(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置であって、
開口部を有し、前記フッ素系不活性液体を保持可能な液体保持部が形成された保持槽と、
前記保持槽の前記開口部側に配置され、前記液体保持部側に対向する内面と、前記内面とは反対側の面である外面とを有する蓋とを備え、
前記蓋には、前記電子素子を保持しつつ前記フッ素系不活性液体に浸漬可能な籠からなる素子保持部が設置され、
前記蓋には、前記液体保持部と前記熱処理装置の外部とを連通する中空部が、前記外面の上方から見て前記素子保持部から離れて形成されており、
前記中空部は外部に対して塞がれており、
前記中空部は前記蓋から前記熱処理装置の外部側へ突出する、熱処理装置。
【請求項２】
前記中空部は、前記蓋から前記外部側へ突出する筒状部の内周側の領域である、請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
前記籠には、開閉可能な扉が形成されている、請求項１または２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
前記蓋の前記内面は、前記液体保持部に保持されるべき前記フッ素系不活性液体の液面に対して傾いた領域を有している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の熱処理装置。
【請求項５】
前記蓋の前記内面は、前記液体保持部から離れる側に突出する凸形状を有している、請求項４に記載の熱処理装置。
【請求項６】
前記蓋の前記内面は、曲面である、請求項４または５に記載の熱処理装置。
【請求項７】
前記蓋には、前記蓋の厚み方向に貫通する孔部が前記中空部から離れて形成されており、
前記籠は、前記孔部に挿入して配置されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理装置に関するものであり、より特定的には、フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）素子の耐熱性試験は、はんだを熱媒体とする熱処理により行なわれていた。そのため、複数の素子を同時に処理する場合には、素子同士がはんだにより接着されるという問題があった。また、素子を１個ずつピンセットなどで掴んではんだ槽に浸漬する場合、ピンセットから脱落した素子を再生することができないという問題があった。これに対して、フッ素系不活性液体を熱媒体とし、籠に収容した複数の素子を同時に処理する熱処理装置が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平４−５９４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１において提案されている熱処理装置にように、フッ素系不活性液体を熱媒体とする熱処理装置では、熱処理中に蒸発したフッ素系不活性液体をより効率的に回収するための機構が要求される。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、蒸発したフッ素系不活性液体を熱処理装置内に容易に回収することが可能な熱処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の熱処理装置は、フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置である。上記熱処理装置は、開口部を有し、フッ素系不活性液体を保持可能な液体保持部が形成された保持槽と、保持槽の開口部側に配置され、液体保持部側に対向する内面と、上記内面とは反対側の面である外面とを有する蓋とを備えている。蓋には、電子素子を保持しつつフッ素系不活性液体に浸漬可能な籠からなる素子保持部が設置されている。また、蓋には、液体保持部と熱処理装置の外部とを連通する中空部が、上記外面の上方から見て素子保持部から離れて形成されている。中空部は外部に対して塞がれており、中空部は蓋から熱処理装置の外部側へ突出する。
本発明の熱処理装置は、フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置である。上記熱処理装置は、開口部を有し、フッ素系不活性液体を保持可能な液体保持部が形成された保持槽と、保持槽の開口部側に配置され、液体保持部側に対向する内面と、上記内面とは反対側の面である外面とを有する蓋とを備えている。蓋には、電子素子を保持しつつフッ素系不活性液体に浸漬可能な素子保持部が設置されている。また、蓋には、液体保持部と熱処理装置の外部とを連通する中空部が、上記外面の上方から見て素子保持部から離れて形成されている。
【０００７】
本発明の熱処理装置では、液体保持部と熱処理装置の外部とを連通する中空部が蓋に形成されている。そのため、熱処理中に蒸発して液体保持部から放出されたフッ素系不活性液体は、当該中空部に進入する。そして、フッ素系不活性液体は、中空部内において冷却されて液化し、液体保持部内に戻る。このように、本発明の熱処理装置では、蒸発したフッ素系不活性液体を中空部にて冷却液化させることにより、フッ素系不活性液体の熱処理装置の外部への放出を抑制し、さらにフッ素系不活性液体を中空部と連通する液体保持部に容易に回収することができる。以上のように、本発明の熱処理装置によれば、蒸発したフッ素系不活性液体を熱処理装置内に容易に回収することが可能な熱処理装置を提供することができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上の説明から明らかなように、本発明の熱処理装置によれば、蒸発したフッ素系不活性液体を熱処理装置内に容易に回収することが可能な熱処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】熱処理装置の構成を示す概略図である。
【図２】熱処理装置の蓋および籠の構成を示す概略図である。
【図３】熱処理装置の構成を拡大して示す概略図である。
【図４】実施の形態２の熱処理装置の構成を示す概略図である。
【図５】従来の熱処理装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００１１】
（実施の形態１）
はじめに、本発明の一実施の形態である実施の形態１について説明する。まず、本実施の形態の熱処理装置１の構成について説明する。図１を参照して、熱処理装置１は、フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置であって、保持槽２と、ヒータ３と、蓋５とを主に備えている。
【００１２】
保持槽２は、開口部２ａを有している。保持槽２には、開口部２ａの全周にわたり凹部２ｅが形成されている。また、保持槽２には、たとえばガルデン（登録商標）などのフッ素系不活性液体９を保持可能な液体保持部２ｂが形成されている。また、液体保持部２ｂは、側壁面２ｃと、底面２ｄとを含むように形成されている。ヒータ３は、液体保持部２ｂの下方に配置されている。より具体的には、ヒータ３は、保持槽２の底面２ｄに沿うように保持槽２内に埋め込まれて配置されている。
【００１３】
蓋５は、保持槽２の開口部２ａ側に配置されており、保持槽２の液体保持部２ｂ側に対向する内面５ａと、内面５ａとは反対側の面である外面５ｂとを有している。具体的には、蓋５は、内面５ａが保持槽２の底面２ｄに対向し、液体保持部２ｂを閉じるように開口部２ａ側に配置されている。
【００１４】
蓋５には、液体保持部２ｂと熱処理装置１の外部とを連通する中空部５ｄが、外面５ｂの上方から見て、後述する籠７から離れて形成されている。たとえば、蓋５には、蓋５から熱処理装置１の外部側へ突出する筒状部としての回収筒５ｅが、蓋５の厚み方向に貫通して配置されている。そして、回収筒５ｅの内周側の領域が、中空部５ｄとなっている。回収筒５ｅは、液体保持部２ｂに保持されるべきフッ素系不活性液体９の液面に対して交差する方向、具体的には垂直な方向に突出している。また、回収筒５ｅは、蓋５の厚み方向に貫通して配置される別部材であってもよいが、これに限られるものではなく、たとえば蓋５と一体として形成されていてもよい。また、回収筒５ｅを構成する材料は特に限定されるものではないが、たとえばアルミニウム、銅あるいはチタンなどの熱伝導率の高い金属材料を採用することができる。また、本発明の熱処理装置において回収筒５ｅは必須の構成ではなく、たとえば中空部５ｄは、蓋５の厚み方向に貫通して形成される孔部の内周側の領域であってもよい。
【００１５】
蓋５には、外面５ｂ側とは反対側に突出する突出部５ｃが外縁部の全周にわたり形成されている。また、蓋５は、突出部５ｃが凹部２ｅに嵌め込まれるように保持槽２に配置されている。これにより、蓋５は、保持槽２に対して開口部２ａの全周にわたり接触するように配置されている。
【００１６】
図１および図２を参照して、蓋５には、処理すべき素子１１を保持しつつフッ素系不活性液体９に浸漬可能な素子保持部が設置されている。ここで、素子保持部は、たとえば網目状の壁面を有する籠７などであって、素子保持部の内部と外部とが連通した構造を有する。また、蓋５には、蓋５の厚み方向に貫通する孔部が、外面５ｂの上方から見て中空部５ｄから離れて形成されており、籠７は当該孔部に挿入して配置されている。籠７には、取っ手６が取り付けられている。また、籠７には、開閉可能な扉である投入口８が設けられており、当該投入口８より籠７内に素子１１を収容可能となっている。すなわち、熱処理装置１では、蓋５を保持槽２に固定した状態において、取っ手６を保持して籠７を液体保持部２ｂ側に移動させることができる。これにより、籠７に収容された素子１１を、液体保持部２ｂにより保持されたフッ素系不活性液体９に浸漬することができる。なお、上述のように、籠７は、蓋５の厚み方向に貫通する孔部に挿入して配置されていもよいが、これに限られるものではない。図２を参照して、たとえば、籠７は蓋５の内面５ａに配置されていてもよい。
【００１７】
次に、本実施の形態の熱処理装置１を用いた電子素子の熱処理について説明する。図１および図２を参照して、まず、保持槽２の液体保持部２ｂ内に熱媒体であるフッ素系不活性液体９が注入される。次に、ヒータ３を動作させることにより、液体保持部２ｂに注入されたフッ素系不活性液体９が所定の処理温度にまで加熱される。ここで、フッ素系不活性液体９の処理温度は、たとえば２５５℃以上２６０℃以下であってもよい。次に、投入口８が蓋５の外面５ｂよりも上側に位置する状態にまで籠７を引き上げる。次に、投入口８を開いて処理すべき素子１１を籠７内に収容し、投入口８を閉じる。次に、取っ手６を保持しつつ籠７を液体保持部２ｂ側に移動させて、素子１１をフッ素系不活性液体９に浸漬する。素子１１の熱処理が完了した後、投入口８が蓋５の外面５ｂよりも上側に位置する状態にまで再び籠７を引き上げる。そして、投入口８を開いて熱処理された素子１１を籠７から取り出す。このようにして、本実施の形態の熱処理装置１を用いた電子素子の熱処理が実施される。
【００１８】
図５を参照して、従来の熱処理装置１００では、はんだ９００を熱媒介として素子１１０の熱処理されていた。そのため、複数の素子１１０を同時に処理する場合には、素子１１０同士がはんだ９００により接着されるという問題があった。また、素子１１０を１個ずつピンセットなどで掴んではんだ槽２００に浸漬する際、ピンセットから脱落した素子１１０を再生することができないという問題があった。
【００１９】
これに対して、本実施の形態の熱処理装置１では、高温状態でも粘性が低いフッ素系不活性液体９を熱媒体とするため、籠７を用いて複数の素子１１を同時に熱処理する場合においても、素子１１同士の接着を回避することができる。そのため、熱処理後の素子１１の処理が容易になる。
【００２０】
また、本実施の形態の熱処理装置１では、保持槽２の液体保持部２ｂを閉じるように蓋５が配置されているため、図３中矢印に示すように、熱処理中において蒸発したフッ素系不活性液体９の熱処理装置１の外部への放出を抑制することができる。また、本実施の形態の熱処理装置１では、液体保持部２ｂと熱処理装置１の外部とを連通する中空部５ｄが蓋５に形成されている。そのため、熱処置中に蒸発して液体保持部２ｂから放出されたフッ素系不活性液体９の一部は、中空部５ｄに進入する。そして、フッ素系不活性液体９は、中空部５ｄ内において冷却されて液化し、液体保持部２ｂ内に戻る。このように、本実施の形態の熱処理装置１では、蒸発したフッ素系不活性液体９を中空部５ｄにて冷却液化させることにより、フッ素系不活性液体９の熱処理装置１の外部への放出を抑制し、さらに蒸発したフッ素系不活性液体９を中空部５ｄと連通する液体保持部２ｂに容易に回収することができる。以上のように、本実施の形態の熱処理装置１は、蒸発したフッ素系不活性液体９を熱処理装置１内に容易に回収することが可能な熱処理装置となっている。
【００２１】
また、上述のように、本実施の形態の熱処理装置１では、籠７は、蓋５の厚み方向に貫通する孔部に挿入して配置されているため、蓋５を保持槽２に固定しつつ、籠７を移動させることができる。これにより、蓋５を保持槽２に固定しつつ、籠７に収容された素子１１をフッ素系不活性液体９に浸漬し、あるいはフッ素系不活性液体９から取り出すことが可能になるため、蒸発したフッ素系不活性液体９の熱処理装置１の外部への放出を抑制しつつ素子１１の熱処理を実施することができる。
【００２２】
（実施の形態２）
次に、本発明の他の実施の形態である実施の形態２について説明する。本実施の形態の熱処理装置１０は、基本的には、上記実施の形態１の熱処理装置１と同様の構成を備え、かつ同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態の熱処理装置１０は、蓋５の形状において上記実施の形態１の熱処理装置１とは異なっている。
【００２３】
図４を参照して、熱処理装置１０では、蓋５は、その外縁部が保持槽２の開口部２ａの全周にわたり形成された凹部２ｅに嵌め込まれている。また、蓋５の内面５ａは、液体保持部２ｂに保持されるべきフッ素系不活性液体９の液面に対して傾いた領域を有している。具体的には、蓋５の内面５ａは、曲面からなっており、液体保持部２ｂから離れる側に突出する凸形状を有している。また、内面５ａのフッ素系不活性液体９の液面に対する傾きは、蓋５の外縁側に近づくに従い大きくなっている。これにより、熱処理装置１のように蓋５の内面５ａがフッ素系不活性液体９の液面に対して平行である場合に比べて、蒸発したフッ素系不活性液体９を内面５ａを伝って液体保持部２ｂに回収することがより容易になる。このように、本実施の形態の熱処理装置１０は、上記形状を有する蓋５を備えることにより、蒸発したフッ素系不活性液体９を熱処理装置１０内により容易に回収することが可能な熱処理装置となっている。
【００２４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明の熱処理装置は、蒸発したフッ素系不活性液体を熱処理装置内に容易に回収することが要求される熱処理装置において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００２６】
１，１０  熱処理装置、２  保持槽、２ａ  開口部、２ｂ  液体保持部、２ｃ  側壁面、２ｄ  底面、２ｅ  凹部、３  ヒータ、５  蓋、５ａ  内面、５ｂ  外面、５ｃ  突出部、５ｄ  中空部、５ｅ  回収筒、６  取っ手、７  籠、８  投入口、９  フッ素系不活性液体、１１  素子。
【図１】
0005769653.tif 000002
【図２】
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【図３】
0005769653.tif 000004
【図４】
0005769653.tif 000005
【図５】
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