(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであって、物体側から順に、
像側に凹面を向けたレンズを含み、接合レンズを含む正のパワーを有する第１レンズ群と、
物体側に凹面を向けた単レンズからなる負のパワーを有する第２レンズ群と、
正レンズと負レンズを含む、全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、からなり、
ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から前記結像レンズの入射瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式
０．３  ＜  Ｄ２／ＦＬ  ＜  １．３
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項２】
請求項１に記載の結像レンズにおいて、
ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から像面までの距離とし、Ｄ１を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から前記像面に最も近い前記結像レンズのレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式
０．３  ＜  ＦＬＧ１／ＦＬ  ＜    ３
−４  ＜  ＦＬＧ２／ＦＬ  ＜  −０．１５
０．３  ＜  Ｄ１／Ｄ０      ＜    ０．８
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の結像レンズにおいて、
前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けたレンズを最も像側に含む
ことを特徴とする結像レンズ。
【請求項４】
請求項１または請求項３に記載の結像レンズにおいて、
ＲＧ１を前記第１レンズ群内の像側に凹面を向けた前記レンズの前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズ群内の物体側に凹面を向けた前記単レンズの前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズ群内の物体側に凹面を向けた前記単レンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群内に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式
０  ＜  ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜  ＜  ３
１．５  ＜    ＮｄＧ２
７０  ＜    νｄＧ１
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項５】
請求項４に記載の結像レンズにおいて、
ＮｄＧ３ｐを前記第３レンズ群に含まれる前記正レンズのｄ線に対する屈折率とし、νｄＧ３ｎを前記第３レンズ群に含まれる前記負レンズのアッベ数とするとき、以下の条件式
ＮｄＧ３ｐ  ＞  １．７
νｄＧ３ｎ  ＜  ４０
を満たすことを特徴とする結像レンズ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の結像レンズを含むことを特徴とする撮像光学系。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の結像レンズを含むことを特徴とする顕微鏡。
【請求項８】
請求項７に記載の顕微鏡において、さらに、
前記結像レンズの像面に配置された撮像素子を含み、
前記撮像素子は、ＣＣＤイメージセンサである
ことを特徴とする顕微鏡。
【請求項９】
請求項８に記載の顕微鏡において、さらに、
ケーラー照明により物体を照明する照明光学系を含む
ことを特徴とする顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に用いられる結像レンズ、その結像レンズを備えた撮像光学系及び顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡の結像レンズは、対物レンズからの無限遠光束を集光させるためのレンズであり、無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて使用されることにより、標本面上の物体からの光を像面に拡大して投影する。これにより、顕微鏡では、拡大像で物体を観察することができるが、良好な画質の拡大像を得るためには、像面における収差を補正する必要がある。
【０００３】
像面における収差を補正する方式としては、対物レンズと結像レンズが個々に収差を補正することで像面における収差を補正するコンペンゼーションフリー方式が知られており、従来から広く用いられている。コンペンゼーションフリー方式に適合したさまざまな結像レンズは、数多く提案されていて、例えば、特許文献１、特許文献２、及び、特許文献３などで開示されている。
【０００４】
コンペンゼーションフリー方式では、それぞれ良好に収差が補正された対物レンズと結像レンズを用いることで、良好な画質の拡大像で物体を観察することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１４４９３２号公報
【特許文献２】特開２００３−７５７２０号公報
【特許文献３】特開平４−９３９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、近年、顕微鏡の一用途として、バーチャルスライドシステムが注目されている。バーチャルスライドシステムは、病理標本を走査しながらある程度の高倍率で撮像し、取得された病理標本の異なる領域の画像（以降、原画像と記す。）をつなぎ合わせて病理標本全体を表示する一枚の大きな画像（以降、バーチャルスライド画像）を生成するシステムであり、生成されたバーチャルスライド画像を病理診断に利用するものである。バーチャルスライドシステムによれば、ネットワークを介した遠隔地での病理診断が可能となるため、診断件数の増加や病理医の偏在といった課題に対する有効な解決策として期待されている。
【０００７】
バーチャルスライド画像は、診断の際には、必要に応じて拡大縮小して表示されるため、拡大表示に耐え得る十分な解像力を備える必要がある。従って、病理標本は、ある程度の高倍率で撮像される必要がある。
【０００８】
しかしながら、高倍率で撮像するほど、一枚の原画像で撮像される病理標本の領域は小さくなり、バーチャルスライド画像を生成するために必要な原画像の枚数が増加することになる。また、バーチャルスライド画像は原画像をつなぎ合わせて生成されるため、原画像の中心部分と周辺部分との間での画質の変化を抑える必要がある。
【０００９】
このため、良好な画質のバーチャルスライド画像を生成する高いスループットのバーチャルスライドシステムを実現するためには、バーチャルスライドシステムに用いられる結像レンズは、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で像面湾曲が良好に補正されている必要がある。
【００１０】
しかしながら、上述した特許文献１から特許文献３に開示される結像レンズを含む従来の結像レンズの多くは、色収差の補正やディストーションの補正、中間鏡筒長の変化への対応などを課題として設計されている。このため、これまでのところ、広視野を有し、且つ、その視野範囲内で像面湾曲（フラットネス）を良好に補正する結像レンズ（例えば、像面における像面湾曲が視野数ＦＮ２２から３０の領域で±０．１ｍｍ程度に補正された結像レンズ）は、存在していない。
【００１１】
以上のような実情を踏まえて、本発明では、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で収差が良好に補正された結像レンズ、それを用いた撮影光学系及び顕微鏡の技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の態様は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであって、物体側から順に、像側に凹面を向けたレンズを含み、接合レンズを含む正のパワーを有する第１レンズ群と、物体側に凹面を向けた単レンズからなる負のパワーを有する第２レンズ群と、正レンズと負レンズを含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、からなり、ＦＬを前記結像レンズの焦点距離とし、Ｄ２を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から前記対物レンズの射出瞳位置までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３ ＜ Ｄ２／ＦＬ ＜ １．３
【００１３】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の結像レンズにおいて、ＦＬＧ１を前記第１レンズ群の焦点距離とし、ＦＬＧ２を前記第２レンズ群の焦点距離とし、Ｄ０を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から像面までの距離とし、Ｄ１を前記対物レンズに最も近い前記結像レンズのレンズ面から前記像面に最も近い前記結像レンズのレンズ面までの距離とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０．３  ＜  ＦＬＧ１／ＦＬ  ＜    ３
−４  ＜  ＦＬＧ２／ＦＬ  ＜  −０．１５
０．３  ＜  Ｄ１／Ｄ０      ＜    ０．８
【００１４】
本発明の第３の態様は、第１の態様または第２の態様に記載の結像レンズにおいて、前記第１レンズ群は、像側に凹面を向けたレンズを最も像側に含む結像レンズを提供する。
【００１５】
本発明の第４の態様は、第１の態様または第３の態様に記載の結像レンズにおいて、ＲＧ１を前記第１レンズ群内の像側に凹面を向けた前記レンズの前記凹面の曲率半径とし、ＲＧ２を前記第２レンズ群内の物体側に凹面を向けた前記単レンズの前記凹面の曲率半径とし、ＮｄＧ２を前記第２レンズ群内の物体側に凹面を向けた前記単レンズのd線に対する屈折率とし、νｄＧ１を前記第１レンズ群内に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
０ ＜ ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜ ＜ ３
１．５ ＜ ＮｄＧ２
７０ ＜ νｄＧ１
【００１６】
本発明の第５の態様は、第４の態様に記載の結像レンズにおいて、ＮｄＧ３ｐを前記第３レンズ群に含まれる前記正レンズのｄ線に対する屈折率とし、νｄＧ３ｎを前記第３レンズ群に含まれる前記負レンズのアッベ数とするとき、以下の条件式を満たす結像レンズを提供する。
ＮｄＧ３ｐ  ＞  １．７
νｄＧ３ｎ  ＜  ４０
【００１７】
本発明の第６の態様は、第１の態様乃至第５の態様のいずれか１つに記載の結像レンズを含む撮像光学系を提供する。
本発明の第７の態様は、第１の態様乃至第５の態様のいずれか１つに記載の結像レンズを含む顕微鏡を提供する。
【００１８】
本発明の第８の態様は、第７の態様に記載の顕微鏡において、さらに、前記結像レンズの像面に配置された撮像素子を含み、前記撮像素子は、ＣＣＤイメージセンサである
顕微鏡を提供する。
【００１９】
本発明の第９の態様は、第８の態様に記載の顕微鏡において、さらに、ケーラー照明により物体を照明する照明光学系を含む顕微鏡を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で収差が良好に補正された結像レンズ、それを用いた撮影光学系及び顕微鏡の技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る顕微鏡の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施例１に係る結像レンズの断面図である。
【図３】図２に例示される結像レンズの収差図である。
【図４】本発明の実施例２に係る結像レンズの断面図である。
【図５】図４に例示される結像レンズの収差図である。
【図６】本発明の実施例３に係る結像レンズの断面図である。
【図７】図６に例示される結像レンズの収差図である。
【図８】本発明の実施例４に係る結像レンズの断面図である。
【図９】図８に例示される結像レンズの収差図である。
【図１０】本発明の実施例５に係る結像レンズの断面図である。
【図１１】図１０に例示される結像レンズの収差図である。
【図１２】本発明の実施例６に係る結像レンズの断面図である。
【図１３】図１２に例示される結像レンズの収差図である。
【図１４】本発明の実施例７に係る結像レンズの断面図である。
【図１５】図１４に例示される結像レンズの収差図である。
【図１６】本発明の実施例８に係る結像レンズの断面図である。
【図１７】図１６に例示される結像レンズの収差図である。
【図１８】本発明の実施例９に係る結像レンズの断面図である。
【図１９】図１８に例示される結像レンズの収差図である。
【図２０】本発明の実施例１０に係る結像レンズの断面図である。
【図２１】図２０に例示される結像レンズの収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
まず、本発明の各実施例に係る結像レンズを含む顕微鏡の構成について概説する。
図１は、本発明の一実施形態に係る顕微鏡の構成を示す概略図である。図１に例示される顕微鏡１００は、照明光を射出する光源１と、ケーラー照明により物体を照明する照明光学系２と、本発明の一実施例に係る結像レンズ９を含む撮像光学系７と、像面１０上に配置された撮像素子１１と、を含んでいる。撮像素子１１としては、例えば、対角線長が３０ｍｍ程度と大きく、且つ、高精細な画像に対応したピクセル数を有するＣＣＤイメージセンサが用いられる。
【００２３】
照明光学系２は、光源１側から順に、コレクタレンズ３と、視野絞りＦＳと、リレーレンズ４と、開口絞りＡＳと、コンデンサレンズ５と、を含んでいる。視野絞りＦＳは、撮像対象となる図示しない物体（例えば、病理標本など）が配置された標本面６と光学的に共役な位置近傍に配置されている。開口絞りＡＳは、コンデンサレンズ５の前側焦点位置近傍で、且つ、光源１と光学的に共役な位置近傍に配置されている。
【００２４】
撮像光学系７は、標本面６側から順に、良好に収差が補正された無限遠補正型の対物レンズ８と、結像レンズ９と、を含んでいる。結像レンズ９は、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で収差が良好に補正された結像レンズである。なお、結像レンズ９については、後に詳述する。
【００２５】
光源１から射出された照明光は、コレクタレンズ３により略平行光束に変換されて、視野絞りＦＳを通過し、リレーレンズ４に入射する。リレーレンズ４は、照明光をコンデンサレンズ５の前側焦点位置近傍にある開口絞りＡＳ上に集光して光源１の像を形成する。コンデンサレンズ５は、前側焦点位置近傍に形成された光源１の像からの照明光を略平行光束に変換して、標本面６に照射する。
【００２６】
標本面６上の物体からの光は、対物レンズ８により略平行光束に変換されて、対物レンズの射出瞳位置ＰＬを通過して結像レンズ９に入射する。そして、結像レンズ９が入射した光を像面１０に集光することで、像面１０に標本面６上の物体の拡大像が形成される。
【００２７】
顕微鏡１００によれば、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で収差が良好に補正された撮像光学系７（対物レンズ８、結像レンズ９）と、対角線長が大きく、且つ、高精細な画像に対応した撮像素子１１と、を含むにより、広視野を良好な画質で撮像することができる。
【００２８】
また、ケーラー照明により照明された標本面６上の物体からの主光線は、光軸と略平行に対物レンズ８に入射するため、対物レンズ８の射出瞳位置ＰＬは対物レンズ８の後側焦点位置に略一致する。本発明の一実施例に係る結像レンズ９は、対物レンズ８の後側焦点位置を通過する主光線を、像面１０上の撮像素子１１に向けて、光軸と略平行に射出するように設計されている。従って、顕微鏡１００によれば、像側で高いテレセントリック性が実現されるため、ＣＣＤイメージセンサなどの撮像素子１１が有する入射角依存性の影響を抑制することができる。このため、軸外光が入射する周辺部分が過度に暗くなることなく、中心から周辺まで明るい画像を撮像することができる。
【００２９】
なお、図１では、透過照明装置（光源１、照明光学系２）を備えた顕微鏡１００を例示したが、後述する各実施例に係る結像レンズを含む顕微鏡の構成は、特にこの構成に限られない。落射照明装置を備えた顕微鏡であっても同様の効果を得ることができる。なお、撮像素子の入射角依存性を考慮すると、ケーラー照明を採用した顕微鏡であることが望ましい。
【００３０】
次に、本発明の各実施例に係る結像レンズに共通する構成及び作用について説明する。
各実施例に係る結像レンズは、すでに上述したように、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、対物レンズからの無限遠光束を像面に集光して物体の像を形成するように作用する。このため、結像レンズの入射瞳位置、つまり、対物レンズの射出瞳位置は、結像レンズに対して、物体側に位置する。なお、結像レンズは、一般に、結像レンズの入射瞳位置までの距離によって、その性能が大きく変化する特徴を有している。
【００３１】
後述する各実施例に係る結像レンズは、いずれも、物体側から順に、接合レンズを含む正のパワーを有する第１レンズ群と、負のパワーを有する第２レンズ群と、正レンズと負レンズを含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群と、から構成されている。なお、より望ましくは、第１レンズ群は、像側に凹面を向けたレンズを含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズを含んでいる。
【００３２】
第１レンズ群は、その正のパワーにより、対物レンズからの平行光束を収斂光束に変換して軸外光線高を下げる役割と、第１レンズ群に含まれる接合レンズにより、球面収差と軸上色収差を補正する役割と、を主に担っている。
【００３３】
第２レンズ群は、その負のパワーにより、第１レンズ群からの収斂光束を発散方向に屈折させてその収斂度合いを弱めることで、第３レンズ群に向かって光線高を上げながら、光線を射出する。
【００３４】
第３レンズ群は、正レンズと負レンズにより、第１レンズ群及び第２レンズ群で発生した倍率色収差や歪曲収差を補正して、軸上収差と軸外収差のバランスを取る役割と、全体として有する正のパワーにより、像面に光線を集光させる役割と、を主に担っている。なお、軸外主光線は、第３レンズ群で最も高くなる。
【００３５】
結像レンズは、レンズ群構成を正−負−正で構成し、第２レンズ群を負のパワーを有するレンズ群とすることで、球面収差、非点収差、コマ収差、及び、ペッツバール和を良好に補正することができる。また、このような構成では、結像レンズの入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）から結像レンズまでの距離を長くしても像側で高いテレセントリック性を維持することができるため、軸上収差と軸外収差を良好に補正することができる。さらに、像面湾曲と非点収差も補正されるため、中心から周辺まで均質で且つ広視野をカバーした像を像面に形成することができる。
【００３６】
なお、結像レンズが第１レンズ群内に像側に凹面を向けたレンズを含む場合、第１レンズ群によって平行光束から変換された収斂光束が像側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度は小さくなる。このため、凹面が有する負のパワーが、第１レンズ群で発生する球面収差、コマ収差及び非点収差を抑えるように作用する。また、凹面が有する負のパワーは、ペッツバール和の低減にも寄与する。
【００３７】
また、結像レンズが第２レンズ群内に物体側に凹面を向けたレンズを含む場合、第１レンズ群から射出されて第２レンズ群に入射する収斂光束が物体側に向けた凹面へ入射するとき、その収斂光束の入射角度が大きくなる。このため、凹面が有する負のパワーが、収斂光束に対して強く作用し、第１レンズ群で発生した球面収差、コマ収差及び非点収差と相殺する方向に収差を発生させる。
【００３８】
従って、第１レンズ群内に像側に凹面を向けたレンズを含み、且つ、第２レンズ群内に物体側に凹面を向けたレンズを含む結像レンズの構成は、第１レンズ群を介して第２レンズ群から射出された光に生じている球面収差、コマ収差、非点収差量をより少なく抑えることを可能とし、像面湾曲をより良好に補正することができるという点で望ましい。
【００３９】
さらに、結像レンズは、下記の条件式（１）を満たすように構成されている。
０．３  ＜  Ｄ２／ＦＬ  ＜  １．３        ・・・（１）
但し、ＦＬは、結像レンズの焦点距離であり、Ｄ２は、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面から対物レンズの射出瞳位置までの距離である。
【００４０】
条件式（１）は、入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が結像レンズの物体側に位置する場合に、軸上球面収差と、軸外光線のコマ収差及び非点収差と、を良好に補正するための条件を示している。また、条件式（１）を満たすことで、結像レンズは、射出瞳位置に対して高いテレセントリック性を実現することができるため、結像レンズから射出される光線をＣＣＤイメージセンサなどの撮像素子にとって好適な状態（つまり、光軸と略平行な状態）で射出することができる。
【００４１】
条件式（１）で上限値を超えると、入射瞳位置（対物レンズの射出瞳位置）が第１レンズ群から遠くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が極端に高くなり、球面収差や軸外光線のコマ収差及び非点収差が大きくなる。また、像側のテレセントリック性も低下する。さらに、結像レンズの外径も大きくなるため、製造性も低下する。一方、下限値を下回ると、入射瞳位置が第１レンズ群に近くなりすぎる。このため、第１レンズ群に入射する際の軸外の光線高が十分に高くならない。従って、軸外のコマ収差及び非点収差が良好に補正することが困難となる。また、像側のテレセントリック性も低下する。
【００４２】
以上のように構成することで、結像レンズは、広い視野を有し、且つ、その視野範囲内で収差を良好に補正することができる。
【００４３】
また、結像レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
０．３  ＜  ＦＬＧ１／ＦＬ  ＜    ３        ・・・（２）
−４  ＜  ＦＬＧ２／ＦＬ  ＜  −０．１５  ・・・（３）
０．３  ＜  Ｄ１／Ｄ０      ＜    ０．８    ・・・（４）
但し、ＦＬＧ１は、第１レンズ群の焦点距離であり、ＦＬＧ２は、第２レンズ群の焦点距離である。また、Ｄ０は、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面から像面までの距離であり、Ｄ１は、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面から像面に最も近い結像レンズのレンズ面までの距離である。
【００４４】
条件式（２）は、第１レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（３）は、第２レンズ群の焦点距離と全体の焦点距離との関係を規定する式である。条件式（２）及び条件式（３）を満たすことで、結像レンズの第１レンズ群と第２レンズ群のパワー配分が適正な状態となる。これにより、結像レンズは、結像レンズ全体で球面収差とコマ収差をより良好に補正し、且つ、第２レンズ群の負のパワーによりペッツバール和を低減して像面湾曲をより良好に補正することができる。
【００４５】
条件式（２）で上限値を超えると、結像レンズ全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。このため、第２レンズ群を含む他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して弱くなる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。一方、下限値を下回ると、結像レンズ全体のパワーに対して第１レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。
【００４６】
条件式（３）で上限値を超えると、結像レンズ全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが強くなりすぎる。これにより、他のレンズ群のパワーも同様に、結像レンズ全体のパワーに対して強くなるため、球面収差、コマ収差が悪化する。また、各レンズ群のパワーが強く、偏心敏感度が高いため、わずかなレンズの偏心により諸収差が悪化してしまう。一方、下限値を下回ると、結像レンズ全体のパワーに対して第２レンズ群のパワーが弱くなりすぎる。これにより、ペッツバール和が大きくなり、像面湾曲、コマ収差が悪化する。
【００４７】
条件式（４）は、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面（以降、第１面と記す。）から結像位置である像面までの距離と、第１面から像面に最も近い結像レンズのレンズ面（以降、最終面と記す。）までの距離である結像レンズ全長との関係を規定する式である。条件式（４）を満たすことで、結像レンズは、全長を極端に長くすることなく、像面における球面収差、コマ収差及び非点収差を良好に補正し、且つ、像側で高いテレセントリック性を実現することができる。
【００４８】
条件式（４）で上限値を超えると、第３レンズ群から結像位置までの距離が短くなりすぎる。このため、結像レンズの像側に配置される、撮像素子、光路分割素子、及び、同焦調整機構などの配置が困難になってしまう。一方、下限値を下回ると、第１レンズ群から第３レンズ群までの距離が短くなりすぎるため、球面収差やコマ収差の補正が困難となる。また、球面収差やコマ収差が補正された場合であっても、各レンズ群のパワーが強くなりすぎるため、レンズ群の偏心敏感度が上昇し、わずかなレンズの偏心により諸収差の悪化が生じてしまう。
【００４９】
また、結像レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
０  ＜  ｜ＲＧ２／ＲＧ１｜  ＜  ３      ・・・（５）
１．５  ＜    ＮｄＧ２                      ・・・（６）
７０  ＜    νｄＧ１                      ・・・（７）
但し、ＲＧ１は、第１レンズ群内の像側に凹面を向けたレンズの凹面の曲率半径であり、ＲＧ２は、第２レンズ群内の物体側に凹面を向けたレンズの凹面の曲率半径である。ＮｄＧ２は、第２レンズ群内の物体側に凹面を向けたレンズのd線に対する屈折率であり、νｄＧ１は、第１レンズ群内に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数である。なお、第１レンズ群内に像側に向けた凹面が複数ある場合には、ＲＧ１は、最も像側の凹面の曲率半径である。
【００５０】
条件式（５）は、第１レンズ群内に含まれるレンズの像側に向けた凹面の曲率半径に対する第２レンズ群内に含まれるレンズの物体側に向けた凹面の曲率半径の比を規定する式である。なお、条件式（５）では、第１レンズ群内に像側に凹面を向けたレンズを含み、且つ、第２レンズ群内に物体側に凹面を向けたレンズを含むことが前提となる。条件式（５）を満たすことで、これらのレンズが収差の抑制に効果的に寄与することになるため、第１レンズ群を介して第２レンズ群から射出された光に生じている諸収差量をより少なく抑えることができる。
【００５１】
条件式（５）で上限値を超えると、第１レンズ群内に含まれるレンズの像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎるか、または、第２レンズ群内に含まれるレンズの物体側に向けた凹面の曲率半径が大きくなりすぎる。像側に向けた凹面の曲率半径が小さくなりすぎると、第１レンズ群の凹面で生じる負のパワーが強くなりすぎるため、球面収差、コマ収差及び非点収差が悪化してしまう。また、物体側に向けた凹面の曲率半径が大きくなりすぎると、第２レンズ群の負のパワーが弱くなるため、像面湾曲及びコマ収差が悪化してしまう。
【００５２】
条件式（６）は、第２レンズ群に含まれる物体側に凹面を向けたレンズのd線の屈折率を規定する式である。条件式（６）を満たすことで、ペッツバール和を抑えて良好に像面湾曲を補正することができるため、結像レンズ全体として、各レンズ群での球面収差、非点収差、コマ収差の発生量を少なくすることが可能となる。条件式（６）で下限値を下回ると、必要なパワーが生じさせるためには、第２レンズ群に含まれるレンズの物体側に向けた凹面の曲率半径を非常に小さくする必要があるため、結像レンズ全体として、球面収差、コマ収差、像面湾曲を良好に補正することが困難となる。
【００５３】
条件式（７）は、第１レンズ群内に含まれる正のパワーを有するレンズのアッベ数のうち最も高いアッベ数を規定する式である。条件式（７）を満たすことで、軸上光線高が最も高くなる第１レンズ群で、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することができる。条件式（７）で下限値を下回ると、球面収差及び軸上色収差を良好に補正することができない。
【００５４】
また、結像レンズは、下記の条件式を満足することが望ましい。
ＮｄＧ３ｐ  ＞  １．７                        ・・・（８）
νｄＧ３ｎ  ＜  ４０                          ・・・（９）
但し、ＮｄＧ３ｐは、第３レンズ群に含まれる正レンズのｄ線に対する屈折率であり、νｄＧ３ｎは、第３レンズ群に含まれる負レンズのアッベ数である。
【００５５】
条件式（８）は、第３レンズ群に含まれる正レンズのｄ線に対する屈折率を規定する式である。条件式（８）を満たすことで、軸外コマ収差を良好に補正しながら、第２レンズ群の負のパワーにより発生する歪曲収差を第３レンズ群の正のパワーのレンズによって低減させることが可能となる。下限値を下回ると、第３レンズ群に含まれる正レンズのレンズ面の曲率半径が小さくなり、コマ収差または歪曲収差が悪化してしまう。
【００５６】
条件式（９）は、第３レンズ群に含まれる負レンズのアッベ数を規定する式である。条件式（９）を満たすことで、最も軸外主光線が高くなる第３レンズ群で、軸外の倍率色収差を良好に補正することができる。上限値を上回ると、倍率色収差を良好に補正することが困難となる。
【００５７】
なお、条件式（２）から条件式（９）の任意に組み合わせが、条件式（１）を満たす結像レンズに適用されてもよい。また、各式は、上限値及び下限値のいずれか一方のみで限定しても良い。
【００５８】
以下、各実施例に係る結像レンズについて具体的に説明する。  
【実施例１】
【００５９】
図２は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図２に例示される結像レンズ１２は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００６０】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６を含んでいる。
結像レンズ１２の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【００６１】
以下、本実施例に係る結像レンズ１２の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１２の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１４５．２８ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８２．９８ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【００６２】
本実施例に係る結像レンズ１２のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１２
s          r            d           nd          vd
1         INF         162                    
2         40.155        9.67        1.497      81.54
3       -328.499        1                 
4         88.849        8.63        1.48749    70.23
5        -51.485        8.02        1.51633    64.14
6         31.708       13.631                 
7        -29.997        4.3         1.65412    39.68
8        -70.859       35.335        
9         98.904        7.2         1.741      52.64
10       -109.832        2.084        
11        -57.015        5.9         1.72151    29.23
12        -91.13       109.232         
13(像面)   INF
【００６３】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１２の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１３が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１２は、結像レンズ１２の最終面から像面までの距離を示している。
【００６４】
本実施例に係る結像レンズ１２は、以下の式（１１）から（１９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（１１）から（１９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．９                            ・・・（１１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．８０７                    ・・・（１２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４６１                  ・・・（１３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４６７                        ・・・（１４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．９４６                ・・・（１５）
ＮｄＧ２＝１．６５４１２                      ・・・（１６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（１７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７４１                        ・・・（１８）
νｄＧ３ｎ＝２９．２３                        ・・・（１９）
【００６５】
図３は、図２に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図３（ａ）は球面収差図であり、図３（ｂ）は非点収差図であり、図３（ｃ）は歪曲収差図であり、図３（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１２の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例２】
【００６６】
図４は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図４に例示される結像レンズ１３は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００６７】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ２と像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００６８】
結像レンズ１３の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【００６９】
以下、本実施例に係る結像レンズ１３の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１３の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝３０２．０３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−７１４．２２ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【００７０】
本実施例に係る結像レンズ１３のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１３
s          r            d           nd          vd
1         INF         112        
2         46.801        7           1.497      81.54
3        335.831        1        
4         55.814        9.32        1.48749    70.23
5         97.109        9.3         1.6134     44.27
6         29.264       17.663        
7        -27.917        6.5         1.65412    39.68
8        -32.425       31.625        
9         80            6.1         1.7859     44.2
10       -109.972        5           1.64769    33.79
11        103.327      106.404        
12(像面)   INF     
【００７１】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１３の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズのレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ１３の最終面から像面までの距離を示している。
【００７２】
本実施例に係る結像レンズ１３は、以下の式（２１）から（２９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（２１）から（２９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．６２２                        ・・・（２１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．６７８                    ・・・（２２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−３．９６８                  ・・・（２３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４６８                        ・・・（２４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．９５４                ・・・（２５）
ＮｄＧ２＝１．６５４１２                      ・・・（２６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（２７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７８５９                      ・・・（２８）
νｄＧ３ｎ＝３３．７９                        ・・・（２９）
【００７３】
図５は、図４に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図５（ａ）は球面収差図であり、図５（ｂ）は非点収差図であり、図５（ｃ）は歪曲収差図であり、図５（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１３の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例３】
【００７４】
図６は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図６に例示される結像レンズ１４は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００７５】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１と、両凸レンズＬ２と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、両凹レンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００７６】
結像レンズ１４の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ１を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ４を含んでいる。
【００７７】
以下、本実施例に係る結像レンズ１４の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１４の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝６４．７４ｍｍ、ＦＬＧ２＝−３４．７ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【００７８】
本実施例に係る結像レンズ１４のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１４
s          r            d           nd          vd
1         INF         143        
2         45.074        8.75        1.48749    70.23
3        434.785        1        
4        121.956        8.65        1.497      81.54
5       -103.036        9.5         1.788      47.37
6       -144.577       13.007        
7        -56.522        6.68        1.6134     44.27
8         35.668       41.99        
9         82.23         8.86        1.7859     44.2
10        -90.131        5.95        1.74       28.3
11      -1494.184       94.47        
12(像面)   INF   
【００７９】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１４の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１４のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ１４の最終面から像面までの距離を示している。
【００８０】
本実施例に係る結像レンズ１４は、以下の式（３１）から（３９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（３１）から（３９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．７９４                        ・・・（３１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．３６０                    ・・・（３２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．１９３                  ・・・（３３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５２５                        ・・・（３４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．１３０                ・・・（３５）
ＮｄＧ２＝１．６１３４                        ・・・（３６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（３７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７８５９                      ・・・（３８）
νｄＧ３ｎ＝２８．３                          ・・・（３９）
【００８１】
図７は、図６に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図７（ａ）は球面収差図であり、図７（ｂ）は非点収差図であり、図７（ｃ）は歪曲収差図であり、図７（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１４の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例４】
【００８２】
図８は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図８に例示される結像レンズ１５は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００８３】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００８４】
結像レンズ１５の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【００８５】
以下、本実施例に係る結像レンズ１５の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１５の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１３０．９２ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８９．６６ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【００８６】
本実施例に係る結像レンズ１５のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１５
s          r            d           nd          vd
1         INF         162        
2        116.972       10           1.48749    70.23
3       -118.186        1        
4         36.021        9.42        1.497      81.54
5       -192.959        8           1.51633    64.14
6         26.873        9.424        
7        -56.018        4.54        1.65412    39.68
8      -1290.068       38.518        
9        165.079        6.76        1.7725     49.6
10        -90.99         7.23        1.71736    29.52
11       -237.346      107.572        
12(像面)   INF
【００８７】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１５の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１５のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ１５の最終面から像面までの距離を示している。
【００８８】
本実施例に係る結像レンズ１５は、以下の式（４１）から（４９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（４１）から（４９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．９                            ・・・（４１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．７２７                    ・・・（４２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４９８                  ・・・（４３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４６９                        ・・・（４４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝２．０８５                ・・・（４５）
ＮｄＧ２＝１．６５４１２                      ・・・（４６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（４７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７７２５                      ・・・（４８）
νｄＧ３ｎ＝２９．５２                        ・・・（４９）
【００８９】
図９は、図８に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図９（ａ）は球面収差図であり、図９（ｂ）は非点収差図であり、図９（ｃ）は歪曲収差図であり、図９（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１５の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例５】
【００９０】
図１０は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図１０に例示される結像レンズ１６は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００９１】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ５と像側に凹面を向けた平凹レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【００９２】
結像レンズ１６の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【００９３】
以下、本実施例に係る結像レンズ１６の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１６の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝２７２．１６ｍｍ、ＦＬＧ２＝−５８０．９５ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【００９４】
本実施例に係る結像レンズ１６のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１６
s          r            d           nd          vd
1         INF         162        
2         52.686        9.9         1.48749    70.23
3       -212.258        1        
4         65.191        8.9         1.497      81.54
5       -215.971        9.6         1.741      52.64
6         38.465       17.03        
7        -25.776        4.9         1.6134     44.27
8        -29.794       35.716        
9         77.248        5.8         1.72916    54.68
10         INF           9           1.68893    31.07
11        147.437       97.453        
12(像面)   INF
【００９５】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１６の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１６のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ１６の最終面から像面までの距離を示している。
【００９６】
本実施例に係る結像レンズ１６は、以下の式（５１）から（５９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（５１）から（５９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．９                            ・・・（５１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝１．５１２                    ・・・（５２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−３．２２８                  ・・・（５３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５１１                        ・・・（５４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．６７０                ・・・（５５）
ＮｄＧ２＝１．６１３４                        ・・・（５６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（５７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７２９１６                    ・・・（５８）
νｄＧ３ｎ＝３１．０７                        ・・・（５９）
【００９７】
図１１は、図１０に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図１１（ａ）は球面収差図であり、図１１（ｂ）は非点収差図であり、図１１（ｃ）は歪曲収差図であり、図１１（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１６の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例６】
【００９８】
図１２は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図１２に例示される結像レンズ１７は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【００９９】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１と、両凸レンズＬ２と両凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、両凹レンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【０１００】
結像レンズ１７の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、両凹レンズＬ４を含んでいる。
【０１０１】
以下、本実施例に係る結像レンズ１７の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１７の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝６４．７５ｍｍ、ＦＬＧ２＝−３１．８３ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【０１０２】
本実施例に係る結像レンズ１７のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１７
s          r            d           nd          vd
1         49.775       62           1.497      81.54
2        609.447        8        
3         58.344        1           1.497      81.54
4        -94.097        6.28        1.51633    64.14
5        266.824        4.5        
6       -139.859       17.412      1.83481    42.71
7         33.611        7.5        
8        115.912       53.282      1.8061     40.92
9        -60.321        7           1.78472    25.68
10       -184.927        7.5        
11         INF          85.554        
12(像面)   INF
【０１０３】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１７の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１７のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ１７の最終面から像面までの距離を示している。
【０１０４】
本実施例に係る結像レンズ１７は、以下の式（６１）から（６９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（６１）から（６９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．３４４                        ・・・（６１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．３６０                    ・・・（６２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．１７７                  ・・・（６３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５６８                        ・・・（６４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．５２４                ・・・（６５）
ＮｄＧ２＝１．８３４８１                      ・・・（６６）
νｄＧ１＝８１．５４０                        ・・・（６７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．８０６１                      ・・・（６８）
νｄＧ３ｎ＝２５．６８                        ・・・（６９）
【０１０５】
図１３は、図１２に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図１３（ａ）は球面収差図であり、図１３（ｂ）は非点収差図であり、図１３（ｃ）は歪曲収差図であり、図１３（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１７の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例７】
【０１０６】
図１４は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図１４に例示される結像レンズ１８は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【０１０７】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ２と像側に凹面を向けた平凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けた平凹レンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６を含んでいる。
【０１０８】
結像レンズ１８の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、平凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、平凹レンズＬ４を含んでいる。
【０１０９】
以下、本実施例に係る結像レンズ１８の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１８の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１２５．２４ｍｍ、ＦＬＧ２＝−８６．２６ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【０１１０】
本実施例に係る結像レンズ１８のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１８
s          r            d           nd          vd
1         INF         112        
2         91.726        5.25        1.43875    94.93
3       -129.825        1        
4         28.474        8.95        1.497      81.54
5         INF           6.29        1.51633    64.14
6         21.709       11.967        
7        -52.914        4           1.6134     44.27
8         INF          29.782        
9         88.05         5           1.741      52.64
10       -306.532        1.656        
11        -65.861        4.6         1.74       28.3
12        -88.37       102.586        
13(像面)   INF
【０１１１】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１８の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１３が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１８のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１２は、結像レンズ１８の最終面から像面までの距離を示している。
【０１１２】
本実施例に係る結像レンズ１８は、以下の式（７１）から（７９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（７１）から（７９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．６２２                        ・・・（７１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．６９６                    ・・・（７２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．４７９                  ・・・（７３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４３４                        ・・・（７４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝２．４３７                ・・・（７５）
ＮｄＧ２＝１．６１３４                        ・・・（７６）
νｄＧ１＝９４．９３                          ・・・（７７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７４１                        ・・・（７８）
νｄＧ３ｎ＝２８．３                          ・・・（７９）
【０１１３】
図１５は、図１４に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図１５（ａ）は球面収差図であり、図１５（ｂ）は非点収差図であり、図１５（ｃ）は歪曲収差図であり、図１５（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１８の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例８】
【０１１４】
図１６は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図１６に例示される結像レンズ１９は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【０１１５】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた平凸レンズＬ２と像側に凹面を向けた平凹レンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６を含んでいる。
【０１１６】
結像レンズ１９の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、平凹レンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【０１１７】
以下、本実施例に係る結像レンズ１９の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ１９の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１７６．９３ｍｍ、ＦＬＧ２＝−１１１．６３ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【０１１８】
本実施例に係る結像レンズ１９のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ１９
s          r            d           nd          vd
1         INF         212        
2         51.743       11           1.56907    71.3
3       -354.9474       1        
4         68.456        8.9         1.43875    94.93
5         INF           9.5         1.72916    54.68
6         40.114       15.678        
7        -34.85         5           1.6134     44.27
8        -74.841       33.902        
9        128.699        8.05        1.741      52.64
10        -91.221        1.275        
11        -64.759        4.8         1.72151    29.23
12       -117.308      105.895        
13(像面)   INF  
【０１１９】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ１９の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１３が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ１９のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１２は、結像レンズ１９の最終面から像面までの距離を示している。
【０１２０】
本実施例に係る結像レンズ１９は、以下の式（８１）から（８９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（８１）から（８９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝１．１７８                        ・・・（８１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．９８３                    ・・・（８２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．６２０                  ・・・（８３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．４８３                        ・・・（８４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．８６９                ・・・（８５）
ＮｄＧ２＝１．６１３４                        ・・・（８６）
νｄＧ１＝９４．９３                          ・・・（８７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７４１                        ・・・（８８）
νｄＧ３ｎ＝２９．２３                        ・・・（８９）
【０１２１】
図１７は、図１６に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図１７（ａ）は球面収差図であり、図１７（ｂ）は非点収差図であり、図１７（ｃ）は歪曲収差図であり、図１７（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ１９の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例９】
【０１２２】
図１８は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図１８に例示される結像レンズ２０は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【０１２３】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ２と像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ５と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ６を含んでいる。
【０１２４】
結像レンズ２０の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【０１２５】
以下、本実施例に係る結像レンズ２０の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ２０の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１１６．３５ｍｍ、ＦＬＧ２＝−１１８．０１ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【０１２６】
本実施例に係る結像レンズ２０のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ２０
s          r            d           nd          vd
1          INF        162        
2          51.881      10.4         1.497      81.54
3        -187.924       1        
4          41.824       9.3         1.497      81.54
5         291.175      10           1.788      47.37
6          33.509      16.745        
7         -30.061       9.5         1.53172    48.84
8         -64.037      47.629        
9          60.347       8           1.8061     40.92
10         144.524       4.082        
11         -94.659       5.5         1.62004    36.26
12        -226.77       42.844        
13(像面)   INF    
【０１２７】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ２０の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１３が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ２０のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１２は、結像レンズ２０の最終面から像面までの距離を示している。
【０１２８】
本実施例に係る結像レンズ２０は、以下の式（９１）から（９９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（９１）から（９９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．９                            ・・・（９１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．６４６                    ・・・（９２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．６５６                  ・・・（９３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．７４０                        ・・・（９４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝０．８９７                ・・・（９５）
ＮｄＧ２＝１．５３１７２                      ・・・（９６）
νｄＧ１＝８１．５４                          ・・・（９７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．８０６１                      ・・・（９８）
νｄＧ３ｎ＝３６．２６                        ・・・（９９）
【０１２９】
図１９は、図１８に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図１９（ａ）は球面収差図であり、図１９（ｂ）は非点収差図であり、図１９（ｃ）は歪曲収差図であり、図１９（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ２０の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【実施例１０】
【０１３０】
図２０は、本実施例に係る結像レンズの断面図である。図２０に例示される結像レンズ２１は、物体の像を拡大する無限遠補正型の対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズであり、物体側から順に、接合レンズＣＬ１（レンズＬ２、レンズＬ３）を含む正のパワーを有する第１レンズ群Ｇ１と、負のパワーを有する第２レンズ群Ｇ２と、正レンズ（レンズＬ５）と負レンズ（レンズ６）を含む全体で正のパワーを有する第３レンズ群Ｇ３と、を含んでいる。
【０１３１】
より具体的には、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、両凸レンズＬ１と、像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ２と像側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ３とからなる接合レンズＣＬ１を含んでいる。第２レンズ群Ｇ２は、物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ４からなる。第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸レンズＬ５と両凹レンズＬ６とからなる接合レンズＣＬ２を含んでいる。
【０１３２】
結像レンズ２１の第１レンズ群Ｇ１は、像側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ３を含み、第２レンズ群は、物体側に凹面を向けたレンズとして、メニスカスレンズＬ４を含んでいる。
【０１３３】
以下、本実施例に係る結像レンズ２１の各種データについて記載する。なお、基準波長は、ｄ線（５８７．５６ｎｍ）である。
結像レンズ２１の焦点距離ＦＬと、第１レンズ群の焦点距離ＦＬＧ１と、第２レンズ群の焦点距離ＦＬＧ２と、像側の開口数ＮＡＩと、像高ＩＭ．Ｈは、それぞれ以下のとおりである。
ＦＬ＝１８０ｍｍ、ＦＬ１Ｇ＝１１８．４５ｍｍ、ＦＬＧ２＝−１１２．１９ｍｍ、
ＮＡＩ＝０．０４、ＩＭ．Ｈ＝１５ｍｍ
【０１３４】
本実施例に係る結像レンズ２１のレンズデータは、以下のとおりである。
結像レンズ２１
s          r            d           nd          vd
1         INF         112        
2         80.335        5.17        1.56907    71.3
3       -174.491        1        
4         29.396        9.16        1.48749    70.23
5         84.019        5           1.6134     44.27
6         23.149       11.355        
7        -52.159        6.65        1.6134     44.27
8       -225.924       55.132        
9        107.512        8.37        1.788      47.37
10       -261.058        5.43        1.74951    35.33
11        441.095       74.96        
12(像面)   INF   
【０１３５】
ここで、ｓは面番号を、ｒは曲率半径（ｍｍ）を、ｄは面間隔（ｍｍ）を、ｎｄはｄ線に対する屈折率を、ｖｄはアッベ数を示す。なお、面番号ｓ１が示す面は、それぞれ対物レンズの射出瞳位置（結像レンズ２１の入射瞳位置）の面を示し、面番号ｓ１２が示す面は、像面を示している。また、面間隔ｄ１は、面番号ｓ１が示す面から面番号ｓ２が示す面までの距離を示していて、対物レンズに最も近い結像レンズ２１のレンズ面である第１面から対物レンズの射出瞳位置までの距離Ｄ２である。面間隔ｄ１１は、結像レンズ２１の最終面から像面までの距離を示している。
【０１３６】
本実施例に係る結像レンズ２１は、以下の式（１０１）から（１０９）で示されるように、条件式（１）から（９）を満たしている。なお、式（１０１）から（１０９）はそれぞれ条件式（１）から（９）に対応している。
Ｄ２／ＦＬ＝０．６２２                        ・・・（１０１）
ＦＬＧ１／ＦＬ＝０．６５８                    ・・・（１０２）
ＦＬＧ２／ＦＬ＝−０．６２３                  ・・・（１０３）
Ｄ１／Ｄ０＝０．５８９                        ・・・（１０４）
｜ＲＧ２／ＲＧ１｜＝２．２５３                ・・・（１０５）
ＮｄＧ２＝１．６１３４                        ・・・（１０６）
νｄＧ１＝７１．３                            ・・・（１０７）
ＮｄＧ３ｐ＝１．７８８                        ・・・（１０８）
νｄＧ３ｎ＝３５．３３                        ・・・（１０９）
【０１３７】
図２１は、図２０に例示される結像レンズの収差図であり、物体側から平行光束が入射した場合の像面での収差を示している。図２１（ａ）は球面収差図であり、図２１（ｂ）は非点収差図であり、図２１（ｃ）は歪曲収差図であり、図２１（ｄ）はコマ収差図である。いずれも収差も良好に補正されていることが示されている。なお、図中の “ＮＡＩ”は結像レンズ２１の像側の開口数、“ＩＭ．Ｈ”は像高（ｍｍ）を示している。また、“Ｍ”はメリディオナル成分、“Ｓ”はサジタル成分を示している。
【符号の説明】
【０１３８】
１・・・光源
２・・・照明光学系
３・・・コレクタレンズ
４・・・リレーレンズ
５・・・コンデンサレンズ
６・・・標本面
７・・・撮像光学系
８・・・対物レンズ
９、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１・・・結像レンズ
１０・・・像面
１１・・・撮像素子
１００・・・顕微鏡
ＡＳ・・・開口絞り
ＦＳ・・・視野絞り
ＰＬ・・・射出瞳位置
Ｇ１・・・第１レンズ群
Ｇ２・・・第２レンズ群
Ｇ３・・・第３レンズ群
ＣＬ１、ＣＬ２・・・接合レンズ
【図１】
0005705014.tif 000002
【図２】
0005705014.tif 000003
【図４】
0005705014.tif 000004
【図６】
0005705014.tif 000005
【図８】
0005705014.tif 000006
【図１０】
0005705014.tif 000007
【図１２】
0005705014.tif 000008
【図１４】
0005705014.tif 000009
【図１６】
0005705014.tif 000010
【図１８】
0005705014.tif 000011
【図２０】
0005705014.tif 000012
【図３】
0005705014.tif 000013
【図５】
0005705014.tif 000014
【図７】
0005705014.tif 000015
【図９】
0005705014.tif 000016
【図１１】
0005705014.tif 000017
【図１３】
0005705014.tif 000018
【図１５】
0005705014.tif 000019
【図１７】
0005705014.tif 000020
【図１９】
0005705014.tif 000021
【図２１】
0005705014.tif 000022