(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路を製造する方法であって、
第１の側、および第２の対向する側を有する基板を用意すること、
前記基板の前記第１の側に浅いトレンチ分離開口を形成すること、
前記基板の前記第１の側に部分的基板貫通ビア開口を形成すること、
前記部分的基板貫通ビア開口を延長することであって、前記延長された部分的基板貫通ビア開口は、前記浅いトレンチ分離開口より前記基板内への深さが深い、前記部分的基板貫通ビア開口を延長すること、および、
前記浅いトレンチ分離開口と前記延長された部分的基板貫通ビア開口とを同じ絶縁層で同時に充填することとを含み、前記同じ絶縁層は、浅いトレンチ分離構造を画定する前記開口の側壁上と基板貫通ビアを画定する前記開口の側壁上にパッシベーション層と拡散バリア層とを含み、
前記浅いトレンチ分離開口と前記延長された部分的基板貫通ビア開口とを前記拡散バリア層と接触する誘電体材料の絶縁プラグで同時に充填し、前記延長された部分的基板貫通ビア開口の深さの全体と前記浅いトレンチ分離開口の深さの全体とを充填することと、
第２の側の基板貫通ビア開口が前記基板の前記第２の対向する側から前記第１の側まで延びるように、前記基板の前記第２の対向する側から、前記延長された部分的基板貫通ビア開口の内部の前記絶縁プラグの少なくとも一部分を除去すること、
前記絶縁プラグの少なくとも一部分を取り除いた後、前記第２の側の基板貫通ビア開口を導電性材料で充填することをさらに含む、方法。
【請求項２】
前記浅いトレンチ分離構造を画定する前記開口の側壁上と前記基板貫通ビアを画定する前記開口の側壁上に前記パッシベーション層を同時に形成し、そして、前記浅いトレンチ分離構造を画定する前記開口の側壁上と前記基板貫通ビアを画定する前記開口の側壁上に前記拡散バリア層を同時に形成することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記浅いトレンチ分離開口と前記部分的基板貫通ビア開口とが同時に形成される、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本出願は、本出願の譲受人に譲渡され、参照によりその全体が本明細書に組み込まれている、Ｍ．Ａ．Ｂａｃｈｍａｎ、Ｓ．Ｍ．Ｍｅｒｃｈａｎｔ、およびＪ．Ｏｓｅｎｂａｃｈ（「Ｂａｃｈｍａｎら」）への「ＭＥＴＨＯＤ  ＯＦ  ＦＡＢＲＩＣＡＴＩＯＮ  ＯＦ  ＴＨＲＯＵＧＨ−ＳＵＢＳＴＲＡＴＥ  ＶＩＡＳ」という名称の米国特許出願第１２／９６９，８３６号（整理番号Ｌ０９−０８０８）に関連する。
【０００２】
本出願は、一般に集積回路およびその製造を対象とし、具体的には浅いトレンチ分離および基板貫通ビア構造を含む集積回路を対象とする。
【背景技術】
【０００３】
通常の半導体集積回路（ＩＣ）設計は、短絡またはクロストークなどの有害な電気的干渉を避けるために、設計内の一部の回路構成要素を他の回路構成要素から電気的に分離する必要がある。回路構成要素を分離する１つの方法は、これらの領域を隔てるために浅いトレンチ分離（ＳＴＩ）を用いる。また３次元ＩＣ設計などの一部のＩＣ設計では、基板貫通ビア（ＴＳＶ）が生成されて、前面側回路を基板の裏側と接続する。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一実施形態では本開示は、集積回路を製造する方法を提供する。方法は、第１の側、および第２の対向する側を有する基板を用意すること、基板の第１の側に浅いトレンチ分離開口を形成すること、および基板の第１の側に部分的基板貫通ビア開口を形成することを含む。方法はまた、部分的基板貫通ビア開口を延長することを含み、延長された部分的基板貫通ビア開口は、浅いトレンチ分離開口より基板内への深さが深い。方法はさらに、浅いトレンチ分離開口を第１の固体材料で充填すること、および延長された部分的基板貫通ビア開口を第２の固体材料で充填することを含む。浅いトレンチ分離開口、部分的基板貫通ビア開口、または延長された部分的基板貫通ビア開口のいずれも、基板の第２の側の外面を貫通しない。少なくとも、浅いトレンチ分離開口および部分的基板貫通ビア開口は同時に形成され、または浅いトレンチ分離開口および延長された部分的基板貫通ビア開口は同時に充填される。
【０００５】
他の実施形態は、集積回路である。集積回路は、第１の側、および第２の対向する側を有する基板を備える。集積回路はまた、浅いトレンチ分離構造、および基板貫通ビアを備える。浅いトレンチ分離構造の一方の端部は、基板の内部に埋め込まれ、浅いトレンチ分離構造の反対側の端部は、基板の第１の側の表面に位置する。基板貫通ビアの一方の端部は、基板の第１の側の表面に位置し、基板貫通ビアの反対側の端部は、基板の第２の側の表面に位置する。浅いトレンチ分離構造を画定する開口内、および基板貫通ビアを画定する開口内には、同じ絶縁層が配置される。
【０００６】
本開示の他の実施形態は、第１の側、および第２の対向する側を有する基板と、浅いトレンチ分離構造と、基板貫通ビアとを備える集積回路である。浅いトレンチ分離構造の一方の端部は、基板の内部に埋め込まれ、浅いトレンチ分離構造の反対側の端部は、基板の第１の側の表面に位置する。基板貫通ビアの一方の端部は、基板の第１の側の表面に位置し、基板貫通ビアの反対側の端部は、基板の第２の側の表面に位置する。浅いトレンチ分離構造および基板貫通ビアは、基板の第１の側に浅いトレンチ分離開口を形成すること、基板の第１の側に部分的基板貫通ビア開口を形成すること、部分的基板貫通ビア開口を延長することであって、延長された部分的基板貫通ビア開口は、浅いトレンチ分離開口より基板内への深さが深い、部分的基板貫通ビア開口を延長すること、浅いトレンチ分離開口を第１の固体材料で充填すること、および延長された部分的基板貫通ビア開口を第２の固体材料で充填すること、を含むプロセスによって形成される。浅いトレンチ分離開口、部分的基板貫通ビア開口、または延長された部分的基板貫通ビア開口のいずれも、基板の第２の側の外面を貫通しない。少なくとも、浅いトレンチ分離開口および部分的基板貫通ビア開口は同時に形成され、または浅いトレンチ分離開口および延長された部分的基板貫通ビア開口は同時に充填される。
【０００７】
本発明のより完全な理解のために、添付の図面と併せ読まれる以下の説明を参照する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本開示の集積回路を製造する方法の例示の実施形態での選択的なステップを示す、流れ図である。
【図２】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図３Ａ】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図３Ｂ】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図４】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図５】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図６】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図７】図１に示される例示の方法による、本開示の例示の集積回路を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図である。
【図８】本開示の例示の集積回路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示のために、本明細書で用いられる「または（ｏｒ）」という用語は、特に明記しない限り非排他的なものを表す。
【００１０】
本開示の実施形態は、ＩＣ設計の効率を改善する。ＳＴＩ開口を形成することおよびＴＳＶ開口の一部分を形成すること、またはＳＴＩ開口およびＴＳＶ開口を充填することの少なくとも１つは、単一のステップとして同時に行われる。ＩＣの製作でのこれらのステップの一方または両方を同時に処理することにより、１つまたは複数の共通のパターニング、エッチング、堆積、または誘電体および金属の積層処理の前の他の形成プロセスを可能にすることができる。これにより、従来の方法に比べてＩＣの製作に必要な別々の処理ステップまたはツールの数を減らすことによって、コスト、時間、およびリソースの使用を低減することができる。
【００１１】
本開示の一実施形態は、ＩＣを製造する方法である。図１は、製造の方法１００の例示の実施形態での選択的なステップを示す流れ図を示す。図２〜８は、図１に示される例示の方法１００による、本開示の例示の集積回路２００を製造する例示の方法での選択されたステップの断面図を示す。
【００１２】
続いて全体にわたって図１を参照すると、図２に示されるように、方法１００は、第１の側２１０、および第２の対向する側２１５を有する基板２０５を用意するステップ１０５を含む。基板２０５の例示の実施形態は、シリコンまたは他の半導体材料、基板ダイ、パッケージ基板、またはインターポーザ基板から構成されるウェハ基板を含む。基板２０５の一部の実施形態は、様々なＩＣ構成要素の効率的な製作を可能にするために、複数の層を有することができる。例として、基板２０５の一部の実施形態は、構成層２２０を含む。たとえば、構成層２２０の一部の実施形態は、エピタキシャル形成された結晶シリコンなどのシリコンから構成された単結晶層を含むことができる。他の実施形態では、構成層２２０は、シリコン・オン・インシュレータ層、またはポリシリコン層、または当業者には良く知られた他の材料層を含むことができる。一部の場合には、構成層２２０は、１０から２０ミクロンの範囲の厚さ２２２を有することができる。当業者なら、望むなら他のタイプの基板および構成層を用い得ることが理解されよう。
【００１３】
図３Ａに示されるように、方法１００は、基板２０５の第１の側２１０にＳＴＩ開口３０２を形成するステップ１１０と、基板２０５の第１の側２１０に部分的ＴＳＶ開口３０４を形成するステップ１１５とを含む。当業者ならステップ１１０、１１５によりパターニングし（たとえば、従来のフォトリソグラフィおよびマスキング工程により）、基板２０５の第１の側２１０をエッチング（たとえば、反応性イオン・エッチングまたは他の従来のエッチング工程）して開口３０２、３０４を形成するための手順を熟知しているであろう。
【００１４】
図３Ｂに示されるように、方法１００は、部分的ＴＳＶ開口３０４（図３Ａ）を延長するステップ１１７を含み、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は、ＳＴＩ開口３０２より基板２０５内への深さが深い。当業者なら、基板２０５の第１の側２１０を追加的にパターニングしエッチングして、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を形成する手順を熟知しているであろう。
【００１５】
図３Ａ〜３Ｂではまた、ＳＴＩ開口３０２、部分的ＴＳＶ開口３０４、または延長された部分的ＴＳＶ開口３０５のいずれも、基板２０５の第２の側２１５の外面３０６を貫通しないことが示される。当業者なら、方法１００の様々なステップでの開口３０２、３０４、３０５のこのような構成を達成するための手順を熟知しているであろう。
【００１６】
方法１００は、ＳＴＩ開口３０２を第１の固体材料３０７で充填するステップ１２０、および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を第２の固体材料３１０で充填するステップ１２５を含む。
【００１７】
少なくとも、（１）ＳＴＩ開口３０２および部分的ＴＳＶ開口３０４は同時に形成され（すなわちステップ１１０、１１５は、単一のステップ１３０として同時に行われる）、または（２）ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は同時に充填される（すなわちステップ１２０、１２５は、単一のステップ１３５として同時に行われる）。
【００１８】
開口３０２、３０４を同時に形成すること（ステップ１３０）、または開口３０２、３０５を同時に充填すること（ステップ１３５）のいずれかまたは両方によって、時間、コスト、またはリソース効率において利点がある。例として、同じエッチング・ツールおよび同じエッチング工程を用いて２つの異なる開口３０２、３０４を同時に形成することは、時には有益である。同様に同じ堆積ツールまたは他の形成ツール、および同じ堆積法または他の形成プロセスを用いて２つの異なるタイプの開口３０２、３０５を同じ固体材料で同時に充填することは、時には有益である。
【００１９】
しかし一部の場合には、異なるプロセスを用いて開口３０２、３０４を形成する、または異なるプロセスを用いて開口３０２、３０５を充填する、または異なる固体材料を用いて充填することが望ましい場合があり得る。
【００２０】
例として一部の実施形態では、ＳＴＩ開口３０２および部分的ＴＳＶ開口３０４を同時に形成した（ステップ１３０）後に、ＳＴＩ開口３０２は、基板２０５の第１の側２１０から絶縁材料を含む第１の固体材料３０７で充填され、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は、基板２０５の第１の側２１０から異なる絶縁材料または導電性材料を含む第２の固体材料３１０で充填される。
【００２１】
しかし他の実施形態では、ＳＴＩ開口３０２および部分的ＴＳＶ開口３０４はステップ１３０で同時に形成され、次いでＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５はステップ１３５で同時に充填される。このような場合は、第１の固体材料３０７および第２の固体材料３１０は、同様な材料または同一の材料とすることができる。
【００２２】
他の実施形態では、たとえば、開口３０２が部分的ＴＳＶ開口３０４または延長された部分的ＴＳＶ開口３０５と比較して異なるアスペクト比をもつように、２つの異なるプロセス（たとえば、ステップ１１０およびステップ１１５）を用いてＳＴＩ開口３０２および部分的ＴＳＶ開口３０４を形成することが望ましい。例として、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５の幅３２０と深さ３２５の比は、ＳＴＩ開口３０２の幅３３０と深さ３３５の比とは異なる（たとえば一部の実施形態では、少なくとも１０パーセント以上異なる）ようにすることができる。しかし当業者なら、異なるプロセスを用いて開口３０２、３０４、３０５を形成することは、単一の同じステップ１３５を用いて開口３０２、３０５を充填することを除外しないことが認識されよう。
【００２３】
上記のように一部の場合は、２つの異なるプロセス（たとえばステップ１２０、１２５）を用いてＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を、それぞれ異なる固体材料３０７、３１０で充填することが望ましい。たとえば一部の実施形態では、ＳＴＩ開口３０２を充填するステップ１２０は、ＳＴＩ開口３０２を１つまたは複数のタイプの絶縁材料３０７（たとえば一部の場合には、異なる絶縁材料の複数の層）で充填するために物理蒸着法、または化学気相成長法、または他のプロセスを含むことができる。一部の実施形態では、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を充填するステップ１２５は、開口３０５を導電性材料３１０で充填するために物理蒸着法（たとえば、スパッタリング）、および電気化学堆積法または他の形成プロセスを含むことができる。しかし当業者なら、異なるプロセス（ステップ１２０、１２５）を用いて開口３０２、３０５を充填することは、同じ単一のステップ１３０を用いて開口３０２、３０４を形成することを除外しないことが認識されよう。
【００２４】
図３Ｂは、ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５が同時に充填される（ステップ１３５）場合の、方法１００の一実施形態を示す。このような同時に充填する場合は、第１および第２の固体材料３０７、３１０は絶縁材料であることが好ましい。一部の場合には、たとえば、ＳＴＩ開口３０２を充填するステップ１２０は、パッシベーション層３１２および拡散バリア層３１４を含む絶縁材料３１０で開口３０５を充填することを含む。延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を充填するステップ１２５は、ステップ１２０と同じ（すなわち、同時に充填するステップ１３５）とすることができる。層３１２、３１４の一方または両方は、ＳＴＩ開口３０２または延長された部分的ＴＳＶ開口３０５の内壁上にあるようにする（たとえば一部の場合は、側壁３１６および床部３１８の全体を被覆する）ことができる。一部の場合は、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を充填するステップ１２５はまた、たとえば開口３０５の内壁（たとえば、側壁３１６および床部３１８）を被覆することができる拡散バリア層３１４を含む絶縁材料３１０で開口３０５を充填することを含む。このような場合は、やはり、ＳＴＩ開口３０２を充填するステップ１２０は、ステップ１２５と同じ（すなわち、同時ステップ１３５）とすることができ、したがって拡散バリア層３１４は、たとえばＳＴＩ開口３０２の内壁を被覆する。
【００２５】
さらに図４に示されるように、一部の場合には、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を充填するステップ１２５は、絶縁プラグ４１０を含む絶縁材料３１０で開口３０５を充填することを含むことができる。ＳＴＩ開口３０２を充填するステップ１２０が絶縁プラグ４１０で開口３０２を充填することを含む場合は、ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５の両方を同じ絶縁固体材料（たとえば、第１および第２の材料３０７、３１０が同じ）で充填することができる。
【００２６】
図４に示されるように、一部の場合には、ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は共に、ＴＳＶ開口およびＳＴＩ開口３０２の内壁３１６、３１８を被覆する酸化シリコンの１つまたは複数のパッシベーション層３１２を含む絶縁材料（たとえば、第１および第２の固体材料３０７、３１０）で充填され、パッシベーション層３１２上に窒化シリコンの拡散バリア層３１４があり、誘電体材料（たとえば一部の場合には、石英ガラス）の絶縁プラグ４１０は、拡散バリア層に接触し、ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５のそれぞれの深さ３３５、３２５（図３）の全体をほぼ充填する。
【００２７】
方法１００の一部の実施形態はさらに、基板２０５の第１の側２１０上に、少なくとも１つの能動または受動電子構成要素４２０（図４）を形成するステップ１４０を含むことができる。当業者なら抵抗器またはインダクタなどの受動構成要素、またはメモリ回路構成要素（たとえば、ＳＲＡＭまたはＤＲＡＭメモリ）または論理回路構成要素（たとえば、ＣＭＯＳまたはｂｉ−ＣＭＯＳ論理集積回路）などの能動構成要素を製作するための手順を熟知しているであろう。
【００２８】
Ｂａｃｈｍａｎらによってさらに説明されているように、一部の場合には、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を導電性材料で充填する前に、能動または受動構成要素４２０を形成することは、それにより開口３０５内の導電性材料を後続する高温プロセス（たとえば、一部の実施形態では約２００℃以上）にさらすのが避けられる場合は、好ましい。
【００２９】
一部の実施形態では、能動または受動電子構成要素４２０は、隣接する能動または受動電子構成要素４２５から、２つの構成要素４２０、４２５の間に位置する少なくとも１つのＳＴＩ開口３０２によって電気的に分離される。一部の実施形態では、能動または受動電子構成要素４２０は、隣接する延長された部分的ＴＳＶ開口３０５から、能動または受動電子構成要素４２０と隣接するＴＳＶ開口３０５との間に位置する少なくとも１つＳＴＩ開口３０２によって電気的に分離される。隣接する能動または受動電子構成要素４２０、４２５をＳＴＩ構造によって互いに、または隣接するＴＳＶから隔てられるように形成することは、これらの構成要素間のクロストークおよび他の電気的干渉を低減するのに役立つ。
【００３０】
方法１００の一部の実施形態はさらに、第１の側上の延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を導電層４３０で覆うステップ１４５を含むことができる。当業者なら基板２０５上に導電層４３０を形成する手順を熟知しているであろう。非限定的な例として、ステップ１４５は、金属（たとえばタングステン、金、または銅）のシード層を形成（たとえばスパッタリング）することを含むことができ、一部の場合には同じ金属（たとえば、銅）の電気化学形成がそれに続く。一部の場合には、図４に示されるように、導電層４３０を形成することの一部として、始めにバリア層４３５（たとえば、窒化シリコン層）が形成され、次いで延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を覆うようにパターニングされる。一部の実施形態では、開口３０５内の固体材料３１０（たとえば、絶縁材料）が除去される前に、または開口３０５が導電性材料で充填される前に、ステップ１４５にて第１の側の延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は導電層４３０で覆われる。このステップの順序付けは、たとえばステップ１４５が基板２０５を高温プロセスにさらすことを含む場合は有利でありうる。
【００３１】
方法１００の一部の実施形態はさらに、基板２０５の第１の側２１０に相互接続構造４４０（たとえば、金属ライン、ビア、およびランディングパッド）を形成するステップ１５０を含む。当業者なら、相互接続構造４４０を形成する手順を熟知しているであろう。例として、ステップ１５０の一部として、相互接続構造４４０を支持し電気的に絶縁するために、第１の側２１０上に１つまたは複数の層間誘電体層４５０を形成することができる。
【００３２】
一部の実施形態では、少なくとも１つの相互接続構造４４０は、第１の側の延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を覆う導電層４３０に接触し、およびまた基板２０５上の能動または受動構成要素４２０に接触する。すなわち相互接続構造４４０は、能動または受動構成要素４２０を、導電層４３０を通してＴＳＶ構造に電気的に結合するように構成される。しかし他の実施形態では、ＴＳＶまたはそれを覆う導電層４３０は、基板２０５上のいずれの能動または受動構成要素４２０とも結合されなくてもよく、単に基板２０５を通過してもよい。
【００３３】
一部の実施形態では相互接続構造４４０は、ステップ１５０にて、開口３０５内の材料３１０（たとえば、絶縁材料）が除去される前に、または開口３０５が導電性材料で充填される前に形成される。このステップの順序付けは、たとえばステップ１５０が基板２０５を高温プロセスにさらすことを含む場合に有利でありうる。
【００３４】
方法１００の一部の実施形態はまた、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５が第２の側２１５に露出されるように、基板２０５の第２の側２１５から基板の一部分（たとえば基板層の部分４６０、図４）を除去するステップ１５５を含むことができる。例として図５は、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５が第２の側２１５に露出されるまで、基板の第２の側の表面３０６を平坦化するように化学機械研磨（ＣＭＰ）を行った後のＩＣ２００を示す。しかし当業者なら延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を露出するために、他のタイプの基板除去手順（たとえば、ウエットおよびドライエッチング）を用い得ることが理解されよう。
【００３５】
図６に示されるように、方法１００の一部の実施形態はさらに、第２の側のＴＳＶ開口６１０が基板２０５の第２の側２１５から第１の側２１０まで延びるように、基板２０５の第２の側２１５から、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５の内部の固体材料３１０（たとえば絶縁プラグ４１０、図５）の少なくとも一部分を除去するステップ１６０を含む。
【００３６】
一部の場合には、第２の側のＴＳＶ開口６１０の内部の材料３１０を維持することが望ましい。例として、第２の側の基板貫通ビア開口６１０が高度に拡散性の金属原子（たとえば、銅原子）から構成される導電性材料で充填される場合は、第２の側のＴＳＶ開口６１０の側壁３１６上にパッシベーション層３１２およびバリア層３１４を有することが有利となり得る。このような金属原子は、ＴＳＶから、能動および受動構成要素４２０が位置する基板２０５の領域を含む、基板２０５内へ有害に拡散することができ、それによって構成要素４２０を損傷する。
【００３７】
一部の場合はたとえば、ステップ１６０にて材料３１０の少なくとも一部分を除去することは、基板２０５の厚さ６１５の全体をほぼ横断する絶縁プラグ４１０（図５）の、第２の側のＴＳＶ開口６１０からのドライエッチング工程を含むことができる。一部の場合には、除去ステップ１６０は、追加的にまたは代替的に、第２の側のＴＳＶ開口６１０を通って基板２０５の厚さ６１５の全体をほぼ横断する絶縁プラグ４１０（たとえば、石英ガラスまたは他の誘電体材料）のウエットエッチング工程（たとえば、フッ化水素酸エッチング工程）を含むことができる。一部の場合には、ステップ１６０にて少なくとも一部分の固体材料３１０を除去することはまた、第１の側２１０上の延長された部分的ＴＳＶ開口３０５を覆う導電層４３０から、バリア層４３５（たとえば、窒化シリコン層）を除去するように構成されたプラズマエッチング工程を含むことができる。すなわち材料３１０の一部分を除去することは、開口３０５を覆う導電層４３０の内面６２０を露出することを含むことができる。当業者なら、望むならパッシベーション層３１２およびバリア層３１４を側壁３１６上にほぼ損なわれずに残すように、このようなウエットエッチングおよびプラズマエッチング工程をいかに構成するかは熟知しているであろう。
【００３８】
方法１００の一部の実施形態はさらに、基板２０５の第２の側上の、第２の側のＴＳＶ開口６１０を導電性材料７１０で充填するステップ１６５を含む（図７）。一部の場合は、第１の側２１０上の開口３０５を覆う導電層４３０が存在する場合は、導電性材料７１０は、導電層４３０に直接接触する（たとえば、導電層４３０の内面６２０に接触する）ように第２の側のＴＳＶ開口６１０を完全に充填する。
【００３９】
用いることができる導電性材料７１０のタイプの非限定的な例は、銅、タングステン、金、ポリシリコン、導電性ポリマー、または当業者には良く知られている同様な材料を含む。一部の実施形態では、深い開口６１０を充填するために（たとえば、基板厚さ６１５（図６）が約５０ミクロン以上である一部の実施形態にて）、充填するステップ１６５は、第２の側のＴＳＶ開口６１０（開口の側壁３１６上のいずれの介在する絶縁層３１２、３１４を含む）の内部側壁６１５上に金属シード層（たとえば、銅）を形成するためにスパッタ堆積することまたは他のプロセス、および次いで開口６１０の残りを充填するようにバルク金属層（たとえば、銅）を電着することまたは他により形成することを含むことが有利となり得る。ステップ１６５により開口６１０を充填する他の方法は、スピンオン・プロセス、または当業者には良く知られている他のプロセスを含む。当業者ならまた、開口６１０内に材料７１０のみが存在するように、第２の側２１５の表面３０６から余分な導電性材料７１０を除去するためのＣＭＰなどの他のステップを熟知しているであろう。
【００４０】
上記のように一部の場合には、第２の側のＴＳＶ開口６１０を導電性材料で充填するステップ１６５は、いくつかのステップ（たとえば、１つまたは複数のステップ１４０〜１６０）が完了した後に行われることが有利である。本開示およびＢａｃｈｍａｎらの開示に基づいて当業者なら、たとえば第２の側のＴＳＶ開口６１０内にある特定の導電性材料７１０（たとえば、銅）を高温プロセスにさらすのを避け、それによって基板２０５にクラックまたは他の損傷を引き起こし得る材料７１０の熱膨張を生じるのを避けるために、他の処理ステップが行われた後にステップ１６５を行うことが有利となり得ることが理解されよう。
【００４１】
本開示の他の実施形態は、ＩＣである。図８は、本開示の例示のＩＣ２００を示す。ＩＣ２００は、図１〜７に関連して上述したいずれの特徴も含むことができる。
【００４２】
図８に示される例示のＩＣ２００は、第１の側２１０、および第２の対向する側２１５を有する基板２０５を備える。ＩＣ２００はまた、ＳＴＩ構造８１０を備え、ＳＴＩ構造の一方の端部８１２は基板２０５の内部に埋め込まれ、ＳＴＩ構造８１０の反対側の端部８１５は基板２０５の第１の側２１０の表面８１７に位置する。ＩＣ２００はさらに、ＴＳＶ８２０を備え、ＴＳＶ８２０の一方の端部８２２は基板２０５の第１の側２１０の表面８１７に位置し、ＴＳＶ８２０の反対側の端部８２５は基板２０５の第２の側２１５の表面３０６に位置する。ＳＴＩ構造８１０を画定する開口３０２内、およびＴＳＶ８２０を画定する開口３０５内に、同じ絶縁層が配置される。一部の実施形態ではたとえば、パッシベーション層３１２または拡散バリア層３１４の一方または両方が、ＳＴＩ構造８１０を画定する開口３０２の側壁８２７上に、およびＴＳＶ８２０を画定する開口３０５の側壁３１６上に配置される。
【００４３】
図８にさらに示されるように、一部の実施形態では、少なくとも１つのＳＴＩ構造８１０は、ＴＳＶ８２０と、基板２０５の第１の側２１０上に位置する受動または能動電気的構成要素４２０との間に配置される。また図８に示されるように、一部の実施形態では、少なくとも１つＳＴＩ構造８１０は、基板２０５の第１の側２１０上に位置する第１の受動または能動電気的構成要素４２０と、基板２０５の第１の側２１０上に位置する第２の受動または能動電気的構成要素４２５との間に配置される。
【００４４】
ＩＣ２００の一部の実施形態はさらに、基板２０５の第１の側２１０上に位置し、第１の側２１０上のＴＳＶ開口３０５を覆う導電層４３０を含むことができる。ＩＣ２００の一部の実施形態は、基板２０５の第１の側２１０上に、金属ライン４４０、および層間誘電体層４５０を含むことができる。一部の場合には、金属ライン４４０の少なくとも１つは、基板２０５の第１の側２１０上に位置する受動または能動電気的構成要素４２０を、ＴＳＶ８２０を覆う導電層４３０に電気的に接続する。
【００４５】
一部の実施形態では、ＳＴＩ構造８１０の開口３０２の幅３３０は、ＴＳＶ８２０の開口３０５の幅３２０より小さい。
【００４６】
ＴＳＶ開口３０５は基板２０５の厚さ６１５の全体を横断し、一方、ＳＴＩ開口３０２は基板２０５内に埋め込まれる。一部の実施形態では、ＳＴＩ開口３０２は、基板２０５の一部の実施形態において存在する構成層２２０を横断することができる。
【００４７】
ＩＣ２００の一部の実施形態では、ＳＴＩ構造８１０の幅３３０は、基板２０５上のより多数の能動または受動電気的構成要素４２０の電気的分離を容易にするために、できるだけ狭いことが望ましい。幅３３０を狭くすることにより、より多数の能動または受動電気的構成要素４２０またはＴＳＶ８２０を保持するために、基板２０５のより大きな面積を利用可能にすることが容易になる。
【００４８】
ＴＳＶ開口３０５の幅３２０は、ＴＳＶ８２０を通過する電流の電気抵抗を最小にするのに十分に広くするようにＴＳＶ８２０を構成することと、基板表面８１７の過大な面積を専有するように大きい過ぎる幅３２０を構成することとの注意深いバランスである。電気抵抗が大き過ぎると、ＴＳＶ８２０を通って電気信号を通信する速度が低下し有害となる。ＴＳＶ８２０が基板２０５上の過大な面積を専有する場合は、たとえば、特定の用途に必要な不可欠な数の受動または能動構成要素を収容するように基板ダイ２０５を大きくすることが必要になる可能性があり、それによって基板２０５を製造するのにより多くのリソースを必要とし、したがってＩＣ２００は望むより大きくなる。
【００４９】
図８にさらに示されるように、一部の実施形態では、ＩＣ２００の基板２０５は、ＴＳＶ８２０によって１つまたは複数の他の基板８３０と相互接続される。一部の実施形態では、基板２０５、および１つまたは複数の他の基板８３０は、３次元ＩＣパッケージ８４０の一部となる。例として一部のＩＣパッケージ８４０では、基板２０５の第１の側２１０（たとえば第１の側２１０は、その上に能動または受動構成要素４２０、４２５を有する）は、他方の基板８３０の第１の側８４５に面することができる。しかし他の実施形態では、基板２０５の前面側２１０は、他方の基板８３０の第２の対向する側８５０に面することができる。一部の実施形態では、ＩＣパッケージ８４０は、ＴＳＶ８２０によって積層体８４０の隣接する基板、または隣接しない基板に相互接続された、複数の基板２０５、８３０の積層体８６０を含むことができる。例として第１の基板は、第１の基板と第３の基板の間に位置する第２の基板を通過するＴＳＶを通して、第３の基板に相互接続することができる。
【００５０】
図１〜８は、本開示の他の集積回路の実施形態を示す。上記で述べたものと同様に、図８に示される例示のＩＣ２００は、第１の側２１０、および第２の対向する側２１５を有する基板２０５と、ＳＴＩ構造８１０であって、ＳＴＩ構造の一方の端部８１２は基板２０５の内部に埋め込まれ、ＳＴＩ構造８１０の反対側の端部８１５は基板２０５の第１の側２１０の表面８１７に位置する、ＳＴＩ構造８１０と、ＴＳＶ８２０であって、ＴＳＶ８２０の一方の端部８２２は基板２０５の第１の側２１０の表面８１７に位置し、ＴＳＶ８２０の反対側の端部８２５は基板２０５の第２の側２１５の表面３０６に位置する、ＴＳＶ８２０とを備える。
【００５１】
ＩＣ２００のこのような実施形態に対して、ＳＴＩ構造８１０およびＴＳＶ８２０は、基板２０５の第１の側２１０にＳＴＩ開口３０２を形成すること（ステップ１１０）、基板２０５の第１の側２１０に部分的ＴＳＶ開口３０４を形成すること（ステップ１１５）、部分的ＴＳＶ開口３０４を延長すること（ステップ１１７）であって、延長された部分的ＴＳＶ開口３０５はＳＴＩ開口３０２より基板２０５内への深さが深い、部分的ＴＳＶ開口３０４を延長すること、ＳＴＩ開口３０２を第１の固体材料３０７で充填すること（ステップ１２０）、および延長された部分的ＴＳＶ３０５を第２の固体充填材料３１０で充填すること（ステップ１２５）を含むプロセスによって形成される。
【００５２】
ＳＴＩ開口３０２、部分的ＴＳＶ開口３０４、または延長された部分的基板貫通ビア開口３０５のいずれも、基板２０５の第２の側２１５の外面３０６を貫通しない。少なくとも、（１）ＳＴＩ開口３０２および部分的ＴＳＶ開口３０４は同時に形成され（ステップ１３０）、または（２）ＳＴＩ開口３０２および延長された部分的ＴＳＶ開口３０５は同時に充填される（ステップ１３５）。ＩＣ２００はさらに、図１〜８に関連して上述したような追加の特徴を含むことができる。
【００５３】
本出願が関係する当業者には、述べられた実施形態に、他のおよびさらなる追加、削除、置き換え、および変更を行い得ることが理解されよう。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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