(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置であって、
前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、
を備え、
前記動作制御部は、第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御し、
前記第１の昇降動作と前記第２の昇降動作とが上昇動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁に前記第１の把持体と前記第２の把持体とを当接させる動作であること、を特徴とする把持装置。
【請求項２】
把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置であって、
前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、
を備え、
前記動作制御部は、第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御し、
前記第１の昇降動作と前記第２の昇降動作とが下降動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁から前記第１の把持体と前記第２の把持体とを離隔させる動作であること、を特徴とする把持装置。
【請求項３】
把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置であって、
前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、
を備え、
前記動作制御部は、カムを有し、前記カムにより、前記第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御し、
前記カムは、前記昇降部に設けられたカムフォロアが係合するカム孔を有し、
前記カム孔は、第１の傾斜部と、前記第１の傾斜部に連設された水平部と、前記水平部に連設された第２の傾斜部と、を有すること、を特徴とする把持装置。
【請求項４】
前記把持部は、前記第１の把持板の移動方向と、前記第２の把持板の移動方向と、を互いに逆向きとさせる開閉同期部をさらに備えたこと、を特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の把持装置。
【請求項５】
前記開閉同期部は、ラックアンドピニオン機構またはリンク機構を有し、前記ラックアンドピニオン機構または前記リンク機構により、前記第１の把持板の移動方向と、前記第２の把持板の移動方向と、を互いに逆向きとさせること、を特徴とする請求項４記載の把持装置。
【請求項６】
モータと、
前記モータの回転軸に取り付けられたネジ軸と、
前記ネジ軸に螺合され、前記モータの回転運動を直進運動に変換するとともに前記直進運動を前記動作制御部に伝達するナット部と、
を有した駆動部を備え、
前記動作制御部は、前記モータの回転運動により前記ネジ軸に沿って移動することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の把持装置。
【請求項７】
前記動作制御部は、互いに対向して設けられた１組の前記カムを有し、
前記１組のカムの各々には、２個のカム孔が設けられ、
前記１組のカムに設けられたすべてのカム孔は、相似形状を有したことを特徴とする請求項３記載の把持装置。
【請求項８】
前記把持部は、前記第２の把持板を取り付ける取付板を有し、
前記駆動部は、前記動作制御部と連動して移動する開閉板を有し、
前記開閉板は、前記取付板の端面と当接可能に設けられた第１の突出部を有し、
前記動作制御部の移動にともない前記開閉板が移動し、前記開閉板の移動により第１の突出部と前記取付板とを介して前記把持部における開閉動作を行うこと、を特徴とする請求項６記載の把持装置。
【請求項９】
前記駆動部は、前記モータを取り付けるベース板と、前記ベース板から立設した係止部と、を有し、
前記開閉板は、前記係止部と当接可能に設けられた第２の突出部を有し、
前記第２の突出部が前記係止部に当接することで前記開閉板の移動が停止し、前記開閉板の移動が停止することで前記把持部における開閉動作が停止すること、を特徴とする請求項８記載の把持装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の把持装置と、
前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項１１】
把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置と、
前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備える搬送装置であって、
前記把持装置は、
前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、
を備え、
前記動作制御部は、第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御すること、を特徴とし、
前記把持装置は、上下に配置されるように２つ設けられ、
上方に位置する第１の把持装置の昇降動作と、前記第１の把持装置の下方に位置する第２の把持装置の昇降動作とが相互に逆方向とされることを特徴とする搬送装置。
【請求項１２】
前記移動部は、水平多関節ロボット、垂直多関節ロボット、直交ロボット、単軸ロボットからなる群より選ばれたいずれかであることを特徴とする請求項１０または１１記載の搬送装置。
【請求項１３】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置と、
複数の被処理物を積層するようにして収納する収納部と、
前記被処理物に処理を施す処理部と、を備えたことを特徴とする処理装置。
【請求項１４】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記未処理の被処理物に処理を施す工程と、
前記処理が施された被処理物を、前記把持装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１５】
前記収納部から未処理の被処理物を取り出す工程において取り出された場所と、前記処理が施された被処理物を前記収納部に収納する工程において収納される場所と、が同一であることを特徴とする請求項１４記載の電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置やフラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、専用ケースやカセットなどの収納部に複数の被処理物（例えば、ウェーハやガラス基板など）が収納された状態で搬送や供給などが行われている。  
この様な収納部を用いた製造においては、収納部に収納された未処理の被処理物を取り出して処理を施し、処理済みの被処理物を収納部に再度収納するようにしている。そして、この様な被処理物の受け渡し（取り出しや収納など）を効率的に行うことのできるものとして、複数のアームを上下方向に備えた搬送装置が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
この様な搬送装置においてはアームの昇降部が共用とされ、複数のアームが同時に昇降するようになっている。そのため、複数の受け渡し位置において被処理物を受け渡す場合には、複数のアームを用いて同時に被処理物を受け渡すことができず被処理物を１つずつ受け渡すことが必要となる。  
この場合、複数のアーム毎に昇降部を設けるようにすれば、複数の受け渡し位置において被処理物を同時に受け渡すことができる。しかしながら、アームには被処理物を把持する把持装置が設けられており、これとは独立に別駆動される昇降部を設けるものとすれば、機構の複雑化、重量化などを招くことになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１７８９２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の実施形態は、機構の簡易化、軽量化を図ることができる把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態に係る把持装置は、把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置である。また、把持装置は、前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部を備えている。またさらに、把持装置は、前記把持部を昇降させる昇降部と、前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、を備えている。そして、  前記動作制御部は、第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御する。
そして、前記第１の昇降動作と前記第２の昇降動作とが上昇動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁に前記第１の把持体と前記第２の把持体とを当接させる動作である。
または、前記第１の昇降動作と前記第２の昇降動作とが下降動作である場合には、前記開閉動作は前記被処理物の周縁から前記第１の把持体と前記第２の把持体とを離隔させる動作である。
他の実施形態に係る把持装置は、把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置である。また、把持装置は、前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部を備えている。またさらに、把持装置は、前記把持部を昇降させる昇降部と、前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、を備えている。
そして、前記動作制御部は、カムを有し、前記カムにより、前記第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御する。そして、前記カムは、前記昇降部に設けられたカムフォロアが係合するカム孔を有し、前記カム孔は、第１の傾斜部と、前記第１の傾斜部に連設された水平部と、前記水平部に連設された第２の傾斜部と、を有している。
【０００７】
また、他の実施形態に係る搬送装置は、上記の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備えている。
また、他の実施形態に係る搬送装置は、
把持板を開閉動作させて被処理物の周縁を把持する把持装置と、
前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を備える搬送装置であって、
前記把持装置は、
前記周縁に当接させる第１の把持体を有した第１の把持板と、前記周縁に当接させる第２の把持体を有した第２の把持板と、を有し、前記第１の把持体と、前記第２の把持体と、が互いに接離するように、前記第１の把持板および前記第２の把持板の少なくとも一方を移動させる把持部と、
前記把持部を昇降させる昇降部と、
前記把持部による開閉動作と、前記昇降部による昇降動作と、を制御する動作制御部と、
を備え、
前記動作制御部は、第１の昇降動作、前記開閉動作、前記第１の昇降動作と同じ方向に昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御すること、を特徴とし、
前記把持装置は、上下に配置されるように２つ設けられ、
上方に位置する第１の把持装置の昇降動作と、前記第１の把持装置の下方に位置する第２の把持装置の昇降動作とが相互に逆方向とされることを特徴とする。
【０００８】
また、他の実施形態に係る処理装置は、上記の把持装置と、前記把持装置の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置と、複数の被処理物を積層するようにして収納する収納部と、前記被処理物に処理を施す処理部と、を備えている。
【０００９】
また、他の実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、上記の把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、前記収納部から取り出された前記未処理の被処理物に処理を施す工程と、前記処理が施された被処理物を前記把持装置を用いて前記収納部に収納する工程と、を備えている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、機構の簡易化、軽量化を図ることができる把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式分解図である。
【図３】（ａ）〜（ｅ）は、比較例に係る受け渡しの様子を例示するための模式図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、把持装置の作用について例示をするための模式図である。
【図５】（ａ）〜（ｄ）は、把持装置の作用について例示をするための模式図である。
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、把持装置の作用について例示をするための模式図である。
【図７】本実施の形態に係る搬送装置を例示するための模式斜視図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に係る搬送装置における被処理物の受け渡しの様子を例示するための模式図である。
【図９】本実施の形態に係る処理装置について例示をするための模式図である。
【図１０】本実施の形態に係る処理装置における被処理物の受け渡しの様子を例示するための模式図である。（ａ）は載置部の最上段側における受け渡しを表し、（ｂ）は載置部の中段における受け渡しを表し、（ｃ）は載置部の最下段側における受け渡しを表している。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
図１は、本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式斜視図である。
図２は、本実施の形態に係る把持装置を例示するための模式分解図である。
図３は、比較例に係る受け渡しの様子を例示するための模式図である。  
なお、図１、図２中の矢印Ｘ、Ｙ、Ｚは互いに直交する三方向を表しており、例えば、Ｘ、Ｙは水平方向、Ｚは鉛直方向を表している。
【００１３】
まず、比較例に係る受け渡しの様子を例示する。  
図３は、一例として、一連の処理作業の途中の段階を表している。例えば、一連の処理作業において行われる載置部５５（図８を参照）での被処理物Ｗの受け渡しの様子を表している。
【００１４】
この場合、載置部５５の上部には処理済の被処理物Ｗが載置され、載置部５５の下部には未処理の被処理物Ｗが載置されているものとしている。  
また、処理部と載置部５５との間において被処理物Ｗの搬送を行う搬送装置には、アーム１０１、１０２が設けられているものとする。なお、アーム１０１は、アーム１０２の上方に設けられ被処理物Ｗを把持する図示しない把持装置が備えられている。
【００１５】
また、搬送装置に設けられた図示しない昇降部は、アーム１０１、１０２に対して共用とされ、アーム１０１、１０２が同時に昇降するようになっている。
アーム１０１、１０２は搬送装置により載置部５５の前に位置決めされ被処理物Ｗの受け渡しが開始される。
【００１６】
まず、図３（ａ）に示すように、図示しない昇降部により処理済の被処理物Ｗを把持したアーム１０１の高さ方向の位置を位置決めする。この際、処理済の被処理物Ｗの下面位置が、載置部５５の当該被処理物Ｗを保持させる保持部９０の上面位置よりもわずかに高い位置に位置決めされる。  
この様に、アーム１０１を一旦停止させて保持部９０の上方の所定の位置に位置決めさせることにより、被処理物Ｗを保持部９０へ載置する際に、被処理物Ｗと保持部９０とが接触する際の衝撃を少なくすることができる。そのため、被処理物Ｗを保持部９０に載置する際に、被処理物Ｗが跳ねたり、位置がずれたりすることを抑制することができる。
次に、図３（ｂ）に示すように、アーム１０１を載置部５５の方向に移動させる。載置部５５の内部に挿入された被処理物Ｗの下面位置は、保持部９０の上面位置よりもわずかに高い位置に位置決めされる。そして、被処理物Ｗの把持を開放し、図示しない昇降部によりアーム１０１を下降させて、処理済の被処理物Ｗを保持部９０に載置する。この際、アーム１０１は、そのまま下降して、処理済みの被処理物Ｗを載置した保持部９０と、これの下方に隣接する保持部９０との間の位置に位置決めされる。
【００１７】
次に、図３（ｃ）に示すように、アーム１０１を載置部５５から離れる方向に移動させる。  
次に、図３（ｄ）に示すように、未処理の被処理物Ｗを載置部５５から取り出すために、アーム１０２の高さ方向の位置を位置決めする。この際、載置部５５に載置されている未処理の被処理物Ｗの下面と、アーム１０２との間にわずかに隙間ができる様な位置に位置決めされる。  
この様に、アーム１０２を一旦停止させて保持部９０の下方の所定の位置に位置決めさせることにより、被処理物Ｗをアーム１０２で保持する際に、被処理物Ｗとアーム１０２とが接触する際の衝撃を少なくすることができる。そのため、被処理物Ｗをアーム１０２で保持する際に、被処理物Ｗが跳ねたり、位置がずれたりすることを抑制することができる。  
そして、アーム１０２を載置部５５の方向に移動させる。載置部５５の内部に挿入されたアーム１０２は、未処理の被処理物Ｗの下方に位置決めされる。その後、図示しない昇降部によりアーム１０２を上昇させて、未処理の被処理物Ｗをアーム１０２上に載置する。この際、アーム１０２は、そのまま上昇して、受け取った未処理の被処理物Ｗが載置されていた保持部９０と、これの上方に隣接する保持部９０との間の位置に位置決めされる。アーム１０２上に載置された未処理の被処理物Ｗは図示しない把持装置により把持される。
【００１８】
次に、図３（ｅ）に示すように、アーム１０２を載置部５５から離れる方向に移動させる。この様にして、処理済の被処理物Ｗ、未処理の被処理物Ｗの受け渡しが行われる。なお、処理部における処理済の被処理物Ｗ、未処理の被処理物Ｗの受け渡しも同様の動作で行うようにすることができる。  
この様に、搬送装置に設けられた図示しない昇降部は、アーム１０１、１０２に対して共用とされ、アーム１０１、１０２が同時に昇降するようになっている。そのため、２つの保持部９０において被処理物Ｗを受け渡す場合には、図３に例示をしたように、被処理物Ｗを１つずつ受け渡すことが必要となる。
この場合、アーム１０１、１０２毎に昇降部を設けるようにすれば、２つの保持部９０において被処理物Ｗを同時に受け渡すことができる。しかしながら、アーム１０１、１０２には被処理物Ｗを把持する把持装置を設ける必要があり、これとは独立に別駆動される昇降部を設けるものとすれば、機構の複雑化、重量化などを招くことになる。
【００１９】
次に、図１、図２に戻って、本実施の形態に係る把持装置について例示をする。  
図１、図２に示すように、把持装置１には、把持部２７、昇降部２８、動作制御部１４、駆動部２０が設けられている。  
把持部２７には、被処理物Ｗを把持するための把持板２４（第２の把持板）、把持板２６（第１の把持板）が設けられている。  
把持板２６は、Ｘ方向に延出するようにして設けられ、一方の端部には被処理物Ｗの周縁に当接させるための把持体２５ｂ（第１の把持体）が設けられている。また、把持板２６の上面には被処理物Ｗを載置することができるようになっている。把持板２６の他方の端部には取付板２９が設けられている。取付板２９は、Ｙ方向に延出するようにして設けられ、一方の端部にはバネポスト２２ａが設けられている。取付板２９には、後述するラック１８ａ、ガイドブロック１９ａが取付けられる。
【００２０】
把持板２４は、把持板２６を挟んで対称な位置に２つ設けられている。把持板２４は、Ｘ方向に延出するようにして設けられ、一方の端部には被処理物Ｗの周縁に当接させるための把持体２５ａ（第２の把持体）がそれぞれ設けられている。把持板２４の他方の端部には取付板２３が設けられている。取付板２３は、Ｙ方向に延出するようにして設けられている。取付板２３には、後述するラック１８ｂ、ガイドブロック１９ｂが取付けられる。  なお、３つの把持体（２つの把持体２５ａと把持体２５ｂ）を被処理物Ｗの周縁に当接させる場合を例示したが、把持体は２つ以上であればよい。ただし、３つ以上の把持体を用いるものとすれば、被処理物Ｗの把持を安定させることができる。
【００２１】
バネ２２の一方の端部に設けられたフックはバネポスト２２ａに掛けられ、他方の端部に設けられたフックは後述するバネポスト２２ｂに掛けられる。  
把持板２６の先端は、把持板２４の先端よりもＸ方向に突出した位置に設けられ、把持体２５ｂの位置も把持体２５ａの位置よりもＸ方向に突出した位置となっている。被処理物Ｗは把持板２６の上面に載置され、被処理物Ｗの周縁に把持体２５ａ、２５ｂを当接させるとともにバネ２２により付勢力を加えることで被処理物Ｗを把持することができるようになっている。
【００２２】
開閉同期部１８は、開閉動作において、把持板２６の移動方向と、把持板２４の移動方向と、を互いに逆向きとさせる。  
開閉同期部１８には、ラック１８ａ、ラック１８ｂと、これらに係合するピニオン歯車１８ｃが設けられている。ピニオン歯車１８ｃは、後述するベース板１６の上面から立設された図示しない軸に回転自在に取り付けられている。前述したように、取付板２９にはラック１８ａが取り付けられ、取付板２３にはラック１８ｂが取り付けられているので、把持板２６、把持板２４のいずれか一方を移動させると、いずれか他方は反対の方向に移動することができる。そのため、把持部２７に載置された被処理物Ｗの把持、または把持の開放を行うことができる。  
なお、開閉同期部１８として、いわゆるラックアンドピニオン(rack and pinion)機構を例示したがこれに限定されるわけではない。被処理物Ｗの把持、または把持の開放を機械的に同期させて行わせることのできる機構を適宜用いることができる。例えば、リンク機構などを用いるようにすることもできる。
なお、本実施の形態においては、開閉動作において把持板２４と把持板２６とが互いに逆向きに動作する機構に関して例示しているが、必ずしも把持板２４と把持板２６とが移動しなくてもよい。すなわち、把持板２４または、把持板２６のいずれか片方を動作させて被処理物Ｗを把持・開放するようにしてもよい。
この場合、把持板２４のみを動作させる場合には、ベース板１６に把持板２６を固定すればよい。このようにすれば、把持板２６の移動に伴って移動するガイドブロック１９ａを省略することができる。また、把持板２４と把持板２６とが同期して移動する必要がなくなるため、開閉同期部１８を省略することができ、構造を簡略にすることができる。
また、把持板２６のみを動作させる場合には、把持板２４と取付板２３とを接続せずに把持板２４をベース板１６に固定すればよい。この場合、取付板２３が移動することで開閉同期部１８が作用し、把持板２６のみが開閉動作することになる。この場合は、取付板２３、開閉同期部１８を省略することはできないが、把持板２４とベース板１６とを一体化することができるので、構造を簡略にすることができる。
この様に、把持板２４または把持板２６が互いに接離する方向に相対的に移動可能な把持部とすることで、被処理物Ｗの把持・開放を行うこともできる。
【００２３】
昇降部２８には、ベース板１６が設けられている。ベース板１６の上面には、１組のガイドレール１９が互いに平行となるようにしてＸ方向に延出するように設けられている。ガイドレール１９には、ガイドレール１９上を滑動するガイドブロック１９ａ、１９ｂがそれぞれ設けられている。そのため、ガイドブロック１９ａに取り付けられた取付板２９を介して把持板２６をＸ方向に移動させることができる。また、ガイドブロック１９ｂに取り付けられた取付板２３を介して把持板２４をＸ方向に移動させることができる。
【００２４】
ガイドレール１９の外側であって、ベース板１６のＸ方向における中央近傍には１組の軸受け２１が設けられている。軸受け２１の孔部２１ａには後述する軸７５が挿通されており、軸７５に沿って昇降部２８を昇降させることができるようになっている。  
そのため、昇降部２８は、これに取り付けられた把持部２７を昇降させることができる。
【００２５】
ベース板１６のＹ方向の側面には、カムフォロア１７が設けられている。カムフォロア１７は、Ｘ方向に沿って、片側の側面に２つずつ設けられている。
ベース板１６の上面にはバネポスト２２ｂが立設され、バネポスト２２ｂにはバネ２２のフックが掛けられている。
【００２６】
動作制御部１４には、１組のカム１３が設けられている。カム１３は、Ｘ方向に延出するようにして設けられている。カム１３の主面はＹ方向と直交しており、カム１３の主面にはカム１３を貫通するカム孔１３ａが設けられている。カム孔１３ａは第１の傾斜部１３ａ１と、水平部１３ａ２と、第２の傾斜部１３ａ３とを有し、カムフォロア１７が係合するようになっている（図４を参照）。そのため、カム孔１３ａの形状に倣って昇降部２８を所定のタイミングで昇降させることができる。
本実施の形態においては、４個のカムフォロア１７と２個の軸受２１を使用している。そのため、昇降部２８がＺ軸に垂直な状態（ＸＹ面に平行な状態）となったまま昇降移動させることができる。また、本実施の形態では互いに対向して設けられた１組のカムを有し、カムには、２個のカム孔が設けられている。そして、１組のカムに設けられたすべてのカム孔は、相似形状を有しているため、昇降部２８を安定して昇降移動させることができる。  
しかしながら、カムフォロア１７、軸受２１の数はこれに限定されるわけではない。ガイド機構やリンク機構などを用いることでカムフォロア１７、軸受２１の数を、例えば、１個または２個に削減することができる。
【００２７】
カム１３の端部近傍には取付板１５ｂ、１５ｃがそれぞれ設けられている。取付板１５ｂは後述するガイドブロック８に取り付けられ、取付板１５ｃは後述するガイドブロック７に取り付けられている。そのため、ガイドブロック８に取り付けられた取付板１５ｂ、ガイドブロック７に取り付けられた取付板１５ｃを介して動作制御部１４をＸ方向に移動させることができる。
【００２８】
カム１３の取付板１５ｃが設けられた側の端部近傍であって、カム１３同士の間には、カム１３同士を連結する連結板１５が設けられている。連結板１５にはボス部１５ａが設けられ、ボス部１５ａには後述するナット部４を挿通するための孔１５ａ１が設けられている。
【００２９】
取付板１５ｃにはバネポスト１１ａが設けられている。バネ１２の一方の端部に設けられたフックはバネポスト１１ａに掛けられ、他方の端部に設けられたフックは後述するバネポスト１１ｂに掛けられる。
【００３０】
駆動部２０には、ベース板４０が設けられている。ベース板４０の上面には、１組のガイドレール７１が互いに平行となるようにしてＸ方向に延出するように設けられている。ガイドレール７１には、ガイドレール７１上を滑動するガイドブロック７、８、９がそれぞれ設けられている。
【００３１】
ベース板４０の一方の端部にはブラケット４０ａが設けられ、ブラケット４０ａにはモータ２が取り付けられている。モータ２は、例えば、サーボモータ、パルスモータなどの制御モータなどとすることができる。
【００３２】
モータ２の回転軸には、カップリング７２を介してネジ軸３が取り付けられている。ネジ軸３の両端近傍には、軸受け７３、７４が設けられ、ネジ軸３を回転自在に支持するようになっている。ネジ軸３にはナット部４が螺合されている。ナット部４は、ボス部１５ａに設けられた孔１５ａ１に挿通され、ナット部４の端部に設けられたフランジ部４ａがボス部１５ａに取り付けられている。そのため、モータ２の回転運動を直進運動に変換し、これを動作制御部１４に伝達することができるようになっている。なお、モータ２の回転による各部の動作に関しては後述する。
【００３３】
ガイドレール７１の内側であって、ベース板４０のＸ方向における中央近傍には１組の軸７５が立設されている。前述したように、軸７５は軸受け２１の孔部２１ａを挿通するようになっている。
【００３４】
ガイドブロック９には、開閉板１０が設けられている。開閉板１０の一端には上方に向かって突出する突出部１０ａ（第１の突出部）と、ベース板４０の外側に向けて突出する突出部１０ｂ（第２の突出部）とが設けられている。突出部１０ａは、取付板２３の端面と当接するようになっている。突出部１０ｂは、ベース板４０の上面に立設された係止部４０ｂと当接するようになっている。開閉板１０の上面にはバネポスト１１ｂが立設され、バネポスト１１ｂにはバネ１２のフックが掛けられている。そのため、突出部１０ｂが係止部４０ｂにより係止されていない場合には、バネ１２の付勢力により開閉板１０、動作制御部１４とが一体的に移動する。突出部１０ｂが係止部４０ｂにより係止された場合には、開閉板１０の移動が停止する。一方、動作制御部１４はバネ１２の付勢力に抗して移動を続ける。そのため、後述する把持部２７の開閉動作、把持部２７の昇降動作（Ｚ方向の移動）を行わせることができる。
【００３５】
次に、本実施の形態に係る把持装置１の作用について例示をする。  
図４〜図６は、把持装置１の作用について例示をするための模式図である。  
図４（ａ）、図５（ａ）、図６（ａ）に示すように、動作制御部１４（カム１３）が突出端（モータ２がある側とは反対の側）にある時には、カムフォロア１７が上昇端位置、すなわち、把持部２７が上昇端位置にある。この際、バネ２２の付勢力によって把持板２６がモータ２の側に引き込まれる。そのため、開閉同期部１８の作用により把持板２４が突出するので把持部２７は被処理物Ｗを把持する状態（閉状態）となる。  
なお、図５（ａ）に示すように、突出部１０ａと取付板２３、および、突出部１０ｂと係止部４０ｂとの間には隙間がある。
【００３６】
次に、モータ２により動作制御部１４をモータ２の側に移動させるとカム１３も同方向に移動することになる。そのため、図４（ｂ）、図５（ｂ）、図６（ｂ）に示すように、カム孔１３ａの第１の傾斜部１３ａ１に沿ってカムフォロア１７が下降、すなわち、把持部２７が下降する。この様にして、被処理物Ｗを把持した状態（閉状態）のまま把持部２７を下降させることができる。
【００３７】
次に、図４（ｃ）、図５（ｃ）、図６（ｃ）に示すように、モータ２により動作制御部１４をモータ２の側にさらに移動させると、カム孔１３ａの水平部１３ａ２に沿ってカムフォロア１７が移動する。カム孔１３ａの水平部１３ａ２にカムフォロア１７が侵入した際には、突出部１０ａと取付板２３とが当接するようになっている。そのため、カム孔１３ａの水平部１３ａ２に沿ってカムフォロア１７が移動する際に突出部１０ａにより取付板２３が押されて、把持板２４がモータ２の側に引き込まれる。この際、開閉同期部１８の作用により把持板２６が突出するので把持部２７は被処理物Ｗを開放する状態（開状態）となる。また、カム孔１３ａの水平部１３ａ２の端部にまでカムフォロア１７が移動した際には、突出部１０ｂと係止部４０ｂとが当接するようになっている。そのため、突出部１０ｂと係止部４０ｂとが当接することで、取付板２３の移動が停止されるので前述した被処理物Ｗの開放動作が停止する。  
この様にして、把持部２７のＺ方向位置を一定に保ったまま被処理物Ｗを開放する状態（開状態）とすることができる。
この場合、把持板２４のみを動作させるためにベース板１６に把持板２６を固定した構成においては、把持板２６は移動せず、把持板２４のみが移動して、被処理物Ｗを開放する状態となる。一方、把持板２６のみを動作させるためにベース板１６に把持板２４を固定した構成においては、把持板２４は移動せず、把持板２６のみが移動して、被処理物Ｗを開放する状態となる。なお、この場合、取付板２３、開閉同期部１８が上記の説明と同様の動作をし、把持板２６が被処理物Ｗから離れた状態となる。
【００３８】
次に、図４（ｄ）、図５（ｄ）、図６（ｄ）に示すように、モータ２により動作制御部１４をモータ２の側にさらに移動させると、カム孔１３ａの第２の傾斜部１３ａ３に沿ってカムフォロア１７が下降、すなわち、把持部２７が下降する。そのため、被処理物Ｗを開放した状態（開状態）のまま把持部２７を下降させることができる。
【００３９】
以上のようにして、把持部２７の開閉動作、把持部２７の昇降動作（Ｚ方向の移動）を行わせることができる。  
なお、モータ２により動作制御部１４をモータ２の側とは反対の側に移動させれば、前述した手順とは逆の手順により把持部２７の開閉動作、把持部２７の昇降動作（Ｚ方向の移動）を行わせることができる。
【００４０】
すなわち、動作制御部１４は、第１の傾斜部１３ａ１における第１の昇降動作、水平部１３ａ２における開閉動作、第２の傾斜部１３ａ３における第１の昇降動作と同じ方向に把持部２７を昇降させる第２の昇降動作をこの順で機械的に制御することができる。つまり、動作制御部１４は、昇降動作をさせるとともに、昇降動作と開閉動作とのタイミングを合わせる。
【００４１】
また、動作制御部１４は、カム１３を有し、このカム１３により、第１の昇降動作、開閉動作、第２の昇降動作をこの順で機械的に制御する。  
この場合、第１の昇降動作と第２の昇降動作とが上昇動作である場合には、開閉動作は被処理物Ｗの周縁に把持体２５ａと把持体２５ｂとを当接させる動作（把持動作）とすることができる。  
また、第１の昇降動作と第２の昇降動作とが下降動作である場合には、開閉動作は被処理物Ｗの周縁から把持体２５ａと把持体２５ｂとを離隔させる動作（開放動作）とすることができる。  
なお、昇降部２８の昇降方向はＺ軸方向に限定されるわけではなく、把持部２７に設けられた把持板２６の上面（被処理物Ｗが載置される面）をＸＹ面から傾けたまま把持部２７を昇降させるようにしてもよい。つまり、第１の昇降動作と第２の昇降動作とが同じ方向であれば、昇降部２８の昇降方向は任意の方向とすることができる。
【００４２】
本実施の形態によれば、被処理物Ｗの把持／開放動作と、被処理物Ｗの昇降動作とを共通の駆動部により行うことができる。そのため、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができる。  
また、図３に例示をしたもののように、把持／開放動作と昇降動作とを別々の駆動部により行うものとすれば、相手側の動作を確認した上で動作を行う必要がある。すなわち、いわゆるインターロックをかける必要がある。そのため、タイムラグが生じて、被処理物Ｗの受け渡しに要する時間が長くなるおそれがある。  
これに対し、本実施の形態によれば、把持／開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。そのため、被処理物Ｗの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。
【００４３】
次に、本実施の形態に係る搬送装置について例示をする。  
本実施の形態に係る搬送装置は、前述した把持装置１を備えたものとすることができる。例えば、把持装置１と、把持装置１の位置を変化させる移動部と、を備えたものとすることができる。  
図７は、本実施の形態に係る搬送装置を例示するための模式斜視図である。
図７に例示をした搬送装置５０は、把持装置１と、移動部としていわゆるダブルアーム型の水平多関節ロボットと、を備えた場合である。  
図７に示すように、搬送装置５０には、把持装置１、水平多関節ロボット５１が設けられている。  
また、水平多関節ロボット５１には、支持部５２、アーム５３、アーム５４が設けられている。
【００４４】
アーム５３、アーム５４は、支持部５２の上端に設けられた可動部５２ａの上面に設けられている。  
アーム５３は、可動部５２ａの上面に設けられた第１アーム５３ａと、第１アーム５３ａ上に軸支された第２アーム５３ｂとを備えている。  
アーム５４は、可動部５２ａの上面に設けられた第１アーム５４ａと、第１アーム５４ａ上に軸支された第２アーム５４ｂとを備えている。
【００４５】
支持部５２には、可動部５２ａを矢印Ａ方向に昇降させる図示しない昇降駆動部と、可動部５２ａを矢印Ｂ方向に旋回させる図示しない旋回駆動部とが設けられている。  
また、支持部５２には、アーム５３を伸縮動作させる図示しない伸縮駆動部と、アーム５４を伸縮動作させる図示しない伸縮駆動部とが設けられている。  
そして、第２アーム５３ｂの先端部と、第２アーム５４ｂの先端部と、には把持装置１がそれぞれ設けられている。  
また、第２アーム５３ｂと把持装置１とは、コの字状を呈する部材５６で接続されている。そのため、第２アーム５３ｂと把持装置１との間には空間が形成されることになる。この空間は、アーム５４が伸縮した際に第２アーム５４ｂに設けられた把持装置１が通過可能となるような縦横寸法となっている。
なお、水平多関節ロボット５１としては既知の技術を適用させることができるので、詳細な説明は省略する。
アーム５３、アーム５４に設けられた２つの把持装置１の間隔は、それぞれの把持装置１が被処理物Ｗを把持・開放する際に（図４，５，６の各（ｂ）（ｃ）におけるカムフォロアの位置に至ったときに）、保持部９０のピッチ間隔の整数倍に等しくなるように調整することができる。このように２つの把持装置１の間隔を調整することで、被処理物Ｗを把持した把持装置１が被処理物Ｗを保持部９０に載置する動作と、被処理物Ｗを把持していない把持装置１が被処理物Ｗを保持部９０から受け取る動作とを同時に行うことができる。なお、保持部９０における載置、受け取りに関しては後述する。
【００４６】
次に、本実施の形態に係る搬送装置５０の作用について例示をする。  
ここでは、一例として、本実施の形態に係る搬送装置５０における被処理物Ｗの受け渡しについて例示をする。  
図８は、本実施の形態に係る搬送装置における被処理物の受け渡しの様子を例示するための模式図である。  
なお、図８は、一例として、一連の処理作業の途中の段階を表している。例えば、一連の処理作業において行われる載置部５５（図８を参照）での被処理物Ｗの受け渡しの様子を表している。  
この場合、載置部５５の上部には処理済の被処理物Ｗが載置され、載置部５５の下部には未処理の被処理物Ｗが載置されているものとしている。  
また、前述した水平多関節ロボット５１のアーム５３、アーム５４などは省略して描いている。
【００４７】
まず、図８（ａ）に示すように、アーム５３、アーム５４が水平多関節ロボット５１により載置部５５の前に位置決めされ被処理物Ｗの受け渡しが開始される。  
この際、上方に位置する把持装置１（第１の把持装置の一例に相当する）の把持板２４、把持板２６には処理済の被処理物Ｗが載置、把持され、下方に位置する把持装置１（第２の把持装置の一例に相当する）の把持板２４、把持板２６には被処理物Ｗが載置されていないものとする。  
また、上方に位置する把持装置１に把持された被処理物Ｗの下面位置は、前述した第１の昇降動作により下降した際に、保持部９０の上面位置よりもわずかに高い位置となるように位置決めされる。  
下方に位置する把持装置１の把持板２４、把持板２６の上面位置は、前述した第２の昇降動作により上昇した際に、保持部９０に保持された未処理の被処理物Ｗをわずかに持ち上げることができる様な位置に位置決めされる。
【００４８】
次に、図８（ｂ）に示すように、アーム５３、アーム５４を伸縮させて、上方に位置する把持装置１に把持された処理済の被処理物Ｗと、下方に位置する把持装置１の把持板２４、把持板２６を載置部５５の内部に挿入する。そして、上方に位置する把持装置１を作用させて処理済の被処理物Ｗを保持部９０に載置する。また、下方に位置する把持装置１を作用させて保持部９０から未処理の被処理物Ｗを受け取る。
このような動作を行う場合、例えば、上方に位置する把持装置１の第１の昇降動作と第２の昇降動作とを下降動作、下方に位置する把持装置１の第１の昇降動作と第２の昇降動作とを上昇動作とすることができる。つまり、上方に位置する把持装置１の昇降動作と、これの下方に位置する把持装置１の昇降動作とが相互に逆方向とされるようにすることができる。
なお、それぞれの把持装置１の昇降動作を上述した方向とは逆方向に行い、上方に位置する把持装置１が保持部９０から未処理の被処理物Ｗを受け取り、下方に位置する把持装置１が処理済の被処理物Ｗを保持部９０に載置するようにしてもよい。
上下の把持装置１におけるそれぞれの昇降動作を同時、且つ逆方向に行うようにすれば、被処理物Ｗの取り置き（載置及び受け取り）を同時に行うことができる。そのため、１回のアームの伸縮昇降動作で被処理物Ｗの同時交換を行うことができ、図３に示す搬送動作を行う比較例に対して、被処理物Ｗの交換動作時間をほぼ１／２に短縮することができる。
なお、把持装置１の作用に関しては前述したものと同様のため詳細な説明は省略する。
【００４９】
次に、図８（ｃ）に示すように、アーム５３、アーム５４を伸縮させて、上方に位置する把持装置１の把持板２４、把持板２６と、下方に位置する把持装置１に把持された未処理の被処理物Ｗを載置部５５から離れる方向に移動させる。  
アーム５４に設けられた把持装置１は、伸縮時に前述した部材５６により形成された空間を通り抜けることにより、アーム５３に設けられた把持装置１と干渉しないようになっている。
この様にして、処理済の被処理物Ｗ、未処理の被処理物Ｗの受け渡しが行われる。なお、後述する収納部６１、処理部６５ａ〜６５ｄにおける処理済の被処理物Ｗ、未処理の被処理物Ｗの受け渡しも同様の動作で行うようにすることができる。
【００５０】
なお、移動部としてダブルアーム型の水平多関節ロボット５１を備えた場合を例示したがこれに限定されるわけではない。  
把持装置１の位置を変化させることができるものを適宜選択することができる。例えば、いわゆる垂直多関節ロボット、直交ロボット、単軸ロボットなどとしてもよい。
【００５１】
本実施の形態によれば、把持装置に被処理物Ｗの把持と開放とを行わせることができるとともに、受け渡しの際の昇降動作をも行わせることができる。そのため、複数の受け渡し位置において同時に被処理物Ｗの受け渡しを行うことができる。  
また、把持／開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。  
また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、移動部の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。  
そのため、被処理物Ｗの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。
【００５２】
次に、本実施の形態に係る処理装置について例示をする。  
本実施の形態に係る処理装置は、前述した把持装置１と、把持装置１の位置を変化させる移動部と、を有する搬送装置５０を備えたものとすることができる。  
例えば、搬送装置５０と、複数の被処理物Ｗを積層するようにして収納する収納部と、被処理物Ｗに処理を施す処理部と、を備えたものとすることができる。
【００５３】
図９は、本実施の形態に係る処理装置について例示をするための模式図である。  
図９に示すように、処理装置６０には、収納部６１、搬送装置５０ａ、搬送装置５０ｂ、載置部５５、移動部６２、処理部６５ａ〜６５ｄなどが設けられている。  
収納部６１は、複数の被処理物Ｗを積層するようにして収納するものとすることができる。例えば、フープ（ＦＯＵＰ；Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれるウェーハを複数枚収納することができる密閉ケースとすることができる。
【００５４】
搬送装置５０ａ、搬送装置５０ｂは、前述した搬送装置５０と同様のものとすることができる。  
載置部５５は、例えば、図７に例示をしたような複数の被処理物Ｗを積層するようにして載置するものとすることができる。
この場合、搬送装置５０ｂは、前述した搬送装置５０と同様に把持装置１を用いて図８に示した動作を行うものとすることができる。搬送装置５０ａは、収納部６１と載置部５５との間において被処理物Ｗを移載する。この場合、複数の被処理物Ｗを把持搬送できる搬送装置５０ａとすることで、移載回数を少なくしてもよい。また、搬送装置５０ｂは、収納部６１と処理部６５ａ〜６５ｄとの間で被処理物Ｗを移載するものとしてもよい。
なお、載置部５５は必ずしも必要ではなく、収納部６１、搬送装置５０ａ、搬送装置５０ｂ、処理部６５ａ〜６５ｄのレイアウトなどに応じて適宜設けるようにすることができる。
図１０は、本実施の形態に係る処理装置における被処理物の受け渡しの様子を例示するための模式図である。
なお、以下においては、処理済みの被処理物Ｗ１と未処理の被処理物Ｗ２とを、単に、被処理物Ｗと表すこともある。
なお、図１０（ａ）は載置部５５の最上段側における受け渡しを表し、図１０（ｂ）は載置部５５の中段における受け渡しを表し、図１０（ｃ）は載置部５５の最下段側における受け渡しを表している。
図１０（ａ）〜（ｃ）に例示をしたものは、搬送装置５０ａによる被処理物Ｗの移載と、搬送装置５０ｂによる被処理物Ｗの移載とを並行して行う場合の移載動作を表す図である。  
前述したように搬送装置５０ａは収納部６１と載置部５５との間で被処理物Ｗの移載を行い、搬送装置５０ｂは処理部６５ａ〜６５ｂと載置部５５との間で被処理物Ｗの移載を行う。
載置部５５は、被処理物Ｗを保持する保持部９０を複数備えている。また、載置部５５は、搬送装置５０ａと搬送装置５０ｂとがそれぞれアクセスできるような開口５５ａ、５５ｂを有している。
また、搬送装置５０ａには、複数の被処理物Ｗを同時に移載できるように複数の把持装置２０１が設けられている。また、搬送装置５０ｂには、上下に２つの把持装置１が設けられている。
搬送装置５０ａは、載置部５５の最上段から数えてＮ＋１段目の保持部９０から、未処理の被処理物Ｗ２の収納を始めるようにする。ここで、図１０に示すように、Ｎは、間隔Ａの間に設けられた保持部９０の数とすることができる。また、間隔Ａは、搬送装置５０ｂにおいて上側に位置する把持装置１と、下側に位置する把持装置１とがそれぞれ被処理物Ｗを把持または開放する際の高さ方向における把持板２４、２６間の間隔とすることができる。例えば、図１０に示すものの場合には、Ｎは２となり、未処理の被処理物Ｗ２の収納は最上段から数えて３段目の保持部９０から始められる。
ここで、Ｎ＋１段目よりも上に未処理の被処理物Ｗ２が収納されていると、この部分が空くまでは搬送装置５０ｂにより処理済みの被処理物Ｗ１を収納することができない。そこで、Ｎ＋１段目から未処理の被処理物Ｗ２の収納を行うようにすることで、搬送装置５０ｂの待ち時間を短縮するようにしている。
すなわち、最上段側の保持部９０が空くことを待たずに最上段側から処理済みの被処理物Ｗ１を収納することができるようにすることで、搬送装置５０ｂの待ち時間を短縮するようにしている。
【００５５】
移動部６２は、１列に配置された複数の収納部６１において搬送装置５０ａによる被処理物Ｗの受け渡しを行うために設けられている。すなわち、所定の収納部６１の前方に搬送装置５０ａを移動、位置決めさせるために設けられている。移動部６２は、例えば、いわゆる単軸ロボットなどとすることができる。移動部６２は必ずしも必要ではなく、収納部６１の数やレイアウトなどに応じて適宜設けるようにすることができる。
【００５６】
処理部６５ａ〜６５ｄは、被処理物Ｗに各種処理を施すものを適宜選択することができる。例えば、被処理物Ｗがウェーハやガラス基板などの場合には、スパッタリング装置やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）装置などの各種の成膜装置、酸化装置、熱拡散装置やイオン注入装置などの各種のドーピング装置、アニール装置、レジスト塗布装置やレジスト剥離装置などの各種のレジスト処理装置、露光装置、ウェットエッチング装置やドライエッチング装置などの各種のエッチング処理装置、ウェット洗浄装置やドライ洗浄装置などの各種の洗浄装置、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）装置などを例示することができる。ただし、これらに限定されるわけではなく被処理物Ｗの処理に応じて適宜変更することができる。なお、これらの各種装置については既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
【００５７】
本実施の形態に係る処理装置６０においては、収納部６１、載置部５５における被処理物Ｗの受け渡しを収納部６１に面して設けられた搬送装置５０ａによって行う。この場合、移動部６２によって所定の収納部６１の前方に搬送装置５０ａを移動、位置決めさせる。また、処理部６５ａ〜６５ｄ、載置部５５における被処理物Ｗの受け渡しを処理部６５ａ〜６５ｄに面して設けられた搬送装置５０ｂによって行う。  
なお、搬送装置５０ａ、搬送装置５０ｂによる被処理物Ｗの受け渡しは、前述した搬送装置５０の場合と同様のためその説明は省略する。
【００５８】
本実施の形態によれば、把持／開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。  
また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、搬送装置の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。  
そのため、被処理物Ｗの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。
【００５９】
次に、本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法について例示をする。  
本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法においては、本実施の形態に係る把持装置を用いて被処理物Ｗの受け渡しを行う。  
すなわち、本実施の形態に係る把持装置を用いて収納部から未処理の被処理物を取り出す工程と、収納部から取り出された未処理の被処理物に処理を施す工程と、処理が施された被処理物を把持装置を用いて収納部に収納する工程と、を備えたものとすることができる。  
この場合、収納部における未処理の被処理物が取り出された場所に、処理が施された被処理物を元に戻すようにして収納することもできる。すなわち、収納部から未処理の被処理物を取り出す工程において取り出された場所と、収納部に収納する工程において処理済みの被処理物が収納される場所と、が同一となるようにすることもできる。
【００６０】
本実施の形態によれば、把持／開放動作、昇降動作の手順を機械的に制御することができるので、不要なタイムラグが生ずることがない。また、正確な動作を高速で行わせることができる。  
また、把持装置の機構の簡易化、軽量化を図ることができるので、搬送装置の負荷軽減、動作の高速化などを図ることができる。  
そのため、被処理物Ｗの受け渡しに要する時間を短縮することができ、生産性の向上を図ることができる。
【００６１】
以上、実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。  
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。  
例えば、把持装置１、搬送装置５０、処理装置６０などに設けられた各要素の形状、寸法、配置、数などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、把持装置１において、ネジ軸３とナット部４を用いたものを例示したが、ベルトとプーリなどを用いてモータ２の回転運動を直進運動に変換してもよい。すなわち、動作制御部１４を直進運動させることができるものであればよい。  
また、処理装置６０における収納部、搬送装置、載置部、移動部、処理部などの数、レイアウトなどは例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６２】
１  把持装置、１３  カム、１３ａ  カム孔、１４  動作制御部、１８  開閉同期部、２０  駆動部、２４  把持板、２５ａ、２５ｂ  把持体、２６  把持板、２７  把持部、２８  昇降部、５０  搬送装置、５０ａ  搬送装置、５０ｂ  搬送装置、５５  載置部、６１  収納部、６５ａ〜６５ｄ  処理部、９０  保持部、Ｗ  被処理物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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