(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断を行った際に直線状の切断線が形成される切断加工面を上方に向けて配置した切断対象物を上方から透視した透視画像を取り込んで保存する画像記憶手段と、
水平面内で移動可能に設けられ、前記切断加工面を上方に向けて前記切断対象物が保持される取付け台と、
前記取付け台に固定された前記切断対象物を上方の定点位置Ｐから撮影する可視光の撮像手段と、
水平面内の定点位置Ｈに配置され、該定点位置Ｈ側に接近してくる前記取付け台に保持された前記切断対象物を切断する切断手段と、
前記撮像手段から得られる可視画像と前記透視画像の画像比率を一致させて重ね合わせた合成画像と、前記切断手段の前記定点位置Ｈから理論的に決定される直線状の切断線の理論切断線画像とを作成すると共に、前記合成画像と前記理論切断線画像を同時表示する合成画像作成手段と、
前記切断対象物が保持された前記取付け台を、前記合成画像中の透視画像情報から該合成画像内に設定される目標切断線画像が前記理論切断線画像と平行になるまで水平面内で回転させて固定する切断方向設定手段と、
前記切断対象物が保持された前記取付け台を、前記目標切断線画像が前記理論切断線画像に重なるまで水平面内で前記理論切断線画像に直交する方向に移動させて固定する切断位置設定手段とを有することを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【請求項２】
請求項１記載の透視画像教示型精密切断装置において、前記合成画像作成手段では、前記透視画像内及び前記可視画像内にそれぞれ共通して存在する２つの特定画像要素の指定を受けて、該２つの特定画像要素間の距離をそれぞれ求めて画像比率を調整することを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の透視画像教示型精密切断装置において、前記合成画像作成手段では、前記合成画像を作成する際に、前記可視画像及び前記透視画像のそれぞれの輝度及びコントラストの一方又は双方を独立して調整することを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の透視画像教示型精密切断装置において、前記切断手段は、環状の切断ブレードが外周側に突出状態で固定される円盤状部材と、該円盤状部材を介して前記切断ブレードを超音波振動させる振動機構と、該円盤状部材を回転させる回転駆動手段とを有していることを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の透視画像教示型精密切断装置において、前記切断手段は、環状の切断ブレードが外周側に突出状態で固定される円盤状部材と、該円盤状部材を回転させる回転駆動手段とを有していることを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【請求項６】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の透視画像教示型精密切断装置において、前記切断手段は、レーザー光を発生させるレーザー光発信部と、該レーザー光発信部で発生したレーザー光を前記切断対象物に照射するレーザーヘッドとを有していることを特徴とする透視画像教示型精密切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は切断装置に関するものであり、更に詳細には、予め得られた切断対象物の透視画像を、切断しようとする状態の切断対象物の可視画像に重ね合わせて作成した合成画像を用いて、切断方向の設定と切断位置の設定を行う透視画像教示型精密切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削予定ライン（以下、切断位置ともいう）が表面に現れる被加工物を切削加工する場合は、可視光撮像手段で得られる画像に基づいて切削ブレードと切削予定ラインとの位置合わせを行い、切削箇所が表面に現れない被加工物を切削加工する場合は、赤外線撮像手段で得られる画像（透視画像）に基づいて切削ブレードと切削予定ラインとの位置合わせを行う切削装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４３８１７５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の切削装置では、可視光撮像手段と赤外線撮像手段の２つの手段を常備し、被加工物の状態に応じて可視光撮像手段と赤外線撮像手段との使い分けを行っているので、切削装置の構成が大掛かりかつ複雑になると共に、切削装置の製造コストが上昇するという問題がある。
また、一般的に、半導体部品内部の指定された箇所（目標箇所）を切断しようとする場合、例えば、目標箇所を半導体部品の表面に正射影した際に目標箇所の投影像が形成される投影場所を設計データを頼りに求め、求めた投影場所を可視光撮像手段で得られた画像内で確認することにより、半導体部品の表面上に切断位置を割り出している。しかしながら、設計データと実際の半導体部品との間にはずれが生じていることがあり、半導体部品の表面上の割り出し位置が目的とする切断位置に一致しないという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、装置構成が簡単で、予め得られた切断対象物の透視画像を用いて切断方向の設定と切断位置の設定を行うことが可能な透視画像教示型精密切断装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的に沿う本発明に係る透視画像教示型精密切断装置は、予め得られた切断対象物の透視画像を取り込んで保存する画像記憶手段と、
前記切断対象物が保持される取付け台と、
切断しようとする状態の前記切断対象物を撮影する可視光の撮像手段と、
前記切断対象物を切断する切断手段と、
前記撮像手段から得られる可視画像と前記透視画像の画像比率を一致させて重ね合わせた合成画像と、前記撮像手段及び前記切断手段の相互位置関係から理論的に決定される切断線の理論切断線画像とを作成すると共に、前記合成画像と前記理論切断線画像を同時表示する合成画像作成手段と、
前記切断対象物が保持された前記取付け台を、前記合成画像中の透視画像情報に基づいて該合成画像内に設定される目標切断線画像が前記理論切断線画像と平行になるまで水平面内で回転させて固定する切断方向設定手段と、
前記切断対象物が保持された前記取付け台を、前記目標切断線画像が前記理論切断線画像に重なるまで前記理論切断線画像に直交する方向に移動させて固定する切断位置設定手段とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る透視画像教示型精密切断装置においては、予め得られた切断対象物の透視画像と可視光の撮像手段で得られた可視画像を用いて合成画像を作成するので、透視画像用の撮像手段を常備する必要がなく装置構成が簡単になる。その結果、装置の操作が容易になると共に、装置の製造コストを低減することができる。
そして、切断対象物が保持された取付け台を回転させて合成画像中の透視画像情報から合成画像内に設定される目標切断線画像を理論切断線画像と平行にした後、取付け台を目標切断線画像が理論切断線画像に重なるまで移動させるので、切断対象物の内部構造を確認しながら切断方向の設定と切断位置の設定を行うことができ、切断位置が正確に割り出された精密切断を行うことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置の斜視図である。
【図２】同透視画像教示型精密切断装置のブロック図である。
【図３】（Ａ）は表示されたＸ線透視画像及び可視画像の説明図、（Ｂ）Ｘ線透視画像内及び可視画像内にそれぞれ指定した２つの特定画像要素の説明図、（Ｃ）は画像比率が調整されたＸ線透視画像及び可視画像と２つの特定画像要素の説明図、（Ｄ）は合成画像の説明図である。
【図４】（Ａ）は目標切断線画像の説明図、（Ｂ）はステージを回転させて目標切断線画像を理論切断線画像と平行した状態の説明図、（Ｃ）はステージを移動させて目標切断線画像を理論切断線画像に重ねた状態の説明図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１、図２に示すように、本発明の第１の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置１０は、切断を行った際に直線状の切断線が形成される切断加工面１１を上方に向けて配置した半導体部品１２（切断対象物の一例）を上方から透視した（水平面内に投影して得られる）Ｘ線透視画像１３（透視画像の一例）を取り込んで保存する画像記憶手段１４と、水平面内で移動可能に設けられ、切断加工面１１を上方に向けて半導体部品１２が保持される取付け台１５と、取付け台１５に固定された半導体部品１２を上方の定点位置Ｐから撮影する（水平面内への投影像を作成する）可視光カメラ１６（可視光の撮像手段の一例）と、水平面内の定点位置Ｈに配置され、定点位置Ｈ側に接近してくる取付け台１５に保持された半導体部品１２を切断する切断手段１７とを有している。
【００１０】
更に、透視画像教示型精密切断装置１０は、図１、図２に示すように、可視光カメラ１６から得られる可視画像１８と透視画像１３の画像比率を一致させて重ね合わせた合成画像１９（図３参照）と、切断手段１７の定点位置Ｈから理論的に決定される直線状の切断線の理論切断線画像２０（図４参照）とを作成すると共に、合成画像１９と理論切断線画像２０を同時表示する合成画像作成手段２１と、半導体部品１２が保持された取付け台１５を、合成画像１９中の透視画像情報から合成画像１９内に設定される目標切断線画像２２（図４参照）が理論切断線画像２０と平行になるまで水平面内で回転させて固定する切断方向設定手段２３と、半導体部品１２が保持された取付け台１５を、目標切断線画像２２が理論切断線画像２０に重なるまで水平面内で理論切断線画像２０に直交する方向に移動させて固定する切断位置設定手段２４とを有している。以下、詳細に説明する。
【００１１】
画像記憶手段１４は、Ｘ線透視画像１３を読み込むデータ取り込み機能を備えたデータ取得部２５と、取り込んだＸ線透視画像データを保存する機能を備えたデータ記憶部２６と、データ記憶部２６内のＸ線透視画像データを出力する機能を備えたデータ出力部２７とを有している。なお、データ取得部２５には、アナログ情報用の取り込み機器、デジタル情報用の取り込み機器がそれぞれ設けられており、Ｘ線透視画像１３がアナログ情報であるか、デジタル情報であるかに応じて選択使用される。
ここで、アナログ情報用の取り込み機器としては、例えば、コンピュータと接続可能なスキャナ、デジタル情報用の取り込み機器としては、例えば、ＤＶＤ、ＣＤ、磁気テープ等からのデジタル情報を読み取る機器を使用することができ、データ取得部２５はＸ線透視画像１３を読み込むデータ取り込み機能を発現するプログラムをコンピュータに搭載することにより構成することができ、データ記憶部２６にはコンピュータと接続してデータの入出力を行うことが可能な記憶装置を使用することができる。
【００１２】
図１に示すように、取付け台１５は、例えば、半導体部品１２を空気吸引吸着して固定するステージ２８と、空気吸引機構（図示せず）とを有している。なお、半導体部品１２はダイシングテープ２９に接着され、ダイシングテープ２９を介してステージ２８に空気吸引吸着されている。これにより、半導体部品１２を切断することにより形成される裁断片が、切断中に飛散するのを防止できる。
可視光カメラ１６は、ステージ２８上方の定点位置Ｐに固定されるように、カメラ取付け部材３０を介して透視画像教示型精密切断装置１０の切断装置本体３１に固定されている。なお、可視光カメラ１６には、例えば、工業用ビデオカメラを使用することができる。
【００１３】
図１に示すように、切断手段１７は、環状のダイヤモンドブレード３２（切断ブレードの一例）が外周側に突出状態で固定される円盤状部材３３と、円盤状部材３３を介してダイヤモンドブレード３２を超音波振動させる振動機構（図示せず）と、円盤状部材３３を両側から支持して回転させる回転駆動手段３３ａとを有している。ここで、回転駆動手段３３ａは図示しない取付け部材を介して、円盤状部材３３の回転軸が水平面内に存在するように切断装置本体３１に固定されている。これによって、切断手段１７を水平面内の定点位置Ｈに配置することができる。
【００１４】
合成画像作成手段２１は、合成画像１９を形成する合成画像作成部３４と、理論切断線画像２０を形成する理論切断線画像作成部３５と、合成画像１９と理論切断線画像２０が同時表示される第１の表示器３６とを有している。ここで、合成画像作成部３４は、データ記憶部２６内のＸ線透視画像データをデータ出力部２７を介して取得して第１の表示器３６に表示させると共に、可視光カメラ１６の可視画像１８の可視画像データを取得して第２の表示器３７に表示させる機能を備えた画像表示ユニット３８を有している。
【００１５】
更に、合成画像作成部３４は、図３（Ａ）に示すように、第１の表示器３６に表示されたＸ線透視画像１３内と第２の表示器３７に表示された可視画像１８内にそれぞれ共通して存在する２つの特定画像要素３９、３９ａ、４０、４０ａの指定を受けて、図３（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、Ｘ線透視画像１３内の２つの特定画像要素３９、４０間の距離Ｌｘと、可視画像１８内の２つの特定画像要素３９ａ、４０ａ間の距離Ｌｏをそれぞれ求めてＸ線透視画像１３と可視画像１８の画像比率を調整する、例えば、可視画像１８の画像比率をＸ線透視画像１３の画像比率に合わせる処理を行って再表示する機能を備えた画像比率調整ユニット４１と、図３（Ｄ）に示すように、画像比率調整ユニット４１で形成された画像比率が一致したＸ線透視画像１３及び可視画像１８を重ね合わせて一体化した合成画像１９を作成し、Ｘ線透視画像１３に換えて第１の表示器３６に表示させる機能を備えた合成画像作成表示ユニット４２とを有している。
【００１６】
ここで、合成画像作成部３４には、合成画像１９を作成する際に、Ｘ線透視画像１３の輝度及びコントラストの一方又は双方を独立して調整する機能を備えた第１の画質調整ユニット４３と、可視画像１８の輝度及びコントラストの一方又は双方を独立して調整する機能を備えた第２の画質調整ユニット４４が設けられている。これによって、Ｘ線透視画像１３に基づく透視画像情報と可視画像１８に基づく可視情報（外観情報）を共に含んだ鮮明な合成画像１９や、透視画像情報又は可視情報の一方を強調した合成画像１９を、目的に応じて容易に得ることができる。
【００１７】
切断手段１７に設けられたダイヤモンドブレード３２を水平面に投影すると、切断手段１７の定点位置Ｈが水平面内に投影されて得られる切断手段投影点Ｏ（以下、原点Ｏという）に対して、円盤状部材３３の回転軸の軸心方向に一定距離Ｃだけ離れた位置にダイヤモンドブレード３２の直線状投影像が形成されるので、ダイヤモンドブレード３２により形成される切断線は直線状になって、切断線は原点Ｏから回転軸の軸心方向に沿って一定距離Ｃの位置に、円盤状部材３３の回転軸の軸心方向と直交する方向に伸びる直線上に存在することになる（図４（Ａ）参照）。このため、理論切断線画像作成部３５は、定点位置Ｈを水平面内に投影して得られる原点Ｏから、円盤状部材３３の回転軸の軸心方向に沿って一定距離Ｃの位置に、円盤状部材３３の回転軸の軸心方向と直交する方向に理論切断線画像２０を作成する機能を備えた理論切断線画像形成ユニット４５を有している。
【００１８】
一方、可視光カメラ１６の定点位置Ｐと可視画像１８の中心位置の関係、可視光カメラ１６の定点位置Ｐを水平面内に投影して得られるカメラ投影点と原点Ｏの位置関係から、半導体部品１２を平面内に投影して得られる半導体部品投影部の存在領域、即ち、可視画像１８の存在領域の原点Ｏに対する定量的な位置関係が求まる。このため、理論切断線画像作成部３５は、可視光カメラ１６の定点位置Ｐと切断手段１７の定点位置Ｈに基づいて、即ち、理論切断線画像２０と原点Ｏの位置関係及び合成画像１９（可視画像１８の位置関係のデータが保存されている）と原点Ｏの位置関係に基づいて、合成画像１９に対する理論切断線画像２０の位置を演算して合成画像１９と共に第１の表示器３６に表示する機能を備えた理論切断線画像表示ユニット４６を有している。
【００１９】
ここで、合成画像作成手段２１の合成画像作成部３４は、画像表示ユニット３８、画像比率調整ユニット４１、合成画像作成表示ユニット４２、第１の画質調整ユニット４３、及び第２の画質調整ユニット４４のそれぞれの機能を発現するプログラムをコンピュータに搭載することにより形成することができる。また、合成画像作成手段２１の理論切断線画像作成部３５は、理論切断線画像形成ユニット４５及び理論切断線画像表示ユニット４６のそれぞれの機能を発現するプログラムをコンピュータに搭載することにより形成することができる。更に、合成画像作成手段２１に設けられている第１の表示器３６と第２の表示器３７には、コンピュータと接続可能な表示機器を使用することができる。
【００２０】
図２に示すように、切断方向設定手段２３は、作成した合成画像１９を可視画像１８の存在領域の原点Ｏに対する定量的な位置関係に基づいて第１の表示器３６に表示させながら、合成画像１９中の透視画像情報に基づいて合成画像１９内に設定された２つの切断特定位置Ｑ、Ｒを結ぶ線分を延長した直線に重ねて目標切断線画像２２を形成する（図４（Ａ）参照）機能を備えた目標切断線画像作成部４７と、作成された目標切断線画像２２を合成画像１９と一体化して第１の表示器３６に表示させる機能を備えた第１の目標切断線画像表示部４８と、ステージ２８を支持する回転テーブル５０を水平面内で回転させた際に、合成画像１９内の目標切断線画像２２が理論切断線画像２０と平行になった（図４（Ｂ）参照）ことを（従って、ステージ２８の回転を停止してその角度位置に固定することを）第１の表示器３６に表示させる機能を備えた角度位置決め部４９とを有している。
ここで、切断方向設定手段２３の目標切断線画像作成部４７、第１の目標切断線画像表示部４８、及び角度位置決め部４９は、それぞれの機能を発現するプログラムをコンピュータに搭載することにより形成することができる。
【００２１】
図２に示すように、切断位置設定手段２４は、目標切断線画像２２が理論切断線画像２０と平行になった状態の合成画像１９を可視画像１８の存在領域の原点Ｏに対する定量的な位置関係に基づいて第１の表示器３６に表示させる機能を備えた第２の目標切断線画像表示部５１と、ステージ２８を水平面内で理論切断線画像２０に直交する方向に移動させた際に、合成画像１９内の目標切断線画像２２が理論切断線画像２０と重なった（図４（Ｃ）参照）ことを第１の表示器３６に表示させると共に、そのときのステージ２８の位置座標（原点Ｏに対する）を求める機能を備えた切断位置決め部５２と、得られたステージ２８の位置座標（切断位置情報）を切断装置本体３１側に設けられた切断駆動系制御手段（図示せず）に転送する機能を備えた切断位置情報送信部５３とを有している。
ここで、切断位置設定手段２４の第２の目標切断線画像表示部５１、切断位置決め部５２、及び切断位置情報送信部５３は、それぞれの機能を発現するプログラムをコンピュータに搭載することにより形成することができる。
【００２２】
切断装置本体３１で半導体部品１２を切断する場合は、切断位置設定手段２４の切断位置情報送信部５３から切断駆動系制御手段に転送された切断位置情報に基づいてステージ２８の位置決めが行われ、ステージ２８の位置決めが完了すると切断手段１７が駆動し、ステージ２８が切断手段１７に向けて移動することにより半導体部品１２の切断が行われる。ここで、ステージ２８には、例えば、図示しないＸＹＺテーブルが設けられている。そして、ＸＹＺテーブルのＸ軸及びＹ軸を水平面内に、Ｚ軸を水平面に直交する方向に設定すると共に、円盤状部材３３の回転軸の軸心方向をＸ軸と平行に設定すると、理論切断線画像２０の方向はＹ軸に平行になるので、ステージ２８の位置決めはステージ２８をＸ軸方向に移動させることにより行われ、切断時にステージ２８はＹ軸方向に移動することになる。なお、切断を行う前に、切断手段１７に対するステージ２８の高さ位置（ステージ２８のＺ軸方向の位置決め）を半導体部品１２の厚みに応じて調整する。これにより、切断手段１７による切込み深さが調節される。
【００２３】
続いて、本発明の第１の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置１０の作用について説明する。
透視画像教示型精密切断装置１０は、予め得られた半導体部品１２のＸ線透視画像１３と可視光カメラ１６で撮影した可視画像１８を用いて合成画像１９を作成するので、従来のように透視画像用の撮像手段を常備する必要がなく装置構成が簡単になる。その結果、装置の操作が容易になると共に、装置の製造コストを低減することができる。
そして、図４（Ａ）に示すように、合成画像１９中の透視画像情報から合成画像１９内に目標切断線画像２２を設定し、図４（Ｂ）に示すように、半導体部品１２が保持された取付け台１５を水平面内で回転させて、合成画像１９中の目標切断線画像２２を、合成画像１９に重ね合わせて表示された理論切断線画像２０と平行にした後、図４（Ｃ）に示すように、取付け台１５を目標切断線画像２２が理論切断線画像２０に重なるまで水平面内で移動させている。これにより、合成画像１９中の透視画像情報に基づいて、半導体部品１２の内部構造を確認しながら、切断方向の設定と切断位置の設定を行うので、切断位置が正確に割り出された精密切断を行うことが可能になる。
【００２４】
図５に示すように、本発明の第２の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置５４は、第１の実施の形態に係る透視画像教示型精密切断装置１０と比較して、切断手段５５が、レーザー光を発生させるレーザー光発信部（図示せず）と、レーザー光発信部で発生したレーザー光を半導体部品１２に照射するレーザーヘッド５６とを有していることが特徴となっている。従って、透視画像教示型精密切断装置１０と同一の構成部材には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
また、透視画像教示型精密切断装置５４の作用は、透視画像教示型精密切断装置１０の作用と同一なので、説明は省略する。
【００２５】
以上、本発明を、実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。
更に、本実施の形態とその他の実施の形態や変形例にそれぞれ含まれる構成要素を組合わせたものも、本発明に含まれる。
例えば、透視画像は、放射線透過画像、超音波顕微鏡や超音波映像装置による撮影画像、内部の発熱状態が分かる赤外線撮影画像等も含む。
また、切断手段は、環状のダイヤモンドブレード（切断ブレード）が外周側に突出状態で固定される円盤状部材と、円盤状部材を回転させる回転駆動手段とを有する構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００２６】
１０：透視画像教示型精密切断装置、１１：切断加工面、１２：半導体部品、１３：Ｘ線透視画像、１４：画像記憶手段、１５：取付け台、１６：可視光カメラ、１７：切断手段、１８：可視画像、１９：合成画像、２０：理論切断線画像、２１：合成画像作成手段、２２：目標切断線画像、２３：切断方向設定手段、２４：切断位置設定手段、２５：データ取得部、２６：データ記憶部、２７：データ出力部、２８：ステージ、２９：ダイシングテープ、３０：カメラ取付け部材、３１：切断装置本体、３２：ダイヤモンドブレード、３３：円盤状部材、３３ａ：回転駆動手段、３４：合成画像作成部、３５：理論切断線画像作成部、３６：第１の表示器、３７：第２の表示器、３８：画像表示ユニット、３９、３９ａ、４０、４０ａ：特定画像要素、４１：画像比率調整ユニット、４２：合成画像作成表示ユニット、４３：第１の画質調整ユニット、４４：第２の画質調整ユニット、４５：理論切断線画像形成ユニット、４６：理論切断線画像表示ユニット、４７：目標切断線画像作成部、４８：第１の目標切断線画像表示部、４９：角度位置決め部、５０：回転テーブル、５１：第２の目標切断線画像表示部、５２：切断位置決め部、５３：切断位置情報送信部、５４：透視画像教示型精密切断装置、５５：切断手段、５６：レーザーヘッド
【要約】
【課題】切断対象物の透視画像を用いて切断方向の設定と切断位置の設定を行うことが可能な透視画像教示型精密切断装置を提供する。
【解決手段】透視画像教示型精密切断装置１０は、切断対象物１２の透視画像１３を保存する画像記憶手段１４と、切断対象物１２が保持される取付け台１５と、取付け台１５上の切断対象物１２の可視画像１８を作成する撮像手段１６と、取付け台１５上の切断対象物１２を切断する切断手段１７と、可視画像１８と透視画像１３の合成画像１９と理論切断線画像２０を表示する合成画像作成手段２１と、切断対象物１２が保持された取付け台１５を、合成画像１９内に設定される目標切断線画像２２が理論切断線画像２０と平行になるまで回転させる切断方向設定手段２３と、切断対象物１２が保持された取付け台１５を、目標切断線画像２２が理論切断線画像２０に重なるまで移動させて固定する切断位置設定手段２４とを有する。
【選択図】図２【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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