(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向を待機位置とし、水平方向と直角の垂直方向を動作位置とする回転テーブルと、ワークの上端を保持して上下方向に移動自在の移動手段と、を備え、
前記回転テーブルにより水平方向の前記ワークを垂直方向に立て、前記移動手段により前記ワークを立てた状態でストッカに収納するようにした加工装置において、
案内面を備える第１のガイド装置と、
案内面を備える第２のガイド装置を支持し、支持した前記第２のガイド装置を水平面内の予め定める第１の位置と第２の位置とに位置決めする回転装置と、を設け、
前記第１のガイド装置を、当該前記案内面が動作位置に位置決めされた前記回転テーブルのワーク載置面と予め定める距離を隔てて対向するように配置し、
前記回転装置を、
前記第１の位置は、当該前記案内面が前記第２のガイド装置が垂直方向に立てられた前記ワークを挟み、前記第１のガイド装置と予め定める距離で対向する位置、
前記第２の位置は、前記第２のガイド装置が前記回転テーブルと干渉しない位置、
となるように配置し、
前記第１のガイド装置と前記第２のガイド装置の前記案内面により、前記ワークを垂直方向に案内する
ことを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記第２のガイド装置と前記回転装置との間に直線案内装置を設け、前記第２のガイド装置を水平方向に移動自在に構成する
ことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
直径が同じ複数の回転体を垂直方向に整列させ、前記回転体の総ての頂点を含む面を前記案内面とすることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工が終了した方形板状のワーク（以下、「ワーク」という。）を、長手方向を垂直方向（板厚方向は水平方向）にして（以下、「立て」るという。）ストッカに搬入・搬出する搬入・搬出装置を備える加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下、図面を参照しながら従来の技術を説明する。図８は、特許文献１の搬入・搬出装置を備える加工装置１００の左側面図である。スライダ１はリフタ２により表面の加工が終了したワークｗを吸着保持し、紙面奥側から手前側に移動してワークｗを待機位置（ワーク載置面が水平な状態）にある回転テーブル３上に載置する。回転テーブル３が載置されたワークｗを図示しない回転テーブル３上に設けられたクランパにより保持すると、スライダ１は回転テーブル３と干渉しない位置に移動する。スライダ１が回転テーブル３と干渉しない位置に移動すると、回転テーブル３はワークｗをクランパで保持した状態で反時計回りに９０度回転（動作位置）してワークｗを垂直方向に立てる。ハンガー４は、ハンガー４に設けられた図示しないクランパを閉じて回転テーブル３上のワークｗを保持する。ワークｗがハンガー４に保持されると、回転テーブル３に設けられたクランパはワークｗの保持状態を解除した後、時計回りに９０度回転して待機位置に戻る。回転テーブル３が待機位置に戻ると、ハンガー４が下降して、ストッカ５の収納部にワークｗを収納する。収納部にワークｗが収納されたストッカ５は、次の空の収納部がハンガー４に対向する位置に位置決めされる。ストッカ５に予め定める数のワークｗが収納されたら、昇降自在のターンテーブル６により、ストッカ５を水平方向に１８０度回転させる。そして、上記とは逆の手順でストッカ５に収納されたワークｗを加工テーブルに移動させ、ワークｗの裏面を加工する。この加工装置１００によれば、ワークｗを１枚ずつあるいはまとめて上下に反転させる反転装置を設ける必要がないので、装置全体を小型化することができた。また、ワークｗの両面を連続して加工することができるので、加工能率を向上させることができた。
【０００３】
ここで、加工装置１００のストッカ５へのワーク導入部についてさらに説明する。図９は図８におけるＢ部の詳細断面図、図１０は図９におけるＣ矢視図、図１１はワークｗの平面図である。図１１に示すように、ワークｗは斜線を付して示す加工領域Ｅｋの周りに非加工領域Ｅｎが設けられている。図示のワークｗの場合、クランパに保持される側（長手方向の上側）の非加工領域の幅ｆｕは他の非加工領域の幅ｆ（通常、１５ｍｍ程度）よりも大きくなっている。
【０００４】
図９に示すように、搬入・搬出装置の台座２０は加工装置１００のベッドに固定され、加工装置１００と一体である。
回転テーブル３は、回転プレート３ａと回転プレート３ａに固定された載置テーブル３ｂとから構成されている。載置テーブル３ｂにはワークＷをクランプするための図示しないクランプ手段が設けられている。回転テーブル３は両端を台座２０に支持された軸６の回りに回転自在である。回転テーブル３は載置テーブル３ｂの表面３ｂｓが実線で示す水平位置（待機位置）から、垂直の位置（動作位置）までの９０度の範囲を回転自在である。載置テーブル３ｂの載置面の長さLは最も長いワークの長さに等しく、軸６側の端部のX座標（図の左右方向）は軸６の中心のX座標と同じである。ハンガー４のクランパの垂直方向の位置決めを確実にするため、また、長さの異なるワークｗに対して同じ回転テーブル３を使用するため、待機状態（上昇端）におけるクランパの位置は不変とする。そして、ワークｗのクランパに保持される側の端部（以下、「上端」という。）を、ワークｗの長さに関わらず常に同じ位置に位置決めする。したがって、最も長いワークの場合、軸６側の端部（以下、「下端」という。）のXＺ座標（図の左右方向）は軸６の中心のX座標と同じになる。以下、Ｘ軸方向を前後方向と言い、図９における右方を前方、左方を後方という。
【０００５】
回転プレート３ａの後端には面３ａｉが形成されている。ここで、回転テーブル３を動作位置に位置決めしたときの載置テーブル３ｂの表面３ｂｓを含む面を「基準面Ａ」とすると、待機位置にある回転テーブル３の面３ａｂは、基準面Ａと対向し、クランパと対向する部分を除き、基準面Ａから５ｍｍ程度離れるように構成されている。ストッカ５のＹ方向の両側上部にはワーク保持溝５ｈに接続するＶ字形の案内溝５ａが形成されている。ワーク保持溝５ｈはワーク種によりＸ方向１６ｍｍ、１８ｍｍ、２５ｍｍ等、様々な間隔で配置されている。
【０００６】
回転テーブル３が待機位置にある場合、基準面Ａを挟んで面３ａｂと対向する位置には、軸８の回りに回転自在のローラ７が配置されている。ここで、図１０を参照すると、回転テーブル３の幅方向（Ｙ方向）の中心線を含む垂直な面を面Ｍｏとすると、ローラ７は前端７ａが基準面Ａから５ｍｍ程度離れるようにして、Ｙ方向は面Ｍｏに近い側の端面７ｉの長さが、前端７ａと対向するワークＷの非加工領域Ｅｎを越えないように、また、Ｚ方向は回転中心のＺ座標が面３ａｉの下端と同じになるようにして台座２０の開口部２０ａの左右両側に支持されている。
【０００７】
回転テーブル３、ローラ７とストッカ５との間には軸１０の回りに回転自在の２組のローラ９Ｆ、９Ｂが配置されている。ローラ９Ｆ、９Ｂは、それぞれのＸ方向の基準面Ａに近い側の端部９Ｆａ、９Ｂａが基準面ＡからＸ方向に２〜３ｍｍにの距離を隔てて、Ｙ方向は面Ｍｏに近い側の端面９Ｒｉ、９Ｌｉが対向する非加工領域を越えないようにして、開口部２０ａの左右両側に回転自在に支持されている。
なお、ストッカ５のワーク収納部の高さは、最も長いワークｗの上端がストッカ５の上端面５ｓの高さになるように定められている。そして、長さが短いワークｗを収納する場合は、予めストッカ５の底部に当該ワークの長さと最も長いワークの長さとの差に等しい厚さのスペーサを配置することにより、ストッカ５に収納されたワークｗの上端の高さを常に同じになるようにしている。
【０００８】
ワークｗの板厚は０．１〜１ｍｍである。載置テーブル３ｂ上のクランプ手段によるクランプ状態が解除されると、ハンガー４に設けられたクランプ手段によってハンガー４に保持されたワークｗはＸ方向に自由に動くことが可能になるが、ストッカ５の内部で折れ曲がることなく自立できる剛性を備えているので、下端がＸ方向に振れることはない。また、何らかの原因でワークｗの下端がＸ方向に振れた場合であっても、ワークｗの下端をローラ９Ｆ、９Ｂにより案内溝５ａに誘導することができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−１５３０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
近年、プリント基板の多層化が進み、板厚が２ｍｍを越えるワークｗも実用化されている。多層プリント基板では製造工程に起因する反りが発生することが多く、例えば、長さが６００ｍｍのプリント基板の場合、ワークｗの状態を示す図１２に示すように、長さ方向の両端が中心部に対して３０ｍｍ程度反るワークｗがある。例えばワークｗの長さがＬの場合、回転テーブル３が待機位置にある場合、ハンガー４に設けられたクランパに保持されたワークｗの下端は面３ａｂとローラ７の間に位置する。したがって、回転テーブル３が待機位置に移動した後もワークｗの下端は面３ａｂとローラ７の間にあるので、ワークｗを容易にストッカ５に挿入することができる。しかし、長さが短いワークｗの中には、ワークＷの反り等の原因により回転テーブル３が待機位置にある時に、ハンガー４のクランパに保持されたワークｗの下端が面３ａｂとローラ７との間から外れるものがある。このような場合、反りが大きいワークｗをストッカ５に挿入することができないだけでなく、ハンガー４を下降させることによりワークｗやローラ７あるいは回転テーブル３を損傷させてしまう場合があった。
【００１１】
本発明の目的は、反りが発生したワークｗであってもストッカ５に円滑に収納することができる加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明は、水平方向を待機位置とし、水平方向と直角の垂直方向を動作位置とする回転テーブルと、ワークの上端を保持して上下方向に移動自在の移動手段と、を備え、前記回転テーブルにより水平方向の前記ワークを垂直方向に立て、前記移動手段により前記ワークを立てた状態でストッカに収納するようにした加工装置において、案内面を備える第１のガイド装置と、案内面を備える第２のガイド装置を支持し、支持した前記第２のガイド装置を水平面内の予め定める第１の位置と第２の位置とに位置決めする回転装置と、を設け、前記第１のガイド装置を、当該前記案内面が動作位置に位置決めされた前記回転テーブルのワーク載置面と予め定める距離を隔てて対向するように配置し、前記回転装置を、前記第１の位置は、当該前記案内面が前記第２のガイド装置が垂直方向に立てられた前記ワークを挟み、前記第１のガイド装置と予め定める距離で対向する位置、前記第２の位置は、前記第２のガイド装置が前記回転テーブルと干渉しない位置、となるように配置し、前記第１のガイド装置と前記第２のガイド装置の前記案内面により、前記ワークを垂直方向に案内することを特徴とする。
【００１３】
この場合、前記第２のガイド装置と前記回転装置との間に直線案内装置を設け、前記第２のガイド装置を直線方向に移動自在に構成するとさらに効果的である。
【００１４】
また、直径が同じ複数の回転体（ローラまたは球体）を垂直方向に整列させ、前記回転体の総ての頂点を含む面を前記案内面とするとさらに効果的である。
【発明の効果】
【００１５】
ワークＷに反りが発生しても、ワークＷやローラ７あるいは回転テーブル３を傷つけることなく円滑にワークＷをストッカ５に収納することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明に係る加工装置の要部平面図である。（実施例１）
【図２】本発明に係る加工装置の要部側面図である。（実施例１）
【図３】本発明に係る加工装置の平面図である。（実施例２）
【図４】本発明に係る加工装置の側面図である。（実施例２）
【図５】本発明に係る加工装置の平面図である。（実施例３）
【図６】動作時における図５のＫ矢視図である。（実施例３）
【図７】効果を説明するためのワークの図である。
【図８】従来技術の説明図である。
【図９】従来技術の説明図である。
【図１０】従来技術の説明図である。
【図１１】ワークの平面図である。
【図１２】ワークの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明に係る加工装置の要部平面図、図２は要部側面図であり、図９、１０と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。
第１のガイド装置１１は、右側ガイド装置１１Ｒと、右側ガイド装置１１Ｒと勝手違いの左側ガイド装置１１Ｌと、から構成されている。右側ガイド装置１１Ｒと左側ガイド装置１１Ｌは、面１１Ｒａ、面１１Ｌａが基準面Ａ（動作位置に位置決めされた回転テーブル３のワーク載置面３ｂｓを含む面）と平行で、Ｘ方向は基準面Ａから距離ｍｓ、また、Ｙ方向は面Ｍｏに近い端部が対向するワークｗの側部の非加工領域Ｅｎを越えないようにして台座２０に固定されている。ここで、板厚が最も厚いワークｗの板厚をｔｍａｘとすると、距離ｍｓは、ｔｍａｘ＜ｍｓ≦５である。また、面１１Ｒａ、面１１Ｌａの台座２０からの高さＨ１はＨ１＝１〜１０ｍｍ、Ｈ２はＨ２＝Ｌ／３である。
【００１８】
第２のガイド装置１２は、右側ガイド装置１２Ｒと、右側ガイド装置１２Ｒと構成および動作が勝手違いの左側ガイド装置１２Ｌと、から構成されている。
右側ガイド装置１２Ｒは、ガイド１３Ｒとガイド１３Ｒを水平方向に１８０度回転させるロータリーアクチュエータ１４Ｒとから構成されている。ロータリーアクチュエータ１４Ｒは台座２０に支持されている。ロータリーアクチュエータ１４Ｒは動作位置において、ガイド１３Ｒの面１３Ｒａを基準面Ａと平行、かつ、基準面Ａからの距離ｍｂ（例えば、３〜５ｍｍ）、Ｙ方向は面Ｍｏに近い端部が対向する非加工領域Ｅｎを面Ｍｏ方向に越えない位置に位置決めする。また、ロータリーアクチュエータ１４Ｒの待機位置は図１に二点鎖線で示す動作位置から１８０度回転した位置である。面１３Ｒａの台座２０からの高さＨ１、Ｈ２は面１１Ｒａと同じである。
左側ガイド装置１２Ｌは、ガイド１３Ｌとガイド１３Ｌを水平方向に回転させるロータリーアクチュエータ１４Ｌとから構成されている。ロータリーアクチュエータ１４Ｌは台座２０に支持されている。ロータリーアクチュエータ１４Ｌは動作位置において、面１３Ｌａを基準面Ａと平行、かつ、基準面Ａからの距離ｍｂ、Ｙ方向は面Ｍｏに近い端部が対向する非加工領域Ｅｎを面Ｍｏ方向に越えない位置に位置決めする。また、ロータリーアクチュエータ１４Ｌの待機位置は図２に二点鎖線で示す動作位置から１８０度回転した位置である。面１３Ｒａ、面１３Ｌａとロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌの回転中心Ｏ１ｒ、Ｏ１ｌとの距離はｐ、また、回転中心Ｏ１ｒ、Ｏ１ｌの基準面Ａからの距離はｑである。面１３Ｌａの台座２０からの高さＨ１、Ｈ２は面１１Ｒａと同じである。
【００１９】
次に、この実施形態における動作を説明する。なお、回転テーブル３にはワークｗが吸着・保持されており、ロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌは待機位置に位置決めされている。
手順１：回転テーブル３を待機位置から動作位置に位置決めする。
手順２：クランパによりワークｗを保持する。
手順３：載置テーブル３ａのクランプを解除する。載置テーブル３ａのクランプを解除すると、ワークｗはＸ方向にフリーになるが、ワークｗの右方向の曲がりは第１のガイド装置１１により規制される。
手順４：回転テーブル３を動作位置から待機位置に移動させる。
手順５：ロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌを動作位置に位置決めする。すると、ワークｗの左方向の曲がりは第２のガイド装置１２により規制される。
手順６：ハンガー４を下降させ、ワークｗをストッカ５に挿入する。
手順７：ワークｗをストッカ５に挿入したら、クランパを開いた後、ハンガー４を上昇させる。
手順８：動作位置にあるロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌを待機位置に位置決めする。
手順９：ストッカ５をＸ方向に移動させ、クランパの下部にワークｗが挿入されていない案内溝５ｈを位置決めする。
以下、新しいワークｗが回転テーブル３に載置される毎に上記の手順１〜手順９を繰り返す。
【００２０】
この実施例では、ワークｗを第１のガイド装置１１と第２のガイド装置１２により挟むので、ワークｗの長さが短く、下端が面３ａｂとローラ７の上方に位置する場合であっても、ワークｗの下端は面３ａｂとローラ７との間に確実に位置決めされる。したがって、確実にワークｗをストッカ５に挿入することができる。
【００２１】
なお、面１１Ｒａ、面１１Ｌａおよび面１３Ｒａ、面１３Ｌａとワークｗとの摩擦を小さくするため、それぞれの表面に摩擦係数が小さい材質の膜（例えば、六弗化エチレンの膜）を配置すると、何らかの原因でワークｗが当接した場合にワークｗの移動を妨げないようにすることができる。
【００２２】
また、面１１Ｒａ、面１１Ｌａおよび面１３Ｒａ、面１３Ｌａの台座２０からの高さＨ２を最も長いワークの長さの１／３としたが、さらに高くしても良い。
【実施例２】
【００２３】
図３は本発明に係る第２の実施例の平面図、図４は側面図であり、図１と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。軌道３０ａとベアリング３０ｂとからなる直線案内装置３０の軌道３０ａは、ロータリーアクチュエータ１４Ｌの出力軸に固定されている。また、ベアリング３０ｂは面１３Ｒａが移動方向に対して垂直になるようにしてガイド１３Ｌの下部に固定されている。図示を省略したガイド１３Ｒは面Ｍｏに関して対称である。ガイド１３Ｒ、ガイド１３Ｌは図示を省略する駆動装置により軌道３０ａ上を往復移動及び位置決め自在である。面１３Ｒａ、面１３Ｌａとロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌの回転中心Ｏ１ｒ、Ｏ１ｌとの距離はｐであり、回転中心Ｏ１ｒ、Ｏ１ｌの基準面Ａからの距離は（ｑ＋ｃ）である。そして、ガイド１３Ｒ、ガイド１３Ｌの待機位置は、上記第１の実施例１と同じく、面１３Ｒａ、面１３Ｌａがロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌの回転中心から距離ｐの位置である。
【００２４】
次に、この実施形態の動作を説明する。
手順Ａ：上記第１の実施例の手順１〜手順４を順番に実施する。
手順Ｂ：ロータリーアクチュエータ１４Ｒ、１４Ｌを動作させ、待機位置にあるガイド１３Ｒとガイド１３Lを９０度回転させる。
手順Ｃ：図示を省略する駆動装置を動作させ、ガイド１３Ｒとガイド１３Ｌを動作位置に位置決めする（図３に矢印で示すように、距離ｃだけ面１１Ｒａ、面１１Ｌａに向けて移動させる）。すると、ガイド１３Ｒの面１３Ｒａと面１１Ｒａおよびガイド１３Ｌの面１３Ｌａと面１１Ｌａの距離はいずれも第１の実施例の場合と同じ距離ｍｂになり、ワークｗの左方向の曲がりは第２のガイド装置１２により規制される。
手順Ｄ：上記第１の実施例の手順６〜手順７を順番に実施する。
手順Ｅ：図示を省略する駆動装置を動作させ、ガイド１３Ｒとガイド１３Ｌを待機位置に移動させる。
手順Ｆ：上記第１の実施例の手順８〜手順９を順番に実施する。
【００２５】
ワークｗの反りが大きい場合、上記第１の実施例ではガイド１３Ｒとガイド１３Ｌが待機位置から動作位置に移動（回転）する際、ガイド１３Ｒ、ガイド１３Ｌがワークｗと干渉してワークｗを損傷させる場合がある。すなわち、例えば図１においてガイド１３Ｒを反時計回りに回転させる場合は、ガイド１３Ｒがワークｗの端部に衝突してワークｗを損傷させる場合がある。また、ガイド１３Ｒを時計回りに回転させる場合は、ガイド１３Ｒがワークｗの加工領域Ｅｋに衝突してワークｗを損傷させる（擦過傷をつける）場合がある。
これに対して、この実施例の場合、ワークｗの曲がりが大きい場合であっても、ガイド１３Ｒとガイド１３Ｌが待機位置から動作位置に移動（回転）する際にワークｗと干渉することはない。なお、距離ｃは必要最小限の値に定めればよい。
【実施例３】
【００２６】
図５は、本発明に係る第３の実施例の平面図、図６は動作時における図５のＫ矢視図であり、図１、図２と同じものまたは同一機能のものは同一の符号を付して重複する説明を省略する。
第１のガイド装置１５は、右側ガイド装置１５Ｒと、右側ガイド装置１５Ｒと勝手違いの左側ガイド装置１５Ｌとから構成されている。右側ガイド装置１５Ｒと左側ガイド装置１５Ｌには、軸１７の回りに回転自在である直径が同じ複数のローラ１６（図示の場合は６個）が、回転の中心を垂直方向にして整列配置されている。
右側ガイド装置１５Ｒと左側ガイド装置１５Ｌは、総てのローラ１６の前端に接する面Ｂが基準面Ａと平行かつ基準面Ａから距離ｍｓとなるように、また、Ｙ方向は、ローラ１６の面Ｍｏに近い側が対向するワークｗの非加工領域Ｅｎの面Ｍｏに近い側を越えないようにして、それぞれ台座２０に固定されている。すなわち、面Ｂは、上記実施例１における右側ガイド装置１１Ｒの面１１Ｒａと同じ面である。同様に、右側ガイド装置１５Ｌに支持された総てのローラ１６の後端に接する面は右側ガイド装置１１Ｌの面１１Ｌａと同じ面である。
【００２７】
第２のガイド装置１８は、右側ガイド装置１８Ｒと、右側ガイド装置１８Ｒと勝手違いの左側ガイド装置１８Ｌとから構成されている。右側ガイド装置１８Ｒと左側ガイド装置１８Ｌには、軸１７の回りに回転自在である直径が同じ複数のローラ１６（図示の場合は６個）が、回転の中心を垂直方向に整列配置されている。右側ガイド装置１８Ｒと左側ガイド装置１８Ｌは、動作位置において、総てのローラの後端を含む面Ｃが基準面Ａと平行、かつ、基準面Ａから距離ｍｂ、また、Ｙ方向は、ローラ１６の面Ｍｏに近い側が対向するワークｗの非加工領域Ｅｎの面Ｍｏに近い側を越えないようにして、それぞれ配置されている。
なお、動作は上記実施例２の動作と実質的に同じであるので、重複する説明を省略する。
【００２８】
次に、この実施例の効果を説明する。
曲がりを矯正されたワークｗは、例えば、図７に示すようになる場合がある。
第１の実施例あるいは第２の実施例の場合、ワークｗの凸部の頂点Ｆは常に面１１Ｌａ、１１Ｒａに接して下降するため、頂点Ｆに摩擦痕が付く場合がある。これに対して、この実施例の場合は、頂点Ｆはローラ１６と間隔をおいて当接するだけでなく、ローラ１６が回転するので、頂点Ｆに摩擦痕が付くことはほとんどない。したがって、例えば、第１のガイド装置１５Ｒを面Ｍｏ上に、第２のガイド装置１５Ｒの動作位置における面１５Ｌａが面Ｍｏ上となるようにすると、第１のガイド装置１５Ｌと第２のガイド装置１６Ｌが不要になり、装置を簡略化することができる。
【００２９】
なお、図示を省略するが、ローラ１６に代えて、球体を配置し、球体の頂点で面Ｂ、面Ｃを形成するようにしても良い。
【符号の説明】
【００３０】
３  回転テーブル
３ｂｓ  ワーク載置面
１１Ｒ  ガイド装置
１１Ｌ  ガイド装置
１１Ｒａ  案内面
１１Ｌａ  案内面
１３Ｒ  ガイド装置
１３Ｌ  ガイド装置
１３Ｒａ  案内面
１３Ｌａ  案内面
１４Ｒ  ロータリーアクチュエータ
１４Ｌ  ロータリーアクチュエータ
ｗ  ワーク
ｍｂ  基準面Ａからの距離
【図１】
0005804968.tif 000002
【図２】
0005804968.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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