(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して、垂直方向の軸を中心に水平方向に回動可能なアーム部とを含み、
前記ストッパ部は、前記基板への作業を行う際に、前記アーム部の水平方向の回動により、前記基板への作業に干渉しない退避位置に移動するように構成されている、基板作業装置。
【請求項２】
前記当接部は、前記基板を停止させる停止位置と前記基板への作業に干渉しない前記退避位置とに移動可能に前記アーム部に保持されている、請求項１に記載の基板作業装置。
【請求項３】
前記アーム部は、前記当接部を保持して水平方向に伸縮可能に構成されており、
前記ストッパ部は、前記基板への作業を行う際に、前記アーム部の伸縮により、前記退避位置に移動するように構成されている、請求項１または２に記載の基板作業装置。
【請求項４】
前記ストッパ部は、前記アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に前記アーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む、請求項３に記載の基板作業装置。
【請求項５】
前記ストッパ部は、前記基板作業装置が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、前記基板作業装置が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成されており、
前記オフライン位置は、オフライン使用時の退避位置となる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板作業装置。
【請求項６】
前記ストッパ部が前記インライン位置または前記オフライン位置のいずれかに位置するかを検知する検知部をさらに備える、請求項５に記載の基板作業装置。
【請求項７】
前記ストッパ部は、前記基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板作業装置。
【請求項８】
前記ストッパ部は、前記基板搬送部とは独立して前記基板搬送部の上方に設置されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板作業装置。
【請求項９】
基板にＸ線を照射するＸ線源と、
前記基板に照射されたＸ線に基づいた画像を撮像するＸ線撮像部と、
前記基板を搬送する基板搬送部と、
前記基板搬送部とは独立して設けられ、前記基板を所定の搬送位置で停止させて前記基板を位置決めするストッパ部とを備え、
前記ストッパ部は、前記基板に当接して前記基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、前記当接部を保持して、垂直方向の軸を中心に水平方向に回動可能なアーム部とを含み、
前記ストッパ部は、前記基板の撮像を行う際に、前記アーム部の水平方向の回動により、前記基板の撮像に干渉しない退避位置に移動するように構成されている、Ｘ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板作業装置およびＸ線検査装置に関し、特に、基板を所定の搬送位置で停止させるストッパ部を備えた基板作業装置およびＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板を所定の搬送位置で停止させるストッパ部を備えた基板作業装置が知られている。また、従来では、基板を所定の搬送位置で停止させるストッパ部は、一般的には基板搬送部内に設けられているものが多いが、ストッパ部が基板搬送部とは独立して設けられている基板作業装置も知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、基板を搬送する搬送部（基板搬送部）とは独立して設けられ、基板を所定の搬送位置で停止させて基板を位置決めするストッパ（ストッパ部）を備えた基板検査装置（基板作業装置）が開示されている。この基板検査装置では、ストッパは、カメラを移動させる移動機構に取り付けられている。また、基板の検査を行わない際には、ストッパとカメラとを含む基板検査装置を搬送部に対して障害にならない位置に退避させることが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３１１４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１では、基板の検査を行わない際には、ストッパ（ストッパ部）とカメラとを含む基板検査装置（基板作業装置）を搬送部（基板搬送部）に対して障害にならない位置に退避させることが可能である一方、基板の検査（作業）を行う際にはストッパがカメラによる撮像の障害になる場合があると考えられる。このため、ストッパが基板の検査の障害になる場合があるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、ストッパ部が基板への作業の障害になるのを抑制することが可能な基板作業装置およびＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面による基板作業装置は、基板を搬送する基板搬送部と、基板搬送部とは独立して設けられ、基板を所定の搬送位置で停止させて基板を位置決めするストッパ部とを備え、ストッパ部は、基板に当接して基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、当接部を保持して、垂直方向の軸を中心に水平方向に回動可能なアーム部とを含み、ストッパ部は、基板への作業を行う際に、アーム部の水平方向の回動により、基板への作業に干渉しない退避位置に移動するように構成されている。
【０００８】
この第１の局面による基板作業装置では、上記のように、ストッパ部を、基板への作業を行う際に、基板への作業に干渉しないように基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避可能に構成することによって、ストッパ部が基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避した分だけ基板とストッパ部との間にスペースが生じるので、ストッパ部がカメラによる基板の撮像などの基板への作業の障害になるのを抑制することができる。
【０００９】
上記第１の局面による基板作業装置において、好ましくは、当接部は、基板を停止させる停止位置と基板への作業に干渉しない退避位置とに移動可能にアーム部に保持されている。このように構成すれば、ストッパ部を停止位置から退避位置へと移動させることができるので、ストッパ部が基板への作業の障害になるのを容易に抑制することができる。
【００１０】
上記第１の局面による基板作業装置において、好ましくは、アーム部は、当接部を保持して水平方向に伸縮可能に構成されており、ストッパ部は、基板への作業を行う際に、アーム部の伸縮により、退避位置に移動するように構成されている。このように構成すれば、アーム部の伸縮により、ストッパ部を退避位置に容易に移動させることができる。
【００１１】
この場合、好ましくは、ストッパ部は、アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合にアーム部の水平方向の回動を規制するロック機構をさらに含む。このように構成すれば、アーム部が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に回動しないので、アーム部が不用意に回動して壁などに接触することを防止することができる。
【００１２】
上記第１の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板作業装置が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、基板作業装置が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成されており、オフライン位置は、オフライン使用時の退避位置となる。このように構成すれば、オフライン使用時には、ストッパ部がオフライン使用時の退避位置に位置するので、ユーザが基板や基板搬送部などに対して作業をする場合に、ストッパ部がユーザの作業の障害になるのを抑制することができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、ストッパ部がインライン位置またはオフライン位置のいずれかに位置するかを検知する検知部をさらに備える。このように構成すれば、検知部によりストッパ部の位置を容易に把握することができるので、ストッパ部の位置に応じた適切な対処をすることができる。
【００１４】
上記第１の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成されている。このように構成すれば、基板の搬送方向が変更された場合でも、ストッパ部の設置位置を変更して容易に基板を停止させることができる。
【００１５】
上記第１の局面による基板作業装置において、好ましくは、ストッパ部は、基板搬送部とは独立して基板搬送部の上方に設置されている。このように構成すれば、基板搬送部の上方でストッパ部に対してメンテナンスなどの作業をする際、基板搬送部に干渉されることなく容易に作業することができる。
【００１６】
この発明の第２の局面によるＸ線検査装置は、基板にＸ線を照射するＸ線源と、基板に照射されたＸ線に基づいた画像を撮像するＸ線撮像部と、基板を搬送する基板搬送部と、基板搬送部とは独立して設けられ、基板を所定の搬送位置で停止させて基板を位置決めするストッパ部とを備え、ストッパ部は、基板に当接して基板を所定の搬送位置で停止させる当接部と、当接部を保持して、垂直方向の軸を中心に水平方向に回動可能なアーム部とを含み、ストッパ部は、基板の撮像を行う際に、アーム部の水平方向の回動により、基板の撮像に干渉しない退避位置に移動するように構成されている。
【００１７】
この第２の局面によるＸ線検査装置では、上記のように、ストッパ部を、基板への作業を行う際に、基板への作業に干渉しないように基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避可能に構成することによって、ストッパ部が基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避した分だけ基板とストッパ部との間にスペースが生じるので、ストッパ部がカメラによる基板の撮像などの基板への作業の障害になるのを抑制することができる。このような効果は、特に、多方向からＸ線を照射して基板を撮像するＸ線検査装置において有効である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、上記のように、ストッパ部が基板への作業の障害になるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の外観を示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の内部を示した正面図である。
【図３】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の内部を示した側面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の内部を示した平面図である。
【図５】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が縮んだ状態を示した平面図である。
【図６】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が回動した状態を示した平面図である。
【図７】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の制御上の構成を示したブロック図である。
【図８】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が伸びた状態を示した図である。
【図９】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が伸びた状態を示した斜視図である。
【図１０】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が縮んだ状態を示した斜視図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部が回動した状態を示した斜視図である。
【図１２】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部のロック状態を示した図である。
【図１３】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパのアーム部のロック解除状態を示した図である。
【図１４】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置のメインストッパの設置位置を説明するための平面図である。
【図１５】本発明の一実施形態によるＸ線検査装置の制御部による基板停止処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
まず、図１〜図１４を参照して、本発明の一実施形態によるＸ線検査装置１００の構造について説明する。
【００２２】
本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１００は、電子部品が搭載された回路基板（基板１０）を検査対象物とし、半田接合状態検査などの各種検査を行う基板検査装置である。なお、Ｘ線検査装置１００は、本発明の「基板作業装置」の一例である。
【００２３】
図２に示すように、Ｘ線検査装置１００は、基台１と、基板搬送部２と、Ｘ線源３と、Ｘ線撮像部４と、光学撮像部５と、メインストッパ６と、Ｘ線源３を覆う遮蔽壁７とを主として備えている。なお、メインストッパ６は、本発明の「ストッパ部」の一例である。
【００２４】
図２に示すように、基台１上には、基板搬送部２と、Ｘ線源３と、Ｘ線撮像部４と、光学撮像部５と、メインストッパ６とが設置されている。また、基台１の内部には、基板搬送部２、Ｘ線源３、Ｘ線撮像部４、光学撮像部５およびメインストッパ６を含むＸ線検査装置１００全体の制御を行う制御部１２および電源供給を行う電源部１３などが配置されている。基台１上には、Ｘ方向の両端に配置され、基台１のＹ方向の略全長に渡って延びる一対の支持台１１が配置されている。この一対の支持台１１上には、Ｘ線源３を支持する支持梁３１が設置されている。
【００２５】
基板搬送部２は、図２および図３に示すように、Ｘ方向に沿って延びる一対のコンベア２１を含む。一対のコンベア２１は、Ｙ方向の両側から基板１０を支持してＸ方向に搬送することが可能であるとともに、基板検査時には、図示しないクランプ機構によって、基板１０を基台１の上方（Ｚ１方向）の所定位置で保持（固定）することが可能なように構成されている。一対のコンベア２１は、Ｘ方向に延びる一対のガイドレール２２と、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール２３とを介して基台１上に設置されている。一対のコンベア２１は、Ｘ軸モータ２４ａ（図７参照）およびＸ軸ボールねじ（図示せず）によってガイドレール２２に沿ってＸ方向に移動可能であり、Ｙ軸モータ２４ｂ（図７参照）およびＹ軸ボールねじ（図示せず）によってガイドレール２３に沿ってＹ方向に移動可能である。これにより、基板搬送部２（一対のコンベア２１）は、基台１上を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動可能に構成されている。また、基板搬送部２が位置する領域が基板１０に対して作業を行う作業領域である。
【００２６】
基板搬送部２は、基板１０をＸ２方向に搬送するように構成されている。また、基板搬送部２は、図２に示すように、基板１０の搬入時には、コンベア２１のＸ１方向側の端部２１ａを搬入出口Ａまで移動させて、外部に設けられた上流側の搬送ライン（図示せず）から基板１０を受け継ぎ、搬出時には、コンベア２１のＸ２方向側の端部２１ｂを搬入出口Ｂまで移動させて、下流側の搬送ライン（図示せず）へ基板１０を受け渡すことが可能なように構成されている。このように、基板搬送部２は、遮蔽壁７によって覆われた内部領域を通り、検査対象物である基板１０を搬送するように構成されている。また、一対のコンベア２１は、図示しないモータおよびボールねじと、ガイドレールとによって、基板１０の大きさに合わせてＹ方向の間隔が可変となっている。また、基板搬送部２は、基板１０の搬送方向を、Ｘ２方向からＸ１方向に変更可能に構成されている。
【００２７】
Ｘ線源３は、図２に示すように、基板搬送部２の上方（Ｚ１方向）の位置に配置され、下方（Ｚ２方向）に配置された基板１０に対してＸ線を照射するように構成されている。Ｘ線源３は、支持梁３１に、図示しない駆動機構により上下方向（Ｚ方向）に移動可能に取り付けられている。支持梁３１は、Ｘ方向に延びるとともに両端が一対の支持台１１上に固定されている。
【００２８】
Ｘ線撮像部４は、Ｘ線源３および基板搬送部２の下方の位置に配置され、基板１０を透過したＸ線を検出してＸ線画像を撮像する機能を有する。Ｘ線撮像部４は、移動機構（図示せず）によって、基板搬送部２の下側を水平方向（図４のＸ方向およびＹ方向）に移動可能に構成されている。これにより、基板搬送部２およびＸ線撮像部４を水平移動させてＸ線源３と基板１０とＸ線撮像部４との相対位置関係を調節することにより、基板１０の表面に垂直な方向（真上方向）以外に基板１０の表面に傾斜する方向（斜め方向）からもＸ線を照射して基板１０を撮像することが可能である。
【００２９】
光学撮像部５は、図２に示すように、基板搬送部２の上方（Ｚ１方向）の位置で、かつ、Ｘ線源３の下方（Ｚ２方向）の位置に配置されている。また、光学撮像部５は、下方（Ｚ２方向）に配置された基板１０に光を照射して光学画像を撮像するように構成されている。また、光学撮像部５は、支持台１１に、図示しない駆動機構によりＸ方向に移動可能に取り付けられている。これにより、光学撮像部５をＸ線源３のＺ２方向側（真下）に移動させて、Ｘ線撮像部４によるＸ線画像の撮像と、光学撮像部５による光学画像の撮像とを同時に行うことが可能である。
【００３０】
ここで、本実施形態では、メインストッパ６は、基板搬送部２の一対のコンベア２１により搬送される基板１０を所定の搬送位置で停止させて基板１０を位置決めするために設けられている。また、メインストッパ６は、図２に示すように、基板搬送部２の上方（Ｚ１方向）の位置に配置されている。また、メインストッパ６は、図８および図９に示すように、当接部６１と、アーム部６２と、ブラケット部６３とを含む。また、メインストッパ６は、図７に示すように、メインストッパ駆動部６４と、インライン位置検知センサ６５と、オフライン位置検知センサ６６と、基板検知センサ６７と、下方障害物検知センサ６８とを含む。また、メインストッパ６は、図４、図５、図９および図１０に示すように、アーム部６２が水平方向に伸縮可能に構成されている。なお、インライン位置検知センサ６５およびオフライン位置検知センサ６６は、本発明の「検知部」の一例である。
【００３１】
また、本実施形態では、メインストッパ６は、図５、図６、図１０および図１１に示すように、ブラケット部６３に対してアーム部６２が水平方向に回動可能に構成されている。また、メインストッパ６は、Ｘ線検査装置１００が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、Ｘ線検査装置１００が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成されている。なお、Ｘ線検査装置１００は、インラインで使用する場合、基板搬送部２の一対のコンベア２１により基板１０を搬送して、メインストッパ６により基板１０を所定の搬送位置で停止させるように構成されている。また、Ｘ線検査装置１００は、オフラインで使用する場合、基板搬送部２の所定の位置にユーザが基板１０を直接載置することが可能なように構成されている。
【００３２】
当接部６１は、基板１０を位置決めする際に基板１０に当接して所定の搬送位置で停止させるように構成されている。具体的には、当接部６１は、図８に示すように、アーム部６２のＸ２方向側の先端に保持されている。また、当接部６１は、シリンダ６１ａおよびバネ６１ｂにより鉛直方向に回動して、基板１０を停止させる下降位置と、基板１０の基板搬送部２による移動に干渉しない第１退避位置（退避位置）とに移動可能に構成されている。なお、下降位置は、当接部６１の先端が回動し下降した状態（図８参照）の位置であり、第１退避位置（退避位置）は、当接部６１の先端が回動し上昇した状態（図９参照）の位置である。つまり、第１退避位置は、基板搬送部２による基板１０の搬送の障害にならないようにメインストッパ６（当接部６１）が退避する退避位置である。
【００３３】
また、当接部６１は、図８に示すように、基板１０の大きさに応じてアーム部６２が伸縮することにより停止位置を調節可能に構成されている。つまり、当接部６１は、大きさの異なる基板１０をそれぞれの搬送位置で停止させて位置決めするように構成されている。たとえば、図８に示すように、Ｘ方向にＬ１の長さを有する基板１０の場合、当接部６１を、Ｘ１方向側に移動させることにより、基板１０を所定の搬送位置で停止させる。また、Ｘ方向にＬ１より大きいＬ２の長さを有する基板１０の場合、当接部６１を、Ｌ１の長さの基板１０の時よりＸ２方向側に移動させることにより、基板１０を所定の搬送位置で停止させる。また、Ｘ方向にＬ２より大きいＬ３の長さを有する基板１０の場合、当接部６１を、Ｌ２の長さの基板１０の時よりさらにＸ２方向側に移動させることにより、基板１０を所定の搬送位置で停止させる。
【００３４】
アーム部６２は、水平方向に伸縮可能に構成されている。また、アーム部６２は、ブラケット部６３に水平方向（ＸＹ方向）に回動可能に取り付けられている。これにより、基板１０を停止させる水平方向(ＸＹ方向)の停止位置を調節することが可能である。また、アーム部６２は、図９に示すように、支持部６２１と、ガイドレール６２２と、スライダ６２３と、接続板６２４と、スライド部６２５と、ロック板６２６（図８参照）とを含む。支持部６２１は、回動軸６２ａを介してブラケット部６３に保持されている。また支持部６２１は、アーム部６２全体を吊り下げるように支持している。ガイドレール６２２は、水平方向に延びるように設けられている。ガイドレール６２２には、スライダ６２３が嵌り込み、接続板６２４を介してスライダ６２３に固定されたスライド部６２５を水平方向にスライドさせるように構成されている。スライド部６２５のＸ２方向側の先端には、当接部６１が鉛直方向に回動可能に保持されている。また、アーム部６２は、縮む（当接部６１がＸ１方向にスライドする）ことにより第２退避位置（退避位置）（図５および図１３参照）に移動するように構成されている。なお、第２退避位置は、メインストッパ６が基板１０の撮像の障害にならないようにメインストッパ６（アーム部６２）が退避する退避位置である。また、ロック板６２６は、本発明の「ロック機構」の一例である。
【００３５】
ロック板６２６は、アーム部６２の水平方向の回動を規制するために設けられている。具体的には、ロック板６２６は、図１２および図１３に示すように、回動中心６２６ａを中心に鉛直方向に回動可能に固定されている。また、ロック板６２６は、アーム部６２が伸びている場合、バネ６２６ｃの付勢力により垂直方向（Ｚ方向）に直立してブラケット部６３の下側（Ｚ２方向側）の凹部６２６ｂに上部が入り込み、アーム部６２の水平方向の回動を規制するように構成されている。また、図１３に示すように、アーム部６２が縮む（接続板６２４がＸ１方向にスライドする）ことにより、ロック板６２６は、接続板６２４に押されることによりバネ６２６ｃの付勢力に抗して回動されて傾斜する。これにより、ロック板６２６の上部がブラケット部６３の凹部６２６ｂからはずれる。その結果、ロック板６２６によるロックが解除されて、アーム部６２は、水平方向に回動可能となる。また、アーム部６２が伸びる（接続板６２４がＸ２方向にスライドする）と、ロック板６２６と接続板６２４とが離間して、ロック板６２６は、バネ６２６ｃの付勢力により垂直方向（Ｚ方向）に立ちあがる。
【００３６】
また、アーム部６２は、図９に示すように、ピン６２ｂと、レバー６２ｃと、ハンドル６２ｄとをさらに含む。ピン６２ｂは、図９〜図１１に示すように、支持部６２１に設けられており、ブラケット部６３の穴６３ａに嵌合して、ブラケット部６３に対するアーム部６２の位置決めを行うように構成されている。レバー６２ｃは、ブラケット部６３の上面にねじ込まれて取り付けられており、締め付けることにより、アーム部６２をブラケット部６３に対して回動しないように固定するように構成されている。ハンドル６２ｄは、支持部６２１の上方（Ｘ１方向）に突出するように設けられており、ユーザが手動でアーム部６２を回動軸６２ａを中心に水平方向に回動させる際に持ち手として用いられる。
【００３７】
また、アーム部６２は、先端が手前方向（Ｙ１方向）になる（スライド部６２５がＹ方向に延びる位置に配置される）ように回動されることにより、第３退避位置（退避位置）（図６および図１１参照）に移動するように構成されている。また、アーム部６２（メインストッパ６）が第３退避位置（退避位置）に位置するとき、メインストッパ６は、Ｘ線検査装置１００のオフライン使用時のオフライン位置（図６参照）に位置する。また、スライド部６２５がＸ方向に延びるように配置されることにより、アーム部６２の先端がＸ２方向側になるように位置するとき、メインストッパ６は、Ｘ線検査装置１００のインライン使用時のインライン位置（図４および図５参照）に位置する。つまり、第３退避位置は、Ｘ線検査装置１００のオフライン使用時に、基板搬送部２の所定の位置にユーザが基板１０を直接載置する際の障害にならないようにメインストッパ６が退避する退避位置である。
【００３８】
ブラケット部６３は、図１４に示すように、一対の支持台１１にそれぞれ１つずつ取り付けられている。これにより、アーム部６２を一方のブラケット部６３から取り外し、他方のブラケット部６３に取り付けることが可能である。その結果、メインストッパ６は、基板１０の搬送方向に応じて設置位置を変更することが可能である。具体的には、基板１０の搬送方向がＸ２方向（Ｘ１方向）の場合、メインストッパ６は、上流側のＸ１方向（Ｘ２方向）側の支持台１１に設置される。
【００３９】
メインストッパ駆動部６４（図７参照）は、アーム部６２を水平方向に伸縮する水平駆動機構と、当接部６１を鉛直方向に回動させる回動機構とを含む。水平駆動機構は、スライド部６２５をガイドレール６２２に対してスライド移動させるように構成されている。回動機構は、当接部６１をスライド部６２５に対して回動させるシリンダ６１ａと、バネ６１ｂとを有している。
【００４０】
インライン位置検知センサ６５（図１０および図１１参照）は、メインストッパ６がインライン位置にあることを検知するように構成されている。つまり、図９および図１０に示すように、メインストッパ６がインライン状態のとき、一組のインライン位置検知センサ６５により、メインストッパ６は、インライン位置にあることを検知される。オフライン位置検知センサ６６（図１０および図１１参照）は、メインストッパ６がオフライン位置にあることを検知するように構成されている。つまり、図１１に示すように、メインストッパ６がオフライン状態のとき、一組のオフライン位置検知センサ６６により、メインストッパ６は、オフライン位置にあることを検知される。
【００４１】
基板検知センサ６７（図７参照）は、基板搬送部２の一対のコンベア２１により搬送される基板１０がメインストッパ６の下側（Ｚ２方向側）に搬送されたことを検知するために設けられている。下方障害物検知センサ６８は、メインストッパ６の下側（Ｚ２方向側）に障害物があるか否かを検知するために設けられている。
【００４２】
遮蔽壁７は、図１に示すように、箱状形状を有し、Ｘ線検査装置１００の外装を覆うように構成されている。また、遮蔽壁７は、Ｘ線源３から照射されたＸ線の外部への漏洩を防止するため、Ｘ線源３の周囲を覆ってＸ線を遮蔽するように構成されている。
【００４３】
また、図１に示すように、Ｘ線検査装置１００の前面（Ｙ１方向側面）および後面（Ｙ２方向側面）には、それぞれスライド式の開閉扉８が設けられており、装置内部を開放および閉鎖することが可能である。開閉扉８は、Ｘ線を遮蔽するように構成されている。
【００４４】
また、図２に示すように、Ｘ線検査装置１００の左右側面（Ｘ方向側面）には、それぞれ、搬入出口Ａおよび搬入出口Ｂを開閉するためのシャッター部９が設けられている。シャッター部９の開口を介して基板搬送部２（一対のコンベア２１）による基板１０の搬入出が可能となっている。シャッター部９は、Ｘ線を遮蔽するように構成されている。
【００４５】
制御部１２は、Ｘ線検査装置１００全体の制御を行うように構成されている。また、制御部１２には、図７に示すように、Ｘ線源３、Ｘ線撮像部４、光学撮像部５、Ｘ軸モータ２４ａ、Ｙ軸モータ２４ｂ、メインストッパ駆動部６４、インライン位置検知センサ６５、オフライン位置検知センサ６６、基板検知センサ６７、下方障害物検知センサ６８およびインターフェイス１４が接続されている。また、制御部１２は、基板検査プログラム、基板データおよび検査データなどを記憶するメモリ１２ａを含む。また、制御部１２は、Ｘ線源３、Ｘ線撮像部４、光学撮像部５、Ｘ軸モータ２４ａおよびＹ軸モータ２４ｂを制御して、基板１０の撮像を行い、撮像した画像に基づいて基板１０の検査を行うように構成されている。
【００４６】
また、制御部１２は、メインストッパ駆動部６４を介してメインストッパ６の駆動を制御するように構成されている。具体的には、制御部１２は、メインストッパ６の当接部６１を回動させて昇降移動させるように構成されている。また、制御部１２は、メインストッパ６のアーム部６２を伸縮移動させるように構成されている。また、制御部１２は、インターフェイス１４に接続されたキーボード１４ａおよびマウス１４ｂを介してユーザによる操作を受付けて、ユーザの操作に基いてＸ線検査装置１００の制御を行うように構成されている。
【００４７】
次に、図１５を参照して、Ｘ線検査装置１００の制御部１２による基板停止処理について説明する。
【００４８】
ユーザによる基板検査開始の操作が行われると、ステップＳ１において、制御部１２は、基板データおよび検査データをメモリ１２ａから読み込む。ステップＳ２において、制御部１２は、読み込んだ検査データに基づいて、Ｘ線検査装置１００がインラインで使用されているか否かを判断する。Ｘ線検査装置１００がインラインで使用されていれば、ステップＳ３に進む。Ｘ線検査装置１００がオフラインで使用されていれば、ステップＳ１４に進む。
【００４９】
ステップＳ３において、制御部１２は、インライン位置検知センサ６５の検知結果に基づいて、メインストッパ６がインライン位置に位置するか否かを判断する。メインストッパ６がインライン位置に位置していなければ、ステップＳ１に戻る。なお、この際、ユーザにメインストッパ６がインライン位置に位置しないことを通知するようにしてもよい。メインストッパ６がインライン位置に位置していれば、ステップＳ４において、制御部１２は、Ｘ線検査装置１００をインライン使用時の仕様に切り替える。具体的には、制御部１２は、Ｘ線検査装置１００を、基板搬送部２の一対のコンベア２１により基板１０を搬送して、メインストッパ６により基板１０を所定の搬送位置で停止させる仕様に切り替える。
【００５０】
ステップＳ５において、制御部１２は、メインストッパ６を所定の位置に移動させる。具体的には、制御部１２は、メインストッパ６のアーム部６２を伸縮移動させて、基板１０の大きさに応じた所定の搬送位置で基板１０を停止可能な位置に当接部６１を移動させる。ステップＳ６において、制御部１２は、下方障害物検知センサ６８の検知結果に基づいて、当接部６１が回動して下降する位置に障害物があるか否かを判断する。障害物があれば、ステップＳ５に戻る。障害物が無ければ、ステップＳ７に進む。
【００５１】
ステップＳ７において、制御部１２は、当接部６１を回動させて下降位置に下降させる。ステップＳ８において、制御部１２は、基板搬送部２の一対のコンベア２１により基板１０をＸ２方向に搬送する。ステップＳ９において、制御部１２は、基板検知センサ６７の検知結果に基づいて、搬送されてくる基板１０をメインストッパ６の下側（Ｚ２方向側）に検出したか否かを判断する。基板１０を検出しなければ、ステップＳ８に戻る。基板１０を検出すれば、ステップＳ１０に進む。
【００５２】
ステップＳ１０において、制御部１２は、基板１０を所定の搬送位置で停止させて基板１０の位置決めをする。具体的には、制御部１２は、基板１０がメインストッパ６の当接部６１に当接して位置決めされた後、基板搬送部２の一対のコンベア２１の駆動を停止する。ステップＳ１１において、制御部１２は、基板搬送部２のクランプ機構により位置決めされた基板１０をクランプして基板搬送部２に対して固定する。
【００５３】
ステップＳ１２において、制御部１２は、当接部６１を回動させて第１退避位置（退避位置）に上昇させる。ステップＳ１３において、制御部１２は、メインストッパ６を移動させる。具体的には、制御部１２は、メインストッパ６のアーム部６２を伸縮移動させて、アーム部６２を第２退避位置（退避位置）に移動させる。その後、制御部１２は、基板停止処理を終了する。
【００５４】
ステップＳ２において、Ｘ線検査装置１００がオフラインで使用されていると判断されると、ステップＳ１４において、制御部１２は、オフライン位置検知センサ６６の検知結果に基づいて、メインストッパ６がオフライン位置（第３退避位置）に位置するか否かを判断する。メインストッパ６がオフライン位置に位置していなければ、ステップＳ１に戻る。なお、この際、ユーザにメインストッパ６がオフライン位置（第３退避位置）に位置しないことを通知するようにしてもよい。メインストッパ６がオフライン位置に位置していれば、ステップＳ１５において、制御部１２は、Ｘ線検査装置１００をオフライン使用時の仕様に切り替える。具体的には、制御部１２は、Ｘ線検査装置１００を、基板搬送部２の所定の位置にユーザが基板１０を直接載置することが可能な仕様に切り替える。その後、制御部１２は、基板停止処理を終了する。
【００５５】
次に、図５、図６、図１０および図１１を参照して、Ｘ線検査装置１００のオフライン使用時にメインストッパ６をオフライン位置（第３退避位置）に移動させる際のユーザの手順について説明する。
【００５６】
図５および図１０に示すように、アーム部６２が縮む（接続板６２４がＸ１方向にスライドする）ことにより、ロック板６２６によるロックが解除された後、ユーザは、レバー６２ｃを回転させて、ブラケット部６３に対するアーム部６２の締め付けを緩める。そして、ユーザは、ピン６２ｂを持ち上げて、ブラケット部６３に対するアーム部６２の位置決めを解除する。そして、ハンドル６２ｄを持って手前側（Ｙ１方向側）に引くことにより、アーム部６２をブラケット部６３に対して回動させる。図６および図１１に示すように、メインストッパ６（アーム部６２）を第３退避位置に移動させた後、ユーザは、ピン６２ｂを下ろして、第３退避位置において、ブラケット部６３に対してアーム部６２を位置決めする。これにより、ユーザによりメインストッパ６がオフライン位置（第３退避位置）に移動される。
【００５７】
本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、基板１０の検査を行う際に、基板１０の検査に干渉しないように基板搬送部２（作業領域）に対して相対的に退避可能に構成することによって、メインストッパ６が基板搬送部２（作業領域）に対して相対的に退避した分だけ基板１０とメインストッパ６との間にスペースが生じるので、メインストッパ６が基板１０の撮像などの基板１０への作業の障害になるのを抑制することができる。このような効果は、特に、多方向からＸ線を照射して基板１０を撮像するＸ線検査装置１００において有効である。
【００５８】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、基板１０を停止させる停止位置と基板１０への作業に干渉しない退避位置とに移動可能に構成することによって、メインストッパ６を停止位置から退避位置へと移動させることができるので、メインストッパ６が基板１０への作業の障害になるのを容易に抑制することができる。
【００５９】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、基板１０の検査を行う際に、メインストッパ６のアーム部６２が伸縮することにより、第２退避位置に移動するように構成することによって、アーム部６２の伸縮により、メインストッパ６を第２退避位置に容易に移動させることができる。
【００６０】
また、本実施形態では、上記のように、アーム部６２を水平方向に回動させることにより、メインストッパ６を第３退避位置に移動するように構成することによって、アーム部６２の回動により、メインストッパ６を第３退避位置に容易に移動させることができる。
【００６１】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６に、アーム部６２が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合にアーム部６２の水平方向の回動を規制するロック板６２６を設けることによって、アーム部６２が所定の長さ以上の伸縮位置に位置する場合に回動しないので、アーム部６２が不用意に回動して遮蔽壁７などに接触することを防止することができる。
【００６２】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、Ｘ線検査装置１００が基板生産のライン内で使用される際のインライン位置と、Ｘ線検査装置１００が基板生産のラインとは独立して使用される際のオフライン位置とに切替可能に構成するとともに、オフライン位置は、オフライン使用時の第３退避位置となるように構成することによって、オフライン使用時には、メインストッパ６がオフライン使用時の第３退避位置に位置するので、ユーザが基板１０や基板搬送部２などに対して作業をする場合に、メインストッパ６がユーザの作業の障害になるのを抑制することができる。
【００６３】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６がインライン位置またはオフライン位置のいずれかに位置するかを検知するインライン位置検知センサ６５およびオフライン位置検知センサ６６を設けることによって、インライン位置検知センサ６５およびオフライン位置検知センサ６６によりメインストッパ６の位置を容易に把握することができるので、メインストッパ６の位置に応じた適切な対処をすることができる。
【００６４】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、基板１０の搬送方向に応じて設置位置を変更可能に構成することによって、基板１０の搬送方向が変更された場合でも、メインストッパ６の設置位置を変更して容易に基板１０を停止させることができる。また、メインストッパ６を、設置位置の変更を容易に行うために着脱自在な構造にすることもできる。
【００６５】
また、本実施形態では、上記のように、メインストッパ６を、基板搬送部２とは独立して基板搬送部２の上方（Ｚ１方向）に設置することによって、基板搬送部２の上方（Ｚ１方向）でメインストッパ６に対してメンテナンスなどの作業をする際、基板搬送部２に干渉されることなく容易に作業することができる。
【００６６】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００６７】
たとえば、上記実施形態では、基板作業装置の一例としてＸ線検査装置に本発明を適用する例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、基板に対して半田などを印刷する印刷装置や、基板に対して部品実装作業を行う表面実装装置や、Ｘ線を用いないで基板を検査する基板検査装置などに、本発明を適用してもよい。また、これらの印刷、実装および検査などの機能を複合的に有するハイブリッド装置に本発明を適用してもよい。
【００６８】
また、上記実施形態では、ストッパ部としてのメインストッパが退避位置に移動することにより、メインストッパが基板搬送部に対して相対的に退避する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板搬送部または作業領域が移動することにより、ストッパ部が基板搬送部または作業領域に対して相対的に退避する構成でもよいし、ストッパ部および基板搬送部（作業領域）の両方が移動することにより、ストッパ部が基板搬送部に対して相対的に退避する構成でもよい。
【００６９】
また、上記実施形態では、基板搬送部の位置する領域が作業領域である構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、作業領域は基板搬送部の位置する領域でなくてもよい。たとえば、基板搬送部から搬送された基板が作業用のステージに受け渡されて作業を行う構成である場合、作業領域は作業用のステージの位置する領域であってもよい。
【００７０】
また、上記実施形態では、ストッパ部としてのメインストッパが第１〜第３退避位置に退避可能である構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ストッパ部が第１〜第３退避位置のいずれか１つだけに退避可能である構成でもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、ブラケット部に対してアーム部を水平方向に回動させる際に、ユーザが手動で移動させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ブラケット部に対してアーム部を水平方向に回動させる駆動部を設けて、自動またはユーザの操作により駆動部を駆動させてアーム部を回動させるように構成してもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、アーム部は、水平方向に伸縮および回動の両方が可能な構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、アーム部は、水平方向に伸縮または回動の少なくとも一方が可能な構成であってもよい。
【００７３】
また、上記実施形態では、Ｘ線検査装置が、Ｘ線源およびＸ線撮像部と、光学撮像部とを備える例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、Ｘ線検査装置は、光学撮像部を備えていなくてもよい。
【００７４】
また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
２  基板搬送部
３  Ｘ線源
４  Ｘ線撮像部
６  メインストッパ（ストッパ部）
１０  基板
６１  当接部
６２  アーム部
６５  インライン位置検知センサ（検知部）
６６  オフライン位置検知センサ（検知部）
１００  Ｘ線検査装置（基板作業装置）
６２６  ロック板（ロック機構）
【図１】
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【図２】
0005651103.tif 000003
【図３】
0005651103.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005651103.tif 000006
【図６】
0005651103.tif 000007
【図７】
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【図８】
0005651103.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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