(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
・第１端表面（１４′）及び第２端表面（１３′）を有する圧電アクチュエータ（１）と、
・前記圧電アクチュエータ（１）を収容するスリーブ（９）であって、第１端表面（１４）及び第２端表面（１３）を有する、該スリーブ（９）と、
・前記圧電アクチュエータ（１）を包囲する注型材料（１１）であって、前記圧電アクチュエータ（１）及び前記注型材料（１１）が前記スリーブ（９）内に挿入され、また前記注型材料の挿入は、前記圧電アクチュエータ（１）の前記第１端表面（１４′）に達するまでとした、該注型材料（１１）と、
・前記圧電アクチュエータ（１）の外部接点としての２個の接続素子（８）と、を備え、
前記スリーブ（９）の前記第１端表面（１４）は全範囲で開口し、当該開口を介して、前記圧電アクチュエータ（１）がスリーブ（９）内へ挿入され、
前記スリーブ（９）は、その底端部から内方へ突出する底部を有し、前記底部は、前記第１端表面（１４）とは異なる形をなし貫通孔（１７）を有する前記第２端表面（１３）を有し、前記圧電アクチュエータ（１）の前記第２端表面（１３′）は、前記貫通孔（１７）に挿入され、
各接続素子（８）は、第１部分と、前記第１部分に直接的に続いて並ぶ第２部分とから構成され、各接続素子（８）の前記第１部分は、前記注型材料（１１）により包囲され、各接続素子（８）の前記第２部分の全体は、前記注型材料（１１）を越えてむき出しの状態で配置されたアクチュエータユニット。
【請求項２】
前記注型材料（１１）は、前記圧電アクチュエータ（１）の第１端表面（１４′）と同一平面となる位置で終端させ、前記圧電アクチュエータ（１）の第１端表面（１４′）は、前記圧電アクチュエータ（１）の第２端表面（１３′）よりもスリーブ（９）の第１端表面（１４）に近接するものとした、
請求項１記載のアクチュエータユニット。
【請求項３】
前記圧電アクチュエータ（１）の第１端表面（１４′）及び前記スリーブの第１端表面（１４）は、前記アクチュエータユニットの主軸線（１６）に関して軸線方向に同一位置となるようにした、
請求項１又は２記載のアクチュエータユニット。
【請求項４】
前記スリーブ（９）は一体構造にした、
請求項１〜３のうちいずれか一項記載のアクチュエータユニット。
【請求項５】
前記圧電アクチュエータ（１）の第２端表面（１３′）の前記貫通孔（１７）への挿入は、前記圧電アクチュエータ（１）の第２端表面（１３′）が前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）から突出するように行われる、
請求項１〜４のうちいずれか一項記載のアクチュエータユニット。
【請求項６】
前記スリーブ（９）の材料は、ＰＢＴを含む、
請求項１〜５のうちいずれか一項記載のアクチュエータユニット。
【請求項７】
前記圧電アクチュエータ（１）は、圧電セラミック層（３）及び圧電セラミック層（３）相互間に配置した電極層（４）よりなる積層体（２）を有し、前記電極層（４）は、反対極的に電気的接触するものとした、
請求項１〜６のうちいずれか一項記載のアクチュエータユニット。
【請求項８】
請求項１〜７記載のうちのいずれか一項記載のアクチュエータユニットを製造する方法において、
以下のステップ、すなわち、
Ａ）  外部接点としての２個の接続素子（８）と一体となる圧電アクチュエータ（１）と前記圧電アクチュエータ（１）を収容するスリーブ（９）を準備する準備ステップであって、前記圧電アクチュエータ（１）は、第１端表面（１４）及び第２端表面（１３）を有し、前記スリーブ（９）の前記第１端表面（１４）は、圧電アクチュエータ（１）をスリーブ（９）内へ挿入するための開口を有し、前記スリーブ（９）は、その底端部から内方へ突出する底部を有し、前記底部は、前記第２端表面（１３）を有して貫通孔（１７）が形成された、該準備ステップと、
Ｂ）  前記圧電アクチュエータ（１）の前記第２端表面（１３′）が前記貫通孔（１７）に挿入されるように、前記圧電アクチュエータ（１）が前記スリーブ（９）内に挿入されるステップと、
Ｃ）  注型材料（１１）が前記スリーブ（９）内に挿入されて、前記スリーブ（９）の内側面と前記圧電アクチュエータ（１）との間の中空空間への充填を開始するステップと、
Ｄ）  前記中空空間の前記注型材料（１１）による充填を、前記注型材料（１１）が最大で前記圧電アクチュエータ（１）の前記第１端表面（１４′）に達するまで充填するステップと、を有し、
各接続素子（８）は、第１部分と、前記第１部分に直接的に続いて並ぶ第２部分とから構成され、各接続素子（８）の前記第１部分は、前記注型材料（１１）により包囲され、各接続素子（８）の前記第２部分の全体は、前記注型材料（１１）を越えてむき出しの状態で配置される、方法。
【請求項９】
さらに、以下のステップ、すなわち、
Ｅ）  封止素子（１０）を前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）に取り付けて、中空空間の充填のため前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）を密封する密封ステップであって、前記封止素子（１０）の前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）に対する取り付けは、中空空間の充填の際に前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）における貫通孔（１７）から前記注型材料（１１）が漏出するのを阻止するよう行う、該密封ステップ
を有する、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
さらに、以下のステップ、すなわち、
Ｆ）  前記注型材料（１１）を硬化させるステップと、
Ｇ）  前記硬化プロセス終了後、前記封止素子（１０）を前記スリーブ（９）の第２端表面（１３）から取り外すステップと
を有する、請求項９記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータユニット、アクチュエータユニットの製造方法、及び圧電アクチュエータを収容するスリーブに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電アクチュエータは、概して圧電材料の複数の層を含んでいる。圧電アクチュエータは、例えば、自動車における噴射バルブを操作するのに使用される。スリーブは、圧電アクチュエータの耐用寿命を長くしようとするとき、圧電アクチュエータを環境の影響から保護することに意義がある。
【０００３】
圧電アクチュエータは、例えば、特許文献１（独国特許出願公開第１０２００４０３１４０４号）及び特許文献２（独国特許出願公開第１０２００６０２５１７７号）に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０２００４０３１４０４号明細書
【特許文献２】独国特許出願公開第１０２００６０２５１７７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、圧電アクチュエータの信頼性及び耐用寿命を向上させることができる、アクチュエータユニット、及びアクチュエータユニットの製造方法又はスリーブを得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、圧電アクチュエータを備えるアクチュエータユニットを提供する。圧電アクチュエータは、第１端表面及び第２端表面を有する。さらに、アクチュエータユニットは、圧電アクチュエータを収容するスリーブを備える。スリーブは、第１端表面、及び第２端表面を有する。さらに、アクチュエータユニットは、圧電アクチュエータを包囲する注型材料を備える。圧電アクチュエータ及び注型材料は、スリーブ内に挿入される。注型材料は、最大で圧電アクチュエータの第１端表面まで達する。
【０００７】
スリーブは、圧電アクチュエータを、例えば自動車のエンジン空間における高温のような環境の影響から保護する。スリーブは、圧電アクチュエータの耐用寿命を向上させる。さらに、スリーブは、注型材料の形状を安定化する作用を行う。
【０００８】
注型材料は、圧電アクチュエータを包囲する。好適には、注型材料は、厳密に圧電アクチュエータの第１端表面まで達する。圧電アクチュエータの第１端表面は、圧電アクチュエータの第２端表面よりもスリーブの第１端表面に近接させる。好適な実施形態においては、注型材料を圧電アクチュエータの第１端表面と同一平面となるよう終端させる。注型材料が圧電アクチュエータの第１端表面よりも上方に延在することは、例えば、圧電アクチュエータの接続素子を汚し、またひいては圧電アクチュエータの外部との接続性が阻害されるおそれがあり、回避しなければならない。
【０００９】
好適な実施形態においては、圧電アクチュエータの第１端表面及びスリーブの第１端表面は、アクチュエータユニットの主軸線に関して同一の軸線方向位置にする。
【００１０】
好適には、スリーブの高さ又は長さを圧電アクチュエータの高さに適合させる。これにより、注型材料を、圧電アクチュエータの第１端表面で、また同時にスリーブの第１端表面で、同一平面となるよう終端させることができるようになる。したがって、アクチュエータユニットの安定性及び耐用寿命が向上する。さらに、アクチュエータユニットの自動製造が容易になる、なぜなら、注型材料は常に所定のレベル、例えば最大で圧電アクチュエータの第１端表面、及びスリーブの第１端表面までしか充填されないからである。このようにして、製造コストが低減される。
【００１１】
アクチュエータユニットの一実施形態においては、スリーブを一体構造にする。
【００１２】
一体構造のスリーブにより、アクチュエータユニットの自動製造が一層容易になる。異なるスリーブ部分の連結位置における注型材料の漏出を回避することができる。したがって、簡単に製造でき、コスト的に有利なアクチュエータユニットが得られる。さらに、スリーブが一体構成の実施形態によれば、圧電アクチュエータの挿入の際に、複数のスリーブ部分の連結位置で圧電アクチュエータが傾斜するのを回避することができる。
【００１３】
アクチュエータユニットの一実施形態においては、スリーブの第２端表面に貫通孔を設ける。圧電アクチュエータの第２端表面は、この貫通孔に挿入される。
【００１４】
好適には、貫通孔は四角形である。貫通孔の寸法は、圧電アクチュエータの第２端表面の寸法にほぼ適合するものとする。好適には、圧電アクチュエータの第２端表面の寸法は、貫通孔よりも小さい又は最大でも貫通孔に等しく、圧電アクチュエータの第２端表面は、貫通孔に容易に挿入可能である。
【００１５】
アクチュエータユニットの一実施形態において、圧電アクチュエータの第２端表面は貫通孔に挿入され、圧電アクチュエータの第２端表面がスリーブの第２端表面から突出する。
【００１６】
アクチュエータユニットの一実施形態において、スリーブの第１端表面に開口を有する。この開口は、圧電アクチュエータがスリーブ内に挿入されるのに適合する。
【００１７】
好適には、スリーブは円筒形である。スリーブの第１端表面は開口し、圧電アクチュエータがこの開口からスリーブ内に挿入可能である。スリーブの第２端表面はスリーブの底面をなし、この底面が、圧電アクチュエータの第２端表面を収容する上述した貫通孔を有する。
【００１８】
アクチュエータユニットの一実施形態において、スリーブの材料はＰＢＴを有する。
【００１９】
好適には、スリーブは、熱塑性ポリエステル、例えばポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）を含む材料を含有する。この材料は疎水性を有する。同時に、その材料は、注型材料の形状を安定させるのに十分な機械的剛性又は安定性を付与する。さらに、上述の材料は、耐熱性を有する。ＰＢＴの利点は、その化学的安定性に起因して、圧電アクチュエータに対して分離せず、また圧電アクチュエータを化学的の汚染することがない点である。好適には、スリーブの材料は注型材料との連結状態になり、したがって、注型材料とスリーブとの間の中空空間が一層少なくなる。
【００２０】
アクチュエータユニットの一実施形態において、圧電アクチュエータは、圧電セラミック層、並びにこれら圧電セラミック層相互間に配置した電極層よりなる積層体を有する。電極層は、反対極的に接触する。
【００２１】
例えば、圧電セラミック層は、鉛‐ジルコネート‐チタネート（ＰＺＴ）セラミックを有する。電極層は、好適には、銀、パラジウム、プラチナ、銅、ニッケルのうちの１つを含有するものとする。電極層に電圧をかけると、圧電セラミック材料の変形を生ずる。この変形は、圧電式往復行程と称される。
【００２２】
アクチュエータユニットの一実施形態において、圧電アクチュエータは２個の接続素子を有するものとする。それら接続素子は、圧電アクチュエータの第１端表面を超えて突出する。
【００２３】
接続素子は、アクチュエータユニットの外部接点として作用する。好適には、積層体の２つの側面それぞれに各１個の接続素子を取り付ける。接続素子は、ピンとして実施することができる。
【００２４】
アクチュエータユニットの一実施形態において、圧電アクチュエータの第１端表面を超えて突出する接続素子の部分領域には注型材料がないようにする。
【００２５】
注型材料は、最大で圧電アクチュエータの第１端表面にしか達しないようにすれば、圧電アクチュエータの第１端表面の側から突出する接続素子には注型材料がない状態に維持することができる。したがって、接続素子の面倒なクリーニングが不要になる。これにより、アクチュエータユニットの自動製造が容易になる。さらに、アクチュエータユニットの耐用寿命が向上する、なぜなら、これは接続素子が注型材料による汚れがない状態に維持できるからである。
【００２６】
さらに、本発明は、上述のアクチュエータユニットの製造方法を提供する。第１ステップにおいて、圧電アクチュエータがスリーブ内に挿入される。第２ステップにおいて、注型材料がスリーブ内に挿入される。注型材料は、スリーブの内側面と圧電アクチュエータとの間における中空空間の充填を開始する。第３ステップにおいて、中空空間を注型材料で充填する。中空空間の充填は、好適には、注型材料が最大で圧電アクチュエータの第１端表面に達するまで行う。
【００２７】
好適には、注型材料は、スリーブの第１端表面及び圧電アクチュエータの第１端表面と同一平面になるよう終端させる。注型材料がスリーブの第１端表面と同一平面になったら充填を停止し、これにより注型材料は、圧電アクチュエータの第１端表面のレベルを越えることがなくなる。
【００２８】
注型材料は、例えば、スリーブの第１端表面の側からスリーブの第１端表面における開口に、挿入される。更なる実施形態において、注型材料はスリーブの第２端表面から挿入される。このため、第２端表面には、開口、例えば孔を設け、この孔に充填素子をスリーブ内に挿入可能である。
【００２９】
中空空間の充填は、好適には、例えば、注型材料に空気混入を生ずる注型材料の攪乱を回避するよう行う。このことは、例えば、充填を極めて緩慢に行う、又は充填素子の案内を特別な仕方で行うことにより可能となる。例えば、充填の際に充填素子を、常に注型材料レベルの僅か上方に維持することで可能になる。
【００３０】
一実施形態において、本方法は、さらに、中空空間の充填のために、スリーブの第２端表面に封止素子を取り付けステップを有する。封止素子は、好適には、スリーブの第２端表面に取り外し可能に取り付ける。封止素子は、スリーブの第２端表面を密封する作用を行う。スリーブの第２端表面に対する封止素子の取り付けは、中空空間の充填の際に注型材料がスリーブの第２端表面から漏出するのを阻止するように行う。
【００３１】
製造公差によって、スリーブの第２端表面における貫通孔と圧電アクチュエータとの間に間隙を生ずることがある。この間隙を経て、成形の際に注型材料が漏出するおそれがある。封止素子は、スリーブの第２端表面を密封して、注型材料の漏出を阻止する。
【００３２】
一実施形態において、本方法は、さらに、注型材料を硬化させるステップを有する。最終ステップにおいて、硬化プロセス後に封止素子をスリーブの第２端表面から取り外す。
【００３３】
注型材料の硬化後には、スリーブの第２端表面の貫通孔からの注型材料の漏出はもはや不可能となる。したがって、スリーブの第２端表面における封止素子は不要になり、取り外すことができる。封止素子は、例えば、押し付けによって、スリーブの第２端表面に取り付けるため、自動化ステップを、余分な費用を大きくかけることなく行うことができる。
【００３４】
さらに、本発明は、圧電アクチュエータを収容するスリーブを提供する。このスリーブは一体構成とする。
【００３５】
スリーブは、例えば、射出成形で形成することができる。
本発明の要旨を、以下の実施形態及び図面につき詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】圧電アクチュエータの線図的断面図である。
【図２】アクチュエータユニットの線図的断面図である。
【図３】図２に示すアクチュエータユニットの注型中の状況を示す線図的斜視図である。
【図４】図２に示すアクチュエータユニットの他の実施形態における注型中の状況を示す線図的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本発明の実施形態及び図面において、同一又は同様に作用する構成部分には、同一の参照符号を付して示す。図示の素子及びその大きさの割合は縮尺通りには描いておらず、むしろ個々の素子、例えば、層、構成部分、構成素子及び領域は、描き易く又は分かり易くするため、厚みと大きさを誇張して描いている。
【００３８】
図１は、多層構造の圧電アクチュエータ１を示す。圧電アクチュエータ１は、互いに順次重ね合わせた圧電層３よりなる積層体２を備える。圧電アクチュエータ１は、第１端表面１４′及び第２端表面１３′を有する。
【００３９】
積層方向に沿って、積層体２は、１個の活性領域６及び２個の不活性領域７に分けられる。不活性領域７は、積層方向に活性領域６に隣接し、また積層体２の両側の終端部を構成する。積層体２の活性領域６は、圧電層３相互間に配置した電極層４を有する。活性領域６における電極４に簡単に接触できるようにするため、圧電アクチュエータ１は以下のように構成する、すなわち、同一の電気的極性となるよう配列する各電極層４を圧電アクチュエータ１の一方の端縁領域まで延在させる。他の極性となるよう配列した電極層４は、圧電アクチュエータ１のこの端縁までは延在させない。したがって、電極層４は、互い違いに噛み合う櫛歯の形態となる。積層体２の外側面における金属化層５の形式とした接点面により、電極層４に電圧をかけることができる。電圧を加えることにより、電極層４は活性層６における圧電材料の変形を発生させる。
【００４０】
金属化層５にはそれぞれ、導線又はピンとして構成した接続素子８（図２〜４参照）を取り付け、圧電アクチュエータ１の外部に対する電気的接触を可能にする。
【００４１】
図２は、アクチュエータユニットの線図的説明図である。
【００４２】
アクチュエータユニットはスリーブ９を備える。このスリーブ９は円筒形の形状にする。スリーブ９は、例えばポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）から形成する。スリーブ９は一体構造とする。スリーブ９は第１端表面１４、及び第２端表面１３を有する。図１に示す圧電アクチュエータ１をスリーブ９内に配置する。圧電アクチュエータ１は、とくに、圧電アクチュエータ１の第１端表面又は第１側面１４′がスリーブ９の第１端表面１４に近接するよう配置し、圧電アクチュエータ１の第２端表面１３′も同様である。
【００４３】
スリーブ９の第１端表面１４は開口１８を備える。この開口１８は圧電アクチュエータ１をスリーブ９の内部空間内に収容するために設ける。スリーブ９の高さ又は長さは、圧電アクチュエータ１の高さにほぼ適合させる。とくに、この実施形態において、圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′をスリーブ９の第１端表面１４と同一平面となるよう終端させる。圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′及びスリーブの第１端表面１４は、したがって、アクチュエータユニット又はスリーブ９の主軸線１６に関して軸線方向に同一位置をとり、この主軸線１６は、スリーブ９の第１端表面１４と第２端表面１３との間に延在する。圧電アクチュエータ１の接続素子８は、圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′から突出し、また、したがってスリーブ９の第１端表面１４からも突出する。
【００４４】
スリーブ９の第２端表面１３は底面をなす。この第２端表面１３には開口１７、とくに貫通孔を設ける。この貫通孔は、好適には、四角い貫通孔とする。主軸線１６は開口１７を通過する。圧電アクチュエータ１の第２端表面１３′は開口１７内に挿入する、又は開口１７に貫通させる。とくに、圧電アクチュエータ１の第２端表面１３′は開口１７から突出し、それゆえ、スリーブ９の第２端表面１３を越える。
【００４５】
開口１７と圧電アクチュエータ１との間には、製造公差による間隙又はギャップ（はっきりとは示さない）を生ずることがある。この間隙によって、注型材料１１がアクチュエータユニットの成形の際に漏出することがある。注型材料１１が開口１７から、またしたがって、スリーブ９の第２端表面１３側からの漏出を阻止するため、封止素子１０をスリーブ９の第２端表面１３に取り付ける。この封止素子１０は、スリーブ９の第２端表面１３を密封する。
【００４６】
封止素子１０は、スリーブの第２端表面１３に押し付ける。封止素子１０は取り外し可能に取り付ける。封止素子１０は、単にアクチュエータユニットの成形中に、並びに注型材料１１のその後の硬化プロセス中に取り付け、このことを図３及び図４につきより詳細に説明する。
【００４７】
封止素子１０は封止ディスクとする。この封止素子は変形可能とする。封止素子１０は、発泡性材料で形成する。封止素子１０をスリーブ９の第２端表面１３に取り付ける際に、封止素子１０は、スリーブ９の第２端表面１３側から突出する圧電アクチュエータ１の第２端表面１３′に適合する。
【００４８】
注型材料１１は圧電アクチュエータ１を包囲する。注型材料１１は、好適には、シリコーン‐エラストマーを含有するものとする。シリコーン‐エラストマーの他に、注型材料１１は、石英砂並びに結合材料を含むものとする。注型材料１１は、圧電アクチュエータ１の外側、すなわち、圧電セラミック層３の外面並びに接続素子８のような金属化層５の外面に結合する。注型材料１１は、スリーブ９により外方を区切られる。図示の実施形態において、注型材料１１は、レベルとなるよう充填する。とくに、注型材料１１は、圧電アクチュエータ１の第１端表面、及びしたがって、スリーブの第１端表面１４と同一平面となる位置で終端させる。他の実施形態において、注型材料１１は、圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′の僅かに下方の位置まで達するものとすることができる。いずれにせよ、注型材料１１は、圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′のレベルを越えないようにする。とくに、接続素子８における、圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′を超えて突出する領域には注型材料１１がない状態にする。これにより、アクチュエータユニットの成形後に、接続素子８に対する費用のかかるクリーニング作業の必要がなくなる。したがって、アクチュエータユニットの自動製造プロセスが得られる。
【００４９】
図３及び図４は、製造中の、とくに、成形中の上述したアクチュエータユニットを示す。
【００５０】
アクチュエータユニットの第１製造ステップにおいて、圧電アクチュエータ１がスリーブ９の開口１８から挿入され、この圧電アクチュエータ１の挿入は、圧電アクチュエータ１の第２端表面１３′が貫通孔１７を越えて、スリーブ９の第２端表面１３から突出するように行う。圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′は、図２につき説明したように、スリーブ９の第１端表面１４と同一平面となるようにする。
【００５１】
次のステップにおいて、上述した封止素子１０をスリーブ９の第２端表面１３に取り付け、この取り付けは、成形の際に注型材料１１が第２端表面１３から漏出するのを封止するように行う。
【００５２】
他のステップにおいて、注型材料１１がスリーブ９内に挿入され、スリーブ９の内側面と圧電アクチュエータ１との間における中空空間への注入を開始する。注型材料１１の挿入は充填素子１５により行う。この充填素子１５はニードルとする。
【００５３】
他のステップにおいて、中空空間を注型材料で充填し、この充填は、注型材料が圧電アクチュエータ１の第１端表面１４′と同一平面となる位置で終端させる。この充填は、スリーブ９の第１端表面１４の側から行う（図４参照）。この場合、充填素子１５はスリーブ９の第１端表面１４側から中空空間内に、第２端表面１３の近傍まで案内する。中空空間の充填の際に、充填素子１５を第１端表面１４に向けて移動し（はっきりとは示さない）、この場合、充填素子１５、とくに、充填素子１５の充填開口を、常に注型材料のレベルの僅かに上方に保持し、
等量の充填を可能にし、また注型材料に空気混入を招くおそれがある攪乱の発生を回避する。
【００５４】
充填はスリーブ９の第２端表面の側からも行うことができる（図３参照）。この場合、充填素子１５は、スリーブ９の第２端表面１３の側から中空空間内に挿入する。この充填の仕方では、スリーブ９、とくに、スリーブ９の第２端表面１３に他の開口１９（図２参照）を設け、この開口１９を経て充填素子１５が中空空間内に挿入される。開口１９は、主軸線１６に関して貫通孔１７に対して半径方向にシフトする。充填素子１５が中空空間内に開口１９を経て挿入される際に、封止素子１０を充填素子１５が穿刺貫通する。封止素子１０は、可撓性材料、例えば発泡物質により形成し、これにより、穿刺貫通開口は自動的に閉止し、この穿刺貫通開口から注型材料の漏出がなくなる。
【００５５】
中空空間の充填完了後、充填素子１５を取り外す。最終ステップにおいて、注型材料１１を硬化させる。注型材料１１の硬化後、封止素子１０をスリーブ９の第２端表面１３から取り外す。
【符号の説明】
【００５６】
１    圧電アクチュエータ
２    積層体
３    圧電層
４    電極層
５    金属化層
６    活性領域
７    不活性領域
８    接続素子
９    スリーブ
１０    封止素子
１１    注型材料
１３    （スリーブの）端表面
１４    （スリーブの）端表面
１３′  （圧電アクチュエータの）端表面
１４′  （圧電アクチュエータの）端表面
１５    充填素子
１６    主軸線
１７    開口
１８    開口
１９    開口
【図１】
0005768135.tif 000002
【図２】
0005768135.tif 000003
【図３】
0005768135.tif 000004
【図４】
0005768135.tif 000005