(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性粒子と樹脂とを含む導電層が第１電極に塗布された加圧側シート部材と、導電性粒子と樹脂とを含む導電層が第２電極に塗布されたレシーブ側シート部材とを対向させ、前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とを接触させると前記第１電極と前記第２電極との間で通電し、前記第１電極と前記第２電極との間で通電されたときの前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層との接触面積に応じて変化しうる電気抵抗値によって圧力を感知する感圧センサーであって、
前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とのうち少なくとも一方の導電層が、
電極側に形成された第１の導電層と、
前記第１の導電層よりも前記導電性粒子を多く含み、当該第１の導電層よりもさらに前記第１電極又は前記第２電極とは反対側に形成された第２の導電層と、を有する
ことを特徴とする感圧センサー。
【請求項２】
前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とのうち前記一方の導電層とは異なる他方の導電層が、
電極側に形成された第３の導電層と、
前記第３の導電層よりも前記導電性粒子を多く含み、当該第３の導電層よりもさらに前記電極とは反対側に形成された第４の導電層と、を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の感圧センサー。
【請求項３】
前記第３の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれ、
前記第４の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれている
ことを特徴とする請求項２に記載の感圧センサー。
【請求項４】
前記第１の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれ、
前記第２の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感圧センサー。
【請求項５】
前記第１の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、１４．２重量部含まれ、
前記第２の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、１４．８重量部含まれている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感圧センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力を測定する感圧センサーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、可撓性を有する二枚のフィルム基材の相互間に、導電層が塗布された複数の行・列電極が交差する態様で配置された感圧センサーが知られている（例えば特許文献１参照）。この種の感圧センサーは、圧力が加えられると、交差する態様で配置された導電層同士が接触し、これにより抵抗値が変化する。そして、この抵抗値の変化を検知することにより、加えられた圧力の大きさを測定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２７４５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の感圧センサーにおいては、センサーに圧力を加えたときに、導電層同士が徐々に接触することになる。そして、この導電層同士の接触に追従するかたちで抵抗値が変化する。そのため、出力の応答性、クリープおよびヒステリスに関する測定誤差が大きくなるおそれがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、出力の応答性、クリープおよびヒステリスに関する測定を、従来よりも高精度で行うことができる感圧センサーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明において、以下の特徴は単独で、若しくは、適宜組合わされて備えられている。
【０００７】
上記課題を解決するための本発明に係る感圧センサーは、導電性粒子と樹脂とを含む導電層が第１電極に塗布された加圧側シート部材と、導電性粒子と樹脂とを含む導電層が第２電極に塗布されたレシーブ側シート部材とを対向させ、前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とを接触させると前記第１電極と前記第２電極との間で通電し、前記第１電極と前記第２電極との間で通電されたときの前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層との接触面積に応じて変化しうる電気抵抗値によって圧力を感知する感圧センサーであって、前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とのうち少なくとも一方の導電層が、電極側に形成された第１の導電層と、前記第１の導電層よりも前記導電性粒子を多く含み、当該第１の導電層よりもさらに前記第１電極又は前記第２電極とは反対側に形成された第２の導電層と、を有することを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、第１の導電層と第２の導電層とを有する導電層については、他のシート部材の導電層と接触する際に、第１の導電層と第２の導電層とのうち、導電性粒子がより多く含まれた第２の導電層のみが他の導電層と接触することとなる。したがって、導電層同士が接触したときに通電性が向上し、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定精度を、従来よりも優れたものとすることができる。
【０００９】
また、上記課題を解決するための本発明に係る感圧センサーにおいて、前記加圧側シート部材の導電層と前記レシーブ側シート部材の導電層とのうち前記一方の導電層とは異なる他方の導電層が、電極側に形成された第３の導電層と、前記第３の導電層よりも前記導電性粒子を多く含み、当該第３の導電層よりもさらに前記電極とは反対側に形成された第４の導電層と、を有するものであることが好ましい。
【００１０】
上記構成によれば、加圧側シート部材およびレシーブ側シート部材の両方の導電層が、電極側に形成された導電層と、当該電極側に形成された導電層よりも導電性粒子を多く含む導電層とを有することとなる。したがって、加圧側シート部材の導電層とレシーブ側シート部材の導電層とのうち一方の導電層のみが、電極側に形成された導電層と、当該電極側に形成された導電層よりも導電性粒子を多く含む導電層とを有する感圧センサーと比べて、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定をさらに高精度で測定することが可能となる。
【００１１】
また、上記課題を解決するための本発明に係る感圧センサーにおいて、「前記第３の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれ、前記第４の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれていること」、または／および、「前記第１の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれ、前記第２の導電層における前記導電性粒子が、前記樹脂１００重量部に対して、５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれていること」が好ましい。
【００１２】
上記構成によれば、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定を、さらに高精度で行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係るタクタイルセンサーの斜視図であって、一方のシート部材の一部を切り欠いた状態を示したものである。
【図２】（ａ）が図１に示したタクタイルセンサーの一部を構成する一方のシート部材を示した平面図、（ｂ）が図１に示したタクタイルセンサーの一部を構成する他方のシート部材を示した平面図である。
【図３】図１に示したタクタイルセンサーの一部分における断面斜視図である。
【図４】図１に示したタクタイルセンサーの主要部の断面図である。
【図５】図３に示した主要部の拡大断面図である。
【図６】本発明に係る実施例１および比較例１のタクタイルセンサーについてクリープ率試験を行った結果を示すグラフである。
【図７】本発明に係る実施例１のタクタイルセンサーについてヒステリシス試験を行った結果を示すグラフである。
【図８】比較例１のタクタイルセンサーについてヒステリシス試験を行った結果を示すグラフである。
【図９】本発明に係る実施例１および比較例１のタクタイルセンサーについての応答性試験を行うための加圧装置の主要部の概略図である。
【図１０】本発明に係る実施例１および比較例１のタクタイルセンサーについて応答性試験を行った結果を示すグラフである。
【図１１】本発明の実施形態の変形例に係るタクタイルセンサーの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の感圧センサーに係る実施形態ついて、タクタイルセンサー１００を例に挙げて、図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
本実施形態に係るタクタイルセンサー１００は、図１および図２に示すように、可撓性を有するフィルム基材１１，２１の上に後述する長尺状導電部１２，２２が形成されたシート部材１０，２０と、これら長尺状導電部導電部が互いに対向するように貼り合わされたシート部材１０，２０を固定するとともに電源（図示せず）に接続可能なコネクター３０と、を備えている。
【００１６】
シート部材１０は、図１、図２（ａ）および図３に示すように、フィルム基材１１と、フィルム基材１１の片面（タクタイルセンサー１００内側の面）において、Ｙ軸方向に沿って長尺状に伸びるとともにＸ軸方向に並んで設けられた複数の長尺状導電部１２と、この複数の長尺状導電部１２のそれぞれの一端部に１つずつ電気的に接続されている複数の配線１３と、複数の配線１３の端部が電気的に接続されている複数の端子１４と、を備えている。なお、このシート部材１０は、本発明の加圧側シート部材に相当する。
【００１７】
フィルム基材１１は、ＰＥＴ、ＰＥＮまたはポリイミドなどの絶縁材料からなるものであり、２５μｍ〜１００μｍの範囲のうちいずれかの値の厚みを有している。
【００１８】
長尺状導電部１２は、フィルム基材１１の表面に形成された加圧側の電極１２ａと、この加圧側の電極１２ａの表面全体を被覆するように感圧性導電性インクが塗布されることによって形成された導電層１２ｂと、この導電層１２ｂに積層形成された導電層１２ｃとを有している。導電層１２ｃは、導電層１２ｂを形成するために塗布された感圧性導電性インクが乾いた状態で、さらに感圧性導電性インクを塗布することによって形成される。
【００１９】
なお、導電層１２ｂは、必ずしも電極１２ａに直接接触して被覆されている必要はなく、電極１２ａと導電層１２ｂとの間に、通電を阻害しない他の材料が存在していてもよい。また、導線層１２ｂと導電層１２ｃとは、必ずしも、直接接触して積層されている必要はなく、導線層１２ｂと導電層１２ｃとの間に例えば他の導電層が形成されていてもよい。
【００２０】
電極１２ａは、金、銀または銅などの金属材料からなるものであり、５μｍ〜１５μｍの範囲のうちいずれかの値の厚みを有している。なお、電極１２ａは、金、銀または銅に限られるものではなく、容易に通電するものであれば、どのような材料からなるものであってもよい。
【００２１】
導電層１２ｂは、導電性粒子と樹脂とを含んでなるものであり、加わった圧力によって電気抵抗値が変化するものである。なお、導電層１２ｂは、導電性粒子が、樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれるように調整されている。
【００２２】
導電層１２ｃは、導電層１２ｂと同様、導電性粒子と樹脂とを含んでなるものであり、加わった圧力によって電気抵抗値が変化するものである。ただし、この導電層１２ｃは、樹脂１００重量部に対して、導電性粒子が５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれ、且つ、導電層１２ｂよりも導電性粒子を多く含むものであることが好ましい。
【００２３】
上述の導電性粒子の例としては、カーボンブラック粒子、金、銀、銅などの金属粒子、合金粒子、表面に金属または合金がコーティングされた樹脂からなる粒子などが挙げられるが、導電性のある粒子であればどのようなものであってもよい。また、上述の導電性粒子の一次粒子径は、２０ｎｍ〜４０ｎｍの範囲のうちいずれかの値のものを用いることができる。
【００２４】
また、上述の樹脂の例としては、フェノキシ樹脂、エポキシ樹脂、またはポリウレタン樹脂などが挙げられる。
【００２５】
配線１３および端子１４は、金、銀または銅などの金属材料からなるものであり、５μｍ〜１５μｍの範囲のうちいずれかの値の厚みを有しているが、これは、電極１２ａと同じ厚みである。なお、配線１３および端子１４は、金、銀または銅に限られるものではなく、容易に通電するものであれば、どのような材料からなるものであってもよい。
【００２６】
シート部材２０は、図１、図２（ｂ）および図３に示すように、フィルム基材２１と、フィルム基材２１の片面（タクタイルセンサー１００内側の面）において、Ｘ軸方向に沿って長尺状に伸びるとともにＹ軸方向に並んで設けられた複数の長尺状導電部２２と、この複数の長尺状導電部２２のそれぞれの一端部に１つずつ電気的に接続されている複数の配線２３ａと、長尺状導電部２２のそれぞれの他端部に１つずつ電気的に接続されている複数の配線２３ｂと、複数の配線２３ａの端部および複数の配線２３ｂの端部が電気的に接続されている複数の端子２４と、を備えている。なお、このシート部材２０は、本発明のレシーブ側シート部材に相当する。
【００２７】
長尺状導電部２２は、フィルム基材２１の表面に形成されたレシーブ側の電極２２ａと、このレシーブ側の電極２２ａの表面全体を被覆するように感圧性導電性インクが塗布されることによって形成された導電層２２ｂと、この導電層２２ｂに積層形成された導電層２２ｃとを有している。導電層２２ｃは、導電層２２ｂを形成するために塗布された感圧性導電性インクが乾いた状態で、さらに感圧性導電性インクを塗布することによって形成される。
【００２８】
なお、導電層２２ｂは、必ずしも電極２２ａに直接接触して被覆されている必要はなく、電極２２ａと導電層２２ｂとの間に、通電を阻害しない他の材料が存在していてもよい。また、導線層２２ｂと導電層２２ｃとは、必ずしも、直接接触して積層されている必要はなく、導線層２２ｂと導電層２２ｃとの間に例えば他の導電層が形成されていてもよい。
【００２９】
なお、導電層１２ｂと導電層２２ｂとのうち、いずれか一方の導電層が本発明の第１の導電層に相当し、他方の導電層が本発明の第３の導電層に相当する。すなわち、導電層１２ｂが本発明の第１の導電層に相当するときは導電層２２ｂが本発明の第３の導電層に相当し、導電層２２ｂが本発明の第１の導電層に相当するときは導電層１２ｂが本発明の第３の導電層に相当する。
【００３０】
また、導電層１２ｂが本発明の第１の導電層に相当し且つ導電層２２ｂが本発明の第３の導電層に相当するときは、導電層１２ｃが本発明の第２の導電層に相当し、導電層２２ｃが本発明の第４の導電層に相当する。これに対し、導電層２２ｂが本発明の第１の導電層に相当し且つ導電層１２ｂが本発明の第３の導電層に相当するときは、導電層２２ｃが本発明の第２の導電層に相当し、導電層１２ｃが本発明の第４の導電層に相当する。
【００３１】
ここで、フィルム基材２１、電極２２ａ、導電層２２ｂ、導電層２２ｃ、配線２３ａ（２３ｂ）および端子２４は、順に、フィルム基材１１、電極１２ａ、導電層１２ｂ、導電層１２ｃ、配線１３および端子１４とそれぞれ同様であるので、詳細な説明は省略する。
【００３２】
次に、図４および図５を用いて、タクタイルセンサー１００の動作について説明する。図４に示すように、初期状態（圧力が加えられていない状態）のタクタイルセンサー１００におけるシート部材１０、２０は、互いに接触していない（より詳しくは、導電層１２ｃと導電層２２ｃとが接触していない）。
【００３３】
ここで、電源に接続された初期状態のタクタイルセンサー１００において、例えばシート部材１０側から所定の比較的低い圧力が加えられると、図５に示すように、長尺状導電部１２における導電層１２ｃと、長尺状導電部２２における導電層２２ｃとが接触して通電する。このとき、従来のタクタイルセンサーと比べて電気抵抗が迅速に現れる。したがって、本実施形態のタクタイルセンサー１００は、従来のタクタイルセンサーよりも圧力を迅速に感知することができるといった応答性に優れたセンサーであるといえる。
【００３４】
そして、さらに圧力が加えられると、導電層１２ｃと導電層２２ｃとに含まれる導電性粒子がより接触し、さらに電気抵抗値が変化する。これにより、どの程度の圧力が加わっているかを感知することができる。なお、本実施形態のタクタイルセンサー１００は、５０ｋＰａ〜５００ｋＰａの範囲の圧力を感知することができるものであるが、導電層における導電性粒子の含有量を変更したり、膜厚を変更したりなど適宜設計することで、圧力感知範囲を調整することが可能となる。
【００３５】
本実施形態のタクタイルセンサー１００によれば、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定を、従来よりも優れたものとすることができる。
【実施例】
【００３６】
次に、本発明に係るタクタイルセンサーの実施例について説明する。
【００３７】
（実施例１）
上記実施形態のタクタイルセンサーと同構成のタクタイルセンサーを作製した。具体的には、シート部材１０におけるフィルム基材１１およびシート部材２０におけるフィルム基材２１に相当する部位に厚み２５μｍのＰＥＴフィルム、電極１２ａおよび電極２２ａに相当する部位に厚み８μｍの銀電極、導電層１２ｂおよび導電層２２ｂに相当する部位に厚み１２μｍの導電層、導電層１２ｃおよび導電層２２ｃに相当する部位に厚み３μｍの導電層、配線１３、２３ａ、２３ｂに相当する部位に厚み８μｍの電極１２ａ，２２ａと同じ材料である銀配線、端子１４、２４に相当する部位に厚み８μｍの電極１２ａ，２２ａと同じ材料である銀端子をそれぞれ形成して、本実施例に係るタクタイルセンサーを作製した。
【００３８】
なお、上述の銀電極、銀配線、銀端子は、印刷によって形成した。また、導電層１２ｂおよび導電層２２ｂに相当する導電層は、ブセチルアセテート：フェノキシ樹脂（ＩｎＣｈｅｍ社製  商品名 ＰＫＨＨ）：カーボンブラック（ＣＡＢＯＴ社製  商品名 バルカンＸＣ−７２Ｒ）：消泡剤（楠本化成（株）製  商品名 ディスパロン１９７０）＝６８．９：２５．５：３．６：２．０の割合で配合して得た導電性インクを塗布し乾燥させて形成したものである。ここで、乾燥後の該導電層におけるフェノキシ樹脂とカーボンブラックとの比率は、１００重量部に対して１４．２重量部である。
【００３９】
また、導電層１２ｃおよび導電層２２ｃに相当する導電層は、ブセチルアセテート：フェノキシ樹脂（ＩｎＣｈｅｍ社製  商品名 ＰＫＨＨ）：カーボンブラック（ＣＡＢＯＴ社製  商品名 バルカンＸＣ−７２Ｒ）：消泡剤（楠本化成（株）製  商品名 ディスパロン１９７０）＝６８．８：２５．５：３．８：２の割合で配合して得た導電性インクを塗布し乾燥させて形成したものである。ここで、乾燥後の該導電層におけるフェノキシ樹脂とカーボンブラックとの比率は、１００重量部に対して１４．８重量部である。
【００４０】
（比較例１）
導電層１２ｃおよび導電層２２ｃに相当する導電層を形成していない以外、実施例１で作製したものと同構成のタクタイルセンサーを作製した。
【００４１】
＜クリープ率試験＞
上述した実施例１および比較例１の各タクタイルセンサーについて、クリープ率試験を行った。具体的には、実施例１および比較例１の各タクタイルセンサーについて、一定荷重（２５０ｋＰａ）のもとでの出力の経時変化を測定した。試験結果のデータを下記表１に示すとともに、該データをグラフ化したものを図６に示す。
【００４２】
【表１】
0005658951.tif 000002
【００４３】
表１および図６に示した結果から、比較例１に比べて実施例１の方が、明らかにクリープ率が低いことが把握できる。したがって、比較例１に比べて実施例１のタクタイルセンサーの方が、高精度で加圧を感知することができることが明らかである。
【００４４】
＜ヒステリシス試験＞
上述した実施例１および比較例１の各タクタイルセンサーについて、ヒステリシス試験を行った。具体的には、５段階の荷重・抜重を１０秒間隔で行い、荷重時と抜重時との出力差を測定した。試験結果のデータ（実施例１）を下記表２に示すとともに、該データをグラフ化したものを図７に示す。また、試験結果のデータ（比較例１）を下記表３に示すとともに、該データをグラフ化したものを図８に示す。なお、ヒステリシス（％）＝（（抜重時出力−荷重時出力）／最高出力）×１００として算出している。
【００４５】
【表２】
0005658951.tif 000003
【００４６】
【表３】
0005658951.tif 000004
【００４７】
表２、３および図７、８に示した結果から、比較例１に比べて実施例１の方が、明らかにヒステリシスが低いことが把握できる。したがって、比較例１に比べて実施例１のタクタイルセンサーの方が、高精度で加圧を感知することができることが明らかである。
【００４８】
＜応答性試験＞
上述した実施例１および比較例１の各タクタイルセンサーについて、応答性試験を行った。具体的には、図９に示した構成の加圧装置（エアーシリンダ）２００を用いて、タクタイルセンサーを加圧することにより、試験を行った。
【００４９】
なお、図９に示した構成の加圧装置２００は、筒状のシリンダチューブ２０１と、シリンダチューブ２０１の中心軸方向（図９矢印方向）に摺動自在に支持されているピストンロッド２０２と、ピストンロッド２０２の先端部に設けられている押圧部（先端に直径１８ｍｍの円柱形状部２０３ａを有したもの）２０３と、を備えているものである。
【００５０】
加圧装置２００のシリンダチューブ２０１には、シリンダチューブ２０１内部に空気を送り込むための空気送入機（図示せず）が接続されており、ピストンロッド２０２を図９矢印方向に摺動させることができるようになっている。そして、ピストンロッド２０２を摺動させ、押圧部２０３で対象物に加圧することが可能となっている。
【００５１】
試験は、押圧部２０３と平坦面（図示せず）との間に、実施例１または比較例１のタクタイルセンサーを挿入した後、空気送入機から送られてきた空気を、シリンダチューブ２０１内部に送り入れ、空気圧によってピストンロッド２０２を平坦面側に移動させ、円柱形状部２０３ａを介して、実施例１または比較例１のタクタイルセンサーに均一に約４８０ｋＰａの圧力が加わるようにして行った。このようにして行った試験の結果を図１０のグラフに示す。
【００５２】
図１０の結果から、比較例１に比べて実施例１の方が、明らかに応答性が良いことが把握できる。したがって、比較例１に比べて実施例１のタクタイルセンサーの方が、高精度で加圧を感知することができることが明らかである。
【００５３】
このように、本実施形態のタクタイルセンサー１００は、導電性粒子と樹脂とを含む導電層が電極１２ａを被覆するように形成されたシート部材１０と、導電性粒子と樹脂とを含む導電層が電極２２ａを被覆するように形成されたシート部材２０とを対向させ、シート部材１０の導電層とシート部材２０の導電層との接触面積に応じて変化しうる電極相互間の抵抗によって圧力を感知する感圧センサーに関するものである。そして、このような感圧センサー１００にあって、シート部材１０の導電層が、電極１２ａの側に形成された導電層１２ｂと、当該導電層１２ｂに積層されるとともに当該導電層１２ｂよりも導電性粒子を多く含む導電層１２ｃとを有している。この導電層１２ｃが積層形成される位置をさらに詳しく説明すると、シート部材１０が加圧されたときにシート部材２０に形成された導電層２２ｃと接触するように、最も表面側（すなわち導電層１２ｂよりもさらに電極１２ａとは反対側、さらに言い換えると導電層１２ｂを電極１２ａとで挟む位置）に積層形成されている。
【００５４】
また、シート部材２０の導電層が、電極２２ａの側に形成された導電層２２ｂと、当該導電層２２ｂに積層されるとともに当該導電層２２ｂよりも導電性粒子を多く含む導電層２２ｃとを有している。この導電層２２ｃが積層形成される位置についてもさらに詳しく説明すると、シート部材１０が加圧されたときに当該シート部材１０に形成された導電層１２ｃと接触するように、最も表面側（すなわち導電層２２ｂよりもさらに電極２２ａとは反対側、さらに言い換えると導電層２２ｂを電極２２ａとで挟む位置）に積層形成されている。
【００５５】
このように、シート部材１０の導電層を、電極１２ａの側に形成された導電層１２ｂと、当該導電層１２ｂよりも導電性粒子を多く含む導電層１２ｃとの２層で形成するとともに、シート部材２０の導電層を、電極２２ａの側に形成された導電層２２ｂと、当該導電層２２ｂよりも導電性粒子を多く含む導電層２２ｃとの２層で形成することで、導電層１２ｃと導電層２２ｃとが接触したときの通電性が単層の導電層のときよりも向上し、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定精度が従来よりも優れたタクタイルセンサーを提供することが可能となる。
【００５６】
また、上記の導電性粒子はカーボンブラックであり、電極１２ａ，２２ａの側に形成された導電層１２ｂ，２２ｂにおけるカーボンブラックが、樹脂１００重量部に対して、５重量部〜３０重量部含まれている。また、導電層１２ｂ，２２ｂのそれぞれに積層された導電層１２ｃ，２２ｃにおけるカーボンブラックが、樹脂１００重量部に対して、５重量部を超える値から３０重量部の範囲で含まれているものであることが好ましい。このようにすることで、出力の応答性、クリープおよびヒステリシスに関する測定精度を、より確実に、高精度で行うことが可能となる。
【００５７】
なお、本発明は上記実施形態および実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。例えば、上記実施形態および実施例においては、両方のシート部材１０，２０における導電層をいずれも２層構造としたが、どちらか一方のシート部材における導電層のみを２層構造とし、他方のシート部材における導電層を、従来の感圧センサーと同様に１層構造としてもよい。
【００５８】
また、上記実施形態および実施例においては、両方のシート部材１０，２０における導電層のそれぞれが、導電性粒子の含有率の異なる２層の導電層（表面側の導電層１２ｃ，２２ｃの方が電極１２ａ，２２ａ側の導電層１２ｂ，２２ｂよりも導電性粒子の含有率が高い）を有したものであったが、どちらか一方のシート部材における導電層のみが、導電性粒子の含有率の異なる２層の導電層を有するものであってもよい。一例を挙げると、図１１に示すような構成となる。ここで、図１１中の符号１１０、１１１、１１２（１１２ａ，１１２ｂ，１１２ｃ）、１２０、１２１、１２２ａ、１２２ｂは、順に、上記実施形態における符号１０、１１、１２（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ）、２０、２１、２２ａ、２２ｂと同様の部位であるので、説明を省略する。また、図示していない部分についても、上記実施形態と同様であるので、説明を省略する。
【００５９】
また、上記実施形態および実施例においては、導電部同士が直角に交差するような配置となっていたが、これに限られず、交差配置となっていてもよい。
【００６０】
また、上記実施形態および実施例においては、電極の表面全体を覆うように導電層が形成されているが、電極の表面全体を覆う必要は必ずしもなく、電極に積層するように導電層を形成したものであってもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１０，２０，１１０，１２０  シート部材
１１，２１，１１１，１２１  フィルム基材
１２，２２，１１２，１２２  導電部
１２ａ，２２ａ，１１２ａ，１２２ａ  電極
１２ｂ，２２ｂ，１１２ｂ，１２２ｂ，１２ｃ，２２ｃ，１１２ｃ  導電層
３０  コネクター
１００、２００  タクタイルセンサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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