(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のバーナと、
前記複数のバーナに対して燃料を供給するための燃料供給装置と、
前記複数のバーナに対して燃焼用空気を供給するファンと、
を備えている、燃焼装置であって、
前記燃料供給装置は、
複数のチャンバが内部に形成され、かつこれら複数のチャンバに供給されてきた燃料を噴出させるための複数のノズルを有するノズルヘッドと、前記複数のチャンバのそれぞれに対応して設けられ、かつ前記複数のチャンバに対する燃料供給のオン・オフを個々に切り替えるための複数の弁と、を備えており、
前記複数の弁として、シグナル圧用の入力ポートを有し、かつこの入力ポートにシグナル圧が入力されることにより前記複数のチャンバに供給される燃料の圧力を前記シグナル圧に対応した圧力に制御可能な複数の圧力調整弁が用いられており、これら複数の圧力調整弁のそれぞれに対するシグナル圧の入力態様を、制御対象の圧力調整弁が弁開状態となる第１の態様と弁閉状態となる第２の態様とに切り替え可能なシグナル圧切り替え手段を、備えており、
前記第１の態様においては、前記ファンの吐出圧が前記シグナル圧として利用され、または前記シグナル圧の生成に利用され、前記第２の態様においては、制御対象となる圧力調整弁の２次圧が前記シグナル圧として利用され、または前記シグナル圧の生成に利用される構成とされており、
前記複数の圧力調整弁の１次圧、２次圧、および前記ファンの吐出圧を受けることにより、前記複数の圧力調整弁のそれぞれを前記ファンの吐出圧に対応した弁開度に制御可能な補助圧力調整弁を、さらに備えていることを特徴とする燃焼装置。
【請求項２】
前記シグナル圧切り替え手段は、前記複数の圧力調整弁と前記補助圧力調整弁とを繋ぐ複数の燃料流通路が集約された箇所において、それら複数の燃料流通路のそれぞれを開閉可能に構成された二方電磁弁を有している、請求項１に記載の燃焼装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえばガス給湯装置のガスバーナに燃料ガスを供給するといった用途に用いるのに好適な燃料供給装置を備えた燃焼装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、ガス給湯装置においては、給湯条件に応じて、バーナの駆動燃焼エリアを変更し、あるいは火力調整をしたい場合がある。このような場合に適する燃料供給装置として、従来においては、たとえば図５に示すようなものがある。同図に示す燃料供給装置Ｆは、複数のバーナ９の下方に、燃料ガス噴出用のノズル８２を複数有するノズルヘッド８を有している。このノズルヘッド８の内部には、複数のチャンバ８０が区画形成されており、各チャンバ８０には、燃料ガス供給路８１から開口部８３を介して燃料ガスが流入可能である。各開口部８３は、電磁開閉弁Ｖｅによって開閉可能である。このように電磁開閉弁Ｖｅを用いる手段は、たとえば特許文献１にも記載されている。
【０００３】
前記した構成によれば、複数の電磁開閉弁Ｖｅを個別に開閉制御することによって、複数のチャンバ８０への燃料供給を個々にオン・オフすることができる。したがって、複数のバーナ９のうち、所望のバーナ９のみに燃料ガスを選択的に供給し、駆動燃焼エリアを変更することができる。
【０００４】
しかしながら、前記従来技術においては、次に述べるような不具合があった。
【０００５】
すなわち、ノズルヘッド８の各チャンバ８０に対する燃料供給のオン・オフを切り替えるための手段として、電磁開閉弁Ｖｅが用いられているが、この電磁開閉弁Ｖｅの開閉対象部位である開口部８３は、各バーナ９において燃焼される燃料ガスの全量を通過させるための部位である。このため、開口部８３は、比較的大きな口径とされ、燃料ガスの流量は多い。したがって、そのように流量が多い燃料ガスの圧力に抗して電磁開閉弁Ｖｅを開閉させるには、大きな電磁力が必要となる。その結果、各電磁開閉弁Ｖｅとしては、高出力タイプのソレノイドを有する大型かつ高価なものを用いる必要が生じる。その結果、製造コストが高価となる不具合があり、さらに省エネを図る上でも余り好ましいものではない。
【０００６】
なお、ファンを利用してバーナに燃焼用空気を供給する燃焼装置においては、均圧弁と称されるタイプの圧力調整弁を利用し、燃料供給圧を制御する手段が用いられる場合がある（たとえば、特許文献２を参照）。ところが、前記した圧力調整弁は、空燃比を一定にし、燃焼性を良好にすることを目的として、燃料供給圧をファンの吐出圧に対応した圧力に制御するものに過ぎない。したがって、このような圧力調整弁を、図５に示した燃料供給装置Ｆに組み込んだとしても、複数の電磁開閉弁Ｖｅについてはそのまま設けておく必要があり、先に述べた不具合は解消されない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３５１５８２号公報
【特許文献２】特開２００７−１０７８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前記したような事情のもとで考え出されたものであり、大型で高価な電磁開
閉弁またはこれと同様な弁を多数用いる必要を無くして、製造コストの低減や省エネを図ることができ、しかも複数のバーナなどに対する選択的な燃料供給を適切に行なうことが可能な燃料供給装置を備えた燃焼装置を提供することを、その課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を講じている。
【００１０】
本発明により提供される燃焼装置は、複数のバーナと、前記複数のバーナに対して燃料を供給するための燃料供給装置と、前記複数のバーナに対して燃焼用空気を供給するファンと、を備えている、燃焼装置であって、前記燃料供給装置は、複数のチャンバが内部に形成され、かつこれら複数のチャンバに供給されてきた燃料を噴出させるための複数のノズルを有するノズルヘッドと、前記複数のチャンバのそれぞれに対応して設けられ、かつ前記複数のチャンバに対する燃料供給のオン・オフを個々に切り替えるための複数の弁と、を備えており、前記複数の弁として、シグナル圧用の入力ポートを有し、かつこの入力ポートにシグナル圧が入力されることにより前記複数のチャンバに供給される燃料の圧力を前記シグナル圧に対応した圧力に制御可能な複数の圧力調整弁が用いられており、これら複数の圧力調整弁のそれぞれに対するシグナル圧の入力態様を、制御対象の圧力調整弁が弁開状態となる第１の態様と弁閉状態となる第２の態様とに切り替え可能なシグナル圧切り替え手段を、備えており、前記第１の態様においては、前記ファンの吐出圧が前記シグナル圧として利用され、または前記シグナル圧の生成に利用され、前記第２の態様においては、制御対象となる圧力調整弁の２次圧が前記シグナル圧として利用され、または前記シグナル圧の生成に利用される構成とされており、前記複数の圧力調整弁の１次圧、２次圧、および前記ファンの吐出圧を受けることにより、前記複数の圧力調整弁のそれぞれを前記ファンの吐出圧に対応した弁開度に制御可能な補助圧力調整弁を、さらに備えていることを特徴としている。
【００１１】
このような構成によれば、複数の圧力調整弁を個々に弁開または弁閉状態に切り替えて、ノズルヘッドの複数のチャンバに対する燃料供給のオン・オフを個別に行なうことが可能である。加えて、次のような効果も得られる。
第１に、燃料供給のオン・オフを行なわせるための手段として、複数の圧力調整弁が用いられているが、これらの圧力調整弁は、シグナル圧に対応して弁開度が変化する弁であり、ソレノイドまたはモータを用いて駆動する必要はない。シグナル圧切り替え手段については、シグナル圧の各圧力調整弁に対する入力態様を切り替える機能を有すればよいために、たとえば電磁弁を用いて構成したとしても、この電磁弁としては高出力タイプの大型のものを用いる必要はない。このようなことから、本発明によれば、大型の電磁弁またはこれと同様な弁を用いる必要を無くし、または少なくし、燃料供給装置全体の製造コストの低減化、ならびに省エネ化を図ることができる。
第２に、各圧力調整弁を弁開状態とした際には、この圧力調整弁が本来有する機能に基づいて、ノズルヘッドのチャンバに流入する燃料の圧力を所定の圧力に制御することが可能である。したがって、前記した複数の圧力調整弁とは別に、大型の機器を用いて燃料供給圧を制御する必要も無くすことができる。
【００１３】
また、燃料供給装置から複数のバーナのそれぞれに対して燃料を選択的に供給し、複数のバーナの駆動燃焼エリアを適宜変更することが可能である。
【００１５】
さらに、このような構成によれば、各圧力調整弁に対するシグナル圧の入力態様が第１の態様とされているときには、バーナに対する燃料供給圧がファンの吐出圧に対応した圧力となり、空燃比を一定に維持することが可能である。一方、前記シグナル圧の入力態様が第２の態様とされているときには、各圧力調整弁を適切に弁閉状態に維持することが可能となる。
【００１７】
さらに、このような構成によれば、補助圧力調整弁を用いる分だけ、弁の総数が多くなるものの、全体の大型化を抑制することが可能である。すなわち、補助圧力調整弁は、圧力調整弁をコントロールする機器としての役割を果たすものであるが、この補助圧力調整弁については、相当に小さいサイズに形成することが可能である。これに対し、各圧力調整弁は、燃料供給経路途中に設けられて、バーナに供給される燃料の制御を行なうものであるため、それ相応のサイズに形成する必要があるが、この圧力調整弁については、可動部分のストロークを小さくするなどして、その大型化を極力抑制することが可能となり、このことが全体の小サイズ化を図る上での利点となる。
【００１８】
本発明において、好ましくは、前記シグナル圧切り替え手段は、前記複数の圧力調整弁と前記補助圧力調整弁とを繋ぐ複数の燃料流通路が集約された箇所において、それら複数の燃料流通路のそれぞれを開閉可能に構成された二方電磁弁を有している。
【００１９】
このような構成によれば、シグナル圧切り替え手段の構成を簡素なものにして、製造コストの一層の低減化を図ることができる。
【００２０】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行なう発明の実施の形態の説明から、より明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明が適用された燃焼装置の一例を模式的に示す断面図である。
【図２】図１に示す燃焼装置に用いられている燃料供給装置を示す要部断面図である。
【図３】図２に示す燃料供給装置に用いられているシグナル圧切り替え用の二方電磁弁を示す要部断面図である。
【図４】図３に示す二方電磁弁の動作状態を示す要部断面図である。
【図５】従来技術の一例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照して具体的に説明する。
【００２３】
図１に示す燃焼装置Ｃは、湯水加熱用の熱交換器１９を備えたガス給湯装置として構成されており、缶体１内に配された複数のバーナ２Ａ〜２Ｃ、ファン３、燃料供給装置ＦＳ、および制御部ＣＮを備えている。燃料供給装置ＦＳは、ガス管４０からガス噴出用のノズルヘッド４３まで一連に繋がって形成された燃料供給路４、開閉弁Ｖｃ、複数の圧力調整弁Ｖａ（Ｖａ１〜Ｖａ３）、補助圧力調整弁Ｖｂ、および複数の二方電磁弁Ｖｄを備えている。二方電磁弁Ｖｄは、本発明でいうシグナル圧切り替え手段の一例に相当する。
【００２４】
ノズルヘッド４３は、燃料ガスを噴出するための複数のノズル４５を有しており、この
ノズルヘッド４３内には、バーナ２Ａ〜２Ｃに対応する複数のチャンバ４４ａ〜４４ｃが区画形成されている。図面においては、ノズル４５の数が少なく示されているが、実際には、たとえば特許文献１に記載されているように、このノズル４５は比較的小さいピッチで多数設けられる。また、ノズル４５の向きは、上向きでなくてもよく、たとえば略水平方向を向いた構成とすることもできる。ノズル４５から噴出された燃料ガスは、ファン３から缶体１内に送られてくる燃焼用空気と混合されてバーナ２Ａ〜２Ｃに供給され、燃焼する。この燃焼により発生した燃焼ガスから熱交換器１９によって熱回収がなされ、熱交換器１９内を流通する湯水が加熱される。熱回収後の燃焼ガスは、排ガスとして排気口１１から排出される。
【００２５】
開閉弁Ｖｃは、いわゆる元栓としての役割を果たす弁であり、燃料ガス供給のオン・オフを行なうためのものである。この開閉弁Ｖｃは、圧力調整弁Ｖａとは異なり、電磁弁であり、ソレノイド５０を利用して弁本体部５１を往復動させる機構を備えている（図２を参照）。
【００２６】
複数の圧力調整弁Ｖａは、複数のチャンバ４４ａ〜４４ｃに対する燃料供給のオン・オフを切り替え制御するとともに、燃料供給時にはその燃料供給圧をも制御する機能を発揮するものである。これら複数の圧力調整弁Ｖａは、開閉弁Ｖｃの下流側に並列接続されている。また、これら複数の圧力調整弁Ｖａの下流側は、複数のチャンバ４４ａ〜４４ｃの燃料ガス流入口４６に対し、配管部４７ａ〜４７ｃを介して個別に接続されている。
【００２７】
各圧力調整弁Ｖａの基本的な構成は従来の伝統的な圧力調整弁と同様であり、図２に示すように、燃料ガスの１次側流路４ａと２次側流路４ｂとの境界の調圧穴４２を開閉する弁本体部６０、この弁本体部６０を支持するダイヤフラムＤ１、戻し用のバネ６２、および受圧室６３を有している。受圧室６３には、シグナル圧用の入力ポート６４が連通しており、ダイヤフラムＤ１は、２次側流路４ｂの圧力（２次圧Ｐ２）と、入力ポート６４に入力される後述のシグナル圧（圧力Ｐｄまたは二次圧Ｐ２）を受ける。
【００２８】
補助圧力調整弁Ｖｂは、燃料供給路４内の圧力を直接制御するものではなく、各圧力調整弁Ｖａをコントロールするものである。この補助圧力調整弁Ｖｂは、ダイヤフラムＤ２によって内部が受圧室７５ａと２次圧室７５ｂとに区画されたケーシング７０、第１および第２のバネＳ１，Ｓ２、調圧穴７２、ならびに弁本体部７３を備えている。受圧室７５ａには、ファン３の吐出圧Ｐｓが制御用シグナル圧として供給されている。より具体的には、図１に示すように、ファン３の吐出口の内部またはその近傍には、ファン３の吐出圧Ｐｓを検出するための吐出圧検出部３２が設けられており、吐出圧Ｐｓは、配管部７６を介して受圧室７５ａに入力されるようになっている。
【００２９】
補助圧力調整弁Ｖｂの調圧穴７２には、オリフィス４９を有する第１の流路７４ａを介して、燃料供給路４の１次圧Ｐ１が供給されるように構成されている。弁本体部７３は、ダイヤフラムＤ２のうち、調圧穴７２に対面する部分であり、ダイヤフラムＤ２が、図２の左側に移動して調圧穴７２に接近すると、調圧穴７２を通過する燃料ガスの量は減少するようになっている。
【００３０】
二方電磁弁Ｖｄは、圧力調整弁Ｖａの入力ポート６４に対するシグナル圧の入力態様を、後述する第１の態様と、第２の態様とに切り替えるためのものである。二方電磁弁Ｖｄには、第１の流路７４ａに繋がった第２の流路７４ｂ、補助圧力調整弁Ｖｂの２次圧室７５ｂに繋がった第３の流路７４ｃ，圧力調整弁Ｖａの２次側流路４ｂに繋がった第４の流路７４ｄ，および入力ポート６４に繋がった第５の流路７４ｅのそれぞれの一端が接続されている。図３に示すように、二方電磁弁Ｖｄは、ソレノイド５５を利用して弁体５６を往復動自在としたものであり、第２および第５の流路７４ｂ，７４ｅ間に形成された第１
の開口部５７ａ、第４および第５の流路７４ｄ，７４ｅ間に形成された第２の開口部５７ｂ、ならびに第３および第４の流路７４ｃ，７４ｄ間に形成された第３の開口部５７ｃのそれぞれを弁体５６によって開閉可能である。
【００３１】
図４（ａ），（ｂ）は、二方電磁弁Ｖｄを利用して、前記した第１の態様、および第２の態様が設定される場合を示している。以下、これら第１および第２の態様について説明する。
【００３２】
まず、第１の態様においては、次に述べるように、圧力調整弁Ｖａの下流側の２次圧Ｐ２をファン３の吐出圧Ｐｓに対応した圧力（たとえば吐出圧Ｐｓと同等圧）にすることができる。
すなわち、図４（ａ）に示す第１の態様では、第１および第３の開口部５７ａ，５７ｃが開状態であり、第２の開口部５７ｂは閉状態である。この状態においては、第２および第５の流路７４ｂ，７４ｅが連通するために、第２の流路７４ｂ内の圧力Ｐｄが圧力調整弁Ｖａの入力ポート６４にシグナル圧として入力する。ここで、前記した圧力Ｐｄは、補助圧力調整弁Ｖｂの弁開度に対応する。より詳細には、補助圧力調整弁Ｖｂの弁本体部７３と調圧穴７２との距離が大きいと、第１の流路７４ａの燃料ガスが第２の流路７４ｂに多く流れるために、圧力Ｐｄは低くなる。これとは反対に、前記の距離が小さくなると圧力Ｐｄは高くなる。また、第１の態様においては、第３および第４の流路７４ｃ，７４ｄが連通するために、２次側流路４ｂと補助圧力調整弁Ｖｂの２次圧室７５ｂとが繋がる。このため、２次圧室７５ｂの圧力は、２次側流路４ｂの２次圧Ｐ２と等しいものとなる。
【００３３】
一方、補助圧力調整弁Ｖｂの受圧室７５ａには、ファン３の吐出圧Ｐｓが供給されており、ダイヤフラムＤ２は吐出圧Ｐｓによって押され、調圧穴７２を塞ぐ方向に移動する。この場合、吐出圧ＰｓのダイヤフラムＤ２に対する押圧力と第１のバネＳ１の押圧力との和が、２次圧Ｐ２のダイヤフラムＤ２に対する押圧力と第２のバネＳ２の押圧力との和と釣り合う位置にダイヤフラムＤ２が移動する。第２の流路７４ｂ内の圧力Ｐｄは、既述したように、ダイヤフラムＤ２の位置に左右される。圧力調整弁Ｖａにおいては、圧力Ｐｄによって、ダイヤフラムＤ１が弁開度を大きくする方向に移動するが、この場合、２次圧Ｐ２が補助圧力調整弁Ｖｂに供給されている吐出圧Ｐｓと釣り合う位置に移動することとなる。このような動作原理により、２次圧Ｐ２を吐出圧Ｐｓに対応した圧力（たとえば、同一圧）に制御することができる。
【００３４】
次に、第２の態様を説明する。この第２の態様では、圧力調整弁Ｖａを弁閉状態とすることができる。
すなわち、図４（ｂ）に示す第２の態様では、第２の開口部５７ｂが開状態であり、第１および第３の開口部５７ａ，５７ｃは閉状態である。この状態においては、第４および第５の流路７４ｄ，７４ｅが互いに繋がるために、２次側流路４ｂの二次圧Ｐ２が入力ポート６４にシグナル圧として入力する。圧力調整弁Ｖａは、このような二次圧Ｐ２の入力によっては開状態にはならず、閉状態を維持することとなる。第３および第４の流路７４ｃ，７４ｄどうしの間は遮断されているために、燃料ガスがこれらの流路を通過して２次側流路４ｂに不当に流れることはない。
【００３５】
制御部ＣＮは、マイクロコンピュータなどを用いて構成されている。この制御部ＣＮは、燃焼装置Ｃの各部の動作制御や各種のデータ処理を実行する。各二方電磁弁Ｖｄの切り替え動作も、この制御部ＣＮによって制御される。
【００３６】
次に、前記した燃焼装置Ｃの作用について説明する。
【００３７】
まず、バーナ２Ａ〜２Ｃの全てを駆動燃焼させて強い火力を得る場合には、複数の二方
電磁弁Ｖｄの全てを図４（ａ）に示した状態（第１の態様）に設定し、圧力調整弁Ｖａ１〜Ｖａ３の入力ポート６４に対し、シグナル圧として圧力Ｐｄを入力させる。このことにより、既述したように、圧力調整弁Ｖａ１〜Ｖａ３のそれぞれは開弁状態となって、二次圧Ｐ２をファン３の吐出圧Ｐｓに対応した圧力に制御する。したがって、ノズルヘッド４３の複数のチャンバ４４ａ〜４４ｃのそれぞれには、燃料ガス供給が適切になされ、バーナ２Ａ〜２Ｃにおいては空燃比が一定の駆動燃焼がなされる。
【００３８】
次いで、前記とは異なり、たとえばバーナ２Ａのみを駆動燃焼させ、かつバーナ２Ｂ，２Ｃの駆動燃焼を停止させたい場合には、圧力調整弁Ｖａ２，Ｖａ３に対応する２つの二方電磁弁Ｖｄを図４（ｂ）に示した状態（第２の態様）に設定する。このような設定がなされると、既述したように、圧力調整弁Ｖａ２，Ｖａ３の入力ポート６４には、２次側流路４ｂからの２次圧Ｐ２が入力することとなって、圧力調整弁Ｖａ２，Ｖａ３は閉状態となり、チャンバ４４ｂ，４４ｃへの燃料ガス供給は停止される。したがって、バーナ２Ｂ，２Ｃの駆動燃焼を停止させておくことができる。もちろん、この場合において、チャンバ４４ａに対しては圧力調整弁Ｖａ１を介して燃料ガスを供給することが可能であり、バーナ２Ａを適切に駆動燃焼させることができる。このように、この燃焼装置Ｃでは、バーナ２Ａ〜２Ｃのそれぞれを選択的に駆動燃焼させることかできる。
【００３９】
本実施形態の燃焼装置Ｃにおいては、複数のチャンバ４４ａ〜４４ｃに対する燃料ガスの供給を個別にオン・オフするための手段として、複数の圧力調整弁Ｖａが用いられているが、これら圧力調整弁Ｖａの駆動源としてソレノイドやモータを用いる必要はない。補助圧力調整弁Ｖｂについても同様である。二方電磁弁Ｖｄは、第２ないし第５の流路７４ｂ〜７４ｅ間における燃料ガス流通のオン・オフを行なうが、それら第２ないし第５の流路７４ｂ〜７４ｅは小径であって、この二方電磁弁Ｖｄの開閉動作に大きな電磁力は必要としない。したがって、二方電磁弁Ｖｄについては、比較的低出力の小型かつ安価なものとすることができる。このように、この燃焼装置Ｃの燃料供給装置ＦＳにおいては、開閉弁Ｖｃ以外に大型の電磁弁を組み込む必要がなく、装置全体の製造コストの低減化、ならびに省エネ化を図ることができる。
【００４０】
また、この燃焼装置Ｃによれば、１つの補助圧力調整弁Ｖｂから複数の圧力調整弁Ｖａのそれぞれに対し、所定の必要な圧力伝達を行なわせており、補助圧力調整弁Ｖｂの数を最小数にしている。したがって、たとえば補助圧力調整弁Ｖｂを複数用いる場合と比較すると、その構成は合理的である。さらに、各圧力調整弁Ｖａの入力ポート６４に対するシグナル圧の入力態様を切り替えるための手段としては、構成の簡易な二方電磁弁Ｖｄが用いられているために、装置全体の製造コストを低減するのに、より好ましいものとなる。
【００４１】
本発明は、上述した実施形態の内容に限定されない。本発明に係る燃料供給装置を備えた燃焼装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。
【００４２】
上述した実施形態では、ノズルヘッド内のチャンバやバーナが３つずつ設けられている場合を具体例としたが、これらの数は複数であればよく、限定されない。
【００４３】
本発明でいうシグナル圧切り替え手段としては、前記実施形態のような二方電磁弁とは異なる構成の電磁弁あるいはその他の弁を用いることもできる。本発明に係る燃焼装置は、熱交換器を備えた給湯装置などの温水装置に代えて、たとえばファンヒータ、コンロ、
焼却用燃焼装置などの燃焼装置として構成することもできる。
【符号の説明】
【００４４】
Ｃ  燃焼装置
ＦＳ  燃料供給装置
Ｖａ  圧力調整弁
Ｖｂ  補助圧力調整弁
Ｖｄ  二方電磁弁（シグナル圧切り替え手段）
２Ａ〜２Ｃ  バーナ
３  ファン
４３  ノズルヘッド
４４ａ〜４４ｃ  チャンバ（ノズルヘッド内の）
４５  ノズル
６４  シグナル圧用の入力ポート
【図１】
0005720874.tif 000002
【図２】
0005720874.tif 000003
【図３】
0005720874.tif 000004
【図４】
0005720874.tif 000005
【図５】
0005720874.tif 000006