(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続した状態で搬送される検査対象が切断装置によって切断される切断位置に到達するよりも前に前記検査対象から欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の中心位置と欠陥の搬送方向の長さとを示す欠陥情報を出力する欠陥検出部と、
切断装置により前記検査対象を切断したタイミングを示すカット信号を入力した場合、前記カット信号が示すタイミングで切断された前記検査対象の切断位置に相当する前記検査対象の端部であって搬送方向の下流側の前記検査対象の端部から上流側に向かって予め決められた第１サイズに切断される前記検査対象の範囲において、前記欠陥情報が示す大きさの欠陥の少なくとも一部が含まれているか否かを判定し、前記検査対象が前記切断装置によって前記第１サイズに切断される前記切断位置に到達するよりも前に、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に欠陥の少なくとも一部が含まれていると判定した場合、前記第１サイズよりも小さい第２サイズで前記検査対象を切断することを指示する制御信号を前記切断装置に出力する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記欠陥情報が示す大きさが微小な欠陥の大きさである場合、前記検査対象の面積に応じて予め決められた少なくとも２個以上の欠陥が、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に含まれていると判定したことを条件として、前記制御信号を前記切断装置に出力することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
前記欠陥検出部は、前記搬送される検査対象が前記切断装置によって切断される切断位置よりも搬送方向の上流側において欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の位置を示す欠陥情報を出力し、
前記制御部は、前記切断装置から入力する切断のタイミングを示すカット信号に基づき前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲を判定するとともに、当該範囲内に欠陥が存在するか否かを前記欠陥情報に基づき判定し、当該第１サイズの範囲内に欠陥が存在すると判定した場合、前記制御信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
前記欠陥検出部は、前記搬送される検査対象が前記切断装置によって切断される切断位置よりも搬送方向の上流側付近において欠陥を検出し、
前記制御部は、当該検出した欠陥の存在する部分が前記切断位置よりも搬送方向の下流側に搬送された場合に前記切断装置が切断するよう前記制御信号を出力することを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
前記請求項１から３のいずれか一項に記載の欠陥検査装置と、
前記制御信号を入力した場合、前記第２サイズで前記検査対象を切断し、前記制御信号を入力しない場合、前記第１サイズで前記検査対象を切断することを特徴とする前記切断装置と、
を備えることを特徴とする欠陥検査システム。
【請求項５】
連続した状態で検査対象を搬送し、
搬送される検査対象が切断装置によって切断される切断位置に到達するよりも前に前記検査対象から欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の中心位置と欠陥の搬送方向の長さとを示す欠陥情報を出力し、
切断装置により前記検査対象を切断したタイミングを示すカット信号を入力した場合、前記カット信号が示すタイミングで切断された前記検査対象の切断位置に相当する前記検査対象の端部であって搬送方向の下流側の前記検査対象の端部から上流側に向かって予め決められた第１サイズに切断される前記検査対象の範囲において、前記欠陥情報が示す大きさの欠陥の少なくとも一部が含まれているか否かを判定し、
前記検査対象が前記切断装置によって前記第１サイズに切断される前記切断位置に当該検査対象が到達するよりも前に、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に欠陥の少なくとも一部が含まれていると判定した場合、当該第１サイズよりも小さい第２サイズで前記検査対象を切断することを指示する制御信号を前記切断装置に出力し、
前記欠陥情報が示す大きさが微小な欠陥の大きさである場合、前記検査対象の面積に応じて予め決められた少なくとも２個以上の欠陥が、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に含まれていると判定したことを条件として、前記制御信号を前記切断装置に出力し、
当該制御信号を入力した場合、前記第２サイズで前記検査対象を切断し、当該制御信号を入力しない場合、前記第１サイズで前記検査対象を切断することを特徴とする欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の欠陥を検出する欠陥検査装置、欠陥検査システム、および欠陥検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
搬送路上において搬送される枚葉品の検査対象の異物や、汚れ又は疵などの欠陥を検査する種々の欠陥検出装置が利用されている。これら欠陥検出装置としては、カメラによって検査対象を撮像して画像データを取得し、この画像データを解析することにより、欠陥の有無により枚葉品の良否を判定するものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２８８０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような欠陥検出装置では、その検査対象が、例えば連続シートを既に切断した後の枚葉品であるため、その極一部に欠陥があっても不良品と判定する。このため、欠陥が存在していない大半の部分までも破棄しなければならず、歩留まりが悪くなる問題があった。
本発明は、上記課題を解決するものであり、良品を効率よく生産することができる欠陥検査装置、欠陥検査システム、および欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述の課題を鑑み、本発明に係る欠陥検査装置は、連続した状態で搬送される検査対象が切断装置によって切断される切断位置に到達するよりも前に前記検査対象から欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の中心位置と欠陥の搬送方向の長さとを示す欠陥情報を出力する欠陥検出部と、切断装置により前記検査対象を切断したタイミングを示すカット信号を入力した場合、前記カット信号が示すタイミングで切断された前記検査対象の切断位置に相当する前記検査対象の端部であって搬送方向の下流側の前記検査対象の端部から上流側に向かって予め決められた第１サイズに切断される前記検査対象の範囲において、前記欠陥情報が示す大きさの欠陥の少なくとも一部が含まれているか否かを判定し、前記検査対象が前記切断装置によって前記第１サイズに切断される前記切断位置に到達するよりも前に、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に欠陥の少なくとも一部が含まれていると判定した場合、前記第１サイズよりも小さい第２サイズで前記検査対象を切断することを指示する制御信号を前記切断装置に出力する制御部と、を備え、前記制御部は、前記欠陥情報が示す大きさが微小な欠陥の大きさである場合、前記検査対象の面積に応じて予め決められた少なくとも２個以上の欠陥が、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に含まれていると判定したことを条件として、前記制御信号を前記切断装置に出力することを特徴とする。
【０００６】
また、上述の欠陥検査装置は、前記欠陥検出部が、前記搬送される検査対象が前記切断装置によって切断される切断位置よりも搬送方向の上流側において欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の位置を示す欠陥情報を出力し、前記制御部が、前記切断装置から入力する切断のタイミングを示すカット信号に基づき前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲を判定するとともに、当該範囲内に欠陥が存在するか否かを前記欠陥情報に基づき判定し、当該第１サイズの範囲内に欠陥が存在すると判定した場合、前記制御信号を出力することを特徴とする。
【０００７】
また、上述の欠陥検査装置は、前記欠陥検出部が、前記搬送される検査対象が前記切断装置によって切断される切断位置よりも搬送方向の上流側付近において欠陥を検出し、前記制御部は、当該検出した欠陥の存在する部分が前記切断位置よりも搬送方向の下流側に搬送された場合に前記切断装置が切断するよう前記制御信号を出力することを特徴とする。
【０００８】
また、上述の課題を鑑み、本発明に係る欠陥検査システムは、上述のいずれか一つの欠陥検査装置と、前記制御信号を入力した場合、前記第２サイズで前記検査対象を切断し、前記制御信号を入力しない場合、前記第１サイズで前記検査対象を切断することを特徴とする前記切断装置と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
上述の課題に鑑み、本発明に係る欠陥検査方法は、連続した状態で検査対象を搬送し、搬送される検査対象が切断装置によって切断される切断位置に到達するよりも前に前記検査対象から欠陥を検出して、前記検査対象における欠陥の中心位置と欠陥の搬送方向の長さとを示す欠陥情報を出力し、切断装置により前記検査対象を切断したタイミングを示すカット信号を入力した場合、前記カット信号が示すタイミングで切断された前記検査対象の切断位置に相当する前記検査対象の端部であって搬送方向の下流側の前記検査対象の端部から上流側に向かって予め決められた第１サイズに切断される前記検査対象の範囲において、前記欠陥情報が示す大きさの欠陥の少なくとも一部が含まれているか否かを判定し、前記検査対象が前記切断装置によって前記第１サイズに切断される前記切断位置に当該検査対象が到達するよりも前に、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に欠陥の少なくとも一部が含まれていると判定した場合、当該第１サイズよりも小さい第２サイズで前記検査対象を切断することを指示する制御信号を前記切断装置に出力し、前記欠陥情報が示す大きさが微小な欠陥の大きさである場合、前記検査対象の面積に応じて予め決められた少なくとも２個以上の欠陥が、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲内に含まれていると判定したことを条件として、前記制御信号を前記切断装置に出力し、当該制御信号を入力した場合、前記第２サイズで前記検査対象を切断し、当該制御信号を入力しない場合、前記第１サイズで前記検査対象を切断することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、切断する以前に欠陥を検出し、欠陥に応じて検査対象を切断するサイズを変更することにより、不良品として切断する部分を削減し、良品を効率よく生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる欠陥検査システムの一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施形態にかかる欠陥検査装置と切断装置の構成の一例を示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態にかかる検査対象の切断方法の一例を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態にかかる欠陥検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】本発明の第１実施形態にかかる欠陥検査による効果について説明するための図である。
【図６】本発明の第２実施形態にかかる欠陥検査の一例を説明するための図である。
【図７】本発明の第３実施形態にかかる欠陥検査の一例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１実施形態］
以下、本発明の第１の実施形態における欠陥検査システム１００について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の第１の実施形態にかかる欠陥検査システム１００の一例を示したものである。図１（ａ）は、欠陥検査システム１００の構成について水平方向から見た概略図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す検査対象２を垂直上方向（Ｈ方向）から見た概略図である。本実施形態において、検査対象２は、例えば、帯状に長い長方形の樹脂板や連続フィルムなどのシートである。
【００１３】
図１（ａ）に示す通り、欠陥検査システム１００は、欠陥検査装置２００と、切断装置３００と、生産ライン４００とを含む。
この欠陥検査装置２００は、所定分解能のパルスを出力するロータリエンコーダ２０１と、検査対象２に照明光を照射する照明装置２０２と、ラインごとに撮像を行うラインＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ Ｉｍａｇｅ Ｓｅｎｓｏｒ）カメラ（撮像手段）２０３とを備え、ラインＣＣＤカメラ２０３によって撮影された画像に基づき、検査対象２に欠陥部分が存在するか否かを判定する。この欠陥検査装置２００は、検査対象２に欠陥部分が発見された場合、検査対象２を切断する面積として予め決められている面積（以下、良品サイズという）よりも小さい面積（以下、不良品サイズという）で欠陥部分を切断するように切断装置３００を制御する。なお、この欠陥検査装置２００は、例えば、照射装置２０２からの照射光を検査対象２に照射し、この検査対象２を透過する光に基づき欠陥部分を検出する方法を利用するものである。
【００１４】
切断装置３００は、カッター等の切断手段を備える切断部３０１と、この切断部３０１に駆動信号を出力することにより、搬送される検査対象２が切断位置に到達した際に切断手段を動作させて、検査対象２を切断するように制御する切断制御部３０２とを備える。
この切断制御部３０２は、欠陥検査装置２００から、検査対象２を不良品サイズで切断するように指示する制御信号が入力されると、搬送される検査対象２が一定の速さで搬送されている場合、検査対象２を良品サイズで切断するタイミングよりも早いタイミングで切断するように切断部３０１を制御する。つまり、切断制御部３０２は、欠陥検査装置２００による検査結果に応じたタイミングで検査対象２を切断させるように切断部３０１の動作を制御する。
この切断装置３００は、例えば、搬送される検査対象２の搬送方向と直交する方向に検査対象２を切断する。よって、切断される検査対象２の面積は、検査対象２が切断装置３００によって切断される切断位置に侵入してから移動した移動量、つまり、搬送方向の搬送距離で示すことができる。
【００１５】
生産ライン４００は、ベルトコンベア等の搬送手段を備え、帯状に長い検査対象２であるシートを搬送方向Ａに搬送する生産ライン４００ａと生産ライン４００ｂとを含む。生産ライン４００ａは、生産ライン４００ｂよりも上流側に位置している。生産ライン４００ｂは、切断位置まで検査対象２を搬送する。この搬送方向Ａの上流側から、検査対象２が連続した状態で送られ、搬送方向Ａの下流側にある切断装置３００によって切断される。つまり、検査対象２は、連続した状態で切断装置３００による切断位置まで搬送される。
生産ライン４００ａと生産ライン４００ｂとの間には、欠陥検査装置２００によって検査される隙間があいている。この検査位置において、照明装置２０２から検査対象２を透過する光を、ラインＣＣＤカメラ２０３が撮像して画像データを取得する。  この生産ライン４００ｂは、欠陥検査装置２００による検査結果に応じて、切断装置３００によって切断された検査対象２の排出方向を変えて排出する。例えば、生産ライン４００は、良品サイズで切断された検査対象を積載部に排出し、不良品サイズで切断された検査対象を排出部に排出する。
【００１６】
図１（ｂ）に示す通り、生産ライン４００において、搬送方向Ａの上流側には検査位置ｙが、搬送方向Ａの下流側には切断位置（ｙ−Ｌ１）が予め決められている。検査位置ｙと切断位置（ｙ−Ｌ１）との間の距離は、間隔Ｌ１と予め決められている。この間隔Ｌ１は、検査対象２の切断長Ｌ２よりも長い。この検査対象２の切断長Ｌ２は、検査対象２を良品サイズに切断するために、検査対象２に応じて任意に決められている検査対象２の長手方向（搬送方向Ａ）の長さであって、欠陥部分が検出された場合に切断される欠陥切断長Ｌ３よりも長い。この検査対象２の切断長Ｌ３は、検査対象２を不良品サイズに切断するために、検査対象２に応じて任意に決められている検査対象２の長手方向（搬送方向Ａ）の長さである。この切断長Ｌ２は、例えば、５００〜２０００ｍｍであり、欠陥切断長Ｌ３は、例えば、３００ｍｍである。
【００１７】
次に、図２を参照して、欠陥検査装置２００と切断装置３００の構成の一例について説明する。図２は、欠陥検査装置２００と切断装置３００の構成の一例を示すブロック図である。
【００１８】
欠陥検査装置２００は、さらに、シーケンサ２０４と、画像処理装置２０５と、制御ＰＣ（パーソナルコンピュータ）２０６と、操作ＰＣ２０７とを備える。
ロータリエンコーダ２０１は、所定分解能のパルスを出力するものであり、生産ライン４００の走行（搬送）速度が変化しても、予め設定された分解能パルスを出力することにより、速度追従を行うためのものである。つまり、ロータリエンコーダ２０１は、ベルトコンベアの回転に応じたパルスを出力するものであり、このパルスにより、ベルトコンベアの移動量、つまり、検査対象２の移動量を表わす情報をとなるものである。このロータリエンコーダ２０１は、欠陥検査結果のＯＫ／ＮＧ出力タイミングを調整するための情報ともなる。この欠陥検査結果のＯＫ／ＮＧ出力タイミングは、良品サイズで切断するタイミングであるＯＫ出力タイミングと、不良品サイズで切断するタイミングであるＮＧ出力タイミングである。
また、ロータリエンコーダ２０１は、所定分解能のパルスを切断装置３００にも出力し、切断装置３００が検査対象の移動量（搬送距離）を測定できるようにしている。
【００１９】
照明装置２０２は、蛍光灯、高周波点灯蛍光灯、石英ロッド照明、ＬＥＤ照明、光ファイバ照明などの照明装置であって、検査位置（撮像位置）ｙに照明光を照射する。この照明装置２０２は、搬送方向Ａと直交する直交方向Ｂに長いライン状の照明装置である。例えば、照明装置２０２は、ラインＣＣＤカメラ２０３が撮像する方向と逆の方向から照射光を照射する。
ラインＣＣＤカメラ２０３は、照明装置２０２による照明のもと、検査位置ｙの検査対象２を撮像し、画像データを得る。このラインＣＣＤカメラ２０３としては、２０４８素子、５０００素子、７４５０素子のものがあり、検査対象２の幅、走行速度及び欠陥を検出するために必要な分解能により、それら素子数や台数が設定される。
【００２０】
シーケンサ２０４は、切断装置３００からカット信号を入力して制御ＰＣ２０６に出力する。このシーケンサ２０４は、制御ＰＣ２０６によって、不良品サイズで切断することと判定された場合、制御ＰＣ２０６からＮＧ信号を入力し、切断装置３００に出力する。
このカット信号は、切断装置３００によって検査対象２を切断したタイミングを示す信号であって、例えば、切断制御部３０２が検査対象２を切断するように切断部３０１を制御した際に切断制御部３０２によって出力される信号である。また、ＮＧ信号とは、制御ＰＣ２０６によって、切断装置３００によって切り落とされる部分の検査対象２に欠陥部分が発見された場合、不良品サイズでこの欠陥部分を含む検査対象２を切断するように切断装置３００を制御するための信号である。
シーケンサ２０４は、ロータリエンコーダ２０１からパルスを入力して、画像処理装置２０５と切断装置３００に出力する。
【００２１】
画像処理装置２０５は、連続した状態で搬送されている検査対象２から欠陥を検出する欠陥検出部として機能する。
この画像処理装置２０５は、ラインＣＣＤカメラ２０３から入力する画像データに対して画像処理を行い、検査対象２に欠陥があるか否かを判定する。画像処理装置２０５は、検査位置ｙに到達した検査対象２の幅方向Ｂの少なくとも一部に欠陥が存在する場合、欠陥があると判定する。画像処理装置２０５は、シーケンサ２０４を介してロータリエンコーダ２０１からパルスが入力されたタイミングで、ラインＣＣＤカメラ２０３から読み込んだ画像データに対して画像処理を行い、検出位置ｙに欠陥があるか否かを判定する。例えば、画像処理装置２０５は、画像データに基づき、照明装置２０２からの透過光により影となっている部分を欠陥部分であると判定する。
【００２２】
また、画像処理装置２０５は、欠陥があると判定した場合、シーケンサ２０４から入力するパルスに基づき、検査対象２の欠陥の座標（Ｘ，Ｙ）を算出し、検査対象２の欠陥の位置を座標（Ｘ，Ｙ）で示す欠陥情報を制御ＰＣ２０６に出力する。
この座標（Ｘ，Ｙ）は、幅方向Ｂにおける位置を表わすＸと、搬送方向Ａにおける位置を表わすＹで示す。例えば、Ｘ＝０で示す位置を、検査対象２の一方の端と予め決めておく。また、Ｙ＝０で示す位置を、検査対象２を生産ライン４００にセットして搬送を開始する際に、所定の位置を初期値点と決めておく。この画像処理装置２０５は、欠陥があると判定した場合、当該欠陥を撮影した画像データを制御ＰＣ２０６に出力する。
また、画像処理装置２０５は、欠陥があると判定した場合、当該欠陥のサイズ（面積、搬送方向Ａの長さ、幅等）を検出する。
さらに、画像処理装置２０５は、欠陥の欠陥情報として、欠陥において搬送方向Ａの中央に位置する欠陥の中心座標と、当該欠陥の搬送方向Ａの長さ（以下、欠陥長という）を含む情報を出力するものであってもよく、当該欠陥が存在する全ての座標を表わす情報を出力するものであってもよい。
【００２３】
制御ＰＣ２０６は、検査対象２が切断装置３によって良品サイズに切断される切断位置に到達するよりも前に、良品サイズに切断される検査対象２の範囲から欠陥が検出された場合、良品サイズよりも面積が小さい不良品サイズで前記検査対象を切断することを指示するＮＧ信号（制御信号）を切断装置３００に出力する制御部として機能する。
また、本実施形態にように、切断位置（ｙ−Ｌ１）よりも搬送方向の上流側において欠陥を検出する場合、制御ＰＣ２０６は、切断装置３００から入力するカット信号に基づき、次に良品サイズに切断される検査対象２の範囲を判定するとともに、当該範囲内に欠陥が存在するか否かを自身の記憶部に記憶する欠陥情報に基づき判定する。次に良品サイズに切断するこの良品サイズの範囲内に欠陥が存在すると判定した場合、制御ＰＣ２０６は、ＮＧ信号を切断装置３００に出力する。
【００２４】
この制御ＰＣ２０６は、例えば、画像処理装置２０５、照明装置２０２、およびシーケンサ２０４を高速制御するためのリアルタイムＯＳを採用したコンピュータである。この制御ＰＣ２０６は、画像処理装置２０５から入力する欠陥情報と画像データを、検出された欠陥部分に対応付けて、自身の記憶部に一次的に記憶する。
また、制御ＰＣ２０６は、シーケンサ２０４を介して、切断装置３００からカット信号を入力した場合、自身の記憶部に記憶している欠陥の欠陥情報に基づき、検査対象２の切断される部分から良品サイズの範囲に、画像処理装置２０５によって検出された欠陥が存在しているか否かを判定する。例えば、制御ＰＣ２０６は、切断直後に、切断位置（ｙ−Ｌ１）から上流側に向かって予め設定された製品長の範囲（切断位置（ｙ−Ｌ１）から切断長Ｌ２までの範囲）に、画像処理装置２０５によって検出された欠陥が存在しているか否かを判定する。
この制御ＰＣ２０６は、この切断される部分から良品サイズの範囲（言い換えると、切断位置（ｙ−Ｌ１）から切断長Ｌ２までの範囲）に、欠陥が存在していると判定した場合、ＮＧ信号をシーケンサ２０４を介して切断装置３００に出力する。また、制御ＰＣ２０６は、欠陥が存在していると判定した場合、欠陥情報と画像データを操作ＰＣ２０７に出力する。
【００２５】
操作ＰＣ２０７は、検査条件の設定、検査中の画面表示、過去の検査結果の参照などを行うものであり、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）ＯＳを採用したコンピュータである。この操作ＰＣ２０７は、例えば、記憶部を備え、制御ＰＣ２０６から入力する欠陥の画像データと欠陥情報を、欠陥ごとに対応付けて記憶する。この操作ＰＣ２０７は、例えば、操作部を備え、ユーザからの操作指示を操作部を介して受け付け、入力された検査条件（例えば、切断長Ｌ２、欠陥切断長Ｌ３の値や、欠陥検出条件等）を設定する。この操作ＰＣ２０７は、例えば、表示部を備え、操作部を介してユーザから指定された欠陥の画像データを、リスト、マップ、あるいは画像として表示する。
【００２６】
切断装置３００は、上述の通り、切断部３０１と切断制御部３０２とを備える。切断制御部３０２は、例えば、切断制御部３０２が検査対象２を切断するように切断部３０１を制御した際、検査対象２を切断したタイミングを示すカット信号を欠陥検査装置２００に出力する。
この切断制御部３０２は、遅くとも不良品サイズで検査対象２を切断するタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力しない場合、良品サイズで検査対象２を切断する。一方、遅くとも不良品サイズで検査対象２を切断するタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力した場合、不良品サイズで検査対象２を切断する。
【００２７】
また、切断装置３００は、欠陥検査装置２００から入力するロータリエンコーダ２０１からのパルスに基づき、前回切断した位置から検査対象２が移動した距離を算出し、予め決められた良品サイズの搬送方向Ａの長さＬ２に到達した場合、当該検査対象２を切断する。これにより、切断装置３００は、搬送される検査対象２を一定の良品サイズに切断することができる。
一方、前回切断した位置から検査対象２が移動した距離が、良品サイズの搬送方向Ａの長さＬ２に到達する前に、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力した場合、切断装置３００は、ＮＧ信号が入力した場合に切断することが予め決められている不良品サイズに検査対象２を切断する。つまり、切断装置３００は、遅くとも不良品サイズに切断するタイミングまでに（つまり、搬送される検査対象２の前回の切断面が、切断位置（ｙ−Ｌ１）から搬送方向の下流側に不良品サイズの長さＬ３以上搬送させるまでに）、ＮＧ信号を入力する必要がある。
この切断装置３００は、例えば、ＮＧ信号が入力しない場合に良品サイズの長さＬ２に切断すること、および、ＮＧ信号が入力した場合に不良品サイズの長さＬ３に切断することが予め決められている装置である。
【００２８】
次に、図３を参照して、検査対象２の切断時の欠陥検査装置の処理のタイミングの一例について説明する。図３は、この検査対象２の切断時の欠陥検査装置の処理のタイミングの一例を説明するための図である。
例えば、図３に示す通り、カット位置Ｐ１で切断装置３００が検査対象２を切断する場合、切断装置３００は、カット信号Ｃ１を欠陥検査装置２００に出力する。これにより、欠陥検査装置２００は、例えば、カット信号Ｃ１が入力したタイミングで検査媒体２が切断されたことを判定する。
ここで、図示の通り、カット信号Ｃ１のタイミングで切断された切断部分から良品サイズの領域（切断位置（ｙ−Ｌ１）から切断長Ｌ２の範囲）には欠陥Ｄ１があるため、欠陥検査装置２００の制御ＰＣ２０６は、良品サイズの領域に欠陥Ｄ１があることを判定し、ＮＧ信号Ｎ１をシーケンサ２０４を介して切断装置３００に出力する。具体的にいうと、この制御ＰＣ２０６は、自身の記憶部に記憶されている欠陥Ｄ１の欠陥情報に基づき、この欠陥情報が示す欠陥Ｄ１が良品サイズの範囲（カット位置Ｐ１から搬送方向の上流側に切断長Ｌ２の範囲）に存在するか否かを判定する。この範囲内に欠陥Ｄ１が存在しているため、制御ＰＣ２０６は、ＮＧ信号Ｎ１を切断装置３００に出力する。
そして、切断装置３００の切断制御部３０２は、ＮＧ信号Ｎ１を入力すると、不良品サイズで検査対象２を切り落とすため、カット位置Ｐ２で検査対象２を切断するタイミングで、カット信号Ｃ２を切断部３０１に出力し、検査対象２を切断させる。
【００２９】
ここで、カット信号Ｃ２に基づき切断されたカット位置Ｐ２から上流側に欠陥切断長Ｌ３の範囲（カット位置から不良品サイズの範囲内）には欠陥がない。しかし、欠陥検査装置２００は、カット位置Ｐ２から上流側に切断長Ｌ２の範囲（カット位置から良品サイズの範囲内）に欠陥Ｄ２があるため、ＮＧ信号Ｎ２を切断装置３００に出力する。
そして、切断装置３００の切断制御部３０２は、ＮＧ信号Ｎ２を入力すると、欠陥切断長Ｌ３となる位置（カット位置Ｐ３）で検査対象２を切断するようにカット信号Ｃ３を切断部３０１に出力し、検査対象を切断させる。
次いで、欠陥検査装置２００は、カット位置Ｐ３から上流側に切断長Ｌ２の範囲に欠陥Ｄ２があるため、ＮＧ信号Ｎ３を切断装置３００に出力する。
そして、切断装置３００の切断制御部３０２は、ＮＧ信号Ｎ３を入力すると、不良品サイズで検査対象２を切り落とすため、カット位置Ｐ４で検査対象２を切断するタイミングで、カット信号Ｃ４を切断部３０１に出力し、検査対象を切断させる。
【００３０】
ここで、カット信号Ｃ４に基づき切断されたカット位置Ｐ４から上流側に切断長Ｌ２の範囲（カット位置から良品サイズの範囲内）には欠陥がないため、欠陥検査装置２００は、ＮＧ信号を切断装置３００に出力しない。この切断装置３００の切断制御部３０２は、不良品サイズをカットするタイミングまでにＮＧ信号の入力がないため、良品サイズで検査対象２を切り落とすため、カット位置Ｐ５において検査対象２を切断するタイミングで、カット信号Ｃ４を切断部３０１に出力し、検査対象を切断させる。
【００３１】
次いで、図４を参照して、本実施形態に係る欠陥検査システム１００の処理フローの一例について説明する。図４は、本実施形態に係る欠陥検査システム１００の処理フローの一例を示すフローチャートである。
図４に示す通り、切断装置３００の切断制御部３０２が切断部３０１を制御して、所定のカット位置で検査対象２を切断する際（ステップＳＴ１）、切断制御部３０２は、この切断したタイミングを示すカット信号を欠陥検査装置２００に出力する（ステップＳＴ２）。
この欠陥検査装置２００のシーケンス２０４は、入力するカット信号を制御ＰＣ２０６に出力する。制御ＰＣ２０６は、カット信号を入力すると（ステップＳＴ３）、自身の記憶部に記憶されている欠陥の欠陥情報に基づき、この欠陥情報が示す欠陥が、前回の切断部分から良品サイズの範囲（切断位置（ｙ−Ｌ１）から上流側に切断長Ｌ２の範囲）内に存在するか否かを判定する（ステップＳＴ４）。この制御ＰＣ２０６は、ロータリエンコーダ２０１から入力するパルスに基づき、欠陥情報が示す欠陥が検査対象２のどの位置にあるのか判定することができ、当該欠陥の現在の位置が前回の切断部分から良品サイズの範囲に存在するか否かを判定する。
【００３２】
制御ＰＣ２０６は、欠陥情報の示す欠陥が、前回の切断部分から良品サイズの範囲（切断位置（ｙ−Ｌ１）から上流側に切断長Ｌ２の範囲）内で存在すると判定した場合（ステップＳＴ５−ＹＥＳ）、ＮＧ信号をシーケンス２０４を介して切断装置３００に出力する（ステップＳＴ６）。一方、欠陥情報の示す欠陥が、前回の切断部分から良品サイズの範囲（切断位置（ｙ−Ｌ１）から上流側に切断長Ｌ２の範囲）内で存在しないと判定した場合（ステップＳＴ５−ＮＯ）、制御ＰＣ２０６は、ステップＳＴ３に戻って、カット信号の入力を待つ。
【００３３】
そして、搬送されている検査対象２を不良品サイズで切り落とすタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力した場合（ステップＳＴ７）、切断装置３００の切断制御部３０２は、欠陥検査装置２００からＮＧ信号の入力があったことを判定し（ステップＳＴ８−ＹＥＳ）、不良品サイズで検査対象２を切断するように切断部３０１を制御する（ステップＳＴ９）。この切断制御部３０２は、このカット位置に検査対象２が到達したか否かを判定し（ステップＳＴ１０）、到達した場合、このカット位置で検査対象２を切断するよう切断部３０１を制御し、切断させる（ステップＳＴ１）。
【００３４】
一方、搬送されている検査対象２を不良品サイズで切り落とすタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力しない場合（ステップＳＴ８−ＮＯ）、良品サイズで切断するカット位置（切断部分から搬送方向Ａの上流側に切断長Ｌ２の位置）で検査対象２を切断するように切断部３０１を制御する（ステップＳＴ１１）。この切断制御部３０２は、このカット位置に検査対象２が到達したか否かを判定し（ステップＳＴ１０）、到達した場合、このカット位置で検査対象２を切断するよう切断部３０１を制御し、切断させる（ステップＳＴ１）。
【００３５】
この構成により、欠陥検査装置２００は、欠陥が含まれる検査対象２を良品サイズよりも小さい面積の不良品サイズで切断し、欠陥が含まれない検査対象２を良品サイズで切断することができる。このように、不良品サイズで切断する検査対象２の面積を減少させることで、結果的に、不良品として切り落とされる検査対象２の量を減少させることができるため、良品を効率よく生産することができる。
また、不良品サイズをなるべく小さく切断することによって、再利用する際に、検査対象２を溶解する等の処理の効率を上げることに貢献できる。
【００３６】
ここで、図５を用いて、本発明による検査対象２の切断結果の例と、本発明によらない検査対象の切断結果の例について説明する。図５（ａ）は、本発明によらない検査対象の切断結果の例を示す。図５（ｂ）は、本発明による検査対象の切断結果の例を示す。ここでは、同じ幅で、かつ、長手方向に同じ長さの検査対象において、それぞれ同一の位置に欠陥がある同一の対象を、本発明による切断方法と、本発明によらない切断方法で、それぞれ切断した結果を比較して説明する。
【００３７】
図５（ａ）に示す通り、本発明によらない場合、欠陥の有無に関係なく、検査対象２を全て良品サイズで切断するため、欠陥を含まない良品は、２つしか生産することができない。
一方、本実施発明による場合、図５（ｂ）に示す通り、欠陥が含まれている検査対象を良品サイズよりも小さい不良品サイズで切断することにより、良品を４つ生産することができる。
この例では、欠陥が同じ位置にある場合でも、良品の生産量が２倍となった。
【００３８】
［第２実施形態］    
上述の通り、欠陥検査装置２００は、搬送される検査対象２の搬送方向Ａの切断位置（ｙ−Ｌ１）の上流側直近であってもよい。
本実施形態に係る欠陥検査装置２００による欠陥検査方法の一例について、図６を参照して説明する。図６は、本実施形態に係る欠陥検査による切断の流れを示す図である。
図６（ａ）に示す通り、搬送方向Ａの上流から下流に向かって搬送されている検査対象２には、欠陥Ｄ３が存在する。ラインＣＣＤカメラ２０３は、検査対象２の切断位置の直前の検査位置において、搬送される検査対象２を撮像する。ここで、欠陥Ｄ３は、検査位置よりも上流側に存在しているため、ラインＣＣＤカメラ２０３が取得する画像データ内に存在しておらず、画像処理装置２０５によって欠陥Ｄ３は検出されていない。なお、検査対象２の下流側の一端は、前回の切断で切断されており、切断位置（ｙ−Ｌ１）に位置している。
【００３９】
そして、図６（ｂ）に示す通り、検査対象２が搬送されると、欠陥Ｄ３は、検査位置を通過して、ラインＣＣＤカメラ２０３によって撮像され、画像処理装置２０５によって欠陥Ｄ３が検出される。これにより、画像処理装置２０５は、上述と同様にして、欠陥Ｄ３の位置を示す欠陥情報を取得するとともに制御ＰＣ２０６に出力する。制御ＰＣ２０６は、この欠陥情報に基づき、ＮＧ信号を切断装置３００に出力する。言い換えると、制御ＰＣ２０６は、検出した欠陥Ｄ３の存在する部分（検査対象２）が切断位置よりも搬送方向の下流側に搬送された場合に切断装置３００が切断するようＮＧ信号を出力する。例えば、制御ＰＣ２０６は、検出した欠陥Ｄ３の搬送方向の下流側の末端が検査位置を通過したタイミングでＮＧ信号を送信する。
【００４０】
次いで、図６（ｃ）に示すように、検査対象２が搬送されると、切断装置３００は、受信したＮＧ信号に基づき、検査対象２を切断し、排出部に排出する。例えば、切断装置３００は、ＮＧ信号に基づき、当該検出した欠陥の存在する前記検査対象が前記切断位置よりも搬送方向の下流側に搬送された場合、当該欠陥Ｄ３が切断位置よりも搬送方向下流側に搬送された直後に、検査対象２を切断する。
上述の通り、切断装置３００は、欠陥検査装置２００から入力するロータリエンコーダ２０１からのパルスに基づき、前回切断した位置から検査対象２が移動した距離を算出し、予め決められた良品サイズの搬送方向Ａの長さＬ２に到達した場合、当該検査対象２を切断する。
一方、前回切断した位置から検査対象２が移動した距離が、良品サイズの搬送方向Ａの長さＬ２に到達する前に、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力した場合、切断装置３００は、ＮＧ信号が入力したタイミングに基づき、欠陥Ｄ３が切断位置よりも下流側に搬送されたタイミングで検査対象２を切断する。
これにより、図６（ｄ）に示す通り、検査対象２は、欠陥がある場合、良品サイズＬ２よりも小さいサイズで切断される。
この場合、切断装置３００は、良品サイズで検査対象２を切断するタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力しない場合、良品サイズで検査対象２を切断する。一方、良品サイズで検査対象２を切断するタイミングまでに、欠陥検査装置２００からＮＧ信号を入力した場合、入力した時点から最短で切断できるタイミングで検査対象２を切断する。
これにより、切断の回数を低減させ、良品サイズよりも小さい不良品サイズを切り出し排出することができる。
【００４１】
［第３実施形態］      
上述の通り、欠陥検査装置２００の制御ＰＣ２０６は、検査対象２に欠陥が存在する場合、この欠陥が切断される良品サイズの範囲内に存在するか否かを判定することにより、ＮＧ信号の出力の有無を判定している。しかし、本発明は、これに限られず、この制御ＰＣ２０６は、実際の欠陥の搬送方向Ａの長さ（以下、欠陥実寸Ｖという）に、所定の範囲（のりしろ部分）を付加して、当該のりしろ部分が付加された欠陥のサイズが、検査対象２を切断する際の良品サイズの範囲内に存在するか否かを判定するものであってもよい。
【００４２】
図７を参照して一例を説明する。図７は、本実施形態に係る欠陥と判断される領域を説明するための図である。
図７に示す通り、検査対象２において、切断位置（ｙ−Ｌ１）から搬送方向の上流側に良品サイズＬ２の範囲よりもさらに上流側の範囲｛（ｙ−Ｌ１＋Ｌ２）〜ｙの範囲｝にスジ状の欠陥Ｄ４がある。
このような場合、切断装置３００による切断位置の精度が高くないと、切断位置として予定していた検査対象２の所定位置を切断できない場合がある。このような切断位置の精度を考慮して、図示の通り、欠陥実寸Ｖにのりしろ部分ΔＶを搬送方向Ａに付加して、欠陥の搬送方向Ａの長さを（Ｖ＋ΔＶ）とするものである。
【００４３】
具体的に説明すると、画像処理装置２０５は、入力する画像データに基づき、欠陥Ｄ３があると判定した場合、シーケンサ２０４から入力するパルスに基づき、欠陥Ｄ３において搬送方向Ａの中央に位置する欠陥の中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ）と欠陥実寸Ｖを算出する。そして画像処理装置２０５は、欠陥実寸Ｖにのりしろ部分ΔＶを加算した長さを欠陥Ｄ３の搬送方向Ａの長さと決定して、この欠陥Ｄ３の長さ（Ｖ＋ΔＶ）と、中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ）とを含む欠陥情報を制御ＰＣ２０６に出力する。
図示の通り、長さ（Ｖ＋ΔＶ）の欠陥Ｄ３は、その一部が切断装置３００によって良品サイズに切断される範囲｛（ｙ−Ｌ１）〜（ｙ−Ｌ１＋Ｌ２）の範囲｝内に存在する。このため、切断装置３００は、検査対象２を不良品サイズのＬ３で切断し、欠陥Ｄ３が含まれる可能性のある領域を良品として判断しない。よって、切断装置３００による切断位置が上流側に微小にずれた場合、良品サイズに切断する境界線Ｑの付近に欠陥があったとしても、良品サイズとして切り落とされる範囲内に欠陥Ｄ３の一部が入り込むことを防ぐことができる。
【００４４】
なお、のりしろ部分ΔＶの長さは、欠陥Ｄの種類や大きさ、面積等に応じて予め決められているものであってもよい。例えば、図示の通り欠陥Ｄ３は、スジ状の欠陥であるが、例えば、この欠陥Ｄ３よりも搬送方向Ａの長さは短いが幅方向Ｂの長さが長い粒状の欠陥の場合、スジ状の欠陥に比べてそののりしろ部分ΔＶを長くしてもよい。
例えば、ΔＶは、１０〜５００ｍｍの範囲で、欠陥の形状やサイズ（粒状欠陥であるか、スジ欠陥であるか等）に応じて設定される。
【００４５】
また、微小な欠陥が多少含まれていてよい場合がある。このような場合、制御ＰＣ２０６は、これから切断する際の良品サイズＬ２の範囲内に、欠陥が１つ検出された場合にはＮＧ信号を出力せずに、２以上の欠陥が検出された場合に、ＮＧ信号を出力するものであってもよい。
この場合、２以上の欠陥の個数は、検査対象の面積に応じて予め決められている個数であってもよく、例えばＮ個／ｍ２（Ｎは自然数）と決められているものであってもよい。
【００４６】
本発明に係る欠陥検査システム１００の各構成は、上記構成に限られず、例えば、以下のような構成であってもよい。
例えば、検査対象２は、長さ８００ｍｍの樹脂シートであり、走行速度１０ｍ／分で、生産ライン４００によって搬送方向Ａに搬送される。ラインＣＣＤカメラ２０３は、５０００素子のものが２台設置され、検査対象２を分解能０．１ｍｍ／素子×０．１ｍｍ／スキャンで読み取る。ラインＣＣＤカメラ２０３の走査周期は、０．１３２ｍｓであるので、４５ｍ／分以下であれば、ロータリエンコーダ２０１により、流れ分解能０．１ｍｍ／スキャンで一定とすることができる。
照明装置２０２は、４０Ｗの高周波点灯蛍光灯である。
画像処理装置２０５は、株式会社メック製ＬＳＣ−４００Ｖが使用され、ラインＣＣＤカメラ２０３が撮像する画像データに基づき、リアルタイムで欠陥検出を行っている。
制御ＰＣ２０６は、リアルタイムＯＳを採用したコンピュータであり、操作ＰＣ２０７は、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）ＸＰを採用したＮＥＣ製のパソコンである。
下記の条件は、予め下記の範囲で設定した。
【００４７】
また、第１実施形態における不良品サイズのＬ３は、切断装置３００を動作させる際に予め設定しておく固定長であってもよく、欠陥の位置やサイズに応じて可変する値であってもよい。
また、図示はしていないが、ラインＣＣＤカメラ２０３を、検査対象２の表面に対して垂直方向斜めに配置されていると、切断位置（ｙ−Ｌ１）と検査位置ｙが平行からずれる場合がある。このため、ラインＣＣＤカメラ２０３毎に、Ｙ座標の傾斜補正を行うものであってもよい。
【００４８】
なお、上述した第１〜２実施形態において、状態推定装置による機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより、制御してもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものであってもよい。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等の書き込み可能な不揮発性メモリ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。
【００４９】
さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（例えばＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory））のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【符号の説明】
【００５０】
２００・・・欠陥検査装置、２０１・・・ロータリエンコーダ、２０２・・・照明装置、２０３・・・ラインＣＣＤカメラ、２０４・・・シーケンサ、２０５・・・画像処理装置、２０６・・・制御ＰＣ、２０７・・・操作ＰＣ、３００・・・切断装置、３０１・・・切断部、３０２・・・切断制御部
【図１】
0005690088.tif 000002
【図２】
0005690088.tif 000003
【図３】
0005690088.tif 000004
【図４】
0005690088.tif 000005
【図５】
0005690088.tif 000006
【図６】
0005690088.tif 000007
【図７】
0005690088.tif 000008