(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプから送られる溶液を電磁開閉バルブを介してフロースルーセルにより測定を行うフロースルーセル式測定装置であって、
前記ポンプと流量計と前記フロースルーセルと廃液容器とが上流側から順に設けられ、
前記流量計と前記廃液容器との間は、第１の電磁開閉バルブと第２の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路と、第３の電磁開閉バルブと第４の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路とで並列に接続され、
前記第１の電磁開閉バルブと前記第２の電磁開閉バルブとの間と、前記第３の電磁開閉バルブと前記第４の電磁開閉バルブとの間とは、第５の電磁開閉バルブと前記フロースルーセルとを上流側から順に備えた流路で接続され、
前記ポンプから送液される溶液の速度は、ポンプ制御手段に送液速度の指示値を入力することにより制御され、
前記電磁開閉バルブは、バルブ制御手段により開閉を制御され、
前記ポンプ制御手段に入力される送液速度の指示値及び前記バルブ制御手段に入力される前記電磁開閉バルブの開閉についての指示値と、前記流量計で計測される溶液速度とを比較し、前記電磁開閉バルブの故障判定を行う故障判定手段を備えたことを特徴とするフロースルー式測定装置。
【請求項２】
前記フロースルーセルには、検出素子として圧電素子を備えることを特徴とする請求項１に記載のフロースルー式測定装置。
【請求項３】
ポンプから送られる溶液を電磁開閉バルブを介してフロースルーセルにより測定を行うフロースルーセル式測定装置の前記電磁開閉バルブの故障判定方法であって、
前記ポンプと流量計と前記フロースルーセルと廃液容器とが上流側から順に設けられ、
前記流量計と前記廃液容器との間は、第１の電磁開閉バルブと第２の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路と、第３の電磁開閉バルブと第４の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路とで並列に接続され、
前記第１の電磁開閉バルブと前記第２の電磁開閉バルブとの間と、前記第３の電磁開閉バルブと前記第４の電磁開閉バルブとの間とは、第５の電磁開閉バルブと前記フロースルーセルとを上流側から順に備えた流路で接続され、
前記ポンプから送液される溶液の速度は、ポンプ制御手段に送液速度の指示値を入力することにより制御され、
前記電磁開閉バルブは、バルブ制御手段により開閉を制御され、
前記ポンプ制御手段に入力される送液速度の指示値及び前記バルブ制御手段に入力される前記電磁開閉バルブの開閉についての指示値と、前記流量計で計測される溶液速度とを比較し、前記電磁開閉バルブの故障判定を故障判定手段により行い、
前記故障判定手段による判定を測定開始前に行うようにしたことを特徴とするフロースルー式測定装置の電磁開閉バルブの故障判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶液中の物質検知又は測定に使用されるフロースルーセル式測定装置及び同装置の電磁開閉バルブの故障判定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フロースルーセル式測定装置は、例えば、特許文献１に開示がされているように、複数の容器に収容された溶液を電磁弁を切り換えてフロースルーセルへ移送するように構成されている。
上記構成の場合、異物が溶液に混入してバルブが噛み込み所望の制御が行えない状態で測定を継続してしまうという問題があった。また、異常があるバルブを特定するために、装置からバルブを取り出さなければならないという問題があった。特に、検出素子が圧電素子である場合、流路の異常によって管内圧力が正常でなくなり、この異常が大きく計測値に影響を与えてしまう問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１８３４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明は、フロースルーセル式の測定装置におけるバルブの異常の判定を、装置を分解することなく行うことが可能なフロースルーセル式測定装置及び同装置の電磁開閉バルブの故障判定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のフロースルーセル式測定装置は、請求項１記載の通り、ポンプから送られる溶液を電磁開閉バルブを介してフロースルーセルにより測定を行うフロースルーセル式測定装置であって、前記ポンプと流量計と前記フロースルーセルと廃液容器とが上流側から順に設けられ、前記流量計と前記廃液容器との間は、第１の電磁開閉バルブと第２の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路と、第３の電磁開閉バルブと第４の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路とで並列に接続され、前記第１の電磁開閉バルブと前記第２の電磁開閉バルブとの間と、前記第３の電磁開閉バルブと前記第４の電磁開閉バルブとの間とは、第５の電磁開閉バルブと前記フロースルーセルとを上流側から順に備えた流路で接続され、前記ポンプから送液される溶液の速度は、ポンプ制御手段に送液速度の指示値を入力することにより制御され、前記電磁開閉バルブは、バルブ制御手段により開閉を制御され、前記ポンプ制御手段に入力される送液速度の指示値及び前記バルブ制御手段に入力される前記電磁開閉バルブの開閉についての指示値と、前記流量計で計測される溶液速度とを比較し、前記電磁開閉バルブの故障判定を行う故障判定手段を備えたことを特徴とする。
請求項２記載の本発明は、請求項１記載の発明において、前記フロースルーセルには、検出素子として圧電素子を備えることを特徴とする。
また、本発明のフロースルーセル式測定装置の電磁開閉バルブの故障判定方法は、請求項３に記載の通り、ポンプから送られる溶液を電磁開閉バルブを介してフロースルーセルにより測定を行うフロースルーセル式測定装置の前記電磁開閉バルブの故障判定方法であって、前記ポンプと流量計と前記フロースルーセルと廃液容器とが上流側から順に設けられ、前記流量計と前記廃液容器との間は、第１の電磁開閉バルブと第２の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路と、第３の電磁開閉バルブと第４の電磁開閉バルブとを上流側から順に備えた流路とで並列に接続され、前記第１の電磁開閉バルブと前記第２の電磁開閉バルブとの間と、前記第３の電磁開閉バルブと前記第４の電磁開閉バルブとの間とは、第５の電磁開閉バルブと前記フロースルーセルとを上流側から順に備えた流路で接続され、前記ポンプから送液される溶液の速度は、ポンプ制御手段に送液速度の指示値を入力することにより制御され、前記電磁開閉バルブは、バルブ制御手段により開閉を制御され、前記ポンプ制御手段に入力される送液速度の指示値及び前記バルブ制御手段に入力される前記電磁開閉バルブの開閉についての指示値と、前記流量計で計測される溶液速度とを比較し、前記電磁開閉バルブの故障判定を故障判定手段により行い、前記故障判定手段による判定を測定開始前に行うようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、不具合のあるバルブを特定してバルブを交換するだけで済むので、装置を分解して不具合のあるバルブを特定する場合と比べて作業時間を短縮することができる。不具合のあるバルブの特定は、時間を要さないので、通常の測定前等に簡単に行うことができ、結果として長期に亘って円滑な測定が可能となる。
また、不具合のあるバルブを特定することで、バルブに異常がある状態で測定を継続することを回避することが可能となる。更に、製造過程において、この判定方法を用いれば、不具合製品の市場流出防止を容易にかつ確実に実施できる。
また、本発明によれば、バルブの上流側に設けられた流量計による計測により不具合のバルブの特定が可能となるので、各バルブについて個々に確認する必要がなく、バルブの個数が増えた場合に特に有効なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本実施の形態のフロースルーセル式測定装置の構成を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態のフロースルーセル式測定装置の構成を示す説明図である。
同装置は、フロースルー式のセル４を備え、セル４に対して上流側から順にポンプ２及び流量計３を備えている。流量計３とセル４との間の流路及びセル４と廃液容器側５との間の流路とは、それぞれ並列となるように分岐されており、各流路に電磁開閉式バルブ９，１０，１１，１２を備えている。また、電磁開閉式バルブ１０を備えた流路と、電磁開閉式バルブ１２を備えた流路との間に、セル４へ向かう流路が設けられており、この流路のセル４の上流側に電磁開閉式バルブ１３を設けている。
尚、ポンプ２は、溶液の供給の有無乃至は吐出流量等を制御するためポンプ制御手段６により制御され、電磁開閉式バルブ９〜１３は、バルブ制御手段７により開閉が制御される。
図示した回路の構成において、ポンプ２は、検査溶液を収容した容器１からフロースルー式のセル４に溶液を圧送し、測定が終了した検査溶液は、セル４の下流側に接続された廃液容器５に収容される。
尚、ポンプ制御手段６及びバルブ制御手段７となる装置は公知のものを利用することができ、図示しないが、各制御手段６，７への制御を行うための入力手段により、制御すべき値が入力される。
【０００９】
次に、説明した測定装置のバルブ故障判定の動作についてバルブ１１で代表して説明する。
まず、バルブ９，１０，１３を開き、バルブ１１，１２を閉じた状態でポンプ２により検査溶液を送液し、流量計３により計測した流速が０であることが故障バルブ推定手段８に送られ、バルブ１１，１２が閉状態であることが確認できる。続いて、バルブ１１を開き、ポンプ２から検査溶液を送液し、流量計３により計測した流速が０でないことが故障バルブ推定手段８に送られ、バルブ１１の閉状態から開状態に動作することが確認できる。引き続き、バルブ１１を閉じ、ポンプ２により検査溶液を送液し、流量計３により測定された流速が０であることが故障バルブ推定手段８に送られ、バルブ９の開状態から閉状態に動作することが確認できる。
上記の作動により、故障バルブ推定手段８は、バルブ１１の開閉動作が正常に行われていると判断する。
このような判断の方法については、特に制限はないが、予め、各バルブ９〜１３の少なくとも何れかが開閉動作を正常に行う場合の流量計３の値を測定及び記録しておき、確認を行いたいバルブ９〜１３が正常でない場合の流量計３の値を測定して、正常値と測定値とを故障バルブ推定手段８により比較するようにすれば効率的である。
尚、故障バルブ推定手段８については、上記した比較演算をするための手段と、その結果を表示するための表示手段とを備える必要があり、例えば、パソコン等により実装可能である。
【００１０】
また、上記故障バルブ推定手段による判定は、実際の測定前に行うようにすることが好ましい。バルブ９〜１３の異常を測定前に装置を分解せずに判定することができ、次の測定作業を迅速に行うことができるからである。
【００１１】
尚、本発明に使用する流量計３については特に制限はないが、例えば、マスフローメーター等を使用することができる。
【００１２】
１  検査溶液を収容した容器
２  ポンプ
３  流量計
４  フロースルー式のセル
５  廃液容器
６  ポンプ制御手段
７  バルブ制御手段
８  故障バルブ推定手段
９，１０，１１，１２，１３  バルブ
【図１】
0005693393.tif 000002