(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、
上記各センサーユニットは、
上面に開口を有した本体ケースと、
一腕部に検知回転体が上記開口を突出して回転可能に支持されると共に他腕部の両側にて該他椀部の中心線と直行する方向へ突出する一対の作動部が設けられ、本体ケース内において軸を中心に上記検知回転体が上記単位コンベヤの搬送路面から上方へ突出する位置と搬送路面と一致する下方へ没入する位置の間で搖動するように支持される搖動アームと、
本体ケース内において上記搖動アームの各作動部に当接して上下方向へ移動可能に支持される当接部材と、
上記当接部材を、常には上記検知回転体が上記搬送路面から上方へ突出する中立位置に位置するように上方へ付勢する弾性部材と、
上記本体ケースにおける搖動アームの各作動部側に設けられ、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って移動する作動部により検知信号を出力する発光部材及び受光部材からなる一対のフォトセンサと、
から構成したフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項２】
請求項１において、
各フォトセンサは、発光部材及び受光部材を所要の間隙を設けて相対配置し、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って間隙内に進入する作動部により発光部材から受光部材に向かって照射される光が遮断された際に製品検出信号を出力するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項３】
請求項１において、
各フォトセンサは、発光部材及び受光部材を隣接して設け、、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って発光部材及び受光部材に近接する作動部により発光部材から照射された光を反射して受光部材に受光された際に製品検出信号を出力するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項４】
製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、
上記各センサーユニットは、
上面に開口を有した本体ケースと、
一腕部に検知回転体が上記開口を突出して回転可能に支持されると共に他腕部の両側にて該他椀部の中心線と直行する方向へ突出する一対の磁気作動部が設けられ、本体ケース内において軸を中心に上記検知回転体が上記単位コンベヤの搬送路面から上方へ突出する位置と搬送路面と一致する下方へ没入する位置の間で搖動するように支持される搖動アームと、
本体ケース内において上記搖動アームの各磁気作動部に当接して上下方向へ移動可能に支持される当接部材と、
上記当接部材を、常には上記検知回転体が上記搬送路面から上方へ突出する中立位置に位置するように上方へ付勢する弾性部材と、
上記本体ケースにおける搖動アームの各作動部側に設けられ、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って近接する磁気作動部により検知信号を出力する一対のホール素子と、
から構成したフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット、詳しくは、例えばクリーンルーム等に設置されるフリーフローコンベヤに適した防塵、防爆タイプのセンサーユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
本出願には、特許文献１において、製品の供給位置と取出位置との間にて少なくとも３台以上の単位搬送装置を接続して製品を搬送する搬送システムで、各単位搬送装置はその搬送長が搬送方向における製品の長さとほぼ一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットをそれぞれ設け、搬送方向上手に位置する単位搬送装置に製品が供給され、該単位搬送装置の各センサーユニットが製品検出状態に遷移した際に、該単位搬送装置の搬送方向下手に隣接する単位搬送装置の各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら単位搬送装置を搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送する、上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位搬送装置に製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に隣接する各単位搬送装置の搬送を停止制御して製品を整列搬送する搬送システムを提案した。
【０００３】
上記搬送システムのセンサーユニットとしては、各単位搬送装置の搬入側及び搬出側に、例えばリミットスイッチ等の有接点構造の位置検出器を配置し、搬送方向に沿って配置された隣接する単位搬送装置における各位置検出器からの信号に基づいてそれぞれの単位搬送装置を駆動制御及び停止制御している。
【０００４】
しかし、上記した搬送システムを、例えば電子デバイス製造装置等が設置されたクリーンルームに設置して使用する場合には、以下の問題を有している。即ち、一般に有接点構造の位置検出器にあっては、低電圧、低電流の導通、遮断により位置検出を行っているが、接点継断時に過電流が印加されると、電気的スパークにより接点が溶融気化して雰囲気中に飛散してクリーンルーム内を汚染し、搬送される製品に付着して品質を低下させたり、不良品化する恐れがある。
【０００５】
また、経時使用により接点が酸化して酸化被膜が形成されて電気抵抗値が増大し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できない恐れがある。この欠点を解決するには、一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換することにより解決することができるが、その場合には、電子デバイス製造装置等の運転を一時的に停止しなければならず、製品の製造効率を低下させる問題を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３-４０４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする問題点は、有接点構造の位置検出器にあっては、接点継断時に過電流が印加された場合には、電気的スパークにより接点が溶融気化して雰囲気中に飛散してクリーンルーム内を汚染し、搬送される製品に付着して品質を低下させたり、不良品化させたりする点にある。また、経時使用により接点が酸化して酸化被膜が形成されて電気抵抗値が増大し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できない点にある。一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換しなければならず、その場合には、電子デバイス製造装置等の運転を一時的に停止する必要があり、製品の製造効率を低下させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１は、製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、上記各センサーユニットは、上面に開口を有した本体ケースと、一腕部に検知回転体が上記開口を突出して回転可能に支持されると共に他腕部の両側にて該他椀部の中心線と直行する方向へ突出する一対の作動部が設けられ、本体ケース内において軸を中心に上記検知回転体が上記単位コンベヤの搬送路面から上方へ突出する位置と搬送路面と一致する下方へ没入する位置の間で搖動するように支持される搖動アームと、本体ケース内において上記搖動アームの各作動部に当接して上下方向へ移動可能に支持される当接部材と、上記当接部材を、常には上記検知回転体が上記搬送路面から上方へ突出する中立位置に位置するように上方へ付勢する弾性部材と、上記本体ケースにおける搖動アームの各作動部側に設けられ、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って移動する作動部により検知信号を出力する発光部材及び受光部材からなる一対のフォトセンサとから構成したことを最も主要な特徴とする。
また、請求項４は、製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、上記各センサーユニットは、上面に開口を有した本体ケースと、一腕部に検知回転体が上記開口を突出して回転可能に支持されると共に他腕部の両側にて該他椀部の中心線と直行する方向へ突出する一対の磁気作動部が設けられ、本体ケース内において軸を中心に上記検知回転体が上記単位コンベヤの搬送路面から上方へ突出する位置と搬送路面と一致する下方へ没入する位置の間で搖動するように支持される搖動アームと、本体ケース内において上記搖動アームの各磁気作動部に当接して上下方向へ移動可能に支持される当接部材と、上記当接部材を、常には上記検知回転体が上記搬送路面から上方へ突出する中立位置に位置するように上方へ付勢する弾性部材と、上記本体ケースにおける搖動アームの各作動部側に設けられ、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って近接する磁気作動部により検知信号を出力する一対のホール素子とから構成したことを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、接点の継断時に過電流が印加された場合であっても、電気的スパークが発生することなく、フリーフローコンベヤが設置されるクリーンルーム内を高いクリーン度に保つことができ、製品の品質を保った状態で搬送することができる。また、経時使用により電気抵抗値が増大するのを回避し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できる。一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換する必要がなく、長時間にわたって電子デバイス製造装置等の運転することができ、製品の製造効率が低下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】フリーフローコンベヤの概略を示す全体斜視図である。
【図２】単位コンベヤの拡大斜視図である。
【図３】センサーユニットの内部構造を示す略体斜視図である。
【図４】製品供給側における制御概略を示す電気的ブロック図である。
【図５】各センサーユニットからの信号と各搬送装置における電動モータの駆動状態を示すタイミングチャートである。
【図６】制御概略を示す電気的ブロック図である。
【図７】製品取出し側における各センサーユニットからの信号と各搬送装置における電動モータの駆動状態を示すタイミングチャートである。
【図８】正方向へ搬送される製品の検出状態を示す説明図である。
【図９】逆方向へ搬送される製品の検出状態を示す説明図である。
【図１０】上下二段接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【図１１】分岐接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【図１２】反転接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
上面に開口を有した本体ケース内にて、一腕部に検知回転体が上記開口を突出して回転可能に支持されると共に他腕部の両側にて側方へ突出する作動部が設けられた搖動アームを、軸を中心に上記検知回転体が単位コンベヤの搬送路面から上方へ突出する位置と搬送路面と一致する下方へ没入する位置の間で搖動するように支持すると共に本体ケース内にて、上記搖動アームの各作動部に当接して上下方向へ移動可能に支持される当接部材を弾性部材により、常には検知回転体が上記搬送路面から上方へ突出する中立位置に位置するように上方へ付勢し、更に本体ケースにおける搖動アームの各作動部側に一対のフォトセンサを設け、製品の搬送方向下手側及び上手側に対する搖動アームの搖動に伴って移動する作動部により検知信号を出力することを最良の実施形態とする。
【実施例１】
【００１２】
以下、実施例を示す図に従って本発明を説明する。
先ず、本発明が適用されるフリーフローコンベヤに付いて説明すると、図１及び図２に示すように、製品１が供給される供給位置Ａと、搬送された製品１を取り出す取出位置Ｂとの間には多数の多数の単位コンベヤ３を接続したフリーフローコンベヤ５が配置される。多数の単位コンベヤ３の接続態様としては直列接続、並列接続、上下二段接続、分岐接続（集合接続）、反転接続のいずれか又は組み合わせによりフリーフローコンベヤ５を構成してもよい。
【００１３】
各単位コンベヤ３はローラ形式、ベルト形式又はキャタピラー形式の何れであってもよい。本実施形態の単位コンベヤ３はキャタピラー形式のものを示し、一対の本体フレーム７は軽量化を図るため、アルミニウム押出型材で、その長手方向が製品１の搬送方向長さにほぼ一致し、かつ製品１の搬送直交方向幅の間隔をおいて相対配置された状態で固定バー４により連結されて固定される。即ち、単位コンベヤ３は製品１、１個分の搬送長さに設定される。
【００１４】
各本体フレーム７の一方端部（搬送方向下手側）には駆動軸９が、また他方端部（搬送方向上手側）には従動軸１１が夫々回転可能に支持され、駆動軸９の軸端部には駆動歯車（図示せず）が、また従動軸１１の軸端部には従動歯車（図示せず）が固定される。そして駆動軸９には一方の本体フレーム７に固定された電動モータ１７が連結され、電動モータ１７の駆動に伴って駆動軸９を正逆方向へ回転させる。
【００１５】
各駆動歯車と従動歯車との間には搬送キャタピラー１９が張設される。該搬送キャタピラー１９は多数の単位部材１９ａを回動可能に軸支した構造で、各単位部材１９ａの搬送面には高摩擦係数のゴム板等からなる滑り止め部材（図示せず）が取り付けられる。
【００１６】
駆動軸９の近傍に位置する本体フレーム７には搬送直交方向へ並行して配置された２個の搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂが取付けられる。また、従動軸１１の近傍に位置する本体フレーム７には搬送直交方向へ並行して配置された２個の搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂが取付けられる。
【００１７】
図３に示すように、各センサーユニット２１ａ・２１ｂ、２３ａ・２３ｂの本体ケース２５の上面には、開口２５ａが形成され、内部には、搖動アーム２７の下部が軸２９を中心に所要の角度で回動するように軸支されている。該搖動アーム２７の先端部（図示する上部）には、検知回転体３１が回転するように軸支されている。また、上記搖動アーム２７の基端部には、図示する左右方向へ突出し、下面が幅広Ｖ字型の作動部２７ａが設けられている。
【００１８】
また、上記搖動アーム２７の下方に応じた本体ケース２５には、上記作動部２７ａの下面に当接する当接部３３ａを有した当接部材としての軸３３が図示する上下方向へ移動するように支持され、該軸３３は、弾性部材としての圧縮ばね３５のばね力により常には図示する上方へ移動して当接部３３ａが作動部２７ａに圧接するように付勢される。
【００１９】
各作動部２７ａ先端部の搖動軌跡上に応じた本体ケース２５内には、フォトセンサ３７・３９がそれぞれ設けられている。上記各フォトセンサ３７・３９は、上記作動片２７ａが通過可能な間隙をおいて相対配置される発光部材及び受光部材（いずれも図示せず）により構成され、発光部材から受光部材に照射される光が間隙内を通過する作動部２７ａにより遮断された際に製品検知信号を出力する光透過型からなる。
【００２０】
該フォトセンサ３７・３９としては、同一取付け面上に上記発光部材及び受光部材を隣接配置し、間隙内を通過する作動部２７ａにより発光部材から照射される光が反射されて受光部材に受光されることにより製品検知信号を出力する反射型として構成してもよい。
【００２１】
上記センサーユニット２１ａ・２１ｂ、２３ａ・２３ｂは、製品１の通過に伴って製品検出状態のときにはＨ(Ｈｉｇｈ)、製品非検出状態のときにはＬ(ＬＯＷ)の信号を隣接する単位コンベヤ３毎に設けられた制御ユニット４１に出力して後述するフリーフロー搬送を実行させる。
【００２２】
次に、フリーフローコンベヤ５による製品１のフリーフロー搬送作用を説明する。なお、説明の便宜上、供給位置Ａから取出位置Ｂに向って接続された各単位コンベヤ３を符号３−1，３−２，・・・３−ｎ、各単位コンベヤ３−1，３−２，・・・３−ｎに設けられた搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂを符号２１ａ−１，２１ａ−２，・・・２１ａ−ｎ、２１ｂ−１，２１ｂ−２，・・・２１ｂ−ｎ、２３ａ−１，２３ａ−２，・・・２３ａ−ｎ、２３ｂ−１，２３ｂ−２，・・・２３ｂ−ｎとする。
【００２３】
先ず、フリーフローコンベヤ５を正方向へ搬送駆動して製品１をフリーフロー搬送する場合に付いて説明すると、図４及び図５に示すように、供給位置Ａの単位コンベヤ３−１上に製品１が戴置されると、搬出側センサーユニット２１ａ−１，搬入側センサーユニット２３ａ−１が夫々Ｈに遷移する。このとき、単位コンベヤ３−1の搬送方向下手に位置する単位コンベヤ３−２の搬出側センサーユニット２１ｂ−２，搬入側センサーユニット２３ｂ−２が共にＬであることを条件に単位コンベヤ３−１及び３−２の各電動モータ１７をそれぞれ駆動して単位コンベヤ３−１上の製品１を隣接する単位コンベヤ３−2へ搬送して移戴させる。
【００２４】
この移戴に伴って搬入側センサーユニット２３ａ−1及び搬出側センサーユニット２１ａ−1が順にＬへ遷移すると共に搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−２が共にＨに遷移した後に搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ‐２がＨに遷移したタイミングで単位コンベヤ３−1の電動モータ１７の駆動を停止する。
【００２５】
単位コンベヤ３−１の電動モータ１７が駆動停止された際に、搬出側センサーユニット２１ａ−2及び搬入側センサーユニット２３ａ−2が夫々Ｈであると共に単位コンベヤ３−2の搬送方向下手に位置する単位コンベヤ３−3に対して製品１が搬入されていず、搬出側センサーユニット２１ｂ−3，搬入側センサーユニット２３ｂ−3がＬになっているため、単位コンベヤ３−2の電動モータ１７を駆動継続させる。
【００２６】
上記動作の繰り返しによりフリーフローコンベヤ５の供給位置Ａにて製品１が順次供給されると、各単位コンベヤ３−1，３−2，・・・３−nは供給される製品１を取出位置Ｂに向って単位コンベヤ３の搬送長分、従って製品１の１個分の間隔をおいて順次搬送する。
【００２７】
そしてフリーフローコンベヤ５の取出位置Ｂに設けられた単位コンベヤ３−nに製品１が搬入されてストッパに押し当てられると、Ｈに変化する搬出側センサーユニット２１ａ−nからの信号遷移に基づいて単位コンベヤ３−nの電動モータ１７を駆動停止させる。
【００２８】
このとき、単位コンベヤ３−nの搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・には製品１が搬入されていず、搬出側センサーユニット２１ａ−・‐・，搬入側センサーユニット２３ａ−・‐・がＬであるため、これにより搬送方向上手の単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７及び単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動継続し、単位コンベヤ３−・‐・上の製品１を次位の単位コンベヤ３−・‐・へ搬送させる。
【００２９】
そして単位コンベヤ３−・‐・における搬出側センサーユニット２１ａ−・‐・がＨに遷移したタイミングで単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動停止して単位コンベヤ３−・‐・上にて製品１を停止保持させる。そして上記動作の繰り返しにより各単位コンベヤ３−１上に順次供給される各製品１を、製品１の１個分の間隔をおいた状態でフリーフロー搬送する。
【００３０】
次に、図６及び図７に示すように、取出位置Ｂにて単位コンベヤ３−n上の製品１が取り出されると、該単位コンベヤ３−nにおける搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−n及び搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−nがＨからＬへ遷移することにより該単位コンベヤ３−n及びこれより搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・の各電動モータ１７を駆動して単位コンベヤ３−・‐・上の製品１を単位コンベヤ３−nに向かって搬送して移戴させる。
【００３１】
このとき、単位コンベヤ３−nにおける搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−n，搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−nがＬからＨへ遷移して単位コンベヤ３−nの電動モータ１７を駆動停止させると共に単位コンベヤ３−・‐・における搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−・‐・，搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−・‐・がＨからＬに遷移することにより該単位コンベヤ３−・‐・の搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動させる。
【００３２】
上記動作の繰り返しにより搬送方向上手に位置する各単位コンベヤ３−・‐・、３−・‐・・・・・におけるそれぞれの電動モータ１７を順に駆動して夫々に戴置された製品１を取出位置Ｂ側に向って単位コンベヤ３の１台分づつの距離で搬送して製品１相互が詰まったフリーフロー状態で搬送する。
【００３３】
なお、フリーフローコンベヤ５を上記とは逆方向へ搬送駆動して製品１を図示の取出位置Ｂから単位コンベヤ３上に製品1を供給して供給位置Ａへフリーフロー搬送するには、各単位コンベヤ３−1，３−２，・・・３−ｎの各電動モータ１７を逆転駆動させると共に各単位コンベヤ３−ｎ，３−ｎ−１、・・・・３−２，３−１に設けられたそれぞれの搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂからの製品検知信号に基づいて上記と逆に搬送駆動することにより製品１をフリーフロー搬送させる。
【００３４】
次に、各単位コンベヤ３−１、・・・・３−ｎを正方向へ搬送駆動して製品１をフリーフロー搬送させる際の搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂによる製品１の検出動作を説明すると、単位コンベヤ３の搬送駆動に伴って搬送される製品１が搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ又は搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに位置した際に、製品１の底面に対する検知回転体３１の当接により搖動アーム２７を圧縮ばね３５のばね力に抗して軸２９を中心に図８に示す時計方向へ搖動させる。
【００３５】
上記搖動アーム２７の搖動により図示する左側の作動部２７ａがフォトセンサ３７の間隙内へ進入されると、フォトセンサ３７の間隙内にて発光部材から受光部材に向かって照射される光が上記作動部２７ａにより遮断されることにより受光部材が光の受光状態から非受光状態へ遷移して製品１の検知信号を出力する。
【００３６】
そして搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ又は搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに対する製品１の通過に伴って底面に対する検知回転体３１の当接が解除されると、搖動アーム２７は、圧縮ばね３５のばね力により図示する反時計方向へ搖動して検知回転体３１を開口２５ａから上方へ突出させると共にフォトセンサ３７の間隙内から作動部２７ａを離脱させる。これにより上記フォトセンサ３７の受光部材は、光の非受光状態から受光状態へ遷移して製品１の非検知信号を出力させる。
【００３７】
反対に、各単位コンベヤ３−１・・・３−ｎを逆方向へ搬送駆動して製品１をフリーフロー搬送させる際の搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂによる製品１の検出動作を説明すると、単位コンベヤ３の搬送駆動に伴って搬送される製品１が搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ又は搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに位置した際に、製品１の底面に対する検知回転体３１の当接により搖動アーム２７を圧縮ばね３５のばね力に抗して軸２９を中心に図９に示す反時計方向へ搖動させる。
【００３８】
上記搖動アーム２７の搖動により図示する右側の作動部２７ａがフォトセンサ３９の間隙内へ進入されると、フォトセンサ３９の間隙内にて発光部材から受光部材に向かって照射される光が上記作動部２７ａにより遮断されることにより受光部材が光の受光状態から非受光状態へ遷移して製品１の検知信号を出力する。
【００３９】
そして搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ又は搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに対する製品１の通過に伴って底面に対する検知回転体３１の当接が解除されると、搖動アーム２７は、圧縮ばね３５のばね力により図示する時計方向へ搖動して検知回転体３１を開口２５ａから上方へ突出させると共にフォトセンサ３９の間隙内から作動部２７ａを離脱させる。これにより上記フォトセンサ３９の受光部材は、光の非受光状態から受光状態へ遷移して製品１の非検知信号を出力させる。
【００４０】
本実施形態は、接点の継断時の電気的スパークが発生することないため、フリーフローコンベヤが設置されるクリーンルーム内を高いクリーン度に保つことができ、製品の品質を保った状態で搬送することができる。また、経時使用により電気抵抗値が増大するのを回避し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できる。更に、一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換する必要がなく、長時間にわたって電子デバイス製造装置等の運転することができ、製品の製造効率が低下するのを防止することができる。
【００４１】
また更に、本実施例は、単一の搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ又は搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂによりフリーフローコンベヤ５により正方向及び逆方向へ搬送される製品１を検出することができ、製品１の検出機構を簡易化及び小型化することができる。
【００４２】
フリーフローコンベヤ５における単位コンベヤ３の接続態様としては、製品１の供給位置Ａと取出位置Ｂとの関係から上記したように並列接続、上下二段接続、分岐接続（集合接続）及び傾斜接続すればよい。
【００４３】
即ち、上下二段接続するには、図１０に示すように昇降搬送装置１０１の搬入側下方に、上記した多数の単位コンベヤ３を直列接続した搬入搬送ライン１０３を設けると共に搬出側の上方及び下方に上記した多数の単位コンベヤ３を直列接続した搬出搬送ライン１０５・１０７を設け、昇降搬送装置１０１に設けられた単位コンベヤ３を選択的に昇降して搬入搬送ライン１０３を、上方或は下方の搬出搬送ライン１０５・１０７に一致させて製品１を二段搬送してもよい。
【００４４】
また、分岐接続するには、図１１に示すようにスライド搬送装置１１１の搬入側に上記した搬入搬送ライン１１３を設けると共に搬出側の両端部に上記した搬出搬送ライン１１５・１１７を設け、スライド搬送装置１１１に設けられた単位コンベヤ３を搬入及び搬出搬送ライン１１３，１１５・１１７の搬送方向と直交する方向へ選択的に移動して搬入搬送ライン１１３により搬入される製品１を搬出搬送ライン１１５・１１７へ振り分けて分岐搬送する。
【００４５】
更に、反転接続する場合には、図１２（図１２は搬送路を９０度で変更する場合を示す）に示すように単位コンベヤ３を９０度又は任意の角度で回動する反転搬送装置１２１の搬入側に上記と同様に搬入搬送ライン１２３を接続すると共に搬出側に搬出搬送ライン１２５を搬入搬送ライン１２３の搬送方向に対して任意の角度で接続し、搬入搬送ライン１２３から搬入される製品１を、回動する単位コンベヤ３により搬入搬送ライン１２３に対して所望の角度で設置された搬出搬送ライン１２５へ接続して搬送すればよい。
【００４６】
なお、図１０乃至図１２に示す搬入搬送ライン１０３，１１３，１２３及び搬出搬送ライン１０５・１０７，１１５・１１７，１２５は、実施形態で説明した単位コンベヤ３を多数接続したものであり、その詳細については説明を省略する。
【００４７】
上記説明において無接点型センサをフォトセンサ３７・３９としたが、ホール素子等の磁気検知器としてもよい。この場合にあっては、各作動部２７ａに永久磁石を取り付けて磁気作動部とし、磁気検知器に永久磁石が近接した際に製品検知信号を出力すればよい。
【符号の説明】
【００４８】
１  製品
３  単位コンベヤ
４  固定バー
５  フリーフローコンベヤ
７  本体フレーム
９  駆動軸
１１  従動軸
１７  電動モータ
１９  キャタピラー
１９ａ  単位部材
２１ａ・２１ｂ  搬出側センサーユニット
２３ａ・２３ｂ  搬入側センサーユニット
２５  本体ケース
２５ａ  開口
２７  搖動アーム
２７ａ  作動部
２９  軸
３１  検知回転体
３３  軸
３３ａ  当接部
３５  弾性部材としての圧縮ばね
３７・３９  無接点型センサとしてのフォトセンサ
４１  制御ユニット
【図１】
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【図２】
0005721131.tif 000003
【図３】
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【図４】
0005721131.tif 000005
【図５】
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【図６】
0005721131.tif 000007
【図７】
0005721131.tif 000008
【図８】
0005721131.tif 000009
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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