(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、前記テーブルは、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備え、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられ、
前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、
上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備えるテーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含む塗布装置の改良方法であって、
前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、
上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする塗布装置の改良方法。
【請求項４】
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置の改良方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
塗布液を塗布するノズルと塗布対象物とが相対的に移動しつつ塗布対象物に塗布液を塗布する塗布装置として、例えば、特許文献１が知られている。特許文献１の「塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法」は、塗布液を吐出する吐出口を有する塗布器をテーブル上に保持された基板の塗布位置に移動させながら、該塗布器から塗布液を吐出することにより、基板表面に塗膜を形成する塗布方法において、前記テーブルは複数の基板を相重ならずに保持できるものであり、該テーブル上の任意の基板保持位置に載置された基板に塗膜を形成する間に、他の基板保持位置では基板の排出および／または基板の載置を行うようにしている。
【０００３】
特に、テーブルへ基板を搬入し、テーブルから基板を搬出する移載装置(ロボット)が、テーブルが設置されているベースに対して、基板搬送方向上流側及び下流側に設置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１０２７７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
背景技術では、塗布装置と、基板の搬入、搬出を行うロボット等の移載装置とが、別個に設置されていた。このため、塗布装置及び移載装置双方を設置し得る広いスペースが必要であった。また、設備のレイアウト変更や設備の移転などにあたって、工場等のスペースが狭いなどの理由により、塗布装置と移載装置とを、所望の位置に設置することができないおそれがあり、既存の移載装置を用いて塗布装置に対し基板の搬入、搬出を行うことができない場合には、移載装置を新たに購入したり製作しなければならないため、コストアップになってしまうという課題があった。
【０００６】
本発明は上記従来の課題に鑑みて創案されたものであって、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる塗布装置は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、テーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした塗布装置であって、前記テーブルは、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備え、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームが、上記ノズルユニットに設けられ、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする。
【０００８】
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする。
【０００９】
本発明にかかる塗布装置の改良方法は、塗布液を吐出するノズルを有するノズルユニットと、塗布対象物を支持して昇降可能なリフトピンを備えるテーブルに載置された塗布対象物とが相対的に移動され、該ノズルから吐出される塗布液を塗布対象物に塗布するようにした既存の塗布装置の該ノズルユニットに、塗布対象物を支持しつつ上記テーブルに移送する支持アームを後付けする工程を含む塗布装置の改良方法であって、前記支持アームは、上記リフトピンにより上昇された状態の塗布対象物の下方に入り込み、該リフトピンが降下されることにより塗布対象物を支持し、上記リフトピンは、上昇することにより、上記支持アームに支持された状態の塗布対象物を持ち上げて支持することを特徴とする。
【００１０】
前記支持アームは、上下方向の軸を中心に、前記リフトピンに支持された塗布対象物を支持可能な支持位置と、該リフトピンに支持された塗布対象物から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される、あるいは上記ノズルユニットの幅方向にスライド移動自在とされ、該支持位置と該退避位置との間でスライド移動されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明にかかる塗布装置及びその改良方法にあっては、塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することができると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る塗布装置及びその改良方法の好適な一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示した塗布装置に採用されるアーム本体の要部拡大斜視図である。
【図３】図１に示した塗布装置の動作の前半を示す図であって、図３（ａ）〜（ｉ）は第１動作から第９動作までを、正面側から見た模式図である。
【図４】図１に示した塗布装置の動作の後半を示す図であって、図４（ｊ）〜（ｒ）は第１０動作から第１８動作までを、正面側から見た模式図である。
【図５】図１に示した塗布装置の動作を示す図であって、図５（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ、図３中、Ａ矢視、Ｂ矢視、Ｃ矢視、Ｄ矢視、並びにＥ矢視を示す図である。
【図６】図１に示した塗布装置に採用されるアームユニットと対比して、変形例に係るアームユニットを示す図であって、図６（ａ）は図１の実施形態のアームユニットの動作を、図６（ｂ）は変形例に係るアームユニットの動作を、図６（ｃ）は他の変形例に係るアームユニットの動作を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明にかかる塗布装置及びその改良方法の好適な一実施形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る塗布装置（例えば、テーブルコータ（日本国登録商標）などと称される）を示す斜視図である。
【００１４】
本実施形態に係る塗布装置１は概略的には、塗布液を吐出するノズル７を有するノズルユニットと、テーブル４に載置された塗布対象物である基板３とが相対的に移動され、ノズル７から吐出される塗布液を基板３に塗布するようにした塗布装置１であって、基板３を塗布装置１外部からテーブル４近くまで搬送する外部搬送装置１４（図３及び図４に図示）とテーブル４との間で基板３を支持しつつ移送する支持アーム１０が、ノズルユニットに設けられる。
【００１５】
外部搬送装置１４は、所定位置に搬送された基板３を支持して昇降可能な外部リフトピン１４ｂを備え、テーブル４は、基板３を支持して昇降可能なリフトピン４ｂを備え、支持アーム１０は、外部リフトピン１４ｂ及びリフトピン４ｂのいずれか一方により上昇された状態の基板３の下方に入り込み、外部リフトピン１４ｂ及びリフトピン４ｂのいずれか一方が降下されることにより基板３を支持し、外部リフトピン１４ｂ及びリフトピン４ｂのいずれか一方は、上昇することにより、支持アーム１０に支持された状態の基板３を持ち上げて支持するようになっている。
【００１６】
テーブル４に載置された基板３に対してノズルユニットが移動されることにより、ノズルユニットと基板３との相対的な移動が行われる。支持アーム１０は、上下方向の軸を中心に、外部リフトピン１４ｂ及びリフトピン４ｂのいずれか一方に支持された基板３を支持可能な支持位置と、外部リフトピン１４ｂ及びリフトピン４ｂのいずれか一方に支持された基板３から退避される退避位置との間で水平方向に旋回される。
【００１７】
本実施形態に係る塗布装置１は例えば、基台２上に設けられ、塗布液の塗布対象物としての板状をなす基板３が載置される平面視長方形状のテーブル４と、基台２上に設けられ、テーブル４の一対の平行な縁に沿って設けられた一対のレール５と、一対のレール５に沿って移動可能な移動体６と、移動体６に設けられ、基板３に塗布する塗布液を吐出可能なノズル７とを備える。基板３は、テーブル４より面積が小さな長方形状に形成され、テーブル４上に載置されたときには、基板３の全体がテーブル４上に配置される。
【００１８】
テーブル４は、基板３より広い面積を有し、上面は高精度の水平面に形成される。テーブル４には、互いに所定の間隔を隔てて、上下方向に貫通する貫通孔４ａが複数設けられる。貫通孔４ａにはそれぞれ、昇降可能なリフトピン４ｂが出没するように設けられる。リフトピン４ｂは、上端で基板３を支持する。このため、基板３は、リフトピン４ｂに支持されて、テーブル４の上方にて上下方向に移動可能であると共に、リフトピン４ｂの上端が、テーブル４の上面より下方へ没入することにより、テーブル４上に載置される。
【００１９】
一対のレール５は、基台２上に、テーブル４を挟んで平行に配設される。レール５は、長方形状のテーブル４の長辺より長く設けられる。
【００２０】
移動体６は、各レール５上を移動自在に設けられた２つの移動柱体８と、２つの移動柱体８に架け渡され、移動柱体８の上端部同士を連結する連結梁体９とから構成される。移動体の連結梁体９には、基板３を支持しつつ外部搬送装置１４からテーブル４に移送し、あるいは、テーブル４から外部搬送装置１４へ移送する支持アーム１０を有する２つのアームユニット１１が設けられる。
【００２１】
連結梁体９は、レール５に沿う方向（以下、相対移動方向という）と直交する方向（以下、幅方向という）に沿って、２つの移動柱体８に架け渡される。移動体６は、レール５に沿って移動すると、連結梁体９がテーブル４の上面から間隔を隔てて、テーブル４上方を移動する。
【００２２】
２つのアームユニット１１は、連結梁体９に、テーブル４の幅方向における中央から幅方向に振り分けた各位置に１つずつ固定して設けられる。２つのアームユニット１１の各支持アーム１０は、基板３を幅方向両側から挟むように配置され、後述する突起１０ｃが基板３の下に入り込んで基板３を支持する。このため、支持アーム１０は、基板３を支持するときに、レール５の長さ方向と平行に、互いに向かい合うように配置される。また、向かい合ったときの２つの支持アーム１０の間隔は、いずれの支持アーム１０も突起１０ｃで支持した基板３の幅方向外側に位置するように、基板３の幅とほぼ等しくなるように配置される。
【００２３】
２つのアームユニット１１は各々、連結梁体９に固定されるベース１２と、ベース１２上に固定され、駆動軸１３ａ（図６参照）がベース１２を上下方向に貫通して設けられたモーター１３と、モーター１３の駆動軸に連結されてベース１２の下側で水平方向に旋回自在に設けられ、基板３を支持する支持アーム１０とを有している。
【００２４】
支持アーム１０は、モーター１３の駆動軸１３ａに連結された基端部１０ａと、基端部１０ａから所定方向に延びて基板３を保持するアーム本体１０ｂとを有する。２つの支持アーム１０は、基端部１０ａがモーター１３により回転駆動されて、アーム本体１０ｂが旋回し、基板３を支持可能な支持位置（図３（ｃ）及び図３（ｅ）参照）と、リフトピン４ｂまたは後述する外部リフトピン１４ｂに支持された基板３から退避される退避位置（図３（ａ）、図３（ｂ）及び図３（ｄ）参照）との間で水平方向に旋回されるように構成される。図５に示すように、支持位置は、アーム本体１０ｂがレール５に沿う方向に配置される位置であり、退避位置は、アーム本体１０ｂが幅方向に沿って配置される位置である。
【００２５】
図２は、アーム本体１０ｂの要部拡大斜視図である。アーム本体１０ｂには、支持アーム１０が支持位置に移動したときに、互いに対向する側に向かって突出する突起１０ｃが、先端側と基端部１０ａ側とに設けられる。突起１０ｃは、アーム本体１０ｂの厚み（上下方向の幅）より薄く形成されると共に、アーム本体１０ｂの上面よりも低い高さ位置に設けられる。これにより、突起１０ｃとアーム本体１０ｂとの間に段差１０ｄが形成される。
【００２６】
基板３は、支持位置に移動した２つの支持アーム１０の突起１０ｃ上に載置され、基板３の縁が水平方向から段差１０ｄ及びアーム本体１０ｂの側面に当接する状態で支持アーム１０上に支持される。
【００２７】
２つの支持アーム１０は、退避位置において、アーム本体１０ｂが幅方向へ互いに反対方向に向かってテーブル４から突出される。２つの支持アーム１０は、基板３を支持する際には、モーター１３が右回り及び左回りに互いに反対方向に回転することにより、基板３に向かって近づくように旋回される。このため、２つの支持アーム１０のアーム本体１０ｂは、テーブル４を挟んで、対称な形状に形成される。
【００２８】
ノズル７は、連結梁体９の下に設けられる。ノズル７は、塗布液をテーブル４に載置された基板３に向けて吐出するようになっている。ノズル７は、テーブル４の幅方向全長にわたって、当該テーブル４と対向するように設けられる。移動体６がレール５に沿って移動しつつノズル７から塗布液が吐出されると、テーブル４のほぼ全面に載置された基板３に対し塗布液を塗布することができる。ノズル７を備えた移動体６がノズルユニットに相当する。そして、ノズルユニットがテーブル４に対して相対移動することにより、基板３に塗布液が塗布される。
【００２９】
上記構成の塗布装置１は、既に工場等の設備に設置されている既存の塗布装置を改良する場合に、当該既存の塗布装置の移動体６（ノズルユニットに相当）に、上述したような、基板３を支持しつつテーブル４に移送する支持アーム１０を後付けする工程を含めた改良方法を適用することによっても、塗布装置１を新設する場合と同様に設備に組み込むことができる。
【００３０】
次に、本実施形態に係る塗布装置１の動作について、図３〜図５を用いて説明する。図３（ａ）〜（ｉ）は、塗布装置１の第１動作から第９動作までを、正面側から見た模式図である。図４（ｊ）〜（ｒ）は、塗布装置１の第１０動作から第１８動作までを、正面側から見た模式図である。図５（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ、図３におけるＡ矢視、Ｂ矢視、Ｃ矢視、Ｄ矢視、並びにＥ矢視を示す図である。
【００３１】
図３（ａ）及び図５（ａ）に示すように、塗布装置１の移動体６の移動方向（レール５の長さ方向）に並べて設けられた外部搬送装置１４により、基板３が塗布装置１側の所定位置に搬送される。このとき、支持アーム１０は、退避位置に位置している。
【００３２】
外部搬送装置１４は例えば、基板３を下から支持しつつ搬送することが可能な、細い複数本の搬送ベルト１４ａを、搬送ベルト１４ａ同士の間に隙間を空けて、配設したものであり、上端で基板３を支持して昇降移動が可能な外部リフトピン１４ｂは、搬送ベルト１４ａ同士の隙間に配設される。基板３は、外部リフトピン１４ｂに支持されて外部搬送装置１４の上方で上下方向に移動可能とされる。外部リフトピン１４ｂの上端が、外部搬送装置１４の上面より下方に没入することにより、基板３は外部搬送装置１４上に載置される。
【００３３】
基板３が、図３（ｂ）及び図５（ｂ）に示すように、外部リフトピン１４ｂにより、支持アーム１０よりも高い位置まで上昇されると、支持アーム１０が退避位置のまま、移動体６はレール５に沿って基台２の外部搬送装置１４側の端まで移動する。
【００３４】
次に、２つの支持アーム１０は水平方向へ旋回して、図３（ｃ）及び図５（ｃ）に示すように、２つの支持アーム１０同士がほぼ平行となる基板３の支持位置に移動する。これにより、突起１０ｃが基板３の下方に入り込む。
【００３５】
次に、図３（ｄ）に示すように、外部リフトピン１４ｂが降下して、基板３が支持アーム１０上に載置される。その後、図３（ｅ）に示すように、支持アーム１０が基板３を支持した状態で、移動体６がレール５に沿って基台２の外部搬送装置１４側とは反対側の端まで移動する。
【００３６】
次に、図３（ｆ）及び図５（ｄ）に示すように、リフトピン４ｂが上昇し、その上端が支持アーム１０よりも高い位置まで上昇することにより、基板３は、支持アーム２からリフトピン４ｂに受け渡されて支持される。
【００３７】
次に、図３（ｇ）及び図５（ｅ）に示すように、支持アーム１０が退避位置に移動する。次いで、図３（ｈ）に示すように、リフトピン４ｂが降下して、基板３はテーブル４上に載置される。
【００３８】
次に、図３（ｉ）に示すように、移動体６が基台２上で外部搬送装置１４の反対側から外部搬送装置１４側に向かってレール５に沿って移動する（矢印ｆ参照）。このとき、テーブル４に載置されている基板３に対し、ノズル７から塗布液を吐出して塗膜３ａを形成する。その後、図４（ｊ）に示すように、移動体６がレール５に沿って反対方向に移動して、元の位置に戻る（矢印ｇ参照）。
【００３９】
移動体６が元の位置に戻った後、図４（ｋ）に示すように、リフトピン４ｂが上昇し、基板３がリフトピン４ｂによって支持される。次いで、２つの支持アーム１０が退避位置から支持位置へ向かって旋回する。図４（ｌ）に示すように、２つのアーム本体１０ｂがほぼ平行となる支持位置に移動すると、基板３の下方に突起１０ｃが入り込む。その後、図４（ｍ）に示すように、リフトピン４ｂが降下して、基板３は支持アーム１０の突起１０ｃ上に載置され、アーム本体１０ｂに保持される。
【００４０】
塗膜３ａが形成された基板３が支持アーム１０に支持された状態で、図４（ｎ）に示すように、移動体６がレール５に沿って基台２の外部搬送装置１４側の端まで移動する（矢印ｆ参照）。これにより、基板３が外部搬送装置１４の上方に位置される。
【００４１】
次に、図４（ｏ）に示すように、外部リフトピン１４ｂが支持アーム１０よりも高い位置まで上昇して、基板３は支持アーム１０から外部リフトピン１４ｂに受け渡されて支持される。その後、図４（ｐ）に示すように、支持アーム１０が旋回して退避位置に移動する。次いで、図４（ｑ）に示すように、外部リフトピン１４ｂが降下して、基板３は外部搬送装置１４上に載置される。
【００４２】
最後に、図４（ｒ）に示すように、外部搬送装置１４が稼働して、塗膜３ａが形成された基板３が搬送されると共に、移動体６が元の位置に戻り（矢印ｇ参照）、これにより一連の工程が終了する。
【００４３】
本実施形態に係る塗布装置１及びその改良方法にあっては、基板３を搬送する外部搬送装置１４と塗布を行うテーブル４との間で基板３を移送する支持アーム１０が、ノズル７を備える移動体６に設けられている。すなわち、塗布液を塗布する際の移動装置と、基板３を外部搬送装置１４とテーブル４との間で受け渡す際の移動装置とを兼ねている。これに対し、背景技術で説明した特許文献１の「塗布装置および塗布方法、ならびにカラーフィルター製造装置および製造方法」（特開２００２−１０２７７１号公報）では、テーブルと、テーブルへ基板を搬入し、テーブルから基板を搬出する、ハンドを備えたロボットとを別々に設置している。別々に設置する特許文献１では、テーブル及びロボットに対し、個々に設備スペースを確保する必要がある。また、テーブル及びロボットはそれぞれ、個別に装置として完成したものであるため、大型な装置になってしまうと同時に、コストアップになってしまう。これに対し、本実施形態に係る塗布装置１及びその改良方法では、上述したように、テーブル４に備えられる塗布用の移動体６に、搬送用の支持アーム１０を組み込むようにしていて、テーブルとハンド付きロボットが別々の特許文献１とは異なり、塗布機能と搬送機能を一体化した構成としている。このため、特許文献１のように、各々別個の移動装置等を備える場合よりも、コストを低減できると共に、装置そのものを小さくできて、設置スペースも狭くすることができる。要するに、本実施形態に係る塗布装置１及びその改良方法では、外部搬送装置１４とテーブル４との間での基板３の移送機能を備えて、設備を省スペース化することができると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを防止することができる。
【００４４】
そして、本実施形態に係る塗布装置１の改良方法によれば、既存の塗布装置の移動体６に、支持アーム１０等を後付けする工程を含んで、既存の塗布装置を改良するようにしているので、これにより、既存の塗布装置自体、その場で改良できることはもちろんのこと、この既存の塗布装置を他所へ移設した際に、ロボット等の移載装置を別途設ける必要がなくなり、必要設置面積を小さく狭めることが可能となる。
【００４５】
また、本実施形態に係る塗布装置１及びその改良方法では、テーブル４が、基板３を支持して昇降可能なリフトピン４ｂを備え、支持アーム１０は、その突起１０ｃがリフトピン４ｂにより上昇された状態の基板３の下方に入り込み、リフトピン４ｂが降下されることにより基板３を支持し、リフトピン４ｂは、上昇することにより、支持アーム１０に支持された状態の基板３を持ち上げて支持するようになっている。このため、支持アーム１０により基板３を上下方向に移動させる必要がない。すなわち、支持アーム１０は、基板３を水平方向に移送するだけで足り、複雑な動作を要求されることがない。支持アーム１０は、ロボットのような複雑な運動機構が不要なので、コストダウンを図ることができる。
【００４６】
外部搬送装置１４に対しても同様であって、基板３が外部リフトピン１４ｂにより上昇された状態で、支持アーム１０の突起１０ｃが基板３の下に入り込み、外部リフトピン１４ｂが降下することにより支持アーム１０に基板３が支持され、また、支持アーム１０に支持されている基板３は、外部リフトピン１４ｂが上昇することにより、当該外部リフトピン１４ｂに移し替えられて支持される。従って、支持アーム１０は、複雑な運動機構が不要で、コストダウンを図ることができる。
【００４７】
また、支持アーム１０は、上下方向の軸（駆動軸１３ａ）を中心に、リフトピン４ｂに支持された基板３を支持可能な支持位置と、リフトピン４ｂに支持された基板３から退避される退避位置との間で水平方向に旋回されるので、簡単な機構で基板３を移送することができる。
【００４８】
上記実施形態おいては、固定して設置されたテーブル４に載置された基板３に対してノズル７を備えた移動体６（ノズルユニット）が移動することにより、ノズル７と基板３との相対移動が行われる例について説明したが、ノズル７が固定され、基板３が載置されるテーブル４が移動する構成であっても良い。
【００４９】
上記実施形態においては、移動体６に近接する位置に、支持アーム１０を駆動するモーター１３の駆動軸１３ａを設ける場合について説明したが、これに限るものではない。図６には、上記実施形態のアームユニット１１の構成（図６（ａ）参照）と対比して、変形例に係るアームユニット１１の構成（図６（ｂ）参照）が示されている。
【００５０】
図６（ｂ）に示すように、図１に示した幅方向に関し、駆動軸１３ａを移動体６の中央側に寄せると共に、当該駆動軸１３ａを、移動体６から支持アーム１０が旋回する側へ突出させたベース１２の先端側に設けることにより、移動体６から離隔して配置し、さらに、支持アーム１０をＬ字状に形成することによって、支持アーム１０の旋回範囲を狭めることができる。これにより、支持アーム１０の退避位置における幅寸法Ｗ２を、図６（ａ）に示した上記実施形態の支持アーム１０の退避位置における幅寸法Ｗ１よりも小さくすることができる。これにより、さらに省スペース化を達成することができる。
【００５１】
また、２つの支持アーム１０は、必ずしも旋回運動させなくてもよい。図６（ｃ）には、アームユニットの構成について、他の変形例が示されている。具体的には、２つの支持アーム１０が基板３を支持することが可能な平行状態を保ったまま、図１に示した幅方向にスライド移動自在とされ、移動体６に沿ってスライド移動されて突起１０ｃが基板３の下に入り込む支持位置と、突起１０ｃが基板３の下から外れた退避位置との間で移動される構成としても良い。
【００５２】
基板３を塗布装置１外部からテーブル４近くまで搬送する外部搬送装置１４は、上述した実施形態の例に限らず、基板３を塗布装置１に備えた支持アーム１０に受け渡しできるものであれば、どのようなものであってもよく、搬送用のロボットで搬送して受け渡ししても、作業員が搬送して受け渡しを行ってもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１  塗布装置
２  基台
３  基板
３ａ  塗膜
４  テーブル
４ａ  貫通孔
４ｂ  リフトピン
５  レール
６  移動体
７  ノズル
８  移動柱体
９  連結梁体
１０  支持アーム
１０ａ  基端部
１０ｂ  アーム本体
１０ｃ  突起
１０ｄ  段差
１１  アームユニット
１２  ベース
１３  モーター
１３ａ  駆動軸
１４  外部搬送装置
１４ａ  搬送ベルト
１４ｂ  外部リフトピン
【要約】
【課題】塗布対象物の移送機能を備えて、設備を省スペース化することが可能であると共に、設備のレイアウト変更等で移設する際にも、コストアップを招来することのない塗布装置及びその改良方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出するノズル７を有する移動体６と、テーブル４に載置された基板３とが相対的に移動され、ノズルから吐出される塗布液を基板に塗布するようにした塗布装置１であって、基板を支持しつつテーブルに移送する支持アーム１０が、移動体に設けられる。
【選択図】図１【図１】
0005735161.tif 000002
【図２】
0005735161.tif 000003
【図３】
0005735161.tif 000004
【図４】
0005735161.tif 000005
【図５】
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【図６】
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