(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下部フレーム部；
前記下部フレーム部に結合される固定レールと、中央が低点を形成するように傾斜面を有する水平溝が形成され、前記固定レールに載置されて移動する移動板と、を有する移動部；
誘導モジュールの底面に結合される底面板と、前記底面板から延長され、前記移動板に載置される結合板と、を有する結合部；及び
前記結合板に結合され、前記移動板に形成される水平溝に挿入され、前記傾斜面に接触される下端部は球面を形成して前記結合板の水平を誘導し、前記結合板にねじ結合されて前記結合板の高低を調節し、前記結合板を調節することによって前記誘導モジュールの水平を維持する水平維持器；
を含むことを特徴とするドッキング誘導装置。
【請求項２】
前記下部フレーム部は、
固定物に載置される複数の支柱台；及び
前記支柱台を連結する連結台；を含むことを特徴とする、請求項１に記載のドッキング誘導装置。
【請求項３】
前記移動部は、
前記固定レールの一端部から上方に突出形成されて前記移動板の移動を制限する係止突起をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のドッキング誘導装置。
【請求項４】
前記移動部は、
前記固定レールと前記下部フレーム部との間に配置され、前記固定レールの高低を調節する調節板をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のドッキング誘導装置。
【請求項５】
前記結合板には結合ホールが形成され、
前記移動板には前記結合ホールに対応する移動溝が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のドッキング誘導装置。
【請求項６】
前記下部フレーム部に結合され、上方に突出形成されて前記誘導モジュールを支持する支持部をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のドッキング誘導装置。
【請求項７】
前記支持部は、
前記下部フレーム部に結合される支持バー；
前記支持バーに結合され、前記誘導モジュール方向に突出形成される支持突起；及び
前記支持突起に回転可能に結合されて前記誘導モジュールと接触するローラー；を含むことを特徴とする、請求項６に記載のドッキング誘導装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドッキング誘導装置に関し、より詳細には、レーザー光を用いて有機発光ダイオードディスプレイを製造するための設備を結合させるために高低と位置を調節するドッキング誘導装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、有機発光ダイオードディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などの平板表示装置の基板としては、長辺及び短辺を有する矩形状のガラス基板が使用される。
【０００３】
このようなガラス基板は、洗浄工程、レーザーアニーリング工程、露光工程及びエッチング工程などの多様な工程を経ながら平板表示装置の基板に製造される。
【０００４】
ガラス基板は、移送用ロボットによって各工程に移送され、各工程が実施されるチャンバーに設置される基板支持装置は、移送用ロボットを通して搬入されたガラス基板を支持する。
【０００５】
アニーリング工程はアニーリング装置によって行われる。このようなアニーリング装置は、チャンバーの上面から入射されるレーザー光によって基板を結晶化させる。
【０００６】
アニーリング装置は、レーザー光を基板に入射させる光学モジュールと、レーザー光を生成して光学モジュールに誘導する誘導モジュールとに区分される。
【０００７】
一方、本発明の背景技術は、特許文献１（２００８年０５月０９日公開、発明の名称：基板製造装置）に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】大韓民国公開特許公報２００８―００４０８３２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来のアニーリング装置は、光学モジュールと誘導モジュールに別途に製作された後で組み立てられるが、設備の大型化によって作業者がこれらを組み立てにくいという問題を有する。
【００１０】
したがって、これを改善する必要性が要請される。
【００１１】
本発明は、前記のような問題を改善するためになされたもので、光学モジュールと誘導モジュールとの間の高さを一致させ、誘導モジュールを光学モジュールに移動させることによって光学モジュールと誘導モジュールとの間の精密な組み立てを誘導するドッキング誘導装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記のような目的を達成するために、本発明は、下部フレーム部；前記下部フレーム部に結合される固定レールと、中央が低点を形成するように傾斜面を有する水平溝が形成され、前記固定レールに載置されて移動する移動板と、を有する移動部；誘導モジュールの底面に結合される底面板と、前記底面板から延長され、前記移動板に載置される結合板と、を有する結合部；及び前記結合板に結合され、前記移動板に形成される水平溝に挿入され、前記傾斜面に接触される下端部は球面を形成して前記結合板の水平を誘導し、前記結合板にねじ結合されて前記結合板の高低を調節し、前記結合板を調節することによって前記誘導モジュールの水平を維持する水平維持器；を含むことを特徴とする。
【００１３】
前記下部フレーム部は、固定物に載置される複数の支柱台；及び前記支柱台を連結する連結台；を含むことを特徴とする。
【００１４】
前記移動部は、前記下部フレーム部に結合される固定レール；及び前記固定レールに載置されて移動する移動板；を含むことを特徴とする。
【００１５】
前記移動部は、前記固定レールの一端部から上方に突出形成され、前記移動板の移動を制限する係止突起をさらに含むことを特徴とする。
【００１６】
前記移動部は、前記固定レールと前記下部フレーム部との間に配置され、前記固定レールの高低を調節する調節板をさらに含むことを特徴とする。
【００１７】
前記結合部は、前記誘導モジュールの底面に結合される底面板；及び前記底面板から延長され、前記移動板に載置される結合板；を含むことを特徴とする。
【００１８】
前記結合板には結合ホールが形成され、前記移動板には前記結合ホールに対応する移動溝が形成されることを特徴とする。
【００１９】
前記結合部は前記結合板に結合され、前記移動板に形成される水平溝に挿入されて前記結合板の水平を誘導する水平維持器をさらに含むことを特徴とする。
【００２０】
前記水平溝には中央が低点を形成するように傾斜面が形成され、前記水平維持器の下端部は球面を形成することを特徴とする。
【００２１】
前記水平維持器は、前記結合板にねじ結合され、前記結合板の高低を調節することを特徴とする。
【００２２】
前記下部フレーム部に結合され、上方に突出形成されて前記誘導モジュールを支持する支持部をさらに含むことを特徴とする。
【００２３】
前記支持部は、前記下部フレーム部に結合される支持バー；前記支持バーに結合され、前記誘導モジュール方向に突出形成される支持突起；及び前記支持突起に回転可能に結合されて前記誘導モジュールと接触するローラー；を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るドッキング誘導装置は、調節板の積層によって誘導モジュールの高低が調節されるので、誘導モジュールと光学モジュールの高さを一致させるという効果を有する。
【００２５】
本発明に係るドッキング誘導装置は、移動板の移動によって誘導モジュールを光学モジュールに近接配置させるという効果を有する。
【００２６】
本発明に係るドッキング誘導装置は、水平維持器が水平溝に挿入されることによって誘導モジュールの水平を維持するという効果を有する。
【００２７】
本発明に係るドッキング誘導装置は、水平維持器が結合板の高低を微細に調節することによって、光学モジュールに近接配置される誘導モジュールの高低を精密に調節できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置を概略的に示す図である。
【図２】本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における下部フレーム部を概略的に示す図である。
【図３】本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における移動部を概略的に示す図である。
【図４】本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における結合部を概略的に示す図である。
【図５】本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付の各図面を参照して本発明に係るドッキング誘導装置の実施例を説明する。このような過程で図面に示した各線の太さや構成要素の大きさなどは、説明の明瞭性と便宜上誇張して図示する場合がある。また、後述する用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語であって、これは、使用者及び運用者の意図又は慣例によって変わり得る。したがって、これら用語は、本明細書全般にわたる内容に基づいて定義しなければならない。
【００３０】
図１は、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置を概略的に示す図で、図２は、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における下部フレーム部を概略的に示す図で、図３は、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における移動部を概略的に示す図で、図４は、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置における結合部を概略的に示す図で、図５は、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置を概略的に示す断面図である。
【００３１】
図１〜図５を参照すると、本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置１には、下部フレーム部１０、移動部２０及び結合部３０が備えられる。
【００３２】
下部フレーム部１０は、地面などの固定物に載置され、移動部２０は下部フレーム部１０に装着されて移動する。結合部３０は、移動部２０に載置され、誘導モジュール２００に結合される。
【００３３】
したがって、誘導モジュール２００に結合された結合部３０が移動部２０と連動して移動することによって、誘導モジュール２００は、光学モジュール１００に精密に近接して組み立てられる。
【００３４】
このとき、光学モジュール１００は、基板にレーザー光を照射する設備であって、誘導モジュール２００は、生成されたレーザー光を光学モジュール１００に誘導する設備である。
【００３５】
光学モジュール１００と誘導モジュール２００との接触部分のうちいずれか一つにはガイドピンが形成され、他の一つには、ガイドピンが挿入されるガイド溝が形成される。
【００３６】
本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置１には支持部４０がさらに備えられる。支持部４０は、下部フレーム部１０に結合され、上方に突出形成されて誘導モジュール２００の両側面をそれぞれ支持する。
【００３７】
本発明の一実施例に係る支持部４０には、下部フレーム部１０に結合され、上方に突出形成される支持バー４１と、支持バー４１に結合され、誘導モジュール２００方向に突出形成されて誘導モジュール２００と接触する支持突起４２とが備えられる。
【００３８】
このとき、誘導モジュール２００の移動過程で支持突起４２との摩擦が抑制されるように、支持突起４２にはローラー４３が回転可能に結合され、このローラー４３が誘導モジュール２００と面接触する。
【００３９】
本発明の一実施例に係る下部フレーム部１０には、支柱台１１及び連結台１２が備えられる。
【００４０】
支柱台１１は地面などの固定物に載置される。このような支柱台１１は、誘導モジュール２００の断面積に対応するように複数配置される。一方、連結台１２は各支柱台１１を連結する。
【００４１】
本発明の一実施例に係る移動部２０には、固定レール２１及び移動板２２が備えられる。
【００４２】
固定レール２１は連結台１２に複数結合され、移動板２２は各固定レール２１に沿って移動する。
【００４３】
本発明の一実施例に係る移動部２０には係止突起２３がさらに備えられる。このような係止突起２３は、固定レール２１の一端部から上方に突出形成される。
【００４４】
したがって、移動板２２は、係止突起２３に係止されて移動が制限されるので、移動板２２が固定レール２１の一端部に離脱することを防止することができる。
【００４５】
一方、支持バー４１には係止板４４が結合される。このような係止板４４は、移動板２２が固定レール２１の他端部に離脱することを防止し、誘導モジュール２００が過度に光学モジュール１００方向に移動し、設備の損傷が発生することを遮断する。
【００４６】
本発明の一実施例に係る移動部２０には調節板２４がさらに備えられる。このような調節板２４は、固定レール２１と連結台１２との間に配置され、固定レール２１の高低を調節する。
【００４７】
したがって、光学モジュール１００の高さに対応するように誘導モジュール２００の高さを調節するために、固定レール２１と連結台１２との間に調節板２４を位置させる。
【００４８】
このとき、誘導モジュール２００の高低調節のために一つ以上の調節板２４が積層される場合、固定レール２１に結合されるボルトは、積層された調節板２４を貫通して連結台１２に結合される。
【００４９】
本発明の一実施例に係る結合部３０には、底面板３１及び結合板３２が備えられる。
【００５０】
底面板３１は誘導モジュール２００の底面に結合され、結合板３２は、底面板３１から複数延長形成されて各移動板２２に載置される。
【００５１】
本発明の一実施例に係る結合部３０には水平維持器３３がさらに備えられる。
【００５２】
水平維持器３３は、結合板３２に結合され、下方に突出形成され、移動板２２に形成される水平溝２９に挿入される。
【００５３】
このとき、水平溝２９には中央が低点を形成するように傾斜面２８が形成され、傾斜面２８と接触する水平維持器３３の下端部は球面３８を形成する。
【００５４】
このように水平維持器３３が水平溝２９に挿入され、球面３８が傾斜面２８と接触すると、結合板３２の水平が維持される。
【００５５】
水平維持器３３は結合板３２にねじ結合される。このような水平維持器３３は回転方向によって高低が可変されるので、水平維持器３３を回転させることによって結合板３２の高低を微細に調節することができる。
【００５６】
一方、結合板３２には結合ホール３６が形成され、移動板２２には移動溝２６が形成される。
【００５７】
したがって、結合板３２を移動板２２に載置させながら結合ホール３６と移動溝２６を一直線上に位置させると、水平維持器３３は水平溝２９に安定的に挿入される。
【００５８】
このとき、結合ホール３６と移動溝２６にボルトが締結されると、結合板３２と移動板２２との結合状態を維持する。
【００５９】
以下では、前記のような構造を有する本発明の一実施例に係るドッキング誘導装置の作用を説明する。
【００６０】
固定物に設置される支柱台１１に連結台１２が連結され、連結台１２の上側面に固定レール２１が設置される。このような固定レール２１には移動板２２が載置されて移動する。
【００６１】
一方、光学モジュール１００と結合される誘導モジュール２００の底面には底面板３１が結合され、底面板３１から延長された結合板３２は移動板２２に載置される。
【００６２】
前記のような状態で移動板２２が移動すると、これと連結された結合板３２が移動し、結果的に誘導モジュール２００が光学モジュール１００方向に水平に移動する。
【００６３】
このとき、連結台１２に結合されて誘導モジュール２００の両側面をそれぞれ支持する支持部４０は、誘導モジュール２００が移動しながら左右に遊動することを制限する。
【００６４】
固定レール２１の一端部には、移動板２２の一方向移動を制限する係止突起２３が形成され、支持部４０には係止板４４が形成され、この係止板４４は移動板２２の他方向移動を制限する。
【００６５】
したがって、作業者の過ちによって移動板２２が過度に移動して固定レール２１から離脱したり、誘導モジュール２００が光学モジュール１００にぶつかって損傷することを防止する。
【００６６】
連結台１２と固定レール２１との間には調節板２４が配置される。このような調節板２４の厚さによって誘導モジュール２００の高低が変化するので、作業者は、光学モジュール１００の連結部品に対応するように調節板２４の積層個数を変更し、誘導モジュール２００の高低を調節する。
【００６７】
一方、結合板３２には水平維持器３３が設置される。このような水平維持器３３は、移動板２２に形成される水平溝２９に挿入される。
【００６８】
水平維持器３３の下端部に形成される球面３８が傾斜面２８を有する水平溝２９に挿入されて水平を維持することによって、水平維持器３３と結合された結合板３２及びこれと連結された誘導モジュール２００は水平を維持する。
【００６９】
このとき、水平維持器３３が結合板３２にねじ結合されると、水平維持器３３の回転方向によって水平維持器３３が上下に移動するので、究極的に水平維持器３３に結合された結合板３２の高低を微細に調節することができる。
【００７０】
結合板３２には結合ホール３６が形成され、移動板２２には結合ホール３６に対応する移動溝２６が形成される。
【００７１】
したがって、結合板３２を移動板２２に載置させる過程で移動溝２６の垂直線上に結合ホール３６を一致させると、水平維持器３３が安定的に水平溝２９に挿入される。
【００７２】
このとき、ねじが結合ホール３６と移動溝２６に締結されると、結合板３２が移動板２２に結合され、移動板２２の移動時に結合板３２が安定的に移動する。
【００７３】
本発明は、図面に示した実施例を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解するだろう。
【００７４】
したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、下記の特許請求の範囲によって定めなければならない。
【符号の説明】
【００７５】
１０：下部フレーム部、２０：移動部、２１：固定レール、２２：移動板、２３：係止突起、２８：傾斜面、２９：水平溝、３０：結合部、３１：底面板、３２：結合板、３３：水平維持器、３６：結合ホール、４０：支持部
【図１】
0005806658.tif 000002
【図２】
0005806658.tif 000003
【図３】
0005806658.tif 000004
【図４】
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【図５】
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