(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光入射面と光出射面のうち少なくとも一方の面にマイクロレンズアレイが形成されている焦点板において、前記マイクロレンズアレイは、所定平面からの高さが互いに異なるマイクロレンズを含み、前記所定平面からの高さが互いに等しいマイクロレンズについて、頂点間隔の最小値の小さい順に、それぞれマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２・・・とし、前記マイクロレンズＣＳｉ（ｉ＝１、２・・・）の頂点間隔の最小値をＬｉ、前記所定平面からの高さをＨｉ、前記マイクロレンズアレイの頂点と底部との高低差の最大値をＨとするとき、
Ｌi+1＞１．７×Ｌi
０．０５＜（｜Ｈi+1−Ｈi｜／Ｈ）＜０．３０
なる条件を満足することを特徴とする焦点板。
【請求項２】
前記マイクロレンズの頂点は六方格子状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の焦点板。
【請求項３】
前記マイクロレンズは、複数枚のフォトマスクを用いて連続的に多段露光して形成されたものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の焦点板。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項の焦点板を有することを特徴とするファインダー系。
【請求項５】
請求項４のファインダー系を有することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一眼レフカメラ等の撮像装置のファインダー系に使用される、撮影レンズで結像される像が形成される焦点板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、一眼レフカメラ等の撮像装置には、撮像面と光学的に等価な位置に焦点板が配置されている。撮影者は、撮影レンズによって焦点板上に形成される像をファインダー系を介して観察し、撮影される像の構図やボケ具合（ピント状態）等を確認する。この焦点板として、可視光を拡散するための球面状のマイクロレンズを所定ピッチで又はランダムに多数配列したマイクロレンズアレイを用いた焦点板が知られている（特許文献１）。
【０００３】
特許文献１では、複数のマイクロレンズを相互に隣接するマイクロレンズの頂点間隔を全て等間隔Ｌとした基本パターンとは異なるように不規則に又は確率分布的な規則性をもって形成した焦点板を開示している。またマイクロレンズアレイの製作方法としてメッキ技術を用いた微細加工技術が知られている（特許文献２）。
【０００４】
特許文献２のマイクロレンズアレイの製作方法では、導電性または電極層を有する基盤に絶縁性のマスク層を形成する。さらに、このマスク層に開口部を通じて有機化合物の電着機構（メッキ）によって上記開口部に電着層を形成し、さらにメッキを続けることでマスク層の面上にも電着層を広げ、マイクロレンズアレイを形成している。この他焦点板として高さの異なるマイクロレンズを規則的に配置して、拡散分布の輝点間隔を小さくした焦点板が知られている（特許文献３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−４９０７号公報
【特許文献２】特開２０００−０４３０５４号公報
【特許文献３】特開平４−１１９３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マイクロレンズを複数配列した構成（マイクロレンズアレイ）より成る焦点板はファインダー像を明るい状態で観察できるといった長所がある。しかしながらマイクロレンズの配置の周期的構造のため、回折格子と同様の光学作用を持つ。このため、拡散特性が離散的となり、焦点の合っていない像を観察する場合に像が多重に見える、いわゆる多線ボケが生じ自然なボケ味が得られないという問題がある。
【０００７】
高さの異なるマイクロレンズを規則的に配置した焦点板では、輝点間隔を狭くすることは出来る。しかしながら、同じ高さのマイクロレンズが回転対称に配置されていないと、拡散分布が多角形になり、ボケ像がいびつな形になる。さらに、高さ及びピッチの異なる複数種のマイクロレンズを配置すると、拡散特性は各マイクロレンズ間の高さの差にも大きく影響されてしまい、自然なボケ味を得るのが難しくなる。
【０００８】
本発明は広い拡散角度を有し、自然なボケ味が容易に得られる焦点板及びそれを有するファインダー系の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の焦点板は、光入射面と光出射面のうち少なくとも一方の面にマイクロレンズアレイが形成されている焦点板において、前記マイクロレンズアレイは、所定平面からの高さが互いに異なるマイクロレンズを含み、前記所定平面からの高さが互いに等しいマイクロレンズについて、頂点間隔の最小値の小さい順に、それぞれマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２・・・とし、前記マイクロレンズＣＳｉ（ｉ＝１、２・・・）の頂点間隔の最小値をＬｉ、前記所定平面からの高さをＨｉ、前記マイクロレンズアレイの頂点と底部との高低差の最大値をＨとするとき、
Ｌi+1＞１．７×Ｌi
０．０５＜（｜Ｈi+1−Ｈi｜／Ｈ）＜０．３０
なる条件を満足することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、広い拡散角度を有し、自然なボケ味が容易に得られる焦点板が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施例１に係る焦点板の表面形状の説明図
【図２】本発明の実施例１に係るマイクロレンズの面頂点の配置を決定する説明図
【図３】本発明の実施例１に係る焦点板の要部断面図
【図４】（Ａ）、（Ｂ）  本発明の実施例１に係る焦点板の拡散特性の説明図
【図５】本発明の実施例２に係る焦点板の表面形状の説明図
【図６】本発明の実施例２に係るマイクロレンズの面頂点の配置を決定する説明図
【図７】本発明の実施例２に係る焦点板の要部断面図
【図８】（Ａ）、（Ｂ）  本発明の実施例２に係る焦点板の拡散特性の説明図
【図９】本発明の実施例３に係る焦点板の表面形状の説明図
【図１０】本発明の実施例３に係るマイクロレンズの面頂点の配置を決定する説明図
【図１１】本発明の実施例３に係る焦点板の要部断面図
【図１２】（Ａ）、（Ｂ）  本発明の実施例３に係る焦点板の拡散特性の説明図
【図１３】本発明の実施例４に係る焦点板の表面形状の説明図
【図１４】本発明の実施例４に係るマイクロレンズの面頂点の配置を決定する説明図
【図１５】本発明の実施例４に係る焦点板の要部断面図
【図１６】（Ａ）、（Ｂ）  本発明の実施例４に係る焦点板の拡散特性の説明図
【図１７】本発明の撮像装置の要部概略図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。本発明の焦点板は、光入射面と光出射面のうち少なくとも一方の面にマイクロレンズアレイが配置されている。マイクロレンズアレイには所定平面からの高さが同一の第１のマイクロレンズと、第１のマイクロレンズの所定平面からの高さと異なる第２のマイクロレンズが含まれている。
【００１３】
図１は本発明の実施例１の焦点板の表面形状の説明図である。図２は実施例１の焦点板のマイクロレンズの頂点の配置の説明図である。図３は実施例１の焦点板の要部断面図である。図４（Ａ）、（Ｂ）は実施例１の焦点板の拡散特性の説明図である。図５は本発明の実施例２の焦点板の表面形状の説明図である。図６は実施例２の焦点板のマイクロレンズの頂点の配置の説明図である。図７は実施例２の焦点板の要部断面図である。図８（Ａ）、（Ｂ）は実施例２の焦点板の拡散特性の説明図である。
【００１４】
図９は本発明の実施例３の焦点板の表面形状の説明図である。図１０は実施例３の焦点板のマイクロレンズの頂点の配置の説明図である。図１１は実施例３の焦点板の要部断面図である。図１２（Ａ）、（Ｂ）は実施例３の焦点板の拡散特性の説明図である。図１３は本発明の実施例４の焦点板の表面形状の説明図である。図１４は実施例４の焦点板のマイクロレンズの頂点の配置の説明図である。図１５は実施例４の焦点板の要部断面図である。図１６（Ａ）、（Ｂ）は実施例４の焦点板の拡散特性の説明図である。
【００１５】
図１７は本発明の撮像装置の要部概略図である。図中、１はファインダー系に用いられ、撮影レンズによって形成される像が結像する焦点板である。２は所定平面（基準面）であり、例えば焦点板の光入射面である。３は焦点板のマット面である。
【００１６】
ＣＳ１、ＣＳ２・・・は凸形状のマイクロレンズである。Ｐ１、Ｐ２・・・はマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２の頂点（レンズ面頂点）である。Ｌ１、Ｌ２・・・はマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２・・・の頂点間隔である。ここで１つのマイクロレンズに複数の頂点間隔があるときは、その最小値を頂点間隔としている。Ｈ１、Ｈ２・・・はマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２・・・の所定平面２からの高さである。Ｈはマイクロレンズの凸形状の頂点と凸形状の底部との高低差のうち最大値を示している。図３では焦点板１のマット面全体の高低差を示している。
【００１７】
各実施例においてマイクロレンズの頂点は所定平面上に六方格子状に並べられている。各実施例においてマイクロレンズは、例えば複数枚のフォトマスクを用いて連続的に多段露光して形成している。
【００１８】
各実施例において、所定平面２からの高さの等しいマイクロレンズの頂点間隔を複数の頂点間隔があるときは、その最小値を頂点間隔としたとき、頂点間隔の小さい順にマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２・・・としている。マイクロレンズＣＳｉ（ｉ＝１、２・・・）の頂点間隔をＬｉ、所定平面からの高さをＨｉ、マイクロレンズアレイの凸形状の頂点と底部との高低差のうち最大値をＨとする。このとき、
Ｌi+1＞１．７×Ｌi                              ・・・（１）
０．０５＜（｜Ｈi+1−Ｈi｜／Ｈ）＜０．３０      ・・・（２）
なる条件を満足している。
【００１９】
条件（１）式の技術的な意味について説明する。マイクロレンズが規則的に配列された焦点板において、マイクロレンズのピッチ（配置ピッチ）Ｐと拡散分布の輝点配列の角度ピッチθＰの関係は、
θＰ＝λ／Ｐ                                    ・・・（ａ）
である。
【００２０】
角度ピッチθＰはピッチＰの逆数に比例する。ここでλは光の波長である。このような焦点板では、点光源のボケ像は輝点の集まりとして観察される。線状物体は点光源が線上に並んだものと考えられるので、線状物体のボケ像も点光源のボケ像が線上に並んだものとなる。さらに、任意の形状、面積を持つ物体のボケ像も同様に点光源の集まりと考えることが出来る。すなわち、ボケ像がより自然に見えるためには、拡散分布の輝点配列の角度ピッチθＰが小さいほど良い。
【００２１】
つまり、ボケ味だけに注目すると、マイクロレンズのピッチＰが大きいほど望ましいことになる。しかし、ピッチＰが大きいマイクロレンズだけを配列させると、拡散角度が小さい領域に輝点が集中してピント合わせが困難になることと、観察者の目にマイクロレンズが直接見え易くなるといった問題が発生する。
【００２２】
そこで、拡散角度の大きい領域に輝点を分布させ、マイクロレンズが観察者に直接見えないようにするためにはピッチＰはある程度小さいほうが望ましい。したがって、これらの相反する機能を同時に満足するためには、焦点板にピッチＰの大きいマイクロレンズとピッチＰの小さいマイクロレンズの両方を配置することが望ましい。具体的には条件式（１）を満足するようにピッチ（頂点間隔）の異なるマイクロレンズを有するように構成するのが良い。条件式（１）を外れると自然なボケ味を得るのが難しくなる。
【００２３】
条件式（２）の下限を越えると、焦点板１の拡散特性がピッチＰの小さいマイクロレンズＣＳ１が一様に配置された焦点板と等価となり、ボケ味が悪くなる。また条件式（２）の上限を越えると、高さの異なるマイクロレンズ間の高低差が大きくなりすぎるため、焦点板に形成される像を観察した時にマイクロレンズ間の部分が暗くケラレが発生する。そのため、適切な拡散特性と焦点板の見えを良好に保つためには条件式（２）を満たすのが良い。次に各実施例の焦点板１の具体的な構成について説明する。
【００２４】
［実施例１］
図１はファインダー系に用いられる本発明の実施例１に係る焦点板の表面形状を示している。本実施例の焦点板では、マイクロレンズの頂点（レンズ面頂点）の基準面（所定平面）２からの高さが２種類のマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２が配列されている。本実施例ではマイクロレンズの頂点Ｐ１、Ｐ２、頂点間隔の最小値の小さい順にマイクロレンズＣＳ１、マイクロレンズＣＳ２としている。
【００２５】
マイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２の頂点Ｐ１、Ｐ２の頂点間隔の最小値Ｌ１、Ｌ２、および頂点の基準面２からの高さＨ１、Ｈ２、および焦点板１のマット面３からの高低差Ｈは以下の通りである。
Ｌ１＝２０μｍ、  Ｌ２＝４０μｍ
Ｈ１＝３６．０μｍ、  Ｈ２＝３６．５μｍ、  Ｈ＝２．４μｍ
マイクロレンズＣＳ１の頂点間隔の最小値Ｌ１とマイクロレンズＣＳ２の頂点間隔の最小値Ｌ２は条件式（１）を満たしている。
【００２６】
次に図３の本発明の実施例１に係る焦点板の要部断面図を用いてマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２について説明する。本実施例では、マイクロレンズＣＳ２の頂点の所定平面２からの高さＨ２がマイクロレンズＣＳ１の頂点の所定平面２からの高さＨ１よりも高く設定されており、条件式（２）を満たしている。
【００２７】
本実施例の焦点板１の拡散特性は図４（Ａ）、（Ｂ）のようになり、拡散角±５°〜１０°の角度範囲に拡散量が集中している。一般的なカメラ（撮像装置）のファインダー光学系では、光線を入射させた時の拡散特性が主として±５°〜±１０°の範囲にあることが望ましい。これはカメラの撮影レンズはＦナンバーがおよそ２．８〜５．６の範囲にあるからである。本実施例の焦点板は、自然なボケ味を持ちつつ、必要な拡散角に拡散量を集中させピントの合わせ易い焦点板を実現している。
【００２８】
［実施例２］
図５はファインダー光学系に用いられる本発明の実施例２に係る焦点板の表面形状を示している。本実施例の焦点板１では、マイクロレンズの頂点の基準面（所定平面）２からの高さが２種類のマイクロレンズが配列されている。本実施例では実施例１と同様にマイクロレンズの頂点間隔の最小値の小さい順にマイクロレンズＣＳ１、マイクロレンズＣＳ２としている。マイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２の頂点間隔の最小値Ｌ１、Ｌ２、および頂点の基準面２からの高さＨ１、Ｈ２、および焦点板１のマット面３からの高低差Ｈは以下の通りである。
【００２９】
Ｌ１＝２０μｍ、  Ｌ２＝４０μｍ
Ｈ１＝３６．５μｍ、  Ｈ２＝３６．０μｍ、  Ｈ＝２．１μｍ
図６は、図５の焦点板１のマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２の頂点の配置を示している。マイクロレンズＣＳ１の頂点間隔の最小値Ｌ１とマイクロレンズＣＳ２の頂点間隔の最小値Ｌ２は条件式（１）を満たしている。
【００３０】
図７は本実施例の焦点板１の要部断面図である。本実施例では、マイクロレンズＣＳ１の頂点の所定平面２からの高さＨ１がマイクロレンズＣＳ２の頂点の所定平面２からの高さＨ２よりも高く設定されており、条件式（２）を満たしている。
【００３１】
条件式（２）の下限を越えると、焦点板１の拡散特性がピッチＰの小さいマイクロレンズＣＳ２が一様に配置された焦点板と等価となり、ボケ味が悪くなる。また条件式（２）の上限を越えると、高さの異なるマイクロレンズ間の高低差が大きくなりすぎるため、焦点板に形成された像を観察した時にマイクロレンズ間の部分が暗くケラレが発生する。そのため、適切な拡散特性と焦点板の見えを良好に保つためには条件式（２）を満たすのが良い。
【００３２】
本実施例の焦点板１の拡散特性は実施例１と同様に図８（Ａ）、（Ｂ）のようになる。本実施例では、拡散角±５°近辺に拡散量が集中しており、Ｆナンバー５．６の撮影レンズでも明るく、ピントの合わせ易い焦点板が得られる。
【００３３】
［実施例３］
図９はファインダー光学系に用いられる本発明の実施例３に係る焦点板の表面形状を示している。本実施例の焦点板ではマイクロレンズの頂点の基準面（所定平面）からの高さが３種類のマイクロレンズが配列されている。本実施例では実施例１と同様にマイクロレンズの頂点間隔の最小値の小さい順にマイクロレンズＣＳ１、マイクロレンズＣＳ２、マイクロレンズＣＳ３としている。マイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２、ＣＳ３の頂点間隔の最小値Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、および頂点の基準面２からの高さＨ１、Ｈ２、Ｈ３、および焦点板１のマット面３の高低差Ｈは以下の通りである。
Ｌ１＝２０μｍ、  Ｌ２＝４０μｍ、  Ｌ３＝８０μｍ
Ｈ１＝３５．５μｍ、  Ｈ２＝３５．７μｍ、  Ｈ３＝３６．０μｍ
Ｈ＝２．５μｍ
図１０は、焦点板１のマイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２、ＣＳ３の頂点の配置を示している。マイクロレンズＣＳ１の頂点間隔の最小値Ｌ１とマイクロレンズＣＳ２の頂点間隔の最小値Ｌ２、マイクロレンズＣＳ３の頂点間隔の最小値Ｌ３はそれぞれ前記条件式(1)を満たしている。
【００３４】
図１１は本実施例の焦点板１の要部断面図である。本実施例では、各マイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２、ＣＳ３の頂点の所定平面からの高さが高い順にＣＳ３、ＣＳ２、ＣＳ１であり、各頂点の所定平面２からの高さＨ３、Ｈ２、Ｈ１は、条件式（２）を満たしている。
【００３５】
条件式（２）の下限を越えると、焦点板１の拡散特性がピッチＰの小さいマイクロレンズＣＳ１が一様に配置された焦点板と等価となり、ボケ味が悪くなる。また条件式（２）の上限を越えると、高さの異なるマイクロレンズ間の高低差が大きくなりすぎるため、焦点板に形成された像を観察した時にマイクロレンズ間の部分が暗くケラレが発生する。そのため、適切な拡散特性と焦点板の見えを良好に保つためには条件式（２）を満たすのが良い。
【００３６】
本実施例の焦点板の拡散特性は図１２（Ａ）、（Ｂ）のようになる。本実施例では、拡散角±５°近辺に拡散量が集中しており、Ｆナンバー５．６の撮影レンズでも明るく、ピントの合わせ易い焦点板を実現することが出来る。
【００３７】
［実施例４］
図１３はファインダー光学系に用いられる本発明の実施例４に係る焦点板の表面形状を示している。本実施例の焦点板では、マイクロレンズの頂点の基準面（所定平面）からの高さが３種類のマイクロレンズが配列されている。本実施例では実施例１と同様に、頂点間隔の最小値の小さい順にマイクロレンズＣＳ１、マイクロレンズＣＳ２、マイクロレンズＣＳ３としている。マイクロレンズＣＳ１、ＣＳ２、ＣＳ３の頂点間隔の最小値Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３、および頂点の基準面２からの高さＨ１、Ｈ２、Ｈ３、および焦点板１のマット面３の高低差Ｈは以下の通りである。
【００３８】
Ｌ１＝２０μｍ、  Ｌ２＝４０μｍ、  Ｌ３＝８０μｍ
Ｈ１＝３５．５μｍ、  Ｈ２＝３６．０μｍ、  Ｈ３＝３５．８μｍ
Ｈ＝２．５μｍ
図１４は、焦点板１のマイクロレンズの頂点の配置を示している。マイクロレンズＣＳ１の頂点間隔の最小値Ｌ１とマイクロレンズＣＳ２の頂点間隔の最小値Ｌ２、マイクロレンズＣＳ３の頂点間隔の最小値Ｌ３はそれぞれ前記条件式（１）を満たしている。
【００３９】
図１５は本実施例の焦点板１の要部断面図である。本実施例では、各マイクロレンズは頂点の高い順にマイクロレンズＣＳ２、ＣＳ３、ＣＳ１であり、各頂点の所定平面２からの高さＨ２、Ｈ３、Ｈ１は、条件式（２）を満たしている。
【００４０】
条件式（２）の下限を越えると、焦点板１の拡散特性がピッチＰの小さいマイクロレンズＣＳ１が一様に配置された焦点板と等価となり、ボケ味が悪くなる。また条件式（２）の上限を越えると、高さの異なるマイクロレンズ間の高低差が大きくなりすぎるため、焦点板に形成される像を観察した時にマイクロレンズ間の部分が暗くケラレが発生する。そのため、適切な拡散特性と焦点板の見えを良好に保つためには条件式（２）を満たすのが良い。
【００４１】
なお、各マイクロレンズの頂点の高さに関して、条件式（２）を満たしていれば、本実施例に対して高さの順番が入れ替わっていても、所望の拡散特性を得ることが出来る。本実施例の焦点板の拡散特性は図１６（Ａ）、（Ｂ）のようになる。本実施例では、拡散角±５°〜１０°の範囲に拡散量が集中しており、Ｆナンバー２．８〜５．６の撮影レンズに最適化された、広い拡散角度と自然なボケ味を持った焦点板を実現することが出来る。次に実施例１〜４における条件式（１）、（２）に関する数値を以下の表１に示す。
【００４２】
【表１】
0005686645.tif 000002
【００４３】
各実施例においては、マイクロレンズの高さの種類が、２種類と３種類の焦点板を提示したが、４種類以上の焦点板でも自然なボケ味と広い拡散角度を持つ焦点板を実現することができる。しかし、マイクロレンズの高さの種類を多くしすぎると、高さの異なるマイクロレンズの境界でのケラレや、ピッチの大きすぎるマイクロレンズが直接見えてしまうことがある。このためマイクロレンズの種類は２種類または３種類が望ましい。
【００４４】
本発明によれば、広い拡散特性を有し、ボケ味の不自然さの少ないファインダー像を観察することができる焦点板が得られる。以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【００４５】
図１７は、本実施例の焦点板を有する一眼レフカメラ（撮像装置）の光学ファインダーの構成を示した要部構成図である。同図において被写体からの光束は、撮影レンズ２１を通過してクイックリターンミラー２２で反射された後、マイクロレンズアレイより成る焦点板２３上に結像する。焦点板２３上に結像した被写体像は、マイクロレンズアレイによって拡散され、ペンタプリズム２４により反転され、正立像として接眼レンズ２５を通してアイポイント２６にて観察される。２７はＣＣＤやＣＭＯＳ等の固体撮像素子（撮像手段）である。
【００４６】
本実施例のように上述したマイクロレンズアレイを焦点板２３に用いることにより、焦点板に必要な特性を良好に満たすことができる。尚、本実施例ではカメラ用の光学ファインダーに用いられる焦点板について説明したが、本発明は各種光学機器に使用される焦点板に適用することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
ＣＳｉ  回転対称な凸曲面上のマイクロレンズ
Ｌｉ  基本パターンにおけるマイクロレンズの面頂点間隔  Ｐｉ マイクロレンズの頂点
【図１】
0005686645.tif 000003
【図２】
0005686645.tif 000004
【図３】
0005686645.tif 000005
【図４】
0005686645.tif 000006
【図５】
0005686645.tif 000007
【図６】
0005686645.tif 000008
【図７】
0005686645.tif 000009
【図８】
0005686645.tif 000010
【図９】
0005686645.tif 000011
【図１０】
0005686645.tif 000012
【図１１】
0005686645.tif 000013
【図１２】
0005686645.tif 000014
【図１３】
0005686645.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
0005686645.tif 000017
【図１６】
0005686645.tif 000018
【図１７】
0005686645.tif 000019