(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、
前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、
さらに、前記基板保持部材は、
前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、
前記基板保持部と前記振動制御部が、別途成形され、
前記基板保持部と前記振動制御部とのそれぞれに嵌合部が形成され、
前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする基板保持部材。
【請求項２】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、
前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、
さらに、前記基板保持部材は、
前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、
前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形され、
前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定されることを特徴とする基板保持部材。
【請求項３】
四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、
前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、
前記基板保持部材は、
前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、
さらに、前記基板保持部材は、
前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、
前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、
前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、
前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、
前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合
することにより固定されることを特徴とする基板保持部材。
【請求項４】
請求項１もしくは請求項３のいずれかに記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、
位置固定部を有することを特徴とする基板保持部材。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする
基板保持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において前記基板をその下側から保持する、前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、基板の揺動を制御し、傷や汚れを防ぐ為に、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル等のフラットパネル部材といった表面に機能層を備えた板状物からなる基板は、その表面の機能層を損傷したり、汚したりすることなく搬送または保管することが重要である。
従来、こういった基板を搬送、保管する際は、基板表面を傷や破損から守るため、表面同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる、箱形の収納容器を用いていた。
このような中、近年、特に、液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送、保管に対して、更に一層の、搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により基板が跳
ねやすく、割れや傷が発生しやすい為、基板の薄型化が非常に困難であった。
【０００３】
基板の割れや傷を防ぎ、基板の汚染を防止し、さらに高密度で搬送、保管を行うために、多くの検討が行われてきている。
【０００４】
たとえば、特開２００６−１６８７４９号公報（特許分献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）、特開２００５−１７８８３９号公報（特許文献３）に、積載した基板を保持するための保持具が開示されている。前記特開２００６−１６８７４９号公報（特許分献１）では、保持具の取り付け方法に関して、ねじ等の固定用治具を使用しており取り付け作業が煩雑になる。特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）では、保持具の取り付け方法に関して、枠部の突起に挟持させているが固定されていない為不安定である。特開２００５−１７８８３９号公報（特許文献３）では、固定方法が明示されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１６８７４９号公報
【特許文献２】特開２０１０−１２０６９０号公報
【特許文献３】特開２００５−１７８８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、剛性のある四角状の板状物の面方向を水平方向として、該板状物を撓ませた状態で保持し、且つ、該板状物を保持した状態で複数重ねて搬送あるいは保管に用いられる、搬送用または保管用のトレイに関し、特に、自重により撓む、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料（例えば、ガラスやプラスチックなど）ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に適したトレイに関するものであり、その表面を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイに用いる基板保持部材であって、ねじ等の固定用治具を使用することなく、容易にかつ安定に前記基板保持部材を前記保管用トレイに固定することが可能な基板保持部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の基板保持部材は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。
【０００８】
本発明の第１の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、別途成形され、前記基板保持部と前記振動制御部とのそれぞれに嵌合部が形成され、前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の第２の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形され、前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の第３の態様は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合することにより固定されることを特徴とする。
【００１１】
本発明の第４の態様は、前記第１の態様もしくは第３の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、基板保持部材が、位置固定部を有することを特徴とする。
【００１２】
本発明の前記第１乃至第４の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材は、熱可塑性樹脂からなることを特徴とする、
【発明の効果】
【００１３】
本発明の第１の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、別途成形され、前記基板保持部と前記振動制御部とのそれぞれに嵌合部が形成され、前記基板支持部の上側から前記基板保持部が、下側から前記振動制御部が、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記嵌合部が嵌合することにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。
【００１４】
本発明の第２の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が一体成形され、前記基板保持部材を、前記基板支持部に設けられた穴もしくは切り欠き部へ、嵌め込むことにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。
【００１５】
本発明の第３の態様によれば、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域で前記基板をその下側から保持するために、前記枠部に支持された基板支持部を備える基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定される基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記基板支持部上面より上側に突出して固定される前記基板を保持する基板保持部と、前記基板支持部下面より下側に突出して固定される振動制御部とからなる、基板保持部材であり、前記基板保持部材は、前記振動制御部が、前記トレイを複数重ねて前記基板を保持する状態で１段下に保持された基板に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板と接触する面を有する基板保持部材であり、さらに、前記基板保持部材は、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が、可撓性を有するヒンジ部を介して一体成形され、前記基板保持部と前記振動制御部それぞれに嵌合部を有し、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ、前記基板保持部と前記振動制御部が、ヒンジ部を折り曲げるとともに、前記嵌合部が嵌合することにより固定することが出来ることにより、前記トレイへの前記基板支持部材の設置を、固定治具を用いることなく行なうことが可能となり、前記基板支持部材の設置の簡略化を図ることが可能となる。
【００１６】
本発明の第４の態様によれば、前記第１の態様もしくは第３の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材であって、前記基板保持部と前記振動制御部が嵌合部を有するとともに、前記基板保持部材が、位置固定部を有することにより、前記基板支持部へ設けられた穴もしくは切り欠き部へ固定後の前記基板保持部材の移動を抑制することが可能となる。また、前記位置固定部は、嵌合部が機能を兼ね備えてもよい。
【００１７】
本発明の前記第１乃至第４の態様いずれかひとつに記載の基板保持部材は、基板を保持する目的に使用するものであり、樹脂からなる材料で前記基板保持部材が形成されていることにより、前記基板の搬送もしくは保管時に前記基板への傷付きを防止するという効果がある。さらに、熱可塑性樹脂からなることにより、射出成形等の方法により、安価に大量生に製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１（ａ）、図１（ｂ）は、本発明の基板保持部材の実施の形態の１例の概略図で、図１（ｃ）は、図１（ａ）および図１（ｂ）の本発明の基板保持部材を有する基板用トレイを上方から見た平面図の概略図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイが積層されている１例の概略図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）ＡＡ’断面の１例の概略図で、図２（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ａ）ＡＡ’断面の１例の概略図で、図３（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの、図１（ｂ）Ｄ−Ｄ’断面の１例の概略図である。
【図５】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図６】図６、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの基板支持部の一部を、上方より見た概略図で、図６（ａ）は、穴部を有する場合、図６（ｂ）は、切欠き部と基板保持部材固定用突起を有する場合、図６（ｃ）は、切欠き部と基板保持部材固定穴を有する場合の概略図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイの１例の概略図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに、基板が保持されている概略図である。
【図９】図９（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに、基板が保持されている概略図である。
【図１０】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図１１】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図１２】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図１３】本発明の基板保持部材を有する基板用トレイにおいて、基板支持部へ基板保持部材を取り付ける方法の１例の概略図である。
【図１４】本発明の基板保持部材の１例の概略図である。
【図１５】本発明の基板保持部材の１例の概略図である。
【図１６】本発明の基板保持部材の１例の概略図である。
【図１７】本発明の基板保持部材の１例の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板１１１の面方向を水平方向として、前記基板１１１を、トレイ枠部１２の枠内側領域で、前記基板１１１をその下側から保持する基板用トレイ１１において、前記基板用トレイ１１は、前記枠部１２に支持された基板支持部１３を備え、前記基板支持部１３に固定され、前記基板１１１を保持する基板保持部材１４であって、前記枠部１２に支持された基板支持部１３を備え、前記基板支持部１３に固定され、前記基板１１１を保持する基板保持部材１４に関する発明であり、固定治具を使用する等の、煩雑な作業を行うことなく、前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ容易に固定することを可能にするものである。
【００２０】
前記基板用トレイ１１は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板１１１の面方向を水平方向として、トレイ枠部１２の枠内側領域で、前記基板１１１を保持するトレイであって、前記枠部１２に支持された基板支持部１３を備え、前記基板保持部材１４は、前記基板支持部１３に固定され、その上面に、前記基板１１１を下側から保持する。前記基板用トレイ１１は、図１（ａ）〜（ｃ）に図示されるように、前記基板保持部材１４上に基板１１１を保持するものである。
また、前記基板用トレイ１１は、前記基板１１１の保管、搬送等を行う為、図２（ａ）、（ｂ）に図示されるように、搬送用架台１０３上に多段に重ねて使用される。
【００２１】
前記基板用トレイ１１１の使用形態の１例の概略を図１に示す。図１（ａ）は枠部１２の４辺に支持された基板支持部１３に固定された基板保持部材１４が、直線状に基板１１１の端部を保持する基板用トレイの実施の形態の１例の概略図である。図１（ｂ）は枠部１２の４辺のうち一方の対向する２辺に支持された基板支持部１３に固定された基板保持部材１４が直線状に基板１１１の両端を保持し、枠部１２の４辺のうち他方の対向する２辺に支持された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を保持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ１１は、基板を安定に保持する為に、４辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の４辺を保持する基板用トレイ１１であってもよい。また、基板支持部１３のみを鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部１３を支持する枠部１２は、直線であってもよく、前記基板支持部１３の撓みにあわせて撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１は、上下に位置するトレイ間の相対的な位置関係を一定に保つため、例えば特開２００６−１６８７４９号公報（特許文献１）に開示されているような、複数枚重ねた時に、上下に位置するトレイの相対的な位置関係が一定になるような嵌合部を有している。嵌合部の形状は、上下に位置するトレイの相対的な位置関係を一定に保つことが出来る形状であれば、どのような形状を有していてもよい。さらに、機械搬送に用いるための取手部等の部位を有していてもよい。
また、図１の基板用トレイ１１の枠部１２は、搬送または保管時に多数積層して使用されるため、強度が必要とされ、一般に金属材料が使用される。ガラスファイバー、カーボンファイバーと樹脂により成形した材料を用いてもよいが、積層時、輸送時等に傷が発生しやすく異物問題の要因となる為、金属性であることが好ましい。特に、多層積層時の軽量化を図る為、強度、軽量性を兼ね備えたジュラルミン等のアルミ合金を使用するのが好ましい。また、前記枠部１２が支持する基板支持部１３は、溶接等により前記枠部１２と接合させてもよいが、強度、作製のしやすさ等を鑑みて、押し出し成形等により、前記枠部１２と同時に作製するのが好ましい。
【００２２】
図３、図４は、図１のＡ−Ａ’断面およびＤ-Ｄ’断面の概略図である。尚、図１のＢ−Ｂ’断面およびＣ−Ｃ’断面は、Ａ−Ａ’と同様である。本発明の基板保持部材１４は、図３、図４に図示されるように、基板支持部１３の上面より上側に突出して固定され、基板１１１を上側に保持する基板保持部１４ｂと、前記基板支持部１３の下面より下側に突出して、前記基板用トレイ１２を複数重ねた状態で１段下に保持された基板１１１に上下方向の基板振動が発生した時のみ前記基板１１１と接触する面を有する振動制御部１４ａからなるとともに、さらに、前記基板１１１の水平方向の移動を規制する突起部１５を有する。
【００２３】
また、前記基板保持部材１４の前記基板保持部１４ｂおよび前記振動制御部１４ａは、図３、図４に示される通り、基板保持部１４ｂは、基板を保持する為、基板との接触面は平滑に形成され、前記振動制御部１４ａは、前記振動制御部１４ａが固定された枠部１２の辺部側から基板用トレイ１１内側へ向かって、肉厚部２１、厚さ変化部２２、肉薄部２３より形成される。前記突起部１５は、図３に示すように前記振動制御部１４ａの枠部１２側の端部に形成され、下方向へ突出していても良いし、図４に示すように前記基板保持部１４ｂの枠部１２側の端部に形成され、上方向へ突出していても良い。
さらに、図１に示すように、前記基板保持部材１４は、基板用トレイ１１の枠部１２の各辺に対し、複数個固定されていても良い。
【００２４】
図８、図９は、前記基板用トレイ１１に基板１１１を保持し、複数重ねた状態の概略図である。肉厚部２１は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で１段下に保持された基板１１１に上下方向の基板振動が発生した時のみ該基板１１１の端部もしくは端部近傍表面と接触し、発生した振動を抑制する。一般的に、前記基板１１１は、端部近傍領域は、非有効エリアとなっており、前記非有効エリアの幅はおよそ１０ｍｍ程度であり、前記端部近傍領域が前記振動制御部１４ａと接触しても、問題は発生しない。肉薄部２３は、前記肉厚部２１より肉薄に形成され、前記基板１１１と接触することは無い。突発的に激しい振動が発生した時に、前記基板が金属製の基板支持部１３と接触し、前記基板１１１が傷付くことを防止している。厚さ変化部２２は、前記肉厚部２１と前記肉薄部２３を、外側に凸形状を持つ角部を形成することなくつなぐ為の連結部としての機能を持つ。また、前記振動制御部１４ａの枠部１２側の端部に形成され、下方向へ突出した前記突起部１５、もしくは、前記基板保持部１４ｂの枠部１２の辺部側の端部に形成され、上方向へ突出した前記突起部１５は、基板用トレイ１１を複数重ねた状態で、上下の基板支持部１３との間隙が保持される基板の厚み以下になるように設計され、上下の基板支持部１３の間に保持された基板に基板振動が発生した時、特に水平方向の基板振動が発生した時に、前記基板の水平方向（前記基板１１１の面方向）の移動を制限するものである。
【００２５】
図７は、前記基板保持部材１４が前記基板支持部１３に固定された状態を示す概略図である。平面状の基板支持部１３（図７（ａ））及び湾曲した基板支持部１３（図７（ｂ））へ、基板保持部材が、基板支持部１３に沿って固定されている。
【００２６】
また、前記基板支持部１３には、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３が設けられている。図６に、前記穴もしくは切り欠き部の１例を図示する。図６（ａ）は、前記基板支持部１３に、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１が設けられている概略図である。前記穴６１の形状は、前記基板保持部材１４が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。図６（ｂ）は、前記基板保持部材１４を固定する為の切り欠き部６２が設けられている概略図である。前記切欠き部６２の端部に基板保持部材固定用突起６４が設けられている。前記切り欠き部６２の形状は、前記基板保持部材１４が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。また、前記基板保持部材固定用突起６４の形状、位置は、図示された形状、位置に限定するものではなく、図６（ｂ）中に破線で示した前記基板保持部材固定用突起６５のように、角部を持たない突起でもよく、前記切欠き部６２の端部以外に形成されていてもよい。図６（ｃ）は、前記基板保持部材固定用突起６４が形成されていない、前記基板保持部材１４を固定する為の切り欠き部６３が設けられている概略図である。前記切欠き部に加えて、基板保持部材固定穴６６が設けられている。前記切り欠き部６３の形状及び基板保持部材固定穴６６の形状は、前記基板保持部材１４が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。
【００２７】
図１では、基板保持部材１４は、基板用トレイ１１の枠部１２の各辺に４個ずつ固定した基板用トレイ１１が１例として記載しているが、基板保持部材１４の数は１個でもよく、さらに多数固定されていても良い。本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ１１が支持する基板１１１の大きさに合わせて、基板保持部材１４のサイズ、製造の容易さ、交換の容易さ等を考慮して設計される。基板保持部材の図２（ａ）のＡ−Ａ’方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、３ｃｍ−１０ｃｍ程度が好ましく、基板保持部材の図２（ａ）のＡ−Ａ’方向に垂直平面方向の長さは、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、１５ｃｍ−３０ｃｍ程度が好ましい。また、前記基板保持部材１４は、複数固定した場合、該基板保持部材同士のこすれ等による異物発生を防止する、該基板保持部材間で振動時に基材が金属製の基板支持部に接しない等を考慮して、隣り合った基板保持部材間の間隔は０．２ｃｍ−１０ｃｍ程度が好ましい。例えば、液晶用のＧ６サイズの基板（１，５００ｍｍ×１，８００ｍｍ）用の基板用トレイの場合、長辺側は８個程度、短辺側は７個程度で設計するのが好ましい。さらに、図１では、基板保持部材１４は、基板用トレイ１１の枠部１２の各辺に支持された基板支持部１３に固定してあるが、前記枠部１２の少なくとも一対の対向する２辺に固定されていればよい。また、前記基板保持部材１４は、前記基板用トレイ１１の基板支持部１３に固定されるが、図７に概略を示すように、直線部、湾曲部ともに前記基板支持部１３の形状に沿って固定される。
【００２８】
図５（ａ）は、本発明の第１の態様に記載の基板保持部材１４の概略図である。前記基板保持部材１４の、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａは、別途成形される。また、前記振動制御部１４ａは、前記肉厚部２１、前記厚さ変化部２２、前記肉薄部２３及び前記突起部１５からなる。さらに、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａは、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａを嵌合させるため、図５に図示したように、それぞれに嵌合部１６１ａ、１６１ｂが形成されている。図５に図示した前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂの形状は、１例であり、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａを、前記基板支持部１３へ、安定に固定することが可能であればよく、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂの形状は適宜設計できる。また、図５（ａ）に例示したように、振動保持部１４ａおよび基板保持部１４ｂからなる前記基板保持部材１４は、位置決め部１６２を有していてもよい。前記位置決め部１６２は、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂにより前記基板支持部１３へ固定された基板保持部材１４の移動を防止するため、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３の端部に、例えば、長方形に形成された場合、４辺に対して、もしくは４つの角に対して接触するように形成される。長方形に形成された場合、４辺に対して、もしくは４つの角に対して、部分的に接触するように形成される。前記位置決め部１６２により、前記基板保持部材１４の移動を抑制できれば、位置、形状は限定されない。前記位置決め部１６２は、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂが機能を兼ねていてもよい。
【００２９】
前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ固定する概略を、図５（ａ）、図１０に
示す。図１０では、嵌合部１６１ａ、１６１ｂが、位置決め部１６２を兼ねている嵌合部兼位置決め部１５１を形成された基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ固定する概略を図示している。図示されるように、固定部品を用いることなく、前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ、容易かつ安定に固定することが可能となる。
【００３０】
図１１、図１２、図１４、図１５及び図１６は、本発明の第２の態様に記載の基板保持部材１４の概略図である。前記基板保持部材１４の、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａは、一体成形される。また、前記振動制御部１４ａは、前記肉厚部２１、前記厚さ変化部２２、前記肉薄部２３及び前記突起部１５からなる。
【００３１】
図１１、図１４及び図１５は、一体成型された前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の上側から嵌め込んで固定する、前記基板保持部材１４の概略である。図１１及び図１４の前記基板保持部材１４は、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａの間に嵌め込み部１４１を有しており、前記嵌め込み部１４１の外形は、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３と同様の形状、もしくは、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３に沿った位置決め部１６２を有する形状をしている。前記基板保持部１４ｂは、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３より大きく、前記穴６１もしくは切り欠き部６２，６３から下方向に脱落しない形状で作成される。前記振動制御部１４ａは、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３に嵌め込み可能で、且つ、嵌め込み後に、前記穴６１もしくは切り欠き部６２，６３から外れない形状で作成される。前記振動制御部１４ａは、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３より小さく形成し、固定用の爪１４２を形成しても良い（図１５）。図１１では、一体成型された前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の上側から嵌め込んで固定する概略を図示している。図示されるように、前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ嵌め込むことにより、固定部品を用いることなく、容易にかつ安定に、固定することが可能となる。
【００３２】
図１２、及び図１６は、一体成型された前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の切欠き部６２，６３へ横側から嵌め込んで固定する、前記基板保持部材１４の概略である。図６（ｂ）、図１２（ａ）に図示されるように、前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の切欠き部６２の横側から嵌め込んで固定する場合、前記基板保持部材１４を固定するための基板保持部材固定用突起６４が、前記切欠き部６２の端部に設けられている。前記基板保持部材固定用突起６４の形状、位置は、図示された形状、位置に限定するものではなく、図６（ｂ）中に破線で示した前記基板保持部材固定用突起６５のように、角部を持たない突起でもよく、前記切欠き部６２の端部以外に形成されていてもよい。前記基板保持部材固定用突起６４により、前記基板支持部１３の横側から嵌め込まれた前記基板保持部材１４の脱落が防止できる。
【００３３】
また、図６（ｃ）、図１２（ｂ）に図示されるように、前記基板保持部材固定用突起６４を形成せずに、前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の切欠き部６３へ横側から嵌め込んで固定する場合、図６（ｃ）に図示されるように、前記基板保持部材１４を固定するため、前記切欠き部６３に加えて、基板保持部材固定穴６６が設けられている。この場合、前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ、前記基板支持部１３の切欠き部６３へ横側から嵌め込んで固定するため、前記基板保持部材固定穴６６の位置に合わせて、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａ両方、もしくは一方に突起を形成する。前記基板保持部材固定穴６６と前記突起により、前記基板支持部１３の横側から嵌め込まれた前記基板保持部材１４の脱落が防止できる。
【００３４】
前記切欠き部６２，６３、およびの前記基板保持部材固定穴６６形状は、前記基板保持部材１４が安定に固定できれば良く、図示された形状に限定されるものではない。
【００３５】
上述のように、前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３へ嵌め込んで固定することにより、図１２に図示されるように、固定部品を用いることなく、容易にかつ安定に設置することが可能となる。
【００３６】
図５（ｂ）、図１３、及び図１７は、本発明の第３の態様に記載の基板保持部材１４の概略図である。前記基板保持部材１４の、前記基板保持部１４ｂと、前記振動制御部１４ａが、可撓性を有するヒンジ部１７１を介して一体成形される。また、前記振動制御部１４ａは、前記肉厚部２１、前記厚さ変化部２２、前記肉薄部２３及び前記突起部１５からなる。さらに、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａは、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａを嵌合させるため、図５に図示したように、それぞれに嵌合部１６１ａ、１６１ｂが形成されている。図５に図示した前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂの形状は、１例であり、前記基板保持部１４ｂと前記振動制御部１４ａを、前記基板支持部１３へ、安定に固定することが可能であればよく、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂの形状は適宜設計できる。また、図５（ｂ）に例示したように、振動保持部１４ａおよび基板保持部１４ｂからなる前記基板保持部材１４は、位置決め部１６２を有していてもよい。前記位置決め部１６２は、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂにより前記基板支持部１３へ固定された基板保持部材１４の移動を防止するため、前記基板保持部材１４を固定する為の穴６１もしくは切り欠き部６２，６３の端部に、例えば、長方形に形成された場合、４辺に対して、もしくは４つの角に対して接触するように形成される。長方形に形成された場合、４辺に対して、もしくは４つの角に対して、部分的に接触するように形成される。前記位置決め部１６２により、前記基板保持部材１４の移動を抑制できれば、位置、形状は限定されない。前記位置決め部１６２は、前記嵌合部１６１ａ、１６１ｂが機能を兼ねていてもよい。
【００３７】
前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ固定する概略を、図５（ｂ）、図１３に
示す。図１３では、嵌合部１６１ａ、１６１ｂが、位置決め部１６２を兼ねている嵌合部兼位置決め部１５１を形成された基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ固定する概略を図示している。図示されるように、前記基板保持部材１４を、ヒンジ部１７１を折り曲げるとともに、嵌合部１６１ａ、１６１ｂを嵌合させて、前記基板支持部１３へ固定することにより、固定部品を用いることなく、前記基板保持部材１４を前記基板支持部１３へ、容易かつ安定に固定することが可能となる。
【００３８】
また、基板保持部材１４は、成形のしやすさ、振動の緩衝材としての機能、異物発生の少なさ、基板１１１への汚染等を考慮して、熱可塑性樹脂が用いられる。さらに、熱可塑性樹脂の中でも、特にポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロン６６やナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリイミドが望ましい。なお、同様の機能を有すれば、基板保持部材１４の材質はこれらに限定はされない。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、その上側に載せて水平に支持するトレイで使用する基板保持部材であり、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料(例えば、ガラスやプラスチックなど)ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物からなる基板や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に利用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１１  基板用トレイ
１２  枠部
１３  基板支持部
１４  基板保持部材
１４ａ  振動制御部
１４ｂ  基板保持部
１５  突起部
２１  肉厚部
２２  厚さ変化部
２３  肉薄部
６１  穴部
６２  切欠き部
６３  切欠き部
６４  基板保持部材固定用突起
６５  基板保持部材固定用突起
６６  基板保持部材固定穴
１０３  搬送用架台
１１１  基板
１４１  嵌め込み部
１４２  固定用の爪
１６１ａ  嵌合部
１６１ｂ  嵌合部
１６２  位置決め部
１７１  ヒンジ部
【図１】
0005810811.tif 000002
【図２】
0005810811.tif 000003
【図３】
0005810811.tif 000004
【図４】
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【図５】
0005810811.tif 000006
【図６】
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【図７】
0005810811.tif 000008
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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