(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成部と、
前記指令生成部が出力する位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御部と
を具備することを特徴とするモータ制御装置。
【請求項２】
前記指令生成部は、
前記生成した加速度パターンに対して、前記モータの駆動速度を減速する期間を、前記モータの応答遅延より長い時間だけ延ばす変更をする
ことを特徴とする請求項１に記載のモータ制御装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記対象物の位置を検出する位置検出部と、
前記指令生成部が算出した位置指令値、及び前記対象物の位置の差分と、第１比例制御ゲインとを用いて、前記モータに対する第１電流指令値を算出して前記モータを駆動する移動制御部と、
前記目標位置、及び前記対象物の位置の差分と、前記第１比例制御ゲインより大きい値を有する第２比例制御ゲインとを用いて、前記モータに対する第２電流指令値を算出して前記モータを駆動する整定制御部と、
前記移動制御部を用いて前記モータを駆動させ、前記位置検出部が検出した位置と、前記目標位置との差分が予め定めたしきい値より小さいとき、前記整定制御部を用いて前記モータを駆動させる制御切替部と、
を備える
ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のモータ制御装置。
【請求項４】
前記移動制御部は、
前記指令生成部が生成した位置指令値と、前記対象物の位置との差分である第１位置偏差を算出する第１位置偏差算出部と、
前記第１位置偏差と、前記第１比例制御ゲインとを乗算して第１速度指令を算出する第１速度指令算出部と、
前記第１速度指令算出部が算出した第１速度指令と、前記対象物の移動速度との差分である第１速度偏差を算出する第１速度偏差算出部と、
前記第１速度偏差に対して比例制御及び積分制御を用いて第１電流指令を算出する第１電流指令算出部と
を有し、
前記整定制御部は、
前記目標位置と、前記対象物の位置との差分である第２位置偏差を算出する第２位置偏差算出部と、
前記第２位置偏差と、前記第２比例制御ゲインとを乗算して第２速度指令を算出する第２速度指令算出部と、
前記第２速度指令算出部が算出した第２速度指令と、前記移動速度との差分である第２速度偏差を算出する第２速度偏差算出部と、
前記第２速度偏差に対して比例制御及び積分制御を用いて第２電流指令を算出する第２電流指令算出部と
を有する
ことを特徴とする請求項３に記載のモータ制御装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記対象物の位置を検出する位置検出部と、
前記対象物が移動する移動速度を検出する速度検出部と、
前記指令生成部が算出した位置指令値、及び前記対象物の位置の差分と、第１比例制御ゲインとを用いて、前記モータに対する第１電流指令値を算出して前記モータを駆動する移動制御部と、
前記目標位置、及び前記対象物の位置の差分と、前記第１比例制御ゲインより大きい値を有する第２比例制御ゲインとを用いて、前記モータに対する第２電流指令値を算出して前記モータを駆動する整定制御部と、
前記移動制御部を用いて前記モータを駆動させ、前記移動速度を減速させる期間において、前記移動速度が予め定めたしきい値より小さいとき、前記整定制御部を用いて前記モータを駆動させる制御切替部と、
を具備することを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のモータ制御装置。
【請求項６】
前記モータの駆動速度が前記しきい値より小さくなったときの前記対象物の位置、及び前記対象物の位置との差分と、前記第１比例制御ゲインより大きい値を有する第３比例制御ゲインとを用いて、前記モータに対する電流指令値を算出して前記モータを駆動する停止制御部
を更に備え、
前記制御切替部は、前記モータの駆動速度を減速する期間において、前記移動速度が予め定めたしきい値以下になると、前記停止制御部を用いて前記モータを駆動させ、更に、前記第１比例制御ゲインに応じた応答時間が経過した後に、前記整定制御部を用いて前記モータを駆動させる
ことを特徴とする請求項５に記載のモータ制御装置。
【請求項７】
前記移動制御部は、
前記指令生成部が生成した位置指令値と、前記対象物の位置との差分である第１位置偏差を算出する第１位置偏差算出部と、
前記第１位置偏差と、前記第１比例制御ゲインとを乗算して第１速度指令を算出する第１速度指令算出部と、
前記第１速度指令算出部が算出した第１速度指令と、前記移動速度との差分である第１速度偏差を算出する第１速度偏差算出部と、
前記第１速度偏差に対して比例制御及び積分制御を用いて第１電流指令を算出する第１電流指令算出部と
を有し、
前記整定制御部は、
前記目標位置と、前記対象物の位置との差分である第２位置偏差を算出する第２位置偏差算出部と、
前記第２位置偏差と、前記第２比例制御ゲインとを乗算して第２速度指令を算出する第２速度指令算出部と、
前記第２速度指令算出部が算出した第２速度指令と、前記移動速度との差分である第２速度偏差を算出する第２速度偏差算出部と、
前記第２速度偏差に対して比例制御及び積分制御を用いて第２電流指令を算出する第２電流指令算出部と
を有し、
前記停止制御部は、
前記モータの駆動速度がゼロになったときの前記対象物の位置と、前記対象物の位置との差分である第３位置偏差を算出する第３位置偏差算出部と、
前記第３位置偏差と、前記第３比例制御ゲインとを乗算して第３速度指令を算出する第３速度指令算出部と、
前記第３速度指令算出部が算出した第３速度指令と、前記移動速度との差分である第３速度偏差を算出する第３速度偏差算出部と、
前記第３速度偏差に対して比例制御及び積分制御を用いて第３電流指令を算出する第３電流指令算出部と
を有する
ことを特徴とする請求項６に記載のモータ制御装置。
【請求項８】
モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成ステップと、
前記指令生成ステップにおいて出力される位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御ステップと
を有することを特徴とするモータ制御方法。
【請求項９】
モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成ステップと、
前記指令生成ステップにおいて出力される位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御ステップと
をコンピュータに実行させるためのモータ制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ制御装置、モータ制御方法、及び制御プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
モータを動力にして対象物を移動させる際の位置決め制御において、位置指令値の出力が終了したときには、対象物は目標の位置に達しておらず、位置偏差が生じている。そのため、対象物が目標の位置に移動して位置偏差が「０」になり整定するまでには、位置偏差に対する比例制御ゲインＫｐの逆数に比例した時間を要する。
【０００３】
そこで、位置決め制御に要する時間（整定時間）を短縮するために、比例制御ゲインＫｐの値を大きくすることが考えられるが、比例制御ゲインＫｐを大きな値にすると、位置の応答が振動的になってしまい、整定時間が逆に長くなってしまう。
これに対して、位置指令値の出力が終了した時点で、比例制御ゲインの値を切り替えて、応答が振動的になることを防ぎつつ、整定時間を短くする技術が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１９４８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の技術では、位置指令値の出力が終了したときに、比例制御ゲインの値を切り替えているため、切り替え後の比例制御ゲインの値を、位置指令値の出力が終了したときの位置偏差に基づいて設定する必要があった。位置指令値の出力が終了したときの位置偏差が大きいと、切り替え後の比例制御ゲインに対して大きい値を設定することができず、整定時間の短縮には改善の余地があった。
【０００６】
本発明は、上記の状況に鑑みてなされたもので、その目的は、位置制御ゲインを切り替える際の位置偏差を低減させ、整定時間を短縮することができるモータ制御装置、モータ制御方法、及び制御プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題を解決するために、本発明は、モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成部と、前記指令生成部が出力する位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御部とを具備することを特徴とするモータ制御装置である。
【０００８】
また、本発明は、モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成ステップと、前記指令生成ステップにおいて出力される位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御ステップとを有することを特徴とするモータ制御方法である。
【０００９】
また、本発明は、モータを用いて対象物を目標位置に移動させる際に用いる加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成し、生成した加速度パターンに対して、前記モータの応答特性に応じて前記モータの駆動速度を減速する期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンから位置指令値を出力する指令生成ステップと、前記指令生成ステップにおいて出力される位置指令値と、前記対象物の位置との位置偏差に対する比例制御を用いて前記モータを駆動するとともに、前記対象物が目標位置の近傍に達したときに前記比例制御における比例制御ゲインを現在値より大きい値に変更する制御ステップとをコンピュータに実行させるためのモータ制御プログラムである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、適切なタイミングで比例制御ゲインの値を切り替えることにより、整定時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態におけるモータ制御装置１の構成を示す概略ブロック図である。
【図２】同施形態におけるリニアモータ２０の斜視図（可動テーブル３４の断面を含む）である。
【図３】同実施形態における指令生成部１１の構成を示す概略ブロック図と、指令生成部１１において算出される指令の概略を示すグラフである。
【図４】同実施形態における制御部１２の構成を示す概略ブロック図である。
【図５】同実施形態における移動制御部１５、及び整定制御部１６の構成を示す概略ブロック図である。
【図６】同実施形態のモータ制御装置１を用いた制御のシミュレーション結果を示す図である。
【図７】第２実施形態におけるモータ制御装置に備えられている指令生成部１１Ａの構成を示す概略ブロック図である。
【図８】同実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第１の図である。
【図９】同実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第２の図である。
【図１０】同実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第３の図である。
【図１１】同第３実施形態におけるモータ制御装置５の構成を示す概略ブロック図である。
【図１２】同実施形態における停止制御部５７の構成を示す概略ブロック図である。
【図１３】回転モータを制御する変形例の構成を示す概略図である。
【図１４】回転タイプの案内装置を備えた駆動装置のモータを制御する変形例の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態におけるモータ制御装置、モータ制御方法、及び制御プログラムを説明する。
【００１３】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態におけるモータ制御装置１の構成を示す概略ブロック図である。
同図に示すように、モータ制御装置１は、パワーアンプ２を介して、搬送装置３に備えられているリニアモータ３１に電流を流し、リニアモータ３１を駆動する。
【００１４】
搬送装置３は、長尺の固定子３１１、及び固定子３１１上を移動する可動子３１５からなる上述のリニアモータ３１と、固定子３１１及び可動子３１５を組み付ける一対の案内装置３３、３３を備えている。案内装置３３は、例えば、ボールを介して組みつけられた軌道レール３３１及びスライドブロック３３２から構成されている。案内装置３３の軌道レール３３１は、固定子３１１が有するベース３１２に固定され、案内装置３３のスライドブロック３３２は、可動子３１５に固定されている。これにより、可動子３１５は、固定子３１１上を軌道レール３３１に沿って自在に案内されるようになっている。
【００１５】
また、固定子３１１は、一対の軌道レール３３１、３３１の間に並べられた複数の駆動用磁石３１４を備えている。複数の駆動用磁石３１４は、可動子３１５が移動する方向（以下、移動方向という）において、Ｎ極及びＳ局の磁極が交互になるように並べられている。また、各駆動用磁石３１４は、移動方向において、同じ長さを有しており、可動子３１５の位置に関わらず一定の推力が得られるようになっている。
可動子３１５は、複数のコイルを有する電機子３１６と、搬送する物を載せる可動テーブル３４と、位置検出器３５とを有している。位置検出器３５は、例えば、光学式、又は磁気式のリニアスケールなどを用いて可動テーブル３４の位置を検出する。
【００１６】
図２は、本実施形態における搬送装置３の斜視図（可動テーブル３４の断面を含む）である。リニアモータ３１は、上述のように固定子３１１がＮ極又はＳ極が着磁されている面を可動子３１５に向けて配列されている複数の板状の駆動用磁石３１４を備え、可動子３１５が固定子３１１に対して相対的に直線運動をするフラットタイプのリニアモータである。可動子３１５が有している電機子３１６は、駆動用磁石３１４と一定のすきまを介して対向している。
【００１７】
固定子３１１が有する細長く伸びているベース３１２上には、上述の複数の駆動用磁石３１４が移動方向に一列に配列されている。ベース３１２は、底壁部３１２ａと、底壁部３１２ａの幅方向の両側に設けられている一対の側壁部３１２ｂとから構成されている。底壁部３１２ａには、上述の複数の駆動用磁石３１４が取り付けられている。
各駆動用磁石３１４には、可動子３１５が有している電機子３１６と対向する面にＮ極かＳ極のいずれかの磁極が形成されている。複数の駆動用磁石３１４は、それぞれが隣接する駆動用磁石３１４と異なる磁極を電機子３１６に向けている。
【００１８】
ベース３１２の側壁部３１２ｂの上面には、案内装置３３の軌道レール３３１が取り付けられている。軌道レール３３１には、上述したように、スライドブロック３３２がスライド可能に組み付けられている。軌道レール３３１と、スライドブロック３３２との間には、転がり運動可能に複数のボールが介在されている（図示せず）。
スライドブロック３３２には、複数のボールを循環させるためのトラック状のボール循環経路が設けられている。軌道レール３３１に対して、スライドブロック３３２がスライドすると、複数のボールがこれらの間を転がり運動し、また複数のボールがボール循環経路を循環する。これにより、スライドブロック３３２の円滑な直線運動が可能になる。
案内装置３３のスライドブロック３３２の上面には、可動子３１５の可動テーブル３４が取り付けられている。可動テーブル３４は、例えば、アルミニウムなどの非磁性素材からなり、搬送する物を載せる。可動テーブル３４の下面には、電機子３１６が吊り下げられている。
【００１９】
図１に戻って、説明を続ける。
モータ制御装置１は、上位の制御装置から入力される最終目標位置ｘｐから位置指令値を生成する指令生成部１１と、指令生成部１１が生成した位置指令値、及び可動テーブル３４の位置を示す位置信号に基づいて、リニアモータ３１に流す電流値を示す電流指令値を生成する制御部１２とを備えている。
モータ制御装置１は、指令生成部１１が可動テーブル３４を最終目標位置ｘｐに移動させる際の位置指令値を生成し、制御部１２が位置指令値に基づいてリニアモータ３１を駆動して可動テーブル３４を最終目標位置ｘｐに移動させる。
【００２０】
図３は、本実施形態における指令生成部１１の構成を示す概略ブロック図と、指令生成部１１において算出される指令の概略を示すグラフである。
指令生成部１１は、加速度指令生成部１１１、速度指令算出部１１２、及び位置指令算出部１１３を有している。
加速度指令生成部１１１は、入力される最終目標位置ｘｐと、可動テーブル３４の位置とから可動テーブル３４を移動させる距離を算出し、算出した距離と、リニアモータ３１の推力定数などとを用いて、加速度指令値を時系列に示す加速度パターンを生成する。また加速度指令生成部１１１は、生成した加速度パターンに対して、可動テーブル３４を減速させる期間を延ばす変更をし、変更した加速度パターンに基づいて加速度指令値を時系列に出力する。
【００２１】
加速度指令生成部１１１が行う加速度パターンの変更は、（ａ）に示すように、入力される情報に基づいて生成された加速度パターンが、「加速度＝α」にする加速期間（Ｔ１）、「加速度＝０」にする等速期間（Ｔ２）、及び「加速度＝−α」にする減速期間（Ｔ１）からなる場合、減速期間を時間Ｔ３だけ延ばして、減速期間を「Ｔ１＋Ｔ３」にする。延長する時間Ｔ３における加速度は、例えば、減速期間と同じ加速度にする。
ここで、減速期間を延ばす時間Ｔ３は、リニアモータ３１の応答遅延に基づいて予め定められた値が用いられ、例えば、Ｔ３を応答遅延と同じ時間や、位置制御における比例制御ゲイン（後述する比例制御ゲインＫｐ１）の逆数から算出される時間を設定する。
すなわち、加速度指令生成部１１１は、加速度を「０」に戻すタイミングを時間Ｔ３だけ遅らせる変更を加速度パターンに対して行う。
【００２２】
速度指令算出部１１２は、積分演算を用いて、加速度指令生成部１１１が出力する加速度指令値から「最高速度＝Ｖｍ」の速度指令値を算出する。速度指令算出部１１２が算出する速度指令値は、加速度指令生成部１１１が減速期間を延ばしたため、一般的な、台形制御の速度指令値と異なり、（ｂ）に示すように、速度が負になる領域を有する。
位置指令算出部１１３は、積分演算を用いて、速度指令算出部１１２が算出した速度指令値から位置指令値を算出し、位置指令値を時系列に制御部１２に出力する。位置指令値算出ｂ１１３が算出する位置指令は、加速度指令生成部１１１が減速期間を伸ばしたために、位置指令値の変化を示す曲線が、（ｃ）に示すように、一般的なＳ字曲線とならず、時刻（２Ｔ１＋Ｔ２）において最終目標位置ｘｐとなる上に凸な曲線になる。
上述の構成により、指令生成部１１は、加速度指令生成部１１１が加速度を「０」に戻すタイミングを時間Ｔ３だけ遅らせることにより、位置指令値を出力する期間を時間Ｔ３だけ延ばしていることになる。
【００２３】
図４は、本実施形態における制御部１２の構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、制御部１２は、速度算出部１３、切替制御部１４、移動制御部１５、及び整定制御部１６を有している。
速度算出部１３は、搬送装置３に備えられている位置検出器３５から入力される位置信号の単位時間あたりの変化量から、可動テーブル３４の移動速度を算出し、算出した移動速度を示す速度信号を出力する。
【００２４】
切替制御部１４は、位置偏差判定部１４１と、切替部１４２とを有している。位置偏差判定部１４１は、位置検出器３５が検出する可動テーブル３４の位置ｘ（以下、検出位置ｘという。）と、最終目標位置ｘｐとの偏差が予め定めたしきい値Δｘ未満か否かを判定し、判定結果に応じて切替部１４２を制御する。すなわち、位置偏差判定部１４１は、検出位置ｘが「｜ｘｐ−ｘ｜＜Δｘ」を満たす最終目標位置ｘｐの近傍に位置するか否かを判定する。ここで、しきい値Δｘは、位置検出器３５の分解能や、要求される位置決め整定時間などに基づいて、予め設定される値である。また、しきい値Δｘは、シミュレーションや、実測値に基づいて設定される。
【００２５】
切替部１４２は、位置偏差判定部１４１の制御に基づいて、移動制御部１５が出力する電流指令値と、整定制御部１６が出力する電流指令値とのいずれかを選択し、選択した電流指令値をパワーアンプ２に出力する。
具体的には、位置偏差判定部１４１は、偏差がしきい値Δｘ以上の場合、移動制御部１５が出力する電流指令値を切替部１４２に選択させ、偏差がしきい値Δｘ未満の場合、整定制御部１６が出力する電流指令値を切替部１４２に選択させる。
【００２６】
移動制御部１５は、指令生成部１１が出力する位置指令値と、速度算出部１３が出力する移動信号、位置信号とに基づいて、電流指令値を出力する。
整定制御部１６は、最終目標位置ｘｐと、速度算出部１３が出力する移動信号と、位置信号とに基づいて、電流指令値を算出し出力する。
以下、移動制御部１５、及び整定制御部１６のより詳細な構成に付いて説明する。
【００２７】
図５は、本実施形態における移動制御部１５、及び整定制御部１６の構成を示す概略ブロック図である。
【００２８】
同図に示すように、移動制御部１５は、位置偏差算出部１５１、速度指令算出部１５２、速度偏差算出部１５３、電流指令算出部１５４、質量補正部１５５を有している。
位置偏差算出部１５１は、位置指令値と、位置信号とから位置指令値が示す位置と、可動テーブル３４の位置との位置偏差を算出する。速度指令算出部１５２は、位置偏差算出部１５１が算出する位置偏差に対して、第１比例制御ゲインである比例制御ゲインＫｐ１を乗じて速度指令値を算出する。
速度偏差算出部１５３は、速度指令算出部１５２が算出する速度指令値と、速度信号が示す可動テーブル３４の移動速度との速度偏差を算出する。
【００２９】
電流指令算出部１５４は、Ｐ制御演算部１５４ａ、Ｉ制御演算部１５４ｂ、及び加算部１５４ｃを有している。Ｐ制御演算部１５４ａは、速度偏差算出部１５３が算出する速度偏差と、比例制御ゲインＫｖ１とを用いた比例演算により電流指令値を算出する。Ｉ制御演算部１５４ｂは、速度偏差算出部１５３が算出する速度偏差と、積分制御ゲインＫｉ１とを用いた積分演算により電流指令値を算出する。加算部１５４ｃは、Ｐ制御演算部１５４ａ、及びＩ制御演算部１５４ｂが算出した電流指令値を加算し、加算した電流指令値を質量補正部１５５に出力する。
すなわち、電流指令算出部１５４は、比例制御ゲインＫｖ１、及び積分制御ゲインＫｉ１を用いたＰＩ制御演算で速度偏差から電流指令値を算出し、算出した電流指令値を質量補正部１５５に出力する。
【００３０】
質量補正部１５５は、可動テーブル３４の質量、又は、可動テーブル３４の質量と可動テーブル３４上に積載された荷物などの質量に基づいて、電流指令算出部１５４が出力する電流指令値を補正し、補正した電流指令値を切替制御部１４に出力する。
【００３１】
整定制御部１６は、位置偏差算出部１６１、速度指令算出部１６２、速度偏差算出部１６３、電流指令算出部１６４、質量補正部１６５、及び推力制限部１６６を有している。
位置偏差算出部１６１は、最終目標位置ｘｐと、位置信号と最終目標位置ｘｐに対する可動テーブル３４の位置との位置偏差を算出する。速度指令算出部１６２は、位置偏差算出部１６１が算出する位置偏差に対して、第２比例制御ゲインである比例制御ゲインＫｐ２を乗じて速度指令値を算出する。
速度偏差算出部１６３は、速度指令算出部１６２が算出する速度指令値と、速度信号が示す可動テーブル３４の移動速度との速度偏差を算出する。
【００３２】
電流指令算出部１６４は、Ｐ制御演算部１６４ａ、Ｉ制御演算部１６４ｂ、及び加算部１６４ｃを有している。Ｐ制御演算部１６４ａは、速度偏差算出部１６３が算出する速度偏差と、比例制御ゲインＫｖ２とを用いた比例演算により電流指令値を算出する。Ｉ制御演算部１６４ｂは、速度偏差算出部１６３が算出する速度偏差と、積分制御ゲインＫｉ２とを用いた積分演算により電流指令値を算出する。加算部１６４ｃは、Ｐ制御演算部１６４ａ、及びＩ制御演算部１６４ｂが算出した電流指令値を加算し、加算した電流指令値を質量補正部１６５に出力する。
すなわち、電流指令算出部１６４は、比例制御ゲインＫｖ２、及び積分制御ゲインＫｉ２を用いたＰＩ制御演算で速度偏差から電流指令値を算出し、算出した電流指令値を質量補正部１５５に出力する。
【００３３】
質量補正部１６５は、可動テーブル３４の質量、又は、可動テーブル３４の質量と可動テーブル３４上に積載された荷物などの質量に基づいて、電流指令算出部１６４が出力する電流指令値を補正する。
推力制限部１６６は、質量補正部１６５が補正した電流指令値が、リニアモータ３１の最大推力に対応する最大電流値を超えているか否かを判定し、超えている場合には電流指令値を最大電流値に制限して切替制御部１４に出力する。
ここで、整定制御部１６において用いられる比例制御ゲインＫｐ２は、移動制御部１５において用いられる比例制御ゲインＫｐ１より大きい値が予め設定される。また、整定制御部１６において用いられる比例制御ゲインＫｖ２は、移動制御部１５において用いられる比例制御ゲインＫｖ１以上の値が予め設定される。また、積分制御ゲインＫｉ２は、移動制御部１５において用いられる積分制御ゲインＫｉ１以上の値が予め設定される。
【００３４】
上述の構成により、モータ制御装置１は、上位の制御装置から最終目標位置ｘｐが入力されると、切替制御部１４が移動制御部１５を選択し、移動制御部１５において算出された電流指令値をパワーアンプ２に出力して、リニアモータ３１を駆動させる。そして、モータ制御装置１は、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐの近傍に到達すると、切替制御部１４が整定制御部１６を選択する。整定制御部１６が、移動制御部１５で用いられる比例制御ゲインＫｐ１より値が大きい比例制御ゲインＫｐ２を用いて算出された電流指令をパワーアンプ２に出力して、可動テーブル３４の位置を最終目標位置ｘｐに整定させる。このとき、比例制御ゲインＫｐ１から比例制御ゲインＫｐ２に切り替えるのと同様に、比例制御ゲインＫｖ１及び積分制御ゲインＫｉ１から、比例制御ゲインＫｖ２及び積分制御ゲインＫｉ２に切り替える。
このようにして、モータ制御装置１は、可動テーブル３４が最終目標位置ｘｐの近傍に到達すると制御ゲインを大きい値に切り替える制御を行い、位置決め整定時間の短縮を行う。
なお、比例制御ゲインＫｐ１及びＫｖ１、Ｋｐ２及びＫｖ２、積分制御ゲインＫｉ１、Ｋｉ２の値は、シミュレーションの結果や、実機を用いた測定値などに基づいて定められる。
【００３５】
ところで、図１に示したような、搬送装置３において、案内装置で生じる摩擦の特性は、移動距離が１［ｍｍ］オーダー以上の距離の場合（粗動制御）ではクーロン摩擦特性を有し、移動距離が１００［μｍ］オーダー以下の距離の場合（微動制御）では非線形ばね特性を有する。摩擦の特性が非線形ばね特性である領域においては、クーロン摩擦特性である場合に比べ応答が非常に遅くなる。
切替制御部１４は、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐの近傍になると、移動制御部１５を用いたリニアモータ３１の駆動制御から、整定制御部１６を用いたリニアモータ３１の駆動制御に切り替える構成にしている。すなわち、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐの近傍になり、移動距離が１００［μｍ］オーダー以下の距離になったときに、比例制御ゲイン及び積分制御ゲインの制御ゲインを切り替えることができる。
これにより、可動テーブル３４が最終目標位置ｘｐの近傍に位置するタイミングで、制御ゲイン（Ｋｐ１，Ｋｖ１，Ｋｉ１）より大きい値の制御ゲイン（Ｋｐ２，Ｋｖ２，Ｋｉ２）に切り替えて微動制御を行うことができ、位置決め整定時間を短縮することができる。
【００３６】
モータ制御装置１では、指令生成部１１が加速度パターンにおいて減速期間を延ばすことにより、位置指令値の出力（払い出し）が終了するまでの期間を延ばしている。
これにより、従来の制御方法で発生していた「位置指令＝最終目標位置ｘｐ」かつ「速度指令＝０」かつ「加速度指令＝０」の状態における制御を排除し、「位置指令＝最終目標位置ｘｐ」かつ「速度指令＝０」かつ「加速度指令＝±α」の状態で最終目標位置ｘｐの近傍を通過させる指令を発生するため、可動テーブル３４を最終目標位置ｘｐの近傍（１００［μｍ］のオーダー）に速やかに移動させることができる。なお、「加速度指令＝±α」は、正方向の位置決めにおいて加速度指令を負の値にし、負方向の位置決めにおいて加速度指令を正の値にすることを表す。
その結果、位置偏差が小さくなるタイミングで、制御ゲインを切り替えることができ、整定制御部１６において用いる制御ゲイン（Ｋｐ２、Ｋｖ２，Ｋｉ２）に対して大きな値を設定することができるので、位置決め整定時間を短縮することができる。
なお、本実施形態では、指令生成部１１が出力する位置指令値を出力する期間を延ばしているが、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐの近傍に近づいたとき、切替制御部１４が整定制御部１６を用いた制御に切り替えるので、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐに対してオーバーシュートすることを防ぐことができる。
【００３７】
図６は、本実施形態のモータ制御装置１を用いた制御のシミュレーション結果を示す図である。図６（ａ）及び（ｂ）において、横軸は時間を示し、縦軸は位置偏差及び速度を示している。図６（ａ）には、本実施形態のモータ制御装置１を用いた制御のシミュレーション結果が示されている。図６（ｂ）には、比較例として、加速度指令生成部１１１における加速度パターンの変更、及び切替制御部１４における電流指令値の切り替えを行わない場合のシミュレーション結果を示している。
【００３８】
また、図６（ａ）において、時刻０．３［ｓ］以降の細い破線にて示しているのは、加速度指令生成部１１１が変更した加速度パターンに対応する速度指令値である。同図に示すように、指令生成部１１が位置指令値の出力（払い出し）が終了するまでの期間を延ばしたことにより、時刻０．３［ｓ］以降において、速度が緩やかに「０」に変化するのではなく、時刻０．３［ｓ］以前と同様の傾きで「０」に変化していることが分かる。
【００３９】
図６（ｂ）では、時刻０．３［ｓ］において位置指令値の払い出しが終了するとともに、「速度指令値＝０」かつ「加速度指令値＝０」の応答が遅い位置偏差を用いた制御が行われるため、移動速度、及び位置偏差が「０」になるまでに時間を要している。
これに対して、図６（ａ）では、位置指令値の払出しの期間を延ばしているため、時刻０．３［ｓ］以降においても、位置偏差及び速度偏差を用いた制御が引き続き行われるため、移動速度、及び位置偏差が「０」になるまでの時間（整定時間）が図６（ｂ）より短縮されていることが分かる。
【００４０】
（第２実施形態）
続いて、本発明に係る第２実施形態におけるモータ制御装置について説明する。
第２実施形態におけるモータ制御装置は、指令生成部の構成が第１実施形態におけるモータ制御装置１の指令生成部１１（図３）と異なる変形例である。ここでは、第１実施形態と構成が異なる指令生成部について説明をし、他の構成についてはその説明を省略する。
【００４１】
図７は、第２実施形態におけるモータ制御装置に備えられている指令生成部１１Ａの構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、指令生成部１１Ａは、加速度指令生成部１１１、速度指令算出部１１２、位置指令算出部１１３、逆伝達関数補償部１１４、及び加算部１１５を有している。指令生成部１１Ａは、逆伝達関数補償部１１４と、加算部１１５とを有している点が、第１実施形態の指令生成部１１（図３）と異なる。ここでは、逆伝達関数補償部１１４と、加算部１１５とについて説明をし、他の同じ構成に対して同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００４２】
逆伝達関数補償部１１４は、速度指令算出部１１２が算出した速度指令値に対して、制御部１２の移動制御部１５において用いられる比例制御ゲインＫｐ１の逆数を乗じて、位置指令値に対する補正値を算出する。
加算部１１５は、位置指令算出部１１３が算出する位置指令値と、逆伝達関数補償部１１４が算出する補正値とを加算し、加算結果を位置指令値として制御部１２に出力する。
【００４３】
第２実施形態におけるモータ制御装置では、逆伝達関数補償部１１４が算出する補正値により、位置指令値に対して生じる位置偏差に相当する補正値を算出し、位置指令値を補正している。これにより、位置指令値に対する遅れを防ぐことができ、搬送装置３における応答遅延を低減させることができ、位置決め整定時間を更に短縮することができる。
【００４４】
図８は、本実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第１の図である。図８（ａ）及び（ｂ）において、横軸は時間を示し、縦軸は位置偏差及び速度を示している。図８（ａ）には、本実施形態のモータ制御装置１を用いた制御のシミュレーション結果が示されている。図８（ｂ）には、比較例として、加速度指令生成部１１１における加速度パターンの変更、及び切替制御部１４における電流指令値の切り替えを行わない場合のシミュレーション結果を示している。
【００４５】
また、図８（ａ）において、指令生成部１１Ａが比例制御ゲインＫｐ１を用いて位置指令値を補正することにより、移動速度が速度指令値に遅れなく応答している。
図８（ｂ）では、移動速度が速度指令値に遅れなく応答している。しかし、位置偏差は、位置指令値の払い出しが終了する時刻０．３［ｓ］で一時的に「０」になるが、その後に遅い応答が発生するため、位置決め整定時間が図８（ａ）に比べ遅くなっている。
【００４６】
図９は、本実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第２の図である。図９に示すシミュレーション結果は、下記の条件の下で行った結果である。可動テーブル３４の質量を１０［ｋｇ］とし、可動テーブル３４の移動距離である駆動ストロークを３００［ｍｍ］とし、リニアモータ３１の駆動加速度を１．５［Ｇ］とし、駆動最高速度を１．５［ｍ／ｓ］とし、位置偏差判定部１４１におけるしきい値Δｘを１０［μｍ］とした。また、移動制御部１５における比例制御ゲインＫｐ１、Ｋｖ１、及び、積分制御ゲインＫｉ１を６０、３００、２７０００とし、整定制御部１６における比例ゲインＫｐ２、Ｋｖ２、及び、積分制御ゲインＫｉ２を５００、１６００、７６８０００とした。
【００４７】
図９（ａ）〜（ｃ）には本実施形態におけるモータ制御装置のシミュレーション結果を示し、図９（ｄ）〜（ｆ）には比較例として加速度パターンの変更、及び制御ゲインの切り替えを行わないモータ制御装置によるシミュレーション結果を示している。
本実施形態のモータ制御装置を用いた場合、図９（ａ）に示されるように、速度指令に対して可動テーブル３４の移動速度である実速度が遅れなく応答している。また、図９（ｃ）に示されるように、位置偏差が時刻０．３［ｓ］以降において短時間で収束し、整定している。
本実施形態のモータ制御装置を用いた場合では、３００［ｍｍ］の駆動ストロークに対して±５［μｍ］の誤差を許容したとき、時刻０．３［ｓ］で指令の払出しが完了してからの位置決め整定時間が３．７［ｍｓ］であった。一方、比較例のモータ制御装置を用いた場合では、位置決め整定時間が５２１．４［ｍｓ］であった。
【００４８】
図１０は、本実施形態におけるモータ制御装置を用いた制御のシミュレーション結果を示す第３の図である。同図において、横軸は時間を示し、縦軸はリニアモータ３１の推力を示している。また、シミュレーションにおける条件は、図９のシミュレーションと同じである。図１０（ａ）は本実施形態に対応するシミュレーション結果を示し、図１０（ｂ）は比較例に対応するシミュレーション結果を示している。図１０（ａ）に示すように、本実施形態のモータ制御装置を用いることにより、時刻０．２［ｓ］から時刻０．３［ｓ］の減速期間の後に短時間で整定している。一方、比較例においては、減速期間の後、停止するまでに時間を要している。すなわち、本実施形態におけるモータ制御装置を用いることにより、指令の払出しが完了してから可動テーブル３４を最終目標位置ｘｐに停止させるまでに要する位置決め整定時間を短縮できている。
このように、シミュレーション結果から、本実施形態のモータ制御装置を用いることにより、搬送装置３の移動制御における整定時間を大幅に短縮できることが分かる。
【００４９】
（第３実施形態）
続いて、本発明に係る第３実施形態におけるモータ制御装置について説明する。
図１１は、第３実施形態におけるモータ制御装置５の構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、モータ制御装置５は、指令生成部１１と、制御部５２とを備えている。制御部５２は、速度算出部１３、切替制御部５４、移動制御部１５、整定制御部１６、及び停止制御部５７を有している。
【００５０】
本実施形態のモータ制御装置５は、制御部５２が切替制御部５４及び停止制御部５７を有している点が、第１実施形態の制御部１２と異なる。ここでは、第１実施形態と構成が異なる切替制御部５４、及び停止制御部５７について説明をする。他の構成については、該当する構成に同じ符号を付して、その説明を省略する。
【００５１】
切替制御部５４は、零速度検出部５４１、タイマ部５４２、及び切替部５４３を有している。零速度検出部５４１は、加速期間において移動制御部１５を選択させる制御を切替部５４３に対して行うとともに、減速期間において、速度算出部１３が算出する移動速度が予め定めたしきい値Δｖ未満か否かを判定し、しきい値Δｖ未満の場合に移動制御部１５から停止制御部５７に選択を切り替えさせる制御を切替部５４３に対して行う。
すなわち、零速度検出部５４１は、可動テーブル３４を減速させ始めた後に、可動テーブル３４の移動速度ｖが「０」近傍まで減速されたとき（「｜ｖ｜＜Δｖ」を満たすとき）に、切替部５４３による切り替えを行わせる。ここで、しきい値Δｖは、位置検出器３５の分解能や、要求される整定時間などに基づいて、予め設定される値である。また、しきい値Δｘは、シミュレーションや、実測値に基づいて設定される。
【００５２】
タイマ部５４２は、零速度検出部５４１が停止制御部５７による制御に切り替えてから、予め定められた時間Ｔが経過すると、停止制御部５７から整定制御部１６に選択を切り替えさせる制御を切替部５４３に対して行う。ここで、時間Ｔは、比例制御ゲインＫｐ１の逆数として算出される時間を設定する。
切替部５４３は、零速度検出部５４１及びタイマ部５４２の制御に基づいて、移動制御部１５が出力する電流指令値、停止制御部５７が出力する電流指令値、及び整定制御部１６が出力する電流指令値のうちのいずれか１つを選択し、選択した電流指令値をパワーアンプ２に出力する。
【００５３】
停止制御部５７は、移動速度ｖが「｜ｖ｜＜Δｖ」を満たすことを零速度検出部５４１が検出したことを示す零速度信号と、位置信号と、速度信号とに基づいて、電流指令値を出力する。
図１２は、本実施形態における停止制御部５７の構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、停止制御部５７は、位置記憶部５７１、位置偏差算出部５７２、速度指令算出部５７３、速度偏差算出部５７４、電流指令算出部５７５、質量補正部５７６、及び推力制限部５７７を有している。
【００５４】
位置記憶部５７１には、位置信号と、零速度信号とが入力されている。位置記憶部５７１は、移動速度ｖが「｜ｖ｜＜Δｖ」を満たしたときにおける可動テーブル３４の位置を記憶し、記憶した位置を出力する。位置偏差算出部５７２は、位置記憶部５７１に記憶されている位置と、位置信号が示す可動テーブル３４の位置との位置偏差を算出する。
速度指令算出部５７３は、位置偏差算出部５７２が算出する位置偏差に対して、第３比例制御ゲインである比例制御ゲインＫｐ３を乗じて速度指令値を算出する。速度偏差算出部５７４は、速度指令算出部５７３が算出する速度指令値と、速度信号が示す可動テーブル３４の移動速度との速度偏差を算出する。
【００５５】
電流指令算出部５７５は、Ｐ制御演算部５７５ａ、Ｉ制御演算部５７５ｂ、及び加算部５７５ｃを有している。Ｐ制御演算部５７５ａは、速度偏差算出部５７４が算出する速度偏差と、比例制御ゲインＫｖ３とを用いた比例演算により電流指令値を算出する。Ｉ制御演算部５７５ｂは、速度偏差算出部５７４が算出する速度偏差と、積分制御ゲインＫｉ３とを用いた積分演算により電流指令値を算出する。加算部５７５ｃは、Ｐ制御演算部５７５ａ、及びＩ制御演算部５７５ｂが算出した電流指令値を加算し、加算した電流指令値を質量補正部５７６に出力する。
すなわち、電流指令算出部５７５は、比例制御ゲインＫｖ３、及び積分制御ゲインＫｉ３を用いたＰＩ制御演算で速度偏差から電流指令値を算出し、算出した電流指令値を質量補正部５７６に出力する。
【００５６】
質量補正部５７６は、可動テーブル３４の質量、又は、可動テーブル３４の質量と可動テーブル３４上に積載された荷物などの質量に基づいて、電流指令算出部５７５が出力する電流指令値を補正する。
推力制限部５７７は、質量補正部５７６が補正した電流指令値が、リニアモータ３１の最大推力に対応する最大電流値を超えているか否かを判定し、超えている場合には電流指令値を最大電流値に制限して切替制御部５４に出力する。
ここで、停止制御部５７において用いられる比例制御ゲインＫｐ３には、移動制御部１５において用いられる比例制御ゲインＫｐ１より大きい値が予め設定される。また、停止制御部５７において用いられる比例制御ゲインＫｖ３には、移動制御部１５において用いられる比例制御ゲインＫｖ１の値以上の値が予め設定される。同様に、積分制御ゲインＫｉ３には、移動制御部１５において用いられる積分制御ゲインＫｉ１の値以上の値が予め設定される。
また、停止制御部５７において用いられる比例制御ゲインＫｐ３及びＫｖ３には、整定制御部１６において用いられる比例制御ゲインＫｐ２及びＫｖ２の値以上の値を設定してもよい。なお、比例制御ゲインＫｐ３及びＫｖ３の値と、積分制御ゲインＫｉ３の値とは、シミュレーションの結果や、実機を用いた測定値などに基づいて定められる。
【００５７】
上述の構成により、モータ制御装置５は、上位の制御装置から最終目標位置ｘｐが入力されると、切替制御部５４が移動制御部１５を選択し、移動制御部１５において算出された電流指令値をパワーアンプ２に出力する。そして、モータ制御装置５は、リニアモータ３１を駆動して可動テーブル３４を移動させる。モータ制御装置５は、指令生成部１１が生成する位置指令値に基づいて、可動テーブル３４の移動速度を減速させる。
ここで、モータ制御装置５は、移動速度が「０」近傍になると、切替制御部５４が停止制御部５７を選択し、停止制御部５７において算出された電流指令値をパワーアンプ２に出力して、可動テーブル３４を停止させる制御をする。その後に、切替制御部５４が整定制御部１６を選択し、整定制御部１６において算出された電流指令をパワーアンプ２に出力して、可動テーブル３４の位置を最終目標位置ｘｐに整定させる。
【００５８】
このようにして、モータ制御装置５は、可動テーブル３４が最終目標位置ｘｐの近傍に到達すると比例制御ゲインを切り替える制御を行い、整定時間の短縮を行う。また、モータ制御装置５は、移動速度が「０」近傍になると、停止制御部５７を用いて可動テーブル３４を一時的に停止させることにより、整定制御部１６を用いた制御において、可動テーブル３４を安定して移動させることができ、更に、整定時間を短縮することができる。
【００５９】
切替制御部５４では、移動速度に基づいて、制御ゲインの切り替えを行っている。これは、位置偏差と速度偏差とを用いたＰ−ＰＩ制御において、位置の制御に対して、速度の制御の応答が十分に速い場合、「（速度）≒（速度指令値）＝（位置偏差）×（比例制御ゲインＫｐ）」であることに基づいている。
すなわち、位置偏差と速度偏差とを用いたＰ−ＰＩ制御において、「（位置偏差）≒０」と「（速度）≒０」とは同時に起こることを意味している。切替制御部５４は、位置に対して応答が速い速度を用いて、位置偏差が小さくなるタイミングで制御ゲインの切り替えを行うことができ、整定時間を更に短縮することができる。
【００６０】
なお、制御部５２において、移動制御部１５を用いた制御から停止制御部５７を用いた制御へ切り替えずに、第１実施形態と同様に、移動制御部１５を用いた制御から整定制御部１６を用いた制御に切り替えるようにしてもよい。
また、切替制御部５４において、移動制御部１５を用いた制御から停止制御部５７を用いた制御への切り替えを、第１実施形態と同様に位置偏差判定部１４１を用いて、可動テーブル３４の位置が最終目標位置ｘｐの近傍に位置するタイミングで行うようにしてもよい。
【００６１】
また、上述の第１〜第３実施形態において、整定制御部１６を用いた制御を行い、可動テーブル３４を整定させた後に、移動制御部１５において用いられている制御ゲイン（Ｋｐ１，Ｋｖ１，Ｋｉ１）に切り替えるようにしてもよい。これにより、可動テーブル３４を整定させた後に、微小な振動や、ノイズ等により位置偏差が生じて、可動テーブル３４が移動してしまうことを防ぐことができる。また、移動制御部１５において用いられる制御ゲイン（Ｋｐ１，Ｋｖ１，Ｋｉ１）でなくとも、整定制御部１６において用いられる制御ゲイン（Ｋｐ２，Ｋｖ２，Ｋｉ２）それぞれを小さい値に切り替えるようにしてもよい。
【００６２】
また、上述の第１〜第３実施形態では、搬送装置３に備えられたリニアモータ３１を制御する構成を説明したが、これに限ることなく、リニアモータ３１に替えて回転モータを制御するようにしてもよい。
図１３は、回転モータを制御する変形例の構成を示す概略図である。搬送装置７は、回転モータ７１、ベース７２、ベース７２上に設置された案内レール７３１、案内レール７３１に取り付けられている転がり案内７３２、転がり案内７３２上に設けられている可動テーブル７４、回転モータ７１の回転軸とボールねじ７５の一端とを接続する軸継手７６、及び、ボールねじ７５の他端を支持するようにベースに設置されているボールねじ受部７７を備えている。
モータ制御装置１（５）は、回転モータ７１に設けられているエンコーダから出力される回転軸の回転角を示す位置信号に基づいて、回転モータ７１を駆動させて可動テーブル７４を移動させ、その整定時間を短縮するようにしてもよい。
【００６３】
また、上述の第１〜第３実施形態では、直動タイプの案内装置３３を備えた搬送装置３のリニアモータ３１を制御する構成を説明したが、これに限ることなく、回転タイプの案内装置を備えた装置のモータを制御するようにしてもよい。
図１４は、回転タイプの案内装置を備えた駆動装置のモータを制御する変形例の構成を示す概略図である。駆動装置８は、回転モータ８１、回転モータ８１の回転軸に取り付けられているギア８２、ギア８２と組み合わされたギア８３、ギア８３に回転軸が取り付けられている回転体８４、及び、回転体８４の回転運動を案内する転がり案内８５を備えている。
モータ制御装置１（５）は、回転モータ８１に設けられているエンコーダから出力される回転軸の回転角を示す位置信号に基づいて、回転モータ８１を駆動させることにより、回転体８５を回転させる際の整定時間を短縮するようにしてもよい。また、図１４では、ギア８２、８３を介して回転モータ８１の動力を回転体８４に伝達する例を示したが、回転モータ８１の動力を回転体８４に直に伝達するように接続してもよい。
【００６４】
上述のモータ制御装置１（５）は内部に、コンピュータシステムを有していてもよい。その場合、上述した指令生成部１１（１１Ａ）、速度算出部１３、切替制御部１４（５７）、移動制御部１５、整定制御部１６、及び停止制御部５７それぞれの処理の過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われることになる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
サーボモータを用いた装置における整定時間の短縮が求められる用途にも適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１，５…モータ制御装置、２…パワーアンプ、３…搬送装置、１１，１１Ａ…指令生成部、１２，５２…制御部、１３…速度算出部、１４，５４…切替制御部、１５…移動制御部、１６…整定制御部、３１…リニアモータ、３４…可動テーブル、５７…停止制御部、１１１…加速度指令生成部、１１２…速度指令算出部、１１３…位置指令算出部、１１４…逆伝達関数補償部、１１５…加算部、１４１…位置偏差判定部、１４２，５４３…切替部、１５１，１６１，５７２…位置偏差算出部、１５２，１６２，５７３…速度指令算出部、１５３，１６３，５７４…速度偏差算出部、１５４，１６４，５７５…電流指令算出部、１５４ａ，１６４ａ，５７５ａ…Ｐ制御演算部、１５４ｂ，１６４ｂ，５７５ｂ…Ｉ制御演算部、１５４ｃ，１６４ｃ，５７５ｃ…加算部、１５５，１６５，５７６…質量補正部、１６６，５７７…推力制限部、５４１…零速度検出部、５４２…タイマ部、５７１…位置記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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