(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のセル（３０）が格子状に配列されている検査対象物（１３）の格子面の画像を撮像する撮像手段（１２）と、
前記撮像手段（１２）で撮像した前記格子面の画像に対してブロブ解析を行い、前記格子面の画像において単一であると判定した前記セルの重心位置を実重心位置として算出する実位置算出手段（１８）と、
前記撮像手段（１２）で撮像した前記格子面の画像に対してモフォロジー処理を行いリブ欠けが生じていない仮想的な基準セルを生成し、当該基準セルの重心位置を基準重心位置として算出する基準位置算出手段（１９）と、
前記実位置算出手段（１８）で算出した前記実重心位置と前記基準位置算出手段（１９）で算出した前記基準重心位置とが一致するか否かを判定する判定手段（２０）と、
前記判定手段（２０）により一致しないと判定された前記基準重心位置を抽出し、抽出した前記基準重心位置のうち、隣接する前記基準重心位置間を結ぶ仮想的な線分上の中点をリブ欠け位置として特定するリブ欠け位置特定手段（２１）と、
を備えることを特徴とするリブ欠け検出装置。
【請求項２】
前記リブ欠け位置特定手段は、抽出した前記基準重心位置のうち、前記セルの配列方向に隣接する前記基準重心位置間を仮想的な線分で結ぶことを特徴とする請求項１記載のリブ欠け検出装置。
【請求項３】
前記リブ欠け位置特定手段は、前記ブロブ解析により単一であると判定した前記セルの領域に含まれる前記基準重心位置間の中点を前記リブ欠け位置として特定することを特徴とする請求項１または２記載のリブ欠け検出装置。
【請求項４】
前記ブロブ解析により単一であると判定した前記セルの領域内における前記実重心位置に基づいて、前記リブ欠け位置特定手段により特定されたリブ欠け位置のうちリブ欠けが生じていないと判定される位置を除外する除外手段（２２）をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項記載のリブ欠け検出装置。
【請求項５】
前記リブ欠け位置特定手段は、前記ブロブ解析により単一であると判定した前記セルの領域内に、重心位置が一致していると判定された前記基準重心位置が存在する場合、当該一致していると判定された前記基準重心位置を一致していない基準重心位置と仮定してリブ欠け位置を特定することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項記載のリブ欠け検出装置。
【請求項６】
複数のセルが格子状に配列されている検査対象物の格子面を撮像した画像に対してブロブ解析を行い、当該ブロブ解析により前記格子面の画像において単一であると判定した前記セルの重心位置を実重心位置として算出する実位置算出工程と、
複数のセルが格子状に配列されている検査対象物の格子面を撮像した画像に対してモフォロジー処理を行い、リブ欠けが生じていない仮想的な基準セルを生成し、当該基準セルの重心位置を基準重心位置として算出する基準位置算出工程と、
前記実位置算出工程で算出した前記実重心位置と前記基準位置算出工程で算出した前記基準重心位置とが一致するか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程において一致していないと判定された前記基準重心位置を抽出し、抽出した前記基準重心位置のうち隣接する前記基準重心位置間を結ぶ仮想的な線分上の中点をリブ欠け位置として特定するリブ欠け位置特定工程と、
を実行することを特徴とするリブ欠け検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の格子面におけるリブ欠けを検出するリブ欠け検出装置およびリブ欠け検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のセルが格子状に配列されている検査対象物の格子面を撮像し、撮像した画像に画像処理を施すことによりリブ欠けを検出することが行われている。例えば、特許文献１には、規則的な格子状パターンが形成されているモノリスの格子面を撮像し、画像をフーリエ変換した空間周波数データに基づいてモノリスの格子状パターンの欠陥の有無を判定する装置が記載されている。
【０００３】
しかしながら、検査対象物を例えば焼結体で形成した場合には、焼結時に格子状パターンすなわちセルの形状が変化することがある。また、検査対象物の外縁部に位置するセルは、その形状が中心側に位置するセルとは最初から異なっている。つまり、検査対象物は、必ずしもセルが規則的に配列されているわけではない。このため、セルが規則的に配列されているという前提に基づいた検査では、リブ欠けが生じているか否かを正しく検出することが困難であった。また、検査対象物は、一般的には微細なセルで構成されていること、また、例えば焼結体の場合には焼結時の変形に個体差が生じる可能性があることなどから、比較対象となる基準サンプルを採用すること、および予めそのような基準サンプルを要することも困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３２９７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、セルが規則的に配列されていない可能性がある検査対象物であっても、比較対象となる基準サンプルなどを必要とすることなくリブ欠けを検出可能なリブ欠け検出装置およびリブ欠け検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載のリブ欠け検出装置の発明は、検査対象物の格子面の画像を撮像する撮像手段で撮像した画像に対してブロブ解析を行うことで単一であると判定したセルの重心位置を実重心位置として算出するとともに、当該画像に対してモフォロジー処理を行うことでリブ欠けが生じていない基準セルを仮想的に生成して当該基準セルの重心位置を基準重心位置として算出し、実重心位置と基準重心位置とが一致しないと判定された基準重心位置のうち隣接する基準重心位置間を結ぶ仮想的な線分上の中点をリブ欠け位置として特定する。
【０００７】
これによれば、単一であると判定したセルの重心位置、より具体的には、リブ欠けが生じたことにより画像上では１つのセルと判定されたセルの重心位置を、リブ欠けを検出するための基準となる基準重心位置と比較する。この基準重心位置は、撮像手段で撮像された画像、すなわち、検査対象物の画像に基づいて算出される。そのため、予め比較対象となる基準サンプルなどを用意する必要がなく、また、基準重心位置を検査対象物ごとに算出することから個体差に影響されることもない。さらに、基準重心位置は、例えば検査対象物の外縁部であればその位置におけるセルの形状に応じた重心位置が基準重心位置として算出され、検査対象物の中心側であればその位置におけるセルの形状に応じた重心位置が基準重心位置として算出される。
【０００８】
このように算出した基準重心位置と実重心位置とを比較した際に重心位置が一致しないのは、実重心位置がリブ欠けにより本来の位置からずれている状態であると考えられる。そこで、基準重心位置間を結ぶ仮想的な線分上の中点をリブ欠け位置として特定することにより、セルの形状が検査対象物の外縁部と中心側とで異なっていたとしても、また、セルが規則的に配置されていない可能性がある検査対象物であっても、適切な基準重心位置を算出可能であることから、比較対象となる基準サンプルを必要とすることなくリブ欠けを検出することができる。
【０００９】
請求項７記載のリブ欠け検出方法の発明は、ブロブ解析を行うことで単一であると判定したセルの重心位置を実重心位置として算出する実位置算出工程と、モフォロジー処理を行うことでリブ欠けが生じていない仮想的な基準セルを生成して当該基準セルの重心位置を基準重心位置として算出する基準位置算出工程と、実重心位置と基準重心位置とが一致するか否かを判定する判定工程と、判定工程において一致していないと判定された基準重心位置を抽出し、隣接する基準重心位置間を結ぶ仮想的な線分上の中点をリブ欠け位置として特定するリブ欠け位置特定工程と、を実行する。これにより、上記した請求項１記載のリブ欠け検出装置の発明と同様に、セルの形状が検査対象物の外縁部と中心側とで異なっていたとしても、また、セルが規則的に配置されていない可能性がある検査対象物であっても、適切な基準重心位置を算出可能であることから、予め比較対象となる基準サンプルなどを必要とすることなくリブ欠けを検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態によるリブ欠け検出装置の構成を概略的に示す図
【図２】モノリスの格子面を模式的に示す図
【図３】図２のIII領域を拡大した図
【図４】図２のIＶ領域を撮像した図
【図５】図２のＶ領域を撮像した図
【図６】図２のＶI領域を撮像した図
【図７】画像処理装置によるリブ欠け検出処理の流れを示す図
【図８】実重心位置の算出の手順を模式的に示す図その１
【図９】実重心位置の算出の手順を模式的に示す図その２
【図１０】実重心位置の算出の手順を模式的に示す図その３
【図１１】基準重心位置の算出の手順を模式的に示す図その１
【図１２】基準重心位置の算出の手順を模式的に示す図その２
【図１３】基準重心位置の算出の手順を模式的に示す図その３
【図１４】基準重心位置の算出の手順を模式的に示す図その４
【図１５】重心位置の判定結果を模式的に示す図
【図１６】リブ欠け位置の特定結果を模式的に示す図
【図１７】リブ欠け位置の検出結果を模式的に示す図
【図１８】格子面におけるリブ欠け位置の検出結果を模式的に示す図
【図１９】図１８のＸＩＸ領域を拡大した図
【図２０】第２実施形態において検査対象するモノリスを模式的に示す図
【図２１】リブ欠け検出の具体例を示す図その１
【図２２】リブ欠け検出の具体例を示す図その２
【図２３】リブ欠け検出の具体例を示す図その３
【図２４】リブ欠け検出の具体例を示す図その４
【図２５】リブ欠け検出の具体例を示す図その５
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の複数の実施形態によるリブ欠け検出装置およびリブ欠け検出方法について、図面を参照しながら説明する。以下に説明する複数の実施形態では実質的に同一の構成部位には同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態によるリブ欠け検出装置およびリブ欠け検出方法について、図１から図１９を参照しながら説明する。
【００１２】
図１に示すように、第１実施形態によるリブ欠け検出装置１０は、画像処理装置１１およびカメラ１２で構成されており、検査対象物であるモノリス１３を検査する。画像処理装置１１は、制御部１４、入力部１５、記憶部１６および表示部１７を備えている。制御部１４は、図示しないＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭおよび入出力インターフェースなどを有するコンピュータで構成されている。制御部１４は、ＲＯＭや記憶部１６などに記憶されているコンピュータプログラムに従って、リブ欠け検出装置１０の全体を制御する。
【００１３】
画像処理装置１１の入力部１５には、カメラ１２が接続されている。カメラ１２は、いわゆるＣＣＤやＣＭＯＳなどの撮像素子を有しており、モノリス１３を撮像する。本実施形態ではカラー撮像可能なカメラ１２を採用しているが、モノクロ撮像可能なものであってもよい。カメラ１２は、特許請求の範囲に記載した撮像手段に相当する。また、モノリス１３は、特許請求の範囲に記載した検査対象物に相当する。
記憶部１６は、各種のデータを読み書き可能な記憶媒体で構成されており、リブ欠け検出装置１０を制御するためのコンピュータプログラムや、カメラ１２で撮像した画像、並びに当該画像に対して画像処理を行うためのアプリケーションプログラムや各種のデータなども記憶している。表示部１７は、例えば液晶ディスプレイなどであり、カメラ１２で撮像した画像の表示や、後述する検査結果の表示などを行う表示手段として機能する。
【００１４】
また、制御部１４は、実位置算出部１８、基準位置算出部１９、判定部２０、リブ欠け位置特定部２１および除外部２２を有している。実位置算出部１８は特許請求の範囲に記載した実位置算出手段に相当し、基準位置算出部１９は特許請求の範囲に記載した基準位置算出手段に相当し、判定部２０は特許請求の範囲に記載した判定手段に相当し、リブ欠け位置特定部２１は特許請求の範囲に記載したリブ欠け位置特定手段に相当し、除外部２２は特許請求の範囲に記載した除外手段に相当する。これら実位置算出部１８、基準位置算出部１９、判定部２０、リブ欠け位置特定部２１および除外部２２は、本実施形態では制御部１４のＣＰＵにより実行されるコンピュータプログラムによってソフトウェア的に実現されている。なお、これら各部は、ハードウェア的に実現してもよい。
【００１５】
各部の詳細は後述するが、実位置算出部１８は、単一と判定したセルの重心位置を実重心位置として算出する。基準位置算出部１９は、リブ欠けがないと仮定した基準セルの重心位置を基準重心位置として算出する。判定部２０は、実重心位置と基準重心位置とが一致するか否かを判定する。リブ欠け位置特定部２１は、判定部２０の判定結果に基づいて、リブ欠け位置を特定する。除外部２２は、詳細については第２実施形態にて説明するが、リブ欠け位置特定部２１により特定されたリブ欠け位置のうち、実際にはリブ欠けが生じていないと判定される箇所を除外する。
【００１６】
モノリス１３は、図１および図２に示すように、概ね円柱状に形成されているとともに、軸方向に貫通する複数のセルを有している。モノリス１３の軸方向の端面すなわちカメラ１２に対向している側の端面が格子面に相当する。本実施形態の場合、モノリス１３は、例えばセラミックスのような焼結体で形成されている。このモノリス１３は、図３に示すように、概ね６角形のセル３０が格子状に配列されており、各セル３０間がリブ３１により仕切られている。ここで、各セル３０が隣接している方向、より具体的には、矢印Ｙ１、矢印Ｙ２および矢印Ｙ３にて示される方向（図３の場合、３方向）が、特許請求の範囲に記載した「セルの配列方向」に相当する。
【００１７】
次に、上記した構成のリブ欠け検出装置１０の作用について、リブ欠け検出方法の流れとともに説明する。
さて、モノリス１３は、例えば焼結時にリブ３１の一部が破損することなどにより、リブ欠けが生じることがある。なお、図３では、リブ欠けが生じた箇所をリブ欠け位置Ｐとして示している。このようなモノリス１３は、図４に示すように、その外縁部と中心側とでセル３０（図４では黒の部分）の形状が異なっている。また、モノリス１３は、焼結時に縮むことによりその全体が変形し、図５および図６に示すように、各セル３０の重心位置Ｘ（図５、図６では白丸にて示す）が、外縁側に位置するセル３０（図５参照）と中心側に位置するセル３０（図６参照）を含む配列方向に沿った直線Ｙ（例えば、ハフ変換により算出されるセル３０の中心を通る直線）に一致しない場合がある。さらに、モノリス１３は、焼結時に必ずしも同様の変形をするわけではない。このため、本実施形態のように検査対象物として焼結体のモノリス１３を想定している場合、全てのモノリス１３に適用可能な基準サンプルを採用することは、容易ではない。
【００１８】
そこで、リブ欠け検出装置１０は、以下に説明するように、図７に示すリブ欠け検出処理を実行することでリブ欠けの検出を行っている。なお、リブ欠け検出処理は例えば実位置算出部１８などの各部によってそれぞれ実行される処理を含んでいるものの、説明の簡略化のため、制御部１４を主体として説明する。
【００１９】
制御部１４は、まずモノリス１３の格子面をカメラ１２により撮像する（ステップＳ１：撮像工程）。続いて、制御部１４は、撮像した画像に対してブロブ解析を行うことで、各セル３０の重心位置である実重心位置Ｒを算出する（ステップＳ２：実位置算出工程）。ここで、ブロブ解析とは、周知の画像処理手法であることから詳細な説明は省略するが、画像を所定の閾値で二値化し、二値化した画像の明部および暗部（通常は明部が白、暗部が黒）のうちいずれか一方をブロブ（明部あるいは暗部の塊）として、その数や面積、位置などの特徴を解析する手法である。以下、画像の明部を白、暗部を黒と称して説明する。なお、画像データとしては、白が１、黒が０のデータに対応する。また、以下に説明する図８から図１９においては、セル３０およびリブ３１の符号を省略する。
【００２０】
図８は、モノリス１３の格子面の一部を撮像した画像を二値化したものであり、白い領域がリブ３１、黒い領域がセル３０を示している。より詳細には、図８は、中央付近の部位においてリブ欠けが発生している状態を撮像した画像であり、二値化した結果、リブ欠け位置Ｐの左右に位置する２つのセル３０がつながって１つのブロブになっている状態を示している。また、他の部位では、リブ欠けが発生しておらず、１つのセル３０が１つのブロブとして判定されている。この場合、制御部１４は、連続した白の集合で囲まれている黒の集合を１つのブロブすなわち単一のセル３０と判定することになる。
【００２１】
続いて、制御部１４は、図８に示す画像に対してブロブ解析を行い、それぞれのブロブの重心位置を、実重心位置Ｒとして算出する。図９は、算出した実重心位置Ｒを白丸の記号で示している。なお、図９に示す実重心位置Ｒ１については、後述する。実重心位置Ｒを算出すると、制御部１４は、算出した実重心位置Ｒを図１０に示すように抽出する。なお、図９および図１０では、実重心位置Ｒの符号の図示を一部省略している。
このように、制御部１４は、撮像した画像に対してブロブ解析を行うことで、実重心位置Ｒを算出している。
【００２２】
実重心位置Ｒを算出すると、制御部１４は、図７に示すリブ欠け検出処理において、撮像した画像（図８参照）に対してモフォロジー処理を行うことにより、基準重心位置Ｓを算出する（ステップＳ３：基準位置算出工程）。ここで、モフォロジー処理とは、周知の画像処理手法であるため詳細な説明は省略するが、二値化した画像に含まれる例えば白の領域に対して膨張（１画素増やす）および収縮（１画素減らす）を繰り返し行い、画像の平滑化や孤立点の除去などを行う処理である。本実施形態の場合、制御部１４は、図８の画像の白の領域（つまり、リブ３１の領域）を膨張させることで、図１１に示すように、仮想的にリブ欠けがない状態を示す画像を生成している。
【００２３】
続いて、制御部１４は、図１１に示す画像における黒のブロブ、すなわち、リブ欠けが生じていない仮想的な基準セルにおける重心位置を、基準重心位置Ｓ（図１１では白丸の記号にて示す）として算出する。なお、図１１に示す基準重心位置Ｓ１、Ｓ２については、後述する。基準重心位置Ｓを算出すると、制御部１４は、図１２に示すように基準重心位置Ｓを抽出し、その抽出結果の画像を白黒反転させることにより、図１３に示すマスキング画像を生成する。このマスキング画像では、画像データの値は、基準重心位置Ｓが０（黒）、それ以外が１（白）になっている。
このように、制御部１４は、リブ欠けが生じていないと仮定した場合における重心位置を、基準重心位置Ｓとして算出している。
【００２４】
実重心位置Ｒおよび基準重心位置Ｓを算出すると、制御部１４は、図７に示すリブ欠け検出処理において、重心位置を判定する（ステップＳ４：判定工程）。具体的には、制御部１４は、実重心位置Ｒの抽出結果の画像（図１０）と基準重心位置Ｓの抽出結果から生成したマスキング画像（図１４）との論理積（ＡＮＤ）演算を行う。その結果、図１５に示すように、実重心位置Ｒと一致しなかった基準重心位置Ｓである不一致重心位置Ｔが抽出される。より具体的には、図１０の実重心位置Ｒ１がリブ欠けにより本来の位置とはずれていることから、図１３に示す基準重心位置Ｓ１に対応する箇所がマスキング画像によりマスクされずに図１５に示す不一致重心位置Ｔ１として検出され、図１３に示す基準重心位置Ｓ１に対応する箇所がマスキング画像によりマスクされずに図１５に示す不一致重心位置Ｔ２として検出される。なお、図１５では、符号を付す関係上、論理積演算を行った画像を白黒反転させた状態を示している。
このように、制御部１４は、実重心位置Ｒと基準重心位置Ｓとが一致するか否かの判定を行っている。
【００２５】
続いて、制御部１４は、図７に示すリブ欠け検出処理において、リブ欠け位置Ｐを特定する（ステップＳ５：リブ欠け位置特定工程）。基準重心位置Ｓと実重心位置Ｒとを比較した際に各重心位置が一致しないのは、上記したように実重心位置Ｒがリブ欠けにより本来の位置からずれている状態であると考えられる。また、そのような状態においては、隣接する不一致重心位置Ｔの間でリブ欠けが生じていると考えられる。
【００２６】
そこで、制御部１４は、図１６に示すように、隣接する不一致重心位置Ｔ間、すなわち、実重心位置Ｒとの間にずれが生じている基準重心位置Ｓ間を仮想的な線分Ｌ１にて結び、その線分Ｌ１上の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定する。そして、制御部１４は、図１７に示すように、特定したリブ欠け位置Ｐをモノリス１３の格子面の実画像上に表示する。なお、図１７では、符号を付す関係上、実画像を反転させた状態で示している。また、制御部１４は、上記したリブ欠け位置Ｐの特定をモノリス１３の格子面の全体に対して行い、図１８に示すように、モノリス１３の格子面におけるリブ欠け位置Ｐの表示も行う。
このように、制御部１４は、実重心位置Ｒと基準重心位置Ｓとを比較することにより、リブ欠け位置Ｐを特定している。
【００２７】
以上説明したリブ欠け検出装置１０およびリブ欠け検出方法によれば、次のような効果を奏する。
【００２８】
モノリス１３の格子面を撮像した画像に対してブロブ解析を行うことで単一であると判定したセル３０の重心位置、より具体的には、リブ欠けが生じたことにより画像上では１つのセル３０と判定されたセル３０の重心位置を算出し、モフォロジー処理を行うことでリブ欠けが生じていない基準セルを仮想的に生成して当該基準セルの重心位置を基準重心位置Ｓとして算出する。この場合、リブ欠けにより実重心位置Ｒが本来の位置からずれている場合には基準重心位置Ｓと一致しないことと考えられる。また、そのリブ欠けは、一致しない基準重心位置Ｓの間に存在すると考えられる。そこで、実重心位置Ｒと基準重心位置Ｓとを比較し、不一致重心位置Ｔ間すなわち重心位置が一致しないと判定した基準重心位置Ｓ間結ぶ仮想的な線分Ｌ１上の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定することにより、リブ欠けを検出することができる。
【００２９】
この場合、基準重心位置Ｓを検査対象となるモノリス１３の格子面の画像に基づいて算出していることから、予め比較対象となる基準サンプルなどを必要とすることなく、また、焼結時にその収縮態様が異なる可能性のあるモノリス１３のリブ欠けを的確に検出することができる。また、基準重心位置Ｓを検査ごとに個別に算出することから個体差に影響されることがない。
【００３０】
この場合、例えばリブ３１の端部側にリブ欠けが生じた場合には実際のリブ欠け位置Ｐが線分Ｌ１上の中点ではない状況も発生し得る。しかし、実際のリブ３１は微細な構造であることから、検査装置としての観点から言えば、両者が一致していると判定しても現実的な問題生じる可能性は低いと言える。つまり、図１８に示すように格子面のどの位置にリブ欠けが生じているかを表示すれば、リブ欠けを検出するための装置としての機能は十分に果たしていると言える。
【００３１】
撮像した画像から抽出されるセル３０やリブ３１の形状ではなく、画像に基づいて算出した実重心位置Ｒと基準重心位置Ｓとが一致するか否かに基づいてリブ欠け位置Ｐを特定しているので、セル３０の形状がモノリス１３の外縁部と中心側とで異なっていたとしても、また、セル３０が規則的に配置されていない可能性があるモノリス１３であっても、適切にリブ欠け位置Ｐを特定ことができる。そのため、例えば図１９に示すように、モノリス１３の外縁部において形状が異なるセル３０間にリブ欠けが生じたているような状態、つまり、従来では検出が困難な状態であっても、リブ欠けを検出することができる。
【００３２】
このように、実位置算出工程、基準位置算出工程、判定工程、およびリブ欠け位置特定工程を実行するリブ欠け検出方法を採用すれば、上記したリブ欠け検出装置１０と同様に、セル３０の形状あるいはセル３０が規則的に配置されていない可能性があるモノリス１３であっても、適切にリブ欠けを検出することができる。
【００３３】
（第２実施形態）
以下、本発明の第２実施形態によるリブ欠け検出装置およびリブ欠け検出方法について、図２０から図２６を参照しながら具体例とともに説明する。なお、リブ欠け検出装置の構成は第１実施形態と共通するので、図１をも参照して説明する。
リブ欠け検出装置１０は、例えば図２０（Ａ）に示すような四角形のセル３０であっても、リブ欠けを検出することができる。制御部１４は、第１実施形態と同様にモーフィング処理を行うことにより、図２０（Ｂ）に示すように基準重心位置Ｓを算出する。以下、このような形状のモノリス１３におけるリブ欠けの具体例を例示しながら説明する。
【００３４】
＜具体例１＞
具体例１は、図２１（Ａ）に示すように、隣接するセル３０ａとセル３０ｂの間のリブ３１ａにリブ欠けが生じている状態である。この場合、制御部１４は、ブロブ解析を行うことにより図２１（Ｂ）に示すように実重心位置Ｒを算出する。そして、実重心位置Ｒと基準重心位置Ｓとが一致するか否かの判定に基づいて、図２１（Ｃ）に示すようにリブ欠け位置Ｐを特定する。
このように、リブ欠け検出装置１０は、セル３０が四角形に形成されたモノリス１３であっても、第１実施形態と同様にリブ欠けを検出することができる。
【００３５】
＜具体例２＞
具体例２は、図２２（Ａ）に示すように、隣接するセル３０ａとセル３０ｂとの間のリブ３１ａ、および、異なる配列方向に隣接するセル３０ａとセル３０ｃとの間のリブ３１ｂにリブ欠けが生じている状態である。制御部１４は、ブロブ解析を行うことにより実重心位置Ｒを図２２（Ｂ）のように算出する。その結果、不一致重心位置Ｔは、図２２（Ｃ）に示すように３つ算出されることになる。この場合、単純に隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定すると、画像中央付近のリブ３１の交点もリブ欠け位置Ｐとして特定されてしまう。
【００３６】
そこで、制御部１４は、近接して複数抽出された不一致重心位置Ｔのうち、セル３０の配列方向（図２２の場合、左右方向および上下方向の２方向）に隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定する。この場合、配列方向は、上記した例えばハフ変換などの画像処理手法を用いることにより、セル３０の中心を通る直線として算出することができる。そして、配列方向に隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定することにより、配列方向に隣接しない不一致重心位置Ｔ間の中点、例えば、図２２の画像中央付近のリブ３１の交点は、リブ欠け位置Ｐとして誤って特定されることがなくなる。
このように、複数の不一致重心位置Ｔが近傍に検出された場合にはセル３０の配列方向に隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定することにより、リブ欠けを誤って検出するおそれを低減することができる。
【００３７】
＜具体例３＞
具体例３は、図２３（Ａ）に示すように、セル３０ａとセル３０ｂとの間のリブ３１ａ、セル３０ａとセル３０ｃとの間のリブ３１ｂ、およびセル３０ｃとセル３０ｄとの間のリブ３１ｃにリブ欠けが生じている状態である。この場合、リブ欠け検出装置１０は、除外部２２によって、リブ欠けが生じていない箇所を除外する。図２３（Ａ）の場合、４つのセル３０ａ〜３０ｄが単一であると判定される（１つのブロブと見なされる）。その結果、実重心位置Ｒは、図２３（Ｂ）に示す位置に検出され、実重心位置Ｒと一致しない基準重心位置Ｓとして、図２３（Ｃ）に示す４つの不一致重心位置Ｔが抽出される。この場合、セル３０の各配列方向における不一致重心位置Ｔ間の中点が４つ検出されることから、４つのリブ欠け位置Ｐが特定されることになる。しかし、実際には、リブ３１の交点から右方に延びるリブ３１ｄにはリブ欠けが生じていない。
【００３８】
そこで、除外部２２は、実重心位置Ｒが画像中央に対していずれの方向にあるか基づいて、換言すると、実重心位置Ｒがブロブ解析により単一であると判定した領域内のどの位置であるかに基づいて、リブ欠けが生じていない箇所を除外する。具体的には、除外部２２は、図２３（Ｃ）に示すように、セル３０の配列方向に隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点を通る仮想線Ｌ２、Ｌ３を設定する。この仮想線Ｌ２、Ｌ３は、図２３（Ｂ）に示すようにリブ３１の位置に一致する。図２３（Ｃ）の場合、実重心位置Ｒが仮想線Ｌ２よりも左方にある。この場合、仮想線Ｌ２よりも左側の領域の重みが、仮想線Ｌ２よりも右側の重みよりも大きいことが分かる。つまり、仮想線Ｌ２よりも左側にリブ欠けが生じた結果、左側の領域が大きくなったと判定できる。
【００３９】
そして、除外部２２は、図２３（Ｃ）では４つ特定されているリブ欠け位置Ｐのうち、仮想線Ｌ２よりも右側に特定されたリブ欠け位置Ｐを除外する。これにより、実際にはリブ欠けが生じていない部位を除外でき、リブ欠け位置Ｐをより正確に特定することができる。同様に、例えば重心位置が仮想線Ｌ２よりも右方に位置していれば左方のリブ欠け位置Ｐが除外され、重心位置が仮想線Ｌ３よりも上方にあれば下方のリブ欠け位置Ｐが除外され、重心位置が仮想線Ｌ３よりも下方にあれば上方のリブ欠け位置Ｐが除外されることになる。
このように、実重心位置がどの位置にあるかに基づいて、特定したリブ欠け位置のうち正しくない箇所を除外することができる。したがって、より正確にリブ欠けを検出することができる。
【００４０】
＜具体例４＞
具体例４は、図２４（Ａ）に示すモノリス１３を想定している。この場合、モノリス１３は、セル３０ｅとセル３０ｆ間のリブ３１ｅ、セル３０ｇとセル３０ｈ間のリブ３１ｇにそれぞれリブ欠けが生じている。この場合、実重心位置は、ブロブ解析により図２４（Ｂ）のように算出される。一方、基準重心位置Ｓは、モフォロジー処理により図２４（Ｃ）に示すように算出される。そして、実重心位置Ｒと一致しない基準重心位置Ｓは、図２４（Ｄ）のように４つ抽出されることになる。この状態で隣接する不一致重心位置Ｔ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定すると、図２４（Ｄ）に三角の記号にて示す位置Ｐｅ（リブ３１ｆの中央）もリブ欠けが生じていると判定されることになる。しかし、実際には、リブ３１ｆにはリブ欠けは生じていない。
【００４１】
そこで、制御部１４は、単一と判定したセル３０の領域Ｕ内に含まれる不一致重心位置Ｔ間についてのみ、その中点をリブ欠け位置Ｐとして特定する。その結果、図２４（Ｅ）に示すように、２つの領域Ｕにおいてそれぞれリブ欠け位置Ｐが特定される一方、領域Ｕから外れている不一致重心位置Ｔの間の中点は、リブ欠け位置Ｐとして特定されることがない。つまり、図２４（Ｆ）に示すように、リブ欠け位置Ｐを正しく特定することができる。
このように、ブロブ解析により単一であると判定したセル３０の領域Ｕに含まれる不一致重心位置Ｔ間の中点、すなわち、重心位置が一致しないと判定した基準重心位置Ｓ間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定することで、リブ欠けを誤って検出することを防止することができる。
【００４２】
＜具体例５＞
具体例４は、図２４（Ａ）に示すモノリス１３を想定している。この場合、モノリス１３は、セル３０ｉとセル３０ｊ間のリブ３１ｉ、セル３０ｊとセル３０ｋ間のリブ３１ｊにそれぞれリブ欠けが生じている。この場合、セル３０ｉ〜３０ｋが１つのブロブとして判定される。このため、図２４に示すように、４箇所の実重心位置Ｒが算出され、基準重心位置Ｓと比較されることによって破線にて示す２箇所の不一致重心位置Ｔが抽出される。つまり、偶然、実重心位置Ｒとセル３０ｊの基準重心位置Ｓとが一致した結果、不一致重心位置Ｔが隣接しない状態が発生し、リブ欠け位置Ｐを特定することができなくなる。
【００４３】
そこで、リブ欠け検出装置１０は、１つのブロブ、すなわち、ブロブ解析により単一であると判定したセル３０の領域Ｕ内において、不一致重心位置Ｔ間に基準重心位置Ｓが存在する場合には、その基準重心位置Ｓを不一致重心位置Ｔとして仮定する。そして、領域Ｕ内における各不一致重心位置Ｔに対して、その間の中点をリブ欠け位置Ｐとして特定する。これより、図２５（Ｃ）に示すように、正しい位置を特定することができる。
【００４４】
（その他の実施形態）
本発明は、一実施形態で例示したものに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で適宜変形または拡張することができる。
各実施形態では検査対象物としてモノリス１３を想定したが、モノリス１３に限らず、格子構造を有するものであれば検査対象物とすることができる。
各実施形態で示したモノリス１３の構造は一例であり、他の構造例えば８角形のセル３０などであってもよい。またモノリス１３は、焼結体に限らず、他の材料で形成されたモノリス１３であってもよい。すなわち、焼結体のようにセル３０が変形することが無く、セル３０の形状がモノリス１３全体で同一であったり、セル３０が規則的に配置されていたりするモノリス１３であってもよい。
【００４５】
図８に示すステップＳ２の実位置算出工程とステップＳ３の基準位置算出工程とは、順序を入れ替えてもよいし、並列して処理を実行してもよい。
図１４に示すマスキング画像を生成する場合、例えば実重心位置Ｒを抽出（図１０）した際に抽出結果を白（１）とした場合や基準重心位置Ｓを抽出（図１３）した抽出結果を白とした場合、あるいは判定処理にて利用する演算式によっては、必ずしも抽出画像（図１３）を白黒反転させる必要はない。
第２実施形態の各具体例による手法を組み合わせてリブ欠け検出を行う構成としてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
図面中、１０はリブ欠け検出装置、１２はカメラ（撮像手段）、１３はモノリス（検査対象物）、１８は実位置算出部（実位置算出手段）、１９は基準位置算出部（基準位置算出手段）、２０は判定部（判定手段）、２１はリブ欠け位置特定部（リブ欠け位置特定手段）、２２は除外部（除外手段）を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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