(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通流する第１ポートおよび第２ポートと、前記第１ポートおよび前記第２ポートが接続される流体室と、前記流体室の内部に形成される弁座と、を有し、前記流体室に前記弁座に対向する開口部が形成される弁本体と、
前記弁座に離接可能に配置される弁体部材と、
前記弁体部材に連結される進退動可能な軸部を有する駆動部と、前記駆動部を収容するとともに前記開口部を覆うように配置されるケースと、を有し、前記軸部によって前記弁体部材を前記弁座に対して離接させることで、前記第１ポートと前記第２ポートとの連通および遮断を切り換える駆動装置と、
前記弁本体に前記駆動装置を取り付けるためのピン部材と、
を備え、
前記流体室における前記開口部の外周側の部分に、前記開口部を囲繞するように突出する第１取付壁部が形成され、
前記ケースにおける前記開口部側の端部に、前記軸部を囲繞するように突出し、前記第１取付壁部の内周側に配置される第２取付壁部が形成され、
前記第１取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第１取付孔が形成され、
前記第２取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第２取付孔が形成され、
前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されることにより、前記弁本体に前記駆動装置が取り付けられており、
前記流体室における前記開口部の外周縁部には、シール部が形成され、
前記第１取付壁部は、前記シール部の外周側の部分から突出するように形成され、
前記第２取付壁部と前記シール部との間に、弾性体が挟み込まれ、
前記第２取付壁部が前記シール部との間で前記弾性体を前記弁本体側に圧縮させた状態において、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されており、
前記ピン部材は、圧縮された前記弾性体が前記弁本体から離れる方向に前記ケースを付勢することにより、前記第１取付孔の内周面に押し付けられていることを特徴とする、流体制御弁。
【請求項２】
前記弁体部材は、前記弁座に対向して配置される主弁体部と、前記主弁体部から外周側に張り出す膜部とを有する弾性材料からなるダイヤフラムであり、
前記弾性体は、前記膜部の外周部分である、ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
【請求項３】
前記シール部は、内周側に位置する内側シール部と、外周側に位置する外側シール部とを有し、
前記外側シール部は、前記内側シール部よりも前記開口部の中心軸線方向で外側に突出し、
前記内側シール部に、前記膜部の外周部分が載置されており、
前記第２取付壁部は、前記ケースから突出するとともに、その先端部が前記内側シール部および前記外側シール部に対向する基部と、前記基部の前記内側シール部に対向する部分に設けられ、前記内側シール部に向けて突出する弾性体当接部と、を有し、
前記膜部は、前記弾性体当接部と前記内側シール部との間に挟み込まれている、ことを特徴とする請求項２に記載の流体制御弁。
【請求項４】
前記弾性体当接部は、前記基部とは別体に形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の流体制御弁。
【請求項５】
前記弾性体当接部は、前記基部と一体に形成されている、ことを特徴とする請求項３に記載の流体制御弁。
【請求項６】
前記第１取付孔は、前記開口部の中心軸線に直交する方向のうちの一方向に規定される第１基準方向又は当該第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、
前記第２取付孔は、前記軸部の中心軸線に直交する方向のうちの一方向に規定される第２基準方向又は当該第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成され、
前記第１取付孔と前記第２取付孔とは、前記第２取付壁部が前記第１取付壁部の内周側に配置され、各々が同一の方向に向けられた際に、互いに重なり合うようになっている、ことを特徴とする請求項１に記載の流体制御弁。
【請求項７】
前記第１取付孔は、前記第１基準方向に直交する方向に沿って前記開口部の中心軸線から所定オフセット距離だけ離間した位置において前記第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、
前記第２取付孔は、前記第２基準方向に直交する方向に沿って前記軸部の中心軸線から前記所定オフセット距離だけ離間した位置において前記第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成されている、ことを特徴とする、請求項６に記載の流体制御弁。
【請求項８】
前記第１取付孔は、前記第１基準方向に直交する方向に沿って前記開口部の中心軸線から一方側および他方側に前記所定オフセット距離だけ離間した位置の各々において前記第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、
前記第２取付孔は、前記第２基準方向に直交する方向に沿って前記軸部の中心軸線から一方側および他方側に前記所定オフセット距離だけ離間した位置の各々において前記第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成されている、ことを特徴とする請求項７に記載の流体制御弁。
【請求項９】
前記ピン部材は、Ｕ字形状であり、互いに平行に延びる一対の直進部と、前記一対の直進部の端部間を連結する連結部と、を有し、
前記一対の直進部のうちの一方が、前記開口部および前記軸部の中心軸線を基準に一方側に位置する前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入され、前記一対の直進部のうちの他方が、前記開口部および前記軸部の中心軸線を基準に他方側に位置する前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されている、ことを特徴とする請求項８に記載の流体制御弁。
【請求項１０】
前記第２取付孔は、前記第２取付壁部の内部空間に連通しないように形成されている、ことを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体が通流するポートおよび弁座を有する弁本体と、弁座に離接可能に配置される弁体部材と、弁体部材を弁座から離接させる駆動装置と、を備える流体制御弁が従来から知られている。このような流体制御弁の一例として、ダイヤフラム弁を挙げることができる。ダイヤフラム弁においては、弁体部材としてダイヤフラムが用いられている。
【０００３】
特許文献１に開示されたダイヤフラム弁では、弁本体に２つのポートが形成されている。これらポートの間に、弁座が形成されている。弁座には、ダイヤフラムが離接可能に配置され、駆動装置としては、空圧シリンダが用いられている。
【０００４】
この特許文献１に開示されたダイヤフラム弁では、空圧シリンダのシリンダ本体に、シリンダ軸線方向に沿って延びるボルトの貫通孔が形成され、弁本体に、ナットを挿入するための貫通孔が形成されている。これにより、シリンダ本体の貫通孔に挿入されたボルトを弁本体の貫通孔に挿入されたナットに締め付けることで、弁本体に空圧シリンダが取り付けられている。
【０００５】
ボルトおよびナットによって弁本体に駆動装置が取り付けられる上述のような流体制御弁は、従来から多用されている。また、ネジによって、弁本体に駆動装置が取り付けられる流体制御弁も従来から用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１６９７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ボルトやネジによって、弁本体に駆動装置が取り付けられる構成では、工具を用いてボルトやネジを回す作業に時間がかかる。また、ボルトやネジの締結トルクの管理が必要な場合には、特殊な工具が必要となるため、手間およびコストがかかり、且つメンテナンス作業に時間がかかる。そのため、製造コスト、組立工数およびメンテナンス工数が増加してしまうという問題がある。
【０００８】
また、流体制御弁の生産現場や、流体制御弁が組み込まれる装置内において、工具を使用する作業スペースを確保する必要があるため、生産ラインの省スペース化や、流体制御弁が組み込まれる装置の小型化が阻害されるという問題もある。
【０００９】
また、流体制御弁を外部に露出した状態で設置する場合には、工具を使用する作業スペースを確保した状態で流体制御弁を設置することが好ましい。そのため、流体制御弁の設置自由度が阻害されるという問題もある。
【００１０】
本発明は、このような実情を考慮してなされたものであって、工具を使用することなく簡易な作業で、弁本体に駆動装置を取り付けることができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、流体が通流する第１ポートおよび第２ポートと、前記第１ポートおよび前記第２ポートが接続される流体室と、前記流体室の内部に形成される弁座と、を有し、前記流体室に前記弁座に対向する開口部が形成される弁本体と、前記弁座に離接可能に配置される弁体部材と、前記弁体部材に連結される進退動可能な軸部を有する駆動部と、前記駆動部を収容するとともに前記開口部を覆うように配置されるケースと、を有し、前記軸部によって前記弁体部材を前記弁座に対して離接させることで、前記第１ポートと前記第２ポートとの連通および遮断を切り換える駆動装置と、前記弁本体に前記駆動装置を取り付けるためのピン部材と、を備え、前記流体室における前記開口部の外周側の部分に、前記開口部を囲繞するように突出する第１取付壁部が形成され、前記ケースにおける前記開口部側の端部に、前記軸部を囲繞するように突出し、前記第１取付壁部の内周側または外周側に配置される第２取付壁部が形成され、前記第１取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第１取付孔が形成され、前記第２取付壁部には、前記ピン部材が挿入される第２取付孔が形成され、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されることにより、前記弁本体に前記駆動装置が取り付けられている、ことを特徴とする流体制御弁である。
【００１２】
前記流体制御弁において、例えば、前記第１取付孔は、前記開口部の中心軸線に直交する方向のうちの一方向に規定される第１基準方向又は当該第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、前記第２取付孔は、前記軸部の中心軸線に直交する方向のうちの一方向に規定される第２基準方向又は当該第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成され、前記第１取付孔と前記第２取付孔とは、前記第２取付壁部が前記第１取付壁部の内周側または外周側に配置され、各々が同一の方向に向けられた際に、互いに重なり合うようになっていてもよい。
【００１３】
より具体的には例えば、前記第１取付孔は、前記第１基準方向に直交する方向に沿って前記開口部の中心軸線から所定オフセット距離だけ離間した位置において前記第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、前記第２取付孔は、前記第２基準方向に直交する方向に沿って前記軸部の中心軸線から前記所定オフセット距離だけ離間した位置において前記第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成されていてもよい。
【００１４】
本発明によれば、弁本体側に形成された第１取付孔と、駆動装置側に形成された第２取付孔とにピン部材を挿入する作業によって、弁本体に駆動装置を取り付けることができる。したがって、工具を使用することなく簡易な作業で、弁本体に駆動装置を取り付けることができる。これにより、取り付け作業の作業スペースを抑制することが可能となり、例えば、生産ラインを省スペース化でき、流体制御弁が組み込まれる装置を小型化でき、流体制御弁の設置自由度を向上できる。また、製造コスト、組立工数およびメンテナン工数を抑制できる。
【００１５】
また、駆動装置は、そのケースに形成された第２取付壁部が流体室の開口部の外周側の部分に形成された第１取付壁部に取り付けられることで、弁本体に取り付けられるため、駆動装置が、弁本体の開口部周辺以外の部分の設計自由度を制約することがない。これにより、弁本体の形状や弁本体から開口するポートの位置を比較的自由に設定できるという効果もある。
【００１６】
また、前記流体制御弁において、前記第１取付孔は、前記第１基準方向に直交する方向に沿って前記開口部の中心軸線から一方側および他方側に前記所定オフセット距離だけ離間した位置の各々において前記第１基準方向に平行に延びる方向上で、前記第１取付壁部を貫通するように形成され、前記第２取付孔は、前記第２基準方向に直交する方向に沿って前記軸部の中心軸線から一方側および他方側に前記所定オフセット距離だけ離間した位置の各々において前記第２基準方向に平行に延びる方向上で、前記第２取付壁部を貫通するように形成されている、ことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、開口部および軸部の中心軸線の両側に配置される第１取付孔および第２取付孔にピン部材が挿入されることにより、バランス良く弁本体に駆動装置が取り付けられる。これにより、弁本体による駆動装置の取付状態を安定させることができる。
【００１８】
また、この場合、前記ピン部材は、Ｕ字形状であり、互いに平行に延びる一対の直進部と、前記一対の直進部の端部間を連結する連結部と、を有し、前記一対の直進部のうちの一方が、前記開口部および前記軸部の中心軸線を基準に一方側に位置する前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入され、前記一対の直進部のうちの他方が、前記開口部および前記軸部の中心軸線を基準に他方側に位置する前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されている、ことが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、開口部および軸部の中心軸線の両側に配置される第１取付孔および第２取付孔の各々に、一度にピン部材を挿入できることにより、取付作業の効率を向上できる。
【００２０】
また、前記第２取付壁部は、前記第１取付壁部の内周側に配置され、前記第２取付孔は、前記第２取付壁部の内部空間に連通しないように形成されている、ことが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、第２取付孔が第２取付壁部の内部空間に連通することが防止される。これにより、第２取付孔によって第２取付壁部のシール性が損なわれることを防止できる。
【００２２】
また、前記流体室における前記開口部の外周縁部には、シール部が形成され、前記第１取付壁部は、前記シール部の外周側の部分から突出するように形成され、前記第２取付壁部は、前記第１取付壁部の内周側に配置されるようになっており、前記第２取付壁部と前記シール部との間に、弾性体が挟み込まれ、前記第２取付壁部が前記シール部との間で前記弾性体を前記弁本体側に圧縮させた状態において、前記ピン部材が前記第１取付孔と前記第２取付孔とに跨がるように挿入されており、前記ピン部材は、圧縮された前記弾性体が前記弁本体から離れる方向に前記ケースを付勢することにより、前記第１取付孔の内周面に押し付けられていてもよい。
【００２３】
この構成によれば、弾性体の弾性力を利用することにより、第１取付孔および第２取付孔からピン部材が抜けることを防止できる。これにより、弁本体による駆動装置の取付状態を安定させることができる。
【００２４】
また、この場合、前記弁体部材は、前記弁座に対向して配置される主弁体部と、前記主弁体部から外周側に張り出す膜部とを有する弾性材料からなるダイヤフラムであり、前記弾性体は、前記膜部の外周部分である、ことが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、弁体部材であるダイヤフラムの一部の弾性力を利用することにより、部品点数を増加させることなく、弁本体による駆動装置の取付状態を安定させることができる。
【００２６】
また、この場合、前記シール部は、内周側に位置する内側シール部と、外周側に位置する外側シール部とを有し、前記外側シール部は、前記内側シール部よりも前記開口部の中心軸線方向で外側に突出し、前記内側シール部に、前記膜部の外周部分が載置されており、前記第２取付壁部は、前記ケースから突出するとともに、その先端部が前記内側シール部および前記外側シール部に対向する基部と、前記基部の前記内側シール部に対向する部分に設けられ、前記内側シール部に向けて突出する弾性体当接部と、を有し、前記膜部は、前記弾性体当接部と前記内側シール部との間に挟み込まれていてもよい。
【００２７】
この構成によれば、弁本体側のシール部と、駆動装置側の第２取付壁部との間に隙間が生じることを抑制できる。これにより、弁本体と駆動装置との間の気密性または液密性を好適に確保し易くすることができる。
【００２８】
また、この場合、前記弾性体当接部は、前記基部とは別体に形成されていてもよい。また、前記弾性体当接部は、前記基部と一体に形成されていてもよい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、工具を使用することなく簡易な作業で、弁本体に駆動装置を取り付けることができる。これにより、取り付け作業の作業スペースを抑制することが可能となり、例えば、生産ラインを省スペース化でき、流体制御弁が組み込まれる装置を小型化でき、流体制御弁の設置自由度を向上できる。また、製造コスト、組立工数およびメンテナンス工数を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる流体制御弁の斜視図である。
【図２】図１の矢印ＩＩ方向に見た流体制御弁の側面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図４の拡大図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に対応する断面図である。
【図７】図１に示す流体制御弁の弁本体と駆動装置とが分離した状態を示す斜視図である。
【図８】図７に示した駆動装置を弁本体に仮組みする作業を説明する斜視図である。
【図９】図８に示す状態から、駆動装置を弁本体側に押し込みつつ、弁本体側に形成された取付孔と駆動装置側に形成された取付孔とにピン部材を挿入することにより、弁本体に駆動装置を取り付ける作業を説明する斜視図である。
【図１０】図８に示す状態に対応する、弁本体側および駆動装置側の取付孔の位置関係を説明する図である。
【図１１】図８に示す状態から、駆動装置を弁本体側に押し込んだ際の、弁本体側および駆動装置側の取付孔の位置関係を説明する図である。
【図１２】図１１の状態から、弁本体側および駆動装置側の取付孔にピン部材を挿入する様子を示す図である。
【図１３】図１に示す流体制御弁の変形例の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の一実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実施の形態にかかる流体制御弁１の斜視図である。図２は、図１の矢印ＩＩ方向に見た流体制御弁１の側面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図であり、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。また、図５は、図４の拡大図であり、図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。
【００３２】
図１乃至図４に示すように、本実施の形態にかかる流体制御弁１は、弁本体１０と、弁体部材であるダイヤフラム２０と、駆動装置３０と、ピン部材４０と、を備えている。この流体制御弁１では、ピン部材４０が弁本体１０と駆動装置３０とに跨がるように挿入されることにより、駆動装置３０が弁本体１０に取り付けられている。以下、流体制御弁１の各部の構成について詳述する。
【００３３】
（弁本体）
弁本体１０は、流体が通流する第１ポート１１および第２ポート１２と、第１ポート１１および第２ポート１２が接続される流体室１３と、流体室１３の内部に形成される弁座１４と、を有している。図３に示すように、第１ポート１１は、互いに連通する外側管部１１Ａと内側管部１１Ｂとを有し、外側管部１１Ａと内側管部１１ＢとがＬ字をなすように結合されることで構成されている。外側管部１１Ａは、流体室１３を貫通するように流体室１３に接続されており、内側管部１１Ｂは、外側管部１１Ａの流体室１３の内部側の端部から折れ曲がり、その先端部が流体室１３の内部で開口している。本実施の形態においては、第１ポート１１の内側管部１１Ｂの開口端に、上述の弁座１４が形成されている。
【００３４】
また、第２ポート１２は直線状に形成されており、流体室１３を貫通するように流体室１３に接続されている。第２ポート１２は、第１ポート１１と同様に、流体室１３の内部で開口している。
【００３５】
図１および図３に示すように、本実施の形態においては、第１ポート１１と第２ポート１２とが、流体室１３を挟んで両側に配置され、同一直線上に延びるように流体室１３に接続されている。流体室１３の外部に位置する第１ポート１１および第２ポート１１Ｂの各々の端部には、図示しない配管が接続されるようになっている。
【００３６】
流体室１３は、円筒状に形成され、その軸方向の一端部に、弁座１４に対向する開口部１５が形成されている。開口部１５は、この例において円形に形成されている。図中の符号Ｌ１は、開口部１５の中心軸線を示している。図５に示すように、流体室１３の開口部１５が形成される側の端部は、第１ポート１１の内側管部１１Ｂの開口端に形成された弁座１４よりも、中心軸線Ｌ１方向で外側に突出している。これにより、開口部１５は、弁座１４に対向する位置関係となっている。なお、この例において、開口部１５は、円形に形成されるが、多角形状等の他の形状に形成されてもよい。また、流体室１３は、円筒状に形成されるが、横断面が矩形状等の他の形状に形成されてもよい。
【００３７】
流体室１３における開口部１５の外周縁部には、シール部１６が形成されており、本実施の形態において、シール部１６は、円環状に形成されている。このシール部１６は、内周側に位置する内側シール部１６Ａと、外周側に位置する外側シール部１６Ｂと、を有している。外側シール部１６Ｂは、内側シール部１６Ａよりも中心軸線Ｌ１方向で外側に突出している。このうち、内側シール部１６Ａには、上述のダイヤフラム２０が載置されている。
【００３８】
また、外側シール部１６Ｂの外周側の部分には、開口部１５を囲繞するように突出する第１取付壁部１７が形成されており、本実施の形態において、この第１取付壁部１７は、開口部１５の全周を囲繞するように形成されている。第１取付壁部１７は、開口部１５の中心軸線Ｌ１方向に見て、その外周面の形状が、略矩形状に形成されており、その内周面の形状が、円形に形成されている（図１、図６、図７等参照）。この第１取付壁部１７には、上述のピン部材４０が挿入される第１取付孔１８が形成されている。
【００３９】
図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。図６に示すように、本実施の形態において、第１取付孔１８は、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの一方向に規定される第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる方向（ＬＬ１，ＬＲ１）上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。より詳しくは、中心軸線Ｌ１方向に見て、第１取付孔１８は、第１基準方向Ｌｓ１に直交する方向に沿って開口部１５（二点鎖線で示す。）の中心軸線Ｌ１から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる方向（ＬＬ１，ＬＲ１）上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。以下では、方向ＬＬ１，ＬＲ１のことを、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１と呼ぶ。
【００４０】
第１基準方向Ｌｓ１は、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの任意の一方向に規定可能であるが、本実施の形態では、第１基準方向Ｌｓ１が、図１乃至図３に示すように、開口部１５の中心軸線Ｌ１に直交する方向のうちの第１ポート１１と第２ポート１２とが同一直線上に延びる方向に、規定されている。この場合、第１ポート１１と第２ポート１２とが同一直線上に延びる方向を目印として、第１取付孔１８の方向（延在方向または貫通方向）を確認できるため、有益である。
【００４１】
また、本実施の形態では、図６に示すように、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分が、一連に延びていない。換言すれば、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分は、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１の一方側と他方側とで分断されている。そのため、第１取付孔１８の各々は、取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１における一方側に位置する前側第１取付孔１８Ａと、他方側に位置する後側第１取付孔１８Ｂと、で構成されている。
【００４２】
なお、変形例として、第１取付壁部１７における取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１が通る部分が一連に延びる場合には、第１取付孔１８の各々は、一連に延びるように形成されてもよい。また、本実施の形態では、第１取付孔１８が、開口部１５の中心軸線Ｌ１を基準に一方側と他方側の各々に１つ形成されているが、第１取付孔１８の個数は１つでもよいし、３以上であってもよい。また、第１取付孔１８の形成位置も、図中に示す取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１上に限られるものではない。
【００４３】
（弁体部材）
図３乃至図５に示すように、弁体部材としてのダイヤフラム２０は、上述した内側シール部１６Ａに載置された状態で、弁座１４に離接可能に配置されている。ダイヤフラム２０は、弁座１４に対向して配置される主弁体部２１と、主弁体部２１から外周側に張り出す膜部２２とを有する弾性材料からなるダイヤフラムである。このうち、膜部２２の外周部分が、内側シール部１６Ａに載置されている。
【００４４】
図５に示すように、ダイヤフラム２０の主弁体部２１の弁座１４側とは反対側の面には、後述する駆動装置３０が備えるアクチュエータ本体３１の軸部３２の先端部が連結される連結部２３が形成されている。ダイヤフラム２０は、詳細は後述するが、弁本体１０と駆動装置３０との間に挟み込まれている。この状態で、連結部２３に連結された軸部３２が移動することにより、ダイヤフラム２０は弁座１４に対して離接（離間、当接）する。ダイヤフラム２０が弁座１４から離間した際には、弁座１４が開放し、第１ポート１１と第２ポート１２とが連通するようになっている。また、ダイヤフラム２０が弁座１４に当接した際には、弁座１４が閉鎖し、第１ポート１１と第２ポート１２とが遮断するようになっている。
【００４５】
本実施の形態のダイヤフラム２０は、シール部１６が円環状に形成されるため、円形に形成される。しかしながら、ダイヤフラム２０は、シール部１６が矩形枠状に形成されるのであれば、その形状に対応して矩形等に形成されてもよい。
【００４６】
（駆動装置）
図３に示すように、駆動装置３０は、ダイヤフラム２０に連結される進退動可能な軸部３２を有する駆動部であるアクチュエータ本体３１と、アクチュエータ本体３１を収容するとともに上述の弁本体１０の開口部１５を覆うように配置されるケース３３と、を有している。駆動装置３０は、軸部３２によってダイヤフラム２０を弁座１４に対して離接させることで、第１ポート１１と第２ポート１２との連通および遮断を切り換えるように構成されている。
【００４７】
本実施の形態の駆動装置３０はソレノイドであり、円筒状のケース３３にアクチュエータ本体３１が収容されている。ケース３３の軸方向における一端部には、軸部３２を外側に延ばすための開口部３３Ａが形成されている。アクチュエータ本体３１は、ケース３３と同軸の状態で、ケース３３内に収容されるボビン３４を有している。ボビン３４には、電磁コイル３５が巻き回されている。ボビン３４の内周側には、固定鉄心３６と、上述した軸部３２（プランジャ）とが収容されている。
【００４８】
固定鉄芯３６は、ボビン３４の内周側における開口部３３Ａ側とは反対側の部分に、ボビン３４およびケース３３に相対移動不能に固定されている。一方、軸部３２は、ボビン３４の内周側における開口部３３Ａ側の部分に、その先端部が開口部３３Ａから外側に延びる状態で、進退動可能に収容されている。固定鉄芯３６と軸部３２との間には、スプリング３２Ｓが配置されており、軸部３２の先端部には、上述のダイヤフラム２０の連結部２３に連結される係合部３２Ａが形成されている。
【００４９】
図中の符号Ｌ２は、軸部３２の中心軸線を示し、軸部３２は、中心軸線Ｌ２に沿って進退動（進出・後退）するようになっている。軸部３２は、電磁コイル３４に電流が供給された際に、固定鉄芯３６側に後退する。この状態において、軸部３２は、進出する方向への付勢力をスプリング３２Ｓから付与される。これにより、軸部３２は、電磁コイル３５への電流の供給が停止された際に、弁座１４側に進出するようになっている。なお、図中の符号３３Ｂは、コネクタを示し、コネクタ３３Ｂにケーブルが接続されることにより、電磁コイル３５に電流が供給可能となる。コネクタ３３Ｂは、ケース３３から外周側に突出している。
【００５０】
図３および図５に示すように、ケース３３における開口部１５側の端部には、軸部３２を囲繞するように突出し、第１取付壁部１７の内周側に配置される第２取付壁部３７が形成されている。本実施の形態では、第２取付壁部３７が、軸部３２の全周を囲繞するように形成されている。軸部３２の中心軸線Ｌ２方向に見て、第２取付壁部３７の外周面の形状は、第１取付壁部１７の内周側に挿入される円形に形成されている（図６等参照）。この第２取付壁部３７には、上述のピン部材４０が挿入される第２取付孔３８が形成されている。
【００５１】
図５に示すように、本実施の形態の第２取付壁部３７は、ケース３３から突出するとともに、その先端部が弁本体１０側における内側シール部１６Ａおよび外側シール部１６Ｂに対向する基部３７Ａと、基部３７Ａの内側シール部１６Ａに対向する部分に設けられ、内側シール部１６Ａに向けて突出する弾性体当接部３７Ｂと、を有している。弾性体当接部３７Ｂは、環状に形成されており、基部３７Ａとは別体に形成されている。このうち、弾性体当接部３７Ｂは、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分に当接している。これにより、本実施の形態では、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分が、弾性体当接部３７Ｂと内側シール部１６Ａとの間に挟み込まれている。また、基部３７Ａに、上述の第２取付孔３８が形成されている。
【００５２】
図６に示すように、本実施の形態において、第２取付孔３８は、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの一方向に規定される第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる方向（ＬＬ２，ＬＲ２）上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。より詳しくは、中心軸線Ｌ２方向に見て、第２取付孔３８は、第２基準方向Ｌｓ２に直交する方向に沿って軸部３２の中心軸線Ｌ２から一方側および他方側に第１取付孔１８の場合と同様の所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる方向（ＬＬ２，ＬＲ２）上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。以下では、方向ＬＬ２，ＬＲ２のことを、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２と呼ぶ。なお、図６においては、第２基準方向Ｌｓ２と第１基準方向Ｌｓ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。また、取付孔延在方向ＬＬ２と取付孔延在方向ＬＬ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。また、取付孔延在方向ＬＲ２と取付孔延在方向ＬＲ１とが重なっているため、これらを同一直線上に示している。
【００５３】
第２基準方向Ｌｓ２は、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの任意の一方向に規定可能であるが、本実施の形態では、一例として、軸部３２の中心軸線Ｌ２に直交する方向のうちの、ケース３３に設けられたコネクタ３３Ｂが突出する方向に、規定されている。この場合、コネクタ３３Ｂを目印として、第２取付孔３８の方向（延在方向または貫通方向）を確認できるため、有益である。
【００５４】
また、本実施の形態では、図６に示すように、第２取付壁部３７における取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２が通る部分が、一連に延びている。そのため、第２取付孔３８の各々は、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で一連に延びている。また、第２取付孔３８は、第２取付壁部３７の内部空間に連通しないように形成されている。また、本実施の形態においては、第２取付孔３８の各々が、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上に沿って第２取付壁部３７を貫通するのに加えて、外周側（径方向）に開放している。すなわち、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２に見た場合に、第２取付孔３８は、外側に開放するＵ字状に形成されている。
【００５５】
本実施の形態では、弁本体１０に駆動装置３０が取り付けられる際、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、軸部３２の中心軸線Ｌ２が開口部１５の中心軸線Ｌ１と同軸となるように配置される。この状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに、ピン部材４０が挿入されることにより、弁本体１０に駆動装置３０が取り付けられる。
【００５６】
この際、図６に示したように、第１取付孔１８が、第１基準方向Ｌｓ１に直交する方向に沿って開口部１５の中心軸線Ｌ１から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる取付孔延在方向ＬＬ１，ＬＲ１上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。また、第２取付孔３８が、第２基準方向Ｌｓ２に直交する方向に沿って軸部３２の中心軸線Ｌ２から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。これにより、第１取付孔１８と第２取付孔３８とは、各々が同一の方向に向けられた際に、互いに重なり合うことが可能となる。そして、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに、ピン部材４０を挿入することが可能となる。
【００５７】
ここで、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれて、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分を内側シール部１６Ｂ側に所定距離だけ圧縮させた状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合うようになっている。
【００５８】
すなわち、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれず、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分に当接された状態においては、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっていない。一方、この状態から、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれて、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂがダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分を内側シール部１６Ｂ（弁本体１０）側に所定距離だけ圧縮させた状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態となるようになっている。したがって、本実施の形態では、駆動装置３０が弁本体１０側に押し込まれ、第１取付孔１８と第２取付孔３８とがピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態において、第１取付孔１８と第２取付孔３８とにピン部材４０が挿入されている。
【００５９】
この場合、ピン部材４０の挿入後に駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んだ状態を解除することで、圧縮された膜部２２の外周部分が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となる。これにより、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止されている。また、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態まで膜部２２の外周部分は復元するが、内側シール部１６Ｂと弾性体当接部３７Ｂとの間で圧縮された状態が維持されるため、内側シール部１６Ｂと弾性体当接部３７Ｂとの間の気密性または液密性が好適に確保されている。
【００６０】
なお、本実施の形態では、第２取付孔３８の各々が、取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上で一連に延びているが、変形例として、第２取付壁部３７における取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２が延びる部分が一連に延びていない場合には、第１取付孔１８と同様に分断されて形成されてもよい。ただし、この場合には、上述の所定オフセット距離Ｄは、軸部３２の半径よりも大きいことが好ましい。所定オフセット距離Ｄが軸部３２の半径よりも大きければ、特別な加工を施すことなく、ピン部材４０が軸部３２の移動を阻害することが防止されるため有益である。また、第２取付孔３８は、軸部３２の中心軸線Ｌ２を基準に一方側および他方側の各々に１つ形成されているが、重ね合わされる第１取付孔１８が存在する限り、第２取付孔３８の個数は１つでもよいし、３以上であってもよい。また、第２取付孔３８の形成位置も、重ね合わされる第１取付孔１８が存在する限り、図中に示す取付孔延在方向ＬＬ２，ＬＲ２上に限られるものではない。
【００６１】
（ピン部材）
次に、図６に示すように、本実施の形態のピン部材４０は、Ｕ字状であり、互いに平行に延びる一対の直進部４１と、一対の直進部４１の端部間を連結する連結部４２と、を有している。一対の直進部４１のうちの一方は、開口部１５および軸部３２の中心軸線（Ｌ１，Ｌ２）を基準に一方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨るように挿入されており、一対の直進部４１のうちの他方は、開口部１５および軸部３２の中心軸線（Ｌ１，Ｌ２）を基準に他方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨るように挿入されている。より詳しくは、一対の直進部４１の各々は、第１取付孔１８の前側第１取付孔１８Ａから第２取付孔３８を通って後側第１取付孔１８Ｂに跨るように挿入されている。
【００６２】
本実施の形態では、上述したように、圧縮された膜部２２の外周部分が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０の直進部４１の各々が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となっている。これにより、ピン部材４０の直進部４１の各々が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止されている。なお、変形例として、ピン部材４０は、直線状の２本のピンから構成されていても構わない。
【００６３】
（取付方法）
以下では、図７乃至図１２を用いて、上述の弁本体１０に駆動装置３０を取り付ける取付方法の一例について説明する。
【００６４】
図７は、弁本体１０と駆動装置３０とが分離した状態を示している。弁本体１０に駆動装置３０を取り付ける際には、まず、図７および図８に示すように、駆動装置３０を弁本体１０に仮組みする。この例にかかる仮組みの状態では、まず、図７に示すように、軸部３２の係合部３２Ａにダイヤフラム２０の連結部２３が連結され、ダイヤフラム２０に弾性体当接部３７Ｂが載置される。この状態で、ダイヤフラム２０と弾性体当接部３７Ｂと軸部３２とが弁本体１０のシール部１６に載置される。この状態から、矢印に示すように、第２取付壁部３７が第１取付壁部１７の内周側に配置され、図８に示すように、駆動装置３０が弁本体１０に載置される。この状態において、第２取付壁部３７の基部３７Ａが弾性体当接部３７Ｂを介してダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分に当接される。
【００６５】
また、第１取付孔１８の方向と第２取付孔３８の方向とが、目視によって同一の方向に向くように調整される。この際、本実施の形態では、第１取付孔１８の方向が、第１ポート１１と第２ポート１２とが延びる方向を目印に容易に把握される。また、第２取付孔３８の方向が、ケース３３のコネクタ３３Ｂの突出方向を目印に容易に把握される。そのため、第１取付孔１８の方向と第２取付孔３８の方向（貫通方向）とを容易に調整できる。ここで、図１０は、図８に示す状態に対応する、第１取付孔１８と第２取付孔３８との位置関係を説明する図である。図１０に示すように、この仮組みの状態では、第１取付孔１８の一部が第２取付孔３８の外周縁部に重なっており、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっていない。
【００６６】
続いて、図９の矢印αに示すように、駆動装置３０が弁本体１０側に所定距離だけ押し込まれる。これにより、第２取付壁部３７の弾性体当接部３７Ｂが、ダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分を内側シール部１６Ｂ側に所定距離だけ圧縮させる。これにより、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に互いに重なり合う状態となる。図１１は、図８に示す状態から、駆動装置３０を弁本体１０側に所定距離だけ押し込んだ際の、第１取付孔１８と第２取付孔３８との位置関係を説明する図である。図１１に示すように、この状態では、第１取付孔１８が、図１０に示す状態から所定距離だけ弁本体１０側に移動することによって、第１取付孔１８と第２取付孔３８とが、ピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態となっている。
【００６７】
そして、第１取付孔１８と第２取付孔３８とがピン部材４０を挿入可能に重なり合う状態において、図９および図１２に示すように、ピン部材４０の直進部４１の各々が、第１取付孔１８と第２取付孔３８とに挿入される。その後、駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んだ状態を解除することで、圧縮された膜部２２の外周部分が弁本体１０から離れる方向に駆動装置３０のケース３３を付勢することにより、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態となる。これにより、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜けることが防止される。また、ピン部材４０が第１取付孔１８の内周面に押し付けられる状態まで膜部２２の外周部分は復元するが、内側シール部１６Ｂと弾性体当接部３７Ｂとの間で圧縮された状態が維持される。これにより、内側シール部１６Ｂと弾性体当接部３７Ｂとの間の気密性または液密性が好適に確保される。このようにして、弁本体１０に、駆動装置３０が取り付けられる。
【００６８】
一方、この取付状態において、ピン部材４０を第１取付孔１８と第２取付孔３８とから抜くことで、弁本体１０から駆動装置３０が取り外すことができる。この際には、駆動装置３０を弁本体１０側に押し込んで、ピン部材４０の直進部４１の各々が第１取付孔１８の内周面に押し付けられた状態を緩和させる又は解除することで、ピン部材４０を第１取付孔１８と第２取付孔３８とからスムーズに抜くことができる。
【００６９】
（効果）
以上に記載したように、本実施の形態によれば、弁本体１０側に形成された第１取付孔１８と、駆動装置３０側に形成された第２取付孔３８とにピン部材４０を挿入する作業によって、弁本体１０に駆動装置３０を取り付けることができる。したがって、工具を使用することなく簡易な作業で、弁本体１０に駆動装置３０を取り付けることができる。これにより、取り付け作業の作業スペースを抑制することが可能となり、例えば、生産ラインを省スペース化でき、流体制御弁１が組み込まれる装置を小型化でき、流体制御弁１の設置自由度を向上できる。また、製造コスト、組立工数およびメンテナンス工数を抑制できる。
【００７０】
また、駆動装置３０は、そのケース３３に形成された第２取付壁部３７が流体室１３の開口部１５の外周側の部分に形成された第１取付壁部１７に取り付けられることで、弁本体１０に取り付けられるため、駆動装置３０が、弁本体１０の開口部１５周辺以外の部分の設計自由度を制約することがない。これにより、弁本体１０の形状や弁本体１０から開口するポート（第１ポート１１、第２ポート１２）の位置を比較的自由に設定できるという効果もある。
【００７１】
また、本実施の形態では、流体制御弁１において、第１取付孔１８は、第１基準方向Ｌｓ１に直交する方向に沿って開口部１５の中心軸線Ｌ１から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第１基準方向Ｌｓ１に平行に延びる方向（ＬＬ１，ＬＲ２）上で、第１取付壁部１７を貫通するように形成されている。第２取付孔３８は、第２基準方向Ｌｓ２に直交する方向に沿って軸部３２の中心軸線Ｌ２から一方側および他方側に所定オフセット距離Ｄだけ離間した位置の各々において第２基準方向Ｌｓ２に平行に延びる方向（ＬＬ２，ＬＲ２）上で、第２取付壁部３７を貫通するように形成されている。これにより、開口部１５および軸部３２の中心軸線Ｌ１，Ｌ２の両側に配置される第１取付孔１８および第２取付孔３８にピン部材４０が挿入されることにより、バランス良く弁本体１０に駆動装置３０が取り付けられる。これにより、弁本体１０による駆動装置３０の取付状態を安定させることができる。
【００７２】
また、本実施の形態では、ピン部材４０がＵ字形状であり、互いに平行に延びる一対の直進部４１と、一対の直進部４１の端部間を連結する連結部４２と、を有し、一対の直進部４１のうちの一方が、中心軸線Ｌ１，Ｌ２を基準に一方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨がるように挿入され、一対の直進部４１のうちの他方が、中心軸線Ｌ１，Ｌ２を基準に他方側に位置する第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨がるように挿入されている。これにより、中心軸線Ｌ１，Ｌ２の両側に配置される第１取付孔１８および第２取付孔３８の各々に、一度にピン部材４０を挿入できることにより、取付作業の効率を向上できる。
【００７３】
また、本実施の形態では、第２取付壁部３７が、第１取付壁部１７の内周側に配置され、第２取付孔３８は、第２取付壁部３７の内部空間に連通しないように形成されている。これにより、第２取付孔３８が第２取付壁部３７の内部空間に連通することが防止される。これにより、第２取付孔３８によって第２取付壁部３７のシール性が損なわれることを防止できる。
【００７４】
また、本実施の形態では、流体室１３における開口部１５の外周縁部に、シール部１６が形成され、第１取付壁部１７は、シール部１６の外周側の部分から突出するように形成され、第２取付壁部３７は、第１取付壁部１７の内周側に配置されるようになっている。また、第２取付壁部３７とシール部１６の内側シール部１６Ａとの間に、弾性体であるダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分が挟み込まれ、第２取付壁部３７が内側シール部１６Ａとの間でダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分を弁本体１０側に圧縮させた状態において、ピン部材４０が第１取付孔１８と第２取付孔３８とに跨がるように挿入されている。そして、ピン部材４０は、圧縮されたダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分が弁本体１０から離れる方向にケース３３を付勢することにより、第１取付孔１８の内周面に押し付けられている。これにより、弾性体の弾性力を利用することにより、第１取付孔１８および第２取付孔３８からピン部材４０が抜けることを防止できるため、弁本体１０による駆動装置３０の取付状態を安定させることができる。とりわけ、本実施の形態では、弁体部材であるダイヤフラム２０の一部の弾性力を利用することにより、部品点数を増加させることなく、弁本体１０による駆動装置３０の取付状態を安定させることができる。
【００７５】
さらに、本実施の形態では、シール部１６は、内周側に位置する内側シール部１６Ａと、外周側に位置する外側シール部１６Ｂとを有し、外側シール部１６Ｂが、内側シール部１６Ａよりも開口部１５の中心軸線Ｌ１方向で外側に突出し、内側シール部１６Ａに、膜部２２の外周部分が載置されている。また、第２取付壁部３７は、ケース３３から突出するとともに、その先端部が内側シール部１６Ａおよび外側シール部１６Ｂに対向する基部３７Ａと、基部３７Ａの内側シール部１６Ａに対向する部分に設けられ、内側シール部１６Ａに向けて突出する弾性体当接部３７Ｂと、を有し、膜部２２は、弾性体当接部３７Ｂと内側シール部１６Ａとの間に挟み込まれている。これにより、弁本体１０側のシール部１６と、駆動装置３０側の第２取付壁部３７との間に隙間が生じることを抑制できる。これにより、弁本体１０と駆動装置３０との間の気密性または液密性を好適に確保し易くなっている。
【００７６】
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、上述の実施の形態には、種々の変形を加えることができる。
【００７７】
例えば、図１３に示す変形例では、第２取付壁部３７において、弾性体当接部３７Ｂが、基部３７Ａと一体に形成されている。また、上述の実施の形態では、流体制御弁１がダイヤフラム弁であるが、本発明は、ダイヤフラム弁に限られるものではない。また、上述の実施の形態では、駆動装置３０がソレノイドであるが、駆動装置３０は、手動で軸部３２を移動させるハンドル式の装置でもよい。また、駆動装置３０は、シリンダと、シリンダ内に摺動可能に配置されたピストンと、ピストンに連結されたロッドと、を有し、シリンダに対する空気の流入の切換によりロッドが進退動するエアシリンダでもよい。駆動装置３０がエアシリンダである場合には、ロッドに弁体部材を連結すれば、弁体部材を弁座１４に対して離接させることができる。また、上述の実施の形態では、弁本体１０が第１ポート１１および第２ポート１２を有するが、弁本体１０は３つ以上のポートを有していてもよい。また、上述の実施の形態では、弁本体１０の流体室１３から第１ポート１１および第２ポート１２が突出するように形成されているが、第１ポート１１および第２ポート１２が突出しない形状で、流体室１３に接続される構成でも構わない。また、上述の実施の形態では、第２取付壁部３７とシール部１６の内側シール部１６Ａとの間に、弾性体であるダイヤフラム２０の膜部２２の外周部分が挟み込まれるが、第２取付壁部３７とシール部１６の内側シール部１６Ａとの間に挟まれる弾性体は、弁体部材としてのダイヤフラム２０とは別体の弾性体（環状のシール部材等）でもよい。また、弾性体は、弁体部材とは別に設けられたダイヤフラムであってもよい。
【符号の説明】
【００７８】
１  流体制御弁
１０  弁本体
１１  第１ポート
１１Ａ  外側管部
１１Ｂ  内側管部
１２  第２ポート
１３  流体室
１４  弁座
１５  開口部
１６  シール部
１６Ａ  内側シール部
１６Ｂ  外側シール部
１７  第１取付壁部
１８  第１取付孔
１８Ａ  前側第１取付孔
１８Ｂ  後側第１取付孔
２０  ダイヤフラム
２１  主弁体部
２２  膜部
２３  連結部
３０  駆動装置
３１  アクチュエータ本体
３２  軸部
３２Ａ  係合部
３２Ｓ  スプリング
３３  ケース
３３Ａ  開口部
３３Ｂ  コネクタ
３４  ボビン
３５  電磁コイル
３６  固定鉄心
３７  第２取付壁部
３７Ａ  基部
３７Ｂ  弾性体当接部
３８  第２取付孔
４０  ピン部材
４１  直進部
４２  連結部
Ｌ１  中心軸線
Ｌｓ１  第１基準方向
ＬＬ１，ＬＲ１  取付孔延在方向
Ｌ２  中心軸線
Ｌｓ２  第２基準方向
ＬＬ２，ＬＲ２  取付孔延在方向
【要約】      （修正有）【課題】工具を使用することなく簡易な作業で、弁本体に駆動装置を取り付けることができる流体制御弁を提供する。【解決手段】流体制御弁１は、ポートが接続される流体室１３に形成される弁座１４を有し、流体室１３に弁座１４に対向する開口部１５が形成される弁本体１０と、弁座１４に配置されるダイヤフラム２０と、ダイヤフラム２０に連結される軸部３２を有する駆動部を収容し且つ開口部１５を覆うように配置されるケース３３を有する駆動装置３０と、を備える。流体室１３の開口部１５の外周側の部分に第１取付壁部１７が形成され、ケース３３の開口部１５側の端部に、第１取付壁部１７の内周側に配置される第２取付壁部３７が形成される。取付壁部１７にピン部材４０が挿入される第１取付孔が形成され、取付壁部３７にピン部材４０が挿入される第２取付孔が形成される。ピン部材４０が第１取付孔と第２取付孔とに挿入される。【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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