(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ翼とロータ円筒部とを有し高速回転するロータと、前記ロータ円筒部と同軸上にあって、前記ロータ円筒部の外周面との間に気体分子を移送するための間隙を有して配置された内周面を有するステータとを備えた高真空ポンプにおいて、
前記ロータ円筒部は、前記ロータ翼と一体に形成され、
軸方向に所定の幅を有する繊維強化複合材料で形成されたリング材が、前記ロータ円筒部の最上部の外周部に、前記外周部から突き出して形成されていることを特徴とする高真空ポンプ。
【請求項２】
ロータ翼とロータ円筒部とを有し高速回転するロータと、前記ロータ円筒部と同軸上にあって、前記ロータ円筒部の外周面との間に気体分子を移送するための間隙を有して配置された内周面を有するステータとを備えた高真空ポンプにおいて、
前記ロータ円筒部の最下部の外周部に溝部が形成されており、
軸方向に所定の幅を有する繊維強化複合材料で形成されたリング材が、前記ロータ円筒部の外周部に形成された溝部内に形成され、前記リング材の外周表面が前記ロータ円筒部の外周表面とほぼ同一面となっていることを特徴とする高真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の高真空ポンプにおいて、前記ロータ円筒部の外周にはネジ溝部が形成され、前記ステータの前記内周面は平坦な円筒状内周面であることを特徴とする高真空ポンプ。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の高真空ポンプにおいて、前記リング材は、前記ロータの外周面に巻き付けられた繊維と、前記繊維を覆って硬化された樹脂とにより構成されていることを特徴とする高真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の高真空ポンプにおいて、前記ロータは、ロータ軸に固定される中央部を有する第１の分割体と、前記第１の分割体に固定される第２の分割体とを有し、前記リング材は、前記第１の分割体と前記第２の分割体との境界部にも形成されていることを特徴とする高真空ポンプ。
【請求項６】
請求項1乃至５のいずれか１項に記載の高真空ポンプにおいて、前記リング材は、炭素繊維強化プラスチックにより形成されていることを特徴とする高真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、ターボ分子ポンプまたはモレキュラドラッグポンプ等の高真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
高真空あるいは超高真空を得る高真空ポンプとしてターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプ等が知られている。
高真空ポンプは排気速度を大きくするためにロータの回転速度を大きくし、また、ロータ翼の直径を可能な限り大きくしている。ロータの回転速度は、例えば、毎分２万〜４万回転あるいはそれ以上となる。
このような高速回転をする高真空ポンプにおいては、外部からの異常振動や内部における異常事態が発生すると、ロータに、例えば、数万Ｎ・ｍ程度の極めて大きな破壊トルクが作用する。
【０００３】
このため、万一、ロータが遠心破壊を起こすと、この大きな破壊トルクによってロータが分裂して飛散することになる。分裂した破片がケース部材を直撃することにより、ケース部材が変形したり破断したりする。
この対応として、ケース部材とロータ翼の外周との間に内部ケースを設けた構造が知られている（例えば、特許文献１参照）。内部ケースは、分裂したロータの破片の回転エネルギを吸収するので、外側のケース部材への衝撃を小さくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−６２８７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記先行文献に記載された高真空ポンプでは、分裂して飛散したローラの破片による衝撃波及を少なくする構造とされている。
つまり、ロータに作用する破壊トルクを小さくする構造ではない。従って、大きな破壊トルクに抗し得る材料およびサイズが必要であり、装置が大型化したり、構造または組立が複雑となったりする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の好ましい実施形態による高真空ポンプは、ロータ翼とロータ円筒部とを有し高速回転するロータと、ロータ円筒部と同軸上にあって、ロータ円筒部の外周面との間に気体分子を移送するための間隙を有して配置された内周面を有するステータとを備えた高真空ポンプであって、前記ロータ円筒部は、前記ロータ翼と一体に形成され、軸方向に所定の幅を有する繊維強化複合材料で形成されたリング材が、ロータ円筒部の最上部の外周部に、外周部から突き出して形成されていることを特徴とする。
（２）本発明の他の好ましい実施形態による高真空ポンプは、ロータ翼とロータ円筒部とを有し高速回転するロータと、ロータ円筒部と同軸上にあって、ロータ円筒部の外周面との間に気体分子を移送するための間隙を有して配置された内周面を有するステータとを備えた高真空ポンプであって、ロータ円筒部の最下部の外周部に溝部が形成されており、軸方向に所定の幅を有する繊維強化複合材料で形成されたリング材が、ロータ円筒部の外周部に形成された溝部内に形成され、リング材の外周表面がロータ円筒部の外周表面とほぼ同一面となっていることを特徴とする。
（３）さらに好ましい実施形態では、ロータ円筒部の外周にはネジ溝部が形成され、ステータの内周面は平坦な円筒状内周面であることを特徴とする。
（４）さらに好ましい実施形態では、リング材は、ロータの外周面に巻き付けられた繊維と、繊維を覆って硬化された樹脂とにより構成されていることを特徴とする。
（５）さらに好ましい実施形態では、ロータは、ロータ軸に固定される中央部を有する第１の分割体と、第１の分割体に固定される第２の分割体とを有し、リング材は、第１の分割体と第２の分割体との境界部にも形成されていることを特徴とする。
（６）さらに好ましい実施形態では、リング材は、炭素繊維強化プラスチックにより形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、ロータの外周部に、ロータとは別体で、強度の高い繊維強化複合材料で形成されたリング材が形成されているので、ロータに亀裂が発生した場合でも、亀裂の進展を抑制し破壊トルクを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明に係る高真空ポンプの一実施形態としてのターボ分子ポンプの断面図。
【図２】図１に図示されたロータの拡大断面図。
【図３】この発明の高真空ポンプの実施形態２を示すロータの拡大断面図。
【図４】この発明の高真空ポンプの実施形態３を示すロータの拡大断面図。
【図５】この発明の高真空ポンプの実施形態４を示すロータの拡大断面図。
【図６】この発明の高真空ポンプの実施形態５を示すロータの拡大断面図。
【図７】この発明に係る高真空ポンプの実施形態６に係り、図１とは異なる構造のターボ分子ポンプの断面図。
【図８】図７に図示されたロータの拡大断面図。
【図９】この発明に係る高真空ポンプの実施形態７を示し、ターボ分子ポンプとは異なる高真空ポンプであるモレキュラドラッグポンプの一例を示す断面図。
【図１０】図９に図示されたロータの拡大断面図。
【図１１】この発明の高真空ポンプの実施形態８を示すロータの拡大断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施形態１）
以下、図を参照して本発明の実施形態１について説明する。図１は、本発明の高真空ポンプを、ターボ分子ポンプを一実施形態として示すものである。
図１には、磁気軸受式のターボ分子ポンプの断面図が示されている。ターボ分子ポンプ１は、上ケース１２とベース１３からなるケース部材１１を備えている。上ケース１２とベース１３はシール部材４２を介して密着して固定され外部から密封された構造とされている。
【００１０】
ケース部材１１の中心軸上には、ロータ４およびロータ４と同軸上に取り付けられたロータ軸２１が配置されている。ロータ軸２１とロータ４とは、ボルト１８により締結されており、高速回転時の遠心力により軸心にずれが生じないように強固に固定されている。ロータ軸２１は、ラジアル方向の磁気軸受３１（２箇所）およびスラスト方向の磁気軸受３２（上下一対）によって非接触で支持される。ロータ軸２１の浮上位置は、ラジアル変位センサ３３ａ、３３ｂおよびアキシャル変位センサ３３ｃによって検出される。磁気軸受３１、３２によって回転自在に磁気浮上されたロータ軸２１は、モータ３５により高速回転駆動される。
【００１１】
ロータ軸２１の下面には、メカニカルベアリング３４を介してロータディスク３８が取り付けられている。また、ロータ軸２１の上部側にはメカニカルベアリング３６が設けられている。メカニカルベアリング３４、３６は非常用のメカニカルベアリングであり、磁気軸受が作動していない時にはメカニカルベアリング３４、３６によりロータ軸２１が支持される。
【００１２】
ロータ４は、上部側と下部側の二段構造を有し、上部側には複数段のロータ翼７が形成されている。また、最下段のロータ翼７から下方は、ロータ円筒部９とされた下部側となっている。
ロータ４の上部側においては、ロータ翼７とステータ翼６とがリング状のスペーサ５を間に挟んで、ポンプの軸方向に交互に積層されている。上ケース１２の内面に、ベース１３の上面からスペーサ５とステータ翼６を、交互に積層し、上ケース１２をベース１３に固定すると、積層されたスペーサ５とステータ翼６がベース１３と上ケース１２との間に挟持され、ステータ翼６が位置決めされる。
【００１３】
ロータ４のロータ円筒部９の外周側には、リング状のネジステータ（ステータ）８がボルト４１によりベース１３に固定されている。ネジステータ８は螺旋状突部８ａを有し、螺旋状突部８ａ間にはネジ溝部８ｂが形成されている。ロータ４のロータ円筒部９の外周面とネジステータ８の内周面とは、ロータ４が高速に回転したときに、気体分子を上方から下方に移送することができるような間隙が設けられている。
【００１４】
ベース１３には排気ポート４５が設けられ、この排気ポート４５にバックポンプが接続される。ロータ４を磁気浮上させ、この状態でモータ３５により高速回転駆動することにより、吸気口１５側の気体分子が排気ポート４５側へと排気される。
【００１５】
このターボ分子ポンプ１は、上ケース１２の内部空間に翼排気部２を有し、ベース１３の内部空間にネジ溝排気部３を有する複合タイプのターボ分子ポンプである。翼排気部２は複数段のロータ翼７と複数段のステータ翼６とで構成され、ネジ溝排気部３はロータ円筒部９とネジステータ８とで構成されている。
【００１６】
フランジ１７は、締結部材（図示せず）により、図示しない真空チャンバの排気系のフランジに取りつけられる。モータ３５によりロータ４を回転駆動すると真空チャンバ内の気体分子が吸気口１５から流入する。吸気口１５から流入した気体分子は翼排気部２において、下流側へと叩き飛ばされる。図示はしないが、ロータ翼７とステータ翼６とは翼の傾斜の向きが逆であり、且つ、傾斜角度は、高真空側である前段側から下流側である後段側に向けて、気体分子が逆行しにくい角度に変化して形成されている。気体分子は、翼排気部２において圧縮されて図示下方のネジ溝排気部３へ移送される。
【００１７】
ネジ溝排気部３においては、ネジステータ８に対してロータ円筒部９が高速回転すると粘性流による排気機能が発生し、翼排気部２からネジ溝排気部３へと移送された気体は圧縮されながら排気ポート４５へ移送され真空排気される。なお、本実施の形態では、ネジ溝構成を有するネジ溝排気部３としているが、ネジ溝構成以外の構成も含め、粘性流による排気機能を発揮する部分はドラッグポンプ部と呼ばれる場合もある。
【００１８】
図２は、ロータ４の拡大断面図である。ロータ４におけるロータ円筒部９の最下端の外周部には、軸方向に所定の幅を有するリング材５１が形成されている。リング材５１が形成されたロータ円筒部９の最下部は、溝部が形成され、薄肉とされている。リング材５１はロータ円筒部９の溝部内を充填して形成され、その外周表面は、ロータ円筒部９の外周表面とほぼ同一面となっている。リング材５１の下端面は、ロータ円筒部９の下端面と同一面となっており、外部に露出している。
【００１９】
リング材５１は、繊維強化複合材料（ＦＲＰ; Fiber Reinforced Plastics）により形成されている。繊維強化複合材料として、ガラス繊維強化プラスチック（ＧＦＲＰ）、ガラス長繊維強化プラスチック（ＧＭＴ）、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）、ボロン繊維強化プラスチック（ＢＦＲＰ）、アラミド繊維強化プラスチック（ＡＦＲＰ、ＫＦＲＰ）、ポリエチレン繊維強化プラスチック（ＤＦＲＰ）等を用いることが可能である。特に、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）が好ましい。
【００２０】
リング材５１をロータ円筒部９に形成する方法としては、限定する意図ではないが、下記の二通りがある。
（１）冷やし嵌めによる方法
この方法は、先ず、予め繊維骨材と、不飽和ポリエステル、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂等の熱硬化性樹脂とを混合したシート状のものを、圧縮成型、インジェクション成形等を行ってリング材５１を形成しておく。繊維を巻いて樹脂でリング状に成形する製法でリング材を形成しても良い。一方、ロータ４を１００℃程度に冷却しておく。そして、冷却されたロータ４にリング材５１を嵌合する。リング材５１の内径は、ロータ４が常温以上となったときに膨張して内部に圧縮応力が生じるような寸法にしておく。
【００２１】
（２）樹脂を被着して硬化させる方法
この方法では、先ず、ロータ円筒部９の所要の場所に繊維骨材を捲回する。そして、上記（１）で列挙したいずれかの樹脂を繊維骨材に塗布し、熱硬化する。樹脂の塗布は、一例として、ディスペンサによる被着、印刷法等を用いることができる。
他の方法として、予め、ロータ円筒部９における形成しようとする部分より僅かに径大のリング状部材を形成しておき、ロータ円筒部９における形成しようとする部分に嵌合して、熱硬化する方法を用いることができる。リング状部材は、繊維骨材が混合されたものでもよい。
この方法により、ロータ円筒部９の外周面に密着して強化繊維が巻き付けられ、硬化された樹脂がロータ円筒部９の外周面と共に強化繊維を覆っているリング材５１が形成される。
【００２２】
ここで、リング材５１の作用について説明する。
ロータ４において、ロータ円筒部９の下端部は、高速に回転駆動されるロータ４の軸心から最も遠い場所に位置し、また、薄い肉厚で軸方向に長い寸法で延出されている。このため、ロータ４の回転に伴う遠心力による応力は、この部分が他の部分より大きくなる。従って、通常、ロータ４の亀裂は、ロータ円筒部９の下端部が発生の起点となる。発生した亀裂は、ロータ４に作用する回転トルクが大きいため、瞬時に他の部分に進展し、ロータ４は大きな破壊トルクにより分裂する。
【００２３】
しかし、本発明の場合、ロータ円筒部９の下端部に、繊維強化複合材料からなるリング材５１が形成されている。このリング材５１は、ロータ４とは別部材であり、かつ、強度も大きい。このため、ロータ円筒部９の下端部に生じた亀裂は、即座には、リング材５１には進展しない。すなわち、リング材５１により、ロータ円筒部９の亀裂の進展は、一旦、停止する。ロータ４全体の分裂が開始から数ｍ秒かかるような場合に、リング材５１を設けることにより、分裂が遅延し、仮に、十数ｍ秒程度かかって分裂するようになれば、分裂のエネルギは１／２〜１／３程度になり、ケース部材１１に対する衝撃の低減の効果は極めて大きなものとなる。
【００２４】
つまり、本発明の上記実施形態によれば、下記の効果を奏することができる。
（ｉ）ロータ４に亀裂が生じた場合、リング材５１が外周部側からロータ４の半径方向の膨張を抑制しているため、亀裂の進展を防ぎ、ロータ４の破壊を防ぐことができる。
（ｉｉ）ロータが破壊してしまった場合、リング材５１により亀裂の進展速度が遅延し、ポンプの急停止時間を稼ぐことができる。
また、リング材５１を冷やし嵌めにより嵌合した場合には、上記効果に加え、
（ｉｉｉ）ロータ４にリング材５１による圧縮応力が作用しているため、ロータ４が高速に回転する際に生じる膨張による応力を軽減する。
【００２５】
なお、リング材５１を繊維強化複合材料で形成すると、アルミニウム、鉄、ステンレス等の金属で形成した場合よりも大きい耐破壊強度を得ることができる。また、重量も小さいので、ロータ４の回転時における回転軸のアンバランスによる振れが小さくなる。
【００２６】
（実施形態２）
図３は、本発明の高真空ポンプの実施形態２を示し、図２の場合と同様、ターボ分子ポンプ１のロータ４の拡大断面図である。
この実施形態では、リング材５２は、ロータ４における、最下段のロータ翼７とロータ円筒部９の最上部との境界部に形成されている。リング材５２は、ロータ円筒部９の外周面から突き出して形成されている。このように、ロータ円筒部９の最上部に形成する場合には、螺旋状突部８ａを有するネジステータ８（図１参照）を嵌合する際に、螺旋状突部８ａとの干渉を回避することができるので、ロータ円筒部９の外周面から突き出して形成することができる。
このため、ロータ円筒部９に溝部を形成する工数分を削減することができる。ロータ４の最下段のロータ翼７とロータ円筒部９の最上部との境界部から亀裂が発生する場合もあり、そのような環境で駆動される高真空ポンプに対して効果がある。
【００２７】
（実施形態３）
図４は、本発明の高真空ポンプの実施形態３を示し、図２および３の場合と同様、ターボ分子ポンプ１のロータ４の拡大断面図である。
この実施形態の場合、ロータ４の２箇所にリング材５１、５２が形成されている。
リング材５１は、図２の場合と同様、ロータ円筒部９の最下端の外周に形成されている。
リング材５２は、図３の場合と同様、最下段のロータ翼７とロータ円筒部９の最上部との境界部において、ロータ円筒部９の外周部に形成されている。
この実施形態の場合には、ロータ円筒部９のどの位置から亀裂が生じたとしても、亀裂の進展を遅延させる効果がある。
【００２８】
（実施形態４）
図５は、本発明の高真空ポンプの実施形態４を示し、図２〜４の場合と同様、ターボ分子ポンプ１のロータ４の拡大断面図である。
この実施形態の場合、ロータ４は、２つのロータ分割体から構成されている。第１の分割体４ａの最上部のロータ翼７と第２の分割体４ｂの最下部のロータ翼７との境界部にリング材５３が形成されている。
第１の分割体４ａは、ロータ円筒部９と、複数の下段側のロータ翼７を有する。また、第１の分割体４ａは、ロータ軸２１にボルト１８（図１参照）により締結される中央部６１を有する。第１の分割体４ａには、最上段のロータ翼７の上部にリング材５３が形成されている。
第２の分割体４ｂは、上段側の複数のロータ翼７を有する。また、第２の分割体４ｂは開口部６２を有し、この開口部６２が第１の分割体４ａの中央部６１に嵌入される。第１の分割体４ａに、予め、リング材５３を形成しておき、第１の分割体４ａの中央部６１に、第２の分割体４ｂの開口部６２を嵌合する。この状態で第２の分割体４ｂと第１の分割体４ａを図示しないボルトや焼き嵌め等により締結するとロータ４が構成される。
【００２９】
なお、上記実施形態において、ロータ軸２１にボルトにより締結される中央部６１を上部側のロータ翼７と一体に形成してもよい。この場合には、下部側のロータ翼７を有する他方の分割体に中央部６１に嵌合する開口部を設けるようにすればよい。また、分割体の員数は２個に限らず、３個以上として、各分割体の境界部毎にリング材５３を設ける構成とすることができる。
【００３０】
（実施形態５）
図６は、本発明の高真空ポンプの実施形態５を示し、図２〜５の場合と同様、ターボ分子ポンプ１のロータ４の拡大断面図である。
図６に図示されたロータ４も、実施形態５の場合と同様に、２つの分割体から構成されているが、実施形態５の場合と異なり３箇所にリング材を有する。
【００３１】
第１の分割体４ａは、図４に図示されるように、リング材５１およびリング材５２を有する。加えて、第１の分割体４ａには、実施形態４の場合と同様に、第２の分割体４ｂとの境界部にリング材５３が形成されている。予め、リング材５３が形成された第１の分割体４ａに、第２の分割体４ｂを固定することにより、ロータ４が構成される。
実施形態５の高真空ポンプによれば、亀裂の発生場所が、ロータ円筒部９のどの位置であっても、また、ロータ翼７であっても、亀裂の進展を遅延する効果がある。
【００３２】
実施形態５においても、ロータ軸２１にボルトにより締結される中央部６１を上部側のロータ翼７と一体に形成してもよい。この場合には、下部側のロータ翼７を有する他方の分割体に中央部６１に嵌合する開口部を設けるようにすればよい。また、ロータ円筒部９の最下段に設けられたリング材５１または最下段のロータ翼７とロータ円筒部９の最上部との境界部に設けられるリング材５２は、どちらか一方のみを設けるようにしてもよい。
さらに、分割体の員数は２個に限らず、３個以上として、各分割体の境界部毎にリング材５３を設ける構成とすることができる。
【００３３】
（実施形態６）
図７は、本発明の高真空ポンプの実施形態６に係り、図１に図示されたターボ分子ポンプ１とは異なる構造を有するターボ分子ポンプ１’の断面図である。
ターボ分子ポンプ１’がターボ分子ポンプ１と異なる点は下記の通りである。
ターボ分子ポンプ１においては、ネジ溝排気部３は、平坦な円筒状害周面を有するロータ円筒部９の外周に、内面側に螺旋状突部８ａ間にネジ溝部８ｂが形成されたネジステータ８を配置して構成されている。
これに対し、図７に図示されたターボ分子ポンプ１’においては、ネジ溝排気部３は、螺旋状突部９ａ間にネジ溝部９ｂが形成されたロータ円筒部９’の外周に、平坦な円筒状内周面を有するネジステータ８’を配置して構成されている。ロータ４’は、螺旋状突部９ａ間にネジ溝部９ｂが形成されたロータ円筒部９’を有するロータ４’と、ロータ軸２１とにより構成されている。
【００３４】
図８は、図７に図示されたロータ４’の拡大断面図である。実施形態６においても、リング材５１は、図１の場合と同様に、ロータ円筒部９’の最下端の外周部に形成されている。従って、実施形態６においても、実施形態１の場合と同様な効果を奏することができる。
また、実施形態６の場合には、実施形態１の場合と異なり、ロータ円筒部９’にネジステータ（ステータ）８’を嵌入する際に、リング材５１が干渉することはない。つまり、リング材５１の高さがロータ円筒部９’に設けられる螺旋状突部９ａより低い限り、リング材５１がネジステータ８’と当接することはない。このため、リング材５１を形成する際、高さ方向の公差を緩やかにすることができ、リング材５１の形成が容易である。
図８に図示されたターボ分子ポンプ１’の他の構成は、図１に図示されたターボ分子ポンプ１の構成と同様であり、対応する部材に同一の参照番号を付してその説明を省略する。
【００３５】
（実施形態７）
図９は、本発明の高真空ポンプの実施形態７に係り、モレキュラドラッグポンプの一実施形態を示す断面図である。
モレキュラドラッグポンプ１００の中心軸上には、ロータ７０と、このロータ７０と同軸上に取り付けられたロータ軸２１から構成されている。ロータ７０には、ロータ翼は形成されておらず、外周面の軸方向全長に亘り、螺旋状突部７２が形成され、螺旋状突部７２間にネジ溝部７３が形成されている。ロータ７０の外周面は下方側から上方側、換言すれば、排気ポート４５側から吸気口１５側に向かって、漸次、径小となる円筒形状とされ、螺旋状突部７２の外周も、このロータ７０の外周に沿って径小となる形状となっている。この構成により、螺旋状突部７２がロータ７０の外周面から突き出す高さはほぼ同一となっている。
【００３６】
上ケース１２の内面側には、ステータ翼およびスペーサは配置されておらず、ベース１３に固定されたステータ側スペーサ（ステータ）８０が、ロータ７０に対応して配置されている。
すなわち、モレキュラドラッグポンプ１００は、翼排気部を有しておらず、全体がネジ溝排気部となっているもので、ステータ側スペーサ８０の内周面は、ロータ７０が高速に回転したときに、気体分子を上方から下方に移送することができるような間隙を隔てて、ロータ７０の外周面に沿って配置されている。
【００３７】
ロータ軸２１、ロータ軸２１を支持するベース１３、ロータ軸２１を回転駆動する部材を含め、他の部材は、図１および図７に図示されたターボ分子ポンプ１、１’の場合と同様であり、対応する部材に同一の図面番号を付してその説明を省略する。
【００３８】
図１０は、図９に図示されたロータ７０の拡大断面図である。
このような、モレキュラドラッグポンプ１００において、ロータ４における最下端のネジ溝部７３の外周部には、軸方向に所定の幅を有するリング材５１が形成されている。リング材５１は、実施形態６におけるリング材５１と同様に、繊維強化複合材料により形成されている。ロータ７０は、下方側ほど径が大きく、リング材５１の外周面は、ロータ７０のネジ溝部７３の外周面とほぼ面一となっている。従って、ロータ７０にステータ側スペーサ８０を嵌入する場合に、リング材５１が干渉することはない。このため、実施形態６の場合と同様な効果を奏する。
【００３９】
（実施形態８）
図１１は、本発明の高真空ポンプの実施形態８を示し、図１０と同様、ロータ７０の拡大断面図である。
この実施形態の場合、ロータ７０は、２つのロータ分割体から構成されている。第１の分割体７０ａは、ロータ軸２１にボルト１８（図９参照）により締結される中央部７５と、下部側の外周部に形成された下段側螺旋状突部７２を有する。第２の分割体７０ｂは、上部側の外周部に形成された上段側螺旋状突部７２を有する。第２の分割体７０ｂは中央に開口部７６を有し、この開口部７６が第１の分割体７０ａの中央部７５に嵌入されて第１の分割体７０ａに取り付けられる。
【００４０】
第１の分割体７０ａには、図１０に図示されているロータ７０の場合と同様に、ロータ７０の最下端のネジ溝部７３の外周部に形成されたリング材５１を有する。また、第１の分割体７０ａには、第２の分割体７０ｂとの境界部にリング材５３が形成されている。リング材５３が形成された第１の分割体７０ａに、第２の分割体７０ｂを固定することにより、ロータ７０が形成される。
実施形態８のモレキュラドラッグポンプ１００によれば、亀裂の発生場所が、ロータ７０のどの位置であっても、亀裂の進展を遅延する効果がある。
【００４１】
上記実施形態において、ロータ軸２１にボルトにより締結される中央部７５を上部側の螺旋状突部７２と一体に形成してもよい。この場合には、下部側の螺旋状突部７２を有する他方の分割体に中央部７５に嵌合する開口部を設けるようにすればよい。また、分割体の員数は２個に限らず、３個以上として、各分割体の境界部毎にリング材５３を設ける構成とすることができる。
【００４２】
以上説明した通り、本発明の高真空ポンプの実施形態１〜８によれば、ロータ４、７０の外周部に繊維強化複合材料で形成されたリング材５１〜５３が設けられているので、
（ｉ）ロータ４、７０に亀裂が生じた場合、亀裂の進展を防ぎ、ロータ４、７０の破壊を防ぐことができる、
（ｉｉ）ロータ４、７０が破壊してしまった場合、リング材５１〜５３により亀裂の進展速度が遅延し、ポンプの急停止時間を稼ぐことができる、
という効果を奏する。
【００４３】
リング材５１を冷やし嵌めにより設ける場合には、上記効果に加え、
（ｉｉｉ）ロータ４、７０にリング材５１〜５３による圧縮応力が作用しているため、ロータ４が高速に回転する際に生じる膨張による応力を軽減する、
という効果を奏する。
【００４４】
リング材５１〜５３を螺旋状突部９ａまたは７２が形成されたロータ円筒部９、またはロータ７０に設けた場合には、ロータ円筒部９またはロータ７０のネジ溝部９ｂまたは７３の外表面から突き出して形成することができ、リング材５１〜５３の形成が容易となる。
【００４５】
なお、上記実施形態においては、リング材５１または５２は、軸方向における幅を、ネジ溝部８ｂよりも狭い寸法としたで説明した。しかし、リング材５１、５２が形成されるロータ円筒部９に螺旋状突部を設けない構造である場合には、リング材５１または５２の軸方向における幅を、ネジ溝部８ｂよりも広い寸法とすることができる。
【００４６】
上記実施形態における、ターボ分子ポンプ１、１’はネジ溝部を有するものであるが、ネジ溝部を有していないターボ分子ポンプ等、他の高真空ポンプに適用することも可能である。
【００４７】
また、磁気軸受式ターボ分子ポンプを実施形態として説明したが、本発明は磁気軸受式に限らず適用することが可能である。その他、本発明は、発明の趣旨の範囲において種々変形して適用することが可能であり、要は、高速回転するロータと、ロータと同軸上にあって、ロータの外周面との間に気体分子を移送するための間隙を有して配置された内周面を有するステータとを備えた高真空ポンプにおいて、軸方向に所定の幅を有する繊維強化複合材料で形成されたリング材が、ロータの外周部に形成されているものであればよい。
【符号の説明】
【００４８】
１、１’  ターボ分子ポンプ
２        翼排気部
３        ネジ溝排気部
４、４’        ロータ
４ａ      第１の分割体
４ｂ      第２の分割体
６        ステータ翼
７        ロータ翼
８、８’        ネジステータ（ステータ）
８ａ、９ａ      螺旋状突部
８ｂ、９ｂ      ネジ溝部
９        ロータ円筒部
１１      ケース部材
１２      上ケース
１３      ベース
１５      吸気口
２１      ロータ軸
４５      排気ポート
５１〜５３    リング部材
７０      ロータ
７０ａ    第１の分割体
７０ｂ    第２の分割体
７２      螺旋状突部
７３      ネジ溝部
８０      ステータ側スペーサ（ステータ）
１００    モレキュラドラッグポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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