(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を基板に実装する部品実装装置の動作制御の設定を算出する演算装置であって、
前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を取り出し保持する部品保持部材を含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記部品保持部材により取り出し保持する動作及び前記部品保持部材により取り出し保持した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、
前記演算装置は、算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算制御部は、
（１）前記検出装置を用いて、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材と部品との距離ないし相対位置を表す状態パラメータを取得または算出し当該情報を前記記憶部に格納する第１の処理と、
（２）格納された前記取り出し保持する動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を前記記憶部に格納する第２の処理と、
（３）前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合、前記部品保持部材の保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度を表すパラメータ値のうち、修正した場合に前記状態パラメータのバラつき低減に対する有効性及び、修正した場合の基板生産にかかる時間の増加量の情報に基づいて、修正すべきパラメータ値を選択して、修正する第３の処理と、を行うこと、を特徴とする演算装置。
【請求項２】
請求項１に記載の演算装置において、
前記第３の処理において、
前記パラメータ値の修正前の状態パラメータのバラつきの値と前記パラメータ値の修正後の状態パラメータのバラつきの値との差が、第２の閾値を上回る場合に、当該パラメータ値はバラつき低減に有効であるパラメータ値であると判定することを特徴とする演算装置。
【請求項３】
請求項２に記載の演算装置において、
バラつきの値の算出に用いたデータ数が多い場合に用いる前記第２の閾値は、前記データ数が小さい場合に用いる第２の閾値よりもその値を小さくすること、を特徴とする演算装置。
【請求項４】
請求項１に記載の演算装置において、
前記状態パラメータのバラつきの値として、分散値を算出して利用すること、を特徴とする演算装置。
【請求項５】
請求項１に記載の演算装置において、
前記部品実装装置または演算装置に備える出力装置の画面に、前記状態パラメータのバラつきの値と、前記設定のパラメータに関する前記修正の前後の値を含む修正内容情報とを表示し、ユーザによる確認の上で、前記修正を実行すること、を特徴とする演算装置。
【請求項６】
部品を基板に実装する部品実装装置であって、
前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を取り出し保持する部品保持部材を含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記部品保持部材により取り出し保持する動作及び前記部品保持部材により取り出し保持した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材及び部品に関する状態を検出する検出装置と、  前記部品実装装置の動作制御の設定を算出する演算装置と、を備え、
前記演算装置は、算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算制御部は、
（１）前記検出装置を用いて前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材と部品との距離ないし相対位置を表す状態パラメータを取得または算出し当該情報を前記記憶部に格納する第１の処理と、
（２）格納された前記取り出し保持する動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を前記記憶部に格納する第２の処理と、
（３）前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合、前記部品保持部材の保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度を表すパラメータ値のうち、修正した場合に前記状態パラメータのバラつき低減に有効性及び、修正した場合の基板生産にかかる時間の増加量の情報に基づいて修正すべきパラメータ値を選択して、修正する第３の処理と、を行うこと、を特徴とする部品実装装置。
【請求項７】
請求項６に記載の部品実装装置において、
前記第３の処理において、前記パラメータ値の修正前の状態パラメータのバラつきの値と前記パラメータ値の修正後の状態パラメータのバラつきの値との差が、第２の閾値を上回る場合に、当該パラメータ値はバラつき低減に有効であるパラメータ値であると判定することを特徴とする部品実装装置。
【請求項８】
請求項７に記載の部品実装装置において、
バラつきの値の算出に用いたデータ数が多い場合に用いる前記第２の閾値は、前記データ数が小さい場合に用いる第２の閾値よりもその値を小さくすること、を特徴とする部品実装装置。
【請求項９】
請求項６に記載の部品実装装置において、
前記状態パラメータのバラつきの値として、分散値を算出して利用すること、を特徴とする部品実装装置。
【請求項１０】
請求項６に記載の部品実装装置において、
前記部品実装装置または演算装置に備える出力装置の画面に、前記状態パラメータのバラつきの値と、前記設定のパラメータに関する前記修正の前後の値を含む修正内容情報とを表示し、ユーザによる確認の上で、前記修正を実行すること、を特徴とする部品実装装置。
【請求項１１】
部品を基板に実装する部品実装装置の動作制御の設定を算出する情報処理を演算装置に実行させるプログラムであって、
前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を取り出し保持する部品保持部材を含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記部品保持部材により取り出し保持する動作及び前記部品保持部材により取り出し保持した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、
前記演算装置は、前記算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、
前記演算制御部は、前記プログラムにより実行する処理として、
（１）前記検出装置を用いて、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材と部品との距離ないし相対位置を表す状態パラメータを取得または算出し当該情報を前記記憶部に格納する第１の処理と、
（２）格納された前記取り出し保持する動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を格納する第２の処理と、
（３）前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合、前記部品保持部材の保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度を表すパラメータ値のうち、修正した場合に前記状態パラメータのバラつき低減に対する有効性及び、修正した場合の基板生産にかかる時間の増加量の情報に基づいて、修正すべきパラメータ値を選択して、修正する第３の処理と、を行うこと、を特徴とするプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプログラムにおいて、
前記第３の処理において、前記パラメータ値の修正前の状態パラメータのバラつきの値と前記パラメータ値の修正後の状態パラメータのバラつきの値との差が、第２の閾値を上回る場合に、当該パラメータ値はバラつき低減に有効であるパラメータ値であると判定することを特徴とするプログラム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のプログラムにおいて、
バラつきの値の算出に用いたデータ数が多い場合に用いる前記第２の閾値は、前記データ数が小さい場合に用いる第２の閾値よりもその値を小さくすること、を特徴とするプログラム。
【請求項１４】
請求項１１に記載のプログラムにおいて、前記状態パラメータのバラつきの値として、分散値を算出して利用すること、を特徴とするプログラム。
【請求項１５】
請求項１１に記載のプログラムにおいて、前記部品実装装置または演算装置に備える出力装置の画面に、前記状態パラメータのバラつきの値と、前記設定のパラメータに関する前記修正の前後の値を含む修正内容情報とを表示し、ユーザによる確認の上で、前記修正を実行すること、を特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の生産に係わる、部品（電子部品）を基板（回路基板）に実装する装置（部品実装装置）等の技術に関し、特に、部品実装装置の部位（ヘッドや部品保持部材等）の動作制御の設定のパラメータ値を算出・決定・修正するための演算（情報処理）を行う技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は、部品供給装置（フィーダ）に保持されている部品を、内部が減圧された吸着ノズル（以下「ノズル」ともいう）で吸着して、基板の所定の位置に搬送して装着する（以下、吸着と装着を含めて実装と呼ぶ）。部品実装装置に関し、重力方向に交差（斜めでもよい）する方向をＸ，Ｙ方向（Ｘ−Ｙ平面）とし、Ｘ，Ｙ方向（Ｘ−Ｙ平面）に垂直に交差する方向をＺ方向とする。この場合、部品実装装置は、上記装着動作の際、ノズル（ノズルを備えるヘッド等）を、Ｘ，Ｙ方向及びＺ方向で移動させることでフィーダに保持された部品（吸着対象）の近くの位置（所定のＸ，Ｙ，Ｚ位置）に移動させ、所定の時間だけ停止させてノズルの内部を減圧することによって部品を吸着させ、ノズルに部品を吸着した状態で所定の動作速度にてＸ，Ｙ方向及びＺ方向に移動させることによって、部品を基板の所定の位置に装着する。
【０００３】
特許４６０７８２０号（特許文献１）がある。特許文献１には、部品吸着時の異常の発生率が増加した場合に、吸着ノズルの停止時間を増加させる方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許４６０７８２０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような部品実装装置では、フィーダに搭載・保持されている部品の位置や、部品の形状・重量などに応じて、ノズルの吸着時の位置や、ノズルの吸着時の停止時間や、ノズルの吸着後の動作速度などを、適切に設定する必要がある。
【０００６】
例えば、部品の搭載位置がＺ方向のノズル停止位置（部品の少し上）に対して反対側の方の位置にズレた場合（例えば部品を搭載するフィーダ（凹部）がＺ方向で少し下にズレた場合）には、部品とノズルとの距離が大きくなり、部品をノズルに適切に吸着することができにくくなる（図５）。これにより、部品を傾いた状態で吸着するといった吸着異常や、部品を吸着できないといった吸着異常が発生してしまう。このような場合には、例えば、ノズルの吸着位置（停止位置）をＺ方向の部品に近い位置に移動させることが必要がある。
【０００７】
また例えば、ノズルに関する圧力制御機構が劣化した場合には、ノズルの内部が減圧されるまでに時間がかかるため、十分にノズルの内部が減圧されない状態でノズルが動作してしまい、部品を傾いて吸着するといった吸着異常や、部品を吸着できないといった吸着異常が発生してしまう。このような場合には、例えば、ノズル内部が十分に減圧されるように、ノズルの部品吸着時の停止時間を増加させたり、ノズル内部の減圧状況に応じて動作速度（ノズル・ヘッド等の移動時の速度）や動作加速度を低下させたりすることが必要となる。
【０００８】
上記のような異常の発生率を下げるためには、ノズルによる部品の吸着の際の位置や停止時間や動作速度や動作加速度などを例えば演算により算出して適切に設定（修正）することが必要になる。
【０００９】
先行技術例では以下のような２つの問題点がある。前記特許文献１の技術では、吸着異常が発生してからパラメータを変更するため、部品異常を未然に予防できない。また、吸着異常発生時に、変更可能な複数のパラメータのうちノズルの部品吸着時の停止時間のみを変更するため、例えばノズルの停止位置を変更することによって吸着異常を抑制でき、かつ、ノズルの停止位置を変更する場合の方がノズルの停止時間を変更する場合よりも生産にかかる時間（タクトタイム）の増加量が小さい場合であっても、停止時間を増加させてしまう。この場合、タクトタイムの増加により生産量は低下する。
【００１０】
以上を鑑み、本発明の主な目的（課題）は、部品実装装置に係わり、タクトタイムを考慮しながら、部品吸着時の部品保持部材のＺ方向を含む位置や停止時間や動作速度や動作加速度などを好適に算出・決定・修正することにより、異常発生を予防できる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、以下に示す構成を有することを特徴とする。
部品を基板に実装する部品実装装置の動作制御の設定を算出する演算装置であって、前記部品実装装置は、前記部品を供給する供給装置と、前記部品を取り出し保持する部品保持部材を含む装着装置と、前記設定の情報に従って前記部品を前記部品保持部材により取り出し保持する動作及び前記部品保持部材により取り出し保持した部品を基板へ装着する装着動作を含む実装動作における前記供給装置及び装着装置を含む各部位の動作を制御する全体制御装置と、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材及び部品に関する状態を検出する検出装置と、を備え、前記演算装置は、算出処理を行う演算制御部と、当該算出処理に用いるデータ情報を記憶する記憶部と、を有し、前記演算制御部は、（１）前記検出装置を用いて、前記取り出し保持する動作の際の前記部品保持部材と部品との距離ないし相対位置を表す状態パラメータを取得または算出し当該情報を前記記憶部に格納する第１の処理と、（２）格納された前記取り出し保持する動作における前記状態パラメータのバラつきの値を算出し当該情報を前記記憶部に格納する第２の処理と、（３）前記状態パラメータのバラつきの値が第１の閾値を超えた場合、前記部品保持部材の保持位置、停止時間、動作速度、動作加速度を表すパラメータ値のうち、修正した場合に前記状態パラメータのバラつき低減に対する有効性及び、修正した場合の基板生産にかかる時間の増加量の情報に基づいて、修正すべきパラメータ値を選択して、修正する第３の処理と、を行う。
【００１２】
また、前記第３の処理において、前記パラメータ値の修正前の状態パラメータのバラつきの値と前記パラメータ値の修正後の状態パラメータのバラつきの値との差が、第２の閾値を上回る場合に、当該パラメータ値はバラつき低減に有効であるパラメータ値であると判定する。
【００１３】
また、バラつきの値の算出に用いたデータ数が多い場合に用いる前記第２の閾値は、前記データ数が小さい場合に用いる第２の閾値よりもその値を小さくする。
また、前記状態パラメータのバラつきの値として、分散値を算出して利用すること。
また、前記部品実装装置または演算装置に備える出力装置の画面に、前記状態パラメータのバラつきの値と、前記設定のパラメータに関する前記修正の前後の値を含む修正内容情報とを表示し、ユーザによる確認の上で、前記修正を実行する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、タクトタイムの増加量を抑えつつ、異常発生率を低下させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施の形態である部品実装装置（演算装置を含む）の構成例を示す図である。
【図２】本部品実装装置での処理例を示すフロー図である。
【図３】本部品実装装置におけるフィーダ、ヘッド等の部位の構成例、及び基板に対する部品の実装の構成例を模式的に示す図である。
【図４】ヘッド及びノズルの構成例を示す図である。
【図５】吸着時の部品及びノズルの位置を側面から見た例を示す図である。
【図６】側面検出部による画像の例を示す図である。
【図７】吸着時の部品及びノズルの位置を上面から見た例を示す図である。
【図８】下面検出部による画像の例を示す図である。
【図９】本演算装置の処理例（動作情報の算出・修正処理）を示すフロー図である。
【図１０】装着情報のテーブル例を示す図である。
【図１１】動作情報のテーブル例を示す図である。
【図１２】吸着結果情報のテーブル例を示す図である。
【図１３】バラつき情報のテーブル例を示す図である。
【図１４】閾値情報のテーブル例を示す図である。
【図１５】低減効果情報のテーブル例を示す図である。
【図１６】タクト変化量情報のテーブル例を示す図である。
【図１７】修正内容確認の画面例を示す図である。
【図１８】吸着異常の発生率と部品把持位置の標準偏差との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図１〜図１８を用いて、本発明の一実施の形態（演算装置、部品実装装置など）について説明する。なお実施の形態を説明するための全図において、同一部には原則として同一符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。説明上の記号として、例えば、フィーダをＦ、ノズルをＮ、部品をＰとする。
【００１７】
本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）では、図１，図３，図４等のハードウェア・ソフトウェアの構成に基づき、図２，図９のような処理（部品実装装置１００の部品実装方法（動作制御の設定情報）を算出・決定・修正する処理を含む）を行う。
図１０〜図１６のようなデータ情報を管理する。図１７のような画面でユーザ（本部品実装装置１００を含むシステムを利用・管理するオペレータ等）が情報入出力可能である。
【００１８】
特徴の１つとして、図２の処理ステップＳ１０９（詳細は図９）では、ノズルＮによる部品Ｐの把持位置（ＨＸ，ＨＹ）や、ノズルＮと部品Ｐとの距離（ＫＺ）に関する、バラつき情報を用いて、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｚ）または停止時間（Ｔ）または動作速度（Ｖ）等のパラメータの修正値（異常発生率の低下を図るために好適な修正値）を算出し、この結果を部品実装装置１００の動作制御の設定情報に反映する。
【００１９】
［部品実装装置］
図１において、本発明の一実施の形態である部品実装装置１００及び演算装置１５０の構成を示している。演算装置１５０は部品実装装置１００の内部に設けられている。なお、演算装置１５０が部品実装装置１００の外部に接続される形態としてもよいし、演算装置１５０と全体制御装置１４０を１つに統合した形態などとしてもよい。
【００２０】
部品実装装置１００は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、全体制御装置１４０、演算装置１５０、入力装置１７０、出力装置１７１、通信ＩＦ装置１７２、等を備え、これらがバス１７３を介して相互に接続されている。入力装置１７０は、ユーザ操作による情報入力を受け付ける例えばマウスやキーボード等である。出力装置１７１は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイやプリンタ等である。通信ＩＦ装置１７２は、バス１７３や外部ネットワーク等を介して他の装置やシステム（既存の生産管理システム等とも接続可能である）と接続し情報送受信を行うためのインタフェースである。バス１７３は各部（１１０〜１７２）を連結する。各装置（１１０〜１５０）のＩＦ部（１１２〜１６３等）は、バス１７３を介して情報送受信を行うためのインタフェースである。
【００２１】
供給装置１１０は、複数のフィーダＦを備えるフィーダベース１１１、ＩＦ部１１２、等を備える。供給装置１１０は、詳しくは図３内に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。
【００２２】
装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズル（吸着ノズル）１２３、駆動制御部１２４、圧力制御部１２５、ＩＦ部１２６、等を備える。装着装置１２０は、詳しくは図３に例示する物理構成を有する（なお一例であり各種適用可能である）。駆動制御部１２４は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、後述する装着情報１４２（図１０）で示す装着順序、及び基板上の部品装着位置座標に対して部品を装着するように、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びノズル１２３等の部位（図３〜図５等）を制御する。圧力制御部１２５は、全体制御装置１４０からの指示に応じて、ノズル１２３の内部の圧力を制御する。例えば、圧力制御部１２５は、全体制御部１４０から、ノズル１２３の内部の圧力を低下させてノズル１２３に部品Ｐを吸着させるように指示を受ける。
【００２３】
部品検出装置１３０は、側面検出部１３１、下面検出部１３２、ＩＦ部１３３、等を備える。側面検出部１３１は、全体制御部１４０の指示を受けて、部品Ｐを吸着したノズル１２３（Ｎ）を横（側面）から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｚ方向（図５）におけるノズルＮと部品Ｐとの距離（ＫＺ）を測定・算出する（後述、図５，図６等）。側面検出部１３１は、例えば図４のように、ヘッド１２１に搭載された受光部１３１ａ及び投光部１３１ｂを有して成り、上記値（ＫＺ）の算出処理機能を含む。
【００２４】
また下面検出部１３２は、全体制御部１４０の指示を受けて、部品Ｐを吸着したノズル１２３（Ｎ）を下から撮像し、この画像を用いて、パターンマッチング（画像処理）等の手段により、Ｘ，Ｙ方向（図３）におけるノズルＮによる部品Ｐの把持位置（ＨＸ，ＨＹ）を測定・算出する（後述、図７，図８等）。下面検出部１３２は、例えば図３のように、フィーダベース１１１と基板９０との間に配置され、上記値（ＨＸ，ＨＹ）の算出処理機能を含む。
【００２５】
なお本実施の形態では、上記ＫＺ、ＨＸ，ＨＹ値の算出処理は、側面検出部１３１，下面検出部１３２で行い、その結果を演算装置１５０が取得する形であるが、演算装置１５０などの他の部位で当該算出処理を行ってもよい。演算装置１５０で行う場合は、側面検出部１３１，下面検出部１３２から各データ情報（例えば画像データ）を取得し、演算装置１５０で各値を算出する。また、上記値を得るための手段は、撮像やパターンマッチング等の手段に限らず各種適用可能である。
【００２６】
全体制御装置１４０は、部品実装装置１００の主制御部であり、全体制御部１４４、記憶部１４１、ＩＦ部１４５、等を備える。記憶部１４１の記憶領域には、装着情報Ｄ１（後述、図１０）、動作情報Ｄ２（後述、図１１）、等を記憶する。
【００２７】
全体制御部１４４は、供給装置１１０、装着装置１２０、部品検出装置１３０、演算装置１５０、入力部１７０、出力部１７１、及び通信ＩＦ部１７２等で行う処理を制御する。全体制御装置１４０は、装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２に従って、供給装置１１０や装着装置１２０、部品検出装置１３０等の各部位（フィーダＦ、ノズルＮ等を含む）の動作を制御する。全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納された順序に従って、所定のフィーダＦから所定のノズルＮにて、動作情報Ｄ２に格納されている設定に従って、部品Ｐを吸着させる。吸着の際、全体制御部１４４は、部品検出部１３０に、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ、距離ＫＺ、等を算出させる。そして全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１に格納されている基板の位置に、部品Ｐを装着させる。
【００２８】
装着情報Ｄ１及び動作情報Ｄ２（その格納情報）は、部品実装装置１００の各部位の動作（実装動作）を制御するための情報（設定情報）の１つである。
【００２９】
［演算装置］
演算装置１５０は、演算制御部１６０、記憶部１５１、入力部１６１、出力部１６２、ＩＦ部１６３、等を備える。記憶部１５１の記憶領域には、吸着結果情報Ｄ３（後述、図１２）、バラつき情報Ｄ４（後述、図１３）、閾値情報Ｄ５（後述、図１４）、低減効果情報Ｄ６（後述、図１５）、タクト変化量情報Ｄ７（後述、図１６）等を記憶する。
【００３０】
演算装置１５０は、一般的なコンピュータやＩＣなどで実現できる。例えば、演算制御部１６０は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ，ＲＡＭ等）などのハードウェア、及びそれによるソフトウェアプログラム処理（本実施の形態のプログラムによる処理）などで実現できる。例えば演算制御部１６０により記憶部１５１や外部などに格納されているプログラムをロードして実行することにより各処理機能（図２内，図９内に示す処理を含む）を実現する。記憶部１５１は、各種メモリ、ＨＤＤ等の外部記憶装置、ＣＤやＤＶＤ等の記憶媒体に対して情報を読み書きする読書装置、あるいは外部ネットワークのデータを読み書きする装置などで実現できる。入力部１６１は、ユーザ操作による情報入力を受け付けるキーボードやマウスなどの入力装置、出力部１６２は、ユーザに対して情報を出力するディスプレイなどの出力装置、ＩＦ部１６３は、バス１７３に接続しバス１７３を介して情報の送受信を行うためのインタフェース、でそれぞれ実現できる。
【００３１】
演算制御部１６０は、吸着結果情報Ｄ３に格納されている情報（実績データ）を用いて、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ及び距離ＫＺに関するバラつき等を算出し、判定に基づき、動作情報Ｄ２に格納されている情報（設定情報）を修正する処理を行う（後述、図２，図９等）。
【００３２】
演算装置１５０内に格納される吸着結果情報Ｄ３、バラつき情報Ｄ４、閾値情報Ｄ５、低減効果情報Ｄ６、タクト変化量情報Ｄ７は、演算装置１５０の処理で必要な情報として管理している。なお必要に応じて、これらの情報は、全体制御装置１４０内の各情報（装着情報Ｄ１、動作情報Ｄ２）と統合したり分離してもよい。
【００３３】
［供給装置・装着装置］
図３は、図１の供給装置１１０及び装着装置１２０に係わる、フィーダベース１１１、ヘッド１２１、ビーム１２２、及びガイド１２２ａ等の概略構成（上面）を示す。フィーダベース１１１には、複数のフィーダ１１１ａ（Ｆ）が具備されている。部品供給装置（フィーダベース１１１）は、一例としてテープ型であり、例えばフィーダＦ毎に、供給対象の複数の部品Ｐが搭載される。例えば、フィーダＦに格納されている１つの部品Ｐがヘッド１２１のノズルＮ（図４）により吸着されると、全体制御装置１４０の指示に応じて、当該フィーダＦは、残りの部品Ｐのうちの次の１つを、当該ノズルＮにより吸着可能な位置まで自動的に搬送（図３ではＹ方向）する。
【００３４】
ヘッド１２１及びビーム１２２等の動作は、全体制御装置１４０の指示に応じて制御される。ヘッド１２１は、ビーム１２２に沿って、一つの座標軸方向（図３ではＸ方向）に移動させることができるように構成されている。ビーム１２２は、ガイド１２２ａに沿って、ヘッド１２１が移動する座標軸方向と交差する他の座標軸方向（図３ではＹ方向）に移動することができるように構成されている。更に、ヘッド１２１（ヘッド１２１に搭載されるノズルＮ）を、Ｘ，Ｙ方向に対する垂直方向（Ｚ方向）に移動させることができるように構成されている。
【００３５】
ヘッド１２１及びビーム１２２をＸ，Ｙ方向に移動させ、ヘッド１２１に備えるノズルＮをＺ方向で移動させ、所定のノズルＮにより所定のフィーダＦから所定の部品Ｐ（５０）を吸着することができ、更に各部をＸ，Ｙ，Ｚ方向で同様に移動させて、基板９０上の所定の位置に部品Ｐ（５０）を装着することができる構成である。
【００３６】
［ヘッド・ノズル］
図４は、ヘッド１２１の構成例として下面を示す。本ヘッド１２１は、下面部に、複数のノズル１２３（Ｎ）を備えており、更に、側面検出部１３１の構成要素である受光部１３１ａ及び投光部１３１ｂが搭載されている。本例では、円状に複数（例えば１２）のノズルＮが配置されており、回転制御などによって、所望のノズルＮの利用が可能な機構である。また同様に回転制御などによって、所望のノズルＮを、受光部１３１ａで撮像することが可能な機構である。各ノズルＮの位置は番号で識別される。
【００３７】
その他、ヘッド１２１やノズルＮに関しては各種形態が適用可能である。例えば１つのユニットに複数のヘッド１２１やノズルＮを搭載する構成が挙げられる。
【００３８】
［側面検出部、距離ＫＺ］
側面検出部１３１において、受光部１３１ａ（図４）は、投光部１３１ｂから発せられた光を受けて、光の影となった部分から、例えば図６に示すような画像を作成（撮像）する。そして、側面検出部１３１は、当該撮像による画像から、ノズルＮに対する部品Ｐの相対的な距離ＫＺを算出する。
【００３９】
図５は、吸着の際のフィーダＦの部品Ｐ及びノズルＮの位置を側面から見た例を示す。フィーダＦの凹部５２０毎に部品５０（Ｐ）が格納されている場合である。（ａ）は例えば設定上の標準的な位置（停止位置Ｌ）の場合、（ｂ）は（ａ）から少しズレた場合である。
【００４０】
（ａ）で、５００は、ヘッド１２１移動時のノズルＮの停止位置である。５０１は、ノズルＮの位置（停止位置Ｌ）に関するＺ方向の基準線（Ｚ方向位置（ｚ）＝０）である。例えば基準線５０１に対して下方向（ノズルＮ下降方向）を＋（正）、上方向を−（負）とする。５００と５０１間の距離がＬＺである。５０３は、ノズルＮの先端（下端）によるノズル停止位置Ｌの線を示す。５０２は、５０３の停止位置Ｌに対応したノズルＮのＺ方向位置（ｚ）を示す。５０４は、部品Ｐの上端による部品位置の線を示す。５０５は、ノズルＮ下端と部品Ｐ上端との距離を示す。５０６は、ノズルＮ下端と部品Ｐ下端（凹部５２０底面）との距離を示す。
【００４１】
フィーダＦ（凹部５２０）における部品Ｐの位置は、Ｚ方向を含む方向でズレやバラつきが生じ得る。例えば前述のようにフィーダＦが搬送で動く場合、凹部５２０の面がＺ方向で少しズレる場合が考えられる。これにより、ノズルＮに対しての部品Ｐの相対的な位置（距離）が少しズレることになる。
【００４２】
（ｂ）は、（ａ）に対して、部品Ｐ位置がノズルＮ位置に対して反対側（＋Ｚ方向）に離れるようにズレた場合である。５０９は、部品Ｐの上端による部品位置の線を示す。５０４と５０９の線間の距離がズレの大きさに相当する。この場合、（ａ）に比べて、ノズルＮと部品Ｐとの距離（５０７または５０８）が大きい。即ち、ノズルＮによる部品Ｐの吸着がしにくくなり、異常（部品Ｐを斜めに吸着する、部品Ｐの端を吸着する、部品Ｐを吸着できない、吸着後に落下してしまう、等の異常）が発生しやすい。
【００４３】
図６は、側面検出部１３１の撮像による画像例であり、２値画像データの場合である。（ａ）の画像７００ａにおいて、７１１はノズルＮ相当部分、７１２は部品Ｐ相当部分である。７０１は、Ｚ方向の測定基準線であり、ノズルＮの先端（下端）を通る直線である。７０２は、部品Ｐの下端の直線である。７０３は、７０１と７０２による距離ＫＺを示す。また（ｂ）の画像７００ｂでは、距離ＫＺの概念をわかりやすく示すために、吸着時の部品Ｐの傾きが大きい場合を示している）。７０４は、部品Ｐの下端の直線である。７０５は、７０１と７０４による距離ＫＺを示す。
【００４４】
ここで定義される距離ＫＺにおいては、（ａ）に比べて（ｂ）のようにノズルＮによる吸着の際における部品Ｐの傾きが大きいほど、ＫＺ値が大きくなるという関係がある。（ｂ）のようにＫＺ値が大きいほど、異常発生率が高い。本実施の形態では、距離ＫＺのバラつき値の大小に応じて、吸着時のノズルＮの位置などに関する修正を行う。
【００４５】
本実施の形態では、距離ＫＺの定義は、簡単に、Ｚ方向における、ノズルＮから部品Ｐまでの距離である。図６の例では、距離ＫＺの算出方法として、ノズルＮ先端（７０１）から部品Ｐ下端（７０２等）までの距離である。
【００４６】
距離ＫＺは、他の定義（算出方法）としてもよい。例えば下端や上端などに限らず基準点間の距離としてもよい。更に距離値などを入力として所定の式で計算される値などにしてもよい。またＺ方向に限らず、Ｘ，Ｙ方向を含めて距離値を算出してもよい。
【００４７】
［下面検出部、部品把持位置ＨＸ，ＨＹ］
下面検出部１３２は、撮像による画像から、Ｘ，Ｙ方向における、部品Ｐ中心とノズルＮ中心との位置の差分により、部品把持位置ＨＸ，ＨＹを算出する。
【００４８】
図７は、吸着時の部品Ｐ及びノズルＮの位置を上面から見た例を示す。Ｘ，Ｙ方向（図３と同じ）で、長方形の部品Ｐの中心の上に円形のノズルＮの中心が重なる場合である。外側の円はノズルＮの外形、内側の円はノズルＮの内径である。ＣＰは部品Ｐ中心点、ＣＮはノズルＮ中心点を示す。６０１，６０２は、ＣＰを通る、Ｘ，Ｙ方向の基準線を示す。多くの部品において、ＣＮとＣＰが一致する場合が理想的な吸着状態である。
【００４９】
図８は、下面検出部１３２の撮像による画像例である（図７と対応関係）。図８の画像８００において、Ｃは、測定基準点であり、ＣＰと一致する点である。８０１，８０２は、Ｃを通り、絶対座標系の基準線ではなく、部品Ｐ単位での座標系（例えば図７、図８の場合は、長辺に平行な方向がＸ，短辺に平行な方向がＹ）に即した測定基準線である。Ｘ，Ｙ方向の測定基準線である８０１は、部品との相対関係が図７の６０１と同一な直線である。例えば、図７において６０１は部品の短辺と平行な直線であるが、この場合、８０１も部品の短辺と平行な直線となる。同様に８０２は、部品との相対関係が図７の６０２と同一な直線である。
８０１，８０２は、絶対座標系の基準線ではなく、部品Ｐ単位での座標系（例えば長辺をＸ，短辺をＹ）に即した基準線である。８２０は部品Ｐ相当部分である。８１０（破線で示す領域）はノズルＮ相当部分である。８０３，８０４はノズル中心ＣＮを通る、Ｘ，Ｙ方向の測定基準線８０１，８０２と平行な直線である。８１０は、下面からの撮像であるため画像８００上で部品Ｐ（８２０）に隠れて映らないが、ノズルＮを予め定められた位置（例えば撮像部位の中心）に移動させることによってノズル中心ＣＮを把握することができる。
【００５０】
図７のＰＸ，ＰＹと、図８の部品把持位置ＨＸ，ＨＹとが対応する。ＨＸ，ＨＹは、部品ＰがフィーダＦに搭載されていた時の、部品Ｐの部品ＰのＸ，Ｙ方向（絶対座標系におけるＸ，Ｙ方向）と、方向が一致する、対応付けられた方向における差分となっている。例えば、フィーダＦに長方形の部品Ｐが搭載されていた時に、部品Ｐの長辺が図３のＸ方向に、短辺が図３のＹ方向に平行であった場合、部品把持位置ＨＸは、部品Ｐの長辺に平行な方向における部品中心ＣＰとノズル中心ＣＮの差分を表し、同様に部品把持位置ＨＹは、部品Ｐの短辺に平行な方向におけるＣＰとＣＮの差分を表す。
【００５１】
ＨＸ，ＨＹ値が大きいほど、ズレが大きく、ノズルＮによる部品Ｐの吸着がしにくくなり、異常（部品Ｐを斜めに吸着する、部品Ｐの端を吸着する、部品Ｐを吸着できない、吸着後に落下してしまう、等の異常）が発生しやすい。
【００５２】
［処理概要（図２）］
図２は、本実施の形態の特徴を含む、部品実装装置１００での全体的な処理概要のフローを示す（Ｓ１０１等は処理ステップを示す）。特にＳ１０９の詳細の構成例については図９を用いて後述する。
【００５３】
（Ｓ１０１）  全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１（図１０）、動作情報Ｄ２（図１１）を用いて、供給装置１１０や装着装置１２０を含む各部に対して実装動作を指示する。
【００５４】
（Ｓ１０２）  Ｓ１の指示に基づき、供給装置１１０は、フィーダＦ（１１１ａ）等を動作させ、装着装置１２０は、ヘッド１２１、ビーム１２２、ノズルＮ（１２３）等を動作させる。特に、対象のヘッド１２１・ノズルＮをＸ，Ｙ方向（図３）で移動させ、対象のフィーダＦ−部品Ｐ（吸着対象）の位置まで移動させる。
【００５５】
（Ｓ１０３）  続いて、ノズル１２３（Ｎ）をＺ方向（図５）で移動（下降）させ、対象の部品Ｐの中心（上）の所定の位置（ノズルＮの停止位置Ｚ）まで移動して停止させる。なお本実施の形態ではＳ２（Ｘ，Ｙ方向移動）とＳ３（Ｚ方向移動）を分けた形であるが、Ｓ２とＳ３を１つにまとめて同時的に制御（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向移動）する形も可能である。
【００５６】
（Ｓ１０４）  ノズルＮを停止位置Ｚで所定の時間（停止時間Ｔ）停止させ、圧力制御部１２５によるノズルＮ内部の減圧により、部品Ｐを吸着・把持させる。
【００５７】
（Ｓ１０５）  停止位置Ｌから、ノズルＮを所定の動作速度ＶＺでＺ方向（図５）に５００まで移動（上昇）させる。
【００５８】
また本実施の形態では、Ｓ４，Ｓ５の際、側面検出部１３１を用いて、部品Ｐを吸着・把持した状態のノズルＮを側面から撮像することにより、距離ＫＺを算出する。
【００５９】
（Ｓ１０６）  更に、ヘッド１２１・ノズルＮ等をＸ，Ｙ，Ｚ方向で移動させ、基板の部品装着位置まで移動させ、吸着の解除により、部品Ｐを装着する（図３）。
【００６０】
また本実施の形態では、Ｓ１０６の際、下面検出部１３２を用いて、部品Ｐを吸着・把持した状態のノズルＮを下面から撮像することにより、部品把持位置ＨＸ，ＨＹを算出する。
【００６１】
（Ｓ１０７）  上記Ｓ１〜Ｓ６で動作させたフィーダＦ、ノズルＮ等の組み合わせについて、実績データとなる吸着結果情報１５２を作成し、演算装置１５０の記憶部１５１に格納する。吸着結果情報１５２には、前記距離ＫＺ、部品把持位置ＨＸ，ＨＹの情報を含む。なおこの格納は他のタイミングでもよい。例えば、演算装置１５０は必要に応じて吸着結果情報１５２等を外部（全体制御装置１４０等）から取得してもよい。複数の各回の部品実装動作ごとに同様に実績データが格納される。
【００６２】
（Ｓ１０８）  上記部品Ｐの装着後、全体制御装置１４０の全体制御部１４４は、上記Ｓ１〜Ｓ７で動作させたフィーダＦ、ノズルＮ等の組み合わせについて、演算装置１５０へ、動作情報Ｄ２の修正（その要否判断を含む）を指示する。
【００６３】
（Ｓ１０９）  演算装置１５０の演算制御部１６０は、指示に基づき、吸着結果情報１５２を用いて、動作情報Ｄ２の算出・修正のための処理を行う（詳細は図９）。修正する対象、候補として、ノズルＮの停止位置Ｚ（１１ｃ）、停止時間Ｔ（１１ｄ）、動作速度ＶＺ（１１ｅ）を含む。
【００６４】
（Ｓ１１０）  演算装置１５０の演算制御部１６０等は、例えば画面にＳ１０９による修正内容情報を表示してユーザに修正実行につき確認させる（後述、図１７）。確認の上で、Ｓ１０９による修正内容情報（修正要否を含む）を、全体制御装置１４０へ応答送信し、これにより、全体制御部１４４は、動作情報１４３の内容を更新（再設定）する。なお上記画面・ユーザでの確認を省略した形態としてもよく、その場合は全体制御装置１４０内の設定情報が自動的に更新される形態となる。
【００６５】
［装着情報］
図１０は、装着情報Ｄ１の一実施形態である装着情報テーブル例を示す。本テーブルは、順序１０ａ、部品装着位置座標１０ｂ、フィーダ番号１０ｃ、吸着ノズル番号１０ｄ、等の各フィールドを有する。Ｄ１（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際、及び当該部品Ｐを基板上に装着する際における、順序、位置、フィーダＦ、ノズルＮ、等の情報を含む。なお図示していないが部品ＩＤ等の他のフィールドを有してもよい。
【００６６】
順序１０ａは、基板に対する部品Ｐの装着順序を示す情報と、ノズルＮによる当該部品Ｐの吸着順序を示す情報とが格納される。本実施の形態では、装着順序と吸着順序が同じになるように構成しているが、異なるようにしてもよい。部品装着位置座標１０ｂは、当該部品Ｐを基板（図３の９０）に装着する位置を示す情報として、基板上のＸ，Ｙ方向の座標の情報が格納される。
【００６７】
フィーダ番号１０ｃは、当該部品Ｐを保持するフィーダＦ（位置）を示す情報が格納される。本実施の形態では、フィーダベース１１１（図３）における当該フィーダＦ（１１１ａ）の搭載位置を一意に識別するフィーダ番号が格納される。吸着ノズル番号１０ｄは、当該部品Ｐを吸着するノズルＮを示す情報が格納される。本実施の形態では、当該ノズルＮに関係付けられるヘッド１２１（図４）における当該ノズルＮの位置を特定する情報として、当該ノズルＮの搭載位置を一意に識別するように割り振られた吸着ノズル番号（例えば１〜１２）を用いる。
【００６８】
［動作情報］
図１１は、動作情報Ｄ２の一実施形態である動作情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号１１ａ、吸着ノズル番号１１ｂ、停止位置（Ｌ）１１ｃ｛Ｘ方向位置（ｘ），Ｙ方向位置（ｙ），Ｚ方向位置（ｚ）｝、停止時間（Ｔ）１１ｄ、動作速度（ＶＺ）１１ｅ（修正係数）、等の各フィールドを有する。Ｄ２（その格納情報）は、フィーダＦからノズルＮにより部品Ｐを吸着する際のノズルＮの停止位置Ｌ、停止時間Ｔ、動作速度Ｖ、等の情報を含む。
【００６９】
フィーダ番号１１ａは、該当フィーダＦ（対象の部品Ｐを搭載する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｃと同様）。吸着ノズル番号１１ｂは、該当ノズルＮ（対象の部品Ｐを吸着する）の位置を特定する情報が格納される（１０ｄと同様）。停止位置１１ｃ（Ｌ｛ｘ，ｙ，ｚ｝）は、１１ａで示す位置（フィーダＦ）に搭載された部品Ｐを、１１ｂで示すノズルＮにより吸着する場合における、ノズルＮの停止位置Ｚ（言い換えると吸着位置）、を特定する情報が格納される。停止位置Ｚは、図５のＺ方向の位置を示す。例えば、図５に示すように、基準線５０１（ｚ＝０）からの距離が、１１ｃのｚの格納値と同一になる位置に、ノズルＮを下降させて停止させる。
【００７０】
停止時間（Ｔ）１１ｄは、該当位置（フィーダＦ）の部品Ｐを該当ノズルＮで吸着する際における、１１ｃの停止位置ＺでのノズルＮ（対応するヘッド１２１等）の停止時間Ｔに関する修正値の情報を格納する。本例では、１１ｄの値の分だけ、ノズルＮを停止させる。例えば１１ｄの値が１の場合、Ｔ＝０．０１秒とする。
【００７１】
動作速度（ＶＺ）１１ｅ（修正係数）には、該当位置（フィーダ）の部品Ｐを該当ノズルＮで吸着する際における、ノズルＮの動作速度Ｖを特定する情報が格納される。本実施の形態では、動作速度Ｖとして、少なくとも動作速度ＶＺを含む。動作速度ＶＺは、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮをＺ方向で上昇させる際の動作速度とする。また、１１ｅは修正係数で表している。１１ｅで示す値を、設定上の所定の標準動作速度値に乗算した値を、実際に使用する動作速度（修正値）とする。１１ｅ（ＶＺ）の制御につき、他の移動時に適用してもよい。例えばＸ，Ｙ方向の移動、及びヘッド１２１及びビーム１２２等の移動に適用してもよい。
【００７２】
［全体制御例］
全体制御装置１４０（全体制御部１４４）による装着情報Ｄ１（図１０）及び動作情報Ｄ２（図１１）を用いた部品実装動作の制御例は以下である。全体制御部１４４は、装着情報Ｄ１の順序１０ａで、フィーダ番号１０ｃのフィーダＦ位置（ｄ１０）に搭載される部品Ｐを、吸着ノズル番号１０ｄのノズルＮ（ｄ１１）により吸着し、基板上の部品装着位置座標１０ｂに移動させて装着するように、供給装置１１０及び装着装置１２０等に対して指示する。ｄ１０等は区別のための符号である。
【００７３】
全体制御部１４４は、Ｘ方向、Ｙ方向部品はノズルの中心と部品の中心が一致する位置に、Ｚ方向は動作情報Ｄ２の１１ｃの停止位置Ｚ（ｄ１２）に、ノズルＮ（ｄ１１）を位置決め（停止）し、圧力制御部１２５に、該当ノズルＮ（ｄ１１）の内部を減圧するように指示を出し、１１ｄの停止時間Ｔ（ｄ１３）だけノズルＮ（ｄ１１）を停止させることにより部品Ｐを吸着させる。そして、全体制御部１４４は、停止時間Ｔ（ｄ１３）の経過後、１１ｅの動作速度ＶＺ（ｄ１４）で該当ノズルＮ（ｄ１１）等を移動させる。
【００７４】
また上記吸着後、全体制御部１４４は、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮ（ｄ１１）を側面検出部１３１（図４）で撮像可能な位置に移動させて側面から撮像させる。これにより、前述の距離ＫＺ（ｄ１５）を算出させる。また、全体制御部１４４は、部品Ｐを吸着した状態のノズルＮ（ｄ１１）を、下面検出部１３２（図３）で撮像可能な予め定められた位置に移動させて下面から撮像させる。これにより、前述の部品把持位置ＨＸ（ｄ１６），ＨＹ（ｄ１７）を算出させる。
【００７５】
全体制御部１４４は、吸着結果情報Ｄ３（図１２）の最終行の該当フィールド（１２ａ〜１２ｈ）に、上記動作による１０ｃのフィーダ位置（ｄ１０）、１０ｄのノズルＮ（ｄ１１）、１１ｃの停止位置Ｚ（ｄ１２）、１１ｄの停止時間Ｔ（ｄ１３）、１１ｅの動作速度ＶＺ（ｄ１４）、上記算出した距離ＫＺ（ｄ１５）、部品把持位置ＨＸ（ｄ１６），ＨＹ（ｄ１７）の値などを格納する。
【００７６】
そして、全体制御部１４４は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向で、ノズルＮ（ｄ１１）を基板上の部品装着位置座標１０ｂに移動させ、圧力制御部１２５に、ノズルＮ（ｄ１１）の内部の減圧を解除するように指示することで、部品Ｐを当該位置に装着させる。
【００７７】
［吸着結果情報］
図１２は、吸着結果情報１５２の一実施形態である吸着結果情報テーブル例を示す。吸着結果情報Ｄ３は、部品検出装置１３０を用いて検出・算出した情報を含む、部品吸着結果の情報（実績データ）が格納される。本テーブルは、フィーダ番号（１２ａ）、吸着ノズル番号（１２ｂ）、停止位置（Ｚ）（１２ｃ）、停止時間（Ｔ）（１２ｄ）、動作速度（ＶＺ）（１２ｅ）、部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）、距離ＫＺ（１２ｈ）、等の各フィールドを有する。１２ａ〜１２ｅは、図１１の１１ａ〜１１ｅに対応したフィールドであり、前記Ｓ７及び［全体制御例］で説明したように、これらの各フィールドに、前述のような値（ｄ１０〜ｄ１７）が格納される。
【００７８】
部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）には、前述（図７，図８）の下面検出部１３２で検出・算出した部品把持位置ＨＸ，ＨＹを特定する情報が格納される。本例では、図７のＣＰ＝ＣＮのときを０とした値である。距離ＫＺ（１２ｈ）には、前述（図５，図６）の側面検出部１３１で検出・算出した距離ＫＺを特定する情報が格納される。本例では、ノズルＮ先端と部品Ｐ先端とのＺ方向の距離である。
【００７９】
［バラつき情報］
図１３は、バラつき情報Ｄ４の一実施形態であるバラつき情報テーブル例を示す。本テーブルは、フィーダ番号（１３ａ）、吸着ノズル番号（１３ｂ）、修正前部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（Ｂ）（１３ｃ）、修正前距離分散ＶａｒＺ（Ｂ）（１３ｄ）、修正前データ数Ｍ（Ｂ）（１３ｅ）、修正後部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（Ａ）（１３ｆ）、修正前距離分散ＶａｒＺ（Ａ）（１３ｇ）、修正後データ数Ｍ（Ａ）（１３ｈ）、等の各フィールドを有する。バラつき情報Ｄ４には、図９の処理で算出される情報が格納される。
【００８０】
フィーダ番号１３ａは、フィーダＦ位置の情報が格納される（１０ｃと同様）。吸着ノズル番号１３ｂはノズルＮ位置の情報が格納される（１０ｄと同様）。
【００８１】
また、修正前部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（Ｂ）（１３ｃ）には、動作情報修正前の部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）から算出された分散値（ＶａｒＸＹ（Ｂ）とする）の情報が格納される。修正前距離分散ＶａｒＺ（Ｂ）（１３ｄ）は、動作情報修正前の距離ＫＺ（１２ｈ）から算出された分散値（ＶａｒＺ（Ｂ）とする）の情報が格納される。これら分散（ＶａｒＸＹ，ＶａｒＺ）は、バラつき度合いを表している。なお１３ｃ，１３ｄの分散は、前述のフィーダＦ−部品ＰノズルＮの単位（組み合わせ）でとる（ノズルＮに関わらず、同一のフィーダＦについての分散をとってもよい。またフィーダＦに関わらず、同一のノズルＮについての分散をとってもよい）。また過去の複数回の実装動作の実績データに基づく分散をとる。
【００８２】
修正前データ数Ｍ（Ｂ）（１３ｅ）は、ＶａｒＸＹ（Ｂ）、ＶａｒＺ（Ｂ）の算出に用いた部品把持位置ＨＸ、ＨＹ、距離ＫＺのデータ数の情報が格納される。
【００８３】
修正後部品把持位置分散ＶａｒＸＹ（Ａ）（１３ｆ）には、動作情報修正後の部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）から算出された分散値（ＶａｒＸＹ（Ａ）とする）の情報が格納される。修正後距離分散ＶａｒＺ（Ａ）（１３ｇ）は、動作情報修正後の距離ＫＺ（１２ｈ）から算出された分散値（ＶａｒＺ（Ａ）とする）の情報が格納される。これら分散（ＶａｒＸＹ，ＶａｒＺ）は、バラつき度合いを表している。なお１３ｆ，１３ｇの分散は、前述のフィーダＦ−部品ＰノズルＮの単位（組み合わせ）でとる（ノズルＮに関わらず、同一のフィーダＦについての分散をとってもよい。またフィーダＦに関わらず、同一のノズルＮについての分散をとってもよい）。また過去の複数回の実装動作の実績データに基づく分散をとる。
【００８４】
修正後データ数Ｍ（Ａ）（１３ｈ）は、ＶａｒＸＹ（Ａ）、ＶａｒＺ（Ａ）の算出に用いた部品把持位置ＨＸ、ＨＹ、距離ＫＺのデータ数の情報が格納される。
【００８５】
［閾値情報］
図１４は、閾値情報Ｄ５の一実施形態である閾値情報テーブル例を示す。本テーブルは、実行判定閾値Ｔｈ１（１４ａ）、効果判定閾値（データ数２０）ＴｈＥ２０（１４ｂ）、効果判定閾値（データ数４０）ＴｈＥ４０（１４ｃ）、効果判定閾値（データ数６０）ＴｈＥ６０（１４ｄ）、等の各フィールドを有する。閾値情報Ｄ５は、吸着時のノズルＮの動作の修正に関する、図９の判定（ｓ２０３，ｓ２１０）で用いる設定情報であり、各フィールド値はユーザにより設定変更可能となっている。
【００８６】
実行判定閾値Ｔｈ１（１４ａ）は、ノズルＮのＺ方向位置（ｚ）、停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）等の修正処理を実施するか否かを判定（ｓ２０３）するための情報が格納される。
【００８７】
効果判定閾値（データ数２０）ＴｈＥ２０（１４ｂ）、効果判定閾値（データ数４０）ＴｈＥ４０（１４ｃ）、効果判定閾値（データ数６０）ＴｈＥ６０（１４ｄ）には、動作情報の修正がバラつき低減効果があったか否かを判定する情報が格納される。動作情報修正前の分散算出に用いたデータ数Ｍ（Ｂ）（１３ｅ）が、２０以上４０未満であれば効果判定閾値（データ数２０）ＴｈＥ２０（１４ｂ）を、４０以上６０未満であれば効果判定閾値（データ数４０）ＴｈＥ４０（１４ｃ）、６０以上であれば効果判定閾値（データ数６０）ＴｈＥ６０（１４ｄ）を利用する。データ数Ｍ（Ｂ）の値が大きくなると、効果判定用閾値の値は小さくなる。これは、データ数が大きい場合は、動作修正前と動作修正後のバラつきの大きさの差が小さくても、バラつき低減効果ありと判定することを表している。なお、本実施例では利用する閾値の切替に、動作修正前のデータ数Ｍ（Ｂ）を用いてるが、動作修正後のデータ数Ｍ（Ａ）を用いた場合であっても同様に、データ数Ｍ（Ａ）が大きくなると値が小さくなる閾値を設定することは可能である。
【００８８】
［低減効果情報］
図１５は、低減効果情報Ｄ６の一実施形態である低減効果情報テーブル例を示す。本テーブルは、停止位置（Ｚ）効果（１５ａ）、停止時間（Ｔ）効果（１５ｂ）、動作速度（ＶＺ）効果１５ｃ、等のフィールドを有する。低減効果情報Ｄ６は、図９の処理で判定に利用する情報が格納される。
【００８９】
停止位置（Ｚ）効果（１５ａ）は、動作情報の１つである停止位置（Ｚ）の修正のバラつき低減効果の有無を示す情報が格納される。停止時間（Ｔ）効果（１５ｂ）は、動作情報の１つである停止時間（Ｔ）の修正のバラつき低減効果の有無を示す情報が格納される。動作速度（ＶＺ）効果（１５ｃ）は、動作情報の１つである動作速度（ＶＺ）の修正のバラつき低減効果の有無（バラつき低減に対する有効性）を示す情報が格納される。
【００９０】
低減効果情報Ｄ６の各フィールドには、実装装置を起動した場合などに初期値として効果有無の判定が未実施であることを示す−が格納される。また低減効果情報Ｄ６のフィールドは、図９の処理で低減効果ありを示す○、または低減効果なしを示す×に値が修正される。
【００９１】
［タクト変化量情報］
図１６は、タクト変化量情報Ｄ７の一実施形態であるタクト変化量情報テーブル例を示す。本テーブルは、停止位置（Ｚ）タクト変化量（１６ａ）、停止時間（Ｔ）タクト変化量（１６ｂ）、動作速度（ＶＺ）タクト変化量（１６ｃ）、等のフィールドを有する。タクト変化量情報Ｄ７は、図９の処理で値が格納され、またその格納された値は図９の処理で判定に利用される。
【００９２】
停止位置（Ｚ）タクト変化量（１６ａ）は、動作情報の１つである停止位置（Ｚ）の修正時の吸着動作１回あたりのタクトタイム増加量を示す情報が格納される。停止時間（Ｔ）タクト変化量（１６ｂ）は、動作情報の１つである停止時間（Ｔ）の修正時の吸着動作１回あたりのタクトタイム増加量を示す情報が格納される。動作情報の１つである動作速度（ＶＺ）の修正時の吸着動作１回あたりのタクトタイムの増加量を示す情報が格納される。各フィールドのタクトタイム増加量はプラスが増加、マイナスが減少を示す。本実施例では、吸着動作１回あたりのタクトタイム増加量を示す情報を格納するが、基板生産１枚あたりのタクトタイム増加量を示す情報を格納してもよい。
【００９３】
［処理詳細（図９）］
図９は、図２のＳ１０９に係わる、演算装置１５０（主に演算制御部１６０）による動作情報Ｄ２の算出・修正のための処理例を示す（ｓ２０１等は処理ステップを表す)。演算制御部１６０は、例えば全体制御装置１４０（全体制御部１４４）から、ＩＦ部１６３等を介して、動作情報Ｄ２（テーブル）の修正の対象となるフィーダＦ（フィーダ位置）（ｄ２０１）とノズルＮ（ノズル位置）（ｄ２０２）の組み合わせ等を指定する情報と、動作情報Ｄ２の修正処理の指示を受けると、図９の処理を実行する。
【００９４】
（ｓ２０１）  演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸの平均値（ＡｖｅＸ）、部品把持位置ＨＹの平均値（ＡｖｅＹ）、距離ＫＺの平均値（ＡｖｅＺ）を算出する。なおフィーダＦ、ノズルＮ，部品Ｐ等の単位での平均（Ａｖｅ）をとる。
【００９５】
まず演算制御部１６０は、動作情報Ｄ２のテーブルで、フィーダ番号（１１ａ）がｄ２０１に等しく、かつ吸着ノズル番号（１１ｂ）がｄ２０２に等しい行を特定し、当該行に格納された停止位置（Ｚ）（１１ｃ）（ＭＩｏｌｄ１）、停止時間（Ｔ）（１１ｄ）（ＭＩｏｌｄ２）、動作速度（ＶＺ）（１１ｅ）（ＭＩｏｌｄ３）を読み込む。さらに、演算制御部１６０は、吸着結果情報Ｄ３のテーブルで、全ての行を検索し、下記の条件１に当てはまる行を特定し、条件１に当てはまる行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報を読み込む。
【００９６】
（条件１）  フィーダ番号１２ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１２ｂの格納値がｄ２０２に等しく、停止位置（ｚ）の格納値がＭＩｏｌｄ１に等しく、停止時間（Ｔ）の格納値がＭＩｏｌｄ２に等しく、動作速度（ＶＺ）の格納値がＭＩｏｌｄ３に等しい。
【００９７】
ここで、条件１に当てはまる行のうち上からｉ番目の行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）の情報をＸｉ、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）の情報をＹｉ、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報をＺｉと呼び、条件１に当てはまる行の個数をｎと呼ぶ。
【００９８】
さらに、演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸの平均値（ＡｖｅＸ）、部品把持位置ＨＹの平均値（ＡｖｅＹ）、及び距離ＫＺの平均値（ＡｖｅＺ）を算出する。データの個数ｎが所定の閾値Ｔｈ０（例えば２０）以下である場合は、データ数が少ないとして、次のＳ２０２に進み、処理を終了する。Ｔｈ０よりもｎが大きい場合は、演算制御部１６０は、次の式（１）、式（２）、及び式（３）に従い、ＡｖｅＸ，ＡｖｅＹ，ＡｖｅＺを算出する。
【００９９】
【数１】
0005729724.tif 000002
【０１００】
【数２】
0005729724.tif 000003
【０１０１】
【数３】
0005729724.tif 000004
【０１０２】
（Ｓ２０２）演算制御部１６０はデータの個数ｎが所定の閾値Ｔｈ０（例えば２０）以下である場合は、データ数が少ないとして、処理を終了する。Ｔｈ０よりもｎが大きい場合は、次のＳ２０３に進む。
【０１０３】
（ｓ２０３）  演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつきを示す値としてＨＸ，ＨＹの分散（ＶａｒＸＹ）を算出し、距離ＫＺのバラつきを示す値として、ＫＺの分散（ＶａｒＺ）を算出する。演算制御部１６０は、次の式（４）、式（５）に従い、ＶａｒＸＹ，ＶａｒＺを算出する。
【０１０４】
【数４】
0005729724.tif 000005
【０１０５】
【数５】
0005729724.tif 000006
【０１０６】
演算制御部１６０は、上記のＶａｒＸＹをバラつき情報Ｄ４のテーブルの１３ｃに格納し、ＶａｒＺを１３ｄに格納する。またデータの個数ｎをバラつき情報Ｄ４のテーブルの１３ｅに格納する。
【０１０７】
（ｓ２０４）  演算制御部１６０は、ｓ２０３で算出したＨＸ，ＨＹのバラつき（分散ＶａｒＸＹ）と、距離ＫＺのバラつき（分散ＶａｒＺ）のデータ、及び閾値情報Ｄ５の実行判定閾値Ｔｈ１（１４ａ）を用いて、次に行う処理を決定するための判定を行う。演算制御部１６０は、ＶａｒＸＹまたはＶａｒＺが実行判定閾値Ｔｈ１（１４ａ）より大きい場合、次にｓ２０５以降の処理）を行い、ＶａｒＸＹ及びＶａｒＺがともに実行判定閾値Ｔｈ１（１４ａ）以下である場合はバラつき低減の必要がないとして処理を終了する。
【０１０８】
（ｓ２０５）  演算制御部１６０は、低減効果情報Ｄ６を用いて、次に行う処理を決定するための判定を行う。演算制御部１６０は、低減効果情報Ｄ６のテーブルで、全てのフィールド（１５ａ、１５ｂ、１５ｃ）に効果なしを示す×が格納されている場合は、どの動作情報を変更してもバラつき低減効果が見込めないとして処理を終了する。いずれかのフィールドに効果ありを示す○または効果判定未実施を示す−が格納されている場合は、ｓ２０６以降の処理を実行する。ｓ２０６以降の処理では、ノズルＮの停止位置Ｚ、または、停止時間Ｔまたは動作速度ＶＺが修正される。
【０１０９】
（ｓ２０６）  演算制御部１６０は、各動作情報を変更した場合のタクトタイムの変化量を計算し、タクト変化量情報Ｄ７を更新する。演算制御部１６０は、ユーザによって設定された動作情報の修正量であるＩＶ１（停止位置（Ｚ）の修正量を示す）、ＩＶ２（停止時間（Ｔ）の修正量を示す）、ＩＶ３（動作速度（ＶＺ）の修正量を示す）を用いて、次の式（６）、式（７）、式（８）各動作情報を変更した場合のタクトタイム変化量を計算する。本実施例では、ＩＶ１＝０．１、ＩＶ２＝０．５、ＩＶ３＝−０．１である。
【０１１０】
【数６】
0005729724.tif 000007
【０１１１】
【数７】
0005729724.tif 000008
【０１１２】
【数８】
0005729724.tif 000009
【０１１３】
式（６）、式（７）、式（８）において、ＴＣ１は停止位置（Ｚ）の修正によるタクトタイムの変化量を示し、ＴＣ２は停止時間（Ｔ）の修正によるタクトタイムの変化量を示し、ＴＣ３は動作速度（ＶＺ）の修正によるタクトタイムの変化量を示す。ＶＭａｘは動作速度の最大値を示す。
【０１１４】
更に、演算制御部１６０は、ＴＣ１を１６ａに、ＴＣ２を１６ｂに、ＴＣ３を１６ｃに格納する。
【０１１５】
（ｓ２０７）  演算制御部１６０は、低減効果情報Ｄ６とタクト変化量情報Ｄ７を用いて、修正する動作情報を特定する。演算制御部１６０は、停止位置（Ｚ）、停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）のうち、低減効果情報のフィールド１５ａ、１５ｂ、１５ｃに○または−が格納されているもので、タクト変化量情報のフィールド１５ａ、１６ｂ、１６ｃに最も小さい値が格納されているものを、修正する動作情報として選択する。図１６、図１７の例では、動作速度（Ｔ）が選択される。
【０１１６】
（ｓ２０８）  演算制御部１６０は、動作情報の修正値を算出する。ｓ２０７にて選択された動作情報を、次の式（９）を用いて算出する。ＭＩｎｅｗｉは各動作情報の修正値を表す。式（９）において、ｉには停止位置（Ｚ）が選択された場合は１が、停止時間（Ｔ）が選択された場合は２が、動作速度（ＶＺ）が選択された場合は３が入力される。
【０１１７】
【数９】
0005729724.tif 000010
【０１１８】
なお、上記修正方法としては、加算ではなく乗算などとしてもよい。
【０１１９】
（ｓ２０９）  演算制御部１６０は、動作情報の修正値を用いて部品吸着と部品把持位置の計測を行う。演算制御部１６０は、ｓ２０７で選択された動作情報はＭＩｎｅｗｉとし、ｓ２０７で選択されなかった動作情報はＭＩｏｌｄｉとする設定値で、ｄ２０１のフィーダからｄ２０２のノズルで吸着動作を行い、部品把持位置ＨＸ，ＨＹと距離ＫＺを計測する。本動作はｓ１０２、ｓ１０３、ｓ１０４、ｓ１０５及びｓ１０６の計測動作と同様の処理である。計測した結果から、実績データとなる吸着結果情報１５２を作成し、演算装置１５０の記憶部１５１に格納する。吸着結果情報１５２には、前記距離ＫＺ、部品把持位置ＨＸ，ＨＹの情報を含む。なおこの格納は他のタイミングでもよい。この吸着動作と計測動作を所定の回数（本実施例では２０回）実行する。なお本実施例では、ここで吸着した部品は廃棄するが、基板に実装しても、回収しても良い。
【０１２０】
（ｓ２１０）  演算制御部１６０は、動作情報修正後の設定値における部品把持位置の分散ＶａｒＸＹ、距離の分散ＶａｒＺを算出する。ここでの処理はｓ２０１とｓ２０３と同様の処理である。
演算制御部１６０は、吸着結果情報Ｄ３のテーブルで、全ての行を検索し、下記の条件１に当てはまる行を特定し、条件２に当てはまる行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ），ＨＹ（１２ｇ）、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報を読み込む。
【０１２１】
（条件２）フィーダ番号１２ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１２ｂの格納値がｄ２０２に等しく、停止位置（ｚ）の格納値がＭＩｏｌｄ１（ｓ２０７で選択された場合はＭＩｎｅｗ１）に等しく、停止時間（Ｔ）の格納値がＭＩｏｌｄ２（ｓ２０７で選択された場合はＭＩｎｅｗ２）に等しく、動作速度（ＶＺ）の格納値がＭＩｏｌｄ３（ｓ２０７で選択された場合はＭＩｎｅｗ３）に等しい。
【０１２２】
ここで、条件２に当てはまる行のうち上からｉ番目の行における部品把持位置ＨＸ（１２ｆ）の情報をＸｉ、部品把持位置ＨＹ（１２ｇ）の情報をＹｉ、距離ＫＺ（１２ｈ）の情報をＺｉとしてＸｉ、Ｙｉ、Ｚｉの値を更新する。また条件２に当てはまるデータの個数をｎとしてｎの値を更新する。
【０１２３】
演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸの平均値（ＡｖｅＸ）、部品把持位置ＨＹの平均値（ＡｖｅＹ）、及び距離ＫＺの平均値（ＡｖｅＺ）を算出する。演算制御部１６０は、式（１）、式（２）、及び式（３）に従い、ＡｖｅＸ，ＡｖｅＹ，ＡｖｅＺを算出する。
【０１２４】
さらに、演算制御部１６０は、部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつきを示す値としてＨＸ、ＨＹの分散（ＶａｒＸＹ）を算出し、距離ＫＺのバラつきを示す値として、ＫＺの分散（ＶａｒＺ）を、式（４）、式（５）に従い算出する。
【０１２５】
演算制御部１６０は、上記のＶａｒＸＹをバラつき情報Ｄ４のテーブルの１３ｆに格納し、ＶａｒＺを１３ｇに格納する。またデータの個数ｎをバラつき情報Ｄ４のテーブルの１３ｈに格納する。
【０１２６】
（ｓ２１１）  演算制御部１６０は、ｓ２０７にて選択した動作情報の修正にバラつき低減効果があったか否かを次の式（１０）を用いて判定する。
【０１２７】
【数１０】
0005729724.tif 000011
【０１２８】
式（１０）においてＶａｒＢは１３ｃまたは１３ｄに格納された情報が入力され、ＶａｒＡは１３ｆまたは１３ｇに格納された情報が入力され、ＴｈＥは、動作情報修正前の分散算出に用いたデータ数Ｍ（Ｂ）（１３ｅ）が、２０以上４０未満であれば１４ｂが、４０以上６０未満であれば１４ｃが、６０以上であれば１４ｄが入力される。演算装置１６０は、１３ｃと１３ｆの組合せ、または、１３ｄと１３ｇの組合せにおいて式（１０）が成立する場合にバラつき低減効果ありと判定し、どちらの組合せにおいても成立しない場合はバラつき低減効果なしと判定する。バラつき低減効果ありと判定した場合は、低減効果情報Ｄ６のフィールド１５ａ、１５ｂ、１５ｃのうち、ｓ２０７にて選択した動作情報に相当するものを、効果ありを表す○に更新する。バラつき低減効果なしと判定した場合は、低減効果情報Ｄ６のフィールド１５ａ、１５ｂ、１５ｃのうち、ｓ２０７にて選択した動作情報に相当するものを、効果なしを表す×に更新する。低減効果情報Ｄ６のフィールド１５ａ、１５ｂ、１５ｃのうち、ｓ２０７にて選択した動作情報に相当する以外で、効果ありを表す○が格納されたものは未実施を示す−に更新する。
【０１２９】
ここで、バラつき低減効果を判定する理由は、バラつき低減効果のない動作情報を変更することによるタクトタイムの低下を防止するためである。
（ｓ２１２）  演算制御部１６０は、ｓ２１１においてバラつき低減効果ありと判定した場合は次にｓ２１３の処理を実行し、バラつき低減効果なしと判定した場合は再度ｓ２０５の処理を行う。
（ｓ２１３）  演算制御部１６０は、ｓ１０までの処理結果に基づき、Ｚ方向位置（ｚ）の修正値、停止時間Ｔの修正値、動作速度ＶＺの修正値などの情報（修正内容情報）を出力する。本実施の形態では、修正内容情報を画面に表示する処理を行い、ユーザにより修正内容の確認、及び修正実行を可能とする（図１７）。部品実装装置１００の出力部１７１（または演算装置１５０の出力部１６２）で画面を表示する。
【０１３０】
図１７は、ｓ２１３で表示する画面例を示す。本画面では、修正対象となるフィーダＦの番号（ｇ１１）、ノズルＮの番号（ｇ１２）、動作情報修正前の部品把持位置ＨＸ，ＨＹのバラつき（分散値）（ｇ１３）、距離ＫＺのバラつき（分散値）（ｇ１４）、修正前の動作情報Ｄ２｛停止位置（Ｚ）（ｇ１５），停止時間（Ｔ）（ｇ１６）、動作速度（ＶＺ）（ｇ１７）等｝、修正後の動作情報Ｄ２｛停止位置（Ｚ）（ｇ１８）、停止時間（Ｔ）（ｇ１９）、動作速度（ＶＺ）（ｇ２０）等｝、動作情報の修正による部品把持位置ＨＸ、ＨＹのバラつきの変化量（ｇ２１）、距離ＫＺのバラつきの変化量（ｇ２２）、タクトタイムの変化量（ｇ２３）、停止位置（Ｚ）の修正のバラつき低減効果の有無（ｇ２４）、停止時間（Ｔ）の修正のバラつき低減効果の有無（ｇ２５）、動作速度（ＶＺ）の修正のバラつき低減効果の有無（ｇ２６）の情報、及び、修正実行可否のボタン（ｇ２７、ｇ２８）等を表示する。
【０１３１】
演算装置１６０は、ｇ１１にｄ２０１を、ｇ１２にｄ２０２を、ｇ１３に１３ｃを、ｇ１４に１３ｄ表示し、修正前のｇ１５にＭＩｏｌｄ１を、ｇ１６にＭＩｏｌｄ２を、ｇ１７にＭＩｏｌｄ３を表示し、修正後のｇ１８に１５ａが○の場合はＭＩｎｅｗ１を１５ａが×または−の場合はＭＩｏｌｄ１を、ｇ１９に１５ｂが○の場合はＭＩｎｅｗ２を１５ｂが×または−の場合はＭＩｏｌｄ２を、ｇ２０に１５ｃが○の場合はＭＩｎｅｗ３を１５ｃが×または−の場合はＭＩｏｌｄ３を表示し、修正による変化のｇ２１に１３ｆを１３ｃで除した値を、ｇ２２に１３ｇを１３ｄで除した値を、ｇ２３には、１５ａに○が格納された場合は１６ａを、１５ｂに○が格納された場合は１６ｂを、１５ｃに○が格納された場合は１６ｃを、表示し、修正効果のｇ２４には１５ａを、ｇ２５には１５ｂを、ｇ２６には１６ｃを表示する。
【０１３２】
（ｓ２１４）  演算制御部１６０は、ｓ２１３（図１７の画面）によるユーザの入力結果（Ｙｅｓボタン（ｇ２７）による修正実行可など）を受け付ける。修正実行可（Ｙｅｓ）の場合（Ｙ）はｓ２１５の処理を行い、修正実行不可（Ｎｏ）の場合はｓ２１５を行わずに終了する。なお前述のようにｓ２１３，ｓ２１４を省略して自動的にｓ２１５の修正を実行するようにしてもよい（例えば予め自動実行を設定可能とする）。
【０１３３】
（ｓ２１５）  演算制御部１６０は、上記処理結果（修正内容情報）を用いて、動作情報Ｄ２（Ｚ，Ｔ，ＶＺ等）を修正する。例えば、動作情報Ｄ２のテーブルのうち、フィーダ番号１１ａの格納値がｄ２０１に等しく、吸着ノズル番号１１ｂの格納値がｄ２０２に等しい行を特定し、１５ａが○の場合は当該行にある１１ｃの停止位置（Ｚ）のデータをＭＩｎｅｗ１に修正し、１５ｂが○の場合は当該行にある停止時間Ｔ（１１ｄ）のデータをＭＩｎｅｗ２に修正し、１５ｃが○の場合は当該行にある動作速度ＶＺ（１１ｅ）のデータをＭＩｎｅｗ３に修正し、処理を終了する。
【０１３４】
なお、Ｓ１０５におけるＺ方向のノズル上昇の加速度（動作加速度）を制御するパラメータ（ＡＺ）を設定し、図９の処理において、動作速度ＶＺに代えて、または動作速度ＶＺとともに、パラメータ（ＡＺ）を低減してもよい。
【０１３５】
また、図９の処理において停止位置（Ｚ）や停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）、動作加速度（ＡＺ）等を修正しても吸着異常が発生する場合は、再度、図９の処理が実行され、停止位置（Ｚ）や停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）、動作加速度（ＡＺ）等が更に修正される。
【０１３６】
［効果等］
一定時間に行われた複数の吸着動作を１セットとして、そのセットにおける吸着異常の発生した割合（吸着異常の発生率）と、吸着動作における部品把持位置の標準偏差を考える。複数のセットにおいて吸着異常の発生率と部品把持位置の標準偏差を算出し、部品把持位置の標準偏差をＸ軸の値とし、吸着異常の発生率をＹ軸の値として、各セットをＸＹ平面上にプロットすると、図１８のようなグラフが得られる。図１８のグラフに見られるように、部品把持位置の標準偏差が小さいと、吸着異常の発生率も小さい。
【０１３７】
従って、以上説明したように、本実施の形態の部品実装装置１００（演算装置１５０）においては、実績データ（吸着結果情報Ｄ３）による部品Ｐの吸着後のノズルＮの部品把持位置ＨＸ，ＨＹや吸着時のノズルＮのＺ方向位置（ｚ）などを入力情報として、吸着時のノズルＮの停止位置（Ｚ）や、停止時間（Ｔ）、動作速度（ＶＺ）等を好適に算出・修正することにより、タクトタイムの増加を抑えたうえで、部品把持位置の標準偏差を低下させることができ、吸着異常の発生率を低下させることができる。
【０１３８】
尚、上記の実施の形態では、部品を取り出し保持する部品保持部材としてノズルを例に説明したが、ノズルの他に部品を挟んで取り出すチャック等を使用した場合についても本発明を適用することができる。
【０１３９】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【０１４０】
５０…部品（Ｐ）、９０…基板、１００…部品実装装置、１１０…供給装置、１１１…フィーダベース、１１１ａ…フィーダ（Ｆ）、１１２，１２５，１３３，１４５，１６３…ＩＦ部、１２０…装着装置、１２１…ヘッド、１２２…ビーム、１２２ａ…ガイド、１２３…ノズル（吸着ノズル）（Ｎ）、１２４…駆動制御部、１２５…圧力制御部、１３０…部品検出装置、１３１…側面検出部、１３２…下面検出部、１４０…全体制御装置、１４１…記憶部、１４４…全体制御部、１５０…演算装置、１５１…記憶部、Ｄ１…装着情報、Ｄ２…動作情報、Ｄ３…吸着結果情報、Ｄ４…バラつき情報、Ｄ５…閾値情報、１６０…演算制御部、１６１…入力部、１６２…出力部、１７０…入力装置、１７１…出力装置、１７２…通信ＩＦ装置、１７３…バス。
【図１】
0005729724.tif 000012
【図２】
0005729724.tif 000013
【図３】
0005729724.tif 000014
【図４】
0005729724.tif 000015
【図５】
0005729724.tif 000016
【図６】
0005729724.tif 000017
【図７】
0005729724.tif 000018
【図８】
0005729724.tif 000019
【図９】
0005729724.tif 000020
【図１０】
0005729724.tif 000021
【図１１】
0005729724.tif 000022
【図１２】
0005729724.tif 000023
【図１３】
0005729724.tif 000024
【図１４】
0005729724.tif 000025
【図１５】
0005729724.tif 000026
【図１６】
0005729724.tif 000027
【図１７】
0005729724.tif 000028
【図１８】
0005729724.tif 000029