(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
二つの出力端から接地電位に対して互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置であり、
交流電源と、
前記交流電源の電源電圧を所定周波数に変換して高周波電圧を出力する高周波出力回路と、
前記高周波出力回路が出力する高周波電圧を接地電位に対して互いに逆相の交流電圧に分圧する分圧回路とを備え、
前記分圧回路は、
前記高周波出力回路の出力端間の中点を接地電位として第１の容量性素子と第２の容量性素子の２つの容量性素子を直列接続した直列回路と、
前記直列回路の少なくとも何れか一方の容量性素子において、当該容量性測定信号の出力端側又は中点側に対して、
前記高周波出力回路の一方の出力端及び／又は接地を切り換えて接続し、前記２つの容量性素子の接地電位に対する両端電圧の電圧比率を可変とし、高電圧と低電圧を切り換えて出力する切換回路とを備えることを特徴とする高周波電源装置。
【請求項２】
前記切換回路は、
前記直列回路の２つの容量性素子の少なくとも何れか一方の容量性素子の両端間において、前記高周波出力回路の前記一方の容量性素子側の出力端と接地電位との間を短絡又は開放する開閉回路を備え、
前記開閉回路の短絡動作は、前記高周波出力回路の前記一方の容量性素子側の出力端電圧を零電圧とし、他方の容量性素子側の出力端電圧を高周波出力回路の出力電圧とし、
前記開閉回路の開放動作は、前記高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を前記両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とすることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項３】
前記開閉回路を、前記高周波出力回路の一方の出力端と接地電位との間、又は前記高周波出力回路の一方の出力端と前記中点との間に設けた、あるいは前記一方の容量性素子に並列接続したことを特徴とする請求項２に記載の高周波電源装置。
【請求項４】
前記切換回路は、
前記直列回路の２つの容量性素子の中点及び前記高周波出力回路の前記一方の容量性素子側の出力端に対して、接地電位を切り換えて接続する切換スイッチを備え、
前記切換スイッチにおいて、
前記直列回路の２つの容量性素子の中点に対する接地電位の切換は、前記高周波出力回路の前記一方の容量性素子側の出力端電圧を零電圧とし、他方の容量性素子側の出力端電圧を高周波出力回路の出力電圧とし、
前記高周波出力回路の前記一方の容量性素子側の出力端に対する接地電位の切換は、前記高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を前記両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とすることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項５】
前記切換回路は、
前記直列回路の２つの容量性素子の何れか一方の容量性素子に対して第３の容量性素子を直列接続する切換スイッチを備え、
前記切換スイッチによる切換において、
前記第３の容量性素子の直列接続は、前記高周波出力回路の他方の容量性素子側の出力端電圧の波高値を前記一方の容量性素子側の出力端電圧の波高値よりも高くし、
前記第３の容量性素子の切り離しは、前記高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を前記両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とすることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項６】
前記切換回路は、
前記直列回路の２つの容量性素子の何れか一方の容量性素子に対して第４の容量性素子を並列接続する切換スイッチを備え、
前記切換スイッチによる切換において、
前記第４の容量性素子の並列接続は、前記一方の容量性素子側の出力端電圧の波高値を前記高周波出力回路の他方の容量性素子側の出力端電圧の波高値よりも高くし、
前記第４の容量性素子の切り離しは、前記高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を前記両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とすることを特徴とする請求項１に記載の高周波電源装置。
【請求項７】
プラズマチャンバ内の２つの電極に互いに逆相の交流電圧を印加するデュアルカソード用電源であり、
請求項１から６の何れか一つに記載の高周波電源装置と、
プラズマチャンバ内でプラズマを着火させるイグニッション動作状態と、着火したプラズマを維持するプラズマ維持状態との動作状態を制御する制御回路とを備え、
前記制御回路は、前記電極に流れる電流に基づいて前記切換回路を制御してイグニッション動作状態の高電圧を出力する電圧比率と、プラズマ維持状態の低電圧を出力する電圧比率とを変え、
前記イグニッション動作状態において、前記２つの電極の内のプラズマを着火させる電極の電圧比率を高め、
前記プラズマ維持状態において、前記２つの電極の電圧比率を均等化し、
前記イグニッション動作状態において、プラズマを着火させる前記電極に流れる電流が設定値を越えたとき前記切換回路において前記接続状態を切り換え、プラズマ維持状態に切り換えることを特徴とするデュアルカソード用電源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置、及びプラズマチャンバ内の２つの電極に互いに逆相の交流電圧を印加するデュアルカソード用電源に関する。
【背景技術】
【０００２】
チャンバ内で生成したプラズマを用いた成膜装置やスパッタリング装置等の装置では、チャンバ内に２つの電極（ターゲット）を配置し、これらの電極（ターゲット）に対してカソードとなる電圧及びアノードとなる電圧を交互に切り換えて印加してプラズマを生成するデュアルカソード方式と呼ばれる電圧印加が行われている（特許文献１参照）。
【０００３】
図９（ａ）はデュアルカソード方式による電圧印加の概略を説明するための図である。図９（ａ）に示す構成は、チャンバ内に配置した２つの電極（ターゲット）１０１，１０２と、電極（ターゲット）１０１に高周波電圧（RF：Radio Frequency）を印加するための高周波電源１０３と、電極（ターゲット）１０２に高周波電圧を印加するための高周波電源１０４と、スイッチングユニット１０５とを備える。
【０００４】
スイッチングユニット１０５は高周波電源１０３と高周波電源１０４とを切り換え、電極１０１と電極１０２に対して極性を変えた高周波電圧を交互に供給する。一対の電極に対して互いに逆相の高周波電圧を印加することによって、一方の電極にカソードとなる電圧を印加している間に他方の電極にアノードとなる電圧を印加し、一方の電極にアノードとなる電圧を印加している間に他方の電極に対してカソードとなる電圧を印加する。
【０００５】
互いに逆相の高周波電圧を印加することによって電極１０１及び電極１０２に蓄積された電荷は解消されるため、安定したプラズマを維持することができる（特許文献１参照）。
【０００６】
図９（ｂ）はデュアルカソード方式の電圧印加において一台の高周波電源からなる構成を説明するための図である。図９（ｂ）に示す構成は、チャンバ内に配置した２つの電極（ターゲット）１１１，１１２と、電極（ターゲット）１１１，１１２に高周波電圧を印加するための一台の高周波電源１１３と、高周波電圧を一対の電極１１１，１１２のそれぞれに対して交互に切り換えて印加するスイッチング回路１１５と、一対の電極（ターゲット）間でカソード及びアノードが交互に入れ替わるように各電極に交流電圧を印加する交流電源１１６を備える。
【０００７】
この構成では、一対の電極（ターゲット）に対して高周波電源１１３を共用して使用し、高周波電源１１３で生成した高周波電圧を、交流電源１１６で生成した交流電圧に一対の電極（ターゲット）のそれぞれに交互に切り換えながら重畳して印加する（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００６−１３４６０３号（段落［００２５］）
【特許文献２】特開２０１０−２４８５７７号（段落［０００６］〜段落［０００９］）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図９（ａ）に示した構成では、一つの電極（ターゲット）について一台の高周波電源を使用するため一対の電極（ターゲット）に対して二台の高周波電源装置が必要となり、装置の小型化や生産コストの抑制を妨げる要因となっている。
【００１０】
上記の問題点を解消する構成として図９（ｂ）に示す構成が提案されている。この構成では、一対の電極（ターゲット）に対して一台の高周波電源を使用することによって、装置の小型化及び生産性の向上を図ることができる。一方、図９（ｂ）に示した構成では、一対の電極（ターゲット）間においてカソードとアノードとを交互に入れ替えるために、高周波電圧を出力する高周波電源とは別にスイッチング回路１１５や交流電源１１６が必要である。
【００１１】
一対の電極（ターゲット）に対して一台の高周波電源を使用する構成において、スイッチング手段や交流電源を不要とする構成として図９（ｃ）に示す構成が考えられる。
【００１２】
図９（ｃ）に示す高周波電源装置１２１は、高周波出力回路１２２の出力端間に変圧器１２３を介して容量性素子１２５，１２６を直列接続してなる分圧回路１２４を並列接続し、容量性素子１２５，１２６の中点を接地する構成である。分圧回路１２４は、変圧器１２３を介して得られる高周波出力回路１２２の出力端ａ，ｂ間の電圧Ｖabを容量性素子１２５と容量性素子１２６で交流的に二つの電圧に分圧する。容量性素子１２５，１２６の中点の電位が接地電位であるため、出力端Ａ及び出力端ＢはＶabの１／２の波高値（Ｖab／２）で互いに逆相の交流電圧の出力電圧Ｖa及びＶbを出力する。
【００１３】
出力端Ａ及び出力端Ｂに一対の電極１３１，１３２を接続することによって、各電極１３１，１３２にアノードとカソードとを交互に切り換えて電圧を印加することができる。
【００１４】
高周波電源装置において、高電圧の出力電圧と低電圧の異なる電圧値の出力電圧が求められる場合がある。例えば、プラズマ発生装置を負荷とする場合には、プラズマ着火時にはイグニッション電圧として高電圧を電極に印加し、プラズマ着火後にプラズマを維持するにはイグニッション電圧よりも低い低電圧を印加する。デュアルカソード電源によってプラズマを生成する場合、プラズマ着火時にはプラズマ維持時よりも高い波高値の交流電圧を印加する必要がある。
【００１５】
図９（ｃ）に示す構成の高周波電源装置は定電圧を出力する構成であり、常に一定波高値の電圧を出力する。そのため、プラズマ維持時においてもプラズマ着火時の高電圧を印加することになり、負荷が求める電圧値に対して十分に対応することができないという問題がある。
【００１６】
したがって、高周波出力回路の出力を二つに分圧する構成では、高電圧と低電圧の異なる電圧値を出力することができないという問題がある。
【００１７】
また、図９（ｃ）の構成では、高周波電圧を切り換えるスイッチング回路１１５や、一対の電極（ターゲット）間でカソード及びアノードを交互に入れ替えるための交流電源１１６を不要とすることができるが、出力端の電圧が高周波出力回路の出力電圧の１／２の波高値となり、負荷側の電極には高周波出力回路の出力電圧の１／２の波高値しか印加されず、プラズマを着火するには十分な電圧が得られないという問題がある。
【００１８】
図１０は、図９（ｃ）の構成の高周波電源装置１２１から配線ケーブル１４１，１４２を介してプラズマ発生装置１３０に高周波電圧を供給する構成を示している。
【００１９】
図１０に示すように、配線ケーブル１４１，１４２を介して高周波電圧を供給する構成においても、高周波電源装置の出力端における出力電圧と同様に、電極１３１，１３２に印加される交流電圧の出力電圧Ｖa及びＶbの波高値は以下の式（１），（２）で示されるように高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２となる。
【００２０】
ここで、配線ケーブル１４１，１４２のインダクタンス及びキャパシタンスをそれぞれＬla，Ｌlb，Ｃla，Ｃlbとすると、配線ケーブル１４１，１４２の外線は接地されているため、電極Ａに印加される交流電圧の出力電圧Ｖaは以下の式（１）で表される。なお、数10kHz〜数100kHzの周波数帯域の高周波電圧を使用する場合には、配線ケーブルのインダクタンスＬla，Ｌlbは省略することができるため、以下の式（１）は高周波電源装置側の分圧回路のキャパシタンスＣa，Ｃbと、配線ケーブルのキャパシタンスＣla，Ｃlbで表される。
Ｖa＝ [ (Ｃb+Ｃlb)／{(Ｃa+Ｃla)+(Ｃb+Ｃlb)} ]・Ｖab        ・・・（１）
ここで、Ｃa＝Ｃb、Ｃla＝Ｃlbとすると、式（１）は式（２）で表される。
Ｖa＝ { (Ｃa+Ｃla)／2(Ｃa+Ｃla) }・Ｖab＝Ｖab／２          ・・・（２）
【００２１】
上記したように、図９（ｃ）に示すように容量性素子を直列接続してなる分圧回路を備えた高周波電源装置では、出力電圧Ｖa及びＶbは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２に制限されてしまう。
【００２２】
出力電圧が低電圧に制限されるという問題に対して、高周波電源装置が備える高周波出力回路の出力電圧の波高値を高めることによってプラズマ着火に必要な高電圧を得ることは可能であるが、高周波出力回路の高出力化は装置の大型化やコストの上昇を招くことになる。
【００２３】
したがって、互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置において、高周波出力回路の出力を二つに分圧する構成では、
（ａ）高電圧と低電圧の異なる電圧値を必要に応じて切り換えて出力することができない、
という問題がある他、
（ｂ）出力端の電圧が高周波出力回路の出力電圧の１／２の波高値に低下する、
という問題があり、
プラズマ負荷に電圧を供給する際には、
（ｃ）負荷側の電極に印加する電圧の波高値は高周波出力回路の出力電圧の１／２となり、プラズマ着火に支障をきたす恐れがある、
という問題がある。
【００２４】
本発明は前記した従来の問題点を解決し、高周波出力回路の出力を二つに分圧する構成によって互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置において、
（ａ）高電圧と低電圧の異なる電圧値を選択的に出力すること、
を目的とし、また
（ｂ）高周波電源装置の出力端において、高電圧出力時には高周波出力回路の出力電圧からの低下を抑制すること、
を目的とし、
（ｃ）プラズマ負荷に電圧を供給する際において、プラズマ着火時にはプラズマを着火するに十分な高電圧を出力し、プラズマ維持時にはプラズマを維持するに十分な低電圧を出力すること、
を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本願発明は、高周波電源装置において、分圧回路で分圧した高周波電圧を接地電位に対して互いに逆相の交流電圧に分圧する分圧回路の接続状態を切り換えて二つの出力端電圧の電圧比率を変えることによって、高電圧と低電圧を切り換えて出力する。
【００２６】
本願発明は、分圧回路における接続状態の切り換えによって、高電圧と低電圧の異なる電圧値を選択的に出力することを可能とする。また、高周波電源装置の出力端において、高電圧出力時に高電圧を選択して出力することによって高周波出力回路の出力電圧からの低下を抑制することができ、プラズマ負荷に電圧を供給する際において、プラズマ着火時にはプラズマを着火するに十分な高電圧を出力し、プラズマ維持時にはプラズマを維持するに十分な低電圧を出力することができる。
【００２７】
本願発明の高周波電源装置は、互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置であり、その構成として、交流電源と、交流電源の電源電圧を所定周波数に変換して高周波電圧を出力する高周波出力回路と、高周波出力回路が出力する高周波電圧を接地電位に対して互いに逆相の交流電圧に分圧する分圧回路とを備える。
【００２８】
本願発明が備える分圧回路は、高周波出力回路の出力端間の中点を接地電位として第１の容量性素子と第２の容量性素子の２つの容量性素子を直列接続した直列回路と、直列回路の少なくとも何れか一方の容量性素子に対して、高周波出力回路の一方の出力端及び／又は接地電位の接続状態を切り換える切換回路とを備える。切換回路は、２つの容量性素子の接地電位に対する両端電圧の電圧比率を可変とし、高電圧と低電圧を切り換えて出力する。
【００２９】
本願発明の高周波電源装置が備える切換回路は複数の形態によって構成することができる。
【００３０】
切換回路の第１の形態および第２の形態は接地電位の接続状態を切り換えることによって出力電圧を切り換える構成であり、切換回路の第３の形態および第４の形態は容量性素子の容量を切り換えることによって出力電圧を切り換える構成である。
【００３１】
（本願の切換回路の第１の形態）
本願の切換回路の第１の形態は、第１の容量性素子と第２の容量性素子とを直列接続してなる直列回路の２つの容量性素子の少なくとも何れか一方の容量性素子の両端間において、高周波出力回路の一方の容量性素子側の出力端と接地電位との間を短絡又は開放する開閉回路を備える。なお、短絡動作は開閉回路を閉じる動作であり、開放動作は開閉回路を開く動作である。
【００３２】
開閉回路の短絡動作は、一方の容量性素子側の出力端を接地電位として、高周波出力回路の一方の容量性素子側の出力端電圧を零電圧とし、他方の容量性素子側の出力端電圧を高周波出力回路の出力電圧とする。
【００３３】
この開閉回路の短絡動作によって、高周波電源装置の出力端からは高周波出力回路の高電圧を出力することができる。
【００３４】
他方、開閉回路の開放動作は、高周波出力回路の出力端電圧を両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とする。
【００３５】
この開閉回路の開放動作によって、高周波電源装置の二つの出力端から分圧による低電圧を出力することができる。
【００３６】
第１の形態の開閉回路は、当該開閉回路の高周波回路への接続において電気的に等価である複数の構成とすることができる。
【００３７】
開閉回路の第１の構成は、開閉回路を高周波出力回路の一方の出力端と接地電位との間に設ける構成である。第１の構成によれば、開閉回路を閉じることによって高周波出力回路の一方の出力端を接地電位として出力電圧の波高値を零とし、他方の出力端のみから高周波出力回路の出力電圧を出力する。他方、開閉回路を開くことによって高周波出力回路の一方の出力端を接地電位から絶縁状態とし、高周波出力回路の出力電圧を分圧回路で分圧した二つの電圧を各出力端から出力する。
【００３８】
開閉回路の第２の構成は、開閉回路を高周波出力回路の一方の出力端と中点との間に設ける構成である。第２の構成によれば、開閉回路を閉じることによって高周波出力回路の一方の出力端を分圧回路の中点に接続して接地電位として出力電圧の波高値を零とし、他方の出力端のみから高周波出力回路の出力電圧を出力する。他方、開閉回路を開くことによって高周波出力回路の一方の出力端を中点から絶縁状態として、高周波出力回路の出力電圧を分圧回路で分圧した二つの電圧を各出力端から出力する。
【００３９】
開閉回路の第３の構成は、開閉回路を一方の容量性素子に並列接続する構成である。第３の構成によれば、開閉回路を閉じることによって一方の容量性素子間を短絡して、高周波出力回路の一方の出力端を接地電位として出力電圧の波高値を零とし、他方の出力端のみから高周波出力回路の出力電圧を出力する。他方、開閉回路を開くことによって高周波出力回路の出力電圧を分圧回路で分圧した二つの電圧を各出力端から出力する。
【００４０】
開閉回路の第１〜第３の構成は電気的に等価な回路であり、開閉回路を閉じることによって一方の出力端の出力電圧を零電圧とし、他方の出力端のみから高周波出力回路の出力電圧を出力し、開閉回路を開くことによって高周波出力回路の出力電圧を分圧した二つの電圧を各出力端から出力する。
【００４１】
第１の形態の切換回路は、高周波出力回路の二つの出力端に対して、何れか一方又は両方の出力端側に設けることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の内で何れか一方に設けた場合には、切換回路を設けた側の出力端の出力電圧を零電圧とし、他方の出力端の出力電圧を高周波出力回路の出力電圧とすることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の両方に設けた場合には、何れか一方の切換回路を選択して切換動作を行い、他方の切換回路は開状態として使用する。
【００４２】
（本願の切換回路の第２の形態）
本願の切換回路の第２の形態は、直列回路の２つの容量性素子の中点及び高周波出力回路の一方の容量性素子側の出力端に対して、接地電位を切り換えて接続する切換スイッチを備える。
【００４３】
切換スイッチの切換において、直列回路の２つの容量性素子の中点に対して接地電位を切り換えることによって、高周波出力回路の一方の容量性素子側の出力端電圧を零電圧とし、他方の容量性素子側の出力端電圧を高周波出力回路の出力電圧とする。
【００４４】
他方、高周波出力回路の一方の容量性素子側の出力端に対して接地電位に切り換えることによって、高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とする。
【００４５】
第２の形態の切換回路は、高周波出力回路の二つの出力端に対して、何れか一方又は両方の出力端側に設けることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の内で何れか一方に設けた場合には、切換回路を設けた側の出力端の出力電圧を零電圧とし、他方の出力端の出力電圧を高周波出力回路の出力電圧とすることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の両方に設けた場合には、何れか一方の切換回路を選択して切換動作を行い、他方の切換回路は開状態として使用する。
【００４６】
（本願の切換回路の第３の形態）
本願の切換回路の第３の形態は、直列回路の２つの容量性素子の何れか一方の容量性素子に対して第３の容量性素子を直列接続する切換スイッチを備える。
【００４７】
切換スイッチの切換において、第３の容量性素子の直列接続は、高周波出力回路の他方の容量性素子側の出力端電圧の波高値を一方の容量性素子側の出力端電圧の波高値よりも高くする。
【００４８】
他方、第３の容量性素子の切り離しは、高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とする。
【００４９】
第３の形態の切換回路は、高周波出力回路の二つの出力端に対して、何れか一方又は両方の出力端側に設けることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の内で何れか一方に設けた場合には、切換回路を設けた側の出力端の出力電圧を低電圧とし、他方の出力端の出力電圧を高電圧とすることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の両方に設けた場合には、何れか一方の切換回路を選択して切換動作を行い、他方の切換回路は開状態として使用する。
【００５０】
（本願の切換回路の第４の形態）
本願の切換回路の第４の形態は、直列回路の２つの容量性素子の何れか一方の容量性素子に対して第４の容量性素子を並列接続する切換スイッチを備える。
【００５１】
切換スイッチの切換において、第４の容量性素子の並列接続は、一方の容量性素子側の出力端電圧の波高値を高周波出力回路の他方の容量性素子側の出力端電圧の波高値よりも高くする。
【００５２】
他方、第４の容量性素子の切り離しは、高周波出力回路の両方の容量性素子側の出力端電圧を、高周波出力回路の出力電圧を両容量性素子の容量に応じて分圧した分圧電圧とする。
【００５３】
第４の形態の切換回路は、高周波出力回路の二つの出力端に対して、何れか一方又は両方の出力端側に設けることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の内で何れか一方に設けた場合には、切換回路を設けた側の出力端の出力電圧を高電圧とし、他方の出力端の出力電圧を低電圧とすることができる。切換回路を高周波出力回路の二つの出力端の両方に設けた場合には、何れか一方の切換回路を選択して切換動作を行い、他方の切換回路は開状態として使用する。
【００５４】
（デュアルカソード用電源）
本願発明の高周波電源装置は、プラズマチャンバ内の２つの電極に互いに逆相の交流電圧を印加するデュアルカソード用電源に適用することができる。本願発明のデュアルカソード用電源は、前記した高周波電源装置と、プラズマチャンバ内でプラズマを着火させるイグニッション動作状態と、着火したプラズマを維持するプラズマ維持状態との動作状態を制御する制御回路とを備える。
【００５５】
本願発明の制御回路は、電極に流れる電流に基づいて切換回路を制御してイグニッション動作状態の電圧比率とプラズマ維持状態の電圧比率とを変え、イグニッション動作状態において、２つの電極の内のプラズマを着火させる電極の電圧比率を高め、プラズマ維持状態において、２つの電極の電圧比率を均等化する。他方、イグニッション動作状態において、プラズマを着火させる電極に流れるイグニッション電流が設定値を越えたとき切換回路において接続状態を切り換え、プラズマ維持状態に切り換える。
【発明の効果】
【００５６】
以上説明したように、本発明によれば、高電圧と低電圧の異なる電圧値を選択的に出力することができる。
【００５７】
また、高周波電源装置の出力端において、高電圧出力時には高周波出力回路の出力電圧からの低下を抑制することができる。
【００５８】
プラズマ負荷に電圧を供給する際において、プラズマ着火時にはプラズマを着火するに十分な高電圧を出力し、プラズマ維持時にはプラズマを維持するに十分な低電圧を出力することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本願発明の高周波電源装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】本願発明の切換回路の第１の構成例及び動作例を説明するための図である。
【図３】本願発明の切換回路の第１の構成の変形例を説明するための図である。
【図４】本願発明のデュアルカソード用電源の構成例及び制御例を説明するための図である。
【図５】本願発明のデュアルカソード用電源の構成例及び制御例を説明するための図である。
【図６】本願発明の切換回路の第２の構成例及び動作例を説明するための図である。
【図７】本願発明の切換回路の第３の構成例及び動作例を説明するための図である。
【図８】本願発明の切換回路の第４の構成例及び動作例を説明するための図である。
【図９】デュアルカソード方式による電圧印加の概略を説明するための図である。
【図１０】デュアルカソード方式による電圧印加の概略を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
本願発明の高周波電源装置、デュアルカソード用電源について図１〜図８を用いて説明する。
【００６１】
以下、図１を用いて本願発明の高周波電源装置の概略構成を説明し、図２を用いて本願発明の切換回路の第１の構成例及び動作例を説明し、図３，４を用いて本願発明のデュアルカソード用電源の構成例及び制御例を説明し、図５を用いて本願発明の切換回路の第１の構成の変形例を説明し、図６を用いて本願発明の切換回路の第２の構成例及び動作例を説明し、図７を用いて本願発明の切換回路の第３の構成例及び動作例を説明し、図８を用いて本願発明の切換回路の第４の構成例及び動作例を説明する。
【００６２】
（本願発明の構成）
図１は本願発明の高周波電源装置の概略構成を説明するための図であり、図１（ａ）は概略構成を示し、図１（ｂ），（ｃ）は高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際において、プラズマを着火させるイグニッション動作時及びプラズマ着火後にプラズマを維持する状態を示している。
【００６３】
図１（ａ）において、高周波電源装置１は、交流電源２と、交流電源２の電源電圧を所定周波数に変換して高周波電圧を出力する高周波出力回路３と、高周波出力回路３が出力する高周波電圧を接地電位に対して互いに逆相の交流電圧に分圧する分圧回路４とを備え、出力端Ａ，Ｂから互いに逆相の交流電圧を出力する。
【００６４】
分圧回路４は、高周波出力回路３の出力端ａ，ｂ間の中点Ｍを接地電位として第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbの２つの容量性素子を直列接続した直列回路５と、直列回路５の少なくとも何れか一方の容量性素子に対して、高周波出力回路３の一方の出力端及び／又は接地電位の接続状態を切り換え、２つの容量性素子Ｃa、Ｃbの接地電位に対する出力電圧Ｖa、Ｖbの電圧比率を可変とし、高電圧と低電圧を切り換えて出力する切換回路６とを備える。
【００６５】
高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際には、出力端Ａ，Ｂからプラズマ負荷に出力電圧を供給する。プラズマ負荷への出力電圧の供給は、出力端Ａ，Ｂとチャンバ内に配置した一対の電極とを直接あるいは配線ケーブルを介して接続することによって行う。
【００６６】
デュアルカソード方式の電圧印加では、チャンバ内に配置した一対の電極に互いに逆相の交流電圧を印加する。プラズマ生成は、チャンバ内でプラズマを着火させるためのイグニッション動作と、イグニッション動作によって着火したプラズマを維持するプラズマ維持動作が行われる。イグニッション動作では、プラズマを着火させるためにチャンバ内の電極に高電圧を印加する。
【００６７】
イグニッション動作時：
図１（ｂ）はイグニッション動作時を示している。電圧本願発明の高周波電源装置では、イグニッション動作によるチャンバ内のプラズマ着火において、チャンバ内に配置した一対の電極の少なくとも何れか一方の電極において着火状態となれば足りるため、分圧回路４で分圧された出力電圧が出力される出力端Ａ，Ｂの内の何れか一方の出力端から出力される出力電圧を高電圧とし、この高電圧を一方の電極に印加することによってプラズマ着火を行う。
【００６８】
このイグニッション動作時には、他方の出力端から出力される出力電圧は、一方の出力端から出力される高電圧と比較して低電圧となる。この低電圧が印加された電極では、印加電圧がプラズマ着火に足りる電圧ではないためプラズマ着火には寄与しない。一方、高電圧が印加された電極ではプラズマ着火動作が行われるため、この電極側でプラズマが着火することでチャンバ内ではプラズマが生成される。
【００６９】
図１（ｂ）に示す例は、切換回路６の出力電圧をＶa＜Ｖbとして、出力端Ａから低電圧の出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから高電圧の出力電圧Ｖbを出力する例を示している。出力電圧の高電圧及び低電圧は、例えば、高電圧を高周波出力回路３の出力電圧Ｖabとし、低電圧を接地電圧とすることができる。出力端Ａ及び出力端Ｂの何れを高電圧又は低電圧の出力端とするかは、切換回路６の設定で定めることができ、切換回路６での出力状態を切り換えることによって出力端Ａから高電圧の出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから低電圧の出力電圧Ｖbを出力することもできる。
【００７０】
プラズマ維持状態：
図１（ｃ）はプラズマ維持状態を示している。イグニッション動作によってチャンバ内にプラズマが生成された後、チャンバ内の一対の電極にプラズマ維持電圧を印加して生成されたプラズマを維持する。このとき印加するプラズマ維持電圧は生成したプラズマを維持するためであるため、イグニッション動作時に印加した高電圧である必要はなく低電圧で足りる。
【００７１】
図１（ｂ）に示す例では、切換回路６において高周波出力回路３の出力電圧Ｖabをそれぞれ１／２に分圧したＶa（＝Ｖab／２）を出力電圧Ｖaとして出力し、Ｖb（＝Ｖab／２）を出力電圧Ｖbとして出力する例を示している。ここで、直列回路５の中点Ｍが接地電位であるため、出力電圧Ｖaと出力電圧Ｖbとは逆相の関係にある。
【００７２】
上記した図１（ｂ），（ｃ）では、高周波電源装置１が電圧供給する負荷として、一対の電極に対して互いに逆相の電圧を印加するデュアルカソード方式のプラズマ負荷の例を示しているが、本願発明の高周波電源装置が電圧供給する負荷はプラズマ負荷に限らず、互いに逆相の電圧を印加される負荷に適用することができ、負荷に対して高電圧と低電圧とを切り換えて出力することができる。
【００７３】
（本願発明の切換回路の第１の構成例及び動作）
図２は本願発明の切換回路の第１の構成例及び動作を説明するための図である。図２は高周波出力回路を省略し、分圧回路が備える直列回路と切換回路の構成例について示している。
【００７４】
図２（ａ）は概略構成を示し、図２（ｂ），（ｃ）は高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際において、プラズマを着火させるイグニッション動作時及びプラズマ着火後にプラズマを維持する状態を示している。図２（ｄ）は第１の構成の変形例を示している。
【００７５】
図２（ａ）において、分圧回路１４は直列回路１５と切換回路１６とを備え、高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間の出力Ｖabを分圧すると共に出力切換を行って、出力端Ａから出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから出力電圧Ｖbを出力する。
【００７６】
直列回路１５は、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの直列接続を高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間に接続すると共に、中点Ｍを接地して接地電位とする。
【００７７】
切換回路１６は出力端Ａ又は出力端Ｂの何れかと接地電位との間を接続又は分離する開閉回路で構成される。図２（ａ）に示す切換回路１６は、出力端Ａと接地電位との間を接続／分離する開閉回路の例である。
【００７８】
イグニッション動作時：
図２（ｂ）に示す例は、切換回路１６の出力電圧をＶa＜Ｖbとして、出力端Ａから低電圧の出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから高電圧の出力電圧Ｖbを出力する例を示している。イグニッション動作時には、切換回路１６は開閉回路を閉状態（ＯＮ状態）として出力端Ａを接地電位に切り換える。この切り換えによって、出力端Ａの出力電圧Ｖaは接地電圧となり、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【００７９】
プラズマ維持状態：
図２（ｃ）はプラズマ維持状態を示している。イグニッション動作によってチャンバ内にプラズマが生成された後、チャンバ内の一対の電極にプラズマ維持電圧を印加して生成されたプラズマを維持する。プラズマ維持状態では、切換回路１６は開閉回路を開状態（ＯＦＦ状態）として出力端Ａを接地電位から分離する。この切り換えによって、出力端Ａからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が同相の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【００８０】
図２（ｄ）は第１の構成の変形例を示している。図２（ｄ）に示す構成例では、切換回路１６の出力端Ｂと接地電位との間に開閉回路を設け、出力端Ｂと接地電位との間を接続／分離する。図２（ｄ）に示す構成例では、イグニッション動作時に切換回路１６の開閉回路を閉状態（ＯＮ状態）として出力端Ｂを接地電位に切り換え、出力端Ｂの出力電圧Ｖbを接地電圧とし、出力端Ａから高周波出力回路の出力電圧Ｖabの波高値で位相が同相の出力電圧Ｖaを出力する。
【００８１】
（本願発明の切換回路の第１の構成例の開閉回路の変形例）
本願発明の切換回路の第１の構成例の開閉回路の変形例について図３を用いて説明する。切換回路の第１の構成例の開閉回路は、開閉回路の高周波回路への接続において電気的に等価な複数の形態で構成することができる。
【００８２】
図３（ａ）は開閉回路の第１の変形例を示している。第１の変形例は、分圧回路１４において開閉回路１６Ａを高周波出力回路の一方の出力端ａあるいは高周波電源回路の出力端Ａと接地電位との間に設ける構成である。
【００８３】
第１の変形例によれば、開閉回路１６Ａを閉じてＯＮ状態とすることによって高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａを接地電位として、出力端Ａの出力電圧Ｖaの波高値を零とし、他方の出力端Ｂのみから高周波出力回路の出力電圧Ｖabを出力する。他方、開閉回路１６Ａを開いてＯＦＦ状態とすることによって高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａを接地電位から絶縁状態とし、高周波出力回路の出力電圧を分圧回路１４で分圧した電圧Ｖaを出力端Ａから出力し、電圧Ｖbを出力端Ｂから出力する。
【００８４】
図３（ｂ）は開閉回路の第２の変形例を示している。第２の変形例は、分圧回路１４において開閉回路１６Ｂを高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａと中点Ｍとの間に設ける構成である。
【００８５】
第２の変形例によれば、開閉回路１６Ｂを閉じてＯＮ状態とすることによって高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａを分圧回路の中点Ｍに接続して接地電位として出力電圧Ｖaの波高値を零とし、他方の出力端Ｂのみから高周波出力回路の出力電圧Ｖabを出力する。他方、開閉回路１６Ｂを開いてＯＦＦ状態とすることによって高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａを中点Ｍから絶縁状態として、高周波出力回路の出力電圧Ｖabを分圧回路１４で分圧した電圧Ｖaを出力端Ａから出力し、電圧Ｖbを出力端Ｂから出力する。
【００８６】
図３（ｃ）は開閉回路の第３の変形例を示している。第３の変形例は、分圧回路１４において開閉回路１６Ｃを一方の容量性素子Ｃaに並列接続する構成である。第３の変形例によれば、開閉回路１６Ｃを閉じてＯＮ状態とすることによって一方の容量性素子Ｃaの両端間を短絡して、高周波出力回路の一方の出力端ａ及び高周波電源装置の出力端Ａを接地電位として出力電圧Ｖaの波高値を零とし、他方の出力端Ｂのみから高周波出力回路の出力電圧Ｖabを出力する。他方、開閉回路１６Ｃを開いてＯＦＦ状態とすることによって高周波出力回路の出力電圧Ｖabを分圧回路１４で分圧した電圧Ｖaを出力端Ａから出力し、電圧Ｖbを出力端Ｂから出力する。
【００８７】
図３（ａ）〜図３（ｃ）では開閉回路１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃを第１の容量性素子Ｃa側に設ける例を示しているが、第２の容量性素子Ｃb側に設ける構成としてもよい。
【００８８】
開閉回路の第１〜第３の変形例は電気的に等価な回路であり、開閉回路を閉じることによって一方の出力端の出力電圧を零電圧とし、他方の出力端のみから高周波出力回路の出力電圧を出力し、開閉回路を開くことによって高周波出力回路の出力電圧を分圧した二つの電圧を各出力端から出力する。
【００８９】
（本願発明のデュアルカソード用電源の構成例び制御）
本願発明の高周波電源装置を備えたデュアルカソード用電源の構成及び制御について図４を用いて説明する。
【００９０】
図４において、デュアルカソード用電源は、高周波電源装置１と、プラズマチャンバ内でプラズマを着火させるイグニッション動作状態と、着火したプラズマを維持するプラズマ維持状態との動作状態を制御する制御回路７とを備える。
【００９１】
高周波電源装置１は、高周波出力回路３と分圧回路４とを備え、分圧回路４は第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとを直列接続してなる直列回路５と切換回路６とを備える。
【００９２】
高周波出力回路３は、一構成例として、交流電源２の交流電圧を整流する整流部３a、過渡的に生じる高電圧を抑制する保護回路を構成するスナバー回路３b、入力した直流電圧Ｖinを所定の出力電圧Ｖcに変換するチョッパ回路３c、直流出力を交流出力に変換するインバータ回路３d、インバータ回路３dの交流出力の電圧を所定電圧に変換する変圧器３eを備える。
【００９３】
直列回路５は、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとを直列接続して構成され、出力端Ａと出力端Ｂとの間に接続され、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbの中点Ｍは接地されている。
【００９４】
切換回路６は、出力端Ａ側と接地電位との間に設けた開閉回路で構成され、開閉回路は出力端Ａから接地に向かう方向を順方向とするダイオードＤ1と、逆方向のダイオードＤ２を並列接続したスイッチング素子Ｑ1との直列回路で構成され、スイッチング素子Ｑ1をＯＮ状態とすることによって出力端Ａ側を接地し、出力端Ａの出力電圧Ｖaを接地電位にする。
【００９５】
図４では負荷としてプラズマ発生装置１０を示し、配線ケーブル１１ａ，１１ｂを介して出力端Ａ及び出力端Ｂをプラズマ発生装置１０が備える一対の電極に接続する。
【００９６】
制御回路７は、チョッパ回路３cの出力電圧Ｖｃと、チョッパ回路３cからインバータ回路３dに流れる電流Ｉc、及び変圧器３eから出力端Ａ，Ｂに向かって流れる電流Ｉoをフィードバックし、チョッパ回路３c及び切換回路６のスイッチング素子Ｑ1を制御する。
【００９７】
図５は制御回路によるイグニッション動作を接続するためのフローチャートである。
切換回路６のスイッチング素子Ｑ1の制御は、イグニッション動作時にスイッチング素子Ｑ1を閉じてＯＮ状態とし（S1）、出力端Ｂから高周波出力回路の出力電圧Ｖabを出力端Ｂからプラズマ発生装置１０の一方の電極に印加し、イグニッション動作を開始する（S2）。
【００９８】
イグニッション動作によってプラズマが着火すると、イグニッション電流Ｉiが増加する。制御回路７は検出した電流Ｉoをイグニッション電流Ｉiとしてフードバックし、プラズマ着火状態を判定する設定電流Ｉdと比較し、イグニッション電流Ｉiが設定電流Ｉdを越えた場合には（S3）、プラズマが着火したと判定してスイッチング素子Ｑ1を開いてＯＦＦ状態とし（S4）、出力端Ａ及び出力端Ｂから互いに逆相の電圧を出力し、生成されたプラズマを維持する（S5）。
【００９９】
（本願発明の切換回路の第２の構成及び動作）
図６は本願発明の切換回路の第２の構成例及び動作を説明するための図である。図６は高周波出力回路を省略し、分圧回路が備える直列回路と切換回路の構成例について示している。
【０１００】
図６（ａ）は概略構成を示し、図６（ｂ），（ｃ）は高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際において、プラズマを着火させるイグニッション動作時及びプラズマ着火後にプラズマを維持する状態を示している。図６（ｄ），（ｅ）は第２の構成の変形例を示している。
【０１０１】
図６（ａ）において、分圧回路２４は直列回路２５と切換回路２６とを備え、高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間の出力Ｖabを分圧すると共に出力切換を行って、出力端Ａから出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから出力電圧Ｖbを出力する。
【０１０２】
直列回路２５は、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの直列接続を高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間に接続すると共に、中点Ｍを接地して接地電位とする。
【０１０３】
切換回路２６は、出力端Ａ又は出力端Ｂの何れかの出力端と直列回路２５の中点Ｍとを、接地電位に対して切り換えて接続又は分離する開閉回路で構成される。図６（ａ）に示す切換回路１２は、接点Ｓ１によって直列回路２５の中点Ｍと接地電位との間の接続／分離を切り換え、接点Ｓ２によって出力端Ａと接地電位との間の接続／分離を切り換える構成例である。
【０１０４】
イグニッション動作時：
図６（ｂ）に示す例は、切換回路２６の接点Ｓ２を接地電位に接続して、出力端Ａを接地電位とし、出力端Ｂから高周波出力回路の出力電圧Ｖabと同波高値の出力電圧Ｖbを出力する例を示している。
【０１０５】
イグニッション動作時には、切換回路２６は接点Ｓ２を接地電位に接続して出力端Ａを接地電位に切り換える。この切り換えによって、出力端Ａの出力電圧Ｖaは接地電圧となり、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【０１０６】
プラズマ維持状態：
図６（ｃ）はプラズマ維持状態を示している。イグニッション動作によってチャンバ内にプラズマが生成された後、チャンバ内の一対の電極にプラズマ維持電圧を印加して生成されたプラズマを維持する。プラズマ維持状態では、切換回路２６は接点Ｓ１を接地電位に接続し、出力端Ａを接地電位から分離する。この切り換えによって、出力端Ａからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が同相の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【０１０７】
図６（ｄ），（ｅ）は第２の構成の変形例を示している。
図６（ｄ）に示す構成例では、切換回路２６Ｂを出力端Ｂと接地電位との間に設け、出力端Ｂと接地電位との間を接続／分離する。図６（ｄ）に示す構成例では、切換回路２６Ｂは接点Ｓ２を接地電位に接続して出力端Ｂを接地電位に切り換える。この切り換えによって、出力端Ｂの出力電圧Ｖbは接地電圧となり、出力端Ａからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖaが出力される。
【０１０８】
図６（ｅ）に示す構成例では、直列回路の二つの容量性素子Ｃa，Ｃbと二つのスイッチング素子ＳＷ1及びＳＷ2によってブリッジ回路を構成すると共に、二つの容量性素子の接続点及び二つのスイッチング素子の接続点を共に接地する。この構成では、切換回路２６Ｃのスイッチング素子ＳＷ1を動作させスイッチング素子ＳＷ2をＯＦＦ状態とすることによって図６（ａ）に示した構成と同様の回路を構成することができ、スイッチング素子ＳＷ2を動作させスイッチング素子ＳＷ1をＯＦＦ状態とすることによって図６（ｄ）に示した構成と同様の回路を構成することができる。
【０１０９】
（本願発明の切換回路の第３の構成及び動作）
図７は本願発明の切換回路の第３の構成例及び動作を説明するための図である。図７は高周波出力回路を省略し、分圧回路が備える直列回路と切換回路の構成例について示している。
【０１１０】
図７（ａ）は概略構成を示し、図７（ｂ），（ｃ）は高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際において、プラズマを着火させるイグニッション動作時及びプラズマ着火後にプラズマを維持する状態を示している。
【０１１１】
図７（ａ）において、分圧回路３４は直列回路３５と切換回路３６とを備え、高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間の出力Ｖabを分圧すると共に出力切換を行って、出力端Ａから出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから出力電圧Ｖbを出力する。
【０１１２】
切換回路３６は、第２の容量性素子Ｃbの端部及び接地電位を、第１の容量性素子Ｃa、又は第１の容量性素子Ｃaと直列接続される第３の容量性素子Ｃcとを切り換えて接続するスイッチング素子である。図７（ａ）に示す構成では、接点Ｓ１によって第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの接続／分離を行い、接点Ｓ２によって第３の容量性素子Ｃcと第２の容量性素子Ｃbとの接続／分離を行う。
【０１１３】
第３の容量性素子Ｃcは第１の容量性素子Ｃaと直列接続されているため、接点Ｓ１側に切り換えた場合には、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbによって直列回路３５が形成され、その中点は接地電位となる。また、接点Ｓ２側に切り換えた場合には、第１の容量性素子Ｃa、第３の容量性素子Ｃc、及び第２の容量性素子Ｃbによって直列回路３５が形成され、第３の容量性素子Ｃcと第２の容量性素子Ｃbとの接続点は接地電位となる。
【０１１４】
切換回路３６は、接点Ｓ１と接点Ｓ２とを切り換えることによって容量性素子を直列接続してなる直列回路の接地電位に対する容量比を切り換え、これによって直列回路の両端に印加される交流電圧の分圧比率を変更し、出力端Ａ及び出力端Ｂから出力する出力電圧を切り換えることができる。
【０１１５】
切換回路３６において接点Ｓ２側に切り換えた場合には、直列回路３５は、接地電位に対して出力端Ａ側は容量性素子Ｃaと容量性素子Ｃcとの直列回路となり出力端Ｂ側は第２の容量性素子Ｃbとなるため、各容量性素子の容量が同じとした場合には、分圧によって出力端Ａの出力電圧Ｖaは高電圧となり、出力端Ｂの出力電圧Ｖbは低電圧となる。
【０１１６】
一方、切換回路３６において接点Ｓ１側に切り換えた場合には、直列回路３５は、接地電位に対して出力端Ａ側は容量性素子Ｃaとなり出力端Ｂ側は第２の容量性素子Ｃbとなるため、両容量性素子の容量が同しいとした場合には、分圧によって出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の電圧となる。
【０１１７】
図７（ａ）に示す構成例は、切換回路３６によって出力端Ａ側に第１の容量性素子Ｃaと第３の容量性素子Ｃcの直列回路を形成する例を示しているが、接続関係を反転させて、切換回路３６によって出力端Ｂ側に第２の容量性素子Ｃbと第３の容量性素子Ｃcの直列回路を形成する構成としてもよい。
【０１１８】
イグニッション動作時：
図７（ｂ）に示す例は、切換回路３６の接点Ｓ２側に接地電位を接続して、第１の容量性素子Ｃaと第３の容量性素子Ｃcの直列回路と第２の容量性素子Ｃbとを接地電位を中点として接続する直列回路を形成する例を示している。
【０１１９】
イグニッション動作時には、切換回路３６は接点Ｓ２側に接地電位を接続する。この接続によって、出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabを第１の容量性素子Ｃa及び第３の容量性素子Ｃcの直列回路と第２の容量性素子Ｃbとの容量比に基づいて分圧した波高値となり、それぞれ逆位相で出力される。図７（ｂ）に示す例では、出力端Ａからは高電圧の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは低電圧の出力電圧Ｖbが出力される。出力電圧Ｖaは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２よりは高い電圧となるため、プラズマ着火が容易となる。
【０１２０】
プラズマ維持状態：
図７（ｃ）はプラズマ維持状態を示している。イグニッション動作によってチャンバ内にプラズマが生成された後、チャンバ内の一対の電極にプラズマ維持電圧を印加して生成されたプラズマを維持する。プラズマ維持状態では、切換回路３６は接点Ｓ１側に接地電位を接続する。この切り換えによって、出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabを第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの容量比に基づいて分圧した波高値となり、出力端Ａからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が同相の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【０１２１】
（本願発明の切換回路の第４の構成及び動作）
図８は本願発明の切換回路の第４の構成例及び動作を説明するための図である。図８は高周波出力回路を省略し、分圧回路が備える直列回路と切換回路の構成例について示している。
【０１２２】
図８（ａ）は概略構成を示し、図８（ｂ），（ｃ）は高周波電源装置からプラズマ負荷に電圧供給する際において、プラズマを着火させるイグニッション動作時及びプラズマ着火後にプラズマを維持する状態を示している。
【０１２３】
図８（ａ）において、分圧回路４４は直列回路４５と切換回路４６とを備え、高周波出力回路の出力端ａ，ｂ間の出力Ｖabを分圧すると共に出力切換を行って、出力端Ａから出力電圧Ｖaを出力し、出力端Ｂから出力電圧Ｖbを出力する。
【０１２４】
切換回路４６は、第１の容量性素子Ｃa又は第２の容量性素子Ｃbに対して第３の容量性素子Ｃcの並列接続と分離とを切り換えるスイッチング素子である。
【０１２５】
図８（ａ）に示す構成では、第２の容量性素子Ｃbに対して第３の容量性素子Ｃcを並列接続あるいは分離する例を示している。
【０１２６】
第３の容量性素子Ｃcを第２の容量性素子Ｃbに対して並列接続した場合には、直列回路４５は、第１の容量性素子Ｃaと、第２の容量性素子Ｃb及び第３の容量性素子Ｃcの並列回路とを直列接続して直列回路を形成し、直列回路の中点を接地電位としている。
【０１２７】
また、第３の容量性素子Ｃcを第２の容量性素子Ｃbとの並列接続から分離した場合には、直列回路４５は、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの直列回路となり、中点を接地電位としている。
【０１２８】
切換回路４６は、スイッチング素子ＳＷを切り換えることによって容量性素子を直列接続してなる直列回路の接地電位に対する容量比を切り換え、これによって直列回路の両端に印加される交流電圧の分圧比率を変更し、出力端Ａ及び出力端Ｂから出力する出力電圧を切り換えることができる。
【０１２９】
切換回路４６においてスイッチング素子ＳＷを閉じた場合には、直列回路４５は、第１の容量性素子Ｃaと、第２の容量性素子Ｃb及び第３の容量性素子Ｃcの並列回路とを直列接続した直列回路となり、各容量性素子の容量が同じとした場合には、分圧によって出力端Ａの出力電圧Ｖaは高電圧となり、出力端Ｂの出力電圧Ｖbは低電圧となる。
【０１３０】
一方、切換回路４６においてスイッチング素子ＳＷを開いた場合には、直列回路４５は、第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbを直列接続した直列回路となり、両容量性素子の容量が等しいとした場合には、分圧によって出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の電圧となる。
【０１３１】
図８（ａ）に示す構成例は、切換回路４６によって第２の容量性素子Ｃbに第３の容量性素子Ｃcを並列接続する例を示しているが、接続関係を反転させて、切換回路４６によって第１の容量性素子Ｃaに第３の容量性素子Ｃcを並列接続する構成としてもよい。
【０１３２】
イグニッション動作時：
図８（ｂ）に示す例は、切換回路４６のスイッチング素子ＳＷを閉じて第３の容量性素子Ｃcを第２の容量性素子Ｃbに並列接続して並列回路を形成し、第１の容量性素子Ｃaと並列回路との直列回路を形成し、第１の容量性素子Ｃaと並列回路に接点を接地電位とする例を示している。
【０１３３】
イグニッション動作時には、切換回路４６はスイッチング素子ＳＷを閉じ、これによって、出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabを第１の容量性素子Ｃaと、第２の容量性素子Ｃb及び第３の容量性素子Ｃcの並列回路との容量比に基づいて分圧した波高値となり、それぞれ逆位相で出力される。図８（ｂ）に示す例では、出力端Ａからは高電圧の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは低電圧の出力電圧Ｖbが出力される。出力電圧Ｖaは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２よりは高い電圧となるため、プラズマ着火が容易となる。
【０１３４】
プラズマ維持状態：
図８（ｃ）はプラズマ維持状態を示している。イグニッション動作によってチャンバ内にプラズマが生成された後、チャンバ内の一対の電極にプラズマ維持電圧を印加して生成されたプラズマを維持する。プラズマ維持状態では、切換回路４６はスイッチング素子ＳＷを開く。この切り換えによって、出力端Ａの出力電圧Ｖaと出力端Ｂの出力電圧Ｖbは、高周波出力回路の出力電圧Ｖabを第１の容量性素子Ｃaと第２の容量性素子Ｃbとの容量比に基づいて分圧した波高値となり、出力端Ａからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が同相の出力電圧Ｖaが出力され、出力端Ｂからは高周波出力回路の出力電圧Ｖabの１／２の波高値で位相が逆相の出力電圧Ｖbが出力される。
【０１３５】
なお、上記実施の形態及び変形例における記述は、本発明に係る高周波電源装置及びデュアルカソード電源の一例であり、本発明は各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形することが可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
本発明の高周波電源装置およびデュアルカソード用電源は、チャンバ内の一対の電極を備えた成膜装置やスパッタリング装置等、互いに逆相の交流電圧を印加する用途に適用することができる。
【符号の説明】
【０１３７】
Ａ，Ｂ    出力端
Ｃla，Ｃlb    キャパシタンス
Ｃa    容量性素子
Ｃb    容量性素子
Ｄ１，Ｄ２    ダイオード
Ｉc    電流
Ｉd    設定電流
Ｉi    イグニッション電流
Ｉo    電流
Ｌla，Ｌlb    インダクタンス
Ｍ    中点
Ｑ1    スイッチング素子
Ｓ１，Ｓ２    接点
ＳＷ    スイッチング素子
ＳＷ1    スイッチング素子
ＳＷ2    スイッチング素子
Ｖa、Ｖb    出力電圧
Ｖab    出力電圧
Ｖc    所定出力電圧
Ｖin    直流電圧
ａ，ｂ    出力端
１    高周波電源装置
２    交流電源
３    高周波出力回路
３a    整流部
３b    スナバー回路
３c    チョッパ回路
３d    インバータ回路
３e    変圧器
４    分圧回路
５    直列回路
６    切換回路
７    制御回路
１０    プラズマ発生装置
１１ａ，１１ｂ    配線ケーブル
１２    切換回路
１４    分圧回路
１５    直列回路
１６    切換回路
１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ    開閉回路
２４    分圧回路
２５    直列回路
２６    切換回路
３４    分圧回路
３５    直列回路
３６    切換回路
４４    分圧回路
４５    直列回路
４６    切換回路
１０１    電極
１０２    電極
１０３    高周波電源
１０４    高周波電源
１０５    スイッチングユニット
１１１，１１２    電極
１１３    高周波電源
１１５    スイッチング回路
１１６    交流電源
１２１    高周波電源装置
１２２    高周波出力回路
１２３    変圧器
１２４    分圧回路
１２５，１２６    容量性素子
１３０    プラズマ発生装置
１３１，１３２    電極
１４１，１４２    配線ケーブル
【要約】
【課題】互いに逆相の交流電圧を出力する高周波電源装置において、高周波出力回路の出力を二つに分圧する構成では、高電圧と低電圧の異なる電圧値を必要に応じた切り換えができず、出力端の電圧が高周波出力回路の出力電圧の１／２の波高値に低下する。
【解決手段】高周波電源装置において、分圧回路で分圧した高周波電圧を接地電位に対して互いに逆相の交流電圧に分圧する分圧回路の接続状態を切り換えて二つの出力端電圧の電圧比率を変えることによって、高電圧と低電圧を切り換えて出力する。分圧回路における接続状態の切り換えによって、高電圧と低電圧の異なる電圧値を選択的に出力することを可能とし、高周波電源装置の出力端において、高電圧出力時に高電圧を選択して出力することによって高周波出力回路の出力電圧からの低下を抑制する。
【選択図】図１【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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