(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空の転動体と、この転動体の中空部に隙間を形成して挿通されていると共に一端部が転動体から突出している軸体と、ラジアル方向に関して転動体を静圧気体によって支持すべく転動体と軸体との間に介在されている一つのみの静圧気体軸受手段と、スラスト方向に関して転動体を磁力によって支持すると共にスラスト方向において静圧気体軸受手段を挟んで配された第一及び第二の磁性軸受手段とを具備しており、第一の磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの第一の環状凹溝と、第一の環状凹溝の内の一方の第一の環状凹溝を挟み、かつ外周面で転動体の内周面と第一の環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の第一の内側磁性体と、該第一の環状凹溝の内の一方の第一の環状凹溝に臨むと共に一対の第一の内側磁性体間に介在されている第一の永久磁石と、第一の環状凹溝の内の他方の第一の環状凹溝に臨むと共に一方の端面が該一対の第一の内側磁性体の内の一方の第一の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配された第一の環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく第一の永久磁石の磁力に基づいて転動体と一対の第一の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっており、第二の磁性軸受手段は、転動体の他端部側の内周面に軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの第二の環状凹溝と、第二の環状凹溝の内の一方の第二の環状凹溝を挟み、かつ外周面で転動体の内周面と第二の環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の第二の内側磁性体と、該第二の環状凹溝の内の一方の第二の環状凹溝に臨むと共に一対の第二の内側磁性体間に介在されている第二の永久磁石と、第二の環状凹溝の内の他方の第二の環状凹溝に臨むと共に一方の端面が該一対の第二の内側磁性体の内の一方の第二の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配された第二の環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく第二の永久磁石の磁力に基づいて転動体と一対の第二の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっており、静圧気体軸受手段は、転動体の内周面に対して環状の軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面を有していると共に軸体に固着されている円筒状の軸受体と、ラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように軸受体に形成されている給気通路と、軸体に形成されていると共に給気通路に気体を供給することができるように当該給気通路に連通した供給通路とを具備しており、軸受隙間は、軸方向の一端において第一の環状の隙間を介して、軸方向の他端において第二の環状の隙間を介して夫々外部に連通しているカムフォロア。
【請求項２】
中空の転動体と、この転動体の中空部に隙間を形成して挿通されていると共に一端部が転動体から突出している軸体と、ラジアル方向に関して転動体を静圧気体によって支持すべく転動体と軸体との間に介在されている一つのみの静圧気体軸受手段と、スラスト方向に関して転動体を磁力によって支持すると共にスラスト方向において静圧気体軸受手段を挟んで配された第一及び第二の磁性軸受手段とを具備しており、第一の磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に形成された拡径凹所に嵌着された環状の第一の外側磁性体と、この第一の外側磁性体の内周面に一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの第一の環状凹溝と、該第一の外側磁性体の第一の環状凹溝の内の一方の第一の環状凹溝を挟み、かつ外周面で第一の外側磁性体の内周面と第一の環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の第一の内側磁性体と、この一対の第一の内側磁性体間に介在されていると共に外周面が第一の外側磁性体の第一の環状凹溝の内の一方の第一の環状凹溝に臨む第一の永久磁石と、一方の端面が一対の第一の内側磁性体の内の一方の第一の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配され、外周面が第一の外側磁性体の第一の環状凹溝の内の他方の第一の環状凹溝に臨む第一の環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく第一の永久磁石の磁力に基づいて第一の外側磁性体と一対の第一の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっており、第二の磁性軸受手段は、転動体の他端部側の内周面に形成された拡径凹所に嵌着された環状の第二の外側磁性体と、この第二の外側磁性体の内周面に一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの第二の環状凹溝と、該第二の外側磁性体の第二の環状凹溝の内の一方の第二の環状凹溝を挟み、かつ外周面で第二の外側磁性体の内周面と第二の環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の第二の内側磁性体と、この一対の第二の内側磁性体間に介在されていると共に外周面が第二の外側磁性体の第二の環状凹溝の内の一方の第二の環状凹溝に臨む第二の永久磁石と、一方の端面が一対の第二の内側磁性体の内の一方の第二の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配され、外周面が第二の外側磁性体の第二の環状凹溝の内の他方の第二の環状凹溝に臨む第二の環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく第二の永久磁石の磁力に基づいて第二の外側磁性体と一対の第二の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっており、静圧気体軸受手段は、転動体の内周面に対して環状の軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面を有していると共に軸体に固着されている円筒状の軸受体と、ラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように軸受体に形成されている給気通路と、軸体に形成されていると共に給気通路に気体を供給することができるように当該給気通路に連通した供給通路とを具備しており、軸受隙間は、軸方向の一端において第一の環状の隙間を介して、軸方向の他端において第二の環状の隙間を介して夫々外部に連通しているカムフォロア。
【請求項３】
一対の第一の内側磁性体及び一対の第二の内側磁性体に対面している転動体の内周面の部位は拡径されており、第一及び第二の外側磁性体は、転動体の内周面の前記拡径された部位に嵌着されている請求項２に記載のカムフォロア。
【請求項４】
転動体は磁性体からなる請求項１に記載のカムフォロア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カム等の相手部材の作動を他の部材に伝達すべく相手部材に接触して用いられるカムフォロアに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１においては、外輪とスタッドとの間に複数のころが配置されてなるカムフォロアが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２０５９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、斯かるカムフォロアでは、外輪及びスタッドと複数のころとが接触しているために、回転摩擦の更なる低減、回転速度の更なる向上を図り難い。また、斯かるカムフォロアでは、外輪、スタッド及び複数のころが摩耗するため、カムフォロアの使用期間の長期化、ランニングコストの低減も図り難い。
【０００５】
本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、回転摩擦の低減、回転速度の向上に加えて、使用期間の長期化、ランニングコストの低減を図り得るカムフォロアを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のカムフォロアは、中空の転動体と、この転動体の中空部に隙間をもって挿通されていると共に一端部が転動体から突出している軸体と、ラジアル方向に関して転動体を静圧気体によって支持すべく転動体と軸体との間に介在されている静圧気体軸受手段と、スラスト方向に関して転動体を磁力によって支持する磁性軸受手段とを具備しており、磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝と、一方の環状凹溝を挟み、かつ外周面で転動体の内周面と環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の内側磁性体と、該環状凹溝に臨むと共に一対の内側磁性体間に介在されている永久磁石と、他方の環状凹溝に臨むと共に一方の端面が該一対の内側磁性体の一方の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配された環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく永久磁石の磁力に基づいて転動体と一対の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっている。
【０００７】
本発明のカムフォロアによれば、特に、磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝と、一方の環状凹溝を挟み、かつ外周面で転動体の内周面と環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の内側磁性体と、該環状凹溝に臨むと共に一対の内側磁性体間に介在されている永久磁石と、他方の環状凹溝に臨むと共に一方の端面が該一対の内側磁性体の一方の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配された環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく永久磁石の磁力に基づいて転動体と一対の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっているために、静圧気体軸受手段によって転動体をラジアル方向に関して非接触で支持する一方、磁性軸受手段によって転動体をスラスト方向に関して非接触で支持することができて、回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、カムフォロアの使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得、スラスト方向の非接触支持においてはエアを消費することがないので、カムフォロアの更なる低廉化、エア消費量の削減を図り得る。
【０００８】
本発明の他の態様のカムフォロアは、中空の転動体と、この転動体の中空部に隙間をもって挿通されていると共に一端部が転動体から突出している軸体と、ラジアル方向に関して転動体を静圧気体によって支持すべく転動体と軸体との間に介在されている静圧気体軸受手段と、スラスト方向に関して転動体を磁力によって支持する磁性軸受手段とを具備しており、磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に形成された拡径凹所に嵌着された環状の外側磁性体と、外側磁性体の内周面に一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝と、該外側磁性体の一方の環状凹溝を挟み、かつ外周面で外側磁性体の内周面と環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の内側磁性体と、一対の内側磁性体間に介在されていると共に外周面が外側磁性体の環状凹溝に臨む永久磁石と、一方の端面が一対の内側磁性体の一方の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配され、外周面が外側磁性体の環状凹溝に臨む環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく永久磁石の磁力に基づいて外側磁性体と一対の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっている。
【０００９】
本発明の他の態様のカムフォロアによれば、特に、磁性軸受手段は、転動体の一端部側の内周面に形成された拡径凹所に嵌着された環状の外側磁性体と、外側磁性体の内周面に一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝と、該外側磁性体の一方の環状凹溝を挟み、かつ外周面で外側磁性体の内周面と環状の隙間をもって対面し、軸体に装着されている一対の内側磁性体と、一対の内側磁性体間に介在されていると共に外周面が外側磁性体の環状凹溝に臨む永久磁石と、一方の端面が一対の内側磁性体の一方の内側磁性体の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段に当接して配され、外周面が外側磁性体の環状凹溝に臨む環状スペーサとを具備しており、スラスト方向に関して転動体を支持すべく永久磁石の磁力に基づいて外側磁性体と一対の内側磁性体とが互いに引き合う力を生じさせるようになっているために、静圧気体軸受手段によって転動体をラジアル方向に関して非接触で支持する一方、磁性軸受手段によって転動体をスラスト方向に関して非接触で支持することができて、回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、カムフォロアの使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得、スラスト方向の非接触支持においてはエアを消費することがないので、カムフォロアの更なる低廉化、エア消費量の削減を図り得る。尚、例えば外側磁性体が転動体にボルト止めされる態様のカムフォロアにおいても、回転摩擦の低減、回転速度の向上に加えて、使用期間の長期化、ランニングコストの低減を図り得るが、本発明の他のカムフォロアでは、外側磁性体が転動体の内周面に嵌着されているために、外側磁性体を予め転動体に嵌着させておくことができて、転動体に対する軸体、静圧気体軸受手段及び磁性軸受手段の組み立て工数を減少させ得、加えて、転動体及び外側磁性体の芯出しを予め精確に行い得、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得る。
【００１０】
本発明の上述のカムフォロア及び他の態様のカムフォロアでは、静圧気体軸受手段は、転動体の内周面に対して環状の軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面を有していると共に軸体に固着されている円筒状の軸受体と、ラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように軸受体に形成されている給気通路と、軸体に形成されていると共に給気通路に気体を供給することができるように当該給気通路に連通した供給通路とを具備していてもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、回転摩擦の低減、回転速度の向上に加えて、使用期間の長期化、ランニングコストの低減を図り得るカムフォロアを提供し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図２に示す例の断面説明図である。
【図２】本発明の実施の形態の例の正面説明図である。
【図３】図１に示す例のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面矢視説明図である。
【図４】図１に示す例のＩＶ−ＩＶ線断面矢視説明図である。
【図５】図１に示す例のＶ−Ｖ線断面矢視説明図である。
【図６】図１に示す例のＶＩ−ＶＩ線断面矢視説明図である。
【図７】図１に示す例の主に磁性軸受手段の拡大説明図である。
【図８】図１に示す例の主に磁性軸受手段の拡大動作説明図である。
【図９】本発明の実施の形態の他の例の断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に本発明を、図に示す好ましい実施の形態の例に基づいて更に詳細に説明する。なお、本発明はこれら例に何等限定されないのである。
【実施例】
【００１４】
図１から図８において、本例のカムフォロア１は、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３を形成して挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備している。
【００１５】
転動体２は、円筒状の磁性体からなり、その内周面１２で静圧気体軸受手段７並びに磁性軸受手段９及び１０に対して環状の軸受隙間３１及び環状の隙間６４をもって対面している。
【００１６】
軸体４は、円柱状であり、その一端部２１が転動体２の一端部５から突出しており、当該一端部２１で支持フレーム１５等に片持ち支持されている。軸体４には静圧気体軸受手段７並びに磁性軸受手段９及び１０が取り付けられている。軸体４の外周面２０は、転動体２の内周面１２に対して環状の隙間３をもって対面している。尚、軸体４は、本例では一端部２１で支持フレーム１５等に片持ちされているが、例えば、その他端部が転動体２の他端部６から突出していると共に当該軸体４の他端部が支持フレーム等を介して固定支持されることによって両持ち支持されていてもよい。
【００１７】
静圧気体軸受手段７は、転動体２の内周面１２に対して環状の軸受隙間３１をもって対面しているラジアル軸受面３２を有していると共に軸体４に固着されている円筒状の軸受体３６と、ラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給すべき気体を給気することができるように、軸受体３６に形成されている給気通路４４と、給気通路４４に気体を供給することができるように当該給気通路４４に連通して軸体４に形成されている供給通路４５とを具備している。軸受隙間３１は、軸方向の一端において環状の隙間６４を介して、軸方向の他端において環状の隙間６４を介して夫々外部に連通している。
【００１８】
軸受体３６は、内周面５１で軸体４の外周面２０に固着されている円筒状の本体５５と、本体５５の外周面５２に接合されている多孔質体としての円筒状の多孔質金属焼結層５６とを具備している。
【００１９】
多孔質金属焼結層５６は、その全表面の無秩序な多数の部位で開口すると共に無秩序に互いに連通する多数の細孔を内部に有している。ラジアル軸受面３２は、多孔質金属焼結層５６の支持すべき転動体２の内周面１２に対面して露出する外周面からなる。
【００２０】
給気通路４４は、本体５５の外周面５２に形成された複数の環状通路７１及び７２と、軸方向に伸びて本体５５内に形成されており、環状通路７１及び７２に連通していると共に供給通路４５に連通している連通路７６とを具備している。供給通路４５は、軸方向に伸びて軸体４内に形成されており、一端部２１で開口していると共に連通路７６に連通している。斯かる給気通路４４では、一端部２１から供給通路４５を介して供給される気体（圧縮気体）が連通路７６に供給され、連通路７６に供給された気体が環状通路７１及び７２に流入され、当該流入された気体を多孔質金属焼結層５６に供給することで、軸受隙間３１に気体を供給する。
【００２１】
本例のカムフォロア１は、多孔質金属焼結層５６を有した静圧気体軸受手段７を具備しているが、これらに代えて、例えば、軸受体３６に形成された自成絞り通路を介して静圧気体を軸受隙間３１に供給して転動体２をラジアル方向に関して非接触支持する自成絞り型の静圧気体軸受手段を具備していてもよい。
【００２２】
磁性軸受手段９及び１０は、夫々互いに同様に形成されているので、以下、磁性軸受手段９について詳細に説明し、磁性軸受手段１０については図に符号ａを適宜付してその詳細な説明を省略する。尚、磁性軸受手段９は一端部５側に配されており、磁性軸受手段１０は、転動体２の他端部６側に配されており、磁性軸受手段９及び１０間には軸受体３６が位置している。
【００２３】
磁性軸受手段９は、転動体２の一端部５間の内周面１２に軸方向に所定の間隔をおいて形成された２つの環状凹溝８４及び８５と、一方の環状凹溝８４を挟み、かつ外周面６２で転動体２の内周面１２と環状の隙間６４をもって対面し、軸体４に装着されている一対の内側磁性体６５及び６６と、該環状凹溝８４に臨むと共に一対の内側磁性体６５及び６６間に介在されている永久磁石、本例では中空円板状の一つの永久磁石６７と、他方の環状凹溝８５に臨むと共に一方の端面が該一対の内側磁性体６５及び６６の一方の内側磁性体６６の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段７、本例では静圧気体軸受手段７の軸受体３６の円筒状の本体５５の端面に当接して配された磁力遮断体としての環状スペーサ８０とから形成されている。
【００２４】
該磁性軸受手段９においては、スラスト方向に関して転動体２を支持すべく永久磁石６７の磁力に基づいて転動体２と一対の内側磁性体６５及び６６とが互いに引き合う力を生じさせるようになっている。
【００２５】
磁性軸受手段９において、転動体２の一端部５側の内周面１２に軸方向に所定の間隔をおいて形成された２つの環状凹溝８４及び８５は、図８に示すように転動体２にスラスト方向の力（外力）９１が作用し、スラスト方向に転動体２が変位したとき、スラスト方向に反力９２が発生し、当該変位を磁力により復元させるように作用するものである。図８において、符号９３は転動体２と内側磁性体６５及び６６との引き合い力（吸着力）を示しており、反力９２は引き合い力９３に基づいて発生する。
【００２６】
永久磁石６７は、一端面８６がＮ極、他端面８８がＳ極となっている。内側磁性体６５及び６６は、当該永久磁石６７の磁力に基づいて磁性を帯び、これにより、内側磁性体６５の外周面６２がＮ極、内側磁性体６６の外周面６２がＳ極となる。転動体２の一端部５は、当該複数の永久磁石６７の磁力に基づいて磁性を帯び、これにより、環状凸部８２がＳ極、環状凸部８３がＮ極となる。従って、磁性軸受手段９には、例えば図７に示すように磁束６８が生じて、環状凸部８２と内側磁性体６５の外周面６２との間に引き合い力が生じると共に環状凸部８３と内側磁性体６６の外周面６２との間に引き合い力が生じる。斯かる引き合い力は、転動体２の軸体４に対するスラスト方向の変位に伴って増大するため、転動体２はスラスト方向に関して磁力によって支持されることになる。このように、磁性軸受手段９は、スラスト方向に関して転動体２を支持すべく永久磁石６７の磁力に基づいて転動体２の一端部５と一対の内側磁性体６５及び６６とが互いに引き合う力を生じさせるようになっている。尚、磁性軸受手段１０もまた、磁性軸受手段９と同様に、スラスト方向に関して転動体２を支持すべく永久磁石６７ａの磁力に基づいて転動体２の他端部６と一対の内側磁性体６５ａ及び６６ａとが互いに引き合う力を生じさせるようになっている。
【００２７】
磁性軸受手段９及び１０は、一つの中空円板状の永久磁石６７及び６７ａを夫々具備しているが、これに代えて、例えば円周方向に並んだ複数の永久磁石を具備していてもよい。
【００２８】
斯かるカムフォロア１では、給気通路４４から多孔質金属焼結層５６に給気されることによりラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に気体が供給され、而して、静圧気体軸受手段７により転動体２を非接触にてＲ方向に回転自在に支持する。転動体２は、上述のように、磁性軸受手段９及び１０の磁力により横方向に関して非接触にてＲ方向に回転自在に支持され、これにより、転動体２の軸体４に対する横方向の位置ずれは禁止される。また、カムフォロア１では、スラスト方向に関する転動体２の支持におけるエア消費は生じないので、転動体２を支持する際のエア消費量を抑えることができる。
【００２９】
本例のカムフォロア１によれば、中空の転動体２と、転動体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ラジアル方向に関して転動体２を静圧気体によって支持すべく転動体２と軸体４との間に介在されている静圧気体軸受手段７と、スラスト方向に関して転動体２を磁力によって支持する磁性軸受手段９及び１０とを具備しており、磁性軸受手段９は、転動体２の一端部５間の内周面１２に軸方向に所定の間隔をおいて形成された２つの環状凹溝８４及び８５と、一方の環状凹溝８４を挟み、かつ外周面６２で転動体２の内周面１２と環状の隙間６４をもって対面し、軸体４に装着されている一対の内側磁性体６５及び６６と、該環状凹溝８４に臨むと共に一対の内側磁性体６５及び６６間に介在されている永久磁石、本例では中空円板状の一つの永久磁石６７と、他方の環状凹溝８５に臨むと共に一方の端面が該一対の内側磁性体６５及び６６の一方の内側磁性体６６の端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段７に当接して配された磁力遮断体としての環状スペーサ８０とを具備しており、スラスト方向に関して転動体２を支持すべく永久磁石６７の磁力に基づいて転動体２と一対の内側磁性体６５及び６６とが互いに引き合う力を生じさせるようになっており、磁性軸受手段１０は、転動体２の一端部５間の内周面１２に軸方向に所定の間隔をおいて形成された２つの環状凹溝８４ａ及び８５ａと、一方の環状凹溝８４ａを挟み、かつ外周面６２ａで転動体２の内周面１２と環状の隙間６４をもって対面し、軸体４に装着されている一対の内側磁性体６５ａ及び６６ａと、該環状凹溝８４ａに臨むと共に一対の内側磁性体６５ａ及び６６ａ間に介在されている永久磁石、本例では中空円板状の一つの永久磁石６７ａと、他方の環状凹溝８５ａに臨むと共に一方の端面が該一対の内側磁性体６５ａ及び６６ａの一方の内側磁性体６６ａの端面に当接し、他方の端面が静圧気体軸受手段７に当接して配された磁力遮断体としての環状スペーサ８０ａとを具備しており、スラスト方向に関して転動体２を支持すべく永久磁石６７ａの磁力に基づいて転動体２と一対の内側磁性体６５ａ及び６６ａとが互いに引き合う力を生じさせるようになっているために、静圧気体軸受手段７によって転動体２をラジアル方向に関して非接触で支持する一方、磁性軸受手段９及び１０によって転動体２をスラスト方向に関して非接触で支持することができて、回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、カムフォロア１の使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得、スラスト方向の非接触支持においてはエアを消費することがないので、カムフォロア１の更なる低廉化、エア消費量の削減を図り得る。
【００３０】
本発明の実施の形態の他の例のカムフォロア１０１は、図９に示すように、カムフォロア１と同様の軸体４、静圧気体軸受手段７並びに磁性軸受手段９及び１０と、非磁性体からなる中空の転動体１０２とを具備しており、当該磁性軸受手段９は、転動体１０２の一端部５における内周面１２の部位に嵌着された環状の外側磁性体１０３を更に具備しており、当該磁性軸受手段１０は、転動体１０２の他端部６における内周面１２の部位に嵌着された環状の外側磁性体１０３ａを更に具備している。
【００３１】
転動体１０２の一端部５における内周面１２の部位は拡径されており、外側磁性体１０３は当該拡径された部位に嵌着されている。転動体１０２の他端部６における内周面１２の部位は拡径されており、外側磁性体１０３ａは当該拡径された部位に嵌着されている。
【００３２】
環状の外側磁性体１０３は、環状の転動体１０２の内周面１２に、一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝８４及び８５を具備しており、該外側磁性体１０３は、前記転動体１０２の一端部５における内周面１２に形成された拡径凹所に、外側磁性体１０３の一方の端面を該転動体１０２の一端部５と面一にして嵌着されている。外側磁性体１０３ａは外側磁性体１０３と同様に形成されているので、外側磁性体１０３ａについては図に適宜符号ａを付してその詳細な説明を省略する。
【００３３】
カムフォロア１０１の磁性軸受手段９及び１０は、転動体１０２の一端部５側の内周面１２に形成された拡径凹所に嵌着された環状の外側磁性体１０３と、外側磁性体１０３の内周面に一方の端面から軸方向に所定の間隔を隔てて形成された２つの環状凹溝８４及び８５と、該外側磁性体１０３の一方の環状凹溝８４を挟み、かつ外周面６２で外側磁性体１０３の内周面と環状の隙間６４をもって対面し、軸体４に装着されている一対の内側磁性体６５及び６６と、一対の内側磁性体６５及び６６間に介在されていると共に外周面が外側磁性体１０３の環状凹溝８４に臨む永久磁石６７と、一方の端面が一対の内側磁性体６５及び６６の一方の内側磁性体６６の端面に当接し、他方の端面が軸受体３６の円筒状の本体５５の端面に当接して配され、外周面が外側磁性体１０３の環状凹溝８５に臨む磁力遮断体としての環状スペーサ８０とから形成されている。
【００３４】
カムフォロア１０１によれば、静圧気体軸受手段７によって転動体１０２をラジアル方向に関して非接触で支持する一方、磁性軸受手段９及び１０によって転動体１０２をスラスト方向に関して非接触で支持することができて、回転摩擦を低減させると共に回転速度を向上させることができ、しかも、カムフォロア１０１の使用期間の長期化を図り得ると共にランニングコストをも低減させ得、スラスト方向の非接触支持においてはエアを消費することがないので、カムフォロア１０１の更なる低廉化、エア消費量の削減を図り得る。尚、外側磁性体１０３及び１０３ａが転動体１０２の内周面１２に嵌着されているために、外側磁性体１０３及び１０３ａを予め転動体１０２に嵌着させておくことができて、転動体１０２に対する軸体４、静圧気体軸受手段７並びに磁性軸受手段９及び１０の組み立て工数を減少させ得、加えて、転動体１０２に外側磁性体１０３及び１０３ａが嵌着されるので、転動体１０２並びに外側磁性体１０３及び１０３ａの芯出しを予め簡単に且つ精確に行い得、例えば、外側磁性体１０３及び１０３ａが転動体１０２にボルト止め等される態様のカムフォロアの組み立て時に生じ得る外側磁性体と転動体との芯ズレをなくし得て、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得る。例えば外側磁性体が転動体にボルト止めされる態様のカムフォロア（図示せず）においても、回転摩擦の低減、回転速度の向上に加えて、使用期間の長期化、ランニングコストの低減を図り得るが、カムフォロア１０１では、外側磁性体１０３が転動体１０２の内周面１２に嵌着されているために、外側磁性体１０３を予め転動体１０２に嵌着させておくことができて、転動体１０２に対する軸体４、静圧気体軸受手段７及び磁性軸受手段９及び１０の組み立て工数を減少させ得、加えて、転動体２及び外側磁性体１０３の芯出しを予め精確に行い得、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得る。
【００３５】
本例の更に他の態様のカムフォロア（図示せず）は、非磁性体からなる転動体の両端部に外側磁性体１０３が装着されている事項を除いてはカムフォロア１及び１０１と同様に形成されている。斯かるカムフォロア並びにカムフォロア１及び１０１の夫々によれば、特に、静圧気体軸受手段９及び１０は、転動体２（１０２）の内周面１２に対して環状の軸受隙間３１をもって対面しているラジアル軸受面３２を有していると共に軸体４に固着されている円筒状の軸受体３６と、ラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給すべき気体を給気することができるように軸受体３６に形成されている給気通路４４と、軸体４に形成されていると共に給気通路４４に気体を供給することができるように当該給気通路４４に連通した供給通路４５とを具備しているために、磁性軸受手段９及び１０を転動体２（１０２）の両端面に設けることができるようになり、スラスト方向の負荷容量を増大させることができる。
【００３６】
尚、外側磁性体が転動体にボルト止めされる態様のカムフォロアにおいても、回転摩擦の低減、回転速度の向上に加えて、使用期間の長期化、ランニングコストの低減を図り得るが、斯かるカムフォロアに対して、本例のカムフォロア１では、転動体２が磁性体からなるために、内側磁性体６５及び６６に対面する外側磁性体を転動体２に対して別個に設ける必要をなくすことができて部品点数を削減し得、カムフォロアの組み立て工数を減少し得、加えて、磁性体からなる転動体２自体が内側磁性体６５及び６６に対面する外側磁性体としての機能を発揮するので、当該転動体２に芯ズレが生じることがなくなり、ラジアル方向の磁気による吸着力が不均一となってラジアル方向の負荷容量が低下する虞をなくし得る。
【符号の説明】
【００３７】
１、１０１  カムフォロア
２、１０２  転動体
４  軸体
７  静圧気体軸受手段
９、１０  磁性軸受手段
６４  隙間
６５、６６、６５ａ、６６ａ  内側磁性体
６７、６７ａ  永久磁石
３１  軸受隙間
３２  ラジアル軸受面
４４  給気通路
４５  供給通路
１０３、１０３ａ  外側磁性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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