(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を撮像する撮像部と、
前記被検査物の特性を測定する特性測定部と、
前記被検査物に関する検査情報を取得する検査情報取得部と、
前記検査情報に対応する前記被検査物の測定条件に関する測定情報を決定する条件決定部と、
前記撮像部による撮像を制御する撮像制御部と、
前記測定情報に基づいて前記特性測定部による測定を制御する測定制御部と、を備え、
前記測定制御部は、前記特性測定部に対して、前記撮像部の撮像に選択的に同期して測定するように制御することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
さらに、前記被検査物を移動させる被検査物移動部を備え、
前記撮像制御部は、撮像領域を複数の分割撮像領域に分割し、前記撮像部に対して、前記分割撮像領域ごとに撮像するように制御し、かつ、
前記被検査物移動部に対して、前記撮像部が前記分割撮像領域の撮像をするたびに、次の分割撮像領域に被検査物を移動するように制御する
ことを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記特性測定部は、前記被検査物の特性を複数の前記分割撮像領域から複数箇所測定することを特徴とする、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記条件決定部は、前記検査情報に対応する前記被検査物の撮像条件に関する撮像情報を決定し、
前記撮像制御部は、前記撮像情報に基づいて前記撮像部による撮像を制御する
ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記撮像情報は、撮像倍率又は撮像箇所数のいずれかの情報を含むことを特徴とする、請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記測定情報は、測定箇所数の情報を含み、
前記測定制御部は、前記測定箇所数分の測定データを取得できなかった場合には、前記撮像部の撮像が終了した後に、前記特性測定部に対して、測定箇所数分の測定データを取得できるまで追加測定するように制御する
ことを特徴とする、請求項２から５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
さらに、被検査物を撮像してサムネイルを取得するサムネイル取得部を備え、
前記撮像制御部は、前記サムネイルから被検査物における測定部位の位置情報を取得し、前記撮像部に対して、前記分割撮像領域のうち前記測定部位が存在する測定部位存在領域のみ撮像するように制御し、
前記被検査物移動部に対して、前記撮像部が前記測定部位存在領域の撮像をするたびに、前記撮像部が次の測定部位存在領域を撮像できるように被検査物を移動するように制御する
ことを特徴とする、請求項２に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査情報取得部に代えて、
被検査物を撮像してサムネイルを取得し、該取得したサムネイルから前記検査情報を生成する前記サムネイル取得部を備える
ことを特徴とする、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記サムネイル取得部が生成する前記検査情報は、前記サムネイルの色情報を含むことを特徴とする、請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記測定情報は、撮像箇所からランダムに選択した場所を測定箇所とするか、又は撮像箇所から均等に離散的に選択した場所を測定箇所とするかの情報を含んでいることを特徴とする、請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記被検査物は染色された標本であり、前記特性測定部は前記標本の分光特性を測定することを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記特性測定部は、マルチスペクトルセンサを有することを特徴とする、請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記測定部による測定視野は、前記撮像部による撮像視野の一部であることを特徴とする、請求項１から１２のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記検査情報は、被検査物の作成施設、染色方法、染色色素、臓器種類、厚み、画像情報のいずれかの情報を含むことを特徴とする、請求項１から１３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記測定情報は、前記特性測定部が有するマルチスペクトルセンサの使用するチャネル、該マルチスペクトルセンサの積分時間、該マルチスペクトルセンサの感度、積算回数のいずれかの情報を含むことを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡や検査機等の検査装置に関し、特に被検査物を撮像するとともに被検査物の特性測定を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、顕微鏡や検査機等の検査装置において、標本等の被検査物を撮像してデジタル画像として記録するとともに被検査物の分光特性などの特性を測定し、被検査物の画像処理や、診断支援や画像検査等に利用することにより、高性能化を図る装置がある。
【０００３】
例えば、染色された生体標本を解析する顕微鏡等において、標本の複数部位の分光特性を測定し、標本の染色ばらつきを推定して補正することにより、安定した標本画像を得る装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
一方、被検査物の必要な観察領域を分割し、被検査物を位置制御しながら順次高倍率な対物レンズで撮像して得た分割画像を統合して広視野かつ高精細なデジタル画像を効率よく撮像する装置も提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９―１４３５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の検査装置では、被検査物の撮像と特性測定とを独立して行っており、また、被検査物の種類や特徴に応じてデータの測定条件を変更する必要があるため、検査を効率よく行うことができなかった。
【０００７】
本発明の目的は、上記問題を解決するため、被検査物の画像をデジタル画像として記録するとともに、被検査物の種類や特徴に応じて自動で最適な測定条件を決定して特性を測定し、被検査物の画像処理や、診断支援や画像検査等に利用できる、効率の良い検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る検査装置は、被検査物を撮像する撮像部と、前記被検査物の特性を測定する特性測定部と、前記被検査物に関する検査情報を取得する検査情報取得部と、前記検査情報に対応する前記被検査物の測定条件に関する測定情報を決定する条件決定部と、前記撮像部による撮像を制御する撮像制御部と、前記測定情報に基づいて前記特性測定部による測定を制御する測定制御部と、を備え、前記測定制御部は、前記特性測定部に対して、前記撮像部の撮像に選択的に同期して測定するように制御することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る検査装置によれば、被検査物の種類や特徴によって測定条件を変えるので、最適な条件で被検査物を測定することができる。また、撮像に同期して測定するので、検査時間を削減することができる。
【００１０】
また、本発明に係る検査装置において、さらに、前記被検査物を移動させる被検査物移動部を備え、前記撮像制御部は、撮像領域を複数の分割撮像領域に分割し、前記撮像部に対して、前記分割撮像領域ごとに撮像するように制御し、かつ、前記被検査物移動部に対して、前記撮像部が前記分割撮像領域の撮像をするたびに、次の分割撮像領域に被検査物を移動するように制御することを特徴とする。
【００１１】
本発明に係る検査装置によれば、被検査物を移動させつつ撮像し、検査時間を削減することができる。
【００１２】
また、本発明に係る検査装置において、前記特性測定部は、前記被検査物の特性を複数の前記分割撮像領域から複数箇所測定することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る検査装置によれば、被検査物の特性を複数箇所測定するので、精度の高い測定データを取得することができる。
【００１４】
また、本発明に係る検査装置において、前記条件決定部は、前記検査情報に対応する前記被検査物の撮像条件に関する撮像情報を決定し、前記撮像制御部は、前記撮像情報に基づいて前記撮像部による撮像を制御することを特徴とする。
【００１５】
本発明に係る検査装置によれば、被検査物の種類や特徴によって測定条件及び撮像条件を変えるので、最適な条件で被検査物を検査することができる。
【００１６】
また、本発明に係る検査装置において、前記測定情報は、測定箇所数の情報を含み、前記測定制御部は、前記測定箇所数分の測定データを取得できなかった場合には、前記撮像部の撮像が終了した後に、前記特性測定部に対して、測定箇所数分の測定データを取得できるまで追加測定するように制御することを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る検査装置によれば、撮像領域に対する測定部位存在領域が少ない場合であっても、測定箇所数分の測定データを取得できるようになる。
【００１８】
また、本発明に係る検査装置において、さらに、被検査物を撮像してサムネイルを取得するサムネイル取得部を備え、前記撮像制御部は、前記サムネイルから被検査物における測定部位の位置情報を取得し、前記撮像部に対して、前記分割撮像領域のうち前記測定部位が存在する測定部位存在領域のみ撮像するように制御し、前記被検査物移動部に対して、前記撮像部が前記測定部位存在領域の撮像をするたびに、前記撮像部が次の測定部位存在領域を撮像できるように被検査物を移動するように制御することを特徴とする。
【００１９】
本発明に係る検査装置によれば、サムネイルを取得することで被検査物が存在しない箇所の撮像及び測定をすることがなくなるので、より測定時間を短縮し、メモリ容量も削減することができる。
【００２０】
また、本発明に係る検査装置において、前記検査情報取得部に代えて、被検査物を撮像してサムネイルを取得し、該取得したサムネイルから前記検査情報を生成する前記サムネイル取得部を備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明に係る検査装置によれば、ユーザによる検査情報の入力が不要となり、完全に自動化することができる。
【００２２】
また、本発明に係る検査装置において、前記サムネイル取得部が生成する前記検査情報は、前記サムネイルの色情報を含むことを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る検査装置によれば、実際に撮像した画像に基づく情報を検査情報とすることができる。
【００２４】
また、本発明に係る検査装置において、前記測定情報は、撮像箇所からランダムに選択した場所を測定箇所とするか、又は撮像箇所から均等に離散的に選択した場所を測定箇所とするかの情報を含んでいることを特徴とする。
【００２５】
また、本発明に係る検査装置において、前記被検査物は染色された標本であり、前記特性測定部は前記標本の分光特性を測定することを特徴とする。また、前記特性測定部は、マルチスペクトルセンサを有することを特徴とする
【００２６】
本発明に係る検査装置によれば、マルチスペクトルセンサの使用するチャネル数を多くすることで、高い測定精度を得ることができ、高い測定精度が求められていない場合には、使用するチャネル数を減らすことで、測定時間を短縮することができる。
【００２７】
また、本発明に係る検査装置において、前記測定部による測定視野は、前記撮像部による撮像視野の一部であることを特徴とする。
【００２８】
本発明に係る検査装置によれば、全ての測定ポイントを撮像に同期して測定することができる。
【００２９】
また、本発明に係る検査装置において、前記撮像情報は、例えば撮像倍率又は撮像箇所数のいずれかの情報であり、前記検査情報は、例えば被検査物の作成施設、染色方法、染色色素、臓器種類、厚み、又は画像情報であり、記測定情報は、例えば前記特性測定部が有するマルチスペクトルセンサの使用するチャネル、該マルチスペクトルセンサの積分時間、該マルチスペクトルセンサの感度、又は積算回数である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、被検査物の種類や特徴に応じて、自動で最適な測定条件を決定することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による第１の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】マルチスペクトルセンサの分光感度の一例を示す図である。
【図３】本発明による第１の実施形態の検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】本発明による第２の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図５】本発明による第２の実施形態の検査装置の検査方法を説明する図である。
【図６】本発明による第２の実施形態の検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】本発明による第３の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図８】本発明による第３の実施形態の検査装置の検査方法を説明する図である。
【図９】本発明による第３の実施形態の検査装置の測定箇所を説明する図である。
【図１０】本発明による第３の実施形態の測定箇所選択方法を説明するフローチャートである。
【図１１】本発明による第３の実施形態の検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図１２】本発明による第４の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明による第３の実施形態の検査装置を適用した顕微鏡システムの構成を示すブロック図である。
【図１４】本発明による第３の実施形態の検査装置を適用した顕微鏡システムの光学構成の概略を示すブロック図である。
【図１５】本発明による第２の実施形態の検査装置の撮像領域内における測定箇所を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明による検査装置の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
（第１の実施形態）
本発明による検査装置は様々な分野に適用でき、例えば、特定の色の検出や、撮影時の色再現性の向上などを目的に使用することができる。本実施形態では、一例として、臓器摘出によって得たブロック標本や針生検によって得た病理標本を被検査物とし、病理標本を撮像及び特性測定して病理検査を行う検査装置について説明する。よって、以下の説明では被検査物のことを標本ともいう。薄切りされた標本は、光を殆ど吸収及び散乱せず無色透明に近いため、一般的に、観察に先立って色素による染色が施される。
【００３３】
生体組織標本の染色は、元々個体差を有する生体組織に対し、化学反応を用いて色素を固定する作業であるため、常に均一な結果を得ることが難しく、標本間で染色のばらつきが生じている。専門の技能を有した染色技師を配置することで、同一施設内での染色ばらつきをある程度軽減できるが、異なる施設間での染色ばらつきは依然として生じたままである。
【００３４】
染色にばらつきがあると、決定的な所見が見落とされる可能性がある。また、染色された標本をカメラで撮像して画像処理する場合、染色ばらつきが画像処理精度に悪影響を及ぼすおそれがある。例えば、ある病変が特定の色を呈することが判っていたとしても、標本を撮像した観察画像から自動的にその病変に対応する画像領域を抽出することが難しくなる。
【００３５】
そこで、本実施形態の検査装置は、染色された標本を撮像して撮像画像を取得するとともに、標本の分光特性（スペクトルデータ）を取得し、標本の撮像画像及び分光特性に対して演算処理を行って標本中の各色素量を推定し、この推定した色素量を適宜増減させて補正するとともに、この補正した色素量をもとに画像データを生成することで、染色状態を補正した観察画像を取得する。
【００３６】
図１は、第１の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１と、条件決定部１２と、測定制御部１３と、撮像制御部１４と、特性測定部１５と、撮像部１６と、画像処理部１７とを備える。
【００３７】
検査情報取得部１１は、ユーザインタフェースにより入力を受け付け、入力された被検査物に関する検査情報を取得し、条件決定部１２に出力する。検査情報の入力は、キーボードを用いて手動により入力することや、検査情報が埋め込まれたバーコードをバーコードリーダにより読み取って入力することにより行う。
【００３８】
検査情報取得部１１は、自動読取りタイプのバーコードリーダを有するのが好適である。自動読取りタイプのバーコードリーダは、所定箇所に標本がセットされると、検査情報が埋め込まれたバーコードを自動的に読み取る。これにより、フルオートで検査情報を取得することができ、手入力が不要となる。また、バーコードにより検査情報を直接取得してもよいが、バーコードリーダで読取った情報に従って、インターネット等の通信手段により検査情報を取得してもよい。
【００３９】
検査情報には、例えば、標本の作成施設、標本の染色方法、標本の臓器種類、及び標本の厚みの情報が含まれる。この検査情報の一例を表１に示す。この他にも、標本の染色色素や画像情報等を含めてもよい。
【００４０】
【表１】
0005698489.tif 000002
【００４１】
標本作成施設とは標本を作成した施設名をいう。標本の染色方法は、種々のものが提案されているが、病理標本に関しては、色素として青紫色のヘマトキシリンと赤色のエオジンの２つを用いるヘマトキシリン−エオジン染色（ＨＥ染色）が標準的に用いられている。その他、癌や遺伝子疾患に関連する染色体異数性や遺伝子増幅を検出する方法として、FISH（Fluorescence In Situ Hybridization）法や、CISH（Chromogenic In Situ Hybridization）法などが知られている。なお、検査情報として「臓器の切り出し方法」を追加してもよく、また、標本の臓器種類が同一である場合には、「標本の臓器種類」の代わりに「臓器の切り出し方法」としてもよい。
【００４２】
条件決定部１２は、検査情報取得部１１から入力される検査情報のうち、撮像条件に関する情報である撮像情報を撮像制御部１４に出力し、測定条件に関する情報である測定情報を測定制御部１３に出力する。撮像情報には、例えば、撮像倍率の情報が含まれる。この撮像情報の一例を表２に示す。ただし、撮像倍率があらかじめセットした倍率しか使用できないシステムもあり、その場合には撮像情報は不要となる。
【００４３】
【表２】
0005698489.tif 000003
【００４４】
測定情報には、例えば、測定視野、測定スペクトルチャネル（測定スペクトルＣＨ）、積算回数、スペクトルセンサ積分時間、及びスペクトルセンサ前の赤外カットフィルタの有無の情報が含まれる。この測定情報の一例を表３に示す。この他にも、スペクトルセンサの感度等を含めてもよい。
【００４５】
【表３】
0005698489.tif 000004
【００４６】
測定視野は、特性測定部１５が有する測定視野枠を切り換えることにより変更することができる。測定スペクトルチャネルとは、特性測定部１５が有するマルチスペクトルセンサによって測定可能なスペクトルチャネルのうち、測定に使用するスペクトルチャネルのことをいう。図２は、マルチスペクトルセンサの分光感度の一例を示す図であり、横軸に波長、縦軸に分光感度を示している。使用するチャネル数を多くすることで、高い測定精度を得ることができる。一方、高い測定精度が求められていない場合には、使用するチャネル数を減らすことで、測定時間を短縮することができる。また、積算回数とは、複数回数測定してその平均値を採用する場合の測定回数のことをいう。積算回数を多くすることで、高い測定精度を得ることができるとともに被写体が暗い場合にも対応することが出来る。また、スペクトルセンサ積分時間を変えて複数回測定することにより、ダイナミックレンジを広くすることができる。赤外カットフィルタの有無とは、マルチスペクトルセンサの前方に配置される赤外カットフィルタの有無をいう。
【００４７】
条件決定部１２は、データベース１２１を有している。データベース１２１は、あらかじめ用意された、検査情報と撮像情報及び測定情報とを１対１に対応付けるテーブルである。条件決定部１２は、データベース１２１を参照し、検査情報取得部１１から入力される検査情報に対応する測定情報、又は測定情報及び撮像情報を決定する。なお、データベース１２１を、検査情報と測定情報のみとを１対１に対応付けるテーブルとし、撮像情報は検査情報取得手段１１から直接取得するように構成することも可能である。
【００４８】
検査情報と測定情報とを対応付けることにより、被検査物ごとに最適な測定条件を決定することができる。例えば、染色液（及び光源）によって標本のスペクトルが異なり、測定に要するスペクトルも異なる。例えば、赤外カットされた光源とＨＥ染色の組み合わせの色素量推定のためにスペクトルを使用する場合に、６００ｎｍより赤外側のスペクトルは光量が少なくなり測定に時間がかかる上に、色素量推定に対してあまり有効性がないこともある。このような場合には、赤外側のスペクトルは測定しないようにすることで、測定時間及びデータ容量を削減することができる。また、検査装置を顕微鏡に適応した場合には、染色液（及び光源）、設定倍率等によっては非常にマルチスペクトルセンサの受光量が少ない場合がある。このような場合には、ノイズの影響でデータの信頼性が低くなるので、測定時の積算回数を上げる必要が生じる。データベース１２１の一例を表４に示す。
【００４９】
【表４】
0005698489.tif 000005
【００５０】
撮像制御部１４は、条件決定部１２から入力される撮像情報に基づいて、撮像部１６による被検査物の撮像を制御するための撮像制御情報を生成し、撮像部１６に出力する。
【００５１】
測定制御部１３は、条件決定部１２から入力される測定情報に基づいて、特性測定部１５による特性測定を制御するための測定制御情報を生成し、特性測定部１５に出力する。
【００５２】
特性測定部１５は、測定制御部１３から入力される測定制御情報に基づいて、被検査物の分光特性を測定し、測定データを画像処理部１７に出力する。
【００５３】
撮像部１６は、撮像制御部１４から入力される撮像制御情報に基づいて、被検査物を撮像し、撮像画像を画像処理部１７に出力する。
【００５４】
画像処理部１７は、特性測定部１５から入力される分光特性、及び撮像部１６から入力される撮像画像に対して演算処理を行って標本中の各色素量を推定し、この推定した色素量を適宜増減させて補正するとともに、この補正した色素量をもとに画像データを生成することで、染色状態を補正した観察画像を取得する。画像処理の具体的な方法は既知であり（例えば、特許文献１参照）、かつ本願の主題ではないため更なる説明を省略する。
【００５５】
図３は、本実施形態の検査装置の動作を説明するフローチャートである。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１によって、検査情報を取得する（ステップＳ１０１）。そして、条件決定部１２によって、データベース１２１を参照して、取得した検査情報に対応する撮像条件及び測定条件を決定する（ステップＳ１０２及び１０３）。次に、撮像制御部１４及び撮像部１６によって被検査物を撮像し撮像画像を取得するとともに、測定制御部１３及び特性測定部１５によって被検査物の特性を測定して測定データを取得する（ステップＳ１０４）。被検査物の撮像及び測定が終了すると、画像処理部１７によって、画像処理を行い（ステップＳ１０５）、検査処理を終了する。なお、必要に応じて、ステップＳ１０１の前又はステップＳ１０５の後において、被検査物に対する照明光の分光データを測定し、照明キャリブレーションを行うようにしてもよい。
【００５６】
このように、第１の実施形態の検査装置によれば、条件決定部１２を有することにより、被検査物の種類や特徴によって測定条件を変えることができるので、被検査物ごとに最適な条件で測定することができるようになる。
【００５７】
（第２の実施形態）
次に、本発明による第２の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、第１の実施形態と同じ構成要素には同一の参照番号を付して適宜説明を省略する。
【００５８】
図４は、本発明による第２の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１と、条件決定部１２と、測定制御部１３と、撮像制御部１４と、特性測定部１５と、撮像部１６と、画像処理部１７と、被検査物移動部１８とを備える。本実施形態の検査装置は、第１の実施形態の検査装置（図１参照）と比較して、さらに被検査物移動部１８を備える点で相違する。
【００５９】
本実施形態の検査装置は、図５に示すように、被検査物を移動させつつ被検査物を撮像して、複数の分割画像を取得する。つまり、高倍率の撮像を行う場合、撮像領域４１に対して１回で撮像できる領域である分割撮像領域４２は小さいため、被検査物を載置するステージを分割撮像領域４２ずつ移動させながら撮像し、後に撮像した複数の画像を統合することにより、撮像領域４１全体の撮像画像を取得する。図５中の矢印は分割画像領域４２を撮像する順番を示している。撮像箇所数が複数となるため、撮像情報には撮像箇所数を含める。また、測定は撮像箇所の一部又は全部について行うことができる。そのため、測定情報には測定箇所数及び測定箇所選択方法を含める。測定箇所選択方法とは、撮像箇所のうちのどの部分を測定箇所として選択するか、又はどのような方法で選択するか（例えば、全体を均等に離散的、又は細胞核の多い部分を狙い撃ち）を示す情報である。
【００６０】
標本の取得方法や取得箇所などによって、標本のある領域（測定部位４３）とない領域の割合などが異なる。また標本のある領域であっても臓器の種類によって、細胞核部分の密集度や細胞質等のある領域（測定部位４３内でさらに細胞核や細胞質がある領域）と空（何もない）領域の割合などが異なる。また、標本のある領域内であっても細胞核部分や細胞質部分など測定したい箇所の分布の仕方や分布密度が異なる。
【００６１】
例えば、均一に全体的に高密度で存在している標本１と、細胞核部分や細胞質部分が一部に密集している標本２と、空の部分が多く細胞核部分や細胞質部分が密集せずに離散的でかつ面積的にも少ない標本３があり、それぞれにおいて染色された細胞核部分や細胞質部分に相当する部分の分光特性（スペクトルデータ）を得たい場合、全て同一の測定箇所数及び測定箇所選択方法とすると、一番条件の悪いものにあわせなければならなくなり、測定時間もかかり、メモリも大量に必要になるため効率が悪い。つまり、標本１においては、標本部分の任意の一部の部分を数点測定するか標本部分全体から離散的に数点測定すれば必要なデータが得られるのに対して、標本３では細胞核部分や細胞質部分の存在確率が低いので数十点のデータを測定しなければならない。また、標本２では、細胞核部分や細胞質部分の分布に偏りがあるので、均等や離散的にデータを測定するなら測定箇所が増えるが、細胞核部分や細胞質部分が多い部分を狙って測定すれば測定点数を減らすことができる。これら組織の分布の仕方や分布密度は、臓器の種類や切り出し方法などにより異なる。また、細胞核等の大きさや形状も臓器の種類等により異なる。細胞核が小さくて測定視野が大きい場合は細胞核を染色する色素に応じたスペクトルを測定できない。
【００６２】
よって、本実施形態では、データベース１２１により、臓器の種類と、測定箇所数及び測定視野とを対応付けることで、測定をより正確かつ効率的に行うことができる。なお、本実施形態では臓器の種類に応じて決めているが、臓器の切り出し方法など臓器の種類以外の情報を用いても良い。撮像情報の一例を表５に、測定情報の一例を表６に、データベース１２１の一例を表７に示す。
【００６３】
【表５】
0005698489.tif 000006
【００６４】
【表６】
0005698489.tif 000007
【００６５】
【表７】
0005698489.tif 000008
【００６６】
図１５は、撮像領域内における測定箇所を説明する図である。例えば、測定箇所選択方法として「均等」が選択された場合には、撮像箇所数／測定箇所数＝ｋとすると、ｋ回に１回測定する。図１５（ａ）は、全ての分割画像領域４２を撮像箇所とし、ｋ＝３としたときの測定箇所を太枠で示している。測定箇所選択方法として「狙い撃ち」が選択された場合には、ｌ回に１回測定し、ある測定箇所における測定データが特定のスペクトルデータが高くなる等の所定の条件を示した場合には、その測定箇所（以下、測定箇所Ｐと称する）を起点として重点的に測定を行うようにする。例えば、測定箇所Ｐを起点としてｍ×ｍ個の分割画像領域４２で測定データが得られるように制御する、あるいは測定箇所Ｐを起点としてｎ個の連続した分割画像領域４２で測定と撮影を行う（ここで、ｌ，ｍ，ｎは任意の整数とする）。図１５（ｂ）は、全ての分割画像領域４２を撮像箇所とし、ｌ＝３、ｍ＝３としたときの測定箇所を太枠で示している。また、図１５（ｃ）は、全ての分割画像領域４２を撮像箇所とし、ｌ＝３、ｎ＝５としたときの測定箇所を太枠で示している。また、「狙い撃ち」が選択された場合に、図１５（ｄ）に示すように、測定箇所Ｐを起点として、太枠で示された所定の分割画像領域４２のみを測定するようにしてもよい。
【００６７】
撮像制御部１４は、条件決定部１２から入力される撮像情報に基づいて被検査物の撮像を制御するための撮像制御情報を生成し、撮像部１６に出力するとともに、被検査物の位置を制御するための移動制御情報を生成し、被検査物移動部１８に出力する。また、撮像制御部１４は、撮像部１６による撮像と、特性測定部１５による測定との同期をとるために、撮像箇所が同時に測定箇所でもある場合には、測定制御部１３に対して同期信号を出力する。
【００６８】
測定制御部１３は、条件決定部１２から入力される測定情報に基づいて、特性測定部１５による特性測定を制御するための測定制御情報を生成し、特性測定部１５に出力する。また、測定制御部１３は、撮像制御部１４からから入力される同期信号に基づいて、測定タイミング指示信号を生成し、特性測定部１５に出力する。
【００６９】
画像処理部１７は、撮像部１６から入力される分割された撮像画像を統合する機能を有する。
【００７０】
被検査物移動部１８は、撮像制御部１４から入力される移動制御情報に基づいて、被検査物の位置を制御する。例えば、被検査物がステージ又はライン上に載置される場合には、ステージ又はラインを移動させることにより、被検査物の位置を制御する。
【００７１】
図６は、本実施形態の検査装置の動作を説明するフローチャートである。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１によって、検査情報を取得する（ステップＳ２０１）。そして、条件決定部１２によって、データベース１２１を参照して、取得した検査情報に対応する撮像条件及び測定条件を決定する（ステップＳ２０２及びステップＳ２０３）。
【００７２】
本実施形態の検査装置は、複数箇所の撮像を行うため、撮像制御部１４は、撮像回数ｎに初期値０を設定する（ステップＳ２０４）。撮像制御部１４は、撮像箇所が同時に測定箇所であるか否かを判定する（ステップＳ２０５）。撮像箇所が同時に測定箇所である場合には、撮像部１６により、被検査物の撮像を行うとともに、特性測定部１５により、撮像に同期して被検査物の測定を行う（ステップＳ２０６）。一方、撮像箇所が同時に測定箇所ではない場合には、撮像部１６により、被検査物の撮像のみ行う（ステップＳ２０７）。ステップＳ２０６又はステップＳ２０７による処理が終了すると、撮像制御部１４は、撮像回数ｎを１だけインクリメントする（ステップＳ２０８）。
【００７３】
次に、撮像制御部１４は、撮像回数ｎが撮像情報によって指定される撮像箇所数と一致しているか否かを判定する（ステップＳ２０９）。撮像回数ｎが撮像箇所数と一致していない場合には、被検査物移動部１８により被検査物を移動し（ステップＳ２１０）、ステップＳ２０５からステップＳ２０９の処理を繰り返す。一方、撮像回数ｎが撮像箇所数と一致した場合には、画像処理部１７によって、画像処理を行い（ステップＳ２１１）、検査処理を終了する。
【００７４】
このように、第２の実施形態の検査装置によれば、被検査物の分割画像を取得する際に、測定を同期して行うとともに、必要な測定回数だけ測定を行うので、撮像後に別途位置制御して測定する場合や常に撮影時に測定する場合と比較して、検査時間や測定結果格納用のメモリを削減することができるようになる。
【００７５】
（第３の実施形態）
次に、本発明による第３の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、第２の実施形態と同じ構成要素には同一の参照番号を付して適宜説明を省略する。
【００７６】
図７は、本発明による第３の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１と、条件決定部１２と、測定制御部１３と、撮像制御部１４と、特性測定部１５と、撮像部１６と、画像処理部１７と、被検査物移動部１８と、サムネイル取得部１９とを備える。本実施形態の検査装置は、第２の実施形態の検査装置（図４参照）と比較して、さらにサムネイル取得部１９を備える点で相違する。なお、撮像部１６がサムネイル取得部１９を有する構成であってもよい。
【００７７】
サムネイル取得部１９は、被検査物の撮像及び測定を行う前に、撮像部１６により被検査物の全体画像を低倍率で撮像して低倍率全体画像（以下、サムネイルと称する）を取得し、測定制御部１３及び撮像制御部１４に出力する。
【００７８】
撮像制御部１４は、サムネイル取得部１９から入力されるサムネイルから、被検査物における測定部位の位置情報を取得する。そして、撮像制御部１４は、撮像部１６が測定部位の存在する箇所のみを撮像するように被検査物の位置を制御する移動制御情報を生成し、被検査物移動部１８に出力する。被検査物移動部１８が被検査物を移動することにより、図８（ａ）に示すように、撮像部１６は、分割撮像領域４２のうち、測定部位４３が存在する領域である測定部位存在領域４４のみを撮像する。図８（ａ）中の矢印は測定部位存在領域４４を撮像する順番を示している。
【００７９】
また、サムネイルにより撮像領域中の測定部位４３の位置を正確に把握できるので、測定情報に含まれる測定箇所選択方法の内容を、第２の実施形態においては「均等」又は「狙い撃ち」と指定していたところ、本実施形態では「標本部位均等」や「標本部端部１ｍｍを除いて均等」といったように、撮像領域内の測定部位４３やその内側を測定箇所として指定することもできる。
【００８０】
本実施形態では、測定視野は撮像視野よりも小さいため、測定領域４５を測定部位存在領域４４の中央部としている。サムネイルにより精度の良い情報が得られるため、測定領域４５の一部、好適には全部に測定部位４３が存在する撮像箇所を測定候補箇所とする。図８（ｂ）及び（ｃ）は、図８（ａ）に示す撮像領域４１から１つの測定部位存在領域４４を抜き出したものである。図８（ｂ）に示す測定領域４５には測定部位４３が存在しないため、この撮像箇所は測定候補箇所とはしない。一方、図８（ｃ）に示す測定領域４５には測定部位４３が存在するため、この撮像箇所を測定候補箇所とするというようにさらに無駄な測定を排除することができる。
【００８１】
撮像領域４１に対する測定部位存在領域４４が少ない場合など、測定情報によって指定される測定箇所数を確保できないことも考えられる。測定候補箇所が足りない場合を考慮してそのような場合には、１つの撮影箇所に対して２箇所以上測定することで測定箇所を追加する。図９は、測定箇所の追加を説明する図であり、図８（ａ）に示す撮像領域４１から１つの撮影箇所（測定部位存在領域４４）を抜き出したものである。測定領域４５ａは測定部位存在領域４４内の測定箇所を示している。測定領域４５ａの測定視野は測定部位存在領域４４よりも小さいので、測定箇所が足りない場合には、測定領域４５ａを同一の測定部位存在領域４４内で所定の位置だけずらした位置に測定領域４５ｂを設定し、測定領域４５ｂ内の一部、好適には全部に測定部位４３が存在する場合には、測定領域４５ｂを測定第二候補箇所として追加する。測定領域４５ｂを測定するためには図９の測定部位存在領域４４に対して所定位置だけずらした領域に被検査物の位置を移動制御すれば、結果として図９の４５ｂの領域がセンサ測体領域となる。
【００８２】
図１０は、測定制御部１３による測定箇所の選択方法を説明するフローチャートである。まず、撮像制御部１４から分割撮像領域４２のサイズ情報を取得して、サムネイルから撮像領域を複数の分割撮像領域４２に分割し、測定部位存在領域４４を抽出する（ステップＳ３０１）。次に、測定情報によって指定される測定箇所選択方法に従って測定候補箇所から測定箇所を選択し（ステップＳ３０２）、測定情報によって指定される測定箇所数分の測定箇所を選択することができたか否かを判定する（ステップＳ３０３）。測定箇所数分の測定箇所を選択することができた場合には、選択した箇所を測定箇所とする（ステップＳ３０４）。
【００８３】
一方、測定箇所数分の測定箇所を選択することができなかった場合には、選択した箇所を測定箇所とするとともに、測定箇所を所定の位置だけずらした測定第二候補箇所を別途選択する（ステップＳ３０５）。そして、測定箇所数分の測定箇所を別途選択することができたか否かを判定する（ステップＳ３０６）。測定箇所数分の測定箇所を別途選択することができた場合には、別途選択した箇所を追加測定箇所とする（ステップＳ３０７）。一方、測定箇所数分の測定箇所を別途選択することができなかった場合には、警告する（ステップＳ３０８）。警告後は、例えば、検査装置が表示部を有する場合には、測定情報によって指定される測定箇所数よりも少ない測定箇所数で測定を実行するか、又は被検査物を取り替えるかをユーザに選択させるメッセージを表示し、選択された方法に従って処理を進めるようにしてもよい。
【００８４】
図１１は、本実施形態の検査装置の動作を説明するフローチャートである。本実施形態の検査装置は、検査情報取得部１１によって、検査情報を取得し（ステップＳ４０１）、サムネイル取得部１９によって、撮像領域のサムネイルを取得する（ステップＳ４０２）。そして、条件決定部１２によって、データベース１２１を参照して、取得した検査情報に対応する撮像条件及び測定条件を決定する（ステップＳ４０３及びステップＳ４０４）。
【００８５】
撮像制御部１４は、撮像回数ｎに初期値０を設定する（ステップＳ４０５）。撮像制御部１４は、撮像箇所が同時に測定箇所であるか否かを判定する（ステップＳ４０６）。撮像箇所が同時に測定箇所である場合には、撮像部１６により、被検査物の撮像を行うとともに、特性測定部１５により、撮像に同期して被検査物の測定を行う（ステップＳ４０７）。一方、撮像箇所が同時に測定箇所ではない場合には、撮像部１６により、被検査物の撮像のみ行う（ステップＳ４０８）。ステップＳ４０７又はステップＳ４０８による処理が終了すると、撮像制御部１４は、撮像回数ｎを１だけインクリメントする（ステップＳ４０９）。
【００８６】
次に、撮像制御部１４は、撮像回数ｎが撮像情報によって指定される撮像箇所数と一致しているか否かを判定する（ステップＳ４１０）、撮像回数ｎが撮像箇所数と一致していない場合には、被検査物移動部１８により被検査物を移動し（ステップＳ４１１）、ステップＳ４０６からステップＳ４１０の処理を繰り返す。一方、撮像回数ｎが撮像箇所数と一致した場合には、追加測定箇所があるか否かを判定する（ステップＳ４１２）。追加測定箇所がない場合には、画像処理部１７によって、画像処理を行い（ステップＳ４１４）、検査処理を終了する。一方、追加測定箇所がある場合には、特性測定部１５により、追加測定箇所の測定を行う（ステップＳ４１３）。ステップＳ４１３においては、撮像は行わない。その後、画像処理を行い（ステップＳ４１４）、検査処理を終了する。
【００８７】
なお、測定箇所選択方法として「均等」が選択され、撮像箇所数／測定箇所数＝１である場合には、常に撮像と同期して測定する。したがって、ステップＳ４０６及びステップＳ４０８は不要となる。この場合、測定する度に測定データを判断し、測定箇所数分の測定データを取得できた時点で測定を終了し、撮像が終了しても測定データが足りなかったときには撮像同期無しで追加測定する。あるいは、撮像が終了したところで測定箇所数分の測定データを取得できているか確認し、測定データが足りなかったときには撮像同期無しで追加測定する。
【００８８】
このように、第３の実施形態の検査装置によれば、あらかじめサムネイルを取得することで測定部位が存在しない箇所の撮像及び測定をすることがなくなるので、より測定時間を短縮し、メモリ容量も削減することができるようになる。
【００８９】
（第４の実施形態）
次に、本発明による第４の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、第３の実施形態と同じ構成要素には同一の参照番号を付して説明を省略する。
【００９０】
図１２は、本発明による第４の実施形態の検査装置の構成を示すブロック図である。本実施形態の検査装置は、条件決定部１２と、測定制御部１３と、撮像制御部１４と、特性測定部１５と、撮像部１６と、画像処理部１７と、被検査物移動部１８と、サムネイル取得部１９とを備える。本実施形態の検査装置は、第３の実施形態の検査装置（図７参照）と比較して、検査情報取得部１１を備えない点で相違する。
【００９１】
サムネイル取得部１９は、被検査物の撮像及び測定を行う前に、撮像部１６により撮像領域を撮像してサムネイルを取得し、測定制御部１３及び撮像制御部１４に出力するとともに、取得したサムネイルを基に検査情報を生成し、条件決定部１２に出力する。この場合、検査情報には、例えば、ホワイトバランス（ＷＢ）調整後の標本の各分割撮像領域４２の平均色情報が含まれる。検査情報の一例を表８に示す。なお、ＷＢ調整後の標本の各分割撮像領域４２の平均色情報の代わりに、ＷＢ調整後の標本の各測定部位存在領域４４の平均色情報としてもよい。
【００９２】
【表８】
0005698489.tif 000009
【００９３】
また、検査情報に染色濃度及びＷＢ調整後の標本の各分割撮像領域４２の平均色情報が含まれるため、測定情報に含まれる測定箇所選択方法の内容に、この情報に基づいて「色相が赤の部分」を例えばＣｒが所定値以上の部分として判別したり、「濃度が濃い部分」を例えばＹが所定値以下の部分として判別することで指定することもできる。測定情報の一例を表９に示す。
【００９４】
【表９】
0005698489.tif 000010
【００９５】
第４の実施形態の動作は、図１１に示す第３の実施形態の動作と比較して、検査情報を取得する処理（ステップＳ４０１）が不要となる。その後の動作は同じである。
【００９６】
このように、第４の実施形態の検査装置によれば、サムネイル取得部１９がサムネイルから検査情報を生成するため、ユーザによる検査情報の入力が不要となり、完全に自動化することができるようになる。
【００９７】
ここで、第３の実施形態の検査装置を顕微鏡に適用した顕微鏡システムの構成を図１３に示す。顕微鏡システムは、ユーザインタフェース２１と、ホストシステム２２と、制御コントローラ２３と、カメラユニット制御部２４と、測定ユニット制御部２５と、フォーカス検出ユニット制御部２６と、レボルバユニット制御部２７と、光源ユニット制御部２８と、ステージユニット制御部２９と、ＸＹ駆動制御部３０と、Ｚ駆動制御部３１と、顕微鏡３２とを備える。
【００９８】
ユーザインタフェース２１は検査情報取得部１１に対応する。ホストシステム２２は、例えばＰＣであり、条件決定部１２及び画像処理部１７に対応する。制御コントローラ２３は、測定制御部１３及び撮像制御部１４に対応する。カメラユニット制御部２４、フォーカス検出ユニット制御部２６、レボルバユニット制御部２７、及び光源ユニット制御部２８は、撮像部１６及びサムネイル取得部１９に対応する。測定ユニット制御部２５は、特性測定部１５に対応する。ステージユニット制御部２９、ＸＹ駆動制御部３０、及びＺ駆動制御部３１は、被検査物移動部１８に対応する。
【００９９】
顕微鏡３２は、側面視略コ字状の顕微鏡本体３４と、顕微鏡本体３４の上部に載置された鏡筒部３３とを備える。鏡筒部３３は、カメラユニット３３１と、双眼ユニット３３２と、フォーカス検出ユニット３３３と、測定ユニット３３４とを備える。カメラユニット３３１は、対物レンズ３４２の視野範囲の標本像を結像するＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を備えて構成され、被検査物を撮像し、被検査物画像をホストシステム２２に出力する。双眼ユニット３３２は、被検査物３４３を目視観察できるように観察光を導く。測定ユニット３３４は、被検査物３４３のスペクトル情報を取得し、ホストシステム２２に出力する。
【０１００】
顕微鏡本体３４は、対物レンズ３４２を保持するレボルバユニット３４１と、被検査物３４３が載置されるステージユニット３４４と、顕微鏡本体３４の底部後方に内設された光源ユニット３４５とを備える。
【０１０１】
レボルバユニット３４１が保持するレボルバは、顕微鏡本体３４に対して回転自在であり、対物レンズ３４２を被検査物３４３の上方に配置する。対物レンズ３４２は、レボルバに対して倍率（観察倍率）の異なる他の対物レンズとともに交換自在に装着されており、レボルバの回転に応じて観察光の光路上に挿入されて被検査物３４３の観察に用いる対物レンズ３４２が択一的に切換えられるようになっている。
【０１０２】
ここで、対物レンズ３４２の光軸方向をＺ方向とし、Ｚ方向と垂直な平面をＸＹ平面として定義すると、ステージユニット３４４のステージは、ＸＹＺ方向に移動自在に構成されている。すなわち、ステージは、モータ（図示せず）及び該モータの駆動を制御するＸＹ駆動制御部３０によってＸＹ平面内で移動自在である。ＸＹ駆動制御部３０は、ＸＹ位置の原点センサ（図示せず）によってステージのＸＹ平面における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、被検査物の観察視野を移動させる。
【０１０３】
また、ステージは、モータ（図示せず）及び該モータの駆動を制御するＺ駆動制御部３１によってＺ方向に移動自在である。Ｚ駆動制御部３１は、Ｚ位置の原点センサ（図示せず）によってステージのＺ方向における所定の原点位置を検知し、この原点位置を基点としてモータの駆動量を制御することによって、所定の高さ範囲内の任意のＺ位置に被検査物を焦準移動させる。
【０１０４】
制御コントローラ２３は、ホストシステム２２の制御に基づいて、顕微鏡装置３２を構成する各部の動作を統括的に制御する。例えば、制御コントローラ２３は、レボルバを回転させて観察光の光路上に配置する対物レンズ３４２を切換える処理や、切換えた対物レンズ３４２の倍率等に応じた光源の調光制御や各種光学素子の切換え、あるいはＸＹ駆動制御部３０やＺ駆動制御部３１に対するステージの移動指示等、被検査物３４３の観察に伴う顕微鏡３２の各部の調整を行うとともに、各部の状態を適宜ホストシステム２２に通知する。
【０１０５】
また、制御コントローラ２３は、フォーカス検出ユニット３３３を制御して顕微鏡３２のフォーカス状態に関する情報を取得し、その結果に応じてＺ駆動制御部３１に対するステージの移動指示を行うことで被検査物に自動的にピントを合わせるオートフォーカス制御を実現する。
【０１０６】
さらに、制御コントローラ２３は、ホストシステム２２の制御に基づいて、カメラユニット３３１の自動ゲイン制御のＯＮ／ＯＦＦ切換、ゲインの設定、自動露出制御のＯＮ／ＯＦＦ切換、露光時間の設定等を行ってカメラユニット３３１を駆動し、カメラの撮像動作を制御する。また、測定ユニット３３４によるスペクトルの取得の際の測定視野や測定箇所、測定数、測定の際の積算回数や使用するマルチスペクトルセンサのチャネル数、フィルタ設定等を制御する。
【０１０７】
図１４は、顕微鏡システムの光学構成の概略を示すブロック図である。光源ユニット３４５の光源３４５１から射出された照明光は、赤外カットフィルタ３４５２とコンデンサレンズ３４５３とを通過して被検査物３４３に照射され、その透過光が観察光として対物レンズ３４２に入射する。
【０１０８】
対物レンズ３４２を通過した光はハーフミラー３３３１によって分割され、一方はフォーカス検出回路３３３２に導入され、他方は双眼ユニット３３２に導入される。双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１及び３３２２によって接眼レンズ３３２３へ照射され、被検査物３４３の被検査画像（標本像）が検鏡者に目視観察される。
【０１０９】
また、双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１及び３３２２によってカメラユニット３３１へ導入される。カメラユニット３３１へ導入された光は、結像レンズ３３１１を介してカメラ結像面３３１２に結像される。
【０１１０】
また、双眼ユニット３３２に導入された光は、ハーフミラー３３２１によって測定ユニット３３４へ導入される。測定ユニット３３４へ導入された光は、反射ミラー３３４１及び結像レンズ３３４２により結像面３３４３で結像され、結像面３３４３上には視野枠が設けられ、結像面３３４３中の所定の視野の光のみを導く構成となっている。これにより、結像面３３４３の視野枠の変更（例えば、１００μｍ×１００μｍから４００μｍ×４００μｍへの変更）に対応可能となる。結像面３３４３中の所定の視野の光はその後光拡散デバイス３３４４（例えば、光ファイバ又は積分球）により、結像面３３４３の光を混合又は拡散して均一化され、マルチスペクトルセンサ３３４６に照射される。なお、マルチスペクトルセンサ３３４６の前には赤外カットフィルタ３３４５を挿脱可能なように配置することも可能である。
【０１１１】
マルチスペクトルセンサ３３４６は、複数（例えば、４〜２０色）のカラーセンサで構成されている。使用するカラーセンサ数、すなわち計測スペクトルチャネル数については、被写体が分光的に細かい特性を持っている場合にはチャネル数を多くし、高い測定精度を必要としない場合にはチャネル数を少なくして計測時間を短縮する。測定スペクトルチャネル数の情報は、条件決定部から出力される測定情報に含まれる。
【０１１２】
上述の実施形態では、本発明による検査装置を病理標本の検査に用いる例について説明したが、他の検査にも用いることができるのは勿論である。例えば、実装基板の検査に用いることができる。具体的には、所定時間通電した基板（被検査物）を検査装置にセットし、分割撮像した高解像画像に基づいて実装不良を画像で検出するとともに、各所定部品近辺の温度上昇を温度センサで測定して不良を検出することができる。このときの検査情報及び測定情報の一例を表１０及び表１１に示す。上述の実施形態と同様に、データベースにより、検査情報に応じた測定情報を決定する。例えば、薄い基板は速度優先で温度測定する、基板材質や厚みなどに合わせて測定箇所や条件を変える、基板の用途によっては測定条件を厳しくしたり緩和したりする、部品の大きさに合わせて測温エリアサイズを変える、部品実装密度に応じて測温回数や測温間隔を変えるといったことが可能である。
【０１１３】
【表１０】
0005698489.tif 000011
【０１１４】
【表１１】
0005698489.tif 000012
【０１１５】
また、他の例としては、本発明による検査装置を製品の傷や色の評価に用いることができる。具体的には、製造ライン上を移動する製品（被検査物）を一定の光源により照射し、製品を透過、又は反射する光のスペクトラムを測定し、製品の傷又は色の違い等を検出する。このときの検査情報及び測定情報の一例を表１２及び表１３に示す。上述の実施形態と同様に、データベースにより、検査情報に応じて測定情報を決定する。例えば、塗料と照明の組み合わせを変えることでより検査しやすくする、求める精度に応じて測定回数、波長、積分時間を切り換えることで効率的な測定を行うことが可能である。
【０１１６】
【表１２】
0005698489.tif 000013
【０１１７】
【表１３】
0005698489.tif 000014
【０１１８】
このように、本発明の趣旨及び範囲内で、多くの変更及び置換ができることは当業者に明らかである。従って、本発明は、上述の実施形態によって制限するものと解するべきではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
【符号の説明】
【０１１９】
１１      検査情報取得部
１２      条件決定部
１３      測定制御部
１４      撮像制御部
１５      特性測定部
１６      撮像部
１７      画像処理部
１８      被検査物移動部
１９      サムネイル取得部
２１      情報取得部
２２      ホストシステム
２３      制御コントローラ
２４      カメラユニット制御部
２５      測定ユニット制御部
２６      フォーカス検出ユニット制御部
２７      レボルバユニット制御部
２８      光源ユニット制御部
２９      ステージユニット制御部
３０      ＸＹ駆動制御部
３１      Ｚ駆動制御部
３２      顕微鏡
３３      鏡筒部
３４      顕微鏡本体
１２１    データベース
３３１    カメラユニット
３３２    双眼ユニット
３３３    フォーカス検出ユニット
３３４    測定ユニット
３４１    レボルバユニット
３４２    対物レンズ
３４３    被検査物
３４４    ステージユニット
３４５    光源ユニット
３３１１，３３４２  結像レンズ
３３１２  カメラ結像面
３３２１，３３２２，３３３１  ハーフミラー
３３２３  接眼レンズ
３３３２  フォーカス検出回路
３３４１  反射ミラー
３３４３  結像面
３３４４  光拡散デバイス
３３４５，３４５２  赤外カットフィルタ
３３４６  マルチスペクトルセンサ
３４５１  光源
３４５３  コンデンサレンズ
【図１】
0005698489.tif 000015
【図２】
0005698489.tif 000016
【図３】
0005698489.tif 000017
【図４】
0005698489.tif 000018
【図５】
0005698489.tif 000019
【図６】
0005698489.tif 000020
【図７】
0005698489.tif 000021
【図８】
0005698489.tif 000022
【図９】
0005698489.tif 000023
【図１０】
0005698489.tif 000024
【図１１】
0005698489.tif 000025
【図１２】
0005698489.tif 000026
【図１３】
0005698489.tif 000027
【図１４】
0005698489.tif 000028
【図１５】
0005698489.tif 000029