(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置により連続的に搬送されてくる露光対象部材の露光パターン形成用領域に露光光源から出射した露光光をマスクを介して照射することにより、前記露光パターン形成用領域にマスクパターンを露光する露光装置において、
前記露光対象部材の移動方向における前記露光光の照射位置よりも上流側にて前記露光対象部材の移動方向に垂直な方向に移動可能に配置され、前記露光対象部材に前記移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマークを形成するアライメントマーク形成部と、
前記露光対象部材の移動方向における前記アライメントマーク形成部と前記露光光の照射位置との間に配置され、前記露光対象部材の移動方向に交差する方向における前記アライメントマークの前記指標位置における位置を検出する第２検出部と、
前記第２検出部が検出した前記指標位置における前記アライメントマークの位置に基づいて前記アライメントマークの蛇行量を演算する第２蛇行演算部と、
この第２蛇行演算部が求めた前記アライメントマークの蛇行量を打ち消すように、前記アライメントマーク形成部を移動させる第２制御部と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記露光対象部材の移動方向における前記第２検出部の下流側に配置され、前記露光対象部材の移動方向に交差する方向における前記アライメントマークの前記指標位置における位置を検出する第３検出部と、
前記第３検出部が検出した前記指標位置における前記アライメントマークの位置に基づいて前記アライメントマークの蛇行量を演算する第３蛇行演算部と、
この第３蛇行演算部が求めた前記アライメントマークの蛇行量に応じて、前記露光対象部材の移動方向に垂直な方向の前記マスクの位置を調整する第３制御部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記アライメントマークは、前記露光対象部材の移動方向に断続的に形成され、２列をなす帯状のマークであり、前記移動方向に交差する方向からみて、前記２列の各帯状マークの先端部及び後端部が相互に重なるように配置されており、前記指標は前記各マークの先端及び後端であることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記アライメントマークは、前記露光対象部材の移動方向に対して同一方向に傾斜する帯状のマークが断続的に形成されたものであり、前記指標は前記各マークの先端及び後端であることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項５】
前記アライメントマークは、連続的に形成され、前記指標が前記アライメントマークに断続的に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連続的に搬送されてくる露光対象部材の露光精度を高めた露光装置に関し、特に、露光対象部材が移動方向に垂直な方向に蛇行した場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、安定的な露光が可能な露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等のガラス基板上に例えば配向膜等を形成する場合には、表面上に配向材料膜等の材料膜が形成されたガラス基板を露光装置に供給し、配向材料膜を露光することにより、所定の方向に光配向させることが行われている。
【０００３】
この露光装置においては、露光光源から所定の光学系を介して出射された露光光は、マスクの光透過領域のパターンを透過して照射され、露光対象のガラス基板は、例えば移動可能なステージ上に載置され、ステージを移動させることにより、露光光の照射領域に搬送される。そして、ガラス基板上に形成された材料膜をマスクのパターンに対応させて露光することにより、ガラス基板上に所定の露光領域を形成することが行われている。
【０００４】
このように、ステージ等の搬送装置により搬送されるガラス基板等の露光対象部材は、配向膜等の形成領域が搬送装置又はマスク等の位置精度により大きく左右される。従って、露光対象部材の所定の領域を高精度に露光するための技術が種々提案されている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、フィルムの露光装置が開示されており、フィルムの露光対象領域の外側のフィルム側部の両側に１対の矩形のマーキングを施している。そして、フィルムの搬送を停止した状態で、前記アライメント用のマーキング形状をフィルムの移動方向及び移動方向に垂直な方向で光学的に検出することにより、フィルムの所定の領域に露光光が照射されるようにマスクの位置を調整している。
【０００６】
また、露光対象部材がフィルムの場合においては、フィルムを露光装置に連続的に供給する搬送装置として、例えば図９及び図１０に示すような１対のローラ８０，８１が使用される。即ち、図９及び図１０に示すように、露光対象のフィルム２は、フィルム基材から製品としてのフィルムに加工されるまでの各工程間をロール状に巻き取られて搬送される。そして、露光装置に供給される際には、供給側のローラ８０にフィルムのロールが同軸的に取り付けられ、フィルム２は先端部から巻き取り側ローラ８１により順次巻き取られていく。そして、図９に示すように、供給側のローラ８０から巻き取り側のローラ８１に至るまでの間に、露光装置を通過させ、フィルムの表面に形成された例えば配向材料膜に露光光を連続的に照射して、フィルムの所定の露光領域をフィルムの移動方向に沿って露光することが行われている。この方式はロールトゥロール方式と呼ばれている。
【０００７】
ロールトゥロール方式でフィルムを露光する場合においては、図１０に示すように、供給側のローラ８０から巻き取り側のローラ８１へとフィルム２が送給されている間に、例えば搬送装置のローラ８０，８１とフィルムのロールとの間の隙間又はロールへのフィルムの巻き取り誤差等により、フィルム２がその移動方向に垂直な方向に蛇行する場合があり、これにより、フィルム２の露光精度が低下するという問題点がある。
【０００８】
よって、例えば特許文献２及び３に開示されているように、フィルムの蛇行を補正する技術が種々提案されている。特許文献２に開示された技術は、フィルム等のウエブの縁部位置を検出する検出器を設け、検出器の検出結果により、供給側のローラをシリンダ等により軸方向に移動させ、移動方向に垂直な方向におけるウエブの蛇行を補正するものである。
【０００９】
また、特許文献３には、フィルム等の長尺のワークを２回に分けて露光する場合において、１回目の露光の際に、ワーク上にパターンを形成すると共に、所定のパターン長さごとに間欠的にアライメント用のマーキングを施し、２回目の露光の際には、前記アライメントマークを撮像することにより、ワークの位置ずれ及び傾きを検出し、マスク位置及び傾きを補正する技術が開示されている。
【００１０】
図１１は、露光光を出射する露光光源１１が１個のマスク１２に対応して１対ずつ向かい合わせて配置され、互いに異なる方向から露光光を照射する型式の従来の露光装置を一例として示す図である。このような型式の露光装置は、例えば液晶ディスプレイ等のガラス基板上又は偏光フィルム等のフィルム基材上に配向膜を形成する際の配向材料膜の露光に使用されている。即ち、この露光装置による露光により配向膜を形成する場合には、表面に配向材料膜が形成された露光対象部材を露光装置内に供給し、所定の領域ごとに露光光を異なる方向から照射して、異なる方向に配向した配向膜を形成することが行われている。この露光装置によれば、例えばフィルムの１絵素に対応する領域をその幅方向に２分割して露光したり、画素に対応する領域ごとにフィルムをその幅方向に分割して露光し、各分割領域ごとに配向方向が異なる配向膜を形成することができる。この配向膜の配向方向の特徴により、ガラス基板間に挟持する液晶分子の電圧印加時の動作を配向膜の配向方向に応じて異ならせ、これにより、表示装置の視野角を広げることができ、また、製造したフィルムを３Ｄ（Ｔｈｒｅｅ  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）ディスプレイ等の偏光フィルムとしても使用することができ、近時、このようなフィルムの露光技術は注目を集めている。
【００１１】
このような露光装置によりフィルムを露光する際には、フィルムには、搬送中に波打ちが発生しやすく、これにより、露光位置のずれが発生するという問題点がある。この露光位置のずれの影響を低減するために、例えば、上記のようなフィルムの移動方向に複数の光源を並置した露光装置においては、例えば図１１及び図１２に示すように、１個のマスクを使用して露光するのではなく、複数個のマスク１２を使用し、各マスク１２を露光対象部材の移動方向及びこれに垂直の幅方向に並ぶように千鳥状に配置して、露光光源１１を各マスクごとに設けて露光することが行われている。そして、各マスク１２１乃至１２４に露光光源１１からの露光光を透過させ、図１２に示すように、フィルムが供給されてくる上流側にて、互いに離隔して配置されたマスク１２１及び１２２によりフィルム２を露光領域Ａ及びＣで露光し、下流側にて、露光領域Ａ及びＣ間の領域Ｂをマスク１２３により露光し、露光領域Ｃに隣接する領域Ｄをマスク１２４により露光することが行われている。これにより、フィルム２のほぼ全面に配向分割したパターンを精度良く形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平５−３２３６２１号公報
【特許文献２】特開平８−３０１４９５号公報
【特許文献３】特開２００９−２１６８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上記従来技術には、以下のような問題点がある。特許文献１の技術は、ワークを搬送装置等により連続的に供給する場合には適していない。即ち、特許文献１の露光装置においては、アライメントマークの検出及びマスク位置の補正は、ワークの搬送を停止した状態で行っている。特に、ロールトゥロール方式でフィルムを供給して露光する場合においては、上記のように、移動方向に垂直な方向にフィルムが蛇行する場合があり、マスク位置の補正ごとにワークの搬送を停止する必要がある。よって、例えば露光領域を連続的に帯状に形成する場合等においては、生産性が極めて低いものである。特許文献３の技術においても、アライメントマークは所定の区間ごとにしか設置されておらず、露光精度を向上させるためには、アライメントマークの検出のためにワークの搬送を停止してマスク位置を補正する必要があり、生産性が低い。
【００１４】
また、特許文献２に開示されたようなフィルムの搬送装置を使用した場合においても、図１０に示すような移動方向に垂直な方向のフィルムの蛇行は周期的に発生してしまう。そして、特許文献２の技術は、搬送装置に対するフィルムの蛇行の解消を目的としたものであり、露光装置による露光精度を考慮したものではない。従って、フィルムの蛇行による露光精度の低下を解消できるものではない。
【００１５】
更に、特許文献３の技術は、２回目の露光領域を１回目の露光領域に対して相対的に位置合わせする場合には好適であるが、特許文献１と同様に、アライメントマークの検出及びマスク位置の補正は、ワークの搬送を停止した状態で行っており、フィルムを連続的に露光する場合においては、生産性が低いものである。そして、特許文献３の技術は、露光を２度に分けて行うものであり、生産性が極めて低い。
【００１６】
そして、図１１及び１２に示すような複数個のマスク１２により、各マスク１２ごとに露光光を照射する形式の露光装置においては、図１１に示すように、露光光源１１を内蔵している部分（露光光源１１の筐体部分）は、１光源につき、例えばフィルムの移動方向に約２ｍ程度の長さを有しており、図１２に示すような露光領域Ａ及びＣと露光領域Ｂ及びＤとの間の距離は、少なくとも４ｍ程度と長くなる。よって、上流側の露光領域Ａ及びＣから下流側の露光領域Ｂ及びＤへの搬送中に、フィルムが容易に波打ち、その移動方向に垂直の幅方向にずれやすいという問題点がある。従って、フィルムの移動方向下流側の露光領域において、フィルムの幅方向の位置ずれにより、既に露光された領域が露光されてしまったり、また、未露光の領域も発生してしまうという問題点もある。
【００１７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明に係る露光装置は、搬送装置により連続的に搬送されてくる露光対象部材の露光パターン形成用領域に露光光源から出射した露光光をマスクを介して照射することにより、前記露光パターン形成用領域にマスクパターンを露光する露光装置において、前記露光対象部材の移動方向における前記露光光の照射位置よりも上流側にて前記露光対象部材の移動方向に垂直な方向に移動可能に配置され、前記露光対象部材に前記移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマークを形成するアライメントマーク形成部と、前記露光対象部材の移動方向における前記アライメントマーク形成部と前記露光光の照射位置との間に配置され、前記露光対象部材の移動方向に交差する方向における前記アライメントマークの前記指標位置における位置を検出する第２検出部と、前記第２検出部が検出した前記指標位置における前記アライメントマークの位置に基づいて前記アライメントマークの蛇行量を演算する第２蛇行演算部と、この第２蛇行演算部が求めた前記アライメントマークの蛇行量を打ち消すように、前記アライメントマーク形成部を移動させる第２制御部と、を有することを特徴とする。
【００２０】
この露光装置は、例えば前記露光対象部材の移動方向における前記第２検出部の下流側に配置され、前記露光対象部材の移動方向に交差する方向における前記アライメントマークの前記指標位置における位置を検出する第３検出部と、前記第３検出部が検出した前記指標位置における前記アライメントマークの位置に基づいて前記アライメントマークの蛇行量を演算する第３蛇行演算部と、この第３蛇行演算部が求めた前記アライメントマークの蛇行量に応じて、前記露光対象部材の移動方向に垂直な方向の前記マスクの位置を調整する第３制御部と、を有する。
【００２１】
本発明に係る露光装置において、例えば、前記アライメントマークは、前記露光対象部材の移動方向に断続的に形成され、２列をなす帯状のマークであり、前記移動方向に交差する方向からみて、前記２列の各帯状マークの先端部及び後端部が相互に重なるように配置されており、前記指標は前記各マークの先端及び後端である。
【００２２】
又は、例えば前記アライメントマークは、前記露光対象部材の移動方向に対して同一方向に傾斜する帯状のマークが断続的に形成されたものであり、前記指標は前記各マークの先端及び後端である。
【００２３】
又は、例えば前記アライメントマークは、連続的に形成され、前記指標が前記アライメントマークに断続的に設けられていてもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る露光装置は、上記アライメントマーク形成部と、露光対象部材の移動方向における露光光の照射位置に対応するように配置され露光対象部材の移動方向に交差する方向におけるアライメントマークの指標位置における位置を検出する第１検出部と、を有し、第１蛇行演算部は、第１検出部が検出した指標位置におけるアライメントマークの位置に基づいてアライメントマークの蛇行量を演算し、第１制御部は、第１蛇行演算部が求めたアライメントマークの蛇行量に応じて、露光対象部材の移動方向に垂直な方向のマスクの位置を調整する。これにより、露光対象部材が連続的に供給されて移動方向に交差する方向に蛇行した場合においては、露光対象部材の蛇行に追従するようにアライメントマークも蛇行するが、この蛇行量によりマスクの位置を直接調整するので、マスク位置を精度よく調整することができ、露光対象部材を高精度で安定的に連続露光することができる。
【００２５】
本発明に係る他の露光装置は、露光対象部材の移動方向における露光光の照射位置よりも上流側にて露光対象部材に移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマークを形成するアライメントマーク形成部と、露光対象部材の移動方向に交差する方向におけるアライメントマークの指標位置における位置を検出する第２検出部と、を有し、第２蛇行演算部は、第２検出部が検出した指標位置における前記アライメントマークの位置に基づいて前記アライメントマークの蛇行量を演算し、第２制御部は、第２蛇行演算部が求めたアライメントマークの蛇行量を打ち消すように、アライメントマーク形成部を移動させる。これにより、露光対象部材が連続的に供給されて移動方向に交差する方向に蛇行した場合においても、露光対象部材に対するアライメントマークの相対的な形成位置は一定となる。よって、このアライメントマークを使用してマスク位置を精度よく調整することができ、露光対象部材を高精度で安定的に連続露光することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る露光装置において、アライメントマークによるマスク位置の補正を示す平面図である。
【図２】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の実施形態に係る露光装置において、アライメントマークの形成態様を一例として示す図である。
【図３】本発明の実施形態に係る露光装置において、アライメントマークの蛇行の検出方法を一例として示す図である。
【図４】マスクを一例として示す図である。
【図５】アライメントマーク形成部の位置及びマスク位置を制御する制御装置を一例として示す図である。
【図６】（ａ）乃至（ｃ）は、本発明の第２実施形態に係る露光装置において、アライメントマークの形成位置の補正を示す模式図、（ｄ）はレーザマーカの位置を補正しない場合におけるアライメントマークの形成を示す模式図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る露光装置において、アライメントマーク形成部、検出部及びマスクを示す平面図である。
【図８】本発明の第２実施形態に係る露光装置によるマスク位置の補正を示す図である。
【図９】従来のロールトゥロール方式によるフィルムの露光を一例として示す模式図である。
【図１０】従来のロールトゥロール方式のフィルム搬送装置において、フィルムの移動方向に垂直な方向のフィルムの蛇行を示す模式図である。
【図１１】配向分割方式の露光装置を一例として示す斜視図である。
【図１２】フィルムの移動方向に複数の光源を配置した構成の露光装置を一例として示す図である。
【図１３】（ａ）及び（ｂ）は、従来の露光装置によるフィルムの露光領域を一例として示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態について具体的に説明する。先ず、本発明の実施形態に係るフィルムの露光装置の構成について説明する。図１は本発明の第１実施形態に係る露光装置において、アライメントマークによるマスク位置の補正を示す平面図、図２（ａ）乃至図２（ｃ）は、本発明の実施形態に係る露光装置において、アライメントマークの形成態様を一例として示す図である。本実施形態に係る露光装置１は、図９乃至図１２に示す従来の露光装置と同様に、露光光を出射する露光光源１１と、マスク１２と、露光光源から出射した露光光をマスク１２を介してガラス基板又はフィルム等の露光対象部材２０に照射する光学系と、露光対象部材２０を搬送する搬送装置と、を有しており、例えばコリメータレンズ及び／又は反射鏡等の光学系により、露光光源から出射した露光光を、マスク１２を介して、表面に露光材料膜が形成されたガラス基板又はフィルム２の露光対象部材２０に照射し、マスクパターンに対応させて、例えば配向材料膜等の露光材料膜を光配向させて配向膜を形成する。なお、露光対象部材がガラス基板の場合には、搬送ステージ等の可動の搬送装置にガラス基板を載置して搬送することにより、露光光の照射位置において、ガラス基板表面の露光材料膜にマスクパターンを順次連続的に露光する。又は、露光対象部材がフィルム２の場合には、従来と同様に、ロールトゥロール方式により、供給側のローラ８０から供給したフィルム２を巻き取り側のローラ８１によりフィルム２の緊張状態を維持しながら巻き取る間に、フィルム表面の露光材料膜に露光光を照射して、露光材料膜を順次連続的に露光する。フィルム２用の搬送装置においては、例えば、上記２個のローラ８０，８１間にもフィルム２の搬送用の搬送ローラ９が１以上配置されており、各搬送ローラ９等は、例えばモータにより駆動されている。本実施形態においては、露光対象部材２０としてフィルム２を使用する場合について説明するが、露光対象部材２０がガラス基板の場合においても、搬送装置の構成以外については、本実施形態と同様である。
【００２８】
本実施形態においては、図９に示すような従来の露光装置１０と同様に、露光対象のフィルム２は、例えばロールトゥロール方式の供給側のロール８０から巻き解かれて露光装置１内に供給されるまでの間に、スリットコーター４に供給され、スリットコーター４にてフィルム基材２０の表面に所定の露光材料、例えば光配向性の材料が膜状に塗布されている。そして、塗布された露光材料は、乾燥装置５にて乾燥又は焼成され、フィルム基材２０の表面に所定の露光材料膜が形成されている。そして、露光装置１には、表面に露光材料膜が形成されたフィルム２が供給される。本実施形態においては、フィルム２の表面に形成された露光材料膜２１が配向材料膜である場合について説明する。
【００２９】
本実施形態の露光装置１には、図１に示すように、フィルム２の移動方向における露光光の照射位置（マスクパターンの形成位置）よりも上流側の固定された位置にアライメント用レーザマーカ１３（アライメントマーク形成部）が設けられており、アライメント用レーザマーカ１３から出射したレーザ光により、フィルム２上の露光パターン形成用領域外の領域、例えば液晶ディスプレイ等の表示装置に使用される際に、画像表示領域とならない領域にマスク位置調整用のアライメントマーク２ａを形成する。そして、マスク１２とフィルムの移動方向に並ぶように配置されたラインＣＣＤ１４により、フィルムの移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの位置を検出することにより、マスク１２の位置を調整する。画像表示領域とならない領域（アライメントマーク形成用の領域）としては、例えば図１３（ａ）に示すように、従来では例えばフィルム２の送給等に使用されているフィルム側部を挙げることができる。又は、図１３（ｂ）に示すように、１枚のフィルム２をその移動方向に垂直の幅方向に分割して複数枚の偏光フィルム等を製造する場合においては、例えば偏光フィルムとなる領域間の領域は使用されない領域であるから、この露光対象領域間の使用されない領域にアライメントマーク２ａを形成する。本実施形態においては、図１に示すように、フィルム２の側部にアライメントマーク２ａを形成する場合について説明する。
【００３０】
露光光源１１は、例えば紫外光を出射する光源であり、例えば水銀ランプ、キセノンランプ、エキシマランプ及び紫外ＬＥＤ等であって、連続光又はパルスレーザ光を出射する光源が使用される。本実施形態においては、露光光源から出射した露光光の光路上には、例えばコリメータレンズ及び／又は反射鏡等の光学系が配置されており、例えばフィルム２上の露光材料膜上のパターン形成用領域に形成された配向材料膜（露光材料膜２１）に所定の光量で露光光が照射されるように構成されている。露光光源は、例えば図示しない制御装置により、露光光の出射方向を調整することができ、これにより、フィルム２に対する露光光の入射角を調整可能に構成されている。本実施形態の露光装置１は、１の露光領域に対して夫々２つの露光光源が向かい合わせに、フィルム２の移動方向に並ぶように配置されている。これにより、各露光光源から出射した夫々プレチルト角が異なる２つの露光光をマスク１２を介して配向材料膜（露光材料膜２１）に照射し、配向材料膜をその移動方向に垂直の幅方向に分割して露光し、フィルム基材上に、配向方向が隣接する分割領域で互いに異なる配向膜を形成する。このような露光装置の方式は、配向分割方式と称されている。これにより、例えば１絵素となる領域がその幅方向に２分割された配向膜を使用し、配向膜間に液晶を挟持した表示装置に電圧を印加すれば、電圧印加時の液晶分子の向きは、配向膜の配向方向に応じて１絵素内で２方向となり、液晶ディスプレイ等の視野角を広くできる。また、幅方向に隣接する画素となる領域ごとに配向方向が異なる配向膜が形成されたフィルムは、例えば３Ｄ（Ｔｈｒｅｅ  Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌ）ディスプレイ等の偏光フィルムとして使用することができる。なお、露光光源は、１カ所の露光領域について２個に限らず、３個以上設けてもよく、互いに異なる方向からの露光光により、例えば配向膜材料を３方向以上に配向させてもよい。また、例えば、１カ所の露光領域について、露光光源を１個設け、露光光源から出射された露光光を偏光板等により２以上に分割し、分割した露光光を互いに異なる方向から照射するように構成してもよい。例えば、偏光板により、露光光をＰ偏光の直線偏光の露光光とＳ偏光の直線偏光の露光光とに分割して、夫々異なる方向から照射することができる。
【００３１】
マスク１２は、図４に示すように、例えば枠体１２０とその中央のパターン形成部１２５により構成されており、パターン形成部１２５には、所定の光透過領域のパターン１２５ａが形成されている。即ち、パターン形成部１２５には、フィルム２に形成するパターン形状に対応して、露光光を透過する開口が形成されているか、又は光透過性の部材が設置されている。そして、例えば配向分割方式の露光装置においては、パターン形成部１２５の透過光によりフィルム２の表面の配向材料膜にマスクパターンを露光する。本実施形態においては、マスク１２ごとに１対の露光光源を配置し、夫々入射角の異なる露光光を出射する。従って、本実施形態においては、パターン１２５ａは、入射角度が異なる２つの露光光に対応して、フィルムの移動方向の上流側及び下流側に矩形の開口パターンが夫々複数本設けられている。そして、これらの上流側及び下流側の光透過領域群は、露光光の照射領域同士が互いに重ならないように、互いに離隔して形成されている。また、例えば上流側のパターンと下流側のパターンとによる露光領域が互いに隣接するように、上流側パターンと下流側パターンとは、その幅方向に沿って千鳥状に形成されている。
【００３２】
本実施形態においては、マスク１２には、パターン１２５ａよりも上流（図４における上）側に、フィルム２の移動方向に対して垂直の幅方向に延びるように、幅が３００μｍ程度、長さが２５０ｍｍ程度のラインＣＣＤ用の覗き窓１２ａが設けられており、この覗き窓１２ａの長手方向の中間に露光光を遮光する例えば幅が１５μｍ程度のライン状の遮光パターン１２ｂが設けられている。そして、マスク１２の下方には、例えばマスク位置検出用のラインＣＣＤ１５が設けられており、ラインＣＣＤ１５により遮光パターン１２ｂの位置を検出し、マスク１２の位置調整に使用する。なお、本実施形態における覗き窓１２ａ及び遮光パターン１２ｂの位置及び形状は、一例であり、マスク１２の位置決めを精度よく行うことができる限り、本発明はこれらの位置及び形状により限定されるものではない。例えば覗き窓１２ａ及び遮光パターン１２ｂの位置は、２列に並ぶように形成されたパターン１２５ａ間の領域等に設けられていてもよく、例えば遮光パターン１２ｂの代わりに、互いに（例えばＮ型に）交差する複数本のスリットが設けられていてもよい。
【００３３】
マスク１２は、例えば枠体１２０の部分が図１１に示すようなマスクステージ１７により支持されており、マスクステージ１７の移動によりマスク１２の全体が移動可能に構成されている。マスクステージ１７は、例えば図５に示すような制御装置３０に接続されており、制御装置３０による制御により、その位置を、例えば水平方向（フィルムの幅方向、又はフィルムの幅方向及びフィルムの長手方向）に移動可能に構成されている。これにより、マスク１２によるフィルム２の露光位置を水平方向に調整することができる。マスクステージ１７は、例えば鉛直方向にも移動可能であり、これにより、フィルム２上の例えば配向膜材料が所定の大きさで露光されるように調整可能に構成されている。
【００３４】
本実施形態においては、アライメント用レーザマーカ１３は、例えばＮｄ：ＹＡＧレーザ又は紫外光等を照射するレーザ光源を備えており、例えばキセノンフラッシュランプ等のパルス光源によりパルスレーザ光を出射する。本実施形態においては、アライメント用レーザマーカ１３は、光源から出射したレーザ光を例えば半透過ミラー又はレーザビームスプリッタ等の光学系により分割し、フィルム２の側部の２箇所に、分割したレーザ光を相互にフィルムの幅方向に並ぶように照射可能に構成されている。そして、各レーザ光により、フィルム２の縁部から例えば２５ｍｍ以内の側部に、例えば幅が２０μｍ、長さが１５ｍｍのアライメントマーク２ａを一定間隔で２列形成する。本実施形態においては、アライメント用レーザマーカ１３は、図２（ａ）に示すように、２列のアライメントマーク２ａが相互に千鳥状に配置されるように形成する。そして、２列の各帯状のアライメントマーク２ａの先端部及び後端部は、フィルム２の移動方向に交差する方向からみて、相互に重なるように形成される。本実施形態においては、このアライメントマーク２ａの先端及び後端をアライメントマーク２ａの蛇行検出用の指標として使用する。なお、アライメントマーク２ａの先端部及び後端部をフィルム２の移動方向に交差する方向からみて、相互に重なるように形成する場合においては、例えば図２（ｂ）に示すように、各アライメントマーク２ａをフィルムの移動方向に対して同一方向に傾斜するように１列形成し、各マークの先端及び後端をアライメントマーク２ａの蛇行検出用の指標として使用してもよい。又は、図２（ｃ）に示すように、アライメントマーク２ａは、フィルムの移動方向に延びるように連続的に１本形成してもよく、例えばフィルムの移動方向に交差する方向に断続的な指標を設けてもよい。
【００３５】
本実施形態においては、アライメントマーク検出用のラインＣＣＤ１４は、フィルム２の移動方向におけるマスク１２の位置に対応する位置において、マスク１２とフィルムの幅方向に並ぶように設けられている。このラインＣＣＤ１４は、フィルム２の上方又は下方に配置されており、マスク１２に対応する位置でアライメントマーク２ａの位置を検出するように構成されている。即ち、フィルム２は、例えば搬送装置のローラ８０，８１とフィルムのロールとの間の隙間又はロールへのフィルムの巻き取り誤差等により、フィルム２がその移動方向に垂直な方向に蛇行する場合がある。この場合に、フィルム２は、もっぱら巻き取り側のロール８１寄りの下流側の蛇行に起因して、その移動方向に垂直な方向の蛇行が次第に上流側へと伝達していく。これにより、フィルム２は、アライメントマーク形成部１３からラインＣＣＤ１４まで搬送されてくる間に、その移動方向に垂直な方向の蛇行が生じる。本実施形態においては、図１に示すように、アライメントマーク検出用のラインＣＣＤ１４は、例えばマスク１２の覗き窓１２ａに対応する位置にて、フィルム２の移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの位置を検出する。例えば、フィルム２が移動する間にその幅方向に蛇行した場合、それに伴って、アライメントマーク２ａも同一の蛇行量だけフィルム２の幅方向にずれるが、アライメントマーク検出用のラインＣＣＤ１４は、蛇行により幅方向にずれたアライメントマーク２ａの位置を検出する。
【００３６】
図３は、本実施形態の露光装置において、アライメントマーク２ａの蛇行量の検出方法を一例として示す図である。なお、図３には、フィルム２がその移動方向に垂直な方向に蛇行した場合において、１個のアライメントマーク２ａについて、その移動軌跡を示している。本実施形態においては、ラインＣＣＤ１４は、図３に示すように、各アライメントマーク２ａについて、その先端及び後端を指標とし、フィルム移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの先端及び後端の位置を検出する。
【００３７】
本実施形態においては、アライメントマーク２ａの相互間には、一定の間隔が形成されており、アライメントマーク２ａをフィルム２の移動方向に断続的に１列形成した場合においては、ラインＣＣＤ１４により計測できない区間が存在する。よって、このアライメントマーク２ａが形成されていない区間がラインＣＣＤ１４を通過している間にフィルム２が蛇行した場合においては、この蛇行量を検出することができず、検出誤差が次第に蓄積されていくことになる。しかし、本実施形態においては、２列のアライメントマーク２ａを相互に千鳥状に配置して、２列の各帯状のアライメントマーク２ａの先端部及び後端部をフィルム２の移動方向に交差する方向からみて、相互に重なるように形成している。即ち、本実施形態においては、ラインＣＣＤ１４によりアライメントマーク２ａを計測できない区間はなく、アライメントマーク２ａの蛇行量の検出精度が高い。
【００３８】
ラインＣＣＤ１４は、例えば図５に示すような制御装置３０に接続されている。そして、検出したアライメントマーク２ａのフィルム幅方向における位置を制御装置３０に送信する。制御装置３０は、ラインＣＣＤ１４から送信されたアライメントマーク２ａの位置に基づいて、各マスク１２の位置を調整するように構成されている。これにより、本実施形態に係る露光装置１は、アライメントマーク２ａを形成し、その蛇行量によりマスク１２の位置を調整することができる。
【００３９】
図５はマスク位置を制御する制御装置３０の構成を一例として示す図である。図５に示すように、制御装置３０は、例えばマスクステージ駆動部及びフィルムの巻き取り側のロール８１（図９参照）に設けられたモータの制御部に接続されている。図５に示すように、制御装置３０は、アライメントマーク２ａの蛇行量検出用のラインＣＣＤ１４に接続された第１画像処理部３１と、マスク１２の下方に設けられたマスク位置検出用ラインＣＣＤ１５に接続された第２画像処理部３２と、演算部３４と、メモリ３５と、モータ駆動制御部３６と、レーザマーカ駆動制御部３７と、マスクステージ駆動制御部３８と、制御部３９とを備えている。また、後述する第２実施形態のように、アライメントマーク２ａの蛇行検出用のラインＣＣＤ１４がアライメント用レーザマーカ１３と露光光の照射領域との間に設けられ、ラインＣＣＤ１４による検出結果によりアライメントマーク２ａの蛇行を打ち消すようにアライメント用レーザマーカ１３の位置を調整し、マスク１２に対応する位置に設けられた他のラインＣＣＤ１６によりアライメントマーク２ａを検出してマスク位置を補正する場合においては、制御装置３０には、ラインＣＣＤ１６に接続された第３画像処理部３３も設けられている。
【００４０】
第１画像処理部３１は、アライメントマーク２ａの蛇行量検出用のラインＣＣＤ１４により撮像されたアライメントマーク２ａの画像処理を行い、各アライメントマーク２ａの先端部及び終端部のフィルムの移動方向に交差する方向の位置を検出する。第２画像処理部３２は、マスク位置検出用のラインＣＣＤ１５により撮像されたマスク１２の遮光パターン１２ｂの画像処理を行い、遮光パターン１２ｂのフィルムの移動方向に交差する方向の位置を検出する。演算部３４は、これらの検出結果に基づき、各検出対象のフィルムの移動方向に交差する方向の変位又は蛇行量を演算する。即ち、本実施形態においては、演算部３４は、第１画像処理部３１の検出結果により、アライメントマーク２ａがラインＣＣＤ１４の位置でフィルムの移動方向に交差する方向に蛇行した量を演算し、第１画像処理部３１及び第２画像処理部３２の検出結果により、アライメントマーク２ａの位置及びマスク１２の位置から両者間の距離を演算し、例えばフィルムの幅方向において、設定すべき両者間の相対的位置関係と実際の両者間の相対的位置関係とにより、設定すべき両者間の距離からのずれを演算する。メモリ３５は、例えば第１画像処理部３１、第２画像処理部３２及び第３画像処理部３３の検出結果及び演算部３４の演算結果を記憶する。モータ駆動制御部３６は、例えばフィルムの巻き取り側のロール８１のモータの駆動若しくは停止、又は駆動されている際の回転速度を制御する。なお、第３画像処理部３３が設けられている場合においては、第３画像処理部３３は、マスク１２の位置に対応する位置に設けられたラインＣＣＤ１６により撮像されたアライメントマーク２ａの画像処理を行い、各アライメントマーク２ａの先端及び終端のフィルムの移動方向に交差する方向の位置を検出する。
【００４１】
レーザマーカ駆動制御部３７は、アライメント用レーザマーカ１３の駆動を制御するものであり、例えば後述する第２実施形態のようにアライメント用レーザマーカ１３が移動可能に構成されている場合において、ガイド部材１３ａに沿ったアライメント用レーザマーカ１３の移動方向及び移動量を制御する。マスクステージ駆動制御部３８は、マスクステージ１７の駆動を制御するものであり、例えばマスクステージ１７の移動方向及び移動量を制御することにより、マスク位置を調整できる。制御部３９は、これらの第１乃至第３画像処理部３１，３２，３３、演算部３４、メモリ３５、モータ駆動制御部３６、レーザマーカ駆動制御部３７及びマスクステージ駆動制御部３８を制御する。これにより、露光装置１は、例えばマスク１２の位置を（第２実施形態においては、アライメント用レーザマーカ１３の位置も）、例えばフィルムの移動方向に交差する方向に調整したり、巻き取り側のロール８１に設けられたモータの回転速度等を制御できるように構成されている。
【００４２】
これにより、本実施形態においては、例えば、図１に示すように、フィルム２がその移動方向に交差する方向に蛇行した場合において、ラインＣＣＤ１４は、各アライメントマーク２ａについて、その先端部及び終端部のフィルム移動方向に交差する方向の位置を検出する。そして、制御装置３０は、この検出結果に基づき、フィルムの移動方向に交差する方向のアライメントマーク２ａの蛇行量を演算し、この演算結果に基づいて、蛇行を打ち消すようにマスク１２の位置を補正する。よって、本実施形態においては、フィルムが蛇行した場合においても、アライメントマーク２ａの位置を基準として、マスク１２の相対的位置を精度よく決めることができ、露光対象部材を高精度で安定的に連続露光することができる。また、アライメントマーク２ａは、フィルムの移動方向に途切れることなく形成されており、ラインＣＣＤ１４により計測できない区間はないため、アライメントマーク２ａの蛇行量の検出精度も高い。
【００４３】
本実施形態においては、フィルム側部の例えばフィルム送給等に使用されている領域に、例えば焼成材料、光硬化性材料又はインク等を液状又はペースト状の状態で塗布して側部塗布膜２２を形成してもよい。この側部塗布膜２２となる焼成材料としては、焼成（ベーク）することによりフィルム基材２０上に焼成膜を形成できる材料、例えば一般的に使用されている光学カラーフィルタ用の赤、緑、青及び／又は黒のレジスト材料を好適に使用することができる。但し、本発明における側部塗布膜は、フィルム蛇行の検出用のアライメントマークの形成のみに使用されるものであるため、レジスト材料により側部塗布膜を形成する場合においては、現像等の工程は特に必要としない。また、光硬化性材料としては、例えば光硬化性樹脂を使用することができる。又は、側部塗布膜２２の材料にインクを塗布する場合には、顔料及び／又は染料等を含有する液状又はペースト状のインク全般を使用することができ、乾燥装置５で溶媒成分を揮発させて膜を形成できるインク、例えば、油性インクを好適に使用することができる。側部塗布膜２２を焼成材料又は光硬化性材料により形成する場合においては、焼成材料又は光硬化性材料は、露光材料塗布用のスリットコーター４により露光材料と同時に塗布されてもよく、他のスリットコーターにより塗布されてもよい。側部塗布膜２２をインクにより形成する場合においては、フィルム２の移動方向におけるスリットコーター４の上流側又は下流側、即ち、乾燥装置５よりも上流側に設けられた塗布装置により、フィルム基材２０の側部にインクを塗布する。塗布装置としては、例えば適度な柔軟性を有する素材、例えばフェルト質の繊維等により形成された塗布部にインクを浸透させ、この塗布部を送給されてくるフィルム基材２０の側部の露光材料を塗布しない領域に接触させることにより、インクを膜状に塗布する構成のものを使用すればよい。
【００４４】
なお、これらの焼成材料、光硬化性材料又はインクは、有色の材料であることが好ましい。即ち、有色のインク、有色の光硬化性材料又はカラーフィルタ用のレジスト材料等により形成された側部塗布膜２２は、例えば波長が５３２ｎｍのレーザ光を照射した場合に、レーザ光の吸収率が９０乃至９８％であり、フィルム基材及び配向膜材料（フィルム基材及び配向膜材料共にレーザ光の吸収率はほぼ０％）に比して極めて高く、また、アライメント用レーザマーカ１３からのレーザ光の照射により、容易に露光又はレーザ加工によりマーキングされる。よって、無色透明のフィルム基材にレーザ光を照射してマーキングする場合に比して、レーザ光によるマーキングが容易であり、アライメントマーク２ａの形成が容易である。例えば、フィルム基材にマーキングを行う場合においては、例えば使用するレーザ光を波長が２６６ｎｍの紫外光とした場合に、レーザ光の照射エネルギーを例えば８Ｊ／ｃｍ２と極めて大きくしないとアライメントマーク２ａの形成が難しい。また、配向材料膜にレーザマーキングを行う場合においては、フィルム基材のみの場合に比してレーザ光の照射エネルギーを小さくできるものの、アライメントマーク２ａの周囲の配向材料膜も無色透明であることから、例えばＳＥＭ等の検出装置を使用する必要があり、露光装置のコストが若干高く、装置の大きさも若干大きくなる。しかし、側部塗布膜２２を例えば有色のインクにより形成した場合、例えば使用するレーザ光を波長が５３２ｎｍの紫外光とした場合に、レーザ光の照射エネルギーを０．６Ｊ／ｃｍ２程度まで小さくすることができる。また、例えば側部塗布膜２２をカラーフィルタ用のレジスト材料で形成した場合においては、レーザ光の照射エネルギーは１．０Ｊ／ｃｍ２程度まで小さくできる。よって、側部塗布膜２２を上記のような有色材料で形成することにより、レーザ光によるマーキングが容易であると共に、形成したアライメントマーク２ａの周囲には、有色の塗布膜が残っているため、ＣＣＤカメラ等の安価で小型の検出装置を使用した場合においても、形成したアライメントマーク２ａを容易に且つ精度よく検出することができる。従って、精度よく形成されたアライメントマーク２ａにより、フィルム２の蛇行を検出してマスク１２の位置を精度良く調整できるため、安定的にフィルムを露光することができる。
【００４５】
次に、本実施形態の露光装置の動作について説明する。先ず、フィルム２は、露光装置１に供給される前に、図９に示すスリットコーター４により、フィルム基材２０の中央には、配向膜（露光材料膜２１）となる露光材料が塗布される。フィルム２の側部に側部塗布膜２２を形成する場合においては、その材料として焼成材料又は光硬化性材料も塗布される。又は、側部塗布膜２２の材料としてインクを塗布する場合においては、フィルムの移動方向におけるスリットコーター４の上流側又は下流側（乾燥装置５の上流側）に設けられた塗布装置により、フィルム基材の両側縁部（縁部から２５ｍｍまでの領域）の少なくとも一方には、インクが塗布される。インクの塗布の際には、例えばフェルト質の繊維等により形成された塗布部にインクが浸透されたものを、フィルム基材２０の表面に接触させることにより、フィルム基材２０の表面にインクを膜状に塗布する。これにより、フィルム基材２０の表面には、液状又はペースト状の露光材料、並びに側部塗布膜２２となるレジスト材料、光硬化性材料又はインクが膜状に塗布される。側部塗布膜２２となるこれらの材料は、例えば有色の材料である。
【００４６】
次に、フィルム２は、乾燥装置５に搬送され、表面の液状又はペースト状の露光材料が乾燥される。フィルム２の側部に塗布膜となる材料が塗布される場合においては、乾燥装置５にて、各材料も、その特性に応じて乾燥（溶媒成分の揮発）、光硬化、及び／又は焼成（ベーク）される。これにより、フィルム基材の表面には、露光材料膜２１（配向材料膜）及び側部塗布膜２２が形成される。即ち、フィルム基材の幅方向の中央には、所定の配向材料膜が形成され、フィルム基材の縁部から２５ｍｍまでの側部に側部塗布膜２２を形成する場合においては、フィルム２の側部には、アライメントマーク及び蛇行検出用マーク形成用のレジスト、光硬化性材料又はインクによる材料膜が形成される。そして、この１種類又は２種類の材料膜が形成されたフィルム２が、例えば搬送ローラ９により、その先端部から露光装置１内に供給されていく。
【００４７】
露光装置１内に供給されたフィルム２は、搬送ローラ等による搬送により、その側部がアライメント用レーザマーカ１３の下方に到達する。フィルム２の側部がアライメント用レーザマーカ１３の下方に到達したら、アライメント用レーザマーカ１３からレーザ光を照射することにより、アライメントマーク２ａの形成を開始する。この際、フィルム２の側部にレジスト膜等の側部塗布膜２２を形成している場合には、レーザ光の照射によるマーキングは容易に進行し、アライメントマーク２ａも明瞭且つ精度よく形成されるため、後の工程における検出も容易となるので好ましい。レーザ光の照射により、フィルム基材にはアライメントマーク２ａが形成されるが、このフィルム２の側部は、従来ではフィルム２の送給に使用していた領域であり、表示装置の画像表示領域には使用されない領域であるから、問題はない。
【００４８】
アライメントマーク２ａが形成されたフィルム２は、搬送によりアライメントマークの蛇行検出用のラインＣＣＤ１４の下方に到達するが、搬送されてくる間に、図１に示すように、フィルム２は、例えば搬送装置のローラ８０，８１とフィルムのロールとの間の隙間又はロールへのフィルムの巻き取り誤差等により、もっぱら移動方向の下流側において、その移動方向に垂直な方向に蛇行する場合がある。そして、このフィルム２の移動方向下流側の蛇行が次第に上流側へと伝達していく。しかし、本実施形態においては、フィルム２の移動方向に垂直な方向に延びるように配置されたラインＣＣＤ１４によりフィルム２の移動方向に交差する方向のアライメントマーク２ａの位置を指標位置にて検出し、検出信号により、制御装置３０は、マスク１２の位置を補正する。即ち、アライメントマーク２ａの蛇行検出用のラインＣＣＤ１４及びマスク位置検出用のラインＣＣＤ１５により検出された夫々アライメントマーク位置，マスク位置の信号は、制御装置３０に送信され、各画像処理部（第１画像処理部３１，第２画像処理部３２）、演算部３４及び制御部３９等による処理を受けた後、マスクステージ駆動制御部３８による制御により、マスクステージ１７が駆動されることにより、アライメントマーク２ａの位置を基準としてマスク位置が調整される。このように、本実施形態においては、フィルム２が連続的に供給されて移動方向に垂直な方向に蛇行した場合においては、フィルム２の蛇行に追従するようにアライメントマーク２ａも蛇行するが、この蛇行量によりマスク１２の位置を直接調整する。例えば、図１に示すように、アライメントマーク２ａが図１における左方に蛇行した場合、制御装置３０は、この蛇行量を打ち消すように、マスク１２の位置を図１における左方に補正する。
【００４９】
このラインＣＣＤ１４によるアライメントマーク２ａの検出の際には、例えばラインＣＣＤ１４は、図３に示すように、各アライメントマーク２ａについて、その指標となる先端及び後端のフィルム移動方向に交差する方向の位置を検出する。このとき、アライメントマーク２ａの配置によっては、ラインＣＣＤ１４により計測できない区間が存在する場合がある。しかしながら、例えば図２に示すように、２列のアライメントマーク２ａを相互に千鳥状に配置して、２列の各帯状のアライメントマーク２ａの先端部及び後端部をフィルム２の移動方向に交差する方向からみて、相互に重なるように形成すれば、ラインＣＣＤ１４によりアライメントマーク２ａを計測できない区間はなく、アライメントマーク２ａの蛇行量の検出精度が高くなるので好ましい。
【００５０】
その後、フィルム２は、マスク１２のパターン１２５ａの下方に到達する。このとき、露光光源から出射され、マスク１２のパターン１２５ａを透過した露光光の照射により、フィルム２の表面の配向膜材料（露光材料膜２１）は、所定の方向に配向する。これにより、フィルム２には、露光パターンが形成される。そして、露光光源から連続光を出射しながら、フィルム２を連続的に搬送することにより、フィルム２には、フィルムの移動方向に沿って帯状に延びるように露光パターンが形成されていく。本実施形態においては、フィルム２を連続露光する場合においても、フィルム２が蛇行しても、その蛇行に追従して蛇行するアライメントマーク２ａを使用してマスク１２の位置を補正するため、フィルム２が連続的に供給される場合においても、配向膜材料（露光材料膜２１）を高精度で安定的に連続露光することができる。
【００５１】
なお、本実施形態においては、１個のマスク１２を使用した露光について説明したが、図１１及び図１２に示す従来の露光装置１０と同様に、露光装置１には、マスク１２は複数個設けてもよい。即ち、各マスク１２に対応する位置に例えばラインＣＣＤ等のアライメントマーク２ａの位置を検出する構成を設け、この検出結果により、各マスク１２の位置を調整するように構成すれば、本実施形態と同様に高精度で安定的な連続露光を行うことができる。例えば、図１２に示すように、フィルム２の移動方向に並ぶように複数個のマスク１２を配置した場合においては、例えば上流側マスクによる露光領域と下流側マスクによる露光領域とを隣接するように且つ両者間が重ならないように露光パターンを形成することができる。
【００５２】
次に、本発明の第２実施形態に係る露光装置について説明する。図６（ａ）乃至図６（ｃ）は本発明の第２実施形態に係る露光装置において、アライメントマークの形成位置の補正を示す模式図、図６（ｄ）はレーザマーカの位置を補正しない場合におけるアライメントマークの形成を示す模式図である。図７は、本発明の第２実施形態に係る露光装置において、アライメントマーク形成部、検出部及びマスクを示す平面図である。
【００５３】
第１実施形態においては、アライメント用レーザマーカ１３は、固定された位置に設けられていたが、本実施形態においては、図６に示すように、アライメント用レーザマーカ１３は、フィルム２の移動方向に垂直な方向に延びるガイド部材１３ａにより、フィルム２の移動方向に垂直な方向に移動可能に支持されている。そして、アライメント用レーザマーカ１３は、ガイド部材１３ａに沿って移動されることにより、フィルム２へのアライメントマーク２ａの形成位置を適宜調整可能に構成されている。
【００５４】
また、本実施形態においては、ラインＣＣＤ１４は、アライメント用レーザマーカ１３と露光光の照射領域との間に配置されている。そして、ラインＣＣＤ１４により、アライメント用レーザマーカ１３により形成されたアライメントマーク２ａのフィルム移動方向に交差する方向の蛇行量を検出する。即ち、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、フィルム２の移動方向に垂直な方向に延びるように配置されたラインＣＣＤ１４は、アライメントマーク２ａの先端部及び後端部を指標位置として、この指標位置におけるアライメントマーク２ａの位置を検出する。そして、ラインＣＣＤ１４は後述する制御装置３０に接続されており、制御装置３０内にて、ラインＣＣＤ１４が検出したアライメントマーク２ａの位置に基づいてアライメントマーク２ａの蛇行量を演算する。本実施形態が第１実施形態と異なる点は、制御装置３０がアライメントマーク２ａの蛇行を打ち消すように、アライメント用レーザマーカ１３の位置を調整することにある。これにより、本実施形態においては、図６（ｂ）に示すように、フィルム２の蛇行に伴ってアライメントマーク２ａが蛇行した場合には、その蛇行量を打ち消すようにアライメント用レーザマーカ１３の位置を補正するため、図６（ｃ）に示すように、フィルム２に対するアライメントマーク２ａの相対的形成位置を固定することができる。
【００５５】
即ち、第１実施形態のように、レーザマーカの位置を補正する構成を有しない露光装置においては、フィルムが蛇行した場合に、図６（ｄ）に示すように、アライメントマーク２ａは、フィルムに対して相対的に蛇行するように形成される。これに対して、本実施形態においては、フィルムが蛇行した場合においても、フィルム２に対してアライメントマーク２ａは相対的に直線状に形成されるため、このアライメントマーク２ａを基準にしてマスク１２の位置を調整することにより、フィルム２に対する露光領域の蛇行も防止することができ、第１実施形態に比して、露光精度が更に向上する。但し、各マスクに対応させて、アライメントマーク検出用のラインＣＣＤ１６等の構成を設ける必要がある。
【００５６】
次に、本実施形態の露光装置の動作について説明する。但し、アライメントマーク２ａの形成までについては、第１実施形態と同様のため、省略する。本実施形態においては、アライメントマーク２ａが形成されたフィルム２は、搬送により、蛇行検出用のラインＣＣＤ１４の下方に到達するが、搬送されてくる間に、図６（ｂ）に示すように、フィルム２は、例えば搬送装置のローラ８０，８１とフィルムのロールとの間の隙間又はロールへのフィルムの巻き取り誤差等により、もっぱら移動方向の下流側において、その移動方向に垂直な方向に蛇行する場合がある。そして、このフィルム２の移動方向下流側の蛇行が次第に上流側へと伝達していく。しかし、本実施形態においては、フィルム２の移動方向に垂直な方向に延びるように配置されたラインＣＣＤ１４によりフィルム２の移動方向に交差する方向のアライメントマーク２ａの位置を指標位置にて検出し、検出信号により、制御装置３０は、アライメント用レーザマーカ１３の位置を補正する。即ち、アライメントマーク２ａが図６（ｂ）における上方に蛇行した場合、制御装置３０は、この蛇行量を打ち消すように、アライメント用レーザマーカ１３の位置を図６（ｂ）における上方に補正する。これにより、図６（ｃ）に示すように、アライメントマーク２ａは、フィルム２に対して相対的に移動しないように形成される。
【００５７】
このラインＣＣＤ１４によるアライメントマーク２ａの検出の際には、第１実施形態と同様に、例えばラインＣＣＤ１４は、図３に示すように、各アライメントマーク２ａについて、その指標となる先端及び後端のフィルム移動方向に交差する方向の位置を検出する。このとき、アライメントマーク２ａの配置によっては、ラインＣＣＤ１４により計測できない区間が存在する場合がある。しかしながら、例えば図２に示すように、２列のアライメントマーク２ａを相互に千鳥状に配置して、２列の各帯状のアライメントマーク２ａの先端部及び後端部をフィルム２の移動方向に交差する方向からみて、相互に重なるように形成すれば、ラインＣＣＤ１４によりアライメントマーク２ａを計測できない区間はなく、アライメントマーク２ａの蛇行量の検出精度が高くなるので好ましい。
【００５８】
フィルム２に対してフィルム２の幅方向の相対的位置が一定となるようにアライメントマーク２ａが形成されたフィルム２は、搬送により、やがて、マスク１２の下方に到達する。図８に示すように、フィルム２は、マスクの下方に搬送されてくるまでの間に、フィルム２の移動方向に垂直な方向に蛇行する場合があるが、本実施形態においては、この蛇行を補正する構成を備えている。即ち、マスクの覗き窓１２ａ及び遮光パターン１２ｂに対応する位置には、フィルム２の幅方向に延びるようにラインＣＣＤ１５が配置されており、ラインＣＣＤ１５は、マスク１２の覗き窓１２ａの中間に設けられた遮光パターン１２ｂの位置をマスク１２の位置として検出する。また、フィルム２の移動方向におけるマスク１２覗き窓１２ａ（及び遮光パターン１２ｂ）に対応する位置には、アライメントマーク検出用のラインＣＣＤ１６が設けられており、フィルム２の側部に直線状に形成されたアライメントマーク２ａのフィルムの移動方向に交差する方向における位置を検出する。これらのラインＣＣＤ１５，１６により検出された夫々マスク位置，アライメントマーク位置の信号は、制御装置３０に送信され、各画像処理部（第２画像処理部３２，第３画像処理部３３）、演算部３４及び制御部３９等による処理を受けた後、マスクステージ駆動制御部３８による制御により、マスクステージ１７が駆動されることにより、アライメントマーク２ａの位置を基準としてマスク位置を調整することができる。即ち、本実施形態においては、アライメントマーク２ａは、フィルム２に対して相対的に直線状に形成されているが、このアライメントマーク２ａの位置を基準としてマスク位置を補正することにより、マスク１２の位置もフィルム２に対して相対的に移動しないように調整することができる。
【００５９】
その後、フィルム２は、マスク１２のパターン１２５ａの下方に到達する。このとき、露光光源から出射され、マスク１２のパターン１２５ａを透過した露光光の照射により、フィルム２の表面の配向膜材料（露光材料膜２１）は、所定の方向に配向する。これにより、フィルム２には、露光パターンが形成される。そして、露光光源から連続光を出射しながら、フィルム２を連続的に搬送することにより、フィルム２には、フィルムの移動方向に沿って帯状に延びるように露光パターンが形成されていく。本実施形態においては、フィルム２を連続露光する場合に、フィルム２の蛇行を連続的に補正して、アライメントマーク２ａをフィルム２に対して相対的に直線状に形成することができ、また、このアライメントマーク２ａを使用してマスク１２の位置を精度よく調整することができるため、フィルム２が連続的に供給される場合においても、配向膜材料（露光材料膜２１）を高精度で安定的に連続露光することができ、露光領域が蛇行することもない。
【符号の説明】
【００６０】
１，１０：露光装置、１２：マスク、１２ａ：覗き窓、１２ｂ：遮光パターン、１２０：枠体、１２１：（第１の）マスク、１２２：（第２の）マスク、１２３：（第３の）マスク、１２４：（第４の）マスク、１２５：パターン形成部、１２５ａ：（マスク）パターン、１３：アライメント用レーザマーカ、１４：（アライメントマークの蛇行量検出用）ラインＣＣＤ、１５：（マスク位置検出用）ラインＣＣＤ、１６：（アライメントマーク検出用）ラインＣＣＤ、２：フィルム、２ａ：アライメントマーク、２ｂ：パターン、２０：露光対象部材、２１：露光材料膜、２２：側部塗布膜、３０：制御装置、３１：第１画像処理部、３２：第２画像処理部、３３：第３画像処理部、３４：演算部、３５：メモリ、３６：モータ駆動制御部、３７：レーザマーカ駆動制御部、３８：マスクステージ駆動制御部、３９：制御部、１００：画像表示領域に対応する領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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