(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の平板状床部材が土台及び該土台上の基礎構造体の少なくとも一方から立設された複数の支柱を介することで前記土台から距離を隔てて敷き詰められてなる床に設けられた床側部材と、前記床の上を移動可能な機器の本体に設けられた機器側部材とを含む、前記機器を前記床の上に耐震固定するための耐震固定装置であって、
前記床側部材は、下端側にて、前記平板状床部材に開けられた貫通孔に対向する位置における前記床の下で前記土台又は前記基礎構造体に取り付けられ、上端側にて、前記貫通孔に挿入されている又は面している前記貫通孔と同軸に上側に開口又は突出した床側連結部材を備え、
前記機器側部材は、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能であり、上端側にて、前記本体のベース板に固定される機器側連結部材を備え、
前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、
複数の前記機器側部材は、
一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第１機器側連結部材と、
他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第２機器側連結部材と
を備える
ことを特徴とする耐震固定装置。
【請求項２】
前記機器が載置される台車を更に備え、
前記機器側部材は、前記本体に加えて又は代えて、前記台車に設けられており、
機器側連結部材は、前記台車のベース板に固定されている
ことを特徴とする請求項１に記載の耐震固定装置。
【請求項３】
前記固定用穴内に雌ネジが切られており、
前記固定部材は、
前記雌ネジ内に係合されると共に前記同軸貫通穴を有する雄ネジ部材と、
前記雄ネジ部材の前記ベース板の下側から覗く先端側に係合すると共に、前記固定用穴の周囲にて前記ベース板の下面に当接することで前記雄ネジ部材が前記雌ネジ内を前記軸方向に移動するのを阻止する雌ネジが切られたナット部材と
を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の耐震固定装置。
【請求項４】
前記突起部は、くびれを有し、
前記受け部材は、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有し、
前記受け部材及び前記くびれにおける相互に当接する面のうち少なくとも一方に、前記受け部材が前記くびれに嵌る際に、前記受け部材が前記くびれから鉛直上向きに力を受けるように、テーパが形成されている
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の耐震固定装置。
【請求項５】
前記床側部材は、上端側の先端における高さが、前記床の表面高さと同じに又はより低くなるように構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の耐震固定装置。
【請求項６】
前記床側部材は、下端側にて前記基礎構造体の一部をなす複数の根太に交わる方向に前記複数の根太上に渡された、前記基礎構造体の他部をなす棒状構造体に取り付けられており、
前記棒状構造体は、前記根太の延在方向における任意位置にて前記根太に対して取り付け可能に構成されており、
前記床側部材は、下端側にて、前記棒状構造体の延在方向における任意位置にて前記棒状構造体に対して取り付け可能に構成されている
ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の耐震固定装置。
【請求項７】
前記ベース板には、前記機器側部材を取り付け可能に構成された部位が、前記機器が当該耐震固定装置により固定された場合に、前記床の上で平面的に見て、前記平板状床部材の各々における四辺から所定距離だけ離れた、前記貫通孔を開孔可能な領域内に少なくとも一つ位置するように、一つの前記貫通孔に対して四つずつ相互から離間して設けられている
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の耐震固定装置。
【請求項８】
前記平板状板部材は夫々、前記床の上で平面的に見て、矩形をなし、各辺から所定長さＬ以上離れた領域として、前記開孔可能な領域が規定されており、
前記貫通孔は、前記床の上で平面的に見て、直径Ｒの円形をなし、
前記四つずつ設けられた部位は、前記床の上で平面的に見て、一辺が２Ｌ＋Ｒ以上の長さの矩形の各頂点に位置するように設けられている
ことを特徴とする請求項７に記載の耐震固定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、工場内で軌道に沿って走行するビークル等の搬送車により搬送される被搬送物を、その処理装置、保管庫、棚等（以下単に「処理装置等」という）と搬送車との相互間で効率良く移載するために両者間に適宜設置される、バッファ、バッファストレージ等の一時保持用機器等の機器或いは設備機器（以下単に「機器」という）を、工場の床に固定するための耐震固定装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の耐震固定装置の一部分として、工場内における床上を、設置箇所に向けて移動可能なように底面に車輪が設けられた機器側に、床に対し位置決め可能であるように位置決め金具や固定用金具が設けられる。これに呼応する形で床側には、この種の耐震固定装置の他部分として、位置決め金具や固定用金具が設けられたりする。ここに「工場」は、例えば、半導体装置製造工場、液晶装置製造工場等である。工場内でビークル等により搬送される「被搬送物」は、例えば、半導体製造装置、液晶製造装置で用いられるウエーハ等を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ  Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）である。「機器」は、例えばバッファである。
【０００３】
加えて、この種の耐震固定装置は、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように強固に固定するように構成されている。
【０００４】
例えば、機器を床上に固定する装置の一例が特許文献１に開示されており、機器の耐震据付装置の一例が特許文献２に開示されている。機器が工場の床に固定されると、工場稼動時には、正確に位置決めされた機器等を介して、例えば、搬送車と処理装置等との間における被搬送物の移載が高精度にて実行可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１９０３４５号公報
【特許文献２】特開平０７−０９１０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、「工場の床」がクリーンルームの床であると、そこには、例えば、各々が一辺５０〜６０ｃｍのグレーチング或いはグレーチングパネルがマトリクス状に多数敷き詰められており、グレーチングには、その四辺の縁にリブ、フレーム、梁等（以下単に「リブ等」という）の、グレーチング自体の強度を高めるための特殊構造が設けられており、その四隅にて支柱により支持される。ここで、背景技術による固定装置の類を設けるための孔をグレーチングに開孔しようとする場合、仮にこれら四隅や縁に開孔してしまったのでは、グレーチングの強度低下を招くと共に、開孔などの作業自体が困難或いは実践上不可能となるという技術的問題点がある。これに対し、工場主の観点から言えば、同一工場内にてもラインの設計変更が実施され得ることがら、床における任意の位置に機器を固定できないようでは、或いは、耐震固定に際して床破壊・破損の危険性をはらむようでは、機器の使い勝手が著しく悪くなってしまうか或いは機器が実践上使えない。
【０００７】
更に、機器は、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて或いはメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施するために、可動式であること、即ち比較的容易に耐震固定を解除して取外し可能であることが是非望ましい。他方で、その設置の際には、床に対する、即ち工場内における搬送車の軌道、搬送車、処理装置等に対する位置決めを正確に行う必要がある。このため、耐震固定作業を含む設置作業には、位置決め精度を出すために、数時間或いは日単位といった長時間を要すると共に、特に“ティーチング”などと称される機器に対する位置の較正等を含む手間のかかる或いは複雑高度な位置決め作業も、設置・耐震固定の都度に必要になるという技術的問題点がある。
【０００８】
特に、この種の固定装置により法定や規格の耐震基準をクリアする必要があることまでも考慮すると、上記のいずれの問題点の解決は、より一層困難であることが想定される。
【０００９】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、床の所望位置に機器自体或いは機器の台車を固定可能であると共に、強い地震にも耐え得る耐震固定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
＜１＞
複数の平板状床部材が土台及び該土台上の基礎構造体の少なくとも一方から立設された複数の支柱を介することで前記土台から距離を隔てて敷き詰められてなる床に設けられた床側部材と、前記床上を移動可能な機器の本体に設けられた機器側部材とを含む、前記機器を前記床上に耐震固定するための耐震固定装置であって、前記床側部材は、下端側にて、前記平板状床部材に開けられた貫通孔に対向する位置における前記床の床下で前記土台又は前記基礎構造体に取り付けられ、上端側にて、前記貫通孔に挿入されている又は面している前記貫通孔と同軸に上側に開口又は突出した床側連結部材を備え、前記機器側部材は、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能であり、上端側にて、前記本体のベース板に固定される機器側連結部材を備え、前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、複数の前記機器側部材は、一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第１機器側連結部材と、他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第２機器側連結部材とを備える。
【００１１】
本発明によれば、耐震固定装置は、相互に連結可能である床側部材と機器側部材とによって、機器を床上に耐震固定する。
【００１２】
ここに本発明に係る「床」とは、例えばグレーチング或いはグレーチングパネル等である複数の平板状床部材が、マトリクス状に敷き詰められてなる。ここで特に、複数の平板状床部材は、典型的には、工場のコンクリート床などの土台と該土台上に設置された根太などの基礎構造体との少なくとも一方から立設された複数の支柱を介することで、土台から距離を隔てて敷き詰められている。言い換えれば、「床」は、二重床構造における上側の床部分、即ち、実際にその上面に当該機器を含む物が置かれる床を指す。このような床は、例えばグレーチングの四隅に設けられた支柱或いは脚によって、土台面から例えば数ｃｍから数十ｃｍの距離を隔てて、即ち、床下と土台との間に空間が空くように構成されている。なお、典型的なグレーチングの場合、その平面形状が、例えば、一辺５０〜６０ｃｍの矩形或いは正方形であり、その四辺の縁に、高さ数ｃｍ程度のリブ等が設けられており、その四隅にて、支柱により支持されている。なお「工場」は典型的には、半導体装置製造工場や液晶装置製造工場であるが、このような床が存在する限りにおいて、これらの工場に限られない。
【００１３】
本発明に係る「機器」とは、このような床に対して耐震固定される必要性がある限りにおいて任意である。「機器」は、例えば、工場の天井等に敷設された軌道上を走行するビークル等の搬送車により搬送される被搬送物を、その処理装置等と搬送車との相互間で効率良く移載するために両者間に適宜設置される、バッファ或いはバッファ装置、バッファストレージ等の機器である。更に、「機器」は、単なる棚のみならず、電動機構や機械機構などを備えてなる設備機器も含む広い概念である。なお「被搬送物」は、例えば半導体製造装置や液晶製造装置で用いられるウエーハ等を収容するＦＯＵＰである。
【００１４】
機器を耐震固定する際には先ず、例えば工場内の生産ラインのレイアウト設計にしたがって、機器がその設置場所へと、移動される。例えば、天井に敷設された軌道上で移載用に停止する際のビークルの停止位置（言い換えれば、移載用位置）と、処理装置等との間の空間へと、移動される。この移動は、例えば、機器が移動可能なように、その本体の底部又は機器が載置された台車の底部に設けられた車輪、キャスター等の移動手段によって、人力又は動力によって行われる。或いは、人力やリフトにより、持ち上げられた状態で、その設置場所へと運ばれてもよい。
【００１５】
この設置場所には先ず、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、床に床側部材が設けられる。平板状床部材には、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、例えば直径数ｃｍ、最低でも直径１ｃｍ以上の貫通孔が開孔される。床側部材は、その下端側にて、貫通孔に対向する或いは対向することになる位置における土台又は基礎構造体に取り付けられる。床側連結部材は、床側部材の上端側にて、貫通孔に挿入されている又は面している。床側連結部材は、貫通孔の途中まで挿入されてもよいし、貫通孔の入り口まで届かなくてもよいし、或いは、貫通孔を突き抜けるように挿入されてもよい。床側連結部材は、貫通孔と同軸に上側に開口又は突出しており、具体的には、例えば雌ネジが切られた貫通孔と同軸の、貫通孔の内径に等しい又はより小さい細長い穴が開けられてもよい。或いは、貫通孔と同軸の、貫通孔の内径よりも外径が小さい突出形状を有してもよい。加えて、連結部材のネジ径は、地震による負荷に応じて変えることが望ましい。そのため構造的に、床の貫通孔は、ネジ径よりも大きいことが好ましい。
【００１６】
他方、機器を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、機器側部材は、機器の本体及び台車の少なくとも一方に設けられる。ここに「本体」は、例えば、バッファストレージの外函、外枠のことであり、底部にキャスターが付いたベース板を備えてなる。即ち、この場合には、ベース板が本体の底板をなす。他方、「台車」は、例えば、バッファストレージが載置された、底部にキャスターが付いたベース板を備えてなる。
【００１７】
このように構成された機器側部材は、床上で平面的に見て床側部材と同一位置になるように機器が移動され停止されると、機器側連結部材は、その上端側にてベース板に固定され、その下端側にて貫通孔を介して、床側連結部材と連結される。例えば、機器側連結部材は、下端側に雄ネジが切られており、貫通孔を介して、雌ネジが切られた床側連結部材にネジ締めの要領で係合される。或いは逆に、機器側連結部材は、下端側に雌ネジが切られており、貫通孔を介して、雄ネジが切られた床側連結部材にネジ締めの要領で係合される。いずれの場合にも、両者は強固に連結される。なお、機器側連結部材とベース板との固定は、初回設定時のみに行い、それ以降は、固定されたまま機器を着脱すればよい。
【００１８】
この際特に、機器を床上に耐震固定するための機械的な強度は、ベース板、機器側部材、床側部材、並びに、床側部材が取り付けられた床下に存在する土台又は前記基礎構造体に主に依存する。言い換えれば、ここでの強度は、平板状床部材には、あまり或いは殆ど依存しない。即ち、グレーチング等の平板状板部材に比べて、より強固に造られていることが容易であり且つ実際により強固に造られていることが常套であるコンクリート床等である土台や、その上に組まれた鋼材製の根太等の基礎構造体に対し、機器を、当該耐震固定装置を介して一体的に固定する構造が得られる。言い換えれば、本願発明において「機器が床に固定される」とは、見かけ上は床に固定されるものの、実際には、床を介して床下にて、床よりも強固な土台や基礎構造体に固定されると捉えることもできる。このような固定により、固定、即ち耐震固定するための機械的強度を、グレーチング等の平板状板部材の強度にあまり又は殆どよらずに、容易にして顕著に高めることが可能となる。なお、機器を床上に設置後に、機器又はまた台車における平板状板部材の表面との当接部分を、該表面から完全には又は全く上げないことにより、機器の重量を、上述した床下の各部（即ち、機器側部材、床側部材、土台、基礎構造体等）と平板状板部材とに、分散させるようにしてもよい。
【００１９】
なお、耐震固定を解除したいときには、例えば、ネジを緩める要領で、床側連結部材と機器側連結部材との係合を解くことで、機器を床側部材から切り離すことができる。よって、連結する場合にも、連結を解く場合にも、比較的簡単に行う構造を採用することが容易となる。
【００２０】
しかも、床側部材の下端側を、土台又は基礎構造体に対して一旦取り付けてしまえば、これを取り外さない限りにおいて、床上での水平位置については、それ以降は不動となる。即ち、それ以降は、水平位置についての位置決めについては、基本的に不要となる。
【００２１】
加えて、機器側部材と床側部材との連結時における両者の上下方向或いは鉛直方向の長さが不変であることを利用すれば、即ち連結時における当該耐震固定装置の高さが不変であるように構成し、そのように不変である鉛直方向の長さ或いは不変である高さを基準に、耐震固定された際における機器の高さを決めれば、床側部材の下端側を取り外さない限りにおいて、床上での垂直位置についても、それ以降は不動となる。よって、当該耐震固定装置の水平位置を基準とし且つ当該耐震固定装置の高さを基準とすることで、位置について極めて再現性に優れた形で、耐震固定を行える。言い換えれば、当該耐震固定装置を用いて耐震固定すれば、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、極めて高い位置精度を出すことが出来、ティーチングなどの較正等の位置決めに関する諸作業も、最初に耐震固定した際に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。
【００２２】
よって、例えば、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて或いはメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施する際に、著しく有利となる。例えば、背景技術の固定作業において必要であった、位置決め精度を出すための数時間或いは日単位といった長時間の作業時間の発生や、ティーチング等を含む手間のかかる或いは複雑高度な位置決め作業の発生を防げる。
【００２３】
以上のように本発明の耐震固定装置によって、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように強固に固定することが比較的簡単且つ迅速に実行可能となる。しかも、比較的容易にして、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。
＜２＞
本発明に係る耐震固定装置の一態様では、前記床側部材及び前記機器側部材は夫々、前記機器の一つに対して複数設けられ、複数の前記機器側部材は、一の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、下端側にて、前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記ベース板に取り付けられた水平位置決め用の受け部材に、受けられる突起部を有する、第１機器側連結部材と、他の前記床側部材に対し、前記機器側連結部材として、(i)前記ベース板における前記貫通孔に対向する位置に開けられた固定用穴内に、上下位置が調整可能に固定されると共に、前記貫通孔と同軸である同軸貫通穴を内部に有する上下位置決め用の固定部材、及び(ii)下端側にて、前記同軸貫通穴及び前記貫通孔を介して前記床側連結部材と連結可能な形状を有すると共に、上端側に、前記固定部材の上面に当接する下面を縁に持つように前記同軸貫通穴より幅広な頭部を有する、第２機器側連結部材とを備える。
【００２４】
この態様によれば、機器側部材は、床上で平面的に見て床側部材と同一位置になるように機器が移動され停止されると、第１機器側連結部材は、その上端側にてベース板に固定され、その下端側にて貫通孔を介して、床側連結部材と連結される。この際、ベース板との固定については、例えば水平一方向側が切りかかれた当て止め金具である、受け部材に、突起部が受けられることで実現される。これにより、第１機器側連結部材を受け部材が取り付けられた箇所におけるベース板の水平位置については、床に対して既に固定されている第１機器側連結部材の水平位置によって規定される。
【００２５】
他方、第２機器側連結部材は、その下端側にて、固定部材に開けられた同軸貫通穴及び平板状床部材に開孔された貫通孔の両者を直列に介して、床側連結部材と連結される。この際、ベース板の固定は、第１に水平方向について、第２機器側連結部材が同軸貫通穴に挿入或いは勘合されることで実現される。第２に上下方向或いは鉛直方向について、固定部材の上面に、第２機器側連結部材の幅広な頭部が縁に持つ下面が当接することで実現される。これらにより、固定部材が固定される固定用穴が開けられた箇所におけるベース板の水平位置及び垂直位置については、床に対して既に固定されている第２機器側連結部材の水平位置及び垂直位置によって規定される。特に、最初の耐震固定時に、固定部材の上下位置を調整した後、その上下位置を固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、固定部材の上下位置が固定用穴内にて不動である限り、極めて高い位置精度を出すことが出来る。ティーチング等の作業も、最初に固定部材の上下位置を調整する作業と共に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。
【００２６】
特に、第１機器側連結部材は、側方から移動してくる受け部により受けられるので、機器を水平移動させる動作にて、上述の如き、第１機器側連結部材による固定を先ず行える。更に、第２機器側連結部材は、固定部材に開けれた同軸貫通穴に挿入或いは勘合されるので、機器の水平位置を固定したままで、上述の如き、第２機器側連結部材による固定を行える。
【００２７】
これらの結果、耐震基準を満たすように強固に固定することが、簡単且つ迅速に実行可能となる。しかも、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。
【００２８】
＜３＞
この態様では、前記固定用穴内に雌ネジが切られており、前記固定部材は、前記雌ネジ内に係合されると共に前記同軸貫通穴を有する雄ネジ部材と、前記雄ネジ部材の前記ベース板の下側から覗く先端側に係合すると共に、前記固定用穴の周囲にて前記ベース板の下面に当接することで前記雄ネジ部材が前記雌ネジ内を前記軸方向に移動するのを阻止する雌ネジが切られたナット部材とを有してよい。
【００２９】
このように構成すれば、ベース板に対する固定部材の上下方向位置を、ナット部材に対するネジを締める或いはネジを緩める動作によって、簡単に調整できる。よって、固定部材の調整によって、耐震固定時における機器の高さ方向の調整を、簡単に実施できる。一旦、固定部材の上下位置を調整し、その上下位置を固定用穴に対して固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、極めて高い位置精度を出すことが出来る。
【００３０】
＜４＞
この機器側部材が、第１及び第２機器側連結部材を備える態様では、前記突起部は、くびれを有し、前記受け部材は、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有し、前記受け部材及び前記くびれにおける相互に当接する面のうち少なくとも一方に、前記受け部材が前記くびれに嵌る際に、前記受け部材が前記くびれから鉛直上向きに力を受けるように、テーパが形成されてもよい。
【００３１】
このように構成すれば、第１機器側連結部材は、側方から移動してくる受け部により受けられる際に、ベース板を水平方向に移動させる力から、テーパの作用により、例えば当て止め金具である受け部に対して（即ち、ベース板或いは機器に対して）上方への分力が発生する。よって、ベース板の底部に設けられた、例えばキャスター、車輪等のベース板を可動とするための可動手段は、大なり小なり床から浮き上がるか、又は少なくともベース板を介してこのような可動手段にかかる機器等の荷重は、大なり小なり低減される。この結果、キャスター、車輪等の存在にかかわらずに、より高精度で位置決めを実施可能となる。加えて、耐震固定した後における、キャスター、車輪等にかかる負荷や、これを介してグレーチング等の床にかかる負荷を軽減でき、キャスター、車輪等を含めた機器側の寿命や、グレーチング等の床の寿命を長くすることも可能となる。
【００３２】
なお、突起部と受け部とは、相互に嵌る限りにおいて、形状が逆の関係であってもよい。即ち、例えば、前記受け部材は、くびれを有する突起の形状を有しており、前記突起部は、受け部側に突出しつつ、側方に切り欠かかれており且つ該切り欠かれた側から前記くびれに嵌る形状を有してもよい。
【００３３】
＜５＞
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記床側部材は、上端側の先端における高さが、前記床の表面高さと同じに又はより低くなるように構成されている。
【００３４】
この態様によれば、床側部材の上方へ向いた上端、或いは最上面における高さは、床の表面高さと同じとされるか、又は床の表面高さよりも低くされている。このため、機器が取り除かれて、固定装置が固定の役目を果たしていない場合に、床側部材の一部が床から出っ張って残存しないようにできる。よって、工場の使い勝手が向上し、安全上の観点からも望ましい環境を、工場内に構築できる。更に、再びこの床側部材を使おうとする場合には、そのまま使うことが可能となる。
【００３５】
＜６＞
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記床側部材は、下端側にて前記基礎構造体の一部をなす複数の根太に交わる方向に前記複数の根太上に渡された、前記基礎構造体の他部をなす棒状構造体に取り付けられており、前記棒状構造体は、前記根太の延在方向における任意位置にて前記根太に対して取り付け可能に構成されており、前記床側部材は、下端側にて、前記棒状構造体の延在方向における任意位置にて前記棒状構造体に対して取り付け可能に構成されている。
【００３６】
この態様によれば、棒状構造体を、根太のどこに取り付けるかにより、床側部材における水平第１方向（即ち、根太の延在方向）の位置を決定でき、更に、床側部材を、棒状構造体のどこに取り付けるかにより、床側部材における水平第２方向（即ち、根太の延在方向に交わる或いは直交する方向、言い換えれば水平第１方向に交わる或いは直交する方向）の位置を決定できる。よって、水平面内における二次元位置を、根太及び棒状構造体の存在する限りにおいて、自由に決定できるので、当該耐震固定装置により耐震固定可能な位置についての自由度が格段に高まる。この結果、機器を設置可能な位置についての自由度が格段に高まる。従って、高い自由度を持って、工場内における製造ラインをレイアウト設計でき、実践上きわめて有利である。
【００３７】
＜７＞
本発明に係る耐震固定装置の他の態様では、前記ベース板には、前記機器側部材を取り付け可能に構成された部位が、前記機器が当該耐震固定装置により固定された場合に、前記床の上で平面的に見て、前記平板状床部材の各々における四辺から所定距離だけ離れた、前記貫通孔を開孔可能な領域内に少なくとも一つ位置するように、一つの前記貫通孔に対して四つずつ相互から離間して設けられている。
【００３８】
本発明によれば、機器を設置する際に、四つずつ設けられる「機器側部材を取り付け可能に構成された部位」のうち、いずれか一つについては必ず、平板状床部材における開孔可能な領域内に位置する。よって、四隅や縁にも開孔する事態が発生しグレーチング等の平板状床部材の強度低下を招くことを未然防止しつつ、グレーチング等の平板状床部材に対して、機器を工場主の要望に沿う所望位置に固定する用の貫通孔を開孔可能となる。しかも、リブ等の存在により開孔作業が困難となる事態をも回避できる。言い換えれば、平坦且つ一様なコンクリートの床面或いは土台面に対し固定することなく、グレーチング等の平板状床部材に貫通孔を開孔することで固定するのであっても、グレーチング等の平板状床部材の特殊な造りとの関係によらずに、任意位置で固定することが容易にして可能となる。しかも、機器を任意位置にて固定しても、肝心の床の強度に支障を来たす事態を未然防止できる。
【００３９】
＜８＞
この態様では、前記平板状板部材は夫々、前記床の上で平面的に見て、矩形をなし、各辺から所定長さＬ以上離れた領域として、前記開孔可能な領域が規定されており、前記貫通孔は、前記床の上で平面的に見て、直径Ｒの円形をなし、前記四つずつ設けられた部位は、前記床の上で平面的に見て、一辺が２Ｌ＋Ｒ以上の長さの矩形の各頂点に位置するように設けられてよい。
【００４０】
このように構成すれば、四つずつ設けられる「機器側部材を取り付け可能に構成された部位」のうち、いずれか一つについては、幾何学的に必ず、平板状床部材における開孔可能な領域内に位置するようにできる。即ち、数学的なルールに従って、このような状況を確実且つ簡単に担保できる。特に、前記矩形の一辺の長さを２Ｌ＋Ｒに等しい値に又は若干のマージンを含めて２Ｌ＋Ｒとほぼ等しい値に設定することで、無闇に前記矩形を広げる必要がなくなる。即ち、四つの部位の水平位置を相互に近接配置することが可能となる、言い換えれば、比較的狭いエリア内にこれら四つの部位を配置できる。ベース板が限られた面積を有することを考慮すれば、このような四つの部位がベース板に設けられる構成は、実践上大変有利となる。
【００４１】
なお、このような四つの部位は、一つの機器側部材に対して設けられるので、機器側部材がｍ個（但し、ｍは二以上の自然数）あれば（即ち、床側部材がｍ個あれば）、このような四つの部位は、四つの部位を一セットとして、ｍセット設けられることになる。
【００４２】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】実施形態の耐震固定装置により固定されたバッファ装置を、ビークル及び製造装置と共に示す、製造システムの全体構成を示す図式的な斜視図である。
【図２】図１の製造システムの図式的な断面図である。
【図３】実施形態の床の構造を示す図式的な平面図である。
【図４】実施形態における、床を構成する１枚のグレーチングを、これを支持する支柱と共に示す図式的な斜視図である。
【図５】実施形態における、耐震固定装置を、バッファ装置が載置された台車のベース板、並びに床及び土台と共に示す図式的な断面図である。
【図６】実施形態の床下が構成される様子を示す図式的な斜視図である。
【図７】実施形態の第１機器側部材を拡大して示す斜視図である。
【図８】実施形態において、第１機器側部材と床側部材とが連結される様子を示す図式的な断面図である。
【図９】実施形態の第２機器側部材を拡大して示す斜視図である。
【図１０】実施形態において、第２機器側部材で上下位置が調整され、更に第２機器側部材と床側部材とが連結される様子を示す図式的な断面図である。
【図１１】実施形態のベース板における、固定される４つの機器側部材の配置等を図式的に示す下面図である。
【図１２】図１１の４つの機器側部材のうちの一つについて、機器側部材が実際に取り付けられた一つの取付可能な部位と、実際には取り付けられなかった三つの取付可能な部位（即ち、合計四つの取付可能な部位）を拡大して示す、部分拡大下面図である。
【図１３】図１２の四つの取付可能な部位の位置が、グレーチングにおける開孔可能な領域との関係で、どこに設定されるかを示す図式的な平面図である。
【図１４】図１２の当て止め金具の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４４】
以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００４５】
＜実施形態＞
＜製造システムの構成＞
先ず、実施形態に係る耐震固定装置により耐震固定された、本発明に係る「機器」の一例であるバッファ装置を備える製造システムの構成について図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、製造システムの外観を模式的に示す斜視図であり、図２は、それを図１における前後方向で切断した場合の断面を概略的に示す断面図である。
【００４６】
図１及び図２に示すように、製造システム１００は、レール１と、ビークル１０と、製造装置２０と、バッファ装置３０とを備える。製造システム１００は、レール１に沿ってビークル１０を走行させると共に、複数のウェハを収容可能なＦＯＵＰ（即ち、本発明に係る「被搬送物」の一例）３を製造装置２０へ搬送する搬送機能と、製造装置２０にてＦＯＵＰ３内のウェハに各種処理を施すことにより半導体素子を製造する製造機能とを有する。
【００４７】
レール１は、本発明に係る「軌道」の一例として、ビークル１０が走行するための軌道の役割を果たす。レール１は、製造システム１００が設置される施設の天井に敷設されている。
【００４８】
ビークル１０は、本発明に係る「搬送車」の一例として、リニアモータを動力として駆動されるＯＨＴ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ：天井走行車）であって、レール１に吊り下げられる形で取り付けられている。ビークル１０は、レール１に沿って走行すると共に、製造装置２０の他、不図示のストッカ、ＯＨＴバッファ及び大型ストッカ等にＦＯＵＰ３を搬送する。ビークル１０における走行及び搬送等の動作は、製造システム１００における不図示のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１上には、１台のビークル１０しか図示しないが、典型的に、より多く（例えば数十台或いは数百台）のビークル１０が備えられている。
【００４９】
ビークル１０は、内部に、不図示の巻き取り軸を有する巻き取り部１２と、巻き取りベルト１３と、グリッパ１４とから成るホイスト機構１１を備える。巻き取りベルト１３の一端は、巻き取り軸に固定されており、その他端は、グリッパ１４に固定されている。巻き取り部１２は、不図示のモータを動力として巻き取り軸を回転させ、巻き取りベルト１３を一端から巻き取り又は巻き出し可能に構成されている。グリッパ１４は、内側に屈曲された両端部にてＦＯＵＰ３の上部（即ち、フランジ）３ａを把持する把持状態、又はＦＯＵＰ３のフランジ３ａを解放する解放状態に変位可能に構成されている。このような構成を有するホイスト機構１１は、巻き取りベルト１３が巻き取られる又は巻き出されることにより、レール１の下方にてグリッパ１４を鉛直方向に昇降させると共に、鉛直位置にてグリッパ１４を変位させることにより、ＦＯＵＰ３をビークル１０側からバッファ装置３０側へ移載する、又はバッファ装置３０側からビークル１０側へ移載可能である。このように本実施形態では、ビークル１０による移載進路が、ビークル１０の移載位置（即ち、図１に示される停止位置）から鉛直下方に延びており、ＦＯＵＰ３を縦移載するように構成されている。
【００５０】
製造装置２０は、本発明に係る「処理装置」の一例として、ＦＯＵＰ３、実際には、ＦＯＵＰ３に収容されているウェハに対して所定種類の処理（例えば、露光処理、成膜処理、熱処理等）を行う。製造装置２０は、内部に、ウェハに対して所定種類の処理を施す不図示の処理部を備えており、その処理部に処理すべきウェハを出し入れ可能である２つの開口Ｈ１，Ｈ２を設けている。製造装置２０は、２つの開口Ｈ１，Ｈ２に夫々隣接する外部に且つレール１の下方に、バッファ装置３０との間でＦＯＵＰ３を移載するためのポートとして機能する２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える。製造装置２０は、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２の各々に移載されたＦＯＵＰ３内部のウェハを、開口Ｈ１又はＨ２を介して処理部に出し入れする不図示の内外移載機構を備える。製造装置２０における所定の処理、ウェハの出し入れ等の動作は、製造システム１００のコントローラにより制御される。尚、ここでは説明の便宜上、レール１の下方には、１機の製造装置２０しか図示しないが、典型的に、ＦＯＵＰ３に対して相異なる処理を行う、より多く（例えば数台或いは数百台）の製造装置２０が備えられる。また、開口及びロードポートの個数についても夫々、２個に限られず、３個以上あってもよく、それらの配置についても各種の態様が有り得る。
【００５１】
バッファ装置３０は、例えばＳＡＦＬ（Stand Alone Front Loader：商品名）と称され、ビークル１０と製造装置２０との間でＦＯＵＰ３が効率的に受け渡されるように、ビークル１０との間及び製造装置２０との間で夫々ＦＯＵＰ３を移載する。尚、ここでは説明の便宜上、２つのロードポートＬＰ１，ＬＰ２を備える製造装置２０には、一方のロードポートＬＰ１に対応する、１機のバッファ装置３０しか図示しないが、他の実施形態として、両方のロードポートＬＰ１，ＬＰ２に夫々対応する、２機のバッファ装置３０が備えられてもよい。
【００５２】
バッファ装置３０は、本体部３１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とを備える。図２において、本体部３１は、ロードポートＬＰ１にその前面側（即ち、図２における左側）から組み付け可能に逆Ｌ字形に構成されている筐体である。本体部３１は、その組み付け時に、長手方向がレール１の方位に直交する方向（即ち、本発明に係る「水平一方向」の一例であって、図２におけるＸ方向）に沿うように配置される。本体部３１は、Ｘ方向に少なくとも２つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さ（即ち、図２における長さＬｘ）を有しており、レール１の方位に少なくとも１つのＦＯＵＰ３を配置可能である長さを有する。尚、ここでは説明の便宜上、本体部３１がロードポートＬＰ１に組み付けられた状態にあるバッファ装置３０の構成について説明する。
【００５３】
本体部３１内部には、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２と、移載機構３２とが設置されている。本体部３１は、レール１の鉛直方向（即ち、図２における一点鎖線Ｇ１で示される）に対応する上面に、ＯＨＴポートＰ１とビークル１０との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１１を設けている。また、ロードポートＬＰ１上に載置されるＦＯＵＰ３に隣接する側面に、ロードポートＬＰ１（即ち、製造装置２０）との間でＦＯＵＰ３を受け渡し可能である開口Ｈ１２を設けている。
【００５４】
ＯＨＴポートＰ１は、製造装置２０において所定の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を、開口Ｈ１１を介してビークル１０との間で移載するための、バッファ装置３０におけるポートとして機能する。ＯＨＴポートＰ１は、ビークル１０が縦移載（即ち、移載時にＦＯＵＰ３が鉛直方向のみ移動される移載）により短時間でＦＯＵＰ３を移載可能に、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より上方に設置されている。図１及び図２から明らかなように、ＯＨＴポートＰ１は、仮にバッファ装置３０を取り去った場合に、ビークル１０が製造装置２０のロードポートＬＰ１に対してＦＯＵＰ３を縦移載する際における、移載進路を遮る位置に存在している。よって、ビークル１０から見ると、バッファ装置３０の存否に拘わらず、平面視して同一位置にある、即ち、移載位置の鉛直下方にあるポートに対して移載動作を行えば足りる。即ち、ビークル１０から見てポートの高さが異なるだけの違いであれば、ビークル１０が移載動作を行うことに対する制御は、バッファ装置３０の存否に拘わらず、殆ど同一で済むので実践上大変有利である。
【００５５】
バッファＰ２は、製造装置２０において所定種類の処理が行われる或いは行われたＦＯＵＰ３を少なくとも一時的に載置するための一時載置棚として機能する。バッファＰ２は、後述する移載機構３２によるＦＯＵＰ３の移載を妨げないように、レール１の鉛直方向におけるロードポートＬＰ１より下方で且つそのＸ方向に設置されている。
【００５６】
移載機構３２は、ロードポートＬＰ１と、ＯＨＴポートＰ１と、バッファＰ２との間を移動すると共に、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２は、把持部３３と、水平移動機構及び昇降機構とを備えており、本体部３１における最も前面側（即ち、図２における左側）に設置されている。把持部３３は、一対の平板状の部位を有しており、この部位がフランジ３ａの下方にＸ方向から入り込むと共にフランジ３ａの両端部を下方から支持することにより、ＦＯＵＰ３を把持する。図２に示すように、水平移動機構は、長手方向がＸ方向と平行になるように設置されているレール部３４ａと、そのレール部に沿ってＸ方向にスライド可能なスライド部３４ｂとを備える。水平移動機構の先端部（即ち、スライド部３４ｂにおける製造装置２０側の端部）には、把持部３３が固定されている。昇降機構は、不図示のモータを動力源として鉛直方向に回動可能である回動帯３５ａと、その回動帯に固定されており、回動帯の回動に伴って鉛直方向に移動する昇降部３５ｂとを備える。昇降部３５ｂには、レール部３４ａの一端部が固定されている。
【００５７】
移載機構３２は、上述した水平移動機構及び昇降機構による相互動作により、把持部３３を、ロードポートＬＰ１、ＯＨＴポートＰ１及びバッファＰ２間でＸ方向及び鉛直方向に移動させると共に、把持部３３にてＦＯＵＰ３を把持又は解放することにより、それらの間でＦＯＵＰ３を移載する。移載機構３２における移動、ＦＯＵＰ３の移載等の動作は、製造システム１００のコントローラにより制御される。
【００５８】
バッファ装置３０は、開口Ｈ１１を介して、ＯＨＴポートＰ１を用いて、ビークル１０との間で、ＦＯＵＰ３の受け渡しを行う。バッファ装置３０は、開口Ｈ１２を介して、ロードポートＬＰ１を用いて、製造装置２０との間で、ＦＯＵＰ３の受け渡しを行う。更に、バッファ装置３０は、その内部にて、把持部３３、スライド部３４ｂ及び昇降部３５ｂを動作させることで、ＯＨＴポートＰ１及びロードポートＬＰ１間における、ＦＯＵＰ３の移動を、直接又はバッファＰ２を介して行う。
【００５９】
上述のような移載動作を実行するために、バッファ装置３０は、初期導入の際には、工場内外の他の場所から運ばれてきた後、製造装置２０の設置位置及びビークル１０の停車位置に対して、正確に位置決めされる形で設置される。或いは、バッファ装置３０は、定期又は不定期にメンテナンスされたり、修理されたりする。このため、バッファ装置３０は、四つのキャスター３８を底部に有してなる台車の本体をなすベース板５０上に載置されている。バッファ装置３０は、キャスター３８の転動を利用して、人力又は動力により、向上の床上を移動可能とされている。
【００６０】
例えば、バッファ装置３０は、その本体部３１が、ベース板５０に対してネジ止め、リベット止め、接着剤止めされたり、溶接されたりにより、両者間における位置関係が不変となるように、強固に載置或いは固定されている。なお、バッファ装置３０の本体部３１の底板が、ベース板５０を兼ねていてもよい。いずれの場合にも、ベース板５０に載置されたバッファ装置３０は、床に対して単に設置されるのみでは足りず、法定基準或いは規格基準を満足するように、ベース板５０或いは台車と共に、耐震固定される必要がある。
【００６１】
このため、本実施形態では特に、ベース板５０には、本発明に係る「耐震固定装置」の一例として、二種類の第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２が設けられている。第１耐震固定装置５１は、ベース板５０における製造装置２０に近い側の二隅に設けられ、第２耐震固定装置５２は、ベース板５０における製造装置２０から遠い側の二隅に設けられる。第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２は、床上部分における構造は、後で詳述するように相異なり、床下部分、即ち床側に固定された部分における構造は、相互に同一である。
【００６２】
次に、図３及び図４を参照して、本実施形態に係る耐震固定装置を適用可能な床及び床下の構造について説明する。ここに図３は、床の構造を平面的に示し、図４は、床を構成する１枚のグレーチングの裏側を見たもので、これを支持する支柱と共に示されている。
【００６３】
図３に示すように、床は、本発明に係る「平板状床部材」の一例であるグレーチング２０１が、マトリクス状に敷き詰められてなる。複数のグレーチング２０１は、コンクリート床である土台２００上に設置された、本発明に係る「基礎構造体」の一例である根太２１１の上に、鉛直に立設された複数の支柱２０１Ｃを介して、敷き詰められている。即ち、グレーチング２０１と土台２００との間には、根太２１１及び支柱２０１Ｃの高さに応じた空間が広がっており、二重床構造が構築されている。なお、支柱２０１Ｃは、グレーチング２０１の四隅に位置するように立設されており、一本の支柱２０１Ｃの支柱本体よりも幅広に形成された上面にて、相隣接する４枚のグレーチング２０１の隅を支持している。
【００６４】
相隣接する二本の根太２１１間には、棒状構造体２１２が渡されている。１本の棒状構造体２１２のみが図示されているが、後述のように、棒状構造体２１２は、複数の耐震固定装置が固定される箇所に対応する位置に複数配設される。棒状構造体２１２は、図中、根太２１１上における矢印ＡＲ１及び矢印ＡＲ２で示した方向の任意の位置に、取り付け可能である。
【００６５】
図４に示すように、グレーチング２０１は、その四辺の縁にリブ２０１Ｒを有する。支柱２０１Ｃは、グレーチング２０１の四隅にてグレーチングのリブ２０１Ｒの下面を支持するように配置される。なお、グレーチング２０１の主面には、全域に渡って直径コンマ数ｃｍ〜２ｃｍ程度の小径の空気孔２０１ｈが空気流通用に多数開孔されている。
【００６６】
次に、図５及び図６を参照して、耐震固定装置の構成について説明する。ここに図５は、第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２を、ベース板５０、グレーチング２０１及び土台２００等と共に示し、図６は、根太２１１等から床下が構成される様子を示す。
【００６７】
図５に示すように、第１耐震固定装置５１は、根太２１１に渡された棒状構造体２１２から立設された床側部材７０１と、ベース板５０に設けられた第１機器側部材５０１とを含む。第２耐震固定装置５２は、床側部材７０１と、ベース板５０に設けられた第２機器側部材６０１とを含む。床側部材７０１は、第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２間で共通である。
【００６８】
床側部材７０１は、下端側にて、棒状構造体２１２に取り付けられ、上端側にて、グレーチング２０１に開孔された貫通孔２０１Ｈに挿入されている。床側部材７０１は、本発明に係る「床側連結部材」の一例として機能する。床側部材７０１は、一の貫通孔２０１Ｈ内にて、本発明の「第１機器側連結部材」の一例として機能する第１機器側部材５０１の下端側に連結可能に構成されており、同様に、他の貫通孔２０１Ｈ内にて、本発明の「第２機器側連結部材」の一例として機能する第２機器側部材６０１の下端側に連結可能に構成されている。
【００６９】
図６に示すように、床下には予め、根太２１１が、図中点線で示した支柱２０１ｃを立設するために、耐震固定装置の要否・有無に拘わらずに、土台２００上に強固に取り付けられている（図６上段参照）。
【００７０】
次に、バッファ装置３０を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２で固定すべき場所における床下には夫々、棒状構造体２１２が、根太２１１上に取り付けられる（図６中段参照）。根太２１１に沿った方向の位置調整は、棒状構造体２１２を、根太２１１の何処に取り付けるかにより、なされる。即ち、矢印ＡＲ１及びＡＲ２で示したように、この方向の位置調整については、棒状構造体２１２を根太２１１の任意箇所に取り付け可能であることから容易である。
【００７１】
次に、第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２で固定すべき場所における床下には夫々、床側部材７０１が、既に根太２１１に対して強固に取り付けられている棒状構造体２１２上に取り付けられる（図６下段参照）。ここでの取り付けは、例えば、床側部材７０１の下端側における幅広に形成された部分の周囲４箇所にて、棒状構造体２１２にネジ止めされる。棒状構造体２１２に沿った方向の位置調整は、床側部材７０１を、棒状構造体２１２の何処に取り付けるかにより、なされる。即ち、矢印ＡＲ３及びＡＲ４で示したように、この方向の位置調整については、床側部材７０１を棒状構造体２１２の任意箇所に取り付け可能であることから容易である。なお、床側部材７０１には、上側に向って開口していると共に、貫通孔２０１Ｈと同軸に鉛直方向に延在する雌ネジが切られた、細長いネジ穴７０１ｎが開けられている。
【００７２】
図６に示した床下の造作作業中には、第１耐震固定装置５１又は第２耐震固定装置５２で固定すべき場所におけるグレーチング２０１が一個又は周辺複数個だけ、一旦取り除かれるので、床下部材７０１の取り付け作業は、比較的容易である。
【００７３】
このような床下の造作作業に相前後して或いは並行して、第１耐震固定装置５１又は第２耐震固定装置５２で固定すべき場所におけるグレーチング２０１には、例えば直径２〜３ｃｍなどの貫通孔２０１Ｈが開孔される。この際、既存の空気孔２０１ｈは、貫通孔２０１Ｈに比べて小径であるので、殆ど考慮しなくてよい。
【００７４】
他方、バッファ装置３０を実際に設置する作業に相前後して或いは並行して、第１機器側部材５０１は、床側部材７０１に対向する床上に設けられ、第２機器側部材６０１は、床側部材７０１に対向するベース板５０及び床上に設けられる。
【００７５】
以上のように構成されているので、耐震固定を行う際には、キャスター３８によりバッファ装置３０が、製造装置２０に面する設置位置まで移動され、第１機器側部材５０１及び第２機器側部材６０１が床側部材７０１と同一水平位置になるように停止される。すると、第１機器側部材５０１及び第２機器側部材６０１は、それらの上端側にて夫々ベース板５０に固定され、それらの下端側にて夫々、貫通孔２０１Ｈを介して、床側部材７０１と連結される。
【００７６】
この際、バッファ装置３０を床上に耐震固定するための機械的な強度は、ベース板５０、第１機器側部材５０１及び第２機器側部材６０１、床側部材７０１、棒状構造体２１２、根太２１１及び土台２００に主に依存する。言い換えれば、ここでの強度は、グレーチング２０１に殆ど依存しない。特に、既存の空気孔２０１ｈに加えて貫通孔２０１Ｈが開孔されるので、グレーチング２０１の強度自体は多少低下するものの、本実施形態に係る耐震固定は、グレーチング２０１を介して或いはグレーチング２０１を素通りして、ベース板５０及び棒状構造体２１２間で直接行われる。このため、仮にグレーチング２０１の強度が、空気孔２０１ｈや特に貫通孔２０１Ｈを開孔することにより無視し得ない程度に落ちたとしても、耐震固定に関する限り問題は生じないようにすることも可能である。なお、バッファ装置３０を床上に設置後に、キャスター３８をグレーチング２０１の表面から完全には又は全く上げないことにより、バッファ装置３０の重量を、上述した床下の各部（即ち、第１機器側部材５０１、第２機器側部材６０１、棒状構造体２１２、根太２１１等）とグレーチング２０１とに、分散させるようにしてもよい。
【００７７】
次に、図７〜図１０を参照して、図５及び図６に示した耐震固定装置の構成について、より詳細に説明する。ここに、図７は、第１耐震固定装置５１を拡大して示し、図８は、第１耐震固定装置５１が床下部材７０１に連結される様子を示す。図９は、第２耐震固定装置５２を拡大して示し、図１０は、第２耐震固定装置５２がベース板５０に上下位置調整された後に、床側部材７０１に連結される様子を示す。
【００７８】
図７及び図８に示すように、第１耐震固定装置５１を構成する第１機器側部材５０１は、その下端側にて、貫通孔２０１Ｈを介して、床側部材７０１のネジ穴７０１ｎに連結可能な雄ネジ５０１Ｓが切られている。第１機器側部材５０１の上端側には、ベース板５０に取り付けられた受け部材８０１（図７参照）に受けられる括れ５０１ｎを持つ突起部が形成されている。
【００７９】
図８に示すように、耐震固定の際にはバッファ装置３０が移動されて来るのに先んじて、第１機器側部材５０１は、図８中の左部分にて矢印ＡＲ１１で示したように鉛直下方へと、貫通孔２０１Ｈを介して挿入される。更に、第１機器側部材５０１は、図８中の右部分にて示したように、床側部材７０１のネジ穴７０１ｎ内に、雄ネジ５０１Ｓにてネジ込められる。なお、床側部材７０１は、予めネジ７１１にて棒状構造体２１２へと強固に取り付けられている。
【００８０】
図７に示すように、第１機器側部材５０１及びベース板５０間の固定については、水平一方向側が切り欠かれた当て止め金具８に、第１機器側部材５０１の上端の括れ５０１ｎが受けられることで実現される。特に、第１耐震固定装置５１は、側方から移動してくる受け部８０１により受けられるので、バッファ装置３０を水平移動させる動作にて、上述の如き、大まかな固定を先ず行える。
【００８１】
これらの結果、第１耐震固定部材５１については、水平二方向の位置について、一義的に且つ再現性を持って決められる。言い換えれば、ベース板５０は、第１耐震固定部材５１によって、第１機器側部材５０１に対する水平二方向位置が概ね固定されることになる。
【００８２】
図９及び図１０に示すように、第２耐震固定装置５２を構成する第２機器側部材６０１は、一対の上下方向調整用のネジ部材６０２及びナット６０３により、ベース板５０に対して上下方向調節後に、ベース板５０に対して固定可能に構成されている。ネジ部材６０２は、ベース板５０における貫通孔２０１Ｈに対向する位置に開けられ且つ雌ネジが切られた固定用穴５０Ｈ内にて、上下位置が調整可能である。ネジ部材６０２は、ナット６０３により、その上下位置が固定される。これら一対のネジ部材６０２及びナット６０３から、本発明に係る「固定部材」の一例を構成されている。
【００８３】
更に、ネジ部材６０２は、貫通孔２０１Ｈと同軸である同軸貫通穴６０２Ｈを内部に有する。第２機器側部材６０１は、その下端側にて、同軸貫通穴６０２Ｈ及び貫通孔２０１Ｈを介して、床側部材７０１のネジ穴７０１ｎに連結可能な雄ネジ６０１Ｓが切られている。
【００８４】
図１０に示すように、耐震固定の際には、ベース板５０に対して、ネジ部材６０２及びナット６０３は、図１０中の左部分にて矢印ＡＲ１２、ＡＲ１３で示したように固定用穴５０Ｈ内で鉛直上下方向について調節される。調節が終わると、図１０中、中央部分に示すように、第２機器側部材６０１は、ベース板５０に対してナット６０３により上下位置が固定されたネジ部材６０２の同軸貫通穴６０２Ｈ内に、矢印ＡＲ１１で示したように鉛直下方へと挿入される。更に、第２機器側部材６０１は、貫通孔２０１Ｈを介して、挿入される。更に、第２機器側部材６０１は、図１０中の右部分にて示したように、床側部材７０１のネジ穴７０１ｎ内に、雄ネジ６０１Ｓにてネジ込められる。この際、第２機器側部材６０１は、その幅広頭部の周囲にある下面が、ネジ部材６０２の上面に当接することで、その上下位置がベース板５０に対して規定される。
【００８５】
これらの結果、第２耐震固定部材５２については、水平二方向の位置だけではなく、上下方向位置或いは鉛直方向位置についても、一義的に且つ再現性を持って決められる。製造装置２０やビークル１０の停止位置との関係で、位置決めに調整が必要であれば、例えば、図１０に示した作業を再度或いは繰り返して行えばよい。或いは、図６に示した床側部材７０１の位置調整から再度或いは繰り返し行えばよい。
【００８６】
なお、第２機器側部材６０１による位置決め・固定は、図７及び図８に示した第１耐震固定装置５１による大まかな位置決め・固定の後に、同軸貫通穴６０２Ｈに挿入或いは勘合されること実施される。即ち、第１耐震固定装置５１によってベース板５０の水平位置を概ね固定したままで、上述の如き、第２機器側連結部材６０１による固定を行える。よって、耐震固定に係る作業の手順としては、図７及び図８に示した第１耐震固定装置５１による固定を先ず行い、その後に、図９及び図１０に示した、第２機器側部材６０１を同軸貫通穴６０２Ｈに挿入する作業或いは少なくとも同軸貫通穴６０２Ｈを介して貫通孔２０１Ｈに挿入する作業以降を行うとよい。このようにすれば、先ず、ベース板５０に搭載されたバッファ装置３０を、製造装置２０に対面する設置位置までキャスター３８を利用して移動させて、第１耐震固定装置５１による水平二方向位置の大まかな決定を行い、その後に、第２耐震固定装置５２による水平二方向位置及び上下方向位置の決定を高精度で行うことが容易にできるので、実践上大変便利である。
【００８７】
特に、最初の耐震固定時に、ネジ部材６０２及びナット６０３の調節も含めた第２耐震固定装置５２の上下位置を調整した後、その上下位置を固定しておけば、その後に、固定の解除と固定とを繰り返して行っても、第２耐震固定装置５２のベース板５０に対する上下位置が不動である限り、極めて高い位置精度を出すことが出来る。ティーチング等の作業も、最初に第１耐震固定装置５１の水平位置並びに第２耐震固定装置５２の水平位置及び上下位置を調整する作業と共に一度だけ行っておけば、以降に行う必要は基本的になくなる。
【００８８】
以上のように本実施形態の第１耐震固定装置５１及び第１耐震固定装置５２によって、法律や規格等で決められた耐震基準を満たすように、バッファ装置３０を、床に対して強固に固定することが比較的簡単且つ迅速に実行できる。しかも、比較的容易にして、固定及び固定解除可能としつつ高精度で位置決めを実行可能である。例えば、工場内におけるライン設計・仕様等に応じて、或いはバッファ装置３０等のメンテナンス・補修を定期又は不定期に実施する際に、著しく有利となる。
【００８９】
加えて、図７〜図１０に示したように、床側部材７０１は、その上端面の高さが、グレーチング２０１からなる床の表面高さより低くなるように構成されている。よって、バッファ装置３０が取り除かれた場合に、床側部材７０１の一部が床から出っ張って邪魔になることを未然防止できる。
【００９０】
次に、図１１〜図１３を参照して、第１耐震固定装置５１及び第２耐震固定装置５２のベース板５０の底部への取り付け位置について説明する。ここに、図１１は、ベース板５０における、固定される二つの第１耐震固定装置５１及び二つの第２耐震固定装置５２の配置を示し、図１２は、図１１の固定装置のうちの一つの第１耐震固定装置５１について、第１耐震固定装置５１が実際に取り付けられた一つの取付可能な部位と、実際には取り付けられなかった三つの取付可能な部位（即ち、合計四つの取付可能な部位）を拡大して示す。図１３は、図１２の四つの取付可能な部位の位置が、グレーチング２０１における開孔可能な領域との関係で、どこに用意されるかを示す（斜線エリアは、開孔不可能な領域を示す）。
【００９１】
図１１に示すように、二つの第１耐震固定装置５１及び二つの第２耐震固定装置５２は夫々、ベース板５０の四隅に設けられたキャスター３８の付近に円により図示されたエリア内に配置されている。以下、これらのうち特に、図１１の左上の隅に位置する第１耐震固定装置５１を例にとって、説明を続ける。
【００９２】
図１２に示すように、キャスター３８の付近において、第１耐震固定装置５１を取付可能な部位は、部位５１ａ、５１ｂ、５１ｃ及び５１ｄの４つ用意されている。これら４つの部位は、図１２中横方向に距離Ｄｘだけ離間しており、図１２中縦方向に距離Ｄｙだけ離間している。更に、図１２は、部位５１ｄに、実際の第１耐震固定装置５１が取り付けられた様子を示している。即ち、部位５１ｂ、５１ｃ及び５１ｄについては、取り付ける部位の候補ではあったものの、以下に説明するグレーチング２０１との関係で、実際には取り付けられなかった場合を示している。このような候補となる取り付け可能な部位には、金具８０１取付用の穴や孔が予め開けられていてもよいし、取付位置マークが付されていてもよい。
【００９３】
このように四つの取り付け可能な部位を予め用意することで、実際の設置位置に応じて決められたグレーチング２０１（図４参照）の四辺や四隅との関係において、グレーチング２０１の貫通孔２０１Ｈを開けてはならないエリアに、実際に貫通孔２０１Ｈを開けなければならない（即ち、開けなければ第１耐震固定装置５１を取り付けられない）事態を回避できる可能性が、格段に高められる。即ち、グレーチング２０１における開孔してはならないエリアとの関係で、距離Ｄｘ及びＤｙを決めておけば、このような可能性を格段に高められる。
【００９４】
なお、図１１に示したように、第１耐震固定装置５１に限らず、第２耐震固定装置５２を取り付け可能な部位についても、部位５２ａ、５２ｂ、５２ｃ及び５２ｄの４つ用意しておくことで、同様の効果が得られる。
【００９５】
図１３に示すように、より具体的には、ベース板５０には、第１機器側部材５０１（又は第２機器側部材６０１）を取り付け可能に構成された部位が、床上で平面的に見て、グレーチング２０１の各々における四辺から所定距離だけ離れた、貫通孔２０１Ｈを開孔可能な領域内（図中、未ハッチングの領域内）に少なくとも一つ位置するように、一つの貫通孔２０１Ｈに対して四つずつ相互から離間して設けられている。即ち、この場合には、グレーチング２０１は夫々、床上で平面的に見て、例えば一辺が５０〜６０ｃｍ程度の正方形をなし、図中黒くハッチングされた開孔すべきでない領域を避けるように、各辺から所定長さＬ以上離れた開孔可能な領域（即ち、図中未ハッチングの領域）が規定されている。貫通孔２０１Ｈは、直径Ｒの円形をなし、四つずつ設けられた第１耐震固定装置５１（又は第２耐震固定装置）を取り付け可能な部位は、一辺が２Ｌ＋Ｒ以上の長さの正方形の各頂点に位置するように用意されている。
【００９６】
よって、図１１及び図１２に示した四つずつ設けられる、取り付け可能な部位のうち、いずれか一つについては、幾何学的に必ず、グレーチング２０１における開孔可能な領域内（図１３中で、未ハッチングの領域）に位置するようにできる。即ち、数学的なルールに従って、このような状況を確実且つ簡単に担保できる。特に、正方形の一辺の長さを２Ｌ＋Ｒに等しい値に又は若干のマージンを含めて２Ｌ＋Ｒとほぼ等しい値に設定することで、無闇に正方形を広げる必要がなくなる。即ち、四つの部位の水平位置を相互に近接配置することが可能となる、
【００９７】
このように図１３に示した如き配置を採用すれば、グレーチング２０１の四隅や縁に貫通孔２０１Ｈを開孔する事態が発生することで、グレーチング２０１の強度低下を招くことを確実に未然防止できる。しかも、グレーチング２０１に対して、バッファ装置３０を工場主の要望に沿う所望位置に固定する用の貫通孔２０１Ｈを、いずれかの位置（即ち、上述の四つの部位のうちのいずれか一つに対応する平面位置）に開孔できる。バッファ装置３０を任意位置にて固定しても、グレーチング２０１の強度に支障を来たす事態を未然防止できる。
【００９８】
次に図１４を参照して、本発明の「受け部」の一例としての当て止め金具８０１の構成について説明を加える。図１４は、図１２に示した金具８０１の外観斜視図である。
【００９９】
図１４に示すように、金具８０１には、ベース板５０をキャスター３８で水平に移動させた結果、金具８０１がくびれ５０１ｎ（図７及び図８参照）に嵌る際に、受け部材８０１がくびれ５０１ｎから鉛直上向きに力を受けるように、テーパ８０１ｔが形成されている。よって、テーパ８０１ｔにくびれ５０１ｎが乗り上げる際に発生する鉛直上向きの分力の作用により、金具８０１がくびれ５０１ｎ（図７及び図８参照）に嵌る際に、バッファ装置３０は、ベース板５０ごと、大なり小なり床から浮き上がるか、又は少なくともキャスター３８を介して床にかかる荷重は、大なり小なり低減される。この結果、キャスター３８の存在にかかわらずに、より高精度で位置決めを実施可能となる。加えて、耐震固定した後における、過重軽減によって、キャスター３８を含めた製造システム全体の装置寿命や、グレーチング２０１の寿命を長くすることも可能となる。
【０１００】
尚、本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う耐震固定装置もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１０１】
３…ＦＯＵＰ、１０…ビークル、２０…製造装置、３０…バッファ装置、５０…ベース板、５１…第１耐震固定装置、５２…第２耐震固定装置、２０１…グレーチング、２０１Ｈ…貫通孔、５０１…第１機器側部材、６０１…第２機器側部材、７０１…床側部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図７】
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【図９】
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