(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
印加された加速度を検出する加速度センサであって、
平板状の絶縁性材料からなる一対の基板と、
中空状の枠体であって、前記一対の基板に上下面が固定された表面が導電性材料からなる枠部と、
前記枠部が前記一対の基板に固定された状態で、前記一対の基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部に配置された表面が導電性材料からなる可動電極と、
表面が導電性材料からなり、一端が前記枠部の内周面に固定され、他端が前記可動電極の外周面に固定され、当該一端と他端との間が前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持するバネ部と、
前記一対の基板のうち少なくとも何れか一方の基板の前記対向する面に凹状に形成された凹部と、
前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなる固定電極と、
前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記枠部の表面と電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、
前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記固定電極と電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、
を備え、
前記固定電極と前記枠部とは電気的に絶縁されてなり、
前記可動電極は、一部が前記凹部の内部に収容され、前記加速度が印加された場合に前記固定電極と当接可能であり、
前記可動電極は、前記凹部の底面と対向する面に凹状に形成された可動電極凹部を備え、
前記凹部の底面は、前記可動電極凹部に一部が収容され、前記加速度が印加されていない状態で該可動電極凹部の側面および底面から離間して配置された凸状の突出部を備え、
前記固定電極は前記突出部の表面に形成され、
前記加速度が印加された場合に、前記可動電極凹部と前記突出部とが当接することを特徴とする加速度センサ。
【請求項２】
前記可動電極凹部の側壁と前記突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えることを特徴とする請求項１に記載の加速度センサ。
【請求項３】
前記固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、
当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする請求項１又は２に記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、印加された加速度や角速度などの力学量を検出し電気信号として出力する加速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
力学量センサの一つである加速度センサは携帯機器の落下検出などに用いられている。そして、携帯機器では消費電力をできる限り抑制する必要があるため、加速度センサ自体の低消費電力化が求められている。
【０００３】
そこで、待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの加速度センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。このような加速度センサについて、図９および図１０を参照して説明する。図９は加速度センサ１０１の平面図であり、図１０は図９のＤ―Ｄ線における加速度センサ１０１の垂直断面を矢印の方向から眺めた図である。この加速度センサ１０１は、所定の間隔を隔てて対向するように保持された平板状の絶縁性材料からなる第一の基板１０６および第二の基板１０７と、第一の基板１０６と第二の基板１０７とに挟まれて固定された少なくとも表面が導電性材料からなる枠部１０２と、枠部１０２に周囲を囲まれ第一の基板１０７とに挟まれて固定された少なくとも表面が導電性材料からなる固定電極１０５と、固定電極１０５の周囲を囲み枠部１０２に周囲を囲まれ第一の基板１０６および第二の基板１０７に挟まれて揺動自在に保持された少なくとも表面が導電性材料からなる可動電極１０３と、一端を枠部１０２に固定され、他端を可動電極１０３に固定され、可動電極１０３を略一周するように形成された少なくとも表面が導電性材料からなるバネ部１０４と、第一の基板１０７を貫通して設けられ、一端が枠部１０２に電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極１０８と、第一の基板１０６を貫通して設けられ、一端が固定電極１０５に電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極１０９と、を備えている。
【０００４】
この加速度センサ１０１の平面方向に加速度を印加すると、可動電極１０３に慣性力が作用する。可動電極１０３はバネ部１０４によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。印加された加速度が所定の大きさを超えると、可動電極１０３は固定電極１０５に接触する。枠部１０２、可動電極１０３、バネ部１０４および固定電極１０５はいずれも少なくとも表面が導電性材料からなるので、可動電極１０３と固定電極１０５が接触すると、枠部貫通電極１０８から固定電極貫通電極１０９まで導通する。従って、例えば枠部貫通電極１０８と固定電極貫通電極１０９との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ１０１に印加された加速度が小さいときには可動電極１０３と固定電極１０５とは接触せず、枠部貫通電極１０８と固定電極貫通電極１０９との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ１０１に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極１０３と固定電極１０５とが接触すると、枠部貫通電極１０８と固定電極貫通電極１０９との間に電流が流れ、加速度の印加を検出することができる。また、バネ部１０４は可動電極１０３を略一周するように形成されているので、加速度センサ１０１の平面方向であればいずれの方向に加速度が印加されても検出できる。このように構成された加速度センサ１０１は、上述の通り待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの加速度センサと呼ばれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−４８６５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図９および図１０に示す加速度センサ１０１においては、下記のような問題がある。
すなわち、加速度センサ１０１においては、固定電極１０５の周面を囲むように可動電極１０３を形成せねばならず、しかも、加速度検出に必要な可動電極１０３の質量を十分に確保する必要があるため、可動電極１０３を大きくしなければならない。従って加速度センサ１０１の小型化が難しかった。
【０００７】
本発明は上記のような事情に考慮してなされたもので、その目的は、消費電力が嵩まず且つ小型の加速度センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するために、以下の手段を提供する。
（１）本発明は、印加された加速度を検出する加速度センサであって、平板状の絶縁性材料からなる一対の基板と、中空状の枠体であって、前記一対の基板に上下面が固定された表面が導電性材料からなる枠部と、前記枠部が前記一対の基板に固定された状態で、前記一対の基板それぞれが互いに対向する面と前記枠部の内周面とで構成される空隙部の内部に配置された表面が導電性材料からなる可動電極と、表面が導電性材料からなり、一端が前記枠部の内周面に固定され、他端が前記可動電極の外周面に固定され、当該一端と他端との間が前記可動電極の周面を取り囲むように配置されて前記可動電極を揺動自在に保持するバネ部と、前記一対の基板のうち少なくとも何れか一方の基板の前記対向する面に凹状に形成された凹部と、前記凹部の底面および側壁に設けられた導電性の薄膜からなる固定電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記枠部の表面と電気的に接続された導電性材料からなる枠部貫通電極と、前記一方の基板を貫通させて設けられ、一端が前記固定電極と電気的に接続された導電性材料からなる固定電極貫通電極と、を備え、前記固定電極と前記枠部とは電気的に絶縁されてなり、前記可動電極は、一部が前記凹部の内部に収容され、前記加速度が印加された場合に前記固定電極と当接可能であることを特徴とする。
【０００９】
本発明にかかる加速度センサは、加速度が印加された場合にはじめて、互いに導電性材料からなる可動電極と固定電極とが当接して電力を消費するノーマリーオフタイプの加速度センサであるので、待機時の消費電力が嵩まない。また、本発明にかかる加速度センサによると、固定電極が基板に設けられた凹部の底面および側壁に設けられているため、上述した従来技術の如く、可動電極の中央に固定電極を配置するための穴を開ける必要がなく、同一の質量であれば可動電極の外形を小さくすることができる。つまり、本発明では、可動電極を小型化し、その結果加速度センサを小型化することが出来る。
【００１０】
（２）また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極は、前記凹部の側壁と対向する接触面を備えていることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、加速度が印加されて可動電極と固定電極が接触したときに、接触面が固定電極に接触するため、接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができ、Ｓ／Ｎ比を向上させることが出来る。
【００１１】
（３）また、本発明の加速度センサは、前記接触面は、前記凹部の側壁と平行な面であることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、接触面が凹部の側壁と平行な面からなるので、接触面と固定電極との接触面積が一層大きくなって出力信号を大きくすることができるため、Ｓ／Ｎ比をさらに向上させることができる。
【００１２】
（４）また、本発明の加速度センサにおいて、前記固定電極は、複数個からなり、当該複数の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置され、前記固定電極貫通電極は、該複数の固定電極にそれぞれ電気的に接続された複数個からなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、印加される加速度の方向に応じて可動電極と当接する固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されているので、可動電極がいずれの固定電極に接触したかを調べることにより、加速度の方向を検出することができる。
【００１３】
（５）また、本発明の加速度センサにおいて、前記複数の固定電極は、前記凹部の底面に設けられた第一の固定電極と、前記凹部の側壁に設けられた第二の固定電極と、からなることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、凹部の底面に垂直な方向に加速度が印加された場合には可動電極が第一の固定電極に接触し、凹部の底面に平行な方向に加速度が印加された場合には可動電極が第二の固定電極に接触するため、可動電極が第一の電極と第二の電極のいずれに接触したかを調べることにより、加速度が凹部の底面に垂直な方向に印加されたか、平行な方向に印加されたかを検出することができる。
【００１４】
（６）また、本発明の加速度センサにおいて、前記第二の固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、凹部の底面に平行な方向に加速度が印加された場合に、可動電極がいずれの固定電極に接触したかを調べることにより、凹部の底面に平行な方向のうちいずれの方向に加速度が印加されたかを検出することができる。
【００１５】
（７）また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極は、前記凹部の底面と対向する面に凹状に形成された可動電極凹部を備え、前記凹部の底面は、前記可動電極凹部に一部が収容され、前記加速度が印加されていない状態で該可動電極凹部の側面および底面から離間して配置された凸状の突出部を備え、前記固定電極は前記突出部の表面に形成され、前記加速度が印加された場合に、前記可動電極凹部と前記突出部とが当接することを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、突出部の表面に固定電極が設けられているため、該固定電極を一層小型化することができ、該加速度センサを小型化することができる。
【００１６】
（８）また、本発明の加速度センサにおいて、前記可動電極凹部の側壁と前記突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えることを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、可動電極凹部の側壁と突出部の側壁とは、互いに平行な面を備えるため、加速度が印加されて可動電極と固定電極が接触したときに、可動電極凹部の側壁と突出部の側壁との接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができ、Ｓ／Ｎ比を向上させることが出来る。
【００１７】
（９）また、本発明の加速度センサにおいて、前記固定電極は、互いに絶縁された複数個からなり、当該複数の第二の固定電極は、印加される加速度の方向に応じて前記可動電極と当接する第二の固定電極が変化するように互いに絶縁された状態で離間して配置されたことを特徴とする。
本発明にかかる加速度センサは、固定電極が複数の固定電極からなるため、該加速度センサに印加された加速度の方向によって、可動電極が接触する固定電極が異なる。従って、いずれの固定電極に接触したかを調べることにより、加速度の方向を検出することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、待機時に電力を消費しないとともに可動電極および固定電極を小型化することができるので、消費電力が嵩まず且つ小型の加速度センサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明にかかる加速度センサの第１実施形態を示す平面図である。
【図２】本発明にかかる加速度センサの第１実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明にかかる加速度センサの第２実施形態を示す断面図である。
【図４】本発明にかかる加速度センサの第３実施形態を示す平面図である。
【図５】本発明にかかる加速度センサの第３実施形態を示す断面図である。
【図６】本発明にかかる加速度センサの第４実施形態を示す断面図である。
【図７】本発明にかかる加速度センサの第５実施形態を示す平面図である。
【図８】本発明にかかる加速度センサの第５実施形態を示す断面図である。
【図９】従来の加速度センサを示す平面図である。
【図１０】従来の加速度センサを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
以下、本発明にかかる加速度センサの第１実施形態を、図１および図２を参照して説明する。図１は本実施形態にかかる加速度センサ１の平面図を、図２は図１のＡ―Ａ線における加速度センサ１の垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図１は簡単のため、後述する第一の基板、第二の基板、固定電極および貫通電極を省略して示している。
【００２１】
この加速度センサ１は、所定の間隔を隔てて相互に対向するように保持された第一の基板６および第二の基板７（一対の基板）と、第一の基板６の第二の基板７に対向する面，第二の基板７の第一の基板６に対向する面に設けられた凹部９，９０と、第一の基板６と第二の基板７とに挟まれて固定された枠部２と、第一の基板６，第二の基板７，枠部２，で挟まれた箇所に形成される空隙部２０と、空隙部２０内に配設される可動電極３と、可動電極３の周面を取り囲むように配置されたバネ部４と、凹部９の底面および側壁に設けられた固定電極５と、第一の基板６に貫通して設けられ、一端が枠部２に電気的に接続された枠部貫通電極８と、第一の基板６に貫通して設けられ、一端が固定電極５に電気的に接続された固定電極貫通電極１３と、を備えている。
【００２２】
第一の基板６および第二の基板７は、それぞれ、平板状の絶縁性材料からなる。当該絶縁性材料としては、例えば、溶融石英やホウ珪酸ガラス、ソーダライムガラスなどのガラスや、セラミック等を用いることが出来る。そして、第一の基板６および第二の基板７は、それぞれ、図２に示すように、第二の基板７および第一の基板６と対抗する面に凹部９，９０が形成される。
【００２３】
凹部９，９０は、図２に示す第一の基板６および第二の基板７のそれぞれの対向面より、開口側よりも底面側の面積が小さくなるように形成された断面視台形状の窪みである。なお、凹部９，９０は、凹状であればよく、断面視台形状に限定されるものではない。
【００２４】
枠部２は、上下方向において、第一の基板６と第二の基板７とに挟まれるように設けられ、第一の基板６と第二の基板７とを上下に連接する中空状のフレーム（枠体）である。そして、枠部２は、上面視でロ字状に形成される。つまり、枠部２は、上面が第一の基板６の下面のうち凹部９が形成されていない部分で固定され、下面が第二の基板７の上面のうち凹部９０が形成されていない部分で固定される。また、枠部２は、少なくとも表面が、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。
【００２５】
空隙部２０は、第一の基板６の下面と第二の基板７との対向面（つまり、第一の基板６の下面と第二の基板７の上面）と、枠部２の内周面と、で形成される密閉された空洞部分であり、内部に可動電極３を密封する。
【００２６】
可動電極３は、空隙部２０内に配設され、バネ部４に支持された電極である。具体的には、可動電極３は、上端部分，下端部分が凹部９，９０の底面と上下方向に間隙を隔てた状態で収容され、且つ水平方向について枠部２の内周面から所定の間隔を隔てた状態で当該枠部２に囲まれてなる。また、可動電極３は、表面が金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料から形成される。
【００２７】
バネ部４は、一端が枠部２に接続され、他端が可動電極３に接続され、当該一端と他端間が可動電極３の周面を取り囲むような形状からなる部材である。つまり、バネ部４は、加速度センサ１に加わる加速度の向き／大きさに応じて可動電極３を揺動可能に支持するとともに、加速度センサ１に加速度が加わっていない状態で可動電極３を水平に支持する。また、バネ部４は、シリコン等の弾性部材であり、少なくとも表面が、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性材料からなる。
【００２８】
固定電極５は、凹部９の底面，側壁（および固定電極貫通電極１３の下端）にわたって第一の基板６の下面に設けられた電極である。当該固定電極は、金や白金、銅、アルミニウム等の導電性の薄膜からなる。なお、固定電極５と枠部２とは連接しておらず、電気的に絶縁された状態にある。
【００２９】
枠部貫通電極８は、一端（下端）が枠部２と電気的に接続されるように、枠部２の設けられた水平位置において第一の基板６の上下方向を貫通して設けられた電極である。
固定電極貫通電極１３は、一端（下端）が固定電極５と電気的に接続されるように、固定電極５の設けられた水平位置において第一の基板６の上下方向を貫通して設けられた電極である。
【００３０】
（加速度センサ１の動作）
上述のように構成された加速度センサ１に加速度を印加すると、可動電極３に当該加速度に応じた慣性力が作用する。そして、可動電極３は、バネ部４によって揺動自在に保持されているので、慣性力の作用に従って変位する。特に、印加された加速度が所定の大きさを超えると、可動電極３は固定電極５に接触する。そのため、枠部２および可動電極３ならびにバネ部４はいずれも少なくとも表面が導電性材料からなり、固定電極５は導電性の薄膜からなるので、可動電極３と固定電極５が接触すると、枠部貫通電極８から固定電極貫通電極１３までの間が導通する。従って、例えば枠部貫通電極８と固定電極貫通電極１３との間に所定の電圧を印加しておくと、加速度センサ１に印加された加速度が小さいときには可動電極３と固定電極５とは接触せず、枠部貫通電極８と固定電極貫通電極１３との間に電流が流れないため、電力は消費されない。一方、加速度センサ１に所定の大きさを超える加速度が印加され可動電極３と固定電極５とが接触すると、枠部貫通電極８と固定電極貫通電極１３との間に電流が流れ、加速度の印加を検出することができる。また、バネ部４は可動電極３の周面を囲むように形成されているため、加速度センサ１の平面方向であれば当該平面方向へ可動電極３が変位して固定電極５と接触出来るので、いずれの方向に加速度が印加されても検出できる。また固定電極５は凹部９の底面にも形成されているので、加速度センサ１の垂直方向に加速度が印加されても可動電極３と固定電極５を接触させることができ、加速度を検出することができる。このように構成された加速度センサ１は、待機時に電力を消費しないノーマリーオフタイプの加速度センサとなっている。
【００３１】
また、図９および図１０に示す従来の加速度センサ１０１は、固定電極１０５が可動電極１０３に囲まれるように配置されているのに対し、本実施形態の加速度センサ１は固定電極５が第一の基板６に設けられている。そのため、可動電極３の中央に固定電極１０５を配置するための穴を開ける必要がなく、同一の質量であれば可動電極３の外形を小さくすることができる。その結果加速度センサ１を小型化することが出来る。
【００３２】
（第２実施形態）
次に、本発明にかかる第２実施形態を、図３を参照して説明する。第２実施形態においては、第１実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図３は第２実施形態の加速度センサ１ａを示す断面図である。
【００３３】
第２実施形態の加速度センサ１ａにおいては、可動電極３が、固定電極５に対向する面である側面および上面の間に、凹部９の側壁と当接した際に当該側壁と面接触が可能な面である接触面１０を備えた形状からなることを特徴としている。
【００３４】
このように構成された加速度センサ１に対して、例えば、図３に示す加速度センサ１ａの左右方向や接触面１０の法線方向等へ加速度が印加されて可動電極３と固定電極５が接触したときに、可動電極３の接触面１０が凹部９の側壁に備わる固定電極５に面接触する。つまり、加速度センサ１ａによると、可動電極３と固定電極５との接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができるので、Ｓ／Ｎ比を向上させることが出来る。特に、接触面１０を凹部９の側壁に対して略平行に配置すれば、接触面１０と固定電極５の接触面積をより大きくすることができるので、一層好適にＳ／Ｎ比の向上を図ることができる。
【００３５】
（第３実施形態）
次に、本発明にかかる第３実施形態を、図４および図５を参照して説明する。第３実施形態においては、第１実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図４は第３実施形態の加速度センサ１ｂの平面図を、図５は図４のＢ−Ｂ線における垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図４は簡単のため、後述する第一の基板および第二の基板を省略した。
【００３６】
第３実施形態の加速度センサ１ｂにおいては、凹部９の底面に設けられた導電性薄膜からなる第一の固定電極５ｂと、凹部９の側面に配置されそれぞれ可動電極３の側面と当接可能なように設けられた第二の固定電極５ｃ，第三の固定電極５ｄ，第四の固定電極５ｅ，第五の固定電極５ｆと、第一の基板６に貫通して設けられ、第一の固定電極５ｂ、第二の固定電極５ｃ、第三の固定電極５ｄ、第四の固定電極５ｅおよび第五の固定電極５ｆにそれぞれ電気的に接続された第一の固定電極貫通電極１３ｂ，第二の固定電極貫通電極１３ｃ，第三の固定電極貫通電極１３ｄ，第四の固定電極貫通電極１３ｅ，第五の固定電極貫通電極１３ｆと、を備えたことを特徴とする。
【００３７】
つまり、第１実施形態及び第２実施形態では一体的に形成されていた固定電極５を、本実施形態では、第一の固定電極５ｂ〜第五の固定電極５ｆのように、凹部９の底面と四つの側面とに各々分離した状態で配設する。また、当該固定電極の分離に伴い、固定電極貫通電極１３も、第一の固定電極貫通電極１３ｂ〜第五の固定電極貫通電極１３ｆのように各々分離した状態で配設する。
【００３８】
このように構成された加速度センサ１に加速度が印加されると、加速度の方向によって可動電極３は第一の固定電極５ｂから第五の固定電極５ｆまでのいずれかの固定電極に接触する。従って、枠部貫通電極８と、第一の固定電極貫通電極１３ｂから第五の固定電極貫通電極１３ｆのうちどの貫通電極と、が導通したかを調べることにより、加速度センサ１に印加された加速度の方向を検知することができる。
【００３９】
なお、本実施形態においては第一の固定電極５ｂから第五の固定電極５ｆまでの複数の固定電極を備えた加速度センサ１について説明した。しかしながら、例えば固定電極は凹部９の底部に設けられた第一の固定電極と、凹部９の側壁に設けられた第二の固定電極（つまり、第二の固定電極５ｃ〜第五の固定電極５ｆまでを一体的に形成した固定電極）とからなるように構成された加速度センサであっても良い。この場合には、加速度センサに印加された加速度のうち、加速度センサに垂直に印加された加速度と、加速度センサに平行に印加された加速度とを分離して検出し、加速度センサに平行に印加された加速度についてはその方向にかかわらず検出する無指向性加速度センサとして動作させることもできる。
【００４０】
さらに、例えば、加速度センサ１ｂを一層高性能な無指向性加速度センサとして機能させるために、凹部９０の底面に固定電極を設けることで、上下方向の加速度検出も可能な構成を採用しても勿論よい。
【００４１】
（第４実施形態）
次に、本発明にかかる第４実施形態を、図６を参照して説明する。第４実施形態においては、第１実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図６は第４実施形態の加速度センサ１を示す断面図である。
【００４２】
第４実施形態の加速度センサ１ｃにおいては、可動電極３の上面に設けられた凹状の窪みである可動電極凹部１１と、凹部９の底面に設けられた突出部１２と、突出部１２の表面と凹部９の底面とに設けられた導電性材料からなる固定電極５とを備えている。
【００４３】
ここで、突出部１２は、可動電極凹部１１に挿入可能な形状からなり、加速度センサ１ｃに対して上下方向に加速度が印加された場合に、可動電極凹部１１に一部が収容される。また、突出部１２は、加速度センサ１ｃに対して加速度が印加されていない状態で、可動電極凹部１１の側面および底面と所定の間隔を隔てて配置される。
【００４４】
このように構成された加速度センサ１ｃに加速度が印加されると、慣性力の作用によって可動電極３が変位し、固定電極５と接触し、枠部貫通電極８と固定電極貫通電極１３との間が導通するため、加速度センサ１に印加された加速度を測定することができる。
【００４５】
また、固定電極５は可動電極凹部１１に一部が収容され、可動電極凹部１１の側面および底面と所定の間隔を隔てて配置されているので、凹部９の側面が可動電極３の側面と対向するように設けられている場合と異なり、固定電極５を小型化することができ、加速度センサ１を小型化することができる。
【００４６】
また、可動電極凹部１１の側面と突出部１２の側面とが略平行になるように形成すれば、可動電極３と固定電極５が接触したときの接触面積が大きくなって出力信号を大きくすることができるので、Ｓ／Ｎ比を向上させることが出来る。
【００４７】
（第５実施形態）
次に、本発明にかかる第５実施形態を、図７および図８を参照して説明する。第５実施形態においては、第４実施形態と同一箇所については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
図７は第５実施形態の加速度センサ１の平面図を、図８は図７のＣ−Ｃ線における垂直断面を矢印の方向にむかって眺めた図を示している。なお、図８は簡単のため、後述する第一の基板および第二の基板を省略した。
【００４８】
第５実施形態の加速度センサ１ｄにおいては、突出部１２の表面にそれぞれ可動電極３の側面に対向するように設けられた導電性薄膜からなる第一の固定電極５ｂと、第二の固定電極５ｃと、第三の固定電極５ｄと、第四の固定電極５ｅと、第一の基板６に貫通して設けられ、それぞれ第一の固定電極５ｂ、第二の固定電極５ｃ、第三の固定電極５ｄおよび第四の固定電極５ｅに電気的に接続された第一の固定電極貫通電極１３ｂと、第二の固定電極貫通電極１３ｃと、第三の固定電極貫通電極１３ｄと、第四の固定電極貫通電極１３ｅとを備えたことを特徴とする。
【００４９】
つまり、第４実施形態では一体的に形成されていた固定電極５を、本実施形態では、第一の固定電極５ｂ〜第四の固定電極５ｅのように、突出部１２と連接する凹部９の四つの底面に各々分離した状態で配設する。また、当該固定電極の分離に伴い、固定電極貫通電極１３も、第一の固定電極貫通電極１３ｂ〜第四の固定電極貫通電極１３ｅのように各々分離した状態で配設する。
【００５０】
このように構成された加速度センサ１ｄに加速度が印加されると、加速度の方向によって可動電極３は第一の固定電極５ｂから第四の固定電極５ｅまでのいずれかの固定電極に接触する。従って、枠部貫通電極８と、第一の固定電極貫通電極１３ｂから第四の固定電極貫通電極１３ｅまでのどの貫通電極と導通したかを調べることにより、加速度センサ１に印加された加速度の方向を検知することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ    加速度センサ
２    枠部
３    可動電極
４    バネ部
５    固定電極（５ｂ〜５ｆ    第一の固定電極〜第五の固定電極）
６    第一の基板
７    第二の基板
８    枠部貫通電極
９，９０    凹部
１０    接触面
１１    可動電極凹部
１２    突出部
１３    固定電極貫通電極（１３ｂ〜１３ｆ    第一の固定電極貫通電極〜第五の固定電極貫通電極）
２０    空隙部
１０１    従来の加速度センサ
１０２    枠部
１０３    可動電極
１０４    バネ部
１０５    固定電極
１０６    第一の基板
１０７    第二の基板
１０８    枠部貫通電極
１０９    固定電極貫通電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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