(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段から繰り出された接着シートを押圧部材で被着体の被着面に押圧する押圧手段と、
前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させる移動手段とを備え、
前記押圧手段は、
前記接着シートに前記押圧部材を直接接触させ、所定の押圧力で押圧しつつ、前記移動手段により前記被着面内における第１方向に相対移動する第１貼付動作と、
前記第１貼付動作で押圧した同一の接着シートに再度押圧部材を直接接触させ、前記第１貼付動作時よりも大きい押圧力で押圧しつつ、前記移動手段により第１方向と交差する前記被着面内における第２方向に相対移動する第２貼付動作とを行うことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段から繰り出された接着シートを被着体の被着面に押圧する押圧手段と、
前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させる移動手段とを備え、
前記押圧手段は、
弾性部材を少なくとも表面に有した第１押圧部材と、
前記第１押圧部材の弾性部材とは異なる弾性力を有する弾性部材を少なくとも表面に有した第２押圧部材とを備え、
前記接着シートを被着面に押圧しつつ、前記移動手段により当該被着面内における第１
方向に相対移動する第１貼付動作と、
前記第１貼付動作により貼付された接着シートを第１貼付動作時よりも大きい押圧力で被着面に押圧しつつ、前記移動手段により第１方向と交差する当該被着面内における第２方向に相対移動する第２貼付動作とを行い、
前記第１貼付動作時は前記第１押圧部材により前記接着シートを前記被着面に押圧し、
前記第２貼付動作時は前記第２押圧部材により前記接着シートを前記被着面に押圧することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
接着シートを繰り出し、
繰り出された接着シートに押圧部材を直接接触させ、所定の押圧力で押圧しつつ、当該押圧部材と被着体とを当該被着体の被着面内における第１方向に相対移動させる第１貼付動作を行い、
前記第１貼付動作で押圧した同一の接着シートに再度押圧部材を直接接触させ、前記第１貼付動作時よりも大きい押圧力で押圧しつつ、当該押圧部材と被着体とを第１方向と交差する前記被着面内における第２方向に相対移動させる第２貼付動作を行うことを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、表面にチップやバンプ等の凸部が形成された半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、チップのパターンが形成されたウェハを支持するテーブルと、テーブルに支持されたウェハに接着シートを押圧する貼付ローラとを備え、貼付ローラをチップの対角線方向に転動させることで接着シートをウェハに貼付するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１７５３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のシート貼付装置では、図５に示すように、貼付ローラＡＲにより接着シートＳが貼付されたウェハＷにおいて、凸部ＷＡを中心として気泡ＷＢが混入してしまうという不都合がある。
これに対して、ウェハＷに接着シートＳを貼付した後、貼付ローラＡＲにより前回とは異なる方向に沿って接着シートＳの再貼付動作を行うことが考えられる。しかし、貼付ローラＡＲによる貼付方向を変えて再貼付動作を行ったとしても、図６に示すように、気泡ＷＢの形が変化するにすぎず、この場合でも気泡ＷＢが混入してしまうという不都合を解消することができない。
【０００５】
本発明の目的は、気泡の混入を極力小さくすることができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、接着シートを繰り出す繰出手段と、前記繰出手段から繰り出された接着シートを押圧部材で被着体の被着面に押圧する押圧手段と、前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させる移動手段とを備え、前記押圧手段は、前記接着シートに前記押圧部材を直接接触させ、所定の押圧力で押圧しつつ、前記移動手段により前記被着面内における第１方向に相対移動する第１貼付動作と、前記第１貼付動作で押圧した同一の接着シートに再度押圧部材を直接接触させ、前記第１貼付動作時よりも大きい押圧力で押圧しつつ、前記移動手段により第１方向と交差する前記被着面内における第２方向に相対移動する第２貼付動作とを行うことを特徴とする。
【０００７】
本発明のシート貼付装置において、前記移動手段は、前記被着体を前記被着面内で回転可能に支持する回転手段を備えていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記押圧部材を前記被着面側に付勢する付勢手段を備え、
前記付勢手段は、前記第２貼付動作時の押圧部材の付勢力を前記第１貼付動作時の付勢力よりも増加可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置は、接着シートを繰り出す繰出手段と、前記繰出手段から繰り出された接着シートを被着体の被着面に押圧する押圧手段と、前記被着体と前記押圧手段とを相対移動させる移動手段とを備え、前記押圧手段は、弾性部材を少なくとも表面に有した第１押圧部材と、前記第１押圧部材の弾性部材とは異なる弾性力を有する弾性部材を少なくとも表面に有した第２押圧部材とを備え、前記接着シートを被着面に押圧しつつ、前記移動手段により当該被着面内における第１方向に相対移動する第１貼付動作と、前記第１貼付動作により貼付された接着シートを第１貼付動作時よりも大きい押圧力で被着面に押圧しつつ、前記移動手段により第１方向と交差する当該被着面内における第２方向に相対移動する第２貼付動作とを行い、前記第１貼付動作時は前記第１押圧部材により前記接着シートを前記被着面に押圧し、前記第２貼付動作時は前記第２押圧部材により前記接着シートを前記被着面に押圧することを特徴とする。
さらに、本発明のシート貼付装置において、前記押圧手段は、前記第１押圧部材を前記被着面側に付勢する第１付勢手段と、前記第２押圧部材を前記被着面側に付勢する第２付勢手段とを備え、第２付勢手段は、前記第１付勢手段による付勢力よりも高い付勢力で前記第２押圧部材を付勢可能に設けられていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、接着シートを繰り出し、繰り出された接着シートに押圧部材を直接接触させ、所定の押圧力で押圧しつつ、当該押圧部材と被着体とを当該被着体の被着面内における第１方向に相対移動させる第１貼付動作を行い、前記第１貼付動作で押圧した同一の接着シートに再度押圧部材を直接接触させ、前記第１貼付動作時よりも大きい押圧力で押圧しつつ、当該押圧部材と被着体とを第１方向と交差する前記被着面内における第２方向に相対移動させる第２貼付動作を行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、第１貼付動作によって、第１方向に隣り合う凸部間における接着シートと被着面とが接着した状態であって、第１方向に直交する方向に隣り合う凸部間における接着シートと被着面とが接着しない状態または小さな接着力で接着された状態（以下、このような状態を「気泡が連続した状態」という）とした後、第２貼付動作によって気泡が連続した方向に沿って気泡を押し出しながら接着シートを被着体に貼付すことができる。従って、接着シートを被着体に貼付する際の気泡の混入を極力少なくすることができる。
【００１０】
本発明において、被着体を被着面内で回転可能に設ければ、押圧手段や移動手段を相対移動方向ごとに設ける必要がないため、装置全体を簡易な構成とすることができる。
また、第２貼付動作時の押圧部材の付勢力を第１貼付動作時の付勢力よりも増加可能に構成すれば、第１貼付動作における押圧力と、第２貼付動作における押圧力とを様々な接着シートや被着体に応じて設定したり調整したりすることができる。
一方、表面の弾性力が異なる第１押圧部材および第２押圧部材を設ければ、弾性力を使い分けることで、気泡が連続した状態を積極的に形成した後、第２貼付動作時に接着シートを被着面の凹凸に追従させてなじませることができる。従って、接着シートを被着面に密着させる度合いを大きくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】前記第１実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。
【図３】前記第１実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。
【図４】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図５】従来の不具合例を示す説明図。
【図６】予想される不具合例を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
また、各実施形態における明示のない例えば、上、下、左、右、または、手前、奥という方向を示す表現は、全て図１を基準に用いられている。
【００１３】
〔第１実施形態〕
図１に示すように、本実施形態のシート貼付装置１は、被着体としてのウェハＷの一方の面に接着シートＳを貼付するものである。ここで、ウェハＷは、一方の面に複数のバンプＷ２が格子状に配置され、この面を被着面Ｗ１として接着シートＳが貼付される。一方、接着シートＳは、基材シートＢＳの一方の面に接着剤層ＡＤが積層されるとともに、当該接着剤層ＡＤを介して剥離シートＲＬに仮着された原反Ｒとして予め準備されている。
【００１４】
シート貼付装置１は、接着シートＳを繰り出す繰出手段２と、繰り出された接着シートＳをウェハＷの被着面Ｗ１に押圧して貼付する押圧手段３と、ウェハＷと押圧手段３とを相対移動させる移動手段４とを備え、パーソナルコンピュータやシーケンサ等の図示しない制御手段によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。
【００１５】
繰出手段２は、その全体がベースフレーム１０に支持され、原反Ｒを巻回して支持する支持ローラ２１と、原反Ｒを案内する複数のガイドローラ２２，２３と、原反Ｒの剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離する剥離板２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動する駆動ローラ２６と、駆動ローラ２６との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２７と、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２８とを備えている。
【００１６】
押圧手段３は、表面がゴムや樹脂等の弾性部材で構成された押圧部材としての押圧ローラ３１と、押圧ローラ３１を支持する支持部材３２と、この支持部材３２に出力軸３３Ａが固定され、押圧ローラ３１を被着面Ｗ１側に付勢する付勢手段であって駆動機器としての直動モータ３３とを備えている。直動モータ３３は、制御手段によって、押圧ローラ３１に付与する押圧力が調整可能に設けられている。なお、押圧ローラ３１の回転軸心は、ウェハＷと押圧ローラ３１との相対移動方向と直行する方向に向けられている。
【００１７】
移動手段４は、図示しない複数の吸引口によって被着面Ｗ１の反対側からウェハＷを吸引保持可能に構成されたテーブル４１と、テーブル４１をウェハＷの被着面Ｗ１内で回転可能に支持する回転手段であって駆動機器としての回動モータ４２と、回動モータ４２の下面にスライダ４３が固定された駆動機器としての単軸ロボット４４とを備え、スライダ４３をスライド駆動することで、回動モータ４２を含めてテーブル４１を左右方向に移動可能に構成されている。
【００１８】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷの被着面Ｗ１に接着シートＳを貼付する手順を説明する。
先ず、剥離シートＲＬの先端側が回収ローラ２８に巻き取られ、接着シートＳの繰出方向先端が剥離板２４の先端側に位置するように、原反Ｒをセットしておく（図１参照）。そして、図１中二点鎖線で示すように、被着面Ｗ１が上になるようにウェハＷをテーブル４１上に載置して吸着保持し、単軸ロボット４４によってテーブル４１を矢印Ａ方向に相対移動させる。なお、被着面Ｗ１におけるバンプＷ２の並び方向がウェハＷと押圧ローラ３１との相対移動方向と直行する方向に向けられていない場合には、回動モータ４２の駆動によりテーブル４１を回転させて、バンプＷ２の並び方向とテーブル４１の移動方向とが直交するようにしておく。
【００１９】
シート貼付装置１は、ウェハＷが載置されたテーブル４１が押圧ローラ３１下方の所定位置に搬送されてきたことを図示しない検出手段により検出すると、直動モータ３３の駆動によって押圧ローラ３１を下降させ、接着シートＳの繰出方向の先端部がウェハＷの外縁に位置するように、当該接着シートＳを被着面Ｗ１に押圧する。そして、シート貼付装置１は、直動モータ３３によって所定の押圧力を付与しつつ、単軸ロボット４４によるテーブル４１の移動を続行することで、テーブル４１を矢印Ａ方向、すなわち、ウェハＷに対して被着面Ｗ１内における第１方向である矢印ＷＸ方向に相対移動させて、接着シートＳをウェハＷの被着面Ｗ１に仮貼付する第１貼付動作を行う（図２参照）。このとき、直動モータ３３は、図２に示すように、気泡ＡＢが連続した状態が矢印ＷＸ方向に直交する方向に形成される程度の押圧力を、押圧ローラ３１に付与するようになっている。
【００２０】
次に、シート貼付装置１は、回動モータ４２の駆動により、図３に示すように、テーブル４１を所定角度θ（本実施形態の場合９０度）反時計回りに回転させる。そして、シート貼付装置１は、第１貼付動作により貼付された接着シートＳを押圧ローラ３１により第１貼付動作時よりも大きい押圧力で被着面Ｗ１に押圧しつつ、単軸ロボット４４によるテーブル４１の移動でテーブル４１を矢印Ｂ方向、すなわち、ウェハＷに対して矢印ＷＸ方向と交差する被着面Ｗ１内における第２方向である矢印ＷＹ方向に移動させることで、接着シートＳを被着面Ｗ１に本貼付する第２貼付動作を行う。
【００２１】
ここで、第２貼付動作前の気泡ＡＢは、テーブル４１の回転により、押圧ローラ３１の相対移動方向に沿って連続した状態となっているため、第２貼付動作により気泡ＡＢが矢印Ｂの反対方向に押し出されていく。このとき、気泡ＡＢの連続性が断続的な状態であったとしても、第１貼付動作の押圧力が小さく設定されているため、第２貼付動作で気泡ＡＢが押し出されるときに、接着していた部分が外れ、気泡ＡＢの押し出しに支障を来たすことはない。そして、接着シートＳは、従来例で示したバンプＷ２周りの気泡ＷＢに比べて非常に小さな気泡ＡＢとなった状態で、被着面Ｗ１に貼付される。なお、第１貼付動作時に矢印ＷＹ方向に隣り合うバンプＷ２間における接着シートＳと被着面Ｗ１とが仮貼付された領域は、接着力が弱いので、第２貼付動作の後に、回動モータ４２の駆動により、テーブル４１を所定角度θ（本実施形態の場合９０度）時計回りに回転させ、押圧ローラ３１に第２貼付動作と同等の押圧力を付与し、テーブル４１を矢印Ａ方向に移動させる再貼付動作を行ってもよい。
【００２２】
以上のようにして接着シートＳの貼付が完了したら、接着シートＳが接着されたウェハＷは、次工程に搬送されるようになっている。なお、テーブル４１を固定しておいて、繰出手段２および押圧手段３を移動させたり、それら両方を移動させたりして、矢印ＷＸ方向または矢印ＷＹ方向に相対移動するようにしてもよい。また、テーブル４１を所定角度θ反時計方向に回転させた後、テーブル４１を固定しておいて、押圧手段３を矢印Ａ方向に移動させるようにしてもよい。さらに、テーブル４１を回転させる所定角度θは９０度でなくてよく、例えば３０度や６０度とすることができ、バンプＷ２のパターン（延出方向等）によって適宜決定することができる。
【００２３】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、シート貼付装置１は、第１貼付動作の押圧力を弱くすることで気泡ＡＢが連続した状態を形成した後、第１貼付動作時よりも大きい押圧力が付与される第２貼付動作により、気泡ＡＢが連続した方向に沿って当該気泡ＡＢを押し出しながら貼付すことができる。従って、接着シートＳをウェハＷに貼付する際の気泡ＡＢの混入を極力少なくすることができる。
【００２４】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図４に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１は、押圧手段３および移動手段４の構成が前記第１実施形態と相違する。
【００２５】
図４において、押圧手段３は、繰出手段２により繰り出された接着シートＳをウェハＷの被着面Ｗ１に押圧する第１押圧手段５と、第１押圧手段５で押圧した接着シートＳを被着面Ｗ１に再押圧する第２押圧手段６とを備えている。
一方、移動手段４は、ウェハＷと第１押圧手段５とを相対移動させる第１移動手段７と、ウェハＷと第２押圧手段６とを第１移動手段７による相対移動方向と直交する方向に相対移動させる第２移動手段８とを備えている。
【００２６】
第１押圧手段５は、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成された第１押圧部材としての第１押圧ローラ５１と、第１押圧ローラ５１を支持する支持部材５２と、支持部材５２に出力軸５３Ａが固定されて第１押圧ローラ５１を被着面Ｗ１側に付勢する第１付勢手段であって駆動機器としての直動モータ５３とを備えている。なお、押圧ローラ５１の回転軸心は、ウェハＷと押圧ローラ５１との相対移動方向と直行する方向に向けられている。
【００２７】
第２押圧手段６は、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成された第２押圧部材としての第２押圧ローラ６１と、第２押圧ローラ６１を支持する支持部材６２と、支持部材６２に出力軸６３Ａが固定されて第２押圧ローラ６１を被着面Ｗ１側に付勢する第２付勢手段であって駆動機器としての直動モータ６３とを備えている。なお、押圧ローラ６１の回転軸心は、ウェハＷと押圧ローラ６１との相対移動方向と直行する方向に向けられている。
【００２８】
第１移動手段７は、ウェハＷを吸引保持可能に構成されたテーブル７１と、テーブル７１を図４中左右方向に移動させる駆動機器としての単軸ロボット７２とを備えている。
第２移動手段８は、第１移動手段７によるテーブル７１の移動方向と直交する方向に延びる駆動機器としての単軸ロボット８１を備え、この単軸ロボット８１のスライダ８２の下面に直動モータ６３が固定されている。これにより、テーブル７１に支持されたウェハＷと第２押圧手段６とを相対移動可能になっている。
【００２９】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷの被着面Ｗ１に接着シートＳを貼付する手順として、先ず、シート貼付装置１は、第１実施形態と同様に、直動モータ５３によって所定の押圧力を付与しつつ、単軸ロボット７２によるテーブル７１の移動により、テーブル４１を第１方向である矢印Ａ方向、すなわち、ウェハＷに対して被着面Ｗ１内における第１方向である矢印ＷＸ方向に相対移動させて、接着シートＳをウェハＷの被着面Ｗ１に仮貼付する第１貼付動作を行う。このとき、直動モータ３３は、気泡ＡＢが連続した状態が矢印ＷＸ方向に直交する方向に形成される程度の押圧力を、押圧ローラ３１に付与するようになっている。そして、シート貼付装置１は、単軸ロボット７２によるテーブル７１の移動を続行し、テーブル７１が第２押圧ローラ６１下方の所定位置に到達すると、テーブル７１の移動を停止する。
【００３０】
次に、シート貼付装置１は、直動モータ６３の駆動によって第２押圧ローラ６１を下降させ、第１貼付動作により貼付された接着シートＳを押圧ローラ３１により第１貼付動作時よりも大きい押圧力で被着面Ｗ１に押圧しつつ、単軸ロボット８１により第２押圧ローラ６１を第２方向である図４中紙面直交方向、すなわち、ウェハＷに対して矢印ＷＸ方向と交差する被着面Ｗ１内における第２方向である矢印ＷＹ方向に移動させることで、接着シートＳを被着面Ｗ１に本貼付する第２貼付動作を行う。
【００３１】
以上の本実施形態のシート貼付装置１によっても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。また、テーブル７１を第１実施形態と同様に、回動モータを介して単軸ロボット７２に取り付けることができ、当該回動モータにより第２押圧ローラ６１の下方でテーブル７１を所定角度θ（例えば３０度や６０度）回転させてから、第２押圧ローラ６１で押圧するようにしてもよい。この所定角度θは、バンプＷ２のパターン（延出方向等）によって適宜決定することができる。さらに、第１方向と第２方向とが直交する必要もない。なお、テーブル７１を固定しておいて、繰出手段２および第１押圧手段５を移動させたり、それら両方を移動させたりして矢印ＷＸ方向または矢印ＷＹ方向に相対移動するようにしてもよい。また、第２押圧手段６を固定しておいて、テーブル７１を移動させたり、それら両方を移動させたりして、矢印ＷＹ方向に相対移動するようにしてもよい。さらに、第２押圧ローラ６１を介して第１実施形態と同様の再貼付動作を行ってもよい。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
例えば、前記各実施形態では、被着体がウェハＷである場合を示したが、被着体はウェハＷに限定されるものではなく、ウェハＷ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他のものも被着体の対象とすることができる。そして、ウェハＷは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示できる。そして、このような被着体に貼付する接着シートは、シート、フィルム、テープ等、被着体に貼付する任意の用途、形状の接着シートが適用できる上、基材シートＢＳと接着剤層ＡＤ以外に他の構成の層を有する３層以上のものであってよいし、接着剤層ＡＤだけの単層のものであってもよい。
【００３４】
前記各実施形態では、バンプＷ２がウェハＷの被着面Ｗ１に格子状に配置されていたが、バンプＷ２の位置としてはこれに限られない。要するに、バンプＷ２が少なくとも１方向に並んで設けられていればよく、例えば、バンプＷ２が千鳥状に配置されてもよい。さらに、バンプＷ２のような凸部のない被着体を対象としてもよい。また、被着体は、バンプＷ２が形成されたウェハＷ以外に、基板等の所定形状の凸部を有するものを対象とすることができる。
【００３５】
前記各実施形態では、直動モータ３３，５３，６３の駆動により各押圧ローラ３１，５１，６１の押圧力を変化させていたが、例えば、前記第１実施形態において、押圧ローラ３１の他に、当該押圧ローラ３１とは異なる弾性力を有する押圧ローラを設け、弾性力の高い方の押圧ローラで第１貼付動作を行い、弾性力の低い方の押圧ローラで第２貼付動作を行うようにしてもよいし、その逆でもよい。要するに、第１貼付動作で気泡ＡＢができやすい部分に積極的に気泡ＡＢが連続した状態を形成した後、第２貼付動作で気泡ＡＢが連続した方向に沿って当該気泡を押し出すように構成すればよい。また、前記第２実施形態において、第２押圧ローラ６１の弾性力を第１押圧ローラ５１の弾性力よりも低く構成することで、第１および第２押圧ローラ５１，６１間の押圧力に差を設けてもよい。
【００３６】
前記各実施形態では、各押圧ローラ３１，５１，６１は、表面がゴムや樹脂等の弾性部材で構成されていたが、当該各押圧ローラ３１，５１，６１全体を弾性部材で構成してもよい。
また、各押圧ローラ３１，５１，６１は、温度変化によって硬度が変化する弾性部材で構成された押圧面と、弾性部材の温度を調節する温度調節手段とを備えて構成されてもよい。このような構成によれば、押圧ローラの押圧面を構成する弾性部材の温度を調節することで、弾性部材の弾性力を任意に変更することができるので、押圧ローラによる接着シートの押圧力を各貼付動作に適した状態に変更することができる。
さらに、押圧手段３は、各押圧ローラ３１，５１，６１に替えて、ブレード材、エア噴き付け、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができる。
【００３７】
前記各実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３８】
１      シート貼付装置
２      繰出手段
３      押圧手段
４      移動手段
５      第１押圧手段
６      第２押圧手段
７      第１移動手段（移動手段）
８      第２移動手段（移動手段）
３１    押圧ローラ（押圧部材）
３３    直動モータ（付勢手段）
４２    回動モータ（回転手段）
５１    第１押圧ローラ（第１押圧部材）
５３    直動モータ（第１付勢手段）
６１    第２押圧ローラ（第２押圧部材）
６３    直動モータ（第２付勢手段）
Ｓ      接着シート
Ｗ      ウェハ（被着体）
Ｗ１    被着面
Ｗ２    バンプ
【図１】
0005827023.tif 000002
【図２】
0005827023.tif 000003
【図３】
0005827023.tif 000004
【図４】
0005827023.tif 000005
【図５】
0005827023.tif 000006
【図６】
0005827023.tif 000007