(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハ及びレチクルを保管する保管棚と、入出庫用搬送手段とが設けられた物品保管設備であって、
前記保管棚に、前記半導体ウェハを収納するウェハ収納容器を保管する第１収納部及び前記レチクルを収納し前記ウェハ収納容器とは外形が異なるレチクル収納容器を保管する第２収納部が備えられ、
前記入出庫用搬送手段が、前記ウェハ収納容器の上部に形成したトップフランジを把持して前記ウェハ収納容器を吊下げ状態で支持するための把持部を備えるように構成され、
前記レチクル収納容器の上部に、前記入出庫用搬送手段が前記把持部にて把持して前記レチクル収納容器を吊下げ状態で支持するためのフランジ部が形成され、
前記入出庫用搬送手段に、前記把持部にて前記ウェハ収納容器を把持しているか、前記把持部にて前記レチクル収納容器を把持しているかを、前記ウェハ収納容器及び前記レチクル容器の外形の違いに応じた情報に基づいて判別する容器判別センサが装備され、
設備管理用制御部が、システム停止後に運転を再開する場合には、前記容器判別センサの検出情報に基づいて、前記把持部にて前記ウェハ収納容器を把持しているか、前記把持部にて前記レチクル収納容器を把持しているかを判別するように構成され、
前記入出庫用搬送手段は、前記設備管理用制御部の判別結果に基づいて、前記ウェハ収納容器を前記第１収納部に搬送し、前記レチクル収納容器を前記第２収納部に搬送するように構成されている物品保管設備。
【請求項２】
前記ウェハ収納容器に対する第１入出庫部と、前記レチクル収納容器に対する第２入出庫部とが各別に設けられ、
前記入出庫用搬送手段が、前記第１入出庫部と前記第１収納部との間で前記ウェハ収納容器を搬送し、前記第２入出庫部と前記第２収納部との間で前記レチクル収納容器を搬送するように構成されている請求項１記載の物品保管設備。
【請求項３】
前記保管棚が、建物の複数階に亘る状態で設けられ、
前記第１入出庫部及び前記第２入出庫部が、前記複数階のうちの、異なる階の夫々に設けられている請求項２記載の物品保管設備。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の物品保管設備を備えた物品搬送設備であって、
前記第１入出庫部と露光処理装置におけるウェハ用搬出入部との間で前記ウェハ収納容器を搬送するホイスト式の第１天井搬送車、及び、前記第２入出庫部と前記露光処理装置におけるレチクル用搬出入部との間で前記レチクル収納容器を搬送するホイスト式の第２天井搬送車とが設けられ、
前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車についての走行経路が、少なくとも一部を前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の夫々が走行する共用走行経路部分とする形態で設定され、
前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の夫々が、前記走行経路に沿って天井側に設置する走行レールを走行自在に構成されている物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ及びレチクルを保管する保管棚と、入出庫用搬送手段とが設けられた物品管設備、及び、その物品保管設備を備えた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品保管設備は、半導体ウェハ、及び、半導体ウェハを露光処理するために使用するレチクルを保管するために使用されるものである。つまり、保管されている半導体ウェハ及びレチクルは、出庫された後、露光処理装置に搬送されることになる。
ちなみに、露光処理済みの半導体ウェハは、次の処理を行う処理装置に搬送されることになるが、一時保管のために、再び、保管棚に入庫されて保管される場合や、別の保管棚に保管される場合もある。
また、使用済みのレチクルは、一般に、再び、保管棚に入庫されて保管される。
【０００３】
このような物品保管設備の従来例として、下記のものがある。
すなわち、半導体ウェハが、ウェハ収納容器に収納された状態で保管棚のカセット棚に保管され、レチクルが、そのままの状態で、又は、レチクル積載冶具に載置された状態で保管棚のレチクル棚に保管される。また、保管棚には、ウェハ収納容器と同じ形式の空の収納容器が保管されている。
【０００４】
入出庫用搬送手段が、ウェハ収納容器に対するカセット用ハンドと、レチクル収納容器に対するレチクル用ハンドと、ウェハ収納容器と同じ形式の空の収納容器の蓋を開閉する開閉機構を備える形態に構成されている。
【０００５】
そして、ウェハ収納容器を出庫する際には、入出庫用搬送手段が、カセット棚から入出庫口へウェハ収納容器を搬送するように構成されている。
また、レチクルを出庫する際には、入出庫用搬送手段が、ウェハ収納容器と同じ形式の空の収納容器を予め保管棚から取出して蓋を開けて保持し、次に、レチクル棚から取出したレチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を、蓋を開けた空の収納容器に収納し、その後、その収納容器を、蓋を閉じて、入出庫口へ搬送するように構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
特許文献１には、入庫作業については詳細な説明はないが、ウェハ収納容器を入庫する際には、入出庫用搬送手段が入出庫口からカセット棚へウェハ収納容器を搬送するものであると考えられる。
また、レチクルを入庫する際には、入出庫用搬送手段が、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を収納した収納容器を入出庫口から取出して、その取出した収納容器の蓋を外し、その蓋を外した容器から、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を取出してレチクル棚に搬送し、そして、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を取出した空の収納容器に蓋をして、その空の収納容器を保管棚に収納するものであると考えられる。
【０００７】
また、特許文献１には、カセット用ハンドがウェハ収納容器を支持する形態や、レチクル用ハンドがレチクル又はレチクル積載冶具を支持する形態についての説明はないが、図面の記載を参照すると、カセット用ハンドがウェハ収納容器を載置支持する形態であり、レチクル用ハンドがレチクル又レチクル積載冶具を載置支持する形態であると考えることができる。
【０００８】
ちなみに、特許文献１においては、ウェハ収納容器の上部にトップフランジが装備されることが例示されている。
そして、詳細な説明はないが、ウェハ収納容器や、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を収納した収納容器を、天井走行式無人搬送車によって、露光処理装置としての半導体露光装置に搬送する物品搬送設備が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−９１４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従来の物品保管設備においては、レチクルの出庫作業や入庫作業を迅速に行い難いものであり、しかも、入出庫用搬送手段が複雑な構成となるものであり、改善が望まれるものであった。
【００１１】
すなわち、レチクルを出庫する際には、空の収納容器を保管棚から取出して蓋を開ける行程、レチクル棚から取出したレチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を、蓋を開けた空の収納容器に収納する行程、その収納容器の蓋を閉じる行程、及び、蓋が閉じられた収納容器を入出庫口に搬送する行程を要するものであるため、レチクルの出庫作業を迅速に行えないものとなる。
【００１２】
また、レチクルを入庫する際には、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を収納した収納容器を入出庫口から取出して、その収納容器の蓋を開ける行程、蓋が開けられた収納容器からレチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具を取出して、レチクル棚に収納する行程、レチクル又はレチクルを載置したレチクル積載冶具が取出された収納容器の蓋を閉める行程、及び、蓋が閉められた収納容器を保管棚に収納する行程を要するものであるため、レチクルの入庫作業を迅速に行えないものとなる。
【００１３】
しかも、入出庫用搬送手段には、ウェハ収納容器に対するカセット用ハンドと、レチクル収納容器に対するレチクル用ハンドと、ウェハ収納容器と同じ形式の空の収納容器の蓋を開閉する開閉機構とを備えさせる必要があるため、入出庫用搬送手段の構成が複雑となるものであった。
【００１４】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、半導体ウェハ及びレチクルの入出庫作業を迅速に行うことができ、しかも、入出庫用搬送手段の構成の簡素化を図ることができる物品保管設備を提供する点にある。
又、本発明の別の目的は、設備全体の簡素化を図ることができる物品搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の物品保管設備は、半導体ウェハ及びレチクルを保管する保管棚と、入出庫用搬送手段とが設けられたものであって、その第１特徴構成は、
前記保管棚に、前記半導体ウェハを収納するウェハ収納容器を保管する第１収納部及び前記レチクルを収納し前記ウェハ収納容器とは外形が異なるレチクル収納容器を保管する第２収納部が備えられ、
前記入出庫用搬送手段が、前記ウェハ収納容器の上部に形成したトップフランジを把持して前記ウェハ収納容器を吊下げ状態で支持するための把持部を備えるように構成され、
前記レチクル収納容器の上部に、前記入出庫用搬送手段が前記把持部にて把持して前記レチクル収納容器を吊下げ状態で支持するためのフランジ部が形成され、前記入出庫用搬送手段に、前記把持部にて前記ウェハ収納容器を把持しているか、前記把持部にて前記レチクル収納容器を把持しているかを、前記ウェハ収納容器及び前記レチクル容器の外形の違いに応じた情報に基づいて判別する容器判別センサが装備され、設備管理用制御部が、システム停止後に運転を再開する場合には、前記容器判別センサの検出情報に基づいて、前記把持部にて前記ウェハ収納容器を把持しているか、前記把持部にて前記レチクル収納容器を把持しているかを判別するように構成され、前記入出庫用搬送手段は、前記設備管理用制御部の判別結果に基づいて、前記ウェハ収納容器を前記第１収納部に搬送し、前記レチクル収納容器を前記第２収納部に搬送するように構成されている点を特徴とする。
【００１６】
すなわち、半導体ウェハが、ウェハ収納容器に収納された状態で、保管棚の第１収納部に保管されることになり、レチクルが、レチクル収納容器に収納された状態で、保管棚の第２収納部に保管されることになる。
ちなみに、一般に、ウェハ収納容器には、複数枚の半導体ウェハが上下方向に並ぶ状態で収納されることになり、そして、レチクル収納容器には、１枚のレチクルが収納されることになる。
【００１７】
そして、入出庫用搬送手段が、ウェハ収納容器の上部に形成したトップフランジを把持部にて把持してウェハ収納容器を吊下げ状態で支持しながら、ウェハ収納容器の入出庫作業を行うことになり、また、入出庫用搬送手段が、レチクル収納容器の上部に形成したフランジ部を把持部にて把持してレチクル収納容器を吊下げ状態で支持しながら、レチクル収納容器の入出庫作業を行うことになる。
【００１８】
つまり、入出庫用搬送手段は、ウェハ収納容器のトップフランジを把持する把持部を、レチクル収納容器のフランジ部を把持する把持部としても利用しながら、ウェハ収納容器やレチクル収納容器の搬送を行うことになる。
【００１９】
したがって、半導体ウェハの入庫や出庫を行う際には、入出庫用搬送手段によってウェハ収納容器を吊下げ状態で支持しながらウェハ収納容器を搬送すればよく、同様に、レチクルの入庫や出庫を行う際には、入出庫用搬送手段によってレチクル収納容器を吊下げ状態で支持しながらレチクル収納容器を搬送すればよく、半導体ウェハの入出庫作業やレチクルの入出庫作業を迅速に行うことができるものとなる。
【００２０】
そして、入出庫用搬送手段には、ウェハ収納容器及びレチクル収納容器の搬送のために、ウェハ収納容器のトップフランジ及びレチクル収納容器のフランジ部の把持に共用する把持部を備えさせるだけでよいため、入出庫用搬送手段の構成の簡素化を図ることができるのである。
【００２１】
説明を加えると、レチクルは半導体ウェハよりも小径のため、平面視において、レチクル収納容器はウェハ収納容器よりも小型になるが、ウェハ収納容器のトップフランジと同様の形態のフランジ部を、レチクル収納容器に形成できる点に着目して、ウェハ収納容器のトップフランジと同様の形態のフランジ部をレチクル収納容器に備えさせることにより、入出庫用搬送手段には、ウェハ収納容器のトップフランジ及びレチクル収納容器のフランジ部の把持に共用する把持部を備えさせるだけでよいため、入出庫用搬送手段の構成の簡素化を図ることができるのである。
【００２２】
また、本発明の第１特徴構成によれば、入出庫用搬送手段に、把持部にてウェハ収納容器を把持しているか、把持部にてレチクル収納容器を把持しているかを判別するための容器判別センサが装備されているから、入出庫用搬送手段にてウェハ収納容器やレチクル収納容器を入庫や出庫のため搬送する搬送中において、停電等により、入出庫用搬送手段の作動を管理するシステムが停止することがあっても、そのシステムの復旧後においては、搬送中のウェハ収納容器やレチクル収納容器を搬送すべき搬送先に適切に搬送することができる。
つまり、入出庫用搬送手段の作動を管理するシステムは、復旧後において、容器判別センサの検出情報に基づいて、搬送中の収納容器がウェハ収納容器であるか、レチクル収納容器であるかを判別して、搬送中の収納容器についての適正な搬送先を定めることができるため、搬送中のウェハ収納容器やレチクル収納容器を搬送すべき搬送先に適切に搬送することができる。
要するに、本発明の第１特徴構成によれば、半導体ウェハ及びレチクルの入出庫作業を迅速に行うことができ、しかも、入出庫用搬送手段の構成の簡素化を図ることができる物品保管設備を提供でき、加えて、入出庫用搬送手段の作動を管理するシステムが停止することがあっても、そのシステムの復旧後のおいては、搬送中のウェハ収納容器やレチクル収納容器を搬送すべき搬送先に適切に搬送することができる物品保管設備を提供できる。
【００２３】
本発明の物品保管設備の第２特徴構成は、上記第１特徴構成に加えて、
前記ウェハ収納容器に対する第１入出庫部と、前記レチクル収納容器に対する第２入出庫部とが各別に設けられ、
前記入出庫用搬送手段が、前記第１入出庫部と前記第１収納部との間で前記ウェハ収納容器を搬送し、前記第２入出庫部と前記第２収納部との間で前記レチクル収納容器を搬送するように構成されている点を特徴とする。
【００２４】
すなわち、ウェハ収納容器に対する第１入出庫部と、レチクル収納容器に対する第２入出庫部とが各別に設けられる。
そして、入出庫用搬送手段が、第１入出庫部と第１収納部との間でウェハ収納容器を搬送し、第２入出庫部と第２収納部との間でレチクル収納容器を搬送することになる。
【００２５】
したがって、ウェハ収納容器とレチクル収納容器とを一つの保管棚に保管するものでありながらも、ウェハ収納容器とレチクル収納容器とが、異なる入出庫部と異なる収納部との間で搬送されることになるから、ウェハ収納容器をレチクル収納容器と誤って入出庫作業を行うことや、レチクル収納容器をウェハ収納容器と誤って入出庫作業を行うことを回避しながら、ウェハ収納容器及びレチクル収納容器を適切に入出庫することができる。
【００２６】
要するに、本発明の第２特徴構成によれば、上記第１特徴による作用効果に加えて、ウェハ収納容器及びレチクル収納容器を適切に入出庫できる物品保管設備を提供できる。
【００２７】
本発明の物品保管設備の第３特徴構成は、上記第２特徴構成に加えて、
前記保管棚が、建物の複数階に亘る状態で設けられ、
前記第１入出庫部及び前記第２入出庫部が、前記複数階のうちの、異なる階の夫々に設けられている点を特徴とする。
【００２８】
すなわち、保管棚が、建物の複数階に亘る状態で設けられ、そして、第１入出庫部及び第２入出庫部が、複数階のうちの、異なる階の夫々に設けられているから、複数階のうちの、第１入出庫部及び第２入出庫部が設置される複数の階の夫々を、半導体ウェハを処理するための作業空間として利用しながら、半導体ウェハに対する処理を行わせることができる。
つまり、複数階のうちの、第１入出庫部及び第２入出庫部が設置される複数の階にて、半導体ウェハに対する処理を行うことができる。
【００２９】
したがって、複数階のうちの、第１入出庫部及び第２入出庫部が設置される複数の階にて、半導体ウェハに対する処理を行うことができるため、半導体ウェハを処理する設備を、平面視のスペースを減少させた形態で設置できる。
【００３０】
要するに、本発明の第３特徴構成によれば、上記第２特徴構成による作用効果に加えて、平面視のスペースを減少させた形態で、半導体ウェハを処理する設備を設置することが可能となる物品保管設備を提供できる。
【００３５】
本発明の物品搬送設備は、第２又は第３特徴構成の物品保管設備を備えたものであって、
前記第１入出庫部と露光処理装置におけるウェハ用搬出入部との間で前記ウェハ収納容器を搬送するホイスト式の第１天井搬送車、及び、前記第２入出庫部と前記露光処理装置におけるレチクル用搬出入部との間で前記レチクル収納容器を搬送するホイスト式の第２天井搬送車とが設けられ、
前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車についての走行経路が、少なくとも一部を前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の夫々が走行する共用走行経路部分とする形態で設定され、
前記第１天井搬送車及び前記第２天井搬送車の夫々が、前記走行経路に沿って天井側に設置する走行レールを走行自在に構成されている点を特徴とする。
【００３６】
すなわち、ウェハ収納容器が、ホイスト式の第１天井搬送車によって、第１入出庫部とウェハ処理装置におけるウェハ用搬出入部との間で搬送され、レチクル収納容器が、ホイスト式の第２天井搬送車によって、第２入出庫部と露光処理装置におけるレチクル用搬出入部との間で搬送される。
ちなみに、ホイスト式の第１天井搬送車は、ウェハ収納容器のトップフランジを把持して、ウェハ収納容器を吊下げ状態に支持して搬送することになり、ホイスト式の第２天井搬送車は、レチクル収納容器のフランジ部を把持して、レチクル収納容器を吊下げ状態に支持して搬送することになる。
【００３７】
そして、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の夫々を走行させるための走行経路が、少なくとも一部を第１天井搬送車及び第２天井搬送車の夫々が走行する共用走行経路部分とする形態で設定されて、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の夫々が、走行経路に沿って天井側に設置する走行レールを走行することになる。
【００３８】
したがって、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の走行経路に沿って天井側に設置する走行レールを、第１天井搬送車のみならず、第２天井搬送車の走行レールとしても利用するものであるから、第１天井搬送車及び第２天井搬送車を走行させるために設置する走行レールの全設置長さの減少化を図り、設備全体の簡素化を図ることができるのである。
【００３９】
つまり、第１天井搬送車に対する専用の走行経路と、第２天井搬送車に対する専用の走行経路とを、互いに分離した状態で各別に設定し、それらの走行経路の夫々について、第１天井搬送車が走行する走行レールや、第２天井搬送車が走行する走行レールを設置することが考えられるが、この場合には、両走行経路に沿って設置する走行レールの全設置長さが長くなる不都合がある。
【００４０】
これに対して、第１天井搬送車及び第２天井搬送車の走行経路に沿って天井側に設置する走行レールを、第１天井搬送車のみならず、第２天井搬送車の走行レールとしても利用するものであるから、第１天井搬送車及び第２天井搬送車を走行させるために設置する走行レールの全設置長さが減少して、設備全体の簡素化を図ることができるのである。
【００４１】
要するに、本発明の物品搬送設備によれば、設備全体の簡素化を図ることができる物品搬送設備を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】物品保管設備の一部切欠正面図
【図２】同設備の上方部の一部切欠正面図
【図３】同部の横断平面図
【図４】同設備の下方部の横断平面図
【図５】第１収納部の斜視図
【図６】同収納部にウェハ収納容器を保管する状態の側面図
【図７】第２収納部の平面図
【図８】同収納部の側面図
【図９】昇降搬送機構の側面図
【図１０】同機構がウェハ収納容器及びレチクル収納容器を把持した状態の側面図
【図１１】同機構の平面図
【図１２】把持部がレチクル収納容器を把持した状態の斜視図
【図１３】物品搬送設備の搬送経路を示す平面図
【図１４】第１天井搬送車の側面図
【図１５】同車の一部切欠正面図
【図１６】第２天井搬送車の一部切欠側面図
【図１７】同車の一部切欠正面図
【図１８】レチクル収納容器の搬送経路を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００４３】
次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（物品保管設備の全体構成）
図１に示すように、半導体ウェハＷｈ（図１５参照）及びレチクルＲｔ（図１７参照）を保管する保管棚１が、建物の１階から３階に亘る状態で設けられ、そして、入出庫用搬送手段としての昇降式搬送装置２（図９参照）が、１階から３階に亘る状態で設けられている。
【００４４】
すなわち、保管棚１が、建物の１階に設置する下部構成体１Ｄ、建物の３階に設置する上部構成体１Ｕ、下部構成体１Ｄと上部構成体１Ｕとの間に設置する中間構成体１Ｍを備えて、下部構成体１Ｄと上部構成体１Ｕとに、半導体ウェハＷｈ及びレチクルＲｔを保管するように構成されている。
また、昇降式搬送装置２における昇降台２Ａ（図９参照）が、保管棚１における下部構成体１Ｄ、中間構成体１Ｍ、及び、上部構成体１Ｕの内部空間を通して昇降するように構成されている。
【００４５】
ちなみに、本実施形態においては、上述の説明から明らかな如く、中間構成体１Ｍは、半導体ウェハＷｈ及びレチクルＲｔを保管することなく、昇降式搬送装置２における昇降台２Ａの昇降通路を形成するものであるが、この中間構成体１Ｍにも、半導体ウェハＷｈやレチクルＲｔを保管する形態で実施するようにしてもよい。
【００４６】
また、本実施形態においては、上部構成体１Ｕ、及び、中間構成体１Ｍの２階の床面よりも上方に位置する部分が、壁状体Ｋ１にて外周部を覆われ、下部構成体１Ｄ、及び、中間構成体１Ｍの２階の床面よりも下方に位置する部分が、板状体Ｋ２（図４参照）にて外周部を覆われている。
そして、詳述はしないが、上部構成体１Ｕ、中間構成体１Ｍ及び下部構成体１Ｄの内部空間を清浄な状態に維持するための通風手段が各所に装備されている。
尚、詳述はしないが、建物の１階及び３階はクリーンルームとして構成されている。
【００４７】
下部構成体１Ｄ及び上部構成体１Ｕは、図２〜図４に示すように、長尺状の枠形成部材を枠組みして、外形が縦長の直方体状となるように構成されている。
上部構成体１Ｕには、第２図に示すように、半導体ウェハＷｈを収納するウェハ収納容器Ｗを保管する２つの第１収納部Ｓ１、及び、レチクルＲｔを収納する１つのレチクル収納容器Ｒを保管する第２収納部Ｓ２が、上下方向に並ぶ状態で備えられている。
【００４８】
下部構成体１Ｄには、図４に示すように、２つの第１収納部Ｓ１、及び、２つの第２収納部Ｓ２が、周方向に沿って並ぶ状態で設けられている。
尚、下部構成体１Ｄには、図示はしないが、図４に示す２つの第１収納部Ｓ１とは別の箇所に、２つの第２収納部Ｓ２が別途設けられている。
【００４９】
上部構成体１Ｕには、図１〜図３に示すように、ウェハ収納容器Ｗに対する第１入出庫部Ｆ１として、上部側の左側箇所に前後方向に並ぶ状態で配設される一対の上部ウェハコンベヤ３と、下部側の左側箇所に配設される下部ウェハコンベヤ４とが装備されている。
下部ウェハコンベヤ４は、作業者が手作業によってウェハ収納容器Ｗを移載するために設けられている。
前後一対の上部ウェハコンベヤ３は、後述の如く、ホイスト式の第１天井搬送車Ｂ１がウェハ収納容器Ｗを移載するために設けられている。
【００５０】
また、上部構成体１Ｕには、図１〜図３に示すように、レチクル収納容器Ｒに対する第２入出庫部Ｆ２として、上部側の右側箇所に前後に並ぶ状態で配設される一対の上部レチクルコンベヤ５と、上述した下部ウェハコンベヤ４と前後方向に並ぶ状態で、下部側の左箇所に配設される下部レチクルコンベヤ６とが装備されている。
下部レチクルコンベヤ６は、作業者が手作業によってレチクル収納容器Ｒを移載するために設けられるものである。
前後一対の上部レチクルコンベヤ５は、後述の如く、ホイスト式の第２天井搬送車Ｂ２がレチクル収納容器Ｒを移載するために設けられている。
【００５１】
下部構成体１Ｄには、図１に示すように、第１入出庫部Ｆ１として、上部側箇所に配設される左右一対の上部ウェハコンベヤ７と、下部側箇所に配設される下部ウェハコンベヤ８とが装備されている。
下部ウェハコンベヤ８は、作業者が手作業によってウェハ収納容器Ｗを移載するために設けられている。
左右一対の上部ウェハコンベヤ７は、ホイスト式の第１天井搬送車Ｂ１がウェハ収納容器Ｗを移載するために設けられている。
【００５２】
また、下部構成体１Ｄには、第２入出庫部Ｆ２として、下部側箇所に配設される下部レチクルコンベヤ９とが装備されている。
下部レチクルコンベヤ９は、作業者が手作業によってレチクル収納容器Ｒを移載するために設けられている。
【００５３】
ちなみに、本実施形態においては、昇降式搬送装置２の昇降台２Ａに装備する容器移載装置２Ｂ（図９参照）が、後述の如く、上下方向に沿う旋回軸心Ｚ回りでの旋回により移載対象箇所を選択するように構成されている。
このため、第１収納部Ｓ１が、ウェハ収納容器Ｗの前後方向を旋回軸心Ｚに向ける姿勢で、ウェハ収納容器Ｗを支持するように構成され、同様に、第２収納部Ｓ２が、レチクル収納容器Ｒの前後方向を旋回軸心Ｚに向ける姿勢で、レチクル収納容器Ｒを支持するように構成されている。
【００５４】
そして、図３に示すように、上部構成体１Ｕに装備する容器搬送用のコンベヤ、つまり、上部ウェハコンベヤ３、下部ウェハコンベヤ４、上部レチクルコンベヤ５、及び、下部レチクルコンベヤ６の夫々は、ローラコンベヤを利用して構成されるものであるが、それらコンベヤの棚内方側端部には、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒの前後方向を旋回軸心Ｚに向けるようにすべく、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒの姿勢を変更操作する姿勢変更装置（図示せず）が装備されることになる。
【００５５】
同様に、下部構成体１Ｄに装備する容器搬送用のコンベヤ、つまり、上部ウェハコンベヤ７、下部ウェハコンベヤ８、及び、下部レチクルコンベヤ９の夫々は、ローラコンベヤを利用して構成されるものであるが、それらコンベヤにおける棚内方側端部には、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒの前後方向を旋回軸心Ｚに向けるようにすべく、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒの姿勢を変更操作する姿勢変更装置（図示せず）が装備されることになる。
【００５６】
姿勢変更装置は、詳述はしないが、容器支持台を昇降自在、旋回自在、及び、搬送方向に移動自在に装備して、容器の姿勢を変更することになる。
ちなみに、姿勢変更装置は、容器を出庫するときには、容器移載装置２Ｂから供給される容器の姿勢を、容器搬送用のコンベヤにて搬送する姿勢に戻して、容器搬送コンベヤに供給することになる。
【００５７】
（ウェハ収納容器の構成）
半導体ウェハＷｈを収納するウェハ収納容器Ｗは、合成樹脂製の気密容器であり、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠して作成されて、一般には、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼称される。
このウェハ収納容器Ｗは、詳細な説明は省略するが、図１５に示すように、複数枚の半導体ウェハＷｈを上下方向に並べた状態で収納するように構成され、上述したホイスト式の第１天井搬送車Ｂ１により把持されるトップフランジ１０が上部に形成され、そして、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口が前面に形成され、さらに、位置決めピン１１（図５参照）が係合する３つの係合溝（図示せず）が底部に形成されている。
【００５８】
（レチクル収納容器の構成）
レチクルＲｔを収納するレチクル収納容器Ｒは、図１６及び図１７に示すように、底部が開口する下向き開口状の本体部分１３Ａと、その本体部分１３Ａの下部開口に着脱自在に装着される蓋体１３Ｂとからなる合成樹脂製の気密容器であり、蓋体１３Ｂの上面に、レチクルＲｔを載置支持するように構成されている。
このレチクル収納容器Ｒの上部には、上述したホイスト式の第２天井搬送車Ｂ２により把持されるフランジ部１３Ｃが形成されている。
ちなみに、このレチクル収納容器Ｒのフランジ部１３Ｃは、ウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０と同様の形状で同じ大きさに形成されている。
【００５９】
（第１収納部の構成）
第１収納部Ｓ１は、図５及び図６に示すように、平面視形状がＵ字状の本体部１４の上面部に、上述した３つの位置決めピン１１を備えている。本体部１４は、支柱枠Ｔに片持ち状態に取付けられている。
そして、第１収納部Ｓ１は、３つの位置決めピン１１（図５参照）をウェハ収納容器Ｗの係合溝（図示せず）に係合させた位置決め状態で、ウェハ収納容器Ｗを載置支持するように構成されている。
【００６０】
（第２収納部の構成）
第２収納部Ｓ２は、図７及び図８に示すように、平面視形状が矩形状の本体部１５の左右両側縁部に、上方に突出する起立姿勢の受止体１５Ａを備えている。本体部１５は、支柱枠Ｔに片持ち状態に取付けられている。
【００６１】
本体部１５には、レチクル収納容器Ｒを載置支持する載置部分１５ａが、下方に凹入された状態に形成されている。
そして、第２収納部Ｓ２は、載置部分１５ａにてレチクル収納容器Ｒを載置支持し、かつ、載置部分１５ａの前後端部から連なる傾斜部分１５ｂ及び左右の受止体１５Ａにて、レチクル収納容器Ｒを位置決めするように構成されている。
【００６２】
（昇降式搬送装置）
昇降式搬送装置２は、図９〜図１１に示すように、上述の如く、昇降台２Ａに容器移載装置２Ｂを装備したものであって、容器移載装置２Ｂが、ウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０を把持してウェハ収納容器Ｗを吊下げ状態で支持し、かつ、レチクル収納容器Ｒのフランジ部１３Ｃを把持してレチクル収納容器Ｒを吊下げ状態で支持するための把持部１６備えている。
【００６３】
そして、昇降式搬送装置２は、ウェハ収納容器Ｗを吊下げ支持した状態で、第１入出庫部Ｆ１と第１収納部Ｓ１との間でウェハ収納容器Ｗを搬送し、且つ、レチクル収納容器Ｒを吊下げ支持した状態で、第２入出庫部Ｆ２と第２収納部Ｓ２との間でレチクル収納容器Ｒを搬送するように構成されており、以下、各部について説明を加える。
【００６４】
すなわち、昇降台２Ａ及びバランスウェイト１７を昇降自在に案内するためのガイドレール１８が、保管棚１の内部の背部側箇所に、下部構成体１Ｄ、中間構成体１Ｍ及び上部構成体１Ｕに亘る状態で設けられている（図３及び図４参照）。
【００６５】
昇降台２Ａは、ガイドレール１８の前方側箇所に位置するものであって、保管棚１の横幅方向に沿う軸心回りで回転する前後位置規制用の複数の第１輪体１９、及び、保管棚１の前後幅方向に沿う軸心回りで回転する横位置規制用の複数の第２輪体２０を、背部側箇所に備えている。
そして、昇降台２Ａは、複数の第１輪体１９及び複数の第２輪体２０がガイドレール１８にて案内されることによって、ガイドレール１８に沿って昇降するように構成されている。
【００６６】
バランスウェイト１７は、ガイドレール１８の内方側に位置するものであって、保管棚１の横幅方向における内方側ほど、保管棚１の前後幅方向における後方側に位置する傾斜軸心回りで回転する複数の第１ローラ２１、及び、保管棚１の横幅方向における内方側ほど、保管棚１の前後幅方向における前方側に位置する傾斜軸心回りで回転する複数の第２ローラ２２を備えている。
そして、バランスウェイト１７は、複数の第１ローラ２１及び複数の第２ローラ２２がガイドレール１８にて案内されることによって、ガイドレール１８に沿って昇降するように構成されている。
【００６７】
図９に示すように、上部構成体１Ｕの上部側箇所に、正逆に駆動回転されるスプレケット状の駆動回転体２３が装備され、下部構成体１Ｄの下部側箇所に、前後一対の遊転回転体２４が装備されている。
そして、駆動回転体２３に巻き掛けられて両端が下方に伸びる姿勢となる第１昇降用ベルト２５の一端部が、昇降台２Ａの上端部に接続され、第１昇降用ベルト２５の他端部が、バランスウェイト１７の上端部に接続されている。
【００６８】
また、一対の遊転回転体２４に巻き掛けられて両端が上方に伸びる姿勢となる第２昇降用ベルト２６の一端部が、昇降台２Ａの下端部に接続され、第２昇降用ベルト２６の他端部が、バランスウェイト１７の下端部に接続されている。
【００６９】
したがって、駆動回転体２３が正逆に回転駆動されることによって、昇降台２Ａがガイドレール１８に沿って昇降するように構成されている。
【００７０】
（容器移載装置の構成）
容器移載装置２Ｂは、図９及び図１１に示すように、上述した旋回軸心Ｚ回りで旋回操作自在に昇降台２Ａに装備される旋回台２７、旋回台２７に支持されて屈伸作動する屈伸リンク２８、及び、屈伸リンク２８に対して起立姿勢に支持される縦枠体２９を備え、上述の把持部１６を、縦枠体２９の上端部に装備している。
【００７１】
把持部１６は、図１２に示すように、屈伸リンク２８の屈伸方向に沿う方向の回転軸心Ｙ回りで正逆に回転する一対の把持爪部１６Ａを備えるものであって、一対の把持爪部１６Ａの開閉により、把持状態と把持解除状態とに切換えるように構成されている。
【００７２】
したがって、容器移載装置２Ｂは、旋回軸心Ｚ回りでの旋回により、移載対象を選択しながら、屈伸リンク２８の伸縮作動、把持部１６の開閉作動、及び、昇降台２Ａの昇降作動により、移載対象の容器、つまり、ウェハ収納容器Ｗ及びレチクル収納容器Ｒを吊下げ状態に支持して移載するように構成されている。
【００７３】
容器移載装置２Ｂの移載作動について、ウェハ収納容器Ｗを、第１収納部Ｓ１から第１入出庫部Ｆ１に出庫する場合について説明を加える。
先ず、旋回軸心Ｚ回りでの旋回により、把持部１６を移載対象の第１収納部Ｓ１に対向する状態にする。次に、屈伸リンク２８の伸長作動により、把持部１６をウェハ収納容器Ｗの上方に位置させる。
その後、昇降台２Ａの下降により、開き状態の把持部１６を下降させて、ウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０を把持するのに適する姿勢に下降させ、引き続き、把持部１６を閉じ状態に切換えて、把持部１６にてウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０を把持する（図６参照）。
【００７４】
次に、昇降台２Ａの上昇により、ウェハ収納容器Ｗを吊下げ状態に支持し、引き続き、屈伸リンク２８の短縮作動により、ウェハ収納容器Ｗを昇降台２Ａの上方箇所に引退させる。
その後、昇降台２Ａの昇降により、移載対象の第１入出庫部Ｆ１に対応する高さにウェハ収納容器Ｗを昇降させ、かつ、旋回軸心Ｚ回りでの旋回により、把持部１６を移載対象の第１入出庫部Ｆ１に対向する状態にする。
【００７５】
次に、屈伸リンク２８の伸長作動により、把持部１６を第１入出庫部Ｆ１上方に位置させた後、昇降台２Ａの下降により、ウェハ収納容器Ｗを第１入出庫部Ｆ１に供給する。
ウェハ収納容器Ｗを第１入出庫部Ｆ１に供給した後は、把持部１６を開き状態に切換えた後、昇降台２Ａの上昇により把持部１６を上昇させ、引き続き、屈伸リンク２８の短縮作動により、把持部１６を引退させる。
【００７６】
上述した移載作動の説明、つまり、ウェハ収納容器Ｗを、第１収納部Ｓ１から第１入出庫部Ｆ１に出庫する場合の移載作動の説明により、ウェハ収納容器Ｗを、第１入出庫部Ｆ１から第１収納部Ｓ１に入庫する場合、レチクル収納容器Ｒを、第２収納部Ｓ２から第２入出庫部Ｆ２に出庫する場合、及び、レチクル収納容器Ｒを、第２入出庫部Ｆ２から第２収納部Ｓ２に入庫する場合における移載作動は理解できるので、それらの場合について移載作動の説明は省略する。
【００７７】
ちなみに、本実施形態においては、ウェハ収納容器Ｗを把持する場合、及び、レチクル収納容器Ｒを把持する場合のいずれにおいても、容器の上方に開き状態に位置させる把持部１６を把持に適する位置に下降させる下降量が同じになるように、昇降台２Ａの昇降により把持部１６の高さを設定するように構成されている。
【００７８】
（容器判別センサ）
図１０に示すように、昇降式搬送装置２には、把持部１６にてウェハ収納容器Ｗを把持しているか、把持部１６にてレチクル収納容器Ｒを把持しているかを判別するための容器判別センサ３０が装備されている。
すなわち、本実施形態においては、容器判別センサ３０は、レーザー測距センサ等の距離センサを用いて構成されて、縦枠体２９に取付けられている。
そして、容器判別センサ３０は、把持部１６に把持されている容器までの距離を検出するように構成されている。
【００７９】
つまり、把持部１６にウェハ収納容器Ｗが把持されている場合には、容器判別センサ３０は、ウェハ収納容器Ｗに対応する第１距離Ｕ１を検出し、把持部１６にレチクル収納容器Ｒが把持されている場合には、容器判別センサ３０は、レチクル収納容器Ｒに対応する第２距離Ｕ２を検出することになる。
レチクル収納容器Ｒは、ウェハ収納容器Ｗよりも外形が小さいため、第２距離Ｕ２が第１距離Ｕ１よりも大きな値となり、容器判別センサ３０の検出距離にて、把持部１６にてウェハ収納容器Ｗを把持しているか、把持部１６にてレチクル収納容器Ｒを把持しているかを判別できることになる。
【００８０】
ちなみに、図示はしないが、容器判別センサ３０の検出情報は、設備管理用制御部に出力され、設備管理用制御部が、容器判別センサ３０の検出情報に基づいて、把持部１６にてウェハ収納容器Ｗを把持しているか、把持部１６にてレチクル収納容器Ｒを把持しているかを判別することになる。
【００８１】
尚、容器判別センサ３０は、把持部１６にウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒが把持されていない場合には、第２距離Ｕ２よりも大きな距離情報を出力するように構成されており、上記設備管理用制御部は、容器判別センサ３０の検出情報に基づいて、把持部１６には容器が把持されていない状態であることも判別できるようになっている。
【００８２】
つまり、設備管理用制御部は、停電等が生じたときに、その後運転を再開する際には、容器判別センサ３０の検出情報に基づいて、把持部１６がウェハ収納容器Ｗを把持しているか、把持部１６がレチクル収納容器Ｒを把持しているか、又は、把持部１６が非把持状態であるかを判別して、昇降式搬送装置２の適正な作動状態を定めるように構成されている。
【００８３】
（物品搬送設備の全体構成）
建物の３階には、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２を用いて、ウェハ収納容器Ｗ及びレチクル収納容器Ｒを搬送しながら、半導体ウェハＷｈに対する処理を行う処理設備が装備され、建物の１階には、第１天井搬送車Ｂ１を用いて、ウェハ収納容器Ｗを搬送しながら、半導体ウェハＷｈに対する処理を行う処理設備が装備されることになる。
以下、建物の３階に装備される物品搬送設備について説明する。
【００８４】
すなわち、図１３に示すように、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２についての走行経路Ｌが、一部を第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２の夫々が走行する共用走行経路部分Ｌａ（図１８参照）とする形態で設定されている。
そして、図１４及び図１５に示すように、走行レール４１が、走行経路Ｌに沿って、３階の天井側に設けられ、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２が、走行レール４１に沿って走行するように構成されている。
【００８５】
ちなみに、第１天井搬送車Ｂ１は、上述の如く、ウェハ収納容器Ｗを搬送するものであり、第２天井搬送車Ｂ２は、上述の如く、レチクル収納容器Ｒを搬送するものである。
そして、以下の記載において、第１天井搬送車Ｂ１と第２天井搬送車Ｂ２とを区別する必要がないときには、単に、容器搬送車４２と記載する。
【００８６】
図１３示すように、走行経路Ｌが、ウェハ処理装置Ｐを経由する複数の環状のサブ走行経路４３、及び、２つの環状のメイン走行経路４４を形成する状態に設置されている。
２つの環状のメイン走行経路４４は、経路横幅方向に並べた状態で、かつ、２重の環状となる状態で設けられ、容器搬送車４２が、これらメイン走行経路４４を同じ方向に向けて走行するように設けられている。尚、図１３においては、容器搬送車４２の走行方向を、矢印にて示している。
ちなみに、２つの環状のメイン走行経路４４の夫々は、平面視において、長方形の４つの角部を円弧状にした長四角状に形成されている。
【００８７】
以下の説明においては、２重の環状となる一対のメイン走行経路４４のうちの内方側のメイン走行経路４４を、一方側メイン走行経路４４Ａとし、外方側のメイン走行経路４４を他方側メイン走行経路４４Ｂとして、説明を続けるが、両者を区別する必要がないときには、単に、メイン走行経路４４と記載する。
２重の環状となる一対のメイン走行経路４４の間には、一方側メイン走行経路４４Ａから他方側メイン走行経路４４Ｂに容器搬送車４２が分岐走行する第１分岐経路４５Ａ及び他方側メイン走行経路４４Ｂから一方側メイン走行経路４４Ａに容器搬送車４２が分岐走行する第２分岐経路４５Ｂが設けられている。
【００８８】
第１分岐経路４５Ａ及び第２分岐経路４５Ｂは、平面視においてメイン走行経路４４に対して傾斜する傾斜姿勢で、一方側メイン走行経路４４Ａと他方側メイン走行経路４４Ｂとを接続するように設けられている、
また、一方側メイン走行経路４４Ａにおける左右一対の長辺相当部分の間には、それら長辺相当部分の一方から他方に向けて容器搬送車４２を短絡走行させる短絡経路４６が、一方側メイン走行経路４４Ａの長手方向に沿って、複数設けられている。
【００８９】
複数の環状のサブ走行経路４３は、並行な一対の直線相当部分の両端同士を円弧状部分にて接続した長円状に形成されるものであって、平面視において、２つの環状のメイン走行経路４４の両側脇に、その長手方向をメイン走行経路４４の長手方向と直交させる姿勢で、メイン走行経路４４の長手方向に沿って間隔を隔てて並ぶ状態で設けられている。
【００９０】
そして、一対のメイン走行経路４４のうちの他方側メイン走行経路４４Ｂからサブ走行経路４３に向けて容器搬送車４２を分岐走行させる分岐接続経路４７Ａ、及び、サブ走行経路４３から他方側メイン走行経路４４Ｂに向けて容器搬送車４２を合流走行させる合流接続経路４７Ｂが設けられている。
【００９１】
本実施形態においては、図１３に示すように、一方側メイン走行経路４４Ａの内方側に相当する箇所に、ウェハ収納容器Ｗ及びレチクル収納容器Ｒを保管する上述した保管棚１、及び、ウェハ収納容器Ｗを一時的に保管する複数のウェハ専用保管棚１Ａが、一方側メイン走行経路４４Ａの長手方向に並ぶ状態で設けられている。
また、複数のウェハ処理装置Ｐとしては、半導体基板に対して異なる処理を行う複数種が存在することになり、それらのうちには、露光処理装置ＰＲがある。
尚、図１３においては、保管棚１が一棟装備され、かつ、露光処理装置ＰＲが一台装備される場合を例示するが、保管棚１や露光処理装置ＰＲの設置数は、種々変更されることになる。
【００９２】
ウェハ収納容器Ｗ及びレチクル収納容器Ｒを保管する保管棚１には、上述の如く、ウェハ収納容器Ｗに対する第１入出庫部Ｆ１と、レチクル収納容器Ｒに対する第２入出庫部Ｆ２とが装備される。
ウェハ収納容器Ｗを保管する複数のウェハ専用保管棚１Ａには、ウェハ収納容器Ｗに対する第１入出庫部Ｆ１が装備される。
【００９３】
露光処理装置ＰＲには、ウェハ収納容器Ｗに対するウェハ用搬出入部Ｇ１と、レチクル収納容器Ｒに対するレチクル用搬出入部Ｇ２とが装備され、他のウェハ処理装置Ｐには、ウェハ収納容器Ｗに対するウェハ用搬出入部Ｇ１が装備される。
【００９４】
したがって、容器搬送車４２としての第１天井搬送車Ｂ１は、保管棚１やウェハ専用保管棚１Ａの第１入出庫部Ｆ１から受取ったウェハ収納容器Ｗを、ウェハ処理装置Ｐや露光処理装置ＰＲのウェハ用搬出入部Ｇ１に搬送する作業、ウェハ処理装置Ｐや露光処理装置ＰＲのウェハ用搬出入部Ｇ１から受取ったウェハ収納容器Ｗを、別の処理を行うウェハ処理装置Ｐのウェハ用搬出入部Ｇ１に搬送する作業、及び、ウェハ処理装置Ｐや露光処理装置ＰＲのウェハ用搬出入部Ｇ１から受取ったウェハ収納容器Ｗを、保管棚１やウェハ専用保管棚１Ａの第１入出庫部Ｆ１に搬送する作業を行うことになる。
【００９５】
また、容器搬送車４２としての第２天井搬送車Ｂ２は、保管棚１の第２入出庫部Ｆ２から受取ったレチクル収納容器Ｒを、露光処理装置ＰＲのレチクル用搬出入部Ｇ２に搬送する作業、及び、露光処理装置ＰＲのレチクル用搬出入部Ｇ２から受取ったレチクル収納容器Ｒを、保管棚１の第２入出庫部Ｆ２に搬送する作業を行うことになる。
【００９６】
第２天井搬送車Ｂ２がレチクル収納容器Ｒを搬送するために主として走行する主搬送経路は、例えば、図１８に示すように、保管棚１の第２入出庫部Ｆ２を起点とすると、一方側メイン走行経路４４Ａ、短絡経路４６、第１分岐経路４５Ａ、他方側メイン走行経路４４Ｂ、分岐接続経路４７Ａ、及び、サブ走行経路４３を通して、露光処理装置ＰＲのレチクル用搬出入部Ｇ２に至る経路である。
【００９７】
また、主搬送経路は、例えば、図１８に示すように、レチクル用搬出入部Ｇ２を起点とすると、サブ走行経路４３、合流接続経路４７Ｂ、他方側メイン走行経路４４Ｂ、第２分岐経路４５Ｂ、短絡経路４６、及び、一方側メイン走行経路４４Ａを通して、保管棚１の第２入出庫部Ｆ２に至る経路である。
【００９８】
そして、上記した主搬送経路は、第１天井搬送車Ｂ１がウェハ収納容器Ｗを搬送するために走行する経路部分であるため、走行経路Ｌのうちの、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２の夫々が走行する共用走行経路部分Ｌａに相当することになる。
【００９９】
尚、本実施形態においては、第２天井搬送車Ｂ２が、共用走行経路部分Ｌａのみを走行することにより、レチクル収納容器Ｒを搬送する場合を例示するものであるが、走行経路Ｌのうちに、第２天井搬送車Ｂ２のみが走行する経路を含む形態で実施してもよい。
【０１００】
例えば、図１３及ぶ図１８においては、露光処理装置ＰＲのレチクル用搬出入部Ｇ２を経由するサブ走行経路４３が、ウェハ処理装置Ｐのウェハ用搬出入部Ｇ１を経由する場合を例示するが、このウェハ処理装置Ｐを省略すれば、露光処理装置ＰＲのレチクル用搬出入部Ｇ２を経由するサブ走行経路４３は、第２天井搬送車Ｂ２のみが走行することになり、共用走行経路部分Ｌａから外れることになる。
【０１０１】
次に、各部の構成について説明を加える。
（走行レールの構成）
走行経路Ｌに沿って設置される走行レール４１は、メイン走行経路４４やサブ走行経路４３に沿って延びるように配設されるものであって、図１５に示すように、走行レール用支持体４８により天井部に吊下げ状態で設置され、また、レール横幅方向に間隔を隔てる状態で左右一対のレール部４１ａを備えるように構成されている。
【０１０２】
（第１天井搬送車の構成）
容器搬送車４２のうちの第１天井搬送車Ｂ１は、図１４及び図１５に示すように、走行レール４１の下方に位置する車体本体部４９Ａと、走行レール４１に沿って走行する走行部５０とから構成されており、車体本体部４９Ａには、物品Ｂを吊り下げ状態で把持する把持部５１が備えられている。
【０１０３】
走行部５０が、前後に並ぶ前方走行部５０Ｆと後方走行部５０Ｒとから構成され、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの夫々から下方に延出される上下方向に沿う連結軸５２が、左右一対のレール部４１ａの間を通して下方に伸びる状態で設けられている。
そして、車体本体部４９Ａが、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの夫々に、連結軸５２の軸心周りで相対回転自在な状態で、連結軸５２にて吊下げ支持されている。
【０１０４】
前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの夫々には、電動式の駆動モータ５３にて回転駆動される左右の走行輪５４が、左右一対のレール部４１ａ夫々の上面にて形成される走行面を走行する状態で装備され、また、上下軸心周りで自由回転する左右の案内輪５５が、左右一対のレール部４１ａにおける内方側の側面にて形成される案内面に接当する状態で装備されている。
【０１０５】
したがって、第１天井搬送車Ｂ１は、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの案内輪５５が一対のレール部４１ａにて案内されることによって、車体横幅方向での位置を規制されながら、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの走行輪５４が回転駆動されることによって、走行レール４１に沿って走行するように構成されている。
また、第１天井搬送車Ｂ１は、車体本体部４９Ａに対して前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒが連結軸５２の軸心周りで屈曲することにより、メイン走行経路４４の円弧状部分やサブ走行経路４３の円弧状部分等の円弧状経路部分をも良好に走行できるようになっている。
【０１０６】
車体本体部４９Ａは、図１４に示すように、上壁部における車体前後方向の前端側部分と後端側部分とが下方側に延びる逆Ｕ字状に形成されて、下方側や左右両側が開放されており、下方側に延びる前端側部分と後端側部分との間に把持部５１が配設されている。
そして、車体本体部４９Ａには、把持部５１を昇降させるための電動式の昇降用モータ５６、把持部５１を上下軸心周りで旋回させるための電動式の旋回用モータ５７が備えられている。
【０１０７】
つまり、昇降用モータ５６は、索状体としてのベルト５８が巻回された回転ドラム５９を正逆に回転駆動して、ベルト５８を巻き取り又は繰り出すことにより、把持部５１を上昇位置と下降位置とに昇降させるように構成されている。
尚、上昇位置とは、図１４及び図１５に示すように、把持部５１を、車体本体部４９Ａにおける内方上部箇所に収納した位置であり、下降位置とは、図示は省略するが、把持部５１を、ウェハ処理装置Ｐ及び露光処理装置ＰＲのウェハ用搬出入部Ｇ１や、保管棚１及びウェハ専用保管棚１Ａの第１入出庫部Ｆ１の近くに下降させた位置である。
【０１０８】
把持部５１は、車体本体部４９Ａの上壁部から下方に延びる旋回軸６０（図１４参照）により、車体本体部４９Ａに対して上下軸心周りで回転自在に連結されている。そして、旋回用モータ５７が、回転駆動力伝達部６１を介して旋回軸６０を上下軸心周りに回転駆動することによって、把持部５１を上下軸心周りで旋回させるように構成されている。
【０１０９】
把持部５１は、図１５に示すように、ウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０を把持するための一対の把持具６２を、車体本体部４９Ａの前後方向に沿う軸心回りの揺動によって開閉自在な状態で備えている。
そして、電動式の把持用モータ６３によって、一対の把持具６２を閉じ姿勢にして、トップフランジ１０を把持する把持状態と、一対の把持具６２を開き姿勢にして、把持を解除する把持解除姿勢とに切換えるように構成されている。図１５では、一対の把持具６２を把持状態に切り換えた状態を示している。
【０１１０】
（第２天井搬送車の構成）
容器搬送車４２のうちの第２天井搬送車Ｂ２は、図１６及び図１７に示すように、上述した第１天井搬送車Ｂ１の走行部５０と同じ構成の走行部５０を備え、かつ、第１天井搬送車Ｂ１の車体本体部４９Ａとは、異なる構成の車体本体部４９Ｂとを備えるものであるが、基本的には、第１天井搬送車Ｂ１と類似する構成であるため、第１天井搬送車Ｂ１が備える部材と同じ部材については、同じ符号を記載して、詳細な説明を省略する。
【０１１１】
すなわち、車体本体部４９Ｂが、走行部５０における前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの夫々に、連結軸５２にて吊下げ支持されている。
車体本体部４９Ｂの内部には、第１天井搬送車Ｂ１が装備する把持部５１と同じ構成の把持部５１が装備されている。
【０１１２】
この把持部５１は、レチクル収納容器Ｒのフランジ部１３Ｃを把持するための一対の把持具６２を、電動式の把持用モータ６３によって、フランジ部１３Ｃを把持する把持状態と、把持を解除する把持解除姿勢とに切換えるように構成されている。図１７では、一対の把持具６２を把持状態に切り換えた状態を示している。
また、把持部５１は、昇降用モータ５６によって昇降され、旋回用モータ５７によって旋回される点も、第１天井搬送車Ｂ１と同様である。
【０１１３】
第２天井搬送車Ｂ２の車体本体部４９Ｂは、第１天井搬送車Ｂ１の車体本体部４９Ａと同様に、上壁部における車体前後方向の前端側部分と後端側部分とが下方側に延びる逆Ｕ字状に形成されて、下方側や左右両側が開放されるが、この第２天井搬送車Ｂ２においては、車体本体部４９Ｂの左右両側の開口を閉じる一対の板状体７４、及び、車体本体部４９Ｂの下方側の開口を閉じる一対の板状蓋体７５が装備されている。
【０１１４】
一対の板状体７４は、図１７に示すように、車体本体部４９Ｂの左右両側の開口を閉じる状態で、車体本体部４９Ｂに固定状態で取付けられている。
【０１１５】
一対の板状蓋体７５は、上下方向の揺動により、車体本体部４９Ｂの下方側の開口を閉じる閉じ位置と、車体本体部４９Ｂの下方側の開口を開く開き位置とに切換自在で、かつ、開閉駆動手段（図示せず）により、開閉操作されるように構成されている。
したがって、把持部５１を昇降させるときには、一対の板状蓋体７５を開き位置に操作することにより、車体本体部４９Ｂの下方側の開口を開き、把持部５１が車体本体部４９Ｂの内部に位置するときには、一対の板状蓋体７５を閉じ位置に操作して、車体本体部４９Ｂの下方側の開口を通して、塵埃等が外部から侵入することを抑制するようになっている。
【０１１６】
また、車体本体部４９Ｂの前壁部や後壁部に、清浄な空気を車体本体部４９Ｂの内部に送風する浄化空気送風手段７６が装備され、そして、上述した一対の板状体７４に、排出量を調整自在な排気手段７７が装備されている。
したがって、浄化空気送風手段７６にて、清浄な空気を車体本体部４９Ｂの内部に送風しながら、排気手段７７にて、車体本体部４９Ｂの内部の空気を外部に排出することにより、車体本体部４９Ｂの内部を清浄な空気にて満たされた状態にして、レチクル収納容器Ｒやその内部のレチクルＲｔを清浄な状態に維持できるように構成されている。
【０１１７】
ちなみに、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２には、つまり、複数の容器搬送車４２には、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの走行作動、把持部５１の昇降作動、及び、一対の把持具６２の開閉作動等を制御して、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２の運転を制御する台車側制御部（図示せず）が備えられている。
そして、台車側制御部は、複数の容器搬送車４２の運行を管理する設備管理用制御部から、無線通信等により、搬送元及び搬送先を指定する搬送指令を受けると、その搬送指令にて指定された搬送元から搬送先に向けて、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒを搬送する搬送処理を行うように構成されている。
【０１１８】
つまり、容器搬送車４２には、搬送先や搬送元に対応する目標停止位置を検出するためのセンサや基準点からの容器搬送車４２の走行距離を検出するための距離センサ等の各種センサが備えられている。
そして、台車側制御部は、それら各種センサの検出情報に基づいて、指定された搬送元に走行することや、搬送元から指定された搬送先に走行することを行うために、前方走行部５０Ｆ及び後方走行部５０Ｒの走行作動を制御するように構成され、また、搬送元においては、搬送元からウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒを受け取るために、把持部５１の昇降作動や一対の把持具６２の開閉作動を制御し、かつ、搬送先においては、搬送先にウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒを降ろすために、把持部５１の昇降作動や一対の把持具６２の開閉作動を制御ように構成されている。
【０１１９】
以上の通り、本実施形態によれば、ウェハ収納容器Ｗとレチクル収納容器Ｒを保管棚１に保管するにあたり、入出庫用搬送手段としての昇降式搬送装置２に、ウェハ収納容器Ｗのトップフランジ１０及びレチクル収納容器Ｒのフランジ部１３Ｃを把持する把持部１６を備えさせて、昇降式搬送装置２にて、ウェハ収納容器Ｗやレチクル収納容器Ｒを吊下げ状態で支持しながら、入出庫を行わせるものであるから、入出庫作業の効率を向上でき、しかも、昇降式搬送装置２の構成の簡素化を図ることができる。
【０１２０】
また、ウェハ収納容器Ｗとレチクル収納容器Ｒを保管する保管棚１を、建物の１階から３階に亘る状態で設けて、建物の１階部分や３階部分を、物品搬送設備を設置する空間として利用するものであるから、物品搬送設備を、平面視での設置スペースを減少させて状態で設置できるものとなる。
【０１２１】
さらに、ウェハ収納容器Ｗを搬送する第１天井搬送車Ｂ１及びレチクル収納容器Ｒを搬送する第２天井搬送車Ｂ２の走行経路Ｌを、少なくとも一部を第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２の夫々が走行する共用走行経路部分Ｌａとする形態で設定して、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２の夫々を、走行経路Ｌに沿って天井側に設置した走行レール４１を走行させるものであるから、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２を走行させるために設置する走行レール４１の全設置長さを減少させて、設備全体の設置コストの低減化を図ることができる。
【０１２２】
〔別実施形態〕
次に、別実施形態を列記する。
（１）上記実施形態では、ウェハ収納容器Ｗとレチクル収納容器Ｒを保管する保管棚１とて、建物の３階に亘る状態で設けられて、１階部分と３階部分とにウェハ収納容器Ｗとレチクル収納容器Ｒを保管する保管棚１を例示したが、保管棚１の具体構成は各種変更できる。
例えば、ウェハ収納容器Ｗを収納する第１収納部Ｓ１を縦横に並ぶ状態で備え、かつ、レチクル収納容器Ｒを収納する第２収納部Ｓ２を縦横に並ぶ状態で備える形態で、保管棚１を構成してもよい。
この場合においては、入出庫用搬送手段としては、棚横幅方向に走行する走行台車、及び、その走行台車に立設した昇降マストに昇降自在に装着した昇降台を備える、いわゆるスタッカークレーンを設け、そのスタッカークレーンの昇降台に、把持部を出退自在に装備する形態で構成するとよい。
【０１２３】
（２）上記実施形態では、第１天井搬送車Ｂ１の走行部５０と、第２天井搬送車Ｂ２の走行部５０とを同じ構成にすることによって、第１天井搬送車Ｂ１及び第２天井搬送車Ｂ２が共用の走行レール４１を走行する場合を例示したが、第１天井搬送車Ｂ１と第２天井搬送車Ｂ２とは、共用の走行レール４１を走行できるものでありさえすれば、第１天井搬送車Ｂ１や第２天井搬送車Ｂ２の具体構成は、異なる構成に構成してもよい。
【０１２４】
（３）上記実施形態では、第１天井搬送車Ｂ１と第２天井搬送車Ｂ２とが、同じ構成の把持部５１を備える場合を例示したが、第１天井搬送車Ｂ１の把持部５１と、第２天井搬送車Ｂ２の把持部５１とを異なる構成にする形態で実施してもよい。
【０１２５】
（４）上記実施形態では、走行経路Ｌとして、２つの環状のメイン走行経路４４が、経路横幅方向に並べた状態で、かつ、２重の環状となる状態で設けられ、複数の環状のサブ走行経路４３が、メイン走行経路４４の両脇に並ぶ状態に形成される場合を例示したが、例えば、複数の環状のサブ走行経路４３が、メイン走行経路４４の片側脇に並ぶ状態に形成する等、走行経路Ｌの具体構成は各種変更できる。
【０１２６】
（５）上記実施形態では、第１入出庫部Ｆ１及び第２入出庫部Ｆ２が、入出庫兼用のローラコンベヤを用いて構成される場合を例示したが、入庫用のローラコンベヤと出庫用のローラコンベヤとを別途設けるようにする形態で実施してもよい。
【０１２７】
（６）上記実施形態では、第１入出庫部Ｆ１及び第２入出庫部Ｆ２が、ローラコンベヤを用いて構成される場合を例示したが、容器載置台を保管棚１の内外方向に移動自在に設けたもの等、第１入出庫部Ｆ１及び第２入出庫部Ｆ２の具体構成は各種変更できる。
【符号の説明】
【０１２８】
１          保管棚
２          入出庫用搬送手段
Ｒ          レチクル収納容器
１０        トップフランジ
１３Ｃ      フランジ部
１６        把持部
３０        容器判別センサ
４１        走行レール
Ｂ１        第１天井搬送車
Ｂ２        第２天井搬送車
Ｆ１        第１入出庫部
Ｆ２        第２入出庫部
Ｌ          走行経路
Ｌａ        共用走行経路部分
ＰＲ        露光処理装置
Ｒｔ        レチクル
Ｓ１        第１収納部
Ｓ２        第２収納部
Ｗ          ウェハ収納容器
Ｗｈ        半導体ウェハ
【図１】
0005700255.tif 000002
【図２】
0005700255.tif 000003
【図３】
0005700255.tif 000004
【図４】
0005700255.tif 000005
【図５】
0005700255.tif 000006
【図６】
0005700255.tif 000007
【図７】
0005700255.tif 000008
【図８】
0005700255.tif 000009
【図９】
0005700255.tif 000010
【図１０】
0005700255.tif 000011
【図１１】
0005700255.tif 000012
【図１２】
0005700255.tif 000013
【図１３】
0005700255.tif 000014
【図１４】
0005700255.tif 000015
【図１５】
0005700255.tif 000016
【図１６】
0005700255.tif 000017
【図１７】
0005700255.tif 000018
【図１８】
0005700255.tif 000019