(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の直流電力を正極側電源線及び負極側電源線へ出力する共通の直流電源と、
前記正極側電源線及び前記負極側電源線に対して並列に接続され、第２の直流電力を個別の負荷へそれぞれ出力する複数の直流／直流コンバータユニットと、
を備え、
前記各直流／直流コンバータユニットは、
前記正極側電源線及び前記負極側電源線に接続され、前記第１の直流電力を入力する正極側入力端子及び負極側入力端子と、
入力された前記第１の直流電力を所定レベルの前記第２の直流電力に変換する直流／直流コンバータと、
変換された前記第２の直流電力を前記個別の負荷へ出力する正極側出力端子及び負極側出力端子と、
をそれぞれ有する電源装置であって、
前記正極側電源線と接地電極との間に接続され、前記複数の直流／直流コンバータユニットの内のある直流／直流コンバータユニットが停止状態で、且つこの停止状態の直流／直流コンバータユニットに接続された前記個別の負荷が無負荷の場合において、運転状態にある他の前記直流／直流コンバータユニットから発生した漏れ電圧パルスによる高調波電流を、前記正極側電源線を経由して前記接地電極側へ流す第１のコンデンサと、
前記負極側電源線と前記接地電極との間に接続され、前記高調波電流を、前記負極側電源線を経由して前記接地電極側へ流す第２のコンデンサと、
を設けたことを特徴とする電源装置。
【請求項２】
第１の直流電力を正極側電源線及び負極側電源線へ出力する共通の直流電源と、
前記正極側電源線及び前記負極側電源線に対して並列に接続され、第２の直流電力を個別の負荷へそれぞれ出力する複数の直流／直流コンバータユニットと、
を備え、
前記各直流／直流コンバータユニットは、
前記正極側電源線及び前記負極側電源線に接続され、前記第１の直流電力を入力する正極側入力端子及び負極側入力端子と、
入力された前記第１の直流電力を所定レベルの前記第２の直流電力に変換する直流／直流コンバータと、
変換された前記第２の直流電力を前記個別の負荷へ出力する正極側出力端子及び負極側出力端子と、
をそれぞれ有する電源装置であって、
前記各直流／直流コンバータユニットにおける前記各正極側入力端子側と接地電極との間に接続され、前記複数の直流／直流コンバータユニットの内のある直流／直流コンバータユニットが停止状態で、且つこの停止状態の直流／直流コンバータユニットに接続された前記個別の負荷が無負荷の場合において、運転状態にある他の前記直流／直流コンバータユニットから発生した漏れ電圧パルスを、前記正極側入力端子側を経由して前記接地電極側へ流す第３のコンデンサと、
前記各直流／直流コンバータユニットにおける前記各負極側入力端子側と前記接地電極との間に接続され、前記漏れ電圧パルスを、前記負極側入力端子側を経由して前記接地電極側へ流す第４のコンデンサと、
を設けたことを特徴とする電源装置。
【請求項３】
前記正極側電源線と前記接地電極との間には、第１のコンデンサが接続され、
前記負極側電源線と前記接地電極との間には、第２のコンデンサが接続されていることを特徴とする請求項２記載の電源装置。
【請求項４】
前記直流電源は、
第１の交流電力を整流して前記第１の直流電力を出力する整流回路を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の電源装置。
【請求項５】
前記直流／直流コンバータは、
入力された前記第１の直流電力をスイッチングして第２の交流電力に変換するスイッチ部と、
変換された前記第２の交流電力における第１の電圧を前記所定レベルの第２の電圧に変換する変圧器と、
変換された前記第２の電圧を有する第３の交流電力を整流して前記第２の直流電力を出力する整流部と、
を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の電源装置。
【請求項６】
前記整流部の出力側には、前記整流部の出力電力を平滑する平滑部が接続されていることを特徴とする請求項５記載の電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の直流／直流（以下「ＤＣ／ＤＣ」という。）コンバータユニットを備えた多出力の電源装置に係り、特に、ＤＣ／ＤＣコンバータユニットにおける出力漏れ電圧の低減技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献３等に記載されたＤＣスパッタ電源装置等の電源装置は、ＤＣ電力を入力して所定レベルのＤＣ電力に変換するＤＣ／ＤＣコンバータユニットを備えている。
【０００３】
このようなＤＣ／ＤＣコンバータユニットを複数用いて、共通のＤＣ電源に対し、それらの複数のＤＣ／ＤＣコンバータユニットを並列に接続して多出力の電源装置を構成する技術が知られている。多出力の電源装置では、複数の出力端子にＤＣスパッタ装置等の負荷をそれぞれ接続し、それらの各負荷へＤＣ電力を供給して、複数の負荷の並列運転が可能な構成になっている。
【０００４】
複数の出力端子を有する多出力の電源装置では、出力端子間において出力漏れ電圧が発生することが、特許文献１、２等に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２６１１１５号公報
【特許文献２】特開２００５−１４３１５４号公報
【特許文献３】特開２００９−２３２５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の多出力の電源装置では、複数のＤＣ／ＤＣコンバータユニットのうち、出力オンの運転状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットがある場合、この出力漏れ電圧により、出力オフの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットの出力側に高電圧が出力され、この高電圧発生によって感電のおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のうちの第１の発明の電源装置は、第１のＤＣ電力を正極側電源線及び負極側電源線へ出力する共通のＤＣ電源と、前記正極側電源線及び前記負極側電源線に対して並列に接続され、第２のＤＣ電力を個別の負荷へそれぞれ出力する複数のＤＣ／ＤＣコンバータユニットと、を備え、前記各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットは、前記正極側電源線及び前記負極側電源線に接続され、前記第１のＤＣ電力を入力する正極側入力端子及び負極側入力端子と、入力された前記第１のＤＣ電力を所定レベルの前記第２のＤＣ電力に変換するＤＣ／ＤＣコンバータと、変換された前記第２のＤＣ電力を前記個別の負荷へ出力する正極側出力端子及び負極側出力端子と、をそれぞれ有する電源装置であって、第１のコンデンサと第２のコンデンサと、を設けたことを特徴とする。
【０００８】
前記第１のコンデンサは、前記正極側電源線と接地電極との間に接続され、前記複数のＤＣ／ＤＣコンバータユニットの内のあるＤＣ／ＤＣコンバータユニットが停止状態で、且つこの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットに接続された前記個別の負荷が無負荷の場合において、運転状態にある他の前記ＤＣ／ＤＣコンバータユニットから発生した漏れ電圧パルスによる高調波電流を、前記正極側電源線を経由して前記接地電極側へ流すものである。更に、前記第２のコンデンサは、前記負極側電源線と前記接地電極との間に接続され、前記高調波電流を、前記負極側電源線を経由して前記接地電極側へ流すものである。
【０００９】
第２の発明の電源装置では、第１の発明の第１及び第２のコンデンサに代えて、第３及び第４のコンデンサが設けられている。前記第３のコンデンサは、前記各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットにおける前記各正極側入力端子側と接地電極との間に接続され、前記複数のＤＣ／ＤＣコンバータユニットの内のあるＤＣ／ＤＣコンバータユニットが停止状態で、且つこの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットに接続された前記個別の負荷が無負荷の場合において、運転状態にある他の前記ＤＣ／ＤＣコンバータユニットから発生した漏れ電圧パルスを、前記正極側入力端子側を経由して前記接地電極側へ流すものである。更に、前記第４のコンデンサは、前記各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットにおける前記各負極側入力端子側と前記接地電極との間に接続され、前記漏れ電圧パルスを、前記負極側入力端子側を経由して前記接地電極側へ流すものである。
【００１０】
第３の発明の電源装置は、前記第２の発明の電源装置において、前記正極側電源線と前記接地電極との間に、第１のコンデンサが接続され、更に、前記負極側電源線と前記接地電極との間に、第２のコンデンサが接続されている。
【発明の効果】
【００１１】
第１、第２及び第３の発明の電源装置によれば、出力オンの運転状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットから、出力オフの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットへの出力漏れ電圧による電流が、第１及び第２のコンデンサ、あるいは第３及び第４のコンデンサを介して、接地電極側へ流れる。そのため、出力オフの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニットから負荷側に対する発生電圧を感電しないレベルに低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は本発明の実施例１における電源装置を示す概略の構成図である。
【図２】図２は図１中の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットの構成例を示す回路図である。
【図３】図３は図１中のＤＣ／ＤＣコンバータ内部のパルスＰ１及び漏れ電圧パルスＰ２を示す動作波形図である。
【図４】図４は本発明の実施例２における各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットの構成例を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態は、以下の好ましい実施例の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、明らかになるであろう。但し、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の範囲を限定するものではない。
【実施例１】
【００１４】
（実施例１の構成）
図１は、本発明の実施例１における電源装置を示す概略の構成図である。
【００１５】
この電源装置は、例えば、多出力のＤＣスパッタ電源装置であり、第１のＤＣ電力を供給する共通のＤＣ電源１０を備えている。ＤＣ電源１０は、第１の交流（以下「ＡＣ」という。）電力（例えば、三相（３φ）２００ボルト（Ｖ））を供給するＡＣ電源１１と、このＡＣ電源１１の出力側に接続された整流回路１２と、この整流回路１２の出力側に接続された第１の正極側出力端子１３ａ及び第１の負極側出力端子１３ｂとを有している。整流回路１２は、ＡＣ電源１１から供給される三相の第１のＡＣ電力を半波整流して二相の第１のＤＣ電力を正極側出力端子１３ａ及び負極側出力端子１３ｂから出力する回路であり、各相毎に半波整流を行う６個の整流ダイオード１２ａ〜１２ｆにより構成されている。なお、整流回路１２は、全波整流回路で構成したり、あるいは、インダクタ及びキャパシタ等で構成される平滑回路を出力側に設けても良い。
【００１６】
ＤＣ電源１０の正極側出力端子１３ａ及び負極側出力端子１３ｂには、正極側電源線１４ａ及び負極側電源線１４ｂを介して、複数台のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０（＝２０−１〜２０−Ｎ）が並列に接続されている。各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０は、共通のＤＣ電源１０から供給される第１のＤＣ電力を所定レベルの第２のＤＣ電力（例えば、定電力、定電圧の電力又は定電流の電力）に変換して個別の負荷３６へ出力するものである。
【００１７】
各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０は、ＤＣ電源１０の正極側出力端子１３ａ及び負極側出力端子１３ｂに、正極側電源線１４ａ及び負極側電源線１４ｂを介して接続された第１の正極側入力端子２１ａ及び第１の負極側入力端子２１ｂと、この第１の正極側入力端子２１ａ及び第１の負極側入力端子２１ｂから入力された第１のＤＣ電力を所定レベルの第２のＤＣ電力に変換するＤＣ／ＤＣコンバータ３０と、変換された第２のＤＣ電力を個別の負荷３６へ出力する第２の正極側出力端子３５ａ及び第２の負極側出力端子３５ｂとを有している。
【００１８】
ＤＣ／ＤＣコンバータ３０は、例えば、絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータであり、正極側入力端子２１ａ及び負極側入力端子２１ｂから入力された第１のＤＣ電力をスイッチングして第２のＡＣ電力に変換するスイッチ（ＳＷ）部３１と、変換された第２のＡＣ電力における第１の電圧を所定レベルの第２の電圧に変換する変圧器（以下「トランス」という。）３２と、変換された第２の電圧を有する第３のＡＣ電力を整流して第２のＤＣ電力を出力する整流部３３とを有している。
【００１９】
整流部３３の出力側には、この整流部３３の出力電力を平滑する平滑部（例えば、平滑用コンデンサ）３４を介して、正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂが接続されている。
【００２０】
正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂには、負荷３６として例えばＤＣスパッタ装置が接続される。ＤＣスパッタ装置は、例えば、半導体装置、液晶表示装置等に用いられる基板表面に金属薄膜や誘電体薄膜等を形成するために使用される装置であり、真空チャンバ、及び排気装置等により構成されている。真空チャンバ内には、薄膜を堆積させるための材料となるターゲットと、このターゲットをスパッタリングして薄膜を被着させるための基板等が収納されている。ターゲットのスパッタリングを行う場合、例えば、真空チャンバを真空に排気した後、プラズマ生成用ガスをチャンバに導入し、真空チャンバが所定の圧力に達した後に、真空チャンバを正極に、ターゲットを負極にしてＤＣ電圧を印加する。すると、真空チャンバ内にプラズマが発生し、ターゲット材料のスパッタリングが行われ、そのターゲット材料が基板上に堆積して薄膜が形成される。
【００２１】
各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０内のスイッチ部３１には、制御回路４０が接続されている。制御回路４０は、パルス幅変調（ＰＷＭ）されたスイッチ切替信号Ｓ４０を出力して、各スイッチ部３１のスイッチング動作を制御する回路である。
【００２２】
ＤＣ電源１０の正極側出力端子１３ａに接続された正極側電源線１４ａと、接地電極であるグランドＧＮＤとの間には、第１のコンデンサ４１が接続されている。同様に、ＤＣ電源１０の負極側出力端子１３ｂに接続された負極側電源線１４ｂと、接地電極であるグランドＧＮＤとの間には、第２のコンデンサ４２が接続されている。
【００２３】
なお、図１中の破線矢印は、コンデンサ４１，４２が無い場合の漏れ電圧パルスの経路ＣＳ１、実線矢印は、コンデンサ４１，４２が有る場合の漏れ電圧パルスの経路ＣＳ２である。
【００２４】
図２は、図１中の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０の構成例を示す回路図である。
各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０を構成するＤＣ／ＤＣコンバータ３０において、スイッチ部３１は、４個のスイッチング素子（例えば、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ、以下「ＮＭＯＳ」という。）３１ａ〜３１ｄを有し、これらのＮＭＯＳ３１ａ〜３１ｄが正極側入力端子２１ａ及び負極側入力端子２１ｂにブリッジ接続されている。各ＮＭＯＳ３１ａ〜３１ｄは、制御回路４０から与えられるスイッチ切替信号Ｓ４０によりゲートが制御されてオン／オフ動作を行う。
【００２５】
ＮＭＯＳ３１ａ及び３１ｃの接続点３１ｅと、ＮＭＯＳ３１ｂ及び３１ｄの接続点３１ｆとには、トランス３２が接続されている。トランス３２は、巻数ｎ１の１次巻線３２ａと、巻数ｎ２の２次巻線３２ｂとを有し、その１次巻線３２ａの巻き初めと巻き終わりが接続点３１ｅ，３１ｆにそれぞれ接続されている。２次巻線３２ｂの巻き終わりと巻き初めには、整流部３３が接続されている。
【００２６】
整流部３３は、２次巻線３２ｂに流れる誘導電流を全波整流する回路であり、４個の整流ダイオード３３ａ〜３３ｄを有し、これらが接続点３３ｅ，３３ｆ間にブリッジ接続されている。整流ダイオード３３ａ，３３ｂのカソードと整流ダイオード３３ｃ，３３ｄのアノードとには、平滑用コンデンサ３４を介して、正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂがそれぞれ接続されている。
【００２７】
（実施例１の動作）
図３は、図１中のＤＣ／ＤＣコンバータ内部のパルスＰ１及び漏れ電圧パルスＰ２を示す動作波形図である。
【００２８】
図１において、複数台のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０の並列運転を行う場合、ＤＣ電源１０内のＡＣ電源１１からＡＣ電力が出力され、このＡＣ電力が整流回路１２内の整流ダイオード１２ａ〜１２ｆで半波整流され、整流されたＤＣ電力が正極側出力端子１３ａ及び負極側出力端子１３ｂから出力される。出力されたＤＣ電力は、正極側電源線１４ａ及び負極側電源線１４ｂを介して、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０（＝２０−１〜２０−Ｎ）へ供給される。各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット（例えば、２０−１）では、供給されたＤＣ電力が正極側入力端子２１ａ及び負極側入力端子２１ｂから入力され、スイッチ部３１へ送られる。
【００２９】
図２のスイッチ部３１では、制御回路４０から与えられるスイッチ切替信号Ｓ４０により、ＮＭＯＳ３１ａ，３１ｄがオン状態になると、正極側入力端子２１ａから入力されたＤＣ電力のＤＣ電流が、ＮＭＯＳ３１ａ→トランス３２の１次巻線３２ａ→ＮＭＯＳ３１ｄ→負極側入力端子２１ｂ、へと流れる。次に、ＮＭＯＳ３１ｂ，３１ｃがオン状態になると、正極側入力端子２１ａから入力されたＤＣ電力のＤＣ電流が、ＮＭＯＳ３１ｂ→トランス３２の１次巻線３２ａ→ＮＭＯＳ３１ｃ→負極側入力端子２１ｂ、へと流れる。
【００３０】
トランス３２の１次巻線３２ａにおいて、方向の異なるＤＣ電流が交互に流れると、トランス３２の２次巻線３２ｂにＡＣの誘導電流が流れる。このＡＣの誘導電流は、整流部３３内の整流ダイオード３３ａ〜３３ｄにより全波整流された後、コンデンサ３４によって平滑され、この平滑されたＤＣ電力が正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂから出力されて負荷３６へ供給される。これにより、負荷３６が所定の動作を行う。
【００３１】
他のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎにおいても同様の動作が行われ、各負荷３６へＤＣ電力が供給されて、複数の負荷３６の並列運転が行われる。
【００３２】
ここで、例えば、従来のように、コンデンサ４１，４２が無く、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎが運転状態の時に、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１が停止状態で且つ負荷３６が無限大に近い無負荷３６ａになった場合、このＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１の正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂに高電圧が発生することがあり、これにより感電のおそれがあった。
【００３３】
ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１が停止状態で且つ負荷３６が無負荷３６ａになる場合としては、例えば、作業員が負荷３６である真空チャンバ等の補修点検を行うために、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１へ供給する電源電力をオフ状態にし、正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂから負荷３６を切り離す場合等が考えられる。
【００３４】
ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１の負荷側高電圧発生の原因としては、運転状態にあるＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎにおける図３に示すような内部パルスＰ１が、図３に示すようなひげ状の漏れ電圧パルスＰ２となり、図１に示す破線矢印の経路ＣＳ１を通って、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１へ誘導されるからである。負荷側高電圧の発生条件としては、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１が停止状態で、且つ負荷３６が無限大に近い無負荷３６ａの場合に発生する。負荷３６が低インピーダンスであれば、感電しないレベルの電圧となる。又、ＤＣ／ＤＣコンバータ３０の仕様として、出力電圧が高電圧のために内部のトランス３２の１次巻線３２ａ及び２次巻線３２ｂの巻数比（ｎ２／ｎ１）が高くなっており、これにより漏れ電圧パルスＰ２が巻数比倍で負荷側に伝わるため、発生しやすい要因ともなっている。
【００３５】
このような負荷側高電圧の発生を防止するために、本実施例１では、ＤＣ電源１０の正極側出力端子１３ａに接続された正極側電源線１４ａとグランドＧＮＤとの間に、コンデンサ４１が接続されると共に、負極側出力端子１３ｂに接続された負極側電源線１４ｂとグランドＧＮＤとの間に、コンデンサ４２が接続されている。そのため、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎから発生した漏れ電圧パルスＰ２による高調波電流は、図１の実線矢印の経路ＣＳ２に示すように、正極側電源線１４ａ及び負極側電源線１４ｂを経由してコンデンサ４１，４２へと流れる。その結果、漏れ電圧パルスＰ２による高調波電流が、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１の負荷側へ流出しなくなって、負荷側高電圧の発生を防止できる。
【００３６】
（実施例１の効果）
本実施例１によれば、正極側電源線１４ａとグランドＧＮＤとの間にコンデンサ４１が接続されると共に、負極側電源線１４ｂとグランドＧＮＤとの間にコンデンサ４２が接続されているので、運転状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎから発生した漏れ電圧パルスＰ２が、コンデンサ４１，４２へと流れる。そのため、出力オフの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１から負荷側に対する発生電圧を感電しないレベルに低減できる。
【実施例２】
【００３７】
図４は、本発明の実施例２における各ＤＣ／ＤＣコンバータユニットの構成例を示す回路図であり、実施例１を示す図２中の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。
【００３８】
本実施例２の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０は、実施例１と同様の構成であるが、実施例１のコンデンサ４１，４２に代えて、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０毎に第３のコンデンサ４３及び第４のコンデンサ４４がそれぞれ接続されている。
【００３９】
第３のコンデンサ４３は、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０における第１の正極側入力端子２１ａ（即ち、正極側入力端子２１ａに接続されたスイッチ部３１の正極側電源線３１ｇ）と、接地電極であるグランドＧＮＤとの間に接続されている。更に、第４のコンデンサ４４は、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０における第１の負極側入力端子２１ｂ（即ち、負極側入力端子２１ｂに接続されたスイッチ部３１の負極側電源線３１ｈ）と、接地電極であるグランドＧＮＤとの間に接続されている。
その他の構成は、実施例１と同様である。
【００４０】
本実施例２によれば、従来のように、コンデンサ４３，４４が無い場合、実施例１と同様に、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎが運転状態の時に、ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１が停止状態で且つ負荷３６が無限大に近い無負荷３６ａになった場合、このＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１の正極側出力端子３５ａ及び負極側出力端子３５ｂに高電圧が発生することがある。
【００４１】
しかし、本実施例２では、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１〜２０−Ｎ毎にコンデンサ４３，４４がそれぞれ接続されているので、運転状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎから発生した漏れ電圧パルスＰ２は、各コンデンサ４３，４４へと流れる。そのため、出力オフの停止状態のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−１から負荷側に対する発生電圧を感電しないレベルに低減できる。
【００４２】
その上、実施例１の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎからコンデンサ４１，４２までの電源線の配線距離に比べて、本実施例２の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎから各コンデンサ４３，４４までの電源線の配線距離が短いので、実施例１の電源線のインダクタンス値よりも、本実施例２の電源線のインダクタンス値が小さくなる。そのため、本実施例２では、実施例１に比べて漏れ電圧パルスＰ２をより速くコンデンサ４３，４４へ流すことができ、負荷側高電圧の発生を迅速且つ的確に防止できる。しかも、運転状態の各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎから発生した漏れ電圧パルスＰ２を、それらの各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０−２〜２０−Ｎ毎に接続された各コンデンサ４３，４４へ速やかに流すことができるので、漏れ電圧パルスＰ２によるノイズの発生も防止できる。
【００４３】
（変形例）
本発明は、上記実施例１、２に限定されず、種々の利用形態や変形が可能である。この利用形態や変形例としては、例えば、次の（ａ）〜（ｃ）のようなものがある。
【００４４】
（ａ）  実施例２では、実施例１のコンデンサ４１，４２に代えて、各ＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０毎にコンデンサ４３，４４を接続しているが、実施例１のコンデンサ４１，４２に加えて、実施例２のコンデンサ４３，４４を接続しても良い。これにより、部品点数が増加するが、実施例１及び実施例２の効果を奏することができる。
【００４５】
（ｂ）  図２及び図４のＤＣ／ＤＣコンバータユニット２０（＝２０−１〜２０−Ｎ）内には、他の回路を付加したり、あるいは、図示以外の回路構成に変更しても良い。例えば、スイッチ部３１を構成するスイッチング素子を、NMOS３１ａ〜３１ｄ以外の他のトランジスタで構成したり、そのスイッチング素子に回生用ダイオード等を並列に接続したり、あるいは、負荷３６側に発生する異常放電を防止するために、各ＤＣ／ＤＣコンバータ３０の出力側に、逆バイアス印加回路を設けても良い。又、図２及び図４のＤＣ／ＤＣコンバータ３０は、フライバック式の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータにより構成されているが、フォワード式の絶縁型ＤＣ／ＤＣコンバータ等の他の構成に変更しても良い。
【００４６】
（ｃ）  実施例１、２では、多出力のＤＣスパッタ電源装置について説明したが、本発明は、他の多出力の電源装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００４７】
１０      ＤＣ電源
１１      ＡＣ電源
１２      整流回路
１３ａ      第１の正極側出力端子
１３ｂ      第１の負極側出力端子
２０，２０−１〜２０−Ｎ      ＤＣ／ＤＣコンバータユニット
２１ａ      第１の正極側入力端子
２１ｂ      第１の負極側入力端子
３０      ＤＣ／ＤＣコンバータ
３１      スイッチ部
３２      トランス
３３      整流部
３４，４１，４２，４３，４４      コンデンサ
３５ａ      第２の正極側出力端子
３５ｂ      第２の負極側出力端子
３６      負荷
３６ａ      無負荷
【図１】
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【図２】
0005689016.tif 000003
【図３】
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【図４】
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