(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
関節機構と該関節機構を介して連結されたリンク部材とを有するロボットアームを備え、移動体により移動するロボットであって、
前記移動体上で、前記ロボットアームの基端部が連結されたステージを変位させる変位機構と、
前記ステージと前記ロボットアームの基端部との間に作用する力を検出する力検出器と、
前記変位機構を制御することにより前記ロボットアームの重心位置を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記変位機構の制御に際し、
入力された前記ロボットアームの目標運動軌道に基づき、該ロボットアームの目標重心位置軌道と、前記ステージの目標ステージ位置軌道とを定め、
前記力検出器の検出出力軌道に基づいて前記ロボットアームの推定重心位置軌道を生成し、
前記目標重心位置軌道と前記推定重心位置軌道との差分に比例ゲイン係数、微分ゲイン係数又はこれらの和を乗じて得られるステージ位置補償軌道を前記目標ステージ位置軌道に加算して補正目標ステージ位置軌道を生成し、これに従って前記ステージを駆動することを特徴とするロボット。
【請求項２】
前記制御手段は、
前記変位機構の制御により、前記ロボットアームの重心位置を、所定の安定位置に位置するように制御するものであり、
前記変位機構の制御のみでは前記ロボットアームの重心位置を前記安定位置に位置するように制御できない場合には、さらに前記ロボットアームの最も基端側の前記関節機構を制御し、又は該関節機構及び前記移動体の双方を制御することにより、前記ロボットの重心位置を、前記安定位置に位置するように制御することを特徴とする請求項１に記載のロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、台車等の移動体により移動するロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
このような移動体により移動するロボットとして、特許文献１には、移動体としてのＸＹステージ上にインデックスユニットを介してアームと上下駆動ユニットとハンドユニットを設けた工業用ロボットが記載されている。この工業用ロボットでは、ＸＹステージ上に各ユニットを設けることによって、位置制御は直交座標型ロボットと同様の簡単な方法で行いながら、直交座標型ロボットでは得られない広い動作範囲の確保を図っている。
【０００３】
特許文献２には、移動機構を備え、遠隔操作によって各種点検、作業等の操作を行う移動ロボットが記載されている。この移動ロボットは、移動経路の途中に設けられた、移動動作、点検作業動作等の補助を行う補助器具を制御して、自身の方向転換や、上部フロアへの移動等を行う。これにより、移動ロボット自体の機能が縮小され、小型化が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６０−８０５７６号公報
【特許文献２】特開昭６１−１３９８０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の工業用ロボットによれば、ＸＹステージ上に各ユニットが設けられているので、工業用ロボットが移動できる範囲は、ＸＹステージの可動範囲内に限られる。
【０００６】
一方、特許文献２の移動ロボットによれば、車輪を備えた移動機構を備えているので、移動ロボットは、移動機構により広い範囲を移動することができる。しかし、アームや関節機構で構成される腕状機構が移動機構上にそのまま固定されているので、移動ロボットが、移動機構により操作対象の近傍まで移動しても、腕状機構の長さが若干足りないために、腕状機構が操作対象に届かず、操作対象を操作できない場合がある。
【０００７】
また、腕状機構先端のエンドエフェクタや、これによる操作対象として、微細で正確な操作を要するものを採用する場合には、操作対象に対するエンドエフェクタの位置決めや操作が、腕状機構の動作のみでは困難な場合もある。
【０００８】
本発明の目的は、かかる従来技術の問題点に鑑み、適用範囲の広いロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るロボットは、関節機構と該関節機構を介して連結されたリンク部材とを有するロボットアームを備え、移動体により移動するロボットであって、前記移動体上で、前記ロボットアームの基端部が連結されたステージを変位させる変位機構と、前記ステージと前記ロボットアームの基端部との間に作用する力を検出する力検出器と、前記変位機構を制御することにより前記ロボットアームの重心位置を制御する制御手段とを備え、前記制御手段は、前記変位機構の制御に際し、入力された前記ロボットアームの目標運動軌道に基づき、該ロボットアームの目標重心位置軌道と、前記ステージの目標ステージ位置軌道とを定め、前記力検出器の検出出力軌道に基づいて前記ロボットアームの推定重心位置軌道を生成し、前記目標重心位置軌道と前記推定重心位置軌道との差分に比例ゲイン係数、微分ゲイン係数又はこれらの和を乗じて得られるステージ位置補償軌道を前記目標ステージ位置軌道に加算して補正目標ステージ位置軌道を生成し、これに従って前記ステージを駆動することを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、ロボットアームの駆動及び移動体による移動のみでは、ロボットアームの先端のエンドエフェクタが操作対象に届かず、操作対象を操作できない場合でも、変位機構によってロボットアームを操作対象の方へ変位させることにより、エンドエフェクタを操作対象の操作が可能な位置まで近接させることができる場合がある。したがって、ロボットによるアクセス範囲を拡大することができる。
【００１１】
また、関節機構によるロボットアームの駆動と、変位機構によるロボットアームの変位とを併用しながらエンドエフェクタによる操作を行うことにより、操作対象に対するエンドエフェクタの位置決めや操作を、高い精度で行うことができる。これにより、高い位置決め精度や操作精度が要求されるエンドエフェクタや操作対象についても支障なく操作を行うことができる。したがって、本発明によれば、適用範囲の広いロボットを提供することができる。
【００１２】
本発明において、ロボットは、変位機構とロボットアームの基端部との間に作用する力を検出する力検出器と、力検出器の検出結果に基づいて変位機構を上記のように制御することによってロボットアームの重心位置を制御する制御手段とを備えている。
【００１３】
これによれば、制御手段によってロボットアームの重心位置を適切に制御することにより、移動体による不整地の走行中や、エンドエフェクタによる操作対象の操作中におけるロボットの安定性確保や転倒防止を図ることができる。
【００１４】
本発明において、前記制御手段は、前記変位機構の制御により、前記ロボットアームの重心位置を、所定の安定位置に位置するように制御するものであり、前記変位機構の制御のみでは前記ロボットアームの重心位置を前記安定位置に位置するように制御できない場合には、さらに前記ロボットアームの最も基端側の前記関節機構を制御し、又は該関節機構及び前記移動体の双方を制御することにより、前記ロボットの重心位置を、前記安定位置に位置するように制御するものであってもよい。
【００１５】
これによれば、変位機構のみの制御によってはロボットアームの重心位置を安定位置に位置させることができない場合でも、さらに関節機構や移動体を追加的に制御することにより、ロボットアームの重心位置を安定位置に位置させることができる。したがって、移動体による移動中や操作対象の操作中におけるロボットの安定性や転倒防止を、より確実に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットの構成を示す説明図である。
【図２】図１のロボットにおける制御装置の構成を示すブロック図である。
【図３】図２の制御装置による制御を表わす制御ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。図１に示すように、ロボット１は、マニピュレータとしてのロボットアーム２を備える。ロボットアーム２は、複数の関節機構と、当該複数の関節機構を介して連結されている複数のリンク部材とを備える。
【００１８】
複数の関節機構には、ロボットアーム２の先端部側に配置された第１関節機構Ｊ1と、ロボットアーム２の基端部側に配置された第２関節機構Ｊ2と、第１関節機構Ｊ1と第２関節機構Ｊ2との中間に配置された２つの中間関節機構Ｉ１及びＩ2とが含まれる。中間関節機構は省略されてもよい。中間関節機構の数は任意に変更され得る。
【００１９】
第１関節機構Ｊ1の回転自由度は３（ロール、ピッチ及びヨー）であり、第２関節機構Ｊ2の回転自由度は２（ピッチ及びヨー）である。第１の中間関節機構Ｉ1の回転自由度は１（ロール）であり、第２の中間関節機構Ｉ2の回転自由度は２（ピッチ及びヨー）である。ロボットアーム２は、各関節機構の各回転自由度内における回転角度（関節角度）に応じた信号を出力するロータリエンコーダ等の関節角度センサＳi（ｉ＝１，２，・・・）を備える（図２参照）。なお、各関節機構の回転自由度は任意に変更されてもよい。
【００２０】
ロボットアーム２の先端部は、第１関節機構Ｊ1及び弾性要素Ｘ0を順に介して冶具Ｘ1に連結される。冶具Ｘ1は、例えばバルブの開閉というタスクを実行するため、当該バルブのハンドルに係合させるための適当な構造とされる。弾性要素Ｘ0及び冶具Ｘ1のうち少なくとも１つがロボットアーム２の構成要素であってもよい。
【００２１】
ロボットアーム２の基端部は、第２関節機構Ｊ2を介してＸＹステージＸ2に連結されている。ＸＹステージＸ2は、台車Ｘ3上でロボットアーム２を支持し、台車Ｘ3を基準とする所定の基準平面に対して平行に、ロボットアーム２を移動させる。台車Ｘ3は、遠隔操作可能な移動体である。
【００２２】
ロボットアーム２は、その先端部に配置されている第１の６軸力センサＦ1と、第１のジャイロセンサＧ1とを備える。第１の６軸力センサＦ1は、ロボットアーム２と冶具Ｘ1との相対的な３軸（ロール軸、ピッチ軸及びヨー軸）方向の力及び当該３軸回りのモーメントに応じた信号を出力するように構成される。第１のジャイロセンサＧ1は、世界座標系（基準座標系）における冶具Ｘ1の姿勢（水平方向に対する傾斜角度など）に応じた信号を出力するように構成される。
【００２３】
ロボットアーム２は、その基端部に配置されている第２の６軸力センサＦ2と第２のジャイロセンサＧ2とを備える。第２の６軸力センサＦ2は、ロボットアーム２とＸＹステージＸ2との相対的な３軸（ロール軸、ピッチ軸及びヨー軸）方向の力及び当該３軸回りのモーメントに応じた信号を出力するように構成される。第２のジャイロセンサＧ2は、世界座標系（基準座標系）におけるＸＹステージＸ2の姿勢に応じた信号を出力するように構成される。
【００２４】
ロボットアーム２、冶具Ｘ1及び台車Ｘ3のうち少なくとも１つに、撮像装置が取り付けられ、当該撮像装置により撮像された画像がロボットアーム２から離れた場所に設置されている画像装置に表示される。操作者は、この画像を見ながら遠隔操作装置を操作することにより、ＸＹステージＸ2、台車Ｘ3、ロボットアーム２、冶具Ｘ1等の動作を遠隔制御することができる。
【００２５】
その際、台車Ｘ3を、冶具Ｘ1による操作対象に可能な位置まで近接させ、ロボットアーム２を伸ばした場合でも、冶具Ｘ1が操作対象に届かず、冶具Ｘ1により操作対象にアクセスできない場合には、ＸＹステージＸ2を操作対象の方向へ移動させることより、冶具Ｘ1をさらに操作対象に近接させることができる。これにより、冶具Ｘ1による操作が可能な範囲を拡大することができる。
【００２６】
また、冶具Ｘ1による操作対象の操作に際し、高い操作精度が要求される場合がある。この場合、各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2によりロボットアーム２を駆動させるのみでは、冶具Ｘ1を操作対象に対して精確に位置決めできなかったり、冶具Ｘ1の動作に連動してロボットアーム２を精確に駆動できなかったりして、操作対象の操作に支障を来たすおそれがある。
【００２７】
このような場合には、各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2によるロボットアーム２の駆動と、ＸＹステージＸ2によるロボットアーム２の移動とを併用しながら冶具Ｘ1による操作を行うことにより、操作対象に対する冶具Ｘ1の位置決めや冶具Ｘ1による操作を、高い精度で行うことができる。ロボットアーム２とＸＹステージＸ2とでは、精度の高い駆動の方向や動作内容等が異なるからである。これにより、高い操作精度が要求される操作対象に対しても、支障なく処理を行うことができる。
【００２８】
ロボットアーム２は、図２に示される制御装置３を備える。制御装置３は、プログラマブルコンピュータにより構成される。制御装置３には、遠隔操作装置からロボットアーム２の目標運動軌道が入力される。変数の「軌道」とは、当該変数の時間変化態様を表わす時系列的な変数値を意味する。
【００２９】
制御装置３には、そのほか、第１の６軸力センサＦ1、第２の６軸力センサＦ2、第１のジャイロセンサＧ1及び第２のジャイロセンサＧ2に加えて、各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2の関節角度センサＳiから出力される信号が入力される。
【００３０】
制御装置３は、当該入力信号に基づき、ロボットアーム２の各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2、ＸＹステージＸ2、及び台車Ｘ3の動作制御指令信号を生成し、これらを作動させるアクチュエータＡiに対して当該信号を出力するという制御処理を実行するように構成される。
【００３１】
ここで、制御装置３が制御処理を実行するように構成されるとは、制御装置３を構成するＣＰＵ（中央演算処理）が、必要なソフトウェア及びデータをメモリ（記憶装置）から読み取り、当該ソフトウェアに従って当該演算処理を実行するようにプログラムされていることを意味する。
【００３２】
また、制御装置３は、６軸力センサＦ2等の検出結果に基づき、ロボットアーム２の重心位置が所定の安定位置からずれている場合には、そのずれが補償されるようにＸＹステージＸ2を制御する。その際、ＸＹステージＸ2に対する補償制御のみでは足りない場合に、第２関節機構Ｊ2及び台車Ｘ3についても追加的に補償制御が行われる。
【００３３】
図３に示されるように、制御装置３は、ＸＹステージＸ2、第２関節機構Ｊ2、及び台車Ｘ3の補償制御を行うための構成として、ロボットアーム２の推定重心位置軌道gc_actを生成する推定重心位置軌道生成要素３１と、第２関節機構Ｊ2及び台車Ｘ3それぞれの補償制御を行う場合を規定する補償制御規定要素３２及び３３と、補償制御規定要素３２からの位置による補償量の軌道を第２関節機構Ｊ2の回転角度（ヨー軸回り及びピッチ軸回りの角度）による角度補償軌道θ_compに変換する角度変換要素３４とを備える。
【００３４】
補償制御規定要素３２は、リミッタ３２１と、リミッタ３２１の出力側に接続された一次遅れ要素３２２とを備える。補償制御規定要素３３は、リミッタ３３１と、リミッタ３３１の出力側に接続された一次遅れ要素３３２とを備える。
【００３５】
この構成において、制御装置３は、ＸＹステージＸ2、第２関節機構Ｊ2、及び台車Ｘ3の制御に際し、制御装置３に対して入力されたロボットアーム２の目標運動軌道により、ロボットアーム２の目標重心位置の軌道である目標重心位置軌道gc_cmdと、ＸＹステージＸ2の目標位置の軌道である目標ステージ位置軌道sp_cmdと、第２関節機構Ｊ2の目標回転角度の軌道である目標角度軌道θ_cmdと、台車Ｘ3の目標位置の軌道である台車目標位置軌道cp_cmdとを定める。
【００３６】
目標重心位置軌道gc_cmdは、台車Ｘ3を基準とする所定の基準平面上の位置の軌道として表され、ロボット１の姿勢が最も安定するようなロボットアーム２の重心位置の軌道として設定される。この台車Ｘ3の基準平面は、台車Ｘ3が水平な床の上に位置するときに水平となるような平面である。この平面に沿って、ＸＹステージＸ2が移動する。したがって、目標ステージ位置軌道sp_cmdは、台車Ｘ3の基準平面に沿った位置として表される。目標角度軌道θ_cmdは、台車Ｘ3又はＸＹステージＸ2を基準とする第２関節機構Ｊ2のピッチ及びヨー軸回りの角度として表される。
【００３７】
推定重心位置軌道生成要素３１により、第２の６軸力センサＦ2の検出出力軌道f_actに基づいてロボットアーム２の推定重心位置軌道gc_actを生成する。このとき、例えば、第２の６軸力センサＦ2として、ＸＹステージＸ2を４点で支持する４つの６軸力センサを採用した場合には、各６軸力センサにより検出されるＺ軸方向（ＸＹステージＸ２の移動面に垂直な方向）の力に基づいてロボットアーム２の重心位置を算出することができる。
【００３８】
この重心位置は、上述の台車Ｘ3の基準平面上の位置として算出される。その算出に際しては、第２のジャイロセンサＧ2に基づいて得られるＸＹステージＸ2（台車Ｘ3）の傾きが考慮される。
【００３９】
目標重心位置軌道gc_cmdと推定重心位置軌道gc_actとの偏差に基づき、関係式（１）に従って、ステージ位置補償軌道sp_compが生成される。ステージ位置補償軌道sp_compは、ロボットアーム２の重心位置の安定位置からのずれを、ＸＹステージＸ2の制御により補償するための軌道である。「Kp」は比例ゲイン係数であり、「Kd」は微分ゲイン係数である。Kp及びKdのうち一方が０とされてもよい。
【００４０】
sp_comp=(Kp+Kds)(gc_cmd-gc_act) ..(1)。
【００４１】
目標ステージ位置軌道sp_cmdが、ステージ位置補償軌道sp_compに基づき、関係式（２）に従って補正されることにより、補正目標ステージ位置軌道sp_cmd_mdfdが生成される。
【００４２】
sp_cmd_mdfd=sp_cmd+sp_comp ..(2)。
【００４３】
この補正目標ステージ位置軌道sp_cmd_mdfdに従ってＸＹステージＸ2が駆動されることにより、ロボットアーム２の重心位置が、台車Ｘ3上の安定位置である目標重心位置軌道gc_cmdからずれている場合には、そのずれ量分だけ、ＸＹステージＸ2が、ずれ方向とは反対方向に移動される。これにより、ロボットアーム２の重心位置が常に台車Ｘ3上の安定位置に位置するように制御されるので、ロボット１の姿勢が安定する。
【００４４】
ＸＹステージＸ2の制御のみでは、ロボットアーム２の重心位置の安定位置からのずれが補償できない場合には、さらに、第２関節機構Ｊ2のピッチ軸回りの角度及びヨー軸回りの角度と、台車Ｘ3の位置が制御される。
【００４５】
すなわち、目標重心位置軌道gc_cmdと推定重心位置軌道gc_actとの偏差がリミッタ３２１の上限値Lmaxを超え、又は下限値Lminを下回る場合には、それぞれ関係式（３ａ）又は（３ｂ）に従い、一次遅れ要素３２２を経て、関節機構補償軌道ｊ_compが生成される。当該偏差が上限値Lmax以下で下限値Lmin以上である場合には、関節機構補償軌道ｊ_compの値は０（ゼロ）である。
【００４６】
j_comp=(gc_cmd-gc_act-Lmax)K1/(T1s+1) ..(3a)。
【００４７】
j_comp=(gc_cmd-gc_act-Lmin)K1/(T1s+1) ..(3b)。
【００４８】
関節機構補償軌道ｊ_compは、後述する台車Ｘ3の移動に応じた分だけ、その移動とは逆方向にロボットアーム２の重心位置が移動するように、第２関節機構Ｊ2の角度を補償するための軌道である。Ｔ1は時定数であり、Ｋ1はゲイン定数である。
【００４９】
関節機構補償軌道ｊ_compは、角度変換要素３４を経て、第２関節機構Ｊ2のピッチ軸回りの角度及びヨー軸回りの角度で表した補償量の軌道である角度補償軌道θ_compに変換される。この変換は、通常の幾何学的計算によって行われる。角度補償軌道θ_compに基づき、目標角度軌道θ_cmdが関係式（４）に従って補正され、補正目標角度軌道θ_cmd_mdfdが生成される。
【００５０】
θ_cmd_mdfd=θ_cmd+θ_comp ..(4)。
【００５１】
一方、目標重心位置軌道gc_cmdと推定重心位置軌道gc_actとの偏差がリミッタ３３１の上限値Lmaxを超え、又は下限値Lminを下回る場合には、それぞれ関係式（５ａ）又は（５ｂ）に従い、一次遅れ要素３３２を経て、台車位置補償軌道cp_compが生成される。当該偏差が上限値Lmax以下で下限値Lmin以上である場合には、台車位置補償軌道cp_compの値は０（ゼロ）である。
【００５２】
cp_comp=(gc_cmd-gc_act-Lmax)K2/(T2s+1)..(5a)。
【００５３】
cp_comp=(gc_cmd-gc_act-Lmin)K2/(T2s+1)..(5b)。
【００５４】
台車位置補償軌道cp_compは、ロボットアーム２の重心位置の安定位置からのずれを、台車Ｘ3の制御により、上述の第２関節機構Ｊ2の角度補償と協働して補償するための軌道である。Ｔ２は時定数であり、Ｋ２はゲイン定数である。上述の関係式（３ａ）及び（３ｂ）における時定数Ｔ１と時定数Ｔ２との大小関係は、Ｔ１＝Ｔ２、Ｔ１＞Ｔ２又はＴ１＜Ｔ２のいずれであってもよい。
【００５５】
台車目標位置軌道cp_cmdが、台車位置補償軌道cp_compに基づき、関係式（６）に従って補正され、補正目標台車位置軌道cp_cmd_mdfdが生成される。
【００５６】
cp_cmd_mdfd=cp_cmd-cp_comp ..(6)。
【００５７】
そして、補正目標台車位置軌道cp_cmd_mdfdにより台車Ｘ3のアクチュエータが駆動され、補正目標角度軌道θ_cmd_mdfdにより第２関節機構Ｊ2のアクチュエータが駆動される。
【００５８】
これにより、台車Ｘ3は、ロボットアーム２の重心位置の安定位置（目標重心位置gc_cmd）からのずれ量に応じた量だけ、そのずれの方向へ移動するように（台車Ｘ3が移動中の場合にはそのずれの方向への移動量が増加するように）補償制御される。また、第２関節機構Ｊ2は、そのずれ方向とは反対方向にロボットアーム２の重心位置が移動するように、ピッチ軸回りの角度及びヨー軸回りの角度が制御される。これにより、ロボットアーム２の重心位置の安定位置からのずれが、より確実に補償される。
【００５９】
なお、この重心位置の制御のほか、制御装置３は、６軸力センサＦ1、Ｆ2、ジャイロセンサＧ1、Ｇ2、及び各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2の関節角度センサＳiからの出力に基づき、各関節機構Ｊ1、Ｊ2、Ｉ1、Ｉ2の各アクチュエータＡiを制御することにより、たわみ補償や、コンプライアンス補償を行うことができる。
【００６０】
以上のように、本実施形態によれば、台車Ｘ3とロボットアーム２との間にＸＹステージＸ2を設けたので、冶具Ｘ1による操作可能な範囲を拡大することができる。
【００６１】
また、ロボットアーム２の駆動と、ＸＹステージＸ2によるロボットアーム２の移動とを併用しながら冶具Ｘ1による操作を行うことにより、操作対象に対する冶具Ｘ1の位置決めや操作を高い精度で行うことができる。したがって、冶具Ｘ1による高い操作精度が要求される操作対象についても、支障なく処理を行うことができる。
【００６２】
また、ロボットアーム２の重心位置が、台車Ｘ3上の所定の安定位置（目標重心位置gc_cmd）からずれた場合には、そのずれ量分だけ、ＸＹステージＸ2を、ずれ方向とは反対方向に移動させるようにしたので、ロボットアーム２の重心位置を、常に安定位置に位置するように制御することができる。
【００６３】
これにより、ロボット１が台車Ｘ3により走行しているときや、ロボット１が操作対象を操作しているときに、ロボット１の安定性を確保するとともに、ロボット１の転倒を防止することができる。
【００６４】
また、ＸＹステージＸ2の移動のみでは、ロボットアーム２の重心位置の安定位置からのずれが解消されない場合には、さらに、ロボットアーム２の重心位置が安定位置に位置するように、第２関節機構Ｊ2の回転角度と台車Ｘ3の位置を制御するようにしたので、ロボットアーム２の重心位置を確実に安定位置に位置させることができる。
【００６５】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上述においては、ロボット１が移動するための移動体として台車Ｘ3を用いているが、台車Ｘ3の代わりに、他の移動体、例えばレール上を走行する走行手段等を用いてもよい。
【００６６】
また、上述においては、エンドエフェクタとして冶具Ｘ1を用いているが、この代わりに、計測器等のような受動的な機能を有するものを用いるようにしてもよい。
【００６７】
また、上述においては、変位機構としてＸＹステージＸ2を用いているが、この代わりに、リニアステージや２次元直動ステージ等の他の変位機構を用いるようにしてもよい。
【００６８】
また、上述においては力検出器として第２の６軸力センサＦ2を用いているが、この代わりに、３分力検出器等の他の力センサを用いるようにしてもよい。
【００６９】
また、上述においては、ＸＹステージＸ2の制御のみではロボットアーム２の重心位置を安定位置に位置するように制御できない場合には、さらに第２の関節機構Ｊ2及び台車Ｘ3の双方の動作を追加的に制御するようにしているが、これら双方を追加的に制御する代わりに、第２の関節機構Ｊ2の動作のみを追加的に制御するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１…ロボット、２…ロボットアーム、３…制御装置、Ｊ1…第１関節機構、Ｊ2…第２関節機構、Ｆ1…６軸力センサ、Ｆ2…６軸力センサ（力検出器）、Ｇ1…第１のジャイロセンサ、Ｇ2…ジャイロセンサ、Ｘ0…弾性要素、Ｘ1…冶具、Ｘ2…ＸＹステージ（変位機構）、Ｘ3…台車（移動体）。
【図１】
0005758777.tif 000002
【図２】
0005758777.tif 000003
【図３】
0005758777.tif 000004