(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する弁座に対峙して配置される弁体と、弁体に設けられる弁棒と、弁棒を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部と、を備えたゲートバルブにおいて、
弁体駆動機構部は、上下方向に駆動される弁体駆動体と上下方向とゲートバルブの開閉方向に駆動されるＬ動作体とを備え、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板を備え、該側板が、ゲートバルブの開閉方向に向けた配置方向を持つようにして並設され、Ｌ動作体が、側板の内側に、弁棒との間に設けられて、弁棒に固定され、側板とＬ動作体との間に空間部が形成され、
弁体駆動体とＬ動作体とが弁体駆動機構部からの駆動力によって上下方向に駆動され、Ｌ動作体が、係止体によって上下方向動作が止められ、
空間部内に、弁体駆動機構部からの駆動力によってＬ動作体をゲートバルブの開閉方向に動作させる動作機構が設けられ、
Ｌ動作体が上下方向動作を止められたときに、弁体駆動機構部からの駆動力が動作機構を介して、Ｌ動作体を側板の内側で弁棒との間でゲートバルブの開閉方向に動作させること
を特徴とするゲートバルブ。
【請求項２】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板間に底板を備え、底板の上面とＬ動作体の下面と間に弾性体が設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項３】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、ハウジング箱が、弁体駆動機構部と動作機構とを収納し、係止体が、ハウジング箱の内側の側面に設けられることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項４】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、動作機構が、Ｌ動作体に設けられたピン部と弁体駆動体に設けられるピン部と各ピン部に回動可能に連結される連結部を備えるリンク機構からなることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項５】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、係止体が、ローラ部で形成され、ローラ部がＬ動作体に摺動可能に接触されることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項６】
請求項１記載のゲートバルブにおいて、ハウジング箱が、側面に上下方向に延在する溝部を備え、弁体駆動体が、外側の側面にガイドローラ部を備え、ガイドローラ部がハウジング箱の溝部内に設けられ、弁体駆動体がガイドローラ部を介してハウジング箱の溝部に沿って上下方向に摺動可能とされることを特徴とするゲートバルブ。
【請求項７】
開口部を有する弁座に対峙して配置される弁体と、弁体に設けられる弁棒と、弁棒を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部とから構成されるゲートバルブ駆動部と、該ゲートバルブ駆動部を収容するハウジング箱および該ハウジング箱に装着される弁箱と、を備えて構成されるゲートバルブにおいて、
ゲートバルブ駆動部は、弁体駆動機構部が、上下方向に駆動される弁体駆動体と上下方向とゲートバルブの開閉方向に駆動されるＬ動作体とを備え、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板を備え、該側板が、ゲートバルブの開閉方向に向けた配置方向を持つようにして並設され、Ｌ動作体が、側板の内側に、弁棒との間に設けられて、弁棒に固定され、側板とＬ動作体との間に空間部が形成され、
弁体駆動体とＬ動作体とが弁体駆動機構部からの駆動力によって上下方向に駆動され、Ｌ動作体が、係止体によって上下方向動作が止められ、
空間部内に、弁体駆動機構部からの駆動力によってＬ動作体を側板の内側で弁棒との間でゲートバルブの開閉方向に動作させる動作機構が設けられて構成され、
該ゲートバルブ駆動部が、ゲートバルブの開閉方向におけるハウジング箱の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とされた当該ハウジング箱内に収納されること
を特徴とするゲートバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ゲートバルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置等の真空室内を真空状態に維持するためにゲートバルブが用いられており、様々な構成のゲートバルブが提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、弁箱から開口部の周囲に形成された弁座に密着して内側から開口部を閉鎖する弁体と、弁体に接続され、弁箱の内部から外部にベローズを介して機密を維持して突出して上下運動と水平方向の動きをする弁棒と、弁箱の外側に接続されており、上下に形成された上下駆動区間ホーム及びこの上下駆動区間ホームの上側に閉鎖方向（ゲートバルブの開閉方向）に向かって連続的に水平方向に形成された開閉駆動区間ホームで構成されているエルモーションブロックガイドホームが両側内面に形成されているハウジング箱と、弁棒に接続されており、両側面に上記エルモーションブロックガイドホームに挿入されて駆動されるガイドローラが設けられているエルモーションブロックと、このエルモーションブロックに上側と下側にそれぞれ複数のリンクを介して接続されている駆動ブロックと、エルモーションブロックと駆動ブロックとの間に１つ以上設けられている引張弾性手段と、駆動ブロックを上下に駆動する上下駆動手段を含んで構成されるゲートバルブが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開２０１３／１５１４０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載のゲートバルブは、駆動ブロックとエルモーションブロックとがそれぞれゲートバルブの開閉方向に連なって設けられており、これらをハウジング箱が収納する構成となっているので、ハウジング箱の外面幅は、駆動ブロックとエルモーションブロックの幅よりも大きい幅を要することとなり、弁箱の外面幅よりも大きくなってしまい、ゲートバルブ全体の幅が大きくなってしまう問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、弁体によるゲートバルブの開閉方向においてハウジング箱の外面幅を、弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とすることで、小型化ができるゲートバルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のゲートバルブは、開口部を有する弁座に対峙して配置される弁体と、弁体に設けられる弁棒と、弁棒を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部と、を備えたゲートバルブにおいて、
弁体駆動機構部は、上下方向に駆動される弁体駆動体と上下方向とゲートバルブの開閉方向に駆動されるＬ動作体とを備え、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板を備え、該側板が、ゲートバルブの開閉方向に向けた配置方向を持つようにして並設され、Ｌ動作体が、側板の内側に、弁棒との間に設けられて、弁棒に固定され、側板とＬ動作体との間に空間部が形成され、
弁体駆動体とＬ動作体とが弁体駆動機構部からの駆動力によって上下方向に駆動され、Ｌ動作体が、係止体によって上下方向動作が止められ、
空間部内に、弁体駆動機構部からの駆動力によってＬ動作体をゲートバルブの開閉方向に動作させる動作機構が設けられ、
Ｌ動作体が上下方向動作を止められたときに、弁体駆動機構部からの駆動力が動作機構を介して、Ｌ動作体を側板の内側で弁棒との間でゲートバルブの開閉方向に動作させること
を特徴としている。
【０００８】
本発明のゲートバルブは、また、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板間に底板を備え、底板の上面とＬ動作体の下面と間に弾性体が設けられることを特徴としている。
【０００９】
本発明のゲートバルブは、また、ハウジング箱が、弁体駆動機構部と動作機構とを収納し、係止部が、ハウジング箱の内側の側面に設けられることを特徴としている。
【００１０】
本発明のゲートバルブは、また、動作機構が、Ｌ動作体に設けられたピン部と弁体駆動体に設けられるピン部と各ピン部に回動可能に連結される連結部を備えるリンク機構からなることを特徴としている。
【００１１】
本発明のゲートバルブは、また、係止部が、ローラ部で形成され、ローラ部がＬ動作体に摺動可能に接触されることを特徴としている。
【００１２】
本発明のゲートバルブは、また、ハウジング箱が、側面に上下方向に延在する溝部を備え、弁体駆動体が、外側の側面にガイドローラ部を備え、ガイドローラ部がハウジング箱の溝部内に設けられ、弁体駆動体がガイドローラ部を介してハウジング箱の溝部に沿って上下方向に摺動可能とされることを特徴としている。
【００１３】
本発明のゲートバルブは、また、開口部を有する弁座に対峙して配置される弁体と、弁体に設けられる弁棒と、弁棒を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部とから構成されるゲートバルブ駆動部と、該ゲートバルブ駆動部を収容するハウジング箱および該ハウジング箱に装着される弁箱と、を備えて構成されるゲートバルブにおいて、
ゲートバルブ駆動部は、弁体駆動機構部が、上下方向に駆動される弁体駆動体と上下方向とゲートバルブの開閉方向に駆動されるＬ動作体とを備え、弁体駆動体が、弁棒の両側に配設された側板を備え、該側板が、ゲートバルブの開閉方向に向けた配置方向を持つようにして並設され、Ｌ動作体が、側板の内側に、弁棒との間に設けられて、弁棒に固定され、側板とＬ動作体との間に空間部が形成され、
弁体駆動体とＬ動作体とが弁体駆動機構部からの駆動力によって上下方向に駆動され、Ｌ動作体が、係止体によって上下方向動作が止められ、
空間部内に、弁体駆動機構部からの駆動力によってＬ動作体を側板の内側で弁棒との間でゲートバルブの開閉方向に動作させる動作機構が設けられて構成され、
該ゲートバルブ駆動部が、ゲートバルブの開閉方向におけるハウジング箱の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とされた当該ハウジング箱内に収納されること
を特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のゲートバルブは、上述の如く構成したので、弁体によるゲートバルブの開閉方向においてハウジング箱の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とされた当該ハウジング箱内にゲートバルブ駆動部が収納することで、ハウジング箱の幅を小さくすることができ、小型化ができるゲートバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施例のゲートバルブの構成を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の実施例のゲートバルブの弁体駆動機構部の構成を示す図である。
【図３】図２の弁体駆動機構部を分解して示す図である。
【図４】本発明の実施例のゲートバルブの動作を示す図である。
【図５】本発明の実施例のゲートバルブの動作を示す図である。
【図６】本発明の実施例のゲートバルブの動作を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１７】
本発明の実施例（以下、本実施例という。）のゲートバルブについて、以下図１を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施例のゲートバルブの構成を示す概略斜視図である。図１について、内部の構成を示すために、一部を断面図として示している。また、図１は、ゲートバルブを正面から見た図である。
【００１９】
本実施例のゲートバルブ１００は、弁箱２００内の弁座２１０に対して弁体１０が対峙して配置され、駆動源５０からの駆動力により弁体１０が駆動され、シール材１２が弁座２１０に押圧され、つぶし状態とすることで弁座２１０の開口部２１２を通過する気体のシールが行われるようになっている。弁体１０は、図１に示す方向Ｍへ動く。以下、この弁体１０が移動する方向をゲートバルブの開閉方向Ｍとする。
【００２０】
本実施例のゲートバルブ１００は、上述の弁体１０と、弁体１０に設けられる弁棒２０と、弁棒２０を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部１とを備えている。
【００２１】
また、弁体駆動機構部１は、弁体１０によるゲートバルブ１００の開閉方向Ｍに向けて並設された一対の側板６１、６２を備えた弁体駆動体６０と、一対の側板６１、６２の間に設けられ、弁棒２０に固定されたＬ動作体３０とを備え、弁体駆動体６０とＬ動作体３０とが駆動源５０によって上下方向に駆動するように形成され、一対の側板６１、６２とＬ動作体３０との間のそれぞれに、弁体駆動体６０の上下方向駆動力を並設方向に変換することで、Ｌ動作体を並設方向に動作させる動作機構７０が装着される。
【００２２】
そして、弁体駆動体６０とＬ動作体３０とが駆動源５０によって上下方向に駆動され、Ｌ動作体３０の上下方向動作を止める係止体８０によってＬ動作体３０の上下方向動作が止められたときに、動作機構７０によってＬ動作体３０が弁体駆動体６０内で一対の側板方向Ｍに動作される。
【００２３】
本実施例のゲートバルブ１００は、以上の構成により、弁体１０が図１の弁体の駆動方向に示すように逆さＬ字のごとく駆動する。以下、この弁体１０の動作をＬ動作と称する。
【００２４】
次に、本実施例のゲートバルブ１００の詳細構成について以下説明する。
【００２５】
開口部２１２を有する弁座２１０に対峙して配置される弁体１０には、Ｏリングのごときシール材２１２が取り付けられる。また、この弁体１０は、この弁体１０を支持する弁体支持部１４を介して弁棒２０と接続される。
【００２６】
弁体１０は、図に示すように、長手方向に延在した細長矩形状の平板ブロックが用いられる。弁体１０は、ゲートバルブに適用可能の形状であれば別の形状であってもよい。
【００２７】
弁体支持部１４は、例えば、図に示すようにＬ字形状のブロックが用いられ、弁体１０と接続するための図示しないねじ等の結合部材を挿入させるための孔１６が形成されており、弁体１０の背面１８の側から孔１６を介して結合部材により弁体１０と弁体支持部１４が接続される。
【００２８】
弁棒２０は、丸棒形状の部材が用いられ、その一端は弁体支持部１４に接続される。弁体１０に直接接続する構成としてもよい。また、弁棒２０の他端側は、後述する蓋体９０、Ｌ動作体３０の溝３２、弁体駆動体６０および駆動源５０側に設けられた貫通孔５３に挿通される。この弁棒２０は、駆動源５０からの駆動力により弁体１０を駆動するための駆動軸となる。弁棒２０の形状は、弁体１０への駆動軸として適用可能であれば、別の形状であってもよい。
【００２９】
これら弁体１０、弁体支持部１４、弁棒２０の上端側は、内部が空洞である筐体状の弁箱２００内に収容される。この弁箱２００には、弁体１０のシール材２１２が押圧される部分である弁座２１０が設けられ、これら弁座２１０にはそれぞれ開口部２１２が設けられる。
【００３０】
また、弁箱２００の底部は、蓋体９０が接続される。この蓋体９０には、弁箱２００の底部と接続するための図示しないねじ等の結合部材を挿入させるための孔９４が形成されており、この孔９４を介して結合部材により弁箱２００の底部と蓋体９０が接続される。これら弁箱２００と蓋体９０により、一体の箱体が形成される。
【００３１】
また、蓋体９０には、貫通孔９２が形成されており、この貫通孔９２を弁棒２０が貫通することで、弁棒２０の弁箱２００内の上下移動ができるようになっている。ここで、貫通孔９２の穴の大きさは、弁体１０がＬ動作をできるように、ゲートバルブの開閉方向Ｍに延在された形状となっている。例えば楕円形状とされるが、弁棒２０が水平方向に移動できる大きさであれば円形としてもよい。
【００３２】
また、蓋体９０は、後述するハウジング箱４０の上部が接続される。これら蓋体９０とハウジング箱４０とにより、一体の箱体が形成される。このように、蓋体９０は、弁箱２００の底蓋と、ハウジング箱４０の上蓋との２つの機能を有する。
【００３３】
また、蓋体９０の貫通孔９２の下部とこの貫通孔９２を挿通する弁棒２０との間を覆うようにしてベローズ２２が接続されており、これによりハウジング箱４０内の気体が弁箱２００内に漏れることが防止されている。
【００３４】
ハウジング箱４０は、詳細を後述する弁体駆動機構部１を内部に収納する。ハウジング箱４０の下部には、駆動源５０が接続される。また、ハウジング箱４０の内側の側面には係止部８０が設けられる。この係止部８０は、ハウジング箱４０の内側へ向かって突出しており、Ｌ動作体３０が上昇してきたときに接触して上昇移動を封じるようにＬ動作体３０を係止する。
【００３５】
また、係止部８０は、ローラ部８２と軸部８４とが形成されており、軸部８４は、ハウジング箱４０の内側の側面に固定されている。ローラ部８２は、軸部８４に、軸部８４を中心軸にして回転できるように取り付けられている。
【００３６】
これにより、Ｌ動作体３０が上昇してきたときにこのローラ部８２がＬ動作体３０に接触してＬ動作体３０の上昇移動を封じるように係止し、さらにローラ部８２が軸部８４を中心軸にして回転することで、Ｌ動作体３０がゲートバルブの開閉方向にローラ部８２と摺動して移動される。このようにすることで、Ｌ動作体３０のゲートバルブの開閉方向への移動を円滑にすることができる。
【００３７】
また、ハウジング箱４０は、それぞれの側面に上下方向に延在する溝部４２が形成されている。例えば、図１に示すように、上下方向に延在した楕円形状に形成される。この溝部４２は、後述する弁体駆動体６０に設けられるガイドローラ部５を設け、弁体駆動体６０がガイドローラ部５を介してハウジングの溝部４２に沿って上下方向に摺動できるように構成したものである。詳細は後述する。
【００３８】
駆動源５０は、ブロック体５１とからなり、このブロック体５１内にシリンダ５２とピストンロッド６４が一対設けられる。ブロック体５１には、弁棒２０の他端を挿通するための孔５３と、シリンダ５２を収納するための一対の空洞部５９と、ピストンロッド６４を挿通させるための一対の孔６７が形成されている。また、ブロック体５１は外面にシリンダ５２に空気を流入させるための流入弁５８が設けられている。また、一対のピストンロッド６４は、その上端が弁体駆動体６０を支持している。ブロック体５１と上述の蓋体９０とハウジング箱４０とにより、空間部２が形成される。
【００３９】
これにより、駆動源５０は、流入弁５８を介してシリンダ５２内に圧縮空気を流入させ、この圧縮空気によりピストンロッド６４を上昇させる駆動力を発生し、ピストンロッド６４を介して弁体駆動体６０へと駆動力を伝達し、弁体駆動体６０を上昇移動するようになっている。この駆動源５０は、サーボモータと、このサーボモータからの回転力を直線動作に変換して駆動力を発生させる電動アクチュエータを用いてもよい。
【００４０】
図２は、本発明の実施例のゲートバルブ１００の弁体駆動機構部の構成を示す図である。また、図３は、図２の弁体駆動機構部を分解して示す図である。また、これら図２、図３は、図１に対し、ゲートバルブを背面から見た図である。以下、弁体駆動機構部１を構成について詳述する。
【００４１】
弁体駆動体６０は、弁体によるゲートバルブの開閉方向Ｍに向けて並設された一対の側板６１、６２を備えている。本実施例では、一対の側板６１、６２間に底板６５を備え、底板６５には、弁棒２０を挿入させる貫通孔６９が形成される。また、底板６５の上面とＬ動作体３０の下面と間には弾性体８５が設けられる。また、底板６５の上面には、この弾性体８５の下部を収容させるための溝部６８が形成されている。
【００４２】
これにより、弁体駆動体６０が上昇されると弾性体８５を介してＬ動作体３０も上昇されることとになる。Ｌ動作体３０は弁棒２０を支持固定しているので、Ｌ動作体３０の上昇移動に伴って、弁体１０も上昇移動される。このようにして、弁体駆動体６０とＬ動作体３０とが駆動源５０によって上下方向に駆動するように形成される。
【００４３】
また、一対の側板６１、６２には穴６３が上下二箇所にそれぞれ設けられており、この穴をピン部材７６が挿入され、後述する連結部材７２と連結される。また、一対の側板６１、６２には後述するガイドローラ部５の軸部６を挿入するための貫通孔６６が上下二箇所にそれぞれ形成される。
【００４４】
また、弁体駆動体６０は、外側の側面にガイドローラ部５を備える。このガイドローラ部５は、軸部６に回動可能に固定され、ハウジングの溝部４２内に設けられる。軸部６は、貫通孔６６に挿入されて弁体駆動体６０に固定される。
【００４５】
これにより、ガイドローラ部５は弁体駆動体６０の上昇移動に伴って、回動しながら溝部４２内を上下移動することができるが、ゲートバルブの開閉方向の移動は溝部４２によって係止される。これに従って、弁体駆動体６０のゲートバルブの開閉方向の移動もこのガイドローラ部５が係止されることにより制限される。
【００４６】
Ｌ動作体３０は、一対の側板６１、６２の間に設けられる。このＬ動作体３０は、弁棒２０を支持するとともに、ベローズ２２を密着させるための溝部３２が形成され、これにより弁棒２０がＬ動作体３０によって支持されるように構成されている。
【００４７】
また、本実施例では、Ｌ動作体３０が、一対の側板の端部に、板圧方向に対して垂直方向に延在する側板３５、３６が形成されている。
【００４８】
動作機構７０は、一対の側板６１、６２と、このように、動作機構７０は、一対の側板６１、６２とＬ動作体３０の間のそれぞれに設けられる。本実施例では、動作機構７０は、Ｌ動作体３０の側面に設けられた一対のピン部７４と上述した弁体駆動体６０に設けられるピン部７６と各ピン部７６に回動可能に連結される連結部７２とを備えるリンク機構からなる。
【００４９】
このように、このリンク機構からなる動作機構７０は、一対の側板３５、３６と凸部３４との間の凹溝Ｓ内に設けられる。このように、動作機構７０を凹溝Ｓ内に設ける、つまり凹溝Ｓの空間部を利用することで、弁体駆動機構部１の横幅の長さも低減することができる。
【００５０】
連結部７２は、ピン部７４とピン部７６とをそれぞれ連結するための孔７３、７５が形成されており、連結部７２はそれぞれのピン部７４、７６に対して回動可能となっている。この構成により、弁体駆動体６０の上下方向駆動力を並設方向に変換することで、Ｌ動作体を並設方向に動作させることができる。ここで、並設方向とは、図に示すように、弁体１０に向けた一対の側板６１、６２を設けている方向を示す。
【００５１】
動作機構７０は、Ｌ動作体３０が係止体８０によって係止されたときに、連結部７２が回動すると共に、この連結部７２の回動によってＬ動作体３０が並設方向に押し出される。これにより、Ｌ動作体３０とつながっている弁体１０も並設方向に押し出されることになる。このようにして、Ｌ動作体３０が弁体駆動体６０内で一対の側板方向に動作される。このようにして、弁体駆動体６０の上下方向駆動力が併設方向に変換される。
【００５２】
図４、図５、図６は、本発明の実施例のゲートバルブの動作を示す図である。図４は、弁体駆動体６０と、Ｌ動作体３０が上昇している状態を示す図であり、図５は、Ｌ動作体３０が係止体８０に係止された状態を示す図であり、図６は、Ｌ動作体がゲートバルブの開閉方向に移動する状態を示す図である。これら図４〜図６は、説明のため、一部を断面図で示している。
【００５３】
次に、弁体駆動機構部１の動作について説明する。
【００５４】
図４に示すように、弁体駆動体６０とＬ動作体３０とが駆動源によって上下方向に駆動される。このとき、弾性体８５は圧縮変形せず、また動作機構７０も変動されない。ここで、弁体駆動体６０の上昇移動する駆動力が弾性体８５を介してＬ動作体３０に伝達される。Ｌ動作体３０とハウジング箱４０との間はｄ１の距離が保たれている。内部は上述の通り空間部２である。
【００５５】
次に、図５に示すように、Ｌ動作体３０が係止体８０によって係止される。このときは、まだＬ動作体３０とハウジング箱４０との間はｄ１の距離が保たれている。
【００５６】
そして、図６に示すように、Ｌ動作体３０が係止体８０によって係止されたときに、動作機構７０が矢印の方向に回動すると共に、この動作機構７０のリンク機構の回動によってＬ動作体３０が係止体８０を摺動しながら並設方向に押し出される。つまり、Ｌ動作体３０は並設方向に移動する。この際、弾性体８５は圧縮変形し、弾性体８５の下部は底板６５の溝部６８に収容されていることで変位せずに、弾性体８５の上部がＬ動作体３０の並設方向への移動に伴って並設方向に変位する。
【００５７】
このようにＬ動作体３０が並設方向に押し出されることで、Ｌ動作体３０とつながっている弁体１０も並設方向に押し出されることになる。このようにして、Ｌ動作体３０が弁体駆動体６０内で一対の側板方向に動作される。このとき、Ｌ動作体３０とハウジング箱４０との間はｄ２の距離となる。また、弁体駆動体６０とＬ動作体３０との間にはｄ３の空隙が生ずる。
【００５８】
なお、本実施例のゲートバルブ１００は、図示しないが、弁体駆動体６０がピストンロッド６４からの下方向の駆動力により下降されると、Ｌ動作体３０が上記圧縮変形された弾性体８５のバネ荷重により下方に移動されて並設方向に押し出される前の元の位置に戻り、その後弁体駆動体６０と共に下降する。このようにして、弁体１０が弁座２１０から解放されて弁座２１０のシールが解除される。
【００５９】
本実施例のゲートバルブ１００は、以上の構成により弁体１０によるＬ動作が実現されて、弁座２１０のシールが行われる。以上のように、弁体１０をＬ動作させることにより、従来のようにシール材１２を弁座２１０に摩擦させながらシールさせる動作を防止することができるので、シール材１２の消耗を低減することができる。
【００６０】
また、以上の構成によれば、弁体駆動体６０の幅とＬ動作体３０の幅が重なっているので、Ｌ動作体３０が弁体駆動体６０内で一対の側板方向に動作させることができるので、ハウジング箱４０の幅を縮小することができる。このようにすることで、弁体によるゲートバルブ１００の開閉方向においてハウジング箱４０の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とすることができる。
【００６１】
以上の構成によれば、弁体駆動体６０の側板６１、６２の間にＬ動作体３０を設けているので、弁体駆動体６０の幅とＬ動作体３０の幅が重なることになり、これらを収納するハウジング箱４０の幅を低減することができる。これにより、弁体によるゲートバルブ１００の開閉方向においてハウジング箱４０の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とすることができ、ゲートバルブ１００全体の幅を低減することができてゲートバルブ１００の小型化をすることができる。
【００６２】
このように、本発明の実施例のゲートバルブは、また、開口部を有する弁座に対峙して配置される弁体と、弁体に設けられる弁棒と、弁棒を介して弁体を駆動する弁体駆動機構部とから構成されるゲートバルブ駆動部と、該ゲートバルブ駆動部を収容するハウジング箱および該ハウジング箱に装着される弁箱と、を備えて構成されるゲートバルブにおいて、ゲートバルブ駆動部が、弁体によるゲートバルブの開閉方向に向けて並設された一対の側板を備えた弁体駆動体と、一対の側板の間に設けられ、弁棒に固定されたＬ動作体とを備え、弁体駆動体とＬ動作体とが駆動源によって上下方向に駆動するように形成され、Ｌ動作体から弁体駆動体内で一対の側板方向に動作されるようにして形成され、一対の側板とＬ動作体との間のそれぞれに、弁体駆動体の上下方向駆動力を並設方向に変換することで、Ｌ動作体を並設方向に動作させる動作機構が装着され、弁体によるゲートバルブの開閉方向においてハウジング箱の外面幅が、弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とされた当該ハウジング箱内にゲートバルブ駆動部が収納されることを特徴としている。
【００６３】
本発明の実施例のゲートバルブは、弁体によるゲートバルブの開閉方向においてハウジング箱の外面幅が弁箱の外面幅に対して同一もしくは以下とされた当該ハウジング箱内にゲートバルブ駆動部が収納することで、ハウジング箱の幅を小さくすることができ、小型化ができるゲートバルブを提供することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１…弁体駆動機構部、５…ガイドローラ部、１０…弁体、２０…弁棒、３０…Ｌ動作体、４０…ハウジング箱、５０…駆動源、６０…弁体駆動体、６１、６２…側板、７０…動作機構、８０…係止体、１００…ゲートバルブ、２００…弁箱、２１０…弁座、２１２…開口部。
【要約】
【課題】ハウジング箱の幅を小さくすることで小型化ができるゲートバルブを提供する。
【解決手段】ゲートバルブは、弁体によるゲートバルブの開閉方向に向けて並設された一対の側板を備えた弁体駆動体と、一対の側板の間に設けられ、弁棒に固定されたＬ動作体とを備える弁体駆動機構部からなり、弁体駆動体とＬ動作体とが駆動源によって上下方向に駆動するように形成され、一対の側板とＬ動作体との間のそれぞれに、弁体駆動体の上下方向駆動力を併設方向に変換することで、Ｌ動作体を並設方向に動作させる動作機構が装着される。そして、弁体駆動体とＬ動作体とが駆動源によって上下方向に駆動され、弁体駆動体の上下方向動作を止める係止体によって弁体駆動体の上下方向動作が止められたときに、動作機構によってＬ動作体が弁体駆動体内で一対の側板方向に動作される。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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