(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層により多層基板を構成するとともに内部にキャビティを形成する複数の絶縁性基材層と、前記キャビティ内に配置される、ノイズ発生源を含む部品と、前記多層基板内に形成されるグランド導体とを備える高周波モジュールにおいて、
前記絶縁性基材層は加熱加圧時に流動性を有する熱可塑性樹脂の層であり、
前記グランド導体は前記キャビティの内面に露出しない層に配置されていて、
前記グランド導体と導通し、前記部品に形成される導体部に導通せずに、前記部品の局部に対向する位置に、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ突出する層間接続導体を備えていることを特徴とする高周波モジュール。
【請求項２】
前記グランド導体は、前記絶縁性基材層の面方向に平面状に広がる平面グランド導体である、請求項１に記載の高周波モジュール。
【請求項３】
前記平面グランド導体は、前記キャビティを積層方向に挟む少なくとも２つの平面グランド導体であり、この２つの平面グランド導体から前記キャビティの方向へ前記層間接続導体がそれぞれ突出している、請求項２に記載の高周波モジュール。
【請求項４】
前記部品の局部は前記部品内のノイズ発生源の位置である、請求項１〜３にいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項５】
前記ノイズ発生源は発振回路である、請求項１〜４にいずれかに記載の高周波モジュール。
【請求項６】
前記層間接続導体は、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ先太りの形状である、請求項１〜５のいずれかに記載の高周波モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱可塑性樹脂など、加熱加圧時に流動性を有する樹脂を基材とする多層基板に構成される高周波モジュールに関し、特に内部にノイズ発生源となる部品を含む高周波モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子機器の小型化のため、電子機器内の回路基板に部品を如何に高密度に実装するかは常に技術的な課題とされる。高密度化の手段として、回路基板に実装する部品をモジュール化することは有効である。このようなモジュール部品には、多層基板にチップ部品を内蔵されるタイプが多い。【０００３】
このように、多層基板にＩＣ等のチップ部品を内蔵されたモジュール部品において、例えば発振回路を備えたＩＣを内蔵する高周波モジュールを構成する場合、発振回路から発生される高周波ノイズによる周辺回路への影響が問題となることがある。このような高周波ノイズの影響を抑制するために、ＩＣチップの近傍にグランド導体パターンを近接配置することが例えば特許文献１に示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−１９０９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、多層基板の基材層に熱可塑性樹脂を用いることが近年注目されている。この多層基板は、熱可塑性樹脂基材の表面にＣｕ箔が貼付され、そのＣｕ箔のエッチングにより回路パターンが形成され、複数の基材層が積層されて、熱圧着することで多層基板が形成される。この多層基板の内部に部品が内蔵されるときは、その部品の周りの樹脂が上記熱圧着時に流動して、部品が固定化される。このように熱可塑性樹脂は簡易なプロセスで多層基板を形成できることが特徴である。【０００６】
しかし、基材層に熱可塑性樹脂を用いて上記工法により、発振回路を含むＩＣチップを内蔵した多層基板を構成しようとした場合、発振回路付近からのノイズ輻射を抑制するグランド導体パターンを近接配置すると次の問題が生じるおそれがある。すなわち、ＩＣチップの周囲は予め形成されたキャビティであるため、そのキャビティに多量の樹脂を流入させる必要があるにもかかわらず、上記グランド導体パターンが樹脂の回り込みを阻害する。その結果、キャビティ内への樹脂の回り込み不足により隙間が発生し、ＩＣチップの固定不良が生じるおそれがあった。【０００７】
図９はその例を示す図である。図９中の（１）に示すように、開口が形成された基材層１ｃ，１ｄと開口の無い基材層１ａ，１ｂとの積層体によってキャビティ４が形成され、そのキャビティ４内にＩＣチップ２０が設置され、その後、図９中の（２）に示すように基材層１ｅ，１ｆによる積層体が被せられる。続いて、図９中の（３）に示すように加熱加圧する。このとき、グランド導体パターン２ｉが樹脂の回り込みを阻害し、隙間Ｖｄが残る（形成される）。【０００８】
本発明の目的は、熱可塑性樹脂の基材層を含む多層基板のキャビティ内に、ノイズ発生源を含む部品が配置される場合に、部品周囲の隙間の発生を防止または抑制した高周波モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の高周波モジュールは次のように構成される。【００１０】
（１）積層により多層基板を構成するとともに内部にキャビティを形成する複数の絶縁性基材層と、前記キャビティ内に配置される、ノイズ発生源を含む部品と、前記多層基板内に形成されるグランド導体とを備える高周波モジュールにおいて、
前記絶縁性基材層は加熱加圧時に流動性を有する熱可塑性樹脂の層であり、
前記グランド導体は前記キャビティの内面に露出しない層に配置されていて、
前記グランド導体と導通し、前記部品に形成される導体部に導通せずに、前記部品の局部に対向する位置に、前記グランド導体から前記キャビティの方向へ突出する層間接続導体を備えていることを特徴とする。
【００１１】
この構成により、グランド導体パターンがキャビティの直近に存在しないので、多層基板の製造時に、キャビティと部品との間に隙間が発生し難く、部品はキャビティ内へ確実に固定される。【００１２】
（２）前記グランド導体は、前記絶縁性基材層の層方向に平面状に広がる平面グランド導体であることが好ましい。この構成によりグランド導体によるノイズの遮蔽効果が高まる。【００１３】
（３）前記平面グランド導体は、前記キャビティ（ノイズ発生源）を層方向に挟む少なくとも２つの平面グランド導体であり、この２つの平面グランド導体から前記キャビティ方向へ前記層間接続導体がそれぞれ突出していることが好ましい。この構成により、キャビティ内の部品から発生されるノイズの輻射をより抑制できる。【００１４】
（４）前記層間接続導体は前記部品内のノイズ発生源に近接する位置に配置されていることが好ましい。この構成により、ノイズ発生源からのノイズの輻射をより抑制できる。【００１５】
（５）前記ノイズ発生源は例えば発振回路である。【００１６】
（６）前記層間接続導体は、前記平面グランド導体から前記キャビティの方向へ先太りの形状であることが好ましい。このことにより、ノイズ発生源に対して近接位置で対向する導体（層間接続導体）の対向面積を確保しやすくなり、ノイズ輻射の抑制効果が高まる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、加熱加圧時に流動性を有する樹脂の基材層を含み、多層基板のキャビティ内に、ノイズ発生源を含む部品が配置される場合であっても、ノイズ低減効果を維持しつつ、部品周囲の隙間の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は第１の実施形態に係る高周波モジュール１０１の構造を示す図であり、高周波モジュール１０１を実装基板３０に実装した状態での断面図である。
【図２】図２は、多層基板内のキャビティの一面とＩＣチップ２０との関係を示す分解断面図である。
【図３】図３は多層基板を構成する各層に形成されている導体パターンを示す図である。
【図４】図４は高周波モジュール１０１の製造工程を示す図である。
【図５】図５は高周波モジュール１０１に構成される回路のブロック図である。
【図６】図６は第２の実施形態に係る高周波モジュール１０２の構造を示す断面図である。
【図７】図７は比較例の高周波モジュールの構造を示す断面図である。
【図８】図８は第３の実施形態に係る高周波モジュール１０３の構造を示す断面図である。
【図９】図９は従来の高周波モジュールの構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
《第１の実施形態》
図１は第１の実施形態に係る高周波モジュール１０１の構造を示す図であり、高周波モジュール１０１を実装基板３０に実装した状態での断面図である。この高周波モジュール１０１は、絶縁性基材層１ａ〜１ｆの積層により形成される多層基板１０に構成されている。この多層基板１０の内部にはキャビティが形成されていて、キャビティ内にＩＣチップ２０が配置（埋設）されている。後に示すように、このＩＣチップはノイズ発生源を含む部品である。多層基板１０内には平面状に広がる平面グランド導体２ｃ，２ｅ，２ｆを備える。多層基板１０にはその他の導体パターン２ａ，２ｂ，２ｄを備えている。また、層間接続導体（ビア導体）３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ，３ｈ，３ｉ等を備えている。
【００２０】
絶縁性基材層１ａ〜１ｆはそれぞれ熱可塑性樹脂による層である。平面グランド導体２ｃ，２ｅはキャビティの内面に露出しない位置（層）に配置されている。そして、平面グランド導体２ｃ，２ｅからキャビティ（ＩＣチップ）方向へ突出する層間接続導体３ｅ，３ｆ，３ｈ，３ｉを備えている。
【００２１】
ＩＣチップ２０にはノイズ発生源ＮＳが構成されている。このノイズ発生源ＮＳは例えば発振回路である。前記層間接続導体３ｅ，３ｆ，３ｈ，３ｉは、平面グランド導体２ｃ，２ｅから特にノイズ発生源ＮＳに近接するように突出している。
【００２２】
多層基板１０の上面にはチップ部品が表面実装されているが、図１では表れていない。
【００２３】
高周波モジュール１０１は実装基板３０への表面実装状態で、実装用電極３１ａ，３１ｂに、高周波モジュール１０１の実装用端子２ａ，２ｂが接続される。
【００２４】
図２は、多層基板内のキャビティの一面とＩＣチップ２０との関係を示す分解断面図である。ＩＣチップ２０のサブストレートＳＵの表面（図２の向きでは下面側）の回路形成層ＣＲに所定の高周波回路が構成されている。この回路形成層ＣＲの表面に再配線層ＲＷが形成されていて、この再配線層ＲＷの表面に電極パッドＰＤが露出されている。多層基板のキャビティの内面に露出している層間接続導体３ｇと電気的に接続される。層間接続導体３ｅ，３ｆについては、ＩＣチップ２０の何らかの電極パッドと導通するわけではなく、ノイズ発生源ＮＳに近接するだけである。
【００２５】
図３は前記多層基板を構成する各層に形成されている導体パターンを示す図である。これらの図は、いずれも絶縁性基材層（以下、単に「基材層」）についての上面図である。図１は図３におけるＡ−Ａ断面である。
【００２６】
基材層１ｆは最上層であり、この基材層１ｆには高周波フィルタ２１搭載用の電極が形成されている。基材層１ｅの上面には平面グランド導体２ｅ、内部には層間接続導体３ｈ，３ｉ等が形成されている。基材層１ｄにはキャビティ４（開口）が形成されている。基材層１ｃの下面には平面グランド導体２ｃが形成されていて、内部に層間接続導体３ｅ，３ｆ，３ｇ等が形成されている。基材層１ｂの下面には平面グランド導体２ｆが形成されていて、内部に層間接続導体３ｃ，３ｄ等が形成されている。基材層１ａの下面には複数の実装用端子が形成されていて、内部に層間接続導体３ａ，３ｂ等が形成されている。
【００２７】
図４は前記高周波モジュールの製造工程を示す図である。図４において（１）〜（３）は各過程での断面図、（４）は実装基板への実装状態での断面図である。
【００２８】
樹脂層に形成される配線パターンは、例えば樹脂シートに貼付された銅箔をエッチングにより除去することで形成される。層間接続導体は、樹脂シートにビアホールを形成し、形成されたビアホールに導電ペーストを注入し、一括積層時に加熱固化することで形成される。すなわち、この層間接続導体で樹脂シートの銅箔間の導通が確保される。
【００２９】
図４中の（１）に示すように、開口が形成された基材層１ｄと開口の無い基材層１ａ，１ｂ，１ｃとの積層体によってキャビティ４が形成され、そのキャビティ４内にＩＣチップ２０が設置され、その後、図４中の（２）に示すように基材層１ｅ，１ｆによる積層体が被せられる。続いて、図４中の（３）に示すように加熱加圧する。このとき、平面グランド導体２ｃ，２ｅは樹脂の回り込みを阻害しない。そのため隙間が残る（形成される）ことは殆どない。
【００３０】
以上のようにして高周波モジュール１０１が構成される。この高周波モジュール１０１は、図４中の（４）に示すように実装基板に表面実装される。
【００３１】
図５は高周波モジュール１０１に構成される回路のブロック図である。高周波モジュール１０１はＩＣチップ２０、高周波フィルタ２１およびシリアルデータ入出力コントローラ２３を備えている。ＩＣチップ２０には、平衡・不平衡変換回路２０ｂ、アナログフロントエンド回路２０ｃ、ベースバンド回路２０ｄ、制御回路２０ｅおよび発振回路２０ａが構成されている。ここで、アナログフロントエンド回路２０ｃは通信プロトコルにおけるフィジカル層の高周波回路部、ベースバンド回路２０ｄは通信プロトコルにおけるフィジカル層のベースバンド回路部である。
【００３２】
発振回路２０ａには、多層基板に実装される水晶発振子２２が接続され、発振するとともに、ＰＬＬ回路によって所定周波数の高周波信号およびクロック信号を発生する。この発振回路２０ａが上記ノイズ発生源ＮＳに相当する。ノイズ発生源ＮＳとしては、発振回路以外に分周回路等も挙げられる。
【００３３】
《第２の実施形態》
図６は第２の実施形態に係る高周波モジュール１０２の構造を示す断面図である。図１に示した例と異なり、平面グランド導体２ｃからＩＣチップ２０方向へ突出する層間接続導体（図１に示した３ｅ，３ｆ）は備えていない。
【００３４】
このような構造であっても、平面グランド導体２ｃ，２ｅはキャビティ（ＩＣチップ２０の埋設空間）に露出しない層に形成されているので、平面グランド導体２ｃ，２ｅが樹脂の回り込みを阻害しない。
【００３５】
ここで、この実施形態の高周波モジュール１０２のノイズ低減効果の例を示す。比較例の高周波モジュールの構造は図７に示すとおりである。この比較例の高周波モジュールは、平面グランド導体２ｃ，２ｅからＩＣチップ２０方向へ突出する層間接続導体（図１に示した３ｅ，３ｆ，３ｈ，３ｉ）を備えていない。
【００３６】
ここでは、無線局から３ｍ離れた位置における電界強度の許容値を定める、微弱無線局の規定に基づいて、所謂「３ｍ法」で測定を行った。
【００３７】
高周波モジュールから３ｍ離れた位置での輻射ノイズの電界強度を測定したところ、比較例の高周波モジュールは３４ｄＢμＶ／ｍ、第１の実施形態に係る高周波モジュール１０１では２６ｄＢμＶ／ｍであった。約８ｄＢμＶ／ｍ低減されることがわかる。
【００３８】
このように、ＩＣチップ２０のノイズ発生源ＮＳ（発振回路）が構成されている回路形成層から遠い側にのみ層間接続導体３ｈ，３ｉを設けているが、輻射ノイズの抑制効果はある。
【００３９】
同様に、図１に示した平面グランド導体２ｃからＩＣチップ２０方向へ突出する層間接続導体３ｅ，３ｆを設け、平面グランド導体２ｅからＩＣチップ２０方向へ突出する層間接続導体３ｈ，３ｉを備えない構造の高周波モジュールについても測定を行った。この構造の高周波モジュールであれば、輻射ノイズの電界強度は約１０ｄＢμＶ／ｍ低減された。したがって、第１の実施形態で図１に示した構造の高周波モジュールであれば、輻射ノイズの電界強度は約２０ｄＢμＶ／ｍ低減されることになる。
【００４０】
《第３の実施形態》
図８は第３の実施形態に係る高周波モジュール１０３の構造を示す断面図である。図１に示した例と異なり、キャビティ４の内面に露出する導体パターン２ｇ，２ｈが形成されていて、この導体パターン２ｇに層間接続導体３ｅ，３ｆが導通し、導体パターン２ｈに層間接続導体３ｈ，３ｉが導通する。この構造によれば、層間接続導体のみが突出している構造に比べて、ノイズ発生源ＮＳに近接する導体パターンの面積が大きいので、輻射ノイズの抑制効果は高い。
【００４１】
図８に示した例では、導体パターン２ｇ，２ｈはキャビティ４の端縁から寸法Ｃｇ，Ｃｈのクリアランスがある。そのため、加熱・加圧時のキャビティ４への樹脂の流動性は阻害されない。
【００４２】
なお、図８に示した例では、多層基板１０の上面に高周波フィルタ２１が表面実装されている。このチップ２１は図５に示した高周波フィルタであり、所望の周波数帯域の信号を通過／遮断する。多層基板にはさらに図５に示したシリアルデータ入出力コントローラ２３が実装されている。
【００４３】
なお、以上に示した各実施形態では、層間接続導体の例として貫通ビアを示したが、基材層を貫通しない穴を形成し、導電性ペーストを充填したものをキャビティの方向（ノイズ発生源方向）へ突出させるようにしてもよい。
【００４４】
また、以上に示した各実施形態では、キャビティの内面に露出しない層に配置されているグランド導体は絶縁性基材層の層方向に平面状に広がる平面グランド導体である例を示したが、キャビティへの樹脂の回り込みを阻害する程度の大きさの線状のグランド導体であっても、本発明は同様に適用できる。
【００４６】
また、以上に示した各実施形態では、樹脂シートにビアホールを形成し、形成されたビアホールに導電ペーストを注入し、一括積層時に加熱固化することで層間接続導体が形成される例を示したが、金属リベットを用いる構造や、スルーホールを形成し、その内面をめっきする構造であってもよい。また、予め絶縁層内に埋め込まれた導電性バンプにより層間接続を行なう構造であってもよい。例えば、銅箔上に銀ペーストを印刷することで円錐状の突起物（バンプ）を形成してもよい。
【符号の説明】
【００４７】
ＣＲ…回路形成層
ＮＳ…ノイズ発生源
ＰＤ…電極パッド
ＲＷ…再配線層
ＳＵ…サブストレート
Ｖｄ…隙間
１ａ〜１ｆ…絶縁性基材層
２ａ，２ｂ，２ｄ，２ｇ，２ｈ…導体パターン
２ｃ，２ｅ，２ｆ…平面グランド導体
３ａ〜３ｉ…層間接続導体
４…キャビティ
１０…多層基板
２０…ＩＣチップ
２０ａ…発振回路
２０ｂ…不平衡変換回路
２０ｃ…アナログフロントエンド回路
２０ｄ…ベースバンド回路
２０ｅ…制御回路
２１…高周波フィルタ
２２…水晶発振子
２３…シリアルデータ入出力コントローラ
３０…実装基板
１０１〜１０３…高周波モジュール
【図１】
0005664829.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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