(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に導通される端子部と、
前記端子部に接続される配線層を有する可撓性配線基板と、を具備し、
前記配線層が、１つの前記端子部と接続される領域においてスリットを有し、且つ前記配線層と前記端子部とが異方性導電材を介して接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記圧力発生手段の並設方向において、前記スリットの幅が前記端子部の幅よりも狭く、前記領域において、複数のスリットを有することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記端子部の周縁部に前記端子部の中央部よりも突出した凸部が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子である圧電アクチュエーターにより変形させて圧力発生室のインクを加圧して、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電アクチュエーターのたわみ変形を用いたものが実用化されている。
【０００３】
また、圧電アクチュエーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路は、フレキシブルプリント基板等の配線基板に実装され、駆動回路からの駆動信号はこの配線基板を介して圧電アクチュエーターに供給される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２８１４７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ノズル列の多列化及び高密度化に伴い圧電アクチュエーターを複数設けたインクジェット式記録ヘッドが望まれているものの、複数の圧電アクチュエーターに共通する共通電極と配線基板の配線との接続部分において導通する接続面積が狭いと電気抵抗値が高くなり、複数の圧電アクチュエーターを同時に駆動した際に電圧降下が発生するなど、十分な電圧を印加することができなくなって駆動不良が発生するという問題がある。
【０００６】
また、圧電アクチュエーターの共通電極と配線基板の配線との接続部分の電気抵抗値が高くなると、接続部分で発熱し、配線基板の剥離等の破壊が発生し易くなってしまうという問題がある。
【０００７】
なお、圧電アクチュエーターの共通電極と外部配線の配線とを導通する接続部分の面積を広げるために端子部の面積を広げると、インクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうという問題がある。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、配線基板と共通電極とを導通する接続部分の電気抵抗値を低下させて、圧電アクチュエーターの駆動不良を抑制すると共にノズル開口の多列化及び高密度化を実現でき、且つ小型化を図ることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体に圧力変化を生じさせる圧力発生手段に導通される端子部と、前記端子部に接続される配線層を有する可撓性配線基板と、を具備し、前記配線層が、１つの前記端子部と接続される領域においてスリットを有し、且つ前記配線層と前記端子部とが異方性導電材を介して接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、配線層の１つの端子部と接続される領域にスリットを設けることで、配線層が端子部の表面の凹凸に沿って配置され、配線層と端子部とのギャップを略均一化して、配線層と端子部とを接続する異方性導電材に含まれる導電粒子の数を増大させて、接続部分での電気抵抗値を下げることができる。
ここで、前記圧力発生手段の並設方向において、前記スリットの幅が前記端子部の幅よりも狭く、前記領域において、複数のスリットを有することが好ましい。これによれば、１つの端子部に対して複数のスリットを設けることができる。
また、前記端子部の周縁部に前記端子部の中央部よりも突出した凸部が設けられていることが好ましい。これによれば、端子部の周囲が中央部よりも突出した凸部が設けられていても、配線層と端子部とを接続する導電粒子の数を増大させて、電気抵抗値を低下させることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、駆動不良や破壊を抑制した液体噴射装置を実現することができる。
また、他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、複数の前記圧力発生手段の各個別電極に接続されると共に複数の前記圧力発生手段に共通する共通電極の端子部に接続される配線層を有し、外部からの制御信号を伝える可撓性を有する配線基板と、を具備し、前記配線基板の配線層が、前記圧力発生手段の前記共通電極の前記端子部と接続される領域においてスリットを有し、且つ前記配線基板の前記配線層と前記圧力発生手段の前記端子部とが異方性導電材を介して接続されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、配線層の共通電極の端子部と接続される領域にスリットを設けることで、配線層が共通電極の端子部の表面の凹凸に沿って配置され、配線層と端子部とのギャップを略均一化して、配線層と端子部とを接続する異方性導電材に含まれる導電粒子の数を増大させて、接続部分での電気抵抗値を下げることができる。
【００１０】
ここで、前記圧力発生手段が、前記圧力発生室が形成された流路形成基板上に設けられて、上電極、圧電体層及び下電極を有する圧電アクチュエーターからなることが好ましい。これによれば、圧電アクチュエーターの駆動によってノズル開口から液滴を吐出させることができると共に、複数の圧電アクチュエーターを同時に駆動しても電流の降下を抑制することができる。
【００１１】
また、前記共通電極の端子部が、周囲が中央部に対して突出して設けられていてもよい。端子部の周囲が中央部に対して突出して設けられていても、配線層と端子部とを接続する導電粒子の数を増大させて、電気抵抗値を低下させることができる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、駆動不良や破壊を抑制した液体噴射装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図５】実施形態１に係る従来の記録ヘッドの断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２はインクジェット式記録ヘッドの平面図及びアクチュエーターユニットの平面図であり、図３は図２のＡ−Ａ′線断面図であり、図４は、図２のＢ−Ｂ′線要部断面図である。
【００１５】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、アクチュエーターユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエーターユニット２０に接続される配線基板５０とで構成されている。
【００１６】
アクチュエーターユニット２０は、圧力発生手段として圧電アクチュエーター４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。
【００１７】
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本実施形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。
【００１８】
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するマニホールド３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。
【００１９】
そして、圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本実施形態では、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、圧電アクチュエーター４０の列も２列設けられている。
【００２０】
ここで、各圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。勿論、下電極膜４３を各圧電体層４４毎に設けるようにしてもよい。さらに、上電極膜４５は、各圧電体層４４毎に独立して設けられて各圧電アクチュエーター４０の個別電極となっている。なお、本実施形態では、下電極膜４３を複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極とし、上電極膜４５を圧電アクチュエーター４０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００２１】
このようなアクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。そして、その後、振動板２３上に圧電アクチュエーター４０が形成される。
【００２２】
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールド形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。
【００２３】
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。
【００２４】
マニホールド形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。
【００２５】
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本実施形態では、流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、マニホールド形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてマニホールド３２の一方面を封止している。
【００２６】
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本実施形態では、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエーターユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。
【００２７】
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
【００２８】
また、図３〜図５に示すように、各圧電アクチュエーター４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、圧電アクチュエーター４０に導通する端子部として、個別端子部４６と共通端子部４７とが設けられている。個別端子部４６は、圧電アクチュエーター４０毎に設けられて圧電アクチュエーター４０の上電極膜４５に導通する。また、共通端子部４７は、圧電アクチュエーター４０の並設方向両端部側に引き出されて下電極膜４３に導通する。本実施形態では、並設された圧電アクチュエーター４０の列と列の間に並設された個別端子部４６の列を２列設け、個別端子部４６が並設された両側にそれぞれ共通端子部４７を設けるようにした。また、共通端子部４７は、２列の圧電アクチュエーター４０の下電極膜４３に共通して設けられている。すなわち、２列の圧電アクチュエーター４０の下電極膜４３は、圧電アクチュエーター４０の並設方向両端部側で連続しており、この連続した領域に共通端子部４７が設けられている。
【００２９】
ここで、下電極膜４３に導通する共通端子部４７は、上電極膜４５に導通する個別端子部４６に比べて広い面積を有する。これは、本実施形態では、下電極膜４３が複数の圧電アクチュエーター４０に共通する共通電極として設けられているため、複数の圧電アクチュエーター４０を駆動する大きな電流をこの共通電極である下電極膜４３に印加した際に、接続部分での電気抵抗値を下げて、印加する電流の低下を抑制するためである。
【００３０】
なお、このような個別端子部４６及び共通端子部４７は、例えば、銀（Ａｇ）等の導電性の高い金属材料を用いて、例えば、スクリーン印刷によって形成することができる。
【００３１】
そして、圧電アクチュエーター４０の各上電極膜４５及び下電極膜４３に導通する個別端子部４６及び共通端子部４７には、配線基板５０に設けられた配線層５１が電気的に接続されている。各圧電アクチュエーター４０には、この配線基板５０を介して図示しない駆動回路からの駆動信号が供給される。なお、駆動回路は特に図示していないが、配線基板５０上に実装されていても、また、配線基板５０以外に実装されていてもよい。
【００３２】
配線基板５０は、２列の圧電アクチュエーター４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。詳しくは、配線基板５０は、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅薄をベースとして錫メッキ等を施した所定パターンの配線層５１を形成し、配線層５１の個別端子部４６及び共通端子部４７と接続される接続端子部以外の領域をレジスト等の絶縁材料５３で覆ったものである。
【００３３】
また、配線基板５０には、並設された圧電アクチュエーター４０の列と列の間に対向する領域に貫通孔５４が設けられており、配線層５１は、貫通孔５４側の端部で個別端子部４６と接続されている。なお、配線基板５０の貫通孔５４は、貫通孔５４が設けられていないベースフィルム５２の表面に、一方の列の圧電アクチュエーター４０に接続される配線層５１と、他方の列の圧電アクチュエーター４０に接続される配線層５１とが連続するように形成後、２列の圧電アクチュエーター４０に接続される導通された配線層５１を切断することで形成される。また、本実施形態では、図２（ａ）に示すように、貫通孔５４は、個別端子部４６に接続される配線層５１の領域のみに形成され、共通端子部４７に接続される配線層５１側には設けられていない。このため、２列の圧電アクチュエーター４０の列の下電極膜４３に共通する共通端子部４７には、貫通孔５４によって切断されていない連続した配線層５１が接続されている。
【００３４】
ここで、配線層５１は、上電極膜４５に導通する個別端子部４６に接続される個別用配線層５６と、下電極膜４３に導通する共通端子部４７に接続される共通用配線層５７とを有する。そして、個別用配線層５６の先端部が各個別端子部４６に接続される個別用接続端子部５６ａとなっている。また、共通用配線層５７の共通端子部４７に相対向する領域が、共通端子部４７に接続される共通用接続端子部５７ａとなっている。
【００３５】
共通用配線層５７の共通用接続端子部５７ａは、下電極膜４３に導通する共通端子部４７の面積と略同じ面積で設けられている。また、共通用接続端子部５７ａには、複数のスリット５８が並設されている。スリット５８は、共通端子部４７の幅（圧電アクチュエーター４０の並設方向と直交する方向の幅）よりも広い長さで、共通用配線層５７を厚さ方向に貫通して設けられている。また、スリット５８は、共通端子部４７の幅（圧電アクチュエーター４０の並設方向の幅）よりも狭い幅で、個別端子部４６の並設方向に複数設けることで、１つの共通端子部４７に対して複数個が相対向して設けられている。
【００３６】
そして、配線基板５０の配線層５１（個別用配線層５６の個別用接続端子部５６ａ、共通用配線層５７の共通用接続端子部５７ａ）と圧電アクチュエーター４０に導通する個別端子部４６及び共通端子部４７とは電気的に接続されている。ここで、配線層５１と個別端子部４６及び共通端子部４７との接続は、例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いることができる。なお、異方性導電材としては、例えば、エポキシ系樹脂と、樹脂ボールにニッケルメッキを施したものなど、従来周知のものを用いることができる。本実施形態では、個別端子部４６及び共通端子部４７と配線基板５０の配線層５１とは、異方性導電接着剤からなる接着層５５を介して機械的及び電気的に接続するようにした。なお、接着層５５は、並設された複数の個別端子部４６及び共通端子部４７に亘って設けられており、個別端子部４６及び共通端子部４７と配線層５１との間に設けられた接着層５５によって個別端子部４６及び共通端子部４７と配線層５１とを電気的に接続すると共に、隣り合う個別端子部４６の間や個別端子部４６と共通端子部４７との間などに設けられた接着層５５によって流路形成基板２２と配線基板５０とを機械的に接続している。 
【００３７】
ここで、図４に示すように、下電極膜４３に導通する共通端子部４７は、配線層５１が接続される表面は平坦ではなく、周縁部に表面から突出した凸部４７ａが設けられている。この凸部４７ａは、共通端子部４７をスクリーン印刷によって形成する際に形成されるものである。具体的には、スクリーン印刷では、スクリーン版によって個別端子部４６や共通端子部４７のパターンを形成するが、印刷後にスクリーン版を取り外した際に、スクリーン版のパターンの開口縁部によってインクが持ち上げられて凸部４７ａが形成されてしまう。この凸部４７ａが存在すると、図５に示すように、共通用配線層５７にスリット５８を設けていない共通用接続端子部５７ｂを用いた場合、共通端子部４７の凸部４７ａに囲まれた平坦な領域（中央部）において異方性導電材に含まれる導電粒子を完全に潰すことができず、導電粒子によって共通端子部４７と共通用配線層５７とを接続する領域が凸部４７ａの近辺のみとなり接続面積が減少してしまう。
【００３８】
これに対して、本実施形態では、共通用配線層５７にスリット５８を設けた共通用接続端子部５７ａを用いることで、図４に示すように、配線基板５０が共通端子部４７の表面の凹凸に沿って変形し、スリット５８によって分割された共通用配線層５７が共通端子部４７の表面に沿って配置される。このため、スリット５８によって分割された複数の共通用配線層５７と共通端子部４７の表面との間のギャップを略均一化することができ、共通用配線層５７と共通端子部４７との間で導電粒子を完全に潰すことができ、接続面積を増大させることができる。これにより、共通端子部４７と共通用配線層５７（配線層５１）との接続部分において、電気抵抗値を低下させることができる。したがって、共通端子部４７と共通用配線層５７（配線層５１）との接続部分の電気抵抗値を低くすることで、複数の圧電アクチュエーター４０を同時に駆動した際に印加される電流が低下して駆動不良が発生することを抑制することができると共に、接続部分での発熱により配線層５１が共通端子部４７から剥離するなどの破壊が発生するのを抑制することができる。
【００３９】
さらに、本実施形態では、共通用配線層５７の共通用接続端子部５７ａにスリット５８を設けることで、共通端子部４７と接続する導電粒子の数を増大することができるため、共通用配線層５７の共通用接続端子部５７ａや共通端子部４７の実際の面積を増大させる必要がない。このため、インクジェット式記録ヘッド１０を小型化することができる。
【００４０】
ちなみに、図５に示すようにスリット５８を設けていない共通用配線層５７（共通用接続端子部５７ｂ）を用いた場合、共通端子部４７と共通用配線層５７との間が３０〜１００粒程度の導電粒によって導通され、接続部分の電気抵抗値は０．１Ω以下となっていた。これに対して、図４に示すようにスリット５８を設けた共通用配線層５７（共通用接続端子部５７ａ）を用いた場合、共通端子部４７と共通用配線層５７との間が１００粒以上の導電粒子によって導通されて０．０２Ω以下の電気抵抗値となり、電気抵抗値を下げることができた。
【００４１】
なお、個別端子部４６と個別用配線層５６との接続では、個別端子部４６は、各圧電アクチュエーター４０の個別電極である上電極膜４５と導通しているため、広い接続面積は必要ないが、上述した共通用配線層５７の共通用接続端子部５７ａと同様に、個別用接続端子部５６ａにも複数のスリットを設けて、電気抵抗値を下げるようにしてもよい。
【００４２】
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）からインク導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでの液体流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号を配線基板５０を介して圧電アクチュエーター４０に供給することで、各圧力発生室２１に対応する各圧電アクチュエーター４０に電圧を印加して圧電アクチュエーター４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。
【００４３】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、２列の圧電アクチュエーター４０の列に共通する下電極膜４３を設け、２箇所に共通端子部４７を設けて、配線基板５０の配線層５１（共通用配線層５７）と２箇所で接続するようにしたが、共通端子部４７の数や配線基板５０の配線層５１との接続数は、１箇所であっても３箇所以上であってもよい。もちろん、２列の圧電アクチュエーター４０の列のそれぞれに独立する下電極膜４３を設けるようにしてもよい。
【００４４】
また、上述した実施形態１では、厚膜型の圧電アクチュエーター４０を用いたアクチュエーター装置を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法により順次積層する薄膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。
【００４５】
また、これら実施形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４６】
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４７】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４８】
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００４９】
また、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド１０を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
【符号の説明】
【００５０】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射装置）、  ２０  アクチュエーターユニット、  ２１  圧力発生室、  ２２  流路形成基板、  ２３  振動板、  ２４  圧力発生室底板、  ３０  流路ユニット、  ３１  インク供給口形成基板、  ３２  マニホールド、  ３３  マニホールド形成基板、  ３４  ノズル開口、  ３５  ノズルプレート、  ４０  圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、  ４３  下電極膜（共通電極）、  ４４  圧電体層、  ４５  上電極膜（個別電極）、  ４６  個別端子部、  ４７  共通端子部、  ４７ａ  凸部、  ５０  配線基板、  ５１  配線層、  ５２  ベースフィルム、  ５３  絶縁材料、  ５４  貫通孔、  ５５  接着層、  ５６  個別用配線層、  ５６ａ  個別用接続端子部、  ５７  共通用配線層、  ５７ａ  共通用接続端子部、  ５８  スリット
【図１】
0005700199.tif 000002
【図２】
0005700199.tif 000003
【図３】
0005700199.tif 000004
【図４】
0005700199.tif 000005
【図５】
0005700199.tif 000006
【図６】
0005700199.tif 000007