(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体を撮像するための撮像素子と、
前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、
前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、
前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、
前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、
前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記シャッター駆動信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、
第一、中央、第二のリンクと四つの回転対偶から構成される平面三節リンク機構を有し、
前記撮像素子は、撮像面が前記平面三節リンク機構の可動面と垂直の関係となるように、前記平面三節リンク機構の前記中央のリンクに取り付けられ、
前記撮像素子駆動手段は、第一の撮像素子駆動手段と第二の撮像素子駆動手段により構成され、駆動方向が前記撮像素子の撮像面と平行であり、かつ、互いに逆方向であり、
前記平面三節リンク機構の前記第一のリンクには、回転対偶を介して前記第一の撮像素子駆動手段が接続され、
前記平面三節リンク機構の前記第二のリンクには、回転対偶を介して前記第二の撮像素子駆動手段が接続されることを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
被写体を撮像するための撮像素子と、
前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、
前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、
前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、
前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、
前記シャッター装置を駆動することに起因する前記撮像素子の振動を計測する計測手段と、
前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記計測手段により得られた信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、
第一、中央、第二のリンクと四つの回転対偶から構成される平面三節リンク機構を有し、
前記撮像素子は、撮像面が前記平面三節リンク機構の可動面と垂直の関係となるように、前記平面三節リンク機構の前記中央のリンクに取り付けられ、
前記撮像素子駆動手段は、第一の撮像素子駆動手段と第二の撮像素子駆動手段により構成され、駆動方向が前記撮像素子の撮像面と平行であり、かつ、互いに逆方向であり、
前記平面三節リンク機構の前記第一のリンクには、回転対偶を介して前記第一の撮像素子駆動手段が接続され、
前記平面三節リンク機構の前記第二のリンクには、回転対偶を介して前記第二の撮像素子駆動手段が接続されることを特徴とする撮像装置。
【請求項３】
前記撮像素子駆動手段は、コアレスＤＣモータであることを特徴とする請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
被写体を撮像するための撮像素子と、
前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、
前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、
前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、
前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、
前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記シャッター駆動信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、
前記板バネを支持し、前記板バネが変形した時に支点として機能して前記板バネが前記撮像素子を前記光軸方向に移動することを可能にする支持部材と、
前記板バネに固定され、前記撮像素子の移動と連動して前記撮像素子とは反対方向に移動する錘とを有し、
前記撮像素子駆動手段として圧電素子を用い、前記板バネを変形させるように前記圧電素子を前記板バネに接続することを特徴とする撮像装置。
【請求項５】
被写体を撮像するための撮像素子と、
前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、
前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、
前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、
前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、
前記シャッター装置を駆動することに起因する前記撮像素子の振動を計測する計測手段と、
前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記計測手段により得られた信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、
前記板バネを支持し、前記板バネが変形した時に支点として機能して前記板バネが前記撮像素子を前記光軸方向に移動することを可能にする支持部材と、
前記板バネに固定され、前記撮像素子の移動と連動して前記撮像素子とは反対方向に移動する錘とを有し、
前記撮像素子駆動手段として圧電素子を用い、前記板バネを変形させるように前記圧電素子を前記板バネに接続することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子を撮像面と垂直な軸方向に位置制御するための撮像素子駆動手段を備えた撮像装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、静止画や動画を撮影するカメラにおいて、光軸方向に変位する板バネで支持された撮像素子をアクチュエータで駆動して、自動焦点調整（以下ＡＦ）を行う撮像装置がある。例えば特許文献１に記載の撮像装置では、弾性変形自在な基板で支持された撮像素子をＶＣＭにより駆動している。また、特許文献２に記載の撮像装置では、一対のバイモルフ型圧電素子をＸ字型に交差する形態で組み合わせた構造をもつアクチュエータにより、撮像素子を光軸方向に駆動している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１５３９７０号公報
【特許文献２】特開２００６−１２１７６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１および特許文献２に開示されている機構では、特許文献１にみられる弾性変形自在な基板や、特許文献２にみられるバイモルフにより撮像素子が支持されている。そのため、撮影時のシャッターの駆動による振動が、撮像素子に伝わり、撮像素子を不必要に振動させ、撮影画像における像振れの原因となってしまう。
【０００５】
（発明の目的）
本発明の目的は、光軸方向に変位する板バネで支持された撮像素子をアクチュエータで駆動してＡＦを行う撮像装置において、撮影時のシャッターの駆動により撮像素子に伝わる振動を低減し、高い外乱抑制特性を持つ撮像装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の撮像装置は、被写体を撮像するための撮像素子と、前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記シャッター駆動信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、第一、中央、第二のリンクと四つの回転対偶から構成される平面三節リンク機構を有し、前記撮像素子は、撮像面が前記平面三節リンク機構の可動面と垂直の関係となるように、前記平面三節リンク機構の前記中央のリンクに取り付けられ、前記撮像素子駆動手段は、第一の撮像素子駆動手段と第二の撮像素子駆動手段により構成され、駆動方向が前記撮像素子の撮像面と平行であり、かつ、互いに逆方向であり、前記平面三節リンク機構の前記第一のリンクには、回転対偶を介して前記第一の撮像素子駆動手段が接続され、前記平面三節リンク機構の前記第二のリンクには、回転対偶を介して前記第二の撮像素子駆動手段が接続されを有することを特徴とするものである。
また、別の側面の撮像装置は、被写体を撮像するための撮像素子と、前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、前記シャッター装置を駆動することに起因する前記撮像素子の振動を計測する計測手段と、前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記計測手段により得られた信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、第一、中央、第二のリンクと四つの回転対偶から構成される平面三節リンク機構を有し、前記撮像素子は、撮像面が前記平面三節リンク機構の可動面と垂直の関係となるように、前記平面三節リンク機構の前記中央のリンクに取り付けられ、前記撮像素子駆動手段は、第一の撮像素子駆動手段と第二の撮像素子駆動手段により構成され、駆動方向が前記撮像素子の撮像面と平行であり、かつ、互いに逆方向であり、前記平面三節リンク機構の前記第一のリンクには、回転対偶を介して前記第一の撮像素子駆動手段が接続され、前記平面三節リンク機構の前記第二のリンクには、回転対偶を介して前記第二の撮像素子駆動手段が接続されることを特徴とするものである。
また、別の側面の撮像装置は、被写体を撮像するための撮像素子と、前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記シャッター駆動信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、前記板バネを支持し、前記板バネが変形した時に支点として機能して前記板バネが前記撮像素子を前記光軸方向に移動することを可能にする支持部材と、前記板バネに固定され、前記撮像素子の移動と連動して前記撮像素子とは反対方向に移動する錘とを有し、前記撮像素子駆動手段として圧電素子を用い、前記板バネを変形させるように前記圧電素子を前記板バネに接続することを特徴とするものである。
また、別の側面の撮像装置は、被写体を撮像するための撮像素子と、前記撮像素子を支持し、前記撮像素子の撮像面と垂直な軸方向に力を受けて変形する板バネと、前記板バネに抗して前記撮像素子を光軸方向に移動させる撮像素子駆動手段と、前記撮像素子の光入射側に位置し、前記撮像素子への光入射を制御するシャッター装置と、前記シャッター装置を駆動するためのシャッター駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段とを備えた撮像装置であって、前記シャッター装置を駆動することに起因する前記撮像素子の振動を計測する計測手段と、前記シャッター装置を駆動することにより発生する外乱による、前記撮像素子の振動を抑制するために、前記計測手段により得られた信号に基づいて、前記撮像素子を駆動する駆動信号を生成し、前記撮像素子駆動手段を制御する制御器と、前記板バネを支持し、前記板バネが変形した時に支点として機能して前記板バネが前記撮像素子を前記光軸方向に移動することを可能にする支持部材と、前記板バネに固定され、前記撮像素子の移動と連動して前記撮像素子とは反対方向に移動する錘とを有し、前記撮像素子駆動手段として圧電素子を用い、前記板バネを変形させるように前記圧電素子を前記板バネに接続することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、光軸方向に変位する板バネで支持された撮像素子をアクチュエータで駆動してＡＦを行う撮像装置において、撮影時のシャッターの駆動により撮像素子に伝わる振動を低減し、高い外乱抑制特性を持たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１を説明する概念図である。
【図２】実施例１に係る板バネと撮像素子駆動手段の接続構造を表した概念図である。
【図３】平面三節リンク機構のチルト自由度を示す図である。
【図４】本発明の実施例２に係る板バネと撮像素子駆動手段の接続構造を表した概念図である。
【図５】本発明の実施例３を説明する概念図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明を実施するための形態は、以下の実施例１ないし３に記載される通りである。
【実施例１】
【００１０】
図１（ａ）は、本発明の実施例１である撮像装置の基本的な構成を表した概念図を示している。撮像素子１は、撮像光学系が形成した被写体の光学像を光電変換するＣＭＯＳやＣＣＤであり、コントラストＡＦ時に撮像光学系の光軸方向に微小移動（ウォブリング）するように構成されている。
【００１１】
撮像素子１は、板バネ１０を介して撮像装置１００に固定されている。また、板バネ１０には、板バネ１０を光軸２の方向へ変位させるための撮像素子駆動手段３が接続されており、撮像素子駆動手段３は撮像装置１００に固定されている。シャッター装置７および、シャッター装置７を駆動するための駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段８が撮像装置１００に備えられている。シャッター装置７は撮像素子１の光入射側に位置し、撮像素子１への光入射を制御する。シャッター装置７を駆動することにより発生した外乱による、撮像素子１の振動を抑制するために、シャッター駆動信号に基づいて、撮像素子駆動手段３を駆動するための駆動信号を生成し、撮像素子駆動手段３を制御する制御器１３が備えられている。
【００１２】
図１（ｂ）は、実施例１における制御概念図を示している。シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられ、シャッター装置７が駆動される。制御器１３は、シャッター装置７が駆動されるに伴って撮像装置１００を介して撮像素子１に伝わる外乱を予め記憶している。シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられたタイミングと同時に、予め記憶した外乱が低減するよう撮像素子駆動手段３を駆動する信号を制御器１３が発生する。このようにして、シャッター駆動により撮像装置１００に伝わる外乱を抑制することで、高い外乱抑制特性を持たせることができる。
【００１３】
図２（ａ）は、実施例１に係る板バネ１０と撮像素子駆動手段３の接続構造を表した概念図を示している。四つの回転対偶４ａ、４ｂ、６ａ、６ｂおよび、三つのリンク５ａ、５ｂ、５ｃにより平面三節リンク機構が構成されている。この平面三節リンク機構は、理想的には、駆動平面（ＸＺ平面）以外の空間（Ｙ方向）には自由度を持たない。平面三節リンク機構における、中央のリンク５ｃに撮像素子１を備える。このとき撮像面は、平面三節リンク機構の可動面（ＸＺ平面）と垂直の関係にある。残りの第一のリンク５ａ、第二のリンク５ｂを、それぞれ回転対偶４ａ、４ｂを介して第一の撮像素子駆動手段３ａ、第二の撮像素子駆動手段３ｂにそれぞれ接続する。撮像素子駆動手段３を構成する第一と第二の撮像素子駆動手段３ａ、３ｂは、平面三節リンク機構の可動面（ＸＺ平面）上にあり、光軸２と垂直の関係にある駆動軸１２上を駆動方向としている。撮像素子駆動手段３ａ、３ｂをそれぞれ同じ量ｄだけ、撮像素子駆動手段３ａを＋Ｘ方向へ、撮像素子駆動手段３ｂを−Ｘ方向へ駆動することにより、撮像素子１は光軸２の方向へ駆動される。
【００１４】
平面三節リンク機構は、それ自体が一自由度のリンク機構であり、図３に示すチルト自由度を持っている。そのため、撮像素子駆動手段３ａ、３ｂにより撮像素子１を位置決めしても、外乱振動が入った場合には、図３に示すチルト自由度で振動する可能性がある。しかし、撮像素子１には板バネ１０ａ、１０ｂがそれぞれ光軸２に対して対象となる位置に設けられている。そして板バネ１０ａ、１０ｂは、それぞれ撮像装置１００に固定される。この板バネ１０ａ、１０ｂが、図３に示したチルト自由度を拘束して、撮像素子１の駆動方向に対してガイドの役割を果たし、他成分を抑制した駆動を行うことができる。
【００１５】
このように撮像素子駆動手段３の接続構造に平面三節リンク機構および板バネ１０ａ、１０ｂを用いることで、図３に示すような、本来望ましいＺ方向への直進以外の変位を避けることが可能となる。さらにアクチュエータを撮像面と平行に配置することで、構造の簡素化及び薄型で省スペース化を図ることができる。
【００１６】
図２（ｂ）は、図２（ａ）における、撮像素子駆動手段３を示した図である。本実施例１においては、撮像素子駆動手段３ａ、３ｂとして、コアレスＤＣモータを用いている。コアレスＤＣモータ３１ａ（３１ｂ）の出力軸に雄ネジを切り、そして直動部材３２ａ（３２ｂ）に雌ネジを切り、両者を螺合することによって、コアレスＤＣモータ３１ａ（３１ｂ）の回転出力を直動出力に変換している。
【００１７】
本実施例１において、シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられ、シャッター装置７が駆動される。制御器１３は、シャッター装置７が駆動されるに伴って撮像装置１００を介して撮像素子１に伝わる外乱ｆを予め記憶している。シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられたタイミングと同時に、予め記憶した外乱が低減するよう撮像素子駆動手段３を駆動する信号ｆを制御器１３が発生する。このようにして、シャッター駆動により撮像装置１００に伝わる外乱を抑制することで、高い外乱抑制特性を有する撮像装置１００を提供することができる。
【実施例２】
【００１８】
図４は、本発明の実施例２に係る板バネ１０と撮像素子駆動手段３の接続構造を表す概念図を示している。実施例２の基本的な構成は図１に示される通りのものである。
【００１９】
撮像素子１は腕部１１を介して板バネ１０と接続されている。一対の腕部１１は光軸２に対して対称な位置に配置されており、光軸２と平行な状態にある。板バネ１０は光軸２と垂直な状態にある。一対の腕部１１がそれぞれ板バネ１０の両端に接続され、略Ｕ字形状を形作っている。一対の腕部１１はその先端において撮像素子１と接続されているため、一対の腕部１１と板バネ１０が形作る略Ｕ字形状の上面に撮像素子１が位置し、撮像面と板バネ１０は略平行な状態で固定されている。この結果、板バネ１０は撮像素子１の撮像面の平行を保ちながら、その中央を中心に光軸方向へ変形することができる。
【００２０】
板バネ１０には、圧電素子１４と錘１５が備えられており、板バネ１０は、圧電素子１４による力を受けて変形することによって、撮像素子１を光軸方向に移動する弾性変形可能な変形部材である。板バネ１０は、一対の支持部材１６により支持されており、一対の支持部材１６は腕部１１と同様の配置で、光軸２に対して対称に配置され、撮像装置１００に固定されている。支持部材１６は、腕部１１よりも光軸に近い位置に配置されている。板バネ１０を圧電素子１４により変形させ、一対の支持部材１６を介して腕部１１を光軸方向に沿って変位させることができる。一対の腕部１１は、板バネ１０の両端部に接続されて撮像素子１を移動する変位部である。支持部材１６は、圧電素子１４の撓み変形に支障を与えることなく板バネ１０を支持している。本実施例２では、圧電素子１４の外側に支持部材１６が配置されており、板バネ１０を支持しているが、圧電素子１４の内側に支持部材１６が配置され、圧電素子１４を支持する構造でも良い。各支持部材１６は、撮像装置１００に固定され、板バネ１０が弾性変形する際に支点として機能する。
【００２１】
一対の圧電素子１４は、板バネ１０の表裏面の中央に取り付けられている。圧電素子１４は、板バネ１０を変形させることによって一対の腕部１１を介して撮像素子１を光軸方向へ微小振動させる撮像素子駆動手段３である。
【００２２】
本実施例２の圧電素子１４は、いわゆるバイモルフ構造を構成している。本実施例２では、パラレル型の接続方式により、一定の電圧を上下の圧電素子１４に印加した場合、上下の圧電セラミックスが互いに逆方向に伸縮するように構成している。板バネ１０がその撮像素子側が凹むように変形した場合、支持部材１６を支点として、板バネ１０の先端に接続されている一対の腕部１１が変位し、それに伴い撮像素子１が光軸方向に沿って変位する（図４（ｂ））。板バネ１０がその撮像素子側が突出するように変形した場合は、撮像素子１は逆方向へ後退する。また、これらは電圧の大きさに応じた変位量が生じる。
【００２３】
錘１５は、板バネ１０の裏面に固定され、撮像素子１の移動と連動して撮像素子１とは光軸方向において反対方向に移動する。錘１５は、撮像素子１が光軸方向へ微小振動する際に撮像素子１および板バネ１０を含めた構造の重心が移動することによって発生する振動を相殺または低減する機能を有する。即ち、錘１５は、撮像素子１および板バネ１０を含めた構造の平衡を維持する平衡錘（カウンタウエイトまたはカウンタバランス）として機能する。
【００２４】
本実施例２において、シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられ、シャッター装置７が駆動される。制御器１３は、シャッター装置７が駆動されるに伴って撮像装置１００を介して撮像素子１に伝わる外乱を予め記憶している。シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられたタイミングと同時に、予め記憶した外乱が低減するよう圧電素子１４を駆動する信号を制御器１３が発生する。このようにして、シャッター駆動により撮像装置１００に伝わる外乱を抑制することで、高い外乱抑制特性を有する撮像装置１００を提供することができる。
【実施例３】
【００２５】
図５（ａ）は、本発明の実施例３である撮像装置の基本的な構成を表した概念図を示している。撮像素子１は、撮像光学系が形成した光学像を光電変換するＣＭＯＳやＣＣＤであり、コントラストＡＦ時に撮像光学系の光軸方向に微小移動（ウォブリング）するように構成されている。
【００２６】
撮像素子１は、板バネ１０を介して撮像装置１００に固定されている。また、板バネ１０には、板バネ１０を光軸２の方向へ変位させるための撮像素子駆動手段３が接続されており、撮像素子駆動手段３は撮像装置１００に固定されている。シャッター装置７および、シャッター装置７を駆動するための駆動信号を発生するシャッター駆動信号発生手段８が撮像装置１００に備えられている。シャッター装置７は撮像素子１の光入射側に位置し、撮像素子１への光入射を制御する。シャッター装置７を駆動することにより発生した外乱による、撮像素子１の振動を抑制するために、シャッター装置７を駆動することに起因する撮像素子１の振動を計測するための計測手段９を備えている。計測手段９により得られた信号に基づいて、撮像素子駆動手段３を駆動するための駆動信号を生成し、撮像素子駆動手段３を制御する制御器１３が備えられている。
【００２７】
図５（ｂ）は、実施例３における制御概念図を示している。シャッター駆動信号発生手段８により信号が発せられ、シャッター装置７が駆動する。シャッター装置７の駆動により、撮像素子１００を介して撮像素子１に伝わる振動変位ｆを、計測手段９で計測し、その振動が低減するよう撮像素子駆動手段３を駆動する信号ｆを制御器１３が発生する。このようにして、シャッター駆動により撮像装置１００に伝わる外乱を抑制することで、高い外乱抑制特性を有する撮像装置１００を提供することができる。
【００２８】
実施例３に係る板バネ１０と撮像素子駆動手段３の接続構造は、図２あるいは図４に示される接続構造と同様のものである。
【００２９】
図２の接続構造を用いた場合には、計測手段９により計測された振動を相殺あるいは低減するような信号が制御器１３からコアレスＤＣモータ３１ａ、３１ｂに対して出力される。
【００３０】
図４の接続構造を用いた場合には、計測手段９により計測された振動を相殺あるいは低減するような信号が制御器１３から圧電素子１４に対して出力される。
【符号の説明】
【００３１】
１    撮像素子
３    撮像素子駆動手段
７    シャッター装置
８    シャッター駆動信号発生手段
９    計測手段
１０  板バネ
１３  制御器
【図１】
0005787633.tif 000002
【図２】
0005787633.tif 000003
【図３】
0005787633.tif 000004
【図４】
0005787633.tif 000005
【図５】
0005787633.tif 000006