(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベースに固定され、載置されたワークを回転する回転台と、
前記回転台の回転軸に対して平行に伸び、前記回転台の回転軸と前記ワークの測定点を含む測定平面に平行にかつ前記ベースに対してスライド移動可能なコラムと、
前記コラム上の前記測定平面に垂直な回転軸に取り付けられた検出器ホルダと、
前記検出器ホルダに取り付けられた検出器と、を備え、
前記検出器ホルダが前記測定平面に垂直な回転軸を中心とした前記測定平面内の異なる回転位置にある状態において、前記検出器の先端にある測定子が前記測定平面内で変位可能であることを特徴とする真円度測定装置。
【請求項２】
前記コラムに沿って上下移動可能に支持されたキャリッジを有し、
前記検出器ホルダは、前記キャリッジ上に取り付けられ、前記測定平面に垂直な軸を回転中心として回転するホルダ回転機構を備える請求項１記載の真円度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真円度測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
被測定物（ワーク）の円筒状の外周面または内周面の真円度を測定する真円度測定装置が広く使用されている。
【０００３】
図１は、従来の真円度測定装置の外観図である。
真円度測定装置は、台状のベース１と、ベース１に設けられた回転可能な載物台２と、載物台２を回転駆動するためのモータ等を有する回転駆動部３と、ベース１に設けられたコラム４と、コラム４に沿って移動可能なキャリッジ５と、キャリッジ５に対して移動可能なアーム６と、アーム６の先端部に取り付けられた検出器ホルダ９と、検出器ホルダ９に取り付けられた検出器１０と、を有する。検出器１０は、測定子１１と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、測定子１１の変位を示す電気信号を出力する。
【０００４】
ワーク１２は、載物台２上に、ワーク１２の円筒面の中心軸が載物台２の回転軸にほぼ一致するように載置され、回転される。コラム４は、載物台２の回転軸に平行に伸びる柱である。キャリッジ５は、コラム４に沿って移動可能であり、一般に移動はコラム４の案内面に沿ってマニュアルで移動されるが、モータ等を用いて自動で移動する場合もある。アーム６は、キャリッジ５の案内面にマニュアルで移動されるが、モータ等を用いて自動で移動する場合もある。検出器ホルダ９は、Ｌ字型の部材で、一方の端がアーム６の先端に取り付けられ、他方の端に検出器１０が取り付けられる。
【０００５】
測定を行なう場合には、ワーク１２は、載物台２上に、ワーク１２の円筒面の中心軸が載物台２の回転軸にほぼ一致するように載置する。測定子１１がワーク１２の測定する位置に接触するように、キャリッジ５を移動して上下方向の位置を調整し、アーム６を移動して径方向の位置を調整する。この状態で、ワーク１２の真円度を測定するが、高精度の測定を行なう場合には、ワーク１２を回転して、ワーク１２の円筒部の中心軸と載物台２の回転軸との偏心を測定し、載物台２に設けられたＸＹ移動機構で、ワーク１２の円筒部の中心軸が載物台２の回転軸により正確に一致するように調整した後測定を行なう。この時、測定子１１は、変位範囲の中心付近であることが望ましい。
【０００６】
図２は、図１の真円度測定装置の上面図である。
図２に示すように、コラム４は、載物台２の右側に設けられる。アーム６、検出器ホルダ９および検出器１０は、一直線上に配置され、その延長上に、載物台２の回転中心軸が位置する。測定子１１は、検出器１０の先端に設けられ、この直線と載物台２の回転中心軸がなす平面内で変位する。したがって、ワーク１２の測定する円筒面の直径が異なる場合には、測定子１１が測定する円筒面に接触するように、アーム６を移動する。ここでは、測定子１１が測定する円筒面に接触する測定点と載物台２の回転中心軸がなす平面を測定平面と称し、載物台２の回転中心軸と測定点をむすぶ方向を径方向と称する。言い換えれば、測定する円筒面の直径が異なる場合でも、アーム６、検出器ホルダ９および検出器１０は、測定平面に沿って径方向に移動され、測定子１１は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。測定子１１が測定平面上で、すなわち載物台２の回転中心軸（円筒面の中心軸）を含む平面内で変位することは、真円度を高精度で測定する上で必須事項である。
【０００７】
コラム４を載物台２の右側に設ける（左側でもよい）第１の理由は、アーム６を測定平面上で移動させるためであり、第２の理由は、異なる円筒面を測定する場合に、円筒面の半径（直径）の差を、アーム６の移動量を検出することにより検出できるためである。
【０００８】
以上のような理由で、従来の真円度測定装置においては、コラム４を載物台２の側方（右側または左側）に設けていた。そのため、コラム４が固定されるベース１は、上面図では、径方向に長い長方形である。さらに、アーム６は、測定する円筒面の半径に応じて径方向に移動されるため、アーム６が右方向に最大限移動した場合を考慮して、設置スペースを決定する必要がある。以上のような理由で、従来の真円度測定装置は、径方向に長い長方形の設置スペースを必要とし、設置に必要な空間が大きかった。
【０００９】
次に、測定動作をより詳細に説明する。
図３は、外筒面１２の真円度を測定する場合の操作を説明する図であり、（Ａ）が上面図であり、（Ｂ）が側面図であり、（Ｃ）がワーク（外筒面）１２に接触した測定子１１の変位を示す。
【００１０】
前述のように、アーム６、検出器ホルダ９および検出器１０は、測定平面に沿ってほぼ一直線上に配置され、測定子１１は、測定平面内で変位する。図３の（Ａ）および（Ｂ）において実線で示すように、測定子１１が外筒面１２に接触しない状態で、測定子１１が外筒面１２の測定する高さ位置なるようにキャリッジ５の高さを調整する。その後、破線で示すように、キャリッジ５に対してアーム６を移動して、測定子１１を外筒面１２に接触させる。これにより、図３の（Ｃ）に示すように、測定子１１が外筒面１２に接触し、外筒面１２が回転すると、測定子１１が、外筒面１２の半径の変動、すなわち真円度に応じて変位する。検出器１０は、測定子１１の変位量を検出して電気信号として出力する。
【００１１】
なお、近年は、検出信号をデジタル処理して補正することが行われており、円筒面の中心軸と載物台２の回転軸の位置ずれ（偏心）、および円筒面の中心軸と載物台２の回転軸の方向差に起因する誤差は、ある程度補正できるようになっている。
【００１２】
検出器１０は、測定子１１が所定の平面内で変位するように支持している。真円度を測定する場合、測定子１１が変位する平面が、測定平面に一致することが必要であり、一致しない場合には測定誤差を生じる。
【００１３】
図４は、つば部分を有するワーク１２の外筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
【００１４】
図４に示すように、測定子１１を、測定する外筒面に接触させる。ここではワーク１２の測定子１１が接触する点を測定点Ｐと称する。外筒面と測定平面は２箇所で交差し、２つの交差線が存在する。測定点Ｐは、いずれの交差線上に存在することも可能であるが、通常、コラム４が設けられる側の測定点Ｐが選択されて測定が行われる。この理由は、コラム４が設けられる側と反対側の測定点を選択するには、アーム６の移動量を大きくする必要があるためと、大きな半径のワーク１２の場合、アーム６がワーク１２に接触する場合が生じるためである。
【００１５】
図５は、つば部分を有するワーク１２の外筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【００１６】
図５に示すように、Ｌ字型の検出器ホルダ９は、アーム６の先端部のホルダ固定部７にねじ等により取り付けられる。検出器１０は、検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３にねじ等で取り付けられる。検出器１０は、細長い形状を有し、載物台２の回転軸に平行に伸びるように、検出器ホルダ９に取り付けられる。ここで、測定子１１は、検出器１０の側面より外側にまで伸びていることが望ましい。これは、長い外筒面を有するワーク１２を測定する場合、測定できる外筒面の下の部分のワーク１２の上面からの深さが制限されるためである。図５に示すように、測定子１１が検出器１０の側面より外側にまで伸びている場合には、測定子１１の先端から検出器ホルダ９までが測定深さになる。もし、測定子１１が検出器１０の側面より外側にまで伸びていない場合には、測定子１１の長さがほぼ測定深さになり、非常に短くなるという問題がある。
【００１７】
検出器ホルダ９をＬ字型として、検出器１０を取り付けた時に、逆Ｕ字型となるようにするのは、後述するように、ワーク１２の内筒面の真円度を測定するためである。
【００１８】
図６は、つば部分を有するワーク１２の内筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
【００１９】
図６に示すように、測定子１１を、内筒面の測定点Ｐに接触させる。測定点Ｐは、アーム６の移動量を小さくするため、コラム４が設けられる側の測定点が選択されるのが一般的である。
【００２０】
図７は、つば部分を有するワーク１２の内筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【００２１】
図７に示すように、Ｌ字型の検出器ホルダ９の垂直部分と検出器１０の間には空間が形成され、外筒面および内筒面の間の部分がこの空間内に収容できるワークの内筒面であれば、真円度を対応する深さまで測定することが可能である。
ここで、検出器１０の検出器ホルダ９への取り付け方向を変更すると、測定子１１の先端位置、すなわち測定点が変化する。そこで、図５および図７に示すように、測定子１１の先端が、検出器１０の取り付けの回転軸上に位置するように構成する。これにより、検出器１０の検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３に対する取り付け方向を１８０度回転しても、測定子１１の先端部の位置が変化せず、測定点が一致する。
【００２２】
図５と比較して明らかなように、外筒面および内筒面のコラム４が設けられる側の測定点に測定子１１を接触させる場合、検出器ホルダ９に取り付ける検出器１０の方向を１８０度回転する必要がある。そのため、外筒面の真円度を測定した後内筒面の真円度を測定する場合または逆の場合には、検出器１０を検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３から取り外し、１８０度回転した後、再び検出器１０を検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３に取り付ける必要がある。検出器１０の取り付けを変更すると、取り付け位置および回転方向にずれが生じることが不可避である。
【００２３】
真円度測定装置では、外筒面および内筒面の真円度を測定するだけでなく、つば部分を有するワークのつば部分の平面度を測定することも要求されている。
【００２４】
図８は、つば部分を有するワーク１２のつば部分の上面の平面度を測定する状態を示す外観図である。
【００２５】
図６に示す状態から、Ｌ字型の検出器ホルダ９のアーム６の先端（ホルダ固定部）に対する取り付け方向を９０度回転し、測定子１１が、つば部分の上面と測定平面との交差線上で接触するように配置する。そして、ワーク１２を回転し、検出器１０で測定子１１の変位を測定すると、つば部分の平面からのずれ（平面度）が測定できる。Ｌ字型の検出器ホルダ９を背面側に回転して取り付けるのは、正面側からの操作を容易にするためである。
【００２６】
図９は、つば部分を有するワーク１２のつば部分の下面の平面度を測定する状態を示す外観図である。図８の状態とは、検出器ホルダ９に取り付ける検出器１０の方向が、１８０度回転していることが異なる。
【００２７】
以上のように、従来の真円度測定装置では、ワークの円筒面の真円度を測定する場合と、つば部分の平面度を測定する場合とで、Ｌ字型の検出器ホルダ９のアーム６の先端（ホルダ固定部）に対する取り付け方向を９０度回転するための第１の回転軸を設けていた。さらに、外筒面の真円度を測定する場合と内筒面の真円度を測定する場合、およびつば部分の上面の平面度を測定する場合と下面の平面度を測定する場合で、検出器１０の検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３に対する取り付け方向を１８０度回転するための第２の回転軸を設けていた。すなわち、従来の真円度測定装置は、回転軸を２つ必要としていた。
【００２８】
さらに、図５と図７に示すように、検出器１０の検出器ホルダ９の先端の検出器継手１３に対する取り付け方向を１８０度回転すると、測定子１１の先端部の位置が変化し、測定点が一致しないことになる。図５および図７に示すように、測定子１１の先端が、検出器１０の取り付けの回転軸上に位置するように構成しても、取り付け誤差による位置の変化は不可避である。
【００２９】
図１０および図１１は、検出器の回転による測定点の変化が生じない別の検出器の例を示す図であり、（Ａ）は外筒面を測定する場合を、（Ｂ）は内筒面を測定する場合を示す。
【００３０】
図１０および図１１に示すように、先端が検出器１０を検出器継手１３に取り付ける第２の回転軸上に位置するような特殊測定子１４を使用する。この構成であれば、検出器１０を回転しても測定点の位置はほとんど変化しない。しかし、測定子１０の上側には検出器１０および検出器ホルダ９が存在するため、測定深さが制限されるという問題がある。
【００３１】
さらに、Ｌ字型の検出器ホルダ９を回転する第１の回転軸は、かならずしも測定平面と一致していないため、検出器ホルダ９のアーム６の先端（ホルダ固定部）に取り付ける角度を変化させると、測定子１１の先端が測定平面からずれる、言い換えれば測定点が測定平面上に位置しないという問題を生じる。
【００３２】
もちろん、つば部分の上面および下面の平面度を測定する測定点は、かならずしも測定平面上に位置している必要はないが、測定点の位置を正確に管理する上では、ずれは小さいほうが望ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３３】
【特許文献１】特開平８−３１３２４７号公報
【特許文献２】特開２００３−３０２２１８号公報
【特許文献３】特開２００６−１４５３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
本発明は、ワークの測定する位置および方向を変える場合でも、検出器の取り付けを変更する必要が無く、検出器ホルダの取り付け方向のみを変更すればよく、測定点が変化せず、測定点が測定平面からずれない真円度測定装置の実現を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３５】
上記課題を解決するため、本発明の真円度測定装置は、測定平面に平行に移動可能なコラムを背面側に設け、コラムに沿って上下方向に移動可能なキャリッジにＬ字型の検出器ホルダを取り付け、さらに検出器ホルダに検出器を取り付け、測定子が測定平面で変位可能にすると共に、コラムを移動すると測定子が測定平面上を移動し、検出器ホルダの取り付け方向を変更しても測定子が測定平面上を位置するように構成する。
【００３６】
すなわち、本発明の真円度測定装置は、ベースと、ベースに固定され、載置されたワークを回転する回転台と、回転台の回転軸に対して平行に伸び、回転台の回転軸とワークの測定点を含む測定平面に平行に移動可能なコラムと、コラムに沿って移動可能に支持されたキャリッジと、キャリッジに取り付けられた検出器ホルダと、測定子が測定平面で変位可能なように、検出器ホルダに取り付けられた検出器と、を有し、検出器ホルダは、測定平面に垂直な回転軸を中心とした異なる回転位置でキャリッジに取り付け可能で、異なる回転位置に取り付けても検出器の測定子が測定平面で変位可能な状態が維持されることを特徴とする。
【００３７】
本発明の真円度測定装置では、コラムが載物台の両側に移動するので、検出器の取り付け方向を変更しなくても、外筒面および内筒面の真円度を測定できる。さらに、検出器ホルダは、測定平面に垂直な回転軸を中心として回転するので、つば部分の上面および下面の平面度を測定する場合に検出器ホルダを回転しても、測定子は測定平面に位置する。このため、回転軸は１つでよい。
【００３８】
検出器ホルダは、ホルダ固定部にマニュアルで（手動で）取り付け方向を変えて取り付け可能にしても、ホルダ固定部を回転中心として回転するホルダ回転機構を設けて自動で取り付け方向を変更可能にしてもよい。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、小型で、操作が容易で、姿勢変更に伴う位置誤差を低減して測定誤差の小さな真円度測定装置が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は、従来の真円度測定装置の外観図である。
【図２】図２は、図１の真円度測定装置の上面図である。
【図３】図３は、外筒面の真円度を測定する場合の操作を説明する図である。
【図４】図４は、つば部分を有するワークの外筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
【図５】図５は、つば部分を有するワークの外筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【図６】図６は、つば部分を有するワークの内筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
【図７】図７は、つば部分を有するワークの内筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【図８】図８は、つば部分を有するワークのつば部分の上面の平面度を測定する状態を示す外観図である。
【図９】図９は、つば部分を有するワークのつば部分の下面の平面度を測定する状態を示す外観図である。
【図１０】図１０は、検出器の回転による測定点の変化が生じない検出器の例を示す図である。
【図１１】図１１は、検出器の回転による測定点の変化が生じない検出器の例を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明の第１実施形態の真円度測定装置の正面側から見た外観図である。
【図１３】図１３は、本発明の第１実施形態の真円度測定装置の背面側から見た外観図である。
【図１４】図１４は、第１実施形態の真円度測定装置の上面図である。
【図１５】図１５は、つば部分を有するワークの外筒面の真円度を測定する状態を示す側面図である。
【図１６】図１６は、つば部分を有するワークの内筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
【図１７】図１７は、つば部分を有するワークの内筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【図１８】図１８は、つば部分を有するワークのつば部分の上面の平面度を測定する状態を示す図である。
【図１９】図１９は、つば部分を有するワークのつば部分の下面の平面度を測定する状態を示す図である。
【図２０】図２０は、本発明の第２実施形態の真円度測定装置の正面側から見た外観図である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
図１２および図１３は、本発明の第１実施形態の真円度測定装置の正面側および背面側から見た外観図である。
【００４２】
第１実施形態の真円度測定装置は、台状のベース２１と、ベース２１に設けられた回転可能な載物台２２と、載物台２２を回転駆動するためのモータ等を有する回転駆動部（図示せず）と、ベース２１の背面に設けられたコラム２４と、コラム２４に沿って移動可能なキャリッジ２５と、キャリッジ２５に取り付けられた検出器ホルダ２９と、検出器ホルダ２９に取り付けられた検出器３０と、を有する。検出器３０は、測定子３１と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、測定子３１の変位を示す電気信号を出力する。キャリッジ２５は、検出器ホルダ２９が取り付けられるので、ホルダ固定部とも称する。
【００４３】
コラム２４は、上下方向ガイド５１および５２と、上下方向送りねじ５３が設けられている。キャリッジ２５は、上下方向送りねじ５３に上下方向送りナットにより係合されており、上下方向送りつまみ５５を回転することにより上下方向送りねじ５３が回転して、上下方向に移動する。なお、上下方向送りつまみ５５の代わりに、上下方向送りねじ５３を回転駆動するモータ等を設けて、キャリッジ２５を上下方向に自動で移動することも可能である。キャリッジ２５は、高精度の上下方向ガイド５１および５２により案内されるので、移動しても姿勢が変化することはない。したがって、キャリッジ２５に取り付けられた検出器ホルダ２９および検出器３０は、上下方向に移動しても、姿勢は変化せず、上下方向の位置（高さ）のみが変化する。
【００４４】
さらに、ベース２１の背面には、径方向ガイド７１および７２と、径方向送りねじ７３が設けられている。コラム２４は、径方向送りねじ７３に径方向送りナット７４により係合されており、径方向送りつまみ７５を回転することにより径方向送りねじ７３が回転して、径方向と平行に移動する。コラム２４は、載物台２２の右側および左側に移動可能である。なお、径方向送りつまみ７５の代わりに、径方向送りねじ７３を回転駆動するモータ等を設けて、コラム２４を径方向と平行に自動で移動することも可能である。コラム２４は、高精度の径方向ガイド７１および７２により案内されるので、移動しても姿勢が変化することはない。したがって、コラム２４（キャリッジ２５）に取り付けられた検出器ホルダ２９および検出器３０は、径方向と平行に移動しても、姿勢は変化せず、径方向の位置のみが変化する。言い換えれば、異なる半径の円筒面の真円度を測定するため、コラム２４を径方向と平行に移動しても、検出器３０の測定子３１は、測定平面でワーク３２に接触する。
【００４５】
検出器ホルダ２９および検出器３０は、図１に示した従来例のものと同じである。
ワーク３２のつば部分の上面および下面の高さ位置の変化、すなわち平面度を検出するため、検出器ホルダ２９は、キャリッジ２５に取り付ける方向を９０度ずつ異なる３方向にすることが可能である。このため、キャリッジ２５のホルダ固定部に測定平面と垂直な方向に伸びる取り付け軸が設けられ、検出器ホルダ２９には軸合わせ部材が設けられ、９０度ずつ異なる３方向で、取り付け軸に軸合わせ部材を嵌め合わせて取り付けられるように構成されている。この機構自体は、従来のものがそのまま使用できる。
【００４６】
検出器３０は、検出器ホルダ２９に対して取り付け方向を変更しなくても外筒面、内筒面、つば部分の上面および下面を測定できるので、検出器ホルダ２９に対して取り付け方向を変更可能にする必要はない。しかし、汎用の検出器３０を取り付け可能にする場合、取り付け方向を変更可能にしてもよい。
【００４７】
測定を行なう場合には、ワーク３２は、載物台２上に、ワーク３２の円筒面の中心軸が載物台２２の回転軸にほぼ一致するように載置する。測定子３１がワーク３２の測定する位置に接触するように、キャリッジ２５を移動して上下方向の位置を調整し、コラム２４を移動して径方向の位置を調整する。この状態で、ワーク３２の真円度を測定するが、高精度の測定を行なう場合には、ワーク３２を回転して、ワーク３２の円筒部の中心軸と載物台２２の回転軸との偏心を測定し、載物台２２に設けられたＸＹ移動機構で、ワーク３２の円筒部の中心軸が載物台２２の回転軸により正確に一致するように調整する。この時、測定子３１は、変位範囲の中心付近であることが望ましい。
【００４８】
図１４は、第１実施形態の真円度測定装置の上面図である。
図１４に示すように、コラム２４は、載物台２２の背面に、測定平面と平行に移動可能に設けられる。検出器ホルダ２９は、キャリッジ２５から測定平面に垂直な方向に伸び、検出器３０は、測定子３１が測定平面上で変位するように取り付けられる。ワーク３２の測定する円筒面の直径が異なる場合には、コラム２４を測定平面と平行に移動するので、検出器ホルダ２９および検出器３０は、測定平面に沿って径方向に移動され、測定子３１は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。前述のように、測定子３１が測定平面上で変位することは、真円度を高精度で測定する上で必須事項であり、第１実施形態はこの必須事項を満たす。
【００４９】
図２と図１４を比較して明らかなように、第１実施形態の真円度測定装置は、従来の真円度測定装置に比べて、ベースの横方向（径方向）の長さが大幅に短縮され、アームが側方に突き出すことも無いので、設置スペースが大幅に小さくなっていることが分かる。
【００５０】
前述のように、従来の真円度測定装置では、円筒面の半径（直径）の差を、アーム６の移動量を検出することにより検出できたが、第１実施形態の真円度測定装置でも同様に、コラム２４の移動量を検出することにより検出できる。
【００５１】
次に、第１実施形態の真円度測定装置で、ワークの各部の測定を行なう場合を詳細に説明する。
【００５２】
図１５は、つば部分を有するワーク３２の外筒面の真円度を測定する状態を示す側面図である。図１５に示すように、測定子３１を、測定する外筒面の測定点Ｐに接触させる。
【００５３】
図１６は、つば部分を有するワーク３２の内筒面の真円度を測定する状態を示す外観図である。
また、図１７は、つば部分を有するワーク３２の内筒面の真円度を測定する状態の側面図である。
【００５４】
図１６および図１７に示すように、測定子３１を、内筒面の測定点Ｐに接触させる。測定点Ｐは、載物台２２の回転軸に対して、図１５の外筒面の真円度を測定した測定点と反対側の内筒面上の測定点が選択される。コラム２４は、ベース２１の平面全体に渡って、載物台２２の回転軸の両側に移動可能であり、反対側の測定点であっても特に問題は生じない。
【００５５】
内筒面の真円度を測定する時の検出器３０の方向は、外筒面の真円度を測定する時と同じであり、検出期３０の検出器ホルダ２９への取り付けを変更する必要はない。
【００５６】
図１８は、つば部分を有するワーク３２のつば部分の上面の平面度を測定する状態を示す図であり、（Ａ）が外観図であり、（Ｂ）が側面図である。
【００５７】
図１６に示す状態から、Ｌ字型の検出器ホルダ２９のキャリッジ２５（ホルダ固定部）に対する取り付け方向を９０度回転し、測定子３１が、つば部分の上面と測定平面との交差線上で接触するように配置する。そして、ワーク３２を回転し、検出器３０で測定子３１の変位を測定すると、つば部分の平面からのずれ（平面度）が測定できる。前述のように、Ｌ字型の検出器ホルダ９の取り付け方向を９０度変更しても、測定子３１は測定平面内で回転するだけである。
【００５８】
図１９は、つば部分を有するワーク３２のつば部分の下面の平面度を測定する状態を示す図であり、（Ａ）が外観図であり、（Ｂ）が側面図である。図１８の状態とは、Ｌ字型の検出器ホルダ２９のキャリッジ２５を取り付ける方向が１８０度異なる。言い換えれば、Ｌ字型の検出器ホルダ２９を、逆方向に９０度回転して取り付ける。
【００５９】
以上のように、第１実施形態の真円度測定装置では、Ｌ字型の検出器ホルダ２９をキャリッジ２５に対して回転する回転軸を１つ設けるだけでよく、さらに、Ｌ字型の検出器ホルダ２９を測定平面に垂直な回転軸で回転するため、回転しても測定点は測定平面内に位置し、さらに、検出器３０を回転する必要が無いので、測定子１１の先端部の位置、すなわち測定点が変化しない。
【００６０】
図２０は、本発明の第２実施形態の真円度測定装置の正面側から見た外観図である。
【００６１】
第２実施形態の真円度測定装置は、検出器ホルダ２９を取り付けるキャリッジ２５のホルダ固定部に、モータ３３と、ギア３４および３５と、が設けられ、外部からの信号に応じて９０度ずつ回転することが、第２実施形態と異なり、他の部分は同じである。言い換えれば、第２実施形態の真円度測定装置では、外部信号でモータ３３を駆動することにより、図１２、図１３および図１６に示した検出器ホルダ２９が上方向を向いた状態、図１８に示した左方向を向いた状態、および図１９に示した右方向を向いた状態、に自動で切り替えることができる。
【００６２】
以上、第１および第２実施形態を説明したが、各種の変形例が可能であるのはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、真円度測定装置および類似の機能を有する測定装置に適用可能である。
【符号の説明】
【００６４】
２１    ベース
２２    載物台
２４    コラム
２５    キャリッジ
２９    検出器ホルダ
３０    検出器
３１    測定子
３２    ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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