(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、前記第１薬液弁、前記第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、前記第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットにおいて、
前記第１薬液弁と前記第２薬液弁が、前記流路ブロックに、対向して固設されていること、
前記流路ブロックの、前記出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、前記第１薬液用入力ポートと前記第２薬液用入力ポートが設けられていること、
前記第１薬液用入力ポートの中心線が、前記第１薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、
前記第２薬液用入力ポートの中心線が、前記第２薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、
前記第１薬液弁と前記第２薬液弁とを連通する流路に対し、前記第１薬液弁から流入する流体と、前記第２薬液弁から流入する流体とが、相互に逆方向に流入すること、
を特徴とする薬液供給ユニット。
【請求項２】
第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、前記第１薬液弁、前記第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、前記第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットにおいて、
前記第１薬液弁と前記第２薬液弁が、前記流路ブロックに、対向して固設されていること、
前記流路ブロックの、前記出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、前記第１薬液用入力ポートと前記第２薬液用入力ポートが設けられていること、
前記第１薬液用入力ポートの中心線が、前記第１薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、
前記第２薬液用入力ポートの中心線が、前記第２薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、
前記流路ブロック内に、２つの固定板が挿入されていること、
前記固定板に、前記第１薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第１雌ネジ部と、前記第２薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第２雌ネジ部が形成されていること、
を特徴とする薬液供給ユニット。
【請求項３】
請求項２に記載する薬液供給ユニットにおいて、
前記固定板の一方が、前記第１薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第１挿入孔に挿入されていること、
前記固定板の他方が、前記第２薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第２挿入孔に挿入されていること、
を特徴とする薬液供給ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、前記第１薬液弁、前記第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、前記第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程においては、例えば、２種類のレジスト液（薬液）を切り換えて供給するために、薬液供給ユニットを使用している。薬液供給ユニットは、第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、前記第１薬液弁、前記第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、前記第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有している。
第２薬液弁を閉じたまま第１薬液弁を開くことにより、第１薬液用入力ポートから、出力ポートに第１薬液が流れる。第１薬液の供給終了時には、第１薬液弁を閉じた後、シンナー等の浄化液を第１薬液用入力ポートから流し込むことにより、流路内に残存している第１薬液を浄化する。
次に、第１薬液弁を閉じたまま第２薬液弁を開くことにより、第２薬液用入力ポートから、出力ポートに第２薬液が流れる。第２薬液の供給終了時には、第２薬液弁を閉じた後、シンナー等の浄化液を第１薬液用入力ポートから流し込むことにより、流路内に残存している第１薬液を浄化する。
【０００３】
上記薬液供給ユニットとして、特許文献１のガス供給ユニットがある。ガス供給ユニットは、第１ガス用入力ポートを有し第１ガスを供給する金属製の第１ガス弁と、第２ガス用入力ポートを有し第２ガスを供給する金属製の第２ガス弁と、第１ガス弁、第２ガス弁、第１ガス用入力ポート、第２ガス用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有し、さらに、第１ガス弁と第２ガス弁が、流路ブロックに、対向して固設されていること、流路ブロックの、出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、第１ガス用入力ポートと第２ガス用入力ポートが設けられていること、が記載されている。
一方、特許文献２には、弁室内に滞留部を発生させないために、弁室の内壁を螺旋状に形成する弁が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−０９５９５５号公報
【特許文献２】特開２００２−３１０３１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来技術には、次のような問題があった。
（１）特許文献１の技術は、ガスの供給装置であり、薬液の供給には直ぐに適用できなかった。すなわち、ガス弁等のガス供給装置は、金属製であるため、連結は、溶接やネジ締結を用いて容易である。それに対して、薬液弁は樹脂製であるため、溶接やネジ締結が困難である問題があった。
また、浄化液で流路ブロック内の流路を浄化するときに、滞留部が発生し、残存している全ての薬液を浄化、排出することに多くの時間がかかる問題があった。半導体製造プロセスでは、薬液の切換が頻繁に行われるため、一回の切り換えにかかる時間が長くなると、全体の製造時間が長くなり、コストアップする問題があったのである。
【０００６】
（２）特許文献２には、流路を螺旋状に形成し、薬液の流れを弁体の外周に沿わせる技術が記載されている。
しかし、弁室の内壁を螺旋状に形成することは、加工に手間がかかり、コストアップする問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は、２種類の薬液を切り換えながら供給するものであって、浄化時間を短くして、効率よく必要な薬液を供給することのできる薬液供給ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の薬液供給ユニットは、以下の構成を有している。
（１）第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、第１薬液弁、第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットにおいて、（ａ）第１薬液弁と第２薬液弁が、流路ブロックに、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロックの、出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、第１薬液用入力ポートと第２薬液用入力ポートが設けられていること、（ｃ）第１薬液用入力ポートの中心線が、第１薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、（ｄ）第２薬液用入力ポートの中心線が、第２薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、第１薬液弁と第２薬液弁とを連通する流路に対し、第１薬液弁から流入する流体と、第２薬液弁から流入する流体とが、相互に逆方向に流入すること、を特徴とする。
【０００９】
（２）第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、第１薬液弁、第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットにおいて、（ａ）第１薬液弁と第２薬液弁が、流路ブロックに、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロックの、出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、第１薬液用入力ポートと第２薬液用入力ポートが設けられていること、（ｃ）第１薬液用入力ポートの中心線が、第１薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、（ｄ）第２薬液用入力ポートの中心線が、第２薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、前記流路ブロック内に、２つの固定板が挿入されていること、前記固定板に、前記第１薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第１雌ネジ部と、前記第２薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第２雌ネジ部が形成されていること、を特徴とする。
【００１０】
（３）（２）に記載する薬液供給ユニットにおいて、前記固定板の一方が、前記第１薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第１挿入孔に挿入されていること、前記固定板の他方が、前記第２薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第２挿入孔に挿入されていること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
上記構成を有する本発明の薬液供給ユニットは、以下のような作用、効果を奏する。
（１）第１薬液用入力ポートを有し第１薬液を供給する樹脂製の第１薬液弁と、第２薬液用入力ポートを有し第２薬液を供給する樹脂製の第２薬液弁と、第１薬液弁、第２薬液弁、前記第１薬液用入力ポート、第２薬液用入力ポート、及び出力ポートが設けられた流路ブロックとを有する薬液供給ユニットにおいて、（ａ）第１薬液弁と第２薬液弁が、流路ブロックに、対向して固設されていること、（ｂ）流路ブロックの、出力ポートが設けられた面と直交して対向する二面に、第１薬液用入力ポートと第２薬液用入力ポートが設けられていること、（ｃ）第１薬液用入力ポートの中心線が、第１薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、（ｄ）第２薬液用入力ポートの中心線が、第２薬液弁の弁体の外周面より外側に位置していること、を特徴とするので、第１薬液の供給終了時に、第１薬液用入力ポートから浄化液を流したときに、第１薬液弁の弁室内壁面に沿って、浄化液が流れる。そのため、弁室内壁面に張り付いて残存している薬液を速やかに排出することができる。同様に、第２薬液の供給終了時に、第２薬液用入力ポートから浄化液を流したときに、第２薬液弁の弁室内壁面に沿って、浄化液が流れるため、弁室内壁面に張り付いて残存している薬液を速やかに排出することができる。これにより、浄化液が薬液を速やかに排出できるため、薬液の切り換え時間を短縮することができ、半導体のコストダウンを実現することができる。
【００１２】
（２）（１）に記載する薬液供給ユニットにおいて、前記流路ブロック内に、２つの固定板が挿入されていること、前記固定板に、前記第１薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第１雌ネジ部と、前記第２薬液弁を前記流路ブロックに連結するための第２雌ネジ部が形成されていること、を特徴とするので、第１薬液弁の弁座と、第２薬液弁の弁座とを近づけることができる。そのため、出力ポートに連通する出力流路の容積を小さくすることができ、浄化に要する時間をさらに短縮することができる。
すなわち、通常では、第１薬液弁をネジ締結するための４本のネジに対して、２個の固定板を用い、第２薬液弁をネジ締結するための４本のネジに対して、２個の固定板を用いているため、合計で４個の固定板を用いている。それに対して、本発明では、１個の固定板で、第１薬液弁締結用の２本のネジを締結すると共に、第２薬液弁締結用の２本のネジを締結しているので、合計２個の固定板により、第１薬液弁と第２薬液弁とを固定できる。４個の固定板を２個の固定板に減らすことができたことにより、２個分の固定板分のスペースを省くことができ、第１薬液弁の弁座と、第２薬液弁の弁座とを近づけることができたのである。
【００１３】
（３）（２）に記載する薬液供給ユニットにおいて、前記固定板の一方が、前記第１薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第１挿入孔に挿入されていること、前記固定板の他方が、前記第２薬液用入力ポートに対向する裏面に形成された第２挿入孔に挿入されていること、を特徴とするので、上記（２）の効果に加えて、２個の固定板の空きスペースを有効に利用して配置できる。そのため、さらに、第１薬液弁の弁座と、第２薬液弁の弁座とを近づけることができることにより、出力ポートに連通する出力流路の容積を小さくすることができ、浄化に要する時間をさらに短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態における薬液供給ユニットの外観正面図である。
【図２】本実施形態における図１の薬液供給ユニットのＡＡ断面図である。
【図３】本実施形態における薬液供給システムの回路図を示す。
【図４】本実施形態における図２に示す第１薬液弁のＢＢ概念断面図である。
【図５】本実施形態における薬液供給ユニットの外観左側面図である。
【図６】本実施形態における薬液供給ユニットの外観背面図である。
【図７】本実施形態における薬液供給ユニットの外観上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の薬液供給ユニットについて説明する。
＜薬液供給ユニットの全体構成＞
図１に薬液供給ユニット１０の外観正面図を示す。図２に図１に示す薬液供給ユニット１０のＡＡ断面図を示す。図５に薬液供給ユニット１０の外観左側側面図を示す。図６に薬液供給ユニット１０の外観背面図を示す。図７に薬液供給ユニット１０の外観上面図を示す。
図１に示すように、薬液供給ユニット１０は、出力ポート１５を有する流路ブロック１１、第１入力ポート２７を有する第１薬液弁２０、及び、第２入力ポート３７を有する第２薬液弁３０から構成される。第１薬液弁２０は固定ネジ６１及び６２により流路ブロック１１に一体的に組みつけられている。また、第２薬液弁３０は、固定ネジ６３及び６４により流路ブロック１１に一体的に組みつけられている。
【００１６】
図２に示すように、流路ブロック１１内には、出力ポート１５と第１薬液弁２０及び第２薬液弁３０と連通する出力流路１６が形成されている。出力流路１６のうち第１薬液弁２０と第２薬液弁３０を直線で連通する流路部分を直線流路１６１とする。
第１薬液弁２０には、第１薬液弁２０に形成された弁室２４と第１入力ポート２７を連通する第１入力流路２８が形成されている。
第２薬液弁３０には、第２薬液弁３０に形成された弁室３４と第２入力ポート３７を連通する第２入力流路３８が形成されている。
【００１７】
図１に示すように、流路ブロック１１の正面側に出力ポート１５が形成されている。流路ブロック１１のうち出力ポート１５が形成された正面側と直交して対向する左右方向の二面に第１入力ポート２７及び第２入力ポート３７が形成されている。他方、出力ポート１５が形成された正面側と直交して対向する他の上下方向の二面には、第１薬液弁２０及び第２薬液弁３０が形成されている。
【００１８】
図５及び図７に示すように、薬液供給ユニット１０の背面には、薬液供給ユニット１０を取り付けるための取付板８０が固設されている。図６に示すように取付板８０には２つのネジ穴が形成されているため、２つのネジを挿通させることにより、薬液供給ユニット１０を固定することができる。
【００１９】
＜固定板の構成＞
図１に示すように、流路ブロック１１には直方体切欠き形状の第１挿入孔１１１が形成されており、第１挿入孔１１１には、金属製の直方体形状の固定板５１が挿入固設されている。また、図１及び図５に示すように、流路ブロック１１には直方体切欠き形状の第２挿入孔１１２が形成されており、第２挿入孔１１２には金属製の直方体形状の固定板５２が挿入固設されている。図１に示すように、一対の固定板５１、５２は、流路ブロック１１の正面側の出力ポート１５を中心とした対角線上に形成されている。
本実施形態においては、固定版を金属製としたが、硬性の樹脂を用いることもできる。
【００２０】
また、図５に示すように、固定板５１の一端は流路ブロック１１に固設されており、他端は取付板８０が固設されている。
また、図１に示すように、固定板５１は、流路ブロック１１を挟んで第２入力ポート３７に対向する裏面に固設されている。固定板５２は、流路ブロック１１を挟んで第１入力ポート２７に対抗する裏面に固設されている。
【００２１】
図５に示すように、固定板５２は、流路ブロック１１のうち出力ポート１５が固設されている正面から取付板８０が固設されている背面にかけて挿通する形の直方体形状である。図５に示すように固定板５２には、雄ネジである固定ネジ６２及び固定ネジ６４と螺合する雌ネジ部５２１が形成されている。
なお、薬液供給ユニット１０の右側面図は省略するが、右側面から見たとき固定板５１は、固定板５２と同様に流路ブロック１１の正面から背面にかけて挿通する形で直方体形状である。また、図示しないが固定板５１には、雄ネジである固定ネジ６１及び固定ネジ６３と螺合する雌ネジ部５１１が形成されている。
【００２２】
本実施形態に示すように、固定板５１に形成された一つの雌ネジ部５１１に対して固定ネジ６１及び固定ネジ６３を螺合させることができること、及び固定板５２に形成された雌ネジ部５２１に対して固定ネジ６２及び固定ネジ６４を螺合させることができることにより、従来と比較して固定板の数を２つ減らすことができる。すなわち、従来では、固定ネジ６１、６２、６３、６４を固定するためそれぞれ固定板が必要とされていたため固定板を４つ必要としていた。しかし、本実施形態においては、固定板５１及び固定板５２に両側から螺合できる雌ネジ部５１１及び５２１を設けたため固定板を２つ減らすことができた。
【００２３】
本実施形態に示すように、固定板を２つとすることにより、第１薬液弁２０の弁座２２と、第２薬液弁３０の弁座３２とを近づけることができる。すなわち、第１薬液弁２０と第２薬液弁３０の間に形成されていた固定板を２つ減らすことにより２つ分の固定板のスペースを省くことができ第１薬液弁２０と第２薬液弁３０を近づけることができるのである。その結果、図２に示すように出力ポート１５に連通する出力流路１６の容積を小さくすることができる（具体的には、出力流路１６のうち弁座２２と弁座３２を結ぶ縦方向の流路部分を小さくすることができる）ため、出力流路１６の浄化に要する時間をさらに短縮することができる。
【００２４】
また、図１に示すように、固定板５１が、流路ブロック１１を挟んで第２入力ポート３７に対向する裏面に形成された第１挿入孔１１１に挿入され、固定板５２が、流路ブロック１１を挟んで第１入力ポート２７に対抗する裏面に形成された第２挿入孔１１２に挿入されていることにより、固定板５１及び５２を空きスペースを利用して配置できる。空きスペースを有効に利用して配置できることにより、さらに、第１薬液弁２０の弁座２２と、第２薬液弁３０の弁座３２とを近づけることができ、出力ポート１５に連通する出力流路１６のうち弁座２２と弁座３２を結ぶ直線流路１６１の容積を小さくすることができる。そのため、浄化に要する時間をさらに短縮することができる。
【００２５】
＜薬液弁の構成＞
図２に示される第１薬液弁２０は、第１入力ポート２７から入力される流体を連通又は遮断する薬液弁である。
第１薬液弁２０には、ダイアフラム弁体２３が備えられ、流路ブロック１１に形成される弁座２２にダイアフラム弁体２３が当接することで、第１入力ポート２７から流入する第１薬液の流体を遮断することができる。また、弁座２２とダイアフラム弁体２３が離間することで、弁室２４を介して出力ポート１５へ第１薬液の流体を流入させることができる。
【００２６】
弁室２４の形状は、略円筒形状であり、その中心部分にダイアフラム弁体２３が位置する。ダイアフラム弁体２３の外周は外周面２３１とする。
図２に示すように、第１入力流路２８の中心線２８Ｔは、ダイアフラム弁体２３の外周面２３１より外側に位置する。第１入力流路２８と同軸心上にある図示しない第１入力ポート２７の中心線も同様に、ダイアフラム弁体２３の外周面２３１より外側に位置する。
【００２７】
図４に、図２に示す第１薬液弁のＢＢ概念断面図である。図４では、弁室２４、出力流路１６、第１入力流路２８を具体的に示すため、その他の部分は割愛する。
図４に示すように、第１入力流路２８の流路壁面２８１は、断面円形状の弁室２４の内壁面２４１に沿う形で形成されている。第１入力流路２８の流路壁面２８１の外周部の接線は、弁室２４の円筒の内壁面２４１に対して接続している。
また、図４に示すように出力流路１６と第１入力流路２８は、上面から見たとき直角の垂直位置に形成されている。図示しないが、出力流路１６と第２入力流路３８も同様に直角の垂直位置に形成されている。
【００２８】
第１薬液弁２０は、エア駆動タイプであるので、供給用操作ポート２５が備えられ、エアが供給用操作ポート２５に供給されると、ダイアフラム弁体２３が弁座２２から離間する。
【００２９】
第１薬液弁２０について説明をしたが、第２薬液弁３０も第１薬液弁２０と同様の作用効果を有するため詳細な説明を割愛する。
【００３０】
＜薬液供給ユニットの作用効果＞
次に薬液供給ユニット１０の作用効果について説明をする。図３に薬液供給システムの回路図を示す。
【００３１】
第１薬液をチャンバ内に流入させる場合について説明をする。
図３に示すように、第１薬液をチャンバ内に流入させる場合、開閉弁Ｒ１を開状態とし、開閉弁Ｒ２を閉状態とする（開閉弁Ｒ３及びＲ４は閉状態）。開閉弁Ｒ１を流れた第１薬液は、第１入力ポート２７、第１入力流路２８を介して弁室２４に流れ込む。さらに、図２に示す、第１薬液弁２０の供給用操作ポート２５にエアを供給しダイアフラム弁体２３を弁座２２から離間させる（第２薬液弁３０は閉状態）。それにより、第１薬液は弁室２４を介し、出力流路１６、出力ポート１５を通り、開状態の開閉弁Ｒ５（開閉弁Ｒ６は閉状態）を通りチャンバへと流入させることができる。
【００３２】
チャンバ内に流入させる薬液を第１薬液から第２薬液に切り替える場合について説明する。
第１薬液から第２薬液に切り替える場合には、始めに、第１薬液弁２０の弁室２４内及び出力流路１６を浄化する。
図３に示す、開閉弁Ｒ１を閉状態とし、開閉弁Ｒ２を開状態とする（開閉弁Ｒ３及びＲ４は閉状態）。開閉弁Ｒ２を流れた浄化液は、第１入力ポート２７、第１入力流路２８を介して弁室２４に流れ込む。さらに、図２に示す、第１薬液弁２０の供給用操作ポート２５にエアを供給しダイアフラム弁体２３を弁座２２から離間させる（第２薬液弁３０は閉状態）。それにより、浄化液は弁室２４を介し、出力流路１６、出力ポート１５を通り、開状態の開閉弁Ｒ６（開閉弁Ｒ５は閉状態）を通り排液槽へと流入される。
【００３３】
本実施形態の構成は、上述したように、第１薬液弁２０の弁座２２と、第２薬液弁３０の弁座３２とが近い構成を有する。その結果、図２に示す状態において、第１入力ポート２７から浄化液が流れ込んだ浄化液が出力流路１６へ流れる時間を短縮することができる。すなわち、出力流路１６のうち直線流路１６１の流路が短いことにより浄化液が浄化する流路の面積が小さくなり浄化する時間が短くなる。浄化液は、例えばシンナー等を使用するが、シンナー等の浄化液を流す時間を短縮することができることによりコストダウンを図ることができる。
【００３４】
また、図４に示すように本実施形態においては、第１入力流路２８の流路壁面２８１は、断面円形状の弁室２４の内壁面２４１に沿う形で形成され、また、第１入力流路２８の流路壁面２８１の外周部の接線は、弁室２４の円筒の内壁面２４１に対して接続している。そのため、第１薬液の供給終了時に、第１入力流路２８から浄化液を流したときに、第１薬液弁２０の弁室２４の内壁面２４１に沿って、浄化液が流れる。そのため、弁室２４の内壁面２４１に張り付いて残存している第１薬液を速やかに排出することができる。
【００３５】
また、図４に示すように、第１入力流路２８から弁室２４に流入した浄化液の流体Ｊ１は、内壁面２４１に沿って流れる流体Ｊ２となり、その流れの勢いがなくなり流体Ｊ３となりと中心に形成された弁孔を通り、出力流路１６へと流れる。そのため、第１薬液が張り付いて残存している弁室２４の内壁面２４１にかけて流速が速い浄化液の流体Ｊ１が当たることになる。流速が速い浄化液の流体Ｊ１が内壁面２４１に直接当たることにより壁面に張り付いた第１薬液を流すことができる。直接第１薬液を流路速が速い流体Ｊ１で流すことができるため薬液の切り替え時間を短縮することができ、半導体のコストダウンを実現することができる。
【００３６】
第２薬液をチャンバ内に流入させる場合について説明をする。
第１薬液弁２０の弁室２４及び出力流路１６の浄化後、図３に示すように、第２薬液をチャンバ内に流入させる場合、開閉弁Ｒ３を開状態とし、開閉弁Ｒ４を閉状態とする（開閉弁Ｒ１及びＲ２は閉状態）。開閉弁Ｒ３を流れた第２薬液は、第２入力ポート３７、第２入力流路３８を介して弁室３４に流れ込む。さらに、図２に示す、第２薬液弁３０の供給用操作ポート３５にエアを供給しダイアフラム弁体３３を弁座３２から離間させる（第１薬液弁２０は閉状態）。それにより、第２薬液は弁室３４を介し、出力流路１６、出力ポート１５を通り、開状態の開閉弁Ｒ５（開閉弁Ｒ６は閉状態）を通りチャンバへと流入させることができる。
【００３７】
上記に示さないが、第２薬液の供給終了時に、第２入力ポート３７から浄化液を流すときは、上記と同様に、第２薬液弁３０の弁室３４の内壁面３４１に沿って、浄化液が流れるため、弁室３４の内壁面３４１に張り付いて残存している薬液を速やかに排出することができる。
【００３８】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。
例えば、本実施形態において、第１薬液弁２０及び第２薬液弁３０をそれぞれ４本のネジで流路ブロック１１に固定しているが、それぞれ１本のネジで流路ブロックに固定すること、及び複数のネジで流路ブロックに固定することも可能である。
例えば、図２に示される第１薬液弁２０はノーマルクローズタイプであるが、必要に応じてノーマルオープンタイプ、複動タイプに交換可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１０    薬液供給ユニット
１１    流路ブロック
１５    出力ポート
２０    第１薬液弁
２３    ダイアフラム弁体
２７    第１入力ポート（請求項中の「第１薬液用入力ポート」）
３０    第２薬液弁
３３    ダイアフラム弁体
３７    第２入力ポート（請求項中の「第２薬液用入力ポート」）
【図１】
0005788685.tif 000002
【図２】
0005788685.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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