(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上に配置されて前記検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射された前記Ｘ線を前記検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射される前記Ｘ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上にて前記検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、
前記Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段と、
前記遮蔽板の配置位置の作動制御を行う制御装置とを備え、
前記ワーク検出手段は、前記検査対象物の前記搬送経路上における前記Ｘ線検出手段よりも上流側に配置され、
前記Ｘ線検出信号補正手段は、前記ワーク検出手段から出力される前記ワーク検出信号に基づいて前記暗出力の補正を開始するものであって前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、前記検査対象物が前記Ｘ線検出手段に到達する前に前記暗出力の補正を行い、
前記制御装置は、前記Ｘ線検出信号補正手段が前記暗出力の補正を行うとき、前記遮蔽板を前記照射経路上に位置させることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
検査対象物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上に配置されて前記検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射された前記Ｘ線を前記検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射される前記Ｘ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上にて前記検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、
前記Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段と、
前記遮蔽板の配置位置の作動制御を行う制御装置とを備え、
前記ワーク検出手段は、前記検査対象物の前記搬送経路上における前記Ｘ線検出手段よりも下流側に配置され、
前記Ｘ線検出信号補正手段は、前記ワーク検出手段から出力される前記ワーク検出信号に基づいて前記暗出力の補正を開始するものであって前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、前記ワーク検出信号の対象となった検査対象物の次の検査対象物が前記Ｘ線検出手段に到達する前に前記暗出力の補正を行い、
前記制御装置は、前記Ｘ線検出信号補正手段が前記暗出力の補正を行うとき、前記遮蔽板を前記照射経路上に位置させることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載したＸ線検査装置において、さらに、
前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、同ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表してからの時間、前記検査対象物の搬送量および前記Ｘ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測する計測手段を備え、
前記Ｘ線検出信号補正手段は、前記計測手段による計測値に基づいて前記暗出力の補正を開始することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載したＸ線検査装置において、さらに、
前記Ｘ線検出手段から出力される前記Ｘ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有し、
前記Ｘ線検出信号補正手段は、前記透視像生成手段によって生成された前記Ｘ線透視像に前記検査対象物が含まれるとき、前記暗出力の補正を中止することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項５】
検査対象物を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上に配置されて前記検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射された前記Ｘ線を前記検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、
前記Ｘ線照射手段から照射される前記Ｘ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、
前記搬送手段による前記検査対象物の搬送経路上にて前記検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、
前記Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段とを備えたＸ線検査装置の作動を制御する制御装置に実行されるＸ線検査装置用コンピュータプログラムであって、
前記ワーク検出手段は、前記検査対象物の前記搬送経路上における前記Ｘ線検出手段よりも上流側に配置されており、
前記制御装置に、
前記ワーク検出手段から出力される前記ワーク検出信号に基づいて前記Ｘ線検出信号補正手段に前記暗出力の補正を開始させるものであって前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、前記Ｘ線検出信号補正手段に前記検査対象物が前記Ｘ線検出手段に到達する前に前記暗出力の補正を行なわせ、かつ、
前記Ｘ線検出信号補正手段が前記暗出力の補正を行うとき、前記遮蔽板を前記照射経路上に位置させることを特徴とするＸ線検査装置用コンピュータプログラム。
【請求項６】
請求項５に記載したＸ線検査装置用コンピュータプログラムにおいて、
前記Ｘ線検査装置は、
前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、同ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表してからの時間、前記検査対象物の搬送量および前記Ｘ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測する計測手段を備え、
前記制御装置に、
前記ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表わすとき、前記計測手段に同ワーク検出信号が前記検査対象物の有る状態を表してからの時間、前記検査対象物の搬送量および前記Ｘ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測させ、
前記Ｘ線検出信号補正手段に前記計測手段による計測値に基づいて前記暗出力の補正を開始させることを特徴とするＸ線検査装置用コンピュータプログラム。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載したＸ線検査装置用コンピュータプログラムにおいて、
前記Ｘ線検査装置は、
前記Ｘ線検出手段から出力される前記Ｘ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有し、
前記制御装置に、
前記透視像生成手段に前記Ｘ線検出手段から出力される前記Ｘ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成させ、
前記透視像生成手段によって生成された前記Ｘ線透視像に前記検査対象物が含まれるとき、前記Ｘ線検出信号補正手段に前記暗出力の補正を中止させることを特徴とするＸ線検査装置用コンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物にＸ線を照射してＸ線透視像を生成することにより、検査対象物内の検査を行なうＸ線検査装置およびＸ線検査装置用コンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、物品の内部の状態や物品内部に収容された内容物を透視することができるＸ線検査装置がある。Ｘ線検査装置は、検査対象物にＸ線を照射することにより検査対象物の内部のＸ線透視像を生成する撮像装置であり、生産ラインにおける製品検査や空港の搭乗カウンターでの機内持ち検査などにおいて広く用いられている。
【０００３】
このようなＸ線検査装置においては、Ｘ線照射装置から照射されたＸ線を検査対象物を介して検出するＸ線検出器のＸ線検出信号に対して暗出力補正および検出感度補正を行なうことが必要である。この場合、暗出力補正とは、Ｘ線検出器にＸ線を入射させない状態においてＸ線検出器から出力される暗電流などの電気信号をＸ線検出器から出力されるＸ線検出信号から除去するための処理である。また、検出感度補正とは、Ｘ線検出器を構成するＸ線ラインセンサにおける各Ｘ線検出画素間の検出感度誤差を最小化する処理である。例えば、下記特許文献１には、検査対象物を搬送するベルトコンベアにおける感度補正（キャリブレーション）に最も適したベルト位置、換言すれば、感度補正に悪影響を及ぼさないベルト位置で検出感度補正を行うＸ線検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２６１９８号公報
【０００５】
しかしながら、このようなＸ線検査装置においては、短時間に変化することがある検出感度に即時に対応することができない。すなわち、上記特許文献１に記載されたＸ線検査装置は、検査対象物が載置されていないベルトコンベア上において検出感度補正に適した位置を探索して検出感度補正を行なうため、検出感度補正に時間と手間が掛かり頻繁に検出感度補正を行なうことが現実的ではない。このため、Ｘ線検出器の検出感度が短時間に変化した場合には、検査対象物に対する検査精度が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は上記問題に対処するためなされたもので、その目的は、Ｘ線検出器において暗電流などの暗出力および／または検出感度の変化に即時に対応して補正を行なうことにより検査対象物の検査精度を向上させることができるＸ線検査装置およびＸ線検査装置用コンピュータプログラムを提供することにある。
【発明の概要】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の特徴は、検査対象物を搬送する搬送手段と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上に配置されて検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線照射手段から照射されたＸ線を検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、Ｘ線照射手段から照射されるＸ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上にて検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段と、遮蔽板の配置位置の作動制御を行う制御装置とを備え、ワーク検出手段は、検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段よりも上流側に配置され、Ｘ線検出信号補正手段は、ワーク検出手段から出力されるワーク検出信号に基づいて暗出力の補正を開始するものであってワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行い、、制御装置は、Ｘ線検出信号補正手段が暗出力の補正を行うとき、遮蔽板を前記照射経路上に位置させることにある。この場合、暗出力とは、Ｘ線検出手段にＸ線を入射させない状態においてＸ線検出手段を構成する各種回路やＸ線検出素子から出力される電気信号である。
【０００８】
このように構成した本発明の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、検査対象物を搬送する搬送経路上に検査対象物を検出するワーク検出手段を備えるとともに、Ｘ線検出手段における暗出力および／または検出感度の補正を行なうＸ線検出信号補正手段がワーク検出手段から出力されるワーク検出信号に基づいて暗出力および／または検出感度の補正の開始を行なう。これにより、Ｘ線検査装置は、検査対象物の搬送経路上において検査対象物がワーク検出手段によって検出されるごと、すなわち、検査対象物がＸ線検出手段を通過する前および／または後に暗出力の補正を行なう。この結果、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出手段に相当するＸ線検出器における暗出力の変化に即時に対応することができ、検査対象物の検査精度を向上させることができる。
【０００９】
また、本発明の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、ワーク検出手段が検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段より上流側に配置されているとともに、Ｘ線検出信号補正手段は検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行う。この場合、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出信号補正手段が検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行うことにより、検査対象物の検査直前に暗出力の補正を行うことになるため検査対象物の検査精度を極めて高精度にすることができる。
【００１０】
また、前記Ｘ線検査装置において、ワーク検出手段は、検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段よりも上流側に配置され、Ｘ線検出信号補正手段は、ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、検査対象物がＸ線検出手段を通過後に暗出力の補正を行なうこともできる。これにより、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出信号補正手段が検査対象物がＸ線検出手段を通過した後に暗出力の補正を行うことにより、ワーク検出手段とＸ線検出手段との配置距離を詰めることができるためＸ線検査装置の構成をコンパクト化することができる。

【００１１】
また、本発明の他の特徴は、前記Ｘ線検査装置において、検査対象物を搬送する搬送手段と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上に配置されて検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線照射手段から照射されたＸ線を検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、Ｘ線照射手段から照射されるＸ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上にて検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段と、遮蔽板の配置位置の作動制御を行う制御装置とを備え、ワーク検出手段は、検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段よりも下流側に配置され、Ｘ線検出信号補正手段は、ワーク検出手段から出力されるワーク検出信号に基づいて暗出力の補正を開始するものであってワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、ワーク検出信号の対象となった検査対象物の次の検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行い、制御装置は、Ｘ線検出信号補正手段が暗出力の補正を行うとき、遮蔽板を照射経路上に位置させることにある。
【００１２】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、ワーク検出手段が検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段より下流側に配置されているとともに、Ｘ線検出信号補正手段は検査対象物がワーク検出手段を通過した後、次の検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行う。この場合、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出信号補正手段が検査対象物がＸ線検出手段を通過した後直ちに暗出力の補正を行うことにより、Ｘ線検出手段より上流側の検査対象物の搬送距離を短くすることができるためＸ線検査装置の構成をコンパクト化することができる。また、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出信号補正手段が検査対象物がＸ線検出手段を通過した後、次の検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行うことにより、検査対象物の検査直前に暗出力補正を行うことになるため検査対象物の検査精度を極めて高精度にすることができる。
【００１３】
また、本発明の他の特徴は、前記Ｘ線検査装置において、さらに、ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、同ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表してからの時間、検査対象物の搬送量およびＸ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測する計測手段を備え、Ｘ線検出信号補正手段は、計測手段による計測値に基づいて暗出力の補正を開始することにある。
【００１４】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、検査対象物が検出されてからの時間、検査対象物の搬送量およびＸ線検出手段から出力されるＸ線検出信号のデータ量のうちの少なくともいずれか１つを計測する計測手段を備えるとともに、Ｘ線検出信号補正手段は計測手段による計測値に基づいてＸ線検出手段における暗出力の補正を開始する。これにより、Ｘ線検査装置は、前記時間、搬送量およびデータ量を適宜調整することにより任意のタイミングで暗出力の補正を行うことができる。
【００１５】
また、本発明の他の特徴は、前記Ｘ線検査装置において、さらに、Ｘ線検出手段から出力されるＸ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有し、ワーク検出手段は、透視像生成手段にて生成されたＸ線透視像に基づいて検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力し、Ｘ線検出信号補正手段は、ワーク検出信号が検査対象物の無い状態を表すとき、Ｘ線検出手段における暗出力の補正を開始することにある。
【００１６】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、ワーク検出手段が透視像生成手段にて生成したＸ線透視像に基づいてワーク検出信号を出力し、Ｘ線検出信号補正手段はワーク検出信号が検査対象物の無い状態を表すとき、前記暗出力の補正を開始する。すなわち、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出手段がワーク検出手段を兼ねているため、検査対象物の搬送経路上に別途ワーク検出手段を設ける必要がなくＸ線検査装置の構成を簡単化することができるとともに、検査対象物にＸ線を照射中に暗出力の補正が行なわれることを防止することができる。
【００１７】
また、本発明の他の特徴は、前記Ｘ線検査装置において、さらに、Ｘ線検出手段から出力されるＸ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有し、Ｘ線検出信号補正手段は、透視像生成手段によって生成されたＸ線透視像に検査対象物が含まれるとき、暗出力の補正を中止することにある。
【００１８】
このように構成した本発明の他の特徴によれば、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出手段から出力されるＸ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有するとともに、Ｘ線検出信号補正手段は前記Ｘ線透視像に検査対象物が含まれるとき、暗出力の補正を中止する。これにより、暗出力の補正処理を実行中において検査対象物がＸ線検出手段に達した場合、速やかに前記補正処理が中断されて無駄の前記補正処理が続行されることを防止することができるとともに検査対象物の検査を実行することができる。
【００１９】
また、本発明はＸ線検査装置の発明として実施できるばかりでなく、このＸ線検査装置の制御装置に実行されるコンピュータプログラムの発明としても実施できるものである。
【００２０】
具体的には、検査対象物を搬送する搬送手段と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上に配置されて検査対象物に対してＸ線を照射するＸ線照射手段と、Ｘ線照射手段から照射されたＸ線を検査対象物を介して検出して同検出したＸ線量に対応する電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出手段と、Ｘ線照射手段から照射されるＸ線を遮蔽する照射経路上または同Ｘ線を遮蔽しない待機位置に選択的に配置される遮蔽板と、搬送手段による検査対象物の搬送経路上にて検査対象物を検出して同検査対象物の有無を表すワーク検出信号を出力するワーク検出手段と、Ｘ線検出手段における暗出力の補正を行うＸ線検出信号補正手段とを備えたＸ線検査装置の作動を制御する制御装置に実行されるＸ線検査装置用コンピュータプログラムであって、ワーク検出手段は、検査対象物の搬送経路上におけるＸ線検出手段よりも上流側に配置されており、制御装置に、ワーク検出手段から出力されるワーク検出信号に基づいてＸ線検出信号補正手段に暗出力の補正を開始させるものであってワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、Ｘ線検出信号補正手段に検査対象物がＸ線検出手段に到達する前に暗出力の補正を行なわせ、かつ、Ｘ線検出信号補正手段が暗出力の補正を行うとき、遮蔽板を照射経路上に位置させるとよい。
【００２１】
また、この場合、前記Ｘ線検査装置用コンピュータプログラムにおいて、ワーク検出手段は、検査対象物の前記搬送経路上におけるＸ線検出手段よりも上流側に配置されており、制御装置に、ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、Ｘ線検出信号補正手段に検査対象物がＸ線検出手段を通過後に暗出力の補正を行なわせてもよい。
【００２２】
また、これらの場合、前記Ｘ線検査装置用コンピュータプログラムにおいて、Ｘ線検査装置は、ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、同ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表してからの時間、検査対象物の搬送量およびＸ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測する計測手段を備え、制御装置に、ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表わすとき、計測手段に同ワーク検出信号が検査対象物の有る状態を表してからの時間、検査対象物の搬送量およびＸ線検出信号のデータ量のうちの少なくとも１つを計測させ、Ｘ線検出信号補正手段に計測手段による計測値に基づいて暗出力の補正を開始させるとよい。
【００２３】
また、これらの場合、前記Ｘ線検査装置用コンピュータプログラムにおいて、Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出手段から出力されるＸ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成する透視像生成手段を有し、制御装置に、透視像生成手段にＸ線検出手段から出力されるＸ線検出信号に基づいてＸ線透視像を生成させ、透視像生成手段によって生成されたＸ線透視像に検査対象物が含まれるとき、Ｘ線検出信号補正手段に暗出力の補正を中止させるとよい。これらの各Ｘ線検査装置用コンピュータプログラムの発明によれば、上記Ｘ線検査装置の発明と同様の作用効果を期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の外観構成の概略を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線検査装置のシステム構成の概略を模式的に示すブロック図である。
【図３】図１に示すＸ線検査装置において搬送コンベア上を搬送される検査対象物にＸ線を照射して同Ｘ線を検出する様子を模式的に示す斜視図である。
【図４】図２に示すコンピュータ装置によって実行されるＸ線検査プログラムのフロチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係るＸ線検査装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明に係るＸ線検査装置１００の外観構成の概略を模式的に示す斜視図である。また、図２は、図１に示すＸ線検査装置１００のシステム構成の概略を模式的に示すブロック図である。なお、本明細書において参照する各図は、本発明の理解を容易にするために一部の構成要素を誇張して表わすなど模式的に表している。このため、各構成要素間の寸法や比率などは異なっていることがある。このＸ線検査装置１００は、生産ラインにおける製品検査や空港の搭乗カウンターでの機内持ち検査など場面において、検査対象物ＷＫの内部の状態や同検査対象物ＷＫ内部に収容された内容物をＸ線撮影してＸ線透視像を映し出す撮像装置である。
【００２６】
（Ｘ線検査装置１００の構成）
Ｘ線検査装置１００は、筐体１０１を備えている。筐体１０１は、Ｘ線検査装置１００を構成する各種機器類を収める収容体であり、Ｘ線Ｌを遮蔽可能な鉛板を備えた鋼板を箱型に形成して構成されている。この筐体１０１における図示左右方向の側面には、方形状に開口した投入口１０１ａおよび排出口１０１ｂ（図１において図示せず）がそれぞれ形成されている。投入口１０１ａおよび排出口１０１ｂは、筐体１０１内に検査対象物ＷＫ（二点鎖線で示す）を投入するとともに排出するための開口部であり、遮蔽カーテン１０２によってそれぞれ塞がれている。
【００２７】
遮蔽カーテン１０２は、筐体１０１内から投入口１０１ａおよび排出口１０１ｂを介してＸ線Ｌが外部に漏れ出ることを防ぐためのものであり、鉛などのＸ線を吸収する材料を含むゴム製の暖簾状に形成されている。すなわち、遮蔽カーテン１０２は、筐体１０１内への検査対象物ＷＫの投入および排出の際に検査対象物ＷＫによって押し退けられる。この筐体１０１は、キャスター１０３ａを備えた支持台１０３上に固定的に載置されており、ユーザが所望する位置に移動できるようになっている。
【００２８】
筐体１０１内には、投入口１０１ａおよび排出口１０１ｂを貫通した状態で搬送コンベア１０４が設けられている。搬送コンベア１０４は、検査対象物ＷＫを購入口１０１ａから排出口１０１ｂに向けて搬送するための搬送装置であり、２つの回転ローラ間に無端ベルトが架設されて構成されている。この搬送コンベア１０４は、後述する制御部１１０によって作動が制御される電動機１０４ａによって回転駆動される（図において破線矢印参照）。この場合、本実施形態においては、電動機１０４ａには、図示しないロータリーエンコーダが設けられており、搬送コンベア１０４の搬送速度を検出して制御部１１０に出力する。
【００２９】
筐体１０１内における搬送コンベア１０４の図示上方には、Ｘ線照射器１０５が設けられている。Ｘ線照射器１０５は、搬送コンベア１０４内に配置されるＸ線ラインセンサ１０７に向ってＸ線Ｌ（図において破線矢印参照）を照射する装置であり、高電圧により陰極フィラメントから熱電子を陽極ターゲットに衝突させてＸ線を発生させるＸ線管によって構成されている。このＸ線照射器１０５には、図３に示すように、Ｘ線Ｌの照射径路上に図示しないスリットが設けられており、Ｘ線Ｌを搬送コンベア１０４の幅方向に広がる扇状に照射するように構成されている。なお、図３においては、Ｘ線Ｌの照射径路をハッチングにより示している。
【００３０】
Ｘ線照射器１０５の図示下方におけるＸ線Ｌの照射径路上には、遮蔽板１０６が設けられている。遮蔽板１０６は、Ｘ線照射器１０５から照射されたＸ線Ｌを遮ってＸ線ラインセンサ１０７に照射されないようにするためのものであり、Ｘ線Ｌを遮蔽可能な鉛などのＸ線を吸収する材料製の板状体で構成されている。この遮蔽板１０６は、制御部１１０による作動制御によってＸ線Ｌの照射径路上に配置または退避されるように構成されている。なお、図２においては、遮蔽板１０６がＸ線Ｌを遮蔽しない待機位置に位置している状態を実線で示し、同遮蔽板１０６がＸ線を遮蔽している状態を二点鎖線で示している。
【００３１】
搬送コンベア１０４の無端ベルトを構成する上側ベルト１０４ｂと下側ベルト１０４ｃと間には、Ｘ線照射器１０５に対向した状態でＸ線ラインセンサ１０７が設けられている。Ｘ線ラインセンサ１０７は、Ｘ線照射器１０５から照射されたＸ線Ｌを上側ベルト１０４ｂを介して検出して同検出したＸ線量に応じた電気信号からなるＸ線検出信号を出力するＸ線検出器である。このＸ線ラインセンサ１０７は、蛍光体であるシンチレータとフォトダイオードまたは電荷結合素子とからなるＸ線検出素子１０７ａを搬送コンベア１０４の幅方向に沿ってアレイ状に所定ピッチで配列して構成されている。
【００３２】
この場合、Ｘ線ラインセンサ１０７は、暗出力が生じるとともにＸ線ＬのＸ線ラインセンサ１０７の検出感度にバラツキが生じる。ここで、暗出力とは、Ｘ線ラインセンサ１０７にＸ線Ｌが入射しない状態においてＸ線ラインセンサ１０７から出力される電気信号であり、例えば、Ｘ線ラインセンサ１０７にＸ線Ｌが入射しない状態においてＸ線ラインセンサ１０７から出力される電流（所謂暗電流）である。この暗出力は、Ｘ線ラインセンサ１０７を構成するＸ線ラインセンサ１０７を含む各種電気回路から出力される。したがって、Ｘ線ラインセンサ１０７は、検査対象物ＷＫの検査に先立って暗出力および検出感度の補正が必要になる。これら暗出力および検出感度の補正の手順は後述する。このＸ線ラインセンサ１０７は、後述するコンピュータ装置１２０に接続されており、Ｘ線検出信号をコンピュータ装置１２０に出力する。なお、この暗出力は、暗電流に代えてまたは加えて暗電圧である場合もある。
【００３３】
また、筐体１０１内には、搬送コンベア１０４における上側ベルト１０４ｂの両側方にワーク検出器１０８が設けられている。ワーク検出器１０８は、搬送コンベア１０４における上側ベルト１０４ｂ上に載置される検査対象物ＷＫを検出して同検出状態を表す電気信号からなるワーク検出信号を出力するセンサであり、制御部１１０によって作動が制御される。このワーク検出器１０８は、本実施形態においては、搬送コンベア１０４の搬送方向においてＸ線ラインセンサ１０７よりも上流側に設けられている。また、ワーク検出器１０８は、本実施形態においては、搬送コンベア１０４の無端ベルトを挟んで互いに対向配置される一対の投光器と受光器からなる光電センサによって構成されている。
【００３４】
制御部１１０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなるマイクロコンピュータによって構成されており、ユーザからの指示、またはインターフェース１２１を介して接続されるコンピュータ装置１２０からの指示に従って、ＲＯＭなどの記憶装置に予め記憶された制御プログラムを実行することにより、Ｘ線検査装置１００の各種作動を制御する。具体的には、制御部１１０は、搬送コンベア１０４、Ｘ線照射器１０５、遮蔽板１０６およびワーク検出器１０８の各作動をそれぞれ制御する。
【００３５】
また、制御部１１０は、制御部１１０に対して作業者からの操作を与えるとともに制御部１１０からの情報を表示するための操作盤１１１が設けられている。また、このＸ線検査装置１００は、搬送コンベア１０４、Ｘ線照射器１０５、遮蔽板１０６およびワーク検出器１０８をそれぞれ駆動するための電気を供給する電源部なども備えているが、これらの本発明に直接関わらない構成については、その説明は省略する。この制御部１１０には、インターフェース１２１を介してコンピュータ装置１２０が接続されている。
【００３６】
コンピュータ装置１２０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなるマイクロコンピュータによって構成されており、キーボードおよびマウスなどからなる入力装置１２２および液晶ディスプレイなどからなる表示装置１２３をそれぞれ備えている。このコンピュータ装置１２０は、内蔵ハードディスクなどの記憶装置に記憶されているＸ線検査プログラムを実行することにより、Ｘ線ラインセンサ１０７から出力されるＸ線検出信号に基づいて２次元のＸ線透視像を生成するとともにＸ線ラインセンサ１０７に対して暗出力および検出感度の各補正を行う。また、これらのコンピュータ装置１２０、入力装置１２２および表示装置１２３は、Ｘ線検査装置１００を支持する支持台１０３から延びる支持テーブル１２４上にそれぞれ載置されて支持されている。
【００３７】
（Ｘ線検査装置１００の作動）
次に、上記のように構成したＸ線検査装置１００の作動について説明する。まず、ユーザは、Ｘ線検査装置１００の電源をそれぞれＯＮにする。これにより、Ｘ線検査装置１００、図示しない所定の制御プログラムを実行することによりＸ線ラインセンサ１０７を起動させてコンピュータ装置１２０に対してＸ線検出信号の連続的な出力を開始するとともにユーザまたはコンピュータ装置１２０からの指令の入力を待つ待機状態となる。一方、コンピュータ装置１２０は、図示しない所定の制御プログラムを実行することにより図４に示すＸ線検査プログラムの実行を開始する。
【００３８】
次に、ユーザは、検査対象物ＷＫのＸ線検査を行なう。この検査対象物ＷＫに対するＸ線検査は、検査対象物ＷＫのＸ線透視像をコンピュータ装置１２０の表示装置１２３に表示させて検査対象物ＷＫの内部の状態や検査対象物ＷＫ内に収容された内容物を確認するものである。具体的には、ユーザは、操作盤１１１を操作することにより、搬送コンベア１０４、Ｘ線照射器１０５、遮蔽板１０６およびワーク検出器１０８の作動をそれぞれ開始させる。
【００３９】
これにより、搬送コンベア１０４は、上側ベルト１０４ｂが投入口１０２ａ側から排出口１０２ｂ側に向って移動する回転方向（図において破線矢印参照）でかつユーザにより予め設定された回転速度で無端ベルトを回転駆動する。また、Ｘ線照射器１０５は、搬送コンベア１０４およびＸ線ラインセンサ１０７に向けてＸ線Ｌを照射する。また、遮蔽板１０６は、Ｘ線照射器１０５から照射されるＸ線Ｌの照射径路から外れた待機位置に位置決めされる。また、ワーク検出器１０８は、搬送コンベア１０４の上側ベルト１０４ｂ上に載置される検査対象物ＷＫの検出を開始する。
【００４０】
一方、コンピュータ装置１２０は、図４に示すＸ線検査プログラムの実行をステップＳ１００にて開始して、ステップＳ１０２にて、Ｘ線検査を終了するか否かを判定する。具体的には、コンピュータ装置１２０は、ユーザから入力装置１２１を介して入力されるＸ線検査終了指令の有無を判定する。この場合、コンピュータ装置１２０は、ユーザからＸ線検査終了指令が入力されない限り、このステップＳ１０２における判定処理において「Ｎｏ」と判定してステップＳ１０４に進む。一方、コンピュータ装置１２０は、ユーザからＸ線検査終了指令が入力された場合には、このステップＳ１０２における判定処理において「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ１１８に進む。
【００４１】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０４にて、検査対象物ＷＫが検出された否かを判定する。具体的には、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線検査装置１００の制御部１１０から出力される検査対象物ＷＫの検出を表す信号の入力を待つ。この場合、Ｘ線検査装置１００の制御部１１０は、ワーク検出器１０８からワーク検出信号の入力を待つとともにこのワーク検出信号を入力した場合には、ワーク検出信号の入力、すなわち、検査対象物ＷＫの検出を表す信号をコンピュータ装置１２０に出力する。
【００４２】
したがって、コンピュータ装置１２０は、制御部１１０から検査対象物ＷＫの検出を表す信号を入力するまでの間、このステップＳ１０４における判定処理にて「Ｎｏ」と判定し続けてステップＳ１０２に戻る。そして、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０２にて再び、Ｘ線検査の終了判定を実行する。一方、コンピュータ装置１２０は、制御部１１０から検査対象物ＷＫの検出を表す信号を入力した場合には、この判定処理にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１０６に進む。
【００４３】
このステップＳ１０４による判定処理を実行している間に、ユーザは、検査対象物ＷＫをＸ線検査装置１００の投入口１０２ａ側の搬送コンベア１０４（上側ベルト１０４ｂ）上に載置する。この場合、Ｘ線検査装置１００の起動後、最初に搬送コンベア１０４に載置する検査対象物ＷＫは、後述する暗出力補正および検出感度補正を行なうための所謂ダミーの物体である。搬送コンベア１０４上に載置された検査対象物ＷＫは、排出口１０２ｂ側（図示左側）に向って搬送され筐体１０１内に導かれてワーク検出器１０８を横切る。これにより、ワーク検出器１０８は、ワーク検出信号を制御部１１０を介してコンピュータ装置１２０に出力する。この結果、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０４の判定処理にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１０６に進む。
【００４４】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０６にて、Ｘ線検出信号を取得する。具体的には、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線ラインセンサ１０７から出力されているＸ線検出信号の取り込みを開始する。この場合、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線ラインセンサ１０７が搬送コンベア１０４の単位搬送時間毎に実行するライン走査毎のＸ線検出信号を入力して記憶する。
【００４５】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０８にて、Ｘ線検出信号を所定のライン数だけ取り込んだか否かを判定する。この場合、所定のライン数は、検査対象物ＷＫのすべてのＸ線透視像を生成可能なライン走査毎のＸ線検出信号の数であり、検査対象物ＷＫの大きさに応じてユーザにより予め設定されている。したがって、コンピュータ装置１２０は、前記所定のライン数のＸ線検出信号を取り込むまでの間、このステップＳ１０８における判定処理にて「Ｎｏ」と判定し続けてステップＳ１０６に戻ってＸ線検出信号の取り込み処理を続ける。一方、コンピュータ装置１２０は、前記所定のライン数のＸ線検出信号を取り込んだ場合には、この判定処理にて「Ｙｅｓ」と判定して、Ｘ線検出信号の取り込み処理を中断した後、ステップＳ１１０に進む。
【００４６】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１１０にて、検査対象物ＷＫのＸ線透視像を生成する。具体的には、コンピュータ装置１２０は、前記ステップＳ１０６およびステップＳ１０８の各処理にて取り込んで記憶したＸ線検出信号、すなわち、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出を起点として取り込んだ１次元のＸ線量分布データを時間順（取り込み順）に並べることにより検査対象物ＷＫの像を含む２次元のＸ線透視像を構築する。なお、Ｘ線検査装置１００の起動後、最初に搬送コンベア１０４に載置される検査対象物ＷＫは、暗出力補正および検出感度補正を行なうための所謂ダミーの物体である。このため、Ｘ線検査装置１００の起動後、最初に搬送コンベア１０４に載置される検査対象物ＷＫを含むＸ線透視像は、暗出力および検出感度の各補正が行われていないＸ線透視像が生成される。
【００４７】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１１２にて、前記ステップＳ１１０にて生成したＸ線透視像を表示装置１２３に表示させる。これにより、ユーザは、検査対象物ＷＫの内部の状態や検査対象物ＷＫ内部に収容された内容物を目視にて確認することができる。
【００４８】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１１４にて、暗出力補正を行なう。この場合、暗出力補正は、前記したように、Ｘ線ラインセンサ１０７にＸ線Ｌを入射させない状態においてＸ線ラインセンサ１０７から出力される電気信号成分をＸ線検出信号から除去するための処理である。
【００４９】
具体的には、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線検査装置１００の制御部１１０に対して遮蔽板１０６によるＸ線Ｌの遮蔽を指示する。これにより、制御部１１０は、待機位置に位置する遮蔽板１０６をＸ線照射器１０５から照射されるＸ線Ｌの照射径路上に変位させることによりＸ線Ｌを遮蔽する。そして、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線照射器１０５から照射されるＸ線Ｌが遮蔽された状態においてＸ線ラインセンサ１０７から出力されるＸ線検出信号を取り込む。この場合、コンピュータ装置１２０が取り込んだＸ線検出信号は、Ｘ線ラインセンサ１０７にＸ線が入射しない状態においてＸ線ラインセンサ１０７から出力される暗出力からなる電気信号である。
【００５０】
したがって、コンピュータ装置１２０は、この暗出力で構成されるＸ線検出信号に基づいて暗出力量を表す暗出力補正データを生成して、この暗出力補正データをＸ線ラインセンサ１０７に出力する。本実施形態においては、Ｘ線ラインセンサ１０７から出力される暗電流で構成されるＸ線検出信号に基づいて暗電流量を表す暗出力補正データを生成する。これにより、Ｘ線ラインセンサ１０７は、取得した暗出力補正データを用いてＸ線検出信号を補正してコンピュータ装置１２０に出力可能な状態となる。次いで、コンピュータ装置１２０は、制御部１１０に対して遮蔽板１０６の退避を指示する。これにより、制御部１１０は、Ｘ線照射器１０５から照射されるＸ線Ｌの照射径路上に位置する遮蔽板１０６を同照射径路外に変位させて元の待機位置に位置決めする。
【００５１】
次に、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１１６にて、Ｘ線ラインセンサ１０７の検出感度補正を行なう。この場合、検出感度補正は、Ｘ線ラインセンサ１０７における各Ｘ線検出画素間の検出感度誤差を最小化するための処理である。具体的には、コンピュータ装置１２０は、搬送コンベア１０４上に検査対象物ＷＫが載置されていない状態において、Ｘ線照射器１０５から照射されたＸ線ＬをＸ線ラインセンサ１０７が検出したＸ線検出信号を取り込む。
【００５２】
この場合、Ｘ線ラインセンサ１０７から出力されコンピュータ装置１２０が取り込んだＸ線検出信号は、Ｘ線ラインセンサ１０７を構成するＸ線検出素子１０７ａ毎の検出感度に応じてＸ線Ｌの検出量が異なる。したがって、コンピュータ装置１２０は、各Ｘ線検出素子１０７ａ毎のＸ線Ｌの検出量の誤差を解消する検出感度補正データを生成して、この検出感度補正データをＸ線ラインセンサ１０７に出力する。これにより、Ｘ線ラインセンサ１０７は、取得した検出感度補正データを用いてＸ線検出信号を補正してコンピュータ装置１２０に出力可能な状態となる。
【００５３】
そして、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１１６によるＸ線ラインセンサ１０７の検出感度補正の後、ステップＳ１０２に戻り、再び、ステップＳ１０２にてＸ線検査の終了判定を実行する。したがって、コンピュータ装置１２０は、ユーザからＸ線検査終了指令が入力されるまでの間、検査対象物ＷＫを検出するごとに、すなわち、検査対象物ＷＫのＸ線撮影を行なう毎にＸ線検出信号の暗出力補正および検出感度補正を行なう。この場合、Ｘ線検査装置１００の起動後、２回目以降に搬送コンベア１０４に載置される検査対象物ＷＫについては、前回の検査対象物ＷＫのＸ線撮影後に行なわれる暗出力補正および検出感度補正によって精度の良いＸ線透視像が生成されることになる。
【００５４】
一方、コンピュータ装置１２０は、ステップＳ１０２におけるＸ線検査の終了判定処理において、ユーザからのＸ線検査終了指令を入力した場合には、このステップＳ１０２にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ１１８に進み、同ステップＳ１１８にて、このＸ線検査プログラムの実行を終了する。そして、ユーザは、Ｘ線検査装置１００の電源をＯＦＦにすることにより、Ｘ線ラインセンサ１０７およびコンピュータ装置１２０を含むＸ線検査装置１００の作動を停止させることにより検査対象物ＷＫに対するＸ線検査作業を終了する。
【００５５】
上記作動説明からも理解できるように、上記実施形態によれば、Ｘ線検査装置１００は、検査対象物ＷＫを搬送する搬送経路上に検査対象物ＷＫを検出するワーク検出器１０８を備えるとともに、Ｘ線ラインセンサ１０７における暗出力および検出感度の補正を行なうコンピュータ装置１２０がワーク検出器１０８から出力されるワーク検出信号に基づいて暗出力および検出感度の補正の開始を行なう。これにより、Ｘ線検査装置１００は、検査対象物ＷＫの搬送経路上において検査対象物ＷＫがワーク検出器１０８によって検出されるごと、すなわち、検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７を通過する毎に暗出力および検出感度の補正を行なう。この結果、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線ラインセンサ１０７における暗出力および検出感度の変化に即時に対応することができ、検査対象物ＷＫの検査精度を向上させることができる。
【００５６】
さらに、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【００５７】
例えば、上記実施形態においては、コンピュータ装置１２０が制御部１１０を介してワーク検出信号を検出するとともに同検出に応じて暗出力補正データおよび検出感度補正データを生成してＸ線ラインセンサ１０７に出力することによりＸ線ラインセンサ１０７が暗出力補正および検出感度補正を行うように構成した。しかし、ワーク検出信号の検出、暗出力補正データおよび検出感度補正データの生成、および暗出力補正および検出感度補正の各実行対象は上記実施形態に限定されるものではない。
【００５８】
例えば、暗出力補正および検出感度補正をコンピュータ装置１２０が前記ステップＳ１０６およびステップＳ１０８にて取り込んだＸ線検出信号に対して行うこともできる。また、例えば、コンピュータ装置１２０の機能を制御部１１０に備えさせて、すなわち、制御部１１０を前記Ｘ線検査プログラムの実行が可能に構成することにより、ワーク検出信号の検出、暗出力補正データおよび検出感度補正データの生成、および暗出力補正および検出感度補正を制御部１１０に実行させるように構成することもできる。この場合、Ｘ線ラインセンサ１０７は制御部１１０に接続されることになる。すなわち、暗出力補正および検出感度補正を行う本発明に係るＸ線検出信号補正手段は、コンピュータ装置１２０、制御部１１０またはＸ線ラインセンサ１０７によって構成することができる。
【００５９】
また、上記実施形態においては、Ｘ線検査プログラムは、暗出力補正および検出感度補正の両方を実行するように構成した。しかし、暗出力補正および検出感度補正は、Ｘ線検査装置１００の必要に応じて少なくとも一方を実行するようにすればよい。また、暗出力補正および検出感度補正を実行する順番も特に限定されるものではなく、検出感度補正を実行した後に暗出力補正を実行するようにしてもよい。
【００６０】
また、上記実施形態においては、暗出力補正および検出感度補正は、検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７を通過後、すなわち、検査対象物ＷＫのＸ線撮影後に実行するように構成されている。しかし、暗出力補正および検出感度補正は、検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７に到達する前、すなわち、検査対象物ＷＫのＸ線撮影前に実行するように構成してもよい。この場合、Ｘ線検出プログラムは、ステップＳ１０４による検査対象物ＷＫの検出後直ちに暗出力補正および検出感度補正を実行（例えば、ステップＳ１１０による暗出力補正およびステップＳ１１２による検出感度補正をステップＳ１０６によるＸ線検出信号の取り込み前に実行）するように構成すればよい。
【００６１】
また、上記実施形態においては、暗出力補正および検出感度補正は、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出後、コンピュータ装置１２０が取り込んだＸ線検出信号のデータ量が所定量に達した後にそれぞれ実行するように構成されている。すなわち、Ｘ線検出プログラムにおけるステップＳ１０８による所定ライン数のカウント処理が本発明に係る計測手段に相当する。
【００６２】
しかし、暗出力補正および検出感度補正をそれぞれ実行するタイミングのカウントは、Ｘ線検出信号のデータ量に限定されるものではない。つまり、暗出力補正および検出感度補正をそれぞれ実行するタイミングのカウントは、検査対象物ＷＫの検出後Ｘ線ラインセンサ１０７に到達する前または通過後のタイミングに応じてこれらのタイミングをカウントすることができればよい。したがって、例えば、暗出力補正および検出感度補正は、ワーク検出器１０８が検査対象物ＷＫを検出してからの時間や同検出後の検査対象物の搬送量などをカウントすることにより、検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７に到達する前または通過後のタイミングで実行されるようにしてもよい。
【００６３】
また、上記実施形態においては、ワーク検出器１０８を検査対象物ＷＫの搬送経路上におけるＸ線ラインセンサ１０７より上流側に配置した。しかし、ワーク検出器１０８は、検査対象物ＷＫの搬送経路上におけるＸ線ラインセンサ１０７より下流側に配置することもできる。この場合、暗出力補正および検出感度補正は、次の検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７に到達する前、例えば、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出後直ちに実行するようにしてもよいし、前記Ｘ線検出信号のデータ量、検査対象物ＷＫの検出後の経過時間または検査対象物ＷＫの検出後の搬送距離（次回の検査対象物ＷＫの搬送距離の場合も含む）などをカウントすることにより、次の検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７に到達する直前までに実行するようにしてもよい。なお、前記変形例も含めて、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出後直ちに暗出力補正および検出感度補正を実行する場合には、暗出力補正および検出感度補正を実行するタイミングのカウントは省略することもできる。
【００６４】
また、上記実施形態においては、コンピュータ装置１２０が暗出力補正および検出感度補正に用いるＸ線検出信号を取得する際、搬送コンベア１０４上の検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７上に位置することを想定していない。しかし、コンピュータ装置１２０が暗出力補正および検出感度補正に用いるＸ線検出信号を取得している場合に搬送コンベア１０４上の検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７上に位置したとき、同Ｘ線検出信号の取得を中断、すなわち、暗出力補正および検出感度補正の実行を中断することもできる。例えば、コンピュータ装置１２０は、ワーク検出器１０８によって検査対象物ＷＫを検出した後、Ｘ線ラインセンサ１０７からＸ線検出信号を連続的に取得してＸ線透視像を生成する。次いで、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線透視像を生成するごとに互いに前後の生成関係にあるＸ線透視像同士を比較することによりＸ線透視像中における検査対象物ＷＫの像の有無を検出する。この場合、Ｘ線検出信号からＸ線透視像を生成する処理が、本発明に係る透視像生成手段に相当する。そして、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線透視像中に検査対象物ＷＫが含まれていると判定した場合には、直ちに暗出力補正または検出感度補正に関する処理の実行を中断する。
【００６５】
また、上記実施形態においては、ワーク検出器１０８によって検査対象物ＷＫを検出することにより暗出力補正および検出感度補正を開始するように構成した。しかし、暗出力補正および検出感度補正の実行開始は、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出以外の方法でも可能である。例えば、コンピュータ装置１２０は、Ｘ線ラインセンサ１０７から常時Ｘ線検出信号を取り込むとともに同取り込んだＸ線検出信号を用いてＸ線透視像を連続的に生成する。そして、コンピュータ装置１２０は、互いに前後の生成関係にあるＸ線透視像同士を比較することにより検査対象物ＷＫの像を検出して同検出後、同検査対象物ＷＫの像が検出されなくなったとき、すなわち、Ｘ線透視像中に検査対象物ＷＫの像が存在しない場合に暗出力補正および検出感度補正を実行するように構成することができる。
【００６６】
すなわち、暗出力補正および検出感度補正を実行するための検査対象物ＷＫの検出は、ワーク検出器１０８の他にＸ線ラインセンサ１０７によって行うこともできる。また、搬送コンベア１０４上における検査対象物ＷＫの存在を表すワーク検出信号は、同検査対象物ＷＫが存在している状態および存在していない状態のうちの少なくとも一方を表す信号であればよい。なお、搬送コンベア１０４上における検査対象物ＷＫの存在をＸ線ラインセンサ１０７によって検出する場合であってもＸ線検出信号の取り込み量のカウントの起点にするためワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出は必要である。すなわち、上記実施形態においては、ワーク検出器１０８による検査対象物ＷＫの検出は、暗出力補正および検出感度補正の実行の起点となるとともにＸ線検出信号の取り込み量のカウントの起点となり、ワーク検出器１０８は２つの起点を取得する意義を有している。
【００６７】
また、上記実施形態においては、暗出力補正および検出感度補正は、検査対象物ＷＫがＸ線ラインセンサ１０７を通過後、すなわち、検査対象物ＷＫのＸ線撮影後に実行するように構成されている。このため、Ｘ線検査装置１００の起動後最初に搬送コンベア１０４に載置される検査対象物ＷＫについては、Ｘ線検出信号に対して暗出力補正および検出感度補正を行なってＸ線透視像を生成することができない。したがって、Ｘ線検査装置１００の起動後最初に搬送コンベア１０４に載置する検査対象物ＷＫについてもＸ線検出信号に対して暗出力補正および検出感度補正を行なってＸ線透視像を生成したい場合には、例えば、図４に示すＸ線検査プログラムにおいて、実行開始直後に前記ステップＳ１１４による暗出力補正および前記ステップＳ１１６による検出感度補正を行なうように構成するとよい。また、Ｘ線検査装置１００の起動後において、前記ステップＳ１１４による暗出力補正および前記ステップＳ１１６による検出感度補正を手動で行なえるようにＸ線検出装置１００を構成することもできる。
【００６８】
また、さらには、図４に示すＸ線検査プログラムにおいて、前記ステップＳ１１８によるＸ線検査プログラムの終了時に直近に使用した暗出力補正データおよび検出感度補正データを記憶した後にＸ線検査プログラムの実行を終了するようにする。そして、次回、Ｘ線検査プログラムの実行時において、前記記憶した暗出力補正データおよび検出感度補正データを用いてＸ線検査装置１００の起動後最初に搬送コンベア１０４に載置した検査対象物ＷＫのＸ線検出信号に対して暗出力補正および検出感度補正を行なってＸ線透視像を生成することもできる。
【符号の説明】
【００６９】
ＷＫ…被加工物、Ｌ…Ｘ線、
１００…Ｘ線検査装置、１０１…筐体、１０１ａ…投入口、１０１ｂ…排出口、１０２…遮蔽カーテン、１０３…支持台、１０３ａ…キャスタ、１０４…搬送コンベア、１０４ａ…電動機、１０４ｂ…上側ベルト、１０４ｃ…下側コンベア、１０５…Ｘ線照射器、１０６…遮蔽板、１０７…Ｘ線ラインセンサ、１０７ａ…Ｘ線検出素子、１０８…ワーク検出器、
１１０…制御部、１１１…操作盤、
１２０…コンピュータ装置、１２１…インターフェース、１２２…入力装置、１２３…表示装置、１２４…支持テーブル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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