(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブと、
前記渦電流探傷プローブを前記検査面上で走査する走査装置と、
前記走査装置を駆動制御して前記渦電流探傷プローブの走査位置及び姿勢角を制御する走査制御装置と、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せに対応した複数の検出点の検出結果を取得する渦電流探傷装置とを備えた渦電流探傷システムにおいて、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する検出点三次元座標取得手段と、
前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する三次元探傷データ作成手段と、
前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する表示手段と、
前記渦電流探傷プローブの前記基板上における前記複数の検出点の位置関係を予め記憶するプローブ構造記憶手段とを備え、
前記検出点三次元座標取得手段は、
前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブの走査位置に対応する、前記複数の検出点のうちの特定の検出点の三次元座標を演算する第１の検出点三次元座標演算手段と、
前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブのヨー角を演算するプローブ姿勢角演算手段と、
前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点をプロットし、前記渦電流探傷プローブのヨー角及び前記基板上の前記複数の検出点の位置関係に基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点以外の他の検出点をプロットして、前記他の検出点の三次元座標を演算する第２の検出点三次元座標演算手段とを有することを特徴とする渦電流探傷システム。
【請求項２】
請求項１記載の渦電流探傷システムにおいて、
前記検出点三次元座標取得手段は、
前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブを前記検査面に押付ける押付方向を演算するプローブ押付方向演算手段をさらに有し、
前記第１の検出点三次元座標演算手段は、演算した前記特定の検出点の三次元座標が前記検査面の三次元モデルと一致しない場合に、前記特定の検出点の三次元座標を前記押付方向に移動させて前記検査面の三次元モデルと一致するように補正することを特徴とする渦電流探傷システム。
【請求項３】
検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブと、
前記渦電流探傷プローブを前記検査面上で走査する走査装置と、
前記走査装置を駆動制御して前記渦電流探傷プローブの走査位置及び姿勢角を制御する走査制御装置と、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せに対応した複数の検出点の検出結果を取得する渦電流探傷装置とを備えた渦電流探傷システムにおいて、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する検出点三次元座標取得手段と、
前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する三次元探傷データ作成手段と、
前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する表示手段と、
前記渦電流探傷プローブの前記基板に設けられた複数のマーカと、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカを撮影する撮影手段と、
前記渦電流探傷プローブにおける前記基板と前記複数のマーカの配置関係、及び前記基板と前記複数の検出点の配置関係を予め記憶するプローブ構造記憶手段とを備え、
前記検出点三次元座標取得手段は、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの画像に基づき前記複数のマーカの三次元座標を演算するマーカ三次元座標演算手段と、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの三次元座標、及び前記基板と前記複数のマーカの配置関係に基づき、前記基板の形状や配置を演算し、さらに、前記基板と前記複数の検出点の配置関係に基づき、前記複数の検出点の三次元座標を演算する検出点三次元座標演算手段とを有することを特徴とする渦電流探傷システム。
【請求項４】
請求項３記載の渦電流探傷システムにおいて、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に演算された前記複数の検出点の三次元座標若しくは前記複数のマーカの三次元座標に基づき、前記検査面の三次元モデルを作成する三次元モデル作成手段をさらに備え、
前記表示手段は、前記三次元モデル作成手段で作成された前記検査面の三次元モデルを表示することを特徴とする渦電流探傷システム。
【請求項５】
検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブを、前記検査面上で走査し、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せにそれぞれ対応した複数の検出点における検出結果を取得する渦電流探傷方法において、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する第１手順と、
前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する第２手順と、
前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する第３手順とを有し、
前記第１手順は、
前記渦電流探傷プローブを走査する走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブの走査位置に対応する、前記複数の検出点のうちの特定の検出点の三次元座標を演算する第４手順と、
前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブのヨー角を演算する第５手順と、
前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点をプロットし、前記渦電流探傷プローブのヨー角及び前記基板上の前記複数の検出点の位置関係に基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点以外の他の検出点をプロットして、前記他の検出点の三次元座標を演算する第６手順とを有することを特徴とする渦電流探傷方法。
【請求項６】
請求項５記載の渦電流探傷方法において、
前記第１手順は、
前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブを前記検査面に押付ける押付方向を演算する第７手順をさらに有し、
前記第４手順は、演算した前記特定の検出点の三次元座標が前記検査面の三次元モデルと一致しない場合に、前記特定の検出点の三次元座標を前記押付方向に移動させて前記検査面の三次元モデルと一致するように補正することを特徴とする渦電流探傷方法。
【請求項７】
検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブを、前記検査面上で走査し、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せにそれぞれ対応した複数の検出点における検出結果を取得する渦電流探傷方法において、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する第１手順と、
前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する第２手順と、
前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する第３手順とを有し、
前記第１手順は、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記渦電流探傷プローブの前記基板に設けられた複数のマーカを撮影する第８手順と、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの画像に基づき前記複数のマーカの三次元座標を演算する第９手順と、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの三次元座標、及び前記基板と前記複数のマーカの配置関係に基づき、前記基板の形状や配置を演算し、さらに、前記基板と前記複数の検出点の配置関係に基づき、前記複数の検出点の三次元座標を演算する第１０手順とを有することを特徴とする渦電流探傷方法。
【請求項８】
請求項７記載の渦電流探傷方法において、
前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に演算された前記複数の検出点の三次元座標若しくは前記複数のマーカの三次元座標に基づき、前記検査面の三次元モデルを作成する第１１手順をさらに有し、
前記第３手順は、前記１１手順で作成された前記検査面の三次元モデルを表示することを特徴とする渦電流探傷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦電流探傷プローブを検査面上で走査する渦電流探傷システム及び渦電流探傷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
渦電流探傷方法とは、励磁コイルによって発生する交流磁場により、導電性の検査対象物の表層部に渦電流を誘起させ、きずによる渦電流の乱れを検出コイルのインピーダンスの変化（出力電圧の変化）として検出して、きずの有無を判断する検査方法である。
【０００３】
近年、検査の高速化のため、複数のコイルが基板上に配列された渦電流探傷プローブ（マルチコイルプローブ）を用いる渦電流探傷システムが提唱されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の渦電流探傷システムでは、渦電流探傷プローブを検査面上で走査しながら、プローブの走査方向に対して直交する方向に配列された複数のコイルを励磁コイル及び検出コイルに順次切替える。すなわち、渦電流探傷プローブは、励磁コイルと検出コイルの組合せ（チャンネル）を複数有している。これにより、例えば励磁コイルと検出コイルの組合せを１つだけ有する渦電流探傷プローブを用いる場合と比べ、広範囲の走査が可能となり、検査時間の短縮が可能となる。さらに、渦電流探傷プローブの基板が可撓性（柔軟性）を有することにより、検査面の形状に追従可能としている。
【０００４】
上述した渦電流探傷システムでは、プローブの走査位置を記録するとともに、各チャンネルの検出結果（検出コイルの出力電圧）を記録する。そして、例えば平坦な検査面を探傷した場合、プローブ走査位置と基板上のチャンネル位置（言い換えれば、励磁コイルと検出コイルの組合せに対応する検出点の基板上の位置であって、特許文献１では、プローブ走査方向に対して直交する方向の位置）を座標とした二次元座標系で走査領域を表示するとともに、各チャンネルの検出結果を対応する座標の画素の色調で表示する。このような探傷結果の表示により、きずの有無を判断するとともに、きずの位置や長さを評価することが可能となっている。
【０００５】
ところで、渦電流探傷システムの検査対象は、例えば原子炉圧力容器（ＲＰＶ：Reactor Pressure Vessel）と制御棒駆動機構（ＣＲＤ：Control Rod Drive）のスタブチューブとの溶接部のように、複雑な三次元形状の検査面を有するものまで拡張されつつある（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−８８０６号公報（図１４及び図１５等参照）
【特許文献２】特開２００８−２９８４７８号公報（図２０及び図２１等参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２には記載されていないものの、マルチコイルプローブを用いて複雑な三次元形状の検査面を探傷した場合も、きずの有無を判断するとともに、きずの位置や長さを評価するため、探傷結果を表示したほうがよい。そこで、例えば特許文献１に記載の従来技術と同様、プローブ走査位置と基板上のチャンネル位置を座標としたニ次元座標系で走査領域を表示するとともに、各チャンネルの検出結果を対応する座標の画素の色調で表示する方法が考えられる。
【０００８】
しかし、例えば上述した原子炉圧力容器と制御棒駆動機構のスタブチューブとの溶接部の表面（検査面）は、全体が略円錐台側面状であって、かつ軸方向断面が凹状でその曲率が周方向位置に応じて変化するような複雑な三次元形状である。そのため、このような検査面に渦電流探傷プローブを密着させながら、検査面の周方向に渦電流探傷プローブを走査すると、基板の変形もあいまって、プローブの走査方向に対して交わる方向におけるプローブの一方側の部分と他方側の部分とで走査軌跡の長さが異なる。また、場合によっては、渦電流探傷プローブを検査面に密着させるために、プローブの走査位置に応じてプローブの姿勢角を変化させる必要がある。したがって、上述した二次元座標系で表示すると、歪みが生じ、探傷結果を正確に表示することができない。その結果、きずの位置や長さを正確に評価することができない。
【０００９】
本発明の目的は、探傷結果の表示精度を高めることができ、きずの評価精度を高めることができる渦電流探傷システム及び渦電流探傷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）上記目的を達成するために、本発明は、検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブと、前記渦電流探傷プローブを前記検査面上で走査する走査装置と、前記走査装置を駆動制御して前記渦電流探傷プローブの走査位置及び姿勢角を制御する走査制御装置と、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せに対応した複数の検出点の検出結果を取得する渦電流探傷装置とを備えた渦電流探傷システムにおいて、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する検出点三次元座標取得手段と、前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する三次元探傷データ作成手段と、前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する表示手段と、前記渦電流探傷プローブの前記基板上における前記複数の検出点の位置関係を予め記憶するプローブ構造記憶手段とを備え、前記検出点三次元座標取得手段は、前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブの走査位置に対応する、前記複数の検出点のうちの特定の検出点の三次元座標を演算する第１の検出点三次元座標演算手段と、前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブのヨー角を演算するプローブ姿勢角演算手段と、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点をプロットし、前記渦電流探傷プローブのヨー角及び前記基板上の前記複数の検出点の位置関係に基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点以外の他の検出点をプロットして、前記他の検出点の三次元座標を演算する第２の検出点三次元座標演算手段とを有する。
【００１３】
（２）上記（１）において、好ましくは、前記検出点三次元座標取得手段は、前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブを前記検査面に押付ける押付方向を演算するプローブ押付方向演算手段をさらに有し、前記第１の検出点三次元座標演算手段は、演算した前記特定の検出点の三次元座標が前記検査面の三次元モデルと一致しない場合に、前記特定の検出点の三次元座標を前記押付方向に移動させて前記検査面の三次元モデルと一致するように補正する。
【００１４】
（３）上記目的を達成するために、本発明は、検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブと、前記渦電流探傷プローブを前記検査面上で走査する走査装置と、前記走査装置を駆動制御して前記渦電流探傷プローブの走査位置及び姿勢角を制御する走査制御装置と、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せに対応した複数の検出点の検出結果を取得する渦電流探傷装置とを備えた渦電流探傷システムにおいて、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する検出点三次元座標取得手段と、前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する三次元探傷データ作成手段と、前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する表示手段と、前記渦電流探傷プローブの前記基板に設けられた複数のマーカと、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカを撮影する撮影手段と、前記渦電流探傷プローブにおける前記基板と前記複数のマーカの配置関係、及び前記基板と前記複数の検出点の配置関係を予め記憶するプローブ構造記憶手段とを備え、前記検出点三次元座標取得手段は、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの画像に基づき前記複数のマーカの三次元座標を演算するマーカ三次元座標演算手段と、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの三次元座標、及び前記基板と前記複数のマーカの配置関係に基づき、前記基板の形状や配置を演算し、さらに、前記基板と前記複数の検出点の配置関係に基づき、前記複数の検出点の三次元座標を演算する検出点三次元座標演算手段とを有する。
【００１５】
（４）上記（３）において、好ましくは、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に演算された前記複数の検出点の三次元座標若しくは前記複数のマーカの三次元座標に基づき、前記検査面の三次元モデルを作成する三次元モデル作成手段をさらに備え、前記表示手段は、前記三次元モデル作成手段で作成された前記検査面の三次元モデルを表示する。
【００１７】
（５）上記目的を達成するために、本発明は、検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブを、前記検査面上で走査し、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せにそれぞれ対応した複数の検出点における検出結果を取得する渦電流探傷方法において、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する第１手順と、前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する第２手順と、前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する第３手順とを有し、前記第１手順は、前記渦電流探傷プローブを走査する走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブの走査位置に対応する、前記複数の検出点のうちの特定の検出点の三次元座標を演算する第４手順と、前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブのヨー角を演算する第５手順と、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点をプロットし、前記渦電流探傷プローブのヨー角及び前記基板上の前記複数の検出点の位置関係に基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記特定の検出点以外の他の検出点をプロットして、前記他の検出点の三次元座標を演算する第６手順とを有する。
【００１８】
（６）上記（５）において、好ましくは、前記第１手順は、前記走査装置の制御パラメータに基づき、前記渦電流探傷プローブを前記検査面に押付ける押付方向を演算する第７手順をさらに有し、前記第４手順は、演算した前記特定の検出点の三次元座標が前記検査面の三次元モデルと一致しない場合に、前記特定の検出点の三次元座標を前記押付方向に移動させて前記検査面の三次元モデルと一致するように補正する。
【００１９】
（７）上記目的を達成するために、本発明は、検査面に面する基板、並びに前記基板上に設けられた少なくとも１つの励磁コイル及び少なくとも２つの検出コイルを有する渦電流探傷プローブを、前記検査面上で走査し、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記励磁コイルと前記検出コイルの組合せにそれぞれ対応した複数の検出点における検出結果を取得する渦電流探傷方法において、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数の検出点の三次元座標を取得する第１手順と、前記複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する第２手順と、前記検査面の三次元モデルを表示するとともに、前記三次元探傷データに基づき、前記検査面の三次元モデル上に前記検出点の検出結果を色調で表示する第３手順とを有し、前記第１手順は、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記渦電流探傷プローブの前記基板に設けられた複数のマーカを撮影する第８手順と、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの画像に基づき前記複数のマーカの三次元座標を演算する第９手順と、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に、前記複数のマーカの三次元座標、及び前記基板と前記複数のマーカの配置関係に基づき、前記基板の形状や配置を演算し、さらに、前記基板と前記複数の検出点の配置関係に基づき、前記複数の検出点の三次元座標を演算する第１０手順とを有する。
【００２０】
（８）上記（７）において、好ましくは、前記渦電流探傷プローブの走査位置毎に演算された前記複数の検出点の三次元座標若しくは前記複数のマーカの三次元座標に基づき、前記検査面の三次元モデルを作成する第１１手順をさらに有し、前記第３手順は、前記１１手順で作成された前記検査面の三次元モデルを表示する。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、探傷結果の表示精度を高めることができ、きずの評価精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態における渦電流探傷システムの構成を表すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における渦電流探傷プローブの全体構造を表す側面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における渦電流探傷プローブのセンサ部の構造を表す平面図であり、励磁コイルと検出コイルの組合せパターンも示す。
【図４】本発明の第１の実施形態における走査装置の構造を、渦電流探傷プローブや検査対象物とともに表す側面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態における渦電流探傷プローブの走査を説明するための斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施形態における渦電流探傷装置の検出データを表す図である。
【図７】本発明の第１の実施形態におけるデータ処理・表示装置の制御内容を表すフローチャートである。
【図８】本発明の第１の実施形態における検出点の三次元座標の取得方法を説明するための図である。
【図９】本発明の第１の実施形態における三次元モデル表示画面を一例として表す図である。
【図１０】比較例における表示画面を表す図である。
【図１１】本発明の第１の変形例におけるデータ処理・表示装置の制御内容を表すフローチャートである。
【図１２】本発明の第１の変形例における特定の検出点の三次元座標の補正方法を説明するための図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態における渦電流探傷システムの構成を表すブロック図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態における渦電流探傷プローブのセンサ部の構造を表す平面図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態におけるカメラの取付位置を説明するための斜視図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態におけるデータ処理・表示装置の制御内容を表すフローチャートである。
【図１７】本発明の第２の実施形態における検出点の三次元座標の取得方法を説明するための図である。
【図１８】本発明の第２の変形例におけるカメラの取付位置を説明するための斜視図である。
【図１９】本発明の第３の変形例における励磁コイルと検出コイルの組合せパターンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の第１の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。本実施形態では、原子炉圧力容器と制御棒駆動機構のスタブチューブとの溶接部を検査する場合を例にとって説明する。
【００２４】
図１は、本実施形態における渦電流探傷システムの構成を表すブロック図である。図２（ａ）は、本実施形態における渦電流探傷プローブの全体構造を表す側面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）中矢印Ａ方向から見た側面図である。図３は、本実施形態における渦電流探傷プローブのセンサ部の構造を表す平面図である。図４（ａ）及び図４（ｂ）は、本実施形態における走査装置の構造を表す側面図である。図５は、本実施形態における渦流探傷プローブの走査を説明するための斜視図である。
【００２５】
本実施形態の渦電流探傷システムは、原子炉圧力容器１００と制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１との溶接部１０２の表面（検査面）１０２ａ上に配置された渦電流探傷プローブ１と、この渦電流探傷プローブ１を検査面１０２ａ上で走査する走査装置２と、この走査装置２を駆動制御して渦電流探傷プローブ１の走査位置や姿勢角を制御する走査制御装置３と、渦電流探傷プローブ１の探傷制御を行う渦電流探傷装置４と、これら走査制御装置３及び渦電流探傷装置４からのデータを処理して探傷結果を表示するデータ処理・表示装置５とを備えている。
【００２６】
渦電流探傷プローブ（マルチコイルプローブ）１は、センサ部６と、このセンサ部６を検査面１０２ａに密着させるための弾性部７と、この弾性部７を介してセンサ部６を支持するセンサ支持部８とを備えている。センサ部６は、検査面１０２ａに面する可撓性（柔軟性）の基板９と、この基板９の上面側（検査面１０２ａとは反対側）に固定されて例えば２列で三角格子状に配列された複数のコイル１０とを備えており、検査面の形状に追従可能としている。
【００２７】
弾性部７は、基板９の上面側に接着されて複数のコイル１０を収容するスポンジ（多孔質の弾性体）１１と、このスポンジ１１の上面側に接着された積層板バネ１２とで構成されている。積層板バネ１２は、センサ部６の長手方向（図２（ａ）中左右方向）における中央部の厚み（言い換えれば、弾性係数）が大きく、センサ部６の長手方向における両端側の厚み（言い換えれば、弾性係数）が小さくなるように、複数の板バネが積層されたものである。これにより、検査面１０２ａの断面曲率が変化しても、センサ部６の全面を押圧することが可能である。したがって、センサ部６の全面を検査面１０２ａに密着させるようになっている。なお、積層板バネ１２に代えて、１枚の板バネのみとしてもよい。
【００２８】
センサ支持部８は、センサ部６の短手方向（図２（ｂ）中左右方向）に延在するピン１３を介して弾性部７及びセンサ部６を支持する略コの字状の支持台１４と、センサ部６の長手方向に延在する軸１５を介して支持台１４を傾転可能に支持する台座１６と、支持台１４と台座１６の間に設けられた一対のスプリング１７とで構成されている。軸１５、台座１６、及び一対のスプリング１７は、いわゆるジンバルを構成するものであり、検査面１０２ａの傾きに倣うようにセンサ部６を傾転させて、センサ部６と検査面１０２ａの密着性を高めるようになっている。なお、支持台１４の端部に一対の接地検出器１８を設け、それらの検出結果に基づき、センサ部６と検出面１０２ａの密着性を確認してもよい。あるいは、支持台１４の端部に一対の接地部材（例えば半球状の部材）を設けてもよい。
【００２９】
走査装置２は、制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１とほぼ同心になるように設置された胴体部１９と、この胴体部１９を中心としてアーム２０を周方向に回動させるとともに上下動させる回動・上下動機構２１と、アーム２０の長さ方向（言い換えれば、スタブチューブ１０１の半径方向）に沿ってマニピュレータ２２をスライドさせるスライド機構（図示せず）とを備えている。上述した渦電流探傷プローブ１の台座１６は、マニピュレータ２２の先端側（図４中下側）に取付けられている。
【００３０】
マニピュレータ２２は、詳細を図示しないが、図４（ａ）及び図４（ｂ）中矢印Ｂ方向に回転して渦電流探傷プローブ１のセンサ部６のロール角θｒ等を調整可能な回転機構と、図４（ａ）及び図４（ｂ）中矢印Ｃ方向に回転して渦電流探傷プローブ１のセンサ部６のピッチ角θｐ等を調整可能な回転機構と、鉛直軸周りに回転して渦電流探傷プローブ１のセンサ部６のヨー角θｙ（言い換えれば、図３で示すように、プローブ１の走査方向に対するプローブ１の長手方向の角度）等を調整可能な回転機構とを有している。
【００３１】
ここで、溶接部１０２の表面（検査面１０２ａ）は、全体が略円錐台側面状であって、かつ軸方向断面が凹状でその曲率が周方向位置に応じて変化するような複雑な三次元形状である（図４（ａ）、図４（ｂ）、及び図５参照）。そのため、渦電流探傷プローブ１のセンサ部６を検査面１０２ａに密着させつつ検査面１０２ａの周方向に走査すると、基板９の変形もあいまって、プローブ１の走査方向に対して交わる方向（言い換えれば、センサ部６の長手方向）におけるセンサ部６の一方側の部分と他方側の部分とで走査軌跡の長さが異なる。また、場合によっては、渦電流探傷プローブ１のセンサ部６を検査面１０２ａに密着させるために、プローブ１の走査位置に応じてプローブ１の姿勢角を変化させる必要がある。
【００３２】
走査制御装置３には、プローブ１の走査位置毎に（詳細には、後述する開始トリガ信号の回数毎に）、回動・上下動機構２１、スライド機構、及びマニピュレータ２２の制御パラメータが予め設定記憶されている。そして、走査制御装置３は、予め設定記憶された制御パラメータに基づき、回動・上下動機構２１、スライド機構、及びマニピュレータ２２を駆動制御して、渦電流探傷プローブ１を検査面１０２ａの周方向に（言い換えれば、溶接線に沿って）走査する。このとき、マニピュレータ２２から渦電流探傷プローブ１を検査面１０２ａに押付ける押付力を加えて（図４（ａ）及び図４（ｂ）参照）、渦電流探傷プローブ１を検査面１０２ａに密着させながら、渦電流探傷プローブ１の走査位置や姿勢角（詳細には、上述したロール角θｒ、ピッチ角θｐ、ヨー角θｙ）を制御するようになっている。
【００３３】
また、走査制御装置３は、走査装置２を駆動制御して渦電流探傷プローブ１を所定の走査ピッチで走査する度に（言い換えれば、渦電流探傷プローブ１の走査位置毎に）、開始トリガ信号を渦電流探傷装置４に送信するようになっている。
【００３４】
渦電流探傷装置４は、走査制御装置３からの開始トリガ信号を受信すると、例えば図３中点線矢印で示すように、複数のコイル１０を、プローブ１の短手方向の配置関係にある励磁コイルと検出コイルの組合せ（１チャンネル、２チャンネル、…、Ｎチャンネル、…、最終チャンネル）に順次切替える。詳しく説明すると、第１列（図３中左側の列）に位置するコイル１０を１つずつ、励磁コイルに切替えるとともに、第２列（図３中右側の列）に位置して励磁コイルに隣り合う２つのコイルを、検出コイルに切替える。そして、励磁コイルによって発生する交流磁場により、溶接部１０２の表層部に渦電流を誘起させ、きずによる渦電流の乱れを検出コイルのインピーダンスの変化（出力電圧の変化）として検出する。この検出結果は、励磁コイルと検出コイルの組合せに対応する検出点（詳細には、図３中黒丸で示すように、励磁コイルと検出コイルの間の中間点）のものとして取得する。したがって、渦電流探傷プローブ１の走査位置毎に（詳細には、上述したトリガ信号の回数毎に）、複数のチャンネルに対応した複数の検出点の検出結果（検出コイルの出力電圧）を取得する。そして、渦電流探傷プローブ１の走査位置（詳細には、上述したトリガ信号の回数）及びチャンネル番号に対応した検出結果からなる検出データ（図６参照）を作成して収録するようになっている。
【００３５】
なお、図３で示すように、特定のＮチャンネルに対応する特定の検出点Ｏは、基板９の中心点であって、基板９上にピン１３の軸心Ｌ１と軸１５の軸心Ｌ２を反映したときのそれらの交点に相当する。また、この検出点Ｏの三次元座標は、プローブ１の走査位置に対応するものであって、プローブ１の姿勢角の影響を受けない。
【００３６】
本実施形態の要部であるデータ処理・表示装置５は、機能的な構成として、プローブ構造記憶部２３、三次元モデル記憶部２４、検出点三次元座標取得部２５、検出点三次元座標記憶部２６、三次元探傷データ作成部２７、表示制御部２８、及び表示部（モニタ）２９を有している。
【００３７】
プローブ構造記憶部２３は、渦電流探傷プローブ１の基板９上における複数の検出点の位置関係を予め記憶している。すなわち、本実施形態では、図３で示すように複数のチャンネルの検出点がプローブ１の長手方向に配列されていることから、プローブ１の長手方向における基板９上のコイル間隔Ｄ及び検出点間隔Ｄ／２等を予め記憶している。
【００３８】
三次元モデル記憶部２４は、溶接部１０２の表面（検査面）の三次元モデル３０や周囲構造物（詳細には、原子炉圧力容器１００や制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１等）の表面の三次元モデル３１を予め記憶している。なお、三次元モデルは、三次元座標のデータであり、設計データを用いてもよいが、好ましくは、実測データを用いたほうがよい。
【００３９】
次に、本実施形態におけるデータ処理・表示装置５の制御手順を説明する。図７は、本実施形態におけるデータ処理・表示装置５の制御内容を表すフローチャートである。
【００４０】
この図７において、まず、ステップ２０１にて、データ処理・表示装置５の検出点三次元座標取得部２５は、走査制御装置３から、開始トリガ信号の回数に関連付けられた走査装置２の制御パラメータを受信する。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、走査装置２の制御パラメータ等に基づき、Ｎチャンネルの検出点Ｏの三次元座標を演算する。その後、ステップ２０２に進み、検出点三次元座標取得部２５は、三次元モデル記憶部２４から検査面の三次元モデル３０を読込む。そして、図８で示すように、Ｎチャンネルの検出点Ｏの三次元座標に基づき、検査面の三次元モデル３０上に検出点Ｏをプロットするとともに、それらを滑らかに結ぶ検出点Ｏの走査軌跡（プローブ１の走査方向線に相当）を作成する。
【００４１】
その後、ステップ２０３に進み、検出点三次元座標取得部２５は、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、走査装置２の制御パラメータ等に基づき、プローブ１のヨー角θｙを演算する。そして、ステップ２０４に進み、検出点三次元座標取得部２５は、図８で示すように、プローブ１の走査位置毎のヨー角θｙに基づき、検査面の三次元モデル３０上に、各検出点Ｏを通るヨー角方向線（言い換えれば、プローブ１の長手方向線）を作成する。
【００４２】
その後、ステップ２０５に進み、検出点三次元座標取得部２５は、プローブ構造記憶部２３から基板９上の検出点間隔Ｄ／２を読込む。そして、図８で示すように、基板９上の検出点間隔Ｄ／２に基づき、Ｎチャンネル以外の他のチャンネルの検出点をヨー角方向線に沿ってプロットし、他の検出点の三次元座標を演算する。そして、ステップ２０１及び２０５で得られたＮチャンネルの検出点Ｏ及び他のチャンネルの検出点の三次元座標が、開始トリガ信号の回数（言い換えれば、プローブ１の走査位置）に関連付けられて、検出点三次元座標記憶部２６に記憶される。なお、検出点の三次元座標と検出面の三次元モデル３０は、同じ座標系によるものである。
【００４３】
上述したステップ２０１〜２０５は、渦電流探傷プローブ１の走査・探傷前に行われてもよいし、走査・探傷中若しくは走査・探傷後に行われてもよい。そして、渦電流探傷プローブ１の走査・探傷後、ステップ２０６に進み、データ処理・表示装置５の三次元探傷データ作成部２７は、渦電流探傷装置４で収録された検出データを受信する。そして、開始トリガ信号の回数に関連付けられた検出点の三次元座標を、検出点三次元座標記憶部２６から読込み、これに基づき、検出データを三次元探傷データに変換する。すなわち、複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する。
【００４４】
その後、ステップ２０７に進み、表示制御部２８は、例えば図９で示すような三次元モデル画面３２を表示部２９に表示させる。この三次元モデル画面３２では、三次元モデル記憶部２４で記憶された検査面の三次元モデル３０や周囲構造物の表面の三次元モデル３１を表示する。また、三次元探傷データ作成部２７で作成された三次元探傷データに基づき、検査面の三次元モデル３０上に検出点を対応させながら、その検出点の検出結果のレベルを色調の変化で表示する（画面３２中の探傷結果表示領域３３参照）。なお、図９では、便宜上、検出結果のレベルを色調の変化で２段階に表示する場合を例にとって示しているが、３段階以上に表示してもよいことは言うまでもない。
【００４５】
なお、本実施形態では、三次元モデル画面３２において、きずの一方側端部及び他方側端部の位置を指定することが可能である。そして、表示制御部２８は、指定されたきずの一方側端部や他方側端部の三次元座標を演算して、画面３２上に表示させる機能を有している。また、指定されたきずの一方側端部から他方側端部までの長さを、きずの形状に沿って演算して、画面３２上に表示させる機能を有している。これにより、きずの位置や長さ等の評価を容易にしている。
【００４６】
以上のように構成された本実施形態においては、データ処理・表示装置５は、渦電流探傷プローブ１の走査位置毎に、励磁コイルと検出コイルの組合せ（チャンネル）に対応した複数の検出点の三次元座標を取得する。そして、複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する。そして、検査面の三次元モデル３０を表示するとともに、三次元探傷データに基づき、検査面の三次元モデル３０上に検出点の検出結果を色調で表示する。これにより、例えば図１０で示す画面３４のように、プローブ走査位置と基板上のチャンネル位置を座標としたニ次元座標系で走査領域を表示するとともに、各チャンネルの検出結果を対応する座標の画素の色調で表示する場合と比べ、歪みが生ぜず、探傷結果の表示精度を高めることができる。その結果、きずの位置や長さ等の評価精度を高めることができる。
【００４７】
なお、上記第１の実施形態においては、特に説明しなかったが、例えば検査面の三次元モデル３０におけるデータ丸め誤差等の理由から、図７のステップ２０２で演算されたＮチャンネルの検出点Ｏの三次元座標が、検査面の三次元モデル３０と一致しない可能性がある。そのため、データ処理・表示装置５は、図１１で示すような制御を行ってもよい。図１１は、第１の変形例におけるデータ処理・表示装置５の制御内容を表すフローチャートである。なお、上記第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００４８】
本変形例では、ステップ２０８にて、データ処理・表示装置５の検出点三次元座標取得部２５は、ステップ２０１で演算したＮチャンネルの検出点Ｏの三次元座標が、検査面の三次元モデル３０と一致しているかどうかを判定する。例えばＮチャンネルの検出点Ｏの三次元座標が検査面の三次元モデルと一致している場合は、ステップ２０８の判定が満たされ、ステップ２０３に移る。一方、例えばＮチャンネルの検出点Ｏの三次元座標が検査面の三次元モデルと一致していない場合は、ステップ２０８の判定が満たされず、ステップ２０９に移る。ステップ２０９では、検出点三次元座標取得部２５は、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、走査装置２の制御パラメータ等に基づき、プローブ１の押付方向（図４参照）を演算する。その後、ステップ２１０に進み、図１２で示すように、Ｎチャンネルの検出点Ｏを通る押付方向ベクトルをそれぞれ作成し、この押付方向ベクトルと検査面の三次元モデル３０との交点により、Ｎチャンネルの検出点Ｏの三次元座標の補正値を演算する。このような変形例においても、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４９】
また、上記第１の実施形態及び第１の変形例においては、図７及び図１１のステップ２０１（Ｎチャンネルの検出点Ｏの三次元座標の演算）とステップ２０３（プローブ１のヨー角θｙの演算）をデータ処理・表示装置５が行う場合を例にとって説明したが、これに代えて、走査制御装置４が行ってもよい。また、上記第１の変形例においては、図１１のステップ２０９（プローブ１の押付方向の演算）をデータ処理・表示装置５が行う場合を例にとって説明したが、これに代えて、走査制御装置４が行ってもよい。また、上記第１の実施形態等においては、渦電流探傷装置４とデータ処理・表示装置５を別体として構成した場合を例にとって説明したが、これに代えて、例えば渦電流探傷装置とデータ処理・表示装置を一体として構成してもよい。これらの場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００５０】
本発明の第２の実施形態を、図１３〜図１７により説明する。なお、本実施形態において、上記第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００５１】
図１３は、本実施形態における渦電流探傷システムの構成を表すブロック図である。図１４は、本実施形態における渦電流探傷プローブのセンサ部の構造を表す平面図である。図１５は、本実施形態におけるカメラの取付位置を説明するための斜視図である。
【００５２】
本実施形態の渦電流探傷システムは、検査面１０２ａ上に配置された渦電流探傷プローブ１Ａと、この渦電流探傷プローブ１Ａを検査面１０２ａ上で走査する走査装置２と、この走査装置２を駆動制御して渦電流探傷プローブ１Ａの走査位置や姿勢角を制御する走査制御装置３と、渦電流探傷プローブ１Ａの探傷制御を行う渦電流探傷装置４と、例えば制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１等に固定された複数のカメラ３５と、これらカメラ３５の撮影制御を行う撮影制御装置３６と、撮影制御装置３６及び渦電流探傷装置４から受信したデータを処理して探傷結果を表示するデータ処理・表示装置５Ａとを備えている。
【００５３】
渦電流探傷プローブ１Ａのセンサ部６には、基板９の上面側（検査面１０２ａとは反対側）で外縁部に固定された複数のマーカ３７が設けられている。これらマーカ３７は、スポンジ１１から露出するように設けられており、カメラ３５で撮影可能としている。
【００５４】
走査制御装置３は、走査装置２を駆動制御して渦電流探傷プローブ１を所定の走査ピッチで走査する度に（言い換えれば、渦電流探傷プローブ１の走査位置毎に）、開始トリガ信号を渦電流探傷装置４及び撮影制御装置３６に送信するようになっている。撮影制御装置３６は、走査制御装置３からの開始トリガ信号に応じてカメラ３５を制御して複数のマーカ３７を撮影し、開始トリガ信号の回数と関連付けて複数のマーカ３７の画像を収録するようになっている。
【００５５】
本実施形態の要部であるデータ処理・表示装置５Ａは、機能的な構成として、プローブ構造記憶部２３Ａ、三次元モデル記憶部２４Ａ、検出点三次元座標記憶部２６、三次元探傷データ作成部２７、表示制御部２８、表示部２９、マーカ三次元座標演算部３８、マーカ三次元座標記憶部３９、検出点三次元座標演算部４０、及び三次元モデル作成部４１を有している。プローブ構造記憶部２３Ａは、渦電流探傷プローブ１における基板９と複数のマーカ３７の配置関係、及び基板９と複数の検出点の配置関係を予め記憶している。
【００５６】
次に、本実施形態におけるデータ処理・表示装置５Ａの制御手順を、図１６を用いて説明する。図１６は、本実施形態におけるデータ処理・表示装置５Ａの制御内容を表すフローチャートである。
【００５７】
この図１６において、まず、ステップ３０１にて、データ処理・表示装置５Ａのマーカ三次元座標演算部３８は、撮影制御装置３６から、開始トリガ信号の回数に関連付けられた複数のマーカ３７の画像を受信する。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、複数のマーカ３７の画像に基づき、複数のマーカ３７の三次元座標を演算する。そして、複数のマーカ３７の三次元座標が、開始トリガ信号の回数（言い換えれば、プローブ１の走査位置）に関連付けられて、マーカ三次元座標記憶部３９に記憶される
その後、ステップ３０２に進み、検出点三次元座標演算部４０は、マーカ三次元座標記憶部３９から、開始トリガ信号の回数に関連付けられた複数のマーカ３７の三次元座標を読込む。また、プローブ構造記憶部２３Ａから、基板９と複数のマーカ３７の配置関係を読込む。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、複数のマーカの三次元座標、及び基板９と複数のマーカ３７の配置関係に基づき、渦電流探傷プローブ１の基板９の形状や配置を演算する。
【００５８】
その後、ステップ３０３に進み、検出点三次元座標演算部４０は、プローブ構造記憶部２３Ａから、基板９と複数の検出点の配置関係を読込む。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、ステップ３０２で演算した渦電流探傷プローブ１の基板９の形状や配置、及び基板９と複数の検出点の配置関係に基づき、複数の検出点の三次元座標を演算する（図１７参照）。そして、複数の検出点の三次元座標が、開始トリガ信号の回数（言い換えれば、プローブ１の走査位置）に関連付けられて、検出点三次元座標記憶部２６に記憶される。なお、マーカ３７の三次元座標、検出点の三次元座標、及び検出面の三次元モデル３０は、同じ座標系によるものである。
【００５９】
その後、ステップ３０４に進み、三次元モデル作成部４１は、検出点三次元記憶部２６から複数の検出点の三次元座標を読込み、これに基づき、検査面の三次元モデル３０Ａを作成する（図１７参照）。この検出面の三次元モデル３０Ａは、三次元モデル記憶部２４Ａに記憶される。なお、三次元モデル検出部４１は、マーカ三次元記憶部３９から複数のマーカ３７の三次元座標を読込み、これに基づき、検査面の三次元モデルを作成してもよい。
【００６０】
上述したステップ３０１〜３０４は、準備段階における渦電流探傷プローブ１の走査中若しくは走査後に行われてもよいし、検査段階における渦電流探傷プローブ１の走査・探傷中若しくは走査・探傷後に行われてもよい。そして、渦電流探傷プローブ１の走査・探傷後、ステップ３０５に進み、データ処理・表示装置５Ａの三次元探傷データ作成部２７は、渦電流探傷装置４で収録された検出データを受信する。そして、開始トリガ信号の回数に関連付けられた検出点の三次元座標を、検出点三次元座標記憶部２６から読込み、これに基づき、検出データを三次元探傷データに変換する。すなわち、複数の検出点の三次元座標とそれらに対応する検出結果を含む三次元探傷データを作成する。
【００６１】
その後、ステップ３０６に進み、表示制御部２８は、三次元モデル画面を表示部２９に表示させる。この三次元モデル画面では、三次元モデル記憶部２４Ａで記憶された検査面の三次元モデル３０Ａを表示する。また、三次元探傷データ作成部２７で作成された三次元探傷データに基づき、検査面の三次元モデル３０Ａ上に検出点を対応させながら、その検出点の検出結果のレベルを色調の変化で表示する。
【００６２】
以上のように構成された本実施形態においても、上記第１の実施形態と同様、歪みが生ぜず、探傷結果の表示精度を高めることができる。その結果、きずの位置や長さ等の評価精度を高めることができる。
【００６３】
なお、上記第２の実施形態においては、データ処理・表示装置５Ａは、検査面の三次元モデル３０Ａを作成して表示する場合を例にとって説明したが、これに限られず、第１の実施形態と同様、予め用意された検査面の三次元モデル３０や周囲構造物の表面の三次元モデル３１を表示してもよい。この場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００６４】
また、上記第２の実施形態においては、複数のカメラ３５は、制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１等に固定されて、渦電流探傷プローブ１と共に移動しない場合を例にとって説明したが、これに限られず、例えば図１８で示すように、マニピュレータ２２に固定されて、渦電流探傷プローブ１と共に移動してもよい。このような変形例では、データ処理・表示装置５Ａのマーカ三次元座標演算部３８は、走査制御装置３から、開始トリガ信号の回数に関連付けられた走査装置２の制御パラメータを受信する。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、走査装置２の制御パラメータ等に基づき、カメラ３５の配置や姿勢を演算する。そして、開始トリガ信号の回数毎に（言い換えれば、プローブ１の走査位置毎に）、複数のマーカ３７の画像及びカメラ３５の配置や姿勢に基づき、複数のマーカ３７の三次元座標を演算すればよい。本変形例においても、上記第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６５】
また、上記第１及び第２の実施形態等においては、図３中点線矢印で示すように、プローブ短手方向の配置関係にある励磁コイルと検出コイルの組合せに順次切替える場合を例にとって説明したが、さらに、図１７中点線矢印で示すように、プローブ長手方向の配置関係にある励磁コイルと検出コイルの組合せに順次切替えてもよい。このような変形例では、データ処理・表示装置５のプローブ構造記憶部２３（又はデータ処理・表示装置５Ａのプローブ構造記憶部２３Ａ）は、プローブ短手方向における基板９上のコイル間隔Ｅ、並びに特定の検出点との間隔Ｅ／２及びＤ／４等を予め記憶していればよい。本変形例においても、上記同様の効果を得ることができる。
【００６６】
また、上記第１及び第２の実施形態等においては、渦電流探傷プローブ１又は１Ａのコイル１０は、２列で三角格子状に配列された場合を例にとって説明したが、これに限られず、例えば１列又は３列以上で配列されてもよいし、若しくは四角格子状に配列されてもよい。また、上記第１及び第２の実施形態等においては、渦電流探傷プローブ１又は１Ａは、励磁コイルと検出コイルの組合せ（チャンネル）を多数有する場合を例にとって説明したが、これに限られず、少なくとも２つ有すればよい。すなわち、渦電流探傷プローブ１は、少なくとも１つの励磁コイルと、プローブ１の走査方向に対して交わる方向に互いに離間された少なくとも２つの検出コイルとを有すればよい。これらの場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【００６７】
なお、以上においては、原子炉圧力容器１００と制御棒駆動機構のスタブチューブ１０１との溶接部１０２を検査する場合であって、渦電流探傷プローブ１又は１Ａを溶接部１０２の表面（検査面）１０２ａ上で走査する場合を例にとって説明したが、これに限られない。別の言い方をすれば、検査面は、全体が略円錐台側面状であって、かつ軸方向断面が凹状でその曲率が周方向位置に応じて変化するような複雑な三次元形状である場合を例にとって説明したが、これに限られない。すなわち、検査面は、例えば、全体が略円錐台側面状であって、かつ軸方向断面が凹状でその曲率が周方向位置に応じて変化しないような三次元形状であってもよい。あるいは、例えば、全体が略円錐台側面状であって、かつ軸方向断面において曲率を有しないような三次元形状であってもよい。このような検査面上を走査する場合も、プローブ１又は１Ａの走査方向に対して交わる方向におけるセンサ部６の一方側の部分と他方側の部分とで走査軌跡の長さが異なるため、本発明の課題が生じる。そのため、本発明を適用すれば、上記同様の効果を得ることができる。また、前述した検査面のように、軸方向断面の曲率が周方向位置に応じて変化しないか、若しくは軸方向断面において曲率が有しない場合、渦電流探傷プローブの基板は、検査面に沿うように形成されていればよく、可撓性を有しなくともよい。この場合も、上記同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１，１Ａ      渦電流探傷プローブ
２            走査装置
３            走査制御装置
４            渦電流探傷装置
５，５Ａ      データ処理・表示装置（検出点三次元座標取得手段、三次元探傷データ作成手段、三次元モデル記憶手段、表示手段）
９            基板
１０          コイル（励磁コイル、検出コイル）
３０，３０Ａ  検査面の三次元モデル
３４          カメラ（撮像手段）
３６          マーカ
１０２ａ      検査面
【図１】
0005829930.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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