(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス板のプリフォームを保持しながら加熱装置に供給する供給ステップと、前記プリフォームを加熱する加熱ステップと、前記加熱ステップで加熱したプリフォームを延伸させる延伸ステップと、を含み、
前記供給ステップで、加熱空間の上面、下面および側面となる壁部を備え、側面の壁部のプリフォーム側の面に温度を調整可能な複数のヒータが設けられ、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部に冷却水が流されている加熱装置に対して、プリフォームを供給し、
前記加熱ステップで、前記複数のヒータによって前記プリフォームを加熱する
ことを特徴とするガラス板の製造方法。
【請求項２】
供給ステップで、プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータの温度調整単位となる領域が、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小の領域よりも小さい加熱装置にプリフォームを供給し、
加熱ステップで、
複数段設けられたヒータ群によって前記プリフォームを加熱する
請求項１に記載のガラス板の製造方法。
【請求項３】
供給ステップで、発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し板幅方向に並ぶヒータの境界が、当該ヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれている加熱装置にプリフォームを供給する請求項２に記載のガラス板の製造方法。
【請求項４】
供給ステップで、側面の壁部に、合成石英で被覆された発熱体を有する複数のヒータが設けられた加熱装置にプリフォームを供給する請求項１から３のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項５】
加熱ステップで、加熱装置以外の熱源からプリフォームを加熱しない請求項１から４のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項６】
加熱装置から引き出されたガラス板の板厚を板幅方向に沿って計測する計測ステップと、
板幅方向に沿ったガラス板の板厚の計測結果に応じて、側面の壁部に設けられた複数のヒータのうち、板厚調整に用いるヒータの温度を調整する調整ステップと、を含む
請求項１から５のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
【請求項７】
上方から供給されるガラス板のプリフォームを加熱する加熱装置を備えるガラス板の製造装置であって、
前記加熱装置は、加熱空間の上面、下面および側面となる壁部を備え、側面の壁部のプリフォーム側の面に温度を調整可能な複数のヒータが設けられ、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部に冷却水が流される
ことを特徴とするガラス板の製造装置。
【請求項８】
少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部は、冷却水が流されることで冷却ユニットとして構成される請求項７に記載のガラス板の製造装置。
【請求項９】
プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータの温度調整単位となる領域は、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小の領域よりも小さい請求項７または８に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１０】
プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータは、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置された最も小さなヒータよりも小さい請求項７から９のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１１】
発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し板幅方向に並ぶヒータの境界が、当該ヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれている請求項９または１０に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１２】
板幅方向に並ぶヒータ群に属する各ヒータは、直線状に並ぶ請求項９から１１のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１３】
プリフォームの端面に対向する側面の壁部にヒータが設けられる請求項７から１２のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１４】
各ヒータは、合成石英で被覆された発熱体を有する請求項７から１３のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１５】
加熱装置の外部に、プリフォームを加熱する手段を有しない請求項７から１４のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１６】
加熱装置から引き出されたガラス板の板厚を板幅方向に沿って計測する計測手段を更に備える請求項７から１５のうちのいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リドロー法でガラス板を製造するガラス板の製造方法およびガラス板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板の製造方法としてリドロー法がある。リドロー法は、ガラス基板を垂直に保持しながら下方に送り、そのガラス基板を加熱し、加熱により軟化したガラス基板を下方に延伸させることで、薄いガラス板を製造する方法である。加熱前のガラス基板は、プリフォームあるいはガラス板母材と呼ばれる。
【０００３】
リドロー法を採用したガラス板の製造装置が、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載されたガラス板の製造装置は、ガラス板の板幅方向に沿った肉厚を迅速かつ簡単に調整できるようにすることを目的としている。
【０００４】
特許文献１に記載されたガラス板の製造装置は、プリフォームを通過させる金属マッフルの外周囲に、板幅方向に伸びる棒状ヒータと、高さ方向に伸びる縦型ヒータをそれぞれ、複数本配置した構成である。そして、金属マッフルの内側には、ガラスの板幅方向に分割された複数の冷却ボックスを備えている。特許文献１に記載されている冷却ボックスは、冷媒として空気を用いる。すなわち、特許文献１に記載されたガラス板の製造装置では、ヒータと垂直方向に搬送されるガラス板との間に空冷式の冷却ボックスが配置されている。また、特許文献１に記載されたガラス板の製造装置では、各ヒータは煉瓦に組み込まれている。
【０００５】
そして、特許文献１に記載されたガラス板の製造装置は、ヒータのパワーと冷却ボックスにおける空気の流入量の調節を併せて行うことで、板幅方向に沿ったガラス板の肉厚を調整する。
【０００６】
また、一般に、ヒータは、断熱材に保持されるように配置される。特許文献１に記載されたガラス板の製造装置では、煉瓦を断熱材として用いていると考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１８３６２７号公報（段落００３１，００３３，００３７，００３８  図１〜３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
リドロー法を用いてガラス板を製造する際に、板厚調整の精度が高いことが好ましい。すなわち、製造されたガラス板の板厚の分布にばらつきが少ないことが好ましい。
【０００９】
そこで、本発明は、リドロー法でガラス板を製造する際に高い精度で板厚を調整することができるガラス板の製造方法およびガラス板の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の発明者らは、高い精度で板厚を調整することができるガラス板の製造方法について検討した。その結果、プリフォームを加熱するヒータとして複数のヒータを用い、ヒータの位置を基準にしてヒータに対向するプリフォームとは反対側に水冷式の冷却ユニットを配置することで、個々のヒータの設定温度に応じた温度でプリフォームに対して加熱を行えることを見出した。
【００１１】
水冷式の冷却ユニットを設けずに、複数のヒータでプリフォームに加熱を行う際、一部のヒータを他のヒータと異なる温度に設定したとする。この場合、その一部のヒータの回りには、他の設定温度のヒータが存在するので、その一部のヒータの正面の温度も、回りに配置されている他のヒータの温度に近い温度になってしまう。そのため、プリフォームのうち、一部のヒータに対向する部分の温度と、他のヒータに対向する部分の温度に大きな差をつけることが難しい。例えば、１つのヒータのみを８００°Ｃに設定して、他のヒータを１０００°Ｃに設定したとする。この場合、８００°Ｃに設定したヒータの周囲には、１０００°Ｃのヒータが存在するので、８００°Ｃのヒータの正面の温度も１０００°Ｃに近い温度になる。従って、プリフォームのうち、その１つのヒータに対向する部分を他のヒータに対向する部分比べて低温（本例では８００°Ｃ）で加熱することは難しい。
【００１２】
これに対して、複数のヒータの背面に水冷式の冷却ユニットを設け、そのヒータでプリフォームに加熱を行う場合には、個々のヒータの温度に応じた温度でプリフォームの各部分を加熱できる。すなわち、一部のヒータを他のヒータと異なる温度に設定したときに、背面に水冷式の冷却ユニットを配置した結果、その一部のヒータの正面の温度は、回りに配置されている他のヒータの温度と異なる温度になる。例えば、上記の例のように、１つのヒータのみを８００°Ｃに設定して、他のヒータを１０００°Ｃに設定したとする。この場合、背面に冷却ユニットが存在しているので、冷却水の有する熱容量によって８００°Ｃに設定したヒータの正面の温度は、回りのヒータの温度（１０００°Ｃ）に容易に上昇せず、８００°Ｃに近い温度に調整可能となる。従って、プリフォームのうち、その１つのヒータに対向する部分を他のヒータに対向する部分と比べて低温（本例では８００°Ｃ）で加熱することができる。このように、ヒータの正面の温度をヒータの設定温度に近い温度に調整できることで、プリフォームの板厚を高精度に制御できる効果が得られる。
【００１３】
以上の知見に基づいて、本発明の発明者は以下に示す発明をした。
【００１４】
本発明によるガラス板の製造方法は、ガラス板のプリフォームを保持しながら加熱装置に供給する供給ステップと、前記プリフォームを加熱する加熱ステップと、前記加熱ステップで加熱したプリフォームを延伸させる延伸ステップと、を含み、前記供給ステップで、加熱空間の上面、下面および側面となる壁部を備え、側面の壁部のプリフォーム側の面に温度を調整可能な複数のヒータが設けられ、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部に冷却水が流されている加熱装置に対して、プリフォームを供給し、前記加熱ステップで、前記複数のヒータによって前記プリフォームを加熱することを特徴とする。
【００１５】
本発明は、供給ステップで、プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータの温度調整単位となる領域が、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小の領域よりも小さい加熱装置にプリフォームを供給し、加熱ステップで、複数段設けられたヒータ群によって前記プリフォームを加熱する方法でもよい。
【００１６】
本発明は、供給ステップで、発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し板幅方向に並ぶヒータの境界が、当該ヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれている加熱装置にプリフォームを供給する方法でもよい。
【００１７】
本発明は、供給ステップで、側面の壁部に、合成石英で被覆された発熱体を有する複数のヒータが設けられた加熱装置にプリフォームを供給する方法でもよい。
【００１８】
本発明は、加熱ステップで、加熱装置以外の熱源からプリフォームを加熱しない方法でもよい。
【００１９】
本発明は、加熱装置から引き出されたガラス板の板厚を板幅方向に沿って計測する計測ステップと、板幅方向に沿ったガラス板の板厚の計測結果に応じて、側面の壁部に設けられた複数のヒータのうち、板厚調整に用いるヒータの温度を調整する調整ステップと、を含む方法でもよい。
【００２０】
また、本発明によるガラス板の製造装置は、上方から供給されるガラス板のプリフォームを加熱する加熱装置を備えるガラス板の製造装置であって、前記加熱装置は、加熱空間の上面、下面および側面となる壁部を備え、側面の壁部のプリフォーム側の面に温度を調整可能な複数のヒータが設けられ、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部に冷却水が流されることを特徴とする。
【００２１】
本発明は、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部が、冷却水が流されることで冷却ユニットとして構成される装置でもよい。
【００２２】
本発明は、プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータの温度調整単位となる領域は、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小の領域よりも小さい構成の装置でもよい。
【００２３】
本発明は、プリフォームの主面に対向する側面の壁部のプリフォーム側の面に、板幅方向に並ぶヒータ群が複数段設けられ、前記プリフォームの板厚調整に用いる段のヒータ群のうち、少なくとも、加熱中のプリフォームに発熱面全体が対向するヒータは、前記板厚調整に用いる段以外の段に配置された最も小さなヒータよりも小さい構成の装置でもよい。
【００２４】
本発明は、発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し板幅方向に並ぶヒータの境界が、当該ヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれている装置でもよい。
【００２５】
本発明は、板幅方向に並ぶヒータ群に属する各ヒータが、直線状に並ぶ構成の装置でもよい。
【００２６】
本発明は、プリフォームの端面に対向する側面の壁部にヒータが設けられる装置でもよい。
【００２７】
本発明は、各ヒータが、合成石英で被覆された発熱体を有する構成の装置でもよい。
【００２８】
本発明は、加熱装置の外部に、プリフォームを加熱する手段を有しない構成の装置でもよい。
【００２９】
本発明は、加熱装置から引き出されたガラス板の板厚を板幅方向に沿って計測する計測手段を更に備える構成の装置でもよい。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、リドロー法でガラス板を製造する際に高い精度で板厚を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のガラス板の製造装置を示す模式図。
【図２】加熱装置を示す模式図。
【図３】壁部への冷却水の流入および流出を示す説明図。
【図４】加熱装置の模式的断面図。
【図５】加熱装置の模式的断面図。
【図６】壁部に対するヒータの取り付け態様の例を示す説明図。
【図７】ヒータの配置例を示す説明図。
【図８】ヒータ群毎の温度変化の例を示す模式図。
【図９】板厚調整に用いるヒータ群に属するヒータの説明図。
【図１０】ガラス板を成形する処理経過の例を示すフローチャート。
【図１１】ヒータ群の温度を調整する処理経過の例を示すフローチャート。
【図１２】本発明の実施形態の変形例におけるヒータを壁部に取り付けた場合の上面図。
【図１３】実施例におけるガラス板の板幅方向の板厚の変化を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に制限されるものではない。
【００３３】
図１は、本発明のガラス板の製造装置を示す模式図である。本発明のガラス板の製造装置は、リドロー法によってガラス板を製造するものである。本発明のガラス板の製造装置は、プリフォーム８を加熱する加熱装置１と、加熱装置１から引き出されるガラス板９の板厚を計測する計測部２とを備える。図１では、ガラス板の製造装置が、さらにロール３と、巻取ロール４とを備える構成を例示している。
【００３４】
ロール３は、プリフォーム８を保持し、プリフォーム８を加熱装置１に供給する。図１に例示するプリフォーム８は、ロール巻きが可能な厚さの可撓性を有する帯状のガラス板である。ロール３は円筒形であり、プリフォーム８を巻き取った状態でプリフォーム８を保持する。また、ロール３は回転することによって、プリフォーム８を保持しつつ、下方に配置された加熱装置１に供給する。従って、加熱装置１は上方からプリフォームを供給される。
【００３５】
加熱装置１の外観は、上面と下面にスリットを有する六面体である。プリフォーム８は、上面のスリットから加熱装置１の内部に供給され、加熱後のガラス板９が下面のスリットから引き出される。加熱装置１は、加熱空間の上面、下面、および４つの側面となる壁部をそれぞれ有する。すなわち、この各壁部によって囲まれた空間が加熱空間となる。この壁部のうち、少なくともプリフォームの主面に対向する側面の壁部は、冷却水が流されることにより水冷式の冷却ユニットとして機能する。必要に応じて、全ての側面の壁部や、その他の上面および下面の壁部も、冷却水を流すことによって冷却ユニットとして機能させてもよい。そして、加熱装置１は、壁部に囲まれた空間内で、複数のヒータによってプリフォーム８を加熱する。
【００３６】
また、本実施形態では、プリフォーム８の延伸時にプリフォーム８を加熱する手段を加熱装置１の外部には有さず、加熱装置１以外の熱源からプリフォーム８を加熱しない構成を採用できる。すなわち、本発明のガラス板の製造装置では、加熱装置１のみ（より具体的には、加熱装置１内部のヒータのみ）によって、プリフォーム８を加熱することもできる。なお、プリフォーム８を延伸前に予熱するための加熱手段や、プリフォーム８を延伸後に徐冷するための加熱手段は、適宜使用できる。
【００３７】
巻取ロール４は加熱装置１の下方に配置される。巻取ロール４は円筒形であり、加熱後のガラス板９を巻き取ることで、加熱されたプリフォーム８を下方に延伸させる。すなわち、巻取ロール４は、ロール３の回転速度よりも早い速度で回転することで、加熱されたプリフォーム８を下方に延伸させ、加熱後のガラス板９を加熱装置１から引き出す。
【００３８】
加熱装置１内において、プリフォーム８は加熱され、下方に延伸されるので、板厚が薄くなり、板幅も狭くなる（図１参照）。そして、このプリフォーム８が、薄い板厚のガラス板９として、加熱装置１から引き出される。
【００３９】
また、計測部２は、加熱装置１と巻取ロール４の間に配置され、加熱装置１の下面のスリットから引き出されたガラス板９の板厚を、板幅方向に沿って測定する。板厚の測定方法は、公知の方法でよい。例えば、ガラス板９の一方の面側に配置したレーザ源からレーザを照射し、レーザ源側の面の反射光およびレーザ源とは反対側の面の反射光が干渉した光を回折格子で分光し、分光状態を測定することで板厚を測定する分光干渉方式を採用してもよい。この場合、計測部２は、レーザ源と、回折格子と、分光後の光を受光する受光センサとを含む板厚計測ユニット（図示略）を、ガラス板９の板幅方向にスライドさせながら、板幅方向に沿ってガラス板９の板厚を計測すればよい。
【００４０】
本実施形態では、板厚計測結果に応じて、加熱装置１内のヒータの温度を調整することで、板厚の分布にばらつきのないガラス板を得る。また、計測部２がなくても、成形後のガラス板９を別途サンプリングして板厚を測定し、その結果を加熱装置１の加熱条件に反映してヒータの温度を調整すれば、板厚の分布にばらつきのないガラスを得ることができる。
【００４１】
なお、プリフォーム８は、ロール３に巻き取られた状態の帯状のガラス板でなくてもよい。例えば、定められた大きさに切断された枚葉のガラス板をプリフォーム８として用いてもよい。この場合、ロール３の代わりに、垂直に立てられたプリフォーム８の上端部を把持する第１の把持手段（図示略）を配置し、巻取ロール４の代わりに、加熱後のガラス板９の下端部を把持する第２の把持手段（図示略）を配置する構成とすればよい。そして、第１の把持手段は、下方に移動することによって、プリフォーム８を加熱装置１に供給すればよい。また、第２の把持手段は、第１の把持手段よりも速い速度で下方に移動することによって、加熱されたプリフォーム８を下方に延伸させ、加熱後のガラス板９を加熱装置１から引き出せばよい。
【００４２】
図２は、加熱装置１を示す模式図である。加熱装置１は、スリット１２が設けられた壁部１１ａを上面に備える。同様に、加熱装置１は、スリット（図示せず）が設けられた壁部１１ｂを下面に備える。さらに、加熱装置１は、４つの各側面にもそれぞれ壁部を備える。図２では、側面の壁部として壁部１１ｃ，１１ｄ，１１ｅのみを示しているが、壁部１１ｄと向かい合う側面にも壁部（以下、便宜的に壁部１１ｆと記す。図４、図５参照。）を有する。
【００４３】
６個の壁部１１ａ〜１１ｆが組み合わされ、加熱装置１の内部に空間が形成される。加熱装置１の各壁部１１ａ〜１１ｆは、個別に取り外し可能である。従って、加熱装置１の内部のメンテナンスを行うことができる。
【００４４】
上面の壁部１１ａにはプリフォーム８（図１参照）を供給するためのスリット１２が設けられる。同様に、下面の壁部１１ｂには、薄板に形成されたガラス板９を引き出すためのスリット（図示せず。）が設けられる。壁部１１ａ，１１ｂのスリットは平行である。スリットの縁とプリフォームとの間隔が広いとそこから熱が逃げるため、スリットの縁とプリフォームとの間隔を狭くした方がよい。下面の壁部のプリフォームとスリットの縁との距離は３ｍｍ程度が好ましい。これは、プリフォームとスリットの縁との距離が小さすぎると、プリフォームが変形したときにスリットに接触するおそれがあるためである。上面の壁部のプリフォームとスリットの縁との距離は、下面の壁部の場合よりも小さくすることが好ましく、具体的には３ｍｍ未満にすることが好ましい。
【００４５】
壁部１１ｄ，１１ｆは、壁部１１ａ，１１ｂのスリットの長軸と平行に配置される。従って、壁部１１ｄ，１１ｆは、加熱装置１の内部を通過するプリフォーム８（図１参照）の主面と対向する。また、壁部１１ｃ，１１ｅはプリフォーム８の端面と対向する。
【００４６】
また、個々の壁部はそれぞれ、加熱装置１の外側の面に、冷却水の流入口および流出口（図２において図示略。）を有する。図３は、壁部への冷却水の流入および流出を示す説明図である。図３では、壁部１１ｄを例に説明する。壁部１１ｄにおいて、加熱装置の外側の面には、冷却水の流入口２１ａおよび流出口２１ｂが設けられる。そして、流入口２１ａにはパイプ２２ａが取り付けられ、流出口２１ｂにはパイプ２２ｂが取り付けられる。そして、パイプ２２ａから流入口２１ａを介して壁部１１ｄの内部に冷却水が流され、壁部１１ｄの内部を通過した冷却水は、流出口２１ｂからパイプ２２ｂに排出される。このように、壁部１１ｄの内部に冷却水が流されるので、壁部１１ｄは水冷式の冷却ユニットとして機能する。電気炉の壁部の面積が大きい場合には、壁部からの受熱量が大きくなり、冷却水の温度上昇が起こりやすい。これを防ぐためには、個々の壁部において内部に隔壁を設け、冷却水の経路を複数の経路に分割することが好ましい。図３では、壁部１１ｄを例示したが、少なくとも、プリフォームの主面に対向する側面の壁部１１ｄ，１１ｆは、加熱装置の外側の面に冷却水の流入口および流出口を有し、冷却ユニットとして機能する。必要に応じて、他の壁部１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｅも、それぞれ、加熱装置の外側の面に冷却水の流入口および流出口を有し、冷却ユニットとして機能してもよい。本実施形態では、全ての壁部を冷却ユニットとして機能する場合を例にして説明する。
【００４７】
なお、壁部１１ａ〜１１ｆの材料として、例えば、アルミニウムを用いてもよい。この場合、冷却水に防錆剤を混ぜておくことが好ましい。
【００４８】
図４は、壁部１１ｃ，１１ｅ（図２参照）に平行な面における加熱装置１の模式的断面図である。また、図５は、上面および下面の壁部１１ａ，１１ｂ（図２参照）に平行な面における加熱装置１の模式的断面図である。なお、図４および図５では、プリフォーム８も併せて図示している。また、図４および図５では、冷却水を通過させるための各壁部の内部の中空空間については図示を省略している。
【００４９】
図５に示すように、側面に設けられた壁部１１ｃ〜１１ｆのプリフォーム８側の面（換言すれば、加熱空間側の面）には、ヒータ５が設けられる。図４および図５では、個々のヒータ５の配置を模式的に示しているが、各ヒータ５は壁部に取り付けられる。壁部へのヒータ５の取り付け態様の例については、図６を参照して後述する。
【００５０】
各ヒータ５は、温度を調整可能なヒータである。
【００５１】
図５に示すように、プリフォーム８の主面に対向する側面の壁部１１ｄ，１１ｆには、プリフォーム８の板幅方向に並ぶ複数のヒータ５が設けられる。このように、板幅方向に並ぶ複数のヒータの一群をヒータ群と呼ぶこととする。
【００５２】
ヒータ群は、プリフォーム８の進行方向に沿って複数段設けられる。すなわち、板幅方向に１行に並ぶ複数のヒータ群が複数段設けられる。本実施形態では、図４および後述の図７に示すように、ヒータ群が５段設けられる場合を例にして説明する。ただし、ヒータ群の段数は５段に限定されない。また、各段のヒータ群は、図７に示すように、プリフォーム８の板幅方向に直線状に並んでいることが好ましいが、プリフォーム８の板幅方向に並んでいればよく、板幅方向に蛇行して並んでいてもよい。
【００５３】
プリフォーム８の主面に対向する側面の壁部１１ｄ，１１ｆの各ヒータ５と、プリフォーム８の主面との距離は、例えば、４０ｍｍである。ただし、４０ｍｍは例示であり、壁部１１ｄ，１１ｆの各ヒータ５と、プリフォーム８の主面との距離は、４０ｍｍに限定されない。
【００５４】
また、図５に示すように、プリフォーム８の端面に対向する壁部１１ｃ，１１ｅにもヒータ５が設けられていてもよい。そして、壁部１１ｃ，１１ｅにもヒータ５が複数段設けられていてもよい。例えば、壁部１１ｃ，１１ｅにも、壁部１１ｄ，１１ｆと同じ段数でヒータ５が設けられていてもよい。なお、壁部１１ｃ，１１ｅでは、１段当たりのヒータ数の数は１つでよい。このプリフォーム８の端面に対向するヒータは、プリフォーム８の主面の板幅が大きい場合に、プリフォーム８の端面から熱が奪われることを防止する。
【００５５】
図６は、壁部に対するヒータ５の取り付け態様の例を示す説明図である。壁部１１ｃ〜１１ｆへのヒータ５の取り付け態様は同様であり、図６では壁部を符号１１で示している。ヒータ５は、碍子（Glass Insulator ）５１上に発熱体５２を有する。発熱体５２が設けられた領域が、ヒータ５の発熱面となる。碍子５１において、発熱体５２とは反対側の面に凸部５３が設けられる。また、壁部１１における加熱装置の内部側の面には凹部が設けられ、碍子５１の凸部５３と、壁部１１の表面の凹部とを嵌め合わせることでヒータ５が壁部１１に取り付けられる。本実施形態では、冷却ユニットとなっている壁部に直接に碍子５１を固定可能であるので、碍子５１を別の手段で冷却する必要がなく、ヒータの固定に係る構造を簡単にできる。
【００５６】
また、ヒータ５は、プリフォーム８に近づけたり、プリフォーム８から遠ざけたりすることができる態様で壁部１１に取り付けられてもよい。
【００５７】
ヒータ５の発熱体５２は、例えば、鉄クロム電熱線である。発熱体５２に流す電流を調整することにより、ヒータ５の発熱量を調整することができる。発熱体５２の表面は合成石英で覆われていることが好ましい。鉄クロム電熱線等の発熱体５２は、コンタミネーションを生じさせる。すなわち、発熱体５２が粉塵を生じさせ、その粉塵が延伸中のプリフォーム８に付着することでガラス板の品質を低下させてしまう。発熱体５２の表面を合成石英で被覆することによって、このようなコンタミネーションを防止することができる。
【００５８】
図７は、プリフォーム８の主面に対向する壁部１１ｄ，１１ｆにおけるヒータ５の配置例を示す説明図である。本実施形態では、ヒータ群（板幅方向に並ぶ複数のヒータの一群）が５段設けられた場合を例にして説明する。５つのヒータ群６１〜６５のうち、中央のヒータ群６３が、ガラス板の板厚調整に用いるヒータ群である。すなわち、中央のヒータ群６３に属するヒータ５の温度が個別に調整される。また、他のヒータ群６１，６２，６４，６５に属するヒータ５は、プリフォーム８からガラス板９を成形している間、一定温度に保たれる。ただし、ガラス板の反り等の品質を調整するために、ヒータ群６１，６２，６４，６５に属するヒータも個別に調整可能である。
【００５９】
図７において、個々のヒータに示した数値は、ヒータの設定温度の例を示す。例えば、一番上の段のヒータ群６１に属する各ヒータについては、設定温度を８００°Ｃにしていることを示している。図７に示すように、１番上のヒータ群６１から、板厚調整に用いるヒータ群６３の１つ上のヒータ群であるヒータ群６２までは、下段のヒータ群の方が高温になるように各ヒータ群のヒータの温度を設定する。また、板厚調整に用いるヒータ群６３の１つ下のヒータ群６４から１番下のヒータ群６５までは、下段のヒータ群の方が低温になるように各ヒータ群のヒータの温度を設定する。
【００６０】
図８は、ヒータ群毎の温度変化の例を示す模式図である。ヒータ群６１，６２，６４，６５の温度を上記のように設定することで、加熱装置１の内部では、一旦、下方に行くほど温度が上昇し、さらに下方に行くと温度が下降する。なお、図７では、ヒータ群６３のヒータの温度が全て１０００°Ｃである場合を示しているが、計測部２による板厚測定の結果、ヒータ群６３において、ヒータ群６２，６４のヒータ５よりも低い温度に設定されるヒータが存在してもよい。
【００６１】
加熱装置１を通過するプリフォーム８（図１参照）は、ヒータ群６１，６２の前を通過するときに、徐々に高温にされる。そして、ヒータ群６３の前を通過するときには、ヒータ群６３のヒータ５の設定温度に応じた温度で加熱される。そして、ヒータ群６４，６５の前を通過するときに、徐々に低温にされる。
【００６２】
図９は、板厚調整に用いるヒータ群６３に属するヒータ５の説明図である。図９では各ヒータ群６１〜６５の前を通過するプリフォーム８を模式的に示している。既に説明したように、プリフォーム８は加熱され、下方に延伸されるので、加熱装置１の内部で板幅が狭くなる（図９参照）。本実施形態では、ヒータ毎に温度調整を行う場合を例にして説明する。すなわち、個々のヒータの発熱面が、温度調整単位となる領域である場合を例にして説明する。なお、個々のヒータにおいて、発熱面は、ヒータのプリフォーム側の面とほぼ同じ大きさである。本例では、プリフォーム８の板厚調整に用いるヒータ群６３に属する各ヒータ５のうち、少なくとも、加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊは、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータのうち最も小さなヒータ５ｚよりも小さなヒータとする。
【００６３】
図９に示す例では、ヒータ群６３に属する各ヒータ５のうち、加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータは、ヒータ群６３の中央およびその近辺に配置されたヒータ５ｄ〜５ｊである。また、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータのうち最も小さなヒータは、ヒータ群６５の中央に配置されたヒータ５ｚである。従って、ヒータ５ｄ〜５ｊは、ヒータ５ｚよりも小さなヒータとする。また、ヒータ群６３に属するヒータであって、発熱面全体がプリフォーム８に対向していなくても、発熱面のうち大部分がプリフォーム８に対向しているヒータ５ｃ，５ｋについても、ヒータ５ｚよりも小さくすることが好ましい。また、ヒータ群６３に属するヒータのうち、発熱面がプリフォーム８に対向していないヒータ５ａ，５ｎや、プリフォーム８に対向する発熱面の割合が少ないヒータ５ｂ，５ｌについては、ヒータ５ｚよりも大きくてよい。
【００６４】
なお、本実施形態では、各ヒータ５の高さが等しいものとする。従って、ヒータ同士で大きさを比べ、一方のヒータが他方のヒータよりも大きいということは、一方のヒータの横幅が他方のヒータの横幅よりも広いことを意味する。また、一方のヒータが他方のヒータよりも小さいということは、一方のヒータの横幅が他方のヒータの横幅よりも狭いことを意味する。ヒータ５がプリフォーム８の板幅方向に蛇行している場合には、各ヒータの発熱面の大きさに着目する。
【００６５】
なお、図９では、ヒータ群６３において、中央のヒータ５ｇが、ヒータ５ｃ〜５ｆおよびヒータ５ｈ〜５ｋよりも大きい場合を示しているが、ヒータ５ｃ〜５ｋが同じ大きさであってもよい。
【００６６】
また、各ヒータにおいて、発熱面が、個別に温度調整可能な領域に分割されていてもよい。その場合、プリフォーム８の板厚調整に用いるヒータ群６３に属する各ヒータ５のうち、少なくとも、加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊの温度調整単位となる領域が、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小となる領域よりも小さければよい。
【００６７】
前述の例では、各ヒータの発熱面は、個別に温度調整可能な領域に分割されておらず、各ヒータの発熱面が温度調整単位の領域となっている。そして、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小となる領域は、ヒータ５ｚの発熱面である。また、プリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊの発熱面は、ヒータ５ｚの発熱面より小さくなっている。従って、前述の例においても、「加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊの温度調整単位となる領域が、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小となる領域よりも小さい」ということができる。
【００６８】
次に、隣接する段におけるヒータの境界の位置関係を説明する。発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し、板幅方向に並ぶヒータ同士の境界が、そのヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれるという条件が満たされるように、各ヒータ５は配置される。以下、図９を参照して具体例を示す。
【００６９】
例えば、ヒータ群６２に属するヒータ５ｑは、発熱面の一部がプリフォーム８に対向する。また、ヒータ群６２に属するヒータ５ｒは、発熱面全体がプリフォーム８に対向する。そして、ヒータ５ｑ，５ｒは、板幅方向に並ぶヒータである。従って、ヒータ５ｑ，５ｒの境界は、ヒータ５ｑ，５ｒが属するヒータ群６２に隣接する段のヒータ群６１，６３におけるヒータ同士の境界とずれている。
【００７０】
また、例えば、ヒータ群６２に属するヒータ５ｒ，５ｓは、いずれも発熱面全体がプリフォーム８に対向する。そして、ヒータ５ｒ，５ｓは、板幅方向に並ぶヒータである。従って、ヒータ５ｒ，５ｓの境界は、ヒータ５ｒ，５ｓが属するヒータ群６２に隣接する段のヒータ群６１，６３におけるヒータ同士の境界とずれている。
【００７１】
ここでは、ヒータ群６２に属するヒータ５ｑ，５ｒ，５ｓを例にして説明したが、他のヒータ群に属するヒータに関しても、上記の条件を満たすように配置される。
【００７２】
ヒータ５同士の境界には間隙を設ける。また、ヒータ５の背面には、冷却ユニットとなる壁部が存在する。従って、プリフォーム８のうち、ヒータ５同士の境界部分に対向する箇所では、加熱量が低下する。上記のように、発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し、板幅方向に並ぶヒータ同士の境界が、そのヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれるという条件を満たすように各ヒータ５を配置することで、プリフォーム８の板幅方向において、加熱量が少ない部分が集中することを防止して、板厚のばらつきを抑えることができる。
【００７３】
なお、発熱面全体がプリフォーム８に対向していないヒータと、同一ヒータ群内でそのヒータに隣接するヒータとの境界に関しては、隣接する段におけるヒータ間の境界と揃っていてもよい。例えば、ヒータ群６２に属するヒータ５ｐは、プリフォーム８に対向しない。従って、ヒータ群６２におけるヒータ５ｐ，５ｑの境界は、隣接する段におけるヒータ間の境界と揃っていてもよい（図９参照）。
【００７４】
ヒータ５間の境界に間隙を設けないと、ヒータ５の熱変形に対する余裕がなくなるので、ヒータ５間の境界に間隙を設ける。ヒータ５間の境界の間隙は、例えば、５ｍｍであるが、５ｍｍに限定されるわけではない。ただし、間隙が広すぎると、その間隙に対向するプリフォーム８への加熱量が少なくなるので、広すぎるのは好ましくない。例えば、間隙を１５ｍｍ以上とすることは好ましくない。従って、ヒータ５間の間隙は、１５ｍｍ未満であることが好ましく、１２ｍｍ以下であることが特に好ましい。さらには、５ｍｍ程度であることがより好ましい。縦方向のヒータ５間の境界に間隙についても同様である。ただし、壁部に対する碍子の取り付け上の制限により、縦方向のヒータ５間の間隙が５ｍｍより大きくなってもよい。
【００７５】
次に、プリフォーム８からガラス板９（図１参照）を成形する処理経過について説明する。図１０は、ガラス板９を成形する処理経過の例を示すフローチャートである。なお、本実施形態では、以下に示す処理の間、各壁部１１ａ〜１１ｆに、それぞれ冷却水が流入され、各壁部１１ａ〜１１ｆは、それぞれ冷却ユニットとして機能する。
【００７６】
ロール３（図１参照）は、プリフォーム８を巻き取るときの回転方向とは逆向きの方向に回転することによって、プリフォーム８を保持しながら、加熱装置１に供給する（ステップＳ１）。ステップＳ１において、ロール３から垂れ下がるプリフォーム８は、垂直に下方に送られ、スリット１２（図２参照）から加熱装置１の内部に供給される。
【００７７】
加熱装置１は、上方から送られたプリフォーム８を加熱する（ステップＳ２）。ステップＳ２において、ヒータ群６１，６２（図７参照）の各ヒータは、上方から送られたプリフォーム８を徐々に高温にする。そして、板厚調整に用いるヒータ群６３（図７参照）の各ヒータ５は、設定された温度でプリフォーム８を加熱する。そして、ヒータ群６４，６５の各ヒータは、プリフォーム８の温度を徐々に低温にする。
【００７８】
巻取ロール４は、上記のように加熱されるプリフォーム８を延伸させる（ステップＳ３）。巻取ロール４は、最初に加熱され、自重で下方に垂れ下がったプリフォーム８の下端からプリフォーム８を巻き取っていく。巻取ロール４の回転速度は、ロール３の回転速度よりも速い。そのため、加熱装置１の内部において、加熱されたプリフォーム８は下方に延伸され、板厚が薄くなり、板幅も狭くなる。この結果、プリフォーム８よりも板厚の薄いガラス板が製造される。
【００７９】
ロール３は、プリフォーム８の供給を継続して行い、加熱装置１は、供給されたプリフォーム８に対する加熱を継続して行う。さらに、巻取ロール４は、回転によるプリフォーム８の延伸を継続して行う。この結果、巻取ロール４は、薄板に成形されたガラス板９を加熱装置１から引き出して巻き取ることになる。すなわち、薄板に成形されたガラス板９は巻取ロール４に保持される。
【００８０】
なお、計測部２の下方にカッター（図示せず。）を設け、カッターにより、ガラス板９を切断してもよい。
【００８１】
図１１は、加熱装置１の内部のヒータ群６３の温度を調整する処理経過の例を示すフローチャートである。計測部２は、加熱装置から引き出されたガラス板９の板厚を、板幅方向に沿って計測する（ステップＳ１１）。例えば、計測部２は、分光干渉方式の板厚計測ユニット（図示略）を、ガラス板９の板幅方向にスライドさせながら、板幅方向に沿ってガラス板９の板厚を計測すればよい。
【００８２】
ステップＳ１１の後、ステップＳ１１における板厚の計測結果に応じて、ヒータ群６３（図７参照）に属するヒータ５の温度を調整する（ステップＳ１２）。すなわち、板幅方向に沿った各位置のうち、板厚が所望の板厚範囲の上限よりも厚くなっている部分に対応するヒータ群６３のヒータの設定温度を上昇させる。また、板厚が所望の板厚範囲の下限よりも薄くなっている部分に対応するヒータ群６３のヒータの設定温度を低くする。また、板幅方向に沿った各位置において、板厚が所望の範囲内に収まっていれば、既にヒータ５は適切な温度に設定されていると言えるので、温度設定を変更する必要はない。なお、ヒータ群６１，６２，６４，６５に属するヒータ５の温度は、一定に保つ。
【００８３】
なお、各ヒータにおいて、発熱面が、個別に温度調整可能な領域に分割されている場合、温度調整単位となる領域毎に温度設定を行ってもよい。
【００８４】
また、上記の実施形態の他、成形後のガラス板９を別途サンプリングして板厚を測定し、その結果を加熱装置１の加熱条件に反映してヒータ群６３に属するヒータの温度を調整してもよい。この場合、成形後のガラス板９の板厚を測定すればよいので、加熱装置１と巻取ロール４の間に計測部２を設けなくてよい。
【００８５】
このようにヒータ群６３に属するヒータ５の温度を調整することで、ステップＳ１１における板厚の測定結果がヒータ５の温度にフィードバックされ、板厚が所望の範囲内に収まるガラス板９を得ることができる。
【００８６】
また、製造されたガラス板９の左右の両端部を切断し、中央部分をガラス板製品としてもよい。
【００８７】
本発明によれば、水冷式の冷却ユニットとして機能する壁部１１ｄ，１１ｆに複数のヒータ５を配置し、ヒータ５の設定温度を個々に調整することによって、ガラス板の板厚を調整する。このように、水冷式の冷却ユニットに設けた複数のヒータ５でプリフォーム８に加熱するので、個々のヒータの設定温度に応じた温度でプリフォーム８に対する加熱を行える。従って、高い精度で板厚を調整することができ、板厚の分布にばらつきが少ないガラス板を製造することができる。
【００８８】
また、壁部１１ｄ，１１ｆには、複数のヒータ群６１〜６５（図７参照）設け、そのヒータ群のうち、中央のヒータ群６３をガラス板の板厚調整に用いる。そして、そのヒータ群６３に属する各ヒータ５のうち、少なくとも、加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊは、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータのうち最も小さなヒータ５ｚよりも小さなヒータである（図９参照）。従って、ヒータ群６３では、プリフォーム８に対して局所的に温度調節をすることができる。そのため、成形されるガラス板９の板厚を高い精度で調整することができる。
【００８９】
発熱面が温度調整可能な領域に分割されている場合には、ヒータ群６３に属する各ヒータ５のうち、少なくとも、加熱中のプリフォーム８に発熱面全体が対向するヒータ５ｄ〜５ｊの温度調整単位となる領域が、ヒータ群６３以外の段のヒータ群６１，６２，６４，６５に配置されたヒータの温度調整単位となる領域のうち最小となる領域よりも小さければよい。その結果、プリフォーム８に対して局所的に温度調節をすることができ、ガラス板９の板厚を高い精度で調整できる。
【００９０】
さらに、発熱面の一部または全体がプリフォームに対向し、板幅方向に並ぶヒータ同士の境界が、そのヒータが設けられた段に隣接する段におけるヒータの境界とずれるという条件が満たされるように、各ヒータ５を壁部１１ｄ，１１ｆに配置する。従って、プリフォーム８の板幅方向において、加熱量が少ない部分が集中することを防止して、板厚のばらつきを抑えることができる。
【００９１】
また、本発明では、冷却ユニットとして機能する壁部１１ｃ〜１１ｆにおいて、加熱装置の内側の面にヒータ５を取り付ける。従って、各ヒータ５は、断熱材に支持されるのではなく、壁部１１ｃ〜１１ｆによって支持され、加熱装置１の内部に断熱材を配置する必要がない。よって、断熱材から生じる粉塵による加熱装置内部での延伸中のプリフォームへのコンタミネーションを防止することができる。
【００９２】
さらに、ヒータ５の発熱体５２（図６参照）を合成石英で被覆することにより、発熱体５２から生じる粉塵によるコンタミネーションも防止することができる。
【００９３】
また、コンタミネーションを防止することができるので、ヒータ５とプリフォーム８との間に、粉塵を遮るためのチャンバを設ける必要がない。従って、加熱装置１を小型化することができる。
【００９４】
次に、本発明に用いることができるプリフォームの大きさや板厚の例について述べる。プリフォーム８の板幅は、ガラス製品の幅広化への要求に応えるため、３００ｍｍ以上であることが好ましく、例えば３００ｍｍ以上４０００ｍｍ以下であることが好ましい。また、プリフォーム８の板幅は、４５０ｍｍ以上３０００ｍｍ以下であることがより好ましく、６００ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であることがさらに好ましい。ただし、上記の値は例示であり、プリフォーム８の板幅は、上記の例に限定されない。例えば、プリフォーム８の板幅が１００ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であってもよい。
【００９５】
なお、ヒータ５の配置は、図７に示す例に限定されない。使用するプリフォーム８の大きさに応じた数のヒータを有し、また、プリフォーム８の大きさに応じた大きさの加熱装置を用いてガラス板を製造すればよい。例えば、板幅が１１３０ｍｍのプリフォームを用いる場合には、各段のヒータ群の長さが１２００ｍｍ以上になるようにすればよい。また、板幅が１４００ｍｍ以上のプリフォームを用いる場合には、各段のヒータ群の長さが１５００ｍｍ以上になるようにすればよい。
【００９６】
また、プリフォーム８をロール３が保持する場合、生産効率を上げるため、プリフォーム８の長さは２ｍ以上８０００ｍ以下であることが好ましく、１０ｍ以上３０００ｍ以下であることがよりに好ましい。そして、３０ｍ以上５００ｍ以下であることがさらに好ましい。
【００９７】
また、プリフォーム８の板厚は、薄すぎると巻き取り前のハンドリングがしにくくなり、厚すぎるとロール３に巻き取りにくくなる。そのため、プリフォーム８の板厚は、０．０５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下であることが好ましい。そして、０．１ｍｍ以上０．２５ｍｍ以下であることがより好ましく、０．１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下であることがさらに好ましい。
【００９８】
また、プリフォーム８は枚葉であってもよい。例えば、横幅が１３００ｍｍであり、縦方向の長さが１０００ｍｍである枚葉のガラス基板をプリフォーム８として用いてもよい。
【００９９】
また、プリフォーム８から製造されるガラス板９の板厚は、１０μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上８０μｍ以下であることがより好ましい。そして、２０μｍ以上７０μｍ以下であることがさらに好ましく、２０μｍ以上５０μｍ以下であることがさらに好ましい。
【０１００】
次に、上記の実施形態の変形例について説明する。図１２は、上記の実施形態の変形例におけるヒータ５を壁部に取り付けた場合の上面図である。図６と同様の要素については図６と同一の符号を付し説明を省略する。ただし、図１２では、ヒータ５の碍子５１の背面に設けられた凸部５３（図６参照）の図示を省略している。図１２に示すように、ヒータ５は、碍子５１におけるプリフォーム側の面の左右の端部に突起５４を備えていてもよい。そして、発熱体５２は、突起５４に挟まれた領域に配置すればよい。突起５４は、碍子５１と同一の材料で成形すればよい。突起５４の先端は、発熱体５２よりも張り出す。ただし、突起５４の長さは、正常な状態（揺れのない状態）において、ヒータ５の前面を通過するプリフォーム（図１２において図示略）には届かない長さとする。
【０１０１】
ガラス板の製造装置に揺れが生じた場合や、加熱装置１の内部でプリフォームに揺れが生じた場合であっても、ヒータ５が突起５４を備えていることによって、プリフォームと発熱体５２との接触を防止することができる。プリフォームが発熱体５２に接触してしまうと、発熱体５２に付着したガラスを取り除く等のメンテナンスが必要となり、メンテナンスの負担が大きくなる。
【実施例】
【０１０２】
壁部１１ｄ，１１ｆに図７に例示した５段のヒータ群６１〜６５を設けた加熱装置１を用いて、プリフォーム８からガラス板９を製造した。本実施例では、各ヒータ群６１〜６５の長さは１３００ｍｍとした。また、ヒータ群６１，６２，６４，６５に属するヒータの設定温度は、図７に示す温度とした。ヒータ群６３のヒータの設定温度は、計測部２による板厚の計測結果に応じて調整した。各壁部に供給した冷却水の温度は４０〜５０°Ｃであった。
【０１０３】
また、本実施例では、板幅が１１３０ｍｍのプリフォームを用いた。上記の加熱装置によって、このプリフォームから、板幅が約９００ｍｍのガラス板を製造した。
【０１０４】
図１３は、左右両側を切断する前のガラス板の板幅方向の板厚の変化を示す説明図である。製造した板幅が約９００ｍｍのガラス板において、中央部分の幅７００ｍｍの範囲では、板厚が４０〜５８μｍとなっている。また、中央部分の幅５００ｍｍの範囲では、板厚が４０〜５３μｍとなっている。また、中央部分の板幅４００ｍｍの範囲では、板厚が４０〜４９μｍとなっている。このように、製造した板幅が約９００ｍｍのガラス板の中央部分において、板厚に大きなばらつきはない。すなわち、本発明の方法および装置によって、約１ｍの板幅のプリフォームに対して、高い精度で板厚を調整できた。特に、板の中央部では、板厚の変化を±５μｍの範囲内に抑えることができた。
【産業上の利用可能性】
【０１０５】
本発明は、リドロー法によるガラス板の製造に好適に適用される。
【符号の説明】
【０１０６】
１  加熱装置
２  計測部
３  ロール
４  巻取ロール
５  ヒータ
８  プリフォーム
９  ガラス板
１１ａ〜１１ｆ  壁部
【図１】
0005835081.tif 000002
【図２】
0005835081.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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