(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、
上記各センサーユニットは、
上面の一部に開口が形成された本体ケースと、
該本体ケース内に回動可能に軸支される二椀状の回動アームと、
該回動アームにおける一椀部の先端部に回転可能に軸支され、本体ケースの開口に対して一部外周面が出没可能な検知回転体と、
上記回動アームの他椀部と本体ケースの間に設けられ、常には弾性力により上記検知回転体の一部外周が上記開口から突出するように回動アームを付勢する弾性部材と、
上記回動アームの回動中心部に設けられ、該回動アームと一体に回動する作動片と、
本体ケース内の上記回動アームの中心から離間し、上記作動片の回動軌跡に対応して設けられ、発光部材及び受光部材からなるフォトセンサと、
上記回動アームの一椀部に設けられ、弾性部材の弾性力に抗して回動する回動アームにより上記検知回転体の一部外周が本体ケース内に没入する際に上記開口の一部を閉鎖可能にするシャッタと、
からなるフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項２】
請求項１において、
フォトセンサは、発光部材及び受光部材を所要の間隙を設けて対向配置し、間隙内に進入する作動片により発光部材から受光部材に向う光が遮断された際に製品検知信号を出力するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項３】
請求項１において、
フォトセンサは、発光部材及び受光部材を隣接配置し、発光部材及び受光部材に近接して進入する作動片により発光部材からの光を反射して受光部材に受光された際に製品検知信号を出力するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【請求項４】
製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、
上記各センサーユニットは、
上面の一部に開口が形成された本体ケースと、
該本体ケース内に回動可能に軸支される二椀状の回動アームと、
該回動アームにおける一椀部の先端部に回転可能に軸支され、本体ケースの開口に対して一部外周面が出没可能な検知回転体と、
上記回動アームの他椀部と本体ケースの間に設けられ、常には上記検知回転体の一部外周が上記開口から突出するように回動アームを付勢する弾性部材と、
上記回動アームの回動中心部に設けられ、該回動アームと一体に回動する磁気作動片と、
本体ケース内の上記回動アームの中心から離間し、上記磁気作動片の回動軌跡に対応して設けられるホール素子と、
上記回動アームの一椀部に設けられ、弾性部材の弾性力に抗して回動する回動アームにより上記検知回転体の一部外周が本体ケース内に没入した際に上記開口の一部を閉鎖可能にするシャッタと、
からなるフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおけるセンサーユニット、詳しくは、例えばクリーンルーム等に設置されるフリーフローコンベヤに適した防塵、防爆タイプのセンサーユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
本出願には、特許文献１において、製品の供給位置と取出位置との間にて少なくとも３台以上の単位搬送装置を接続して製品を搬送する搬送システムで、各単位搬送装置はその搬送長が搬送方向における製品の長さとほぼ一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットをそれぞれ設け、搬送方向上手に位置する単位搬送装置に製品が供給され、該単位搬送装置の各センサーユニットが製品検出状態に遷移した際に、該単位搬送装置の搬送方向下手に隣接する単位搬送装置の各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら単位搬送装置を搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送する、上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位搬送装置に製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に隣接する各単位搬送装置の搬送を停止制御して製品を整列搬送する搬送システムを提案した。
【０００３】
上記搬送システムのセンサーユニットとしては、各単位搬送装置の搬入側及び搬出側に、例えばリミットスイッチ等の有接点構造の位置検出器を配置し、搬送方向に沿って配置された隣接する単位搬送装置における各位置検出器からの信号に基づいてそれぞれの単位搬送装置を駆動制御及び停止制御している。
【０００４】
しかし、上記した搬送システムを、例えば電子デバイス製造装置等が設置されたクリーンルームに設置して使用する場合には、以下の問題を有している。即ち、一般に有接点構造の位置検出器にあっては、低電圧、低電流の導通、遮断により位置検出を行っているが、接点継断時の電気的スパークにより接点が溶融気化して雰囲気中に飛散してクリーンルーム内を汚染し、搬送される製品に付着して品質を低下させる恐れがある。
【０００５】
また、経時使用により接点が酸化して酸化被膜が形成されて電気抵抗値が増大し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できない恐れがある。この欠点を解決するには、一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換することにより解決することができるが、その場合には、電子デバイス製造装置等の運転を一時的に停止しなければならず、製品の製造効率を低下させる問題を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３-４０４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする問題点は、有接点構造の位置検出器にあっては、接点継断時の電気的スパークにより接点が溶融気化して雰囲気中に飛散してクリーンルーム内を汚染し、搬送される製品に付着して品質を低下させる点にある。また、経時使用により接点が酸化して酸化被膜が形成されて電気抵抗値が増大し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できない点にある。一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換しなければならず、その場合には、電子デバイス製造装置等の運転を一時的に停止する必要があり、製品の製造効率を低下させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１は、製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、上記各センサーユニットは、上面の一部に開口が形成された本体ケースと、該本体ケース内に回動可能に軸支される二椀状の回動アームと、該回動アームにおける一椀部の先端部に回転可能に軸支され、本体ケースの開口に対して一部外周面が出没可能な検知回転体と、上記回動アームの他椀部と本体ケースの間に設けられ、常には弾性力により上記検知回転体の一部外周が上記開口から突出するように回動アームを付勢する弾性部材と、上記回動アームの回動中心部に設けられ、該回動アームと一体に回動する作動片と、本体ケース内の上記回動アームの中心から離間し、上記作動片の回動軌跡に対応して設けられ、発光部材及び受光部材からなるフォトセンサと、上記回動アームの一椀部に設けられ、弾性部材の弾性力に抗して回動する回動アームにより上記検知回転体の一部外周が本体ケース内に没入する際に上記開口の一部を閉鎖可能にするシャッタとからなることを最も主要な特徴とする。
また、請求項４は、製品の供給位置と取出位置の間に少なくとも３台以上の単位コンベヤを接続し、各単位コンベヤにはその搬送長が製品の搬送方向長さに一致すると共に搬入側及び搬出側にセンサーユニットがそれぞれ設けられ、搬送方向上手に位置する単位コンベヤに製品が供給されてその各センサーユニットが製品検出状態に遷移した状態で該単位コンベヤの搬送方向下手に隣接する単位コンベヤの各センサーユニットが製品非検出状態のとき、これら隣接する単位コンベヤをそれぞれ搬送駆動して製品を搬送方向へ搬送し、次に上記による搬送駆動により搬送方向下手の単位コンベヤに製品が移載されて搬出側のセンサーユニットが製品検出状態へ遷移した際に搬送方向上手に隣接する単位コンベヤの搬送を停止制御して製品をフリーフロー搬送するフリーフローコンベヤにおいて、上記各センサーユニットは、上面の一部に開口が形成された本体ケースと、該本体ケース内に回動可能に軸支される二椀状の回動アームと、該回動アームにおける一椀部の先端部に回転可能に軸支され、本体ケースの開口に対して一部外周面が出没可能な検知回転体と、上記回動アームの他椀部と本体ケースの間に設けられ、常には上記検知回転体の一部外周が上記開口から突出するように回動アームを付勢する弾性部材と、上記回動アームの回動中心部に設けられ、該回動アームと一体に回動する磁気作動片と、本体ケース内の上記回動アームの中心から離間し、上記磁気作動片の回動軌跡に対応して設けられるホール素子と、上記回動アームの一椀部に設けられ、弾性部材の弾性力に抗して回動する回動アームにより上記検知回転体の一部外周が本体ケース内に没入した際に上記開口の一部を閉鎖可能にするシャッタとからなることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、接点の継断時の電気的スパークが発生することないため、フリーフローコンベヤが設置されるクリーンルーム内を高いクリーン度に保つことができ、製品の品質を保った状態で搬送することができる。また、経時使用により電気抵抗値が増大するのを回避し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できる。一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換する必要がなく、長時間にわたって電子デバイス製造装置等の運転することができ、製品の製造効率が低下するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】フリーフローコンベヤの概略を示す全体斜視図である。
【図２】単位コンベヤの拡大斜視図である。
【図３】センサーユニットの全体斜視図である。
【図４】センサーユニットの内部構造を示す断面図である。
【図５】製品供給側における制御概略を示す電気的ブロック図である。
【図６】製品供給側における各センサーユニットからの信号と各搬送装置における電動モータの駆動状態を示すタイミングチャートである。
【図７】製品取出し側における制御概略を示す電気的ブロック図である。
【図８】製品取出し側における各センサーユニットからの信号と各搬送装置における電動モータの駆動状態を示すタイミングチャートである。
【図９】センサーユニットによる製品の検出状態を示す説明図である。
【図１０】上下二段接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【図１１】分岐接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【図１２】反転接続のフリーフローコンベヤ例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
上面の一部に開口が形成された本体ケース内に回動可能に軸支される二椀状の回動アームにおける一椀部に本体ケースの開口に対して一部外周面が出没可能な検知回転体を回転可能に設ける。回動アームの他椀部と本体ケースの間に、常には弾性力により上記検知回転体の一部外周が上記開口から突出するように回動アームを付勢する弾性部材を設ける。回動アームの回動中心部に、一体に回動する作動片を設け、作動片の回動軌跡に対応する本体ケースに発光部材及び受光部材からなるフォトセンサを設ける。回動アームの一椀部に、弾性部材の弾性力に抗して回動する回動アームにより検知回転体の一部外周が本体ケース内に没入する際に開口の一部を閉鎖可能にするシャッタを設けることを最良の実施形態とする。
【実施例１】
【００１２】
以下、実施例を示す図に従って本発明を説明する。
先ず、本発明が適用されるフリーフローコンベヤに付いて説明すると、図１及び図２に示すように、製品１が供給される供給位置Ａと、搬送された製品１を取り出す取出位置Ｂとの間には多数の多数の単位コンベヤ３を接続したフリーフローコンベヤ５が配置される。多数の単位コンベヤ３の接続態様としては直列接続、並列接続、上下二段接続、分岐接続（集合接続）、反転接続のいずれか又は組み合わせによりフリーフローコンベヤ５を構成してもよい。
【００１３】
各単位コンベヤ３はローラ形式、ベルト形式又はキャタピラー形式の何れであってもよい。本実施形態の単位コンベヤ３はキャタピラー形式のものを示し、一対の本体フレーム７は軽量化を図るため、アルミニウム押出型材で、その長手方向が製品１の搬送方向長さにほぼ一致し、かつ製品１の搬送直交方向幅の間隔をおいて相対配置された状態で固定バー４により連結されて固定される。即ち、単位コンベヤ３は製品１の１個分を搬送する構造からなる。
【００１４】
各本体フレーム７の一方端部（搬送方向下手側）には駆動軸９が、また他方端部（搬送方向上手側）には従動軸１１が夫々回転可能に支持され、駆動軸９の軸端部には駆動歯車（図示せず）が、また従動軸１１の軸端部には従動歯車（図示せず）が固定される。そして駆動軸９には一方の本体フレーム７に固定された電動モータ１７が連結され、電動モータ１７の駆動に伴って駆動軸９を正逆方向へ回転させる。
【００１５】
各駆動歯車と従動歯車との間には搬送キャタピラー１９が張設される。該搬送キャタピラー１９は多数の単位部材１９ａを回動可能に軸支した構造で、各単位部材１９ａの搬送面には高摩擦係数のゴム板等からなる滑り止め部材（図示せず）が取り付けられる。
【００１６】
駆動軸９の近傍に位置する本体フレーム７には搬送直交方向へ並行して配置された２個の搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂが取付けられる。また、従動軸１１の近傍に位置する本体フレーム７には搬送直交方向へ並行して配置された２個の搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂが取付けられる。
【００１７】
図３及び図４に示すように、各センサーユニット２１ａ・２１ｂ、２３ａ・２３ｂの本体ケース２５の上面には、開口２５ａが形成され、内部には、側面Ｌ字型の回動アーム２７の中心部が軸２９を中心に所要の角度で回動するように軸支されている。該回動アーム２７の一腕部先端には、検知回転体３１が回転するように軸支されている。また、上記一腕部には、上記開口２５ａの一部を閉鎖するシャッタ２７ａが一体形成されている。該シャッタ２７ａは、検知回転体３１が製品１に当接して本体ケース２５内に没入した際に開口２の一部を閉鎖する。
【００１８】
上記回動アーム２７の他腕部先端には、一端が本体ケース２５内に掛け止めされた弾性部材としての引張りばね３３の他端が掛け止めされ、該引張りばね３３のばね力により上記回動アーム２７を、常には図示する反時計方向へ回動し、開口２５ａから検知回転体３１を突出させる。
【００１９】
なお、本体ケース２５には、上記回動アーム２７の一腕部の図示する時計方向に対する回動軌跡に一致する円弧状の案内溝２５ｂが形成され、該案内溝２５ｂには一腕部に設けられた軸部２７ｂが摺動するように支持される。
【００２０】
上記回動アーム２７の中心部には、作動片２７ｃが一体形成されている。また、本体フレーム２５内には、フォトセンサ３５が作動片２７ｃの回動軌跡上に設けられている。上記フォトセンサ３５は、上記作動片２７ｃが通過可能な間隙をおいて相対配置される発光部材及び受光部材（いずれも図示せず）により構成し、発光部材から受光部材に照射される光が通過する作動片２７ｃにより遮断された際に検知信号を出力する光透過型からなる。
【００２１】
該フォトセンサ３５としては、同一取付け面上に上記発光部材及び受光部材を隣接配置し、作動片２７ｃが通過する際に発光部材から照射される光を作動片により反射して受光部材に受光させることにより検知信号を出力する反射型として構成してもよい。
【００２２】
上記センサーユニット２１ａ・２１ｂ、２３ａ・２３ｂは、製品１の通過に伴って製品検出状態のときにはＨ(Ｈｉｇｈ)、製品非検出状態のときにはＬ(ＬＯＷ)の信号を隣接する単位コンベヤ３毎に設けられた制御ユニット３７に出力して後述するフリーフロー搬送を実行させる。
【００２３】
次に、フリーフローコンベヤ５による製品１のフリーフロー搬送作用を説明する。なお、説明の便宜上、供給位置Ａから取出位置Ｂに向って接続された各単位コンベヤ３を符号３−1，３−２，・・・３−ｎ、各単位コンベヤ３−1，３−２，・・・３−ｎに設けられた搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂを符号２１ａ−１，２１ａ−２，・・・２１ａ−ｎ、２１ｂ−１，２１ｂ−２，・・・２１ｂ−ｎ、２３ａ−１，２３ａ−２，・・・２３ａ−ｎ、２３ｂ−１，２３ｂ−２，・・・２３ｂ−ｎとする。
【００２４】
先ず、フリーフロー搬送に付いて説明すると、図５及び図６に示すように、供給位置Ａの単位コンベヤ３−１上に製品１が戴置されると、搬出側センサーユニット２１ａ−１，搬入側センサーユニット２３ａ−１が夫々Ｈに遷移する。このとき、単位コンベヤ３−1の搬送方向下手に位置する単位コンベヤ３−２の搬出側センサーユニット２１ｂ−２，搬入側センサーユニット２３ｂ−２が共にＬであることを条件に単位コンベヤ３−１及び３−２の各電動モータ１７をそれぞれ駆動して単位コンベヤ３−１上の製品１を隣接する単位コンベヤ３−2へ搬送して移戴させる。
【００２５】
この移戴に伴って搬入側センサーユニット２３ａ−1及び搬出側センサーユニット２１ａ−1が順にＬへ遷移すると共に搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−２が共にＨに遷移した後に搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ‐２がＨに遷移したタイミングで単位コンベヤ３−1の電動モータ１７の駆動を停止する。
【００２６】
単位コンベヤ３−１の電動モータ１７が駆動停止された際に、搬出側センサーユニット２１ａ−2及び搬入側センサーユニット２３ａ−2が夫々Ｈであると共に単位コンベヤ３−2の搬送方向下手に位置する単位コンベヤ３−3に対して製品１が搬入されていず、搬出側センサーユニット２１ｂ−3，搬入側センサーユニット２３ｂ−3がＬになっているため、単位コンベヤ３−2の電動モータ１７を駆動継続させる。
【００２７】
上記動作の繰り返しによりフリーフローコンベヤ５の供給位置Ａにて製品１が順次供給されると、各単位コンベヤ３−1，３−2，・・・３−nは供給される製品１を取出位置Ｂに向って単位コンベヤ３の搬送長分、従って製品１の１個分の間隔をおいて順次搬送する。
【００２８】
そしてフリーフローコンベヤ５の取出位置Ｂに設けられた単位コンベヤ３−nに製品１が搬入されてストッパに押し当てられると、Ｈに変化する搬出側センサーユニット２１ａ−nからの信号遷移に基づいて単位コンベヤ３−nの電動モータ１７を駆動停止させる。
【００２９】
このとき、単位コンベヤ３−nの搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・には製品１が搬入されていず、搬出側センサーユニット２１ａ−・‐・，搬入側センサーユニット２３ａ−・‐・がＬであるため、これにより搬送方向上手の単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７及び単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動継続し、単位コンベヤ３−・‐・上の製品１を次位の単位コンベヤ３−・‐・へ搬送させる。
【００３０】
そして単位コンベヤ３−・‐・における搬出側センサーユニット２１ａ−・‐・がＨに遷移したタイミングで単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動停止して単位コンベヤ３−・‐・上にて製品１を停止保持させる。そして上記動作の繰り返しにより各単位コンベヤ３−１上に順次供給される各製品１を、製品１の１個分の間隔をおいた状態でフリーフロー搬送する。
【００３１】
次に、図７及び図８に示すように、取出位置Ｂにて単位コンベヤ３−n上の製品１が取り出されると、該単位コンベヤ３−nにおける搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−n及び搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−nがＨからＬへ遷移することにより該単位コンベヤ３−n及びこれより搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・の各電動モータ１７を駆動して単位コンベヤ３−・‐・上の製品１を単位コンベヤ３−nに向かって搬送して移戴させる。
【００３２】
このとき、単位コンベヤ３−nにおける搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−n，搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−nがＬからＨへ遷移して単位コンベヤ３−nの電動モータ１７を駆動停止させると共に単位コンベヤ３−・‐・における搬出側センサーユニット２１ａ／ｂ−・‐・，搬入側センサーユニット２３ａ／ｂ−・‐・がＨからＬに遷移することにより該単位コンベヤ３−・‐・の搬送方向上手に位置する単位コンベヤ３−・‐・の電動モータ１７を駆動させる。
【００３３】
上記動作の繰り返しにより搬送方向上手に位置する各単位コンベヤ３−・‐・、３−・‐・・・・・におけるそれぞれの電動モータ１７を順に駆動して夫々に戴置された製品１を取出位置Ｂ側に向って単位コンベヤ３の１台分づつの距離で搬送して製品１相互が詰まったフリーフロー状態で搬送する。
【００３４】
上記搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂによる製品１の検出動作を説明すると、単位コンベヤ３の搬送駆動に伴って搬送される製品１が搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに位置して底面に検知回転体３１が当接すると、該当接に伴って回動アーム２７を引張りばね３３のばね力に抗して軸２９を中心に図示する時計方向へ回動させる。（図９参照）
【００３５】
該回動アーム２７が図示する時計方向へ回動されると、作動片２７ｃは、フォトセンサ３５の間隙内に進入し、発光部材から受光部材に向かって照射される光を遮断させる。このとき、受光部材は、光の受光状態から非受光状態へ遷移して製品１の検知信号を出力する。
【００３６】
そして搬出側センサーユニット２１ａ・２１ｂ及び搬入側センサーユニット２３ａ・２３ｂに対する製品１の通過に伴って底面に対する検知回転体３１の当接が解除されると、回動アーム２７は、引張りばね３３のばね力により図示する反時計方向へ回動して検知回転体３１を開口２５ａから上方へ突出させると共に作動片２７ｃをフォトセンサ３５の間隙内から離脱させる。
【００３７】
上記作動片２７ｃの離脱に伴って発光部材から照射される光が受光部材に受光されて非受光状態から受光状態へ遷移することにより製品１の非検知信号を出力する。
【００３８】
本実施形態は、接点の継断時の電気的スパークが発生することないため、フリーフローコンベヤが設置されるクリーンルーム内を高いクリーン度に保つことができ、製品の品質を保った状態で搬送することができる。また、経時使用により電気抵抗値が増大するのを回避し、製品の搬送位置を長期にわたって正確に検出できる。更に、一定の使用時間毎にセンサーユニットを交換する必要がなく、長時間にわたって電子デバイス製造装置等の運転することができ、製品の製造効率が低下するのを防止することができる。
【００３９】
フリーフローコンベヤ５における単位コンベヤ３の接続態様としては、製品１の供給位置Ａと取出位置Ｂとの関係から上記したように並列接続、上下二段接続、分岐接続（集合接続）及び傾斜接続すればよい。
【００４０】
即ち、上下二段接続するには、図１０に示すように昇降搬送装置１０１の搬入側下方に、上記した多数の単位コンベヤ３を直列接続した搬入搬送ライン１０３を設けると共に搬出側の上方及び下方に上記した多数の単位コンベヤ３を直列接続した搬出搬送ライン１０５・１０７を設け、昇降搬送装置１０１に設けられた単位コンベヤ３を選択的に昇降して搬入搬送ライン１０３を、上方或は下方の搬出搬送ライン１０５・１０７に一致させて製品１を二段搬送してもよい。
【００４１】
また、分岐接続するには、図１１に示すようにスライド搬送装置１１１の搬入側に上記した搬入搬送ライン１１３を設けると共に搬出側の両端部に上記した搬出搬送ライン１１５・１１７を設け、スライド搬送装置１１１に設けられた単位コンベヤ３を搬入及び搬出搬送ライン１１３，１１５・１１７の搬送方向と直交する方向へ選択的に移動して搬入搬送ライン１１３により搬入される製品１を搬出搬送ライン１１５・１１７へ振り分けて分岐搬送する。
【００４２】
更に、反転接続する場合には、図１２（図１２は搬送路を９０度で変更する場合を示す）に示すように単位コンベヤ３を９０度又は任意の角度で回動する反転搬送装置１２１の搬入側に上記と同様に搬入搬送ライン１２３を接続すると共に搬出側に搬出搬送ライン１２５を搬入搬送ライン１２３の搬送方向に対して任意の角度で接続し、搬入搬送ライン１２３から搬入される製品１を、回動する単位コンベヤ３により搬入搬送ライン１２３に対して所望の角度で設置された搬出搬送ライン１２５へ接続して搬送すればよい。
【００４３】
なお、図１０乃至図１２に示す搬入搬送ライン１０３，１１３，１２３及び搬出搬送ライン１０５・１０７，１１５・１１７，１２５は、実施形態で説明した単位コンベヤ３を多数接続したものであり、その詳細については説明を省略する。
【００４４】
上記説明において無接点型検知器をフォトセンサ３７としたが、ホール素子等の磁気検知器としてもよい。この場合にあっては、各作動片２７ｃに永久磁石を取り付け、磁気検知器に永久磁石が近接した際に製品検知信号を出力すればよい。
【符号の説明】
【００４５】
１  製品
３  単位コンベヤ
４  固定バー
５  フリーフローコンベヤ
７  本体フレーム
９  駆動軸
１１  従動軸
１７  電動モータ
１９  キャタピラー
１９ａ  単位部材
２１ａ・２１ｂ  搬出側センサーユニット
２３ａ・２３ｂ  搬入側センサーユニット
２５  本体ケース
２５ａ  開口
２５ｂ  案内溝
２７  回動アーム
２７ａ  シール片
２７ｂ  軸部
２７ｃ  作動片
２９  軸
３１  検知回転体
３３  弾性部材としての引張りばね
３５  無接点型検知器としてのフォトセンサ
３７  制御ユニット
【図１】
0005721165.tif 000002
【図２】
0005721165.tif 000003
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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