えており、復路側のリニア駆動部２０Ｂから搬送されたスライダ３０を同じ姿勢のまま、往路側のリニア駆動部２０Ａに循環させることができるようになっている。第２の循環装置５０の受け渡し位置からは、作業者が任意にスライダ３０を往路側のリニア駆動部２０Ａに導入することができるようになっている。各リニア駆動部２０Ａ、２０Ｂに同時に導入されるスライダ３０の個数は、あふれが生じない範囲内において、任意に設定することが可能になっている。
【００２３】
次に、リニア駆動部２０Ａの駆動ユニット１００について、説明する。
【００２４】
図２〜図４を参照して、各駆動ユニット１００は、本体を構成するユニットフレーム１０１に、概ね同一仕様の固定子ユニット１１０を４つ一組に連設して構成されたアセンブリである。
【００２５】
ユニットフレーム１０１は、平面視長方形に形成され、その長手方向がＸ方向に沿った状態で図略のボルトにより、基台１１の上面に固定されている。基台１１の上に連設されたユニットフレーム１０１の上部には、Ｘ方向に沿って、駆動ユニット１００の全長にわたって延びるレール１０３が固定されている。図示の実施形態では、駆動ユニット１００の前後両側には、ユニットフレーム１０１を二つ一組で保護する二組のカバー１０２ａ、１０２ｂが取り付けられている。
【００２６】
各固定子ユニット１１０は、ユニットフレーム１０１に固定される固定子１１１と、センサ基板１１２Ａ（またはセンサ基板１１２Ｂ）とを備えている。
【００２７】
各固定子１１１は、コア１１１ａと、コア１１１ａにコイルが巻き付けられて形成される複数の界磁コイル（界磁電磁石）１１０ｂとを備えており、界磁コイル１１１ｂは、ユニットフレーム１０１の長手方向に配設されている。図示の例において、固定子１１１のＸ方向（移動経路に沿う方向）長さＬｓは、ユニットフレーム１０１のＸ方向長さＬｆのちょうど１／４に設定されている。この結果、図２に示すように、ユニットフレーム１０１を連設することによって、各固定子１１１は、同一ピッチで直線状に連設されるようになっている。また、このときの固定子ユニット１１０の端部で隣接するコア１１１ａ、１１１ａ間（磁極ピッチ）が、途中部分で隣接するコア１１１ａ、１１１ａ間（磁極ピッチ）と等しくなるように、固定子１１１のＸ方向長さＬｓ、ユニットフレーム１０１のＸ方向長さＬが設定されている。
【００２８】
駆動ユニット１００は、固定子ユニット１１０毎に設けられたコントローラ２００（図３に模式的に図示）を有している。
【００２９】
コントローラ２００は、不揮発性メモリを含む記憶部２１０、マイクロプロセッサ、その他の電子部品等で構成されており、このコントローラ２００が、対応する固定子ユニット１１０の固定子１１１に対するスライダ３０の位置を演算し、演算された位置に対応して、各固定子１１１の界磁コイル１１１ｂへの通電を個別に制御するように構成されている。各コントローラ２００は、リニア搬送装置全体を制御するメインの制御装置の制御またはプログラムに基づき、対応する固定子ユニット１１０を制御する。また、各コントローラ２００は、互いに通信可能に構成されており、後述するように、連設された固定子ユニット１１０のうち、固定子１１１がスライダ３０を駆動している固定子ユニット１１０を親機とし、この親機の両隣に配置された固定子ユニット１１０を子機として機能させることが可能になっている。
【００３０】
各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂは、何れも対応する固定子ユニット１１０のＹ方向前側に取り付けられており、Ｘ方向における長さＬｂが固定子１１１の長さＬｓよりも僅かに短く設定されており、何れもユニットフレーム１０１の正面に収まった状態で（つまり、はみ出していない状態で）等間隔を隔ててＸ方向に並んでいる。また、Ｘ方向に隣接する他端側のユニットフレーム１０１に取り付けられた一端側のセンサ基板１１２Ａと、一端側のユニットフレーム１０１に取り付けられた他端側のセンサ基板１１２ＢとのＸ方向の間隔は、同一のユニットフレーム１０１に取り付けられた一端側のセンサ基板１１２Ａと他端側のセンサ基板１１２Ｂとの間隔と等しくなるように設定されている。
【００３１】
センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂは、何れも同一仕様のものであるが、一端側から順に、板金製のプレート１１３が設けられている一端側のセンサ基板１１２Ａと、プレート１１３が省略されている他端側のセンサ基板１１２Ｂとが交互に並んでいる。
【００３２】
各プレート１１３には、同一のユニットフレーム１０１に固定された二つの固定子１１１をコントローラ２００に接続する一対の第１メインコネクタ１１４Ａと、両センサ基板１１２Ａ及び１１２Ｂをコントローラ２００と接続する第２メインコネクタ１１４Ｂとが設けられている。これらの第１、第２メインコネクタ１１４Ａ、１１４Ｂに接続されるハーネス１１５（図３参照）により、一端側のセンサ基板１１２Ａ及び他端側のセンサ基板１１２Ｂに設けられたセンサ類と固定子１１１とがコントローラ２００に電気的に接続され、固定子１１１の界磁コイル１１１ｂに対する通電が制御されるようになっている。
【００３３】
さらに、一端側のセンサ基板１１２Ａと、他端側のセンサ基板１１２Ｂとを電気的に接続するため、各センサ基板１１２Ａ、１１２ＢのＸ方向両側には、サブコネクタ１１６が設けられており、互いに隣接するセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂがフラットケーブル等で具体化されたハーネス１１７により、接続されている。ここで、本実施形態では、サブコネクタ１１６は、一つの駆動ユニット１００に設けられた二組のセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂ同士を接続するだけではなく、隣接する駆動ユニット１００の一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）ともハーネス１１７によって接続されている。これにより、リニア駆動部２０Ａ、２０Ｂは、詳しくは後述するように、連設された固定子ユニット１１０のうち、固定子１１１がスライダ３０を駆動している固定子ユニット１１０を親機とし、この親機の両隣に配置された固定子ユニット１１０を子機として機能させることが可能になっている。本実施形態において、ハーネス１１７は、両側に連設されるリニアモータ同士を電気的に接続する接続手段を構成している。なお、図１を参照して、第２の循環装置５０において、リニア駆動部２０Ａの上流端を構成する駆動ユニット１００の一端側のセンサ基板１１２Ａには、往路端部側固定子ユニット６０Ａがハーネスを介して接続されている。また、リニア駆動部２０Ａの下流端を構成する駆動ユニット１００の他端側のセンサ基板１１２Ｂには、往路端部側固定子ユニット６１Ａがハーネスを介して接続されている。往路端部側固定子ユニット６０Ａのセンサ基板は、他端側のセンサ基板１１２Ｂと同一仕様に設定されており、往路端部側固定子ユニット６１Ａのセンサ基板は、一端側のセンサ基板１１２Ａと同一仕様に設定されている。さらに、往路側の上流端に配置された固定子ユニット１１０のコントローラ２００と、復路側の下流端に配置された固定子ユニット１１０のコントローラ２００は、それぞれ、対応する固定子ユニット１１０が親機の場合に、当該固定子ユニット６０Ａ、６１Ａのセンサ基板からの出力を子機のリニアスケールの出力として処理するように構成されている。これにより、リニア駆動部２０Ａの上流端を構成する固定子ユニット１１０も、リニア駆動部２０Ａの下流端を構成する固定子ユニット１１０も、充分なストローク範囲でリニア駆動部２０Ａに導入されるスライダ３０、または、復路側のリニア駆動部２０Ｂから退出されるスライダ３０を検出することが可能になっている。さらに、復路側のリニア駆動部２０Ｂにおいても、方向の相違に応じて同一仕様の固定子ユニット６０Ａ、６１Ａが設けられている。
【００３４】
図示の実施形態において、各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに設けられたセンサ類は、スライダ３０の位置を検出するリニアスケールＳの要部を構成するものである。リニアスケールＳは、詳しくは後述するように、センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに設けられているセンサ類と、スライダ３０に設けられるスケールＳ１、Ｓ２とによって構成されている。
【００３５】
図３及び図４を参照して、スライダ３０は、レール１０３に嵌合する摺動子３１と、この摺動子３１の上部に取り付けられた天板３２と、天板の底面に固定されて、駆動ユニット１００の固定子１１１に対向する可動子としての複数の永久磁石３３とを備えている。
【００３６】
図示の実施形態において、レール１０３の側部には、Ｘ方向に延びる溝が形成されており、摺動子３１は、この溝に摺接する内壁を有する凹部を有している。この凹部にレール１０３の端部を導入することにより、摺動子３１は、レール１０３に対し、Ｘ方向に挿抜可能な状態で、レール１０３の長手方向にのみ摺動可能に連結される。
【００３７】
天板３２は、リニア搬送装置１０によって搬送されるワークを載置するパレットの取り付け用部品として機能する構造体である。無論、用途に応じて、天板３２自身に加工を施し、ワークを直接載置するようにしてもよい。
【００３８】
複数の永久磁石３３は、Ｘ方向に沿って、Ｎ極とＳ極が交互に現れるように所定の間隔で１列に配設されている。従って、固定子ユニット１１０の作動時に、界磁コイル１１１ｂに対する通電を制御して、位相が異なるｕ相、ｖ相、ｗ相のうちのいずれかの相の電流を固定子１１１の界磁コイル１１１ｂに供給することにより、界磁コイル１１１ｂに生じる磁束と永久磁石３３の生じる磁束とを相互に作用させ、固定子１１１と永久磁石３３との間に吸引力を発生させながら、スライダ３０をＸ方向に沿って所定の速度で往復移動することが可能となる。
【００３９】
スライダ３０の天板の前端側底面には、前端壁３４が固定されている。前端壁３４の背面には、リニアスケールＳを構成する２本の磁気スケールＳ１、Ｓ２が貼着されている。
【００４０】
以下、本実施形態のリニアスケールＳについて詳述する。
【００４１】
まず、図５を参照して、スライダ３０の前端壁３４に設けられた磁気スケールＳ１、Ｓ２は、上下に並んでＸ方向に沿い、平行に延びている。上側に設けられた磁気スケールＳ１は、Ｘ方向に沿って貼着された複数の永久磁石Ｓ１１、Ｓ１２で構成されている。永久磁石Ｓ１１、Ｓ１２は、Ｓ極とＮ極が交互に違えた状態で所定のスケール長Ｌ内に等間隔に配設されている。
【００４２】
また、下側の磁気スケールＳ２は、固定子１１１のＸ方向長さＬｓよりも僅かに長い間隔を隔てて、対をなしている。各磁気スケールＳ２は、上下に並んで貼着された二つ一組の永久磁石Ｓ２１で構成されている。各磁気スケールＳ２の永久磁石Ｓ２１は、交互に極性を違えて状態で配設されている。
【００４３】
各磁気スケールＳ１、Ｓ２を検出するため、固定子ユニット１１０の各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂには、正弦波のパルス信号（Ａ相）を出力する一対の第１センサＳＡ１、ＳＡ２と、正弦波のパルス信号（Ｂ相）を出力する一対の第２センサＳＢ１、ＳＢ２と、Ｚ相のパルス信号（Ｚ相）を出力する第３センサＳＺとが設けられている。各センサＳＡ１〜ＳＺは、例えばホールセンサで構成されており、対応する永久磁石Ｓ１１、Ｓ１２、Ｓ２１の磁束密度を計測して、磁束密度に応じた出力電圧（振幅）のパルス信号を出力するように構成されている。
【００４４】
第１センサＳＡ１、ＳＡ２は、一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）上において、Ｘ方向に沿う線上でＹ方向（前後）に永久磁石Ｓ１１、Ｓ１２と対向する位置に並設されて対をなしている。また、第２センサＳＢ１、ＳＢ２は、一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）上において、Ｘ方向に沿う線上でＹ方向（前後）に永久磁石Ｓ１１、Ｓ１２と対向する位置に並設されて対をなしている。
【００４５】
一方の第１センサＳＡ１と他方の第１センサＳＡ２は、同時に同じ極性の永久磁石Ｓ１１（Ｓ１２）と対向する間隔に設定されている。同様に、一方の第２センサＳＢ１と他方の第２センサＳＢ２は、同時に同じ極性の永久磁石Ｓ１１（Ｓ１２）と対向する間隔に設定されている。さらに、第１センサＳＡ１、ＳＡ２と第２センサＳＢ１、ＳＢ２とは、一方（本実施形態では、第１センサＳＡ１）の出力するＡ相のパルス信号が正弦波となり、他方（本実施形態では、第２センサＳＡ２）の出力するＢ相のパルス信号が余弦波になる関係になっている。両パルス信号は、位相が異なる他は、同じ振幅、同じ周期で出力される。
【００４６】
図５を参照して、第３センサＳＺは、一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）に対し、一つずつ設けられており、当該固定子１１１の一端側に近接するように寄せられた位置に取り付けられている。この結果、ある一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）の第３センサＳＺと、この一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）に隣接する他方のセンサ基板１１２Ｂ（１１２Ａ）の第３センサＳＺの間隔は、固定子１１１のＸ方向長さＬｓよりも長くなっており、しかも、その両端側のオフセット量Ｌ１、Ｌ２は、可及的に短くなっている。
【００４７】
第１〜第３センサＳＡ１、ＳＡ２、ＳＢ１、ＳＢ２、ＳＺは、本発明における位置検出手段の一例である。
【００４８】
コントローラ２００は、対応する固定子ユニット１１０の第３センサＳＺの出力に基づいて、親機としての信号処理と、子機としての信号処理を並行して実行する。すなわち、コントローラ２００の制御対象になっている自装置の第３センサＳＺがＯＦＦの状態からＯＮに切り替わってスライダ３０を検出した場合、コントローラ２００は、当該固定子ユニット１１０を親機として制御するように構成されている。また、スライダ３０を駆動していない場合、すなわち、第３センサＳＺがスライダ３０を検出していない場合、コントローラ２００は、当該固定子ユニット１１０を子機として制御するように構成されている。これにより、スライダ３０を駆動する固定子ユニット１１０が親機として機能し、その両側にある固定子ユニット１１０が子機として機能する。かかる制御によって、本実施形態においては、固定子１１１の長さＬｓよりもスライダ３０のスケール長Ｌが長い場合であっても、適切にスライダ３０の位置検出を図ることができるように構成されている。
【００４９】
図７及び図８を参照して、各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂには、Ａ相用の加算回路Ｓ９ａと、Ｂ相用の加算回路Ｓ９ｂとが設けられている。仮に、一端側のあるセンサ基板１１２Ａが親機として機能し、その両側にあるセンサ基板１１２Ｂ、１１２Ｂが子機として機能する場合、この親機としてのセンサ基板１１２Ａの一端側にあるセンサ基板１１２Ｂからは、ハーネス１１７及びコネクタ１１６を介して、第１センサＳＡ２の信号が加算回路Ｓ９ａに入力され、第２センサＳＢ２の信号が加算回路Ｓ９ｂに入力されるようになっている。同様に、他端側にあるセンサ基板１１２Ｂからは、ハーネス１１７及びコネクタ１１６を介して、第１センサＳＡ２の信号が加算回路Ｓ９ａに入力され、第２センサＳＢ２の信号が加算回路Ｓ９ｂに入力されるようになっている。そして、これら子機としてのセンサ基板１１２Ｂ、１１２Ｂから入力された信号は、各加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂによって、加算され、第２メインコネクタ１１４Ｂに設けられた端子を介して、コントローラ２００に入力されるようになっている。
【００５０】
一方、図示の例では、他端側の子機として機能するセンサ基板１１２Ｂから、第３センサＳＺがハーネス１１７及びコネクタ１１６を介して伝達されるようになっている。そして、親機として機能する一端側のセンサ基板１１２Ａの第２メインコネクタ１１４Ｂには、当該親機として機能するセンサ基板１１２Ａの第３センサＳＺからの信号をＺ相の第１信号Ｚ１とし、他端側のセンサ基板１１２Ｂからハーネス１１７及びコネクタ１１６を介して伝達される第３センサＳＺの信号をＺ相の第２信号Ｚ２として出力する端子が設けられており、これらの信号Ｚ１、Ｚ２がそれぞれコントローラ２００に入力されるようになっている。本実施形態では、上述した機構により、親機としての信号処理と、子機としての信号通信とを並行して行うことができ、各センサ基板は、それぞれが、同時に親機、子機として振る舞うことが可能になっている。本実施形態において、加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂ等は、両側の子機の位置検出手段からそれぞれ出力された位置検出信号を合成する位置検出信号合成部の一構成例である。また、本実施形態における第２メインコネクタ１１４Ｂや、ハーネス１１７等は、位置検出信号合成部としての加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂが合成した信号を当該親機の位置検出信号としてコントローラ２００に出力する位置検出信号出力部を構成する一例である。
【００５１】
親機として機能する固定子ユニット１１０のＸ方向一端側に隣接する子機を「子機１」とし、他端側に隣接する子機を「子機２」とすると、親機の加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂには、子機１、子機２から出力されたＡ相、Ｂ相の信号が入力されるので、この親機のコントローラ２００は、両側に配置された固定子ユニット１１０の他方のセンサ基板１１２Ｂ（１１２Ａ）の出力を利用して、当該固定子ユニット１１０の固定子１１１よりもＸ方向に長いストローク範囲でスライダ３０の位置検出を実現することが可能となる。本発明の位置検出手段は、各第１〜第３センサＳＡ１、ＳＡ２、ＳＢ１、ＳＢ２、ＳＺと、加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂとを備えたものとして、固定子ユニット１１０に具体化されている。なお、本実施形態では、親機の第１、第２センサＳＡ１、ＳＡ２、ＳＢ１、ＳＢ２は、スライダ３０の位置検出には用いられず、一方の子機１の他端側の第１、第２センサＳＡ２、ＳＢ２と、他方の子機２の一端側の第１、第２センサＳＡ１、ＳＢ１とによって、位置を検出することとしている。一方、原点位置については、親機の第３センサＳＺと、他端側の子機２の第３センサＳＺとの組を用いて、スライダ３０を検出するときの原点位置を決定するようにしている。
【００５２】
次に、図６及び図９を参照して、本実施形態においては、スライダ３０が何れかの固定子ユニット１１０に停止しているときに、当該固定子１１１が、停止しているスライダ３０を検出するための機構として、スライダ３０の前端壁３４に設けられた第３の磁気スケールＳ３と、この磁気スケールＳ３の磁束密度を計測して、磁束密度に応じた出力電圧（振幅）のパルス信号を出力するセンサ群がセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに設けられている。
【００５３】
まず、磁気スケールＳ３について説明する。この磁気スケールＳ３は、磁気スケールＳ２の下側に間隔を隔てて配置され、磁気スケールＳ１と並行にＸ方向に沿って延びている。磁気スケールＳ３の長さは、一つの一方のセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）に設けられた複数の位置検出センサＳＰ１〜ＳＰ４（後述）と、ＳＰ５（他端側に隣接するセンサ基板１１２Ｂの一端側に配置された位置センサＳＰ１）の全てをカバー可能な長さ（図示の例では、磁気スケールＳ２のＸ方向における対向間隔と等しい長さ）に設定されている。磁気スケールＳ３もまた、磁気スケールＳ１と同様に、Ｘ方向に沿って貼着された複数の永久磁石Ｓ３１、Ｓ３２で構成されている。永久磁石Ｓ３１、Ｓ３２は、Ｓ極とＮ極が交互に違えた状態で等間隔に配設されている。但し、磁気スケールＳ３の着磁周期は、磁気スケールＳ１の着磁周期の４倍に設定されている。
【００５４】
各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂの一端側において、第１センサＳＡ１と図の上下に揃う位置には、正弦波を出力する一対の第１磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２が設けられている。各第１磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２は、互いに上下に対向している。各第１磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２から他端側に隔たった位置には、正弦波を出力する一対の第２磁極検出センサＭＣ１、ＭＣ２が設けられている。各第２磁極検出センサＭＣ１、ＭＣ２もまた、上下に対向している。これら第１、第２磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２、ＭＣ１、ＭＣ２は、何れもリニアホールＩＣで具体化されており、比較的波長の長い正弦波を出力することによって、スライダ３０が停止している場合であっても、大まかにスライダ３０の位置を検出することができるように設定されているものである。すなわち、第１〜第３センサＳＡ１〜ＳＺを用いた検出方法では、第１、第２センサＳＡ１、ＳＡ２、ＳＢ１、ＳＢ２の波長を短く設定し、分解能を高めることができる反面、一般的なエンコーダと同様に、スライダ３０との相対移動によって原点位置を特定するまでは、位置検出を行うことができない。これに対して、第１、第２磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２、ＭＣ１、ＭＣ２は、分解能は低いものの、原点位置を特定する信号を要することなく、大まかな位置検出を図ることが可能となっているのである。
【００５５】
第１磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２から出力される信号は、第２磁極検出センサＭＣ１、ＭＣ２が出力する信号と位相がπ／２ずれる関係に設定されている。また、各磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２、ＭＣ１、ＭＣ２において、一方と他方（ＭＳ１とＭＳ２、ＭＣ１とＭＣ２）は、互いに同じ極性を検出するように構成されている。
【００５６】
また、図９に示すように、ある固定子ユニット１１０を親機とし、その両側の固定子ユニット１１０、１１０をそれぞれ一端側から順に子機１、２とした場合、子機２の磁極検出センサＭＳ２の信号は、ハーネス１１７を介して親機に伝達され、親機の磁極検出センサＭＳ１が検出した信号と加算される。加算された信号は、磁極検出信号ＭＳとして、当該親機のコントローラ２００に出力される。また、子機２の磁極検出センサＭＣ２の信号は、ハーネス１１７を介して親機に伝達され、親機の磁極検出センサＭＣ１が検出した信号と加算される。加算された信号は、磁極検出信号ＭＣとして、当該親機のコントローラ２００に出力される。
【００５７】
次に、各センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂには、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４が、例えば、４組ずつ設けられている。各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４は、二つ一組の両極ホールＩＣと、これら両極ホールＩＣの出力を入力とするＯＲ回路３０１〜３０４（図１３参照）とによって構成されている。各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４は、スライダ３０のスケールＳ３の磁束密度を計測可能な高さ（一方の磁極検出センサＭＳ１、ＭＣ１と他方の磁極検出センサＭＳ２、ＭＣ２の間）において、Ｘ方向に沿い、一定間隔を隔てて配設されている。一端側に配置された位置センサＳＰ１のうち、一端側に配置された両極ホールＩＣは、Ｘ方向において、第１磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２と、第２磁極検出センサＭＣ１、ＭＣ２の中間位置に配置されており、この位置を基点として、他端側に配置された両極ホールＩＣがＸ方向に間隔を隔てて配置されている。一端側の両極ホールＩＣと他端側の両極ホールＩＣは、出力する信号がπ／２ずれる関係に設定されている。本実施形態において、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４を二つ一組の両極ホールＩＣと、各両極ホールＩＣの出力を入力とするＯＲ回路３０１〜３０４とによって構成し、一端側の両極ホールＩＣと他端側の両極ホールＩＣがそれぞれ出力する信号が、π／２ずれる関係に設定されているのは、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４からの出力信号をコンスタントな特性にするためである。すなわち、各両極ホールＩＣは、磁気スケールＳ３の一方の極（例えばＮ極）から他方の極（例えばＳ極）を検出する過程でＯＮからＯＦＦに切り替わる。このため、単一の両極ホールＩＣだけでは、検出される信号が絶えずＯＮ／ＯＦＦを繰り返し、使いづらい特性になってしまう。そこで、上述のように、二つの両極ホールＩＣを組み合わせて、ＯＲ回路３０１〜３０４に入力することにより、一方の両極ホールＩＣが磁気スケールＳ３から一方の極（例えばＮ極）から他方の極（例えばＳ極）を検出してＯＮからＯＦＦ（またはＯＦＦからＯＮ）の状態に切り替わるタイミングで、他方の両極ホールＩＣがＯＦＦからＯＮ（またはＯＮからＯＦＦ）に切り替わるので、ＯＲ回路３０１〜３０４から出力される信号は、何れかの両極ホールＩＣが磁気スケールＳ３から磁束密度を計測している間、コンスタントにＯＮになる。このようにして、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４が、スケールＳ３の磁束密度を計測している間、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４から出力される検出信号をコンスタントな特性にしているのである。
【００５８】
図示の例において、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力は、物理的には、非検出時にハイ（Ｈ）に立ち上がっている一方、それぞれの検出位置に応じてスケールＳ３を検出している間、ロウ（Ｌ）に切り替わるように構成されている。また、コントローラ２００においては、固定子ユニット１１０が親機として機能する場合には、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の信号を自装置の検出信号として使用し、子機として機能する場合には、一端側の位置センサＳＰ１の信号を論理的な親機の「位置センサＳＰ５」として、ハーネス１１７から当該親機を経由し、コントローラ２００に伝送するように構成されている。これにより、親機のコントローラ２００は、図１０に示すように、位置センサＳＰ１〜ＳＰ５を論理的に備えたものとして、スライダ３０の位置を検出することができるようになっている。本実施形態において、これら位置センサＳＰ１〜ＳＰ５が、存在検出手段の一例であり、図１１に示すように、位置センサＳＰ１〜ＳＰ５の出力信号が、存在検出信号の一例である。
【００５９】
センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに取り付けられた各センサの出力は、固定子ユニット１１０に対し、図１１に示す特性を示すことになる。
【００６０】
次に、親機と子機の間の断線を検出する機構について説明する。
【００６１】
例えば、ハーネス１１７のコネクタ１１６への嵌合が不適切であるために、子機と親機の間に接続不良（断線）が生じている場合、親機に接続される子機が一台の場合には、子機と親機の配線経路にコンパレータを設けるともに、コンパレータの入力側とグラウンド間にプルダウン抵抗を設け、断線時には、コンパレータの出力がＯＦＦになるように参照電圧をコンパレータに入力することによって、断線（接続不良）を検出し、断線箇所を特定することは可能となる。
【００６２】
しかしながら、本実施形態のように、加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂを用いて、子機の信号を合成している場合、２つの課題によって、上述のようには処理することができない。
【００６３】
第１の課題は、信号が合成されることによって、電圧が断線しきい値よりも高い値に留まってしまう場合がある点である。
【００６４】
この課題について図１２を参照しながら説明する。図１２は、図１の実施形態に係る断線検出機能の必要性を説明するための説明図である。図１２において、（Ａ）は、正常時における加算後の信号を示し、（Ｂ）は、子機１（一端側）と子機２（他端側）が何れも断線したときの各信号並びに加算後の信号を示し、（Ｃ）は、子機１（一端側）が正常で子機２（他端側）が断線した場合の各信号と加算後の信号を示している。なお、図１２（Ａ）においては、加算後の信号のみを示し、図１２（Ｂ）（Ｃ）においては、子機１（一端側）の信号（或いは電圧）を一点鎖線で示し、子機２（他端側）の信号（或いは電圧）を破線で示している。
【００６５】
図１２（Ａ）に示すように、例えば、子機１と子機２の信号を合成する場合、何れの子機１、２も正常に親機と接続されている場合には、断線しきい値よりも高いところで検出信号が留まっている。一方、図１２（Ｂ）に示すように、何れの子機も親機と接続されていない場合には、信号が断線しきい値よりも下回ってしまうので、断線を検出することも可能となる。他方、何れか一方の子機だけが断線している場合、図１２（Ｃ）に示すように、電源Ｖｃｃの電圧に対して、正弦波の振幅が比較的大きい場合（電源電圧の１／２以上の振幅が設定される場合）には、図１２（Ｃ）の破線で示す加算波形も大きくなるので、この場合には、検出される片側断線時検出電圧よりも低い値に（第２の）断線しきい値を設定することができず、親機と一方の子機とが断線するという、最も起こりやすい事象に対して、その断線検出を行うことが極めて困難になるという問題があった。
【００６６】
第２の課題は、断線を検出できたとしても、親機からコントローラ２００に対し、適切に断線検出を伝達することができない、という問題がある。
【００６７】
上述したように、親機とコントローラ２００とは、ハーネス１１５を介して接続されており、かかる構成における断線の態様は、
（１）  コントローラ２００と親機との間の断線、
（２）  親機と一端側の子機の間の断線、並びに
（３）  親機と他端側の子機との間の断線
の３つの態様がある。これに対し、図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）に示したように、信号の振幅よりも上側に設定される第１の断線しきい値と、信号の振幅よりも下側に設定される第２の断線しきい値の２箇所でしかない。そのため、親機とコントローラ２００との間に生じた断線の検出は、容易であるが、二つの子機のうち、何れか一方の子機と親機との間で生じた断線については、新たな信号線を追加しない限り、容易には断線箇所を特定し、コントローラ２００に伝達することができないのである。しかも、信号線の追加は、磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２、ＭＣ１、ＭＣ２や、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の設置によって困難になっている。
【００６８】
そこで、本実施形態では、例えば、コントローラ２００に位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力パターンを記憶させておき、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４が正常時には、生じ得ない出力パターンを「不法パターン」として弁別できるようにして、親機で子機との間に断線が生じた場合には、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力パターンを意図的に不法パターンに切り換えることにより、親機が子機との間の断線をコントローラ２００に伝達できるように構成されている。なお、位置センサの出力パターンは、以下に説明する例に限らず、例えば、あるセンサ基板１１２Ａの他端側に隣接するセンサ基板１１２Ｂの一端側に配置された位置センサＳＰ１を当該センサ基板１１２Ａの位置センサＳＰ５として機能させ、位置センサＳＰ１〜ＳＰ５の出力パターンを設定してもよい。或いは、逆に、所定の位置センサを３つ選んで出力パターンを設定してもよい。もっとも、位置センサが少ないと不良パターンのバリエーションも少なくなるので、ここでは、必要充分な個数である４つの場合（位置センサＳＰ１〜ＳＰ４）について説明する。
【００６９】
まず、「不法パターン」について説明する。ここで、「不法パターン」とは、スライダ３０が位置センサＳＰ１〜ＳＰ５の全てを同時に覆う長さを持っていることを利用して、スライダ３０の数に関係なく、通常スライダ３０が載っているだけではありえないパターンをいう。従って、スライダ１台と仮定すれば異常だが、２台と仮定すれば正常と判断できるような場合は、正常パターンであると考える。
【００７０】
表１を参照して、親機の４つの位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力を利用して正常パターンと不法パターンとを弁別する場合、４つの位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力パターンは、表１に示すように
２４＝１６通り
である。
【００７１】
【表１】
0005819748.tif 000002
【００７２】
各１６通りのパターンのうち、正常と判断されるパターンは、パターンＩｄが１から１１の場合であり、不法パターンは、パターンＩｄが１２から１６の場合である。なお、親機と子機とによってスライダ３０を検出可能なストローク範囲は、本実施形態では最大２台であるので、それ以上の台数の場合については考慮していない。尤も、理論上は、親機として機能する位置センサの個数を増すことによって、３台以上のスライダが存在する場合を設定できるようにすることも可能であり、本発明は、１台または２台の場合に限定されない。
【００７３】
一方、二つの子機１、２の何れかと親機との断線の態様は、３通りであるから、不法パターンのうち、任意の３通りの出力パターンが発生する回路をセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに設けておき、不法パターンが出力された場合には、コントローラ２００が子機と親機の接続不良が発生しているものと判定して、接続不良対策処理を実行するように構成しておけばよい。
【００７４】
図１３を参照して、同図に示す断線検出用の回路においては、子機１、２と加算回路９ａとの間にプルダウン抵抗Ｒ０１、Ｒ０２、Ｒ１１、Ｒ１２をＡ相、Ｂ相の配線毎に設けている。各プルダウン抵抗Ｒ０１、Ｒ０２、Ｒ１１、Ｒ１２は、コンパレータＣＭ０１、ＣＭ０２、ＣＭ１１、ＣＭ１２の入力側に接続されている。コンパレータＣＭ０１、ＣＭ０２、ＣＭ１１、ＣＭ１２には、断線のしきい値となる参照電圧Ｖ＿ｔｈが入力されている。従って、プルダウン抵抗Ｒ０１、Ｒ０２、Ｒ１１、Ｒ１２と接続されている何れかの配線が断線している場合、対応するコンパレータＣＭ０１、ＣＭ０２、ＣＭ１１、ＣＭ１２の出力は、ハイ（Ｈ）からロウ（Ｌ）に切り替わるようになっている。これらコンパレータＣＭ０１、ＣＭ０２、ＣＭ１１、ＣＭ１２は、位置検出信号合成部と子機の位置検出手段との間の断線を検出する断線検出手段の一例である。
【００７５】
子機１に対応するＡ相のコンパレータＣＭ０１とＢ相のコンパレータＣＭ１１の出力には、子機１の信号線に対応して設けられたプルアップ抵抗Ｒ２１を介して、電圧Ｖ１が印可されるように電源が接続されている。また、子機２に対応するＡ相のコンパレータＣＭ０２とＢ相のコンパレータＣＭ１２の出力には、子機２の信号線に対応して設けられたプルアップ抵抗Ｒ２２を介して、電圧Ｖ１が印可されるように電源が接続されている。電圧Ｖ１は、子機１に対応するプルアップ抵抗Ｒ２１を介して、ＡＮＤ回路３００の一方の入力端子に印可される一方、子機２に対応するプルアップ抵抗Ｒ２２を介して、ＡＮＤ回路３００の他方の入力端子に印可される。ＡＮＤ回路３００は、双方の入力端子の信号がハイ（Ｈ）である場合のみ、ハイ（Ｈ）の信号を出力し、それ以外のパターンで信号が入力された場合には、ロウ（Ｌ）の信号を出力するように設定されている。
【００７６】
ＡＮＤ回路３００の出力端子は、スイッチ回路３１０に接続されている。スイッチ回路３１０は、例えば、ＣＭＯＳマルチプレクサで具体化されている。スイッチ回路３１０の出力端子３１０ａ〜３１０ｄは、それぞれハーネス１１５を介してコントローラ２００のバスと電気的に接続されている。
【００７７】
スイッチ回路３１０には、第１群の入力端子３１１ａ〜３１１ｄと、第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄが設けられている。第１群、第２群は、それぞれが位置センサＳＰ１〜ＳＰ４に対応して、４つずつ（合計８個）設けられている。ＡＮＤ回路３００の出力がハイ（Ｈ）のとき、出力端子３１０ａ〜３１０ｄは、それぞれ第１群の入力端子３１１ａ〜３１１ｄと接続される。また、ＡＮＤ回路３００の出力がロウ（Ｌ）のとき、出力端子３１０ａ〜３１０ｄは、それぞれ第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄと接続される。各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４は、磁気スケールＳ３を検出していないときは、ハイ（Ｈ）になっているので、出力端子３１０ａ〜３１０ｄは、ハイ（Ｈ）の信号をコントローラ２００に出力する。一方、磁気スケールＳ３を検出しているときは、ロウ（Ｌ）になっているので、出力端子３１０ａ〜３１０ｄは、ロウ（Ｌ）の信号を出コントローラ２００に出力する。
【００７８】
第１群の入力端子３１１ａ〜３１１ｄには、それぞれ、上述した位置センサＳＰ１〜ＳＰ４が接続されている。この結果、ＡＮＤ回路３００の出力がハイ（Ｈ）のとき、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４は、対応する入力端子３１１ａ〜３１１ｄから出力端子３１０ａ〜３１０ｄに接続され、ハーネス１１５を介してコントローラ２００に接続される。
【００７９】
第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄのうち、対応するセンサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）の両側に配置された位置センサＳＰ１、ＳＰ４と切り換えられる第２群の入力端子３１２ａ、３１２ｄには、プルアップ抵抗Ｒ３を介して異常検出時の電圧Ｖ２が印可されるように電源と接続されている。従って、ＡＮＤ回路３００の出力がロウ（Ｌ）のとき、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４に対応する出力端子３１０ａ、３１０ｄには、電圧Ｖ２が印可されるので、コントローラ２００は、電圧Ｖ２を印可されることにより、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４がセンサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）であると認識することになる。
【００８０】
さらに、第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄのうち、位置センサＳＰ１、ＳＰ４の間にある位置センサＳＰ２、ＳＰ３の一方（図示の例では、位置センサＳＰ３）と切り換えられる入力端子３１２ｃには、コンパレータＣＭ０１、ＣＭ１１の出力線と接続されている。また、第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄのうち、位置センサＳＰ１、ＳＰ４の間にある位置センサＳＰ２、ＳＰ３の他方（図示の例では位置センサＳＰ２）と切り換えられる入力端子３１２ｂには、コンパレータＣＭ０２、ＣＭ１２の出力線と接続されている。従って、ＡＮＤ回路３００の出力がロウ（Ｌ）のとき、位置センサＳＰ２と位置センサＳＰ３に対応する出力端子３１０ｂ、３１０ｃは、コンパレータＣＭ０２、ＣＭ１２の出力線と接続されるので、コントローラ２００は、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４がセンサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）であるときに、位置センサＳＰ２と位置センサＳＰ３のうちの何れか一方または双方がロウ（Ｌ）となり、センサＯＮになっている（磁気スケールＳ３を検出している）と認識することになる。この結果、何らかの断線が生じている場合には、スライダ３０が位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の全てを同時に覆う長さを持っているのにも拘わらず、両側に配置された位置センサＳＰ１、ＳＰ４がセンサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）を出力し、その間にある何れかの位置センサＳＰ３または位置センサＳＰ４がセンサＯＮになっている（磁気スケールＳ３を検出している）の状態になるので、容易且つ確実に異常を検出することが可能となるのである。本実施形態において、ＡＮＤ回路３００、スイッチ回路３１０等は、断線検出手段が断線を検出したことに基づいて、親機からコントローラ２００に出力される存在検出信号の出力パターンを正常時と弁別可能な不法パターンに切り換える出力変更手段の一例である。なお、親機には、論理的に構成される位置センサＳＰ５が存在するが、本実施形態においては、この位置センサＳＰ５は、異常検出には利用していないので、図１３から省略している。
【００８１】
図１３の構成を採用することにより、本実施形態では、以下のように親機と子機の断線をコントローラ２００に伝達することが可能となる。
【００８２】
表２は、図１３の入出力の真理値表を示している。
【００８３】
【表２】
0005819748.tif 000003
【００８４】
図１３及び表２を参照して、子機１、２が何れも正常に接続されている場合（ケース１）、コンパレータＣＭ０１〜ＣＭ１２の出力は、何れもハイ（Ｈ）になる。この結果、ＡＮＤ回路３００の出力は、ハイ（Ｈ）になるので、スイッチ回路３１０は、出力端子３１０ａ〜３１０ｄがそれぞれ第１群の入力端子３１１ａ〜３１１ｄと接続される。従って、出力端子３１０ａ〜３１０ｄの出力は、全て位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力をそのまま反映した値（検出時Ｌ、非検出時Ｈ）となり、各位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の正常パターン（表１のＩｄ＝１〜１１）とされる出力がハーネス１１５からコントローラ２００に伝達され、これら位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の出力に基づいて、コントローラ２００は、所要の制御を実行することが可能になる。
【００８５】
ここで、表２のケース２に示すように、子機１と親機との間に断線が生じていた場合、子機１に対応するコンパレータＣＭ０１またはＣＭ１１の出力は、ロウ（Ｌ）になる。従って、ＡＮＤ回路３００の出力もロウ（Ｌ）になり、スイッチ回路３１０は、出力端子３１０ａ〜３１０ｄを第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄと接続する。この結果、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４に対応する出力端子３１０ａ、３１０ｄは、異常検出時の電圧Ｖ２に立ち上がるので、センサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）になる一方、位置センサＳＰ３に対応する出力端子３１０ｃは、子機１に対応する入力端子３１２ｃと接続されることにより、ロウ（Ｌ）となるので、センサＯＮ（磁気スケールＳ３検出）となる。従って、この場合の出力パターンは、両側の位置センサＳＰ１、ＳＰ４が磁気スケールＳ３未検出になっているにも拘わらず、その途中にある位置センサＳＰ３が磁気スケールＳ３検出になっている状況であり、「不法パターン」とされる表１のパターン１３からパターン１５の何れか一つと等しくなるので、コントローラ２００は、親機から「不法パターン」の信号が出力されていると認識することができ、この認識に基づいて、装置を停止し、異常対処を実行することが可能になる。
【００８６】
同様に、表２のケース３に示すように、子機２と親機との間に断線が生じていた場合、子機２に対応するコンパレータＣＭ０２またはＣＭ１２の出力は、ロウ（Ｌ）になる。従って、ＡＮＤ回路３００の出力もロウ（Ｌ）になり、スイッチ回路３１０は、出力端子３１０ａ〜３１０ｄを第２群の入力端子３１２ａ〜３１２ｄと接続する。この結果、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４に対応する出力端子３１０ａ、３１０ｄは、異常検出時の電圧Ｖ２に立ち上がるので、センサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）になる一方、位置センサＳＰ２に対応する出力端子３１０ｂは、子機２に対応する入力端子３１２ｂと接続されることにより、ロウ（Ｌ）となるので、センサＯＮ（磁気スケールＳ３検出）となる。従って、この場合の出力パターンは、両側の位置センサＳＰ１、ＳＰ４が磁気スケールＳ３未検出になっているにも拘わらず、その途中にある位置センサＳＰ２が磁気スケールＳ３検出になっており、「不法パターン」とされる表１のパターン１２またはパターン１６と等しくなるので、コントローラ２００は、親機から「不法パターン」の信号が出力されていると認識することができ、この認識に基づいて、装置を停止し、異常対処を実行することが可能になる。
【００８７】
さらに、表２のケース４に示すように、双方の子機１、２と親機との間に断線が生じた場合には、位置センサＳＰ１と位置センサＳＰ４に対応する出力端子３１０ａ、３１０ｄは、異常検出時の電圧Ｖ２に立ち上がるので、センサＯＦＦ（磁気スケールＳ３未検出）になる一方、位置センサＳＰ２及びＳＰ３に対応する出力端子３１０ｂ及び３１０ｃは、それぞれ子機１、２に対応する入力端子３１２ｂ、３１２ｃと接続されることにより、ロウ（Ｌ）となるので、センサＯＮ（磁気スケールＳ３検出）となる。従って、この場合の出力パターンは、両側の位置センサＳＰ１、ＳＰ４が磁気スケールＳ３未検出になっているにも拘わらず、その途中にある位置センサＳＰ２及びＳＰ４が何れも磁気スケールＳ３検出になっており、「不法パターン」とされる表１のパターン１５と等しくなるので、コントローラ２００は、親機から「不法パターン」の信号が出力されていると認識することができ、この認識に基づいて、装置を停止し、異常対処を実行することが可能になる。
【００８８】
不法パターンの設定は、上述した例に限らず、種々の観点から適宜組み合わせることが可能である。また、一枚のセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂに設定される位置センサＳＰ１〜ＳＰ４の個数も、４個に限らず、５個以上であってもよい。その場合には、不法パターンの態様を増やすことができるので、例えば、何れかの子機のうち、何れの電線が断線しているのかを判定することも可能になる。
【００８９】
一方、何らかの断線をコントローラ２００に伝達するために最低限必要な不法パターンは、１通りあればよい。従って、表３に示すように、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４が最低３個（３ビットの情報が）あれば、親機と子機との間に生じている断線をコントローラ２００に伝達することが可能となる。
【００９０】
【表３】
0005819748.tif 000004
【００９１】
以上説明したように、本実施形態に係るリニア搬送装置１０によれば、リニア駆動部２０Ａ、２０Ｂを構成する複数の固定子ユニット１１０のうち、スライダ３０を駆動している固定子ユニット１１０を親機とし、この親機の両側に隣接する固定子ユニット１１０を子機として機能させ、当該子機の位置検出信号を合成して親機の出力した位置検出信号として制御に供することにより、当該親機の両側で移動しているスライダ３０の位置をも検出することができる。よって、親機は、当該親機の固定子１１１よりも長いストローク範囲で位置検出を実現することができる。また、固定子ユニット１１０毎に位置検出手段としてセンサＳＡ１、ＳＡ２、ＳＢ１、ＳＢ２、ＳＺと、位置検出信号合成部としての加算回路Ｓ９ａ、Ｓ９ｂと、位置検出信号出力部としてのハーネス１１５等とを備えているので、各固定子ユニット１１０は、それぞれが親機として機能し、子機として機能することが可能となる。一方、本実施形態では、固定子ユニット１１０と対向する範囲に存在するスライダ３０を検出して存在検出信号を出力する位置センサＳＰ１〜ＳＰ４（ＳＰ５）を備えているので、電源投入時に、スライダ３０を移動させることなく、スライダ３０の位置を検出する要請にも応えることができるようになっている。かかる構成において、親機に接続される子機の何れか一方が断線している場合、コンパレータＣＭ０１、ＣＭ０２、ＣＭ１１、ＣＭ１２は、この断線を検出する。すると出力変更手段としてのスイッチ回路３１０は、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４（ＳＰ５）の出力パターンを、正常時の出力パターンと弁別可能な不法パターン（表１のパターン１２〜１６）に切り換える。このため、この不法パターンの存在検出信号に基づき、コントローラ２００は、何れか一方の子機と親機との間で断線が生じていることを判定することが可能となる。そのため、子機と親機との間で生じた断線をコントローラ２００に伝達するための信号系統を改めて設ける必要がない。従って、個々のセンサ基板１１２Ａ、１１２Ｂの配線構造が単純にまとまり、製造工数も増加しないので、コストの抑制に寄与することが可能となる。しかも、存在検出手段として、磁極検出センサＭＳ１、ＭＳ２、ＭＣ１、ＭＣ２や、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４を利用することによって、コントローラ２００に対し、断線検出を伝達可能にしているので、存在検出手段を設けているにもかかわらず、回路構成の集積化やレイアウトに大きな制約を来す恐れもない。
【００９２】
また、本実施形態では、存在検出手段は、スライダ３０に対し長手方向が移動経路に沿って設けられた磁気スケールＳ３の全長にわたる範囲において少なくとも４箇所に配設された複数の位置センサＳＰ１〜ＳＰ４を含み、断線検出手段は、一方の子機１と親機との断線を検出した場合に第１異常信号を出力する第１異常信号出力部としてのコンパレータＣＭ０１、ＣＭ１１と、他方の子機２と親機との断線を検出した場合に第２異常信号を出力する第２異常信号出力部としてのコンパレータＣＭ０２、ＣＭ１２とを含み、出力変更手段は、断線が検出されている場合に、複数のセンサのうち、特定のセンサの出力端子（図１３の態様においては、位置センサＳＰ３に対応する出力端子３０１ｃ、図１４の態様においては、位置センサＳＰ２に対応する出力端子３０１ｂ）を当該センサからコンパレータＣＭ０１、ＣＭ１１の出力端子に切り換えるとともに、特定のセンサとは別のセンサの出力端子（図１３の態様においては、位置センサＳＰ２に対応する出力端子３０１ｂ、図１４の態様においては、位置センサＳＰ１に対応する出力端子３０１ａ）を当該別のセンサからコンパレータＣＭ０２、ＣＭ１２の出力端子に切り換えるスイッチ回路３１０とを含む。このため本実施形態では、親機の両側にある子機のうち、一方の子機１と親機とが断線している場合には、表２で示したように、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４からコンパレータＣＭ０１、ＣＭ１１に割り当てられた特定の位置センサの出力端子（図１３の態様においては、位置センサＳＰ３に対応する出力端子３０１ｃ）から第１異常信号が出力される不法パターン（図示の例では、両端の位置センサＳＰ１、ＳＰ４が磁気スケールＳ３を検出していないにも拘わらず、位置センサＳＰ３が磁気スケールＳ３を検出しているパターン）が生成される。同様に、他方の子機２と親機とが断線している場合には、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４からコンパレータＣＭ０２、ＣＭ１２に割り当てられた別のセンサの出力端子（図１３の態様においては、位置センサＳＰ２に対応する出力端子３０１ｂ）から第２異常信号が出力される不法パターン（図示の例では、両端の位置センサＳＰ１、ＳＰ４が磁気スケールＳ３を検出していないにも拘わらず、位置センサＳＰ２が磁気スケールＳ３を検出しているパターン）が出力される不法パターンが生成される。従って、親機からの不法パターンに基づいて、何れの子機が断線しているのかを特定することが可能となり、メンテナンスが容易になる。
【００９３】
また、本実施形態において、出力変更手段としてのスイッチ回路３１０は、複数の位置センサＳＰ１〜ＳＰ４のうち、両端に位置する端側の位置センサＳＰ１、ＳＰ４の出力をスケール検出の状態とし、位置センサＳＰ１、ＳＰ４の間にあるセンサＳＰ２、ＳＰ３の何れかの出力を第１、第２異常信号としてスケール未検出の状態とするものである。そのため本実施形態では、磁気スケールＳ３が存在すれば、必ず、スケール検出の状態となるべき位置センサＳＰ２、ＳＰ３の出力がスケール未検出の状態に切り換えられるので、簡易且つ確実に異常検出を行うことができる。
【００９４】
このように、本実施形態によれば、固定子１１１がスライダ３０を駆動している固定子ユニット１１０を親機とし、この親機の両側に隣接する固定子ユニット１１０を子機として機能させることによって、親機は、固定子１１１よりも長いストローク範囲で位置検出を実現することができる一方、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４（ＳＰ５）によって、電源投入時に、スライダ３０を移動させることなく、スライダ３０の位置を検出することができ、しかも、親機に接続される子機の何れか一方が断線している場合に、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４を利用して親機と子機との間に生じている断線をコントローラ２００に出力することができるという顕著な効果を奏する。また、位置センサＳＰ１〜ＳＰ４を利用して断線を検出しているので、センサ基板１１２Ａ、１１２Ｂを接続するハーネス１１７や、センサ基板１１２Ａ（１１２Ｂ）とコントローラ２００とを接続するハーネス１１５の仕様を変更する必要がない。従って、既存の設備をそのまま流用することができるという利点がある。
【００９５】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００９６】
９ａ  加算回路（位置検出信号合成部の一例）
９ｂ  加算回路（位置検出信号合成部の一例）
１０  リニア搬送装置
２０Ａ  リニア駆動部
２０Ｂ  リニア駆動部
３０  スライダ
３３  永久磁石（可動子の一例）
１００  駆動ユニット
１１０  固定子ユニット
１１１  固定子
１１４Ｂ  第２メインコネクタ（位置検出信号出力部の要部を示す一例）
１１５  ハーネス（位置検出信号出力部の要部を示す一例）
１１６  サブコネクタ（接続手段の要部を示す一例）
１１７  ハーネス（接続手段の要部を示す一例）
２００  コントローラ
３００  ＡＮＤ回路
３１０  スイッチ回路（スイッチ、出力変更手段の一例）
ＣＭ０１  コンパレータ（断線検出手段の要部を示す一例）
ＣＭ０２  コンパレータ（断線検出手段の要部を示す一例）
ＣＭ１１  コンパレータ（断線検出手段の要部を示す一例）
ＣＭ１２  コンパレータ（断線検出手段の要部を示す一例）
ＳＡ１  第１センサ（位置検出手段の一例）
ＳＡ２  第２センサ（位置検出手段の一例）
ＳＰ１  位置センサ（存在検出手段の一例）
ＳＰ２  位置センサ（存在検出手段の一例）
ＳＰ３  位置センサ（存在検出手段の一例）
ＳＰ４  位置センサ（存在検出手段の一例）
ＳＰ５  位置センサ（存在検出手段の一例）
ＳＺ  第３センサ（位置検出手段の一例）
【図１】
0005819748.tif 000005
【図２】
0005819748.tif 000006
【図３】
0005819748.tif 000007
【図４】
0005819748.tif 000008
【図５】
0005819748.tif 000009
【図６】
0005819748.tif 000010
【図７】
0005819748.tif 000011
【図８】
0005819748.tif 000012
【図９】
0005819748.tif 000013
【図１０】
0005819748.tif 000014
【図１１】
0005819748.tif 000015
【図１２】
0005819748.tif 000016
【図１３】
0005819748.tif 000017