(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル基板と、
前記フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合わされ、前記フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムと、を備え、
前記フレキシブル基板の一方の面に部分的に、パターンが形成されており、
前記フレキシブル基板に負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみと、前記剥離フィルムに負荷される張力とそのヤング率とから算出されるひずみとの差が±０．０１％以内となるように前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムは貼り合わされており、
前記フレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体。
【請求項２】
前記フレキシブル基板の前記一方の面に部分的に、前記パターンが複数形成されており、
前記フレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内であることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項３】
前記剥離フィルムは、前記粘着層に対して剥離自在になっていることを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項４】
前記粘着層は、前記フレキシブル基板に対して剥離自在になっていることを特徴とする請求項１または２に記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項５】
前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層側の面に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項６】
前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層とは反対側の面に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項７】
前記フレキシブル基板に、バリア層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項８】
前記フレキシブル基板に、反射防止層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項９】
前記フレキシブル基板に、ハードコート層が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【請求項１０】
前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有することを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載のフレキシブル基板積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル基板と、フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合せれ、フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムとを備えたフレキシブル基板積層体に係り、とりわけ、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等のフラットパネルディスプレイの急速な普及に伴って、このようなディスプレイを構成するディスプレイ部材の需要が拡大している。現在のフラットパネルディスプレイは、その用途を、テレビやデスクトップモニターのみならず、携帯用ノートパソコン、携帯電話、携帯用ゲーム機、電子リーダー、電子ブックなどの携帯型電子機器にまで広く拡大していることから、さらなる軽量化、小型化、および薄型化が必要とされている。このため、ディスプレイ部材としても、軽量化、小型化、および薄型化が求められている。
【０００３】
このような状況において、従来、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパーディスプレイ等を構成するディスプレイ部材としては、これまで主として用いられてきたガラス基板に替わり、可撓性を有するフレキシブル基板を用いたディスプレイ部材が提案されている。ディスプレイ部材において、ガラス基板の替わりにフレキシブル基板を用いることにより、ディスプレイを、フレキシブルディスプレイとすることも可能となる。現に、このようなフレキシブルディスプレイとしては、例えば、透明タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−３６８５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フレキシブル基板は、従来のガラス基板等に比べて機械的強度が低いことから、フレキシブル基板を用いてディスプレイ部材を製造する場合、フレキシブル基板がひずみ、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度が低下するという問題があった。特に、パターンが形成されたフレキシブル基板に、粘着層を介して貼り合わされ、フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムとを備えたフレキシブル基板積層体においては、剥離フィルムの剥離前後で、パターンの寸法がずれるという問題があった。この場合、他の対向基板と位置合わせして接合することが困難となる。例えば、解像度２００ｄｐｉで１ピクセルに赤色画素、緑色画素、青色画素が一列に並んでいるカラーフィルターにおいて、２００ｍｍの距離を有するパターン間が４０μｍ変化する（２００ｐｐｍの寸法変化に相当）場合には、一色分のずれが生じることになり、重大な欠陥となる。このため、フレキシブル基板を用いて大面積のカラーフィルターを製造することは困難であった。また、フレキシブル基板に、パターニング工程に３〜５μｍの位置合わせ精度を必要とするアクティブマトリックス方式のスイッチング素子を形成することも困難であった。
【０００６】
ところで、フレキシブル基板の寸法変化を抑制するために、フレキシブル基板に応力緩和孔を設ける方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。ここでは、フレキシブル基板の表示領域に負荷される応力を、応力緩和孔を変形させることによって緩和し、当該表示領域に歪みが生じることを防止している。しかしながら、このような方法では、フレキシブル基板に、上述したような応力緩和孔を設ける工程が必要となり、ディスプレイ部材を製造する工程が煩雑になるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができるフレキシブル基板積層体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、フレキシブル基板と、前記フレキシブル基板に粘着層を介して貼り合わされ、前記フレキシブル基板に対して剥離自在な剥離フィルムと、を備え、前記フレキシブル基板に、パターンが形成されており、前記フレキシブル基板のうち前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内であることを特徴とするフレキシブル基板積層体を提供する。
【０００９】
本発明によれば、フレキシブル基板のうちパターンが形成された部分において、フレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみを低減することができる。このことにより、剥離フィルムをフレキシブル基板から剥離する前のパターンの寸法と、剥離した後のパターンの寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルムを剥離する前後でパターンの寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【００１０】
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、前記パターンが複数形成されており、前記フレキシブル基板のうち一の前記パターンが形成された部分において、前記フレキシブル基板と前記剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他の前記パターンが形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内である、ようにしてもよい。この場合、フレキシブル基板のうち一のパターンが形成された部分において、フレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターンが形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルムの剥離前後で各パターンの寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板に形成された各パターンの寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、各パターンを位置合わせすることができ、精度良いパターンを、量産することができる。
【００１１】
なお、上述したフレキシブル基板積層体において、前記剥離フィルムは、前記粘着層に対して剥離自在になっている、ようにしてもよい。
【００１２】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記粘着層は、前記フレキシブル基板に対して剥離自在になっている、ようにしてもよい。
【００１３】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層側の面に形成されている、ようにしてもよい。
【００１４】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、前記フレキシブル基板の前記粘着層とは反対側の面に形成されている、ようにしてもよい。
【００１５】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、バリア層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１６】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、反射防止層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１７】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記フレキシブル基板に、ハードコート層が設けられている、ようにしてもよい。
【００１８】
また、上述したフレキシブル基板積層体において、前記パターンは、カラーフィルター用の画素パターンを有する、ようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、フレキシブル基板に形成されたパターンの寸法精度を容易に向上させることができ、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板と、容易に、かつ精度良く、パターンを位置合わせすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態において、フレキシブル基板を示す平面図。
【図３】図３は、本発明の第１の実施の形態における貼合装置の概略を示す図。
【図４】図４（ａ）は、本発明の第１の実施の形態において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図４（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図４（ｃ）は、剥離フィルムが剥離された状態を示す図。図４（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図５】図５（ａ）は、本発明の第１の実施の形態において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図５（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図５（ｃ）は、剥離フィルムが剥離された状態を示す図。図５（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図６】図６（ａ）は、本発明の第１の実施に形態の変形例において、バリア層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｂ）は、ＡＧ層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｃ）は、ＡＲ層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図６（ｄ）は、ハードコート層を有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図７】図７（ａ）は、本発明の第１の実施の形態の変形例において、バリア層とハードコート層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図７（ｂ）は、バリア層とＡＧ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。図７（ｃ）は、バリア層とＡＲ層とを有するフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図８】図８は、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体の構成を示す図。
【図９】図９（ａ）は、本発明の第２の実施の形態において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図９（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図９（ｃ）は、剥離フィルムが剥離された状態を示す図。図９（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図１０】図１０（ａ）は、本発明の第２の実施の形態の変形例において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図１０（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図１０（ｃ）は、剥離フィルムが剥離された状態を示す図。図１０（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図１１】図１１（ａ）は、本発明の第３の実施の形態において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図１１（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図１１（ｃ）は、剥離フィルムが粘着層と共に剥離された状態を示す図。図１１（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【図１２】図１２（ａ）は、本発明の第４の実施の形態において、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされる前の状態を示す図。図１２（ｂ）は、フレキシブル基板と剥離フィルムが貼り合わされた状態を示す図。図１２（ｃ）は、剥離フィルムが粘着層と共に剥離された状態を示す図。図１２（ｄ）は、対向基板が接合された状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
第１の実施の形態
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ここで、図１乃至図７は、本発明の第１の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体を説明するための図である。
【００２２】
まず、図１により、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体１０について説明する。図１に示すフレキシブル基板積層体１０は、帯状のフレキシブル基板１１と、フレキシブル基板１１に、粘着層１３を介して貼り合わされ、フレキシブル基板１１に対して剥離自在な剥離フィルム（例えば、剥離ライナー）１２とを備えている。このうち剥離フィルム１２の粘着層１３側の面には、シリコン処理等により剥離処理が施されており、剥離フィルム１２は、粘着層１３に剥離自在になっている。
【００２３】
図１および図２に示すように、フレキシブル基板１１には、カラーフィルター用のパターン１４が複数形成されている。各パターン１４は、赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃ（必要に応じてブラックマトリックス（図示せず））を含むカラーフィルター用の矩形状の画素パターン１５と、画素パターン１５の四隅に対応する位置にそれぞれ形成された十字状のマーク１６とを有している。このようなパターン１４は、フレキシブル基板１１の粘着層１３側の面に形成され、粘着層１３はパターン１４に粘着されている。
【００２４】
フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみが、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内となっている。すなわち、フレキシブル基板１１の当該部分の寸法の貼り合せ前後における変形量が、貼り合せ前の当該部分の寸法に対して、±０．０１％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±１０μｍ）以内、好ましくは、±０．００５％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±５μｍ）以内となっている。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２を貼り合せる前のパターン１４の寸法と、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２を貼り合せた後のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。
【００２５】
ところで、剥離フィルム１２を粘着層１３から剥離した場合、フレキシブル基板１１から、剥離フィルム１２による応力の影響が取り除かれる。また、フレキシブル基板１１に粘着されている粘着層１３は柔軟性を有している。このことから、剥離フィルム１２が剥離された後のフレキシブル基板１１の変形の状態は、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法と、剥離フィルム１２を粘着層１３から剥離した後のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。具体的には、カラーフィルター用の画素パターン１５を有するフレキシブル基板積層体１０とＴＦＴアレイの貼り合せにおいては、寸法のずれ量を±１０μｍ以内とすることにより、液晶素子の駆動に不具合が生じることを防止し、画素の透過率や色を所定の範囲に維持でき、画像の表示を良好にすることができる。
【００２６】
また、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、当該貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内となっている。この場合、一のパターン１４の寸法と、他のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になっている。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、複数のパターン１４を、精度良く量産することができる。
【００２７】
次に、フレキシブル基板１１の材料について説明する。本実施の形態におけるフレキシブル基板１１は、引張力が負荷された場合であっても可塑性が著しく高いものでなければ特に限定されることはなく、ディスプレイ用途に応じて適宜選択して用いることができる。このようなフレキシブル基板１１としては、例えば、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、セルローストリアセテート（ＣＴＡ）、環状ポリオレフィン（ＣＯＰ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリサルフォン（ＰＳＦ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）、ノボルネン系樹脂、アリルエステル樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。このうち、ＰＥＮ、ＰＥＴを用いることが好適である。
【００２８】
フレキシブル基板１１の厚さとしては、１０μｍ〜５００μｍの範囲内、好ましくは２０μｍ〜３００μｍの範囲内であることが好ましい。フレキシブル基板１１の厚さが上記範囲よりも厚すぎると、可撓性が損なわれ、折れやすくなり、ロール状に巻き取ることが困難になるからである。一方、上記範囲よりも薄すぎると、こしが無くなり、各工程における取り扱いが困難になるからである。
【００２９】
フレキシブル基板１１の幅としては、特に限定されるものではないが、例えば、５０ｍｍ〜２０００ｍｍの範囲内、好ましくは１００ｍｍ〜１５００ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【００３０】
なお、フレキシブル基板１１は、単一層よりなる構成であっても良く、あるいは、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
【００３１】
剥離フィルム１２に用いる材料としては、フレキシブル基板１１と同様の材料を用いることができる。また、剥離フィルム１２の厚さ、幅についても、フレキシブル基板１１と同様にすることが好適である。さらには、剥離フィルム１２は、単一層よりなる構成であっても、複数の層が積層された構成を有するものであっても良い。
【００３２】
粘着層１３の材料としては、柔軟性を有しているものであれば、特に限定されるものではなく、アクリル系、スチレン系等の樹脂材料からなっていることが好ましい。また、粘着層１３の厚さとしては、柔軟性が喪失されない程度の厚さであれば良い。
【００３３】
次に、図３を用いて、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せる貼合装置２０について説明する。図３に示す貼合装置２０は、パターン１４が形成されたフレキシブル基板１１を繰り出す第１繰出ロール２１と、粘着層１３が設けられた剥離フィルム１２を繰り出す第２繰出ロール２２とを有している。
【００３４】
第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２の下流側に、第１繰出ロール２１から繰り出されたフレキシブル基板１１と、第２繰出ロール２２から繰り出された剥離フィルム１２をラミネートするラミネート部２３が設けられている。このラミネート部２３において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２が粘着層１３を介して貼り合わされ、フレキシブル基板積層体１０が作製される。また、ラミネート部２３は、一対の押圧ローラ２３ａからなっており、一対の押圧ローラ２３ａ間の圧力を調整することにより、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２をラミネートする際のラミネート圧力を調整することができるようになっている。
【００３５】
ラミネート部２３の下流側には、フレキシブル基板積層体１０をロール状に巻き取る巻取ロール２４が設けられている。この巻取ロール２４は、フレキシブル基板積層体１０を搬送する駆動部としての機能を有している。
【００３６】
また、図３に示す貼合装置２０においては、第１繰出ロール２１および第２繰出ロール２２に搬送方向とは反対側にトルクを負荷して、このトルクを調整することにより、搬送されているフレキシブル基板１１および剥離フィルム１２に負荷される張力をそれぞれ調整可能になっている。
【００３７】
次に、このような構成からなる本実施の形態の作用、すなわち本実施の形態によるフレキシブル基板と剥離フィルムとを貼り合せる方法（フレキシブル基板積層体の製造方法）について説明する。
【００３８】
まず、フレキシブル基板１１に、画素パターン１５とマーク１６とを有する複数のパターン１４（図１および図２参照）が形成される。
【００３９】
その後、パターン１４が半径方向外側に配置されるようにフレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられて、第１繰出ロール２１（図３参照）に取り付けられる。
【００４０】
一方、剥離フィルム１２の剥離処理が施された面に粘着層１３が設けられ、当該粘着層１３が半径方向外側に配置されるように剥離フィルム１２がロール状に巻き付けられて、第２繰出ロール２２に取り付けられる。
【００４１】
次に、巻取ロール２４が駆動され、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２が貼り合わされて（図４（ａ）参照）、フレキシブル基板積層体１０が作製される（図４（ｂ）参照）。
【００４２】
この場合、まず、第１繰出ロール２１からフレキシブル基板１１が繰り出されると共に、第２繰出ロール２２から剥離フィルム１２が繰り出される。続いて、繰り出されたフレキシブル基板１１および剥離フィルム１２が、ラミネート部２３において、粘着層１３を介して、互いに貼り合わされる。ラミネート部２３では、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４と、剥離フィルム１２に設けられた粘着層１３とが、互いに向かい合うように（図４（ａ）参照）、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされる。
【００４３】
フレキシブル基板１１および剥離フィルム１２が搬送されている間、フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力と、剥離フィルム１２に負荷される単位断面積当たりの張力が、それぞれ小さく、かつ同程度の値となることが好ましい。例えば、各単位断面積当たりの張力は、０．０２６Ｎ／ｍｍ２以上４０００Ｎ／ｍｍ２以下であることが好ましい。このことにより、貼り合せ時にフレキシブル基板１１と剥離フィルム１２にしわが形成されることを防止すると共にフレキシブル基板１１の変形と剥離フィルム１２の変形を抑制することができる。ここで、フレキシブル基板１１に負荷される単位断面積当たりの張力（応力）は、搬送されているフレキシブル基板１１に負荷される張力を、フレキシブル基板の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められ、剥離フィルム１２に負荷される単位断面積当たりの張力（応力）は、搬送されている剥離フィルム１２に負荷される張力を、剥離フィルム１２の断面積（幅×厚さ）で割ることにより求められる。
【００４４】
各単位断面積当たりの張力の差は、一対のフレキシブル基板１１、１２が同一のヤング率を有する場合には、±０．０１％以内であることが好ましい。このことにより、フレキシブル基板１１の変形量と剥離フィルム１２の変形量を同程度にすることができる。なお、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とで材料が異なる場合には、上述した単位断面積当たりの張力から、それぞれの材料のヤング率を用いて張力によるひずみを算出して、フレキシブル基板１１の張力によるひずみと剥離フィルム１２の張力によるひずみが同程度（例えば、張力によるひずみの差が±０．０１％以内）となるように張力を設定すれば良い。
【００４５】
また、この間、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２をラミネートする際のラミネート圧力は、低くすることが好ましく、例えば、０ＭＰａ以上１ＭＰａ以下とすることが好ましい。このことにより、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを確実に貼り合せると共に、フレキシブル基板１１の変形と剥離フィルム１２の変形を抑制することができる。
【００４６】
このようにして、図１に示すような、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが粘着層１３によって貼り合わされたフレキシブル基板積層体１０が得られる。このフレキシブル基板積層体１０において、フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみを、少なくとも±０．０１％以内とすることができると共に、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において貼り合せにより生じたひずみとの差を、少なくとも±０．０１％以内とすることができる。このため、フレキシブル基板１１および剥離フィルム１２にそれぞれ負荷される単位断面積当たりの張力と、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との間のラミネート圧力とを調整することにより、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００４７】
その後、フレキシブル基板積層体１０は、巻取ロール２４に巻き取られ、ロール状に形成される。
【００４８】
このようにして得られたフレキシブル基板積層体１０において、この後、剥離フィルム１２が粘着層１３から剥離されて（図４（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図４（ｄ）参照）。
【００４９】
ここで、フレキシブル基板１１において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみを確認する方法について説明する。このようなひずみは、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せる前後において、フレキシブル基板１１のパターン１４の寸法を測定することにより得られる。パターン１４の寸法として、マーク１６間の寸法を用いる場合には、例えば、フレキシブル基板１１の幅方向のマーク１６間のＡ寸法と、長手方向のマーク１６間のＢ寸法とを測定すれば良い（図２参照）。なお、寸法の測定には、一般に測長機を用いることが好ましい。とりわけ、マイクロメートル単位まで寸法を測定することができる精密な測長機がより好ましい。例えば、ＳＯＫＫＩＡ製の超精密自動２次元座標測定機や、ニコンインストルメンツカンパニー製のＣＮＣ画像測定システムなどを使用することができる。
【００５０】
貼り合せ前の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後の当該Ａ寸法およびＢ寸法とを用いて、各寸法の差を求め、フレキシブル基板１１のうち各パターン１４が形成された部分の貼り合せにより生じたひずみを確認することができる。また、貼り合せ後（剥離フィルム１２を剥離する前）の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、剥離フィルム１２を剥離した後の当該Ａ寸法およびＢ寸法とを用いることにより、剥離前後におけるパターン１４の寸法の差を求めることもできる。
【００５１】
パターン１４の寸法として、マーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法を測定することに限られることはなく、画素パターン１５の寸法を測定しても良い。この場合、画素パターン１５の幅方向の寸法と、長手方向の寸法とを測定すれば良い。あるいは、幅方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法と、長手方向に連続した所定数の赤色画素１５ａ、緑色画素１５ｂ、および青色画素１５ｃの集合体の寸法を測定しても良い。
【００５２】
また、図１に示すフレキシブル基板積層体１０が作製された後（すなわち、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされた後）に、フレキシブル基板１１上のパターン１４の貼り合せ前の寸法を求める方法について説明する。
【００５３】
この場合、まず、フレキシブル基板積層体１０をアセトンなどの有機溶剤に十分に浸す。続いて、フレキシブル基板１１から剥離フィルム１２と粘着層１３とが、フレキシブル基板１１に大きな張力が負荷されないように剥離される。このことにより、剥離フィルム１２の応力によるパターン１４への影響を取り除くと共に、フレキシブル基板１１が変形することを防止しながら、剥離フィルム１２をフレキシブル基板１１から剥離することができる。
【００５４】
なお、剥離フィルム１２による応力の影響を取り除くための別の方法として、剥離フィルム１２をフレキシブル基板１１から剥離することなく、剥離フィルム１２のみを、例えば１０ｍｍ間隔で格子状にハーフカットしても良い。
【００５５】
次に、フレキシブル基板１１が、剥離フィルム１２を剥離する前にマーク１６間の寸法を測定した際の雰囲気と同じ温湿度の雰囲気に曝され、フレキシブル基板１１から溶剤が蒸発して平衡状態となるまで放置される。このことにより、剥離されたフレキシブル基板１１の温度および吸水率を、剥離前のフレキシブル基板１１の温度および吸水率と等しくすることができる。このため、周囲環境の変化による寸法変化の要因を取り除くことができる。
【００５６】
その後、このフレキシブル基板１１上の各パターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法が測定される。このようにして得られたマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法は、剥離フィルム１２を貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法に相当する。このことにより、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合わせた後であっても、貼り合わせる前のＡ寸法およびＢ寸法を得ることができる。このため、このようにして得られた貼り合せ前のパターン１４のマーク１６間のＡ寸法およびＢ寸法と、貼り合せ後のＡ寸法およびＢ寸法とにより、貼り合せ前後における各寸法の差をそれぞれ求めて、フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分のひずみを確認することができる。
【００５７】
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、フレキシブル基板１１のパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム１２を粘着層１３から剥離する前のパターン１４の寸法と、剥離した後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２を剥離する前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００５８】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２の剥離前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【００５９】
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層１３が剥離フィルム１２に設けられることにより、例えば、後述するように、貼り合せ前のフレキシブル基板１１に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【００６０】
なお、本実施の形態においては、粘着層１３が、貼り合せ前に、剥離フィルム１２に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層１３を、貼り合せ前に、剥離フィルム１２に設けることなく、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４上に設けるようにしても良い。
【００６１】
この場合、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、剥離フィルム１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。このこと以外は、上述した実施の形態と同様にして、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図５（ａ）参照）、剥離フィルム１２が粘着層１３に剥離自在に付着された図１に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる（図５（ｂ）参照）。その後、剥離フィルム１２が粘着層１３から剥離されて（図５（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図５（ｄ）参照）。
【００６２】
また、本実施の形態においては、フレキシブル基板１１にパターン１４のみが設けられている例について説明した。しかしながらこのことに限られることはなく、図６に示すように、フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に、各種機能層が設けられるようにしても良い。
【００６３】
このようなフレキシブル基板積層体１０としては、例えば、図６（ａ）に示すように、フレキシブル基板１１に、第２の粘着層４５、第２のフレキシブル基板４６、酸素が透過することを抑制するバリア層４０が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との貼り合せ、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、バリア層４０が予め設けられた第２のフレキシブル基板４６に、フレキシブル基板１１を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６が第２の粘着層４５によって貼り合わされた後にバリア層４０を設けるようにしても良く、バリア層４０は、任意のタイミングで、第２のフレキシブル基板４６に形成することができる。このようにして、図６（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６４】
また、例えば、図６（ｂ）、（ｃ）に示すように、フレキシブル基板１１に、第２の粘着層４５、第２のフレキシブル基板４６、画面のちらつきを抑制する反射防止層（ＡＧ（アンチグレア）層４１、またはＡＲ（アンチリフレクション）層４２）が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との貼り合せ、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、反射防止層４１、４２が予め設けられた第２のフレキシブル基板４６に、フレキシブル基板１１を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６が第２の粘着層４５によって貼り合わされた後に反射防止層４１、４２を設けるようにしても良く、反射防止層４１、４２は、任意のタイミングで、第２のフレキシブル基板４６に形成することができる。このようにして、図６（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、反射防止層４１、４２を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６５】
さらに、例えば、図６（ｄ）に示すように、フレキシブル基板１１に、第２の粘着層４５、第２のフレキシブル基板４６、ディスプレイに傷が付くことを防止するハードコート層４３が順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との貼り合せ、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６との貼り合せの順序は限定されるものではない。また、ハードコート層４３が予め設けられた第２のフレキシブル基板４６に、フレキシブル基板１１を貼り合せるようにしても良く、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６が第２の粘着層４５によって貼り合わされた後にハードコート層４３を設けるようにしても良く、ハードコート層４３は、任意のタイミングで、第２のフレキシブル基板４６に形成することができる。このようにして、図６（ｄ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、ハードコート層４３を有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６６】
また、フレキシブル基板積層体１０は、図７に示すように、２つの機能層を有していても良い。
【００６７】
このようなフレキシブル基板積層体１０としては、例えば、図７（ａ）に示すように、フレキシブル基板１１に、第２の粘着層４５、第２のフレキシブル基板４６、バリア層４０、第３の粘着層４７、第３のフレキシブル基板４８、ハードコート層４３が、順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との貼り合せ、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６との貼り合せ、第２のフレキシブル基板４６と第３のフレキシブル基板４８との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図６に示すフレキシブル基板積層体１０と同様に、バリア層４０およびハードコート層４３は、任意のタイミングで、第２のフレキシブル基板４６および第３のフレキシブル基板４８にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ａ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０とハードコート層４３とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６８】
また、例えば、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように、フレキシブル基板１１に、第２の粘着層４５、第２のフレキシブル基板４６、バリア層４０、第３の粘着層４７、第３のフレキシブル基板４８、反射防止層（ＡＧ層４１またはＡＲ層４２）が、順次積層されていても良い。この場合、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２との貼り合せ、フレキシブル基板１１と第２のフレキシブル基板４６との貼り合せ、第２のフレキシブル基板４６と第３のフレキシブル基板４８との貼り合せの順序は限定されるものではなく、また、図６に示すフレキシブル基板積層体１０と同様に、バリア層４０および反射防止層４１、４２は、任意のタイミングで、第２のフレキシブル基板４６および第３のフレキシブル基板４８にそれぞれ形成することができる。このようにして、図７（ｂ）、（ｃ）に示すフレキシブル基板積層体１０を作製することができる。このことにより、バリア層４０と反射防止層４１、４２とを有するフレキシブル基板積層体１０であっても、パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。
【００６９】
なお、上述した各種機能層が設けられる例においては、パターン１４と粘着層１３とが互いに向き合うように構成されている例について述べたが、このことに限られることはなく、パターン１４が、フレキシブル基板１１の粘着層１３とは反対側の面に形成された場合（後述する図８参照）においても、パターン１４上に、同様にして上述のような各種機能層を設けることができる。
【００７０】
第２の実施の形態
次に、図８および図９により、本発明の第２の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
【００７１】
図８および図９に示す第２の実施の形態においては、パターンが、フレキシブル基板の粘着層とは反対側の面に形成されている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図８および図９において、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７２】
図８に示すフレキシブル基板積層体５０においては、パターン１４は、フレキシブル基板１１の粘着層１３とは反対側の面に形成されている。すなわち、粘着層１３は、フレキシブル基板１１に直接粘着されている。
【００７３】
このようなフレキシブル基板積層体５０を作製する場合、フレキシブル基板１１が、パターン１４を半径方向内側に配置させるように、ロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。このこと以外は、第１の実施の形態と同様にして、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図９（ａ）参照）、図８に示すフレキシブル基板積層体５０が作製される（図９（ｂ）参照）。
【００７４】
作製されたフレキシブル基板積層体５０において、この後、剥離フィルム１２が粘着層１３から剥離されて（図９（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図９（ｄ）参照）。
【００７５】
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、フレキシブル基板１１のパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム１２を粘着層１３から剥離する前のパターン１４の寸法と、剥離した後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２を剥離する前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００７６】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２の剥離前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【００７７】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板積層体１０の最表面に、カラーフィルター用の画素パターン１５が配置されるため、ＬＣＤパネルを組み立てる際、液晶層に画素パターン１５を接近させることができ、視差の問題を回避することができる。
【００７８】
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層１３が剥離フィルム１２に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板１１に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【００７９】
なお、本実施の形態においては、粘着層１３が、貼り合せ前に、剥離フィルム１２に設けられている例について説明した。しかしながら、このことに限られることはなく、粘着層１３を、貼り合せ前に、剥離フィルム１２に設けることなく、フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に設けても良い。
【００８０】
この場合、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、剥離フィルム１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。このこと以外は、第１の実施の形態と同様にして、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２が、粘着層１３を介して貼り合わされて（図１０（ａ）参照）、剥離フィルム１２が粘着層１３に剥離自在に付着された図８に示すフレキシブル基板積層体５０を作製することができる（図１０（ｂ）参照）。その後、剥離フィルム１２が粘着層１３から剥離されて（図１０（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図１０（ｄ）参照）。
【００８１】
第３の実施の形態
次に、図１１により、本発明の第３の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
【００８２】
図１１に示す第３の実施の形態においては、粘着層が、フレキシブル基板に対して剥離自在になっている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１１において、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００８３】
図１１（ｂ）に示すように、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体６０において、粘着層１３は、フレキシブル基板１１に対して剥離自在になっている。すなわち、粘着層１３は、フレキシブル基板１１のパターン１４側の面に設けられ、パターン１４に直接粘着されると共に、パターン１４に対して剥離自在になっている。このようにして、剥離フィルム１２は、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離可能に構成され、パターン１４が形成されたフレキシブル基板１１を保護する保護フィルムを構成している。
【００８４】
ところで、剥離フィルム１２を、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離した場合、フレキシブル基板１１から、剥離フィルム１２による応力の影響が取り除かれる。このことから、剥離フィルム１２が剥離された後のフレキシブル基板１１の変形の状態は、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法と、剥離フィルム１２を粘着層１３と共にフレキシブル基板１１から剥離した後のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。
【００８５】
このようなフレキシブル基板積層体６０は、第１の実施の形態と同様にして作製することができる。まず、パターン１４を半径方向外側に配置させるように、フレキシブル基板１１がロール状に巻き付けられた第１繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、剥離フィルム１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。
【００８６】
次に、巻取ロール２４が駆動され、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされて（図１１（ａ）参照）、粘着層１３がフレキシブル基板１１に剥離自在に粘着されたフレキシブル基板積層体６０が作製される（図１１（ｂ）参照）。
【００８７】
このようにして作製されたフレキシブル基板積層体６０において、剥離フィルム１２が、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離されて（図１１（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図１１（ｄ）参照）。
【００８８】
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、フレキシブル基板１１のパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム１２を粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離する前のパターン１４の寸法と、剥離した後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２を剥離する前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【００８９】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２の剥離前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【００９０】
また、本実施の形態によれば、剥離フィルム１２と粘着層１３とにより、パターン１４が形成されたフレキシブル基板１１を保護する保護フィルムが構成されている。このため、剥離フィルム１２の剥離前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制しながら、フレキシブル基板１１およびパターン１４を保護することができる。
【００９１】
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層１３が剥離フィルム１２に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板１１に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【００９２】
第４の実施の形態
次に、図１２により、本発明の第４の実施の形態におけるフレキシブル基板積層体について説明する。
【００９３】
図１２に示す第４の実施の形態においては、粘着層が、フレキシブル基板に対して剥離自在になっていると共に、フレキシブル基板のパターンとは反対側の面に設けられている点が主に異なり、他の構成は、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と略同一である。なお、図１２において、図１乃至図７に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００９４】
図１２（ｂ）に示すように、本実施の形態におけるフレキシブル基板積層体７０において、粘着層１３は、フレキシブル基板１１に対して剥離自在になっている。すなわち、粘着層１３は、フレキシブル基板１１のパターン１４とは反対側の面に設けられ、フレキシブル基板１１に直接粘着されると共に、フレキシブル基板１１に対して剥離自在になっている。このようにして、剥離フィルム１２は、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離可能に構成され、パターン１４が形成されたフレキシブル基板１１を保護する保護フィルムを構成している。
【００９５】
ところで、剥離フィルム１２を、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離した場合、フレキシブル基板１１から、剥離フィルム１２による応力の影響が取り除かれる。このことから、剥離フィルム１２が剥離された後のフレキシブル基板１１の変形の状態は、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せる前の状態に戻る。このため、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされている状態でのフレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法と、剥離フィルム１２を粘着層１３と共にフレキシブル基板１１から剥離した後のパターン１４の寸法との差は、±０．０１％以内、好ましくは、±０．００５％以内になる。このことにより、各パターン１４の寸法精度を向上させて、カラーフィルターとしての表示画像の精度を向上させることができる。
【００９６】
このようなフレキシブル基板積層体７０は、第1の実施の形態と同様にして作製することができる。まず、パターン１４を半径方向内側に配置させるように、フレキシブル基板１１がロール上に巻き付けられた第1繰出ロール２１（図３参照）を準備する。また、粘着層１３を半径方向外側に配置させるように、剥離フィルム１２がロール状に巻き付けられた第２繰出ロール２２を準備する。
【００９７】
次に、巻取ロール２４が駆動され、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とが貼り合わされて（図１２（ａ）参照）、粘着層１３がフレキシブル基板１１に剥離自在に粘着されたフレキシブル基板積層体７０が作製される（図１２（ｂ）参照）。
【００９８】
このようにして作製されたフレキシブル基板積層体７０において、剥離フィルム１２が、粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離されて（図１２（ｃ）参照）、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４に、他のパターン（例えば、ＴＦＴ、画像表示素子など）が形成されたマーク付き対向基板３０が接合される（図１２（ｄ）参照）。
【００９９】
このように本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうちパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひすみは、少なくとも±０．０１％以内となっている。このことにより、フレキシブル基板１１のパターン１４が形成された部分の貼り合せによるひずみを低減することができ、剥離フィルム１２を粘着層１３と共に、フレキシブル基板１１から剥離する前のパターン１４の寸法と、剥離した後のパターン１４の寸法との差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２を剥離する前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制し、フレキシブル基板１１に形成されたパターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターン１４が形成されたマーク付き対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、パターン１４を位置合わせすることができる。
【０１００】
また、本実施の形態によれば、フレキシブル基板１１のうち一のパターン１４が形成された部分において、フレキシブル基板１１と剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差を低減することができる。このため、剥離フィルム１２の剥離前後で各パターン１４の寸法が異なることを抑制し、フレキシブル基板１１に形成された各パターン１４の寸法精度を容易に向上させることができる。この場合、後の工程で接合される他のパターンが形成された対向基板３０と、容易に、かつ精度良く、各パターン１４を位置合わせすることができ、精度良いパターン１４を、量産することができる。
【０１０１】
また、本実施の形態によれば、剥離フィルム１２と粘着層１３とにより、パターン１４が形成されたフレキシブル基板１１を保護する保護フィルムが構成されている。このため、剥離フィルム１２の剥離前後でパターン１４の寸法が変化することを抑制しながら、カラーフィルターの観察者側となるフレキシブル基板１１の表面（図１２における下面）に傷等が形成されることを防止して、フレキシブル基板１１を保護することができる。
【０１０２】
さらに、本実施の形態によれば、貼り合せ前に粘着層１３が剥離フィルム１２に設けられることにより、例えば、貼り合せ前のフレキシブル基板１１に、立体形状を有する機能層が積層される場合、または繊細なバリア層４０（図６および図７参照）、反射防止層４１、４２、若しくはレンズシート（図示せず）が積層される場合であっても、これらの機能層の性能を良好に維持することができる。
【０１０３】
以上、本発明による実施の形態について説明してきたが、当然のことながら、本発明の要旨の範囲内で、これらの実施の形態を、部分的に、適宜組み合わせることも可能である。また、これらの本実施の形態においては、本発明の要旨の範囲内で、上述した変形例以外の種々の変形も可能である。
【実施例】
【０１０４】
本発明のフレキシブル基板積層体３０において、剥離フィルム１２を剥離する前後のパターン１４の寸法を測定した。
【０１０５】
まず、フレキシブル基板１１として、３００ｍｍ幅×０．１２５ｍｍ厚さ、１０ｍ長さのＰＥＴフィルム（東洋紡績株式会社製、コスモシャインＡ４１００）を準備し、また、粘着層１３が設けられた剥離フィルム１２として、２７０ｍｍ幅×０．０５０ｍｍ厚さ、１０ｍの長さの両面粘着フィルム（日東電工株式会社製、ＣＳ９６２１Ｔ）を準備した。なお、剥離フィルム１２は、ＰＥＴよりなっている。
【０１０６】
ＰＥＴフィルムに、複数の画素パターン１５を形成すると共に、寸法測定用のマーク１６を、各画素パターン１５の四隅に対応する位置に形成した（図２参照）。なお、マーク１６間の距離は、２１２ｍｍとした。ここで、ＰＥＴフィルムと剥離フィルム１２とを貼り合せる前に、上述した方法により、ＰＥＴフィルム上に形成されたマーク１６間の寸法を測定した。
【０１０７】
貼合装置２０には、株式会社ディー・エヌ・ケー（ＤＮＫ）製の貼合装置（品名：ＬＭ−２０３−ＳＢ）を用いた。
【０１０８】
ＰＥＴフィルムと剥離フィルム１２とを貼り合せる際、搬送速度は０．６ｍ／ｍｉｎとし、ＰＥＴフィルムおよび剥離フィルム１２に負荷されるラミネート圧力（実効圧力）は、０．２８ＭＰａに設定した。また、各フィルムにおける変形量を小さくすると共に同程度とするために、各フィルムに負荷される張力をそれぞれ調整し、ＰＥＴフィルムにかかる単位断面積あたりの張力を１．３３Ｎ／ｍｍ２、剥離フィルム１２にかかる単位断面積あたりの張力を１．４８Ｎ／ｍｍ２とした。
【０１０９】
このような条件の下、ＰＥＴフィルムと剥離フィルム１２とを貼り合せ、フレキシブル基板積層体１０を作製した。
【０１１０】
続いて、上述した方法により、マーク１６間の寸法を測定した。
【０１１１】
その後、剥離フィルム１２を粘着フィルムから剥離し、剥離した後のマーク１６間の寸法を測定した。
【０１１２】
このようにして得られた、貼り合せ前後のマーク１６間の寸法の差が、±０．００３％以内（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±３μｍ）であることが確認できた。すなわち、ＰＥＴフィルムのうちパターン１４が形成された部分において、ＰＥＴフィルムと剥離フィルム１２とを貼り合せることにより生じたひずみが、±０．００３％以内であることが確認できた。また、剥離前後のマーク１６間の寸法の差が、±０．００３％（例えば、１００ｍｍの基準寸法に対するずれ量が±３μｍ）以内であることが確認できた。また、各パターン１４の寸法の差が、±０．００３％以内であることが確認できた。すなわち、ＰＥＴフィルムのうち一のパターン１４が形成された部分において、ＰＥＴフィルムと剥離フィルム１２とを貼り合せたことにより生じたひずみと、他のパターン１４が形成された部分において、この貼り合せにより生じたひずみとの差が、±０．００３％以内であることが確認できた。
【０１１３】
さらに、得られたフレキシブル基板積層体１０の各パターン１４を、マーク付きの他の対向基板３０と重ね合わせたところ、マーク同士を、容易に、かつ精度良く、位置合わせすることができた。
【符号の説明】
【０１１４】
１０    フレキシブル基板積層体
１１    フレキシブル基板
１２    剥離フィルム
１３    粘着層
１４    パターン
１５    画素パターン
１５ａ  赤色画素
１５ｂ  緑色画素
１５ｃ  青色画素
１６    マーク
２０    貼合装置
２１    第１繰出ロール
２２    第２繰出ロール
２３    ラミネート部
２３ａ  押圧ローラ
２４    巻取ロール
３０    対向基板
４０    バリア層
４１    ＡＧ層
４２    ＡＲ層
４３    ハードコート層
４５    第２の粘着層
４６    第２のフレキシブル基板
４７    第３の粘着層
４８    第３のフレキシブル基板
５０、６０、７０    フレキシブル基板積層体
【図１】
0005679290.tif 000002
【図２】
0005679290.tif 000003
【図３】
0005679290.tif 000004
【図４】
0005679290.tif 000005
【図５】
0005679290.tif 000006
【図６】
0005679290.tif 000007
【図７】
0005679290.tif 000008
【図８】
0005679290.tif 000009
【図９】
0005679290.tif 000010
【図１０】
0005679290.tif 000011
【図１１】
0005679290.tif 000012
【図１２】
0005679290.tif 000013