(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を収納するためのポケットを等間隔で形成したキャリアテープを長手方向に走行させるキャリアテープ走行装置であって、
前記キャリアテープを引っ掛けて走行させるスプロケットと、
正転及び逆転し、前記スプロケットを回転させるモータと、
前記キャリアテープに貼着するシールテープを巻回したリールと、
前記キャリアテープの走行ラインに対して接触又は離反可能に移動し、前記リールから引き出された前記シールテープと前記キャリアテープを挟み込んで、前記キャリアテープに前記シールテープを貼着する一対のブロックと、
前記キャリアテープの走行ラインに対して接近又は離反可能な抑えローラと、
を備え、
前記モータを正転させ、前記リールから前記シールテープを引き出し、前記抑えローラを前記キャリアテープの走行ラインに接近させ、前記一対のブロックを接近させることで、前記キャリアテープを前記シールテープで封止するテーピング装置となり、
前記モータを逆転させ、前記リールへ前記シールテープを引き込み、前記一対のブロックを離反させ、前記抑えローラを前記キャリアテープの走行ラインから離反させることで、前記キャリアテープから前記シールテープを剥離するディテーパ装置となること、
を特徴とするキャリアテープ走行装置。
【請求項２】
前記スプロケットは、
周面に突起を形成してなり、
前記キャリアテープに形成されているスプロケット孔に前記突起を引っ掛けて回転し、
前記突起は、インボリュート形状を有していること、
を特徴とする請求項１記載のキャリアテープ走行装置。
【請求項３】
前記スプロケットと前記モータとの間の伝動機構としてタイミングベルトを備えること、
を特徴とする請求項１又は２記載のキャリアテープ走行装置。
【請求項４】
前記リールと前記キャリアテープの走行ラインとの間に介在し、前記シールテープを前記キャリアテープの近傍に案内する抑えローラを備え、
前記抑えローラは、
前記キャリアテープに前記シールテープを貼着する際、前記キャリアテープの近傍に接近し、
前記キャリアテープから前記シールテープを剥離する際、前記キャリアテープから離れ、剥離基点における前記キャリアテープと前記シールテープとの成す角を、前記貼着の際と比べて緩やかにすること、
を特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のキャリアテープ走行装置。
【請求項５】
前記ポケットの底面に形成された孔を通して、前記ポケット内に収容されている電子部品を吸引する吸引部を備え、
前記吸引部は、前記キャリアテープの走行中、前記キャリアテープに前記電子部品を引き付けること、
を特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のキャリアテープ走行装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載のキャリアテープ走行装置を備え、電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、
前記搬送経路を形成する搬送テーブルと、
前記搬送テーブルの周囲に配置され、電子部品の収容体を保持する収容体保持手段と、
前記搬送テーブルの周囲に配置され、前記搬送経路内の電子部品を観察する観察手段と、
前記搬送テーブルの周囲に配置される複数の前記キャリアテープ走行装置と、
を備え、
前記収容体保持手段と前記キャリアテープ走行装置を電子部品の供給手段又は電子部品の分類先となる分類手段とする分類モードと再分類モードを有し、
前記分類モードでは、
前記収容体保持手段は、前記供給手段であり、
全ての前記キャリアテープ走行装置が前記テーピング装置となって前記分類手段であり、
前記再分類モードでは、
前記キャリアテープ走行装置のうちの一部が前記ディテーパ装置となって前記供給手段であり、
前記キャリアテープ走行装置のうちの他が前記テーピング装置となって前記分類手段であること、
を特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記再分類モードでは、
前記ディテーパ装置となった前記キャリアテープ走行装置に加えて、前記収容体保持手段も前記分類手段であること、
を特徴とする請求項６記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記収容体保持手段は、
電子部品をアレイ状に並べたウェハリングを保持するウェハリング保持部、又は平面を格子状に仕切って電子部品をアレイ状に並べたトレイを保持するトレイ保持部であること、
を特徴とする請求項６又は７記載の電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品のキャリアテープへの収容用途と電子部品のキャリアテープからの取り出し用途に切り替えて使用されるキャリアテープ走行技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、その製造過程で各種検査を経て良品や不良品に分類され、梱包の後、出荷される。検査の基準が厳しいと、良品であった電子部品を不良品の収容体に分類してしまうオーバーキル率が高まり、生産効率が低下する。検査の基準が緩いと、不良品であった電子部品を良品として出荷してしまい、品質にバラツキが生じ、検査の信頼性が低下してしまう。一部品当たりの単価の高いＩＣやＬＳＩ等の集積回路の電子部品においては、オーバーキル率が高かったり、品質にバラツキが生じたりすることは特に問題である。
【０００３】
そこで、検査及び分類の工程では、良品群に不良品が含まれていないか、又は不良品群に良品が含まれていないか、それらを検査項目、検査手法又は検査精度を代えて再検査し、そして、再検査結果を反映させて良品群又は不良品群を再分類し、再梱包の後、出荷する場合もある。
【０００４】
電子部品を検査し、分類し、再検査し、そして再分類する電子部品搬送装置は、複数のテーピング装置と１機のディテーパ装置を含むシステムとして構成される。この電子部品搬送装置は、搬送経路に電子部品を載せて検査を行い、品質のランクに応じて用意された複数のテーピング装置に電子部品を分類していく。電子部品の分類が終了すると、再検査対象となるランクが梱包されたリールをテーピング装置からディテーパ装置に移し、搬送経路に電子部品を再度載せて再検査を行い、品質のランクに応じて用意された複数のテーピング装置に電子部品を分類していく。
【０００５】
テーピング装置は、キャリアテープを巻き取るリールに向けてキャリアテープを間欠的に走行させる装置である(例えば特許文献１参照)。キャリアテープは、ポケットが長手方向に沿ってエンボス加工されている。テーピング装置がキャリアテープを停止させている間にマニピュレータ等が電子部品をポケットに入れていく。テーピング装置は、キャリアテープにシールテープを重ねて圧着することで、ポケットに収容された電子部品を封止していく。
【０００６】
ディテーパ装置は、リールからキャリアテープを引き出しながら間欠的に走行させる装置である(例えば特許文献２参照)。ディテーパ装置がキャリアテープを停止させている間にマニピュレータ等で電子部品をポケットから取り出していく。このディテーパ装置は、キャリアテープとシールテープとの間に爪を差し込み、キャリアテープからシールテープを剥離させ、電子部品を露出させていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−１３７４２６号公報
【特許文献２】特開２００９−１４０９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
検査、分類、再検査及び再分類が可能な電子部品搬送装置は、テーピング装置の他にディテーパ装置を搭載しており、頻繁に再検査及び再分類を実施しない場合は、ディテーパ装置は装置のコストを上げ、製造設備を大きく占有して製造設備の単位面積当たりの生産効率を落とすだけである。しかしながら、再検査及び再分類は、全く必要のない工程ではないので、ディテーパ装置を廃止するわけにも行かない。
【０００９】
本発明は、上記のような問題点を解決するために提案されたもので、テーピング装置とディテーパ装置とを兼用できるキャリアテープ走行装置と、そのキャリアテープ走行装置を備えた電子部品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決すべく、本発明に係るキャリアテープ走行装置は、電子部品を収納するためのポケットを等間隔で形成したキャリアテープを長手方向に走行させるキャリアテープ走行装置であって、前記キャリアテープを引っ掛けて走行させるスプロケットと、正転及び逆転し、前記スプロケットを回転させるモータと、前記キャリアテープに貼着するシールテープを巻回したリールと、前記キャリアテープの走行ラインに対して接触又は離反可能に移動し、前記リールから引き出された前記シールテープと前記キャリアテープを挟み込んで、前記キャリアテープに前記シールテープを貼着する一対のブロックと、前記キャリアテープの走行ラインに対して接近又は離反可能な抑えローラと、を備え、前記モータを正転させ、前記リールから前記シールテープを引き出し、前記抑えローラを前記キャリアテープの走行ラインに接近させ、前記一対のブロックを接近させることで、前記キャリアテープを前記シールテープで封止するテーピング装置となり、前記モータを逆転させ、前記リールへ前記シールテープを引き込み、前記一対のブロックを離反させ、前記抑えローラを前記キャリアテープの走行ラインから離反させることで、前記キャリアテープから前記シールテープを剥離するディテーパ装置となること、を特徴とする。
【００１１】
前記スプロケットは、周面にピン状の突起を形成してなり、前記キャリアテープに形成されているスプロケット孔に突起を引っ掛けて回転し、前記突起は、ピン先がインボリュート形状を有しているようにしてもよい。
【００１２】
前記スプロケットと前記モータとの間の伝動機構としてタイミングベルトを備えるようにしてもよい。
【００１３】
前記リールと前記キャリアテープの走行ラインとの間に介在し、前記シールテープを前記キャリアテープの近傍に案内する抑えローラを備え、前記抑えローラは、前記キャリアテープに前記シールテープを貼着する際、前記キャリアテープの近傍に接近し、前記キャリアテープから前記シールテープを剥離する際、前記キャリアテープから離れ、剥離基点における前記キャリアテープと前記シールテープとの成す角を、前記貼着の際と比べて緩やかにするようにしてもよい。
【００１４】
前記ポケットの底面に形成された孔を通して、前記ポケット内に収容されている電子部品を吸引する吸引部を備え、
前記吸引部は、前記キャリアテープの走行中、前記キャリアテープに前記電子部品を引き付けるようにしてもよい。
【００１５】
上記課題を解決すべく、本発明に係る電子部品搬送装置は、前記キャリアテープ走行装置を備え、電子部品を搬送経路に沿って搬送する電子部品搬送装置であって、前記搬送経路を形成する搬送テーブルと、前記搬送テーブルの周囲に配置され、電子部品の収容体を保持する収容体保持手段と、前記搬送テーブルの周囲に配置され、前記搬送経路内の電子部品を観察する観察手段と、前記搬送テーブルの周囲に配置される複数の前記キャリアテープ走行装置と、を備え、前記収容体保持手段と前記キャリアテープ走行装置を電子部品の供給手段又は電子部品の分類先となる分類手段とする分類モードと再分類モードを有し、前記分類モードでは、前記収容体保持手段は、前記供給手段であり、全ての前記キャリアテープ走行装置が前記テーピング装置となって前記分類手段であり、前記再分類モードでは、前記キャリアテープ走行装置のうちの一部が前記ディテーパ装置となって前記供給手段であり、前記キャリアテープ走行装置のうちの他が前記テーピング装置となって前記分類手段であること、を特徴とする。
【００１６】
前記再分類モードでは、前記ディテーパ装置となった前記キャリアテープ走行装置に加えて、前記収容体保持手段も前記分類手段であるようにしてもよい。
【００１７】
前記収容体保持手段は、電子部品をアレイ状に並べたウェハリングを保持するウェハリング保持部、又は平面を格子状に仕切って電子部品をアレイ状に並べたトレイを保持するトレイ保持部であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、キャリアテープ走行装置はテーピング装置とディテーパ装置として兼用できるので、テーピング装置とディテーパ装置を別途用意する必要はなく、設備のコストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】キャリアテープ走行装置のテーピング装置としての内部構造図である。
【図２】キャリアテープ走行装置のディテーパ装置としての内部構造図である。
【図３】キャリアテープ走行装置が備える吸引部の構造図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。
【図４】キャリアテープ走行装置を備える電子部品搬送装置の構成図である。
【図５】電子部品搬送装置の電子部品搬送経路を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施形態に係るキャリアテープ走行装置、及び該キャリアテープ走行装置を備える電子部品搬送装置について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２１】
（キャリアテープ走行装置）
（構成）
図１に示すように、キャリアテープ走行装置１は、ポケット１０１に電子部品１０４を収容するためのキャリアテープ１００を長手方向に走行させる。このキャリアテープ走行装置１は、リール２００側へキャリアテープ１００を走行させてテーピング装置として機能するとともに、リール２００側からキャリアテープ１００を引き出すように逆走行させてディテーパ装置として機能する。
【００２２】
キャリアテープ走行装置１は、シールテープ１０２を巻回するシールテープリール３と、封止部２とを備えており、テーピング装置として、リール２００側へキャリアテープ１００を走行させながら、シールテープリール３からシールテープ１０２を引き出し、シールテープ１０２をキャリアテープ１００に貼着する。また、キャリアテープ走行装置１は、ディテーパ装置として、封止部２をキャリアテープ１００の走行ラインから退避させて、リール２００側からキャリアテープ１００を引き出すように逆走行させながら、シールテープリール３にシールテープ１０２を巻き取らせ、シールテープ１０２をキャリアテープ１００から剥離する。
【００２３】
このキャリアテープ走行装置１は、２機のスプロケット４１、４２を備える。２機のスプロケット４１、４２は、周面に沿って突起４３が突設される同径の円盤である。スプロケット４１、４２は、それぞれ対応のモータ５１、５２の出力軸とタイミングベルト５１ａ、５２ａを介して接続され、同一周方向、同一回転量及び同一タイミングで間欠回転する。
【００２４】
両スプロケット４１、４２には、キャリアテープ１００が掛け渡される。キャリアテープ１００には、帯片側に長手方向に沿って等間隔でスプロケット孔が開口している。両スプロケット４１、４２の突起４３は、このスプロケット孔に噛合する。スプロケット４１、４２は、突起４３をスプロケット孔に引っ掛けて回転し、キャリアテープ１００を長手方向に走行させる。この突起４３は、丸型形状を有し、インボリュート形状に加工されている。突起４３の直径は、キャリアテープ１００のスプロケット孔よりもやや小さい。
【００２５】
両スプロケット４１、４２は、同一鉛直面上に並び、回転軸が平行且つ同一高さである。そのため、キャリアテープ１００は、延び方向を水平に保ったまま、リール２００側又はリール２００から離れる方向に走行する。
【００２６】
モータ５１、５２の回転ピッチは、ポケット１０１の配置間隔に対応する。キャリアテープ１００は、エンボス加工されたポケット１０１を長手方向に等間隔に有する。つまり、モータ５１、５２は、ポケット１００を共通の停止位置で停止させる。共通の停止位置のうちの一箇所は、電子部品１０４の授受位置６に設定されている。
【００２７】
授受位置６の直上には、吸着ノズル等の保持手段３１１が昇降可能に存在する。キャリアテープ走行装置１は、ポケット１０１を授受位置６に順次合致させることで、テーピング装置として、保持手段３１１が離脱させる電子部品１０４をキャリアテープ１００に収容させ、又は、ディテーパとして、ポケット１０１内の電子部品１０４を保持手段３１１に取り出させる。
【００２８】
このモータ５１、５２は、テーピング装置として正転し、ディテーパ装置として逆転する。このモータ５１、５２は、例えば、Ｈブリッジ回路を有するサーボモータである。モータ５１、５２は、回転方向、回転量及び回転タイミングを制御するモータドライバ７により、テーピングかディテープかに応じて制御される。モータドライバ７は、キャリアテープ走行装置１に備えられてもよいし、保持手段３１１等を統合制御する制御装置側に備えられていてもよい。
【００２９】
封止部２は、図１に示すように、ヒーターブロック２１とベースブロック２２を備える。ヒーターブロック２１とベースブロック２２は、キャリアテープ１００の走行ラインを挟んで対向配置される。ヒーターブロック２１は、キャリアテープ１００の走行ラインの上からキャリアテープ１００を押さえ、ベースブロック２２は、キャリアテープ１００の走行ラインの下からキャリアテープ１００を押さえる。図１及び図２に示すように、ヒーターブロック２１は、キャリアテープ１００の走行ラインに対して接触又は離反可能に移動する。
【００３０】
この封止部２には、シールテープ１０２がキャリアテープ１００と重ねて供給される。ヒーターブロック２１とベースブロック２２は、挟み込みにより、シールテープ１０２とキャリアテープ１００を圧接し、ヒーターブロック２１は、更にシールテープ１０２とキャリアテープ１００の圧接面に熱を供給する。
【００３１】
シールテープリール３は、テーピング装置として、シールテープ１０２をキャリアテープ１００に向けて引き出し、ディテーパ装置として、シールテープ１０２をキャリアテープ１００から離れる方向に巻き取る。このシールテープリール３は、キャリアテープ１００の走行ラインよりも上方に位置し、モータ３１と抑えローラ３２を備えている。
【００３２】
モータ３１は、タイミングベルトを介してシールテープリール３を回転させる。シールテープリール３は、正転及び逆転が可能であり、例えばＨブリッジ回路を有するサーボモータである。抑えローラ３２は、キャリアテープ１００の走行ライン近傍に位置し、シールテープ１０２をキャリアテープ１００へ案内する。
【００３３】
図１及び図２に示すように、抑えローラ３２は、キャリアテープ１００の走行ラインに対して、接近又は離反可能に移動する。キャリアテープ走行装置１がテーピング装置として機能する際は、図１に示すように、キャリアテープ１００の走行ラインに近づき、シールテープ１０２をキャリアテープ１００に対して押さえつける。キャリアテープ走行装置１がディテーパとして機能する際は、図２に示すように、キャリアテープ１００の走行ラインから離れる。抑えローラ３２がキャリアテープ１００の走行ラインから離れることにより、キャリアテープ１００とシールテープ１０２との剥離基点９における、キャリアテープ１００とシールテープ１０２との成す角度θが緩やかになる。
【００３４】
また、図１に示すように、このキャリアテープ１００を両方向に走行させるキャリアテープ走行装置１は、キャリアテープ１００の走行ライン下方に吸引部８を備えている。キャリアテープ１００は、各ポケット１０１の底面に孔部を有する。吸引部８は、この孔部を通じてポケット１０１内部の電子部品１０４を吸引し、ポケット１０１の底面に貼り付ける。
【００３５】
図３に示すように、この吸引部８は、キャリアテープ１００の走行ライン側に吸引溝８２が開設された容器８１を有し、容器８１の底には複数の吸引孔８３が穿設されている。吸引溝８２は、キャリアテープ１００の走行ライン直下に走行ラインに沿って開設されている。吸引溝８２の溝幅は、キャリアテープ１００のポケット１０１に開けられた孔部の直径以上、キャリアテープ１００の帯幅未満である。吸引孔８３は、真空ポンプ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。
【００３６】
この吸引部８は、吸引孔８３を通じて容器８１内が減圧され、吸引溝８２とキャリアテープ１００のポケット１０１に形成された孔部を通してポケット１０１内の電子部品１０４をポケット１０１の底面に貼り付けている。
【００３７】
（動作）
このキャリアテープ走行装置１のテーピング動作は次の通りである。キャリアテープ走行装置１は、モータ５１、５２の正転によりタイミングベルト５１ａ、５２ａを走行させ、スプロケット４１、４２を正転させる。スプロケット４１、４２は、突起４３をスプロケット孔に引っ掛けて、キャリアテープ１００をリール２００側へ走行させる。
【００３８】
キャリアテープ走行装置１は、モータ５１、５２を間欠的に回転させることにより、キャリアテープ１００を間欠的にリール２００側へ送り、空のポケット１０１を順番に授受位置６へ位置させる。各保持手段３１１は、一つずつ電子部品１０４を保持して順番に授受位置６に停止し、授受位置６に存在する空のポケット１０１に電子部品１０４を収容していく。
【００３９】
シールテープリール３は、モータ３１の正転によりシールテープ１０２をキャリアテープ１００側へ引き出していく。抑えローラ３２は、シールテープリール３から引き出されたシールテープ１０２をキャリアテープ１００の表面へ案内し、シールテープ１０２をキャリアテープ１００のポケット１０１が開口する面に重ね合わせていく。
【００４０】
封止部２は、予め、ヒーターブロック２１をキャリアテープ１００の走行ラインに接触させておく。封止部２には、シールテープ１０２とキャリアテープ１００が重ね合わされて共有される。封止部２は、ヒーターブロック２１とベースブロック２２でキャリアテープ１００とシールテープ１０２を挟み込み、加圧と加熱によってシールテープ１０２をキャリアテープ１００に貼着する。これにより、ポケット１０１内の電子部品１０４は、シールテープ１０２とポケット１０４の内壁とによって封止される。
【００４１】
キャリアテープ１００は、シールテープ１０２によって封止された後、更なる間欠的な走行によりリール２００に案内され、リール２００に巻き取られる。
【００４２】
キャリアテープ走行装置１のディテープ動作は次の通りである。キャリアテープ走行装置１は、モータ５１、５２の間欠的な逆転によりタイミングベルト５１ａ、５２ａを走行させ、スプロケット４１、４２を逆転させる。スプロケット４１、４２は、突起４３をスプロケット孔に引っ掛けて、キャリアテープ１００をリール２００から間欠的に引き出していく。
【００４３】
ここで、突起４３は、丸型でインボリュート形状となっている。インボリュート形状は、一般に、歯車の歯同士を一定角度及び一定面積で接触させ、また適切な遊びを形成することで、歯車の回転を容易化するものである。このインボリュート形状を突起４３に適用すると、キャリアテープ１００の走行に伴う振動が抑制され、走行の安定性が増している。
【００４４】
また、モータ５１、５２とスプロケット４１、４２との間の伝動機構を、ディテーパ装置に一般的なラチェットホイールからタイミングベルト５１ａ、５２ａとすることにより、キャリアテープ１００の走行に伴う振動が抑制され、走行の安定性が増している。
【００４５】
一方、シールテープリール３は、キャリアテープ１００の逆走行と同一速度、同一量、同一タイミングでシールテープ１０２を巻き取っていく。キャリアテープ１００は水平に逆走行し、シールテープ１０２は、キャリアテープ１００の走行ラインよりも上方に引き上げられていく。このため、キャリアテープ１００とシールテープ１０２とは、異なる方向に二股に分かれ、シールテープ１０２は、キャリアテープ１００から剥離していく。
【００４６】
このとき、封止部２は、ディテープ動作中、ヒーターブロック２１を上方に退避させ、リール２００に近い場所から、キャリアテープ１００とシールテープ１０２が二股に分かれる余地を作る。また、シールテープリール３は、ディテープ動作中、抑えローラ３２を上方に移動させておく。これにより、キャリアテープ１００とシールテープ１０２は、緩やかな角度θで剥離していく。
【００４７】
ポケット１０１が開口する領域では、キャリアテープ１００とシールテープ１０２との密着面積が小さいため、この領域で剥離に必要な力は小さく、剥離に一定の力をかけていると、この領域で一気に剥離が進む。また、ポケット１０１が開口する領域を過ぎると剥離に相対的に大きな力が必要となり、逆に剥離の進行が低下する。このため、キャリアテープ１００には、ディテープ動作中、大きな振動が生じる虞がある。
【００４８】
しかし、このキャリアテープ走行装置１では、キャリアテープ１００とシールテープ１０２は緩やかな角度θで剥離するので、ポケット１０１が開口する領域での剥離の進行が緩み、ディテープ動作時のキャリアテープ１００の振動が弱くなり、キャリアテープ１００の逆走行が安定化する。
【００４９】
また、キャリアテープ走行装置１は、ディテープ動作中、吸引部８を駆動させる。吸引部８は、吸引孔８３を通して容器８１を減圧し、吸引溝８２とポケット１０１の孔を通して、ポケット１０１内の電子部品１０４を吸引している。そのため、キャリアテープ１００の間欠的な逆走行中、電子部品１０４がキャリアテープ１００に引き付けられて一体的になり、電子部品１０４のポケット１０１内での揺動が抑制され、キャリアテープ１００の走行が安定化する。また、吸引部８がキャリアテープ１００を引き付ける作用を生じ、シールテープ１０２を剥離する際にキャリアテープ１００に発生する振動も緩和される。
【００５０】
そして、シールテープ１０２のキャリアテープ１００からの剥離によって露出したポケット１０１は、モータ５１、５２の間欠的に逆転により、順番に授受位置６に位置する。空の各保持手段３１１は、順番に授受位置６に停止し、授受位置６に存在する電子部品１０４を取り出していく。
【００５１】
（電子部品搬送装置）
（構成）
このキャリアテープ走行装置１を備える電子部品搬送装置について図面を参照しつつ詳細に説明する。図４に示すように、電子部品搬送装置３００は、電子部品１０４の搬送経路３０１を配設し、搬送経路３０１に沿って電子部品１０４を複数同時に整列搬送する。また、電子部品搬送装置３００は、搬送経路３０１に沿って、ウェハリングホルダ３２０、複数の観測装置３４０及び複数のテーピング走行装置１を並設している。ウェハリングホルダ３２０と搬送経路３０１との間には、ピックアップ装置３３０が介在している。
【００５２】
搬送経路３０１は、搬送テーブル３１０により形成される。搬送テーブル３１０は、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有し、周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。搬送テーブル３１０の外周には、保持手段３１１が取り付けられている。保持手段３１１は、その軸線方向に沿って昇降可能となっている。この保持手段３１１は、搬送テーブル３１０の外周に沿って円周等配位置で、且つ搬送テーブル３１０の中心から同一距離に複数取り付けられる。
【００５３】
保持手段３１１は、例えば吸着ノズルである。吸着ノズルは、内部が中空で一端が開口し、搬送テーブル３１０から下方へ延び、開口端を下方に向けている。吸着ノズルの内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路を通じて吸着ノズルの内部に負圧を発生させることにより、開口端で電子部品１０４を吸引保持し、真空破壊や大気解放によって吸引を解除して、電子部品１０４を解放する。
【００５４】
搬送テーブル３１０の動力源はダイレクトドライブモータ３１２である。ダイレクトドライブモータ３１２は、１ピッチずつ間欠回転する。ダイレクトドライブモータ３１２の回転ピッチに対する搬送テーブル３１０の回転距離は、保持手段３１１の配置間隔に等しい。すなわち、保持手段３１１は、搬送テーブル３１０の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止する。この停止位置に、ウェハリングホルダ３２０、観測装置３４０及びテーピング走行装置１が設置される。
【００５５】
ウェハリングホルダ３２０は、ウェハリング１０３を保持し、該ウェハリング１０３を面と平行に移動させる。ウェハリング１０３は、ウェハシートが張り付けられたリングであり、ウェハシートは、電子部品１０４が個片にダイシングされたウェハが貼り付けられたシートである。リングホルダ３２０は、電子部品１０４の貼着面を搬送テーブル３１０の外縁に向けてウェハリング１０３を縦置きする。このウェハリングホルダ３２０は、ウェハリング１０３を裏側からピックアップ装置３３０へ向けて突き出す突き出しピン３２１を備えている。
【００５６】
ピックアップ装置３３０は、ウェハリング１０３から電子部品１０４をピックアップして搬送経路３０１に供給する。このピックアップ装置３３０は、１点から同一平面上を放射状に延びるアーム３３１を有する。アーム３３１の放射面は、保持手段３１１の移動面とウェハリングが拡がる鉛直面に直交する。アーム３３１先端には吸着ノズルが付設される。吸着ノズルは、軸をアーム３３１に沿わせて延設され、電子部品１０４を吸着する開口端を放射方向外方に向ける。このピックアップ装置３３０は、搬送テーブル３１０の下方に潜り込み、ピックアップ装置３３０の頂点と搬送経路３０１とが重なる位置に設置され、真横でウェハリング１０３と向かい合う。
【００５７】
ピックアップ装置３３０は、アーム３３１を放射中心で間欠回転させる。ウェハリングホルダ３２０は、突き上げピン３２１で電子部品１０４を裏側から突き上げ、ウェハリング１０３と向き合うアーム３３１に電子部品１０４を渡す。電子部品１０４を受け取ったピックアップ装置３３０のアーム３３１は、搬送テーブル３１０の保持手段３１１とピックアップ装置３３０の頂点で向き合い、この搬送テーブル３１０に電子部品１０４を渡す。
【００５８】
観測装置３４０は、電子部品１０４の外観や電気特性を観察し、又はこの観察のために電子部品１０４の位置補正等を補助する。すなわち、観測装置３４０は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子とレンズを有するカメラ、電子部品１０４の端子と接触して電流注入や電圧印加するコンタクトを有する電気特性測定装置、又は電子部品１０４を載置して、回転及び平面移動することで、電子部品１０４の向きと位置を変更する位置補正装置である。
【００５９】
（動作）
図５は、この電子部品搬送装置３００の電子部品１０４を搬送する第１の態様である。図５に示すように、この電子部品搬送装置３００は、一機のウェハリングホルダ３２０と２機のキャリアテープ走行装置１を搬送経路３０１に沿って備える。キャリアテープ走行装置１は、良品ランク用と其れ以外用となっている。ウェハリングホルダ３２０には、検査対象のウェハリング１０３が保持されている。
【００６０】
ウェハリングホルダ３２０は、ウェハリング１０３を平行移動させて、各電子部品１０４をピックアップ位置へ順次移動させ、突き上げピン３２１でピックアップ装置３３０へ向けて突き上げる。ピックアップ装置３３０は、アーム３３１でピックアップ位置の電子部品１０４をピックアップし、搬送テーブル３１０の保持手段３１１に引き渡す。ウェハリングホルダ３２０とピックアップ装置３３０は、電子部品１０４のピックアップ位置への移動と、ピックアップ位置の電子部品１０４のピックアップ及び保持手段３１１への引渡しを繰り返す。
【００６１】
搬送テーブル３１０は、ダイレクトドライブモータ３１２により間欠回転し、保持手段３１１は、電子部品１０４を保持しつつ、搬送経路３０１上を移動する。保持手段３１１が各観測装置３４０を通過する際、各観測装置３４０は、電子部品１０４の観測処理を行う。例えば、観測装置３４０として、位置補正装置、カメラ及び電気特性測定装置が設置されている場合、電子部品は、位置補正装置で検査に備えて位置補正され、カメラ及び電気特性測定装置で外観検査及び電気特性測定検査される。電子部品１０４は、外観検査と電気特性測定検査の結果に応じて、良品と良品以外にランク分けされる。
【００６２】
搬送テーブル３１０がダイレクトドライブモータ３１２により更に間欠回転し、良品とランク分けされた電子部品１０４が良品用のキャリアテープ走行装置１に到達すると、その電子部品１０４を保持している保持手段３１１は、電子部品１０４を離脱させる。
【００６３】
良品用のキャリアテープ走行装置１には、封止部２が取り付けられてテーピング装置として機能している。この良品用のキャリアテープ走行装置１は、キャリアテープ１００をリール２００の方向に走行させながら、キャリアテープ１００のポケット１０１に電子部品１０４を収納し、シールテープ１０２で封止する。リール２００は、シールテープ１０２で封止されたキャリアテープ１００を巻き取っていく。
【００６４】
良品以外のランクに分類された電子部品１０４が良品以外用のキャリアテープ走行装置１に到達すると、その電子部品１０４を保持している保持手段３１１は、電子部品１０４を離脱させる。
【００６５】
良品以外用のキャリアテープ走行装置１には、封止部２が取り付けられてテーピング装置として機能している。この良品用のキャリアテープ走行装置１は、キャリアテープ１００をリール２００の方向に走行させながら、授受位置６でキャリアテープ１００のポケット１０１に電子部品１０４を収納し、シールテープ１０２で封止する。リール２００は、シールテープ１０２で封止されたキャリアテープ１００を巻き取っていく。
【００６６】
ウェハリング１０３の各電子部品１０４を良品又は良品以外に分類し、キャリアテープ１００への梱包が完了すると、良品以外と分類された電子部品１０４は再検査される。再検査では、観測装置３４０で得られたデータを作業員がチェックして、良品以外と分類された電子部品１０４を良品と良品以外とに再判定し直す。
【００６７】
再判定の後、良品以外用のキャリアテープ走行装置１は、封止部２が取り外されて、剥離部３がセットされることで、ディテーパとなる。そして、電子部品搬送装置３００は、再分類モードとなり、良品以外用のキャリアテープ走行装置１は、ディテーパとして、リール２００からキャリアテープ１００を巻き出し、シールテープ１０２をキャリアテープ１００から剥離しつつ、電子部品１０４を授受位置６に露出させていく。
【００６８】
保持手段３１１は、授受位置６の電子部品１０４を保持し、搬送テーブル３１０の間欠回転に伴って、搬送経路３０１上を移動していく。再分類モードにおいて、ウェハリングホルダ３２０は良品以外の電子部品を梱包し、ディテーパとなったキャリアテープ走行装置１とは異なるもう一方のキャリアテープ走行装置１は、引き続きテーピング装置として良品を梱包する。
【００６９】
良品以外と再判定された電子部品１０４を保持した保持手段３１１がウェハリングホルダ３２０に到達すると、ウェハリングホルダ３２０の突き上げピン３２１はウェハリング１０３のシートを突き上げて電子部品１０４を迎えにいき、良品以外と再判定された電子部品１０４をシートに貼着させる。保持手段３１１は、大気破壊又は真空破壊により電子部品１０４の吸着を解放し、電子部品１０４をウェハリング１０３に引き渡す。
【００７０】
良品と再判定された電子部品１０４を保持した保持手段３１１は、搬送テーブル３１０の間欠回転により封止部２が装着されたままの良品用のキャリアテープ走行装置１に到達し、大気破壊又は真空破壊により電子部品１０４の吸着を解放し、電子部品１０４を授受位置６のポケット１０１内に離脱させる。
【００７１】
良品用のキャリアテープ走行装置１は、授受位置６でキャリアテープ１００のポケット１０１に電子部品１０４を収納し、シールテープ１０２で封止する。リール２００は、シールテープ１０２で封止されたキャリアテープ１００を巻き取っていく。
【００７２】
これにより、電子部品１０４は、ウェハリング１０３から良品用のキャリアテープ走行装置１と良品以外のキャリアテープ走行装置１に分類される。そして、良品以外のキャリアテープ１００に分類された電子部品１０４は、再判定の後、分類の際にテーピング装置となって良品以外の電子部品１０４を収容したキャリアテープ走行装置１からディテーパ装置として再供給され、引き続きテーピング装置となっている良品用のキャリアテープ走行装置１と良品以外用となったウェハリングホルダ３２０に再分類される。
【００７３】
（効果）
このように、本実施形態に係るキャリアテープ走行装置１は、スプロケット４１、４２でキャリアテープ１００を引っ掛けて走行させる。スプロケット４１、４２は、正転及び逆転するモータ５１、５２によって回転する。また、キャリアテープ１００に貼着するシールテープ１０２を巻回したシールテープリール３と、シールテープリール３から引き出されたシールテープ１０２とキャリアテープ１００を挟み込んで、キャリアテープ１００にシールテープ１０２を貼着するヒーターブロック２１とベースブロック２２とを備える。
【００７４】
このキャリアテープ走行装置１は、モータ５１、５２を正転させ、シールテープリール３からシールテープ１０２を引き出し、一対のブロック２１、２２を接近させることで、キャリアテープ１００をシールテープ１０２で封止するテーピング装置となる。また、モータ５１、５２を逆転させ、シールテープリール３へシールテープ１０２を引き込み、一対のブロック２１、２２を離反させることで、キャリアテープ１００からシールテープ１０２を剥離するディテーパ装置となる。
【００７５】
これにより、キャリアテープ走行装置１は、テーピング装置とディテーパ装置として兼用できるようになった。そのため、テーピング装置とディテーパ装置を別途用意する必要はなく、設備のコストを低減することができる。例えば、電子部品搬送装置３００に、専用のディテーパ装置を設置する必要がなくなる。また、ディテーパ装置を設置しない分、電子部品搬送装置３００の占有面積は少なくなり、設備の面積あたりの電子部品生産効率が向上する。
【００７６】
電子部品搬送装置３００としては、搬送経路３０１を形成する搬送テーブル３１０の周りに、電子部品１０４の収容体を保持する収容体保持手段と、搬送経路３０１内の電子部品１０４を観察する観察装置３４０と、複数のキャリアテープ走行装置１を設置する。収容体保持手段は、例えばウェハリングホルダ３２０であり、その収容体はウェハリング１０３である。その他、収容体としては、平面が格子状に仕切られ、その格子内に電子部品１０４を収容するトレイである。トレイを保持する収容体保持手段としては、トレイを平面移動させるステージである。
【００７７】
この電子部品搬送装置３００は、収容体保持手段とキャリアテープ走行装置１を電子部品１０４の供給手段又は電子部品の分類先となる分類手段とする分類モードと再分類モードを有する。そして、分類モードでは、収容体保持手段は供給手段であり、全てのキャリアテープ走行装置１がテーピング装置となって分類手段となる。再分類モードでは、キャリアテープ走行装置１のうちの一部がディテーパ装置となって供給手段であり、キャリアテープ走行装置１のうちの他がテーピング装置となって分類手段とすればよい。また、再分類モードでは、ディテーパ装置となったキャリアテープ走行装置１に加えて、収容体保持手段も分類手段としてもよい。
【００７８】
このような電子部品搬送装置３００では、再分類のためにテーピング装置からディテーパ装置へリール２００を移し変える必要もなくなるので、設備コストの低下、生産効率の向上の他、作業員の労力低減にも繋がる。
【００７９】
更に、スプロケット４１、４２は、周面に突起４３を形成してなり、キャリアテープ１００に形成されているスプロケット孔に突起を引っ掛けて回転する。この突起４３は、インボリュート形状を有しているようにした。これにより、キャリアテープ１００の走行に際して振動が低減し、ポケット１０１から電子部品１０４が飛び出してしまうことを防止でき、生産効率が向上する。
【００８０】
また、スプロケット４１、４２とモータ５１、５２との間の伝動機構としてタイミングベルト５１ａ、５２ａとした。これにより、伝動機構をラチェットホイールとしていた場合と比べて、キャリアテープ１００の逆走行時に伝動機構から振動が発生し難くなり、ポケット１０１から電子部品１０４が飛び出してしまうことを防止でき、生産効率が向上する。
【００８１】
また、シールテープリール３とキャリアテープ１００の走行ラインとの間に抑えローラ３２を介在させ、シールテープ１０２をキャリアテープ１００の近傍に案内する。この抑えローラ３２は、キャリアテープ１００にシールテープ１０２を貼着する際、キャリアテープ１００の近傍に接近する。
【００８２】
一方、抑えローラ３２は、キャリアテープ１００からシールテープ１０２を剥離する際、キャリアテープ１００から離れ、剥離基点９におけるキャリアテープ１００とシールテープ１０２との成す角を、貼着の際と比べて緩やかにするようにした。これにより、キャリアテープ１００からシールテープ１０２を剥離することによる振動を抑制でき、ポケット１０１から電子部品１０４が飛び出してしまうことを防止でき、生産効率が向上する。
【００８３】
また、ポケット１０１の底面に形成された孔を通して、ポケット１０１内に収容されている電子部品１０４を吸引する吸引部８を備えるようにした。この吸引部８は、キャリアテープ１００の走行中、キャリアテープ１００に電子部品１０４を引き付ける。これにより、キャリアテープ１００と電子部品１０４が一体的になり、キャリアテープ１００の走行に振動が生じても、ポケット１０１内で電子部品１０４が遥動しにくくなり、またキャリアテープ１００の振動が緩和され、ポケット１０１から電子部品１０４が飛び出してしまうことを防止でき、生産効率が向上する。
【００８４】
以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００８５】
例えば、保持手段３１１として吸着ノズルを例に採り説明したが、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品１０４を機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。また、電子部品１０４としては、キャリアテープ１００に梱包可能であるならば、何れであってもよい。例えば、電子部品１０４としては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。
【００８６】
また、本実施形態では、二機のモータ５１、５２によってキャリアテープ１００を走行させるようにしたが、モータ５１、５２の何れか一機を設け、そのモータでキャリアテープ１００を走行させるようにしてもよい。更に、スプロケット４１、４２についても、何れか１個を設け、他方は、キャリアテープ１００を案内するピン無しのローラとしてもよい。
【符号の説明】
【００８７】
１  キャリアテープ走行装置
２  封止部
２１  ヒーターブロック
２２  ベースブロック
３  シールテープリール
３１  モータ
３２  抑えローラ
４１  スプロケット
４２  スプロケット
４３  突起
５１  モータ
５１ａ  タイミングベルト
５２  モータ
５２ａ  タイミングベルト
６  授受位置
７  モータドライバ
７１  制御テーブル
７２  テーピングパラメータ
７３  ディテープパラメータ
８  吸引部
８１  容器
８２  吸引溝
８３  吸引孔
９  剥離基点
１００  キャリアテープ
１０１  ポケット
１０２  シールテープ
１０３  ウェハリング
１０４  電子部品
２００  リール
３００  電子部品搬送装置
３０１  搬送経路
３１０  搬送テーブル
３１１  保持手段
３１２  ダイレクトドライブモータ
３２０  ウェハリングホルダ
３２１  突き上げピン
３３０  ピックアップ装置
３３１  アーム
３４０  観測装置
【要約】
【課題】テーピング装置とディテーパ装置とを兼用できるキャリアテープ走行装置と電子部品搬送装置を提供する。
【解決手段】キャリアテープ走行装置１は、正転及び逆転するモータ５１、５２によって回転するスプロケット４１、４２でキャリアテープ１００を引っ掛けて走行させる。ヒーターブロック２１とベースブロック２２とでシールテープ１０２とキャリアテープ１００を挟み込んで貼着する。モータ５１、５２を正転させ、シールテープ１０２を引き出し、一対のブロック２１、２２を接近させることで、キャリアテープ１００をシールテープ１０２で封止するテーピング装置となる。また、モータ５１、５２を逆転させ、リールカバーリール３へシールテープ１０２を引き込み、一対のブロック２１、２２を離反させることで、キャリアテープ１００からシールテープ１０２を剥離するディテーパ装置となる。
【選択図】図１【図１】
0005835825.tif 000002
【図２】
0005835825.tif 000003
【図３】
0005835825.tif 000004
【図４】
0005835825.tif 000005
【図５】
0005835825.tif 000006