(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を移載する基板移載装置において、
複数枚の基板を収容可能な第１の基板収容部と、
基板を処理する処理部と前記第１の基板収容部との間に配置され、複数枚の基板を等間隔で収容可能な第２の基板収容部と、
前記第１の基板収容部と前記第２の基板収容部との間で基板を搬送する基板搬送手段とを備え、
前記基板搬送手段は、
前記第１の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ３以上の支持アームと、
前記第１の基板収容部に不等間隔で収容された各基板の収容位置に応じて不等間隔で前記各支持アームを移動させ、各基板を前記各支持アームで支持した後、前記第２の基板収容部に各基板を移載するまでに、前記第２の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を前記等間隔にするように前記各支持アームの間隔を調整する間隔調整手段と、
を備えていることを特徴とする基板移載装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、基板を受け渡しする前記各支持アームだけを昇降させることを特徴とする基板移載装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、前記支持アームが取り付けられているアームベースごと前記各支持アームを昇降させることを特徴とする基板移載装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して、基板を受け渡す前記各支持アームだけを水平方向に進退させることを特徴とする基板移載装置。
【請求項５】
請求項３に記載の基板移載装置において、
前記基板搬送手段は、前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して、前記アームベースごと水平方向に進退させることを特徴とする基板移載装置。
【請求項６】
請求項５に記載の基板移載装置において、
前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して前記各支持アームを進出させる際には、前記間隔調整手段により、基板を受け渡さない各支持アームを、前記第１の基板収容部内または前記第２の基板収容部内またはそれらを載置している載置台内へ待避させることを特徴とする基板移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ用基板、プラズマディスプレイ用基板、有機ＥＬ用基板、ＦＥＤ(Field Emission Display)用基板、光ディスプレイ用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、太陽電池用基板（以下、単に基板と称する）を移載する基板移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、複数枚の基板を水平姿勢で積層収容したカセットと、複数枚の基板の姿勢を変換する姿勢変換機構と、カセットと姿勢変換機構との間で基板を移載する基板搬送機構とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この装置の基板搬送機構は、基板を一枚ずつ保持する枚葉ハンドと、複数枚の基板を保持するバッチハンドとを備えている。そして、所望の搬送対象に応じて枚葉ハンドかバッチハンドのいずれか一方を装着して基板を搬送する。したがって、カセットと姿勢変換機構との間で、任意の一枚の基板を搬送したり、複数枚の基板を一括して搬送したりすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３５４６０４号公報（図１及び図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、複数枚の基板のうち、１ロットに含まれる全枚数より少ない、一部の複数枚の基板を移載する場合には、枚葉ハンドを装着して枚数分に応じた回数の搬送を行わなければならない。したがって、搬送を終えるのに長時間を要するという問題がある。最近では、多品種少量生産が行われる場合があり、その場合には、１ロットが５，６枚で構成されることがあり、そのような場合であっても短時間で搬送したいという要望がある。
【０００６】
また、複数枚の基板を搬送する場合には、バッチハンドを装着して１ロットを構成する全枚数を一括して搬送する。しかしながら、一部の基板が割れ等の理由によって抜けた状態であると、一部の基板同士の間隔が他の基板同士の間隔とは異なったままで搬送されるという問題がある。このような場合には、処理の際に、間隔が異なる基板は他の基板と処理状態が異なったものとなるので、同一ロット内で処理が不均一になる。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板が少ない枚数のロットも効率的に搬送することができるとともに、ロット内に基板の抜けがあっても各基板の間隔を一定にすることができる基板移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を移載する基板移載装置において、複数枚の基板を収容可能な第１の基板収容部と、基板を処理する処理部と前記第１の基板収容部との間に配置され、複数枚の基板を等間隔で収容可能な第２の基板収容部と、前記第１の基板収容部と前記第２の基板収容部との間で基板を搬送する基板搬送手段とを備え、前記基板搬送手段は、前記第１の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ３以上の支持アームと、前記第１の基板収容部に不等間隔で収容された各基板の収容位置に応じて不等間隔で前記各支持アームを移動させ、各基板を前記各支持アームで支持した後、前記第２の基板収容部に各基板を移載するまでに、前記第２の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を前記等間隔にするように前記各支持アームの間隔を調整する間隔調整手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、基板搬送手段は、第１の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ３つ以上の支持アームを備えているので、基板が少ない場合であっても複数の支持アームによって効率的に搬送することができる。また、基板搬送手段は、間隔調整手段を備え、第１の基板収容部に不等間隔で収容された各基板の収容位置に応じて不等間隔で各支持アームを移動させ、各基板を各支持アームで支持した後、第２の基板収容部に各基板を移載するまでに、第２の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を第２の基板収容部の等間隔にするように各支持アームの間隔を調整する。したがって、ロット内に基板の抜けがあっても各基板の間隔を一定にして第２の基板収容部に基板を搬送することができる。その結果、第２の基板収容部から処理部に搬送されたロットは、基板同士の間隔を同じにすることができるので、処理を均一にすることができる。
【００１０】
また、本発明において、前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、基板を受け渡しする前記各支持アームだけを昇降させることが好ましい（請求項２）。基板を受け渡す各支持アームだけを昇降させるので、全体を昇降させるよりも負荷を軽減することができる。
【００１１】
また、本発明において、前記基板搬送手段は、基板を受け渡しする際には、前記支持アームが取り付けられているアームベースごと前記各支持アームを昇降させることが好ましい（請求項３）。全体を昇降するので、基板を受け渡す各支持アームだけを昇降させるよりも制御を簡単化することができる。
【００１２】
また、本発明において、前記基板搬送手段は、前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して、基板を受け渡す前記各支持アームだけを水平方向に進退させることが好ましい（請求項４）。基板を受け渡す各支持アームだけを進退させるので、基板を受け渡さない各支持アームが第１の基板収容部等と干渉するのを防止できる。
【００１３】
また、本発明において、前記基板搬送手段は、前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して、前記アームベースごと水平方向に進退させることが好ましい（請求項５）。全体を進退させるので、制御を簡単化することができる。
【００１４】
また、本発明において、前記第１の基板収容部及び前記第２の基板収容部に対して前記各支持アームを進出させる際には、前記間隔調整手段により、基板を受け渡さない各支持アームを、前記第１の基板収容部内または前記第２の基板収容部内またはそれらを載置している載置台内へ待避させることが好ましい（請求項６）。間隔調整手段は、基板を受け渡さない各支持アームを、第１の基板収容部内または第２の基板収容部内またはそれらを載置している載置台内へ待避させるので、基板を受け渡さない各支持アームが干渉するのを防止できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る基板移載装置によれば、基板搬送手段は、第１の基板収容部に収容可能な基板の枚数より少なく、かつ３つ以上の支持アームを備えているので、基板が少ない場合であっても複数の支持アームによって複数の基板を効率的に搬送することができる。また、基板搬送手段は、間隔調整手段を備え、第１の基板収容部に不等間隔で収容された各基板の収容位置に応じて不等間隔で各支持アームを移動させ、各基板を各支持アームで支持した後、第２の基板収容部に各基板を移載するまでに、第２の基板収容部における収容間隔に応じて各基板の間隔を第２の基板収容部の等間隔にするように各支持アームの間隔を調整する。したがって、ロット内に基板の抜けがあっても各基板の間隔を一定にして第２の基板収容部に基板を搬送することができる。その結果、第２の基板収容部から処理部に搬送されたロットは、基板同士の間隔を同じにすることができるので、処理を均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例に係る基板移載装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】基板搬送装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】第１部材内部の概略構成を示す平面図である。
【図４】基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は初期状態を示し、（ｂ）は支持アームを基板の高さに移動する状態を示す。
【図５】基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを進出させた状態を示し、（ｂ）は基板を支持した状態を示す。
【図６】基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを退出させた状態を示し、（ｂ）は基板間隔を調整した状態を示す。
【図７】基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は基板搬送装置を回転させた状態を示し、（ｂ）は姿勢変換機構に支持アームを進出させた状態を示す。
【図８】基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを下降させた状態を示し、（ｂ）は支持アームを退出させた状態を示す。
【図９】基板搬送装置によって基板を支持する際の他の動作例を説明する側面図である。
【図１０】基板搬送装置によって基板側へ支持アームを進出させる際の他の動作例を示す側面図である。
【図１１】基板搬送装置から支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す側面図である。
【図１２】基板搬送装置から支持アームを進出させる際に干渉を回避するための他の動作を示す側面図である。
【図１３】基板搬送装置の支持アームの他の構成例を示し、支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す平面図である。
【図１４】基板搬送装置の支持アームの他の構成例を示し、支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
図１は、実施例に係る基板移載装置を備えた基板処理装置の概略構成を示す平面図であり、図２は、基板搬送装置の概略構成を示す側面図であり、図３は、第１部材内部の概略構成を示す平面図である。
【００１８】
基板処理装置は、ロードポート１と、基板搬送装置３と、姿勢変換部５と、処理部７とを備えている。ロードポート１は、基板Ｗを水平姿勢で積層して収容したＦＯＵＰ９や、空のＦＯＵＰ９を載置される。基板搬送装置３は、詳細を後述するが、ＦＯＵＰ９と姿勢変換部５との間で基板Ｗを搬送する。姿勢変換部５は、基板Ｗの姿勢を水平から垂直に変換したり、基板Ｗの姿勢を垂直から水平に変換したりする。処理部７は、処理液によって基板Ｗにエッチング処理を行ったり、洗浄処理を行ったりする。また、基板Ｗを乾燥させたり、塗布液を塗布したり、種々の処理を基板Ｗに対して行う。
【００１９】
ロードポート１は、ＦＯＵＰ９が載置されると、ＦＯＵＰ９の蓋（不図示）を開放し、基板搬送装置３によって内部へのアクセスを可能にする。
【００２０】
姿勢変換部５は、保持機構１１が図示しない水平軸周りに揺動可能に構成されている。姿勢変換部５は、保持機構１１を水平姿勢にすることで、垂直姿勢の基板Ｗを水平姿勢へと変換し、保持機構１１を垂直姿勢にすることで、水平姿勢の基板Ｗを垂直姿勢へと変換する。
【００２１】
なお、ＦＯＵＰ９が本発明における「第１の基板収容部」に相当し、姿勢変換部５が本発明における「第２の基板収容部」に相当する。また、ロードポート１が本発明における「載置台」に相当し、基板搬送装置３が本発明における「基板搬送手段」に相当する。また、ＦＯＵＰ９、姿勢変換部５、基板搬送装置３が本発明における「基板移載装置」に相当する。
【００２２】
処理部７は、姿勢変換部５で垂直姿勢にされた基板Ｗを受け取り、所定の処理を基板Ｗに対して行う。また、処理を終えた基板Ｗを姿勢変換部５に対して垂直姿勢で受け渡す。
【００２３】
基板搬送装置３は、装置基台１３と、アームベース１５と、支持アーム１７とを備えている。装置基台１３は、垂直の回転軸心Ｐ１周りに回転可能にアームベース１５を支持している。また、装置基台１３は、昇降機構（不図示）を内蔵し、アームベース１５を昇降可能であり、さらに、水平移動機構（不図示）を内蔵し、アームベース１５を水平方向に進退可能である。
【００２４】
アームベース１５は、ガイド１９と、ラック２１と、ピニオン２３と、電動モータ２５とを内蔵している。ガイド１９は、アームベース１５の内部底面から内部天井面にわたって取り付けられている。ラック２１は、ガイド１９の両側面に取り付けられている。ピニオン２３は、ラック２１に噛み合うように配置されている。電動モータ２５は、ピニオン２３に回転軸が連結されている。なお、ピニオン２３と電動モータ２５とは、交互に左右に取り付けられている。
【００２５】
この実施例においては、３個の支持アーム１７が備えられている構成を挙げて説明するが、支持アーム１７の個数は、ＦＯＵＰ９に収納可能な基板Ｗの枚数より少なく、かつ２個以上であればよい。ＦＯＵＰ９に収納可能な基板Ｗの枚数が２５枚であれば、２個から２４個の支持アーム１７を備えていればよい。
【００２６】
各支持アーム１７は同じ構成であるので、ここでは、最上部の支持アーム１７について説明する。
【００２７】
支持アーム１７は、第１部材２７と、一対の第２部材２９と、一対の第３部材３１と、支持アーム３３とを備えている。第１部材２７は、アームベース１５内に配置され、ガイド１９に沿って昇降自在に取り付けられている。電動モータ２５は、第１部材２７に内蔵されており、電動モータ２５の回転駆動によって第１部材２７がガイド１９に沿って昇降され、支持アーム１７が昇降される。第１部材２７の端部には、各第２部材２９の一端側が取り付けられている。各第２部材２９の他端側には、各第３部材３１の一端側が取り付けられている。各第３部材３１の他端側には、支持アーム３３の基端部が取り付けられている。各第２部材２９は、第１部材２７側を軸にして他端側を揺動可能にされ、各第３部材３１は、第２部材２９側を軸にして他端側を揺動可能に構成されている。これらの揺動は連動するように構成されており、図示しない制御部の指示により屈伸動作を行い、支持アーム３３を図１に実線で示す「進出位置」と、図１に二点鎖線で示す「退出位置」とにわたって移動する。
【００２８】
上述した支持アーム１７は、高さ方向において支持アーム１７同士が最接近した状態では、ＦＯＵＰ９における基板Ｗの収容間隔と、姿勢変換部５における基板Ｗの保持間隔に一致することが好ましい。
【００２９】
なお、上述したガイド１９と、ピニオン２３と、ラック２１と、電動モータ２５とが本発明における「間隔調整手段」に相当する。また、電動モータ２５が本発明における「駆動手段」に相当する。
【００３０】
次に、図４〜図８を参照して、上述した基板搬送装置３による基板Ｗの移載動作について説明する。なお、図４は、基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は初期状態を示し、（ｂ）は支持アームを基板の高さに移動する状態を示す。図５は、基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを進出させた状態を示し、（ｂ）は基板を支持した状態を示す。図６は、基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを退出させた状態を示し、（ｂ）は基板間隔を調整した状態を示す。図７は、基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は基板搬送装置を回転させた状態を示し、（ｂ）は姿勢変換機構に支持アームを進出させた状態を示す。図８は、基板の移載ステップを説明する模式図であり、（ａ）は支持アームを下降させた状態を示し、（ｂ）は支持アームを退出させた状態を示す。
【００３１】
ここでは、図４（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ９内に基板Ｗが３枚だけ収容された状態であり、上の２枚の基板Ｗから複数枚の基板Ｗ収納間隔分を隔てて１枚の基板Ｗが収容されているものとして説明する。また、初期状態では、図４（ａ）に示すような位置に各支持アーム１７があるものとする。
【００３２】
まず、ＦＯＵＰ９内にある各基板Ｗの収容位置に対応する位置に、各支持アーム１７を移動する（図４（ｂ））。より詳細には、各支持アーム１７は、各基板Ｗの下面より若干下に支持アーム３３が位置するように電動モータ２５の駆動によって移動される。
【００３３】
次に、各支持アーム１７をＦＯＵＰ９に進出させ（図５（ａ））、各支持アーム１７を所定高さだけ上昇させる（図５（ｂ））。ここでいう所定高さとは、ＦＯＵＰ９に収容されている基板Ｗを支持アーム１７で持ち上げつつも、ＦＯＵＰ９内における上の収容部に基板Ｗが接触しない高さである。このように、基板Ｗを受け渡す各支持アーム１７だけを昇降させるので、全体を昇降させるよりも負荷を軽減することができる。
【００３４】
次に、各支持アーム１７をＦＯＵＰ９から退出させる（図６（ａ））。そして、各支持アーム１７のうち、下の支持アーム１７を中央の支持アーム１７側に上昇させて、各支持アーム１７の間隔を一定にする（図６（ｂ））。この間隔は、ＦＯＵＰ９内における収容部の間隔または姿勢変換部５の保持機構１１における保持間隔であり、処理部で処理される基板が最適に処理されるように考慮された間隔のことである。
【００３５】
次に、基板搬送装置３のアームベース１５を装置基台１３の回転軸Ｐ１周りに回転させて、基板搬送装置３の支持アーム１７を姿勢変換部５の保持機構１１に向けさせる（図７（ａ））。そして、基板Ｗを支持した全支持アーム１７を保持機構１１に進出させる（図７（ｂ））。
【００３６】
基板搬送装置３の全支持アーム３を所定高さだけ下降させる（図８（ａ））。所定高さとは、保持機構１１に保持された下の基板Ｗに支持アーム１７が接触しない高さのことである。そして、支持アーム１７を保持機構１１から退出させる（図８（ｂ））。
【００３７】
上述した一連の動作により、ＦＯＵＰ９に不等間隔で収納されていた３枚の基板Ｗが、姿勢変換部５の保持機構１１において等間隔で保持される。その後、姿勢変換部５は、３枚の基板Ｗの姿勢を垂直姿勢に変換した後、処理部７へ３枚の基板Ｗを渡す。
【００３８】
これにより、ＦＯＵＰ９内の不等間隔で収容されていた３枚の基板Ｗを、姿勢変換部５に一度に搬送するとともに、３枚の基板Ｗの間隔を一定にすることができる。したがって、基板Ｗが少ない場合であっても複数の支持アーム１７によって効率的に搬送することができる。また、処理部７における処理を３枚の基板Ｗについて均一化することができる。
【００３９】
なお、上述した説明においては、基板ＷをＦＯＵＰ９から受け取る際に、支持アーム１７を上昇させた。しかし、例えば、図９に示すようにしてもよい。図９は、基板搬送装置によって基板を支持する際の他の動作例を説明する側面図である。
【００４０】
基板搬送装置３は、支持アーム１７をＦＯＵＰ９に進出させた状態で、アームベース１５を所定高さだけ上昇させるようにしてもよい。所定高さとは、ＦＯＵＰ９に収容されている基板Ｗを支持アーム１７で持ち上げつつも、ＦＯＵＰ９内における上の収納部に基板Ｗが接触しない高さである。なお、姿勢変換部５においては、アームベース１５を所定高さだけ下降させるようにすればよい。
【００４１】
このようにして基板Ｗを受け渡すようにすることにより、各電動モータ２５を制御するのに比較して、受け渡しの制御を簡易化することができる。
【００４２】
また、上述した説明においては、支持アーム１７をＦＯＵＰ９に進出させる際に、支持アーム１７を伸長させた。しかし、例えば、図１０に示すようにしてもよい。図１０は、基板搬送装置によって基板側へ支持アームを進出させる際の他の動作例を示す側面図である。
【００４３】
支持アーム１７は、屈伸動作により進退動作する構成であるが、例えば、支持アーム１７を常に伸長動作させた状態とし、ＦＯＵＰ９に進出させる際には、アームベース１５ごとＦＯＵＰ９側へ水平移動させるようにしてもよい。また、姿勢変換部５に対しても同様にしてもよい。なお、このような進退制御にする場合には、支持アーム１７を屈伸動作しない長さが一定の構成としてもよいので、支持アーム１７の構成を簡易化できてコストを低減することができる。
【００４４】
上述した実施例では、３枚の基板Ｗを３個の支持アーム１７で移載する場合を説明した。しかし、移載したい基板Ｗが１枚だけの場合には、他の支持アーム１７が移載の際に邪魔になることがある。そのような場合について、図１１を参照して説明する。図１１は、基板搬送装置から支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す側面図である。
【００４５】
例えば、ＦＯＵＰ９に４枚の基板Ｗが収容されており、その内の一番上の基板Ｗだけを搬送したい場合には、最上部の支持アーム１７だけをその基板Ｗに対向する位置へ移動させる。中央部の支持アーム１７と最下部の支持アーム１７は、ＦＯＵＰ１７の収容部の最下部に移動させる。このように下の支持アーム１７を待避させた状態で、全支持アーム１７をＦＯＵＰ９に進出させ、全支持アーム１７を上昇させると、最上部の支持アーム１７だけが基板Ｗを受け取ることができ、他の支持アーム１７が不要な基板Ｗを載置したり、ＦＯＵＰ９と干渉したりするのを防止できる。また、姿勢変換部５においても同様である。
【００４６】
また、ＦＯＵＰ９内の収容部の全てに基板Ｗが収容され、その内の最上部と最下部の基板Ｗだけを移載したい場合について図１２を参照して説明する。図１２は、基板搬送装置から支持アームを進出させる際に干渉を回避するための他の動作を示す側面図である。
【００４７】
このような場合には、最上部の支持アーム１７を最上部の基板Ｗに対応させ、中央部の支持アーム１７を最下部の基板Ｗに対応させる位置に移動させる。最下部の支持アーム１７は、ロードポート１に形成された待避部４１に対応する位置に移動させる。なお、アームベース１５は、待避部４１に支持アーム１７が待避できるように支持アーム１７の移動範囲を拡大して構成しておく。
【００４８】
このようにすることにより、ＦＯＵＰ９の全収容部が基板Ｗで満たされている場合であっても、任意の基板Ｗだけを移載することが可能となる。
【００４９】
また、ＦＯＵＰ９の全収容部が基板Ｗで満たされた状態で、全枚数より少ない複数枚の基板Ｗを移載する場合であって、支持アーム１７が、移載したい基板Ｗの枚数よりも多い構成である場合には、上下方向で隣接する支持アーム１７を各基板Ｗの収容位置に対応する位置に移動するのが好ましい。これは、移載したい基板Ｗの枚数よりも支持アーム１７が多い場合に、移載する必要のない基板Ｗを支持アーム１７が支持することを避けるためである。
【００５０】
また、上述した支持アーム１７の待避方法に代えて、次のような方法を採用してもよい。ここで、図１３を参照する。図１３は、基板搬送装置の支持アームの他の構成例を示し、支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す平面図である。
【００５１】
この基板搬送装置３はアームベース１５Ａを備え、アームベース１５Ａは支持アーム１７Ａを備えている。支持アーム１７Ａの基端部は、鉛直軸Ｐ２周りに揺動可能に構成されている。支持アーム１７Ａの先端部が前方（図１３の右方向）へ向けられた状態が基板Ｗを受け渡す位置であり、支持アーム１７Ａの先端部が側方（図１３の上下方向）へ移動された状態が基板Ｗを受け渡さない位置である。したがって、上記のように基板Ｗの受け渡しに用いられない支持アーム１７Ａを側方へ待避させることにより、ＦＯＵＰ９等との干渉を回避することができる。
【００５２】
ここで、図１４を参照する。図１４は、基板搬送装置の支持アームの他の構成例を示し、支持アームを進出させる際に干渉を回避するための動作を示す平面図である。
【００５３】
この基板搬送装置３は、アームベース１５Ｂを備えている。アームベース１５Ｂは、支持アーム１７Ｂを複数備えている。アームベース１５Ｂは、任意の支持アーム１７Ｂを鉛直軸Ｐ３周りに揺動可能に構成されている。支持アーム１７Ｂの両方の先端部が前方（図１４の右方向）へ向けられた状態が基板Ｗを受け渡す位置であり、支持アーム１７Ｂの両方の先端部がＦＯＵＰ９と干渉しない同方向の側方（図１４の下方向）に移動された状態が基板Ｗを受け渡さない位置である。したがって、このような構成を採用しても、受け渡しに関与しない支持アーム１７ＢがＦＯＵＰ９等と干渉することを防止できる。
【００５４】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５５】
（１）上述した実施例では、ＦＯＵＰ９と姿勢変換部５との間で支持アーム１７が基板Ｗを移載する構成としたが、カセット間における移載や、ＦＯＵＰ９とバッファ、カセットとバッファとの間、あるいは基板搬送装置３と別の基板搬送装置との間における移載にも本発明を適用することができる。
【００５６】
（２）上述した実施例では、各支持アーム１７の間隔調整手段として、ガイド１９と、ラック２１と、ピニオン２３と、電動モータ２５とを備える構成を採用した。しかし、本発明はこのような構成に限定されるものではない。例えば、ラック２１とピニオン２３に代えて、複数本の螺軸と、各螺軸に螺合した昇降ネジと、各螺軸を個別に回転させる複数個の電動モータとを備え、各支持アーム１７を各昇降ネジに取り付ける構成としてもよい。
【００５７】
（３）上述した実施例では、各支持アーム１７で支持した基板Ｗの間隔を、ＦＯＵＰ９から基板Ｗを引き出した直後に調整した。しかし、本発明は、間隔調整をこのようなタイミングに限定されるものではない。つまり、搬送先の姿勢変換部５に基板Ｗを渡すまでに間隔の調整を行えばよく、例えば、アームベース１５を搬送先に向けて回転させながら間隔調整を行ってもよい。これにより、搬送効率を向上させることができる。
【符号の説明】
【００５８】
１  …  ロードポート
３  …  基板搬送装置
５  …  姿勢変換部
７  …  処理部
９  …  ＦＯＵＰ
１１  …  保持機構
１３  …  装置基台
１５  …  アームベース
１７  …  支持アーム
１９  …  ガイド
２１  …  ラック
２３  …  ピニオン
２５  …  電動モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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