(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を吸着する吸着装置であって、
絶縁体により構成されており、表面に吸引口が開口している吸着板と、
前記吸引口内を減圧する減圧手段と、
減圧手段を制御する制御手段と、
を備えており、
吸着板に電圧を印加することによって吸着板に静電気力を発生させる電源を備えておらず、
制御手段は、
吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第１ステップと、
第１ステップの後に、減圧手段を停止させる第２ステップ、
を実行し、
第２ステップの後に、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持されることを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
吸着板から生じる前記静電気力が、第１ステップにおいて吸着板と空気との摩擦によって吸着板に蓄積された電荷によって生じることを特徴とする請求項１の吸着装置。
【請求項３】
吸着板を搬送する搬送手段をさらに有しており、
制御手段は、減圧手段と搬送手段を制御し、
制御手段は、
第１ステップの前に、搬送手段によって、吸着板の前記表面が対象物と対向する位置まで吸着板を搬送するステップと、
第２ステップの後に、搬送手段によって、吸着板を搬送するステップ、
をさらに実行することを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
【請求項４】
対象物を吸着する吸着装置であって、
絶縁体により構成されており、表面に吸引口が開口している吸着板と、
前記吸引口内を減圧する減圧手段と、
減圧手段を制御する制御手段と、
を備えており、
制御手段は、
吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第１ステップと、
第１ステップの後に、減圧手段を停止させる第２ステップ、
を実行し、
第２ステップの後に、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持され、
吸着板を搬送する搬送手段をさらに有しており、
制御手段は、減圧手段と搬送手段を制御し、
制御手段は、
第１ステップの前に、搬送手段によって、吸着板の前記表面が対象物と対向する位置まで吸着板を搬送するステップと、
第２ステップの後に、搬送手段によって、吸着板を搬送するステップ、
をさらに実行し、
開口を有するチャンバが形成されているケーシングをさらに有しており、
搬送手段は、吸着板がチャンバの開口を覆う位置と、吸着板がケーシングから離れる位置との間で吸着板を搬送し、
吸着板がチャンバの開口を覆っているときに、前記吸引口がチャンバに繋がり、
減圧手段は、チャンバ内を減圧する、
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項５】
絶縁体により構成されており、表面に吸引口が形成されている吸着板と、
前記吸引口内を減圧する減圧手段と、
を備え、
吸着板に電圧を印加することによって吸着板に静電気力を発生させる電源、
を備えていない吸着装置を用いて、対象物を吸着板に吸着させる方法であって、
吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第１ステップと、
第１ステップの後に、減圧手段を停止させる第２ステップ、
を有しており、
第２ステップの後に、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持されることを特徴とする方法。
【請求項６】
吸着板から生じる前記静電気力が、第１ステップにおいて吸着板と空気との摩擦によって吸着板に蓄積された電荷によって生じることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、対象物を吸着する技術に関する。特に、薄いシート状の対象物を吸着する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、表面に吸引口が開口している吸着板を備える手持式の真空ピンセットが開示されている。吸引口内を減圧して吸引口により対象物を吸引することで、吸着板に対象物を吸着させることができる。なお、特許文献１は対象物を搬送する真空ピンセットについて説明しているが、対象物を吸着する技術は、搬送以外にも対象物を固定する目的で使用されることがある。例えば、対象物をステージに固定してその対象物に何らかの加工を行う際には、対象物をステージに吸着させることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２８９５５９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
吸引口内を減圧することで対象物を吸着板に吸着させる吸着装置においては、吸引口を覆っている部分の対象物に対しては吸引力が作用するが、その他の部分の対象物には吸引力が作用しない。すなわち、吸引力は、吸引口を覆っている部分に対してのみ局所的に作用する。このため、薄いシート状の対象物を吸着すると、吸引口を塞いでいる部分の対象物が吸引口の内側に向かって撓んでしまうことがある。また、シート状の対象物の上面を吸引してその対象物を持ち上げるときには、吸引力が作用しない部分で対象物が下側に撓んでしまうことがある。このように、対象物が変形すると、対象物に負荷が加わる。特にシートの厚みが薄くなると、負荷が加わることで割れが発生するおそれがある。また、このような変形が生じることにより、対象物の位置決めするときの精度や、対象物に対して加工を行うときの寸法精度が低下するおそれがある。例えば、シート状の対象物の表面に薄い電極層や樹脂層をスピンコート、スプレーコート、スクリーン印刷等の手法を使って成膜する際には、対象物が吸引口の内側に向かって撓んで変形していることによって、変形箇所の膜厚が厚くなる等、シート内の膜厚の精度が低下するおそれがある。
【０００５】
一方、吸着板の表面において略均一な吸着力を作用させる吸着装置として、静電チャック装置が知られている。静電チャック装置は、吸着板に電圧を印加することで、対象物と吸着板の間に静電気力を生じさせ、その静電気力により対象物を吸着板に吸着させる。静電チャック装置では、均一な吸着力で対象物を吸着できるので、対象物が変形することを抑制することができる。しかしながら、静電チャック装置は、静電気力を発生させるために吸着板に高い電圧を印加する必要があり、大型の電源等の各種の回路が必要となる。このため、装置全体が大型化、複雑化するという問題がある。
【０００６】
したがって、本明細書では、簡単な構成を有しているとともに、対象物を変形させ難い吸着装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書は、対象物を吸着する吸着装置を開示する。この吸着装置は、絶縁体により構成されており、表面に吸引口が開口している吸着板と、前記吸引口内を減圧する減圧手段と、減圧手段を制御する制御手段とを備えている。この吸着装置は、吸着板に電圧を印加することによって吸着板に静電気力を発生させる電源を備えていない。制御手段は、吸着板の前記表面が対象物と対向しているときに、減圧手段を作動させて、対象物を吸着板の前記表面に吸着させる第１ステップと、第１ステップの後に、減圧手段を停止させる第２ステップを実行する。第２ステップの後においては、吸着板から生じる静電気力によって、対象物が吸着板の前記表面に吸着された状態が維持される。
吸着板から生じる前記静電気力は、第１ステップにおいて吸着板と空気との摩擦によって吸着板に蓄積された電荷によって生じてもよい。
【０００８】
なお、減圧手段を作動させるとは、吸引口内を減圧した状態とすることを意味し、減圧手段を停止させるとは、吸引口内を減圧されていない状態とすることを意味する。
【０００９】
この吸着装置により対象物を吸着する際には、まず、吸着板の前記表面（吸引口が形成されている表面、以下、吸着面という）に対向する位置に対象物を配置する。次に、減圧手段を作動させて吸引口内を減圧することによって、吸引口に空気を吸引する。これによって、吸着板の吸着面に対象物が吸着される（第１ステップ）。また、吸着板が絶縁体であるため、吸引口に空気を吸引する際に、吸引される空気と吸着板との間の摩擦によって吸着板が帯電する。吸着板が帯電すると吸着板内に蓄えられた電荷から生じる静電気力が対象物に作用し、この静電気力によっても対象物が吸着板全面で吸着される。次に、減圧手段を停止させて、吸引口内の圧力を元に戻す（第２ステップ）。減圧手段を停止させると、吸引口による吸引力が対象物に作用しなくなる。しかしながら、上述した静電気力は継続して対象物に作用している。一旦対象物が吸着面に吸着されると、その後は、弱い静電気力でも対象物を吸着しておくことができる。したがって、減圧手段を停止させた後でも、対象物が吸着面に吸着されている状態が維持される。
以上に説明したように、この吸着装置では、対象物を吸着面に吸着する最初の段階（すなわち、対象物を吸着面に貼り付かせるために比較的大きい吸着力が必要となる段階）では、吸引口の吸引力で対象物を吸着する。そして、対象物が吸着面に吸着された後（すなわち、強い吸着力が不要となる段階）では、減圧手段を停止させて、静電気力によって対象物を吸着した状態を維持する。このように、この吸着装置は、対象物を変形させ易い吸引口による吸引を必要最小限しか行わない。また、静電気力は対象物に均一に作用するので、対象物を変形させ難い。したがって、この吸着装置によれば、対象物の変形を抑制しながら、対象物を吸着することができる。また、この吸着装置は、空気との摩擦によって吸着板を帯電させるので、吸着板に電圧を印加するための電源等が不要であり、構成が簡単である。
【００１０】
上述した吸着装置は、吸着板を搬送する搬送手段をさらに有しており、制御手段が減圧手段と搬送手段を制御することが好ましい。制御手段は、第１ステップの前に、搬送手段によって、吸着板の前記表面が対象物と対向する位置まで吸着板を搬送するステップと、第２ステップの後に、搬送手段によって、吸着板を搬送するステップをさらに実行することが好ましい。
【００１１】
このような構成によれば、吸着板に対象物を吸着させた状態で、その対象物を搬送することができる。
【００１２】
また、対象物を搬送する吸着装置は、開口を有するチャンバが形成されているケーシングをさらに有していることが好ましい。搬送手段は、吸着板がチャンバの開口を覆う位置と、吸着板がケーシングから離れる位置との間で吸着板を搬送することができる。吸着板がチャンバの開口を覆っているときに、前記吸引口がチャンバに繋がる。減圧手段は、チャンバ内を減圧する。なお、減圧手段がチャンバ内を減圧するタイミングは、吸着板がチャンバの開口を覆っているときが好ましい。
【００１３】
このような構成によれば、吸着板をケーシングから切り離して移動させることができる。すなわち、ケーシングを移動させないで、対象物を搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施例１の吸着装置１０の概略構成を示すブロック図。
【図２】吸着ユニット２０を吸着面２２側から見た斜視図。
【図３】吸着ユニット２０の縦断面図。
【図４】吸着装置１０の搬送動作の説明図。
【図５】吸着装置１０の搬送動作の説明図。
【図６】吸着装置１０の搬送動作の説明図。
【図７】吸着装置１０の搬送動作の説明図。
【図８】吸着装置１０の搬送動作の説明図。
【図９】吸着板２３０がケーシング２４０に接続されている状態の吸着ユニット２２０を示す斜視図。
【図１０】吸着板２３０がケーシング２４０から分離されている状態の吸着ユニット２２０を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１５】
図１に示す吸着装置１０は、薄いシート状のセラミックスにより構成されているセラミックスシート（例えば、厚さが５０μｍ以下であり、一辺が２５ｍｍ以上の四角形であり、圧電体、ジルコニア、アルミナ等により構成されたセラミックスシート）を吸着して搬送する。吸着装置１０は、吸着ユニット２０と、ポンプ５０と、搬送装置５４と、制御装置５６を備えている。吸着ユニット２０の下面２２は、セラミックスシートを吸着する吸着面である。後に詳述するが、吸着ユニット２０の内部にはチャンバが形成されている。ポンプ５０は、配管５２によって吸着ユニット２０のチャンバに接続されている。ポンプ５０は、チャンバ内の空気を吸引することで、チャンバ内を減圧させる。搬送装置５４は、吸着ユニット２０を移動させる。制御装置５６は、ポンプ５０及び搬送装置５４と電気的に接続されており、これらを制御する。
【００１６】
図２、３に示すように、吸着ユニット２０は、吸着板３０と、ケーシング４０を備えている。吸着板３０は、絶縁体（より具体的には、ＰＥＴ等の樹脂）により構成された平板である。吸着板３０の下面は、上述した吸着面となっている。図２の点線２４は、セラミックスシートを吸着する吸着領域を示している。吸着面２２の吸着領域２４内にセラミックスシートが吸着される。吸着板３０には、吸着領域２４内の吸着面２２に開口する吸引口２６が複数個形成されている。各吸引口２６は、吸着板３０の上面と下面を連通している。吸引口２６は、吸着領域２４の外周に沿って形成されている。吸着面２２の吸着領域２４の外側には、吸着領域２４の外周に沿って複数のガイドピン２８が立設されている。
【００１７】
ケーシング４０は、ＰＥＥＫやアクリル等の樹脂製絶縁体によって構成されていてもよいが、吸着ユニットの剛性の面からアルマイト処理が施されたアルミニウムにより構成されている方が好適である。ケーシング４０は、一方が開放された箱型形状を備えている。ケーシング４０には、一方が開口しているチャンバ４４が形成されている。チャンバ４４の開口部分は、吸着板３０に閉じられている。吸着板３０は、ケーシング４０に固定されている。上述した各吸引口２６は、チャンバ４４に繋がっている。また、ケーシング４０の側面には、吸引ポート４２が形成されている。吸引ポート４２は、チャンバ４４とケーシング４０外とを連通している。吸引ポート４２は、配管５２を介して、ポンプ５０に接続されている。したがって、ポンプ５０が作動すると、チャンバ４４内の空気がポンプ５０によって吸引され、チャンバ４４と吸引口２６の内部が減圧される。
【００１８】
次に、吸着装置１０の動作について説明する。ここでは、吸着装置１０によって、図４に示すセラミックスシート７０を、ステージ８０上からステージ１２０上に搬送するときの動作について説明する。なお、ステージ１２０は、吸着ユニット２０と略同じ構造を有している。具体的には、ステージ１２０は、絶縁体の吸着板１３０とアルマイト処理が施されたアルミニウムのケーシング１４０を有しており、ステージ１２０の内部にはチャンバ１４４が形成されている。吸着板１３０の上面１２２は吸着面である。吸着板１３０には、吸着面１２２に開口し、チャンバ１４４に繋がっている複数の吸引口１２６が形成されている。また、ケーシング１４０の吸引ポート１４２には、配管を介して図示しないポンプが接続されている。なお、ステージ１２０は、固定されたステージであり、移動しない。
【００１９】
最初に、制御装置５６は、搬送装置５４によって、図５に示すように吸着ユニット２０の吸着面２２がステージ８０上のセラミックスシート７０の表面と対向する位置に吸着ユニット２０を移動させる。すなわち、吸着面２２をセラミックスシート７０に接近させる。なお、このときに、吸着面２２をセラミックスシート７０に接触させてもよい。
【００２０】
次に、制御装置５６は、ポンプ５０を作動させる。すると、チャンバ４４と吸引口２６の内部が減圧されて、図５の矢印１８０に示すように、各吸引口２６を通って吸着ユニット２０の外部からチャンバ４４の内部に空気が流入する。この空気の流れによって、セラミックスシート７０が吸い上げられて、図６に示すように、セラミックスシート７０が吸着面２２に貼り付く。また、このとき、流入する空気と絶縁体である吸着板３０との間で摩擦が生じ、吸着板３０が負に帯電する。したがって、吸着板３０に蓄積された電荷による静電気力もセラミックスシート７０に作用する。すなわち、セラミックスシート７０は、吸引口２６で生じる吸引力と、吸着板３０に蓄積された電荷によって生じる静電気力の両方によって、吸着面２２に吸着される。なお、ステージ８０上からセラミックスシート７０を吸い上げる際には、ガイドピン２８によって、セラミックスシート７０の位置ずれが防止される。これによって、位置ずれによるセラミックスシート７０の落下が防止される。吸着ユニット２０は、吸着領域２４（図２参照）の内側に確実にセラミックスシート７０を吸着することができる。
【００２１】
セラミックスシート７０が吸着面２２に貼り付くと、制御装置５６は、ポンプ５０を停止させる。すると、チャンバ４４と吸引口２６の内部が常圧（チャンバ４４の外部の大気圧）に戻り、セラミックスシート７０に吸引口２６による吸引力が作用しなくなる。しかしながら、吸着板３０が帯電しているため、上述した静電気力は継続してセラミックスシート７０に作用している。この静電気力によって、セラミックスシート７０が吸着板３０に張り付いた状態が維持される。すなわち、ポンプ５０が停止しても、セラミックスシート７０は吸着面２２から落下しない。
【００２２】
ポンプ５０を停止させたら、制御装置５６は、搬送装置５４によって、図６の矢印１８２に示すように吸着ユニット２０をステージ１２０の真上に移動させ、その後、図７に示すようにセラミックスシート７０をステージ１２０の吸着面１２２に接近させる。なお、このときに、セラミックスシート７０を吸着面１２２に接触させてもよい。すると、ステージ１２０側の制御装置が、ステージ１２０に接続されたポンプを作動させる。これにより、図７の矢印１８４に示すように各吸引口１２６を通って、ステージ１２０の外部からチャンバ１４４の内部に空気が流入する。この空気の流れによって、セラミックスシート７０が、吸着面１２２側に吸い寄せられて、吸着面１２２に貼り付く。また、このとき、流入する空気と絶縁体である吸着板１３０との間で摩擦が生じ、吸着板１３０が負に帯電する。セラミックスシート７０がステージ１２０の吸着面１２２に吸着されると、制御装置５６は、搬送装置５４によって、図８に示すように吸着ユニット２０をステージ１２０から離れさせる。また、ステージ１２０側の制御装置は、セラミックスシート７０が吸着面１２２に吸着されると、ポンプを停止させる。すると、チャンバ１４４の内部が常圧に戻り、セラミックスシート７０に吸引口１２６による吸引力が作用しなくなる。しかしながら、吸着板１３０が帯電しているため、吸着板１３０に蓄積された電荷による静電気力がセラミックスシート７０に作用している。この静電気力によって、セラミックスシート７０が吸着板１３０に張り付いた状態（すなわち、セラミックスシート７０が吸着板１３０上に固定された状態）が維持される。
【００２３】
以上に説明したように、実施例１の吸着装置１０では、セラミックスシート７０をステージ８０から吸い上げるとき（すなわち、強い吸着力が必要なとき）に限ってポンプ５０を作動させ、セラミックスシート７０が吸着面２２に吸着された後は、ポンプ５０を停止させて静電気力のみによってセラミックスシート７０を吸着面２２に吸着した状態を維持する。したがって、この吸着装置１０は、セラミックスシート７０の変形を抑制することができる。また、消費電力を抑えることができる。
【００２４】
また、静電気力のみを用いる吸着装置では、セラミックスシートを吸い上げるときに、極めて大きい静電気力が必要になる。このためには、吸着板に高い電圧を印加することが必要となり、大型の電源等の各種の回路が必要となる。一方、実施例１の吸着装置１０では、セラミックスシート７０を吸い上げるときには吸引口２６による吸引力を用い、静電気力を主に用いるのは、セラミックスシート７０が吸着面２２に吸着された後である。セラミックスシート７０が既に吸着面２２に貼り付いている状態であれば、セラミックスシート７０を吸着面２２に吸着させた状態を維持するために必要な静電気力はそれほど高くない。空気と吸着板３０との摩擦で生じる静電気力で十分である。したがって、実施例１の吸着装置１０では、吸着板３０に電圧を印加するための電源等の回路が不要である。このため、実施例１の吸着装置１０は、簡単な構成を有しており、小型化が可能である。
【００２５】
また、実施例１において説明したステージ１２０も吸着装置１０の吸着ユニット２０と略同様に動作するため、吸着装置１０と同様の効果が得られる。すなわち、ステージ１２０でも、セラミックスシート７０の変形が抑制される。また、ステージ１２０も、静電気力のみを用いてセラミックシートを吸着するステージに比べて簡単な構成を有しており、小型化することができる。
【００２６】
また、ステージ１２０はセラミックスシート７０を変形させないで保持することができるので、ステージ１２０上で行うセラミックスシート７０に対する加工を正確に実施することができる。例えば、ステージ上でセラミックスシートの表面に樹脂をスプレーコートすることを考える。吸引口による吸引によってセラミックスシートを固定するステージを用いている場合には、吸引口の上部のセラミックスシートの表面が凹む。このため、表面に塗布される樹脂がその凹みに溜まり、吸引口の上部の樹脂の膜厚が厚くなってしまう。一方、上述したステージ１２０では、セラミックスシート７０を吸着した後は静電気力のみによってセラミックスシート７０を固定するので、セラミックスシート７０に変形が生じない。したがって、セラミックスシート７０の表面が平坦となり、均一な膜厚で樹脂を塗布することができる。
【００２７】
また、実施例１で説明した２つの吸着装置（すなわち、吸着装置１０とステージ１２０）の間でのセラミックスシート７０の受け渡しを応用することで、セラミックスシート７０の表裏を反転させてセラミックスシート７０を搬送することもできる。
【実施例２】
【００２８】
次に、実施例２の吸着搬送装置について説明する。なお、実施例１と共通する構成については、説明を省略する。実施例２の吸着搬送装置は、図９、１０に示す吸着ユニット２２０を有している。吸着ユニット２２０は、吸着面２２２が上向きとなるように配置されている。吸着ユニット２２０では、ケーシング２４０が固定されており、吸着板２３０がケーシング２４０から分離して移動可能とされている。なお、図１０に示すように、吸着ユニット２２０では、ガイドピン２２８がケーシング２４０に立設されており、吸着板２３０にはガイドピン２８が挿通される貫通孔２３８が形成されている。ケーシング２４０には、ケーシング２４０の上面に開口するようにチャンバ２４４が形成されている。チャンバ２４４の開口は、吸着板２３０によって開閉することができる。すなわち、吸着板２３０は、チャンバ２４４の開口を覆う位置と、ケーシング２４０から離れる位置との間を移動することができる。吸着板２３０がチャンバ２４４の開口を覆っている状態では、吸引口２２６がチャンバ２４４に繋がっている。
【００２９】
実施例２の吸着搬送装置の動作について説明する。吸着面２２２にセラミックスシートを吸着する際の動作は、実施例１の吸着装置１０と等しい。すなわち、制御装置は、吸着ユニット２２０を図９に示す状態（吸着板２３０がチャンバ２４４を閉じている状態）に制御する。この状態で、吸着面２２２と対向する位置にセラミックシートが配置される。次に、制御装置は、ポンプを作動させてチャンバ２４４内を減圧することで、吸引口２２６によりセラミックスシートを吸引する。このとき、流入する空気との摩擦で吸着板２３０が帯電する。セラミックスシートが吸着板２３０に貼り付いたら、制御装置は、ポンプを停止させ、静電気力によりセラミックスシートを保持する。このように、吸引口２２６によって吸引する時間が必要最小限に抑えられるので、セラミックスシートに加わる負荷を低減することができる。
【００３０】
セラミックスシートを吸着したら、セラミックスシートを搬送する。このとき、制御装置は、図１０に示すように吸着板２３０をケーシング２４０から分離させて、吸着板２３０を移動させる。これによって、セラミックスシートを搬送する。吸着板２３０がケーシング２４０から分離されても、吸着板２３０が静電気を帯びた状態が維持される。このため、吸着板２３０だけを移動させる場合でも、セラミックスシートを吸着板２３０上に吸着固定しておくことができる。したがって、セラミックスシートを無負荷で搬送することができる。また、このように、配線や配管が接続されていない吸着板２３０だけを移動させることで、搬送装置の構成をより簡略化することができる。また、搬送する部分の重量が小さくなるので、搬送装置の消費電力を低減することができる。
【００３１】
なお、上述した実施例１、２では、ポンプを動作状態と停止状態との間で切り換えることで、吸引口内を減圧する動作と減圧しない動作とを切り換えたが、吸着ユニットとポンプとの間の配管に弁を介装し、弁の切り換えによって吸引口内を減圧する動作と減圧しない動作を切り換えるようにしてもよい。
【００３２】
また、上述した実施例１、２では、吸着板３０が負に帯電したが、正に帯電してもよい。何れの場合でも、セラミックスシートを吸着することができる。なお、吸着板３０が負に帯電するか正に帯電するかは、吸着板３０の材質によって変化する。
【００３３】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００３４】
１０：吸着装置
２０：吸着ユニット
２２：吸着面
２４：吸着領域
２６：吸引口
２８：ガイドピン
３０：吸着板
４０：ケーシング
４２：吸引ポート
４４：チャンバ
５０：ポンプ
５２：配管
５４：搬送装置
５６：制御装置
７０：セラミックスシート
８０：ステージ
１２０：ステージ
１２２：吸着面
１２６：吸引口
１３０：吸着板
１４０：ケーシング
１４２：吸引ポート
１４４：チャンバ
【図１】
0005702206.tif 000002
【図２】
0005702206.tif 000003
【図３】
0005702206.tif 000004
【図４】
0005702206.tif 000005
【図５】
0005702206.tif 000006
【図６】
0005702206.tif 000007
【図７】
0005702206.tif 000008
【図８】
0005702206.tif 000009
【図９】
0005702206.tif 000010
【図１０】
0005702206.tif 000011