(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ抵抗ユニットと、検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化しないリファレンス抵抗とを含んでブリッジ回路を構成するセンサ部と、
前記ブリッジ回路の出力に基づいて、前記検出対象ガスの濃度を算出する算出部と、
前記算出部により算出された前記検出対象ガスの濃度が警報判定点に到達した場合に、警報手段に対して警報の発生を指示する処理部と、
前記センサ部を制御する制御部と、を有し、
前記センサ抵抗ユニットは、
それぞれが、前記検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化する複数のセンサ抵抗と、
前記制御部によって切換制御されることにより、前記複数のセンサ抵抗のうちいずれか一つのセンサ抵抗を、前記ブリッジ回路を構成する素子として選択する切換手段と、
を備え、
前記制御部は、前記センサ抵抗のそれぞれを選択した際に検出された検出対象ガスの濃度を履歴情報として保持するとともに、当該履歴情報に基づいて前記センサ抵抗のそれぞれの劣化度合いを推定することにより、当該劣化度合いが均等化されるように、前記センサ抵抗の選択を行うことを特徴とするガス検出装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記複数のセンサ抵抗に対応した警報判定点をそれぞれ保持し、前記制御部により選択されたセンサ抵抗に対応して前記警報判定点も切り換えることを特徴とする請求項１に記載されたガス検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、接触燃焼式ガスセンサと、このセンサからの出力に応じて検出対象ガスの濃度を検出するコントローラと、を含むガス検出装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。接触燃焼式ガスセンサは、例えば、センサ抵抗と、リファレンス抵抗と、一対の固定抵抗とを含んでブリッジ回路を構成し、検出対象ガスをセンサ抵抗の触媒作用により燃焼させ、この燃焼熱をセンサ抵抗の抵抗値変化として捉えるように構成されている。この類のガス検出装置では、消費電力を大幅に下げるため、センサ抵抗及びリファレンス抵抗を半導体チップ上の微細な素子として構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１０６８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような微細な素子としてセンサ抵抗を構成した場合には、触媒の量も少なくなるため、経年的な触媒劣化にともないセンサの検出能力が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、経年的な劣化による接触燃焼式ガスセンサの検出能力の低下を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するために、本発明は、センサ抵抗ユニットと、検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化しないリファレンス抵抗とを含んでブリッジ回路を構成するセンサ部と、ブリッジ回路の出力に基づいて、検出対象ガスの濃度を算出する算出部と、算出部により算出された検出対象ガスの濃度が警報判定点に到達した場合に、警報手段に対して警報の発生を指示する処理部と、センサ部を制御する制御部と、を有するガス検出装置を提供する。この場合、センサ抵抗ユニットは、それぞれが、検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化する複数のセンサ抵抗と、制御部によって切換制御されることにより、複数のセンサ抵抗のうちいずれか一つのセンサ抵抗を、ブリッジ回路を構成する素子として選択する切換手段と、を備える。そして、制御部は、センサ抵抗のそれぞれを選択した際に検出される検出対象ガスの濃度を履歴情報として保持するとともに、当該履歴情報に基づいてセンサ抵抗のそれぞれの劣化度合いを推定することにより、当該劣化度合いが均等化されるように、センサ抵抗の選択を行う。
【０００７】
ここで、第１の発明において、処理部は、複数のセンサ抵抗に対応した警報判定点をそれぞれ保持し、制御部により選択されたセンサ抵抗に対応して警報判定点も切り換えることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
個々のセンサ抵抗は、無通電状態において劣化がほとんど生じないため、いずれか一つのセンサ抵抗を選択的に使用することで、残余のセンサ抵抗を無通電状態で保持することができる。これにより、一つのセンサ抵抗を連続的に使用する場合と比較して、センサ抵抗一つあたりの経年的な劣化度合いを抑制することができる。そのため、接触燃焼式ガスセンサの検出能力の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】ガス検出装置の構成を模式的に示す説明図
【図２】接触燃焼式ガスセンサ１０の詳細を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は、本実施形態に係るガス検出装置１の構成を模式的に示す説明図である。このガス検出装置１は、接触燃焼式ガスセンサ１０と、コントローラ３０と、警報部４０とを主体に構成されている。
【００１４】
接触燃焼式ガスセンサ１０は、検出対象となるガス（以下「検出対象ガス」という）の濃度に応じた出力をするセンサ部である。検出対象ガスとしては、例えば、水素ガスやメタンガスあるいは一酸化炭素ガス等の可燃性ガスが挙げられる。
【００１５】
この接触燃焼式ガスセンサ１０は、センサ抵抗ユニットＳＵと、リファレンス抵抗Ｒefと、一対の固定抵抗Ｒ１，Ｒ２とを備え、これら４つの要素ＳＵ，Ｒef，Ｒ１，Ｒ２によりブリッジ回路が構成されている。
【００１６】
具体的には、センサ抵抗ユニットＳＵは、一端が電圧供給源である電源部５０側に接続され、他端が接続点Ａに接続されている。リファレンス抵抗Ｒefは、一端が接続点Ａに接続され、他端が接地点（グランド）に接続されている。一方の固定抵抗Ｒ１は、一端が電源部５０側に接続され、他端が接続点Ｂに接続されている。他方の固定抵抗Ｒ２は、一端が接続点Ｂに接続され、他端が接地点（グランド）に接続されている。なお、ブリッジ回路の各要素ＳＵ，Ｒef，Ｒ１，Ｒ２の配置は、上記に限らず、後述するような濃度検出を行い得る限り、他の配置関係であってもよい。
【００１７】
センサ抵抗ユニットＳＵは、切換スイッチＳＷと、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2とを備えている。
【００１８】
切換スイッチＳＷは、ａ接点、ｂ接点及びｃ接点を有し、ｃ接点をａ接点及びｂ接点のうち一方の接点と接続する。ここで、ｃ接点は、電源部５０側に接続され、これに対して、ａ接点は、第１のセンサ抵抗Ｓn1に接続され、ｂ接点は、第２のセンサ抵抗Ｓn2に接続されている。
【００１９】
第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2は、検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化するものである。第１のセンサ抵抗Ｓn1は、一端が切換スイッチＳＷ（ａ接点−ｃ接点）を介して電源部５０側に接続され、他端が接続点Ａに接続されている。第２のセンサ抵抗Ｓn2は、一端が切換スイッチＳＷ（ｂ接点−ｃ接点）を介して電源部５０側に接続され、他端が接続点Ａに接続されている。
【００２０】
このような構成のセンサ抵抗ユニットＳＵにおいて、切換手段である切換スイッチＳＷは、コントローラ３０によって切換制御されることにより、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうち一方のセンサ抵抗を、ブリッジ回路を構成する素子として選択する。そのため、スイッチＳＷを切換制御することにより、第１のセンサ抵抗Ｓn1と、リファレンス抵抗Ｒefと、一対の固定抵抗Ｒ１，Ｒ２とにより構成されるブリッジ回路と、第２のセンサ抵抗Ｓn2と、リファレンス抵抗Ｒefと、一対の固定抵抗Ｒ１，Ｒ２とにより構成されるブリッジ回路とを選択することができる。
【００２１】
これに対して、リファレンス抵抗Ｒefは、検出対象ガスの濃度変化に対応して抵抗値が変化しないものである。
【００２２】
図２は、接触燃焼式ガスセンサ１０の詳細を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡＡ断面を示す断面図である。この接触燃焼式ガスセンサ１０は、半導体製造プロセス技術を用いて製造された超小型センサである。
【００２３】
具体的には、シリコンウェハ１１上には、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜及び酸化ハフニウム膜等からなる絶縁膜１２が形成されており、絶縁膜１２上に個々のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2と、リファレンス抵抗Ｒefとがそれぞれ設けられている。
【００２４】
個々のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2は、白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むように触媒層１３ａ，１３ｂが設けられている。触媒層１３ａ，１３ｂは、例えばパラジウムを担持したアルミナからなるＰｄ／Ａｌ２Ｏ３によって構成されている。また、リファレンス抵抗Ｒefは、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2と同様に白金からなる抵抗体であって、この抵抗体を包むようにアルミナ層１４が設けられている。すなわち、リファレンス抵抗Ｒefには、触媒層が設けられていない。
【００２５】
また、シリコンウェハ１１上には、４つのボンディングパッド１５ａ，１５ｂ，１６，１７が形成されている。第１のボンディングパッド１５ａは電源部５０側、具体的には、切換スイッチＳＷのａ接点側に接続され、第２のボンディングパッド１５ｂは電源部５０側、具体的には、切換スイッチＳＷのｂ接点側に接続される。また、第３のボンディングパッド１６は接続点Ａとされ、第４のボンディングパッド１７はグランド接続される。
【００２６】
さらに、シリコンウェハ１１は、各センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2に対応する位置に、裏面から異方性エッチングによって凹部１８ａ，１８ｂが形成されており、リファレンス抵抗Ｒefに対応する位置に、裏面から異方性エッチングによって凹部１９が形成されている。接触燃焼式ガスセンサ１０は、これらの凹部１８ａ，１８ｂ，１９によって熱容量が小さくなっている。
【００２７】
固定抵抗Ｒ１，Ｒ２は、予め定められた固定値の電気抵抗を生じる周知の電子部品である。固定抵抗Ｒ１，Ｒ２は、複数の固定抵抗器を直列、並列、又は、直列及び並列に組み合わせて構成してもよく、或いは、ガス濃度測定時に抵抗値を固定して用いるものであれば、例えば、平衡調整のためなどに抵抗値を変更できる、可変抵抗器であってもよい。
【００２８】
計装アンプ６０は、差動入力・シングルエンド出力の平衡入力アンプであり、周知の増幅器である。計装アンプ６０は、それぞれ高インピーダンスの一対の差動入力端子に入力された信号の電位差を、所定の増幅率で増幅して出力する。計装アンプ６の差動入力端子の一方（Ｖ＋）には、接続線を介して接続点Ｂが接続されており、その他方（Ｖ−）には、接続線を介して接続点Ａが接続されている。つまり、計装アンプ６は、センサ抵抗ユニットＳＵとリファレンス抵抗Ｒefとの中点電圧と、一対の固定抵抗Ｒ１，Ｒ２の中点電位と、が入力されている。計装アンプ６は、各中点電圧の電位差（中点電位差）を、所定の増幅率で増幅して出力端子から出力する。
【００２９】
Ａ／Ｄコンバータ６１は、入力されたアナログ信号をデジタル信号に変換して出力する周知のアナログ−デジタル変換器である。Ａ／Ｄコンバータ６１の入力部には、計装アンプ６において増幅された中点電位差が入力される。また、Ａ／Ｄコンバータ６１の出力部は、コントローラ３０に接続されており、デジタル信号に変換された中点電位差がコントローラ３０に出力される。
【００３０】
コントローラ３０としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｉ／Ｏインターフェースを主体に構成されたマイクロコンピュータを用いることができる。コントローラ３０は、これを機能的に捉えた場合、算出部３１と、処理部３２と、制御部３３とを有している。
【００３１】
算出部３１は、Ａ／Ｄコンバータ６１からデジタル信号に変換された中点電位差を受信して、この中点電位差に基づいて、検出対象ガスの濃度を検出（算出）する。
【００３２】
処理部３２は、算出された検出対象ガス濃度が警報判定点に到達した場合に、警報部４０に対して警報信号を出力することにより、警報の発生を指示する。
【００３３】
また、本実施形態の特徴の一つとして、制御部３３は、接触燃焼式ガスセンサ１０を制御する。具体的には、制御部３３は、センサ抵抗ユニットＳＵにおける切換スイッチＳＷを切換制御する。これにより、制御部３３は、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうち一方のセンサ抵抗を、ブリッジ回路を構成する素子として選択する。なお、制御部３３による切換スイッチＳＷの切換制御の詳細については後述する。
【００３４】
警報部４０としては、処理部３２からの警報信号に応答して音響又は表示により警報を発生するものである。警報部４０としては、スピーカーなどの出力装置や、ＬＥＤなどの点灯手段又は液晶ディスプレイ等の表示装置などを広く用いることができる。
【００３５】
つぎに、本実施形態に係るガス検出装置１の基本動作を説明する。なお、説明の便宜上、センサ抵抗ユニットＳＵにおいて、切換スイッチＳＷは、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうち第１のセンサ抵抗Ｓn1を選択しているものとする。なお、切換スイッチＳＷが第２のセンサ抵抗Ｓn2を選択している場合であっても、同様の動作により、ガス濃度の検出が行われる。
【００３６】
まず、制御部３３が電源部５０に所定の駆動信号を出力すると、電源部５０から接触燃焼式ガスセンサ１０（ブリッジ回路）に低温駆動電圧が印加される（低温駆動）。上述したように、第１のセンサ抵抗Ｓn1は触媒層１３を備えているが、リファレンス抵抗Ｒefは触媒層を備えていない。そのため、検出対象ガスが存在する雰囲気では、第１のセンサ抵抗Ｓn1において検出対象ガスが触媒層１３に吸着され、リファレンス抵抗Ｒefでは検出対象ガスがアルミナ層１４に吸着されない。
【００３７】
その後、制御部３３が電源部５０に所定の駆動信号を出力すると、電源部５０から接触燃焼式ガスセンサ１０（ブリッジ回路）に高温駆動電圧が印加される（高温駆動）。検出対象ガスが存在する雰囲気では、第１のセンサ抵抗Ｓn1において検出対象ガスが燃焼し、その一方で、リファレンス抵抗Ｒefでは検出対象ガスが燃焼しない。すなわち、第１のセンサ抵抗Ｓn1は検出対象ガスと感応し、リファレンス抵抗Ｒefは検出対象ガスと感応しない。
【００３８】
第１のセンサ抵抗Ｓn1及びリファレンス抵抗Ｒefは、検出対象ガスを含む雰囲気中において、電源部５０によって低温駆動電圧が印加された後に高温駆動電圧が印加されると、第１のセンサ抵抗Ｓn1に吸着した検出対象ガスが爆発的に燃焼する。すると、この燃焼エネルギーにより第１のセンサ抵抗Ｓn1の温度がリファレンス抵抗Ｒefの温度より高くなり、これらの抵抗Ｓn1，Ｒefのそれぞれに検出対象ガスの濃度に応じた温度差が生じる。そして、この温度差によって、第１のセンサ抵抗Ｓn1とリファレンス抵抗Ｒefとの抵抗値に差が生じる。
【００３９】
そして、この抵抗値の差が、ブリッジ回路における一対の中点間に電位差として現れる。この一対の中点間の電位差は前述の中点電位差に相当し、計装アンプ６０からの出力は、中点電位差、すなわち、第１のセンサ抵抗Ｓn1に付着していた検出対象ガスの分子量（すなわちガス濃度）に応じた値を示すこととなる。そして、算出部３１は、得られた出力に基づいて、検出対象ガスの濃度を検出し、また、処理部３２は、検出対象ガスの濃度が警報判定点に到達した場合に、警報信号を出力する。
【００４０】
このような濃度検出動作を前提として、制御部３３は、切換スイッチＳＷの切換制御により、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうち一方のセンサ抵抗を、ブリッジ回路を構成する素子として選択している。例えば、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の選択動作は、低温駆動及びその後の高温駆動を１動作とする検出動作毎に、第１のセンサ抵抗Ｓn1と第２のセンサ抵抗Ｓn2とを交互に選択してもよいし、複数回の検出動作毎に、第１のセンサ抵抗Ｓn1と第２のセンサ抵抗Ｓn2とを交互に選択に切り換えてもよい。
【００４１】
また、処理部３２は、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2に対応した警報判定点をそれぞれ保持している。個々の警報判定点は、いずれのセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2によりブリッジ回路が構成された場合であっても、規定の濃度に到達したことを条件に警報信号が出力されるように、個々のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2に応じて、その最適値が予め設定されている。そして、処理部３２は、制御部３３によりセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の選択がなされると、選択されたセンサ抵抗に対応して警報判定点も切り換えることとしている。
【００４２】
このように本実施形態によれば、切換スイッチＳＷが切換制御されることにより、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうちいずれか一つのセンサ抵抗を、ブリッジ回路を構成する素子として選択している。個々のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2は、無通電状態において触媒の劣化がほとんど生じないため、いずれか一つのセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を選択的に使用することで、残余のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を無通電状態で保持することができる。これにより、一つのセンサ抵抗を連続的に使用する場合と比較して、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2一つあたりの経年的な劣化度合いを抑制することができるので、接触燃焼式ガスセンサの検出能力の低下を抑制することができる。
【００４３】
また、本実施形態によれば、選択されたセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2に対応して、警報判定点も切り換えることとしている。かかる構成によれば、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のそれぞれに個体差が存在する場合であっても、これに対応して警報判定点も切り換えることにより、選択したセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2によって警報がなされる濃度で相違してしまうといった事態を抑制することができる。これにより、ガス検出装置１の信頼性の向上を図ることができる。
【００４４】
なお、上述した実施形態では、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を交互に、或いは、所定回数毎に切り換えているが、これに限定されない。制御部３３は、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の劣化を推定し、当該推定結果に基づいて、センサ抵抗の選択を行ってもよい。
【００４５】
例えば、制御部３３は、一方のセンサ抵抗、例えば第１のセンサ抵抗Ｓn1を選択している状況において、検出部３１が読み込んだ計装アンプ６０の出力が所定の濃度判定点に到達した場合、制御部３３は、センサ抵抗の選択を他方のセンサ抵抗、例えば第２のセンサ抵抗Ｓn2に切り替える。そして、第２のセンサ抵抗Ｓn2を選択しながら、数回にわたり濃度検出動作を連続的に行いながら、制御部３３は、検出部３１が検出した検出対象ガスの濃度（計装アンプ６０の出力）の平均を算出する。制御部３３は、前述の第1のセンサ抵抗Ｓn1の選択に対応して検出された検出対象ガスの濃度が、その平均値に対して所定値以下の値を示している場合には、第１のセンサ抵抗Ｓn1が劣化している又は劣化しそうな状況であると推定する。この場合、制御部３０は、第１のセンサ抵抗Ｓn1をそれ以降選択しないとしたり、一定期間だけは継続的に使用するものの、それ以降は、第２のセンサ抵抗Ｓn2を選択するといった如くである。
【００４６】
あるいは、制御部３３は、第1及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうち、一方のセンサ抵抗、例えば第１のセンサ抵抗Ｓn1を初期的に選択し、当該選択を継続しながら濃度検出動作を行う。検出部３１が検出した検出対象ガスの濃度が所定の濃度判定点に到達した場合には、センサ抵抗の選択を、未使用の第２のセンサ抵抗Ｓn2に切り替える。そして、数回にわたり濃度検出動作を連続的に行いながら、制御部３３は、検出部３１が検出した検出対象ガスの濃度の平均値を算出する。制御部３３は、前述の第1のセンサ抵抗Ｓn1の選択に対応して検出された検出対象ガスの濃度が、その平均値に対して所定値以下の値を示している場合には、第１のセンサ抵抗Ｓn1が劣化している又は劣化しそうな状況であると推定する。この場合、制御部３０は、第１のセンサ抵抗Ｓn1をそれ以降選択しないとしたり、一定期間だけは継続的に使用するものの、それ以降は、第２のセンサ抵抗Ｓn2を選択するといった如くである。
【００４７】
このように、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を交互に選択して、検出部３１が検出する検出対象ガスの濃度を相互に比較し、当該比較結果から一方のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の劣化を推定した場合には、劣化していない方のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を優先的に選択している。かかる構成によれば、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の劣化を容易に推定することができるので、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2一つあたりの経年的な劣化度合いを抑制することができる。
【００４８】
また、別な手法として、以下に示すような手法が挙げられる。すなわち、制御部３３は、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のそれぞれが検出した検出対象ガスの濃度を履歴情報として保持し、この履歴情報に基づいて、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のそれぞれの劣化度合いを推定し、これが均等化されるように、第１及び第２のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のうちのいずれか一つのセンサ抵抗を選択してもよい。
【００４９】
具体的には、制御部３３は、濃度検出動作により得られた検出対象ガスの濃度を、その検出を行った際に選択されているセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2に関連付けて記憶する。そして、制御部３３は、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2毎に、当該センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2によって検出されたガス濃度の積算値を算出し、この情報を履歴情報として保持する。そして、コントローラ３０は、履歴情報に基づいて、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2について算出されたガス濃度の積算値が均衡するように、次回の検出動作に供するセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2を選択する。
【００５０】
かかる構成によれば、センサ抵抗Ｓn1，Ｓn2の経年的な劣化度合いをバランスさせることができる。これにより、一方のセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2のみの劣化が進行し、選択されるセンサ抵抗Ｓn1，Ｓn2によって、接触燃焼式ガスセンサの検出能力に差異が生じるといった事態を抑制することができる。これにより、安定的な検出能力を継続的に持続することができるので、ガス検出装置１の信頼性の向上を図ることができる。
【００５１】
以上、本実施形態にかかるガス検出装置について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されることなく、その発明の範囲において種々の変更が可能である。また、センサ抵抗ユニットを構成するセンサ抵抗の数は２つに限らない。すなわち、複数のセンサ抵抗をもうけ、これらを択一的に切り換えて使用してもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１      ガス検出装置
１０    接触燃焼式ガスセンサ
ＳＵ    センサ抵抗ユニット
Ｓn1    第１のセンサ抵抗
Ｓn2    第２のセンサ抵抗
Ｒef    リファレンス抵抗
Ｒ１    固定抵抗
Ｒ２    固定抵抗
３０    コントローラ
３１    算出部
３２    処理部
３３    制御部
４０    警報部
５０    電源部
６０    計装アンプ
６１    Ａ／Ｄコンバータ
【図１】
0005806918.tif 000002
【図２】
0005806918.tif 000003