(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に供給される帯状のカラーフィルター用基材に対して第１液を供給する第１液供給部を含む第１液室と、
前記第１液室内で前記第１液が供給された前記基材に対して第２液を供給する第２液供給部を含む第２液室を備え、
前記第１液室と前記第２液室は互いに水平方向に並んで配置され、前記第１液室において前記基材は第１処理位置をとり、前記第２液室において前記基材は第２処理位置をとり、
前記第１液室と前記第２液室との間に、前記第１液室からの前記基材を第１処理位置および前記第２処理位置より高い上昇位置までもってきて前記基材上の第１液を液切りした後、前記第２液室へ送る段差形成エリアを設け、
前記第１液室は前記基材を前記第１処理位置において搬送する複数の第１搬送ローラを有し、前記第２液室は前記基材を前記第２処理位置において搬送する複数の第２搬送ローラを有し、
前記第１液室内の出口側に前記第１搬送ローラより高い位置にある第１上昇ローラを設け、前記第２液室内の入口側に前記第２搬送ローラより高い位置にある第２上昇ローラを設け、前記段差形成エリアにおいて前記基材を第１上昇ローラと第２上昇ローラとの間に水平に延びる基材によって確定された同一の上昇位置までもってくることを特徴とする基材処理装置。
【請求項２】
請求項１記載の基材処理装置を用いた基材処理方法において、
第１液室内に連続的に供給され第１処理位置をとる帯状のカラーフィルター用基材に対して第１液供給部から第１液を供給する工程と、
前記第１液室内で前記第１液が供給された前記基材を段差形成エリアへ送り前記第１処理位置より高い上昇位置までもってきて、前記基材上の前記第１液を液切りする工程と、  前記段差形成エリア内の基材を第２液室へ送り、前記上昇位置より低い第２処理位置まで降下させた後、第２液供給部から第２液を供給する工程と、
を備えたことを特徴とする基材処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルター用基材上に、例えば現像液（第１液）と例えばリンス液（第２液）を供給する基材処理装置および基材処理方法に係り、とりわけ第１液を十分液切りした後基材に対して第２液を供給することができる基材処理装置および基材処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルにおいて、プラスチック材料を基材として、その一面に、パターニングされたブラックマトリックス、並びに、複数の赤色画素、緑色画素、および青色画素を配設したカラーフィルターが開発されている。このように、基材をプラスチック製とすることにより、カラーフィルターを薄型化、低コスト化するとともに、基材が割れることを防止している（特許文献１および２参照）。
【０００３】
このようなカラーフィルターはプラスチック基材に対して感光性材料を塗布し、感光性材料を露光し現像して赤色画素、緑色画素および青色画素を形成することにより得られる。カラーフィルターの製造にあたり、上述のようにプラスチック基材上に設けられた感光性材料に対して露光し現像する必要があるが、現像工程においてプラスチック基材上に現像液（第１液）を供給した後、プラスチック基材上にリンス液（第２液）を供給してプラスチック基材を洗浄している。
【０００４】
しかしながら、プラスチック基材上の現像液が十分に液切りされない場合、この現像液がプラスチック基材上で乾燥し、乾燥した現像液がリンス液によって十分に除去できないことがある。
【０００５】
あるいはプラスチック基材上にある薬液（第１液）を供給した後、プラスチック基材上に他の薬液（第２液）を供給した場合、第１液と第２液が混合してプラスチック基材に対して十分な処理を行なうことができない場合もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１７７５５１号公報
【特許文献２】特開２００３−６６４２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、基材上に、第１液を供給した後、この第１液を十分に液切りした後、基材上に第２液を供給することができる基材処理装置および基材処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、連続的に供給される帯状のカラーフィルター用基材に対して第１液を供給する第１液供給部を含む第１液室と、前記第１液室内で前記第１液が供給された前記基材に対して第２液を供給する第２液供給部を含む第２液室を備え、前記第１液室と前記第２液室は互いに水平方向に並んで配置され、前記第１液室において前記基材は第１処理位置をとり、前記第２液室において前記基材は第２処理位置をとり、前記第１液室と前記第２液室との間に、前記第１液室からの前記基材を第１処理位置および前記第２処理位置より高い上昇位置までもってきて前記基材上の第１液を液切りした後、前記第２液室へ送る段差形成エリアを設け、前記第１液室は前記基材を前記第１処理位置において搬送する複数の第１搬送ローラを有し、前記第２液室は前記基材を前記第２処理位置において搬送する複数の第２搬送ローラを有し、前記第１液室内の出口側に前記第１搬送ローラより高い位置にある第１上昇ローラを設け、前記第２液室内の入口側に前記第２搬送ローラより高い位置にある第２上昇ローラを設け、前記段差形成エリアにおいて前記基材を第１上昇ローラと第２上昇ローラとの間に水平に延びる基材によって確定された同一の上昇位置までもってくることを特徴とする基材処理装置である。
【００１１】
本発明は、上記記載の基材処理装置を用いた基材処理方法において、第１液室内に連続的に供給され第１処理位置をとる帯状のカラーフィルター用基材に対して第１液供給部から第１液を供給する工程と、前記第１液室内で前記第１液が供給された前記基材を前記段差形成エリアへ送り前記第１処理位置より高い上昇位置までもってきて、前記基材上の前記第１液を液切りする工程と、前記段差形成エリア内の基材を第２液室へ送り、前記上昇位置より低い第２処理位置まで降下させた後、第２液供給部から第２液を供給する工程と、を備えたことを特徴とする基材処理方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、第１液室内で第１液が供給された基材を段差形成エリアへ送り、この段差形成エリア内で基材を第１液室の第１処理位置より高い上昇位置までもってくることができる。このため基材上の第１液を十分液切りした後、第２液室へ送り、第２液室内において基材上に第２液を供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態における基材処理装置を示す図。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態における段差形成エリアを示す斜視図。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態における基材処理装置の第１液室を示す概略断面図。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態における基材処理装置の第１液室を示す正面図。
【図５】図５は、本発明の第１の実施の形態において得られるカラーフィルターを示す図。
【図６】図６は、本発明の第２の実施の形態における基材処理装置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図１乃至図５は、本発明の第１の実施の形態における基材処理装置および基材処理方法を示す図である。
【００１５】
まず、図５により本実施の形態における基材処理装置および基材処理方法により得られるカラーフィルター１の断面構成について説明する。
【００１６】
図５に示すように、本実施の形態における基材処理装置および基材処理方法により得られるカラーフィルター１は、プラスチック基材２と、このプラスチック基材２上に形成され、複数のバンク（隔壁）３ｂを含むブラックマトリックス３とを備えている。このうちブラックマトリックス３は、複数のバンク３ｂによって形成された略矩形状の複数の開口部３ｃを有している。このような、ブラックマトリックス３は、感光性を有する感光性樹脂材料（以下、「感光性材料」とも言う）によりパターニングされた感光性材料層３ａからなっている。
【００１７】
通常、プラスチック基材２上のブラックマトリックス３の各開口部３ｃ内に、複数色の画素が形成されている。すなわち、ブラックマトリックス３の各開口部３ｃ内に、赤色（Ｒ）画素用感光性材料、緑色（Ｇ）画素用感光性材料、および青色（Ｂ）画素用感光性材料により、複数の赤色画素４、緑色画素５、および青色画素６が形成されている。各画素４、５、６の配列は、図示しないが、ストライプ配列、デルタ配列（トライアングル配列）、正方配列（四画素配列）等の公知の配列とすることができる。このように異なる色を有した三つの隣り合う画素によって、画面上における一つの表示画素が形成されるようになっている。更に、黄色画素（図示せず）等を追加して４色以上の画素が形成されるようにしても良い。
【００１８】
また、これらの画素４、５、６は、保護層７で覆われている。この保護層７上に、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ（Indium Tin Oxide））からなる透明電極膜８が形成されている。
【００１９】
このようなカラーフィルター１は、例えば、各画素４、５、６に対応して配列されたＴＦＴ等のスイッチング素子と液晶層とを含む液晶素子、および面光源と組み合わされて、液晶ディスプレイ（以下、「ＬＣＤ」とも言う）、または電子ペーパー等に用いられる。この構成において、液晶はスイッチング素子によって制御されてシャッターとして機能し、面光源からの光を所望の色の画素のみを介して出射させる。このようにして、画面上にカラー映像が表示されるにようになっている。
【００２０】
次に、カラーフィルター１の各構成部材の材料について説明する。
【００２１】
プラスチック基材２に用いる材料としては、ＬＣＤ用途では、シクロオレフィンポリマー、ポリカーボネートが、高耐熱性、低吸水率、低リタデーションのため好ましい。電子ペーパー用途では、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが、量産品で低コストのため好ましい。これ以外にも、ポリエーテルスルフォン、ポリエチレンナフトール、ポリイミド、有機無機複合樹脂が、高耐熱性を有しているため用いることができる。また、プラスチック基材２の厚さは、５０〜３００μｍであることが好ましく、とりわけ、ハンドリングのしやすさから、１００μｍ程度であることが好ましい。このことにより、製造工程を終了したプラスチック基材２をロール状に巻き付けることができるとともに、必要な強度を確保することができる。
【００２２】
感光性材料層３ａを形成する感光性材料としては、遮光性を有する黒色の顔料と溶剤と接合性樹脂（バインダー）とを含む顔料分散型の感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。また、各色の画素用感光性材料としては、同様にして、各色の顔料を分散させた感光性樹脂組成物を用いることが好ましい。
【００２３】
このようなカラーフィルター１を製造する場合、まずプラスチック基材２上にブラックマトリック３を形成する。この場合プラスチック基材２上に感光性材料を塗布し、感光性材料を露光した後、現像液を感光性材料に供給する。そしてリンス液によりプラスチック基材を洗浄する。このことによりプラスチック基材２上にブラックマトリック３を形成することができる。
【００２４】
同様にしてプラスチック基材２上に、順次赤色画素４、緑色画素５および青色画素６を形成することができる。
【００２５】
本発明による基材処理装置および基材処理方法は、上述したプラスチック基材上の感光性材料を現像液で現像し、リンス液を用いてリンスするものである。あるいはカラーフィルターの製造工程において、本発明による基材処理装置および基材処理方法を用いて、プラスチック基材上の配線層に対してエッチング処理を行ってもよい。
【００２６】
以下、本発明による基材処理装置および基材処理方法について述べる。
【００２７】
図１乃至図４に示すように、基材処理装置１０は連続的に供給される帯状のカラーフィルター用プラスチック基材２を受け入れるとともに、プラスチック基材２に対して、例えば現像液等の第１液Ａを供給する第１液供給ノズル（第１液供給部）１３を含む第１液室１１と、第１液室１１内で第１液Ａが供給されたプラスチック基材２を受け入れるとともに、プラスチック基材２に対して、例えば水等のリンス液（第２液）Ｂを供給する第２液供給ノズル（第１液供給部）１３を含む第２液室２１とを備えている。
【００２８】
この場合、第１液室１１内に供給されるプラスチック基材２上には予め感光性材料が塗布されており、第１液室１１の前工程において感光性材料に対して所望パターンを有するマスクを用いて露光処理が施されている。
【００２９】
次に第１液室１１および第２液室２１について詳述する。
【００３０】
第１液室１１と第２液室２１は、略同一の構造をもっているため、ここでは、第１液室１１について説明する。
【００３１】
図３および図４に示すように、第１液室１１は、密閉タイプの第１液室本体１１Ａと、第１液室本体１１Ａに配置されプラスチック基材２を搬送する複数の第１搬送ローラ１２ａとを有している。また第１液室本体１１Ａ内上部には上述したように、第１液Ａをプラスチック基材２に対して供給する複数の第１液供給ノズル１３が配置され、各液供給ノズル１３は第１液供給ヘッダー１４に取り付けられている。
【００３２】
また第１液室本体１１Ａには、プラスチック基材２が供給される供給口１１ａと、プラスチック基材２が排出される排出口１１ｂとが設けられている。
【００３３】
さらに第１液室本体１１Ａの底部には、第１液室本体１１Ａからの第１液Ａを受け、この第１液Ａを貯留する第１液タンク１６が接続されており、第１液タンク１６内の第１液Ａはポンプ１７を有する送りライン１８を介して第１液供給ヘッダー１４に送られる。そして第１液供給ヘッダー１４に取付けられた各第１液供給ノズル１３から第１液Ａがプラスチック基材２上に供給される。
【００３４】
なお、第１液室１１の第１液室本体１１Ａおよび第２液室２１の第２液室本体２１Ａは、いずれも覆いカバー１０Ａにより一体として覆われている。
【００３５】
また第１液室１１内において、プラスチック基材２は第１搬送ローラ１２ａによって第１処理位置Ｐ１をとるとともに、水平方向に搬送され、この間プラスチック基材２に対して第１液供給ノズル１３から第１液Ａが供給される。
【００３６】
同様に第２液室２１内において、プラスチック基材２は第２搬送ローラ２２ａによって第２処理位置Ｐ２をとるとともに、水平方向に搬送され、この間プラスチック基材２に対して第２液供給ノズルから第２液Ｂが供給される。この場合、第１液室１１内の第１処理位置Ｐ１と、第２液室２１内の第２処理位置Ｐ２は同一の高さをもつが、この第１処理位置Ｐ１と第２処理位置Ｐ２は互いに異なっていてもよい。
【００３７】
また第１液室１１の第１液室本体１１Ａと第２液室２１の第２液室本体２１Ａは、水平方向に並んで配置されている。
【００３８】
また第１液室１１の第１液室本体１１Ａと第２液室２１の第２液室本体２１Ａとの間に、第１液室本体２１Ａから排出されたプラスチック基材２を第１処理位置Ｐ１および第２処理位置Ｐ２より高い上昇位置Ｐ３までもってきて、プラスチック基材２上の第１液Ａを第１液室１１の第１液室本体１１Ａ側へ戻す段差形成エリア３０が設けられている。
【００３９】
そして段差形成エリア３０内の上昇位置Ｐ３をとるプラスチック基材２は、その後降下して第２液室２１の第２液室本体２１Ａ側へ送られ、第２処理位置Ｐ２をとるようになっている。
【００４０】
すなわち、図１および図２に示すように、第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内にはプラスチック基材２を第１処理位置Ｐ１において搬送する複数の第１搬送ローラ１２ａが設けられ、出口側の第１搬送ローラ１２ａ上に、この第１搬送ローラ１２ａとともにプラスチック基材２を狭持する押えローラ１２ｂが設けられている。そして出口側の第１搬送ローラ１２ａおよび押えローラ１２ｂの下流側であって押えローラ１２ｂより上方の第１液室本体１１Ａ内にプラスチック基材２を上昇位置Ｐ３まで上昇させる上昇ローラ３１が設けられている。
【００４１】
また第２液室２１は、密閉タイプの第２液室本体２１Ａと、第２液室本体２１Ａに配置されプラスチック基材２を搬送する複数の第２搬送ローラ２２ａとを有している。また第２液室本体２１Ａ内上部には上述したように、第２液Ｂをプラスチック基材２に対して供給する複数の第２液供給ノズル２３が配置され、各液供給ノズル２３は第２液供給ヘッダー２４に取り付けられている。
【００４２】
第２液室２１のその他の構成は、第１液室１１の構成と略同一である。
【００４３】
また図１および図２に示すように、第２液室２１の第２液室本体２１Ａ内にはプラスチック基材２を第２処理位置Ｐ２において搬送する複数の第２搬送ローラ２２ａが設けられ、入口側の第２搬送ローラ２２ａ上にこの第２搬送ローラ２２ａとともにプラスチック基材２を狭持する押えローラ２２ｂが設けられている。そして入口側の第２搬送ローラ２２ａおよび押えローラ２２ｂの上流側であって押えローラ２２ｂより上方の第２液室本体２１Ａ内にプラスチック基材２を上昇位置Ｐ３に保つ上昇ローラ３２が設けられている。
【００４４】
このように第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内に上昇ローラ３１を設け、第２液室２１の第２液室本体２１Ａ内に上昇ローラ３２を設けることにより、第１液室本体１１Ａと第２液室本体２１Ａとの間の段差形成エリア３０においてプラスチック基材２を第１処理位置Ｐ１および第２処理位置Ｐ２のいずれもよりも高い上昇位置Ｐ３までもってくることができる。このため、第１プラスチック基材２上の第１液Ａを第１液室１１の第１液室本体１１Ａ側へ戻すことができる。
【００４５】
同様にして第２液室２１の第２液室本体２１Ａ内において供給された第２液Ｂが、プラスチック基材２を伝って第１液室１１の第１液室本体１１Ａ側へ移行することもない。
【００４６】
次のような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００４７】
まず前工程においてプラスチック基材２上に感光性材料が塗布され、この感光性材料に対して所望パターンを有するマスクを用いて露光処理が行われる。
【００４８】
次にプラスチック基材２が第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内に供給口１１ａを介して供給され、第１液室本体１１Ａ内においてプラスチック基材２は第１搬送ローラ１２ａにより第１処理位置Ｐ１をとって搬送される。この間、第１液室本体１１Ａ内において、プラスチック基材２に対して第１液供給ノズル１３から現像液（第１液）Ａが供給され、プラスチック基材２上の感光性材料が現像される。
【００４９】
次に第１液室本体１１Ａ内のプラスチック基材２は、出口側の第１搬送ローラ１２ａと押えローラ１２ｂとの間で狭持された後、上昇ローラ３１により第１液室本体１１Ａ内で上昇位置Ｐ３まで上昇する。
【００５０】
第１液室本体１１Ａにおいてプラスチック基材２が第１処理位置Ｐ１から上昇位置Ｐ３まで上昇する間、プラスチック基材２上の第１液Ａを下流側に戻し、このことによりプラスチック基材２上の第１液Ａを効果的に水切り（あるいは液切りともいう）することができる。
【００５１】
次に第１液室本体１１Ａ内のプラスチック基材２は、排出口１１ｂから段差形成エリア３０側へ送られ、この段差形成エリア３０内において上昇位置Ｐ３を維持する。
【００５２】
その後、プラスチック基材２は段差形成エリア３０から第２液室２１の第２液室本体２１Ａ内に供給され、第２液室本体２１Ａ内の上昇ローラ３２を通った後、第２液室本体２１Ａ内の搬送ローラ２２ａおよび押えローラ２２ｂにより狭持されて第２処理位置Ｐ２をとる。
【００５３】
第２液室本体２１Ａ内において、プラスチック基材２は第２搬送ローラ２２ａにより第２処理位置Ｐ２をとって搬送される。この間、第２液室２１Ａ内において、プラスチック基材２に対して第２液供給ノズル２３から水等のリンス液（第２液）Ｂが供給され、プラスチック基材２上に不要な感光性材料等の不純物が洗浄される。
【００５４】
この場合、第２液室本体２１Ａ内において、プラスチック基材２は第２処理位置Ｐ２をとるので、第２液室本体２１Ａ内でプラスチック基材２に対して供給された第２液Ｂがプラスチック基材２を伝って第１液室本体１１Ａ側へ移行することもない。
【００５５】
以上のように本実施の形態によれば、第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内で第１処理位置Ｐ１をとって搬送されたプラスチック基材２に対して第１液Ａを供給する。その後プラスチック基材２を第１液室本体１１Ａ内で第１処理位置Ｐ１より高い上昇位置Ｐ３までもってくることにより、プラスチック基材２上に残る第１液Ａを下流側に戻し、プラスチック基材２上の第１液Ａを効果的に水切り（あるいは液切りともいう）することができる。
なお、上記実施の形態において、カラーフィルター用基材として、プラスチック基材２を用いた例を示したが、これに限らず、プラスチック基材２の代わりにガラス基材を用いても良い。
このようなガラス基材としては、例えば、無アルカリガラス（日本電気硝子製  ＯＡ−１０Ｇ）のような材料を用いることができる。
【００５６】
第２の実施の形態
本発明において、第１液室１１内で第１液Ａが供給された基材２を段差形成エリアへ送り、この段差形成エリア３０内で基材２を第１液室１１の第１処理位置Ｐ１より高い上昇位置Ｐ３までもってくることができ、基材２上の第１液Ａを十分液切りした後、第２液室２１へ送り、第２液室２１内において基材２上に第２液Ｂを供給することができれば、上記第１の実施の形態に限られない。次に図６により本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００５７】
図６に示す第２の実施の形態は、第１液室本体１１Ａおよび第２液室本体２１Ａの各々に上昇ローラ３１、３２を設ける代わりに、第１液室本体１１Ａと第２液室本体２１Ａとの間の段差形成エリア３０内に、第１液室本体１１Ａおよび第２液室本２１Ａの外方に位置する上昇ローラ３３を設けたものであり、他の構成は図１乃至図５に示す第１の実施の形態と略同一である。
【００５８】
図６に示す第２の実施の形態において、図１乃至図５に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５９】
図６に示す第２の実施の形態において、まず前工程においてプラスチック基材２上に感光性材料が塗布され、この感光性材料に対して所望パターンを有するマスクを用いて露光処理が行われる。
【００６０】
次にプラスチック基材２が第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内に供給口１１ａを介して供給され、第１液室本体１１Ａ内においてプラスチック基材２は第１搬送ローラ１２ａにより第１処理位置Ｐ１をとって搬送される。この間、第１液室本体１１Ａ内において、プラスチック基材２に対して第１液供給ノズル１３から現像液（第１液）Ａが供給され、プラスチック基材２上の感光性材料が現像される。
【００６１】
次に第１液室本体１１Ａ内のプラスチック基材２は、出口側の第１搬送ローラ１２ａと押えローラ１２ｂとの間で狭持された後、排出口１１ｂから段差形成エリア３０側へ送られ、上昇ローラ３３により段差形成エリア３０において上昇位置Ｐ３まで上昇する。
【００６２】
第１液室本体１１Ａにおいて第１処理位置Ｐ１をとるプラスチック基材２が段差形成エリア３０内において上昇位置Ｐ３まで上昇する間、プラスチック基材２上の第１液Ａを下流側に戻し、このことによりプラスチック基材２上の第１液Ａを効果的に水切りすることができる。
【００６３】
その後、プラスチック基材２は段差形成エリア３０から第２液室２１の第２液室本体２１Ａ内に供給され、第２液室本体２１Ａ内の搬送ローラ２２ａおよび押えローラ２２ｂにより狭持されて第２処理位置Ｐ２をとる。
【００６４】
第２液室本体２１Ａ内において、プラスチック基材２は第２搬送ローラ２２ａにより第２処理位置Ｐ２をとって搬送される。この間、第２液室２１Ａ内において、プラスチック基材２に対して第２液供給ノズル２３から水等のリンス液（第２液）Ｂが供給され、プラスチック基材２上に不要な感光性材料等の不純物が洗浄される。
【００６５】
この場合、第２液室本体２１Ａ内において、プラスチック基材２は第２処理位置Ｐ２をとるので、第２液室本体２１Ａ内でプラスチック基材２に対して供給された第２液Ｂがプラスチック基材２を伝って第１液室本体１１Ａ側へ移行することもない。
【００６６】
以上のように本実施の形態によれば、第１液室１１の第１液室本体１１Ａ内で第１処理位置Ｐ１をとって搬送されたプラスチック基材２に対して第１液Ａを供給する。その後プラスチック基材２を段差形成エリア３０内において第１処理位置Ｐ１より高い上昇位置Ｐ３までもってくることにより、プラスチック基材２上に残る第１液Ａを下流側に戻し、プラスチック基材２上の第１液Ａを効果的に水切りすることができる。また、上記第１の実施の形態に比べて、段差形成エリア３０の構造が簡素化されており、そのため設置スペースの省スペース化を図ることができる。
【００６７】
なお、上記各実施例において、第１液Ａとして現像液を用い、第２液Ｂとしてリンス液を用いた例を示したが、これに限らず基材処理装置をプラスチック基材２上に形成された配線層を感光性材料をマスクとしてエッチングするエッチング処理装置として用いてもよい。この場合第１液Ａとしてエッチング液を用いることができ、第２液Ｂとして不要な配線層を除去するリンス液を用いることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１０  基材処理装置
１０Ａ  覆いカバー
１１  第１液室
１１Ａ  第１液室本体
１２ａ  第１搬送ローラ
１２ｂ  押えローラ
１３  第１液供給ノズル
１４  第１液供給ヘッダー
１６  第１液タンク
１７  ポンプ
１８  送りライン
２１  第２液室
２１Ａ  第２液室本体
２２ａ  第１搬送ローラ
２２ｂ  押えローラ
２３  第１液供給ノズル
２４  第１液供給ヘッダー
３０  段差形成エリア
３１、３２、３３  上昇ローラ
【図１】
0005704451.tif 000002
【図２】
0005704451.tif 000003
【図３】
0005704451.tif 000004
【図４】
0005704451.tif 000005
【図５】
0005704451.tif 000006
【図６】
0005704451.tif 000007