(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、
前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断手段と、
前記切断手段よりも前記原反の繰出方向下流側に配置され、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記切断手段は、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含み、当該ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
被着体に接着シートを貼付するシート貼付方法において、
帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出す工程と、
外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含む切断手段により前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断工程と、
前記切り込みを形成した後に前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、
前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを備え、
前記切断工程では、前記ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記原反の繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被着体にダイシングシート等の接着シートを貼付するシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程においては、回路面が形成された半導体ウエハ（以下、ウエハと記す）をダイシングする際に、ウエハを囲うリングフレームを設け、ウエハ及びリングフレームにダイシングシートを貼付することで、ウエハとリングフレームとを一体化することが行われている。
【０００３】
従来、ウエハ及びリングフレームから成る被着体にダイシングシートから成る接着シートを貼付するシート貼付装置として、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートの素材となる帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して接着シートを形成する切断手段と、切断手段よりも原反の繰出方向下流側に配置され、剥離シートを折り返すことで当該剥離シートから接着シートを剥離する剥離手段と、接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このものでは、切断手段として、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを備えており、原反を繰出方向に搬送しつつダイカットローラの切断刃を接着シートに食い込ませて切り込みを形成している。この場合、切断刃の食い込みに伴い、接着シートの接着剤層が剥離シートの内部に入り込む現象が発生する。剥離シートの内部には接着剤の接着を防止する剥離処理が施されていないため、図６に示す如く、剥離手段４で剥離シートＲＬを折り返しても、剥離シートＲＬの内部に入り込んだ接着剤層ＡＤの影響で接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａが剥離シートＲＬから剥離し難くなって、接着シートＡＳの剥離不良を生ずることがある。
【０００５】
ところで、従来、特許文献２により、原反を繰出方向の反対方向である反繰出方向に搬送しつつ切断手段たるダイカットローラにより帯状シートに切り込みを形成するようにしたシート貼付装置も知られている。このものは、シート貼付装置の小型化を目的とするものであるが、本願発明者は、以下の効果も得られることを知見するに至った。即ち、原反を反繰出方向に搬送しつつ切り込みを形成すると、接着シートの繰出方向先端部に合致する切り込み部分が最後に形成され、当該部分からダイカットローラの切断刃が抜け出る際に、切断刃が剥離シートの内部に入り込んだ接着剤層を擦り取り、接着シートの繰出方向先端部が剥離シートから剥離しやすくなる。
【０００６】
然し、特許文献２に記載のものでは、シート貼付装置の小型化のため、剥離手段の近傍に切断手段を配置し、切断手段で切り込みを形成する際に、剥離手段の配置部を含めて原反全体を反繰出方向に搬送し、剥離手段で一旦折り返された帯状シートの部分に切り込みを形成し、この部分で接着シートが形成されるようにしている。ここで、剥離手段で一旦折り返された帯状シートの部分は反繰出方向への搬送時に剥離手段で再度折り返されることになり、この部分で形成される接着シートを傷めることがある。また、原反が繰出方向への搬送と反繰出方向への搬送に伴い剥離手段で繰返し折り返されるため、剥離シートが傷んで破断し、原反が繰出し不能になってしまう恐れもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−７３９２０号公報
【特許文献２】特開２０１０−４０８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上の点に鑑み、接着シートを傷めたり、剥離シートの破断を誘発させたりすることなく、接着シートの剥離不良を防止できるようにしたシート貼付装置及びシート貼付方法を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、被着体に接着シートを貼付する本発明のシート貼付装置は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出し可能な繰出手段と、前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断手段と、前記切断手段よりも前記原反の繰出方向下流側に配置され、前記剥離シートから前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記切断手段は、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含み、当該ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明においては、前記剥離手段で前記接着シートを前記剥離シートから剥離する前に、前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離用シートから浮き上がらせる浮上げ手段を備えることが望ましい。
【００１１】
前記浮上げ手段は、前記接着シートの繰出方向先端部を保持する保持手段を含み、当該保持手段により前記接着シートの繰出方向先端部を保持して当該繰出方向先端部を前記剥離シートから浮き上がらせるように構成してもよい。この場合、前記保持手段を前記ダイカットローラに設けることが望ましい。
【００１２】
また、前記浮上げ手段は、前記接着シートの原反繰出方向先端部に合致する前記切り込みの部分から前記切断刃が抜け出る際の前記ダイカットローラの周速度を、当該ダイカットローラの繰出方向への移動速度よりも速くして、前記接着シートの繰出方向先端部を前記剥離シートから浮き上がらせるように構成してもよい。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、被着体に接着シートを貼付する本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状シートが仮着された原反を繰出す工程と、外周面にエンドレスの切断刃を有するダイカットローラを含む切断手段により前記帯状シートにエンドレスの切り込みを形成して、当該切り込みの内側に前記接着シートを形成する切断工程と、前記切り込みを形成した後に前記剥離シートから前記接着シートを剥離する工程と、前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを備え、前記切断工程では、前記ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させ、且つ、前記原反の繰出方向に移動させながら前記切り込みを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ダイカットローラをそのローラ回転軸を中心に回転させつつ、繰出方向に移動させながら切り込みを形成することにより、接着シートの繰出方向先端部に合致する切り込み部分が最後に形成されるので、この切り込み部分から切断刃が抜け出る際に、剥離シートの内部に入り込んだ接着剤層を切断刃で擦り取ることができる。そのため、接着シートの繰出方向先端部が剥離シートから剥離しやすくなり、剥離手段での接着シートの剥離不良を防止できる。そして、本発明では、原反を反繰出方向に搬送せずに済むため、原反が剥離手段で繰り返し折り返されることがなく、接着シートを傷めたり、剥離シートの破断を誘発させたりすることも防止できる。
【００１５】
また、浮上げ手段を設けて、接着シートの繰出方向先端部を剥離用シートから浮き上がらせれば、剥離手段での接着シートの剥離不良をより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態のシート貼付装置の構成を模式的に示す図。
【図２】実施形態のシート貼付装置に設けられるダイカットローラの斜視図。
【図３】実施形態のシート貼付装置の作動を説明する説明図。
【図４】接着シートの先端部を剥離シートから浮き上がらせた状態を示す要部の断面図。
【図５】接着シートの先端部を剥離シートから浮き上がらせた状態を示す他の実施形態の要部の断面図。
【図６】従来装置における剥離手段での接着シートの剥離不良の発生状態を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、被着体たるウエハＷＦ及びリングプレームＲＦにダイシングシートから成る接着シートＡＳを貼付してウエハＷＦとリングフレームＲＦとを一体化するシート貼付装置に本発明を適用した実施形態について説明する。尚、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、上、下、左、右、時計回転方向、反時計回転方向といった方向を示した場合は、全て図１を基準としている。
【００１８】
図１に示すように、本実施形態のシート貼付装置は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦを保持して搬送する搬送手段１と、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳの素材となる帯状シートＷＳが仮着された原反ＲＳを繰出し可能な繰出手段２と、帯状シートＷＳにエンドレスの切り込みＣＵを形成し、当該切り込みＣＵの内側に接着シートＡＳを形成すると共に、当該切り込みＣＵの外側に不要シート部分ＷＳａを形成する切断手段３と、切断手段３よりも原反ＲＳの繰出方向ＳＤ下流側に配置され、剥離シートＲＬを折り返すことで当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段４と、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングプレームＲＦに押圧して貼付する押圧手段５とを備えている。尚、繰出手段２、切断手段３、剥離手段４及び押圧手段５は装置フレーム６に設置されている。
【００１９】
搬送手段１は、装置フレーム６よりも下方位置でウエハＷＦ及びリングプレームＲＦを吸着保持するテーブル１１と、テーブル１１の下方に設けられ、スライダ１２を介してテーブル１１を左右方向に搬送可能な駆動機器としての直動モータＬＭとを備えている。
【００２０】
繰出手段２は、原反ＲＳを巻回した状態で保持する繰出軸２１と、繰出軸２１と切断手段３との間に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ１で回転駆動される第１駆動ローラ２２と、切断手段３よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ２で回転駆動される第２駆動ローラ２３と、第２駆動ローラ２３と剥離手段４との間に配置されたガイドローラ２４と、剥離手段４よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ３で回転駆動される第３駆動ローラ２５と、第３駆動ローラ２５よりも繰出方向ＳＤ下流側に配置され、駆動機器としての回動モータＤＭ４で回転駆動される巻取軸２６と、駆動機器としての回動モータＤＭ５で回転駆動され、ガイドローラ２４で剥離シートＲＬから剥離された不要シート部分ＷＳａを巻き取る第２の巻取軸２７と、第１乃至第３の各駆動ローラ２２，２３，２５との間に原反ＲＳ又は剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２２ａ，２３ａ，２５ａとを備える。
【００２１】
切断手段３は、駆動機器としての回動モータＤＭ６によってローラ回転軸ＣＬ（図２参照）を中心に回転駆動されるダイカットローラ３１と、このダイカットローラ３１との間に原反ＲＳを挟み込む受け手段としての受け板３２と、回動モータＤＭ６を支持するスライダ３３を左右方向に移動可能な駆動機器としての直動モータＬＭ２とを備える。ダイカットローラ３１は、装置フレーム６に形成された長孔６ａに沿って、第１駆動ローラ２２側の切断開始位置と、第２駆動ローラ２３側の切断終了位置との間で往復移動可能に設けられている。
【００２２】
ダイカットローラ３１の外周面には、図２に示す如くエンドレスの切断刃３１ａが設けられている。また、ダイカットローラ３１には、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａ（図４参照）を吸引保持する複数の吸引孔から成る保持手段３１ｂが設けられている。そして、回動モータＤＭ６とダイカットローラ３１と保持手段３１ｂとで浮上げ手段が構成される。
【００２３】
剥離手段４は、先鋭な剥離板４１を備えている。そして、剥離板４１の先端で剥離シートＲＬを急激に折り返すことにより、剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離する。
【００２４】
押圧手段５は、剥離板４１の先端に隣接する位置に配置された押圧ローラ５１を備えている。そして、押圧ローラ５１が、テーブル１１の移動で搬送されるウエハＷＦ及びリングフレームＲＦ上で転動し、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する。
【００２５】
次に、本実施形態のシート貼付装置の作動を説明する。図１は、接着シートＡＳをウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに貼付する前の状態を示しており、帯状シートＷＳに既に♯１〜♯３の接着シートＡＳが形成されて、♯１の接着シートＡＳが剥離手段４の配置部まで搬送され、♯３の接着シートＡＳが第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に位置している。また、テーブル１１は右方の待機位置に待機し、ダイカットローラ３１は、切断刃３１ａの存在しない周面部分が受けローラ３２に対向する位置（以下、素通り可能位置という）で停止されている。尚、素通り可能位置において、帯状シートＷＳは、ダイカットローラ３１や切断刃３１ａに非接触となる。
【００２６】
待機位置にあるテーブル１１上に、図示省略した搬送手段によってウエハＷＦ及びリングフレームＲＦが載置されて保持されると、テーブル１１が左方に移動する。そして、図示省略したセンサによりテーブル１１が所定位置に到達したことが検知されると、第１乃至第３駆動ローラ２２，２３，２５、巻取軸２６及び第２の巻取軸２７を回転させて原反ＲＳを繰出方向ＳＤに搬送する。そして、図３（ａ）に示す如く、剥離手段４で剥離シートＲＬから♯１の接着シートＡＳを剥離し、この接着シートＡＳを押圧手段５によりテーブル１１上のウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに押圧して貼付する。これにより、ウエハＷＦとリングフレームＲＦとは、♯１の接着シートＡＳにより一体化され一体物となる。その後、テーブル１１は、図３（ｂ）に示す貼付完了位置にまで移動され、その位置で一体物が搬送ロボット７により取り出された後、待機位置に移動される。
【００２７】
ここで、繰出手段２は、♯１の接着シートＡＳの貼付完了後も更に原反ＲＳを繰出方向ＳＤに搬送する。そして、図３（ｂ）に示す如く、剥離手段４の先端で♯２の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａが所定長さ剥離され、図示省略したセンサにより検知されたところで、繰出軸２１、第１乃至第３駆動ローラ２２，２３，２５、巻取軸２６及び第２の巻取軸２７の回転を停止する。この状態では、第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に切り込みＣＵが形成されていない帯状シートＷＳの部分が位置する。
【００２８】
次に、図３（ｃ）に示す如く、切断開始位置で待機していたダイカットローラ３１を長孔６ａに沿って繰出方向ＳＤに移動させる。このとき、ダイカットローラ３１は、長孔６ａに沿った移動速度に等しい周速度で、ローラ回転軸ＣＬを中心に反時計回転方向に１回転され、図３（ｃ）中実線で示された切断終了位置に到達する。これにより、第１と第２の両駆動ローラ２２，２３間に位置する帯状シートＷＳの部分に切り込みＣＵが形成されて、♯４の接着シートＡＳが形成される。
【００２９】
その後、ダイカットローラ３１を素通り可能位相に保持した状態で、切断開始位置に移動させる。以上により１回のシート貼付作業が終了し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００３０】
本実施形態によると、ダイカットローラ３１を繰出方向ＳＤに移動させながら切り込みＣＵを形成するため、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳａ（図４参照）に合致する切り込み部分ＣＵａが最後に形成される。そして、切り込み部分ＣＵａからダイカットローラ３１の切断刃３１ａが抜け出る際、切断刃３１ａが切り込み部分ＣＵａの底部を擦り上げるように動く。これにより、切り込み部分ＣＵａにおいて剥離シートＲＬの内部に接着剤層ＡＤが入り込んでいたとしても、切断刃３１ａがこの接着剤層ＡＤを擦り取り、剥離シートＲＬの内部の剥離処理が施されていない部分への接着を解除して、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを剥離シートＲＬから剥離しやすくすることができる。更に、本実施形態では、図４に示す如く、ダイカットローラ３１に設けた保持手段３１ｂが接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを保持しつつ、剥離シートＲＬから離隔する方向（上方）に回転移動するため、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａが確実に剥離シートＲＬから浮き上がる。これにより、従来装置で問題となっていた剥離手段４での接着シートＡＳの剥離不良を確実に防止することができる。
【００３１】
また、上記特許文献２に記載の如く、原反ＲＳを反繰出方向（繰出方向ＳＤの反対の方向）に搬送しながら切り込みＣＵを形成するものと異なり、切り込みＣＵが形成されて接着シートＡＳになる帯状シートＷＳの部分は剥離手段４で１度も折り返されていない部分になるから、接着シートＡＳを傷めることがない。また、原反ＲＳが繰出方向と反繰出方向への搬送に伴い剥離手段４で繰返し折り返され、剥離シートＲＬが傷んで破断するといった不具合も防止できる。
【００３２】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、上記実施形態では、切断手段としてのダイカットローラ３１に保持手段３１ｂを設けることで、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを剥離シートＲＬから浮き上がらせる浮上げ手段が切断手段３と一体化されることになるが、切断手段３とは別に浮上げ手段を設けることも可能である。つまり、切断手段３よりも繰出方向ＳＤ下流側に、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを保持する保持手段と、この保持手段を剥離シートＲＬから離隔接近する方向に移動する駆動手段とから成る浮上げ手段を配置してもよい。但し、上記実施形態のように浮上げ手段を切断手段３と一体化した方が構造の簡素化を図ることができ、有利である。尚、保持手段３１ｂは、吸引孔に限定されず、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを接着剤や粘着剤等で保持したり、チャックシリンダ等の駆動機器で把持したりするものであってもよい。
【００３３】
また、保持手段３１ｂを設けずに浮上げ手段を構成することも可能である。即ち、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａに合致する切り込み部分ＣＵａから切断刃３１ａが抜け出る際に、ダイカットローラ３１の周速度が当該ダイカットローラ３１の繰出方向ＳＤへの移動速度よりも速くなるように速度制御することである。これによれば、図５に示す如く、切断刃３１ａが接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａに対し反繰出方向への相対速度を持って移動するため、接着シートＡＳの搬送方向先端部ＡＳａを切断刃３１ａでえぐるように剥離シートＲＬから浮き上がらせることができる。尚、上記速度制御は、切り込み部分ＣＵａから切断刃３１ａが抜け出る際に、ダイカットローラ３１の回転速度を増速することと、ダイカットローラ３１の繰出方向ＳＤへの移動速度を減速することとの少なくとも一方により行うことができる。また、ダイカットローラ３１に保持手段３１ｂを設けると共に上記速度制御を行うようにしてもよい。
【００３４】
また、上記実施形態は、ウエハＷＦ及びリングフレームＲＦから成る被着体を搬送しつつ接着シートＡＳを貼付しているが、被着体を停止させた状態で装置フレーム６を駆動機器によって右方向に移動させたり、被着体の左方向への移動と、装置フレーム６の右方向への移動とを同時に行うようにしたりしてもよい。
更に、剥離手段で剥離された接着シートを吸着保持する吸着パッドとその移動手段とを設け、この吸着パッドを移動手段で被着体の直上位置に移動させて押し下げることにより、接着シートを被着体に押圧して貼付してもよい。この場合、吸着パッドとその移動手段とで押圧手段が構成されることになる。
また、押圧手段は、押圧ローラ５１以外に、気体を吹き付けたり、板状の部材等で構成したりすることにより、接着シートを被着体に押圧して貼付するものであってもよい。
【００３５】
更に、切り込みＣＵの形状は、円形、多角形、楕円形、又はそれらが組み合わさった形状のもの等であってもよい。
また、上記実施形態では、ダイカットローラ３１を１回転させて接着シートＡＳを形成したが、ダイカットローラ３１に設けられた切断刃３１ａの数やその大きさ等に応じて半回転や３分の１回転等、１回転以下でもよいし、１回転半、２回転等の１回転以上でもよい。
更に、ダイカットローラ３１との間に原反ＲＳを挟み込む受け手段は、上記以外に、ダイカットローラ３１と同期して回転、移動可能なローラや、ダイカットローラ３１と同期して移動可能な圧縮エアの噴き付け部材等を採用することができるし、それらを組み合せることもできる。
【００３６】
また、剥離手段は、上述したものに限定されず、ガイド板やローラ等で剥離シートＲＬを折り曲げることにより、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離するものであってもよい。
また、第２の巻取軸２７を省略し、不要シート部分ＷＳａを剥離シートＲＬと共に巻取軸２６に巻き取るように構成してもよい。
【００３７】
更に、帯状シートＷＳや接着シートＡＳは、接着剤層ＡＤ単層のものでもよいし、単数又は複数の層からなる基材シートに接着剤層ＡＤが積層されたものでもよい。
また、被着体はウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに限定されるものではなく、リングフレームＲＦのないウエハＷＦ単体や、ガラス板、鋼板、陶器、木板、半導体基板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、更に、ウエハＷＦは、シリコーン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
更に、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートＡＳがラベルであってもよく、被着体がウエハであって、接着シートＡＳが保護シート、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。
また、接着シートＡＳは、上記に限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。
【００３８】
更に、上記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００３９】
ＷＦ…ウエハ（被着体）、ＲＦ…リングフレーム（被着体）、ＲＳ…原反、ＲＬ…剥離シート、ＷＳ…帯状シート、ＡＳ…接着シート、ＡＳａ…繰出方向先端部、ＣＵ…切り込み、ＣＬ…ローラ回転軸、ＤＭ６…回動モータ（浮上げ手段）、２…繰出手段、３…切断手段、３１…ダイカットローラ（浮上げ手段）、３１ａ…切断刃、３１ｂ…保持手段（浮上げ手段）、４…剥離手段、５…押圧手段。
【図１】
0005827524.tif 000002
【図２】
0005827524.tif 000003
【図３】
0005827524.tif 000004
【図４】
0005827524.tif 000005
【図５】
0005827524.tif 000006
【図６】
0005827524.tif 000007