(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｍｇを０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｃｕを１．５〜１４．０ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金の板をその厚さ方向に複数枚積層し、加圧せず、フラックスを塗布しないで、加熱して接合することにより製造し、
断面積１ｍｍ2以下の流路が形成され、外壁からの間隔が０．１ｍｍ以上であり、流路間隔が０．１ｍｍ以上である、ことを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
前記アルミニウム合金は、さらにＭｎを０．０２〜２．０ｍａｓｓ％、Ｃｒを０．０２〜０．２ｍａｓｓ％、Ｎｉを０．０２〜２．３ｍａｓｓ％、Ｔｉを０．０２〜０．３ｍａｓｓ％、Ｚｒを０．０２〜０．５ｍａｓｓ％のうち１種または２種以上を含有することを特徴とする請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
前記アルミニウム合金には、長径３μｍ以上の球状の共晶組織が１０個〜３０００個／ｍｍ２存在する、ことを特徴とする請求項１または２に記載の熱交換器。
【請求項４】
前記流路の内壁面には継ぎ目がない、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の熱交換器。
【請求項５】
Ｍｇが０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｃｕが１．５〜１４．０ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金板をその板の厚さ方向に複数枚積層する積層工程と、
積層されたアルミニウム合金板を、加圧せず、フラックスを塗布しないで、加熱して接合する接合工程と、を備え、
前記積層工程では、その表面に微細な溝が形成された前記アルミニウム合金板を少なくとも１枚配置し、
前記接合工程では、接合温度をアルミニウム合金板の全質量に対するアルミニウム合金板内に生成する液相の質量の比が５％を超え３５％以下となる温度とし、前記アルミニウム合金板の寸法変化が５％以下である、ことを特徴とする熱交換器の製造方法。
【請求項６】
前記アルミニウム合金に、さらにＭｎを０．０２〜２．０ｍａｓｓ％、Ｃｒを０．０２〜０．２ｍａｓｓ％、Ｎｉを０．０２〜２．３ｍａｓｓ％、Ｔｉを０．０２〜０．３ｍａｓｓ％、Ｚｒを０．０２〜０．５ｍａｓｓ％のうち１種または２種以上を含有する合金を用いることを特徴とする請求項５に記載の熱交換器の製造方法。
【請求項７】
前記接合工程では、長径３μｍ以上の球状の共晶組織が断面で１０個〜３０００個／ｍｍ２存在するように接合する、ことを特徴とする請求項５または６に記載の熱交換器の製造方法。
【請求項８】
前記接合工程では、前記アルミニウム合金板が固相線温度以上となる時間を２０分以内とする、ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の熱交換器の製造方法。
【請求項９】
前記接合工程では、前記アルミニウム合金が液相率５％以上の温度域にある時間を１０秒以上とする、ことを特徴とする請求項５乃至８のいずれか１項に記載の熱交換器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、発熱したパワー半導体モジュール等を高効率で冷却するのに適した微細な流路構造を有する熱交換器、及び、その製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、パワー半導体モジュール、マイクロガスタービン、燃料電池、小型冷凍空調機器などのエネルギーシステムの開発が活発に行われている。このようなエネルギーシステムでは、車搭載用や家庭用に適した小型化の要請が大きく、これを実現するための開発が進められている。
【０００３】
従来型の熱交換器では、冷却する装置本体のスケールを大幅に越えるものが用いられており、熱交換器を小型化すると熱交換器の効率が低下してしまい、装置本体の効率が著しく低下するという問題がある。このため、小型のエネルギーシステムの効率を向上させるためには、高効率の熱交換器を用いることが必要不可欠である。現在の熱交換器で所望の性能を実現しようとした場合、熱交換率が悪いことから極めて大型の機器となってしまい、望まれている小型のエネルギーシステムにすることが不可能である。
【０００４】
ところで、一般に伝熱工学の理論では、冷媒の流路が小さくなるほど、均質に加熱・冷却することが可能になるが、流路を微細で短い流路にした場合、熱交換が可能な熱量の制限が生じる。そのため、多数の微細な流路に高流速の冷媒を流すことができるようになれば、交換熱量を増加させて効率を上げられることができるものと期待されている。
【０００５】
この伝熱理論を熱交換器に当てはめて検討してみると、小型で高効率な熱交換器にするためには、第１に微細な流路を多数有している積層構造であること、第２に高流速冷媒を流すことが可能な高耐圧の構造であることが必須条件である。このため、特許文献１や特許文献２には、微細流路を有する金属板を積層し、拡散接合することによって熱交換器を製造することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２８２９５１号公報
【特許文献２】特開２００７−３３３３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、微細な流路を持つ熱交換器の製造方法としては、アルミニウム合金板を、その板の厚さ方向に複数枚積層し、前記アルミニウム合金板の少なくとも１枚以上にはその表面に微細な溝を形成し、該溝が形成された面と隣り合うアルミニウム合金板の平面とが接合されることによって形成された流路に、加熱流体または冷却流体を供給する熱交換器を製造する方法が知られているが、溶融したろう材やフラックス等によって流路の目詰まりが生じる場合がある。また、接合箇所のろう付けフィレットやフラックスの残留により、流路内壁面に凹凸が形成されてしまい、流路内断面積が減少するという問題が生じる。更に、流路表面に形成された凹凸によって圧力損失が増大し、加熱および冷却流体が通り難くなるという問題がある。
【０００８】
このように、流路に目詰まりが生じると、加熱流体や冷却流体が通らなくなり、また、流路内断面積が減少すると、流体が通過する流量が減少し、所望する一体積層型熱交換器の熱交換性能が得られないという問題が生じる。このため、特許文献１や特許文献２では、ろう材の溶融が無く、流路の目詰まりや流路断面積の減少の懸念が無い拡散接合により金属板を接合している。
【０００９】
しかし、拡散接合により金属板を接合するには、流路部材を積層し、上下を加圧させて真空雰囲気中で加熱するため、大型の加圧装置が必要である。また、拡散接合では、その際、アルミニウムの酸化皮膜を除去する為の清浄化処理が必要であり、アルゴンイオン衝撃、グロー放電、或いは超音波付与など、特殊な工程が必要になる。
更に拡散接合では高温で加圧がなされる。金属は、一般に、絶対温度で融点の１／２程度以上の所謂クリープ温度領域では、それ以下の温度と比較して塑性変形が非常に容易に起きるようになる。拡散接合は、このクリープ温度域で行われるので、弱い加圧であっても容易に塑性変形が起き得る。特に、微細な流路となる溝が形成されたような面を接合面とした場合、溝の間の柱が加圧により変形し、元の溝の形を保つことが困難となる。このため、微細な流路が形成された熱交換器を精度良く容易に製造できないという問題がある。
【００１０】
さらに、拡散接合により金属板を接合した場合には、完全な無欠陥の接合が得られにくく、接合部分の信頼性が低い。このため、流路の接合部分から熱交換用の流体が漏れ、所望の熱性能が得られないという虞がある。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、容易に製造できるとともに、高い熱交換性能を有する微細な流路が形成された熱交換器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点にかかる熱交換器は、
Ｍｇを０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｃｕを１．５〜１４．０ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金の板をその厚さ方向に複数枚積層し、加圧せず、フラックスを塗布しないで、加熱して接合することにより製造し、
断面積１ｍｍ2以下の流路が形成され、外壁からの間隔が０．１ｍｍ以上であり、流路間隔が０．１ｍｍ以上である、ことを特徴とする。
【００１３】
前記アルミニウム合金は、さらにＭｎを０．０２〜２．０ｍａｓｓ％、Ｃｒを０．０２〜０．２ｍａｓｓ％、Ｎｉを０．０２〜２．３ｍａｓｓ％、Ｔｉを０．０２〜０．３ｍａｓｓ％、Ｚｒを０．０２〜０．５ｍａｓｓ％のうち１種または２種以上を含有することが好ましい。
前記アルミニウム合金には、長径３μｍ以上の球状の共晶組織が１０個〜３０００個／ｍｍ２存在することが好ましい。
前記流路の内壁面には継ぎ目がないことが好ましい。
【００１４】
本発明の第２の観点にかかる熱交換器の製造方法は、
Ｍｇが０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｃｕが１．５〜１４．０ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金板をその板の厚さ方向に複数枚積層する積層工程と、
積層されたアルミニウム合金板を、加圧せず、フラックスを塗布しないで、加熱して接合する接合工程と、を備え、
前記積層工程では、その表面に微細な溝が形成された前記アルミニウム合金板を少なくとも１枚配置し、
前記接合工程では、接合温度をアルミニウム合金板の全質量に対するアルミニウム合金板内に生成する液相の質量の比が５％を超え３５％以下となる温度とし、前記アルミニウム合金板の寸法変化が５％以下である、ことを特徴とする。
【００１５】
前記アルミニウム合金に、さらにＭｎを０．０２〜２．０ｍａｓｓ％、Ｃｒを０．０２〜０．２ｍａｓｓ％、Ｎｉを０．０２〜２．３ｍａｓｓ％、Ｔｉを０．０２〜０．３ｍａｓｓ％、Ｚｒを０．０２〜０．５ｍａｓｓ％のうち１種または２種以上を含有する合金を用いることが好ましい。
前記接合工程では、例えば、長径３μｍ以上の球状の共晶組織が断面で１０個〜３０００個／ｍｍ２存在するように接合する。
前記接合工程では、例えば、前記アルミニウム合金板が固相線温度以上となる時間を２０分以内とする。
前記接合工程では、例えば、前記アルミニウム合金が液相率５％以上の温度域にある時間を１０秒以上とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、容易に製造できるとともに、高い熱交換性能を有する微細な流路が形成された熱交換器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の熱交換器の構成を示す図である。
【図２】Ａｌ−Ｓｉ合金の２元系状態を示す図である。
【図３】図２の液相の生成過程を説明する図である。
【図４】Ａｌ−Ｃｕ合金の２元系状態を示す図である。
【図５】図４の液相の生成過程を説明する図である。
【図６】図４の液相の生成過程を説明する図である。
【図７】ろう付け後の球状共晶組織を示す図である。
【図８】試験片及び試験片の接合率、寸法変化率を説明するための図である。
【図９】本発明の熱交換器が組み込まれた熱交換装置を示す図である。
【図１０】本発明の熱交換器が組み込まれた熱交換装置の内部流路を示す図である。
【図１１】本発明の熱交換器を作製するための構成図である。
【図１２】本発明および比較例の熱交換装置による、冷却水流量と熱交換量との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の熱交換器、及び、その製造方法について説明する。図１は、本発明の熱交換器の構成を示す図である。
【００１９】
図１に示すように、本発明の熱交換器１は、アルミニウム合金板２が、その板の厚さ方向に複数枚積層されて製造される。この積層された複数のアルミニウム合金板２は、後述する熱処理によって接合されている。
【００２０】
アルミニウム合金板２は、Ｍｇを０．３〜２．０ｍａｓｓ％（質量％）と、Ｓｉを１．５〜３．５ｍａｓｓ％、または、Ｃｕを１．５〜１４．０ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなるアルミニウム合金である。
【００２１】
また、図１に示すように、複数のアルミニウム合金板２の少なくとも１枚には、その表面に微細な溝３が形成されている。このアルミニウム合金板２の溝形成面と、隣り合うアルミニウム合金板２の平面（表面）とが接合されることによって、熱交換器１の内部に流路４が形成される。この流路４に加熱流体または冷却流体が供給することにより、熱交換器１が熱交換器として機能する。
【００２２】
アルミニウム合金板２の表面に形成される溝３（流路４）は、その断面積が１ｍｍ2以下である。断面積が１ｍｍ2より大きいと、溝３により形成された流路４が大きくなり、均等に加熱・冷却することが困難になるためである。ただし、断面積が０．０１ｍｍ2より小さいと、切削等による加工が困難となる虞があるため、断面積は０．０１ｍｍ2〜１ｍｍ2が好ましい。
また、流路４の流路間隔は０．１ｍｍ以上である。流路間隔とは、流路内壁面と、その流路４にもっとも近い流路４の内壁面との最短距離である。流路間隔が０．１ｍｍ未満の場合は隣接する流路４と短絡して流路４が正常に形成されず、規定の断面積と異なる虞がある。
さらに、流路４の外壁からの間隔は０．１ｍｍ以上である。外壁からの間隔とは、外壁と最外側の流路４の内壁との最短距離である。外壁からの間隔が０．１ｍｍ未満の場合は、外縁部の流路４の接合が十分に行われない虞があり、流路４から流体が漏れる場合がある。
【００２３】
ここで、アルミニウム合金板２の接合について説明する。微細な溝３が形成されたアルミニウム合金板２を複数枚積層し、例えば、真空中で６００℃程度の温度で熱処理を行うと、アルミニウム合金板２の内部の一部から液相が生成し、それが材料表面に染み出してきて接合をなす。この際、アルミニウム合金板２中のＭｇ元素のゲッター作用により材料表面の酸化被膜が破壊、還元され、液相が相手材と濡れることが可能となり、接合が可能となる。
【００２４】
液相の生成メカニズムについて説明する。図２にＡｌ−Ｓｉ合金の２元系状態図を模式的に示す。Ｓｉ濃度がｃ１である一方のアルミニウム合金材と他方の被接合部材を組合せて加熱すると、共晶温度（固相線温度）Ｔｅを超えた付近の温度Ｔ１で液相の生成が始まる。共晶温度Ｔｅ以下では、図３（ａ）に示すように、結晶粒界で区分されるマトリクス中に晶析出物が分布している。ここで液相の生成が始まると、図３（ｂ）に示すように、晶析出物分布の偏析の多い結晶粒界が溶融して液相となる。次いで、図３（ｃ）に示すように、アルミニウム合金のマトリクス中に分散する主添加元素成分であるＳｉの晶析出物粒子の周辺が球状に溶融して液相となる。更に、図３（ｄ）に示すように、マトリクス中に生成したこの球状の液相は、界面エネルギーにより小さなものからマトリクスに再固溶し、固相内拡散によって結晶粒界や表面に移動する。従って、時間の経過や温度上昇と共に球状液相の数は少なくなっていき、また残った球状液相のサイズは大きいものとなる。次いで、図２に示すように、温度がＴ２に上昇すると、状態図より液相量は増加する。このようにＳｉはＡｌ−Ｓｉの液相を生成し、接合に機能する。
【００２５】
アルミニウム合金板２中のＳｉの含有量が１．５ｍａｓｓ％未満の場合、充分な液相の染み出しが無く、接合が不完全となる場合がある。一方、Ｓｉの含有量が３．５ｍａｓｓ％を越えると、アルミニウム合金板２中のＳｉ粒子が多くなり、液相の生成量が多くなるため、加熱中の材料強度が極端に低下し、構造体の形状維持が困難となる。したがって、本発明におけるアルミニウム合金板２中のＳｉの含有量は１．５〜３．５ｍａｓｓ％となる。さらにＳｉの含有量を２．０〜２．５ｍａｓｓ％とするとより好ましい。なお、染み出す液相の量は板厚が厚く、加熱温度が高いほど多くなるが、加熱時に必要とする液相の量は構造体の形状に依存するので、必要に応じてＳｉの含有量や接合条件（温度、時間等）を調整することが望ましい。
【００２６】
また、アルミニウム合金板２にＣｕが含有している場合にもＳｉが含有している場合とほぼ同等の、液相の染み出しによる接合の効果を得ることができる。
図４にＡｌ−Ｃｕ合金の２元系状態図を模式的に示す。Ｃｕ濃度がｃ２である一方のアルミニウム合金材と他方の被接合部材を組合せて加熱すると、共晶温度（固相線温度）Ｔｅを超えた付近の温度Ｔ３で液相の生成が始まる。共晶温度Ｔｅ以下では、図５（ａ）に示すように、結晶粒界で区分されるマトリクス中に晶析出物が分布している。ここで液相の生成が始まると、図５（ｂ）に示すように、晶析出物分布の偏析の多い結晶粒界が溶融して液相となる。次いで、図５（ｃ）に示すように、アルミニウム合金のマトリクス中に分散するＡｌ−Ｃｕ化合物の周辺が球状に溶融して液相となる。更に図５（ｄ）に示すように、マトリクス中に生成したこの球状の液相は、界面エネルギーにより小さなものからマトリクスに再固溶し、固相内拡散によって結晶粒界や表面に移動する。従って、時間の経過や温度上昇と共に球状液相の数は少なくなっていき、また残った球状液相のサイズは大きいものとなる。次いで、図４に示すように温度がＴ４に上昇すると、状態図より液相量は増加する。図４に示すように、アルミニウム合金材のＣｕ濃度が最大固溶限濃度より小さいｃ３の場合には、固相線温度Ｔｓ３を超えた付近で液相の生成が始まる。ただし、ｃ２の場合と異なり、溶融直前の組織は図６（ａ）に示すように、マトリクス中に小析出物粒子が存在しない場合がある。この場合、図６（ｂ）に示すように粒界でまず溶融が溶融し液相となった後、図６（ｃ）に示すようにマトリクス中の局所的に溶質元素濃度が高い場所より液相が発生する。マトリクス中に生成したこの球状の液相は、図６（ｄ）に示すようにｃ２の場合と同様に、界面エネルギーにより時間の経過や温度上昇と共にマトリクスに再固溶し、固相内拡散によって結晶粒界や表面に移動する。温度がＴ３に上昇すると、状態図より液相量は増加する。また、液相の生成が進むにつれて固相拡散による液相の移動が進展する為、マトリクス中の球状の液相の個数は減少する。
このようにＣｕはＡｌ−Ｃｕの液相を生成し、接合に機能する。
【００２７】
アルミニウム合金板２中のＣｕの含有量が１．５ｍａｓｓ％未満の場合は、充分な液相の染み出しが無く、接合が不完全となる場合がある。一方、Ｃｕの含有量が１４ｍａｓｓ％を越えると、アルミニウム合金板２中のＣｕ粒子が多くなり、液相の生成量が多くなるため、加熱中の材料強度が極端に低下し、構造体の形状維持が困難となる。したがって、本発明におけるアルミニウム合金板２中のＣｕの含有量は１．５〜１４ｍａｓｓ％となる。なお、染み出す液相の量は板厚が厚く、加熱温度が高いほど多くなるが、加熱時に必要とする液相の量は構造体の形状に依存するので、必要に応じてＣｕの含有量や接合条件（温度、時間等）を調整することが望ましい。
【００２８】
アルミニウム合金板２中のＭｇは、前述のように、ゲッター作用により酸化皮膜を破壊、還元することで、表面に染み出した液相が他方の被接合部材に濡れて接合をなすために必要である。アルミニウム合金板２中のＭｇの含有量が０．３ｍａｓｓ％未満であると酸化皮膜が十分に破壊されず、接合が不完全となる場合がある。一方、アルミニウム合金板２中のＭｇの含有量が２．０ｍａｓｓ％を超えると接合加熱の過程で表層にＭｇＯが多く形成され接合が困難になる。従って、本発明におけるアルミニウム合金板２中のＭｇの含有量は０．３〜２．０ｍａｓｓ％となる。さらに、Ｍｇの含有量を０．５〜１．６ｍａｓｓ％とするとより好ましい。
また、接合には大きく寄与しないが、熱交換器の性能向上のため、アルミニウム合金板２に、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｚｒの元素を１種または２種以上添加することが好ましい。
Ｍｎはアルミマトリックス中にＡｌ−Ｃｕ−Ｍｎ系の化合物を形成し、接合後の結晶粒を微細化する効果がある。このように、結晶粒が微細化することにより、接合後のアルミニウム合金板の強度を向上させる。また、前述の化合物の形成により、時効熱処理時に強度に寄与する析出物が主に化合物上に析出し、強度を高めることができる。Ｍｎは０．０２〜２．０ｍａｓｓ％添加することが好ましい。Ｍｎを２．０ｍａｓｓ％を超えて添加すると、化合物が多くなり、液相発生箇所が多くなるため、接合加熱中に形状変化が起こるためである。また、０．０２ｍａｓｓ％未満の添加では有意な効果が得られないためである。
Ｃｒはアルミマトリックス中にＣｕ−Ｃｒ−Ａｌ系の化合物を形成し、再結晶粒の成長を妨げ、接合後の結晶粒を微細化する効果がある。Ｃｒは０．０２ｍａｓｓ％〜０．２ｍａｓｓ％添加することが好ましい。Ｃｒを０．２ｍａｓｓ％を超えて添加してもその効果は変わらないためである。また、０．０２ｍａｓｓ％未満の添加では有意な効果が得られないためである。
Ｎｉはアルミマトリックス中にＡｌ３Ｎｉを形成し、時効熱処理時の強度を高める。また、Ｎｉを添加することで高温強度にも優れ、接合時に粒界に液相がしみ出している状態での変形を抑制する。Ｎｉは０．０２ｍａｓｓ％〜２．３ｍａｓｓ％添加することが好ましい。Ｎｉを２．３ｍａｓｓ％を超えて添加してもその効果は変わらないためである。また、０．０２ｍａｓｓ％未満の添加では有意な効果が得られないためである。
Ｔｉはアルミマトリックス中にＡｌ３Ｔｉを形成し、再結晶粒の成長を妨げ、結晶粒を微細化する効果がある。Ｔｉは０．０２ｍａｓｓ％〜０．３ｍａｓｓ％添加することが好ましい。Ｔｉを０．３ｍａｓｓ％を超えて添加すると鋳塊製造時に巨大な晶出物が形成されるためである。また、０．０２ｍａｓｓ％未満では有意な効果が得られないためである。
Ｚｒはアルミマトリックス中にＡｌ３Ｚｒを形成し、再結晶粒の成長を妨げ、結晶粒を微細化する効果がある。Ｚｒは０．０２ｍａｓｓ％〜０．５ｍａｓｓ％添加することが好ましい。Ｚｒを０．５ｍａｓｓ％を超えて添加すると鋳塊製造時に巨大な晶出物が形成されるためである。また、０．０２ｍａｓｓ％未満の添加では有意な効果が得られないためである。
【００２９】
なお、アルミニウム合金板２の材料の接合加熱中の強度は未溶融のマトリクスと液相に寄与しない金属間化合物とが担っている。
このため、本発明の熱交換器１は、接合の前後で流路寸法や形状の変化が殆どない。
【００３０】
また、このように構成された熱交換器１では、アルミニウム合金板２の接合面が同一組織となり、その流路４の内壁面に継ぎ目が生じない。このため、流路４の内壁面に凹凸形成されにくい。したがって、本発明の熱交換器１では、流路４内の加熱流体または冷却流体の流れを阻害するという問題は生じない。
【００３１】
次に、積層構造型熱交換器１の製造方法について説明する。本発明の熱交換器１の製造方法は、アルミニウム合金板２をその板の厚さ方向に複数枚積層する積層工程と、積層されたアルミニウム合金板２を加熱して接合する接合工程と、を備えている。
【００３２】
積層工程では、所定枚数のアルミニウム合金板２を用意する。アルミニウム合金板２は、前述のように、Ｍｇが０．３〜２．０ｍａｓｓ％と、Ｓｉが１．５〜３．５ｍａｓｓ％、または、Ｃｕが１．５〜１４ｍａｓｓ％とを含有し、残部Ａｌ及び不可避不純物からなる。アルミニウム合金板２は、例えば、一般的な製造方法である、ＤＣ鋳造、均質化処理、熱間加工を行うことにより製造される。また、アルミニウム合金板２は、ＤＣ鋳造ではなく双ロール連続鋳造圧延またはベルトキャスターにより鋳造してもよい。この場合、アルミニウム合金板２中にＳｉ粒子が微細で密に分布するため、液相が染み出しやすく良好な接合性が得られる。
【００３３】
また、アルミニウム合金板２の少なくとも１枚には、その表面に微細な溝３が形成されているものを用意する。このアルミニウム合金板２の表面に形成されている微細な溝３は、機械加工による切削の他、押出による熱間加工等、いずれの方法で形成しても良い。そして、用意したアルミニウム合金板２を、その板の厚さ方向に複数枚積層する。
【００３４】
接合工程では、積層されたアルミニウム合金板２を加熱して接合する。例えば、積層されたアルミニウム合金板２を加熱炉に入れて、０．６６５Ｐａ（５×１０−３Ｔｏｒｒ）以下の真空炉中で加熱処理を施す。加熱温度は、アルミニウム合金板２内部に液相が生成する固相線温度以上であり、かつ、アルミニウム合金板２内部に生成する液相量が多くなり、強度が低下して形状を維持できなくなる温度以下の温度で加熱する。
【００３５】
なお、面接合や閉塞空間の接合では、窒素やアルゴンなどの非酸化性ガス中、更には大気中でもＭｇのゲッター作用が働き接合できる。これは、閉塞空間の場合、酸素の外部からの流入がほとんど無いため、ごく周囲の雰囲気により酸化皮膜が成長してもＭｇのゲッター作用で十分破壊しうる厚さにしかならないためである。ただし、この場合、炉中ガスの露点を−３５℃以下に管理することが好ましい。
【００３６】
また、接合温度は、接合工程でのアルミニウム合金板２の最高温度であり、被接合部材であるアルミニウム合金板２の全質量に対するアルミニウム合金板２内に生成する液相の質量の比（以下、液相率という。）が、５％を超え３５％以下となる温度の範囲とする。液相率が３５％を超えると、生成する液相の量が多過ぎて、接合加熱時にアルミニウム合金板２が大きく変形してしまい形状を保てなくなるためである。一方、５％未満では液相の供給が少なく十分な接合がなされない。より好ましい液相率は１０〜３０％である。
【００３７】
加熱中における実際の液相率を測定することは、極めて困難である。そこで、本発明で規定する液相率は状態図を利用して組成と温度の平衡計算によって求めるものとする。具体的には、平衡状態図計算ソフト（Ｔｈｅｒｍｏ−Ｃａｌｃ；Ｔｈｅｒｍｏ−Ｃａｌｃ  Ｓｏｆｔｗａｒｅ  ＡＢ社製）によって合金組成と加熱時の最高到達温度から計算される。
【００３８】
この接合加熱中に、アルミニウム合金板２のマトリクス中に生成した球状の液相は、接合後、図７に示すような特徴的な球状共晶組織となる。液相の供給が進むにつれて球状の液相の数は減少するため、適切な接合加熱がなされたかどうかは、球状共晶組織を数えることで判別できる。良好な接合性と接合時の材料強度のバランスが取れた場合、接合後に長径３μｍ以上の球状共晶組織が、断面で１０〜３０００個／ｍｍ２であることを見出した。
【００３９】
この球状共晶組織の密度が１０個／ｍｍ２未満の場合、接合に寄与した液相が多すぎ、接合加熱中の強度維持が困難となる。一方、３０００個／ｍｍ２を超える場合、接合に寄与した液相が少なく、接合性が低下することになる。
【００４０】
このように、アルミニウム合金板２の溝形成面と、隣り合うアルミニウム合金板２の平面（表面）とが接合されることによって、熱交換器１の内部に流路４が形成される。
【００４１】
また、本発明の熱交換器１の製造方法では、被接合部材の内部に液相が生成するが、被接合部材の流動がほとんど起きない。例えば、ブレージング法では、ろう材が溶融し接合部に流動し、被接合材の隙間を充填することで接合を行う。その際に、多量に流動したろう材が微細な流路などは埋めてしまうこともある。また、接合部以外ではろう材の厚さに応じた板厚減少が起き、構造体の寸法変化が生じる。また、溶接では溶接部がビードなど溶接痕となり局所的な凹凸が生じる。
【００４２】
これに対し、本発明に係る接合方法では、わずかな液相が材料表面にしみ出し被接合部材間の隙間を埋め、接合部付近の形状変化や構造体全体の寸法や形状の変化はほとんどない。特に、液相率を５〜３０％として本発明に係る接合方法を実施すると、部材の接合前に対する接合後の寸法変化は５％以内となる。これは前述のメカニズムに従い、接合に寄与する液相が被接合部材であるアルミニウム合金板２内部に生成するものの、マトリクスや液相の生成に寄与しない金属間化合物により、加熱中に被接合部材の形状が維持されるためである。
【００４３】
例えば、ブレージングシート（ろう材クラッド率が片面５％）を用いてドロンカップタイプの積層型熱交換器を組み立てた場合、ろう付け加熱後には溶融したろう材が接合部に集中するため、積層した熱交換器の高さが５〜１０％減少する。従って、熱交換器１の製品設計においては、その減少分を考慮する必要がある。本発明の熱交換器１の製造方法においては、接合前後の寸法変化が５％以下であるため、高精度の製品設計が可能となる。
【００４４】
また、本発明熱交換器１の製造方法では、接合加熱の際、構造部材が固相線温度以上となる時間を２０分以内とすることが好ましい。アルミニウム合金は、高温、低応力下では結晶粒自体の塑性変形に優先して結晶粒界でずれる粒界すべりによって変形する。特に、本発明のような固液共存域においては、粒界が優先して溶融しており、結晶粒径が小さいと単位体積中の粒界が多くなり粒界すべりによる変形が発生しやすくなる。固相線温度以上となる時間が２０分を超えると、自重により粒界すべりが発生しやすくなり、大きな変形が発生するおそれがある。更に固相線温度以上となる時間を１５分以内とすることがより好ましい。
更に、本発明熱交換器１の製造方法では、接合加熱の際、接合を確実に行うために、アルミニウム合金板２が液相率５％以上の温度域に少なくとも１０秒以上あることが望ましい。液相率が５％以上になると液相のしみ出しが効果的に起こり始める。液相率５％以上の時間が１０秒より短いと、しみ出しが起こるのに十分な時間が得られない虞がある。例えば、Ａｌ−２．０ｍａｓｓ％Ｓｉは５８１℃で液相率５％となる。従って、Ａｌ−２．０Ｓｉの部材を本発明熱交換器１の製造方法で接合する場合、昇温して接合温度に至り冷却するまでの過程で、Ａｌ−２．０Ｓｉを用いた部材が５８１℃を超えている時間が少なくとも１０秒以上あることが望ましい。なお、接合を更に確実にする為に、構造部材が液相率５％以上となる温度域に少なくとも３０秒以上あることがより望ましい。
【実施例】
【００４５】
以下に実施例を示し、本発明をさらに詳しく説明する。なお、以下の実施例は、本発明の好適な一例を示すものであり、本発明を何ら限定するものではない。
【００４６】
（実施例１〜３３、及び、比較例１〜１１）
以下の実施例１〜３３、及び、比較例１〜１１では、本発明の効果を簡単に確認するため、表１に示す成分のアルミニウム合金から図８（ａ）に示す試験片を作成し、表１に示す接合条件で接合した場合について、接合率及び変形率から試験片の接合状態の確認を行った。
【００４７】
表１にアルミニウム合金板の成分及び接合条件として接合温度、雰囲気、フラックスの有無、接合温度での保持時間を示す。また、接合温度に対応する平衡液相率を合わせて示す。なお、平衡液相率は、Ｔｈｅｒｍｏ−Ｃａｌｃによって組成と接合温度より求めた。これら表１に示す成分の合金鋳塊を作製した後、熱間圧延及び冷間圧延により、厚さ１ｍｍの圧延板を得た。この板を切り出し、端面をフライスにより平滑にしたものを組み合わせて図８（ａ）に示す試験片を作成した。試験片の上下には図８（ａ）に示すような板厚１ｍｍのステンレス板を配し、その上からステンレス線によって試験片を縛って固定した。なお、比較例７、８ではアルミニウム合金の接合面にフッ化物系フラックスを塗布した。
接合のための加熱は、真空或いは窒素雰囲気の炉中で所定の温度まで昇温後、５分間保持した後、冷却した。なお、昇温速度は、５２０℃以上で１０℃／分とした。また、保持中の温度は接合温度±１℃以内となるよう制御した。実施例１３、１４、１５、１６においては保持時間を５分より長くした。なお、実施例１３〜１５では固相線温度８２８Ｋ（５５５℃）から６００℃まで４．５分、冷却含めて固相線温度以上は（保持時間＋６分）、実施例１６では固相線温度７９０Ｋ（５１７℃）から６００℃まで８．３分、冷却含めて固相線温度以上は（保持時間＋１１分）とし、それぞれ固相線温度以上の時間が１４分（８４０秒）、１９分（１１４０秒）、２４分（１４４０秒）、２９分（１７４０秒）となるようにした。また、表１に、アルミニウム合金板が固相線温度以上にあった時間及び液相率５％以上の温度にあった時間を記載した。
比較例９〜１１については、接合温度での保持中に所定の加圧を行った。
【００４８】
加熱終了後の試験片は、図８（ａ）の点線で示した面の断面観察を実施し、接合率、変形率、及び長径３μｍ以上の球状共晶組織の数を測定した。接合率は、図８（ｂ）に示す４箇所での接合部の長さの合計と、４箇所での接合されるべき長さ合計とを用いて、以下のように定義した。
接合率＝（４箇所での接合部長さ合計）／（４箇所での接合されるべき長さ合計）
【００４９】
また、変形率を図８（ｃ）に示す、ａ、ａ´１、ａ´２を用いて、以下のように定義した。
（変形率）＝｛（ａ´１＋ａ´２）／２ａ−１｝×１００％
ａ：試験片の天井部の接合前の幅
ａ´１：試験片の天井部の上側の接合加熱後長さ
ａ´２：試験片の天井部の下側の接合加熱後長さ
【００５０】
球状共晶組織の数の測定は、図８（ａ）の点線の断面においておこなった。２５０μｍ×１００μｍの視野を２０箇所測定し、測定された球状共晶組織の合計数の２倍を１ｍｍ２あたりの球状共晶組織の数とした。
【００５１】
測定結果より、接合率が９５％以上を○、９０％以上９５％未満を△、９０％未満を×と判定した。また、変形率が３％以内を◎、５％以内を○、１０％以内を△、１０％を超えるものを×と判定した。以上の結果より、各評価の判定に対して◎を５点、○を３点、△を０点、×を−５点と点数をつけ、合計点が８点以上を◎、６点以上７点以下を○、１点以上５点以下を△、０点以下を×と判定した。合わせて、球状共晶組織の１ｍｍ2あたりの個数を示した。結果を表１に示す。
【００５２】
【表１】
0005773628.tif 000002
【００５３】
表１に示すように、実施例１〜３３では、接合加熱時のアルミニウム合金中の成分、液相率、及び、接合条件が適正であったため、試験片が適正に接合がなされていることを確認した。特に、実施例２、５、６、１０、１３、２０、２１、２３、２４では接合率、変形率とも非常に良好であった。また、これらの実施例では長径３μｍ以上の球状共晶組織の個数が１ｍｍ2あたり１０〜３０００個の間にあった。
【００５４】
比較例１はＭｇの含有量が少なく、酸化皮膜が十分に破壊されなかったため、接合率が不十分であった。比較例２はＭｇの含有量が多く、接合が不十分であった。
比較例３は、Ｓｉの含有量が少なく、液相が十分に生成せず、接合が不十分であった。比較例５は、Ｃｕの含有量が少なく、液相が生成せず、接合が全くなされなかった。比較例４、６は、ＳｉまたはＣｕの含有量が多く、試験片に大きな変形が発生してしまった。
比較例７、８はフッ化物系フラックスとアルミニウム合金中のＭｇが反応し、フラックスの酸化皮膜破壊作用とＭｇのゲッター作用のいずれも十分に働かず、接合が不十分であった。
比較例９、１０は固相拡散接合法による接合である。この方法では、接合率が不十分であった。また、材料の変形も大きかった。
比較例１１は加圧を行いながら接合したものであるが、接合はなされたものの大きく変形してしまった。
【００５５】
（実施例３４〜３９、及び、比較例１２〜１９）
実施例３４〜３９では、実施例６、１０の成分及び接合条件で、切削によって溝を形成した２０×２０ｍｍの板を５枚積層して接合した。
実施例３４、３７、比較例１２、１３、１５〜１７では、０．１×０．１ｍｍの溝を０．１ｍｍの流路間隔で形成した。
実施例３５、３８では、０．３×０．３ｍｍの溝を０．３ｍｍの流路間隔で形成した。
実施例３６、３９では、切削によって１×１ｍｍの溝を１ｍｍの流路間隔で形成した。
比較例１４、１９では、０．１×０．１ｍｍの溝を０．０５ｍｍの流路間隔で形成した。
比較例１８では、０．１×０．１ｍｍの溝を０．１ｍｍの流路間隔で形成した。
また、比較例１２、１４、１５、１６ではアルミニウム合金の接合面にフッ化物系フラックスを塗布し、比較例１３、１４、１７〜１９では、接合温度での保持中に所定の加圧を行った。
それぞれの実施例及び比較例ごとに板を５枚ずつ積層し、表２に示す接合条件で接合した後、断面観察を実施し、流路の状態を観察した。評価は、前述と同様に接合率と変形率による評価とした。更に、外縁部の流路の断面を観察し、形状および接合状態を観察した。結果を表２に示す。
【００５６】
【表２】
0005773628.tif 000003
【００５７】
実施例３４〜３９では、接合加熱時のアルミニウム合金中の成分、液相率、溝の断面積、及び、接合条件が適正であったため、溝形成時と遜色無い形状で、流路が形成されていることを確認した。
比較例１２、１５、１６では、フッ化物系フラックスとアルミニウム合金中のＭｇが反応し、フラックスの酸化皮膜破壊作用とＭｇのゲッター作用のいずれも十分に働かず、流路欠陥が生じて接合されなかった。また、比較例１４、１７では流路間隔が狭すぎて、流路欠陥が生じて適切な接合がなされなかった。比較例１３、１７では、接合はなされたものの接合欠陥が生じてしまい、流路が形成されなかった。また、外縁部の流路形状は、比較例１４、１９では、外壁との間隔が０．１ｍｍ未満であったため流路形状が変形し、正常な流路形状が形成できなかった。
【００５８】
（実施例４０、４１、及び、比較例２０〜２３）
実施例４０、４１、及び、比較例２０〜２３では、表３の成分及び接合条件で図９に示す様な熱交換器を作製し、耐圧試験および熱性能試験を実施した。熱交換器の作製方法は、表３に示す成分で、厚さ０．５ｍｍで□５０×５０ｍｍの大きさの板に□５×３５ｍｍの穴を２箇所開け、その間に溝幅０．３ｍｍで、溝深さ０．３ｍｍの流路用の溝を、０.３ｍｍ間隔で切削により加工した。この板を、９０度方向に互い違いに２０枚積層させ、その上下には厚さ５ｍｍで□５０×５０ｍｍの平坦な板で挟み込み、表３に示す接合条件で接合した。その後、２０×５０ｍｍの四面に、Ｍ１０×Ｐ０．７５の内ねじを機械加工し、流路用配管にφ１０ｍｍで肉厚１ｍｍのＳＵＳ３０４管にＭ１０×Ｐ０．７５のねじを加工したものをねじ込んだ。耐圧試験の評価は以下の通りである。
【００５９】
【表３】
0005773628.tif 000004
【００６０】
＜耐圧試験＞
作製した熱交換器を利用し、微細な流路に熱交換用の流体を模した窒素ガスを流し、水中で５分間、ガス圧の漏れ有無の確認を行った。加圧した窒素ガス圧力は０．１ＭＰａ、１ＭＰａ、５ＭＰａ、１０ＭＰａの４条件である。これらの条件で、実施例４０、４１、比較例２０〜２３の熱交換器を３個ずつ作製し、それぞれのガス圧で漏れ無しを○、漏れ有りを×として評価した。全てのガス圧で漏れのない熱交換器を判定○として、漏れがあった熱交換器を×と判定した。
【００６１】
実施例４０、４１による熱交換器では、いずれのガス圧でも窒素ガスの漏れは生じなかった。
これに対し、比較例２０の拡散接合法による製造方法では、１ＭＰａ以上の高ガス圧力になると接合部分からガスの漏れが生じ、また、比較例２１の拡散接合による製造方法では、０．１ＭＰａの低圧力でもガス漏れが生じていた。
【００６２】
また、作製した熱交換器を使用し、一方の流路には、ポンプにより冷却水（入口温度条件：２０±１℃）を、他方の流路には加熱水（温度条件：６０±１℃）を流し、一方の流路における冷却水が加熱される温度を測定することで、熱交換量の測定を行った。図１２（ａ）は実施例４０の冷却水流量と熱交換量の関係を示すグラフであり、図１２（ｂ）は実施例４１の冷却水流量と熱交換量の関係を示すグラフである。図に示すように、加熱水の流量増加に伴って熱交換量が上昇する傾向があり、十分な熱交換量を備えていた。なお、実際使用する熱交換器は、実施例の伝熱面積より大きく設計されるので、熱交換器として優れた性能がある。
図１２（ｃ）は比較例２２の冷却水流量と熱交換量の関係を示すグラフであり、図１２（ｄ）は比較例２３の冷却水流量と熱交換量の関係を示すグラフである。図に示すように溝の断面積が４ｍｍ２と大きい場合、熱交換量が著しく低くなっていた。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、微細な流路構造を有する熱交換器、及び、その製造方法に好適である。
【符号の説明】
【００６４】
１  熱交換器
２  アルミニウム合金板
３  溝
４  流路
５  熱交換装置
６  冷却側流路用口金
７  加熱側流路用口金
８  冷却側流路
９  加熱側流路
１０  フタ
１１  流路用溝板
【図１】
0005773628.tif 000005
【図２】
0005773628.tif 000006
【図３】
0005773628.tif 000007
【図４】
0005773628.tif 000008
【図５】
0005773628.tif 000009
【図６】
0005773628.tif 000010
【図７】
0005773628.tif 000011
【図８】
0005773628.tif 000012
【図９】
0005773628.tif 000013
【図１０】
0005773628.tif 000014
【図１１】
0005773628.tif 000015
【図１２】
0005773628.tif 000016