(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工物（１２）に真空めっきを施す装置（１０）において：
（ａ）被覆材料（４２）を内包するめっきチャンバ（１４）であって、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバ（１４）；
（ｂ）前記めっきチャンバ（１４）内および前記被覆材料（４２）上に電子ビーム（４４）を照射する電子ビーム銃（４６）であって、前記被覆材料（４２）を溶解させるとともに、溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃（４６）；
（ｃ）前記めっきチャンバ（１４）内における前記加工物（１２）の支持および操作を行う機構（３４）；および
（ｄ）前記めっきチャンバ（１４）に隣接する装てんチャンバ（１６）
を有し、
前記機構（３４）は、
（１）前記加工物（１２）を保持する結合装置（５８）と；
（２）前記結合装置（５８）に接続し、前記加工物（１２）の全方向の移動を可能にする継手（６０）と；
（３）前記結合装置（５８）と前記継手（６０）とを接続する中間部材（６２）と；
（４）前記中間部材（６２）に接続し、前記加工物（１２）を所定の平面（６６、９０）内において移動させる装置（６４）と
（５）前記結合装置（５８）を自身に付随させて含み、前記中間部材（６２）に接続する第２の板部材（３０）と
を含み、
前記加工物（１２）は、前記装てんチャンバ（１６）内で第１の板部材（１９）に保持された後に前記めっきチャンバ（１４）に移動され、該第１の板部材（１９）が前記第２の板部材（３０）に取り付けられることにより、該めっきチャンバ（１４）に配置され、
前記加工物（１２）を移動させる装置（６４）は、
（ａ）前記中間部材（６２）に接続する第１のリンク機構（６８）と；
（ｂ）前記第１のリンク機構（６８）を制御する駆動装置（７０）と
をさらに含み、
前記第１のリンク機構（６８）は、前記中間部材（６２）を移動させることにより前記加工物（１２）を所望の位置に傾斜させる
ことを特徴とする、装置（１０）。
【請求項２】
前記加工物（１２）は、所定の垂直面（６６）内において移動する、請求項１に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項３】
前記加工物（１２）は、所定の水平面（９０）内において移動する、請求項１に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項４】
前記支持機構（３４）は、前記加工物（１２）を、前記めっきチャンバ（１４）を通る所定の水平面（９０）に対してある角度（８８）傾斜させることができる、請求項２に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項５】
前記支持機構（３４）は、前記加工物（１２）を前記めっきチャンバ（１４）内において回転させる駆動装置（８０）をさらに含む、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項６】
前記機構（３４）は、さらに、前記めっきチャンバ（１４）の壁部（７４）を貫通し延在し且つ該めっきチャンバ（１４）の壁部（７４）に設けられた軸受（８１）に回転可能に配置された軸部材（７２）を備え、
前記継手（６０）は、前記めっきチャンバ（１４）内で前記軸部材（７２）の端部（７８）に接続し、該継手（６０）は、該軸部材（７２）と共に回転可能であり且つ前記加工物（１２）を傾斜させ、
前記中間部材（６２）は、中心軸（８４）を備え、
前記加工物（１２）を移動させる装置（１０）は、前記めっきチャンバ（１４）の外側に配置され、前記中間部材（６２）を回転させる回転駆動装置（８０）をさらに備え、該回転駆動装置（８０）は前記軸部材（７２）及び前記継手（６０）を介して該中間部材（６２）に接続され、
前記第１のリンク機構（６８）及び前記駆動装置（７０）は、前記継手（６０）を回転中心として前記中間部材（６２）及び前記加工物（１２）を所定面内においてある傾斜範囲内で所望の傾斜角度に傾斜させ、
前記第１のリンク機構（６８）は、前記中間部材（６２）が前記中心軸（８４）を回転中心として回転できるよう軸受（８２）を介して該中間部材（６２）に接続している、
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項７】
前記第１の板部材（１９）は、前記装てんチャンバ（１６）内でレーキ装置（２０）に装てんされ、該レーキ装置（２０）が前記装てんチャンバ（１６）から前記めっきチャンバ（１４）に押し入れられる、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項８】
前記駆動装置（８０）は、前記めっきチャンバ（１４）の外側に配置される、請求項５に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項９】
前記支持機構（３４）は、前記加工物（１２）を操作して前記被覆材料（４２）に対して所定の位置に配置することができる、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【請求項１０】
前記中間部材（６２）と前記第１のリンク機構（６８）との間における接続は、前記めっきチャンバ（１４）の内側において行われる、請求項６に記載の加工物（１２）を移動させる装置（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に真空めっき装置に関し、特に、こうした真空めっき装置のめっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスタービンエンジン内の多くの部品が、高圧タービン、燃焼器およびオーグメンター内の多くの部品をはじめ、高温に曝されることは周知である。これらの構成要素には、断熱コーティング（たとえば耐久性のある物理蒸着（ＰＶＤ）断熱コーティング（ＴＢＣ））を施して、こうした環境への耐性を与えることが望ましいことが知られている。これは、一般に、めっきサイクル中その部品がさまざまな加工処理段階に曝される、真空めっき装置として知られる特殊な装置によって達成される。このような加工処理段階は、一般に、加工物を真空めっき装置内に装てんする段階と、前記加工物を所定の温度に加熱する段階と、前記加工物を所望通りにめっきする段階と、前記加工物を前記真空めっき装置から取り出す段階とが含まれる。
【０００３】
従来技術において、加工物が１つのステーションから次のステーションへと直接輸送される本質的に直線的に前記加工処理段階を実行する真空めっき装置が開示されている。ある特定の構成が、本発明の譲受人を特許権者とするとともに、参照により本明細書に援用する特許文献６および特許文献７に開示されている。これらの特許文献において、予熱チャンバと装てんチャンバとがめっきチャンバの各側に配置される対称構成を有する物理蒸着装置が開示されている。この設計において、被覆対称の部品が装てんされたレーキ装置は、めっきチャンバのいずれの側からも侵入しうる。この構成は、単一の線形装てん機能を有する装置と比べて本質的により効率的である。第１のレーキ装置がめっきチャンバ内で加工処理を受けている間に、第２のレーキ装置が予熱チャンバ内で加熱されうる上に、隣接する装てんチャンバ内で、さらに他のレーキ装置に部品が装てんされうる。
【０００４】
真空めっき装置における加工物被覆の重要な観点の一つとして、特にこうした加工物が複雑な外形を有する場合に、適切な被覆分布を達成することが含まれており、そのために、加工物を好ましくは回転させ、かつ／または振動させることによって、加工物全面に被覆材料を所望通り付着させることが知られている。特許文献２および特許文献３において、基板の回転および移動動作を行う例示的な装置が開示されている。
【特許文献１】米国特許第５，７９１，８５１号公報
【特許文献２】米国特許第５，９８５，０３６号公報
【特許文献３】米国特許第６，０５６，８２６号公報
【特許文献４】米国特許第６，１４５，４７０号公報
【特許文献５】米国特許第６，５９９，０８４号公報
【特許文献６】米国特許第６，８６３，９３７号公報
【特許文献７】米国特許第６，９４６，０３４号公報
【特許文献８】米国特許第６，９６４，５５９号公報
【特許文献９】米国特許第６，９８３，７１８号公報
【特許文献１０】米国特許出願公開第２００４／００１８３０３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、真空めっき装置のめっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構は、本質的に複雑かつ高額である。これは、第一に、駆動装置が加工物保持装置から遠隔配置されて、以って両者間の距離を横切る軸およびかさ歯車網が必要とされることに起因する。さらにまた、前記機構をめっきチャンバの過酷な環境に対して保護するために、一般に二軸装置が用いられる。
【０００６】
したがって、めっきチャンバ内における加工物の支持および操作を向上させた真空めっき装置を開発することが望ましい。望ましい被覆分布の達成に加え、こうした構成が現行の発振装置よりも単純かつ低額であることも望ましい。当然、このような機構が自身内の電子ビーム銃の要件を効果的に満たしていることも望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の例示的実施例において、加工物の真空めっきを達成する装置を、被覆材料を内包する、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバと；前記めっきチャンバ内および前記被覆材料上に電子ビームを照射する電子ビーム銃であって、前記被覆材料を溶解させるとともに、溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃と；前記めっきチャンバ内における前記加工物の支持および操作を行う機構とを含むものとして開示する。前記支持機構は、さらに、前記加工物を保持する結合装置と；前記結合装置に接続し、前記加工物の全方向の移動を可能にする継手と；前記結合装置と前記継手とを接続する中間部材と；前記中間部材に接続し、前記加工物を所定の垂直面内で移動させる装置とを含む。前記支持機構は、前記中間部材に接続し前記加工物を所定の水平面内において移動させる装置も含みうる。
【０００８】
本発明の第２の例示的実施例において、加工物の真空めっきを達成する装置を、被覆材料を内包する、高温かつ準大気圧で作用しうるめっきチャンバと；前記めっきチャンバ内および前記被覆材料上に電子ビームを照射する電子ビーム銃であって、前記被覆材料を溶解させるとともに、溶融被覆材料を気化させるよう作用しうる電子ビーム銃と；前記めっきチャンバ内における前記加工物の支持および操作を行う機構とを含むものとして開示する。前記支持機構は、さらに、前記加工物を保持する結合装置と；前記結合装置に接続し、前記加工物の全方向の移動を可能にする継手と；前記結合装置と前記継手とを接続する中間部材と；前記継手に接続し、前記加工物を所定の垂直面内において移動させる装置とを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
次に、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態を詳細に説明する。なお、全図面を通じて、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。図１に、自身内に配置された加工物１２への断熱コーティングに用いる真空めっき装置１０を示す。真空めっき装置１０は、好ましくは、少なくとも１個の隣接する装てんチャンバ１６を有する実質的に矩形のめっきチャンバ１４と、少なくとも１個の加工物１２をめっきチャンバ１４内および該めっきチャンバ外へと輸送する機構１８とを含む。高温かつ準大気圧において、めっきチャンバ１４から被覆材料の蒸気が発生するとともに、該蒸気が加工物１２上に付着する。
【００１０】
図１および図２から、加工物１２は、レーキ装置２０上に装てんされる第１の板部材１９に接続することが好ましいことが理解できよう。輸送機構１８によって、レーキ装置２０が装てんチャンバ１６とめっきチャンバ１４との間で移動可能である。装てんチャンバ１６は、好ましくは、第１の板部材１９とレーキ装置２０と加工物１２との脱ガスを行う予熱要素２２（または赤外ランプ）を含む。また、粗引きポンプ２４を装てんチャンバ１６に付随させることによって、レーキ装置２０が装てんされた後の該チャンバ内の排気を容易にすることが好ましい。二方真空弁２６は、好ましくは、装てんチャンバ１６とめっきチャンバ１４との間に、めっきチャンバ１４の第１の側部に隣接して設けられる。最初に弁２６が閉じられると、装てんチャンバ１６が脱気される。そして、装てんチャンバ１６に付随する弁２８が開かれて、レーキ装置２０が装てんチャンバ１６内に引き込まれる。その後、弁２８が閉じられ、以って装てんチャンバ１６内に所望の真空条件が創出される。装てんチャンバ１６が十分に脱気され、かつ加熱され、適切な真空が達成されると、二方真空弁２６が開かれる。
【００１１】
輸送機構１８は、まずレーキ装置２０を把持するとともに、該レーキ装置を装てんチャンバ１６からめっきチャンバ１４内に押し入れる。前記めっきチャンバ内では、加工物１２を保持する第１の板部材１９が、好ましくは、特殊な構成の結合装置３２を有する第２の板部材３０に取り付けられ、解除される。このようにして、第１の板部材１９と以って加工物１２とが、めっき加工時において加工物１２の支持および操作（たとえば回転、振動、傾動またはその他の動作）を行う機構３４に接続される。めっきチャンバ１４は、好ましくは、該チャンバに付随する別途の真空ポンプ３６を含み、該チャンバ内において所望の真空条件を維持することも理解できよう。さらにまた、熱遮蔽体（図示せず）も任意でめっきチャンバ１４と装てんチャンバ１６との間に設けられうる。好ましくは、のぞき穴４０をめっきチャンバ１４に設けて、めっき加工時、加工物１２を監視できるようにする。
【００１２】
前記図面から、加工物１２のめっきは、めっきチャンバ１４内において、少なくとも１個のセラミック材料塊４２を、前記材料塊４２に照準を合わせた少なくとも１個の電子ビーム銃４６からの電子ビーム４４によって溶解し気化させることによって行われることが理解できよう。電子ビーム４４を用いた急激な加熱によって、各セラミック材料塊４２の表面が溶解して、溶融セラミック池が形成される。前記溶融セラミック池からはセラミック材料分子が気化して上方に移動し、加工物１２の表面上に付着する。以ってめっき加工の継続時間に応じた厚さを有する所望のセラミック被覆が生じる。１個以上の材料塊４２が常に存在し、気化しうることが理解できよう。
【００１３】
加工物１２のめっき加工が完了すると、その後、輸送機構１８は、加工物１２をめっきチャンバ１４から取り出すとともに、該加工物を装てんチャンバ１６内に再配置する。この動作は、弁２６を開く段階と、あらゆる熱遮蔽体を引っ込める段階と、第１の板部材１９を第２の板部材３０および結合装置３２から解除する段階と、第１の板部材１９をレーキ装置２０に接続する段階と、第１の板部材を加工物１２とともに装てんチャンバ１６内に引き戻す段階とを含む。レーキ装置２０と第１の板部材１９と加工物１２とは、所定の時間にわたって冷却されうるが、一般に、装てんチャンバ１６の脱気時にドア（または弁）を介して装てんチャンバ１６及び真空めっき装置１０から取り出される。
【００１４】
輸送機構１８において、マニピュレータ・アーム５０が前記輸送機構とともに含まれ、レーキ装置２０を把持することが好ましく、マニピュレータ・アーム５０は、レーキ装置２０がめっきチャンバ１４内へと押し入れられ、かつ該チャンバ外へと引き出されうるように移動可能であることが理解できよう。マニピュレータ・アーム５０は、好ましくは、第１の端部５４と第２の端部５６とを有する本体部分５２を含む。レーキ装置２０は、本体部分５２の第２の端部５６に結合されることが理解できよう。
【００１５】
また、第１の板部材は、好ましくは、自身に付随する結合機構５８を含む。固定ピン部材状でありうる結合機構５８は、第１の板部材１９を、めっきチャンバ１４内の第２の板部材３０に付随するそれぞれの嵌め合い結合装置３２とドッキングさせる。ここで図示のように、第１の板部材１９は、第２の板部材３０に結合して保持されて、マニピュレータ・アーム５０をめっきチャンバ１４から後退させつつ、前記チャンバ内で所望の動作を行うことができる。
【００１６】
特に、支持機構３４は、第２の板部材３０と、好ましくは全方向に移動できる継手６０と、第２の板部材３０と継手６０とを接続する中間部材６２と、中間部材に接続し第２の板部材３０（および以って加工物１２）を所定の平面内で移動させる装置６４とを含む。継手６０は、図面では玉継手であるが、自在継手も用いられうる。図１と、最も詳細に図３および図４に示すように、加工物１２は、対応する第１の駆動装置７０に操作される第１のリンク機構６８によって、所定の垂直面６６内で傾斜する。第１のリンク機構６８と中間部材６２への接続部とは、めっきチャンバ１４の内側に配置され、駆動装置７０は、好ましくはめっきチャンバ１４の外側に配置されることが理解できよう。
【００１７】
さらに、軸部材７２は、めっきチャンバ１４の壁部７４を貫通し延在して、継手６０が前記軸部材の端部７８に配置される受け口７６内に維持される。軸部材７２は、好ましくは、継手６０と中間部材６２と第１および第２の板部材１９および３０を接続して、それによって、前記軸部材だけでなく加工物１２も回転させる駆動装置８０に接続することが理解できよう。軸受８１は、中間部材６２と第１のリンク機構６８との間における軸受８２と同様、軸部材７２とめっきチャンバ壁部７４との境界面に回転可能に配設される。このようにして、加工物１２は、所定の垂直面６６内で傾斜し、かつ回転する。支持機構３４、特に軸部材７２と継手６０と中間部材６２と第１のリンク機構６８とを通る中心軸８４は、一般に、実質的に所定の垂直面６６と一致する垂直面内に配置される。加えて、駆動装置８０は、好ましくはめっきチャンバ１４の外側に配置されることが理解できよう。
【００１８】
軸部材７２を、前記チャンバ内の所望の真空条件に影響を与えずに、めっきチャンバ１４内へと伸長させるために、高温シール８６を軸部材７２とめっきチャンバ壁部７４の開口部との間に配置することが好ましい。適当なシールの一つとして、磁性粉体シールが挙げられる。
【００１９】
第１のリンク機構６８は、中間部材６２を押圧または牽引することによって、加工物１２を、めっきチャンバ１４を通る所定の水平面９０に対して、ある角度８８をなして傾斜させることが理解できよう。図４のように、加工物１２は、材料塊４２が配置されるめっきチャンバ１４の下側部分の方へと傾斜するが、ここでの角度８８は所定の水平面９０に対して負の角度をなすとみなす。一般に、加工物１２をこのように傾斜させることがより望ましいが、第１のリンク機構６８によって加工物を上側部分の方（かつ材料塊４２から離反する方向）に傾斜させることも可能である。その場合、角度８８は、所定の水平面９０に対して正の角度をなすとみなす。すなわち、角度８８が約７５°〜約−７５°の範囲、かつ約４５°〜約−４５°のとき、好適な加工物の傾斜範囲である。さらに、傾斜角８８は、特定の加工物１２のめっきサイクル時に一定に維持されうるが、複数の可変傾斜角も含みうることが理解できよう。このようにすると、支持機構３４は、加工物１２を操作して、材料塊４２から発出するめっき材料に対して所望の位置に配置することができる。
【００２０】
さらにまた、図１、図８および図９から、支持機構３４は、加工物１２を所定の水平面９０内において移動可能にする装置９２を含みうることが理解できよう。特に、装置９２は、好ましくは、第１のリンク機構６８の追加または代わりのいずれかとして、第２のリンク機構９４（および対応する駆動装置９５）を含む。前記図面に示すように、第２のリンク機構９４は、好ましくは中間部材６２に接続し、加工物１２を所定の垂直面６６に対してある角度９６に配置できる。これにより、めっきチャンバ１４内での加工物１２の操作が、より一層の柔軟になる。このため、加工物１２を、所定の垂直面６６に対してめっきチャンバ１４の前側部分の方へと傾斜させる。なお、これを正の方向とする。加工物１２は、さらにまた、所定の垂直面６６に対してめっきチャンバ１４の後側部分の方へ、すなわち負の方向に傾斜する。第２のリンク機構９４は、継手６０と中間部材６２と第１および第２の板部材１９および３０とともに、加工物１２の、約７５°〜約−７５°の好適範囲、最適には約４５°〜約−４５°の範囲を有する角度９６への移動を可能にする。所定の垂直面６６内における加工物１２の傾動に関して前述したように、加工物１２は、特定の加工物のめっき加工時、所定の水平面９０内で一定の角度に維持されるか、または複数のこうした角度間において移動しうる。
【００２１】
装置９８が継手６０に接続されて所定の垂直面６６内において加工物１２を移動させる支持機構３４のさらなる実施例を図６および図７に示す。特に、装置９８は、好ましくは、継手６０に接続するとともに該継手から延在するピン部材１０２と連結されるリンク機構１００を軸部材７２の内側に配置して含む。軸受１０４は、リンク機構１００とピン部材１０２との間に配置される。自身の位置を維持するために、リンク機構１００は、好ましくは、軸部材７２と同心的に配置される第２の軸部材１０６内に配置される。したがって、軸受１０８が、軸部材７２と第２の軸部材１０６との間に配置されて、軸部材７２が回転（および以ってこの運動を加工物１２に与えること）できる一方で、第２の軸部材１０６は回転しないようになっている。駆動装置１１０は、リンク機構１００と関連して、ピン部材１０２を傾動させる。この構成は、リンク機構１００をめっきチャンバ１４外に維持することができる利点を有する。なお、すでに説明した支持機構３４の構成要素については、図面において同一の参照符号を参照されたい。
【００２２】
図１〜図９に、めっきチャンバ１４内においてめっき加工を受ける単一の加工物１２が図示されているが、図１０からは、複数個の加工物１１２および１１４が第１の板部材１９に結合されうることも理解できよう。第１の板部材１９を支持機構３４の第２の板部材３０に結合させる工程は、好ましくは、本明細書において詳細に説明したとおりである。なお、溶融被覆材料池と該池から発出する粒子の噴煙とに対する、加工物１１２および１１４の相対位置は必然的に異なる。一般に、加工物１１２および１１４は、第２の板部材３０に結合するため、並列して操作される。しかし、支持機構３４に改良を加えることによって、加工物１１２および１１４の操作を個別に行いうることが理解できよう。すなわち、加工物１１２および１１４を同じ方向に、かつ同じ平面内において傾斜させることまたはさせないことが可能になる。さらに、加工物１１２および１１４を同じ方向に回転させることまたはさせないことも可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
以上、本発明の好適な実施例を図示し、説明した。当業者が適当な修正を加えることで、真空めっき装置１０と支持機構３４と前記装置内における加工物の支持および操作の工程を、本発明の精神から逸脱することなくさらに適合化することが可能である。また、機構３４は、本明細書に示していないその他の種類の真空めっき装置にも適用可能であることも理解できよう。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】加工物が加熱チャンバからめっきチャンバ内に移動せしめられて図示されている真空めっき装置の部分上面図である。
【図２】加工物がめっきチャンバ内に配置されて図示されている、図１に示された真空めっき装置の正面図である。
【図３】加工物が、めっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構と係合して図示されている、図１および２に示された真空めっき装置の拡大正面図である。
【図４】加工物が、めっきチャンバを通る水平面に対してある角度をなして傾斜せしめられて図示されている、図１〜３に示された真空めっき装置の拡大正面図である。
【図５】加工物が、加工物の支持および操作を行う機構から係合解除されて図示されている、図１〜４に示された真空めっき装置の拡大正面図である。
【図６】加工物が、めっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構の第１のさらなる実施例と係合して図示されている、図１〜５に示された真空めっき装置の拡大部分正面図である。
【図７】加工物が、めっきチャンバを通る水平面に対してある角度をなして傾斜せしめられて図示されている、図６に示された真空めっき装置の拡大部分正面図である。
【図８】加工物が、めっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構の第２のまた他の実施例と係合せしめられて図示されている、図１〜５に示された真空めっき装置の拡大部分上面図である。
【図９】加工物が、めっきチャンバを通る垂直面に対してある角度をなして傾斜せしめられて図示されている、図８に示された真空めっき装置の拡大部分上面図である。
【図１０】複数個の加工物が結合せしめられた、図１〜５に示された加工物の支持および操作を行う機構の拡大部分上面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１０  真空めっき装置（全体）
１２  第１のレーキ装置上に装てんされた加工物
１４  めっきチャンバ
１６  装てんチャンバ
１８  輸送機構（全体）
１９  第１の板部材
２０  レーキ装置
２２  予熱要素
２４  粗引きポンプ
２６  装てんチャンバとめっきチャンバとの間の二方真空弁
２８  装てんチャンバ内の弁
３０  第２の板部材
３２  結合装置（全体）
３４  めっきチャンバ内における加工物の支持および操作を行う機構（全体）
３６  めっきチャンバに付随する真空ポンプ
４０  めっきチャンバののぞき穴
４２  セラミック材料塊
４４  電子ビーム
４６  電子ビーム銃
５０  マニピュレータ・アーム（全体）
５２  マニピュレータ・アームの本体部分
５４  本体部分の第１の端部
５６  本体部分の第２の端部
５８  結合機構
６０  自在継手
６２  中間部材
６４  第２の板部材を移動させる装置（全体）
６６  所定の垂直面
６８  第１のリンク機構
７０  第１のリンク機構用駆動装置
７２  軸部材
７４  めっきチャンバ壁部
７６  軸部材の受け口
７８  軸部材の端部
８０  加工物を回転させる駆動装置
８１  軸部材とめっきチャンバ壁部との間の軸受
８２  中間部材と第１のリンク機構との間の軸受
８４  支持機構を通る中心軸
８６  高温シール
８８  所定の水平面に対する傾斜角
９０  所定の水平面
９２  加工物を所定の水平面内において移動させる装置（全体）
９４  第２のリンク機構
９５  第２のリンク機構用駆動装置
９６  所定の垂直面に対する角度
９８  継手を所定の垂直面内において移動させる装置（また他の実施例）
１００  リンク機構（また他の実施例）
１０２  ピン部材
１０４  リンク機構とピン部材との間の軸受
１０６  第２（内側）の軸部材
１０８  軸部材間の軸受
１１０  リンク機構用駆動装置
１１２  加工物
１１４  加工物
【図１】
0005721925.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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