(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水溶液を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、
この洗浄槽内の水溶液を加温する加温手段と、
前記洗浄槽内の気相部に接続され、前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、
前記洗浄槽内の液相部に接続され、前記洗浄槽内を減圧した状態で液相給気弁を開く液相給気手段とを備え、
前記加温手段により前記洗浄槽内の水溶液を第一設定温度まで加温後、設定条件を満たすまで前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧して水溶液を沸騰させ、この沸騰中に、前記減圧手段の作動を継続したまま前記液相給気弁を開いて、前記洗浄槽の内外の差圧により前記被洗浄物よりも下方から前記洗浄槽内の液中に外気を導入して、前記洗浄槽内の水溶液を突沸させ、
前記設定条件は、前記洗浄槽内の水溶液が第二設定温度となるか、前記洗浄槽内が第二設定圧力となるまでであり、且つ、前記第二設定温度は６０℃以下、前記第二設定圧力は２０ｋＰａ以下に設定され、
前記第一設定温度は、前記第二設定温度または前記第二設定圧力における飽和温度よりも０．５〜２℃高い温度に設定される
ことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第二設定温度は５０℃以下、前記第二設定圧力は１２．３ｋＰａ以下に設定される
ことを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記加温手段による前記第一設定温度までの水溶液の加温と、
前記液相給気弁を閉じた状態において前記設定条件を満たすまでの前記減圧手段による前記洗浄槽内の減圧と、
これによる水溶液の沸騰中の前記液相給気手段による液中への外気の導入による水溶液の突沸と
を順に繰り返すことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療器具の他、電子部品や機械部品などを洗浄する洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１に開示される洗浄装置が知られている。この特許文献１に記載の洗浄装置は、その［００３３］および［００３４］に記載のとおり、排気装置（３０）を稼働させた状態で排気弁（２３ｂ）を開放して、洗浄槽（２０）内を減圧して、洗浄液（２４）を沸騰させる。その後、［００３７］に記載のとおり、排気弁（２３ｂ）を閉鎖した状態でリーク弁（２６）を開放し、洗浄槽（２０）の内外の差圧により導気管（２５）から外気を導入する。このようにして、［００３８］に記載のとおり、導入された外気が気泡となって被洗浄物に接触したり、その気泡によって洗浄液を揺動したり、或いは圧力解放時の衝撃によって、洗浄効果を得ようとするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１０５０９号公報（段落番号００２５−００４１、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献１に記載の洗浄装置は、洗浄槽内の洗浄液を突沸（激しく沸騰）させて、洗浄液の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、洗浄液を大きく揺動させて、被洗浄物を洗浄しようとするものではない。
【０００５】
すなわち、前記特許文献１に記載の洗浄装置は、洗浄槽内を減圧後、「排気弁２３ｂを閉鎖し、リーク弁２６を開放」して、液相部に外気を導入するが、洗浄液の沸騰中に排気弁を閉じれば、気相部は直ちに蒸気で満たされ、沸騰が止んでしまうものである。
【０００６】
このように、特許文献１に記載の洗浄装置は、洗浄液の沸騰中に、減圧手段の作動を継続したまま、大気圧との差圧を用いて、洗浄液中に外気を自然に導入して、その気泡を核として洗浄液に突沸を起こすものではない。
【０００７】
これに対し、出願人は、先に、洗浄槽内の液体を設定温度まで加温後、洗浄槽内を減圧して液体を沸騰させ、この沸騰中に洗浄槽内の液相部に外気を導入して、液体を突沸させることで、被洗浄物の洗浄を図る洗浄装置を提案し、既に特許出願を済ませている（特願２０１０−４３６８８）。
【０００８】
この装置では、液体が沸騰している最中に、外気は、大気圧との差圧により自然に吸い込まれる。この場合、液中に導入された気泡の圧力は、最初の気泡が気相部に達するまで、洗浄槽内の圧力そのものとなる。従って、液中に空気泡を導入したことによって、導入された気体を沸騰の核として、導入された気泡は爆発的に膨張する。具体的には、液中に導入された気泡は、減圧下の洗浄槽内において膨張すると共に、液体の沸騰蒸気が入り込むことでさらに膨張しつつ、液相部を上昇する。このようにして液体を突沸させ、液体の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、液体を大きく揺動させて、被洗浄物を効果的に洗浄することができる。
【０００９】
このような突沸を用いた洗浄装置について、発明者は、その後も鋭意研究に努めた結果、液相部への給気による突沸は、洗浄槽内の液体の温度（洗浄槽内の圧力ともいえる）に左右されることを知見した。すなわち、液体が高温（洗浄槽内の圧力が高圧ともいえる）になるほど、洗浄槽内における液体の上層と下層での温度差が小さくなるため、沸騰の核となる空気泡を導入しても、過熱領域ができず、突沸が起きにくいことが分かった。
【００１０】
具体的に説明すると、図３は、洗浄槽内の液体の飽和圧力と飽和温度との関係を示す図であるが、同じ圧力差ΔＰ（具体的には洗浄槽内の貯留液の上層と下層との水頭圧による圧力差）であっても、それに対応する温度差ΔＴ，ΔＴ´が高圧になるほど小さくなることが分かる（ΔＴ＞ΔＴ´）。そして、液体を突沸させるには、液中に過熱領域が必要であるので、温度差は小さくなるのは突沸の誘発には不利となる。
【００１１】
本発明は、これらの事情に鑑みてなされたものであり、液体を確実に突沸させ、その突沸により被洗浄物を効果的に洗浄する洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、水溶液を貯留して被洗浄物を浸漬する洗浄槽と、この洗浄槽内の水溶液を加温する加温手段と、前記洗浄槽内の気相部に接続され、前記洗浄槽内の気体を外部へ吸引排出して、前記洗浄槽内を減圧する減圧手段と、前記洗浄槽内の液相部に接続され、前記洗浄槽内を減圧した状態で液相給気弁を開く液相給気手段とを備え、前記加温手段により前記洗浄槽内の水溶液を第一設定温度まで加温後、設定条件を満たすまで前記減圧手段により前記洗浄槽内を減圧して水溶液を沸騰させ、この沸騰中に、前記減圧手段の作動を継続したまま前記液相給気弁を開いて、前記洗浄槽の内外の差圧により前記被洗浄物よりも下方から前記洗浄槽内の液中に外気を導入して、前記洗浄槽内の水溶液を突沸させ、前記設定条件は、前記洗浄槽内の水溶液が第二設定温度となるか、前記洗浄槽内が第二設定圧力となるまでであり、且つ、前記第二設定温度は６０℃以下、前記第二設定圧力は２０ｋＰａ以下に設定され、前記第一設定温度は、前記第二設定温度または前記第二設定圧力における飽和温度よりも０．５〜２℃高い温度に設定されることを特徴とする洗浄装置である。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、水溶液を第一設定温度まで加温後、洗浄槽内を減圧して水溶液を沸騰させ、この沸騰中に、減圧手段の作動を継続したまま液相給気弁を開いて、洗浄槽の内外の差圧により液中に外気を導入する。この装置では、水溶液が沸騰している最中に、外気は、大気圧との差圧により自然に吸い込まれる。この場合、液中に導入された気泡の圧力は、最初の気泡が気相部に達するまで、洗浄槽内の圧力そのものとなる。従って、液中に空気泡を導入したことによって、導入された気体を沸騰の核として、導入された気泡は爆発的に膨張する。具体的には、液中に導入された気泡は、減圧下の洗浄槽内において膨張すると共に、水溶液の沸騰蒸気が入り込むことでさらに膨張しつつ、液相部を上昇する。このようにして水溶液を突沸させ、水溶液の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、水溶液を大きく揺動させて、被洗浄物を効果的に洗浄することができる。特に、水溶液を６０℃以下とするか、洗浄槽内を２０ｋＰａ以下として、液中に外気を導入することで、水溶液の上層と下層との温度差を確保して、過熱領域を生じさせ、突沸を確実に起こすことができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、前記第二設定温度は５０℃以下、前記第二設定圧力は１２．３ｋＰａ以下に設定されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置である。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、水溶液を５０℃以下とするか、洗浄槽内を１２．３ｋＰａ以下として、液中に外気を導入することで、一層確実に且つ激しく水溶液を突沸させることができる。
【００１６】
さらに、請求項３に記載の発明は、前記加温手段による前記第一設定温度までの水溶液の加温と、前記液相給気弁を閉じた状態において前記設定条件を満たすまでの前記減圧手段による前記洗浄槽内の減圧と、これによる水溶液の沸騰中の前記液相給気手段による液中への外気の導入による水溶液の突沸とを順に繰り返すことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の洗浄装置である。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、水溶液の加温と、洗浄槽内の減圧と、それによる沸騰中の液中への外気の導入による水溶液の突沸とを繰り返すことで、被洗浄物の洗浄を一層確実に図ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、水溶液を確実に突沸させ、その突沸により被洗浄物を効果的に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の洗浄装置の一実施形態を示す概略図であり、一部を断面にして示している。
【図２】図１の洗浄装置の運転状態を示す図であり、グラフは、洗浄槽内の液温（縦軸）と経過時間（横軸）との関係を示しており、（Ａ）から（Ｃ）は、グラフと対応して示すタイムチャートである。
【図３】洗浄槽内の水溶液の飽和圧力と飽和温度との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の洗浄装置の一実施形態について、図面に基づき詳細に説明する。但し、本発明の洗浄装置は、以下の実施形態に限定されることなく、適宜に変更可能である。
【００２１】
図１は、本発明の洗浄装置の一実施形態を示す概略図であり、一部を断面にして示している。本実施形態の洗浄装置１は、液体（洗浄液）を貯留して被洗浄物２を浸漬する洗浄槽３と、この洗浄槽３内の液体を加温する加温手段４と、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する減圧手段５と、減圧された洗浄槽３内の液相部へ外気を導入する液相給気手段６と、減圧された洗浄槽３内の気相部へ外気を導入する気相給気手段７とを備える。さらに、洗浄装置１は、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出する圧力センサ８と、洗浄槽３内の液相部の温度を検出する温度センサ９と、これらセンサ８，９の検出信号などに基づき前記各手段４〜７を制御する制御手段（図示省略）とを備える。
【００２２】
洗浄槽３は、内部空間の減圧に耐える中空容器である。洗浄槽３は、上方へ開口して中空部を有する本体１０と、この本体１０の開口部を開閉する扉１１とを備える。扉１１を閉じた状態で、本体１０と扉１１との隙間はパッキン１２で封止される。これにより、本体１０の中空部は密閉され、洗浄槽３内に密閉空間が形成される。
【００２３】
洗浄槽３には、被洗浄物２が収容されると共に、液体が設定液位（被洗浄物２の浸漬状態で洗浄槽３内の底面からたとえば１５０〜２５０ｍｍ、本実施形態では２００ｍｍ）まで貯留される。なお、洗浄槽３内に貯留される液体は、水溶液であれば特に問わず、たとえば水（具体的には純水）、または洗剤を含んだ水である。本実施形態では、洗剤を０．５％含んだ水である。また、被洗浄物２は、洗浄を図りたい物品であり、たとえば、医療器具、電子部品または機械部品である。
【００２４】
洗浄槽３には、洗浄槽３内の気相部の圧力を検出する圧力センサ８と、洗浄槽３内の液相部の温度を検出する温度センサ９とが設けられる。
【００２５】
加温手段４は、洗浄槽３内の液体を加温する。加温手段４は、その具体的構成を特に問わないが、本実施形態では、洗浄槽３内の底部に配置された電気ヒータ１３である。この場合、洗浄槽３内に液体を貯留した状態で、電気ヒータ１３に通電することで、洗浄槽３内の液体を加温することができる。
【００２６】
減圧手段５は、洗浄槽３内の気相部に接続され、洗浄槽３内の気体を外部へ吸引排出して洗浄槽３内を減圧する。具体的には、減圧手段５は、真空発生装置１４を備え、この真空発生装置１４は、排気路１５を介して、洗浄槽３内の気相部に接続されている。真空発生装置１４は、その具体的構成を特に問わないが、典型的には水封式の真空ポンプを備え、この真空ポンプより上流側に、排気路１５内の蒸気を凝縮させる熱交換器をさらに備えてもよい。また、排気路１５には、洗浄槽３の出口において、洗浄槽３内からの気体中に含まれる液滴や固形物を除去するために、デミスターのような気水分離器を設けてもよい。
【００２７】
液相給気手段６は、洗浄槽３内の液相部に接続され、洗浄槽３内の圧力と洗浄槽外の大気圧との差圧により、洗浄槽３内の液相部に外気を導入する。具体的には、液相給気手段６は、減圧された洗浄槽３内の液相部に、液相給気路１６を介して外気を導入する。液相給気路１６には、洗浄槽３へ向けて順に、フィルター１７および液相給気弁１８が設けられている。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁１８を開くと、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルター１７を介した空気を、洗浄槽３内の液相部に導入することができる。
【００２８】
ところで、本実施形態では、液相給気路１６からの空気は、洗浄槽３内の底部に設けた液相給気ノズル１９を介して、洗浄槽３内の液中に導入される。液相給気ノズル１９は、洗浄槽３内の底部に、横向きに配置されたパイプである。このパイプは、本実施形態では、洗浄槽３内の底部を蛇行するよう設けられている。また、このパイプは、洗浄槽３内の底部ではあるが底面から離隔して、水平に保持されている。さらに、このパイプには、その延出方向へ沿って設定間隔で、パイプの周側壁にノズル孔２０が下方へ開口して形成されている。これにより、洗浄槽３内が減圧された状態で液相給気弁１８を開くと、洗浄槽３内の液中に均質に空気を導入することができる。
【００２９】
気相給気手段７は、洗浄槽３内の気相部に接続され、洗浄槽３内の圧力と洗浄槽３外の大気圧との差圧により、洗浄槽３内の気相部に外気を導入する。具体的には、気相給気手段７は、減圧された洗浄槽３内の気相部に、気相給気路２１を介して外気を導入する。気相給気路２１には、洗浄槽３へ向けて順に、フィルター２２および気相給気弁２３が設けられている。従って、洗浄槽３内が減圧された状態で気相給気弁２３を開くと、洗浄槽３の内外の差圧により、フィルター２２を介した空気を、洗浄槽３内の気相部に導入することができる。
【００３０】
制御手段は、前記各センサ８，９の検出信号などに基づき、前記各手段４〜７を制御する。具体的には、電気ヒータ１３、真空発生装置１４、液相給気弁１８、気相給気弁２３の他、圧力センサ８および温度センサ９は、制御手段に接続されている。そして、制御手段は、以下に述べるように、所定の手順（プログラム）に従い、洗浄槽３内の被洗浄物２の洗浄を図る。
【００３１】
以下、本実施形態の洗浄装置１の運転方法の一例について説明する。
図２は、本実施形態の洗浄装置１の運転状態を示す図であり、グラフは、洗浄槽３内の液温（縦軸）と経過時間（横軸）との関係を示しており、（Ａ）から（Ｃ）は、グラフと対応して示すタイムチャートである。ここで、（Ａ）は電気ヒータ１３の作動の有無を示し、（Ｂ）は真空発生装置１４の作動の有無を示し、（Ｃ）は液相給気弁１８の開閉を示している。
【００３２】
まず、洗浄槽３内に被洗浄物２を収容すると共に液体を貯留することで、洗浄槽３内の貯留液に被洗浄物２を浸漬した状態とする。その後、洗浄槽３内の液体を第一設定温度Ｔ１まで加温する加温動作Ｓ１と、設定条件を満たすまで洗浄槽３内を減圧する減圧動作Ｓ２と、洗浄槽３内の液中に外気を導入して洗浄槽３内の液体を突沸させる液相給気動作Ｓ３とを順に実行する。その後、所望により、所定の終了条件を満たすまで、加温動作Ｓ１と、減圧動作Ｓ２と、液相給気動作Ｓ３とを繰り返す。以下、まずは第一回目の各動作Ｓ１〜Ｓ３について説明し、その後、第二回目以降の各動作Ｓ１〜Ｓ３について説明する。
【００３３】
第一回目の加温動作Ｓ１では、洗浄槽３内の液体が第一設定温度Ｔ１になるまで、洗浄槽３内の液体を加温する。具体的には、液相給気弁１８および気相給気弁２３を閉じると共に真空発生装置１４を停止した状態で、電気ヒータ１３を作動させればよい。加温動作Ｓ１中、温度センサ９により洗浄槽３内の液体の温度を監視して、洗浄槽３内の液体が第一設定温度Ｔ１になれば、電気ヒータ１３を停止させて加温動作Ｓ１を終了する。
【００３４】
第一回目の減圧動作Ｓ２は、設定条件を満たすまで、減圧手段５を用いて洗浄槽３内を減圧する。具体的には、液相給気弁１８および気相給気弁２３を閉じた状態で、真空発生装置１４を作動させればよい。前記設定条件としては、洗浄槽３内の液体が第二設定温度Ｔ２となるか、洗浄槽３内が第二設定圧力Ｐ２となるか、あるいはこれらを満たす設定時間が経過するまでとされる。なお、第二設定温度Ｔ２は、第二設定圧力Ｐ２における飽和温度であり、逆にいうと、第二設定圧力Ｐ２は、第二設定温度Ｔ２における飽和圧力であり、第二設定温度Ｔ２と第二設定圧力Ｐ２とは所定の関係にある。
【００３５】
後述する実施例において明らかにされるとおり、第二設定温度Ｔ２は６０℃以下、第二設定圧力Ｐ２は２０ｋＰａ以下に設定される。特に、第二設定温度Ｔ２は５０℃以下、第二設定圧力Ｐ２は１２．３ｋＰａ以下に設定されるのが好ましい。なお、第一設定温度Ｔ１は、第二設定温度Ｔ２（または第二設定圧力Ｐ２における飽和温度）に基づき設定すればよい。具体的には、第一設定温度Ｔ１は、第二設定温度Ｔ２よりも所定温度（たとえば０．５〜２℃）高い温度に設定される。いずれにしても、減圧動作Ｓ２において、洗浄槽３内の液体は沸騰し、その沸騰中に、次に述べる液相給気動作Ｓ３が実行される。
【００３６】
第一回目の液相給気動作Ｓ３は、減圧動作Ｓ２による減圧手段５の作動を継続したまま液相給気手段６を用いて、洗浄槽３の内外の差圧により被洗浄物２よりも下方から洗浄槽３内の液体中に外気を導入する。具体的には、真空発生装置１４の作動を継続したまま、液相給気弁１８を開いて、大気圧との差圧により、フィルター１７、液相給気路１６および液相給気ノズル１９を介して、貯留液中に外気を導入する。
【００３７】
このように、本実施形態の洗浄装置１では、洗浄槽３内の液体が沸騰している最中に、外気は、ブロアーで押し込まれることなく、大気圧との差圧により自然に吸い込まれる。この場合、液中に導入された気泡の圧力は、最初の気泡が気相部に達するまで、洗浄槽３内の圧力そのものとなる。従って、液中に空気泡を導入したことによって、導入された気体を沸騰の核として、導入された気泡は爆発的に膨張する。具体的には、液中に導入された気泡は、減圧下の洗浄槽３内において膨張すると共に、液体の沸騰蒸気が入り込むことでさらに膨張しつつ、液相部を上昇する。このようにして液体を突沸させ、液体の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、液体を大きく揺動させて、被洗浄物２を効果的に洗浄することができる。
【００３８】
液相給気手段６により液相部に供給された空気は、やがて気相部に達し、洗浄槽３内を復圧する。液相給気動作Ｓ３において、洗浄槽３内を大気圧まで復圧してもよいが、加温動作Ｓ１、減圧動作Ｓ２および液相給気動作Ｓ３のセットを繰り返す場合には、洗浄槽３内を大気圧まで復圧してしまうと次回の減圧動作において減圧時間に無駄を生じるので、大気圧未満の所定圧力までの復圧で止めるように、液相給気弁１８を閉じるのがよい。
【００３９】
その後、所望により、再び、加温動作Ｓ１がなされる。この加温動作Ｓ１では、電気ヒータ１３に通電して、洗浄槽３内の液体を第一設定温度Ｔ１まで加温する。この加温動作Ｓ１では、真空発生装置１４は、作動を継続したままとするが、場合により停止させてもよい。加温動作Ｓ１において真空発生装置１４の作動を継続する場合、液相給気弁１８を閉じたままでは洗浄槽３内の液体が沸騰してしまうので、沸騰する直前で一時的に液相給気弁１８を開く動作が繰り返される。洗浄槽３内の液体が第一設定温度Ｔ１になると、電気ヒータ１３を停止して、減圧動作Ｓ２に以降する。
【００４０】
減圧動作Ｓ２では、前述した第一回目の減圧動作Ｓ２と同様であり、液相給気弁１８を閉じた状態を維持して、たとえば洗浄槽３内の液体が第二設定温度Ｔ２になるという設定条件を満たすまで、真空発生装置１４により洗浄槽３内を減圧して、貯留液を沸騰させる。そして、この設定条件を満たすと、液相給気動作Ｓ３に以降する。
【００４１】
液相給気動作Ｓ３では、前述した第一回目の液相給気動作Ｓ３と同様であり、貯留液の沸騰中に液相給気弁１８を開けて、洗浄槽３内の貯留液中に外気を導入し、その導入した空気泡を沸騰の核として、貯留液を突沸させる。この突沸による液体の爆発的な噴上げとそれに続く落下とによって、液体を大きく揺動させて、被洗浄物２を効果的に洗浄することができる。
【００４２】
このようにして、加温動作Ｓ１、減圧動作Ｓ２および液相給気動作Ｓ３を、所定の終了条件を満たすまで繰り返すのであるが、この終了条件として、第一回目の加温動作Ｓ１の終了時点からの経過時間、液相給気動作Ｓ３の実行回数を採用することができる。
【００４３】
そして、終了条件を満たせば、液相給気弁１８を閉じて、電気ヒータ１３および真空発生装置１４を停止した状態で、気相給気弁２３を開けて洗浄槽３内を大気圧まで復圧すればよい。その後、所望により、洗浄槽３内の液体を入れ替えて被洗浄物２をもう一度洗浄したり、被洗浄物２を乾燥したりしてもよい。なお、本実施形態において、洗浄には、濯ぎも含まれる。
【００４４】
ところで、上述した各減圧動作Ｓ２では、加温手段４を停止したが、場合により作動を継続してもよい。
【実施例】
【００４５】
前記実施形態の洗浄装置１を用いて、液相給気動作Ｓ３直前の洗浄槽３内圧力と突沸現象との関係を調べた。その結果を表１に示す。
【００４６】
【表１】
0005704304.tif 000002
【００４７】
表１は、液相給気弁１８を開く直前の洗浄槽３内の圧力と、洗浄槽３内の貯留液の上層と下層との温度差と、目視による突沸現象の有無と、液相給気動作Ｓ３中（突沸中）の音の強さとの関係を示す表である。なお、洗浄槽３内の貯留液に被洗浄物２を浸漬した状態で、貯留液の水深は２００ｍｍである。また、突沸が激しいほど、大きな音を生ずるので、デシベル値が大きくなる。
【００４８】
この表から明らかなとおり、液相給気動作Ｓ３を開始する直前の洗浄槽３内圧力は、１９．９ｋＰａ以下（貯留液の温度が６０℃以下に相当）であれば突沸が生じ、１２．３ｋＰａ（貯留液の温度が５０℃以下に相当）であれば、明らかな突沸が見られた。
【００４９】
この原因は、図３に示すように、同じ圧力差ΔＰ（具体的には洗浄槽３内の貯留液の上層と下層との水頭圧による圧力差）であっても、それに対応する温度差ΔＴ，ΔＴ´が高圧になるほど小さくなることと関係する（ΔＴ＞ΔＴ´）。すなわち、高温（つまり洗浄槽３内圧力が高い）ほど貯留液の上層と下層での温度差が小さくなり、空気（沸騰の核）を導入しても、過熱領域ができず、突沸が生じないと考えられる。そして、貯留液の上層と下層とで、突沸が生じる温度差が得られる条件は、表１から、洗浄槽３内が２０ｋＰａ以下、より好ましくは１５ｋＰａ以下であることが分かる。
【符号の説明】
【００５０】
１  洗浄装置
２  被洗浄物
３  洗浄槽
４  加温手段
５  減圧手段
６  液相給気手段
７  気相給気手段
８  圧力センサ
９  温度センサ
１３  電気ヒータ
１４  真空発生装置
１８  液相給気弁
Ｔ１  第一設定温度
Ｔ２  第二設定温度
【図１】
0005704304.tif 000003
【図２】
0005704304.tif 000004
【図３】
0005704304.tif 000005