(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リニアコンベアであって、
所定の搬送経路に沿って配列される複数の電磁石を含み、かつ所定の区間毎に個別に通電制御を受けることが可能なリニアモータ固定子と、
前記リニアモータ固定子と協働してリニアモータを構成する、永久磁石からなるリニアモータ可動子をそれぞれ備え、かつ前記搬送経路に沿って移動自在に設けられる複数の搬送台車と、
前記各搬送台車にそれぞれ固定されるスケール部材及び前記スケール部材の検出が可能となるように配置される検出器とを含むリニアスケールと、
前記リニアモータ固定子の前記各区間にそれぞれ対応して設けられ、前記検出器によるスケール部材の検出結果に基づき前記区間毎に前記電磁石の通電制御を行う複数のモータ制御装置と、
前記搬送台車が有する固有の移動誤差を補正するためのデータであって、共通の測定治具を用いて予め測定された各搬送台車の移動誤差に基づきそれぞれ定められた各搬送台車の位置補正用データを記憶するデータ記憶手段と、を備え、
前記複数のモータ制御装置はそれぞれ、目標停止位置で搬送台車を停止させるべく、前記データ記憶手段に記憶されている位置補正用データ又は当該位置補正用データを用いて処理された処理データの何れかを制御用データとして、当該制御用データを用いて前記電磁石の通電制御を行う、ことを特徴とするリニアコンベア。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアコンベアであって、
前記各モータ制御装置がそれぞれ前記データ記憶手段を備えており、
前記各モータ制御装置はそれぞれ、自己のデータ記憶手段に記憶されている位置補正用データのうち対象となる搬送台車の位置補正用データを用いて前記電磁石の通電制御を行う、ことを特徴とするリニアコンベア。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のリニアコンベアにおいて、
前記複数の搬送台車はそれぞれ、各自の前記位置補正用データが記憶された記憶媒体を備えており、
当該リニアコンベアは、各搬送台車の前記記憶媒体に記憶されている前記位置補正用データを読み取り可能な読取手段をさらに備えており、
前記データ記憶手段は、前記読取手段に読み取られた前記位置補正用データを記憶することを特徴とするリニアコンベア。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかに記載のリニアコンベアにおいて、
前記搬送経路を形成するためのレール部材と当該レール部材に沿ってそれぞれ配置される前記電磁石とをそれぞれ含む複数のユニット部材を有し、これらユニット部材が前記レール部材の長手方向に直列に連結されていることにより、前記レール部材により前記搬送経路が形成されるとともに前記電磁石により前記リニアモータ固定子が形成されており、
前記各モータ制御装置はそれぞれ、前記リニアモータ固定子の一区間として前記ユニット部材に含まれる前記電磁石の通電制御を行う、ことを特徴とするリニアコンベア。
【請求項５】
請求項３に記載のリニアコンベアに適用される搬送台車であって、
前記搬送経路を構成するレール部材に対して着脱することが可能で、かつその装着状態で前記レール部材に移動自在に支持されるフレーム部材と、
このフレーム部材にそれぞれ固定される前記リニアモータ可動子、前記スケール部材及び当該搬送台車の前記位置補正用データが記憶された前記記憶媒体と、を備えていることを特徴とする搬送台車。
【請求項６】
所定の搬送経路に沿って配列される複数の電磁石を含み、かつ所定の区間毎に個別に通電制御を受けることが可能なリニアモータ固定子と、永久磁石からなるリニアモータ可動子をそれぞれ備え、かつ前記搬送経路に沿って移動自在に設けられる複数の搬送台車と、前記各搬送台車にそれぞれ固定されるスケール部材及び前記スケール部材の検出が可能となるように配置される検出器とを含むリニアスケールと、を備えるリニアコンベアの前記各搬送台車の駆動制御方法であって、
前記搬送台車が有する固有の移動誤差をそれぞれ共通の測定治具を用いて測定するデータ取得工程と、
前記リニアモータ固定子の前記各区間それぞれに対応するように設けられるモータ制御装置を用い、前記検出器によるスケール部材の検出結果に基づき前記区間毎に前記電磁石の通電制御を行うことにより前記各搬送台車を移動させる搬送台車駆動工程と、を含み、
この搬送台車駆動工程では、前記データ取得工程で取得された移動誤差データのうち対象となる搬送台車の移動誤差データ又はこの移動誤差データを用いて処理された処理データの何れかを制御用データとし、当該制御用データを用いて前記モータ制御装置に前記電磁石の通電制御を行わせる、ことを特徴とするリニアコンベアの駆動制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータを駆動源とするリニアコンベアに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、リニアモータを駆動源として、基台上に敷設されたレールに沿って搬送台車（スライダ）を移動させるリニアコンベアが公知である（例えば、特許文献１）。この種のリニアコンベアは、その用途により搬送経路長が長い場合や、必要に応じて搬送台車の脱着が求められる場合があるため、前記リニアモータとしていわゆる可動磁石型リニアモータが適用される場合が多い。この可動磁石型リニアモータは、具体的には、電磁石（電機子）がリニアモータ固定子として基台上に固定される一方で、永久磁石がリニアモータ可動子として搬送台車に固定され、電磁石を構成するコイルへの電流供給が制御されることで搬送台車に推進力が与えられる。そして、搬送台車に固定されるスケールと基台側に配置される複数のセンサとからなるリニアスケールが組み込まれ、このリニアスケールによる位置検出に基づき前記コイルへの電流供給が制御されることで、特定位置への搬送台車の移動が可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９８７８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種のリニアコンベアでは、ユーザによって求められる搬送経路の形態（直線状又は環状）や搬送経路長が異なり、また、後発的に搬送経路長や搬送台車の数を変更することが求められる場合がある。このようなニーズに容易に対応するためには、リニアコンベアをユニット化することが考えられる。例えば、前記基台、レール、電磁石及びリニアスケールのセンサを含むユニット部材を構成し、当該ユニット部材を連結してリニアコンベアを構成するとともに、電磁石（リニアモータ固定子）の電流供給を制御するモータ制御装置をユニット部材毎に個別に設けるのが合理的である。
【０００５】
この場合、各搬送台車はそれぞれ、スケールの加工誤差や組立誤差などによる固有の移動誤差を有し、他方、ユニット部材のセンサもそれぞれ、組付誤差や特性差などによる固有の検出誤差を有する。そのため、ユニット化されたリニアコンベアにおいて精度良く搬送台車を位置決めするには、予め各ユニット部材における各搬送台車の移動誤差をそれぞれ調べておき、ユニット部材毎に、搬送台車に応じた移動誤差の補正を行う必要がある。
【０００６】
しかしながら、この場合には、ユニット部材（モータ制御装置）の数に搬送台車の数を乗じた数の移動誤差データを予め取得する必要があり、その作業は決して容易ではない。また、搬送台車を後から追加する場合、既に設置、稼働しているリニアコンベアについて、そのユニット部材毎に搬送台車（新たに追加する搬送台車）の移動誤差を正確に調べることは困難である。従って、搬送台車を後から追加する場合には、当該搬送台車の位置決め精度を確保することが難しいという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みて成されたものであり、リニアモータ固定子を複数の区間に分割して個別に制御しながら、少ないデータ収集量で精度良く搬送台車を位置決めできるリニアコンベアを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題に鑑み、出願人は、リニアモータ固定子を複数の区間（ユニット部材等）に分割して個別に制御するリニアコンベアについて、区間毎の各搬送台車の移動誤差を繰り返し収集し、種々の検討を重ねた。その結果、特定の２つの区間で収集した搬送台車の移動誤差データの差分を求めると、この差分データは、搬送台車に拘わらず略同等であることが分かり、この点に着目した。これは、特定の区間で収集した各搬送台車の移動誤差データを別の区間で用いた場合、当該別の区間における各搬送台車の絶対位置精度は必ずしも保証されるものではないが、搬送台車間の移動誤差を解消することは可能、つまり、各搬送台車を同じ位置に再現性良く位置決めすることは可能であることを意味する。
【０００９】
本発明のリニアコンベアは、この点に着目してなされたものであり、所定の搬送経路に沿って配列される複数の電磁石を含み、かつ所定の区間毎に個別に通電制御を受けることが可能なリニアモータ固定子と、前記リニアモータ固定子と協働してリニアモータを構成する、永久磁石からなるリニアモータ可動子をそれぞれ備え、かつ前記搬送経路に沿って移動自在に設けられる複数の搬送台車と、前記各搬送台車にそれぞれ固定されるスケール部材及び前記スケール部材の検出が可能となるように配置される検出器とを含むリニアスケールと、前記リニアモータ固定子の前記各区間にそれぞれ対応して設けられ、前記検出器によるスケール部材の検出結果に基づき前記区間毎に前記電磁石の通電制御を行う複数のモータ制御装置と、前記搬送台車が有する固有の移動誤差を補正するためのデータであって、共通の測定治具を用いて予め測定された各搬送台車の移動誤差に基づきそれぞれ定められた各搬送台車の位置補正用データを記憶するデータ記憶手段と、を備え、前記複数のモータ制御装置はそれぞれ、目標停止位置で搬送台車を停止させるべく、前記データ記憶手段に記憶されている位置補正用データ又は当該位置補正用データを用いて処理された処理データの何れかを制御用データとして、当該制御用データを用いて前記電磁石の通電制御を行うものである。
【００１０】
このリニアコンベアでは、各モータ制御装置はそれぞれ、データ記憶手段に記憶されている共通の位置補正用データ（又は位置補正用データを用いて処理された処理データ）を用いて担当する区間の電磁石の通電制御を行う。この構成によれば、予め収集するデータ、つまり位置補正用データの元となる各搬送台車の移動誤差データは、搬送台車の数分だけ収集すれば済むためデータ収集量が抑制される。しかも、このリニアコンベアによれば、上述の通り、各搬送台車を同じ位置に再現性良く位置決めすることが可能であるため、この点で、各搬送台車を精度良く位置決めすることもできる。
【００１１】
なお、このリニアコンベアにおいては、データ記憶手段が各モータ制御装置に共通のものであり、各モータ制御装置がそれぞれデータ記憶手段の各搬送台車の位置補正用データを参照する構成であってもよいし、例えば、前記各モータ制御装置がそれぞれ前記データ記憶手段を備えており、前記各モータ制御装置がそれぞれ、自己のデータ記憶手段に記憶されている位置補正用データのうち対象となる搬送台車の位置補正用データを用いて前記電磁石の通電制御を行うものであってもよい。
【００１２】
なお、上記のようなリニアコンベアにおいて、前記複数の搬送台車はそれぞれ、各自の前記位置補正用データが記憶された記憶媒体を備えており、当該リニアコンベアは、各搬送台車の前記記憶媒体に記憶されている前記位置補正用データを読み取り可能な読取手段をさらに備えており、前記データ記憶手段は、前記読取手段に読み取られた前記位置補正用データを記憶するものであるのが好適である。
【００１３】
このようなリニアコンベアの構成によれば、各搬送台車の記憶媒体に記憶されている位置補正用データがそれぞれ前記読取手段に読み取られることで、各搬送台車の位置補正用データが前記データ記憶手段に記憶される。そのため、各搬送台車の位置補正用データを前記データ記憶手段に記憶させる作業を自動化することが可能となる。
【００１４】
また、上記リニアコンベアは、前記搬送経路を形成するためのレール部材と当該レール部材に沿ってそれぞれ配置される前記電磁石とをそれぞれ含む複数のユニット部材を有し、これらユニット部材が前記レール部材の長手方向に直列に連結されていることにより、前記レール部材により前記搬送経路が形成されるとともに前記電磁石により前記リニアモータ固定子が形成されており、前記各モータ制御装置はそれぞれ、前記リニアモータ固定子の一区間として前記ユニット部材に含まれる前記電磁石の通電制御を行うものであってもよい。
【００１５】
この構成によれば、リニアコンベアにおける搬送経路長の自由度が向上するとともに、後発的な搬送経路長の変更にも柔軟に対応することが可能となる。
【００１６】
一方、本発明の搬送台車は、上記読取手段を備えるリニアコンベアに適用される搬送台車であって、前記搬送経路を構成するレール部材に対して着脱することが可能で、かつその装着状態で前記レール部材に移動自在に支持されるフレーム部材と、このフレーム部材にそれぞれ固定される前記リニアモータ可動子、前記スケール部材及び当該搬送台車の前記位置補正用データが記憶された前記記憶媒体と、を備えているものである。
【００１７】
この搬送台車によれば、後発的にリニアコンベアに追加するだけで、先に使用されている他の搬送台車と同等の位置決め精度で運用することが可能となる。すなわち、リニアコンベアに追加されると、記憶媒体に記憶されている位置補正用データが前記読取手段によって読み取られてデータ記憶手段に記憶される。従って、当該搬送台車を位置決めする際には、各モータ制御装置がそれぞれデータ記憶手段に記憶されている当該搬送台車の位置補正用データを用いて電磁石の通電制御を行うこととなり、これにより当該搬送台車についても他の搬送台車と同等の精度で位置決めが行われることとなる。
【００１８】
一方、本発明のリニアコンベアの駆動制御方法は、所定の搬送経路に沿って配列される複数の電磁石を含み、かつ所定の区間毎に個別に通電制御を受けることが可能なリニアモータ固定子と、永久磁石からなるリニアモータ可動子をそれぞれ備え、かつ前記搬送経路に沿って移動自在に設けられる複数の搬送台車と、前記各搬送台車にそれぞれ固定されるスケール部材及び前記スケール部材の検出が可能となるように配置される検出器とを含むリニアスケールと、を備えるリニアコンベアの前記各搬送台車の駆動制御方法であって、前記搬送台車が有する固有の移動誤差をそれぞれ共通の測定治具を用いて測定するデータ取得工程と、前記リニアモータ固定子の前記各区間それぞれに対応するように設けられるモータ制御装置を用い、前記検出器によるスケール部材の検出結果に基づき前記区間毎に前記電磁石の通電制御を行うことにより前記各搬送台車を移動させる搬送台車駆動工程と、を含み、この搬送台車駆動工程では、前記データ取得工程で取得された移動誤差データのうち対象となる搬送台車の移動誤差データ又はこの移動誤差データを用いて処理された処理データの何れかを制御用データとして、当該制御用データを用いて前記モータ制御装置に前記電磁石の通電制御を行わせるものである。
【００１９】
この方法では、各モータ制御装置はそれぞれ、データ取得工程で取得された共通の移動誤差データ（又はこの移動誤差データを用いて処理された処理データ）を用いて担当する区間の電磁石の通電制御を行う。この方法によれば、予め収集する移動誤差データは、搬送台車の数だけ収集すれば済むためデータ収集量が抑制される。しかも、上述の通り、各搬送台車を同じ位置に再現性良く位置決めすることが可能であるため、この点で、各搬送台車を精度良く位置決めすることもできる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明によれば、予め収集するデータが搬送台車の数の移動誤差データだけで済むためデータ収集量が抑制される。しかも、各搬送台車を同じ位置に再現性良く位置決めすることが可能であるため、この点で、搬送台車を精度良く位置決めすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るリニアコンベアの全体像を示す斜視図である。
【図２】リニアコンベアの搬送経路（直線搬送部）を示す斜視図である。
【図３】リニアコンベアを構成するユニット部材を示す斜視図である。
【図４】ユニット部材を示す正面図である。
【図５】ユニット部材及びスライダを示す側面図である。
【図６】位置補正用データの一例を示す図（グラフ）である。
【図７】スライダの移動誤差を測定するための治具の一例を示す模式図である。
【図８】リニアコンベアの制御系を示す配線図である。
【図９】モータコントローラの機能構成を示すブロック図である。
【図１０】固有情報の読み取り及び配布の処理の一例を示すフローチャートである。
【図１１】リニアコンベアにおけるスライダの制御例を示すフローチャートである。
【図１２】スライダの制御例を説明するためのリニアコンベアの正面略図である。
【図１３】複数のスライダについて異なる２つの区間で移動誤差を測定した結果を示す図（グラフ）である。
【図１４】同一のスライダについて異なる区間で測定した位置誤差データの差分をとった結果を示す図（グラフ）である。
【図１５】リニアコンベアにおけるスライダの制御例を示すフローチャートである。
【図１６】リニアコンベアにおけるスライダの制御例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。
【００２３】
図１は、本発明に係るリニアコンベアの全体を斜視図で示している。同図中には、水平面上で互いに直交する二方向（Ｘ方向、Ｙ方向）を方向指標として図示している。
【００２４】
同図に示すように、リニアコンベアは、基台１と、この基台１上に設けられ、特定方向（Ｘ方向）に互いに平行に延びる一対の直線搬送部（第１直線搬送部２Ａ、第２直線搬送部２Ｂ）及びこれら直線搬送部２Ａ、２Ｂの長手方向両側にそれぞれ位置する方向反転部（第１方向反転部３Ａ、第２方向反転部３Ｂ）と、前記各直線搬送部２Ａ、２Ｂに沿って移動する複数のスライダ４（本発明の搬送台車に相当する）とを備えている。
【００２５】
各直線搬送部２Ａ、２Ｂは、前記スライダ４をＸ方向に移動させるものであり、それぞれＸ方向に延びるレール６を備え、当該レール６に沿ってスライダ４を移動させる。各方向反転部３Ａ、３Ｂは、両直線搬送部２Ａ、２Ｂの末端位置でそれらの一方から他方にスライダ４を平行移動させることでスライダ４の移動方向を反転させるものである。すなわち、このリニアコンベアでは、各スライダ４は、同図中の白抜き矢印で示すように、第１直線搬送部２Ａの一端側（Ｘ方向（＋）側）から他端側（Ｘ方向（−）側）に向かって移動し、第１方向反転部３Ａにより第１直線搬送部２Ａから第２直線搬送部２Ｂに移される。そして、第２直線搬送部２Ｂの一端側（Ｘ方向（−）側）から他端側（Ｘ方向（＋）側）に向かって移動した後、第２方向反転部３Ｂによって第２直線搬送部２Ｂから第１直線搬送部２Ａに移される。これにより、各スライダ４が周回移動する構成となっている。
【００２６】
各方向反転部３Ａ、３Ｂは、以下のような構成を備える。ここでは、第１方向反転部３Ａについて説明する。
【００２７】
第１方向反転部３Ａは、上流側に位置する第１直線搬送部２Ａのレール６に連続するレール１２を有しかつ第１直線搬送部２Ａからスライダ４を受け入れる受入部Ｐ２と、下流側に位置する第２直線搬送部２Ｂのレール６に連続するレール１１を有しかつ第２直線搬送部２Ｂに対してスライダ４を送り出す送出部Ｐ１と、スライダ４の支持部１４を有し、かつこの支持部１４に支持されたスライダ４を当該支持部１４と共に前記受入部Ｐ２に対応する位置（図示の位置）と前記送出部Ｐ１に対応する位置とに亘ってＹ方向にスライドさせるスライド機構１５と、受入部Ｐ２にあるスライダ４をスライド機構１５の前記支持部１４に引き込む引込機構１６と、前記支持部１４に支持されているスライダ４を当該支持部１４から送出部Ｐ１に引き出し、さらにこの送出部Ｐ１から第２直線搬送部２Ｂに押し出す送出機構１８とを含む。
【００２８】
つまり、第１直線搬送部２Ａの末端位置に到達したスライダ４は、当該末端位置から第１方向反転部３Ａの受入部Ｐ２に受け入れられ、引込機構１６によって受入部Ｐ２からスライド機構１５の支持部１４に引き込まれる。その後、スライダ４は、スライド機構１５の作動により支持部１４と共に送出部Ｐ１に対応する位置に平行移動し、送出機構１８の作動により、当該支持部１４から送出部Ｐ１に引き出された後、第２直線搬送部２Ｂに押し出される。このように、第１方向反転部３Ａは、各スライダ４を第１直線搬送部２Ａから第２直線搬送部２Ｂに移すことで、スライダ４の移動方向を反転させる。
【００２９】
以上は第１方向反転部３Ａの構成であるが、第２方向反転部３Ｂも、第２直線搬送部２Ｂからスライダ４を受入部Ｐ２に受け入れる点、及び送出部Ｐ１から第１直線搬送部２Ａにスライダ４を送り出す点が異なるだけで、第１方向反転部３Ａと同等の構成を有する。
【００３０】
なお、このリニアコンベアでは、第２方向反転部３Ｂにおいてスライダ４の着脱が許容されている。具体的には、送出部Ｐ１の前記レール１１に新たなスライダ４を装着することで、搬送経路内に追加的にスライダ４を挿入することができ（図１参照）、また、受入部Ｐ２の前記レール１２に受け入れられたスライダ４を、当該レール１２から引き出すことにより当該スライダ４を搬送経路から取り外すことが可能となっている。この構成により、このリニアコンベアでは、搬送経路内のスライダ４の数を変更することが可能となっている。
【００３１】
前記各スライダ４は、各直線搬送部２Ａ、２Ｂにおいて、リニアモータを駆動源として駆動される。このリニアモータは、各直線搬送部２Ａ、２Ｂに備えられるリニアモータ固定子７と、各スライダ４に備えられる後記リニアモータ可動子８とからなる。以下、この点を含め、各直線搬送部２Ａ、２Ｂ及びスライダ４の具体的な構成について図２〜図５を用いて説明する。なお、各直線搬送部２Ａ、２Ｂの基本構成は略同一であるため、ここでは、第１直線搬送部２Ａについて説明する。
【００３２】
第１直線搬送部２Ａは、図２に示すように、複数個のユニット部材２０がＸ方向に連結されることにより構成されている。当例では、４つのユニット部材２０が連結されることにより第１直線搬送部２Ａが構成されている。
【００３３】
各ユニット部材２０は、図３〜図５に示すように、Ｘ方向に延びる細長のフレーム２２と、このフレーム２２に固定される単位レール２４、電磁石２６及びセンサ基板２８とを含む。
【００３４】
フレーム２２は、Ｘ方向に延びる長方形状の底板部２３ａと、この底板部２３ａの上方に位置し、Ｘ方向に延びる長方形状の上板部２３ｃと、これら板部２３ａ、２３ｃの間で上下方向に延び当該板部２３ａ、２３ｃ同士をそれらの長手方向に亘って連結する連結部２３ｂとを備え、これら各部２３ａ〜２３ｃがアルミニウム合金により一体に形成されている。そして、このフレーム２２の上板部２３ｃの上面に、当該上板部２３ｃの長手方向と同方向に延びるように前記単位レール２４が固定され、さらに、この上板部２３ｃの上面であって前記単位レール２４の後側（Ｙ方向（−）側）の位置に、複数の電磁石２６が当該単位レール２４に沿って一列（直列）に配列された状態で固定されている。当例では、同一構造をもつ４つの電磁石２６が固定されている。これら電磁石２６は、前記リニアモータ固定子７を構成するものであり、それぞれＸ方向に一列に並ぶ複数のコイルを含む。
【００３５】
フレーム２２の前記連結部２３ｂには、図５に示すように、複数の前記センサ基板２８が固定されている。当例では、前記電磁石２６と同様に４つのセンサ基板２８が固定されている。具体的には、前記単位レール２４に沿って一列（直列）に配列された状態で、連結部２３ｂの側壁に沿って起立姿勢で連結部２３ｂに固定されている。
【００３６】
これらセンサ基板２８（本発明の検出器に相当する）は、各スライダ４に固定される後記磁気スケール５０ａ〜５０ｃと協働してリニアスケール（磁気式リニアスケール）を構成するものであり、各電磁石２６が配置された区間においてそれぞれ磁気スケール５０ａ〜５０ｃを検出するように、各電磁石２６のそれぞれ前側（Ｙ方向（＋）側）に配置されている。すなわち、このユニット部材２０は、長手方向（Ｘ方向）に四等分された１区間がリニアモータの１制御区間とされ、各区間にそれぞれ、その区間と同等の長さ寸法を有する電磁石２６が固定されている。そして、後述するように、区間毎に後記モータコントローラＣが設けられ、センサ基板２８による磁気スケール５０ａ〜５０ｃの検出に基づき、区間毎の電磁石２６に対する電流供給がモータコントローラＣにより個別に制御されるようになっている。なお、当例では、ユニット部材２０の全長（Ｘ方向の全長）は６４０ｍｍとされ、従って、前記１制御区間（電磁石２６）の全長は１６０ｍｍである。
【００３７】
前記センサ基板２８は、図４に示すように、上下方向に並ぶ３つのセンサ領域３０ａ〜３０ｃ（上側から順に第１センサ領域３０ａ、第２センサ領域３０ｂ、第３センサ領域３０ｃと称す）を有する。各センサ領域３０ａ〜３０ｃにはそれぞれ、磁気スケール５０ａ〜５０ｃを検出可能なホール素子、又ＭＲ素子からなる一乃至複数個の磁気センサ３２が設けられ、これら磁気センサ３２がＸ方向に所定の配列で固定されている。
【００３８】
各センサ領域３０ａ〜３０ｃにおける磁気センサ３２の配置や数は各センサ基板２８の間で共通であり、各磁気センサ３２は、後述する磁気スケール５０ａ〜５０ｃを検出することにより、その磁束密度に応じた出力電圧（振幅）の信号を出力する。
【００３９】
なお、前記ユニット部材２０において、センサ基板２８の前側（Ｙ方向（＋）側）の位置であって、移動中のスライダ４の後記フレーム４０（垂下部４１ｂ）の下方の位置には、前記電磁石２６及びセンサ基板２８の配線接続部３４が設けられている。
【００４０】
この配線接続部３４は、フレーム２２の前記連結部２３ｂの前方の位置において前記底板部２３ａに立設される固定プレート３５と、この固定プレート３５にそれぞれ保持される、前記電磁石２６の配線用コネクタ２７及び前記センサ基板２８の配線用コネクタ２９とを含む。これら各コネクタ２７、２９は、それぞれ電磁石２６及びセンサ基板２８から導出された配線材の末端に設けられており、相手側コネクタとの接続が可能となるように、前記固定プレート３５に前向きに固定されている。
【００４１】
当例では、右端（図４で右端）から数えて１番目と３番目の各センサ基板２８の前側の位置にそれぞれ前記配線接続部３４が設けられており、互いに隣接する２つの電磁石２６の配線用コネクタ２７がそれぞれ共通の配線接続部３４の固定プレート３５に保持されている。また、センサ基板２８の配線用コネクタ２９については、互いに隣接する２つのセンサ基板２８について共通の１の配線用コネクタ２９が設けられており、この配線用コネクタ２９が各配線接続部３４の固定プレート３５に保持されている。
【００４２】
前記第１直線搬送部２Ａは、以上のような４つのユニット部材２０が長手方向に直列に突き合わされた状態で配列され（連結され）、各フレーム２２の底板部２３ａがそれぞれ前記基台１にボルト等の固定手段によって固定されることにより構成されている。そして、このように４つのユニット部材２０が連結されることで、各ユニット部材２０の前記単位レール２４がＸ方向に連続して上記レール６が構成されるとともに、同様に前記電磁石２６がＸ方向に連続して上記リニアモータ固定子７が構成されている。
【００４３】
以上、第１直線搬送部２Ａの構成について説明したが、第２直線搬送部２Ｂも、第１直線搬送部２Ａと同等の構成を有している。
【００４４】
前記スライダ４は、図３〜図５に示すように、フレーム４０と、このフレーム４０にそれぞれ固定される、ガイドブロック４２、リニアモータ可動子８、磁気スケール５０ａ〜５０ｃ及びＲＦ（Radio Frequency）タグ５５とを含む。
【００４５】
前記フレーム４０は、スライダ４の母体となるものでありＸ方向に細長い形状を有する。詳しくは、このフレーム４０は、前記直線搬送部２Ａ、２Ｂのレール６の上方に位置する矩形板状の水平部４１ａと、この水平部４１ａの幅方向前側（Ｙ方向の（＋）側）から垂下し、前記センサ基板２８に対向するように位置する矩形板状の垂直部４１ｂとを有した断面逆Ｌ字型の形状を有し、これら水平部４１ａと垂直部４１ｂとがアルミニウム合金により一体に形成されている。
【００４６】
前記水平部４１ａの上面には、テーブル（パレット）や工具等を固定することが可能な複数のねじ孔が所定の配列で設けられている。この水平部４１ａの下面には、ガイドブロック４２が固定され、このガイドブロック４２が前記レール６に装着されることにより、スライダ４が当該レール６に移動自在に支持されている。このガイドブロック４２及び前記レール６（単位レール２４）は、例えばリニアガイドにより構成されている。
【００４７】
前記水平部４１ａの下面のうち前記ガイドブロック４２の後側（Ｙ方向（−）側）の位置、詳しくは、直線搬送部２Ａ、２Ｂのリニアモータ固定子７（ユニット部材２０の電磁石２６）に対向する位置には、前記リニアモータ可動子８が固定されている。このリニアモータ可動子８は、前記水平部４１ａの下面に固定される板状のヨーク４５と、Ｘ方向（スライダ４の移動方向）に一列に配列された状態で前記ヨーク４５の下面に固定される板状の複数の永久磁石４４とを含む。これら永久磁石４４は、下面にＮ極とＳ極とが交互に現れるように配列されている。つまり、後記モータコントローラＣによって互いに位相が異なるｕ相、ｖ相、ｗ相のうちの何れかの相の電流が前記リニアモータ固定子７（電磁石２６）のコイルに供給されることで、当該コイルに生じる磁束と永久磁石４４の磁束との相互作用によりフレーム４０に推進力が生成され、この推進力によりスライダ４が前記レール６に沿って移動する。
【００４８】
前記磁気スケール５０ａ〜５０ｃ（本発明のスケール部材に相当する）は、前記センサ基板２８に対向するように、フレーム４０の前記垂直部４１ｂの内側面（図５の右側面）に固定されている。
【００４９】
各磁気スケール５０ａ〜５０ｃは上下に並んでおり（上側から第１磁気スケール５０ａ、第２磁気スケール５０ｂ、第３磁気スケール５０ｃと称す）、第１磁気スケール５０ａは前記第１センサ領域３０ａに、第２磁気スケール５０ｂは前記第２センサ領域３０ｂに、第３磁気スケール５０ｃは第３センサ領域３０ｃにそれぞれ対向している。
【００５０】
詳細図を省略するが、各磁気スケール５０ａ〜５０ｃはそれぞれ、特定のスケール長内に永久磁石５２がＸ方向に一列に、かつセンサ基板２８側にＮ極とＳ極とが交互に現れるように構成されている。
【００５１】
そして、スライダ４の移動中、各センサ領域３０ａ〜３０ｃの磁気センサ３２が対応する磁気スケール５０ａ〜５０ｃを検出することで、スライダ４の位置を検出するための所定の信号が前記センサ基板２８から出力されるように、各磁気スケール５０ａ〜５０ｃの永久磁石５２の数及び配列や各センサ領域３０ａ〜３０ｃの磁気センサ３２の数及び配列が設定されるとともに、前記センサ基板２８の基板上回路が構成されている。具体的には、第１センサ領域３０ａの磁気センサ３２による第１磁気スケール５０ａの検出に基づき、Ａ相の正弦波信号及びこれと振幅及び周期が同じで位相が９０°だけずれたＢ相の正弦波信号がセンサ基板２８から出力され、また、第２センサ領域３０ｂの磁気センサ３２による第２磁気スケール５０ｂの検出に基づき、Ｚ相の信号がセンサ基板２８から出力され、さらに、第３センサ領域３０ｃの磁気センサ３２による第３磁気スケール５０ｃの検出に基づき、上記Ａ相、Ｂ相よりも周期が長く、互いに位相がずれた同一振幅をもつ複数の波形信号がセンサ基板２８から出力されるように、各磁気スケール５０ａ〜５０ｃの永久磁石５２の数及び配列や各センサ領域３０ａ〜３０ｃの磁気センサ３２の数及び配列が設定されるとともに前記センサ基板２８の基板上回路が構成されている。この構成により、リニアコンベアの稼動中は、前記センサ基板２８からの入力信号に基づきモータコントローラＣがスライダ４の位置を検出するとともに当該検出位置に基づき前記センサ基板２８（リニアモータ固定子７）への電流供給を制御することで、スライダ４を所定速度で移動させるとともに所定の目標停止位置で停止させる。
【００５２】
なお、図５中、符号５６は、フレーム４０の垂直部４１ｂに固定されるスケールカバーであり、このスケールカバー５６は、前記磁気スケール５０ａ〜５０ｃを覆うことで当該磁気スケール５０ａ〜５０ｃを保護する。また、符号５８は、前記ユニット部材２０のフレーム２２に固定されるセンサカバー５８であり、当該センサカバー５８は、前記センサ基板２８を覆うことで当該センサ基板２８を保護する。これらカバー５６、５８は、何れもアルミニウム合金で形成されている。なお、図３、図４では、上記各カバー５６、５８を省略した状態でリニアコンベアを示している。
【００５３】
前記ＲＦタグ５５は、フレーム４０の前記垂直部４１ｂの外側面（図５の左側面）であって、当該垂直部４１ｂの長手方向（Ｘ方向）及び上下方向の各中間の位置に固定されている。このＲＦタグ５５には、そのスライダ４の固有情報が記憶されている。具体的には、スライダ４のＩＤ情報（識別データ）と、当該スライダ４が有する固有の移動誤差を補正するための位置補正用データとが記憶されている。当例では、この位置補正用データとして、図６に示すような移動誤差データが記憶されている。このデータは、例えば図７に示すように、前記ユニット部材２０と同等の構成であって１つのセンサ基板２８を備えるマスタユニット部材ＭＵとレーザ測長器ＬＭとを備える測定治具を用い、マスタユニット部材ＭＵ上の所定移動起点からスライダ４を移動させた時のセンサ基板２８の出力によって求まるスライダ４の位置とレーザ測長器ＬＭにより求められるスライダ４の位置（絶対位置）との誤差を１制御区間（１６０ｍｍ）について求めたものである。各スライダ４の位置補正用データ（＝移動誤差データ）は共通の測定治具によって測定されている。
【００５４】
一方、このリニアコンベアには、各スライダ４のＲＦタグ５５に記録された固有情報を非接触で読み出し又は書き変え可能なリーダライタ６０（図８に示す）が配置されている。このリーダライタ６０は、リニアコンベアの搬送起点の近傍に配置されている。当例では、第１直線搬送部２Ａの上流側の端部が搬送基点であり、リーダライタ６０は、この搬送基点にスライダ４を送り出す送出部Ｐ１（第２方向反転部３Ｂの送出部Ｐ１）の側部に配置されている。
【００５５】
なお、当例では、フレーム４０及びガイドブロック４２が本発明のフレーム部材に相当し、前記ＲＦタグ５５が本発明の記憶媒体に相当する。また、リーダライタ６０が本発明の読取手段に相当する。
【００５６】
次に、上記リニアコンベアの制御系について説明する。図８は、上記リニアコンベアの制御系を示す配線図である。同図に示すように、リニアコンベアは、前記直線搬送部２Ａ、２Ｂのリニアモータを制御するための複数のモータコントローラＣ（Ｃ１、Ｃ２…；本発明のモータ制御装置に相当する）を備える。このリニアコンベアでは、上記の通り、ユニット部材２０の前記１制御区間毎に独立した電磁石２６が配備されており、この１制御区間毎に電磁石２６に対する電流供給がモータコントローラＣによって制御される。従って、各直線搬送部２Ａ、２Ｂがそれぞれ４つのユニット部材２０を含む当該リニアコンベアは、合計３２個のモータコントローラＣを備える。各モータコントローラＣは、それぞれＬＡＮ（Local Area Network）６２に接続されており、これにより各モータコントローラＣがデータ送信可能となるように互いに連結されている。また、このリニアコンベアの搬送起点（第１直線搬送部２Ａの上流側の端部）を基準として最上流側に位置する制御区間の電磁石２６、すなわち、第１直線搬送部２Ａを構成する最上流側（図８の右端）のユニット部材２０の最も上流側に位置する電磁石２６の電流供給を制御するモータコントローラＣには上記リーダライタ６０が接続されている。なお、以下の説明において、モータコントローラＣを制御区間毎に区別する必要がある場合には、この最上流側に位置するモータコントローラから順に、第１コントローラＣ１、第２コントローラＣ２、第３コントローラＣ３……第３２コントローラＣ３２と称する。
【００５７】
リニアコンベアは、さらにその動作を起動するためのＰＬＣ（Programmable Logic Controller）６５を備えている。このＰＬＣ６５は、第１コントローラＣ１に接続されており、第１コントローラＣ１に対してその内部プログラムを起動させるための信号を出力する。この信号入力に基づき、第１コントローラＣ１は、後述するように、内部プログラムを起動し、当該プログラムに組み込まれるスライダ４の停止位置（目標停止位置）や移動速度等の情報に基づき、他のコントローラＣ２〜Ｃ３２を制御する。なお、前記各方向反転部３Ａ、３Ｂについては、モータコントローラＣとは別個独立したコントローラが設けられており、前記スライド機構１５、引込機構１６及び送出機構１８の駆動が当該コントローラにより独立して制御される。
【００５８】
図９は、モータコントローラＣ（第１コントローラＣ１）の機能構成をブロック図で示している。この第１コントローラＣ１は、ＣＰＵや各種メモリが搭載された回路基板等からなり、その機能構成として、電流制御部７１、主演算部７２、位置検出部７３、データ記憶部７４、入出力部７５、通信制御部７６等を含む。
【００５９】
前記主演算部７２は、電流制御部７１を介して前記電磁石２６への電流供給を制御するもので、前記ＰＬＣ６５からの信号入力に基づき、当該主演算部７２に付設される図外のプログラム記憶部に記憶されるプログラムを実行し、このプログラムに組み込まれるスライダ４の停止位置（目標停止位置）や移動速度等の情報に基づき電磁石２６への電流供給を制御するとともに、当該制御に必要な演算処理を行う。
【００６０】
前記位置検出部７３は、入出力部７５を介して入力される前記センサ基板２８からの信号に基づいてスライダ４の位置を検出するものである。
【００６１】
前記データ記憶部７４は、リーダライタ６０が読み取った各スライダ４の固有情報を記憶するとともに、各スライダ４の搬送経路上での配列順序を記憶するものである。なお、前記主演算部７２は、スライダ４の目標停止位置がこの第１コントローラＣ１が制御負担する区間内である場合には、データ記憶部７４内の当該スライダ４の位置補正用データを参照し、この位置補正用データに基づき目標停止位置データを補正し、補正後の目標停止位置データに従って電磁石２６への電流供給を制御する。
【００６２】
前記通信制御部７６は、当該第１コントローラＣ１と他のコントローラＣ２〜Ｃ３２との間のデータ送信を制御するものである。
【００６３】
以上、ここでは、モータコントローラＣのうち第１コントローラＣ１の機能構成について説明したが、内部プログラムにスライダ４の停止位置（目標停止位置）や移動速度等の情報が組み込まれている点、及びＰＬＣ６５からの信号やリーダライタ６０が読み取ったスライダ４の固有情報が直接入力される点以外は、他のコントローラＣ２、Ｃ３…も略共通の構成を有している。
【００６４】
次に、このリニアコンベアの上記リニアモータの制御について説明する。
【００６５】
まず、各スライダ４の固有情報の読み取り及び配布の処理について説明する。このリニアコンベアでは、上記のようにリニアモータは直線搬送部２Ａ、２Ｂの１制御区間毎にモータコントローラＣにより制御される。従って、スライダ４を精度良く位置決めするには、各モータコントローラＣが各スライダ４の位置補正用データを参照できる環境が必要であり、このリニアコンベアでは、図１０に示すフローチャートに従って、各モータコントローラＣがその位置補正用データを取得する。
【００６６】
まず、スライダ４が搬送起点（第２方向反転部３Ｂの送出部Ｐ１）に配置されると、第１コントローラＣ１（主演算部７２）が、前記リーダライタ６０を介して当該スライダ４のＲＦタグ５５に記憶されているＩＤ情報を読み込む（ステップＳ１）。第１コントローラＣ１は、このＩＤ情報が新しいか否か、すなわち当該スライダ４の位置補正用データが既に取得済みであるか否かを判断する（ステップＳ３）。ここでＹＥＳと判断した場合には、第１コントローラＣ１は、リーダライタ６０を介して当該スライダ４の位置補正用データをさらに読み込み、この位置補正用データをＩＤ情報と対応付けてデータ記憶部７４に格納し（ステップＳ５）、さらに当該位置補正用データをそのＩＤ情報と共にＬＡＮ６２経由で他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する（ステップＳ７）。その後、各コントローラＣ１〜Ｃ３２は、当該スライダ４の配列順番（挿入順番）をデータ記憶部７４に記憶する（ステップＳ９）。なお、ステップＳ３の処理で、ＩＤ情報が新しいものでないと判断した場合には、第１コントローラＣ１は、前記リーダライタ６０を介して読み取ったスライダ４のＩＤ情報のみを他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する。これにより第１コントローラＣ１及び他のコントローラＣ２〜Ｃ３２は、スライダ４の配列順番（挿入順番）データを更新する（ステップＳ９）。
【００６７】
このリニアコンベアは、初期設置される際に、第２方向反転部３Ｂの送出部Ｐ１からスライダ４が順番に搬送経路内に挿入される（図１、図８参照）。従って、各モータコントローラＣはそれぞれ、上記ステップＳ１〜Ｓ９の処理により、リニアコンベア内を周回移動するスライダ４の配列順番及び各スライダ４の位置補正用データを保有することになる。なお、上記ステップＳ１〜Ｓ９の処理はリニアコンベアの稼働後も継続的に実行される。従って、新たなスライダ４が搬送経路内に追加的に挿入された場合でも、各モータコントローラＣはそれぞれ、追加されたスライダ４の位置補正用データを保有し、また、最新の配列順番のデータを保有することになる。
【００６８】
次に、各モータコントローラＣによるリニアモータの制御動作について、図１１のフローチャートに従って説明する。
【００６９】
まず、ＰＬＣ６５からの信号入力により第１コントローラＣ１のプログラムが起動され、これにより第１コントローラＣ１によってスライダ４の目標停止位置が決定される（ステップＳ１１）。第１コントローラＣ１は、この目標停止位置データをＬＡＮ６２経由で他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に転送する（ステップＳ１３）。
【００７０】
各モータコントローラＣ（主演算部７２）は、この目標停止位置データと既知の設計データ、すなわちユニット部材２０の全長（６４０ｍｍ）及び１制御区間長（１６０ｍｍ）に基づき、目標停止位置が自己の制御区間に属するか否かを認識する（ステップＳ１５）。
【００７１】
自己の制御区間に目標停止位置が属すると認識したモータコントローラＣは、データ記憶部７４の記憶データに基づき、目標停止位置に停止させるスライダ４を特定して、そのスライダ４の位置補正用データ（図６参照）を参照し、目標停止位置を補正する（ステップＳ１７）。この際、各モータコントローラＣ（主演算部７２）は、前記ＬＡＮ６２を経由して搬送経路上のスライダ４の配置状況を参照し、その結果と、リーダライタ６０に読み取られる識別データ（図９のステップＳ１で読み取られる識別データ）と、前記データ記憶部７４に記憶されている配列順番データとに基づき、対象となるスライダ４を特定する。
【００７２】
このように目標停止位置が補正されると、自己の制御区間にスライダ４の目標停止位置が属すると認識したモータコントローラＣは、センサ基板２８からの入力信号とこの補正後の目標停止位置とに基づき電磁石２６の電流供給を制御する（ステップＳ１９）。
【００７３】
以上のステップＳ１１〜Ｓ１９の制御動作を具体的に説明すると次の通りである。例えば、図１１に示すように、搬送起点からＸ＝２４０ｍｍの地点に停止しているスライダ４について目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）が決定された場合を仮定する。この場合には、搬送起点から２つめのユニット部材２０のうち上流側から２番目の制御区間に目標停止位置が属する。従って、当該制御区間に対応する第６コントローラＣ６は、目標停止位置が自己の制御区間に属すると認識する（ステップＳ１１〜Ｓ１５の処理）。
【００７４】
第６コントローラＣ６は、目標停止位置が自己の制御区間のどの位置になるかを求める。具体的には、第６コントローラＣ６は、搬送起点から目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）までの距離を１制御区間（１６０ｍｍ）の距離で除することにより、自己の制御区間内での目標停止位置（８０．５５ｍｍ）を求める。そして、対象となるスライダ４の位置補正用データの当該目標停止位置の誤差（例えば−０．０２ｍｍ）を加算することにより、目標停止位置を補正する（８０．５３ｍｍ＝８０．５５＋（−０．０２））（ステップＳ１７の処理）。
【００７５】
これにより、第６コントローラＣ６は、その制御区間に属するセンサ基板２８からの入力信号と補正後の目標停止位置（８０．５３ｍｍ）とに基づき電磁石２６の電流供給を制御する（ステップＳ１９の処理）。
【００７６】
以上のようなリニアコンベアによれば、複数のユニット部材２０が連結されることにより直線搬送部２Ａ、２Ｂが構成され、また、細分化された１制御区間毎にリニアモータが個別のモータコントローラＣにより駆動制御される構成であるため、搬送経路長の自由度が高い。従って、用途に応じて搬送経路長を自由に設定できるとともに、後発的な搬送経路長の変更についても容易に対応することが可能となる。
【００７７】
そして、各スライダ４にそれぞれ、固有の移動誤差を補正するための位置補正用データを記憶したＲＦタグ５５が搭載され、リーダライタ６０により上記位置補正用データが読み取られて各モータコントローラＣに伝送、記憶されることにより、スライダ４の駆動時には、各モータコントローラＣがそれぞれスライダ４に対応する位置補正用データを用いて目標停止位置を補正した上で各スライダ４の駆動を制御する。すなわち、電磁石２６への電流供給を制御する。従って、上記のように複数のモータコントローラＣを用いてサーボモータを制御する構成でありながらも、各スライダ４をそれらの固有の移動誤差を加味しつつ精度良く位置決めすることが可能となる。
【００７８】
特に、このリニアコンベアでは、上記のように、予め測定治具で測定された各スライダ４の移動誤差データを各スライダ４の位置補正用データとし、この共通の位置補正用データを用いて各モータコントローラＣがそれぞれ担当する制御区間の電流供給を制御するので、予め収集する移動誤差データの数が増大することを効果的に抑制することができる。具体的には、スライダ４の数の移動誤差データを収集するだけで各スライダ４を精度良く位置決めすることができる。正確には、定められた目標停止位置に各スライダ４を再現性良く正確に位置決めすることができる。この点について詳しく説明すると、当該リニアモータでは、上記の通り、各モータコントローラＣはそれぞれ、担当する制御区間のセンサ基板２８からの信号入力に基づきスライダ４の位置を把握しながら電磁石２６への電流供給を制御する。この場合、スライダ４側のみならず直線搬送部２Ａ、２Ｂ側のセンサ基板２８にも個体差（取り付け誤差や特性差）があるため、図１３に示すように、制御区間毎に生じるスライダ４の実際の位置誤差は必ずしも同じではなく、センサ基板２８側の個体差の影響を受けて、制御区間毎に異なる位置誤差が生じる（同図は、三台のスライダ４（Ａ〜Ｃ）についてそれぞれ、互いに異なる２つの制御区間で移動誤差を測定した例を示しており、左側が特定の区間１、右側が特定の区間２での測定データをそれぞれ示している）。従って、本来であれば、スライダ４の位置補正用データとして、制御区間毎にそれぞれ個別の位置補正用データを準備する必要がある。つまり、制御区間数にスライダ４の数を乗じた数の移動誤差データを収集する必要があり、例えばスライダ４が１０個の場合、当例では制御区間が３２区間あるため、合計３２０台分のスライダ４の移動誤差データを収集する必要がある。
【００７９】
しかし、図１３に示す位置補正用データ（移動誤差データ）について、同一のスライダ４の異なる制御区間で測定した位置誤差データの差分をとってみると、図１４に示すように、何れのスライダ４についても略同等の結果となることが分かる。これは、共通の測定治具で収集した各スライダ４の移動誤差データ（位置補正用データ）を用いて直線搬送部２Ａ、２Ｂ上でスライダ４を制御した場合、各制御区間におけるスライダ４の絶対位置精度は必ずしも保証されるものではないが、スライダ４間の移動誤差を解消することは可能、つまり、各スライダ４を特定の位置に再現性良く位置決めすることができることを意味する。従って、各スライダ４の位置補正用データとして予め測定治具で測定された共通の移動誤差データを用いて各モータコントローラＣがサーボモータ（リニアモータ固定子７）の担当区間の制御を行う上記のリニアコンベアによれば、予め収集する移動誤差データ量が増大することを効果的に抑えながら、定められた目標停止位置に各スライダ４を再現性良く正確に位置決めすることが可能となる。
【００８０】
また、このように各モータコントローラＣが、予め測定治具で測定された各スライダ４の移動誤差データを共通の位置補正用データとして用いてリニアモータを制御する構成によれば、後発的にスライダ４を追加する場合でも、前記測定治具を用いてスライダ４の移動誤差を測定し、そのＲＦタグ５５に位置補正用データ（移動誤差データ）を記憶させれば、当該スライダ４をリニアコンベアに挿入するだけで、既存のスライダ４と同様に、定められた目標停止位置に各スライダ４を再現性良く正確に位置決めすることができる。従って、工場等に既に設置され稼働しているリニアコンベアに対しても、簡単、かつ速やかにスライダ４を追加して運用することが可能になるという利点もある。
【００８１】
（リニアモータの制御の変形例）
なお、上述したリニアコンベアでは、各スライダ４の位置補正用データ及び配列順番データを各モータコントローラＣに記憶させておくが、各スライダ４の位置補正用データ及び配列順番データを第１コントローラＣ１にのみ記憶させておく構成であってもよい。以下、この場合の各モータコントローラＣによるリニアモータの制御動作について、図１５のフローチャートに従って説明する。なお、前提として、当該制御の場合には、図１０のフローチャートのステップＳ７の処理は省略される。
【００８２】
まず、ＰＬＣ６５からの信号入力により第１コントローラＣ１のプログラムが起動され、目標停止位置が決定されると（ステップＳ２１）、第１コントローラＣ１は、データ記憶部７４に記憶されたデータに基づき、そのスライダ４の位置補正用データを参照し、目標停止位置の補正値を算出する（ステップＳ２３）。その後、目標停止位置及び補正値の各データをＬＡＮ６２経由で他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する（ステップＳ２５）。
【００８３】
各モータコントローラＣ（主演算部７２）は、目標停止位置データに基づき自己の制御区間に目標停止位置が属するか否かを認識し（ステップＳ２７）、自己の制御区間に目標停止位置が属すると認識したモータコントローラＣは、前記補正値データに基づき、目標停止位置を補正する（ステップＳ２９）。
【００８４】
これにより、自己の制御区間に目標停止位置が属すると認識したモータコントローラＣは、その制御区間に属するセンサ基板２８からの入力信号とこの補正後の目標停止位置に基づき電磁石２６の電流供給を制御する（ステップＳ３１）。
【００８５】
以上のステップＳ２１〜Ｓ３１の制御動作を、図１２に示した例に基づき具体的に説明すると次の通りである。
【００８６】
まず、第１コントローラＣ１は、目標停止位置が制御区間のどの位置になるかを求める。具体的には、搬送起点から目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）までの距離を１制御区間（１６０ｍｍ）の距離で除することにより、制御区間内での目標停止位置（８０．５５ｍｍ）を求める。そして、対象となるスライダ４の位置補正用データを参照し、当該目標停止位置の誤差、すなわち補正値（例えば−０．０２ｍｍ）を求め、目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）及び補正値（−０．０２ｍｍ）の各データを各コントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する（ステップＳ２１〜Ｓ２５の処理）。この際、第１コントローラＣ１（主演算部７２）は、前記ＬＡＮ６２を経由して搬送経路上のスライダ４の配置状況を参照し、その結果と、リーダライタ６０に読み取られる識別データ（図９のステップＳ１で読み取られる識別データ）と、前記データ記憶部７４に記憶されている配列順番データとに基づいて、対象となるスライダ４を特定する。
【００８７】
次に、各モータコントローラＣは、目標停止位置が自己の制御区間に属するかを判断する（ステップＳ２７の処理）。ここでは、目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）は、搬送起点から２つめのユニット部材２０のうち上流側から２番目の制御区間に目標停止位置が属するため、当該制御区間に対応する第６コントローラＣ６は、目標停止位置が自己の制御区間に属すると認識する。また、第６コントローラＣ６は、目標停止位置データ（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）から自己の制御区間内での目標停止位置（８０．５５ｍｍ）を求め、この目標停止位置を補正値データ（−０．０２ｍｍ）で補正する（８０．５３ｍｍ＝８０．５５＋（−０．０２））（ステップＳ２９の処理）。
【００８８】
これにより、第６コントローラＣ６は、補正後の目標停止位置（８０．５３ｍｍ）に基づき電磁石２６に対する電流供給を制御する（ステップＳ３１の処理）。
【００８９】
この図１５に示す制御によれば、全てのスライダ４の位置補正用データを各モータコントローラＣに記憶させる場合に比べると、第１コントローラＣ１以外のコントローラＣ２〜Ｃ３２におけるデータ記憶部７４の記憶容量を抑制することができるとともに、ＬＡＮ６２経由で伝送するデータ量を抑制することが可能となる。
【００９０】
なお、この図１５に示す制御のさらに変形例として、図１６に示すフローチャートに従ってサーボモータを制御するようにしてもよい。このフローチャートは、図１５のステップＳ２５に変えてステップＳ２４、Ｓ２６を追加し、さらに図１５のステップＳ２９を省略したものである。すなわち、このフローチャートでは、ステップＳ２３において、第１コントローラＣ１が補正値を求めた後、さらに当該第１コントローラＣ１がこの補正値に基づき目標停止位置を補正し（ステップＳ２４）、この補正後の目標停止位置データをＬＡＮ６２経由で他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する（ステップＳ２６）。そして、各モータコントローラＣは、この補正後の目標停止位置データに基づき自己の制御区間に目標停止位置が属するか否かを認識し（ステップＳ２７）、自己の制御区間に目標停止位置が属すると認識したモータコントローラＣは、この目標停止位置に基づき電磁石２６に対する電流供給を制御する（ステップＳ３１）。
【００９１】
図１２に示した例に基づき具体的に説明すると、第１コントローラＣ１は、目標停止位置の誤差、すなわち補正値（例えば−０．０２ｍｍ）を求めた後、目標停止位置（Ｘ＝８８０．５５ｍｍ）をこの補正値（−０．０２ｍｍ）により補正する（８８０．５３ｍｍ＝８８０．５５＋（−０．０２））（ステップＳ２１、Ｓ２３の処理）。
【００９２】
そして、この補正後の目標停止位置データ（Ｘ′＝８８０．５３ｍｍ）を他のコントローラＣ２〜Ｃ３２に伝送する（ステップＳ２６の処理）。
【００９３】
各モータコントローラＣは、この補正後の目標停止位置が自己の制御区間に属するかを判断する（ステップＳ２７の処理）。ここでは、目標停止位置（Ｘ′＝８８０．５３ｍｍ）は、搬送起点から２つめのユニット部材２０のうち上流側から２番目の制御区間に目標停止位置が属するため、当該制御区間に対応する第６コントローラＣ６は、目標停止位置が自己の制御区間に属すると認識する。
【００９４】
これにより、第６コントローラＣ６は、目標停止位置データ（Ｘ′＝８８０．５３ｍｍ）からその制御区間内での目標停止位置（８０．５３ｍｍ）を求め、この目標停止位置に基づき電磁石２６の電流供給を制御する（ステップＳ３１の処理）。
【００９５】
このような図１６のフローチャートに示すサーボモータの制御の場合も、図１５のフローチャートの制御の場合と同様の作用効果を享受することができる。
【００９６】
なお、上述した本発明の実施形態においては、図７の測定治具を用いて各スライダ４の各移動誤差を測定しその移動誤差データを取得することが本発明のリニアコンベアの駆動制御方法におけるデータ取得工程に相当し、図１１（ステップＳ１５〜Ｓ１９）、図１５（ステップＳ２７〜Ｓ３１）及び図１６（ステップＳ２７、Ｓ３１）の各処理が同方法における搬送台車駆動工程に相当する。
【００９７】
ところで、以上説明したリニアコンベアは、本発明に係るリニアコンベアの好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００９８】
例えば、上記実施形態（図１０のフローチャート）では、リニアコンベアの搬送起点に配置したリーダライタ６０で各スライダ４の位置補正用データを読み取り、当該データを各モータコントローラＣに記憶させることで、各モータコントローラＣが各スライダ４の位置補正用データを用いて目標停止位置を補正するが、直線搬送部２Ａ、２Ｂの各制御区間それぞれにリーダライタ６０を配置し、各モータコントローラＣが直接リーダライタ６０を介して制御すべきスライダ４の位置補正用データを読み取れるようにしてもよい。このような構成によれば、目標停止位置とスライダ４のＩＤ情報さえ与えられれば、各モータコントローラＣは、直接スライダ４を特定してそのＲＦタグ５５から位置補正用データを読み出して目標停止位置を補正することができる、従って、上記実施形態のリニアコンベアと同等の作用効果を享受することができる。但し、この場合には、多数のリーダライタ６０が必要となるため、コスト面やメンテナンス面を考慮すると上記実施形態のように共通のリーダライタ６０により各スライダ４の位置補正用データ等を読み取る方が有利でとなる。
【００９９】
また、上記実施形態のリニアコンベアは、水平面に沿ってスライダ４が周回移動するように搬送経路が形成されているが、垂直面に沿ってスライダ４が周回移動するように搬送経路が形成されるものであってもよい。つまり、第１直線搬送部２Ａと第２直線搬送部２Ｂとが上下方向に離間して配置され、これら直線搬送部２Ａ、２Ｂの間で上下方向にスライダ４を平行移動させるように各方向反転部３Ａ、３Ｂが構成されるものでもよい。
【０１００】
また、上記実施形態では、リニアコンベアは、互いに平行な２つの直線搬送部２Ａ、２Ｂの両側にそれぞれ方向反転部３Ａ、３Ｂが配置された構成であるが、例えば単一の直線搬送部と、この直線搬送部の終端位置に到達したスライダ４を始端位置に戻すベルトコンベア等の運搬手段とを備えた構成であってもよい。運搬手段は、直動型ロボット等であってもよい。
【０１０１】
また、上記実施形態のリニアコンベアでは、ＲＦタグ５５を用いてスライダ４に固有情報を記憶させ、当該情報を非接触式のリーダライタ６０によって読み取っているが、スライダ４における固有情報の記憶手段や、当該記憶手段から固有情報を読み取る読取手段の具体的な構成は、当該実施例のものに限らず種々適用可能である。
【０１０２】
また、上記実施形態のリニアコンベアは、環状の搬送経路に沿ってスライダ４が周回移動する構成であるが、勿論、搬送経路は直線状のものであってもよい。すなわち、直線状の搬送経路上に配置された複数のスライダ４がそれぞれ割り当てられた一定の領域内で一体的に同方向に進退移動する、又は個別に進退移動するような構成であってもよい。
【０１０３】
また、上記のリニアコンベアでは、各直線搬送部２Ａ、２Ｂを構成するユニット部材２０は、４つの制御区間（電磁石２６）を含むが、この制御区間の数は４つ未満、又は５つ以上であってもよい。
【０１０４】
また、上記実施形態のリニアコンベアでは、リニアスケールとして磁気式のリニアスケールが適用されているが、勿論、光学式のリニアスケール等、磁気式以外のリニアスケールが適用されるものであってもよい。
【０１０５】
また、上記実施形態のリニアコンベアでは、複数のユニット部材２０が連結されることにより各直線搬送部２Ａ、２Ｂが構成されているが、例えば、直線搬送部２Ａ（又は２Ｂ）の長手方向全域に亘って連続する単一のフレームを備え、このフレームに複数の電磁石２６及び複数のセンサ基板２８がそれぞれ一列に配列された状態で固定される構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１０６】
１  基台
２Ａ  第１直線搬送部
２Ｂ  第２直線搬送部
３Ａ  第１方向反転部
３Ｂ  第２方向反転部
４  スライダ（搬送台車）
６  レール
７  リニアモータ固定子
８  リニアモータ可動子
２０  ユニット部材
２６  電磁石
２８  センサ基板（検出器）
５０ａ〜５０ｃ  磁気スケール（スケール部材）
７１  電流制御部
７２  主演算部
７３  位置検出部
７４  データ記憶部
７５  入出力部
７６  通信制御部
Ｃ（Ｃ１〜Ｃ３２）  モータコントローラ（モータ制御装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１２】
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