(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド，前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ，前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置，少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体，及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて，
前記筐体は，前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット，前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット，前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー，前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート，及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており，
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するＴスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え，前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており，
前記パッキンは，前記取付溝内に配設された本体部，前記Ｔスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部，前記Ｔスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ，及び前記Ｔスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とすることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
【請求項２】
底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド，前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ，前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置，少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体，及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて，
前記筐体は，前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット，前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット，前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー，前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート，及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており，
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するＴスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え，前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており，
前記サイドカバーは，前記ベッドの前記側面に密接する側板部と前記側板部から延びて前記側板部に直交して前記ベッドの前記上面に掛けて延びる上板部とで断面Ｌ字形状に形成されており，前記サイドカバーの前記Ｌ字形状の角部には，前記側板部から前記ベッドの前記側壁上を内方へと入り込んだ形状に形成されたＴスロットで成るセンサ取付溝が設けられ，前記センサ取付溝を形成する下面部分は前記ベッドの前記側壁の上面に設置される肩部に形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
【請求項３】
底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド，前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ，前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置，少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体，及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて，
前記筐体は，前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット，前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット，前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー，前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート，及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており，
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するＴスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え，前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており，
密閉された前記筐体内の内部空間を前記スライダが前記ベッド上を移動する際に生じるポンピング現象を防止するため，前記スライダには，前記テーブル寄りの前記スライダの上部の端面間を貫通する通気孔が形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
【請求項４】
底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド，前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ，前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置，少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体，及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて，
前記筐体は，前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット，前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット，前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー，前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート，及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており，
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するＴスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え，前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており，
前記駆動装置は，モータ，及び前記モータで回転駆動され且つ前記ベッド内で前記エンドブラケットと前記モータブラケットとで軸受を介して回転自在に軸端がそれぞれ支持されたボールねじ軸と前記ボールねじ軸に螺合して前記スライダに取り付けられたボールねじナットとから成るボールねじから構成されており，前記エンドブラケットと前記モータブラケットには，塵埃が発生し易い場所である前記ボールねじ軸の前記軸端の近辺に，前記筐体の内部の空気を吸引するための吸引口が一対ずつ形成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，クリーンルーム等のクリーン環境下で適用可能になるように，長尺状のベッドを密閉部材で構成された筐体で密閉し，スライダに一体構造に設けたテーブルを駆動装置によってベッドの長手方向に沿って移動自在に位置決めできるテーブル装置を構成するクリーン環境用アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来，アクチュエータは，ワークを直線上に駆動案内し，組立装置，測定装置，機械装置，産業ロボット，半導体製造装置等の各種装置に広範囲に利用されている。近年，クリーンルーム等のクリーン環境下で使用されるアクチュエータとしては，上記のような各種装置に使用され，益々，電子機器等の小型化，高機能化が促進されるのに伴って，高速，高加減速な作動であっても高いクリーン度クラスが要望されると共に，高精度で，コンパクトであって軽量なものが要望されている。
【０００３】
本出願人は，上記のようなアクチュエータとして，断面Ｕ字形状で成る長尺状のフレーム及び前記フレーム内の長手方向に沿って摺動自在なスライダを押出成形による軽合金で形成し，転動体が転走する部分には引抜加工されたスチール部材の軌道部材をそれぞれに嵌着し，軽量で，断面高さが小さく，コンパクトな構造のものを開発し，先に特許出願した。該アクチュエータは，フレームとスライダ本体を軽合金の押出加工で成形し，フレームにおける軌道部材の固着を簡潔な構造に構成し，フレームとスライダ本体との間に上面シールを配設し，フレームの側壁には，Ｔ字形状の溝が設けられている。また，該アクチュエータは，両側壁に軌道部材を配設したアリ溝形状の軌道部材溝と舌部が形成された断面Ｕ字形状の長尺状のフレーム，軌道部材を配設した矩形形状の軌道部材溝が形成されたスライダ，及びフレームに対してスライダを移動自在に駆動する駆動装置を有するものである（例えば，特許文献１参照）。
【０００４】
従来，アクチュエータとして，開口部を備えたハウジングと，該ハウジングに対して開口部に沿って移動可能なスライダと，開口部を閉塞するシールプレートから構成されたものは知られている。該アクチュエータは，内部に発生した塵埃を外部へ流出させ，内部に塵埃が流入するのを防止したものであり，塵埃の流入又は流出を防止可能に構成されており，スライダによるポンピング現象を防止するため，ハウジング自体内にスライダの移動方向に沿って延びる中空部を形成すると共に，その中空部と任意の位置でのスライダ前後の空間とを連通可能にするため，前記中空部を造るハウジングの内壁面に多数の連通孔を形成したものである（例えば，特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１３８９８１号公報
【特許文献２】特開２０００−１９７３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら，上記特許文献１に開示されているアクチュエータは，文献の図１に示されるように，フレームの周囲が開放されており，スライダを動作することで生じる塵埃が周囲に拡散してしまうので，クリーン環境下では使用しづらいものに成っていた。また，上記特許文献２に開示されているアクチュエータは，文献の図５に示されるように，装置全体の容積が大きくなってしまい，内部空気を吸引する吸引量が多くなり，近年におけるスライダが高速，高加減速に作動する各種装置に対して，高いクリーン度クラスを実現することが難しいものに成っていた。
【０００７】
そこで，本出願人は，特許文献２に開示されているアクチュエータに比較して，更に高いクリーン度クラス（クラス３）を実現することができたクリーン環境用アクチュエータを開発することに成功したものである。本出願人によるクリーンルーム内で使用されるアクチュエータは，アクチュエータの動作により発生した塵埃をクリーンルーム内に放出しないように，アクチュエータ内部の空気を吸引してクリーンルームの外部へ放出することが可能になったものである。
【０００８】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，特許文献１に開示したアクチュエータを踏襲したものであり，スライダの高速，高加減速な作動にも対応可能であり，アクチュエータそのものを軽量に構成し，断面高さを低く構成し，コンパクトな構造の本体部分である断面Ｕ字形状のベッドの周囲を密閉性の富んだ筐体で覆って，更に，筐体の外側にセンサを配設して筐体内部をコンパクトにベッド内部空間を小さく構成し，ベッドに対する筐体の密閉性を高めて内部空間を少ない吸引量で済むように構成し，吸引口を効率的な吸引配置位置に形成してより高いクリーン度クラスを実現したことを特徴とするクリーン環境用アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は，底板と該底板の両側から長手方向に沿って立設された一対の側壁とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド，前記ベッドの前記側壁間の前記長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ，前記ベッドに対して前記スライダを移動可能に駆動する駆動装置，少なくとも前記ベッドの両端面と両側面と上面とを覆う筐体，及び前記スライダと一体構造に形成されて前記筐体の上面側から露出する取付面を備えたテーブルから成るクリーン環境用アクチュエータにおいて，
前記筐体は，前記ベッドの一端面を覆うエンドブラケット，前記ベッドの他端面を覆うモータブラケット，前記ベッドの前記両側面と前記両側面側の前記上面とを前記ベッドの両側からそれぞれ覆う一対のサイドカバー，前記ベッドの前記上面である前記サイドカバー間の開口部を覆うシールプレート，及び前記スライダの上面部分に掛かる前記シールプレートの部分と前記シールプレートの両側面から突出した前記テーブルとを上方から覆うテーブルカバーから構成されており，
前記ベッドのそれぞれの前記側壁に前記長手方向に沿って形成された取付溝を構成するＴスロットに全長に渡って嵌挿されたパッキンを備え，前記パッキンは前記ベッドの前記側面を覆う前記サイドカバーに密接して前記ベッドと前記サイドカバーとの間の隙間を密閉しており，前記パッキンは，前記取付溝内に配設された本体部，前記Ｔスロットを形成するフランジ部に係止する前記本体部から突出した係止部，前記Ｔスロットの底部に当接する前記本体部から突出した基底リップ，及び前記Ｔスロットを形成する開口部から突出して前記サイドカバーに密接する前記本体部から突出した封止リップから構成されていることを特徴とするクリーン環境用アクチュエータに関する。
【００１０】
また，このクリーン環境用アクチュエータにおいて，前記サイドカバーは，前記ベッドの前記側面に密接する側板部と前記側板部から延びて前記側板部に直交して前記ベッドの前記上面に掛けて延びる上板部とで断面Ｌ字形状に形成されており，前記サイドカバーの前記Ｌ字形状の角部には，前記側板部から前記ベッドの前記側壁上を内方へと入り込んだ形状に形成されたＴスロットで成るセンサ取付溝が設けられ，前記センサ取付溝を形成する下面部分は前記ベッドの前記側壁の上面に設置される肩部に形成されている。
【００１１】
また，このクリーン環境用アクチュエータにおいて，密閉された前記筐体内の内部空間を前記スライダが前記ベッド上を移動する際に生じるポンピング現象を防止するため，前記スライダには，前記テーブル寄りの前記スライダの上部の端面間を貫通する通気孔が形成されている。
【００１２】
また，このクリーン環境用アクチュエータにおいて，前記駆動装置は，モータ，及び前記モータで回転駆動され且つ前記ベッド内で前記エンドブラケットと前記モータブラケットとで軸受を介して回転自在に軸端がそれぞれ支持されたボールねじ軸と前記ボールねじ軸に螺合して前記スライダに取り付けられたボールねじナットとから成るボールねじから構成されており，前記エンドブラケットと前記モータブラケットには，塵埃が発生し易い場所である前記ボールねじ軸の前記軸端の近辺に，前記筐体の内部の空気を吸引するための吸引口が一対ずつ形成されている。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によるクリーン環境用アクチュエータは，上記のように構成されているので，断面Ｕ字形状のベッドとベッド内の長手方向に沿って転動体を介して摺動自在なスライダとから成るアクチュエータを基本的構成にしているので，剛性があり，高精度に位置決め可能であり，スライダの高速，高加減速の作動にも対応可能で成り，軽量であって断面高さが低く構成でき，コンパクトな構造に構成されている。また，このクリーン環境用アクチュエータは，ベッドを覆う筐体を密閉部材で構成して密閉性を高めた構成，特に，ベッドの側壁に従来備えていたＴスロットにパッキンを挿入して装着してベッドとサイドカバーとの隙間を確実に密閉すると共に，ベッドとスライダとを簡素な筐体で覆ってセンサを筐体の外側に配設しているので，ベッド内をスライダが摺動移動する筐体内の総容積を小さく構成でき，塵埃等を含んだ内部空気を少ない吸引量で吸引して浄化でき，高いクリーン度クラスを実現することができる。また，このクリーン環境用アクチュエータは，サイドカバーにベッド上方の筐体内部に入り込む状態でＴスロットのセンサ取付溝を設けたので，若干でも筐体容積を小さくでき，新たにセンサレールを設ける必要も無く，サイドカバーにベッドの側壁上面に設置される肩部が形成されているので，サイドカバーがベッドの側壁の上面に配置し易くなり，塵埃等を含んだ内部空気が少ない吸引量で浄化された高いクリーン度クラスを実現可能にしている。更に，このクリーン環境用アクチュエータは，スライダの上部に通気孔を形成するだけで，スライダの摺動移動がスムーズであって内部空気が圧縮されずシールプレートから圧縮空気が漏れ出ることが防止され，塵埃等を含んだ内部空気が少ない吸引量で浄化され，高いクリーン度クラスを実現可能にしている。また，このクリーン環境用アクチュエータは，エンドブラケット及びモータブラケットに一対の吸引口を設けるだけで，筐体内部の塵埃を効率良くクリーンルームの外に排出可能に成り，塵埃等を含んだ内部空気が少ない吸引量で浄化され，高いクリーン度クラスを実現可能にしている。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明によるクリーン環境用アクチュエータの一実施例を示す平面図である。
【図２】図１のクリーン環境用アクチュエータを示す正面図である。
【図３】図２のクリーン環境用アクチュエータにセンサが配設された状態を含めて示す側面図である。
【図４】図１のクリーン環境用アクチュエータのＡ−Ａ位置で断面して，テーブルからテーブルカバー等を取り外し，センサが配設された状態で示すＡ−Ａ断面図である。
【図５】図１のクリーン環境用アクチュエータのＢ−Ｂ位置でテーブルの部分を断面して，手前のサイドカバーを取り外した状態を含めて示すＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図１のクリーン環境用アクチュエータのテーブルの部分を示し，テーブルカバー及びシールプレートを取り外し，ガイドローラの軸受部分を一部断面した状態を含む平面図である。
【図７】このクリーン環境用アクチュエータにおけるスライダを構成するケーシングを示す端面図である。
【図８】図４のクリーン環境用アクチュエータのＣ部を拡大して示す拡大図である。
【図９】図４のクリーン環境用アクチュエータに配設されるパッキンを断面して示す断面図である。
【図１０】図１のクリーン環境用アクチュエータに配設される一対のサイドカバーのうち一方のサイドカバーを示す側面図である。
【図１１】図１０のサイドカバーを示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下，図面を参照して，この発明によるクリーン環境用アクチュエータの実施例を説明する。この発明によるクリーン環境用アクチュエータは，本出願人が先に開発した特許文献１に開示されたアクチュエータである精密位置決めテーブルを基にして，特に，アクチュエータの周囲を種々のカバー等の密閉部材で構成した筐体１で覆ってクリーン環境用に適用できる構造に構成したものである。このクリーン環境用アクチュエータは，クリーンルーム等のクリーン環境下で適用可能になるように，長尺状のベッド１を密閉部材で構成された筐体１で密閉し，筐体１の外部から内部へ又は内部から外部への塵埃の出入を防止し，筐体１外へ突出して露出した取付面１４を備えたテーブル６をモータ８等によってベッド５の長手方向に沿って移動自在に位置決めできるテーブル装置を構成したものである。筐体１は，本体部分である断面Ｕ字形状のベッド５に対して，ベッド５の一端面を覆うエンドブラケット９，ベッド５の他端面を覆うモータブラケット１０，ベッド５の両側面と該両側面側の上面とをそれぞれに覆う一対のサイドカバー３，ベッド５の上面であるサイドカバー３間の開口部を覆うシールプレート４，及びベッド５に対して摺動自在なスライダ２の上面部分に掛かるシールプレート４の両側面から突出して露出したテーブル６とスライダ２の上面部分に掛かるシールプレート４の部分とを上方から覆うテーブルカバー７から構成されている。サイドカバー３は，両端部に形成された取付け用孔５８（図１１）にねじ１３を通してサイドカバー３の両端がエンドブラケット９とモータブラケット１０とにそれぞれ固定されている（図２）。サイドカバー３は，特に，ベッド５に対して中央部が固定されていないので，両者の間の隙間を密閉するため，後述のパッキン３０が配設されている。
【００１６】
このクリーン環境用アクチュエータは，クリーン環境に適用されて，高いクリーン度クラスの要望（課題）に応えたものであり，断面Ｕ字形状のベッド５とベッド５を種々のカバー等で覆った筐体１の内部をコンパクトに内部空間を小さく構成し，筐体１の密封性を高めて，筐体１内を浄化するため少ない吸引量とし，効率的な吸引配置により，高いクリーン度クラス（クラス３）を実現したものに成っている。このクリーン環境用アクチュエータは，図４に示すように，底壁である底板３４と底板３４の両側から立設された一対の側壁３３とによって断面Ｕ字形状に形成された長尺状のベッド５，ベッド５の一対の側壁３３間の長手方向に沿って転動体を介して移動可能なスライダ２，及びベッド５に対してスライダ２を移動自在に駆動する駆動装置であるモータ８を基本構成にしており，図１〜図４に示すように，ベッド５の両端面と両側面と上面とを密閉部材で成る筐体１で覆ったものである。ベッド５の一対の側壁３３には，転動体が転走する軌道溝を形成する軌道部材４０を配置する取付け用溝３９が形成されている。このアクチュエータでは，ベッド５に配設した軌道部材４０，及びケーシング６０に配設した軌道部材６１については，本出願人が先に出願した特許文献１に開示されているものを適用できるものであるので，ここでは詳細な説明を省略する。
【００１７】
スライダ２は，ケーシング６０，ケーシング６０の長手方向の両端面に取り付けられたエンドキャップ４３（図６），エンドキャップ４３の端面に取り付けられ且つ給油口３８を備えたエンドシール３７から構成されている。スライダ２を構成するケーシング６０には，図７に示すように，中央にボールねじ軸３６を嵌挿する通し孔６４，通し孔６４の斜め上方に一対の通気孔２７，通し孔６４の斜め下方に一対のリターン路６２，及びベッド５の軌道部材４０に対応した位置の両側面に軌道溝を構成する軌道部材６１を配設する長手方向に延びる配置溝６５が形成されている。更に，ケーシング６０は，その上部に形成された首部５９と首部５９の上面部分４１から両側方に延びる連結部２８とを介して一体構造に構成された一対のフランジで成るテーブル６を備えている。即ち，テーブル６は，ケーシング６０の本体の摺動方向（長手方向）の両側にそれぞれ形成された一対のフランジ部で構成されている。テーブル６は，一体構造に形成された連結部２８をサイドカバー３とガイドローラ３１で持ち上がったシールプレート４との間を通して突出させ，ケーシング本体の両側の上方に位置するように構成されている。テーブル６の上面は，筐体１のテーブルカバー７から露出（表出）させてワーク等の他部材を取り付けるための取付面１４，及び取付面１４より低い面になるテーブルカバー７を取り付けるためのカバー取付面２３で構成されている。従って，テーブルカバー７は，取付面１４を除いてテーブル６の上面のカバー取付面２３と，テーブル６を構成するフランジ部の側面を密閉している。
【００１８】
このクリーン環境用アクチュエータについて，第１の特徴的要件である筐体１の密閉性を高めた構造は，サイドカバー３はその両端がエンドブラケット９とモータブラケット１０との側面にねじ１３でそれぞれ固定された構造であるので，ベッド５の側壁３３とサイドカバー３の側板部５５との間を密閉するために，ベッド５とサイドカバー３との間にゴム製等の弾性部材でなるパッキン３０を配設して相互間の隙間を密閉したことであり，従来のベッドの側壁に長手方向に形成されたＴスロットでなるセンサ取付溝を利用したものであり，その取付溝に適合し且つベッド５とサイドカバー３との相互にフィット可能な断面形状に形成されているパッキン３０を取付溝であるＴスロット２９の略全長に渡り装着したものに成っている。
【００１９】
また，このクリーン環境用アクチュエータについて，第２の特徴的要件である筐体１の内部空間を小さくした構造は，サイドカバー３にＴスロット状のセンサ取付溝２０を設けると共に，センサ取付溝２０を筐体１の内部側へ入り込んだ状態に周囲壁を構成したものであり，従来のようにセンサをベッドに配設することなく，センサ２２をサイドカバー３のセンサ取付溝２０に配設したので，筐体１の内部空間を小さく構成でき，また，センサ取付溝２０の周囲壁の下部部分６７である肩部４９をベッド５の側壁３３の上面４２に当接可能な載置面に形成することによって，サイドカバー３が側壁３３の上面に位置決めされ，設置し易いものに構成されている。センサ取付溝２０には，センサ２２が配設され，センサ２２は，テーブル６の側面に配設されている遮蔽板２１で遮蔽されている。
【００２０】
また，このクリーン環境用アクチュエータについて，第３の特徴的要件は，内部空間が小さい筐体１内をベッド５の長手方向に沿ってスライダ２が高速，高加減速に摺動する時に生じるポンピング現象，例えば，スライダ２の進行側の空間が圧縮され且つその圧縮された空気がベッド５の上面を覆うシールプレート４を押し退けて漏れ出る現象を防ぐために，スライダ２の端面間を貫通して通気孔２７を形成したものであり，通気孔２７はシールプレート４寄りのスライダ２，詳しくは，スライダ２を構成するケーシング６０の上部に形成されている。また，効率的な吸引配置としては，塵埃が発生し易い場所であるボールねじを構成するボールねじ軸３６の支持部，即ち，ボールねじ軸３６の軸端の軸受部の近辺におけるエンドブラケット９に一対の吸引口２５を形成し，更に，モータブラケット１０では，ボールねじ軸３６の軸端の軸受部が形成された端面部分に本体部に連通する一対の連通孔（図示せず）が形成されており，端面部分に続くモータ８とボールねじ軸３６とを連結するカップリング部を収容するカップリング収容部１６の両側壁部に上記連通孔に通じる吸引口１５を形成したものである。また，このクリーン環境用アクチュエータでは，ベッド５，スライダ２及びテーブル６は，主として，高強度アルミニウム合金製に構成され，軽量に構成されており，取り扱い易い材料で構成されている。
【００２１】
両側のテーブル６の上面は，筐体１から露出したワーク等を取り付けるための取付面１４に形成されており，取付面１４には，一対の取付け用ねじ孔１７が形成されている。ベッド５の下面は，ベース等へ取り付けるための取付面１８に形成されており，取付面１８には，所定間隔を有して長手方向に沿って複数の取付け用ねじ孔１９が形成されている。このクリーン環境用アクチュエータにおいて，ベッド５，スライダ２，スライダ２と一体構造のテーブル６，エンドブラケット９，モータブラケット１０，及び一対のサイドカバー３は，押出成形等による軽合金，例えば，高強度アルミニウム合金で形成されている。また，このクリーン環境用アクチュエータは，本出願人に係る特開２０１０−１３８９８１号公報に開示されているように，ベッド５及びスライダ２の転動体が転走する部分には，長手方向に沿って引抜加工されたスチール部材の軌道部材４０，６１がそれぞれに嵌着されて構成されている。従って，このクリーン環境用アクチュエータは，軌道部材を除く部分が軽量な材料で構成されているので軽量であって，断面高さが低く構成でき，コンパクトな構造に構成でき，剛性があり，高精度に位置決め可能で高速・高加減速な作動にも対応可能に構成されている。
【００２２】
このクリーン環境用アクチュエータにおいて，ベッド５に対してスライダ２を位置決め自在に移動させる駆動装置は，筐体１内に配設されており，両軸端をエンドブラケット９とモータブラケット１０とで軸受（図示せず）を介して回転自在に支持されたボールねじ軸３６とボールねじ軸３６に螺合し且つスライダ２の端部にねじ４４で取り付けられたたボールねじナット３５とから成るボールねじ，及びボールねじ軸３６を回転駆動するモータブラケット１０に配設されたモータ８から構成されている。
【００２３】
エンドブラケット９は，ベッド５の一方の端面にねじ１３で固着されている。筐体１内の内側端面には，全幅の中心位置にボールねじ軸３６を支持した軸受（図示せず）が嵌着されている。エンドブラケット９には，塵埃発生源となる上記軸受に隣接する両側において，筐体１内の塵埃を含んだ空気を吸引排出して空気を吸引する一対の吸引口２５が形成されている。一対の吸引口２５は，管継ぎ手用ねじ孔に形成されており，例えば，管継ぎ手用ねじ孔には，塵埃含有空気を浄化するフイルタ等の浄化装置に接続された吸引管（図示せず）が接続され，不使用側の吸引口２５の管継ぎ手用ねじ孔には，密閉のため止めプラグ（図示せず）が装着されて閉鎖されており，上記吸引管へ吸引された汚染空気は，浄化装置で浄化処理される。
【００２４】
モータブラケット１０は，エンドブラケット９とは反対側のベッド端面にねじ１３で固着されている。筐体１内の内側端面には，全幅の中心位置にボールねじ軸３６を支持した軸受（図示せず）が嵌着されている。モータブラケット１０は，その内側端面から外側に長手方向に延びてカップリング収容部１６が形成され，カップリング収容部１６の外側端面にモータアタッチメント１１が取り付けられている。外側端面のモータアタッチメント１１には，モータ８が配設されている。カップリング収容部１６は，内側端面から貫通して突出したボールねじ軸３６の軸端と外側端面を貫通して突出したモータ軸（図示せず）とを連結してなるカップリングを収容するための部屋に構成されて密閉されている。
【００２５】
モータブラケット１０には，内側端面の軸受に隣接する両側に一対の連通孔（図示なし）がカップリング収容部１６に貫通した状態で形成されており，それらの連通孔に続き，カップリング収容部１６の両側壁部に吸引口１５がそれぞれ形成されている。吸引口１５から筐体１の内部及びカップリング収容部１６の空気を排出することができるように構成されている。一対の吸引口１５は，エンドブラケット９に形成した吸引口２５と同様に，管継ぎ手用ねじ孔に形成されており，例えば，管継ぎ手用ねじ孔には，塵埃含有空気を浄化するフイルタ等の浄化装置に接続された吸引管（図示せず）が接続され，不使用側の吸引口１５に形成された管継ぎ手用ねじ孔には，密閉のため止めプラグ（図示せず）が装着されて閉鎖されている。
【００２６】
一対のサイドカバー３は，ベッド５の側方両側に長手方向に沿って延び，ベッド５の全長に渡って，ベッド５のそれぞれの側面から上面の一部に掛けて覆う一対の密閉部材に構成され，サイドカバー３の一端部はエンドブラケット９にねじ１３で固着され，他端部はモータブラケット１０にねじ１３で固着されている。サイドカバー３は，特に，図４，図１０，及び図１１に示すように，ベッド５の側面に長手方向に沿って当接する側板部５５と，側板部５５から直交して延びてベッド５の側面側の上面４２に掛けて延びる上板部５６とによって断面略Ｌ字形状に形成されいる。また，サイドカバー３は，断面Ｌ字形状の角部に当たる側板部５５に側板部５５の外側面２４から内方へ入り込んだ状態にＴスロットで成るセンサ取付溝２０が形成され，センサ取付溝２０を形作る内部の周囲壁の下面部分がベッド５の側壁３３の上面４２に設置当接可能な肩部４９に形成されている。言い換えれば，Ｔスロットで成るセンサ取付溝２０は，サイドカバー３の断面Ｌ字形状の角部において側板部５５からベッド５の側壁３３上を内方へと入り込んだ形状に形成されて，肩部４９がベッド５の側壁３３上に設置されている。また，サイドカバー３の上板部５６の長手方向に延びる側端部５７には，ベッド５の上面４２を覆うシールプレート４をサイドカバー３に吸着して境界部を密閉するため，ベッド５の上面４２で互いに対向して長手方向に沿って延びるマグネットシート２６を配設できるように，長手方向に沿って延びる凹部から成るマグネットシート配設部５４が形成されている。
【００２７】
シールプレート４は，ベッド５の上面４２に配設されたサイドカバー３の上板部５６間を長手方向に沿って覆っており，シールプレート４の両端がエンドブラケット９及びモータブラケット１０の上面に固定板１２を当ててねじ１３で固定されている。シールプレート４は，マグネットシート２６のマグネットに吸着可能なステンレス製の薄板に構成され，サイドカバー３にマグネットシート２６を介して吸着されている。シールプレート４は，図５及び図６に示すように，スライダ２を構成するケーシング６０及びケーシング６０と一体構造のテーブル６との部分では，ガイドローラ３１にガイドされてテーブル６間でケーシング６０の上方へガイドされている。即ち，ケーシング６０に一体構造でケーシング６０の首部５９の上面部分４１から延びる連結部２８は，シールプレート４とサイドカバー３との間から外側へ突出しており，突出した連結部２８から上方へ延びるフランジ部から成るテーブル６が形成されている。従って，テーブル６は，シールプレート４の両側に長手方向に延びて，シールプレート４の両側から露出したフランジ部から成るテーブル６に構成されている。テーブル６を構成するフランジ部の上面には，ワーク等の他部品を取り付ける取付面１４が形成される。シールプレート４は，テーブル６のフランジ部間に設けられたガイドローラ３１に案内され，サイドカバー３の上面から浮き上がって，ケーシング６０の上面部分４１の上方に沿って延び，再びサイドカバー３の上面へ当接して戻る状態にスライダ２の摺動移動に伴って上記状態が繰り返される。
【００２８】
テーブルカバー７は，フランジ部から成るテーブル６のワーク取付面１４が露出させた状態で，テーブル６の上面部分に掛かるシールプレート４の部分を上部から覆うと共に，シールプレート４がサイドカバー３の上面から浮き上がった隙間を覆うように，テーブル６の周囲を覆い，テーブル６にねじ固定されている。また，テーブル６を構成するフランジ部の対向する内側面間には，ガイドローラ３１，３２が配設されている。ガイドローラ３１，３２は，図６に示されるように，フランジ部に形成された取付け孔に配設された軸受４５を介して，シールプレート４を案内するように回転自在に配置されている。即ち，ガイドローラ３１，３２は，テーブル６のフランジ部間に渡って両端が軸受４５で回転支持された３本から成り，１本のガイドローラ３１はテーブル６の長手方向中央に配設されてシールプレート４の下面をガイドして回転し，２本のガイドローラ３２はテーブル６の端部にそれぞれ配設されてシールプレート４の上面を押えてガイドし，摺動方向の上流側ガイドローラ３２は，ガイドローラ３１によって持ち上がるシールプレート４を押さえて持ち上がりの起点となり，摺動方向の下流側ガイドローラ３２は，ガイドローラ３１によって持ち上がったシールプレート４を押さえてサイドカバー３上へ戻すようにガイドするようにシールプレート４を回転支持している。また，ガイドローラ３１，３２は，例えば，樹脂ライニングローラで構成されている。
【００２９】
一般に，クリーンルーム内で使用されるアクチュエータは，アクチュエータの動作により発生した塵埃をクリーンルーム内に放出しないように，アクチュエータ内部の空気を吸引してクリーンルームの外部へ放出している。本願発明の特徴的要件に関して，少ない吸引量で高いクリーン度クラスであるクリーン度クラス３を実現可能にした構造に構成されている。以下，このクリーン環境用アクチュエータを高いクリーン度クラスに構成できる特徴を述べる。
【００３０】
第１は，筐体１の密封性を高めた構成であり，図４，図５，図８及び図９に示すように，ベッド５とサイドカバー３との間にパッキン３０を配設して相互間の隙間を密閉したものであり，従来のベッドの側壁部に形成されたセンサ取付溝でなるＴスロットを利用して，そのＴスロットに適合してベッド５とサイドカバー３とに相互にフィット可能な断面形状で成るパッキン３０をＴスロット２９の略全長に渡り装着したものに成っている。パッキン３０は，図８及び図９に示すように，弾性変形可能なゴム材等から成り，Ｔスロット２９のフランジ部４６に係止するパッキン本体部５０の側部から突出して形成された一対の係止部５２，Ｔスロット２９の底部４８に当接してしっかりと支持可能に本体部下部から二股に突出して形成された一対の基底リップ５１，及びＴスロット２９の開口部４７から突出してサイドカバー３に柔軟に当接可能に成る本体部５０の上部から二股に突出して形成された封止リップ５３から構成されている。従って，パッキン３０は，サイドカバー３の両端をエンドブラケット９とモータブラケット１０とにねじ固定するだけで，ベッド５とサイドカバー３との隙間を密閉するようになる。
【００３１】
第２は，筐体１の内部の内部空間を少しでも小さくした構造であり，サイドカバー３に新たなＴスロットで成るセンサ取付溝２０を設けると共に，センサ取付溝２０を筐体内部へ入り込んだ状態に周囲壁を構成したものに成っている。また，サイドカバー３は，周囲壁の下部部分にベッド５の側壁３３の上面に当接可能な当接面になる肩部４９を形成したことで，サイドカバー３がベッド５の側壁３３の上面に高い精度で位置決め可能で配設し易いものに構成されている。また，サイドカバー３がベッド５の上面に高い精度で位置決めされることによって，サイドカバー３間を密封するシールプレート４の密着性が良好に成っている。
【００３２】
第３は，内部空間が小さい筐体１内をベッド５の長手方向に沿ってスライダ２が高速，高加減速に摺動移動するときに生じるポンピング現象，例えば，スライダ２の進行側の空間が圧縮され，その圧縮された空気がベッド５の上面を覆うシールプレート４を押し退けて漏れ出る現象を防ぐために，スライダ２の端面間に渡る通気孔２７を形成したものであり，通気孔２７はシールプレート４寄りのスライダ２の上部に形成されている。通気孔２７は，スライダ２の強度に影響しない形状と大きさに形成され，実施例では，円形孔に形成され，孔径はテスト結果から求められている。通気孔２７であればよいものである。
【００３３】
第４は，モータブラケット１０に形成した吸引口１５，及びエンドブラケット９に形成した吸引口２５は，その配設位置を塵埃が発生し易い場所，例えば，軸受近傍に近接して配置したものである。即ち，ボールねじの支持部の近辺に成るエンドブラケット９に一対の吸引口２５を設け，モータブラケット１０のカップリング収容部１６の両側壁部に一対の吸引口１５を設けたものに成っている。また，モータブラケット１０では，ボールねじ軸３６の軸端の軸受部が形成された端面部分に筐体１内部に連通する一対の連通孔が形成され（図示無し），端面部分に続くモータ８とボールねじ軸３６とを連結するカップリング部を収容する密閉されたカップリング収容部１６の両側壁部に連通孔に通じるそれぞれ吸引口１５が形成されている。
【００３４】
第５は，ベッド５，スライダ２，スライダ２と一体構造のテーブル６，エンドブラケット９，モータブラケット１０，及び一対のサイドカバー３が押出成形等による軽合金で形成されており，ベッド５及びスライダ２の転動体が転走する部分が長手方向に沿って引抜加工されたスチール部材の軌道部材４０，６１がそれぞれに嵌着されて構成されているので，軽量で，断面高さが小さく，コンパクトな構造に構成され，剛性があり高精度に位置決め可能で高速・高加減速な作動にも対応可能に構成されている。また，サイドカバー３にセンサ取付溝２０を形成したので，別途センサレールを取り付ける必要がないものである。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
この発明によるクリーン環境用アクチュエータは，クリーンルーム内の半導体製造装置，液晶製造装置，各種組立装置等の各種の装置における位置決め装置として使用される。
【符号の説明】
【００３６】
１      筐体
２      スライダ
３      サイドカバー
４      シールプレート
５      ベッド
６      テーブル
７      テーブルカバー
８      モータ
９      エンドブラケット
１０    モータブラケット
１４    取付面
１５，２５    吸引口
２０    センサ取付け用溝
２７    通気孔
２９    Ｔスロット
３０    パッキン
３３    側壁
３４    底壁
３５    ボールねじナット
３６    ボールねじ軸
４２    上面
４９    肩部
５０    パッキン本体部
５１    基底リップ
５２    係止部
５３    封止リップ
５５    側板部
５６    上板
５９    首部
６０    ケーシング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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