(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサチップ（１０）と、
当該センサチップ（１０）のセンシング素子（１１０）を周囲から密閉するパッキング（２０）とを有する自動車用の圧力センサにおいて、
前記パッキング（２０）は圧力チャネル（２１０）を有しており、
当該圧力チャネルを通して、前記センサチップ（１０）のセンシング素子（１１０）に被測定流体の圧力を伝達することができることを特徴とする
圧力センサ（１）。
【請求項２】
前記パッキング（２０）の圧力チャネル（２１０）は、前記センサチップ（１０）の前記センシング素子（１１０）上に配置された内側の開口部（２１２）と、当該内側の開口部（２１２）とは反対側の外側の開口部（２１４）を包囲する外側の縁部（２１５）とを有しており、
前記外側の縁部（２１５）および／または前記圧力チャネル（２１０）の外側の開口部（２１４）の少なくとも一部分は外部から自由にアクセス可能であり、
前記圧力チャネル（２１０）に直に隣り合うオーバモールドないしはプリオーバモールド部（４０）が、および／または前記圧力チャネル（２１０）に直に隣り合うケーシング（５０）が、前記圧力チャネルにおいて当該圧力チャネルの外側の縁部（２１５）よりも低く配置されているかまたは実質的に同じレベルで配置されており、ひいては密閉する、
請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記パッキング（２０）は、貫通形凹部（２３０）を有しており、
当該貫通形凹部内に前記センサチップ（１０）の少なくとも一部分が配置されており、
前記パッキング（２０）を構成して、前記センサチップ（１０）の一方の側に圧力チャネル（２１０）が設けられ、またセンサチップ（１０）の当該側とは反対側の側に前記パッキング（２０）のベース（２２０）が設けられるようにした、
請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記貫通形凹部（２３０）の長手方向と、前記パッキング（２０）の圧力チャネル（２１０）の長手方向（Ｌ）とは実質的に互いに垂直であり、
前記貫通形凹部（２３０）は、前記圧力チャネル（２１０）の互いに反対側の２つの面と、前記ベース（２２０）と、当該ベースに実質的に垂直に配置されたウェブ（２４０）の２つの面とによって囲われており、
当該ウェブにより、前記圧力チャネル（２１０）とベース（２２０）とが接続される、
請求項１から３までのいずれか１項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記パッキング（２０）は、前記パッキング（２０）の長手方向（Ｌ）に一方が閉じられている近似的にパイプの形状を有しているか、または近似的にスリーブの形状を有しており、
前記パイプないしは前記スリーブは、長手方向（Ｌ）に閉じたパッキング（２０）の長手方向端部に、当該パッキングに対して横方向に延びる貫通形凹部（２３０）を有しており、
前記センサチップ（１０）は、電気的なコンタクト装置（３１０）と共に前記パッキング（２０）の貫通形凹部（２３０）に収納されている、
請求項１から４までのいずれか１項に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記パッキング（２０）は、当該パッキングの貫通形凹部（２３０）と共に前記センサチップ上にスライドして収納される、
請求項５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記圧力センサ（１）の前記オーバモールド部（４０）は材料的に１ピース形で構成されており、
前記圧力センサ（１）は、カバーを有しておらず、および／または
前記センサチップ（１０）は、取付支持体なしに前記センサチップ（１０）用のパッキング（２０）において圧力センサ（１）に直接取り付けられており、
前記センサチップ（１０）は、プリント基板に取り付けることなく構成されており、および／または
前記パッキング（２０）ないしは当該パッキング（２０）の圧力チャネル（２１０）、  前記オーバモールドないしはプリオーバモールド部（４０）および／または前記ケーシング（５０）は、同じ材料グループの原材料から作製されており、
当該材料グループはシリコーンまたは熱可塑性樹脂である、
請求項１から６までのいずれか１項に記載の圧力センサ。
【請求項８】
自動車用の周囲圧力センサ（１）を作製する方法であって、
前記圧力センサ（１）は、センサチップ（１０）を有しており、
パッキング（２０）の開口部（２１２）が、前記センサチップ（１０）のセンシング素子（１１０）に配置されている、方法において、
前記センサチップ（１０）およびパッキング（２０）からなる結合体（１０，２０）を、時間的に続いて包囲して、パッキング（２０）の、センシング素子（１１０）とは反対側の外側の開口部（２１４）および／または当該外側の開口部（２１４）を包囲する外側の縁部（２１５）の少なくとも一部分が開いたままにしたことを特徴とする、
自動車用の圧力センサ（１）を作製する方法。
【請求項９】
前記センサチップ（１０）およびパッキング（２０）からなる結合体（１０，２０）には、オーバモールドないしはプリオーバモールド部（４０）および／またはケーシング（５０）を設け、
前記パッキング（２０）の外側の縁部（２１５）に直に隣り合うオーバモールドないしはプリオーバモールド部（４０）および／または前記パッキング（２０）の外側の縁部（２１５）に直に隣り合うケーシング（５０）は、前記パッキング（２０）の外側の縁部（２１５）よりも低く配置されているか、または当該外側の縁部と実質的に同じレベルにあって密閉する、
請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記オーバモールドないしはプリオーバモールド部（４０）を射出する際および／またはケーシング（５０）を射出する際に前記パッキング（２０）を長手方向（Ｌ）に圧縮し、
前記圧力センサ（１）を使用する際に、圧力情報を前記センサチップ（１０）のセンシング素子（１１０）に導く前記パッキング（２０）の圧力導通チャネル（２１６）に、コア（８１４）を設け、
ここで当該コアは、前記圧力センサ（１）を作製する際にパッキング（２０）を内側から支え、
前記コア（８１４）の長手方向（Ｌ）のサイズを設定して、圧力センサ（１）を作製する際に圧力導通チャネル（２１６）内に前記センサチップ（１０）ないしは当該センサチップ（１０）のセンシング素子（１１０）に対して所定の間隔（ｈ）が残るようにした、
請求項８または９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば周囲圧力センサなどの自動車用の圧力センサに関しており、このセンサは、センサチップと、このセンサチップのセンシング素子を周囲から密閉するパッキングとを有する。さらに本発明は、例えば周囲圧力センサなどの自動車用の圧力センサを作製するための方法、有利には射出成形方法に関しており、ここでこの圧力センサは、センサチップを有しており、またパッキングの開口部がこのセンサチップのセンシング素子に配置されている。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術
自動車の搭乗者を保護するための例えば周囲圧力センサなどの圧力センサは、例えば車両ドアの内圧など圧力を連続して測定し、これらのデータをエアバック用の制御装置に送信する。これらのセンサは、殊に自動車のサイドクラッシシュを識別するために使用され、このために自動車のサイドドアに組み込まれる。圧力が特徴的な増大を示す場合、上記の制御装置によってクラッシュないしはサイドクラッシュが識別され、相応するエアバック、殊に関連するサイドエアバッグが起動される。車両における／車両内のアプリケーションに応じて、例えば２つまたは４つの周囲圧力センサが、有利には周囲加速度センサと共にエアバックの制御装置に電気的に接続される。ここでは２つの物理量の組み合わせにより、関連するサイドエアバッグに対するロバストな起動判定が行われる。これにより、サイドクラッシュの迅速かつロバストなセンシングが行われる。
【０００３】
本願発明の図面の図１には自動車の車両ドア用の従来形周囲圧力センサ１が示されており、この圧力センサはプリント基板技術に基づいている。ここではプリント基板７０にセンサチップ１０の形態の圧力ピックアップが取り付けられている。センサチップ１０は、センシング素子１１０を有しており、このセンシング素子は、パッキング２０により、カバー６０に対して密閉され、ひいては圧力センサ１のケーシング５０に対して密閉されており、これによってプリント基板７０の電子部品が、有害な媒体から保護される。カバー６０もパッキング２０も共に、互いに同軸に配置された複数の貫通形凹部を圧力導通チャネルとして有しており、この圧力導通チャネルを通してセンシング素子１１０に圧力を伝達することができる。圧力センサ１のこのような構造は比較的繁雑であり、また作製時にコストがかかる。さらに圧力センサ１は比較的背が高いため、この圧力センサを、わずかなスペースしか提供されない個所には取り付けることができないのである。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、例えば改善された周囲圧力センサなどの自動車用の改善された圧力センサを提供し、また例えば周囲圧力センサなどの自動車用の圧力センサを作製する改善された方法、有利には改善された射出成形方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の圧力センサについての課題は、本発明の請求項１により、センサチップと、このセンサチップのセンシング素子を周囲から密閉するパッキングとを有する自動車用の圧力センサ、殊に周囲圧力センサにおいて、上記のパッキングが圧力チャネルを有しており、この圧力チャネルを通して、上記のセンサチップのセンシング素子に圧力情報で伝達することができることを特徴とする圧力センサを構成することによって解決され、また圧力センサの作製方法についての課題は、本発明の請求項７により、例えば周囲圧力センサなどの自動車用の圧力センサを作製する方法、有利には射出方法であって、上記の圧力センサは、センサチップを有しており、パッキングの１開口部が、上記のセンサチップのセンシング素子に配置されている方法において、上記のセンサチップおよびパッキングからなる結合体を、時間的に続いて例えばオーバモールドによって包囲して、センシング素子とは反対側のパッキングの外側の縁部および／または外側の開口部の少なくとも一部分が開いたままにしたことを特徴とする、自動車用の圧力センサを作製する方法によって解決される。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】従来技術による圧力センサの側方断面図である。
【図２】コンタクト対によって電気的に接触接続される、本発明による圧力センサ用のセンサチップの斜視図である。
【図３】図２に類似した斜視図で本発明による圧力センサ用のパッキングないしは圧力チャネルパッキングを示す図である。
【図４】図２のセンサチップに取り付けた図３のパッキングないしは圧力チャネルパッキングを示す斜視図である。
【図５】閉じられた鋳型において使用される状態で、図４のセンサチップおよびパッキングからなる装置を示す側方断面図である。
【図６】本発明による機能的な圧力センサを示す３次元図である。
【図７】図６の圧力センサを示す断面図である。
【図８】ユーザ要望に応じて特注したケーシングを有する本発明の圧力センサを示す斜視断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
ここでは上記の圧力センサが、少ない個別部分で組み立てられ、また少ない取り付けステップでコスト的に有利に作製できるようにしたい。ここでは殊に別個のカバーおよび／またはプリント基板を省略でき、ひいてはプリント基板の圧入コンタクトが省略できるようにしたい。さらに上記の圧力センサを可能な限りに小型に設計したい。
【０００８】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項に記載されている。
【０００９】
本発明による圧力センサは、センサチップと、このセンサチップのセンシング素子を周囲からパッキングないしは密閉するパッキングとを有する。本発明によれば、上記のパッキングは、圧力チャネルないしはパイプないし煙突を有しており、この圧力チャネルを通して、上記のセンサチップのセンシング素子に圧力情報を伝達することができる。本発明による方法でも同様に圧力センサがセンサチップを有しており、ここではパッキングの開口部が、このセンサチップのセンシング素子用に、センシング素子の上に配置されている。本発明によれば、センサチップおよびパッキングからなる結合体が、パッキングの配置に時間的に続いて例えばオーバモールドによって包囲されて、上記のセンシング素子とは反対側のパッキングの外側の縁部および／またはパッキングの外側の開口部の少なくとも一部分が開いたままになる。ここでは上記の圧力チャネルに直に隣り合うオーバモールド部ないしはプリオーバモールド部および／または上記の圧力チャネルに直に隣り合うケーシングをその外側の縁部よりも低く配置するかまたは実質的に同じレベルで配置してこれが密閉されるようにする。
【００１０】
これまで従来技術において分かれていた構成部分であるパッキングと、圧力導通チャネルを有するカバーとは、本発明ではただ１つの構成部分、いわゆる圧力チャネルパッキングにまとめられ、ここでは従来技術から公知のプリント基板を省略することができる。すなわち本発明による圧力センサは、少ない個別部分にから組み立てることができ、ひいては少ない取り付けステップでコスト的に有利に作製することも可能である。殊にカバーを省略することにより、圧力センサを小型に設計することができる。ここで本発明による方法および本発明による圧力センサに対する特徴的構成はそれぞれ互いに適用可能である。すなわち方法の特徴的構成は、圧力センサにも適用可能であり、またこの逆にも適用可能である。
【００１１】
本発明によれば、機能的ないしは使用可能な圧力センサにおいて上記のパッキングの外側の縁部および／または外側の開口部には外側から少なくとも部分的に自由にアクセス可能である。これによってこのパッキングの外側の縁部および／または外側の開口部は、装置の所定の個所の反対側に取り付けることができ、これは、自動車の場合、例えば車両ドアの内側とすることが可能である。ここで上記のパッキングないしは圧力チャネルの内側の開口部は、上記のセンサチップのセンシング素子におよび／またはセンシング素子上に配置される。本発明の有利な実施形態において、上記のパッキングは、貫通形凹部を有しており、上記のセンサチップの少なくとも一部分がこの貫通形凹部内に配置される。ここでは上記のパッキングを構成して、上記のセンサチップの一方の側に上記の圧力チャネルが、またはこれとは反対側のセンサチップの他方の側に上記のパッキングのベースが設けられるようにする。上記の貫通形凹部の長手方向の延びと、圧力チャネルとは実質的に互いに垂直になっており、この貫通形凹部は、圧力チャネルの互いに反対の２つの面と、上記のベースと、このベースに対して実質的に垂直に配置されたウェブの２つの面とにおいて境界をなすことが可能である。ここではこれらのウェブにより、上記の圧力チャネルと、ベースとが接続される。
【００１２】
上記のパッキング全体は有利には近似的にパイプの形状または近似的にスリーブの形状を有する。これに加えてこのパイプないしはスリーブは、長手方向に閉じられたパッキングの長手端部区分において、横方向に配置された貫通形凹部を有しており、場合によって電気的なコンタクト装置を有する上記のセンサチップが、パッキングのこの貫通形凹部に押し込められるかないしはパッキングがこの貫通形凹部と共に上記のセンサチップ上にスライドされる。本発明の実施形態では圧力センサの完全なケーシングは１ピース形に、殊に材料的に１ピースに構成される。すなわち上記の圧力センサは、カバーなしに実施されるのである。ここでは上記のセンサチップを圧力センサに直接、有利には例えばプリント基板のような取付支持体なしにセンサチップ用のパッキングに直接取り付けることができる。さらに上記のパッキングないしはパッキングの圧力チャネル、オーバモールドないしはプリオーバモールドおよび／またはケーシングを同じ材料グループの原材料から作製することができる。有利な材料グループはシリコーンまたは熱可塑性樹脂である。
【００１３】
センサチップおよびパッキングからなる結合体には、有利にはオーバモールドないしはプリオーバモールドおよび／またはケーシングが設けられており、殊にオーバモールドされる。ここではパッキングの外側の縁部に直に隣り合うオーバモールドないしはプリオーバモールドおよび／または上記のパッキングの外側の縁部に直に隣り合うケーシングは、上記の外側の縁部よりも低く配置されているか、または実質的に同じレベルで密閉される。本発明の有利な実施形態では、圧力センサを作製する際、殊にオーバモールドないしはプリオーバモールドに噴射する際および／またはケーシングに噴射する際にパッキングをその長手方向に圧縮する。この際に有利には、後にこの圧力センサを使用する際にセンサチップのセンシング素子に圧力情報を導くパッキングの圧力導通チャネルに、有利にはコアないしはマンドレルを設け、圧力センサを作製する際にこのコアないしはマンドレルによって上記のパッキングを内側で支える。上記のコアないしはマンドレルは長手方向にサイズが設定されて、圧力センサを作製する際に圧力導通チャネル内に上記のセンサチップないしはこのセンサチップのセンシング素子に対して所定の間隔が残るようにする。
【実施例】
【００１４】
以下では図２〜８を参照して本発明による圧力センサ１の１実施形態の作製および構造を詳しく説明する。当然のことながら圧力センサ１を別に設計ないしは作製することも可能であり、ここでは殊に圧力センサ１用のパッキング２０を別に構成することも可能である。ここでは例えば、ベース２２０を省略し、または場合によってパッキング２０の２つのウェブ２４０も省略することも可能である。さらにパッキング２０は例えば別の断面形状を有することも可能である。また当然のことながら可能であるのは、本発明をプリント基板技術の圧力センサ１に適用するか、または例えば、圧力センサ１を射出成形法で作製しないかないしはツーショット射出成形法を適用しないことも可能である。
【００１５】
図２には、例えば本発明による周囲圧力センサ１などの本発明による圧力センサ１用のセンサチップ１０が示されており、このセンサチップは電気的なコンタクト対３０によって電気的に接触接続される。センサチップ１０は、電気的ないしは電子的な圧力ピックアップとして設計されたセンシング素子１１０を有しており、センシング素子１１０によって形成される電気信号は、コンタクト対３０を介して取り出すことができる。有利にはコンタクト対３０に２つの電気的なコンタクト装置３１０が含まれており、個々のコンタクト装置３１０は、ばねクリップ３１２を有しており、ばねクリップ３１２と、実際のコンタクト装置３１０との間でセンサチップ１０を挟み付けることができる。ここで有利であるのは、これによってコンタクト装置３１０とセンサチップ１０との電気的な接触接続を実現できることであり、この電気的な接触接続は有利には関連するばねクリップ３１２によって行われる。さらに各コンタクト装置３１０は、有利にはピンコンタクト３１４として構成される電気コンタクト３１４を有しており、このコンタクトにおいてセンサチップ１０の電気信号を取り出すことができる。
【００１６】
図３に示されているのは本発明によるパッキング２０ないしは圧力チャネルパッキング２０であり、このパッキングにより、完成した圧力センサ１（図６または８を参照されたい）において、センサチップ１０のセンシング素子１１０に圧力情報を到達させることができる。本発明によればこれによってパッキング２０をスタンドアローン形とすることができる。すなわち付加的に圧力情報を転送するカバーまたはケーシング部分は不要である。輪郭が近似的に正方形または矩形のパッキング２０は、長手方向に特徴的な延びＬを有しており、この延びに沿って上記の圧力情報を転送可能である。このためにパッキング２０は圧力チャネル２１０を有しており、この圧力チャネルは、シュノーケル、煙突または接続ピースと称することも可能である。さらにパッキング２０は、圧力チャネル２１０の長手方向Ｌに対して実質的に垂直な方向に貫通形凹部２３０を有しており、この凹部により、パッキング２０のベース２２０と、圧力チャネル２１０とが分かれる。ベース２２０と、圧力チャネル２１０とは有利にはウェブ２４０により、例えば材質的に１ピースに接続されている。パッキング２０は有利には少なくとも一部分がシリコーンおよび／または熱可塑性樹脂から構成される。
【００１７】
機能的な圧力センサ１では、センサチップ１０と電気的なコンタクト装置３１０とを一緒にして少なくとも一部分を貫通形凹部２３０に収容することができる。この際に有利であるのは、センサチップ１０の相応する部分と、そのコンタクト装置３１０とを、相応して成形された貫通形凹部２３０に形状結合的に収容することである。これについては図４を参照されたい。ベース２２０および貫通形凹部２３０に続く圧力チャネル２１０は、その内側の開口部２１２により、貫通形凹部２３０に直接続いている。すなわち内側の開口部２１２を介して、貫通形凹部２３０と、パッキング２０ないしは圧力チャネル２１０の圧力導通チャネル２１６とが貫通接続しているのである。この場合に圧力センサ１において、内側の開口部２１２は、センサチップ１０ないしはセンシング素子１１０側を向き、圧力チャネル２１０は、内側の縁部２１３によってセンサチップ１０に載置される。ここではこの縁部により、有利にもセンシング素子１１０がぴったりと包囲される。圧力チャネル２１０は、内側の開口部２１２とは反対側に外側の開口部２１４を有しており、この外側の開口部２１４は、センサチップ１０ないしはセンシング素子１１０とは反対側を向いており、また圧力チャネル２１０の外側の縁部２１５によって囲われている。外側の開口部２１４を通り、上記の圧力情報は圧力チャネル２１０に到達することができる。
【００１８】
圧力センサ１では、流体圧力をセンシング素子１１０に供給する圧力導通チャネル２１６のシーリング設計が極めて重要である。本発明によればこれは、センサチップ１０およびパッキング２０からなる結合体１０，２０をキャスティング／オーバモールドないしはプリキャスティング／プリオーバモールドすることによって実現される。ここでは有利にはツーショット射出成形法が使用され、これによって作製すべき圧力センサ１およびその複雑さを最小化することができる。オーバモールド４０ないしはプリオーバモールド４０は有利には、パッキング２０と同じ材料グループからなる材料によって行われる。図４にはセンサチップ１０およびパッキング２０からなる結合体１０，２０が示されており、この結合体は、射出成形金型８０に入れられる。図５には射出成形金型８０に入れられた結合体１０，２０の状態が示されている。図６および７には、オーバモールド４０ないしはプリオーバモールド４０による機能的な圧力センサ１が示されている。
【００１９】
本発明によれば、パッキング２０を設計して、例えば上側金型８１０（第１射出成形金型）などの射出成形金型８０におけるパッキング２０ないしは圧力チャネル２１０の突出寸法ｘにより、機械的な圧力がパッキング２０に加えられるようにすることができる。ここではこの圧力は、オーバラップｘの値を介して調整することができる。これによってパッキング２０とセンサチップ１０との間に力が加えられ、このシーリングにより、パッキング２０内の内部領域が射出されないようにすることができる。さらに射出成形金型８０のコア８１４ないしはマンドレル８１４によってパッキング２０の内側領域を支えて、圧力チャネル２１０の押し縮めを阻止することが可能である。ここでは有利にはコア８１４のサイズを設計して、このコアが、圧力チャネル２１０に入れた状態において、センサチップに対して間隔ｈを有し、これによってセンサチップ１０の損傷を阻止できるようにする。
【００２０】
パッキング２０およびオーバモールド４０は有利には柔らかな原材料、例えばシリコーンまたは熱可塑性エラストマによって作製され、ここではパッキング２０によって許容公差を補償し、またパッキング２０をセンサチップ１０の表面状態に適合させることができ、これによって良好なシーリングを保証することができる。パッキング２０もオーバモールド４０も共にも同じグループの原材料から作製される場合、射出成形法を実施すると、２つの構成部分２０，４０間の離散的な分離個所が消滅する。例えばシリコーンなどの網目状の原材料の場合、２つの構成部分２０，４０は、熱可塑性樹脂の場合にパッキング２０は軟化してオーバモールド４０と接続される。
【００２１】
上記の２つの射出成形金型８１０，８２０は有利にはオーバモールド４０用に互いに面一な空洞部８１２，８２２を有しており、これらの空洞部が一緒になってオーバモールド４０用の境界部を構成する。上側金型８１０にはさらに空洞部８１２に続いて上側に圧力チャネル２１０用の凹部８１６を有しており、射出成形法の場合にはこの凹部に圧力チャネル２１０を入れることができる。この場合には、凹部８１２内の中央部にコア８１４が配置される。さらに機能的な圧力センサ１は、ケーシング５０、例えばケーシングオーバモールド５０に収容することができる。この際にケーシング５０を、ユーザの要求に適合させることができる。これについては図８を参照されたい。この場合にケーシング５０は、コンタクト装置３１０の電気的接触接続用に接続装置ないしはコネクタ面５１０を提供することも可能である。
【００２２】
本発明によれば、射出成形法を実行中にセンサチップに至る通路が作製され、またこの通路は、取り付けられるコンポーネント、例えばカバー（図１についての上記の説明を参照されたい）によっては作製されない。本発明にしたがって射出成形法で構造を実現することより、パッキングとカバーとの取り付けが省略される。さらに個別部分の個数が低減されることにより、適用される上記の射出成形法だけによるのではなく、作製をより迅速に行うことができる。本発明による圧力センサは、複雑さの度合いが一層低減されて構成され、また従来技術よりもコストが低減される。本発明によるパッキングは、別個の部分として作製され、後でセンサチップに取り付けられるため、これによってこのパッキングに対して簡単な射出成形金型を適用することができる。さらに、特別な要求なしに、空間的に離れた場所で上記のパッキングを作製することができる。さらにこのパッキングは、簡単な射出成形金型による簡単な後続処理が可能である。
【符号の説明】
【００２３】
１  圧力センサ、  １０  センサチップ、  １１０  センシング素子、  ２０  パッキング、  ２１０  圧力チャネル、  ２１２  内側の開口部、  ２１３  内側の縁部、  ２１４  外側の開口部、  ２１５  外側の縁部、  ２１６  圧力導通チャネル、  ２２０  ベース、  ２３０  貫通形凹部、  ２４０  ウェブ、  ３０  コンタクト対、  ３１０  コンタクト装置、  ３１２  ばねクリップ、  ３１４  電気コンタクト、  ４０  オーバモールド、  ５０  ケーシング、  ５１０  コネクタ面、  ８０，８１０，８２０  射出成形金型、  ８１２，８２２  空洞部、  ８１４  コア、マンドレル、  ８１６  凹部
【図１】
0005815315.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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