(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離し、剥離した前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記被着体を非貼付面側から支持する支持手段と、
前記原反を繰り出して前記接着シートを繰出位置に配置する繰出手段と、
前記繰り出される原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記繰り出された接着シートと前記剥離手段との相対位置を検出する検出手段と、
前記支持手段における前記被着体の支持位置を調節する調節手段と、
前記接着シートを押圧して前記被着体の貼付面に貼付する押圧手段とを備え、
前記検出手段は、前記剥離手段に設けられた基準標識と前記接着シートに設けられた個別標識とに基づいて前記相対位置を検出し、検出した相対位置から前記接着シートの繰出位置を算出し、
前記調節手段は、前記接着シートの繰出位置に基づいて前記被着体の支持位置を調節することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記被着体を前記支持手段に搬送する搬送手段をさらに備え、この搬送手段は、前記調節した支持位置に基づいて位置決めしつつ前記被着体を前記支持手段に受け渡すことを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記接着シートは、帯状に形成され、前記被着体に貼付した前記接着シートを当該被着体の形状に応じて切断する切断手段をさらに備え、この切断手段は、前記調節した支持位置に基づいて前記接着シートを切断可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記剥離手段に設けられた基準標識は、前記原反の繰出方向に直交する方向に互いに離隔して設けられた第１基準標識および第２基準標識を少なくとも有し、
前記接着シートに設けられた個別標識は、前記原反の繰出方向に直交する方向に互いに離隔して設けられた第１個別標識および第２個別標識と、これら第１および第２の個別標識の中間にて繰出方向にずれて設けられた第３個別標識とを有して構成されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離し、剥離した前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
前記原反を繰り出して前記接着シートを繰出位置に配置するとともに、繰り出される原反の剥離シートから前記接着シートを剥離手段により剥離し、
前記剥離手段に設けた基準標識と前記接着シートに設けた個別標識とに基づいて前記繰り出した接着シートと前記剥離手段との相対位置を検出し、
検出した相対位置から前記接着シートの繰出位置を算出し、
前記接着シートの繰出位置に基づいて調節した支持位置にて前記被着体を非貼付面側から支持し、
支持した被着体の貼付面に前記接着シートを押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯状の剥離シート上に仮着された枚葉の接着シート（粘着テープや粘着フィルム）を原反から剥離するとともに、剥離した接着シートを半導体ウェハ等の被着体に貼付する貼付装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載の貼付装置は、繰り出された原反から剥離シートを折り曲げる剥離手段（ガイド部材）を有し、この剥離手段で剥離シートから剥離した接着シートを繰出方向前方に送り出し、この送り出しと同期して被着体を移動させつつ押圧ローラで接着シートを被着体に押圧することで、接着シートを被着体に貼付するものである。また、この貼付装置には、剥離手段の所定位置に接着シートが到達したことを検知して原反の繰り出しを停止させる検知手段（光センサ）と、剥離手段上に接着シートの位置ずれを検出するずれ検出手段（ＣＣＤカメラ）とが設けられ、検出した位置ずれに応じて被着体との相対位置を補正してから接着シートを貼付するように構成されている。
【０００３】
一方、剥離シートから剥離した帯状の接着シートを被着体の貼付面に対向させて配置し、配置した接着シートを被着体に押圧して貼付してから被着体の外縁に沿って接着シートを切断し、切断した接着シートの不要部分を回収する貼付装置も利用されている（例えば、特許文献２参照）。このような帯状の接着シートを貼付後に切断する場合には、前記特許文献１記載の枚葉の接着シートのように被着体との位置ずれを厳密に補正する必要がないことから、前述したような検知手段等が設けられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１９５５２７号公報
【特許文献２】特開２００７−２２７５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献２に記載の貼付装置のように、貼付後に接着シートを切断するものであっても、接着シートの特徴や特性によっては、特定部位を被着体の特定の部位に合致させて貼付することが要求される場合があり、その場合には、接着シートの特定部位を検知するために、特許文献１に記載されたような検知手段や検出手段を用いることが考えられる。しかしながら、特許文献１記載の検知手段等は、剥離手段における停止前または停止中の接着シートの外縁を検知するものであるため、繰り出しを再開してから被着体に貼付するまでに生じる位置ずれを検出することができない。このため、特許文献１記載の検知手段や検出手段を特許文献２に記載の貼付装置に利用したとしても、貼付位置精度の向上が期待できない上、多数のセンサやカメラ等が必要になることから、構造の複雑化や制御の煩雑さを招いてしまうという不都合も生じる。
【０００６】
本発明の目的は、簡便な構造かつ制御によって貼付位置精度を向上させることができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離し、剥離した前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記被着体を非貼付面側から支持する支持手段と、前記原反を繰り出して前記接着シートを繰出位置に配置する繰出手段と、前記繰り出される原反の剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記繰り出された接着シートと前記剥離手段との相対位置を検出する検出手段と、前記支持手段における前記被着体の支持位置を調節する調節手段と、前記接着シートを押圧して前記被着体の貼付面に貼付する押圧手段とを備え、前記検出手段は、前記剥離手段に設けられた基準標識と前記接着シートに設けられた個別標識とに基づいて前記相対位置を検出し、検出した相対位置から前記接着シートの繰出位置を算出し、前記調節手段は、前記接着シートの繰出位置に基づいて前記被着体の支持位置を調節する、という構成を採用している。
【０００８】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記被着体を前記支持手段に搬送する搬送手段をさらに備え、この搬送手段は、前記調節した支持位置に基づいて位置決めしつつ前記被着体を前記支持手段に受け渡すことが好ましい。
さらに、前記接着シートは、帯状に形成され、前記被着体に貼付した前記接着シートを当該被着体の形状に応じて切断する切断手段をさらに備え、この切断手段は、前記調節した支持位置に基づいて前記接着シートを切断可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記剥離手段に設けられた基準標識は、前記原反の繰出方向に直交する方向に互いに離隔して設けられた第１基準標識および第２基準標識を少なくとも有し、前記接着シートに設けられた個別標識は、前記原反の繰出方向に直交する方向に互いに離隔して設けられた第１個別標識および第２個別標識と、これら第１および第２の個別標識の中間にて繰出方向にずれて設けられた第３個別標識とを有して構成されることが好ましい。
【０００９】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着剤層を有する接着シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反から前記接着シートを剥離し、剥離した前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、前記原反を繰り出して前記接着シートを繰出位置に配置するとともに、繰り出される原反の剥離シートから前記接着シートを剥離手段により剥離し、前記剥離手段に設けた基準標識と前記接着シートに設けた個別標識とに基づいて前記繰り出した接着シートと前記剥離手段との相対位置を検出し、検出した相対位置から前記接着シートの繰出位置を算出し、前記接着シートの繰出位置に基づいて調節した支持位置にて前記被着体を非貼付面側から支持し、支持した被着体の貼付面に前記接着シートを押圧して貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような本発明によれば、検出手段によって、剥離手段に設けた基準標識と接着シートに設けた個別標識とに基づいて剥離手段と接着シートとの相対位置を検出し、この相対位置から接着シートの繰出位置を算出することで、繰出位置の算出後に再度の繰り出し動作がないことから、再繰り出しによる位置ずれを防止することができ、貼付位置精度を向上させることができる。また、剥離手段の基準標識と接着シートの個別標識とを検出手段で検出することで、例えば、剥離手段の近傍に設けた１つのセンサや撮像手段で検出手段を構成することができる。従って、装置を簡便な構造にすることができるとともに、検出位置の位置合わせや補正なども不要になることから、検出および調節の動作制御を簡単化して、貼付位置精度のさらなる向上を図ることができる。
【００１１】
また、搬送手段を設け、この搬送手段が位置決めしつつ被着体を支持手段に受け渡すようにすれば、搬送しながら位置調節をして受け渡すことが可能となり、支持手段の位置調節が完了した後に被着体を受け渡したり、被着体の受け渡し動作が完了した後に支持手段の位置調節をしたりすることに比べ、処理速度を速めることができるとともに、搬送手段は、通常、被着体を搬送する駆動手段を有していることから、駆動手段に支持位置を入力して指令するような制御を付加すればよいだけなので、装置の複雑化や大型化を抑制することができる。
さらに、被着体に貼付した前記接着シートを当該被着体の形状に応じて切断する切断手段は、前述のように搬送手段に調節後の支持位置が入力されているため、このような既知の支持位置に従って切断位置を制御すればよいだけなので、装置の構造および動作制御をさらに簡単化することができる。
また、剥離手段の基準標識を第１および第２の基準標識からなる少なくとも２つで構成し、接着シートの個別標識を第１〜第３の個別標識からなり同一直線上に位置しない少なくとも３つで構成することで、接着シートに平行な二次元平面内（直交２方向および回転方向）の位置ずれを補正し、貼付位置精度を一層向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】図１のシート貼付装置における剥離手段および検出手段の斜視図。
【図４】接着シートの位置検出手順を説明する図。
【図５】図４とは異なる位置検出手順を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
図１において、シート貼付装置１は、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する接着シートＳを半導体ウェハＷ（以下、単にウェハＷという場合がある）に貼付する貼付装置である。接着シートＳは、接着剤層ＡＤを介して帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反Ｒとして準備され、この原反Ｒから剥離シートＲＬと接着シートＳとが剥離され、剥離された接着シートＳがウェハＷに貼付されるとともに、ウェハＷの外縁に沿って切断されてから、外側の不要シートＳ’が回収されるようになっている。一方、被着体であるウェハＷは、図２に示すように、接着シートＳを貼付する表面（貼付面）ＷＡに複数の電極等のバンプＷＢと、バンプＷＢが形成されないフラットな外周部ＷＣとを有するバンプウェハである。そして、接着シートＳの接着剤層ＡＤには、バンプＷＢが形成された領域に対応した円形の開口部Ｏが形成され、接着剤層ＡＤは、ウェハＷのバンプＷＢ部分には貼付されずに、外周部ＷＣに貼付されるようになっている。
【００１４】
シート貼付装置１は、非貼付面である裏面ＷＤ側からウェハＷを支持する支持手段２と、原反Ｒを繰り出してウェハＷの表面ＷＡに接着シートＳを対向させて配置する繰出手段３と、繰り出した原反Ｒから接着シートＳと剥離シートＲＬとを剥離する剥離手段４と、繰り出した接着シートＳと剥離手段４との相対位置を検出する検出手段５と、対向配置された接着シートＳをウェハＷの表面ＷＡに押圧して貼付する押圧手段６とを備えて構成されている。さらに、シート貼付装置１は、ウェハＷを支持手段２に搬送する搬送手段７と、この搬送手段７に対してウェハＷを位置決めして受け渡す図示しないアライメント装置と、ウェハＷに貼付された接着シートＳを当該ウェハＷの外縁に沿って切断する切断手段９と、以上各部の動作を制御する図示しない制御手段とを備えて構成されている。
【００１５】
支持手段２は、図示しない吸引口を介して裏面ＷＤ側からウェハＷを吸着保持するとともに、ウェハＷと略同一の外形でかつ平坦な支持面を有する円盤形状のテーブル２１と、内部に円形の凹部を有してテーブル２１を支持するともにテーブル２１の支持面と平行な平坦面２２Ａを有する外周テーブル２２と、外周テーブル２２の凹部底面に固定されるとともに出力軸２３Ａがテーブル２１下面に固定された駆動機器としての直動モータ２３とを備えている。なお、平坦面２２Ａには、貼付された接着シートＳを剥離可能なように、フッ素樹脂等が積層されて不接着処理が施されている。
【００１６】
繰出手段３は、支持手段２の左側である接着シートＳの供給側に設けられる供給側フレーム３Ａと、この供給側フレーム３Ａと支持手段２との間に設けられて剥離手段４を移動可能に支持する中間フレーム３Ｂと、支持手段２の右側である回収側から支持手段２に重なる位置まで左右方向に移動可能に設けられた回収側フレーム３Ｃとを備えて構成されている。中間フレーム３Ｂには、駆動機器としての直動モータ３Ｄのスライダ３Ｈを介して斜め上下方向に移動可能に支持される移動フレーム３Ｅが設けられ、この移動フレーム３Ｅに剥離手段４が固定されている。回収側フレーム３Ｃは、駆動機器としての直動モータ３Ｆのスライダ３Ｇを介して左右方向に移動可能に支持されている。
【００１７】
供給側フレーム３Ａには、ロール状に巻回された原反Ｒを支持する支持ローラ３１と、支持ローラ３１に隣り合って原反Ｒを案内するガイドローラ３１Ａと、駆動機器としての回動モータ３２Ａで駆動されるとともに剥離手段４で折り返された剥離シートＲＬを回収する駆動ローラ３２と、この駆動ローラ３２との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３２Ｂと、図示しない駆動機器で駆動され剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３３とが設けられている。
【００１８】
移動フレーム３Ｅには、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ３４Ａ，３４Ｂと、剥離手段４で折り返された剥離シートＲＬを案内する複数のガイドローラ３５Ａ，３５Ｂと、ガイドローラ３４Ａ，３５Ｂとの間に原反Ｒや剥離シートＲＬを挟み込み、繰出しを抑制する一対の駆動機器としての直動モータ３６とが設けられている。ガイドローラ３４Ｂは、接着シートＳの貼付動作による張力を測定するロードセル等の張力検知手段３４Ｃを介して移動フレーム３Ｅに支持されている。
【００１９】
回収側フレーム３Ｃには、駆動機器としての回動モータ３７Ａで駆動されて不要シートＳ’を回収する駆動ローラ３７と、不要シートＳ’を巻き取って回収する回収ローラ３８と、不要シートＳ’を駆動ローラ３７へ案内するガイドローラ３９とが設けられている。回収ローラ３８は、支持アーム３８Ａを介して回収側フレーム３Ｃに支持され、この支持アーム３８Ａに連結されたバネ３８Ｂによって付勢されることで、駆動ローラ３７との間に挟み込んだ不要シートＳ’を巻き取るように構成されている。
【００２０】
剥離手段４は、移動フレーム３Ｅから右方向に片持ち状に延びた姿勢で支持され、右端側が剥離シートＲＬを折り返す折返縁４２と、図示しない照明手段により接着シートを接着剤層側から透過照明するための開口４３が設けられた剥離板４１を備え、剥離板４１の上面で案内した原反Ｒから剥離シートＲＬをガイドローラ３５Ａに向かって折り返すことで、接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離するように構成されている。
【００２１】
検出手段５は、図示しないフレーム等に支持されて剥離板４１の上方に対向して設けられたＣＣＤカメラ等の撮像装置５１を有して構成されている。この撮像装置５１は、剥離板４１および接着シートＳを上方から撮像し、撮像した画像データを制御手段に出力するように構成されている。そして、検出手段５および制御手段は、剥離板４１に設けられた基準標識ＳＰと接着シートＳに設けられた個別標識ＢＭとを検出し、検出した基準標識ＳＰおよび個別標識ＢＭに基づいて、繰り出した接着シートＳと剥離手段４との相対位置を検出するようになっている。
【００２２】
押圧手段６は、直動モータ３Ｆの図示しないスライダを介して左右方向に移動可能に設けられたフレーム６１と、このフレーム６１に支持されて接着シートＳの基材シートＢＳ側に当接可能な押圧ローラ６２と、押圧ローラ６２を上下動させる駆動機器としての直動モータ６３とを備えて構成されている。なお、押圧ローラ６２は、ゴムや樹脂等で構成された弾性変形可能な部材によって形成されている。
【００２３】
搬送手段７は、駆動機器としての多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１の先端部に着脱可能に設けられた吸着ツール７２とを備えて構成されている。多関節ロボット７１は、６箇所に回転可能な関節を有する所謂６軸ロボットであり、ツール保持チャック７３によって、吸着ツール７２を支持可能に設けられ、当該多関節ロボット７１の作業範囲内において吸着ツール７２を何れの位置、何れの角度にでも変位可能に設けられている。吸着ツール７２は、図示しない複数の吸着孔が設けられた吸着部７２Ａと、ツール保持チャック７３が嵌合される嵌合穴７２Ｂが設けられたフレーム部７２Ｃとを有して構成され、多関節ロボット７１を介して図示しない吸引ポンプ等の吸引手段に接続することでウェハＷを吸着できるようになっている。
【００２４】
切断手段９は、搬送手段７と兼用される多関節ロボット７１と、この多関節ロボット７１のツール保持チャック７３に着脱可能に設けられたカッターツール９１とを備えて構成されている。カッターツール９１は、カッタ刃９１Ａと、ツール保持チャック７３が嵌合される嵌合穴９１Ｂが設けられたフレーム部９１Ｃとを備えて構成されている。
【００２５】
図示しない制御手段は、ＣＰＵなどの演算手段やメモリなどの記憶手段を有したコンピュータからなる制御装置、オペレータの操作や適宜な検出手段に基づいてウェハＷや接着シートＳ等に関する各種情報を制御装置に入力するキーボードや操作パネル等の入力手段などを備えて構成されている。ここで、各種情報としては、ウェハＷの径寸法や厚み寸法、周方向の位置情報、接着シートＳの厚み寸法、接着剤層ＡＤの開口部Ｏの位置情報や寸法情報などが例示できる。なお、それら情報は、適宜な入力手段から制御装置に入力してもよいし、前記検出手段５の撮像装置５１やその他の図示しないセンサ等から制御装置に入力してもよいし、予め制御装置のメモリに記憶されていてもよい。そして、制御装置は、各種情報に応じた制御指令を各部の駆動機器に出力して制御するようになっている。
【００２６】
以上のシート貼付装置１における接着シートＳの繰出位置算出方法について、図３〜図５を参照して説明する。
剥離手段４には、基準標識ＳＰが設けられている。基準標識ＳＰは、図３に示すように、剥離板４１の折返縁４２側端部近傍に設けられた第１基準標識ＳＰ１および第２基準標識ＳＰ２で構成されている。これら第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２は、剥離板４１を上下に貫通する孔で構成され、接着シートＳの繰出方向Ａに直交する直交方向Ｂに沿って互いに離隔して設けられている。そして、検出手段５の撮像装置５１で上方から剥離板４１を撮像して撮像データを制御手段に出力することで、制御手段が画像処理によって第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を識別し、これらを結んだ中間点を仮想基準標識ＳＰ’として制御手段が記憶する。また、予め制御手段に記憶させた基準標識ＳＰ１，ＳＰ２間の既知の距離を基に撮像データの基準標識ＳＰ１，ＳＰ２間の距離を数値化し、ずれ量を数値で出力するための基準を算出する。ここで、本実施形態におけるシート貼付装置１は、貼付動作時に剥離手段４が下降し、貼付動作終了後に元の位置に戻る動作を行うため、剥離手段４が元の位置に戻って停止したときに、原反Ｒが必ずしも一定の位置で停止していない可能性があるので上記の算出方法を貼付動作ごとに行う。なお、第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２は、貫通孔に限らず、凹みや塗装等による印でもよいし、ＬＥＤやレーザー等の光源を剥離板４１に埋め込んだ発光標識などであってもよく、さらに２箇所に限らず３箇所以上で構成されていてもよい。
【００２７】
一方、接着シートＳには、個別標識ＢＭが設けられている。個別標識ＢＭは、図３に示すように、接着剤層ＡＤの隣り合う開口部Ｏ間に設けられた第１個別標識ＢＭ１、第２個別標識ＢＭ２および第３個別標識ＢＭ３で構成されている。これら第１〜第３個別標識ＢＭ１、ＢＭ２，ＢＭ３は、接着剤層ＡＤから剥離シートＲＬの一部にかけて設けられた切り込みで形成されている。また、第１および第２の個別標識ＢＭ１，ＢＭ２は、繰出方向Ａに直交する直交方向Ｂに沿って互いに離隔して設けられ、これらの中間かつ接着シートＳの幅中央における繰出方向Ａの上流側に略半分だけずれて第３個別標識ＢＭ３が設けられている。そして、繰り出された状態の接着シートＳを検出手段５の撮像装置５１で上方から撮像して撮像データを制御手段に出力することで、制御手段が画像処理によって第１〜第３個別標識ＢＭ１、ＢＭ２，ＢＭ３を識別し、第１および第２の個別標識ＢＭ１，ＢＭ２を結んだ直線上で第３個別標識ＢＭ３と接する点を仮想個別標識ＢＭ’として制御手段が記憶する。第３個別標識ＢＭ３は仮想個別標識ＢＭ’を算出する手段であるとともに、折返縁４２で折り返された剥離シートＲＬに形成された個別標識ＢＭを誤って識別しないために設けられており、剥離シートＲＬが繰出方向Ａとは反対方向に折り返されることにより、第３個別標識ＢＭ３は接着シートＳの繰出方向Ａの下流側に略半分だけずれた状態となり、その状態を検出手段５が撮像しても繰り出し動作を停止しないよう制御されている。なお、第１〜第３個別標識ＢＭ１、ＢＭ２，ＢＭ３は、接着剤層ＡＤから剥離シートＲＬの一部にかけて形成した切り込みに限らず、基材シートＢＳや接着剤層ＡＤに設けた塗装等による印で構成されてもよい。
【００２８】
また、開口部Ｏの中心が接着シートＳの繰出位置の算出点となる仮想中心点ＤＣであり、制御手段は、以下のように接着シートＳの繰出位置（仮想中心点ＤＣ）を算出する。
先ず、制御手段は、１枚のウェハＷに接着シートＳを貼付する都度かつ接着シートＳを繰り出す前の時点で、前述のように検出手段５を用いて剥離手段４の第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を識別するとともに、基準標識ＳＰ１，ＳＰ２間距離および仮想基準標識ＳＰ’を算出する。次に、図４、図５に示すように、接着シートＳが繰り出された時点で、前述のように検出手段５を用いて接着シートＳの第１〜第３の個別標識ＢＭ１、ＢＭ２，ＢＭ３を識別するとともに、仮想個別標識ＢＭ’を算出する。このように算出した仮想基準標識ＳＰ’と仮想個別標識ＢＭ’との繰出方向Ａおよび直交方向Ｂに沿ったずれ量に基づき、制御手段は、剥離手段４と接着シートＳとの相対位置を検出する。この際、図５に示すように、接着シートＳが繰出方向Ａに傾斜して繰り出された場合には、第１および第２の個別標識ＢＭ１，ＢＭ２を結んだ直線と第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を結んだ直線との傾きθを算出し、この傾きθに基づき、制御手段は、剥離手段４と接着シートＳとの相対回転角を検出する。以上のように剥離手段４と接着シートＳとの相対位置および相対回転角が検出できれば、仮想個別標識ＢＭ’から仮想中心点ＤＣまでの既知の距離に基づき、制御手段は、仮想基準標識ＳＰ’に対する仮想中心点ＤＣの位置すなわち接着シートＳの繰出位置を算出する。
【００２９】
以下、シート貼付装置１におけるウェハＷに対する接着シートＳの貼付動作を説明する。
先ず、制御手段からの指令に基づき、繰出手段３は、回動モータ３２Ａ，３７Ａで駆動ローラ３２，３７を駆動して原反Ｒを所定量だけ繰り出してから、回動モータ３２Ａ，３７Ａを停止するとともに直動モータ３６で原反Ｒおよび剥離シートＲＬの移動を拘束し、接着シートＳを図１に示す貼付待機位置にて待機させる。この待機状態において、制御手段は、前述した繰出位置算出手順を実行して接着シートＳと剥離手段４との相対位置（ずれ量）を検出し、接着シートＳの繰出位置（仮想中心点ＤＣ）を算出しておく。
【００３０】
次に、制御手段は、繰出位置算出手順で算出した接着シートＳの繰出位置および図示しないアライメント装置におけるウェハＷの中心Ｗ１に基づく搬送指令を搬送手段７に出力する。この搬送指令を受けた搬送手段７は、多関節ロボット７１を駆動して、ツール保持チャック７３に取り付けた吸着ツール７２によって図示しないアライメント装置で位置決めされたウェハＷを吸着保持する。さらに、搬送手段７は、吸着保持したウェハＷを支持手段２に向かって搬送し、ウェハＷの中心Ｗ１が接着シートＳの仮想中心点ＤＣと合致するように、テーブル２１上の適宜な支持位置に載置してウェハＷを支持手段２に受け渡す。具体的には、図２に示すように、接着シートＳの仮想中心点ＤＣが繰出方向Ａの上流側（図中左側）にずれていた場合には、そのずれ量だけテーブル２１の中心ＴＣよりも図中左側に偏心した支持位置にウェハＷの中心Ｗ１が位置するようにウェハＷを受け渡す。すなわち、本発明の調節手段は、搬送手段７によって実現され、接着シートＳの仮想中心点ＤＣとウェハＷの中心Ｗ１とが合致するように支持手段２にウェハＷを受け渡すことで、接着シートＳの繰出位置に基づいてウェハＷの支持位置を調節するように構成されている。その後、支持手段２は、テーブル２１の支持面でウェハＷを吸引支持するとともに、ウェハＷの表面ＷＡと外周テーブル２２の平坦面２２Ａとが同一平面内に位置するように、直動モータ２３を駆動してテーブル２１を上昇または下降させる。
【００３１】
次に、図１に示すように、支持手段２の外周テーブル２２右側端部に直動モータ３Ｆが押圧手段６を移動させてから、直動モータ６３を駆動して押圧ローラ６２を下降させ、接着シートＳの接着剤層ＡＤを平坦面２２Ａに押圧する。次に、押圧手段６を左方向に移動させ、接着シートＳ上に押圧ローラ６２を転動させることで、図２に示すように、平坦面２２ＡおよびウェハＷの外周部ＷＣに順次接着剤層ＡＤ面を押圧して貼付する。この際、ガイドローラ３４Ｂに接着シートＳに張力が付与されるので、適宜な張力を維持するように張力検知装置３４Ｃで張力を検知しながら制御手段を介して直動モータ３Ｄを駆動して移動フレーム３Ｅおよび剥離手段４を下降させる。押圧手段６が外周テーブル２２の左側端部まで移動して接着剤層ＡＤの貼付をしている間に、制御手段は搬送手段７に指令を出力し、吸着ツール７２をカッターツール９１に取り替えさせ、切断手段９を構成する。切断手段９は、制御手段から搬送手段７に出力された搬送指令に基づくウェハＷの外縁に対して、多関節ロボット７１を駆動してカッタ刃９１Ａを接着シートＳに突き刺すとともに、ウェハＷの外縁に沿って移動させて接着シートＳを切断し、切断が完了したらカッタ刃９１Ａを退避させる。そして、搬送手段７は、多関節ロボット７１を駆動して、カッターツール９１を吸着ツール７２に取り替えるとともに、接着シートＳを貼付したウェハＷを吸着ツール７２で吸着保持して支持手段２から次工程に搬出する。
【００３２】
次に、繰出手段３は、直動モータ３Ｆを駆動して回収側フレーム３Ｃを左方向に移動させつつ、回動モータ３７Ａで駆動ローラ３７を駆動して回収ローラ３８に不要シートＳ’を巻き取り、外周テーブル２２の平坦面２２Ａから不要シートＳ’を剥離して回収する。回収側フレーム３Ｃが外周テーブル２２の左側端部まで移動して不要シートＳ’の回収が完了したら、繰出手段３は、回動モータ３７Ａを停止するとともに、直動モータ３６で原反Ｒおよび剥離シートＲＬの拘束を解除してから、回動モータ３２Ａ，３７Ａで駆動ローラ３２，３７を駆動して原反Ｒを繰り出しつつ、直動モータ３Ｄを駆動して移動フレーム３Ｅおよび剥離手段４を上昇させるとともに、直動モータ６３を駆動して押圧ローラ６２を上昇させる。そして、直動モータ３Ｆを駆動して押圧手段６および回収側フレーム３Ｃを右方向に移動させることで、次回貼付する接着シートＳの未使用部分を引きだして支持手段２の上方に対向配置し、以降上述同様の動作を繰り返す。
【００３３】
本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、剥離手段４に設けた基準標識ＳＰと接着シートＳに設けた個別標識ＢＭとに基づいて、剥離手段４に対する繰り出された接着シートＳの相対位置および相対回転角を検出するとともに、これらに基づいて接着シートＳの繰出位置（仮想中心点ＤＣの位置）を算出し、この繰出位置に中心Ｗ１が合致するようにウェハＷを支持手段２に受け渡すことで、接着シートＳとウェハＷとの位置ずれを防止することができ、貼付位置精度を向上させることができる。また、剥離手段４の近傍に設けた検出手段５によって基準標識ＳＰおよび個別標識ＢＭを検出することで、複数のセンサ等を各部に配置しなくても接着シートＳの繰出位置が算出できることから、シート貼付装置１の構造を簡素化することができるとともに、検出位置間の位置合わせや補正なども不要になることから、検出や繰出位置算出の動作制御を簡単化することができる。
【００３４】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は前記記載で開示されているが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され且つ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状などの詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は本発明に含まれるものである。
【００３５】
例えば、前記実施形態のシート貼付装置１では、接着シートＳとして帯状の基材シートＢＳに開口部Ｏを有した接着剤層ＡＤが設けられたものを用い、ウェハＷに貼付した後に接着シートＳを切断手段９で切断する構成を採用したが、接着シートＳとしては枚葉のものであってもよい。また、接着シートは基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤを有する２層構造の接着シートＳを例示したが、３層以上の接着シートＳであってよいし、例えば、ダイアタッチフィルムのような接着剤層ＡＤだけの１層構造の接着シートＳであってもよい。すなわち、剥離シートＲＬに枚葉の接着シートＳを仮着した原反Ｒを繰り出し、剥離シートＲＬから接着シートＳの一部を剥離手段４で剥離するとともに、剥離した接着シートＳを剥離手段４から片持ち状に突出した繰出位置に配置し、この接着シートＳを被着体に押圧して貼付するような構成であってもよい。この場合でも、前記実施形態のシート貼付装置１と同様に、繰り出した接着シートＳの繰出位置に合致するように支持手段における被着体の支持位置を調節することで、貼付位置精度を向上させることができる。
【００３６】
また、被着体の支持位置を調節する調節手段としては、前記実施形態のように搬送手段７によって構成されて支持手段２に被着体を受け渡す際に位置決めするものに限らず、支持手段２に設けられていてもよい。具体的には、前記実施形態のテーブル２１を平面内の２方向（Ａ，Ｂ方向）および回転方向（θ方向）に位置調節可能に支持し、ウェハＷを載置した後に制御手段からの指令によってテーブル２１を平面内で移動させるように構成すればよい。また、調節手段をアライメント装置に設けてもよく、この場合には、アライメント装置がウェハＷの位置を制御手段からの指令によって位置調節してから搬送手段に受け渡すようにすればよい。さらに、調節手段としては、搬送手段７や支持手段２、アライメント装置などの各部に分散して設けられていてもよい。
【００３７】
また、検出手段５は、ＣＣＤカメラ等の撮像装置５１に限らず、その他の光学センサを有して構成されてもよいし、機械的に位置を検出可能な装置で構成されてもよい。また、検出手段５は、剥離手段４から離れて設けられるものに限らず、剥離手段４の一部に設けられてもよく、例えば剥離板４１と一体で設けられる接触センサなどを有して構成されてもよい。そして、基準標識や個別標識の形態、材質等としては、検出手段の構成に応じて適宜に選択可能であり、検出手段で検出できるものであれば標識の構成は特に限定されるものではない。
また、前記実施形態における接着シートＳの繰出位置算出手順では、貼付動作時に剥離手段が移動するため、１枚のウェハＷに接着シートＳを貼付する都度ごとに剥離手段４の第１および第２の基準標識ＳＰ１，ＳＰ２を識別することとしたが、剥離手段と検出手段との距離が不変の場合、所定数の貼付ロットごとでもよいし、１巻きの原反Ｒをセットした最初の１度または数度でもよく、さらにはシート貼付装置１のメンテナンス時や剥離手段４のメンテナンス時に基準標識の識別を実施するようにしてもよい。
さらに、本実施形態では透過照明を用いて接着シートに設けた個別標識ＢＭの検出をしたが、落射照明を用いて個別標識ＢＭの検出をしてもよい。落射照明を用いることにより剥離板４１に設けた開口部４３および第３の個別標識ＢＭ３が不要となり、仮想個別標識ＢＭ’は仮想基準標識ＳＰ’と同様に２つの個別標識により算出することもできる。
【００３８】
また、前記実施形態では、被着体として半導体ウェハＷを採用し、これに貼付する接着シートＳを例示したが、本発明における被着体および接着シートＳの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートＳがラベルであってもよく、被着体が半導体ウェハである場合には、接着シートＳが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートＳが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
【００３９】
また、剥離手段４としては、前述したような剥離板４１を備えたものに限らず、剥離シートＲＬを所定半径で折り返すローラを有して構成されたものでもよい。
また、前記実施形態では、原反Ｒは、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＳが仮着されたものを利用し、ウェハＷに貼付してから切断する構成であったが、被着体に貼付する直前に接着シートを適宜なサイズに切断してから剥離し、被着体に貼付するような構成であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４０】
１          シート貼付装置
２          支持手段
３          繰出手段
４          剥離手段
５          検出手段
６          押圧手段
７          搬送手段（調節手段）
９          切断手段
ＡＤ        接着剤層
ＢＭ        個別標識
ＢＳ        基材シート
Ｒ          原反
ＲＬ        剥離シート
Ｓ          接着シート
ＳＰ        基準標識
Ｗ          ウェハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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