(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円筒状をなし歪みを伴いながら軸心回りに回転する起歪部と、前記起歪部に取り付けられ、遠心力によって前記起歪部に生じる軸心を中心とした径方向の変形に対応する歪みを検出する第一の歪検出部と、前記第一の歪検出部で検出した歪みの大きさに応じて前記起歪部の回転数を算出する回転数演算部とを具備する回転数計を備えたトルクセンサであって、
前記起歪部を、その軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するようにするとともに、前記起歪部に対するトルク入力によって起歪部に生じる捩れに対応する方向の歪量を検出する第二の歪検出部を前記起歪部に取り付け、第二の歪検出部の検出結果に基づき起歪部に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部を設けて、回転数及びトルクを検出するように構成したことを特徴とする回転数計を備えたトルクセンサ。
【請求項２】
前記第一の歪検出部は、円周方向の歪みを検出する姿勢で前記起歪部の内周面に取り付けられ、前記回転数演算部は、前記第一の歪検出部で検出された円周方向の歪みを前記起歪部の径方向の変形に対応する歪みとし、前記円周方向の歪みに基づき回転数を算出する請求項１に記載の回転数計を備えたトルクセンサ。
【請求項３】
前記起歪部の内周面により形成される中空空間を閉止する位置に着脱可能な封止板を設け、前記中空空間に前記第一の歪検出部を収納した状態で密閉可能に構成されている請求項１又は２に記載の回転数計を備えたトルクセンサ。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載のトルクセンサを備え出力軸から回転駆動力を出力するものであって、
前記出力軸と前記起歪部とを一体に形成し又は前記出力軸と前記起歪部の軸方向一端とを接続して当該起歪部に駆動力が入力されるようにしたトルクセンサを備えた駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速回転に対応したトルクセンサ及び駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、電磁作用により回転駆動するモータ等の駆動装置のシャフトに作用するトルクを検出するトルクセンサが知られている。トルクセンサの一種として例えば特許文献１には、回転数計を備え、トルクだけでなく回転数も検出するものが開示されている。
【０００３】
回転数計として例えばエンコーダ方式を用いたものがある。この方式の回転数計は、回転体側に設けたスリット円板と、発光部及び受光部を有する固定側に設けたフォトセンサとからエンコーダを構成したもので、回転体が所定角度回転する毎にフォトセンサがスリット円板による遮光を計測し、単位時間あたりに計測する遮光回数に基づき回転体の回転数を検出するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３００８１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、モータ等の駆動装置の高速駆動化に伴い、例えば五万回／毎分などの高速回転に対応した回転数計及びこれを備えたトルクセンサが望まれる。しかしながら、上記従来のエンコーダ方式の回転数計では、単位時間あたりのフォトセンサによる計測回数に応じて回転数を算出するので、高速回転時には単位時間あたりに計測すべき遮光回数が膨大となり、フォトセンサの応答性が足らずに計測不能となる問題がある。この問題は、エンコーダ方式の回転数計に限られず、例えばレゾルバのように回転角に応じて変化する出力信号を計測する回転数計においても、高速回転に伴い信号変化が追従しないといった応答性不足に起因する同様の問題が生じる。
【０００６】
また、回転数計には、振動を始めとするノイズ等の外乱に対するロバスト性に優れていることや、多少の回転数の違いを区別可能な検出感度（すなわち高分解能）が要求されるものの、従来方式では、計測値（検出値）と回転数との関係がリニアな関係であるので、両要求を十分に満足するものであるとはいえない。
【０００７】
本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、外乱に対するロバスト性や検出感度を向上させるとともに、高速回転に対応した回転数計を備えたトルクセンサ並びに駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。
【０００９】
すなわち、本発明のトルクセンサは、略円筒状をなし歪みを伴いながら軸心回りに回転する起歪部と、前記起歪部に取り付けられ、遠心力によって前記起歪部に生じる軸心を中心とした径方向の変形に対応する歪みを検出する第一の歪検出部と、前記第一の歪検出部で検出した歪みの大きさに応じて前記起歪部の回転数を算出する回転数演算部とを具備する回転数計を備えたトルクセンサであって、前記起歪部を、その軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するようにするとともに、前記起歪部に対するトルク入力によって起歪部に生じる捩れに対応する方向の歪量を検出する第二の歪検出部を前記起歪部に取り付け、第二の歪検出部の検出結果に基づき起歪部に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部を設けて、回転数及びトルクを検出するように構成したことを特徴とする。
【００１０】
回転数を回転角度や回転速度、周期といった形で表してもよい。
【００１１】
このように、略円筒状をなす起歪部が軸心回りに回転すると、遠心力によって起歪部に軸心を中心とした径方向の変形が生じ、この変形に対応する歪みを第一の歪検出部が検出し、検出された歪みの大きさに応じて回転数演算部が起歪部の回転数を算出するので、高速回転時では第一の歪検出部による歪みの検出値が大きくなるだけで従来のエンコーダ方式のように検出不能に陥ることなく、高速回転時に回転数を検出することが可能となる。しかも、起歪部に生じる歪量と回転数との関係は二次関数で表現される関係であるので、回転数が少しでも変動すると歪量が大きく変わり、エンコーダ方式のように検出値と回転数との関係がリニアな関係にあるものに比べて検出感度を向上させることが可能となる。同様に、起歪部に生じる歪量と回転数とが二次関数で表現される関係であるので、振動等のノイズによって検出値に多少変動が生じたとしても、回転数に与える影響が少なく、従来のエンコーダ方式のものに比べて振動等のノイズに強い回転数計を得ることが可能となる。したがって、トルクセンサが備える回転数計を、外乱に対するロバスト性や検出感度に優れ且つ高速回転で検出可能なものにすることが可能となる。
【００１２】
また、上記回転数計を適用したトルクセンサにおいて、前記起歪部を、その軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するようにするとともに、前記起歪部に対するトルク入力によって起歪部に生じる捩れに対応する方向の歪量を検出する第二の歪検出部を前記起歪部に取り付け、第二の歪検出部の検出結果に基づき起歪部に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部を設けて、回転数及びトルクを検出するように構成しているので、起歪部を兼用して装置の小型化を実現することが可能となる。しかも、回転数及びトルクを検出するためのセンサが共に歪みを検出する歪検出部であるので、演算部等の構成部品を兼用して共有とし、更なる装置の小型化や製造コストの低減を追求することも可能となる。
【００１３】
回転によって第一の歪検出部に生じ得る不具合の発生を防止するとともに、起歪部の径方向の変形に対応する歪みを検出する具体的な構成として、前記第一の歪検出部は、円周方向の歪みを検出する姿勢で前記起歪部の内周面に取り付けられ、前記回転数演算部は、前記第一の歪検出部で検出された円周方向の歪みを前記起歪部の径方向の変形に対応する歪みとし、前記円周方向の歪みに基づき回転数を算出するものが挙げられる。
【００１４】
メンテナンス性を損なうことなく、第一の歪検出部を始めとする構成部品を保護するためには、前記起歪部の内周面により形成される中空空間を閉止する位置に着脱可能な封止板を設け、前記中空空間に前記第一の歪検出部を収納した状態で密閉可能に構成されていることが望ましい。
【００１５】
このトルクセンサの好適な適用例として、トルクセンサＴｓを備え、出力軸Ｍ３ａから回転駆動力を出力するトルクセンサを備えた駆動装置であって、出力軸Ｍ３ａと起歪部２とを一体に形成し又は出力軸Ｍ３ａと起歪部２の軸方向一端とを接続して起歪部２に駆動力が入力されるようにしたものが挙げられる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、以上説明した構成であるから、回転が高速化しても歪みの検出値が大きくなるだけで従来のエンコーダ方式のように検出不能に陥ることがなく、高回転数の検出が可能となる。しかも、起歪部に生じる歪量と回転速度との関係が二次関数で表現される関係であるので、従来のリニアな関係に比べて検出感度を向上させるとともに、振動等のノイズに対する安定性を向上させることが可能となる。さらに、回転数及びトルクを検出するためのセンサが共に歪みを検出する歪検出部であるので、起歪部や演算部等の構成部品を兼用して共有することができる。したがって、装置の小型化や製造コストの低減を追求しつつ、外乱に対するロバスト性や検出感度に優れ且つ高速回転で検出可能なトルクセンサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態に係る回転数計を備えたトルクセンサの構成を模式的に示す断面図。
【図２】本発明の回転数計を備えたトルクセンサを適用したモータ等の駆動装置を模式的に示す図。
【図３】回転時の起歪部について模試的に説明する横断面図。
【図４】回転数と起歪部の歪量との関係を模式的に示す図。
【図５】本発明の他の形態に係る回転数計の構成を模式的に示す図。
【図６】本発明の上記以外の実施形態に係る回転数計を備えたトルクセンサの構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態に係る回転数計を備えたトルクセンサを、図面を参照して説明する。
【００１９】
回転数計Ｒｓは、検出対象物の回転数を検出する装置であり、図１に示すように、検出対象物自体に設定され、略円筒状をなし歪みを伴いながら軸心Ｃｎ回りに回転する起歪部２と、起歪部２に取り付けられ、起歪部２の歪みを検出する第一の歪検出部４と、第一の歪検出部４で検出した歪みの大きさに応じて起歪部２の回転数を算出する回転数演算部５とを有している。
【００２０】
この回転数計Ｒｓは、図１に示すように、起歪部２に作用するトルクの大きさを検出するトルクセンサＴｓと一体に構成されている。具体的には、同図に示すように、起歪部２の軸方向両端に駆動装置及び負荷装置のシャフトを接続するためのフランジ等の接続部３を設けるとともに、起歪部２を、その軸方向両端をそれぞれ駆動側（駆動装置）及び負荷側（負荷装置）に接続することで駆動側及び負荷側の間で捩れを伴いながらトルクを伝達するようにし、第一の歪検出部４とは別に起歪部２の歪みを検出する第二の歪検出部６を起歪部２に取り付け、第二の歪検出部６の検出結果に応じて起歪部２に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部７を設けて、トルクセンサＴｓと上記回転数計Ｒｓとを一体に構成している。すなわち、起歪部２の軸方向一端は、回転駆動するモータ等の駆動装置の駆動力出力軸（シャフト）と関連付けられて駆動装置により駆動力が入力され、起歪部２の軸方向他端は、負荷装置のシャフトと関連付けられて負荷装置により負荷が入力される。図１に示す回転数計Ｒｓ付きトルクセンサＴｓは、図２に例示するように、起歪部２の軸方向一端と駆動力出力軸Ｍ３ａ（シャフト）とを接続してトルクセンサＴｓを備えた駆動装置Ｍを構成するために利用される。勿論、起歪部と駆動力出力軸（シャフト）とを同一部材として一体に形成することで、トルクセンサが一体に組み込まれている駆動装置を構成してもよい。この場合、トルクセンサ及び駆動装置を合わせた装置全体の軸方向寸法を小形化することも可能となる。
【００２１】
回転数計Ｒｓについての説明に戻ると、起歪部２及び接続部３は、図１に示すように、共に略円筒状をなし、起歪部２の軸方向両端に接続部３・３を連結した状態で両者を一体の部材としてシャフトを構成している。言い換えると、シャフトのうち軸方向両端部を接続部３・３に設定し、接続部３・３同士の間の部位を起歪部２に設定したものとも言える。起歪部２及び接続部３の内径は同一であるが、接続部３の外径を起歪部２の外径よりも大きくして接続部３をフランジ状に形成し、接続部３よりも起歪部２にトルク入力による捩れが発生しやすくしている。両接続部３・３のうち一方の接続部３に内部の中空空間ＳＰ１を閉止する閉止部３ａを形成し、他方の接続部３に内部の中空空間ＳＰ１を軸方向に解放する開口部３ｂを設けるとともに、この開口部３ｂを塞ぐ位置に、封止板３０をＯリング等の封止部材（図示せず）やネジ等の止着具（図示せず）を介して着脱可能に構成している。このように、中空空間ＳＰ１に第一，第二の歪検出部４，６等の各構成部品を収納した状態で容易に密閉可能にしたので、各部を油や埃等から保護することを可能としている。接続部３は、上記封止板３０を装着するための図示しないネジ孔やＯリング等の封止部材が設けてある他、駆動装置や負荷装置のシャフトを接続するための接続用孔３３が形成されている。
【００２２】
回転数計Ｒｓを構成する第一の歪検出部４は、機械的な寸法の微小な変化を電気信号として検出するシート状の歪ゲージを用いたもので、図１に示す起歪部２を含むシャフト全体が軸心Ｃｎ回りに回転することで遠心力によって起歪部２全体に生じる軸心Ｃｎを中心とした径方向の変形（膨張又は収縮）に対応する歪みを検出する。具体的には、第一の歪検出部４は、図１に示すように、金属箔等の金属抵抗体が配列された受感領域４０を有し、第一の歪検出部４の貼付面に生じた歪みが受感領域４０に伝達して金属抵抗体が伸縮した場合に抵抗値が変化することを利用して歪量を検出するものである。起歪部２が回転すると、図３に模式的に示すように、遠心力Ｆによって起歪部２全体が径方向に変形して、内周面２ａが円周方向に沿って伸びる。この場合、円筒の長さが直径に比べて十分に長い場合に円筒状をなす起歪部２の内周面２ａの内周方向に作用する内周応力σθは下記の数式（１）で与えられる。ただし、ｖはポアソン比、Ｒは起歪部２の外径、ｒは起歪部２の内径、ｐは起歪部２の密度、ωは回転角速度を示す。
【００２３】
【数１】
0005678642.tif 000002
【００２４】
すなわち、図３に示すように、回転数に対応する回転角速度ωは、円周応力σθの平方根で求めることができるので、起歪部２の内周面２ａに生じる円周方向の歪みを検出して円周応力σθを求めるとよい。そこで、図１に示すように、第一の歪検出部４を、起歪部２の内部の中空空間ＳＰ１を形成する内周面２ａに円周方向の歪みを検出する姿勢で接着剤を介して周方向に沿って複数貼付している。これら第一の歪検出部４を既知の結線方法で結線して接続している。なお、第一の歪検出部４は、少なくとも一つあればよい。結線方法は、１ゲージ法、２ゲージ法、４ゲージ法のいずれでもよい。
【００２５】
図１に示すように、起歪部２及び接続部３の内部にある中空空間ＳＰ１には、歪ゲージたる第一の歪検出部４に電圧を印加し且つ第一の歪検出部４で検出した歪信号を中空空間ＳＰ１の外部へ送信するテレメータ等の第一の送信部８０が設けられている。また、起歪部２の外部には、第一の送信部８０から送信された歪信号を受信して回転数を算出する回転数演算部５と、第一の送信部８０に電力を非接触でアンテナコイル８０ａを介して供給する第一の電力供給部８２とが設けられている。回転数演算部５は、上記数式（１）や図４に示すように、円周応力σθと回転数（回転角速度ω）との関係が二次関数であるので、予め設けた線形化回路（図示せず）により円周応力σθと回転数とが比例関係になるように演算処理し、回転数を算出する。勿論、回転数演算部５を、その内部に円周応力σθと回転数（回転角速度ω）とを関連付けた情報をテーブルとして記憶しておき、円周応力σθの入力に対して回転数を出力するように構成してもよい。
【００２６】
すなわち、図１に示すように、第一の電力供給部８２からアンテナコイル８０ａを介して第一の送信部８０に電力が供給され、第一の歪検出部４に電圧が印加される。そして、起歪部２が軸心Ｃｎ回りに回転して遠心力が作用すると、起歪部２全体が軸心Ｃｎを中心として径方向に変形して円周方向に歪みが生じ、この歪みが内周面２ａに貼付された第一の歪検出部４で検出される。起歪部２の回転が高速になるほど、遠心力が大きくなり第一の歪検出部４で検出される歪量が増大する。第一の歪検出部４で検出した歪みに対応する歪信号が第一の送信部８０から回転数演算部５に送信され、回転数演算部５によって歪信号（検出した歪みの大きさ）に基づいて回転数が算出される。
【００２７】
図４に模式的に示すように、起歪部２に生じる歪量（検出値、内周応力σθ）と回転数（回転角速度ω）との関係は二次関数σθ＝ｆ（ω２）で表現される関係であるので、回転数の変化量（≒Δω）に対して歪量の変化量（≒Δσ）が大きくなる。すなわち、回転数が少しでも変動すると歪量が大きく変わり、エンコーダ方式のように検出値と回転数との関係がリニアな関係にあるものに比べて検出感度（分解能）が向上する。逆を言えば、歪量の変化量（≒Δσ）に対して回転数の変化量（≒Δω）が小さくなるので、振動等のノイズによって検出値に多少変動が生じたとしても、回転数に与える影響が少なく、従来のエンコーダ方式のものに比べて振動等のノイズに強い回転数計を得ることが可能となる。なお、本実施形態のように遠心力を間接的に検出するために、歪検出部４による歪みの検出対象を略円筒状の起歪部２にするだけなので、遠心力によって歪みを生じる部材を単一部材からなる簡易な形状として製造コストを低減しつつ、併せて高速回転時の遠心力に耐えうる程度の剛性も容易に確保することを可能にしている。
【００２８】
トルクセンサＴｓについての説明に移ると、図１に示すように、トルクセンサＴｓを構成する第二の歪検出部６は、第一の歪検出部４とは若干構成が異なるが、起歪部２に生じる歪み（機械的な寸法の微小な変化）を電気信号として検出するシート状の歪ゲージを用いたもので、起歪部２の内周面に、起歪部２に対するトルク入力によって起歪部２に生じる捩れに対応する二方向の歪みを検出する姿勢で接着剤を介して貼付されている。この第二の歪検出部６は、軸方向に対して４５度傾斜する方向の歪量を検出する第一の受感部６ａと、第一の受感部６ａの検出方向と直交し且つ軸方向に対して４５度傾斜する方向の歪量を検出する第二の受感部６ｂとを一組にして構成したもので、起歪部２が捩れるときに生じる引張応力成分を一方の受感部で検出し、同時に起歪部２に生じる圧縮応力成分を他方の受感部で検出するものである。本実施形態では、互いに軸心Ｃｎを中心として対称となる位置に第二の歪検出部６をそれぞれ取り付けて歪検出部を一対又は複数対とし、複数（例えば８つ）の歪みゲージを既知の４ブリッジ法でブリッジ回路を構成して接続している。勿論、本実施形態では、二つの受感部６ａ，６ｂが一組となった歪ゲージを用いて起歪部２の捩れに対応する二方向の歪量を検出しているが、第一，第二の受感部６ａ，６ｂが別々に構成された歪検出部を複数一組として用いてもよい。なお、図１に示す歪ゲージは、あくまでも歪ゲージのゲージパターンのイメージ図であり、本発明に適用可能な歪検出部が同図に示すゲージパターンに限定されることを意味するものではない。
【００２９】
図１に示すように、起歪部２及び接続部３の内部にある中空空間ＳＰ１には、歪ゲージたる第二の歪検出部６に電圧を印加し且つ第二の歪検出部６で検出した歪信号を中空空間ＳＰ１の外部へ送信するテレメータ等の第二の送信部８１が設けられている。また、起歪部２の外部には、第二の送信部８１から送信された歪信号を受信してトルクの大きさを演算処理により算出するトルク演算部７と、第二の送信部８１に電力を非接触でアンテナコイル８１ａを介して供給する第二の電力供給部８３とが設けられている。すなわち、第二の電力供給部８３からアンテナコイル８１ａを介して第二の送信部８１に電力が供給され、第二の歪検出部６に電圧が印加される。そして、起歪部２にトルクが作用すると、起歪部２に捩れが生じ、この捩れが起歪部２の内周面２ａに貼付された第二の歪検出部６によって歪量として検出される。第二の歪検出部６で検出した歪量に対応する歪信号が第二の送信部８１からトルク演算部７に送信され、トルク演算部７によって歪信号（第二の歪検出部６の検出結果）に基づいてトルクの大きさが算出される。
【００３０】
勿論、本実施形態において、上記回転数計Ｒｓ及びトルクセンサＴｓを構成する第一及び第二の送信部８０，８１や、第一及び第二の電力供給部８２，８３等の構成部品を別々に設けているが、これらの構成部品を兼用して回転数計及びトルクセンサで共有することも可能である。
【００３１】
なお、図２に概念図を用いて模式的に示すように、駆動装置Ｍは周知のモータ等を用いたもので、ケーシングＭ１に固定され磁界を発生させる固定子Ｍ２と、固定子Ｍ２に対して回転可能な状態でケーシングＭ１に支持され磁界を受けて回る回転子Ｍ３とを有し、固定子Ｍ２への通電制御により磁界を変化させ、固定子Ｍ２と回転子Ｍ３との間に反発力や吸引力等を作用させて回転子Ｍ３を回転させ、電気エネルギーから回転駆動力を得るものである。回転子Ｍ３の駆動力出力軸Ｍ３ａ（シャフト）に上記起歪部２が関連付けられている。図２に示す駆動装置Ｍは概念図で示したものにすぎず、この図示の駆動装置に限定されるものではない。また駆動装置にはモータ以外のものを用いてもよい。
【００３２】
以上のように、本実施形態に係る回転数計Ｒｓは、略円筒状をなし歪みを伴いながら軸心Ｃｎ回りに回転する起歪部２と、起歪部２に取り付けられ、遠心力Ｆによって起歪部２に生じる軸心Ｃｎを中心とした径方向の変形に対応する歪みを検出する第一の歪検出部４と、第一の歪検出部４で検出した歪みの大きさに応じて起歪部２の回転数を算出する回転数演算部５とを備えている。
【００３３】
回転数を回転角度や回転速度、周期といった形で表してもよい。
【００３４】
このように、略円筒状をなす起歪部２が軸心回りに回転すると、遠心力Ｆによって起歪部２に軸心Ｃｎを中心とした径方向の変形が生じ、この変形に対応する歪みを第一の歪検出部４が検出し、検出された歪みの大きさに応じて回転数演算部５が起歪部２の回転数を算出するので、高速回転時では歪検出部４による歪みの検出値が大きくなるだけで従来のエンコーダ方式のように検出不能に陥ることなく、高速回転時に回転数を検出することが可能となる。しかも、起歪部２に生じる歪量（検出値）と回転数（回転角速度ω）との関係は二次関数で表現される関係であるので、回転数が少しでも変動すると歪量が大きく変わり、エンコーダ方式のように検出値と回転数との関係がリニアな関係にあるものに比べて検出感度を向上させることが可能となる。同様に、起歪部に生じる歪量と回転数とが二次関数で表現される関係であるので、振動等のノイズによって検出値に多少変動が生じたとしても、回転数に与える影響が少なく、従来のエンコーダ方式のものに比べて振動等のノイズに強い回転数計を得ることが可能となる。したがって、外乱に対するロバスト性や検出感度に優れ且つ高速回転で検出可能な回転数計を提供することが可能となる。
【００３５】
特に、本実施形態では、前記歪検出部は、円周方向の歪みを検出する姿勢で前記起歪部の内周面に取り付けられ、前記回転数演算部は、前記歪検出部で検出された円周方向の歪みを前記起歪部の径方向の変形に対応する歪みとし、前記円周方向の歪みの大きさに基づき回転数を算出するので、起歪部２の径方向の変形を円周方向の歪みを通じて間接的に検出して回転数を算出することが可能となる。しかも、高速回転により遠心力が増大すると、第一の歪検出部４に作用する遠心力によって第一の歪検出部４が起歪部２から離反してしまうことが考えられるが、第一の歪検出部４を起歪部２の内周面２ａに取り付けると、遠心力が第一の歪検出部４を起歪部２の内周面２ａに向かう方向に作用し、第一の歪検出部４が起歪部２から離反するという不具合の発生を防止することが可能となる。
【００３６】
従来のエンコーダ方式のものでは、スリット板やフォトセンサが回転体の外周側に配置されるのが一般的であるので、飛散した油や埃などがフォトセンサの発光部又は受感部に付着して計測に支障をきたすことが考えられるが、本実施形態では、起歪部２の内周面２ａにより形成される中空空間ＳＰ１を閉止する位置に着脱可能な封止板３０を設け、中空空間ＳＰ１に歪検出部４を収納した状態で密閉可能に構成されているので、油や埃等の異物から歪検出部を保護することが可能となる。さらに、封止板３０は着脱可能であるので、メンテナンス性を損なうこともない。
【００３７】
本実施形態のトルクセンサＴｓは、上記回転数計Ｒｓを備えたもので、起歪部２を、その軸方向一端に駆動力が入力され軸方向他端に負荷が入力されて駆動側と負荷側との間で捩れを伴いながらトルクを伝達するようにするとともに、起歪部２に対するトルク入力によって起歪部２に生じる捩れに対応する方向の歪量を検出する第二の歪検出部６を起歪部２に取り付け、第二の歪検出部６の検出結果に基づき起歪部２に作用するトルクの大きさを算出するトルク演算部７を設けて、回転数及びトルクを検出するように構成しているので、起歪部２を兼用して装置の小型化を実現することが可能となる。しかも、回転数及びトルクを検出するためのセンサが共に歪みを検出する歪検出部４，６であるので、演算部等の構成部品を兼用して共有とし、更なる装置の小型化や製造コストの低減を追求することも可能となる。
【００３８】
本実施形態では、上記駆動装置Ｍは、トルクセンサＴｓを備え、出力軸Ｍ３ａから回転駆動力を出力するものであり、出力軸Ｍ３ａと起歪部２とを一体に形成し又は出力軸Ｍ３ａと起歪部２の軸方向一端とを接続して起歪部２に駆動力が入力されるようにしている。特に、出力軸Ｍ３ａと起歪部２とを一体に形成した場合には、トルクセンサ及び駆動装置を合わせた装置全体の軸方向寸法を小形化することが可能となる。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４０】
例えば、本実施形態では、回転数計Ｒｓは、トルクセンサＴｓと一体に構成されているが、トルクセンサＴｓと一体に構成することを要するものではなく、単独で構成することも可能である。また、本実施形態では、検出対象物自体を起歪部２に設定しているが、起歪部を検出対象物と共に回転可能に検出対象部に取り付けてもよい。また、本実施形態では、回転数計Ｒｓを構成する起歪部２とトルクセンサＴｓを構成する起歪部２とを兼用しているが、起歪部を軸方向に別々に設けてもよい。
【００４１】
さらに、本実施形態では、回転数計Ｒｓを構成する第一の歪検出部４を円周方向の歪みを検出する姿勢で起歪部２の内周面２ａに取り付けているが、起歪部２全体の径方向への変形に対応する歪みは、径方向の歪みを検出することでも検出可能である。例えば、図５（ａ）に示すように、円筒状の起歪部１０２の軸方向端面に、径方向の歪みを検出する姿勢で歪検出部１０４を取り付けてもよい。歪検出部１０４を複数設ける場合は、互いに同一円周上となる位置関係に取り付けることが好ましい。また、他の例としては、図５（ｂ）に示すように、起歪部２０２の内周面２０２ａのうち軸心Ｃｎを中心として互いに対称の位置にある部位同士を連絡する支持壁２０２ｃを設け、この支持壁２０２ｃのうち軸心Ｃｎから変位した位置に、径方向の歪みを検出する姿勢で歪検出部２０４を取り付けてもよい。複数配置する場合も上記と同様に同一円周上に配置することが好ましい。
【００４２】
また、歪検出部として歪ゲージを例として述べているが、起歪部に生じる歪みを検出できるものであれば歪ゲージ以外のものでもよい。圧電素子を用いてもよいし、起歪部の内周面に応力に応じて発光する材を塗布して受光センサで検出するようにしてもよい。
【００４３】
トルクセンサは、歪ゲージ方式以外の検出原理を用いてもよい。例えば、起歪部の代わりに表面に磁性膜を有する回転軸と検出コイルとからなる磁歪式トルクセンサや、回転軸の二箇所の回転角度を検出して回転位相差からトルクを算出する位相差式トルクセンサであってもよい。
【００４４】
さらにまた、接続部３は、駆動装置又は負荷装置のシャフトに接続できるものであれば、フランジに限定されるものではない。例えば、スプライン形状やキーによって接続する形状でもよい。本実施形態では、接続部３及び起歪部２を一体の部材で形成しているが、別々の部材をネジや圧入などの連結方法で結合してもよい。
【００４５】
さらにまた、検出した歪信号の各演算部５，７への伝送や電力供給部８１，８２から歪検出部４，６への電力供給は無線だけでなく、例えばスリップリングを用いた有線で行ってもよい。
【００４６】
その他、図６（ａ）に示すように、回転数計Ｒｓを構成する回転数演算部５で得られた回転数に基づいて、トルクセンサＴｓを構成するトルク演算部７で得られたトルク値を補正するトルク補正部９０を設けてもよい。例えば、トルク入力がなされていない無負荷時に遠心力等の影響によってトルクが検出されるといったオフセットズレが生じる場合に、検出したトルク値と回転数とを予め関連付けて補正情報９０ａとしてテーブルに記憶しておき、トルク補正部９０がこの補正情報９０ａに基づきトルク値のオフセットを補正するように構成することが挙げられる。このように構成すれば、回転により生じるトルクセンサの検出誤差等の悪影響を補償して検出精度を向上させることが可能となる。
【００４７】
また、図６（ｂ）に示すように、起歪部２や歪検出部４，６の温度を検出する温度センサ９１を設けるとともに、この温度センサ９１の検出結果に基づいて、回転数計Ｒｓを構成する回転数演算部５で得られた回転数又はトルクセンサＴｓを構成するトルク演算部７で得られたトルク値の少なくともいずれか一方を補正する補正部９２を設けてもよい。このように構成すると、歪検出部４，６に歪ゲージ等の温度影響を受けるものを用いた場合でも、温度変化による検出誤差等の悪影響を補償して検出精度を向上させることが可能となる。
【００４８】
なお、各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４９】
２…起歪部
２ａ…起歪部の内周面
３０…封止板
４…歪検出部（第一の歪検出部）
５…回転数演算部
６…第二の歪検出部
７…トルク演算部
Ｒｓ…回転数計
Ｔｓ…トルクセンサ
Ｍ…駆動装置（モータ）
Ｃｎ…軸心
ＳＰ１…中空空間
Ｆ…遠心力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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