(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体内を通過するシートを該筐体内にて加熱する加熱処理装置であって、
前記シートに対向する加熱面を有し、前記加熱面を前記シートに面接触させて前記加熱面に前記シートを追従させる往動と、前記加熱面を前記シートから離して前記追従の開始位置に前記加熱面を戻す復動とを前記筐体内で交互に繰り返す複数の移動体と、
前記移動体に設けられ、前記往動にて前記シートを前記加熱面に吸着し、前記復動の前に該吸着を解除する吸着部とを備え、
複数の前記移動体は連なって往動し、複数の前記移動体のうち前記開始位置から遠い移動体から順に他の移動体から離間して復動し、
前記移動体の復動速度は、前記移動体の往動速度よりも大きい
ことを特徴とする加熱処理装置。
【請求項２】
前記加熱面が、平面であり、
前記移動体が、前記加熱面を有したホットプレートである
請求項１に記載の加熱処理装置。
【請求項３】
前記移動体は、前記復動では、前記シートの下面から該シートの下方に移動することによって前記シートから離れる
請求項１又は２に記載の加熱処理装置。
【請求項４】
前記移動体は、前記復動にて、前記シートの搬送方向へ移動しつつ該シートの下面から該シートの下方に移動してから前記開始位置に戻る
請求項３に記載の加熱処理装置。
【請求項５】
前記吸着部は、前記シートを前記加熱面に吸引吸着する
請求項１〜４のいずれか一項に記載の加熱処理装置。
【請求項６】
筐体内を通過するシートの下面を該筐体内にて加熱する加熱処理装置と、
前記筐体内に設けられて、前記シートの上面に処理剤を供給する供給部と
を備えるシート表面処理装置であって、
前記加熱処理装置が、請求項１〜５のいずれか一項に記載の加熱処理装置である
ことを特徴とするシート表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、筐体内を移動するシートに対して加熱処理を施す加熱機構を備える加熱処理装置、及び該加熱処理装置を備えるシート表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば特許文献１に記載のように、ロールツーロール方式の薄膜太陽電池の製造装置が広く用いられている。ロールツーロール方式の装置では、シートを繰り出す装置とシートを巻き取る装置との間に各種の処理を行う装置が挟まれ、処理対象物であるシートが各種処理装置の間を連続的に流れる。そのため、処理対象物の搬送に必要なロボット等の装置を削減できるばかりでなく、こうした装置を用いて処理対象物を搬送するために必要な時間を削減することもできる。こうした利点から、ロールツーロール方式の装置は、上記薄膜太陽電池の製造装置に限らず、例えば薄膜二次電池や電子デバイスの製造装置としても採用されている。
【０００３】
上記文献に記載のような装置では、各種処理装置の筐体内に搬入されたシートは、ガイドローラによって筐体内を通過するように案内される。そして、処理装置にて行われる処理が、例えば加熱処理を伴う成膜処理である場合には、シートに対する成膜処理が筐体内で実施されるまでに、該成膜処理に応じた温度にまでシートを加熱することが求められる。そのため、ガイドローラに接触式の加熱部を設けることで直接シートを加熱したり、筐体内に非接触式の加熱部を設けることで間接的にシートを加熱したりするようにしている。
【０００４】
また、例えば特許文献２に記載のように、上記ガイドローラを用いることなく、平面状に形成された加熱部の表面に沿ってシートを搬送することによって、該シートを加熱する装置も知られている。こうした構成によれば、シートの搬送方向において成膜部と加熱部との距離を一定に保つことが可能であるため、該シートに対して施される成膜処理の均一性をシートの搬送方向にて高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２７０１３３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１３８４２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記ガイドローラの外周面にシートを沿わせる場合には、シートとガイドローラとの接触が、シートの張力によって高められる。これに対し、平面状に形成された加熱部の表面にシートを沿わせる場合には、通常、加熱部の表面と水平な方向に沿った張力がシートに作用することになる。そのため、シートと加熱部との接触が、シートの張力によっては高められにくくなる。それゆえに、平面状の加熱部によれば、成膜部と加熱部との距離のばらつきは抑えられるものの、シートと加熱部との接触の不均一化により温度のばらつきが生じてしまうことになる。
【０００７】
一方、ガイドローラによってシートが加熱される場合には、シートの張力がガイドローラに作用するため、確かに、シートとガイドローラとの接触は、シートの全体において均一なものとなる。しかしながら、シートとガイドローラとの接触を均一にする程の張力が加熱されるシートに対して作用するとなれば、シートそのものの変形が免れられないものとなるおそれがある。それゆえに、シートそのものの変形が抑えられる程度の張力でシートを搬送する必要があるため、結局のところ、シートと加熱部との接触が不均一になることにより温度のばらつきが生じてしまうおそれがある。
【０００８】
なお、こうした問題は、上記ロールツーロール方式の製造装置に限らず、シートが筐体内を通過するときに、該シートを所定の温度とした状態で処理を行う装置、あるいはシートが筐体内を通過するときに、該シートを所定温度にまで加熱する装置においても概ね共通する。
【０００９】
この発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、筐体内にてシートを移動させつつ、該シートにおける温度の面内均一性を高めることの可能な加熱処理装置、及び該加熱処理装置を備えるシート表面処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
請求項１に記載の発明は、筐体内を通過するシートを該筐体内にて加熱する加熱処理装置であって、前記シートに対向する加熱面を有し、前記加熱面を前記シートに面接触させて前記加熱面に前記シートを追従させる往動と、前記加熱面を前記シートから離して前記追従の開始位置に前記加熱面を戻す復動とを前記筐体内で交互に繰り返す複数の移動体と、前記移動体に設けられ、前記往動にて前記シートを前記加熱面に吸着し、前記復動の前に該吸着を解除する吸着部とを備え、複数の前記移動体は連なって往動し、複数の前記移動体のうち前記開始位置から遠い移動体から順に他の移動体から離間して復動し、前記移動体の復動速度は、前記移動体の往動速度よりも大きいことを要旨とする。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、加熱面を有する移動体は、該加熱面にシートを吸着させつつ該シートを追従する。そして、こうした移動体に対するシートの吸着が、移動体の復動の前に解除される。これにより、移動体の加熱面にシートが吸着された状態で、該シートが搬送されて、この間に、シートに対する加熱処理が行われる。その結果、シートが筐体内を移動しても、該シートにおける温度の面内均一性が高められることになる。
また、一つの移動体によってシートが加熱される形態では、移動体が復動するときにシートの加熱が行われなくなる。そして、こうしてシートが加熱されない期間にも、シートが搬送方向に搬送されることになる。その結果、移動体が復動する間に搬送されるシートの搬送量が移動体によって加熱された領域よりも大きくなると、移動体によって加熱されない領域がシートにおいて発生することとなる。
この点、請求項１に記載の発明によれば、複数の移動体が連なって往動するとともに、複数の移動体のうち、開始位置から遠い移動体から順に復動する。その結果、一つの移動体が復動するときには、他の移動体によってシートが加熱され続ける。それゆえに、移動体によって加熱されない領域を縮小することができる。
さらに、請求項１に記載の発明によれば、移動体は、復動時に往動時よりも高速で移動する。そのため、往動時及び復動時に同一の速度で移動するよりも、復動にかかる時間を短くすることができる。それゆえに、既にシートに対する追従を始めている移動体と、追従の開始位置に到達した移動体とが離間することによってシートにおいて加熱されない領域ができることを抑えられる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の加熱処理装置において、前記加熱面が、平面であり、前記移動体が、前記加熱面を有したホットプレートであることを要旨とする。
例えば、移動体がガイドローラによって構成されて、このガイドローラの外周面によってシートが搬送される場合には、シートとガイドローラとの接触が、シートの張力によって高められる。一方、例えば、移動体がホットプレートによって構成されて、ホットプレートの表面によってシートが搬送される場合には、通常、水平方向に沿った張力がシートに作用することになる。そのため、シートとホットプレートとの接触が、上述したような張力によっては高められ難くなる。
【００１３】
この点、請求項２に記載の発明によれば、平面である加熱面にシートが吸着された状態で、該シートが搬送されることになる。それゆえに、シートの張力がシートと移動体との接触に作用しないような搬送の形態であっても、移動体にシートが吸着されてこれらが面接触するため、シートにおける温度の面内均一性を高めることが可能となる。
【００１７】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の加熱処理装置において、前記移動体が、前記復動では、前記シートの下面から該シートの下方に移動することによって前記シートから離れることを要旨とする。
【００１８】
シートにおける加熱された領域から移動体が離れる際、移動体がシートから離れる方向には、シートの下方とシートの幅方向とが挙げられる。これら２つの方向のうち、シートの幅方向へ移動体が移動する態様では、移動体の幅の２倍以上の幅が、装置そのものに求められる。
【００１９】
この点、請求項３に記載の発明によれば、移動体の下降によって該移動体がシートから離れるため、シートの幅方向においては、装置サイズの拡大が抑えられることとなる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の加熱処理装置において、前記移動体が、前記復動にて、前記シートの搬送方向へ移動しつつ該シートの下面から該シートの下方に移動してから前記開始位置に戻ることを要旨とする。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、シートを吸着していた移動体は、該シートの搬送方向へ移動しつつ該シートの下方へ移動する。そのため、シートに対する移動体の離脱が、円滑に行われるようになる。
【００２４】
請求項５に記載の発明は、前記吸着部は、前記シートを前記加熱面に吸引吸着することを要旨とする。
請求項５に記載の発明によれば、シートが吸引によって加熱面に吸着されることから、シートの形成材料が、例えば金属であれ樹脂であれ、吸着部によるシートの吸着が可能になる。これにより、加熱処理装置によって処理可能なシートの種類における制限が小さくなることから、加熱処理装置の汎用性が高められる。
【００２５】
請求項６に記載の発明は、筐体内を通過するシートの下面を該筐体内にて加熱する加熱処理装置と、前記筐体内に設けられて、前記シートの上面に処理剤を供給する供給部とを備えるシート表面処理装置であって、前記加熱処理装置が、請求項１〜５のいずれか一項に記載の加熱処理装置であることを要旨とする。
【００２６】
請求項６に記載の発明によれば、筐体内を通過するシートの温度における面内均一性が高められる。これにより、処理剤を用いた表面処理におけるシート面内でのばらつきが抑えられるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態における成膜装置の全体的な平面構造を示す平面図であって、該成膜装置の内部構造を説明するために、該成膜装置における筐体の天部が省略された図。
【図２】同成膜装置に備えられる移動機構の構成を二つのホットプレートとともに概念的に示す図。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）同成膜装置における二つのホットプレートの移動の態様を示す図。
【図４】変形例の成膜装置におけるホットプレートの移動の態様を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の加熱処理装置、及びシート表面処理装置の一実施形態について図１〜図３を参照して説明する。まず、シート表面処理装置を成膜装置として具体化した一実施形態について図１を参照して説明する。
【００２９】
図１に示されるように、成膜装置１０には、例えば銅で形成されたシートＳを繰り出すシート供給装置１１が、シートＳの搬送方向Ｃにおける上流に配置され、また、繰り出されたシートＳを巻き取るシート回収装置１２が、同搬送方向Ｃにおける下流に配置されている。また、成膜装置１０において、これらシート供給装置１１とシート回収装置１２との間には、成膜装置１０を構成する３つの装置、すなわち第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５が挟まれている。これら装置１１〜１５は、各装置間での雰囲気の混合を防ぐエアーカーテン装置Ｇを介して接続されている。
【００３０】
シート供給装置１１には、搬送方向Ｃに直交する方向に延びるとともに、配設位置にて自転する複数のロールから構成されるシート繰り出し機構１１ａが搭載されている。シート繰り出し機構１１ａは、シートＳの巻き回された供給ロール１１ｂと、供給ロール１１ｂから繰り出されたシートＳを搬送する搬送ロール１１ｃとから構成されている。また、シート供給装置１１には、第１成膜装置１３に向けてシートＳを搬出するための搬出口１１ｄが形成されている。そして、シート供給装置１１は、シート繰り出し機構１１ａによって繰り出されたシートＳを搬出口１１ｄから第１成膜装置１３側に向かって搬出する。なお、シート繰り出し機構１１ａを構成するロールの数は上述に限らず、シートＳの搬出が可能であれば任意に変更可能である。
【００３１】
シート回収装置１２には、上記シート繰り出し機構１１ａと同様に、搬送方向Ｃに直交する方向に延びるとともに、配設位置にて自転する複数のロールから構成されるシート巻き取り機構１２ａが設けられている。シート巻き取り機構１２ａは、巻き取られたシートＳが巻き回される回収ロール１２ｂと、シート回収装置１２に搬入されたシートを回収ロール１２ｂに向けて搬送する搬送ロール１２ｃとから構成されている。また、シート回収装置１２には、該シート回収装置１２内にシートＳを搬入するための搬入口１２ｄが形成されている。そして、シート回収装置１２は、搬入口１２ｄから搬入されたシートＳを上記シート巻き取り機構１２ａによって巻き取る。
【００３２】
なお、上記シート回収装置１２には、シート回収装置１２に搬入されたシートに対して封止剤を塗布するとともに、該封止剤の塗布されたシートＳに対してアルミニウムシートをラミネートするラミネート機構１２ｅが搭載されている。
【００３３】
第１成膜装置１３の筐体には、第１成膜装置１３内にシートＳを搬入する搬入口１３ａと、第１成膜装置１３外にシートＳを搬出する搬出口１３ｂとが互いに対向するように形成されている。搬入口１３ａの近傍には、搬送方向Ｃに直交する方向に延びるとともに、配設位置にて自転することで、シートＳを搬出口１３ｂ側に搬送する搬送ローラＲ１が設けられている。他方、搬出口１３ｂの近傍には、搬送ローラＲ１と同様に、搬送方向Ｃに直交する方向に延びるとともに、配設位置にて自転することで、シートＳを搬出口１３ｂ外に搬送する搬送ローラＲ２が設けられている。そして、搬送ローラＲ１，Ｒ２の各々が、自転しながらシートＳの下面に接することによって、搬送方向ＣにシートＳが搬送される。
【００３４】
また、第１成膜装置１３の筐体内において、上記搬入口１３ａと搬出口１３ｂとの間であって、シートＳの上方には、処理剤として例えば所定の金属膜を形成するための成膜材料等をシートＳの表面に対して供給する供給部としての成膜機構Ｆが配置されている。成膜機構Ｆは、成膜材料をシートＳの表面に、例えばスパッタやＣＶＤ等の公知の方法にて供給する機構である。この成膜機構Ｆは、上記シートＳのうち、搬送方向Ｃに直交する方向である幅方向の全体にわたり成膜材料を到達させることができるように配置されている。そして、第１成膜装置１３の筐体内をシートＳが通過するとき、成膜機構Ｆは、該成膜機構Ｆの直下に搬送されたシートＳの表面における幅方向の全体に膜を形成する。
【００３５】
第１成膜装置１３の筐体内には、例えば窒素などの不活性ガスが供給されて、外気に対して正圧となる雰囲気が形成されている。第１成膜装置１３に接続されたエアーカーテン装置Ｇは、第１成膜装置１３内から不活性ガスを排気することによって、第１成膜装置１３の筐体内に外気が侵入することを防ぐ。
【００３６】
加えて、第１成膜装置１３の筐体内には、搬入口１３ａと搬出口１３ｂとの間であってシートＳの下方に、該シートＳの下面に接しつつ、搬送方向Ｃへの往動と、該搬送方向Ｃとは逆の方向に復動する移動体としての第１ホットプレートＨ１が配置されている。また、搬入口１３ａと搬出口１３ｂとの間であってシートＳの下方には、これもまたシートＳの下面に接しつつ、搬送方向Ｃへの往動と、該搬送方向Ｃとは逆の方向に復動する移動体としての第２ホットプレートＨ２とが配置されている。これら第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２は、加熱処理装置を構成している。
【００３７】
シート表面形成装置としての第２成膜装置１４と第３成膜装置１５には、上述した第１成膜装置１３と同様に、各々の筐体における上流側に、搬入口１４ａ，１５ａが形成され、また各々の筐体における下流側に、搬出口１４ｂ，１５ｂが形成されている。また、第２成膜装置１４と第３成膜装置１５とには、上述した第１成膜装置１３と同様に、各々の筐体内に第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とが配置されている。なお、これら第２成膜装置１４と第３成膜装置１５とは、各々のホットプレートＨ１，Ｈ２における処理温度が互いに異なるものの、上記第１成膜装置１３と比較して、成膜機構Ｆから供給される成膜材料が異なるのみであることから、これら装置１４，１５に関する詳細な説明を割愛する。なお、第２成膜装置１４及び第３成膜装置１５に配置された第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２の処理温度は、上記第１成膜装置１３の第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２と同一の温度であってもよい。
【００３８】
こうした成膜装置１０では、シートＳが、シート供給装置１１からシート回収装置１２に向かって搬送方向Ｃに搬送される。この間に、シートＳは、上記第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５を順に経ることによって、所定の金属膜の積層体が、シートＳの表面上に形成される。この間、上記第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５に搬入されたシートＳに追従するように、加熱処理装置の有する第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とが連なって上記搬送方向Ｃに往動する。
【００３９】
次に、各装置１３，１４，１５の筐体内に搭載される加熱処理装置の詳細について図２を参照して説明する。
第１成膜装置１３の筐体における底部には、加熱処理装置２０を構成する第１直動機構２１が搬送方向Ｃに延びるように敷設されている。第１直動機構２１における第１ガイド２１ａは、搬送方向Ｃに延びるように形成され、この第１ガイド２１ａの内部には、搬送方向Ｃに往復する第１スライダー２２ａが収容されている。第１スライダー２２ａは、搬送方向Ｃの上流から下流に向かう往動方向への移動と、搬送方向Ｃの下流から上流に向かう復動方向への移動とを繰り返す。この第１スライダー２２ａには、該第１スライダー２２ａから鉛直方向の上側に延びる第１昇降機構２２が固設され、また、第１昇降機構２２の上端には、加熱処理装置２０を構成する第１ホットプレートＨ１が連結されている。
【００４０】
第１ホットプレートＨ１には、シートＳの下面と対向する上面である平面状の加熱面が設けられ、また該加熱面に熱量を供給する図示されないヒーターが内蔵されている。第１ホットプレートＨ１の加熱面は、上記成膜材料から膜を形成するために必要な処理温度、例えば３００℃にまで加熱される。そして、第１成膜装置１３の筐体内をシートＳが通過するとき、第１ホットプレートＨ１は、その加熱面によってシートＳの下面から該シートＳを加熱する。また、この際、シートＳの搬送方向Ｃにおいて各ホットプレートＨ１，Ｈ２の加熱面と成膜機構Ｆとの距離を一定に保つことが可能であるため、成膜材料に対する加熱処理の均一性を搬送方向Ｃにて高めることができる。
【００４１】
第１ホットプレートＨ１の加熱面には、該加熱面と接するシートＳを該加熱面に吸着するための複数の吸引孔ＶＨが形成されている。吸引孔ＶＨの各々は、第１ホットプレートＨ１の加熱面が形成される金属板を貫通して図示しない吸引ポンプに接続されている。なお、これら吸引孔ＶＨ、及び吸引ポンプにより吸着部が構成されている。吸引孔ＶＨの吸引力は、第１ホットプレートＨ１の幅方向における中央から両端に向かって段階的に強くするようにしてもよい。また、吸引孔ＶＨによる吸引は、同幅方向における中央から両端に向かって順に開始されるようにしてもよい。これにより、シートＳが第１ホットプレートＨ１に接したときに、該シートＳにおける幅方向の両端側が、同幅方向の中央よりも加熱面から離れていたとしても、シートＳにおける加熱面に対向する領域の全体を加熱面によって吸着させることができるようになる。
【００４２】
そして、第１ホットプレートＨ１は、上記第１スライダー２２ａの移動により上記往動方向及び復動方向に移動するとともに、上記第１昇降機構２２の上昇及び下降により、上昇方向及び下降方向に移動する。また、第１ホットプレートＨ１が往動方向に移動しているときに、第１昇降機構２２は、最も上昇した位置に第１ホットプレートＨ１を配置する。一方、第１ホットプレートＨ１が復動方向に移動しているときに、第１昇降機構２２は、最も下降した位置に第１ホットプレートＨ１を配置する。なお、第１ホットプレートＨ１が往動しているときの移動速度である往動速度は、上記シートＳが搬送方向Ｃに搬送されるときの移動速度である搬送速度に等しく、他方、第１ホットプレートＨ１が復動しているときの移動速度である復動速度は、シートＳの搬送速度、つまりは第１ホットプレートＨ１の往動速度よりも大きい速度である。
【００４３】
また、第１ホットプレートＨ１が往動方向に移動しているときに、上記吸引孔ＶＨに接続された吸引ポンプが駆動されることで、シートＳの下面が、第１ホットプレートＨ１の加熱面に吸着される。このとき、シートＳの下面が、吸引孔ＶＨによって第１ホットプレートＨ１の加熱面に吸着されていることから、シートＳに対する加熱の均一性が高められ、ひいては、シートＳの面内における温度の均一性も高められるようになる。第１ホットプレートＨ１によるシートＳの吸着は、第１ホットプレートＨ１の往動から復動への切り替え時に、吸引ポンプの駆動が停止されることで終了する。そして、第１ホットプレートＨ１の復動から往動への切り替え時に、吸引ポンプの駆動が再び開始されることによって、シートＳの吸引が再び行われる。なお、第１ホットプレートＨ１によるシートＳの吸着、及び該第１ホットプレートＨ１によるシートＳの吸着の停止は、吸引孔ＶＨと吸引ポンプとの間に設けられた仕切弁を開閉することによって切り替えるようにしてもよい。
【００４４】
第１成膜装置１３の筐体における底部には、これもまた加熱処理装置２０を構成する第２直動機構２３が、上記第１直動機構２１と同じく、搬送方向Ｃに延びるように敷設されている。第２直動機構２３における第２ガイド２３ａは、第１ガイド２１ａに並設されて搬送方向Ｃに延びるように形成され、この第２ガイド２３ａの内部には、搬送方向Ｃに往復する第２スライダー２４ａが収容されている。第２スライダー２４ａは、第１スライダー２２ａと同様に、往動方向への移動と復動方向への移動とを繰り返す。この第２スライダー２４ａには、該第２スライダー２４ａから鉛直方向の上側に延びる第２昇降機構２４が固設され、また、第２昇降機構２４の上端には、加熱処理装置２０を構成する第２ホットプレートＨ２が連結されている。
【００４５】
第２ホットプレートＨ２には、第１ホットプレートＨ１と同様に、シートＳの下面と対向する上面である平面状の加熱面が設けられ、また該加熱面に熱量を供給する図示されないヒーターが内蔵されている。第２ホットプレートＨ２の加熱面は、これもまた上記成膜材料から膜を形成するために必要な処理温度にまで加熱される。そして、第１成膜装置１３の筐体内をシートＳが通過するとき、第２ホットプレートＨ２は、その加熱面によってシートＳの下面から該シートＳを加熱する。また、第２ホットプレートＨ２の加熱面には、加熱面と接するシートＳを該加熱面に吸着するための複数の吸引孔ＶＨが形成されている。吸引孔ＶＨの各々は、第２ホットプレートＨ２の加熱面が形成される金属板を貫通して図示しない吸引ポンプに接続されている。
【００４６】
なお、第２直動機構２３、第２昇降機構２４、及び第２ホットプレートＨ２の動作は、第１直動機構２１、第１昇降機構２２、及び第１ホットプレートＨ１に順に対応することから、その詳細についての説明を割愛する。
【００４７】
次に、上記加熱処理装置２０の作用について図３を参照して説明する。なお、図３（ａ）〜図３（ｃ）は、先の図１のＡ−Ａ線に沿った第１成膜装置１３の断面構造を示している。また、第１成膜装置１３と上記エアーカーテン装置Ｇとにおける不活性ガスの流れを破線矢印で示している。そして、上記第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５のそれぞれにおける加熱処理装置２０の動作は共通するものであることから、以下では第１成膜装置１３に設けられた加熱処理装置２０の動作についてのみ説明する。
【００４８】
図３（ａ）では、第２ホットプレートＨ２が、シートＳの下面を吸着して該シートＳへの追従を開始する追従開始位置にある状態を示している。なお、追従開始位置とは、例えば、上記搬送ローラＲ１の近傍における第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２が配置される位置のことである。
【００４９】
図３（ａ）に示されるように、搬入口１３ａ側のエアーカーテン装置Ｇを介して第１成膜装置１３の備える筐体３１にシートＳが搬入されると、該シートＳは、筐体３１内の搬送ローラＲ１，Ｒ２によって、搬出口１３ｂ側のエアーカーテン装置Ｇに順次搬送される。
【００５０】
このとき、搬送ローラＲ１に近いホットプレート、例えば第２ホットプレートＨ２が、搬送ローラＲ１近傍の追従開始位置にて、シートＳの下面の吸引と、シートＳへの追従を開始する。これに対し、第１ホットプレートＨ１は、搬送ローラＲ２の近傍である追従終了位置にてシートＳへの追従を一端終了して、上記追従開始位置に向かう復動を行っている。なお、第１ホットプレートＨ１の復動は、筐体３１の下面に敷設された第１直動機構２１が第１昇降機構２２を復動方向Ｄ２に移動することで行われる。
【００５１】
図３（ｂ）に示されるように、第２ホットプレートＨ２が、上記追従開始位置から第２ホットプレートＨ２における搬送方向Ｃと平行な方向の長さ分だけ移動すると、第１昇降機構２２が上昇方向Ｄ３に移動することによって、第１ホットプレートＨ１が、追従開始位置の下方から該追従開始位置に移動する。
【００５２】
このとき、第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とは、上記搬送方向Ｃに互いに隣接する。このように第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とが連なるときの連なるときの距離は、これらホットプレートＨ１，Ｈ２の温度によって、これらホットプレートＨ１，Ｈ２の周囲の温度が該ホットプレートＨ１，Ｈ２と等しい温度となる距離とされる。
【００５３】
こうして第１ホットプレートＨ１が追従開始位置に到達すると、該第１ホットプレートＨ１に接続された上記吸引ポンプが駆動されることで、シートＳの下面が第１ホットプレートＨ１の加熱面に吸着される。
【００５４】
第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とが連なった状態になると、これらホットプレートＨ１，Ｈ２は、連なった状態を維持したまま、往動方向Ｄ１への移動である往動を行う。そして、シートＳが成膜機構Ｆの直下に到達するときに該シートＳの温度が上記成膜温度となるように、第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２は、シートＳを吸着しつつ加熱する。
【００５５】
そして、図３（ｃ）に示されるように、第２ホットプレートＨ２が搬送ローラＲ２の近傍である追従終了位置に到達すると、上記吸引ポンプの駆動が停止されることで、第２ホットプレートＨ２の加熱面からシートＳが脱離する。その後、第２ホットプレートＨ２の連結された第２昇降機構２４が下降方向Ｄ４への移動を開始することによって、第２ホットプレートＨ２の復動が開始される。
【００５６】
以上説明したように、上記実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）上記第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とは、加熱面にシートＳの下面を吸着しつつ該シートＳを追従する。そして、これらホットプレートＨ１，Ｈ２によるシートＳの吸着は、第１ホットプレートＨ１と第２ホットプレートＨ２とが復動を開始する前に解除される。これにより、第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２の加熱面にシートＳが吸着された状態で、該シートＳが搬送される間に、シートＳに対する加熱処理が行われる。その結果、シートＳが筐体３１内を移動しても、該シートＳにおける温度の面内均一性が高められることになる。
【００５７】
（２）平面である加熱面にシートＳが吸着された状態で、該シートＳが搬送される。それゆえに、シートＳの張力がシートＳと各ホットプレートＨ１，Ｈ２との接触に作用しないような搬送の形態であっても、各ホットプレートＨ１，Ｈ２にシートＳが吸着されることで、シートＳの下面と各ホットプレートＨ１，Ｈ２の加熱面であるこれらの表面とが面接触する。そのため、シートＳにおける温度の面内均一性を高めることが可能となる。
【００５８】
（３）二枚のホットプレートＨ１，Ｈ２が連なって往動するとともに、上記追従開始位置から遠いホットプレートＨ１，Ｈ２から順に、該ホットプレートＨ１，Ｈ２が復動するようにした。そのため、一方のホットプレートＨ１，Ｈ２が復動するときには、他のホットプレートＨ１，Ｈ２によってシートＳが加熱され続けることになる。それゆえに、シートＳのうち、ホットプレートＨ１，Ｈ２によって加熱されない領域を縮小することができる。
【００５９】
（４）第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２が下降することによって、該ホットプレートＨ１，Ｈ２がシートＳから離れる。シートＳの幅方向への装置サイズの増大は、高さ方向への装置サイズの増大と比較して、装置の設置面積を大幅に増大させる。この点、上述した構成によれば、シートＳの幅方向においては、上記成膜装置１０のサイズの拡大が抑えられることとなる。
【００６０】
（５）第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２は、復動時に往動時よりも高速で移動する。そのため、往動時及び復動時に同一の速度で移動するよりも、復動にかかる時間を短くすることができる。それゆえに、既にシートＳに対する追従を始めているホットプレートＨ１，Ｈ２と、追従の開始位置に到達したホットプレートＨ１，Ｈ２とが離間することによってシートＳにおいて加熱されない領域ができることを抑えられる。
【００６１】
（６）上記第１成膜装置１３、第２成膜装置１４、及び第３成膜装置１５では、筐体内を通過するシートＳの温度における面内均一性が高められる。これにより、各種処理剤を用いた表面処理にて、シートＳの面内におけるばらつきが抑えられるようになる。
【００６２】
なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・シートＳの形成材料は上記銅に限らず、例えば他の金属材料や樹脂材料によって形成されたシートであってもよい。上記実施形態にて説明した加熱処理装置２０によれば、シートＳが吸引によって第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２に吸着されることから、シートＳの形成材料が、上記金属であれ樹脂であれ、シートＳの吸着が可能になる。つまり、上記吸引による吸着によれば、加熱処理装置２０によって処理可能なシートＳの種類における制限が小さくなることから、加熱処理装置２０の汎用性が高められることになる。
【００６３】
・第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２によるシートＳの吸着は、これらに接続された吸引ポンプによって行うようにした。これに限らず、シートＳが磁性元素を含む材料によって形成されている場合には、第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２の表面に電磁石を配設し、これによってシートＳの下面を吸着するようにしてもよい。これによれば、電磁石の切り替えを行うことによって、シートＳの吸着と脱離とを行うことができる。
【００６４】
・第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２は、搬送方向Ｃへの移動を停止すると同時に、シートＳの下方への移動を開始するようにした。これに限らず、図４に示されるように、シートＳを吸着していた第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２とは、該シートＳの搬送方向Ｃ、言い換えれば往動方向Ｄ１へ移動しつつ、該シートＳの下方へ移動、言い換えれば下降方向Ｄ４に移動するようにしてもよい。これにより、シートＳに対する第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２の離脱が、円滑に行われるようになる。
【００６５】
また、第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートは、搬送方向Ｃとは逆の方向への移動を停止すると同時に、上記追従開始位置までの上昇を開始するようにした。これに限らず、図４に示されるように、搬送方向Ｃ、言い換えれば往動方向Ｄ１へ移動しつつ、該シートを吸着可能な高さにまで上昇方向Ｄ３への移動を行うようにしてもよい。なお、図４においては、図示の便宜上、第２ホットプレートＨ２を割愛している。
【００６６】
・シートＳの下面側に第１ホットプレートＨ１及び第２ホットプレートＨ２を配設するようにしたが、該シートＳの上面側にこれらホットプレートを配置するとともに、該ホットプレートの加熱面にシートＳの上面を吸着する構成としてもよい。
【００６７】
・加熱処理装置２０が二枚のホットプレートＨ１，Ｈ２を有するようにした。これに限らず、加熱処理装置が、一枚のホットプレート、あるいは、三以上のホットプレートを有するようにしてもよい。
【００６８】
・移動体は、外周面に加熱面を有したローラであってもよく、吸着部は、該ローラの外周面に形成された吸引孔であってもよい。要は、移動体が行う移動は、回転であってもよく、移動体は、その加熱面をシートに面接触させて加熱面にシートを追従させる往動と、加熱面をシートから離して追従の開始位置に加熱面を戻す復動とを筐体内で交互に繰り返すものであればよい。そして、吸着部は、移動体に設けられ、往動にてシートを加熱面に吸着し、復動の前に該吸着を解除するものであればよい。
【００６９】
・シール表面処理装置を各種金属膜の成膜装置として具現化するようにした。これに限らず、処理剤として例えば酸素や窒素等のガスを用いた酸化処理や窒化処理、あるいは、化合物膜や高分子膜の成膜処理等の表面処理を行う装置として具現化するようにしてもよい。
【００７０】
・シート表面処理装置をロールツーロール方式の装置として具現化したが、ステッピングロール方式の装置として具現化するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１０…成膜装置、１１…シート供給装置、１１ａ…シート繰り出し機構、１１ｄ，１３ｂ，１４ｂ，１５ｂ…搬出口、１２…シート回収装置、１２ａ…シート巻き取り機構、１２ｄ，１３ａ，１４ａ，１５ａ…搬入口、１３…第１成膜装置、１４…第２成膜装置、１５…第３成膜装置、２０…加熱処理装置、２１…第１直動機構、２１ａ…第１ガイド、２２…第１昇降機構、２２ａ…第１スライダー、２３…第２直動機構、２３ａ…第２ガイド、２４…第２昇降機構、３１…筐体、Ｃ…搬送方向、Ｄ１…往動方向、Ｄ２…復動方向、Ｄ３…上昇方向、Ｄ４…下降方向、Ｆ…成膜機構、Ｇ…エアーカーテン装置、Ｈ１…第１ホットプレート、Ｈ２…第２ホットプレート、Ｒ１，Ｒ２…搬送ローラ、Ｓ…シート、ＶＨ…吸引孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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