(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のフレキシブル基板と、
前記一対のフレキシブル基板の間に介在された粘着層と、を備え、
前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板の一方の面に部分的に、パターンが形成されており、
前記一方のフレキシブル基板に負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみと、他方の前記フレキシブル基板に負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみとの差が±０．０１％以内となるように前記一対のフレキシブル基板は貼り合わされており、
前記一方のフレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体。
【請求項２】
前記一方のフレキシブル基板の前記一方の面に部分的に、前記パターンは複数形成されており、
前記一方のフレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内であることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項３】
前記パターンは、前記一方のフレキシブル基板の前記粘着層側の面に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項４】
前記パターンは、前記一方のフレキシブル基板の前記粘着層とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項５】
前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、バリア層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項６】
前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、反射防止層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項７】
前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、ハードコート層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項８】
前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のフレキシブル基板と、一対のフレキシブル基板の間に介在され、当該一対のフレキシブル基板を貼り合わせた粘着層とを備えたフレキシブル基板積層体に係り、とりわけ、一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの急速な普及に伴って、このようなディスプレイを構成するディスプレイ部材の需要が拡大している。現在のフラットパネルディスプレイは、その用途を、テレビやデスクトップモニターのみならず、携帯用ノートパソコン、携帯電話、携帯用ゲーム機、電子リーダー、電子ブックなどの携帯型電子機器にまで広く拡大していることから、さらなる軽量化、小型化、および薄型化が必要とされている。このため、ディスプレイ部材としても、軽量化、小型化、および薄型化が求められている。
【０００３】
このような状況において、従来、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等を構成するディスプレイ部材としては、これまで主として用いられてきたガラス基板に替わり、可撓性を有するフレキシブル基板を用いたディスプレイ部材が提案されている。ディスプレイ部材において、ガラス基板の替わりにフレキシブル基板を用いることにより、ディスプレイを、フレキシブルディスプレイとすることも可能となる。現に、このようなフレキシブルディスプレイとしては、例えば、透明タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−３６８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フレキシブル基板は、従来のガラス基板等に比べて機械的強度が低いことから、フレキシブル基板を用いてディスプレイ部材を製造する場合、特に、パターンが形成された一のフレキシブル基板に、他のフレキシブル基板を粘着層によって貼り合わせる場合に、フレキシブル基板が歪み、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度が低下するという問題があった。この場合、歪んだフレキシブル基板に、他の対向基板を位置合わせして接合することが困難になる。例えば、解像度２００ｄｐｉで１ピクセルに赤色画素、緑色画素、青色画素が一列に並んでいるカラーフィルターにおいて、２００ｍｍの距離を有するパターン間が４０μｍ変化する（２００ｐｐｍの寸法変化に相当）場合には、一色分のずれが生じることになり、重大な欠陥となる。このため、フレキシブル基板を用いて大面積のカラーフィルターを製造することは困難であった。また、フレキシブル基板に、パターニング工程に３〜５μｍの位置合わせ精度を必要とするアクティブマトリックス方式のスイッチング素子を形成することも困難であった。
【０００６】
ところで、フレキシブル基板の寸法変化を抑制するために、フレキシブル基板に応力緩和孔を設ける方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。ここでは、フレキシブル基板の表示領域に負荷される応力を、応力緩和孔を変形させることによって緩和し、当該表示領域に歪みが生じることを防止している。しかしながら、このような方法では、フレキシブル基板に、上述したような応力緩和孔を設ける工程が必要となり、ディスプレイ部材を製造する工程が煩雑になるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、一対のフレキシブル基板と、前記一対のフレキシブル基板の間に介在された粘着層と、を備え、前記一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に、パターンが形成されており、前記一方のフレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体を提供する。
【０００９】
本発明によれば、一方のフレキシブル基板のうちパターンが形成された部分において、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみを低減することができる。このことにより、一対のフレキシブル基板を貼り合せる前のパターンの寸法と、貼り合せた後のパターンの寸法との差を低減することができる。このため、貼り合せ前後でパターンの寸法が変化することを抑制し、当該一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【００１０】
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記一方のフレキシブル基板に、前記パターンは複数形成されており、前記一方のフレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内である、ようにしてもよい。この場合、一方のフレキシブル基板のうち一のパターンが形成された部分において、一対のフレキシブル基板を貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターンが形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、貼り合せ前後で各パターンの寸法が異なることを抑制し、当該一方のフレキシブル基板に形成された各パターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、各パターンを位置合わせすることができ、精度良いパターンを、量産することができる。
【００１１】
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記一方のフレキシブル基板の前記粘着層側の面に形成されている、ようにしてもよい。
【００１２】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記一方のフレキシブル基板の前記粘着層とは反対側の面に形成されている、ようにしてもよい。
【００１３】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、バリア層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１４】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、反射防止層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１５】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記一対のフレキシブル基板のうち他方のフレキシブル基板に、ハードコート層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１６】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有する、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、一対のフレキシブル基板のうち一方のフレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態において、第１フレキシブル基板を示す平面図。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態における貼合装置の概略を示す図。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す図。図４（ｂ）は、一対のフレキシブル基板が貼り合わされた状態を示す図。図４（ｃ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図５】図５（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の変形例において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す図。図５（ｂ）は、一対のフレキシブル基板が貼り合わされた状態を示す図。図５（ｃ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図６】図６（ａ）は、本発明の第１の実施に形態の変形例において、バリア層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｂ）は、ＡＧ層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｃ）は、ＡＲ層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｄ）は、ハードコート層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図７】図７（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の変形例において、バリア層とハードコート層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図７（ｂ）は、バリア層とＡＧ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図７（ｃ）は、バリア層とＡＲ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図８】図８は、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図９】図９（ａ）は、本発明の第２の実施の形態において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す図。図９（ｂ）は、一対のフレキシブル基板が貼り合わされた状態を示す図。図９（ｃ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図１０】図１０（ａ）は、本発明の第２の実施の形態の変形例において、一対のフレキシブル基板が貼り合わされる前の状態を示す図。図１０（ｂ）は、一対のフレキシブル基板が貼り合わされた状態を示す図。図１０（ｃ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図１乃至図７は、本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体を説明するための図である。
【００２０】
まず、図１により、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体１０について説明する。図１に示すフレキシブル基板積層体１０は、一対の帯状のフレキシブル基板（第１フレキシブル基板１１、第２フレキシブル基板１２）と、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との間に介在され、第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２を貼り合わせた粘着層１３と、を備えている。
【００２１】
図１および図２に示すように、第１フレキシブル基板１１には、カラーフィルター用のパターン１４が複数形成されている。各パターン１４は、赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃ（必要に応じてブラックマトリックス（図示せず））を含むカラーフィルター用の矩形状の画素パターン１５と、画素パターン１５の四隅に対応する位置にそれぞれ形成された十字状のマーク１６とを有している。このようなパターン１４は、第１フレキシブル基板１１の粘着層１３側の面に形成され、粘着層１３は第２フレキシブル基板１２とパターン１４に粘着されている。
【００２２】
第１フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内となっている。すなわち、第１フレキシブル基板１１の当該部分の寸法の貼り合せ前後における変形量が、貼り合せ前の当該部分の寸法に対して、±０．０１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±１０μｍ）以内、好ましくは±０．００５％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±５μｍ）以内となっている。この場合、第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２を貼り合せる前のパターン１４の寸法と、第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２を貼り合わせた後のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。具体的には、カラーフィルター用の画素パターン１５を有するフレキシブル基板積層体１０とＴＦＴアレイの貼り合せにおいては、寸法のずれ量を±１０μｍ以内とすることにより、液晶素子の駆動に不具合が生じることを防止し、画素の透過率や色を所定の範囲に維持でき、画像の表示を良好にすることができる。
【００２３】
また、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になっている。この場合、一のパターン１４の寸法と、他のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、複数のパターン１４を、精度良く量産することができる。
【００２４】
次に、各フレキシブル基板１１、１２の材料について説明する。本実施の形態におけるフレキシブル基板１１、１２は、引張力が負荷された場合であっても可塑性が著しく高いものでなければ特に限定されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。このようなフレキシブル基板としては、例えば、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、セルローストリアセテート（ＣＴＡ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ノボルネン系樹脂、アリルエステル樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。このうち、ＰＥＮ、ＰＥＴを用いることが好適である。
【００２５】
フレキシブル基板１１、１２の厚さとしては、１０μｍ〜５００μｍの範囲内、好ましくは２０μｍ〜３００μｍの範囲内であることが好ましい。フレキシブル基板１１、１２の厚さが上記範囲よりも厚すぎると、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、ロール状に巻き取ることが困難になるからである。一方、上記範囲よりも薄すぎると、こしが無くなり、各工程における取り扱いが困難になるからである。
【００２６】
フレキシブル基板１１、１２の幅としては、特に限定されるものではないが、例えば、５０ｍｍ〜２０００ｍｍの範囲内、好ましくは１００ｍｍ〜１５００ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００２７】
なお、フレキシブル基板１１、１２は、単一層よりなる構成であっても良く、あるいは、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
【００２８】
粘着層１３の材料としては、柔軟性を有する材料であれば特に限定されるものではなく、アクリル系、スチレン系等の樹脂材料からなっていることが好ましい。また、粘着層１３の厚さとしては、柔軟性が喪失されない程度の厚さであれば良い。
【００２９】
次に、図３を用いて、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合わせる貼合装置２０について説明する。図３に示す貼合装置２０は、パターン１４が形成された第１フレキシブル基板１１を繰り出す第１繰出ロール２１と、粘着層１３が設けられた第２フレキシブル基板１２を繰り出す第２繰出ロール２２とを有している。
【００３０】
第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２の下流側に、第１繰出ロール２１から繰り出された第１フレキシブル基板１１と、第２繰出ロール２２から繰り出された第２フレキシブル基板１２をラミネートするラミネート部２３が設けられている。このラミネート部２３において、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が粘着層１３を介して貼り合わされ、フレキシブル基板積層体１０が作製される。また、ラミネート部２３は、一対の押圧ローラ２３ａからなっており、一対の押圧ローラ２３ａ間の圧力を調整することにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２をラミネートする際のラミネート圧力を調整することができるようになっている。
【００３１】
ラミネート部２３の下流側には、フレキシブル基板積層体１０をロール状に巻き取る巻取ロール２４が設けられている。この巻取ロール２４は、フレキシブル基板積層体１０を搬送する駆動部としての機能を有している。
【００３２】
また、図３に示す貼合装置２０においては、第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２に搬送方向とは反対側にトルクを負荷して、このトルクを調整することにより、搬送されている第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２に負荷される張力をそれぞれ調整可能になっている。
【００３３】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態による一対のフレキシブル基板の貼合方法（フレキシブル基板積層体の製造方法）について説明する。
【００３４】
まず、第１フレキシブル基板１１に、画素パターン１５とマーク１６とを有する複数のパターン１４（図１および図２参照）が形成される。
【００３５】
その後、パターン１４が半径方向外側に配置されるように第１フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられて、第１繰出ロール２１（図３参照）に取り付けられる。
【００３６】
一方、第２フレキシブル基板１２に粘着層１３が設けられ、当該粘着層１３が半径方向外側に配置されるように第２フレキシブル基板１２がロール状に巻き付けられて、第２繰出ロール２２に取り付けられる。
【００３７】
次に、巻取ロール２４が駆動され、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が貼り合わされて（図４（ａ）参照）、フレキシブル基板積層体１０が作製される（図４（ｂ）参照）。
【００３８】
この場合、まず、第１繰出ロール２１から第１フレキシブル基板１１が繰り出されると共に、第２繰出ロール２２から第２フレキシブル基板１２が繰り出される。続いて、繰り出された第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２が、ラミネート部２３において、粘着層１３を介して、互いに貼り合わされる。ラミネート部２３では、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４と、第２フレキシブル基板１２に設けられた粘着層１３とが、互いに向かい合うように（図４（ａ）参照）、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが貼り合わされる。
【００３９】
第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２が搬送されている間、第１フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力と、第２フレキシブル基板１２に負荷される単位断面積当たりの張力が、それぞれ小さく、かつ同程度の値となることが好ましい。例えば、各単位断面積当たりの張力は、０．０２６Ｎ／ｍｍ２以上４０００Ｎ／ｍｍ２以下であることが好ましい。このことにより、貼り合せ時に第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２にしわが形成されることを防止すると共に第１フレキシブル基板１１の変形と第２フレキシブル基板１２の変形を抑制することができる。ここで、第１フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力（応力）は、搬送されている第１フレキシブル基板１１に負荷される張力を、第１フレキシブル基板１１の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められ、第２フレキシブル基板１２に負荷される単位断面積当たりの張力（応力）は、搬送されている第２フレキシブル基板１２に負荷される張力を、第２フレキシブル基板１２の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められる。
【００４０】
また、各単位断面積当たりの張力の差は、一対のフレキシブル基板１１、１２が同一のヤング率を有する場合には、±０．０１％以内であることが好ましい。このことにより、第１フレキシブル基板１１の変形量と第２フレキシブル基板１２の変形量を同程度にすることができる。なお、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とで材料が異なる場合には、上述した単位断面積当たりの張力から、それぞれの材料のヤング率を用いて張力によるひずみを算出して、第１フレキシブル基板１１の張力によるひずみと第２フレキシブル基板１２の張力によるひずみが同程度（例えば、張力によるひずみの差が±０．０１％以内）となるように張力を設定すれば良い。
【００４１】
また、この間、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２をラミネートする際のラミネート圧力は、低くすることが好ましく、例えば、０ＭＰａ以上１ＭＰａ以下とすることが好ましい。このことにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２を確実に貼り合わせると共に、第１フレキシブル基板１１の変形と第２フレキシブル基板１２の変形を抑制することができる。
【００４２】
このようにして、図１に示すような、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが粘着層１３によって貼り合わされたフレキシブル基板積層体１０が得られる。このフレキシブル基板積層体１０において、第１フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみを、少なくとも±０．０１％以内とすることができると共に、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみとの差を、少なくとも±０．０１％以内とすることができる。このため、第１フレキシブル基板１１および第２フレキシブル基板１２にそれぞれ負荷される単位断面積当たりの張力と、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との間のラミネート圧力とを調整することにより、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００４３】
その後、フレキシブル基板積層体１０は、巻取ロール２４に巻き取られ、ロール状に形成される。
【００４４】
このようにして得られたフレキシブル基板積層体１０は、図４（ｃ）に示すように、この後、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０に接合される。
【００４５】
ここで、第１フレキシブル基板１１において、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合せたことにより生じたひずみを確認する方法について説明する。このようなひずみは、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合せる前後において、第１フレキシブル基板１１のパターン１４の寸法を測定することにより得られる。パターン１４の寸法として、マーク１６間の寸法を用いる場合には、例えば、第１フレキシブル基板１１の幅方向のマーク１６間のＡ寸法と、長手方向のマーク１６間のＢ寸法とを測定すれば良い（図２参照）。なお、寸法の測定には、一般に測長機を用いることが好ましい。とりわけ、マイクロメートル単位まで寸法を測定することができる精密な測長機がより好ましい。例えば、ＳＯＫＫＩＡ製の超精密自動２次元座標測定機や、ニコンインストルメンツカンパニー製のＣＮＣ画像測定システムなどを使用することができる。
【００４６】
貼り合せ前の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後の当該Ａ寸法およびＢ寸法とを用いて、各寸法の差を求め、第１フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分の貼り合せにより生じたひずみを確認することができる。
【００４７】
パターン１４の寸法として、マーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法を測定することに限られることはなく、画素パターン１５の寸法を測定しても良い。この場合、画素パターン１５の幅方向の寸法と、長手方向の寸法とを測定すれば良い。あるいは、幅方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法と、長手方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法を測定しても良い。
【００４８】
また、図１に示すフレキシブル基板積層体１０が作製された後（すなわち、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とが貼り合わされた後）に、第１フレキシブル基板１１上のパターン１４の貼り合せ前の寸法を求める方法について説明する。
【００４９】
この場合、まず、フレキシブル基板積層体１０をアセトンなどの有機溶剤に十分に浸す。続いて、第１フレキシブル基板１１から第２フレキシブル基板１２と粘着層１３とが、第１フレキシブル基板１１に大きな張力が負荷されないように剥離される。このことにより、第２フレキシブル基板１２の応力によるパターン１４への影響を取り除くと共に、第１フレキシブル基板１１が変形することを防止しながら、第２フレキシブル基板１２を第１フレキシブル基板１１から剥離することができる。
【００５０】
なお、第２フレキシブル基板１２による応力の影響を取り除くための別の方法として、第２フレキシブル基板１２を第１フレキシブル基板１１から剥離することなく、第２フレキシブル基板１２のみを、例えば１０ｍｍ間隔で格子状にハーフカットしても良い。
【００５１】
次に、第１フレキシブル基板１１が、第２フレキシブル基板１２を剥離する前にマーク１６間の寸法を測定した際の雰囲気と同じ温湿度の雰囲気に曝され、第１フレキシブル基板１１から溶剤が蒸発して平衡状態となるまで放置される。このことにより、剥離された第１フレキシブル基板１１の温度および吸水率を、剥離前の第１フレキシブル基板１１の温度および吸水率と等しくすることができる。このため、周囲環境の変化による寸法変化の要因を取り除くことができる。
【００５２】
その後、この第１フレキシブル基板１１上の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法が測定される。このようにして得られたマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法は、第２フレキシブル基板１２を貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法に相当する。このことにより、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とを貼り合わせた後であっても、貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法を得ることができる。このため、このようにして得られた貼り合せ前のパターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後のＡ寸法およびＢ寸法とにより、貼り合せ前後における各寸法の差をそれぞれ求めて、第１フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分のひずみを確認することができる。
【００５３】
このように本実施の形態によれば、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、第１フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、貼り合せ前のパターン１４の寸法と、貼り合せ後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、貼り合せ前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００５４】
また、本実施の形態によれば、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、貼り合せ前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、第１フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【００５５】
なお、本実施の形態においては、粘着層１３が、貼り合せ前に、第２フレキシブル基板１２に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層１３を、貼り合せ前に、第２フレキシブル基板１２に設けることなく、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に設けるようにしても良い。
【００５６】
この場合、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、第１フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、第２フレキシブル基板１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。このこと以外は、上述した実施の形態と同様にして、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図５（ａ）参照）、図１に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる（図５（ｂ）参照）。その後、フレキシブル基板積層体１０は、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０に接合される（図５（ｃ）参照）。このように、貼り合せ前に粘着層１３がパターン１４に設けられることにより、例えば、後述するように、貼り合せ前の第２フレキシブル基板１２に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【００５７】
また、本実施の形態においては、第２フレキシブル基板１２に粘着層１３のみが設けられている例について説明した。しかしながらこのことに限られることはなく、図６に示すように、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、各種機能層が設けられるようにしても良い。
【００５８】
このようなフレキシブル基板積層体１０としては、例えば、図６（ａ）に示すように、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、酸素が透過することを抑制するバリア層４０が設けられていても良い。この場合、粘着層１３とバリア層４０とが予め設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせて、図６（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良く、あるいは、粘着層１３のみが設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせた後、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、バリア層４０を形成して、図６（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良い。このことにより、バリア層４０を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００５９】
また、例えば、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、画面のちらつきを抑制する反射防止層（ＡＧ（アンチグレア）層４１、またはＡＲ（アンチリフレクション）層４２）が設けられていても良い。この場合、粘着層１３と反射防止層４１、４２とが予め設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせて、図６（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良く、あるいは、粘着層１３のみが設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせた後、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、反射防止層４１、４２を形成して、図６（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良い。このことにより、反射防止層４１、４２を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６０】
さらに、例えば、図６（ｄ）に示すように、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、ディスプレイに傷が付くことを防止するハードコート層４３が設けられていても良い。この場合、粘着層１３とハードコート層４３とが予め設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせて、図６（ｄ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良く、あるいは、粘着層１３のみが設けられた第２フレキシブル基板１２を、第１フレキシブル基板１１と貼り合わせた後、第２フレキシブル基板１２の粘着層１３とは反対側の面に、ハードコート層４３を形成して、図６（ｄ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製するようにしても良い。このことにより、ハードコート層４３を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６１】
また、フレキシブル基板積層体１０は、図７に示すように、２つの機能層を有していても良い。
【００６２】
このようなフレキシブル基板積層体１０としては、例えば、図７（ａ）に示すように、第２フレキシブル基板１２に、バリア層４０、第２の粘着層４５、第３フレキシブル基板４６、ハードコート層４３が、順次積層されていても良い。この場合、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との貼り合せ、第２フレキシブル基板１２と第３フレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図６に示すフレキシブル基板積層体１０と同様に、バリア層４０およびハードコート層４３は、任意のタイミングで、第２フレキシブル基板１２および第３フレキシブル基板４６にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０とハードコート層４３とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６３】
また、例えば、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、第２フレキシブル基板１２に、バリア層４０、第２の粘着層４５、第３フレキシブル基板４６、反射防止層（ＡＧ層４１またはＡＲ層４２）が、順次積層されていても良い。この場合、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２との貼り合せ、第２フレキシブル基板１２と第３フレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図６に示すフレキシブル基板積層体１０と同様に、バリア層４０および反射防止層４１、４２は、任意のタイミングで、第２フレキシブル基板１２および第３フレキシブル基板４６にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０と反射防止層４１、４２とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６４】
なお、図６および図７においては、各種機能層が、第２フレキシブル基板の図６および図７における上方に積層されている例について説明したが、このことに限られることはなく、各種機能層を、第１フレキシブル基板１１の下方に積層するようにしても良い。また、上述した各種機能層が設けられる例においては、パターン１４と粘着層１３とが互いに向き合うように構成されている例について述べたが、このことに限られることはなく、パターン１４が、第１フレキシブル基板１１の粘着層１３とは反対側の面に形成された場合（後述する図８参照）においても、同様にして上述のような各種機能層を設けることができる。
【００６５】
第２の実施の形態
次に、図８および図９により、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
【００６６】
図８および図９に示す第２の実施の形態においては、パターンが、第１フレキシブル基板の粘着層とは反対側の面に形成されている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図８および図９において、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６７】
図８に示すフレキシブル基板積層体５０においては、パターン１４は、第１フレキシブル基板１１の粘着層１３とは反対側の面に形成されている。すなわち、粘着層１３は、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２とに直接粘着されている。
【００６８】
このようなフレキシブル基板積層体５０を作製する場合、第１フレキシブル基板１１が、パターン１４を半径方向内側に配置させるように、ロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。このこと以外は、第１の実施の形態と同様にして、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図９（ａ）参照）、図８に示すフレキシブル基板積層体５０が作製される（図９（ｂ）参照）。
【００６９】
作製されたフレキシブル基板積層体５０は、図９（ｃ）に示すように、この後、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０に接合される。
【００７０】
このように本実施の形態によれば、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、第１フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、貼り合せ前のパターン１４の寸法と、貼り合せ後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、貼り合せ前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、第１フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００７１】
また、本実施の形態によれば、第１フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、一対のフレキシブル基板１１、１２を貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、貼り合せ前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、第１フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【００７２】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板積層体１０の最表面に、カラーフィルター用の画素パターン１５が配置されるため、ＬＣＤパネルを組み立てる際、液晶層に画素パターン１５を接近させることができ、視差の問題を回避することができる。
【００７３】
なお、本実施の形態においては、粘着層１３が、貼り合せ前に、第２フレキシブル基板１２に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層１３を、貼り合せ前に、第２フレキシブル基板１２に設けることなく、第１フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に設けても良い。
【００７４】
この場合、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、第１フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、第２フレキシブル基板１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。このこと以外は、第１の実施の形態と同様にして、第１フレキシブル基板１１と第２フレキシブル基板１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図１０（ａ）参照）、図８に示すフレキシブル基板積層体５０を作製することができる（図１０（ｂ）参照）。その後、フレキシブル基板積層体５０は、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０に接合される（図１０（ｃ）参照）。このように、貼り合せ前に粘着層１３が第１フレキシブル基板１１に設けられることにより、例えば、貼り合せ前の第２フレキシブル基板１２に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【００７５】
以上、本発明による実施の形態について説明してきたが、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に、適宜組み合わせることも可能である。また、これらの本実施の形態においては、本発明の要旨の範囲内で、上述した変形例以外の種々の変形も可能である。
【実施例】
【００７６】
本発明のフレキシブル基板積層体３０において、貼り合せ前後のパターン１４の寸法を測定した。
【００７７】
まず、第１フレキシブル基板１１として、３００ｍｍ幅×０．１２５ｍｍ厚さ、１０ｍ長さのＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、コスモシャインＡ４１００）を準備し、また、粘着層１３が設けられた第２フレキシブル基板１２として、２７０ｍｍ幅×０．０５０ｍｍ厚さ、１０ｍの長さの基材付き粘着フィルム（リンテック株式会社製、フジクリア５０）を準備した。なお、基材（第２フレキシブル基板１２）は、ＰＥＴよりなっている。
【００７８】
ＰＥＴフィルムに、複数の画素パターン１５を形成すると共に、寸法測定用のマーク１６を、各画素パターン１５の四隅に対応する位置に形成した（図２参照）。なお、マーク１６間の距離は、２１２ｍｍとした。ここで、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合わせる前に、上述した方法により、ＰＥＴフィルム上に形成されたマーク１６間の寸法を測定した。
【００７９】
貼合装置２０には、株式会社ディー・エヌ・ケー（ＤＮＫ）製の貼合装置（品名：ＬＭ−２０３−ＳＢ）を用いた。
【００８０】
ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合わせる際、搬送速度は０．６ｍ／ｍｉｎとし、ＰＥＴフィルムおよび粘着フィルムに負荷されるラミネート圧力（実効圧力）は、０．２８ＭＰＡに設定した。また、各フィルムにおける変形量を小さくすると共に同程度とするために、各フィルムに負荷される張力をそれぞれ調整し、ＰＥＴフィルムにかかる単位断面積あたりの張力を１．３３Ｎ／ｍｍ２、粘着フィルムの基材にかかる単位断面積あたりの張力を１．４８Ｎ／ｍｍ２とした。
【００８１】
このような条件の下、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムを貼り合せ、フレキシブル基板積層体１０を作製した。
【００８２】
その後、上述した方法により、貼り合せ前に寸法測定したマーク１６間の寸法を測定した。
【００８３】
このようにして得られた、貼り合せ前後のマーク１６間の寸法の差は、±０．００３％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±３μｍ）以内であることが確認できた。すなわち、ＰＥＴフィルムのうちパターン１４が形成された部分において、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムとを貼り合せることにより生じたひずみが、±０．００３％以内であることが確認できた。また、各パターン１４の寸法の差が、±０．００３％以内であることが確認できた。すなわち、ＰＥＴフィルムのうち一のパターン１４が形成された部分において、ＰＥＴフィルムと粘着フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．００３％以内であることが確認できた。
【００８４】
さらに、得られたフレキシブル基板積層体１０の各パターン１４を、マーク付きの他の対向基板３０と重ね合わせたところ、マーク同士を、容易に、かつ精度良く、位置合わせすることができた。
【符号の説明】
【００８５】
１０    フレキシブル基板積層体
１１    第１フレキシブル基板
１２    第２フレキシブル基板
１３    粘着層
１４    パターン
１５    画素パターン
１５ａ  赤色画素
１５ｂ  緑色画素
１５ｃ  青色画素
１６    マーク
２０    貼合装置
２１    第１繰出ロール
２２    第２繰出ロール
２３    ラミネート部
２３ａ  押圧ローラ
２４    巻取ロール
３０    対向基板
４０    バリア層
４１    ＡＧ層
４２    ＡＲ層
４３    ハードコート層
４５    第２の粘着層
４６    第３フレキシブル基板
５０    フレキシブル基板積層体
【図１】
0005679289.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005679289.tif 000004
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0005679289.tif 000008
【図８】
0005679289.tif 000009
【図９】
0005679289.tif 000010
【図１０】
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