(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有するケース内に投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体部と、
前記ケースの検出側端面と設置面との間に介在された透光性を有する基台と
を備え、
前記基台は、前記ケースに対して交換可能に取り付けられ、
前記基台には、前記ケースに取り付けられたときに前記ケースの前記検出側端面と密着する密着面と、該密着面の裏側部分に凹設された液体導入部とが設けられ、
前記投光素子から前記ケースの前記検出側端面に向けて出射された光を前記液体導入部を介して前記受光素子で受光し、その受光量に基づき前記液体導入部内における液体の有無を検出する漏液検出装置であって、
前記基台には、前記液体導入部から前記基台における前記ケース側の端面まで貫通するとともに前記密着面において開口する空気孔が形成され、
前記基台における前記ケース側の端面及び前記ケースの前記検出側端面の少なくとも一方には、前記投光素子から出射された光の光路を避けて前記空気孔から前記密着面の外縁部まで延びる溝部が形成されていることを特徴とする漏液検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の漏液検出装置において、
前記溝部は、前記基台における前記ケース側の端面に形成されていることを特徴とする漏液検出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の漏液検出装置において、
前記溝部は、前記基台の少なくとも前記液体導入部の裏側部分に形成され前記空気孔と連続する浅底部と、該浅底部と前記密着面の外縁部とを連通するように形成され前記浅底部よりも溝深さが深い深底部とを有することを特徴とする漏液検出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の漏液検出装置において、
前記液体導入部は、平面視で前記溝部に沿って延びる形状をなし、
前記空気孔の断面形状は、平面視で前記液体導入部に沿った長孔状に形成されていることを特徴とする漏液検出装置。
【請求項５】
透光性を有するケース内に投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体部と、
前記ケースの検出側端面と設置面との間に介在された透光性を有する基台と
を備え、
前記基台は、前記ケースに対して交換可能に取り付けられ、
前記基台には、前記ケースに取り付けられたときに前記ケースの前記検出側端面と密着する密着面と、該密着面の裏側部分に凹設された液体導入部とが設けられ、
前記投光素子から前記ケースの前記検出側端面に向けて出射された光を前記液体導入部を介して前記受光素子で受光し、その受光量に基づき前記液体導入部内における液体の有無を検出する漏液検出装置の前記基台において、
前記液体導入部から前記ケース側の端面まで貫通するとともに前記密着面において開口する空気孔が形成され、
前記ケース側の端面には、前記投光素子から出射された光の光路を避けて前記空気孔から前記密着面の外縁部まで延びる溝部が形成されていることを特徴とする漏液検出装置の基台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば生産ラインの製造装置やその製造装置に液体を供給する配管等からの漏液を検出する漏液検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の漏液検出装置は、例えば特許文献１に示されるように、製造装置等の下方の設置面に載置され、その設置面との間に浸入した液体を検出する。詳しくは、漏液検出装置は、投光素子及び受光素子が収容された透光性を有するケースを備え、そのケースの検出面（設置面側の端面）には、液体を導入するための液体導入部が凹設されている。そして、投光素子から出射された光はケースの液体導入部を介して受光素子で受光され、その受光量に基づいて液体導入部内の液体の有無が検出されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−５３５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のような漏液検出装置では、ケースの検出面側の形状等の設定は例えば被検出対象となる液体の種類に応じて変更される。そこで、ケース側の汎用性を向上させるために、ケースと設置面との間に透光性を有する基台を介在させ、液体導入部をケースでなく基台の設置面側の端面に形成した構成が考えられる。このような構成では、液体導入部を有する検出面側の構成を変更する場合に基台を変更するだけで済むため、ケース側の構成を変更することなく多種の液体検出に対応することができる。
【０００５】
また、このような漏液検出装置において、液体を液体導入部に浸入させやすくするために、液体導入部からケース側の端面まで貫通する空気孔を基台に形成する構成が考えられる。しかしながら、基台のケース側の端面とケースの検出側端面とは密着されるため、空気孔がケースの検出側端面によって閉塞されてしまい、液体導入部内の空気を空気孔に良好に逃がすことができないという問題が生じる虞がある。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、その目的は、液体導入部内に液体を浸入させやすくすることが可能な漏液検出装置及び漏液検出装置の基台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、透光性を有するケース内に投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体部と、前記ケースの検出側端面と設置面との間に介在された透光性を有する基台とを備え、前記基台は、前記ケースに対して交換可能に取り付けられ、前記基台には、前記ケースに取り付けられたときに前記ケースの前記検出側端面と密着する密着面と、該密着面の裏側部分に凹設された液体導入部とが設けられ、前記投光素子から前記ケースの前記検出側端面に向けて出射された光を前記液体導入部を介して前記受光素子で受光し、その受光量に基づき前記液体導入部内における液体の有無を検出する漏液検出装置であって、前記基台には、前記液体導入部から前記基台における前記ケース側の端面まで貫通するとともに前記密着面において開口する空気孔が形成され、前記基台における前記ケース側の端面及び前記ケースの前記検出側端面の少なくとも一方には、前記投光素子から出射された光の光路を避けて前記空気孔から前記密着面の外縁部まで延びる溝部が形成されていることを特徴とする。
【０００８】
この発明では、設置面と基台との間に入った液体が液体導入部に浸入する際、その液体導入部内の空気が空気孔から溝部を通ってケースに密着する基台の密着面の外側まで逃げるため、液体導入部内に液体を浸入させやすくすることが可能となる。
また、被検出対象の液体の種類に応じて、基台を例えば溝部の深さや空気孔の大きさが異なる他の基台に交換することが可能となるため、例えば液体の粘度が高く液体導入部に浸入させづらい場合に、その液体に適した基台を選択的に用いることが可能となる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の漏液検出装置において、前記溝部は、前記基台における前記ケース側の端面に形成されていることを特徴とする。
この発明では、投光素子や受光素子等の主要部品を内部に備えるために設計上の制約が多いケース側ではなく、基台側に溝部が形成されるため、溝部の設計自由度の向上に寄与できる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の漏液検出装置において、前記基台における前記ケース側の端面に形成された前記溝部は、前記基台の少なくとも前記液体導入部の裏側部分に形成され前記空気孔と連続する浅底部と、該浅底部と前記密着面の外縁部とを連通するように形成され前記浅底部よりも溝深さが深い深底部とを有することを特徴とする。
【００１１】
この発明では、溝部において液体導入部の裏側部分に形成され空気孔と繋がる部分を浅底部とするとともに、その浅底部から密着面の外縁部までの部分を深底部とすることで、浅底部によって液体導入部の深さを十分確保しつつも、浅底部と繋がる深底部によって液体導入部内の空気を密着面の外側まで好適に逃がすことが可能となる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の漏液検出装置において、前記液体導入部は、平面視で前記溝部に沿って延びる形状をなし、前記空気孔の断面形状は、平面視で前記液体導入部に沿った長孔状に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
この発明では、空気孔の断面形状が平面視で液体導入部に沿った長孔状に形成されているため、空気孔の断面形状（流路面積）を大きくすることが可能となり、液体導入部内の空気を溝部に逃がしやすくすることが可能となる。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、透光性を有するケース内に投光素子及び受光素子を備えたセンサ本体部と、前記ケースの検出側端面と設置面との間に介在された透光性を有する基台とを備え、前記基台は、前記ケースに対して交換可能に取り付けられ、前記基台には、前記ケースに取り付けられたときに前記ケースの前記検出側端面と密着する密着面と、該密着面の裏側部分に凹設された液体導入部とが設けられ、前記投光素子から前記ケースの前記検出側端面に向けて出射された光を前記液体導入部を介して前記受光素子で受光し、その受光量に基づき前記液体導入部内における液体の有無を検出する漏液検出装置の前記基台において、前記液体導入部から前記ケース側の端面まで貫通するとともに前記密着面において開口する空気孔が形成され、前記ケース側の端面には、前記投光素子から出射された光の光路を避けて前記空気孔から前記密着面の外縁部まで延びる溝部が形成されていることを特徴とする。
【００１６】
この発明では、設置面と基台との間に入った液体が液体導入部に浸入する際、その液体導入部内の空気が空気孔から溝部を通ってケースに密着する基台の密着面の外側まで逃げるため、液体導入部内に液体を浸入させやすくすることが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
従って、上記記載の発明によれば、液体導入部内に液体を浸入させやすくすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態の漏液検出センサの用途の一例を示す概略図。
【図２】漏液検出センサの斜視図。
【図３】漏液検出センサの分解斜視図。
【図４】センサ本体部の斜視図。
【図５】（ａ）基台をケース側端面から見た平面図、（ｂ）同図（ａ）の断面図。
【図６】センサ本体部及び基台の側面図。
【図７】漏液検出センサを検出面側から見た平面図。
【図８】投光素子からの光の進路を説明するための模式図。
【図９】基台の空気孔部分を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、漏液検出センサ１は、工場内の製造装置Ｄの下方の設置面Ｐにボルト（図示略）にて取り付けられ、製造装置Ｄからの漏液を検出するためのものである。漏液検出センサ１は、図２、図３に示すように、センサ本体部１１と、設置面Ｐとセンサ本体部１１との間に介在される基台１２と、センサ本体部１１を設置面Ｐに対して固定するとともに基台１２を保持する保持部材１３とを有している。
【００２０】
センサ本体部１１は、略有底円筒状のケース１４と、ケース１４の上部を水密に閉塞するカバー１５と、ケース１４から導出されたケーブル１６とを有する。ケース１４は、円筒形の外周部２１と、外周部２１の一端を塞ぐ底部２２とを有する。外周部２１の開口１４ａ（底部２２とは反対側の端部）は、略円盤状のカバー１５（図８参照）にて閉塞されている。尚、ケース１４、カバー１５及び前記基台１２は、透光性、耐熱性及び耐薬品性を有するＰＦＡ（パーフルオロアルコキシアルカン）等のフッ素樹脂からなる。また、カバー１５とケース１４の開口１４ａとはレーザ溶着されている。
【００２１】
ケース１４の外周部２１の前後方向Ｘの後端部には、略矩形状に突出する基部２４が形成されている。基部２４には、略円筒状のケーブル導出部２３が突出形成されており、このケーブル導出部２３からはケーブル１６がケース１４の外部に導出されている。
【００２２】
保持部材１３には、固定用の前記ボルトが挿通されるボルト挿通孔３１ａを有する固定部３１が形成されている。固定部３１には、センサ本体部１１のケーブル導出部２３を収容する収容部３２が立設され、その収容部３２からはケース１４の基部２４を保持する一対の保持片３３が延出形成されている。
【００２３】
ケース１４の底部２２と設置面Ｐとの間に介在される基台１２は略円盤状をなし、高さ方向Ｚから見てセンサ本体部１１のケース１４と略同形をなしている。また、基台１２は、ケース１４と同様に透光性、耐熱性及び耐薬品性を有するＰＦＡ等のフッ素樹脂からなる。基台１２の後部（前後方向Ｘの端部）には、幅方向Ｙの両側にそれぞれ突出する一対の凸部１２ａが形成されている。一方、保持部材１３において凸部１２ａと対応する位置には、固定部３１から前方に延びる一対の係止部３１ｂが形成され、この係止部３１ｂは基台１２の凸部１２ａにそれぞれ係止されている。これにより、基台１２が保持部材１３から前方へ外れてしまうことが防止されるようになっている。
【００２４】
また、基台１２には、その外縁から上方に突出する係止凸部１２ｂが形成され、この係止凸部１２ｂがケース１４の外周部２１の下端に形成された係止凹部２１ａに周方向に係止されることにより、ケース１４に対する基台１２の周方向の回り止めがされるようになっている。
【００２５】
このような基台１２において、設置面Ｐ側の端面が検出面１２ｃとなっており、その検出面１２ｃとは反対側の端面（ケース側端面１２ｄ）には、図３及び図５に示すように、ケース１４の底部２２（検出側端面）と密着する密着面４１が形成されている。密着面４１は、基台１２の中央部から前縁部にかけて形成されている。また、基台１２のケース側端面１２ｄにおいて密着面４１の周りには複数の凹部４２が形成されている。
【００２６】
一方、図７に示すように、基台１２の検出面１２ｃの中央部には、円形凹部４３が形成されるとともに、その円形凹部４３の周りには平面上の環状面４４が形成されている。また、環状面４４の後端側（後述の第２検出部とは反対側）には、円形凹部４３に向かって突出するガイド部４４ａが形成されている。
【００２７】
このような漏液検出センサ１は、図７に示すように、設置面Ｐと基台１２との間の液体を検出するための第１検出部Ｓ１及び第２検出部Ｓ２を有している。第１及び第２検出部Ｓ１，Ｓ２は、基台１２の密着面４１の内側の範囲に設けられている。詳述すると、第１及び第２検出部Ｓ１，Ｓ２は、前後方向Ｘに並設されており、第１検出部Ｓ１は漏液検出センサ１の中央位置に形成され、第２検出部Ｓ２は漏液検出センサ１の前縁寄りの位置に形成されている。
【００２８】
第１検出部Ｓ１は、図７に示すように、基台１２の円形凹部４３内に形成された一対の基台側隆起部４５を有している。この一対の基台側隆起部４５は、基台１２に幅方向Ｙに並設されている。また、各基台側隆起部４５は設置面Ｐ側（反ケース側）に突出しており、そのケース１４側部分は凹部となっている（図３参照）。各基台側隆起部４５において幅方向Ｙに互いに対向する対向面４５ａは、基台側隆起部４５の下端部（設置面Ｐ側端部）に向かうにつれて離間するように形成されている。この各対向面４５ａと各対向面４５ａの上端を繋ぐ天井面４５ｂとによって形成される空間が液体導入部Ｇ１となっている。この液体導入部Ｇ１は、基台１２の前後方向Ｘに延びた形状をなしている。
【００２９】
また、第１検出部Ｓ１は、図４に示すように、ケース１４の底部２２において幅方向Ｙに並設された一対のケース側隆起部４６を有している。各ケース側隆起部４６は、基台１２側に突出しており、その内側部分は凹部となっている。この一対のケース側隆起部４６は一対の基台側隆起部４５のケース１４側の凹部分にそれぞれ嵌り込んで密着されている（図８参照）。
【００３０】
また、第１検出部Ｓ１は、ケース１４の内部に配置された投光素子４７及び受光素子４８を有している。投光素子４７及び受光素子４８は、ケース１４内に収容された回路基板（図示略）に設けられ、一対のケース側隆起部４６の上方にそれぞれ配置されている。
【００３１】
第２検出部Ｓ２は、前記第１検出部Ｓ１と略同様に、各基台側隆起部５１、各ケース側隆起部５２、投光素子５３及び受光素子５４を有し、各基台側隆起部５１の対向面５１ａ間には液体導入部Ｇ２が構成されている。それに加え、第２検出部Ｓ２には、基台１２の液体導入部Ｇ２を前後方向Ｘに挟む位置に設けられた一対の案内凸部５５が形成されている。各案内凸部５５は、設置面Ｐ側（反ケース側）に突出しており、そのケース１４側部分は凹部となっている。また、液体導入部Ｇ２の天井面５１ｂには、空気抜きのための空気孔５１ｃが形成されている。
【００３２】
また、基台１２の環状面４４には、３つの円柱状の脚部４４ｂが突出形成されている（図６参照）。各脚部４４ｂは設置面Ｐと当接しており、脚部４４ｂの長さによって設置面Ｐから環状面４４までの間隔が決定され、その脚部４４ｂの長さは被検出対象となる液体に応じて設定される。即ち、被検出対象となる液体に応じて設置面Ｐから環状面４４までの間隔を変更する場合、脚部４４ｂの長さが異なるタイプの基台１２に変更するだけで済むため、センサ本体部１１の汎用性が向上されるようになっている。
【００３３】
上記漏液検出センサ１の第１及び第２検出部Ｓ１，Ｓ２の検出態様は略同様であるため、第１検出部Ｓ１を例にとり図８に従って説明する。
第１検出部Ｓ１の投光素子４７から出射された光は、一方（図８において左側）のケース側隆起部４６及び基台側隆起部４５の対向面４５ａを通過する。このとき、第１検出部Ｓ１の液体導入部Ｇ１に液体が浸入しておらず、対向面４５ａに液体が接触していなければ、投光素子４７からの光は左側の対向面４５ａで屈折し、もう一方（右側）の対向面４５ａ（基台側隆起部４５）及びケース側隆起部４６を通過して受光素子４８にて受光される。
【００３４】
一方、液体導入部Ｇ１内に浸入した液体が各対向面４５ａと接触する状態では、左側の対向面４５ａでの屈折率が変化するため、受光素子４８での受光量は、液体導入部Ｇ１内に液体が浸入していない状態から変化する。即ち、受光素子４８での受光量は、基台側隆起部４５間の液体の有無に応じて変化し、受光素子４８はその受光量に応じた受光信号を図示しない制御部に出力する。
【００３５】
また、このような漏液検出センサ１では、製造装置Ｄからの漏液が設置面Ｐに付着し、基台１２と設置面Ｐとの隙間に漏液が流入すると、まず、基台１２の下面（検出面１２ｃ）において円形凹部４３周りの環状面４４と設置面Ｐとの隙間に漏液が流入し、次に、円形凹部４３と設置面Ｐの隙間に漏液が流入するようになっている。
【００３６】
詳述すると、基台１２の環状面４４と設置面Ｐの隙間に流入した漏液は、まず、毛細管現象の推進力及び新たに漏液が供給されることによる流入方向への圧力によって、環状面４４と設置面Ｐの隙間に広がっていく。ここで、円形凹部４３と設置面Ｐとの隙間は、環状面４４と設置面Ｐとの隙間よりも大きいため、基台１２と設置面Ｐとの間に浸入した漏液が円形凹部４３に浸入しにくくなっており、その漏液は主に円形凹部４３以外の環状面４４の部分に広がっていく。そして、漏液が環状面４４の全体に広がった状態で、基台１２と設置面Ｐとの間に漏液が更に浸入すると、前記ガイド部４４ａから円形凹部４３内に漏液が流入するようになっている。
【００３７】
つまり、製造装置Ｄからの漏液が一定量以下の場合、その漏液は環状面４４と設置面Ｐの隙間まで流入する。一方、製造装置Ｄからの漏液が一定量を超える場合、その漏液は、環状面４４と設置面Ｐの隙間から円形凹部４３内にまで流入するようになっている。そして、この基台１２において、環状面４４に流入する漏液を検出する部分に第２検出部Ｓ２を設けているとともに、円形凹部４３に流入する漏液を検出する部分に第１検出部Ｓ１を設けることで、第１及び第２検出部Ｓ１，Ｓ２の液体検出にタイムラグを生じさせることが可能となる。これにより、漏液検出センサ１の液体検出のバリエーションを増やすことが可能となっている。
【００３８】
このような漏液検出センサ１において、図３及び図５に示すように、第１検出部Ｓ１の基台側隆起部４５間には、液体導入部Ｇ１から基台１２のケース側端面１２ｄ（検出面１２ｃとは反対側の端面）まで高さ方向Ｚに貫通された空気孔６１が形成されている。平面視において空気孔６１の断面形状は円形状に形成されている。また、基台１２のケース側端面１２ｄには、空気孔６１から密着面４１の外縁部４１ａまで延びる溝部６２が形成されている。この溝部６２は、投光素子４７から出射された光の光路を避けて基台１２の後端側（第２検出部Ｓ２とは反対側）に延びている。
【００３９】
溝部６２は、基台１２の空気孔６１から反第２検出部側に液体導入部Ｇ１の裏側部分を通って密着面４１の略外縁まで前後方向Ｘに沿って延びる浅底部６３と、その浅底部６３と密着面４１の外縁部４１ａとを連通するように形成された深底部６４とを有する。深底部６４は、浅底部６３の幅方向Ｙ両側にそれぞれ形成され、深底部６４の溝深さＴ２は、浅底部６３の溝深さＴ１よりも深く設定されている。また、各深底部６４は、基台側隆起部４５から密着面４１周りの凹部４２まで前後方向Ｘに沿って延びている。尚、浅底部６３及び深底部６４の溝深さＴ１，Ｔ２はそれぞれ、浅底部６３及び深底部６４の底面から基台１２の密着面４１までの高さ方向Ｚの寸法である。この浅底部６３と深底部６４とからなる溝部６２によって、空気孔６１と連続する間隙が基台１２とケース１４との間に形成されるようになっている。尚、図９に示すように、基台１２のケース側端面１２ｄにおいて空気孔６１の第２検出部Ｓ２側の箇所は、ケース１４の底部２２と密着する密着面４１となっている。また、その密着面４１は、空気孔６１部分において傾斜部６５を経て移行するように形成されている。
【００４０】
次に、上記実施形態の作用について説明する。
第１検出部Ｓ１において、液体が液体導入部Ｇ１に浸入する際、液体導入部Ｇ１内の空気は液体の流入圧力によって空気孔６１を介して溝部６２の浅底部６３から深底部６４へと流れる。その後、その空気は、深底部６４から凹部４２へと流れ、最終的にケース１４と基台１２の外周部との隙間からセンサ本体部１１の側面側（高さ方向Ｚと直交する方向）に流れる。このように液体導入部Ｇ１内の空気が外部に逃げるため、液体の流入圧力が小さくとも液体導入部Ｇ１に浸入しやすくなっている。
【００４１】
また、溝部６２において液体導入部Ｇ１の裏面側に位置する箇所が浅底部６３とされ、その浅底部６３から密着面４１の外縁部４１ａまでの部分が深底部６４とされている。このため、浅底部６３によって液体導入部Ｇ１の深さ（高さ方向Ｚの寸法）を十分確保することが可能となり、安定した液体検出が可能となっている。また、液体導入部Ｇ１内の空気は、浅底部６３よりも深い深底部６４によって密着面４１の外側までスムーズに流れるようになっている。
【００４２】
また、本実施形態では、溝部６２の浅底部６３及び深底部６４の溝深さＴ１，Ｔ２や空気孔６１の流路面積（断面面積であって平面視での空気孔６１の面積）が異なる基台１２が複数用意されており、それらの基台１２を被検出対象の液体に応じてセンサ本体部１１に対して交換することが可能となっている。このため、例えば液体の粘度が高く液体導入部Ｇ１に浸入させづらい場合に、その液体に適した基台１２を選択的に用いることが可能となっている。
【００４３】
尚、本実施形態では、第２検出部Ｓ２の液体導入部Ｇ２にも空気孔５１ｃが形成されているが、該空気孔５１ｃ部分には、第１検出部Ｓ１の空気孔６１部分に設けたような溝部を設けていない。これは、第２検出部Ｓ２が基台１２の前縁部分に設けられるために、その液体導入部Ｇ２に液体が浸入する際には十分な流入圧力が得られ、該液体導入部Ｇ２内の空気が空気孔５１ｃから案内凸部５５の裏側（ケース１４側）の凹部を通じて外部に流れやすくなっているためである。一方、第１検出部Ｓ１は、基台１２の中央部に設けられるために、液体導入部Ｇ１への液体の流入圧力が小さくなりがちである。このため、溝部６２を第１検出部Ｓ１の液体導入部Ｇ１に設けることによって、該溝部６２の空気の逃がし効果をより顕著に得ることが可能となっている。
【００４４】
次に、本実施形態の特徴的な効果を記載する。
（１）本実施形態では、基台１２には、液体導入部Ｇ１からケース側端面１２ｄまで貫通された空気孔６１が形成され、基台１２のケース側端面１２ｄには、空気孔６１から密着面４１の外縁部４１ａまで延びる溝部６２が形成されている。これにより、設置面Ｐと基台１２との間に入った液体が液体導入部Ｇ１に浸入する際、その液体導入部Ｇ１内の空気が空気孔６１から溝部６２を通ってケース１４に密着する基台１２の密着面４１の外側まで逃げるため、液体導入部Ｇ１内に液体を浸入させやすくすることが可能となる。
【００４５】
また、溝部６２は、投光素子４７や受光素子４８等の主要部品を内部に備えるために設計上の制約が多いケース１４側ではなく基台１２側に形成されるため、溝部６２の設計自由度の向上に寄与できる。
【００４６】
（２）本実施形態では、基台１２のケース側端面１２ｄに形成された溝部６２は、基台１２の少なくとも液体導入部Ｇ１の裏側部分に形成され空気孔６１と連続する浅底部６３と、該浅底部６３と密着面４１の外縁部４１ａとを連通するように形成され浅底部６３よりも溝深さが深い深底部６４とを有する。即ち、溝部６２において液体導入部Ｇ１の裏側部分に形成され空気孔６１と繋がる部分を浅底部６３とするとともに、その浅底部６３から密着面４１の外縁部４１ａまでの部分を深底部６４とすることで、浅底部６３によって液体導入部Ｇ１の深さを十分確保しつつも、浅底部６３と繋がる深底部６４によって液体導入部Ｇ１内の空気を密着面４１の外側まで好適に逃がすことが可能となる。
【００４７】
（３）本実施形態では、基台１２がセンサ本体部１１に対して交換可能に構成されている。これにより、被検出対象の液体に応じて基台１２を例えば溝部６２の浅底部６３及び深底部６４の溝深さＴ１，Ｔ２や空気孔６１の流路面積（断面面積であって平面視での空気孔６１の面積）が異なるものに交換することが可能となる。このため、例えば液体の粘度が高く液体導入部Ｇ１に浸入させづらい場合に、その液体に適した基台１２を選択的に用いることが可能となる。
【００４８】
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、平面視において空気孔６１の断面形状が円形状に形成されたが、これ以外に例えば、前後方向Ｘ（即ち、液体導入部Ｇ１の形状）に沿って延びる長孔状（楕円状や矩形状）に形成してもよい。この構成によれば、空気孔６１の断面形状が平面視で液体導入部Ｇ１に沿った長孔状をなすため、空気孔６１の断面形状（流路面積）を大きくすることが可能となり、液体導入部Ｇ１内の空気を溝部６２に逃がしやすくすることが可能となる。尚、空気孔６１の前後方向Ｘの寸法は、液体導入部Ｇ１の前後方向Ｘの寸法の半分以上とするのが望ましい。
【００４９】
・上記実施形態では、溝部６２の浅底部６３は、空気孔６１から密着面４１の外縁まで延びる構成としたが、これ以外に例えば、浅底部６３が空気孔６１から基台側隆起部４５の後端部（反第２検出部側端部）まで延びる構成としてもよい。
【００５０】
・上記実施形態では、溝部６２は浅底部６３と深底部６４を備える構成としたが、これ以外に例えば、溝部６２の溝深さを一定としてもよい。
・上記実施形態では、溝部６２を基台１２側に形成したが、これ以外に例えば、ケース１４の底部２２に形成してもよい。
【００５１】
・上記実施形態では、第１検出部Ｓ１及び第２検出部Ｓ２を備えたが、これ以外に例えば、第２検出部Ｓ２を省いた構成としてもよく、また、３つ以上の検出部を備えてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…漏液検出センサ（漏液検出装置）、１１…センサ本体部、１２…基台、１４…ケース、２２…ケースの底部（検出側端面）、４１…密着面、４１ａ…外縁部、４７，５３…投光素子、４８，５４…受光素子、５１ｃ，６１…空気孔、６２…溝部、６３…浅底部、６４…深底部、Ｐ…設置面、Ｇ１，Ｇ２…液体導入部、Ｔ１…浅底部の溝深さ，Ｔ２…深底部の溝深さ。
【図１】
0005745325.tif 000002
【図２】
0005745325.tif 000003
【図３】
0005745325.tif 000004
【図４】
0005745325.tif 000005
【図５】
0005745325.tif 000006
【図６】
0005745325.tif 000007
【図７】
0005745325.tif 000008
【図８】
0005745325.tif 000009
【図９】
0005745325.tif 000010