(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
下型の上に配置された光学素子材料に外周からガスを吹き付けて、前記光学素子材料を位置決めする位置決め工程と、
位置決めされた前記光学素子材料を加熱する加熱工程と、
加熱された前記光学素子材料を上型及び前記下型により加圧する加圧工程と、
加圧された前記光学素子材料を冷却する冷却工程と、を含み、
前記位置決め工程は、
前記光学素子材料の位置を検出する検出工程と、
前記検出工程の結果に基づき前記ガスの吹き付け量を調整する工程と、を有する、光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記下型の成形面は、凸型の球面形状若しくは非球面形状、又は平面形状を呈し、
前記下型の前記成形面上に配置されたときの前記光学素子材料における前記成形面に対向する部分は、凸型の球面形状又は非球面形状を呈する、請求項１記載の光学素子の製造方法。
【請求項３】
前記光学素子材料の中央部分が前記下型又は前記上型の成形面形状に変形し始めたとき以降に前記ガスの吹き付けを停止する、請求項１又は請求項２記載の光学素子の製造方法。
【請求項４】
前記ガスは、加熱ガスである、請求項１から請求項３のいずれか１項記載の光学素子の製造方法。
【請求項５】
前記位置決め工程では、前記光学素子材料の周囲に前記下型の中心軸を中心として均等に分散して設けられた３箇所以上の吹き付け位置から前記光学素子材料に前記ガスを吹き付ける、請求項１から請求項４のいずれか１項記載の光学素子の製造方法。
【請求項６】
下型の成形面上に配置された光学素子材料に外周からガスを吹き付けて、前記光学素子材料を位置決めするガス吹き付け部と、
前記光学素子材料を加熱する加熱部と、
上型及び前記下型により前記光学素子材料を加圧する加圧部と、
前記光学素子材料の位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部により検出された検出結果に基づき、前記ガス吹き付け部による前記ガスの吹き付け量を調整する吹き付け量調整部と、を備える、光学素子の製造装置。
【請求項７】
前記ガス吹き付け部は、前記光学素子材料に前記ガスを吹き付ける吹き付け位置と、該吹き付け位置よりも前記光学素子材料から離れた後退位置と、に移動する、請求項６記載の光学素子の製造装置。
【請求項８】
前記上型及び前記下型の外周には、スリーブが配置され、
前記ガス吹き付け部は、前記吹き付け位置において前記スリーブを貫通して該スリーブの内部空間に突出し、前記後退位置において前記スリーブの内部空間に突出しない、請求項７記載の光学素子の製造装置。
【請求項９】
前記ガス吹き付け部は、前記光学素子材料の周囲に前記下型の中心軸を中心として均等に分散して３つ以上設けられている、請求項６から請求項８のいずれか１項記載の光学素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子材料を位置決めして光学素子を製造する光学素子の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、上下一対の成形型間で光学素子材料を加熱、加圧、冷却することによって、レンズ、プリズム、ミラー等の光学素子を製造する光学素子の製造方法が知られている。
例えば、上下一対の成形型間にガラス素材を搬送し径方向に伸縮自在な搬送部材によってガラス素材の位置を決め、光学素子の成形を行う方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、水平方向へ摺動可能なツメを有するガラス素材保持部材によりガラス素材を保持して加熱軟化させ、下型がガラス素材に接触する前に、下型の上昇に伴ってツメが開くことにより、ガラス素材を下型の成形面上に載置して上型と下型とで押圧成形する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、金型内にガラス素材を収容し、金型の型面上を進退可能な位置決め部材によってガラス素材を保持しつつ位置決めし、ガラス素材を位置決めの後に上下の金型で挟みこみ、成形を行う方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−４３２６１号公報
【特許文献２】特開平９−１２４３２５号公報
【特許文献３】特許第４４８８３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１記載の成形方法は、光学素子の成形を行う高温の温度域では、搬送部材の弾性が数回の使用で失われて伸縮しなくなるために、光学素材の位置決めが行われなくなるという欠点があった。
【０００７】
また、特許文献２記載の成形方法は、上型と接触する前にガラス素材を下型で持ち上げるので、光学素材が偏り、成形後の光学素子が偏ったものになるという欠点があった。更には、ツメのバネ性が失われることで、光学素材の保持が行われなくなるという欠点があった。
【０００８】
また、特許文献３記載の成形方法では、光学素材が固い状態では、上型が軽い場合に搬送時の振動で光学素材が位置ズレするという欠点があった。
更には、特許文献１〜３記載の成形方法は、位置決め部材等が光学素材に触れるために、光学素材に異物がついたり、キズが入ったりするという欠点があった。
【０００９】
本発明の目的は、光学素子材料の位置決めを確実に行い、高精度な光学素子を製造することができる光学素子の製造方法及び製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の光学素子の製造方法は、下型の上に配置された光学素子材料に外周からガスを吹き付けて、上記光学素子材料を位置決めする位置決め工程と、位置決めされた上記光学素子材料を加熱する加熱工程と、加熱された上記光学素子材料を上型及び上記下型により加圧する加圧工程と、加圧された上記光学素子材料を冷却する冷却工程と、を含み、上記位置決め工程は、上記光学素子材料の位置を検出する検出工程と、上記検出工程の検出結果に基づき上記ガスの吹き付け量を調整する工程と、を有する。
【００１１】
また、上記光学素子の製造方法において、上記下型の成形面は、凸型の球面形状若しくは非球面形状、又は平面形状を呈し、上記下型の上記成形面上に配置されたときの上記光学素子材料における上記成形面に対向する部分は、凸型の球面形状又は非球面形状を呈するようにしてもよい。
【００１２】
また、上記光学素子の製造方法において、上記光学素子材料の中央部分が上記下型又は上記上型の成形面形状に変形し始めたとき以降に上記ガスの吹き付けを停止するようにしてもよい。
【００１３】
また、上記光学素子の製造方法において、上記ガスは、加熱ガスであるようにしてもよい。
【００１４】
また、上記光学素子の製造方法において、上記位置決め工程では、上記光学素子材料の周囲に前記下型の中心軸を中心として均等に分散して設けられた３箇所以上の吹き付け位置から上記光学素子材料に上記ガスを吹き付けるようにしてもよい。
【００１５】
本発明の光学素子の製造装置は、下型の成形面上に配置された光学素子材料に外周からガスを吹き付けて、上記光学素子材料を位置決めするガス吹き付け部と、上記光学素子材料を加熱する加熱部と、上型及び上記下型により上記光学素子材料を加圧する加圧部と、上記光学素子材料の位置を検出する位置検出部と、上記位置検出部により検出された検出結果に基づき、上記ガス吹き付け部による上記ガスの吹き付け量を調整する吹き付け量調整部と、を備える。
【００１７】
また、上記光学素子の製造装置において、上記ガス吹き付け部は、上記光学素子材料に上記ガスを吹き付ける吹き付け位置と、この吹き付け位置よりも上記光学素子材料から離れた後退位置と、に移動するようにしてもよい。
【００１８】
また、上記光学素子の製造装置において、上記上型及び上記下型の外周には、スリーブが配置され、上記ガス吹き付け部は、上記吹き付け位置において上記スリーブを貫通してこのスリーブの内部空間に突出し、上記後退位置において上記スリーブの内部空間に突出しないようにしてもよい。
【００１９】
また、上記光学素子の製造装置において、上記ガス吹き付け部は、上記光学素子材料の周囲に上記下型の中心軸を中心として均等に分散して３つ以上設けられているようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、光学素子材料の位置決めを確実に行い、高精度な光学素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１Ａ】本発明の一実施の形態に係る光学素子の製造装置の要部を示す部分断面斜視図（その１）である。
【図１Ｂ】本発明の一実施の形態に係る光学素子の製造装置の要部を示す部分断面斜視図（その２）である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る光学素子の製造装置の要部を示す部分断面斜視図（その３）である。
【図３Ａ】図２のＡ−Ａ断面を模式的に表した、光学素子の製造装置を示す断面図（その１）である。
【図３Ｂ】図２のＡ−Ａ断面を模式的に表した、光学素子の製造装置を示す断面図（その２）である。
【図３Ｃ】図２のＡ−Ａ断面を模式的に表した、光学素子の製造装置を示す断面図（その３）である。
【図３Ｄ】図２のＡ−Ａ断面を模式的に表した、光学素子の製造装置を示す断面図（その４）である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法及び製造装置について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１Ａ及び図１Ｂ並びに図２は、本発明の一実施の形態に係る光学素子の製造装置の要部を示す部分断面斜視図である。
図３Ａ〜図３Ｄは、図２のＡ−Ａ断面を模式的に表した、光学素子の製造装置１を示す断面図である。
【００２４】
図１Ａ〜図３Ａに示すように、光学素子の製造装置１は、対向して配置された上型２及び下型３と、スリーブ４と、ガス吹き付け部の一例である３本のガスパイプ５と、加熱部の一例であるヒータ６ａ，７ａを有する上当接部材６及び下当接部材７と、加圧部の一例であるシリンダ駆動部８と、位置検出部９と、吹き付け量調整部１０と、ガス供給部１１と、を備える。
【００２５】
上型２は、円柱形状を呈する。上型２の底面には、凸型の球面形状又は非球面形状を呈する成形面２ａが形成されている。この成形面２ａは、例えばガラス材料である光学素子材料１００に凹型の球面形状又は非球面形状を転写する。上型２の上端には、フランジ部２ｂが形成されている。
【００２６】
下型３は、円柱形状を呈する。下型３の上面には、平面形状を呈する成形面３ａが形成されている。この成形面３ａは、光学素子材料１００に平面形状を転写する。下型３の下端には、フランジ部３ｂが形成されている。なお、平面形状とは、凹型でも凸型でもない形状をいい、粗面を含む。
【００２７】
スリーブ４は、円筒形状を呈し、下型３のフランジ部３ｂ上において上型２及び下型３の外周に配置されている。スリーブ４には、上型２及び下型３が挿入される。スリーブ４の内径は、例えば、スリーブ４の内周面と上型２及び下型３の外周面とが互いに摺動可能な大きさである。スリーブ４には、ガスパイプ５の後述する先端部５ａに貫通される貫通孔４ａが、光学素子材料１００の図１Ａ〜図２に示す周方向Ｄに１２０°間隔で３箇所に形成されている。
【００２８】
３本のガスパイプ５は、それぞれ、先端部５ａと、この先端部５ｂよりも大径の本体部５ｂと、を有している。３本のガスパイプ５は、光学素子材料１００の周囲に下型３の中心軸（軸方向は上下方向）を中心として均等に分散して設けられている。３本のガスパイプ５は、例えば光学素子材料１００の周方向Ｄに１２０°の間隔で分散して設けられている。なお、ガスパイプ５は、例えば１８０°以上の間隔を隔てずに分散して設けられるようにするとよい。３本のガスパイプ５の高さ位置は、例えば、全て同じである。
【００２９】
ガスパイプ５は、例えば、先端部５ａがスリーブ４を貫通してスリーブ４の内部空間（中空部分）に突出する吹き付け位置（図３Ａ及び図３Ｂの位置Ｐ１）において、光学素子材料１００に外周からガスＧを吹き付け、光学素子材料１００を位置決めする。ガスＧは、例えば、不活性ガスである窒素ガスが加熱された加熱ガスである。
【００３０】
なお、ガスパイプ５の吹き付け位置（Ｐ１）は、例えば、ガスパイプ５の本体部５ｂがスリーブ４の外周面に当接した位置である。また、ガスＧを加熱ガスとする場合、ガスパイプ５が、その流路中に配置されてガスＧを加熱するガス加熱部を有するようにしてもよいし、或いは、後述するガス供給部１１がガスＧを供給する時点で既にガスＧが加熱されているようにしてもよい。
【００３１】
ガスパイプ５は、シリンダやサーボモータなどの図示しない移動手段によって上記吹き付け位置（Ｐ１）と、この吹き付け位置（Ｐ１）よりも光学素子材料１００から離れた後退位置（図３Ｃ及び図３Ｄの位置Ｐ２）とに移動（例えば、往復移動）する。
【００３２】
なお、ガスパイプ５は、後退位置（Ｐ２）において、スリーブ４の内部空間に突出しないことが望ましく、スリーブ４の外部まで後退した位置としてもよい。
上当接部材６及び下当接部材７には、例えばそれぞれ３本のヒータ６ａ，７ａが挿入されている。ヒータ６ａ，７ａが昇温することで、上型２及び下型３を介した熱伝導により光学素材材料１００が加熱される。
【００３３】
上当接部材６は、上型２の上面に当接する。本実施の形態では、上型２は、上当接部材６に固定されている。
下当接部材７は、下型３の底面に当接する。本実施の形態では、下型３は、下当接部材７に固定されている。
【００３４】
シリンダ駆動部８は、上当接部材６に連結され、この上当接部材６を上下動させる。後述する加圧工程においては、シリンダ駆動部８は、上当接部材６を下降させて、上型２及び下型３により光学素子材料１００を加圧する。
【００３５】
位置検出部９は、例えば、光学センサ等のセンサ或いは撮像部であり、上型２が光学素子材料１００上に配置される前に光学素子材料１００の上方から、或いは、スリーブ４に設けられた孔を通して外周から、光学素子材料１００の位置を検出する。
【００３６】
吹き付け量調整部１０は、例えば、光学素子の製造装置１の制御装置であり、位置検出部９により検出された検出結果に基づき、ガス供給部１１によるガスＧの供給量を調整することで、ガス供給部１１に連結されたガスパイプ５によるガスＧの吹き付け量を調整する。
【００３７】
ガスＧの吹き付け量の調整は、光学素子材料１００が中央に移動するように、例えば、各ガスパイプ５のガスＧの吹き付け量を増減させるか、或いは、一部のガスパイプ５のガスＧの吹き付けを停止するとよい。
【００３８】
以下、本実施の形態に係る光学素子の製造方法について、上述の説明と重複する点については適宜省略しながら説明する。
図３Ａに示すように、ガスパイプ５は、スリーブ４を貫通してスリーブ４の内部空間に突出する吹き付け位置（Ｐ１）に配置されている。また、ガスパイプ５は、例えば、下型３の成形面３ａ上に光学素子材料１００が配置される前から、ガスＧを吐出する。
【００３９】
なお、下型３の成形面３ａは、平面形状を呈し、この成形面３ａ上に配置されたときの光学素子材料１００は、例えば球体又は楕円球体であり、光学素子材料１００における成形面３ａに対向する部分は凸型の球面形状又は非球面形状を呈する。
【００４０】
そして、ガスパイプ５は、光学素子材料１００が下型３の上に配置された後も、ガスＧを吐出し続け、光学素子材料１００に外周からガスを吹き付けて、光学素子材料１００を例えば下型３の成形面３ａの中央などの所望の位置に位置決めする（位置決め工程）。
【００４１】
この位置決め工程では、位置検出部９が光学素子材料１００の位置を検出し（検出工程）、その検出結果に基づき、光学素子材料１００が所望の位置に位置決めされるように、吹き付け量調整部１０がガスＧの吹き付け量を調整する。
【００４２】
次に、図３Ｂに示すように、シリンダ駆動部８は、上型２を下降させ、光学素子材料１００に当接させる。これにより、光学素子材料１００が上型２及び下型３により挟持される。
【００４３】
そして、光学素子材料１００は、吹き付けられたガスＧにより或いは上当接部材６及び下当接部材７のヒータ６ａ，７ａからの熱伝導により、例えばガラス転移点以上の温度になるまで加熱される（加熱工程）。
【００４４】
ガスパイプ５は、図３Ｃに示すように、光学素子材料１００の底面中央部分１００ａ及び上面中央部分１００ｂの少なくとも一方が例えば加熱により或いは上型２の下降により、下型３の成形面３ａ形状に変形し始めたとき（即ち、光学素子材料１００と下型３又は上型２の接触が点接触から面接触になったとき）に或いはそれよりも後にガスＧの吹き付けを停止し、後退位置（Ｐ２）に後退する。
【００４５】
なお、上型２と下型３との偏心精度が高ければ、光学素子材料１００に上型２又は下型３からの横方向への力がかからず、光学素子材料１００が下型３上を転がらないので、底面中央部分１００ａ及び上面中央部分１００ｂの一方のみが下型３の成形面３ａ形状に変形し始めたとき以降にガスＧの吹き付けを停止してもよい。
【００４６】
図３Ｄに示すように、シリンダ駆動部８は、加熱された光学素子材料１００を、上型２及び下型３により加圧する（加圧工程）。
加圧された光学素子材料１００は、例えば、ヒータ６ａ，７ａの温度が降下することにより、例えばガラス転移点以下の温度になるまで冷却される（冷却工程）。
【００４７】
冷却された光学素子材料１００は、上型２及び下型３から離型し、スリーブ４内から取り出される。これにより、例えばガラスレンズである光学素子が得られる。
【００４８】
以上説明した本実施の形態では、光学素子の製造方法は、下型３の上に配置された光学素子材料１００に外周からガスＧを吹き付けて、光学素子材料１００を位置決めする位置決め工程と、光学素子材料１００を加熱、加圧、及び冷却する加熱工程、加圧工程、及び冷却工程と、を含む。
【００４９】
そのため、光学素子材料１００の位置決めを確実に行うことができる。また、この位置決めにより光学素子の偏心精度を高めることができる。更には、非接触で光学素子材料１００を位置決めすることができるため、光学素子にキズ等の欠陥が生じるのを抑えることができる。
【００５０】
よって、本実施の形態によれば、光学素子材料１００の位置決めを確実に行い、高精度な光学素子を製造することができる。
【００５１】
また、本実施の形態では、下型３の成形面３ａは、平面形状（後述するが、又は凸型の球面形状若しくは非球面形状）を呈し、下型３の成形面３ａ上に配置されたときの光学素子材料１００における成形面３ａに対向する部分は、凸型の球面形状又は非球面形状を呈する。そのため、光学素子材料１００の位置が安定しない状況において、光学素子材料１００の位置決めを有効に行うことができる。
【００５２】
また、本実施の形態では、光学素子材料１００の中央部分（底面中央部分１００ａ又は上面中央部分１００ｂ）が下型３又は上型２の成形面２ａ，３ａ形状に変形し始めたとき以降にガスＧの吹き付けを停止する。そのため、光学素子材料１００の位置決めをより確実に行うことができる。
【００５３】
また、本実施の形態では、ガスＧは、加熱ガスである。そのため、光学素子材料１００を外周から均等に加熱することができ、より高精度な光学素子を製造することができる。更には、加熱工程を短時間で行うことができ、光学素子の製造サイクルタイムを短縮することもできる。
【００５４】
また、本実施の形態の位置決め工程は、例えば位置検出部９により光学素子材料１００の位置を検出する検出工程と、この検出工程の検出結果に基づき例えば吹き付け量調整部１０がガスＧの吹き付け量を調整する工程と、を有する。そのため、光学素子材料１００の位置決めをより確実に行うことができる。
【００５５】
また、本実施の形態の位置決め工程では、光学素子材料１００の周囲に下型３の中心軸を中心として均等に分散して設けられた３箇所以上の吹き付け位置（ガス吹き付け部の一例であるガスパイプ５）から光学素子材料１００にガスＧを吹き付ける。そのため、光学素子材料１００の位置決めをより確実に行うことができる。なお、ガスＧを吹き付ける圧力の方向は、水平方向が望ましいが、機械の取り付け誤差により水平方向のみに吹き付けることが困難な場合がある。このような場合には、（１）複数の吹き付け位置からのガス吹き付け圧力の水平方向のベクトルが、光学素子材料１００と下型３との摩擦力よりも小さく、且つ、（２）複数の吹き付け位置からのガス吹き付け圧力の鉛直方向のベクトルの合計が、光学素子材料１００の質量よりも小さければ、光学素子材料１００が浮上することは無い。従って、上記のようにガスＧを吹き付けることで、光学素子材料１００の位置決めを行うことができる。また、例えば、複数の吹き付け位置からのガス吹き付け圧力の鉛直方向のベクトルが下向きとなっても、複数の吹き付け位置からの水平方向のベクトルの合計が、上述した摩擦力よりも小さければ位置決めは可能である。この場合、鉛直方向の合成ベクトルが下向きだと光学素子材料１００が転がり易くなるため、ガス吹き付け圧力の制御と、最初に光学素子材料１００を下型３の上に配置する際の中心位置合わせとを、より高精度に行うことが望ましい。
【００５６】
また、本実施の形態では、ガスパイプ（ガス吹き付け部）５は、光学素子材料１００にガスＧを吹き付ける吹き付け位置Ｐ１と、この吹き付け位置Ｐ１よりも光学素子材料１００から離れた後退位置Ｐ２と、に移動する。そのため、ガスパイプ５は、吹き付け位置Ｐ１において、少量のガスＧで位置決めを行うことができ、後退位置Ｐ２において、光学素子材料１００、上型２、又は下型３との干渉を防ぐことができる。
【００５７】
また、本実施の形態では、ガスパイプ（ガス吹き付け部）５は、吹き付け位置Ｐ１においてスリーブ４を貫通してこのスリーブ４の内部空間に突出し、後退位置Ｐ２においてスリーブ４の内部空間に突出しない。
【００５８】
なお、ガスパイプ（ガス吹き付け部）５は、光学素子材料１００の周方向Ｄに移動可能であれば１本とすることもでき、このように移動させない場合でも対向する２本とすることができる。しかしながら、光学素子材料１００の周方向Ｄに分散して、好ましくは１８０°以上の間隔を隔てずに分散して３つ以上設けられていることが望ましい。
【００５９】
また、本実施の形態では、位置検出部９が光学素子材料１００の位置を検出し、吹き付け量調整部１０がガスＧの吹き付け量を調整しているが、位置を検出せずに各ガスパイプ５から一定量のガスＧを光学素子材料１００に吹き付けることでも、光学素子材料１００の位置決めは可能である。
【００６０】
また、本実施の形態では、ガスパイプ５は、吹き付け位置（Ｐ１）及び後退位置（Ｐ２）に移動するが、光学素子材料１００、上型２、及び下型３に干渉しない位置からガスＧを吹き付ける場合には、ガスパイプ５を後退させなくともよい。
【００６１】
また、スリーブ４には、ガスパイプ５により吐出されるガスＧの排気孔を形成してもよいが、スリーブ４と上型２との隙間からガスＧを排気することも可能である。
また、スリーブ４を省略することも可能である。
【００６２】
また、本実施の形態では、下型３の成形面３ａは、平面形状を呈するが、凸型の球面形状又は非球面形状を呈する場合にも、光学素子材料１００が下型３上で移動してしまうため、上述の位置決め工程が特に必要となる。上型２の成形面２ａの形状は、凸型でなく、凹型又は平面形状であってもよい。
【００６３】
また、本実施の形態では、上型２及び下型３が上当接部材６又は下当接部材７に固定される場合を例に説明したが、上型２及び下型３を有する型セットが、加熱、加圧、又は冷却が行われる各ステージに順次移送される場合には、上当接部材６及び下当接部材７には、上型２又は下型３が固定されない。そして、この場合、ガスパイプ５は、後退位置（Ｐ２）において、スリーブ４の外側まで後退することになる。
【符号の説明】
【００６４】
１      光学素子の製造装置
２      上型
２ａ      成形面
２ｂ      フランジ部
３      下型
３ａ      成形面
３ｂ      フランジ部
４      スリーブ
４ａ      貫通孔
５      ガスパイプ（ガス吹き付け部）
５ａ      先端部
５ｂ      本体部
６      上当接部材
６ａ      ヒータ（加熱部）
７      下当接部材
７ａ      ヒータ（加熱部）
８      シリンダ駆動部（加圧部）
９      位置検出部
１０      吹き付け量調整部
１１      ガス供給部
１００      光学素子材料
１００ａ      底面中央部分
１００ｂ      上面中央部分
Ｄ      光学素子材料の周方向
Ｇ      ガス（加熱ガス）
Ｐ１      吹き付け位置
Ｐ２      後退位置
【図３Ａ】
0005690194.tif 000002
【図３Ｂ】
0005690194.tif 000003
【図３Ｃ】
0005690194.tif 000004
【図３Ｄ】
0005690194.tif 000005
【図１Ａ】
0005690194.tif 000006
【図１Ｂ】
0005690194.tif 000007
【図２】
0005690194.tif 000008