(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通路を有する隔壁によって区画された第１の空間と第２の空間とを有するボディと、
前記第１の空間の開口部に設けられた第１の受圧ダイアフラムと、
前記第２の空間の開口部に設けられた第２の受圧ダイアフラムと、
一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備え、前記センサダイアフラムの一方の面を前記第１の受圧ダイアフラムに臨むようにして、前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を前記隔壁の貫通路に連通させるようにして、前記第１の空間側に位置する前記隔壁の壁面に接合されたセンサチップと、
前記第１の空間に封止され、前記第１の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第１の圧力伝達媒体と、
前記第２の空間および前記隔壁の貫通路および前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止され、前記第２の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第２の圧力伝達媒体とを備え、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧と前記第２の圧力伝達媒体の封止圧とを異ならせた差圧センサの異常診断装置であって、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧および前記第２の圧力伝達媒体の封止圧の少なくとも一方を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて前記差圧センサの異常の有無を判定する異常判定手段
を備えることを特徴とする差圧センサの異常診断装置。
【請求項２】
請求項１に記載された差圧センサの異常診断装置において、
前記異常判定手段は、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧と前記第２の圧力伝達媒体の封止圧との差を封止圧差として監視し、この監視対象の封止圧差の初期の封止圧差からの変動に基づいて前記差圧センサの異常の有無を判定する
ことを特徴とする差圧センサの異常診断装置。
【請求項３】
請求項１に記載された差圧センサの異常診断装置において、
前記異常判定手段は、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧および前記第２の圧力伝達媒体の封止圧の何れか一方の封止圧を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて前記差圧センサの異常の有無を判定する
ことを特徴とする差圧センサの異常診断装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載された差圧センサの異常診断装置において、
前記異常判定手段は、
前記差圧センサの異常の有無として、前記センサチップの接合部の異常の有無を判定する
ことを特徴とする差圧センサの異常診断装置。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載された差圧センサの異常診断装置において、
前記差圧センサは、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧が前記第２の圧力伝達媒体の封止圧よりも高くされている
ことを特徴とする差圧センサの異常診断装置。
【請求項６】
貫通路を有する隔壁によって区画された第１の空間と第２の空間とを有するボディと、
前記第１の空間の開口部に設けられた第１の受圧ダイアフラムと、
前記第２の空間の開口部に設けられた第２の受圧ダイアフラムと、
一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備え、前記センサダイアフラムの一方の面を前記第１の受圧ダイアフラムに臨むようにして、前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を前記隔壁の貫通路に連通させるようにして、前記第１の空間側に位置する前記隔壁の壁面に接合されたセンサチップと、
前記第１の空間に封止され、前記第１の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第１の圧力伝達媒体と、
前記第２の空間および前記隔壁の貫通路および前記センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止され、前記第２の受圧ダイアフラムが受けた圧力を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第２の圧力伝達媒体とを備えた差圧センサの異常診断方法であって、
前記第１の圧力伝達媒体の封止圧と前記第２の圧力伝達媒体の封止圧とを異ならせ、前記第１の圧力伝達媒体の封止圧および前記第２の圧力伝達媒体の封止圧の少なくとも一方を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて前記差圧センサの異常の有無を判定する
ようにしたことを特徴とする差圧センサの異常診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、封入液として圧力伝達用媒体を封止した封入液封止型の差圧センサの異常診断装置および異常診断方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、差圧センサとしては種々のタイプのものがあるが、その中に封入液として圧力伝達用媒体を封止した封入液封止型の差圧センサがある（例えば、特許文献１参照）。この封入液封止型の差圧センサにおいて、圧力伝達用媒体としては、シリコーンオイル等の非圧縮性流体が用いられる。図３に従来の封入液封止型の差圧センサの一例の要部の断面図を示す。
【０００３】
図３において、１は金属製のボディであり、内部空間として、隔壁１−１によって区画された第１の空間１−２と第２の空間１−３とを有している。隔壁１−１には隔壁１−１には第１の空間１−２と第２の空間１−３とを連通する貫通路１−４が設けられている。第１の空間１−２の開口部１−２ａには第１の金属ダイアフラム（第１の受圧ダイアフラム）２−１が設けられており、第２の空間１−３の開口部１−３ａには第２の金属ダイアフラム（第２の受圧ダイアフラム）２−２が設けられている。
【０００４】
３はセンサチップであり、センサダイアフラム３−１と、台座３−２とから構成されている。センサダイアフラム３−１はシリコンなどから成り、台座３−２はシリコンやガラスなどから成る。センサダイアフラム３−１はその中央部が薄肉状とされており、その一方の面３−１ａに対する他方の面３−１ｂに凹部３−１ｃが形成され、この凹部３−１ｃが形成された他方の面３−１ｃ側に台座３−２の一方の端面３−２ａが接合されている。台座３−２は筒状とされており、その中空部３−２ｃとセンサダイアフラム３−１の凹部３−１ｃとによって、センサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３が形成されている。
【０００５】
センサチップ３は、センサダイアフラム３−１の一方の面３−１ａを第１の受圧ダイアフラム２−１に臨むようにして、センサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３を隔壁１−１の貫通路１−４に連通させるようにして、第１の空間１−２側に位置する隔壁１−１の壁面１−１ａに接合されている。すなわち、台座３−２の中空部３−２ｃを隔壁１−１の貫通路１−４に連通させるようにして、台座３−２の他方の端面３−２ｂを隔壁１−１の壁面１−１ａに接合させている。以下、台座３−２と隔壁１−１との接合部を第１の接合部４−１とし、台座３−２とセンサダイアフラム３−１との接合部を第２の接合部４−２とする。
【０００６】
ボディ１には、第１の空間１−２を第１の封入室６−１として、第１の圧力伝達用媒体５−１が封止されている。また、第２の空間１−３および隔壁１−１の貫通路１−４およびセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３を第２の封入室６−２として、第２の圧力伝達用媒体５−２が封止されている。この第１の封入室６−１への第１の圧力伝達用媒体５−１の封止および第２の封入室６−２への第２の圧力伝達用媒体５−２の封止は、どちらも同じ条件（大気圧下）で行われており、第１の圧力伝達用媒体５−１および第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧は等しくされている。
【０００７】
この封入液封止型の差圧センサ１００では、第１の受圧ダイアフラム２−１が受けた圧力Ｐ１が第１の圧力伝達用媒体５−１を介してセンサダイアフラム３−１の一方の面３−１ａに伝達され、第２の受圧ダイアフラム２−２が受けた圧力Ｐ２が第２の圧力伝達用媒体５−２を介してセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに伝達される。その結果、センサダイアフラム３−１が圧力Ｐ１とＰ２との圧力差に応じて撓み、その圧力差に応じた信号がセンサダイアフラム３−１から出力される。センサダイアフラム３−１には、圧力差に応じた信号を出力するための構成として、圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージが形成されている。
【０００８】
この差圧センサ１００は、例えば、圧力Ｐ１を受ける第１の受圧ダイアフラム２−１側を高圧側、圧力Ｐ１を受ける第２の受圧ダイアフラム２−２側を低圧側とした場合、低圧側に高圧側より高い圧力（逆圧）が加わると、壊れやすいという弱点を有している。
【０００９】
すなわち、この差圧センサ１００では、高圧側に低圧側より高い圧力が加えられた場合には、センサチップ３の第１の接合部４−１（台座３−２と隔壁１−１との接合部（高圧側・低圧側境界部））や第２の接合部４−２（台座３−２とセンサダイアフラム３−１との接合部（高圧側・低圧側境界部））を押し付ける状態となるので耐圧性が高いが、低圧側に高圧側より高い圧力（逆圧）が加えられた場合には、センサチップ３の接合部４−１や４−２が剥離される方向に力がかかる状態となるため、壊れやすくなる。
【００１０】
このため、通常、圧力Ｐ１を受ける第１の受圧ダイアフラム２−１側を高圧側、圧力Ｐ２を受ける第２の受圧ダイアフラム２−２側を低圧側として定めて使用される。
【００１１】
しかし、このような構造の差圧センサ１００では、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との高低関係が逆転しうるような場合や、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との高低関係は逆転しないが、第１の受圧ダイアフラム２−１側を低圧側、第２の受圧ダイアフラム２−２側を高圧側として誤って選択してしまうこともあり、センサチップ３の接合部４−１や４−２に剥離や破損などの異常が生じることがある。
【００１２】
この差圧センサ１００において、センサチップ３の接合部４−１や４−２に剥離や破損などの異常が生じた場合、最早正しい差圧検出は行えないので、速やかに正常なものとの交換が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平３−１７５３３１号公報（特許第２５９５７４９号）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、センサチップ３の接合部４−１や４−２の剥離や破損などの異常は、差圧センサ１００の外部からは目視することができない。また、第１の圧力伝達用媒体５−１と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧は等しいので、接合部４−１や４−２から漏れが発生しても内圧が変化せず、差圧センサ１００のゼロ点出力の計測値だけでは、その異常に気付くことができない。
【００１５】
なお、差圧センサ１００のゼロ点出力の計測値とは、受圧ダイアフラム２−１，２−２への圧力Ｐ１，Ｐ２の差圧が零の時のセンサダイアフラム３−１からの信号の出力値を言う。このゼロ点出力の計測値は、接合部４−１や４−２から漏れが発生しても内圧が変化しないので、変動しない。したがって、ゼロ点出力の計測値だけでは、差圧センサ１００の異常に気付くことができない。
【００１６】
このため、差圧センサ１００の異常が長らく放置されて、例えば、この差圧センサ１００によって検出される差圧に基づいてプラントや空調制御システム等で流量制御を行うような場合では、正確な流量制御を行うことができなくなるなど、差圧センサ１００の異常による不具合の影響が拡大することになる。
【００１７】
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、センサチップの接合部の剥離や破損などの異常を即座に知ることが可能な差圧センサの異常診断装置および異常診断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
このような目的を達成するために本発明は、貫通路を有する隔壁によって区画された第１の空間と第２の空間とを有するボディと、第１の空間の開口部に設けられた第１の受圧ダイアフラムと、第２の空間の開口部に設けられた第２の受圧ダイアフラムと、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムを備え、センサダイアフラムの一方の面を第１の受圧ダイアフラムに臨むようにして、センサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路を隔壁の貫通路に連通させるようにして、第１の空間側に位置する隔壁の壁面に接合されたセンサチップと、第１の空間に封止され、第１の受圧ダイアフラムが受けた圧力をセンサダイアフラムの一方の面に伝達する第１の圧力伝達用媒体と、第２の空間および隔壁の貫通路およびセンサダイアフラムの他方の面に通ずる連通路に封止され、第２の受圧ダイアフラムが受けた圧力をセンサダイアフラムの他方の面に伝達する第２の圧力伝達用媒体とを備えた差圧センサの第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧とを異ならせ、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の少なくとも一方を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて差圧センサの異常の有無を判定するようにしたものである。
【００１９】
本発明では、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の少なくとも一方を監視する。この場合、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の両方を監視するようにしてもよく、何れか一方を監視するようにしてもよい。
【００２０】
本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の両方を監視する場合、例えば、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差を封止圧差として監視し、この監視対象の封止圧差の初期の封止圧差からの変動に基づいて差圧センサの異常の有無を判定するようにする。本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の何れか一方を監視する場合、監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて差圧センサの異常の有無を判定するようにする。
【００２１】
本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧とは異なっているので、センサチップの接合部に剥離や破壊などの異常が生じた場合、封止圧の高い方から低い方に圧力伝達用媒体が流れ、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧とのバランスが変わる。したがって、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差（封止圧差）を監視対象とすることにより、この監視対象の封止圧差の初期の封入圧差からの変動から差圧センサの異常の有無を判定することができるようになる。また、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の何れか一方を監視対象とすることにより、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動から差圧センサの異常の有無を判定することができるようになる。
【００２２】
本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差を封止圧差として監視し、この監視対象の封止圧差の初期の封止圧差からの変動に基づいて差圧センサの異常の有無を判定するものとした場合、差圧センサのゼロ点出力の計測値を第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差として監視することができるので、異常診断が容易となる。また、本発明において、差圧センサの異常の有無として、センサチップの接合部の異常の有無を判定するようにすれば、異常部位も特定して診断できるので、異常発生の原因の解析の際に役に立つ。
【００２３】
また、本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧を第２の圧力伝達用媒体の封止圧よりも高くすれば、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差圧が常にセンサチップの接合部を押し付ける方向に作用するものとなり、逆圧のダメージが軽減され、センサチップの接合部の剥離が生じ難くなる。この場合、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との圧力差（封止圧差）は、逆圧として加わる可能性のある最大差圧とセンサチップの接合部の接合力との関係で定めるようにするとよい。すなわち、最大差圧が逆圧で加わった場合にセンサチップの接合部の接合力がそれに耐えられるだけの圧力差で、第１の圧力伝達用媒体と第２の圧力伝達用媒体を封止するようにするとよい。
【００２４】
なお、本発明において、センサチップは、センサダイアフラムを備えていればよく、必ずしもセンサダイアフラムと台座とを備えた構成でなくてもよい。センサチップをセンサダイアフラムと台座とを備えた構成とした場合、センサチップの接合部は、台座の一方の端面とセンサダイアフラムの他方の面側との接合部と、台座の他方の端面と隔壁の壁面との接合部の２箇所となる。センサチップをセンサダイアフラムのみの構成とした場合、センサチップの接合部は、隔壁の壁面とセンサダイアフラムの他方の面側との接合部の１箇所となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、差圧センサの第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧とを異ならせ、第１の圧力伝達用媒体の封止圧および第２の圧力伝達用媒体の封止圧の少なくとも一方を監視し、この監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて差圧センサの異常の有無を判定するようにしたので、差圧センサのゼロ点出力の計測値を第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差として監視するなどして、センサチップの接合部の剥離や破損などの異常を即座に知ることが可能となる。
【００２６】
また、本発明において、第１の圧力伝達用媒体の封止圧を第２の圧力伝達用媒体の封止圧よりも高くするようにすれば、第１の圧力伝達用媒体の封止圧と第２の圧力伝達用媒体の封止圧との差圧が常にセンサチップの接合部を押し付ける方向に作用するものとなり、逆圧のダメージが軽減され、センサチップの接合部の剥離が生じ難くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る差圧センサの異常診断装置の一実施の形態を設けたシステムの構成図である。
【図２】この異常診断装置を用いて診断される差圧センサの別の例の要部を示す断面図である。
【図３】従来の封入液封止型の差圧センサの一例の要部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に差圧センサ２００の異常診断を実稼働中に行う異常診断装置を設けたシステムを示す。このシステムでは、流路１７に設けたバルブ１８を流れる流体の流量を計測するために、バルブ１８の上流側（１次側）の流体圧力Ｐ１と下流側（２次側）の流体圧力Ｐ２との差圧を差圧センサ２００によって計測するようにしている。
【００２９】
図１において、図３と同一符号は図３を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。この実施の形態において、差圧センサ２００の第１の封入室６−１に封止された第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧は、第２の封入室６−２に封止された第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くされている。
【００３０】
この差圧センサ２００では、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧が第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高いので、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧との差圧が常にセンサチップ３の接合部４−１，４−２を押し付ける方向に作用するものとなる。
【００３１】
すなわち、従来の差圧センサ１００では、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧とが同じなので、逆圧が加わった場合、その圧力をセンサチップ３の接合部４−１，４−２がそのまま受けることになる。
【００３２】
これに対して、この差圧センサ２００では、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧を第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くしているので、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧との差圧が逆圧を軽減する方向に作用するものとなる。これにより、逆圧のダメージが軽減され、センサチップ３の接合部４−１，４−２の剥離が生じ難くなる。
【００３３】
なお、この差圧センサ２００において、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧との圧力差（封止圧差）は、逆圧として加わる可能性のある最大差圧とセンサチップ３の接合部４−１，４−２の接合力との関係で定められている。すなわち、最大差圧が逆圧で加わった場合にセンサチップ３の接合部４−１，４−２の接合力がそれに耐えられるだけの圧力差で、第１の圧力伝達用媒体５−１と第２の圧力伝達用媒体５−２を封止している。
【００３４】
このシステムにおいて、差圧センサ２００のセンサチップ３の接合部４−１や４−２に剥離や破損などの異常が生じると、正しい差圧の計測が行えなくなる。そこで、このシステムでは、本発明に係る異常診断装置として異常診断部５００を設け、差圧センサ２００から出力される信号ΔＰを異常診断部５００へ送り、差圧センサ２００の異常の有無を異常診断部５００で判定するようにしている。
【００３５】
異常診断部５００は、プロセッサや記憶装置からなるハードウェアと、これらのハードウェアと協働して各種機能を実現させるプログラムとによって実現される。この異常診断部５００での差圧センサ２００の異常の有無の判定は次のようにして行われる。
【００３６】
異常診断部５００は、受圧ダイアフラム２−１，２−２への圧力Ｐ１，Ｐ２が等しい時（例えば、バルブ１８への流体の流量Ｑが零の時）に送られてくる異常診断の開始指令に従い、差圧センサ２００から出力される信号ΔＰを監視対象として取り込む。この監視対象として取り込まれる信号ΔＰの値は、圧力センサ２００における第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧との差（封止圧差）を示している。
【００３７】
ここで、センサチップ３の接合部４−１や４−２に剥離や破損などの異常が生じていなければ、監視対象として取り込まれる信号ΔＰの値は初期の封止圧差を示しているはずである。ここで、初期の封止圧差とは、差圧センサ２００の製造段階で定められた封止圧差である。これに対し、センサチップ３の接合部４−１や４−２に剥離や破損などの異常が生ずれば、封止圧の高い方から低い方に圧力伝達用媒体が流れ、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧とのバランスが変わる。
【００３８】
そこで、異常診断部５００は、監視対象として取り込まれる信号ΔＰの値が初期の封止圧差を示していれば、差圧センサ２００は正常であると判定する。これに対して、監視対象として取り込まれる信号ΔＰの値が初期の封止圧差から変動していれば、差圧センサ２００を異常であると判定する。
【００３９】
なお、異常診断部５００における信号ΔＰの値が初期の封止圧差から変動しているか否かの判断は、ある程度の閾値を設けて行うことは言うまでもない。また、異常診断部５００は、差圧センサ２００が異常であると判定した場合、センサチップ３の接合部４−１や４−２が異常である旨の診断結果を出力する。これにより、異常部位が特定され、異常発生の原因の解析の際に役に立ち、現場で迅速な対応をとることが可能となる。
【００４０】
すなわち、差圧センサの故障解析において、従来ではセンサチップの接合部（高圧側・低圧側境界部）の破壊を発見するためには、差圧センサに圧力をかけて出力変化率を見る等の作業が必要となり、現場では原因を突き止めにくい。これに対して、このシステムでは、異常診断部５００からの診断結果によって、現場で故障とその要因を即座に知ることが可能となり、迅速な対応をとることが可能となる。
【００４１】
また、このシステムでは、異常診断部５００に対して、受圧ダイアフラム２−１，２−２への圧力Ｐ１，Ｐ２が等しい時に異常診断の開始指令が送られてくるものとしたが、この異常診断の開始指令は手動で送るようにしてもよく、自動で送るようにしてもよい。例えば、このシステムを空調制御システムとした場合、朝の始動時など、バルブ１８への流体の流量Ｑが零である時に、自動的に異常診断部５００に異常診断の開始指令を送るようにする。
【００４２】
また、このシステムでは、差圧センサ２００から出力される信号ΔＰを監視対象として取り込むようにしたが、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧および第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧の何れか一方を監視対象として取り込むようにし、この取り込んだ監視対象の封止圧の初期の封止圧からの変動に基づいて差圧センサ２００の異常の有無を判定するようにしてもよい。
【００４３】
また、この差圧センサ２００では、センサダイアフラム３−１と台座３−２とを合わせた構成をセンサチップ３としたが、図２に示すように、台座３−２を省略し、センサダイアフラム３−１をセンサチップ３として、隔壁１−１の壁面１−１ａに接合するようにした構成としてもよい。この差圧センサ３００では、センサダイアフラム３−１の凹部３−１ｃがセンサダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂに通ずる連通路３−３となる。また、センサチップ３の接合部は、ダイアフラム３−１の他方の面３−１ｂ側と隔壁１−１の壁面１−１ａとの接合部４−１の１箇所のみとなる。
【００４４】
また、上述においては、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧を第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧よりも高くするようにしたが、第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧を第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧よりも高くするようにしてもよい。第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧を第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧よりも高くすると、逆圧のダメージを軽減することはできなくなるが、第１の圧力伝達用媒体５−１の封止圧と第２の圧力伝達用媒体５−２の封止圧とのバランスの変化から、センサチップ３の接合部４−１や４−２の異常の有無を判定することは可能である。
【００４５】
また、上述した実施の形態では、センサダイアフラム３−１を圧力変化に応じて抵抗値が変化する歪抵抗ゲージを形成したタイプとしているが、静電容量式のセンサチップとしてもよい。静電容量式のセンサチップは、所定の空間（容量室）を備えた基板と、その基板の空間上に配置されたダイアフラムと、基板に形成された固定電極と、ダイアフラムに形成された可動電極とを備えている。ダイアフラムが圧力を受けて変形することで、可動電極と固定電極との間隔が変化してその間の静電容量が変化する。
【００４６】
また、封入液封止タイプのゲージ圧センサ、絶対圧センサでも、封止圧を大気解放圧より高くすることで、接合部が破壊した場合、封入液が漏れてゼロ点がずれるので、同様の効果を得ることが可能である。
【００４７】
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１…ボディ、１−１…隔壁、１−１ａ…壁面、１−２…第１の空間、１−３…第２の空間、１−４…貫通路、２−１…第１の受圧ダイアフラム、２−２…第２の受圧ダイアフラム、３…センサチップ、３−１…センサダイアフラム、３−１ａ…一方の面、３−１ｂ…他方の面、３−１ｃ…凹部、３−２…台座、３−３…連通路、４−１…第１の接合部、４−２…第２の接合部、５−１…第１の圧力伝達用媒体、５−２…第２の圧力伝達用媒体、６−１…第１の封入室、６−２…第２の封入室、２００，３００…差圧センサ、５００…異常診断部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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