(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを吸着保持する方法であって、
相互に絶縁された第１電極と第２電極とを有する静電チャック電極板であって、前記第１電極は、前記静電チャック電極板の中央部分及び周辺部分の一部に形成され、前記第２電極は、前記中央部分を取り囲む馬蹄形状に形成されている静電チャック電極板と、ナイフエッジ状の金属部分を有する接触子とを備えた静電チャック上に前記ウェハを配置するステップと、
前記ナイフエッジ状の金属部分を前記ウェハに接触させるステップと、
前記接触子を接地電位として前記ウェハを接地電位とした状態で、所定の第１時点で前記第１電極に正の第１電圧を印加し、その所定時間後の第２時点で前記第２電極に前記第１電圧を印加することによって、前記ウェハを吸着保持するステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、該方法はさらに、
前記第２時点の所定時間後の第３時点で、前記第１及び第２電極に印加する電圧を前記第１電圧から所定の第２電圧まで徐々に低減するとともに、前記接触子の電圧を接地電位から所定の第３電圧まで徐々に低減して、該徐々に低減される電圧を前記ウェハに印加するステップ
を備えていることを特徴とする方法。
【請求項３】
ウェハを評価する方法であって、
請求項２記載の方法により前記静電チャックに前記ウェハを吸着保持するステップと、
電子線で前記ウェハを照射するステップと、
前記ウェハから放出される二次電子線を検出して、前記ウェハ上の画像を取得するステップと、
取得された前記画像に基づいて前記ウェハを評価するステップと、
前記ウェハに印加された電圧を前記第３電圧から接地電位に変更して、前記静電チャックから前記ウェハを取り出すステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項４】
ウェハを吸着保持するための静電チャックであって、
基板と、
前記基板上に設けられ、相互に絶縁された第１電極と第２電極とを有する静電チャック電極板であって、前記第１電極は、前記静電チャック電極板の中央部分及び周辺部分の一部に形成され、前記第２電極は、前記中央部分を取り囲む馬蹄形状に形成されている静電チャック電極板と、
前記静電チャック電極板と前記ウェハとの間に配置される絶縁層と、
前記ウェハと接触し且つ前記ウェハと電気的に導通するよう構成された、ナイフエッジ状の金属部分を有する接触子と、
を具備していることを特徴とする静電チャック。
【請求項５】
請求項４記載の静電チャックにおいて、該静電チャックはさらに、前記第１及び第２電極並びに前記ウェハに電圧を印加する電圧印加手段を備え、該電圧印加手段は、
前記ウェハを吸着保持するために、前記接触子を接地電位として前記ウェハを接地電位とした状態で、所定の第１時点で前記第１電極に正の第１電圧を印加し、その所定時間後の第２時点で前記第２電極に前記第１電圧を印加し、かつ、前記第２時点の所定時間後の第３時点で、前記第１及び第２電極に印加する電圧を前記第１電圧から所定の第２電圧まで徐々に低減するとともに、前記接触子の電圧を接地電位から所定の第３電圧まで徐々に低減して、該徐々に低減される電圧を前記ウェハに印加し、
前記ウェハの吸着保持を開放するために、前記ウェハに印加された電圧を前記第３電圧から接地電位に変更する
よう構成されていることを特徴とする静電チャック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体プロセスにおいて、デザインルールは１００ｎｍの時代を迎えようとしており、また生産形態はＤＲＡＭに代表される少品種大量生産からＳＯＣ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ
ｃｈｉｐ）のように多品種少量生産へ移行しつつある。それに伴い、製造工程数が増加し、各工程毎の歩留まり向上は必須となり、プロセス起因の欠陥検査が重要になる。本発明は、半導体プロセスにおける各工程後のウェハの検査のためのシートビーム式検査装置に好適な荷電粒子線に用いることができる静電チャックに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの高集積化、パターンの微細化に伴い、高分解能、高スループットの検査装置が要求されている。１００ｎｍデザインルールのウェハ基板の欠陥を調べるためには、１００ｎｍ以下の分解能が必要であり、デバイスの高集積化による製造工程の増加により、検査量が増大するため、高スループットが要求されている。また、デバイスの多層化が進むにつれて、層間の配線をつなぐビアのコンタクト不良（電気的欠陥）を検出する機能も、検査装置に要求されている。現在は主に光方式の欠陥検査装置が使用されているが、分解能及び、コンタクト不良検査の点では、光方式の欠陥検査装置に代わって、電子線を用いた欠陥検査装置が今後、検査装置の主流になると予想される。ただし、電子線方式の欠陥検査装置にもスループットの点で光方式に劣るという弱点がある。
【０００３】
このため、高分解能、高スループット且つ電気的欠陥検出が可能な検査装置の開発が要求されている。光方式での分解能は使用する光の波長の１／２が限界と言われており、実用化されている可視光の例では０．２μｍ程度である。一方、電子線を使用する方式では、走査型電子線方式（ＳＥＭ方式）が実用化されており、分解能は０．１μｍ、検査時間は２０ｃｍウェハの場合には８時間／枚である。電子線方式はまた、電気的欠陥（配線の断線、導通不良、ビアの導通不良等）も検査可能であることが大きな特徴である。しかし、検査時間は非常に遅く、検査速度の速い欠陥検査装置の開発が期待されている。
【０００４】
一般に、検査装置は高価でありまたスループットも他のプロセス装置に比べて低いために、現状では重要な工程の後、例えばエッチング、成膜またはＣＭＰ（化学機械研磨）平坦化処理後等に使用されている。ここで、電子線を用いた走査（ＳＥＭ）方式の検査装置について説明すると、ＳＥＭ方式の検査装置は電子線を細く絞って走査してライン状に試料を照射する。この電子線径が分解能に相当する。一方、ステージを電子線の走査方向に直角の方向に移動させることにより、平面状に観察領域を電子線で照射する。電子線の走査幅は一般に数１００μｍである。前記の細く絞られた電子線（これを一次電子線と呼ぶ）の照射により試料から発生した二次電子線を検出器、例えば、シンチレータとフォトマルチプライヤ（光電子増倍管）又は半導体方式の検出器（ＰＩＮダイオード型）との組み合わせで検出する。照射位置の座標と二次電子線の量（信号強度）を合成して画像化し、記憶装置に記憶し、あるいはＣＲＴ（ブラウン管）上に画像を出力する。
【０００５】
以上はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）の原理であり、この方式で得られた画像から工程途中の半導体（通常はＳｉ）ウェハの欠陥を検出する。スループットに相当する検査速度は一次電子線の量（電流値）、ビーム径、検出器の応答速度で決まる。ビーム径０．１μｍ（分解能と同じと考えてよい）、電流値１００ｎＡ、検出器の応答速度１００ＭＨｚが現在の最高値で、この場合での検査速度は２０ｃｍ径のウェハ１枚あたり約８時間と言われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上で説明したＳＥＭ方式の検査装置では、上記の検査速度がほぼ限界と考えられており、更に高速にする、すなわちスループットを上げるためには新しい方式が必要である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、シートビーム式検査装置に好適な電子線装置並びに該装置を用いた半導体デバイス製造方法及び露光方法に関する。
本発明の第１の実施の形態は、写像投影方式の電子線装置を提供する。そのため、第１の実施の形態は、
特定幅を有する電子線を照射するビーム発生手段と、
前記荷電粒子線を検査対象となる基板表面に到達させる一次電子光学系と、
前記基板から発生した二次電子線を補足し画像処理系へ導く二次電子光学系と、
前記基板を少なくとも一自由度の連続性をもって移送可能に保持するステージと、
前記基板の検査室と、
前記検査室に基板を搬入出する基板搬送機構と、
前記基板の欠陥を検出する画像処理解析装置と、
前記検査室の除振機構と、
前記検査室の真空を保持する真空系と、
前記基板の欠陥位置を表示又は記憶する制御系と、
を具備することを特徴とする基板検査装置、基板検査方法およびこうした基板検査装置を用いたデバイス製造方法、
を提供する。
【０００８】
本発明の第２の実施の形態は、電子線を検査対象に照射して前記検査対象を検査する検査装置に好適な電子線装置および該電子線装置を用いたデバイス製造方法を提供する。
本発明の第２の実施の形態は、
電子線源からの一次電子線を前記検査対象に照射し、前記一次電子線の照射により放出された二次電子線の像を投影する電子光学系及び前記電子光学系により投影された二次電子線像を検出する検出器を有する電子光学装置と、
前記検査対象を保持して前記電子光学系に関して相対的に移動させるステージ装置と、
清浄気体を前記検査対象に流して前記検査対象への塵埃の付着を阻止するミニエンバイロメント装置と、
前記ステージ装置を収容しておりかつ真空雰囲気に制御可能になっているワーキングチャンバと、
前記ミニエンバイロメント装置と前記ワーキングチャンバとの間に配置されていて、それぞれ独立して真空雰囲気に制御可能になっている少なくとも二つのローディングチャンバと、
前記ミニエンバイロメント装置と前記ローディングチャンバの一つ内との間で前記検査対象を移送可能な搬送ユニット及び前記一つのローディングチャンバ内と前記ステージ装置上との間で前記検査対象を移送可能な別の搬送ユニットを有するローダーと、を備え、
前記ワーキングチャンバ及びローディングチャンバが振動遮断装置を介して支持されるよう構成されている検査装置、
を提供する。
【０００９】
また、本発明の第２の実施の形態は、
電子線源からの一次電子線を前記検査対象に照射し、前記一次電子線の照射により放出された二次電子線を減速電界型対物レンズで加速してその像を投影する電子光学系、前記電子光学系により投影された二次電子線像を検出する検出器及び前記減速電界型対物レンズと前記検査対象との間に配置されていて前記検査対象の前記一次電子線の照射面における電界強度を制御する電極を有する電子光学装置と、
前記検査対象を保持して前記電子光学系に関して相対的に移動させるステージ装置と、
前記ステージ装置を収容しておりかつ真空雰囲気に制御可能になっているワーキングチャンバと、
前記ワーキングチャンバ内の前記ステージ装置上に前記検査対象を供給するローダーと、
前記ワーキングチャンバ内に配置された前記検査対象に電子線を照射して前記検査対象の帯電むらを減少する、あるいは意図的に帯電させるプレチャージユニット及び前記検査対象に電位を印加する電位印加機構と、を備え、
前記ワーキングチャンバが振動遮断装置を介して支持された支持装置により支持されるよう構成されている検査装置、
を提供する。
【００１０】
上記検査装置においては、前記ローダーが、それぞれが独立して雰囲気制御可能になっている第１のローディングチャンバ及び第２のローディングチャンバと、前記検査対象を第１のローディングチャンバ内とその外部との間で搬送する第１の搬送ユニットと、前記第２のローディングチャンバに設けられていて前記検査対象を前記第１のローディングチャンバ内と前記ステージ装置上との間で搬送する第２の搬送ユニットとを備え、前記電子線装置が、更に、前記ローダーにより搬送される検査対象に清浄気体を流して塵埃の付着を阻止するための仕切られたミニエンバイロメント空間を更に備え、前記ローディングチャンバと前記ワーキングチャンバとが振動遮断装置を介して支持装置により支持されていてもよい。
【００１１】
また、上記検査装置において、更に、前記電子光学系に対する前記検査対象の位置決めのために前記検査対象の表面を観察してアライメントを制御するアライメント制御装置と、前記ステージ装置上の前記検査対象の座標を検出するレーザ干渉測距装置とを備え、前記アライメント制御装置により検査対象に存在するパターンを利用して検査対象の座標を決めてもよく、この場合、前記検査対象の位置合わせは、前記ミニエンバイロメント空間内で行われる粗位置合わせと、前記ステージ装置上で行われるＸＹ方向の位置合わせ及び回転方向の位置合わせとを含んでいてもよい。
【００１２】
さらに、本発明の第２の実施の形態は、こうした検査装置を用いてプロセス途中又はその後のウェハの欠陥を検出するデバイス製造方法をも提供する。
本発明の第３の実施の形態は、
複数の電子線源から放出された電子線を電子光学系を介して試料の面上に結像させる電子線装置であって、
前記電子線源と前記電子光学系とを分離する仕切板を備えてなり、該仕切板が前記電子線を通過させるためのアスペクト比の大きい穴を有する
ことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００１３】
前記穴は、それぞれの前記電子線源に対して２個以上設けられ得る。それぞれの前記穴は、前記電子線源の光軸から外れた位置に形成されている。前記仕切板を剛性の高い材料で形成して、前記仕切板に対して前記電子線源及び前記電子光学系を取り付けることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の第３の実施の形態は、上記電子線装置を用いて、プロセス途中のウェハの評価を行うデバイス製造方法をも提供する。
本発明の第４の実施の形態は、
静電レンズを含む静電光学系によって電子線を試料に入射させ、前記電子線の入射により前記試料から発生した二次電子線を検出してデータを形成し、前記データに基づいて前
記試料を評価する評価装置において、
前記静電光学系内の電極を仕事関数が５ｅＶ以上の金属でコーティングしたことを特徴とする評価装置、
を提供する。
【００１５】
この評価装置によれば、電極、又は、電極の一部を仕事関数が５ｅＶ以上の金属でコーティングしたので、電極から二次電子線が放出されることが少なく、電極間において放電が生じにくくなり、電極間の絶縁破壊が起きることが少なくなる。
【００１６】
前記静電光学系内の電極をコーティングする金属は、白金、又は、白金を主材料とする合金であることが好ましい。この場合、電極又は電極の一部を白金（仕事関数：５．３［ｅＶ］）又は白金を主材料とする合金でコーティングすると、電極から二次電子線が放出される量が少なく、電極間において放電が生じにくくなり、電極間の絶縁破壊が起きることが少なくなる。また、試料が半導体ウェハであっても、半導体ウェハのパターン上に、電極にコーティングされた白金が付着することがあってもトランジスタを劣化させることもないので、半導体ウェハの検査に好適である。
【００１７】
本発明の第４の実施の形態は、
静電レンズを含む静電光学系によって電子線を試料に入射させ、前記電子線の入射により前記試料から発生した二次電子線を検出してデータを形成し、前記データに基づいて前記試料を評価する評価装置において、
前記静電レンズは、電位差のある少なくとも２つの電極と前記少なくとも２つの電極の間にあって前記少なくとも２つの電極を支持する絶縁材料とを含み、
前記少なくとも２つの電極のうち少なくとも一方の電極は、前記少なくとも２つの電極間において最短の電極間距離となる第１の電極面と、前記第１の電極面よりも電極間距離が長い第２の電極面と、前記第１の電極面と前記第２の電極面との間に前記少なくとも２つの電極間方向の段差とを有し、
前記絶縁材料は、前記少なくとも２つの電極間において前記第２の電極面と他方の電極の電極面を略垂直に支持し、前記絶縁材料の前記少なくとも２つの電極間における最短沿面距離は、支持された電極部分における電極間距離と略同じ長さであることを特徴とする評価装置、
をも提供する。
【００１８】
この評価装置によれば、沿面距離の長い絶縁材料によって電極を支持することによって、電極間の放電を、したがって電極間の絶縁破壊を生じにくくできる。更に、少なくとも一方の電極の形状を、第１の電極面と第２の電極面とこれら電極面の間に段差を設けるようにすることによって、絶縁材料表面をヒダ形状等に加工することがなく、加工費用が安価になる。
【００１９】
また、絶縁材料の電極間における最短沿面距離は、支持された電極部分における電極間距離と略同じ長さであるので、電極間における絶縁材料表面にはほとんと凹凸部分が無く、絶縁材料からの放出ガスが多くなることも無い。よって、装置のビーム通路の真空度を下げることもない。
【００２０】
前記静電光学系内の電極をコーティングする金属は、白金又は白金を主材料とする合金であることが好ましい。電極又は電極の一部を白金又は白金を主材料とする合金でコーティングすることにより、電極間において放電が、したがって電極間で絶縁破壊が生じることが少なくなる。また、試料が半導体ウェハであっても、半導体ウェハの表面上に、電極にコーティングされた白金が付着することがあってもデバイス性能を劣化させることもないので、半導体ウェハの検査に好適である。
【００２１】
さらに、本発明の第４の実施の形態は、
上記の評価装置を用いたデバイス製造方法であって、デバイス製造途中において前記評価装置を用いて前記試料であるところの半導体ウェハのパターンを評価することを特徴とするデバイス製造方法、
をも提供する。
【００２２】
このデバイス製造方法によれば、デバイス製造途中において評価装置を用いることによって、試料であるところの半導体ウェハのパターンを評価しても、静電光学系内の電極が絶縁破壊することなく評価することができる。
【００２３】
本発明の第５の実施の形態は、
一次光学系によって試料に一次電子線を照射し、試料から放出された二次電子線をＥ×Ｂ分離器で一次光学系から分離して二次光学系に導く電子線装置において、
二次電子線の上記Ｅ×Ｂ分離器の磁場による偏向量を電場による偏向量の２倍とし、且つ、前記磁場による偏向方向と前記電場による偏向方向とを逆としたことを特徴する電子線装置、
を提供する。
【００２４】
この電子線装置は、一次光学系によって一次電子線を試料に照射し、試料から放出された二次電子線をＥ×Ｂ分離器で一次光学系から分離して二次光学系に導く電子線装置において、二次電子線のＥ×Ｂ分離器の磁場による偏向量を電場による偏向量の２倍且つ偏向方向を逆としたことを特徴とする。
【００２５】
本発明の第５の実施の形態は、
一次光学系によって一次電子線を試料に照射し、該試料から放出された二次電子線をＥ×Ｂ分離器により一次光学系から分離して二次光学系に導く電子線装置において、一次電子線の前記分離器の磁場による偏向量を電場による偏向量の２倍とし、且つ、前記磁場による偏向方向と前記電場による偏向方向とを逆としたことを特徴とする電子線装置、
をも提供する。
【００２６】
この電子線装置は、一次光学系によって試料に一次電子線を照射し、試料から放出された二次電子線をＥ×Ｂ分離器により一次光学系から分離して二次光学系に導く電子線装置において、Ｅ×Ｂ分離器による一次電子線の磁場による偏向量が電場による偏向量の２倍であり且つ偏向方向が逆であるようにしたことを特徴とする。
【００２７】
この場合、前記一次光学系によって複数のビームからなる一次電子線を形成して試料面を照射し、前記複数のビームからなる一次電子線の照射により前記試料から放出された二次電子線を複数の二次電子線検出器で検出することが好ましい。
【００２８】
上記の電子線装置は、欠陥検査装置、線幅測定装置、合わせ精度測定装置及び高時間分解能の電位コントラスト測定装置のいずれにも使用可能である。
また、本発明の第５の実施の形態は、上記の電子線装置を用いてプロセス途中の半導体デバイスを検査することを特徴とするデバイス製造方法をも提供する。
【００２９】
本発明の第６の実施の形態は、
電子線装置であって、
前記対物レンズの少なくとも３つの励起電圧に関して、前記第１の方向に平行なパターン・エッジを前記第２の方向に走査したときの二次電子線信号波形の立ち上がりを表す第１のデータと、前記第２の方向に平行なパターン・エッジを前記第１の方向に走査したと
きの二次電子線信号波形の立ち上がりを表す第２のデータとを測定する測定手段と、
前記第１のデータと前記第２のデータとをそれぞれ二次式で近似し、それぞれの前記二次式の最小値を示す前記対物レンズの励起条件を求める手段と、
前記対物レンズを、求められた前記励起条件の代数平均に合せる手段と、
を具備したことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００３０】
複数の上記電子線装置を、前記試料に対して配置し、前記複数の一次電子線のそれぞれを、対応の前記対物レンズにより、同時に且つ前記試料の異なる場所に集束させることも可能である。
【００３１】
更に、前記パターンが帯電している状態で、前記励起手段によって前記対物レンズを前記代数平均に等しい電圧で励起した後に非点収差を補正し、その後、前記パターンの評価を行う手段を備えることが好ましい。
【００３２】
また、本発明の第６の実施の形態は、
対物レンズを含む電子光学系により電子線を集束させ、パターンを前記電子線で走査することにより、該パターンの評価を行う電子線装置であって、
前記対物レンズは、アースに近い電圧が印加される第１の電極と、アースから遠い電圧が印加される第２の電極とを備え、
前記第１の電極に印加される電圧を変化させることによって、前記対物レンズの焦点距離を変化させることができ、
前記励起手段が、前記対物レンズの焦点距離を大きく変化させるために前記第２の電極に印加する電圧を変える手段と、前記焦点距離を短時間で変化させるために前記第１の電極に印加する電圧を変える手段とを備える
ことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００３３】
本発明の第６の実施の形態は、上記の電子線装置を用いてプロセス途中の半導体ウェハの評価を行うことを特徴とするデバイス製造方法をも提供する。
本発明の第７の実施の形態は、
電子線を物質に照射することにより、該物質の加工、製造、観測及び検査のうち少なくともいずれかを実行する電子線装置であって、
物質に対する電子線の位置を定める機械構造体と、機械構造体の振動により力を受けるように該機械構造体に取り付けられた、圧電素子と、圧電素子に電気的に接続され、該圧電素子から出力された電気エネルギーを減衰させる、振動減衰用回路とを具備する電子線装置、
を提供する。
【００３４】
電子線を物質に照射して該物質の加工、製造、観測及び検査のうち少なくともいずれかを実行するとき、機械構造体に、その固有振動の共振周波数の振動成分を含む外力が加わると、該機械構造体は、その伝達関数で定まる共振倍率でこの振動成分を増幅させて振動する。この振動は上記圧電素子に力を加える。圧電素子は、機械構造体の振動エネルギーを電気エネルギーに変換して出力するが、振動減衰用回路がこの電気エネルギーを減衰させるため、圧電素子に加わる外力を相殺するように圧電素子は力を発生することになる。これにより、機械共振により発生する振動を相殺し、共振倍率を下げることが可能となる。
【００３５】
上記機械構造体は、電子線応用装置で問題となる振動を生じる部分若しくはその全体であり、電子線を位置決めする任意の機械的構造物である。例えば、電子線を物質に結像さ
せるための光学系の光学部品、このような光学系を収容する鏡筒、物質を載置する支持台、或いは、電子線を物質に照射したことにより発生する二次的な電子線を検出器に結像させるための光学系の光学部品、このような光学系を収容する鏡筒、検出器を収容する鏡筒等である。
【００３６】
上記振動減衰用回路は、インダクタンスを持つ素子若しくは該素子の等価回路としての誘導性手段を少なくとも備え、該誘導性手段は、静電容量を持つ圧電素子と接続されて共振回路を形成する。該共振回路の共振周波数は、機械構造体の共振周波数に実質的に一致するように、圧電素子の静電容量に対する誘導性手段のインダクタンスが定められている。
【００３７】
更に、振動減衰用回路内に抵抗素子が備えられることが好ましい。この場合には、共振周波数において、圧電素子の容量性インピーダンスと誘導性手段のインピーダンスとは相殺され、共振回路のインピーダンスは、事実上、抵抗素子のみとなる。従って、共振時には、圧電素子から出力される電気エネルギーは、抵抗素子によりほぼ全部熱エネルギーとして消費される。
【００３８】
本発明の第７の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて、半導体デバイスの加工及び製造、並びに、加工中又は完成品の半導体デバイスの観測及び検査のうち、少なくともいずれかを実行する工程を備えた半導体製造方法をも提供する。
【００３９】
本発明の第８の実施の形態によれば、ウェハを静電的に吸着保持する静電チャックは、ウェハの印加電圧が０ボルトから所定電圧まで時間とともに増大又は減少されるものであり、静電チャックは、基板、電極板及び絶縁層を重ねて成り、ウェハの印加電圧に連動する電圧が静電チャックの電極板に印加されることによりウェハとチャックの間に吸引力が発生する。この電極板は、電極板の中央部分と、周辺部分の一部から成る第１電極と電極板の残りの周辺部分から成る第２電極とに分割される。最初に第１電極に電圧が印加され、次にウェハを接地又は低電位とし、その後に第２電極に電圧が印加される。
【００４０】
本発明の第８の実施の形態によれば、ウェハと該ウェハを静電的に吸着保持する静電チャックとの組合わせにおいて、静電チャックは、基板、電極板及び絶縁層を重ねて成り、ウェハは、所定の抵抗及び接触子を介して電圧を印加され、接触子は、ウェハの裏面に先端が接触する針形状又はウェハの側面に刃先が接触するナイフエッジ形状である。
【００４１】
本発明の第８の実施の形態は、静電チャック又は組合わせを用いてウェハを吸着保持するデバイス製造方法をも提供する。
本発明の第９の実施の形態は、
ＸＹステージに試料を載置し、該試料を真空中で任意の位置に移動して試料面に電子線を照射する装置において、
該ＸＹステージには、静圧軸受けによる非接触支持機構と差動排気による真空シール機構とを設け、
該試料面上の電子線が照射される箇所と、該ＸＹステージの静圧軸受け支持部との間にコンダクタンスが小さくなる仕切りを設け、
電子線照射領域と静圧軸受け支持部との間に圧力差が生じるようにしたことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００４２】
この第９の実施の形態によれば、試料を載置するＸＹステージの支持機構に静圧軸受けによる非接触支持機構を適用し、かつ静圧軸受けに使用する高圧ガスが真空チャンバ内にもれないように静圧軸受けの周囲に作動排気による真空シール機構を設けることによって
、ステージ装置が真空内で高精度な位置決め性能を発揮することができ、更に、電子線照射位置との間にコンダクタンスを小さくする仕切りを形成することによって、ステージのスライド部が高圧ガス部から真空環境へ移動する度にスライド部表面に吸着していたガスが放出されても、電子線照射位置に該放出ガスが届きにくくなっているため、電子線照射位置の圧力が上昇しにくい。すなわち、上記の構成をとることによって、試料面上の電子線照射位置の真空度を安定させ、かつステージを高精度に駆動させることができるため、試料表面を汚染することなく、試料に対する電子線による処理を高精度に行うことができる。
【００４３】
前記仕切りは差動排気構造を内蔵することができる。この場合、静圧軸受け支持部と電子線照射領域との間に仕切りを設け、その仕切りの内部に真空排気経路を配置して差動排気機能を持たせるので、静圧軸受け支持部から放出されたガスが仕切りを通過して電子線照射領域側に通過することがほとんどできない。これによって電子線照射位置の真空度を更に安定させることができる。
【００４４】
前記仕切りはコールドトラップ機能を有していてもよい。この場合、一般に１０-7Ｐａ以上の圧力領域では、真空中の残留ガス及び材料表面から放出されるガスの主要成分は水分子である。したがって、水分子を効率的に排出することができれば高い真空度を安定して維持し易い。そこで、−１００℃〜−２００℃程度に冷却したコールドトラップを上記仕切り部に設ければ、静圧軸受け側で発生した放出ガスをコールドトラップで凍結捕集することができるので、電子線照射領域側に放出ガスが通過することが困難になり、電子線照射領域の真空度を安定に保ち易くなる。このコールドトラップは、水分子だけに有効なのではなく、清浄な真空の阻害要因である油類等の有機系ガス分子の除去にも有効であることは言うまでもない。
【００４５】
更に、前記仕切りは、電子線照射位置の近傍と、静圧軸受け近傍の２カ所に設けられてよい。この場合、コンダクタンスを小さくする仕切りを、電子線照射位置の近傍と静圧軸受けの近傍の２箇所に形成することになるので、真空チャンバ内が、電子線照射室、静圧軸受け室及びその中間室の３室に小さいコンダクタンスを介して分割された形になる。そして、それぞれの室の圧力を、低い順に電子線照射室、中間室、静圧軸受け室となるように真空排気系を構成する。このようにすることによって、静圧軸受け室において放出ガスによる圧力上昇が生じても、もともと圧力を高めに設定してある室なので圧力変動率としては低く抑えることができる。したがって、中間室への圧力変動は仕切りによって更に低く抑えられ、電子線照射室への圧力変動は、もう一段の仕切りによって更に低減され、圧力変動を実質的に問題ないレベルまで低減することが可能となる。
【００４６】
前記ＸＹステージの静圧軸受けに供給されるガスは、ドライ窒素もしくは高純度の不活性ガスであることが好ましい。また、前記ＸＹステージの、少なくとも静圧軸受けに面する部品表面に放出ガスを低減するための表面処理を施すことが好ましい。上記のように、静圧軸受け部において高圧ガス雰囲気に曝されたステージのスライド部には、その表面に高圧ガスに含まれるガス分子が吸着し、スライド部が真空環境に露出されると、吸着したガス分子が表面から離脱し放出ガスとなって真空度を悪化させる。そこで、真空度の悪化を抑えるためには、吸着するガス分子の量を減らすことと、吸着したガス分子を速やかに排気することが必要である。
【００４７】
このためには、静圧軸受けに供給する高圧ガスを十分に水分を除去したドライ窒素もしくは高純度不活性ガス（例えば高純度の窒素ガス）にして、表面に吸着し易く脱離しにくいガス成分（有機物や水分等）を高圧ガスから除去することが有効である。窒素のような不活性ガスは、水分や有機物に比べて表面への吸着率が格段に低く、かつ表面からの脱離速度が格段に大きい。したがって、高圧ガスに、水分や有機物成分を極力除去した高純度
不活性ガスを用いれば、スライド部が静圧軸受け部から真空環境に移動しても、放出ガス量が少なく、かつ放出ガス量の減衰も速いため真空度の悪化を小さくすることができる。このため、ステージが移動した時の圧力上昇を低く抑えることが可能になる。
【００４８】
また、ステージの構成部品、特にその中でも高圧ガス雰囲気と真空環境を往復する部品表面に対して、ガス分子との吸着エネルギーが低くなるような表面処理を施すことも有効である。表面処理としては、母材が金属の場合は、ＴｉＣ（チタンカーバイド）、ＴｉＮ（チタンナイトライド）、ニッケルメッキ、不動態化処理、電解研磨、複合電解研磨、ガラスビーズショット等が考えられ、母材がＳｉＣセラミックの場合は、ＣＶＤによる緻密なＳｉＣ層のコーティング等が考えられる。このため、ステージが移動した時の圧力上昇を更に低く抑えることが可能である。
【００４９】
また、本発明の第９の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて、半導体ウェハ表面の欠陥を検査するウェハ欠陥検査装置を提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線の照射領域の真空度が安定した検査装置を実現することができるので、検査性能が高く、試料を汚染する恐れのない検査装置が提供される。
【００５０】
加えて、本発明の第９の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて、半導体ウェハ表面又はレチクルに半導体デバイスの回路パターンを描画する露光装置をも提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線照射領域の真空度が安定した露光装置を実現することができるので、露光精度が高く、試料を汚染する恐れのない露光装置を提供する。
【００５１】
更に、本発明の第９の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて半導体を製造する半導体製造方法をも提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線照射領域の真空度が安定した装置によって半導体を製造することになるので、微細な半導体回路を形成できる。
【００５２】
本発明の第１０の実施の形態は、
ＸＹステージ上に載置された試料に電子線を照射する装置において、
該ＸＹステージはハウジング内に収容されかつ静圧軸受けによりハウジングに対して非接触で支持されており、
該ステージが収容されたハウジングは真空排気され、
該電子線装置の該試料面上に電子線を照射する部分の周囲には、試料面上の該電子線が照射される領域を排気する差動排気機構が設けられたことを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００５３】
これにより、真空チャンバ内に漏れ出た静圧軸受け用の高圧ガスは、まず真空チャンバに接続された真空排気用配管によって排気される。そして電子線が照射される領域を排気する差動排気機構を電子線を照射する部分の周囲に設けることによって、電子線照射領域の圧力を真空チャンバ内の圧力より大幅に減少させ、電子線による試料への処理が問題なく実施できる真空度を安定して達成することができる。すなわち、大気中で一般に用いられる静圧軸受け式のステージと同様の構造を持ったステージ（差動排気機構を持たない静圧軸受け支持のステージ）を使用して、ステージ上の試料に対して電子線による処理を安定に行うことができる。
【００５４】
前記ＸＹステージの静圧軸受けに供給されるガスはドライ窒素もしくは高純度の不活性ガスであることが好ましい。このドライ窒素もしくは高純度不活性ガスは、該ステージを収納するハウジングから排気された後に加圧され、再び前記静圧軸受けに供給されることが好ましい。これにより、真空のハウジング内の残留ガス成分は高純度の不活性ガスとな
るので、試料表面やハウジングにより形成される真空チャンバ内の構造物の表面を水分や油分等で汚染する恐れがない上に、試料表面に不活性ガス分子が吸着しても、差動排気機構或いは電子線照射領域の高真空部に晒されれば速やかに試料表面から離脱するので、電子線照射領域の真空度に対する影響を最小限に抑えることが可能になり、電子線による試料への処理を安定化させることができる。
【００５５】
本発明の第１０の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて、半導体ウェハ表面の欠陥を検査するウェハ欠陥検査装置を提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線の照射領域の真空度が安定した検査装置を安価に提供することができる。
【００５６】
本発明の第１０の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて、半導体ウェハ表面又はレチクルに半導体デバイスの回路パターンを描画する露光装置を提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線照射領域の真空度が安定した露光装置を安価に提供することができる。
【００５７】
本発明の第１０の実施の形態は、上記の電子線装置を用いて半導体を製造する半導体製造方法を提供する。これにより、ステージの位置決め性能が高精度で、かつ電子線照射領域の真空度が安定した装置によって半導体を製造することになるので、微細な半導体回路を形成できる。
【００５８】
本発明の第１１の実施の形態は、
一次電子線を発生し、集束して試料上に走査させて照射させ、前記試料の電子線照射部分から放出された二次電子線を検出器で検出する光学系を複数個備えた電子線装置において、前記試料にリターディング電圧を印加するためのリターディング電圧印加装置と、前記試料に依存して最適なリターディング電圧を前記試料に印加する機能と、を備え、前記光学系は、一体の絶縁物を加工し、表面に金属コーティングして軸対称レンズとした少なくとも一つの軸対称レンズを備えて構成されていることを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００５９】
また、本発明の第１１の実施の形態は、
一次電子線を発生し、集束して試料上に走査させて照射する一次光学系を有し、前記試料の電子線照射部分から放出された二次電子線を加速し、Ｅ×Ｂ分離器で前記一次光学系から分離して検出器で検出する電子線装置において、前記試料にリターディング電圧を印加するためのリターディング電圧印加装置と、前記試料のチャージアップ状態を調査するチャージアップ調査機能と、前記チャージアップ調査機能からのチャージアップ状態に関する情報に基づいて最適なリターディング電圧を決定し、それを前記試料に印加する機能又は最適な電子線電流に変更する機能と、を備えて構成されていることを特徴とする電子線装置、
を提供する。
【００６０】
本発明の第１１の実施の形態は、
電子線を試料に照射する光学系と、チャージアップ調査機能とを有し、前記チャージアップ調査機能は、前記試料に一次電子線が照射されて発生した二次電子線を検出して画像を形成したとき、前記試料の特定部分のパターン歪み或いはパターンボケを評価し、その結果パターン歪み或いはパターンボケが大きい場合をチャージアップが大きいと評価するように構成されていることを特徴とする電子線装置、
をも提供する。
【００６１】
前記チャージアップ調査機能は、試料に値が可変のリターディング電圧を印加可能であ
り、少なくとも二つのリターディング電圧を印加した状態で、試料のパターン密度が大きく変化している境界付近の画像形成を行い、上記画像をオペレータがパターン歪み或いはパターンボケを評価可能なように表示する装置を有していてもよい。
【００６２】
また、本発明の第１１の実施の形態は、上記の電子線装置を用いてプロセス途中のウェハの欠陥を検出することを特徴とするデバイス製造方法を提供する。
本発明の第１２の実施の形態は、
試料の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、試料上で部分的に重なり合いながら互いから変位された複数の被検査領域の画像を各々取得する画像取得手段と、  基準画像を記憶する記憶手段と、
画像取得手段により取得された複数の被検査領域の画像と、記憶手段に記憶された基準画像とを比較することによって試料の欠陥を判断する欠陥判断手段と、を具備することを特徴とする欠陥検査装置、
を提供する。ここで、検査対象となる試料は、欠陥を検出することができる任意のものが選択可能であるが、本発明は、半導体ウェハを対象とするとき、優れた効果を奏することができる。
【００６３】
この実施の形態においては、前記画像取得手段は、試料上で部分的に重なり合いながら互いから変位された複数の被検査領域の画像を各々取得し、前記欠陥判断手段歯、取得された複数の被検査領域の画像と、予め記憶された基準画像とを比較することによって試料の欠陥を判断するよう動作する。
【００６４】
このように、本発明の第１２の実施の形態は、位置の異なる被検査領域の画像を複数取得できるようにしたので、基準画像と位置ずれの少ない被検査画像を後工程で選択的に利用することができ、位置ずれによる欠陥検出精度の低下を抑えることができる。その上、試料及び画像取得手段が、通常では検査パターンの一部が被検査画像領域から欠落するような位置関係にあったとしても、互いに位置をずらされた複数の被検査領域の画像が網羅するいずれかの領域には、全検査パターンが入る可能性はきわめて高いので、このようなパターンの一部欠落による欠陥検出の誤りを防止することができる。
【００６５】
前記比較手段は、例えば、取得された複数の被検査領域の各画像と基準画像との間でいわゆるマッチング演算を行い、複数の被検査領域のうち少なくとも１つの画像が基準画像と実質的に差が無かった場合、当該試料に欠陥無しと判断するよう動作する。逆に、全ての被検査領域の画像が基準画像と実質的な差があった場合、当該試料に欠陥有りと判断することで高精度に欠陥検出を行う。
【００６６】
本発明の第１２の実施の形態においては、一次電子線を複数の被検査領域に各々照射し、当該試料から二次電子線を放出させる電子照射手段を更に設け、画像取得手段によって、複数の被検査領域から放出された二次電子線を検出することにより、該複数の被検査領域の画像を順次取得するようにすることができる。
【００６７】
更に、上記電子照射手段は、一次電子を放出する粒子線源と、一次電子を偏向させる偏向手段とを備え、粒子線源から放出された一次電子線を偏向手段で偏向させることによって、該一次電子線を複数の被検査領域に順次照射することが好ましい。この場合においては、偏向手段により入力画像の位置を容易に変更できるので、高速に位置の異なる被検査画像を複数取得することができる。
【００６８】
本発明の第１２の実施の形態は、上記した各態様の欠陥検査装置を用いて、加工中又は完成品のウェハの欠陥を検査する工程を含む半導体デバイス製造方法をも提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６９】
以下、本発明に係る荷電粒子線装置の各種の実施の形態を、電子線を用いる装置を例に取って説明する。いずれの実施の形態も、シートビーム式検査装置に用いるのに適している。
【００７０】
装置の全体構造に関する実施の形態（第１の実施の形態）
本発明に係る荷電粒子線装置の第１の実施の形態は、電子線を用いた写像投影方式に関するもので、まず、写像投影方式について説明をする。
【００７１】
写像投影方式では、試料の観察領域を一次電子線で一括して照射し、すなわち、走査は行わずに一定の面積を照射し、照射された領域からの二次電子線をレンズ系により一括して検出器（マイクロチャンネルプレートと蛍光板との組み合わせ）上に二次電子線の画像として結像させる。この画像を二次元ＣＣＤ（固体撮像素子）又はＴＤＩ−ＣＣＤ（ラインイメージセンサ）により電気信号に変換し、ＣＲＴ上に出力し又は記憶装置に蓄積する。この画像情報から試料ウェハ（工程途中の半導体（Ｓｉ）ウェハ）の欠陥を検出する。ＣＣＤの場合、ステージの移動方向は短軸方向または長軸方向であり、移動はステップアンドリピート方式である。ＴＤＩ−ＣＣＤの場合、ステージは積算方向に連続的に移動される。ＴＤＩ−ＣＣＤでは画像を連続的に取得できるので、欠陥検査を連続で行う場合はＴＤＩ−ＣＣＤを使用する。分解能は結像光学系（二次光学系）の倍率と精度等で決まり、例えば０．０５μｍの分解能が得られている。この場合、分解能が０．１μｍであり、電子線照射条件が２００μｍ×５０μｍの領域に１．６μＡのとき、検査時間は２０ｃｍのウェハ１枚当たり１時間程度であり、ＳＥＭ方式に比べて８倍も速い。ここで使われているＴＤＩ−ＣＣＤの仕様は２０４８画素（ピクセル）×５１２段であり、ラインレートは３．３μ秒（ライン周波数３００ｋＨｚ）である。この例の照射面積はＴＤＩ−ＣＣＤの仕様に合わせているが、照射対象物によって照射面積を変更することもある。
【００７２】
ここで、図１を用いて写像投影方式の主な機能の関係とその全体像について説明する。図１において、検査装置は一次コラム２００１、二次コラム２００２およびチャンバー２００３を有している。一次コラム２００１の内部には、電子銃２００４が設けられており、電子銃２００４から照射される電子線（一次電子線）の光軸上に一次光学系２００５が配置される。また、チャンバー２００３の内部には、ステージ２００６が設置され、ステージ２００６上には試料２００７が載置される。
【００７３】
一方、二次コラム２００２の内部には、試料２００７から発生する二次電子線の光軸上に、カソードレンズ２００８、開口アパーチャ（ＮＡ、Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  Ａｐｅｒｔｕｒｅ）２００９、ウィーンフィルタ（Ｅ×Ｂフィルタ）２０１０、第２レンズ２０１１、フィールドアパーチャ２０１２、第３レンズ２０１３、第４レンズ２０１４および検出器２０１５が配置される。なお、開口アパーチャ２００９は開口絞りに相当するもので、円形の穴が開いた金属製（Ｍｏ等）の薄板であり、その開口部が一次電子線の集束位置およびカソードレンズ２００８の焦点位置になるように配置されている。したがって、カソードレンズ２００８と開口アパーチャ２００９とは、テレセントリックな電子光学系を構成している。
【００７４】
検出器２０１５の出力は、コントロールユニット２０１６に入力され、コントロールユニット２０１６の出力はＣＰＵ２０１７に入力される。ＣＰＵ２０１７の制御信号は、一次コラム制御ユニット２０１８、二次コラム制御ユニット２０１９およびステージ駆動機構２０２０に入力される。一次コラム制御ユニット２０１８は、一次光学系２００５のレンズ電圧制御を行い、二次コラム制御ユニット２０１９は、カソードレンズ２００８、第２レンズ２０１１〜第４レンズ２０１４のレンズ電圧制御およびウィーンフィルタ２０１０に印加する電磁界制御を行う。
【００７５】
ステージ駆動機構２０２０は、ステージの位置情報をＣＰＵ２０１７に伝達する。また、一次コラム２００１、二次コラム２００２およびチャンバー２００３は、真空排気系（不図示）と繋がっており、真空排気系のターボポンプにより排気されて、内部は真空状態を維持している。
【００７６】
電子銃２００４から発せられた一次電子線は、一次光学系２００５によってレンズ作用を受けながら、ウィーンフィルタ２０１０に入射する。電子銃のチップとしては、矩形陰極で大電流を取り出すことができるＬａＢ６を用いることが好ましい。
【００７７】
一次光学系２００５は、回転軸非対称の四重極または八重極の静電（または電磁）レンズを使用する。これは、いわゆるシリンドリカルズレンズと同様にＸ軸、Ｙ軸各々で集束と発散とを引き起こすことができる。このレンズを２段、３段で構成し、各レンズ条件を最適化することによって、照射電子線を損失することなく、試料面上の電子線照射領域を、任意の矩形状、または楕円形状に整形することができる。具体的には、静電レンズを用いる場合には４つの円柱ロッドが使用され、対向する電極同士（ａとｂ、ｃとｄ）を等電位にし、且つ互いに逆の電圧特性が与えられる。なお、四重極レンズとして円柱形ではなく、静電偏向器で通常使用される円形板を４分割した形状のレンズを用いてもよい。この場合、レンズの小型化を図ることができる。
【００７８】
一次光学系２００５を通過した一次電子線は、ウィーンフィルタ２０１０の偏向作用により軌道が曲げられる。ウィーンフィルタ２０１０は、後述するように、磁界と電界を互いに直交するよう発生することができる。いま、電界をＥ、磁界をＢ、電子の速度をｖとすると、Ｅ＝ｖＢのウィーン条件を満たす電子のみを直進させ、それ以外の電子の軌道を曲げる。一次電子線に対しては、磁界による力ＦＢと電界による力ＦＥとが発生してビーム軌道を曲げる。一方、二次電子線に対しては、上記の力ＦＢおよびＦＥが逆方向に働くため、互いに相殺され、二次電子線はそのまま直進する。
【００７９】
一次光学系２００５のレンズ電圧は、一次電子線が開口アパーチャ２００９の開口部で結像するように、予め設定されている。この開口アパーチャ２００９は、装置内に散乱する余計な電子線が試料面に到達することを阻止し、試料２００７のチャージアップや汚染を防ぐよう作用する。さらに、開口アパーチャ２００９とカソードレンズ２００８とはテレセントリックな電子光学系を構成しているので、カソードレンズ２００８を透過した一次電子線は平行ビームになり、試料２００７を均一且つ一様に照射する。すなわち、光学顕微鏡でいうケーラー照明が実現される。
【００８０】
一次電子線が試料２００７に照射されると、試料２００７のビーム照射面からは、二次電子線として、二次電子、反射電子または後方散乱電子が発生する。二次電子線は、カソードレンズ２００８によるレンズ作用を受けながら、該レンズを透過する。カソードレンズ２００８は３枚の電極で構成されている。一番下の電極は、試料２００７側の電位との間で正の電界を形成し、電子（特に、指向性が小さい二次電子）を引き込み、効率よくレンズ内に導くように設計されている。
レンズ作用は、カソードレンズ２００８の１番目、２番目の電極に電圧を印加し、３番目の電極をゼロ電位にすることで行われる。
【００８１】
一方、開口アパーチャ２００９は、カソードレンズ２００８の焦点位置、すなわち試料２００７からのバックフォーカス位置に配置されている。したがって、視野中心外（軸外）から出た電子線の光束も平行ビームとなり、この開口アパーチャ２００９の中心位置を、けられが生じることなく通過する。なお、開口アパーチヤ２００９は、二次電子線に対しては、第２レンズ２０１１〜第４レンズ２０１４のレンズ収差を抑える役割を果たして
いる。
【００８２】
開口アパーチャ２００９を通過した二次電子線は、ウィーンフィルタ２０１０の偏向作用を受けることなく、そのまま直進する。ウィーンフィルタ２０１０に印加する電磁界を変えることで、二次電子線から、特定のエネルギーを持つ電子（例えば二次電子、反射電子又は後方散乱電子）のみを検出器２０１５に導くことができる。
【００８３】
二次電子線をカソードレンズ２００８のみで結像させると、レンズ作用が強くなり収差が発生しやすい。そこで、第２レンズ２０１１と合わせて、１回の結像を行わせる。二次電子線は、カソードレンズ２００８および第２レンズ２０１１により、フィールドアパーチャ２０１２上で中間結像を得る。この場合、通常、二次光学系として必要な拡大倍率が不足することが多いため、中間像を拡大するためのレンズとして、第３レンズ２０１３、第４レンズ２０１４を加えた構成にする。二次電子線は、第３レンズ２０１３、第４レンズ２０１４により拡大されて結像し、ここでは、合計３回結像する。なお、第３レンズ２０１３と第４レンズ２０１４とを合わせて１回（合計２回）結像させてもよい。
【００８４】
第２レンズ２０１１、第３レンズ２０１３および第４レンズ２０１４はすべて、ユニポテンシャルレンズまたはアインツェルレンズとよばれる回転軸対称型のレンズである。各レンズは３枚電極の構成で、通常は外側の２枚の電極をゼロ電位とし、中央の電極に印加する電圧でレンズ作用を行わせて制御する。また、中間の結像点には、フィールドアパーチャ２０１２が配置されている。フィールドアパーチャ２０１２は光学顕微鏡の視野絞りと同様に、視野を必要範囲に制限しているが、電子線の場合、余計なビームを後段の第３レンズ２０１３および第４レンズ２０１４と共に遮断して、検出器２０１５のチャージアップや汚染を防いでいる。なお、拡大倍率は、この第３レンズ２０１３および第４レンズ２０１４のレンズ条件（焦点距離）を変えることで設定される。
【００８５】
二次電子線は二次光学系により拡大投影され、検出器２０１５の検出面に結像する。検出器２０１５は、電子を増幅するマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）と、電子を光に変換する蛍光板と、真空系と外部との中継および光学像を伝達させるためのレンズやその他の光学素子と、撮像素子（ＣＣＤ等）とから構成される。二次電子線はＭＣＰ検出面に結像し、増幅され、蛍光板によって光信号に変換され、撮像素子によって光電変換されて電気信号になる。
【００８６】
コントロールユニット２０１６は、検出器２０１５から試料の画像信号を読み出し、ＣＰＵ２０１７に伝達する。ＣＰＵ２０１７は、画像信号からテンプレートマッチング等によってパターンの欠陥検査を実施する。ステージ２００６は、ステージ駆動機構２０２０により、ＸＹ方向に移動可能となっている。ＣＰＵ２０１７は、ステージ２００６の位置を読み取り、ステージ駆動機構２０２０に駆動制御信号を出力し、ステージ２００６を駆動させ、順次に画像の検出、検査を行う。
【００８７】
このように、この第１の実施形態における検査装置では、開口アパーチヤ２００９とカソードレンズ２００８とがテレセントリックな電子光学系を構成しているので、一次電子線を試料に均一に照射させることができる。すなわち、ケーラー照明を容易に実現することができる。さらに、二次電子線に対しては、試料２００７からの全ての主光線がカソードレンズ２００８に垂直に（レンズ光軸に平行に）入射し、開口アパーチャ２００９を通過するので、周辺光がけられることがなく、試料周辺部の画像輝度が低下することがない。また、電子が有するエネルギーのばらつきによって結像位置が異なる、いわゆる倍率色収差が起こる（特に、二次電子線はエネルギーのばらつきが大きいため、倍率色収差が大きい）が、カソードレンズ２００８の焦点位置に開口アパーチャ２００９を配置したので、この倍率色収差を抑えることができる。
【００８８】
拡大倍率の変更は、開口アパーチャ２００９の通過後に行われるので、第３レンズ２０１３、第４レンズ２０１４のレンズ条件の設定倍率を変えても、検出側での視野全面に均一な像が得られる。
【００８９】
なお、この実施の形態においては、むらのない均一な像を取得することができるが、通常、拡大倍率を高倍にすると、像の明るさが低下するという問題が生じる。これを改善するためには、二次光学系のレンズ条件を変えて拡大倍率を変更する際、それに伴って決まる試料面上の有効視野と試料面上に照射される電子線とが同一の大きさになるように、一次光学系のレンズ条件を設定するのがよい。すなわち、倍率を上げていけば、それに伴って視野が狭くなるが、それと同時に電子線の照射エネルギー密度を上げていくことで、二次光学系で拡大投影されても、検出電子の信号密度は常に一定に保たれ、像の明るさは低下しない。
【００９０】
また、この第１の実施の形態の検査装置では、一次電子線の軌道を曲げ且つ二次電子線を直進させるためにウィーンフィルタ２０１０を用いたが、それに限定されるものではなく、一次電子線を直進させ且つ二次電子線の軌道を曲げるウィーンフィルタを用いてもよい。さらに、この実施の形態では、矩形陰極と四極子レンズとから矩形ビームを形成したが、それに限定されず、例えば円形ビームから矩形ビームや楕円形ビームを作り出してもよいし、円形ビームをスリットに通して矩形ビームを取り出してもよい。また、複数のビームを走査して全体に電子線が照射領域を均一に照射するようにしてもよい。このときの走査は複数ビームがそれぞれの決められた領域を任意に（但し照射量が均一になるように）すればよい。
【００９１】
ここで、電子線源としての電子銃について説明すると、この実施の形態においては、電子線源として熱電子線源を使用することができる。電子放出部（エミッタ）の材料はＬａＢ６である。しかし、高融点（高温での蒸気圧が低い）で仕事関数の小さい材料であれば、他の材料を使用することが可能である。先端を円錐形状にしたもの又は円錐の先端を切り落とした円錐台形状のものが好ましい。円錐台先端の直径は１００μｍ程度である。他の方式としては電界放出型の電子線源あるいは熱電界放出型のものが使用可能であるが、この実施の形態のように比較的広い領域（例えば１００×２５〜４００×１００μｍ２）を大きな電流（１μＡ程度）で照射する場合には、ＬａＢ６を用いた熱電子源が最適である。（ＳＥＭ方式では一般に熱電界電子線源が使用されている）。
【００９２】
なお、熱電子線源は電子放出材を加熱することにより電子を放出する方式であり、熱電界放出電子線源とは、電子放出材に高電界をかけることにより電子を放出させ、更に電子線放出部を加熱することにより、電子放出を安定させた方式を意味する。
【００９３】
図１を参照して説明したところから理解されるように、写像投影方式の主な構成要素の機能は次のとおりである。まず、一次電子光学系であるが、電子銃より発せられる電子線をビーム状に形成し、ウェハ面を矩形または円形（楕円形）の電子線で照射させる部分を「一次電子光学系」と呼ぶ。一次電子光学系のレンズ条件を制御する事により、電子ビームのサイズや電流密度を制御できる。また、一次／二次電子光学系連結部に位置するウィーンフィルタにより、一次電子線はウェハに垂直に入射される。
【００９４】
こうした電子銃のＬａＢ６カソードから放出された熱電子は、ウェーネルト、トリプルアノードレンズでガン絞り上にクロスオーバー像として結像される。照明視野絞りでレンズへの入射角を適正化した電子線を、一次系静電レンズを制御することによって回転非対称の形で開口アパーチャ絞り上に結像させ、その後、ウェハ面上に面照射する。一次系静電レンズの後段は３段４極子（ＱＬ）と、１段の開口収差補正用電極で構成される。４極
子レンズはアライメント精度が厳しいといった制約はあるが、回転対称レンズに比べ、強い収束作用を持つ特徴があり、回転対称レンズの球面収差に相当する開口収差を開口収差補正電極に適切な電圧を印加することで補正を行うことができる。これにより、所定の領域に均一な面ビームを照射することができる。
【００９５】
次に、二次電子光学系であるが、一次電子線の照射によりウェハから発生される二次電子線を処理して得た二次元の二次電子画像を、対物レンズに相当する静電レンズ（ＣＬ、ＴＬ）により視野絞り位置で結像させ、後段のレンズ（ＰＬ）で拡大投影する、この結像投影光学系を「二次電子光学系」と呼ぶ。このとき、ウェハにはマイナスのバイアス電圧（減速電界電圧）が印加されている。減速電界は照射ビームに対して減速の効果を持ち、ウェハ（試料）のダメージを低減させるとともに、ＣＬとウェハ間の電位差で試料面上から発生した二次電子線を加速し、色収差を低減させる効果を持つ。ＣＬによって収束した電子はＴＬでＦＡ上に結像され、その像をＰＬで拡大投影して二次電子線検出器（ＭＣＰ）上に結像させる。二次電子光学系では、ＣＬ−ＴＬ間にＮＡを配置し、これを最適化することで、軸外収差低減が可能な光学系を構成している。
【００９６】
また、電子光学系の製造上の誤差や、ウィーンフィルタを通過することによって発生する像の非点収差や異方性倍率を補正するため、静電８極子（ＳＴＩＧ）を配置して補正を行い、軸ズレに対しては各レンズ間に配置した偏向器（ＯＰ）で補正を行うことが好ましい。これにより、視野内における均一な分解能での写像光学系が達成できる。
【００９７】
ウィーンフィルタ２０１０は、電極と磁極を直交方向に配置し、電界と磁界を直交関係で生成する電磁プリズム光学系のユニットである。電磁界を選択的に与えると、一方向からその場に入射する電子線は偏向され、その反対方向から入射する電子線は直進させる。これは、電子が電界から受ける力と磁界から受ける力とが相殺される条件（ウィーン条件）を作ることが可能だからであり、これにより一次電子線は偏向されてウェハ上に垂直に照射され、二次電子線は検出器に向けて直進することになる。
【００９８】
電子線偏向部としてのウィーンフィルタ２０１０の詳細な構造について、図２の（ａ）および（ｂ）を用いて説明する。これらの図に示すように、電子線偏向部が生成する場は、上記の写像投影光学部の光軸に垂直な平面内において、電界と磁界とを直交させた構造、すなわちＥ×Ｂ構造となる。
【００９９】
ここで、電界は凹面状の曲面を持つ電極２０３０ａ、２０３０ｂにより発生される。電極２０３０ａ、２０３０ｂによって発生される電界は、それぞれ制御部２０３１ａ、２０３１ｂにより制御される。電界発生用の電極２０３０ａ、２０３０ｂと直交するように、電磁コイル２０３２ａ、２０３２ｂを配置することにより、磁界を発生させる。この場合、磁界の均一性を向上させるために、平行平板形状を有するポールピースを持たせて磁路を形成している。なお、電界発生用の電極２０３０ａ、２０３０ｂは点２０３４に関して対称であればよいが、同心円上にあるのでもよい。
【０１００】
図２の（ｂ）は、図２の（ａ）における点２０３４を通って電極２０３０ａ、２０３０ｂに垂直な面における縦断面図であり、これを用いて電子線の挙動を説明する。照射された電子線２０３５ａ、２０３５ｂは、電極２０３０ａ、２０３０ｂが発生する電界と、電磁コイル２０３１ａ、２０３１ｂが発生する磁界とによって偏向された後、試料面上に対して垂直方向に入射する。ここで、照射電子線２０３５ａ、２０３５ｂのウィーンフィルタ２０１０への入射位置及び角度は、電子のエネルギーが決定されると一義的に決定される。さらに、二次電子線２０３６ａ、２０３６ｂが直進するように、電界及び磁界の条件、即ちｖＢ＝Ｅとなるように電極２０３０ａ、２０３０ｂが発生する電界と電磁コイル２０３１ａ、２０３１ｂが発生する磁界とをそれぞれの制御部２０３１ａ、２０３１ｂ、２
０３３ａ、２０３３ｂで制御することにより、二次電子線はウィーンフィルタ２０１０を直進して、上記写像投影光学部に入射する。ここで、ｖは電子の速度（ｍ／ｓ）、Ｂは磁場（Ｔ）、ｅは電荷量（Ｃ）、Ｅは電界（Ｖ／ｍ）である。
【０１０１】
最後に、検出器について説明する。二次光学系で結像される、ウェハからの二次電子線の画像は、まずマイクロチャンネルプレート（ＭＣＰ）で増幅されたのち、蛍光スクリーンにあたって光の像に変換される。ＭＣＰは、直径６〜２５μｍ、長さ０．２４〜１．０mmという非常に細い導電性のガラスキャピラリを数百万本束ねて薄い板状に整形したもので、所定の電圧印加を行うことで、一本一本のキャピラリがそれぞれ独立した二次電子増幅器として働き、全体として二次電子増幅器を形成する。この検出器により光に変換された画像は、真空透過窓を介して大気中に置かれたＦＯＰ系でＴＤＩ−ＣＣＤ上に１対１で投影される。
【０１０２】
以上説明したところから理解されるとおり、第１の実施の形態である検査装置は、電子線を用いた検査装置のスループットを上げることができる。
図３は、本発明の第１の実施の形態を用いた、半導体デバイスの製造方法の一例を示しており、以下の主工程を含んでいる。
（１）ウェハを製造するウェハ製造工程（又はウェハを準備するウェハ準備工程）
（２）露光に使用するマスクを製造するマスク製造工程（又はマスクを準備するマスク準備工程）
（３）ウェハに必要な加工処理を行うウェハプロセッシング工程
（４）ウェハ上に形成されたチップを１個ずつ切り出し、動作可能にならしめるチップ組立工程
（５）できたチップを検査するチップ検査工程。
【０１０３】
上記のそれぞれの主工程は更に幾つかのサブ工程からなる。これらの主工程中の中で、半導体デバイスの性能に決定的な影響を及ぼすのが（３）のウェハプロセッシング工程である。この工程では、設計された回路パターンをウェハ上に順次積層し、メモリやＭＰＵとして動作するチップを多数形成する。このウェハプロセッシング工程は以下の工程を含む。
（Ａ）絶縁層となる誘電体薄膜や配線部、或いは電極部を形成する金属薄膜等を形成する薄膜形成工程（ＣＶＤやスパッタリング等を用いる）
（Ｂ）この薄膜層やウェハ基板を酸化する酸化工程
（Ｃ）薄膜層やウェハ基板等を選択的に加工するためにマスク（レチクル）を用いてレジストパターンを形成するリソグラフィー工程
（Ｄ）レジストパターンに従って薄膜層や基板を加工するエッチング工程（例えばドライエッチング技術を用いる）
（Ｅ）イオン・不純物注入拡散工程
（Ｆ）レジスト剥離工程
（Ｇ）加工されたウェハを検査する検査工程。
なお、ウェハプロセッシング工程は必要な層数だけ繰り返し行い、設計通り動作する半導体デバイスを製造する。
【０１０４】
図４の（ａ）は、図３のウェハ・プロセッシング工程の中核をなすリソグラフィー工程（Ｃ）を示すフローチャートである。このリソグラフィー工程は以下の工程を含む。
（ａ）前段の工程で回路パターンが形成されたウェハ上にレジストをコートするレジスト塗布工程
（ｂ）レジストを露光する工程
（ｃ）露光されたレジストを現像してレジストパターンを得る現像工程
（ｄ）現像されたレジストパターンを安定化するためのアニール工程。
【０１０５】
上記（Ｇ）の検査工程に対して本発明の欠陥検査装置を用いると、微細なパターンを有する半導体デバイスでも、スループット良く検査できるので、全数検査も可能となり、製品の歩留まりの向上、欠陥製品の出荷防止が可能となる。これについて、図４の（ｂ）を用いて説明する。
【０１０６】
一般に、電子線を用いた欠陥検査装置は高価であり、またスループットも他のプロセス装置に比べて低いために、こうした欠陥検査装置は、現状では、最も検査が必要と考えられている重要な工程（例えばエッチング、成膜又はＣＭＰ（化学機械研磨）平坦化処理等）の後に使用されている。そこで、検査されるウェハは大気搬送系及び真空搬送系を通して、超精密Ｘ−Ｙステージ上に位置合わせされた後、静電チャック機構等により固定され、以後、図４の（ｂ）に示す手順に従って欠陥検査等が行われる。
【０１０７】
図４の（ｂ）において、はじめに、光学顕微鏡により、必要に応じて各ダイの位置確認や、各場所の高さ検出が行われ記憶される。光学顕微鏡はこの他に欠陥等の見たい所の光学顕微鏡像を取得し、電子線像との比較等にも使用される。次にウェハの種類（どの工程後か、ウェハのサイズは２０ｃｍか３０ｃｍか等）に応じたレシピの情報を装置に入力し、以下検査場所の指定、電子光学系の設定、検査条件の設定等を行なった後、画像取得を行ないながら、通常はリアルタイムで欠陥検査を行なう。セル同士の比較、ダイ比較等により、アルゴリズムを備えた高速の情報処理システムが検査を行い、必要に応じてＣＲＴ等への結果の出力やメモリへの記憶を行なう。
【０１０８】
欠陥にはパーティクル欠陥、形状異常（パターン欠陥）、及び電気的（配線又はビア等の断線及び導通不良等）欠陥等が有り、これらを区別したり欠陥の大きさや、キラー欠陥（チップの使用が不可能になる重大な欠陥等）の分類を自動的にリアルタイムで行うことも出来る。
【０１０９】
電気的欠陥の検出は電位コントラスト異状を検出することで達成される。例えば、導通不良の場所は電子線照射（５００ｅＶ程度）により通常は正に帯電し、コントラストが低下するので、正常な場所と区別することができる。この場合の電子線照射手段とは、通常検査用の電子線照射手段以外に、電位差によるコントラストを際立たせるために別途設けた低電位（エネルギー）の電子線発生手段（熱電子発生、ＵＶ／光電子）をいう。検査対象領域に検査用の電子線を照射する前に、この低電位（エネルギー）の電子線を発生させ照射する。検査用の電子線を照射することにより試料を正に帯電させることができる写像投影方式の場合は、仕様によっては、低電位の電子線発生手段を別途設ける必要はない。また、ウェハ等の試料に基準電位に対して正又は負の電位を加えること等によって（素子の順方向又は逆方向により流れ易さが異なるために）生じるコントラストの違いからも、欠陥を検出することが可能である。こうした欠陥検査装置は線幅測定装置及び合わせ精度測定にも利用することができる。
【０１１０】
なお、検査試料の電気的欠陥を検査する方法としては、本来電気的に絶縁されている部分の電圧が、その部分が通電状態にある場合の電圧とは異なることを利用することもできる。それは、まず、検査試料に事前に電荷を補揺することで、本来電気的に絶縁されている部分の電圧と、本来電気的絶縁されている部分ではあるが何らかの原因で通電状態にある部分の電圧との間に電圧差を生じさせ、その後に、本発明に係る荷電粒子線装置から荷電粒子ビームを照射することにより、電圧差があるデータを取得し、この取得したデータを解析して、通電状態になっていることを検出する。
【０１１１】
検査装置に関する実施の形態（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態は、電子線を用いて検査対象の表面に形成されたパターンの
欠陥等を検査するのに適した電子線装置に関し、例えば、半導体製造工程におけるウェハの欠陥を検出する場合のように、電子線を検査対象に照射してその表面の性状に応じて変化する二次電子線を捕捉して画像データを形成し、その画像データに基づいて検査対象の表面に形成されたパターン等を高いスループットで検査する検査装置に好適な電子線装置、並びにそのような電子線装置を用いて歩留まり良くデバイスを製造するデバイス製造方法に関する。
【０１１２】
電子線を用いてウェハなどの欠陥を検査する装置としては、既に市販されている走査電子線顕微鏡（ＳＥＭ）を用いた装置が知られている。この装置は細く絞った電子線を非常に間隔の小さいラスタ幅でラスタ走査を行い、走査に伴って検査対象から放出される二次電子線を二次電子線検出器で検出してＳＥＭ画像を形成し、そのＳＥＭ画像を異なるダイの同じ場所同志を比較して欠陥を抽出するものである。
【０１１３】
しかし、従来においては電子線を使用した欠陥検査装置の全体的なシステムとして完成させた装置は未だ存在しなかった。
ところで、ＳＥＭを応用した欠陥検査装置では、ビーム寸法が小さく、当然画素寸法が小さく、ラスタ幅も小さいため、欠陥検査に多くの時間を必要としていた。また、高スループットにするため、ビーム電流を大きくすると絶縁物が表面にあるウェハでは帯電して良好なＳＥＭ像が得られない問題があった。
【０１１４】
また、電子線を照射して検査する電子光学装置と、検査対象をその電子光学装置の照射位置までクリーンな状態で供給し、アライメントする他のサブシステムとの間の関連性を考慮した検査装置全体の構造については今までほとんど明らかにされていなかった。更に、検査対象となるウェハの大径化が進められ、サブシステムもそれに対応可能にする要請もでてきた。
【０１１５】
本発明の第２の実施の形態は上記の問題点に鑑みて提案されたものであって、
電子線を用いた電子光学系を使用すると共に、その電子光学系と、装置を構成するその他の構成機器との調和を図ってスループットを向上した電子線装置、
検査対象を蓄えるカセットと電子光学系に関して検査対象を位置決めするステージ装置との間で検査対象を搬送するローダー及びそれと関連する装置を改善して検査対象を効率的にかつ精度良く検査することを可能とする電子線装置、
ＳＥＭで問題のあった帯電の問題を解決して検査対象を精度良く検査可能な電子線装置、
上記の電子線装置を用いてウェハ等の検査対象の検査を行うことにより歩留まりの良いデバイス製造方法、
を提供する。
【０１１６】
以下、図面を参照して、本発明に係る荷電粒子線装置の第２の実施の形態である、検査対象として表面にパターンが形成された基板すなわちウェハを検査する半導体検査装置の全体構造、動作および該半導体検査装置を用いたデバイス製造方法を説明する。
【０１１７】
図５および図６（ａ）において、半導体検査装置１は、複数枚のウェハを収納したカセットを保持するカセットホルダ１０と、ミニエンバイロメント装置２０と、ワーキングチャンバを画成する主ハウジング３０と、ミニエンバイロメント装置２０と主ハウジング３０との間に配置されていて、二つのローディングチャンバを画成するローダハウジング４０と、ウェハをカセットホルダ１０から主ハウジング３０内に配置されたステージ装置５０上に装填するローダー６０と、真空ハウジングに取り付けられた電子光学装置７０とを備え、それらは図５及び図６（ａ）に示されるような位置関係で配置されている。半導体検査装置１は、更に、真空の主ハウジング３０内に配置されたプレチャージユニット８１
と、ウェハに電位を印加する電位印加機構８３（図１２に図示）と、電子線キャリブレーション機構８５（図１３に図示）と、ステージ装置上でのウェハの位置決めを行うためのアライメント制御装置８７を構成する光学顕微鏡８７１とを備えている。
【０１１８】
カセットホルダ１０は、複数枚（例えば２５枚）のウェハが上下方向に平行に並べられた状態で収納されたカセットｃ（例えば、アシスト社製のＳＭＩＦ、ＦＯＵＰのようなクローズドカセット）を複数個（この実施の形態では２個）保持するようになっている。このカセットホルダとしては、カセットをロボット等により搬送してきて自動的にカセットホルダ１０に装填する場合にはそれに適した構造のものを、また人手により装填する場合にはそれに適したオープンカセット構造のものをそれぞれ任意に選択して設置できるようになっている。カセットホルダ１０は、この実施の形態では、自動的にカセットｃが装填される形式であり、例えば昇降テーブル１１と、その昇降テール１１を上下移動させる昇降機構１２とを備え、カセットｃは昇降テーブル上に図６（ａ）で鎖線図示の状態で自動的にセット可能になっていて、セット後、図６（ａ）で実線図示の状態に自動的に回転されてミニエンバイロメント装置内の第１の搬送ユニットの回動軸線に向けられる。また、昇降テーブル１１は図５で鎖線図示の状態に降下される。このように、自動的に装填する場合に使用するカセットホルダ、或いは人手により装填する場合に使用するカセットホルダはいずれも公知の構造のものを適宜使用すれば良いので、その構造及び機能の詳細な説明は省略する。
【０１１９】
図６（ｂ）は、カセットを自動装填するための機構の変形例を示しており、複数の３００ｍｍのウェハＷを箱本体５０１の内側に固定した溝型ポケット（図示せず）に収納した状態で収容し、搬送や保管等を行うものである。このウェハ搬送箱２８は、角筒状の箱本体５０１と、箱本体５０１の側面の開口部２９に設けられてドア自動開閉装置に連絡され且つ機械により開閉可能なウェハ搬出入ドア５０２と、開口部２９と反対側に位置しフィルタ類およびファンモータの着脱を行うために開口部２９を覆う蓋体５０３と、ウェハＷを保持するための溝型ポケット（図示せず）と、ＵＬＰＡフィルタ５０５と、ケミカルフィルタ５０６と、ファンモータ５０７とから構成されている。この変形例においては、ローダー６０のロボット式の第１の搬送ユニット６１２によりウェハＷを出し入れする。
【０１２０】
なお、カセットｃ内に収納される基板すなわちウェハは、検査を受けるウェハであり、そのような検査は、半導体製造工程中でウェハを処理するプロセスの後、若しくはプロセスの途中で行われる。具体的には、成膜工程、ＣＭＰ、イオン注入等を受けた基板すなわちウェハ、表面に配線パターンが形成されたウェハ、又は配線パターンが未だに形成されていないウェハが、カセット内に収納される。カセットｃ内に収容されるウェハは多数枚上下方向に隔ててかつ平行に並べて配置されているため、任意の位置のウェハと後述する第１の搬送ユニットで保持できるように、第１の搬送ユニットのアームを上下移動できるようになっている。
【０１２１】
図５ないし図７において、ミニエンバイロメント装置２０は、雰囲気制御されるようになっているミニエンバイロメント空間２１を画成するハウジング２２と、ミニエンバイロメント空間２１内で清浄空気のような気体を循環して雰囲気制御するための気体循環装置２３と、ミニエンバイロメント空間２１内に供給された空気の一部を回収して排出する排出装置２４と、ミニエンバイロメント空間２１内に配設されていて検査対象としての基板すなわちウェハを粗位置決めするプリアライナー２５とを備えている。
【０１２２】
ハウジング２２は、頂壁２２１、底壁２２２及び四周を囲む周壁２２３を有していてい、ミニエンバイロメント空間２１を外部から遮断する構造になっている。ミニエンバイロメント空間を雰囲気制御するために、気体循環装置２３は、図７に示されるように、ミニエンバイロメント空間２１内において、頂壁２２１に取り付けられていて、気体（この実
施の形態では空気）を清浄にして一つ又はそれ以上の気体吹き出し口（図示せず）を通して清浄空気を真下に向かって層流状に流す気体供給ユニット２３１と、ミニエンバイロメント空間内において底壁２２２の上に配置されていて、底に向かって流れ下った空気を回収する回収ダクト２３２と、回収ダクト２３２と気体供給ユニット２３１とを接続して回収された空気を気体供給ユニット２３１に戻す導管２３３とを備えている。
【０１２３】
この実施の形態においては、気体供給ユニット２３１は供給する空気の約２０％をハウジング２２の外部から取り入れて清浄にするようになっているが、この外部から取り入れられる気体の割合は任意に選択可能である。気体供給ユニット２３１は、清浄空気をつくりだすための公知の構造のＨＥＰＡ若しくはＵＬＰＡフィルタを備えている。清浄空気の層流状の下方向の流れすなわちダウンフローは、主に、ミニエンバイロメント空間２１内に配置された後述する第１の搬送ユニットによる搬送面を通して流れるように供給され、搬送ユニットにより発生する虞のある塵埃がウェハに付着するのを防止するようになっている。したがって、ダウンフローの噴出口は必ずしも図示のように頂壁に近い位置である必要はなく、搬送ユニットによる搬送面より上側にあればよい。また、ミニエンバイロメント空間全面に亘って流す必要もない。
【０１２４】
なお、場合によっては、清浄空気としてイオン風を使用することによって清浄度を確保することができる。また、ミニエンバイロメント空間内には清浄度を観察するためのセンサを設け、清浄度が悪化したときに装置をシャットダウンすることもできる。
【０１２５】
ハウジング２２の周壁２２３のうちカセットホルダ１０に隣接する部分には出入り口２２５が形成されている。出入り口２２５近傍には公知の構造のシャッタ装置を設けて出入り口２２５をミニエンバイロメント装置側から閉じるようにしてもよい。ウェハ近傍でつくる層流のダウンフローは、例えば０．３ないし０．４ｍ／ｓｅｃの流速でよい。気体供給ユニットはミニエンバイロメント空間内でなくその外側に設けてもよい。
【０１２６】
排出装置２４は、前記搬送ユニットのウェハ搬送面より下側の位置で搬送ユニットの下部に配置された吸入ダクト２４１と、ハウジング２２の外側に配置されたブロワー２４２と、吸入ダクト２４１とブロワー２４２とを接続する導管２４３と、を備えている。この排出装置２４は、搬送ユニットの周囲を流れ下り搬送ユニットにより発生する可能性のある塵埃を含んだ気体を、吸入ダクト２４１により吸引し、導管２４３、２４４及びブロワー２４２を介してハウジング２２の外側に排出する。この場合、ハウジング２２の近くに引かれた排気管（図示せず）内に排出してもよい。
【０１２７】
ミニエンバイロメント空間２１内に配置されたアライナー２５は、ウェハに形成されたオリエンテーションフラット（円形のウェハの外周に形成された平坦部分を言い、以下においてオリフラと呼ぶ）や、ウェハの外周縁に形成された一つ又はそれ以上のＶ型の切欠きすなわちノッチを光学的に或いは機械的に検出して
ウェハの軸線Ｏ−Ｏの周りの回転方向の位置を約±１度の精度で予め位置決めしておくようになっている。プリアライナーは請求項に記載された発明の検査対象の座標を決める機構の一部を構成し、検査対象の粗位置決めを担当する。このプリアライナー自体は公知の構造のものでよいので、その構造、動作の説明は省略する。
【０１２８】
なお、図示しないが、プリアライナーの下部にも排出装置用の回収ダクトを設けて、プリアライナーから排出された塵埃を含んだ空気を外部に排出するようにしてもよい。
図５及び図６（ａ）において、ワーキングチャンバ３１を画成する主ハウジング３０は、ハウジング本体３２を備え、そのハウジング本体３２は、台フレーム３６上に配置された振動遮断装置すなわち防振装置３７の上に載せられたハウジング支持装置３３によって支持されている。ハウジング支持装置３３は矩形に組まれたフレーム構造体３３１を備え
ている。ハウジング本体３２はフレーム構造体３３１上に配設固定されていて、フレーム構造体上に載せられた底壁３２１と、頂壁３２２と、底壁３２１及び頂壁３２２に接続されて四周を囲む周壁３２３とを備えていてワーキングチャンバ３１を外部から隔離している。底壁３２１は、この実施の形態では、上に載置されるステージ装置等の機器による加重で歪みの発生しないように比較的肉厚の厚い鋼板で構成されているが、その他の構造にしてもよい。
【０１２９】
この実施の形態において、ハウジング本体及びハウジング支持装置３３は、剛構造に組み立てられていて、台フレーム３６が設置されている床からの振動がこの剛構造に伝達されるのを防振装置３７で阻止するようになっている。ハウジング本体３２の周壁３２３のうち後述するローダハウジングに隣接する周壁にはウェハ出し入れ用の出入り口３２５が形成されている。なお、防振装置は、空気バネ、磁気軸受け等を有するアクティブ式のものでも、或いはこれらを有するパッシブ式のもよい。いずれも公知の構造のものでよいので、それ自体の構造及び機能の説明は省略する。ワーキングチャンバ３１は公知の構造の真空装置（図示せず）により真空雰囲気に保たれるようになっている。
【０１３０】
台フレーム３６の下には装置全体の動作を制御する制御装置２が配置されており、この制御装置２は主にメインコントローラ、制御コントローラ、ステージコントローラから構成される。
【０１３１】
メインコントローラにはマン−マシンインターフェースが備えられており、オペレータの操作はここを通して行われる（種々の指示／命令、レシピなどの入力、検査スタートの指示、自動と手動検査モードの切り替え、手動検査モード時のときの必要な全てのコマンドの入カ等）。その他、工場のホストコンピュータとのコミュニケーション、真空排気系の制御、ウェハ等の試料搬送、位置合わせの制御、他の制御コントローラやステージコントローラヘのコマンドの伝達や情報の受け取り等もメインコントローラで行われる。また、光学顕微鏡からの画像信号の取得、ステージの変動信号を電子光学系にフィードバックさせて像の悪化を補正するステージ振動補正機能、試料観察位置のＺ方向（二次光学系の軸方向）の変位を検出して電子光学系ヘフィードバックし、自動的に焦点を補正する自動焦点補正機能を備えている。電子光学系へのフィードバック信号等の授受およびステージからの信号の授受は、それぞれ制御コントローラ及びステージコントローラを介して行われる。
【０１３２】
制御コントローラは主に電子光学系の制御（電子銃、レンズ、アライナー、ウィーンフィルタなどのための高精度電源の制御等）を担う。具体的には、倍率が変わったときにも常に一定の電子電流が照射領域に照射されるようにすること、各倍率に対応して各レンズ系やアライナーに印加する電圧を自動設定する等の、各オペレーションモードに対応した各レンズ系やアライナーへの自動電圧設定等の制御（連動制御）を行う。
【０１３３】
ステージコントローラは主にステージの移動に関する制御を行い、精密なＸ方向およびＹ方向のμｍオーダーの移動（±０．５μｍ程度の誤差）を可能にしている。また、ステージコントローラはステージの回転方向の制御（θ制御）を誤差精度±０．３秒程度以内で行う。
【０１３４】
図５、図６（ａ）及び図８において、ローダハウジング４０は、第１のローディングチャンバ４１と第２のローディングチャンバ４２とを画成するハウジング本体４３を備えている。ハウジング本体４３は底壁４３１と、頂壁４３２と、四周を囲む周壁４３３と、第１のローディングチャンバ４１と第２のローディングチャンバ４２とを仕切る仕切壁４３４とを有していて、両ローディングチャンバを外部から隔離できるようになっている。仕切壁４３４には両ローディングチャンバ間でウェハのやり取りを行うための開口すなわち
出入り口４３５が形成されている。また、周壁４３３のミニエンバイロメント装置及び主ハウジングに隣接した部分には出入り口４３６及び４３７が形成されている。このローダハウジング４０のハウジング本体４３は、ハウジング支持装置３３のフレーム構造体３３１上に載置されてそれによって支持されている。したがって、このローダハウジング４０にも床の振動が伝達されないようになっている。
【０１３５】
ローダハウジング４０の出入り口４３６とミニエンバイロメント装置のハウジング２２の出入り口２２６とは整合されていて、そこにはミニエンバイロメント空間２１と第１のローディングチャンバ４１との連通を選択的に阻止するシャッタ装置２７が設けられている。シャッタ装置２７は、出入り口２２６及び４３６の周囲を囲んで側壁４３３と密に接触して固定されたシール材２７１、シール材２７１と協働して出入り口を介しての空気の流通を阻止する扉２７２と、その扉を動かす駆動装置２７３とを有している。また、ローダハウジング４０の出入り口４３７とハウジング本体３２の出入り口３２５とは整合されていて、そこには第２のローディングチャンバ４２とワーキンググチャンバ３１との連通を選択的に密封阻止するシャッタ装置４５が設けられている。シャッタ装置４５は、出入り口４３７及び３２５の周囲を囲んで側壁４３３及び３２３と密に接触してそれらに固定されたシール材４５１、シール材４５１と協働して出入り口を介しての空気の流通を阻止する扉４５２と、その扉を動かす駆動装置４５３とを有している。
【０１３６】
更に、仕切壁４３４に形成された開口には、扉４６１によりそれを閉じて第１及び第２のローディングチャンバ間の連通を選択的に密封阻止するシャッタ装置４６が設けられている。これらのシャッタ装置２７、４５及び４６は、閉じ状態にあるとき各チャンバを気密シールできるようになっている。これらのシャッタ装置は公知のものでよいので、その構造及び動作の詳細な説明は省略する。なお、ミニエンバイロメント装置２０のハウジング２２の支持方法とローダハウジングの支持方法が異なり、ミニエンバイロメント装置を介して床からの振動がローダハウジング４０、主ハウジング３０に伝達されるのを防止するために、ハウジング２２とローダハウジング４０との間には出入り口の周囲を気密に囲むように防振用のクッション材を配置しておけば良い。
【０１３７】
第１のローディングチャンバ４１内には、複数（この実施の形態では２枚）のウェハを上下に隔てて水平の状態で支持するウェハラック４７が配設されている。ウェハラック４７は、図９に示されるように、矩形の基板４７１の四隅に互いに隔てて直立状態で固定された支柱４７２を備え、各支柱４７２にはそれぞれ２段の支持部４７３及び４７４が形成され、その支持部の上にウェハＷの周縁を載せて保持するようになっている。そして後述する第１及び第２の搬送ユニットのアームの先端を隣接する支柱間からウェハに接近させてアームによりウェハを把持するようになっている。
【０１３８】
ローディングチャンバ４１及び４２は、図示しない真空ポンプを含む公知の構造の真空排気系（図示せず）によって高真空状態（真空度としては１０-5〜１０-6Ｐａ）に雰囲気制御され得るようになっている。この場合、第１のローディングチャンバ４１を低真空チャンバとして低真空雰囲気に保ち、第２のローディングチャンバ４２を高真空チャンバとして高真空雰囲気に保ち、ウェハの汚染防止を効果的に行うこともできる。このような構造を採用することによってローディングチャンバ内に収容されていて次に欠陥検査されるウェハをワーキングチャンバ内に遅滞なく搬送することができる。このようなローディングチャンバを採用することによって、後述するマルチビーム型電子線装置原理と共に、欠陥検査のスループットを向上させ、更に保管状態が高真空状態であることを要求される電子線源周辺の真空度を可能な限り高真空度状態にすることができる。
【０１３９】
なお、真空排気系は真空ポンプ、真空バルブ、真空ゲージ、真空配管等から構成され、電子光学系、検出器部、試料室、ロードロック室を所定のシーケンスに従って真空排気を
行うものである。各部において必要な真空度を達成するように真空バルブが制御される。このために、真空度のモニターを常時行い、異常時には、インターロック機能により隔離バルブ等の緊急制御を行って真空度を確保する。真空ポンプとしては、主排気にはターボ分子ポンプを、粗引き用としてはルーツ式のドライポンプを使用する。検査場所（電子線照射部）の圧力は１０−３〜１０−５Ｐａ、好ましくはその１桁下の１０−４〜１０−６Ｐａが実用的である。
【０１４０】
第１及び第２のローディングチャンバ４１及び４２は、それぞれ真空排気配管と不活性ガス（例えば乾燥純窒素）用のベント配管（それぞれ図示せず）が接続されている。これによって、各ローディングチャンバ内の大気圧状態は不活性ガスベント（不活性ガスを注入して不活性ガス以外の酸素ガス等が表面に付着するのを防止する）によって達成される。このような不活性ガスベントを行う装置自体は公知の構造のものでよいので、その詳細な説明は省略する。
【０１４１】
なお、電子線を使用する本発明の検査装置において、後述する電子光学系の電子線源として使用される代表的な六硼化ランタン（ＬａＢ6）等は一度熱電子線を放出する程度まで高温状態に加熱された場合には、酸素等に可能な限り接触させないことがその寿命を縮めないために肝要であるが、電子光学系が配置されているワーキングチャンバにウェハを搬入する前段階で上記のような雰囲気制御を行うことにより、より確実に実行できる。
【０１４２】
ステージ装置５０は、主ハウジング３０の底壁３２１上に配置された固定テーブル５１と、固定テーブル上でＹ方向（図５において紙面に垂直の方向）に移動するＹテーブル５２と、Ｙテーブル上でＸ方向（図３において左右方向）に移動するＸテーブル５３と、Ｘテーブル上で回転可能な回転テーブル５４と、回転テーブル５４上に配置されたホルダ５５とを備えている。そのホルダ５５のウェハ載置面５５１上にウェハを解放可能に保持する。ホルダは、ウェハを機械的に或いは静電チャック方式で解放可能に把持できる公知の構造のものでよい。
【０１４３】
ステージ装置５０は、サーボモータ、エンコーダ及び各種のセンサ（図示せず）を用いて、上記のような複数のテーブルを動作させることにより、載置面５５１上でホルダに保持されたウェハを電子光学装置から照射される電子線に対してＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向（図５において上下方向）に、更にウェハの支持面に鉛直な軸線の回り方向（θ方向）に高い精度で位置決めできるようになっている。なお、Ｚ方向の位置決めは、例えばホルダ上の載置面の位置をＺ方向に微調整可能にしておけばよい。この場合、載置面の基準位置を微細径レーザによる位置測定装置（干渉計の原理を使用したレーザ干渉測距装置）によって検知し、その位置を図示しないフィードバック回路によって制御したり、それと共に或いはそれに代えてウェハのノッチ或いはオリフラの位置を測定してウェハの電子線に対する平面位置、回転位置を検知し、回転テーブルを微小角度制御可能なステッピングモータなどにより回転させて制御する。
【０１４４】
ワーキングチャンバ内での塵埃の発生を極力防止するために、ステージ装置用のサーボモータ５２１、５３１及びエンコーダ５２２、５３２は、主ハウジング３０の外側に配置されている。なお、ステージ装置５０は、例えばステッパー等で使用されている公知の構造のもので良いので、その構造及び動作の詳細な説明は省略する。また、上記レーザ干渉測距装置も公知の構造のものでよいので、その構造、動作の詳細な説明は省略する。
【０１４５】
電子線に対するウェハの回転位置やＸ、Ｙ位置を予め後述する信号検出系或いは画像処理系に入力することで得られる信号の基準化を図ることもできる。更に、このホルダに設けられたウェハチャック機構は、ウェハをチャックするための電圧を静電チャックの電極に与えられるようになっていて、ウェハの外周部の３点（好ましくは周方向に等隔に隔て
られた）を押さえて位置決めするようになっている。ウェハチャック機構は、二つの固定位置決めピンと、一つの押圧式クランクピンとを備えている。クランプピンは、自動チャック及び自動リリースを実現できるようになっており、かつ電圧印加の導通箇所を構成している。
【０１４６】
なお、この実施の形態では図６（ａ）で左右方向に移動するテーブルをＸテーブルとし、上下方向に移動するテーブルをＹテーブルとしたが、同図で左右方向に移動するテーブルをＹテーブルとし、上下方向に移動するテーブルをＸテーブルとしてもよい。
【０１４７】
ローダー６０は、ミニエンバイロメント装置２０のハウジング２２内に配置されたロボット式の第１の搬送ユニット６１と、第２のローディングチャンバ４２内に配置されたロボット式の第２の搬送ユニット６３とを備えている。
【０１４８】
第１の搬送ユニット６１は、駆動部６１１に関して軸線Ｏ1−Ｏ1の回りで回転可能になっている多節のアーム６１２を有している。多節のアームとしては任意の構造のものを使用できるが、この実施の形態では、互いに回動可能に取り付けられた三つの部分を有している。第１の搬送ユニット６１のアーム６１２の一つの部分すなわち最も駆動部６１１側の第１の部分は、駆動部６１１内に設けられた公知の構造の駆動機構（図示せず）により回転可能な軸６１３に取り付けられている。アーム６１２は、軸６１３により軸線Ｏ1−Ｏ1の回りで回動できると共に、部分間の相対回転により全体として軸線Ｏ1−Ｏ1に関して半径方向に伸縮可能になっている。アーム６１２の軸６１３から最も離れた第３の部分の先端には、には公知の構造の機械式チャック又は静電チャック等のウェハを把持する把持装置６１６が設けられている。駆動部６１１は、公知の構造の昇降機構６１５により上下方向に移動可能になっている。
【０１４９】
この第１の搬送ユニット６１は、アーム６１２がカセットホルダに保持された二つのカセットｃの内いずれか一方の方向Ｍ１又はＭ２に向かってアームが伸び、カセットｃ内に収容されたウェハを１枚アームの上に載せ或いはアームの先端に取り付けたチャック（図示せず）により把持して取り出す。その後アームが縮み（図６（ａ）に示す状態）、アームがプリアライナー２５の方向Ｍ３に向かって伸長できる位置まで回転してその位置で停止する。するとアームが再び伸びてアームに保持されたウェハをプリアライナー２５に載せる。プリアライナーから前記と逆にしてウェハを受け取った後はアームは更に回転し第２のローディングチャンバ４１に向かって伸長できる位置（向きＭ４）で停止し、第２のローディングチャンバ４１内のウェハ受け４７にウェハを受け渡す。
【０１５０】
なお、機械的にウェハを把持する場合にはウェハの周縁部（周縁から約５ｍｍの範囲）を把持する。これはウェハには周縁部を除いて全面にデバイス（回路配線）が形成されており、この部分を把持するとデバイスの破壊、欠陥の発生を生じさせるからである。
【０１５１】
第２の搬送ユニット６３も第１の搬送ユニットと構造が基本的に同じであり、ウェハの搬送をウェハラック４７とステージ装置の載置面上との間で行う点でのみ相違するだけであるから、詳細な説明は省略する。
【０１５２】
上記ローダー６０では、第１及び第２の搬送ユニット６１及び６３は、カセットホルダに保持されたカセットからワーキングチャンバ３１内に配置されたステージ装置５０上への及びその逆のウェハの搬送をほぼ水平状態に保ったままで行い、搬送ユニットのアームが上下動するのは、単に、ウェハのカセットからの取り出し及びそれへの挿入、ウェハのウェハラックへの載置及びそこからの取り出し及びウェハのステージ装置への載置及びそこからの取り出しのときるだけである。したがって、大型のウェハ、例えば直径３０ｃｍのウェハの移動もスムースに行うことができる。
【０１５３】
次にカセットホルダに支持されたカセットｃからワーキングチャンバ３１内に配置されたステージ装置５０までへのウェハの搬送を順を追って説明する。
カセットホルダ１０は、前述のように人手によりカセットをセットする場合にはそれに適した構造のものが、また自動的にカセットをセットする場合にはそれに適した構造のものが使用される。この実施の形態において、カセットｃがカセットホルダ１０の昇降テーブル１１の上にセットされると、昇降テーブル１１は昇降機構１２によって降下されカセットｃが出入り口２２５に整合される。
【０１５４】
カセットが出入り口２２５に整合されると、カセットに設けられたカバー（図示せず）が開きまたカセットｃとミニエンバイロメントの出入り口２２５との間には筒状の覆いが配置されてカセット内及びミニエンバイロメント空間内を外部から遮断する。これらの構造は公知のものであるから、その構造及び動作の詳細な説明は省略する。なお、ミニエンバイロメント装置２０側に出入り口２２５を開閉するシャッタ装置が設けられている場合にはそのシャッタ装置が動作して出入り口２２５を開く。
【０１５５】
一方、第１の搬送ユニット６１のアーム６１２は方向Ｍ１又はＭ２のいずれかに向いた状態（この説明ではＭ１の方向）で停止しており、出入り口２２５が開くとアームが伸びて先端でカセット内に収容されているウェハのうち１枚を受け取る。なお、アームと、カセットから取り出されるべきウェハとの上下方向の位置調整は、この実施の形態では第１の搬送ユニット６１の駆動部６１１及びアーム６１２の上下移動で行うが、カセットホルダの昇降テーブルの上下動行っても或いはその両者で行ってもよい。
【０１５６】
アーム６１２によるウェハの受け取りが完了すると、アームは縮み、シャッタ装置を動作して出入り口を閉じ（シャッタ装置がある場合）、次にアーム６１２は軸線Ｏ1−Ｏ1の回りで回動して方向Ｍ３に向けて伸長できる状態になる。すると、アームは伸びて先端に載せられ或いはチャックで把持されたウェハをプリアライナー２５の上に載せ、そのプリアライナーによってウェハの回転方向の向き（ウェハ平面に垂直な中心軸線の回りの向き）を所定の範囲内に位置決めする。位置決めが完了すると搬送ユニット６１はアームの先端にプリアライナー２５からウェハを受け取ったのちアームを縮ませ、方向Ｍ４に向けてアームを伸長できる姿勢になる。するとシャッタ装置２７の扉２７２が動いて出入り口２２６及び４３６を開き、アーム６１２が伸びてウェハを第１のローディングチャンバ４１内のウェハラック４７の上段側又は下段側に載せる。なお、前記のようにシャッタ装置２７が開いてウェハラック４７にウェハが受け渡される前に、仕切壁４３４に形成された開口４３５はシャッタ装置４６の扉４６１により気密状態で閉じられている。
【０１５７】
上記第１の搬送ユニットによるウェハの搬送過程において、ミニエンバイロメント装置のハウジングの上に設けられた気体供給ユニット２３１からは清浄空気が層流状に流れ（ダウンフローとして）、搬送途中で塵埃がウェハの上面に付着するのを防止する。搬送ユニット周辺の空気の一部（この実施の形態では供給ユニットから供給される空気の約２０％で主に汚れた空気）は排出装置２４の吸入ダクト２４１から吸引されてハウジング外に排出される。残りの空気はハウジングの底部に設けられた回収ダクト２３２を介して回収され再び気体供給ユニット２３１に戻される。
【０１５８】
ローダハウジング４０の第１のローディングチャンバ４１内のウェハラック４７内に第１の搬送ユニット６１によりウェハが載せられると、シャッタ装置２７が閉じて、ローディングチャンバ４１内を密閉する。すると、第１のローディングチャンバ４１内には不活性ガスが充填されて空気が追い出された後、その不活性ガスも排出されてそのローディングチャンバ４１内は真空雰囲気にされる。この第１のローディングチャンバの真空雰囲気は低真空度でよい。ローディングチャンバ４１内の真空度がある程度得られると、シャッ
タ装置４６が動作して扉４６１で密閉していた出入り口４３４を開き、第２の搬送ユニット６３のアーム６３２が伸びて先端の把持装置でウェハ受け４７から１枚のウェハを受け取る（先端の上に載せて或いは先端に取り付けられたチャックで把持して）。ウェハの受け取りが完了するとアームが縮み、シャッタ装置４６が再び動作して扉４６１で出入り口４３５を閉じる。
【０１５９】
なお、シャッタ装置４６が開く前にアーム６３２は予めウェハラック４７の方向Ｎ１に向けて伸長できる姿勢になる。また、前記のようにシャッタ装置４６が開く前にシャッタ装置４５の扉４５２で出入り口４３７、３２５を閉じていて、第２のローディングチャンバ４２内とワーキングチャンバ３１内との連通を気密状態で阻止しており、第２のローディングチャンバ４２内は真空排気される。
【０１６０】
シャッタ装置４６が出入り口４３５を閉じると、第２のローディングチャンバ内は再度真空排気され、第１のローディングチャンバ内よりも高真空度で真空にされる。その間に、第２の搬送ユニット６１のアームはワーキングチャンバ３１内のステージ装置５０の方向に向いて伸長できる位置に回転される。一方ワーキングチャンバ３１内のステージ装置では、Ｙテーブル５２が、Ｘテーブル５３の中心線Ｘ0−Ｘ0が第２の搬送ユニット６３の回動軸線Ｏ2−Ｏ2を通るＸ軸線Ｘ1−Ｘ1とほぼ一致する位置まで、図６（ａ）で上方に移動し、また、Ｘテーブル５３は図６（ａ）で最も左側の位置に接近する位置まで移動し、この状態で待機している。
【０１６１】
第２のローディングチャンバがワーキングチャンバの真空状態と略同じになると、シャッタ装置４５の扉４５２が動いて出入り口４３７、３２５を開き、アームが伸びてウェハを保持したアームの先端がワーキングチャンバ３１内のステージ装置に接近する。そしてステージ装置５０の載置面５５１上にウェハを載置する。ウェハの載置が完了するとアームが縮み、シャッタ装置４５が出入り口４３７、３２５を閉じる。
【０１６２】
以上は、カセットｃ内のウェハをステージ装置上に搬送するまでの動作に付いて説明したが、ステージ装置に載せられて処理が完了したウェハをステージ装置からカセットｃ内に戻すには前述と逆の動作を行って戻す。また、ウェハラック４７に複数のウェハを載置しておくため、第２の搬送ユニットでウェハラックとステージ装置との間でウェハの搬送を行う間に、第１の搬送ユニットでカセットとウェハラックとの間でウェハの搬送を行うことができ、検査処理を効率良く行うことができる。
【０１６３】
具体的には、第２の搬送ユニットのウェハラック４７に、既に処理済みのウェハＡと未処理のウェハＢとがある場合、まず、ステージ装置５０に未処理のウェハＢを移動して処理を開始する。この処理中に、処理済みウェハＡをアームによりステージ装置５０からウェハラック４７に移動し、未処理のウェハＣを同じくアームによりウェハラック４７から抜き出し、プリアライナで位置決めした後、ローディングチャンバ４１のウェハラック４７に移動する。このようにすることで、ウェハラック４７の中は、ウェハＢを処理している期間に、処理済みのウェハＡを未処理のウェハＣに置き換えることができる。
【０１６４】
また、検査や評価を行うこのような装置の利用の仕方によっては、ステージ装置５０を複数台並列に置き、それぞれの装置に一つのウェハラック４７からウェハを移動することにより、複数枚のウェハを同じに処理することができる。
【０１６５】
図１０は、主ハウジングの支持方法の変形例がで示されている。図１０の［Ａ］に示された変形例では、ハウジング支持装置３３ａを厚肉で矩形の鋼板３３１ａで構成し、その鋼板の上にハウジング本体３２ａが載せられている。したがって、ハウジング本体３２ａの底壁３２１ａは、前記実施の形態の底壁に比較して薄い構造になっている。
【０１６６】
図１０の［Ｂ］に示された変形例では、ハウジング支持装置３３ｂのフレーム構造体３３６ｂによりハウジング本体３２ｂ及びローダハウジング４０ｂを吊り下げて状態で支持するようになっている。フレーム構造体３３６ｂに固定された複数の縦フレーム３３７ｂの下端は、ハウジング本体３２ｂの底壁３２１ｂの四隅に固定され、その底壁により周壁及び頂壁を支持するようになっている。そして防振装置３７ｂは、フレーム構造体３３６ｂと台フレーム３６ｂとの間に配置されている。また、ローダハウジング４０もフレーム構造体３３６に固定された吊り下げ部材４９ｂによって吊り下げられている。ハウジング本体３２ｂのこの図１０の［Ｂ］に示された変形例では、吊り下げ式に支えるので主ハウジング及びその中に設けられた各種機器全体の低重心化が可能である。上記変形例を含めた主ハウジング及びローダハウジングの支持方法では主ハウジング及びローダハウジングに床からの振動が伝わらないようになっている。
【０１６７】
図示しない別の変形例では、主ハウジングのハウジング本外のみがハウジング支持装置によって下から支えられ、ローダハウジングは隣接するミニエンバイロメント装置と同じ方法で床上に配置され得る。また、図示しない更に別の変形例では、主ハウジングのハウジング本体のみがフレーム構造体に吊り下げ式で支持され、ローダハウジングは隣接するミニエンバイロメント装置と同じ方法で床上に配置され得る。
【０１６８】
電子光学装置７０は、ハウジング本体３２に固定された鏡筒７１を備え、その中には、図１１に概略図示するような、一次電子光学系（以下単に一次光学系）７２と、二次電子光学系（以下単に二次光学系）７４とを備える電子光学系と、検出系７６とが設けられている。一次光学系７２は、電子線を検査対象であるウェハＷの表面に照射する光学系で、電子線を放出する電子線源７２１と、電子線源７２１から放出された一次電子線を集束する静電レンズからなるレンズ系７２２と、ウイーンフィルタ（すなわちＥ×Ｂ分離器又はＥ×Ｂフィルタ）７２３と、対物レンズ系７２４と、を備え、それらは、図１１に示されるように電子線源７２１を最上部にして順に配置されている。この実施の形態の対物レンズ系７２４を構成するレンズは減速電界型対物レンズである。この実施の形態では、電子線源７２１から放出される一次電子線の光軸は、検査対象であるウェハＷに照射される照射光軸（ウェハの表面に垂直になっている）に関して斜めになっている。対物レンズ系７２４と検査対象であるウェハＷとの間には電極７２５が配置されている。この電極７２５は一次電子線の照射光軸に関して軸対称の形状になっていて、電源７２６によって電圧制御されるようになっている。
【０１６９】
二次光学系７４は、ウィーンフィルタ７２３により一次光学系から分離された二次電子線を通す静電レンズから成るレンズ系７４１を備えている。このレンズ系７４１は二次電子線像を拡大する拡大レンズとして機能する。
【０１７０】
検出系７６は、レンズ系７４１の結像面に配置された検出器７６１及び画像処理部７６３を備えている。
次に、上記構成の電子光学装置７０の動作に付いて説明する。
【０１７１】
電子線源７２１から放出された一次電子線は、レンズ系７２２によって集束される。収束された一次電子線はＥ×Ｂ型偏向器７２３に入射され、ウェハＷの表面に垂直に照射されるように偏向され、対物レンズ系７２４によってウェハＷの表面上に結像される。
【０１７２】
一次電子線の照射によってウェハから放出された二次電子線は、対物レンズ系７２４によって加速され、Ｅ×Ｂ型偏向器７２３に入射し、その偏向器を直進して二次光学系のレンズ系７４１により検出器７６１に導かれる。そして、その検出器７６１によって検出され、その検出信号が画像処理部７６３に送られる。
【０１７３】
なお、この実施の形態において、対物レンズ系７２４は、１０ないし２０ｋＶの高電圧が印加され、ウェハは設置されているものとする。
ここで、ウェハＷにビアｂがある場合に、電極７２５に与える電圧を−２００Ｖとすると、ウェハの電子線照射面の電界は、０〜−０．１Ｖ／ｍｍ（−はウェハＷ側が高電位であることを示す）となった。この状態で、対物レンズ系７２４とウェハＷとの間に放電は発生せずに、ウェハＷの欠陥検査は行えたが、二次電子線の検出効率が若干下がってしまう。したがって、電子線線を照射し二次電子線を検出する一連の動作を、例えば４回行い、得られた４回分の検出結果を累積加算や平均化等の処理を施して所定の検出感度を得た。
【０１７４】
また、ウェハにビアｂがない場合に、電極７２５に与える電圧を＋３５０Ｖとしても、対物レンズ系７２４とウェハとの間に放電は発生せずに、ウェハＷの欠陥検査は行えた。この場合、電極７２５に与えた電圧によって二次電子線が集束され、対物レンズ７２４によっても更に集束されるので、検出器７６１における二次電子線の検出効率は向上した。よって、ウェハ欠陥装置としての処理も高速となり、高いスループットで検査が行えた。
【０１７５】
プレチャージユニット８１は、図５に示すように、ワーキングチャンバ３１内で電子光学装置７０の鏡筒７１に隣接して配設されている。本検査装置では検査対象である基板すなわちウェハに電子線を走査して照射することによりウェハ表面に形成されたデバイスパターン等を検査する形式の装置であるから、電子線の照射により生じる二次電子線等の情報をウェハ表面の情報とするが、ウェハ材料、照射電子線のエネルギ等の条件によってウェハ表面が帯電（チャージアップ）することがある。更に、ウェハ表面でも強く帯電する箇所、弱い帯電箇所が生じる可能性がある。ウェハ表面の帯電量にむらがあると二次電子線情報もむらを生じ、正確な情報を得ることができない。
【０１７６】
そこで、この実施の形態では、このむらを防止するために、電子線照射部８１１を有するプレチャージユニット８１が設けられている。検査するウェハの所定の箇所に検査電子線を照射する前に、帯電むらをなくすためにこのプレチャージユニットの電子線照射部８１１から電子線を照射して帯電のむらを無くす。このウェハ表面のチャージアップは予め検出対称であるウェハ面の画像を形成し、その画像を評価することで検出し、その検出に基づいてプレチャージユニット８１を動作させる。なお、このプレチャージユニットでは一次電子線をぼかして照射してもよい。
【０１７７】
図１２において、電位印加機構８３は、ウェハから放出される二次電子線情報（二次電子線発生率）が、ウェハの電位に依存すると言う事実に基づいて、ウェハを載置するステージの設置台に±数Ｖの電位を印加することにより二次電子線の発生を制御するものである。また、この電位印加機構は、照射電子線が当初有しているエネルギーを減速し、ウェハに１００〜５００ｅＶ程度の照射電子線エネルギーとするための用途も果たす。
【０１７８】
電位印加機構８３は、図１２に示すように、ステージ装置５０の載置面５４１と電気的に接続された電圧印加装置８３１と、チャージアップ調査及び電圧決定システム（以下調査及び決定システム）８３２とを備えている。調査及び決定システム８３２は、電子光学装置７０の検出系７６の画像形成部７６３に電気的に接続されたモニター８３３と、モニター８３３に接続されたオペレータ８３４と、オペレータ８３４に接続されたＣＰＵ８３５とを備えている。ＣＰＵ８３５は、前記電圧印加装置８３１に信号を供給するようになっている。
【０１７９】
上記電位印加機構は、検査対象であるウェハが帯電し難い電位を探し、その電位を印加するように設計されている。
図１３において、電子線キャリブレーション機構８５は、前記回転テーブル上でウェハの載置面５４１の側部の複数箇所に設置された、ビーム電流測定用のそれぞれ複数のファラデーカップ８５１及び８５２を備えている。ファラデーカップ８５１は細いビーム用（約φ２μｍ）で、ファラデーカップ８５２太いビーム用（約φ３０μｍ）である。細いビーム用のファラデーカップ８５１では回転テーブルをステップ送りすることで、ビームプロフィルを測定し。太いビーム用のファラデーカップ８５２ではビームの総電流量を計測する。ファラデーカップ８５１及び８５２は、上表面が載置面５４１上に載せられたウェハＷの上表面と同じレベルになるように配置されている。このようにして電子線源から放出される一次電子線を常時監視する。これは、電子線源が常時一定の電子線を放出できるわけでなく、使用しているうちにその放出量が変化するためである。
【０１８０】
アライメント制御装置８７は、ステージ装置５０を用いてウェハＷを電子光学装置７０に対して位置決めさせる装置であって、ウェハを光学顕微鏡８７１を用いた広視野観察による概略合わせ（電子光学系によるよりも倍率が低い測定）、電子光学装置７０の電子光学系を用いた高倍率合わせ、焦点調整、検査領域設定、パターンアライメント等の制御を行うようになっている。このように光学系を用いて低倍率でウェハを検査するのは、ウェハのパターンの検査を自動的に行うためには、電子線を用いた狭視野でウェハのパターンを観察してウェハライメントを行う時に、電子線によりアライメントマークを容易に検出する必要があるからである。
【０１８１】
光学顕微鏡８７１はハウジング内７１に設けられ（ハウジング内で移動可能に設けられていてもよい）、光学顕微鏡を動作させるための光源（図示せず）もハウジング内に設けられている。また高倍率の観察を行う電子光学系は電子光学装置７０の電子光学系（一次光学系７２及び二次光学系７４）を共用するものである。その構成を概略図示すれば、図１２に示されるようになる。ウェハ上の被観察点を低倍率で観察するには、ステージ装置５０のＸステージ５３をＸ方向に動かすことによってウェハの被観察点を光学顕微鏡の視野内に移動させる。光学顕微鏡８７１で広視野でウェハを視認してそのウェハ上の観察すべき位置をＣＣＤ８７２を介してモニタ８７３に表示させ、観察位置をおおよそ決定する。この場合光学顕微鏡の倍率を低倍率から高倍率に変化させていってもよい。
【０１８２】
次に、ステージ装置５０を電子光学装置７０の光軸と光学顕微鏡８７１の光軸との間隔δｘに相当する距離だけ移動させて光学顕微鏡で予め決めたウェハ上の被観察点を電子光学装置の視野位置に移動させる。この場合、電子光学装置の軸線Ｏ3−Ｏ3と光学顕微鏡８７１の光軸Ｏ4−Ｏ4との間の距離（この実施の形態ではＸ軸線に沿った方向にのみ両者は位置ずれしているものとするが、Ｙ軸方向及びＹ軸方向に位置ずれしていてもよい）δｘは予めわかっているのでその値δｘだけ移動させれば被観察点を視認位置に移動させることができる。電子光学装置の視認位置への被観察点の移動が完了した後、電子光学系により高倍率で被観察点をＳＥＭ撮像して画像を記憶したり又はＣＣＤ７６１を介してモニタ７６５に表示させる。
【０１８３】
このようにして電子光学系による高倍率でウェハの観察点をモニタに表示させた後、公知の方法によりステージ装置５０の回転テーブル５４の回転中心に関するウェハの回転方向の位置ずれすなわち電子光学系の光軸Ｏ3−Ｏ3に対するウェハの回転方向のずれδθを検出し、また電子光学装置に関する所定のパターのＸ軸及びＹ軸方向の位置ずれを検出する。そしてその検出値並びに別途得られたウェハに設けられた検査マークのデータ或いはウェハのパターンの形状等に関するデータに基づいてステージ装置５０の動作を制御してウェハのアライメントを行う。
【０１８４】
以上、図５〜図１４を用いて説明した検査装置は、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における（Ｇ）のウェハ検査工程に使用すると、微細
なパターンを有する半導体デバイスであっても、スループット良く検査を行うことができるので、全数検査も可能になり、製品の歩留まりを向上させ、欠陥製品の出荷を防止することができる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０１８５】
鏡筒に関する実施の形態（第３の実施の形態）
ここで、図１５を用いて、本発明に係る電子線装置の第３の実施の形態である電子線装置を説明する。この電子線装置は、最小線幅が０．１ミクロン以下のパターンを有するウェハ、マスク等の試料の評価や検査を高スループット、高信頼性で行うのに適しており、デバイス製造に用いることができる。
【０１８６】
マルチビームを使用する電子線装置は既に公知である。例えば、電子線源から所定の径に収束された１個以上の電子線を放出させて被検査試料の表面に結像させ、被検査試料を移動させることによって該被検査試料の表面を電子線で走査し、被検査試料から放出される二次電子線や反射電子線を複数の検出素子で検出して、それらの検出素子の出力を同時に又は並列的に処理することにより、微細パターンの評価時間を短縮するようにした電子線装置は公知である。
【０１８７】
また、複数の電子線源から放出される電子線のスポット形状のバラツキを解消して微細パターンの評価精度を高めるために、複数の一次電子線で被検査試料を照射し、その結果放出された二次電子線や反射電子線を一次電子線毎に検出して、一次電子線毎に電極電圧又は励磁電流を調節するようにした微細パターン評価装置も公知である。
【０１８８】
こうしたマルチビーム型の電子線装置にあっては、電子線源の部分とレンズ・偏向系とで、必要とされる真空度に相違がある。例えば、マルチエミッター型の又は熱電界放出型の電子線源においては、電子線源のカソードの近傍は、１０−８ｔｏｒｒよりも良好な真空度にしないと安全に動作しないのに対して、レンズ・偏向系は、静電レンズや静電偏向器を用いた場合であっても、１０−６ｔｏｒｒ程度の真空度が達成されれば充分動作可能である。したがって、電子線装置の構成要素毎に、所定の真空度を維持しなければならないという問題があった。
【０１８９】
また、電子光学鏡筒内の電子線の光軸上に極めて多くのイオンが存在するため、正イオンが電子線源のカソードに衝突してカソードに穴を開けてしまうという問題もある。更に、マルチビーム且つマルチコラムの電子線装置を製造する場合、それぞれのコラムをどのように固定すべきかという問題に、明確な解答が出されていないのが実状である。
【０１９０】
図１５に示す電子線装置は、上記の問題を解決するために提案されたものであり、レンズ・偏向系の真空度が低いときにも電子線源部の真空度を高く保持し、もって、電子線源のカソードの破損を防止し、振動に強いという特徴を有する。
【０１９１】
図１５において、電子線装置はマルチビーム・マルチカラムの構造を有しており、鏡筒（図示せず）に両端が固定された厚い仕切板Ｓによって電子線源部Ｘと電子光学系Ｙとに分離される。電子線源部Ｘは、それぞれが円筒形をなし且つベローズ９０２によって相互に結合されている複数の電子線源室９０１を備え、それぞれの電子線源室９０１には、ＴＦＥカソード９０３及びショットキーシールド９０４を備えた熱電界放出型の電子線源９０５が設けられる。各電子線源９０５は高圧ケーブル９０６によって給電されてＴＦＥカソード９０３から電子線を放出する。なお、ＴＦＥはサーマル・フィールド・エミッション（thermal field emission）の略称である。
【０１９２】
各電子線源室９０１はネジ９０７によって仕切板Ｓに固定される。このため、仕切板Ｓ
は充分な剛性を持つように所定の厚みを持つことが必要であり、仕切板Ｓの剛性が充分でない場合には、隣り合う電子線源室９０１の間に補強用のリブを配置することが望ましい。なお、各電子線源室９０１は排気のためイオンポンプ（図示せず）と接続されている。
【０１９３】
それぞれの電子線源９０５のＴＦＥカソード３のタングステン〈３０１〉又は〈１００〉方位の面から放出された電子線が仕切板Ｓを全て通過することができるよう、仕切板Ｓには、各電子線源室９０１の電子線源９０５の光軸を中心とする円周上に所定の個数の、例えば４個の穴９０８が形成される。これらの穴９０８のそれぞれは、電子線源室の真空度を悪化させないよう大きなアスペクト比（穴の長さに対する穴の径の比）を有し、ＴＦＥカソード９０３から離れるにしたがって、径が大きくなるよう形成される。なお、それぞれの穴９０８は、下へ行くにしたがって光軸から離れる方へ斜めに形成されるのでもよい。なお、通常は、アスペクト比は１０以上がよい。
【０１９４】
一方、電子光学系Ｙは、複数の電子線源室９０１から放出された複数の電子線でウェハ等の試料Ｗを照射するよう各電子線の形状を整形するために、各電子線源室９０１に対応して設置されたレンズ・偏向系９１０を有する。それぞれのレンズ・偏向系９１０は、対応する電子線源９０５からの電子線を通過させる例えば４個の穴９０８を囲むように仕切板Ｓにネジ９１１により固定された細長いパイプ９０９を備え、それぞれのパイプ９０９の内部に、所要のレンズ及び偏向器が配置され、仕切板Ｓの例えば４個の穴９０８を通過した電子線を整形して試料Ｗに垂直に入射させる。こうして、マルチカラムの電子光学系Ｙが構成される。
【０１９５】
このため、個々のレンズ・偏向系９１０は、パイプ９０９内に、コンデンサ・レンズ９１２、マルチ開口板９１３、縮小レンズ９１４、偏向器９１５及び対物レンズ９１６を順に設けるようにしている。コンデンサ・レンズ９１２は、仕切板Ｓに形成された穴９０８のそれぞれを通過した電子線を収束する。マルチ開口板９１３は、コンデンサ・レンズ９１２によって収束された電子線を通過させるよう、パイプ９０９によって囲まれた仕切板Ｓの部分の穴９０８と同数の小孔を備えている。縮小レンズ９１４は、マルチ開口板９１３を通過した電子線のビーム寸法と間隔を縮小して偏向器９１５を通過させる。偏向器９１５は、縮小レンズ９１４によって縮小された電子線が試料上を走査するよう、電子線の進行方向を変更する。対物レンズ９１６は、偏向器９１５を通過した電子線を試料Ｗに合焦させる。
【０１９６】
それぞれのパイプ９０９には排気穴９１７が設けられ、これによって、仕切板Ｓと電子線源部Ｘと電子光学系Ｙとを収納する鏡筒（図示せず）の内部を真空に保つためのポンプによって各パイプ９０９の内部も真空に保たれる。また、コンデンサ・レンズ９１２、マルチ開口板９１３、縮小レンズ９１４、偏向器９１５及び対物レンズ９１６には、図１５に点線で例示するリード線を介して、所要の電圧が印加される。必要に応じて、コンデンサ・レンズ９１２、マルチ開口板９１３、縮小レンズ９１４、偏向器９１５及び対物レンズ９１６は、絶縁スペーサ９１８を介してパイプ９０９の内壁に取り付けられる。
【０１９７】
図１５に示す電子線装置は、欠陥検査、線幅測定、合わせ精度測定、電位コントラスト測定、欠陥レビュー又はストロボＳＥＭのための評価装置として、プロセス途中のウェハの評価を行うために、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明した検査工程（Ｇ）において使用することができる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０１９８】
電極の構造に関する実施の形態（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態は、電子線を試料に照射する静電レンズを用いた電子光学系において絶縁破壊を防止する電極構造を備える電子線装置、および該装置を用いてたデバ
イス製造方法に関する。
【０１９９】
これまで、光学的に検査するだけでは十分な感度や解像度が得られないような微細な試料の表面状態を検査する為に、電子線を利用した高感度、高解像度な電子線装置を用いるための検討がなされている。
【０２００】
このような電子線装置は、電子線源によって電子線を放出し、静電レンズ等の静電光学系によって、この放出された電子線を加速したり収束したりするなどして検査対象である試料に入射させる。次に、電子線の入射によって試料から放出される二次電子線を検出することによって、検出された二次電子線に対応する信号を発生させ、この信号により例えば、試料のデータを形成する。この形成されたデータにより、試料の表面状態を検査する。
【０２０１】
こうした電子線装置に用いられる静電レンズ等の静電レンズを用いた電子光学系には、電子線を加速したり収束するための電界を生成する電極が、電子線の光軸方向に多段に配設されている。これら電極には各々所定の電圧が印加され、こうして電極の電位差によって生ずる電界によって、電子線を加速したり、光軸上の所定の点に収束させるようにしている。
【０２０２】
従来の電子線装置においては、電子線源から放出した電子線の一部が、静電レンズを用いた電子光学系における電界に係わらず電極に衝突する場合がある。この場合に、電子線が電極に衝突することにより、電極自体から二次電子線が放出される。この電極から放出される二次電子線の量は、電極の材料、又は、電極をコーティングしている材料によって変化する。この電極から放出される二次電子線が多くなると、この二次電子線は電極の電界によって加速され、装置内の残留ガスをイオン化し、このイオンが電極に衝突することによって、更に、電極から二次電子線が放出される。したがって、二次電子線が大量に放出されると、電極間において放電が生じ易くなり、電極間で絶縁破壊を起こす確率が増加してしまう。
【０２０３】
例えば、電極がアルミニウムでコーティングされている場合と、金でコーティングされている場合とで、絶縁破壊の確率を比較すると、アルミニウムの場負の方が電極間の絶縁破壊の確率が若干高かった。アルミニウムは、仕事関数が４．２［ｅＶ］であり、金は、仕事関数は４．９［ｅＶ］である。ここで、仕事関数とは、金属にある１個の電子線を真空中に取り出すのに必要な最小のエネルギーである（単位：ｅＶ）。
【０２０４】
また、電極が金でコーティングされている場合であって、更に、電子線装置の試料が半導体ウェハである場合は、コーティングした金に電子線が衝突することによって金がスパッタされ、半導体ウェハの表面に金が付着してしまう場合がある。半導体表面に金が付着すると、後の熱工程で金がシリコン結晶中に拡散されトランジスタの性能を劣化させる。よってこの場合に、電子線装置は半導体ウェハの検査に適さない。
【０２０５】
一方、静電レンズを用いた電子光学系の例えば、静電レンズにおいては、電極間距離を短くすることによって焦点距離の短い静電レンズが得られる。焦点距離が短いと、静電レンズの収差係数は小さくなり低収差となるので、静電レンズは高分解能となり、評価装置の分解能が向上する。
【０２０６】
また、静電レンズの電極間に与える電位差を大きくすることによっても、焦点距離の短い静電レンズとすることができる。よって、電極間距離を短くする場合と同様に、静電レンズは低収差で高分解能となり、電子線装置の分解能が向上する。したがって、電極間距離を短くして電極間の電位差大きくしてやれば、相乗的に静電レンズは低収差で高分解能
とすることができる。しかし、電極間距離を短くして電極間の電位差大きくすると、電極間において放電が生じ易くなり、電極間で絶縁破壊を起こす確率が増加してしまうという問題がある。
【０２０７】
従来、電極間の絶縁は、電極間に絶縁材料を挿入し、この絶縁材料によって電極を支持することによって、電極間の絶縁を保持していた。また、電極間の絶縁材料の最短沿面距離（絶縁表面長さ）を長くすることによって、絶縁材料表面の絶縁性能を高めていた。例えば、絶縁材料の表面を電極間方向のヒダ形状とすることによって、電極間における最短沿面距離を長くしていた。
【０２０８】
しかしながら、一般に、絶縁材料表面の加工は、金属の加工に比べると加工が困難で、加工費用が高価になってしまう。また、絶縁材料表面をヒダ形状等とすると、絶縁材料の表面積が広くなってしまうので、電子線装置内が真空の場合は、絶縁材料からの放出ガスが多くなる場合がある。よって、真空度の劣化を招き、かえって電極間の耐圧が下がってしまう場合が多かった。
【０２０９】
本発明の第４の実施の形態はこのような問題を解決するために提案されたものであり、以下、第４の実施の形態に係る、静電光学系の電極間の絶縁破壊を防止し得る電子線装置を、静電光学系を有する写像投影型評価装置に適用した場合について、その写像投影型評価装置の構成、動作および該装置を用いたデバイス製造方法を説明する。
【０２１０】
図１６において、写像投影型評価装置１０００は、試料を照射する電子線が所定の放射面を持っており、電子線の照射によって試料から放射される二次電子線も所定の放射面を持っている。電子線源１００１からは、二次元領域、例えば矩形の放射面をもつ電子線が放射され、静電レンズ系１００２によって所定方向に偏向される。偏向された電子線は、斜め上方からＥ×Ｂ型偏向器１００３に入射され、Ｅ×Ｂ型偏向器１００３の電界と磁界が直交する場により、試料である半導体ウェハ１００６の方向に偏向される（図１６の実線）。
【０２１１】
Ｅ×Ｂ型偏向器１００３によって半導体ウェハ１００６の方へ偏向された電子線は、静電対物レンス系１００５内の電極に印加された電圧によって発生した電界により減速され、静電対物レンズ系１００５によって半導体ウェハ１００６に結像される。
【０２１２】
次に、半導体ウェハ１００６への電子線の照射によって発生した二次電子線は、静電対物レンズ系１００５の電界によって検出器１００８の方向に加速され（図１６の点線）、Ｅ×Ｂ型偏向器１００３に入射される。Ｅ×Ｂ型偏向器１００３は、加速された二次電子線を静電中間レンズ系１００７方向に向かわせ、次に、静電中間レンズ系１００７によって二次電子線を検出器１００８に入射させることによって二次電子線が検出される。検出器１００８によって検出された二次電子線はデータに変換されて表示装置１００９に送信され、表示装置１００９に二次電子線の画像を表示し、半導体ウェハ１００６のパターンを検査する。
【０２１３】
次に、写像投影型評価装置１０００における静電レンズ系１００２、静電対物レンズ系１００５、静電中間レンズ系１００７およびＥ×Ｂ型偏向器１００３の構成について詳細に説明する。電子線が通過する静電レンズ系１００２、静電対物レンズ系１００５や、二次電子線が通過する静電中間レンズ系１００７は、所定の電界を発生させる為の複数の電極を含んでいる。また、これら全ての電極の表面には、白金がコーティングされている。更に、Ｅ×Ｂ型偏向器１００３の電極１００４の表面も白金でコーティングされている。
【０２１４】
ここで、図１７を参照して、電極をコーティングする金属別における絶縁破壊発生確率
について説明する。尚、絶縁破壊発生率は、金属毎に相対的な大小関係で表している。また、写像投影型評価装置において、電極をコーティングする金属の種類を除く他の検査条件は同一とした。
【０２１５】
まず、電極をコーティングした金属がアルミニウムの場合と、金の場合において、絶縁破壊が発生する確率を比較すると、金の場合の方が電極の絶縁破壊の発生確率が若干低かった。よって、金の場合の方が絶縁破壊の防止については効果があった。また更に、電極をコーティングした金属が金の場合と、白金の場合において、絶縁破壊が発生する確率を比較すると、白金の場合の方が電極の絶縁破壊の発生確率が更に低かった。
【０２１６】
こヒで、各金属の仕事関数は、アルミニウムが４．２［ｅＶ〕であり、金が４９［ｅＶ〕、白金は５．３［ｅＶ］である。金属の仕事関数とは、金属にある１個の電子線を真空中に取り出すのに必要な最小のエネルギーである（単位：ｅＶ）。即ち、仕事関数の値が大きい程、電子線が取り出しにくいことになる。
【０２１７】
よって、写像投影型評価装置１０００において、電子線源１００１から放射された電子線が電極に衝突した場合に、仕事関数の値が大きい金属（仕事関数の値が大きい金属を主材料とする合金をも含む）が電極にコーティングされていれば、電極から放出される二次電子線は少なくなるので、電極の絶縁破壊の発生確率も低下する。そのため、仕事関数が大きい金属であれば、或る程度良い。具体的には、電極にコーティングされる金属の仕事関数が５［ｅＶ〕であれば、電極の絶縁破壊の発生確率は低く抑えることができる。
【０２１８】
また、この実施の形態のように、検査対象となる試料が半導体ウェハ１００６であり、更に、電極にコーティングされる金属が金の場合であると、電子線が金に衝突することによって、半導体ウェハ１００６のパターン上に金が付着してしまうことがあった。よって、この実施の形態においては、電極にコーティングされる金属が白金であると、半導体ウェハ１００６のパターン上に白金が付着することなく、また、白金が付着することがあってもデバイス性能を劣化させることもない。更に、電極の絶縁破壊の発生確率も低くすることができ、より好ましい。
【０２１９】
次に、図１８と図１９を参照して、電極の形状と構成の一例を説明する。図１８において、電極１０１０とは、静電レンズ系１００２、静電対物レンズ系１００５および静電中間レンズ系１００７に含まれる静電レンズの電極である。
【０２２０】
電極１０１０は、電子線や二次電子線が通過することができる通過孔が略中央部にある円盤形状になっており、この実施の形態の写像投影型評価装置１０００において、電極１０１０には、図示しない電源装置により所定の電圧が印加されている。
【０２２１】
図１９は電極１０１０の表面部の一部断面図である。なお、Ｅ×Ｂ型偏向器１００３の電極１００４の表面も電極１０１０の表面と同等の構成としてもよい。電極１０１０の材料は、ケイ素銅（シリコンブロンズ）１０１０ａから構成され、必要な寸法形状に加工されたケイ素銅１０１０ａ上にチタン１０１０ｂを５０ｎｍの厚さになるようにスパッタ・コーティングし、更に、チタン１０１０ｂ上に白金１０１０ｃを２００ｎｍの厚さになるようにスパッタ・コーティングを行って電極１０１０が形成される。
【０２２２】
ここで、図２０および図２１を参照して、この実施の形態において、電極間の電位差が大きい場合の電極間の絶縁破壊を防止する電極構成について詳細に説明する。図２０の電極１０２０、１０２２は、例えば、静電対物レンズ系１００５に含まれている電極であり、上記のように電極には白金がコーティングされている。また、電極１０２０、１０２２には、図示しない電源装置により所定の電圧が印加されている。この実施の形態では、半
導体ウェハ１００６側の電極１０２２には高電圧、例えば１５ｋＶの電圧が印加され、電極１０２０には５ｋＶの電圧が印加されている。
【０２２３】
電子線や二次電子線が通過する通過孔１０２４は、電極１０２０、１０２２の中央部にあり）通過孔１０２４内は電極１０２０、１０２２の電位差によって電界が形成されている。この電界によって、電子線は減速し、且つ収束されて、半導体ウェハ１００６に照射される。この時、電極間の電位差が大きいので、静電対物レンズ系１００５は焦点距離の短い静電対物レンズとすることができる。よって、静電対物レンズ系１００５は低収差で高分解能となる。
【０２２４】
電極１０２０と１０２２との間には、絶縁スペーサ１０２６が挿入されており、絶縁スペーサ１０２６は、電極１０２０、１０２２を略垂直に支持している。絶縁スペーサ１０２６の電極間における最短沿面距離は、支持された電極部分における電極間距離と略同じ長さである。即ち、電極間の絶縁スペーサ１０２６の表面は、電極間方向においてヒダ状等になっておらず、ほぼ直線になっている。
【０２２５】
電極１０２２は電極間において最短距離となっている第１の電極面１０２２ｂと、この第１の電極面１０２２ｂよりも電極間距離が長い第２の電極面１０２２ｃと、第１の電極面１０２２ｂと第２の電極面１０２２ｃとの間にこれら２つの電極間方向の段差１０２２ｄ（図２１）を有している。絶縁スペーサ１０２６は電極１０２２を第２の電極面１０２２ｃで支持している。
【０２２６】
電極１０２２をこのような形状にしたので、電極間の最短距離を所定の距離に保ちつつ、絶縁スペーサ１０２６の表面を電極間方向においてヒダ状等に加工することなく、絶縁スペーサ１０２６の最短沿面距離を電極間の最短距離より長くすることが可能となる。また、絶縁スペーサ１０２６の表面には、大きい電界が加わらないので、沿面放電も起こり難い構造とすることができる。
【０２２７】
したがって、静電対物レンズ系１００５を焦点距離の短い静電対物レンズとし、且つ低収差で高分解能にすることができ、しかも、絶縁スペーサ１０２６の電極間の絶縁性能が低下しないので、電極間の絶縁破壊が防止できる。また、金属である電極１０２２に段差１０２２ｄを設けるように加工したので、絶縁スペーサ１０２６を加工するより加工費用が安価になる。加えて、電極間方向における絶縁スペーサ１０２６の表面にはほとんど凹凸部分が無く、絶縁スペーサ１０２６からの放出ガスが多くなることも無い。更に、電極１０２０の通過孔１０２４の開口端部１０２０ａと、電極１０２２の通過孔１０２４の開口端部１０２２ａとのコーナー部に曲率を持たせたので、両コーナー部に電界が集中することがなくなり、電極間の絶縁破壊がより防止できる。また更に、電極１０２２の段差１０２２ｄの電極間側のコーナー部に曲率を持たせたので、コーナー部に電界が集中することがなく、電極間の絶縁破壊がより防止できる。
【０２２８】
なお、この第４の実施の形態では、電極１０２２に段差１０２２ｄを設けたが、電極１０２０にも電極１０２２方向に段差を設けるように加工してもよいし、電極１０２２に代えて、電極１０２０にのみ電極１０２２方向に段差を設けるように加工してもよい。また、静電対物レンズ系１００５において、絶縁スペーサ１０２６が挿入された電極を説明したが、他の静電レンズ系において、電位差の大きい電極がある場合は、その静電レンズ系に適用することによって、電極間の絶縁破壊を防止することができる。
【０２２９】
図１６〜図２１を用いて説明した第４の実施の形態は、すでに図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）に用いることによって、静電レンズ系の電極間で絶縁破壊が生じることなく半導体ウェハの評価を行うこと
が可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０２３０】
偏向に関する実施の形態（第５の実施の形態）
本発明の第５の実施の形態は、最小線幅が０．２マイクロメートル以下のパターンの欠陥検査、線幅測定、合わせ精度測定、つなぎ測定及び高時間分解能電位コントラスト測定等を高スループット、高信頼性で行なうことができる電子線装置および該装置を用いたデバイス製造方法に関する。
【０２３１】
ウィーンフィルタを用いて、一次電子線と、それによって照射された試料から放出された二次電子線とを分離するようにした電子線装置は公知である。例えば、試料に垂直な光軸に対して所定の角度をなすように電子線源から一次電子線を放出し、この一次電子線の進行方向をウィーンフィルタにより光軸に沿うよう偏向して一次電子線を試料に垂直に入射させ、試料から放出された二次電子線をウィーンフィルタによって一次電子線から分離して光軸に沿って進行させ、検出器に入射させる電子線装置が知られている。また、一次電子線を試料に対して垂直に入射させ、それによって試料から放出される二次電子線をＥ×Ｂ分離器によって一次電子線から分離して検出器に入力する電子線装置が知られている。
【０２３２】
こうした従来の電子線装置においては、一次電子線のエネルギー幅が大きいと、一次電子線の持つエネルギーの大小に応じて、Ｅ×Ｂ分離器によって偏向される角度が相違し、それが原因で一次電子線に色収差が発生するため、一次電子線からなるビームを細く絞ることができないという問題があった。また、色収差の問題は、一次電子線の照射により試料から放出された二次電子線を光軸に沿って直線的に進行させて検出器に入射させる電子線装置においても生じる。試料から放出された二次電子線のエネルギー幅が広いと、二次電子線が二次光学系を通過する際に色収差を発生することになり、二次電子線の正確な検出に悪影響を及ぼしていた。
【０２３３】
本発明の第５の実施の形態は、こうした従来の電子線装置の課題を解決するために提案されたものであり、一次電子線を細く絞って試料を走査する電子線装置において、ウィーンフィルタの色収差の影響を大幅に低減し、或いは、二次電子線の像を写像投影して検出する電子線装置において、二次電子線のエネルギー幅に起因する色収差を大幅に低減する手段を提供する。
【０２３４】
また、本発明の第５の実施の形態は、このような色収差を低減した電子線装置を用いた欠陥検査装置等に好適である。更に、こうした欠陥検査装置等をデバイス製造方法に用いてプロセス途中のウェハの検査を行なうことができる。
【０２３５】
図２２において、試料に垂直な光軸Ｘに対して、電子線源を含む一次系と検出器を含む二次系とが互いに反対側に所定の角度をなして配置される。図２２において、電子線源１１０１から放出された一次電子線１１０２は開口（図示せず）により長方形に整形され、レンズ１１０３、１１０４によって縮小されてウィーンフィルタ１１０５に入射する。このとき、一次電子線１１０２と光軸Ｘとのなす角度は３αであるとする。即ち、ウィーンフィルタ１１０５は静電偏向のための電場を作る電極１１０６と電磁偏向のための磁場を作る磁石１１０７とを備えており、ウィーンフィルタ１１０５は、そこに入射した一次電子線１１０２を電極１１０６の静電偏向作用によって左へ、即ち光軸Ｘに近づくように角度αだけ偏向させ、磁石１１０７の電磁偏向作用によって左へ角度２αだけ偏向させ、合計して角度３αだけ左に偏向させて試料１１０８に垂直な光軸Ｘに沿って進行させる。その後、一次電子線１１０２はレンズ系１１０９、１１１０を経て試料１１０８に入射し、試料１１０８を照射する。角度αは例えば１０度である。
【０２３６】
一次電子線１１０２の照射によって試料１１０８から放出された二次電子線１１１１はレンズ系１１０９、１１１０によって拡大された後、ウィーンフィルタ１１０５に入射し、その電極１１０６及び磁石１１０７の作用によって光軸Ｘからα度だけ右へ、即ち光軸Ｘから遠ざかるように偏向される。ウィーンフィルタ１１０５によって一次電子線から分離された二次電子線１１１１はレンズ系１１１２、１１１３を含む二次光学系によって拡大され、検出器１１１４上に結像する。検出器１１１４の出力は画像処理装置１１１５で適宜の処理をされ、画像メモリ１１１６に蓄積される。
【０２３７】
この第５の実施の形態においては、ウィーンフィルタ１１０５により生じる色収差は、二次電子線１１１１を処理する二次光学系においての方が問題となる。そこで、ウィーンフィルタ１１０５による色収差が二次電子線１１１１に対して及ぼす影響を解消するため、ウィーンフィルタ１１０５の静電偏向作用と電磁偏向作用が二次電子線を互いに逆の方向へ偏向させ、且つ、静電偏向作用が二次電子線を偏向する角度と電磁偏向作用が二次電子線を偏向させる角度との間に所定の関係を持たせるようにする。これにより、試料１１０８から放出されて光軸Ｘに沿って進行してきた二次電子線１１１１は、光軸Ｘに関して一次電子線１１０２とは反対の方向に所定の角度だけ偏向され、しかも、そのときには二次電子線１１１１の持つエネルギー幅による色収差を無視できる大きさにすることができる。
【０２３８】
そこで、二次電子線１１１１がウィーンフィルタ１１０５に入射したとき、ウィーンフィルタ１１０５の電極１１０６は静電偏向作用により二次電子線１１１１を左へ、即ち光軸Ｘに近づくように角度αだけ偏向させ、磁石１１０７は右へ、即ち光軸Ｘから遠ざかるように角度２αだけ偏向させる。このとき、ウィーンフィルタ１１０５へ入射する二次電子線のビームエネルギーをＶｏとすると、Ｖｏよりも△Ｖだけ小さいエネルギーを持つ二次電子線は、電極１１０６によって角度
α／（１−△Ｖ／Ｖｏ）＝β
だけ、光軸Ｘから左へ、即ち光軸Ｘに近づくように偏向されることになり、同時に、Ｖｏよりも△Ｖだけ小さいエネルギーを持つ二次電子線１１１１は磁石１１０７によって角度
２α／｛１―（△Ｖ／Ｖｏ）｝１／２＝γ
だけ、光軸Ｘに関して右へ、即ち光軸Ｘから遠ざかるように偏向される。第一次近似では、
（１―△Ｖ／Ｖｏ）−１＝（１＋△Ｖ／Ｖｏ）
であり、
２｛１−（△Ｖ／Ｖｏ）｝―１／２＝２｛１＋（１／２）（△Ｖ／Ｖｏ）｝
であるから、
γ−β＝２α｛１＋（１／２）（△Ｖ／Ｖｏ）｝―α（１＋△Ｖ／Ｖｏ）＝α
が成り立つ。換言すると、ウィーンフィルタ１１０５の静電偏向作用と電磁偏向作用との相殺により二次電子線のエネルギ幅に関する項が消去され、二次電子線１１１１はウィーンフィルタ１１０５によって光軸Ｘに関して右へ、即ち光軸Ｘから遠ざかるように角度αだけ偏向されるのみであるので、ウィーンフィルタ１１０５による色収差を無視することができる。
【０２３９】
図２３は、本発明の第５の実施の形態の構成を詳細に示す図である。同図において、電子線源１１０１から放出された一次電子線電子線１１０２はコンデンサレンズ１１２０によってブランキング開口板１１２１の開口に収束される。一次電子線１１０２は開口板１１２１ヘ進行する前に多数の開口を有する開口板１１２２を通過し、これによって、所望の本数の細いビームを有するマルチビームとされる。マルチビーム化された一次電子線１１０２は、開口板１１２１を通過した後、縮小レンズ１１２３、１１２４によって所定寸法のビームへ縮小されて縮小像１１２２’を形成した後、ウィーンフィルタ１１０５に入
る。このとき、一次電子線１１０２と光軸Ｘとのなす角度はαである。一次電子線１１０２はウィーンフィルタ１１０５によって角度αだけ曲げられて試料１１０８に垂直な光軸Ｘに沿って進み、更に対物レンズ１１２５及び対称電極１１２６によって縮小されてから試料１１０８を照射する。
【０２４０】
ウィーンフィルタ１１０５から出た一次電子線１１０２によって試料１１０８を、開口板１１２２の開口の配列方向とは直角の方向（図４において、紙面に垂直な方向）に走査するため、一次電子線１１０２の光路に沿って走査用電極１１２７、１１２８が配置され、また、ブランキング時に一次電子線１１０２の進行方向を正常な進行方向から逸らせて光路１１２９に沿って進行させるため、ブランキング偏向器１１３０、１１１３１が設けられる。
【０２４１】
試料１１０８は、一次電子線１１０２を構成する複数の細いビームのそれぞれによって照射された各個所から二次電子線１１１１を放出する。こうして放出されたマルチビームの二次電子線１１１１はウィーンフィルタ１１０５によって一次電子線から分離され、結像電子光学系１１３２、１１３３によって拡大され、開口板１１２２の開口と対応する開口を有する開口板１１３４を通過してマルチ検出器１１３５に入射する。ここで、開口板１１２２と開口板１１３４は光軸の回りに９０゜回転させた図を表示している。
【０２４２】
この場合にも、ウィーンフィルタ１１０５に起因する色収差が一次電子線及び二次電子線について問題となるが、二次光学系で発生する色収差は、マルチビームを構成する複数のビームの相互間隔を広げることにより影響を小さくすることができる。
【０２４３】
一方、ウィーンフィルタ１１０５による色収差が一次電子線１１０２に対して及ぼす影響を解消するため、図２３においては、ウィーンフィルタ１１０５の静電偏向作用と電磁偏向作用が一次電子線を互いに逆の方向へ偏向させ、且つ、静電偏向作用が一次電子線を偏向する角度と電磁偏向作用が一次電子線を偏向させる角度との間に所定の関係を持たせるようにする。これにより、電子線源１１０１から放出されて光軸Ｘに対して斜めに進行してきた一次電子線１１０２は、光軸Ｘに関して左へ、即ち光軸Ｘに近づくように所定の角度だけ偏向され、しかも、そのときには一次電子線１１０２の持つエネルギー幅の影響を無視することができる。
【０２４４】
これを具体的に説明すると、ウィーンフィルタ１１０５は、一次電子線１１０２を電極１１０６の静電偏向作用により角度αだけ右へ、即ち、光軸から遠ざかるように偏向し、磁石１１０７の電磁偏向作用により角度２αだけ左へ、即ち、光軸Ｘに近づくように偏向する。その結果、ウィーンフィルタ１１０５に入射した一次電子線１１０２は、全体として左へ角度αだけ偏向される。この場合には、一次電子線１１０２の持つエネルギー幅の影響を無視することができる。具体的には、一次電子線１１０２のエネルギー幅の広がりに起因する色収差は解消される。
【０２４５】
数学的に説明すると、ウィーンフィルタ１１０５へ入射する二次電子線のビームエネルギーをＶｏとしたとき、Ｖｏよりも△Ｖだけ小さいエネルギーを持つ一次電子線は、電極１１０６によって角度
α／（１―△Ｖ／Ｖｏ）＝δ
だけ偏向される。この値はαより大きいので、余分に右へ、即ち光軸Ｘから遠ざかるように偏向されることになり、同時に、Ｖｏよりも△Ｖだけ小さいエネルギーを持つ一次電子線は磁石１１０７によって角度
２α（１―△Ｖ／Ｖｏ）−１／２＝θ
だけ偏向される。この値は２αより大きいので、余分に左へ、即ち光軸Ｘに近づくように偏向される。そこで、これらの角度の差として、
θ−δ＝２α（１―△Ｖ／Ｖｏ）―１／２−α（１―△Ｖ／Ｖｏ）−１
が求まる。△ＶはＶｏに比べて極めて小さいので、第一次近似として、
（１―△Ｖ／Ｖｏ）―１／２≒（１＋△Ｖ／２Ｖｏ）
が成り立つので、結局、
θ−δ≒２α（１―△Ｖ／２Ｖｏ）−α（１―△Ｖ／Ｖｏ）
＝α
が成立する。こうして、一次電子線１１０２がウィーンフィルタ１１０５によって光軸Ｘに近づくように角度αだけ偏向されるとき、一次電子線の持つエネルギー幅を無視することができるので、ウィーンフィルタ１１０５による色収差を解消することができる。
【０２４６】
なお、二次光学系で発生する色収差は、一次電子線１１０２を構成する複数のビームを一つの列上に配列し、これらのビームの配列方向と直角の方向にウィーンフィルタ１１０５において偏向する場合には、ビームの配列方向とは直角な方向に生じるので、色収差によって複数のビーム間のクロストークが増すことはない。
【０２４７】
図２２及び図２３を参照して説明した電子線装置は、欠陥検査装置、合わせ精度測定装置、線幅測定装置、高時間分解能電位コントラスト測定装置、欠陥レビュー装置、ストロボＳＥＭ装置等の各種の装置に適用することができる。また、第５の実施の形態の電子線装置は、プロセス途中のウェハの評価を行うために、図３および図４の（ａ）、（ｂ）において説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）において使用することができる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０２４８】
以上、本発明の第５の実施の形態を説明したが、本発明はこうした実施の形態に限定されるものではない。例えば、試料１１０８の異なる位置を同時に照射できるよう、電子線源、一次光学系、二次光学系及び検出器からなる電子線照射・検出系を複数系統設け、複数の電子線源から出た複数の一次電子線で試料を照射し、試料から放出された複数の二次電子線を複数の検出器で受け取るようにしてもよい。これにより、検査や測定に要する時間を大幅に短縮することができる。
【０２４９】
対物レンズの駆動に関する実施の形態（第６の実施の形態）
本発明の第６の実施の形態は、０．１ミクロン以下の線幅を持つパターンの欠陥検査、ＣＤ測定、合わせ精度測定、高時間分解能での電位測定等の諸評価を高スループット、高精度且つ高信頼性で行うことができる電子線装置および該装置を用いたデバイス製造方法に関する。
【０２５０】
半導体ウェハ等の試料の表面に形成されたパターンの評価を、電子線による走査の結果を用いて高精度で行う場合、試料の高さの変化を考慮することが必要である。これは、試料の高さにより、該試料の表面上のパターンと該パターンに電子線を集束させる対物レンズとの間の距離が変化して、合焦条件はずれにより解像度が低下してしまい、正確な評価ができないためである。
【０２５１】
これを解消するため、試料面に対して斜めに光を入射させ、その反射光を利用して試料の高さを測定し、その測定結果を、電子線を試料に集束させるための電子光学系に帰還させて、電子光学系の構成要素に供給する電流や電圧を制御することにより、電子光学系の焦点合わせを行う電子線装置は公知である。
【０２５２】
しかし、試料に対して斜めに光を入射させる方式においては、試料面と電子光学系の下面との間のスペースに、入射光を反射させるための、絶縁物を主体とする光学部品を配置しなければならない。このためには、試料面と電子光学系の下面との間の間隔を必要以上
に大きく取る必要があるが、そうすると電子光学系の収差等の問題が無視し得なくなる。しかしながら、電子光学系の焦点合わせと電子光学系の収差等の問題の解消とを同時に行う手段がないのが実状であった。
【０２５３】
また、電子光学系の焦点合わせは、試料面と電子光学系の下面との間の距離ばかりでなく、試料面上の帯電状態や、電子線の空間電荷効果をも考慮して行う必要があるので、電子光学系の焦点合わせに関係するパラメータを電子光学的に測定しないならば誤差が発生しかねない。
【０２５４】
更に、電子光学系に含まれる磁気レンズの励磁電流を調整して焦点合わせを行う場合、この励磁電流を所定値に設定してから電子光学系の焦点距離が安定的に定まるまでの時間、即ち整定時間を長く取ることが必要であるため、高速で焦点合わせを行うことが困難であるという問題もあった。また、静電レンズの励起電圧を変えて電子光学系の焦点合わせを行う場合、静電レンズに印加された高電圧を変化させなければならないので、同様に、整定時間が長くかかるという問題があった。
【０２５５】
本発明の第６の実施の形態は、上記の問題点を解決するために、電子光学的に且つ短時間で電子光学系の焦点合わせを行うことができる電子線装置及び該装置を用いたデバイス製造方法を提供する。
【０２５６】
図２４は、本発明の第６の実施の形態の構成を概略的に示している。同図において、電子線源１２０１はアノード１２０２を備え、放出された一次電子線はアノード１２０２によって加速されて軸合わせ用偏向器１２０３、１２０４及び非点補正レンズ１２０５を経て開口板１２０６の小孔１２０７を通る。開口板１２０６を通過した一次電子線はコンデンサ・レンズ１２０８によって集束され、偏向器１２０９、１２１０を経てウィーン・フィルタ１２１１を通過した後、対物レンズ１２１２によって縮小され、軸対称電極１２１３を経て、ステージＳ上に載置された試料１２１４の表面に形成された例えば矩形の複数の回路パターンの一つの上に結像される。軸対称電極１２１３は、試料１２１４との間に殆どスペースがないよう配置される。ステージＳは、一次電子線が偏向される第１の方向に対して直角な第２の方向に移動可能であり、このため、一次電子線の偏向とステージＳの移動とにより回路パターンの走査が行われる。
【０２５７】
一次電子線による走査の結果、試料１２１４上の一つの回路パターンから放出された二次電子線は、対物レンズ１２１２の電界によって引かれて加速され、ウィーン・フィルタ１２１１によって光軸Ｌから逸れるように偏向されて一次電子線から分離される。こうして二次電子線は二次電子線検出部１０８５によって検出される。二次電子線検出部１２１５は、入射した二次電子線の強度を表す電気信号を出力する。この電気信号は、その対応の増幅器（図示せず）によって増幅された後、画像処理される。
【０２５８】
コンデンサ・レンズ１２０８によって一次電子線を縮小するため、コンデンサ・レンズ１２０８を構成する電極のそれぞれに対して、第１の電源１２１７から所要の電圧が印加される、一方、対物レンズ１２１２はユニポテンシャル・レンズであり、一次電子線を試料１２１４の表面に集束させるため、対物レンズ１２１２の中央電極には第２の電源１２１８から正の高電圧Ｖｏボルトが印加され、対物レンズ１２１２の上側電極及び下側電極には第３の電源１２１９から小さい電圧±△Ｖｏボルトが印加される。
【０２５９】
電子線源１２０１、アノード１２０２、軸合わせ用偏向器１２０３、１２０４、非点補正レンズ１２０５、開口板１２０６、コンデンサ・レンズ１２０８、偏向器１２０９、１２１０、ウィーン・フィルタ１２１１、対物レンズ１２１２、軸対称電極１２１３及び二次電子線検出部１２１５は、適宜のサイズの鏡筒１２１６内に収納されて一つの電子線走
査・検出系１２２０を構成する。なお、電子線走査・検出系１２２０の初期焦点合わせは、電圧±△Ｖｏを例えば−１０ボルトに固定しておき、正電圧Ｖｏを変化させることによって行い得る。
【０２６０】
上で説明したように、電子線走査・検出系１２２０は、試料１２１４上のチップパターンの一つを走査し、走査の結果として試料１２１４から放出された二次電子線を検出して、その強度を表す電気信号を出力する。実際には、試料１２１４の表面に複数のチップパターンが形成されているので、電子線走査・検出系１２２０と同様の構成の電子線走査・検出系（図示せず）が、電子線走査・検出系１２２０と並列する形で、互いの距離が試料１２１４上のチップ寸法の整数倍の距離になるよう配置される。
【０２６１】
電子線走査・検出系１２２０について更に説明すると、二次電子線検出部１２１５から出力された電気信号は２値化情報へ変換され、この２値化情報を画像データに変換する。この結果、試料１２１４の表面に形成された回路パターンの画像データが得られ、得られた画像データは適宜の記憶手段に蓄積されると共に、基準の回路パターンと比較される。これにより、試料１２１４上に形成された回路パターンの欠陥を検出することができる。
【０２６２】
なお、試料１２１４上の或る回路パターンを表す画像データとの比較のための基準の回路パターンは種々のものを使用することができ、例えば、当該画像データを生じる走査が行われた回路パターンを作製するためのＣＡＤデータから得られた画像データを用いることができる。
【０２６３】
図２４に示す電子線装置において、対物レンズ１２１２の上側電極及び下側電極に印加すべき電圧±△Ｖｏの値は、ＣＰＵ等の制御装置（図示せず）の制御下で以下のようにして決定される。まず、試料１２１４の表面に形成された任意の一つの回路パターン上に、一次電子線が偏向される第１の方向に平行なパターン・エッジと、この第１の方向に直角な第２の方向に平行なパターン・エッジとが存在する場所を、例えばパターン・データから読み出す。
【０２６４】
次いで、偏向器１２０９、１２１０及びウィーン・フィルタ１２１１を用いて、一次電子線により、上記第１の方向に平行なパターン・エッジを上記第２の方向に走査し、その結果放出された二次電子線の強度を表す電気信号を二次電子線検出部１２１５から取り出し、その電気信号の立上がり幅（単位：ミクロン）を測定する。同様に、上記第２の方向に平行なパターン・エッジについても、偏向器１２０９、１２１０及びウィーン・フィルタ１２１１を用いて一次電子線により上記第１の方向に走査し、その結果放出された二次電子線の強度を表す電気信号を二次電子線検出部１２１５から取り出し、その電気信号の立上り幅を測定する。この操作を電圧±△Ｖｏの値を変える毎に行う。こうして、図２５の（ａ）に示すグラフＡ及びＢが求まる。
【０２６５】
上記の「電気信号の立上がり幅」は、図２５の（ｂ）に示すように、電圧±△Ｖｏを或る値に固定した状態で、第１の方向に平行なパターン・エッジを第２の方向に走査したときに測定される電気信号が、その最大値の１２％から８８％まで変化するのに要する第２の方向での走査距離（単位ミクロン）である。
【０２６６】
図２５の（ａ）において、グラフＡは電圧△Ｖｏが−△Ｖｏ（ｘ）で最小である、即ち、立上りがもっとも鋭いことを示しており、同様に、グラフＢは電圧△Ｖｏが＋△Ｖｏ（ｙ）で最小である、即ち、立上りが最も鋭いことを示している。したがって、対物レンズ１２１２の焦点条件、即ち、上側電極及び下側電極に印加する電圧±△Ｖｏの値は、｛−△Ｖｏ（ｘ）＋△Ｖｏ（ｙ）｝／２に設定することが好ましい。
【０２６７】
実際には、電圧±△Ｖｏは０〜±２０ボルトまでしか変化しないので、１０マイクロ秒という高速で対物レンズ１２１２の整定を行うことができ、図２５の（ａ）のグラフＡ及びＢを取得するのに１５０マイクロ秒しか要しなかった。
【０２６８】
また、曲線Ａ、Ｂを測定するのに、このように多くの測定を行う必要はなく、図２５の（ａ）に示すように、±△Ｖｏの値として−△Ｖ（１）、＋△Ｖ（２）、＋△Ｖ（３）を設定して立ち上がり幅を測定し、双曲線で近似してグラフＡ、Ｂを求め、立上りの最小値＋△Ｖｏ（ｙ）、−△Ｖｏ（ｘ）を求めてもよい。その場合には、４５マイクロ秒程度で測定を行うことができる。
【０２６９】
図２５の（ａ）のＡ、Ｂは双曲線の形状をしている。立ち上がり幅をｐ（ｍｍ）、対物レンズ電圧±△Ｖｏをｑ（ボルト）とすると、曲線Ａ、Ｂはａ、ｂ及びｃを定数として、
（ｐ２／ａ２）−（ｑ−ｃ）２／ｂ２＝１
と表せる。そこで、３つのｑの値ｑ１、ｑ２、ｑ３とそれらに対応するｐの値ｐ１、ｐ２、ｐ３を上式に代入すると、次の３つの式が得られる。
【０２７０】
（ｐ１２／ａ２）−（ｑ１−ｃ）２／ｂ２＝１      （１）
（ｐ２２／ａ２）−（ｑ２−ｃ）２／ｂ２＝１      （２）
（ｐ３２／ａ２）−（ｑ３−ｃ）２／ｂ２＝１      （３）
これらの式（１）〜（３）からａ，ｂ及びｃの値が算出され、ｑ＝ｃのとき、最小値となる。即ち、立ち上がり幅が最小となる対物レンズ電圧−△Ｖｏ（ｘ）を３つのレンズ条件で求めることができたことになる。全く同様にして、＋△Ｖｏ（ｙ）を求めることができる。
【０２７１】
図２５の（ａ）のグラフＡ、Ｂのように立上り幅がパターン・エッジを第１の方向に走査したときと第２の方向に走査したときとで異なる場合が一般的である。こうした場合には、例えば８極の非点補正レンズ１２０５に印加する電圧を調整して、第１の方向及びそれに直角な第２の方向においてパターン・エッジを走査したときの二次電子線検出部１２１５からの電気信号の立上りが更に小さくなるよう非点補正を行うことが必要である。
【０２７２】
前述のとおり、電子線走査・検出系１２２０と同様の構成の電子線走査・検出系（図示せず）が、電子線走査・検出系１２２０と並列する形で、互いの距離が試料１２１４上のチップサイズの整数倍の距離になるよう配置され、それぞれの電子線走査・検出系において一次電子線が試料１２１４上に合焦するよう焦点合わせを行う必要があるが、こうした焦点合わせは略同時に行うことが可能であるので、スループット・バジェットは僅かな値でしかない。
【０２７３】
この方法では、光学的なＺセンサではなく、電子光学的な手段で合焦条件を求めているため、試料が帯電している場合にも正しい合焦条件が求められるという利点がある。
以上説明したように電子線走査・検出系における焦点合わせを行ってから、試料１２１４の評価を行うプロセスに移行する。本発明の第６の実施の形態を用いた欠陥検査装置を、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）に対して用いることにより、微細なパターンを有する半導体デバイスをも、スルプットよく検査することができるので、全数検査が可能となり、製品の歩留りを向上させ、欠陥製品の出荷防止が可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０２７４】
制振装置に関する実施の形態（第７の実施の形態）
本発明の第７の実施の形態は、電子線を物質の目標位置に照射することにより、当該物質の加工、製造、観測及び検査のうち少なくともいずれかを実行する電子線装置に係り、
より詳しくは、電子線を位置決めする機械構造体に生じる不要な機械的振動を減少させた電子線装置、その制振方法および該装置を用いた半導体デバイスの加工、製造、観測及び検査のうち少なくともいずれかを実行する工程を備えた半導体製造プロセスに関する。
【０２７５】
一般に、電子線を用いて物質の微細な構造を観測する手法に、ウェハ等に形成されたパターンの欠陥を検査する検査装置や走査型電子線顕微鏡（ＳＥＭ）等が有るが、観測分解能がμｍ〜数十ｎｍであるため、外部からの振動を十分に除振して観測を行う必要がある。また、電子線を用いて露光を行う装置においても、電子線を偏向させ、目標位置に正確にビーム照射するためには、外部からの振動を十分に除振するための除振装置を用い、且つ、鏡筒部分の構造から生じる機械的共振によるふらつきを出来るだけ小さくするために、剛性を上げる必要がある。構造体の剛性を上げるためには、電子光学系による物理的な寸法制約があることから、小型化による剛性の向上は取りづらく、従って鏡筒部分の肉厚化、大型化等により剛性向上が成されることが多かった。しかし、この方法による剛性向上は、装置の重量化、形状制限、除振台の大型化などを含む設計上の自由度の拘束、並びに、経済的な面を含めて不利な面が多々有った。
【０２７６】
本発明の第７の実施の形態は、上記事実に鑑み、ビームを位置決めする機械構造体の共振による不要な振動を、必ずしも機械構造体の剛性を向上させなくても、ビームの位置決めを高精度に維持できるよう適切に減衰可能とすることにより、設計上の制約の緩和、装置の小型軽量化、経済性の向上を実現させた電子線装置、および、該装置を半導体デバイスの製造工程に用いて効率良く製造、検査、加工、観測等を可能とする半導体製造プロセスを提供する。
【０２７７】
図２６は、本発明の第７の実施の形態を、電子線を用いて半導体ウェハの欠陥の検査を行う電子線検査装置に適用した場合の構成を示す。同図に示す電子線検査装置１３０１はいわゆる写像投影型であり、Ａブロック及びこのＡブロックから斜め上方に突出するＢブロックの機械構造体を有する。Ｂブロック内には一次電子線を照射する一次電子線照射手段が配置され、Ａブロック内には二次電子線を写像投影するための写像投影光学系と、二次電子線の強度を検出する撮像手段とが含まれる。Ａブロックは、最下の固定台１３３０に連結される。
【０２７８】
Ｂブロック内に配置された一次電子線照射手段は、一次電子線を放出、加速するためカソード及びアノードから構成された電子線源１３０１ａ、一次電子線を長方形に整形する長方形開口１３０２ａ、及び、一次電子線を縮小結像させる４極子レンズ１３０２ｂを備える。Ａブロックの下部には、縮小された一次電子線を電場Ｅ及び磁場Ｂの直交する場で半導体ウェハ１３０５に略垂直に当たるように偏向させるＥ×Ｂ偏向器１３０６、開口アパーチャ（ＮＡ）１３０７、及び、該開口アパーチャを通過した一次電子線をウェハ１３０５上に結像させる対物レンズ１３０８が配置される。
【０２７９】
ここで、４極子レンズ１３０２ｂによって縮小された一次電子線は、Ｅ×Ｂ偏向器１３０６の偏向主面に例えば５００μｍ×２５０μｍの像を形成すると同時に開口アパーチャ１３０７に電子線源１３０１ａのクロスオーバー像を形成し、ケーラー証明条件が満たされるようにしている。対物レンズ１３０８によって、ウェハ１３０５上には例えば１００μｍ×５０μｍの像が形成され、当該領域が照明される。
【０２８０】
ウェハ１３０５は、真空に排気可能な図示しない試料室内に配置され、且つ、Ｘ−Ｙ水平面内を移動可能なステージ１３０４の上に配置されている。ここで、Ａブロック及びＢブロックと、ＸＹＺ直交座標系との関係を図２７（ａ）に示す。Ｘ−Ｙ水平面にウェハ面があり、Ｚ軸は写像投影光学系の光軸に略平行となる。ステージ１３０４がウェハ１３０５を載置した状態でＸ−Ｙ水平面内を移動することによって、ウェハ１３０５の検査面が
一次電子線によって順次走査される。なお、ステージ１３０４は固定台１３３０の上に載置される。
【０２８１】
Ａブロックの上部に配置された写像投影光学系は、中間静電レンズ１３０９及び投影静電レンズ１３１１と、これらレンズの中間に配置された絞り１３１０と、を備える。一次電子線の照射によりウェハ１３０５から放出された二次電子線、反射電子線及び散乱電子線は、この写像投影光学系によって、所定の倍率（例えば２００〜３００倍）で拡大投影され、後述するマルチチャンネルプレート１３２１の下面に結像される。
【０２８２】
Ａブロックの最上部に配置された撮像手段は、マルチチャンネルプレート１３２１と、蛍光スクリーン１３２２と、リレーレンズ１３２３と、撮像部１３２４とを備える。マルチチャンネルプレート１３２１は、プレート内に多数のチャンネルを備えており、静電レンズ１３０９及び１３１１によって結像された二次電子線が該チャンネル内を通過する間に、更に多数の電子線を生成させる。即ち、二次電子線を増幅させる。蛍光スクリーン１３２２は、増幅された二次電子線が照射されることにより、二次電子線の強度に応じた強さの蛍光を発する。即ち、二次電子線の強度が光の強度に変換される。リレーレンズ１３２３がこの蛍光を撮像部１３２４に導くように配置される。撮像部１３２４は、リレーレンズ１３２３により導かれた光を電気信号に変換するための多数のＣＣＤ撮像素子から構成される。検出信号のＳ／Ｎ比を向上させるため、いわゆるＴＤＩ（Time Delay Integral）検出器を用いるのが好ましい。なお、一次電子線の照射によって、二次電子線だけでなく散乱電子線や反射電子線も発生するが、ここでは一括して二次電子線と称することにする。
【０２８３】
ところで、Ａブロック及びこれに連結されたＢブロックの機械構造体からなる鏡筒１３４６は、通常、一つ又はそれ以上の固有振動モードを有する。各固有振動モードの共振周波数及び共振方向は、形状、質量分布、サイズ、内部の機械の配置形態等によって決定される。例えば、図２７（ｂ）に示すように、鏡筒１３４６は、固有振動１３８８のモード１を少なくとも有する。このモード１において、鏡筒１３４６は、例えば略Ｙ方向に沿って１５０Ｈｚの周波数で揺れる。この場合の鏡筒の伝達関数の一例を図２９に示す。図２９では、横軸が周波数、縦軸が振動振幅Ａの対数である。この伝達関数では、共振周波数１５０Ｈｚにおいて共振倍率３０ｄＢ（約３０倍）のゲインを有する。従って、外部から微少な振動が加わった場合でも、その振動に１５０Ｈｚ近傍の周波数成分が含まれていると、その周波数成分はこの例では約３０倍に増幅されて鏡筒を振動させる。この結果、写像のボケ等の有害な事象を発生させる。
【０２８４】
従来技術では、これを防止するため、鏡筒全体を除振台の上に載せて外部からの振動を除振するか、及び／又は、鏡筒の肉厚や構造を見直し、共振倍率を下げる等の大掛かりな対策を行っていた。
【０２８５】
本発明の第７の実施の形態では、これを避けるため、図２７（ｃ）に示すように、振動１３８８を打ち消すように鏡筒に対し圧力振動１３９０を加えるアクチュエータ１３２５をＡブロックの基部に設置する。このアクチュエータ１３２５は、図３に示すように、振動減衰用回路１３２７に電気的に接続されている。
【０２８６】
アクチュエータ１３２５及び振動減衰用回路１３２７の概略構成を図２８に示す。同図に示すように、アクチュエータ１３２５は、圧電効果を有する誘電体１３５１を電極１３５２ａ及び１３５２ｂで挟んでなる圧電素子１３５０と、該圧電素子１３５０を電極１３５２ｂ側から支持するため固定台１３３０に固定された支持台１３５４とを有する。圧電素子１３５０は、鏡筒１３４６のＡブロックと支持台１３５４との間に挟まれており、電極１３５２ａは、Ａブロックの外壁に、電極１３５２ｂは支持台１３５４に接着されてい
る。これにより、圧電素子１３５０は、往復振動１３８８により、鏡筒１３４６が向かってくるときは正の圧力、鏡筒１３４６が遠ざかるときは負の圧力を受ける。圧電素子１３５０は、鏡筒１３４６の振動１３８８を抑制するため効果的な位置に設置される。例えば、振動１３８８の方向が、電極１３５２ａ及び１３５２ｂと直交するように配置されるのが好ましい。
【０２８７】
振動減衰用回路１３２７は、圧電素子１３５０の両電極１３５２ａ、１３５２ｂの間を直列に接続された可変インダクタンス１３５８及び抵抗１３５６から構成される。可変インダクタンス１３５８はインダクタンスＬ、抵抗１３５６は抵抗値ＲD、圧電素子１３５０は電気容量Ｃを有するため、直列接続された圧電素子１３５０及び振動減衰用回路１３２７は、参照番号１３６０により示される直列共振回路と等価となる。この直列共振回路の共振周波数ｆ0’は、
ｆｏ’＝１／｛２π（ＬＣ）１／２｝
で表される。本発明では、直列共振回路の共振周波数ｆ0’が鏡筒１３４６の共振周波数ｆ0に略一致するように、各パラメータが設定される。即ち、与えられた圧電素子１３５０の電気容量Ｃに対して、
ｆｏ＝１／｛２π（ＬＣ）１／２｝
が成立するように、可変インダクタンス１３５８のインダクタンスＬが調整される。実際には、圧電素子１３５０の容量Ｃは、機械的共振周波数に合わせて共振回路を形成する上では小さく、このため非常に大きなインダクタンスＬを必要とする場合が多いが、この場合には演算増幅器等を用いて等価的に大きなインダクタンスを形成することで共振回路を実現することができる。
【０２８８】
また、直列共振回路の共振周波数成分のＱ値が、図２９に示す伝達関数においてピークを持つ共振成分のＱ値に略一致するように、抵抗１３５６の値ＲDが選択される。このようにして作られた直列共振回路１３６０は、図２９の参照番号１３８４により示される電気的周波数特性を有する。
【０２８９】
図２６に示す電子線検査装置１３０１は、制御部１３１６によって制御・管理される。制御部１３１６は、図２６に例示されたように、汎用的なパーソナルコンピュータ等から構成することができる。このコンピュータは、所定のプログラムに従って各種制御、演算処理を実行する制御部本体１３１４と、本体１３１４の処理結果を表示するＣＲＴ１３１５と、オペレータが命令を入力するためのキーボードやマウス等の入力部１３１８とを備える、勿論、電子線検査装置専用のハードウェア、或いは、ワークステーションなどから制御部１３１６を構成してもよい。
【０２９０】
制御部本体１３１４は、図示しないＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、ビデオ基板等の各種制御基板等から構成される。ＲＡＭ若しくはハードディスクなどのメモリ上には、撮像部１３２４から受信した電気信号即ちウェハ１３０５の二次電子線画像のデジタル画像データを記憶するための二次電子線画像記憶領域１３２０が割り当てられている。また、ハードディスク上には、予め欠陥の存在しないウェハの基準画像データを記憶しておく基準画像記憶部１３１３が存在する。更に、ハードディスク上には、電子線検査装置全体を制御する制御プログラムの他、欠陥検出プログラム１３１９が格納されている。この欠陥検出プログラム１３１９は、ステージ１３０４のＸＹ平面内の移動を制御すると共に、この間に撮像部１３２４から受信したデジタル画像データに関して加算等の各種演算処理を行い、その結果得られたデータから記憶領域１３２０上で二次電子線画像を再構成する機能を有する。更に、この欠陥検出プログラム１３１９は、記憶領域１３２０上で構成された二次電子線画像データを読み出し、該画像データに基づき所定のアルゴリズムに従ってウェハ１３０５の欠陥を自動的に検出する。
【０２９１】
次に、この実施の形態の作用を説明する。電子線源１３０１ａから一次電子線を放出し、長方形開口１３０２ａ、４極子レンズ１３０２ｂ、Ｅ×Ｂ偏向器１３０６及び対物レンズ１３０８を通して、セットされたウェハ１３０５表面上に照射する。上述のように、ウェハ１３０５上で例えば１００μｍ×５０μｍの被検査領域が照明され、二次電子線が放出される。この二次電子線は、中間静電レンズ１３０９及び投影静電レンズ１３１１によってマルチチャンネルプレート１３２１の下面に拡大投影され、撮像部１３２４により撮像され、ウェハ１３０５上の投影された領域の二次電子線画像が得られる。ステージ１３０４を駆動してウェハ１３０５を所定幅毎にＸ−Ｙ水平面内で逐次移動して上記手順を実行することにより、検査面全体の画像を得ることができる。
【０２９２】
拡大された二次電子線画像を撮像している間に、鏡筒１３４６に共振周波数ｆ0（１５０Ｈｚ）の振動成分を含む外力が加わると、鏡筒１３４６は、その伝達関数で定まる共振倍率（３０ｄＢ）でこの振動成分を増幅させて固有振動する。この振動１３８８は、圧電素子１３５０に正負の圧力を印加する。圧電素子１３５０は、鏡筒１３４６の振動エネルギーを一旦電気エネルギーに変換して出力する。圧電素子１３５０の両電極１３５２ａ、１３５２ｂには、インダクタンス１３５８（Ｌ）及び抵抗１３５６（ＲD）が直列接続されて共振回路を形成しているため、共振周波数ｆ0において、圧電素子１３５０の容量性インピーダンスと、インダクタンス１３５８の誘導性インピーダンスＬとは相殺され、共振回路のインピーダンスは、事実上、抵抗２０５６（ＲD）のみとなる。従って、共振時には、圧電素子１３５０から出力される電気エネルギーは、抵抗１３５６（ＲD）によりほぼ全部消費される。
【０２９３】
かくして、鏡筒１３４６から圧電素子１３５０に加わる外力を相殺するように圧電素子１３５０は力を発生することになり、機械共振により発生する振動１３８８を相殺し、共振倍率を下げることができる。二次電子線は拡大写像されるため、振動による写像の揺らぎは更に大きなものとなるが、この実施の形態では、このような揺らぎに起因した写像のぼけを未然に防止することができる。
【０２９４】
図３０に示すように、機械構造体としての鏡筒１３４６の伝達関数１３８２（図２９に相当）の共振成分は、電気的周波数特性１３８４を持った直列共振回路１３６０の共振成分により相殺され、鏡筒１３４６は、全体として共振倍率の低い総合伝達関数１３８６を持つようになる。
【０２９５】
以上のように、写像のぼけの無い良好な二次電子線画像が得られると、この実施の形態の電子線検査装置１３０１は、当該画像からウェハ１３０５の欠陥を検査する処理を行う。この欠陥検査処理として、いわゆるパターンマッチング法などを用いることができる。この方法では、基準画像記憶部１３１３から読み出した基準画像と、実際に検出された二次電子線画像とのマッチングを取って両者の類似度を表す距離値を演算する。この距離値が所定の閾値より小さい場合、類似度が高いと判断して「欠陥無し」と判定する。これに対し、該距離値が所定の閾値以上の場合、類似度が低いと判断して「欠陥有り」と判定する。欠陥有りと判定した場合、オペレータに警告表示してもよい。このとき、ＣＲＴ１３１５の表示部に二次電子線画像１３１７を表示するようにしてもよい。なお、二次電子線画像の部分領域毎に上記パターンマッチング法を用いてもよい。
【０２９６】
パターンマッチング法以外でも、例えば図３１（ａ）〜（ｃ）に示す欠陥検査方法がある。図３１（ａ）には、１番目に検出されたダイの画像１３３１及び２番目に検出された他のダイの画像１３３２が示されている。３番目に検出された別のダイの画像が１番目の画像１３３１と同じか又は類似と判断されれば、２番目のダイ画像１３３２の１３３３の部分が欠陥を有すると判定され、欠陥部分を検出できる。
【０２９７】
図３１（ｂ）には、ウェハ上に形成されたパターンの線幅を測定する例が示されている。ウェハ上の実際のパターン１３３４を１３３５の方向に走査したときの実際の二次電子線の強度信号が１３３６であり、この信号が予め較正して定められたスレッショールドレベル１３３７を連続的に超える部分の幅１３３８をパターン１３３４の線幅として測定することができる。このように測定された線幅が所定の範囲内にない場合、当該パターンが欠陥を有すると判定することができる。
【０２９８】
図３１（ｃ）には、ウェハ上に形成されたパターンの電位コントラストを測定する例が示されている。図２６に示す構成において、ウェハ１３０５の上方に軸対称の電極１３３９を設け、例えばウェハ電位０Ｖに対して−１０Ｖの電位を与えておく。このときの−２Ｖの等電位面は１３４０で示されるような形状とする。ここで、ウェハに形成されたパターン１３４１及び１３４２は、夫々−４Ｖと０Ｖの電位であるとする。この場合、パターン１３４１から放出された二次電子線は−２Ｖ等電位面１３４０で２ｅＶの運動エネルギーに相当する上向きの速度を持っているので、このポテンシャル障壁１３４０を越え、軌道１３４３に示すように電極１３３９から脱出して検出器で検出される。一方、パターン１３４２から放出された二次電子線は−２Ｖの電位障壁を越えられず、軌道１３４４に示すようにウェハ面に追い戻されるので、検出されない。従って、パターン１３４１の検出画像は明るく、パターン１３４２の検出画像は暗くなる。かくして、電位コントラストが得られる。検出画像の明るさと電位とを予め較正しておけば、検出画像からパターンの電位を測定することができる。そして、この電位分布からパターンの欠陥部分を評価することができる。
【０２９９】
以上説明したように、本発明の第７の実施の形態により得られた写像ぼけの無い良好な二次電子線画像に対して上記のような各測定を行うことにより、より高精度の欠陥検査が実現できる。
【０３００】
本発明の第７の実施の形態としてこれまで説明した電子線検査装置を、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を用いて説明したデバイス製造方法におけるウェハ検査工程（Ｇ）に用いた場合には、機械構造体の振動による検出画像の劣化を未然に防止できるので、効率良く高精度の検査が可能となり、欠陥製品の出荷防止が実現できる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０３０１】
なお、本発明の第７の実施の形態は、上で説明したもののみに限定されるものではなく本発明の要旨の範囲内で任意好適に変更可能である。例えば、機械的な共振周波数とモードは、必ずしも一つではなく、一般には複数発生するので、その場合には、必要個数のアクチュエータ１３２５を鏡筒の各要所に設置することで対応が可能となる。例えば、図２７（ｂ）に示す機械構造体ブロックＡがＹ方向の振動１３８８だけではなくＸ方向の振動を有する場合、別個のアクチュエータをＸ方向の振動を相殺するように設置することができる。更に、ＢブロックやＤブロックにも独立した固有振動がある場合、これらのブロックにもアクチュエータを設置してもよい。
【０３０２】
振動減衰用回路１３２７は、直列共振回路１３６０と等価である必要はなく、機械的固有振動が同一振動方向に複数の共振周波数を持つ場合、当該回路の電気的周波数特性が複数の共振周波数を持つもので対抗することができる。
【０３０３】
アクチュエータの設置箇所は、鏡筒だけではなく、ビーム位置を正確に位置付けるために必要な部品、例えばＸ−Ｙステージ１３０４、或いは、各種光学器械の光学部品に適用することも可能である。
【０３０４】
第７の実施の形態の電子線検査装置の被検査試料として半導体ウェハ１３０５を例に掲げたが、被検査試料はこれに限定されず、電子線によって欠陥を検出することができる任意のものが選択可能である。例えばウェハへの露光用パターンが形成されたマスク等をその検査対象とすることもできる。
【０３０５】
更に、第７の実施の形態は、ビームを物質の目標位置に照射する電子線応用装置全般に適用することができる。この場合、当該物質の検査のみならず、その加工、製造及び観測の少なくともいずれかを行う装置にも適用範囲を広げることができる。当然、ここでいう物質の概念は、ウェハや上記したマスクのみならず、ビームにより、その検査、加工、製造及び観測のうち少なくともいずれかが可能となる任意の対象物である。デバイス製造方法も、同様に、半導体デバイスの製造工程中の検査のみならず、半導体デバイスをビームで製造するプロセス自体にも適用することができる。
【０３０６】
なお、第７の実施の形態の電子線検査装置として、図２６に示す構成を示したが、電子光学系等は任意好適に変更可能である。例えば、電子線検査装置１３０１の電子線照射手段は、ウェハ１３０５の表面に対して垂直上方から一次電子線を入射させる形式であるが、Ｅ×Ｂ偏向器１３０６を省略し、一次電子線をウェハ１３０５の表面に斜めに入射させるようにしてもよい。
【０３０７】
ウェハの保持に関する実施の形態（第８の実施の形態）
本発明の第８の実施の形態は、電子線装置においてウェハを静電的に吸着保持する静電チャック、ウェハと静電チャックとの組合わせ、特に減速電界対物レンズを用いた電子線装置で使用可能な静電チャックとウェハとの組合わせ、ならびに、静電チャックとウェハとの組合わせを備える電子線装置を使用するデバイス製造方法に関する。
【０３０８】
ウェハを静電的に吸着固定する公知の静電チャックにおいては、基板に配置される電極層を複数の互いに絶縁された電極により形成し、一方の電極から他方の電極へ向かって順次電圧を印可する電源装置を備える。また減速電界対物レンズを用いる電子線装置が公知である。
【０３０９】
プロセス途中のウェハを減速電界対物レンズを用いる電子線装置で評価する場合、ウェハに負の高電圧を印加することが必要である。この場合、急激に負の高電圧を印加するとプロセス途中のデバイスが破壊されるおそれがあるので、電圧を徐々に印加することが必要である。
【０３１０】
一方、大部分のウェハは、ウェハの側面及び裏面にＳｉＯ2又は窒化膜等の絶縁膜を付着されるので、ウェハに０電位又は低い電位を与えようとするとき、電圧が印加されない問題があった。更に静電チャック側へ中央が凸に歪んだウェハは、比較的容易に吸着固定できるが、チャック側に中央が凹に歪んだウェハは、単極の静電チャックでは、周辺部のみがチャックされ、中央部はチャックされないまま保持される問題があった。
【０３１１】
本発明の第８の実施の形態は、上記の問題点を解決するため、減速電界対物レンズで使用でき、側面及び裏面が絶縁膜で被覆され、チャック側に向かって中央が凹に歪んだウェハをチャック可能な静電チャック、ならびにウェハと静電チャックとの組合わせを提供するとともに、このような静電チャック又はウェハと静電チャックとの組合わせを用いてプロセス途中のウェハの評価を行うデバイス製造方法を提供する。
【０３１２】
図３２は、本発明の第８の実施の形態における静電チャック１４１０の平面図であり、ウェハを取り除いて電極板１４１２を見たものである。図３３は、図３２の静電チャックの線Ｍ−Ｍに沿う垂直方向の概略断面図であり、ウェハが載置され電圧が印加されない状
態を示すものである。静電チャック１４１０は、図３３に示すように、基板１４０５、電極板１４１２、絶縁層１４０４から成る積層構造を有する。電極板１４１２は、第１電極１４０１及び第２電極１４０２を含む。第１電極１４０１及び第２電極１４０２は、別々に電圧が印加できるように分離され、磁場中で渦電流を発生しないで高速で移動可能であるように、薄膜で形成される。
【０３１３】
第１電極１４０１は、平面図において円形の電極板１４１２の中央部分及び周辺部分の一部から成り、第２電極１４０２は、電極板の残りの馬蹄形周辺部分から成る。電極板１４１２の上方に絶縁層１４０４が配置される。絶縁層１４０４は、厚さ１ｍｍのサファイア基板により形成される。サファイアは、アルミナの単結晶であり、アルミナセラミックスの如き小孔が全くないので、絶縁破壊電圧が大きい。例えば、１ｍｍ厚のサファイア基板は、１０4Ｖ以上の電位差に十分耐えることができる。
【０３１４】
ウェハ１４０３に対する電圧の印加は、ナイフエッジ状の金属部分を有する接触子１４０６を介してなされる。図３３に示すように、２個の接触子１４０６がウェハ１４０３の側面に接触される。２個の接触子１４０６を用いる理由は、１個の接触子だけの場合、導通が取れなくなる恐れがあること、及びウェハ１４０３を片側へ押す力が生じるのを嫌ったからである。絶縁層１４０４を破壊して導通を取るのであるが、放電する時に粒子を飛散させる恐れがあるので、接触子１４０６は，抵抗１４１４を介して電源１４１６に接続し大きい放電を生じないようにした。この抵抗１４１４は、大き過ぎると導通穴が形成されず、小さ過ぎると大きい放電が起り、パーティクルを飛散させるので、絶縁層１４０４毎に抵抗の許容値を決めた。
【０３１５】
図３４の（ａ）は電圧印加のタイムチャートを示す。第１電極には、線Ａで示すように、時刻ｔ＝０において、４ｋＶが印加される。ウェハの中央部及び周辺部が共にチャックされた時刻ｔ＝ｔ0において、第２電極に、線Ｂで示すように４ｋＶが印加される。時刻ｔ＝ｔ1でウェハの電圧Ｃが少しずつ深くされ（下げられ）、時刻ｔ＝ｔ2で−４ｋＶに達するように制御される。第１電極及び第２電極は、時刻ｔ＝ｔ1から時刻ｔ＝ｔ2において、少しずつ電圧が下げられ、時刻ｔ＝ｔ2で、０Ｖにされる。
【０３１６】
チャックに吸着保持されたウェハの評価が終了した時刻ｔ＝ｔ3でウェハの電圧Ｃが０Ｖにされ、ウェハが外部へ取出される。
静電チャックが４ｋＶの電位差がなくても２ｋＶの電位差でもウェハを吸着保持する場合には、図３４に１点鎖線で示すように、第１電極及び第２電極にそれぞれに２ｋＶの電圧Ａ’、Ｂ’が印加される。ウェハに−４ｋＶが印加されるとき、第１電極及び第２電極にそれぞに、−２ｋＶが印加される。このようにして、電圧印加によって必要以上に電圧を絶縁層２１０４に印加しないようにできるので、絶縁層の破壊を防止できる。
【０３１７】
図３５は、上で説明した静電チャックを備える電子線装置を示すブロック図である。電子線源１４３１から放出された電子線は、開口アパーチャ（ＮＡ）を決めるアノード１４３２の開口で不要なビームを除去され、コンデンサレンズ１４３７と対物レンズ１４４３で縮小され、−４ｋＶを印加されたウェハ１４０３に結像されると共に、偏向器１４３８及び１４４２によりウェハ１４０３上を走査する。ウェハ１４０３から放出される二次電子線は、対物レンズ１４４３で集められ、Ｅ×Ｂ分離器１４４２で３５°程度、右側へ曲げられ、二次電子線検出器１４４０で検出され、ウェハ上のＳＥＭ像が得られる。図３５の電子線装置において、符号１４３３、１４３５は軸合わせ器具、１４３４は非点補正器具、１４３６は開口板、１４４１はシールド、１４４４は電極である。ウェハ１４０３の下方に、図３３および図３４で説明した静電チャックが配置される。
【０３１８】
本発明の第８の実施の形態を、図３および図４の（ａ）、（ｂ）で説明したデバイス製
造方法における検査工程（Ｇ）に用いることにより、微細なパターンを有する半導体デバイスでもスループットよく検査でき、全数検査が可能になり、製品の歩留まり向上、欠陥製品の出荷防止が可能である。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０３１９】
なお、静電チャックに対して印加する電圧の増大又は減少の仕方は、図３４の（ａ）に示すものに限られる訳ではない。例えば、図３４の（ｂ）に示すように指数関数的に変化する電圧であっても良い。要は、所定の電圧まで時間内に到達する電圧であれば、どのようなものであってもよい。
【０３２０】
試料載置用のステージに関する実施の形態（第９の実施の形態）
本発明の第９の実施の形態は、ＸＹステージ上に載置された試料に電子線を照射する装置、その装置を利用した欠陥検査装置又は露光装置、および、それらの装置を使用したデバイス製造方法に関する。
【０３２１】
半導体ウェハ等の試料表面等に電子線を照射することによって、その試料表面上を半導体回路等のパターンで露光し若しくは試料表面上に形成されたパターンを検査する装置、或いは電子線を照射することによって試料に対して超精密加工を施す装置においては、試料を真空中で精度良く位置決めするステージが使用されている。
【０３２２】
かかるステージに対して非常に高精度な位置決めが要求される場合には、ステージを静圧軸受けによって非接触支持する構造が採用されている。この場合、静圧軸受けから供給される高圧ガスが直接真空チャンバに排気されないように、高圧ガスを排気する差動排気機構を静圧軸受けの範囲に形成することによって、真空チャンバの真空度を維持している。
【０３２３】
かかる従来技術によるステージの一例が図３６に示されている。同図の構造において、真空チャンバＣを構成するハウジング１５０８に、電子線を発生し試料に照射する電子線装置の鏡筒１５０１の先端部すなわち電子線照射部１５０２が取り付けられている。鏡筒内部は真空配管１５１０によって真空排気されており、チャンバＣは真空配管１５１１によって真空排気されている。そして、電子線は鏡筒１５０１の先端部１５０２から、その下に置かれたウェハ等の試料Ｓに対して照射される。
【０３２４】
試料Ｓは試料台１５０４に公知の方法により取り外し可能に保持されており、試料台１５０４はＸＹステージ（以下単にステージ）１５０３のＹ方向可動部１５０５の上面に取り付けられている。Ｙ方向可動部１５０５には、ステージ１５０３のＸ方向可動部１５０６のガイド面１５０６ａと向かい合う面（図３６の［Ａ］において左右両面及び下面）に静圧軸受け１５０９が複数取り付けられており、この静圧軸受け１５０９の作用によりガイド面との間に微小隙間を維持しながらＹ方向（図３６の［Ｂ］で左右方向）に移動できる。さらに静圧軸受けの周りには、静圧軸受けに供給される高圧ガスが真空チャンバＣの内部にリークしないように差動排気機構が設けられている。この様子を図３７に示す。静圧軸受け１５０９の周囲に二重に溝１５１８と１５１７が構成されており、これらの溝は図示されていない真空配管と真空ポンプにより常時真空排気されている。このような構造により、Ｙ方向可動部１５０５は真空中を非接触状態で支持されＹ方向に自在に移動することができるようになっている。これらの二重の溝１５１８と１５１７は可動部１５０５の静圧軸受け１５０９が設けられている面にその静圧軸受けを囲むようにして形成されている。なお、静圧軸受けの構造は公知のもので良いので、その詳細な説明は省略する。
【０３２５】
このＹ方向可動部１５０５を搭載しているＸ方向可動部１５０６は、図３６からも明らかなように、上方に開口している凹形の形状を有していて、そのＸ方向可動部１５０６に
もまったく同様の静圧軸受け及び溝が設けられていて、ステージ台１５０７に対して非接触で支持されており、Ｘ方向に自在に移動することができる。
【０３２６】
これらのＹ方向可動部１５０５とＸ方向可動部１５０６の移動を組み合わせることによって、試料Ｓを鏡筒の先端部すなわち電子線照射部１５０２に関して水平方向任意の位置に移動させ、試料の所望の位置に電子線を照射することができる。
【０３２７】
上記の静圧軸受けと差動排気機構を組み合わせたステージでは、ステージが移動する際に、静圧軸受け１５０９に対向するガイド面１５０６ａや１５０７ａは、静圧軸受け部の高圧ガス雰囲気とチャンバ内の真空環境の間を往復運動する。この時ガイド面では、高圧ガス雰囲気に曝されている間にガスが吸着し、真空環境に露出されると吸着していたガスが放出されるという状態が繰り返される。このためステージが移動する度に、チャンバＣ内の真空度が悪化するという現象が起こり、上述した電子線による露光や検査や加工等の処理が安定に行えなかった、試料が汚染されてしまうという問題があった。
【０３２８】
こうした課題を解決するために、本発明の第９の実施の形態は、
真空度の低下を防止して電子線による検査や加工等の処理を安定して行える電子線装置、
静圧軸受けによる非接触支持機構と差動排気による真空シール機構を有し、電子線の照射領域と静圧軸受けの支持部との間に圧力差を発生させるようにした電子線装置、
静圧軸受けに面する部品表面から放出するガスを低減した電子線装置、
上記の電子線装置を用いて試料表面を検査する欠陥検査装置、或いは試料の表面にパターンを描画する露光装置、
上記のような電子線装置を用いて半導体デバイスを製造する半導体製造方法、
を提供する。
【０３２９】
以下、図を用いて、本発明の第９の実施の形態を説明する。図３８において、ステージ１５０３のＹ方向可動部１５０５の上面には＋Ｙ方向と−Ｙ方向（図３８の［Ｂ］で左右方向）に大きくほぼ水平に張り出した仕切り板１５１４が取り付けられ、Ｘ方向可動部１５０６の上面との間に常にコンダクタンスが小さい絞り部１５５０が構成されるようになっている。また、Ｘ方向可動部６の上面にも同様の仕切り板１５１２が±Ｘ方向（図３８の［Ａ］で左右方向）に張り出すように構成されており、ステージ台１５０７の上面との間に常に絞り部１５５１が形成されるようになっている。ステージ台１５０７は、ハウジング１５０８内において底壁の上に公知の方法で固定されている。
【０３３０】
このため、試料台１５０４がどの位置に移動しても常に絞り部１５５０と１５５１が形成されるので、可動部１５０５及び１５０６の移動時にガイド面１５０６ａや１５０７ａからガスが放出されても、絞り部１５５０と１５５１によって放出ガスの移動が妨げられるため、電子線が照射される試料近傍の空間１５２４の圧力上昇を非常に小さく押さえることができる。
【０３３１】
ステージの可動部１５０５の側面及び下面並びに可動部１５０６の下面には、静圧軸受け１５０９の周囲に、図３７に示されるような差動排気用の溝が形成されていてこの溝によって真空排気されるため、絞り部１５５０、１５５１が形成されている場合は、ガイド面からの放出ガスはこれらの差動排気部によって主に排気されることになる。このため、ステージ内部の空間１５１３や１５１５の圧力は、チャンバＣ内の圧力よりも高い状態になっている。したがって、空間１５１３や１５１５を、差動排気溝１５１７や１５１８で排気するだけでなく、真空排気する箇所を別に設ければ空間１５１３や１５１５の圧力を下げることができ、試料近傍１５２４の圧力上昇を更に小さくすることができる。このための真空排気通路１５１１−１と１５１１−２とが設けられている。排気通路はステージ
台１５０７およびハウジング１５０８を貫通してハウジング１５０８の外部に通じている。また、排気通路１５１１−２はＸ方向可動部１５０６に形成され、Ｘ方向可動部１５０６の下面に開口している。
【０３３２】
また、仕切り板１５１２及び１５１４を設置すると、チャンバＣと仕切り板が干渉しないようにチャンバを大きくする必要が生じるが、仕切り板を伸縮可能な材料や構造にすることによってこの点を改善することが可能である。この実施の形態においては、仕切り板をゴムで構成したり蛇腹状にして、その移動方向の端部を、仕切り板１５１４の場合はＸ方向可動部１５０６に、仕切り板１５１２の場合はハウジング１５０８の内壁にそれぞれ固定する構成とする。
【０３３３】
図３９は、本発明の第９の実施の形態における第１の変形例を示している。この例においては、鏡筒の先端部すなわち電子線照射部１５０２の周囲に、試料Ｓの上面との間に絞り部ができるように円筒状の仕切り１５１６が構成される。このような構成では、ＸＹステージからガスが放出されてチャンバＣ内の圧力が上昇しても、仕切りの内部１５２４は仕切り１５１６で仕切られており真空配管１５１０で排気されているので、チャンバＣ内と仕切りの内部１５２４との間に圧力差が生じ、仕切り内部の空間１５２４の圧力上昇を低く抑えられる。仕切り１５１６と試料面との隙間は、チャンバＣ内と照射部１５０２周辺の圧力をどの程度に維持するかによって変わるが、凡そ数十μｍないし数ｍｍ程度が適当である。なお、仕切り１５１６内と真空配管とは公知の方法により連通されている。
【０３３４】
また、電子線装置では、試料Ｓに数ｋＶ程度の高電圧を印加することがあり、導電性の材料を試料の近傍に設置すると放電を起こす恐れがある。この場合には、仕切り１５１６の材質をセラミックス等の絶縁物で構成すれば、試料Ｓと仕切り１５１６との間で放電を起こすことがなくなる。
【０３３５】
なお、試料Ｓ（ウェハ）の周囲に配置したリング部材１５０４−１は試料台１５０４に固定された板状の調整部品であり、ウェハのような試料の端部に電子線を照射する場合であっても、仕切り１５１６の先端部全周に亘って微小隙間１５５２が形成されるように、ウェハと同一の高さに設定されている。これによって、試料Ｓのどの位置に電子線が照射しても、仕切り１５１６の先端部には常に一定の微小隙間１５５２が形成され、鏡筒先端部周囲の空間１５２４の圧力を安定に保つことができる。
【０３３６】
図４０は、本発明の第９の実施の形態における第２の変形例を示している。鏡筒１５０１の電子線照射部２の周囲に差動排気構造を内蔵した仕切り１５１９が設けられている。仕切り１５１９は円筒状の形状をしており、その内部に円周溝１５２０が形成され、その円周溝からは上方に排気通路１５２１が延びている。その排気通路は内部空間１５２２を経由して真空配管１５２３に繋がれている。仕切り１５１９の下端は試料Ｓの上面との間に数十μｍないし数ｍｍ程度の微小隙間を形成している。
【０３３７】
このような構成では、ステージの移動に伴ってステージからガスが放出されてチャンバＣ内の圧力が上昇し先端部すなわち電子線照射部１５０２にガスが流入しようとしても、仕切り１５１９が試料Ｓとの隙間を絞ってコンダクタンスを非常に小さくしているためガスは流入を邪魔され流入量は減少する。更に、流入したガスは、円周溝１５２０から真空配管１５２３へ排気されるため、電子線照射部１５０２の周囲の空間１５２４へ流入するガスはほとんどなくなり、電子線照射部１５０２の圧力を所望の高真空のまま維持することができる。
【０３３８】
図４１は、本発明の第９の実施の形態における第３の変形例を示している。チャンバＣと電子線照射部１５０２の周囲には仕切り１５２６が設けられ、電子線照射部１５０２を
チャンバＣから隔てている。この仕切り１５２６は、銅やアルミニュウム等の熱伝導性の良い材料からなる支持部材１５２９を介して冷凍機１５３０に連結されており、−１００℃ないし−２００℃程度に冷却されている。部材１５２７は冷却されている仕切り１５２６と鏡筒の間の熱伝導を阻害するためのものであり、セラミックスや樹脂材等の熱伝導性の悪い材料から成っている。また、部材１５２８はセラミックス等の非絶縁体から成り、仕切り１５２６の下端に形成されて試料Ｓと仕切り１５２６が放電することを防ぐ役割を持っている。
【０３３９】
このような構成により、チャンバＣ内から電子線照射部に流入しようとするガス分子は、仕切り１５２６で流入を阻害される上、流入しても仕切り１５２６の表面に凍結捕集されてしまうため、電子線照射部１５０２のある空間１５２４の圧力を低く保つことができる。
【０３４０】
なお、冷凍機としては、液体窒素による冷却や、Ｈｅ冷凍機、パルスチューブ式冷凍機等の様様な冷凍機が使用できる。
図４２は、本発明の第９の実施の形態における第４の変形例を示している。ステージ１５０３の両可動部には、図３８に示したのと同様に仕切り板１５１２、１５１４が設けられており、試料台１５０４が任意の位置に移動しても、これらの仕切りによってステージ内の空間１５１３とチャンバＣ内とが絞り１５５０、１５５１を介して仕切られる。更に、電子線照射部１５０２の周りには図３９に示したのと同様の仕切り１５１６が形成されており、チャンバＣ内と電子線照射部１５０２のある空間１５２４が絞り１５５２を介して仕切られている。このため、ステージ移動時、ステージに吸着しているガスが空間１５１３に放出されてこの部分の圧力を上昇させても、チャンバＣの圧力上昇は低く抑えられ、空間１５２４の圧力上昇は更に低く抑えられる。これにより、電子線照射空間１５２４の圧力を低い状態に保つことができる。また、仕切り１５１６に示したように差動排気機構を内蔵した仕切り１５１９としたり、図４０に示したように冷凍機で冷却された仕切り１５２６とすることによって、空間１５２４を更に低い圧力で安定に維持することができるようになる。
【０３４１】
図４３は、第９の実施の形態による電子線装置の光学系及び検出系が模式的に示されている。光学系は鏡筒１５０１内に設けられるが、この光学系及び検出器はあくまでも例示であり、必要に応じて任意の光学系、検出器を使用できる。電子線装置の光学系１５６０は、電子線をステージ１５０３上に載置された試料Ｓに照射する一次光学系１５６１と、試料から放出された二次電子線が投入される二次光学系１５７１とを備えている。一次光学系１５６１は、電子線を放出する電子線源１５６２と、電子線源１５６２から放出された電子線を集束する２段の静電レンズからなるレンズ系１５６３、１５６４と、偏向器１５６５と、電子線をその光軸が対象の面に垂直になるように偏向するウイーンフィルタ１５６６と、２段の静電レンズからなるレンズ系１５６７、１５６８とを備え、それらは、図３６に示されるように電子線源１５６２を最上部にして順に、電子線の光軸が試料Ｓの表面（試料面）に鉛直な線に対して傾斜して配置されている。ウィーンフィルタ１５６６は電極１５６６−１及び磁石１５６６−２を備えている。
【０３４２】
二次光学系１５７１は試料Ｓから放出された二次電子線が投入される光学系で、一次光学系のウィーンフィルタ１５６６の上側に配置された２段の静電レンズからなるレンズ系１５７２、１５７３を備えている。検出器１５８０は、二次光学系１５７１を介して送られた二次電子線を検出する。上記光学系１５６０及び検出器１５８０の各構成要素の構造及び機能は従来のものと同じであるから、それらについての詳細な説明は省略する。
【０３４３】
電子線源１５６２から放出された電子線は、電子線源の正方形開口で整形され、２段のレンズ系１５６３及び１５６４によって縮小され、偏光器１５６５で光軸を調整されてウ
ィーンフィルタ１５６６の偏向中心面に一辺が１．２５ｍｍの正方形に結像される。ウィーンフィルタ１５６６は、試料の法線に垂直な平面内において、電界と磁界とを直交させた構造となっており、電界、磁界、電子線のエネルギの関係が一定の条件を満たす時には電子線を直進させ、それ以外の時にはこれら電界、磁界及び電界のエネルギの相互の関係により所定方向に偏向されるようになっている。図２３においては、電子線源からの電子線を試料Ｓに垂直に入射させ、また試料から放出された二次電子線を検出器２２８０の方向に直進させるように設定されている。ウィーンフィルタ１５６６で偏向された成形ビームはレンズ系１５６７、１５６８で１／５に縮小されて試料Ｓに投影される。試料Ｓから放出されたパターン画像の情報を持った二次電子線はレンズ系１５６７、１５６８及び１５７２、１５７３で拡大され、検出器１５８０で二次電子線画像を形成する。この４段の拡大レンズは、レンズ系１５６７及び１５６８が対称タブレットレンズを形成し、レンズ系１５７２及び１５７３もやはり対称タブレットレンズを形成しているので無歪みレンズとなっている。
【０３４４】
本発明の第９の実施の形態は、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）又は露光工程（ｃ）に用いることにより、微細なパターンを高精度で安定して検査又は露光ができるので、製品の歩留まりの向上、欠陥製品の出荷防止が可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０３４５】
試料載置用のステージに関する実施の形態（第１０の実施の形態）
本発明の第１０の実施の形態は、ＸＹステージ上に載置された試料に電子線を照射する装置に関し、更に詳しくは、ＸＹステージに差動排気機構を設けることなく鏡筒周りに差動排気機構を設けた電子線装置、その装置を利用した欠陥検査装置又は露光装置、および、それらの装置を使用したデバイス製造方法に関する。
【０３４６】
図３６および図３７を用いて既に説明したとおり、静圧軸受けと差動排気機構とを組み合わせた従来のＸＹステージにおいては、差動排気機構を設けたため、大気中で使用される静圧軸受け式ステージに比べて構造が複雑で大型になり、ステージとしての信頼性が低く、高コストになるという問題もある。なお、この実施の形態においても、従来技術の説明として、図３６、図３７およびそれらに関する既述を援用する。
【０３４７】
本発明の第１０の実施の形態は、上記の問題を解決するため、
ＸＹステージの差動排気機構をなくして構造が簡単でコンパクト化が可能な電子線装置、
ＸＹステージを収容しているハウジング内を真空排気すると共に該試料面上の電子線が照射される領域を排気する差動排気機構を設けた電子線装置、
上記の電子線装置を用いて試料表面を検査する欠陥検査装置、或いは試料の表面にパターンを描画する露光装置、
上記のような電子線装置を用いて半導体デバイスを製造する半導体製造方法、
を提供する。
【０３４８】
なお、この第１０の実施の形態において、用語「真空」は、当該技術分野における通常の意味で使用される。
以下、図を用いて本発明の第１０の実施の形態を説明する。図４４において、電子線を試料に向かって照射する鏡筒１６０１の先端部すなわち電子線照射部１６０２が真空チャンバＣを画成するハウジング１６１４に取り付けられている。鏡筒１６０１の直下には、ＸＹステージ１６０３のＸ方向（図４４において左右方向）の可動テーブル上に載置されている試料Ｓが配置されるようになっている。この試料Ｓは高精度なＸＹステージ１６０３によって、その試料面上の任意の位置に対して正確に電子線を照射させることができる
。
【０３４９】
ＸＹステージ１６０３の台座１６０６はハウジング１６１４の底壁に固定され、Ｙ方向（図２４において紙面に垂直の方向）に移動するＹテーブル１６０５が台座１６０６の上に載っている。Ｙテーブル１６０５の両側面（図２４において左右側面）には、台座１６０６に載置された一対のＹ方向ガイド１６０７ａ及び１６０７ｂのＹテーブルに面した側に形成された凹溝内に突出する突部が形成されている。その凹溝はＹ方向ガイドのほぼ全長に亘ってＹ方向に伸びている。凹溝内に突出する突部の上、下面及び側面には公知の構造の静圧軸受け１６１１ａ、１６０９ａ、１６１１ｂ、１６０９ｂがそれぞれ設けられ、これらの静圧軸受けを介して高圧ガスを吹き出すことにより、Ｙテーブル１６０５はＹ方向ガイド１６０７ａ、１６０７ｂに対して非接触で支持され、Ｙ方向に円滑に往復運動できるようになっている。また、台座１６０６とＹテーブル１６０５との間には、公知の構造のリニアモータ１６１２が配置されており、Ｙ方向の駆動をそのリニアモータで行うようになっている。Ｙテーブルには、高圧ガス供給用のフレキシブル配管１６２２によって高圧ガスが供給され、Ｙテーブル内に形成されたガス通路（図示せず）を通じて上記静圧軸受け１６０９ａないし１６１１ａ及び１６０９ｂないし１６１１ｂに対して高圧ガスが供給される。静圧軸受けに供給された高圧ガスは、Ｙ方向ガイドの対向する案内面との間に形成された数ミクロンから数十ミクロンの隙間に噴出してＹテーブルを案内面に対してＸ方向とＺ方向（図４４において上下方向）に正確に位置決めする役割を果たす。
【０３５０】
Ｙテーブル上にはＸテーブル１６０４がＸ方向（図４４において左右方向）に移動可能に載置されている。Ｙテーブル１６０５上にはＹテーブル用のＹ方向ガイド１６０７ａ、１６０７ｂと同じ構造の一対のＸ方向ガイド１６０８ａ、１６０８ｂ（１６０８ａのみ図示）がＸテーブル１６０４を間に挟んで設けられている。Ｘ方向ガイドのＸテーブルに面した側にも凹溝が形成され、Ｘテーブルの側部（Ｘ方向ガイドに面した側部）には凹溝内に突出する突部が形成されている。その凹溝はＸ方向ガイドのほぼ全長に亘って伸びている。凹溝内に突出するＸ方向テーブル４の突部の上、下面及び側面には前記静圧軸受け１６１１ａ、１６０９ａ、１６１０ａ、１６１１ｂ、１６０９ｂ、１６１０ｂと同様の静圧軸受け（図示せず）が同様の配置で設けられている。Ｙテーブル１６０５とＸテーブル１６０４との間には、公知の構造のリニアモータ１６１３が配置されており、ＸテーブルのＸ方向の駆動をそのリニアモータで行うようにしている。そして、Ｘテーブル１６０４にはフレキシブル配管１６２１によって高圧ガスが供給され、静圧軸受けに高圧ガスを供給するようになっている。この高圧ガスが静圧軸受けからＸ方向ガイドの案内面に対して噴出されることによって、Ｘテーブル１６０４がＹ方向ガイドに対して高精度に非接触で支持されている。真空チャンバＣは公知の構造の真空ポンプ等に接続された真空配管１６１９、１６２０ａ、１６２０ｂによって排気されている。配管１６２０ａ、１６２０ｂの入口側（真空チャンバ内側）は台座１６０６を貫通してその上面において、ＸＹステージ１６０３から高圧ガスが排出される位置の近くで開口しており、真空チャンバ内の圧力が静圧軸受けから噴出される高圧ガスにより上昇するのを極力防止している。
【０３５１】
鏡筒１６０１の先端部すなわち電子線照射部１６０２の周囲には、差動排気機構１６２５が設けられ、真空チャンバＣ内の圧力が高くても電子線照射空間１６３０の圧力が十分低くなるようにしてある。すなわち、電子線照射部１６０２周囲に取り付けられた差動排気機構１６２５の環状部材１６２６は、その下面（試料Ｓ側の面）と試料との間で微少隙間（数ミクロンから数百ミクロン）１６４０が形成されるように、ハウジング１６１４に対して位置決めされており、その下面には環状溝１６２７が形成されている。環状溝１６２７は排気管１６２８により図示しない真空ポンプ等に接続されている。したがって、微少隙間１６４０は環状溝１６２７及び排気口１６２８を介して排気され、真空チャンバＣから環状部材１６２６によって囲まれた空間１６３０内にガス分子が侵入しようとしても、排気されてしまう。これにより、電子線照射空間１６３０内の圧力を低く保つことがで
き、電子線を問題なく照射することができる。
【０３５２】
この環状溝は、チャンバ内の圧力、電子線照射空間１６３０内の圧力によっては、二重構造或いは三重構造にしてもよい。
静圧軸受けに供給する高圧ガスは、一般にドライ窒素が使用される。しかしながら、可能ならば、更に高純度の不活性ガスにすることが好ましい。これは、水分や油分等の不純物がガス中に含まれると、これらの不純物分子が真空チャンバを画成するハウジングの内面やステージ構成部品の表面に付着して真空度を悪化させたり、試料表面に付着して電子線照射空間の真空度を悪化させてしまうからである。
【０３５３】
なお、以上の説明において、試料Ｓは通常Ｘテーブル上に直接載置されるのでなく、試料を取り外し可能に保持したりＸＹステージ１６０３に対して微少な位置変更を行うなどの機能を持たせた試料台の上に載置されているが、試料台の有無及びその構造は本願発明の要旨には関係ないので、説明を簡素化するために省略されている。
【０３５４】
以上に説明した電子線装置では、大気中で用いられる静圧軸受けのステージ機構をほぼそのまま使用できるので、露光装置等で用いられる大気用の高精度ステージと同等の高精度のＸＹステージを、ほぼ同等のコスト及び大きさで電子線装置用のＸＹステージに対して実現できる。
【０３５５】
なお、以上説明した静圧ガイドの構造や配置及びアクチュエータ（リニアモータ）はあくまでも一実施例であり、大気中で使用可能な静圧ガイドやアクチュエータならば何でも適用できる。
【０３５６】
次に、差動排気機構の環状部材１６２６及びそれに形成される環状溝の大きさの数値例を図４５に示す。なお、この例では環状溝は１６２７ａ及び１６２７ｂの二重構造を有しており、それらは半径方向に隔てられている。静圧軸受けに供給される高圧ガスの流量は、通常おおよそ２０Ｌ／ｍｉｎ（大気圧換算）程度である。真空チャンバＣを、内径５０ｍｍで長さ２ｍの真空配管を介して２００００Ｌ／ｍｉｎの排気速度を有するドライポンプで排気すると仮定すると、真空チャンバ内の圧力は、約１６０Ｐａ（約１．２Ｔｏｒｒ）となる。この時、差動排気機構の環状部材１６２６及び環状溝等の寸法を、図４５に示すようにすれば、電子線照射空間１６３０内の圧力を１０-4Ｐａ（１０-6Ｔｏｒｒ）にすることができる。
【０３５７】
なお、差動排気機構は、電子線照射空間１６３０内の圧力を所定圧力に維持できるならば、その形状もこの実施の形態のような同心円上に限られず、矩形や多角形でもよい。さらに、全周ではなく周囲の一部に設けられてもよい。
【０３５８】
図４６は、図４４に示す装置に対する配管系を示している。ハウジング１６１４によって画成された真空チャンバＣには、真空配管１６７４、１６７５を介してドライ真空ポンプ１６５３が接続されている。また、差動排気機構１６２５の環状溝１６２７は排気口１６２８に接続された真空配管１６７０を介して超高真空ポンプであるターボ分子ポンプ１６５１が接続されている。更に、鏡筒１６０１の内部は、排気口１６１８に接続された真空配管１６７１を介して、ターボ分子ポンプ１６５２が接続されている。これらのターボ分子ポンプ１６５１、１６５２は、真空配管１６７２、１６７３によってドライ真空ポンプ１６５３に接続されている。（本図では、ターボ分子ポンプの粗引きポンプと真空チャンバの真空排気用ポンプを１台のドライ真空ポンプで兼用したが、ＸＹステージの静圧軸受けに供給する高圧ガスの流量、真空チャンバの容積や内表面積、真空配管の内径や長さに応じて、それらを別系統のドライ真空ポンプで排気する場合も考えられる。）
ＸＹステージ１６０３の静圧軸受けには、フレキシブル配管１６２１、１６２２を通し
て高純度の不活性ガス（Ｎ２ガス、Ａｒガス等）が供給される。静圧軸受けから噴出したこれらのガス分子は真空チャンバ内に拡散し、排気口１６１９、１６２０ａ、１６２０ｂを通してドライ真空ポンプ２３５３によって排気される。また、差動排気機構や電子線照射空間に侵入したこれらのガス分子は環状溝１６２７或いは鏡筒１６０１の先端部から吸引され、排気口１６２８及び１６１８を通ってターボ分子ポンプ１６５１及び１６５２によって排気され、ターボ分子ポンプから排出された後ドライ真空ポンプ１６５３によって排気される。
【０３５９】
このように、静圧軸受けに供給された高純度不活性ガスはドライ真空ポンプに集められて排出される。
一方、ドライ真空ポンプ１６５３の排気口は、配管１６７６を介して圧縮機１６５４に接続され、圧縮機２３１６の排気口は配管１６７７、１６７８、１６７９及びレギュレータ１６６１、１６６２を介してフレキシブル配管１６２１、１６２２に接続されている。このため、ドライ真空ポンプ１６５３から排出された高純度不活性ガスは、圧縮機１６５４によって再び加圧されレギュレータ１６６１、１６６２で適正な圧力に調整された後、再びＸＹテーブルの静圧軸受けに供給される。
【０３６０】
なお、静圧軸受けに供給されるガスは上述したようにできるだけ高純度にし、水分や油分が極力含まれないようにする必要があるため、ターボ分子ポンプ、ドライポンプ及び圧縮機は、ガス流路に水分や油分が混入しないような構造であることが求められる。また、圧縮機の排出側配管１６７７の途中にコールドトラップやフィルタ等（１６６０）を設け、循環するガス中に混入した水分や油分等の不純物質をトラップして静圧軸受けに供給されないようにすることも有効である。
【０３６１】
これによって、高純度不活性ガスを循環させて再利用できるので、高純度不活性ガスを節約でき、また、本装置が設置された部屋に不活性ガスをたれ流さないので、不活性ガスによる窒息等の事故が発生する恐れもなくすことができる。
【０３６２】
なお、循環配管系には高純度不活性ガス供給系１６６３が接続されており、ガスの循環を始める際に、真空チャンバＣや真空配管１６７０〜１６７５及び加圧側配管１６７６〜１６８０を含む全ての循環系に高純度不活性ガスを満たす役割と、何らかの原因で循環するガスの流量が減少した際に不足分を供給する役割とを担っている。
【０３６３】
また、ドライ真空ポンプ１６５３に大気圧以上まで圧縮する機能を持たせることによって、ドライ真空ポンプ１６５３と圧縮機１６５４を１台のポンプで兼ねさせることも可能である。
【０３６４】
更に、鏡筒の排気に用いる超高真空ポンプには、ターボ分子ポンプの代わりにイオンポンプやゲッタポンプ等のポンプを使用することも可能である。ただし、これらの溜込み式ポンプを用いた場合は、
この部分には循環配管系を構築することはできないことになる。また、ドライ真空ポンプの代わりに、ダイヤフラム式ドライポンプ等、他方式のドライポンプを使用することももちろん可能である。
【０３６５】
なお、図４４〜図４６により説明した第１０の実施の形態は、第９の実施の形態と同様に、図４３において説明した光学系および検出系を備えている。この第１０の実施の形態においては、図４３に関する記述を援用することにする。また、第９の実施の形態において説明したとおり、本発明の第１０の実施の形態も、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）又は露光工程（ｃ）に用いることにより、微細なパターンを高精度で安定して検査又は露光ができるので、製品の歩留
まりの向上、欠陥製品の出荷防止が可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０３６６】
光学系のレンズに関する実施の形態（第１１の実施の形態）
本発明の第１１の実施の形態は、試料の表面に形成されたパターン等を評価する電子線装置及びその電子線装置を用いてプロセス途中又は終了後の試料の評価を行うデバイス製造方法に関し、詳しくは、最小線幅０．１μｍ以下のパターンを有する、試料上のデバイス等の欠陥検査、ＣＤ測定、電位コントラストの測定、高時間分解電位測定等の評価を高いスループットで且つ高い信頼性のもとで行える電子線装置及びそのような電子線装置を用いてプロセス途中又は終了後の試料の評価を行うデバイス製造方法に関するものである。
【０３６７】
絶縁材料を含む試料を観察、評価する装置には種々の技術が報告されている。このような技術の中で、走査電子線顕微鏡について言えば、一次ビームのビーム電流、試料への吸収電流、照射装置からの反射電子線量、二次電子線放出量等を測定してチャージアップ状態を評価するチャージアップ検知機能を有する装置が公知である。
【０３６８】
しかしながら、上記のごとき従来の走査電子線顕微鏡では細い電子線すなわちビームで試料表面を走査するため、大面積を有する試料を評価すると、スループットが大幅に低下するという問題があった。また、前記公知のチャージアップ検知機能では、各種電流を高い時間分解能で測定する必要があり、チャージアップの状態をかならずしも正しく検出できなかった。
【０３６９】
本発明の第１１の実施の形態は、上記の問題点を解決するために、光学系のレンズの構造を改良することによって光学系のコンパクト化を図った電子線装置、スループットを向上させると共に、チャージアップ検知機能を向上させて評価の信頼性を向上した電子線装置、および、上記のような電子線装置を用いてプロセス途中又は後の試料の評価を、高い製造歩留まりで行えるデバイスの製造方法を提供する。
【０３７０】
以下、図面を参照して、本発明に係る電子線装置の第１１の実施の形態について説明する。図４７において、電子線装置１７０１は、一次電子光学系（以下、単に一次光学系という）１７１０と、二次電子光学系（以下、単に二次光学系という）１７２０と、検出系１７３０とを備えている。一次光学系１７１０は、電子線をウェハ等の評価対象（以下試料と呼ぶ）Ｓの表面に照射する光学系であり、電子線すなわち電子線を放出する電子線源１７１１と、電子線源１７１１から放出された一次電子線を集束するコンデンサレンズ１７１２と、ウィーンフィルタ１７１５と、対物レンズ１７１６とを備え、それらは、図４８に示されるように配置されている。なお、参照数字１７１４及び１７１７は一次電子線を軸合わせする軸合わせ装置、１７１８は一次電子線を走査する偏向器であり、１７１９は軸対称電極である。
【０３７１】
二次光学系１７２０は一次光学系の光軸に関して傾斜した光軸に沿って配置される。二次光学系は、図４７には示していないが、少なくとも一つのレンズを備えていてもよい。検出系１７３０は、検出器１７３１と、検出器１７３１に増幅器１７３２を介して接続された画像形成部１７３３とを備える。
【０３７２】
試料Ｓは、ＸＹステージ１７４０上のホルダ１７４１に公知の方法により着脱可能に支持され、そのＸＹステージ１７４０により直交２軸方向（図４７で左右方向及び紙面に垂直の方向）に移動可能に支持されている。
【０３７３】
電子線装置１７０１は、更に、ホルダ１７４１と電気的に接続されたリターディング電
圧印加装置（以下、印加装置という）１７５０と、チャージアップ調査及びリターディング電圧決定システム（以下、調査及び決定システムという）１７６０とを備えている。調査及び決定システム１７６０は、画像形成部１７３３に電気的に接続されたモニタ１７６１と、モニタ１７６１に接続されたオペレータ１７６２と、オペレータ１７６２に接続されたＣＰＵ１７６３とを備えている。ＣＰＵ１７６３は、印加装置１７５０並びに偏向器１７１７に信号を供給する。
【０３７４】
この第１１の実施の形態において、コンデンサレンズ１７１２と対物レンズ１７１６は実質的に同じ構造になっているので、コンデンサレンズ１７１２を例に取って詳しく説明する。静電軸対称レンズであるコンデンサレンズ１７１２は、一体のセラミックスを削って軸方向断面が図４７に示されるような形状に形成されている。すなわち、コンデンサレンズ１７１２は、セラミックス製の本体１７１２−１を備えている。この本体１７１２−１は中心部に円形穴１７１２−２を画成するように平面形状が環状に形成され、内周側が、図４７において上下方向（光軸に沿う方向）に隔てられた三つの板状部分１７１２−３ないし１７１２−５に仕切られている。セラミックス製本体１７１２−１の外周、特に、板状部分１７１２−３ないし１７１２−５の周囲には金属のコーティング膜１７１２−６ないし１７１２−８が施されている。これらのコーティング膜１７１２−６ないし１７１２−８はそれぞれ電極（上電極１７１２−６、中間電極１７１２−７及び下電極１７１２−８）として機能し、コーティング膜すなわち上及び下電極１７１２−６及び１７１２−８には接地側に近い電圧が印加され、真ん中のコーティング膜すなわち中間電極１７１２−７には絶対値の大きい正又は負の高電圧が本体１７１２−１に設けられた電極金具１７１２−９によって印加され、それによってレンズの作用を行うようになっている。このようなレンズは、一体のセラミックスを削って同時に加工を行うため加工精度が良く、レンズ外径寸法を小さくできる。
【０３７５】
この実施の形態における電子線装置では、レンズの外径寸法を小さくすることが可能になるので、電子線装置を収納している鏡筒の外径寸法も小さくできる。したがって径の大きなウェハのような試料に対しては、一枚の試料に対して複数の鏡筒を配置することが可能になる。例えば、レンズ外径（直径）を４０ｍｍにしたとすると、図４８に示されるように、Ｘ方向に４個の鏡筒１７０２を並べたものをＹ方向に２列、合計で８個の鏡筒１７０２を一枚の試料に対して配置できる。そして、資料Ｓを保持しているステージ（図示せず）をＹ方向に連続移動させ、Ｘ方向に各鏡筒で走査して評価を行えば、１電子線のみを使用して評価する場合の７ないし８倍のスループットが得られる。
【０３７６】
上記の電子線装置において、一次光学系１７１０の電子線源１７１１のカソード１７１１−１から放出された一次電子線すなわちビームは、アノード１７１１−２によって加速される。一次電子線によって作られる電子線源のクロスオーバ像は、コンデンサレンズ１７１２及び対物レンズ１７１６とで縮小されて５０ｎｍ程度の細いビームにして試料Ｓ上に走査して照射される。この一次電子線による照射により試料から放出された二次電子線は軸対称電極１７１９に引かれて対物レンズ側に引かれるが、その軸対称電極１７１９より二次電子線を対物レンズ１７１６側に通したり或いは試料側に戻したりすることにより試料パターンの電位コントラストを得ることができる。
【０３７７】
対物レンズを通過した二次電子線はウィーンフィルタ１７１５により一次光学系１７１０から分離されて二次電子光学系（以下単に二次光学系）１７２０に導入され、検出系１７３０の検出器１７３１によって検出される。検出器１７３１は、検出した二次電子線像をその強度を表す電気信号に変換する。こうして各検出器から出力された電気信号は対応する増幅器１７３２により増幅された後、画像形成部１７３３入力され、この画像形成部で画像データに変換される。画像形成部１７３３には、一次電子線を偏向させるための走査信号が更に供給されるので、画像形成部は試料Ｓの面を表す画像を表示する。この画像
を基準パターンと比較することにより、試料Ｓの欠陥を検出することができる。なお、この実施の形態では単一の電子線を使用しているが、複数のビームを使用することにより、スループットの向上という点では単ビームより良い場合がある。
【０３７８】
画像形成部１７３３で変換された画像データは、調査及び決定装置１７６０の表示装置１７６１により画像として表示され、オペレータ１７６２により画像を評価する。オペレータ１７６２はこの実施の形態ではチャージアップ調査機能を実行する。またオペレータ１７６２は画像に基づいてチャージアップ状態を調査することができる。そして、その結果をＣＰＵ１７６３に入力し、リターディング電圧を最適な値に設定する。ＣＰＵ１７６３は、この実施の形態では、リターディング電圧決定装置を構成する。
【０３７９】
より具体的には、被評価試料のチャージアップの影響を受け易い場所すなわち図４９の［Ａ］に示されるように、試料としてのウェハの表面に形成されたチップ１７７０のメモリーセル１７７１のコーナ部を評価した。すなわち、（１）コーナ部でのメモリーセル境界１７７２のパターン歪み量１７７３、１７７４を測定するか、或いは、（２）メモリーセルのコーナ部においてパターンを横切るように（矢印Ａ１及びＡ２で示すように）走査した時に得た信号強度のコントラストを、図４９の［Ｂ］において実線１７７５及び１７７７で表示して、チップの中心部においてパターンを矢印Ａ３、Ａ４に走査したときに得た信号強度のコントラスト１７７６及び１７７８（いずれも図４９の［Ｂ］において破線で図示）と比較してもよい。
【０３８０】
リターディング電圧印加装置１７５０に複数の値の電圧を与え、その都度、歪み量１７７３及び１７７４或いはコントラスト１７７５、１７７７及び１７７６、１７７８を測定し、歪み量１７７３及び１７７４が小さい方がチャージアップの影響は小さいと評価した。また、コーナ部でのコントラストの値１７７５、１７７７が中心部でのコントラストの値に近い方がチャージアップの影響が小さいと評価した。
【０３８１】
チャージアップの状態の良好なリターディング電圧が見出されたら、その値をＣＰＵ１７６３を介して印加装置１７５０に与え、或いは最適なビーム電流の値が見出されたらそれらの値で試料すなわちウェハの評価を行う。
【０３８２】
本発明の第１１の実施の形態は、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法における検査工程（Ｇ）に用いることができる。これにより、微細なパターンを有する半導体デバイスでも、スループット良く検査することができるので、全数検査が可能となり、製品の歩留まりの向上、欠陥製品の出荷防止が可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０３８３】
欠陥検出に関する実施の形態（第１２の実施の形態）
本発明の第１２の実施の形態は、半導体ウェハ等の試料の画像を予め用意された基準画像と比較することにより該試料の欠陥を検査するための欠陥検査装置及びこのような欠陥検査装置を用いて半導体デバイスを製造する半導体デバイス製造方法に関するものである。
【０３８４】
従来、半導体ウェハ等の試料に一次電子線を照射することにより発生した二次電子線を検出することによって当該試料の欠陥を検査するための欠陥検査装置が、半導体製造プロセス等で利用されている。このような欠陥検査装置には、画像認識技術を応用して欠陥検査の自動化及び効率化を図った技術がある。この技術では、二次電子を検出することによって取得した試料表面の被検査領域のパターン画像データと、予め記憶した試料表面の基準画像データとをコンピュータによってマッチング演算し、その演算結果に基づいて、試
料の欠陥の有無を自動的に判定する。
【０３８５】
昨今では、特に半導体製造分野においては、パターンの高精細化が進み、微細な欠陥を検出する必要が高まってきている。このような状況下では、上記のような画像認識技術を応用した欠陥検査装置においても、認識精度の更なる向上が求められている。
【０３８６】
しかしながら、上記従来技術では、一次電子線を試料表面の被検査領域に照射して取得した二次電子線の画像と、予め用意された基準画像との間に位置ずれが発生し、欠陥検出の精度を低下させるという問題があった。この位置ずれは、一次電子線の照射領域がウェハに対してずれ、検査パターンの一部が二次電子線の検出画像内から欠落するとき、特に大きな問題となり、単にマッチング領域を検出画像内で最適化する技術（特公平６−９５３４０号公報参照）だけでは対処できない。これは、特に、高精細パターンの検査では致命的欠点となり得る。
【０３８７】
本発明の第１２の実施の形態は、こうした問題点を解決するために、被検査画像と基準画像との位置ずれによる欠陥検査精度の低下を防止した欠陥検査装置、および、半導体デバイスの製造プロセスにおいて、上記のような欠陥検査装置を用いて試料の欠陥検査を行うことにより、デバイス製品の歩留まりの向上及び欠陥製品の出荷防止を図った半導体製造方法を提供する。
【０３８８】
図５０は、本発明の第１１の実施形態に係る欠陥検査装置の概略構成が示されている。この欠陥検査装置は、一次電子線を放出する電子線源１８０１、放出された一次電子線を偏向、成形させる静電レンズ１８０２、成形された一次電子線を電場Ｅ及び磁場Ｂの直交する場で半導体ウェハ１８０５に略垂直に当たるように偏向させるウィーンフィルタ１８０３、偏向された一次電子線をウェハ１８０５上に結像させる対物レンズ１８１０、真空に排気可能な図示しない試料室内に設けられ、ウェハ１８０５を載置した状態で水平面内を移動可能なステージ１８０４、一次電子線の照射によりウェハ１８０５から放出された二次電子線及び／又は反射電子線を所定の倍率で写像投影して結像させる写像投影系の静電レンズ２１８０６、結像された像をウェハの二次電子線画像として検出する検出器１８０７、及び、装置全体を制御すると共に、検出器１８０７により検出された二次電子線画像に基づいてウェハ１８０５の欠陥を検出する処理を実行する制御部１８１６を備える。なお、二次電子線画像には、二次電子線による寄与ばかりでなく反射電子による寄与も含まれている。
【０３８９】
また、対物レンズ１８１０とウェハ１８０５との間には、一次電子線のウェハ１８０５への入射角度を電場等によって偏向させる偏向電極１８１１が介在されている。この偏向電極１８１１には、該偏向電極の電場を制御する偏向制御器１８１２が接続されている。この偏向制御器１８１２は、制御部１８１６に接続され、制御部１８１６からの指令に応じた電場が偏向電極１８１１で生成されるように該偏向電極を制御する。なお、偏向制御器１８１２は、偏向電極１８１１に与える電圧を制御する電圧制御装置として構成することができる。
【０３９０】
検出器１８０７は、静電レンズ１８０６によって結像された二次電子線画像を後処理可能な信号に変換することができる限り、任意の構成とすることができる。例えば、図５５にその詳細を示すように、検出器１８０７は、マルチチャンネルプレート１８５０と、蛍光面１８５２と、リレーレンズ１８５４と、多数のＣＣＤ素子からなる撮像センサ１８５６とを備える。マルチチャンネルプレート１８５０は、プレート内に多数のチャンネルを備えており、静電レンズ１８０６によって結像された二次電子が該チャンネル内を通過する間に、更に多数の電子を生成させる。即ち、二次電子線を増幅させる。蛍光面１８５２は、増幅された二次電子線によって蛍光を発することにより二次電子線を光に変換する。
リレーレンズ１８５４がこの蛍光をＣＣＤ撮像センサ１８５６に導き、ＣＣＤ撮像センサ１８５６は、ウェハ１８０５表面上の二次電子の強度分布を素子毎の電気信号即ちデジタル画像データに変換して制御部１８１６に出力する。
【０３９１】
制御部１８１６は、図５０に例示されたように、汎用的なパーソナルコンピュータ等から構成することができる。このコンピュータは、所定のプログラムに従って各種制御、演算処理を実行する制御部本体１８１４と、本体１８１４の処理結果を表示するＣＲＴ１８１５と、オペレータが命令を入力するためのキーボードやマウス等の入力部１８１８とを備える、勿論、欠陥検査装置専用のハードウェア、或いは、ワークステーションなどから制御部１８１６を構成してもよい。
【０３９２】
制御部本体１８１４は、図示しないＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク、ビデオ基板等の各種制御基板等から構成される。ＲＡＭ若しくはハードディスクなどのメモリ上には、検出器１８０７から受信した電気信号即ちウェハ１８０５の二次電子線画像のデジタル画像データを記憶するための二次電子線画像記憶領域１８０８が割り当てられている。また、ハードディスク上には、予め欠陥の存在しないウェハの基準画像データを記憶しておく基準画像記憶部１８１３が存在する。更に、ハードディスク上には、欠陥検査装置全体を制御する制御プログラムの他、記憶領域１８０８から二次電子線画像データを読み出し、該画像データに基づき所定のアルゴリズムに従ってウェハ１８０５の欠陥を自動的に検出する欠陥検出プログラム１８０９が格納されている。この欠陥検出プログラム１８０９は、詳細を更に後述するように、基準画像記憶部１８１３から読み出した基準画像と、実際に検出された二次電子線画像とのマッチングを取って欠陥部分を自動的に検出し、欠陥有りと判定した場合、オペレータに警告表示する機能を有する。このとき、ＣＲＴ１８１５の表示部に二次過電流生成画像１８１７を表示するようにしてもよい。
【０３９３】
次に、図５０に示す欠陥検査装置の作用を図５２〜図５４に示すフローチャートを例にして説明する。先ず、図５２のメインルーチンの流れに示すように、検査対象となるウェハ１８０５をステージ１８０４の上にセットする（ステップ１９００）。これは、図示しないローダーに多数格納されたウェハ１８０５を一枚毎に自動的にステージ１８０４にセットする形態であってもよい。
【０３９４】
次に、ウェハ１８０５表面のＸＹ平面上で部分的に重なり合いながら互いから変位された複数の被検査領域の画像を各々取得する（ステップ１９０４）。これら画像取得すべき複数の被検査領域とは、図５６に示すように、例えばウェハ検査表面１８３４上に、参照番号１８３２ａ、１８３２ｂ、．．．、１８３２ｋ、．．．で示す矩形領域のことであり、これらは、ウェハの検査パターン１８３０の回りで、部分的に重なり合いながら位置がずらされていることがわかる。例えば、図５１に示されたように、１６個の被検査領域の画像１８３２（被検査画像）が取得される。ここで、図５１に示す画像は、矩形の桝目が１画素（或いは、画素より大きいブロック単位でもよい）に相当し、このうち黒塗りの桝目がウェハ１８０５上のパターンの画像部分に相当する。このステップ１９０４の詳細は図５３のフローチャートで後述する。
【０３９５】
次に、ステップ１９０４で取得した複数の被検査領域の画像データを記憶部１８１３に記憶された基準画像データと、各々比較照合し（図５２のステップ１９０８）、上記複数の被検査領域により網羅されるウェハ検査面に欠陥が有るか否かが判定される。この工程では、いわゆる画像データ同士のマッチング処理を実行するが、その詳細については図５４のフローチャートで後述する。
【０３９６】
ステップ１９０８の比較結果より、上記複数の被検査領域により網羅されるウェハ検査面に欠陥が有ると判定された場合（ステップ１９１２肯定判定）、オペレータに欠陥の存
在を警告する（ステップ１９１８）。警告の方法として、例えば、ＣＲＴ１８１５の表示部に欠陥の存在を知らせるメッセージを表示したり、これと同時に欠陥の存在するパターンの拡大画像１８１７を表示してもよい。このような欠陥ウェハを直ちに試料室１８０３から取り出し、欠陥の無いウェハとは別の保管場所に格納してもよい（ステップ１９１９）。
【０３９７】
ステップ１９０８の比較処理の結果、ウェハ１８０５に欠陥が無いと判定された場合（ステップ１９１２否定判定）、現在検査対象となっているウェハ１８０５について、検査すべき領域が未だ残っているか否かが判定される（ステップ１９１４）。検査すべき領域が残っている場合（ステップ１９１４肯定判定）、ステージ１８０４を駆動し、これから検査すべき他の領域が一次電子線の照射領域内に入るようにウェハ１８０５を移動させる（ステップ１９１６）。その後、ステップ１９０２に戻って当該他の検査領域に関して同様の処理を繰り返す。
【０３９８】
検査すべき領域が残っていない場合（ステップ１９１４否定判定）、或いは、欠陥ウェハの抜き取り工程（ステップ１９１９）の後、現在検査対象となっているウェハ１８０５が、最終のウェハであるか否か、即ち図示しないローダーに未検査のウェハが残っていないか否かが判定される（ステップ１９２０）。最終のウェハでない場合（ステップ１９２０否定判定）、検査済みウェハを所定の格納箇所に保管し、その代わりに新しい未検査のウェハをステージ１８０４にセットする（ステップ１９２２）。その後、ステップ１９０２に戻って当該ウェハに関して同様の処理を繰り返す。最終のウェハであった場合（ステップ１９２０肯定判定）、検査済みウェハを所定の格納箇所に保管し、全工程を終了する。
【０３９９】
次に、ステップ１９０４の処理の流れを図５３のフローチャートに従って説明する。図５３では、先ず、画像番号ｉを初期値１にセットする（ステップ１９３０）。この画像番号は、複数の被検査領域画像の各々に順次付与された識別番号である。次に、セットされた画像番号ｉの被検査領域について画像位置（Ｘｉ，Ｙｉ）を決定する（ステップ１９３２）。この画像位置は、被検査領域を画定させるための該領域内の特定位置、例えば該領域内の中心位置として定義される。現時点では、ｉ＝１であるから画像位置（Ｘ１，Ｙ１）となり、これは例えば図１６に示された被検査領域１８３２ａの中心位置に該当する。全ての被検査画像領域の画像位置は予め定められており、例えば制御部１８１６のハードディスク上に記憶され、ステップ１９３２で読み出される。
【０４００】
次に、図５０の偏向電極１８１１を通過する一次電子線がステップ１９３２で決定された画像位置（Ｘｉ，Ｙｉ）の被検査画像領域に照射されるように、偏向制御器１８１２が偏向電極１８１１に電位を加える（図５３のステップ１９３４）。次に、電子線源２５０１から一次電子線を放出し、静電レンズ１８０２、ウィーンフィルタ１８０３、対物レンズ１８１０及び偏向電極１８１１を通して、セットされたウェハ１８０５の表面上に照射する（ステップ１９３６）。このとき、一次電子線は、偏向電極１８１１の作り出す電場によって偏向され、ウェハ検査表面１８３４上の画像位置（Ｘｉ，Ｙｉ）の被検査画像領域全体に亘って照射される。画像番号ｉ＝１の場合、被検査領域は１８３２ａとなる。
【０４０１】
一次電子線が照射された被検査領域からは二次電子線及び／又は反射電子線（以下、両者を総合して「二次電子線」という）が放出される。そこで、発生した二次電子線を拡大投影系の静電レンズ１８０６により所定の倍率で検出器１８０７に結像させる。検出器１８０７は、結像された二次電子線を検出し、検出素子毎の電気信号即ちデジタル画像データに変換出力する（ステップ１９３８）。そして、検出した画像番号ｉのデジタル画像データを二次電子線画像記憶領域１８０８に転送する（ステップ１９４０）。
【０４０２】
次に、画像番号ｉを１だけインクリメントし（ステップ１９４２）、インクリメントした画像番号（ｉ＋１）が一定値ｉＭＡＸを越えているか否かを判定する（ステップ１９４４）。このｉＭＡＸは、取得すべき被検査画像の数であり、図５１の上述した例では、「１６」である。
【０４０３】
画像番号ｉが一定値ｉＭＡＸを越えていない場合（ステップ１９４４否定判定）、再びステップ１９３２に戻り、インクリメントした画像番号（ｉ＋１）について画像位置（Ｘｉ＋１，Ｙｉ＋１）を再び決定する。この画像位置は、前のルーチンで決定した画像位置（Ｘｉ，Ｙｉ）からＸ方向及び／又はＹ方向に所定距離（ΔＸｉ，ΔＹｉ）だけ移動させた位置である。図５６の例では、被検査領域は、（Ｘ１，Ｙ１）からＹ方向にのみ移動した位置（Ｘ２，Ｙ２）となり、破線で示した矩形領域１８３２ｂとなる。なお、（ΔＸｉ，ΔＹｉ）（ｉ＝１，２，．．．ｉＭＡＸ）の値は、ウェハ検査面１８３４のパターン１８３０が検出器１８０７の視野から実際に経験的にどれだけずれるかというデータと、被検査領域の数及び面積から適宜定めておくことができる。
【０４０４】
そして、ステップ１９３２〜１９４２の処理をｉＭＡＸ個の被検査領域について順次繰り返し実行する。これらの被検査領域は、図５６に示すように、ｋ回移動した画像位置（Ｘｋ，Ｙｋ）では被検査画像領域１８３２ｋとなるように、ウェハの検査面１８３４上で、部分的に重なり合いながら位置がずらされていく。このようにして、図５１に例示した１６個の被検査画像データが画像記憶領域１８０８に取得される。取得した複数の被検査領域の画像１８３２（被検査画像）は、図５６に例示されたように、ウェハ検査面１８３４上のパターン１８３０の画像１８３０ａを部分的に若しくは完全に取り込んでいることがわかる。
【０４０５】
インクリメントした画像番号ｉがｉＭＡＸを越えた場合（ステップ１９４４肯定判定）、このサブルーチンをリターンして図５２のメインルーチンの比較工程（ステップ１９０８）に移行する。
【０４０６】
なお、ステップ１９４０でメモリ転送された画像データは、検出器１８０７により検出された各画素毎の二次電子の強度値（いわゆるベタデータ）からなるが、後段の比較工程（図５２のステップ１９０８）で基準画像とマッチング演算を行うため、様々な演算処理を施した状態で記憶領域８に格納しておくことができる。このような演算処理には、例えば、画像データのサイズ及び／又は濃度を基準画像データのサイズ及び／又は濃度に一致させるための正規化処理や、所定画素数以下の孤立した画素群をノイズとして除去する処理などがある。更には、単純なベタデータではなく、高精細パターンの検出精度を低下させない範囲で検出パターンの特徴を抽出した特徴マトリクスにデータ圧縮変換しておいてもよい。このような特徴マトリクスとして、例えば、Ｍ×Ｎ画素からなる二次元の被検査領域を、ｍ×ｎ（ｍ＜Ｍ，ｎ＜Ｎ）ブロックに分割し、各ブロックに含まれる画素の二次電子線強度値の総和（若しくはこの総和値を被検査領域全体の総画素数で割った正規化値）を、各マトリックス成分としてなる、ｍ×ｎ特徴マトリックスなどがある。この場合、基準画像データもこれと同じ表現で記憶しておく。第１１の実施形態でいう画像データとは、単なるべタデータは勿論のこと、このように任意のアルゴリズムで特徴抽出された画像データを包含する。
【０４０７】
次に、ステップ１９０８の処理の流れを図５４のフローチャートに従って説明する。先ず、制御部１８１６のＣＰＵは、基準画像記憶部１８１３（図５０）から基準画像データをＲＡＭ等のワーキングメモリ上に読み出す（ステップ１９５０）。この基準画像は、図５１では参照番号１８３６で表される。そして、画像番号ｉを１にリセットし（ステップ１９５２）、記憶領域１８０８から画像番号ｉの被検査画像データをワーキングメモリ上に読み出す（ステップ１９５４）。
【０４０８】
次に、読み出した基準画像データと、画像ｉのデータとのマッチングを取って、両者間の距離値Ｄｉを算出する（ステップ１９５６）。この距離値Ｄｉは、基準画像と、被検査画像ｉとの間の類似度を表し、距離値が大きいほど基準画像と被検査画像との差異が大きいことを表している。この距離値Ｄｉとして類似度を表す量であれば任意のものを採用することができる。例えば、画像データがＭ×Ｎ画素からなる場合、各画素の二次電子線強度（又は特徴量）をＭ×Ｎ次元空間の各位置ベクトル成分とみなし、このＭ×Ｎ次元空間上における基準画像ベクトル及び画像ｉベクトル間のユークリッド距離又は相関係数を演算してもよい。勿論、ユークリッド距離以外の距離、例えばいわゆる市街地距離等を演算することもできる。更には、画素数が大きい場合、演算量が膨大になるので、上記したようにｍ×ｎ特徴ベクトルで表した画像データ同士の距離値を演算してもよい。
【０４０９】
次に、算出した距離値Ｄｉが所定の閾値Ｔｈより小さいか否かを判定する（ステップ１９５８）。この閾値Ｔｈは、基準画像と被検査画像との間の十分な一致を判定する際の基準として実験的に求められる。
【０４１０】
距離値Ｄｉが所定の閾値Ｔｈより小さい場合（ステップ１９５８肯定判定）、当該ウェハ１８０５の当該検査面１８３４には「欠陥無し」と判定し（ステップ１９６０）、本サブルーチンをリターンする。即ち、被検査画像のうち１つでも基準画像と略一致したものがあれば、「欠陥無し」と判定する。このように全ての被検査画像とのマッチングを行う必要が無いので、高速判定が可能となる。図５１の例の場合、３行３列目の被検査画像が、基準画像に対して位置ずれが無く略一致していることがわかる。
【０４１１】
距離値Ｄｉが所定の閾値Ｔｈ以上の場合（ステップ１９５８否定判定）、画像番号ｉを１だけインクリメントし（ステップ１９６２）、インクリメントした画像番号（ｉ＋１）が一定値ｉＭＡＸを越えているか否かを判定する（ステップ１９６４）。画像番号ｉが一定値ｉＭＡＸを越えていない場合（ステップ１９６４否定判定）、再びステップ１９５４に戻り、インクリメントした画像番号（ｉ＋１）について画像データを読み出し、同様の処理を繰り返す。
【０４１２】
画像番号ｉが一定値ｉＭＡＸを越えた場合（ステップ１９６４肯定判定）、当該ウェハ１８０５の当該検査面１８３４には「欠陥有り」と判定し（ステップ１９６６）、本サブルーチンをリターンする。即ち、被検査画像の全てが基準画像と略一致していなければ、「欠陥有り」と判定する。
【０４１３】
本発明の第１２の実施形態に係る欠陥検査装置は、図３および図４の（ａ）、（ｂ）を参照して説明したデバイス製造方法におけるウェハ検査工程（Ｇ）に用いることができる。この場合、微細なパターンを有する半導体デバイスでも、二次電子画像の像障害が無い状態で高精度に欠陥を検査できるので、製品の歩留りを向上させ、欠陥製品の出荷を防止することが可能となる。これに関しては、図３および図４の（ａ）、（ｂ）に関する説明を援用することにし、ここでの説明は省略する。
【０４１４】
本発明の第１２の実施の形態は、これまで説明した事項のみに限定されるものではなく任意に変更可能である。例えば、被検査試料として半導体ウェハ１８０５を例に掲げたが、本発明の被検査試料はこれに限定されず、電子線によって欠陥を検出することができる任意のものが選択可能である。例えばウェハへの露光用パターンが形成されたマスク等を検査対象とすることもできる。
【０４１５】
また、本発明の第１２の実施の形態は、試料の欠陥を検査可能な画像を取得できる任意の装置にも適用可能である。
更に、偏向電極１８１１は、対物レンズ１８１０とウェハ１８０５との間のみならず、一次電子線の照射領域を変更できる限り任意の位置に置くことができる。例えば、ウィーンフィルタ１８０３と対物レンズ１８１０との間、電子線源１８０１とウィーンフィルタ１８０３との間などがある。更には、ウィーンフィルタ１８０３が生成する場を制御することによって、その偏向方向を制御するようにしてもよい。即ち、ウィーンフィルタ１８０３に偏向電極１８１１の機能を兼用させてもよい。
【０４１６】
また、第１２の実施の形態では、画像データ同士のマッチングを取る際に、画素間のマッチング及び特徴ベクトル間のマッチングのいずれかとしたが、両者を組み合わせることもできる。例えば、最初、演算量の少ない特徴ベクトルで高速マッチングを行い、その結果、類似度の高い被検査画像については、より詳細な画素データでマッチングを行うという２段階の処理によって、高速化と精度とを両立させることができる。
【０４１７】
また、本発明の第１２の実施形態では、被検査画像の位置ずれを一次電子線の照射領域の位置ずらしのみで対応したが、マッチング処理の前若しくはその間で画像データ上で最適マッチング領域を検索する処理（例えば相関係数の高い領域同士を検出してマッチングさせる）と本発明とを組み合わせることもできる。これによれば、被検査画像の大きな位置ずれを本発明による一次電子線の照射領域の位置ずらしで対応すると共に、比較的小さな位置ずれを後段のデジタル画像処理で吸収することができるので、欠陥検出の精度を向上させることができる。
【０４１８】
更に、欠陥検査用の電子線装置として図５０の構成を示したが、電子光学系等は任意好適に変更可能である。例えば、図示された欠陥検査装置の電子線照射手段（１８０１、１８０２、１８０３）は、ウェハ１８０５の表面に対して垂直上方から一次電子線を入射させる形式であるが、ウィーンフィルタ１８０３を省略し、一次電子線をウェハ１８０５の表面に斜めに入射させるようにしてもよい。
【０４１９】
また、図５２のフローチャートによる処理も、図で説明したものに限定されない。例えば、ステップ１９１２で欠陥有りと判定された試料について、他の領域の欠陥検査は行わないことにしたが、全領域を網羅して欠陥を検出するように処理の流れを変更してもよい。また、一次電子線の照射領域を拡大し１回の照射で試料のほぼ全検査領域をカバーできれば、ステップ１９１４及びステップ１９１６を省略することができる。
【０４２０】
以上、本発明の第１の実施の形態〜第１２の実施の形態を詳述したが、いずれの実施の形態においても、「所定電圧」という用語は、検査等の測定が行われる電圧を意味するものとする。
【０４２１】
また、これまで説明した各種の実施の形態は荷電粒子線として電子線を用いているが、これに限られるものではなく、電子線以外の荷電粒子線や、電荷を持たない中性子線、レーザー光、電磁波等の非荷電粒子線をも使用することが可能である。
【０４２２】
なお、本発明に係る荷電粒子線装置が作動すると、近接相互作用（表面近くでの粒子の帯電）により標的物質が浮遊して高圧領域に引きつけられるので、荷電粒子線の形成や偏向に使用される様々な電極には有機物質が堆積する。表面の帯電により徐々に堆積していく有機物質は荷電粒子線の形成や偏向機構に悪影響を及ぼすので、こうした堆積した有機物質は周期的に除去しなければならない。そこで、堆積した有機物質を周期的に除去するため、この有機物質の堆積する領域の近傍の電極を利用して、真空中で水素、酸素またはフッ素及びそれらを含む代替物ＨＦ、Ｈ２Ｏ、ＣＭＦＮ等のプラズマを作り出し、空間内のプラズマ電位を電極面にスパッタが生じる電位（数ｋＶ、例えば２０Ｖ〜５ｋＶ）に維持することで、有機物質のみを酸化、水素化、フッ素化により除去することが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【０４２３】
本発明は、第１の実施の形態から理解されるとおり、荷電粒子線を用いた検査装置を提供することにより、従来に比べて格段にスループットを向上させることができる。
本発明は、第２の実施の形態から理解されるとおり、
１．荷電粒子線を用いた写像投影方式の検査装置の全体構成が得られ、高いスループットで検査対象を処理することができる。
【０４２４】
２．ミニエンバイロメント空間内で検査対象に清浄気体を流して塵埃の付着を防止すると共に清浄度を観察するセンサを設けることによりその空間内の塵埃を監視しながら検査対象の検査を行うことができる。
【０４２５】
３．ローディングチャンバ及びワーキングチャンバを一体的に振動防止装置を介して支持したので外部の環境に影響されずにステージ装置への検査対象の供給及び検査を行うことができる。
【０４２６】
４．プレチャージユニットを設けているので、絶縁物でできたウェハも帯電による影響を受けがたい、
等の格別の効果を奏することができる。
【０４２７】
本発明は、第３の実施の形態から理解されるとおり、
１．荷電粒子線源と電子光学系とを仕切板により分離するので、各部毎に独立に所要の真空度を達成することが可能である、
２．荷電粒子線源と電子光学系とをコンダクタンスの小さい穴で結合するようにしたので、荷電粒子線源と電子光学系との間の圧力差を大きく取ることが可能である、
３．仕切板には、それぞれの荷電粒子線源の光軸から離れた位置に穴が形成されるので、試料又は電子光学系の方から光軸上を正イオンが荷電粒子線源のカソードの方へ戻って来ても、この仕切板によって遮られるため、正イオンによってカソードが損傷されることがない、
等の格別の効果を奏する。
【０４２８】
本発明は、第４の実施の形態から理解されるとおり、
１．電極又は電極の一部を仕事関数が５ｅＶ以上の金属でコーティングしたので、電極から二次荷電粒子線が放出されることが少なく、電極間において放電が生じにくくなり、電極間で絶縁破壊されることが少なくなる、
２．電極又は電極の一部を白金（仕事関数：５、３［ｅＶ］）又は白金を主材料とする合金でコーティングしたので、電極から二次荷電粒子線が放出されることが少なく、電極間において放電が生じにくくなり、電極間で絶縁破壊されることが少なくなる、
３．試料が半導体ウェハであっても、半導体ウェハのパターン上に、電極にコーティングされた白金が付着することがあってもデバイスの性能を劣化させることもないので、半導体ウェハの検査に好適である、
４．絶縁材料によって電極を支持することによって、電極間の放電が、したがって電極間の絶縁破壊が生じにくい、
５．少なくとも一方の電極の形状を、第１の電極面と第２の電極面と、これら電極面の間に段差を設けるようにすることによって、絶縁材料表面をヒダ形状等に加工することがなく、加工費用が安価になる、
６．絶縁材料の電極間における最短沿面距離は、支持された電極部分における電極間距離と略同じ長さであるので、電極間における絶縁材料表面にはほとんと凹凸部分が無く、絶縁材料からの放出ガスが多くなることも無いので、装置のビーム通路の真空度を下げることもない、
等の格別の効果を奏する。
【０４２９】
本発明は、第５の実施の形態から理解されるとおり、一次荷電粒子線又は二次荷電粒子線のエネルギー分布によりＥ×Ｂ分離器で発生する色収差の影響を低減することができるという格別の効果を奏する。
【０４３０】
本発明は、第６の実施の形態から理解されるとおり、
１．試料面の高さを測定するための光学式センサを使用する必要がないので、対物レンズと試料との間を電子光学系のみで最適設計することが可能になる、
２．荷電粒子線走査・検出系の焦点合わせは低電圧の調整のみで可能であるので、整定時間を短縮することができる、即ち、短時間で焦点合わせを行うことができる、
３．必要に応じて、焦点合わせの操作の中で、非点補正をも短時間で行うことが可能である、
４．プロセス途中の試料を短時間で評価することができることになるので、デバイス製造の歩留まりを向上させることができる、
という格別の効果を奏する。
【０４３１】
本発明は、第７の実施の形態から理解されるとおり、
１．機械構造体の振動により力を受けるように該機械構造体に圧電素子を取り付け、該圧電素子から出力された電気エネルギーを減衰させる振動減衰用回路を該圧電素子に電気的に接続したので、ビームを位置決めする構造体の共振による不要な振動を、必ずしも構造体の剛性を向上させなくても、ビームの位置決めを高精度に維持できるよう適切に減衰可能となる、
２．したがってって、設計上の制約の緩和、装置の小型軽量化、経済性の向上を実現させることができる、
３．半導体デバイスの製造工程において、上記のような荷電粒子線装置を用いることにより、半導体デバイスの効率良い製造、検査、加工、観測等が可能となる、
という優れた効果を奏する。
【０４３２】
本発明は、第８の実施の形態から理解されるとおり、
１．静電チャック及びウェハと静電チャックの組合わせにより、ウェハの吸着保持に必要な電圧がウェハの印加電圧に連動して印加されるので、ウェハの検査が終了する迄確実にウェハを吸着保持することができる、
２．チャック側に中央が凹に歪んだウェハでも確実にウェハ前面が吸着保持される。更にまたウェハに形成される放電跡が必要最小限の大きさにされ、放電時のパーティクルの発生が極めて少ない、
３．本発明の静電チャック及びウェハと静電チャックの組合わせをデバイス製造方法に使用することにより、ウェハが移動台の静電チャックに検査中確実に吸着保持され、微細なパターンを有する半導体デバイスでも高いスループットで検査可能となり、それ故全数検査が可能であり、製品の歩留まり向上、欠陥製品の出荷防止が可能である、
等の格別の効果を奏する。
【０４３３】
本発明は、第９の実施の形態から理解されるとおり、
１．ステージ装置が真空内で高精度な位置決め性能を発揮することができ、更に、荷電粒子線照射位置の圧力が上昇しにくい。すなわち、試料に対する荷電粒子線による処理を高精度に行うことができる、
２．静圧軸受け支持部から放出されたガスが仕切りを通過して荷電粒子線照射領域側に通過することがほとんどできない。これによって荷電粒子線照射位置の真空度を更に安定させることができる、
３．荷電粒子線照射領域側に放出ガスが通過することが困難になり、荷電粒子線照射領
域の真空度を安定に保ち易くなる、
４．真空チャンバ内が、荷電粒子線照射室、静圧軸受け室及びその中間室の３室に小さいコンダクタンスを介して分割された形になり、それぞれの室の圧力を、低い順に荷電粒子線照射室、中間室、静圧軸受け室となるように真空排気系を構成するので、中間室への圧力変動は仕切りによって更に低く抑えられ、荷電粒子線照射室への圧力変動は、もう一段の仕切りによって更に低減され、圧力変動を実質的に問題ないレベルまで低減することが可能となる、
５．ステージが移動した時の圧力上昇を低く抑えることが可能になる。
【０４３４】
６．ステージが移動した時の圧力上昇を更に低く抑えることが可能である、
７．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線の照射領域の真空度が安定した検査装置を実現することができるので、検査性能が高く、試料を汚染する恐れのない検査装置を提供することができる、
８．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線照射領域の真空度が安定した露光装置を実現することができるので、露光精度が高く、試料を汚染する恐れのない露光装置を提供することができる、
９．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線照射領域の真空度が安定した装置によって半導体を製造することにより、微細な半導体回路を形成できる、
等の格別の効果を奏する。
【０４３５】
本発明は、第１０の実施の形態から理解されるとおり、
１．大気中で一般に用いられる静圧軸受け式のステージと同様の構造を持ったステージ（差動排気機構を持たない静圧軸受け支持のステージ）を使用して、ステージ上の試料に対して荷電粒子線による処理を安定に行うことができる、
２．荷電粒子線照射領域の真空度に対する影響を最小限に抑えることが可能になり、荷電粒子線による試料への処理を安定化させることができる、
３．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線の照射領域の真空度が安定した検査装置を安価に提供することができる、
４．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線照射領域の真空度が安定した露光装置を安価に提供することができる、
５．ステージの位置決め性能が高精度で、かつ荷電粒子線照射領域の真空度が安定した装置によって半導体を製造することにより、微細な半導体回路を形成できる、
等の格別の効果を奏する。
【０４３６】
本発明は、第１１の実施の形態から理解されるとおり、
１．スループットが光学系の数に比例した倍数に向上できる、
２．チャージアップ状態が最も少ない状態でウェハの評価が行われるので、信頼性の高い評価ができる、
３．チャージアップ性能を、各種の電流を測定して行うのでなく、実際の画像で評価しているので、より正しい評価結果が得られる、
等の格別の効果を奏する。
【０４３７】
本発明は、第１２の実施の形態から理解されるとおり、
１．試料上で部分的に重なり合いながら互いから変位された複数の被検査領域の画像を各々取得し、これらの被検査領域の画像と基準画像とを比較することによって、試料の欠陥を検査するようにしたので、被検査画像と基準画像との位置ずれによる欠陥検査精度の低下を防止できる、
２．上記のような欠陥検査装置を用いて試料の欠陥検査を行うようにしたので、製品の歩留まりの向上及び欠陥製品の出荷防止が図れる、
という格別の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０４３８】
【図１】本発明に係る荷電粒子線装置の第１の実施の形態である検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】（ａ）は電子偏向系の平面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図３】本発明による半導体デバイス製造方法の一つの実施の形態を示すフローチャートである。
【図４】（ａ）は、図３のウェハプロセッシング工程の中核をなすリソグラフィー工程を示すフローチャートであり、（ｂ）は、図３のウェハプロセッシング工程におけるウェハ検査工程を示すフローチャートである。
【図５】本発明に係る荷電粒子線装置の第２の実施の形態である検査装置の主要構成要素を示す立面図であって、図６の線Ａ−Ａに沿って見た図である。
【図６（ａ）】図５に示す検査装置の主要構成要素の平面図であって、図５の線Ｂ−Ｂに沿って見た図である。
【図６（ｂ）】図６（ａ）に示す構成の変形例を示す図である。
【図７】図５のミニエンバイロメント装置を示す断面図であって、線Ｃ−Ｃに沿って見た図である。
【図８】図５のローダハウジングを示す図であって、図６（ａ）の線Ｄ−Ｄに沿って見た図である。
【図９】ウェハラックの拡大図であって、［Ａ］は側面図で、［Ｂ］は［Ａ］の線Ｅ−Ｅに沿って見た断面図である。
【図１０】［Ａ］、［Ｂ］は、主ハウジングの支持方法の変形例を示す図である。
【図１１】図５の検査装置における電子光学装置の概略構成を示す模式図である。
【図１２】電位印加機構を示す図である。
【図１３】電子線キャリブレーション機構を説明する図であって、［Ａ］は側面図であり、［Ｂ］は平面図である。
【図１４】ウェハのアライメント制御装置の概略説明図である。
【図１５】本発明に係る荷電粒子線装置の第３の実施の形態の構成を概略的に示す断面図である。
【図１６】本発明に係る荷電粒子線装置の第４の実施の形態である評価装置を模式的に示す構成図である。
【図１７】金属別の絶縁破壊発生確率を示す表である。
【図１８】電極の斜視図と断面図である。
【図１９】図１８に示す電極の一部断面図である。
【図２０】図１８に示す電極の上面図と断面図である。
【図２１】図２０に示す電極の要部拡大断面図である。
【図２２】本発明に係る荷電粒子線装置の第５の実施の形態を概略的に示す図である。
【図２３】図２２に示す電子線装置の構成を詳細に示す図である。
【図２４】本発明に係る荷電粒子線装置の第６の実施の形態を概略的に示す図である。
【図２５】（ａ）は、対物レンズに印加する負電圧と電気信号の立上り幅との間の関係を示すグラフであり、（ｂ）は、電気信号の立上り幅を説明するための図である。
【図２６】本発明に係る荷電粒子線装置の第７実施の形態である電子線検査装置の構成図である。
【図２７】図２６に示す電子線検査装置の機械構造体のブロックを概略的に示す図であって、（ａ）は電子線検査装置と座標軸との関係、（ｂ）は鏡筒の固有振動、（ｃ）は、この固有振動を相殺するようにアクチュエータを取り付けた場合の図を示す。
【図２８】図２６に示す電子線検査装置で用いられるアクチュエータ、振動減衰用回路、並びに、形成された直列共振回路の等価回路の構成を示す概略図である。
【図２９】図２６に示す電子線検査装置の鏡筒の伝達関数を示すグラフである。
【図３０】図２６に示す電子線検査装置における、鏡筒の伝達関数、直列共振回路の電気的周波数特性および総合伝達関数を示すグラフである。
【図３１】本発明に係るウェハ検査方法を説明する図であって、（ａ）はパターン欠陥検出、（ｂ）は線幅測定、（ｃ）は電位コントラスト測定をそれぞれ示す。
【図３２】本発明に係る電子線装置の第８の実施の形態における静電チャックの概略平面図であり、ウェハを取り除いて電極を見た平面図である。
【図３３】図３２の直線Ｍ−Ｍに沿う概略垂直断面図であり、ウェハを載置し電圧が印加されない状態を示す断面図である。
【図３４】（ａ）および（ｂ）は、電極及びウェハへ印加される電圧のタイムチャートである。
【図３５】図３２に示す静電チャックを使用した電子線装置の構成例を示すブロック図である。
【図３６】従来の電子線装置の真空チャンバ及びＸＹステージを示す図であって、［Ａ］が正面図で［Ｂ］が側面図である。
【図３７】図３６の差動排気機構を説明する図である。
【図３８】本発明に係る荷電粒子線装置の第９の実施の形態における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図であって、［Ａ］が正面図で［Ｂ］が側面図である。
【図３９】本発明の第９の実施の形態に対する第１の変形例における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図である。
【図４０】本発明の第９の実施の形態に対する第２の変形例における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図である。
【図４１】本発明の第９の実施の形態に対する第３の変形例における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図である。
【図４２】本発明の第９の実施の形態に対する第４の変形例における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図である。
【図４３】図３８〜図４２に示される鏡筒内に設けられる光学系および検出系の一例を示す概略図である。
【図４４】本発明に係る荷電粒子線装置の第１０の実施の形態における真空チャンバ及びＸＹステージを示す図である。
【図４５】図４４に示す装置に設けられた差動排気機構の一例を示す図である。
【図４６】図４４に示す装置におけるガス循環配管系を示す図である。
【図４７】本発明に係る荷電粒子線装置の第１１の実施の形態における光学系の模式図である。
【図４８】図４７に示す電子線装置の鏡筒の配列状態を説明する図である。
【図４９】チャージアップの評価場所と評価方法を説明する図である。
【図５０】本発明に係る荷電粒子線装置の第１２の実施の形態である欠陥検査装置の概略構成図である。
【図５１】図５０の欠陥検査装置で取得される複数の被検査画像及び基準画像の例を示す図である。
【図５２】図５０の欠陥検査装置におけるウェハ検査のメインルーチンの流れを示すフローチャートである。
【図５３】図５２における複数の被検査画像データ取得工程（ステップ１９０４）のサブルーチンの詳細な流れを示すフローチャートである。
【図５４】図５２における比較工程（ステップ１９０８）のサブルーチンの詳細な流れを示すフローチャートである。
【図５５】図５０の欠陥検査装置の検出器の具体的構成例を示す図である。
【図５６】半導体ウェハの表面上で部分的に重なり合いながら互いから位置がずらされた複数の被検査領域を概念的に示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
0005736003.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005736003.tif 000006
【図６（ａ）】
0005736003.tif 000007
【図６（ｂ）】
0005736003.tif 000008
【図７】
0005736003.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
0005736003.tif 000037
【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
0005736003.tif 000040
【図３９】
0005736003.tif 000041
【図４０】
0005736003.tif 000042
【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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【図４８】
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【図４９】
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【図５０】
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【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
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【図５４】
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【図５５】
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【図５６】
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