(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の太陽電池を備える太陽電池モジュールの評価方法であって、
前記複数の太陽電池のうち評価対象の太陽電池に光源から光照射することにより当該太陽電池から発せられたフォトルミネッセンス光の強度を検出することにより当該太陽電池の評価を行うＰＬ評価工程を備え、
前記評価対象の太陽電池以外の部分に前記光源からの光が入射しないように前記太陽電池モジュールと前記光源の間に遮光部材を配した状態で前記光照射を行う、太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項２】
前記遮光部材の前記太陽電池モジュール側の表面が、前記光源からの光を吸収する光吸収面である、請求項１に記載の太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項３】
前記フォトルミネッセンス光の強度を検出する検出器と前記太陽電池との間に、前記光源からの光を遮蔽し、前記フォトルミネッセンス光を透過させるフィルタを介在させた状態で前記検出器により前記フォトルミネッセンス光の強度を検出する、請求項１または２に記載の太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項４】
前記太陽電池モジュールに電力を供給することにより前記太陽電池から発せられたエレクトロルミネッセンス光の強度を検出することにより当該太陽電池の評価を行うＥＬ評価工程をさらに備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項５】
前記ＰＬ評価工程を前記ＥＬ評価工程の後に行う、請求項４に記載の太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項６】
前記ＰＬ評価工程を、前記ＥＬ評価工程において不良箇所が存在すると評価された太陽電池に対して行う、請求項５に記載の太陽電池モジュールの評価方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の評価方法により太陽電池モジュールを評価する工程を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項８】
前記ＰＬ評価工程により正常と評価された太陽電池を前記太陽電池モジュールから取出し、再利用する工程を含む、請求項７記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池モジュールの評価方法及び太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池の評価方法として、例えば下記の特許文献１に記載のようなＰＬ（ＰｈｏｔｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）法が知られている。ＰＬ法は、太陽電池に励起光を照射した際に発せられるＰＬ光を検出することにより太陽電池を評価する方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−４１５３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
太陽電池をモジュール化し、太陽電池モジュールにした後においても、太陽電池モジュールに組み込まれた太陽電池の評価をしたいという要求がある。
【０００５】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、太陽電池モジュールに組み込まれた太陽電池を評価する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る太陽電池の評価方法は、複数の太陽電池を備える太陽電池モジュールの評価方法である。本発明に係る太陽電池の評価方法は、ＰＬ評価工程を備えている。ＰＬ評価工程は、複数の太陽電池のうちの評価対象の太陽電池に光源から光照射することにより当該太陽電池から発せられたフォトルミネッセンス光の強度を検出することにより当該太陽電池の評価を行う工程である。評価対象の太陽電池以外の部分に光源からの光が入射しないように太陽電池モジュールと光源の間に遮光部材を配した状態で光照射を行う。
【０００７】
本発明に係る太陽電池の製造方法は、上記本発明に係る太陽電池の評価方法により太陽電池モジュールを評価する工程を含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、太陽電池モジュールに組み込まれた太陽電池を評価する方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る一実施形態における太陽電池モジュールの模式的平面図である。
【図２】本発明に係る一実施形態における太陽電池モジュールの模式的断面図である。
【図３】本発明に係る一実施形態におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側斜視図である。
【図４】本発明に係る一実施形態におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側断面図である。
【図５】参考例におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側断面図である。
【図６】変形例におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００１１】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００１２】
（太陽電池モジュール１の構成）
図１は、本実施形態における太陽電池モジュールの模式的平面図である。図２は、本実施形態における太陽電池モジュールの模式的断面図である。
【００１３】
太陽電池モジュール１は、複数の太陽電池ストリング２を備えている。複数の太陽電池ストリング２は、一の方向（ｘ方向）に沿って相互に間隔をおいて配列されている。太陽電池ストリング２は、複数の太陽電池１０を有する。太陽電池ストリング２において、複数の太陽電池１０は、一の方向（ｘ方向）に対して垂直な他の方向（ｙ方向）に沿って相互に間隔をおいて配列されている。このため、太陽電池モジュール１においては、複数の太陽電池１０は、ｘ方向及びｙ方向に沿って相互に間隔をおいてマトリクス状に配されている。
【００１４】
太陽電池ストリング２を構成している複数の太陽電池１０は、配線材１１によって互いに電気的に接続されている。なお、配線材１１と太陽電池１０とは、樹脂接着剤や半田により接着することができる。
【００１５】
太陽電池１０は、受光面１０ａと裏面１０ｂとを有する。ここでは、光が直接入射する側の主面を受光面１０ａとしており、他方の主面を裏面１０ｂとしているが、太陽電池１０は、受光面１０ａ及び裏面１０ｂのいずれにおいて受光したときにも発電しても良い。すなわち、太陽電池１０は、両面受光型の太陽電池であっても良い。
【００１６】
太陽電池１０は、特に限定されず、例えば、単結晶シリコン太陽電池、多結晶シリコン太陽電池、薄膜シリコン太陽電池、化合物半導体太陽電池、色素増感太陽電池、有機薄膜太陽電池等により構成することができる。太陽電池１０は、裏面１０ｂにおいて受光したときに発電しないものであってもよい。
【００１７】
複数の太陽電池１０の受光面側（ｚ１側）には、透光性部材１５が配されている。すなわち、透光性部材１５は、太陽電池１０の受光面１０ａ側に配されている。透光性部材１５は、太陽電池１０の発電に寄与する波長の光を透過する部材である。
【００１８】
透光性部材１５の構成材料は、特に限定されない。透光性部材１５は、例えば、透光性を有するガラス板やプラスチック板により構成することができる。
【００１９】
複数の太陽電池１０の裏面側（ｚ２側）には、反射部材１４が配されている。すなわち、反射部材１４は、太陽電池１０の裏面１０ｂ側に配されている。太陽電池１０の発電に寄与する波長の光を反射する部材である。反射部材１４は、少なくとも太陽電池１０側に配される側の面が反射性を有するように構成されている。換言すれば、反射部材１４は、少なくとも太陽電池１０側に、太陽電池１０の発電に寄与する波長の光を反射する反射面１４ａを有する。
【００２０】
反射部材１４の構成材料は、特に限定されない。反射部材１４は、例えば、太陽電池１０と反対側から順に、耐候性フィルム、反射層及び透光性フィルムが積層されてなる部材により構成することができる。また、反射部材１４は、例えば、太陽電池１０と反対側から順に、耐候性フィルム及び反射層が積層されてなる部材により構成することができる。反射層は、金属や合金材料、或いは白色樹脂フィルム等により構成することができる。また、耐候性フィルムと反射層との間、反射層と透光性フィルムとの間には、接着層を設けてもよい。耐候性、反射層、透光性フィルムは、単層構造であってもよいし積層構造であってもよい。
【００２１】
透光性部材１５と反射部材１４との間には、充填材層１３が設けられている。複数の太陽電池ストリング２は、この充填材層１３内に配されている。充填材層１３は、太陽電池１０の発電に寄与する波長の光を透過させる。
【００２２】
充填材層１３の構成材料は、太陽電池１０の発電に寄与する波長の光を透過する材料である限りにおいて特に限定されない。充填材層１３は、例えば、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）により構成することができる。
【００２３】
（太陽電池モジュールの製造方法）
次に、太陽電池モジュール１の製造方法の一例について説明する。
【００２４】
まず、太陽電池モジュール１を作製する。太陽電池モジュール１の作製方法は、特に限定されない。太陽電池モジュール１は、例えば公知の方法により作製することができる。
【００２５】
次に、評価工程を行う。この評価工程は、太陽電池モジュール１に不良を有する太陽電池が含まれていないか、電気的接続不良箇所が存在しないか等を評価する工程である。不良を有する太陽電池には、例えば、ｐｎ接合やｐｉｎ接合などの半導体接合不良を有する太陽電池が含まれる。
【００２６】
なお、この評価工程を行った後に、評価工程において不良な太陽電池を有さない太陽電池モジュール１を選別する選別工程をさらに行ってもよい。また、評価工程において不要な太陽電池を有すると評価された太陽電池モジュール１を、廃棄或いは再利用する後工程をさらに行っても良い。
【００２７】
評価工程には、少なくともＰＬ評価工程が含まれる。以下の実施形態では、評価工程には、ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）評価工程と、ＰＬ評価工程とが含まれる。ここでは、まず、ＥＬ評価工程を行う。
【００２８】
（ＥＬ評価工程）
ＥＬ評価工程は、太陽電池モジュール１に電力を供給することにより、太陽電池モジュール１に含まれる複数の太陽電池１０の少なくともひとつから発せられたエレクトロルミネッセンス光（以下、「ＥＬ光」とする。）の強度を検出することにより、太陽電池１０の評価を行う工程である。
【００２９】
例えば、配線材１１の少なくとも一部が太陽電池１０から剥離しており、電力が十分に供給されない太陽電池が存在すると、その電力が十分に供給されない太陽電池からはＥＬ光が発せられないか、または発せられるＥＬ光の強度が低い。また、電力が供給されるものの、半導体接合不良などの不良を有する太陽電池が存在すると、その太陽電池の不良を有する部分からはＥＬ光は発せられないか、または発せられるＥＬ光の強度が低い。このため、太陽電池モジュール１に電力を供給し、太陽電池モジュール１に含まれる複数の太陽電池１０からのＥＬ光の強度を検出することにより、夫々の太陽電池１０に電気的接続不良や接合不良などの何らかの不良が存在するか否かを一括して判断することができる。
【００３０】
ＥＬ評価の結果、太陽電池モジュール１に含まれるすべての太陽電池１０のそれぞれの全体がＥＬ光を発しており、かつ、ＥＬ光の強度が低い部分がない場合には、当該太陽電池モジュール１には、不良を有する太陽電池１０が含まれないと判断することができる。一方、ＥＬ光を発しない部分または低い強度のＥＬ光を発する部分を有する太陽電池が太陽電池モジュール１に含まれている場合は、太陽電池モジュール１には不良箇所を有する太陽電池１０が存在するということになる。ＥＬ評価工程で、不良箇所を有する太陽電池１０が存在しないと評価された太陽電池モジュール１は、正常な太陽電池モジュールと判定される。また、ＥＬ評価工程で、不良箇所を有する太陽電池１０が存在すると評価された太陽電池モジュール１は、ＰＬ評価工程にまわされる。
【００３１】
ＥＬ評価工程においては、不良原因に関わらず、不良箇所を有する太陽電池１０から十分な強度のＥＬ光が発せられなくなる。このため、ＥＬ評価工程においては、不良箇所を有する太陽電池１０の検出は可能であっても、発見された不良箇所が電気的接続不良に起因するものなのか、半導体接合不良に起因するものなのかを判別することは困難である。このため、ＥＬ評価工程に続いてＰＬ評価工程を行う。
【００３２】
（ＰＬ評価工程）
図３は、本実施形態におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側斜視図である。図４は、本実施形態におけるＰＬ評価工程を説明するための模式的側断面図である。
【００３３】
本実施形態では、ＰＬ評価工程は、不良が発見された太陽電池モジュール１に対して行われる。ＰＬ評価工程では、不良が発見された太陽電池モジュール１に含まれる複数の太陽電池１０のうちの不良箇所を有すると判断された太陽電池１０に光源２０から光照射することによってその太陽電池１０から発せられるフォトルミネッセンス光（以下、「ＰＬ光」とする。）Ｌ２の強度を検出することにより、その太陽電池１０の評価を行う。光源２０は、ひとつの太陽電池１０の全体に、太陽電池１０の光活性層のバンドギャップよりも大きなエネルギーを有する、均一な定常光を照射可能に設けられていることが好ましい。光源２０は、例えばＬｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ（ＬＥＤ）や、レーザー素子により構成することができる。
【００３４】
光源２０から出射される光Ｌ１の強度は、太陽電池特性と関連がある０．０１ｓｕｎ〜１ｓｕｎ程度であることが好ましい。ここで、１ｓｕｎとは、フォトンフラックス、約２．９×１０１７／ｃｍ２・ｓを示す。
【００３５】
具体的には、ＥＬ評価工程において不良が存在すると認められた（十分に高い強度のＥＬ光が発せられなかった）太陽電池１０に対して光源２０から光照射し、その太陽電池１０から発せられるＰＬ光の強度を検出し、評価を行う。
【００３６】
ここで、ＰＬ評価工程では、励起光が照射された太陽電池１０に半導体接合不良等の太陽電池１０自身の不良が存在する場合には、検出されるＰＬ光Ｌ２の強度が低くなる。それに対して、太陽電池１０自身の不良が存在しない場合は、配線材１１の剥離などの電気的接続不良が存在していても、ＰＬ光Ｌ２の強度は低下しない。このため、ＥＬ評価工程に続いてＰＬ評価工程を行うことにより、太陽電池１０自身の不良と、電気的接続不良とをそれぞれ特定することができる。
【００３７】
ＰＬ評価工程において不良と評価された太陽電池１０は、半導体接合不良等太陽電池１０自身の不良が存在するため、再利用することはできない。このため、ＰＬ評価工程において不良と評価された太陽電池１０は廃棄される。また、ＰＬ評価工程において正常と評価された太陽電池１０には、太陽電池自身の不良が存在しないので、再利用することができる。ＥＬ評価工程で不良箇所が存在すると評価された太陽電池モジュール１内の太陽電池１０のうち、ＰＬ評価工程で正常と評価された太陽電池１０は、太陽電池モジュール１から取出され、再利用のために保管される。
【００３８】
ところで、ＰＬ評価工程を先に行い、その後にＥＬ評価工程を行った場合であっても太陽電池１０自身の不良箇所と、電気的接続不良箇所とをそれぞれ特定することができる。しかしながら、この場合は、太陽電池モジュール１に含まれるすべての太陽電池１０に対してＰＬ評価工程を行う必要がある。すなわち、太陽電池モジュール１に含まれる太陽電池１０の個数と等しい回数だけＰＬ評価工程を行う必要がある。
【００３９】
それに対して本実施形態では、ＥＬ評価工程において十分な強度のＥＬ光が検出されなかった太陽電池１０に対してＰＬ評価工程を行えば足りる。またＥＬ評価工程は、太陽電池モジュール１内の複数の太陽電池１０に対して同時に行うことができる。よって、本実施形態によればＰＬ評価工程を行う回数を少なくすることができる。従って、太陽電池モジュール１の製造効率を向上することができる。
【００４０】
なお、ある太陽電池１０の評価が終了した後に他の太陽電池１０の評価をする際には、太陽電池モジュール１が配されたテーブル２５をｘ方向及びｙ方向のそれぞれに変位させる変位機構２４によりテーブル２５及びその上に配された太陽電池モジュール１を、光源２０、検出器２２、フィルタ２３及び遮光部材２１に対して相対的に変位させることにより行うことができる。
【００４１】
以下、より具体的に、ＰＬ評価工程について説明する。本実施形態では、光照射する太陽電池１０以外の部分に、光源２０からの光Ｌ１が入射しないように、光Ｌ１の光路上において太陽電池モジュール１と光源２０との間に遮光部材２１を配置した状態で光源２０からの光照射を行う。
【００４２】
図５に示すように、遮光部材２１を配置しない場合は、光照射する太陽電池１０以外の部分にも、光源２０からの光Ｌ１が入射する。光Ｌ１が隣り合う太陽電池１０間に入射すると、反射部材１４の反射面１４ａにおいて光Ｌ１が太陽電池１０側に反射される。この反射光は、例えば透光性部材１５の太陽電池１０側の表面で反射されたりすることにより、太陽電池１０に入射する。このため、遮光部材２１を設けない場合は、太陽電池１０に直接入射しない光までもが太陽電池１０に入射する。よって、太陽電池１０に対して、所望の光量よりも多くの光が入射し、入射光の光量が増加した分だけ、ＰＬ光Ｌ２の光量も増大してしまう。従って、太陽電池１０の特性を正確に評価することができない。
【００４３】
それに対して本実施形態では、上述のように、遮光部材２１により、光照射する太陽電池１０以外の部分に光源２０からの光が入射することが抑制されている。このため、太陽電池１０には、直接入射光のみが入射する。従って、太陽電池１０の特性を正確に評価することができる。
【００４４】
また、本実施形態では、遮光部材２１の太陽電池モジュール１側の表面２１ａが、光源２０からの光Ｌ１を吸収する光吸収面である。このため、例えば、透光性部材１５の太陽電池１０とは反対側の表面で反射した光Ｌ１が遮光部材２１の表面２１ａで反射して太陽電池１０に入射することを抑制することができる。従って、太陽電池１０の特性をより正確に評価することができる。
【００４５】
なお、遮光部材２１の表面２１ａを光吸収面にする方法としては、遮光部材２１を黒色材料等の光吸収材料で構成する方法、遮光部材２１の表面に、光吸収層を配する方法等が挙げられる。光吸収層は、例えば、黒色塗料等を用いて形成することができる。
【００４６】
また、本実施形態では、光源２０から照射される光Ｌ１の光軸と配線材１１の延びる方向（ｙ方向）とのなす面が、太陽電池１０の受光面１０ａと垂直になるように光照射を行う。よって、例えば光Ｌ１の光軸と配線材の延びる方向と垂直なｘ方向とのなす面が、太陽電池１０の受光面１０ａと垂直になるように光照射を行った場合とは異なり、光Ｌ１が配線材１１により遮蔽され難い。従って、太陽電池１０の受光面１０ａのより多くの部分に光Ｌ１を照射することができる。その結果、太陽電池１０の特性をさらに正確に評価することができる。
【００４７】
太陽電池モジュール１では、太陽電池１０の受光面１０ａの上方に透光性部材１５が配されている。このため、この透光性部材１５の表面により、光源２０からの光Ｌ１が反射され、ＰＬ光Ｌ２の強度を検出するための検出器２２に入射する場合がある。よって、検出器２２がＰＬ光Ｌ２に感度を有すると共に、光Ｌ１にも感度を有する場合は、検出器２２によりＰＬ光Ｌ２の光量を正確に検出することができない。
【００４８】
それに対して本実施形態では、ＰＬ光Ｌ２の光路上において、ＰＬ光Ｌ２の強度を検出する検出器２２と太陽電池１０との間に、光源２０からの光Ｌ１を透過させず、ＰＬ光Ｌ２を透過させるフィルタ２３を介在させた状態で検出器２２によりＰＬ光Ｌ２の強度を検出する。このため、光Ｌ１の反射光の影響を排除し、ＰＬ光Ｌ２の強度をより正確に測定することができる。従って、太陽電池１０の特性をさらに正確に評価することができる。
【００４９】
なお、検出器２２は、例えば、Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ（電荷結合素子：ＣＣＤ）や、Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｄｅｖｉｃｅ（相補型金属酸化膜半導体：ＣＭＯＳ）などの撮像素子により構成することができる。検出器２２には、冷却器が設けられていることが好ましい。冷却器により検出器２２を冷却して一定温度に保持することにより、量子効率の変動を抑制することができる。
【００５０】
例えば結晶性シリコン太陽電池では、ＰＬ光Ｌ２の波長が９００ｎｍ〜１２００ｎｍ程度であるため、光源２０からの光Ｌ１の波長を８５０ｎｍ以下として、光源２０からの光Ｌ１とＰＬ光Ｌ２とを分離可能とすることが好ましい。この場合、フィルタ２３は、例えば９５０ｎｍ以下の光を遮蔽するロングパスフィルタまたはバンドパスフィルタにより構成することができる。
【００５１】
また、本実施形態では、ＰＬ評価工程を、太陽電池モジュール１を電気的に開放状態として行う。このため、評価対象となっている太陽電池１０に接続されている太陽電池１０の影響を排除し、太陽電池１０の特性をさらに正確に評価することができる。
【００５２】
ＰＬ評価工程においては、上述のように、不良を有する太陽電池１０の有無の評価以外の評価も行うことができる。例えば、ＰＬ評価工程において、太陽電池モジュール１の開放電圧を電圧測定器２６を用いて測定することにより、光照射を行っている太陽電池の開放電圧（Ｖｏｃ）を評価することができる。
【００５３】
また、太陽電池１０内のＰＬ光Ｌ２の強度分布を測定することにより、下記の式（１）に基づいて太陽電池１０内の開放電圧分布を求めることができる。
【００５４】
Ｖｏｃ（ｘ、ｙ）＝（ｋＴ・／ｑ）・ｌｎ｛Ｉｐｘ（ｘ、ｙ）／ｃ｝      ………      （１）
但し、
Ｖｏｃ（ｘ、ｙ）：座標（ｘ、ｙ）における開放電圧
Ｉｐｘ（ｘ、ｙ）：座標（ｘ、ｙ）におけるＰＬ光Ｌ２の強度
ｋ：ボルツマン定数
Ｔ：絶対温度
ｑ：素電荷
ｃ：定数
である。
【００５５】
また、光源２０からの光Ｌ１の強度を複数変化させて、ＰＬ光Ｌ２の強度を測定すると、式（１）から光Ｌ１の強度に対する太陽電池１０内の開放電圧分布を得ることができる。
【００５６】
尚、本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。例えば、第１の実施形態では、ｙ方向に平行であって、ｚ方向に対して傾斜した方向から太陽電池１０に対して光照射する例について説明したが、図６に示すように、太陽電池１０に対して垂直に光照射するようにしてもよい。その場合は、光源２０と太陽電池モジュール１との間に配された光源２０からの光Ｌ１を透過し、ＰＬ光Ｌ２を反射するダイクロイック・ミラー２７によりＰＬ光Ｌ２のみを反射し、検出器２２に導いてもよい。
【００５７】
第１の実施形態では、太陽電池モジュール１の製造工程において、ＰＬ評価工程及びＥＬ評価工程を行う例について説明したが、太陽電池モジュール１の製造工程とは別個に、独立して、ＰＬ評価工程やＥＬ評価工程を行うようにしてもよい。また、本発明は少なくともＰＬ評価工程を行えばよい。
【００５８】
第１の実施形態では、遮光部材２１を太陽電池モジュール１の上に配する例について説明したが、光源２０の前方に遮光部材２１を配してもよい。
【００５９】
以上のように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含む。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００６０】
１…太陽電池モジュール
１０…太陽電池
１０ａ…受光面
１０ｂ…裏面
１１…配線材
１３…充填材層
１４…反射部材
１４ａ…反射面
１５…透光性部材
２０…光源
２１…遮光部材
２１ａ…表面
２２…検出器
２３…フィルタ
２６…電圧測定器
２７…ダイクロックミラー
Ｌ１…光源からの光
Ｌ２…ＰＬ光
【図１】
0005694042.tif 000002
【図２】
0005694042.tif 000003
【図３】
0005694042.tif 000004
【図４】
0005694042.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005694042.tif 000007