(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の板状部と、前記第１の板状部と向かい合う第２の板状部と、前記第１の板状部と前記第２の板状部との間に位置する側面部とを備えた筐体と、
前記筐体内に配置されている構造体であって、壁部が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔が形成されている前記構造体と、
前筐体内に配置されていて、一端部が前記第１の板状部に装着されていて、他端部が前記第２の板状部に装着されている複数の補強部と、
を有し、
前記第２の板状部に通気用の貫通孔が形成されていて、
前記複数の補強部は、前記通気用の貫通孔を取り囲むように配置されていて、それぞれが前記複数の構造体貫通孔のいずれかの中に配置されている定盤。
【請求項２】
前記第２の板状部に、複数の前記通気用の貫通孔が形成されていて、
複数の前記通気用の貫通孔は、第１の通気用の貫通孔と、前記第１の通気用の貫通孔よりも径が大きい第２の通気用の貫通孔とを含む請求項１記載の定盤。
【請求項３】
前記側面部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項１又は２記載の定盤。
【請求項４】
前記壁部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項１乃至３いずれか記載の定盤。
【請求項５】
前記第１の板状部に対して載置対象物を位置決めするために用いられる複数の位置決め用の貫通孔が前記第１の板状部に形成されていて、
前記複数の位置決め用の貫通孔は、前記複数の構造体貫通孔のいずれかに対向するように配置されている請求項１乃至４いずれか記載の定盤。
【請求項６】
第１の板状部と、前記第１の板状部と向かい合う第２の板状部と、前記第１の板状部と前記第２の板状部との間に位置する側面部とを備えた筐体と、
前記筐体内に配置されている構造体であって、壁部が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔が形成されている前記構造体と、
前記筐体内に配置されていて、前記筐体の一辺側から前記一辺と向かい合う他辺側へと延びる第１の補強部と、
前筐体内に配置されていて、一端部が前記第１の板状部に装着されていて、他端部が前記第２の板状部に装着されている複数の第２補強部と、
を有し、
前記第２の板状部に通気用の貫通孔が形成されていて、
前記複数の第２の補強部は、前記通気用の貫通孔を取り囲むように配置されていて、それぞれが前記複数の構造体貫通孔のいずれかの中に配置されている定盤。
【請求項７】
前記第１の補強部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項６記載の定盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は定盤に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基準平面をワークないし機械装置の載置面とする中空状の筐体と、前記筐体の内部に設けられた略同一形状の、実質的な密閉小空間の集合体であるハニカム構造体と、前記ハニカム構造体の各小空間同士を連通し、該各小空間同士の熱移動を行うためにハニカム構造体に設けられた熱移動手段と、を備え、前記熱移動手段を介して、前記ハニカム構造体の各小空間同士の熱移動を積極的に行うことを特徴とする精密定盤が記載されている。
【０００３】
特許文献２には、多数のセルが規則正しい配列となるよう形成されたハニカム構造体と、上記各セルの孔芯の直交方向における上記ハニカム構造体の外縁部に沿って延び、このハニカム構造体を上記直交方向から取り囲む枠体と、上記孔芯に沿った孔芯方向における上記ハニカム構造体および枠体の各一端面に跨るように接着材により接着される端面板と、上記ハニカム構造体および枠体の各他端面に跨るように接着材により接着される他の端面板とを備えたハニカム板において、上記ハニカム板の内、外面のうち、外面のみの一部もしくは全部に表面処理による処理皮膜が形成されていることを特徴とするハニカム板が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３１５１１４号公報
【特許文献２】特開２００８−２３８６９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の技術においては、貫通孔が形成されている構造体を有する定盤の強度が十分ではなかった。
【０００６】
本発明は、貫通孔が形成されている構造体を有する定盤の強度を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る本発明は、第１の板状部と、前記第１の板状部と向かい合う第２の板状部と、前記第１の板状部と前記第２の板状部との間に位置する側面部とを備えた筐体と、前記筐体内に配置されている構造体であって、壁部が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔が形成されている前記構造体と、前記筐体内に配置されていて、前記筐体の一辺側から前記一辺と向かい合う他辺側へと延びる補強部と、を有する定盤である。
【０００８】
請求項２に係る本発明は、前記補強部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項１記載の定盤である。
【０００９】
請求項３に係る本発明は、前記側面部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項１又は２記載の定盤である。
【００１０】
請求項４に係る本発明は、前記壁部に、通気用の貫通孔が形成されている請求項１乃至３いずれか記載の定盤である。
【００１１】
請求項５に係る本発明は、  前記第１の板状部に対して載置対象物を位置決めするために用いられる複数の位置決め用の貫通孔が前記第１の板状部に形成されていて、前記複数の位置決め用の貫通孔は、前記複数の構造体貫通孔のいずれかに対向するように配置されている請求項１乃至４いずれか記載の定盤である。
【００１２】
請求項６に係る本発明は、前記第２の板状部に、第１の通気用の貫通孔と、前記第１の通気用の貫通孔よりも径が大きい第２の通気用の貫通孔とが形成されている請求項１乃至５いずれか記載の定盤である。
【００１３】
請求項７に係る本発明は、第１の板状部と、前記第１の板状部と向かい合う第２の板状部と、前記第１の板状部と前記第２の板状部との間に位置する側面部とを備えた筐体と、前記筐体内に配置されている構造体であって、壁部が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔が形成されている前記構造体と、前筐体内に配置されていて、一端部が前記第１の板状部に装着されていて、他端部が前記第２の板状部に装着されている補強部と、
を有する定盤である。
【００１４】
請求項８に係る本発明は、前記第２の板状部に、第１の通気用の貫通孔と、前記第１の通気用の貫通孔よりも径が大きい第２の通気用の貫通孔とが形成されている請求項７記載の定盤である。
【００１５】
請求項９に係る本発明は、前記補強部を複数有し、前記補強部は、前記第２の通気用の貫通孔を取り囲むように配置されている請求項８記載の定盤である。
【００１６】
請求項１０に係る本発明は、第１の板状部と、前記第１の板状部と向かい合う第２の板状部と、前記第１の板状部と前記第２の板状部との間に位置する側面部とを備えた筐体と、前記筐体内に配置されている構造体であって、壁部が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔が形成されている前記構造体と、前記筐体内に配置されていて、前記筐体の一辺側から前記一辺と向かい合う他辺側へと延びる第１の補強部と、前筐体内に配置されていて、一端部が前記第１の板状部に装着されていて、他端部が前記第２の板状部に装着されている第２補強部と、を有する定盤である。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る本発明によれば、貫通孔が形成されている構造体を有する定盤の強度を高めることができる。
【００１８】
請求項２に係る本発明によれば、通気用の貫通孔が形成されていないものと比較して、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００１９】
請求項３に係る本発明によれば、通気用の貫通孔が形成されていないものと比較して、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００２０】
請求項４に係る本発明によれば、通気用の貫通孔が形成されていないものと比較して、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００２１】
請求項５に係る本発明によれば、複数の位置決め用の貫通孔であって載置対象物の位置決めに用いられていないものが通気用の孔として機能するため、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００２２】
請求項６に係る本発明によれば、第２の通気用の貫通孔が形成されていないものと比較して、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００２３】
請求項７に係る本発明によれば、貫通孔が形成されている構造体を有する定盤の強度を高めることができる。
【００２４】
請求項８に係る本発明によれば、第２の通気用の貫通孔が形成されていないものと比較して、定盤の温度変化を抑制することができる。
【００２５】
請求項９に係る本発明によれば、他の位置よりも強度が低下する虞がある第２の通気用の貫通孔近傍における定盤の強度を高めることができる。
【００２６】
請求項１０に係る本発明によれば、貫通孔が形成されている構造体を有する定盤の強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係る定盤を示す斜視図である。
【図２】図１に示す定盤が有する枠体を示す斜視図である。
【図３】図１に示す定盤の天板の一部を破断させた状態を示す平面図である。
【図４】図１に示す定盤が有する底板を示す平面図である。
【図５】図１に示す定盤が有するハニカム構造体の一部を拡大して示す平面図である。
【図６】図１に示す定盤が有するリブ部近傍を拡大して示す第１の斜視図である。
【図７】図１に示す定盤が有するリブ部近傍を拡大して示す第２の斜視図である。
【図８】図１に示す定盤の一部を拡大して示し、図１に示す定盤における天板とハニカム構造体との位置関係を説明する図である。
【図９】天板を取り外した状態にある図１に示す定盤の一部を拡大して示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本発明の実施形態に係る定盤１０が示されている。図１に示すように、定盤１０は筐体１００を有し、筐体１００は、第１の板状部として用いられている天板１１０と、天板１１０と向かい合う第２の板状部として用いられている底板１４０と、天板１１０と底板１４０との間に位置する側面部として用いられている枠体１７０とを備えている。
【００２９】
天板１１０には、定盤１０に載置される載置対象物９００を定盤１０に対して位置決めするために用いられる位置決め用の貫通孔１１２（以下、貫通孔１１２とする）が複数形成されている。複数の貫通孔１１２は、天板１１０の表面全体に例えば格子状に配置されているものの、図１においては図示の便宜上一部の貫通孔１１２のみを示し、全ての貫通孔１１２の図示をしていない。それぞれの貫通孔１１２の側面にはネジ山又はネジ谷が形成されていて、ネジ部材（不図示）によって、載置対象物９００を天板１１０に対して固定することができるとともに、天板１１０に対して載置対象物９００を位置決めすることができるようになっている。
【００３０】
ここで、複数の貫通孔１１２の中の一部の貫通孔１１２だけが載置対象物９００の固定と位置決めとに用いられ、他の貫通孔１１２は載置対象物９００の位置決め等には用いられない。そして、載置対象物９００の位置決め等に用いられていない貫通孔１１２は、筐体１００の内側の空間と筐体１００の外側の空間とを連続させる状態となっている。このため、載置対象物９００の位置決め等に用いられていない貫通孔１１２は、通気用の貫通孔として機能する。
【００３１】
載置対象物９００としては、例えばコンピュータや通信機器に用いられる電子デバイスの回路パターンを形成する露光機、青色レーザを用いた光学測定に使われる光学素子の高精度な形状を読み取る三次元形状測定装置、遺伝子解析などに用いられる電子顕微鏡のように精度が問題となる機器等を挙げることができる。
【００３２】
図２には、枠体１７０が示されている。枠体１７０の上側の開口部１７２に先述の天板１１０（図１を参照）が装着され、枠体１７０の下側の開口部１７４に先述の底板１４０（図１を参照）が装着されることによって先述の筐体１００（図１を参照）は形成されている。また、枠体１７０には、筐体１００の内側の空間と筐体１００の外側の空間とを連続させるように通気用の貫通孔１７６が形成されている。通気用の貫通孔１７６は、図２に示すように例えば複数個が、例えば上下２列となるように形成されている。
【００３３】
図３には、天板１１０の一部を破断させた状態にある定盤１０が示されている。図３に示すように、定盤１０は、筐体１００内に配置されている構造体として用いられているハニカム構造体２００を有する。ここで、ハニカム構造とは、一般には正六角形、正六角柱、又は正六角筒を隙間なく並べた構造を指すものの、本願においては、正六角筒に限らず、例えば正六角筒以外の六角筒、四角筒、円筒等の筒状の立体図形を隙間なく並べたものを指すものとする。尚、ハニカム構造体２００の詳細は後述する。
【００３４】
また、定盤１０は、補強部として用いられているとともに、第１の補強部として用いられているリブ部３００を有する。リブ部３００は、筐体１００内に配置されていて、筐体１００の一辺１００ａ側から一辺１００ａと向かい合う筐体１００の他辺１００ｂ側へと延びるように配置されている。リブ部３００は、一端部３００ａと他端部３００ｂとをそれぞれ枠体１７０に連結することが望ましい。
【００３５】
図３に示す例では、筐体１００の一辺１００ａ側から他辺１００ｂ側に延びるようにリブ部３００が配置されているものの、これに替えて、筐体１００の辺１００ｃ側から辺１００ｃと向かい合う筐体の辺１００ｄ側に向けて延びるようにリブ部３００を配置してもよい。また、一辺１００ａ側から他辺１００ｂ側に延びるリブ部３００と、辺１００ｃ側から辺１００ｄ側に向けて延びるリブ部３００との両方を設けるようにしてもよい。また、図３には、１つのリブ部３００が設けられている例が示されているものの、例えば、２個、３個等の複数のリブ部３００を設けるようにしてもよい。尚、リブ部３００の詳細は後述する。
【００３６】
図４には、底板１４０が示されている。図４に示されているように、底板１４０には、第１の通気用の貫通孔１４２と、第１の通気用の貫通孔１４２よりも径が大きい第２の通気用の貫通孔１４４とが形成されている。第１の通気用の貫通孔１４２と第２の通気用の貫通孔１４４とは、ともに筐体１００の内側の空間と筐体１００の外側の空間とを連続させるものである。第１の通気用の貫通孔１４２は、底板１４０の表面全体に例えば格子状に配置されているものの、図４においては図示の便宜上一部の第１の通気用の貫通孔１４２のみを示し、全ての第１の貫通孔１４２の図示をしていない。
【００３７】
この実施形態では、第１の通気用の貫通孔１４２のみならず、上述のように第１の通気用の貫通孔１４２よりも径が大きい第２の通気用の貫通孔１４４が形成されている。このため、第１の通気用の貫通孔１４２のみを形成する場合と比較して、筐体１００の内側の空間と筐体１００の外側の空間との間の通気がよくなる。その一方において、第２の通気用の貫通孔１４４を形成することで、第１の通気用の貫通孔１４２のみを形成する場合と比較して、筐体１００の強度が低下する虞がある。
【００３８】
図５には、ハニカム構造体２００が拡大して示されている。図５に示すように、ハニカム構造体２００は、例えば略垂直方向に立つ壁部２１０を有し、壁部２１０が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔２２０を形成する構造となっている。この実施形態においては、構造体貫通孔２２０の断面形状が六角形であるものの、構造体貫通孔２２０の断面形状が、四角形、円等の六角形以外の形状となるようにしてもよい。
【００３９】
図６及び図７には、リブ部３００近傍が拡大して示されている。図６及び図７に示すように、リブ部３００には通気用の貫通孔３１０が形成されている。貫通孔３１０は、例えば複数個が形成されていて、例えば上下方向に２列となるように配置されている。
【００４０】
また、図６及び図７に示すように、ハニカム構造体２００の壁部２１０には、通気用の貫通孔２１４が形成されている。構造体貫通孔２２０の断面形状が多角形である場合、壁部２１０における上述の多角形の各辺をそれぞれに形成する平面部分に、少なくとも１つの貫通孔２１４が形成されるようにすることが望ましい。より具体的には、この実施形態のように構造体貫通孔２２０の断面形状が六角形である場合、壁部２１０の上述の六角形の各辺を形成する平面部分に少なくとも１つの貫通孔２１４が形成されるようにすることが望ましい。また、互いに隣り合う構造体貫通孔２２０の全てが、通気用の貫通孔２１４によって互いに連続した状態となるように通気用の貫通孔２１４を形成することが望ましい。
【００４１】
図８には、定盤１０の一部が拡大して示されていて、天板１１０とハニカム構造体２００との位置関係が説明されている。図８に示すように、天板１１０とハニカム構造体２００とは、天板１１０に形成されている複数の貫通孔１１２が、ハニカム構造体２００に形成されている複数の構造体貫通孔２２０のいずれかに対向する位置に配置された状態となるように位置関係が定められている。また、この実施形態においては、１つの構造体貫通孔２２０に対して２つの貫通孔１１２が対向した状態となるようになっている。
【００４２】
図９には、天板１１０を取り外した状態にある定盤１０の一部が拡大して示されている。図９に示すように、定盤１０は柱部４００を有する。柱部４００は、補強部として用いられているとともに、第２の補強部として用いられていて、筐体１００内に配置されている。また、柱部４００は、一端部として用いられている下端部が底板１４０に装着されていて、他端部として用いられている上端部が天板１１０に装着されている。ここで、柱部４００の下端部を底板１４０に装着し、天板１１０を枠体１７０に対して装着した際に、上端部が天板１１０に対して接触するようにしてもよい。
【００４３】
柱部４００は複数個が設けられることが望ましい。そして、柱部４００が複数設けられる場合、複数の柱部４００は、底板１４０に形成された第２の通気用の貫通孔１４４を取り囲むように配置されることが望ましい。底板１４０の第２の貫通孔１４４が形成された位置近傍は、底板１４０の他の位置と比較して強度が弱くなるものの、第２の貫通孔１４４を取り囲むように複数の柱部４００を配置することで底板１４０の第２の貫通孔１４４近傍を補強することができる。
【００４４】
図９には、複数の第２の通気用の貫通孔１４４（図４を参照）のうちの１つの通気用の貫通孔１４４を取り囲むように配置された柱部４００のみが示されているものの、図９に示す第２の通気用の貫通孔１４４以外の第２の通気用の貫通孔１４４の周りにも、これらの第２の通気用の貫通孔１４４を取り囲むように柱部４００が配置されている。
【００４５】
以上のように構成された定盤１０に対して、筐体１００内に空気を送り込むように送風したり、筐体１００内の空気を筐体１００外に排出したりする送風装置（不図示）を装着してもよい。上述の送風装置は、例えば底板１４０に対して、例えば第２の通気用の貫通孔１４４に対して嵌め込むようにして装着することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上で述べたように、本発明は、定盤に適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
１０・・・定盤
１００・・・筐体
１１０・・・天板
１１２・・・位置決め用の貫通孔
１４０・・・底板
１４２・・・第１の通気用の貫通孔
１４４・・・第２の通気用の貫通孔
１７０・・・枠体
１７６・・・通気用の貫通孔
２００・・・ハニカム構造体
２１０・・・壁部
２１４・・・通気用の貫通孔
２２０・・・構造体貫通孔
３００・・・リブ部
３１０・・・通気用の貫通孔
４００・・・柱部
【要約】
【課題】貫通孔を有する定盤の強度を高める。
【解決手段】定盤１０は、天板１１０と、天板１１０と向かい合う底板１４０と、天板１１０と底板１４０との間に位置する枠体１７０とを備えた筐体１００と、筐体１００内に配置されているハニカム構造体２００であって、壁部２１０が空間を区切るようにして複数の構造体貫通孔２２０が形成されているハニカム構造体２００と、筐体１００内に配置されていて、筐体１００の一辺１００ａ側から一辺１００ａと向かい合う他辺１００ｂ側へと延びるリブ部３００とを有する。
【選択図】図３【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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