(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
壁部における一面側に形成された第１の開口部の口縁部に、基板搬送容器の前面を開閉する蓋体の周囲を密着させ、基板の搬送領域側である前記壁部における他面側に鉛直面に対して上向きに傾斜してその開口面が形成された第２の開口部を介して前記蓋体を取り外す基板搬送容器の開閉装置において、
前記基板の搬送領域側に昇降機構により昇降自在に設けられた昇降基体と、
この昇降基体に支持されると共に前記第２の開口部の口縁部にその開口面の周縁部を密着させて当該第２の開口部を塞ぐように構成され、前記第２の開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記第２の開口部の口縁部との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記第２の開口部を塞いでいるときに前記搬送容器の蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記昇降基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該昇降基体の降下に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記第２の開口部の口縁部におけるシール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記第２の開口部の開口面に対して平行で且つ横向きの軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記昇降基体が下降しているときに前記案内路に上方側から接触して当該案内路に沿って転がりながら下る回動体と、を備え、
前記カバー部材は、昇降基体が上昇位置にあるときには後退位置に置かれる一方、前記昇降基体の下降により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより後退位置から前進して、前記第２の開口部に対向した姿勢で当該開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする基板搬送容器の開閉装置。
【請求項２】
前記昇降基体には、当該昇降基体に対する前記カバー部材の進退方向に対して直交する方向に沿うように第１の支持面が形成され、
前記カバー部材には、前記第１の支持面に対向するように第２の支持面が形成され、
互いに対向する第１の支持面及び第２の支持面同士の間には、前記カバー部材を前記壁部側から搬送領域側に付勢するための付勢機構が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送容器の開閉装置。
【請求項３】
互いに対向する第１の支持面及び第２の支持面同士の間には、前記昇降基体と前記カバー部材との衝突を抑制するために、弾性体からなるストッパー機構が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の基板搬送容器の開閉装置。
【請求項４】
壁部における一面側に形成された第１の開口部の口縁部に、基板搬送容器の前面を開閉する蓋体の周囲を密着させ、基板の搬送領域側である前記壁部における他面側に鉛直面に対して下向きに傾斜してその開口面が形成された第２の開口部を介して前記蓋体を取り外す基板搬送容器の開閉装置において、
前記基板の搬送領域側に昇降機構により昇降自在に設けられた昇降基体と、
この昇降基体に支持されると共に前記第２の開口部の口縁部にその開口面の周縁部を密着させて当該第２の開口部を塞ぐように構成され、前記第２の開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記第２の開口部の口縁部との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記第２の開口部を塞いでいるときに前記搬送容器の蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記昇降基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該昇降基体の上昇に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記第２の開口部の口縁部におけるシール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記第２の開口部の開口面に対して平行で且つ横向きの軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記昇降基体が上昇しているときに前記案内路に下方側から接触して当該案内路に沿って転がりながら上る回動体と、
前記カバー部材を前記昇降基体に対して搬送領域側に付勢する付勢機構と、を備え、
前記カバー部材は、昇降基体が下降位置にあるときには前記付勢機構の付勢力によって後退位置に置かれる一方、前記昇降基体の上昇により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより前記付勢機構の付勢力に抗して後退位置から前進して、前記第２の開口部に対向した姿勢で当該開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする基板搬送容器の開閉装置。
【請求項５】
壁部における一面側及び他面側が互いに連通するように形成された開口部の前記他面側にて、前記一面側に設けられた基板搬送容器の蓋体または前記開口部を前記他面側から気密に塞ぐ蓋体を開閉する蓋体開閉装置において、
前記壁部の他面側に設けられ、当該壁部に沿って平行に伸びる軸の一端側と他端側との間において移動機構により移動自在に設けられた移動基体と、
前記壁部から垂直に伸びる方向に対して前記軸の一端側にその開口面が傾斜する、前記他面側における前記開口部の口縁部に形成されたシール面と、
前記移動基体に支持されると共に前記他面側における前記シール面にその開口面の周縁部を密着させて前記口縁部を塞ぐように構成され、前記開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記シール面との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記開口部を塞いでいるときに前記蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記移動基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該移動基体の前記軸の一端側から他端側に向かう移動に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記シール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記シール面に対して平行で且つ前記軸に交差する軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記移動基体が前記軸の他端側に移動しているときに前記案内路に接触して当該案内路に沿って転がる回動体と、
前記カバー部材を前記移動基体に対して前記壁部側から前記後退位置側に向かって付勢する付勢機構と、を備え、
前記カバー部材は、移動基体が前記軸の一端側の位置にあるときには後退位置に置かれる一方、前記移動基体の前記他方側への移動により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより後退位置から前進して、前記シール面に対向した姿勢で前記開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする蓋体の開閉装置。
【請求項６】
基板搬送容器が載置される載置台と、
基板に対して処理を行う処理部と、
前記載置台上の基板搬送容器と前記処理部との間で基板の受け渡しを行う基板搬送機構と、
前記載置台上の基板搬送容器の蓋体または前記処理部と前記基板搬送機構との間に設けられた蓋体の開閉を行うための請求項１ないし５のいずれか一つに記載の開閉装置と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば密閉型の基板搬送容器の蓋体を開閉する開閉装置及びこの開閉装置を備えた半導体製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスを製造する工程において、基板である半導体ウエハ（以下「ウエハ」と言う）は、例えば密閉型のＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と呼ばれる搬送容器内に棚状に積載されて半導体製造装置間を搬送される。従って、半導体製造装置におけるウエハ搬入ポートには、ＦＯＵＰの側面の蓋体を開閉する開閉装置が設けられる。
【０００３】
この開閉装置は、ＦＯＵＰを載置する領域とＦＯＵＰから取り出されたウエハの搬送を行う搬送領域との間に介在する壁部に開口部を設けて、ＦＯＵＰにおける蓋体の周囲を開口部の口縁部に気密に当接させると共に、ウエハの搬送領域側から開口部をカバー部材で気密に塞ぎ、このカバー部材に設けられた開閉機構によりＦＯＵＰの蓋体を取り外すように構成されている。この時、例えばＦＯＵＰの搬送されるエリアの雰囲気が蓋体の開閉動作の行われる開閉領域を介して前記搬送領域に流入することを抑えるために、前記カバー部材と開口部との間に樹脂やゴムなどからなるシール部材を設けている。そして、ＦＯＵＰの蓋体を取り外す時は、前記シール部により気密に塞がれた領域に対して真空排気や窒素（Ｎ2）ガスなどの清浄気体の供給を行い、当該領域の雰囲気を置換するようにしている。従って、前記カバー部材は、蓋体の着脱位置と、ＦＯＵＰから搬送領域側にウエハを取り出す時に退避する退避位置との間で昇降自在となり、且つ昇降する位置と開口部を気密に塞ぐ位置との間で進退自在となるように構成される。
【０００４】
ここで、開閉装置に設けられる機構を極力少なくすることにより、当該機構からの発塵及びパーティクルの発生を抑えると共に開閉装置のコストダウンを図る技術が求められており、具体的には開閉装置を進退させる機構（具体的には駆動軸）を削減できる技術が検討されている。このような技術の一例として、特許文献１には、開閉装置によりシールされる面を鉛直軸に対して傾斜させることにより、開閉装置の昇降動作だけで搬送口のシールも行うように構成された装置が記載されている。
【０００５】
しかし、このように開閉装置のシールする面を傾斜させると、シール部に対して開閉装置が摺動しながら接触することになるので、シール部が摩耗しやすくなったり、あるいは偏摩耗してしまったりする。そのため、装置のメンテナンス（シール部の交換）を頻繁に行う必要があるし、またメンテナンスに要するコストも嵩んでしまう。特許文献２には、熱処理装置のシャッター機構がについて記載されているが、既述の課題には触れられていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２６５１３号公報
【特許文献２】特開２００４−３４２７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、密閉型の搬送容器の蓋体を開閉する開閉装置において、駆動系の簡素化を図り、また基板の搬送領域側の開口部を気密に塞ぐためのシール部の摩耗を抑えることのできる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板搬送容器の開閉装置は、
壁部における一面側に形成された第１の開口部の口縁部に、基板搬送容器の前面を開閉する蓋体の周囲を密着させ、基板の搬送領域側である前記壁部における他面側に鉛直面に対して上向きに傾斜してその開口面が形成された第２の開口部を介して前記蓋体を取り外す基板搬送容器の開閉装置において、
前記基板の搬送領域側に昇降機構により昇降自在に設けられた昇降基体と、
この昇降基体に支持されると共に前記第２の開口部の口縁部にその開口面の周縁部を密着させて当該第２の開口部を塞ぐように構成され、前記第２の開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記第２の開口部の口縁部との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記第２の開口部を塞いでいるときに前記搬送容器の蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記昇降基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該昇降基体の降下に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記第２の開口部の口縁部におけるシール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記第２の開口部の開口面に対して平行で且つ横向きの軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記昇降基体が下降しているときに前記案内路に上方側から接触して当該案内路に沿って転がりながら下る回動体と、を備え、
前記カバー部材は、昇降基体が上昇位置にあるときには後退位置に置かれる一方、前記昇降基体の下降により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより後退位置から前進して、前記第２の開口部に対向した姿勢で当該開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする。
【０００９】
前記昇降基体には、当該昇降基体に対する前記カバー部材の進退方向に対して直交する方向に沿うように第１の支持面が形成され、
前記カバー部材には、前記第１の支持面に対向するように第２の支持面が形成され、
互いに対向する第１の支持面及び第２の支持面同士の間には、前記カバー部材を前記壁部側から搬送領域側に付勢するための付勢機構が設けられていても良い。互いに対向する第１の支持面及び第２の支持面同士の間には、前記昇降基体と前記カバー部材との衝突を抑制するために、弾性体からなるストッパー機構が設けられていても良い。
【００１０】
本発明の基板搬送容器の開閉装置は、
壁部における一面側に形成された第１の開口部の口縁部に、基板搬送容器の前面を開閉する蓋体の周囲を密着させ、基板の搬送領域側である前記壁部における他面側に鉛直面に対して下向きに傾斜してその開口面が形成された第２の開口部を介して前記蓋体を取り外す基板搬送容器の開閉装置において、
前記基板の搬送領域側に昇降機構により昇降自在に設けられた昇降基体と、
この昇降基体に支持されると共に前記第２の開口部の口縁部にその開口面の周縁部を密着させて当該第２の開口部を塞ぐように構成され、前記第２の開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記第２の開口部の口縁部との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記第２の開口部を塞いでいるときに前記搬送容器の蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記昇降基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該昇降基体の上昇に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記第２の開口部の口縁部におけるシール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記第２の開口部の開口面に対して平行で且つ横向きの軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記昇降基体が上昇しているときに前記案内路に下方側から接触して当該案内路に沿って転がりながら上る回動体と、
前記カバー部材を前記昇降基体に対して搬送領域側に付勢する付勢機構と、を備え、
前記カバー部材は、昇降基体が下降位置にあるときには前記付勢機構の付勢力によって後退位置に置かれる一方、前記昇降基体の上昇により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより前記付勢機構の付勢力に抗して後退位置から前進して、前記第２の開口部に対向した姿勢で当該開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする
ことを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板搬送容器の開閉装置は、
壁部における一面側及び他面側が互いに連通するように形成された開口部の前記他面側にて、前記一面側に設けられた基板搬送容器の蓋体または前記開口部を前記他面側から気密に塞ぐ蓋体を開閉する蓋体開閉装置において、
前記壁部の他面側に設けられ、当該壁部に沿って平行に伸びる軸の一端側と他端側との間において移動機構により移動自在に設けられた移動基体と、
前記壁部から垂直に伸びる方向に対して前記軸の一端側にその開口面が傾斜する、前記他面側における前記開口部の口縁部に形成されたシール面と、
前記移動基体に支持されると共に前記他面側における前記シール面にその開口面の周縁部を密着させて前記口縁部を塞ぐように構成され、前記開口部を開閉するためのカバー部材と、
前記カバー部材と前記シール面との間をシールするためのシール部材と、
前記カバー部材に設けられ、当該カバー部材が前記開口部を塞いでいるときに前記蓋体の取り外しまたは装着を行なう蓋体着脱機構と、
前記移動基体及び前記カバー部材に設けられ、前記第２の開口部の開口面とその開口面とが平行でかつ互いに対向している後退位置にある当該カバー部材が、当該移動基体の前記軸の一端側から他端側に向かう移動に伴ってカバー部材の開口面と第２の開口部の開口面とが平行を維持したまま、前記壁部側に向かって前進するように、当該カバー部材をガイドするガイド部と、
前記壁部側に設けられ、前記シール面と直交する方向に伸びる案内路と、
前記シール面に対して平行で且つ前記軸に交差する軸周りに回動自在に前記カバー部材に設けられ、前記移動基体が前記軸の他端側に移動しているときに前記案内路に接触して当該案内路に沿って転がる回動体と、
前記カバー部材を前記移動基体に対して前記壁部側から前記後退位置側に向かって付勢する付勢機構と、を備え、
前記カバー部材は、移動基体が前記軸の一端側の位置にあるときには後退位置に置かれる一方、前記移動基体の前記他方側への移動により前記回動体の転動と前記ガイド部によるガイド作用とにより後退位置から前進して、前記シール面に対向した姿勢で前記開口部を塞ぐように構成されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の半導体製造装置は、
基板搬送容器が載置される載置台と、
基板に対して処理を行う処理部と、
前記載置台上の基板搬送容器と前記処理部との間で基板の受け渡しを行う基板搬送機構と、
前記載置台上の基板搬送容器の蓋体または前記処理部と前記基板搬送機構との間に設けられた蓋体の開閉を行うための既述の開閉装置と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、壁部に形成された開口部を介して基板の搬送領域側から基板搬送容器の蓋体の着脱（開閉）を行うにあたり、搬送領域側の開口部の口縁部を鉛直面に対して上向きに傾斜させている。そして、昇降基体と共にカバー部材を昇降自在に構成し、カバー部材に回動体を設けると共に、昇降基体が下降する時にカバー部材が開口部に対向した姿勢で当該開口部に向かって前進するように、回動体が回動して案内される案内路を設けている。従って、昇降基体の昇降動作により開口部の口縁部の周囲に形成されたシール部材に対してカバー部材を接触させるにあたり、当該シール部材の摺動を抑えることができるので、シール部の摩耗を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の開閉装置が適用される縦型熱処理装置の一例を示す縦断面図である。
【図２】前記縦型熱処理装置を示す横断平面図である。
【図３】前記開閉装置の一例を示す分解斜視図である。
【図４】前記縦型熱処理装置において開閉装置により蓋体の着脱が行われる領域を示す搬送口の斜視図である。
【図５】前記開閉装置によりシールされるシール部を示す断面図である。
【図６】前記開閉装置を模式的に示す模式図である。
【図７】前記開閉装置を示す側面図である。
【図８】前記開閉装置を示す縦断面図である。
【図９】前記開閉装置を示す横断平面図である。
【図１０】前記開閉装置を示す横断平面図である。
【図１１】前記開閉装置に設けられるストッパー機構を示せす斜視図である。
【図１２】前記ストッパー機構を示す横断平面図である。
【図１３】前記開閉装置の一部を示す正面図である。
【図１４】前記開閉装置においてドア部材をガイドするガイド部を示す斜視図である。
【図１５】前記ガイド部を示す側面図である。
【図１６】前記開閉装置の作用を示す作用図である。
【図１７】前記開閉装置の作用を示す作用図である。
【図１８】前記開閉装置の作用を示す作用図である。
【図１９】前記開閉装置の作用を示す作用図である。
【図２０】前記開閉装置の作用を模式的に示す模式図である。
【図２１】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２２】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２３】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２４】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２５】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２６】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【図２７】前記開閉装置の他の例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の基板搬送容器の開閉装置の実施の形態の一例として、当該開閉装置を適用した半導体製造装置である縦型熱処理装置を例に挙げて、図１〜図１５を参照して説明する。始めに、開閉装置２０及び縦型熱処理装置の概略について説明する。開閉装置２０は、複数枚例えば２５枚のウエハＷを棚状に収納する密閉型の搬送容器であるＦＯＵＰ１から、当該ＦＯＵＰ１の側方側（前面側）の開口部２に気密に設けられた蓋体３を着脱（開閉）するためのものである。そのため、開閉装置２０は、縦型熱処理装置に対して外部からＦＯＵＰ１が搬入される搬入出エリアＳ１と、ＦＯＵＰ１から取り出されたウエハＷの搬送を行うローディングエリアＳ２と、の間（詳しくはこれらエリアＳ１、Ｓ２間の側壁部４よりもローディングエリアＳ２側）に配置されている。この側壁部４には、蓋体３やウエハＷの搬送を行うための搬送口５が形成されており、後述するように、ローディングエリアＳ２側における搬送口５（筒状体５ａ）の開口縁の周囲には、蓋体３の着脱される開閉領域Ｓ３をエリアＳ１、Ｓ２から気密に区画するためのシール部材５６が斜め上側を向くように形成されている。そして、既述の開閉装置２０は、昇降ロッド２１に沿って鉛直方向に昇降することにより、前記シール部材５６に対して垂直に移動して気密に接触するように構成されている。
【００１６】
続いて、開閉装置２０の詳細について述べる前に、縦型熱処理装置の全体の概観について簡単に説明する。搬入出エリアＳ１には、図１及び図２に示すように、側壁部４の一面側（搬入出エリアＳ１側）における既述の搬送口５の開口縁（口縁部）に対してＦＯＵＰ１の蓋体３の周囲を気密に当接させるために、当該ＦＯＵＰ１を図１中前後方向（Ｘ方向）に進退させるための載置台６が左右方向（Ｙ方向）に互いに離間して複数箇所例えば２箇所に配置されている。この搬入出エリアＳ１側における搬送口５の周囲には、側壁部４に当接されたＦＯＵＰ１の開口縁と気密に接触するように、図７に示すように、例えば樹脂やゴムなどからなるシール部１０が周方向に亘って設けられている。図１中７は縦型熱処理装置の外部の図示しない搬送機構によりＦＯＵＰ１が載置される搬入出ステージ、８はウエハＷが取り出されて空になったＦＯＵＰ１を保管するための保管領域、９はこれら載置台６、搬入出ステージ７及び保管領域８間においてＦＯＵＰ１の搬送を行う搬送アームである。尚、シール部１０については、図７以外では描画を省略している。
【００１７】
搬入出ステージ７から見て搬入出エリアＳ１の奥側には、既述のローディングエリアＳ２が配置されている。このローディングエリアＳ２には、搬送口５、５に対向するように各々開閉装置２０、２０が設けられており、開閉装置２０、２０の更に奥側には多数枚例えば１００枚程度のウエハＷを棚状に保持する昇降自在及び鉛直軸周りに回転自在に構成されたウエハボート１１が配置されている。これら開閉装置２０とウエハボート１１との間には、搬入出エリアＳ１のＦＯＵＰ１とウエハボート１１との間でウエハＷの受け渡しを行うためのウエハ搬送アーム１２が基板搬送機構として設けられており、このウエハ搬送アーム１２は前後方向に進退自在、鉛直軸周りに回転自在、左右方向に移動自在及び昇降自在に構成されている。ウエハボート１１の上方側には、当該ウエハボート１１が気密に収納されてウエハＷに対して例えば加熱処理の行われる縦型の処理部をなす反応管１３が設けられている。この反応管１３の下方には、当該反応管１３の下端側である炉口を気密に開閉するための蓋体１３ａを水平に保持して進退自在に構成された図示しない蓋体開閉機構が設けられている。図１及び図２における１４は、縦型熱処理装置の外部と当該縦型熱処理装置との間に設けられた筐体であり、この筐体１４の一部をなす壁面部が既述のエリアＳ１、Ｓ２間に形成されている。
【００１８】
ここで、ローディングエリアＳ２側における既述の搬送口５の開口縁のなす面は、斜め上方を向くように形成されている。即ち、ローディングエリアＳ２には、図３及び図４に示すように、前後方向に伸びると共に一端側及び他端側が各々開口する概略角筒型の筒状体５ａが設けられており、この筒状体５ａの前記一端側は、周縁部が搬送口５の開口縁に向かって周方向に亘って水平に伸び出して側壁部４に気密に接続されている。この筒状体５ａの他端側のなす面は、斜め上方を向いている。従って、搬送口５における搬入出エリアＳ１側の開口部及びローディングエリアＳ２側の開口部を夫々第１の開口部及び第２の開口部と呼ぶと、第２の開口部は、鉛直面に対して上向きに傾斜するように形成されている。この例では、水平面と筒状体５ａの他端側のなす面との角度θは、図６に示すように例えば８０°となっている。尚、図６は開閉装置２０を模式的に示している。
【００１９】
ローディングエリアＳ２側における筒状体５ａの他端側には、図４に示すように、当該筒状体５ａの開口縁を囲むように、周方向に亘って樹脂やゴムなどからなるシール部材５６が設けられている。シール部材５６は、この例では弾性力が得られやすいように（シールしやすいように）、図５に示すように、当該シール部材５６の長さ方向に直交する方向で切断した時に、中央部がウエハ搬送アーム１２側に向かって突出するように形成されている。筒状体５ａの下面側には、開閉領域Ｓ３の雰囲気を排気するための排気口５７が形成されており、この排気口５７から縦型熱処理装置の下方側に向かって伸びる排気路５８には、図示しない排気ポンプが接続されている。尚、図４は、シール部材５６を模式的に示しており、図３は、側壁部４から筒状体５ａを離間させて描画している。また、図１０においてはシール部材５６を省略している。
【００２０】
次いで、図３〜図１５を参照して開閉装置２０について詳述する。この開閉装置２０は、上下方向に各々伸びると共に側壁部４に沿うように左右に互いに離間して平行に配置された昇降機構（移動機構）の一部である昇降ロッド２１、２１と、昇降ロッド２１、２１に沿って各々昇降自在に構成された概略板状の昇降基体（移動基体）２２、２２と、を備えている。そして、これら昇降基体２２、２２間には、当該昇降基体２２、２２と共に昇降自在及び昇降基体２２、２２に対して前後方向に進退自在となるように、搬送口５側が開口する概略箱型のカバー部材２３が昇降基体２２、２２により支持されている。尚、図７は、開閉装置２０を図示するために昇降ロッド２１の一部を省略して一点鎖線で示している。
【００２１】
昇降ロッド２１、２１は、上端側が支持部２４を介して側壁部４に支持され、下端側が床面に固定されている。これら昇降ロッド２１、２１の例えば内部には、図示しないエアシリンダ機構が組み合わされて設けられており、当該機構により昇降基体２２、２２が互いに平行に昇降自在に支持されている。尚、図９は開閉装置２０にカバー部材２３を取り付けた状態、図１０はカバー部材２３を取り外した状態を描画している。
【００２２】
各々の昇降基体２２、２２は、側壁部４に向かって伸びるように形成された概略板状体をなしており、ウエハ搬送アーム１２側の一端部に昇降ロッド２１が上下方向に貫挿されると共に、例えば搬送口５側の他端部が側壁部４に形成されたガイド溝２５に嵌合して上下方向にガイドされるように構成されている。これら昇降ロッド２１、２１によって、昇降基体２２、２２は、搬送口５を臨む（搬送口５に対向する）下方位置と、ウエハ搬送アーム１２によるＦＯＵＰ１からのウエハＷの取り出し動作に干渉しないように上方側に退避する退避位置と、の間において、既述のカバー部材２３を左右方向における側面側から挟むように支持して昇降するように構成されている。
【００２３】
昇降基体２２、２２とカバー部材２３との間には、既述のように当該昇降基体２２、２２に対してカバー部材２３を前後方向に進退自在に支持するために、互いに上下方向に離間するように配置されたガイド部２６、２６が各々設けられている。具体的には、各々のガイド部２６は、例えば前後方向に伸びるように昇降基体２２に形成された貫通口２６ａと、一端側がカバー部材２３における当該昇降基体２２に対向する側壁面に固定されると共に、他端側が前記貫通口２６ａ内に貫挿されて当該貫通口２６ａに沿って移動することによりカバー部材２３を進退させる棒状の進退軸２６ｂと、により構成されている。
【００２４】
この時、各々の貫通口２６ａは、貫通口２６ａに沿ってカバー部材２３が搬送口５側に移動する時に昇降基体２２、２２に対して相対的に上昇するように、奥側から手前側に向かって斜め上側に傾斜するように形成されている。即ち、後述するように、カバー部材２３がウエハ搬送アーム１２側から搬送口５側に移動する時、このカバー部材２３は筒状体５ａの開口端に向かって斜め下側に移動することになる。そのため、昇降基体２２から見ると、前記斜め下側に移動するカバー部材２３は、当該昇降基体２２よりも鉛直方向下方側へ移動する速度が遅くなるので、昇降基体２２に対して相対的に上昇すると言える。従って、昇降基体２２に対する相対的な移動方向に沿うように、既述の貫通口２６ａの向きを設定している。このように貫通口２６ａを斜めに形成することにより、カバー部材２３は、前記退避位置に向かって昇降基体２２が上昇する時に当該カバー部材２３の下端部が他の部位（後述の案内部６１）に支持されていない状態では、貫通口２６ａに沿って重力により下側（ウエハ搬送アーム１２側）に位置する。
【００２５】
そして、ガイド部２６を上下方向に２箇所に設けているので、前後方向にカバー部材２３が移動する時、カバー部材２３はガイド部２６によりガイドされながら、筒状体５ａの開口面に対向する姿勢が保たれる（搬送口５側またはウエハ搬送アーム１２側に倒れない）ように構成されている。貫通口２６ａの伸びる方向と水平面とのなす角度αは、図６に示すように、例えば１０°となっている。
【００２６】
ここで、以上の例では、ガイド部２６の機能を分かりやすく説明するために、ガイド部２６として既述の貫通口２６ａ及び進退軸２６ｂからなる構成を例に挙げたが、実際にはこれら貫通口２６ａ及び進退軸２６ｂに代えて、図１４及び図１５に示すように、昇降基体２２側に設けられたガイドレール１００と、カバー部材２３に設けられ、ガイドレール１００にガイドされて進退する進退部１０１と、を備えた構成となっている。尚、図１４及び図１５ではガイド部２６について一つだけ描画しており、開閉装置２０の一部を示している。
【００２７】
各々の昇降基体２２、２２とカバー部材２３との間には、昇降基体２２、２２に対してカバー部材２３をウエハ搬送アーム１２側に付勢するために、スプリングなどからなる付勢機構３１が各々設けられている。具体的には、カバー部材２３における昇降基体２２、２２に各々対向する面には、ガイド部２６、２６間において当該昇降基体２２、２２側に向かって概略矩形に突出する突出部３２が設けられており、各々の昇降基体２２、２２には、この突出部３２が遊嵌される（隙間領域を介して嵌め込まれる）開口部３３が形成されている。
【００２８】
突出部３２における前後方向の側面のうち搬送口５側の側面と、当該側面に対向する開口部３３の内壁面との間には、図１１及び図１２に示すように、一端側及び他端側がこれら側面及び内壁面に夫々固定された既述の付勢機構３１が設けられている。この付勢機構３１は、既述のようにカバー部材２３が貫通口２６ａに沿って重力により下側（ウエハ搬送アーム１２側）に移動する時に、この移動を補助するためのものである。付勢機構３１の伸縮方向は、既述の貫通口２６ａの長さ方向に沿うように構成されている。この時、開口部３３は、付勢機構３１の伸縮動作に干渉しないように、貫通口２６ａの長さ方向に沿うように形成されており、開口部３３及び突出部３２において当該付勢機構３１を固定する面は、前記伸縮方向に対して直交するように形成されている。尚、図３においては、付勢機構３１を省略している。
【００２９】
既述の付勢機構３１の固定されている昇降基体２２側の面及びカバー部材２３側の面を夫々第１の支持面３４及び第２の支持面３５と呼ぶと、第２の支持面３５には、これら昇降基体２２とカバー部材２３との衝突を防止するために、例えば樹脂などからなる弾性体が第１の支持面３４に対して隙間領域を介して対向するようにストッパー機構３６として設けられている。また、突出部３２における前記第１の支持面３４の反対側の面には、同様に昇降基体２２とカバー部材２３との衝突を防止するためのストッパー機構３６が設けられている。
【００３０】
続いて、カバー部材２３について詳述する。カバー部材２３は、既述のように搬送口５側が開口する概略箱型形状をなしており、下端側が昇降基体２２の下端縁よりも下方側に伸び出している。このカバー部材２３の側面部における既述のガイド部２６、２６の下方側には、側壁部４に平行な水平軸の周りに回転自在に構成された回動体４１が設けられている。即ち、図１３に示すように、前記水平軸に沿って伸びる軸部４１ａの一端側がカバー部材２３に固定されており、この軸部４１ａの他端側に回動体４１が回動自在に支持されている。回動体４１は、カバー部材２３における左右両側に設けられている。尚、図１３以外では軸部４１ａについて省略している。
【００３１】
また、カバー部材２３における搬送口５側における周縁部は、筒状体５ａの開口縁（口縁部）と気密に接触するように、当該周縁部のなす面が斜め下方を向くように形成されている。カバー部材２３における搬送口５側には、搬送口５を介して搬入出エリアＳ１側に伸び出して蓋体３の着脱（開閉）を行うために、概略箱型の蓋体着脱機構５１が設けられている。また、カバー部材２３のウエハ搬送アーム１２側の側面には、前記開閉領域Ｓ３の雰囲気の置換を行う時に当該開閉領域Ｓ３に対して清浄気体例えば窒素ガスを供給するために、ガス供給管５２の一端側が接続されている。図３中５１ａは、蓋体３の外側に設けられた図示しない鍵穴に挿入されて当該蓋体３のロックを解除するために蓋体着脱機構５１に設けられた解除部材であり、当該蓋体着脱機構５１の内部に設けられた図示しない駆動部により駆動（蓋体３の着脱）を行うように構成されている。また、図３中５１ｂは、蓋体着脱機構５１を進退させる駆動機構である。
【００３２】
ローディングエリアＳ２側における側壁部４には、図３に示すように、既述の筒状体５ａを左右方向から挟むように、当該側壁部４から既述の回動体４１、４１の下方位置に向かって垂直に伸びる案内部６１、６１が設けられている。案内部６１、６１の上面は、回動体４１、４１の下方側の領域（カバー部材２３が前後方向に移動する領域）において、当該回動体４１、４１を搬送口５側に案内するために、奥側から手前側に向かって斜め下側に傾斜するように形成されている。この案内路６２と水平面とのなす角度βは、筒状体５ａの開口面に対して直交する角度となるように、具体的に当該開口面に対して９０°±５°となるように、図６に示すように、例えば１０°となっている。案内部６１の上面の傾斜面は、案内路６２をなしている。
【００３３】
この縦型熱処理装置には、装置全体の動作のコントロールを行うためのコンピュータからなる図示しない制御部が設けられており、この制御部のメモリ内には、縦型熱処理装置の外部から搬入されたＦＯＵＰ１からウエハＷを取り出し、反応管１３内においてウエハボート１１に積載されたウエハＷに対して加熱処理を行うためのプログラムが格納されている。このプログラムは、ハードディスク、コンパクトディスク、光磁気ディスク、メモリカード、フレキシブルディスクなどの記憶媒体である記憶部から制御部内にインストールされる。
【００３４】
次に、上述実施の形態の作用について説明する。先ず、縦型熱処理装置の外部の図示しない搬送機構により搬入出ステージ７に搬送されたＦＯＵＰ１を搬送アーム９により載置台６に載置する。この時、搬入出エリアＳ１側の雰囲気がローディングエリアＳ２側に流入しないように、当該ローディングエリアＳ２側には、筒状体５ａの開口部を気密に塞ぐようにカバー部材２３が位置しており、案内部６１上に回動体４１が位置している。そして、図１６に示すように、載置台６を奥側に移動させて、ＦＯＵＰ１の蓋体３側（開口部２における開口縁）をローディングエリアＳ２側に気密に当接させる。こうして蓋体３の位置する領域である既述の開閉領域Ｓ３は、各エリアＳ１、Ｓ２から気密に区画される。
【００３５】
続いて、排気路５８を介して前記開閉領域Ｓ３内の雰囲気を排気すると共に、当該開閉領域Ｓ３に対してガス供給管５２から清浄気体を供給して、この開閉領域Ｓ３の雰囲気を置換する。従って、ＦＯＵＰ１側（搬入出エリアＳ１側）の雰囲気は、この開閉領域Ｓ３から排出される。また、シール部材５６を介して筒状体５ａとカバー部材２３との間が気密に区画されているので、前記清浄気体や搬入出エリアＳ１側の雰囲気は、ローディングエリアＳ２側に流入しない。
【００３６】
次いで、カバー部材２３に設けられた既述の蓋体着脱機構５１が筒状体５ａの内部領域及び搬送口５を介してＦＯＵＰ１側に伸び出して、解除部材５１ａを介して蓋体３を当該ＦＯＵＰ１から取り外した後、蓋体着脱機構５１が蓋体３と共にカバー部材２３側の元の位置に戻る。そして、図１７に示すように、昇降基体２２は、カバー部材２３、蓋体着脱機構５１及び蓋体３と共に、ウエハ搬送アーム１２によるＦＯＵＰ１からのウエハＷの搬出に干渉しない上側の退避位置に退避する。この時、昇降基体２２が上昇すると回動体４１が案内部６１から離れていく。そのため、既述のようにガイド部２６が搬送口５側からウエハ搬送アーム１２側に向かう程下がるように傾斜しており、また付勢機構３１によりカバー部材２３がウエハ搬送アーム１２側に付勢されているので、カバー部材２３は、退避位置において搬送口５側からウエハ搬送アーム１２側に離間した領域（後退位置）に位置する。尚、図１７では蓋体３の記載を省略している。
【００３７】
続いて、ウエハ搬送アーム１２がＦＯＵＰ１側に伸び出して、筒状体５ａ及び搬送口５を介してウエハＷを取り出す動作と、ウエハボート１１にこのウエハＷを積載する動作とを複数回繰り返して、ＦＯＵＰ１から例えば全てのウエハＷをウエハボート１１に移し替える。空になったＦＯＵＰ１は、以下のようにして蓋体３が閉じられる（装着される）。
【００３８】
即ち、既述の退避位置から昇降基体２２がカバー部材２３と共に下位置に向かって下降する。そして、昇降基体２２が下降する途中において、図１８に示すように、回動体４１が案内部６１に接触する。次いで、昇降基体２２が更に下降しようとすると、回動体４１は案内部６１により鉛直方向下方側への移動が規制されているので、案内部６１の案内路６２に沿って転がりながら下って、カバー部材２３を筒状体５ａの開口面に向かって垂直に移動させる。この時、カバー部材２３は、鉛直面に対する姿勢がガイド部２６により規制されているので、図１９に示すように、筒状体５ａの開口面に対する当該カバー部材２３における搬送口５側の面が平行姿勢を保ったまま前進する。その後、カバー部材２３は、既述の図１６のように、シール部材５６を介して当該筒状体５ａの開口面に気密に接触する。続いて、蓋体３を保持した蓋体着脱機構５１が筒状体５ａ及び搬送口５を介してＦＯＵＰ１側に伸び出して、ＦＯＵＰ１に対して当該蓋体３の装着を行う。尚、図１６〜図１９では昇降ロッド２１の一部を省略している。
【００３９】
このようにカバー部材２３が筒状体５ａに向かって移動する様子を模式的に表すと、図２０のように、回動体４１が案内路６２を下方側（搬送口５側）に向かって移動しながら、ガイド部２６における進退軸２６ｂが貫通口２６ａ内を斜め上側に向かって上昇していることが分かる。尚、図２０において、カバー部材２３が筒状体５ａに気密に接触するまでのこれらカバー部材２３、ガイド部２６及び回動体４１が位置するある領域における稜線を一点鎖線で描画している。
【００４０】
こうして蓋体３の装着された空のＦＯＵＰ１を保管領域８に搬送した後、未処理のウエハＷが収納された別のＦＯＵＰ１に対して、同様に蓋体３の取り外し、ウエハＷの搬出及び蓋体３の取り付けを行う。そして、複数のＦＯＵＰ１からウエハＷを順次取り出した後、例えば１５０枚程度のウエハＷの積載されたウエハボート１１を反応管１３内に気密に挿入し、各々のウエハＷに対して例えば成膜処理などの加熱処理を行う。その後、ＦＯＵＰ１から搬出された順番と逆の順序で、元のＦＯＵＰ１に各々のウエハＷを搬入する。
【００４１】
上述の実施の形態によれば、側壁部４に形成された搬送口５を介してＦＯＵＰ１の蓋体３の着脱を行うにあたり、ローディングエリアＳ２側における搬送口５の開口端が斜め上方を向くように、当該側壁部４に筒状体５ａを気密に接続している。そして、昇降基体２２と共にカバー部材２３を昇降自在に構成し、カバー部材２３に回動体４１を設けると共に、昇降基体２２が下降する時にカバー部材２３が筒状体５ａの開口面に対して垂直に移動するように、回動体４１の案内される案内部６１を設けている。この時、カバー部材２３が筒状体５ａに向かって移動する時に、当該ドア部材の姿勢を規制するために、カバー部材２３と昇降基体２２との間にガイド部２６を各々設けている。従って、カバー部材２３は、昇降基体２２の昇降動作だけで、昇降すると共にシール部材５６に対して垂直に移動する。そのため、シール部材５６に対するカバー部材２３の摺動が抑えられるので、シール部材５６の摩耗（劣化）を抑制できる。この時、実験用ユニットを用いて開閉装置２０を構成し、シール部材５６の耐摩耗性の加速試験を行ったところ、１０年分の開閉装置２０の稼働を行っても、シール部材５６の摩耗は確認されなかった。
【００４２】
また、昇降基体２２の昇降動作によりシール部材５６に対して気密に接触しているので、カバー部材２３を前後方向に移動させる機構（駆動軸）が不要になり、従って当該駆動軸を設けた場合に比べて駆動系を簡素化できるので、装置のコストを低減できる。更に、ストッパー機構３６、３６を設けているので、カバー部材２３と昇降基体２２との衝突を抑えることができる。
【００４３】
既述のガイド部２６における水平面に対する角度αは、０°＜α＜９０°であれば良く、即ち案内部６１によって案内されるカバー部材２３の移動を阻害しない角度であれば良いが、急峻すぎると（９０°に近いと）カバー部材２３がシール部材５６に到達するまでに要する昇降基体２２の移動ストロークが長くなってしまうことから、寝ている（０°に近い）方が好ましい。以上においてシール部材５６に対してカバー部材２３が垂直に移動するにあたり、「垂直」とは、シール部材５６の摩耗が抑えられる程度であれば良く、具体的には９０°±５°となる。また、回動体４１及び案内部６１からなる構成をカバー部材２３の左右方向両側に設けたが、片側だけに設けても良いし、例えば筒状体５ａの下方位置に設けても良い。更に、昇降ロッド２１及び昇降基体２２をカバー部材２３の左右両側に設けたが、これら昇降ロッド２１及び昇降基体２２をカバー部材２３の片側だけに設けて、片持ちでカバー部材２３を昇降させる機構を採っても良い。
【００４４】
以下に、開閉装置２０の他の実施の形態について述べる。図２１は、回動体４１及び案内部６１について、カバー部材２３の下方側に設けることに代えて、当該カバー部材２３の上方側に各々配置した例を示している。具体的には、カバー部材２３の上面側には、上下方向に伸びる支持軸７１の下端側が接続されている。この支持軸７１の上端側は、例えばカバー部材２３の昇降する昇降領域を避けるように、ウエハ搬送アーム１２側から搬送口５側を見た時に上方側に向かうにつれて外側に広がるように屈曲すると共に、回動体４１（詳しくは既述の軸部４１ａ）に接続されている。そして、この回動体４１の下面を案内するように、前記昇降領域を避けた位置においてカバー部材２３の上方側に案内部６１が設けられている。
【００４５】
また、図２２は、退避位置を筒状体５ａよりも下方側に設定した例を示している。即ち、この例における開閉装置２０は、既述の図３における開閉装置２０を上下反転した状態となっている。具体的には、筒状体５ａは、斜め下側を向くように形成されている。また、案内部６１は、既述の案内路６２が下側を向くと共にカバー部材２３の上方側に位置するように配置されている。この案内路６２は、手前側から奥側に向かって斜め下側に傾斜するように形成されている。ガイド部２６は、同様に手前側から奥側に向かって斜め上方を向くように形成されている。
【００４６】
この例では、カバー部材２３は、退避位置では付勢機構３１の付勢力により、ウエハ搬送アーム１２側（貫通口２６ａにおける奥側）に位置している。そして、昇降基体２２が上昇して回動体４１が案内路６２に接触すると、付勢機構３１の付勢力に抗して、回動体４１が案内路６２に沿って筒状体５ａ側に移動しながら上昇し、また昇降基体２２に対してカバー部材２３が相対的に下降して、シール部材５６に対してカバー部材２３が垂直に向かうことになる。
【００４７】
また、図２３は、回動体４１の回動面及び案内路６２を水平面に対して傾斜させた例を示している。即ち、回動体４１は、回転軸方向において、外側（昇降ロッド２１側）から内側（カバー部材２３側）に向かうにつれて縮径するように形成されている。案内路６２は、この回動体４１の回動面に沿うように、前記外側から前記内側に向かう程高くなるように形成されている。
更に、図２４は、回動体４１の回動軸を水平方向に対して傾斜させた例を示している。具体的には、回動体４１は、前記外側から前記内側に向かうにつれて高くなると共に筒状体５ａの開口面に対して平行で横向き（昇降ロッド２１の伸びる軸と交差する方向）の軸の周りに回動するように構成されている。案内路６２については、この回動体４１の回動面に沿うように、既述の図２３と同様に外側から内側に向かって高くなっている。ここで、このような回動体４１及び案内部６１をカバー部材２３の左右両側に配置しているので、当該カバー部材２３は、案内路６２から外れた領域に回動体４１が脱落したりせずに、既述のように進退することになる。
【００４８】
更にまた、図２５は、案内部６１について、傾斜面である案内路６２として、案内部６１に代えて回動体４１がガイドされるガイド溝７２を形成した例を示している。この例において、ガイド溝７２の上端位置には、回動体４１が当該ガイド溝７２に対して出入りするための切り欠き部７３が形成されている。
更にまた、図２６は、既述の筒状体５ａの開口面が斜め上方向且つ搬入出ステージ７から見て右側に寄った方向を向くように形成した例を示している。この例においても、カバー部材２３が筒状体５ａの開口面に向かって垂直に移動するように、回動体４１は、図２７に示すように、筒状体５ａの開口面に沿う方向に伸びる水平軸の周りを回動するように構成される。また、案内部６１は、この回動体４１を案内するように、筒状体５ａの開口面に対して直交するように案内路６２が形成される。
【００４９】
以上の例では、昇降基体２２について、上下方向に移動するように構成したが、側壁部４に沿って左右方向に移動するように構成しても良い。この場合には、筒状体５ａの開口面は、側壁部４から垂直に伸びる方向に対して昇降基体２２の移動方向における一方側を向くように形成され、この筒状体５ａの開口面に対して垂直にカバー部材２３が移動するように、既述のガイド部２６、回動体４１及び案内部６１が配置される。具体的には、ガイド部２６は、奥側から手前側に向かうにつれて、昇降基体２２の移動方向における他方側から前記一方側に傾斜するように形成される。回動体４１は、筒状体５ａの開口面に平行で昇降基体２２の移動方向と交差する軸の周りに回動するように構成される。また、案内部６１は、奥側から手前側に向かうにつれて、前記一方側から前記他方側に傾斜するように形成される。
また、本発明の開閉装置２０は、縦型熱処理装置以外にも、ウエハＷに対してレジスト膜の形成を行う塗布・現像装置や、ウエハＷ上に形成された電極パッドに対してプローブ針を接触させて当該電極パッドの検査を行うプローブ装置などの半導体製造装置に適用しても良い。このような場合においても、開閉装置２０は、ウエハＷに対して各処理（レジスト膜の形成や検査）が行われる処理部と、ＦＯＵＰ１の載置される載置台６との間に設けられる。
【００５０】
更に、以上の例ではＦＯＵＰ１の蓋体３の着脱を行う場合において、シール部材５６に対して垂直にカバー部材２３を移動させる例について説明したが、本発明は、ＦＯＵＰ１の蓋体３の着脱する場合以外に適用しても良い。具体的には、例えば反応管１３の下端側における開口端（炉口）を蓋体により気密に密閉する場合に適用しても良い。この場合には、前記開口端の周囲にシール部材が設けられ、既述の開閉装置２０は、前記開口端を気密に密閉する既述の蓋体１３ａを水平に保持して、水平方向に移動するように構成される。また、本発明は、例えば粉末などの被処理物に対して複数の処理（秤量、混練、焼結、粉砕など）を順番に行って固形物などの処理物を得る処理工場において、前記処理を行う工程室間を仕切るためのドア（蓋体）の開閉を行う例に適用しても良い。
【符号の説明】
【００５１】
１  ＦＯＵＰ
３  蓋体
５  搬送口
２０  開閉装置
２１  昇降ロッド
２２  昇降基体
２３  カバー部材
２６  ガイド部
４１  回動体
５１  蓋体着脱機構
５６  シール部材
６１  案内部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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