(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体を予め定められた軸方向に案内する案内機構部と、駆動モータの動力によって前記移動体を移動させる駆動機構部とを備え、前記案内機構部及び駆動機構部の少なくとも一方に転動体を備えた送り装置の制御において、前記駆動モータの作動を制御するための制御パラメータである慣性モーメントに関するパラメータＪ、粘性摩擦に関するパラメータＤ及び転がり摩擦に関するパラメータＴｄを推定する方法であって、
前記駆動モータに入力されるトルク値をＴとして、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させ、一定時間毎又は移動体の予め定められた位置毎の前記駆動モータの角速度ωを計測し、
ついで、前記パラメータＪ及びＤを任意の初期値に設定して、前記計測された各角速度ω及びその時の前記入力トルクＴを基に、下式に従って、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出し、算出したパラメータＴｄを前記位置との関係で線図化するとともに、
得られる前記パラメータＴｄと位置との関係線図が、予め設定した略長方形状の基準線図と近似するように、前記パラメータＪ及びＤの少なくとも一方の値を調整して、前記パラメータＴｄを再算出し、
得られた調整後のパラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を該パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの適正な値と推定するようにしたことを特徴とする制御パラメータ推定方法。
（数１）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【請求項２】
移動体を予め定められた軸方向に案内する案内機構部と、駆動モータの動力によって前記移動体を移動させる駆動機構部とを備え、前記案内機構部及び駆動機構部の少なくとも一方に転動体を備えた送り装置の制御において、前記駆動モータの作動を制御するための制御パラメータである慣性モーメントに関するパラメータＪ、粘性摩擦に関するパラメータＤ及び転がり摩擦に関するパラメータＴｄを設定するための装置であって、
前記パラメータＪ，Ｄ及びＴｄの値を記憶するパラメータ記憶部と、
前記駆動モータに入力されるトルク値をＴとして、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させる制御部と、
一定時間毎又は移動体の予め定められた位置毎の前記駆動モータの角速度ωを計測する角速度計測部、
前記角速度計測部によって計測された角速度ωの値と、その時の前記制御部から前記駆動モータに入力される前記入力トルクＴの値とを、相互に関連付けて記憶する計測データ記憶部と、
外部から、前記パラメータＪ，Ｄの値、及び更新指令の入力を受け付ける入力部と、
前記入力部から入力された前記パラメータＪ及びＤの値と、前記計測データ記憶部に記憶された各角速度ω及びその時の前記入力トルクＴの値とを基に、下式に従って、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出するパラメータ算出部と、
前記パラメータ算出部によって算出されたパラメータＴｄの値を位置との関係で線図化して表示する表示部と、
前記入力部から入力された更新指令を受けて、その時点での前記パラメータ算出部で用いた前記パラメータＪ，Ｄの値、及び算出されたパラメータＴｄの値で、前記パラメータ記憶部に記憶された各パラメータＪ，Ｄ及びＴｄの値を更新する更新処理部とから構成したことを特徴とする制御パラメータ設定装置。
（数２）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、案内機構部及び駆動機構部の少なくとも一方に転動体を備えた送り装置の制御に用いる制御パラメータ、より具体的には、慣性モーメントに関するパラメータＪ、粘性摩擦に関するパラメータＤ及び転がり摩擦に関するパラメータＴｄを推定する方法、並びに前記各制御パラメータを設定するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
転動体を備え、移動体を移動させる送り装置は、通常、移動体の移動を案内する案内機構部と、移動体を移動させる駆動機構部とを備えており、前記案内機構部は、例えば、転がり案内機構から構成され、前記駆動機構部は、例えば、ボールねじと、移動体に固設され、ボールねじに螺合するナットと、ボールねじをその軸中心に回転させ、ナット及びこれに連結された移動体を移動させる駆動モータとから構成される。
【０００３】
このような送り装置を制御する制御装置は、移動体の目標移動位置を基に制御信号を生成して駆動モータに送信し、当該駆動モータによりボールねじを軸中心に回転させて移動体を目標移動位置に移動させる。
【０００４】
例えば、工作機械では、近年ますます高精度な位置決め制御が要求されている。しかしながら、案内機構部が転がり案内機構から構成された送り装置や、駆動機構部がボールねじにより移動体を駆動する送り装置では、移動体を移動させる際に、これら案内機構部や駆動機構部に含まれる転動体に起因した摩擦力が生じるため、この摩擦力によって移動体の目標移動位置と実際の移動位置との間に移動誤差を生じ、移動体を高精度に位置決めすることができなかった。
【０００５】
本願発明者らは、このような移動誤差を効果的に補正する装置として、特願２０１０−０４９８１６号を提案している。同願に記載された発明は、駆動モータに送信される制御信号を解析して、その解析結果と、駆動機構部からフィードバックされる移動体の現在位置とを基にテーブルの移動誤差量を算出し、算出した移動誤差量を基に移動体の移動位置を補正する構成としており、応答結果が分かってからしか補正を行うことができないという従来装置（特開２００２−２３８５２号公報）の問題点を解決し、移動体を目標移動位置に移動させる際に生じる各指令移動位置における外力を推定して、推定した外力を基に移動体の各指令移動位置を補正するフィードフォワード制御による移動位置補正により、高精度の誤差補正を可能としたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２３８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
移動体とそれを送るボールねじ機構（送り装置）とを動作させる駆動モータの軸系の運動方程式は、次の（数１）式で記載される。（数１）式において、Ｔは駆動モータに入力する入力トルク、ωは駆動モータの角速度、ｔは時間、さらに、Ｊ，Ｄ，Ｔｄは、それぞれ、駆動モータの駆動軸に係る送り系の慣性モーメントに関するパラメータ（慣性モーメント係数），粘性摩擦に関するパラメータ（粘性摩擦係数），転がり摩擦に関するパラメータのことである。転がり摩擦に関するパラメータＴｄに関しては、２軸の円弧補間による指令動作において、摩擦抵抗と遅れ要素により指令の通りに動かない誤差が象限突起として生じることが知られており、一般的に外乱要素として取り扱われる。
（数１）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【０００８】
本願発明者らは、特願２０１０−０４９８１６号に開示した発明において、フィードバック制御時の偏差に乗ずる値（位置ループゲイン）を非常に大きく設定し、前記（数１）式における各速度ωないしその微分ｄω／ｄｔをゼロとみなせるほどゆっくり駆動モータを動作させることによって、転がり摩擦に関するパラメータＴｄを推定した。
【０００９】
しかしながら、転がり摩擦に関するパラメータＴｄの推定時に送り装置の動作を過敏にせず、不要振動を生じさせない安定的なものとするには、前記位置ループゲインの値をあまり大きく設定しないことが好ましい。
【００１０】
また、特願２０１０−０４９８１６号に開示した発明では、上述のとおり、前記（数１）式における角速度ωないしその微分ｄω／ｄｔをゼロとみなせるほどゆっくり駆動モータを動作させる必要があるが、このような制限は、実際の工作機械の動作において現実的ではないこともある。
【００１１】
さらに、送り装置において、その制御を的確に行うには、転がり摩擦に関するパラメータＴｄだけでなく、慣性モーメント係数Ｊ、粘性摩擦係数Ｄについても正確な値を推定する必要がある。
【００１２】
本発明は、以上の実情に鑑みなされたものであって、移動体の移動制御を適正に実現するために制御パラメータを的確に推定し、移動体を高精度に位置決め制御することができる制御パラメータ推定方法及び制御パラメータ推定装置の提供をその目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明は、次の構成としている。
移動体を予め定められた軸方向に案内する案内機構部と、駆動モータの動力によって前記移動体を移動させる駆動機構部とを備え、前記案内機構部及び駆動機構部の少なくとも一方に転動体を備えた送り装置の制御において、前記駆動モータの作動を制御するための制御パラメータである慣性モーメントに関するパラメータＪ、粘性摩擦に関するパラメータＤ及び転がり摩擦に関するパラメータＴｄを推定する方法であって、
前記駆動モータに入力されるトルク値をＴとして、位置対時間で表される線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させ、一定時間毎又は移動体の予め定められた位置毎の前記駆動モータの角速度ωを計測し、
ついで、前記パラメータＪ及びＤを任意の初期値に設定して、前記計測された各角速度ω及びその時の前記入力トルクＴを基に、下式に従って、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出した後、算出したパラメータＴｄの前記位置への依存が小さくなるように、前記パラメータＪ及びＤの少なくとも一方の値を調整して、前記パラメータＴｄを再算出し、
得られた調整後のパラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を該パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの適正な値と推定するようにしたことを特徴とする制御パラメータ推定方法。
（数１）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【００１４】
上記の構成によれば、まず駆動モータに入力トルクＴが入力され、位置対時間で表される線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体が前記軸方向に往復動させられる。上記の予め定められた軌道とは、正弦波状の軌道であることが好ましい。正弦波を描くように運動させれば、速度、加速度が常に変化して計算に都合がよく、物理的にも動きが理解しやすいためである。その往復動をする状態で、移動体の予め定められた位置毎に、駆動モータの角速度ωが計測され、両者の組み合わせが基礎データとして蓄積されていく。
【００１５】
上記では、移動体の予め定められた位置毎に、角速度ωを計測するものとしたが、移動体の予め定められた位置の代わりに、一定時間毎に駆動モータの角速度ωを計測ないし算出するようにしてもよい。上記のように、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させているので、時間と移動体の位置とは一対一の関係にあり、一定時間毎に駆動モータの角速度ωを計測するようにすれば、移動体の予め定められた位置毎に角速度ωを計測したのと等価な基礎データが取得できるからである。
【００１６】
このようにして取得した基礎データは、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させた場合の駆動モータにおける角速度ωと入力トルクＴとの関係を示すものであり、この角速度ωと入力トルクＴとの関係は、移動体の位置毎に異なるものとなっている。
【００１７】
次に、パラメータＪ及びＤが任意の初期値に設定される。本発明では、後にパラメータＪ及びＤの少なくとも一方の調整により、パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を次第に適正化していくので、未調整のパラメータＪ及びＤの初期値としては、何ら特定の値に限定されず任意のものを用いることができる。
【００１８】
そして、得られた基礎データを基に、移動体の位置毎に、入力トルクＴ，ω，ｄω／ｄｔと暫定的な値のパラメータＪ及びＤを、駆動モータの軸系の運動方程式（前記（数１）式）に代入していくことにより、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出すると、パラメータＴｄと移動体の位置との関係が得られることになる。
【００１９】
本発明は、パラメータＴｄが移動体の位置にできるだけ依存しないように、すなわち、パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄ（少なくともパラメータＪ，Ｄのうちの一方）を調整することにより、Ｊ、Ｄ及びＴｄの値を適正な値と推定するものである。パラメータＪ，Ｄを調整する際には、パラメータＪ及びＤのうちの一方を調整ないし増減した後に他方を調整ないし増減するようにしてもよいし、両者を同時に調整ないし増減してもよい。
【００２０】
なお、一般に、前記基礎データはヒステリシス曲線として表されるので、本発明において、パラメータＴｄの前記位置依存が小さいとは、移動体の移動方向が一定（正または負）の領域において、パラメータＴｄの標準偏差やバラつき、変化量が小さいことなどをいう。また、ヒステリシス曲線における正または負の２領域はほぼ対称に変化する。
【００２１】
パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄを調整するには、ユーザがＪ，Ｄの更新指令を適宜入力部から入力指示する他、たとえば移動体の位置の変化に対するパラメータＴｄの変化量の許容範囲を予め設定しておき、移動体の位置の変化に対するパラメータＴｄの変化量が同許容範囲内に収まるように、パラメータＪ，Ｄの調整を繰り返し、同許容範囲内に収まったときのパラメータＪ，Ｄ、そしてパラメータＴｄの平均値や代表値を、適正なパラメータＪ，Ｄ、パラメータＴｄの組み合わせとして採用することが考えられる。
【００２２】
本発明によれば、駆動モータの角速度ωを小さくするなどの制限なしに、適正なパラメータＴｄ，及びＪ，Ｄをすべて簡便に推定することができるので、移動体の移動制御や各指令移動位置を補正する制御を適正に実現し、移動体を高精度に位置決め制御することができるという作用効果を奏する。
【００２３】
また、前記目的を達成するための本発明は、次の構成とすることが好ましい。
【００２４】
前記の構成において、前記角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出した後、算出したパラメータＴｄを前記位置との関係で線図化し、
ついで、得られる線図が予め設定した基準線図と近似するように、前記パラメータＪ及びＤの少なくとも一方の値を調整することにより、算出したパラメータＴｄの前記位置への依存が小さくなるように、パラメータＴｄを再算出し、得られた調整後のパラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を該パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの適正な値と推定することを特徴としている。
【００２５】
上記の構成によれば、パラメータＴｄと移動体の位置との対応関係が求められた後、この対応関係がユーザインタフェース（操作盤）となる外部ディスプレイやモニタなどに線図として表示される。そして、この線図が予め設定した基準線図と近似するように、前記パラメータＪ及びＤの少なくとも一方の値を調整することにより、算出したパラメータＴｄの前記位置への依存が小さくなるように、パラメータＴｄが再算出されていく。
【００２６】
本発明では、パラメータＴｄが移動体の位置にできるだけ依存しないように、すなわち、パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄ（少なくともパラメータＪ，Ｄのうちの一方）を調整することにより、Ｊ、Ｄ及びＴｄの値を適正な値と推定するものである。パラメータＪ，Ｄを調整する際には、パラメータＪ及びＤのうちの一方を調整ないし増減した後に他方を調整ないし増減するようにしてもよいし、両者を同時に調整ないし増減してもよい。
【００２７】
このようなパラメータＪ，Ｄの調整作業は、ユーザが、外部インタフェース（ディスプレイ、モニタ、タッチパネルなどを備えた操作盤）を通じてパラメータＪ，Ｄの指示指令ないし変更指令（更新指令）を、入力指示することによって行われる。ユーザの更新指令により、パラメータＪ，Ｄの調整が行われるたびに、パラメータＴｄと移動体の位置との対応関係がディスプレイ等に再描画される構成としておけば、ユーザは、自らの更新指令により、パラメータＴｄの前記位置依存が大きくなったか、小さくなったかを視覚的に容易に確認できる。すなわち、ユーザは、ディスプレイ画面などを確認しながら、パラメータＴｄと移動体との位置を直感的に理解し、その結果に応じて、パラメータＪ，Ｄの値を順次調整していくことが可能となる。
【００２８】
それゆえ、ユーザは、直感的かつ簡便な操作に基づいて、パラメータＪ，Ｄの調整によるパラメータＴｄの安定化ないし収束化動作を指示できるので、ディスプレイやモニタにおいて、グラフとして表示された線図が変化する様子や、基準線図と似通っていく様子等をリアルタイムで確認しながら、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。
【００２９】
また、前記目的を達成するための本発明は、次の構成とすることが好ましい。
【００３０】
前記予め設定した基準線図とは、算出したパラメータＴｄを前記位置との関係で線図化したヒステリシス曲線が略長方形状となっている。
【００３１】
この構成によれば、ユーザは、算出したパラメータＴｄを前記位置との関係で線図化したヒステリシス曲線が、略長方形状の基準線図と近似していくように、パラメータＪ，Ｄの値を順次調整していくことが可能となるので、ユーザは、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。このような基準線図が理想的と考えられるのは、速度反転直後を除いて、運動方程式の非線形摩擦項を定数として取り扱うことができるので、数値制御における追従誤差を大幅に小さくすることが可能となるからである。
【００３２】
本発明によれば、角速度ωを小さくするなどの制限なしに、適正なパラメータＴｄ，及びＪ，Ｄをすべて簡便に推定することができるので、移動体の移動制御や各指令移動位置を補正する制御を適正に実現し、移動体を高精度に位置決め制御することができるという作用効果を奏する。
【００３３】
また、駆動モータの軸にカップリングされた系の特性（例えば慣性モーメントなど）が経年変化（例えばボールねじ内のボール劣化など）によって変化した場合でも、簡便な操作によって、適正なパラメータを再導出することが可能となるので、駆動モータやそれにより駆動される送り系のメンテナンスが極めて容易となる。
【００３４】
そして、この制御パラメータ推定方法は、以下の制御パラメータ推定装置によってこれを好適に実施することができる。
【００３５】
移動体を予め定められた軸方向に案内する案内機構部と、駆動モータの動力によって前記移動体を移動させる駆動機構部とを備え、前記案内機構部及び駆動機構部の少なくとも一方に転動体を備えた送り装置の制御において、前記駆動モータの作動を制御するための制御パラメータである慣性モーメントに関するパラメータＪ、粘性摩擦に関するパラメータＤ及び転がり摩擦に関するパラメータＴｄを設定するための装置であって、
前記パラメータＪ，Ｄ及びＴｄの値を記憶するパラメータ記憶部と、
前記駆動モータに入力されるトルク値をＴとして、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように前記移動体を前記軸方向に往復動させる制御部と、
一定時間毎又は移動体の予め定められた位置毎の前記駆動モータの角速度ωを計測する角速度計測部、
前記角速度計測部によって計測された角速度ωの値と、その時の前記制御部から前記駆動モータに入力される前記入力トルクＴの値とを、相互に関連付けて記憶する計測データ記憶部と、
外部から、前記パラメータＪ，Ｄの値、及び更新指令の入力を受け付ける入力部と、
前記入力部から入力された前記パラメータＪ及びＤの値と、前記計測データ記憶部に記憶された各角速度ω及びその時の前記入力トルクＴの値とを基に、下式に従って、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出するパラメータ算出部と、
前記パラメータ算出部によって算出されたパラメータＴｄの値を位置との関係で線図化して表示する表示部と、
前記入力部から入力された更新指令を受けて、その時点での前記パラメータ算出部で用いた前記パラメータＪ，Ｄの値、及び算出されたパラメータＴｄの値で、前記パラメータ記憶部に記憶された各パラメータＪ，Ｄ及びＴｄの値を更新する更新処理部とから構成したことを特徴とする制御パラメータ設定装置。
（数２）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、角速度ωを小さくするなど生産条件に与える付加的な制限なしに、適正なパラメータＴｄ，及びＪ，Ｄをすべて簡便に推定することができるので、移動体の移動制御や各指令移動位置を補正する制御を適正に実現し、移動体を高精度に位置決め制御することができるという作用効果を奏する。
【００３７】
また、本発明によれば、ユーザは、直感的かつ簡便な操作に基づいて、パラメータＪ，Ｄの調整によるパラメータＴｄの安定化ないし収束化動作を指示できるので、表示された線図が変化する様子や、基準線図と似通っていく様子等をリアルタイムで確認しながら、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施形態に係る制御装置などの概略構成を示した説明図である。
【図２】本実施形態に係る制御装置の詳細な構成を示したブロック図である。
【図３】本実施形態に係る制御装置の動作を示すフローチャートである。
【図４】移動体を往復動させたときの理想的な基準線図の様子（略長方形状のヒステリシス曲線）を示すグラフである。
【図５】シミュレーション結果を示すグラフであり、（ａ）は、シミュレーション上において、位置（縦軸）対時間（横軸）で表される線図が正弦波を描くように移動体を送ったときの軌道の様子を示したグラフ、（ｂ）は、（ａ）のように移動中の前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したグラフである。
【図６】シミュレーション結果を示すグラフであり、（ａ）は、シミュレーション上において、パラメータＤを０にしたときの前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したグラフ、（ｂ）は、（ａ）のグラフに適切なパラメータ調整を施した結果を示したグラフである。
【図７】シミュレーション結果を示すグラフであり、（ａ）は、シミュレーション上において、パラメータＤを理想的な基準線図のときの２倍にしたときの前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したグラフ、（ｂ）は、（ａ）のグラフに適切なパラメータ調整を施した結果を示したグラフである。
【図８】シミュレーション結果を示すグラフであり、（ａ）は、シミュレーション上において、パラメータＪを０にしたときの前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したグラフ、（ｂ）は、（ａ）のグラフに適切なパラメータ調整を施した結果を示したグラフである。
【図９】シミュレーション結果を示すグラフであり、（ａ）は、シミュレーション上において、パラメータＪを理想的な基準線図のときの２倍にしたときの前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したグラフ、（ｂ）は、（ａ）のグラフに適切なパラメータ調整を施した結果を示したグラフである。
【図１０】図４の理想的な基準線図に近いものとして最終的に実験で得られたパラメータＴｄのヒステリシス曲線を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明の具体的な実施形態について、添付図面に基づき説明する。
【００４０】
〔１，本装置の構成例〕
まず、図１を参照して、本発明に係る制御パラメータ推定方法を用いる送り装置５０およびそれを制御する制御装置１（制御パラメータ推定装置を含む）の構成について簡単に説明する。この送り装置５０は、例えば、工作機械に設けられるもので、支持体５１によって移動自在に支持された移動体５２を駆動するようになっており、移動体５２の矢示方向への移動を案内する案内機構部６０と、制御装置１の制御信号によって駆動制御される駆動モータ７３の動力によって移動体５２を移動させる駆動機構部７０とを備える。
【００４１】
前記案内機構部６０は、支持体５１に矢示方向に沿って配設されるガイドレール６１と、移動体５２に固設され、ガイドレール６１に係合にするスライダ６２とから構成される。一方、前記駆動機構部７０は、矢示方向に沿って設けられるボールねじ７１と、支持体５１に配設され、ボールねじ７１の両端部を回転自在に支持する支持部材７２と、支持体５１に配設され、ボールねじ７１をその軸中心に回転させる駆動モータ７３と、移動体５２に固設され、ボールねじ７１に螺合するナット７４と、例えば、ロータリエンコーダから構成され、移動体５２の矢示方向における移動位置を検出する位置検出器７５とから構成される。
【００４２】
位置検出器７５は、ロータリエンコーダによって、駆動モータ７３の回転位置、回転量を測定すると共に、並設された解析回路により、その時間微分量である角速度やさらにその時間微分量を算出する構成を備えており、駆動モータ７３の回転量、角速度、その時間微分などの情報を計測ないし算出する構成となっている。すなわち、位置検出器７５はロータリエンコーダとその付属回路との協働によって、駆動モータの回転位置や回転量だけでなく、その角速度も直接的に計測し、その計測結果を外部に出力できる構成となっている。また、前記スライダ６２及びナット７４は、転動体（図示せず）を備えて構成される。
【００４３】
次に、図２を用いて、制御装置１の制御動作を実現する機能ブロックについて説明する。
【００４４】
図２に示されるように、駆動モータ７３を駆動制御する制御装置１は、プログラム記憶部２，プログラム解析部３，位置指令生成部４，位置制御部５，速度制御部６，電流制御部７，パラメータ記憶部８，反転時補償部９，計測データ記憶部１０，パラメータ算出部１１，表示制御部１２，更新処理部１３，ディスプレイ１４と入力部１５とから構成される操作盤１６から構成されている。以下、各部の詳細について説明する。
【００４５】
前記ＮＣプログラム記憶部２は、半導体メモリなどから構成され、数値制御（Numerical Control）を行うために予め作成された所定のＮＣプログラムを格納する機能部であり、前記プログラム解析部３は、プログラム記憶部２に格納されたＮＣプログラムの内容（加工プログラムや外部からの入力データ）を解析して、移動体５２の送り速度，移動位置などに関する指令をＮＣプログラムから具体的に抽出する機能部である。
【００４６】
前記位置指令生成部４は、プログラム解析部３のＮＣプログラム解析結果に従い、移動体５２の時間当たりの移動目標位置に関する信号（動作指令信号）を生成する処理部であり、プログラム解析部３で抽出された指令を基に予め定められた時定数を加味して、送り系７０の前記動作指令信号を生成し、これを前記位置制御部５に逐次送信する。
【００４７】
前記位置制御部５は、前記位置指令生成部４から受信した動作指令信号と前記位置検出器７５からフィードバックされる現在位置信号との偏差に位置ループゲインを乗じて速度指令信号を生成する処理部であり、前記速度制御部６は、位置制御部５で生成された速度指令信号と位置検出器７５からフィードバックされる現在速度信号との偏差に速度ループゲインを乗じて電流指令信号を生成する処理部である。
【００４８】
前記電流制御部７は、速度制御部６から与えられた電流指令信号と、駆動モータ７３の前段に配されるサーボアンプ（図示せず）からフィードバックされる現在電流信号との偏差に電流ループゲインを乗じて駆動指令信号を生成する処理部である。サーボアンプでは、前記電流制御部７から送信されＤ／Ａ変換器（図示せず）でデジタル信号からアナログ信号に変換された電流指令信号を駆動指令信号として受信した後、当該駆動指令信号を増幅して前記駆動モータ７３に送信し、前記駆動モータ７３は受信した駆動指令信号に基づいてその作動が制御される。
【００４９】
前記パラメータ記憶部８は、後述のパラメータをデータテーブルとして格納する機能部であり、前記位置制御部５で使用される位置ループゲイン、速度制御部６で使用される速度ループゲイン、電流制御部７で使用される電流ループゲインなどが格納されている。
【００５０】
さらに、パラメータ記憶部８は、上記のループゲインと相関を有する物理量として、駆動モータ７３の運動方程式（再掲（数１）式）の各パラメータを格納している。具体的には、駆動モータ７３に入力される入力トルクＴ、駆動モータ７３の角速度ω、時間ｔ、さらに、駆動モータ７３の駆動軸に係る送り系７０全体の慣性モーメント係数Ｊ，粘性摩擦係数Ｄ，転がり摩擦に関するパラメータＴｄである。転がり摩擦に関するパラメータＴｄは、反転制御の時に最も特徴的に現れるパラメータであり、反転時補償部９で使用される補正量でもある。
（数１）
Ｔｄ＝Ｔ−Ｊ（ｄω／ｄｔ）−Ｄω
【００５１】
パラメータ記憶部８は、前記パラメータ群の組み合わせをデータテーブルとして格納しており、外部の入力部１５を介したユーザの更新指令により、またはパラメータ算出部１１に格納された更新プログラムにより、更新処理部１３（後述）の指示に基づいて逐次、そのデータテーブルを更新する構成となっている。
【００５２】
そして、パラメータ記憶部８は、位置制御部５および速度制御部６に対しては直接、前記データテーブルの最新値を提供する一方、電流制御部７に対しては、象限反転補償の補償項を加える反転時補償部９を介して、前記データテーブルの最新値を提供し続ける構成である。ここで、反転時補償部９は、移動体５２の送り方向を実際に反転させた時において、フィードバック制御の遅れに影響されずに、外乱（転がり摩擦）を補償し、送り系７０により正確な反転動作をさせる機能部である。
【００５３】
前記計測データ記憶部１０は、パラメータ算出部１１の統括的な指令のもとに、位置検出器７５によって検出ないし算出した駆動モータ７３の回転位置データを経時的に取得し続け、その結果を記憶し続けるものである。また、計測データ記憶部１０は、後述のように、位置検出器７５によって計測された角速度ωの値と、その時の駆動モータ７３に入力される入力トルクＴの値とを、基礎データとして相互に関連付けて記憶する。
【００５４】
前記パラメータ算出部１１は、位置検出器７５による駆動モータ７３のモニタリングを行うと共に、パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を適正な値と推定する推定フロー（制御パラメータ推定方法）を実行するものである。また、パラメータ算出部１１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）に相当する集積回路を兼ねており、表示制御部１２および入力部１５と接続されることによって、ユーザインタフェース（操作盤１６）となるディスプレイ１４（ＣＲＴや液晶ディスプレイ、タッチパネルなどから構成される）や入力部１５（キーボードやマウス、タッチパネルなどから構成される）の動作を統括的に司る。
【００５５】
前記更新処理部１３は、パラメータ算出部１１の指令フローに基づいて、パラメータ記憶部８が記憶管理する前記データテーブルにおける各パラメータＪ，Ｄ及びＴｄの値を逐次、最新の推定値ないしユーザに更新指令を与えられた更新値に更新する機能部である。
【００５６】
ディスプレイ１４は、制御装置１の各種設定パラメータや送り系７０の各種情報の他、パラメータ算出部１１によって算出されたパラメータＴｄの値を、移動体５２の位置との関係で線図化して表示し、これに応じて、入力部１５は、各種設定変更や制御動作の開始、送り系７０の動作停止指令の他、パラメータＪ，Ｄの値、及び更新指令の入力をユーザから受け付ける構成となっている。
【００５７】
ディスプレイ１４および入力部１５は、操作盤１６を構成しており、ユーザは、操作盤１６を目視確認しながら、各種の操作を行うことにより、本発明の制御パラメータ設定装置を備える制御装置１の動作を制御する。
【００５８】
図２において、パラメータ記憶部８，計測データ記憶部１０，パラメータ算出部１１，表示制御部１２，更新処理部１３，ディスプレイ１４及び入力部１５からなる制御盤１６，並びに位置検出器７５は、制御装置１の制御パラメータを設定する制御パラメータ設定装置２０を構成している。この制御パラメータ設定装置２０は、制御装置１が特別なメンテナンス動作ではなく、通常の生産動作をしている際、ユーザの指令に従って、または任意のタイミングにおいて、制御装置１の適正な制御パラメータを設定することができる。
【００５９】
〔２，制御パラメータ推定フロー〕
次に、図３を用いて、制御装置１が、パラメータ算出部１１の演算結果に基づいて実行する制御パラメータ推定方法の動作フローをステップ別に説明する。
【００６０】
まず、送り系７０の運動特性を調べるために基礎データの取得を行う（ステップ１。以下「Ｓ１」のように略記する）。具体的には、駆動モータ７３に入力されるトルク値をＴとして、移動体５２を矢示軸方向（図１参照）に所定距離だけ往復動させる。本例では、後の解析作業を簡単にするため、移動体５２の位置を時間に対してプロットしたときにその軌跡が正弦波を描くように軸方向に往復動させるものとしている。例えば、位置をｒ、時間をｔとすれば、ｒ（ｔ）＝Ｒｓｉｎ（２πｆｔ）で表される目標移動位置及び移動速度で移動させることにより、移動体５２の位置と時間との関係は、正弦波を描く。ここで、Ｒは振幅（ｍ）、ｆは周波数（Ｈｚ）である。そして、一定時間毎又は移動体５２の予め定められた位置毎の駆動モータ７３の角速度ωを位置検出器７５を用いて計測する。
【００６１】
そして、基礎データは、移動体５２を移動させ、位置検出器７５によって移動体５２の移動位置を検出すると共に、前記駆動モータ７３で発生するトルク、即ち、駆動モータ７３に供給される電流値を適宜検出器によって検出することで取得することができる。図４において、縦軸の摩擦力はパラメータＴｄに対応するものである。転がり摩擦に関するパラメータＴｄは、反転制御の時に最も特徴的に現れるパラメータである。
【００６２】
上記のように、移動体５２が往復動をする状態で、移動体５２の予め定められた位置毎に、駆動モータの角速度ωが計測ないし算出され、両者の組み合わせが基礎データとして蓄積されていく。なお、移動体５２の予め定められた位置の代わりに、経過時間ｔに対してモータの角速度ωが計測ないし算出されてもよい。上記のように、位置対時間で表された線図が予め定められた軌道を描くように移動体５２を前記軸方向に往復動させているので、時間と位置とは一対一の関係にあり、一定時間毎に駆動モータの角速度ωを計測するようにすれば、移動体５２の予め定められた位置毎に角速度ωを計測したのと等価な基礎データが取得できるからである。
【００６３】
このようにして取得する基礎データは、駆動モータ７３の角速度ωと入力トルクＴとの関係を示すものであり、この角速度ωと入力トルクＴと関係は、移動体５２の位置毎に異なるものとなっている。
【００６４】
本例では、理想的な基準線図として、図４に太線で示したような、移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの依存がほとんどないもの、を考える。図４に示された基準線図は、経時につれて点ａ→点ｂ→点ｃ→点ｄのようにパラメータＴｄを繰り返しプロットしたものである。このような基準線図が理想的と考えられる理由は、運動方程式の非線形摩擦項を定数として取り扱うことができるので、数値制御における追従誤差を大幅に小さくすることが可能となるからである。
【００６５】
本願発明者が鋭意検討した結果、移動体の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄのヒステリシス曲線は、一般に、凹凸の弓なり形状を有し、さらには、傾斜を有する形状となったり、これらの形状の組み合わせとなったりする特徴を有することを見出した〔後述の図６〜図９の各（ａ）を参照〕。パラメータＴｄのヒステリシス曲線が凹凸の弓なり形状を有する場合にも、傾斜を有する場合にも、移動体の移動位置に対してパラメータＴｄは大きく変化し、パラメータＴｄの位置依存性は大きなものとなる。
【００６６】
すなわち、一般に、パラメータＴｄは移動体の移動位置に依存しているが、本発明の骨子は、上記のヒステリシス曲線の形状を、ユーザの更新指令または制御パラメータ設定装置２０の自動制御によって、図４のような長方形状のヒステリシス曲線とするように、駆動モータの軸系の運動方程式におけるパラメータＪ，Ｄを順次適正化することにより、煩雑な計算を不要としながら、迅速に適正なパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの値を推定することにある。
【００６７】
図３に戻って、次のステップ（Ｓ２）では、パラメータＪ及びＤに適当な初期値を付与する。本フローでは、後にパラメータＪ及びＤの少なくとも一方を調整することにより、パラメータＪ、Ｄ及びＴｄの値を次第に適正化していくので、未調整のパラメータＪ及びＤの初期値は特定の値に限定されず任意のものを用いることができる。本例では、最も簡明な例として、Ｊ＝０，Ｄ＝０としておく。
【００６８】
そして、制御装置１は、駆動モータ７３の運動方程式に関する各パラメータのうち、転がり摩擦に関するパラメータＴｄを算出する（Ｓ３）。具体的には、Ｓ１で計測した基礎データに基づいて、移動体５２の位置毎に、入力トルクＴ，ω，ｄω／ｄｔと暫定的なパラメータＪ及びＤを、駆動モータの軸系の運動方程式（数１）式に代入していくことにより、前記各角速度ω及び入力トルクＴに応じた前記パラメータＴｄを算出する。この結果、パラメータＴｄと移動体５２の位置との関係が導出されることになる。
【００６９】
次のステップ（Ｓ４）では、制御装置１は、基礎データから導出された、移動体５２の位置と転がり摩擦に関するパラメータＴｄとの関係をグラフとして線図化し、表示制御部１２を制御することにより、線図化した情報をディスプレイ１４に表示する。これにより、ユーザは、ディスプレイ１４の表示により、移動体５２の位置と転がり摩擦に関するパラメータＴｄとの関係を即座に理解することができる。
【００７０】
次のステップ（Ｓ５）では、入力部１５を通じて入力されたユーザからの更新指令に基づいて、パラメータＴｄが移動体５２の位置にできるだけ依存しないように、すなわち、パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄ（少なくともパラメータＪ，Ｄのうちの一方）を調整する。
【００７１】
パラメータＪ，Ｄを調整する際には、パラメータＪ及びＤのうちの一方を調整ないし増減した後に他方を調整ないし増減するようにしてもよいし、両者を同時に調整ないし増減してもよい。例えば、パラメータＪを０から０．００１に変更したり、または、パラメータＤを０から０．００１に変更したりし、または両方を同時に変更してもよい。一般には、このときの変更量が小さいほど、極め細やかなパラメータの適正化が実現できるが、パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるまでに、ユーザ（制御パラメータ設定装置２０が自動制御する場合には、同装置）の繰り返す処理回数が大きくなる。
【００７２】
なお、制御パラメータ設定装置２０がパラメータＪ，Ｄの自動調整を行う場合には、必ずしもディスプレイ１４への線図表示や入力部１５からの更新指令は必須ではないが、ユーザがパラメータＪ，Ｄの調整作業が適正に行われていることを確認するためには、少なくともディスプレイ１４への線図表示は逐次行われることが好ましい。
【００７３】
パラメータＪ，Ｄの変更一回あたりの変更量は特に制限されるものではないから、最初は比較的大きな変更量で（例えば０．１ずつ）調整しつつ、微調整の段階になってから小さな変更量で（例えば０．００１ずつ）調整する構成とすることも効率的なパラメータ調整のためには好ましい。
【００７４】
前述のとおり、パラメータＴｄと移動体５２の位置との関係は、ヒステリシス曲線として表されるので、本発明において、パラメータＴｄの前記位置依存が小さいとは、移動体５２の移動軸方向が一定（正または負）の各領域（図４において移動体が図中右方向に向かう際のパラメータＴｄがＦｃの領域、同移動体が図中左方向に向かう際のパラメータＴｄが−Ｆｃの領域の各領域）の少なくとも一方において、パラメータＴｄの標準偏差やバラつき、変化量が小さいことなどをいう。なお、図４において、摩擦力（に対応するＴｄ）に正負の符号があるのは、移動体の位置移動方向が図中左右いずれの方向であるかによって摩擦力の向きが異なることに対応したものである。
【００７５】
本例では、理想的な基準線図として、図４に示したような、移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの依存がほとんどなく、移動体５２の移動方向に応じて摩擦力ないしパラメータＴｄが一定のものを考える。このような基準線図が理想的と考えられる理由は、運動方程式の非線形摩擦項を定数として取り扱うことができるので、数値制御における追従誤差を大幅に低減することが可能となるからである。
【００７６】
本ステップ（Ｓ５）では、ユーザは、ディスプレイ１４に表示された線図が、予め設定した基準線図（図４に示すような、略長方形のヒステリシス曲線）と近似するように、そして、算出したパラメータＴｄの前記位置への依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄを調整する。
【００７７】
本発明では、パラメータＴｄが移動体５２の位置にできるだけ依存しないように、すなわち、パラメータＴｄの前記位置依存が小さくなるように、パラメータＪ，Ｄ（少なくともパラメータＪ，Ｄのうちの一方）を調整することにより、Ｊ、Ｄ及びＴｄの値を適正な値と推定するものである。なお、前述のとおり、パラメータＪ，Ｄを調整する際には、パラメータＪ及びＤのうちの一方を調整ないし増減した後に他方を調整ないし増減するようにしてもよいし、両者を同時に調整ないし増減してもよい。
【００７８】
このようなパラメータＪ，Ｄの調整作業は、ユーザが、外部インタフェース（操作盤１６）を通じてパラメータＪ，Ｄの指示指令ないし変更指令（更新指令）を、入力指示することによって行われる。
【００７９】
ユーザの更新指令により、パラメータＪ，Ｄの調整が行われるたびに、パラメータＴｄと移動体５２の位置との対応関係が再描画される構成としておけば、ユーザは、自らの更新指令により、パラメータＴｄの前記位置依存が大きくなったか、小さくなったかを視覚的に容易に確認できる。具体的な線図の変化の様子は、次節の〔３，線図による調整のイメージ〕欄で詳述する。
【００８０】
このような確認ないし把握作業を容易とするために、ディスプレイ１４には、図４のような基準線図をあわせて表示する構成としておくことも好ましい。このようにすれば、ユーザは、現在のパラメータ（データテーブル）を用いた線図と目標とすべき基準線図がどの程度似通ったり、ずれたりしているかを常時把握することが容易となる。
【００８１】
このようにして、ユーザは、ディスプレイ１４の画面などをみながら、パラメータＴｄと移動体５２との位置との関係を直感的に理解し、その結果に応じて、パラメータＪ，Ｄの値を順次調整していくことが可能となる。
【００８２】
本発明によれば、ユーザは、直感的かつ簡便な操作に基づいて、パラメータＪ，Ｄの調整によるパラメータＴｄの安定化ないし収束化動作を指示できるので、ディスプレイやモニタにおいて、グラフとして表示された線図が変化する様子や、基準線図と似通っていく様子等をリアルタイムで確認しながら、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。
【００８３】
また、次節の〔３，線図による調整のイメージ〕欄にて後述するように、ユーザが、現在のパラメータＪ，Ｄが大きすぎたり、小さすぎたりした場合の各線図のパターンや特徴を覚えたり、前記更新指令におけるパラメータの変更量などを経験的に適切なものとできるよう習熟したりするほど、本発明に係る制御パラメータ推定フローを効率的に実行することが可能となる。
【００８４】
なお、本例では、パラメータＴｄと移動体５２の位置との関係を目視確認しやすい線図としてディスプレイ１４上に表示される構成を示したが、パラメータＴｄと移動体５２の位置との関係をユーザに提示する態様はこれに限られず、線図やグラフではなく、数値テーブルとして表示したり、パラメータＴｄの移動体５２の位置に対する変化量や偏差量を数値として表示する構成を採用したりしてもよい。
【００８５】
次のステップでは、調整後のパラメータＪ，Ｄに基づいてパラメータＴｄを再算出し、移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの線図をディスプレイ１４上に再描する（Ｓ６）。ユーザのパラメータＪ，Ｄの調整が適切であれば、再描された移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの線図は、前述の基準線図により近似したものとなり、転がり摩擦に関するパラメータＴｄの位置依存はより小さくなるはずである。
【００８６】
そして、次のステップ（Ｓ７）では、再算出したパラメータＴｄの値が、位置に依存しなくなったか否か（パラメータＴｄの位置依存は許容範囲内か）を判定し、位置に依存しなくなった、すなわちパラメータＴｄの前記位置依存が十分に小さくなったならば、次のステップに進む一方、再算出したパラメータＴｄの値が位置に依存するならばＳ５に戻って処理を繰り返す。
【００８７】
本ステップ（Ｓ７）において、パラメータＴｄの前記位置依存が十分に小さくなったかの判定は、ディスプレイ１４に表示された線図の様子を確認することにより、ユーザが行う。ユーザは、目視判定の結果、再算出したパラメータＴｄの値が位置に依存しなくなったか（パラメータＴｄの前記位置依存が十分に小さくなった）否かを、前述の基準線図との比較や、ディスプレイ１４に適宜表示されるパラメータＴｄの変化量や偏差量に基づいて判断し、入力部１５を通じて制御装置１に指示する。
【００８８】
なお、本ステップ（Ｓ７）の判定動作、すなわち本ステップにおけるパラメータＴｄの値が位置に依存しなくなったか否かの判定を、ユーザではなく、制御装置１の制御パラメータ設定装置２０に自動で行わせることもできる。具体的には、移動体５２の位置の変化に対するパラメータＴｄの変化量（や偏差量）の許容範囲を予め設定しておき、移動体５２の位置の変化に対するパラメータＴｄの変化量（や偏差量）が同許容範囲内に収まるように、パラメータＪ，Ｄの調整を（自動で）繰り返し、同許容範囲内に収まったならば、パラメータＴｄの前記位置依存が十分に小さくなったものとして、次のステップに進む一方、同許容範囲内に収まらなければ、Ｓ５に戻って処理を繰り返す。この場合には、所定回数処理を繰り返しても、上記の許容範囲内に収束しなければ、上記の許容範囲を広く再設定して当該処理を繰り返すことが好ましい。
【００８９】
Ｓ７において、パラメータＴｄの前記位置依存が十分に小さくなった（パラメータＴｄの位置依存は許容範囲内になった）と判定されれば、得られたパラメータＴｄ、調整されたパラメータＪ，Ｄの値を、適正なパラメータＴｄ、パラメータＪ，Ｄの組み合わせとして推定し、採用する（Ｓ８）。ここで、Ｔｄの値は、位置変化に対しての平均値や代表値を用いることが推定値の誤差を小さくするために好ましい。算出されたパラメータＪ，Ｄの値は、パラメータＴｄと同様に電流制御部７（図２参照）に与えられ、その後は、電流制御部７が、付与されたパラメータに基づいて、駆動モータ７３に入力される電流値（トルクに対応するもの）を制御することになる。
【００９０】
本発明によれば、制御モータ３１の角速度ωを小さくするなどの制限なしに、パラメータＴｄだけでなく、適正なパラメータＴｄ，及びＪ，Ｄをすべて簡便に推定することができるので、その制御を適正に実現し、移動体を高精度に位置決め制御することができるという作用効果を奏する。
【００９１】
また、本発明によれば、ユーザは、直感的かつ簡便な操作に基づいて、パラメータＪ，Ｄの調整によるパラメータＴｄの安定化ないし収束化動作を指示できるので、表示された線図が変化する様子や、基準線図と似通っていく様子等をリアルタイムで確認しながら、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。
【００９２】
〔３，線図による調整のイメージ〕
〔３−１，シミュレーション例〕
次に、移動体５２の位置に応じて線図化されるパラメータＴｄの様子を理解するために、パラメータＪ，Ｄの値が調整されていない状態から調整された状態となることによって、パラメータＴｄの線図がどのように変化するかを、シミュレーション結果を用いて確認する。なお、このシミュレーションでは、前記Ｓ１の基礎データ取得時における移動体５２の目標軌道ｒ（ｔ）＝Ｒｓｉｎ（２πｆｔ）の振幅Ｒを２０（ｍｍ）に設定した。
【００９３】
図４に示したように、理想的な基準線図としては、移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの依存がほとんどないもの（理想的には、転がり摩擦に関するパラメータＴｄの位置依存がゼロのもの）を想定する。このような場合、移動体５２の位置と転がり摩擦に関するパラメータＴｄとの関係を示す線図は、移動体５２の位置に依存せずパラメータＴｄが定常的なもので、視覚的にはフラットな形状となり、そのヒステリシス曲線は略長方形を描くことになる。
【００９４】
図５は、参照のために、シミュレータにおいて、図４のような理想的な基準線図を再現するパラメータ群（データテーブル）の組み合わせにおいて、パラメータＴｄの位置分布を示した図面である。図５（ａ）には、シミュレータ上の移動体５２の移動様子（位置対時間で表される線図が振幅２０ｍｍの正弦波を描くように移動体を送ったときの軌道様子）が示されており、同図（ａ）のように移動中の前記移動体の位置（横軸）とパラメータＴｄ（縦軸）との関係をシミュレーションで求めた結果を示したヒステリシス曲線が図５（ｂ）に示されている。
【００９５】
図５（ｂ）のとおり、移動体５２の位置とパラメータＴｄとの軌跡が描くヒステリシス曲線は略長方形となっており、理想的な振る舞いを示していることがわかる。このときのパラメータＪ＝０．００７１３，パラメータＤ＝０．０９３７であった。
【００９６】
これに対して、図６（ａ）は、前記シミュレータのパラメータのうち、パラメータＤを０にしたときのものである。ここで、パラメータＪは図５（ｂ）の理想的な基準線図と同じ０．００７１３である。図５（ｂ）の理想的な基準線図と比較すると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が太鼓形状に膨張していることが読み取れる。そこで、ユーザは、パラメータＤを適宜０．０９３７まで増やしていくことにより、パラメータＴｄの位置分布を図６（ｂ）の理想的な基準線図（ヒステリシス曲線）に近似させていくことができる。
【００９７】
これに対して、図７（ａ）は、前記シミュレータのパラメータのうち、パラメータＤを理想的な基準線図のときの２倍（０．１８７４）にしたときのものである。ここで、パラメータＪは図５（ｂ）の理想的な基準線図と同じ０．００７１３である。図５（ｂ）の理想的な基準線図と比較すると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が中央の窪んだ凹形状となっていることが読み取れる。そこで、ユーザは、パラメータＤを適宜０．０９３７まで減らしていくことにより、パラメータＴｄの位置分布を図７（ｂ）の理想的な基準線図（ヒステリシス曲線）に近似させていくことができる。
【００９８】
これに対して、図８（ａ）は、前記シミュレータのパラメータのうち、パラメータＪを０にしたときのものである。ここで、パラメータＤは図５（ｂ）の理想的な基準線図と同じ０．０９３７である。図５（ｂ）の理想的な基準線図と比較すると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が平行四辺形となっていることが読み取れる。そこで、ユーザは、パラメータＪを適宜０．００７１３まで増やしていくことにより、パラメータＴｄの位置分布を図８（ｂ）の理想的な基準線図（ヒステリシス曲線）に近似させていくことができる。
【００９９】
これに対して、図９（ａ）は、前記シミュレータのパラメータのうち、パラメータＪを理想的な基準線図のときの２倍（０．０１４２６）にしたときのものである。パラメータＤは図５（ｂ）の理想的な基準線図と同じ０．０９３７である。図５（ｂ）の理想的な基準線図と比較すると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が平行四辺形となっていることが読み取れる。そこで、ユーザは、パラメータＪを適宜０．００７１３まで減らしていくことにより、パラメータＴｄの位置分布を図９（ｂ）の理想的な基準線図（ヒステリシス曲線）に近似させていくことができる。
【０１００】
このように、パラメータＪ，Ｄの両方が適正値を備えていない限り、決して、図４のようなパラメータＴｄのヒステリシス曲線はあらわれない。しかし、本願発明者は、任意のヒステリシス曲線について、パラメータＪ，Ｄを適宜調整すれば、必ず図４（実際にはオーバーシュート部分を備える図５（ｂ）のようなパラメータＴｄのヒステリシス曲線）を導くことができ、理想的なパラメータＴｄ，Ｊ，Ｄの組み合わせをすべて得ることができることを見出した。
【０１０１】
〔３−２，ヒステリシス曲線の形状の補正〕
前述のように、図６（ａ）と図７（ａ）とのパラメータＴｄのヒステリシス曲線は、パラメータＪを理想値（Ｊ＝０．００７１３）としつつ、パラメータＤとして不適正なものを採用した場合のシミュレーション結果である。両図（ａ）から読み取れるとおり、パラメータＤが不適正であると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線には横軸に平行なフラット部分が生じず、弓なりの形状を描くことが読み取れる。
【０１０２】
すなわち、図６（ａ）では、パラメータＤが小さすぎる（Ｄ＝０）ために、パラメータＴｄのヒステリシス曲線は、理想的な略長方形から長方形外部に弓なりに膨張した形状となる一方、図７（ａ）では、パラメータＤが大きすぎる（Ｄ＝０．１８７４）ために、パラメータＴｄのヒステリシス曲線は、理想的な略長方形から長方形内部に弓なりに潰れた形状となっている。このような特性を理解しておけば、任意のパラメータＪ、Ｄに基づいてヒステリシス曲線を描いたときに、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が理想的な略長方形から長方形外部に弓なりに膨張した形状となっていれば、パラメータＤを大きく調整し、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が理想的な略長方形から長方形内部に弓なりに潰れた形状となっていれば、パラメータＤを小さく調整すれば、パラメータＤを適正化できることがわかる。すなわち、パラメータＤの調整により、パラメータＴｄのヒステリシス曲線の弓なり形状は補正ないし調整できることになる。
【０１０３】
〔３−３，ヒステリシス曲線の傾きの補正〕
また、前述のように、図８（ａ）と図９（ａ）とのパラメータＴｄのヒステリシス曲線は、パラメータＤを理想値（Ｄ＝０．０９３７）としつつ、パラメータＪとして不適正なものを採用した場合のシミュレーション結果である。両図（ａ）から読み取れるとおり、パラメータＪが不適正であると、パラメータＴｄのヒステリシス曲線には横軸に平行なフラット部分が生じず、パラメータＴｄのヒステリシス曲線は傾いた平行四辺形状となることが読み取れる。
【０１０４】
すなわち、図８（ａ）では、パラメータＪが小さすぎる（Ｊ＝０）ために、パラメータＴｄのヒステリシス曲線は、理想的な略長方形から図中右下がりに傾き、平行四辺形状となる一方、図９（ａ）では、パラメータＪが大きすぎる（Ｊ＝０．０１４２６）ために、パラメータＴｄのヒステリシス曲線は、理想的な略長方形から図中右上がりに傾いた形状となっている。このような特性を理解しておけば、任意のパラメータＪ、Ｄに基づいてヒステリシス曲線を描いたときに、パラメータＴｄのヒステリシス曲線（やその接線）が横軸に対して図中右下がりに傾いていれば、パラメータＪを大きく調整し、パラメータＴｄのヒステリシス曲線（やその接線）が横軸に対して図中左下がりに傾いていれば、パラメータＪを小さく調整すれば、パラメータＪの不適正さを補正ないし調整できることになる。
【０１０５】
〔３−４，実機での補正実験〕
このようなシミュレーション結果から推論するところ、パラメータＪ、Ｄがどのような値であっても、パラメータＴｄのヒステリシス曲線の前記形状補正と前記傾き補正とを組み合わせれば、常に、図４のような略長方形状の基準線図を得ることができる。そこで、本願発明者らは、Ｘ−Ｙ軸の２軸ボールねじ駆動ステージを用いて検証実験を行った。ボールねじとしては１２ｍｍピッチのものを用い、このボールねじをサーボモータ（駆動モータ７３）とカップリングで直結し、テーブルは転がり案内により案内されるように構成した。
【０１０６】
本実験では、位置検出器７５のロータリエンコーダとして、２２０pulse/revのものを用いて、Ｘ軸のみを制御するものとした。移動体の振幅は１６ｍｍとなるように往復動させた。運動方程式の各パラメータを算出する手順としては、図３に示したフローを用いたが、前記ステップ５（Ｓ５）における実際の実験手順は次のとおりである。
【０１０７】
まず、パラメータＪを０で固定した状態で、パラメータＤを変化させた。パラメータＤを大きくしていくと、パラメータＴｄのヒステリシス曲線に、前述の凹状の弓なり形状があらわれたので、パラメータＴｄのヒステリシス曲線の上側部分（図４参照）がほぼ平行となるように、パラメータＤを０．０１に調整した。
【０１０８】
次に、パラメータＤを０で固定した状態で、パラメータＤを変化させた。パラメータＤを大きくしていくと、パラメータＴｄのヒステリシス曲線に、前述の傾いた平行四辺形状があらわれたので、まず、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が横軸と平行となるように、パラメータＤを０．１に調整した。
【０１０９】
次に、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が略長方形状となるように、調整量を小さくしながら微調整し、最終的には、パラメータＪを０．０１０，パラメータＤを０．１４とすることにより、パラメータＴｄの値が横軸に対して安定的となるヒステリシス曲線が得られた。
【０１１０】
図１０は、図４の理想的な基準線図に近いものとして最終的に本実験で得られたパラメータＴｄのヒステリシス曲線である。同図では、時間の経過とプロットを重ねているため軌跡が完全には一致していないものの、全体としては、図４の理想的な基準線図に近似したヒステリシス曲線が得られていることがわかる。
【０１１１】
本実験のように、パラメータＪ、Ｄの調整を手動で行えば、前述の特性理解（パラメータＤの調整によるヒステリシス曲線の弓なり形状の補正要領、パラメータＪの調整によるヒステリシス曲線の傾きの補正要領）に基づいて、ユーザは操作盤１６の操作による更新指令による操作作業に習熟しながら、迅速かつ簡便に、パラメータＪ，パラメータＤ、パラメータＴｄの適正値をすべて得ることができる。
【０１１２】
また、パラメータＪ、Ｄの調整を制御パラメータ設定装置２０による自動制御で実現する場合、前述のように、任意のパラメータＪ、Ｄに基づいてヒステリシス曲線を描いたときに、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が理想的な略長方形から長方形外部に弓なりに膨張した形状となっているならば、パラメータＤを大きく調整し、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が理想的な略長方形から長方形内部に弓なりに潰れた形状となっているならば、パラメータＤを小さく調整すれば、パラメータＤを適正化できる一方、パラメータＴｄのヒステリシス曲線（やその接線）が横軸に対して図中右下がりに傾いているならば、パラメータＪを大きく調整し、パラメータＴｄのヒステリシス曲線が（やその接線）が横軸に対して図中左下がりに傾いているならば、パラメータＪを小さく調整すれば、パラメータＪの不適正さを補正ないし調整できることになる。
【０１１３】
上述のように、図４のような（そして実際の実験結果としては図１０のような）理想的な基準線図を想定すると、ユーザ（または制御パラメータ設定装置２０による自動制御）は、操作盤１６のディスプレイ１４に表示された線図（グラフ）を確認しながら、移動体５２の移動位置に対する転がり摩擦に関するパラメータＴｄの依存を小さくするために、表示された線図が略長方形状となるように、各パラメータの値を増減調整することが可能になる。
【０１１４】
それゆえ、算出したパラメータＴｄを前記位置との関係で線図化したヒステリシス曲線が、略長方形状の基準線図と近似していくように、パラメータＪ，Ｄの値を順次調整していくことが可能となるので、ユーザは、迅速かつ簡便にパラメータＪ，Ｄ，Ｔｄの適正化を行うことができる。
【０１１５】
本発明によれば、角速度ωを小さくするなどの制限なしに、適正なパラメータＴｄ，及びＪ，Ｄをすべて簡便に推定することができるので、移動体の位置や各指令を補正する制御を適正に実現し、移動体を高精度に位置決め制御することができるという作用効果を奏する。したがって、駆動モータの角速度ωを極端に小さくするなど生産の障害となる特別の制約や作業を必要とせず、実際の生産時に通常の制御動作をさせながら、リアルタイムで上記制御用パラメータの適正化を図ることが可能となる。
【０１１６】
また、本願発明者らが、シミュレーションだけでなく、実機の検証実験においても、本発明の有効性確認に成功したことは、工場内等において、駆動モータの軸にカップリングされた系の特性（例えば慣性モーメントなど）が経年変化した場合（例えばボールねじ内のボール劣化、各種部品の摩耗・サビなどに起因するもの）や各種の生産条件を変更した場合でも、簡便な操作によって、実際に適正なパラメータを再導出することが可能であることを意味する。これにより、駆動モータやそれにより駆動される送り系のメンテナンスが極めて容易となるという作用効果を奏する。
【０１１７】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の採り得る具体的な態様は、何らこれに限定されるものではない。
【０１１８】
前述のとおり、送り系の運動特性を調べるために取得する基礎データは、駆動モータ７３の角速度ωと入力トルクＴとの関係を示すものであり、この角速度ωと入力トルクＴと関係は、移動体５２の位置毎に異なるものとなるが、パラメータＴｄを移動体５２の位置や駆動モータ７３の回転量との関数として表現し、その関数に基づいてパラメータＴｄの位置分布を導出したり、パラメータ記憶部８（図２参照）のデータテーブルを作成ないし更新したりする構成としても好ましい。
【０１１９】
また、本発明において、移動体の位置に対するパラメータＴｄの依存を小さくするため、パラメータＪ及びＤの少なくとも一方の値を調整して、パラメータＴｄを再算出する構成は、制御パラメータ設定装置２０がユーザの更新指令に基づいて、またはその自動制御によって行われるものとしたが、これらは択一的に選択されるものではなく、ユーザによる更新指令と自動制御とを組み合わせたものとしてもよい。
【０１２０】
例えば、通常生産時に効率的な自動制御が実行できている間は、自動制御によって、パラメータＪ，Ｄの調整を行わせる一方、所定の処理回数を経てもパラメータＴｄの依存が小さくならない場合には、ユーザによる手動の更新指令制御とする構成としてもよい。
【０１２１】
また、図１及び図２では、送り系７０が１つの送り軸を備え、位置制御部５，速度制御部６，電流制御部７及び駆動モータ７３によって、この１つの送り軸を送り制御するようにした構成を図示して説明したが、送り軸の数はこれに限定されるものではなく、本発明の制御パラメータ設定方法と装置とを適用する送り系７０は、２以上の送り軸を備え、これらを制御するように構成されてもよい。
【０１２２】
なお、案内機構部と駆動機構部とから構成される装置であれば、装置の具体的形態によらず、本発明は広く適用可能である。もちろん、移動体５２の構成や、その移動方向についても、何ら限定はなく（例えば、移動体は、水平方向に移動するテーブルには限られない）、移動体が工具主軸を含む構成であっても、本発明は適用可能である。
【符号の説明】
【０１２３】
１    制御装置
２    プログラム記憶部
３    プログラム解析部
４    位置指令生成部
５    位置制御部
６    速度制御部
７    電流制御部
８    パラメータ記憶部
９    反転時補償部
１０  計測データ記憶部
１１  パラメータ算出部
１２  表示制御部
１３  更新処理部
１４  ディスプレイ
１５  入力部
１６  操作盤
２０  制御パラメータ設定装置
５０  送り装置
５２  移動体
７０  送り系
７３  駆動モータ
７５  位置検出器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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