(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含んでおり、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の底面の少なくとも一部が、前記圧電セラミック層の上面上に設けられた絶縁体のランド上に位置しており、該ランドが、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちの少なくとも１種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
【請求項２】
前記引出電極の底面の少なくとも一部が、記個別電極本体の底面より高い位置に位置していることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータユニット。
【請求項３】
前記ランドの誘電率が、前記圧電セラミック層の誘電率よりも低いことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータユニット。
【請求項４】
前記ランドの厚さが、前記圧電セラミック層の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニット。
【請求項５】
振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含んでおり、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の少なくとも一部は、前記圧電セラミック層に設けられている凹部あるいは貫通孔に設けられている絶縁体の上に位置しており、該絶縁体が、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちの少なくとも１種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることを特徴とする圧電アクチュエータユニット。
【請求項６】
前記ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスが、希土類元素を含有することを特徴とする請求項１〜５に記載の圧電アクチュエータユニット。
【請求項７】
前記個別電極本体が、前記圧電セラミック層の上面に設けられている凹部にあることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニット。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の圧電アクチュエータユニットが、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室が開口している流路部材に、前記個別電極本体と前記液体加圧室とが重なるように積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の変位素子を備える圧電アクチュエータユニット、およびそれを用いて液滴を吐出させる液体吐出ヘッド、ならびに記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタやインクジェットプロッタなどの、インクジェット記録方式を利用した印刷装置が、一般消費者向けのプリンタだけでなく、例えば電子回路の形成や液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造、有機ＥＬディスプレイの製造といった工業用途にも広く利用されている。
【０００３】
このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが印刷ヘッドとして搭載されている。この種の印刷ヘッドには、インクが充填されたインク流路内に加圧手段としてのヒータを備え、ヒータによりインクを加熱、沸騰させ、インク流路内に発生する気泡によってインクを加圧し、インク吐出孔より、液滴として吐出させるサーマルヘッド方式と、インクが充填されるインク流路の一部の壁を変位素子によって屈曲変位させ、機械的にインク流路内のインクを加圧し、インク吐出孔より液滴として吐出させる圧電方式が一般的に知られている。
【０００４】
また、このような液体吐出ヘッドには、記録媒体の搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に液体吐出ヘッドを移動させつつ記録を行なうシリアル式、および記録媒体より主走査方向に長い液体吐出ヘッドを固定した状態で、副走査方向に搬送されてくる記録媒体に記録を行なうライン式がある。ライン式は、シリアル式のように液体吐出ヘッドを移動させる必要がないので、高速記録が可能であるという利点を有する。
【０００５】
シリアル式、ライン式のいずれの方式の液体吐出ヘッドであっても、液滴を高い密度で印刷するには、液体吐出ヘッドに形成されている、液滴を吐出する液体吐出孔の密度を高くする必要がある。
【０００６】
そこで液体吐出ヘッドを、マニホールドおよびマニホールドから複数の液体加圧室をそれぞれ介して繋がる液体吐出孔を有した流路部材と、前記複数の液体加圧室を覆うように設けられた、複数の個別電極と複数の個別電極に対向している共通電極とそれらに挟まれている圧電セラミック層とを含む複数の変位素子を有する圧電アクチュエータユニットとを積層して構成したものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。この液体吐出ヘッドでは、個別電極は、液体加圧室に重ならない位置に引き出された、外部に電気的に接続される。また、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がった液体加圧室がマトリックス状に配置され、それを覆うように設けられたアクチュエータユニットの変位素子を圧電体の変形により変位させることで、各液体吐出孔からインクを吐出させ、主走査方向に６００ｄｐｉの解像度で印刷が可能とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３０５８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載されているような液体吐出ヘッドに用いられる圧電ア
クチュエータユニットでは、変位素子を駆動すると、液体加圧室と重ならない位置にある個別電極と共通電極との間の圧電セラミック層も圧電変形するため、周囲の変位素子とのクロストークが大きくなってしまうことがあるという問題があった。
【０００９】
したがって、本発明の目的は、クロストークが生じ難い圧電アクチュエータユニット、およびそれを用いた液体吐出ヘッド、ならびに記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の圧電アクチュエータユニットは、振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含んでおり、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の底面の少なくとも一部が、前記圧電セラミック層の上面上に設けられた絶縁体のランド上に位置しており、該ランドが、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちの少なくとも１種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることを特徴とする。
【００１１】
前記引出電極の底面の少なくとも一部が、記個別電極本体の底面より高い位置に位置していることが好ましい。
【００１２】
前記ランドの誘電率が、前記圧電セラミック層の誘電率よりも低いことが好ましい。
【００１３】
前記ランドの厚さが、前記圧電セラミック層の厚さよりも厚いことが好ましい。
【００１４】
また、本発明の圧電アクチュエータユニットは、振動板上に、該振動板と略同形状の共通電極、前記振動板と略同形状の圧電セラミック層および複数の個別電極がこの順で積層されている圧電アクチュエータユニットであって、前記個別電極は、個別電極本体と該個別電極本体から引き出されている引出電極とを含んでおり、該引出電極は、当該引出電極が引き出されている前記個別電極本体と該個別電極本体に隣接する他の前記個別電極本体との間で外部配線に接続されるとともに、前記引出電極の少なくとも一部は、前記圧電セラミック層に設けられている凹部あるいは貫通孔に設けられている絶縁体の上に位置しており、該絶縁体が、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうち
の少なくとも１種を含有するホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスであることを特徴とする。
【００１５】
前記ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスが、希土類元素を含有することが好ましい。
【００１６】
前記個別電極本体が、前記圧電セラミック層の上面に設けられている凹部にあることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、前記圧電アクチュエータユニットが、複数の液体吐出孔にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室が開口している流路部材に、前記個別電極本体と前記液体加圧室とが重なるように積層されていることを特徴とする。
【００１９】
さらに、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドおよび前記搬送部を制御する制御部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電アクチュエータユニットによれば、引出電極と共通電極との間の電位差により生じる圧電駆動が小さくなるので、周囲の変位素子との間にクロストークを生じさせ
難くできる。
【００２１】
また、本発明の液体吐出ヘッドは、液体の吐出特性のばらつきを小さくできる。
【００２２】
さらに、本発明の記録装置によれば、記録精度を高くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施の形態に係る記録装置であるプリンタの概略構成図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体を示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図である、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】（ａ）は、図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）の部位および周囲の平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッドの断面の要部である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１は、本発明の一実施形態である記録装置であるカラーインクジェットプリンタの概略構成図である。このカラーインクジェットプリンタ１（以下、プリンタ１とする）は、４つの液体吐出ヘッド２を有している。これらの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って並べられ、プリンタ１に固定されている。液体吐出ヘッド２は、図１の手前から奥へ向かう方向に細長い形状を有している。
【００２５】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０および紙受け部１１６が順に設けられている。また、プリンタ１には、液体吐出ヘッド２や給紙ユニット１１４などのプリンタ１の各部における動作を制御するための制御部１００が設けられている。
【００２６】
給紙ユニット１１４は、複数枚の印刷用紙Ｐを収容することができる用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に積層して収容された印刷用紙Ｐのうち、最も上にある印刷用紙Ｐを１枚ずつ送り出すことができる。
【００２７】
給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、これらの送りローラによってガイドされて、さらに搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００２８】
搬送ユニット１２０は、エンドレスの搬送ベルト１１１と２つのベルトローラ１０６および１０７を有している。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラに巻き掛けられたとき所定の張力で張られるような長さに調整されている。これによって、搬送ベルト１１１は、２つのベルトローラの共通接線をそれぞれ含む、互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。これら２つの平面のうち、液体吐出ヘッド２に近い方の平面が、印刷用紙Ｐを搬送する搬送面１２７である。
【００２９】
ベルトローラ１０６には、図１に示されるように、搬送モータ１７４が接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。
また、ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送モータ１７４を駆動してベルトローラ１０６を回転させることにより、搬送ベルト１１１は、矢印Ａの方向に沿って移動する。
【００３０】
ベルトローラ１０７の近傍には、ニップローラ１３８とニップ受けローラ１３９とが、搬送ベルト１１１を挟むように配置されている。ニップローラ１３８は、図示しないバネによって下方に付勢されている。ニップローラ１３８の下方のニップ受けローラ１３９は、下方に付勢されたニップローラ１３８を、搬送ベルト１１１を介して受け止めている。２つのニップローラは回転可能に設置されており、搬送ベルト１１１に連動して回転する。
【００３１】
給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送ベルト１１１との間に挟み込まれる。これによって、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられ、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の回転に従って、液体吐出ヘッド２が設置されている方向へと搬送される。なお、搬送ベルト１１１の外周面１１３に粘着性のシリコンゴムによる処理を施してもよい。これにより、印刷用紙Ｐを搬送面１２７に確実に固着させることができる。
【００３２】
４つの液体吐出ヘッド２は、搬送ベルト１１１による搬送方向に沿って互いに近接して配置されている。各液体吐出ヘッド２は、下端に液体吐出ヘッド本体１３を有している。液体吐出ヘッド本体１３の下面には、液体を吐出する多数の液体吐出孔８が設けられている（図３参照）。
【００３３】
１つの液体吐出ヘッド２に設けられた液体吐出孔８からは、同じ色の液滴（インク）が吐出されるようになっている。各液体吐出ヘッド２の液体吐出孔８は一方方向（印刷用紙Ｐと平行で印刷用紙Ｐ搬送方向に直交する方向であり、液体吐出ヘッド２の長手方向）に等間隔で配置されているため、一方方向に隙間なく印刷することができる。各液体吐出ヘッド２から吐出される液体の色は、それぞれ、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。各液体吐出ヘッド２は、液体吐出ヘッド本体１３の下面と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との間にわずかな隙間をおいて配置されている。
【００３４】
搬送ベルト１１１によって搬送された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１との間の隙間を通過する。その際に、液体吐出ヘッド２を構成する液体吐出ヘッド本体１３から印刷用紙Ｐの上面に向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐの上面には、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。
【００３５】
搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０と二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂならびに１２２ａおよび１２２ｂとが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。このとき、印刷用紙Ｐは、剥離プレート１４０の右端によって、搬送面１２７から剥離される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。このように、印刷済みの印刷用紙Ｐが順次紙受け部１１６に送られ、紙受け部１１６に重ねられる。
【００３６】
なお、印刷用紙Ｐの搬送方向について最も上流側にある液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間には、紙面センサ１３３が設置されている。紙面センサ１３３は、発光素子および受光素子によって構成され、搬送経路上の印刷用紙Ｐの先端位置を検出することができる。紙面センサ１３３による検出結果は制御部１００に送られる。制御部１００は、紙面センサ１３３から送られた検出結果により、印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とが同
期するように、液体吐出ヘッド２や搬送モータ１７４等を制御することができる。
【００３７】
次に本発明の液体吐出ヘッドを構成する液体吐出ヘッド本体１３について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド本体１３を示す上面図である。図３は、図２の一点鎖線で囲まれた領域の拡大上面図であり、液体吐出ヘッド本体１３の一部である。図４は、図３と同じ位置の拡大透視図で、液体吐出孔８の位置が分かりやすいように、一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かりやすくするために、圧電アクチュエータユニット２１の下方にあって破線で描くべき液体加圧室１０（液体加圧室群９）、しぼり１２および液体吐出孔８を実線で描いている。図５は図３のＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【００３８】
液体吐出ヘッド本体１３は、平板状の流路部材４と、流路部材４上に、アクチュエータユニットである圧電アクチュエータユニット２１とを有している。圧電アクチュエータユニット２１は台形形状を有しており、その台形の１対の平行対向辺が流路部材４の長手方向に平行になるように流路部材４の上面に配置されている。また、流路部材４の長手方向に平行な２本の仮想直線のそれぞれに沿って２つずつ、つまり合計４つの圧電アクチュエータユニット２１が、全体として千鳥状に流路部材４上に配列されている。流路部材４上で隣接し合う圧電アクチュエータユニット２１の斜辺同士は、流路部材４の短手方向について部分的にオーバーラップしている。このオーバーラップしている部分の圧電アクチェータユニット２１を駆動することにより印刷される領域では、２つの圧電アクチュエータユニット２１により吐出された液滴が混在して着弾することになる。
【００３９】
流路部材４の内部には液体流路の一部であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向に沿って延び細長い形状を有しており、流路部材４の上面にはマニホールド５の開口５ｂが形成されている。開口５ｂは、流路部材４の長手方向に平行な２本の直線（仮想線）のそれぞれに沿って５個ずつ、合計１０個形成されている。開口５ｂは、４つの圧電アクチュエータユニット２１が配置された領域を避ける位置に形成されている。マニホールド５には開口５ｂを通じて図示されていない液体タンクから液体が供給されるようになっている。
【００４０】
流路部材４内に形成されたマニホールド５は、複数本に分岐している（分岐した部分のマニホールド５を副マニホールド５ａということがある）。開口５ｂに繋がるマニホールド５は、圧電アクチュエータユニット２１の斜辺に沿うように延在しており、流路部材４の長手方向と交差して配置されている。２つの圧電アクチュエータユニット２１に挟まれた領域では、１つのマニホールド５が、隣接する圧電アクチュエータユニット２１に共有されており、副マニホールド５ａがマニホールド５の両側から分岐している。これらの副マニホールド５ａは、流路部材４の内部の各圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域に互いに隣接して液体吐出ヘッド本体１３の長手方向に延在している。
【００４１】
流路部材４は、複数の液体加圧室１０がマトリクス状（すなわち、２次元的かつ規則的）に形成されている４つの液体加圧室群９を有している。液体加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。液体加圧室１０は流路部材４の上面に開口するように形成されている。これらの液体加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域のほぼ全面にわたって配列されている。したがって、これらの液体加圧室１０によって形成された各液体加圧室群９は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有している。また、各液体加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータユニット２１が接着されることで閉塞されている。
【００４２】
本実施形態では、図３に示されているように、マニホールド５は、流路部材４の短手方
向に互いに平行に並んだ４列のＥ１〜Ｅ４の副マニホールド５ａに分岐し、各副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に４列配列されている。副マニホールド５ａに繋がった液体加圧室１０の並ぶ列は副マニホールド５ａの両側に２列ずつ配列されている。
【００４３】
全体では、マニホールド５から繋がる液体加圧室１０は、等間隔に流路部材４の長手方向に並ぶ液体加圧室１０の列を構成し、その列は、短手方向に互いに平行に１６列配列されている。各液体加圧室列に含まれる液体加圧室１０の数は、アクチュエータである変位素子５０の外形形状に対応して、その長辺側から短辺側に向かって次第に少なくなるように配置されている。液体吐出孔８もこれと同様に配置されている。これによって、全体として長手方向に６００ｄｐｉの解像度で画像形成が可能となっている。すなわち、各副マニホールド５ａには平均すれば１５０ｄｐｉに相当する間隔で個別流路３２が接続されている。これは、６００ｄｐｉ分の液体吐出孔８を４つ列の副マニホールド５ａに分けて繋ぐ設計をする際に、各副マニホールド５ａに繋がる個別流路３２が等しい間隔で繋がるとは限らないため、マニホールド５ａの延在方向、すなわち主走査方向に平均１７０μｍ（１５０ｄｐｉならば２５．４ｍｍ／１５０＝１６９μｍ間隔である）以下の間隔で個別流路３２が形成されているということである。
【００４４】
圧電アクチュエータユニット２１の上面における各液体加圧室１０に対向する位置には後述する個別電極３５がそれぞれ形成されている。個別電極３５は液体加圧室１０より一回り小さく、液体加圧室１０とほぼ相似な形状を有しており、圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する領域内に収まるように配置されている。
【００４５】
流路部材４の下面には多数の液体吐出孔８が形成されている。これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置された副マニホールド５ａと対向する領域を避けた位置に配置されている。また、これらの液体吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータユニット２１と対向する領域内に配置されている。これらの液体吐出孔群は圧電アクチュエータユニット２１とほぼ同一の大きさおよび形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータユニット２１の変位素子５０を変位させることにより液体吐出孔８から液滴が吐出できる。液体吐出孔８の配置については後で詳述する。そして、それぞれの領域内の液体吐出孔８は、流路部材４の長手方向に平行な複数の直線に沿って等間隔に配列されている。
【００４６】
液体吐出ヘッド本体１３に含まれる流路部材４は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャ（しぼり）プレート２４、サプライプレート２５、２６、マニホールドプレート２７、２８、２９、カバープレート３０およびノズルプレート３１である。これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路３２および副マニホールド５ａを構成するように、位置合わせして積層されている。液体吐出ヘッド本体１３は、図５に示されているように、液体加圧室１０は流路部材４の上面に、副マニホールド５ａは内部の下面側に、液体吐出孔８は下面にと、個別流路３２を構成する各部分が異なる位置に互いに近接して配設され、液体加圧室１０を介して副マニホールド５ａと液体吐出孔８とが繋がる構成を有している。
【００４７】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート２２に形成された液体加圧室１０である。第２に、液体加圧室１０の一端から副マニホールド５ａへと繋がる流路を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の入り口）からサプライプレート
２５（詳細には副マニホールド５ａの出口）までの各プレートに形成されている。なお、この連通孔には、アパーチャプレート２４に形成されたしぼり１２と、サプライプレート２５、２６に形成された個別供給流路６とが含まれている。
【００４８】
第３に、液体加圧室１０の他端から液体吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔であり、この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称される。ディセンダは、ベースプレート２３（詳細には液体加圧室１０の出口）からノズルプレート３１（詳細には液体吐出孔８）までの各プレートに形成されている。第４に、副マニホールド５ａを構成する連通孔である。この連通孔は、マニホールドプレート２７〜３０に形成されている。
【００４９】
このような連通孔が相互に繋がり、副マニホールド５ａからの液体の流入口（副マニホールド５ａの出口）から液体吐出孔８に至る個別流路３２を構成している。副マニホールド５ａに供給された液体は、以下の経路で液体吐出孔８から吐出される。まず、副マニホールド５ａから上方向に向かって、個別供給流路６を通り、しぼり１２の一端部に至る。次に、しぼり１２の延在方向に沿って水平に進み、しぼり１２の他端部に至る。そこから上方に向かって、液体加圧室１０の一端部に至る。さらに、液体加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、液体加圧室１０の他端部に至る。そこから少しずつ水平方向に移動しながら、主に下方に向かい、下面に開口した液体吐出孔８へと進む。
【００５０】
圧電アクチュエータユニット２１は、図５に示されるように、２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の液体加圧室１０を跨ぐように延在している（図３参照）。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。
【００５１】
圧電アクチュエータユニット２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極３４、Ａｕ系などの金属材料からなる個別電極３５を有している。個別電極３５は上述のように圧電アクチュエータユニット２１の上面における液体加圧室１０と対向する位置に配置されている。個別電極３５は、液体加圧室１０と対向している個別電極本体３５ａと、この個別電極本体３５ａに接続され、液体加圧室１０と対向している領域外に引き出された引出電極３５ｂとを有している。また、引出電極３５ｂの一部は、圧電セラミック層２１ｂの上面上に設けられた絶縁体のランド４０の上に位置している。また、引出電極３５ｂの一部の上には接続電極３６が形成されている。接続電極３６は例えばガラスフリットを含む金からなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極３６は、変位素子５０と隣接する変位素子５０との間で図示されていない外部配線であるＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）に設けられた電極と電気的に接合される。変位素子５０と隣接する他の変位素子５０との間とは、より正確には、１つの変位素子５０の周囲の変位素子５０（図５（ｂ）では６個ある）の個別電極本体３５ａの面積重心を結んでできる多角形の内側ということである。このような位置で外部との電気的接続を行なうことで、引出電極３５ｂの引き回しが簡単になるとともに、引出電極３５ｂの面積が少なくなるので、それにより発生する圧電駆動を小さくし、クロストークを少なくできる。
【００５２】
なお、圧電アクチュエータユニット２１の変位する部分（変位素子５０）の厚さは４０μｍ程度であり、１００μｍ以下であることにより、変位量を大きくすることができるようになっている。
【００５３】
圧電セラミック層２１ａ、ｂおよび共通電極３４は、それぞれ略同じ形状であることにより、これらを同時焼成により作製する場合に、反りを小さくできる。１００μｍ以下の
圧電アクチュエータユニット２１は焼成過程で反りが生じやすく、その量も大きくなる。また、反りが生じていると、流路部材４に積層した際に、その反りを変形させて接合することになり、その際の変形が変位素子５０の特性変動に影響し、ひいては液体吐出特性のばらつきにつながるため、反りは、圧電アクチュエータユニット２１の厚さと同程度以下に小さいことが望ましい。そして、内部電極のある場所とない場所の焼成収縮挙動の差による反りを少なくするために内部電極３４は内部にパターンのないベタで形成される。なお、ここで略同じ形状であると、外周の寸法の差がその部分の幅の１％以内であることを言う。圧電セラミック層２１ａ、ｂの外周は、基本的に焼成前に重ねられた状態で切断して形成されるので、加工精度の範囲内で同じ位置になる。内部電極３４も、ベタ印刷した後に、圧電セラミック層２１ａ、ｂと同時に切断することで形成されると反りが生じ難いが、圧電セラミック層２１ａ、ｂと相似形状で少し小さいパターンで印刷することにより、圧電アクチュエータ２１の側面に内部電極３４が露出しなくなるため、電気的信頼性が高くなる。
【００５４】
詳細は後述するが、個別電極３５には、制御部１００から外部配線であるＦＰＣを通じて駆動信号（駆動電圧）が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。共通電極３４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極３４は、圧電アクチュエータユニット２１に対向する領域内の全ての液体加圧室１０を覆うように延在している。共通電極３４の厚さは２μｍ程度である。共通電極３４は図示しない領域において接地され、グランド電位に保持されている。本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上において、個別電極３５からなる電極群を避ける位置に個別電極３５とは異なる表面電極（不図示）が形成されている。表面電極は、圧電セラミック層２１ｂの内部に形成されたスルーホールを介して共通電極３４と電気的に接続されているとともに、多数の個別電極３５と同様に外部配線と接続されている。
【００５５】
なお、後述のように、個別電極３５に選択的に所定の駆動信号が供給されることにより、この個別電極３５に対応する液体加圧室１０内の液体に圧力が加えられる。これによって、個別流路３２を通じて、対応する液体吐出口８から液滴が吐出される。すなわち、圧電アクチュエータユニット２１における各液体加圧室１０に対向する部分は、各液体加圧室１０および液体吐出口８に対応する個別の変位素子５０（アクチュエータ）に相当する。つまり、２枚の圧電セラミック層からなる積層体中には、図５に示されているような構造を単位構造とする変位素子５０が液体加圧室１０毎に、液体加圧室１０の直上に位置する振動板２１ａ、共通電極３４、圧電セラミック層２１ｂ、個別電極３５により作り込まれており、圧電アクチュエータユニット２１には変位素子５０が複数含まれている。なお、本実施形態において１回の吐出動作によって液体吐出口８から吐出される液体の量は５〜７ｐＬ（ピコリットル）程度である。
【００５６】
平面視したとき、個別電極本体３５ａは液体加圧室１０と重なるように配置されており、液体加圧室１０の中央に位置している部位の、個別電極３５と共通電極３４とに挟まれている圧電セラミック層２１ｂは、圧電アクチュエータユニット２１の積層方向に分極されている。分極の向きは上下どちらに向かっていてもよく、その方向に対応し駆動信号を与えることで駆動できる。
【００５７】
図５に示されるように、共通電極３４と個別電極３５とは、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみを挟むように配置されている。圧電セラミック層２１ｂにおける個別電極３５と共通電極３４とに挟まれた領域は活性部と呼称され、その部分の圧電セラミックスには厚み方向に分極が施されている。本実施形態の圧電アクチュエータユニット２１においては、最上層の圧電セラミック層２１ｂのみが活性部を含んでおり、圧電セラミック２１ａは活性部を含んでおらず、振動板として働く。この圧電アクチュエータユニット２１はい
わゆるユニモルフタイプの構成を有している。
【００５８】
本実施の形態における実際の駆動手順は、あらかじめ個別電極３５を共通電極３４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極３５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが元の形状に戻り、液体加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。このとき、液体加圧室１０内に負圧が与えられ、液体がマニホールド５側から液体加圧室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、ｂが液体加圧室１０側へ凸となるように変形し、液体加圧室１０の容積減少により液体加圧室１０内の圧力が正圧となり液体への圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極３５に供給することになる。このパルス幅は、液体加圧室１０内において圧力波がマニホールド５から液体吐出孔８まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）が理想的である。これによると、液体加圧室１０内部が負圧状態から正
圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。
【００５９】
以上のような液体吐出ヘッド２においては、変位素子５０の変位を大きくするために個別電極３５、より詳しくは、個別電極３５のうち平面視した際に液体加圧室１０と重なっている部分である個別電極本体３５ａの大きさを液体加圧室１０よりも小さい所定の大きさにする。液体加圧室１０の形状や、他の部分の流路の構造によって多少の違いが生じることもあるが、個別電極本体の面積を液体加圧室１０の面積の６割程度にすることで、変位を極大し、ひいては、液滴の吐出速度を速くしたり、液適量を多くしたりできる。
【００６０】
引出電極３５ｂは、外部配線を個別電極本体３５ａに直接接続すると、変位が妨げらるので、液体加圧室１０の外側に引き出されている。しかし、駆動信号が入力されると、引出電極３５ｂと共通電極３４との間の圧電セラミック層２１ｂも圧電変形し、そのため、周囲の変位素子５０との間にクロストークが生じることがある。このクロストークは、圧電セラミック層２１ｂが、隣接する変位素子５０との間で繋がっているため、その影響は特に大きくなるので、本発明は、そのような圧電アクチュエータ２１で特に有用である。
【００６１】
そこで、絶縁体のランド４０を設ければ、引出電極３５ｂの底面の少なくとも一部を、個別電極本体３５ａの底面よりも高い位置に形成でき、圧電セラミック層２１ｂに生じる電界を小さくし、圧電変形を少なくすることでクロストークを少なくできる。ランド４０の材質としては、ガラス、セラミックス、ガラスセラミックス、樹脂などの絶縁体であればよい。絶縁体は圧電性でない方が好ましいが、圧電セラミック層２１ｂより圧電定数が小さい圧電体や、圧電セラミック層２１ｂより誘電率が低い圧電体であれば、圧電体であってもかまわない。ランド４０として特に好ましいガラスについては、後述する。
【００６２】
なお、ここで言う位置が高いとは、その導体の下部に導電性の物質が存在しない状態で位置が高いと言うことである。例えば、個別電極本体を形成した後、個別電極本体の上に一部が重なるように引出電極を形成すると、圧電セラミック層２１ｂが平坦で特に加工していないものであっても、重なった部分の引出電極の底面は、個別電極本体の底面の位置より高くなるが、この場合は、引出電極の下には導電性の個別電極本体が存在するため、引出電極に加わった電圧は個別電極本体に加わるので、このような場合は除かれる。
【００６３】
また、ランド４０の誘電率が圧電セラミック層２１ｂの誘電率よりも小さいと、電位差は主にランド４０の方に生じ、圧電セラミック層２１ｂに生じる電界が低くなるので、圧電駆動によるクロストークはより少なくなる。
【００６４】
さらに、ランド４０の厚さが圧電セラミック層２１ｂの厚さより厚いと、電位差は主にランド４０の方に生じ、圧電セラミック層２１ｂに生じる電界が低くなるので、圧電駆動によるクロストークはより少なくなる。
【００６５】
圧電セラミック層２１ｂとしてセラミックスを用いているので、ランド４０として、焼付けたガラスを用いると、圧電アクチュエータユニット２１の作製が容易になる。特に、圧電セラミック層２１ｂとしてＰＺＴ系セラミックスなどを用いる場合、ガラスを次に示す組成にすることで反応を抑制できるともに、接着強度を高くでき、好ましい。
【００６６】
ランド４０として、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちの少なくとも１種を含有し、Ｂ２Ｏ３、ＳｉＯ２、ＺｎＯおよびＢｉ２Ｏ３を主体とするホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスを用いると、ＰＺＴ系セラミックス上などで焼成した場合に、８００〜９５０℃で焼付け可能で、ＰＺＴ系セラミックスとの反応も抑制できる。ＰＺＴ系セラミックスとガラスが反応した場合、ランド４０直下の圧電アクチュエータユニット２１に変形が生じることがあり、流路部材４に接合した場合に、その変形の分、圧電アクチュエータユニット２１の内部に応力が生じ、液体吐出特性の変動の原因になる。そのため、特に圧電アクチュエータユニット２１の変位する部分の厚さが１００μｍ以下の場合、反応による変形や、その変形の結果生じる接着の際の応力が大きくなるので、上述のガラスを用いるのが好ましい。また、このようなガラスの比誘電率は１０以下になるので、ランド４０直下の圧電駆動を抑制し、クロストークを低減できる。
【００６７】
続いて、ホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスのより具体的な組成を説明する。ＢをＢ２Ｏ３換算で１５モル％以上、より好ましくは２０モル％以上にすることで、ガラスの軟化点が低くなるので、焼成温度を低くすることができ、圧電セラミック層２１ｂとの反応を抑制できる。ＢをＢ２Ｏ３換算で４０モル％以下にすることで、耐湿性や耐酸性などを高くできる（以下で、総称して化学的安定性を高くできると言う）。ＳｉをＳｉＯ２換算で１モル％以上、より好ましくは２モル％以上にすることで、化学的安定性を高くすることができる。ＳｉをＳｉＯ２換算で１０モル％以下、好ましくは８モル％以下にすることでガラスの軟化点を低くすることができる。ＺｎをＺｎＯ換算で５モル％以上、より好ましくは８モル％以上にすることで、軟化点を低くすることができるとともに、ガラスの熱膨張係数を低くして、ＰＺＴ系セラミックスなどのセラミックスに近づけることができる。これにより、焼成時の降温過程などで、クラックが生じるのを抑制できる。ＺｎをＺｎＯ換算で１５モル％以下にすることで、化学的安定性を高くすることができる。ＢｉをＢｉ２Ｏ３換算で１５モル％以上、より好ましくは２０モル％以上にすることで、軟化点を低くすることができるとともに、ＰＺＴ系セラミックスとの接合性を高くして、接着強度を高くできる。ただし、過剰に含有されていると、逆に接着強度が低くなるので、Ｂｉ２Ｏ３換算のＢｉ量は、７０モル％以下、より好ましくは６０モル％以下である。
【００６８】
以上のようなホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラスに、アルカリ金属元素、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちの少なくとも１種を、それぞれの酸化物（Ｒ２Ｏ（Ｒはアルカリ金属元素）、ＣｕＯ、ＭｎＯ２、ＰｂＯ、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２およびＴｉＯ２）換算で、合計で１〜２０モル％含有することで、化学的安定性を高くすることができる。これらの中でも、アルカリ金属元素（特にＬｉ、Ｎａ、Ｋ）と、Ａｌ、ＺｒおよびＴｉのうちのいずれか１種とを、次のように含有するのが好ましい。アルカリ金属元素を酸化物換算で５モル％以上含有することで、軟化点を低くでき、２０モル％以下含有することで、化学的安定性を高くできる。Ａｌを酸化物換算で３モル％以上含有することで、化学的安定性を高くでき、１５モル％以下含有することで、軟化点を低くできる。Ｚｒの含有で化学的安定性を高めるのに効果的な範囲は、酸化物換算で１〜１０モル％である。Ｔｉを酸化物換算で１モル％以上含有することで、化学的安定性を高くでき、５モル％以下含有
することで、軟化点を低くできる。
【００６９】
またさらに、以上のようなホウ珪酸亜鉛ビスマス系ガラス１００重量部に対して、希土類元素が酸化物換算で０．１〜０．３重量部含有されていると、焼付け時のガラスの粘度が高くなり、バンプ４０の形状を崩れ難くすることができる。希土類元素は、ＹまたはＣｅのうちの少なくとも１種であることが好ましい。  本発明の他の実施形態を図６（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図６（ａ）〜（ｃ）は液体吐出ヘッドの変位素子周辺の要部の縦断面図であり、これらの液体吐出ヘッドの図示した部分以外の基本的構造は、図１〜５に示したものと同じである。
【００７０】
図６（ａ）の液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層１２１ｂに凹部１２１ｃが形成されており、凹部１２１ｃに個別電極本体１３５ａが形成されている。これにより、引出電極１３５ｂの底面の一部は、個別電極本体１３５ａの底部よりの高い位置になり、引出電極１３５ｂと共通電極１３４との間で生じる圧電駆動によるクロストークを少なくできる。
【００７１】
凹部１２１ｃは、焼成前に打ち抜いたグリーンシートを積層するなどして形成してもよいし、焼成後にレーザなどにより形成してもよい。焼成前に形成すると反りの要因となることがあるため、焼成後に形成することが好ましい。
【００７２】
図６（ｂ）の液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層２２１に貫通孔２４０が形成されており、貫通孔２４０には絶縁体が充填されており、引出電極２３５ｂの一部が貫通孔２４０上に形成されている。絶縁体として圧電体でないもの、圧電体であっても圧電定数の低いものを用いることで、引出電極２３５ｂと共通電極３３４との間で生じる圧電駆動によるクロストークを少なくできる。
【００７３】
図６（ｃ）の液体吐出ヘッドでは、圧電セラミック層３２１に凹部３４０が形成されており、凹部３４０には絶縁体が充填されており、引出電極３３５ｂの一部が凹部３４０上に形成されている。絶縁体として圧電体でないもの、圧電体であっても圧電定数の低いものを用いることで、引出電極３３５ｂと共通電極３３４との間で生じる圧電駆動によるクロストークは少なくできる。
【００７４】
貫通孔２４０および凹部３４０は、焼成前に形成してもよいし、焼成後に形成してもよい。焼成後の形成は、例えばレーザにより行なうことができる。
【００７５】
以上のような液体吐出ヘッド２は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。グリーンシートの一部には、その表面に共通電極３４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、必要に応じてグリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。
【００７６】
ついで、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後の積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成し、圧電アクチュエータユニット素体を作製した。続いて、圧電アクチュエータユニット素体にランド４０となるエポキシ樹脂を印刷した後、硬化し、個別電極３５をスパッタで形成し、圧電アクチュエータユニット２１を作製する。  次に、圧延法等により得られプレート２２〜３１を、接着層を介して積層して流路部材４を作製する。プレート２２〜３１に、マニホールド５、個別供給流路６、液体加圧室１０およびディセンダなどとなる孔を、エッチングにより所定の形状に加工する。
【００７７】
これらプレート２２〜３１は、Ｆｅ―Ｃｒ系、Ｆｅ−Ｎｉ系、ＷＣ−ＴｉＣ系の群から選ばれる少なくとも１種の金属によって形成されていることが望ましく、特に液体としてインクを使用する場合にはインクに対する耐食性の優れた材質からなることが望ましため、Ｆｅ−Ｃｒ系がより好ましい。
【００７８】
圧電アクチュエータユニット２１と流路部材４とは、例えば接着層を介して積層接着することができる。接着層としては、周知のものを使用することができるが、圧電アクチュエータユニット２１や第１の流路部材４への影響を及ぼさないために、熱硬化温度が１００〜１５０℃のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂の群から選ばれる少なくとも１種の熱硬化性樹脂系の接着剤を用いるのがよい。このような接着層を用いて熱硬化温度にまで加熱することによって、圧電アクチュエータユニット２１と流路部材４とを加熱接合することができ、液体吐出ヘッドを得ることができる。
【００７９】
他のランド４０を含む圧電アクチュエータユニット２１の製造方法としては次のような方法がある。上述の圧電アクチュエータユニット素体に対して、ガラス粉末、溶剤およびバインダなどを含むガラスペーストを塗布し、９００℃で焼成して、厚さ５〜２０μｍのランド４０を形成する。続いてＡｕペーストを塗布し、８００℃で焼成して個別電極３５を作製し、さらに、Ａｇペーストを塗布して、６００℃で焼成して接続電極３６を形成する。
【実施例】
【００８０】
ランド４０を、組成をＢ２Ｏ３が３６．４８モル%、ＳｉＯ２が９．６モル％、ＺｎＯ
が１５モル％、Ｂｉ２Ｏ３が３０モル％、Ａｌ２Ｏ３が３モル％、ＺｒＯ２が０．９２モル%、Ｎａ２Ｏが２モル％、Ｋ２Ｏが２モル％、Ｌｉ２Ｏが１モル％の成分１００重量部
に対してＹ２Ｏ３を０．２重量部としたガラスを用いて、厚さ１０μｍで形成して、図１〜５に示す液体吐出ヘッド２を作製し、変位素子５０の変位量を測定した。また、比較対照として、ランド４０が形成されておらず、それ以外の点は同じ液体吐出ヘッドを作製し、変位素子の変位量を測定した。
【００８１】
ランド４０が形成されていない液体吐出ヘッドでは、１つの変位素子だけを駆動した場合に対して、周囲の変位素子を駆動した場合の変位量は４．４％低下した。これに対しては、ランド４０が形成されている本発明の液体吐出ヘッドでは、変位量の低下は３．３％となり、クロストークが低減できることが確認できた。
【００８２】
なお、ランド４０の直下の圧電セラミック層２１ｂを分極していない状態における変位量の低下を、別途、シミュレーションで調べたところ、変位の低下量は３．２％であった。つまり、ランド４０を形成した、本発明の液体吐出ヘッドでの３．３％の変位量の低下は、液体加圧室１０上の圧電セラミック層２１ｂの圧電駆動に起因するクロストークの結果であり、ランド４０直下の圧電セラミック層２１ｂの圧電駆動に起因するクロストークの影響のかなりの部分をなくすことができた。
【符号の説明】
【００８３】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
４・・・流路部材
５・・・マニホールド
５ａ・・・副マニホールド
５ｂ・・・マニホールドの開口
６・・・個別供給流路
８・・・液体吐出孔
９・・・液体加圧室群
１０、１１０、２１０、３１０・・・液体加圧室
１１ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体加圧室列
１２・・・しぼり
１３・・・液体吐出ヘッド本体
１５ａ、ｂ、ｃ、ｄ・・・液体吐出孔列
２１・・・圧電アクチュエータユニット
２１ａ、１２１ａ、２２１ａ、３２１ａ・・・圧電セラミック層（セラミック振動板）
２１ｂ、１２１ｂ、２２１ｂ、３２１ｂ・・・圧電セラミック層
１２１ｃ・・・凹部
２２〜３１、１２２、２２２、３２２・・・プレート
３２・・・個別流路
３４、１３４、２３４、３３４・・・共通電極
３５、１３５、２３５、３３５・・・個別電極
３５ａ、１３５ａ、２３５ａ、３３５ａ・・・個別電極本体
３５ｂ、１３５ｂ、２３５ｂ、３３５ｂ・・・引出電極
３６・・・接続電極
４０・・・ランド
２４０、３４０・・・絶縁充填物
５０・・・変位素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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