(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記駆動信号出力部は、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、当該電圧が最大値となっている期間に重なる期間において、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する、変形加算電圧印加を行う
インクジェットヘッド。
【請求項２】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記駆動信号出力部は、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する、変形加算電圧印加を行い、
前記第１領域及び前記第２領域は、分極方向が互いに逆方向とされており、
前記変形加算電圧印加において、前記外側電極と前記共通電極とは同電位とされる
インクジェットヘッド。
【請求項３】
前記駆動信号出力部は、前記変形加算電圧印加において、前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記外側電極の電位を前記共通電極の電位と異ならせて前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する
請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記第１領域及び前記第２領域は、分極方向が互いに同一とされている
請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記駆動信号出力部は、
前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する、変形加算電圧印加を行い、
前記変形加算電圧印加において、前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記外側電極の電位を前記共通電極の電位と異ならせて前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加し、
前記変形加算電圧印加に先立って、前記個別電極の電位を前記共通電極の電位と同等としつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室とは反対側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する
インクジェットヘッド。
【請求項６】
前記駆動信号出力部は、前記変形加算電圧印加において、前記第１領域の分極方向への電圧印加開始を、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向への電圧印加開始に対して遅らせる
請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記第１領域の分極方向とは逆方向を分極方向とされている
インクジェットヘッド。
【請求項８】
前記外側電極と前記共通電極とは互いに接続されて同電位とされている
請求項７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記圧電体の前記外側電極本体と重なる第３領域は分極されていない
インクジェットヘッド。
【請求項１０】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記駆動信号出力部は、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、当該電圧が最大値となっている期間に重なる期間において、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する
記録装置。
【請求項１１】
所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、
前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、
前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、
を有し、
前記アクチュエータは、
前記所定面に重ねられた振動板と、
前記振動板に重ねられた共通電極と、
前記共通電極に重ねられた圧電体と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、
前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、
を有し、
前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、
前記駆動信号出力部は、前記個別電極の電位を前記共通電極の電位と同等としつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室とは反対側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加した後、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加する
インクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及び記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
いわゆる撓みモードで変位するアクチュエータを有するインクジェットヘッドが知られている（例えば特許文献１）。当該インクジェットヘッドは、吐出孔に通じる凹部（加圧室）を有する基体と、凹部を塞ぐアクチュエータとを有している。そして、アクチュエータが加圧室の内部側へ撓むことにより、加圧室の容積が縮小され、加圧室に満たされていたインクが吐出孔から吐出される。
【０００３】
ピエゾ式のアクチュエータにおいては、上記のような撓みは、いわゆる圧電横効果を利用して実現されている。例えば、ユニモルフ型のアクチュエータは、基体側から順に積層された、振動板、共通電極、圧電体及び個別電極を有している。圧電体は、アクチュエータの積層方向において分極されている。共通電極及び個別電極に電圧が印加されると、圧電横効果により圧電体は面内（横方向）において縮小される。この縮小変形は、振動板によってその変位が拘束されるから、振動板側（加圧室側）を凸とする撓み変形に変換される。
【０００４】
なお、特許文献１は、圧電体の、個別電極の直下の領域が横方向に縮小されると、圧電体の、個別電極の周囲の領域に引張り力が付与され、当該引張り力の付与が繰り返される結果、駆動劣化が生じることに着目している。そして、特許文献１の技術では、個別電極の周囲に個別電極から離れて補助電極を設け、個別電極と共通電極との間に電圧が印加される際には、補助電極と共通電極との間に、圧電体を横方向に拡大させるように電圧を印加している。その結果、個別電極の直下の領域の縮小と、補助電極の直下の領域の拡大とが相殺され、個別電極の周囲の領域（個別電極と補助電極との間の領域）に加えられる引張り力が緩和される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２２８１４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来は、アクチュエータの撓みは圧電横効果によって実現されているところ、本発明の目的は、新たな原理に基づきアクチュエータの変位を実現するインクジェットヘッド及び記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るインクジェットヘッドは、所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、を有し、前記アクチュエータは、前記所定面に重ねられた振動板と、前記振動板に重ねられた共通電極と、前記共通電極に重ねられた圧電体と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、を有し、前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、前記駆動信号出力部は、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する、変形加算電圧印加を行う。
【０００８】
好適には、前記第１領域及び前記第２領域は、分極方向が互いに逆方向とされており、前記変形加算電圧印加において、前記外側電極と前記共通電極とは同電位とされる。
【０００９】
好適には、前記駆動信号出力部は、前記変形加算電圧印加において、前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記外側電極の電位を前記共通電極の電位と異ならせて前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する。
【００１０】
好適には、前記第１領域及び前記第２領域は、分極方向が互いに同一とされている。
【００１１】
好適には、前記駆動信号出力部は、前記変形加算電圧印加に先立って、前記個別電極の電位を前記共通電極の電位と同等としつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室とは反対側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する。
【００１２】
好適には、前記駆動信号出力部は、前記変形加算電圧印加において、前記第１領域の分極方向への電圧印加開始を、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向への電圧印加開始に対して遅らせる。
【００１３】
本発明の一態様に係るインクジェットヘッドは、所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、を有し、前記アクチュエータは、前記所定面に重ねられた振動板と、前記振動板に重ねられた共通電極と、前記共通電極に重ねられた圧電体と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、を有し、前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記第１領域の分極方向とは逆方向を分極方向とされている。
【００１４】
好適には、前記外側電極と前記共通電極とは互いに接続されて同電位とされている。
【００１５】
好適には、前記圧電体の前記外側電極本体と重なる第３領域は分極されていない。
【００１６】
本発明の一態様に係る記録装置は、所定面に形成された凹部により加圧室が構成された基体と、前記加圧室を塞ぐように前記所定面に重ねられたアクチュエータと、前記アクチュエータに電圧を印加する駆動信号出力部と、を有し、前記アクチュエータは、前記所定面に重ねられた振動板と、前記振動板に重ねられた共通電極と、前記共通電極に重ねられた圧電体と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記加圧室の中央側にて広がる個別電極本体を有する個別電極と、前記圧電体に重ねられ、平面視において前記個別電極本体の外側に位置する外側電極本体を有する外側電極と、を有し、前記圧電体の前記個別電極本体と重なる第１領域、及び、前記圧電体の前記個別電極本体と前記外側電極本体との間に位置する第２領域は、前記アクチュエータの積層方向を分極方向とされており、前記駆動信号出力部は、前記第１領域の分極方向へ前記個別電極と前記共通電極との間に電圧を印加しつつ、前記第２領域が前記第１領域側ほど前記加圧室側へ位置する剪断変形を生じる方向へ前記個別電極と前記外側電極との間に電圧を印加する。
【発明の効果】
【００１７】
上記の構成によれば、新たな原理に基づきアクチュエータの変位を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る記録装置の要部を模式的に示す斜視図。
【図２】図１の記録装置のインクジェットヘッドの一部の断面図。
【図３】図２のインクジェットヘッドのアクチュエータの平面図。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）はアクチュエータにおける分極方向及び電圧印加方向を説明する模式図。
【図５】図５（ａ）及び図５（ｂ）は一般的な分極方向と電界方向との関係を示す模式図。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る記録装置の要部を模式的に示す断面図。
【図７】図７（ａ）〜図７（ｃ）は図６の記録装置における加圧室の圧力及び駆動信号のパターンを示す図。
【図８】図８（ａ）〜図８（ｄ）は図６の記録装置におけるアクチュエータの変位を模式的に示す図。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る記録装置の要部を模式的に示す断面図。
【図１０】図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は図９の記録装置における加圧室の圧力及び駆動信号のパターンを示す図。
【図１１】本発明の第４の実施形態に係る記録装置の要部を模式的に示す断面図。
【図１２】図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は比較例の変位を示す図。
【図１３】図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は第２領域の面積を変化させた実施例の変位を示す図。
【図１４】図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は第３領域の面積を変化させた実施例の変位を示す図。
【図１５】図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は実施例の１５モードの変形量を示す図。
【図１６】図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は第２領域の面積をより小さくした実施例の変位を示す図。
【図１７】図１７（ａ）及び図１７（ｂ）は第３領域を分極されていない状態とした実施例の変位を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、説明対象の実施形態において、既に説明された実施形態の構成と同一若しくは類似する構成については、同一の符号を付すことがあり、また、説明を省略することがある。
【００２０】
＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の第１の実施形態に係る記録装置１の要部を模式的に示す斜視図である。
【００２１】
なお、記録装置１及び後述するインクジェットヘッド５は、いずれの方向が上方または下方とされてもよいものであるが、以下では、便宜的に、直交座標系ｘｙｚを定義するとともに、ｚ方向の正側（図１の紙面上方）を上方として、上面、下面等の用語を用いることがあるものとする。
【００２２】
記録装置１は、例えば、メディア（例えば紙）１０１を矢印ｙ１で示す方向へ搬送する搬送部３と、搬送されているメディア１０１に向けてインク滴を吐出するヘッド５と、搬送部３及びヘッド５の動作を制御する制御部７とを有している。
【００２３】
搬送部３は、例えば、不図示の供給スタックに積層された複数のメディア１０１を一ずつ不図示の排出スタックへ搬送する。搬送部３は、公知の適宜な構成とされてよい。図１では、搬送経路がストレートパスとされ、メディア１０１に当接するローラ９と、ローラ９を回転させるモータ１１とが設けられた搬送部が例示されている。
【００２４】
ヘッド５は、メディア１０１の搬送経路の途中に配置されており、ｚ方向の正側からメディア１０１に対向する。ヘッド５は、メディア１０１の印画面及び搬送方向に直交する方向（主走査方向、ｘ方向）にシャトル運動を行うシリアルヘッドであってもよいし、当該直交する方向に（ほぼ）固定されたラインヘッドであってもよい。なお、本実施形態においては、ヘッド５がラインヘッドである場合を例に挙げて説明するものとする。
【００２５】
ヘッド５は、ｘ方向の複数位置においてインク滴をメディア１０１に吐出、付着させる。当該動作が、メディア１０１の搬送に伴って繰り返し行なわれることにより、メディア１０１には２次元画像が形成される。
【００２６】
制御部７は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び外部記憶装置を含んで構成されている。制御部７は、モータ用ドライバ１３に制御信号を出力することにより、所望の電圧をモータ１１に印加して、モータ１１を制御する。同様に、制御部７は、ヘッド用ドライバ１５に制御信号を出力することにより、所望の電圧をヘッド５に印加して、ヘッド５を制御する。
【００２７】
ヘッド用ドライバ１５、又は、ヘッド用ドライバ１５及び制御部７の一部は、予め記憶されている駆動パターン（波形）に従って駆動信号（ヘッド５に印加される電圧）を生成してヘッド５に出力する駆動信号出力部８を構成している。駆動信号出力部８は、例えば、ドライバＩＣや回路基板により構成されている。
【００２８】
なお、図１では、駆動信号出力部８とヘッド５とを互いに別個のものとして図示している。ただし、駆動信号出力部８は、その一部又は全部がヘッド５に搭載されてもよい。この場合において、ヘッド５と駆動信号出力部８のヘッド５に搭載された部分（一部又は全部）との全体が、広義のヘッド６を構成していると捉えられてもよい。
【００２９】
図２は、ヘッド５の一部を拡大して示す模式的な断面図（図３のＩＩ−ＩＩ線に対応）である。なお、図２の紙面下方がメディア１０１に対向する側である。
【００３０】
ヘッド５は、圧電素子の機械的歪によりインクに圧力を付与するピエゾ式のヘッドである。ヘッド５は、インク滴を吐出する複数の吐出素子１９を有し、図２は一の吐出素子１９を示している。複数の吐出素子１９は、例えば、ｘｙ平面において配列されており、各吐出素子１９は、メディア１０１上の１ドットに対応している。
【００３１】
また、別の観点では、ヘッド５は、インクを貯留する空間を形成する基体２１と、基体２１に貯留されているインクに圧力を付与するためのアクチュエータ２３とを有している。複数の吐出素子１９は、基体２１及びアクチュエータ２３により構成されている。
【００３２】
基体２１の内部には、複数の個別流路２５（図２では１つを図示）と、当該複数の個別流路２５に通じる共通流路（リザーバ）２７とが形成されている。個別流路２５は、吐出素子１９毎に設けられ、共通流路２７は、複数の吐出素子１９に共通に設けられている。  
【００３３】
各個別流路２５は、メディア１０１に対向する吐出孔２９ａを含むディセンダ（部分流路）２９と、ディセンダ２９に通じる加圧室３１と、加圧室３１と共通流路２７とを連通する供給路３３とを有している。
【００３４】
加圧室３１は、基体２１の上面２１ａに形成された凹部により構成されている。そして、加圧室３１は、アクチュエータ２３が上面２１ａに重ねられることによって、上方の開口が塞がれている。
【００３５】
複数の個別流路２５及び共通流路２７にはインクが満たされている。複数の加圧室３１の容積が変化してインクに圧力が付与されることにより、複数の加圧室３１から複数のディセンダ２９へインクが送出され、複数の吐出孔２９ａからは複数のインク滴が吐出される。また、複数の加圧室３１へは複数の供給路３３を介して共通流路２７からインクが補充される。
【００３６】
複数の個別流路２５及び共通流路２７の断面形状若しくは平面形状は、適宜に設定されてよい。本実施形態では、加圧室３１は、ｚ方向において一定の厚みに形成されるとともに、ｚ方向に見てｘ方向及びｙ方向を対角線方向とする菱形（図３参照）とされている。その菱形のｙ方向の一方の角部はディセンダ２９と連通され、他方の角部は供給路３３と連通されている。
【００３７】
供給路３３の一部は、流れ方向に直交する断面積が共通流路２７および加圧室３１よりも小さいしぼりとされている。しぼりは、インクの振動流れがディセンダ２９側において強くなるようにインクの逆流を抑制したり、インク振動流れの減衰に寄与したりする。
【００３８】
基体２１は、例えば、複数の基板３５が積層されることにより構成されている。基板３５には、複数の個別流路２５及び共通流路２７を構成する貫通孔が形成されている。複数の基板３５の厚み及び積層数は、複数の個別流路２５及び共通流路２７の形状等に応じて適宜に設定されてよい。複数の基板３５は、適宜な材料により形成されてよく、例えば、金属、セラミック若しくはシリコンにより形成されている。
【００３９】
アクチュエータ２３は、その一部が、いわゆるユニモルフ型の圧電素子に類似した構成とされており、加圧室３１側から順に積層された、振動板３７、共通電極３９、圧電体４１及び複数の個別電極４３を有している。さらに、アクチュエータ２３は、一般的なユニモルフ型の圧電素子には無い構成として、圧電体４１に積層された複数の外側電極４５を有している。
【００４０】
振動板３７、共通電極３９及び圧電体４１は、例えば、複数の加圧室３１を覆うように複数の加圧室３１に共通に設けられている。一方、個別電極４３及び外側電極４５は、加圧室３１毎に設けられている。
【００４１】
振動板３７、共通電極３９、圧電体４１、個別電極４３及び外側電極４５は、適宜な材料により形成されてよい。例えば、振動板３７は、セラミック、酸化シリコン若しくは窒化シリコンにより形成されている。共通電極３９、個別電極４３及び外側電極４５は、例えば、白金若しくはパラジウムにより形成されている。圧電体４１は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等のセラミックにより形成されている。
【００４２】
図３は、アクチュエータ２３の平面図である。
【００４３】
個別電極４３は、加圧室３１の中央側の一部に亘る広さの個別電極本体４３ａと、個別電極本体４３ａから加圧室３１の外部まで引き出された個別電極引出部４３ｂとを有している。なお、個別電極本体４３ａは（狭義の）個別電極として捉えられてもよい。
【００４４】
個別電極本体４３ａは、例えば、概ね、加圧室３１よりも面積が小さい相似形（本実施形態では概ね菱形）とされている。個別電極引出部４３ｂは、例えば、個別電極本体４３ａの菱形の角部から菱形の対角線方向（例えばディセンダ２９と供給路３３とを結ぶ対角線の方向）に延び、端部において面積が拡大している。
【００４５】
外側電極４５は、個別電極本体４３ａの外側に配置された外側電極本体４５ａと、外側電極本体４５ａから更に外側へ延びる外側電極引出部４５ｂとを有している。なお、外側電極本体４５ａは（狭義の）外側電極として捉えられてもよい。
【００４６】
外側電極本体４５ａは、例えば、個別電極本体４３ａを囲む形状とされている。なお、外側電極本体４５ａが個別電極本体４３ａを囲むというとき、外側電極本体４５ａは、例えば、個別電極本体４３ａの図心回りの角度において、合計で１８０°を超える範囲に亘っていればよい。好ましくは、２７０°以上である。
【００４７】
本実施形態では、外側電極本体４５ａは、個別電極引出部４３ｂを外側電極本体４５ａよりも外部へ引き出すことを許容する切れ目４５ｃが形成された形状とされ、個別電極本体４３ａの概ね全体を囲んでいる。切れ目４５ｃの幅は、例えば、個別電極引出部４３ｂと外側電極本体４５ａとの絶縁が、電極形成の精度や絶縁破壊等の観点から必要十分に確保される距離である。
【００４８】
外側電極本体４５ａの内縁（個別電極本体４３ａ側の縁部）は、例えば、個別電極本体４３ａと相似形とされている。従って、個別電極本体４３ａと、外側電極本体４５ａの内縁との距離は、個別電極本体４３ａの周囲に亘って一定とされている。また、外側電極本体４５ａの外縁は、例えば、内縁（及び個別電極本体４３ａ）と相似形とされている。換言すれば、外側電極本体４５ａは、その幅が一定とされている。また、外側電極本体４５ａは、その外縁が加圧室３１の縁部に概ね一致しており、加圧室３１内に収まっている。
【００４９】
外側電極引出部４５ｂは、例えば、外側電極本体４５ａの菱形の角部から菱形の対角線方向に延び、端部において面積が拡大している。また、外側電極引出部４５ｂは、例えば、個別電極引出部４３ｂと反対方向に延びている。
【００５０】
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、アクチュエータ２３における分極方向及び電圧印加方向を説明する模式図（図３のＩＶ−ＩＶ線の断面図に対応）である。なお、分極方向や電圧印加方向を示す矢印を見やすくするために、断面のハッチングは省略されている。
【００５１】
図４（ａ）において矢印ａ１及びａ２よって示すように、圧電体４１は、個別電極本体４３ａが重なる第１領域Ｒ１と、個別電極本体４３ａと外側電極本体４５ａとの間に位置する第２領域Ｒ２と、外側電極本体４５ａが重なる第３領域Ｒ３とで、分極の状態が互いに異なる（なお、便宜上、アクチュエータ２３等についても第１領域Ｒ１〜第３領域Ｒ３の語を使用することがある。）。具体的には以下のとおりである。
【００５２】
圧電体４１は、第１領域Ｒ１においては、アクチュエータ２３を構成する部材の積層方向（圧電体４１の厚み方向、ｚ方向）が分極方向とされている。なお、分極方向は、上向き（加圧室３１とは反対側への方向、ｚ方向の正側）でもよいし、下向き（加圧室３１側への方向、ｚ方向の負側）でもよい。本実施形態では、下向きを例にとって説明するものとする。
【００５３】
また、圧電体４１は、第２領域Ｒ２においては、第１領域Ｒ１の分極方向の逆方向が分極方向とされている。すなわち、本実施形態では、アクチュエータ２３の積層方向であって、加圧室３１とは反対側への方向（ｚ方向の正側）が分極方向とされている。
【００５４】
また、圧電体４１は、第３領域Ｒ３の分極の状態は、適宜に設定されればよいが、分極されていない状態にするのが好ましい。すなわち、第３領域Ｒ３においては、分極方向が互いに異なる複数の分域が形成されており、分極が相互に打ち消され、全体として圧電効果を発揮しない状態とされている。
【００５５】
なお、上記以外の領域の分極の状態は、適宜に設定されてよく、第１領域Ｒ１〜第３領域Ｒ３のいずれかの分極の状態と同一であってもよいし、第１領域Ｒ１〜第３領域Ｒ３の全ての分極の状態と異なっていてもよい。
【００５６】
駆動信号出力部８は、個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加可能である。従って、図４（ｂ）において矢印ａ５によって示すように、圧電体４１の第１領域Ｒ１においては、アクチュエータ２３の積層方向を電界方向とする電界が形成される。
【００５７】
例えば、駆動信号出力部８は、圧電体４１の分極方向と同一の向き（本実施形態では下向き）で電界が形成されるように、個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加する。すなわち、本実施形態においては、駆動信号出力部８は、個別電極４３の電位を共通電極３９の電位よりも高くする。
【００５８】
一方、外側電極４５は、共通電極３９に接続されて共通電極３９と同電位とされている。従って、図４（ｂ）において矢印ａ６によって示すように、個別電極４３と外側電極４５との間の電位差により、圧電体４１の第２領域Ｒ２においては、アクチュエータ２３の積層方向に直交する方向（ｘｙ平面に沿う方向）を電界方向とする電界が形成される。より具体的には、本実施形態においては、個別電極４３の電位が外側電極４５の電位よりも高いことにより、第１領域Ｒ１側からその外側への方向を電界方向とする電界が形成される。
【００５９】
なお、共通電極３９の電位は、例えば、基準電位とされる。基準電位は、例えば、０Ｖである。従って、個別電極４３と共通電極３９の間に電圧を印加することは、駆動信号（基準電位に対する電位差により構成される信号）を個別電極４３に出力することと等価である。以下では、電極間への電圧の印加を電極への駆動信号の出力により表現することがあるものとする。
【００６０】
また、外側電極４５と共通電極３９との接続は、駆動信号出力部８において行われていてもよいし、ヘッド５内において行われていてもよい。接続がヘッド５内において行われる場合、接続は、例えば、圧電体４１を貫通するビア導体、圧電体４１の表面に配置された導体、又は、圧電体の周囲に配される導線によりなされる。
【００６１】
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、一般的な分極方向と電界方向との関係を示す模式図である。
【００６２】
図５（ａ）では、圧電体１４１の分極方向（矢印ａ１１）と、圧電体１４１に印加される電圧の方向（電界方向、矢印ａ１５）とが同一方向である。この場合、圧電体１４１は、点線Ｌ１で示すように、分極方向に拡大する変形及び分極方向に直交する方向に縮小する変形を生じる。以下では、分極方向に直交する方向における変形（広がり振動）を３１モードの変形という。
【００６３】
図５（ｂ）では、圧電体１４１の分極方向（矢印ａ１２）と、圧電体１４１に印加される電圧の方向（電界方向、矢印ａ１６）とが直交している。この場合、圧電体１４１は、点線Ｌ２で示すように、分極方向の正方向且つ電界方向の正方向の角部、及び、分極方向の負方向且つ電界方向の負方向の角部の角度が小さくなるような剪断変形を生じる。以下では、分極方向への剪断変形（厚みすべり振動）を１５モードの変形という。
【００６４】
ここで、図４（ａ）及び図４（ｂ）に戻ると、圧電体４１の第１領域Ｒ１においては、矢印ａ１で示す分極方向と、矢印ａ５で示す電界方向とは同一方向であるから、図５（ａ）に示した３１モードの変形が生じる。すなわち、圧電体４１は、第１領域Ｒ１においてｘｙ平面に沿って縮小する。圧電体４１の縮小は、振動板３７によって拘束されるから、当該縮小変形は、図４（ｂ）において点線Ｌ５によって示すように、アクチュエータ２３を加圧室３１側に突出させる撓み変形に変換される。
【００６５】
一方、圧電体４１の第２領域Ｒ２においては、矢印ａ２で示す分極方向と、矢印ａ６で示す電界方向とは直交するから、図５（ｂ）に示した１５モードの変形が生じる。すなわち、圧電体４１は、図４（ｂ）において点線Ｌ６によって示すように、第２領域Ｒ２において、第１領域Ｒ１側且つ加圧室３１側が鋭角となるような剪断変形を生じる。その結果、アクチュエータ２３は、加圧室３１側に突出する。
【００６６】
そして、３１モードの変形に起因する変位と、１５モードの変形に起因する変位とが足し合わされた変位で、アクチュエータ２３は加圧室３１内へ突出する。その結果、加圧室３１の体積は変化し、加圧室３１内のインクに圧力が付与される。
【００６７】
個別電極４３に対して出力される駆動信号（共通電極３９の電位（基準電位）に対する電位差）のパターン（波形）は、公知のものから適宜に選択されてよい。例えば、駆動信号は、いわゆる引き打ち方式の駆動を実現するものであってもよいし、押し打ち方式の駆動を実現するものであってもよい。また、駆動信号は、基準電位に対して正及び負の双方に変動するものであってもい。
【００６８】
以上の第１の実施形態によれば、ヘッド６のアクチュエータ２３は、上面２１ａに順に重ねられた、振動板３７、共通電極３９、圧電体４１、並びに、個別電極４３及び外側電極４５を有する。圧電体４１の個別電極本体４３ａと重なる第１領域Ｒ１及び圧電体４１の個別電極本体４３ａと外側電極本体４５ａとの間に位置する第２領域Ｒ２は、アクチュエータ２３の積層方向を分極方向とされている。駆動信号出力部８は、第１領域Ｒ１の分極方向へ個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加しつつ、第２領域Ｒ２が第１領域Ｒ１側ほど加圧室３１側へ位置する剪断変形を生じる方向へ個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加する（以下、このような電圧印加を便宜的に「変形加算電圧印加」というものとする。）。
【００６９】
従って、３１モードの変形及び１５モードの変形を併用して好適にアクチュエータ２３の変位を実現することができる。例えば、これらの変形を加算して高い圧力をアクチュエータ２３に付与することができる。
【００７０】
第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２は、分極方向が互いに逆方向とされており、変形加算電圧印加において、外側電極４５と共通電極３９とは同電位とされる。従って、個別電極４３の電位を他の電極の電位よりも単純に高く（若しくは低く）するだけで、３１モードの変形による変位と１５モードの変形による変位とを加算することができ、制御系を簡素にすることができる。
【００７１】
アクチュエータ２３は、以上のように動作するので、第２領域Ｒ２を平面視で加圧室３１に収まる大きさにすることで、１５モードの変形を大きくできる。第２領域Ｒ２に生じる電界およびその電界による圧電駆動は、外側電極本体４５ａの内側の形状と、個別電極本体４３ａの形状によりほぼ定まるので、外側電極本体４５ａの外側の形状は、この点では特に制約はない。しかし、外側電極本体４５ａを細くすれば、外側電極本体４５ａが存在することにより、アクチュエータ２３が変形し難くなる影響が少なくなるので、変位を大きくできる。また、外側電極本体４５ａの外側の位置が、加圧室３１の端と同じ位置にあると、製造のばらつきにより、外側電極本体４５ａの外側の位置が、加圧室３１の端に対して内側になる吐出素子１９と、外側になる吐出素子１９とができるおそれがあるので、外側電極本体４５ａの外側の形状は、平面視で加圧室３１に収まる大きさとするか、逆に、外側電極本体４５ａの外側の形状は、平面視で加圧室３１を収める大きさとするのが好ましい。
【００７２】
圧電体４１の外側電極本体４５ａと重なる第３領域Ｒ３は分極されていない。従って、第３領域Ｒ３の変形及びその経時変化等により予期しない動作が生じることが抑制される。
【００７３】
＜第２の実施形態＞
図６は、本発明の第２の実施形態に係る記録装置２０１の要部を模式的に示す断面図（図４（ａ）に相当）である。
【００７４】
記録装置２０１の構成は、第１の実施形態の記録装置１の構成に比較して、駆動信号出力部２０８が、個別電極４３及び外側電極４５に対して個別に駆動信号を出力可能である点のみが相違する。
【００７５】
すなわち、駆動信号出力部２０８は、個別電極４３と共通電極３９との間に共通電極３９を基準電位として電圧を印加可能であるとともに、これとは独立して、外側電極４５と共通電極３９との間に共通電極３９を基準電位として電圧を印加可能である。
【００７６】
そして、駆動信号出力部２０８は、個別電極４３の電位と外側電極４５の電位とを互いに異ならせることにより、個別電極４３と外側電極４５との間にも電圧を印加可能である。
【００７７】
換言すれば、駆動信号出力部２０８は、個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加可能であり、且つ、外側電極４５の電位を共通電極３９の電位と異ならせて（第１の実施形態では外側電極４５の電位は共通電極３９の電位と同一のままであった）個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加可能である。
【００７８】
なお、駆動信号出力部２０８は、ヘッド５に搭載されてよいこと、搭載された場合において、ヘッド５及び駆動信号出力部２０８が広義のヘッド２０６として捉えられてよいことは、第１の実施形態と同様である。
【００７９】
以下、駆動信号出力部２０８の出力する駆動信号の例及びその駆動信号によるアクチュエータ２３の動作を説明する。なお、第１の実施形態においても述べたように、圧電体４１の分極方向は、図６に示した方向と逆方向であってもよいが、以下では、図６の分極方向に従って説明する。なお、分極方向が図６とは逆方向の場合には、以下の説明の駆動信号（電位）の正負を逆とすればよい。
【００８０】
図７（ａ）は、加圧室３１の圧力変化を示す図であり、図７（ｂ）は、個別電極４３に出力される駆動信号を示す図であり、図７（ｃ）は、外側電極４５に出力される駆動信号を示す図である。これらの図において、横軸は時間ｔを示している。図７（ａ）において、縦軸は加圧室３１の圧力Ｐを示している。なお、縦軸は、アクチュエータ２３が駆動されていない待機状態の圧力（厳密には負圧である。）を近似的に０としている。図７（ｂ）及び図７（ｃ）において、縦軸は信号レベル（電圧Ｖ、共通電極３９の電位に対する電位差）を示している。
【００８１】
また、図８（ａ）〜図８（ｄ）は、アクチュエータ２３の変位を模式的に示す図である。太線はアクチュエータ２３の第１領域Ｒ１及び第２領域Ｒ２を示している。これらの図の紙面下方が加圧室３１側である。
【００８２】
図７（ａ）〜図７（ｃ）の時点ｔ０〜ｔ１は、待機状態である。すなわち、個別電極４３及び外側電極４５は基準電位とされており、アクチュエータ２３は変位していない（図８（ａ））。従って、加圧室３１において圧力変動は生じていない。
【００８３】
時点ｔ１〜ｔ２においては、個別電極４３は基準電位に維持されたまま（図７（ｂ））、外側電極４５に対して正のパルスが出力される（図７（ｃ））。従って、外側電極４５は個別電極４３よりも電位が高くなり、図８（ｂ）に示すように、第２領域Ｒ２における１５モードの変形により、アクチュエータ２３は加圧室３１とは反対側へ変位する。その結果、加圧室３１の圧力は負圧となる（図７（ａ））。パルス幅（時点ｔ１から時点ｔ２までの時間）は、例えば、圧力波が吐出孔２９ａから供給路３３のしぼりまで伝わる時間ＡＬ（Acoustic Length）程度である。
【００８４】
時点ｔ２においては、外側電極４５に対して負のパルスが出力される（図７（ｃ））。従って、時点ｔ１〜ｔ２とは逆に、外側電極４５は、個別電極４３よりも電位が低くなり、図８（ｃ）に示すように、第２領域Ｒ２における１５モードの変形により、アクチュエータ２３は加圧室３１側へ変位する。その結果、加圧室３１の圧力は正圧となる（図７（ａ））。パルス幅（時点ｔ２から時点ｔ４までの時間）は、例えば、ＡＬ程度である。
【００８５】
加圧室３１の圧力が正圧になることにより、加圧室３１のインクは吐出孔２９ａに向かって流れる。また、加圧室３１の負の圧力波（ｔ１〜ｔ２）が反転する位相に合わせて加圧室３１のインクに正圧を印加することから、インク流れの振幅は２倍となる。
【００８６】
時点ｔ３においては、個別電極４３に対して正のパルスが出力される（図７（ｂ））。従って、図８（ｄ）に示すように、第１領域Ｒ１における３１モードの変形により、アクチュエータ２３は加圧室３１側へ変位する（撓む）。そして、１５モードの変形による変位に３１モードの変形による変位が加算され、加圧室３１に印加される圧力は増加する（図７（ａ））。パルス幅（時点ｔ３から時点ｔ４までの時間）は、例えば、ＡＬ未満の適宜な大きさとされる。
【００８７】
その後、時点ｔ４においては、個別電極４３及び外側電極４５の電位は基準電位とされる（図７（ａ）及び図７（ｂ））。その結果、アクチュエータ２３は、図８（ａ）に示す状態に戻る。また、加圧室３１の圧力も待機状態の圧力に戻る（図７（ａ）、時点ｔ５）。
【００８８】
時点ｔ４は、加圧室３１の圧力が最大となった後の任意の時点とされてよい。本実施形態では、時点ｔ４は、圧力が待機状態の圧力に戻る時点ｔ５の前とされていることから、パルスの立下り部分が、吐出孔２９ａに向かって進行している圧力波の後端を引き戻すキャンセルパルスとして機能して好ましい。なお、個別電極４３及び外側電極４５は、電位が基準電位とされるタイミングが互いにずらされてもよい。
【００８９】
なお、図７（ｃ）において点線Ｌ１１で示すように、時点ｔ３〜ｔ４においては、外側電極４５の電位の絶対値が下げられてもよい。例えば、個別電極４３と外側電極４５との電位差が、時点ｔ３〜ｔ４と時点ｔ２〜ｔ３とで同等となるように、外側電極４５の電位の絶対値が下げられてもよい。
【００９０】
この場合には、第２領域Ｒ２に印加される電圧を下げることができるから、第２領域Ｒ２における分極状態が変化することが抑制される。なお、実線で示した、外側電極４５の電位の絶対値が下げられない態様は、１５モードの変形量を大きくする観点において好ましい。
【００９１】
以上の第２の実施形態によれば、駆動信号出力部２０８は、第１領域Ｒ１の分極方向へ個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加しつつ、第２領域Ｒ２が第１領域Ｒ１側ほど加圧室３１側へ位置する剪断変形を生じる方向へ個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加する（変形加算電圧印加を行う、ｔ３〜ｔ４）ことから、第１の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、３１モードの変形及び１５モードの変形を併用して好適にアクチュエータ２３の変位を実現することができる。
【００９２】
駆動信号出力部２０８は、個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加可能であり、且つ、外側電極４５の電位を共通電極３９の電位と異ならせて個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加可能であることから、実施形態において例示したように、３１モードの変形及び１５モードの変形の一方のみを駆動したり、これら変形のタイミングをずらしたりして、より好適な駆動方式を実現することができる。
【００９３】
駆動信号出力部２０８は、変形加算電圧印加に先立って、個別電極４３の電位を共通電極３９の電位と同等としつつ、第２領域Ｒ２が第１領域Ｒ１側ほど加圧室３１とは反対側へ位置する剪断変形を生じる方向へ個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加する（ｔ１〜ｔ２）。
【００９４】
従って、加圧室３１の容積の拡大に引き続いて容積の縮小を行い、いわゆる引き打ち式と同様に、インク流れの振動を大きくすることができる。しかも、一般的な３１モードの変形のみを利用するアクチュエータにおける引き打ち式に比較して、以下のように有利な効果を奏する。
【００９５】
一般的な引き打ち式では、吐出タイミングが到来するまでの待機状態において、第１領域Ｒ１に対する分極方向への電圧の印加が継続される。すなわち、アクチュエータは、加圧室３１側に撓んだ状態で待機する。そして、吐出タイミングが到来すると、電圧の印加が停止されて加圧室３１の容積が拡大され、その後、再度、分極方向へ電圧が印加されることにより加圧室３１の容積が縮小される。従って、電圧が印加される時間が長く、電力の消費量が大きくなりやすく、また、劣化が早くなりやすい。
【００９６】
一方、本実施形態においては、そのように電圧を印加した状態で待機する必要がないことから、消費電力が抑えられたり、アクチュエータの寿命が長くなったりすることが期待される。
【００９７】
また、３１モードの変形のみを利用する他の引き打ち式に類似した方式においては、待機状態においては、第１領域Ｒ１に電圧は印加されない。そして、吐出タイミングが到来すると、第１領域Ｒ１に対して分極方向とは逆方向に電圧が印加されて加圧室３１の容積が拡大され、その後、第１領域Ｒ１に対して分極方向に電圧が印加されて若しくは電圧の印加が停止されて加圧室３１の容積が縮小される。従って、分極方向とは逆方向に電圧が印加されることになり、分極状態の劣化を招くおそれがある。
【００９８】
一方、本実施形態においては、第１領域Ｒ１に対して分極方向と逆方向に電圧を印加する必要が無いことから、分極状態の劣化が抑制される。
【００９９】
駆動信号出力部２０８は、変形加算電圧印加において、第１領域Ｒ１の分極方向への電圧印加開始（ｔ３）を、第２領域Ｒ２が第１領域Ｒ１側ほど加圧室３１側へ位置する剪断変形を生じる方向への電圧印加開始（ｔ２）に対して遅らせる。
【０１００】
従って、両開始タイミングを同時とした場合に比較して、吐出速度が向上する。具体的には、以下のとおりである。圧力波の伝播だけを考えれば、両開始タイミングを同時とすることが理想的である。しかし、実際には、圧力波が伝わると同時に、インクが吐出孔２９ａに向かって流れる。そのため、その流れに合わせるように圧力を加えると、圧力の伝達がよりスムースになり、吐出速度が上がる。別の言い方をすれば、インクが流れることで、新たなインクが加圧室３１に引き込まれるが、この分のインクは吐出孔２９ａへ向かうインクの流れを遅くしてしまう。そこで、その新たな流入分の液体にも圧力を加えるように、３１モードの変形開始のタイミングを１５モードの変形開始のタイミングに対して遅らせることにより、インクの流れを速くすることができる。
【０１０１】
＜第３の実施形態＞
図９は、本発明の第３の実施形態に係る記録装置３０１の要部を模式的に示す断面図（図４（ａ）に相当）である。
【０１０２】
記録装置３０１のヘッド３０５は、第１の実施形態のヘッド５に比較して、第２領域Ｒ２の分極方向のみが相違する。すなわち、ヘッド３０５のアクチュエータ３２３の圧電体３４１は、第１領域Ｒ１における分極方向（矢印ａ１）と、第２領域Ｒ２における分極方向（矢印ａ２）とが同一（本実施形態では下向き）とされている。
【０１０３】
記録装置３０１の駆動信号出力部２０８は、第２の実施形態のものと同様に、個別電極４３及び外側電極４５に対して個別に駆動信号を出力可能である。ただし、駆動信号のパターンは、後述するように第２の実施形態と相違する。
【０１０４】
なお、駆動信号出力部２０８は、ヘッド３０５に搭載されてよいこと、搭載された場合において、ヘッド３０５及び駆動信号出力部２０８が広義のヘッド３０６として捉えられてよいことは、他の実施形態と同様である。
【０１０５】
以下、第３の実施形態において駆動信号出力部２０８の出力する駆動信号の例及びその駆動信号によるアクチュエータ３２３の動作を説明する。なお、他の実施形態と同様に、圧電体３４１の分極方向は、図９に示した方向と逆方向であってもよいが、以下では、図９の分極方向に従って説明する。なお、分極方向が図９とは逆方向の場合には、以下の説明の駆動信号（電位）の正負を逆とすればよい。
【０１０６】
図１０（ａ）〜図１０（ｃ）は、第３の実施形態における加圧室３１の圧力及び駆動信号のパターンを示す図（第２の実施形態の図７（ａ）〜図７（ｃ）に相当）である。
【０１０７】
図１０（ａ）と図７（ａ）との比較から理解されるように、第３の実施形態のアクチュエータ４２３の動作は、第２の実施形態のアクチュエータ２３の動作と同様である。ただし、第２領域Ｒ２の分極方向が異なることに起因して、駆動信号の信号レベルの正負等が異なる。なお、アクチュエータ４２３の変位を模式的に示した図は、図８（ａ）〜図８（ｄ）と同様であるから、図示は省略し、図８（ａ）〜図８（ｄ）を参照することとする。
【０１０８】
時点ｔ０〜ｔ１は、第２の実施形態と同様である。すなわち、個別電極４３及び外側電極４５の電位は基準電位とされ、アクチュエータ４２３は変形を生じていない（図８（ａ））。
【０１０９】
時点ｔ１〜ｔ２においては、第２の実施形態と同様に加圧室３１の体積が拡大する方向に１５モードの変形が生じるように、駆動信号出力部２０８は、外側電極４５にパルスを出力する（図７（ｃ）、図８（ｂ））。ただし、第２領域Ｒ２の分極方向が第２の実施形態とは逆であることに対応して、パルスの信号レベル（電圧）の正負は第２の実施形態の正負とは逆の負である。
【０１１０】
時点ｔ２においては、第２の実施形態と同様に加圧室３１の体積が縮小する方向に１５モードの変形が生じるように、駆動信号出力部２０８は、外側電極４５にパルスを出力する（図７（ｃ）、図８（ｃ））。ただし、時点ｔ１〜ｔ２と同様に、第２領域Ｒ２の分極方向が第２の実施形態とは逆であることに対応して、パルスの信号レベル（電圧）の正負は第２の実施形態の正負とは逆の正である。
【０１１１】
時点ｔ３においては、第２の実施形態と同様に加圧室３１の容積を縮小する方向に３１モードの変形が生じるように、駆動信号出力部２０８は、個別電極４３にパルスを出力する（図７（ｂ）、図８（ｄ））。
【０１１２】
ただし、このときのパルスは、第１領域Ｒ１における電界方向は第２の実施形態と同様に、且つ、第２領域Ｒ２における電界方向は第２の実施形態と逆になるように設定される。具体的には、個別電極４３に印加されるパルスの電位は、共通電極３９の電位（基準電位）よりも高く、且つ、外側電極４５の電位よりも低くなるように設定される。すなわち、当該パルスの電位は、正側であって絶対値が外側電極４５の電位の絶対値よりも低い。
【０１１３】
時点ｔ３においては、図７（ｃ）において実線Ｌ１２で示すように、外側電極４５の電位も高く変化されてよい。例えば、外側電極４５の電位は、外側電極４５と個別電極４３との電位差が、時点ｔ２〜ｔ３と時点ｔ３〜ｔ４とで同等になるように、個別電極４３の電位の上昇分で上昇されてよい。また、図７（ｃ）において点線Ｌ１３で示すように、外側電極４５の電位は、時点ｔ２〜ｔ４に亘って一定であってもよい。
【０１１４】
実線Ｌ１２で示す電位の場合には、時点ｔ３〜ｔ４における１５モードの変形量が確保される。点線Ｌ１３で示す電位の場合には、第３領域Ｒ３に高い電圧が印加されないので、第３領域Ｒ３の分極状態が変化することによって生じる、その後の駆動における変位量などの変化が抑制される。
【０１１５】
以上の第３の実施形態によれば、駆動信号出力部２０８は、第１領域Ｒ１の分極方向へ個別電極４３と共通電極３９との間に電圧を印加しつつ、第２領域Ｒ２が第１領域Ｒ１側ほど加圧室３１側へ位置する剪断変形を生じる方向へ個別電極４３と外側電極４５との間に電圧を印加する（変形加算電圧印加を行う。）ことから、第１及び第２の実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、３１モードの変形及び１５モードの変形を併用して好適にアクチュエータ２３の変位を実現することができる。
【０１１６】
圧電体３４１の個別電極４３と重なる第１領域Ｒ１、及び、圧電体３４１の個別電極４３と外側電極４５との間に位置する第２領域Ｒ２は、分極方向が互いに同一とされていることから、分極処理が容易である。
【０１１７】
＜第４の実施形態＞
図１１は、本発明の第４の実施形態に係る記録装置４０１の要部を模式的に示す断面図（図４（ｂ）に相当）である。
【０１１８】
記録装置４０１（ヘッド４０６）の構成自体は、第２の実施形態の記録装置２０１若しくは第３の実施形態の記録装置３０１の構成と同様でよい。ただし、記録装置４０１は、駆動信号のパターンが第２及び第３の実施形態と相違する。
【０１１９】
具体的には、細い点線Ｌ２１及び太い点線Ｌ２２で示すように、加圧室３１の容積を縮小してインクを吐出するときにおいて、第１領域Ｒ１における３１モードの変形は、第１領域Ｒ１を加圧室３１側へ変位させる変形とされ、第２領域Ｒ２における１５モードの変形は、第１領域Ｒ１を加圧室３１とは反対側に変位する変形とされる。このような３１モードの変形と１５モードの変形とを、両者の変形のタイミング等を適宜に設定して行うことにより、インク滴の形成を好適に行うことなどが可能である。
【０１２０】
＜比較例及び実施例＞
第１の実施形態のヘッド６に関して、第１領域Ｒ１、第２領域Ｒ２及び第３領域Ｒ３の加圧室３１の面積に対する比率を変化させて、シミュレーション計算を行い、アクチュエータ２３の加圧室３１の中央における変位を調べた。
【０１２１】
ただし、第３領域Ｒ３の分極状態については、図１７を除いて、アクチュエータ２３の積層方向に分極されているものとした。また、個別電極４３に印加する電圧は２０Ｖとした。
【０１２２】
図１２〜図１７は、シミュレーション結果を示している。各図（ａ）は、シミュレーション結果を示すグラフであり、横軸は、面積を変化させた領域の、加圧室３１に対する面積比（以下、単に面積比というときは、加圧室３１に対する面積比をいうものとする。）を示し、縦軸は、アクチュエータ２３の変位ｚを示している。各図（ｂ）は、各図（ａ）の各プロットに対応する、各領域の面積比の組み合わせと、当該組み合わせにおける変位ｚを示している。
【０１２３】
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は比較例の変位を示している。すなわち、外側電極４５を設けない場合の変位ｚを示している。なお、図１２（ｂ）においては、Ｒ２の欄は、平面視における、個別電極４３と加圧室３１の縁部との間の面積を示している。
【０１２４】
図１２（ａ）及び図１２（ｂ）においては、第１領域Ｒ１の面積比を変化させた。その結果、比較例においては、第１領域Ｒ１の面積比が０．４のときに、変位ｚが最大の７５．５ｎｍとなった。
【０１２５】
図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は第２領域Ｒ２の面積比を変化させたときの実施例の変位ｚを示している。なお、第１領域Ｒ１の面積比は、比較例（図１２）において変位ｚが最大となった０．４とした。また、第１領域Ｒ１〜第３領域Ｒ３の面積の総和は加圧室３１の面積の総和と等しくした。
【０１２６】
図１３より、第２領域Ｒ２の面積比が０．１〜０．４の範囲において、１５モードの変形が３１モードの変形に加算されることによって変位ｚが比較例よりも増加することが確認された。
【０１２７】
図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は第３領域Ｒ３の面積比を変化させたときの実施例の変位ｚを示している。なお、第１領域Ｒ１の面積比は、比較例（図１２）において変位ｚが最大となった０．４とした。また、第２領域Ｒ２の面積比は、図１３において変位ｚが最大となった０．１とした。
【０１２８】
図１４より、第３領域Ｒ３の面積比が０．１〜０．５の範囲において、１５モードの変形が３１モードの変形に加算されることによって変位ｚが比較例よりも増加することが確認された。
【０１２９】
図１５（ａ）及び図１５（ｂ）は変位ｚにおける、１５モードの寄与分のみを取り出して示している。図１５（ａ）及び図１５（ｂ）においては、第２領域Ｒ２の面積比を一定とするとともに、第１領域Ｒ１〜第３領域Ｒ３の面積の総和を加圧室３１の面積の総和と等しくし、第１領域Ｒ１（第３領域Ｒ３）の面積比を変化させた。なお、第２領域Ｒ２の面積比は、図１３において変位ｚが最大となった０．１とした。
【０１３０】
図１５では、第１領域Ｒ１の面積比が０．４のときに、変位ｚにおける１５モードの寄与分が最大の６３．５ｎｍとなった。なお、第１領域Ｒ１の面積比０．４は、変位ｚにおける３１モードの寄与分も最大となる条件である（図１２）。
【０１３１】
図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は図１３と同様に第２領域Ｒ２の面積比を変化させたものであるが、図１３よりも第２領域Ｒ２の面積比を小さくしている。なお、他の条件は、図１３と同様である。
【０１３２】
図１６では、第２領域Ｒ２の面積比が小さくても（０．０１であっても）、３１モードの変形と１５モードの変形とを加算する効果が奏されることが確認された。
【０１３３】
図１７（ａ）及び図１７（ｂ）は、第３領域Ｒ３を分極されていない状態としたときの変位ｚを示している。その他の条件は、図１４と同様である。
【０１３４】
図１７と図１４との比較から、第３領域Ｒ３が分極されていない状態においては、第３領域Ｒ３の面積比に関わらず、安定且つ好適に３１モードの変形と１５モードの変形とを加算する効果が奏されることが確認された。
【０１３５】
本発明は、以上の実施形態に限定されず、種々の態様で実施されてよい。
【０１３６】
加圧室、個別電極（本体）及び外側電極（本体）の平面形状は適宜に設定されてよく、実施形態に例示したものに限定されない。例えば、加圧室及び個別電極の平面形状は、円形、楕円若しくは長円形であってもよい。
【０１３７】
外側電極は、加圧室毎に設けなくてもよい。例えば、第１の実施形態のように、外側電極が共通電極と同電位とされる場合においては、共通電極と同等の広さを有し、複数の個別電極の配置位置に対応する複数の開口が形成された外側電極（例えば網状の電極）が設けられてもよい。換言すれば、複数の外側電極同士が互いに接続されており、その境界が曖昧となっていてもよい。
【０１３８】
外側電極（本体）は、個別電極（本体）を囲んでいなくてもよい。例えば、平面視において個別電極に対して所定の方向においてのみ位置する、枠状でない外側電極を設け、変位に異方性を生じさせたり、若しくは、３１モードの変形に起因する変位の異方性を補償したりしてもよい。
【０１３９】
外側電極（本体）が個別電極（本体）を囲む場合において、外側電極は、ひと続きになっていなくてもよい。すなわち、外側電極は、個別電極の周囲に配列された複数の電極から構成されていてもよい。
【０１４０】
平面視において、（個別電極（本体）を囲む若しくは囲まない）外側電極（本体）は、内縁及び／又は外縁が個別電極（及び／又は加圧室）と相似形でなくてもよいし、幅が一定でなくてもよい。これらを個別電極に対して異なる形状とすることにより、変位に異方性を生じさせたり、若しくは、３１モードの変形に起因する変位の異方性を補償したりしてもよい。
【０１４１】
平面視において、（個別電極（本体）を囲む若しくは囲まない）外側電極（本体）の内縁及び外縁の位置は加圧室に対して適宜に設定されてよく、外側電極は、平面視において加圧室に収まっていなくてもい。例えば、外側電極の内縁を加圧室の縁部に一致させ、個別電極による撓み変形及び外側電極による剪断変形が生じる領域が加圧室の面積に対して最大限確保されてもよい。
【０１４２】
圧電体の外側電極（本体）と重なる第３領域は、分極されていてもよい。なお、分極方向は、第１領域及び／又は第２領域と同一であっても逆方向であってもよい。
【０１４３】
駆動信号のパターンは、実施形態において例示したものに限定されない。例えば、第３の実施形態のように、第１領域と第２領域とで分極方向が同一の場合において、３１モードの変形に起因する加圧室側への変位と１５モードの変形に起因する加圧室側への変位とを常に単純に足し合わせた、引き打ち式若しくは押し打ち式が行われてもよい。また、例えば、第２及び第３の実施形態においては、３１モードの変形と１５モードの変形とを加算する変形加算電圧印加に先立って、１５モードの変形を利用して加圧室の容積を拡大したが、１５モードの変形を利用して加圧室の容積を縮小しておき、吐出時に１５モードの変形を解除して容積を拡大したりしてもよい。また、例えば、第２及び第３の実施形態においては、３１モードの変形開始を１５モードの変形開始に遅らせたが、これらは同時に行われてもよい。
【符号の説明】
【０１４４】
５…ヘッド、６…ヘッド（駆動信号出力部含む）、８，２０８…駆動信号出力部、２１…基体、２１ａ…上面、２３…アクチュエータ、３１…加圧室、３７…振動板、３９…共通電極、４１…圧電体、４３…個別電極、４５…外側電極、Ｒ１…第１領域、Ｒ２…第２領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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