(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を基板に実装する部品実装装置の動作制御の設定を算出する演算装置であって、
前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を吸着するノズルを含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記ノズルにより吸着する吸着動作及び前記ノズルにより吸着した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記吸着動作の後の前記ノズル及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、
前記ノズルを前記供給装置の部品の搭載面に対して近づける又は遠ざける方向をＺ方向とし、Ｚ方向に交差する平面の方向をＸ，Ｙ方向とし、
前記演算装置は、前記算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算装置は、前記検出装置を用いて前記ノズル及び部品に関する状態を取得し、
前記演算制御部は、前記記憶部の情報をもとに、
（１）前記吸着動作の後の前記ノズルと部品との相対位置を表す状態パラメータを、Ｘ，Ｙ方向、及びＺ方向を含む形式で取得し当該情報を格納する第１の処理と、
（２）前記吸着動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を格納する第２の処理と、を行い、
前記演算制御部は、前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合に、
（３）前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値と第３の閾値とを比較し、前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値が第３の閾値未満である場合、前記ノズルのＺ方向位置を前記ノズルが部品に近づく位置へ修正する第３の処理を行うとともに、前記ノズルのＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を修正する必要は無いと判断し、
（４）前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値が第３の閾値以上である場合、前記ノズルの吸着位置の付近を含むＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を、小さくなるように修正する第４の処理を行い、
（５）前記第４の処理を行った後に、前記ノズルの吸着位置のパラメータ値を予め定められた設定値に再設定する第５の処理を行うこと、を特徴とする演算装置。
【請求項２】
請求項１記載の演算装置において、
前記状態パラメータのバラつきの値として、分散値を算出して利用すること、を特徴とする演算装置。
【請求項３】
請求項１記載の演算装置において、
前記部品実装装置または演算装置に備える出力装置の画面に、前記状態パラメータのバラつきの値と、前記設定のパラメータに関する前記修正の前後の値を含む修正内容情報とを表示し、ユーザによる確認の上で、前記修正を実行すること、を特徴とする演算装置。
【請求項４】
部品を基板に実装する部品実装装置であって、
前記部品実装装置は、
前記部品を供給する供給装置と、
前記部品を吸着するノズルを含む装着装置と、
前記部品実装装置の動作制御の設定を算出する演算装置と、
前記設定の情報に従って前記部品を前記ノズルにより吸着する吸着動作及び前記ノズルにより吸着した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、
前記吸着動作の後の前記ノズル及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、
前記ノズルを前記供給装置の部品の搭載面に対して垂直に近づける又は遠ざける方向をＺ方向とし、Ｚ方向に垂直な平面の方向をＸ，Ｙ方向とし、
前記演算装置は、前記算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算装置は、前記検出装置を用いて前記ノズル及び部品に関する状態を取得し、
前記演算制御部は、前記記憶部の情報をもとに、
（１）前記吸着動作の後の前記ノズルと部品との相対位置を表す状態パラメータを、Ｘ，Ｙ方向、及びＺ方向を含む形式で取得し当該情報を格納する第１の処理と、
（２）前記吸着動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を格納する第２の処理と、を行い、
前記演算制御部は、前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合に、
（３）前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値と第３の閾値とを比較し、前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値が第３の閾値未満である場合、前記ノズルのＺ方向位置を前記ノズルが部品に近づく位置へ修正する第３の処理を行うとともに、前記ノズルのＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を修正する必要は無いと判断し、
（４）前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値が第３の閾値以上である場合、前記ノズルの吸着位置の付近を含むＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を、小さくなるように修正する第４の処理を行い、
（５）前記第４の処理を行った後に、前記ノズルの吸着位置のパラメータ値を予め定められた設定値に再設定する第５の処理を行うこと、を特徴とする部品実装装置。
【請求項５】
部品を基板に実装する部品実装装置の動作制御の設定を算出する情報処理を演算装置に実行させるプログラムであって、
前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を吸着するノズルを含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記ノズルにより吸着する吸着動作及び前記ノズルにより吸着した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記吸着動作の後の前記ノズル及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、
前記ノズルを前記供給装置の部品の搭載面に対して垂直に近づける又は遠ざける方向をＺ方向とし、Ｚ方向に垂直な平面の方向をＸ，Ｙ方向とし、
前記演算装置は、前記算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算装置は、前記検出装置を用いて前記ノズル及び部品に関する状態を取得し、
前記演算制御部は、前記記憶部の情報をもとに、前記プログラムにより実行する処理として、
（１）前記吸着動作の後の前記ノズルと部品との相対位置を表す状態パラメータを、Ｘ，Ｙ方向、及びＺ方向を含む形式で取得し当該情報を格納する第１の処理と、
（２）前記吸着動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を格納する第２の処理と、を行い、
前記演算制御部は、前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合に、
（３）前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値と第３の閾値とを比較し、前記ノズルのＺ方向位置のパラメータ値が第３の閾値未満である場合、前記ノズルのＺ方向位置を前記ノズルが部品に近づく位置へ修正する第３の処理を行うとともに、前記ノズルのＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を修正する必要は無いと判断し、
（４）前記第３の処理を行った後に、前記ノズルの吸着位置の付近を含むＺ方向の移動の動作速度のパラメータ値を、小さくなるように修正する第４の処理を行い、
（５）前記第４の処理を行った後に、前記ノズルの吸着位置のパラメータ値を予め定められた設定値に再設定する第５の処理を行うこと、を特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の生産に係わる、部品（電子部品）を基板（回路基板）に実装する装置（部品実装装置）等の技術に関し、特に、部品実装装置の部位（ヘッドや吸着ノズル等）の動作制御の設定のパラメータ値を算出・決定・修正するための演算（情報処理）を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、部品供給装置（フィーダ）に保持されている部品を、内部が減圧された吸着ノズル（以下「ノズル」ともいう）で吸着して、基板の所定の位置に搬送して装着する（以下、吸着と装着を含めて実装と呼ぶ）。部品実装装置に関し、重力方向に交差（斜めでもよい）する方向をＸ，Ｙ方向（Ｘ−Ｙ平面）とし、Ｘ，Ｙ方向（Ｘ−Ｙ平面）に垂直に交差する方向をＺ方向とする。この場合、部品実装装置は、上記装着動作の際、ノズル（ノズルを備えるヘッド等）を、Ｘ，Ｙ方向及びＺ方向で移動させることでフィーダに保持された部品（吸着対象）の近くの位置（所定のＸ，Ｙ，Ｚ位置）に移動させ、所定の時間だけ停止させてノズルの内部を減圧することによって部品を吸着させ、ノズルに部品を吸着した状態で所定の動作速度にてＸ，Ｙ方向及びＺ方向に移動させることによって、部品を基板の所定の位置に装着する。
【０００３】
先行技術例として、特開２００２−０５０８９６号公報（特許文献１）がある。特許文献１には、部品吸着時のノズルのＸ，Ｙ方向の位置を設定する技術が記載されている。この技術では、部品吸着後にノズル及びノズルに把持された部品を撮像し、部品の目標把持位置とノズルの実際の把持位置との差分を算出し、差分に比例する値だけ、部品吸着時のノズルのＸ，Ｙ方向の位置を修正する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−０５０８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような部品実装装置では、フィーダに搭載・保持されている部品の位置や、部品の形状・重量などに応じて、ノズルの吸着時の位置や、ノズルの吸着時の停止時間や、ノズルの吸着後の動作速度などを、適切に設定する必要があると考える。
【０００６】
例えば、部品の搭載位置がＺ方向のノズル停止位置（部品の少し上）に対して反対側の方の位置にズレた場合（例えば部品を搭載するフィーダ（凹部）がＺ方向で少し下にズレた場合）には、部品とノズルとの距離が大きくなり、部品をノズルに適切に吸着することができにくくなる（図５）。これにより、部品を傾いた状態で吸着するといった異常や、部品を吸着できないといった異常が発生してしまう。このような場合には、例えば、ノズルの吸着位置（停止位置）をＺ方向の部品に近い位置に移動させることが必要になると考える。
【０００７】
また例えば、ノズルに関する圧力制御機構が劣化した場合には、ノズルの内部が減圧されるまでに時間がかかるため、十分にノズルの内部が減圧されない状態でノズルが動作してしまい、部品を傾いて吸着するといった異常や、部品を吸着できないといった異常が発生してしまう。このような場合には、例えば、ノズル内部が十分に減圧されるように、ノズルの部品吸着時の停止時間を増加させたり、ノズル内部の減圧状況に応じて動作速度（ノズル・ヘッド等の移動時の速度）を低下させたりすることが必要となると考える。
【０００８】
上記のような異常の発生率を下げるためには、ノズルによる部品の吸着の際の位置や停止時間や動作速度などを例えば演算により算出して適切に設定（修正）することが必要になると考える。
【０００９】
先行技術例では以下のような問題点がある。前記特許文献１の技術では、部品吸着時のノズルのＸ，Ｙ方向位置を設定する。しかしながら、この技術では、Ｚ方向のノズル位置を設定する方法や、部品吸着時のノズルの停止時間を設定する方法、等を提供（開示）していない。
【００１０】
そのため、例えばノズルのＺ方向位置を低下させて部品とノズルを接近・接触させることや、ノズルを部品に押し込むことによって、異常発生率を低下させることができる場合であっても、特許文献１の技術では、Ｚ方向のノズル位置を適切な値に設定できないので、異常発生率を低下させることができない。また、部品吸着時のノズルの停止時間を長くすることによって、異常発生率を低下させることができる場合であっても、特許文献１の技術では、ノズルの停止時間を適切な値に設定できないので、異常発生率を低下させることができない。
【００１１】
なお、特許文献１等の先行技術例では、把持位置の平均値がある程度ずれたときに把持位置（Ｘ，Ｙ方向）の修正を行うことまでは開示されているが、本発明のように把持位置のバラつき度合いが大きいときにＺ方向を含む位置や停止時間や動作速度などを修正することは開示されていない。
【００１２】
以上を鑑み、本発明の主な目的（課題）は、部品実装装置に係わり、部品吸着時のノズルのＺ方向を含む位置や停止時間や動作速度などを好適に算出・決定・修正することにより、異常発生率を低下させることができる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の代表的な形態は、部品実装装置の動作制御の設定（動作制御方法）の情報（パラメータ値）を算出・決定・修正するための演算（情報処理）を行う演算装置、当該演算装置を備える部品実装装置、及び当該演算装置での処理を実行させるプログラム、等であって、以下に示す構成を有することを特徴とする。
【００１４】
本形態の演算装置は、ノズルによる部品の吸着の際の位置などのバラつきが大きい場合に上記設定の情報の修正を行う機能を備える。本機能の処理では、従来とは異なる入力情報（Ｚ方向を含むノズルの吸着位置など）を用い、従来とは異なる処理（バラつき値の算出や判定など）を行い、従来とは異なる出力情報（Ｚ方向を含むノズルの吸着位置、停止時間、動作速度など）を得る。本演算装置は、上記機能を用いて、部品実装装置の実装動作（吸着動作と装着動作を含む）の設定に関する好適な修正を行うことにより、異常発生率を低下させる。
【００１５】
本形態の部品実装装置は、部品を供給する供給装置と、部品を吸着するノズルを含む装着装置と、設定の情報に従って、部品をノズルにより吸着する吸着動作、及びノズルにより吸着した部品を基板へ装着する装着動作を含む、実装動作における、供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、吸着動作の際のノズル及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備える。部品実装装置は、供給装置の所定の部品の位置に対応する所定の吸着位置（停止位置）に装着装置のノズルをＸ，Ｙ，Ｚ方向で移動させて当該ノズルにより当該部品を吸着させ、当該部品を吸着したノズルをＸ，Ｙ，Ｚ方向で移動させて当該部品を基板の所定の位置に装着させる。ノズルを供給装置の部品の搭載面に対して垂直に近づける又は遠ざける方向をＺ方向とし、Ｚ方向に垂直な平面の方向をＸ，Ｙ方向とする。
【００１６】
本形態の演算装置は、上記修正のための算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有する。記憶部に、吸着結果情報と、バラつき情報と、閾値情報と、を記憶する。吸着結果情報は、部品実装装置による吸着動作の結果（実績）を示す情報を含む。バラつき情報は、把持位置（吸着動作においてノズルが部品を把持する位置）などのバラつきを示す情報を含む。閾値情報は、バラつきの度合いを判定するための閾値を含む。演算装置は、例えば部品実装装置の検出装置を用いてノズル及び部品に関する状態を取得する。演算制御部は、記憶部の情報をもとに、（１）吸着動作の際のノズルと部品との距離ないし相対位置を表す状態パラメータをＺ方向を含む形式で取得または算出し当該情報（距離ＫＺや把持位置ＨＸ，ＨＹ）を吸着結果情報に格納する第１の処理と、（２）吸着結果情報による複数回（実績）の吸着動作における状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報をバラつき情報に格納する第２の処理と、（３）状態パラメータのバラつきの値が閾値情報による第１の閾値を超えた場合、ノズルの吸着位置（停止位置）のパラメータを、Ｚ方向を含む形式でノズルが部品に近づく位置へ修正する第３の処理と、を行う。
【００１７】
また、演算制御部は、（４）状態パラメータのバラつきの値が閾値情報による第２の閾値を超えた場合、ノズルの吸着位置での停止時間のパラメータを、大きくなるように修正する第４の処理を行う。
【００１８】
また、演算制御部は、（５）状態パラメータのバラつきの値が閾値情報による第３の閾値を超えた場合、ノズルの吸着位置の付近を含むＺ方向を含む移動における動作速度のパラメータを、小さくなるように修正する第５の処理を行う。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のうち代表的な形態によれば、部品実装装置に係わり、部品吸着後のノズルの部品把持位置や部品吸着時のノズルのＺ方向位置などを入力情報として、吸着時のノズルのＺ方向位置や停止時間、動作速度等を好適に算出・決定することにより異常発生率を低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態である部品実装装置（演算装置を含む）の構成例を示す図である。
【図２】本部品実装装置での処理例を示すフロー図である。
【図３】本部品実装装置におけるフィーダ、ヘッド等の部位の構成例、及び基板に対する部品の実装の構成例を模式的に示す図である。
【図４】ヘッド及びノズルの構成例を示す図である。
【図５】吸着時の部品及びノズルの位置を側面から見た例を示す図である。
【図６】側面検出部による画像の例を示す図である。
【図７】吸着時の部品及びノズルの位置を上面から見た例を示す図である。
【図８】下面検出部による画像の例を示す図である。
【図９】本演算装置の処理例（動作情報の算出・修正処理）を示すフロー図である。
【図１０】装着情報のテーブル例を示す図である。
【図１１】動作情報のテーブル例を示す図である。
【図１２】吸着結果情報のテーブル例を示す図である。
【図１３】バラつき情報のテーブル例を示す図である。
【図１４】閾値情報のテーブル例を示す図である。
【図１５】修正内容確認の画面例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図１〜図１５を用いて、本発明の一実施の形態（演算装置、部品実装装置など）について説明する。なお実施の形態を説明するための全図において、同一部には原則として同一符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。説明上の記号として、例えば、フィーダをＦ、ノズルをＮ、部品をＰとする。
【００２２】
本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）では、図１，図３，図４等のハードウェア・ソフトウェアの構成に基づき、図２，図９のような処理（部品実装装置１００の部品実装方法（動作制御の設定情報）を算出・決定・修正する処理を含む）を行う。図１０〜図１４のようなデータ情報を管理する。図１５のような画面でユーザ（本部品実装装置１００を含むシステムを利用・管理するオペレータ等）が情報入出力可能である。
【００２３】
特徴の１つとして、図２の処理ステップＳ９（詳細は図９）では、ノズルＮによる部品Ｐの把持位置（ＨＸ，ＨＹ）や、ノズルＮと部品Ｐとの距離（ＫＺ）に関する、バラつき情報を用いて、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｌ）または停止時間（Ｔ）または動作速度（Ｖ）等のパラメータの修正値（異常発生率の低下を図るために好適な修正値）を算出し、この結果を部品実装装置１００の動作制御の設定情報に反映する。
【００２４】
［部品実装装置］
図１において、本発明の一実施の形態である部品実装装置１００及び演算装置１５０の構成を示している。演算装置１５０は部品実装装置１００の内部に設けられている。なお、演算装置１５０が部品実装装置１００の外部に接続される形態としてもよいし、演算装置１５０と全体制御装置１４０を１つに統合した形態などとしてもよい。
【００２５】
部品実装装置１００は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、全体制御装置１４０、演算装置１５０、入力装置１７０、出力装置１７１、通信ＩＦ装置１７２、等を備え、これらがバス１７３を介して相互に接続されている。入力装置１７０は、ユーザ操作による情報入力を受け付ける例えばマウスやキーボード等である。出力装置１７１は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイやプリンタ等である。通信ＩＦ装置１７２は、バス１７３や外部ネットワーク等を介して他の装置やシステム（既存の生産管理システム等とも接続可能である）と接続し情報送受信を行うためのインタフェースである。バス１７３は各部（１１０〜１７２）を連結する。各装置（１１０〜１５０）のＩＦ部（１１２〜１６３等）は、バス１７３を介して情報送受信を行うためのインタフェースである。
【００２６】
供給装置１１０は、複数のフィーダＦを備えるフィーダベース１１１、ＩＦ部１１２、等を備える。供給装置１１０は、詳しくは図３内に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。
【００２７】
装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズル（吸着ノズル）１２３、駆動制御部１２４、圧力制御部１２５、ＩＦ部１２６、等を備える。装着装置１２０は、詳しくは図３内に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。駆動制御部１２４は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、後述する装着情報１４２（図１０）で示す装着順序、及び基板上の部品装着位置座標に対して部品を装着するように、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びノズル１２３等の部位（図３〜図５等）を制御する。圧力制御部１２５は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、ノズル１２３の内部の圧力を制御する。例えば、圧力制御部１２５は、全体制御部１４０から、ノズル１２３の内部の圧力を低下させてノズル１２３に部品Ｐを吸着させるように指示を受ける。
【００２８】
部品検出装置１３０は、側面検出部１３１、下面検出部１３２、ＩＦ部１３３、等を備える。側面検出部１３１は、全体制御部１４０の指示を受けて、部品Ｐを吸着したノズル１２３（Ｎ）を横（側面）から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｚ方向（図５）におけるノズルＮと部品Ｐとの距離（ＫＺ）を測定・算出する（後述、図５，図６等）。側面検出部１３１は、例えば図４のように、ヘッド１２１に搭載された受光部１３１ａ及び投光部１３１ｂを有して成り、上記値（ＫＺ）の算出処理機能を含む。
【００２９】
また下面検出部１３２は、全体制御部１４０の指示を受けて、部品Ｐを吸着したノズル１２３（Ｎ）を下から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｘ，Ｙ方向（図３）におけるノズルＮによる部品Ｐの把持位置（ＨＸ，ＨＹ）を測定・算出する（後述、図７，図８等）。下面検出部１３２は、例えば図３のように、フィーダベース１１１と基板９０との間に配置され、上記値（ＨＸ，ＨＹ）の算出処理機能を含む。
【００３０】
なお本実施の形態では、上記ＫＺ、ＨＸ，ＨＹ値の算出処理は、側面検出部１３１，下面検出部１３２で行い、その結果を演算装置１５０が取得する形であるが、演算装置１５０などの他の部位で当該算出処理を行ってもよい。演算装置１５０で行う場合は、側面検出部１３１，下面検出部１３２から各データ情報（例えば画像データ）を取得し、演算装置１５０で各値を算出する。また、上記値を得るための手段は、撮像やパターンマッチング等の手段に限らず各種適用可能である。
【００３１】
全体制御装置１４０は、部品実装装置１００の主制御部であり、全体制御部１４４、記憶部１４１、ＩＦ部１４５、等を備える。記憶部１４１の記憶領域には、装着情報Ｄ１（後述、図１０）、動作情報Ｄ２（後述、図１１）、等を記憶する。
【００３２】
全体制御部１４４は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、演算装置１５０、入力部１７０、出力部１７１、及び通信ＩＦ部１７２等で行う処理を制御する。全体制御装置１４０は、装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２に従って、供給装置１１０や装着装置１２０、部品検出装置１３０等の各部位（フィーダＦ、ノズルＮ等を含む）の動作を制御する。全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納された順序に従って、所定のフィーダＦから所定のノズルＮにて、動作情報Ｄ２に格納されている設定に従って、部品Ｐを吸着させる。吸着の際、全体制御部１４４は、部品検出部１３０に、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ、距離ＫＺ、等を算出させる。そして全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納されている基板の位置に、部品Ｐを装着させる。
【００３３】
装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２（その格納情報）は、部品実装装置１００の各部位の動作（実装動作）を制御するための情報（設定情報）の１つである。
【００３４】
［演算装置］
演算装置１５０は、演算制御部１６０、記憶部１５１、入力部１６１、出力部１６２、ＩＦ部１６３、等を備える。記憶部１５１の記憶領域には、吸着結果情報Ｄ３（後述、図１２）、バラつき情報Ｄ４（後述、図１３）、閾値情報Ｄ５（後述、図１４）、等を記憶する。
【００３５】
演算装置１５０は、一般的なコンピュータやＩＣなどで実現できる。例えば、演算制御部１６０は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ，ＲＡＭ等）などのハードウェア、及びそれによるソフトウェアプログラム処理（本実施の形態のプログラムによる処理）などで実現できる。例えば演算制御部１６０により記憶部１５１や外部などに格納されているプログラムをロードして実行することにより各処理機能（図２内，図９内に示す処理を含む）を実現する。記憶部１５１は、各種メモリ、ＨＤＤ等の外部記憶装置、ＣＤやＤＶＤ等の記憶媒体に対して情報を読み書きする読書装置、あるいは外部ネットワークのデータを読み書きする装置などで実現できる。入力部１６１は、ユーザ操作による情報入力を受け付けるキーボードやマウスなどの入力装置、出力部１６２は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイなどの出力装置、ＩＦ部１６３は、バス１７３に接続しバス１７３を介して情報の送受信を行うためのインタフェース、でそれぞれ実現できる。
【００３６】
演算制御部１６０は、吸着結果情報Ｄ３に格納されている情報（実績データ）を用いて、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ及び距離ＫＺに関するバラつき等を算出し、判定に基づき、動作情報Ｄ２に格納されている情報（設定情報）を修正する処理を行う（後述、図２，図９等）。
【００３７】
演算装置１５０内に格納される吸着結果情報Ｄ３、バラつき情報Ｄ４、閾値情報Ｄ５は、演算装置１５０の処理で必要な情報として管理している。なお必要に応じて、これらの情報は、全体制御装置１４０内の各情報（装着情報Ｄ１、動作情報Ｄ２）と統合したり分離してもよい。
【００３８】
［供給装置・装着装置］
図３は、図１の供給装置１１０及び装着装置１２０に係わる、フィーダベース１１１、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びガイド１２２ａ等の概略構成（上面）を示す。フィーダベース１１１には、複数のフィーダ１１１ａ（Ｆ）が具備されている。部品供給装置（フィーダベース１１１）は、一例としてテープ型であり、例えばフィーダＦ毎に、供給対象の複数の部品Ｐが搭載される。例えば、フィーダＦに格納されている１つの部品Ｐがヘッド１２１のノズルＮ（図４）により吸着されると、全体制御装置１４０の指示に応じて、当該フィーダＦは、残りの部品Ｐのうちの次の１つを、当該ノズルＮにより吸着可能な位置まで自動的に搬送（図３ではＹ方向）する。
【００３９】
ヘッド１２１及びビーム１２２等の動作は、全体制御装置１４０の指示に応じて制御される。ヘッド１２１は、ビーム１２２に沿って、一つの座標軸方向（図３ではＸ方向）に移動させることができるように構成されている。ビーム１２２は、ガイド１２２ａに沿って、ヘッド１２１が移動する座標軸方向と交差する他の座標軸方向（図３ではＹ方向）に移動することができるように構成されている。更に、ヘッド１２１（ヘッド１２１に搭載されるノズルＮ）を、Ｘ，Ｙ方向に対する垂直方向（Ｚ方向）に移動させることができるように構成されている。
【００４０】
ヘッド１２１及びビーム１２２をＸ，Ｙ方向に移動させ、ヘッド１２１に備えるノズルＮをＺ方向で移動させ、所定のノズルＮにより所定のフィーダＦから所定の部品Ｐ（５０）を吸着することができ、更に各部をＸ，Ｙ，Ｚ方向で同様に移動させて、基板９０上の所定の位置に部品Ｐ（５０）を装着することができる構成である。
【００４１】
［ヘッド・ノズル］
図４は、ヘッド１２１の構成例として下面を示す。本ヘッド１２１は、下面部に、複数のノズル１２３（Ｎ）を備えており、更に、側面検出部１３１の構成要素である受光部１３１ａ及び投光部１３１ｂが搭載されている。本例では、円状に複数（例えば１２）のノズルＮが配置されており、回転制御などによって、所望のノズルＮの利用が可能な機構である。また同様に回転制御などによって、所望のノズルＮを、受光部１３１ａで撮像することが可能な機構である。各ノズルＮの位置は番号で識別される。
【００４２】
その他、ヘッド１２１やノズルＮに関しては各種形態が適用可能である。例えば１つのユニットに複数のヘッド１２１やノズルＮを搭載する構成が挙げられる。
【００４３】
［側面検出部、距離ＫＺ］
側面検出部１３１において、受光部１３１ａ（図４）は、投光部１３１ｂから発せられた光を受けて、光の影となった部分から、例えば図６に示すような画像を作成（撮像）する。そして、側面検出部１３１は、当該撮像による画像から、ノズルＮに対する部品Ｐの相対的な距離ＫＺを算出する。
【００４４】
図５は、吸着の際のフィーダＦの部品Ｐ及びノズルＮの位置を側面から見た例を示す。フィーダＦの凹部５２０毎に部品５０（Ｐ）が格納されている場合である。（ａ）は例えば設定上の標準的な位置（停止位置Ｌ）の場合、（ｂ）は（ａ）から少しズレた場合である。
【００４５】
（ａ）で、５０１は、ノズルＮの位置（停止位置Ｌ）に関するＺ方向の基準線（Ｚ方向位置（ｚ）＝０）である。例えば基準線５０１に対して下方向（ノズルＮ下降方向）を＋（正）、上方向を−（負）とする。５０３は、ノズルＮの先端（下端）によるノズル停止位置Ｌの線を示す。５０２は、５０３の停止位置Ｌに対応したノズルＮのＺ方向位置（ｚ）を示す。５０４は、部品Ｐの上端による部品位置の線を示す。５０５は、ノズルＮ下端と部品Ｐ上端との距離を示す。５０６は、ノズルＮ下端と部品Ｐ下端（凹部５２０底面）との距離を示す。距離ＫＺは例えば５０５または５０６で算出できる。
【００４６】
フィーダＦ（凹部５２０）における部品Ｐの位置は、Ｚ方向を含む方向でズレやバラつきが生じ得る。例えば前述のようにフィーダＦが搬送で動く場合、凹部５２０の面がＺ方向で少しズレる場合が考えられる。これにより、ノズルＮに対しての部品Ｐの相対的な位置（距離）が少しズレることになる。
【００４７】
（ｂ）は、（ａ）に対して、部品Ｐ位置がノズルＮ位置に対して反対側（＋Ｚ方向）に離れるようにズレた場合である。５０９は、部品Ｐの上端による部品位置の線を示す。５０４と５０９の線間の距離がズレの大きさに相当する。この場合、（ａ）に比べて、ノズルＮと部品Ｐとの距離（５０７または５０８）が大きい。即ち、ノズルＮによる部品Ｐの吸着がしにくくなり、異常（部品Ｐを斜めに吸着する、部品Ｐの端を吸着する、部品Ｐを吸着できない、吸着後に落下してしまう、等の異常）が発生しやすい。
【００４８】
図６は、側面検出部１３１の撮像による画像例であり、２値画像データの場合である。（ａ）の画像７００ａにおいて、７１１はノズルＮ相当部分、７１２は部品Ｐ相当部分である。７０１は、Ｚ方向の測定基準線であり、ノズルＮの先端（下端）を通る直線である。７０２は、部品Ｐの下端の直線である。７０３は、７０１と７０２による距離ＫＺを示す。また（ｂ）の画像７００ｂでは、距離ＫＺの概念をわかりやすく示すために、吸着時の部品Ｐの傾きが大きい場合を示している。７０４は、部品Ｐの下端の直線である。７０５は、７０１と７０４による距離ＫＺを示す。
【００４９】
ここで定義される距離ＫＺにおいては、（ａ）に比べて（ｂ）のようにノズルＮによる吸着の際における部品Ｐの傾きが大きいほど、ＫＺ値が大きくなるという関係がある。（ｂ）のようにＫＺ値が大きいほど、異常発生率が高い。本実施の形態では、距離ＫＺのバラつき値の大小に応じて、吸着時のノズルＮの位置などに関する修正を行う。
【００５０】
本実施の形態では、距離ＫＺの定義は、簡単に、Ｚ方向における、ノズルＮから部品Ｐまでの距離である。図６の例では、距離ＫＺの算出方法として、ノズルＮ先端（７０１）から部品Ｐ下端（７０２等）までの距離である。
【００５１】
距離ＫＺは、他の定義（算出方法）としてもよい。例えば下端や上端などに限らず基準点間の距離としてもよい。更に距離値などを入力として所定の式で計算される値などにしてもよい。またＺ方向に限らず、Ｘ，Ｙ方向を含めて距離値を算出してもよい。
【００５２】
［下面検出部、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ］
下面検出部１３２は、撮像による画像から、Ｘ，Ｙ方向における、部品Ｐ中心とノズルＮ中心との位置の差分により、部品把持位置ＨＸ，ＨＹを算出する。
【００５３】
図７は、吸着時の部品Ｐ及びノズルＮの位置を上面から見た例を示す。Ｘ，Ｙ方向（図３と同じ）で、長方形の部品Ｐの上に円形のノズルＮが重なる場合である。外側の円はノズルＮの外形、内側の円はノズルＮの内径である。ＣＰは部品Ｐ中心点、ＣＮはノズルＮ中心点を示す。６０１，６０２は、ＣＰを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。６０３，６０４は、ＣＮを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。ＰＸ，ＰＹは、部品Ｐ（ＣＰ）に対するノズルＮ（ＣＮ）のＸ，Ｙ方向の相対的な位置・距離を示す。多くの部品において、ＣＮとＣＰが一致する場合が理想的な吸着状態である。
【００５４】
図８は、下面検出部１３２の撮像による画像例である（図７と対応関係）。図８の画像８００において、Ｃは、測定基準点であり、ＣＰと一致する点である。８０１，８０２は、Ｃを通り、絶対座標系の基準線ではなく、部品Ｐ単位での座標系（例えば図７、図８の場合は、長辺に平行な方向がＸ，短辺に平行な方向がＹ）に即した測定基準線である。８０１は、部品との相対関係が図７の６０１と同一な直線である。例えば、図７において６０１は部品の短辺と平行な直線であるが、この場合、８０１も部品の短辺と平行な直線となる。同様に８０２は、部品との相対関係が図７の６０２と同一な直線である。８２０は部品Ｐ相当部分である。８１０（破線で示す領域）はノズルＮ相当部分である。８０３，８０４はノズル中心ＣＮを通る、Ｘ，Ｙ方向の測定基準線８０１，８０２と平行な直線である。８１０は、下面からの撮像であるため画像８００上で部品Ｐ（８２０）に隠れて映らないが、ノズルＮを予め定められた位置（例えば撮像部位の中心）に移動させることによってノズル中心ＣＮを把握することができる。
【００５５】
図７のＰＸ，ＰＹと、図８の部品把持位置ＨＸ，ＨＹとが対応する。ＨＸ，ＨＹは、部品ＰがフィーダＦに搭載されていた時の、部品ＰのＸ，Ｙ方向（絶対座標系におけるＸ，Ｙ方向）と、方向が一致する。例えば、フィーダＦに長方形の部品Ｐが搭載されていた時に、部品Ｐの長辺が図３のＸ方向に、短辺が図３のＹ方向に平行であった場合、部品把持位置ＨＸは、部品Ｐの長辺に平行な方向における部品中心ＣＰとノズル中心ＣＮの差分を表し、同様に部品把持位置ＨＹは、部品Ｐの短辺に平行な方向におけるＣＰとＣＮの差分を表す。
【００５６】
ＨＸ，ＨＹ値が大きいほど、ズレが大きく、ノズルＮによる部品Ｐの吸着がしにくくなり、異常（部品Ｐを斜めに吸着する、部品Ｐの端を吸着する、部品Ｐを吸着できない、吸着後に落下してしまう、等の異常）が発生しやすい。
【００５７】
［処理概要（図２）］
図２は、本実施の形態の特徴を含む、部品実装装置１００での全体的な処理概要のフローを示す（Ｓ１等は処理ステップを示す）。特にＳ９の詳細の構成例については図９を用いて後述する。
【００５８】
（Ｓ１）  全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１（図１０）、動作情報Ｄ２（図１１）を用いて、供給装置１１０や装着装置１２０を含む各部に対して実装動作を指示する。
【００５９】
（Ｓ２）  Ｓ１の指示に基づき、供給装置１１０は、フィーダＦ（１１１ａ）等を動作させ、装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズルＮ（１２３）等を動作させる。特に、対象のヘッド１２１・ノズルＮをＸ，Ｙ方向（図３）で移動させ、対象のフィーダＦ−部品Ｐ（吸着対象）の位置まで移動させる。
【００６０】
（Ｓ３）  続いて、ノズル１２３（Ｎ）をＺ方向（図５）で移動（下降）させ、対象の部品Ｐの近く（上）の所定の位置（ノズルＮの停止位置Ｌ｛ｘ，ｙ，ｚ｝）まで移動して停止させる。なお本実施の形態ではＳ２（Ｘ，Ｙ方向移動）とＳ３（Ｚ方向移動）を分けた形であるが、Ｓ２とＳ３を１つにまとめて同時的に制御（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動）する形も可能である。
【００６１】
（Ｓ４）  ノズルＮを停止位置Ｌで所定の時間（停止時間Ｔ）停止させ、圧力制御部１２５によるノズルＮ内部の減圧により、部品Ｐを吸着・把持させる。
【００６２】
（Ｓ５）  停止位置Ｌから、ノズルＮを所定の動作速度ＶＺでＺ方向（図５）で移動（上昇）させる。
【００６３】
また本実施の形態では、Ｓ４，Ｓ５の際、側面検出部１３１を用いて、部品Ｐを吸着・把持した状態のノズルＮを側面から撮像することにより、距離ＫＺを算出する。
【００６４】
（Ｓ６）  更に、ヘッド１２１・ノズルＮ等をＸ，Ｙ，Ｚ方向で移動させ、基板の部品装着位置まで移動させ、吸着の解除により、部品Ｐを装着する（図３）。
【００６５】
また本実施の形態では、Ｓ６の際、下面検出部１３２を用いて、部品Ｐを吸着・把持した状態のノズルＮを下面から撮像することにより、部品把持位置ＨＸ，ＨＹを算出する。
【００６６】
（Ｓ７）  上記Ｓ１〜Ｓ６で動作させたフィーダＦ、ノズルＮ等の組み合わせについて、実績データとなる吸着結果情報１５２を作成し、演算装置１５０の記憶部１５１に格納する。吸着結果情報１５２には、前記距離ＫＺ、部品把持位置ＨＸ，ＨＹの情報を含む。なおこの格納は他のタイミングでもよい。例えば、演算装置１５０は必要に応じて吸着結果情報１５２等を外部（全体制御装置１４０等）から取得してもよい。複数の各回の部品実装動作ごとに同様に実績データが格納される。
【００６７】
（Ｓ８）  上記部品Ｐの装着後、全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、上記Ｓ１〜Ｓ７で動作させたフィーダＦ、ノズルＮ等の組み合わせについて、演算装置１５０へ、動作情報Ｄ２の修正（その要否判断を含む）を指示する。
【００６８】
（Ｓ９）  演算装置１５０の演算制御部１６０は、指示に基づき、吸着結果情報１５２を用いて、動作情報Ｄ２の算出・修正のための以下の処理を行う（詳細は図９）。修正する対象、候補として、ノズルＮの停止位置Ｌ（１１ｃ）に関するＺ方向位置（ｚ）、停止時間Ｔ（１１ｄ）、動作速度ＶＺ（１１ｅ）を含む。
【００６９】
（１）  前記側面検出に基づき、ノズルＮ−部品Ｐにおける距離ＫＺ（図６等）を算出する。本実施の形態では、側面検出部１３１で算出・出力された距離ＫＺの情報を取得する。
【００７０】
（２）  前記下面検出に基づき、ノズルＮ−部品Ｐにおける部品把持位置ＨＸ，ＨＹ（後述、図８等）を算出する。本実施の形態では、下面検出部１３２で算出・出力された部品把持位置ＨＸ，ＨＹの情報を取得する。
【００７１】
（３）  上記（１）距離ＫＺ、（２）部品把持位置ＨＸ，ＨＹについて、各々、バラつき値を算出し、バラつき情報１５３として格納する。
【００７２】
（４）  上記（３）バラつき値について、閾値情報１５４を用いて、バラつきの大きさ（度合い）の判定を行う。この判定結果、及び優先度判定（後述）などに基づき、以下の（５）〜（７）のような各設定要素（パラメータ）に関する修正（修正値算出）を行う。
【００７３】
（５）  ノズルＮの停止位置Ｌ｛ｘ，ｙ，ｚ｝に関する修正値を算出する。特にＺ方向位置に関する修正を含む。
【００７４】
（６）  ノズルＮの停止時間Ｔに関する修正値を算出する。
【００７５】
（７）  ノズルＮの動作速度Ｖ（ＶＺ）に関する修正値を算出する。特にＺ方向の移動の動作速度ＶＺに関する修正を含む。
【００７６】
なお生産タクトタイムへの影響を考慮した修正の優先度は、上記（５）Ｌが第１優先、上記（６）Ｔ，（７）Ｖが第２優先である。
【００７７】
（８）  演算装置１５０の演算制御部１６０は、上記修正内容情報（パラメータ修正値などを含む）を含むＳ９処理結果を、吸着結果情報１５２に格納する。
【００７８】
（Ｓ１０）  演算装置１５０の演算制御部１６０等は、例えば画面にＳ９による修正内容情報を表示してユーザに修正実行につき確認させる（後述、図１５）。確認の上で、Ｓ９による修正内容情報（修正要否を含む）を、全体制御装置１４０へ応答送信し、これにより、全体制御部１４４は、動作情報１４３の内容を更新（再設定）する。なお上記画面・ユーザでの確認を省略した形態としてもよく、その場合は全体制御装置１４０内の設定情報が自動的に更新される形態となる。
【００７９】
［装着情報］
図１０は、装着情報Ｄ１の一実施形態である装着情報テーブル例を示す。本テーブルは、順序１０ａ、部品装着位置座標１０ｂ、フィーダ番号１０ｃ、吸着ノズル番号１０ｄ、等の各フィールドを有する。Ｄ１（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際、及び当該部品Ｐを基板上に装着する際における、順序、位置、フィーダＦ、ノズルＮ、等の情報を含む。なお図示していないが部品ＩＤ等の他のフィールドを有してもよい。
【００８０】
順序１０ａは、基板に対する部品Ｐの装着順序を示す情報と、ノズルＮによる当該部品Ｐの吸着順序を示す情報とが格納される。本実施の形態では、装着順序と吸着順序が同じになるように構成しているが、異なるようにしてもよい。部品装着位置座標１０ｂは、当該部品Ｐを基板（図３の９０）に装着する位置を示す情報として、基板上のＸ，Ｙ方向の座標の情報が格納される。
【００８１】
フィーダ番号１０ｃは、当該部品Ｐを保持するフィーダＦ（位置）を示す情報が格納される。本実施の形態では、フィーダベース１１１（図３）における当該フィーダＦ（１１１ａ）の搭載位置を一意に識別するフィーダ番号が格納される。吸着ノズル番号１０ｄは、当該部品Ｐを吸着するノズルＮを示す情報が格納される。本実施の形態では、当該ノズルＮに関係付けられるヘッド１２１（図４）における当該ノズルＮの位置を特定する情報として、当該ノズルＮの搭載位置を一意に識別するように割り振られた吸着ノズル番号（例えば１〜１２）を用いる。
【００８２】
［動作情報］
図１１は、動作情報Ｄ２の一実施形態である動作情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号１１ａ、吸着ノズル番号１１ｂ、停止位置（Ｌ）１１ｃ｛Ｘ方向位置（ｘ），Ｙ方向位置（ｙ），Ｚ方向位置（ｚ）｝、停止時間（Ｔ）１１ｄ、動作速度（ＶＺ）１１ｅ（修正係数）、等の各フィールドを有する。Ｄ２（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際のノズルＮの停止位置Ｌ、停止時間Ｔ、動作速度Ｖ、等の情報を含む。
【００８３】
フィーダ番号１１ａは、該当フィーダＦ（対象の部品Ｐを搭載する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｃと同様）。吸着ノズル番号１１ｂは、該当ノズルＮ（対象の部品Ｐを吸着する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｄと同様）。停止位置１１ｃ（Ｌ｛ｘ，ｙ，ｚ｝）は、１１ａで示す位置（フィーダＦ）に搭載された部品Ｐを、１１ｂで示すノズルＮにより吸着する場合における、ノズルＮの停止位置Ｌ（言い換えると吸着位置）、を特定する情報が格納される。本実施の形態では、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の各位置（基準位置に対する相対位置で示す）を有する。Ｘ方向位置（ｘ），Ｙ方向位置（ｙ）は図３のＸ，Ｙ方向の位置を示す。例えば、図７に示すように、部品中心ＣＰとノズル中心ＣＮとのＸ方向の距離が、１１ｃのｘの格納値と同一になる位置に、ノズルＮを停止させる。Ｚ方向位置（ｚ）は、図５のＺ方向の位置を示す。例えば、図５に示すように、基準線５０１（ｚ＝０）からの距離が、１１ｃのｚの格納値と同一になる位置に、ノズルＮを下降させて停止させる。
【００８４】
停止時間（Ｔ）１１ｄは、該当位置（フィーダＦ）の部品Ｐを該当ノズルＮで吸着する際における、１１ｃの停止位置ＬでのノズルＮ（対応するヘッド１２１等）の停止時間Ｔに関する修正値の情報を格納する。本例では、１１ｄの値の分だけ、ノズルＮを停止させる。例えば１１ｄの値が１の場合、Ｔ＝０．１秒とする。
【００８５】
動作速度（ＶＺ）１１ｅ（修正係数）には、該当位置（フィーダ）の部品Ｐを該当ノズルＮで吸着する際における、ノズルＮの動作速度Ｖを特定する情報が格納される。本実施の形態では、動作速度Ｖとして、少なくとも動作速度ＶＺを含む。動作速度ＶＺは、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮをＺ方向で上昇させる際の動作速度とする。また、１１ｅは修正係数で表している。１１ｅで示す値を、設定上の所定の標準動作速度値に乗算した値を、実際に使用する動作速度（修正値）とする。１１ｅ（ＶＺ）の制御につき、他の移動時に適用してもよい。例えばＸ，Ｙ方向の移動、及びヘッド１２１及びビーム１２２等の移動に適用してもよい。
【００８６】
［全体制御例］
全体制御装置１４０（全体制御部１４４）による装着情報Ｄ１（図１０）及び動作情報Ｄ２（図１１）を用いた部品実装動作の制御例は以下である。全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１の順序１０ａで、フィーダ番号１０ｃのフィーダＦ位置（ｄ１０）に搭載される部品Ｐを、吸着ノズル番号１０ｄのノズルＮ（ｄ１１）により吸着し、基板上の部品装着位置座標１０ｂに移動させて装着するように、供給装置１１０及び装着装置１２０等に対して指示する。ｄ１０等は区別のための符号である。
【００８７】
全体制御部１４４は、動作情報Ｄ２の１１ｃの停止位置Ｌ｛ｘ（ｄ１２），ｙ（ｄ１３），ｚ（ｄ１４）｝に、ノズルＮ（ｄ１１）を位置決め（停止）し、圧力制御部１２５に、該当ノズルＮ（ｄ１１）の内部を減圧するように指示を出し、１１ｄの停止時間Ｔ（ｄ１５）だけノズルＮ（ｄ１１）を停止させることにより部品Ｐを吸着させる。そして、全体制御部１４４は、停止時間Ｔ（ｄ１５）の経過後、１１ｅの動作速度ＶＺ（ｄ１６）で該当ノズルＮ（ｄ１１）等を移動させる。
【００８８】
また上記吸着後、全体制御部１４４は、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮ（ｄ１１）を側面検出部１３１（図４）で撮像可能な位置に移動させて側面から撮像させる。これにより、前述の距離ＫＺ（ｄ１７）を算出させる。また、全体制御部１４４は、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮ（ｄ１１）を、下面検出部１３２（図３）で撮像可能な予め定められた位置に移動させて下面から撮像させる。これにより、前述の部品把持位置ＨＸ（ｄ１８），ＨＹ（ｄ１９）を算出させる。
【００８９】
全体制御部１４４は、吸着結果情報Ｄ３（図１２）の最終行の該当フィールド（１２ａ〜１２ｈ）に、上記動作による１０ｃのフィーダ位置（ｄ１０）、１０ｄのノズルＮ（ｄ１１）、１１ｃの停止位置Ｌ｛ｘ（ｄ１２），ｙ（ｄ１３），ｚ（ｄ１４）｝、１１ｄの停止時間Ｔ（ｄ１５）、１１ｅの動作速度ＶＺ（ｄ１６）、上記算出した距離ＫＺ（ｄ１７）、部品把持位置ＨＸ（ｄ１８），ＨＹ（ｄ１９）の値などを格納する。
【００９０】
そして、全体制御部１４４は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向で、ノズルＮ（ｄ１１）を基板上の部品装着位置座標１０ｂに移動させ、圧力制御部１２５に、ノズルＮ（ｄ１１）の内部の減圧を解除するように指示することで、部品Ｐを当該位置に装着させる。
【００９１】
［吸着結果情報］
図１２は、吸着結果情報１５２の一実施形態である吸着結果情報テーブル例を示す。吸着結果情報Ｄ３は、部品検出装置１３０を用いて検出・算出した情報を含む、部品吸着結果の情報（実績データ）が格納される。本テーブルは、フィーダ番号１２ａ、吸着ノズル番号１２ｂ、停止位置１２ｃ（Ｌ｛ｘ，ｙ，ｚ｝）、停止時間（Ｔ）１２ｄ、動作速度（ＶＺ）１２ｅ、部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）、距離ＫＺ（１２ｈ）、等の各フィールドを有する。１２ａ〜１２ｅは、図１１の１１ａ〜１１ｅに対応したフィールドであり、前記Ｓ７及び［全体制御例］で説明したように、これらの各フィールドに、前述のような値（ｄ１０〜ｄ１９）が格納される。
【００９２】
部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）には、前述（図７，図８）の下面検出部１３２で検出・算出した部品把持位置ＨＸ，ＨＹを特定する情報が格納される。本例では、図７のＣＰ＝ＣＮのときを０とした値である。距離ＫＺ（１２ｈ）には、前述（図５，図６）の側面検出部１３１で検出・算出した距離ＫＺを特定する情報が格納される。本例では、ノズルＮ先端と部品Ｐ先端とのＺ方向の距離である。
【００９３】
［バラつき情報］
図１３は、バラつき情報Ｄ４の一実施形態であるバラつき情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号１３ａ、吸着ノズル番号１３ｂ、部品把持位置平均ＡｖｅＸ（１３ｃ）、部品把持位置平均ＡｖｅＹ（１３ｄ）、部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（１３ｅ）、距離分散ＶａｒＺ（１３ｆ）、等の各フィールドを有する。バラつき情報Ｄ４には、図９の処理で算出される情報が格納される。
【００９４】
フィーダ番号１３ａは、フィーダＦ位置の情報が格納される（１０ｃと同様）。吸着ノズル番号１３ｂはノズルＮ位置の情報が格納される（１０ｄと同様）。
【００９５】
部品把持位置平均ＡｖｅＸ（１３ｃ）は、部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）の平均値（ＡｖｅＸとする）の情報が格納される。部品把持位置平均ＡｖｅＹ（１３ｄ）は、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）の平均値（ＡｖｅＹとする）の情報が格納される。なお１３ｃ，１３ｄの平均は、前述のフィーダＦ−ノズルＮの単位（組み合わせ）でとる（ノズルＮに関わらず、同一のフィーダＦについての平均をとってもよい。またフィーダＦに関わらず、同一のノズルＮについての平均をとってもよい）。また過去の複数回の実装動作の実績データに基づく平均をとる。
【００９６】
また、部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（１３ｅ）には、部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）から算出された分散値（ＶａｒＸＹとする）の情報が格納される。距離分散ＶａｒＺ（１３ｆ）は、距離ＫＺ（１２ｈ）から算出された分散値（ＶａｒＺとする）の情報が格納される。これら分散（ＶａｒＸＹ，ＶａｒＺ）は、バラつき度合いを表している。
【００９７】
［閾値情報］
図１４は、閾値情報Ｄ５の一実施形態である閾値情報テーブル例を示す。本テーブルは、第１閾値Ｔｈ１（１４ａ）、第２閾値Ｔｈ２（１４ｂ）、第３閾値Ｔｈ３（１４ｃ）、Ｚ方向位置初期値（１４ｄ）、等の各フィールドを有する。閾値情報Ｄ５は、吸着時のノズルＮの動作の修正に関する、図９の判定（ｓ３，ｓ４，ｓ６）で用いる設定情報であり、各フィールド値はユーザにより設定変更可能となっている。
【００９８】
第１閾値Ｔｈ１（１４ａ）は、ノズルＮのＺ方向位置（ｚ）、停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）等の修正処理を実施するか否かを判定（ｓ３）するための情報が格納される。第２閾値Ｔｈ２（１４ｂ）は、ノズルＮのＸ方向位置（ｘ），Ｙ方向位置（ｙ）の修正処理を実施するか否かを判定（ｓ４）するための情報が格納される。第３閾値Ｔｈ３（１４ｃ）は、ノズルＮの停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）の修正処理を実施するか否かを判定（ｓ６）するための情報が格納される。
【００９９】
Ｚ方向位置初期値（１４ｄ）には、Ｔ，ＶＺの修正を実施した場合における、ノズルＮのＺ方向位置（ｚ）のリセット時の値（再設定値）を決定するための情報が格納される。本実施の形態では、Ｔ，ＶＺの修正を実施した場合、ノズルＮの位置をＺ方向で上方の初期値（１４ｄ）に戻す制御（リセット）を行うため、当該初期値（１４ｄ）を設定可能としている。
【０１００】
［処理詳細（図９）］
図９は、図２のＳ９に係わる、演算装置１５０（主に演算制御部１６０）による動作情報Ｄ２の算出・修正のための処理例を示す（ｓ１等は処理ステップを表す)。演算制御部１６０は、例えば全体制御装置１４０（全体制御部１４４）から、ＩＦ部１６３等を介して、動作情報Ｄ２（テーブル）の修正の対象となるフィーダＦ（フィーダ位置）（ｄ２０１）とノズルＮ（ノズル位置）（ｄ２０２）の組み合わせ等を指定する情報と、動作情報Ｄ２の修正処理の指示を受けると、図９の処理を実行する。
【０１０１】
（ｓ１）  演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸの平均値（ＡｖｅＸ）、部品把持位置ＨＹの平均値（ＡｖｅＹ）、距離ＫＺの平均値（ＡｖｅＺ）を算出する。なおフィーダＦ、ノズルＮ，部品Ｐ等の単位での平均（Ａｖｅ）をとる。
【０１０２】
まず演算制御部１６０は、動作情報Ｄ２のテーブルで、フィーダ番号１１ａがｄ２０１に等しく、かつ吸着ノズル番号１１ｂがｄ２０２に等しい行を特定し、当該行に格納されたＸ方向位置（ｘ）（ｄ２０３）、Ｙ方向位置（ｙ）（ｄ２０４）、Ｚ方向位置（ｚ）（ｄ２０５）、停止時間Ｔ（１１ｄ）（ｄ２０６）、動作速度ＶＺ（１１ｅ）（ｄ２０７）を読み込む。さらに、演算制御部１６０は、吸着結果情報Ｄ３のテーブルで、全ての行を検索し、下記の条件１に当てはまる行を特定し、条件１に当てはまる行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報を読み込む。
【０１０３】
（条件１）  フィーダ番号１２ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１２ｂの格納値がｄ２０２に等しく、１２ｃのＸ方向位置（ｘ）の格納値がｄ２０３に等しく、Ｙ方向位置（ｙ）の格納値がｄ２０４に等しく、Ｚ方向位置（ｚ）の格納値がｄ２０５に等しく、停止時間Ｔ（１２ｄ）の格納値がｄ２０６に等しく、動作速度ＶＺ（１２ｅ）の格納値がｄ２０７に等しい。
【０１０４】
ここで、条件１に当てはまる行のうち上からｉ番目の行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）の情報をＸｉ、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）の情報をＹｉ、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報をＺｉと呼び、条件１に当てはまる行の個数をｎと呼ぶ。
【０１０５】
さらに、演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸの平均値（ＡｖｅＸ）、部品把持位置ＨＹの平均値（ＡｖｅＹ）、及び距離ＫＺの平均値（ＡｖｅＺ）を算出する。データの個数ｎが所定の閾値Ｔｈ０（例えば５）以下である場合は、データ数が少ないとして、ＡｖｅＸ＝０，ＡｖｅＹ＝０，ＡｖｅＺ＝０とする。閾値Ｔｈ０よりもｎが大きい場合は、演算制御部１６０は、次の式（１）、式（２）、及び式（３）に従い、ＡｖｅＸ，ＡｖｅＹ，ＡｖｅＺを算出する。
【０１０６】
【数１】
0005795882.tif 000002
【０１０７】
【数２】
0005795882.tif 000003
【０１０８】
【数３】
0005795882.tif 000004
【０１０９】
演算制御部１６０は、上記のｄ２０１をバラつき情報Ｄ４のテーブルのフィーダ番号１３ａに格納し、ｄ２０２を吸着ノズル番号１３ｂに、ＡｖｅＸを１３ｃに、ＡｖｅＹを１３ｄに格納する。
【０１１０】
（ｓ２）  演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつきを示す値としてＨＸ，ＨＹの分散（ＶａｒＸＹ）を算出し、距離ＫＺのバラつきを示す値として、ＫＺの分散（ＶａｒＺ）を算出する。
【０１１１】
演算制御部１６０は、データ個数ｎが所定の閾値Ｔｈ０（例えば５）以下である場合は、データ数が少ないとして、ＨＸ，ＨＹの分散の和であるＶａｒＸＹについて、ＶａｒＸＹ＝０とし、距離ＫＺの分散であるＶａｒＺについて、ＶａｒＺ＝０とする。閾値Ｔｈ０よりもｎが大きい場合は、演算制御部１６０は、次の式（４）、式（５）に従い、ＶａｒＸＹ，ＶａｒＺを算出する。
【０１１２】
【数４】
0005795882.tif 000005
【０１１３】
【数５】
0005795882.tif 000006
【０１１４】
演算制御部１６０は、上記のＶａｒＸＹをバラつき情報Ｄ４のテーブルの１３ｆに格納し、ＶａｒＺを１３ｇに格納する。
【０１１５】
（ｓ３）  演算制御部１６０は、ｓ２で算出したＨＸ，ＨＹのバラつき（分散ＶａｒＸＹ）と、距離ＫＺのバラつき（分散ＶａｒＺ）のデータ、及び閾値情報Ｄ５（第１閾値Ｔｈ１）を用いて、次に行う処理を決定するための判定を行う。演算制御部１６０は、ＶａｒＸＹまたはＶａｒＺが第１閾値Ｔｈ１（１４ａ）以上である場合（ｓ３−Ｙ）、次にｓ６以降の処理（Ｚ修正処理）を行い、ＶａｒＸＹ及びＶａｒＺがともに第１閾値Ｔｈ１（１４ａ）未満である場合（ｓ３−Ｎ）、次にｓ４以降の処理（ＸＹ修正処理）を行う。ｓ６以降の処理（Ｚ修正処理）では、ノズルＮの停止位置Ｌ（Ｚ方向位置（ｘ））、または、停止時間Ｔまたは動作速度ＶＺが修正され、ｓ４以降の処理（ＸＹ修正処理）では、Ｘ方向位置（ｘ）、Ｙ方向位置（ｙ）が修正される。
【０１１６】
（ｓ４）  演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸ，ＨＹの平均値（ＡｖｅＸ，ＡｖｅＹ）、及び閾値情報Ｄ５を用いて、次に行う処理を決定するための判定を行う。演算制御部１６０は、ＡｖｅＸまたはＡｖｅＹが第２閾値Ｔｈ２（１４ｂ）以上である場合（ｓ４−Ｙ）は、次にｓ５の処理を行い、ＡｖｅＸ及びＡｖｅＹが第２閾値Ｔｈ２（１４ｂ）未満である場合（ｓ４−Ｎ）は、吸着に問題は無いと判定して処理を終了する。
【０１１７】
（ｓ５）  演算制御部１６０は、上記平均値ＡｖｅＸ，ＡｖｅＹを用いて、吸着時のノズルＮのＸ，Ｙ方向の位置（ｘ，ｙ）を修正する。演算制御部１６０は、次の式（６）、式（７）を用いて、Ｘ方向位置（ｘ）の修正値（ｎｅｗｄ２０３）及びＹ方向位置（ｙ）の修正値（ｎｅｗｄ２０４）を算出する。ここで、式（６）、式（７）中のαは０〜１の間の実数（例えば０．９）である。
【０１１８】
【数６】
0005795882.tif 000007
【０１１９】
【数７】
0005795882.tif 000008
【０１２０】
演算制御部１６０は、上記算出した修正値（ｎｅｗｄ２０３とｎｅｗｄ２０４）を、動作情報Ｄ２のテーブルのうち、フィーダ番号１１ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１１ｂの格納値がｄ２０２に等しい行を特定し、当該行にある１１ｃのＸ方向位置（ｘ）のデータをｎｅｗｄ２０３に修正し、Ｙ方向位置（ｙ）のデータをｎｅｗｄ２０４に修正し、処理を終了する。
【０１２１】
（ｓ６）  演算制御部１６０は、Ｚ方向位置（ｚ）の値、及び閾値情報Ｄ５を用いて、次に行う処理を決定するための判定を行う。演算制御部１６０は、ｄ２０５（ｚ）が第３閾値Ｔｈ３（１４ｃ）未満である場合（ｓ６−Ｙ）は、第１優先の処理として、部品ＰとノズルＮの間に余裕がある（離れている）と判断して、ｓ７等でノズルＮのＺ方向位置（ｚ）を部品Ｐに近づける位置に修正する処理を行う。ｄ２０５（ｚ）がＴｈ３（１４ｃ）以上である場合（ｓ６−Ｎ）は、部品ＰとノズルＮの間が近すぎると判断して、ｓ８等でノズルＮのＺ方向位置（ｚ）以外のパラメータ（停止時間Ｔと動作速度ＶＺ）を修正する処理を行う。
【０１２２】
（ｓ７）  演算制御部１６０は、Ｚ方向位置（ｚ）の修正値を算出する処理を行う。演算制御部１６０は、例えば、ｄ２０５（ｚ）に所定の実数（例えば０．１）を加算した値を、Ｚ方向位置（ｚ）の修正値（ｎｅｗｄ２０５）として算出する。また、停止時間Ｔと動作速度ＶＺを修正する必要は無いと判断して、停止時間Ｔの修正値（ｎｅｗｄ２０６）にｄ２０６を、動作速度ＶＺの修正値（ｎｅｗｄ２０７）にｄ２０７を代入する。上記修正方法としては、加算ではなく乗算などとしてもよい。
【０１２３】
（ｓ８）  演算制御部１６０は、停止時間Ｔの修正値を算出する処理を行う。演算制御部１６０は、例えば、ｄ２０６に所定の実数（例えば０．１）を加算した値を停止時間Ｔの修正値（ｎｅｗｄ２０６）として算出する。
【０１２４】
（ｓ９）  演算制御部１６０は、動作速度ＶＺの修正値を算出する処理を行う。演算制御部１６０は、例えば、ｄ２０７から所定の実数（例えば０．１）を減算した値を、動作速度ＶＺの修正値（ｎｅｗｄ２０７）として算出する。
【０１２５】
（ｓ１０）  演算制御部１６０は、ｓ８の停止時間Ｔの修正値と、ｓ９の動作速度ＶＺの修正値とにおいて、生産タクトタイムへの影響の小さい方を、優先度が高いもの（修正に用いるもの）として特定し、総合的に、Ｚ方向位置（ｚ）、停止時間Ｔ、動作速度ＶＺの修正値を決定する。
【０１２６】
演算制御部１６０は、次の式（８）に従い、停止時間Ｔの修正時（仮定）の生産タクトタイム増加量と、動作速度ＶＺの修正時（仮定）の生産タクトタイム増加量と、の差分（ＤｉｆＴｉｍｅ）を算出する。
【０１２７】
【数８】
0005795882.tif 000009
【０１２８】
ここで式（８）中のβはヘッド１２１の動作距離（例えばフィーダベース１１１から基板９０までの距離）を表す実数である。
【０１２９】
上記のＤｉｆＴｉｍｅが０以下である場合は、停止時間Ｔを修正して増加させた方が生産タクトタイム増加量が少ないため、停止時間Ｔを修正することに決定する。そこで、ｎｅｗｄ２０７にｄ２０７を代入し、（リセットのため）ｎｅｗｄ２０５にＺ方向位置初期値（１４ｄ）を代入する。
【０１３０】
また、ＤｉｆＴｉｍｅが０よりも大きい場合は、動作速度ＶＺを修正して低下させた方が生産タクトタイム増加量が少ないため、動作速度ＶＺを修正することに決定する。そこで、ｎｅｗｄ２０６にｄ２０６を代入し、（リセットのため）ｎｅｗｄ２０５にＺ方向位置初期値（１４ｄ）を代入する。
【０１３１】
（ｓ１１）  演算制御部１６０は、ｓ１０までの処理結果に基づき、Ｚ方向位置（ｚ）の修正値、停止時間Ｔの修正値、動作速度ＶＺの修正値などの情報（修正内容情報）を出力する。本実施の形態では、修正内容情報を画面に表示する処理を行い、ユーザにより修正内容の確認、及び修正実行を可能とする（図１５）。部品実装装置１００の出力部１７１（または演算装置１５０の出力部１６２）で画面を表示する。
【０１３２】
図１５は、ｓ１１で表示する画面例を示す。本画面では、修正対象となるフィーダＦの番号（ｇ１１）、ノズルＮの番号（ｇ１２）、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつき（分散値）（ｇ１３）、距離ＫＺのバラつき（分散値）（ｇ１４）、修正前の動作情報Ｄ２｛Ｚ方向位置（ｚ）（ｇ１５），停止時間Ｔ（ｇ１６）、動作速度ＶＺ（ｇ１７）等｝、修正後の動作情報Ｄ２｛Ｚ方向位置（ｚ）（ｇ１８），停止時間Ｔ（ｇ１９）、動作速度ＶＺ（ｇ２０）等｝の情報、及び、修正実行可否のボタン（ｇ２１、ｇ２２）等を表示する。
【０１３３】
演算装置１６０は、ｇ１１にｄ２０１を、ｇ１２にｄ２０２を、ｇ１３にＶａｒＸＹを、ｇ１４にＶａｒＺを表示し、修正前のｇ１５にｄ２０５を、ｇ１６にｄ２０６を、ｇ１７にｄ２０７を表示し、修正後のｇ１８にｎｅｗｄ２０５を、ｇ１９にｎｅｗｄ２０６を、ｇ２０にｎｅｗｄ２０７を表示する。
【０１３４】
（ｓ１２）  演算制御部１６０は、ｓ１１（図１５の画面）によるユーザの入力結果（Yesボタン（ｇ２１）による修正実行可など）を受け付ける。修正実行可（Ｙｅｓ）の場合（Ｙ）はｓ１３の処理を行い、修正実行不可（Ｎｏ）の場合はｓ１３を行わずに終了する。なお前述のようにｓ１１，ｓ１２を省略して自動的にｓ１３の修正を実行するようにしてもよい（例えば予め自動実行を設定可能とする）。
【０１３５】
（ｓ１３）  演算制御部１６０は、上記処理結果（修正内容情報）を用いて、動作情報Ｄ２（ｚ，Ｔ，ＶＺ等）を修正する（前述、Ｓ１０）。例えば、動作情報Ｄ２のテーブルのうち、フィーダ番号１１ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１１ｂの格納値がｄ２０２に等しい行を特定し、当該行にある１１ｃのＺ方向位置（ｚ）のデータをｎｅｗｄ２０５に修正し、停止時間Ｔ（１１ｄ）のデータをｎｅｗｄ２０５に修正し、動作速度ＶＺ（１１ｅ）のデータをｎｅｗｄ２０６に修正し、処理を終了する。
【０１３６】
［補足］
ノズルＮ・部品Ｐに関する状態パラメータ値（距離ＫＺや部品把持位置ＨＸ，ＨＹ）のデータ情報におけるバラつきを利用する理由について説明する。
【０１３７】
まず、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつきが大きい場合、ノズルＮは部品Ｐの端を吸着する可能性が高いことを表している。部品Ｐの端を吸着するということは、ノズルＮの穴が部品Ｐの外にはみ出る可能性が高く、ノズルＮの内部に空気が流入する可能性が高い。ノズルＮの内部に空気が流入すると、ノズルＮの内部の圧力が大きくなり、部品Ｐを落下させる可能性が高くなる。そのため、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつきを小さくすることが必要である。
【０１３８】
また、距離ＫＺのバラつきが大きい場合、ノズルＮが部品Ｐを大きく傾けて吸着する可能性が高い。部品Ｐを大きく傾けて吸着するということは、例えば部品Ｐを基板上に適切な向きで設置できず不良基板を発生させる原因となる。そこで、距離ＫＺのバラつきを小さくすることが必要である。
【０１３９】
部品把持位置ＨＸ，ＨＹや距離ＫＺのバラつきが拡大する理由としては、ノズルＮによる部品Ｐの吸着時における部品ＰとノズルＮとの距離が大きいことや、吸着時のノズルＮの停止時間Ｔが小さくノズルＮの内部の圧力が十分に低下する前にノズルＮが動作することや、ノズルＮの動作速度Ｖが大きいこと等が挙げられる。吸着時の部品ＰとノズルＮの距離が大きいと、吸着時にフィーダＦからノズルＮまで部品Ｐが移動する距離が拡大し、部品把持位置ＨＸ，ＨＹや部品の傾き（距離ＫＺ）がバラつく。ノズルＮの内部の圧力が十分に低下していない場合や、ノズルＮの動作速度Ｖが大きい場合には、ノズルＮの動作によって発生する空気抵抗等がノズルＮの吸着力よりも大きくなり、部品Ｐの把持位置ＨＸ，ＨＹや部品の傾き（距離ＫＺ）がバラつく。
【０１４０】
［効果等］
以上説明したように、本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）においては、実績データ（吸着結果情報Ｄ３）による部品Ｐの吸着後のノズルＮの部品把持位置ＨＸ，ＨＹや吸着時のノズルＮのＺ方向位置（ｚ）などを入力情報として、吸着時のノズルＮのＺ方向位置（ｚ）を含む停止位置Ｌや、停止時間Ｔ、動作速度ＶＺ等を、好適に算出・修正することにより、異常発生率を低下させることができる。
【０１４１】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【０１４２】
本発明は、生産管理システム等に利用可能である。
【符号の説明】
【０１４３】
５０…部品（Ｐ）、９０…基板、１００…部品実装装置、１１０…供給装置、１１１…フィーダベース、１１１ａ…フィーダ（Ｆ）、１１２，１２５，１３３，１４５，１６３…ＩＦ部、１２０…装着装置、１２１…ヘッド、１２２…ビーム、１２２ａ…ガイド、１２３…ノズル（吸着ノズル）（Ｎ）、１２４…駆動制御部、１２５…圧力制御部、１３０…部品検出装置、１３１…側面検出部、１３２…下面検出部、１４０…全体制御装置、１４１…記憶部、１４４…全体制御部、１５０…演算装置、１５１…記憶部、Ｄ１…装着情報、Ｄ２…動作情報、Ｄ３…吸着結果情報、Ｄ４…バラつき情報、Ｄ５…閾値情報、１６０…演算制御部、１６１…入力部、１６２…出力部、１７０…入力装置、１７１…出力装置、１７２…通信ＩＦ装置、１７３…バス。
【図１】
0005795882.tif 000010
【図２】
0005795882.tif 000011
【図３】
0005795882.tif 000012
【図４】
0005795882.tif 000013
【図５】
0005795882.tif 000014
【図６】
0005795882.tif 000015
【図７】
0005795882.tif 000016
【図８】
0005795882.tif 000017
【図９】
0005795882.tif 000018
【図１０】
0005795882.tif 000019
【図１１】
0005795882.tif 000020
【図１２】
0005795882.tif 000021
【図１３】
0005795882.tif 000022
【図１４】
0005795882.tif 000023
【図１５】
0005795882.tif 000024