(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
光反射面を有する光反射部材と、
前記光反射部に設けられた可動部と、
前記可動部を回動中心軸まわりに回動させる変位部と、
前記可動部と前記変位部とを連結する可動梁と、
前記変位部を駆動する駆動部と、を含み、
前記変位部は、第１の面と前記第１の面と交差する第２の面とを有する貫通孔と、前記第１の面と前記第２の面とに接続し、前記変位部を光反射面の法線方向から見た平面に対して陥入するように設けられた段差部と、前記貫通孔に設けられた永久磁石とを有し、
前記永久磁石は、前記第１の面と前記第２の面とに固定されていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項２】
請求項１において、
前記永久磁石は、接着剤により前記変位部に固定され、
前記変位部は、前記段差部に接続され、前記接着剤が塗布されるとともに、前記永久磁石を前記変位部に固定する際に、前記段差部からの接着剤が流れ込む逃げ部を有することを特徴とする光スキャナー。
【請求項３】
請求項１又は２のいずれか一項において、
前記変位部は、前記永久磁石を固定する面を示すマークを有することを特徴とする光スキャナー。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記永久磁石は、前記貫通孔を貫通するように挿入され、前記貫通孔が開孔している方向に分極していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記変位部は、駆動梁を有し、
前記駆動梁は、前記変位部の回動軸上に設けられていることを特徴とする光スキャナー。
【請求項６】
請求項５において、
前記駆動梁の中心軸上の延長線と前記可動梁の中心軸上の延長線との交点は、前記永久磁石の中心と一致していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項において、
前記貫通孔は、前記第１の面と対向する第３の面と、前記第２の面と対向する第４の面とを有し、
前記永久磁石は、前記第３の面及び前記第４の面から離間していることを特徴とする光スキャナー。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか一項において、
前記可動梁は、屈曲部を有することを特徴とする光スキャナー。
【請求項９】
光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材に設けられた可動部と、第１の面と前記第１の面と交差する第２の面とを有する貫通孔を有し、前記可動部を回動中心軸まわりに回動させる変位部と、前記可動部と前記変位部とを連結する可動梁と、前記変位部を駆動させる駆動部と、を含む光スキャナーの製造方法であって、
前記貫通孔を形成する工程と、
前記第１の面と前記第２の面とに接続し、前記変位部を光反射面の法線方向から見た平面に対して陥入するように段差部を設ける工程と、
前記貫通孔に接着剤を塗布する工程と、
前記貫通孔に永久磁石を挿入する工程と、
前記第１の面と前記第２の面とに、前記永久磁石を押し付ける工程と、を備えることを特徴とする光スキャナーの製造方法。
【請求項１０】
請求項９において、
前記接着剤は、前記第１の面と、前記第１の面に接続されている前記段差部と、前記第２の面と、及び、前記第２の面に接続されている前記段差部のみに塗布されることを特徴とする光スキャナーの製造方法。
【請求項１１】
光源と、
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の光スキャナーと、を含むことを特徴とする画像
形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光スキャナー、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レーザープリンター等にて光走査により描画を行うための光スキャナーとして、捩り振動子で構成されアクチュエーターを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１には、一対の永久磁石が設けられた絶縁基板と、一対の永久磁石の間に位置するように絶縁基板に支持されたスキャナー本体とを有するアクチュエーターが開示されている。また、スキャナー本体は、枠状の支持部と、支持部の内側に設けられた枠状の外側可動板と、外側可動板の内側に設けられた内側可動板（ミラー）とを有している。また、外側可動板は、Ｘ軸方向に延長する一対の第１トーションバーを介して支持部に連結されており、内側可動板は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延長する第２トーションバーを介して外側可動板に連結している。また、外側可動板および内側可動板には、それぞれコイルが設けられている。
【０００３】
このような構成のアクチュエーターでは、通電により各コイルから発生する磁界と一対の永久磁石間に発生する磁界とを作用させることにより、外側可動板が内側可動板とともに第１トーションバーを中心軸としてＸ軸まわりに回動し、内側可動板が第２トーションバーを中心軸としてＹ軸まわりに回動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１８１３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このように、特許文献１のアクチュエーターでは、内側可動板をＸ軸まわりに回動させる機構と、Ｙ軸まわりに回動させる機構とが異なっている。そのため、内側可動板をＸ軸およびＹ軸まわりに等しい条件で回動させることができない。また、特許文献１のアクチュエーターでは、外側可動板に設けられたコイルから発生する磁場と、内側可動板に設けられたコイルから発生する磁場とが干渉し、内側可動板をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに独立して回動させることができない。したがって、特許文献１のアクチュエーターでは、内側可動板をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができないという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができ、可動板と回動する軸との偏りを押さえ、正確な画像を実現することができる光スキャナーおよび画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものである。以下の形態または適用例により実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかる光スキャナーは、光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記支持部材を介して前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長する少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の略面方向に延長する２つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される支持部とを備え、前記変位部に形成された少なくとも２つのアライメント面と、少なくとも２つの前記アライメント面が交差して形成された貫通孔とを備え、前記貫通孔に挿通され前記アライメント面に固定される永久磁石とを備えることを要旨とする。
【０００９】
これによれば、貫通孔に挿通された永久磁石が、アライメント面に固定されることにより、永久磁石を変位部の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心を、回動中心軸の交点と一致させることができる。これにより、電源からコイルに交番電圧を印加することにより、永久磁石が傾斜し、回動中心軸からずれることなく、駆動梁を捩じり変形させつつ、変位部が回動中心軸まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁は、回動中心軸からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部を安定して回動させることができる。同様に、永久磁石のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心を、回動中心軸の交点と一致させることができるので、上述のように可動部を回動させることができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、複数の前記アライメント面とともに前記貫通孔を構成する面によって囲まれた範囲の外側に段差部が形成されていることが好ましい。
【００１１】
これによれば、段差部は複数のアライメント面とともに貫通孔を構成する面によって囲まれた範囲の外側に形成されているので、貫通孔への永久磁石の挿通を容易にすることができる。また、変位部の貫通孔、特に複数のアライメント面に、接着剤などにより固定する際に、永久磁石をアライメント面に押し付けて、接着剤が複数のアライメント面、およびに段差部に広がり、アライメント面と、永久磁石との間を均等にすることができ、永久磁石を変位部の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、隣り合う２つの前記アライメント面に接して、逃げ部が形成されていることが好ましい。
【００１３】
これによれば、隣り合う２つのアライメント面に接して形成された逃げ部により、貫通孔と永久磁石との位置決めを、隣り合う２つのアライメント面に接する部分により阻害されない。これにより、永久磁石が、アライメント面に固定されることにより、永久磁石を変位部の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる光スキャナーにおいて、前記変位部には、前記アライメント面を示すマークが形成されていることが好ましい。
【００１５】
これによれば、複数のアライメント面を間違うことなく正確に確認することができ、永久磁石が、アライメント面に固定されることにより、永久磁石を変位部の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００１６】
［適用例５］本適用例にかかる光スキャナーの製造方法は、光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記支持部材を介して前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長する少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の略面方向に延長する２つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される支持部とを備え、前記変位部に形成された少なくとも２つのアライメント面と、少なくとも２つの前記アライメント面が交差して形成された貫通孔とを備え、前記貫通孔に挿通される永久磁石とを備える光スキャナーの製造方法であって、前記貫通孔に接着剤を塗布する塗布工程と、前記貫通孔に前記永久磁石を挿通する挿通工程と、前記永久磁石を前記アライメント面に押し付ける押付工程とを備えることを要旨とする。
【００１７】
これによれば、変位部の貫通孔、特に複数のアライメント面に、接着剤などにより固定する際に、永久磁石をアライメント面に押し付けるので、永久磁石を変位部の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００１８】
［適用例６］本適用例にかかる画像形成装置は、光反射面を有する光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記支持部材を介して前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部から前記光反射面に沿って延長する少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の延長方向に連結する変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、前記変位部から前記可動梁に直交して前記光反射面の略面方向に延長する２つの駆動梁と、前記駆動梁が連結される支持部とを備え、前記変位部に形成された少なくとも２つのアライメント面と、少なくとも２つの前記アライメント面が交差して形成された貫通孔とを備え、前記貫通孔に挿通され前記アライメント面に固定される永久磁石とを備えることを要旨とする。
【００１９】
これによれば、上述と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置としてのプロジェクターを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態にかかる光スキャナーを示す平面を示す概略平面図。
【図２】第１実施形態にかかる光スキャナーの断面図（図１中Ａ−Ａ断面図）。
【図３】第１実施形態にかかる光スキャナーが有する連結部の斜視図。
【図４】第１実施形態にかかる光スキャナーが有する連結部の概略ＸＹ平面図。
【図５】第１実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示すフローチャート。
【図６】第１実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図７】第１実施形態にかかる光スキャナーの製造方法を示す概略工程図。
【図８】第１実施形態にかかる光スキャナーが有する変位手段を説明する図。
【図９】第１実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図１０】第１実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図１１】第１実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図１２】第１実施形態にかかる光スキャナーの駆動を説明する図。
【図１３】第２実施形態にかかる光スキャナーが有する連結部の概略ＸＹ平面図。
【図１４】第３実施形態にかかるプロジェクターを示す概略構成図。
【図１５】変形例にかかる光スキャナーが有する連結部の概略ＸＹ平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の光スキャナーおよび画像形成装置の好適な実施形態の一例について説明する。
【００２２】
以下では、説明の便宜上、図中の左側を「左」、右側を「右」と言い、図中の上側を「上」、下側を「下」と言う。また、図１に示すように互いに直交する３軸を、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸とし、非駆動状態の可動部の面と、Ｘ軸およびＹ軸で形成される面とが一致し（平行であり）、可動部の厚さ方向とＺ軸とが一致する。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸方向に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。
【００２３】
＜第１実施形態＞
第１実施形態の光スキャナーについて説明する。
図１および図２に示す光スキャナー１は、可動部２、可動部２に支持される光反射部材２０、可動部２を支持する支持部３および可動部２と支持部３とを連結する４つの連結部４，５，６，７で構成された振動基板１１と、振動基板１１を支持する基台１２と、可動部２を変位させる変位手段８とを有している。以下、光スキャナー１の各構成について順次詳細に説明する。
【００２４】
（１−１．振動基板１１）
第１実施形態では、振動基板１１（すなわち、可動部２、支持部３および４つの連結部４，５，６，７）は、ＳＯＩ基板の不要部位をドライエッチングおよびウェットエッチング等の各種エッチング法により除去することにより一体的に形成されている。
【００２５】
支持部３は、可動部２を支持する機能を有する。このような支持部３は、枠状をなしており、可動部２の周囲を囲むように設けられている。支持部３は、四隅に固定部１３を備えている。なお、支持部３の形状としては、可動部２を支持することができれば、特に限定されず、例えば、可動部２を介してＸ軸方向またはＹ軸方向に対向するように一対設けられていてもよい。または、連結部４の変位部４１とコイル８１２（駆動部８１０）との間、連結部５の変位部５１とコイル８２２（駆動部８２０）との間、連結部６の変位部６１とコイル８３２（駆動部８３０）との間、および／または連結部７の変位部７１とコイル８４２（駆動部８４０）との間に、支持部３を構成しない形状であってもよい。この場合、それぞれの固定部１３は、駆動梁４３，５３，６３，７３により連結されている。
支持部３の内側には、可動部２が設けられている。可動部２は、平板状をなしている。そして、可動部２には、支持部材２３を備えた光反射部材２０が配置されている。光反射部材２０は平板状をなし、光反射部材２０の一方の面（基台１２と反対側の面）２１には、光反射性を有する光反射部２２が形成されている。そして、支持部材２３を接着剤などにより可動部２に固定されることで、光反射部材２０は、可動部２に支持される。光反射部２２は、例えば、面２１上に金、銀、アルミニウム等の金属膜などを蒸着等により形成することにより得られる。
【００２６】
なお、第１実施形態では、可動部２のＸＹ平面視形状は、円形であるが、可動部２のＸＹ平面視形状としては、特に限定されず、例えば三角形、長方形、正方形等の多角形、楕円形等であってもよい。
このような可動部２は、４つの連結部４，５，６，７によって支持部３に連結されている。４つの連結部４，５，６，７は、可動部２のＸＹ平面視にて、可動部２の周方向に沿って等間隔、すなわち９０度間隔で配置されている。
【００２７】
そして、４つの連結部４，５，６，７のうち、連結部４，６は、可動部２を介してＸ軸方向に対向しかつ可動部２に対して対称的に形成されており、連結部５，７は、可動部２を介してＹ軸方向に対向しかつ可動部２に対して対称的に形成されている。このような連結部４，５，６，７によって可動部２を支持することにより、可動部２を安定した状態で支持することができる。
【００２８】
４つの連結部４，５，６，７は、互いに同様の構成をなしている。
具体的には、連結部（第１の連結部）４は、変位部４１と、可動梁４２と、一対の駆動梁４３とを有している。可動梁４２は、変位部４１と可動部２とを連結している。駆動梁４３は、変位部４１と支持部３とを連結している。
そして、連結部（第３の連結部）５は、変位部５１と、可動梁５２と、一対の駆動梁５３とを有している。可動梁５２は、変位部５１と可動部２とを連結している。駆動梁５３は、変位部５１と支持部３とを連結している。
また、連結部（第２の連結部）６は、変位部６１と、可動梁６２と、一対の駆動梁６３とを有している。可動梁６２は、変位部６１と可動部２とを連結している。駆動梁６３は、変位部６１と支持部３とを連結している。
同様に、連結部（第４の連結部）７は、変位部７１と、可動梁７２と、一対の駆動梁７３とを有している。可動梁７２は、変位部７１と可動部２とを連結している。駆動梁７３は、変位部７１と支持部３とを連結している。
なお、前記「同様の構成」とは、連結部を構成する要素が共通しているということである。したがって、外形形状については一致している必要はない。
各連結部４，５，６，７をこのような構成とすることにより、連結部の構成が簡単となるとともに、可動部２の回動中心軸Ｘ１，Ｙ１まわりの回動等をスムーズに行うことができる。
【００２９】
以下、連結部４，５，６，７について具体的に説明するが、連結部４，５，６，７の構成は、互いに同様であるため、連結部４について代表して説明し、他の連結部５，６，７については、その説明を省略する。なお、連結部５，７は、可動部２のＸＹ平面視にて、連結部４に対して９０度回転した状態で配置されている。そのため、連結部５，７については、下記の連結部４の説明中の「Ｙ軸方向」を「Ｘ軸方向」とし、「Ｘ軸方向」を「Ｙ軸方向」とすることで説明することもできる。
【００３０】
図３に示すように、一対の駆動梁４３は、変位部４１を介してＹ軸方向に対向配置されており、変位部４１を両持ち支持している。また、一対の駆動梁４３は、それぞれ、Ｙ軸方向に延長する棒状をなしている。また、一対の駆動梁４３は、駆動梁４３の中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このような一対の駆動梁４３は、同軸的に設けられており、この軸（以下、「回動中心軸Ｙ２」とも言う）を中心として、一対の駆動梁４３が捩じり変形するとともに変位部４１が回動する。
【００３１】
変位部４１は、可動部２に対してＸ軸方向に離間して設けられている。また、変位部４１は、前述したように一対の駆動梁４３によって両持ち支持されている。このような変位部４１には貫通孔４１１が形成されており、この貫通孔４１１に永久磁石８１１が挿通、固定されている。永久磁石８１１は、例えば、接着剤４４によって、変位部４１に固定されている。接着剤４４は、エポキシ樹脂またはアクリル樹脂などからなり、加熱または紫外線照射などにより硬化される。
【００３２】
図４に示すように、貫通孔４１１は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、および段差部４５を備えている。図４（ａ）に示すように、段差部４５は、ＸＹ平面視において、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面によって囲まれた範囲の外側に形成されている。変位部４１には、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙを示すマーク（図示黒色三角形）が形成されている。アライメント面４１Ｘ，４１Ｙは、交差して形成され、図４では直交して形成されている。
アライメント面４１Ｘは、永久磁石８１１のＸ軸方向の位置決めを規定し、アライメント面４１Ｙは、永久磁石８１１のＹ軸方向の位置決めを規定するように形成されている。詳しくは、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙは、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２に対して、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の半分、およびＹ軸方向寸法の半分の距離をおいて形成されている。
このようにして、永久磁石８１１を、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに押し付けて、接着剤４４によって貫通孔４１１に固定されることで、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致するように位置決めされて、配置される。ここで、永久磁石８１１のＸＹ平面視形状は、図４（ａ）に実線で示す矩形、または破線で示す円形とするが、これに限定されず、多角形または楕円形など適宜決定することができる。
【００３３】
段差部４５、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙの外側に、接着剤４４が注入または塗布されている。そして、貫通孔４１１、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４が注入または塗布されている。ここで、接着剤４４は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙの外側だけでなく、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面の外側に、注入または塗布されていてもよい。また、段差部４５には、上述のように接着剤４４が注入または塗布されていて、貫通孔４１１には、上述とは異なり接着剤４４が注入または塗布されていないとしてもよく、適宜決定することができる。
そして、図４（ａ）でＸ軸方向およびＹ軸方向の寸法で示される段差部４５の長さ、図４（ｂ）でＺ軸方向の寸法で示される段差部４５の深さ、ならびに図４（ｂ）に示す段差部４５の断面形状、および注入または塗布される接着剤４４の量は、永久磁石８１１と変位部４１とを固定する接着強度の決定などにより、適宜決定することができる。
【００３４】
永久磁石８２１，８３１，８４１は、変位部４１と同様に、接着剤４４によって、変位部５１，６１，７１に固定されている。そして、変位部４１と同様に、変位部５１，６１，７１は、それぞれアライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、および段差部４５を備えている。そして、永久磁石８１１と同様に、永久磁石８２１，８３１，８４１は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることで、位置決めされている。図１を参照して詳しく説明すると、永久磁石８２１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ２，Ｙ１の交点と一致するように設定されている。そして、永久磁石８３１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ３の交点と一致するように設定されている。同様に、永久磁石８４１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ３，Ｙ１の交点と一致するように設定されている。
【００３５】
次に、永久磁石８１１を変位部４１に固定する方法について、図６および図７を参照して説明する。
【００３６】
まず、塗布工程（Ｓ１０１）を実施する。
図６（ａ）に示すように、段差部４５、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙの外側に、接着剤４４を注入または塗布する。そして、段差部４５だけでなく、貫通孔４１１、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４を注入または塗布する。ここで、接着剤４４は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙの外側だけでなく、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面の外側に、注入または塗布されていてもよい。
【００３７】
次に、挿通工程（Ｓ１０２）を実施する。
図６（ｂ）に示すように、貫通孔４１１に永久磁石８１１を挿通する。特に、貫通孔４１１を構成する面側、つまりアライメント面４１Ｘ，４１Ｙから離れる側に寄せて、貫通孔４１１に永久磁石８１１を挿通する。
【００３８】
その後、押付工程（Ｓ１０３）を実施する。
図７（ｃ）に示すように、黒色矢印の方向に永久磁石８１１を押して、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに押し付ける。
【００３９】
そして、硬化工程（Ｓ１０４）を実施し、接着剤４４を加熱または紫外線照射などにより硬化する。これにより、永久磁石８１１を貫通孔４１１に固定する。これにより、永久磁石８１１は、接着剤４４によって、変位部４１に固定される。
【００４０】
その後、着磁工程（Ｓ１０５）を実施し、永久磁石８１１のＺ軸方向の一端がＮ極となり、その反対側がＳ極となる。
【００４１】
塗布工程（Ｓ１０１）および挿通工程（Ｓ１０２）の順序は、上述の順序に限定されることなく、挿通工程（Ｓ１０２）の後に塗布工程（Ｓ１０１）を実施してもよい。
上述のように実施するのであれば、段差部４５に加えてアライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、およびアライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面において、接着剤４４により固定され接着強度が向上される。または、挿通工程（Ｓ１０２）の後に塗布工程（Ｓ１０１）を実施するのであれば、永久磁石８１１をアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに直接接して位置決めを規定することが可能となる。
【００４２】
着磁工程（Ｓ１０５）は、上述の順序に限定されることなく、たとえば塗布工程（Ｓ１０１）または挿通工程（Ｓ１０２）の前に実施するとしてもよく、適宜決定することができる。
【００４３】
また、第１実施形態では、変位部４１の平面視形状は、Ｙ軸方向を長手とする長方形である。変位部４１をこのような形状とすることにより、永久磁石８１１を固定するスペースを確保しつつ、変位部４１の幅（Ｘ軸方向の長さ）を抑えることができる。変位部４１の幅を抑えることにより、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに回動する際に発生する慣性モーメントを抑えることができ、変位部４１の反応性が高まり、より高速な回動が可能となる。また、変位部４１の反応性が高まると、変位部４１の回動（特に回動方向が切り替わる切り返しの時）によって、不本意な振動が発生するのを抑えることができる。そのため、光スキャナー１を安定して駆動することができる。
【００４４】
なお、変位部４１の平面視形状としては、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、円形であってもよい。
このような変位部４１は、可動梁４２によって可動部２と連結している。可動梁４２は、全体的にＸ軸方向に延長するように設けられている。このような可動梁４２は、変位部４１と可動部２との間に設けられた屈曲部４２１と、可動部側可動梁４２２と、変位部側可動梁４２３とを有している。可動部側可動梁４２２は、屈曲部４２１と可動部２とを連結し、変位部側可動梁４２３は、屈曲部４２１と変位部４１とを連結している。
可動部側可動梁４２２および変位部側可動梁４２３は、それぞれ、Ｘ軸方向に延長する棒状をなしている。また、可動部側可動梁４２２および変位部側可動梁４２３は、同軸的に設けられている。
【００４５】
これら２つの軸部のうちの変位部側可動梁４２３は、光スキャナー１の駆動時に大きな変形が起こらない硬さに設定されているのが好ましく、実質的に変形しない硬さに設定されているのがより好ましい。これに対して可動部側可動梁４２２は、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。このように、可動梁４２が実質的に変形しない硬い部分およびその先端側に位置する捩じり変形可能な部位を有することにより、可動部２をＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることができる。なお、前記「変形しない」とは、Ｚ軸方向への屈曲または湾曲および中心軸まわりの捩じり変形が実質的に起きないことを言う。
このような可動部側可動梁４２２および変位部側可動梁４２３は、屈曲部４２１を介して連結している。屈曲部４２１は、可動梁４２が屈曲変形する際の節となる機能と、可動部側可動梁４２２の捩じり変形により発生するトルクを緩和（吸収）し、前記トルクが変位部側可動梁４２３に伝わるのを防止または抑制する機能とを有している。
【００４６】
図３に示すように、屈曲部４２１は、一対の変形部４２１１，４２１２と、これらの間に設けられた非変形部４２１３と、変形部４２１１を非変形部４２１３に接続する一対の接続部４２１４と、変形部４２１２を非変形部４２１３に接続する一対の接続部４２１５とを有している。
非変形部４２１３は、Ｙ軸方向に延長する棒状をなしている。このような非変形部４２１３は、光スキャナー１の駆動時に実質的に変形しない硬さに設定されている。これにより、非変形部４２１３の中心軸Ｙ４を中心に可動梁４２を屈曲させることができ、屈曲部４２１に節としての機能を確実に発揮させることができ、光スキャナー１を安定して駆動させることができる。
【００４７】
このような非変形部４２１３に対して対称的に一対の変形部４２１１，４２１２が配置されている。変形部４２１１，４２１２は、それぞれ、Ｙ軸方向に延長する棒状をなしている。また、変形部４２１１，４２１２は、互いにＸ軸方向に離間して並設されている。このような変形部４２１１，４２１２は、それぞれ、その中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
【００４８】
可動部２側に位置する変形部４２１１は、その長手方向のほぼ中央にて可動部側可動梁４２２の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部４２１４を介して非変形部４２１３に連結している。同様に、変位部４１側に位置する変形部４２１２は、その長手方向のほぼ中央にて変位部側可動梁４２３の一端と連結しているとともに、その両端部にて一対の接続部４２１５を介して非変形部４２１３に連結している。
【００４９】
一対の接続部４２１４の一方の接続部は、変形部４２１１および非変形部４２１３の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１１および非変形部４２１３の他端部同士を連結している。また、一対の接続部４２１５の一方の接続部は、変形部４２１２および非変形部４２１３の一端部同士を連結し、他方の接続部は、変形部４２１２および非変形部４２１３の他端部同士を連結している。
このような各接続部４２１４，４２１５は、Ｘ軸方向に延長する棒状をなしている。また、各接続部４２１４，４２１５は、Ｚ軸方向に湾曲可能でかつその中心軸まわりに捩じり変形可能となっている。
以上、振動基板１１の構成について具体的に説明した。
【００５０】
前述したように、このような構成の振動基板１１は、ＳＯＩ基板から一体的に形成されている。これにより、振動基板１１の形成が容易となる。具体的には、前述したように、振動基板１１には、積極的に変形させる部位と、変形させない（変形させたくない）部位とが混在している。一方、ＳＯＩ基板は、第１のＳｉ層と、ＳｉＯ2層と、第２のＳｉ層とがこの順に積層した基板である。そこで、変形させない部位を前記３つの層の全てで構成するとともに、積極的に変形させる部位を第２のＳｉ層のみで構成することにより、すなわち、ＳＯＩ基板の厚さを異ならせることにより、変形させる部位と変形させない部位が混在する振動基板１１を簡単に形成することができる。なお、積極的に変形させる部位は、第２のＳｉ層とＳｉＯ2層の２層で構成されていてもよい。
【００５１】
前記「変形させる部位」には、駆動梁４３，５３，６３，７３、可動部側可動梁４２２，５２２，６２２，７２２、変形部４２１１，４２１２，５２１１，５２１２，６２１１，６２１２，７２１１，７２１２および接続部４２１４，４２１５，５２１４，５２１５，６２１４，６２１５，７２１４，７２１５が含まれる。
一方、前記「変形させない部位」には、可動部２、支持部３、変位部４１，５１，６１，７１、変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３および非変形部４２１３，５２１３，６２１３，７２１３が含まれる。
【００５２】
（１−２．基台１２）
図２に示すように、基台１２は、平板状の基部１２１と、基部１２１の縁部に沿って設けられた枠部１２２とを有しており、箱状（枡状）をなしている。このような基台１２は、枠部１２２にて振動基板１１の支持部３および固定部１３（図１参照）の下面と接合されている。これにより、基台１２によって振動基板１１が支持される。このような基台１２は、例えば、ガラスやシリコンを主材料として構成されている。なお、基台１２と支持部３の接合方法としては、特に限定されず、例えば接着剤を用いて接合してもよく、陽極接合等の各種接合方法を用いてもよい。また、基台１２は、箱状（枡状）をなしているとしたが、これに限定されず、基部１２１の縁部に、部分的に枠部１２２が設けられるとしてもよい。
【００５３】
（１−３．変位手段８）
図１に示すように、変位手段８は、第１の変位手段８１と、第２の変位手段８２と、第３の変位手段８３と、第４の変位手段８４とを有している。
第１の変位手段８１は、永久磁石８１１、コイル８１２が巻き付けられた駆動部８１０、および電源８１３を有している。第２の変位手段８２は、永久磁石８２１、コイル８２２が巻き付けられた駆動部８２０、および電源８２３を有している。第３の変位手段８３は、永久磁石８３１、コイル８３２が巻き付けられた駆動部８３０、および電源８３３を有している。第４の変位手段８４は、永久磁石８４１、コイル８４２が巻き付けられた駆動部８４０、および電源８４３を有している。
【００５４】
そして、第１の変位手段８１は、連結部４に対応して設けられており、第２の変位手段８２は、連結部５に対応して設けられており、第３の変位手段８３は、連結部６に対応して設けられており、第４の変位手段８４は、連結部７に対応して設けられている。
このような構成によれば、変位手段８の構成が簡単となる。また、変位手段８を電磁駆動とすることにより、比較的大きな力を発生させることができ、可動部２をより確実に回動させることができる。また、各連結部４，５，６，７に１つの変位手段８（８１，８２，８３，８４）が設けられているため、各連結部４，５，６，７を独立して変形させることができる。そのため、可動部２を様々な態様で変位させることができる。
【００５５】
以下、第１の変位手段８１、第２の変位手段８２、第３の変位手段８３および第４の変位手段８４について説明するが、これらはそれぞれ同様の構成であるため、以下では、第１の変位手段８１について代表して説明し、第２の変位手段８２、第３の変位手段８３および第４の変位手段８４については、その説明を省略する。なお、第２の変位手段８２および第４の変位手段８４は、可動部２の平面視にて、第１の変位手段８１に対して９０度回転した状態で配置されている。そのため、第２の変位手段８２および第４の変位手段８４については、下記の第１の変位手段８１の説明中の「Ｙ軸方向」を「Ｘ軸方向」とし、「Ｘ軸方向」を「Ｙ軸方向」とすることで説明することもできる。
【００５６】
図８に示すように、永久磁石８１１は、棒状をなしており、その長手方向に磁化している。すなわち、永久磁石８１１は、その長手方向の一端側がＳ極となっており、他端側がＮ極となっている。このような永久磁石８１１は、変位部４１に形成された貫通孔４１１に挿通されており、長手方向のほぼ中央で変位部４１に固定されている。そして、永久磁石８１１が、変位部４１の上下に同じ長さだけ突出し、かつ変位部４１（回動中心軸Ｙ２）を介してＳ極とＮ極が対向する。これにより、可動部２を安定して変位させることができる。
【００５７】
また、永久磁石８１１は、その長手方向が変位部４１の面方向に直交するように設けられている。また、永久磁石８１１は、その中心軸が回動中心軸Ｙ２と交わるように設けられている。
このような永久磁石８１１としては、特に限定されず、例えば、ネオジウム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石、アルニコ磁石、ボンド磁石などの、硬磁性体を着磁したものを好適に用いることができる。
【００５８】
なお、第１実施形態では、永久磁石８１１は、棒状をなしているが、永久磁石の形状としては、特に限定されず、例えば、板状または円柱状をなしていてもよい。この場合には、永久磁石８１１を面方向に磁化し、その面方向がＸ軸方向と直交するように変位部４１に固定すればよい。これにより、永久磁石８１１のＸ軸方向長さを短くすることができるため、変位部４１の回動に伴って発生する慣性モーメントを抑えることができる。
【００５９】
コイル８１２は、永久磁石８１１に作用する磁界を発生する。このようなコイル８１２は、振動基板１１の外側近傍に、Ｘ軸方向にて永久磁石８１１と対向するように配置されている。また、コイル８１２は、Ｘ軸方向の磁界を発生させることができるように、すなわち、コイル８１２の永久磁石８１１側がＮ極となりその反対側がＳ極となる状態と、コイル８１２の永久磁石８１１側がＳ極となりその反対側がＮ極となる状態とを発生させることができるように設けられている。
【００６０】
第１実施形態の光スキャナー１は、振動基板１１の外側に基台１２と固定的に設けられた駆動部８１０（８２０，８３０，８４０）にコイル固定部８５を有しており、このコイル固定部８５が有するＸ軸方向に延長する突出部８５１にコイル８１２が巻き付けられている。このような構成とすることにより、コイル８１２を振動基板１１に対して固定でき、かつ、簡単に前述のような磁界を発生させることができる。また、突出部８５１を鉄などの軟磁性体で構成することにより、突出部８５１をコイル８１２の磁心として用いることができ、前述のような磁界をより効率的に発生させることもできる。
【００６１】
電源８１３は、コイル８１２に電気的に接続されている。そして、電源８１３からコイル８１２に所望の電圧を印加することにより、コイル８１２から前述したような磁界を発生させることができる。第１実施形態では、電源８１３は、交番電圧および直流電圧を選択して印加できるようになっている。また、交番電圧を印加する際には、その強さ、周波数を変更できるようになっており、さらにオフセット電圧（直流電圧）を重畳させることもできるようになっている。
【００６２】
（２．光スキャナー１の作動）
次いで、光スキャナーの作動について説明する。
上述のような構成の光スキャナー１では、可動部２を回動させるパターンと、可動部２を振動させるパターンと、可動部２を所定位置で静止させるパターンとを選択することができるようになっている。このように、光スキャナー１が種々のパターンで駆動することができるのは、各連結部４，５，６，７の可動梁４２，５２，６２，７２を屈曲変形させることにより得られる効果である。
以下、これら３つのパターンについて順次説明する。なお、以下では、説明の便宜上、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１が全てＮ極を上側にして配置された構成について代表して説明する。
【００６３】
（２−１．回動）
＜Ｙ軸まわりの回動＞
図９に基づいて、可動部２のＹ軸まわりの回動について説明する。なお、図９は、図１中Ａ−Ａ線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル８１２の永久磁石８１１側がＮ極、コイル８３２の永久磁石８３１側がＳ極となる第１の状態と、コイル８１２の永久磁石８１１側がＳ極、コイル８３２の永久磁石８３１側がＮ極となる第２の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加する。電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に印加される交番電圧は、互いに同じ波形（強さおよび周波数が同じ）であるのが好ましい。
【００６４】
図９（ａ）に示す第１の状態では、永久磁石８１１のＳ極がコイル８１２に引き付けられるとともにＮ極がコイル８１２から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１がその上面を可動部２側に向けるように回動中心軸Ｙ２まわりに傾斜する。これとともに、永久磁石８３１のＮ極がコイル８３２に引き付けられるとともにＳ極がコイル８３２から遠ざかって傾斜するため、一対の駆動梁６３を捩じり変形させつつ、変位部６１がその下面を可動部２側に向けるように回動中心軸Ｙ３まわりに傾斜する。すなわち、変位部４１，６１がともに図９（ａ）中時計回りに傾斜する。
【００６５】
この変位部４１，６１の傾斜とともに、変位部側可動梁４２３が可動部２側の端を下側に向けるように傾斜し、変位部側可動梁６２３が可動部２側の端を上側に向けるように傾斜する。これにより、変位部側可動梁４２３，６２３の可動部２側の端同士がＺ軸方向にずれた状態となる。
そして、変位部側可動梁４２３，６２３の可動部２側の端同士がＺ軸方向にずれることによって、変形部４２１１，４２１２，６２１１，６２１２をその中心軸まわりに捩じり変形させるとともに各接続部４２１４，４２１５，６２１４，６２１５を湾曲変形させながら、可動部側可動梁４２２，６２２および可動部２が一体的に図９（ａ）中反時計回りに傾斜する。
【００６６】
このように、第１の状態では、連結部４の可動梁４２がその途中にある屈曲部４２１で下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）するとともに、連結部６の可動梁６２がその途中にある屈曲部６２１で上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）することにより、回動中心軸Ｙ１を中心として、可動部２が図９（ａ）中反時計回りに傾斜する。
【００６７】
一方、図９（ｂ）に示す第２の状態では、前述した第１の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第２の状態では、連結部４の可動梁４２が屈曲部４２１で上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）するとともに、連結部６の可動梁６２が屈曲部６２１で下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）する。これにより、回動中心軸Ｙ１を中心として、可動部２が図９（ｂ）中時計回りに傾斜する。
【００６８】
このような第１の状態と、第２の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部２を回動中心軸Ｙ１まわりに回動させることができる。なお、可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、連結部５，７が有する可動部側可動梁５２２，７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容される。
なお、コイル８１２，８３２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部２および連結部４，５，６，７で構成される振動基板１１の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。
【００６９】
＜Ｘ軸まわりの回動＞
次いで、図１０に基づいて、可動部２のＸ軸まわりの回動について説明する。なお、図１０は、図１中Ｂ−Ｂ線断面図に対応する断面図である。
まず、コイル８２２の永久磁石８２１側がＮ極、コイル８４２の永久磁石８４１側がＳ極となる第１の状態と、コイル８２２の永久磁石８２１側がＳ極、コイル８４２の永久磁石８４１側がＮ極となる第２の状態とが交互にかつ周期的に切り替わるように、電源８２３，８４３からコイル８２２，８４２に交番電圧を印加する。電源８２３，８４３からコイル８２２，８４２に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【００７０】
前述した可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と同様に、図１０（ａ）に示す第１の状態では、連結部５の可動梁５２がその途中にある屈曲部５２１で下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）するとともに、連結部７の可動梁７２がその途中にある屈曲部７２１で上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）することにより、回動中心軸Ｘ１を中心として、可動部２が図１０（ａ）中反時計回りに傾斜する。
【００７１】
一方、図１０（ｂ）に示す第２の状態では、前述した第１の状態と逆の変形が起こる。すなわち、第２の状態では、連結部５の可動梁５２が屈曲部５２１で上側に凸のＶ字状に屈曲変形（第２の変形）するとともに、連結部７の可動梁７２が屈曲部７２１で下側に凸のＶ字状に屈曲変形（第１の変形）することにより、回動中心軸Ｘ１を中心として、可動部２が図１０（ｂ）中時計回りに傾斜する。
このような第１の状態と、第２の状態とを交互にかつ周期的に切り替えることによって、可動部２を回動中心軸Ｘ１まわりに回動させることができる。なお、可動部２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、連結部４，６が有する可動部側可動梁４２２，６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【００７２】
なお、コイル８２２，８４２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部２および連結部４，５，６，７で構成される振動基板１１の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。
【００７３】
＜Ｘ軸およびＹ軸のそれぞれの軸まわりの回動＞
前述したようなＸ軸まわりの回動と、Ｙ軸まわりの回動とを同時に行うことにより、可動部２を回動中心軸Ｙ１および回動中心軸Ｘ１のそれぞれの軸まわりに２次元的に回動させることができる。前述したように、可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、可動部側可動梁５２２，７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、可動部側可動梁４２２，６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。
【００７４】
前述したＸ軸まわりの回動、Ｙ軸まわりの回動およびこれら２軸まわりの回動では、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部２および連結部４，５，６，７で構成される振動基板１１の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と異なっているのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を非共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。
【００７５】
また、可動部２を回動中心軸Ｙ１まわりに回動させるためにコイル８１２，８３２に印加する交番電圧の周波数と、可動部２を回動中心軸Ｘ１まわりに回動させるためにコイル８２２，８４２に印加する交番電圧の周波数とは等しくてもよいし異なっていてもよい。例えば、可動部２を回動中心軸Ｘ１よりも回動中心軸Ｙ１まわりに速く回動させたい場合には、コイル８１２，８３２に印加する交番電圧の周波数を、コイル８２２，８４２に印加する交番電圧の周波数よりも高く設定すればよい。
【００７６】
また、コイル８１２，８３２に印加する交番電圧の強さと、コイル８２２，８４２に印加する交番電圧の強さは、等しくても異なっていてもよい。例えば、可動部２を回動中心軸Ｘ１よりも回動中心軸Ｙ１まわりに大きく回動させたい場合には、コイル８１２，８３２に印加する交番電圧の強さを、コイル８２２，８４２に印加する交番電圧の強さよりも強くすればよい。
【００７７】
上記では、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に交番電圧を印加する駆動方法について説明したが、次のような駆動方法によっても可動部２を回動させることができる。すなわち、電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加される交番電圧に（＋）または（−）のオフセット電圧（直流電圧）を重畳してもよい。言い換えれば、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１のＮ極がコイル８１２，８２２，８３２，８４２に引き付けられる強さ（以下、単に「Ｎ極引き付け強さ」とも言う）と、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１のＳ極がコイル８１２，８２２，８３２，８４２に引き付けられる強さ（以下、単に「Ｓ極引き付け強さ」とも言う）とを異ならせてもよい。
【００７８】
以下、具体的に説明するが、前述したような、Ｎ極引き付け強さおよびＳ極引き付け強さが等しい状態を「通常状態」と言う。
コイル８１２，８２２，８３２，８４２のＳ極引き付け強さがＮ極引き付け強さよりも大きい場合には、通常状態と比較して、変位部４１，５１，６１，７１の回動の上死点および下死点（回動方向が切り替わる点）が上側に移動する。その結果、図１１に示すように、可動部２の回動中心軸Ｘ１，Ｙ１が通常状態に比べて上側に移動する。逆に、コイル８１２，８２２，８３２，８４２のＳ極引き付け強さがＮ極引き付け強さよりも弱い場合には、通常状態と比較して、変位部４１，５１，６１，７１の回動の上死点および下死点がそれぞれ下側に移動するため、可動部２の回動中心軸Ｘ１，Ｙ１が通常状態に比べて下側に移動する。
【００７９】
このように、電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加される交番電圧にオフセット電圧を重畳することにより、可動部２の回動中心軸Ｘ１，Ｙ１をＺ軸方向にずらすことができる。これにより、例えば、光スキャナー１がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、画像形成装置を組み立てた後でも、光源から出射される光の可動部２までの光路長を調整することができる。すなわち、画像形成装置の組み立て時には、光源と可動部２との位置決めを精密に行うが、仮にこれらの位置が設定値に対してずれてしまった場合でも、組み立て後に、光源と可動部２との位置を補正することができる。
【００８０】
（２−２．振動）
まず、コイル８１２，８２２，８３２，８４２の永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１側がそれぞれＮ極となる第１の状態と、コイル８１２，８２２，８３２，８４２の永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１側がそれぞれＳ極となる第２の状態とが、交互にかつ周期的に切り替わるように、電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に交番電圧を印加する。電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加される交番電圧は、互いに同じ波形であるのが好ましい。
【００８１】
図１２（ａ）に示す第１の状態では、前述した回動の場合と同様にして、変位部４１，５１，６１，７１は、それぞれ、その上面を可動部２側に向けるように回動中心軸Ｙ２，Ｘ２，Ｙ３，Ｘ３まわりに傾斜する。このような変位部４１，５１，６１，７１の傾斜に伴って、変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３は、それぞれ、可動部２側の端が下側を向くように傾斜する。これにより、可動梁４２，５２，６２，７２が屈曲部４２１，５２１，６２１，７２１で屈曲しながら、可動部側可動梁４２２，５２２，６２２，７２２および可動部２が一体的にかつ可動部２の姿勢（すなわち面方向）を一定に保ちつつ下側に移動する。
【００８２】
一方、図１２（ｂ）に示す第２の状態では、変位部４１，５１，６１，７１は、それぞれ、その下面を可動部２側に向けるように回動中心軸Ｙ２，Ｘ２，Ｙ３，Ｘ３まわりに傾斜する。このような変位部４１，５１，６１，７１の傾斜に伴って、変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３は、それぞれ、可動部２側の端が上側を向くように傾斜する。これにより、可動梁４２，５２，６２，７２が屈曲部４２１，５２１，６２１，７２１で屈曲しながら、可動部側可動梁４２２，５２２，６２２，７２２および可動部２が一体的にかつ可動部２の姿勢を一定に保ちつつ上側に移動する。
【００８３】
このような第１の状態と、第２の状態とを交互に切り替えることによって、可動部２をその姿勢を保ちつつ、すなわち光反射部２２の表面をＸ−Ｙ平面と平行に保ちつつ、Ｚ軸方向に振動させることができる。
なお、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する交番電圧の周波数としては特に限定されず、可動部２および連結部４，５，６，７で構成される振動基板１１の共振周波数と等しくても異なっていてもよいが、前記共振周波数と等しいのが好ましい。すなわち、光スキャナー１を共振で駆動するのが好ましい。これにより、光スキャナー１のより安定した駆動が可能となる。
このような振動パターンでも、前述した回動パターンと同様に、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する交番電圧にオフセット電圧を重畳させることにより、自然状態からＺ軸方向にシフトして可動部２を振動させることができる。
【００８４】
（２−３．静止パターン）
例えば、コイル８１２，８２２，８３２，８４２の永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１側がそれぞれＮ極となる状態となるように電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に直流電圧を印加する。電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加される直流電圧は、互いに同じ強さであるのが好ましい。このような電圧をコイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加すると図１２（ａ）に示すような状態で可動部２が静止する。
【００８５】
逆に、コイル８１２，８２２，８３２，８４２の永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１側がそれぞれＳ極となる状態となるように電源８１３，８２３，８３３，８４３からコイル８１２，８２２，８３２，８４２に直流電圧を印加すると、図１２（ｂ）に示すような状態で可動部２が静止する。
このように、可動部２を自然状態とは異なる位置に維持することができる。このような駆動によれば、例えば光反射部２２で反射した光の光路を自然状態のときに対してずらすことができるため、例えば、光スキャナー１を光スイッチとして利用するときに特に有効である。
【００８６】
また、例えば、光スキャナー１がプロジェクター等の画像形成装置に組み込まれている場合に、光源から異常なレーザーが出射されるなどの理由から、レーザーの装置外部への出射を停止しなければならない場合に、可動部２を自然状態とは異なる位置（レーザーの光路と交わらない位置）に退避させることにより、光反射部２２によるレーザーの反射を防止する。これにより、装置外部へのレーザーの出射を防止することができる。また、可動部２を変位させることにより光反射部２２で反射されたレーザーの光路を変更することにより、装置外部へのレーザーの出射を防止してもよい。これにより、このような問題を解決するための安全機構を別途組み込まなくてもよくなり、画像形成装置の製造工程が簡易化されるとともに、製造コストを削減することができる。
【００８７】
このような可動部２の静止駆動を応用し、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する直流電圧の強さを互いに異ならせることにより、可動部２を自然状態に対して傾けた状態で維持することもできる。また、コイル８１２，８２２，８３２，８４２に印加する直流電圧の強さを、それぞれ独立して、かつ経時的に変化させることにより、可動部２を連続的または段階的に不規則に変位させることもできる。このような駆動方法は、例えば、光反射部２２で反射した光をベクタースキャンする時に特に有効である。
以上、光スキャナー１の駆動について詳細に説明した。
【００８８】
このような光スキャナー１では、可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と回動中心軸Ｘ１まわりの回動とを同じ機構で行うことができる。また、光スキャナー１では、可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動と回動中心軸Ｘ１まわりの回動とを独立して行うことができる。すなわち、光スキャナー１では、回動中心軸Ｙ１の回動が回動中心軸Ｘ１まわりの回動に影響を受けず、逆に、回動中心軸Ｘ１の回動も回動中心軸Ｙ１まわりの回動に影響を受ない。そのため、光スキャナー１によれば、回動中心軸Ｙ１および回動中心軸Ｘ１のそれぞれの軸まわりに可動部２を安定して回動させることができる。
【００８９】
また、前述したように、光スキャナー１では、可動部２の回動中心軸Ｙ１まわりの回動は、可動部側可動梁５２２，７２２がその中心軸まわりに捩じり変形することによって許容され、可動部２の回動中心軸Ｘ１まわりの回動は、可動部側可動梁４２２，６２２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより許容される。このように、各連結部４，５，６，７が中心軸まわりに捩じり変形可能な可動部側可動梁４２２，５２２，６２２，７２２を有しているため、可動部２を回動中心軸Ｙ１，Ｘ１のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【００９０】
さらには、光スキャナー１では、可動部側可動梁４２２，５２２，６２２，７２２が直接、可動部２に接続されているため、よりスムーズに、可動部２を回動中心軸Ｙ１，Ｘ１のそれぞれの軸まわりに回動させることができたり、Ｚ軸方向へ振動させたりすることができる。
また、光スキャナー１では、連結部４において、前述のように捩じり変形する可動部側可動梁４２２と変形させたくない変位部側可動梁４２３との間に屈曲部４２１を設けている。そのため、前述の捩じり変形により生じた応力は、屈曲部４２１の変形部４２１１，４２１２や接続部４２１４，４２１５が変形することにより吸収・緩和され、変位部側可動梁４２３に伝わらない。すなわち、屈曲部４２１を設けることにより、可動部２の回動中に変位部側可動梁４２３がその中心軸まわりに捩じり変形してしまうのを確実に防止することができる。このことは、連結部４以外の他の連結部５，６，７についても同様である。そのため、可動部２を回動中心軸Ｙ１，Ｘ１のそれぞれの軸まわりにスムーズに回動させることができる。
【００９１】
さらには、各変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３の破壊が効果的に防止される。すなわち、棒状の部材において、自然状態からＺ軸方向の応力が加わったときの破壊強度よりも、中心軸まわりの捩じり変形が生じている状態からＺ軸方向の応力が加わったときの破壊強度の方が低いことが技術的に明らかになっている。そのため、上述のように、屈曲部４２１，５２１，６２１，７２１を設け、変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３に捩じり変形を生じさせないことにより、変位部側可動梁４２３，５２３，６２３，７２３の破壊を効果的に防止することができる。
【００９２】
また、連結部４において、変位部側可動梁４２３が実質的に変形しないため、変位部４１の回動によって生じる応力を効率よく可動部２の回動に用いることができる。このことは連結部５，６，７についても同様である。そのため、可動部２を大きい回動角度でしかも省電力で回動させることができたり、大きい振幅でＺ軸方向に振動させたりすることができる。
【００９３】
また、連結部４において、屈曲部４２１が非変形部４２１３を有しているため、この非変形部４２１３を軸にして可動梁４２を屈曲させることができる。このことは、連結部５，６，７についても同様である。そのため、各連結部４，５，６，７の可動梁４２，５２，６２，７２を簡単かつ確実に屈曲させることができ、可動部２を安定して回動、振動させることができる。
【００９４】
また、連結部４において、屈曲部４２１が可動部側可動梁４２２と連結する変形部４２１１と、変位部側可動梁４２３と連結する変形部４２１２とを有し、可動梁４２の屈曲時に、変形部４２１１，４２１２がその中心軸まわりに捩じり変形することにより、屈曲により発生する応力を効果的に緩和している。このことは、連結部５，６，７についても同様である。そのため、各連結部４，５，６，７の可動梁４２，５２，６２，７２を確実に屈曲させることができるとともに、可動梁４２，５２，６２，７２の破壊を防止することができる。すなわち、光スキャナー１を安定して駆動することができる。
【００９５】
また、連結部４において、屈曲部４２１が一対の変形部４２１１，４２１２を有しているため、次のような効果も発揮することができる。すなわち、例えば、通電によりコイル８１２から発生する熱や光反射部２２に照射される光によって生じる熱等による可動部側可動梁４２２および変位部側可動梁４２３の熱膨張を、変形部４２１１，４２１２が変形することにより許容することができる。このことは、連結部５，６，７についても同様である。そのため、光スキャナー１は、振動基板１１に応力が残留してしまうのを防止または抑制することができ、温度によらずに所望の振動特性を発揮することができる。
【００９６】
本実施形態によれば、貫通孔４１１に挿通された永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。詳しくは、永久磁石８１１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心を、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致させることができる。これにより、電源８１３，８３３からコイル８１２，８３２に交番電圧を印加することにより、永久磁石８１１が傾斜し、回動中心軸Ｙ２からずれることなく、駆動梁４３を捩じり変形させつつ、変位部４１が回動中心軸Ｙ２まわりに安定して傾斜する。これにより、可動梁４２は、回動中心軸Ｘ１からずれて傾いた屈曲をすることなく、可動部２を安定して回動させることができる。同様に、永久磁石８２１，８３１，８４１のＸ軸方向寸法の中心およびＹ軸方向寸法の中心を、回動中心軸Ｘ２，Ｙ１（Ｘ１，Ｙ３、およびＸ３，Ｙ１）の交点と一致させることができるので、上述のように可動部２を回動させることができる。
【００９７】
これによれば、段差部４５は２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面によって囲まれた範囲の外側に形成されているので、貫通孔４１１への永久磁石８１１の挿通を容易にすることができる。また、変位部４１の貫通孔４１１、特に２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４などにより固定する際に、永久磁石８１１をアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに押し付けて、接着剤４４が２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、およびに段差部４５に広がり、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙと、永久磁石８１１との間を均等にすることができ、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００９８】
これによれば、２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙを間違うことなく正確に確認することができ、永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【００９９】
これによれば、変位部４１の貫通孔４１１、特に２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４などにより固定する際に、永久磁石８１１をアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに押し付けるので、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【０１００】
＜第２実施形態＞
第２実施形態の光スキャナーについて、図１３および図５を参照して説明する。
第２実施形態の光スキャナーは、第１実施形態とほぼ同様の構成であるが、貫通孔の構成が相違する。このため、同様の構成および製造方法については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。
【０１０１】
図１３に示すように、貫通孔４１１は、貫通孔４１１は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、および逃げ部４６を備えている。逃げ部４６は、隣り合う２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに接して備えている。そして、この逃げ部４６のほかに、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面に接するように、逃げ部４６を３つ備えている。また、逃げ部４６は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙ、貫通孔４１１を構成する面に備えられていてもよい。
【０１０２】
逃げ部４６に、接着剤４４が注入または塗布されている。また、貫通孔４１１、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４が注入または塗布されている。ここで、接着剤４４は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面に、注入または塗布されていてもよい。
【０１０３】
また、図１３（ａ）では逃げ部４６のＸＹ平面視での大きさを同一に示したが、これに限定することなく、それぞれの逃げ部４６の大きさは異なっていてもよく適宜決定することができる。逃げ部４６のＸＹ平面視形状は、図１３（ａ）に示した矩形に限定されず、例えば、三角形や五角形以上の多角形であってもよく、また円形や楕円形など曲線により構成される形状であってもよい。また、図１３（ａ）でＸ軸方向およびＹ軸方向の寸法で示される逃げ部４６の長さ、図１３（ｂ）でＺ軸方向の寸法で示される逃げ部４６の深さ、ならびに図１３（ｂ）に示す逃げ部４６の断面形状、および注入または塗布される接着剤４４の量は、永久磁石８１１と変位部４１とを固定する接着強度の決定などにより、適宜決定することができる。また、逃げ部４６は、貫通孔４１１と同様に変位部４１を貫通していてもよい。さらに、逃げ部４６は、４つ備えると図示および説明したが、これに限るものではなく、逃げ部４６は、隣り合う２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに接して、少なくとも１つ備えていればよい。
【０１０４】
次に、図５を参照して、永久磁石８１１を変位部４１に固定する方法について説明する。
【０１０５】
塗布工程（Ｓ１０１）を実施し、逃げ部４６に、接着剤４４を注入または塗布する。そして、貫通孔４１１、特にアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに、接着剤４４が注入または塗布されている。ここで、接着剤４４は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面に、注入または塗布されていてもよい。
【０１０６】
次に、第１実施形態と同様にして、挿通工程（Ｓ１０２）、押付工程（Ｓ１０３）、硬化工程（Ｓ１０４）を実施する。これにより、永久磁石８１１を貫通孔４１１に固定する。これにより、永久磁石８１１は、接着剤４４によって、変位部４１に固定される。
【０１０７】
そして、着磁工程（Ｓ１０５）を実施し、永久磁石８１１のＺ軸方向の一端がＮ極となり、その反対側がＳ極となる。
【０１０８】
本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏するとともに以下の効果を奏することができる。
【０１０９】
隣り合う２つのアライメント面４１Ｘ，４１Ｙに接して形成された逃げ部により、貫通孔４１１と永久磁石８１１との位置決めを、隣り合う２つのアライメント面に接する部分により阻害されない。これにより、永久磁石８１１が、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに固定されることにより、永久磁石８１１を変位部４１の所望の位置に位置決めして固定することができる。
【０１１０】
＜第３実施形態＞
第３実施形態の画像形成装置について、図１４を参照して説明する。
第３実施形態の画像形成装置は、第１および第２実施形態の光スキャナーを備えている。このため、同様の構成および製造方法については、同一の符号を付与し、構成および製造方法などの説明を省略する。
【０１１１】
以上説明したような光スキャナー１は、例えば、プロジェクター、レーザープリンター、イメージング用ディスプレイ、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に好適に適用することができる。図１４は、本発明の画像形成装置の概要を示す模式図である。図１４には、画像形成装置としてのプロジェクター２００が示されている。ここでは、スクリーン２８０の長手方向を「横方向」といい、長手方向に直角な方向を「縦方向」という。プロジェクター２００は、レーザーなどの光を出射する光源装置２１０と、複数のダイクロイックミラー２２０と、光スキャナー１とを有している。
【０１１２】
光源装置２１０は、赤色光を出射する赤色光源装置２１１と、青色光を出射する青色光源装置２１２と、緑色光を出射する緑色光源装置２１３とを備えている。各ダイクロイックミラー２２０は、赤色光源装置２１１、青色光源装置２１２、緑色光源装置２１３のそれぞれから出射された光を合成する光学素子である。このようなプロジェクター２００は、図示しないホストコンピューターからの画像情報に基づいて、光源装置２１０から出射された光をダイクロイックミラー２２０で合成し、この合成された光が光スキャナー１によって２次元走査され、固定ミラー２５０を介してスクリーン２８０上にカラー画像を形成するよう構成されている。
【０１１３】
２次元走査の際、光スキャナー１の可動部２が、Ｙ軸方向の軸まわりに回動し、可動部２の光反射部２２で反射した光がスクリーン２８０の横方向に走査（主走査）される。一方、光スキャナー１の可動部２が、Ｘ軸方向の軸まわりに回動し、光反射部２２で反射した光がスクリーン２８０の縦方向に走査（副走査）される。光スキャナー１による光の走査は、いわゆるラスタースキャンによって行ってもよしい、いわゆるベクタースキャンによって行ってもよい。特に、光スキャナー１においては、その構成上、ベクタースキャンに適しているため、ベクタースキャンによって光を走査するのが好ましい。
【０１１４】
光スキャナー１にとって好ましいベクタースキャンとは、光源装置２１０から出射された光を、スクリーン２８０に対し、該スクリーン２８０上の異なる２点を結ぶ線分を順次形成するように走査する手法である。すなわち、微少な直線を集合させることにより、スクリーン２８０に所望の画像を形成する手法である。光スキャナー１では、可動部２を、Ｙ軸方向の軸まわりおよびＸ軸方向の軸まわりに、不規則に且つ連続的に変位させることが可能であるため、ベクタースキャンに特に適している。
【０１１５】
具体的に説明すれば、図１４に示すような文字（ａおよびｂ）をベクタースキャンにて描画する場合には、光源装置２１０から出射された光をそれぞれの文字を書くように走査する。この際、光スキャナー１が有する可動部２のＸ軸方向の軸まわりの姿勢（回動）とＹ軸方向の軸まわりの姿勢（回動）とをそれぞれ制御して、走査軌跡２３０に沿って不規則に光を走査することができ、ａおよびｂの文字を一筆書きのように描画することができる。このようなベクタースキャンによれば、ラスタースキャンのように、スクリーン２８０の全面に光を走査させなくてよいため、効率的に画像を描画することができる。なお、図１４では、ダイクロイックミラー２２０で合成された光を光スキャナー１によって２次元的に走査した後、その光を固定ミラー２５０で反射させてからスクリーン２８０に画像を形成するように構成されているが、固定ミラー２５０を省略し、光スキャナー１によって２次元的に走査された光を直接スクリーン２８０に照射してもよい。
【０１１６】
本実施形態によれば、第１および第２実施形態と同様の効果を奏することが可能な画像形成装置としてのプロジェクター２００を提供することができる。
【０１１７】
なお、上記課題の少なくとも一部を解決できる範囲での変形、改良などは前述の実施形態に含まれるものである。
【０１１８】
たとえば、段差部４５は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに対して、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面によって囲まれた範囲の外側に形成されているとして、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面は、上述の「囲まれた範囲の外側」ではなく、同一面であってもよい。さらに、段差部４５のＸＹ平面視形状は、図４（ａ）に示した矩形に限定されず、例えば、三角形や五角形以上の多角形であってもよく、また円形や楕円形など曲線により構成される形状であってもよい。
【０１１９】
貫通孔４１１は、図１３に示す形状に、図４に示した段差部４５を備えた形状であってもよい。あるいは、貫通孔４１１は、図４に示した段差部４５、および図１３に示した逃げ部４６を備えない形状であってもよく、この場合永久磁石８１１は、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙとともに貫通孔４１１を構成する面に、または変位部４１のＸＹ面に、接着剤４４によって固定され、変位部４１に固定されている。
また、貫通孔４１１のアライメント面４１Ｘ，４１Ｙは、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２（Ｘ２，Ｙ１、およびＸ１，Ｙ３、およびＸ３，Ｙ１）の交点と一致するように設定されているとしてが、これに限るものではない。たとえば、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙに加えて、貫通孔４１１を構成する他の面によって、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１のＸ軸方向の寸法中心および／またはＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２（Ｘ２，Ｙ１、およびＸ１，Ｙ３、およびＸ３，Ｙ１）の交点と一致するように設定されているとしてもよい。
【０１２０】
そして、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙの配置は、図４および図１３に示した配置に限定されることなく、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２（Ｘ２，Ｙ１、およびＸ１，Ｙ３、およびＸ３，Ｙ１）の交点を通るＺ軸に対して、ＸＹ平面視にて回転させた配置であってもよい。
アライメント面４１Ｘ，４１Ｙの配置について、言い換えると、永久磁石８１１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、それぞれ回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点と一致する配置であればよい。そして、永久磁石８２１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ２，Ｙ１の交点と一致する配置であればよい。また、永久磁石８３１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ１，Ｙ３の交点と一致する配置であればよい。さらには、永久磁石８４１のＸ軸方向の寸法中心およびＹ軸方向の寸法中心が、回動中心軸Ｘ３，Ｙ１と一致する配置であればよい。
この回転させた配置の一例として、図１３に示したアライメント面４１Ｘ，４１Ｙを、回動中心軸Ｘ１，Ｙ２の交点を通るＺ軸に対して、ＸＹ平面視にて時計回りに４５度回転させた配置を、図１５に示す。これによっても、上述の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１２１】
また、貫通孔４１１のＸＹ平面視形状は、図１、図２、および図４に示した矩形に限定されず、例えば、アライメント面４１Ｘ，４１Ｙを有する形状であれば三角形や正方形や五角形以上の多角形、またはアライメント面４１Ｘ，４１Ｙと円弧とを備える扇形であってもよく、適宜決定することができる。
【０１２２】
また、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１のＸＹ平面視形状としては、図１および図３、図４、および図１３で矩形と図示したが、特に限定されず、例えば、三角形や正方形や五角形以上の多角形であってもよいし、図４、図１３、および図１５に破線で図示する円形であってもよい。
【０１２３】
さらに、コイル固定部、変位手段、応力緩和部、振動基板、および可動板の構成および形状、ならびに振動基板を図示上下に反転して光反射部材を取り付けるなどは、前述の実施形態を限定するものではなく、適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【０１２４】
１…光スキャナー、２…可動部、３…支持部、４，５，６，７…連結部、８…変位手段、１１…振動基板、１２…基台、１３…固定部、２０…光反射部材、２１…面、２２…光反射部、２３…支持部材、４１，５１，６１，７１…変位部、４１Ｘ，４１Ｙ…アライメント面、４２，５２，６２，７２…可動梁、４３，５３，６３，７３…駆動梁、４４…接着剤、４５…段差部、４６…逃げ部、８１…第１の変位手段、８２…第２の変位手段、８３…第３の変位手段、８４…第４の変位手段、８５…コイル固定部、１２１…基部、１２２…枠部、２００…プロジェクター、２１０…光源装置、２１１…赤色光源装置、２１２…青色光源装置、２１３…緑色光源装置、２２０…ダイクロイックミラー、２３０…走査軌跡、２５０…固定ミラー、２８０…スクリーン、４１１…貫通孔、４２１，５２１，６２１，７２１…屈曲部、４２２，５２２，６２２，７２２…可動部側可動梁、４２３，５２３，６２３，７２３…変位部側可動梁、８１０，８２０，８３０，８４０…駆動部、８１１，８２１，８３１，８４１…永久磁石、８１２，８２２，８３２，８４２…コイル、８１３，８２３，８３３，８４３…電源、８５１…突出部、４２１３，５２１３，６２１３，７２１３…非変形部、４２１４，４２１５，５２１４，５２１５，６２１４，６２１５，７２１４，７２１５…接続部、Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３，Ｙ４…回動中心軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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