(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有し底壁に固定穴が形成された容器本体と、
薄板を支持する本体部を備えるサポート冶具と、
を有する薄板収納容器であって、
前記サポート冶具は、前記本体部の外周縁部に配置されて上下に貫通された貫通孔が形成された連結部を備え、
前記固定穴及び前記貫通孔に挿通されて上下に配置される前記サポート冶具を連結するとともに前記サポート冶具と前記容器本体とを連結する棒状部材と、
前記棒状部材に取り付けられて前記容器本体及び前記サポート冶具を挟持する固定部材と、
を有し、
前記連結部は、上側及び下側の何れか一方に突出する突出部と、上側及び下側の何れか他方に配置される前記サポート冶具の前記突出部が挿入される挿入凹部と、が形成されている、薄板収納容器。
【請求項２】
前記突出部は、突出方向に向けて径が小さくなる凸状に形成されており、
前記挿入凹部は、深さ方向に向けて径が小さくなる凹状に形成されている、
請求項１に記載の薄板収納容器。
【請求項３】
前記挿入凹部には、前記突出部の挿入量を規制する上下規制リブが設けられている、
請求項１又は２に記載の薄板収納容器。
【請求項４】
前記容器本体の一対の内側壁には、対向する前記内側壁へ向けて突出する前後規制リブが形成されており、
前記本体部には、前記前後規制リブに嵌め合わされる前後規制凹部が形成されている、
請求項１〜３の何れか一項に記載の薄板収納容器。
【請求項５】
前記本体部が、Ｕ字状の板状に形成されている、
請求項１〜４の何れか一項に記載の薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路が形成されたウェーハを薄く加工した薄板状基板を収納して保管、搬送、輸送に使用される薄板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の薄板収納容器は、開口部を有する容器本体と、容器本体の開口部をシール可能に閉鎖する蓋体と、を備えており、容器本体の対向する内側壁に、基板を支持する支持棚が上下方向に一定間隔で形成されている。
【０００３】
現在、直径３００ｍｍ、厚さ７７５μｍのシリコンウェーハの表面に電子回路を形成し、その裏面を研磨して肉厚を薄く加工した薄板状基板が用いられることがある。この薄板状基板は、例えば、通常の基板の半分以下となる１０μｍ〜４００μｍまで薄く加工されることがある。
【０００４】
このような薄板状基板は、自重での撓みが大きいため、支持棚から外れ易くなるばかりか、上下に隣り合う薄板状基板同士の接触により薄板状基板が損傷する恐れがある。
【０００５】
こうした問題を解消するため、特許文献１及び特許文献２に示すように、薄板状基板の撓みを抑制する冶具を薄板収納容器の支持棚に載置することで、薄板状基板を支持することが提案されていた。なお、特許文献３では、薄板状基板を収納する容器ではないが、複数のスロットを組み立てた一対の側壁組立体を、フレーム構造部に設けられた一対の端部部材に取り付けて一体化するキャリアが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−０９１４００号公報
【特許文献２】特表２００４−５２９４９３号公報
【特許文献３】特許第４３９８２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の容器では、薄板状基板の撓みを防止する冶具を支持棚に載置しているだけであるため、冶具の位置ずれが生じるという問題がある。
【０００８】
この点、特許文献２に記載の容器では、冶具に形成されたタブを支持棚に対して挟み込むように嵌合させ、冶具の上面に形成された突起にて薄板状基板を支持している。これにより、挿入体の位置ずれの問題を解消することができる。
【０００９】
しかしながら、特許文献２に記載の容器では、冶具のタブを支持棚に対して挟み込むように嵌合させる必要があるため、容器に対する冶具の取り付けが煩雑になる。そして、薄板状基板は冶具の上面に形成された突起にて支持されるため、容器の支持棚の位置に対して、薄板状基板を支持する高さ位置が変わってしまう。しかも、冶具のタブが支持棚の上下面から突出するため、薄膜状基板が冶具のリブに擦られて汚染され、また、薄膜状基板との摩擦により上面が傷ついてしまうため、一旦容器に取り付けて使用した後は、容器から取り外して再利用することができない。
【００１０】
特許文献３に記載のキャリアでは、専用のフレーム体を別に作成する必要があるという問題がある。また、各スロットがフレーム構造部における左右の側壁を形成するように、一対の側壁組立体をフレーム構造部に差し込んで取り付けているだけであるため、一体化したスロットがフレーム構造部から抜け落ちてしまう問題や、不完全な差し込みにより寸法精度が不安定になるという問題もある。
【００１１】
そこで、本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄板を収納する容器本体に薄板が自重で撓むのを抑制するサポート冶具を容易且つ確実に取り付けることができ、薄板を従来の収納容器と同じ支持高さで収納することができる薄板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る薄板収納容器は、開口部を有し底壁に固定穴が形成された容器本体と、薄板を支持する本体部を備えるサポート冶具と、を有する薄板収納容器であって、サポート冶具は、本体部の外周縁部に配置されて上下に貫通された貫通孔が形成された連結部を備え、固定穴及び貫通孔に挿通されて上下に配置されるサポート冶具を連結するとともにサポート冶具と容器本体とを連結する棒状部材と、棒状部材に取り付けられて容器本体及びサポート冶具を挟持する固定部材と、を有する。
【００１３】
本発明に係る薄板収納容器によれば、サポート冶具に連結部を形成することで、複数のサポート冶具が上下に積層された積層体を形成することができ、サポート冶具に形成された連結部の厚みを調整することで、上下に配置されるサポート冶具の間隔を調整することができる。このため、薄板を従来の収納容器と同じ支持高さで収納することができる。また、サポート冶具の連結部に形成された貫通孔と容器本体の底壁に形成された固定穴に棒状部材を挿通することで、容器本体に対してサポート冶具を位置決めすることができ、この状態で棒状部材に固定部材を取り付けることで、容器本体に対してサポート冶具を固定することができる。このように、サポート冶具の貫通孔及び容器本体の固定穴に棒状部材を挿通させて、この棒状部材に固定部材を取り付けることで、容器本体にサポート冶具を容易且つ確実に取り付けることができる。
【００１４】
また、本発明は、連結部が、上側及び下側の何れか一方に突出する突出部と、上側及び下側の何れか他方に配置されるサポート冶具の突出部が挿入される挿入凹部と、が形成されているものとすることができる。このように突出部及び挿入凹部を形成することで、上下に配置されるサポート冶具間の位置決めを容易に行うことができる。
【００１５】
また、本発明は、突出部が、突出方向に向けて径が小さくなる凸状に形成されており、挿入凹部が、深さ方向に向けて径が小さくなる凹状に形成されているものとすることができる。このように突出部及び挿入凹部を形成することで、上側及び下側の何れか一方に配置されるサポート冶具の突出部が、上側及び下側の何れか他方に配置されるサポート冶具の挿入凹部に案内されるように挿入されるため、複数のサポート冶具を容易に積層することができる。
【００１６】
また、本発明は、挿入凹部に、突出部の挿入量を規制する上下規制リブが設けられているものとすることができる。このように挿入凹部に上下規制リブを設けることで、上下に配置されるサポート冶具の間隔を上下規制リブの高さにより調整することができる。このため、例えば、従来の収納容器における薄板の支持棚と同じ高さにサポート冶具を配置することも容易に行うことができる。
【００１７】
また、本発明は、容器本体の一対の内側壁に、対向する内側壁へ向けて突出する前後規制リブが形成されており、本体部に、前後規制リブに嵌め合わされる前後規制凹部が形成されているものとすることができる。このように容器本体に前後規制リブを形成するとともに本体部に前後規制凹部を形成すことで、容器本体に対するサポート冶具の前後方向における位置決めを容易に行うことができる。
【００１８】
また、本発明は、上下に配置されるサポート冶具の連結部に嵌め合わされる中間補助部材を更に備え、中間補助部材は、棒状部材が挿通される貫通孔が形成されており、中間補助部材の上面が、上側に配置されるサポート冶具の連結部の下面と嵌合し、中間補助部材の下面が、下側に配置されるサポート冶具の連結部の上面と嵌合するものとすることができる。このように、中間補助部材を備えることで、中間補助部材を介して上下に隣接されるサポート冶具を積層することができるため、中間補助部材の高さを変更することで、上下に隣接するサポート冶具１０５の間隔を容易に調整することができる。
【００１９】
また、本発明は、連結部及び中間補助部材の何れか一方に突出する突出部が形成され、連結部及び中間補助部材の何れか他方に突出部が挿入される挿入凹部が形成されているものとすることができる。このように突出部及び挿入凹部を形成することで、上下に配置されるサポート冶具間の位置決めを容易に行うことができる。
【００２０】
また、本発明は、最下段に配置されるサポート冶具の連結部に下側から嵌め合わされる下側補助部材と、最上段に配置されるサポート冶具の連結部に上側から嵌め合わされる上側補助部材と、を更に備えるものとすることができる。このように下側補助部材及び上側補助部材を備えることで、最下段に配置されるサポート冶具と容器本体の底壁との間に下側補助部材が配置され、最上段に配置されるサポート冶具と容器本体の天壁との間に上側補助部材が配置されるため、下側補助部材及び上側補助部材の高さを調節することで、サポート冶具積層体を容器本体の底壁及び天壁の双方に当接させることができる。これにより、容器本体に対するサポート冶具積層体の固定を容易に行うことができる。
【００２１】
また、本発明は、本体部が、Ｕ字状の板状に形成されているものとすることができる。
る。このようにサポート冶具の本体部をＵ字状に形成することで、本体部の内径を小さくして薄板の中心から本体部による薄板の支持位置までの距離を短くしつつ、薄板を搬送する搬送装置が本体部に干渉することなく容器本体に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、薄板を収納する容器本体に薄板が自重で撓むのを抑制するサポート冶具を容易且つ確実に取り付けることができ、薄板を従来の収納容器と同じ支持高さで収納することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】第１の実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面図である。
【図３】図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面斜視図である。
【図４】サポート冶具の平面図である。
【図５】サポート冶具の斜視図である。
【図６】図５に示すサポート冶具の部分拡大図である。
【図７】図４に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。
【図８】図５に示すサポート冶具の部分拡大図である。
【図９】図４に示すＩＸ−ＩＸ線における断面図である。
【図１０】サポート冶具積層体の正面図である。
【図１１】サポート冶具積層体が挿入された容器本体の正面図である。
【図１２】図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線における断面図である。
【図１３】サポート冶具積層体がシャフトで固定された容器本体の断面側面図である。
【図１４】サポート冶具積層体がシャフトで固定された容器本体の上部断面図である。
【図１５】サポート冶具積層体がシャフトに固定された容器本体の下部断面図である。
【図１６】第２の実施形態に係る薄板収納容器の断面図である。
【図１７】図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線における薄板収納容器の断面図である。
【図１８】サポート冶具積層体の下部を示す部分拡大図である。
【図１９】サポート冶具積層体の上部を示す部分拡大図である。
【図２０】他の実施形態に係るサポート冶具の積層状態を示した断面図である。
【図２１】他の実施形態に係るサポート冶具の積層状態を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して、本発明に係る薄板収納容器の好適な実施形態について詳細に説明する。本実施形態では、薄板収納容器に収納する薄板として、表面に電子回路が形成された薄板状基板であるものとして説明する。なお、以下の説明において、薄板収納容器の左右方向（幅方向）をＸ方向、薄板収納容器の前後方向をＹ方向、薄板収納容器の上下方向をＺ方向といい、薄板収納容器における上下・前後・左右・内外の方向を、単に上下・前後・左右・内外の方向という。また、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。
【００２５】
［第１の実施形態］
図１は、第１の実施形態に係る薄板収納容器の斜視図である。図１に示すように、第１の実施形態に係る薄板収納容器１は、内部に直径３００ｍｍ、厚さ１０μｍ〜４００μｍの薄板状基板を収納するものであり、容器本体３と、蓋体４と、サポート冶具５と、を備えている。
【００２６】
図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面図である。図３は、図１のＩＩ−ＩＩ線における容器本体の断面斜視図である。図１〜図３に示すように、容器本体３は、正面となる前側に開口部６を有するフロントオープン型の容器である。なお、容器本体３の下面部には、薄板収納容器１を搭載する加工装置に載置するボトムプレート８が取り付けられており、容器本体３の上面部には、搬送用のロボティックフランジ９が取り付けられている。
【００２７】
容器本体３の底壁７ａには、開口部６側の両端部に一対の前側固定穴１１が形成されており、開口部６とは反対の奥側（容器本体３の後側）の両端部に一対の後側固定穴１２が形成されている。前側固定穴１１及び後側固定穴１２は、容器本体３の底壁７ａを上下に貫通する穴である。前側固定穴１１は、容器本体３の対向する左右一対の内側壁７ｂに近接した位置であって、平面視において容器本体３に収納される薄板状基板に干渉しない位置に配置されている。後側固定穴１２は、一対の内側壁７ｂに接続されて開口部６の反対側に配置される後側壁７ｃに近接した位置であって、平面視において容器本体３に収納される薄板状基板に干渉しない位置に配置されている。
【００２８】
容器本体３の対向する左右一対の内側壁７ｂには、それぞれ、対向する内側壁７ｂへ向けて突出する前後規制リブ１３が設けられている。前後規制リブ１３は、容器本体３に取り付けられるサポート冶具５のＹ方向における位置決めを行うものである。この前後規制リブ１３は、一方の内側壁７ｂから他方の内側壁７ｂへ向けて水平に突出するように形成されており、開口部６側に配置される開口側前後規制リブ１４と、開口部６とは反対の奥側に配置される奥側前後規制リブ１５と、を備えている。開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５は、矩形の略平板状に形成されており、互いに離間して配置されている。そして、前後規制リブ１３は、複数のサポート冶具５が積層されたサポート冶具積層体Ｓを容器本体３の内部に載置した際に、サポート冶具積層体Ｓを構成する各サポート冶具５が配置される高さ位置に形成されている。
【００２９】
図１に示すように、蓋体４は、容器本体３の開口部６に嵌め合わされて容器本体３を密封するものである。このため、蓋体４は、容器本体３の開口部６との間をシールするシール部材２１と、開口部６に蓋体４が嵌め合わされた状態に保持する施錠機構２２と、を備えている。なお、施錠機構２２は、容器本体３の外部から操作可能となっている。
【００３０】
図４は、サポート冶具の平面図である。図５は、サポート冶具の斜視図である。図６は、図５に示すサポート冶具の部分拡大図である。図７は、図４に示すＶＩＩ−ＶＩＩ線における断面図である。図８は、図５に示すサポート冶具の部分拡大図である。図９は、図４に示すＩＸ−ＩＸ線における断面図である。
【００３１】
図１及び図４〜図９に示すように、サポート冶具５は、容器本体３に取り付けられて薄板状基板を支持するとともに、薄板状基板が自重で撓むのを抑制する部材である。サポート冶具５は、薄板用基板を支持する本体部３０と、本体部３０の外周縁部に形成されて上下に配置される別のサポート冶具５と連結される一対の前側連結部４０及び一対の後側連結部５０と、を備えている。
【００３２】
本体部３０は、板状部材でＵ字状に形成されており、半円弧状に形成された円弧状支持面部３１と、円弧状支持面部３１の両端から略直線状に延びて互いに略平行に配置される一対の直線状支持面部３２と、を備えている。
【００３３】
ところで、容器本体３に挿入されたサポート冶具５は、円弧状支持面部３１が容器本体３の奥側に配置されるように容器本体３に取り付けられる。このため、サポート冶具５は、容器本体３に取り付けられた際に、容器本体３の上方を向く面が上面となり、容器本体３の下方を向く面が下面となり、容器本体３の開口部６側が前側となり、容器本体３の奥側が後側となり、容器本体３の内側壁７ｂ側及び後側壁７ｃ側が外側となり、容器本体３の中心側が内側となる。
【００３４】
円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２の上面は、薄板状基板が載置される面であり、薄板状基板との摩擦抵抗を小さくするために平坦面となっている。
【００３５】
円弧状支持面部３１の外径は、載置する薄板状基板の外径よりも大きい寸法となっている。円弧状支持面部３１の内径は、載置する薄板状基板の外径よりも小さい寸法となっている。
【００３６】
ところで、薄板状基板の撓み量は、薄板の取り出し方向と平行な中心線上、特には容器本体３の開口６側において最大になる。このため、薄板状基板の支持位置を薄板状基板の中心に近づけることで、薄板状基板の撓み量を小さくすることができる。一方、薄板状基板は、その肉厚に応じて撓み量が変形し、肉厚が薄くなるほど撓み量が大きくなる。このため、薄板状基板の撓み量を所定範囲内に抑えるためには、薄板状基板の肉厚が薄くなるほど、薄板状基板の支持位置を、できるだけ中心に近づける必要がある。そこで、円弧状支持面部３１の内径は、サポート冶具５の上下間隔と、薄板状基板の許容撓み量と、薄板状基板の肉厚とに応じて、適宜設定することが好ましい。例えば、薄板状基板の厚さが１０μｍであり、円弧状支持面部３１の内径が２１０ｍｍ（中心からの寸法が１０５ｍｍ）である場合は、薄板状基板の許容撓み量が１０ｍｍとなるので、サポート冶具５の上下間隔が２０ｍｍとできる。
【００３７】
円弧状支持面部３１の内周面と直線状支持面部３２の内側面とは滑らかに接続されており、円弧状支持面部３１の内径と一対の直線状支持面部３２の離間距離とは同じ寸法になっている。
【００３８】
そして、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２の外側には、前側前後規制凹部３３と、前側前後規制凹部３３の後側に離間して配置される後側前後規制凹部３４と、が形成されている。ここで、後側とは、図４における上側であり、前側とは、図４における下側である。
【００３９】
前側前後規制凹部３３は、開口側前後規制リブ１４が嵌め合わされる部位である。このため、前側前後規制凹部３３は、開口側前後規制リブ１４の形状に対応した矩形の凹状に形成されている。なお、前側前後規制凹部３３は、開口側前後規制リブ１４を容易に嵌め合わせることができるように、前側前後規制凹部３３の幅（図４において上下方向の寸法）が、開口側前後規制リブ１４のＹ方向における寸法とほぼ等しくなっている。
【００４０】
後側前後規制凹部３４は、奥側前後規制リブ１５が嵌め合わされる部位である。このため、後側前後規制凹部３４は、奥側前後規制リブ１５の形状に対応した矩形の凹状に形成されている。なお、後側前後規制凹部３４は、奥側前後規制リブ１５を容易に嵌め合わせることができるように、後側前後規制凹部３４の幅（図４において上下方向の寸法）は、奥側前後規制リブ１５のＹ方向における寸法とほぼ等しくなっている。
【００４１】
図４〜図７に示すように、各前側連結部４０は、各直線状支持面部３２の前側端縁にそれぞれ形成されており、それぞれ、連結板部４１と、連結板部４１から下側に突出する下側突出部４２と、連結板部４１から上側に突出する上側突出部４３と、を備えている。
【００４２】
連結板部４１は、本体部３０と同じ肉厚の板状に形成されており、下側突出部４２及び上側突出部４３を保持する部位である。連結板部４１は、前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４を開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５に嵌め合せた際に、平面視において下側突出部４２及び上側突出部４３の中心が容器本体３の前側固定穴１１に重ね合わさるように、直線状支持面部３２の前側端縁から前側且つ外側へ向けて延びている。
【００４３】
下側突出部４２は、本体部３０の下面よりも下側に突出している。下側突出部４２の外周面４２ａは、下側突出部４２の突出方向である下方に向かって径が小さくなる（先細りとなる）凸状の円錐台形状になっており、下側突出部４２の下端面は、本体部３０の上面及び下面と平行な平坦面となっている。
【００４４】
上側突出部４３は、本体部３０の上面よりも上側に突出している。上側突出部４３には、上側に配置されるサポート冶具５の下側突出部４２が挿入される挿入凹部４４が形成されている。挿入凹部４４は、上側突出部４３の上端面から下側突出部４２が配置される下側へ向けて延びる凹状に形成されている。挿入凹部４４の内周面４４ａは、挿入凹部４４の深さ方向である下方に向かって、下側突出部４２の外周面４２ａと同じ割合で径が小さくなる（先細りとなる）凹状の円錐台形状に形成されている。このため、下側突出部４２の外周面４２ａと上側突出部４３の挿入凹部４４とが、同じ傾斜角度となっている。
【００４５】
挿入凹部４４には、挿入凹部４４の内周面４４ａから挿入凹部４４の半径方向中心側へ向けて膨出した上下規制リブ４５が設けられている。上下規制リブ４５は、下側突出部４２の挿入量（挿入高さ）を規制する部位である。上下規制リブ４５の上端面は、下側突出部４２の下端面と同様に本体部３０の上面及び下面と平行な平坦面となっている。そして、挿入凹部４４の内径が下側突出部４２の下端面の外径と同じ寸法となる位置に、上下規制リブ４５の上端面が形成されている。なお、上下規制リブ４５は、肉厚が厚くなるため、適宜肉抜きすることができる。図面では、上下規制リブ４５を十字状に肉抜きしているが、肉抜きの形状は、限定されるものではなく適宜設定することができる。
【００４６】
そして、下側突出部４２及び上側突出部４３には、下側突出部４２及び上側突出部４３の中心を上下に貫通する貫通孔４６が形成されている。貫通孔４６は、下側突出部４２及び挿入凹部４４の半径方向中心軸線を通る直線状に形成されている。このため、上側に配置されるサポート冶具５の下側突出部４２を、下側に配置されるサポート冶具５の挿入凹部４４に挿入すると、下側突出部４２の外周面４２ａが挿入凹部４４の内周面４４ａに嵌め込まれた状態で、下側突出部４２の下端面が上下規制リブ４５の上端面に載置され、上側に配置されるサポート冶具５の貫通孔４６と下側に配置されるサポート冶具５の貫通孔４６とが一直線上に配置される。
【００４７】
図４、図５、図８及び図９に示すように、各後側連結部５０は、円弧状支持面部３１の後側端縁に形成されており、それぞれ、連結板部５１と、連結板部５１から下側に突出する下側突出部５２と、連結板部５１から上側に突出する上側突出部５３と、を備えている。
【００４８】
連結板部５１は、本体部３０と同じ肉厚の板状に形成されており、下側突出部５２及び上側突出部５３を保持する部位である。連結板部５１は、前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４を開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５に嵌め合せた際に、平面視において下側突出部５２及び上側突出部５３の中心が容器本体３の後側固定穴１２に重ね合わさるように、円弧状支持面部３１における後端縁の離間した位置から後側且つ外側へ向けて延びている。
【００４９】
下側突出部５２は、本体部３０の下面よりも下側に突出している。下側突出部５２の外周面５２ａは、下側突出部５２の突出方向である下方に向かって径が小さくなる（先細りとなる）凸状の円錐台形状になっており、下側突出部５２の下端面は、本体部３０の上面及び下面と平行な平坦面となっている。
【００５０】
上側突出部５３は、本体部３０の上面よりも上側に突出している。上側突出部５３には、上側に配置されるサポート冶具５の下側突出部５２が挿入される挿入凹部５４が形成されている。挿入凹部５４は、上側突出部５３の上端面から下側突出部５２が配置される下側へ向けて延びる凹状に形成されている。挿入凹部５４の内周面５４ａは、挿入凹部５４の深さ方向である下方に向かって、下側突出部５２の外周面５２ａと同じ割合で径が小さくなる（先細りとなる）凹状の円錐台形状に形成されている。このため、下側突出部５２の外周面５２ａと上側突出部５３の挿入凹部５４とが、同じ傾斜角度となっている。
【００５１】
挿入凹部５４には、挿入凹部５４の内周面５４ａから挿入凹部５４の半径方向中心側へ向けて膨出した上下規制リブ５５が設けられている。上下規制リブ５５は、下側突出部５２の挿入量（挿入高さ）を規制する部位である。上下規制リブ５５の上端面は、下側突出部５２の下端面と同様に本体部３０の上面及び下面と平行な平坦面となっている。そして、挿入凹部５４の内径が下側突出部５２の下端面の外径と同じ寸法となる位置に、上下規制リブ５５の上端面が形成されている。なお、上下規制リブ５５は、肉厚が厚くなるため、適宜肉抜きすることができる。図面では、上下規制リブ５５を十字状に肉抜きしているが、肉抜きの形状は、限定されるものではなく適宜設定することができる。
【００５２】
そして、下側突出部５２及び上側突出部５３には、下側突出部５２及び上側突出部５３の中心を上下に貫通する貫通孔５６が形成されている。貫通孔５６は、下側突出部５２及び挿入凹部５４の半径方向中心軸線を通る直線状に形成されている。このため、上側に配置されるサポート冶具５の下側突出部５２を、下側に配置されるサポート冶具５の挿入凹部５４に挿入すると、下側突出部５２の外周面５２ａが挿入凹部５４の内周面５４ａに嵌め込まれた状態で、下側突出部５２の下端面が上下規制リブ５５の上端面に載置され、上側に配置されるサポート冶具５の貫通孔５６と下側に配置されるサポート冶具５の貫通孔５６とが一直線上に配置される。
【００５３】
そして、このように構成されるサポート冶具５は、例えば、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマーなどの熱可塑性樹脂や、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系などの熱可塑性エラストマーなどから形成することができる。また、これらの樹脂には、導電性を付与するため、カーボンブラック、カーボンナノチューブなどの添加剤を適宜加えることができる。また、剛性を向上させるため、ガラス繊維を添加してもよく、摺動性を向上させるために、マイカやフッ素樹脂などを添加してもよい。
【００５４】
次に、容器本体３に対するサポート冶具５の取り付け方法について説明する。
【００５５】
図１０は、サポート冶具積層体の正面図である。図１１は、サポート冶具積層体が挿入された容器本体の正面図である。図１２は、図１１に示すＸＩＩ−ＸＩＩ線における断面図である。図１３は、サポート冶具積層体がシャフトで固定された容器本体の断面側面図である。図１４は、サポート冶具積層体がシャフトで固定された容器本体の上部断面図である。図１５は、サポート冶具積層体がシャフトに固定された容器本体の下部断面図である。
【００５６】
まず、図１０に示すように、複数のサポート冶具５が積層されたサポート冶具積層体Ｓを組み立てる。サポート冶具５の積層は、上側に配置されるサポート冶具５の一対の下側突出部４２を、下側に配置されるサポート冶具５の一対の挿入凹部４４に挿入するとともに、上側に配置されるサポート冶具５の一対の下側突出部５２を、下側に配置されるサポート冶具５の一対の挿入凹部５４に挿入することにより行う。すると、下側突出部４２の外周面４２ａが挿入凹部４４の内周面４４ａに嵌め込まれた状態で、下側突出部４２の下端面が上下規制リブ４５の上端面に載置され、上側に配置されるサポート冶具５の貫通孔４６と下側に配置されるサポート冶具５の貫通孔４６とが一直線上に配置される。また、下側突出部５２の外周面５２ａが挿入凹部５４の内周面５４ａに嵌め込まれた状態で、下側突出部５２の下端面が上下規制リブ５５の上端面に載置され、上側に配置されるサポート冶具５の貫通孔５６と下側に配置されるサポート冶具５の貫通孔５６とが一直線上に配置される。
【００５７】
次に、図１１に示すように、サポート冶具積層体Ｓを、開口部６から容器本体３の内部に挿入する。このとき、サポート冶具積層体Ｓを構成する各サポート冶具５の本体部３０が開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５にぶつからないように、サポート冶具積層体Ｓを少し持ち上げながら容器本体３の内部に挿入する。そして、図１２に示すように、サポート冶具積層体Ｓが容器本体３の内部に挿入されると、サポート冶具積層体Ｓを下降させて、開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５を前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４に嵌め込む。すると、平面視において、各サポート冶具５の貫通孔４６が容器本体３の前側固定穴１１に重ね合わされて前側固定穴１１と全てのサポート冶具５の貫通孔４６とが一直線上に配置されるとともに、各サポート冶具５の貫通孔５６が容器本体の後側固定穴１２に重ね合わされて後側固定穴１２と全てのサポート冶具５の貫通孔５６とが一直線上に配置される。これにより、容器本体３に対するサポート冶具積層体ＳのＹ方向における位置決めが行われる。そして、サポート冶具積層体Ｓを容器本体３の底壁７ａに載置することで、容器本体３に対するサポート冶具積層体ＳのＺ方向における位置決めが行われる。
【００５８】
次に、図１２に示すように、前側固定穴１１及び後側固定穴１２とサポート冶具積層体Ｓを構成する各サポート冶具５の貫通孔４６及び貫通孔５６とに、シャフト６０を挿通させる。シャフト６０の挿通は、容器本体３の外側から前側固定穴１１及び後側固定穴１２にシャフト６０を挿入することにより行う。これにより、容器本体３に対するサポート冶具積層体ＳのＸ方向及びＹ方向における位置決めが行われる。
【００５９】
このシャフト６０は、上端部及び下端部に雄ネジが刻設された棒状部材である。シャフト６０の長さは、容器本体３の底壁７ａにサポート冶具積層体Ｓが積層された際に、最上段のサポート冶具５に形成された貫通孔４６及び貫通孔４６から上方に突出するとともに、容器本体３に形成された前側固定穴１１及び後側固定穴１２から下方に突出する寸法となっている。このように構成されるシャフト６０は、例えば、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、液晶ポリマーなどの高剛性の熱可塑性樹脂や、アルミ、ＳＵＳなどの金属から形成することができる。シャフト６０を金属で形成する場合は、表面を樹脂層で被覆することが好ましい。
【００６０】
そして、サポート冶具積層体Ｓを構成する全てのサポート冶具５の貫通孔４６及び貫通孔５６にシャフト６０が挿通されると、図１４に示すように、最上段のサポート冶具５に形成された貫通孔４６及び貫通孔４６から上方に突出したシャフト６０の上端部にナット６１を締め付けるとともに、図１５に示すように、容器本体３に形成された前側固定穴１１及び後側固定穴１２から下方に突出したシャフト６０の下端部にナット６２を締め付ける。このとき、容器本体３のシール性を向上させる観点から、前側固定穴１１及び後側固定穴１２の周囲にＯリングなどのシール部材を配設することが好ましい。なお、Ｏリングの配設位置は、例えば、容器本体３の底壁７ａとナット６２との間や、前側固定穴１１及び後側固定穴１２とシャフト６０との間などが挙げられる。
【００６１】
すると、サポート冶具積層体Ｓと容器本体３の底壁７ａとが、シャフト６０の上端部及び下端部に取り付けられたたナット６１及びナット６２により挟持されるため、サポート冶具積層体Ｓが容器本体３に固定される。これにより、容器本体３に対するサポート冶具積層体Ｓの取り付けが終了する。
【００６２】
薄板収納容器１に薄板状基板を収納する際は、まず、各サポート冶具５に薄板状基板を載置する。次に、蓋体４を容器本体３の開口部６に嵌め合わせて、シール部材２１により開口部６と蓋体４との間をシールする。次に、施錠機構２２により蓋体４を容器本体３に施錠する。これにより、薄板状基板が薄板収納容器１に密封される。
【００６３】
このように、本実施形態に係る薄板収納容器１によれば、サポート冶具５に前側連結部４０及び後側連結部５０を形成することで、複数のサポート冶具５が上下に積層されたサポート冶具積層体Ｓを形成することができ、サポート冶具積層体Ｓを構成する各サポート冶具５に形成された貫通孔４６及び貫通孔５６と容器本体３に形成された前側固定穴１１及び後側固定穴１２にシャフト６０を挿通することで、容器本体３に対してサポート冶具積層体Ｓを位置決めすることができ、この状態でシャフト６０にナット６１及びナット６２を締め付けることで、容器本体３に対してサポート冶具積層体Ｓを固定することができる。このため、容器本体３にサポート冶具５を容易且つ確実に取り付けることができる。
【００６４】
また、前側連結部４０及び後側連結部５０に下側突出部４２及び下側突出部５２と挿入凹部４４及び挿入凹部５４を形成することで、上下に配置されるサポート冶具５間の位置決めを容易に行うことができる。しかも、下側突出部４２及び下側突出部５２と挿入凹部４４及び挿入凹部５４を円錐台形状に形成することで、上側に配置されるサポート冶具５の下側突出部４２及び下側突出部５２が下側に配置されるサポート冶具５の挿入凹部４４及び挿入凹部５４に案内されるように挿入されるため、複数のサポート冶具５を容易に積層することができる。
【００６５】
また、挿入凹部４４及び挿入凹部５４に上下規制リブ４５及び上下規制リブ５５を設けることで、上下に配置されるサポート冶具５の間隔を上下規制リブ４５及び上下規制リブ５５の高さにより調整することができる。このため、従来の収納容器における薄板の支持棚と同じ高さにサポート冶具５を配置することも容易に行うことができる。
【００６６】
また、容器本体３に開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５を形成するとともにサポート冶具５に前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４を形成することで、容器本体３に対するサポート冶具５の前後方向における位置決めを容易に行うことができる。
【００６７】
また、サポート冶具５の本体部３０をＵ字状に形成することで、本体部３０の内径を小さくして薄板の中心から本体部３０による薄板の支持位置までの距離を短くしつつ、薄板を搬送する搬送装置が本体部３０に干渉することなく容器本体３に対して薄板を円滑に出し入れすることができる。
【００６８】
［第２の実施形態］
次に、第２の実施形態に係る薄板収納容器について説明する。第１の実施形態に係る薄板収納容器１は、上下に配置されるサポート冶具を直接積層するものであったが、第２の実施形態に係る薄板収納容器は、補助部材を介して上下に配置されるサポート冶具を間接的に積層するものである。また、第１の実施形態に係る薄板収納容器１は、サポート冶具積層体を容器本体の底壁にのみ固定するものであったが、第２の実施形態に係る薄板収納容器は、サポート冶具積層体を容器本体の底壁と天壁とに固定するものである。なお、第２の実施形態に係る薄板収納容器は、基本的に第１の実施形態に係る薄板収納容器１と同様であるため、以下の説明では、第１の実施形態に係る薄板収納容器１と相違する構成のみ説明し、第１の実施形態に係る薄板収納容器１と同様の構成の説明を省略する。
【００６９】
図１６は、第２の実施形態に係る薄板収納容器の断面図である。図１７は、図１６のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線における薄板収納容器の断面図である。図１８は、サポート冶具積層体の下部を示す部分拡大図である。図１９は、サポート冶具積層体の上部を示す部分拡大図である。
【００７０】
図１６〜図１９に示すように、第２の実施形態に係る薄板収納容器１０１は、第１の実施形態の容器本体３に対応する容器本体１０３と、第１の実施形態のサポート冶具５に対応するサポート冶具１０５と、を備えており、更に、上下に配置されるサポート冶具１０５の間に介挿される中間補助部材１０６と、サポート冶具１０５と容器本体１０３の底壁７ａとの間に介挿される下側補助部材１０７と、サポート冶具１０５と容器本体１０３の天壁７ｄとの間に介挿される上側補助部材１０８と、とを備えている。
【００７１】
容器本体１０３は、第１の実施形態の容器本体３に形成された開口側前後規制リブ１４及び奥側前後規制リブ１５に対応する前後規制リブが形成されていない。また、容器本体１０３は、天壁７ｄに一対の前側固定穴１１１及び一対の後側固定穴１１２が形成されている。天壁７ｄに形成される一対の前側固定穴１１１及び一対の後側固定穴１１２は、底壁７ａに形成される一対の前側固定穴１１及び後側固定穴１２と上下方向に対向する位置に形成されている。
【００７２】
サポート冶具１０５は、第１の実施形態のサポート冶具形成された前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４に対応する前後規制凹部が形成されていない。また、サポート冶具１０５は、第１の実施形態のサポート冶具１０５に形成された一対の前側連結部４０及び一対の後側連結部５０に対応する一対の前側連結部１４０及び一対の後側連結部１５０が形成されている。
【００７３】
前側連結部１４０及び後側連結部１５０には、それぞれ、本体部３０の下面よりも下側に突出する下側突出部１４２及び下側突出部１５２と、本体部３０の上面よりも上側に突出する上側突出部１４３及び上側突出部１５３と、が形成されている。また、前側連結部１４０及び後側連結部１５０には、それぞれ、前側連結部１４０及び後側連結部１５０の中心を上下に貫通する貫通孔が形成されている。
【００７４】
下側突出部１４２及び下側突出部１５２は、下方から中間補助部材１０６が挿入される挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４が形成されており、上側突出部１４３及び上側突出部１５３は、上方から中間補助部材１０６が挿入される挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５が形成されている。挿入凹部１４４、挿入凹部１４５、下側突出部１５２及び上側突出部１５３は、何れも、第１の実施形態の挿入凹部４４及び挿入凹部５４と同じ形状に形成されており、深さ方向に向かって径が小さくなる（先細りとなる）凹状の円錐台形状に形成されている。また、挿入凹部１４４、挿入凹部１４５、下側突出部１５２及び上側突出部１５３には、第１の実施形態と同様に、中間補助部材１０６の挿入量を規制する上下規制リブ１４６、上下規制リブ１４７、上下規制リブ１５６、上下規制リブ１５７が形成されている。
【００７５】
中間補助部材１０６には、下側に突出して挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に挿入される下側挿入部１６１と、上側に突出して挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に挿入される上側挿入部１６２と、が形成されている。下側挿入部１６１及び上側挿入部１６２は、何れも、第１の実施形態の下側突出部４２及び下側突出部５２と同じ形状に形成されており、突出方向に向かって径が細くなる（先細りとなる）凸状の円錐台形状に形成されている。
【００７６】
下側補助部材１０７には、上側に突出して挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に挿入される上側挿入部１７１と、下側に配置されて容器本体１０３の底壁７ａに当接される下側当接部１７２と、が形成されている。上側挿入部１７１は、第１の実施形態の下側突出部４２及び下側突出部５２と同じ形状に形成されており、突出方向に向かって径が細くなる（先細りとなる）凸状の円錐台形状に形成されている。下側当接部１７２は、容器本体１０３の底壁７ａとの接触面積が大きくなるように、断面逆Ｔ字状に形成されている。
【００７７】
上側補助部材１０８には、下側に突出して挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に挿入される下側挿入部１８１と、上側に配置されて容器本体１０３の天壁７ｄに当接される上側当接部１８２と、が形成されている。下側挿入部１８１は、第１の実施形態の下側突出部４２及び下側突出部５２と同じ形状に形成されており、突出方向に向かって径が細くなる（先細りとなる）凸状の円錐台形状に形成されている。上側当接部１８２は、容器本体１０３の天壁７ｄとの接触面積が大きくなるように、断面Ｔ字状に形成されている。
【００７８】
次に、容器本体１０３に対するサポート冶具１０５の取り付け方法について説明する。
【００７９】
まず、図１８及び図１９に示すように、複数のサポート冶具１０５が積層されたサポート冶具積層体Ｓを組み立てる。サポート冶具１０５の積層は、まず、中間補助部材１０６の下側挿入部１６１を、下側に配置されるサポート冶具１０５の挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に挿入するとともに、中間補助部材１０６の上側挿入部１６２を、上側に配置されるサポート冶具１０５の挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に挿入して、中間補助部材１０６を介して上下に隣接するサポート冶具１０５を積層する。そして、中間補助部材１０６を介して全てのサポート冶具１０５が積層されると、最下段に配置されるサポート冶具１０５の挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に、下側補助部材１０７の上側挿入部１７１するとともに、最上段に配置されるサポート冶具１０５の挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に、上側補助部材１０８の下側挿入部１８１を挿入する。これにより、サポート冶具積層体Ｓの積層が終了し、全てのサポート冶具１０５に形成された貫通孔と、全ての中間補助部材１０６に形成された貫通孔と、下側補助部材１０７に形成された貫通孔と、上側補助部材１０８に形成された貫通孔とが、一直線上に配置される。このとき、中間補助部材１０６は、上下に隣接するサポート冶具１０５の間隔が設定した寸法となる高さのものを用いる。また、下側補助部材１０７及び上側補助部材１０８は、サポート冶具積層体Ｓを容器本体１０３の底壁７ａに載置して、サポート冶具１０５、中間補助部材１０６、下側補助部材１０７及び上側補助部材１０８に形成された貫通孔を、容器本体１０３の底壁７ａに形成された前側固定穴１１及び後側固定穴１２と、容器本体１０３の天壁７ｄに形成された前側固定穴１１１及び後側固定穴１１２とに重ね合わせた際に、下側補助部材１０７の下側当接部１７２が容器本体１０３の底壁７ａに当接するとともに、上側補助部材１０８の上側当接部１８２が容器本体１０３の天壁７ｄに当接する高さのものを用いる。
【００８０】
次に、図１７に示すように、サポート冶具積層体Ｓを、開口部６から容器本体１０３の内部に挿入し、サポート冶具１０５、中間補助部材１０６、下側補助部材１０７及び上側補助部材１０８に形成された貫通孔を、容器本体１０３の底壁７ａに形成された前側固定穴１１及び後側固定穴１２と、容器本体１０３の天壁７ｄに形成された前側固定穴１１１及び後側固定穴１１２とに重ね合わせる。これにより、下側補助部材１０７の下側当接部１７２が容器本体１０３の底壁７ａに当接するとともに、上側補助部材１０８の上側当接部１８２が容器本体１０３の天壁７ｄに当接する。
【００８１】
次に、前側固定穴１１及び後側固定穴１２から、又は、前側固定穴１１１及び後側固定穴１１２から、シャフト６０を容器本体１０３に挿入する。シャフト６０は、容器本体１０３を貫通して、前側固定穴１１及び後側固定穴１２から下方に突出するとともに前側固定穴１１１及び後側固定穴１１２から上方に突出する長さのものを用いる。そして、容器本体１０３にシャフト６０を貫通させると、容器本体１０３に対するサポート冶具積層体ＳのＸ方向及びＹ方向における位置決めが行われる。
【００８２】
次に、図１６に示すように、前側固定穴１１及び後側固定穴１２から突出したシャフト６０の下端部にナット６１を締め付けるとともに、前側固定穴１１１及び後側固定穴１１２から突出したシャフト６０の下端部にナット６２を締め付ける。すると、容器本体１０３の底壁７ａと容器本体１０３の天壁７ｄとが、シャフト６０の上端部及び下端部に取り付けられたたナット６１及びナット６２により挟持されるため、サポート冶具積層体Ｓが容器本体１０３に固定される。これにより、容器本体１０３に対するサポート冶具積層体Ｓの取り付けが終了する。
【００８３】
このように、中間補助部材１０６を介して上下に隣接されるサポート冶具１０５を積層すれば、中間補助部材１０６の高さを変更することで、上下に隣接するサポート冶具１０５の間隔を容易に調整することができる。
【００８４】
また、下側突出部１４２及び下側突出部１５２に挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４と挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５とを形成し、中間補助部材１０６に挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に挿入される下側挿入部１６２と、挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に挿入される上側挿入部１６１とを形成することで、上下に配置されるサポート冶具１０５間の位置決めを容易に行うことができる。しかも、これらを凹状の円錐台形状と凸状の円錐台形状とに形成することで、挿入凹部１４４及び挿入凹部１５４に下側挿入部１６２が案内されるように挿入されるとともに、挿入凹部１４５及び挿入凹部１５５に上側挿入部１６１が案内されるように挿入されるため、複数のサポート冶具１０５を容易に積層することができる。
【００８５】
また、最下段に配置されるサポート冶具１０５の下側に下側補助部材１０７を配置するとともに、最上段に配置されるサポート冶具１０５の上側に上側補助部材１０８を配置すれば、下側補助部材１０７及び上側補助部材１０８の高さを変更することで、サポート冶具積層体Ｓを容器本体１０３の底壁７ａ及び天壁７ｄの双方に当接させることができる。これにより、容器本体１０３に対するサポート冶具積層体Ｓの固定を容易に行うことができる。
【００８６】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
【００８７】
例えば、第１の実施形態では、サポート冶具の突出部が下側に突出するものとして説明したが、例えば、図２０に示すサポート冶具７０のように、貫通孔７６が形成された連結部７１の突出部を、上側に突出させたものとしてもよい。この場合、連結部７１は、上側に突出する上側突出部７２と、下側に突出する下側突出部７３と、を備え、下側突出部７３には、下側に配置されるサポート冶具７０の上側突出部７２が挿入される挿入凹部７４が形成され、挿入凹部７４の内側には、上側突出部７２の挿入量を規制する上下規制リブ７５が設けられる。このように構成しても、第１の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００８８】
また、第１の実施形態では、突出部が円錐台形状の凸状に形成され、挿入凹部が円錐台形状の凹状に形成されるものとして説明したが、この形状は特に制限されるものではなく、様々な形状とすることができる。例えば、突出部を多角形の凸状に形成し、挿入凹部を多角形の凹状に形成してもよい。また、突出部及び挿入凹部は必ずしも傾斜させなくてもよい。
【００８９】
また、第１の実施形態及び第２の実施形態では、挿入凹部が上側突出部に形成されるものとして説明したが、上側突出部を設けることなく挿入凹部を形成してもよい。
【００９０】
また、第１の実施形態及び第２の実施形態では、サポート冶具に形成される連結部が、サポート冶具の前側に２箇所、後側に２箇所、合計４か所設けるものとして説明したが、容器本体３に対する位置決め及び固定を行うことができれば、その数や配置などは特に制限されるものではない。例えば、サポート冶具の前側に２箇所、後側に１箇所、合計３箇所としてもよい。
【００９１】
また、第１の実施形態及び第２の実施形態では、固定部材が、シャフトの上端部及び下端部に締め付けられるナットであるものとして説明したが、固定穴及び貫通孔に挿通される棒状部材に取り付けられて容器本体及びサポート冶具を挟持することができれば、如何なるものであってもよい。例えば、棒状部材として、一方端部にヘッドが形成されたボルト状の部材を採用する場合は、この棒状部材の他方端部のみに締め付けられるナットであってもよい。
【００９２】
また、第１の実施形態では、シャフトが容器本体の底壁のみ挿通されるものとして説明したが、第２の実施形態のように、容器本体の天壁に固定穴を形成し、この貫通孔にもシャフトを挿通させてもよい。この場合、最上段のサポート冶具に形成された貫通孔から上方に突出したシャフトの中間部にナットを締め付け、容器本体の底壁に形成された固定穴から下方に突出したシャフトの下端部にナットを締め付け、容器本体の天壁に形成された固定穴から上方に突出したシャフトの上端部にナットを締め付ける。これにより、サポート冶具集積体の固定強度を格段に向上させることができる。
【００９３】
また、第１の実施形態では、前後規制リブの数について特に言及しなかったが、１段のみであってもよく、サポート冶具積層体の積層数であってもよい。また、前後規制リブ自体を設けなくてもよい。前後規制リブを１段のみ設ける場合は、サポート冶具積層体の中央の段又は最上段に配置されるサポート冶具の高さ位置に設けることが好ましい。
【００９４】
また、第１の実施形態では、前側前後規制凹部３３及び後側前後規制凹部３４が、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２に形成されるものとして説明したが、直線状支持面部３２のみや、円弧状支持面部３１のみに形成されるものとしてもよい。
【００９５】
また、第１の実施形態では、サポート冶具５の円弧状支持面部３１が半円弧状であるものとして説明したが、円弧状支持面部３１の外側形状は、必ずしも円弧状である必要はなく、容器本体３の内壁に干渉しない範囲で、適宜変更することができる。
【００９６】
また、第２の実施形態では、前側連結部１４０及び後側連結部１５０の下側突出部１４２及び下側突出部１５２に挿入凹部が形成されるものとして説明したが、例えば、図２１に示すように、サポート冶具１９０に形成された連結部１９１の上下面に、先細りとなる凸状に形成された突出部１９２及び突出部１９３を設け、中間補助部材１９４の上下面に、先細りとなる凹状に窪んで突出部１９２及び突出部１９３が挿入される挿入凹部１９５及び挿入凹部１９６を形成するものとしてもよい。このように構成しても、第２の実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００９７】
また、第２の実施形態では、下側補助部材１０７及び上側補助部材１０８により、サポート冶具積層体Ｓを容器本体１０３の底壁７ａ及び天壁７ｄに当接させるものとして説明したが、例えば、容器本体１０３の底壁７ａに、下側補助部材１０７と同じような形状をした円筒状のボスを形成するとともに、容器本体１０３の天壁７ｄに上側補助部材１０８と同じような形状の円筒状のボスを形成するものとしてもよい。
【００９８】
また、第２の実施形態のサポート冶具５と図２１に示したサポート冶具１９０とを交互に配置し、これらの連結部同士を嵌め合わせることで、サポート冶具を積層させるものとしてもよい。
【００９９】
また、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２は、軽量化の観点から、適宜肉抜きしてもよい。この場合、薄板状基板を中心に近い位置で支持できるように、肉抜きは、円弧状支持面部３１及び直線状支持面部３２の内側端縁を除いた部分に形成することが好ましい。
【符号の説明】
【０１００】
１…薄板収納容器、３…容器本体、４…蓋体、５…サポート冶具、６…開口部、７ａ…底壁、７ｂ…内側壁、７ｃ…後側壁、７ｄ…天壁、８…ボトムプレート、９…ロボティックフランジ、１１…前側固定穴（固定穴）、１２…後側固定穴（固定穴）、１３…前後規制リブ、１４…開口側前後規制リブ（前後規制リブ）、１５…奥側前後規制リブ（前後規制リブ）、２１…シール部材、２２…施錠機構、３０…本体部、３１…円弧状支持面部、３２…直線状支持面部、３３…前側前後規制凹部（前後規制凹部）、３４…後側前後規制凹部（前後規制凹部）、４０…前側連結部（連結部）、４１…連結板部、４２…下側突出部（突出部）、４２ａ…外周面、４３…上側突出部、４４…挿入凹部、４４ａ…内周面、４５…上下規制リブ、４６…貫通孔、５０…後側連結部（連結部）、５１…連結板部、５２…下側突出部（突出部）、５２ａ…外周面、５３…上側突出部、５４…挿入凹部、５４ａ…内周面、５５…上下規制リブ、５６…貫通孔、６０…シャフト（棒状部材）、６１…ナット（固定部材）、６２…ナット（固定部材）、７０…サポート冶具、７１…連結部、７２…上側突出部、７３…下側突出部、７４…挿入凹部、７５…上下規制リブ、７６…貫通孔、１０１…薄板収納容器、１０３…容器本体、１０５…サポート冶具、１０６…中間補助部材、１０７…下側補助部材、１０８…上側補助部材、１１１…前側固定穴（固定穴）、１１２…後側固定穴（固定穴）、１４０…前側連結部、１４２…下側突出部（突出部）、１４３…上側突出部（突出部）、１４４…挿入凹部、１４５…挿入凹部、１４６…上下規制リブ、１４７…上下規制リブ、１５０…後側連結部、１５２…下側突出部、１５３…上側突出部、１５４…挿入凹部、１５５…挿入凹部、１５６…上下規制リブ、１５７…上下規制リブ、１６１…下側挿入部、１６２…上側挿入部（突出部）、１７１…上側挿入部（突出部）、１７２…下側当接部、１８１…下側挿入部、１８２…上側当接部、１９０…サポート冶具、１９１…連結部、１９２…突出部、１９３…突出部、１９４…中間補助部材、１９５…挿入凹部、１９６…挿入凹部、Ｓ…サポート冶具積層体。
【図１】
0005781909.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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