(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板と基板検査用装置との間に配置され、該被検査基板と該基板検査用装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
前記基板検査用装置に電気的に接続される複数の電極部を有する電極体と、
複数本のプローブを保持するとともに、各プローブの両端部を、前記被検査基板の検査対象である配線の所定の検査点及び前記電極体の所定の電極部へ夫々案内するプローブ保持部材とを備え、
前記各プローブは、導電材料により筒形状に形成され、軸方向に伸縮可能な第１接触子と、導電材料により棒形状に形成され、第１接触子と絶縁された状態で第１接触子の内部空間に収容された第２接触子とを有し、
前記電極体の電極部は、平面視においてリング形状に形成された第１電極部と、平面視において第１電極部と電気的に非接触で且つ第１電極部と同心円に配置された円形状の第２電極部とを有し、第１電極部及び第２電極部は、該電極体の表面から突出して形成され、
第１電極部は、第２電極部よりも前記電極体の厚み方向に相対的に突出した高さを有する頭頂部と、第１電極部の内径周縁から該頭頂部へ至る内側湾曲部と、第１電極部の外径周縁から該頭頂部へ至る外側湾曲部とを有し、
前記電極体と前記プローブ保持部材とが相対的に接近する時は、前記プローブの第１接触子の外側表面端部が、前記電極体の第１電極部の内側湾曲部と接触しながら接近することにより、該プローブは該電極体の電極に対して整合するよう位置決めされ、
接触して固着された時は、前記プローブの第１接触子は、前記電極体の第1電極部に電気的に接触し、該プローブの第２接触子は、該電極体の第２電極部に電気的に接触することを特徴とする、検査用治具。
【請求項２】
被検査基板と基板検査用装置との間に配置され、該被検査基板と該基板検査用装置とを電気的に接続する検査用治具であって、
前記基板検査用装置に電気的に接続される複数の電極部を有する電極体と、
複数本のプローブを保持するとともに、各プローブの両端部を、前記被検査基板の検査対象である配線の所定の検査点及び前記電極体の所定の電極部へ夫々案内するプローブ保持部材とを備え、
前記各プローブは、導電材料により筒形状に形成され、軸方向に伸縮可能な第１接触子と、導電材料により棒形状に形成され、第１接触子と絶縁された状態で第１接触子の内部空間に収容された第２接触子とを有し、
前記電極体の電極部は、平面視においてリング形状に形成された第１電極部と、平面視において第１電極部と電気的に非接触で且つ第１電極部と同心円に配置された円形状の第２電極部とを有し、第１電極部及び第２電極部は、該電極体の表面から突出して形成され、
第１電極部は、第２電極部よりも前記電極体の厚み方向に相対的に突出した高さを有する頭頂部と、第１電極部の内径周縁から該頭頂部へ至る内側湾曲部と、第１電極部の外径周縁から該頭頂部へ至る外側湾曲部とを有し、
前記電極体と前記プローブ保持部材とが相対的に接近する時は、前記プローブの第１接触子の内側表面端部が、前記電極体の第１電極部の外側湾曲部と接触しながら接近することにより、該プローブは該電極体の電極に対して整合するよう位置決めされ、
接触して固着された時は、前記プローブの第１接触子は、前記電極体の第1電極部に電気的に接触し、該プローブの第２接触子は、該電極体の第２電極部に電気的に接触することを特徴とする、検査用治具。
【請求項３】
前記電極体の第１電極部の突出量と第２電極部の突出量の比が、１．５〜５：１に形成されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査用治具。
【請求項４】
前記電極体の第１電極部の突出部及び前記第２電極部の突出部が、めっきにより形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の検査対象となる配線パターンの電気的特性を検査するために用いられる検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
被検査基板に設けられた配線パターン等の検査対象電気的特性に関する検査手法として、電流供給用の接触子と電圧計測用の接触子の２つの接触子を設け、その２つの接触子を検査点に同時に接触させて検査対象の検査を行う手法（いわゆる４接点法）がある（例えば、特許文献１）。この４接点法では、電流供給用の接触子と電圧計測用の接触子とを分離したことで、電圧計測用の接触子と検査点との間に流れる電流が実質的に無視できる程度に抑えられるため、電圧計測用の接触子と検査点との接触抵抗の影響を実質的に除外して、電圧計測用の接触子が接触する２箇所の検査点間の電圧が正確に計測できる。
【０００３】
このような４接点法に用いられる従来のプローブ及び検査用治具では、絶縁状態で並列配置された針状の２つの接触子をセットにして各検査点に対応させて設けており、その２つの接触子を各検査点に同時に接触させるようになっている。
【０００４】
また、近年、基板に設けられる配線パターン等の細密化が急速に進展しているため、検査用治具にも検査対象の細密化への対応が求められている。
【０００５】
このような微細化に対応するために、特許文献２に開示されるような基板検査用治具の提案がなされている。この特許文献２に開示される技術では、導電性の筒状接触子とこの筒状接触子の内部に棒状接触子を内部に収容することにより、狭ピッチに対応することを可能としている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１８４３７４号公報
【特許文献２】特開２００７−２０５８０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に開示されるような接触子を利用する場合には、検査装置と導通接続される電極部を接触子の断面形状と同様に形成されている。
【０００８】
しかしながら、このような電極部の構造では、筒状接触子の外径よりも大きい径の電極部（部材）になり、電極部のピッチが狭ピッチに対応することができなかったり、電極部の構造が複雑になったりする問題を有していた。
【０００９】
また、このような筒状接触子と棒状接触子のような構造を有する接触子（同軸接触子）は、基板に形成される微細な配線の抵抗値を算出するために用いられるため、同軸接触子と電極部との接触子の安定性が高く求められる。
【００１０】
そこで、本発明の解決すべき課題は、上記の如き同軸接触子を利用する場合に、電極部の構成の微細化及び簡易化が図れるとともに、同軸接触子と電極部の接触安定性の高い基板検査用治具、その電極構造及びその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本願発明の一面では、基板に形成される配線の検査を行う検査装置と該基板を電気的に接続する検査用治具であって、一端が被検査基板の検査対象の検査点に導通接触し、他端が電気的特性を検査するための検査装置に電気的に接続される電極部へ導通接触する複数のプローブと、前記プローブの両端を夫々所定の前記検査点及び前記電極部へ案内するとともに、該プローブを保持する保持体と、複数の前記電極部を備える電極体と、を備え、前記プローブは、導電材料により筒形状に形成された第１接触子と、導電材料により棒形状に形成され、前記第１接触子と絶縁された状態で前記第１接触子の内部空間に収容された第２接触子と、を備え、前記電極部は、平面視においてリング形状に形成されるとともに、前記第１接触子と導通接触する第１電極部と、平面視において前記第１電極部と電気的に非接触で且つ該第１電極部と同心円に配置されるとともに、前記第２接触子と導通接触する円形状の第２電極部と、を備え、前記第１電極部が、前記第２電極部よりも前記電極体の厚み方向に対して、相対的に突出していることを特徴とする検査用治具を提供する。
上記発明に関し、前記第１電極部及び前記第２電極部は、前記電極部表面から突出して形成されていることを特徴とすることができる。
上記発明に関し、前記第１電極部の突出量と前記第２電極部の突出量の比が、１．５〜５：１に形成されることを特徴とすることができる。
上記発明に関し、前記第１電極部は、前記突出する高さを有する頭頂部と、前記第１電極部の内径周縁から前記頭頂部へ形成される内側湾曲部と、前記第１電極部の外径周縁から前記頭頂部へ形成される外側湾曲部を備えてなり、前記第１接触子の外側表面が、前記内側湾曲部と接続されることを特徴とすることができる。
上記発明に関し、前記第１電極部は、前記突出する高さを有する頭頂部と、前記第１電極部の内径周縁から前記頭頂部へ形成される内側湾曲部と、前記第１電極部の外径周縁から前記頭頂部へ形成される外側湾曲部を備えてなり、前記第１接触子の内側表面が、前記外側湾曲部にて接続されることを特徴とすることができる。
上記発明に関し、前記第１電極部の突出部と前記第２電極部の突出部が、めっきにより形成されていることを特徴とすることができる。
更に、本願発明の一面では、一端が被検査基板の検査対象の検査点に導通接触し、他端が電気的特性を検査するための検査装置に電気的に接続される電極部へ導通接触するプローブを複数備えてなる検査用治具の電極構造であって、平面視においてリング形状に形成される第１電極部と、平面視において前記第１電極部と電気的に非接触で且つ該第１電極部と同心円に配置される第２電極部と、を備え、前記第１電極部が、前記第２電極部よりも前記電極体の厚み方向に対して、相対的に突出していることを特徴とする検査用治具の電極構造を提供する。
更に、本願発明の一面では、一端が被検査基板の検査対象の検査点に導通接触し、他端が電気的特性を検査するための検査装置に電気的に接続される電極部へ導通接触するプローブを複数備えてなる検査用治具の電極構造の製造方法であって、導電性の芯線と、該芯線の周縁に配置される絶縁性の絶縁層と、該絶縁層の周縁に配置される導電性の導電層が、同心円に配置される線状部材を、該線状部材を保持する保持孔を有する絶縁性の保持体に貫通配置し、前記保持体から突出した前記線状部材の突出部分を、該保持体の表面と面一となるように除去し、前記導電層の表面部分と前記芯線の表面部分にめっきを行い、該導電層のめっき厚が、該芯線のめっき厚よりも厚くなるように形成することを特徴とする検査用治具の電極構造の製造方法を提供する。
上記発明に関し、前記めっきは、電解めっきにより行われ、前記導電層及び前記芯線へ供給する電力により、前記導電層のめっき厚と前記芯線のめっき厚が調整されることを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
上記発明によれば、同軸接触子を利用する場合に、電極部の構成の微細化及び簡易化が図れるとともに、同軸接触子と電極部の接触安定性の高い基板検査用治具、その電極構造及びその製造方法を提供することができる。
上記発明によれば、電極体表面から第１電極部と第２電極部が突出するように形成されているので、各電極部を容易に形成することができるとともに、突出量の制御を容易に行うことができる。
上記発明によれば、第１電極部の突出量と第２電極部の突出量の比が、１．５〜５：１に形成されるので、接触子と電極部が好適な接触圧で安定して導通接触することができる。
上記発明によれば、第１接触子の外側表面が、内側湾曲部と接続されることになるので、第１電極部４１が内側に配置されることになる第１接触子１１を内側に押し付ける向きに力が働くように配置されることになり、安定した接続状態を提供することができる。
上記発明によれば、第１接触子の内側表面が、外側湾曲部にて接続されることになるので、第１電極部が外側に配置されることになる第１接触子１１を外側に押し広げる向きに力が働くように配置されることになり安定した接続状態を提供することができる。
上記発明によれば、第１電極部の突出部と前記第２電極部の突出部が、めっきにより形成されているので、容易に製造することができる。
上記発明によれば、めっきが、電解めっきにより行われ、導電層及び芯線へ供給する電力により、導電層のめっき厚と前記芯線のめっき厚が調整されるので、容易に電極部を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は本発明の一実施形態に係る検査用治具に用いられるプローブを側方から見た図である。図２（ａ）は図１のプローブに備えられる第１接触子を側方から見た図であり、図２（ｂ）は図１のプローブに備えられる第２接触子を側方から見た図である。
【００１４】
本実施形態に係るプローブ１は、図１、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、筒形状を有する第１接触子１１及び細長い棒形状の第２接触子１２を備えて構成されている。このプローブ１は、被検査基板の検査対象の電気的特性を検査するために用いられる。検査対象としては、例えば、被検査基板に設けられた配線パターン、その配線パターンに付与された半田バンプ、又は、配線パターン及び半田バンプの両方が挙げられる（以下、本出願書類では、これらを総称して「配線」という。）。検査の内容としては、例えば、配線パターンが導通しているか否か等を検査する導通検査、配線パターン同士が絶縁されているか否か等を検査する絶縁検査等が挙げられる。特に、本実施形態に係るプローブ１は、後述するように第１接触子１１内に第２接触子１２を絶縁状態で挿入した同軸構造を有しており、これらの２つの第１接触子１１と第２接触子１２を検査対象の同一の検査点に電気的に接触させることにより、検査対象の電気的特性を４接点法により検査できるようになっている。なお、図１等では、第１接触子１１が、第２接触子１２よりも僅かに長い状態に形成されている。
【００１５】
第１接触子１１は、図２（ａ）に示すように細長い筒形状を有している。この第１接触子１１は、筒状の導電部１１３とこの導電部１１３の外側周縁を覆う絶縁被膜１１２から形成されている。第１接触子１１は、この外側周縁を絶縁被膜１１２により覆われており、この絶縁被膜１１２は第１接触子１１の両端（先端と後端）の部分を除いて形成される。このように絶縁被膜１１２を設けることにより、隣接する第１接触子１１との短絡不良を防止することができる。なお、図１又は図２（ａ）で示される絶縁被覆１１２は、後述する伸縮部１１１にも設けられているが、伸縮部１１１の部分には設けなくても良い。
【００１６】
この第１接触子１１は、その周縁の少なくとも１カ所（本実施形態では2箇所）に二つの伸縮部１１１が設けられていることが好ましい。このような伸縮部１１１を備えることによって、第１接触子１１が検査点に接触した場合に、この伸縮部１１１が収縮することで、第１接触子１１よりも短い第２接触子１２が検査点に接触するように構成することができる。この伸縮部１１１は、プローブ１を保持するプローブ保持部材の板状部材の貫通孔内に配置されるように形成されることが好ましい。これは、伸縮部１１１が板状部材の貫通孔内に配置されることにより、板状部材の貫通孔側壁が伸縮部１１１の案内として働くことができるからである。
【００１７】
この伸縮部１１１は、第１接触子１１の軸方向に弾性的に伸縮するように、筒の側壁をスリット状の切欠きを設けることにより形成することができる。なお、この伸縮部１１１は、第１接触子１１を形成する筒状部材の一部を、レーザ光等を用いて螺旋状にカットされて形成することができる。第１接触子１１を形成する筒状部材の材料は、金属材料（例えば、ニッケル（Ni）又はベリリウム銅（CuBe）等）が用いられる。
【００１８】
第２接触子１２は、導電材料により細長く形成され、第１接触子１１内（より具体的には、その中心軸が第１接触子１１と中心軸が略一致するように第１接触子１１内）に挿入される。この第２接触子１２は、図２（ｂ）で示す如く、細長い棒状に形成する。なお、第２接触子１２の先端は先細り形状に形成しても良い。第２接触子１２は、細い棒状に形成される導電部１２２とこの導電部１２２の外側周縁を覆う絶縁被覆１２１を有している。
【００１９】
第２接触子１２は第１接触子１１内に挿入されるため、第２接触子１２の外径は第１接触子１１の内径よりも小さく設定されているが、第１接触子１１と第２接触子１２との間の絶縁を確保するため、第２接触子１２の外周側面（外周面における径方向外方を向いた面）には絶縁材料（例えば、樹脂）からなる絶縁被覆１２１が付与されている。第２接触子１２を構成する棒状部材や筒状部材に絶縁被覆を付与してから伸縮部を形成する方法、又は、筒状部材や棒状部材に伸縮部を形成してから絶縁被覆を付与する方法が採用される。
【００２０】
図１で示されるプローブの構成では、第１接触子１１が、後述する第２接触子１２よりも僅かに長く形成されており、プローブ１が検査点に接触して検査が実施される場合には、後述する第１接触子１１の伸縮部が収縮することで、第２接触子１２も検査点に接触することになる。なお、検査点に第１接触子１１及び第２接触子１２とも接触することができれば、その長さは特に限定されない。
このプローブ１は、第１接触子１１と第２接触子１２が、両端側から押圧された場合には湾曲することができるように形成される。このように形成されることにより、プローブ１が湾曲することにより、プローブ１の両端から外向きに働く付勢力が生じることになる。
【００２１】
第１接触子１１と第２接触子１２の長軸方向の長さは、例えば5〜100ｍｍに設定され、第１接触子１１が第２接触子１２より僅かに長い（例えば、1〜100μｍ）ように設定される。第１接触子１１の外径は、例えば、50〜200μｍに形成され、その内径は30〜180μｍに形成される。第２接触子１２の直径は、例えば、20〜150μｍに設定される。
【００２２】
上記のように、本実施形態に係るプローブ１は、導電材料により筒形形状に形成された第１接触子１１内に、導電材料により細長く形成された第２接触子１２が、第１接触子１１と絶縁された状態で挿入されるいわゆる同軸構造となっている。それ故、外側の第１接触子１１と内側の第２接触子１２とを絶縁状態を確保しながら容易に高い位置精度で近接配置できる。その結果、被検査基板に設けられた検査対象（例えば、配線パターン）の細密化に十分に対応して、４接点法による検査を高い信頼性で実施できる。
【００２３】
また、プローブ１を構成する第１接触子１１及び第２接触子１２の少なくとも１箇所（本実施形態では２箇所）に軸方向に弾性的に伸縮する伸縮部がそれぞれ設けられていることが好ましい。この伸縮部を有する接触子を長く形成し、伸縮部が収縮することにより、他の接触子との長さが等しくなるように形成することで、二つの接触子とも検査点に接触することができるようになる。
【００２４】
また、このような伸縮部が設けられることによって、軸方向に圧縮されたときの反発力が安定する。その結果、第１接触子１１及び第２接触子１２の先端が被検査基板の検査対象に接触されたときに、第１接触子１１及び第２接触子１２の先端と検査対象との間、及び、第１接触子１１及び第２接触子１２の後端と基板検査装置本体側の電極部との間の押圧力を安定させることができ、第１接触子１１及び第２接触子１２と検査対象及び電極部との間の電気的な接続状態（例えば、接触抵抗）を安定させることができる。
【００２５】
上記する説明のプローブ１は、伸縮部を利用することにより、検査点と電極部へ圧接されるプローブ構造を説明したが、第１接触子１１及び／又は第２接触子１２自体が可撓性を有する部材で形成し、両端から押圧された場合にどちらか又は両接触子が湾曲することによって、同時に検査点と電極部を押圧して接触するように形成することもできる。
なお、第１接触子１１と第２接触子１２は、短絡不良を生じさせず且つ互いの動きに影響を与えない範囲にて、接着剤、かしめやはんだなどによりお互いを固着しておいても良い。
【００２６】
図３は図１のプローブを用いた本発明の一実施形態に係る検査用治具の構成を示す概略断面図である。図４は図３の構成の一部を拡大して示す図である。図４は図３の検査用治具における各プローブに備えられる接触子と電極部との位置関係等を示す図である。なお、実際の検査用治具は、プローブと電極部は接触して（プローブ保持部材と電極保持部材が接続して）設けられている。なお、図３では基板Ｔと検査点Ｂは点線にて示されている。図３と図４では、説明の都合上、一組のプローブと電極部が示されている。
【００２７】
検査用治具２は、複数のプローブ１、プローブ保持部材３、プローブ１と同数セットの電極部を有する電極体４を備えており、基板Ｔの検査対象の電気的特性を検査するために用いられる。検査用治具２は、図示されない基板検査用装置に電気的に接続されており、この基板検査用装置が検査用治具２からの電気的特性を基に配線パターンの良・不良を判定する。
【００２８】
図３の概略構成図では、プローブ１の先端が基板Ｔの配線パターンに付与された半田バンプＢに接触され、プローブ１の後端が電極部に接触することを示している。具体的には、基板Ｔの１つ検査点（半田バンプＢ）にプローブ１の第１接触子１１の先端１１ａと第２接触子１２の先端１２ａが接触されるようになっている。また、一方で、各電極部に第１接触子１１の後端１１ｂと第２接触子１２の後端１２ｂが接触することになる。
なお、このプローブ１の一方の接触子（例えば、第１接触子１１）を介して基板Ｔの検査用Ｂへ電流の供給が行われ、他方の接触子（第２接触子１２）を介して検査点間の電位計測が行われる。これによって、基板Ｔの配線パターンの電気的特性に関する４接点法による検査が行われることになる。
【００２９】
プローブ保持部材３は、図３に示すように、プローブ１を保持する部材であり、絶縁材料によって形成されている。図３の実施形態では、プローブ保持部材３として、第１保持部材３１と第２保持部材３２を用いて形成している。第１保持部材３１は、プローブ１の後端１ｂを所定の電極部へ案内する案内孔３１ｈが形成されている。第２保持部材３２は、プローブ１の先端１１ａを所定の検査点に案内する案内孔３２ｈが形成される。
【００３０】
このプローブ保持部材３は、これら二つの案内孔の配置により、プローブ１を湾曲して保持することが好ましく、プローブ保持部材３の平面に対して直角方向に重なり合わないように配置されることもできる（図３では、二つの案内孔が直角方向に重なり合うように配置されているが、図３の側面において重なり合わないように配置されている）。
【００３１】
第１保持部材３１と第２保持部材３２は、複数の板状部材から形成することができ、この枚数は特に限定されるものではない。図３の実施形態においては、第１保持部材３１と第２保持部材３２は、夫々二枚の板状部材から形成されている。また、第１保持部材３１と第２保持部材３２は、所定間隔（空間）を有して配置されている。なお、プローブ１は、第１保持部材３１と第２保持部材３２の間に形成される空間にて、湾曲されることになる。
【００３２】
第１保持部材３１に形成される案内孔３１ｈは、プローブ１がプローブ保持部材３から抜け出ることを防止するために、第１接触子１１の絶縁被膜１１２の境界部分が案内孔３１ｈに係止されるよう、案内孔３１ｈの口径が絶縁被膜１１２の外径よりも僅かに短く形成することができる。組み立てられた検査用治具２では、プローブ１の先端１１ａが、プローブ保持部材３の第２保持部材３２の案内孔３２ｈから突出して保持されることになる。またこのとき、プローブ１の後端１ｂは、電極体４の電極部４０と当接している。
実際の検査用治具２は、上記の如く、電極体４とプローブ保持部材３が接触して固着され、プローブ保持部材３からプローブ１の先端が僅かに突出していることになる。このとき、プローブ１は、絶縁被覆１１２と案内孔３１ｈにより係止され、プローブ１が湾曲し且つ伸縮部１１１が所定量収縮した状態となり、プローブ１が電極部を押圧している状態となっている。この後、検査が実施され、プローブ１の先端が検査点に接触すると、更に、プローブ１が湾曲して検査点と電極部を押圧することになる。
【００３３】
電極体４は、第１電極部４１、第２電極部４２と電極保持部４３を有してなる。電極保持部４３は絶縁部材から形成され、第１電極部４１と第２電極部４２が短絡しないように形成される。
第１電極部４１は、図４（ａ）で示される如く、プローブ１の第１接触子１１の後端１１ｂと導通接触する。第２電極部４２は、図４（ａ）で示される如く、プローブ１の第２接触子１２の後端１２ｂと導通接触する。
【００３４】
第１電極部４１は、平面視において、リング形状に形成される（図４（ｂ）参照）。この第１電極部４１は、第１接触子１１と導通接触するため、第１接触子１１と同じ断面形状（リング形状）に形成されている。第１電極部４１の外径は、第１接触子１１の内径よりも大きく形成され、第１電極部４１の内径は、第１接触子１１の外径よりも小さく形成される。
【００３５】
第２電極部４２は、平面視において、第１電極部４１と電気的に非接触で且つ、第１電極部４１と同心円に配置される円形状に形成される（図４（ｂ）参照）。この第２電極部４２は、細い棒形状の第２接触子１２と導通接触するため、第２接触子２１の外径よりも僅かに大きい直径を有する円形状に形成される。
【００３６】
第１電極部４１は所定の高さ４１ｈを有して形成され、第２電極部４２は所定の高さ４２ｈを有して形成される。この第１電極部４１の高さ４１ｈは、第２電極部４２の高さ４２ｈよりも電極体４の厚み方向に対して、相対的に突出して形成される。具体的には、第１電極部４１及び第２電極部４２は、電極体４の表面から突出して形成され、第１電極部４１の高さ４１ｈが、第２電極部４２の高さ４２ｈよりも、電極体４の表面から高くなるように形成されている。
【００３７】
このように第１電極部４１の高さ４１ｈが高くなるように高さに差異を設けて形成することにより、第１接触子１１と第１電極部４１が接触する高さ位置と、第２接触子２２と第２電極部４２が接触する高さ位置を相違させて、夫々の接触子が電極部に安定的に導通接触させることができる。
【００３８】
第１電極部４１の高さ４１ｈと、第２電極部４２の高さ４２ｈの比は、１．５〜５：１に形成されることが好ましい。このような比に形成されることにより、第１接触子１１と第１電極部４１の接触位置が、第２接触子２２と第２電極部４２の接触位置を回りから抑えるような位置関係となり、各接触子と電極部が安定して接触することになる。
この第２電極部４２の高さ４２ｈは、例えば、１〜１０μｍに形成することができ、このような高さに応じて、第１電極部４１の高さ４１ｈも形成されることができる。
【００３９】
各接触子と電極部の接触位置関係は、上記の如き高さ関係を有しているが、更に、下記のような配置関係を有していることが好ましい。
【００４０】
第１電極部４１が、突出する高さ４１ｈを有する第１頭頂部４１１と、第１電極部４１の内径４１ｉ周縁から第１頭頂部４１１へ形成される内側湾曲部４１２と、第１電極部４１の外径４１ｏ周縁から第１頭頂部４１１へ形成される外側湾曲部４１３を備えるように形成する（図４参照）。
【００４１】
このとき、第１接触子１１の外側表面が、第１電極部４１の内側湾曲部４１２と接続されるように、第１接触子１１と第１電極部４１を形成する（図４（ａ）参照）。このように、第１接触子１１の外側表面と内側湾曲部４１２とが導通接触して接続されることにより、第１電極部４１が内側に配置されることになる第１接触子１１を内側方向に向かって押し付けるように配置されることになり、接続状態が安定することになる。
【００４２】
また、第１接触子１１の内側表面が、第１電極部４１の外側湾曲部４１３と接続されるように、第１接触子１１と第１電極部４１を形成することもできる。このように、第１接触子１１の内側表面と外側湾曲部４１３とが導通接触して接続されることにより、第１電極部４１が外側に配置されることになる第１接触子１１を外側方向に向かって広がり押されるように配置されることになり、接続状態が安定することになる。
【００４３】
第１電極部４１は、第１導電線４１４を有している。この第１導電線４１４は、第１電極部４１と電気的に接続され、第１電極部４１からの電気信号を検査装置へ送受信する。この第１導電線４１４は、後述する第２導電線４２２と同軸状に配置されてなり、第１導電線４１４と第２導電線４２２との間には絶縁性が保たれている。なお、第１電極部４１は、第１導電線４１４の端面と電極体４の表面が面一となるように形成されており、その第１導電線４１４の端面に第１電極部４１が形成されることになる。
【００４４】
第２電極部４２は、第２頭頂部４２１と第２導電線４２２を有している。第２頭頂部４２１は、第２電極部４２の高さ４２ｈを有している。第２導電線４２２は、第２頭頂部４２１と電気的に接続され、第２電極部４２からの電気信号を検査装置へ送受信する。
【００４５】
この第２導電線４２２は、平面視においてリング状に形成される第１導電線４１４の内側に配置される。なお、第２電極部４２は、第２導電線４２２の端面と電極体４の表面が面一となるように形成されており、その第２導電線４２１の端面に第２頭頂部４２２が形成されることになる。
【００４６】
第１電極部４１の第１頭頂部４１１と第２電極部４２の第２頭頂部４２１は、電極体４の表面から突出して形成されるが、めっきにより形成することができる。このようにめっきにより形成することで容易に製造することができる。この第１電極部４１と第２電極部４２の製造方法は、例えば、絶縁層を間に形成される同軸線の部材を準備し、電極体４となる絶縁部材にこの同軸線を位置決め配置する貫通孔を設けておく。
そして、この貫通孔にこの同軸線を貫通配置して、電極体４の表面と同軸線が面一となるように、同軸線を切断する。次に、電極体４の表面には導電層が二層構造の部材が配置されることになるので、この電極体４の表面にめっきを施す。このとき、外側の導電端面（第１導電線４１４の端面）と内側の導電端面（第２導電線４２２の端面）のめっき厚を電流やその時間に応じて制御する。
この制御により、第１電極部４１と第２電極部４２の高さ（電極体表面からの突出量）を調整して、第１電極部４１の高さ４１ｈが第２電極部４２の高さ４２ｈよりも高くなるように形成される。
【００４７】
ここで、図５を参照して、第１電極部４１及び第２電極部４２の製造する工程について説明する。なお、図５では三つの電極部を製造する場合を概略的に示している。
【００４８】
まず、第１導電線４１４と第２導電線４２２となる二層構造の同軸線ａを準備する。次に、電極部を保持する電極体４となる絶縁性の板状部材ｂを用意し、この板状部材ｂに同軸線ａを貫通配置するための貫通孔ｃを所望の数（図５では三箇所）設ける。そして、板状部材ａの貫通孔ｃに同軸線を貫通支持させる。板状部材ａの表面から突出する同軸線ｃを切除し、板状部材ａの表面と同軸線ｃの切断面が面一となるように形成する（図５（ａ）参照）。
【００４９】
続いて、図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）の如き形成された板状部材ｂをめっき液ｄの入っためっき槽ｅに浸す。このとき、二層構造の同軸線ａは、外側導電部ａ１と内側導電部ａ２を有している。図５（ｂ）では複数の外側導電部ａ１を並列接続して、電流の供給量や電流の供給時間の制御を一括して行うように接続している。また、複数の内側導電部ａ２を並列接続して、電流の供給量や電流の供給時間を一括制御するように接続している。
【００５０】
このように接続することによって、第１電極部４１となる外側導電部ａ１のめっき高さや第２電極部４２となる内側導電部ａ２のめっき高さを夫々均一的に制御することができる。また、外側導電部ａ１のめっき高さが内側導電部ａ２のめっき高さよりも高く形成する制御を行う場合に、外側導電部ａ１と内側導電部ａ２のめっき高さの制御を比較しながら実施することができ、電流の供給量や電流の供給時間を容易に制御することができるようになる。
【００５１】
図５（ｂ）に示される状態にて、上記の方法により、第１電極部４１となる外側導電部ａ１のめっき高さが、第２電極部４２となる内側導電部ａ２のめっき高さよりも高くなるように、めっきが実施されることになる。
【００５２】
以上が本発明の電極部を形成する方法である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る検査用治具に用いられるプローブを側方から見た図である。
【図２】図２（ａ）は、図１のプローブに備えられる第１接触子を側方から見た図であり、図２（ｂ）は、図１のプローブに備えられる第２接触子を側方から見た図である。
【図３】図３は、図１のプローブを用いた本発明の一実施形態に係る検査用治具の構成を示す断面図である。なお、プローブ、プローブ保持部材、電極体と検査点との位置関係を概略的に示している。
【図４】図４（ａ）は、電極体とプローブの構成の一部を拡大して示す図であり、図４（ｂ）は、平面視における電極体の電極位置の関係を示す概略図である。点線は、第１導電線と第２導電線を示している。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）は、第１電極部及び第２電極部の作製工程の説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１ プローブ
１１ 第１接触子
１２ 第２接触子
２ 検査用治具
３ プローブ保持部材
４ 電極体
４１ 第１電極部
４２ 第２電極部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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