(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成部材を有するヘッド本体と、
前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に設けられて前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に固定されるケース部材と、
を具備し、
前記ヘッド本体、前記圧力発生手段および前記ケース部材のうち何れか一つの部材は、少なくとも何れか一方の他の部材に接着され、且つ前記液体の噴射方向における接着面の高さが異なる第１の面と第２の面とを有し、
前記第１の面は前記他の部材に当接するとともに、
前記第２の面と前記他の部材との間には、弾性を有する材料からなり接着剤を吸収させた吸収部材が挟持されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記第２の面における接合部の少なくとも一部が前記液体流路に接していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッド本体は、前記圧力発生室を備える流路形成基板と、前記ノズルを備え前記流路形成部材の一方面側に接合されたノズルプレートと、前記流路形成基板の他方面側に接合されて当該流路形成基板上に設けられた前記圧力発生手段を保護する保護基板と、を備えるとともに、
前記ケース部材が、前記ノズルプレートに接着される前記第１の面と、前記保護基板に接着される前記第２の面とを備え、
前記ケース部材と前記保護基板との間に前記吸収部材が挟持されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ケース部材には、前記ケース部材を貫通して前記第２の面に開口する貫通孔が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドであって、
前記圧力発生手段は、前記ヘッド本体に先端面が当接する圧電アクチュエーターと、前記圧電アクチュエーターの基端部側を支持するとともに前記ケース部材に固定される固定板と、
を備えるとともに、
前記圧電アクチュエーターが前記ヘッド本体に接着される前記第１の面と、前記固定板が前記ケース部材に接着される前記第２の面とを備え、
前記固定板と前記ケース部材との間に前記吸収部材が挟持されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項７】
液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成部材を有するヘッド本体と、
前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、
前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に固定されるケース部材と、
を具備し、
前記ヘッド本体、前記圧力発生手段および前記ケース部材のうち何れか一つの部材が、少なくとも何れか一方の他の部材に接着され、且つ前記液体の噴射方向における接着面の高さが異なる第１の面と第２の面とを備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１の面を前記他の部材に当接させて接着する工程と、
弾性を有し液体を吸収可能な材料からなる吸収部材を前記第２の面と前記他の部材との隙間に配し、前記吸収部材に接着剤を吸収させて前記第２の面と前記他の部材とを接着する工程と、
を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に、液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置並びにインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズルに連通する圧力発生室と、圧力発生室に対向して設けられる圧電アクチュエーターと、を具備し、この圧電アクチュエーターの変位によって圧力発生室内に圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を噴射するものがある。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドの構造は、様々提案されているが、一般的に、複数の部材が接着剤等によって固定されてなる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４０２３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように複数の部材を接着剤によって接合した構成では、一つの部材を、高さの異なる（同一面でない）複数の接合面で接合することがある。このような場合、部品交差を考えると、実質的に当接させる一つの面以外には、必ず隙間が生じる。この隙間は、通常、接着剤によって塞がれている。
【０００６】
しかしながら、この隙間が比較的大きいと接着剤で塞ぐだけでは二つの部材を強固に接合できない虞がある。またこのような場合には、隙間が接着剤によって確実に埋まるように、通常よりも多めの接着剤が接合面に塗布される。このため、余分な接着剤が流路内にはみ出す虞があり、はみ出した接着剤によって流路が狭められたり、気泡の付着や停滞が生じたりするという問題がある。例えば、部品の加工精度を高めることで、このような隙間を極力小さくすることはできるが、コストが大幅に増加してしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題はインクを噴射するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、コストの増加を抑制しつつ各部材を強固に接合した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明は、液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成部材を有するヘッド本体と、前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に設けられて前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に固定されるケース部材と、を具備し、前記ヘッド本体、前記圧力発生手段および前記ケース部材のうち何れか一つの部材は、少なくとも何れか一方の他の部材に接着され、且つ前記液体の噴射方向における接着面の高さが異なる第１の面と第２の面とを有し、前記第１の面は前記他の部材に当接するとともに、前記第２の面と前記他の部材との間には、弾性を有する材料からなり接着剤を吸収させた吸収部材が挟持されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる本発明では、各部材を強固に接合することができ、それに伴うコストの大幅な上昇も抑制することができる。
【００１０】
ここで、前記第２の面における接合部の少なくとも一部が前記液体流路に接している場合には、接着剤の流路への流れ出しを抑制することができ、特に有効である。
【００１１】
例えば前記ヘッド本体は、前記圧力発生室を備える流路形成基板と、前記ノズルを備え前記流路形成部材の一方面側に接合されたノズルプレートと、前記流路形成基板の他方面側に接合されて当該流路形成基板上に設けられた前記圧力発生手段を保護する保護基板と、を備えるとともに、前記ケース部材が、前記ノズルプレートに接着される前記第１の面と、前記保護基板に接着される前記第２の面とを備え、前記ケース部材と前記保護基板との間に前記吸収部材が挟持されている。
このような構成の場合、ヘッド本体を構成する保護基板とケース部材とを強固に接合することができる。
【００１２】
またこの構成の場合、前記ケース部材には、前記ケース部材を貫通して前記第２の面に開口する貫通孔が設けられていることが好ましい。これにより、ケース部材と保護基板との間に吸収部材を挟持した状態で、貫通孔から吸収部材に接着剤を吸収させることができる。
【００１３】
また例えば前記圧力発生手段は、前記ヘッド本体に先端面が当接する圧電アクチュエーターと、前記圧電アクチュエーターの基端部側を支持するとともに前記ケース部材に固定される固定板と、を備えるとともに、前記圧電アクチュエーターが前記ヘッド本体に接着される前記第１の面と、前記固定板が前記ケース部材に接着される前記第２の面とを備え、前記固定板と前記ケース部材との間に前記吸収部材が挟持されている。
このような構成の場合、圧力発生手段を構成する固定板とケース部材とを強固に接合することができる。
【００１４】
また本発明は、このような液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、ヘッドの耐久性や信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【００１５】
また本発明は、液体を噴射するノズルに連通する圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成部材を有するヘッド本体と、前記圧力発生室内の液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、前記ヘッド本体の前記ノズルとは反対面側に固定されるケース部材と、
を具備し、前記ヘッド本体、前記圧力発生手段および前記ケース部材のうち何れか一つの部材が、少なくとも何れか一方の他の部材に接着され、且つ前記液体の噴射方向における接着面の高さが異なる第１の面と第２の面とを備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１の面を前記他の部材に当接させて接着する工程と、弾性を有し液体を吸収可能な材料からなる吸収部材を前記第２の面と前記他の部材との隙間に配し、前記吸収部材に接着剤を吸収させて前記第２の面と前記他の部材とを接着する工程と、を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる本発明では、各部材を強固に接合することができ、それに伴うコストの大幅な上昇も抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図５】実施形態２に係る記録ヘッドを示す断面図である。
【図６】実施形態２に係る記録ヘッドの変形例を示す断面図である。
【図７】一実施形態に係る記録装置の概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示すインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図である。
【００１８】
図示するように、インクジェット式記録ヘッド１は、ヘッド本体１１、ケース部材４０といった複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されてなる。本実施形態では、ヘッド本体１１は、流路形成部材である流路形成基板１０及び連通板１５と、ノズルプレート２０と、保護基板３０とで構成されている。
【００１９】
流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設された列が２列形成されている。また流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向の一端側にはインク供給路１４が設けられている。流路形成基板１０の一方の面には弾性膜５０が形成されており、圧力発生室１２及びインク供給路１４の一方面はこの弾性膜５０によって構成されている。
【００２０】
流路形成基板１０の開口面側（弾性膜５０とは反対側）には、連通板１５が接合されている。連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを繋ぐ連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお本実施形態では、この連通板１５はノズルプレート２０の一部を構成するものとする。
【００２１】
流路形成基板１０に形成された弾性膜５０上には、さらに絶縁体膜５５が形成されている。この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とからなる圧電アクチュエーター（圧力発生手段）３００が設けられている。本実施形態では、第１電極６０が複数の圧電アクチュエーター３００に共通する共通電極として機能し、第２電極８０が各圧電アクチュエーター３００で独立する個別電極として機能する。また第２電極８０には、リード電極９０の一端がそれぞれ接続されている。リード電極９０の他端には、駆動回路１２０が設けられた配線基板１２１が接続されている。
【００２２】
流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同一の大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。また保護基板３０には貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の他端側は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と配線基板１２１とが貫通孔３２内で電気的に接続されている。
【００２３】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールドをヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接着剤によって固定されるとともに、上述した連通板１５にも接着剤によって固定されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによってマニホールド１００が画成されている。
【００２４】
なおケース部材４０の凹部４１の底面には、凹形状を有する空間部４５がマニホールド１００に対向して形成されている。またケース部材４０の凹部４１の底面には、封止膜４６が設けられており、空間部４５はこの封止膜４６によって封止されている。これにより、マニホールド１００のケース部材４０側の一部は、封止膜４６のみで封止された撓み変形可能な可撓部４７となっている。
【００２５】
ところでケース部材４０は、上述のように保護基板３０と共に連通板１５にも接着されている。すなわちケース部材４０は、高さの異なる第１の面４０ａ及び第２の面４０ｂを備えている。本実施形態では、ケース部材４０の第１の面４０ａが連通板１５に接着され、封止膜４６が設けられている第２の面４０ｂが保護基板３０に接着されている。そして図２に示すように、ケース部材４０の第２の面４０ｂと保護基板３０との間には、弾性を有する材料からなり接着剤１３０を吸収させた吸収部材１４０が挟持されている。すなわちケース部材４０の第２の面４０ｂと保護基板３０とは、吸収部材１４０に含まれる接着剤１３０によって接着固定されている。この吸収部材１４０の材料としては、例えば、スポンジ、ゴム等の連続発泡した多孔質材料が好適に用いられるが、弾性を有し接着剤１３０を吸収できる材料であれば、特に限定されるものではない。
【００２６】
ヘッド本体１１とケース部材４０とを接合する手順としては、まず図３（ａ）に示すように、ケース部材４０の第１の面４０ａに接着剤１３０を塗布するとともに、ケース部材４０の第２の面４０ｂと保護基板３０との間に吸収部材１４０を介在させた状態で、ヘッド本体１１とケース部材４０とを当接させる。
【００２７】
ここで本実施形態では、ケース部材４０の凹部４１の深さ、つまり第１の面４０ａと第２の面４０ｂとの高さの差ｈ１が、ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０及び保護基板３０の高さｈ２よりも若干高くなっている。このため、ケース部材４０とヘッド本体１１とを当接させると、実際には、第１の面４０ａが接着剤１３０を介して連通板１５に当接される。一方、ケース部材４０の第２の面４０ｂと保護基板３０とは実際に当接することはなく、両者の間には多少の隙間が形成される。しかしながら本実施形態では、ケース部材４０と保護基板３０との間に吸収部材１４０を介在させた状態で、ヘッド本体１１とケース部材４０とを当接させている。このためケース部材４０と保護基板３０との間には、吸収部材１４０が弾性変形した状態で挟持される。すなわちケース部材４０と保護基板３０との間の隙間は吸収部材１４０によって塞がれている。
【００２８】
その後、図３（ｂ）に模式的に示すように、吸収部材１４０に所定量の接着剤１３０を吸収させる。そして吸収部材１４０に吸収させた接着剤１３０を硬化させることで、ケース部材４０と保護基板３０とがこの接着剤１３０によって接着固定される。
【００２９】
このようにケース部材４０と保護基板３０とが、吸収部材１４０に吸収させた接着剤１３０によって固定されていることで、接着剤の不足による接合不良や、余分な接着剤の流路、例えば、マニホールド１００内への流れ込みを抑制することができる。
【００３０】
ケース部材４０と保護基板３０との間の隙間の大きさは、各部材の寸法誤差等によって多少変動する。このため、従来のように吸収部材１４０を設けることなく、ケース部材４０の第２の面４０ｂと保護基板３０とを接着剤１３０によって接着する場合、接着剤の不足による接合不良や、余分な接着剤が流路に流れ込んでしまう虞があった。
【００３１】
これに対し、ケース部材４０と保護基板３０の間に吸収部材１４０を挟持させ、この吸収部材１４０に所望量の接着剤１３０を吸収させることで、接着剤１３０の流れ出し等の問題を抑制することができる。したがって、各部材の寸法誤差に拘わらず、ケース部材４０と保護基板３０（ヘッド本体１１）とを接着剤１３０によって強固に接合することができる。例えば、本実施形態の構成では、ケース部材４０の第２の面４０ｂが流路であるマニホールド１００に接しているため、接着剤１３０がマニホールド１００内に流れ込みやすい。しかしながら、吸収部材１４０が設けられていることで、このような本実施形態の構成であっても、接着剤１３０の流路内への流れ込みを抑制することができる。
【００３２】
なお本実施形態では、ケース部材４０と保護基板３０との間に吸収部材１４０を挟持した状態で、吸収部材１４０に接着剤１３０を吸収させるようにしたが（図３（ｂ））、その方法は、特に限定されるものではない。例えば、図４に示すように、ケース部材４０に、第２の面４０ｂに連通する貫通孔４２を設けておき、この貫通孔４２から吸収部材１４０に接着剤１３０を供給するようにしてもよい。また勿論、接着剤１３０を予め吸収させた吸収部材１４０を、ケース部材４０と保護基板３０との間に挟持させるようにしてもよい。
【００３３】
何れにしても、ケース部材４０とヘッド本体１１とが、吸収部材１４０に吸収させた接着剤１３０によって固定されていることで、両者を強固に固定することができる。
【００３４】
また本実施形態では、保護基板３０の全面に亘って吸収部材１４０を設けるようにしたが、吸収部材１４０は必ずしも保護基板３０の全面に設けられていなくてもよく、保護基板３０の表面の一部に設けられていてもよい。例えば、吸収部材１４０は、保護基板３０の外周部のみ枠状に設けられていてもよい。このような構成としても、勿論、ケース部材４０と保護基板３０（ヘッド本体１１）との接着強度を向上することができる。
【００３５】
また本実施形態では、一例として、ケース部材４０とヘッド本体１１との間に吸収部材１４０を設けた構成を説明したが、勿論、吸収部材１４０は、ケース部材４０と連通板１５との間に設けることもできる。さらに本実施形態では、ケース部材４０の凹部４１を連通板１５によって封止するようにしたが、この連通板１５は必ずしも設けられていなくてもよい。例えば、連通板１５を設けずに、ノズルプレート２０によって凹部４１を封止するようにしてもよい。
【００３６】
なおケース部材４０には、マニホールド１００に連通してマニホールド１００にインクを供給するための導入路４３が設けられている（図１参照）。またケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４８が設けられている。さらにケース部材４０は、接続口４８の開口縁部に壁部４９を備えている。この壁部４９には、配線基板１２１と、配線基板１２１に接続される接続基板１２２と、が固定されている。接続基板１２２は、例えば、外部配線が接続されるコネクター１２３が設けられたリジット基板からなる。
【００３７】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１では、インクを噴射する際に、まずインクカートリッジ等から導入路４３を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に弾性膜５０及び絶縁体膜５５をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。
【００３８】
（実施形態２）
図５は、実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図である。
【００３９】
図５に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１Ａは、ヘッド本体４１１と、ケース部材４４０と、圧電アクチュエーター５００と、を備える。
【００４０】
ヘッド本体４１１は、複数の圧力発生室４１２が形成された流路形成基板４１０と、各圧力発生室４１２に連通する複数のノズル４２１が穿設されたノズルプレート４２０と、流路形成基板４１０のノズルプレート４２０とは反対側の面に設けられる振動板４５０と、を備えている。
【００４１】
流路形成基板４１０には、各圧力発生室４１２が隔壁によって区画されてその幅方向に複数並設されている。また流路形成基板４１０の圧力発生室４１２の長手方向の一端側には、マニホールド６００が流路形成基板４１０を貫通して設けられている。そして、各圧力発生室４１２とマニホールド６００とは、それぞれインク供給路４１９を介して接続されている。
【００４２】
また圧力発生室４１２は、本実施形態では、流路形成基板４１０を貫通することなく形成されている。圧力発生室４１２のマニホールド６００とは反対の端部には、流路形成基板４１０を貫通する連通路４１６が形成されている。
【００４３】
流路形成基板４１０の一方面側にはノズル４２１が穿設されたノズルプレート４２０が接合されている。各ノズル４２１は、流路形成基板４１０に設けられた連通路４１６を介して各圧力発生室４１２と連通している。
【００４４】
流路形成基板４１０の他方面側、すなわち圧力発生室４１２の開口面側には、振動板４５０が接合され、圧力発生室４１２やマニホールド６００等の流路の一方面は、この振動板４５０によって封止されている。
【００４５】
振動板４５０は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜４５１と、この弾性膜４５１を支持する、例えば、金属材料等からなる支持板４５２との複合板で形成されており、弾性膜４５１側が流路形成基板４１０に接合されている。また振動板４５０の各圧力発生室４１２に対向する領域内には、圧電アクチュエーター５００の先端部が当接する島部４５３が設けられている。すなわち振動板４５０の各圧力発生室４１２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部４５４が形成されて、この薄肉部４５４の内側にそれぞれ島部４５３が設けられている。
【００４６】
そして振動板４５０上には、圧電アクチュエーター５００が各島部４５３にその先端部を当接させた状態で固定されている。圧電アクチュエーター５００は、圧電体層４７０と個別内部電極４８０及び共通内部電極４６０とが交互に積層され、圧電変形に寄与しない不活性領域が固定板４９０に固着されて圧力発生手段である圧電アクチュエーターユニット５１０を構成する。また圧電アクチュエーター５００の不活性領域には、駆動回路１２０が搭載された配線基板１２１が接続されている。
【００４７】
なお振動板４５０のマニホールド６００に対向する領域は、薄肉部４５４と同様に、支持板４５２が除去されて実質的に弾性膜４５１のみで構成され、マニホールド６００内の圧力変化によって変形するようになっている。
【００４８】
ケース部材４４０は振動板４５０上に固定され、圧電アクチュエーターユニット５１０が収容される収容部４４１を備える。この収容部４４１内には、圧電アクチュエーターユニット５１０が収容された際に、固定板４９０が係止される段差部４４２が設けられている。すなわち本実施形態では、固定板４９０がケース部材４４０の段差部４４２に接着剤によって接合されることで、圧電アクチュエーターユニット５１０は、圧電アクチュエーター５００の先端部を振動板４５０の島部４５３に当接させた状態で、ケース部材４４０に固定されている。
【００４９】
このように本実施形態では、圧電アクチュエーターユニット５１０が、高さの異なる第１の面５１０ａ及び第２の面５１０ｂを備える。すなわち圧電アクチュエーター５００の先端面である第１の面５１０ａが振動板４５０の島部４５３に接着され、固定板４９０の端面である第２の面５１０ｂが、ケース部材４４０の段差部４４２に接着剤によって固定されている。
【００５０】
そして固定板４９０とケース部材４４０の段差部４４２との間には、弾性を有する材料からなり接着剤１３０を吸収させた吸収部材１４０が挟持されている。すなわち固定板４９０とケース部材４４０の段差部４４２とは、吸収部材１４０に含まれる接着剤１３０によって接着固定されている。
【００５１】
これにより、実施形態１で説明したように、接着剤の不足による接合不良等を抑制して、圧電アクチュエーターユニット５１０とケース部材４４０とを良好に強固に接合することができる。
【００５２】
なお本実施形態では、固定板４９０とケース部材４４０の段差部４４２との間に吸収部材１４０を挟持した状態で、固定板４９０の圧電アクチュエーター５００とは反対側の面とケース部材４４０との隙間４４５から吸収部材１４０に接着剤１３０を吸収させるようにした。また本実施形態では、吸収部材１４０に吸収させた接着剤１３０のみによって固定板４９０とケース部材４４０とを接着固定しているが、例えば、図６に示すように、接着剤１３０を吸収部材１４０に吸収させ、さらに固定板４９０とケース部材４４０との隙間４４５に接着剤１３０を充填するようにしてもよい。これにより、圧電アクチュエーターユニット５１０をケース部材４４０により強固に接合することができる。
【００５３】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、ケース部材等の一の部材が、他の部材に接着される高さの異なる二つの面（第１及び第２の面）を備えた例を示して本発明を説明したが、勿論、一の部材が他の部材に接着される高さの異なる三つ以上の面を備えている場合にも本発明を適用することができる。
【００５４】
また、上述した各実施形態では、圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター及び縦振動型の圧電アクチュエーターを例示したが、圧力発生手段の構成は特に限定されるものではない。圧力発生手段は、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターなどであってもよい。さらに圧力発生手段は、例えば、圧力発生室内に配された発熱素子の発熱で生じるバブルによってノズルから液滴を噴射させるものや、振動板と電極との間に発生させた静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を噴射させるものなどであってもよい。
【００５５】
また上述したインクジェット式記録ヘッド１は、インクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５６】
本実施形態のインクジェット式記録装置は、いわゆるライン式の装置である。図７に示すように、インクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１を具備するインクジェット式記録ヘッドユニット２（以下、ヘッドユニット２という）と、装置本体３と、被記録媒体である記録シートＳを給紙するローラー４と、液体貯留手段５とを備えている。
【００５７】
ヘッドユニット２は、複数のインクジェット式記録ヘッド１と、これら複数のインクジェット式記録ヘッド１を保持する板状のベースプレート６と、を具備する。このヘッドユニット２は、ベースプレート６に取り付けられたフレーム部材７を介して装置本体３に固定されている。
【００５８】
ローラー４は、装置本体３に設けられ、装置本体３に給紙されインクジェット式記録ヘッド１のノズル面側を通過した紙等の記録シートＳを搬送して装置外部に排出させる。
【００５９】
またインクが貯留されている液体貯留手段５は装置本体３に固定されており、フレキシブルチューブ等の供給管８を介して各インクジェット式記録ヘッド１に接続されている。
【００６０】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、液体貯留手段５から供給管８を介して各インクジェット式記録ヘッド１に供給され、ローラー４によって記録シートＳが搬送されると、ヘッドユニット２のインクジェット式記録ヘッド１からインクが噴射されて記録シートＳに画像等が印刷される。
【００６１】
なおこの例では、インクジェット式記録装置Ｉがヘッドユニット２を一つだけ搭載されているが、インクジェット式記録装置Ｉに搭載するヘッドユニット２の数は特に限定されず、ヘッドユニット２は複数設けられていてもよい。
【００６２】
またインクジェット式記録装置として、いわゆるライン式のものを例示したが、インクジェット式記録装置は、勿論、これに限定されるものではない。例えば、キャリッジに搭載されたインクジェット式記録ヘッドを移動させながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。この場合、液体貯留手段はインクジェット式記録ヘッドと共にキャリッジに搭載されていてもよい。
【００６３】
さらに上述の実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて本発明について説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置にも勿論適用することができる。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００６４】
１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  インクジェット式記録ヘッドユニット、  ３  装置本体、  ４  ローラー、  ５  液体貯留手段、  ６  ベースプレート、  ７  フレーム部材、  ８  供給管、  １０  流路形成基板、  １１  ヘッド本体、  １２  圧力発生室、  １４  インク供給路、  １５  連通板、  １６  連通路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル、  ３０  保護基板、  ４０  ケース部材、  ４０ａ  第１の面、  ４０ｂ  第２の面、  ４１  凹部、  ４２  貫通孔、  ４３  導入路、  ４５  空間部、  ４６  封止膜、  ４７  可撓部、  ４８  接続口、  ４９  壁部、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体膜、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  ９０  リード電極、  １００  マニホールド、  １２０  駆動回路、  １２１  配線基板、  １２２  接続基板、  １２３  コネクター、  １３０  接着剤、  １４０  吸収部材、  ３００  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、  Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  Ｓ  記録シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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