(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機性薬品を含有する有機性排水を微生物によって分解処理する生物処理工程と、該生物処理工程で処理された処理水を活性炭に担持された微生物を備えた固定床式生物活性炭処理装置で処理する生物活性炭処理工程と、該生物活性炭処理工程で処理された処理水を物理化学的に酸化分解処理する酸化分解工程とを実施する排水処理方法であって、
前記有機性薬品を含有する有機性排水のうち、ＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満である低濃度有機性排水を、前記生物処理工程での処理を行なわずに前記生物活性炭処理工程で処理する排水処理方法。
【請求項２】
前記酸化分解工程が紫外線照射及び／またはオゾンによって酸化分解を行う請求項１に記載の排水処理方法。
【請求項３】
有機性薬品を含有する有機性排水を微生物によって分解処理を行う生物処理装置と、
微生物を担持した活性炭が充填された充填層を備え、該充填層に前記生物処理装置で処理された処理水を通水して処理する固定床式生物活性炭処理装置と、
該生物活性炭処理装置で処理された処理水を物理化学的に酸化分解する酸化分解装置と、
前記有機性薬品を含有する有機性排水のうちＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満である低濃度有機性排水を前記生物処理装置を経ずに前記生物活性炭処理装置へ導入する導入路とを備えたことを特徴とする排水処理装置。
【請求項４】
前記酸化分解装置が、紫外線照射装置及び／またはオゾン処理装置である請求項３に記載の排水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産工程から排出される排水を処理する排水処理方法及び排水処理装置に関し、特には、例えば、半導体デバイスや液晶ディスプレイなどのフラットパネルディスプレイなど各種の電子工業製品の製造工場から排出される有機性薬品を含有する排水処理方法及び排水処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスなどの電子部品やフラットパネルディスプレイなどの製造工場では、その製造工程で、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）、メタノール、アセトン、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、フェノール、酢酸、界面活性剤など種々の有機性薬品が使用されている。
【０００３】
上記のような電子工業製品の製造工場から排出される有機性薬品を含有する排水から有機物を除去して、洗浄水などとして再利用するため、従来から種々の排水処理の方法が検討されている。
【０００４】
このような排水を処理する方法として、例えば、活性汚泥によって排水中の有機物を分解する生物処理方法などが知られている（特許文献１）。
【０００５】
この排水処理においては、好気性生物により排水中の有機物を生物化学的反応で分解し、さらに、生物処理後の後処理として、紫外線照射やオゾン添加による処理などの非生物的な分解処理（物理化学的酸化分解処理）が行われている。
この紫外線照射やオゾン添加による有機物の分解処理は、紫外線ランプやオゾン発生器などによって、紫外線やオゾンを排水と反応させることで排水中の有機物を酸化分解するもので、例えば、生物処理において発生した微生物の代謝物などの有機物成分も効果的に分解することができる。
【０００６】
前記酸化分解処理は、上述のように紫外線ランプやオゾン発生器などの手段が必要であり大きなエネルギーを必要するため、比較的高コストな処理である。しかし、上記のように上流側に生物処理装置を設けた場合には、該生物処理装置で多くの有機性薬品を分解できるため、その処理後に残った有機物や、生物処理で発生した代謝物などの少量の有機物を紫外線やオゾンで酸化分解処理すればよく、低コストに、残留ＴＯＣ濃度の低い回収水を得ることができるという利点がある。
【０００７】
しかしながら、工場から排出される排水は各製造工程の処理の変化で排水の状況も変化することがある。すなわち、排水中に微生物にとって有害性の高い薬品が混入したり、あるいは排水が、生物の活性が低下するような低温または高温になったりする場合があり、このような排水が生物処理装置に導入されると、生物処理装置内の微生物の活性が低下し、再び活性が回復するまでの間生物処理装置の処理能力が低下することがある。
このように、生物処理装置の処理能力が低下すると残留ＴＯＣ濃度が高いまま紫外線照射などで酸化分解処理を行うことになり、酸化分解処理に高エネルギーを要することとなる。その結果、処理全体が高コストとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−６９２０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の問題点に鑑み、本発明は、薬品成分を含有する排水の処理において、安定して低コストで残留ＴＯＣ濃度の低い回収水を回収しうる排水処理方法及び排水処理装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
排水処理方法に係る本発明は、有機性薬品を含有する有機性排水を微生物によって分解処理する生物処理工程と、該生物処理工程で処理された処理水を活性炭に担持された微生物を備えた固定床式生物活性炭処理装置で処理する生物活性炭処理工程と、該生物活性炭処理工程で処理された処理水を物理化学的に酸化分解処理する酸化分解工程とを実施する排水処理方法であって、前記有機性薬品を含有する有機性排水のうち、ＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満である低濃度有機性排水を、前記生物処理工程での処理を行なわずに前記生物活性炭処理工程で処理することを特徴としている。
【００１１】
尚、本発明でいう生物処理工程とは、活性汚泥処理、流動床式生物処理、固定床式生物処理、膜分離活性汚泥処理などの公知の生物処理を含む。
【００１３】
また、前記酸化分解工程が紫外線照射及び／またはオゾンによって酸化分解を行うことが好ましい。
【００１４】
また、排水処理装置に係る本発明は、有機性薬品を含有する有機性排水を微生物によって分解処理を行う生物処理装置と、微生物を担持した活性炭が充填された充填層を備え、該充填層に前記生物処理装置で処理された処理水を通水して処理する固定床式生物活性炭処理装置と、該生物活性炭処理装置で処理された処理水を物理化学的に酸化分解する酸化分解装置と、前記有機性薬品を含有する有機性排水のうちＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満である低濃度有機性排水を前記生物処理装置を経ずに前記生物活性炭処理装置へ導入する導入路とを備えたことを特徴とする備えたことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の処理方法では、有機性薬品を含む排水を生物処理工程で処理した後に物理化学的に酸化分解を行って排水中の有機性薬品を分解する際に、前記酸化分解を行う前にさらに生物活性炭処理工程による処理が実施されるため、前記生物処理工程における処理能力が低下した場合でも、前記酸化分解工程に導入される前に低コストで有機物の分解が可能な生物活性炭処理工程において排水中の有機物が分解されるため、酸化分解工程におけるエネルギーを常に低く抑えて排水処理が行える。よって、生物処理工程の処理能力が低下した場合でも排水処理のエネルギーコストを低くできる。
【００１６】
さらに、前記有機性薬品を含有する有機性排水のうち、低濃度に有機性薬品を含有する低濃度有機性排水を前記生物処理工程を経ずに、前記生物活性炭処理工程へ導入する場合には、前記生物処理工程で処理する排水の量を少なくさせることにより、生物処理工程の負荷を低減させることができる。
【００１７】
尚、ここでいう低濃度の有機性薬品を含有する排水とは、排水中に含まれるＴＯＣが約１０ｍｇ未満である排水をいう。
【００１８】
また、本発明の排水は生産工場などの各生産工程から排出された排水そのものであってもよく、あるいは、生産工程から排出された排水になんらかの処理を施して前記各濃度になるように調整された排水であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の排水処理装置及び方法を示す概略フロー図。
【図２】実施例の排水処理方法を示す概略フロー図。
【図３】実施例の排水処理方法を示す概略フロー図。
【図４】比較例の排水処理方法を示す概略フロー図。
【図５】比較例の排水処理方法を示す概略フロー図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図１に基づき本発明の第一の実施形態の排水処理装置および排水処理方法について説明する。
先ず、排水処理装置について説明する。
図１は、本実施形態の排水処理装置についての概略フロー図である。
図中の符号１が排水処理装置を示している。
本実施形態の排水処理装置１は、微生物による有機物の分解処理である生物処理工程を行う生物処理装置２と、該生物処理装置２で処理された排水を、ろ過処理装置３および逆浸透処理装置４を経て導入する生物活性炭処理装置５と、該生物活性炭処理装置５で処理した排水を導入し物理化学的に酸化分解を行う紫外線処理装置６とを備えている。
【００２１】
前記生物処理装置２には、半導体デバイスやフラットパネルディスプレイの製造工程から排出された排水のうち、有機性薬品を高濃度に含有する高濃度有機性排水が導入される導入路１１が接続されている。
【００２２】
前記生物処理装置２は、活性汚泥処理装置、流動床式生物処理装置、固定床式生物処理装置、膜分離活性汚泥処理装置などの公知の生物処理装置であり、該生物処理装置内に排水を通水することで、前記微生物によって排水中の有機物を分解するものである。尚、微生物は、好気性微生物や嫌気性微生物等の各種微生物が挙げられ、高濃度の有機性薬品を含有する排水の成分によって、使用される微生物や装置を適宜選択することができる。
【００２３】
前記生物処理装置２の下流側に設けられた前記ろ過処理装置３は、装置内に精密ろ過膜あるいは限外ろ過膜が備えられ、前記生物処理装置２から流失した微生物などをろ過して排水中からこれらの流失物を除去する。
前記逆浸透処理装置４は装置内に逆浸透膜を備えており、該逆浸透膜に排水を加圧接触させることによって排水が濃縮水と透過水に分離され、透過水を前記生物活性炭処理装置５へ導入する。
濃縮水は、蒸留したあと回収水として回収され、蒸留により残存した固形物（塩類等）は別途廃棄等される。尚、濃縮水は、排水処理して系外に放流してもよい。
【００２４】
前記生物活性炭処理装置５は、好気性微生物等の有機物を分解する微生物を担持させた粒状活性炭を充填した充填層を備え、該充填層に排水を導入し、充填層内で排水中の有機物を微生物によって分解する。
【００２５】
前記生物活性炭処理装置５には、前記逆浸透処理装置４から透過水を導入する導入路１４が設けられ、該導入路１４には、前記排水のうち有機性薬品を低濃度に含有する低濃度有機性排水が導入される導入路１２が接続されている。
【００２６】
前記紫外線処理装置６は、紫外線を照射する手段として紫外線ランプを備えており、前記生物活性炭処理装置５で処理された排水に紫外線を照射して排水中の有機物を酸化分解する。尚、紫外線処理装置に排水を供給する際には、排水に過酸化水素等の酸化剤を添加するのが好ましい。
【００２７】
紫外線処理装置６としては紫外線ランブを備えた公知の紫外線酸化分解装置が使用できるが、例えば、排水を貯留した反応槽中に高圧紫外線ランプを挿入して排水に紫外線を照射する高圧紫外線酸化装置や、低圧紫外線ランプを内部に備えた反応シリンダ中に排水を通水させながら紫外線を照射する低圧紫外線酸化装置などが使用できる。
紫外線ランプも公知のものが使用できるが、波長１８５から３６５ｎｍ、好ましくは１８５から２５４ｎｍのものが適している。
【００２８】
さらに、本実施形態の排水処理装置１は、前記排水のうち無機薬品を含む排水を処理するイオン除去処理装置８を備えており、該イオン除去処理装置８で処理された排水を前記前記生物活性炭処理装置５へ導入するために、前記逆浸透処理装置４からの導入路１４に導入路１３が接続されている。
前記イオン除去処理装置８は、イオン交換樹脂が充填された充填塔を備えており、該充填塔に排水を通水することで、イオン交換樹脂と排水が接触し、排水中のイオンがイオン交換樹脂に吸着されて、除去される。
【００２９】
本実施形態に係る排水処理装置１には、前記紫外線処理装置６で処理された排水を回収水として回収する回収槽７を備えている。
【００３０】
次に、本実施形態の排水処理装置において半導体デバイスやプラットパネルディスプレイの製造工程から排出された排水が処理される排水処理方法について説明する。
まず、生物処理装置２が通常どおりの処理能力を維持している場合を説明する。
【００３１】
製造工程の各工程毎に排水は集められる。通常、各製造工程で使用される薬品の種類は決まっているため、排水が集められる工程によって排水が有機性薬品を高濃度に含有する高濃度有機性排水か、有機性薬品を低濃度で含有する低濃度有機性排水か、無機系薬品を含有する無機排水かを製造工程の処理によって判別する。
【００３２】
この時の排水の判断基準としては、適宜設定可能であるが、例えば、排水中に含まれるＴＯＣが１０ｍｇ／Ｌ未満である排水は、低濃度有機性排水と判断する。
高濃度の有機性薬品を含有する排水とは、排水中に含まれるＴＯＣが約１０ｍｇ／Ｌ以上である排水をいう。
尚、本実施形態の排水処理装置では、ＴＯＣが約１０００ｍｇ/Ｌ程度までの高濃度の有機性排水を処理することが可能である。
また、無機排水にはＴＯＣ濃度として１０ｍｇ／Ｌ未満程度の微量の有機物が混入されていてもよい。
【００３３】
前記排水のうち高濃度有機性排水は、導入路１１を介して前記生物処理装置２に導入され微生物によって排水中の有機物が分解処理される生物処理工程が実施される。
この生物処理装置２によって処理された排水は、前記ろ過処理装置３によって前記生物処理装置２から流失した微生物などが除去される。
さらに、排水は前記逆浸透処理装置４で濃縮水と透過水に分離されて、該透過水が前記生物活性炭処理装置５へ導入される。
【００３４】
前記生物処理装置２内の微生物が通常の活性を維持している場合、すなわち生物処理装置の処理能力が正常である場合には、ＴＯＣが約１２０ｍｇ／Ｌ程度含まれている高濃度有機性排水は生物処理装置２を経ることで排水中のＴＯＣ濃度が約５〜８ｍｇ／Ｌ程度にまで低下する。
【００３５】
一方、前記排水のうち低濃度有機性排水、すなわちＴＯＣ濃度が１０ｍｇ／Ｌ未満の微量の有機物が含まれている排水は、前記生物処理装置２を経ることなく前記導入路１２を介して前記生物活性炭処理装置５へ接続された導入路１４へ導入される。
【００３６】
さらに、前記無機排水は、前記イオン除去処理装置８に導入されて、排水中のイオンを除去された後、前記導入路１３を介して前記導入路１４に導入される。
通常は、前記イオン除去処理装置８での処理を経た後の無機排水のＴＯＣは５mｇ／Ｌ未満である。
【００３７】
前記のように前記生物処理装置２で処理された高濃度有機性排水、低濃度有機性排水およびイオン除去された無機排水が導入路１４で混合されて前記生物活性炭処理装置５に上方から下向流で通水される。
前記のように、ＴＯＣ濃度が低い低濃度有機性排水および無機排水は前記生物処理装置２での生物処理工程を経ずに生物活性炭処理装置５に導入されるため、前記生物処理装置２での処理量を減らし、生物処理装置２への負荷を軽減することができる。
【００３８】
生物活性炭処理装置５内では活性炭に担持された微生物によって排水中の有機物が分解される生物活性炭処理工程が実施され、排水は装置下方から処理水として排出される。
この生物活性炭処理装置５で処理された排水のＴＯＣ濃度は通常は約１ｍｇ／Ｌ以下になる。
【００３９】
このようにＴＯＣ濃度が約１ｍｇ／Ｌ以下にまで低下した状態で排水は前記紫外線処理装置６へ導入される。
前記紫外線処理装置６へ導入された排水に紫外線を照射し、排水中の有機物を物理化学的に酸化分解する酸化分解工程が実施される。このときの紫外線ランプの消費電力１．１ｋＷｈ／ｍ3、処理時間約２０分程度で処理を行うことが好ましい。
【００４０】
前記のように紫外線処理装置６に導入された時点では、排水のＴＯＣ濃度は低濃度になっているため、紫外線の消費電力が低い状態で排水中の有機物の分解を行うことができる。
【００４１】
次に、本実施形態の排水処理装置１の生物処理装置２の処理能力が通常よりも低下した場合について説明する。
例えば、前記半導体デバイスやフラットパネルディスプレイなどの製造工程の状況によっては、排出される排水中に微生物にとって有害性の高い薬品が混入したり、あるいは生物の活性が低下するような低温または高温などの温度の排水が排水処理装置１に導入される場合がある。
【００４２】
このような場合、前記生物処理装置２中の微生物が死滅したり、活性が低下したりすることで、生物処理装置２の処理能力が低下することになる。
例えば、通常は、ＴＯＣが約１２０ｍｇ／Ｌ程度含まれている高濃度有機性排水を生物処理装置２によって約５ｍｇ／Ｌ程度にまでＴＯＣ濃度を低下させることができるが、能力が低下した場合には、例えば１０〜１２ｍｇ／Ｌ程度くらいまでしかＴＯＣ濃度が下がらないことがある。
【００４３】
このような場合でも、本実施形態の排水処理装置１では、前記のように生物活性炭処理装置５で処理してから、紫外線処理装置６で処理するため、紫外線処理装置６における消費電力を大幅に増加させなくても十分にＴＯＣ濃度の低い回収水を得ることができ、常に安定して低コストで排水処理を行うことができる。
【００４４】
尚、本実施形態では、高濃度有機性排水と低濃度有機性排水を一つの生物活性炭処理装置へ導入して処理を行ったが、例えば、高濃度有機性排水と低濃度有機性排水をそれぞれ別の生物活性炭処理装置で処理してもよい。
しかし、本実施形態のように、一つの生物活性炭処理装置で処理を行うことで排水処理装置１の構造を簡易な構造にすることができる。
【００４５】
また、本実施形態では、物理化学的に酸化分解をする手段として紫外線処理装置を使用したが、酸化分解する手段としては、このほかオゾン発生器を備えた酸化分解装置や、その他の物理化学的酸化分解手段を用いてもよい。
さらには、上記の異なる酸化分解手段を複数組み合わせて酸化分解を行ってもよい。
【００４６】
さらに、本実施形態では無機排水を処理するためにイオン除去処理装置を設けたが、このようなイオン除去処理装置を設けることは条件ではなく、例えば、低濃度有機性排水と無機排水をあわせて低濃度有機性排水として処理してもよい。
【００４７】
また、本実施形態では、半導体デバイスやフラットパネルディスプレイの製造工程から排出された排水を各工程毎に集めて直接各処理工程へ導入する場合について説明したが、排水になんらかの処理を施して前記各濃度になるように調整してから、本発明の処理方法あるいは処理装置で処理してもよい。
【００４８】
さらに、本実施形態では、ろ過処理装置として精密ろ過膜を備えたろ過処理装置を使用したが、ろ過処理装置としては、このほか、限外ろ過膜や凝集ろ過など、その公知のろ過手段から選択できる。
【００４９】
また、本実施形態では、逆浸透処理装置を設け、排水を濃縮水と透過水に分離したが、このような逆浸透処理装置を設けることは必須ではない。
【実施例】
【００５０】
次に実施例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５１】
（実施例１）
実施例１として、前記実施形態と同様の排水処理装置を用い、図２に示すような処理フローで通常の場合の排水処理を行った。
すなわち、まず、生物処理装置（株式会社神鋼環境ソリューション製、商品名ＢＣＦ（バイオコンタクトフィルタ：セラミック担体使用の固定床方式生物処理装置  処理能力１８０ｍ3／ｄ）には、ＴＯＣ濃度が約１２０ｍｇ／Ｌの高濃度有機性排水を導入して生物処理工程を実施した。
この時の生物処理装置の処理水のＴＯＣ濃度は約５．２ｍｇ／Ｌであった。
ろ過処理装置（本実施例ではＭＦ膜を使用した装置を使用）、逆浸透処理装置（ＲＯ装置）へ順次導入し、高濃度有機性排水のＲＯ処理水（ＴＯＣ１．１ｍｇ/Ｌ）を得た。
【００５２】
尚、排水は液晶ディスプレイ製造工程からの排水であり、主に、ＤＭＳＯ（ジメチルスルホキシド）、ＴＭＡＨ（テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド）、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）などを含む排水である。
それぞれの製造工程で行われる処理によって排水中の成分や濃度は異なるため、工程毎に排水を回収し、前記実施形態で示したように高濃度有機性排水、低濃度有機性排水および無機排水として振り分けた。
【００５３】
一方、ＴＯＣ濃度が約２．８ｍｇ／Ｌの無機排水をイオン除去処理装置（本実施例ではイオン交換装置、（株）神鋼環境ソリューション社製を使用）で処理した。該イオン除去処理装置での処理後のＴＯＣ濃度は約２．３ｍｇ／Ｌであった。
【００５４】
前記ＲＯ処理水と、イオン除去処理装置の処理水と、さらにＴＯＣ濃度が約３．５ｍｇ／Ｌの低濃度有機性排水を、それぞれ、３００Ｌ／ｈで混合し、９００Ｌ／ｈの処理量で生物活性炭処理装置で生物活性炭処理工程を実施した。
このときの混合水のＴＯＣ濃度が約２．３ｍｇ／Ｌであった。
【００５５】
該生物活性炭処理装置としては、固定床下向流式Ｂｉｏ−ＡＣカラム（５００ｍｍφ×３．８ｍＨ）、活性炭（４３０Ｌ、粒径１．３〜１．６ｍｍ  球状活性炭）を使用し、ＨＲＴ＝２８．７分、９００Ｌ／ｈでの処理条件で処理を行った。
生物活性炭処理における排水単位容積当たりの消費電力は０．２ｋＷｈ／ｍ3であった。この生物活性炭処理後の処理水のＴＯＣ濃度は約０．４９ｍｇ／Ｌであった。
【００５６】
さらに、前記処理水を酸化分解装置へ導入した。酸化分解装置としては、１ｋＷの高圧紫外線ランプ（東芝ライテック製）を使用した酸化槽３００Ｌの紫外線酸化分解装置を使用して、ＨＲＴ（水理学的滞留時間）２０分、９００Ｌ／ｈで前記ＲＯ処理水の酸化分解処理を行った。
尚、紫外線酸化分解装置に導入する前に、酸素消費量の４倍量の過酸化水素を添加した。
紫外線酸化分解処理における排水単位容積当たりの紫外線照射電力は１．１ｋＷｈ／ｍ3であった。
この後、回収した回収水のＴＯＣ濃度は約０．１５ｍｇ／Ｌまで低下していた。
【００５７】
（実施例２）
実施例２として、図３のフローに示すように前記実施例１の装置の生物処理装置の処理能力が低下した場合について説明する。
すなわち、生物処理装置での処理後の処理水のＴＯＣ濃度は約１０．１ｍｇ／Ｌであった。その後上記実施例と同様に、ろ過装置、逆浸透処理装置（ＲＯ装置）へ順次導入して得たＲＯ処理水と、低濃度有機性排水およびイオン除去後の無機排水を実施例１と同様に生物活性炭処理装置で処理を行った。
生物活性炭処理における排水単位容積当たりの消費電力は０．２ｋＷｈ／ｍ3であった。この生物活性炭処理後の処理水のＴＯＣ濃度は約０．７６ｍｇ/Ｌであった。
【００５８】
さらに、この生物活性炭処理装置で処理した処理水を前記実施例１と同様に紫外線酸化分解装置で処理した。
この時の紫外線酸化分解処理における排水単位容積当たりの紫外線照射電力は１．７  ｋＷｈ／ｍ3であり、回収した回収水のＴＯＣ濃度は前記実施例１と同程度の約０．１５  ｍｇ／Ｌであった。
【００５９】
（比較例１）
次に、比較例１として、生物活性炭処理装置がない以外は、前記実施例１と同様の構成からなる排水処理装置で、前記実施例１と同様に排水処理を行った場合を、図４に示すようなフローで処理した。
すなわち、高濃度有機性排水は前記実施例と同様に生物処理装置、ろ過処理装置、逆浸透処理装置へ順次導入し、高濃度有機性排水のＲＯ処理水を得た。
この時の生物処理後の処理水のＴＯＣ濃度は約１．１ｍｇ／Ｌであった。
一方、上記実施例と同様のイオン除去処理を行った無機排水（ＴＯＣ濃度２．３ｍｇ／Ｌ）および低濃度有機性排水（ＴＯＣ濃度３．５ｍｇ／Ｌ）を、前記ＲＯ処理水と、あわせてそれぞれ１００Ｌ／ｈで混合し、３００Ｌ／ｈの処理量で前記実施例１と同様の、紫外線酸化分解装置に導入した。
尚、紫外線処理装置に導入する前に、酸素消費量の４倍量の過酸化水素を添加した。
紫外線による酸化分解処理における排水単位容積当たりの紫外線照射電力は３．３ｋＷｈ／ｍ3であった。
この後、回収した回収水のＴＯＣ濃度は約０．２５ｍｇ／Ｌであった。
【００６０】
（比較例２）
次に、比較例２として、前記比較例１と同様の構成からなる排水処理装置で、前記実施例２と同様に生物処理装置の処理能力が低下した場合を、図５に示すようなフローで処理した。
すなわち、生物処理装置での処理後の処理水のＴＯＣ濃度は約１０．１ｍｇ／Ｌであった。その後上記実施例と同様に、ろ過装置、逆浸透処理装置（ＲＯ装置）へ順次導入して得たＲＯ処理水と、低濃度有機性排水およびイオン除去後の無機排水を比較例１と同様に紫外線酸化分解装置で処理した。
この時の紫外線酸化分解処理における排水単位容積当たりの紫外線照射電力は５．５  ｋＷｈ／ｍ3であり、回収した回収水のＴＯＣ濃度は約０．２５  ｍｇ／Ｌであった。
【００６１】
以上より、実施例は生物処理装置が正常の処理能力を有する場合でも、能力が低下した場合でも、いずれの場合においても低い消費電力でＴＯＣ濃度の低い回収水を得ることができた。
【符号の説明】
【００６２】
１：排水処理装置、
２：生物処理装置、
３：ろ過処理装置、
４：逆浸透処理装置、
５：生物活性炭処理装置、
６：紫外線処理装置、
７：回収槽
【図１】
0005753668.tif 000002
【図２】
0005753668.tif 000003
【図３】
0005753668.tif 000004
【図４】
0005753668.tif 000005
【図５】
0005753668.tif 000006