(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブを複数有するコネクタにおいて、
前記プローブは、一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、先端部と、蛇行形状に形成されたバネ部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、前記バネ部と前記筐体部との間を折曲げることにより形成される折曲げ部と、を有し、
複数の前記プローブを覆う第１の絶縁体部と第２の絶縁体部を有し、
前記プローブの前記先端部の一部又は全部は前記第１の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出し、前記プローブの前記折曲げ部の一部又は全部は前記第２の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出するように設置されているものであって、
前記第２の絶縁体部に設けられた開口部は、２以上の前記プローブに対応して１つ設けられており、
前記第１の絶縁体部には、内部に前記プローブを設置することのできる凸状部を有し、
前記第２の絶縁体部には前記凸状部に対応した凹状部を有し、
前記凹状部と前記凸状部とを対向させて前記プローブを複数挟み込むことにより、前記第１の絶縁体部と前記第２の絶縁体部により複数の前記プローブが固定されるものであって、
前記プローブには、前記先端部と前記バネ部との間に、接続前部が設けられており、前記筐体部における折曲げ部側の端に、接続後部が設けられており、
前記プローブが固定されている状態においては、前記第１の絶縁体部の内側の面と前記接続前部とが接触し、前記第２の絶縁体部の内側の面と前記接続後部とが接触しており、
複数の前記プローブは、２次元的に配列されているものであることを特徴とするコネクタ。
【請求項２】
前記プローブは、前記接続前部と前記接続後部との間における前記バネ部が伸縮することを特徴とする請求項１に記載のコネクタ。
【請求項３】
前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、折曲げ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであることをする請求項１または２に特徴とするコネクタ。
【請求項４】
前記先端部と接続される筐体接続部が設けられており、
前記筐体接続部と前記筐体部とが接触することにより、前記先端部において得られた電気信号は、前記筐体接続部を介し、前記筐体部に伝達されるものであることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のコネクタ。
【請求項５】
前記第１の絶縁体部と前記第２の絶縁体部との接触面には、位置合せのための突起部及び穴部が各々設けられており、
前記突起部及び穴部は各々２以上設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のコネクタ。
【請求項６】
前記筐体部における断面形状は、平板状であることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のコネクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コネクタ、プローブ及びプローブの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等を製造する際においては、ウエハに形成されている半導体集積回路の電気的な特性を測定するための測定機器が用いられている。このような測定機器は、ウエハに形成されている電極バッドまたは電極端子に直接電気的に接続するためのプローブを接触させ、電気的に接続し、電気的な測定を行うものである。
【０００３】
このようなプローブとしては、一般に、コイルスプリングプローブと称されるプローブが用いられている。このプローブは、筒状の筒体内にコイルバネを内蔵しており、コイルバネの一方の端部は、プローブの接触端子となっており、ウエハ等に形成されている電極パッドまたは電極端子と接触するものであり、他方の端部は、計測機器に電気的に接続している。コイルスプリングプローブでは、筒体内にコイルバネを設けることにより、プローブの接触端子が伸縮可能であり、電極パッドまたは電極端子との電気的な接触を確実に行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２４６６４号公報
【特許文献２】特開２００７−７１６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなプローブを複数用いることにより、電気的な接続を行なうためのコネクタを作製することも可能である。
【０００６】
ところで、上述したコイルスプリングプローブは、一般に、プローブの接触部分、コイルバネ及び筒体を有する構造であるため、各々別個の部品として作製し、これらの部品を組み立てることにより製造される。このため、製造工程も複雑なものとなり、製造コストも高くなってしまう。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、短時間に低コストで製造することが可能なスプリング機能を有する電気接続用のプローブ及びプローブの製造方法を提供することを目的とするものであり、また、このようなスプリングプローブを複数用いた構造のコネクタを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブを複数有するコネクタにおいて、前記プローブは、一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、先端部と、蛇行形状に形成されたバネ部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、前記バネ部と前記筐体部との間を折曲げることにより形成される折曲げ部と、を有し、複数の前記プローブを覆う第１の絶縁体部と第２の絶縁体部を有し、前記プローブの前記先端部の一部又は全部は前記第１の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出し、前記プローブの前記折曲げ部の一部又は全部は前記第２の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出するように設置されているものであって、前記第２の絶縁体部に設けられた開口部は、２以上の前記プローブに対応して１つ設けられており、前記第１の絶縁体部には、内部に前記プローブを設置することのできる凸状部を有し、前記第２の絶縁体部には前記凸状部に対応した凹状部を有し、前記凹状部と前記凸状部とを対向させて前記プローブを複数挟み込むことにより、前記第１の絶縁体部と前記第２の絶縁体部により複数の前記プローブが固定されるものであって、前記プローブには、前記先端部と前記バネ部との間に、接続前部が設けられており、前記筐体部における折曲げ部側の端に、接続後部が設けられており、前記プローブが固定されている状態においては、前記第１の絶縁体部の内側の面と前記接続前部とが接触し、前記第２の絶縁体部の内側の面と前記接続後部とが接触しており、複数の前記プローブは、２次元的に配列されているものであることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、前記第２の絶縁体部に設けられた開口部は、２以上の前記プローブに対応して１つ設けられているものであることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、前記第１の絶縁体部には、内部に前記プローブを設置することのできる凸状部を有し、前記第２の絶縁体部には前記凸状部に対応した凹状部を有し、前記凹状部と前記凸状部とを対向させて前記プローブを複数挟み込むことにより、前記第１の絶縁体部と前記第２の絶縁体部により複数の前記プローブが固定されるものであることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、複数の前記プローブは、２次元的に配列されているものであることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、折曲げ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであることをする。
【００１３】
また、本発明は、前記先端部と接続される筐体接続部が設けられており、前記筐体接続部と前記筐体部とが接触することにより、前記先端部において得られた電気信号は、前記筐体接続部を介し、前記筐体部に伝達されるものであることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明は、前記第１の絶縁体部と前記第２の絶縁体部との接触面には、位置合せのための突起部及び穴部が各々設けられており、前記突起部及び穴部は各々２以上設けられていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブにおいて、前記プローブは、一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状の一枚の金属板を折曲げることにより形成されるものであって、前記先端部となる領域により形成される先端部と、前記蛇行形状に形成された前記バネ部となる領域からなるバネ部と、前記バネ部を囲むように折曲げて形成される筐体部と、を有することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明は、前記筐体部における断面形状は、平板状であることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明は、前記先端部と接続される筐体接続部が設けられており、前記筐体接続部と前記筐体部とが接触することにより、前記先端部において得られた電気信号は、前記筐体接続部を介し、前記筐体部に伝達されるものであることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明は、前記記載の複数のプローブを覆う第１の絶縁体部と第２の絶縁体部を有し、前記プローブの前記先端部の一部は前記第１の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出し、前記プローブの前記折曲げ部の一部は前記第２の絶縁体部に設けられた開口部より外側に露出するように設置されているものであることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明は、電気回路又は電子部品における電極端子と接触し電気的測定を行うために用いられるプローブの製造方法において、金属板を所定の形状に形成する金属板形成工程と、前記金属板を折曲げる折曲げ工程と、を有し、前記所定の形状は、本体部となる一方の端より、前記電極端子と接触する先端部となる領域、蛇行形状に形成されたバネ部となる領域、前記バネ部を囲むための筐体部となる領域とが順に接続されている形状であって、前記折曲げ工程は、前記筐体部となる領域と前記バネ部との境界を略１８０°折曲げることにより折曲げ部を形成する工程と、前記折曲げ部を形成した後、前記バネ部を前記筐体部により囲むように、前記筐体部となる領域を折曲げることにより筐体部を形成する工程と、を有することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明は、前記金属板形成工程と前記折曲げ工程との間には、前記所定の形状に形成された前記金属板の表面にメッキを施すメッキ工程を有することを特徴とする。
【００２１】
また、本発明は、前記筐体部を形成する工程は、前記筐体部となる領域の一部を略１８０°折曲げるものであることを特徴とする。
【００２２】
また、本発明は、前記金属板形成工程において形成される所定の形状とは、金属板をプレス加工することにより形成されるものであること、または、金属板の前記所定の形状となる領域以外の領域をエッチングすることにより形成されるものであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、一枚の金属板を加工することにより製造することができるため、組立工程等を必要とせず、短時間に低コストで製造することが可能なスプリング機能を有する電気接続用のプローブを提供することができる。また、このようなプローブを複数用いることにより低コストで信頼性の高いコネクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図
【図２】第１の実施の形態におけるプローブの外観の上面図
【図３】第１の実施の形態におけるプローブの外観の左側面図
【図４】第１の実施の形態におけるプローブの外観の底面図
【図５】第１の実施の形態におけるプローブの外観の右側面図
【図６】第１の実施の形態におけるプローブの外観の正面図
【図７】第１の実施の形態におけるプローブの説明図
【図８】第１の実施の形態におけるプローブの説明のための要部拡大図
【図９】第１の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート
【図１０】第２の実施の形態におけるコネクタの正面図
【図１１】第２の実施の形態におけるコネクタの裏面図
【図１２】第２の実施の形態におけるコネクタの側面図
【図１３】第２の実施の形態におけるコネクタの上面図
【図１４】第２の実施の形態におけるコネクタの斜視図（１）
【図１５】第２の実施の形態におけるコネクタの斜視図（２）
【図１６】開口部１１１における拡大図
【図１７】開口部１２１における拡大図
【図１８】第２の実施の形態におけるコネクタの断面を含む斜視図
【図１９】第２の実施の形態におけるコネクタの断面図
【図２０】第２の実施の形態におけるコネクタの分解図（１）
【図２１】第２の実施の形態におけるコネクタの分解図（２）
【図２２】第３の実施の形態におけるプローブの外観の斜視図
【図２３】第３の実施の形態におけるプローブの外観の上面図
【図２４】第３の実施の形態におけるプローブの外観の側面図
【図２５】第３の実施の形態におけるプローブの外観の正面図
【図２６】第３の実施の形態におけるプローブの説明図
【図２７】第３の実施の形態におけるプローブを用いたコネクタの説明図
【図２８】第３の実施の形態におけるプローブの製造方法のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明を実施するための形態について、以下に説明する。
【００２６】
〔第１の実施の形態〕
本実施の形態はプローブであり、後述するコネクタの一部に用いられるものである。
【００２７】
（プローブの構造）
本実施の形態におけるプローブについて説明する。本実施の形態におけるプローブは、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、電子部品や電気回路等に形成された電極パッド又は電極端子等（電極パッド又は電極端子等を単に「電極端子」または「電極端子等」と称する場合もある）と電気的に接続するためのものである。具体的には、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。
【００２８】
本実施の形態におけるプローブについて、図１から図８に基づき説明する。本実施の形態におけるプローブ１００は、先端部１０、バネ部２０、筐体部３０、屈曲部５０を有している。尚、図１は本実施の形態のおけるプローブ１００の斜視図であり、図２は上面図であり、図３は左側面図であり、図４は底面図であり、図５は右側面図であり、図６は正面図である。また、図７は、筐体部３０を折曲げる前の状態のプローブを示すものであり、図８は、図７における破線で囲まれた領域７Ａの拡大図である。
【００２９】
先端部１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部１０の端部は、端子接触部１１を形成している。この端子接触部１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。
【００３０】
バネ部２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものを略中心部分において、長手方向に沿ってコの字形状に折曲げた構造のものであり、折曲げられた一方の側と、他方の側とは略平行となるように折曲げられている。本実施の形態では、コの字状に折曲げた構造のものを示しているが、Ｕの字状等に折曲げた構造のものであってもよい。バネ部２０では、両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。
【００３１】
筐体部３０は、バネ部２０の全体を囲むように筐体部３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部３０となる領域の金属板を折曲げることにより側面部３１と上面部３２とを形成する。
【００３２】
筐体部３０は、筐体部３０となる領域の側部を折曲げることにより上面部３２を形成し、更に、側面部３１を折曲げることにより底面部３５も同時に形成されるため、バネ部２０全体を略四角形状の筐体部３０により囲むことができる。
【００３３】
尚、筐体部３０とバネ部２０とは境界となる屈曲部５０において、約１８０°折曲げられており、バネ部２０は筐体部３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部５０は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部５０を介し、測定機器に伝達される。このため、屈曲部５０は折曲げられる折曲げ部５１と電極端子と接触する電極接触部５２とが設けられており、電極信号は、電極接触部５２を介し、測定機器に伝達される。
【００３４】
本実施の形態では、バネ部２０における先端部１０側には、筐体部３０の側に向かって出っ張った形状の凸部４０が設けられている。凸部４０は、バネ部２０の所定の位置において内側から外側に向けて力を加えることにより形成されている。凸部４０は、図７に示すような状態から図１の示す状態に筐体部３０を折曲げた際、筐体部３０の側面部３１の内側と、凸部４０とが接触するように形成されている。これにより、筐体部３０の内側と凸部４０とが接触するため電気的に接続される。
【００３５】
このように、筐体部３０の内側と凸部４０とが電気的に接続されることにより、電気信号は先端部１０の端子接触部１１より、バネ部２０の側面に設けられた凸部４０、筐体部３０を介し、屈曲部５０に伝達される。筐体部３０では、電気信号が流れる領域の断面積が広いため、端子接触部１１から屈曲部５０までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部１１において検出された電気信号を屈曲部５０まで低抵抗で伝達することが可能となる。即ち、本実施の形態におけるプローブでは、プローブ内において電気的に接続される部分は、筐体部３０の側面部３１の内側と、バネ部２０に設けられた凸部４０の１ヶ所のみであるため、接触抵抗も少なく低抵抗なプローブとなる。
【００３６】
尚、凸部４０は、バネ部２０の先端部１０側に設けることが好ましい。筐体部３０は、電気信号が流れる領域の断面積が広く、低抵抗で電流を流すことができるため、接触端子部１１において検出された電気信号は、できるだけ筐体部３０を伝達させた方が、低抵抗で伝達させることができるからである。また、凸部４０は、折曲げられたバネ部２０の両側に設けることが好ましい。具体的には、折曲げられた状態のバネ部２０の一方の側と他方の側に各々凸部４０を設け、バネ部２０の一方の側に設けられた凸部４０と、筐体部３０の側面部３１の一方の側の内側と接触させ、バネ部２０の他方の側に設けられた凸部４０と、筐体部３０の側面部３１の他方の側の内側と接触させる。このように凸部４０を両側に設けることにより、筐体部３０との接触をより確実なものとすることができるからである。この際、図８に示すように、凸部４０は、バネ部２０において対称となる位置に設けられていることが好ましい。このような位置に設けることにより、凸部４０と筐体部３０の側面部３１の内側との接触を更に確実なものとすることができる。
【００３７】
また、本実施の形態におけるプローブでは、バネ部２０が折曲げられる前の状態は板状であることから、バネ部２０を形成する際、折曲げられた方向に対してもバネ性を有している。よって、バネ部２０を形成する際に所定の形状で折曲げることにより、凸部４０において筐体部３０の側面部３１の内側に力が加えられた状態で確実に接触させることができる。このため、先端部１０における端子接触部１１が基板等に設けられた端子と接触した場合においても、凸部４０と筐体部３０の側面部３１の内側との接触が保たれた状態のままバネ部２０が伸縮させることができる。
【００３８】
本実施の形態におけるプローブは、凸部４０において筐体部３０の側面部３１の内側と接触する構造のものであるため、より一層小型化することが可能である。
【００３９】
また、本実施の形態におけるプローブ１００では、接続前部３６と接続後部３７が設けられている。具体的には、筐体部３０の屈曲部５０側の端部には接続後部３７が設けられており、先端部１０とバネ部２０との間には、接続前部３６が設けられている。
【００４０】
また、本実施の形態においては、筐体部の断面形状が略四角形である場合について説明したが、曲面的に折曲げることにより、断面形状を略円形、略長円形、略三角形等の多角形等にすることも可能である。
【００４１】
このような、本実施の形態におけるプローブは、メモリテスタ、液晶パネルの検査、基板検査用プローブ等において用いることができ、ポゴピンとも称されるプローブピンの代替として用いることができる。
【００４２】
（プローブの製造方法）
次に、図９に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。
【００４３】
最初に、ステップ１０２（Ｓ１０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法、または、金属板上に所定の形状のマスクを形成し、マスクの形成されていない領域をエッチングする方法により形成する。尚、この金属板は、銅又は銅を含む合金により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍの銅板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成する。本実施の形態では、プローブとなる前のこの金属板を本体部と称する。
【００４４】
次に、ステップ１０４（Ｓ１０４）において、本実施の形態におけるプローブを形成するための本体部にメッキ加工を施す（メッキ工程）。このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行なう。
【００４５】
次に、ステップ１０６（Ｓ１０６）において、バネ部２０となる領域を折曲げる（第１の折曲げ工程）。具体的には、バネ部２０となる領域の両側をコの字状に折曲げバネ部２０を形成する。
【００４６】
次に、ステップ１０８（Ｓ１０８）において、本実施の形態におけるプローブを形成するための本体部を折曲げる（第２の折曲げ工程）。本体部は、屈曲部５０における折曲げ部５１において折曲げられる。これにより図７に示す形状のものを作製することができる。
【００４７】
次に、ステップ１１０（Ｓ１１０）において、筐体部３０となる領域を折曲げる（第３の折曲げ工程）。具体的には、バネ部２０の曲げられている方向と同じ方向に、９０°折曲げ、筐体部３０の側面部３１を形成する。この際、底面部３５も同時に形成されるため、バネ部２０の全体が筐体部３０に囲まれた構造となる。更に、筐体部３０の側面部３１の内壁と、筐体接続部４０とが接触し、電気的に接続される。これにより、本実施の形態におけるプローブを製造することができる。
【００４８】
以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程と、切断工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、スプリング機能を有するプローブを製造することができる。
【００４９】
〔第２の実施の形態〕
次に、第２の実施の形態について説明する。本実施の形態はコネクタであり、第１の実施の形態と同様の構造のプローブを複数有するものであり、メモリ等の半導体装置におけるテスター用コネクタ、または、電子回路等が形成されている半導体基板等における基板検査用コネクタとして用いられるものである。
【００５０】
本実施のコネクタは、図１０から図２１に示されるように、複数のプローブ１００が第１の絶縁体部１１０と第２の絶縁体部１２０とにより固定されている。図１０は、本実施の形態におけるコネクタの正面図であり、図１１は裏面図であり、図１２は側面図であり、図１３は上面図であり、図１４は正面側から見た斜視図であり、図１５は裏面側から見た斜視図であり、図１６は開口部１１１における拡大図であり、図１７は開口部１２１における拡大図であり、図１８は一部を切断した状態の斜視図であり、図１９は断面図であり、図２０は正面側から見た分解図であり、図２１は裏面側から見た分解図である。
【００５１】
第１の絶縁体部１１０及び第２の絶縁体部１２０は、本実施の形態におけるコネクタにおいて、筐体となるものであり、絶縁体により形成されている。本実施の形態におけるコネクタにおいて、複数のプローブ１００は、先端部１０における端子接触部１１及び屈曲部５０における電極接触部５２の端部が、ともに略同一面となる位置に揃った状態で２次元的に配置されており、第１の絶縁体部１１０と第２の絶縁体部１２０とにより固定されている。第１の絶縁体部１１０には、プローブ１００の各々に対応する開口部１１１が設けられており、内側には、各々のプローブ１００を収納するための凸状部１１２が設けられている。凸状部１１２には、凸状部の内部に複数のプローブ１００の略全体が収納することができるように開口領域が設けられており、この各々の開口領域の底面に開口部１１１が設けられている。
【００５２】
一方、第２の絶縁体部１２０には、図面において、横方向に設置される複数のプローブ１００に共通して設けられた横長の長方形状の開口部１２１が設けられている。開口部１２１は、第１の絶縁体部１１０の凸状部１１２の形状に対応した形状の凹状部１２２の底面に設けられている。
【００５３】
プローブ１００は、第１の絶縁体部１１０における開口部１１１より、プローブ１００の先端部１０の一部が飛び出すように設置され、第２の絶縁体部１２０の開口部１２１からは、屈曲部５０が飛び出すように設置されている。
【００５４】
第１の絶縁体部１１０と第２の絶縁体部１２０とを接合する際には、ネジ１２４とナット１１４によりネジ留めすることにより接合される。これにより、複数のプローブ１００を有するコネクタを容易に作製することができる。尚、図面においてはネジ１２４及びナット１１４におけるネジ溝は省略されている。
【００５５】
本実施の形態におけるプローブ１００の筐体部３０には接続後部３７が設けられており、先端部１０とバネ部２０との間には、接続前部３６が設けられている。これにより、第１の絶縁体部１１０と第２の絶縁体部１２０とを接合した状態では、プローブ１００は、第１の絶縁体部１１０における内部の面１１５と接続前部３６とが接触し、第２の絶縁体部１２０における内部の面１２５と接続後部３７とが接触した状態で、プローブ１００が第１の絶縁体部１１０及び第２の絶縁体部１２０内に固定される。この状態では、プローブ１００の先端部１０は、プローブ１００の長手方向に伸縮可能であり、端子接触部１１に接触する電極端子とプローブ１００における接触端子部１１との接続を確実なものとすることができる。
【００５６】
本実施の形態におけるコネクタでは、複数のプローブ１００を所定に位置に設置することができ、また、破損等によりプローブ１００を交換する必要が生じた場合においても、ナット１１４とネジ１２４とによる接続を外すことにより、第１の絶縁体部１１０と第２の絶縁体部１２０とに分離することができ、第１の絶縁体部１１０の凸状部１１２の内部の開口領域に設置されているプローブ１００を容易に交換することができる。
【００５７】
〔第３の実施の形態〕
次に、第３の実施の形態について説明する。本実施の形態は、第１の実施の形態とは異なる構造のプローブである。本実施の形態におけるプローブは、第１の実施の形態におけるプローブと同様に、電子部品や電気回路等の検査を行うために用いられるものであり、一枚の金属板、例えば、銅又は銅を含む合金からなる金属板を打ち抜いたものを折曲げることにより形成したものである。従って、本実施の形態におけるプローブは、一体化されており、全体がつながった構造となっている。
【００５８】
本実施の形態におけるプローブについて、図２２から図２５に基づき説明する。本実施の形態におけるプローブ２００は、先端部２１０、バネ部２２０、筐体部２３０、屈曲部２５０を有している。尚、図２２は本実施の形態のおけるプローブ２００の斜視図であり、図２３は上面図であり、図２４は側面図であり、図２５は正面図である。また、図２６は、筐体部２３０を折曲げる前の状態のプローブを示すものである。
【００５９】
先端部２１０は、ウエハ等に形成された電気回路及び電子部品等の電極パット又は電極端子等と接触させ電気的に接続するためのものである。先端部２１０の端部は、端子接触部２１１を形成している。この端子接触部２１１は、検査の対象となる電気回路または電子部品等における電極パッドまたは電極端子と接触し電気的に接続される部分である。
【００６０】
バネ部２２０は、平板状であって両側がＵ字状に曲がった蛇行する形状のものであり、Ｕ字状に曲がった蛇行する形状とすることにより、弾性を有するものとなり、バネとしての機能を発揮させることができる。
【００６１】
筐体部２３０は、バネ部２２０の全体を囲むように筐体部２３０となる領域の金属板を折曲げることにより形成されている。具体的には、筐体部２３０となる領域の金属板を折曲げることにより上面部２３２を形成し、これにより底面部２３５も同時に形成されるため、バネ部２２０全体を上面部２３２と底面部２３５からなる筐体部２３０により囲むことができる。
【００６２】
尚、筐体部２３０とバネ部２２０とは境界となる屈曲部２５０において、約１８０°折曲げられており、バネ部２２０は筐体部２３０内に納められた構造となっている。また、この屈曲部２５０は、プローバー等の測定機器と電気的に接続されるものであり、端子接触部２１１において電極パットまたは電極端子と接触して得られた電極信号は、屈曲部２５０を介し、測定機器に伝達される。屈曲部２５０には、約１８０°折曲げられる折曲げ部２５１と電極端子と接触する電極接触部２５２とを有しており、電極信号は、電極接触部２５２を介し、測定機器に伝達される。
【００６３】
本実施の形態では、バネ部２２０と先端部２１０との間には、筐体部２３０の側に向かって出っ張った形状の筐体接続部２４０が設けられている。筐体接続部２４０は、端子接触部２１１が筐体部２３０側に押された際に、筐体部２３０の内側と接触し、筐体接続部２４０と筐体部２３０とが電気的に接続される。
【００６４】
このように、筐体部２３０の内側と筐体接続部２４０とが電気的に接続されることにより、電気信号は先端部２１０の端子接触部２１１より、バネ部２２０の側面に設けられた筐体接続部２４０、筐体部２３０を介し、屈曲部２５０に伝達される。筐体部２３０では、電気信号が流れる領域の断面積が広いため、端子接触部２１１から屈曲部２５０までの電気抵抗を低くすることができる。よって、端子接触部２１１において検出された電気信号を屈曲部２５０まで低抵抗で伝達することが可能となる。即ち、本実施の形態におけるプローブでは、プローブ内において電気的に接続される部分は、筐体部２３０の低面部２３５の内側と筐体接続部２４０との１ヶ所のみであるため、接触抵抗も少なく低抵抗なプローブとなる。
【００６５】
尚、筐体接続部２４０は、先端部２１０側に設けることが好ましい。筐体部２３０は、電気信号が流れる領域の断面積が広く、低抵抗で電流を流すことができるため、接触端子部２１１において検出された電気信号は、できるだけ筐体部２３０を伝達させた方が、低抵抗で伝達させることができるからである。
【００６６】
本実施の形態におけるプローブでは、上面部２３２と底面部２３５により形成される筐体部２３０は平面的であるため、筐体部２３０を積層する方向に対し、より高密度にプローブを配置することができる。
【００６７】
このような、本実施の形態におけるプローブは、メモリテスタ、液晶パネルの検査、基板検査用プローブ等において用いることができ、ポゴピンとも称されるプローブピンの代替として用いることができる。
【００６８】
本実施の形態におけるプローブは、第２の実施の形態におけるコネクタと同様のコネクタを形成することが可能である。即ち、本実施の形態におけるプローブ２００の筐体部２３０には接続後部２３７が設けられており、先端部２１０とバネ部２２０との間には、接続前部２３６が設けられている。これにより、図２７に示すように、第１の絶縁体部２６０と第２の絶縁体部２７０とを接合した状態では、プローブ２００は、第１の絶縁体部２６０における内部の面２６１と接続前部２３６とが接触し、第２の絶縁体部２７０における内部の面２７１と接続後部２３７とが接触した状態で、プローブ２００が第１の絶縁体部２６０及び第２の絶縁体部２７０内に固定される。この状態では、プローブ２００の先端部２１０は、プローブ２００の長手方向に伸縮可能であり、端子接触部２１１に接触する電極端子とプローブ２００における接触端子部２１１との接続を確実なものとすることができる。
【００６９】
本実施の形態におけるコネクタでは、複数のプローブ２００を所定に位置に設置することができ、また、破損等によりプローブ２００を交換する必要が生じた場合においても、第１の絶縁体部２６０と第２の絶縁体部２７０とを容易に分離することができプローブ２００を容易に交換することができる。
【００７０】
（プローブの製造方法）
次に、図２８に基づき本実施の形態におけるプローブの製造方法について説明する。
【００７１】
最初に、ステップ２０２（Ｓ２０２）において、本実施の形態におけるプローブを作製するため、所定の形状に金属板を形成する（金属板形成工程）。形成方法は、金属板をプレス加工等により打ち抜き形成する方法、または、金属板上に所定の形状のマスクを形成し、マスクの形成されていない領域をエッチングする方法により形成する。尚、この金属板は、銅又は銅を含む合金により形成されており、厚さは、３０μｍ〜１５０μｍである。尚、本実施の形態では、厚さ６０μｍの銅板を用いて、プレス加工により所定の形状の金属板を形成する。本実施の形態では、プローブとなる前のこの金属板を本体部と称する。
【００７２】
次に、ステップ２０４（Ｓ２０４）において、本実施の形態におけるプローブを形成するための本体部にメッキ加工を施す（メッキ工程）。このメッキ加工は、Ｎｉ、Ｐｄ、Ａｕ、もしくはＮｉ、Ａｕのメッキを順に行うことにより行われる。
【００７３】
次に、ステップ２０６（Ｓ２０６）において、本実施の形態におけるプローブを形成するための本体部を折曲げる（第２の折曲げ工程）。本体部は、屈曲部２５０における折曲げ部２５１において折曲げられる。
【００７４】
次に、ステップ２０８（Ｓ２０８）において、筐体部２３０となる領域を折曲げる（第３の折曲げ工程）。具体的には、バネ部２２０を覆うように筐体部２３０の上面部２３２となる領域を９０°折曲げ、筐体部２３０の上面部２３２及び底面部２３５を同時に形成する。これにより、バネ部２２０の全体が筐体部２３０に囲まれた構造となる。このようにして本実施の形態におけるプローブを製造することができる。
【００７５】
以上より、本実施の形態におけるプローブは、一枚の金属板を加工することにより製造することができる。従って、スプリング機能を有するプローブにおいて、複数の部品を組み立てる必要がなく、組立工程が不要である。また、製造工程が、金属板のプレス加工等の加工工程と、メッキ工程と、折曲げ工程と、切断工程のみにより製造されるものであるため、簡単な製造装置で製造することができ、また、製造工程も単純であるため、低コストで大量に短時間に製造することができる。従って、極めて低コストで、スプリング機能を有するプローブを製造することができる。
【００７６】
以上、本発明の実施に係る形態について説明したが、上記内容は、発明の内容を限定するものではない。
【符号の説明】
【００７７】
１０        先端部
１１        端子接触部
２０        バネ部
３０        筐体部
３１        側面部
３２        上面部
３５        底面部
３６        接続前部
３７        接続後部
４０        筐体接続部
５０        屈曲部
５１        折曲げ部
５２        電極接触部
１００      プローブ
１１０      第１の絶縁体部
１１１      開口部
１１２      凸状部
１１４      ナット
１１５      内部の面（第１の絶縁体部）
１２０      第２の絶縁体部
１２１      開口部
１２２      凹状部
１２４      ネジ
１２５      内部の面（第２の絶縁体部）
２００      プローブ
２１０      先端部
２１１      端子接触部
２２０      バネ部
２３０      筐体部
２３２      上面部
２３５      底面部
２３６      接続前部
２３７      接続後部
２４０      筐体接続部
２５０      屈曲部
２５１      折曲げ部
２５２      電極接触部
２６０      第１の絶縁体部
２６１      内部の面（第１の絶縁体部）
２７０      第２の絶縁体部
２７１      内部の面（第２の絶縁体部）
【図１】
0005693266.tif 000002
【図２】
0005693266.tif 000003
【図３】
0005693266.tif 000004
【図４】
0005693266.tif 000005
【図５】
0005693266.tif 000006
【図６】
0005693266.tif 000007
【図７】
0005693266.tif 000008
【図８】
0005693266.tif 000009
【図９】
0005693266.tif 000010
【図１２】
0005693266.tif 000011
【図１３】
0005693266.tif 000012
【図１４】
0005693266.tif 000013
【図１６】
0005693266.tif 000014
【図１７】
0005693266.tif 000015
【図１８】
0005693266.tif 000016
【図１９】
0005693266.tif 000017
【図２０】
0005693266.tif 000018
【図２２】
0005693266.tif 000019
【図２３】
0005693266.tif 000020
【図２４】
0005693266.tif 000021
【図２５】
0005693266.tif 000022
【図２６】
0005693266.tif 000023
【図２７】
0005693266.tif 000024
【図２８】
0005693266.tif 000025
【図１０】
0005693266.tif 000026
【図１１】
0005693266.tif 000027
【図１５】
0005693266.tif 000028
【図２１】
0005693266.tif 000029