(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、
前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、
揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、
前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、
前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、
を備え、
前記吸着確認部は、前記ウェーハ吸着面の外側の外周部全域にわたって所定の間隔をもって配置された複数の穴により構成され、
前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知することを特徴とするスピンナ洗浄装置。
【請求項２】
前記吸着確認部の前記複数の穴は、前記ウェーハ吸着面の外周部に沿って形成された溝の底部に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のスピンナ洗浄装置。
【請求項３】
前記吸着確認部で前記テープを吸着するとともに吸引することにより該テープを該吸着確認部へ突出させ、前記洗浄水の前記ウェーハ吸着面への浸入を防止することを特徴とする請求項１又は２に記載のスピンナ洗浄装置。
【請求項４】
中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、を備え、前記吸着確認部は、前記ウェーハ吸着面の外側の外周部全域にわたって所定の間隔をもって配置された複数の穴により構成されているスピンナ洗浄装置を用いたスピンナ洗浄方法において、
前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知した後、前記回転手段により前記スピンナテーブルを回転させるとともに前記ノズルより洗浄液を噴射することで前記ウェーハの洗浄を行なうことを特徴とするスピンナ洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを吸着するとともに回転させながら洗浄水を吹き付けて洗浄を行なうスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転されるダイヤモンド砥粒等により形成される薄い円盤状のブレードと、ウェーハを吸着保持するチャックテーブルと、チャックテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられている。ウェーハを加工する際には冷却や潤滑用の切削液が回転するブレード、またはウェーハとブレードとが接触する加工点へノズルより供給される。
【０００３】
図９にダイシング装置の例を示す。ダイシング装置１は、互いに対向配置され、先端にブレード２とホイールカバー（不図示）が取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル３、３と、ウェーハＷ表面を撮像する撮像手段（不図示）と、ウェーハＷを吸着保持するチャックテーブル４と、ブレード２とチャックテーブル４を相対的に移動させる不図示の移動軸とを有する加工部５が設けられている。
【０００４】
ダイシング装置１には、更に加工済みのウェーハＷをスピン洗浄するスピンナ洗浄装置６と、フレームＦにテープＴによりマウントされたウェーハＷを多数枚収納したカセットを載置するロードポート７と、ウェーハＷを搬送する搬送手段８と、撮像手段により撮像された画像の表示と各部への動作を入力する表示手段９と、各部の動作を制御する不図示のコントローラ等とから構成されている。
【０００５】
スピンナ洗浄装置６は図１０に示すように、フレームＦにマウントされたウェーハＷが吸着されるスピンナテーブル１０と、揺動するとともに洗浄液を噴射するノズル１１を備えている。スピンナテーブル１０の中央部にはポーラス等により形成されるウェーハ吸着面１２が設けられ、外周部にはフレームＦを固定する為のフック１３が複数設けられている。スピンナテーブル１０の下部にはスピンナテーブルを回転させる回転手段１４が設けられ、スピンナテーブル１０の周囲には洗浄液を受ける槽１５が備えられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
加工部５でダイシングされたウェーハＷは搬送手段８によりチャックテーブル４上からスピンナテーブル１０上へと搬送される。ウェーハＷがウェーハ吸着面１２に吸着載置された後、図１１（ａ）に示すように、フック１３が回転して上から押さえつけることによりフレームＦが固定される。フレームＦが固定された後、スピンナテーブル１０が回転手段１４により回転するとともに、洗浄液がノズル１１より噴射されてウェーハＷの洗浄が行なわれる。
【０００７】
このとき、ウェーハＷが正しい位置に吸着され、フック１３がフレームＦを確実に固定しているかは、通常ウェーハ吸着面１２に生じている吸引圧力の変化を検知することにより行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−１５７９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、近年のウェーハＷのサイズの大型化に伴いフレームＦのサイズが大きくなり、テープＴの撓み量も大きくなっている。このため、図１１（ｂ）に示すように、ウェーハＷが正しい位置に吸着されずフック１３がフレームＦを確実に固定していない場合でも吸着圧力の差が出なくなり、エラーを検知出来ない場合がある。そのような状態でスピンナテーブル１０が回転を開始すると、回転中にフレームＦごとウェーハＷが外れ大事故が発生する問題があった。
【００１０】
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、フレームの固定状況を確実に検知することで回転中の事故を防ぐスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は前記目的を達成する為に、請求項１に記載の発明は、中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、を備え、前記吸着確認部は、前記ウェーハ吸着面の外側の外周部全域にわたって所定の間隔をもって配置された複数の穴により構成され、前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知することを特徴としている。
【００１２】
請求項１の発明によれば、スピンナ洗浄装置は、モータ等の回転手段により高速に回転されるスピンナテーブルと、テープによりウェーハがマウントされるフレームを固定するフックと、スピンナテーブル上で回転するウェーハへ向かって揺動しながら洗浄液を噴射するノズルと、吸着確認部の圧力を検出する検出部を備えている。
【００１３】
スピンナテーブルには、中央部にポーラス等により形成されるウェーハ吸着面が設けられ、ウェーハ吸着面の外側には吸着確認部が設けられ、スピンナテーブルの外周部にフックが設けられている。
【００１４】
スピンナ洗浄装置によりウェーハの洗浄を行なう際には、テープによりフレームにマウントされたウェーハが、フレームごとスピンナテーブル上に搬送され、ウェーハ吸着面で吸着固定される。ウェーハとフレームとの間のテープ部分はウェーハ吸着面よりも外側となる吸着確認部により吸着される。吸着後、フレームがフックにより固定される。
【００１５】
このとき、ウェーハ吸着面の外側に設けられた吸着確認部に生じる圧力が検出部により検出される。吸着確認部でテープが吸着されず圧力が変化しない場合は、フレームの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。
【００１６】
これにより、フレームが正しい位置に搬送されず突起などに乗りあがりテープが僅かに浮いているような場合であっても、ウェーハ吸着面の外側に設けられた吸着確認部が僅かな変化を検知し、安全にスピンナ洗浄を実行することが出来る。
【００１８】
請求項１の発明によれば、スピンナテーブルのウェーハ吸着面の外側には、吸着確認部として複数の穴が形成される。ウェーハとフレームとの間のテープ部分は、ウェーハ吸着面よりも外側となる吸着確認部により複数個所吸着される。いずれかの吸着確認部でテープが吸着されず圧力が変化しない場合は、フレームの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。
【００１９】
これにより、フレームのフックによる固定状況が正確に検知され、安全にスピンナ洗浄を実行することが出来る。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記吸着確認部の前記複数の穴は、前記ウェーハ吸着面外周部に沿って形成された溝の底部に形成されていることを特徴としている。
【００２１】
請求項２の発明によれば、スピンナテーブルのウェーハ吸着面の外周部に沿って、吸着確認部の複数の穴がその底部に形成された溝が形成される。ウェーハとフレームとの間のテープ部分は、ウェーハ吸着面よりも外側となる溝により、ウェーハ吸着面を囲うように吸着される。吸着確認部でテープが吸着されず圧力が変化しない場合は、フレームの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。
【００２２】
これにより、フレームのフックによる固定状況が正確に検知され、安全にスピンナ洗浄を実行することが出来る。
【００２４】
請求項１の発明によれば、スピンナテーブル上に搬送されてウェーハ吸着面で吸着固定されたウェーハと、ウェーハがマウントされているフレームとの間のテープが吸着確認部により吸着される。テープが吸着確認部に吸着されることで吸着確認部に生じる圧力の変化は検出部で検出される。
【００２５】
フレームの位置に異常があって吸着確認部でテープが吸着されていない場合には、吸着確認部での圧力の変化が生じないので、検出部ではフレームの位置に異常があると判断する。また、圧力の変化している吸着確認部と変化していない吸着確認部との位置から、スピンナテーブル上のどの方向でフレーム位置に異常が起きているかを検知することが可能となる。
【００２６】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記吸着確認部で前記テープを吸着するとともに吸引することにより該テープを該吸着確認部へ突出させ、前記洗浄水の前記ウェーハ吸着面への浸入を防止することを特徴としている。
【００２７】
請求項３の発明によれば、ウェーハとフレームとの間の撓んだテープが、吸着確認部で吸着吸引されることにより、吸着確認部に向かって突出される。吸着確認部はウェーハ吸着面外側に配置されているので、突出したテープが壁となり、テープとスピンナテーブルの間を伝ってウェーハ吸着面へ洗浄液が進入することが防止される。これにより、ポーラス等により形成されたウェーハ吸着面の汚れが軽減され、ウェーハの吸着を確実にする。
【００２８】
請求項４に記載の発明は、中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、を備え、前記吸着確認部は、前記ウェーハ吸着面の外側の外周部全域にわたって所定の間隔をもって配置された複数の穴により構成されているスピンナ洗浄装置を用いたスピンナ洗浄方法において、前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知した後、前記回転手段により前記スピンナテーブルを回転させるとともに前記ノズルより洗浄液を噴射することで前記ウェーハの洗浄を行なうことを特徴としている。
【００２９】
請求項４の発明によれば、スピンナ洗浄装置は、スピンナテーブルと、テープによりウェーハがマウントされるフレームを固定するフックと、洗浄液を噴射するノズルと、吸着確認部の圧力を検出する検出部が備えられている。スピンナテーブルには、中央部にポーラス等により形成されるウェーハ吸着面が設けられ、ウェーハ吸着面の外側には吸着確認部が設けられ、スピンナテーブルの外周部にフックが設けられている。
【００３０】
ウェーハをスピンナ洗浄する際には、テープによりフレームにマウントされたウェーハが、フレームごとスピンナテーブル上に搬送され、ウェーハ吸着面で吸着固定される。ウェーハとフレームとの間のテープ部分はウェーハ吸着面よりも外側となる吸着確認部により吸着される。吸着後、フレームがフックにより固定される。
【００３１】
続いて、ウェーハ吸着面の外側に設けられた吸着確認部に生じる圧力が検出部により検出される。
【００３２】
テープが正しく吸着確認部に吸着され、吸着確認部の圧力が変化してフレームの位置に異常がないと判断された場合はスピンナ洗浄が開始される。吸着確認部でテープが吸着されず圧力が変化しない場合は、フレームの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。
【００３３】
これにより、フレームが正しい位置に搬送されず突起などに乗りあがりテープが僅かに浮いているような場合であっても、ウェーハ吸着面の外側に設けられた吸着確認部が僅かな変化を検知し、安全にスピンナ洗浄を実行することが出来る。
【発明の効果】
【００３４】
本発明のスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法によれば、フレームの位置の不具合を正確に検知し、フックが確実にフレームを固定していない状態のままでのスピンナテーブルの回転を未然に防ぎ、安全にスピンナ洗浄を実行することを可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係るスピンナ洗浄装置の構成を示した斜視図
【図２】第１の実施の形態によるスピンナテーブルの上面図
【図３】検出部からの配管を示した構成図
【図４】第１の実施の形態によるスピンナテーブルの側面断面図
【図５】第１の実施の形態による別の形状のスピンナテーブルの上面図
【図６】第２の実施の形態によるスピンナテーブルの上面図
【図７】第２の実施の形態による別の形状のスピンナテーブルの上面図
【図８】第２の実施の形態によるスピンナテーブルの側面断面図
【図９】ダイシング装置の構成を示した斜視図
【図１０】従来のスピンナ洗浄装置の例を示した図
【図１１】従来のスピンナテーブルの側面断面図
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、添付図面に従って本発明に係るスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法の好ましい実施の形態について詳説する。まず第１の実施の形態によるスピンナ洗浄装置の構成について説明する。図１は第１の実施の形態によるスピンナ洗浄装置の構成を示した斜視図、図２はスピンナテーブルの上面図、図３は検出部からの配管を示した構成図、図４はスピンナテーブルの側面図である。
【００３７】
図１に示すスピンナ洗浄装置６Ａは、図９に示すダイシング装置１に取り付けられている。ダイシング装置１には、スピンナ洗浄装置６Ａの他に、先端にブレード２とホイールカバー（不図示）が取り付けられたスピンドル３、３、撮像手段（不図示）、チャックテーブル４、ロードポート７、搬送手段８、表示手段９、コントローラ（不図示）等とから構成されている。
【００３８】
スピンナ洗浄装置６Ａは図１に示すように、フレームＦにマウントされたウェーハＷが吸着されるスピンナテーブル１０Ａと、揺動するとともに洗浄液を噴射するノズル１１を備えている。スピンナテーブル１０Ａの中央部にはポーラス等により形成されるウェーハ吸着面１２が設けられ、外周部にはフレームＦを固定する為のフック１３が複数設けられている。スピンナテーブル１０Ａの下部にはスピンナテーブルを回転させる回転手段１４が設けられ、スピンナテーブル１０Ａの周囲には洗浄液を受ける槽１５が備えられている。
【００３９】
図２に示すように、スピンナテーブル１０Ａ中央部に形成されたウェーハ吸着面１２の外側には、穴形状の吸着確認部１６が９０度毎に配置されるように複数形成されている。吸着確認部１６は、ウェーハ吸着面１２と同じ平面上の金属部分である平面部Ａに形成されているのが望ましく、平面部Ａよりも外側の傾斜部Ｂに形成されていても良い。
【００４０】
フレームＦにテープＴによりマウントされたウェーハＷはウェーハ吸着面１２にテープごと吸着され、ウェーハＷとフレームＦとの間のテープＴは吸着確認部１６に吸着される。テープＴがウェーハ吸着面１２と吸着確認部１６に吸着された後、フック１３が不図示の駆動手段により軸１３Ａを中心に回転してフレームＦがスピンナテーブル１０Ａに押し付けられて固定される。
【００４１】
スピンナテーブル１０Ａに形成された吸着確認部１６、１６・・は、図３に示すように、スピンナテーブル１０Ａ内の穴やチューブにより構成される流路１７、１７・・によりそれぞれ検出部１８へ接続されている。なお、各吸着確認部１６は個別に検出部１８へ接続されるのではなく、１つの流路にまとめられてから一括で検出部１８に接続されていてもよい。
【００４２】
検出部１８は、コンプレッサーやエジェクターなどの不図示の真空吸引手段と接続され、流路１７を通して各吸着確認部１６を真空状態にするとともに、吸着確認部１６の圧力変化を検知する不図示の圧力計を備えている。検出部１８に備えられた圧力計は、ダイシング装置１に備えられたコントローラ１９と接続され、吸着確認部１６の圧力の変化に応じてダイシング装置１へ各種の指令を発する。
【００４３】
このように構成されたダイシング装置１のスピンナ洗浄装置６Ａでは、図４（ａ）に示すように、フレームＦが正しい位置に搬送されてフック１３により確実に固定されている場合、吸着確認部１６によりテープＴが吸着されることで吸着確認部１６の圧力が下がり、検出部１８で圧力の変化が検知される。これにより、フレームＦが正しい位置にあると検出部１８またはコントローラ１９において判断され、スピンナテーブル１０Ａが回転してスピンナ洗浄が開始される。
【００４４】
図４（ｂ）に示すように、フレームＦが正しい位置に搬送されず、フック１３がフレームＦを確実に固定していないような場合は、吸着確認部１６によりテープＴが吸着されない為、吸着確認部１６の圧力が下がらず真空状態とならない。これにより、圧力の変化が検出部１８で検知されず、フレームＦの位置に異常があると検出部１８またはコントローラ１９において判断され、スピンナテーブル１０Ａの回転が行われない。
【００４５】
これらにより、フレームＦが正しい位置に搬送されず突起などに乗りあがりテープＴが僅かに浮いているような場合であっても、ウェーハ吸着面１２の外側に設けられた吸着確認部１６の圧力の変化を検知することでフレームＦの異常を検知し、安全にスピンナ洗浄を実行することが可能となる。
【００４６】
なお、吸着確認部１６は図２に示すように９０度毎に４箇所配置されているだけに限らず、図５に示すスピンナテーブル１０Ｂのように８箇所、またはそれ以上でも良く、均等に配置されていればいずれの数でも良い。
【００４７】
また、検出部１８では、各吸着確認部１６の圧力の変化を個別に検知することで、圧力の変化のある吸着確認部１６と変化の無い吸着確認部１６の位置からいずれの方向でフレームＦが異常な位置にあるのかを検出することも可能である。これにより、コントローラ１９はダイシング装置１にフレームＦの異常位置を知らせ、備えられた搬送手段８によりフレームＦの搬送位置を修正する。
【００４８】
次に本発明に係る第２の実施の形態によるスピンナ洗浄装置について説明する。図６は第２の実施の形態によるスピンナテーブルの上面図、図７は第２の実施の形態によるスピンナテーブルの別の形状を示した上面図。図８はスピンナテーブルの側面図である。
【００４９】
図６に示すように、スピンナテーブル１０Ｃ中央部に形成されたウェーハ吸着面１２の外側には、溝形状の吸着確認部２０がウェーハ吸着面１２の外周に沿って形成されている。吸着確認部２０は、ウェーハ吸着面１２と同じ平面上の金属部分である平面部Ａに形成されているのが望ましく、平面部Ａよりも外側の傾斜部Ｂに形成されていても良い。
【００５０】
フレームＦにテープＴによりマウントされたウェーハＷはウェーハ吸着面１２にテープごと吸着され、ウェーハＷとフレームＦとの間のテープＴは吸着確認部２０に吸着される。テープＴがウェーハ吸着面１２と吸着確認部２０に吸着された後、フック１３が不図示の駆動手段により軸１３Ａを中心に回転してフレームＦがスピンナテーブル１０Ｃに押し付けられて固定される。
【００５１】
吸着確認部２０は、溝形状の吸着確認部２０の底面に形成された流路２０Ａと、流路２０Ａに続く不図示のチューブにより、図３に示される検出部１８へ接続されている。検出部１８は、吸着確認部２０を真空状態にするとともに、吸着確認部２０の圧力変化を検知する。検出部１８に備えられた圧力計は、ダイシング装置１に備えられたコントローラ１９と接続され、吸着確認部２０の圧力の変化に応じてダイシング装置１へ各種の指令を発する。
【００５２】
このように構成されたスピンナテーブル１０Ｃは、スピンナテーブル１０Ａと同様に、フレームＦが正しい位置に搬送されてフック１３により確実に固定されている場合、吸着確認部２０によりテープＴが吸着されることで吸着確認部２０の圧力が下がり、検出部１８で圧力の変化が検知される。これにより、フレームＦが正しい位置にあると検出部１８またはコントローラ１９において判断され、スピンナテーブル１０Ａが回転してスピンナ洗浄が開始される。
【００５３】
フレームＦが正しい位置に搬送されず、フック１３がフレームＦを確実に固定していないような場合は、吸着確認部２０によりテープＴが吸着されない為、吸着確認部２０の圧力が変化せず検出部で検知されない。これにより、フレームＦの位置に異常があると検出部１８またはコントローラ１９において判断され、スピンナテーブル１０Ｃの回転が行われない。
【００５４】
これらにより、フレームＦが正しい位置に搬送されず突起などに乗りあがりテープＴが僅かに浮いているような場合であっても、ウェーハ吸着面１２の外周に沿って形成された吸着確認部２０の圧力の変化を検知することでフレームＦの異常を検知し、安全にスピンナ洗浄を実行することが可能となる。
【００５５】
なお、吸着確認部２０は図６に示すように、ウェーハ吸着面１２の外周に沿って連続して形成されているだけに限らず、図７に示すスピンナテーブル１０Ｄのように、ウェーハ吸着面１２の外周に沿って形成される複数の溝形状である吸着確認部２１のような形状であっても良い。
【００５６】
また、図８に示すように、ウェーハＷとフレームＦとの間の撓んだテープＴが、吸着確認部２０で吸着吸引されることにより、吸着確認部２０に向かってテープＴが突出される。これにより、吸着確認部２０はウェーハ吸着面１２外側に配置されているので、突出したテープＴが壁となり、テープＴとスピンナテーブル１０Ｃの間を伝ってウェーハ吸着面１２へ洗浄液が進入することが防止される。これにより、ポーラス等により形成されたウェーハ吸着面１２の汚れが軽減され、ウェーハＷの吸着を確実にする。
【００５７】
次に、本発明に係るスピンナ洗浄方法について詳説する。
【００５８】
図１に示すスピンナ洗浄装置６Ａは、スピンナテーブル１０Ａと、テープＴによりウェーハＷがマウントされるフレームＦを固定するフック１３と、洗浄液を噴射するノズル１１と、図３に示す検出部１８が備えられている。スピンナテーブル１０Ａには、中央部にポーラス等により形成されるウェーハ吸着面１２が設けられ、ウェーハ吸着面１２の外側には吸着確認部１６が設けられ、スピンナテーブル１０Ａの外周部にフック１３が設けられている。
【００５９】
ウェーハＷをスピンナ洗浄する際には、テープＴによりフレームＦにマウントされたウェーハＷが、フレームＦごとスピンナテーブル１０Ａ上に図９に示す搬送手段８により搬送され、ウェーハ吸着面１２で吸着固定される。ウェーハＷとフレームＦとの間のテープＴ部分はウェーハ吸着面１２よりも外側となる吸着確認部１６により吸着される。吸着後、フレームＦがフック１３により固定される。
【００６０】
続いて、ウェーハ吸着面１２の外側に設けられた吸着確認部１６に生じる圧力が検出部１８により検出される。
【００６１】
テープＴが正しく吸着確認部１６に吸着され、吸着確認部１６の圧力が下がりフレームＦの位置に異常がないと判断された場合はスピンナテーブル１０Ａが回転手段１４により回転されてスピンナ洗浄が開始される。吸着確認部１６でテープが吸着されず圧力が変化しない場合は、フレームＦの位置が異常であるとしてスピンナテーブル１０Ａの回転が行われない。
【００６２】
これにより、フレームＦが正しい位置に搬送されず突起などに乗りあがりテープＴが僅かに浮いているような場合であっても、ウェーハ吸着面１２の外側に設けられた吸着確認部１６の圧力の変化を検知することでフレームＦの異常を検知し、安全にスピンナ洗浄を実行することが出来る。
【００６３】
以上、説明したように、本発明に係わるスピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法によれば、フレームの位置の不具合を正確に検知し、フックが確実にフレームを固定していない状態のままでのスピンナテーブルの回転を未然に防ぎ、安全にスピンナ洗浄を実行することを可能にする。
【００６４】
また、各吸着確認部の圧力の変化を個別に検知することで、いずれの方向でフレームが異常な位置にあるのかを検出することも可能である。
【００６５】
更には、ウェーハとフレームとの間の撓んだテープが、吸着確認部で吸着吸引されることにより、突出したテープが壁となり、テープとスピンナテーブルの間を伝ってウェーハ吸着面へ洗浄液が進入することが防止されるので、ポーラス等により形成されたウェーハ吸着面の汚れを軽減することも可能となる。
【符号の説明】
【００６６】
１…ダイシング装置，２…ブレード，３…スピンドル，４…チャックテーブル，５…加工部，６、６Ａ…スピンナ洗浄装置，７…ロードポート，８…搬送手段，９…表示手段，１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…スピンナテーブル，１２…ウェーハ吸着面，１３…フック，１３Ａ…軸，１４…回転手段，１５…槽，１６、２０、２１…吸着確認部，１７、２０Ａ…流路，１８…検出部，１９…コントローラ
【図１】
0005673929.tif 000002
【図２】
0005673929.tif 000003
【図３】
0005673929.tif 000004
【図４】
0005673929.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
0005673929.tif 000008
【図８】
0005673929.tif 000009
【図９】
0005673929.tif 000010
【図１０】
0005673929.tif 000011
【図１１】
0005673929.tif 000012