(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ランプと、
前記放電ランプから放射される光を反射する楕円ミラーと、
前記放電ランプと前記楕円ミラーとを収容し、前面パネルに前記光を出射する出射口が設けられる箱形の筐体と、
前記光の光量を制御する絞り機構と、前記絞り機構を通過する前記光の出射と遮断とを制御するシャッタ機構と、前記シャッタ機構と前記絞り機構とを支持する略箱形のケース部材と、を有する光量調整ユニットと、
を備え、
前記筐体の一側面パネルは、前記光量調整ユニットを挿入可能な取付開口部を有し、
前記ケース部材は、前記光量調整ユニットの挿入方向後端に、前記取付開口部を覆蓋可能な蓋体を有し、
前記光量調整ユニットは、前記取付開口部から前記筐体内に挿入され、前記蓋体が前記取付開口部を覆うように、前記筐体の一側面パネルに取付けられる
ことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記ケース部材は、
前記筐体の一側面パネルに取付けられたときに、前記楕円ミラー側に配置され、前記光を通過させる第１開口部を有する第１の板状部材と、
前記筐体の側面パネルに取付けられたときに、前記第１の板状部材と対向するよう前記第１の板状部材と前記前面パネルとの間に配置され、前記光を通過させる第２開口部を有する第２の板状部材と、
前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間の空間を、前記第１開口部と前記第２開口部とを連通させて前記光を通過させる光透過領域と、前記光を遮光する遮光領域とに仕切る仕切板と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記仕切板は、前記第１開口部及び前記第２開口部の周囲を樋状に包囲し、
前記光透過領域は、前記仕切板によって包囲された空間内に形成されることを特徴とする請求項２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記仕切板によって包囲された空間は、前記光の光路と直交する方向に開放されていることを特徴とする請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記絞り機構は、前記光の光路上に配置され、前記光の透過量を変更する調光素子と、前記調光素子を駆動させる第１のアクチュエータと、を備え、
前記第１のアクチュエータは前記遮光領域に配置され、前記調光素子は前記第２の板状部材の外側に配置される
ことを特徴とする請求項２から請求項４のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項６】
前記調光素子は、前記光の光路を横切るように配置される円盤状の回転板と、前記回転板の周方向に沿って開口面積が連続して変化するように形成された網状開口部と、を備えることを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
【請求項７】
前記調光素子は、前記光の光路を横切るように配置される円盤状の回転板と、前記回転板の周方向に沿って前記光の透過率が連続して変化するように形成された光学フィルタ部と、を備えることを特徴とする請求項５に記載の光源装置。
【請求項８】
前記第１のアクチュエータは、前記回転板を回転させるモータであることを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の光源装置。
【請求項９】
前記シャッタ機構は、前記光の光路上に配置され、前記光を遮光するシャッタ板と、前記シャッタ板を前記光の光路上に進退駆動する第２のアクチュエータと、を備え、
前記第２のアクチュエータは前記遮光領域に配置され、前記シャッタ板は前記第２の板状部材の外側に配置される
ことを特徴とする請求項２から請求項８のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１０】
前記調光素子は、前記第２の板状部材と前記シャッタ板との間に配置されることを特徴とする請求項５から請求項８のいずれか一項を引用する請求項９に記載の光源装置。
【請求項１１】
前記光源装置は、前記筐体の外部から空気を吸気する吸気口と、前記吸気口から吸気した空気を前記筐体の外部へ排気する排気口とを有し、
前記遮光領域は、前記吸気口から吸気した空気を前記排気口に向かって流す流路を形成している
ことを特徴とする請求項２から請求項１０のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１２】
前記光量調整ユニットは、前記蓋体と前記ケース部材との間に中空部を形成するように、前記蓋体と前記ケース部材とを連結する連結部材を備え、
前記中空部は、前記遮光領域と連通し、前記光量調整ユニットが前記筐体の一側面パネルに取付けられたときに、前記中空部及び前記遮光領域が前記吸気口から吸気した空気を前記排気口に向かって流す流路を形成することを特徴とする請求項１１に記載の光源装置。
【請求項１３】
前記ケース部材は、前記蓋体と対向する側の面に、前記シャッタ機構及び前記絞り機構に電気的に接続された第１の接続機構を有し、
前記筐体は、該筐体の内部に前記第１の接続機構と嵌合する第２の接続機構を備え、
前記第１の接続機構又は前記第２の接続機構の少なくともいずれか一方が、前記ケース部材又は前記筐体に対し、所定の遊びを有して固定される
ことを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項１４】
前記第１の接続機構又は前記第２の接続機構の少なくともいずれか一方が、いずれか他方を案内して相互の嵌合を補助する案内機構を備えることを特徴とする請求項１３に記載の光源装置。
【請求項１５】
前記筐体は、前記光量調整ユニットが前記筐体内に挿入されるときに、前記ケース部材の挿入を案内するガイドレールを有する
ことを特徴とする請求項１から請求項１４のいずれか一項に記載の光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電ランプを備えた光源装置に関し、特に放電ランプから照射される光の光路上に絞り及びシャッタを備えた光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、光学部品の接着、塗料や接着剤の硬化、半導体製造のウエハ周辺露光等を行うために、放電ランプを光源として備えた光源装置が使用されている。この種の放電ランプは、例えば、キセノンランプではＸｅガス、超高圧水銀ランプでは水銀、メタルハライドランプでは水銀と金属ハロゲン化物を発光させる放電ランプであり、発光管の直径に比べて短いアーク、すなわち短い電極間距離で放電し、非常に高い輝度の光を発生する。【０００３】
放電ランプから放射された光は、反射ミラーによって反射、集光されて光源装置の出射口に導光され、出射口に接続された光ファイバー・バンドル等の導光手段によって外部に出射される。放電ランプから放射された光の光量は、放電ランプと出射口との間に設けられた絞り機構によって調整される。また、放電ランプから放射された光のオン／オフ（つまり、光の出射／遮断）は、放電ランプと出射口との間に設けられたシャッタ機構によって制御される（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０５７８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、絞り機構やシャッタ機構は、ロータリーソレノイド等のアクチュエータによって駆動されるが、このようなアクチュエータは、長時間の使用による発熱や振動の影響、また長時間の不使用によるグリースの劣化等の影響により経年劣化するため、定期的に交換する必要がある。【０００６】
特許文献１に記載の光源装置は、放電ランプと出射口との間に内箱を設け、この内箱のカバー（内箱カバー）に、シャッタ板やシャッタ駆動部（ロータリーソレノイド）等から構成されるシャッタ機構を一体的に固定する構成としている。そして、シャッタ機構の交換の際には、内箱カバーごと交換することで、交換時のシャッタの位置合わせ等、複雑な作業をなくしている。【０００７】
しかし、特許文献１に記載の光源装置において、シャッタ機構を交換する場合には、（１）ハウジングの上面カバーを外す、（２）内箱から内箱カバーを外す、（３）電気配線（コネクタ）を外す、（４）新しい内箱カバーに交換する、（５）電気配線を接続する、（６）内箱に内箱カバーを取り付ける、（７）ハウジングに上面カバーを取り付ける、といった一連の作業が必要となり、シャッタ機構の交換時に発生するダウンタイム（非稼働時間）は依然として短縮されないといった問題があった。【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、シャッタ機構や絞り機構の交換を容易に行うことができ、ダウンタイムを短縮することが可能な光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明の光源装置は、放電ランプと、放電ランプから放射される光を反射する楕円ミラーと、放電ランプと楕円ミラーとを収容し、前面パネルに光を出射する出射口が設けられる箱形の筐体と、光の光量を制御する絞り機構と、絞り機構を通過する光の出射と遮断とを制御するシャッタ機構と、シャッタ機構と絞り機構とを支持する略箱形のケース部材と、を有する光量調整ユニットと、を備える。筐体の一側面パネルは、光量調整ユニットを挿入可能な取付開口部を有し、ケース部材は、光量調整ユニットの挿入方向後端に、取付開口部を覆蓋可能な蓋体を有し、光量調整ユニットは、取付開口部から筐体内に挿入され、蓋体が取付開口部を覆うように、筐体の一側面パネルに取付けられることを特徴とする。【００１０】
このような構成によれば、筐体のパネルを外すことなく、光量調整ユニットを交換することができるため、ダウンタイムを飛躍的に短縮することが可能となる。【００１１】
また、ケース部材は、筐体の一側面パネルに取付けられたときに、楕円ミラー側に配置され、光を通過させる第１開口部を有する第１の板状部材と、筐体の側面パネルに取付けられたときに、第１の板状部材と対向するよう第１の板状部材と前面パネルとの間に配置され、光を通過させる第２開口部を有する第２の板状部材と、第１の板状部材と第２の板状部材との間の空間を、第１開口部と第２開口部とを連通させて光を通過させる光透過領域と、光を遮光する遮光領域とに仕切る仕切板とを有するように構成することができる。この場合、仕切板は、第１開口部及び第２開口部の周囲を樋状に包囲し、光透過領域は、仕切板によって包囲された空間内に形成されることが望ましい。また、この場合、仕切板によって包囲された空間は、光の光路と直交する方向に開放されていることが望ましい。このような構成によれば、第１の板状部材と第２の板状部材との間の空間に光透過領域及び遮光領域を容易に形成することができ、光に含まれる紫外線によって劣化する電機部品等を遮光領域内に配置することが可能となる。【００１２】
また、絞り機構は、光の光路上に配置され、光の透過量を変更する調光素子と、調光素子を駆動させる第１のアクチュエータと、を備え、第１のアクチュエータは遮光領域に配置され、調光素子は第２の板状部材の外側に配置されるように構成することができる。このような構成によれば、光に含まれる紫外線によって第１のアクチュエータが劣化することを防止できる。【００１３】
また、調光素子は、光の光路を横切るように配置される円盤状の回転板と、回転板の周方向に沿って開口面積が連続して変化するように形成された網状開口部と、を備えることができる。【００１４】
また、調光素子は、光の光路を横切るように配置される円盤状の回転板と、回転板の周方向に沿って光の透過率が連続して変化するように形成された光学フィルタ部と、を備えることができる。【００１５】
また、第１のアクチュエータは、回転板を回転させるモータであることが望ましい。【００１６】
また、シャッタ機構は、光の光路上に配置され、光を遮光するシャッタ板と、シャッタ板を前記光の光路上に進退駆動する第２のアクチュエータと、を備え、第２のアクチュエータは遮光領域に配置され、シャッタ板は第２の板状部材の外側に配置されるように構成することができる。このような構成によれば、光に含まれる紫外線によって第２のアクチュエータが劣化することを防止できる。【００１７】
また、調光素子は、第２の板状部材とシャッタ板との間に配置されることが望ましい。このような構成によれば、放電ランプからシャッタ板までの距離が、調光素子までの距離よりも長くなるため、光量調整ユニットから出射される光を比較的小さなシャッタ板で遮光することが可能となる。【００１８】
また、光源装置は、筐体の外部から空気を吸気する吸気口と、吸気口から吸気した空気を筐体の外部へ排気する排気口とを有し、遮光領域は、吸気口から吸気した空気を排気口に向かって流す流路を形成するように構成することができる。この場合、光量調整ユニットは、蓋体とケース部材との間に中空部を形成するように、蓋体とケース部材とを連結する連結部材を備え、中空部は、遮光領域と連通し、光量調整ユニットが筐体の一側面パネルに取付けられたときに、中空部及び遮光領域が吸気口から吸気した空気を排気口に向かって流す流路を形成することが望ましい。このような構成によれば、遮光領域に配置された部品を効率よく冷却することが可能となる。【００１９】
また、ケース部材は、蓋体と対向する側の面に、シャッタ機構及び絞り機構に電気的に接続された第１の接続機構を有し、筐体は、該筐体の内部に第１の接続機構と嵌合する第２の接続機構を備え、第１の接続機構又は第２の接続機構の少なくともいずれか一方が、ケース部材又は筐体に対し、所定の遊びを有して固定されることが望ましい。また、この場合、第１の接続機構又は第２の接続機構の少なくともいずれか一方が、いずれか他方を案内して相互の嵌合を補助する案内機構を備えることが望ましい。このような構成によれば、光量調整ユニットの加工誤差、組立誤差、装着位置誤差等が遊びによって吸収するため、光量調整ユニットが筐体内に正確に位置決めされる。また、第１の接続機構と第２の接続機構との嵌合がスムーズ、かつ確実に行われる。【００２０】
また、筐体は、光量調整ユニットが筐体内に挿入されるときに、ケース部材の挿入を案内するガイドレールを有するように構成することができる。このような構成によれば、光量調整ユニットの挿入が容易になる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明の光源装置によれば、シャッタ機構及び絞り機構の交換を容易に行うことができ、光源装置のダウンタイムを飛躍的に短縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る光源装置の概略構成図である。
【図２】図２は、本発明の一実施形態に係る光源装置の概略構成を説明する斜視図である。
【図３】図３は、本発明の一実施形態に係る光源装置に収容されるアクチュエータユニットの概略構成を説明する斜視図である。
【図４】図４は、図３に示すアクチュエータユニットの分解斜視図である。
【図５】図５は、本発明の一実施形態に係る光源装置の内部の空気の流れを説明する図である。
【図６】図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図７は、図３に示すアクチュエータユニットの変形例を示す斜視図である。
【図８】図８は、図７に示すアクチュエータユニットの変形例の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一の符号を付してその説明は繰り返さない。
【００２４】
図１は、本発明の一実施形態に係る光源装置１の概略構成を説明する図である。図１は、筐体１０の上面カバー１０ｆ（図１において不図示）を外したときの上面図であるが、説明の便宜のため、一部の構成（例えば、楕円ミラー４０等）については断面図で示している。光源装置１は、感光性樹脂を光硬化によりモノマーからポリマーに硬化させるＵＶキュアリング等において紫外光を供給する装置である。図１に示すように、光源装置１は、各構成部品を収容する箱形の筐体１０、放電ランプ３０及び放電ランプ３０から放射される光を反射する楕円ミラー４０が収容されたランプユニット１４、楕円ミラー４０によって反射された光（以下、「照明光」という）を出射する出射口１２ａが形成された光コネクタ部１２、楕円ミラー４０と光コネクタ部１２との間に配置されるアクチュエータユニット１００、放電ランプ３０やアクチュエータユニット１００を駆動制御する制御回路５０を備える。
【００２５】
筐体１０は、前面パネル１０ａ、背面パネル１０ｂ、右側面パネル１０ｃ、左側面パネル１０ｄ、底板１０ｅ、上面カバー１０ｆ（図１において不図示）を備えている。前面パネル１０ａには、出射口１２ａが光源装置１の外側に向かって開口するように、光コネクタ部１２が取り付けられている。光コネクタ部１２は、不図示の光ファイバー・バンドルが接続される円筒状の部材であり、放電ランプ３０から放射される照明光は、光コネクタ部１２を通り、光ファイバー・バンドルによって導光されて外部に出射される。また、背面パネル１０ｂには、筐体１０の外部の空気を内部に吸気すると共に、筐体１０の内部の空気を外部に排気するファンユニット２００（図１において不図示）が取り付け可能に構成されており（後述）、筐体１０の内部には、筐体１０内に取り込まれた空気の流路を構成すると共に、放電ランプ３０から放射される光が外部に漏れないように遮光する仕切板１５ａ〜１５ｆ、１６が配設されている。なお、本明細書においては、光源装置１から照明光が出射される方向（つまり、筐体１０の前後方向）をＸ軸とし、前面パネル１０ａ及び背面パネル１０ｂの長手方向（つまり、筐体１０の左右方向）をＹ軸とし、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向（つまり、筐体１０の高さ方向）をＺ軸として説明する。
【００２６】
アクチュエータユニット１００（光量調整ユニット）は、楕円ミラー４０から出射される光の光量を制御する絞り機構１１０と、楕円ミラー４０から出射される照明光のオン／オフ（つまり、照明光の出射／遮断）を制御するシャッタ機構１３０とを一体的に備えたユニット（部品）である。本実施形態のアクチュエータユニット１００は、一種の交換部品として構成されており、筐体１０の左側面パネル１０ｄに形成された開口部１０ｄａを通して筐体１０に挿抜可能に（つまり、左側面パネル１０ｄに対してＹ軸方向に着脱自在に）構成されている。そして、アクチュエータユニット１００は、筐体１０に装着されたとき、筐体４０内のコネクタ１８に接続され、楕円ミラー４０と出射口１２ａとの間に配置される。コネクタ１８（第２の接続機構）は、アクチュエータユニット１００に設けられたコネクタ１０３（第１の接続機構）と接続されるコネクタである。
【００２７】
図２は、本実施形態の光源装置１の概略構成を説明する斜視図である。図２においては、筐体１０の上面カバー１０ｆを破断して、装置内部の概略構成を示している。また、図２においては、図面を明瞭にするために、内部の電気配線等、一部構成を省略して示している。
【００２８】
図１及び図２に示すように、光源装置１には、仕切板１６を挟んで左側（つまり、左側面パネル１０ｄ側）にランプユニット１４が配置され、右側（つまり、右側面パネル１０ｃ側）に駆動回路５０が配置されている。駆動回路５０は、背面パネル１０ｂに取り付けられたＡＣインレット５１より供給される商用電源によって動作し、放電ランプ３０、アクチュエータユニット１００等の各構成部品と電気的に接続され、これらの構成部品に電源を供給すると共に、制御信号を送受信する。なお、本実施形態においては、駆動回路５０とアクチュエータユニット１００とは、コネクタ１８を介して接続されるようになっており、後述するアクチュエータ１００のモータ１１４、ロータリーソレノイド１３４等には（図４）、コネクタ１８を介して電源が供給されると共に、制御信号が送受信される。
【００２９】
ランプユニット１４は、放電ランプ３０及び楕円ミラー４０を収容するケースであり、前面パネル１４ａ、背面パネル１４ｂ、右側面パネル１４ｃ、左側面パネル１４ｄを備えている（図１）。ランプユニット１４の前面パネル１４ａと筐体１０の前面パネル１０ａは、光コネクタ部１２を介して接続されており、ランプユニット１４からの照明光が、光コネクタ部１２の出射口１２ａから出射されるようになっている。放電ランプ３０は、紫外光透過性や耐熱性に優れた石英ガラス等を用いて形成された発光管を備えた市販のランプである。放電ランプ３０は、先端側（Ｘ軸方向正側）に陽極側の口金３１が取付けられ、基端側（Ｘ軸方向負側）に陰極側の口金３２（固定用口金）が取付けられている。背面パネル１４ｂには、口金３２をクランプするクランプ部材（不図示）が露出しており、放電ランプ３０は、口金３２をクランプ部材にクランプすることによりランプユニット１４内に位置決めされ固定される。放電ランプ３０がランプユニット１４に装着されると、放電ランプ３０のアーク輝点の位置が楕円ミラー４０の第１焦点の位置と一致するようになっている。そして、光源装置１の電源をオンすると、駆動回路５０によって、口金３１と口金３２との間（つまり、陽極と陰極の間）に高電圧が印加される。その結果、陽極と陰極間に絶縁破壊が生じ、アーク放電が開始する。アーク放電が開始すると、駆動回路５０は、アーク放電を維持するように電流を供給する。このため、放電ランプ３０が安定して点灯する。
【００３０】
楕円ミラー４０は、放電ランプ３０から放射される光を出射口１２ａに向けて反射する反射部材である。楕円ミラー４０によって反射された照明光は、出射口１２ａにおいて所定のスポット径となるように、徐々に集光され、アクチュエータユニット１００を通って出射口１２ａから出射される（図１）。
【００３１】
図２に示すように、アクチュエータユニット１００は、筐体１０の左側面パネル１０ｄに形成された開口部１０ｄａから筐体１０内に挿抜可能に構成されている。筐体１０内には、アクチュエータユニット１００の挿入方向（つまり、Ｙ軸方向）に平行に延び、アクチュエータユニット１００が筐体１０内に挿入されるときに、アクチュエータユニット１００の上端部及び下端部において外径をガイドする一対のガイドレール１７（図２において、下側のガイドレール１７は不図示）が形成されている。従って、アクチュエータユニット１００を装着する際には、アクチュエータユニット１００の先端側（Ｙ軸方向正側）を開口部１０ｄａに挿入し、筐体１０内に押し込むことで容易に装着される。
【００３２】
図３は、本実施形態のアクチュエータユニット１００の概略構成を説明する斜視図である。また、図４は、図３に示すアクチュエータユニット１００の分解斜視図である。なお、図４においては、図面を明瞭にするために、内部の電気配線等、一部構成を省略して示している。
【００３３】
＜アクチュエータユニット１００の構成＞
図３及び図４に示すように、本実施形態のアクチュエータユニット１００は、楕円ミラー４０から出射される照明光の光量を制御する絞り機構１１０と、照明光のオン／オフ（つまり、照明光の出射／遮断）を制御するシャッタ機構１３０と、絞り機構１１０及びシャッタ機構１３０が一体的に固定されるケース１０１と、ケース１０１の挿入方向（Ｙ軸方向）後端側の一側面（第１側板１０１ｃ）に取り付けられた蓋体１０２と、絞り機構１１０及びシャッタ機構１３０と電気的に接続され、ケース１０の挿入方向（Ｙ軸方向）先端側の他側面（第２側板１０１ｄ）に取り付けられたコネクタ１０３と、を備えている。
【００３４】
ケース１０１は、略箱形の金属性のケースであり、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、楕円ミラー４０側に位置する第１遮光板１０１ａと、第１遮光板１０１ａと対向するように出射口１２ａ側に位置する第２遮光板１０１ｂと、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとを連結するための第１側板１０１ｃ及び第２側板１０１ｄと、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとの間の空間を、楕円ミラー４０から出射された照明光が通過する光透過領域と楕円ミラー４０から出射された照明光が遮光される遮光領域とに仕切る仕切板１０１ｅと、を備えている。
【００３５】
第１遮光板１０１ａ（第１の板状部材）は、略中心部に円形の開口１０１ａｏ（第１開口部）が形成された矩形の板状部材であり、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに開口１０１ａｏが照明光の光路を横切るように配置される。従って、楕円ミラー４０から出射された照明光のうち、開口１０１ａｏを通過した光だけが、ケース１０１内に入射する。
【００３６】
第１側板１０１ｃは、ケース１０１の挿入方向後端側（Ｙ軸方向負側）に設けられた、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとを連結するための板状部材である。本実施形態の第１側板１０１ｃは、第１遮光板１０１ａと共通の板材より形成されており、第１遮光板１０１ａのＹ軸方向負側の端部をＸ軸方向正側に折り曲げることにより形成されている。第１側板１０１ｃは、Ｙ軸方向負側から見たときに、逆コの字状の形状を呈しており、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、筐体１０内に空気の流路を構成する（つまり、空気を通すための）矩形状の切り欠き部１０１ｃａが形成されている（詳細は後述）。また、第１側板１０１ｃの第２遮光板１０１ｂ側は、第２遮光板１０１ｂと対向するようにさらに折り曲げられて、第２遮光板１０１ｂを取り付けるための上側取付面１０１ｃｂ及び下側取付面１０１ｃｃが形成されている。
【００３７】
第２側板１０１ｄは、ケース１０１の挿入方向先端側（Ｙ軸方向正側）に設けられた、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとを連結するための板状部材である。本実施形態の第２側板１０１ｄは、第１遮光板１０１ａと共通の板材より形成されており、第１遮光板１０１ａのＹ軸方向正側の端部をＸ軸方向正側に折り曲げることにより形成されている。第２側板１０１ｄの上側には、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、筐体１０内に空気の流路を構成する（つまり、空気を通すための）矩形状の切り欠き部１０１ｄａが形成されている（詳細は後述）。また、第２側板１０１ｄの下側にはコネクタ１０３を取り付けるための矩形状の開口１０１ｄｂが形成されている。コネクタ１０３は、開口１０１ｄｂに挿入されて位置決めされ、不図示のネジによって第２側板１０１ｄに固定される。なお、コネクタ１０３の各端子は、不図示のケーブルによって絞り機構１１０のモータ１１４、シャッタ機構１３０のロータリーソレノイド１３４と電気的に接続される。また、第２側板１０１ｄの第２遮光板１０１ｂ側は、第２遮光板１０１ｂと対向するようにさらに折り曲げられて、第２遮光板１０１ｂを取り付けるための上側取付面１０１ｄｃ、中央取付面１０１ｄｄ及び下側取付面１０１ｄｅが形成されている。
【００３８】
第２遮光板１０１ｂ（第２の板状部材）は、略中心部に円形の開口１０１ｂｏ（第２開口部）が形成された矩形の板状部材であり、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに開口１０１ｂｏが照明光の光路を横切るように配置される。従って、開口１０１ａｏを通過してケース１０１に入射した光のうち、開口１０１ｂｏを通過した光だけが、ケース１０１から出射される。また、第２遮光板１０１ｂには、絞り機構１１０及びシャッタ機構１３０が組み付けられる（後述）。そして、絞り機構１１０及びシャッタ機構１３０が組み付けられた第２遮光板１０１ｂが第１側板１０１ｃ及び第２側板１０１ｄにネジ止めされることで、絞り機構１１０及びシャッタ機構１３０がケース１０１に対して固定される。
【００３９】
蓋体１０２は、筐体１０の左側面パネル１０ｄに形成された開口部１０ｄａを覆蓋する（つまり、開口部１０ｄａを覆うための）板状部材であり、蓋体１０２の裏側（Ｙ軸方向正側）には、スペーサー１０２ａが固定されている。スペーサー１０２ａは、Ｘ軸方向の断面がコの字状の板状部材であり、蓋体１０２は、スペーサー１０２ａを挟んで第１側板１０１ｃにネジ止めされる。蓋体１０２とスペーサー１０２ａとの間の中空部は、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、筐体１０内に空気の流路を形成する。また、スペーサー１０２ａには、切り欠き部１０１ｃａと対向する位置に開口部（不図示）が形成されており、蓋体１０２とスペーサー１０２ａとの間の中空部と、ケース１０１の内部（遮光領域）とが連通するように構成されている。
【００４０】
蓋体１０２は、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、開口部１０ｄａを覆うと共に、左側面パネル１０ｄに当接し、蓋体１０２に形成された３つの貫通孔１０２ｂに挿入されるネジ（不図示）によって左側面パネル１０ｄに固定される。つまり、本実施形態の蓋体１０２は、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、左側面パネル１０ｄの一部を構成するようになっている。従って、アクチュエータユニット１００を交換する際には、蓋体１０２を固定しているネジを取り外してアクチュエータユニット１００を入れ換えるだけでよく、筐体１０の各パネルを取り外す等の煩わしい作業は発生しない。
【００４１】
仕切板１０１ｅは、細長い金属の板材を略Ｕ字形状に湾曲させて形成した部材であり、上側が開放したＵ字状の湾曲部１０１ｅａを備えている。仕切板１０１ｅは、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとの間に挟まれるように配置され、湾曲部１０１ｅａが開口１０１ａｏ及び開口１０１ｂｏの周囲を包囲するようになっている。湾曲部１０１ｅａの上端は、第１遮光板１０１ａの上端縁部に沿うように、第１側板１０１ｃ及び第２側板１０１ｄ側に折り曲げられ、湾曲部１０１ｅａの内側（つまり、Ｕ字の内側）の空間は上側に向かって開放されており、湾曲部１０１ｅａの外側（つまり、Ｕ字の外側）の空間は下側に向かって開放されている。このように、本実施形態の仕切板１０１ｅは、第１遮光板１０１ａと第２遮光板１０１ｂとの間の空間をＵ字状に仕切ることで、湾曲部１０１ｅａの内側の空間に楕円ミラー４０から出射された照明光が通過する光透過領域を形成し、湾曲部１０１ｅａの外側の空間に楕円ミラー４０から出射された照明光が遮光される遮光領域を形成している。そして、本実施形態のアクチュエータユニット１００は、この遮光領域に、絞り機構１１０のモータ１１４、シャッタ機構１３０のロータリーソレノイド１３４、及びこれらの配線ケーブルを配置することで、これらの電気部品が照明光に含まれる紫外線に曝されて劣化しないように構成している。なお、楕円ミラー４０から出射された照明光のうち、開口１０１ａｏ内に入射されない光（つまり、第１遮光板１０１ａ上に入射する光）は、第１遮光板１０１ａによって楕円ミラー４０側に反射され、楕円ミラー４０と第１遮光板１０１ａとの間の空間に閉じ込められる。また、開口１０１ｂｏ内に入射されない光（つまり、第２遮光板１０１ｂ上に入射する光）は、第２遮光板１０１ｂによって第１遮光板１０１ａ側に反射され、第２遮光板１０１ｂと第１遮光板１０１ａとの間の空間に閉じ込められる。従って、楕円ミラー４０から出射された照明光の一部が開口１０１ｂｏ以外の部分からランプユニット１４の外部に漏れることはない。
【００４２】
＜絞り機構１１０の構成＞
次に、本実施形態のアクチュエータユニット１００の第２遮光板１０１ｂに取り付けられる絞り機構１１０の具体的な構成について説明する。絞り機構１１０は、円盤状の絞り板１１１と、絞り板１１１を回転させるモータ１１４と、絞り板１１１をモータ１１４の回転軸１１４ａに固定する円筒状のスペーサー１１２と、絞り板１１１の回転角度を検出するフォトインタラプタ１１３とによって構成される。
【００４３】
第２遮光板１０１ｂには、モータ１１４の回転軸１１４ａが挿通される貫通孔１０１ｂａが形成されており、モータ１１４は、第２遮光板１０１ｂの内側（つまり、遮光領域側）から第２遮光板１０１ｂに取り付けられ、不図示のネジによって固定される。第２遮光板１０１ｂにモータ１１４が取り付けられると、第２遮光板１０１ｂの外側にモータ１１４の回転軸１１４ａが突出する。そして、スペーサー１１２の嵌合孔１１２ａにモータ１１４の回転軸１１４ａが挿通されてスペーサー１１２が取り付けられ、次いで、不図示のネジによってスペーサー１１２の先端に絞り板１１１が取り付けられる。第２遮光板１０１ｂの外側（Ｘ軸方向正側）には、フォトインタラプタ１１３を位置決めする凹部１０１ｂｂが形成されており、フォトインタラプタ１１３は、この凹部１０１ｂｂに取り付けられて不図示のネジによって固定される。
【００４４】
絞り板１１１は、開口１０１ｂｏを通過した照明光の透過量を変更する網状の開口１１１ａと、開口１０１ｂｏを通過した照明光を１００％透過させる円形の開口１１１ｂとを有した金属製の部材であり、円盤面が照明光の光路を垂直に横切るように、第２遮光板１０１ｂの外側（つまり、開口１０１ｂｏの外側）に配置される。開口１１１ａは、絞り板１１１の周方向に沿って徐々に（連続的に）網目の径が変化するように形成されており、絞り板１１１の停止位置（つまり、開口１１１ａの停止位置）に応じて、照明光の透過量（つまり、出射光量）を調整することができるようになっている。また、絞り板１１１の外周縁部には、絞り板１１１の基準位置（基準角度）を示す切り欠き部１１１ｃが形成されている。
【００４５】
モータ１１４は、絞り板１１１を回転させるためのステッピングモータ（第１のアクチュエータ）であり、上述したように、回転軸１１４ａが照明光の光路と平行となるように第２遮光板１０１ｂに取り付けられる。モータ１１４は、コネクタ１０３と電気的に接続されており、駆動回路５０からコネクタ１０３を介して供給される電源及び駆動パルスに従って回転軸１１４ａを所定のステップ角で回転させる。モータ１１４の回転軸１１４ａの先端には、スペーサー１１２を介して絞り板１１１が取り付けられている。従って、回転軸１１４ａが所定のステップ角度で回転すると、それに伴って絞り板１１１が回転する。
【００４６】
フォトインタラプタ１１３は、絞り板１１１の外周縁部の近傍に配置され、絞り板１１１に形成された切り欠き部１１１ｃを検出する透過型のフォトインタラプタである。フォトインタラプタ１１３は、コネクタ１０３と電気的に接続されており、駆動回路５０からコネクタ１０３を介して供給される電源によって動作する。そして、フォトインタラプタ１１３の位置に絞り板１１１の切り欠き部１１１ｃが位置したとき（つまり、切り欠き部１１１ｃを検出したとき）、検出信号がコネクタ１０３を介して駆動回路５０に出力される。本実施形態においては、フォトインタラプタ１１３の位置に絞り板１１１の切り欠き部１１１ｃが位置したとき、開口１０１ｂｏの中心と開口１１１ｂの中心とが略一致し、開口１０１ｂｏを通過した照明光が１００％透過するように構成されており、絞り板１１１のこの位置を基準位置としている。そして、光源装置１のユーザが、不図示の操作パネルや操作ボタンを操作することによって、照明光の出射光量を下げるための入力を行った場合、駆動回路５０は、ユーザからの入力に応じた出射光量となるようにモータ１１４に対して所定の駆動パルスを出力し、絞り板１１１を所定の角度だけ回転させる。このように、本実施形態の絞り機構１１０は、ユーザからの入力に応じて絞り板１１１を回転させることで、ユーザが所望する出射光量の照明光が出射口１２ａから出射されるように光量制御を行う。
【００４７】
＜シャッタ機構１３０の構成＞
次に、本実施形態のシャッタ機構１３０の具体的な構成について説明する。シャッタ機構１３０は、細長い板状のシャッタ板１３１と、シャッタ板１３１を回転させるロータリーソレノイド１３４と、シャッタ板１３１をロータリーソレノイド１３４に固定する３つのスペーサー１３２と、ロータリーソレノイド１３４を支持する支持板１３５と、シャッタ板１３１の回転角度を検出するフォトインタラプタ１３３とによって構成される。
【００４８】
シャッタ機構１３０は、支持板１３５に取り付けられて、第２遮光板１０１ｂに固定される。具体的には、先ず、ロータリーソレノイド１３４が支持板１３５に取り付けられ、不図示のネジによって固定される。次いで、フォトインタラプタ１３３が、支持板１３５に取り付けられ、不図示のネジによって固定される。そして、ロータリーソレノイド１３４の回転板１３４ａとシャッタ板１３１との間にスペーサー１３２を挟み、不図示のネジによって、回転板１３４ａにシャッタ板１３１を固定する。そして、支持板１３５に固定されたシャッタ機構１３０を、第２遮光板１０１ｂに形成された切り欠き開口部１０１ｂｃに、第２遮光板１０１ｂの内側（つまり、遮光領域側）から挿入し、不図示のネジによって固定する。なお、本実施形態のシャッタ機構１３０が第２遮光板１０１ｂに固定されたとき、ロータリーソレノイド１３４は、第２遮光板１０１ｂの表面よりも若干突出するように取り付けられるが（図３）、ロータリーソレノイド１３４と開口１０１ｂｏとの間には遮光板１０１ｂｄが形成されているため、開口１０１ｂｏからの漏れ光がロータリーソレノイド１３４に直接入射することはない。
【００４９】
シャッタ板１３１は、絞り板１１１の外側に配置される金属製の板状部材であり、その先端部１３１ａが絞り板１１１を通過した照明光の光路内に進退可能に構成されている。アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたときに、シャッタ板１３１の先端部１３１ａが絞り板１１１を通過した照明光の光路内に配置されると、照明光がシャッタ板１３１によって遮られるため、出射口１２ａから出射される照明光が遮断される。逆に、シャッタ板１３１の先端部１３１ａが絞り板１１１を通過した照明光の光路から外れた位置に配置されると（退避すると）、照明光がシャッタ板１３１によって遮られないため、出射口１２ａから照明光が出射される。このように、本実施形態のシャッタ板１３１は、照明光の光路内の位置（以下、「遮断位置」という）と、照明光の光路外の位置（以下、「退避位置」という）との間で移動するように構成されており、これによって照明光のオン／オフ制御を行っている。シャッタ板１３１の基端部１３１ｂ側には、フォトインタラプタ１３３がシャッタ板１３１の位置（遮断位置又は退避位置）を検出できるように、舌部１３１ｃが形成されている。
【００５０】
ロータリーソレノイド１３４は、回転板１３４ａに取り付けられたシャッタ板１３１を回転させる（進退させる）ためのアクチュエータである。ロータリーソレノイド１３４は、コネクタ１０３と電気的に接続されており、駆動回路５０からコネクタ１０３を介して供給される電源及び制御信号に従って回転板１３４ａを所定の角度（例えば、３０°）だけ回転させる。ロータリーソレノイド１３４の回転板１３４ａには、円筒状のスペーサー１３２を挟んでシャッタ板１３１の基端部１３１ｂが取り付けられており、回転板１３４ａが所定の角度だけ回転すると、それに伴ってシャッタ板１３１の先端部１３１ａが移動するようになっている。つまり、本実施形態のロータリーソレノイド１３４は、絞り板１１１を所定の角度だけ回転させることで、シャッタ板１３１の位置を遮断位置と退避位置との間で切り換えている。
【００５１】
フォトインタラプタ１３３は、シャッタ板１３１の舌部１３１ｃを挟むように配置された透過型のフォトインタラプタである。フォトインタラプタ１３３は、コネクタ１０３と電気的に接続されており、駆動回路５０からコネクタ１０３を介して供給される電源によって動作する。そして、フォトインタラプタ１３３の位置にシャッタ板１３１の舌部１３１ｃが位置したとき（つまり、舌部１３１ｃを検出したとき）、検出信号がコネクタ１０３を介して駆動回路５０に出力される。本実施形態においては、フォトインタラプタ１３３の位置にシャッタ板１３１の舌部１３１ｃが位置したとき、シャッタ板１３１の先端部１３１ａが、絞り板１１１を通過した照明光の光路内に配置される（つまり、遮断位置に配置される）ように構成されており、シャッタ板１３１のこの位置を基準位置としている。そして、光源装置１のユーザが、不図示の操作パネルや操作ボタンを操作することによって、照明光をオンするための入力を行った場合、駆動回路５０は、ロータリーソレノイド１３４に対して所定の信号を出力し、シャッタ板１３１を所定の角度だけ回転させ、照明光の光路から退避させる（つまり、退避位置に移動させる）ように構成されている。このように、本実施形態のシャッタ機構１３０は、ユーザからの入力に応じてシャッタ板１３１を回転（移動）させることで、照明光のオン／オフ制御を行う。なお、本実施形態においては、楕円ミラー４０によって反射された照明光は、出射口１２ａにおいて所定のスポット径となるように、徐々に集光される。このため、シャッタ板１３１を絞り板１１１よりも外側に配置することで、放電ランプ３０からシャッタ板１３１までの距離が、絞り板１１１までの距離よりも長くなるため、ケース１０１から出射される光を比較的小さなシャッタ板１３１で遮光することが可能となる。
【００５２】
このように、本実施形態のアクチュエータユニット１００は、照明光の光量を制御する絞り機構１１０と、照明光のオン／オフ（つまり、照明光の出射／遮断）を制御するシャッタ機構１３０とを一体的に備えており、筐体１０の左側面パネル１０ｄに形成された開口部１０ｄａを通して筐体１０に挿抜可能に（つまり、左側面パネル１０ｄに対してＹ軸方向に着脱自在に）構成されている。そして、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたとき、コネクタ１０３が筐体４０内のコネクタ１８と嵌合し、両者が電気的に接続されるように構成されている。従って、本実施形態の構成によれば、アクチュエータユニット１００を交換する際の電気配線の脱着作業が不要となる。なお、本実施形態のコネクタ１８は、アクチュエータユニット１００の加工誤差、組立誤差、装着位置誤差等を吸収するため、所定の遊びをもって、筐体１０内に緩く固定されている。別の実施形態では、コネクタ１８を筐体１０内にしっかりと固定し、コネクタ１０３を緩く固定してもよい。また、コネクタ１０３とコネクタ１８との嵌合がスムーズ、かつ確実に行われるように、コネクタ１０３とコネクタ１８の少なくともいずれか一方が、いずれか他方を案内して相互の嵌合を補助する案内機構を備えてもよい。
【００５３】
上述したように、本実施形態のアクチュエータユニット１００においては、遮光領域に、モータ１１４、ロータリーソレノイド１３４及びこれらの配線ケーブルを配置することで、これらの電気部品が照明光に含まれる紫外線に曝されて劣化しないように構成している。しかし、モータ１１４及びロータリーソレノイド１３４が狭い遮光領域に配置され、常に通電されている状態となると、発熱の問題が危惧される。そこで、本実施形態においては、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたとき、アクチュエータユニット１００の遮光領域が空気の流路となるように構成し、モータ１１４及びロータリーソレノイド１３４が冷却されるようになっている。
【００５４】
図５は、本実施形態の光源装置１の背面パネル１０ｂにファンユニット２００が取り付けられたときの概略構成を説明する図である。また、図６は、図５のＡ−Ａ断面図である。なお、図５において、各矢印は空気の流れを示している。
【００５５】
図５に示すように、本実施形態の光源装置１の内部は、仕切板１６によって、制御回路５０が配置される空間（以下、「空間Ａ」という）と、ランプユニット１４が配置される空間（以下、「空間Ｂ」という）とが完全に分離されている。そして、空間Ａにおいては、背面パネル１０ｂに吸気口ＩＮ１及び排気口ＥＸ１が形成されており、ファンユニット２００内のファンが回転すると、吸気口ＩＮ１から筐体１０の空間Ａに空気が吸気され、空間Ａに空気の流れが形成される。そして、空間Ａの空気は、空間Ａ内で循環した後、排気口ＥＸ１からファンユニット２００を通って外部に排気される。このように、空間Ａの空気が循環することにより、制御回路５０が冷却される。
【００５６】
空間Ｂにおいては、左側面パネル１０ｄに吸気口ＩＮ２が形成されており、背面パネル１０ｂに排気口ＥＸ２が形成されている。ファンユニット２００内のファンが回転すると、吸気口ＩＮ２から筐体１０の空間Ｂに空気が吸気される。空間Ｂに吸気された空気は、空間Ｂ内で複数の経路に分岐して流れる。具体的には、空間Ｂに吸気された空気は、先ず、ランプユニット１４の左側面パネル１４ｄに沿って２方向に別れる。一方（Ｘ軸方向正側）に流れた空気は、仕切板１５ｄの開口部（不図示）を通り、一部はランプユニット１４の内部に流れ込み、一部は仕切板１５ｅの開口部（不図示）を通り、アクチュエータユニット１００の内部に流れ込む。また、左側面パネル１４ｄに沿って、Ｘ軸方向負側に流れた空気は、仕切板１５ｃ及び１５ｂの開口部（不図示）を通り、一部はランプユニット１４の内部の楕円ミラー４０の裏側に流れ込み、一部は仕切板１５ａの開口部（不図示）を通り、背面パネル１４ｂと背面パネル１０ｂとの間の空間に流れ込む。
【００５７】
ランプユニット１４の内部の楕円ミラー４０の裏側に流れ込んだ空気は、背面パネル１４ｂの右側面パネル１４ｃ側に形成された開口部（不図示）から背面パネル１４ｂと背面パネル１０ｂとの間の空間に流れ込む。そして、背面パネル１４ｂと背面パネル１０ｂとの間の空間に流れ込んだ空気は、仕切板１５ｆと背面パネル１０ｂとの間の空間に流れ込み、排気口ＥＸ２から排気される。このように、空間Ｂの空気が循環することにより、楕円ミラー４０及び放電ランプ３０の口金３２が冷却される。
【００５８】
仕切板１５ｄを通ってランプユニット１４の内部に流れ込んだ空気は、楕円ミラー４０と第１遮光板１０１ａとで囲まれた空間を通って、右側面パネル１４ｃに形成された開口部１４ｃａ（図２）からフード１４ｇ内を通り、さらに仕切板１５ｆの開口部（不図示）を通って、排気口ＥＸ２から排気される。このように、空間Ｂの空気が循環することにより、楕円ミラー４０及び放電ランプ３０の先端側が冷却される。
【００５９】
仕切板１５ｅを通ってアクチュエータユニット１００の内部に流れ込んだ空気は、蓋体１０２とスペーサー１０２ａとの間の中空部を通り、第１側板１０１ｃの切り欠き部１０１ｃａから遮光領域に流れ込む（図６）。そして、遮光領域内に流れ込んだ空気は、ロータリーソレノイド１３４及びモータ１１４を冷却しながら遮光領域内を進み、第２側板１０１ｄの切り欠き部１０１ｄａからランプユニット１４と仕切板１６との間の空間に排気される。ランプユニット１４と仕切板１６との間の空間に流れ込んだ空気は、さらに仕切板１５ｆの開口部（不図示）を通って、排気口ＥＸ２から排気される。このように、本実施形態においては、アクチュエータユニット１００が筐体１０に装着されたとき、アクチュエータユニット１００の遮光領域が空気の流路となるように構成されている。このため、モータ１１４及びロータリーソレノイド１３４が効率よく冷却され、モータ１１４及びロータリーソレノイド１３４が発熱によって破損したり、寿命が短くなるといった問題も発生しない。
【００６０】
以上が本発明の一実施形態の説明である。本発明の実施形態は、上記に説明したものに限定されず、本発明の技術的思想の範囲において様々な変形が可能である。
【００６１】
例えば、本実施形態の絞り板１１１の開口１１１ａは、絞り板１１１の周方向に沿って徐々に（連続的に）網目の径が変化するように形成された網状の開口としたが、この構成に限定されるものではなく、例えば、絞り板１１１の周方向に沿って徐々に（連続的に）透過率が変化する光学フィルタを用いてもよい。
【００６２】
また、本実施形態の仕切板１０１ｅは、上側が開放したＵ字状の湾曲部１０１ｅａを備えている構成としたが、湾曲部１０１ｅａは、必ずしも上側が開放したものである必要はなく、例えば下側に開放したものであってもよい。この場合、遮光領域が光透過領域の上側に形成される。また、湾曲部１０１ｅａは、必ずしもＵ字状である必要はなく、例えば、Ｖ字状、コの字状等、一方側が開放された樋状に形成されていればよい。また、第１遮光板１０１ａの開口１０１ａｏは、必ずしも円形である必要はない。
【００６３】
図７は、本実施形態のアクチュエータユニット１００の変形例を示す斜視図である。また、図８は、図７に示すアクチュエータユニット１００Ｍの分解斜視図である。なお、図８においては、図４と同様、図面を明瞭にするために、内部の電気配線等、一部構成を省略して示している。
【００６４】
本変形例のアクチュエータユニット１００Ｍは、第１遮光板１０１ａＭ、第２遮光板１０１ｂＭ、及び仕切板１０１ｅＭの形状が本実施形態の第１遮光板１０１ａ、第２遮光板１０１ｂ、及び仕切板１０１ｅの形状と異なっている。
【００６５】
具体的には、本変形例の第１遮光板１０１ａＭは、仕切板１０１ｅＭに沿ってＵ字状に形成された開口１０１ａｏＭを有する点で本実施形態の第１遮光板１０１ａと異なる。また、本変形例の第２遮光板１０１ｂＭは、第１遮光板１０１ａＭに向かって突出し、先端部が下向きに折り曲げられた断面逆Ｌ字形状の舌部１０１ｂｅが設けられている点で本実施形態の第２遮光板１０１ｂと異なる。また、本変形例の仕切板１０１ｅＭは、湾曲部１０１ｅａＭ（つまり、仕切板１０１ｅＭ）の上端が第１遮光板１０１ａＭの上端縁部に沿うように折り曲げられていない点で、本実施形態の仕切板１０１ｅと異なる。
【００６６】
このような構成にすると、楕円ミラー４０から出射された照明光は、Ｕ字状の開口１０１ａｏＭを通ってケース１０１内に入射するが、さらに舌部１０１ｂｅの先端部によってその一部が遮光され、舌部１０１ｂｅの先端部によって遮光されなかった照明光（つまり、湾曲部１０１ｅａＭの周辺を通過した照明光）のみが第２遮光板１０１ｂＭに向かうこととなる。そして、第２遮光板１０１ｂＭに向かう照明光のうち、開口１０１ｂｏを通過した光だけが、ケース１０１Ｍから出射される。
【００６７】
このように、ケース１０１Ｍから出射される照明光は、最終的に開口１０１ｂｏで規制されるため、湾曲部１０１ｅａＭの内側の空間に照明光が通過する光透過領域が形成されていれば、本発明の目的は達成でき、本実施形態のように第１遮光板１０１ａＭに形成される開口１０１ａｏＭは、必ずしも円形である必要がない。
【００６８】
なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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