(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着する吸着システムであって、
前記蒸気が吸着可能な吸着剤を有し、前記所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着除去する吸着除去手段と、
前記所定の供給先へ供給された気体を前記所定の供給先の特定の部位から回収し、回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第一の再生手段と、
前記所定の供給先へ供給された気体のうち、前記第一の再生手段が回収する気体よりも蒸気濃度の低い気体を、前記所定の供給先の前記特定の部位と異なる部位から回収し、回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第二の再生手段と、を備える、
吸着システム。
【請求項２】
前記所定の供給先には、複数の設備であって、前記複数の設備のうち何れか一又は複数の設備を擁する第一の設備群と、前記複数の設備のうち前記第一の設備群が擁する設備と異なるタイミングで前記蒸気を発生する何れか一又は複数の設備を擁する第二の設備群と、を有する複数の設備が備わっており、
前記第一の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を発生中の設備群から回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、
前記第二の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を非発生中の設備群から回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する、
請求項１に記載の吸着システム。
【請求項３】
前記所定の供給先は、前記蒸気を発生する一又は複数の設備を内置した室内空間であり、
前記第一の再生手段は、前記一又は複数の設備の排気を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、
前記第二の再生手段は、前記室内空間の気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する、
請求項１に記載の吸着システム。
【請求項４】
前記吸着除去手段は、前記吸着剤を担持する吸着ロータであって、前記吸着ロータが回転すると、前記吸着ロータの特定の領域が、前記蒸気を吸着除去する吸着状態、前記第一の再生手段によって再生される第一の再生状態、前記第二の再生手段によって再生される第二の再生状態の順に遷移した後、再び前記吸着状態に遷移する吸着ロータを有する、
請求項１から３の何れか一項に記載の吸着システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
工業的設備においては、気体に含まれる蒸気（空気中の湿分や溶剤蒸気等）の除去ないし低減（以下、単に「除去」という）が行われる場合がある。例えば、各種製品の生産ラインでは、製品の品質を保つため、低湿空気を回収し、湿分を除去した空気が利用されている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
気体に含まれる蒸気を除去するシステムには、コンプレッサ方式のものやデシカント方式のもの、また、これらを組み合わせたハイブリッド方式のものが考案されている。デシカント方式の吸着システムには、吸着剤を担持したロータを仕切って吸着領域や再生領域を形成し、ロータを回転させながら吸着や再生を連続的に行うものがある（例えば、特許文献２を参照）。また、デシカント方式の吸着システムには、ロータの再生領域を複数の区域に仕切ったもの（例えば、特許文献３−４を参照）や、ロータの吸着領域を複数の区域に仕切ったもの（例えば、特許文献５を参照）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２１６６８９号公報
【特許文献２】特許第４５００４６１号公報
【特許文献３】特開平６−３４３８１９号公報
【特許文献４】特開２０１１−２３００９８号公報
【特許文献５】特許第２６７３３００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
気体に含まれる蒸気を除去するシステムは、各種装置や部屋（低露点室）といった各種の供給先へ、気体に含まれる蒸気を除去した気体を供給するが、供給先から排出される気体の排気が必ずしも蒸気を含んでいるとは限らない。ここで、供給先から排出される排気を還気して再利用することを考える。排気中の蒸気濃度が、除湿装置のような蒸気の除去システムに流入する直前の気体（例えば、外気等）の蒸気濃度よりも小さい場合、供給先から排出される排気を捨てることはエネルギー収支の観点に鑑みると無駄である。
【０００６】
そこで、システムに流入する直前の気体と、供給先から排出される排気との間で潜熱交換を行うことにより、エネルギー収支を改善することも考えられる。しかし、排気の再利用（以下、「回収」という）を行うシステム、例えば、コンプレッサ方式のシステムにおいては気体に含まれる蒸気の凝縮を目的とする気体の冷却が行われ、また、デシカント方式のシステム（吸着システム）においては吸着剤による吸着を促進する目的で気体の冷却（プレクール）が行われる。よって、潜熱交換を行うと、供給先から排出される排気が高温の場合に、潜熱と共に不可避的に交換される顕熱により、気体の冷却に要する冷却熱量の増大を招く虞がある。このため、潜熱交換によるシステムのエネルギー収支の改善は実用的でない。
【０００７】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用を図ることが可能な吸着システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明では、所定の供給先へ供給した気体を回収して吸着剤の再生に用いるにあたり、蒸気濃度が互いに異なる気体を前記所定の供給先の別々の部位から回収し、蒸気濃度が相対的に低い気体を、蒸気濃度が相対的に高い気体を通気した後の吸着剤に通気し、吸着剤を再生することにした。
【０００９】
詳細には、所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着する吸着システムであって、前記蒸気が吸着可能な吸着剤を有し、前記所定の供給先へ供給する気体に含まれる蒸気を吸着除去する吸着除去手段と、前記所定の供給先へ供給された気体を前記所定の供給先の特定の部位から回収し、回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第一の再生手段と、前記所定の供給先へ供給された気体のうち、前記第一の再生手段が回収する気体よりも蒸気濃度の低い気体を、前記所定の供給先の前記特定の部位と異なる部位から回収し、回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生する第二の再生手段と、を備える。
【００１０】
デシカント方式などの吸着剤を用いた吸着システムにおいては、蒸気を吸着した吸着剤の再生が行われる。蒸気を吸着した吸着剤を効果的に再生するには、蒸気含有量の少ない気体を供給することが望ましい。ここで、吸着システムが供給した気体の供給先において、蒸気含有量の少ない気体がそのまま排出される場合、この気体を吸着剤の再生に有効利用することが、吸着システムのエネルギー収支の改善に寄与すると考えられる。
【００１１】
そこで、上記吸着システムでは、所定の供給先へ供給した気体を前記所定の供給先の特定の部位から回収し、吸着剤の再生に用いる第一の再生手段の他に、前記所定の供給先の前記特定の部位と異なる部位から、前記第一の再生手段が回収する気体よりも蒸気濃度の低い気体を回収し、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤の再生に用いる第二の再生手段を設けている。
【００１２】
吸着剤は、再生に用いる気体の蒸気濃度が低い程、蒸気の吸着能力を十分に回復させることができる。しかし、再生開始直後の吸着剤は、再生終了直前の吸着剤に比べると多量の蒸気が吸着している。よって、再生開始直後の吸着剤の再生に用いる気体の蒸気濃度は、再生終了直前の吸着剤の再生に用いる気体の蒸気濃度より高くても、吸着剤の再生効果の低下を招くことは無い。そこで、上記吸着システムにおいては、吸着システムが供給した気体の供給先において、蒸気濃度の相対的に低い部位から回収した気体を、他の部位から回収した気体で再生した吸着剤の更なる再生に用いることで、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低下を防いでいる。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。
【００１３】
なお、前記所定の供給先には、複数の設備であって、前記複数の設備のうち何れか一又は複数の設備を擁する第一の設備群と、前記複数の設備のうち前記第一の設備群が擁する設備と異なるタイミングで前記蒸気を発生する何れか一又は複数の設備を擁する第二の設備群と、を有する複数の設備が備わっており、前記第一の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を発生中の設備群から回収した気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、前記第二の再生手段は、前記第一の設備群及び前記第二の設備群のうち、前記蒸気を非発生中の設備群から回収した気体を、前記第一の再生手段が再生した後の前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生するものであってもよい。
【００１４】
このように構成される吸着システムであれば、蒸気を発生中の設備群から回収した気体による再生が行われた吸着剤が、蒸気を非発生中の設備群から回収した気体により更に再生されるため、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低
下も防止される。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。
【００１５】
また、前記所定の供給先は、前記蒸気を発生する一又は複数の設備を内置した室内空間であり、前記第一の再生手段は、前記一又は複数の設備の排気を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生し、前記第二の再生手段は、前記室内空間の気体を前記吸着剤に通気して前記吸着剤を再生するものであってもよい。
【００１６】
蒸気を発生する設備を内置した室内空間から回収される気体は、蒸気を発生する設備から回収される気体に比べると、蒸気濃度が低い蓋然性が高い。そこで、一又は複数の設備から回収した気体による再生が行われた吸着剤を、当該設備を内置した室内空間から回収した気体で更に再生することにより、吸着システムのエネルギー収支の改善を図りつつ、吸着剤の再生効果の低下も防止可能である。これにより、蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用が実現される。
【００１７】
また、前記吸着除去手段は、前記吸着剤を担持する吸着ロータであって、前記吸着ロータが回転すると、前記吸着ロータの特定の領域が、前記蒸気を吸着除去する吸着状態、前記第一の再生手段によって再生される第一の再生状態、前記第二の再生手段によって再生される第二の再生状態の順に遷移した後、再び前記吸着状態に遷移する吸着ロータを有するものであってもよい。
【００１８】
吸着剤をロータ状の担体に担持させた吸着ロータの場合、ロータを回転させることにより連続的な吸着処理および再生処理が実現される。すなわち、吸着ロータの場合、蒸気を吸着する処理領域や、蒸気を吸着した吸着剤を再生する再生領域が同一ロータ上に同時に形成される。よって、上記所定の供給先へ気体を供給しつつ、供給先から回収した気体による吸着剤の再生を同時に行う上記吸着システムに好適である。
【発明の効果】
【００１９】
蒸気を吸着除去した気体を供給した先から排出される排気の有効利用を図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施形態に係る吸着システムの構成図である。
【図２】吸着システムの各ダンパの開閉状態、及び各装置から排出される排気の温度と湿度との関係を示したタイミングチャートの一例である。
【図３】装置Ａが停止しており、装置Ｂが運転している場合の吸着システムの状態を示した図である。
【図４】装置Ｂが停止しており、装置Ａが運転している場合の吸着システムの状態を示した図である。
【図５】試算を行う箇所を丸数字で示した図である。
【図６】実施形態に係る吸着システムに関する試算値の一例を示した表である。
【図７】比較例に係る吸着システムに関する試算値の一例を示した表である。
【図８】吸着ロータ周りの変形例を示した図である。
【図９】吸着システムの変形例を示した図である。
【図１０】装置の排気及び低露点室内の空気の温度および湿度を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜実施形態＞
本発明の実施形態に係る吸着システムの構成を図１に示す。本実施形態に係る吸着シス
テム１は、図１に示すように、吸着ロータ２、吸着ファン３、再生ファン４、プレクーラ５、ヒータ６を備えており、各装置７Ａ，７Ｂ（本願でいう「所定の供給先」の一例である）に給気する空気を除湿する。すなわち、吸着システム１は、空気中の湿分が吸着する吸着ロータ２により、外気に含まれる湿分を除去し、低露点の空気を各装置７Ａ，７Ｂに供給する。よって、吸着システム１は、除湿システムとして捉えることも可能である。
【００２２】
装置７Ａ，７Ｂは、低露点の作動環境が要求される装置類である。このような装置類としては、例えば、半導体やディスプレイなどの製造工程のように低湿度環境が要求される生産設備等を挙げることができる。また、装置７Ａ，７Ｂは、湿分の排出を伴う処理を行う装置である。装置７Ａと装置７Ｂは、湿分の排出を伴う処理を互いに異なるタイミングで実行するよう、オペレータによる手動制御あるいはコンピュータ等による自動制御が実現される。
【００２３】
吸着ロータ２は、円筒状の部材の内部に合成ゼオライトやシリカゲル等を主成分とする吸着剤を担持しており、内部を軸方向に沿って気体が流れるように構成されている。吸着ロータ２の両端面には図示しないセクション分割カセットが配置されており、このカセットによって吸着ロータ２の空気通過域が少なくとも３つのセクションに区画される。吸着ロータ２は、このセクション分割カセットと相対的に回転可能なようになっており、このカセットによって吸着ロータ２に吸着領域Ｋ、第一の再生領域Ｓ１、第二の再生領域Ｓ２が形成される。なお、吸着ロータ２は、３つの領域に区画されるものに限定されるものでなく、例えば、パージ領域や予熱領域が更に区画されていてもよい。吸着ロータ２が図１の矢印が示す方向に回転することにより、吸着ロータ２の特定の領域に担持されている吸着剤が吸着状態、第一の再生状態、第二の再生状態の順に遷移した後、再び吸着状態に遷移する。
【００２４】
吸着領域Ｋには吸着ファン３から送られ、プレクーラ５で冷却された外気が通過する。吸着領域Ｋの吸着剤は、通気される空気中の湿分を吸着し、低露点空気を排出する。排出された低露点空気は、ヒータ６により温度調節がなされた後、給気経路８，８Ａ，８Ｂを通して各装置７Ａ，７Ｂに供給される。
【００２５】
吸着領域Ｋの両側のうち吸着ロータ２の回転方向側に隣接する第一の再生領域Ｓ１及び第一の再生領域Ｓ１の両側のうち吸着ロータ２の回転方向側に隣接する第二の再生領域Ｓ２には、第一の再生領域Ｓ１及び第二の再生領域Ｓ２の下流側に配置される再生ファン４の吸引力により各装置７Ａ，７Ｂから回収される、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから各装置７Ａ，７Ｂへ供給された空気が通過する。なお、各装置７Ａ，７Ｂがファンを備えるなどして吸着ロータ２の再生に必要な風量の排気を常時排出するものであれば、再生ファン４を省略することも可能である。
【００２６】
第一の再生領域Ｓ１に繋がる第一の排気経路９−１（本願でいう「第一の再生手段」の一例である）には、装置７Ａと繋がる装置排気経路１０ＡＡ、及び装置７Ｂと繋がる装置排気経路１０ＢＡが接続されている。装置排気経路１０ＡＡにはダンパ１１ＡＡが設けられ、装置排気経路１０ＢＡにはダンパ１１ＢＡが設けられている。よって、ダンパ１１ＡＡ，ダンパ１１ＢＡの開閉状態を制御することにより、第一の再生領域Ｓ１を通過する空気の排気源を、装置７Ａ及び装置７Ｂのうち何れかより選択可能である。
【００２７】
第二の再生領域Ｓ２に繋がる第二の排気経路９−２（本願でいう「第二の再生手段」の一例である）には、装置７Ａと繋がる装置排気経路１０ＡＢ、及び装置７Ｂと繋がる装置排気経路１０ＢＢが接続されている。装置排気経路１０ＡＢにはダンパ１１ＡＢが設けられ、装置排気経路１０ＢＢにはダンパ１１ＢＢが設けられている。よって、ダンパ１１ＡＢ，ダンパ１１ＢＢの開閉状態を制御することにより、第二の再生領域Ｓ２を通過する空
気の排気源を、装置７Ａ及び装置７Ｂのうち何れかより選択可能である。
【００２８】
吸着ファン３は、外気を取り込んで吸着ロータ２の吸着領域Ｋへ供給する電動式の空気ファンである。吸着ファン３の下流側に設けられるプレクーラ５は、吸着ロータ２で除湿させる前段階の処理として、被処理空気の温度を下げる。これに伴い外気は結露して湿分が除かれ、除湿効果も期待できる。
【００２９】
吸着剤の性能は、処理空気の温度に大きく左右されるため、本実施形態に係る吸着システム１では、プレクーラ５を設けて処理空気の温度を低くすることで、吸着ロータ２の吸着領域Ｋを通過した空気の露点温度を低くしている。また、各装置７Ａ，７Ｂへ供給する空気の温度を安定的に制御するため、吸着ロータ２の吸着領域Ｋを通過した空気をヒータ６で加温している。ヒータ６は、電気で発熱する電気ヒータであってもよいし、プレクーラ５あるいはその他の機器に供給する冷熱を生成するヒートポンプシステムの凝縮器（コンデンサ）であってもよい。
【００３０】
このように構成される吸着システム１では、以下のような吸着処理及び再生処理が実現される。吸着システム１が吸着処理及び再生処理を実現する際の、吸着システム１の各ダンパの開閉状態、及び各装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の温度と湿度との関係を示したタイミングチャートの一例を図２に示す。吸着システム１を起動し、吸着システム１の各ダンパや各装置７Ａ，７Ｂを、図２に示したタイミングチャートに従って周期的に制御すると、吸着システム１では以下のような吸着処理及び再生処理が実現される。
【００３１】
ここで、吸着ロータ２の吸着剤を効果的に再生するためには、再生領域に流す空気の相対湿度が低いことが望ましい。特に、第一の再生領域Ｓ１に流した空気よりも低湿の空気を第二の再生領域Ｓ２に流すことが、吸着ロータ２の除湿性能を高めるために効果的である。回転する吸着ロータ２に担持されている吸着剤は、第二の再生状態の次に吸着状態へ遷移するため、第二の再生領域Ｓ２に流す空気の相対湿度を低くしておけば、吸着領域Ｋの吸着剤の除湿性能が高くなるためである。そこで、本実施形態に係る吸着システム１は、次のように運用する。
【００３２】
装置７Ａが停止しており、装置７Ｂが運転している場合の吸着システム１の状態を図３に示す。例えば、装置７Ａが停止しており、装置７Ｂが運転している場合、装置７Ｂでは湿分の排出が行われ、装置７Ａでは湿分の排出が行われない（この場合、装置７Ｂが本願でいう「特定の部位」に相当し、装置７Ａが本願でいう「特定の部位と異なる部位」に相当することになる）。よって、ダンパ１１ＡＡ，１１ＢＢは閉状態とし、ダンパ１１ＡＢ，１１ＢＡは開状態とする。各ダンパは、装置７Ａ，７Ｂの運転状態に応じた手動操作により開閉してもよいし、装置７Ａ，７Ｂの運転状態を示す信号に基づいて自動的に開閉してもよいし、装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の温度や湿度を計測するセンサの出力信号に基づいて自動的に開閉してもよい。
【００３３】
このような状態の吸着システム１において、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ａに供給された空気は、低露点温度の状態を保ったまま、吸着ロータ２の第一の再生領域Ｓ１を通過する。また、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ｂに供給された空気は、装置７Ｂから排出される湿分を含んだ状態で、吸着ロータ２の第二の再生領域Ｓ２を通過する。よって、吸着能力を中程度に回復する第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ｂから装置排気経路１０ＢＡ及び第一の排気経路９−１を経由して流れる空気による再生処理が行われる。また、吸着能力を高度に、初期状態にまで回復する第二の再生領域Ｓ２においては、装置７Ａから装置排気経路１０ＡＢ及び第二の排気経路９−２を経由して流れる空気による再生処理が行われる。装置７Ａから流れる空気は、装置７Ｂから流れる空気よりも露点温度が低い。これにより、第一の再生領域Ｓ１において予備的に再生された吸着剤は、第二の再生領
域Ｓ２において、少なくとも吸着領域Ｋにおける吸着処理に支障の無い程度にまで再生される。
【００３４】
装置７Ｂが停止しており、装置７Ａが運転している場合の吸着システム１の状態を図４に示す。例えば、装置７Ｂが停止しており、装置７Ａが運転している場合、装置７Ａでは湿分の排出が行われ、装置７Ｂでは湿分の排出が行われない（この場合、装置７Ａが本願でいう「特定の部位」に相当し、装置７Ｂが本願でいう「特定の部位と異なる部位」に相当することになる）。よって、ダンパ１１ＡＢ，１１ＢＡは閉状態とし、ダンパ１１ＡＡ，１１ＢＢは開状態とする。
【００３５】
このような状態の吸着システム１において、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ａに供給された空気は、装置７Ａから排出される湿分を含んだ状態で、吸着ロータ２の第一の再生領域Ｓ１を通過する。また、吸着領域Ｋで除湿され、装置７Ｂに供給された空気は、低露点温度の状態を保ったまま、吸着ロータ２の第二の再生領域Ｓ２を通過する。よって、第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ａから装置排気経路１０ＡＡ及び第一の排気経路９−１を経由して流れる空気による再生処理が行われる。また、第一の再生領域Ｓ１においては、装置７Ｂから装置排気経路１０ＢＢ及び第二の排気経路９−２を経由して流れる空気による再生処理が行われる。装置７Ｂから流れる空気は、装置７Ａから流れる空気よりも露点温度が低い。これにより、第一の再生領域Ｓ１において予備的に再生された吸着剤は、第二の再生領域Ｓ２において、少なくとも吸着領域Ｋにおける吸着処理に支障の無い程度にまで再生される。
【００３６】
本実施形態に係る吸着システム１であれば、再生領域を本実施形態のように第一の再生領域Ｓ１と第二の再生領域Ｓ２とに分けることなく、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気で再生処理を行う場合（以下、比較例という）に比べて、吸着ロータ２の吸着剤が効果的に再生される。これにより、装置７Ａ，７Ｂから排出される排気の有効利用が図られ、各装置７Ａ，７Ｂへ供給する空気の露点温度を低くすることが可能である。
【００３７】
また、本実施形態に係る吸着システム１は、装置７Ａ，７Ｂの排気を吸着ロータ２の再生に利用しているため、装置７Ａや装置７Ｂから排出される排気の温度がある程度高い場合に、排気の熱を吸着ロータ２の再生に無駄なく利用することが可能である。
【００３８】
吸着ロータ２を通過する空気の状態の試算値を以下に示す。図５は、試算を行う箇所（以下、試算箇所という）を丸数字で図示したものである。また、図６は、本実施形態に係る吸着ロータ２を通過する空気の状態の試算値の一例を示した表である。また、図７は、比較例として装置Ａと装置Ｂからそれぞれ排気させた空気を合流させて吸着剤の再生に供した場合の、吸着ロータを通過する空気の状態の試算値（装置の配置は図５に同じ）の一例を示した表である。
【００３９】
本実施形態に係る吸着システム１において、試算箇所Ｎｏ．１（外気）や試算箇所Ｎｏ．２（処理領域入口）、Ｎｏ．３（処理領域出口）、Ｎｏ．５（第二の再生領域Ｓ２の入口）、Ｎｏ．６（第二の再生領域Ｓ２の出口）、Ｎｏ．７（第一の再生領域Ｓ１の入口）、Ｎｏ．８（第一の再生領域Ｓ１の出口）を通過するそれぞれの空気の状態が、例えば、図６の表に示されるような状態であるものと仮定する。この場合、試算箇所Ｎｏ．５（第二の再生領域Ｓ２の入口）の絶対湿度が０．０１５７ｇ／ｋｇＤＡで、試算箇所Ｎｏ．７（第一の再生領域Ｓ１の入口）の絶対湿度が２１．００ｇ／ｋｇＤＡの場合には、試算箇所Ｎｏ．４（装置７Ａ，７Ｂへの給気）の絶対湿度が０．０１５７ｇ／ｋｇＤＡで露点温度が−５３．４４℃と試算できる。
【００４０】
一方、比較例において、試算箇所Ｎｏ．１〜３、Ｎｏ．５〜８を通過するそれぞれの空気の状態が、例えば、図７の表に示されるような状態であるものと仮定する。比較例では、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気が再生領域へ流れるため、試算箇所Ｎｏ．５と試算箇所Ｎｏ．７の空気の状態は同じである。試算箇所Ｎｏ．５，７の絶対湿度が１０．５１ｇ／ｋｇＤＡの場合には、試算箇所Ｎｏ．４（装置７Ａ，７Ｂへの給気）の絶対湿度が０．７１６ｇ／ｋｇＤＡで露点温度が−１８．７５℃と試算できる。
【００４１】
本実施形態に係る吸着システム１と比較例の試算結果より、装置７Ａから流れる空気と装置７Ｂから流れる空気とを混合した空気で吸着剤を再生する場合に比べ、本実施形態に係る吸着システム１のように再生領域を仕切る方が、吸着剤が効果的に再生され、吸着ロータ２の除湿性能を高い状態で維持可能であることが判る。
【００４２】
＜変形例＞
なお、上記実施形態では、図２に示すように、装置７Ａ，７Ｂの運転状態を周期的に切り替えていたが、上記実施形態は、このようなタイミングチャートに従った運用に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａと装置７Ｂのうち何れか一方の装置の運転状態を維持し、何れか他方の装置の停止状態を維持するように運用してもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、装置７Ａと装置７Ｂのうち停止中の装置を通過した空気が、第二の再生領域Ｓ２を通過するように構成していたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａと装置７Ｂのうち停止中の装置に空気のバイパス経路を設け、バイパス経路を通過した空気が第二の再生領域Ｓ２に通気されるようにしてもよい。
【００４４】
また、上記実施形態では、第一の再生領域Ｓ１及び第二の再生領域Ｓ２を通過する空気を、一台のファン（再生ファン４）で吸引するようにしていたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、第一の再生領域Ｓ１を通過する空気を吸引するファンと、第二の再生領域Ｓ２を通過する空気を吸引するファンとを別々に設けてもよい。ファンを別々に設ける場合、各ファンは、各再生領域の上流側に設けることも可能である。
【００４５】
また、上記実施形態では、装置７Ａ，７Ｂに供給する空気を除湿していたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、装置７Ａを一又は複数の設備を擁する第一の設備群とし、装置７Ｂを一又は複数の設備を擁する第二の設備群としてもよい。この場合、第二の設備群を、第一の設備群と異なるタイミングで作動させる。多数の設備を擁する設備群に対し、除湿した空気を供給する場合であっても、多数の設備を少なくとも２以上の設備群に分けて運用すれば、上記実施形態に係る吸着システム１を適用することが可能である。
【００４６】
また、上記実施形態では、２つの装置７Ａ，７Ｂに適用する場合を例にしていたが、上記実施形態は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、３つ以上の装置に適用してもよい。この場合、吸着ロータ２に形成される再生領域は、上述したように２つの再生領域に仕切ってもよいが、例えば、３つ以上に仕切ってもよい。再生領域を３つ以上に仕切る場合であっても、２つに仕切る場合と同様、吸着ロータ２に担持されている吸着剤が吸着ロータ２の回転により各再生領域を順に通過するに従い、吸着剤を再生する空気が徐々に低湿な空気となるように、各再生領域を流す空気の排出源の装置を適宜選定する。
【００４７】
また、上記実施形態では、空気中の湿分を吸着除去し、除湿を行っていたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、空気以外の気体に含まれる湿分を吸着除去し、除湿を行うようにしてもよいし、湿分以外の各種蒸気（例えば、揮発性溶剤の蒸気）を吸着するようにしてもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、吸着領域Ｋを通過した空気をヒータ６で加熱していたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１の吸着ロータ２周りの変形例を図８に示す。
【００４９】
上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、図８に示すように、第一の再生領域Ｓ１および第二の再生領域Ｓ２に流入する空気を加熱するヒータ１６を設ける。また、ヒータ６に代わり、吸着領域Ｋを通過した空気を冷却するアフタークーラ１２を設ける。アフタークーラ１２は、ヒータ１６の熱が残っている吸着領域Ｋを通過した高温の空気を冷却する目的で配置される。上記実施形態に係る吸着システム１をこのように変形しても、吸着剤を効果的に再生し、吸着ロータ２の除湿性能を高い状態で維持することが可能である。
【００５０】
また、上記実施形態では、各装置７Ａ，７Ｂから空気を直接回収していたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１の変形例を図９に示す。
【００５１】
上記実施形態に係る吸着システム１は、例えば、図９に示すように、装置１７を内置した低露点室１３に給気する空気を除湿する場合に適用してもよい。第一の再生領域Ｓ１に繋がる第一の排気経路１９−１は、低露点室１３に内置されている装置１７に繋がっており、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから低露点室１３内の空間を経て装置１７へ供給された空気を装置１７から回収し、第一の再生領域Ｓ１に流す。また、第二の再生領域Ｓ２に繋がる第二の排気経路１９−２は、低露点室１３に繋がっており、吸着ロータ２の吸着領域Ｋから低露点室１３内へ供給された空気を低露点室１３から回収し、第二の再生領域Ｓ２に流す。なお、図９では、低露点室１３に装置１７が一つのみ設置されているが、複数の装置が設置されていてもよい。
【００５２】
図１０は、本変形例に係る装置１７の排気及び低露点室１３内の空気の温度および湿度を示したグラフである。装置１７が置かれている低露点室１３内の空気の温度や湿度は、装置１７の排気の温度や湿度よりも低い。よって、上述したように、装置１７から排出される空気を第一の排気経路１９−１により第一の再生領域Ｓ１へ流し、装置１７から排出される空気よりも低湿な低露点室１３内の空気を第二の排気経路１９−２により第二の再生領域Ｓ２へ流せば、吸着ロータ２の除湿性能を効果的に高めることが可能であることが判る。
【００５３】
また、上記実施形態では、吸着剤を担持した吸着ロータ２により除湿を行っていたが、上記実施形態に係る吸着システム１は、このような態様に限定されるものではない。上記実施形態に係る吸着システム１は、吸着ロータ２に代わり、例えば、吸着剤を内包した吸着塔により除湿を行うようにしてもよい。この場合、吸着塔は、吸着システム１に少なくとも３以上設ける。そして、各吸着塔が、吸着ファン３から流れる空気を流して吸着状態となった後、第一の排気経路９−１から流れる空気を流して第一の再生状態へ遷移し、次に、第二の排気経路９−２から流れる空気を流して第二の再生状態へ遷移した後、再び吸着状態へ遷移するように、各流路の空気の流れをダンパ類で制御する。上記実施形態に係る吸着システム１の吸着ロータ２を吸着塔に代えても、吸着塔の除湿性能を上記実施形態に係る吸着システム１と同様、効果的に高めることが可能である。
【００５４】
また、低湿空気の供給先は室や装置に限らない。例えば、複数の大型の缶体を洗浄する工程で、洗浄後に高温の乾燥空気を供給する工程にも適用できる。すなわち、洗浄後しばらくは缶外に排気するが、排気の湿度が一定以下になった段階で当該高温排気を吸着剤に再利用できる。更に、ロータ式の除湿機で生成した低湿度の空気を、例えば、圧力スイング式の吸着塔の吸着剤の再生に利用し、吸着塔を交互に再生する場合にも適用することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１・・吸着システム：２・・吸着ロータ：Ｋ・・吸着領域：Ｓ１・・第一の再生領域：Ｓ２・・第二の再生領域：３・・吸着ファン：４・・再生ファン：５・・プレクーラ：６，１６・・ヒータ：７Ａ，７Ｂ，１７・・装置：８，８Ａ，８Ｂ・・給気経路：９−１，１９−１・・第一の排気経路：９−２，１９−２・・第二の排気経路：１０ＡＡ，１０ＡＢ，１０ＢＡ，１０ＢＢ・・装置排気経路：１１ＡＡ，１１ＡＢ，１１ＢＡ，１１ＢＢ・・ダンパ：１２・・アフタークーラ：１３・・低露点室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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