(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨ブラシが自転および旋回する遊星運動によってワークの被加工面を研磨するブラシユニットであって、
複数のブラシ毛材の先端を底部から露出させた研磨ブラシと、
前記研磨ブラシを一端に連結する自転軸と、前記自転軸を回転可能に挿入する摺動軸と、前記摺動軸を摺動可能に挿入する自転ホルダと、を有する自転機構と、前記自転軸を軸心として前記研磨ブラシを自転させる自転力を発生させる自転駆動機構と、前記自転軸に前記自転力を伝達する自転力伝達機構と、前記摺動軸を介して前記研磨ブラシをワークの被加工面に向けて移動させる昇降機構と、を有する自転ユニットと、
前記自転ユニットと組み合わされる公転ユニットであって、自らが回転することで前記研磨ブラシを旋回させる公転機構と、前記研磨ブラシを旋回させる公転力を発生させる公転駆動機構と、前記公転駆動機構に前記公転力を伝達する公転力伝達機構と、を有する公転ユニットと、
を備え；
前記自転ユニットは、前記研磨ブラシをワークに押し付ける切り込み量を調整可能な切り込み量調整機構をさらに備え；
前記公転ユニットは、中心より外周側に前記自転機構を回動可能に嵌合する円盤状の公転盤と、
前記自転機構の回動角度を制御するための回動角度制御機構と、
を備えることを特徴とするブラシユニット。
【請求項２】
研磨ブラシが自転および旋回する遊星運動によってワークの被加工面を研磨するブラシユニットであって、
複数のブラシ毛材の先端を底部から露出させた研磨ブラシと、
前記研磨ブラシを一端に連結する自転軸と、前記自転軸を回転可能に挿入する摺動軸と、前記摺動軸を摺動可能に挿入する自転ホルダと、を有する自転機構と、前記自転軸を軸心として前記研磨ブラシを自転させる自転力を発生させる自転駆動機構と、前記自転軸に前記自転力を伝達する自転力伝達機構と、前記摺動軸を介して前記研磨ブラシをワークの被加工面に向けて移動させる昇降機構と、を有する自転ユニットと、
前記自転ユニットと組み合わされる公転ユニットであって、自らが回転することで前記研磨ブラシを旋回させる公転機構と、前記研磨ブラシを旋回させる公転力を発生させる公転駆動機構と、前記公転駆動機構に前記公転力を伝達する公転力伝達機構と、を有する公転ユニットと、
を備え；
前記自転ユニットは、複数の前記研磨ブラシを有し、該複数の研磨ブラシは各々自転副軸に一端を固定され、該自転副軸の他端は、前記自転軸の一端から自転力を伝達する自転力副伝達機構と組み合わされ、該自転軸に複数の該研磨ブラシが連結されており、
前記自転ホルダは、前記公転機構の軸心と前記自転軸とが一致するように該公転機構に保持されていることを特徴とするブラシユニット。
【請求項３】
前記研磨ブラシは、複数のブラシ毛材を束ねてその一端をブラシ毛材固定具に固定した複数の研磨具をブラシホルダに保持したセグメントブラシであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のブラシユニット。
【請求項４】
前記ブラシ毛材は、粒度がＦ５４〜Ｆ２４０或いは＃２４０〜＃１０００である砥粒を混入させたナイロン樹脂からなるモノフィラメントであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のブラシユニット。
【請求項５】
前記切り込み量調整機構は、内側に雌ねじ部が設けられ、外周にギヤを形成する歯面が設けられた調整部材と、前記調整部材を回転させるための調整部材移動機構と、前記調整部材移動機構の作動力を前記調整部材に伝達するための調整力伝達機構と、を備え、前記調整部材の雌ねじは、前記自転ホルダの上部に形成された雄ねじと螺合し、前記調整力伝達機構は、前記調整部材の歯面と調整力伝達機構の歯面とが噛合されるように配置されている；
請求項１に記載のブラシユニット。
【請求項６】
前記自転ユニットは、前記研磨ブラシをワークに押し付ける切り込み量を調整可能な切り込み量調整機構をさらに備え；
前記切り込み量調整機構は、内側に雌ねじ部が設けられ、外周にギヤを形成する歯面が設けられた調整部材と、前記調整部材を回転させるための調整部材移動機構と、前記調整部材移動機構の作動力を前記調整部材に伝達するための調整力伝達機構と、を備え、前記調整部材の雌ねじは、前記自転ホルダの上部に形成された雄ねじと螺合し、前記調整力伝達機構は、前記調整部材の歯面と調整力伝達機構の歯面とが噛合されるように配置されている；
請求項２に記載のブラシユニット。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載のブラシユニットと、ワークを載置して前記研磨ブラシの下方に搬送するワーク搬送機構と、を備えたブラシ研磨装置であって、
前記ワーク搬送機構は、ワーク載置部を備え、間欠的に水平回転してワークを前記研磨ブラシの下方に搬送する回転テーブルであることを特徴とするブラシ研磨装置。
【請求項８】
請求項１または請求項２に記載のブラシユニットと、ワークを載置して前記研磨ブラシの下方に搬送するワーク搬送機構と、を備えたブラシ研磨装置であって、
前記ワーク搬送機構は、研磨ブラシに対してワークを連続的に直線移動してワークを前記研磨ブラシの下方に搬送する搬送コンベアであることを特徴とするブラシ研磨装置。
【請求項９】
ワークの第一の面及び前記第一の面とは反対の第二の面の両面を研磨するブラシ研磨システムであって、
前記第一の面を研磨する請求項８に記載の第一ブラシ研磨装置と、
前記第二の面を研磨する請求項８に記載の第二ブラシ研磨装置と、
前記第一ブラシ研磨装置から前記第二ブラシ研磨装置にワークを搬送するワーク中間搬送機構と、を備え、
前記第一ブラシ研磨装置の搬送機構におけるワークの進行方向端にはワークを反転させるワーク反転機構を備えることを特徴とするブラシ研磨システム。
【請求項１０】
ワークの第一の面及び前記第一の面とは反対の第二の面の両面を研磨するブラシ研磨システムであって、
前記第一の面を研磨する請求項１または請求項２に記載の第一ブラシユニットと、
前記第二の面を研磨する請求項１または請求項２に記載の第二ブラシユニットと、
ワーク載置部を備え、間欠的に水平回転してワークを前記第一ブラシユニットおよび前記第二ブラシユニットの下方に搬送する回転テーブルであるワーク搬送機構と、
ワークの移動経路において前記第一ブラシユニットと前記第二ブラシユニットとの間にワークを反転させるワーク反転機構と、を備えることを特徴とするブラシ研磨システム。
【請求項１１】
請求項１または請求項２に記載のブラシユニットによるブラシ研磨方法であって、
前記研磨ブラシを自転させる工程と、
前記研磨ブラシを旋回させる工程と、
自転および旋回している前記研磨ブラシにワークを接触させて該ワークの被加工面の研磨を行う工程と、
前記研磨ブラシの自転速度および前記研磨ブラシの旋回速度をそれぞれ調整する工程と、
を備えることを特徴とするブラシ研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機械加工後のワーク（被加工物）のバリ取りや、角部の丸み付け加工や、表面の平滑化や、表層のマイクロクラックや微小孔の除去や、塗装皮膜等の皮膜除去、等のブラシ研磨を行うブラシユニット、このブラシユニットを備えたブラシ研磨装置およびブラシ研磨方法に関する。また、ワークの両面のブラシ研磨を行うブラシ研磨システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ブラシ研磨装置において、研磨力を有するブラシ毛材が底部に固定された研磨ブラシをモータに連結し、前記ブラシ毛材の先端をワークに接触させると共に、該研磨ブラシの軸心を中心に水平回転させてブラシ研磨（以降、単に「研磨」と記す）を行う機構が知られている（例えば特表２００１−５０８３３８号公報）。このようなブラシ研磨装置の研磨力を向上させるには、前記モータの回転数を上昇させることが考えられる。しかし、大出力のモータはモータ自体が大型化し、ひいてはブラシ研磨装置全体が大型化する。また回転数の上昇によって、振動や騒音の問題が発生することが懸念される。【０００３】
また、装置の大型化を防ぎ、高い研磨力が得られるブラシ研磨装置として、連結された一台のモータの回転に連動して、研磨ブラシが水平回転（すなわち、自転）および旋回（すなわち、公転）、すなわち遊星運動をする構造のブラシ研磨装置が特開２００４−１４２０５９号公報に開示されている。このような構造の場合、自転と公転を一台のモータで行うためにモータに負荷がかかることや、自転と公転の回転数の比は予め固定されているので、ワークの性状や加工目的に合わせて自由に設定することが出来ない。【０００４】
本発明は、研磨ブラシが遊星運動してワークの被加工面を研磨するブラシユニットであって、ワークの性状や加工目的に合わせて研磨条件を容易に設定できるブラシユニット、このブラシユニットを備えたブラシ研磨装置およびブラシ研磨方法を提供する。また、ワークの表裏両面をブラシ研磨するブラシ研磨システムを提供する。
【発明の開示】
【０００５】
第１の発明は研磨ブラシが自転および旋回する遊星運動によってワークの被加工面を研磨するブラシユニットである。前記ブラシユニットは、複数のブラシ毛材の先端を底部から露出させた研磨ブラシと、前記研磨ブラシを一端に連結する自転軸と、前記自転軸を回転可能に挿入する摺動軸と、前記摺動軸を摺動可能に挿入する自転ホルダと、を有する自転機構と、前記自転軸を軸心として前記研磨ブラシを自転させる自転力を発生させる自転駆動機構と、前記自転軸に前記自転力を伝達する自転力伝達機構と、前記摺動軸を介して前記研磨ブラシをワークの被加工面に向けて移動させる昇降機構と、を有する自転ユニットと、前記自転ユニットと組み合わされる公転ユニットであって、自らが回転することで該研磨ブラシを旋回させる公転機構と、前記研磨ブラシを旋回させる公転力を発生させる公転駆動機構と、前記公転駆動機構に前記公転力を伝達する公転力伝達機構と、を有する公転ユニットと、を備えることを特徴とする。自転速度及び公転速度をそれぞれ調整することができるので、ワークの性状や研磨の目的にあわせて研磨能力を調整することができる。また、研磨ブラシの自転速度および公転速度をそれぞれ別の回転機構の駆動力で行うので、各回転機構に加わる負荷が小さく、過負荷によるブラシユニットの故障が軽減される。
【０００６】
第２の発明は第１の発明に記載の研磨ブラシユニットであって、前記自転ユニットは、前記研磨ブラシをワークに押し付ける切り込み量を調整可能な切り込み量調整機構をさらに備えることを特徴とする。研磨の進行に伴い研磨ブラシの毛材が摩耗して短くなっても、所定量の切り込み量を設定することができる。なお、切り込み量とは、ブラシ毛材の先端がワークに接触した後、ブラシ毛材をさらにワークに押し付ける量のことである。
【０００７】
第３の発明は第１または第２の発明に記載のブラシユニットであって、前記公転ユニットは、中心より外周側に前記自転機構を回動可能に嵌合する円盤状の公転盤と、前記自転機構の回動角度を制御するための回動角度制御機構と、を備えることを特徴とする。この構成により、研磨ブラシは自身が回転する自転および公転機構の回転軸心を中心とした公転、即ち遊星運動を行うことができる。また、自転用回転機構は自転軸と平行な軸回りに回転可能に保持され、かつ回動角度制御機構が連結されているので、自転用回転機構の配線等が公転によって絡まることがない。
【０００８】
第４の発明は第１または第２の発明に記載のブラシユニットであって、前記自転ユニットは、複数の前記研磨ブラシを有し、該複数の研磨ブラシは、各々自転副軸に一端を固定され、該自転副軸の他端は、前記自転軸の一端から自転力を伝達する自転力副伝達機構と組み合わされ、該自転軸に複数の該研磨ブラシが連結されており、前記自転ホルダは、前記公転機構の軸心と前記自転軸の軸心とが一致するように該公転機構に保持されていることを特徴とする。複数の研磨ブラシを同時に遊星運動することができるので、研磨の能力が高い。また、公転機構の軸心が自転軸の軸心と同じであることで、公転機構にかかる負荷が小さくなる。その結果、過負荷等によるブラシユニットの故障を防ぐことができる。
【０００９】
第５の発明は第１から第４の発明のいずれか１つに記載のブラシユニットであって、前記研磨ブラシは、複数のブラシ毛材を束ねてその一端をブラシ毛材固定具に固定した複数の研磨具をブラシホルダに保持したセグメントブラシであることを特徴とする。研磨加工の経過に従ってブラシ毛材が摩耗した際は前記研磨具を交換するだけでよいので、メンテナンスが容易なブラシユニットを得ることができる。
【００１０】
第６の発明は第１ないし第５の発明のいずれか１つに記載のブラシユニットであって、前記ブラシ毛材は、粒度がＦ５４〜Ｆ２４０或いは＃２４０〜＃１０００である砥粒を混入させたナイロン樹脂からなるモノフィラメントであることを特徴とする。ブラシ毛材をナイロン樹脂とすることで、ワークの表面を必要以上に傷つけることなく、または、平滑度が高い研磨を行うことができる。また、ブラシ毛材には前記粒度の砥粒が含有されているので、研磨を行うのに必要な研磨力を得ることができる。
【００１１】
第７の発明は第１ないし第６の発明のいずれか１つに記載のブラシユニットと、ワークを載置して前記研磨ブラシの下方に搬送するワーク搬送機構と、を備えたブラシ研磨装置であって、前記ワーク搬送機構は、ワーク載置部を備え、間欠的に水平回転してワークを前記研磨ブラシの下方に搬送する回転テーブルであることを特徴とする。ワーク載置部を回転テーブル上に等間隔に配置し、該ワーク載置部の数に合わせて該回転テーブルを間欠的に移動させることで、連続的にワークを研磨することができる。
【００１２】
第８の発明は第１ないし第６の発明のいずれか１つに記載のブラシユニットと、ワークを載置して前記研磨ブラシの下方に搬送するワーク搬送機構と、を備えたブラシ研磨装置であって、前記ワーク搬送機構は、研磨ブラシに対してワークを連続的に直線移動してワークを前記研磨ブラシの下方に搬送する搬送コンベアであることを特徴とする。ワークは遊星運動をしている研磨ブラシに接触しながら通過するので、ワーク全体を連続的に研磨することができる。
【００１３】
第９および第１０の発明は、ワークの第一の面及び前記第一の面とは反対の第二の面の両面をブラシ研磨するブラシ研磨システムである。第９の発明は、前記第一の面を研磨する第８の発明に記載の第一ブラシ研磨装置と、前記第二の面を研磨する第８の発明に記載の第二ブラシ研磨装置と、前記第一ブラシ研磨装置から前記第二ブラシ研磨装置にワークを搬送するワーク中間搬送機構と、を備えたブラシ研磨システムであって、前記第一ブラシ研磨装置の搬送機構におけるワークの進行方向端にはワークを反転させるワーク反転機構を備えることを特徴とする。
また、第１０の発明は、前記第一の面を研磨する第１ないし第６の発明のいずれか１つに記載の第一ブラシユニットと、前記第二の面を研磨する第１ないし第６の発明のいずれか１つに記載の第二ブラシユニットと、ワーク載置部を備え、間欠的に水平回転してワークを前記研磨ブラシの下方に搬送する回転テーブルであるワーク搬送機構と、ワークの移動経路において前記第一ブラシユニットと前記第二ブラシユニットとの間にワークを反転させるワーク反転機構を備えることを特徴とする。これらの構成では、ワークの表裏両面の研磨を連続して行うことができる。
【００１４】
第１１の発明は第１から第８の発明のいずれか１つに記載のブラシユニットまたはブラシ研磨装置による研磨方法であって、前記研磨ブラシを自転させる工程と、前記研磨ブラシを旋回させる工程と、自転および旋回（公転）している前記研磨ブラシにワークを接触させて該ワークの被加工面の研磨を行う工程と、前記研磨ブラシの自転速度および前記研磨ブラシの旋回速度（公転速度）をそれぞれ調整する工程と、を備えることを特徴とする。研磨ブラシの自転の回転速度を上昇させることで研磨力が向上する。研磨ブラシの旋回である公転の速度を上昇させることでワーク全体を研磨ブラシのカバー率が上昇、すなわちワーク全体を均一にムラ無く研磨することができる。自転速度と公転速度とをそれぞれ独立で調整することで、効率のよい研磨を行うことができる。
【００１５】
この出願は、日本国で２０１３年２月５日に出願された特願２０１３−０２０００４号に基づいており、その内容は本出願の内容として、その一部を形成する。
また、本発明は以下の詳細な説明により更に完全に理解できるであろう。しかしながら、詳細な説明および特定の実施例は、本発明の望ましい実施の形態であり、説明の目的のためにのみ記載されているものである。この詳細な説明から、種々の変更、改変が、当業者にとって明らかだからである。
出願人は、記載された実施の形態のいずれをも公衆に献上する意図はなく、開示された改変、代替案のうち、特許請求の範囲内に文言上含まれないかもしれないものも、均等論下での発明の一部とする。
本明細書あるいは請求の範囲の記載において、名詞及び同様な指示語の使用は、特に指示されない限り、または文脈によって明瞭に否定されない限り、単数および複数の両方を含むものと解釈すべきである。本明細書中で提供されたいずれの例示または例示的な用語（例えば、「等」）の使用も、単に本発明を説明し易くするという意図であるに過ぎず、特に請求の範囲に記載しない限り本発明の範囲に制限を加えるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第一実施形態に係るブラシユニットを説明するための模式図である。図１（Ａ）は正面を示す模式図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）におけるＡ−Ａ矢視を示す模式図、である。
【図２】第一実施形態に係るブラシユニットを説明するための説明図（部分断面図）である。
【図３】第一実施形態に係るブラシユニットにおいて、回動角度制御機構の作用を説明するための模式図である。
【図４】第一実施形態に係るブラシユニットに用いる研磨ブラシを説明するための模式図である。
【図５】第二実施形態に係るブラシユニットを説明するための模式図である。図５（Ａ）は正面を示す模式図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）におけるＡ−Ａ矢視を示す模式図、である。
【図６】第二実施形態に係るブラシユニットを説明するための模式図（部分断面図）である。
【図７】実施形態で加工したワークであるバルブプレートを説明するための模式図である。
【図８】コンベアタイプのブラシ研磨装置を説明するための模式図である。
【図９】ブラシ研磨システムを説明するための模式図（部分断面図）である。
【図１０】回転テーブルタイプのブラシ研磨装置を説明するための模式図である。図１０（Ａ）は第二実施形態のブラシユニットを設置したブラシ研磨装置の側面断面を示す模式図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）におけるＡ−Ａ断面を示す模式図、である。
【図１１】回転テーブルタイプのブラシ研磨システムを説明するための模式図である。図１１（Ａ）は第二実施形態のブラシユニットを設置したブラシ研磨システムの正面を示す模式図（部分断面図）、図１１（Ｂ）は図１１（Ａ）におけるＡ−Ａ断面を示す模式図、である。
【図１２】実施例におけるブラシ毛材の軌跡を説明するための模式図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のブラシ研磨装置の一例を実施形態として説明する。なお、実施形態の説明中、「上・下・左・右」方向は、特に断りのない限り図中の方向を示す。【００１８】
（第一実施形態のブラシユニット）
第一実施形態に係るブラシユニット０１は、図１乃至図４に示すように研磨ブラシ１０と、自転ユニット２０と、公転ユニット３０と、連結ユニット４０と、を備えている。【００１９】
自転ユニット２０は、研磨ブラシ１０を連結した自転機構２１と、研磨ブラシ１０が自転（たとえば、水平回転）する駆動力（自転力）を発生する自転駆動機構２２と、自転力を自転機構２１に伝達するための自転力伝達機構２３と、研磨ブラシ１０をワークＷに向けて下降させる昇降機構２６と、を備える。【００２０】
自転機構２１は、図２に示すように、略円柱形の自転軸２１ａと、自転軸２１ａが回転可能に挿入された略円筒形の摺動軸２１ｂと、摺動軸２１ｂが上下方向に摺動可能に挿入された円形断面の空洞部を有する筒形の自転ホルダ２１ｃと、を備える。自転軸２１ａの下端には研磨ブラシ取付部材２１ｄが固定されている。研磨ブラシ取付部材２１ｄに研磨ブラシ１０をボルト等で固定することで、研磨ブラシ１０が自転軸２１ａに連結される。【００２１】
自転駆動機構２２は、本実施形態では回転モータを使用した。また、自転力伝達機構２３は、本実施形態ではプーリ２３ａおよびＶベルト２３ｂを用いた。回転モータの回転軸および自転軸２１ａの上端にそれぞれプーリ２３ａを固定し、これらのプーリ２３ａに無端状のＶベルト２３ｂを架け渡した。この構造によって、自転駆動機構２２を作動することで、自転軸２１ａがその軸心を中心に回転するので、自転軸２１ａに連結された研磨ブラシ１０が自転する。なお、自転力伝達機構は、上記構成には限定されず、チェーンとスプロケット、ギヤ列など、公知の力伝達機構であってもよい。【００２２】
摺動軸２１ｂと自転駆動機構２２と昇降機構２６とは、昇降プレート２５に固定されている。昇降機構２６の作動により昇降プレート２５が上下方向に移動することで、摺動軸２１ｂに連動して自転軸２１ａも上下方向に移動する。すなわち、自転軸２１ａの下端に連結された研磨ブラシ１０を、昇降機構２６の作動によって上下方向に移動することができる。【００２３】
下降リミッタ２６ａは昇降プレート２５に連結されている。昇降機構２６を作動させて昇降プレート２５を下降させた際に、下降リミッタ２６ａが自転ホルダ２１ｃの上面または後述の調整部材２７ａの上面に衝突することで、予め設定された下降距離以上に昇降プレート２５が下降しないようにするための部材である。本実施形態ではナットにより長さの調整を可能にしたボルトを用いた。【００２４】
昇降機構２６は、昇降プレート２５を上下に移動することができればその構造は特に限定されない。例えば、油圧や空気圧や電気で作動するシリンダ、ボールネジやベルト等を備える電動スライダ、ラックピニオン、等の公知の構造を選択することができる。本実施形態では、空気圧で作動するシリンダ（エアシリンダ）を用いた。【００２５】
研磨ブラシ１０の下降距離を微調整する必要がある場合は、さらに切り込み量調整機構２７を設けても良い。たとえば、後述のように、研磨するに従ってブラシ毛材１４ａが摩耗して短くなるので、初期に設定した研磨ブラシ１０の下降距離では所定の切り込み量が不足する場合がある。このような場合に切り込み量調整機構２７を用いることができる。本実施形態では、内側に雌ねじ部が設けられ、外周にギヤを形成する歯面が設けられた調整部材２７ａと、調整部材２７ａを回転させるための調整部材移動機構２７ｂ（本実施形態では、回転軸の回転角度が設定可能なモータ）と、調整部材移動機構２７ｂの作動力（調整力）を調整部材２７ａに伝達するための調整力伝達機構２７ｃ（本実施形態では、調整部材２７ａに設けられた歯面と噛合可能な歯面をもつギヤであるが、Ｖベルトとプーリ、チェーンとスプロケットなど、他の公知の力伝達機構であってもよい）と、を備える。自転ホルダ２１ｃの上部には、調整部材２７ａの雌ねじに対応する雄ねじ部が設けられており、調整部材２７ａが自転ホルダ２１ｃの上部に螺嵌可能とされている。調整力伝達機構２７ｂには、調整力伝達機構２７ｃが連結されており、調整力伝達機構２７ｃは、調整部材２７ａの歯面と調整力伝達機構２７ｃの歯面とが噛合されるように配置されている。【００２６】
調整部材移動機構２７ｂを作動させると、調整力伝達機構２７ｃを介して調整部材２７ａが上下方向に移動する。次いで、昇降機構２６を作動させて昇降プレート２５を下降させると、下降リミッタ２６ａが調整部材２７ａの上面と衝突して下降が停止する。このように、調整部材移動機構２７ｂの回転軸の回転角度を調整することで、調整部材２７ａの位置を調整することができるので、昇降プレート２５、すなわち研磨ブラシ１０の下降距離を微調整することができる。なお、昇降プレート２５を下降させた後に、調整部材２７ａを上下方向に移動してもよい。また、下降リミッタ２６ａが調整部材２７ａの上面と衝突する手前で、昇降プレート２５の下降を止めるようにしてもよい。【００２７】
なお、切り込み量調整機構２７の構造はこの構造に限定されない。研磨ブラシ１０の下降距離を精度良く調整できればよく、サーボシリンダやボールネジ等、公知の方法を用いることができる。【００２８】
公転ユニット３０は、円盤状の公転盤３１ａと、公転盤３１ａの下部中央に連結された公転軸３１ｂと、を備える公転機構３１と、公転機構３１を水平回転（自転軸２１ａと平行な軸回りの回転）する駆動力（公転力）を発生する公転駆動機構３２と、公転力を公転機構３１に伝達するための公転力伝達機構３３とを備える。公転軸３１ｂは、ブラシ研磨装置内部の設置ベースＢに回動可能に嵌合されている。【００２９】
公転駆動機構３２は、本実施形態では回転モータを使用し、公転駆動機構用架台３４に固定されている。また、公転力伝達機構３３は、本実施形態ではスプロケット３３ａおよびチェーン３３ｂを用いた。回転モータの回転軸および公転盤３１ａにそれぞれスプロケット３３ａを固定し、これらのスプロケット３３ａをチェーン３３ｂで連結した。この構造によって、公転駆動機構３２を作動することで、公転軸３１ｂがその軸心を中心に回転するので、公転軸３１ｂに連結された公転盤３１ａが水平回転する。【００３０】
自転ユニット２０は、連結ホルダ４１および回動角度制御機構４２を備える連結ユニット４０を介して、公転機構３１に取り付けられる。自転ユニット２０の取付位置は公転機構３１および公転機構３１に連結されたスプロケット３３ａの軸心より外周側である。この取付位置には貫通穴が設けられており、該貫通孔には、上端にフランジ部が設けられている円筒形状の連結ホルダ４１が回転可能に嵌合されている。自転ホルダ２１ｃにはフランジ部が設けられており、該フランジ部を該連結ホルダ４１のフランジ部にボルト等を介して固定することで該自転機構２１が公転機構３１に回動可能に嵌合されている。このように、自転ユニット２０は公転ユニット３０と組み合わされる。
【００３１】
回動角度制御機構４２は、公転盤３１ａが回転する際に、自転ユニット２０の回動を制御（規制）するための機構である。本実施形態の回動角度制御機構４２は、図３（図３は、図１（Ａ）におけるＡ−Ａ矢視を示す）に示すように公転駆動機構用架台３４に支点（図中の鎖線同士の交点）を中心に水平方向に回動可能に固定された回動部材４２ａと、回動部材４２ａに連結された円柱棒状の連結部材４２ｂと、連結部材４２ｂが摺動可能に挿入され、連結ホルダ４１に固定された摺動ホルダ４２ｃと、を備える。自転ユニット２０が同図で矢印が示す順に公転すると、これに連動して連結部材４２ｂが前記支点を中心に回動する。連結部材４２ｂは、自転ユニット２０が固定された連結ホルダ４１に固定された摺動ホルダ４２ｃに挿入されており、連結部材４２ｂは公転盤３１ａに回動可能に嵌合されているので、摺動ホルダ４２ｃは連結部材４２ｂによって常に同図下方向に位置する。よって、自転ユニット２０の公転による回動は回動角度制御機構４２によって僅かとなるので、自転駆動機構２２の配線が絡むことがない。【００３２】
研磨ブラシ１０は、図４に示すように、上蓋に自転ユニット２０の研磨ブラシ取付部材２１ｄが固定される上蓋付き円筒状の回転部材１１と、回転部材１１の内側中央に吊設された円柱形状の摺動軸１２と、中心に設けられたブッシュ１３ａに摺動軸１２が挿通され、回転部材１１の内部に摺動可能に取り付けられる研磨具取付部材１３と、研磨具取付部材１３に一端が固定されている研磨具１４と、回転部材１１の下端開口部に着脱自在に取り付けられる研磨具支持部材１５と、を備える。【００３３】
研磨具１４は、研磨力を有する複数本のブラシ毛材１４ａを束ねてその一端をブラシ毛材ホルダ１４ｂの穴部に挿入して固着することで形成されている。ブラシ毛材１４ａは、砥粒を含有した断面円形の樹脂製のモノフィラメントを用いた。樹脂は、ポリエステル樹脂やポリアミド樹脂を用いることができる。ポリエステル樹脂の一例として、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチレンテレフタレート、ポリテトラメチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリメチレンナフタレート、ポリテトラメチレンナフタレート、ポリプロピレンナフタレート、又はこれらを主成分とする共重合ポリエステル、等が挙げられる。ポリアミド樹脂の一例として、ナイロン（重縮合反応で合成される「ｎ―ナイロン」や、共縮重合反応で合成される「ｎ，ｍ−ナイロン」）、全芳香族ポリアミド（アラミド）、等が挙げられる。樹脂の種類は、ブラシ毛材１４ａに求められる剛性や砥粒の保持性能や価格等を考慮して適宜選択される。本実施形態では、ポリアミド樹脂を用いた。ポリアミド樹脂を用いることで、毛腰の強さと柔軟性とを兼ね備えることができる。【００３４】
また、砥粒はアルミナ系砥粒（アランダム）、炭化珪素系砥粒（カーボランダム）、ジルコニアアルミナ砥粒、ダイヤモンド砥粒、ＣＢＮ砥粒、等を、ワークＷの性状や加工目的等に合わせて適宜選択することができる。本実施形態では、炭化珪素系砥粒を用いた。このとき、砥粒の粒度はＦ５４〜Ｆ２４０或いは＃２４０〜＃１０００（ＪＩＳ  Ｒ６００１にて規定）から適宜選択することができる。砥粒の粒度が小さすぎるとブラシ毛材１４ａの研磨能力が不足し、粒度が大きすぎると砥粒の保持力が低下して研磨時に砥粒が脱落する。例えば、後述のバルブプレート（図７を参照）に設けられた複数の穴の角面の丸み付け加工（Ｒ付け加工）を行うことを目的とする場合は、Ｆ８０〜Ｆ１８０から選択することが好ましい。【００３５】
ブラシ毛材１４ａは、モノフィラメントを構成する樹脂に所定量の砥粒を混合した後に溶融紡出して作成した。砥粒を表面より露出させて研磨することができるので、研磨力を大きくすることができる。樹脂に含有させる砥粒の量は、樹脂１００重量部に対して１０〜４０重量部であることが好ましい。砥粒の量が少なすぎるとブラシ毛材１４ａの研磨能力が不足し、砥粒の量が多すぎるとブラシ毛材１４ａの強度が低下して折れやすくなる。【００３６】
また、ブラシ毛材１４ａの線径が小さすぎると剛性が弱くて研磨力が不足し、線径が大きすぎると柔軟性が低くなりすぎて折れやすくなる。このため、ブラシ毛材１４ａの線径は０．４〜１．０ｍｍの範囲とすることが好ましい。【００３７】
複数本のブラシ毛材１４ａを束ねた後、ブラシ毛材ホルダ１４ｂの穴部に一端を挿入して固定することで研磨具１４を形成した。ブラシ毛材１４ａを束ねる際に、その外周部を結束部材１４ｃにより被覆して結束してもよい。結束部材１４ｃは樹脂材料（例えば、ゴムまたはシリコンゴムまたはポリ塩化ビニル、等）を用いることができる。結束部材１４ｃによってブラシ毛材１４ａを結束することで、研磨する際にブラシ毛材１４ａが必要以上に変形するのが抑制されるので、変形による研磨力の低下を防ぐことができる。なお、この結束部材１４ｃは、ブラシ毛材１４ａの先端部が研磨により摩耗するのに従って、徐々に破断又は摩耗する。よって、ブラシ毛材１４ａの先端は常に露出した状態となるので、研磨力を維持することができる。【００３８】
研磨具取付部材１３には、研磨具１４を着脱可能に取り付けるための取付穴１３ｂが同心円上に所定間隔で複数個（本実施形態では９個）形成されている。取付穴１３ｂの取付面（穴の奥の面）にはマグネット（図示せず）が設けられている。研磨具１４のブラシ毛材ホルダ１４ｂの基部を取付穴１３ｂに挿入すると、マグネットがブラシ毛材ホルダ１４ｂを吸着保持する。そして、研磨具取付ボルト１３ｃを締め付けることで研磨具１４が研磨具取付部材１３に固定される。【００３９】
研磨具取付部材１３にはねじ穴が設けられている。また、回転部材の側面には固定ボルト１３ｄの頭部は通過できないが、ねじ部は通過できる縦長の開口部が設けられている。この開口部より挿通させ、かつ研磨具取付部材１３のねじ穴に螺合させた固定ボルト１３ｄを締め付けることにより、研磨具取付部材１３は回転部材１１に固定されている。また、研磨具支持部材１５には、ブラシ毛材１４ａが挿通する挿通穴１５ｂが形成されたブッシュ１５ａが嵌合されている。挿通穴１５ｂは、ブラシ毛材１４ａをワークＷに押し付けて研磨する際にブラシ毛材１４ａの変形を規制するので、変形によって研磨力が低下するのを防ぐことができる。固定ボルト１３ｄを緩めて研磨具取付部材１３を上下方向に移動させることで研磨具支持部材１５の外面よりブラシ毛材１４ａの先端部を所定の長さだけ下方、すなわちワーク側に突出させた後、固定ボルト１３ｄを再び締め付けて固定することで、ブラシ毛材１４ａの突出量の調整を行うことができる。研磨具取付部材１３に設けられたブッシュ１３ａにより、挿通された摺動軸１２に沿って研磨具取付部材１３の上下方向の移動をスムーズに行うことができる。このように、ブラシ毛材１４ａが短くなりすぎた場合は、前述のように研磨具取付部材１３を下方に移動させて、研磨具支持部材１５からの突出量が所定の長さとなるように調整する。ブラシ毛材１４ａがさらに短くなった場合は、研磨具取付ボルト１３ｃを緩めて研磨具１４を研磨具取付部材１３から取り外し、新しい研磨具１４と交換した後、研磨具取付ボルト１３ｃを締め付ける。その後、前述と同様にブラシ毛材１４ａの突出量の調整を行うことで、研磨具１４の交換が完了する。【００４０】
以上の構成のブラシユニット０１によって研磨を行う場合、まず、昇降機構２６でブラシ毛材１４ａの先端がワークＷの被加工面の高さ位置になるまで研磨ブラシ１０を下降させた後、予め設定された切り込み量だけ更に下降させる。次いで、自転駆動機構２２および公転駆動機構３２を作動させる。これにより研磨ブラシ１０は、図１（Ｂ）に示すように、自転（研磨ブラシ１０自身の自転）および公転（公転盤３１ａの回転による研磨ブラシ１０の旋回）が同時に行われる（遊星運動）。これらの動作において、自転駆動機構２２および公転駆動機構３２の作動と昇降機構２６の作動との順序は逆であってもよい。遊星運動をしている研磨ブラシ１０にワークＷを接触させることでワークＷを研磨することができる。本実施形態のブラシユニットは、自転のみで研磨するブラシユニットに比べて、ワーク全体を均等かつ短時間で研磨をすることができる。なお、自転の回転方向と公転の回転方向とは、図１（Ｂ）の矢印に示すように、逆回転になるようにするのが好ましい。【００４１】
研磨ブラシ１０の自転および公転がそれぞれ別の駆動機構で行われるので、ワークＷの性状や加工目的にあわせて、自転速度および公転速度をそれぞれ設定することができる。自転速度を速くすると研磨力が向上し、公転速度を速くするとワークの広い範囲をよりムラ無く均一に研磨することができる。本実施形態では自転駆動機構２２および公転駆動機構３２にそれぞれ回転モータを使用しているので、インバータ等を用いることで自転速度および公転速度を容易に設定することができる。【００４２】
研磨ブラシ１０はこの構成に限られない。例えば、複数のブラシ毛材１４ａを研磨具取付部材１３または研磨具支持部材１５に固定してもよい。ブラシ毛材１４ａは、直接固定しても良いし、断面が「コ」字状である溝型材（チャンネル材）の溝にブラシ毛材１４ａを挿入して固定してブラシ帯を形成した後、該ブラシ帯を研磨具取付部材１３または研磨具支持部材１５に、その中心から外周に向けて螺旋状に固定してもよい。または、ブラシ帯を環状にし、それぞれ径の異なる環状体を形成したのち、これらの環状体を研磨具取付部材１３または研磨具支持部材１５に固定しても良い。また、研磨具１４を用いないこれらの構成の場合、回転部材１１を単なる円盤または穴部が設けられた円柱状部材とし、該円盤の底面または該穴部にブラシ毛材１４ａを固定しても良い。これらの構成とすることで、研磨ブラシ１０を安価に製造することができる。【００４３】
（第二実施形態のブラシユニット）
次に、第二実施形態に係るブラシユニット５１について、図５乃至図７を用いて説明する。第二実施形態の説明では、特に断りのない場合は第一実施形態の説明と同様の構成である。【００４４】
第二実施形態に係るブラシユニット５１は、図５（Ａ）に示すように複数（本実施形態では４台）の研磨ブラシ６０と、自転ユニット７０と、公転ユニット８０と、架台９０と、を備えている。【００４５】
研磨ブラシ６０は、寸法や研磨具の本数等の変更による設計上の差異はあるが、第一実施形態の研磨ブラシ１０と同様の構成とした。【００４６】
自転ユニット７０は、図６に示すように、研磨ブラシ６０を連結した自転機構７１と、研磨ブラシ６０が自転する駆動力（自転力）を発生する自転駆動機構７２と、自転力を自転駆動機構７２から自転機構７１に伝達するための自転力伝達機構７３と、自転力を自転機構７１（具体的には自転軸７１ａ）から研磨ブラシ６０に伝達するための自転力副伝達機構７４と、研磨ブラシ６０をワークＷに向けて下降させる昇降機構７６と、を備える。【００４７】
自転機構７１は、略円柱形の自転軸７１ａと、自転軸７１ａが回転可能に挿入された略円筒形の摺動軸７１ｂと、摺動軸７１ｂが上下方向に摺動可能に挿入された自転ホルダ７１ｃと、自転力副伝達機構７４を介して自転軸７１ａに連結されている自転副軸７１ｅと、を備える。自転副軸７１ｅは研磨ブラシ６０の台数に合わせて配置されており、各自転副軸７１ｅの下端には研磨ブラシ取付部材７１ｄが固定されている。研磨ブラシ取付部材７１ｄに研磨ブラシ６０をボルト等で固定することで、研磨ブラシ６０が自転副軸７１ｅにそれぞれ連結される。【００４８】
自転駆動機構７２は、本実施形態では回転モータを使用した。また、自転力伝達機構７３は、本実施形態ではタイミングプーリ７３ａおよびタイミングベルト７３ｂを用いた。回転モータの回転軸および自転軸７１ａの上端にそれぞれタイミングプーリ７３ａを固定し、これらのタイミングプーリ７３ａに無端状のタイミングベルト７３ｂを架け渡した。【００４９】
自転力副伝達機構７４は、互いに噛合可能なギヤを用いた。自転軸７１ａの下端には自転軸側ギヤ７４ａを、自転副軸７１ｅの上端には自転副軸側ギヤ７４ｂを、それぞれ固定した。そして、自転軸側ギヤ７４ａと自転副軸側ギヤ７４ｂとが噛合するように、自転副軸７１ｅを、自転軸７１ａを中心として等間隔に配置した。この構造によって、自転駆動機構７２を作動することで、自転軸７１ａがその軸心を中心に回転し、この自転軸７１ａの回転に追従して自転副軸７１ｅが回転するので、自転軸７１ａに連結された研磨ブラシ６０がそれぞれ自転する。なお、自転力副伝達機構は、上記の構造には限られず、複数のＶベルトとプーリの組み合わせ、複数のチェーンとスプロケットの組み合わせなど、公知の一つの力を複数に伝達する他の機構であってもよい。【００５０】
摺動軸７１ｂと自転駆動機構７２と自転力伝達機構７３とは、昇降プレート７５に固定されている。また、自転ホルダ７１ｃに固定された昇降機構７６が昇降プレート７５に連結されている。昇降機構７６は、第一実施形態同様エアシリンダを用いた。昇降機構７６の作動により昇降プレート７５が上下方向に移動することで、摺動軸７１ｂが下降する。また、摺動軸７１ｂの下降に従動して自転軸７１ａおよび自転副軸７１ｅも上下方向に移動する。すなわち、自転副軸７１ｅの下端に連結された研磨ブラシ６０を、昇降機構７６の作動によって上下方向に移動することができる。【００５１】
下降リミッタ７６ａは第一実施形態の下降リミッタ２６ａと同様の目的で配置されている。本実施形態でもナットにより長さの調整を可能にしたボルトを用いた。【００５２】
研磨ブラシ６０の下降距離を微調整する必要がある場合は、第一実施形態と同様に、さらに切り込み量調整機構７７を設けても良い。本実施形態では、第一実施形態と同様に、内側に雌ねじ部が設けられ、外周にギヤを形成する歯面が設けられた調整部材７７ａと、調整部材７７ａを回転させるための調整部材移動機構７７ｂ（本実施形態では、回転軸の回転角度が設定可能なモータ）と、調整部材移動機構７７ｂの作動力（調整力）を調整部材７７ａに伝達するための調整力伝達機構７７ｃ（本実施形態では、調整部材７７ａに設けられた歯面と噛合可能な歯面をもつギヤ）と、を備える。自転ホルダ７１ｃの上部には、調整部材７７ａの雌ねじに対応する雄ねじ部が設けられており、調整部材７７ａが自転ホルダ７１ｃの上部に螺嵌可能とされている。調整部材移動機構７７ｂの回転角度を設定して作動させることで、所定距離だけ調整部材７７ａを移動させることができるので、これにより昇降プレート７５、すなわち研磨ブラシ６０の下降距離を微調整することができる。【００５３】
公転ユニット８０は、公転機構８１と、公転機構８１を水平回転する駆動力（公転力）を発生する公転駆動機構８２と、公転力を公転機構８１に伝達するための公転力伝達機構８３とを備える。【００５４】
公転機構８１は円筒形状であり、上部には穴部が設けられている。穴部には、摺動軸７１ｂが挿入され、公転機構８１は摺動軸７１ｂを中心に回転可能となる。下部には自転副軸７１ｅが回転可能に挿入される穴部が設けられている。また、内部には、自転力副伝達機構７４が内包される空間が形成されている。【００５５】
公転駆動機構８２は、本実施形態では回転モータを使用した。また、公転力伝達機構８３は、本実施形態では互いに噛合可能なギヤを用い、公転機構側ギヤ８３ａが公転機構８１に固定され、公転駆動機構側ギヤ８３ｂが回転モータの回転軸に固定されている。【００５６】
公転機構８１を取り付けた自転ユニット７０を、ブラシ研磨装置内部の設置ベースＢ上に設けられている架台９０に、自転ホルダ７１ｃを介して固定した。また、架台９０には、さらに公転駆動機構側ギヤ８３ｂが固定された公転駆動機構８２を、公転機構側ギヤ８３ａと公転駆動機構側ギヤ８３ｂとが互いに噛合するように固定した。このように、自転ユニット７０は公転ユニット８０と組み合わされる。【００５７】
以上の構成のブラシユニット５１によって研磨を行う場合、まず、昇降機構７６でブラシ毛材の先端がワークＷの被加工面の高さ位置になるまで研磨ブラシ６０を下降させた後、予め設定された切り込み量だけ更に下降させる。次いで、自転駆動機構７２および公転駆動機構８２を作動させる。自転駆動機構７２の作動により自転軸７１ａが回転し、それに連動して研磨ブラシ６０が自転（水平回転）する。また、公転駆動機構８２の作動により公転機構８１が水平回転し、研磨ブラシ６０は公転機構８１の軸心を中心に旋回する（公転）。自転軸７１ａの回転と公転機構８１の回転とは共に干渉することがないので、研磨ブラシ６０は図５（Ｂ）に示すように、自転（研磨ブラシ６０自身の水平回転）および公転（公転機構８１の回転による研磨ブラシ６０の旋回）が同時に行われる（遊星運動）。次いで、昇降機構７６でブラシ毛材の先端がワークＷの被加工面の高さ位置になるまで研磨ブラシ６０を下降させた後、予め設定された切り込み量だけ更に下降させる。これらの動作において、自転駆動機構７２および公転駆動機構８２の作動と昇降機構７６の作動との順序は逆であってもよい。遊星運動をしている研磨ブラシ６０にワークＷを接触させることでワークＷを研磨することができる。本実施形態のブラシユニットは、自転のみで研磨するブラシユニットに比べて、ワーク全体を均等かつ短時間で研磨をすることができる。なお、自転の回転方向と公転の回転方向とは、図５（Ｂ）の矢印に示すように、逆回転になるようにするのが好ましい。【００５８】
また、本実施形態のブラシユニット５１での研磨は、第一実施形態のブラシユニット０１での研磨に比べて、ブラシ毛材がワークＷに接触する機会が多いので、より均一にかつ短時間で研磨をすることができる。また、研磨具の径を小さくすることで、細かい箇所の研磨も行うことができる。例えば、後述のバルブプレート（図７を参照）では、表面に設けられた複数の穴部の丸み付け加工を効率よく行うことができる。本実施形態では、研磨具の径をφ１０〜２５ｍｍの範囲から選択した。【００５９】
研磨ブラシ６０の自転および公転がそれぞれ別の駆動機構で行われるので、第一実施形態と同様にワークＷの性状や加工目的にあわせて、自転速度および公転速度をそれぞれ設定することができる。自転速度を速くすると研磨力が向上し、公転速度を速くするとワークの広い範囲をよりムラ無く均一に処理を行うことができる。本実施形態では自転駆動機構７２および公転駆動機構８２にそれぞれ回転モータを使用しているので、インバータ等を用いることで自転速度および公転速度を容易に設定することができる。【００６０】
また、本実施形態では複数の研磨ブラシ６０を自転させる為の自転軸７１ａの軸心と公転の軸心とが共に同一線上に位置するので、第一実施形態よりもさらに公転速度を速くすることができる。公転速度を速くすることで、より均一にワークＷを研磨することができる。【００６１】
次に、第一実施形態または第二実施形態のブラシユニットを搭載したブラシ研磨装置およびワークの表裏両面を連続して研磨するブラシ研磨システムについて説明する。複数のワークＷを連続して研磨するブラシ研磨装置は、ワークＷを直線的にブラシユニットの下方に搬送して研磨を行う「コンベアタイプ」と、円盤上にワークＷを配置し、該円盤を間欠的に水平回転させることでワークＷをブラシユニットの下方に搬送して研磨を行う「回転テーブルタイプ」がある。【００６２】
（ブラシ研磨装置及びブラシ研磨システム；コンベアタイプ）
まず、「コンベアタイプ」のブラシ研磨装置１０１にブラシユニットを搭載した例について説明する。コンベアタイプのブラシ研磨装置１０１は第一実施形態のブラシユニット０１を搭載してもよいし、第二実施形態のブラシユニット５１を搭載してもよい。以下の説明では、第二実施形態のブラシユニット５１を搭載した場合を例に説明する。【００６３】
ブラシ研磨装置１０１は、図８に示すように、内部にブラシユニット５１を設置した筐体１１０と、筐体１１０の左右の側壁に開口された搬入口１１１および搬出口１１２より筐体１１０に挿通したワーク搬送機構１１３と、ブラシユニット５１およびワーク搬送機構１１３の動作を制御する制御手段１２０とを備える。【００６４】
ワーク搬送機構１１３は、ワークＷを搬入口１１１（図８では左側側面に位置する）より筐体１１０の内部に搬入してブラシユニット５１の下方に搬送する。そして、ブラシユニット５１によって研磨したワークＷを搬送して搬出口１１２（図８では右側側面に位置する）より搬出する。このようにワークＷを搬送できれば構造は特に限定されない。例えば、ベルトコンベア、ローラーコンベア、ラックピニオン等、公知の方法を適宜選択することができる。ここでは、搬送駆動機構１１３ｄ（回転モータを使用）に、搬送力伝達機構１１３ｅ（プーリおよびＶベルトを使用）を介して連結された駆動ローラ１１３ａと、回転自在の従動ローラ１１３ｂとを両端に備え、駆動ローラ１１３ａおよび従動ローラ１１３ｂに無端状のゴム製のベルト１１３ｃが架け渡されているベルトコンベアを用いた。【００６５】
制御手段１２０には、研磨条件（「自転速度」「公転速度」「切り込み量」「ブラシ毛材の摩耗速度」「搬送速度」等）が入力される。制御手段１２０は、研磨条件を入力し、制御できさえすればよく、例えばプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）やデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）等のモーションコントラーラ、パーソナルコンピュータ、多機能携帯端末、多機能携帯電話、等を用いることができる。【００６６】
次に、このコンベアタイプのブラシ研磨装置１０１でワークＷを研磨する方法について説明する。研磨を行う前に、切り込み量が０として研磨ブラシ６０を下降させた際に、ブラシ毛材の先端がワークＷの被加工面に接触する位置（すなわち、ワークＷの高さ位置）になるように、下降リミッタ７６ａにより調整しておく。この位置を以降、下降基準位置と記す。【００６７】
制御手段１２０に、予め研磨条件を入力する。次いで、ワーク搬送機構１１３の左方向にワークＷを載置した後、制御手段１２０の「運転開始釦」をＯＮにする。すると、制御手段１２０に入力された研磨条件に従ってブラシ研磨装置１０１を動作させる信号が、ブラシユニット５１およびワーク搬送機構１１３に送られる。この信号によって、まず昇降機構７６が作動して研磨ブラシ６０が下降基準位置まで下降した後、切り込み量調整機構７７が作動して、予め入力した「切り込み量」分だけ研磨ブラシ６０がさらに下降する。次いで、自転駆動機構７２および公転駆動機構８２が作動して、予め設定した自転速度および公転速度で研磨ブラシ６０が遊星運動する。【００６８】
次いで、搬送駆動機構１１３ｄが作動する。搬送駆動機構１１３ｄによって、ベルト１１３ｃはその上方が左から右に向けて所定の速度で移動するので、このベルト１１３ｃの動作に合わせてワークＷが所定の速度で左から右に移動する。【００６９】
ワークＷが研磨ブラシ６０の下方まで移動すると、研磨ブラシ６０のブラシ毛材の先端がワークＷに押し付けられた状態で接触する。研磨ブラシ６０は遊星運動をしているので、ワークＷは遊星運動している研磨ブラシ６０の下方を所定の速度で通過することで、研磨が行われる。【００７０】
研磨ブラシ６０の下方を通過したワークＷはさらに右方向に移動し、搬出口１１２より筐体１１０の外部に搬出されて、ワークＷの片面の研磨が完了する。【００７１】
ワークＷを連続的にワーク搬送機構１１３に載置して、遊星運動している研磨ブラシ６０の下方へ順次搬送することで、複数のワークＷを連続して研磨することができる。【００７２】
また、筐体１１０の前面には窓１１４が設けられており、研磨の様子を確認することができる。【００７３】
ブラシ毛材は研磨するにつれて摩耗して短くなる。この場合、制御手段１２０に予め入力した「ブラシ毛材の摩耗速度」に従って、切り込み量調整機構７７を作動させて、ブラシ毛材が摩耗した量だけ研磨ブラシ６０を下方に移動させる。これにより、複数のワークＷを研磨した場合でも、研磨ブラシ６０の切り込み量は常に一定に保つことができるので、仕上がり精度にばらつきがない。【００７４】
ブラシ毛材が摩耗して短くなりすぎた場合、筐体１１０の前面に設けられた扉１１５を開けて研磨具を交換する。【００７５】
次に、ワークＷの第一の面およびその裏面である第二の面の両面を連続して研磨するためのブラシ研磨システム１０２について説明する。ブラシ研磨システム１０２は、図９に示すように、第一の面を研磨する第一ブラシ研磨装置１０２ａおよび第二の面を研磨する第二ブラシ研磨装置１０２ｂを配置した。また、第一ブラシ研磨装置１０２ａと第二ブラシ研磨装置１０２ｂとの間にワーク中間搬送機構１０２ｃを配置して、第一ブラシ研磨装置１０２ａと第二ブラシ研磨装置１０２ｂとを連結した。【００７６】
第一ブラシ研磨装置１０２ａおよび第二ブラシ研磨装置１０２ｂは共にブラシ研磨装置１０１を用いた。そのため、以下の説明において、第一ブラシ研磨装置１０２ａおよび第二ブラシ研磨装置１０２ｂの動作等の説明は省略する。また、各符号の一部は説明の便宜上、ブラシ研磨装置１０１と同じ符号を用いる。【００７７】
ワーク中間搬送機構１０２ｃは、第一ブラシ研磨装置１０２ａでブラシ研磨されたワークＷが自動で載置され、かつワークＷを第二ブラシ研磨装置１０２ｂのワーク搬送機構１１３に搬送する。ワーク中間搬送機構１０２ｃは、ワークＷをこのように搬送できれば構造は特に限定されない。ここでは、ブラシ研磨装置１０１のワーク搬送機構１１３と同様にベルトコンベアを用いた。【００７８】
第一ブラシ研磨装置１０２ａで第一の面を研磨したワークＷは、第二ブラシ研磨装置１０２ｂに載置されるまでの間に反転しなくてはならない。ワークＷを反転させるワーク反転機構は、ロボットアームのような機械式のものを用いてもよいが、ここでは、ワークＷの移動方向端（図９における右方向）に位置する駆動ローラ１１３ａを磁化させて、移動方向端に位置するベルト１１３ｃがワークＷを吸着できるようにした（吸着エリアＭ）。吸着エリアＭまで搬送されたワークＷは、磁力によってベルトに吸着たまま裏面（同図における下側）に移動する。この時、ワークＷの上面は、第二の面となっている（図９の破線を参照）。ワークＷがさらに前進して吸着エリアＭより離れると、磁力がなくなるのでベルト１１３ｃへの吸着が解除されて、ワーク中間搬送機構１０２ｃ上に落下して載置される。このようにして裏面が上面となるように反転されたワークＷは、ワーク中間搬送機構１０２ｃによって第二ブラシ研磨装置１０２ｂのワーク搬送機構１１３に搬送される。そして、第二ブラシ研磨装置１０２ｂで同様に研磨をおこなうことで、第二の面の研磨が完了する。このようにして、ブラシ研磨システム１０２によってワークＷの表裏両面を研磨することができる。【００７９】
（ブラシ研磨装置及びブラシ研磨システム；回転テーブルタイプ）
次に、回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１について説明する。回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１にも、コンベアタイプのブラシ研磨装置１０１と同様に第一実施形態のブラシユニット０１または第二実施形態のブラシユニット５１のどちらをも搭載することができる。ここでは、第二実施形態のブラシユニット５１を搭載した場合を例に説明する。【００８０】
ブラシ研磨装置２０１は、図１０（Ａ）（Ｂ）に示すようにブラシユニット５１が内部に配置された筐体２１０と、ワークＷをブラシユニット５１の下方に搬送するワーク搬送機構２１３と、ワーク搬送機構２１３およびブラシユニット５１の動作を制御する制御手段２２０と、を備える。【００８１】
ワーク搬送機構２１３は、円盤状の回転テーブル２１３ａと、回転テーブル２１３ａの平面中心に固定された回転軸２１３ｂと、回転軸２１３ｂに連結された、回転テーブル２１３ａを回転させる為の回転テーブル駆動機構（図示せず）と、回転テーブル２１３ａの上面に等間隔で設けられた複数個（図１０では２個）のワーク載置部２１３ｃと、を備える。ワーク載置部２１３ｃは、単にワークＷを載置して固定する構造としてもよいし、研磨を行う際にワークＷを回転させる構造としてもよい。ワークＷを回転させながら研磨することで、研磨の能力が向上する。【００８２】
回転テーブル２１３ａは、回転軸２１３ｂを軸心として水平回転でき、またワークＷの研磨を筐体２１０の内部で行うことができ、またワークＷの脱着が筐体２１０の外部で行えるように、配置されている。【００８３】
筐体２１０の前方壁面は、ワーク載置部２１３ｃおよびワークＷが通過できるように搬入口２１１が設けてある。【００８４】
制御手段２２０には、研磨条件（「自転速度」「公転速度」「切り込み量」「ブラシ毛材の摩耗速度」「研磨時間」等）が入力される。制御手段２２０は、研磨条件を入力し、制御できさえすればよく、例えばプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）やデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）等のモーションコントラーラ、パーソナルコンピュータ、多機能携帯端末、多機能携帯電話、等を用いることができる。【００８５】
次に、この回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１でワークＷを研磨する方法について説明する。なお、以下の説明では主に前述のコンベアタイプのブラシ研磨装置１０１の動作と異なる点を記載する。【００８６】
研磨を行う前に、前述のコンベアタイプのブラシ研磨装置１０１と同様に、研磨ブラシ６０が下降基準位置まで下降するように下降リミッタ７６ａを調整しておく。また、制御手段２２０に、予め研磨条件を入力しておく。【００８７】
筐体２１０の外部に位置しているワーク載置部２１３ｃにワークＷを載置した後、制御手段２２０の「運転開始釦」をＯＮにする。まず、回転テーブル２１３ａが回転軸２１３ｂを軸心に１８０度回動し、ワークＷがブラシユニット５１の下方に移動して停止する。【００８８】
次いで、制御手段２２０に入力された研磨条件に従って自転駆動機構７２および公転駆動機構８２が作動し、研磨ブラシ６０が遊星運動する。この時、ワーク載置部２１３ｃが回転する構造の場合はワーク載置部２１３ｃが回転を開始する。その後、昇降機構７６および切り込み量調整機構７７が作動し、研磨ブラシ６０のブラシ毛材の先端が予め設定された「切り込み量」だけワークＷに押し付けられる。これにより、ワークＷの研磨が開始される。【００８９】
制御手段２２０に入力された「研磨時間」が経過したら、昇降機構７６が作動して研磨ブラシ６０が上昇してワークＷより離れる。次いで、自転駆動機構７２および公転駆動機構８２の作動が停止し、研磨ブラシ６０の遊星運動が停止する。この時、ワーク載置部２１３ｃが回転する構造の場合はワーク載置部２１３ｃの回転も停止する。【００９０】
その後、回転テーブル２１３ａが１８０度回動し、研磨が完了したワークＷが筐体２１０の外部に移動する。このようにして、ワークＷの片面の研磨が完了する。【００９１】
研磨中に、筐体２１０の外部に位置しているワーク載置部２１３ｃに新たなワークＷを載置することで、連続して研磨することができる。【００９２】
また、筐体２１０の前面には窓２１４が設けられており、研磨の様子を確認することができる。【００９３】
次に、ワークＷの第一の面およびその裏面である第二の面の両面を連続して研磨するためのブラシ研磨システム３０１について説明する。ブラシ研磨システム３０１は、図１１（Ａ）（Ｂ）に示すように、第一の面を研磨する第一ブラシユニット３５１ａおよび第二の面を研磨する第二ブラシユニット３５１ｂと、第一ブラシユニット３５１ａおよび第二ブラシユニット３５１ｂが内部に配置された筐体３１０と、筐体３１０の内部に配置されたワーク反転機構３３０と、ワーク搬送機構３１３およびワーク反転機構３３０および第一ブラシユニット３５１ａおよび第二ブラシユニット３５１ｂの動作を制御する制御手段３２０と、を備える。第一ブラシユニット３５１ａおよび第二ブラシユニット３５１ｂは、第一実施形態におけるブラシユニット０１でも第二実施形態におけるブラシユニット５１でもよい。以下の説明では、第一ブラシユニット３５１ａおよび第二ブラシユニット３５１ｂとして共に第二実施形態におけるブラシユニット５１を搭載した場合を例に説明する。なお、以下の説明では主に回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１と異なる点を説明する。【００９４】
ワーク搬送機構２１３は、回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１と同様に、円盤状の回転テーブル３１３ａと、回転テーブル３１３ａの平面中心に固定された回転軸３１３ｂと、回転軸３１３ｂに連結された回転テーブル駆動機構（図示せず）と、回転テーブル３１３ａの上面に等間隔で設けられた複数個（図１１では４個）のワーク載置部３１３ｃと、を備える。【００９５】
筐体３１０の壁面３１０ａ、３１０ｂ、３１０ｃ、３１０ｄは、回転軸３１３ｂを中心に等間隔で放射状に設けられており、筐体３１０の内部を四つの領域（ワーク脱着領域Ｅ１、第一ブラシ研磨領域Ｅ２、ワーク反転領域Ｅ３、第二ブラシ研磨領域Ｅ４）に分割する。そして、壁面３１０ａ、３１０ｄによってワーク脱着領域Ｅ１は外部に露出している。壁面３１０ａ、３１０ｄには、ワーク載置部３１３ｃおよびワークＷが通過できる開口（搬入口３１１、搬出口３１２）がそれぞれ設けられている。また、壁面３１０ｂ、３１０ｃも、それぞれワーク載置部３１３ｃおよびワークＷが通過できる構造とした。例えば、壁面に開口を設けてもよいし、壁面３１０ｂ、３１０ｃを柔軟性のある複数の細長いシートを天井より吊り下げたものとしてもよい。後者の場合、シートの下端は固定されていないので、ワーク載置部３１３ｃおよびワークＷは壁面３１０ｂ、３１０ｃを通過することができる。【００９６】
第一ブラシ研磨領域Ｅ２には第一ブラシユニット３５１ａが、第二ブラシ研磨領域Ｅ４には第二ブラシユニット５１が配置されている。【００９７】
ワーク反転領域Ｅ３には、第一の面の研磨が完了したワークＷを反転するためのワーク反転機構３３０が配置されている。ワーク反転機構３３０は、ワークＷを保持するワーク保持部と、ワーク保持部に連結されたアームと、を備える。ワーク保持部は、ワークＷを把持する構造でもよいし、吸引力または磁力によって吸着する構造でもよいし、ワーク保持部に設けられた溝にワークを嵌合させる構造でもよい。前記アームを介して前記ワーク保持部をワークＷの位置まで移動させた後、該ワーク保持部でワークＷを保持する。そして、アームによってワーク保持部、即ちワークＷを反転させた後、ワークＷの保持を解除する。このようにして、ワークＷの反転を行うことができる。【００９８】
制御手段３２０には、研磨条件（「自転速度」「公転速度」「切り込み量」「ブラシ毛材の摩耗速度」「研磨時間」等）が入力される。制御手段３２０は、研磨条件を入力し、制御できさえすればよく、例えばプログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）やデジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）等のモーションコントラーラ、パーソナルコンピュータ、多機能携帯端末、多機能携帯電話、等を用いることができる。【００９９】
次に、この回転テーブルタイプのブラシ研磨システム３０１でワークＷを研磨する方法について説明する。なお、以下の説明では主に前述の回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１の動作と異なる点を記載する。【０１００】
研磨を行う前に、前述の回転テーブルタイプのブラシ研磨装置２０１と同様に研磨ブラシ６０が下降基準位置まで下降するように下降リミッタ７６ａを調整しておく。また、制御手段３２０に、予め研磨条件を入力しておく。【０１０１】
ワーク脱着領域Ｅ１に位置するワーク載置部２１３ｃにワークＷを載置した後、制御手段３２０の「運転開始釦」をＯＮにする。まず、回転テーブル３１３ａが回転軸３１３ｂを軸心に９０度回動してワークＷが壁面２１０ａに設けられた搬入口３１１を通り、第一ブラシユニット３５１ａの下方（第一ブラシ研磨領域Ｅ２）に移動して停止する。【０１０２】
次いで、制御手段３２０に入力された研磨条件に従って自転駆動機構７２および公転駆動機構８２が作動、研磨ブラシ６０が遊星運動する。この時、ワーク載置部３１３ｃが回転する構造の場合はワーク載置部３１３ｃが回転を開始する。その後、昇降機構７６および切り込み量調整機構７７が作動し、研磨ブラシ６０のブラシ毛材の先端が予め設定された「切り込み量」だけワークＷに押し付けられる。これにより、ワークＷの研磨が開始される。【０１０３】
制御手段３２０に入力された「研磨時間」が経過したら、昇降機構７６が作動して研磨ブラシ６０が上昇してワークＷより離れる。次いで、自転駆動機構７２および公転駆動機構８２の作動が停止し、研磨ブラシ６０の遊星運動が停止する。この時、ワーク載置部３１３ｃが回転する構造の場合はワーク載置部３１３ｃの回転も停止する。こうして、ワークＷの第一の面の研磨が完了する。【０１０４】
次いで、回転テーブル３１３ａが同様に９０度時計回りに水平回転し、ワークＷがワーク反転領域Ｅ３に移動して停止する。そして、ワーク反転機構が作動し、ワークＷを反転(すなわち、第二の面を上面にする)した後、ワークＷを再びワーク載置部２１３ｃに載置する。【０１０５】
次いで、回転テーブル３１３ａが９０度時計回りに水平回転し、ワークＷがブラシユニット５１の下方（第二ブラシ研磨領域Ｅ４）まで移動して停止する。【０１０６】
第二ブラシ研磨領域Ｅ４では、前述の第一ブラシ研磨領域Ｅ２でのブラシ研磨と同様の工程で、ワークＷの第二の面の研磨が行われる。【０１０７】
次いで、回転テーブル３１３ａが９０度時計回りに水平回転して壁面３１０ｄに設けられた搬出口３１２を通り、ワーク着脱領域Ｅ１に移動して停止する。そして、表裏両面が研磨されたワークＷをワーク載置部３１３ｃより取り外すことで、研磨が完了する。そして、新しいワークＷを再びワーク載置部３１３ｃに載置して固定する。【０１０８】
ワーク着脱領域Ｅ１でワーク載置部３１３ｃにワークＷを着脱する工程と、第一ブラシ研磨領域Ｅ２で第一の面を研磨する工程と、ワーク反転領域Ｅ３でワークＷを反転する工程と、第二ブラシ研磨領域Ｅ４で第二の面を研磨する工程と、は同時に行うことができる。ワーク着脱領域Ｅ１にてワークＷの着脱を連続的に行うことで、複数のワークＷを連続的に研磨することができる。【０１０９】
また、筐体３１０の前面には窓３１４が設けられており、研磨の様子を窓３１４で確認することができる。【０１１０】
（実施例）
第一実施形態のブラシユニットおよび第二実施形態のブラシユニットを、コンベアタイプのブラシ研磨装置に設置し、研磨条件を変えてワークを研磨した結果を実施例として説明する。ワークとして、図７に示す鉄製のバルブプレート（直径１００ｍｍ×厚さ３．５ｍｍの円盤に機械加工で１０個の大径貫通孔Ｈ１（直径；１０ｍｍ）および９個の小径貫通孔Ｈ２（直径；４ｍｍ）が設けられている）を用い、これら貫通孔の両面の角部をＲ１０〜１００μｍのＲ形状となるように丸み付け加工（Ｒ付け加工）を行った。【０１１１】
評価は、研磨が完了したワークＷをマイクロスコープ（株式会社ハイロクス製ＫＨ−３０００）で観察して行い、バリ取り能力を下記のように評価した。
○・・全ての貫通孔の角部にバリがない
×・・・バリが残っている貫通孔がある【０１１２】
また、丸み付け加工能力は、輪郭形状測定機（株式会社東京精密製２６００Ｅ）を用い、下記のように評価した。
◎・・・全ての貫通孔の角部がＲ１０〜１００μｍの範囲であり、数値のばらつきが±１０％以内
○・・・全ての貫通孔の角部がＲ１０〜１００μｍの範囲であるが、数値のばらつきが±１０％を越える
×・・・貫通孔の角部がＲ１０〜１００μｍの範囲外のものがある【０１１３】
また、第一実施形態のブラシユニットをコンベアタイプのブラシ研磨装置に設置し、研磨ブラシを自転のみさせて研磨を行った結果を比較例とし、各研磨条件およびその研磨条件で研磨を行ったワークＷの評価結果を表１に示す。【０１１４】
【表１】
0005708899.tif 000002
【０１１５】
第一実施形態のブラシユニットでの研磨（実施例１〜５）では、いずれの条件においても大径貫通孔および小径貫通孔の角部にバリは観察されず、バリ取り能力は良好であった。丸み付け能力は、大径貫通孔に対しては全て「○」の評価となっていたが、小径貫通孔に対する丸み付け能力は、自転速度が遅いと「×」の評価となっていた。しかし、ワーク搬送速度を遅くする、すなわち処理速度を遅くすると「○」の評価になった。以上の結果、第一実施形態のブラシ研磨ユニットは、このワークを良好に加工できる。【０１１６】
第二実施形態のブラシユニットでの研磨（実施例６〜１２）では、いずれの条件においても大径貫通孔および小径貫通孔の角部にバリは観察されず、バリ取り能力は良好であった。丸み付け能力は、大径貫通孔に対しては全て「◎」の評価となっていた。また、小径貫通孔に対しても、「◎」または「○」の評価となっており、また実施例１−１０に示すようにワークの搬送速度を速くする、すなわち処理速度を速くしても「○」の評価になっている。「◎」評価は、ワークＷの全体をより均一に処理できていることを示す。よって、第二実施形態のブラシ研磨ユニットは、第一実施形態のブラシユニットよりもより効率よく研磨できることが示唆された。【０１１７】
一方、研磨ブラシの自転のみでワークを研磨した場合、比較例１〜３ではバリ取り能力および丸み付け能力のいずれも不足していた。比較例４に示すように自転速度を上昇させることで、バリ取り能力および大径貫通孔に対する丸み付け能力は「○」評価となったが、小径孔に対する丸み付け能力は「×」評価であった。この結果、本発明のブラシユニットによる研磨は、研磨ブラシの自転のみでワークを研磨する方法より研磨の能力が優れていることが示唆された。【０１１８】
また、実施例１〜実施例１２より、自転速度を速くすると研磨の能力が向上し（例えば、実施例１と２とを比較）、公転速度を速くすると、全体をより均一に研磨できることが示唆された（例えば、実施例６と実施例７とを比較）。【０１１９】
実施例４、実施例１２、比較例４において、ブラシ毛材がワークの被加工面に接触する軌跡を模式図として図１２に示す。軌跡が密になっている方がワークの被加工面にブラシ毛材が接触する機会が多いので、研磨の能力が高いことを示している。図１２に示すように、比較例４は最も軌跡同士の間隔が粗となっている。次いで、実施例４、実施例１２の順で軌跡の間隔が密となっている。また、比較例４ではブラシ毛材が接触しない領域が存在するが、実施例４および実施例１２はワーク全体に接触している。図１２の結果は、比較例のように自転のみで研磨するブラシ研磨装置より本発明のブラシユニットを備えたブラシ研磨装置の方が研磨の能力が高いことを示唆している。そして、第二実施形態のブラシユニットを備えたブラシ研磨装置の方が、より研磨の能力が高いことを示唆している。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
実施形態ではバルブプレートの研磨について説明したが、本発明のブラシユニットはこの加工に限られない。例えば、クラッチプレートや焼結ギヤなど、金属製の機械部品の丸み付け加工やバリ取りや表面の平滑化などに好適に用いることができる。【０１２１】
実施形態では角部の丸み付けを目的とした研磨について説明したが、本発明のブラシユニットは、被加工面の平滑化を目的とした研磨にも好適に用いることができる。例えば、実施例１０の平面部の表面粗さＲａ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１：１９９４にて規定）を測定すると、研磨前が１２μｍであったのに対し、研磨後は１．０μｍであった。このことより、本発明のブラシユニットは、ワークの平滑化を目的とした研磨にも好適に用いることができることが示唆された。【０１２２】
また、ブラシ毛材の材質を適宜変更することで、シリコンブロック、水晶、セラミックス等の硬脆材料の研磨に好適に用いることができる。本発明のブラシ研磨装置でワークを研磨することで、ワークの表層部のマイクロクラックの除去や表面の平滑化を行うことができる。例えばワークをスライス加工してウェハを製造する場合において、この加工によって、スライス加工の際にマイクロクラックが起因する割れや欠けの発生を抑えることができる。その結果、製品歩留まりが向上する。【０１２３】
以下に、本明細書及び図面で用いた主な符号をまとめて示す。
０１          ブラシユニット（第一実施形態）
１０          研磨ブラシ
１１          回転部材
１２          摺動軸
１３          研磨具取付部材
１３ａ        ブッシュ
１３ｂ        取付穴
１３ｃ        研磨具取付ボルト
１３ｄ        固定ボルト
１４          研磨具
１４ａ        ブラシ毛材
１４ｂ        ブラシ毛材ホルダ
１４ｃ        結束部材
１５          研磨具支持部材
１５ａ        ブッシュ
１５ｂ        挿通穴
２０          自転ユニット
２１          自転機構
２１ａ        自転軸
２１ｂ        摺動軸
２１ｃ        自転ホルダ
２１ｄ        研磨ブラシ取付部材
２２          自転駆動機構
２３          自転力伝達機構
２３ａ        プーリ
２３ｂ        Ｖベルト
２５          昇降プレート
２６          昇降機構
２６ａ        下降リミッタ
２７          切り込み量調整機構
２７ａ        調整部材
２７ｂ        調整部材移動機構
２７ｃ        調整力伝達機構
３０          公転ユニット
３１          公転機構
３１ａ        公転盤
３１ｂ        公転軸
３２          公転駆動機構
３３          公転力伝達機構
３３ａ        スプロケット
３３ｂ        チェーン
３４          公転駆動機構用架台
４０          連結ユニット
４１          連結ホルダ
４２          回動角度制御機構
４２ａ        回動部材
４２ｂ          連結部材
４２ｃ          摺動ホルダ
５１          ブラシユニット（第二実施形態）
６０          研磨ブラシ
７０          自転ユニット
７１          自転機構
７１ａ        自転軸
７１ｂ        摺動軸
７１ｃ        自転ホルダ
７１ｄ        研磨ブラシ取付部材
７１ｅ        自転副軸
７２          自転駆動機構
７３          自転力伝達機構
７３ａ        タイミングプーリ
７３ｂ        タイミングベルト
７４          自転力副伝達機構
７４ａ        自転軸側ギヤ
７４ｂ        自転副軸側ギヤ
７５          昇降プレート
７６          昇降機構
７６ａ        下降リミッタ
７７          切り込み量調整機構
７７ａ        調整部材
７７ｂ        調整部材移動機構
７７ｃ        調整力伝達機構
８０          公転ユニット
８１          公転機構
８２          公転駆動機構
８３          公転力伝達機構
８３ａ        公転機構側ギヤ
８３ｂ        公転駆動機構側ギヤ
９０          架台
１０１        ブラシ研磨装置
１０２        ブラシ研磨システム
１０２ａ      第一ブラシ研磨装置
１０２ｂ      第二ブラシ研磨装置
１０２ｃ      ワーク中間搬送機構
１１０          筐体
１１１          搬入口
１１２          搬出口
１１３          ワーク搬送機構
１１３ａ        駆動ローラ
１１３ｂ        従動ローラ
１１３ｃ        ベルト
１１３ｄ        搬送駆動機構
１１３ｅ        搬送力伝達機構
１１４          窓
１１５          扉
１２０          制御手段
２０１        ブラシ研磨装置
２１０        筐体
２１１        搬入口
２１３        ワーク搬送機構
２１３ａ      回転テーブル
２１３ｂ      回転軸
２１３ｃ      ワーク載置部
２１４      窓
２２０        制御手段
３０２        ブラシ研磨システム
３１０        筐体
３１１        搬入口
３１２        搬出口
３１３        ワーク搬送機構
３１３ａ      回転テーブル
３１３ｂ      回転軸
３１３ｃ      ワーク載置部
３１４      窓
３２０        制御手段
３３０        ワーク反転機構
３５１ａ      第一ブラシユニット
３５１ｂ      第二ブラシユニット
Ｂ              設置ベース
Ｈ１            大径貫通孔
Ｈ２            小径貫通孔
Ｗ              ワーク
【図１】
0005708899.tif 000003
【図２】
0005708899.tif 000004
【図３】
0005708899.tif 000005
【図４】
0005708899.tif 000006
【図５】
0005708899.tif 000007
【図６】
0005708899.tif 000008
【図７】
0005708899.tif 000009
【図８】
0005708899.tif 000010
【図９】
0005708899.tif 000011
【図１０】
0005708899.tif 000012
【図１１】
0005708899.tif 000013
【図１２】
0005708899.tif 000014