(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層の保護シートを取得して前記シート積層体から分離させ、該分離した保護シートを、前記シート積層体の側方に配設されたガラス基板の表面側に配置させるように構成された保護シート供給装置において、
前記最上層の保護シートの一隅部を上方から吸着保持した下面を水平姿勢に保ったまま前記シート積層体の中央側に向けて斜め上方に斜行移動することにより、前記最上層の保護シートの一隅部を持ち上げる吸着手段と、該吸着手段の持ち上げにより生じた前記最上層の保護シートの一隅部の下方隙間に挿脱可能に設けられ、前記下方隙間に挿入された状態から前記最上層の保護シートの一隅部に連なる端縁部に沿って略水平方向に移動することにより、前記最上層の保護シートの端縁部の下方に補助隙間を生じさせるセパレータと、該セパレータの移動方向後方側で、前記最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持する挟持手段とを備え、
前記挟持手段は、前記最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持することで前記最上層の保護シートを取得する取得位置と、該取得位置にて取得した前記最上層の保護シートを前記ガラス基板の表面側に配置させる供給位置との間を往復動可能に構成されていることを特徴とする保護シート供給装置。
【請求項２】
前記セパレータは、少なくとも移動方向前方側に向けてエアーを噴射するエアー噴射口を有することを特徴とする請求項１に記載の保護シート供給装置。
【請求項３】
前記保護シートは、対向する二辺の組のうち、少なくとも一方が２ｍを超えるものである請求項１又は２に記載の保護シート供給装置。
【請求項４】
複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層の保護シートを取得して前記シート積層体から分離させ、該分離した保護シートを、前記シート積層体の側方に配設されたガラス基板の表面側に配置させる保護シート供給方法において、
前記最上層の保護シートの一隅部を吸着手段の下面で上方から吸着保持し、前記下面を水平姿勢に保ったまま前記吸着手段を前記シート積層体の中央側に向けて斜め上方に斜行移動させることにより、前記最上層の保護シートの一隅部を持ち上げ、その状態で、前記最上層の保護シートの一隅部の下方隙間にセパレータを挿入し、該セパレータを前記最上層の保護シートの一隅部に連なる端縁部に沿って略水平方向に移動させることにより、前記最上層の保護シートの端縁部の下方に補助隙間を生じさせる隙間形成工程を有し、該隙間形成工程で生じた前記補助隙間を利用して前記最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持手段が挟持することにより前記最上層の保護シートを取得し、その取得後に前記挟持手段が移動することにより、前記最上層の保護シートを前記シート積層体から分離させて前記ガラス基板の表面側に配置させることを特徴とする保護シート供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板表面への保護シート供給技術の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板の他、太陽電池用のガラス基板等、所定サイズに切断された矩形のガラス基板は、パレット上に縦姿勢（略鉛直姿勢）又は横姿勢（略水平姿勢）で積層して梱包された上で保管や輸送に供される。
【０００３】
ただし、ガラス基板のみを積層させると、ガラス基板同士の接触に伴って個々のガラス基板の有効部位にキズ等の欠陥が形成され易くなり、後工程等においてガラス基板が使用不能となるような重大問題が生じ得る。そこで、ガラス基板の製造ラインの最終段階等において、ガラス基板を積層させるときには、積層時の姿勢が縦姿勢であるか横姿勢であるかを問わず、ガラス基板相互間にガラス基板と略同寸の保護シートを介設する処理が実行される。これにより、ガラス基板同士の接触に起因して生じるキズ等の欠陥の発生確率を大幅に低減することができる。なお、ガラス基板相互間にガラス基板と略同寸の保護シートを介設する（ガラス基板と保護シートとを交互に積層させる）ための処理は、安全性の確保や生産性向上を目的として種々の機械設備等を用いて自動で実行されるのが一般的である。また、保護シートとしては、一般に、紙シートや発泡樹脂シートが使用される。
【０００４】
例えば下記の特許文献１には、上記の処理を自動で実行するための具体的手段が記載されており、詳しくは、コンベアに沿って搬送されてくるガラス基板の縦姿勢でのパレットへの積み込みと、パレットに縦姿勢で積み込まれた（パレットに立て掛けられた）ガラス基板表面上への保護シートの供給と、を交互に実行するように構成された装置である。この装置において、パレットに積み込まれたガラス基板上への保護シートの供給は、概ね次のようにして行われる。まず、複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体のうち、最上層に位置する保護シートの一辺に沿った端縁部の表面を、水平方向移動及び水平軸回りに回動可能なアームの先端部に設けられた複数の吸着ノズルで吸着する。次いで、アームを水平方向移動させることにより、シート積層体の最上層に位置する保護シートを水平方向に引出してシート積層体から分離させる。そして、アームを下方に回動させて、シート積層体から分離させた保護シートをパレットに立て掛けられたガラス基板の表面側に配置した後、吸着ノズルによる保護シートの吸着を解除する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平６−５３５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
複数枚の保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、一枚の保護シートを取得してシート積層体から分離させる際、上記特許文献１に記載されているように、シート積層体の最上層に位置する保護シート（以下、第１シートという）を水平方向に引出すようにした場合、第１シートのみならず、第１シートの下層に位置した一又は複数枚の保護シート（以下、第２シート等という）が第１シートと同時に引出される場合がある。かかる事態は、保護シートが大判化するほど、上下に積層された保護シート相互間の密着力が高まるため発生し易くなる。第１シートの水平方向への引出しによってシート積層体から第１シートのみを取得するには、保護シート相互間の密着力を上回るようなせん断力を作用させるようにして第１シートを水平方向に引出さなければならないが、特許文献１に記載の装置の構成上、これを適切に実行することは容易ではない。
【０００７】
第１シートと同時に第２シート等が引出されるような場合であっても、第１シートの引出し開始から引出し完了に至るまで、第２シート等が第１シートと一体的に引出され、かつこれらが一体的にガラス基板の表面側に配置されるのであれば、保護シートが余分に使用されるという改善されるべき無駄はあるものの、ライン停止等の重大問題は生じ難い。これに対し、例えば、第１シートがシート積層体からある程度引出された時点で第２シート等の引出しが開始されたような場合には、引出して取得した第１シートを移送している最中に、第１シートから第２シート等が分離・落下等し易くなる。そのため、次サイクル以降における保護シートの供給精度の低下や、ライン停止等の重大問題が生じ易くなる。
【０００８】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであり、保護シート、特に大判の保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層に位置する保護シートを取得してシート積層体から分離させる際の確実性を向上し、これにより、保護シートをガラス基板の表面上に適切に配置可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために創案された本発明は、複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層の保護シートを取得してシート積層体から分離させ、この分離した保護シートを、シート積層体の側方に配設されたガラス基板の表面側に配置させるように構成された保護シート供給装置において、最上層の保護シートの一隅部を上方から吸着保持した下面を水平姿勢に保ったまま前記シート積層体の中央側に向けて斜め上方に斜行移動することにより、前記最上層の保護シートの一隅部を持ち上げる吸着手段と、吸着手段の持ち上げにより生じた最上層の保護シートの一隅部の下方隙間に挿脱可能に設けられ、下方隙間に挿入された状態から最上層の保護シートの一隅部に連なる端縁部に沿って略水平方向に移動することにより、最上層の保護シートの端縁部の下方に補助隙間を生じさせるセパレータと、セパレータの移動方向後方側で、最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持する挟持手段とを備え、この挟持手段は、最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持することで最上層の保護シートを取得する取得位置と、取得位置にて取得した最上層の保護シートをガラス基板の表面側に配置させる供給位置との間を往復動可能に構成されていることを特徴とする。
【００１０】
このような構成を備えた保護シート供給装置によれば、最上層の保護シートと、シート積層体（下層に位置する保護シート）との間の密着力が効率的に弱められ、ひいては両者間の密着状態が解消される。そのため、シート積層体から、最上層の保護シートを取得してシート積層体から分離させる際に、その下層に位置する一又は複数枚の保護シートも併せて取得される可能性が従来の装置に比べて大幅に減じられる。これにより、ライン停止等の重大問題が生じる可能性を効果的に減じることができる。また、吸着手段としては、最上層の保護シートの一隅部を吸着保持して持ち上げることができるだけの小さな吸着力を発生させ得るものであれば足りるため、（真空）吸引ポンプ等を含めた設備の簡素化を達成することができる。
【００１１】
本発明に係る保護シート供給装置は、セパレータの移動方向後方側で、最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持する挟持手段をさらに備える。
【００１２】
このような構成によれば、下方隙間に挿入されたセパレータが最上層の保護シートの端縁部に沿って略水平方向に移動することで最上層の保護シート端縁部の下方に生じさせられる補助隙間を利用して、最上層の保護シートの端縁部を所定の高さ位置に保持することができる。そのため、シート積層体からの部分的な分離が達成された最上層の保護シートが、シート積層体と再度密着状態になるのを効果的に防止することができる。
【００１３】
上記の挟持手段は、最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持することで取得する取得位置と、この取得位置にて取得した最上層の保護シートをガラス基板の表面側に配置させる供給位置との間を往復動可能に構成されたものとすることができる。
【００１４】
このような構成によれば、挟持手段を、取得した（最上層の）保護シートをガラス基板の表面側に移載するために用いる移載手段の一部として活用することができるので、設備や制御系を簡素化することができるというメリットがある。また、吸着手段によって最上層の保護シートの一隅部を吸着する時、仮に複数枚の保護シートが吸着されたとしても、これら複数枚の保護シートをそのままガラス基板の表面側に配置することが可能となる。従って、複数枚の保護シートが同時に取得された場合における保護シートの相互分離によるライン停止等の重大問題の発生を可及的に防止することができる。
【００１５】
以上の構成において、セパレータは、少なくとも移動方向前方側に向けてエアーを噴射するエアー噴射口を有するものとすることができる。
【００１６】
このようにすれば、大型のセパレータを用いずとも、また、必ずしも、最上層の保護シートやその下層に位置する保護シートにセパレータを接触（摺動接触）させずとも、補助隙間を効率的に生じさせることができる。そのため、セパレータが前進移動するのに伴ってセパレータと保護シートの間に生じる摩擦力により、保護シートが所定位置から位置ずれ等するのを可及的に防止することができ、保護シートの安定供給を達成することができる。なお、エアーは、セパレータの移動方向前方側のみならず、セパレータの移動方向と直交する方向に噴射するようにしても良い。このようにすれば、上記の効果を一層有効に享受することができる。エアーは、別途のエアー噴射手段を用いて噴射するようにしても構わないが、セパレータがエアー噴射口を有していれば、別途のエアー噴射手段を用いる必要がなくなり、設備構成を簡素化することができる。
【００１７】
以上の構成において、保護シートは、対向する二辺の組のうち、少なくとも一方が２ｍを超えるものとすることができる。すなわち、本発明に係る保護シート供給装置は、大型のガラス基板の表面側に保護シートを配置（供給）する際に好ましく使用することができる。
【００１８】
また、上記の目的を達成するため、本発明では、複数枚の略矩形をなす保護シートが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体から、最上層の保護シートを取得してシート積層体から分離させ、この分離した保護シートを、シート積層体の側方に配設されたガラス基板の表面側に配置させる保護シート供給方法において、最上層の保護シートの一隅部を吸着手段の下面で上方から吸着保持し、前記下面を水平姿勢に保ったまま吸着手段をシート積層体の中央側に向けて斜め上方に斜行移動させることにより、最上層の保護シートの一隅部を持ち上げ、その状態で、最上層の保護シートの一隅部の下方隙間にセパレータを挿入し、このセパレータを最上層の保護シートの一隅部に連なる端縁部に沿って略水平方向に移動させることにより、最上層の保護シートの端縁部の下方に補助隙間を生じさせる隙間形成工程を有し、この隙間形成工程で生じた補助隙間を利用して最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持手段が挟持することにより最上層の保護シートを取得し、その取得後に挟持手段が移動することにより、最上層の保護シートをシート積層体から分離させてガラス基板の表面側に配置させることを特徴とする保護シート供給方法を提供する。
【００１９】
このような構成を備えた保護シート供給方法によれば、上記した本発明に係る保護シート供給装置を用いる場合と同様の作用効果を得ることができる。
【００２０】
上記の保護シート供給方法において、隙間形成工程で生じた補助隙間を利用して、最上層の保護シートの端縁部を上下両側から挟持手段が挟持することにより最上層の保護シートを取得し、その取得後に挟持手段が移動することにより、最上層の保護シートをシート積層体から分離させてガラス基板の表面側に配置させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上に示すように、本発明によれば、シート積層体の最上層に位置する保護シートを取得する際の確実性を増し、保護シートをガラス基板の表面上に適切に配置することが可能となる。これにより、ライン停止等の重大問題が生じる可能性を効果的に減じることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る保護シート供給装置の要部概略平面図である。
【図２】同要部概略側面図である。
【図３】セパレータの概略斜視図である。
【図４】吸着手段としての吸着ヘッドの動作軌跡を概念的に示す図である。
【図５】挟持手段としての爪チャックの動作軌跡を概念的に示す図である。
【図６】図１に示す保護シート供給装置を他の製造ラインに適用した場合を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
図１および図２に、本発明の一実施形態に係る保護シート供給装置１の要部概略平面図および要部概略側面図をそれぞれ示す。この実施形態は、搬送コンベア９に沿って上流側から下流側（図中矢印Ｘ１方向）に横姿勢で搬送され、シート載置ステーション９ａで一時的に下流側への搬送が停止された略矩形（長方形）のガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に保護シートを配置する場合を示している。すなわち、後述する保護シート供給装置１の１サイクル動作が完了すると、表面Ｇａ上に保護シートが配置されたガラス基板Ｇは搬送コンベア９に沿ってさらに下流側に搬送され、これと同時に、シート載置ステーション９ａの上流側にあるガラス基板Ｇがシート載置ステーション９ａに導入され、この導入されたガラス基板Ｇに対して保護シート供給装置１による保護シート供給のための１サイクル動作が実行される。ガラス基板Ｇの長手方向寸法（長辺寸法）および幅方向寸法（短辺寸法）は、例えば、それぞれ２．５ｍ、１．５ｍとされる。
【００２５】
なお、ガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に保護シートが配置された後には、例えば図示外の静電気発生器を作動させることによって、保護シートがガラス基板Ｇの表面Ｇａに隙間無く密着させられる。これにより、表面Ｇａ上に保護シートＡが配置されたガラス基板Ｇが搬送コンベア９に沿ってさらに下流側に搬送される最中や、ロボットアーム等を用いることによって、表面Ｇａ上に保護シートＡが配置されたガラス基板Ｇを搬送コンベア９からパレットに移載する最中などに、ガラス基板Ｇから保護シートＡが剥がれ落ちるような事態が可及的に防止される。
【００２６】
保護シート供給装置１は、複数枚の保護シートＡが平置き状態で上下に積層されてなるシート積層体Ｂを保持したシート保持部２と、シート積層体Ｂの最上層に位置する保護シートＡ（以下「第１シートＡ１」ともいう）を取得し、取得した第１シートＡ１をシート積層体Ｂから分離させて、シート載置ステーション９ａ上で静止したガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に配置するシート取得兼供給部１０とを備える。保護シートＡは、ガラス基板Ｇと略同寸の長辺Ａａおよび短辺Ａｂを有する平面視長方形状を呈するものであり、例えば紙シートや発泡樹脂シートが使用される。
【００２７】
シート保持部２は、シート積層体Ｂを支持した支持台３と、シート積層体Ｂの崩れを可及的に防止すべく支持台３の外周部に所定間隔で立設された複数のガイド部材４とで主要部が構成される。支持台３は、図示外の弾性部材によって上方に付勢されている。従って、支持台３は、シート積層体Ｂから最上層の保護シートＡ（第１シートＡ１）が順次取得され、シート積層体Ｂの全体重量が軽くなるにつれて徐々に上昇移動する。これにより、シート取得兼供給部１０は、常にほぼ同じ高さ位置で第１シートＡ１を取得することができるようになっている。
【００２８】
シート取得兼供給部１０は、その主要部全体がシート積層体Ｂの上方に設けられており、下面に開口した吸入口を有し、図示外の真空ポンプが接続された吸着手段としての吸着ヘッド１１と、保護シートＡの長辺Ａａに沿って水平方向に往復動（上流側から下流側への前進移動、及び下流側から上流側への後退移動）するセパレータ１２と、保護シートＡの長辺Ａａに沿って所定間隔で複数設けられた挟持手段としての爪チャック１４とを備える。本実施形態では、保護シートＡの長辺Ａａに沿った４箇所に爪チャック１４（以下、上流側から下流側に向かって、順に、第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄともいう。）を設けているが、爪チャック１４の設置個数は、保護シートＡの長辺寸法や個々の爪チャック１４の能力等に応じて適宜変更することができる。従って、爪チャック１４は、保護シートＡの長辺Ａａに沿った２〜３箇所、又は５箇所以上に設けることも可能である。
【００２９】
吸着ヘッド１１は、図示外の駆動手段の駆動力を受けてシート積層体Ｂに対して接近および離反移動し、シート積層体Ｂに対して接近移動したときには、第１シートＡ１の一隅部（具体的には、第１シートＡ１のうち、搬送コンベア９に接近した側の長辺Ａａと、上流側に位置する短辺Ａｂとが交わる隅部）Ａｃを上方から吸着することができるようになっている。この吸着ヘッド１１の原点位置（シート積層体Ｂに対して離反した状態での静止位置）は、シート積層体Ｂに対して接近移動したときの位置からシート積層体Ｂの中央側にずれている。そのため、吸着ヘッド１１は、第１シートＡ１の取得時、斜行移動又は円弧移動することでシート積層体Ｂに対して接近し、この接近位置で第１シートＡ１の一隅部Ａｃを上方から吸着した後には、第１シートＡ１の取得時とは逆の経路を辿るように斜行移動又は円弧移動することで原点復帰する。なお、本実施形態では、図１および図４中に白抜き矢印で示す態様で斜行移動する。
【００３０】
シート積層体Ｂの上方には、吸着ヘッド１１が原点復帰したこと、さらに詳しくは、吸着ヘッド１１が第１シートＡ１の一隅部Ａｃを吸着保持して持ち上げたことを検出するための検出器１５が設けられている。検出器１５は、リミットスイッチのような接触型を用いても良いし、近接センサのような非接触型を用いても良い。また、吸着ヘッド１１が第１シートＡ１の一隅部Ａｃを吸着保持して持ち上げたことをより確実に検知するため、第１シートＡ１の吸着の有無によって変動する吸引圧を、別途設けた図示外の圧力センサで検知するようにしている。
【００３１】
セパレータ１２は、図３に拡大して示すように、所定の厚みを有する板状部材であり、保護シートＡの長辺Ａａに沿って水平方向に往復動可能に構成されている。このセパレータ１２の移動方向前方側に臨む面１２ａ、およびこれに繋がった搬送コンベア９から離反する側の面１２ｂにはエアー噴射口１３が連続的に開口しており、このエアー噴射口１３からは、図示外のエアー源から供給されたエアーが噴射される。上記の両面１２ａ，１２ｂは滑らかな円弧面を介して繋がっている。
【００３２】
なお、セパレータ１２は、その基端部を、例えば保護シートＡの長辺Ａａと平行に設置した図示外のリニアモーションガイドレールに沿って案内移動される可動部材に取り付けることによって水平方向に往復動する。可動部材を水平方向に往復動させるための駆動手段は、可変電動機や無端状歯付ベルト（ボールねじでも代替可）等を組み合わせて構成される。これにより、セパレータ１２の移動速度は、矢印Ｘ１で示す上流側から下流側へと向かう前進移動時よりも、矢印Ｘ２で示す下流側から上流側へと向かう後退移動（原点復帰）時を高速に設定することができる。
【００３３】
各爪チャック１４は、上下方向で開閉動作する上爪１４ａと下爪１４ｂを備えており、第１シートＡ１の一隅部Ａｃを吸着した吸着ヘッド１１が原点復帰して第１シートＡ１の一隅部Ａｃが持ち上げられたとき、第１シートＡ１の一隅部Ａｃに連なる端縁部Ａｄを上爪１４ａおよび下爪１４ｂで上下両側から挟持し得る高さ位置、さらに言えば、セパレータ１２の上面が描く動作軌跡と略等しい高さ位置にて上爪１４ａと下爪１４ｂとが衝合するように設けられている（図２参照）。動作タイミングについては後に詳述するが、各爪チャック１４は、最も上流側に位置する第１爪チャック１４Ａが最初に閉動作して第１シートＡ１の端縁部Ａｄを挟持し、その後、第２爪チャック１４Ｂ→第３爪チャック１４Ｃ→第４爪チャック１４Ｄの順に閉動作して第１シートＡ１の端縁部Ａｄを上流側から下流側に向けて順次挟持するように構成されている。また、各爪チャック１４は、保護シートＡの長辺Ａａに沿って平行移動するセパレータ１２との相互干渉を避けるため、セパレータ１２の前進移動時および後退移動時には第１シートＡ１の端縁部Ａｄから所定量離隔した場所に位置するように構成されている。
【００３４】
上記の態様で動作する爪チャック１４は、シート積層体Ｂの上方と、シート載置ステーション９ａの上方との間を往復動する図示外の移載手段に取り付けられている。そのため、爪チャック１４は、図５に示すように、第１シートＡ１の端縁部Ａｄを上下両側から挟持することで取得する取得位置と、取得位置にて取得した第１シートＡ１をシート載置ステーション９ａ上で静止したガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に配置させる供給位置との間を往復動する。
【００３５】
保護シート供給装置１は主に以上の構成を有し、以下に示す態様で動作することにより、シート積層体Ｂの最上層に位置する保護シートＡ（第１シートＡ１）を取得してシート積層体Ｂから分離させ、この第１シートＡ１を、搬送コンベア９のシート載置ステーション９ａ上で静止しているガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に配置させる。
【００３６】
まず、原点位置にある吸着ヘッド１１を下方に斜行移動させることによって第１シートＡ１に接近させ、図示外の吸引ポンプを作動させる。これにより、吸着ヘッド１１の下面に第１シートＡ１の一隅部Ａｃが吸着保持される。そして、この状態のまま、吸着ヘッド１１を上方に斜行移動させて原点復帰させると、第１シートＡ１の一隅部Ａｃが持ち上げられて第１シートＡ１の一隅部Ａｃがシート積層体Ｂから分離し、第１シートＡ１の一隅部Ａｃの下方に下方隙間Ｃが形成される（図２を参照）。
【００３７】
吸着ヘッド１１が適切に第１シートＡ１を吸着保持していることを図示外の圧力センサが検知した状態で、第１シートＡ１の一隅部Ａｃを吸着保持した吸着ヘッド１１が原点復帰したことを検出器１５が検出すると、セパレータ１２が矢印Ｘ１方向への前進移動を開始して下方隙間Ｃに挿入される。その状態から、セパレータ１２が第１シートＡ１の端縁部Ａｄに沿って水平方向に前進移動すると、これに伴って下方隙間Ｃの形成範囲が徐々に拡大、すなわち、第１シートＡ１の端縁部Ａｄの下方に補助隙間Ｃ１が徐々に形成される。このような隙間形成工程を実行する際、セパレータ１２が下方隙間Ｃに挿入されると、図示外のエアー源が駆動され、セパレータ１２に設けたエアー噴射口１３からのエアー噴射が開始される。そのため、セパレータ１２が第１シートＡ１の端縁部Ａｄに沿って水平方向に前進移動するときには、セパレータ１２の移動方向前方側および移動方向と直交する方向に向けてのエアー噴射が実行され（図１および図３を参照）、このエアー噴射は、セパレータ１２が前進限に到達するまで継続される。
【００３８】
セパレータ１２の水平方向への前進移動が進行し、下方隙間Ｃの形成範囲が徐々に拡大する（補助隙間Ｃ１が徐々に生じる）のに伴って、爪チャック１４（第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄ）を順次第１シートＡ１に対して接近移動させると共に閉動作させ、第１シートＡ１の端縁部Ａｄを第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄで挟持する。具体的には、セパレータ１２が第１爪チャック１４Ａの設置位置を通過すると、第１爪チャック１４Ａが第１シートＡ１に対して接近移動し、その後閉動作して第１シートＡ１の端縁部Ａｄを上下両側から挟持する。以降、セパレータ１２が第２爪チャック１４Ｂ〜第４爪チャック１４Ｄの設置位置をそれぞれ通過する毎に、セパレータ１２の移動方向後方側で爪チャック１４Ｂ〜１４Ｄが第１シートＡ１に対して接近移動し、その後閉動作する。これにより、セパレータ１２が前進限まで到達し、第１シートＡ１の端縁部Ａｄの全長に亘る補助隙間Ｃ１が端縁部Ａｄの下方に形成されたときには、第１シートＡ１の端縁部Ａｄの長手方向４箇所が爪チャック１４Ａ〜１４Ｄで上下両側から挟持された状態となる。
【００３９】
なお、吸着ヘッド１１による第１シートＡ１の一隅部Ａｃの吸着を解除するタイミングは任意に設定することができ、例えば、第１爪チャック１４Ａによって第１シートＡ１の端縁部Ａｄが上下両側から挟持された時点で解除するようにしても良いし、第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄの全てによる端縁部Ａｄの挟持が完了した時点で解除するようにしても良い。
【００４０】
以上のようにして、端縁部Ａｄの下方に生じた補助隙間Ｃ１を利用して第１シートＡ１の端縁部Ａｄの長手方向４箇所が第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄで挟持された後、爪チャック１４を有する図示外の移載手段を駆動して、爪チャック１４を供給位置まで移動させる（図５を参照）。爪チャック１４が供給位置まで移動した後、全ての爪チャック１４を開動作させ、第１シートＡ１の端縁部Ａｄの挟持状態を解除し、第１シートＡ１をシート載置ステーション９ａ上にあるガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に配置させる。
【００４１】
以降、上述した動作が繰り返し行われることにより、シート載置ステーション９ａに順次導入されるガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に保護シートＡ（第１シートＡ１）が供給される。
【００４２】
本発明に係る保護シート供給装置１が以上で説明した構成を具備し、かつ以上で示す態様で動作することから、シート積層体Ｂの最上層に位置する保護シートＡ（第１シートＡ１）の取得動作が開始されると、第１シートＡ１と、その下層に位置する保護シートＡ（第２シートＡ２）との間の密着力が効率的に弱められ、ひいては両シートＡ１，Ａ２間の密着状態が解消される。そのため、シート積層体Ｂから第１シートＡ１を取得してシート積層体Ｂから分離させる際に、第２シートＡ２等も併せて取得される可能性が従来の装置に比べて大幅に減じられる。これにより、ライン停止等の重大問題が生じる可能性を効果的に減じることができる。また、吸着ヘッド１１として、第１シートＡ１の一隅部Ａｃを吸着保持して持ち上げるものを採用したことにより、小さな吸着力であっても第１シートＡ１の一隅部Ａｃの下方に効率的に下方隙間Ｃを形成することができる。従って、真空ポンプ等を含めた設備の簡素化を達成することができる。
【００４３】
また、セパレータ１２が、その移動方向前方側に臨む面１２ａ、およびこれに繋がった搬送コンベア９から離反する側の面１２ｂに連続的に開口したエアー噴射口１３を有し、このエアー噴射口１３からは、セパレータ１２の移動方向前方側等に向けてエアーが噴射されることから、大型のセパレータ１２を用いずとも、また、必ずしも第１シートＡ１や第２シートＡ２にセパレータ１２を接触させずとも下方隙間Ｃを効率的に拡大することが、すなわち補助隙間Ｃ１を効率的に生じさせることができる。そのため、セパレータ１２が水平方向に前進移動するのに伴ってセパレータ１２と保護シートＡ（第１シートＡ１及び／又は第２シートＡ２）の間に生じる摩擦力により、保護シートＡが所定位置から位置ずれ等するのを可及的に防止することができ、保護シートＡの安定供給が達成される。
【００４４】
また、セパレータ１２が前進移動し、第１シートＡ１の端縁部Ａｄの下方に補助隙間Ｃ１が徐々に形成されるのに伴って、セパレータ１２の移動方向後方側で、第１シートＡ１の端縁部Ａｄを挟持手段としての爪チャック１４（第１爪チャック１４Ａ〜第４爪チャック１４Ｄ）で上下両側から順次挟持するようにした。このようにすれば、第１シートＡ１の端縁部Ａｄを所定の高さ位置に保持することができる。そのため、シート積層体Ｂからの部分的な分離が達成された保護シートＡ（第１シートＡ１）が下降し、再度シート積層体Ｂと密着状態になるのを効果的に防止することができる。また、吸着ヘッド１１による第１シートＡ１の一隅部Ａｃの吸着時に、仮に複数枚の保護シートＡが吸着ヘッド１１に吸着されたとしても、複数枚の保護シートＡが供給位置へ移載されている最中などに相互に分離するのを可及的に防止することができる。
【００４５】
以上では、第１シートＡ１の長辺Ａａに沿ってセパレータ１２を水平方向に前進移動させることにより補助隙間Ｃ１を生じさせるようにしたが、第１シートＡ１の短辺Ａｂに沿ってセパレータ１２を水平方向に前進移動させることにより補助隙間Ｃ１を生じさせるようにしても良い。なお、この場合には、挟持手段としての爪チャック１４も、第１シートＡ１の短辺Ａｂに沿って配置する。
【００４６】
以上では、搬送コンベア９に沿って上流側から下流側に横姿勢で搬送され、シート載置ステーション９ａで一時的に下流側への搬送が停止されたガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に保護シートＡを配置（供給）する場合に本発明に係る保護シート供給装置１を使用したが、本発明に係る保護シート供給装置１は、例えば図６に示すように、パレット２０上に横姿勢で載置されたガラス基板Ｇの表面Ｇａ上に保護シートＡを供給する場合にも好ましく使用することができる。
【００４７】
また、以上では、搬送コンベア９に沿って横姿勢で下流側に搬送されてくる、もしくはパレット２０上に横姿勢で載置されたガラス基板Ｇの表面Ｇａ側に保護シートＡを配置する際に本発明に係る保護シート供給装置１を使用したが、本発明に係る保護シート供給装置１は、縦姿勢（厳密には鉛直方向に対して所定角度傾倒した姿勢）で搬送コンベア９に沿って下流側に搬送されてくる、もしくはパレット２０上に縦姿勢で載置されたガラス基板Ｇの表面Ｇａ側に保護シートＡを配置する際にも好ましく使用することができる。
【００４８】
また、以上では、長辺寸法が２．５ｍ、短辺寸法が１．５ｍのガラス基板Ｇの表面Ｇａ側に、このガラス基板Ｇと略同寸の保護シートＡを供給する際に本発明に係る保護シート供給装置１を使用した。本発明の構成上、本発明に係る保護シート供給装置１は、対向する二辺の組のうち、少なくとも一方が２ｍを超えるような大判のガラス基板Ｇの表面Ｇａ側にこれと略同寸の保護シートＡを配置（供給）する際に特に好ましく使用することができるが、もちろん、対向する二辺の組の双方が２ｍを下回るようなガラス基板Ｇの表面Ｇａ側に、これと略同寸の保護シートＡを配置する際にも好ましく適用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１      保護シート供給装置
９      搬送コンベア
１１    吸着ヘッド（吸着手段）
１２    セパレータ
１３    エアー噴射口
１４    爪チャック（挟持手段）
２０    パレット
Ａ      保護シート
Ａ１    第１シート
Ａ２    第２シート
Ａｃ    一隅部
Ａｄ    端縁
Ｂ      シート積層体
Ｃ      下方隙間
Ｃ１    補助隙間
Ｇ      ガラス基板
Ｇａ    表面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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