(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｍ行ｎ列のマトリックス状に配置され、類似した動的特性を有するものが行方向に分布する傾向にある複数のスライダを、ｍ×ｔ個（ｔは予め定められた整数）ごとに分類する磁気ヘッド用スライダの検査方法であって、
前記マトリックス状に配置された複数のスライダＳ［ｉ、ｊ］（１≦ｉ≦ｍ、１≦ｊ≦ｎ：ｉ、ｊは整数）のうちの第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の動的特性を検査する第１のステップと、
前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダＳ［１、ｊ］にそのランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を付与する第２のステップと、
前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ：ｋは整数）までを用いた演算の結果に基づいて、スライダＳ［１、ｓ］（ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｓは整数）を複数のグループのうちの１つに分類する第３のステップと、
前記スライダＳ［１、ｓ］の分類に基づいて、Ｓ［ｒ、ｓ］（２≦ｒ≦ｍ、ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１）を、複数のグループの１つに分類する第４のステップと、
を備えた磁気ヘッド用スライダの検査方法。
【請求項２】
前記ｋ値を１ずつ増加させてｋ＝１からｋ＝ｎ−ｔ＋１まで前記第３のステップを実行し、前記スライダＳ［１、ｓ］を前記複数のグループのうちの１つに分類する請求項１記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。
【請求項３】
前記第３のステップは、前記Ａ（ｋ）から前記Ａ（ｋ+ｔ−１）までを用いた前記演算の結果を第１の総和を基準値とした第１の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、前記スライダＳ［１、ｓ］を前記第１のグループに分類するステップと、
前記第１のグループに分類されなかった前記スライダＳ［１、ｊ］のうちの連続してｔ個以上が並ぶ部分について、その部分に含まれるｐ列目のＡ（ｐ）からｐ＋ｔ−１列目のＡ（ｐ＋ｔ−１）までを用いた演算の結果を第２の総和を基準値とした第２の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、スライダＳ［１、ｕ］（ｐ≦ｕ≦ｐ＋ｔ−１：ｐ、ｕは整数）を前記第２のグループに分類するステップと、を含む請求項１または２に記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。
【請求項４】
ｍ行ｎ列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが行方向に分布する傾向にある複数のスライダＳ［ｉ、ｊ］（１≦ｉ≦ｍ、１≦ｊ≦ｎ：ｉ、ｊは整数）のうちの第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の前記動的特性の検査データに基づいて、前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを複数のランクのいずれかに分類するステップと、
前記ランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を、前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のうちの前記スライダＳ［１、ｊ］に付与するステップと、
前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ：ｋは整数、ｔは予め定められた整数）までを用いた演算の結果基づいて、スライダＳ［１、ｓ］（ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｓは整数）を複数のグループのうちの１つに分類するステップと、を備えた磁気ヘッド用スライダの検査プログラム。
【請求項５】
ｍ行ｎ列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが行方向に分布する傾向にある複数のスライダＳ［ｉ、ｊ］（１≦ｉ≦ｍ、１≦ｊ≦ｎ：ｉ、ｊは整数）のうちの第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の前記動的特性を検査する工程と、
前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダＳ［１、ｊ］にそのランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を付与し、前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ：ｋは整数、ｔは予め定められた整数）までを用いた演算の結果に基づいて、スライダＳ［ｒ、ｓ］（２≦ｒ≦ｍ、ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｒ、ｓは整数）を、前記特性の全数検査を要するグループ、または、それ以外のグループに分類する工程と、
前記全数検査を要するグループに含まれる前記スライダ［ｒ、ｓ］の前記特性を全数検査する工程と、
を備えた磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
実施形態は、磁気ヘッド用スライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク（Hard disk drive：ＨＤＤ）は，磁気ヘッドと、記憶メディアと、を含む。そして、ＨＤＤの製造過程では、磁気ヘッドの特性と、記憶メディアの特性と、を適正に組み合わせることにより、所望の記憶容量を得る。このため、磁気ヘッドは、その製造過程において実施される動特性試験の結果に基づいてランク分けされる。
【０００３】
例えば、磁気ヘッドの先端には、記憶メディアへデータの書き込み・読み出しを行うスライダが取り付けられる。そして、そのスライダの性能により、磁気ヘッドの動特性が決まる。一方、スライダは、所定の基板を用いたウェーハプロセスにより製作される。したがって、基板上に形成された複数のスライダを、個々のチップに分割する前にランク分けすることが効率的であり、製造コストの低減につながる。
【０００４】
しかしながら、磁気ヘッドの動特性試験は、スライダをアームに取り付けた状態で実施される。そして、その検査には多大なコストを要する。そこで、基板上に形成された複数のスライダをその製造過程において分類し、動特性試験の負荷を軽減できるスライダの検査方法および磁気ヘッドの製造方法が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１２３９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
実施形態は、複数のスライダをその製造過程において分類し、動特性試験の負荷を軽減できるスライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態は、ｍ行ｎ列のマトリックス状に複数配置され、類似した動的特性を有するものが行方向に分布する傾向にある複数のスライダを、ｍ×ｔ個（ｔは予め定められた整数）ごとに分類する磁気ヘッド用スライダの検査方法であって、前記マトリックス状に配置された複数のスライダＳ［ｉ、ｊ］（１≦ｉ≦ｍ、１≦ｊ≦ｎ：ｉ、ｊは整数）のうちの第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の動的特性を検査する第１のステップと、前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを前記動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、そのランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を付与する第２のステップと、を備える。そして、前記スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ：ｋは整数）までを用いた演算の結果に基づいて、スライダＳ［１、ｓ］（ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｓは整数）を複数のグループのうちの１つに分類する第３のステップと、前記スライダＳ［１、ｓ］の分類に基づいて、Ｓ［ｒ、ｓ］（２≦ｒ≦ｍ、ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１）を、複数のグループの１つに分類する第４のステップと、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係るスライダの検査方法を表すブロック図である。
【図２】実施形態に係る磁気ヘッドの製造過程を表す模式図である。
【図３】実施形態に係るスライダブロックを表す模式図である。
【図４】スライダの特性分布の一例を表すグラフである。
【図５】スライダブロックの特性分布の一例を表す模式図である。
【図６】実施形態に係るスライダの検査過程を表す模式図である。
【図７】図６に続く検査過程を表す模式図である。
【図８】図７に続く検査過程を表す模式図である。
【図９】図８に続く検査過程を表す模式図である。
【図１０】図９に続く検査過程を表す模式図である。
【図１１】端数スライダの第１の処理方法を示す模式図である。
【図１２】端数スライダの第２の処理方法を示す模式図である。
【図１３】端数スライダの第３の処理方法を示す模式図である。
【図１４】端数スライダの第４の処理方法を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面中の同一部分には同一番号を付してその詳しい説明は適宜省略し、異なる部分について説明する。
【００１０】
図１は、実施形態に係るスライダの検査方法を表すブロック図である。本実施形態に係る検査方法では、ｍ行ｎ列のマトリックス状に配置された磁気ヘッド用スライダを検査する。
【００１１】
まず、複数の前記スライダＳ［ｉ、ｊ］（１≦ｉ≦ｍ、１≦ｊ≦ｎ：ｉ、ｊは整数）のうちの第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の特性を検査する（Ｓ０１）。この試験は、スライダＳ［１、ｊ］をアームに取り付け、例えば、書き込み幅（Magnetic Write Width：ＭＷＷ）などの動的特性を測定する。ここで、Ｓ［１、ｊ］は、第１行目に配置されたスライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のうちのｊ列目のスライダを意味する。
【００１２】
例えば、第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の全数を測定しても良いし、そのうちの一部を測定しても良い。また、第１行目に配置されたスライダＳ［１、ｊ］の全数を測定しない場合、未測定のスライダの特性は、測定済みのスライダの特性に基づいて、例えば、線形補間を行うことにより推定する。
【００１３】
次に、スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを、その動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類する（Ｓ０２）。そして、スライダＳ［１、ｊ］にそのランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を付与する（Ｓ０３）。
【００１４】
続いて、スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ：ｔは整数）までを用いて演算を行い（Ｓ０４）、その結果に基づいて、スライダＳ［１、ｓ］（ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｓは整数）を複数のグループのうちの１つに分類する（Ｓ０５）。
【００１５】
図２は、実施形態に係る磁気ヘッドの製造方法を表す模式図である。具体的には、磁気ヘッド用スライダの製造過程を示している。
【００１６】
磁気ヘッドの先端に取り付けられるスライダは、例えば、シリコン基板と、その上に設けられた磁気回路を含む。そして、スライダは、ウェーハプロセスを用いて製作される。図２（ａ）に示すウェーハプロセスを完了した基板１０には、複数のスライダが形成されている。
【００１７】
次に、図２（ｂ）に示すように、基板１０を複数のスライダブロック（Slider Block）２０に分割する。続いて、それぞれのスライダブロック２０（以下、ブロック２０）に含まれる複数のスライダの静的特性を測定する（試験１）。具体的には、個々のスライダの読み取り特性を測定する。
【００１８】
次に、図２（ｃ）に示すように、ブロック２０を、小ブロック（Small Block）３０にさらに分割する。続いて、それぞれの小ブロック３０の表面を研磨する。具体的には、例えば、スライダの磁気回路に含まれる磁性体の先端を、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polish）法を用いて研磨し平坦化する。
【００１９】
次に、図２（ｄ）に示すように、小ブロック３０の長辺側の端に並んだ１列のスライダ（Ｒｏｗ  ｂａｒ３１）を切り離す。そして、Ｒｏｗ−ｂａｒ３１から分割された個々のスライダをアームに取り付け、動的特性を測定する（試験２）。
【００２０】
次に、残りの小ブロック３３に含まれるスライダを、Ｒｏｗ−ｂａｒ３１に含まれる個々のスライダの動的特性に基づいて複数のグループに分類する。そして、図２（ｅ）に示すように、小ブロック３３を、それぞれのグループに対応する部分３３ａ、３３ｂおよび３３ｃに分割する。
【００２１】
図３は、実施形態に係るスライダブロックを模式的に表す平面図である。図３（ａ）および図３（ｂ）は、個々のスライダの平面配置を模式的に示している。
【００２２】
図３（ａ）に示すように、ブロック２０は、８つの小ブロック３０を含む。小ブロック３０は、例えば、研磨に適したサイズに分割される。
【００２３】
図３（ｂ）に示すように、小ブロック３０に含まれる個々のスライダの配置は、ｍ行ｎ列のマトリックスと見なすことができる。Ｒｏｗ−ｂａｒ３１に含まれるスライダは、第１行に配置されたスライダＳ［１、ｊ］（１≦ｊ≦ｎ）である。残りの小ブロック３３に含まれるスライダは、スライダＳ［ｒ、ｓ］（２≦ｒ≦ｍ、ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１：ｓは整数）である。
【００２４】
上記の製造過程では、スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のそれぞれを動的特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類する。続いて、スライダＳ［１、ｊ］に、そのランクに対応づけた係数Ａ（ｊ）を付与し、そのランクを数値化する。
【００２５】
スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］に付与されたＡ（１）〜Ａ（ｎ）のうちのｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ）までを用いた演算を行う。そして、その演算の結果に基づいて、小ブロック３３に含まれるスライダＳ［ｒ、ｓ］（２≦ｒ≦ｍ、ｋ≦ｓ≦ｋ＋ｔ−１）を、複数のグループの１つに分類する。例えば、動的特性の全数検査を要するグループ、または、それ以外のグループに分類する。
【００２６】
次に、小ブロック３３は、分類されたグループごとに分割される。このうち、例えば、動的特性の全数検査を要するグループに含まれるスライダＳ［ｒ、ｓ］は、アームに取り付けられた後、全数、動的特性を検査する。
【００２７】
図４は、スライダの特性分布の一例を表すグラフである。横軸は、スライダの列番号であり、縦軸は、ＭＷＷ（Ｗ１〜Ｗ４）を示している。同図では、Ｗ１よりもＷ４の方が大きな値でありＭＷＷが広がる。また、グラフの上方には小ブロック３０を模式的に表し、スライダのＭＷＷ特性と、そのスライダの小ブロック３０の中の位置と、を対応させている。
【００２８】
図４に示す例では、小ブロック３０の左端から右端方向にＭＷＷが減少する。また、ＭＷＷは、Ｗ１〜Ｗ４の範囲において、３つのランクに分けられている。例えば、ＭＷＷの最も狭いスライダは、Ｗ１〜Ｗ２の範囲にありＳランクに分類され、ＭＷＷの広がりに対応してＡランク（Ｗ２〜Ｗ３）およびＢランク（Ｗ３〜Ｗ４）に分類される。
【００２９】
図４において、縦方向に示した一点鎖線は、本実施形態に係るスライダの検査方法により分類されたグループの境界である。結果として、小ブロック３０は、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７の７つの部分に分類されている。
【００３０】
図４に示すように、Ｎｏ．１の部分は、Ｂランクのスライダを含む。また、Ｎｏ．２の部分およびＮｏ．６の部分は、Ａランクのスライダを含む。さらに、Ｎｏ．７の部分は、Ｓランクのスライダを含む。そして、これらの部分に含まれるスライダは、例えば、動的特性の検査を実施せずに、それぞれの部分に対応するランクのスライダとして使用することができる。
【００３１】
例えば、Ｎｏ．１の部分に含まれるＡランクのスライダＤＸは、分布の特異点に該当するが、このスライダをＢランクとして使用しても磁気ヘッドの動作に不具合は生じず、また、記憶容量が低下することもない。
【００３２】
一方、Ｎｏ．３の部分、Ｎｏ．４の部分およびＮｏ．５の部分は、それぞれの部分に含まれるスライダの数が、他の部分よりも少ない。すなわち、第１行目に配置されたスライダおける係数Ａ（ｊ）の演算単位（ｔ＝１０）よりも列数が小さい部分である。本実施形態に係る検査方法では、動的特性の分布が大きい部分において、このような列数の少ないグループが生じる。したがって、列数が演算単位ｔよりも小さい部分は、動的特性の全数検査の対象とされる。
【００３３】
図４に示す例では、Ｎｏ．３〜Ｎｏ．５に対応する部分に含まれるスライダを全数検査することにより、Ａランクのスライダと、Ｓランクのスライダと、を分別することができ、相互の混入を減らすことができる。そして、小ブロック３０に含まれるスライダの全数に占めるＮｏ．３〜Ｎｏ．５の部分に含まれるスライダの数の割合は小さいので、動的特性の試験工程における負荷を軽減することができる。
【００３４】
例えば、本実施形態とは異なる検査方法として、ブロック２０の全体から動的特性を検査する複数のスライダを抽出し、その特性の分布に基づいて、そのブロック２０の全数検査を行うか否かを決定する方法が考えられる。この方法は、検査工程が簡便であり、ブロック２０に含まれるスライダの動的特性の分布が小さい場合に有効である。しかしながら、動的特性は、ウェーハプロセスおよび研磨工程のバラツキに起因し、その分布を小さくすることは難しい。このため、ブロック２０が、全数検査の対象となる頻度は高く、多大な検査コストが発生する。また、全数検査の対象とならないブロック２０において、ランク外のスライダが混入する割合が大きい。
【００３５】
これに対し、本実施形態に係る検査方法では、小ブロック３０の分布に対応したスライダのグループ分けが可能であり、動的特性の検査の対象となるスライダの数を大幅に削減することが可能である。また、ランク外のスライダの混入を低減することもできる。
【００３６】
また、図１に示す検査フローを記述したプログラムを記憶したマイクロプロセッサを備えた検査装置、または、データ処理装置を用いることにより、本検査方法は、容易に実施することができる。
【００３７】
図５は、スライダブロックの特性分布の一例を表す模式図である。図５（ａ）は、基板１０の分割例を示す平面図である。図５（ｂ）は、基板１０に含まれるブロック２０ａおよび２０ｂにおけるスライダの特性分布を示すマップである。
【００３８】
図５（ａ）に示す例では、基板１０に形成されたスライダは、８個のブロック２０に分割される。
【００３９】
図５（ｂ）に示すマップは、複数の基板に設けられた同一座標のスライダのＭＷＷの平均値を、ランクごとに色分けして示している。色の濃い部分は、Ｓランクのスライダを示し、色の薄い部分は、ＡランクおよびＢランクのスライダを示している。
【００４０】
図５（ｂ）から、ブロック２０におけるＳランクのスライダは、Ｙ方向に連続して分布する方向性を有することがわかる。また、ランク毎に纏まって偏在する傾向が見られる。そして、基板１０の全体における各ランクの分布は、連続したものではなく、ブロック毎に区々である。すなわち、各ブロック２０におけるＭＷＷの分布は、基板１０として一括して処理されるウェーハプロセスに起因するのではなく、各ブロックに分割した後の処理である研磨工程に起因するものと推測される。
【００４１】
このように、Ｙ方向に同じランクのスライダが連続して分布する傾向があれば、例えば、Ｘ方向に並ぶ１行のスライダの分布を測定することにより、Ｙ方向に並ぶスライダの特性を予測することが可能である。さらに、各ランクのスライダが偏在している場合には、それぞれのランクのスライダが多く偏在する部分をグループ分けする。これにより、動的特性の検査数を削減することができ、且つ、無検査のスライダに混入するランク外のスライダの割合を下げることができる。
【００４２】
また、ブロック２０を分割した小ブロック３０のサイズを好適に選択することにより、スライダのグループ分けの精度を向上させることができる。すなわち、小ブロック３０に含まれるスライダをｍ行ｎ列のマトリックスセルに対応させるとすれば、小ブロック３０の縦横比ｎ／ｍをブロック２０におけるスライダの分布に適合させることが望ましい。例えば、ブロック２０におけるスライダの分布がＹ方向（列方向）への方向性を強く有する場合、ｎ／ｍを大きくすることができる。一方、スライダの分布に方向性が無い場合には、ｎ／ｍを小さくすることにより、クレープ分けの精度を向上させることが可能である。このように、ｎ／ｍを好適に選択することにより、全数検査の対象となるスライダの数を減らし、無検査のグループにおけるランク外のスライダの混入を抑制することができる。
【００４３】
次に、図６〜図１０を参照して、実施形態に係るスライダの検査方法を具体的に説明する。図６（ａ）〜図１０（ｂ）は、実施形態に係るスライダの検査過程を表す模式図である。
【００４４】
まず、図６（ａ）に示すように、動的特性の検査結果に基づいて、小ブロック３０の第1行目に含まれるスライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のランク分けを行う。例えば、ＭＷＷの幅Ｗ１〜Ｗ４の間に、ＭＷＷが狭い方からＳ、Ａ、Ｂ、Ｃの４つのランクに対応する範囲を設定する。そして、スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］をそれぞれのＭＷＷ値に基づいて、各ランクに分類する。図４では、Ｗ１〜Ｗ４の範囲を３つに分割し、それぞれにＳ、Ａ、Ｂのランクを割り当てる例を示したが、実施形態はこれに限定される訳ではない。例えば、第１行目のＭＷＷの分布に基づいて好適に分類することができる。また、それぞれのランクにおいて、ＭＷＷ値が相互に重複する範囲を設定することもできる。
【００４５】
ここで、第１行目の分布に異常値がある場合、適宜、除去または変換等を実施し、異常値を除去することが望ましい。例えば、ＭＷＷ≧Ｗ４のデータは、全てＷ４に変換し、ＭＷＷ≦Ｗ１のデータは、全てＷ１に変換するしても良い。さらに、データの無い部分（スライダが形成されていない部分、または、検査されていない部分）に対し線形補間を行うことが好ましい。
【００４６】
次に、各ランクを数値化し、各スライダＳ［１、ｊ］にそのランクに対応する数値を係数Ａ［ｊ］として付与する。例えば、Ｓランクのスライダに４、Ａランクのスライダに３、Ｂランクのスライダに２およびＣランクのスライダに１をそれぞれ付与し数値化する。
【００４７】
次に、図６（ｂ）に示すように、ｋ＝１からｋ＝ｎ＋ｔ−１までｋ値を１ずつ増加させて、ｋ列目のＡ（ｋ）からｋ＋ｔ−１列目のＡ（ｋ＋ｔ−１）（１≦ｋ＋ｔ−１≦ｎ）まで、ｔ個の係数Ａ（ｊ）を用いた演算を行う。
【００４８】
図７は、Ａ（ｋ）からＡ（ｋ+ｔ−１）までを用いた演算の結果を第１の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、スライダＳ［１、ｓ］を第１のグループに分類するステップを示す模式図である。ここでは、例えば、ｔ＝１０として、Ａ（ｋ）からＡ（ｋ＋９）まで、１０個の係数の総和を求める。
【００４９】
図７（ａ）に示すように、ｋ＝２の時、総和は３３、ｋ＝３の時、総和は３６、ｋ＝４の時、総和は３９、ｋ＝５の時、総和は３９となる。さらにｋ値を増やして演算すると、ｋ＝６の時、総和は３９、ｋ＝７の時、総和は３９、ｋ＝８の時、総和は３８となる。
【００５０】
続いて、Ｓランクのスライダを含むＳグループ（第１のグループ）を分類する。具体的には、第１の基準に従って、Ａ（ｋ）からＡ（ｋ+ｔ−１）までの総和を判定する。例えば、第１の基準値を３９として、総和が３９以上であればグループに含まれるスライダＳ［１、ｓ］（ｋ≦ｓ≦ｋ＋９）をＳグループに分類する。
【００５１】
図７（ａ）に示す例では、ｋ＝４〜７の時、総和が３９となり第１の基準に適合する。したがって、図７（ｂ）に示すように、Ａ（４）〜Ａ（１６）に対応するスライダＳ［１、４］〜Ｓ［１、１６］がＳグループに分類される。
【００５２】
図８は、第１のグループに分類されなかったスライダＳ［１、ｊ］のうちの連続してｔ個以上が並ぶ部分について、その部分に含まれるｐ列目のＡ（ｐ）からｐ+ｔ−１列目のＡ（ｐ+ｔ−１）までを用いた演算の結果を第２の基準に基づいて判定し、その基準に適合するスライダＳ［１、ｕ］（ｐ≦ｕ≦ｐ＋ｔ：ｐ、ｕは整数）を第２のグループに分類するステップを示す模式図である。
【００５３】
ここでもｔ＝１０として、Ａ（ｐ）からＡ（ｐ＋９）まで、１０個の係数の総和を求める。すなわち、Ｓグループに分類されていないスライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、３］、Ｓ［１、１７］〜Ｓ［１、ｎ］のうちの連続した１０個に付与された係数Ａ（ｊ）の総和を、ｐ値を１ずつ増加させながら算出する。
【００５４】
具体的には、スライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、３］は、連続した１０個の条件に該当せず、Ｓ［１、１７］〜Ｓ［１、ｎ］のスライダについて演算が順次実行される。
【００５５】
第２の基準は、例えば、Ｃランクのスライダを含むＣグループ（第２グループ）を分類する基準である。具体的には、第２の基準値を１８とし、総和が１８未満のグループに含まれるスライダをＣグループに分類する。
【００５６】
図８（ａ）に示すように、Ａ（１７）〜Ａ（２６）の総和は２９である。続いて、ｐ値を1７から１ずつ増加させながら、Ａ（ｐ）からＡ（ｐ＋９）までの総和を求める。そして、図８（ｂ）に示すように、ｐ値が２８の時、Ａ（２８）〜Ａ（３７）の総和が１７となり、第２の基準に適合する。さらに、ｐ値を増やしてゆくと、Ａ（ｐ）からＡ（ｐ＋９）の総和は１８以上となる（図９参照）。したがって、スライダＳ［１、２８］〜Ｓ［１、３７］は、Ｃグループに分類される。
【００５７】
図９（ａ）に示すように、上記のデータ処理により、第１行目のスライダＳ［１、１］〜Ｓ［１、ｎ］のうちの、ＳグループおよびＣグループに属するものが分類される。
【００５８】
次に、例えば、Ａランクのスライダを含むＡグループ（第３グループ）に属するスライダを分類する。具体的には、ＳグループおよびＣグループに分類されたスライダを除き、連続した１０個のスライダに付与された係数Ａ（ｊ）の総和を求める。Ａグループに属するスライダを分類する第３の基準では、例えば、第３の基準値を２８とする。そして、１０個のスライダの総和が２８以上となるグループに含まれるスライダをＡグループに分類する。すなわち、総和が２８以上３８以下のグループに属するスライダが、Ａグループに分類される。
【００５９】
図９（ａ）に示すように、ＳグループおよびＣグループに分類されていないスライダにおいて、Ａ（１７）〜Ａ（２６）の総和は２９であり、Ａ（１８）〜Ａ（２７）の総和は３０である。さらに、Ａ（３８）〜Ａ（４７）の総和は、２６である。したがって、図９（ｂ）に示すように、スライダＳ［１、１７］〜Ｓ［１、２７］がＡグループに分類される。
【００６０】
次に、例えば、Ｂランクのスライダを含むＢグループ（第４グループ）に属するスライダを分類する。具体的には、Ｓグループ、ＣグループおよびＡグループに分類されたスライダを除き、連続した１０個のスライダに付与された係数Ａ（ｊ）の総和を求める。Ｂグループに属するスライダを分類する第４の基準では、例えば、第３の基準値を１８とする。そして、１０個のスライダの総和が１８以上となるグループに含まれるスライダをＢグループに分類する。すなわち、総和が１８以上２７以下のグループに属するスライダが、Ｂグループに分類される。
【００６１】
図９（ａ）に示すように、Ｓグループ、ＣグループおよびＡグループに分類されたスライダを除く、残りのスライダのＡ（３８）〜Ａ（４７）の総和は、２６である。したがって、図９（ｃ）に示すように、スライダＳ［１、３８］〜Ｓ［１、４７］は、Ｂグループに分類される。
【００６２】
さらに、図１０（ａ）に示すように、上記の分類では、Ｓグループに分類されたスライダＳ［１、４］〜Ｓ［１、１６］のうちの端に位置するスライダＳ［１、１６］の動的特性がＡランクとなっている。このような場合には、図１０（ｂ）に示すように、スライダＳ［１、１６］を隣接するグループに移す処理を行う。すなわち、スライダＳ［１、１６］をＡグループに含める修正を行う。これにより、Ｓグループへの分類の精度を向上させることができる。
【００６３】
次に、端数スライダの処理方法を説明する。例えば、各グループへの分類が終了した後に、どのグループにも分類されない端数スライダが残る場合がある。これらの端数スライダは、以下の３つの方法で分類することが好ましい。  
（１）隣接するグループのうちのランクの低い方のグループに分類する。  
（２）隣接するグループのスライダの一部を加えて新しいグループとし、例えば、全数検査の対象とする。  
（３）隣接する２つのグループが同ランクの場合、そのグループに加える。  
以下、図１１〜図１４を参照して、端数スライダの分類方法について、具体的に説明する。
【００６４】
図１１は、端数スライダの第１の処理方法を示す模式図である。図１１（ａ）に示すように、Ｓグループ、Ａグループ、ＢグループおよびＣグループのいずれかに分類された２つのグループの間に、未分類のスライダＳ［１、ｘ］がある場合、隣接する２つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。上記の例の場合、グループのランクは、高い方からＳグループ、Ａグループ、Ｂグループ、Ｃグループの順とする。
【００６５】
図１１（ｂ）に示すように、ＳグループおよびＡグループに挟まれたスライダＳ［１、ｘ］は、Ａグルーブに分類される。
【００６６】
また、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているグループからそれぞれ２つのスライダＳ［１、ｘ−２］、Ｓ［１、ｘ−１］、および、Ｓ［１、ｘ＋１］、Ｓ［１、ｘ＋２］を加え、Ｓ［１、ｘ−２］〜Ｓ［１、ｘ＋２］で構成される新しいグループを形成し、全数検査の対象とする。隣接するグループが１つの場合は、その隣接するグループに加える。
【００６７】
図１２は、端数スライダの第２の処理方法を示す模式図である。図１２（ａ）に示すように、Ｓグループ、Ａグループ、ＢグループおよびＣグループのいずれかに分類された２つのグループの間に、未分類の２つのスライダＳ［１、ｘ］、Ｓ［１、ｘ＋１］がある場合、隣接する２つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。
【００６８】
図１２（ｂ）に示すように、例えば、Ｓグループと、Ａグループと、に挟まれたスライダＳ［１、ｘ］、Ｓ［１、ｘ＋１］は、Ａグループに分類する。
【００６９】
また、図１２（ｃ）に示すように、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているそれぞれのグループの２個のスライダを加えて新しいグループを形成し、全数検査の対象とする。
【００７０】
図１２（ｄ）に示すように、例えば、両側のＡグループからそれぞれ２つのスライダＳ［１、ｘ−２］、Ｓ［１、ｘ−１］、および、Ｓ［１、ｘ＋２］、Ｓ［１、ｘ＋３］を加え、Ｓ［１、ｘ−２］〜Ｓ［１、ｘ＋３］で構成されるグループを形成し、全数検査の対象とする。
【００７１】
図１３は、端数スライダの第３の処理方法を示す模式図である。図１３（ａ）に示すように、Ｓグループ、Ａグループ、ＢグループおよびＣグループのいずれかに分類された２つのグループの間に、未分類の３つまたは４つのスライダがある場合、隣接する２つのグループのうちのランクの低いグループに分類にする。
【００７２】
図１３（ｂ）に示すように、例えば、Ｓグループと、Ａグループと、に挟まれた３つのスライダＳ［１、ｘ］〜Ｓ［１、ｘ＋２］は、Ａグループに分類する。
【００７３】
また、図１３（ｃ）に示すように、隣接するグループのランクが同じ場合、隣接しているそれぞれのグループの１個のスライダを加えたグループを形成し、全数検査の対象とする。
【００７４】
図１３（ｄ）に示すように、例えば、両側のＡグループからそれぞれ１つのスライダＳ［１、ｘ−１］およびＳ［１、ｘ＋３］を加え、Ｓ［１、ｘ−１］〜Ｓ［１、ｘ＋３］で構成されるグループを形成し、全数検査の対象とする。
【００７５】
図１４は、端数スライダの第４の処理方法を示す模式図である。図１４（ａ）に示すように、Ｓグループ、Ａグループ、ＢグループおよびＣグループのいずれかに分類された２つのグループの間に、未分類の５つ以上のスライダがある場合、それらを１つのグループとして、全数検査の対象とする。
【００７６】
図１４（ｂ）に示すように、例えば、Ｓグループと、Ａグループと、に挟まれた６つのスライダＳ［１、ｘ］〜Ｓ［１、ｘ＋５］は、１つのグループとして全数検査の対象となる。
【００７７】
上記のように、Ｓグループ、Ａグループ、ＢグループおよびＣグループのいずれにも分類されないスライダＳ［１、ｊ］は、全数検査の対象となるグループに分類される。これにより、動的特性の検査対象となるスライダの数を大幅に削減し、検査コストを低減することができる。さらに、低ランクのＢグループおよびＣグループの少なくともいずれかを全数検査の対象としても、ＳグループおよびＡグループに属するスライダが無検査となるので、動的特性の検査工程の負荷を低減できる。
【００７８】
上記の検査方法を用いたスライダの製造過程において、１つの小ブロック３０におけるグループ数が多くなると、個々のスライダスライダＳ［１、ｓ］の分類が煩雑となり、例えば、選別装置が対応できない場合が生じる。このため、例えば、１つの小ブロック３０におけるグループ数が、最大で８つとなるように調整しても良い。すなわち、グループ数が９以上になる場合は、その小ブロック３０に対して分類の基準値を変更する。または、グループＡ〜グループＣのうちの全数検査の対象となっていないグループを、全数検査のグループに変更するといった処理を行う。
【００７９】
また、上記の検査方法では、Ｓランクに４、Ａランクに３、Ｂランクに２およびＣランクに１を付与して数値化しているが、これに限られる訳ではない。例えば、Ｓランクに１、Ａランクに２、Ｂランクに３およびＣランクに４を付与し、それぞれのランクに対応する基準値を設けても良い。また、演算は、Ａ（ｋ）からＡ（ｋ＋ｔ−１）までの総和に限られない。例えば、Ｓランクに１、Ａランクに０．９、Ｂランクに０．８およびＣランクに０．７を付与して数値化し、Ａ（ｋ）からＡ（ｋ＋ｔ−１）までの積に基づいて分類を行っても良い。
【００８０】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８１】
１０・・・基板、  ２０、２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ・・・ブロック、  ３０、３３・・・小ブロック、  ３１・・・Ｒｏｗ−ｂａｒ、  ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ・・・小ブロックの部分、  Ｓ［ｉ、ｊ］・・・スライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図５】
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