(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に延びる姿勢で配置された複数の外部電極型の希ガス放電ランプと、前記希ガス放電ランプの軸方向における一端に形成された給電部に電気的に接続される、当該希ガス放電ランプの各々に対応する複数のインバータとを具えており、
前記複数のインバータは、前記希ガス放電ランプが並ぶランプ配置面に垂直な方向の離間距離が互いに異なる複数のレベル位置において、前記インバータが配置されるレベル位置がランプ配置面より遠くなるに従って前記希ガス放電ランプの軸方向における給電部が形成された端部側に位置されるよう、前記希ガス放電ランプの軸方向に変位した状態で配置されており、これにより、各々の希ガス放電ランプについて、希ガス放電ランプとインバータとを接続する給電線の長さの差が可及的に小さくされていることを特徴とする光照射装置。
【請求項２】
一のレベル位置において、２つのインバータが前記希ガス放電ランプの軸方向に互いに離間して配置されており、
各レベル位置において希ガス放電ランプの軸方向における同一側に位置されるインバータが、それぞれ対応する前記希ガス放電ランプの軸方向における同一側の端部に接続されて給電部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光照射装置。
【請求項３】
前記２つのインバータの間の領域には、前記ランプ配置面に垂直な方向に伸びる冷却風路が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光照射装置。
【請求項４】
太陽電池パネル用耐候試験装置に用いられることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、太陽電池用パネルの耐候試験装置に用いられる光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、地球環境の保全の観点から、化石燃料消費をあまり伴わないクリーンなエネルギーが求められている。これらの中でも、無尽蔵とも言える太陽エネルギーを利用できる太陽電池が着目されており、太陽光発電システムなどの導入、開発が行われている。太陽電池の寿命特性は、太陽から放射される紫外線による影響が最も大きく、日光照射によって物理的、化学的な劣化が生じ、それに伴って、太陽電池の性能や機能が劣化する。従って、例えば日光照射による劣化の状況を使用条件ごとに予め知っておくことなどは、製品設計上、非常に重要な要素となり、例えば故意に紫外線を照射させて耐候特性を測定するための耐候試験装置などが提案されている。
【０００３】
このような耐候試験装置においては、例えば太陽から放射される紫外線量の５倍以上の紫外線を太陽電池に故意に放射させるといった過酷な条件下に太陽電池を晒すことにより意図的に劣化を進めて製品寿命を検証する加速試験を行うものとして利用されており、紫外線源としては、スペクトル分布や放射照度の点で優れていることから、例えばメタルハライドランプなどが好適に用いられている（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２４１４８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、メタルハライドランプは発熱量が大きいだけでなく、放射光量の変動性、瞬時点灯の困難性、寸法的に大型であるなど多々問題を有する。また、メタルハライドランプは、ランプ自体の寿命が短く、頻繁にランプ交換をしなければならない。
そこで、本発明者らは、紫外域において太陽光に似たスペクトル分布を有するものであって、メタルハライドランプと比べて、発熱量が小さく、放射光量の変動性も小さく、また瞬時点灯も可能であり、さらには寸法的にも小型であるなどの特長を有する外部電極型希ガス放電ランプに注目した。希ガス放電ランプは、例えば殺菌装置、原稿照明装置、バックライトなどの光源といった種々の用途において広く用いられているが、太陽電池用パネルの耐候試験装置の光源として用いること、特に、大面積の太陽電池に対応するために複数本の希ガス放電ランプを並べて用いることは、従来においては知られていない。
【０００６】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、太陽電池パネルの耐候試験装置の光源として有用な新規な構造を有する光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光照射装置は、互いに平行に延びる姿勢で配置された複数の外部電極型の希ガス放電ランプと、前記希ガス放電ランプの軸方向における一端に形成された給電部に電気的に接続される、当該希ガス放電ランプの各々に対応する複数のインバータとを具えており、
前記複数のインバータは、前記希ガス放電ランプが並ぶランプ配置面に垂直な方向の離間距離が互いに異なる複数のレベル位置において、前記インバータが配置されるレベル位置がランプ配置面より遠くなるに従って前記希ガス放電ランプの軸方向における給電部が形成された端部側に位置されるよう、前記希ガス放電ランプの軸方向に変位した状態で配置されており、これにより、各々の希ガス放電ランプについて、希ガス放電ランプとインバータとを接続する給電線の長さの差が可及的に小さくされていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の光照射装置においては、一のレベル位置において、２つのインバータが前記希ガス放電ランプの軸方向に互いに離間して配置されており、
各レベル位置において希ガス放電ランプの軸方向における同一側に位置されるインバータが、それぞれ対応する前記希ガス放電ランプの軸方向における同一側の端部に接続されて給電部が形成された構成とされていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の光照射装置においては、前記２つのインバータの間の領域には、前記ランプ配置面に垂直な方向に伸びる冷却風路が形成された構成とされていることが好ましい。
【００１０】
本発明の光照射装置は、太陽電池パネル用耐候試験装置に用いられる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光照射装置によれば、複数のインバータがいわば階層構造で配置されているので、光照射装置が大型化することを回避することができ、しかも、インバータが位置されるレベル位置がランプ配置面より遠くなるに従って、対応する希ガス放電ランプにおける給電部が形成された端部側に位置されるよう、希ガス放電ランプの軸方向に変位した状態で配置された構成とされていることにより、各々の希ガス放電ランプについて、希ガス放電ランプとインバータとを接続する給電線の長さの差を可及的に小さくすることができるので、給電線の長さによる電圧降下の影響によって紫外線放射効率のバラツキが生ずることを防止すること、あるいは紫外線放射効率のバラツキを小さく抑制することができ、紫外線を所期の放射分布で放射することができる。
また、希ガス放電ランプが、発光管の内部空間において生ずる所定の波長域の紫外線（真空紫外線）の作用によって蛍光体層を発光させる構成のものであることにより、余分な光成分が太陽電池パネルに放射されることがないので、所期の耐候試験を高い信頼性をもって行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプのランプ中心軸に沿った説明用断面図である。
【図２】図１に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見たときの説明用断面図である。
【図３】本発明の光照射装置において用いられる希ガス放電ランプの一例における構成の概略を示す図であって、（ａ）ランプ中心軸に沿った断面図、（ｂ）（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図４】希ガス放電ランプとインバータとの接続状態を示す図である。
【図５】太陽電池パネルの耐候試験装置における、本発明の光照射装置の太陽電池パネルに対する配置例の一例を概略的に示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプが並ぶ方向から見た側面図である。
【図７】図６に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見た側面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプが並ぶ方向から見た側面図である。
【図９】図８に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見た側面図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置の他の例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプが並ぶ方向から見た側面図である。
【図１１】図１０に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見た側面図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置の他の例における構成の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〔第１の実施の形態〕
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプのランプ中心軸に沿った説明用断面図、図２は、図１に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見たときの説明用断面図である。本発明の光照射装置において用いられる希ガス放電ランプの数は例えば２０〜４０本であるが、理解を容易にするために、希ガス放電ランプの数を１２本として構成されたものを例に挙げて説明する。
この光照射装置１０は、複数本（例えば１２本）の外部電極型の希ガス放電ランプ（以下、特定のものを説明する場合を除いて、符号「１１」が付してある。）が、ランプ中心軸Ｃが同一平面内に位置されると共に互いに平行に延びる姿勢で、例えば等間隔毎に並んで配置されたランプ収容部１５と、希ガス放電ランプ１１の各々に対応する複数（例えば１２個）のインバータ３０およびその他の電装体が収容されて配置されたインバータ収容部２０とを具えている。
【００１４】
各々の希ガス放電ランプ１１は、図３に示すように、両端が封止された直管状のガラス製の発光管１２を具えており、この発光管１２の内部には、キセノンガスあるいはキセノンガスを主成分とする混合ガスが所定量封入されている。
発光管１２を構成するガラス材料としては、例えばバリウムガラス、コバールガラス、タングステンガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラスなどを用いることができる。
発光管１２の外径は、例えば６ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、肉厚は０．３〜０．６ｍｍ以下である。特に、発光効率を高くすることができることから、発光管１２の外径は９．８〜１４ｍｍであることが好ましい。
【００１５】
発光管１２の内周面には、例えば略全域にわたって蛍光体層１３が形成されている。この蛍光体層１３は、例えば、酢酸ブチルにニトロセルロースを混合した溶剤に、可視光または紫外光を発光する蛍光体物質を混合した蛍光体スラリーを発光管１２の内面に塗布し、焼成することにより形成することができる。蛍光体物質としては、例えば青色発光用のもの、緑色発光用のもの、赤色発光用のものが組み合わされて用いられ、例えば、紫外発光蛍光体としては、ＬａＭｇＡｌｌ１Ｏ１９：Ｃｅ，Ｃｅ−（Ｍｇ，Ｂａ）−Ａｌ−Ｏなどを例示することができ、赤色蛍光体としては、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：ＥｕないしはＹ２Ｏ３：Ｅｕなどを例示することができ、緑色蛍光体としては、ＬａＰＯ４：Ｃｅ，Ｔｂなどを例示することができ、青色蛍光体としては、ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕなどを例示することができるが、蛍光体物質はこれらに限定されるものではない。
蛍光体層１３の厚さは、例えば１０〜２５μｍであり、用いられる蛍光体物質の組み合わせによって最も明るくなる大きさが選定される。蛍光体層１３の厚さは、通常は、１３〜１７μｍが最適である。
蛍光体層１３の形成される領域は、発光管１２の内周面の略全域である必要はなく、発光管１２の内周面の一部に蛍光体層１３が形成されていない領域、または、蛍光体層１３の厚さが小さい領域が形成されていてもよい。
【００１６】
発光管１２の外周面には、ランプ中心軸Ｃを挟んで互いに対向する位置に、各々概略帯状の一対の電極１４Ａ，１４Ｂが発光管１２の管軸（ランプ中心軸Ｃ）に沿って延びるよう設けられており、一方の電極１４Ａが高圧側電極、他方の電極１４Ｂが低圧側電極として機能する。
各々の電極１４Ａ，１４Ｂは、例えばアルミニウム、銅などの金属製テープを帯状に切断したものを発光管１２の外周面に貼り付けて構成されたものにより、あるいは、銀ペーストなどの導電性ペースト材料を発光管１２の外周面にスクリーン印刷し、焼き付けることにより形成された薄膜により構成されており、例えば銀ペーストの薄膜により構成される場合には、厚みは２〜２０μｍの範囲内であることが好ましい。
また、各々の電極１４Ａ，１４Ｂは、発光管１２の内部で生じた発光を放射するためのスリットや開口が形成された構成とすることができる。電極に例えばスリットを形成する技術については、例えば特開平０９−２９８０４９号公報に開示される。
【００１７】
各々の希ガス放電ランプ１１は、図４に示すように、各々の電極１４Ａ，１４Ｂの一端において接続された給電線１８を介してインバータ３０に接続されており、このインバータ３０は、不図示の電流検出手段によりランプ電流を検出してフィードバック制御する制御部３１によって動作状態が制御される。
【００１８】
希ガス放電ランプ１１の具体的な構成例を示すと、発光管１２は、長さ４５０ｍｍ、外径φ１０ｍｍであり、発光長は４３０ｍｍ程度である。発光管１２の内部に封入されるキセノンガスの量は、１０〜４０ｋＰａの範囲内、例えば２０ｋＰａである。各々の電極１４Ａ，１４Ｂの幅は０．２〜４ｍｍの範囲内、例えば３ｍｍである。定格点灯電力が２０Ｗ程度である。
【００１９】
インバータ収容部２０には、上述したように、複数の希ガス放電ランプ１１の各々に対応する複数のインバータ３０およびその他の電装体が収容されて配置されている。
この例におけるインバータ収容部２０は、希ガス放電ランプ１１が並ぶランプ配置面Ｓに垂直な方向の離間距離が互いに異なる３つのレベル位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３の各々において、各々区画された内部空間を有する複数のインバータ収容室（以下、特定のものを説明する場合を除いて、符号「２１」が付してある。）が、２つのものが希ガス放電ランプ１１の軸方向に離間して並ぶと共に２つのものが希ガス放電ランプ１１の並ぶ方向（図２において左右方向）に隙間なく並ぶよう、形成されて構成されている。
【００２０】
希ガス放電ランプ１１の軸方向に離間して並ぶインバータ収容室２１（Ａ１〜Ａ３），２１（Ｂ１〜Ｂ３）の間の領域には、上部に例えば送風ファン２５により構成された冷却風供給機構が設けられていると共に、各々平板状の複数の冷却風路区画壁２６が希ガス放電ランプ１１のランプ中心軸Ｃに垂直な平面に沿って延びるよう所定の間隔で互いに並設されており、これにより、ランプ配置面Ｓに垂直な方向に延びる各々独立した複数の冷却風路２８が形成されている。各々の冷却風路２８は、インバータ収容室２１を区画する中央側の側壁２２Ａに形成された導風用通風口２３を介して、対応するランプ収容室２１の内部空間に連通されている。そして、各々のランプ収容室２１における導風用通風口２３が形成された側壁２２Ａと対向する側壁２２Ｂには、冷却風をランプ収容室２１から排出するための排風用通風口２４が形成されている。図示されてはいないが、各々のランプ収容室２１から排出される暖められた冷却風が適宜の熱交換器を介して送風ファン２５に導入されるよう循環送風システムが構築された構成とされていてもよい。
【００２１】
希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側に位置される各レベル位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３のインバータ収容室２１内に配置されるインバータ３０の各々は、それぞれ対応する希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側の端部に接続されて給電部が形成されている。具体的には、希ガス放電ランプ１１の軸方向における一端側（図１において左側）に位置される各レベル位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３のインバータ収容室２１Ａ１，２１Ａ２，２１Ａ３内に配置されるインバータ３０の各々は、一端側に給電線１８が接続されており、この給電線１８は、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの一端（図１における左端）に接続されて給電部が形成されている。一方、希ガス放電ランプ１１の軸方向における他端側（図１において右側）に位置される各レベル位置Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３のインバータ収容室２１Ｂ１，２１Ｂ２，２１Ｂ３内に配置されるインバータ３０の各々には、他端側に給電線１８が接続されており、この給電線１８は、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの他端（図１における右端）に接続されて給電部が形成されている。そして、軸方向における一端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ａと、軸方向における他端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ｂとが１本ごとに交互に位置された状態とされている。
【００２２】
各々のインバータ３０は、インバータ収容室２１が位置されるレベル位置がランプ配置面Ｓより遠くなるに従って、対応する希ガス放電ランプ１１における給電部が形成された端部側に位置されるよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向に変位した状態で配置されている。具体的には、インバータ収容部２０の一端側においては、ランプ配置面Ｓに対するレベル位置が最も低い下段のインバータ収容室２１Ａ１においては、導風用通風口２３が形成された側壁２２Ａに近接した位置にインバータ３０が配置されており、このインバータ収容室２１Ａ１より高いレベル位置に位置される中段のインバータ収容室２１Ａ２内においては、下段のインバータ収容室２１Ａ１内のインバータ３０より排風用通風口２４が形成された側壁２２Ｂに接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向一端側に変位した位置にインバータ３０が配置されており、さらに、このインバータ収容室２１Ａ２より高いレベル位置に位置される上段のインバータ収容室２１Ａ３内のインバータ３０は、中段のインバータ収容室２１Ａ２内のインバータ３０より排風用通風口２４が形成された側壁２２Ｂに接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向一端側に変位した位置にインバータ３０が配置されている。インバータ収容部２０の他端側においても同様に、下段のインバータ収容室２１Ｂ１においては、導風用通風口２３が形成された側壁２２Ａに近接した位置にインバータ３０が配置されており、中段のインバータ収容室２１Ｂ２内においては、下段のインバータ収容室２１Ｂ１内のインバータ３０より排風用通風口２４が形成された側壁２２Ｂに接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向他端側に変位した位置にインバータ３０が配置されており、さらに、上段のインバータ収容室２１Ｂ３内のインバータ３０は、中段のインバータ収容室２１Ｂ２内のインバータ３０より排風用通風口２４が形成された側壁２２Ｂに接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向他端側に変位した位置にインバータ３０が配置されている。
【００２３】
上記の光照射装置の具体的な構成例を示すと、上述したように、希ガス放電ランプ１１の数は、実際上は、例えば２０〜４０本であり、一のレベル位置に配置されるインバータ３０の数は最大で１０個であり、ランプ収容部１５内における隣接する希ガス放電ランプ間１１の離間距離（ランプ中心軸間の距離）は、例えば３０〜６０ｍｍである。太陽電池パネル４１の表面温度を例えば６０℃付近に維持するため、送風ファン２５によって供給される冷却風は、温度が例えば３０〜５０℃であり、流速が例えば０．３〜２ｍ／ｓｅｃ、供給量が例えば４．４〜３０ｍ３／ｍｉｎである。
【００２４】
上記の光照射装置は、太陽電池パネル用耐候試験装置の光源として用いられ、例えば図５に示すように、複数の希ガス放電ランプ１１が並ぶランプ配置面Ｓがステージ４０上に配置される太陽電池パネル４１と互いに離間して対向するよう配置される。ここに、太陽電池パネル４１の光照射面４１Ａとランプユニット１０におけるランプ配置面Ｓとの間の離間距離は１５０〜５００ｍｍ、例えば３００ｍｍである。
【００２５】
各々の希ガス放電ランプ１１においては、高圧側電極として機能する一方の電極１４Ａに、例えば高周波電圧がインバータ３０を介して供給されると、発光管１２を構成するガラス材料（誘電体）を介して発光管１２の内部空間で誘電体バリア放電が生じ、誘電体バリア放電によってエキシマ分子が形成され、エキシマ分子から放射される光（キセノンガスの場合１７２ｎｍの真空紫外光）によって蛍光体層１３における蛍光体物質が励起されて例えば太陽光の紫外領域に近似した波長範囲の紫外線が太陽光の例えば最大で５倍程度の紫外線量で太陽電池パネル４１に放射される。
一方、送風ファン２５が駆動されることより供給される冷却風が冷却風路２８を介して各々のインバータ収容室２１内に導入されると共にランプ収容部１５内に導入され、これにより、各々の希ガス放電ランプ１１およびインバータ３０が冷却される。
【００２６】
このように、太陽電池パネル用耐候試験装置の光源として用いられる場合には、太陽電池パネル４１に対して所定の紫外線量の光を放射するために、多数の希ガス放電ランプ１１が必要となると共に希ガス放電ランプ１１の各々に対応する複数のインバータ３０が必要となる。然るに、上記の光照射装置によれば、インバータ収容部２０が、複数のインバータ収容室２１がいわば階層構造で形成されて構成されているので、光照射装置が大型化することを回避することができ、しかも、インバータ収容室２１が位置されるレベル位置がランプ配置面Ｓより遠くなるに従って、対応する希ガス放電ランプ１１における給電部が形成された端部側に位置されるよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向に変位した状態で配置された構成とされていることにより、各々の希ガス放電ランプ１１について、希ガス放電ランプ１１とインバータ３０とを接続する給電線１８の長さの差を可及的に小さくすることができるので、給電線１８の長さによる電圧降下の影響によって紫外線放射効率のバラツキが生ずることを防止すること、あるいは紫外線放射効率のバラツキを小さく抑制することができ、紫外線を所期の放射分布で放射することができる。
【００２７】
また、複数の希ガス放電ランプ１１の各々に対応して複数のインバータ３０が設けられていることにより、例えばインバータ３０における高周波トランスの設計が容易になると共に、不点灯になるなど不具合が生じた場合に当該希ガス放電ランプ１１の検出を容易に行うことができる。
さらにまた、希ガス放電ランプ１１が、発光管１２の内部空間において生ずる所定の波長域の紫外線（真空紫外線）の作用によって蛍光体層１３を発光させる構成のものであることにより、余分な光成分が太陽電池パネル４１に放射されることがないので、所期の耐候試験を高い信頼性をもって行うことができる。
【００２８】
〔第２の実施の形態〕
図６は、本発明の第２の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプが並ぶ方向から見た側面図、図７は、図６に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見た側面図である。この例においても、便宜上、希ガス放電ランプ（インバータ）の数を実際のものより少なくした状態で、示されている。
この光照射装置１０は、下方に開口する光放射開口５１を有する全体が略箱型形状のケーシング５０を具えており、このケーシング５０内における下方領域に、複数本（この例では１６本）の希ガス放電ランプ１１が、ランプ中心軸Ｃが同一平面内に位置されると共に互いに平行に延びる姿勢で、例えば等間隔毎に並んで配置されたランプ収容部１５が形成されていると共に、ケーシング５０内におけるランプ収容部１５の上方領域において、希ガス放電ランプ１１の各々に対応する複数（この例では１６個）のインバータ（以下、特定のものを説明する場合を除いて、符号「３０」が付してある。）が配置されたインバータ収容部２０が形成されている。
【００２９】
ケーシング５０の上部中央位置には、例えば送風ファン２５により構成された冷却風供給機構が設けられており、ケーシング５０内における送風ファン２５の直下の領域には、ランプ収容部１５に冷却風を供給するための冷却風路２８Ａを区画する各々平板状の２つの冷却風路区画壁２６Ａが、希ガス放電ランプ１１のランプ中心軸Ｃに垂直な平面に沿って延びるよう所定の間隔で互いに並設されており、これにより、互いに独立した、インバータ収容部２０に冷却風を供給する送風系と、ランプ収容部１５に冷却風を供給する送風系とが形成されている。インバータ収容部２０に供給される冷却風は、ケーシング５０の両側壁の各々に形成された排風用通風口２４を介してケーシング５０の外部に排出される。
【００３０】
ケーシング５０内におけるランプ収容部１５とインバータ収容部２０との間の位置には、例えばスリットやパンチ穴などが形成された板部材により構成された送風分布調整機構３５が設けられており、これにより、各々の希ガス放電ランプ１１を供給される冷却風によって略均等に冷却することができる。
【００３１】
この例におけるインバータ収容部２０においては、各々同一形状の４つの平板状のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２），３２（Ｂ１，Ｂ２）が、ランプ収容部１５に冷却風を供給する冷却風路２８Ａの両側の各々に２つずつ冷却風路区画壁２６Ａと平行に延びるよう所定の間隔で互いに並設されており、ケーシング５０における両側壁側に位置されるインバータ固定板３２Ａ２（３２Ｂ２）は、冷却風路区画壁２６Ａ側に位置されるインバータ固定板３２Ａ１（３２Ｂ１）よりランプ配置面Ｓの垂直方向上方位置に位置された状態とされている。
【００３２】
各々のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）の外面（ケーシング５０の側壁方向を向く面）には、それぞれ、複数（この例では４つ）のインバータ３０が、ランプ配置面Ｓに対して互いに同一のレベル位置において、希ガス放電ランプ１１の並ぶ方向に離間して並ぶよう、配置されている。そして、ケーシング５０の両側壁側に位置されるインバータ固定板３２Ａ２（３２Ｂ２）に設けられた各々のインバータ３０Ａ２（３０Ｂ２）は、冷却風路区画壁２６Ａ側に位置されるインバータ固定板３２Ａ１（３２Ｂ１）に設けられた各々のインバータ３０Ａ１（３２Ｂ１）より高いレベル位置Ｌ２（＞Ｌ１）に位置されている。ここに、一のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）に配置されるインバータ３０間の離間距離は、例えば５〜１５ｍｍであり、これにより、十分な大きさの絶縁距離が確保される。
【００３３】
冷却風路２８Ａに対して希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側に位置される各レベル位置のインバータ３０の各々は、それぞれ対応する希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側の端部に接続されて給電部が形成されている。具体的には、ランプ収容部１５に冷却風を供給する冷却風路２８Ａの、希ガス放電ランプ１１の軸方向における一端側（図６において左側）に位置される各レベル位置のインバータ３０（Ａ１，Ａ２）の各々は、その下端側に接続された給電線１８が、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの一端（図６における左端）に接続されて給電部が形成されている。一方、冷却風路２８Ａの、希ガス放電ランプ１１の軸方向における他端側（図６において右側）に位置される各レベル位置のインバータ３０（Ｂ１，Ｂ２）の各々は、その下端側に接続された給電線１８が、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの他端（図６における右端）に接続されて給電部が形成されている。そして、軸方向における一端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ａと、軸方向における他端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ｂとが１本ごとに交互に位置された状態とされている。
【００３４】
この第２の実施の形態に係る光照射装置においても、上記第１の実施の形態に係る光照射装置と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
〔第３の実施の形態〕
図８は、本発明の第３の実施の形態に係る光照射装置の一例における構成の概略を示す、希ガス放電ランプが並ぶ方向から見た側面図、図９は、図８に示す光照射装置を矢印Ａ方向（希ガス放電ランプのランプ中心軸方向）から見た側面図である。この例においても、便宜上、希ガス放電ランプ（インバータ）の数を実際のものより少なくした状態で、示されている。
この光照射装置１０は、下方に開口する光放射開口５１を有する全体が略箱型形状のケーシング５０を具えており、このケーシング５０内における下方領域に、複数本（この例では１６本）の希ガス放電ランプ１１が、ランプ中心軸Ｃが同一平面内に位置されると共に互いに平行に延びる姿勢で、例えば等間隔毎に並んで配置されたランプ収容部１５が形成されていると共に、ケーシング５０内におけるランプ収容部１５の上方領域において、希ガス放電ランプ１１の各々に対応する複数（この例では１６個）のインバータ３０が配置されたインバータ収容部２０が形成されている。
【００３６】
ケーシング５０の上部中央位置には、例えば送風ファン２５により構成された冷却風供給機構が設けられており、ケーシング５０内における送風ファン２５の直下の領域には、ランプ収容部１５に冷却風を供給するための冷却風路２８Ａを区画する各々平板状の２つの冷却風路区画壁２６Ａが、希ガス放電ランプ１１のランプ中心軸Ｃに垂直な平面に沿って延びるよう所定の間隔で互いに並設されており、これにより、互いに独立した、インバータ収容部２０に冷却風を供給する送風系およびランプ収容部１５に冷却風を供給する送風系が形成されている。インバータ収容部２０に供給される冷却風は、ケーシング５０の両側壁の各々に形成された排風用通風口２４を介してケーシング５０の外部に排出される。
【００３７】
ケーシング５０内におけるランプ収容部１５とインバータ収容部２０との間の位置には、例えばスリットやパンチ穴などが形成された板部材により構成された送風分布調整機構３５が設けられており、これにより、各々の希ガス放電ランプ１１を供給される冷却風によって略均等に冷却することができる。
【００３８】
この例におけるインバータ収容部２０においては、各々同一形状の４つの平板状のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２），３２（Ｂ１，Ｂ２）が、冷却風路２８Ａの両側に位置される空間部の各々にそれぞれ２つずつ、希ガス放電ランプ１１が並ぶランプ配置面Ｓに垂直な方向の離間距離が互いに異なる２つのレベル位置Ｌ１，Ｌ２において、ランプ配置面Ｓに沿って平行に延びるよう設けられており、第２のレベル位置Ｌ２に位置されるインバータ固定板３２Ａ２（３２Ｂ２）は、第１のレベル位置Ｌ１に位置されるインバータ固定板３２Ａ１（３２Ｂ１）より、ケーシング５０の側壁に接近するよう希ガス放電ランプ１１の軸方向に変位した状態とされている。
【００３９】
各々のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）の上面には、それぞれ、複数（この例では４つ）のインバータ３０が、希ガス放電ランプ１１の並ぶ方向に離間して並ぶよう、配置されており、冷却風路２８Ａの、希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側に位置されるインバータ３０の各々は、それぞれ対応する希ガス放電ランプ１１の軸方向における同一側の端部に接続されて給電部が形成されている。具体的には、希ガス放電ランプ１１の軸方向における一端側（図８において左側）に位置される各レベル位置のインバータ３０（Ａ１，Ａ２）の各々は、一端側に給電線１８が接続されており、この給電線１８は、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの一端（図８における左端）に接続されて給電部が形成されている。一方、希ガス放電ランプ１１の軸方向における他端側（図８において右側）に位置される各レベル位置のインバータ３０（Ｂ１，Ｂ２）の各々は、他端側に給電線１８が接続されており、この給電線１８は、希ガス放電ランプ１１の軸方向における電極１４Ａ，１４Ｂの他端（図８における右端）に接続されて給電部が形成されている。そして、軸方向における一端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ａと、軸方向における他端部に給電部が形成された希ガス放電ランプ１１Ｂとが１本ごとに交互に位置された状態とされている。
【００４０】
インバータ収容部２０の一端側においては、第２のレベル位置Ｌ２に位置される各々のインバータ３０Ａ２は、第１のレベル位置Ｌ１に位置される各々のインバータ３０Ａ１よりケーシング５０の側壁に接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向一端側に変位した位置に配置されている。同様に、ランプ収容部２０の他端側においては、第２のレベル位置Ｌ２に位置される各々のインバータ３０Ｂ２は、第１のレベル位置Ｌ１に位置される各々のインバータ３０Ｂ１よりケーシング５０の側壁に接近するよう、希ガス放電ランプ１１の軸方向他端側に変位した位置に配置されている。
ここに、一のインバータ固定板３２（Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）に配置されるインバータ３０間の離間距離は、例えば５〜１５ｍｍであり、これにより、十分な大きさの絶縁距離が確保される。
【００４１】
この第３の実施の形態に係る光照射装置においても、上記第１の実施の形態に係る光照射装置と同様の効果を得ることができる。
【００４２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、ランプ収容部１５に配置される希ガス放電ランプ１１は、ケーシング５０の光放射開口５１に対するレベル位置が互いに異なる複数のランプ配置面の各々において、複数の希ガス放電ランプ１１がランプ中心軸Ｃが互いに平行に延びるよう配置された構成とされていてもよい。図１０および図１１は、例えば互いにレベル位置の異なる第１のランプ配置面Ｓ１および第２のランプ配置面Ｓ２の各々に、それぞれ、１２本の希ガス放電ランプ１１が例えば等間隔で並設された構成とされたものであって、第１のランプ配置面Ｓ１に並ぶ第１の希ガス放電ランプ群１１Ｃは、第２のランプ配置面Ｓ２に並ぶ第２の希ガス放電ランプ群１１Ｄに対して、希ガス放電ランプ１１の並ぶ方向に相対的に変位した状態とされている。
【００４３】
そして、第１の希ガス放電ランプ群１１Ｃの希ガス放電ランプ１１には、電極１４Ａ，１４Ｂの軸方向における一端側（図１０において左側）の端部に給電部が形成されており、ランプ収容部１５に冷却風を供給する冷却風路２８Ａの一端側に位置されるインバータ３０（Ａ１〜Ａ３）の各々が、その一端側に接続された給電線１８を介して第１の希ガス放電ランプ群１１Ｃにおける対応する希ガス放電ランプ１１における電極１４Ａ，１４Ｂの一端部に接続されている。また、第２の希ガス放電ランプ群１１Ｄの希ガス放電ランプ１１には、電極１４Ａ，１４Ｂの軸方向における他端側（図１０において右側）の端部に給電部が形成されており、ランプ収容部１５に冷却風を供給する冷却風路２８Ａの他端側に位置されるインバータ３０（Ｂ１〜Ｂ３）の各々が、その他端側に接続された給電線１８を介して第２の希ガス放電ランプ群１１Ｄにおける対応する希ガス放電ランプ１１における電極１４Ａ，１４Ｂの他端部に接続されている。
【００４４】
図１０および図１１は、第３の実施の形態に係る光照射装置の構成例を示すものであるが、第１の実施の形態および第２の実施の形態に係る光照射装置において、複数本の希ガス放電ランプがランプ収容部において上記のように配列された構成とされていてもよい。
【００４５】
また、冷却風供給機構としては、図１２に示すように、ケーシング５０の側壁に形成された導風用通風口２３から冷却風を吸引してインバータ収容部２０における各インバータ３０に供給する吸引ファン２５Ａにより構成されていてもよい。図１２は、第２の実施の形態に係る光照射装置の構成例を示すものであるが、第１の実施の形態および第３の実施の形態に係る光照射装置において、このような吸引ファンによる冷却風供給機構が用いられた構成とされていてもよい。
【００４６】
さらにまた、本発明の光照射装置においては、希ガス放電ランプとインバータとを接続する給電線の長さが略一定の大きさとなるよう接続される構成とされていれば、上記の実施の形態のように、給電部が一端部に形成された希ガス放電ランプと、給電部が他端部に形成された希ガス放電ランプとが１本毎に交互に配置されるよう給電線が接続される構成に限定されるものではない。
また、第１の実施の形態に係る光照射装置においては、各レベル位置のインバータが希ガス放電ランプが並ぶ方向に変位した位置に配置された構成とされていてもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１０  光照射装置
１１，１１Ａ，１１Ｂ  希ガス放電ランプ
１１Ｃ，１１Ｄ  希ガス放電ランプ群
１２  発光管
１３  蛍光体層
１４Ａ，１４Ｂ  電極
１５  ランプ収容部
１８  給電線
２０  インバータ収容部
２１，２１（Ａ１〜Ａ３），２１（Ｂ１〜Ｂ３）  インバータ収容室
２２Ａ，２２Ｂ  側壁
２３  導風用通風口
２４  排風用通風口
２５  送風ファン
２５Ａ  吸引ファン
２６，２６Ａ  冷却風路区画壁
２８，２８Ａ，２８Ｂ  冷却風路
３０，３０（Ａ１，Ａ２），３０（Ｂ１，Ｂ２）  インバータ
３１  制御部
３２（Ａ１，Ａ２），３２（Ｂ１，Ｂ２）  インバータ固定板
３５  送風分布調整機構
４０  ステージ
４１  太陽電池パネル
４１Ａ  光照射面
５０  ケーシング
５１  光放射開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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