(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削するための切れ刃を有する切削ブレードを備えた切削手段と、該保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置において、
該保持テーブルは、被加工物を保持する主保持部と、該主保持部に隣接して設けられた補助保持部とを具備しており、
該補助保持部には、該切削ブレードの切れ刃を成形するための平面状のドレスボードを傾斜した状態で保持するドレスボード保持部材が配設されており、
該ドレスボード保持部材は、該補助保持部に着脱可能に構成された装着部と、該ドレスボードを傾斜した状態で保持する保持面を備えたドレスボード保持部とからなり、該ドレスボード保持部の保持面に吸引手段に連通する複数の吸引口が設けられ、該ドレスボードを該保持面に吸引保持するように構成されている、
ことを特徴とする切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハや圧電素子基板、フェライト基板等の被加工物を切削する切削装置、更に詳しくは切削ブレードの切れ刃をＶ溝切削用に形成することができる機能を備えた切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。また、矩形に形成された圧電素子基板やフェライト基板もストリートに沿って分割することにより個々のデバイスを製造している。
【０００３】
上述した半導体ウエーハ等の被加工物のストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備し、切削ブレードを回転しつつストリートに沿って被加工物を保持した保持テーブルを相対的に切削送りすることにより被加工物をストリートに沿って切断する。
【０００４】
なお、被加工物を所定のストリートに沿って切断するとともに切削面に面取りを形成する方法として、ステップカットと称する切削方法が実施されている。このステップカットは、先ずＶ溝切削用の切削ブレードによって所定深さのＶ溝を形成するハーフカットを行い、その後、切断用の切削ブレードによってハーフカットされたＶ溝に沿って被加工物を完全切断する。
【０００５】
上述したようにＶ溝を形成するＶ溝切削用の切削ブレードは、切れ刃の外周部の断面形状をＶ字状に形成する必要がある。従って、切削装置は、切削手段を構成する回転スピンドルに装着された切削ブレードの切れ刃をＶ溝切削用の切れ刃に形成することができるドレッシング機能を備えていることが望ましい。
【０００６】
切削手段を構成する回転スピンドルに装着された切削ブレードの切れ刃を、放電加工によって適宜の形状に形成する放電成形ユニットを備えた切削装置が提案され実用化されている。（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特願２００１−５４８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
而して、上記特許文献に開示された切削ブレードの切れ刃を適宜の形状に形成する方法は放電加工であるため、切れ刃が電鋳ブレードのように導電性を有する切削ブレードに適用することはできるが、切れ刃が砥粒をレジンボンドやビトリファイドボンドで固めて形成された切削ブレードには適用することができない。
【０００９】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、切れ刃が導電性を有する切削ブレードに限らず、非導電性の切れ刃を備えた切削ブレードであってもＶ溝切削用の切れ刃に適宜成形することができる機能を備えた切削装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を切削するための切れ刃を有する切削ブレードを備えた切削手段と、該保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該保持テーブルと切削手段とを相対的に切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段とを具備する切削装置において、
該保持テーブルは、被加工物を保持する主保持部と、該主保持部に隣接して設けられた補助保持部とを具備しており、
該補助保持部には、該切削ブレードの切れ刃を成形するための平面状のドレスボードを傾斜した状態で保持するドレスボード保持部材が配設されており、
該ドレスボード保持部材は、該補助保持部に着脱可能に構成された装着部と、該ドレスボードを傾斜した状態で保持する保持面を備えたドレスボード保持部とからなり、該ドレスボード保持部の保持面に吸引手段に連通する複数の吸引口が設けられ、該ドレスボードを該保持面に吸引保持するように構成されている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明による切削装置においては、保持テーブルは被加工物を保持する主保持部と該主保持部に隣接して設けられた補助保持部とを具備しており、補助保持部には切削ブレードの切れ刃を成形するための平面状のドレスボードを傾斜した状態で保持するドレスボード保持部材が配設されているので、ドレスボード保持部材によって傾斜した状態で保持された平面状のドレスボードを用いることにより、切れ刃が導電性を有する切削ブレードに限らず、非導電性の切れ刃を備えた切削ブレードであっても必要なときに適宜Ｖ溝切削用の切れ刃に成形することができる。また、ドレスボード保持部材は、補助保持部に着脱可能に構成された装着部と、平面状のドレスボードを傾斜した状態で保持する保持面を備えたドレスボード保持部とからなり、ドレスボード保持部の保持面に吸引手段に連通する複数の吸引口が設けられ、平面状のドレスボードを保持面に吸引保持するように構成されているので、平面状のドレスボードの着脱がきわめて容易でありドレッシング作業を効率よく実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によって構成された切削装置の斜視図。
【図２】図１に示す切削装置に装備される保持テーブルの要部断面図。
【図３】図２に示す保持テーブルに配設されるドレスボード保持部材の斜視図。
【図４】図３に示すドレスボード保持部材の断面図。
【図５】図１に示す切削装置に装備されるスピンドルユニットの分解斜視図。
【図６】図３に示すドレスボード保持部材に装着されたドレスボードによって切削ブレードの切れ刃をＶ溝切削用の切れ刃に成形するドレッシング作業の説明図。
【図７】図１に示す切削装置によって実施される切削工程の説明図。
【図８】図７に示す切削工程が実施された被加工物の要部を拡大して示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明によって構成された切削装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１５】
図１には、本発明によって構成された切削装置の斜視図が示されている。
図１に示す切削装置は、静止基台２と、該静止基台２に切削送り方向である矢印Ｘで示す方向（Ｘ軸方向）に移動可能に配設され被加工物を保持する保持テーブル機構３と、静止基台２にＸ軸方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向（Y軸方向）に移動可能に配設されたスピンドル支持機構６と、該スピンドル支持機構６に上記保持テーブル機構３を構成する保持テーブルの上面である保持面に垂直な矢印Ｚで示す切り込み送り方向（Z軸方向）に移動可能に配設された切削手段としてのスピンドルユニット７とを具備している。
【００１６】
上記保持テーブル機構３は、被加工物を保持する保持テーブル４と、該保持テーブル４を支持しＸ軸方向に移動せしめる保持テーブル移動機構５とからなっている。保持テーブル移動機構５は、静止基台２上にＸ軸方向に沿って平行に配設された一対の案内レール５１、５１と、該案内レール５１、５１上にＸ軸方向に移動可能に配設された保持テーブル支持基台５２と、該保持テーブル支持基台５２を一対の案内レール５１、５１に沿って移動せしめる切削送り手段５３を具備している。
【００１７】
上記保持テーブル支持基台５２は矩形状に形成され、その下面には上記一対の案内レール５１、５１と嵌合する被案内溝５２１、５２１が形成されている。この被案内溝５２１、５２１を一対の案内レール５１、５１に嵌合することにより、保持テーブル支持基台５２は一対の案内レール５１、５１に沿って移動可能に配設される。
【００１８】
上記切削送り手段５３は、上記一対の案内レール５１と５１の間に平行に配設された雄ネジロッド５３１と、該雄ネジロッド５３１を回転駆動するためのサーボモータ５３２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド５３１は、その一端が上記静止基台２に固定された軸受ブロック５３３に回転自在に支持されており、その他端が上記サーボモータ５３２の出力軸に連結されている。なお、雄ネジロッド５３１は、保持テーブル支持基台５２の中央部に形成された雌ネジ５２２に螺合されている。従って、サーボモータ５３２によって雄ネジロッド５３１を正転および逆転駆動することにより、保持テーブル支持基台５２は案内レール５１、５１に沿ってＸ軸方向に移動せしめられる。
【００１９】
次に、上記保持テーブル４について、図２乃至図４を参照して説明する。
図示の実施形態における保持テーブル４は、図２に示すようにステンレス鋼等の金属材によって円板状に形成され、被加工物を保持する主保持部４１と、該主保持部４１に隣接して設けられた補助保持部４２を備えている。保持テーブル４の主保持部４１には後述する被加工物に対応する矩形状の嵌合凹部４１１が形成されており、この嵌合凹部４１１に多孔性セラミックス板からなる吸着チャック４３が嵌合される。保持テーブル４に形成された嵌合凹部４１１には吸引通路４１２が開口しており、この吸引通路４１２が吸引手段４４に接続されている。吸引手段４４は、吸引源４４１と、該吸引源４４１と吸引通路４１２とを接続する吸引パイプ４４２と、該吸引パイプ４４２に配設された電磁開閉弁４４３とからなっている。電磁開閉弁４４３はOFFの状態においては閉路しており、ONされると開路するように構成されている。従って、電磁開閉弁４４３がONされて開路すると、吸引源４４１から吸引パイプ４４２および吸引通路４１２を介して嵌合凹部４１１に負圧が作用せしめられる。この結果、嵌合凹部４１１に嵌合された吸着チャック４３の上面（保持面）に負圧が作用し、吸着チャック４３の上面（保持面）に被加工物を吸引保持することができる。
【００２０】
図２を参照して説明を続けると、保持テーブル４の補助保持部４２には後述する切削ブレードの切れ刃をＶ溝切削用の切れ刃に成形するためのドレスボード４５１、４５２を保持するドレスボード保持部材４６が配設される。即ち、保持テーブル４の補助保持部４２には、矩形状の嵌合凹部４２１が形成されている。この嵌合凹部４２１には吸引通路４２２が開口しており、吸引通路４２２が吸引パイプ４４４を介して上記吸引手段４４の吸引源４４１に接続されている。なお、吸引パイプ４４４には電磁開閉弁４４５が配設されており、この電磁開閉弁４４５はOFFの状態においては閉路しており、ONされると開路するように構成されている。
【００２１】
ドレスボード保持部材４６は、図３および図４に示すように三角柱状に形成されたドレスボード保持部４７と、該ドレスボード保持部４７の底面４７１から突出して形成された装着部４８とからなっている。ドレスボード保持部材４６の装着部４８は保持テーブル４の補助保持部４２に形成された矩形状の嵌合凹部４２１に対応する形状に形成されている。この装着部４８を嵌合凹部４２１に嵌合することによりドレスボード保持部４７は図２に示すように保持テーブル４の補助保持部４２に着脱可能に装着される。なお、ドレスボード保持部４７の装着部４８には、図２に示すように嵌合凹部４２１に嵌合された状態で上記保持テーブル４の補助保持部４２に形成された吸引通路４２２と連通する連通路４８１が設けられている。
【００２２】
図３および図４を参照して説明を続けると、ドレスボード保持部材４６のドレスボード保持部４７は、底面４７１の幅方向両端からそれぞれ所定の角度αを持って傾斜する保持面４７２および４７３を備えている。ドレスボード保持部４７の保持面４７２および４７３には、それぞれドレスボード４５１および４５２に対応する矩形状の嵌合凹部４７２aおよび４７３aが形成されており、この嵌合凹部４７２aおよび４７３aにそれぞれドレスボード４５１、４５２が嵌合される。ドレスボード保持部４７の保持面４７２および４７３に形成された嵌合凹部４７２aおよび４７３aには、それぞれ複数の吸引口４７２bおよび４７３bが開口しており、この吸引口４７２bおよび４７３bは、それぞれドレスボード保持部４７に設けられた吸引通路４７２cおよび４７３cに連通している。この吸引通路４７２cおよび４７３cは、上記装着部４８に形成された連通路４８１と連通するように形成されている。従って、図２に示す電磁開閉弁４４５がONされて開路すると、吸引源４４１から吸引パイプ４４４、連通路４８１、吸引通路４７２cおよび４７３cを介して複数の吸引口４７２bおよび４７３bに負圧が作用せしめられる。この結果、ドレスボード保持部４７の保持面４７２および４７３に形成された嵌合凹部４７２aおよび４７３aに嵌合されたドレスボード４５１、４５２を所定の傾斜角度αをもって着脱可能に吸引保持することができる。なお、ドレスボード保持部材４６は、ドレスボード保持部４７の保持面４７２および４７３の傾斜角度αが例えば３０度、４５度、６０度に形成されたものを用意し、形成するV溝に対応して適宜装着することが望ましい。
【００２３】
図１に戻って説明を続けると、上述した保持テーブル４は保持テーブル支持基台５２の上面に配設された円筒状の支持筒体５５に回転可能に支持されている。また、支持筒体５５の上端には、保持テーブル４が挿通する穴を備えたカバープレート５６が配設されている。このように支持筒体５５に回転可能に支持された保持テーブル４は、図示しない回転駆動手段によって適宜回動せしめられるように構成されている。
【００２４】
図１を参照して説明を続けると、上記スピンドル支持機構６は、静止基台２上にY軸方向に沿って平行に配設された一対の案内レール６１、６１と、該案内レール６１、６１上にY軸方向に移動可能に配設された可動支持基台６２を具備している。この可動支持基台６２は、案内レール６１、６１上に移動可能に配設された移動支持部６２１と、該移動支持部６２１に取り付けられた装着部６２２とからなっている。移動支持部６２１の下面には案内レール６１、６１と嵌合する一対の被案内溝６２１a、６２１aが形成されており、この被案内溝６２１a、６２１aを案内レール６１、６１に嵌合することにより、可動支持基台６２は案内レール６１、６１に沿って移動可能に構成される。また、上記装着部６２２は、一側面にＺ軸方向に延びる一対の案内レール６２２a、６２２aが平行に設けられている。
【００２５】
図示の実施形態におけるスピンドル支持機構６は、可動支持基台６２を一対の案内レール６１、６１に沿ってY軸方向に移動させるための割り出し送り手段６３を具備している。割り出し送り手段６３は、上記一対の案内レール６１、６１の間に平行に配設された雄ネジロッド６３１と、該雄ネジロッド６３１を回転駆動するためのパルスモータ６３２等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド６３１は、その一端が上記静止基台２に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ６３２の出力軸に連結されている。なお、雄ネジロッド６３１は、可動支持基台６２を構成する移動支持部６２１の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ６３２によって雄ネジロッド６３１を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台６２は案内レール６１、６１に沿ってY軸方向に移動せしめられる。
【００２６】
図示の実施形態におけるスピンドルユニット７は、ユニットホルダ７１と、該ユニットホルダ７１に取り付けられたスピンドルハウジング７２と、該スピンドルハウジング７２に回転可能に支持された回転スピンドル７３を具備している。ユニットホルダ７１は、上記装着部６２２に設けられた一対の案内レール６２２a、６２２aに摺動可能に嵌合する一対の被案内溝７１ａ、７１ａが設けられており、この被案内溝７１ａ、７１ａを上記案内レール６２２a、６２２aに嵌合することにより、Ｚ軸方向に移動可能に支持される。上記回転スピンドル７３はスピンドルハウジング７２の先端から突出して配設されており、この回転スピンドル７３の先端部に切削ブレード７４が装着されている。
【００２７】
上記切削ブレード７４およびその取付け構造について、図５を参照して説明する。図５に示す切削ブレード７４は、アルミニウムによって形成された円環状の基台７４１と、該円環状の基台７４１の外周部側面に装着された環状の切れ刃７４２とからなっている。円環状の基台７４１は、中心部に後述するブレードマウントの装着部に嵌合する嵌合穴７４１aが設けられており、外周側にブレード装着部７４１bが設けられている。ブレード装着部７４１bに環状の切れ刃７４２が装着される。
【００２８】
環状の切れ刃７４２は、ダイヤモンド等からなる砥粒を結合剤で結合して円環状に形成され、上記基台７４１を構成するブレード装着部７４１bに装着される。なお、この環状の切れ刃７４２としては、砥粒をレジンボンド材に混錬し環状に成型して焼成したレジノイドブレードや、砥粒を金属ボンド材に混錬し環状に成型して焼成したメタルブレードや、上記ブレード装着部７４１bに砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレード等が用いられる。なお、図示の実施形態における環状の切れ刃７４２は、非導電性のレジノイドブレードを用いることとする。このレジノイドブレードからなる環状の切れ刃７４２は、図示の実施形態においては、厚みが１mmに形成されている。
【００２９】
上述したように構成された切削ブレード７４は、スピンドルユニット７のスピンドルハウジング７２に回転自在に支持された回転スピンドル７３に取付けられるブレードマウント７５に装着される。そして、切削ブレード７４はブレードマウント７５と挟持ナット７６によって挟持され固定される。
【００３０】
回転スピンドル７３に取付けられるブレードマウント７５は、図示の実施形態においてはステンレス鋼によって形成されており、図５に示すように円環状のフランジ部７５１と、該フランジ部７５１の中心部から側方に突出して形成された円柱状の装着部７５２とからなっている。この装着部７５２に上記切削ブレード７４を構成する基台７４１が装着される。即ち、ブレードマウント７５の装着部７５２に円環状の基台７４１に形成された嵌合穴７４１aを嵌合し、装着部７５２の先端部に形成された雄ネジに挟持ナット７６を螺合することにより、円環状の基台７４１をブレードマウント７５の円環状のフランジ部７５１と挟持ナット７６によって挟持して固定する。
【００３１】
図１に戻って説明を続けると、スピンドルユニット７を構成するスピンドルハウジング７２の先端部には、上記保持テーブル４上に保持された被加工物を撮像し、上記切削ブレード７４によって切削すべき領域を検出するための撮像手段７７を具備している。この撮像手段７７は、顕微鏡やＣＣＤカメラ等の光学手段からなっており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。
【００３２】
図示の実施形態におけるスピンドルユニット７は、ユニットホルダ７１を一対の案内レール６２２a、６２２aに沿ってＺ軸方向に移動させるための切込み送り手段７８を具備している。切込み送り手段７８は、上記切削送り手段５３および割り出し送り手段６３と同様に案内レール６２２a、６２２a の間に配設された雄ネジロッド（図示せず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ７８２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ７８２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ７１とスピンドルハウジング７２および回転スピンドル７３を案内レール６２２a、６２２a に沿ってＺ軸方向示す切り込み送り方向に移動せしめる。
【００３３】
図示の実施形態における切削装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
先ず、上記ブレードマウント７５に装着された切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２をＶ溝切削用の切れ刃に成形するドレッシング作業について説明する。
【００３４】
ドレッシング作業を実施するには、切削送り手段５３および割り出し送り手段６３を作動して保持テーブル４の補助保持部４２に配設されたドレスボード保持部材４６を撮像手段７７の撮像領域に位置付ける。ドレスボード保持部材４６が撮像領域に位置付けられたならば、撮像手段７７および図示しない制御手段によってドレスボード保持部材４６の長手方向がX軸方向と平行に位置付けられているか否かをチェックする。もし、ドレスボード保持部材４６の長手方向がX軸方向と平行に位置付けられていない場合には、保持テーブル４を回動してドレスボード保持部材４６の長手方向がX軸方向と平行になるように調整する。
【００３５】
次に、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４の補助保持部４２に配設されたドレスボード保持部材４６を切削ブレード７４の下方である切削領域に位置付ける。そして、割り出し送り手段６３を作動し、切削ブレード７４をドレスボード保持部材４６の保持面４７２に装着された一方のドレスボード４５１の直上に位置付ける。このようにして切削ブレード７４をドレスボード保持部材４６の保持面４７２に装着された一方のドレスボード４５１の直上に位置付けたならば、切削ブレード７４を回転しつつ切込み送り手段７８を作動して下降せしめ、図６の（ａ）に示すように切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２の外周部を接触せしめる。そして、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４をＸ軸方向（図６の（ａ）において紙面に垂直な方向）に移動する。この結果、環状の切れ刃７４２の一方の面（図６の（ａ）において右方の面）は、ドレスボード４５１の傾斜角度αに対応した角度に形成される（第１のドレッシング工程）。
【００３６】
上述した第１のドレッシング工程を実施したならば、切込み送り手段７８を作動して切削ブレード７４を上昇させ所定の待機位置に位置付ける。次に、割り出し送り手段６３を作動し、切削ブレード７４をドレスボード保持部材４６の保持面４７３に装着された他方のドレスボード４５２の直上に位置付ける。このようにして切削ブレード７４をドレスボード保持部材４６の保持面４７３に装着された他方のドレスボード４５２の直上に位置付けたならば、切削ブレード７４を回転しつつ切込み送り手段７８を作動して下降せしめ、図６の（ｂ）に示すように切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２の外周部を接触せしめる。そして、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４をＸ軸方向（図６の（ｂ）において紙面に垂直な方向）に移動する。この結果、環状の切れ刃７４２の他方の面（図６の（ｂ）において左方の面）は、ドレスボード４５２の傾斜角度αに対応した角度に形成される（第２のドレッシング工程）。
【００３７】
上述した第１のドレッシング工程および第２のドレッシング工程を実施することにより、切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２の外周には図６の(c)に示すように刃先角β（１８０度−２α）の角度の有するＶ溝切削用の切れ刃が形成される。以上のようにして、切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２に対してＶ溝切削用の切れ刃を成形するドレッシング作業を実施したならば。切込み送り手段７８を作動して切削ブレード７４を上昇させ所定の待機位置に位置付けるとともに、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４を図１に示す被加工物着脱領域に位置付ける。
【００３８】
以上のように、切削ブレード７４の環状の切れ刃７４２をＶ溝切削用の切れ刃に成形するドレッシング作業は、保持テーブル４の補助保持部４２に配設されたドレスボード保持部材４６に所定の角度αをもって傾斜した状態で保持されたドレスボード４５１および４５２によって実施するので、切れ刃７４２が導電性を有する切削ブレードに限らず、非導電性の切れ刃を備えた切削ブレードであってもＶ溝切削用の切削ブレードを成形することができる。
【００３９】
次に、上述したようにＶ溝切削用の切れ刃に形成された切削ブレード７４によって被加工物にＶ溝を形成する切削作業について説明する。
切削作業を実施する際には、図１に示す被加工物着脱位置に位置付けられている保持テーブル４の主保持部４１に配設された吸着チャック４３上に被加工物としてのフェライト基板１０を図示しない搬送装置によって搬送する。なお、フェライト基板１０は、矩形状に形成され、表面に格子状のストリート１０１が形成されている。このように形成されたフェライト基板１０が保持テーブル４の吸着チャック４３上に載置されたたならば、図２に示す吸引手段４４の電磁開閉弁４４３をONして開路することにより、上述したように吸着チャック４３の上面（保持面）に負圧を作用せしめ、該吸着チャック４３上にフェライト基板１０を吸引保持する。
【００４０】
次に、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４を撮像手段７７の直下まで移動せしめる。保持テーブル４が撮像手段７７の直下に位置付けられると、撮像手段７７および図示しない制御手段によってフェライト基板１０の切削加工すべき加工領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段７７および図示しない制御手段は、フェライト基板１０の所定方向に形成されているストリート１０１と、ストリート１０１に沿って切削する切削ブレード７４との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、切削加工すべき加工領域のアライメントを遂行する。また、フェライト基板１０に形成されている上記所定方向に対して直交する方向に延びるストリート１０１に対しても、同様に切削加工すべき加工領域のアライメントが遂行される。
【００４１】
上述したように、フェライト基板１０の切削加工すべき加工領域を検出するアライメント作業を実行したならば、切削送り手段５３を作動して保持テーブル４を切削領域に移動し、図７の(a)に示すように所定のストリートの一端を切削ブレード７４の直下より図７の(a)において僅かに右側に位置付ける。そして、切削ブレード７４を矢印７４aで示す方向に回転しつつ図７の(a)において２点鎖線で示す待機位置から矢印Ｚ１で示す方向に所定量切り込み送りし、切削ブレード７４を図７において実線で示す切り込み送り位置に位置付ける。次に、上記切削送り手段５３を作動して保持テーブル４を図７の(a)において矢印X1で示す方向に所定の切削送り速度で移動する（切削工程）。そして、保持テーブル４に保持されたフェライト基板１０の所定のストリート１０１の他端が図７の(b)に示すように切削ブレード７４の直下より僅かに左側に達したら、チャックテーブル４の移動を停止するとともに、切削ブレード７４を矢印Ｚ２で示す方向に上昇せしめる。この結果、フェライト基板１０には、図８に示すように所定のストリート１０１に沿ってＶ溝１１０が形成される。
【００４２】
上述した切削工程をフェライト基板１０に所定方向に形成された全てのストリート１０１に沿って実施したならば、保持テーブル４を９０度回動する。そして、フェライト基板１０に上記所定方向と直交する方向に形成された全てのストリート１０１に沿って上述した切削工程を実施する。この結果、フェライト基板１０には、全てのストリート１０１に沿ってＶ溝１１０が形成される。このようにしてストリート１０１に沿ってＶ溝１１０が形成されたフェライト基板１０は、Ｖ溝１１０が形成されたストリート１０１に沿って切断する切断工程に搬送される。
【符号の説明】
【００４３】
２：静止基台
３：保持テーブル機構
４：保持テーブル
４１：主保持部
４２：補助保持部
４３：吸着チャック
４４：吸引手段
４５１、４５２：ドレスボード
４６：ドレスボード保持部材
４７：ドレスボード保持部
４８：装着部
５：保持テーブル移動機構
５２：保持テーブル支持基台
５３：切削送り手段
６：スピンドル支持機構
６２：可動支持基台
６３：割り出し送り手段
７：スピンドルユニット
７３：回転スピンドル
７４：切削ブレード
７７：撮像手段
７８：切込み送り手段
【図１】
0005702562.tif 000002
【図２】
0005702562.tif 000003
【図３】
0005702562.tif 000004
【図４】
0005702562.tif 000005
【図５】
0005702562.tif 000006
【図６】
0005702562.tif 000007
【図７】
0005702562.tif 000008
【図８】
0005702562.tif 000009