(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に配置されて、それぞれに供給された基板を順次搬送する第１および第２搬送部と、
前記第１搬送部が搬送してきた前記基板に対して処理を行う第１機能部と、前記第２搬送部が搬送してきた前記基板に対して処理を行う第２機能部とを有する基板処理機構と、
異なる品種を含む複数の前記基板の前記第１搬送部への搬送順序と、異なる品種を含む複数の前記基板の前記第２搬送部への搬送順序との組み合わせを複数生成するとともに、当該複数の組み合わせの中から、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を選定する選定部と
を備え、
前記基板処理機構では、前記第１機能部および前記第２機能部のそれぞれが、処理対象の前記基板の品種に応じた処理を行うために、処理対象の前記基板の品種に応じた経路を移動しつつ前記基板に処理を実行するとともに、相互の干渉を回避するために前記第１機能部と前記第２機能部の同時進入が禁止された排他領域に、前記第１および前記第２機能部のうち一方が進入している間は他方が前記排他領域から退避し、
前記選定部は、前記組み合わせが示す順序で前記第１および前記第２搬送部それぞれに前記基板を搬送した場合に前記第１あるいは前記第２機能部の前記排他領域からの退避動作が前記基板処理機構で発生するか否かを判断した結果に基づいて、前記複数の組み合わせの中から、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を選定することを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
前記選定部は、前記退避動作が発生しないと判断される前記組み合わせが前記複数の組み合わせの中にある場合は、前記退避動作が発生しないと判断される前記組み合わせを、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記選定部は、前記退避動作が発生しないと判断される前記組み合わせが前記複数の組み合わせの中に無い場合は、前記第１および前記第２機能部が処理を行うにあたって前記退避動作が発生すると判断される前記基板の品種のペアの数を前記各組み合わせについて求めた結果に基づいて、前記複数の組み合わせの中から、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を選定する請求項１または２に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記選定部は、前記ペアの数を求めた前記各組み合わせのうち、前記ペアの数が最小となる前記組み合わせを、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項３に記載の基板処理システム。
【請求項５】
前記選定部は、前記ペアの数が最小となる前記組み合わせが複数ある場合は、前記ペアを形成する前記基板と前記排他領域との重複範囲のサイズに基づいて、前記ペアの数が最小となる前記組み合わせから、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を選定する請求項３に記載の基板処理システム。
【請求項６】
前記選定部は、前記第１搬送部と前記第２搬送部が並ぶ方向における前記重複範囲の幅を前記ペアについて求めて合算した値が最小となる前記組み合わせを、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項３ないし５のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項７】
前記選定部は、前記重複範囲の面積を前記ペアについて求めて合算した値が最小となる前記組み合わせを、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項３ないし５のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項８】
前記選定部は、前記基板の前記排他領域における部位に対して前記第１または前記第２機能部により処理が実行される回数が最小となる前記組み合わせを、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項１、３および４のいずれか一項基板処理システム。
【請求項９】
前記選定部は、前記退避動作が発生しないと判断される前記組み合わせが前記複数の組み合わせの中に無い場合は、前記第１および前記第２機能部それぞれが前記排他領域から退避している時間の合計の予測値を前記各組み合わせについて求め、前記予測値が最小となる前記組み合わせを、前記複数の組み合わせの中から、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序として選定する請求項１、３および４のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１０】
前記選定部が選定した前記組み合わせを表示する表示部をさらに備えた請求項１ないし９のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１１】
複数の前記基板処理機構が前記第１および第２搬送部に沿って配置された請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１２】
前記第１および第２機能部のそれぞれは、前記基板への処理として前記基板に部品を実装する実装ヘッドを有する請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１３】
前記第１および前記第２機能部のそれぞれは、前記基板への処理として前記基板を撮像するカメラを有する請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項１４】
並列に配置されてそれぞれに供給された基板を順次搬送する第１および第２搬送部と、前記第１搬送部が搬送してきた前記基板に対して処理を行う第１機能部と、前記第２搬送部が搬送してきた前記基板に対して処理を行う第２機能部とを備え、前記第１機能部および前記第２機能部のそれぞれが、処理対象の前記基板の品種に応じた処理を行うために、処理対象の前記基板の品種に応じた経路を移動しつつ前記基板に処理を実行するとともに、相互の干渉を回避するために前記第１機能部と前記第２機能部の同時進入が禁止された排他領域に、前記第１および前記第２機能部のうち一方が進入している間は他方が前記排他領域から退避する基板処理システムに対して、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を決定する基板供給順序決定方法であって、
異なる品種を含む複数の前記基板の前記第１搬送部への搬送順序と、異なる品種を含む複数の前記基板の前記第２搬送部への搬送順序との組み合わせを複数生成する工程と、
前記組み合わせが示す順序で前記第１および前記第２搬送部それぞれに前記基板を搬送した場合に前記第１あるいは前記第２機能部の前記排他領域からの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、前記複数の組み合わせの中から、前記第１および前記第２搬送部に前記基板を搬送する順序を選定する工程と
を備えたことを特徴とする基板供給順序決定方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の基板供給順序決定方法が備える前記各工程をコンピューターに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、並列に配置された複数の搬送部それぞれが搬送する基板への処理を、各搬送部に対して設けられた機能部により行う基板処理技術に関し、特に異なる品種を含む複数の基板を各搬送部へ供給する際の順序を決定するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の部品実装機は、基板を搬送する２つのレーンを並列に配置するとともに、基板に部品を実装する２つの装着ヘッドを備えている。このような部品実装機では、２つのレーンと２つの装着ヘッドを対応付けて、各装着ヘッドがそれぞれに対応するレーンにより搬送されてきた基板へ部品を実装することができる。この際、各装着ヘッドは、基板の所定位置に部品を実装するために、基板の上方を適宜移動しつつ部品実装処理を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２３９２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、実装ヘッドのような機能部を複数備えて、各機能部が適宜移動しつつそれぞれの処理対象基板へ処理を行う上記構成では、一方の機能部が基板への処理に伴う移動によって他方の機能部側に近接することがある。このような場合、他方の機能部も同時に一方の機能部側に近接してしまうと、これらの機能部が干渉し合うため、他方の機能部は一方の機能部が遠ざかるまで退避する必要がある。しかしながら、このような機能部の退避動作は、スループットの低下の要因となる。
【０００５】
しかも、基板の品種が異なると、基板に施す処理内容も異なるため、各機能部が移動する経路も異なる。したがって、機能部が退避動作を行う必要があるか否かは、各機能部が処理を行う基板それぞれの品種に影響されることとなる。そのため、異なる品種を含む複数の基板を各レーンに供給する際に、基板の供給順序が不適切であると、機能部の退避動作が多発して、スループットが低下するおそれがあった。
【０００６】
この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、並列に配置された複数の搬送部それぞれが搬送する基板への処理を、各搬送部に設けられた機能部により行うにあたって、各搬送部への基板の搬送順序を適切化することで、機能部の退避動作の発生を抑制し、スループットの向上を図る技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明にかかる基板処理システムは、上記目的を達成するために、並列に配置されて、それぞれに供給された基板を順次搬送する第１および第２搬送部と、第１搬送部が搬送してきた基板に対して処理を行う第１機能部と、第２搬送部が搬送してきた基板に対して処理を行う第２機能部とを有する基板処理機構と、異なる品種を含む複数の基板の第１搬送部への搬送順序と、異なる品種を含む複数の基板の第２搬送部への搬送順序との組み合わせを複数生成するとともに、当該複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定する選定部とを備え、基板処理機構では、第１機能部および第２機能部のそれぞれが、処理対象の基板の品種に応じた処理を行うために、処理対象の基板の品種に応じた経路を移動しつつ基板に処理を実行するとともに、相互の干渉を回避するために第１機能部と第２機能部の同時進入が禁止された排他領域に、第１および第２機能部のうち一方が進入している間は他方が排他領域から退避し、選定部は、組み合わせが示す順序で第１および第２搬送部それぞれに基板を搬送した場合に第１あるいは第２機能部の排他領域からの退避動作が基板処理機構で発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定することを特徴としている。
【０００８】
また、本発明にかかる基板供給順序決定方法は、並列に配置されてそれぞれに供給された基板を順次搬送する第１および第２搬送部と、第１搬送部が搬送してきた基板に対して処理を行う第１機能部と、第２搬送部が搬送してきた基板に対して処理を行う第２機能部とを備え、第１機能部および第２機能部のそれぞれが、処理対象の基板の品種に応じた処理を行うために、処理対象の基板の品種に応じた経路を移動しつつ基板に処理を実行するとともに、相互の干渉を回避するために第１機能部と第２機能部の同時進入が禁止された排他領域に、第１および第２機能部のうち一方が進入している間は他方が排他領域から退避する基板処理システムに対して、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を決定する基板供給順序決定方法であって、上記目的を達成するために、異なる品種を含む複数の基板の第１搬送部への搬送順序と、異なる品種を含む複数の基板の第２搬送部への搬送順序との組み合わせを複数生成する工程と、組み合わせが示す順序で第１および第２搬送部それぞれに基板を搬送した場合に第１あるいは第２機能部の排他領域からの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定する工程とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
また、本発明にかかるプログラムは、上記目的を達成するために、上記基板供給順序決定方法が備える各工程をコンピューターに実行させることを特徴としている。
【００１０】
また、本発明にかかる記録媒体は、上記目的を達成するために、上記プログラムを記録したことを特徴としている。
【００１１】
このように、本発明（基板処理システム、基板供給順序決定方法、プログラム、記録媒体）が適用される基板処理システムでは、基板を順次搬送する第１および第２搬送部が並列に配置されるとともに、これらの搬送部により搬送される基板へ処理を行う第１および第２機能部を有する基板処理機構が備えられている。つまり、基板処理機構は、第１搬送部により搬送されてきた基板への処理を第１機能部に実行させるとともに、第２搬送部により搬送されてきた基板への処理を第２機能部に実行させて、各機能部による基板への処理を実行する。なお、第１機能部および第２機能部のそれぞれは、処理対象の基板の品種に応じた処理を行うために、処理対象の基板の品種に応じた経路を移動しつつ基板への処理を実行する。したがって、状況によっては、第１機能部と第２機能部の干渉を回避する必要が発生する。そこで、相互の干渉を回避するために第１機能部と第２機能部の同時進入が禁止された排他領域に、第１および第２機能部のうち一方が進入している間は他方が排他領域から退避する。こうして、第１機能部と第２機能部の干渉の回避が図られている。ただし、このような機能部の退避動作が多発すると、上述のとおりスループットの低下が引き起こされるおそれがある。
【００１２】
そこで、本発明は、機能部の退避動作の発生を抑えるべく、第１および第２搬送部への基板の搬送順序を次のようにして適切化している。まず、異なる品種を含む複数の基板の第１搬送部への搬送順序と、異なる品種を含む複数の基板の第２搬送部への搬送順序との組み合わせが複数生成される。つまり、第１および第２搬送部への基板の搬送順序の候補として、これら複数の組み合わせが生成される。続いて、組み合わせが示す順序で第１および第２搬送部それぞれに基板を搬送した場合に、第１あるいは第２機能部の排他領域からの退避動作が発生するか否かが判断される。そして、こうして退避動作の発生の有無を判断した結果に基づいて、複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序が選定される。このように、本発明は、候補としての複数の組み合わせを生成するとともに、機能部の排他領域からの退避動作が発生するか否かをこの組み合わせについて判断する。そして、この判断結果に基づいて、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序が選定され、これによって各搬送部への基板の搬送順序が適切化される。したがって、機能部の退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。
【００１３】
ここで、選定部は、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが複数の組み合わせの中にある場合は、退避動作が発生しないと判断される組み合わせを、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。これによって、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より効果的に実現可能となる。
【００１４】
また、選定部は、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが複数の組み合わせの中に無い場合は、第１および第２機能部が処理を行うにあたって退避動作が発生すると判断される基板の品種のペアの数を各組み合わせについて求めた結果に基づいて、複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定するように構成しても良い。つまり、第１および第２機能部が処理を行うにあたって退避動作が発生する基板の品種のペアの数は、機能部の退避動作の発生回数と相関がある。したがって、このペアの数を求めた結果に基づいて、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定することで、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが無い場合であっても、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることができる。
【００１５】
この際、選定部は、ペアの数を求めた各組み合わせのうち、ペアの数が最小となる組み合わせを、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。これによって、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より効果的に実現可能となる。
【００１６】
また、選定部は、ペアの数が最小となる組み合わせが複数ある場合は、ペアを形成する基板と排他領域との重複範囲のサイズに基づいて、ペアの数が最小となる組み合わせから、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序を選定するように構成しても良い。
【００１７】
また、選定部は、第１搬送部と第２搬送部が並ぶ方向における重複範囲の幅をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせを、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。あるいは、選定部は、重複範囲の面積をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせを、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。これによって、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より適切に実現可能となる。
【００１８】
また、選定部は、基板の排他領域における部位に対して第１または第２機能部により処理が実行される回数が最小となる組み合わせを、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。これによって、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より適切に実現可能となる。
【００１９】
また、選定部は、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが複数の組み合わせの中に無い場合は、第１および第２機能部それぞれが排他領域から退避している時間の合計の予測値を各組み合わせについて求め、予測値が最小となる組み合わせを、複数の組み合わせの中から、第１および第２搬送部に基板を搬送する順序として選定するように構成しても良い。これによって、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが無い場合であっても、機能部の退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることができる。
【００２０】
また、選定部が選定した組み合わせを表示する表示部をさらに備えるように構成しても良い。このような表示部を備えることで、作業者は選定された組み合わせを確認して、段取り作業を適切に実行することができる。
【００２１】
なお、基板処理機構の数は１つに限られない。したがって、複数の基板処理機構が第１および第２搬送部に沿って配置されるように構成しても良い。
【００２２】
また、基板に処理を行う第１および第２機能部の具体的な構成としては、種々のものが考えらる。そこで、例えば、第１および第２機能部のそれぞれは、基板への処理として基板に部品を実装する実装ヘッドを有するように構成しても良い。この際、第１および第２機能部のそれぞれは、基板への処理として基板を撮像するカメラを有するように構成しても良い。
【発明の効果】
【００２３】
機能部の退避動作の発生を抑制し、スループットの向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明を適用可能な基板処理システムの電気的構成を模式的に示すブロック図である。
【図２】本発明を適用可能な基板処理システムの機械的構成を模式的に示す平面図である。
【図３】実装機の概略構成を模式的に示す平面図である。
【図４】基板供給順序の決定フローを示すフローチャートである。
【図５】図４の基板供給順序の決定フローのサブルーチンを示すフローチャートである。
【図６】図４および図５のフローチャートで参照される情報を表として示す図である。
【図７】各基板搬送系への基板搬送順序の組み合わせを説明する図であり、図４のステップＳ１４で求められる複数の組み合わせのうちの１つを例示したものである。
【図８】ヘッドユニットの退避動作を説明するために、実装機の構成を部分的に示した平面図である。
【図９】ヘッドユニットの退避動作の発生の有無を基板品種のペア毎に判断した結果の一例を表として示す図である。
【図１０】図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローの変形例を示すフローチャートである。
【図１１】排他領域と基板との重複度合いに基づいて基板供給順序を決定するにあたって参照される情報を表として示した図である。
【図１２】図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローの別の変形例を示すフローチャートである。
【図１３】排他領域での処理回数に基づいて基板供給順序を決定するにあたって参照される情報を表として示した図である。
【図１４】基板供給順序の決定フローの変形例を示すフローチャートである。
【図１５】ヘッドユニットの退避動作が発生する時間を予測する動作の説明図である。
【図１６】ヘッドユニットの退避動作が発生する時間を予測する動作の変形例の説明図である。
【図１７】排他領域の設定態様の変形例を説明するために、実装機の構成を部分的に示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
第１実施形態
図１は、本発明を適用可能な基板処理システムの電気的構成を模式的に示すブロック図である。図２は、本発明を適用可能な基板処理システムの機械的構成を模式的に示す平面図である。図２および後述する図面では、鉛直方向をＺ軸とするＸＹＺ直交座標軸が適宜示される。また、以下では、各座標軸の矢印方向を正方向と適宜称するとともに、各座標軸の矢印と逆方向を負方向と適宜称する。
【００２６】
この基板処理システム１は、基板搬送方向であるＸ軸方向（図２）に直列に並ぶ印刷機１００、２台の実装機２００およびリフロー炉３００を、ホストコンピューター４００（図１）により統括的に制御する概略構成を備える。ホストコンピューター４００は、演算処理を司るＣＰＵ(Central Processing Unit)４０１の他、各種情報を記憶するメモリー４０２を備える。また、ホストコンピューター４００は、ＣＤ(Compact Disc)、ＤＶＤ(Digital Versatile Disc)、ＵＳＢ(Universal Serial Bus)メモリー等の記録媒体４１０にアクセスして、この記録媒体４１０からプログラム４２０を読み出すドライバー（図示省略）を備える。そして、ホストコンピューター４００は、こうして読み出したプログラム４２０に従って、各基板処理装置１００、２００、３００の各制御部１１０、２１０、３１０に適宜指令を出す。これに対して、各制御部１１０、２１０、３１０は、この指令に従って、対応する基板処理装置１００、２００、３００の各部の動作を制御して、所定の処理を実行する。また、ホストコンピューター４００は、作業者に対して情報を適宜表示するディスプレイ４３０の他、キーボードやマウス等の入力機器４４０を具備している。
【００２７】
図２に示すように、基板処理システム１は、各基板処理装置１００、２００、３００に対して基板Ｓを順次搬送する２つの基板搬送系Ｃb、Ｃfを並列に配置した構成を具備している。詳述すると、基板処理装置１００、２００、３００それぞれは、一対のコンベア２から成るレーン４f、４bを２本並列に配置したデュアルレーン構造を備えている。これら２本のレーン４f、４bそれぞれは、Ｘ軸負方向の装置外部から受け取った基板ＳをＸ軸正方向に搬送して装置内の処理位置にまで移動させた後、当該処理位置で処理を受けた基板ＳをＸ軸正方向に搬送して装置外部へと搬出する。また、基板処理装置１００、２００、３００間での基板Ｓの受け渡しを行うために、基板処理装置１００、２００、３００間にも、２本のレーン４f、４bが並列配置されている。これら２本のレーン４f、４bそれぞれは、Ｘ軸正方向の上流側装置のレーン４f、４bから受け取った基板を、Ｘ軸正方向の下流側装置のレーン４f、４bへ受け渡すものである。こうして、Ｘ軸方向に直線状に並ぶ複数のレーン４fにより基板搬送系Ｃfが構成されるとともに、Ｘ軸方向に直線状に並ぶ複数のレーン４bにより基板搬送系Ｃbが構成されている。
【００２８】
このように、基板処理システム１では、２つの基板搬送系Ｃf、Ｃbが並列に配置されて、Ｙ軸方向に並んでいる。これら基板搬送系Ｃf、Ｃbのそれぞれに対しては、例えば特開２００７−０８８０２３号公報等に記載の基板供給機が複数の基板Ｓを順次供給し、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれは順次供給される基板Ｓを搬送する。そして、基板搬送系Ｃf、Ｃbに沿って並ぶ印刷機１００、２台の実装機２００およびリフロー炉３００それぞれが、各基板搬送系Ｃf、Ｃbにより順次搬送される基板Ｓに対して所定の処理を実行する。
【００２９】
具体的には、印刷機１００は、例えば特開２０１１−１５１２２号公報に記載されているような構成を具備しており、各レーン４f、４bが所定の処理位置に搬送してきた基板Ｓに対して、半田ペーストを印刷するものである。また、実装機２００は後述するように、各レーン４f、４bが所定の処理位置に搬送してきた印刷済みの基板Ｓに対して、部品を実装するものである。また、リフロー炉３００は、各レーン４f、４bが所定の処理位置に搬送してきた部品実装済みの基板Ｓに対して、リフローを行うものである。
【００３０】
続いて、実装機２００の構成について詳述する。図３は、実装機の概略構成を模式的に示す平面図である。同図に示すように、実装機２００では、４本のコンベア２が互いに平行な状態でＹ軸方向に並んでいる。そして、Ｙ軸正方向側の２本のコンベア２がレーン４bを構成するとともに、Ｙ軸負方向側の２本のコンベア２がレーン４fを構成する。これら４本のコンベア２のうち、両外側の２つのコンベア２は固定された固定コンベアである一方、真ん中の２つのコンベア２はＹ軸方向に移動自在に構成された可動コンベアである。したがって、可動コンベア２をＹ軸方向に適宜移動させることで、レーン４f、４bを構成する２本のコンベア２のＹ軸方向への間隔を調整することができる。つまり、レーン４f、４bのそれぞれは、基板ＳのＹ軸方向への幅に応じて間隔が調整された２本のコンベア２によって、基板ＳのＹ軸方向の両端部を支持することができる。そして、これらレーン４f、４bそれぞれは、装置外部から受け取った基板Ｓを所定の処理位置Ｐf、Ｐbにまで搬送するとともに、当該処理位置Ｐf、Ｐbで後述のヘッドユニット５f、５bにより部品実装を受けた基板Ｓを装置外部へと搬出する。なお、図３に示すように、基板Ｓが部品実装を受ける各処理位置Ｐf、Ｐbは、Ｙ軸方向に互いに隣接している。
【００３１】
これらレーン４f、４bのＹ軸方向の両側それぞれには、部品供給部６が２つずつ配置されている。各部品供給部６には、複数のテープフィーダー６１が装着されている。テープフィーダー６１のそれぞれでは、電子部品を一定ピッチで収納・保持したテープを巻き回したリール（図示省略）が取り付けられており、各テープフィーダー６１による電子部品の供給が可能となっている。その結果、後述するヘッドユニット５f、５bによる電子部品のピックアップが可能となっている。
【００３２】
実装機２００では、２つのレーン４f、４bに対応して２つのヘッドユニット５f、５bが設けられている。各ヘッドユニット５f、５bは、図示を省略する移動機構によってＸＹ平面内を移動自在であるとともに、Ｘ軸方向に並ぶ３本の実装ヘッド５１を保持している。この実装ヘッド５１は、部品を吸着する吸着ノズル（図示省略）をその下端に取り付けたものである。そして、ヘッドユニット５f、５bは、吸着ノズルによってテープフィーダー６１から部品をピックアップすると、処理位置Ｐf、Ｐbにある基板Ｓの上方にまで移動して、当該部品を基板Ｓに実装する。具体的には、ヘッドユニット５fは、図３下側のテープフィーダー６１からピックアップした部品をレーン４fが処理位置Ｐfに搬送してきた基板Ｓに実装するとともに、ヘッドユニット５bは、図３下側のテープフィーダー６１からピックアップした部品をレーン４bが処理位置Ｐbに搬送してきた基板Ｓに実装する。
【００３３】
また、ヘッドユニット５f、５bそれぞれには、カメラ５２が取り付けられている。このカメラ５２は、基板Ｓ上のバッドマークＭbやフィデューシャルマークＭfを撮像するためのものである。つまり、基板Ｓが処理位置Ｐf、Ｐbに搬送されてくると、ヘッドユニット５f、５bのそれぞれは部品実装に先立って、部品実装対象となる基板Ｓの上方へ移動して、当該基板Ｓの各マークＭb、Ｍfの上方にカメラ５２を位置させる。そして、この状態で、カメラ５２が各マークＭb、Ｍfを撮像する。なお、各マークＭb、Ｍfの撮像結果は、実装機２００が備える制御部２１０（図１）によって処理される。具体的には、この制御部２１０は、バッドマークＭbの撮像結果に基づいて基板Ｓの良否を判定して、当該基板への部品実装を実行するか否かを判断するとともに、フィデューシャルマークＭfの撮像結果に基づいてヘッドユニット５f、５bと基板Ｓとの相対位置関係を割り出し、部品実装時におけるヘッドユニット５f、５bの位置を制御する。
【００３４】
ちなみに、上述の部品実装処理やマーク撮像処理に際しては、各基板Ｓはそれぞれの処理位置Ｐf、Ｐbに、図示を省略する固定手段によって固定されている。つまり、処理位置Ｐf、Ｐbに搬送されてきた各基板Ｓは、固定手段によって位置固定された状態で、部品実装処理やマーク撮像処理を受ける。そして、これらの処理が完了すると、基板Ｓは位置固定が解かれて、処理位置Ｐf、Ｐbから装置外部に向けて搬送される。
【００３５】
このように、実装機２００では、２つのヘッドユニット５f、５bそれぞれが、Ｙ軸方向に隣接して並ぶ基板Ｓに対して、マークＭb、Ｍfの撮像や部品実装等の一連の処理を並行して行う。ただし、２つのヘッドユニット５f、５bが基板Ｓへの一連の処理を並行して行う構成では、ヘッドユニット５f、５bが接近して、相互に干渉してしまうおそれがある。そこで、実装機２００の制御部２１０は、ヘッドユニット５f、５bが相互干渉する可能性のある領域に排他領域を設定し、当該排他領域に２つのヘッドユニット５f、５bが同時進入することを禁止している。つまり、制御部２１０は、ヘッドユニット５f、５bのうち一方が排他領域に進入している間は他方を排他領域から退避させることで、ヘッドユニット５f、５bの干渉を回避している。
【００３６】
しかしながら、このようなヘッドユニット５f、５ｂの退避動作は、スループットの低下の要因となる。しかも、基板搬送系Ｃf、Ｃbに供給される基板Ｓの品種は一品種とは限らず、複数品種の基板Ｓが基板搬送系Ｃf、Ｃbに供給されうる。このような場合、基板搬送系Ｃf、Ｃbが搬送する基板Ｓの品種に応じて、ヘッドユニット５f、５bの処理内容が異なり、ヘッドユニット５f、５bの移動経路も変わる。したがって、ヘッドユニット５f、５bが退避動作を行う必要があるか否かは、各ヘッドユニット５f、５bが処理を行う基板Ｓそれぞれの品種に影響されることとなる。よって、異なる品種を含む複数の基板Ｓを各基板搬送系Ｃf、Ｃbに供給する場合、各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの供給順序が不適切であると、各ヘッドユニット５f、５bの退避動作が多発して、スループットが低下するおそれがあった。そこで、この実施形態では、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを供給する順序を適切化している。
【００３７】
図４は、基板供給順序の決定フローを示すフローチャートである。図５は、図４の基板供給順序の決定フローのサブルーチンを示すフローチャートである。また、図６は、図４および図５のフローチャートで参照される情報を表として示す図である。図４および図５に示すフローチャートは記録媒体４１０にプログラム４２０として記録されており、ホストコンピューター４００が記録媒体４１０からプログラム４２０を読み出して図４、図５に示すフローチャートを実行する。以下では、７品種Ａ〜Ｇ（図６）の基板Ｓを基板処理システム１で生産する場合を例示して説明する。
【００３８】
基板供給順序決定フローが開始されると、ステップＳ１０で、各基板処理装置１００、２００、３００の制約に関する情報が取得される。この情報は、各基板処理装置１００、２００、３００が処理可能な基板Ｓの品種を示す情報であり、基板処理装置１００、２００、３００の制御部１１０、２１０、３１０に記憶されている。そこで、ホストコンピューター４００は、この情報を各制御部１１０、２１０、３１０から取得する。また、ステップＳ１１では、このように取得された情報に基づいて、処理を実行可能な基板搬送系Ｃf、Ｃbを基板品種Ａ〜Ｇ毎に判断する。その結果、図６の表に示す例では、品種Ｄの基板Ｓは、基板搬送系Ｃfでの生産が不可であり、基板搬送系Ｃbでのみ生産が可能であると判断される。また、その他の品種の基板Ｓは、基板搬送系Ｃf、Ｃbのいずれでも生産可能と判断されている。
【００３９】
続くステップＳ１２では、基板品種Ａ〜Ｇ毎の生産枚数、各基板品種Ａ〜Ｇ毎のサイクルタイム、および段取り時間に関する情報が取得される。これらの情報は、作業者によって入力機器４４０を介してホストコンピューター４００に予め入力されてメモリー４０２に記憶されており、ステップＳ１２において、ホストコンピューター４００がメモリー４０２からこれらの情報を読み出す。ちなみに、サイクルタイムとは、１枚の基板Ｓを基板処理システム１によって生産するのに要する予想時間である。図６の表に示す例では、基板品種Ａ〜Ｇの基板Ｓを、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれで生産した場合のサイクルタイムが記載されている。また、段取り時間とは、基板品種の変更のために作業者が実行する、印刷機１００のマスクの交換や、実装機２００の部品供給部６の部品交換に要する予想時間である。図６の表に示す例では、段取り時間は一律９００[秒]に設定されている。この際、複数の基板品種に対応する部品を予め部品供給部６にセットしておけば、基板品種が変わる度に部品供給部６に部品をセットし直す必要が無くなり、実装機２００の部品供給部６の部品交換に要する時間を短縮あるいは省略することができる。
【００４０】
次のステップＳ１３では、ホストコンピューター４００は、トータル予想生産時間が各基板搬送系Ｃf、Ｃbで平準化するように、各基板搬送系Ｃf、Ｃbで生産する基板品種を割り当てる。ここで、トータル予想生産時間は、各基板搬送系Ｃf、Ｃbがそれぞれに割り当てられた基板品種の基板Ｓを全て生産し終えるのに要する時間である。図６の表に示す例を用いて、ステップＳ１３での動作を具体的に説明すると次のとおりである。
【００４１】
つまり、基板Ｓのサイクルタイムに当該基板Ｓの生産枚数を乗じた値が基板品種Ａ〜Ｇ毎に基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれについて求められて、基板品種毎の予想生産時間としてメモリー４０２に記憶される。そして、このメモリー４０２に記憶された値に基づいて、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれについて、割り当てられた各基板品種の予想生産時間の合計と段取り時間の合計とを合算したトータル予想生産時間が算出される。詳しくは、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに割り当てる基板品種を変えながら、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれでのトータル予想生産時間が算出されて、基板搬送系Ｃf、Ｃbの間でトータル予想生産時間の差が最小となる基板品種の割り当てが求められる。
【００４２】
こうして、ステップＳ１３で、基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれへの基板品種の割り当てが決まると、この割り当てられた品種の基板Ｓを基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれへ供給する順番を決定するために、ステップＳ１４〜Ｓ１９が実行される。以下では、ステップＳ１３において、基板搬送系Ｃfに基板品種Ｂ、Ｃ、Ｅ、Ｇが割り当てられるとともに、基板搬送系Ｃbに基板品種Ａ、Ｄ、Ｆが割り当てられたとして、説明を行う。
【００４３】
ステップＳ１４では、基板搬送系Ｃfへの基板搬送順序と基板搬送系Ｃbへの基板搬送順序の複数（ｎ個）の組み合わせＣ(1)、Ｃ(2)、…、Ｃ(n)が生成される。これについて図７を用いて具体的に説明すると次のとおりである。ここで、図７は、各基板搬送系への基板搬送順序の組み合わせを説明する図であり、図４のステップＳ１４で求められる複数の組み合わせのうちの１つを例示したものである。具体的には、図７では、基板搬送系Ｃfへ基板品種Ｅ、Ｂ、Ｃ、Ｇの順で基板Ｓを搬送するとともに、基板搬送系Ｃbへ基板品種Ａ、Ｄ、Ｆの順で基板Ｓを搬送する組み合わせが例示されており、また、基板品種の切換時に行われる段取り作業も加味して示されている。ステップＳ１４では、図７に示すような基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれへ基板Ｓを供給する順序を、同じ基板搬送系に割り当てられた異なる基板品種の間で相互に入れ換えて（例えば、基板搬送系Ｃfに割り当てられた基板品種Ｅ、Ｂの搬送順序を入れ換える等して）、複数の組み合わせが形成される。そして、ステップＳ１４では、こうして形成される全ての組み合わせＣ(i)が求められる。ここで「i」は１〜ｎの正の整数とする。
【００４４】
そして、ステップＳ１５において、「i」に「１」が代入された後に、ステップＳ１６に進む。このステップＳ１６では、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生する基板品種のペアの数が求められる。具体的には、ステップＳ１６では、ヘッドユニット５f、５bが一連の処理（マーク認識処理、部品実装処理）を並行して基板Ｓに行うと、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生するか否かが、基板品種のペア毎に判断される。かかる動作について、図８を参照しつつ説明する。ここで、図８は、ヘッドユニットの退避動作を説明するために、実装機の構成を部分的に示した平面図である。
【００４５】
ステップＳ１６では、まず、各ヘッドユニット５f、５bが相手のヘッドユニット５b、５f側に最も接近するラインＶ1、Ｖ2が求められる。詳述すると、基板Ｓへの一連の処理を実行する間にＹ軸正方向に最も寄ったヘッドユニット５fのＹ軸正方向側面５３fを通ってＹ軸方向に垂直なラインＶ1が求められる。また、基板Ｓへの一連の処理を実行する間にＹ軸負方向に最も寄ったヘッドユニット５bのＹ軸負方向側面５３bを通ってＹ軸方向に垂直なラインＶ2が求められる。さらに、これらラインＶ1、Ｖ2からＹ軸正・負方向にそれぞれマージン距離ｍｇ1、ｍｇ2だけ離れてＹ軸方向に垂直なラインＵ1、Ｕ2が求められる。つまり、このラインＵ1、Ｕ2は、ヘッドユニット５f、５bの移動範囲にマージンｍｇ1、ｍｇ2を加味した範囲（マージン付き移動範囲）の境界を示すものである。
【００４６】
そして、ラインＵ1がラインＵ2よりもヘッドユニット５b側にある場合（換言すれば、ラインＵ2がラインＵ1よりもヘッドユニット５f側にある場合）には、ヘッドユニット５f、５bのマージン付き移動範囲が互いに重複して、ヘッドユニット５f、５bの干渉が発生するおそれがある。したがって、この場合は、マージン付き移動範囲が互いに重複する範囲、すなわちラインＵ1、Ｕ2の間の範囲に対するヘッドユニット５f、５bの同時進入を禁止する必要がある。そこで、このラインＵ1、Ｕ2の間が排他領域Ｒeとして設定されて、ヘッドユニット５f、５bが排他領域Ｒeから退避する退避動作が発生すると判断される。一方、ラインＵ1がラインＵ2よりもヘッドユニット５f側にある場合（換言すれば、ラインＵ2がラインＵ1よりもヘッドユニット５b側にある場合）には、ヘッドユニット５f、５bのマージン付き移動範囲は互いに重複しないため、ヘッドユニット５f、５bが排他領域Ｒeから退避する退避動作は発生しないと判断される。
【００４７】
そして、上述のような退避動作の発生の有無は、ヘッドユニット５f、５bから一連の処理が並行して行われる基板品種のペア毎に判断される。例えば、図７で示した組み合わせの示す順序で基板Ｓを搬送した場合には、図９の表に示すような判断結果が得られる。ここで、図９は、ヘッドユニットの退避動作の発生の有無を基板品種のペア毎に判断した結果の一例を表として示す図である。図７で示した組み合わせの示す順序で基板Ｓを搬送した場合に、一連の処理が並行して行われる基板品種のペアは、品種Ｅと品種Ａ（ペア１）、品種Ｂと品種Ｄ（ペア２）、品種Ｃと品種Ｄ（ペア３）、品種Ｆと品種Ｇ（ペア４）の４つある。図９では、これら４つのペア１〜４それぞれについて、ヘッドユニット５f、５bによる退避動作の発生の有無を求めたところ、２つのペア（ペア１、ペア４）について退避動作が発生すると判断された結果が示されている。
【００４８】
ちなみに、この実施形態では、２つの実装機２００が存在するが、注目するペアを構成する基板Ｓに処理を行った場合にいずれの実装機２００においてもヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生しないと判断される場合に、当該ペアについては退避動作が発生しないと判断される。したがって、いずれか１つの実装機２００においてヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生すると判断される場合には、当該ペアについては退避動作が発生すると判断される。
【００４９】
このように、ステップＳ１６では、組み合わせＣ(i)の示す順序で基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bから一連の処理が並行して行われる基板品種のペア毎に、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生の有無が判断される。こうして、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生する基板品種のペア数が求められる。続くステップＳ１７では、ステップＳ１６で求めたペア数が「０」か否かが判断され、「０」の場合（ステップＳ１７で「ＹＥＳ」の場合）は、ステップＳ２１に進むとともに、「０」で無い場合（ステップＳ１７で「ＮＯ」の場合）は、ステップＳ１８に進む。
【００５０】
ステップＳ１８では、ステップＳ１６でペア数を求めた組み合わせＣ(i)と、この組み合わせＣ(i)のペア数とが対応付けられて、メモリー４０２に記憶される。続く、ステップＳ１９では、変数「i」が「１」だけインクリメントされて、ステップＳ２０に進む。そして、ステップＳ２０では、変数「i」が組み合わせＣ(i)の総数「n」より大きいか否かが判断され、大きい場合（ステップＳ２０で「ＹＥＳ」の場合）はステップＳ２１に進む。一方、大きく無い場合（ステップＳ２０で「ＮＯ」の場合）は、ステップＳ１６に進んで、上述と同様にして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生する基板品種のペアの数が求められる。
【００５１】
こうして、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が見つかるまで、ステップＳ１６〜Ｓ２０のループを繰り返し実行して、見つかった場合はステップＳ２１に進む。また、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が見つからない場合は、全ての組み合わせＣ(1)、Ｃ(2)、…、Ｃ(n)についてペア数を求めた後にステップＳ２１に進む。
【００５２】
ステップＳ２１では、ステップＳ１６〜Ｓ２０で求めた結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給する順序を選定するために、図５のサブルーチンが実行される。続いて、このサブルーチンについて説明する。ステップＳ３１では、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在したか否かが判断される。そして、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在する場合（ステップＳ３１で「ＹＥＳ」の場合）は、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ３２）、ステップＳ３４へと進む。一方、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在しない場合（ステップＳ３１で「ＮＯ」の場合）は、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ３３）、ステップＳ３４へと進む。
【００５３】
そして、ステップＳ３４では、ステップＳ３２あるいはステップＳ３３で決定された基板供給順序がホストコンピューター４００のディスプレイ４３０に表示される。したがって、作業者は、ディスプレイ４３０の表示結果に基づいて、決定された基板供給順序で基板Ｓが搬送されるように適切に段取りを行うことができる。
【００５４】
以上に説明したように、この実施形態では、基板Ｓを順次搬送する基板搬送系Ｃf、Ｃbが並列に配置されるとともに、これら基板搬送系Ｃf、Ｃbにより搬送される基板Ｓへ部品実装処理を行うヘッドユニット５f、５bが備えられている。この際、ヘッドユニット５f、５bのそれぞれは、処理対象の基板Ｓの品種に応じた処理を行うために、処理対象の基板Ｓの品種に応じた経路を移動しつつ基板Ｓへの処理を実行する。したがって、状況によっては、ヘッドユニット５f、５bの相互干渉を回避する必要が発生する。そこで、相互干渉を回避するためにヘッドユニット５f、５bの同時進入が禁止された排他領域Ｒeに、ヘッドユニット５f、５bのうち一方が進入している間は他方が排他領域Ｒeから退避する。こうして、ヘッドユニット５f、５bの干渉の回避が図られている。ただし、このようなヘッドユニット５f、５bの退避動作が多発すると、スループットの低下が引き起こされるおそれがある。
【００５５】
そこで、この実施形態では、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑えるべく、基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序を次のようにして適切化している。まず、異なる品種を含む複数の基板Ｓの基板搬送系Ｃfへの搬送順序と、異なる品種を含む複数の基板の基板搬送系Ｃbへの搬送順序との組み合わせＣ(i)が複数生成される。つまり、基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序の候補として、これら複数の組み合わせＣ(i)が生成される。続いて、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かが判断される。そして、こうして退避動作の発生の有無を判断した結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定される。このように、この実施形態では、候補としての複数の組み合わせＣ(i)を生成するとともに、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かをこの組み合わせＣ(i)について判断する。そして、この判断結果に基づいて、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定され、これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化される。したがって、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。
【００５６】
また、この実施形態では、退避動作が発生しないと判断される組み合わせＣ(i)がある場合は、退避動作が発生しないと判断される組み合わせＣ(i)が、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定される。これによって、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より効果的に実現可能となる。
【００５７】
また、この実施形態では、退避動作が発生しないと判断される組み合わせＣ(i)が無い場合は、ヘッドユニット５f、５bが処理を行うにあたって退避動作が発生すると判断される基板Ｓの品種のペアの数が各組み合わせＣ(i)について求められる。そして、こうして各組み合わせＣ(i)についてペア数を求めた結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、ヘッドユニット５f、５bに基板Ｓを搬送する順序が選定される。つまり、ヘッドユニット５f、５bが処理を行うにあたって退避動作が発生する基板Ｓの品種のペアの数は、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生回数と相関がある。したがって、このペア数を求めた結果に基づいて、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序を選定することで、退避動作が発生しないと判断される組み合わせが無い場合であっても、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることができる。
【００５８】
さらに、この実施形態では、ペア数を求めた各組み合わせＣ(i)のうち、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が、ヘッドユニット５f、５bに基板Ｓを搬送する順序として選定される。これによって、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より効果的に実現可能となっている。
【００５９】
また、この実施形態では、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給する順序として決定した組み合わせＣ(i)を表示するディスプレイ４３０を備えている。このようなディスプレイ４３０を備えることで、作業者は選定された組み合わせＣ(i)を確認して、段取り作業を適切に実行することが可能となっている。
【００６０】
ところで、図３に示したように、一対のコンベア２から成るレーン４f、４bを２つ並列に配置したデュアルレーン構造において、レーン４f、４bが隣接する部分に配置されたコンベア２を可動コンベア２とした構成では、各レーン４f、４bに搬送される基板Ｓの幅が大きいと、レーン４f、４bの可動コンベア２が近接することとなり、その結果、レーン４f、４bに搬送される基板Ｓの間隔が狭くなる。そのため、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が多発する傾向にある。一方、この実施形態では、本発明が適用されているため、デュアルレーン構造において、レーン４f、４bが隣接する部分に配置されたコンベア２を可動コンベア２とした構成にもかかわらず、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上が可能となっている。
【００６１】
第２実施形態
次に、第２実施形態について説明を行う。なお、第２実施形態が第１実施形態と異なる点は、図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローにあるので、以下では主としてこの差異部分について説明を行ない、共通部分については説明を適宜省略する。ただし、第１実施形態と共通する構成を備えることで、第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が奏されることは言うまでも無い。
【００６２】
第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、図４に示すステップＳ１６〜Ｓ２０で求めた結果に基づいて基板供給順序を決定するために、ステップＳ２１で基板供給順序が選定される。ただし、第２実施形態のステップＳ２１では、図１０に示すフローが実行される。ここで、図１０は、図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローの変形例を示すフローチャートである。なお、図１０に示すフローチャートは記録媒体４１０にプログラム４２０として記録されており、ホストコンピューター４００が記録媒体４１０からプログラム４２０を読み出して図１０に示すフローチャートを実行する。
【００６３】
図１０に示すように、ステップＳ４１では、ステップＳ１６〜Ｓ２０で求めた結果から、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在したか否かが判断される。そして、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在する場合（ステップＳ４１で「ＹＥＳ」の場合）は、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ４２）、ステップＳ４６へ進む。一方、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在しない場合（ステップＳ４１で「ＮＯ」の場合）は、ステップＳ４３に進んで、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が複数存在するか否かが判断される。
【００６４】
ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が１つのみである場合（ステップＳ４３で「ＮＯ」の場合）は、ペア数が最小となるこの組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ４４）、ステップＳ４６へ進む。一方、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が複数ある場合（ステップＳ４３で「ＹＥＳ」の場合）は、排他領域Ｒeと基板Ｓとの重複度合いに基づいて、ペア数が最小となる複数の組み合わせＣ(i)から基板供給順序を決定する（ステップＳ４５）。この動作について、図８および図１１を参照しつつ説明する。なお、図１１は、排他領域と基板との重複度合いに基づいて基板供給順序を決定するにあたって参照される情報を表として示した図である。
【００６５】
ステップＳ４５では、排他領域Ｒeと基板Ｓとの重複領域Ｒo1、Ｒo2（図８）のサイズが求められる。なお、重複領域Ｒo1、Ｒo2のサイズとは、重複領域Ｒo1、Ｒo2のＹ軸方向への幅、Ｘ軸方向への長さ、および面積を含む概念であるが、ここでは、重複領域Ｒo1、Ｒo2のサイズとして重複領域Ｒo1、Ｒo2の幅Ｌ1、Ｌ2が求められる。図１１を用いて具体的に説明すると次のとおりである。
【００６６】
図１１の例では、ペア数が最小（２個）となる組み合わせとして２つの組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)が存在する。ステップＳ４５では、一方の組み合わせＣ(k)について、ペアを構成する２品種の基板Ｓそれぞれと排他領域Ｒeとの重複領域Ｒo1、Ｒo2の幅Ｌ1、Ｌ2がペア毎に求められて、これらの幅の合算値（＝６５[mm]）が算出される。同様にして、他方の組み合わせＣ(k)についても、ペアを構成する２品種の基板Ｓと排他領域Ｒeとの重複領域Ｒo1、Ｒo2の幅Ｌ1、Ｌ2とがペア毎に求められて、合算される（ちなみに、合算値は９０[mm]となっている）。そして、こうして求まる重複幅Ｌ1、Ｌ2の合算値が最小となる組み合わせＣ(k)
が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ４５）、ステップＳ４６に進む。
【００６７】
ステップＳ４６では、ステップＳ４２、ステップＳ４４あるいはステップＳ４５で決定された基板供給順序がホストコンピューター４００のディスプレイ４３０に表示される。したがって、作業者は、ディスプレイ４３０の表示結果に基づいて、決定された基板供給順序で基板Ｓが搬送されるように適切に段取りを行うことができる。
【００６８】
以上に説明したように、第２実施形態においても、基板搬送系Ｃfへの基板Ｓの搬送順序と基板搬送系Ｃbへの基板Ｓの搬送順序との組み合わせＣ(i)が複数生成される。そして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定される。これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。
【００６９】
また、この実施形態では、ペアの数が最小となる組み合わせが複数ある場合は、ペアを形成する基板Ｓと排他領域Ｒeとの重複範囲のサイズに基づいて、ペアの数が最小となる組み合わせから、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序を選定している。
【００７０】
具体的には、ペアの数が最小となる組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)のうち、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の幅Ｌ1、Ｌ2をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせＣ(k)が、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定される。これによって、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より適切に実現可能となる。
【００７１】
ちなみに、上記実施形態では、重複範囲Ｒo1、Ｒo2のサイズとして、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の幅が求められていた。しかしながら、重複範囲Ｒo1、Ｒo2のサイズとして、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の面積を求めてもよい。具体的には、ペアの数が最小となる組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)のうち、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の面積をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせＣ(k)を、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定しても良い。これによっても、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より適切に実現可能となる。
【００７２】
第３実施形態
次に、第３実施形態について説明を行う。なお、第３実施形態が第１実施形態と異なる点は、図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローにあるので、以下では主としてこの差異部分について説明を行ない、共通部分については説明を適宜省略する。ただし、第１実施形態と共通する構成を備えることで、第３実施形態においても第１実施形態と同様の効果が奏されることは言うまでも無い。
【００７３】
第３実施形態においても、第１実施形態と同様に、図４に示すステップＳ１６〜Ｓ２０で求めた結果に基づいて基板供給順序を決定するために、ステップＳ２１で基板供給順序が選定される。ただし、第３実施形態のステップＳ２１では、図１２に示すフローが実行される。ここで、図１２は、図４のステップＳ２１の組み合わせの選定フローの別の変形例を示すフローチャートである。なお、図１２に示すフローチャートは記録媒体４１０にプログラム４２０として記録されており、ホストコンピューター４００が記録媒体４１０からプログラム４２０を読み出して図１２に示すフローチャートを実行する。
【００７４】
図１２に示すように、ステップＳ５１では、ステップＳ１６〜Ｓ２０で求めた結果から、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在したか否かが判断される。そして、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在する場合（ステップＳ５１で「ＹＥＳ」の場合）は、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ５２）、ステップＳ５６へ進む。一方、ペア数が「０」となる組み合わせＣ(i)が存在しない場合（ステップＳ５１で「ＮＯ」の場合）は、ステップＳ５３に進んで、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が複数存在するか否かが判断される。
【００７５】
ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が１つのみである場合（ステップＳ５３で「ＮＯ」の場合）は、ペア数が最小となるこの組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ５４）、ステップＳ５６へ進む。一方、ペア数が最小となる組み合わせＣ(i)が複数ある場合（ステップＳ５３で「ＹＥＳ」の場合）は、排他領域Ｒeでの処理回数に基づいて（換言すれば、基板Ｓの排他領域Ｒeにおける部位に対してヘッドユニット５f、５bが処理を行う回数に基づいて）、ペア数が最小となる複数の組み合わせＣ(i)から基板供給順序を決定する（ステップＳ５５）。この動作について、図８および図１３を参照しつつ説明する。なお、図１３は、排他領域での処理回数に基づいて基板供給順序を決定するにあたって参照される情報を表として示した図である。
【００７６】
ステップＳ５５では、ヘッドユニット５f、５bが排他領域Ｒeに進入した状態で基板Ｓに処理を行う回数が、ペア数が最小となる複数の組み合わせＣ(i)それぞれについて求められる。ここで、ヘッドユニット５f、５bが基板Ｓに行う処理には、部品実装処理以外にマークＭf、Ｍbの撮像処理が含まれる。図１３の例では、ペア数が最小（２個）となる組み合わせとして２つの組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)が存在する。したがって、ステップＳ５５では、排他領域Ｒeでの処理回数をペア毎に算出したものの合算値を、組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)それぞれについて求める（図１３の例では、組み合わせＣ(k)の合算値は３５回で、組み合わせＣlk)の合算値は５０回となっている）。そして、排他領域Ｒeでの処理回数の合算値が最小となる組み合わせＣ(k) が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定し（ステップＳ５５）、ステップＳ５６に進む。
【００７７】
ステップＳ５６では、ステップＳ５２、ステップＳ５４あるいはステップＳ５５で決定された基板供給順序がホストコンピューター４００のディスプレイ４３０に表示される。したがって、作業者は、ディスプレイ４３０の表示結果に基づいて、決定された基板供給順序で基板Ｓが搬送されるように適切に段取りを行うことができる。
【００７８】
以上に説明したように、第３実施形態においても、基板搬送系Ｃfへの基板Ｓの搬送順序と基板搬送系Ｃbへの基板Ｓの搬送順序との組み合わせＣ(i)が複数生成される。そして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定される。これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。
【００７９】
また、この実施形態では、ペアの数が最小となる組み合わせＣ(k)、Ｃ(l)のうち、排他領域Ｒeで処理が実行される回数が最小となる組み合わせＣ(k)を、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序としている。これによって、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることが、より適切に実現可能となっている。
【００８０】
第４実施形態
次に、第４実施形態について説明を行う。なお、第４実施形態が第１実施形態と異なる点は基板供給順の決定フローにあるので、以下では主としてこの差異部分について説明を行ない、共通部分については説明を適宜省略する。ただし、第１実施形態と共通する構成を備えることで、第４実施形態においても第１実施形態と同様の効果が奏されることは言うまでも無い。
【００８１】
図１４は、基板供給順序の決定フローの変形例を示すフローチャートである。なお、図１４に示すフローチャートは記録媒体４１０にプログラム４２０として記録されており、ホストコンピューター４００が記録媒体４１０からプログラム４２０を読み出して図１４に示すフローチャートを実行する。図１４のステップＳ６０〜Ｓ６５は、上述した図４のステップＳ１０〜Ｓ１５と同様であるので説明を省略する。第４実施形態では、ステップＳ６０〜Ｓ６５を実行した後に、ステップＳ６６において、組み合わせＣ(i)で基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生する時間が予測される。この動作について、図１５を用いて説明する。
【００８２】
図１５は、ヘッドユニットの退避動作が発生する時間を予測する動作の説明図である。図１５では、横軸に時間軸が示されるとともに、縦軸にヘッドユニット５f、５bのＹ軸方向への位置が示されている。ここで、ヘッドユニット５f、５bの位置とは、ヘッドユニット５f、５bのＹ軸正・負方向側の側面５３f、５３b（図８）の位置とする。
【００８３】
ステップＳ６６では、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを基板搬送系Ｃf、Ｃbに搬送した場合に、ヘッドユニット５bがＹ軸方向への移動する軌跡（図１５の一点鎖線）と、ヘッドユニット５fがＹ軸方向へ移動する軌跡（図１５の二点鎖線）とが、シミュレーションによって求められる。なお、このシミュレーションでは、ヘッドユニット５f、５bの相互干渉を考慮すること無く、ヘッドユニット５f、５bそれぞれの軌跡が独立して求められる。その上で、ヘッドユニット５f、５bそれぞれの軌跡が交差する領域がある場合は、当該領域でのヘッドユニット５f、５bの相互干渉を避けるために、排他領域Ｒeが設定されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生すると判断される。そして、この退避動作の発生時間ｔ1、ｔ2の合計値が算出される。なお、この実施形態では２つの実装機２００が存在するため、実装機２００それぞれについて退避動作の発生時間が求められて、それらの合計値がトータルの退避動作時間の予測値として求められる。また、いずれの実装機２００においても退避動作が発生しない場合は、トータルの退避動作時間の予測値は「０」と算出される。
【００８４】
そして、ステップＳ６７では、ステップＳ６６で求めた、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを搬送した場合のトータルの退避動作時間の予測値が、組み合わせＣ(i)と対応付けられてメモリー４０２に記憶される。続く、ステップＳ６８では、変数「i」が「１」だけインクリメントされて、ステップＳ６９に進む。そして、ステップＳ６９では、変数「i」が組み合わせＣ(i)の総数「n」より大きいか否かが判断され、大きい場合（ステップＳ６９で「ＹＥＳ」の場合）はステップＳ７０に進む。一方、大きく無い場合（ステップＳ６９で「ＮＯ」の場合）は、ステップＳ６６に進んで、上述と同様にして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを搬送した場合におけるトータルの退避動作時間の予測値が求められる。
【００８５】
こうして、全ての組み合わせＣ(1)、Ｃ(2)、…、Ｃ(n)についてトータルの退避動作時間の予測値を求めた後にステップＳ７０に進む。そして、ステップＳ７０では、トータルの退避動作時間が最小となる組み合わせＣ (i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給すると決定する。
【００８６】
その結果、いずれの実装機２００においても退避動作が発生しない組み合わせＣ(i)が存在する場合は、トータルの退避動作時間「ゼロ」となる当該組み合わせＣ(i)が、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給する順序に決定される。一方、いずれの実装機２００においても退避動作が発生しない組み合わせＣ(i)が存在しない場合は、トータルの退避動作時間が最短となる組み合わせＣ(i)が、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給する順序に決定される。このようにして、第４実施形態においても、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かが実質的に判断されている。そして、この判断結果に基づいて、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定されている。
【００８７】
続く、ステップＳ７１では、ステップＳ７０で決定された基板供給順序がホストコンピューター４００のディスプレイ４３０に表示される。したがって、作業者は、ディスプレイ４３０の表示結果に基づいて、決定された基板供給順序で基板Ｓが搬送されるように適切に段取りを行うことができる。
【００８８】
以上説明したように、第４実施形態においても、基板搬送系Ｃfへの基板Ｓの搬送順序と基板搬送系Ｃbへの基板Ｓの搬送順序との組み合わせＣ(i)が複数生成される。そして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定される。これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。
【００８９】
また、第４実施形態では、、退避動作が発生しないと判断される組み合わせＣ(i)が無い場合であっても、ヘッドユニット５f、５bそれぞれが排他領域Ｒeから退避する時間の合計の予測値が各組み合わせＣ(i)について求められ、この予測値が最小となる組み合わせＣ(i)が、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定される。これによって、退避動作が発生しないと判断される組み合わせＣ(i)が無い場合であっても、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制してスループットの向上を図ることができる。
【００９０】
また、第４実施形態では、ヘッドユニット５f、５bそれぞれの軌跡を求め、この結果に基づいて排他領域Ｒeを設定している。このような構成では、、図１５に示すように、排他領域Ｒeは常に設定されるわけではなく、ヘッドユニット５f、５bが干渉するおそれがある時間ｔ1、ｔ2の間のみ設定される。さらには、排他領域Ｒeの設定位置や設定範囲も動的に変化しうる。つまり、図１５に示した例では、時間ｔ1の間に設定される排他領域Ｒeと、時間ｔ2の間に設定される排他領域Ｒeとは、Ｙ軸方向における位置および範囲において異なっている。その結果、ヘッドユニット５f、５bの移動に応じて、排他領域Ｒeを設定する時間、位置、範囲を適切に変更することができ、排他領域Ｒeの設定を効率的に行うことが可能となっている。
【００９１】
第５実施形態
次に、第５実施形態について説明を行う。なお、第５実施形態は、ステップＳ６６においてヘッドユニット５f、５bの移動軌跡を求めるシミュレーションの内容が異なる以外は、第４実施形態と同一である。したがって、以下では主としてこの差異部分について説明を行ない、共通部分については説明を適宜省略する。ただし、第４実施形態と共通する構成を備えることで、第５実施形態においても第４実施形態と同様の効果が奏されることは言うまでも無い。
【００９２】
図１６は、ヘッドユニットの退避動作が発生する時間を予測する動作の変形例の説明図である。第５実施形態では、ステップＳ６６において、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板Ｓを基板搬送系Ｃf、Ｃbに搬送した場合に、ヘッドユニット５bがＹ軸方向への移動する軌跡（図１６の二点鎖線）が求められる点は、第４実施形態と同様である。ただし、第５実施形態のステップＳ６６では、ヘッドユニット５bがＹ軸方向への移動する軌跡（図１６の一点鎖線）については、所定の閾値Ｙthよりもヘッドユニット５bがＹ軸負方向側へ侵入した範囲Ｔa〜Ｔdでのみ求められる。
【００９３】
つまり、排他領域Ｒeが設定されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作が発生するには、ヘッドユニット５f、５bとが相互に近接して干渉のおそれがあることが条件となる。したがって、退避動作の発生の有無を判断するには、ヘッドユニット５bがヘッドユニット５f側に近接している範囲（ここでは、閾値ＹthよりＹ軸負方向側の範囲）におけるヘッドユニット５fの移動軌跡を調べれば足りる。そこで、第５実施形態では、当該範囲でのみヘッドユニット５fの移動軌跡を求めることとしている。そして、こうして求められたヘッドユニット５f、５bの移動軌跡に基づいて、第４実施形態と同様にして、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを供給する順序が決定される。
【００９４】
このように、第５実施形態では、ヘッドユニット５bの移動軌跡を求める範囲が限定されている。その結果、ヘッドユニット５bの移動軌跡の算出に要する時間を短縮することができるといった利点がある。
【００９５】
その他
上述したとおり、この実施形態では、基板処理システム１が本発明の「基板処理システム」に相当し、実装機２００が本発明の「基板処理装置」に相当し、プログラム４２０が本発明の「プログラム」に相当し、記録媒体４１０が本発明の「記録媒体」に相当している。また、基板搬送系Ｃf、Ｃbが本発明の「第１および第２搬送部」に相当し、ヘッドユニット５f、５bが本発明の「第１および第２機能部」に相当し、ヘッドユニット５f、５bから本発明の「基板処理機構」が構成され、ホストコンピューター４００が本発明の「選定部」に相当し、ディスプレイ４３０が本発明の「表示部」に相当し、実装ヘッド５１が本発明の「実装ヘッド」に相当し、カメラ５２が本発明の「カメラ」に相当している。
【００９６】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて、上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、実装ヘッド５１を装備したヘッドユニット５f、５bを備えた実装機２００を本発明の「基板処理装置」として備えた基板処理システム１に対して本発明を適用した場合について説明した。しかしながら、本発明の「基板処理装置」の具体的構成はこれに限られない。そこで、基板処理装置は、例えば、実装ヘッド５１に代えて、接着剤等を基板に塗布するディスペンサーをヘッドユニット５f、５bに装備したものや、基板を検査するための検査カメラをヘッドユニット５f、５bに装備したものであっても良い。または、基板処理装置は、一方のヘッドユニット５fに実装ヘッド５１を装備し、他方のヘッドユニット５bにディスペンサーあるいは検査カメラを装備するものであっても良い。
【００９７】
また、排他領域Ｒeの設定態様も、上述のものに限られず種々の変形が採用可能である。例えば、図８に示す例では、マージンｍｇ1、ｍｇ2を設けて排他領域Ｒeを設定していたが、マージンｍｇ1、ｍｇ2を設ける必要は必ずしもない。
【００９８】
あるいは、図１７に示すような態様で排他領域Ｒeを設定することもできる。ここで、図１７は、排他領域の設定態様の変形例を説明するために、実装機の構成を部分的に示した平面図である。図１７の変形例においても、ヘッドユニット５bが相手のヘッドユニット５f側に最も接近するラインＶ2が求められる点では、図８の例と同様である。ただし、図１７の変形例では、ヘッドユニット５fが相手のヘッドユニット５b側に最も接近するラインＶ1は求められず、その代わりに、ヘッドユニット５fの処理対象である基板ＳのＹ軸正方向の端部からＹ軸正方向にマージンｍｇ3だけ離れてＹ軸方向に垂直なラインＶ3が求められる。そして、ラインＶ2、Ｖ3の間の範囲が排他領域Ｒeとして設定される。
【００９９】
そして、このように設定された排他領域Ｒeに基づいて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の有無を判断して、上述と同様に、基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板搬送順序を決定することができる。これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることが可能となる。
【０１００】
また、図１７の例において、ラインＶ3の取り方は、基板Ｓの端面からでなくても良い。そこで、例えば、ヘッドユニット５fの処理対象である基板Ｓを搬送するコンベア２の端面２１からラインＶ3を取るように変形することもできる。
【０１０１】
また、上記第２実施形態では、ペア数が最小となる組み合わせのうちから、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の幅（あるいは面積）をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせを、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定している。しかしながら、ペア数が最小であるか否かに拘わらず、全組み合わせのなかから、重複範囲Ｒo1、Ｒo2の幅（あるいは面積）をペアについて求めて合算した値が最小となる組み合わせを、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定しても良い。
【０１０２】
また、上記第３実施形態では、ペア数が最小となる組み合わせのうちから、排他領域Ｒeでの処理回数が最小となる組み合わせを、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定している。しかしながら、ペア数が最小であるか否かに拘わらず、全組み合わせのなかから、排他領域Ｒeでの処理回数が最小となる組み合わせを、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序として選定しても良い。
【０１０３】
また、上記第４・第５実施形態では、ヘッドユニット５f、５bそれぞれの軌跡を求め、この結果に基づいて排他領域Ｒeを設定している。この際における排他領域Ｒeの設定態様については、上述したもの以外に種々の変形が可能である。具体的には、ヘッドユニット５f、５bそれぞれの軌跡を求めた結果から、ヘッドユニット５f、５bの間の距離を求めて、この距離が所定値未満となる時間、位置、範囲に対して排他領域Ｒeを設定するように構成しても良い。この場合にも、ヘッドユニット５f、５bの移動に応じて、排他領域Ｒeを設定する時間、位置、範囲を適切に変更することができ、排他領域Ｒeの設定を効率的に行うことが可能となる。
【０１０４】
また、上記実施形態では、同じ品種の基板Ｓをひとかたまりにして基板搬送系Ｃf、Ｃbに供給していた。しかしながら、同じ品種の基板Ｓを他品種の基板Ｓの前後に例えば半分ずつに分けて、基板搬送系Ｃf、Ｃbに供給する構成に対しても本発明を適用可能である。
【０１０５】
また、基板処理システム１や実装機２００等の具体的構成についても種々の変形が可能である。したがって、例を挙げれば、実装機２００の個数や、実装機２００を構成する部材の個数等も変更可能である。さらには、基板品種の数や、基板Ｓの形状やサイズ、基板ＳにおけるフィデューシャルマークＭfやバッドマークＭbの位置や個数ついても、種々の変形が採用可能である。
【０１０６】
また、上記実施形態では、レーン４f、４bの幅Ｗ4を可変にするために、各レーン４f、４bが隣接する部分に配置されたコンベア２（Ｙ軸方向に並ぶ４本のコンベア２のうち真ん中の２本のコンベア２）を可動に構成した。しかしながら、レーン４f、４bの幅Ｗ4を可変ための構成はこれに限られず、種々の変形が可能である。そこで、例えば、レーン４f、４bそれぞれのＹ軸正方向側（あるいはＹ軸負方向側）のコンベア２を可動に構成したり、あるいはレーン４f、４bを構成する４本のコンベア２を全て可動に構成したりしても良い。
【０１０７】
また、上記実施形態では、基板搬送系Ｃf、Ｃbはいずれも同じ方向（Ｘ軸正方向）に向けて基板Ｓを搬送していた。しかしながら、例えば、基板搬送系Ｃf、Ｃbが互いに逆方向（一方がＸ軸正方向で、他方がＸ軸負方向）に基板Ｓを搬送する基板処理システム１に対しても本発明を適用可能である。
【符号の説明】
【０１０８】
１…基板処理システム
１００…印刷機
２００…実装機
３００…リフロー炉
４００…ホストコンピューター
４３０…ディスプレイ
４１０…記録媒体
４２０…プログラム
Ｃf…基板搬送系
Ｃb…基板搬送系
４f…レーン
４b…レーン
２…コンベア
５f…ヘッドユニット
５b…ヘッドユニット
５１…実装ヘッド
５２…カメラ
Ｓ…基板
【図１】
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【図２】
0005690699.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005690699.tif 000005
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
0005690699.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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