(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の内部空間の気密性を検査するリーク検査装置において、
前記被検査物の開口部を密閉する複数のマスキング治具を互いに結合することにより一体型とした治具組立体を分解して前記複数のマスキング治具を各々把持する治具段替え機構を有し、
前記治具段替え機構により把持した前記複数のマスキング治具により前記開口部を密閉したうえでリーク検査を行うこと、
を特徴とするリーク検査装置。
【請求項２】
請求項１のリーク検査装置において、
前記マスキング治具は、前記開口部を密閉するマスキング部を先端に設けた軸形状のマスキングシャフトを備えた板状の治具であること、
を特徴とするリーク検査装置。
【請求項３】
請求項２のリーク検査装置において、
前記治具組立体は各面が前記マスキング治具で構成された六面体であること、
を特徴とするリーク検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１つのリーク検査装置において、
前記治具段替え機構は、各々把持する前記複数のマスキング治具を組み立てて前記治具組立体を形成すること、
を特徴とするリーク検査装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１つのリーク検査装置において、
前記複数のマスキング治具は、互いにノックピンにより位置決めされること、
を特徴とするリーク検査装置。
【請求項６】
被検査物の内部空間の気密性を検査するリーク検査方法において、
前記被検査物の開口部を密閉する複数のマスキング治具を互いに結合することにより一体型とした治具組立体を分解して前記複数のマスキング治具を各々把持する治具段替え動作を行い、前記治具段替え動作により把持した前記複数のマスキング治具により前記開口部を密閉した状態でリーク検査を行うこと、
を特徴とするリーク検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トランスミッションケース等の被検査物の内部空間の気密性を検査するリーク検査装置およびリーク検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
気密性が要求されるトランスミッションケース等の中空状のワーク（被検査物）の内部空間にエアを充填して、エアの圧力の低下を測定してエアの洩れの有無やエアの洩れ量を検査するリーク検査が行われている。このリーク検査においては、ワークの外面に設けられた複数の開口部を同時に密閉（マスキング）する必要がある。そして、ワークの開口部は複数方向の面に設けられていることが多く、また、ワークの仕様（種類）毎に寸法や形状や位置が異なる。そのため、このようなリーク検査を行うリーク検査装置は、従来より装置そのものがワークの仕様毎の専用装置となっており、複数のワークの仕様には対応していない。
【０００３】
また、エンジン部品などを浸漬タンクに浸漬させるリーク検査装置において、ワークの１方向の面における開口部に対応するため、回転自在に設けた回転ドラムの外側４箇所に、種類の異なるマスキング部材が固定された回転マスキング機構が存在する。この回転マスキング機構は、回転ドラムが回転してワークの種類に適合したマスキング部材によりワークの開口部を密閉する。しかし、２方向以上の面に開口部が存在するワークなどワークの種類によって対応できなかったり、開口部の方向によっては対応できないおそれがある。また、回転ドラムの設置により装置が大型化してしまう。
【０００４】
ここで、特許文献１には、複数の面に開口部を有する被検査物における各面の開口部を各々密閉するために、複数のマスキングユニットを設けたリーク検査装置（漏れ検査装置）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３７９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１のリーク検査装置では、ワークの仕様（種類）が異なると複数のマスキングユニットを個々に交換する必要があるので、交換作業の工数がかかってしまう。
【０００７】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、作業工数を少なくしながら様々な仕様の被検査物のリーク検査を行うことができるリーク検査装置およびリーク検査方法を提供すること、を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、被検査物の内部空間の気密性を検査するリーク検査装置において、前記被検査物の開口部を密閉する複数のマスキング治具を互いに結合することにより一体型とした治具組立体を分解して前記複数のマスキング治具を各々把持する治具段替え機構を有し、前記治具段替え機構により把持した前記複数のマスキング治具により前記開口部を密閉したうえでリーク検査を行うこと、を特徴とする。
【０００９】
この態様によれば、複数のマスキング治具を組み立てた治具組立体を装置内に投入することにより、被検査物の開口部を密閉してリーク検査を行うことができる。そのため、装置内へ複数のマスキング治具を個別に配置する必要がなくなるので、作業工数を少なくすることができる。また、複数のマスキング治具を組み立てた治具組立体は移動や保管が容易であるので、作業工数を少なくすることができる。
【００１０】
また、治具組立体を構成するマスキング治具の仕様を変えるだけで様々な仕様の被検査物についてリーク検査を行うことができる。そのため、リーク検査装置に汎用性を持たせることができるので、検査コストの低減を図ることができる。
【００１１】
また、様々な仕様の被検査物に対応するために様々な仕様のマスキング治具を装置内に予め用意しておく必要がないので、装置の小型化を図ることができる。
【００１２】
上記態様においては、前記マスキング治具は、前記開口部を密閉するマスキング部を先端に設けた軸形状のマスキングシャフトを備えた板状の治具であること、が好ましい。
【００１３】
この態様によれば、マスキング治具は板状の治具であるので、治具段替え機構によりマスキング治具を把持し易く、マスキング治具の取り扱いが容易である。そのため、治具段替え機構を簡略な装置構成とすることができる。
【００１４】
また、複数のマスキングシャフトを１つのマスキング治具に集約することができるので、装置のさらなる小型化を図ることができる。
【００１５】
上記態様においては、前記治具組立体は各面が前記マスキング治具で構成された六面体であること、が好ましい。
【００１６】
この態様によれば、被検査物の上面、下面、右側面、左側面、前面、後面の六面における開口部をマスキング治具により確実に密閉することができる。また、治具組立体の持ち運びが容易になるなど、治具組立体の取り扱いが容易になるので、作業工数をさらに少なくできる。
【００１７】
上記態様においては、前記治具段替え機構は、各々把持する前記複数のマスキング治具を組み立てて前記治具組立体を形成すること、が好ましい。
【００１８】
この態様によれば、治具段替え機構により治具組立体の分解と組み立てを行うことができる。そのため、作業者は、治具組立体を装置内に投入するだけでリーク検査を行うことができ、かつ、リーク検査が終了した後は装置から治具組立体を取り出すだけでよい。したがって、作業工数をさらに少なくできる。
【００１９】
上記態様においては、前記複数のマスキング治具は、互いにノックピンにより位置決めされること、が好ましい。
【００２０】
この態様によれば、複数のマスキング治具を組み立てて治具組立体を形成することが容易になる。
【００２１】
上記課題を解決するためになされた本発明の他の態様は、被検査物の内部空間の気密性を検査するリーク検査方法において、前記被検査物の開口部を密閉する複数のマスキング治具を互いに結合することにより一体型とした治具組立体を分解して前記複数のマスキング治具を個別に把持する治具段替え動作を行い、前記治具段替え動作により把持した前記複数のマスキング治具により前記開口部を密閉した状態でリーク検査を行うこと、を特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るリーク検査装置およびリーク検査方法によれば、作業工数を少なくしながら様々な仕様の被検査物のリーク検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】リーク検査装置の正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】リーク検査装置の上面図である。
【図４】マスキングボックスの外観斜視図である。
【図５】前治具プレートおよび後治具プレートの周辺の断面図である。
【図６】マスキングボックスの分解図である。
【図７】段替え動作において、マスキングボックスが段替え位置に搬送されて停止した状態を示す図である。
【図８】段替え動作において、上治具ユニットが上治具プレートを把持した状態を示す図である。
【図９】段替え動作において、右治具ユニットが右治具プレートを把持し、左治具ユニットが左治具プレートを把持した状態を示す図である。
【図１０】段替え動作において、右治具プレートと左治具プレートと前治具プレートと後治具プレートとから、下治具プレートが切り離された状態を示す図である。
【図１１】段替え動作において、上治具プレートが右治具プレートと左治具プレートとから切り離された状態を示す図である。
【図１２】リーク検査動作において、ワークを取り付けた下治具プレートが搬送されてリーク検査位置にて停止した状態を示す図である。
【図１３】リーク検査動作において、上治具プレートがワークに接触して、ワークの上治具プレート側の面の開口部とワークの下治具プレート側の面の開口部とを密閉した状態を示す図である。
【図１４】リーク検査動作において、マスキング動作が完了した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を具体化した形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２５】
〔リーク検査装置の説明〕
図１は、本実施例のリーク検査装置１の正面図である。図１に示すように、リーク検査装置１は、マスキングボックス１０、上治具ユニット１２、上治具上下用シリンダ１４、上治具クランプ用シリンダ１６、右治具ユニット１８、右治具前後用シリンダ２０、左治具ユニット２２、左治具前後用シリンダ２４、搬送用コロ２６、下治具上下用シリンダ２８、下治具位置決めノックピン３２、リーク測定ユニット３４、操作盤３６などを有する。
【００２６】
マスキングボックス１０は、下治具プレート３８、右治具プレート４０、左治具プレート４２、上治具プレート４４、前治具プレート４６、後治具プレート４８（図４参照）などを備え、図１では各治具プレートが分解された状態を示している。なお、前治具プレート４６と後治具プレート４８は、上治具プレート４４にボルト４９（図４参照）により取り付けられて一体にされている。また、下治具プレート３８、右治具プレート４０、左治具プレート４２、上治具プレート４４、前治具プレート４６、後治具プレート４８は、本発明における「マスキング治具」の一例である。マスキングボックス１０の詳細については、後述する。
【００２７】
また、図２は、図１のＡ−Ａ矢視図である。図２に示すように、リーク検査装置１は、プレート引き込み用スライドユニット５０、ストッパ５２、右治具クランプ用シリンダ５４、左治具クランプ用シリンダ５６などを有する。また、リーク検査装置１には、マスキングボックス投入位置５８（ワーク取付位置６０）、段替え位置６２（リーク検査位置６４）も設けられている。
【００２８】
また、図３は、本実施例のリーク検査装置１の上面図である。図３に示すように、リーク検査装置１は、前マスキング用シリンダ６６、後マスキング用シリンダ６８などを有する。
【００２９】
なお、上治具ユニット１２や右治具ユニット１８や左治具ユニット２２などの各治具ユニット、搬送用コロ２６やプレート引き込み用スライドユニット５０などの搬送ユニット、上治具上下用シリンダ１４や上治具クランプ用シリンダ１６や右治具前後用シリンダ２０、左治具前後用シリンダ２４や下治具上下用シリンダ２８や右治具クランプ用シリンダ５４や左治具クランプ用シリンダ５６や前マスキング用シリンダ６６や後マスキング用シリンダ６８などの各シリンダは、本発明における「治具段替え機構」を構成する要素の一例である。
【００３０】
〔マスキングボックスの説明〕
図４は、マスキングボックス１０の外観斜視図である。図４に示すように、マスキングボックス１０は、六面体に形成され、各面に下治具プレート３８、右治具プレート４０、左治具プレート４２、上治具プレート４４、前治具プレート４６、後治具プレート４８などの板状の治具を有する。なお、マスキングボックス１０は、本発明における「治具組立体」の一例である。
【００３１】
下治具プレート３８と上治具プレート４４には、ワーク７０の上面と下面の開口部を密閉するためのＯリング７２が埋め込まれている。なお、Ｏリング７２に限らず、パッキンなどの他の軟質材を埋め込んでもよい。
【００３２】
また、下治具プレート３８には下中子７１が設けられ、上治具プレート４４には上中子７３が設けられている。この下中子７１と上中子７３は、下治具プレート３８や上治具プレート４４と同様な材質からなり、後述するリーク検査において、ワーク７０の内部の容積を減らすことにより、ワーク７０の内部に注入するエアの量を減らすために設けられている。そして、このようにワーク７０の内部に注入するエアの量を減らすことにより、リーク検査において検査精度の向上と検査時間の短縮を図ることができる。なお、ワーク７０の仕様によっては、下中子７１と上中子７３のいずれか一方のみ設けてもよく、下中子７１と上中子７３とを設けないこととしてもよい。また、下中子７１と上中子７３は、ワーク７０の開口部を密閉する際に、お互いに干渉しない位置および形状に形成する。なお、前記の図１や後述する図面などにおいては、説明の便宜上、適宜、下中子７１と上中子７３の図示を省略している。
【００３３】
右治具プレート４０と左治具プレート４２には、マスキングシャフト７４が固定されており、このマスキングシャフト７４の先端にはマスキングゴム７６が設けられている。マスキングゴム７６は、ワーク７０の左側面および右側面の開口部を密閉するためのものであり、ゴム以外の他の軟質材であってもよい。なお、マスキングゴム７６は、本発明における「マスキング部」の一例である。
【００３４】
図５に示すように、前治具プレート４６と後治具プレート４８には、マスキングシャフト７８がガイドブッシュ８０に対して軸方向に摺動可能に設けられている。このマスキングシャフト７８の先端にはマスキングゴム８２が設けられている。マスキングゴム８２は、ワーク７０の前側面および後側面の開口部を密閉するためのものであり、ゴム以外の他の軟質材であってもよい。また、マスキングシャフト７８の後端とガイドブッシュ８０との間には、スプリング８４が設けられている。また、プレート８５によりマスキングシャフト７８の後端が押されて、マスキングシャフト７８は摺動する。このプレート８５には、前マスキング用シリンダ６６や後マスキング用シリンダ６８の駆動力が伝達される。なお、マスキングゴム８２は、本発明における「マスキング部」の一例である。また、図５は、前治具プレート４６および後治具プレート４８の周辺の断面図である。
【００３５】
図６に示すように、各治具プレートには、位置決めのためのノック穴８６およびノックピン８８が設けられている。そして、下治具プレート３８の上に右治具プレート４０と左治具プレート４２がノック穴８６およびノックピン８８を介して垂直方向に結合される。なお、図６は、マスキングボックス１０の分解図である。
【００３６】
上治具プレート４４に前治具プレート４６と後治具プレート４８が垂直方向にボルト４９などで固定されている。前治具プレート４６と後治具プレート４８が固定された状態の上治具プレート４４は、下治具プレート３８の上にノック穴８６およびノックピン８８を介して結合される。このとき同時に、上治具プレート４４は、右治具プレート４０と左治具プレート４２にもノック穴８６およびノックピン８８を介して結合される。また、上治具プレート４４には、リーク検査に必要なエアを封入するエア供給口９０を設けている。
【００３７】
このように、本実施例のマスキングボックス１０は、マスキングシャフト７４，７８やマスキングゴム７６，８２などのマスキング部材を各治具プレートに集約し、各治具プレートを結合することにより一体型のボックス形状にすることができる。そして、一体型のボックス形状のマスキングボックス１０は、容易に各治具プレートに分解することができる。そのため、各治具プレートの交換時の移動やリーク検査装置１への投入の容易化および保管の容易化を図ることができる。また、このようなマスキングボックス１０は、リーク検査の対象とするワーク７０の仕様（種類）毎に対応する仕様のものを準備しておくことにより、様々なワーク７０の仕様（種類）に対応してリーク検査を行うことができる。
【００３８】
なお、各治具プレートの厚みを小さくする一方で各治具ユニットの厚みを大きくすることにより、マスキングボックス１０の軽量化を図りながらリーク検査における各治具プレートと各治具ユニットの耐久性を確保することができる。
【００３９】
〔段替え動作の説明〕
次に、段替え動作について説明する。ここで、段替え動作とは、リーク検査装置１が把持（保持）する各治具プレートの仕様を交換する動作である。まず、マスキングボックス１０をリーク検査装置１のマスキングボックス投入位置５８（図２参照）の搬送用コロ２６の上に配置して、操作盤３６における段替え起動スイッチ（不図示）をＯＮにする。すると、マスキングボックス１０は、プレート引き込み用スライドユニット５０によって段替え位置６２に搬送され、図７に示すように、ストッパ５２にて位置決めされて停止する。なお、図７は、段替え動作においてマスキングボックス１０が段替え位置６２に搬送されて停止した状態を示す図であり、前記の図２と同様な位置からリーク検査装置１を見た図である。
【００４０】
次に、上治具ユニット１２が上治具上下用シリンダ１４の駆動により下降する。そして、上治具ユニット１２のノックピン（不図示）を上治具プレート４４に設けられた上治具位置決めノック穴９４（図４参照）に挿入して、上治具ユニット１２を上治具プレート４４に対して位置決めしながら停止させる。そして、上治具ユニット１２に固定された上治具クランプ用シリンダ１６により、上治具プレート４４を把持する。これにより、図８に示すような状態になる。なお、図８は、段替え動作において上治具ユニット１２が上治具プレート４４を把持した状態を示す図であり、リーク検査装置１を正面から見た図である。
【００４１】
次に、右治具ユニット１８が右治具前後用シリンダ２０の駆動により前進（右治具プレート４０に向かって移動）する。そして、右治具ユニット１８のノックピン（不図示）をマスキングボックス１０の右治具プレート４０に設けられた右治具位置決めノック穴９８（図４参照）に挿入して、右治具ユニット１８を右治具プレート４０に対して位置決めしながら停止させる。次に、右治具ユニット１８に設けられた右治具クランプ用シリンダ５４により、右治具プレート４０を把持する。
【００４２】
また、左治具ユニット２２が左治具前後用シリンダ２４の駆動により前進（左治具プレート４２に向かって移動）する。そして、左治具ユニット２２のノックピン（不図示）がマスキングボックス１０の左治具プレート４２に設けられた左治具位置決めノック穴（不図示）に挿入されて、左治具ユニット２２が左治具プレート４２に対して位置決めされながら停止する。次に、左治具ユニット２２に設けられた左治具クランプ用シリンダ５６により、左治具プレート４２を把持する。これにより、図９に示すような状態になる。なお、図９は、段替え動作において右治具ユニット１８が右治具プレート４０を把持し左治具ユニット２２が左治具プレート４２を把持した状態を示す図であり、前記の図７と同様な位置からリーク検査装置１を見た図である。
【００４３】
次に、搬送用コロ２６が下治具上下用シリンダ２８の駆動により下降する。これにより、下治具プレート３８が下降して、下治具位置決めノック穴３０に下治具位置決めノックピン３２が挿入されて停止する。これにより、右治具プレート４０、左治具プレート４２、前治具プレート４６、後治具プレート４８（図４参照）から、下治具プレート３８が切り離される。これにより、図１０に示すような状態になる。なお、図１０は、段替え動作において右治具プレート４０と左治具プレート４２と前治具プレート４６と後治具プレート４８とから、下治具プレート３８が切り離された状態を示す図であり、リーク検査装置１を正面から見た図である。
【００４４】
次に、上治具ユニット１２が上治具上下用シリンダ１４の駆動により上昇し、上端で停止する。これにより、上治具ユニット１２の上治具クランプ用シリンダ１６により把持された上治具プレート４４が、右治具プレート４０と左治具プレート４２から切り離される。なお、上治具プレート４４に対しボルト４９で固定された前治具プレート４６と後治具プレート４８（図４参照）も、上治具プレート４４とともに上昇して、上端で停止する。これにより、図１１に示すような状態になる。なお、図１１は、段替え動作において上治具プレート４４が右治具プレート４０と左治具プレート４２とから切り離された状態を示す図であり、リーク検査装置１を正面から見た図である。
【００４５】
次に、右治具ユニット１８が右治具前後用シリンダ２０の駆動により後退することにより、右治具ユニット１８に設けられた右治具クランプ用シリンダ５４（図９参照）により把持された右治具プレート４０が後退する。また、左治具ユニット２２が左治具前後用シリンダ２４の駆動により後退することにより、左治具ユニット２２に設けられた左治具クランプ用シリンダ５６（図９参照）により把持された左治具プレート４２が後退する。そして、下治具プレート３８が下治具上下用シリンダ２８の駆動により上昇し、段替え位置６２（図２参照）に戻る。これにより、前記の図１や図２に示すような状態になる。
【００４６】
次に、下治具プレート３８がプレート引込み用スライドユニット５０の駆動によりマスキングボックス投入位置５８（図２参照）に戻る。以上により、段替え動作が終了する。
【００４７】
このように、マスキングボックス１０をリーク検査装置１のマスキングボックス投入位置５８に投入（配置）すると、リーク検査装置１は自動でマスキングボックス１０を構成する各治具プレートを分解して把持する。なお、マスキングボックス１０をリーク検査装置１から取り戻すときは、前記の段替え動作と逆の動作を行うことにより、治具ユニットやシリンダなどの治具段替え機構により各々把持する複数のマスキング治具を組み立ててマスキングボックス１０を形成する。このようにして、リーク検査装置１は、自動でマスキングボックス１０の段替動作（着脱動作）を行うことができる。
【００４８】
〔リーク検査動作の説明〕
次に、リーク検査動作について説明する。まず、ワーク取付位置６０（マスキングボックス投入位置５８、図１２参照）に下治具プレート３８がある状態で、下治具プレート３８の上にワーク７０を取り付ける。このとき、ワーク７０に設けたノック穴（不図示）に下治具プレート３８に設けたワーク位置決め用ノックピン（不図示）を挿入することにより、下治具プレート３８に対してワーク７０の位置決めを行っておく。
【００４９】
次に、操作盤３６（図１参照）におけるリーク検査の起動スイッチをＯＮにする。すると、ワーク７０を取り付けた下治具プレート３８は、プレート引き込み用スライドユニット５０の駆動により搬送されて、ストッパ５２により位置決めされながらリーク検査位置６４（段替え位置６２）にて停止する。これにより、図１２に示すような状態になる。なお、図１２は、リーク検査動作においてワーク７０を取り付けた下治具プレート３８が搬送されてリーク検査位置６４にて停止した状態を示す図であり、前記の図２と同様な位置からリーク検査装置１を見た図である。
【００５０】
次に、搬送用コロ２６が下治具上下用シリンダ２８の駆動により下降し、ワーク７０を取り付けた下治具プレート３８が下降して、下治具位置決めノック穴３０に下治具位置決めノックピン３２が挿入されて停止する。
【００５１】
次に、上治具ユニット１２が上治具上下用シリンダ１４の駆動により下降し、上治具プレート４４がワーク７０に接触して、さらに下降して、下治具プレート３８と上治具プレート４４とに各々埋め込まれたＯリング７２（図４参照）などの軟質材を押し潰しながらワーク７０の開口部を密閉する。これにより、図１３に示すような状態になる。なお、図１３は、リーク検査動作において上治具プレート４４がワーク７０に接触してワーク７０の上治具プレート４４側の面の開口部とワーク７０の下治具プレート３８側の面の開口部とを密閉した状態を示す図であり、リーク検査装置１を正面から見た図である。
【００５２】
次に、前マスキング用シリンダ６６（図３参照）の駆動によりプレート８５を介して前治具プレート４６に設けられたマスキングシャフト７８（図５参照）に駆動力が伝達し、マスキングシャフト７８がスプリング８４（図５参照）を押し縮めながらワーク７０に向かって移動し、マスキングゴム８２（図５参照）によりワーク７０の開口部を密閉する。また、同様に、後マスキング用シリンダ６８（図３参照）の駆動によりプレート８５を介して後治具プレート４８（図５参照）に設けられたマスキングシャフト７８に駆動力が伝達し、マスキングシャフト７８がスプリング８４を押し縮めながらワーク７０に向かって移動し、マスキングゴム８２によりワーク７０の開口部を密閉する。
【００５３】
また、右治具プレート４０が右治具前後用シリンダ２０の駆動により前進（ワーク７０に向かって移動）し、スプリング７７を押し縮めながらマスキングシャフト７４のマスキングゴム７６によりワーク７０の開口部を密閉する。また、左治具プレート４２が左治具前後用シリンダ２４の駆動により前進（ワーク７０に向かって移動）し、スプリング７７を押し縮めながらマスキングシャフト７４のマスキングゴム７６によりワーク７０の開口部を密閉する。これにより、図１４に示すように、マスキング動作が完了する。なお、図１４は、リーク検査動作においてマスキング動作が完了した状態を示す図であり、リーク検査装置１を正面から見た図である。
【００５４】
次に、エア供給口９０（図４参照）よりワーク７０の内部へエアを封入し、ワーク７０からのエア洩れを検査するリーク検査を行う。そして、リーク検査が終了すると、前記とは逆の動作によって各治具プレートをワーク７０から後退させる。次に、搬送用コロ２６が下治具上下用シリンダ２８の駆動により上昇することにより、下治具プレート３８とともにワーク７０が上昇し、下治具位置決めノック穴３０から下治具位置決めノックピン３２が退出する。そして、ワーク７０が取り付けられた下治具プレート３８は、プレート引き込み用スライドユニット５０によってワーク取付位置６０（図１２参照）に搬送されて停止する。以上により、リーク検査動作が終了する。
【００５５】
そして、開口部の位置や形状の仕様の異なるワーク７０のリーク検査を行う場合には、リーク検査装置１に現在把持されているマスキングボックス１０を前記の段替動作と逆の動作により取り出して、異なる仕様のマスキングボックス１０をリーク検査装置１に投入して段替え動作を行った後にリーク検査を行う。
【００５６】
〔本実施例の効果〕
本実施例によれば、ワーク７０の開口部を密閉する複数の治具プレートを組み立てたマスキングボックス１０を分解して複数の治具プレートを各々把持する治具ユニットやシリンダなどの治具段替え機構を有する。そのため、マスキングボックス１０をリーク検査装置１の内部に投入するだけで、ワーク７０の開口部を密閉してリーク検査を行うことができる。そのため、リーク検査装置１の内部へ複数の治具プレートを個別に配置する（段替え作業の）必要がなくなるので、作業工数を少なくすることができる。また、段替え動作に要する時間が減少し、段替え動作時の設備停止時間が減少することで、生産性を向上させることができる。
【００５７】
また、複数のマスキングボックス１０は移動や保管が容易であるので、作業工数を少なくすることができる。また、マスキングボックス１０を構成する治具プレートの仕様を変えるだけで様々な仕様のワーク７０についてリーク検査を行うことができる。そのため、リーク検査装置１に汎用性を持たせることができるので、検査コストの低減を図ることができる。また、様々な仕様のワーク７０に対応するために様々な仕様の治具プレートをリーク検査装置１の内部に予め用意しておく必要がないので、リーク検査装置１の小型化を図ることができる。
【００５８】
また、治具プレートは板状の治具であるので、治具ユニットにより治具プレートを把持し易く、治具プレートの取り扱いが容易である。そのため、治具段替え機構を簡略な装置構成とすることができる。また、複数のマスキングシャフト７４，７８を１つの治具プレートに集約することができるので、リーク検査装置１のさらなる小型化を図ることができる。
【００５９】
また、マスキングボックス１０は各面が治具プレートで構成された六面体であるので、ワーク７０の上面、下面、右側面、左側面、前面、後面の六面における開口部を治具プレートにより確実に密閉することができる。また、マスキングボックス１０の持ち運びが容易になるなど、マスキングボックス１０の取り扱いが容易になるので、作業工数をさらに少なくできる。
【００６０】
治具ユニットやシリンダなどの治具段替え機構によりマスキングボックス１０の分解と組み立てを行うことができる。そのため、作業者は、マスキングボックス１０をリーク検査装置１の内部に投入するだけでリーク検査を行うことができ、かつ、リーク検査が終了した後はリーク検査装置１からマスキングボックス１０を取り出すだけでよい。したがって、作業工数をさらに少なくできる。
【００６１】
また、複数の治具プレートは、互いにノック穴８６とノックピン８８とにより位置決めされるので、複数の治具プレートを組み立ててマスキングボックス１０を形成することが容易になる。
【００６２】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
【符号の説明】
【００６３】
１    リーク検査装置
１０  マスキングボックス
１２  上治具ユニット
１４  上治具上下用シリンダ
１６  上治具クランプ用シリンダ
１８  右治具ユニット
２０  右治具前後用シリンダ
２２  左治具ユニット
２４  左治具前後用シリンダ
２８  下治具上下用シリンダ
３８  下治具プレート
４０  右治具プレート
４２  左治具プレート
４４  上治具プレート
４６  前治具プレート
４８  後治具プレート
５４  右治具クランプ用シリンダ
５６  左治具クランプ用シリンダ
５８  マスキングボックス投入位置
６０  ワーク取付位置
６２  段替え位置
６４  リーク検査位置
６６  前マスキング用シリンダ
６８  後マスキング用シリンダ
７０  ワーク
７４  マスキングシャフト
７６  マスキングゴム
７８  マスキングシャフト
８２  マスキングゴム
８６  ノック穴
８８  ノックピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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