(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄媒体を気流により飛翔させ、上記洗浄媒体を洗浄対象物に当てて洗浄対象物の洗浄を行う乾式クリーニング筐体において、
上記洗浄媒体を飛翔させる内部空間と、
上記洗浄対象物に当接して上記洗浄媒体を上記洗浄対象物に衝突させる開口部と、
外部からの空気を上記内部空間へ通す通気路と、
上記通気路を介して上記内部空間に導気された空気を吸引することにより上記内部空間に旋回気流を生じさせる吸気口と、
上記洗浄対象物から除去された除去物を上記吸気口側へ通過させる多孔手段と、
からなる筐体部と、
上記筐体部を上記洗浄対象物から離す際に外部空気を流入させて上記内部空間から上記開口部を介して上記洗浄媒体が外部へ漏出するのを防止する洗浄媒体漏出防止手段と、を有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項２】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記洗浄媒体漏出防止手段は、
上記開口部に設けられ、洗浄対象物に対して上記筐体部が接離する方向に伸縮可能な筒状体と、該筒状体の側面に形成された通気部とを有し、
上記筒状体が縮んだ際に上記通気部は閉じた状態となることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項３】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記筒状体が、
上記筐体部に固定ないし係止される固定筒と、
該固定筒に上記接離方向に移動可能に嵌め合わされた可動筒とからなり、
上記固定筒と可動筒の少なくとも一方の側面に上記通気部が形成されていることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項４】
請求項３に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記固定筒と可動筒とが共通の軸を支点にして上記接離方向に回動する複数の嵌合体から構成され、伸びたときに扇形状となることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の乾式クリーニング筐体において、
洗浄対象物に接触しない状態で、上記可動筒を上記接離方向に突出させる付勢部材を有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項６】
請求項３又は４に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記可動筒が上記接離方向に自重で突出することを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項７】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記筒状体が、蛇腹構造体であることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項８】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記筒状体が柔軟部材で形成されていることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項９】
請求項８に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記通気部が複数の外気流入孔から構成され、上記外気流入孔は、上記接離方向が短径となる長穴形状を有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記柔軟部材が、発泡スポンジ、ゴム、発泡ウレタンのうちの少なくとも１つの材料で形成されていることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項１１】
請求項２〜１０のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体において、
上記洗浄対象物から上記筐体部を離す際の上記筒状体の伸び動作に連動して上記通気路を塞ぐ通気路閉塞手段を有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項１２】
請求項１１に記載の乾式クリーニング筐体において、
上記通気路閉塞手段が、筐体外面に回動自在に支持され、一端部が上記筒状体に接触して該筒状体の伸縮動作で変位するレバーと、該レバーの他端部に設けられ、上記筒状体が伸びたときに上記吸気口を塞ぐキャップ部材とを有していることを特徴とする乾式クリーニング筐体。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体と、上記筐体部内に収容され、あるいは上記筐体部内に供給される上記洗浄媒体と、上記乾式クリーニング筐体の上記吸気口に接続される吸気手段とからなる乾式クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に接触（衝突の概念を含む）させて洗浄する乾式クリーニング装置に関し、詳しくは、洗浄対象物の任意の部位に当てて洗浄することが可能で特にハンディタイプとして好適な乾式クリーニング装置及び該乾式クリーニング装置に用いられる乾式クリーニング筐体に関する。
本発明は、例えば、フローはんだ槽工程で用いられる、ディップパレットもしくはキャリアパレットと呼称されるマスク治具に付着したフラックスを除去するのに用いられ、特に洗浄対象物の側面や開口部の周辺など、狭い領域に固着したフラックスを除去することに適している。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント基板製造におけるフローはんだ槽によるはんだ付け工程において、はんだ付け処理する領域以外をマスクする治具が多く用いられている。このようなマスク治具（ディップパレット、キャリアパレットと呼ばれる）は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着しマスクの精度を下げるために、定期的に洗浄する必要があった。
一般的には、このような洗浄は溶剤に浸漬して行うため、大量の溶剤を消費しており、コストアップを避けられず、作業者への負荷も極めて大きい。
浸漬せずに装置内で溶剤を洗浄対象物に噴射する方式も知られているが、溶剤を大量に使用するという点に変わりはない。
【０００３】
この問題を解消する技術として、飛翔する洗浄媒体を洗浄対象物に接触させて洗浄する乾式の洗浄装置が知られている。
特許文献１、２には、円筒形の容器の側面に開口部を設け、容器内で圧縮気流の旋回空気流により円周方向に洗浄媒体を飛翔させ、開口部に接した洗浄対象物に洗浄媒体を衝突させる洗浄方法が開示されている。
しかしながらこの方式では、圧縮気流で旋回空気流を形成しているため、開口部から洗浄対象物が離された際に、洗浄媒体が容器外部に漏出するという問題を避けられない。
この問題を解消すべく、特許文献１では開口部に網部材を設けて漏出を防いでいるが、洗浄媒体が洗浄対象物に衝突する際のエネルギーが低下したり、網部材に洗浄媒体が挟まって洗浄能力が低下するなどの新たな問題を抱えている。
特許文献２では、開口部を塞ぐ開閉蓋を設けて漏出を防ぐようにしているが、開口部から洗浄対象物が離された際に開閉蓋を素早く移動させて塞ぐ必要があり、作業者に余計な注意力や労力を強いるとともに、機構的に複雑で操作が難しく、故障しやすいという問題があった。
【０００４】
このような状況に鑑み、本出願人は、筐体に吸気手段を接続し、開口部が洗浄対象物で塞がれた状態で通気路を介して筐体外部から内部へ流入する気流により発生する旋回空気流によって薄片状の洗浄媒体を飛翔させるとともに、筐体内に気体や粉塵の通過を許容し且つ洗浄媒体の通過を不可とする、例えば網目状の多孔手段を設けて旋回空気流形成領域で洗浄媒体が留まるようにし、旋回空気流によって洗浄媒体の循環飛翔が継続する乾式クリーニング装置を提案した（特願２０１０−１７５６８７号）。
この乾式クリーニング装置によれば、開口部から洗浄対象物が離されても、通気路が大気圧と同レベルとなって旋回空気流が消失するとともに、吸気による負圧で開口部から外気が筐体内に多く流入するため、筐体内の洗浄媒体は多孔手段に吸着された状態となって筐体内に留まり、開口部からは漏れない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記本出願人による先願技術では、洗浄終了後に洗浄対象物から開口部を離すときに、筐体内の旋回空気流と共に空気取り入れ口（通気路）から開口部に直接流れ込む気流により、洗浄媒体が開口部から飛び出ることが時々発生することが判った。
洗浄対象物から開口部が離れる瞬間には、開口部から筐体内へ流入する空気流よりも通気路から流入した空気流の流速が勝る場合があると考えられる。すなわち、開口部から筐体内へ流入する空気流が洗浄媒体を筐体内へ閉じ込め得る流速に達するまでの間に、通気路から流入した空気流による、開口部へ向う洗浄媒体の慣性飛翔が優勢となる状態が瞬間的に存在すると考えられる。
開口部からの洗浄媒体の飛散は、作業環境の汚染や安全性等の観点から好ましくない。
洗浄終了後、洗浄対象物から開口部を離す前に上記通気路を塞げば上記のような洗浄媒体の開口部からの飛散は生じないのであるが、洗浄終了後に通気路を塞ぐ条件を設けた場合、操作が面倒であるとともに、作業者がこれを忘れた場合には上記問題を解消できない。
【０００６】
本発明は、上記のような現状に鑑みてなされたもので、洗浄終了後に特別な操作をすることなく洗浄対象物から開口部を離しても、開口部からの洗浄媒体の飛散を防止でき、作業環境の向上に寄与できる乾式クリーニング筐体、該筐体を有する乾式クリーニング装置の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、洗浄対象物からクリーニング筐体部を離す直前に、その離間動作に伴って、洗浄対象物とクリーニング筐体部との間に外部空気が流入するが洗浄媒体は漏出させない洗浄媒体漏出防止手段を備えるようにし、これによって開口部が完全に開放される前に開口部周辺の洗浄媒体の飛翔エネルギーを減衰せしめることとした。
【０００８】
具体的には、本発明は、洗浄媒体を気流により飛翔させ、上記洗浄媒体を洗浄対象物に当てて洗浄対象物の洗浄を行う乾式クリーニング筐体において、上記洗浄媒体を飛翔させる内部空間と、上記洗浄対象物に当接して上記洗浄媒体を上記洗浄対象物に衝突させる開口部と、外部からの空気を上記内部空間へ通す通気路と、上記通気路を介して上記内部空間に導気された空気を吸引することにより上記内部空間に旋回気流を生じさせる吸気口と、上記洗浄対象物から除去された除去物を上記吸気口側へ通過させる多孔手段と、からなる筐体部と、上記筐体部を上記洗浄対象物から離す際に外部空気を流入させて上記内部空間から上記開口部を介して上記洗浄媒体が外部へ漏出するのを防止する洗浄媒体漏出防止手段と、を有していることを特徴とする。
【０００９】
本明細書における用語の定義は以下の通りである。
本発明における筐体とは、内側に旋回空気流を発生させやすい形状の空間を備えた容器状の構造物を示す。旋回空気流を発生させやすい形状とは、気流が筐体の内壁を沿って流れて循環する、連続した内壁を持つ形状であり、より望ましくは回転体形状の内壁または内部空間を備える形状である。
通気路とは、気流を一定の方向に流れやすくする手段のことであり、滑らかな内面を備える管形状であることが一般的である。しかしながら、たとえば滑らかな面を持つ、板状の流路制御板などを用いても、気体を面に沿った方向に流れやすくする、整流効果が発現するため、このような形態も含めて通気路とする。
【００１０】
また、気流が直線的に流れる形状が一般的であるが、流路抵抗をあまり生じない緩やかなカーブを備えていても整流効果を得ることができる。ただし、特に記載されない場合、通気路の方向とは空気流入口において噴出する気流の方向のことを意味する。
直線の管形状を備え、一方の端部が筐体内壁の空気流入口に接続され、もう一方の端部が筐体外の大気に開放されている空気取り入れ口である通気路を、本発明ではインレットと呼称する。インレットは一般的に流体抵抗が低く、滑らかな内面を持ち、管の断面は円形、長方形、スリット形状などが用いられる。
【００１１】
本発明において、旋回気流とは、空気流入口からの流入気流により加速された気流が、筐体の内壁に沿って方向を変えつつ流れ、空気流入口の位置に、循環して戻り、流入気流と合流する気流である。一般的には、内壁が連続している閉空間内で、内壁の接線方向に向けて気流を流入させることにより発生する。気流が空気のみからなる場合には、旋回気流は旋回空気流である。
本発明において、特に記述されない限り、開口部とは、クリーニング筐体側面の筐体開口部と、この筐体開口部に設けられる洗浄媒体漏出防止手段と、洗浄対象物に直に接する洗浄媒体漏出防止手段開口部とから形成される通路状の立体的な空間を意味する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、洗浄対象物から離れる方向に筐体部を移動させる時に、開口部が完全に開放された状態となる前に外部から流入する気流によって洗浄媒体の飛翔速度を減衰できるので、開口部からの洗浄媒体の飛散を確実に防止でき、作業環境の向上に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る乾式クリーニング装置を示す概要断面図である。
【図２】洗浄動作を示す図である。
【図３】乾式クリーニング装置の使用状態を示す斜視図である。
【図４】洗浄媒体漏出防止手段を備えた上部筐体の側面図である。
【図５】同斜視図である。
【図６】洗浄媒体漏出防止手段の一部省略の斜視図である。
【図７】洗浄時の洗浄媒体漏出防止手段周辺の断面図である。
【図８】洗浄終了後に開口部を開放すべく筐体を移動させた状態の洗浄媒体漏出防止手段周辺の断面図である。
【図９】洗浄対象物から完全に離した状態の洗浄媒体漏出防止手段周辺の断面図である。
【図１０】第２の実施形態における洗浄媒体漏出防止手段の斜視図である。
【図１１】第３の実施形態における洗浄媒体漏出防止手段の斜視図である。
【図１２】第４の実施形態における洗浄媒体漏出防止手段を備えた上部筐体の側面図である。
【図１３】第５の実施形態における洗浄媒体漏出防止手段を備えた上部筐体の側面図で、（ａ）は筐体部を洗浄対象物から離した状態を示す図、（ｂ）は洗浄時の状態を示す図である。
【図１４】第６の実施形態における洗浄媒体漏出防止手段及び通気路閉塞手段を備えた上部筐体の側面図である。
【図１５】薄片状の洗浄媒体の衝突時のパターンを示す模式図である。
【図１６】各洗浄媒体の機械的物性の分布を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
図１乃至図９に基づいて第１の実施形態を説明する。まず、図１に基づいて本実施形態に係るハンディタイプの乾式クリーニング装置２の構成の概要を説明する。図１（ａ）はＡ−Ａ線での横断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線での縦断面図である。
乾式クリーニング装置２は、内部に洗浄媒体５の飛翔空間を有する乾式クリーニング筐体（以下、単に「筐体」又は「筐体部」という）４と、筐体４内を負圧化する吸気手段６とを備えている。
筐体４は、筐体本体部としての円筒形状の上部筐体４Ａと、逆円錐形状の下部筐体４Ｂとから一体として構成されている。ここでの上部、下部は図面上の便宜的呼称であって、実機上の上下とは必ずしも関係はない。
【００１５】
下部筐体４Ｂは、その円錐頂部に吸気口８を一体に備えており、吸引ダクトとして機能する。
吸気手段６は、吸気口８に一端を接続されたフレキシブルな吸引ホース１０と、該吸引ホース１０の他端に接続された吸引装置１２とを有している。吸引装置１２としては、家庭用掃除機、真空モータや真空ポンプ、あるいは流体の圧送により間接的に低圧化ないし負圧化を生じさせる装置などを適宜用いることができる。なお、部材の上面、底面等の上下の位置関係は図面上の基準にすぎない。
【００１６】
上部筐体４Ａの底面部は、下部筐体４Ｂの上端部を結合する嵌合凹部４Ａ−１となっており、上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂは分離可能となっている。上部筐体４Ａの上面４Ａ−２は密閉されている。
上部筐体４Ａの底面部における下部筐体４Ｂとの境界部分には、多孔手段としての多孔性の分離板１４が設けられている。分離板１４は、パンチングメタルのような穴が空いた板状の部材である。分離板１４は、吸引されたときの洗浄媒体５の下部筐体４Ｂ側への移動を阻止するものである。図１（ａ）では分離板１４の表示を一部省略している。なお、洗浄媒体５は分かり易くするためにその大きさを誇張表示している。
多孔手段としては、洗浄媒体５を通さずに空気及び粉塵（洗浄対象物から除去された除去物）を通過させる大きさの細孔を多く備える多孔形状であればよく、スリット板や網などを用いてもよく、材質も滑らかな面を備えていれば、樹脂や金属などを自由に選択して良い。
多孔手段は旋回空気流の中心軸と直交する面として配置されている。旋回空気流の中心軸と直交することによって、多孔手段に沿う方向に気流が流れることにより、洗浄媒体５の滞留を防ぐ効果がある。
旋回空気流の減衰を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
【００１７】
多孔手段は、旋回空気流に沿った面に配置されることにより、表面に吸着した洗浄媒体を再飛翔させることができる。
筐体４の材質は特に限定されないが、異物の付着や洗浄媒体との摩擦による消耗を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適であるが、樹脂製のものを用いることもできる。
【００１８】
上部筐体４Ａの内部中心には、上部筐体４Ａの円筒軸を共通の軸とするように、円筒状の流路制限部材１６が筐体の一部として設けられ、流路制限部材１６の下端は分離板１４に固定されている。
流路制限部材１６は旋回空気流の流路断面積を絞って流速を向上させる目的で設けられている。流路制限部材１６により上部筐体４Ａ内には滑らかな壁面を有するリング状の旋回空気流移動空間（洗浄媒体の飛翔空間）が形成されている。
上部筐体４Ａの形状によっては、流路制限部材１６の中心軸と上部筐体４Ａの中心軸を必ずしも共通にする必要はなく、リング状の空間が確保できていれば偏芯していても良い。
【００１９】
上部筐体４Ａの側面の一部には、旋回空気流で飛翔する洗浄媒体５を洗浄対象物に接触ないし衝突させるための筐体開口部１８ａが形成されている。
上部筐体４Ａは直径に対して高さが極めて小さい円筒形状であり、その高さを形成する側面の一部に筐体開口部１８aを設けることにより、筐体４全体としては、図１（ｂ）に示すように、筐体開口部１８a以外の外周部分が洗浄対象物２０から大きく逃げる（離れる）レイアウトとなり、洗浄対象物２０に対する局所的当接、換言すればピンポイントクリーニングの自由度が高められている。
筐体開口部１８aは、上部筐体４Ａの側面を円筒軸に平行な平断面により切断した形状であり、円筒軸と直交する方向から見て矩形形状をなしている。
筐体開口部１８aには、例えば洗浄終了後に筐体部を洗浄対象物２０から離す際に、開口部１８から洗浄媒体５が筐体外部に漏れ出るのを防止する洗浄媒体漏出防止手段３２Ａが取り付けられている。
洗浄媒体漏出防止手段３２Ａは、洗浄対象物２０に対する筐体部の接離方向（矢印Ｎ方向）に伸縮自在な構成を有している。洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの具体的構成の詳細は後述する。
【００２０】
上部筐体４Ａの側面には空気流入口２２が形成されており、空気流入口２２には、旋回空気流発生手段で且つ通気路としてのインレット２４が上部筐体４Ａの外方から接続されて上部筐体４Ａに一体に固定されている。
インレット２４は分離板１４に略平行に設定されており、その通気方向は、上部筐体４Ａの半径方向に対して傾き、その通気路中心の延長線が開口部１８を介して洗浄対象物２０に達するように位置している。
インレット２４は、図５に示すように、上部筐体４Ａの高さ方向に延びる幅を有しており、内部は４つの通気路２４ａに区画されている。インレット２４は上部筐体４Ａの高さよりも径又は幅が小さいものを１つ配置してもよく、単体のインレットを高さ方向に複数配置する構成としてもよい。
図１に示すように、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの洗浄対象物側先端に位置する当接開口部１８ｂが洗浄対象物２０に当接して開口部１８が閉塞されると、筐体４内が閉空間としてなり、インレット２４から外気が高速で流入し、この高速気流は洗浄媒体５を開口部１８を介して洗浄対象物２０へ向けて加速させるとともに旋回空気流３０を生成する。
閉空間が形成された時に生じる旋回空気流は、分離板１４上に吸着した洗浄媒体を吹き払い、再飛翔させる効果を有する。
開口部１８は、筐体開口部１８aと、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの内部空間と、当接開口部１８ｂとからなる、通路状の立体的な空間である。図１（ａ）において、符号１８ａｒは開口部１８の幅を、１８ｂｒは当接開口部１８ｂの幅をそれぞれ示している。
【００２１】
筐体開口部１８aおよび当接開口部１８ｂは、開放されたときに、空気流入口２２における内圧を、大気圧もしくはその近傍にするために十分な大きさの面積を備える。また、空気流入口２２も、開口部１８の開放時に大気圧もしくはその近傍になりやすい位置に配置される。
このような構成を備えることにより、乾式クリーニング装置２を洗浄対象物に当てていない間は、空気流入口２２が大気圧に近づくことによって、外部との差圧が低下し、その結果流入する気流が劇的に低減する。一方、開口部１８から流入する気流は多くなるため、洗浄媒体５が筐体４内から漏れ出ることを防ぐことができる。
しかしながら、上述したように、開口部１８が開放される瞬間に開口部１８から洗浄媒体５が飛散する場合がある。
また、開口部１８が開放されている状態では、閉塞されている場合に比べて流入する気流の総量が２〜３倍になるため、とくに薄片状の洗浄媒体では多孔手段上に吸着されるため、再飛翔せず筐体の外に漏れることがない。
【００２２】
洗浄媒体５は、薄片状の洗浄片の集合であるが、ここでは薄片状の洗浄片単体としての意味でも用いている。
薄片状の洗浄媒体とは面積が１００ｍｍ２以下の薄片である。また、洗浄媒体の材質はポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、セルロース樹脂などの耐久性のある素材からなるフィルムであり、厚みは０．０２ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。
但し、洗浄対象物によっては洗浄媒体の厚みやサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、これらの洗浄媒体を使用する場合も本発明の範囲に含まれるため、前記洗浄媒体条件にはとらわれないものとする。
洗浄媒体の材質に関しては、樹脂だけにとどまらず、紙、布などの薄片や、あるいは、雲母などの鉱物、セラミックやガラス、金属箔であっても、薄く軽量で飛翔しやすい形状にすることで使用することができる。
【００２３】
上部筐体４Ａのリング状の内部空間２６は、旋回空気流によって洗浄媒体５を飛翔させて開口部１８に対向する洗浄対象物２０に接触させる機能を担う空間である。
流路制限部材１６の内部空間３４は、空気吸引によって影響を受けない静空間である。
【００２４】
以上のように構成される乾式クリーニング装置２による洗浄動作（以下、クリーニング動作という）を、図２を参照して説明する。なお、図２では、部材の厚み等を省略し、分かり易くするために静空間としての内部空間３４をハッチングで表示している。
図２（ｂ）は、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａを洗浄対象物２０から離して開口部１８を開放し吸気を行っている状態を、図２（ａ）は、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａを洗浄対象物２０に押し当てて縮め、開口部１８を完全に閉塞した状態を示している。
洗浄媒体５が筐体４内に保持されていない場合には、クリーニング動作に先立って、筐体内を吸気している状態で、洗浄媒体５を開口部１８から吸い込んで筐体４内に供給する。筐体４内に供給された洗浄媒体５は、図２（ｂ）下図に示すように、分離板１４に吸い付けられて筐体４内に保持される。
筐体４内は吸気により負圧状態となっているので、筐体外部の空気がインレット２４を通して筐体４内に流入するが、このときのインレット２４内の流れは流速・流量ともに小さいので、筐体４内に発生する旋回空気流３０は洗浄媒体５を飛翔させる強さには至らない。
【００２５】
筐体４内に洗浄媒体５が供給・保持されたら、図２（ａ）に示すように、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａを洗浄対象物２０の表面のクリーニングすべき部位に密着させて縮め、開口部１８を閉塞状態にする。
開口部１８が塞がれると、開口部１８からの吸気が止まるので、筐体４内の負圧は一気に増大し、インレット２４を通じて吸い込まれる空気量・流速ともに増大し、インレット２４内で整流され、インレット出口（空気流入口２２）から筐体４内に高速空気流となって吹き出す。
吹き出した空気流は、分離板１４上に保持されている洗浄媒体５を開口部１８に対向する洗浄対象物２０の表面に向けて飛翔させる。
上記空気流は、旋回空気流３０となって、筐体４の内壁に沿って円環状に流れつつ、一部は分離板１４の穴を通って吸気手段６により吸気される。
このように筐体４内を円環状に流れた旋回空気流３０がインレット２４の出口部に戻ると、インレット２４から入り込む空気流が旋回空気流３０に合流しつつ加速する。このようにして筐体４内に安定した旋回空気流３０が形成される。
【００２６】
洗浄媒体５は、この旋回空気流により筐体４内で旋回し、洗浄対象物２０の表面に繰り返し衝突する。この衝突による衝撃で、洗浄対象物２０の表面から汚れが微小粒状あるいは粉状となって分離する。
分離した汚れは、分離板１４の穴を通って吸気手段６により筐体４の外部へ排出される。
筐体４内に形成される旋回空気流３０は、その旋回軸が、分離板１４の表面に直交しており、旋回空気流３０は分離板１４の表面に平行方向の気流となる。
このため、旋回空気流３０は分離板表面に吸い着けられた洗浄媒体５に、横方向から吹き付けて洗浄媒体５と分離板１４の間に入り込み、分離板１４に吸い付けられている洗浄媒体５を分離板１４から引き剥がして再度飛翔させる効果が生じる。
また、開口部１８が塞がれて上部筐体４Ａ内の負圧が増大して、下部筐体４Ｂ内の負圧に近くなるため、洗浄媒体５を分離板１４の表面に吸い付ける力も低下して、洗浄媒体５の飛翔がより容易になる効果が生じる。
旋回空気流３０は、一定の方向に気流が加速されるため高速の気流が生成しやすく、洗浄媒体５の高速飛翔運動も容易となる。高速で旋回移動する洗浄媒体５は、分離板１４に吸い付けられにくく、洗浄媒体５に付着した汚れが、遠心力により洗浄媒体５から分離され易い。
【００２７】
図３に上述した乾式クリーニング装置２によるクリーニングの実際的な例を示す。なお、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａは省略している。
洗浄対象物は前述したフローはんだ槽工程で用いられるディップパレットであり、符号１００で示す。
ディップパレット１００には、マスク開口部１０１、１０２、１０３が開口しており、これらマスク開口部の穴周辺にフラックスＦＬが堆積・固化している。この堆積・固化したフラックスＦＬが除去すべき汚れである。
図３に示すように、下部筐体４Ｂの根元部（吸気口８部位）を手ＨＤで握り、吸気状態で、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａを被クリーニング部位に押し当てる。
洗浄媒体漏出防止手段３２Ａが被クリーニング部位に押し当てられる以前は、筐体４内は吸気され、洗浄媒体５は分離板１４に吸い付けられているので、開口部１８は下方を向いているものの、筐体４内から洗浄媒体５が外部へ漏れることは無い。
勿論、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａが被クリーニング部位に押し当てられた以後は、筐体内が気密状態となり、洗浄媒体の漏れ出しはない。
【００２８】
洗浄媒体漏出防止手段３２Ａを被クリーニング部位に押し当てると、インレット２４による流入気流が急増し、筐体４内に強い旋回空気流３０を発生させ、分離板１４に吸い付けられた洗浄媒体５を飛翔させ、ディップパレット１００の被クリーニング部位に付着固化したフラックスＦＬに衝突させてフラックスＦＬを除去する。
クリーニング作業者は、上述の如く下部筐体４Ｂの根元を手ＨＤに持ち、ディップパレット１００に対して移動させて、被クリーニング部位を順次移動させ、付着・固化したフラックスＦＬを全て除去することができる。
図３の状態では、ディップパレット１００のマスク開口部１０１の周辺部がクリーニングされ、マスク開口部１０２、１０３の周辺部がクリーニング途上である。
被クリーニング部位に対して開口部を移動させる時に被クリーニング部位から開口部１８が離されても、後述する洗浄媒体漏出防止手段３２Ａによる飛散防止効果及び前述の洗浄媒体吸着効果により、洗浄媒体５が筐体内から漏れ出さないため、洗浄媒体数が維持され、洗浄媒体量の減少によるクリーニング性能の低下は生じない。
【００２９】
洗浄媒体５は、繰り返し使用される間にクリーニング部位に対する衝突による衝撃により次第に破壊され、クリーニング部位のディップパレット１００から除去したフラックス（汚れ）と共に、吸引装置１２に吸引回収されるため、乾式クリーニング装置を長時間使用していると、筐体内に保持された洗浄媒体の量が減少する。
このような場合は、新しい洗浄媒体群を筐体４内に補給する。
【００３０】
次に、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの構成と機能を具体的に説明する。
図４は下部筐体４Ｂを外した筐体４を示している。上部筐体４Ａの外周面における筐体開口部１８aの周囲は、矩形状に厚肉部４Ａ−３が形成されており、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａはこの厚肉部４Ａ−３に固定されている。
洗浄媒体漏出防止手段３２Ａは、厚肉部４Ａ−３に固定される固定筒５０と、該固定筒５０の外面に摺動可能に嵌合された可動筒５２と、該可動筒５２を外力が作用しない状態で筐体外方（接離方向Ｎの洗浄対象物へ接近する方向）へ突出させる付勢部材としてコイルバネ５４とを有している。
固定筒５０は、上面から下方にコ字状に延びるブラケット５１を有しており、ブラケット５１には軸５３が上下方向に固定されている。軸５３は可動筒５２の上面から略水平に延びる係止片５２ａを貫通しており、可動筒５２は固定筒５０の外壁によって上下方向のスライドをガイドされるようになっている。コイルバネ５４は位置がずれないように、ブラケット５１の上端と係止片５２ａとの間において軸５３に嵌挿されている（図７参照）。本実施例では、コイルバネを使用したが、他に弾性発泡体を代わりに用いても同様の効果が得られる。
図４において、符号４Ａ−４は、下部筐体４Ｂを嵌合したときのストッパ縁を示している（図１では省略）。このストッパ縁４Ａ−４の上面（嵌合方向裏面）に分離板１４が配置されている。分離板１４の細孔は一部のみ表示している（他の図において同じ）。
【００３１】
図５及び図６に示すように、ブラケット５１は固定筒５０の４隅近傍に形成されている。可動筒５２の上面には係止片５２ａがブラケット５１に対応して両側に形成されており、これらの係止片５２ａには軸５３を余裕をもって挿通できる大きさの孔（図示せず）が形成されている。
ブラケット５１の下端縁５１ａは、係止片５２ａの下限を規制し、可動筒５２の固定筒５０に対する所定以上のスライドを制限するストッパとして機能する。
固定筒５０の４つの側面には、外気流入孔５０ａが複数形成されており、これらの外気流入孔５０ａは通気部を構成している。外気流入孔５０ａは洗浄媒体５を通過させない大きさに設定されている。
【００３２】
図７乃至図９に基づいて、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａによる洗浄媒体漏出防止機能を説明する。
図７は、洗浄中の状態を示している。この状態では、可動筒５２は筐体側へ圧縮されており、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａ全体としては縮んだ状態となっている。固定筒５０の外気流入孔５０ａは可動筒５２の側面で閉塞されており、よって開口部１８は外部から空気が流入しない閉塞状態となっている。
洗浄媒体５は、開口部１８と洗浄対象物２０との間における洗浄媒体漏出防止手段３２Ａによって区画された閉空間５５内で、高速に飛翔して洗浄対象物２０の表面に衝突して汚れを除去し、旋回空気流の負圧作用によって旋回空気流に再び合流し、これを繰り返す。
洗浄が終了して、作業者が洗浄対象物２０から離れる方向に筐体４を移動させると、図８に示すように、可動筒５２の先端部である当接開口部１８ｂが洗浄対象物２０に接したままの状態で固定筒５０に対する可動筒５２の相対的なスライドが進行する。可動筒５２のスライドに伴って固定筒５０の外気流入孔５０ａが徐々に開放され、該外気流入孔５０ａから外気が高速で流入する。
外気流入孔５０ａの開放に伴って、インレット２４から入り込む空気の流速が低下し、これに加えて外気流入孔５０ａから流入するカウンタ方向の空気流により洗浄媒体５は飛翔速度ないし慣性移動（飛翔エネルギー）を減衰させられる。
【００３３】
この状態で、当接開口部１８ｂが洗浄対象物２０から離れると、図９に示すように、開口部１８が開放された状態となって、当接開口部１８ｂから空気が大量に入り込む。
上記のように開口部１８近傍に存在する洗浄媒体５は既にその飛翔エネルギーを減衰されているため、当接開口部１８ｂから入り込む初期段階の空気流であっても洗浄媒体５は完全に筐体内へ押し戻され、分離板１４に吸着される。
当接開口部１８ｂが洗浄対象物２０から離れると、外気流入孔５０ａから流入する空気の流速は必然的に低下するが、この段階では、当接開口部１８ｂから流入する空気流によって洗浄媒体５を筐体内へ完全に押し戻すことを可能にするための、洗浄媒体５の飛翔エネルギーを減衰せしめるアシスト的な役目を既に終えている。
外気流入孔５０ａの開口の大きさや数は、インレット２４から入り込む空気の流速や当接開口部１８ｂから流入する空気流速等との関係を考慮して、洗浄媒体の漏出を防止できる範囲内で適宜設定される。
【００３４】
本実施形態では、通気部を複数の外気流入孔５０ａで構成したが、縦又は横方向に延びるスリットや網目状部材で構成してもよい（以下の他の実施形態において同じ）。
また、本実施形態では、上記のように洗浄媒体漏出防止手段３２Ａが洗浄対象物２０に対する接離方向に伸縮する構成を有しているため、開口部１８の容積もその動作に応じて変化するが、本発明の趣旨としては、開口部１８の容積が変化しない洗浄媒体漏出防止手段であっても構わない。
すなわち、開口部１８の容積が固定された構成において、自動で洗浄媒体漏出防止手段の側面から外気が流入するようにしてもよい。例えば、洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの先端部に洗浄対象物２０に接触する接触子を設け、該接触子が完全に洗浄対象物２０から離間する前にスイッチがオンして洗浄媒体漏出防止手段３２Ａの側面の通気部が開放されるようにしてもよい。
【００３５】
当接開口部１８ｂは、洗浄対象物２０が複雑な形状をしていても、洗浄対象物２０の表面に追従できるように弾性材料で形成するのが望ましい。
洗浄対象物２０の表面との密着性を得るために、当接開口部１８ｂには、４辺に略水平に延びる接触縁５２ｂを形成している。可動筒５２全体をゴム系材料で形成して接触縁５２ｂに弾性機能を持たせてもよく、接触縁５２ｂの下面に弾性材を固定して上記追従性を確保してもよい。
本実施形態では、可動筒５２をバネの付勢力でスライド（移動）させる構成として作業形態の方向性を無くす方式としたが、洗浄対象物２０が略水平に存在し、洗浄終了後に筐体を上方に引き上げて離す作業形態においては、可動筒５２が自重で移動する構成としてもよい（他の実施形態において同じ）。
外気流入孔５０ａは可動筒５２に形成してもよい。付勢部材の設置位置は上記に限らず、例えば可動筒５２の内側下方に設置してもよい。
また、コイルバネ５４の圧縮長さによって可動筒５２のスライドストロークが十分に得られない場合には、コイルバネ５４の上端部を収容するバネ収容凹部をブラケット５１の上面及び厚肉部４Ａ−３に形成して圧縮時のバネ長さを吸収するようにしてもよい。
【００３６】
図１０に第２の実施形態を示す。上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する（以下の他の実施形態において同じ）。
第１の実施形態では、洗浄媒体漏出防止手段の伸縮動作を、固定筒５０と可動筒５２とからなる嵌合・スライド構成によって得るようにしたが、本実施形態では洗浄媒体漏出防止手段を構成する材料自体又は形状自体が持つ柔軟性によって得ることを特徴としている。
本実施形態における洗浄媒体漏出防止手段３２Ｂは、筐体開口部１８aに固定される固定フレーム５６と、洗浄対象物２０の表面に当接する可動フレーム５７と、固定フレーム５６と可動フレーム５７との間に接続された筒状で且つ蛇腹状の伸縮体６０とから構成されている。伸縮体６０の側面には、通気部を構成する外気流入孔６０ａが複数形成されている（一部省略）。
【００３７】
洗浄時は固定フレーム５６と可動フレーム５７とが接近した構成状態となり、外気流入孔６０ａは接離方向に押し潰された閉塞状態となる。洗浄が終了して筐体を移動させると、外気流入孔６０ａが徐々に開放されて第１の実施形態と同様の原理による洗浄媒体漏出防止機能が得られる。
伸縮体６０の伸縮動作は伸縮体６０の材質による弾性を利用してもよく、別途弾性体を付加してもよい。
また、伸縮体６０は必ずしも弾性材料で構成する必要はなく、折り畳まれたときに外気流入孔６０ａが閉塞されれば形状自体が持つ柔軟性によって伸縮動作を確保してもよい。
【００３８】
図１１に第３の実施形態を示す。洗浄媒体漏出防止手段を構成する材料自体の弾性のみによって伸縮動作を得る例である。
本実施形態における洗浄媒体漏出防止手段３２Ｃは、柔軟部材で形成された角筒状の伸縮体６２と、伸縮体６２の側面に形成された外気流入孔６２ａとから構成されている。複数の外気流入孔６２ａによって通気部が構成されている。
洗浄時は、伸縮体６２の下端（先端）を洗浄対象物２０の表面に当てて伸縮体６２を接離方向（Ｎ方向）に圧縮する。これによって外気流入孔６２ａは押し潰されて閉塞する。
伸縮体６２の圧縮動作で外気流入孔６２ａが完全に閉塞するように、外気流入孔６２ａはその短径（短軸の長さ）が接離方向と平行となるように長穴状ないし楕円形状に形成されている。
柔軟部材としては、発泡スポンジ、ゴム、発泡ウレタン等を採用することができる。
【００３９】
図１２に第４の実施形態を示す。
図１２に示すように、上部筐体４Ａの厚肉部４Ａ−３は厚みに高低差を付けられており、厚みの低い方には軸６４が支持されている。
本実施形態における洗浄媒体漏出防止手段３２Ｄは、軸６４と、軸６４を回動支点として上下方向（接離方向）に回動可能に設けられた嵌合体としての内筒６６と、同じく軸６４を回動支点として上下方向に回動可能に設けられ、内筒６６に嵌合するとともに該内筒６６に連結された嵌合体としての外筒６８と、外筒６８の先端に固定され洗浄対象物２０に対する当接フレーム７０と、外筒６８を洗浄対象物２０側へ突出させる図示しない付勢部材とから構成されている。内筒６６の側面には図示しない外気流入孔が複数形成されている。
【００４０】
洗浄時は、破線で示すように、内筒６６と外筒６８とがほぼ重なり合うように縮められる。
洗浄が終了して筐体を移動させると、内筒６６が厚肉部４Ａ−３の厚みの高い方の所定位置で係止されるとともに、外筒６８がスライドして外気流入孔が徐々に開放される。洗浄媒体漏出防止手段３２Ｄは最終的に扇形に拡がった外形形状となる。外気流入孔は外筒６８に形成してもよい。
【００４１】
図１３に、第４の実施形態の変形例としての第５の実施形態を示す。
本実施形態では、図１３（ｂ）に示すように、インレット２４からの流入気流が、洗浄対象物に対して略垂直方向に向かうように構成されている。このような構成により洗浄媒体が略垂直に洗浄対象物に衝突するため、大きな洗浄能力を得られる。
しかしながら、このように構成した場合、開口部１８が旋回空気流の流路に対して偏った位置に配置されることになるため、開口部１８が開放された時に開口部１８からの流入気流により、図１２に矢印Ｋで示すように、逆方向の旋回流が発生して、インレット２４に洗浄媒体が逆流するという懸念がある。
本実施形態ではこのような懸念を解消するために、扇形状の伸縮構成による気流制御特性を利用して、開口部１８が開放された時に開口部１８からの流入気流を、インレット２４に対向しないように方向付けることとした。
図１３（ａ）に示すように、図１２で示した構成とは逆に、軸６４を水平方向におけるインレット２４側に設けた洗浄媒体漏出防止手段３２Ｄとしている。
流路が短い扇形構造の空間では、開口部１８からの流入気流の方向は当接開口部１８ｂに略直交する向きとなるため、扇形に展開したときの当接開口部１８ｂの位置によって流入方向を制御することができる。
図１３（ａ）に示すように、洗浄媒体漏出防止手段３４Ｄが扇形に展開したときに当接開口部１８ｂに直交する方向が筐体の中心部を向くように構成することにより、開口部１８からの流入気流で逆方向の旋回流が筐体内に発生してインレット２４に洗浄媒体が逆流することを防ぐことができる。
また、本構成のさらに簡易な形態として、内筒６６、外筒６８を省略して、当接フレーム７０のみが回動可能に設けられている構成であってもよい。漏出する洗浄媒体５の大部分は洗浄対象物２０の表面に沿って飛翔する傾向があるため、当接フレーム７０が洗浄対象物２０に接していれば、大部分の洗浄媒体５の漏出をブロックすることができる。内筒６６および外筒６８を省略することにより、筐体４が洗浄対象物２０から離れる動作に伴い大きな間隙がひらいて大量の外気が流入し、速やかに洗浄媒体５の飛翔エネルギーを減衰させることができる。
【００４２】
図１４に第６の実施形態を示す。
本実施形態では、洗浄媒体漏出防止手段の伸び動作に連動してインレット２４を塞ぐ通気路閉塞手段を有していることを特徴とする。上述したように、開口部１８が開放される前にインレット２４が塞がれれば開口部１８からの洗浄媒体５の飛散を防止できるため、洗浄媒体漏出防止手段の伸縮動作を利用してインレット２４を自動的に塞ぐようにしたものである。
このようにすれば、洗浄媒体漏出防止機能をさらに高めることができるとともに、安価な構成で人為的な塞ぎ忘れによる問題を回避することができる。
本実施形態における洗浄媒体漏出防止手段３２Ｅは、厚肉部４Ａ−３の外側に固定された固定筒５０と、可動筒５２とから構成されている。コイルバネ５４等は省略している。
【００４３】
通気路閉塞手段７２は、上部筐体４Ａの外面に設けられた支持フレーム７４と、支持フレーム７４に支持された軸７６と、軸７６を支点として回動変位するレバー７８と、レバー７８の上端部に設けられたキャップ部材８０と、軸７６に設けられ、レバー７８を常時矢印Ｍ方向へ回動するように付勢する図示しないトーションバネとから構成されている。
洗浄時に洗浄媒体漏出防止手段３２Ｅが圧縮されると、可動筒５２の係止片５２ａによってレバー７８の下端が押圧され、レバー７８が仮想線で示すように図中右回りに回動して変位し、インレット２４の空気取り込み口からキャップ部材８０が外れ、旋回空気流の生成可能な状態となる。
【００４４】
洗浄が終了して筐体４が移動すると、可動筒５２のスライドに伴ってレバー７８が上記トーションバネの付勢力で実線Ｍで示すように回動し、インレット２４の空気取り込み口がキャップ部材８０で塞がれる。付勢手段としては、トーションバネの他に圧縮バネや引っ張りバネを用いてもよい。
インレット２４の空気取り込み口に、ソレノイドやモータ等の電動アクチュエータで開閉する機構、あるいは電磁弁を設け、洗浄媒体漏出防止手段３２Ｅの伸縮動作で作動するスイッチにより上記開閉機構や電磁弁を駆動して開閉するようにしてもよい。
【００４５】
上記のように、洗浄媒体の材質特性や大きさは洗浄対象物の汚れの種類に応じて適宜選択されるが、フラックス等の膜状の付着物を除去するのに適した洗浄媒体について説明する。
図１５は、薄片状の洗浄媒体５の衝突時のパターンを示す模式図である。
塑性変形し易い洗浄媒体の場合、図１４（ｃ）で示されるように洗浄媒体の端部の変形が大きくなり、接触面積の増大や衝撃力の緩和が起こる。この結果、衝突時の端部における接触力が分散されてしまい、洗浄能力が低下してしまう。そのため膜状の付着物に対する食い込み量が低下し、洗浄装置の洗浄効率が低下してしまう。
延性破壊する洗浄媒体の場合も、図１５（ｄ）で示されるように洗浄媒体の破面端部の塑性変形が大きくなり、接触面積の増大や衝撃力の緩和が起こる。この結果、衝突時の端部における接触力が分散されてしまい、洗浄能力が低下してしまう。そのため、膜状の付着物に対する食い込み量が低下し、洗浄装置の洗浄効率が低下してしまう。
これに対し、脆性破壊する洗浄媒体では洗浄媒体の破面端部の塑性変形が小さいため、端部における接触力の分散が生じにくい。
また、洗浄媒体の端部に膜状の付着物が付着しても脆性破壊を繰り返すことにより、新たな端部を形成し続けることが可能であり、洗浄効率が低下することはない。
【００４６】
脆性材料としては、例えばガラス片、セラミック片、アクリル樹脂、ポリスチレン、又はポリ乳酸等の樹脂フィルム片等が挙げられる。
洗浄媒体に折り曲げられる力が繰り返し加わることで洗浄媒体が破壊される。本発明では、洗浄媒体が脆性であるか否かを耐折性によって定義している。
耐折性６５未満の脆性材料である洗浄媒体を用いると、洗浄媒体が繰り返し衝突することによって発生するバリが洗浄媒体に残留せずに折れて分離されて排出される（図１５（ｂ）参照）。バリが残留しないため洗浄媒体のエッジが維持される。
さらに、洗浄媒体が耐折性１０未満の脆性材料である場合、洗浄媒体はバリが発生する前に中央から折れて新しいエッジを生じさせる（図１５（ａ）参照）。
これにより、洗浄媒体のエッジが維持される効果がある。洗浄媒体のエッジが維持されることにより洗浄媒体の衝突時の食い込み量が低下しないため、洗浄媒体の固着膜除去能力が径時劣化しないという効果がある。
【００４７】
ここでの洗浄媒体の薄片状とは、０．０２ｍｍ以上０．２ｍｍ以下の厚みを備え、面積１００ｍｍ２以下のものと定義する。
鉛筆硬度とはＪＩＳ  Ｋ−５６００−５−４に準拠した手法で計測したものであって、評価した薄片状の洗浄媒体に傷、へこみが付かない最も硬い鉛筆の芯番のことを意味する。
また、耐折性とは、ＪＩＳ  Ｐ８１１５に準拠して計測したものであり、薄片状の洗浄媒体をＲ＝０．３８ｍｍで１３５度に曲げる動作を繰り返し、破損にいたるまでの往復回数を意味する。
【００４８】
［実施例］
ここではフラックスが付着した、ガラス繊維入りエポキシ樹脂製のパレットを洗浄対象物のサンプルとして使用した。パレットは、フローはんだ槽によるはんだ付け工程の際に、ＰＣＢの半田付けしない領域をマスクするために用いられている。このようなマスク治具は繰り返し使用されることによりフラックスが膜状に厚く堆積するため、定期的にフラックスを除去する必要がある。固着したフラックスの鉛筆硬度は２Ｂである。また膜厚は０．５〜１ｍｍである。
洗浄装置は図１に示した乾式クリーニング装置２を用いた。クリーニング装置には、真空度２０Ｋｐａの吸引能力を備える吸引手段を使用し、フラックスを固着させたパレットを用意し、開口部面積４５×６０ｍｍの領域を１サンプル単位として、３秒かけて洗浄した。洗浄媒体は各２ｇを使用した。使用した薄片状洗浄媒体と洗浄結果を表１に示した。
同表における判定記号は次の通りである。
×：ほとんど汚れが取れない。
△：一部洗浄残りがある。
○：ほぼきれいになっている。
◎：非常にきれいになっている。
−：洗浄媒体が消耗して、すべて洗浄槽内から排出されてしまう。
【００４９】
各洗浄媒体の物性として、耐折性および鉛筆硬度を表１に示す。
表１の初期洗浄能力の判定結果より、洗浄媒体の鉛筆硬度がフラックスの鉛筆硬度２Ｂ以下であればほとんどフラックス汚れが取れない。これは、衝突した際に、膜状のフラックス汚れに洗浄媒体が食い込めないためである。
洗浄媒体は、気流によって飛翔し洗浄対象に繰り返し衝突する。衝突によって洗浄媒体にはダメージが蓄積され、破損または変形などの劣化をおこす。
また、各洗浄媒体の機械的物性（耐折性及び鉛筆硬度）の分布を図１６に示す。
【００５０】
表１及び図１５に基づいて、洗浄媒体の劣化パターンを再度具体的に説明する。洗浄媒体の耐折性が１０未満であるガラス、アクリル１（表中では丸数字で表示：以下同じ）、アクリル２、ＣＯＣ（ポリオレフィン）の場合、図１５（ａ）に示したように衝突の衝撃によって、洗浄媒体の中心付近で破断する。このとき、破断面は新しいエッジとなりフラックスに食い込むため、固着除去能力は低下しない。
洗浄媒体の素材の耐折性が１０以上５２以下のＴＡＣ１、ＴＡＣ２、ＰＩ２においては、図１５（ｂ）に示したように、中央付近では破断せず、衝突の衝撃でエッジにバリが発生し、そのバリだけが破断する。洗浄媒体の厚みが維持されるため、洗浄媒体がフラックスに食い込み、除去する効果が維持される。
洗浄媒体の素材の耐折性が６５以上である場合、洗浄媒体は衝撃によって折れず、エッジ部分が塑性変形する。
図１５（ｃ）は、塑性変形してエッジが潰れて端部がだれる様子を図示しており、ＰＩ１がこのような挙動を示す。
図１５（ｄ）は、塑性変形によりエッジがカールする様子を図示しており、ＳＵＳ、ＰＳ１、ＰＳ２、ＰＥ、ＰＥＴ、ＴＰＸがこのような挙動を示す。
図１５（ｃ）や図１５（ｄ）の例に示した洗浄媒体は、エッジが塑性変形することにより、エッジがだれ、衝突時の衝撃力が緩和されてしまうために、表１に示したように複数サンプル処理後に洗浄能力が大きく低下する。
これらの結果により、膜状に固着したフラックスの除去に対しては、まずフラックス以上の鉛筆硬度を備え、かつ耐折性が０以上５２以下の脆性材料の洗浄媒体を用いると、良好な結果が長時間安定して得られることがわかる。
【００５１】
本実施例に挙げた数値の根拠として、表２に、各洗浄媒体の耐折性数値の範囲を示す。
表２に示したように耐折性の最小値が０である薄片状洗浄媒体（ここでは、ガラス、ＣＯＣ、アクリル２）は、折れに対して極めて脆い素材であり、表１に示したように非常に短時間で消耗してしまうため、ランニングコストが高くなる。
また、良好な洗浄特性を示したＰＩ２の最大耐折性は５２である。
したがって、より望ましくは、洗浄媒体の耐折性が１以上５２以下であると、長時間良好な洗浄能力を維持できる。
また、図１５（ａ）のような脆性破壊を示す洗浄媒体のうちで、最大の耐折性数値はアクリル１製洗浄媒体における９であった。したがって０以上９以下の耐折性数値を示す洗浄媒体は、図１５（ａ）に示した脆性破壊が発生し、１０以上５２以下洗浄媒体は図１５（ｂ）に示した脆性破壊が発生すると分類できる。
また、耐折性最小値が０を示したアクリル２製の洗浄媒体は、きわめて脆く、表１に示したように長時間の使用に耐えない。一方耐折性最小値が１であるアクリル１製の洗浄媒体は、表１に示したように長時間洗浄能力を維持することができた。
【００５２】
【表１】
0005793980.tif 000002
【００５３】
【表２】
0005793980.tif 000003
【００５４】
表１から、フラックス等の膜状の付着物を除去するには、膜状の付着物以上の鉛筆硬度を備え、且つ、２以上４５以下の耐折特性を有している洗浄媒体を用いることが望ましい。
【符号の説明】
【００５５】
２  乾式クリーニング装置
４  乾式クリーニング筐体
５  洗浄媒体
６  吸気手段
８  吸気口
１４  多孔手段としての分離板
１８  開口部
２０  洗浄対象物
２４  通気路としてのインレット
３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ、３２Ｄ、３２Ｅ  洗浄媒体漏出防止手段
５０  固定筒
５０ａ  通気部を構成する外気流入孔
５２  可動筒
５４  付勢部材としてのコイルバネ
６４  軸
７２  通気路閉塞手段
７８  レバー
８０  キャップ部材
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５６】
【特許文献１】特開平４−８３５６７号公報
【特許文献２】特開昭６０−１８８１２３号公報
【特許文献３】特開２００９−２２６３９４号公報
【図１】
0005793980.tif 000004
【図２】
0005793980.tif 000005
【図３】
0005793980.tif 000006
【図４】
0005793980.tif 000007
【図５】
0005793980.tif 000008
【図６】
0005793980.tif 000009
【図７】
0005793980.tif 000010
【図８】
0005793980.tif 000011
【図９】
0005793980.tif 000012
【図１０】
0005793980.tif 000013
【図１１】
0005793980.tif 000014
【図１２】
0005793980.tif 000015
【図１３】
0005793980.tif 000016
【図１４】
0005793980.tif 000017
【図１５】
0005793980.tif 000018
【図１６】
0005793980.tif 000019