(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
裏面で支持台に支持され表面に電極が設けられた被検査体の電気検査のためのプローブ装置であって、
前記支持台から間隔おきかつ該支持台に沿って伸長すべくフレーム部材に支持され、前記支持台に向き合う面を有するプローブブロックと、
前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面に配置される配線シートであって前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面から離れて所定の傾斜角度で前記支持台に向けて伸長する延在部を備える配線シートとを含み、
前記配線シートは、一方の面が前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面に貼り付けられた電気絶縁材料から成る第１のシート状部材と、該第１のシート状部材の他方の面に形成され前記プローブブロックの伸長方向と直角な方向へ互いに間隔をおいて該ブロックの伸長方向に伸びる複数の第１の配線と、前記配線シートの延在部で各第１の配線から前記被検査体の対応する前記電極へ向けて突出すべく前記第１の配線に形成された接触電極とを備え、
各接触電極は、前記第１の配線から前記支持台へ向けて突出し、前記第１の配線の幅方向へ該配線と交差する平坦面で構成する前端面と、該前端面に連続する直線状又は弧状の面とを有し、前記前端面は該前端面に連続する前記直線状又は弧状の面よりも前記第１の配線の伸長端側に位置し前記前端面に連続する前記直線状又は弧状の面と前記前端面とで、前記被検査体の前記電極の表面を削るための角が形成されている、プローブ装置。
【請求項２】
さらに、前記プローブブロックの前記伸長端の近傍部分で前記支持台に向き合う面に取り付けられた可撓性の配線シート支持体であって前記プローブブロックの前記伸長端を越えて前記所定の傾斜角で伸長し、前記配線シートの前記延在部を支持する延長部を備える配線シート支持体を含む、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記配線シート支持体は、前記所定の傾斜角に沿うように一方の面で前記プローブブロックに取り付けられた可撓性を有する板状部材と、該板状部材の他方の面に一方の面が取り付けられた第１の弾性部材とを備え、
前記第１のシート状部材は、前記第１の弾性部材の他方の面に取り付けられている、請求項２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記配線シート支持体は半透明又は透明の材料から成る、請求項２又は３に記載のプローブ装置。
【請求項５】
さらに、前記プローブブロックの後方で前記配線シートに対応して配置された接続シートであって、前記第１のシート状部材に対応して前記プローブブロックの伸長方向に沿って延びる第２のシート状部材と、前記第１の配線に対応して前記第２のシート状部材に形成された複数の第２の配線であって前記第２のシート状部材に沿って該シート状部材の伸長方向に延びる複数の第２の配線とを備える接続シートを含み、
前記配線シートは、前記延在部が設けられた側と反対側の後部において前記第１の配線が設けられた面が後方に向く状態に折り曲げられた第１の接続境域を有し、
前記接続シートは、前記配線シートの前記後部に隣接する前部において前記第２の配線が設けられた面が前方に向く状態に折り曲げられた第２の接続領域であって、前記第１及び第２の配線が接触するように前記第１の接続領域に対向された第２の接続領域を有し、
前記第１及び第２の接続領域は、それらの対向する面で前記第１及び第２の配線が接触するように挟持手段により前後方向から挟持されている、請求項1から４のいずれか１項に記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記挟持手段は、前記第１及び第２の接続領域を挟持するように、前後方向に対向して配置され相互に結合される第１及び第２の挟持ブロックを含む、請求項５に記載のプローブ装置。
【請求項７】
前記プローブブロックと前記第１及び第２の挟持ブロックとは、支持ブロックを経て前記フレーム部材に支持されている、請求項６に記載のプローブ装置。
【請求項８】
さらに、前記第１及び第２の狭持ブロックの少なくともいずれか一方に設けられた第２の弾性部材であって、前記第１又は第２の接続領域と前記第１又は第２の挟持ブロックとの間に介在する第２の弾性体を含む、請求項６又は７に記載のプローブ装置。
【請求項９】
さらに、前記プローブブロックに取り付けられ、前記プローブブロックと前記支持台との相対運動によって前記配線シートの前記接触電極が前記被検査体の対応する前記電極に押し付けられたとき前記配線シートの前記延在部の過大な変形を抑制すべく、前記プローブブロックから前記配線シートの前記延在部における前記第１のシート状部材の前記一方の面に間隔をおいて該一方の面に当接可能に伸長するストッパとを含む、請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項１０】
前記ストッパは、弾性を有する第１の弾性部材と、該第１の弾性部材を覆い前記配線シートの前記第１のシート状部材に対する摩擦を低減するための表面層とを備える、請求項９に記載のプローブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶が封入された液晶表示パネルのような平板状の被検査体は、一般に、プローブユニットのような、プローブ装置を用いる検査装置すなわち試験装置により検査すなわち試験をされる。そのような試験において、試験装置に設けられたテスタからの電気信号がプローブ装置を介して被検査体に供給される。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載されたプローブ装置は、複数の配線を一方の面に有する可撓性の配線シートと、該配線シートが支持されたプローブブロックとを含む。プローブブロックは、その前部の下面が水平方向に対して前方ほど下方となる斜めに傾斜した状態に形成されており、配線シートは、その傾斜した下面に貼り付けられて、前方ほど下方となる斜めに傾斜した状態にプローブブロックに支持されている。
【０００４】
配線シートは、プローブブロックの下面に貼り付けられた主体部と、この主体部に連続してプローブブロックの前下端部から延びる延在部とを備え、主体部及び延在部は、プローブブロックの傾斜した下面と同一の傾斜方向、すなわち前方ほど下方となる斜めに傾斜した方向に延びる。
【０００５】
配線シートは、シート状部材と、シート状部材に設けられ、かつシート状部材に沿って前後方向に延びる配線と、配線の前部に形成された接触電極とを備える。シート状部材に形成された配線及びこれに形成された接触電極は、プローブ装置が接続されるテスタと被検査体の電極との間に介在して、電気信号の受け渡しを行うプローブとして作用する。接触電極は、ニッケルのような導電性材料から成り、配線シートの配線上に半球状の形状に形成されており、その半球状の曲面で被検査体の電極に接触される。
【０００６】
被検査体の試験においては、プローブ装置と被検査体とが相寄るように上下方向に相対的に移動し、プローブ装置の接触電極と、被検査体の電極とが接続される。このとき、配線シートは、斜めの方向に延びる配線シートの延在部が接触電極を介して被検査体により上方に押されて、配線シートの主体部と延在部との境界を規定するプローブブロックの前下端部の縁に沿って屈曲する。
【０００７】
この配線シートの屈曲により、接触電極が被検査体の電極上を前方に移動することになるから、被検査体の電極の表面が酸化されて電極表面に酸化膜が形成されていたとしても、接触電極が被検査体の電極上の酸化膜を削り取る。これにより、酸化膜を削り取られた電極部分にプローブ装置の接触電極が接触することになるから、接触電極と被検査体の電極とが電気的に接続される。
【０００８】
しかし、引用文献１のプローブ装置では、接触電極が半球状の形状であるから、接触電極は、その曲面が被検査体の電極に接触した状態で電極上を滑ることになる。接触電極が電極上を滑ってしまうと、酸化膜の除去が効果的に行われない。これにより、酸化膜が除去されずに接触電極と被検査体の電極との間に介在してしまい、接触電極と被検査体の電極とが確実に接続できないことがある。
【０００９】
また、被検査体の電極上に異物が存在するとき、接触電極が被検査体の電極上を移動して異物を押し退けようとしても、異物が接触電極の曲面を滑るように接触電極と被検査体の電極との間に入り込み、接触電極と被検査体の電極とが正確に接触できないことがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−４６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、プローブ装置の接触電極を被検査体の電極に確実に接続させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係るプローブ装置は、裏面で支持台に支持され表面に電極が設けられた被検査体の電気検査のためのプローブ装置であって、前記支持台から間隔をおきかつ該支持台に沿って伸長すべくフレーム部材に支持され、前記支持台に向き合う面を有するプローブブロックと、前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面に配置される配線シートであって前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面から離れて所定の傾斜角度で前記支持台へ向けて伸長する延在部を備える配線シートとを含む。
【００１３】
前記配線シートは、一方の面が前記プローブブロックの前記支持台に向き合う面に貼り付けられた電気絶縁材料から成る第１のシート状部材と、該第１のシート状部材の他方の面に形成され前記プローブブロックの伸長方向と直角な方向へ互いに間隔をおいて該ブロックの伸長方向に伸びる複数の第１の配線と、前記配線シートの延在部で各第１の配線から前記被検査体の対応する前記電極へ向けて突出すべく前記第１の配線に形成された接触電極とを備え、各接触電極は、前記第１の配線から前記支持台へ向けて突出する前端面と、該前端面に連続する直線状又は弧状の面とを有し、前記前端面は該前端面に連続する前記直線状又は弧状の面よりも前記第１の配線の伸長端側に位置し、前記前端面に連続する前記直線状又は弧状の面と前記前端面とで、前記被検査体の前記電極の表面を削るための角が形成されている。前記前端面は、前記第１の配線の幅方向へ該配線と交差する平坦面とすることができる。
【００１４】
さらに、前記プローブ装置は、前記プローブブロックの前記伸長端の近傍部分で前記支持台に向き合う面に取り付けられた可撓性の配線シート支持体であって前記プローブブロックの前記伸長端を越えて前記所定の傾斜角で伸長し、前記配線シートの前記延在部を支持する延長部を備える配線シート支持体を含むことができる。
【００１５】
前記配線シート支持体は、前記所定の傾斜角に沿うように一方の面で前記プローブブロックに取り付けられた可撓性を有する板状部材と、該板状部材の他方の面に一方の面が取り付けられた第１の弾性部材とを備えていてもよく、前記第１のシート状部材は、前記第１の弾性部材の他方の面に取り付けられていてもよい。また、前記配線シート支持体は半透明又は透明の材料から形成されていてもよい。
【００１６】
前記プローブ装置は、さらに、前記配線シートの後方で前記配線シートに対応して配置された接続シートであって、前記第１のシート状部材に対応して前記プローブブロックの伸長方向に沿って延びる第２のシート状部材と、前記配線シートの前記第１の配線に対応して前記第２のシート状部材に形成された複数の第２の配線であって前記第２のシート状部材に沿って該シート部材の伸長方向に延びる複数の第２の配線とを備える接続シートを含むことができる。
【００１７】
前記配線シートは、前記延在部が設けられた側と反対側の後部において前記第１の配線が設けられた面が後方に向く状態に折り曲げられた第１の接続境域を有していてもよく、前記接続シートは、前記配線シートの前記後部に隣接する前部において前記第２の配線が設けられた面が前方に向く状態に折り曲げられた第２の接続領域であって、前記第１及び第２の配線が接触するように前記第１の接続領域に対向された第２の接続領域を有していてもよい。前記第１及び第２の接続領域は、それらの対向する面で前記第１及び第２の配線が接触するように挟持手段により前後方向から挟持されていてもよい。
【００１８】
前記挟持手段は、前記第１及び第２の接続領域を挟持するように、前後方向に対向して配置され相互に結合される第１及び第２の挟持ブロックを含むことができる。前記プローブブロックと前記第１及び第２の挟持ブロックとは、支持ブロックにより支持することができる。前記プローブ装置は、さらに、前記第１及び第２の狭持ブロックの少なくともいずれか一方に設けられた第２の弾性部材であって、前記第１又は第２の接続領域と前記第１又は第２の挟持ブロックとの間に介在する第２の弾性体を備えていてもよい。
【００１９】
前記プローブ装置は、さらに、前記プローブブロックに取り付けられ、前記プローブブロックと前記支持台との相対運動によって前記配線シートの前記接触電極が前記被検査体の対応する前記電極に押し付けられたとき前記配線シートの前記延在部の過大な変形を抑制すべく、前記プローブブロックから前記配線シートの前記延在部における前記第１のシート状部材の前記一方の面に間隔をおいて該一方の面に当接可能に伸長するストッパを含むことができる。
【００２０】
前記ストッパは、弾性を有する第１の弾性部材と、該第１の弾性部材を覆い前記配線シートの前記第１のシート状部材に対する摩擦を低減するための表面層とを備える
該第１の弾性部材を覆い前記配線シートの前記第１のシート状部材に対する摩擦を低減するための表面層とを備えていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、プローブ装置と被検査体とが相寄るように相対的に移動されると、先ず、配線シートの接触電極の角が被検査体の電極に接触する。これにより、前記接触電極が前記被検査体により押されるから、斜めの方向に伸びる配線シートの延在部は、配線シートの主体部と延在部との境界を規定するプローブブロックの伸長端の下端部の縁に沿って回転するように屈曲する。
【００２２】
この配線シートの屈曲により、接触電極の角部が被検査体の電極上を前方に移動するから、前記角が、被検査体の電極表面上の酸化膜を削り、また電極上の異物を前方に押し除ける。さらなる前記プローブ装置と前記被検査体との相対移動により、前記接触電極の前記角によって酸化膜が削られ、かつ異物が除去された被検査体の電極に、前記角に連続する前記接触電極の面が接触することにより、接触電極と被検査体の電極とを正確に接続させることができる。
【００２３】
さらに、プローブ装置は、前記配線シートの前記延在部を支持する配線シート支持体を含み、該配線シート支持体が弾性を有する板状部材を備えるから、前記接触電極は、前記板状部材の弾性力により適切な力で被検査体の電極に押圧され、かつ適切な力で電極上の酸化膜を削り取る。したがって、接触電極と被検査体の電極とをより正確に接続させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るプローブ装置を用いた試験装置の一部を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るプローブ装置の第１の実施例を示す正面図である。
【図３】図２に示すプローブ装置の平面図である。
【図４】図２に示すプローブ装置の側面である。
【図５】本発明に係るプローブ装置の配線シートを示し、図５（Ａ）は配線シートの正面図であり、図５（Ｂ）は配線シートの側面図であり、図５（Ｃ）は、配線シートの接触電極の周囲を拡大して示す側面図であり、図５（Ｄ）は配線シートの斜視図である。
【図６】本発明に係るプローブ装置の接触電極と被検査体の電極との接続方法を説明する図であり、図６（Ａ）は接触電極と被検査体の電極とが接触を始めた状態を示し、図６（Ｂ）は接触電極と被検査体の電極とが接続する過程を示し、図６（Ｃ）は接触電極と被検査体の電極とが接続した状態を示す側面図である。
【図７】本発明に係るプローブ装置の配線シートの製造方法を説明するための側面図である。
【図８】本発明に係るプローブ装置の第２の実施例を示す正面図である。
【図９】図８に示すプローブ装置の側面図である。
【図１０】図８に示すプローブ装置の前部を拡大して示す側面図である。
【図１１】本発明に係るプローブ装置の第３の実施例を示す正面図である。
【図１２】図１１に示すプローブ装置の側面図である。
【図１３】図１１に示すプローブ装置の前部を拡大して示す側面図である。
【図１４】本発明に係るプローブ装置の第４の実施例を示す平面図である。
【図１５】図１４における１５−１５線沿って得た断面図である。
【図１６】図１５に示す１６Ａ及び１６Ｂの部分の断面図であって、図１６（Ａ）及び１６（Ｂ）は、それぞれ、図１５の１６Ａ及び１６Ｂの部分を拡大して示す。
【図１７】本発明に係るプローブ装置の配線シートの他の実施例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
[用語の説明]
【００２６】
本発明においては、図４において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向をプローブ装置の被検査体側を前方とし、プローブ装置のプローブベース側を後方とする前後方向又はＹ方向といい、紙背方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００２７】
したがって、プローブ装置及びプローブブロックは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて使用される。
【００２８】
[検査装置]
【００２９】
図１を参照するに、試験装置１０は、液晶表示パネルのような平板状の被検査体１２の点灯検査に用いられる。試験装置１０は、被検査体１２を試験するための信号を送信するテスタ（図示しない）を備える。被検査体１２には、検査のために必要な、例えば、液晶表示パネルを黒表示させるための試験信号又は駆動信号がテスタから試験装置１０を介して被検査体１２に供給される。
【００３０】
被検査体１２は矩形の形状を有しており、その表面には、矩形の少なくとも１つの辺に対応する縁部に、複数の電極１４が所定の間隔で形成されている。各電極１４は、これが形成された縁部の長手方向と直交するＸ方向又はＹ方向へ延びる帯状の形状を有している。図示の例では、被検査体１２の隣り合う２つの辺に、複数の電極１４が設けられている。
【００３１】
試験装置１０は、被検査体１２を保持するための、該被検査体の裏面を受ける支持台として作用するチャックトップ１６と、チャックトップ１６の上方に配置された複数のプローブユニット１８とを含む。プローブユニット１８は、チャックトップ１６に保持された被検査体１２の電極１４が形成された縁部の上方に配置されている。プローブユニット１８とチャックトップ１６とは相寄り相離れるようにＺ方向に相対的に移動可能である。
【００３２】
姿勢を調整された被検査体１２は、大気圧よりも低いチャックトップ１６の吸引圧力によってチャックトップ１６上に保持される。チャックトップ１６は、従来よく知られているように、ｘｙｚθ台上に設けられている。これにより、チャックトップ１６上の被検査体１２は、チャックトップ１６と一体に、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ−Ｙ面に直角なＺ軸方向へ移動可能であり、またＺ軸の周り（すなわち、θ方向）に回転可能である。
【００３３】
各プローブユニット１８は、チャックトップ１６と平行な面上にチャックトップ１６から間隔をおいて配置されたプローブベース２４と、プローブベース２４に支持された複数のプローブ装置３０とを備える。プローブベース２４は、チャックトップ１６に受けられた被検査体１２の対応する縁部に沿って延び、また上下方向を厚さ方向とする板状のフレーム部材である。プローブ装置３０は、プローブベース２４の長手方向に間隔をおいてプローブベース２４に配置されている。
【００３４】
本実施例において、試験装置１０は、Ｘ方向及びＹ方向に、それぞれ、５つのプローブ装置３０及び３つのプローブ装置３０を備えているが、被検査体１２の電極１４の位置に対応して、各方向にそれ以上のプローブ装置３０を備えていてもよい。
【００３５】
また、本実施例において、被検査体１２は、隣り合う２つの辺に対応した縁部に電極１４を備えているが、他の辺に対応した縁部に電極１４を備えることがある。そのような場合に、試験装置１０は、前記した他の辺の縁部に対応して該他の縁部の上方に配置されたプローブユニット１８を備えていてもよい。
【００３６】
[プローブ装置の第１の実施例]
【００３７】
図２〜４を参照するに、Ｘ方向に間隔をおいて配置された複数のプローブ装置３０のそれぞれは、プローブベース２４に載置されかつ連結された連結ブロック３２と、連結ブロック３２に支持された結合ブロック３４と、結合ブロック３４に結合された支持ブロック３６と、支持ブロック３６に支持されたプローブブロック３８と、プローブブロック３８に支持された配線シート４０と、配線シート４０に電気的に接続された接続回路４２とを含む。
【００３８】
連結ブロック３２は、図４において断面で示されており、プローブベース２４から立ち上がるようにプローブベース２４に連結された本体部３２ａと、本体部３２ａの上部から前方に延びる補助部３２ｂとにより、Ｌ字状の断面形状を有する。連結ブロック３２は、本体部３２ａを上方から下方に貫通してプローブベース２４に螺合された複数のボルト４１によりプローブベース２４に取り外し可能に結合されている。
【００３９】
結合ブロック３４は、図４において断面で示されており、直方体の形状の本体部３４ａと、本体部３４ａの下部から前方に延びる補助部３４ｂとにより逆Ｌ字状の断面形状を有する。結合ブロック３４は、一組のガイド４４及びガイドレール４６により上下方向に移動可能に、連結ブロック３２の本体部３２ａの前面に本体部３４ａの後面において連結されていると共に、ボルト４８により上下方向の位置を調整可能に連結ブロック３２の補助部３２ｂの下側に支持されている。
【００４０】
ボルト４８は、連結ブロック３２の補助部３２ｂを上方から下方へ貫通しており、また結合ブロック３４に形成されたねじ穴５０に螺合されている。結合ブロック３４は、左右方向に間隔をおいて連結ブロック３２の補助部３２ｂと結合ブロック３４との間に配置された一対の圧縮コイルバネ５２（図２を参照）により下方に付勢されている。これにより、結合ブロック３４へのボルト４８のねじ込み量を調整することにより、結合ブロック３４、ひいては結合ブロック３４に結合された支持ブロック３６を介してプローブブロック３８の高さ位置を調整することができる。
【００４１】
支持ブロック３６は、上下方向を厚さ方向とし、左右方向に長い板状部材であり、その中央領域において結合ブロック３４の下側に結合されている。支持ブロック３６と結合ブロック３４とは、結合ブロック３４の補助部３４ｂを上方から下方に貫通して支持ブロック３６に螺合されたボルト５４により結合されている。
【００４２】
プローブブロック３８は、左右方向に間隔をおいて支持ブロック３６を上方から下方に貫通してプローブブロック３８に螺合された一対のボルト５６により、支持ブロック３６に結合されている。これにより、プローブブロック３８は、前記支持台１６から間隔をおきかつ該支持台に沿って支持台１６上の被検査体１２の縁部の外方から電極１４へ向けて伸長する。
【００４３】
プローブブロック３８は、前後方向に長い矩形の形状を有する本体部３８ａと、本体部３８ａの前部から前方ほど下方となる斜めの方向に延びる補助部３８ｂとを備える。補助部３８ｂの下面すなわち支持台１６に向き合う面は、前方ほど下方となる斜めの方向に、所定の傾斜角度で延びる傾斜面３８ｃとされている。傾斜面３８ｃの傾斜角は、プローブ装置３０の設計に応じて様々な角度にすることができる。例えば、傾斜面３８ｃの傾斜角は、水平面（ＸＹ面）に対して５°〜４０°の間の角度とされていてもよい。
【００４４】
プローブブロック３８の本体部３８ａの下面には、接続回路４２が配置されている。接続回路４２は、液晶表示用パネルを駆動する駆動信号を発生させる集積回路６０が実装された配線基板６２と、配線基板６２に電気的に接続され、またプローブブロック３８から後方に延びる接続配線シート６４とを備える。配線基板６２と接続配線シート６４とはコネクタ６６により接続されている。
【００４５】
接続配線シート６４は、プローブベース２４に配置された中継基板（図示しない）を介してテスタに電気的に接続される。配線シート４０は、配線基板６２に接続されることにより、前記中継基板、接続配線シート６４及び配線基板６２を介してテスタに電気的に接続されている。集積回路６０は、テスタからの試験信号を受けて、液晶表示用パネルを駆動する駆動信号を発生させ、該駆動信号が配線シート４０を介して被検査体１２に供給される。
【００４６】
配線シート４０は、一方の面すなわち上面でプローブブロック３８の傾斜面３８ｃに、例えば、熱硬化性の接着材により接着されることにより取り付けられて、プローブブロック３８に支持されている。配線シート４０は、傾斜面３８ｃに接着された主体部４０ａと、配線基板６２に電気的に接続された後部４０ｂと、主体部４０ａに連続し、かつプローブブロック３８の前下端部３８ｄから延びる延在部４０ｃを備える。また、配線シート４０は、チャックトップ１６に受けられた被検査体１２に対して左右方向において平行となるようにプローブブロック３８に取り付けられている。
【００４７】
配線シート４０の主体部４０ａは、プローブブロック３８の傾斜面３８ｃに貼り付けられているから、傾斜面３８ｃの傾斜方向と同一の方向、すなわち前方ほど下方となる斜めの方向に延び、主体部４０ａに連続する延在部４０ｃは、傾斜面３８ｃの傾斜方向と同一の方向に延びる。しかし、プローブ装置３０は、前方ほど下方となる斜めの方向に延びる延在部を有する配線シート４０を含んでいればよく、配線シート４０の主体部４０ａは斜めに延びていなくてもよい。すなわちプローブブロック３８の主体部４０ａが貼り付けられる下面すなわち支持台１６に向き合う面は傾斜面でなくてもよい。
【００４８】
図５を参照するに、配線シート４０は、ブローブブロック３８の補助部３８ｂの下面に一方の面が貼り付けられた可撓性の第１のシート状部材６８と、該シート状部材の下面に設けられた複数の第１の配線７０と、各第１の配線７０の一端部の下面に設けられた接触電極７２とを有する。図示の例では、配線シート４０は、第１のシート状部材６８に複数の第１の配線７０を形成した、いわゆるフレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuits）又はＴＡＢ（ＴＡＢ：Tape Automated Bonding）テープのような可撓性を有するシート状の印刷配線回路とすることができる。図示しないが、配線シート４０は、複数の第１の配線７０を覆うカバーレイフィルムのような絶縁性及び可撓性のシート状部材を有していてもよい。
【００４９】
第１のシート状部材６８は、ポリイミドのような電気絶縁性を有する材料で製作されている。複数の第１の配線７０は、第１のシート状部材６８の他方の面に設けられており、またプローブブロック３８の伸長方向と直角な左右方向に間隔をおいてプローブブロック３８の伸長方向に沿って前後方向に延びている。そのような第１のシート状部材６８と第１の配線７０と備える配線シート４０としてＦＰＣ又はＴＡＢテープを用いることにより、第１の配線７０の配置及び形状、すなわち配線パターンは、ＦＰＣ又はＴＡＢテープの従来の設計及び製造方法で種々変更することができる。
【００５０】
各接触電極７２は、第１の配線７０の伸長端である前端部に形成されており、左右方向から見て概扇型形状とされている。また、接触電極７２は、第１のシート状部材６８に対して垂直な方向に第１の配線７０から直線状に立ち下がる前端面７２ａと、第１のシート状部材６８に対して水平な方向に弧状状に延びる下面７２ｂと、前端面７２ａ及び下面７２ｂにより形成される角部７２ｃとを有する。第１の配線７０の伸長端側で第１の配線７０から各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極７２の前端面７２ａは、該前端面に連続する下面７２ｂよりも第１の配線７０の伸長端側に位置し、前方からみて矩形の形状の断面を有し、同一のＸＺ面上に位置している。図５に示す例では、前端面７２ａは、対応する第１の配線７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【００５１】
左右方向に間隔をおいて並ぶ複数の接触電極７２の角部、すなわち各前端面７２ａと各下面７２ｂとで形成される角７２ｃは、第１のシート状部材６８に対して同一の高さ位置とされている。したがって、第１のシート状部材６８を有する配線シート４０と被検査体１２とが相寄るように上下方向に平行移動し、接触電極７２が電極１４に接触するとき、複数の接触電極７２の角部７２ｃのそれぞれが、対応する電極１４に同時に接触する。これにより、被検査体１２の複数の電極１４が、対応する接触電極７２から受ける力を均一にすることができる。
【００５２】
［接触電極と被検査体の電極との電気的接続について］
【００５３】
次に、図６示す本発明に係るプローブ装置３０の接触電極７２と、被検査体１２の電極１４との電気的な接続について説明する。以下の説明において、被検査体１２がプローブ装置３０に対して移動するように説明するが、実際は、プローブ装置３０が被検査体１２に対して移動してもよい。
【００５４】
先ず、被検査体１２の電極１４が配線シート４０の接触電極７２に接触するように、被検査体１２がプローブ装置３０に相寄る方向、すなわち上方に移動する。配線シート４０の延在部４０ｃが、被検査体１２に対して前方ほど下方となる斜めの方向に傾斜した状態にプローブブロック３８に取り付けられ、かつ接触電極７２が下方に向けられているから、配線シート４０の延在部４０ｃの先端に設けられた接触電極７２の角部７２ｃが配線シート４０の最下端となっている。これにより、図６（Ａ）に示すように、被検査体１２が第１の接触位置におかれたとき、接触電極７２の角部７２ｃが被検査体１２の電極１４に接触する。
【００５５】
次いで、被検査体１２は、さらなる上方への移動により図６（Ｂ）において、二点鎖線で示す第１の位置から実線で示す第２の位置まで移動される。このとき、配線シート４０は、接触電極７２を介して被検査体１２から上方に押される。これにより、配線シート４０は、延在部４０ｃがプローブブロック３８の前下端部３８ｄを左右方向に延びる軸線とした周りに回転するように屈曲される。この配線シート４０の屈曲により、配線シート４０の角部７２ｃは、図６（Ｂ）に二点鎖線で示す位置から、実線で示す位置まで被検査体１２の電極１４上を前方に向かって距離Ｌだけ移動する。
【００５６】
被検査体１２の電極１４上を接触電極７２の角部７２ｃが移動することにより、角部７２ｃが電極１４上の酸化膜を除去する。また、電極１４上に異物があった場合に、接触電極７２の角部７２ｃ又は前端面７２ａが異物を前方に押し退ける。
【００５７】
このとき、接触電極７２が酸化膜を削る力及び異物を押し退ける力は、配線シート４０の第１のシート状部材６８及び第１の配線７０の可撓性に依存する。すなわち、配線シート４０の可撓性を変更することにより、酸化膜を削る力及び異物を押し退ける力を調整することができる。
【００５８】
配線シート４０の可撓性は、第１のシート状部材６８又は第１の配線７０の厚さ及び材料を変えることにより、変更することができる。例えば、第１のシート状部材６８は、ポリイミド、液晶ポリマー（ＬＣＰ：Liquid Crystal Polymer）等を材料とすることができる。また、ポリイミド、ＬＣＰのシート等には、様々な厚さ寸法を有するものがある。
【００５９】
次いで、図６（Ｃ）に示すように、接触電極７２は、その下面７２ｂを被検査体１２の電極１４に接触させている。下面７２ｂが接触している電極１４の部分は、角部７２ｃにより酸化膜が削られ、かつ異物が除去されている。したがって、接触電極７２は電極１４に確実に電気的に接続される。
【００６０】
また、角部７２ｃが酸化膜を削り取ることにより、角部７２ｃと電極１４との間に削り取られた酸化膜の残滓があっても、接触電極７２は、角部７２ｃと異なる下面７２ｂで被検査体１２の電極１４に接触するから、接触電極７２と電極１４とが確実に電気的に接続される。
【００６１】
[配線シートの製造方法]
【００６２】
配線シート４０の製造において、先ず、絶縁シートに金属シートが張り合わされたような銅張積層板を出発材料とし、第１のシート状部材６８として作用する前記絶縁シートの上に、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により前記金属シートがエッチングされて複数の第１の配線７０として形成される。
【００６３】
次いで、複数の第１の配線７０の上にメッキ技術のような堆積技術により接触電極７２として作用する複数のバンプ８０が形成される。堆積技術により、複数のバンプ８０が形成されるから、複数のバンプ８０は相互に同一形状とすることができる。また、バンプ８０は、第１のシート状部材６８及び第１の配線７０とは別個に製作され、導電性接着材により第１の配線７０に取り付けられてもよい。
【００６４】
次いで、図７を参照するに、第１の配線７０及びバンプ８０が形成された第１のシート状部材６８が切断用治具８２に固定された状態に取り外し可能に配置される。図示の例では、バンプ８０及び第１のシート状部材６８のそれぞれは、それらと同じ寸法の凹所８４及び８６に嵌め込まれるように切断用治具８２に配置されている。しかし、第１のシート状部材６８は、切断用治具８２に固定されていればよく、凹所８４及び８６は、それぞれ、バンプ８０及び第１のシート状部材６８よりも大きな寸法を有していてもよい。
【００６５】
次いで、第１のシート状部材６８、第１の配線７０及びバンプ８０は、図７に示す一点鎖線に沿って、切断装置８８により切断される。図示の例では、切断装置８８は、カッターのような切断手段９０を備えるが、これに換えてレーザのような他の切断手段を備えていても良い。切断手段９０により切断されたバンプ８０が接触電極７２として作用し、バンプ８０の切断面が接触電極７２の前端面７２ａとして作用する。
【００６６】
図示の例では、１つの第１の配線７０及び１つのバンプ８０が切断されるように示されているが、実際には、左右方向に間隔をおいて複数の第１の配線７０及び複数のバンプ８０が第１のシート状部材６８に設けられている。したがって、切断手段９０により、複数の第１の配線７０及び複数のバンプ８０が同時に切断される。
【００６７】
これにより、バンプ８０の切断面は、同一面（切断面）上に形成された接触電極７２の前端面７２ａとして作用する。また、複数のバンプ８０が同一形状を有するから、複数の前端面７２ａの下端は、それぞれが第１のシート状部材６８から同一の高さに位置する角部７２ｃとして作用する。
【００６８】
［プローブ装置の第２の実施例］
【００６９】
図８〜１０を参照するに、本発明の第２の実施例に係るプローブ装置１３０は、プローブベース２４に載置されかつ連結された連結ブロック１３２と、連結ブロック１３２に支持された結合ブロック１３４と、結合ブロック１３４に結合された支持ブロック１３６と、支持ブロック１３６に支持されたプローブブロック１３８と、プローブブロック１３８に取り付けられた配線シート支持体１８０と、プローブブロック１３８及び配線シート支持体１８０に支持された配線シート１４０と、配線シート１４０に電気的に接続された接続回路１４２とを含む。
【００７０】
連結ブロック１３２、結合ブロック１３４、支持ブロック１３６、配線シート１４０及び接続回路１４２のそれぞれの形状、取り付け関係等は、第１の実施例における連結ブロック３２、結合ブロック３４、支持ブロック３６、配線シート４０及び接続回路４２と同様である。
【００７１】
配線シート１４０は、第１の実施例における配線シート４０と同様に、可撓性の第１のシート状部材１６８と、第１のシート状部材１６８に設けられた複数の第１の配線１７０と、各第１の配線１７０の一端部の下面に設けられた接触電極１７２とを有する。複数の第１の配線１７０は、第１のシート状部材１６８の下面に設けられており、左右方向に間隔をおいてプローブブロック１３８の伸長方向に沿う第１のシート状部材１６８に沿って前後方向に延びている。
【００７２】
各接触電極１７２は、第１の配線１７０の伸長端である前端部に形成されており、左右方向から見て概扇型形状とされている（図１０を参照）。また、接触電極１７２は、第１のシート状部材１６８に垂直な方向に第１の配線１７０から立ち下がる前端面１７２ａと、第１のシート状部材１６８に水平な方向に弧状に延びる下面１７２ｂと、前端面１７２ａ及び下面１７２ｂにより形成される角部１７２ｃとを有する。第１の配線１７０の伸長端側で第１の配線１７０から各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極１７２の前端面１７２ａは、該前端面に連続する下面１７２ｂよりも第１の配線１７０の伸長端側に位置し、前方からみて矩形の形状の断面を有し、同一のＸＺ面上に位置している。前端面１７２ａは、図５に示す例と同様に、対応する第１の配線１７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【００７３】
配線シート１４０の一部を支持するプローブブロック１３８は、前後方向に長い矩形の断面形状を有する本体部１３８ａと、本体部１３８ａの前部から前方ほど下方となる斜めの方向に延びる補助部１３８ｂとを含む。補助部１３８ｂは、その下側に段部１３８ｃを備える（図１０を参照）。
【００７４】
プローブブロック１３８に支持された配線シート支持体１８０は、板状に形成されており、その一部が段部１３８ｃに受け入れられた状態にプローブブロック１３８に取り付けられている。配線シート支持体１８０の厚さ寸法が、段部１３８ｃの高さ寸法に対応して同一寸法とされており、プローブブロック１３８の傾斜した下面と配線シート支持体１８０の下面とは共同して平坦面を形成している。
【００７５】
配線シート支持体１８０は、段部１３８ｃに受けられた本体部１８０ａと、本体部１８０ａに連続してプローブブロック１３８から前方ほど下方となる所定の傾斜角で斜めの方向に延びる延長部１８０ｂを備える。
【００７６】
配線シート支持体１８０は、プローブブロック１３８に取り付けられ、かつ可撓性を有する板状部材１８２と、板状部材１８２の下面に取り付けられた板状の弾性部材１８４とを備える。可撓を有する板状部材１８２は、アクリルシート、ガラス入りエポキシシート、ＬＣＰシート、ＰＥＴシート等から成り、その厚さ方向に力を受けると、その可撓性により屈曲又は湾曲する。
【００７７】
弾性部材１８４は、ＬＣＰフィルム、ＰＥＴフィルム等の材料から成り、その厚さ方向に力を受けると厚さ方向に圧縮される。板状部材１８２及び弾性部材１８４の材料が、ＬＣＰ、ＰＥＴ等の半透明又は透明の材料とされることにより、プローブ装置１３０の上方から配線シート支持体１８０を介して第１の配線１７０の位置を確認することができる。
【００７８】
配線シート１４０は、プローブブロック１３８の下面と配線シート支持体１８０の下面とから形成された前記平坦面にその一部を取り付けられている。配線シート支持体１８０に貼り付けられた配線シート１４０の一部は、プローブブロック１３８の前下端部１３８ｄから延びる延在部１４０ｃとして作用する。
【００７９】
図１０を参照するに、第２の実施例におけるプローブ装置１３０は、被検査体１２の電極１４に接触するとき、配線シート１４０が屈曲されることに加えて、板状部材１８２が、その可撓性によりプローブブロック１３８の前下端１３８ｄを左右方向に延びる軸線とした周りに回転するように屈曲される、すなわち前下端１３８ｄの縁に沿って屈曲される。さらに、この板状部材１８２の屈曲に加えて弾性部材１８４が圧縮される。
【００８０】
したがって、板状部材１８２の可撓性及び弾性部材１８４の弾性による反発力により、接触電極１７２が被検査体１２の電極１４に対して押圧される。これにより、接触電極１７２の角部１７２ｃは、適切な力により電極１４に押圧された状態で電極１４上を前方に移動して、電極１４上の酸化膜を削り、又は異物を除去する。
【００８１】
第１の実施例に係るプローブ装置３０の配線シート４０の製造工程において、切断手段９０により配線シート４０を切断した。第２の実施例に係るプローブ装置１３０の配線シート１４０の製造においては、配線シート１４０に配線シート支持体１８０を取り付けた状態で、配線シート１４０に加えて配線シート支持体１８０を共に切断してもよい。
【００８２】
［プローブ装置の第３の実施例］
【００８３】
図１１〜１３を参照するに、本発明の第３の実施例に係るプローブ装置２３０は、プローブベース２４に載置されかつ連結された連結ブロック２３２と、連結ブロック２３２に支持された結合ブロック２３４と、結合ブロック２３４に結合された支持ブロック２３６と、支持ブロック２３６に支持されたプローブブロック２３８と、プローブブロック２３８に取り付けられたストッパ２８０と、プローブブロック２３８に支持された配線シート２４０と、配線シート２４０に電気的に接続された接続回路２４２とを含む。
【００８４】
連結ブロック２３２、結合ブロック２３４、支持ブロック２３６、配線シート２４０及び接続回路２４２のそれぞれの形状、取り付け関係等は、第１の実施例における連結ブロック３２、結合ブロック３４、支持ブロック３６、配線シート４０及び接続回路４２の関係と同様である。
【００８５】
配線シート２４０は、第１の実施例における配線シート４０と同様に、可撓性の第１のシート状部材２６８と、その下面に設けられた複数の第１の配線２７０と、各第１の配線２７０の一端部の下面に設けられた接触電極２７２とを備える。複数の第１の配線２７０は、第１のシート状部材２６８の下面に設けられており、左右方向に間隔をおいてプローブブロック２３８の伸長方向に沿った第１のシート状部材２６８に沿って前後方向に延びている。
【００８６】
各接触電極２７２は、第１の配線２７０の前部に形成されており、左右方向から見て概扇型形状とされている（図１３を参照）。これにより、接触電極２７２は、第１のシート状部材２６８に垂直な方向に第１の配線２７０から立ち下がる前端面２７２ａと、第１のシート状部材２６８に水平な方向に弧状に延びる下面２７２ｂと、前端面２７２ａ及び下面２７２ｂにより形成される角部２７２ｃとを有する。第１の配線２７０の伸長端側で第１の配線２７０から各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極２７２の前端面２７２ａは、該前端面に連続する下面２７２ｂよりも第１の配線２７０の伸長端側に位置し、前方からみて矩形の形状の断面を有し、同一のＸＺ面上に位置している。前端面２７２ａは、前記した例と同様に、対応する第１の配線２７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【００８７】
配線シート２４０は、プローブブロック２３８の下面に、例えば、熱硬化性の接着材により接着されることにより取り付けられて、プローブブロック２３８に支持されている。配線シート２４０は、プローブブロック２３８の下面に接着された本体部２４０ａと、本体部２４０ａに連続し、かつプローブブロック３８の下面から上下方向に間隔をおいて前方ほど下方となる斜めの方向に延びる延在部２４０ｃを備える。
【００８８】
これにより、配線シート２４０は、プローブブロック２３８に貼り付けられた本体部２４０ａとプローブブロック２３８から間隔をおいた延在部２４０ｃとの境界２４０ｄを左右方向に延びる軸線とした周りに回転するように屈曲可能であり、延在部２４０ｃの前端は自由端とされている。
【００８９】
配線シート２４０を支持するプローブブロック２３８は、前後方向に長い矩形の断面形状を有する本体部２３８ａと、本体部２３８ａの前部から前方ほど下方となる斜めの方向に延びる補助部２３８ｂとを含む。補助部２３８ｂの前部は、下方ほど前方となる斜めの方向に開放する凹所２３８ｃを有し、凹所２３８ｃがストッパ２８０を受け入れるように、ストッパ２８０がプローブブロック２３８に取り付けられている。
【００９０】
ストッパ２８０は、楔型の側面形状を有しており、該楔の先端を下側とした状態でプローブブロック２３８に取り付けられている。ストッパ２８０は、楔型の先端部が配線シート２４０の延在部２４０ｃの上方に間隔をおいて位置するように、プローブブロック２３８の補助部２３８ｂの前面に取り付けられている。
【００９１】
ストッパ２８０の先端は、接触電極２７２に対応された位置に配置されている。これにより、配線シート２４０の接触電極２７２が被検査体１２の電極１４により上方に押されたとき、ストッパ２８０は、第１のシート状部材２６８の接触電極２７２が設けられた側と反対側の部位に当接される。したがって、接触電極２７２が電極１４に接触するとき、接触電極２７２は、第１のシート状部材２６８を介してストッパ２８０により下方に押されて、電極１４に確実に電気的に接続される。
【００９２】
また、ストッパ２８０は、弾性を有する弾性部材２８２と、弾性部材２８２の表面の一部を覆う表面層２８４とを備える。表面層２８４は、少なくとも弾性部材２８２の配線シート２４０に当接する部分を覆っている。表面層２８４は、配線シート２４０と弾性部材２８２との間に潤滑性を提供するように、フッ素コーティングされたテープのような低摩擦の材料を弾性部材２８２に貼り付けること又は塗布することにより形成される。
【００９３】
被検査体１２の試験に先駆けて、被検査体１２とプローブ装置２３０とが相寄るように相対的に移動される。これにより、配線シート２４０の接触電極２７２が被検査体１２の電極１４に接触する。そのような相対的移動がさらに進むと、被検査体１２の電極１４が配線シート２４０を下方から押す。これにより、配線シート２４０が上方に屈曲されて配線シート２４０の延在部２４０ｃがストッパ２８０に当接する。
【００９４】
被検査体１２とプローブ装置２３０とが相寄る方向へさらに移動されると、配線シート２４０の延在部２４０ｃがストッパ２８０の先端に押される。このとき、弾性部材２８２が弾性を有するから、配線シート２４０の接触電極２７２は、被検査体１２の電極１４に適切な力で押されて確実に電気的に接続される。また、弾性部材２８２と配線シート２４０との間に潤滑性を有する表面層２８４が介在するから、配線シート２４０は、ストッパ２８０に擦れることによる損傷を防止される。
【００９５】
［プローブ装置の第４の実施例］
【００９６】
図１４及び図１５を参照するに、本発明の第４の実施例に係るプローブ装置３３０は、プローブベース３２４に結合された支持ブロック３３６と、支持ブロック３３６に支持されたプローブブロック３３８と、プローブブロック３３８に取り付けられた配線シート支持体１８０と、プローブブロック３３８の後方に配置されて支持ブロック３３６に支持された挟持手段３１２と、プローブブロック３３８及び配線シート支持体１８０の下面に取り付けられた配線シート３４０と、配線シート３４０と共に挟持手段３１２に挟持された接続シート３４２とを含む。
【００９７】
支持ブロック３３６は、プローブベース３２４に結合された結合部３３６ａと、結合部３３６ａの上部から前方に延びる延長部３３６ｂと、延長部３３６ｂの前部から下方に延びる支持部３３６ｃとにより、下方及び左右方向に開放する凹所３３６ｄを有するように左右方向からみて断面コ字状に形成されている。
【００９８】
支持ブロック３３６は、結合部３３６ａを上下方向に貫通してプローブベース３２４に螺合されたボルト３０３によりプローブベース３２４に取り外し可能に結合されている。支持ブロック３３６は、前後方向に離間された一対の位置決めピン３０２によりプローブベース３２４に対して左右方向及び前後方向に位置決められて結合されている。
【００９９】
プローブブロック３３８は、支持ブロック３３６の支持部３３６ｃを上下方向に貫通してプローブブロック３３８に螺合するボルト３０５により支持部３３６ｃの下側に取り外し可能に結合されている。プローブブロック３３８は、前後方向に離間された一対の位置決めピン３０４により支持ブロック３３６に対して左右方向及び前後方向に位置決められて結合されている。
【０１００】
プローブブロック３３８は、その下面が前方ほど下方となる斜めに傾斜した状態に形成されており、配線シート３４０を該下面に取り付けられている。また、プローブブロック３３８は、その前下部に配線シート支持体１８０が取り付けられる段部３３８ａを備える。
【０１０１】
プローブブロック３３８に支持された配線シート支持体１８０は、本発明の第２の実施例に係るプローブ装置１３０の配線シート支持体１８０であり、その一部がプローブブロック３３８の段部３３８ａに受け入れられた状態でプローブブロック３３８に取り付けられている。プローブブロック３３８の傾斜した前記下面と配線シート支持体１８０の下面とは、共同して平坦面を形成している。
【０１０２】
配線シート３４０は、プローブブロック３３８及び配線シート支持体１８０により形成された前記平坦面に取り付けられている。配線シート３４０は、プローブブロック３３８の下面に取り付けられた主体部３４０ａと、配線シート支持体１８０の下面に取り付けられた延在部３４０ｂと、主体部３４０ａの後部から後方に延びる延在部３４０ｃと、延在部３４０ｃの後部で上方に折り返された第１の接続領域３４０ｄとを有する。
【０１０３】
配線シート３４０は、第１の実施例における配線シート４０と同様に、可撓性の第１のシート状部材３６８（図１６（Ａ）参照）と、第１のシート状部材３６８に設けられた複数の配線３７０（図１６（Ａ）参照）と、各配線３７０の一端部の下面に設けられた接触電極３７２とを有する。複数の配線３７０は、第１のシート状部材３６８の一方の面に設けられており、左右方向に間隔をおいて第１のシート状部材３６８に沿って前後方向に延びている。
【０１０４】
接続シート３４２は、プローブベース３２４及び支持ブロック３３６の延長部３３６ｂの下方に配置されている。プローブベース３２４の下面には、取り付け板３１０がねじ部材３１１により設けられており、接続シート３４２は、取り付け板３１０にその一部を取り付けられている。
【０１０５】
接続シート３４２は、前後方向に延びる第２のシート状部材３０６と、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に第２のシート状部材３０６の下面に設けられた第２の配線３０８とを備え（図１６（Ａ）を参照）、前後方向に長いＦＰＣとされている。また、接続シート３４２は、液晶表示用パネルを駆動する駆動信号を発生させる集積回路６０が実装されている。
【０１０６】
図１６（Ａ）を参照するに、接続シート３４２は、その前部において、接続シー３４２の下面に形成された第２の配線３０８が前方を向く状態に上側に折り返された第２の接続領域３４２ａを備える。第２の接続領域３４２ａにおいて、第２の配線３０８は、配線シート３４０の第１の配線３７０に対応されて、第１の配線３７０と同数かつ同一配線間隔で第２のシート状部材３０６に設けられている。
【０１０７】
配線シート３４０と接続シート３４２とは、第１の接続領域３４０ｄの後面と第２の接続領域３４２ａの前面とが対向した状態で、第１及び第２の配線３７０及び３０８が接触するように挟持手段３１２により挟持されている。
【０１０８】
第１の接続領域３４０ｄの第１の配線３７０及び第２の接続領域３４２ａの第２の配線３０８は相互に同一間隔で設けられていから、配線シート３４０及び接続シート３４２が挟持されるとき、第１及び第２の接続領域３４０ｄ及び３４２ａが左右方向に位置合わせされれば、第１の配線３７０とこれに対応する第２の配線３０８とが正確に接続される。
【０１０９】
本実施例において、配線シート３４０及び接続シート３４２は、第１及び第２の接続領域３４０ｄ及び３４２ａが対向する状態、すなわち９０°程度の角度で折り返されている。これにより、配線シート３４０又は接続シート３４２を１８０°折り返す場合に比較して、第１又は第２の配線３７０又は３０８が屈曲されることによる断線を防止することができる。
【０１１０】
特に、プローブ装置３３０に配線シート３４０及び接続シート３４２を取り外し可能として両シート３４０及び３４２の取り付け及び取り外しを複数回行う場合に、両シート３４０及び３４２の折り返し角度を小さくすることは、両シート３４０及び３４２の断線不良を防止するために有効である。
【０１１１】
挟持手段３１２は、第１及び第２の挟持ブロック３１４及び３１６を含み、第１及び第２の挟持ブロック３１４及び３１６は、それぞれ、後面及び前面を対向させた状態で、第１の挟持ブロック３１４を前後方向に貫通して第２の挟持ブロック３１６に螺合するボルト３０９により結合されている。ボルト３０９は、第２の挟持ブロック３１６を前後方向に貫通して第１の挟持ブロック３１４に螺合されてもよい。
【０１１２】
挟持部材３１４は、支持ブロック３３６の延長部３３６ｂを上下方向に貫通して第２の挟持ブロック３１６に螺合するボルト３０７により結合されている。ボルト３０７は、延長部３３６ｂを上下方向に貫通して第１の挟持ブロック３１４に螺合されてもよい。
【０１１３】
配線シート３４０の第１の接続領域３４０ｄ及び接続シート３４２の第２の接続領域３４２ａは、第１及び第２の挟持ブロック３１４及び３１６の間に配置されて挟持されている。また、プローブ装置３３０は、第１の挟持ブロック３１４と第１の接続領域３４０ｄとの間に配置された弾性部材３１８を含む。弾性部材３１８は、第２の挟持ブロック３１６と第２の接続領域３４２ａとの間に配置されてもよい。
【０１１４】
配線シート３４０と接続シート３４２とは、金属フィラーを有する導電性接着材のような接着材により接続されてもよい。しかしながら、この場合、接着材による接続は、接着材の硬化が充分でないために生じる接続不良の問題を有する。本実施例において、配線シート３４０及び接続シート３４２は、第１及び第２の挟持ブロック３１４及び３１６並びにボルト３０９により挟持されて接続されている。したがって、接着材の硬化不良による接続不良の問題を生じることはない。
【０１１５】
そのため、配線シート３４０と接続シート３４２とは、金属フィラーを有する導電性接着材のような接着材により接続される場合に比較して、確実に接続される。また、弾性部材３１８を配置することにより、配線シート３４０と接続シート３４２とは、適切な力で挟持されて接続される。
【０１１６】
また、第１の配線３７０と第２の配線３０８とを導電性接着材により仮結合させてから、第１及び第２の挟持ブロックにより第１及び第２の接続領域を挟持させてもよい。この場合は、配線シート３４０と接続シート３４２とが導電性接着材のみで結合されて接続される場合に比較して、導電性接着材が完全に硬化する前に挟持手段３１２により配線シート３４０と接続シート３４２とを挟持させればよいから両シートの接続作業時間が短縮され接続作業が容易になる。
【０１１７】
また、接続シート３４２は、その後部で接続回路３５０に電気的に接続されている。図１６（Ｂ）を参照するに、接続回路３５０は、前後方向に延びる第３のシート状部材３５２と、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に第３のシート状部材３５２の上面に設けられた第３の配線３５４とを備え、前後方向に長いＦＰＣとされている。第３の配線３５４は、接続シート３４２の第２の配線３０８に対応されて、第２の配線３０８と同数かつ同一の配線間隔で第３のシート状部材３５２に設けられている。
【０１１８】
接続シート３４２及び接続回路３５０は、接続シート３４２の後部の下面と、接続回路３５０の前部の上面とが対向し、第２の配線３０８と第３の配線３５４とが接触するように接続されている。第２及び第３の配線３０８及び３５４の接触する部分において、プローブベース３２４の取り付け板３１０には、左右方向に延びる断面半球状の弾性部材３２０が埋め込まれている。
【０１１９】
接続回路３５０の下側には板状部材３２２が配置され、板状部材３２２は、板状部材３２２を貫通してプローブベース３２４に螺合するねじ部材３１３により、接続シート３４２及び接続回路３５０が介在した状態でプローブベースに結合されている。ねじ部材３１３のねじ込み量を調整することにより、板状部材３２２は、弾性部材３２０と共同して接続シート３４２と接続回路３５０とを適切な力で挟持できる。
【０１２０】
接続回路３５０は、プローブベース３２４に配置された中継基板（図示しない）を介して試験装置１０のテスタに電気的に接続されている。これにより、該テスタからの電気信号が接続回路３５０、接続シート３４２及び配線シート３４０を介して被検査体１２に供給される。
【０１２１】
本発明に係るプローブ装置において、支持ブロック３３６の支持部３３６ｃを前後方向に貫通する貫通穴をボルト３０９に対応させて設けても良い。そのようにすれば、プローブ装置を組み立てた後において、前記貫通穴を介してドライバーのような工具によりボルト３０９の回転させることができる。そのようにすれば、配線シート３４０及び接続シート３４２をプローブ装置３３０に組み込んだ後においても、ボルト３０９の回転させることにより、両シートの接続作業を行うことができる。
［配線シートの他の実施例］
【０１２２】
配線シート４０は、例えば、図１７（Ａ）〜（Ｄ）に示すような、種々の形状の接触電極を有することができる。
【０１２３】
図１７（Ａ）を参照するに、配線シート４０Ａは、第１のシート状部材６８と、配線シート６８に設けられた第１の配線７０と、矩形及び扇形を組み合わせたような側面形状を有する接触電極４７２とを備える。接触電極４７２は、第１の配線７０の前端部から第１のシート状部材６８に対して垂直方向に直線状に立ち下がる前端面４７２ａと、第１のシート状部材６８に対して水平方向に直線状に延びる下面４７２ｂと、前端面４７２ａ及び下面４７２ｂにより形成される角部４７２ｃとを有する。第１の配線７０の前端部である伸長端で各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極４７２の前端面４７２ａは、該前端面に連続する下面４７２ｂよりも第１の配線７０の伸長端側に位置し、前端面４７２ａは、前記した例と同様に、対応する第１の配線７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【０１２４】
図１７（Ｂ）を参照するに、配線シート４０Ｂは、第１のシート状部材６８と、配線シート６８に設けられた第１の配線７０と、矩形の側面形状を有する接触電極５７２とを備える。接触電極５７２は、第１の配線７０の前端部から第１のシート状部材６８に対して垂直方向に直線状に立ち下がる前端面５７２ａと、第１のシート状部材６８に対して水平方向に直線状に延びる下面５７２ｂと、前端面５７２ａ及び下面５７２ｂにより形成される角部５７２ｃとを有する。第１の配線７０の前端部である伸長端で各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極５７２の前端面５７２ａは、該前端面に連続する下面５７２ｂよりも第１の配線７０の伸長端側に位置し、前端面５７２ａは、前記したと同様に、対応する第１の配線７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【０１２５】
接触電極４７２及び５７２を有する配線シート４０Ａ及び４０Ｂによれば、下面４７２ｂ及び５７２ｂが第１のシート状部材６８に対して直線状に延びているから、電極１４に接触する面積は、接触電極７２の弧状に延びる下面７２ｂよりも大きい。したがって、接触電極７２と電極１４との接触抵抗を低減できる。
【０１２６】
図１７（Ｃ）を参照するに、配線シート４０Ｃは、第１のシート状部材６８と、配線シート６８に設けられた第１の配線７０と、概扇型の断面を有する接触電極６７２とを有する。接触電極６７２は、第１の配線７０の前端部から第１のシート状部材６８に対して下方ほど後方となる斜めの方向に直線状に鋭角的に立ち下がる前端面６７２ａと、配線シートに対して水平方向に弧状に延びる下面６７２ｂと、前端面６７２ａ及び下面６７２ｂにより形成される角部６７２ｃとを有する。すなわち、前端面６７２ａの立ち下がる角度を変更することにより、角部６７２ｃの角度を調整することができる。第１の配線７０の伸長端側で各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極４７２の前端面６７２ａは、該前端面に連続する下面６７２ｂよりも第１の配線７０の伸長端側に位置し、前端面６７２ａは、対応する第１の配線７０の幅方向へ該配線と鋭角的に交差する傾斜平坦面で構成されている。
【０１２７】
図１７（Ｄ）を参照するに、配線シート４０Ｄは、第１のシート状部材６８と、配線シート６８に設けられた第１の配線７０と、概扇型の断面を有する接触電極７７２とを有する。接触電極７７２は、第１の配線７０から第１のシート状部材６８に対して垂直方向に直線状に立ち下がる前端面７７２ａと、第１のシート状部材６８に対して水平方向に弧状に延びる下面７７２ｂと、前端面７７２ａ及び下面７７２ｂにより形成される角部７７２ｃとを有する。第１の配線７０の伸長端から間隔をおいて配置されかつ各電極１４へ向けて突出するそれぞれの接触電極７７２の前端面７７２ａは、該前端面に連続する下面４７２ｂよりも第１の配線７０の伸長端側に位置し、前端面７７２ａは、前記したと同様に、対応する第１の配線７０の幅方向へ該配線と交差する直角な平坦面で構成されている。
【０１２８】
第１のシート状部材６８及び第１の配線７０のそれぞれは、接触電極７７２の前端面７７２ａから前方まで延びる延長部６８ａ及び延長部７０ａを有し、延長部６８ａ及び７０ａは、前端面７７２ａの高さ寸法と概同一の長さ寸法を有する。このような配線シート４０Ｄをプローブ装置３０に用いることにより、接触電極７７２を被検査体１２の電極１４に接触させるとき、第１の配線７０の延長部７０ａの先端をも被検査体１２に接触させることができるから、第１のシート状部材６８、第１の配線７０及び接触電極７７２は、配線シート４０Ｄの被検査体１２から押される力を分散して受けることができる。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【符号の説明】
【０１３０】
１０    試験装置
１２    被検査体
３０、１３０、２３０、３３０    プローブ装置
３８、１３８、２３８、３３８    プローブブロック
３８ｄ、１３８ｄ    （プローブブロックの）前下端部
４０、１４０、２４０、３４０    配線シート
４０ｃ、１４０ｃ、２４０ｃ    （配線シートの）延在部
６８、１６８、２６８、３６８    第１のシート状部材
７０、１７０、２７０、３７０    第１の配線
７２、１７２、２７２、３７２    接触電極
７２ａ、１７２ａ、２７２ａ    （接触電極の）前端面
７２ｂ、１７２ｂ、２７２ｂ    （接触電極の）下面
７２ｃ、１７２ｃ、２７２ｃ    （接触電極の）角部
１８０    配線シート支持体
１８０ｂ    （配線シート支持体の）延長部
１８２    板状部材
１８４    弾性部材
２８０    ストッパ
２８２    弾性部材
２８４    表面層
３０６    第２のシート状部材
３０８    第２の配線
３１２    挟持手段
３１４    第１の挟持ブロック
３１６    第２の挟持ブロック
３１８    第２の弾性部材
３３６    支持ブロック
３４０ｄ    第１の接続領域
３４２    接続シート
３４２ａ    第２の接続領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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