(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
無線通信のための方法であって、前記方法は、
マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器を介して人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出するステップと、
検出された空気の前記動きに応答して、デバイスのユーザーインターフェースを制御するための制御信号を生成し、該制御信号を該デバイスに無線通信するステップと
を含み、
前記ＭＥＭＳ検出器は、人間の呼気の前記排出により引き起こされた空気の前記動きを検出するように動作可能な１つ又は複数の可撓性部材を備え、
前記ＭＥＭＳ検出器内のスペーサを介して前記可撓性部材の撓みを制限するステップを更に含む方法。
【請求項２】
前記可撓性部材から反射された光信号を測定することによって、前記可撓性部材の前記撓みの量を求めるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記可撓性部材の前記撓みにより生成された圧電信号を測定することによって、前記可撓性部材の前記撓みの量を求めるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記可撓性部材の前記撓みにより生成されたキャパシタンスの変化を測定することによって、前記可撓性部材の前記撓みの量を求めるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
磁場において前記可撓性部材の前記撓みにより生成された電流を測定することによって、前記可撓性部材の前記撓みの量を求めるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
無線通信のための方法であって、前記方法は、
マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器を介して人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出するステップと、
検出された空気の前記動きに応答して、デバイスのユーザーインターフェースを制御するための制御信号を生成し、該制御信号を該デバイスに無線通信するステップと
を含み、
前記ＭＥＭＳ検出器は、基板、スペーサ、及び１つ又は複数のＭＥＭＳ可撓性部材を備え、前記スペーサは、前記１つ又は複数のＭＥＭＳ可撓性部材の撓みが制限されるように位置付けられた、方法。
【請求項７】
前記基板は、セラミック材料及びシリコンの一方または双方を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記基板は、組み込みデバイス及び相互接続を備える、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
集積回路が前記基板に電気的に結合される、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
無線通信のためのシステムであって、
前記システムは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器を介して人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出し、検出された空気の前記動きに応答して、デバイスのユーザーインターフェースを制御するための制御信号を生成し、該制御信号を該デバイスに無線通信するための１つ又は複数の回路を備え、
前記ＭＥＭＳ検出器は、人間の呼気の前記排出により引き起こされた空気の前記動きを検出するように動作可能な１つ又は複数の可撓性部材を備え、
前記可撓性部材の前記撓みは、前記ＭＥＭＳ検出器内のスペーサを介して制限される、システム。
【請求項１１】
前記１つ又は複数の回路は、前記可撓性部材から反射された光信号を測定することによって前記可撓性部材の前記撓みを求める、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記１つ又は複数の回路は、前記可撓性部材の前記撓みにより生成された圧電信号を測定することによって前記可撓性部材の前記撓みを求める、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
前記１つ又は複数の回路は、前記可撓性部材の前記撓みにより生成されたキャパシタンスの変化を測定することによって前記可撓性部材の前記撓みを求める、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１４】
前記１つ又は複数の回路は、磁場において前記可撓性部材の前記撓みにより生成された電流を測定することによって前記可撓性部材の前記撓みを求める、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１５】
前記１つ又は複数の回路は、検出された前記動きに基づいて前記制御信号を含む１つ又は複数の出力信号を生成する、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１６】
無線通信のためのシステムであって、
前記システムは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器を介して人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出し、検出された空気の前記動きに応答して、デバイスのユーザーインターフェースを制御するための制御信号を生成し、該制御信号を該デバイスに無線通信するための１つ又は複数の回路を備え、
前記ＭＥＭＳ検出器は、基板、スペーサ、及び１つ又は複数のＭＥＭＳ可撓性部材を備え、前記スペーサは、前記１つ又は複数のＭＥＭＳ可撓性部材の撓みが制限されるように位置付けられた、システム。
【請求項１７】
前記基板は、セラミック材料及びシリコンの一方または双方を含む、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記基板は、組み込みデバイス及び相互接続を備える、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記１つ又は複数の回路を備える集積回路が、前記基板に電気的に結合される、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２０】
前記１つ又は複数の回路は、前記基板内及び前記基板上の一方または双方に配置される、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２１】
ＭＥＭＳ気流検出器であって、
１つ又は複数の可撓性部材と、
前記可撓性部材の下に位置付けられ、該可撓性部材の撓みを制限するスペーサと、
導体層、半導体層、及び絶縁層のうちの少なくとも１つの１つ又は複数を備える基板と、
前記可撓性部材のそれぞれの下の個々のキャビティにおける１つ又は複数の撓み検出器と、
前記基板及び前記撓み検出器に電気的に結合された集積回路と、
前記ＭＥＭＳ気流検出器の外へ気流を方向付けるための排気孔と
を備える、ＭＥＭＳ気流検出器。
【請求項２２】
前記撓み検出器は、光源及び１つ又は複数のフォトダイオードを備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記導体層、前記半導体層、及び前記絶縁層のうちの少なくとも１つは、前記集積回路及び前記撓み検出器に電気的に結合された組み込みデバイス及び相互接続の一方または双方を備える、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
前記撓み検出器は、圧電測定技法、超音波測定技法、ホール効果測定技法、キャパシタンス測定技法、磁場測定技法、及び電磁場測定技法のうちの１つ又は複数を利用する、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２５】
前記スペーサは、前記可撓性部材のそれぞれの下の前記個々のキャビティを定める、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２６】
前記基板は、前記個々のキャビティの底面を定める、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２７】
前記スペーサは、前記可撓性部材の撓み限界を定める、請求項２１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の特定の実施形態は、電子デバイスを制御することに関する。より具体的には、本発明の特定の実施形態は、人間の呼気を使用してデバイスの制御を可能にするＭＥＭＳ検出器の方法及びシステムに関する。
【０００２】
［関連出願のクロスリファレンス／参照による援用］
本出願は、
２００８年３月２６日に出願された米国特許出願第１２／０５６，１６４号（代理人整理番号第１９４４９ＵＳ０１Ｐ０１４号）、
２００８年３月２６日に出願された米国特許出願第１２／０５６，２０３号（代理人整理番号第１９４５１ＵＳ０１Ｐ０１６号）、
２００８年３月２６日に出願された米国特許出願第１２／０５６，１７１号（代理人整理番号第１９４５２ＵＳ０１Ｐ０１７号）、
２００８年３月２６日に出願された米国特許出願第１２／０５６，０６１号（代理人整理番号第１９４５３ＵＳ０１Ｐ０１８号）、及び
２００８年３月２６日に出願された米国特許出願第１２／０５６，１８７号（代理人整理番号第１９４５４ＵＳ０１Ｐ０１９号）
も参照する。
【０００３】
上記参照される出願のそれぞれは、この結果、参照によりその全体が本明細書に援用される。
連邦政府による資金提供を受けた研究開発
［非適用］
［マイクロフィッシュ／著作権参照］
［非適用］
【背景技術】
【０００４】
移動通信によって、人々が通信する方法は変化し、移動電話は、ぜいたく品から日常生活の必要不可欠な要素に変容してきた。移動電話の使用は、今日、場所又は技術によって妨げられるよりもむしろ、社会情勢によって必要とされている。
【０００５】
音声接続が、通信する基本的ニーズを満たしており、移動音声接続が、日常生活のファブリックにさらに一層浸透し続けているとはいえ、インターネットを介したサービスへの移動アクセスは、移動通信の発展の次のステップになっている。現在、ほとんどの移動デバイスは、ユーザーがインターネットを介して提供されるサービスにアクセスすることを可能にするユーザーインターフェースを装備している。例えば、いくつかの移動デバイスは、ブラウザを有する場合があり、ユーザーインターフェースのナビゲーション及び／又は制御を可能にするために、ソフトウェアボタン及び／又はハードウェアボタンが設けられている場合がある。スマートフォン等のいくつかの移動デバイスは、ユーザーがデバイスを別の手で保持しながら一方の手でタッチすることを介してユーザーインターフェースをナビゲーション又は制御することを可能にするタッチスクリーン機能を装備している。
【０００６】
ヘッドフォンは、当初、音楽源の近くで他の人々の気を紛らわすことなく、音楽を個人的に楽しむのに利用されていた。ヘッドフォンには、サーカムオーラル（circumaural）、イヤフォン、及びカナルフォンが含まれ得る。サーカムオーラルヘッドフォンは、耳を覆い、かなり大きく、ポータブルオーディオデバイスとの使用と比較して、家庭のオーディオ用途により順応している。イヤフォンは、通常、例えば、カセットテーププレイヤ、コンパクトディスクプレイヤ、及びＭＰ３プレイヤによるポータブルオーディオデバイスの用途で使用される。携帯電話を利用しながら自動車を操作することの危険が立証されたことから、イヤフォンの用途は、通常は単一のイヤピースとして、後に携帯電話の用途に広がった。
【０００７】
無線技術の発達により、無線ヘッドフォンが、ますます普及してきている。より多くの携帯電話ユーザーが、自動車の用途だけでなく、ハンズフリー操作が好ましいいずれの用途にもハンズフリー操作での使用の容易さを見出すにつれて、ブルートゥースヘッドセット及び／又はイヤピースが大幅に使用を拡大している。
【０００８】
現在、ほとんどの移動デバイスは、ユーザーがインターネットを介して提供されるサービスにアクセスすることを可能にするユーザーインターフェースを装備している。例えば、いくつかの移動デバイスは、ブラウザを有する場合があり、ユーザーインターフェースのナビゲーション及び／又は制御を可能にするために、ソフトウェアボタン及び／又はハードウェアボタンが設けられている場合がある。スマートフォン等のいくつかの移動デバイスは、ユーザーがデバイスを別の手で保持しながら一方の手でタッチすることを介してユーザーインターフェースをナビゲーション又は制御することを可能にするタッチスクリーン機能を装備している。
【０００９】
このようなシステムを、図面を参照して本出願の残りの部分で述べられる本発明と比較することによって、従来の手法及び伝統的な手法のさらなる限界及び不利な点が当業者に明らかになるであろう。
【発明の概要】
【００１０】
人間の呼気を使用してデバイスの制御を可能にするＭＥＭＳ検出器のためのシステム及び／又は方法は、実質的には、図の少なくとも１つに示され且つ／又は図の少なくとも１つに関連して説明されるとおりであり、特許請求の範囲においてより完全に述べられる。
【００１１】
本発明のさまざまな利点、態様、及び新規な特徴に加えて、本発明の図示した実施形態の詳細な内容は、以下の説明及び図面からより十分に理解される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態による、人間の呼気を使用して複数のデバイスのユーザーインターフェースを制御するための一例示のシステムのブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検知モジュール及びブルートゥースヘッドセットを示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ可撓性部材の構造を示すブロック図である。
【図４】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ可撓性部材の構造の上面図を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施形態によるＭＥＭＳ検出器アレイのための一例示のセラミックモジュールのブロック図である。
【図６】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールのブロック図である。
【図７】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールの傾斜角図のブロック図である。
【図８】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールの断面を示すブロック図である。
【図９】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ部材の撓みを示すブロック図である。
【図１０】本発明の一実施形態による一例示の気流検出器アセンブリのブロック図である。
【図１１】本発明の一実施形態によるＭＥＭＳ検出器の運動検知オペレーションを示すブロック図である。
【図１２】本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器利用プロセスを示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の特定の態様は、人間の呼気を使用してデバイスの制御を可能にするＭＥＭＳ検出器のための方法及びシステムに見ることができる。本発明の例示の態様は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器を介して人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出することを含むことができる。ＭＥＭＳ検出器は、人間の呼気の排出によって引き起こされた空気の動きを検出するように動作可能な１つ又は複数の可撓性部材又は可動性部材を備えることができる。可撓性部材又は可動性部材の撓みは、ＭＥＭＳ検出器内のスペーサを介して制限することができる。可撓性部材の撓みの量は、ＭＥＭＳ可撓性部材から反射された光信号の測定、可撓性部材の撓みによって生成された圧電信号の測定、可撓性部材の撓みによって生成されたキャパシタンスの変化の測定、又は磁場において撓んだ部材の撓みによって生成された電流の測定によって求めることができる。検出された動きに基づいて、１つ又は複数の出力信号を生成することができる。ＭＥＭＳ検出器は、基板、スペーサ、及びＭＥＭＳ可撓性部材を備えることができる。基板は、セラミック材料及び／又はシリコンを含むことができ、組み込みデバイス及び相互接続を備えることができる。組み込みデバイスは、インダクタ、抵抗器、及び／又はキャパシタ等の受動デバイスとすることができる。集積回路を基板に電気的に結合することができる。気流をＭＥＭＳ検出器の側面の外に方向付けることができる。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態による、人間の呼気を使用して複数のデバイスのユーザーインターフェースを制御するための一例示のシステムのブロック図である。図１を参照して、ユーザー１０２、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検知及び処理モジュール１０４、並びにマルチメディアデバイス１０６ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄ、及び／又はテレビ（ＴＶ）１０６ｅ等の制御される複数のデバイスが示されている。マルチメディアデバイス１０６ａは、ユーザーインターフェース１０７ａを備えることができ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂは、ユーザーインターフェース１０７ｂを備えることができ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、又はノートブックコンピュータ１０６ｃは、ユーザーインターフェース１０７ｃを備えることができる。加えて、ディスプレイデバイス１０６ｄは、ユーザーインターフェース１０７ｄを備えることができ、テレビ（ＴＶ）１０６ｅは、ユーザーインターフェース１０７ｅを備えることができる。これらの制御される複数のデバイスのそれぞれは、情報のサイドローディングのために複数の他のデバイス１０８に有線接続又は無線接続することができる。
【００１５】
ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、ユーザー１０２による人間の呼気の排出によって引き起こされた動きを検出することを可能にすることができる適切なロジック、回路部、及び／又はコードを備えることができる。ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、人間の呼気の排出によって引き起こされた動きの検出に応答して、１つ又は複数の制御信号を生成することを可能にすることができる。ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、人間の呼気の排出によって生成された運動エネルギーを検知し、それに応じて１つ又は複数の制御信号を生成するように動作可能にすることができる１つ又は複数のセグメント又は部材を備えることができる。生成された１つ又は複数の制御信号は、複数のデバイスのうちの１つ又は複数のユーザーインターフェースを制御することを可能にすることができる。このユーザーインターフェースは、マルチメディアデバイス１０６ａのユーザーインターフェース１０７ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂのユーザーインターフェース１０７ｂ、ＰＣ、ラップトップ、又はノートブックコンピュータ１０６ｃのユーザーインターフェース１０７ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄのユーザーインターフェース１０７ｄ、ＴＶ１０６ｅのユーザーインターフェース１０７ｅ、並びに移動マルチメディアプレイヤ及び／又はリモートコントローラのユーザーインターフェース等である。
【００１６】
本発明の一実施形態によれば、人間の呼気の排出によって引き起こされた動きの検出は、チャネルを使用することなく行うことができる。人間の呼気の排出によって引き起こされた動きの検出は、オープンスペース内への人間の呼気の排出、及びその後の排出の検知に応答することができる。
【００１７】
本発明の別の実施形態によれば、ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、生成された１つ又は複数の制御信号を介して、ハンドヘルドデバイス等の複数のデバイスのうちの１つ又は複数のユーザーインターフェース内をナビゲーションすることを可能にすることができる。このハンドヘルドデバイスは、例えば、マルチメディアデバイス１０６ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、ＰＣ、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄ、及び／又はＴＶ１０６ｅである。ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、生成された１つ又は複数の制御信号を介して複数のデバイスのユーザーインターフェース内の１つ又は複数のコンポーネントを選択することを可能にすることができる。生成された１つ又は複数の制御信号は、有線信号及び／又は無線信号の１つ又は複数を含むことができる。
【００１８】
本発明の別の実施形態によれば、例えば、マルチメディアデバイス１０６ａ、及び／又は携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、及び／又はＰＣ、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃといったハンドヘルドデバイス等の複数のデバイスのうちの１つ又は複数は、ユーザーインターフェースを規定する１つ又は複数の入力を別のデバイス１０８から受信することを可能にすることができる。この別のデバイス１０８は、ＰＣ、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、並びに／又は例えば、マルチメディアデバイス１０６ａ及び／若しくは携帯電話／スマートフォン１０６ｂといったハンドヘルドデバイスのうちの１つ又は複数とすることができる。この点に関して、データは、この別のデバイス１０８から携帯電話／スマートフォン１０６ｂへ転送することができ、このデータは、セルラーサービスプロバイダ又はＰＣＳサービスプロバイダ等のサービスプロバイダを介して携帯電話／スマートフォン１０６ｂがリモートアクセスすることができるメディアコンテンツに関連付けるか又はマッピングすることができる。メディアコンテンツに関連付けられるか又はマッピングされた転送データは、携帯電話／スマートフォン１０６ｂのユーザーインターフェース１０７ｂをカスタマイズするのに利用することができる。この点に関して、１つ又は複数の受信入力に関連付けられたメディアコンテンツは、制御されているデバイスのユーザーインターフェースの不可欠な部分となることができる。関連付け及び／又はマッピングは、別のデバイス１０８及び／又は携帯電話／スマートフォン１０６ｂのいずれでも実行することができる。関連付け及び／又はマッピングが別のデバイス１０８で実行される場合、関連付けられ且つ／又はマッピングされたデータは、別のデバイス１０８から携帯電話／スマートフォン１０６ｂへ転送することができる。
【００１９】
本発明の一例示の実施形態では、別のデバイス１０８から携帯電話／スマートフォン１０６ｂへ転送されたアイコンを、携帯電話／スマートフォン１０６ｂのサービスプロバイダを介して携帯電話／スマートフォン１０６ｂがリモートアクセスすることができるＲＳＳフィード等のメディアコンテンツに関連付けるか又はマッピングすることができる。したがって、ユーザー１０２が、ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４に息を吹きかけると、ＭＥＭ検知及び処理モジュール１０４によって生成された制御信号は、このアイコンにナビゲーションし、このアイコンを選択することができる。アイコンが選択されると、携帯電話／スマートフォン１０６ｂのサービスプロバイダを介してＲＳＳフィードにアクセスすることができ、対応するＲＳＳフィードコンテンツをユーザーインターフェース１０７ｂに表示することができる。米国特許出願第１２／０５６,１８７号（代理人整理番号第１９４５４ＵＳ０１号）は、デバイスのユーザーインターフェースをカスタマイズするための一例示の方法及びシステムを開示し、この結果、参照によりその全体が本明細書に援用される。
【００２０】
作動中、ユーザー１０２は、オープンスペースに息を吐き出すことができ、吐き出された呼気は、ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４の１つ又は複数の検出器、検知部材、及び／又は検知セグメント等の１つ又は複数の検出デバイス又は検出器が検知することができる。ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４は、ユーザー１０２による人間の呼気の排出によって引き起こされた動きを検出することを可能にすることができる。人間の呼気の排出によって引き起こされた動きの検出に応答して、１つ又は複数の電気信号、光信号、及び／又は磁気信号を、ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４内の１つ又は複数の検出デバイス又は検出器が生成することができる。ＭＥＭＳ検知及び処理モジュール１０４内のプロセッサファームウェアは、さまざまなアルゴリズムを利用して１つ又は複数の検出デバイス又は検出器から受信された電気信号、光信号、及び／又は磁気信号を処理することを可能にすると共に、例えばマルチメディアデバイス１０６ａといった制御されているデバイスへの１つ又は複数の制御信号を生成することを可能にすることができる。生成された１つ又は複数の制御信号は、有線信号及び／又は無線信号を介して、例えばマルチメディアデバイス１０６ａといった制御されているデバイスへ通信することができる。制御されているデバイスのプロセッサは、通信された制御信号を利用して、制御されているデバイスのユーザーインターフェースを制御することができる。このインターフェースは、マルチメディアデバイス１０６ａのユーザーインターフェース１０７ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂのユーザーインターフェース１０７ｂ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃのユーザーインターフェース１０７ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄのユーザーインターフェース１０７ｄ、ＴＶ１０６ｅのユーザーインターフェース１０７ｅ、並びに移動マルチメディアプレイヤ及び／若しくはリモートコントローラのユーザーインターフェース等である。
【００２１】
米国特許出願第１２／０５６，１６４号（代理人整理番号第１９４４９ＵＳ０１号）は、人間の呼気の排出に起因する空気の動きを検出するように動作可能なＭＥＭＳ検出器を介してデバイスのユーザーインターフェースを制御するための一例示の方法及びシステムを開示し、この結果、参照によりその全体が本明細書に援用される。
【００２２】
図２は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検知モジュール及びブルートゥースヘッドセットを示すブロック図である。図２を参照して、無線ネックセット２０３及びマイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器システム２００が示されている。ＭＥＭＳシステム２００は、検知モジュール２０１、電力制御ブロック２０５、無線モジュール２１１、及び通信インターフェース２１３を備える。検知モジュール２０１は、検出器制御ブロック２０７及び検出器２０９Ａ〜２０９Ｅを備えることができる。
【００２３】
無線ネックセット２０３は、ＭＥＭＳ検出器システム２００、並びに図１について説明したマルチメディアデバイス１０６ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄ、及び／又はテレビ（ＴＶ）１０６ｅ等の他のデバイスと通信することができる例えばブルートゥースヘッドセットを備えることができる。本明細書ではネックセットが開示されているが、本発明は、この点に関して限定されるものではない。例えば、ＭＥＭＳ検出器は、例えば、ブルートゥースヘッドセット等のヘッドセット又はヘッドフォンに統合することができる。米国特許出願第１２／０５６，１６４号（代理人整理番号第１９４４９ＵＳ０１号）は、一例示のネックセットを開示し、この結果、参照によりその全体が本明細書に援用される。
【００２４】
検出器制御ブロック２０７は、検出器２０９Ａ〜２０９Ｅからの電気信号のバイアス及び検知を可能にすることができる適切な回路部、ロジック、及び／又はコードを備えることができる。検出器制御ブロック２０７は、検出器２０９Ａ〜２０９Ｅ、電力制御ブロック２０５、及び通信インターフェース２１３に通信可能に結合することができる。
【００２５】
検出器２０９Ａ〜２０９Ｅは、ユーザーの呼気からのさまざまな速度の気流の検出を可能にすることができるＭＥＭＳデバイスを備えることができる。本発明の一実施形態では、検出器２０９Ａ〜２０９Ｅの可撓性ＭＥＭＳ部材は、気流によって撓むことができ、それらの可撓性ＭＥＭＳ部材から複数の検出器へ反射された放出光を遮断することができる。ソース及び検出器の個数及びタイプは、図２に示す個数及びタイプに限定されるものではない。したがって、所望のサイズ、感度、及び／又は分解能に従って、任意の個数の検出器及びソースを利用することができる。同様に、ソース及び検出器のタイプは、可視光以外の他の検知メカニズムを含むことができる。例えば、圧電検出器、超音波検出器、ホール効果検出器、静電検出器、及び／又は永久磁石検出器若しくは電磁石検出器が、撓んだＭＥＭＳ部材によってアクティブ化されて、検出器制御チップ２０７へ通信される信号を生成することができる。例示の光学的ＭＥＭＳ検出器は、少なくとも図３〜図９についてさらに説明される。
【００２６】
電力制御ブロック２０５は、ＭＥＭＳ検出器システム２００のさまざまな回路部への電力供給を可能にすることができる適切な回路部、ロジック、及び／又はコードを備えることができる。電力制御ブロック２０５は、例えば、電力制御ブロック２０５、ＢＴモジュール２１１、又は検知制御モジュール２０１内に統合することができるバッテリーの充電を可能にすることができ、その場合、バッテリー作動中の電力使用量を制御することができる。
【００２７】
無線モジュール２１１は、無線ネックセット２０３等の無線デバイスと無線で通信するための適切な回路部、ロジック、及び／又はコードを備えることができる。無線モジュール２１１は、ブルートゥース、ジグビー（Zigbee）、ＷＬＡＮ、及びそれらの変形、又は検知モジュール２０１が生成することができる制御信号及び無線ネックセット２０３からのフィードバック信号のための他の無線プロトコル送受信機能、又は他の無線デバイスを備えることができる。無線モジュールは、通信インターフェース２１３と通信可能に結合することができる。ケーブル等の有線接続を利用して、ネックセット２０３と通信することもできる。
【００２８】
通信インターフェース２１３は、ＭＥＭＳ検出器システム２００と、例えばパーソナルコンピュータ等の外部デバイスとの間の有線通信を可能にすることができる適切な回路部、ロジック、及び／又はコードを備えることができる。通信インターフェース２１３は、検知モジュール２０１によって生成された信号を、この通信インターフェース２１３への有線接続を通じて無線モジュール２１１又は外部デバイスへ切り替えることを可能にすることができる。通信インターフェース２１３は、例えば、汎用非同期受信機／送信機（ＵＡＲＴ）及び／又は集積回路間（Ｉ２Ｃ）インターフェース機能を備えることができる。
【００２９】
作動中、検出器２０９Ａ〜２０９Ｅは、例えばユーザーの呼気からの空気といった空気の排出に起因する気流を検知することができ、検出器制御チップ２０７、通信インターフェース２１３、及び無線モジュール２１１を介して、無線ネックレス２０３等の無線デバイスに通信することができる信号を生成することができる。電力制御ブロック２０５は、適切な検出器２０９Ａ〜２０９Ｅバイアス状態を提供することができ、バッテリー電源下のときはＭＥＭＳ検出器モジュール２００に電力を提供することができる。検知モジュール２０１とのユーザー相互作用によって、図１について説明した無線デバイス、マルチメディアデバイス１０６ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄ、及び／又はテレビ（ＴＶ）１０６ｅ等の無線デバイスのハンズフリー制御又は片手制御を可能にすることができる。
【００３０】
図３は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ可撓性部材の構造を示すブロック図である。図３を参照して、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄ及び支持構造３０３を備えるＭＥＭＳ部材アレイ３００が示されている。可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄは、可動性部材又は可動性セグメントと呼ばれる場合もある。本発明の一実施形態では、ＭＥＭＳ部材アレイ３００は、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの厚さが、壊れることなく気流によって物理的に撓むことができるようなマイクロ加工シリコン（Ｓｉ）構造を備えることができる。ＭＥＭＳ部材アレイ３００は、例えば、異方性エッチング等のＭＥＭＳ技法を利用して製造することができる。
【００３１】
支持構造３０３は、例えば、少なくとも図５〜図８について説明するように、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄを架設することができ且つＭＥＭＳ部材アレイ３００を検出器パッケージ内に統合することを可能にすることができる剛性支持構造を備えることができる。
【００３２】
作動中、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄは、例えばユーザーの呼気からの空気といった排出空気に起因する気流によって撓むか又は動くことができる。本発明の一実施形態では、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄのそれぞれからの反射から受信された光信号を測定することによって撓みの量を求めることができるように、光源は、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの底面から反射させることができる。本発明のさまざまな実施形態では、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みを求めるソース及び検出器は、例えば、圧電、ホール効果、超音波、磁気、又は静電等の他の検知技法を利用することができる。圧電技法を利用することができる場合、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みは、圧電材料を圧縮することによって、印加された気流に比例した電気信号を生成することができる。本発明の別の実施形態では、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みによってキャパシタンス値を調整することができ、キャパシタンスの変化が電気信号を生成する。本発明のさらに別の実施形態では、上記可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄに隣接して又は該可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの表面上で永久磁石又は電磁石を利用して、気流の速度に比例した電流を生成することができる。このように、測定技法は、光学的測定に限定されるものではない。したがって、さまざまな撓み測定技法を利用することができる。
【００３３】
図４は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ可撓性部材の構造の上面図を示すブロック図である。図４を参照して、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄ及び支持構造３０３を備えるＭＥＭＳ部材アレイ３００が示されている。支持構造３０３の縦の厚さは、少なくとも図６〜図９について説明するように、ストッパ構造の上で可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄを架設することを可能にすることができる。加えて、ストッパ構造は、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄのうちの１つ又は複数が過度に撓むと共に、場合によって壊れる可能性を減少させ且つ／又は取り除くことができる。
【００３４】
作動中、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄは、ユーザーの呼気からの気流によって撓むことができる。本発明の一実施形態では、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄのそれぞれからの反射から受信された光信号を測定することによって撓みの量を求めることができるように、光源を可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの底面から反射させることができる。本発明のさまざまな実施形態では、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みを求めるソース及び検出器は、例えば、圧電、ホール効果、超音波、磁気、又は静電等の他の検知技法を利用することができる。
【００３５】
図５は、本発明の一実施形態によるＭＥＭＳ検出器アレイの一例示のセラミックモジュールのブロック図である。図５を参照して、基板５０１、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃ、ソース５０５、通気開口部５０７、５０９、５１１、及び５１３、並びに集積回路５１５が示されている。図示しない第４の検出器は、基板５０１のキャビティ内に統合することができる。ソース及び検出器の個数は、図５に示す個数に限定されるものではない。
【００３６】
基板５０１は、例えば、低温同時焼成セラミック又は他の絶縁材料の機械加工ブロックを備えることができ、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃ、ソース５０５、及び集積回路（ＩＣ）５１５だけでなく、図３及び図４について説明したＭＥＭＳ部材アレイ３００をも支持する基板として働くことができる。したがって、所望のサイズ、感度、及び所望の分解能に従って、任意の個数の検出器及びソースを利用することができる。基板５０１の上面のキャビティを利用して、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材にそれぞれ対応することができる複数の個々のキャビティを作製することができる。キャビティは、基板５０１に例えば化学エッチングすることもできるし、プレスすることもできるし、レーザ加工することもできる。
【００３７】
本発明の一実施形態では、基板５０１は、代わりに、マイクロ加工シリコンのブロックを備えることもできる。シリコンを利用することによって、均一且つ制御可能な製造プロセスのために、例えば、湿式化学エッチング若しくはプラズマエッチングを介した異方性エッチング、及び／又はイオンビームミリング等の半導体マイクロマシン技法の使用を可能にすることができる。このように、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃ及びソース５０５は、例えば、拡散又はイオン注入等の半導体ドーピング技法を介して基板５０１上に直接製造することができる。本発明の別の実施形態では、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃ及びソース５０５は、基板５０１上にエピタキシャル成長させることができる。
【００３８】
加えて、基板５０１は、受動デバイスの製造だけでなく、基板５０１内及び基板５０１上に集積されたさまざまなデバイス間の相互接続の製造も可能にするために、絶縁材料、半導体材料、及び導電材料を含む複数の材料層を備えることができる。基板５０１内及び基板５０１上の導電材料は、基板５０１の平面内のデバイスを相互接続するコスト効果のある方法を可能にすることができる導電性インクを含むことができる。例えば、導電性インクパターンをセラミックの上面の大きなキャビティ上に付着させて、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃと、ソース５０５と、基板５０１を通って基板５０１の底面に結合されたＩＣ５１５に延びることができる相互接続線との間の相互接続を提供することができる。さらに、別のパターン化された導電層を基板５０１の底部層の上に付着させて、ＩＣ５１５への接続を可能にすることができる。
【００３９】
検出器５０３Ａ〜５０３Ｃは、例えば、少なくとも図６〜図１０について説明するように、基板５０１の上部に配置することができるＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材から反射された光を検知するように動作可能にすることができる半導体フォトダイオード又は光導電体を備えることができる。検出器５０３Ａ〜５０３Ｃは、例えば、導電性インクを介して基板５０１に電気的に結合することができ、例えば、熱エポキシを介して基板５０１に機械的に結合することができる。
【００４０】
ソース５０５は、基板５０１の上面の大きなキャビティの底部に対して垂直方向に光を放出することを可能にすることができる半導体発光ダイオード（ＬＥＤ）又はレーザを備えることができる。ソース５０５は、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃによる検出のために、例えば可視光を放出することができる。
【００４１】
このタイプのソース及び検出器は、可視光以外の他の検知メカニズムを備えることができる。例えば、圧電検出器、超音波検出器、ホール効果検出器、静電検出器、及び／又は永久磁石検出器若しくは電磁石検出器を、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の撓んだＭＥＭＳ部材がアクティブ化することができる。
【００４２】
ＩＣ５１５は、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃからの信号のバイアス及び受信並びにソース５０５のバイアスを可能にすることができる適切な回路部、ロジック、及び／又はコードを備えることができる。加えて、ＩＣ５１５は、ＭＥＭＳ検出器システム２００内の他のコンポーネントへ信号を通信する前に、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃから受信された信号を処理するための処理機能を備えることができる。
【００４３】
作動中、ソースは、ＩＣ５１５によって生成されたバイアス状態を介して所望の光強度を生成することを可能にすることができる。フォトダイオードを検出器５０３Ａ〜５０３Ｃに使用することができる場合に、フォトダイオードにも、ＩＣ５１５を介してバイアス電圧を供給することができる。ソース５０５によって放出された光は、図３及び図４について説明したＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材が反射及び／又は遮断することができる。
【００４４】
各検出器によって受信された光の量は、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の各可撓性部材の撓みの量を示すことができる。ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材の撓みは、例えばハンドヘルドデバイスを制御するために、ユーザーの呼気からの気流が引き起こすことができる。通気開口部５０７、５０９、５１１、及び５１３は、基板５０１の上面のキャビティの圧力の渦／上昇を低減及び／又は除去することができる。圧力の渦／上昇は、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材の撓みに悪影響を与え、生成された信号に雑音を導入するおそれがある。
【００４５】
受信された光強度は、検出器５０３Ａ〜５０３Ｃが電気信号に変換することができ、この電気信号は、基板５０１の導電性チャネルを介してＩＣ５１５へ通信することができる。ＩＣ５１５は、無線ネックセット２０３、又はマルチメディアデバイス１０６ａ、携帯電話／スマートフォン１０６ｂ、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）、ラップトップ、若しくはノートブックコンピュータ１０６ｃ、ディスプレイデバイス１０６ｄ、及び／若しくはテレビ（ＴＶ）１０６ｅ等の他の無線デバイス等の無線デバイスへのＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材の撓みの通信を可能にすることができる。このように、ユーザーは、自身の呼気を使用して、ハンズフリー又は片手を介したいずれかで無線デバイスを制御することができる。
【００４６】
図６は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールのブロック図である。図６を参照して、ＭＥＭＳ部材アレイ３００、基板５０１、及びスペーサ６０１を備えるＭＥＭＳ検出器モジュール６００が示されている。ＭＥＭＳ部材アレイ３００及び基板５０１は、図３及び図５について説明したものと同様にすることができる。破線ＡＢは、図８の断面図が取られた平面を示す。
【００４７】
スペーサ６０１は、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材と、基板５０１との間に個々のキャビティの作製を可能にすることができる「十字」形状の構造を備えることができる。スペーサは、例えば、テフロン（登録商標）を含むことができ、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材の過度の撓みを回避する停止メカニズムも提供することができる。加えて、スペーサ６０１の中央部は、図５及び図８について説明するように、基板５０１の上面の大きなキャビティの中央に接着することができるソース５０５からの光の放出を可能にするために開放することができる。
【００４８】
作動中、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材は、ユーザーの呼気からの気流によって撓むことができる。最大限の撓みで、図５について説明した検知メカニズムが最小の光強度を検知することができるように、可撓性部材はストッパ６０１に押し付けられる場合がある。
【００４９】
図７は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールの傾斜角図のブロック図である。図７を参照して、ＭＥＭＳ部材アレイ３００、基板５０１、及びスペーサ６０１を備えるＭＥＭＳ検出器モジュール６００が示されている。それぞれは、図６について説明したものと同様である。基板５０１の上面の破線は、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の例示の配置に対応することができる。
【００５０】
作動中、ＭＥＭＳ部材アレイ３００の可撓性部材又は可動性部材は、ユーザーの呼気からの気流によって撓むことができる。最大限の撓みで、図５について説明した検知メカニズムが最小の光強度を検知することができるように、可撓性部材はストッパ６０１に押し付けられる場合がある。
【００５１】
図８は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器モジュールの断面を示すブロック図である。図８を参照して、ＭＥＭＳ検出器モジュール６００が示されている。ＭＥＭＳ検出器モジュール６００は、可撓性部材３０１Ａ及び３０１Ｂ、基板５０１、検出器５０３Ａ及び５０３Ｂ、ソース５０５、ＩＣ５１５、スペーサ６０１、並びに組み込みデバイス及び相互接続８０５を備える。可撓性部材３０１Ａ及び３０１Ｂ、基板５０１、検出器５０３Ａ及び５０３Ｂ、ソース５０５、ＩＣ５１５、並びにスペーサ６０１は、図３〜図６について説明したものと同様である。
【００５２】
組み込みデバイス及び相互接続８０５は、ディスクリートデバイス及び／又はデバイス相互接続を作製することができる基板５０１内に組み込まれた導電材料及び／又は半導体材料を含むことができる。例えば、導電性インクを利用して、デバイス相互接続を作製することができる。組み込みデバイス及び相互接続８０５は、検出器５０３Ａ及び５０３Ｂ並びにソース５０５の適切なバイアス状態を可能にすることができ、ＩＣ５１５に電気的相互接続を提供することもできる。
【００５３】
作動中、例えばユーザーの呼気からの空気の排出の結果生じ得る気流は、可撓性部材３０１Ａ及び３０１Ｂを撓ませるか又は動かすことができる。ソース５０５は、可撓性部材３０１Ａ及び３０１Ｂから反射し得る光信号を生成することができる。撓みがない場合、検出器５０３Ａ及び５０３Ｂによって受信された反射光信号は、最大となることができ、図２について説明したＭＥＭＳ検出器システム２００を起動時又は定期的に較正するのに利用することができる。可撓性部材３０１Ａ及び３０１Ｂがスペーサ６０１に対して最大限に撓むことができる場合、検出器５０３Ａ及び５０３Ｂによって受信された光信号は、ゼロ又は最小レベルとなり、最大の撓みを示すことができる。このプロセスは、図９についてさらに説明される。
【００５４】
検出器５０３Ａ及び５０３Ｂによって受信された反射光は、組み込みデバイス及び相互接続８０５を介してＩＣ５１５へ通信することができる電気信号を生成することができる。
【００５５】
図９は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ部材の撓みを示すブロック図である。図９を参照して、可撓性部材３０１Ｂ、検出器５０３Ｂ、ソース５０５、及びスペーサ６０１が示されている。可撓性部材３０１Ｂ、検出器５０３Ｂ、ソース５０５、及びスペーサ６０１は、図３〜図６について説明したものと同様とすることができる。
【００５６】
作動中、気流が検出器モジュール６００に方向付けられていない場合、可撓性部材３０１Ｂは、図９の撓み無し、すなわち上側の図に示すように、停止位置にいることができる。ソース５０５は、可撓性部材３０１Ｂに光信号を放出することができ、光信号は、可撓性部材３０１Ｂから検出器５０３Ｂ上へ反射する。撓みなしで測定されたこの信号は、起動時又は定期的に測定することができる較正値を含むことができる。
【００５７】
気流が検出器モジュール６００に方向付けられている場合、可撓性部材３０１Ｂは撓むことができる。気流が高くなり得る場合、可撓性部材３０１Ｂは、スペーサ６０１に押し付けら得るまで撓むことができ、これは、最大の流れを表すことができ、この最大の流れを超えると、ＭＥＭＳ検出器アセンブリ６００は区別することができない。この場合、ソース５０５によって放出された光は、完全に遮断することができ、ゼロ又は最小の信号を検出器５０３Ｂは受信することができる。可撓性部材の撓みの量、したがって、検出器５０３Ｂによって生成された信号は、撓みを引き起こした気流の速度に対応することができる。
【００５８】
本発明の一実施形態では、各可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの厚さ及び／又は面積は、所望の最大気流のために構成することができる。加えて、スペーサ６０１の厚さも、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの所望の量の撓みを可能にするように構成することができる。
【００５９】
図１０は、本発明の一実施形態による一例示の気流検出器アセンブリのブロック図である。図１０を参照して、ユーザー操作のために設計された支持部材１００３に機械的に結合された筐体１００１内にＭＥＭＳ検出器アセンブリ６００を備えることができる気流検出器アセンブリ１０００が示されている。筐体１００１は、例えば、図５について説明した通気開口部５０７、５０９、５１１、及び５１３と位置合わせすることができる排気孔１００７の４つのセットを備えることができ、また、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄと位置合わせすることができる４つの吸気孔１００５Ａ〜１００５Ｄも備えることができる。
【００６０】
作動中、気流は、吸気口１００５Ａ〜１００５Ｄに入り、図８について説明したように筐体１００１内の経路に従い、次いで、排気孔１００７のうちの１つ又は複数を通って筐体１００１を出ることができる。このように、検出器信号に悪影響を与え得る圧力渦又は圧力上昇を筐体１００１内で低減又は除去することができる。
【００６１】
図１１は、本発明の一実施形態によるＭＥＭＳ検出器の運動検知オペレーションを示すブロック図である。図１１を参照して、ＭＥＭＳ部材アレイ３００、検出器出力プロット１１０１Ａ〜１１０１Ｄ、一例示の吹きかけパターン１１０３、並びにその結果の制御動作１１０５Ａ及び１１０５Ｂが示されている。ＭＥＭＳ部材３００は、図３について説明したものと同様である。
【００６２】
この例示の吹きかけパターン１１０３は、ユーザーの吹きかけのパターンをＭＥＭＳ部材アレイ３００に方向付けることができることを意味する。この場合、例示の吹きかけパターン１１０３は、ＭＥＭＳ部材アレイ３００を横切って下方に移動し、その結果、可撓性部材のそれぞれについて検出器出力プロット１１０１Ａ〜１１０１Ｄが得られる。検出器プロット１１０１Ａは、検出器信号対時間を示し、「上」の可撓性部材の下の検出器が最初に撓み、その後に「左」及び「右」の双方の可撓性部材、最後に「下」の可撓性部材が続くことを示す。これらの信号は、例えばＩＣ５１５において処理することができ、その結果、結果の制御動作１１０５Ａ及び１１０５Ｂによって示されるような所望の動作が得られる。制御動作１１０５Ａは、ユーザーが、コンテンツを下方にスクロールしようと意図したことを示すことができ、制御動作１１０５Ｂでは、スクロールダウンが運動量に基づくことができ、その結果、スクロール速度が高くなる。
【００６３】
図１２は、本発明の一実施形態による一例示のＭＥＭＳ検出器利用プロセスを示すフロー図である。図１２を参照して、ステップ１２０３において、開始ステップ１２０１の後、ソース５０５は、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みがない状況で信号を放出することができる。ステップ１２０５において、ベースライン撓み信号を反射信号から求めることができる。ステップ１２０７において、ＭＥＭＳ検出器アセンブリ６００を気流がアクティブ化することができる。ステップ１２０９において、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄからの反射信号を測定することができ、ＭＥＭＳ検出器アセンブリ１０００が制御することができる無線デバイスへ信号を送信することができ、その後、終了ステップ１２１１が続く。
【００６４】
本発明の一例示の実施形態では、人間の呼気を使用してデバイスの制御を可能にするＭＥＭＳ検出器６００のための方法及びシステムが開示され、この方法及びシステムは、マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）検出器６００を介して、例えば人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出することを含むことができる。ＭＥＭＳ検出器６００は、人間の呼気の排出により引き起こされた空気の動きを検出するように動作可能な１つ又は複数の可撓性部材又は可動性部材３０１Ａ〜３０１Ｄを備えることができる。可撓性部材又は可動性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みは、ＭＥＭＳ検出器６００内のスペーサ６０１を介して制限することができる。可撓性部材又は可動性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みの量は、ＭＥＭＳ可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄから反射された光信号の測定、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みによって生成された圧電信号の測定、可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みによって生成されたキャパシタンスの変化の測定、又は磁場において撓んだ部材３０１Ａ〜３０１Ｄの撓みによって生成された電流の測定によって求めることができる。検出された動きに基づいて、１つ又は複数の出力信号を生成することができる。ＭＥＭＳ検出器６００は、基板５０１、スペーサ６０１、及びＭＥＭＳ可撓性部材３０１Ａ〜３０１Ｄを備えることができる。基板５０１は、セラミック材料及び／又はシリコンを含むことができ、組み込みデバイス及び相互接続８０５を備えることができる。集積回路５１５を基板５０１に電気的に結合することができる。気流をＭＥＭＳ検出器６００の側面の外に方向付けることができる。
【００６５】
本発明の特定の実施形態は、人間の呼気を使用してデバイスの制御を可能にするＭＥＭＳ検出器のための少なくとも１つのコード部を有するコンピュータプログラムが記憶されたマシン可読ストレージを備えることができる。この少なくとも１つのコード部は、本明細書で説明したステップのうちの１つ又は複数をマシンに実行させるために、マシンによって実行可能である。
【００６６】
したがって、本発明の態様は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、又はそれらの組み合わせで実現することができる。本発明は、少なくとも１つのコンピュータシステムにおいて集中形式で実現することもでき、異なるエレメントが、いくつかの相互接続されたコンピュータシステムにわたって拡散された分散形式で実現することもできる。本明細書で説明した方法を実行するように構成されるあらゆる種類のコンピュータシステム又は他の装置が適している。ハードウェア、ソフトウェア、及びファームウェアの一般的な組み合わせは、ロードされて実行されると、本明細書で説明した方法を実行するようにコンピュータシステムを制御するコンピュータプログラムを有する汎用のコンピュータシステムとすることができる。
【００６７】
本発明の一実施形態は、ボードレベル製品として実施することもできるし、単一チップの特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）として実施することもできるし、別々のコンポーネントとしてシステムの他の部分を有する単一チップ上に集積されたさまざまなレベルで実施することもできる。システムの集積の程度は、主として、速度及びコストを考慮することによって決まる。現代のプロセッサの精巧な性質のため、市販のプロセッサを利用することが可能である。市販のプロセッサは、本システムのＡＳＩＣの実施態様の外部で実施することができる。代替的に、プロセッサがＡＳＩＣコア又は論理ブロックとして利用可能である場合、市販のプロセッサは、ファームウェアとして実施されたさまざまな機能でＡＳＩＣデバイスの一部として実施することができる。
【００６８】
本発明は、コンピュータプログラム製品に具現化することもできる。このコンピュータプログラム製品は、本明細書で説明した方法の実施を可能にするすべての特徴を備え、コンピュータシステムにロードされると、これらの方法を実行することができる。本コンテキストにおけるコンピュータプログラムは、例えば、情報処理機能を有するシステムに直接的に特定の機能を実行させるように意図された一組の命令、又は、次のもの、すなわちａ）別の言語、コード、又は表記への変換、ｂ）異なる材料形態での再現、の一方若しくは双方の後に、上記システムに特定の機能を実行させるように意図された一組の命令の任意の言語、コード、又は表記による任意の表現を意味することができる。しかしながら、当業者の理解の範囲内にあるコンピュータプログラムの他の意味も、本発明によって考慮されている。
【００６９】
本発明は、一定の実施形態を参照して説明されてきたが、本発明の範囲から逸脱することなく、さまざまな変更を行うことができ、均等物で代用することができることが当業者によって理解されよう。加えて、本発明の範囲から逸脱することなく、本発明の教示に特定の状況又は材料を適合させるように、多くの修正を行うこともできる。したがって、本発明は、開示された特定の実施形態に限定されることは意図されておらず、本発明は、添付の特許請求の範囲の範囲内に含まれるすべての実施形態を含むことが意図されている。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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