(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ素子（２０）が固定された第１ハウジング（１０）と、圧力流体の導入孔（５１）が形成された第２ハウジング（５０）とが接合されて成る圧力センサであって、
前記第１ハウジング（１０）と前記第２ハウジング（５０）とが、メタルダイヤフラム（６０）を介して互いに対向し、
前記第１ハウジング（１０）における前記メタルダイヤフラム（６０）側の端部に凹部（１１）が形成され、
該凹部（１１）、及び、前記メタルダイヤフラム（６０）によって圧力検出室（１５）が構成され、
該圧力検出室（１５）に、前記センサ素子（２０）が設けられ、
前記圧力検出室（１５）が、前記メタルダイヤフラム（６０）に作用する前記圧力流体の圧力を前記センサ素子（２０）に伝達する圧力媒体（１６）で満たされており、
前記第１ハウジング（１０）は鉄製、前記メタルダイヤフラム（６０）及び前記第２ハウジング（５０）はステンレス製であり、
前記第１ハウジング（１０）、前記メタルダイヤフラム（６０）、及び、前記第２ハウジング（５０）は、前記メタルダイヤフラム（６０）及び前記第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くのＣｒを単位体積当たりに含むステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されており、
ターミナル（３０）が前記第１ハウジング（１０）に固定され、その一部が前記圧力検出室（１５）内に設けられており、
前記ターミナル（３０）を挿入するための挿入孔（１２）が、前記第１ハウジング（１０）に形成され、
前記挿入孔（１２）と前記ターミナル（３０）との間の空間の少なくとも一部が、前記ターミナル（３０）を前記第１ハウジング（１０）に固定しつつ、前記挿入孔（１２）の連通を遮るように、ガラス（１３）によって満たされており、
前記ガラス（１３）と前記第１ハウジング（１０）の形成材料の線膨張係数差は、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さいことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記ガラス（１３）の線膨張係数は、９．０×１０−６／℃であり、
前記第１ハウジング（１０）の形成材料は、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄であることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記挿入孔（１２）を構成する壁面とターミナル（３０）との間の空間における、前記ガラス（１３）から前記ターミナル（３０）の延設方向に離れた空間は、絶縁性を有する弾性部材（１４）によって満たされていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記第１ハウジング（１０）、前記メタルダイヤフラム（６０）、及び、前記第２ハウジング（５０）は、環状の前記ステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されていることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記第１ハウジング（１０）、前記メタルダイヤフラム（６０）、及び、前記第２ハウジング（５０）は、テープ状の前記ステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されていることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記第１ハウジング（１０）、前記メタルダイヤフラム（６０）、及び、前記第２ハウジング（５０）は、粉状の前記ステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されていることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ素子が固定された第１ハウジングと、圧力流体の導入孔が形成された第２ハウジングとが接合されて成る圧力センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に示されるように、圧力検出素子と、圧力導入継手とを備える圧力センサが提案されている。圧力検出素子は、底部が薄肉部とされた有底円筒部材、及び、底部の歪み量を検出する歪ゲージを有し、圧力導入継手は、有底円筒部材の内部に被計測流体を導入する機能を果たす。有底円筒部材は、Ｎｉを２４〜２７重量％、Ｃｒを１３．５〜１６重量％含有するオーステナイト系の析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼で形成され、圧力導入継手は、オーステナイト系ステンレス鋼で形成されている。有底円筒部材の円筒部の一端と圧力導入継手の一端とを突き合わせて溶接することで、有底円筒部材と圧力導入継手とを溶接部を介して一体的に形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３８５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に示される圧力センサでは、オーステナイト系の析出硬化型Ｆｅ−Ｎｉ耐熱鋼で形成された有底円筒部材と、オーステナイト系ステンレス鋼で形成された圧力導入継手とを、Ｎｉ金属や高いＮｉ含有量の合金などから成るフィラーメタルを媒体として溶接している。この場合、有底円筒部材と圧力導入継手との溶接部は、ＦｅとＮｉとＣｒとが含有されることとなるが、溶接部のＮｉ含有量が適切な量に調整されるとは限らない。例えば、特許文献１の段落番号［００１０］に記載されているように、溶接部のＮｉ含有量が過剰となった場合、溶接部に割れが生じ、耐食性が損なわれる虞がある。また、圧力導入継手側の溶接部のＣｒ含有量が少なくなるので、これによっても、溶接部の耐食性が損なわれる虞がある。
【０００５】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、溶接部の耐食性が損なわれることが抑制された圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、センサ素子（２０）が固定された第１ハウジング（１０）と、圧力流体の導入孔（５１）が形成された第２ハウジング（５０）とが接合されて成る圧力センサであって、第１ハウジング（１０）と第２ハウジング（５０）とが、メタルダイヤフラム（６０）を介して互いに対向し、第１ハウジング（１０）におけるメタルダイヤフラム（６０）側の端部に凹部（１１）が形成され、該凹部（１１）、及び、メタルダイヤフラム（６０）によって圧力検出室（１５）が構成され、該圧力検出室（１５）に、センサ素子（２０）が設けられ、圧力検出室（１５）が、メタルダイヤフラム（６０）に作用する圧力流体の圧力をセンサ素子（２０）に伝達する圧力媒体（１６）で満たされており、第１ハウジング（１０）は鉄製、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）はステンレス製であり、第１ハウジング（１０）、メタルダイヤフラム（６０）、及び、第２ハウジング（５０）は、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くのＣｒを単位体積当たりに含むステンレス部材（７１）を媒体として、溶接接合されており、ターミナル（３０）が第１ハウジング（１０）に固定され、その一部が圧力検出室（１５）内に設けられており、ターミナル（３０）を挿入するための挿入孔（１２）が、第１ハウジング（１０）に形成され、挿入孔（１２）とターミナル（３０）との間の空間の少なくとも一部が、ターミナル（３０）を第１ハウジング（１０）に固定しつつ、挿入孔（１２）の連通を遮るように、ガラス（１３）によって満たされており、ガラス（１３）と第１ハウジング（１０）の形成材料の線膨張係数差は、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さいことを特徴とする。
【０００７】
このように本発明によれば、鉄製の第１ハウジング（１０）と、ステンレス製のメタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）が、ステンレス部材（７１）を媒体として溶接接合されている。これによれば、２つのハウジング（１０，５０）とメタルダイヤフラム（６０）との溶接部（７０）に、ＦｅとＣｒとが混入するので、ステンレスが形成される。これにより、上記したステンレス部材を用いずに、２つのハウジングとメタルダイヤフラムとが溶接された構成、若しくは、Ｎｉ金属や高いＮｉ含有量の合金などから成るフィラーメタルを媒体として２つのハウジングとメタルダイヤフラムとが溶接された構成と比べて、溶接部（７０）の耐食性が損なわれることが抑制される。また、本発明では、ステンレス部材（７１）の単位体積当たりに含まれるＣｒの量は、メタルダイヤフラム（６０）及び第２ハウジング（５０）の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くなっているので、メタルダイヤフラム（６０）側及び第２ハウジング（５０）側の溶接部（７０）のＣｒ含有量が少なくなることが抑制され、溶接部（７０）の耐食性が損なわれることが抑制される。
【０００８】
また請求項１では、ターミナル（３０）が第１ハウジング（１０）に固定され、その一部が圧力検出室（１５）内に設けられており、ターミナル（３０）を挿入するための挿入孔（１２）が、第１ハウジング（１０）に形成され、挿入孔（１２）とターミナル（３０）との間の空間の少なくとも一部が、ターミナル（３０）を第１ハウジング（１０）に固定しつつ、挿入孔（１２）の連通を遮るように、ガラス（１３）によって満たされており、ガラス（１３）と第１ハウジング（１０）の形成材料の線膨張係数差は、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さくなっている。
【０００９】
ターミナル（３０）の挿入された挿入孔（１２）がガラス（１３）によって満たされた構造（ガラスハーメチック構造）におけるガラス（１３）と第１ハウジング（１０）の形成材料との線膨張係数差は、気密性とガラス（１３）のクラック耐量とから決定される。線膨張係数差が小さいと気密性が損なわれ、大きいとクラック耐量が損なわれる虞がある。そのため、線膨張係数差の下限は圧力センサとして求められる気密性によって決定され、上限は圧力センサとして求められるクラック耐量によって決定される。本発明者が、挿入孔（１２）の径φ１．１ｍｍ、ターミナル（３０）の径φ０．４５ｍｍ、温度範囲−４０℃〜１４０℃、気密性（耐量）＞１００ＭＰａの条件で実験を行ったところ、この条件の成立する線膨張係数差は、請求項１に記載のように、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さいことであった。したがって、請求項１に記載の構成によれば、圧力センサとして求められるガラスハーメチック構造の気密性とクラック耐量とが確保される。
【００１０】
請求項２に記載のように、ガラス（１３）の線膨張係数は、９．０×１０−６／℃であり、第１ハウジング（１０）の形成材料は、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄である構成が好ましい。
【００１１】
溶接部（７０）にステンレスを形成する構成としては、第１ハウジング（１０）、メタルダイヤフラム（６０）、及び、第２ハウジング（５０）それぞれがステンレスから成る構成が考えられる。しかしながら、一般的なステンレスの線膨張係数は、１７．３×１０−６／℃（ＳＵＳ３０４）、１６．０×１０−６／℃（ＳＵＳ３１６）、１０．４×１０−６／℃（ＳＵＳ４３０）であるのに対して、請求項２に記載のように、ガラスハーメチック構造に適したガラスの線膨張係数は、９．０×１０−６／℃である。そのため、ガラスとステンレスとの線膨張係数差は、８．３×１０−６／℃、７．０×１０−６／℃、１．４×１０−６／℃となり、請求項１に記載の線膨張係数差の条件を満たさず、気密性とクラック耐量とが損なわれる虞がある。そこで、請求項２に記載のように、第１ハウジング（１０）の形成材料として、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄を採用するとよい。この場合、線膨張係数差が２．７×１０−６／℃となるので、請求項１に記載の線膨張係数差の条件を満たし、気密性とクラック耐量とが確保される。このように、ガラスハーメチック構造の場合、第１ハウジング（１０）の形成材料としては、ステンレスではなく鋼鉄が好ましい。なお、第１ハウジング（１０）が鋼鉄の場合、２つのハウジング（１０，５０）とメタルダイヤフラム（６０）との溶接部（７０）の耐食性に問題が生じる虞がある。しかしながら、請求項１の作用効果で記載したように、ステンレス部材（７１）を媒体として２つのハウジング（１０，５０）とメタルダイヤフラム（６０）とが溶接接合されるので、溶接部（７０）の耐食性が損なわれることが抑制される。以上、示したように、圧力センサとして求められる気密性とクラック耐量とが確保されたガラスハーメチック構造においても、溶接部（７０）の耐食性が損なわれることが抑制される。
【００１２】
請求項３に記載のように、挿入孔（１２）を構成する壁面とターミナル（３０）との間の空間における、前記ガラス（１３）から前記ターミナル（３０）の延設方向に離れた空間は、絶縁性を有する弾性部材（１４）によって満たされた構成が良い。これによれば、空間がガラス（１３）のみによって満たされた構成、及び、ガラス（１３）と空気とによって満たされた構成と比べて、圧力センサに外力が印加された際に、ターミナル（３０）からガラス（１３）に伝達する応力が低減される。これにより、外力によって、ガラス（１３）の気密性が損なわれることが抑制される。
【００１３】
請求項４〜６に記載のように、ステンレス部材（７１）の形状としては、環状、テープ状、及び、粉状を採用することができる。特に、ステンレス部材（７１）が環状、テープ状の場合、溶接接合時に、２つのハウジング（１０，５０）とメタルダイヤフラム（６０）とを固定する冶具としてステンレス部材（７１）を活用することで、溶接接合を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す断面図である。
【図２】注入口の閉塞を説明するための断面図である。
【図３】溶接部を示す拡大断面図である。
【図４】溶接前の圧力センサの概略構成を示す拡大断面図である。
【図５】溶接接合を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る圧力センサの概略構成を示す断面図である。図２は、注入口の閉塞を説明するための断面図である。図３は、溶接部を示す拡大断面図である。図４は、溶接前の圧力センサの概略構成を示す断面図である。図５は、溶接接合を説明するための拡大断面図である。以下においては、第１ハウジング１０と第２ハウジング５０とがメタルダイヤフラム６０を介して対向する方向を軸方向と示す。なお、軸方向は、特許請求の範囲に記載の延設方向に相当する。
【００１６】
図１に示すように、圧力センサ１００は、センサ素子２０及びターミナル３０が固定された第１ハウジング１０と、圧力流体の導入孔５１が形成された第２ハウジング５０とが接合されて成る。第１ハウジング１０における第２ハウジング５０側の端部１０ａには、センサ素子２０とターミナル３０の一部を配置するための凹部１１が形成されており、この凹部１１の開口端がメタルダイヤフラム６０によって閉塞されている。第２ハウジング５０の一部は、圧力流体が流れるパイプ内に設けられており、その圧力流体が導入孔５１に流入し、流入した圧力流体の圧力が、メタルダイヤフラム６０に作用するようになっている。
【００１７】
第１ハウジング１０は、柱状を成し、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄から成る。図１に示すように、第１ハウジング１０には、端部１０ａの反対側の端部１０ｂから凹部１１までを軸方向に貫く挿入孔１２が形成されており、この挿入孔１２にターミナル３０が挿入されている。挿入孔１２の径はφ１．１ｍｍであり、挿入孔１２には、ターミナル３０の他に、線膨張係数が９．０×１０−６／℃のガラス１３と、絶縁性の樹脂材料から成る弾性部材１４とが設けられている。挿入孔１２を構成する壁面とターミナル３０との間における、凹部１１側の空間がガラス１３によって満たされ、端部１０ｂ側の空間が弾性部材１４によって満たされている。これにより、挿入孔１２の連通が遮られ、ターミナル３０が第１ハウジング１０に機械的に固定されている。
【００１８】
図１に示すように、凹部１１とメタルダイヤフラム６０とによって、圧力検出室１５が構成されており、この圧力検出室１５は、圧力媒体１６によって満たされている。これにより、メタルダイヤフラム６０に作用した圧力流体の圧力が、圧力媒体１６を介して、センサ素子２０に作用される。
【００１９】
第１ハウジング１０には、圧力媒体１６を注入するための注入孔１７が形成されており、その注入口１７ａは、蓋部１８によって閉塞されている。図２に示すように、蓋部１８は中空を有し、外周に溝部１８ａが形成されている。蓋部１８を注入口１７ａに挿入した後、蓋部１８の中空にボール１９を圧入することで、図２に白抜き矢印で示すように、蓋部１８をその中心から外に向けて膨張させる。こうすることで、蓋部１８が注入口１７ａに固定され、注入口１７ａが蓋部１８によって閉塞される。
【００２０】
センサ素子２０は、図１に示すように、半導体基板２１と、該半導体基板２１における局所的に厚さの薄くなった薄肉部２２上に形成されたゲージ抵抗（図示略）と、半導体基板２１の端部に形成されたパッド（図示略）と、台座２３と、から成る。台座２３はガラスから成り、台座２３と半導体基板２１とが陽極接合されている。そして、台座２３は、接着剤（図示略）を介して、凹部１１の底面に固定されている。センサ素子２０は、薄肉部２２に作用した圧力を電気信号に変換する機能を果たす。
【００２１】
ターミナル３０は、センサ素子２０と外部とを電気的に接続する機能を果たすものである。ターミナル３０の径はφ０．４５ｍｍであり、φ１．１ｍｍの挿入孔１２に挿入されている。図１に示すように、ターミナル３０の両端部が挿入孔１２から飛び出しており、一方の端部が凹部１１に設けられ、他方の端部が外部に露出している。ターミナル３０における凹部１１に設けられた端部にワイヤ３１が接続され、このワイヤ３１を介して、ターミナル３０とセンサ素子２０とが電気的に接続されている。以上の接続構成により、センサ素子２０と外部とが、ワイヤ３１とターミナル３０とを介して電気的に接続可能となっている。
【００２２】
第２ハウジング５０は、環状を成す、ステンレス材料から成るウェルドリングである。第２ハウジング５０は、中空（導入孔５１）を有する中央部５２と、中央部５２を囲む環状の端部５３と、から成る。中央部５２は、メタルダイヤフラム６０から離れるように出っ張った形状を成し、端部５３は、メタルダイヤフラム６０と溶接接合されている。
【００２３】
メタルダイヤフラム６０は、圧力流体の圧力を、圧力媒体１６を介してセンサ素子２０に伝達する機能を果たす。メタルダイヤフラム６０は、円盤状を成し、その平面が波打った形状（コルゲート形状）を成している。メタルダイヤフラム６０は、第１ハウジング１０と第２ハウジング５０との間に位置し、環状の端部が２つのハウジング１０，５０と溶接接合されている。
【００２４】
次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の特徴点を説明する。図１及び図３に示すように、２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０とは溶接接合されている。その溶接部７０は、２つのハウジング１０，５０及びメタルダイヤフラム６０に渡って形成されており、この溶接部７０には、２つのハウジング１０，５０、メタルダイヤフラム６０、及び、図４及び図５に示すステンレス部材７１の成分が含まれている。
【００２５】
上記したように、ハウジング１０は鋼鉄から成り、第２ハウジング５０及びメタルダイヤフラム６０はステンレスから成る。そして、ステンレス部材７１は、その名の通り、ステンレスから成り、単位体積当たりに含まれるＣｒの含有量が、第２ハウジング５０及びメタルダイヤフラム６０の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くなっている。
【００２６】
本実施形態に係るステンレス部材７１は環状を成し、図４及び図５に示すように、２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０それぞれの側面を覆い、且つこれら３つの部材１０，５０，６０を仮固定するように、３つの部材１０，５０，６０に設けられる。このように、ステンレス部材７１は、３つの部材１０，５０，６０の溶接接合時に、３つの部材１０，５０，６０を仮固定する冶具としての機能を果たす。この固定状態で、ステンレス部材７１を媒体として、２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０をレーザによって溶接接合する。これにより、溶接部７０にＦｅとＣｒとが混合され、ステンレスが形成される。
【００２７】
次に、本実施形態に係る圧力センサ１００の作用効果を説明する。上記したように、２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０とが、ステンレス部材７１を媒体として溶接接合され、その溶接部７０がステンレスとなっている。これにより、ステンレス部材７１を用いずに、２つのハウジングとメタルダイヤフラムとが溶接された構成、若しくは、Ｎｉ金属や高いＮｉ含有量の合金などから成るフィラーメタルを媒体として２つのハウジングとメタルダイヤフラムとが溶接された構成と比べて、溶接部７０の耐食性が損なわれることが抑制される。また、上記したように、ステンレス部材７１の単位体積当たりに含まれるＣｒの量は、第２ハウジング５０及びメタルダイヤフラム６０の形成材料の単位体積当たりに含まれるＣｒよりも多くなっているので、第２ハウジング５０側及びメタルダイヤフラム６０側の溶接部７０のＣｒ含有量が少なくなることが抑制され、溶接部７０の耐食性が損なわれることが抑制される。
【００２８】
上記したように、本実施形態では、ターミナル３０が挿入孔１２に挿入され、その挿入孔１２の一部がガラス１３によって満たされた構造（ガラスハーメチック構造）となっている。この構造におけるガラス１３と第１ハウジング１０の形成材料との線膨張係数差は、気密性とガラス１３のクラック耐量とから決定される。線膨張係数差が小さいと気密性が損なわれ、大きいとクラック耐量が損なわれる虞がある。そのため、線膨張係数差の下限は圧力センサ１００として求められる気密性によって決定され、上限は圧力センサ１００として求められるクラック耐量によって決定される。本実施形態に係る圧力センサ１００（挿入孔１２の径φ１．１ｍｍ、ターミナル３０の径φ０．４５ｍｍ）において、本発明者が、温度範囲−４０℃〜１４０℃、気密性（耐量）＞１００ＭＰａの条件で実験を行ったところ、この条件の成立する線膨張係数差は、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さいことであった。これに対して、第１ハウジング１０は、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄から成り、ガラス１３の線膨張係数は９．０×１０−６／℃と成っている。したがって、両者の線膨張係数差は２．７×１０−６／℃となるので、上記した線膨張係数差の条件を満たし、圧力センサ１００として求められるガラスハーメチック構造の気密性とクラック耐量とが確保される。
【００２９】
なお、溶接部７０にステンレスを形成する構成としては、ハウジング１０，５０及びメタルダイヤフラム６０それぞれがステンレスから成る構成が考えられる。しかしながら、一般的なステンレスの線膨張係数は、１７．３×１０−６／℃（ＳＵＳ３０４）、１６．０×１０−６／℃（ＳＵＳ３１６）、１０．４×１０−６／℃（ＳＵＳ４３０）であるのに対して、ガラスハーメチック構造に適したガラスの線膨張係数は、９．０×１０−６／℃である。そのため、ガラスとステンレスとの線膨張係数差は、８．３×１０−６／℃、７．０×１０−６／℃、１．４×１０−６／℃となり、上記した線膨張係数差の条件を満たさず、気密性とクラック耐量とが損なわれる虞がある。このように、ガラスハーメチック構造の場合、第１ハウジング１０の形成材料としては、ステンレスではなく鋼鉄が好ましい。なお、第１ハウジング１０が鋼鉄の場合、溶接部７０の耐食性に問題が生じる虞があるが、上記したように、ステンレス部材７１を媒体として２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０とが溶接接合されるので、溶接部７０の耐食性が損なわれることが抑制される。以上、示したように、圧力センサ１００として求められる気密性とクラック耐量とが確保されたガラスハーメチック構造においても、溶接部７０の耐食性が損なわれることが抑制される。
【００３０】
挿入孔１２には、ターミナル３０の他に、ガラス１３と弾性部材１４とが設けられている。そして、挿入孔１２を構成する壁面とターミナル３０との間における、凹部１１側の空間がガラス１３によって満たされ、端部１０ｂ側の空間が弾性部材１４によって満たされている。これによれば、上記した空間がガラス１３のみによって満たされた構成、及び、ガラス１３と空気とによって満たされた構成と比べて、圧力センサ１００に外力が印加された際に、ターミナル３０からガラス１３に伝達する応力が低減される。これにより、外力によって、ガラス１３の気密性が損なわれることが抑制される。
【００３１】
ステンレス部材７１は環状を成し、２つのハウジング１０，５０とメタルダイヤフラム６０との溶接接合時に、これら３つの部材１０，５０，６０を仮固定する冶具としての機能を果たす。これによれば、溶接接合を簡素化することができる。
【００３２】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００３３】
本実施形態では、ステンレス部材７１が環状である例を示した。しかしながら、ステンレス部材７１の形状としては、テープ状、粉状を採用することができる。
【００３４】
本実施形態では、第１ハウジング１０は、線膨張係数が１１．７×１０−６／℃の鋼鉄から成り、ガラス１３の線膨張係数は９．０×１０−６／℃と成った例を示した。しかしながら、第１ハウジング１０の形成材料及びガラス１３としては、上記例に限定されず、ガラスハーメチック構造に適したガラスであり、両者の線膨張係数差が、２．０×１０−６／℃よりも大きく、４．０×１０−６／℃よりも小さい条件を満たすのであれば、適宜採用することができる。
【００３５】
本実施形態では、第１ハウジング１０そのものの耐食性について記述していなかったが、第１ハウジング１０の耐食性を向上するには、第１ハウジング１０の表面をＮｉによってメッキした構成を採用することができる。この場合、溶接部７０には、メッキのＮｉが混入することとなるが、その量は微量なので、このＮｉによって、溶接部７０の耐食性が損なわれることは起こり難い。なお、溶接部７０にＮｉが混入することを防ぐには、第１ハウジング１０における溶接予定部位をマスクした状態でＮｉメッキを施し、Ｎｉメッキ後にマスクを取り外すことで、溶接部７０にＮｉが混入することを抑制することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１０・・・第１ハウジング
１２・・・挿入孔
１３・・・ガラス
１７・・・注入孔
１８・・・蓋部
２０・・・センサ素子
３０・・・ターミナル
５０・・・第２ハウジング
６０・・・メタルダイヤフラム
７０・・・溶接部
７１・・・ステンレス部材
１００・・・圧力センサ
【図１】
0005648524.tif 000002
【図２】
0005648524.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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