(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム内で床開口から床下作業を行うときに使用するクリーンルーム内床開口作業用囲いであって、
直方体の辺を構成する枠状のフレーム材と、前記直方体の４つの側面と天井面とを構成するよう各フレーム材に固定された５つのパネル材とを有し、クリーンルームの床面との間に間隙をあけて前記床開口を覆うよう床面上に設置され、前記側面に出入口を有する囲い本体と、
前記出入口を開閉可能な開閉部材と、
前記囲い本体に前記間隙を覆うよう設けられた下部シート材と、
前記フレーム材の下端に前記床面上を移動可能な複数のキャスターとを有し、
前記床面はクリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有し、
前記下部シート材は前記囲い本体が覆う前記床面の前記通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を前記床面との間に形成して前記間隙を覆うことを、
特徴とするクリーンルーム内床開口作業用囲い。
【請求項２】
前記下部シート材は前記囲い本体に上下動させて前記通気用間隙の幅を調整可能に設けられていることを、
特徴とする請求項１記載のクリーンルーム内床開口作業用囲い。
【請求項３】
クリーンルーム内で床開口から床下作業を行うときに使用するクリーンルーム内床開口作業用囲いであって、
直方体の辺を構成する枠状のフレーム材と、前記直方体の４つの側面と天井面とを構成するよう各フレーム材に固定された５つのパネル材とを有し、クリーンルームの床面との間に間隙をあけて前記床開口を覆うよう床面上に設置され、前記側面に出入口を有する囲い本体と、
前記出入口を開閉可能な開閉部材と、
前記囲い本体に前記間隙を覆うよう設けられた下部シート材と、
前記フレーム材の下端に前記床面上を移動可能な複数のキャスターとを有し、
前記床面はクリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有し、
前記下部シート材は、前記床開口をあける前の前記床面の前記通気孔を通過する空気の量と、前記床開口に流れ込む空気の量とが同等になるよう、上下動させて前記床面との間に形成される通気用間隙の幅を調整可能に設けられていることを、
特徴とするクリーンルーム内床開口作業用囲い。
【請求項４】
前記囲い本体は、前記パネル材のうち前記側面の１つを構成するパネル材は上側に前記出入口をあけて設けられ、前記開閉部材はシート状で、前記出入口の上部に取り付けられていることを、特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のクリーンルーム内床開口作業用囲い。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内で床開口から床下作業を行うときに使用するクリーンルーム内床開口作業用囲いに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ダウンフローによる気流方式を採用したクリーンルームは、複数の床板を敷き詰めて床面を形成した二重床構造のフリーアクセスフロアから成っている（例えば、特許文献１または２参照）。一部の床板には、厚さ方向に貫通して設けられた複数の通気孔が設けられている。天井面に設けられたフィルタを通った空気は床面に向けて吹き出され、クリーンルームの清浄度を保つのに望ましい、床面に略垂直のダウンフローの気流となり各通気孔を通って床下に流れるようになっている。床下には、各種ユーティリティの配管、配線、ダクト類などが設置されており、それらの点検や改修作業が頻繁に行われている。
【０００３】
従来、床下の配管などの点検等の作業を行うときには、発塵対策を施しながら床板を１〜数枚取り外し、作業者が床上と床下とを行き来できるようにして作業を行っている。このとき、図４に示すように、カラーコーン５１やコーンバー５２などを使用して床開口５３の周囲にバリケードを施して、床開口５３からの転落を防止する対策を行っている。また、枠体や柵などで床開口の周囲を覆うことも考えられる（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開平１−１６８７４３号公報
【特許文献２】実開平１−１６８７４５号公報
【特許文献３】特開平８−３２６３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
カラーコーンなどでバリケードを施したり、特許文献３に記載のような枠体や柵などで覆ったりする方法では、上部に覆いがないため、近くで作業を行っているときに工具を落としたり、荷崩れがあったりすると、床開口で作業中の作業者に危険であるという課題があった。また、カラーコーンなどでバリケードを施す場合、床面を転がってきたものが床開口から落ちるのを防ぐことはできず、同様の危険性があった。
【０００６】
さらに、床下内に集積した塵埃が床下作業により巻き上がってクリーンルーム内に入るおそれがあり、クリーンルームの清浄度が低下するという課題もあった。また、ダウンフローの気流が床開口に集中するため、本来クリーンルームの清浄度を保つために望ましい床面に略垂直のダウンフローの気流が乱され、クリーンルームの清浄度を低下させるおそれがあった。
【０００７】
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、床開口への落下物を防いで作業の安全性を確保でき、かつクリーンルームの清浄度を保つことができるクリーンルーム内床開口作業用囲いを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、クリーンルーム内で床開口から床下作業を行うときに使用するクリーンルーム内床開口作業用囲いであって、直方体の辺を構成する枠状のフレーム材と、前記直方体の４つの側面と天井面とを構成するよう各フレーム材に固定された５つのパネル材とを有し、クリーンルームの床面との間に間隙をあけて前記床開口を覆うよう床面上に設置され、前記側面に出入口を有する囲い本体と、前記出入口を開閉可能な開閉部材と、前記囲い本体に前記間隙を覆うよう設けられた下部シート材と、前記フレーム材の下端に前記床面上を移動可能な複数のキャスターとを有し、前記床面はクリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有し、前記下部シート材は前記囲い本体が覆う前記床面の前記通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を前記床面との間に形成して前記間隙を覆うことを、特徴とする。
【０００９】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、囲い本体により床開口を覆っているため、床面を転がってきたものが床開口へ落下するのを防ぎ、床下作業を安全に行うことができる。また、床下作業により粉塵が巻き上がっても、その粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを防ぎ、クリーンルームの清浄度を保つことができる。
【００１０】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、囲い本体の側面や上面に注意喚起のための表示がされていてもよい。開閉部材は、垂れ幕状のシートから成っても、扉から成ってもよい。囲い本体、開閉部材および下部シート材は、クリーンルーム内に塵埃を持ち込んだり飛散させたりしないよう、帯電防止材料から成ることが好ましい。囲い本体および開閉部材は、囲い本体の内部での作業状態を外部から目視で確認できるよう、透明または半透明であることが好ましい。
【００１１】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、各キャスターにより容易に移動可能である。作業中に移動しないよう、各キャスターにはストッパーが設けられていることが好ましい。また、下部シート材が、囲い本体が覆う床面の通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を床面との間に形成しているので、床開口をあける前の床面の通気孔を通過する空気の量と、床開口に流れ込む空気の量とが同等になる。このため、クリーンルーム内のダウンフローの気流の乱れを抑え、クリーンルームの清浄度を保つことができる。
【００１２】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、囲い本体を、各フレーム材にパネル材を固定することで組み立てることができ、各フレーム材からパネル材を取り外すことで解体することができるので、囲い本体の組立、解体が容易である。このため、使用するときに組み立て、使用しないときには解体して保管スペースを節約することができる。各フレーム材や各パネル材として、汎用のものを使用した場合、材料コストを低減することができる。各フレーム材および各パネル材は、組み立てる際に粉塵を発生させない樹脂製や金属製であることが好ましい。この場合、クリーンルーム内でも清浄度を保ったまま、囲い本体を組み立てることができる。
【００１３】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、前記フレーム材の下端に前記床面上を移動可能な複数のキャスターを有し、前記床面はクリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有し、前記下部シート材は前記囲い本体が覆う前記床面の前記通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を前記床面との間に形成して前記間隙を覆うことが好ましい。
この場合、各キャスターにより容易に移動可能である。作業中に移動しないよう、各キャスターにはストッパーが設けられていることが好ましい。
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いにおいて、前記下部シート材は前記囲い本体に上下動させて前記通気用間隙の幅を調整可能に設けられていてもよい。この場合、下部シート材を上下動させて通気用間隙の幅を調整し、床開口をあける前の床面の通気孔を通過する空気の量と、床開口に流れ込む空気の量とが同等になるよう容易に設定することができる。このため、クリーンルーム内のダウンフローの気流の乱れを抑え、クリーンルームの清浄度を保つことが容易にできる。
【００１４】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いは、クリーンルーム内で床開口から床下作業を行うときに使用するクリーンルーム内床開口作業用囲いであって、直方体の辺を構成する枠状のフレーム材と、前記直方体の４つの側面と天井面とを構成するよう各フレーム材に固定された５つのパネル材とを有し、クリーンルームの床面との間に間隙をあけて前記床開口を覆うよう床面上に設置され、前記側面に出入口を有する囲い本体と、前記出入口を開閉可能な開閉部材と、前記囲い本体に前記間隙を覆うよう設けられた下部シート材と、前記フレーム材の下端に前記床面上を移動可能な複数のキャスターとを有し、前記床面はクリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有し、前記下部シート材は、前記床開口をあける前の前記床面の前記通気孔を通過する空気の量と、前記床開口に流れ込む空気の量とが同等になるよう、上下動させて前記床面との間に形成される通気用間隙の幅を調整可能に設けられていてもよい。

【００１５】
本発明に係るクリーンルーム内床開口作業用囲いにおいて、前記囲い本体は、前記パネル材のうち前記側面の１つを構成するパネル材は上側に前記出入口をあけて設けられ、前記開閉部材はシート状で、前記出入口の上部に取り付けられていることが好ましい。この場合、シート状の開閉部材は、取付け容易で、かつ出入口からの出入りを容易にすることができる。シート状の開閉部材および下部シート材は、透明な帯電防止ビニルシートから成ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、床開口への落下物を防いで作業の安全性を確保でき、かつクリーンルームの清浄度を保つことができるクリーンルーム内床開口作業用囲いを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態のクリーンルーム内床開口作業用囲いを示す、一部を切り欠いた斜視図である。
【図２】図１に示すクリーンルーム内床開口作業用囲いの、図１とは異なる角度からの斜視図である。
【図３】図１に示すクリーンルーム内床開口作業用囲いの使用状態を示す、一部を切り欠いた側面図である。
【図４】従来のクリーンルーム内床開口の転落防止用のバリケードを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面に基づき、本発明の実施の形態について説明する。
図１乃至図３は、本発明の実施の形態のクリーンルーム内床開口作業用囲いを示している。
図１乃至図３に示すように、クリーンルーム内床開口作業用囲い１０は、複数の床板１を敷き詰めた床面を有するクリーンルーム内で、床板１を外し、床下２での作業を床開口３を通して行うときに使用され、囲い本体１１と４つのキャスター１２と開閉部材１３と下部シート材１４とを有している。
【００１９】
図１および図２に示すように、囲い本体１１は、１５本のフレーム材２１と複数のパネル材２２と開口用パネル材２３とを有している。各フレーム材２１は、断面がコの字型の軽量鉄骨のランナー部材から成り、横長の直方体の辺を構成する枠状に組み立てられている。各フレーム材２１は、１２本が直方体の各辺を構成し、３本が隣り合う長辺の中間位置を接続するよう配置され、それぞれの接続位置でビス留めされている。
【００２０】
各パネル材２２は、半透明なプラスチック段ボール製で、各フレーム材２１による直方体の長手方向に沿った２つの側面、天井面、および一方の端面を構成するよう、フレーム材２１に粘着テープで貼り付けられている。図２に示すように、開口用パネル材２３は、半透明なプラスチック段ボール製で、各フレーム材２１による直方体の他方の端面の下縁のフレーム材２１に粘着テープで固定されている。開口用パネル材２３は、上縁のフレーム材２１ａとの間に、作業員が出入りできる間隔を開けている。囲い本体１１は、側面の、上縁のフレーム材２１ａおよび両側縁の各フレーム材２１ｂと、開口用パネル材２３の上縁とで囲まれた内側が出入口２４となっている。
【００２１】
図１および図２に示すように、各キャスター１２は、各フレーム材２１の下端にそれぞれ設けられている。各キャスター１２は、ストッパーを有し、囲い本体１１を支持可能でかつクリーンルームの床面上を移動可能に、フレーム材２１に固定されている。これにより、囲い本体１１は、クリーンルームの床面との間に、各キャスター１２により生じる間隙をあけて、クリーンルームの床板１を外して形成された床開口３を囲うとともに、床開口３の上方を覆うよう構成されている。
【００２２】
図２に示すように、開閉部材１３は、透明な帯電防止ビニルシートから成り、出入口２４の上縁のフレーム材２１ａまたは天井面を構成するパネル材２２に固定されている。開閉部材１３は、出入口２４の前に垂れ下がって、出入口２４を開閉可能に覆うように設けられている。開閉部材１３は、粘着テープにより、出入口２４を気密的に閉じることができる。
【００２３】
図１および図２に示すように、下部シート材１４は、透明な帯電防止ビニルシートから成り、各フレーム材２１による直方体の側面を構成する各パネル材２２および開口用パネル材２３の下縁部に粘着テープで固定されている。下部シート材１４は、各キャスター１２により囲い本体１１と床面との間に生じる間隙の前に垂れ下がって、その間隙を覆うよう設けられている。下部シート材１４は、固定する際に床面との間隔を調整して粘着テープで固定することが好ましい。図２に示すように、囲い本体１１のパネル材２２の外面には、注意喚起のための表示２５を取り付けることができる。
【００２４】
床板１は、クリーンルーム内に気流を形成する複数の通気孔を有している。下部シート材１４は、囲い本体１１が覆う床板１の通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を床板１との間に形成して床面との間の間隙を覆うよう、床面との間隔を調整して固定される。
【００２５】
なお、図１および図２に示す具体的な一例では、囲い本体１１は、長さが１８２０ｍｍ、幅が９１０ｍｍ、高さが９１０ｍｍである。また、各床板１は、６００ｍｍ角であり、３枚取り外すことにより床下２に入って作業を行うことができる。床下２は、高さが８０〜１３０ｃｍである。但し、その数値は例示であり、限定されるものではない。
【００２６】
次に、作用について説明する。
図３に示すように、クリーンルーム内床開口作業用囲い１０は、囲い本体１１により床開口３を覆って床下作業を行うために使用される。囲い本体１１により床開口３を覆っているため、床面を転がってきたものが床開口３へ落下するのを防ぎ、床下作業を安全に行うことができる。また、床下作業により粉塵が巻き上がっても、その粉塵がクリーンルーム内に飛散するのを防ぎ、クリーンルームの清浄度を保つことができる。床下作業終了後、クリーンスーツの塵埃を払い落とした後に、出入口２４からクリーンルームに入ることにより、塵埃がクリーンルーム内に飛散するのを防ぐことができる。このように、クリーンルーム内床開口作業用囲い１０は、クリーンルームの清浄度を保つことができる。
【００２７】
下部シート材１４は囲い本体１１が覆う床板１の通気孔の総面積と同等面積の通気用間隙を床面との間に形成しているので、床開口３をあける前の床面の通気孔を通過する空気の量と、床開口３に流れ込む空気の量とが同等になる。このため、クリーンルーム内のダウンフローの気流の乱れを抑え、クリーンルームの清浄度を保つことができる。
【００２８】
クリーンルーム内床開口作業用囲い１０は、囲い本体１１をフレーム材２１、パネル材２２および開口用パネル材２３で構成しているため、囲い本体１１を、各フレーム材２１にパネル材２２および開口用パネル材２３を固定することで組み立てることができ、各フレーム材２１からパネル材２２および開口用パネル材２３を取り外すことで解体することができる。各フレーム材２１は、ビスにより組立および解体が可能である。このため、囲い本体１１の組立、解体が容易である。このため、使用するときに組み立て、使用しないときには解体して保管スペースを節約することができる。各フレーム材２１、各パネル材２２および開口用パネル材２３として、市販の汎用のものを使用することにより、材料コストを低減することができる。
【００２９】
各フレーム材２１が鉄製であり、各パネル材２２が樹脂製であるため、組立て時に紙粉や木粉を発生する紙や木と異なり、組立て時に粉塵を発生しない。このため、クリーンルーム内で清浄度を保ったまま、囲い本体１１を組み立てることができる。また、開閉部材１３および下部シート材１４が帯電防止ビニルシートから成るため、塵埃を吸着せず、クリーンルーム内に塵埃を持ち込んだり飛散させたりするのを防ぐことができる。
【００３０】
クリーンルーム内床開口作業用囲い１０は、各キャスター１２により容易に移動可能である。作業中には、ストッパーで各キャスター１２を固定することにより、移動しないようにすることができる。また、囲い本体１１が半透明で、開閉部材１３が透明であるため、囲い本体１１の内部での作業状態を、外部から目視で確認することができる。さらに、開閉部材１３が透明であるため、囲い本体１１の内部や外側の状態が目視で確認でき、人が安全に出入りできる。
【００３１】
下部シート材１４は、囲い本体１１に上下動させて通気用間隙の幅を調整可能に設けられていてもよい。下部シート材１４を上下動可能にする構成は、例えば、囲い本体１１に、上下方向に沿ってレール部材を固定し、下部シート材１４に、レール部材に沿って移動して任意の位置で停止可能なストッパ付きのスライダを固定して構成することができる。
【００３２】
この場合、下部シート材１４を上下動させて通気用間隙の幅を調整し、床開口３をあける前の床面の通気孔を通過する空気の量と、床開口３に流れ込む空気の量とが同等になるよう容易に設定することができる。このため、クリーンルーム内のダウンフローの気流の乱れを抑え、クリーンルームの清浄度を保つことが容易にできる。
【符号の説明】
【００３３】
１  床板
２  床下
３  床開口
１０  クリーンルーム内床開口作業用囲い
１１  囲い本体
２１  フレーム材
２２  パネル材
２３  開口用パネル材
２４  出入口
１２  キャスター
１３  開閉部材
１４  下部シート材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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