(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の側辺部に電子部品を仮圧着する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品の供給部と、
この供給部に対向して配置され上記供給部に対して接近する仮圧着位置と上記供給部から離反する待機位置との間で駆動される第１の仮圧着テーブル及び第２の仮圧着テーブルと、
上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルとの移動方向と交差する方向の一端側に配置され上記電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置される供給テーブルと、
上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルとの移動方向と交差する方向の他端側に配置され上記仮圧着位置で上記電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った基板が載置される排出テーブルと、
上記供給テーブルに供給載置された上記電子部品が仮圧着されていない基板を上方から取り出して、上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれかに供給し、上記電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置された仮圧着テーブルを上記仮圧着位置に位置決めして上記基板に電子部品を仮圧着する間に、上記供給テーブルに供給載置された上記電子部品が仮圧着されていない基板を上方から取り出して、他方の仮圧着テーブルに供給し、
上記仮圧着位置で上記基板に電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方から上記基板を上方から取り出して上記排出テーブルに載置する搬送手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
【請求項２】
基板の側辺部に電子部品を仮圧着する電子部品の実装方法であって、
上記電子部品の供給部に接近する仮圧着位置と上記供給部から離反する待機位置との間で駆動される第１の仮圧着テーブル及び第２の仮圧着テーブルを有し、
上記待機位置に位置決めされて上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方の電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置された仮圧着テーブルを、上記仮圧着位置に位置決めして上記基板に電子部品を仮圧着する間に上記待機位置に位置決めされた他方の仮圧着テーブルに電子部品が仮圧着されていない基板を供給し、
上記仮圧着位置で基板に電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方から基板を排出すること
を特徴とする電子部品の実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はたとえば基板としての液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）を仮圧着する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板としての液晶表示パネルを製造する場合、その液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰを実装装置によって仮圧着してから本圧着する、つまり実装するということが行われる。上記実装装置は装置本体を有する。この装置本体内にはキヤリアテープから上記ＴＣＰを打ち抜く打ち抜き装置が設けられている。打ち抜き装置によって打ち抜かれたＴＣＰは受け渡し手段を構成する受け体によって受け取られる。
【０００３】
上記受け体は打ち抜かれたＴＣＰを所定の位置まで搬送し、その位置で所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに設けられた複数の保持ヘッドに受け渡す。保持ヘッドは上下方向に駆動可能に設けられている。
【０００４】
インデックステーブルの保持ヘッドに受け渡されたＴＣＰは、このインデックステーブルの間欠回転に応じて上記ＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングした後、実装位置に位置決めされる。その実装位置にはＴＣＰが実装される基板がテーブル装置によって位置決めされて待機している。
【０００５】
そして、インデックステーブルの間欠回転によってＴＣＰを保持した上記保持ヘッドが実装位置に位置決めされると、その保持ヘッドは下方向に駆動される。それによって、保持ヘッドに保持された上記ＴＣＰが液晶表示パネルの側辺部に実装されるようになっている。
【０００６】
従来は、液晶表示パネルの側辺部の全長にわたって異方性導電部材からなる粘着テープを貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしていた。しかしながら、液晶表示パネルの側辺部の全長にわたって粘着テープを貼着したのでは、粘着テープのＴＣＰが実装されない部分が無駄となったり、ＴＣＰが実装されていない部分に塵埃が付着するので好ましくないなどのことがある。
【０００７】
そこで、最近ではインデックステーブルの保持ヘッドに保持されたＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングしたならば、その端子部に貼着装置によってＴＣＰの端子部とほぼ同じ長さに切断された粘着テープを貼着する。
【０００８】
そして、粘着テープが貼着されたＴＣＰを上記保持ヘッドから実装ヘッドに受け渡し、この実装ヘッドを液晶表示パネルの側辺部の上方に位置決めしてから下降させることで、実装ヘッドに保持された上記ＴＣＰを液晶表示パネルの側辺部に実装するということが行われている。
【０００９】
装置本体内には、上記打ち抜き装置と上記インデックステーブルとの配置方向と交差する方向に沿ってガイドレールが配置され、このガイドレールにはテーブルが移動可能に設けられている。
【００１０】
上記テーブルは上記ガイドレールに沿ってＴＣＰが仮圧着されていない液晶表示パネルが供給される供給位置、液晶表示パネルにＴＣＰを仮圧着する仮圧着位置、及びＴＣＰが仮圧着された基板を排出する排出位置とで位置決めされるようになっている。つまり、１つのテーブルを用いて基板に対するＴＣＰの仮圧着を行うようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１０−８０８７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、１つのテーブルによって液晶表示パネルに対するＴＣＰの仮圧着を行うよう構成であると、上記テーブルは供給位置で液晶表示パネルの供給を受けてから、仮圧着位置に位置決めされて液晶表示パネルにＴＣＰが仮圧着された後、排出位置でＴＣＰが仮圧着された液晶表示パネルを排出されてから、上記供給位置に戻って新たな基板の供給を受けることになる。
【００１３】
そのため、上記仮圧着位置で液晶表示パネルに対してＴＣＰの仮圧着が終了した後、つぎの新たな液晶表示パネルが上記仮圧着位置に位置決めされるまでのタクトタイムが長く掛かることになるから、生産性を充分に向上させることができないということがあった。
【００１４】
この発明は、１つの基板に対して電子部品を仮圧着している間に、つぎの基板を仮圧着位置の近くで待機させることができるようにすることで、生産性を向上させることを可能にした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明は、基板の側辺部に電子部品を仮圧着する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品の供給部と、
この供給部に対向して配置され上記供給部に対して接近する仮圧着位置と上記供給部から離反する待機位置との間で駆動される第１の仮圧着テーブル及び第２の仮圧着テーブルと、
上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルとの移動方向と交差する方向の一端側に配置され上記電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置される供給テーブルと、
上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルとの移動方向と交差する方向の他端側に配置され上記仮圧着位置で上記電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った基板が載置される排出テーブルと、
上記供給テーブルに供給載置された上記電子部品が仮圧着されていない基板を上方から取り出して、上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれかに供給し、上記電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置された仮圧着テーブルを上記仮圧着位置に位置決めして上記基板に電子部品を仮圧着する間に、上記供給テーブルに供給載置された上記電子部品が仮圧着されていない基板を上方から取り出して、他方の仮圧着テーブルに供給し、
上記仮圧着位置で上記基板に電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方から上記基板を上方から取り出して上記排出テーブルに載置する搬送手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
【００１６】
上記搬送手段は、上記基板の上面を吸着保持する構成であって、上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルとの移動方向と交差する方向に沿って駆動可能に設けられていることが好ましい。
【００１７】
上記搬送手段は、上記供給テーブルから取り出した電子部品が仮圧着されていない基板を上記待機位置に位置決めされた上記第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルに対して交互に供給することが好ましい。
【００１８】
この発明は基板の隣り合う２つの側辺部に電子部品を仮圧着する電子部品の実装装置であって、
上記基板の１つの側辺部に上記電子部品を仮圧着する第１の仮圧着ユニットと、
この第１の仮圧着ユニットで１つの側辺部に上記電子部品が仮圧着されて搬入された基板を９０度回転させて上記１つの側辺部と隣り合う他の側辺部に上記電子部品を仮圧着する第２の仮圧着ユニットを具備し、
上記第１の仮圧着ユニットト第２の仮圧着ユニットは請求項１に記載された構成であることを特徴とする電子部品の仮圧着装置にある。
【００１９】
この発明は、基板の側辺部に電子部品を仮圧着する電子部品の実装方法であって、
上記電子部品の供給部に接近する仮圧着位置と上記供給部から離反する待機位置との間で駆動される第１の仮圧着テーブル及び第２の仮圧着テーブルを有し、
上記待機位置に位置決めされて上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方の電子部品が仮圧着されていない基板が供給載置された仮圧着テーブルを、上記仮圧着位置に位置決めして上記基板に電子部品を仮圧着する間に上記待機位置に位置決めされた他方の仮圧着テーブルに電子部品が仮圧着されていない基板を供給し、
上記仮圧着位置で基板に電子部品が仮圧着されて上記待機位置に戻った上記第１の仮圧着テーブル或いは第２の仮圧着テーブルのいずれか一方から基板を排出すること
を特徴とする電子部品の実装方法にある。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によれば、第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧着テーブルを有し、一方の仮圧着テーブルに供給載置された基板に電子部品を仮圧着している間に、他方の仮圧着テーブルに対して新たな基板を供給することが可能となる。
【００２１】
そのため、仮圧着テーブルに基板を供給載置して電子部品を仮圧着してから排出するまでの時間を短縮することができるから、生産性の向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。
【図２】第１の仮圧着ユニットの平面図。
【図３】第１の仮圧着ユニットの側面図。
【図４】ＴＣＰをインデックステーブルから実装ヘッドにＴＣＰを受け渡す部分の側面図。
【図５】第２の仮圧着ユニットの一部を示す平面図。
【図６】基板を供給テーブルから排出テーブルへ搬送するときの吸着ユニットの動きを示す説明図。
【図７】本圧着ユニットの平面図。
【図８】本圧着ユニットの本圧着部を示す側面図。
【図９】この発明の第２の実施の形態を示す第１の仮圧着ユニットの第１の仮圧着テーブルと第２の仮圧テーブルの動きを示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１乃至図８はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は実装装置の概略的構成を示す図であって、この実装装置は一列に並んで配置された第１の仮圧着ユニット１０１、第２の仮圧着ユニット１０２及び本圧着ユニット１０３を有する。
【００２４】
図２は上記第１の仮圧着ユニット１０１の内部構造を示す平面図、図３は同じく側面図である。図２と図３に示すように、上記実装装置はクリーンルームに設置される箱型状の装置本体１を備えている。この装置本体１の前後方向後端側の幅方向中央部には後方へ突出した突出部２が形成されていて、この突出部２にはキヤリアテープ３から電子部品としてのＴＣＰ４を打ち抜くための第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂが装置本体１の幅方向の中心線Ｏ（図１に示す）に対して左右に対称に配置されている。
【００２５】
上記第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂは一緒に稼動され、一方の打ち抜き装置５Ａ又は５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ、６Ｂによって受け取られる。
【００２６】
すなわち、第１の打ち抜き装置５ＡによってＴＣＰ４を打ち抜いているときも第２の打ち抜き装置５Ｂは稼動している。それによって、キヤリアテープ３から打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ,６Ｂに供給されるようになっている。
【００２７】
上記第１、第２の打抜き装置５Ａ，５Ｂは、図３に示すように下面にポンチ１１ａが設けられた上金型１１と、上記ポンチ１１ａが入り込む貫通孔１２ａが上下方向に貫通して形成された下金型１２を備えている。上記上金型１１は駆動源１３によって矢印で示す上下方向（Ｚ方向）に駆動されるようになっている。
【００２８】
上記キヤリアテープ３は供給リール１４から繰り出され、複数のガイドローラ１５によって方向変換され、一部が上記下金型１２の上面に沿って平行に走行するようガイドされて巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。
【００２９】
なお、供給リール１４にはキヤリアテープ３を保護する保護テープ１７がキヤリアテープ３と重ねて巻装されている。上記供給リール１４からキヤリアテープ３とともに繰り出された保護テープ１７とキヤリアテープ３に分離され、上記打抜き装置５Ａ，５ＢによってＴＣＰ４が打抜かれたキヤリアテープ３と一緒に上記巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。
【００３０】
一方の上記第１の受け渡し手段６Ａが受けたＴＣＰ４は第１のインデックス手段１８Ａまで搬送され、この第１のインデックス手段１８Ａに設けられた保持ヘッド１９に受け取られる。
【００３１】
他方の第１の受け渡し手段６Ｂが受けたＴＣＰ４は第２のインデックス手段１８Ｂまで搬送され、この第２のインデックス手段１８Ｂに設けられた保持ヘッド１９に受け取られる。
【００３２】
上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは、図３に示すように第１のθ駆動源２１によって周方向に９０度間隔で間欠的に回転駆動されるインデックステーブル２２を有する。各インデックステーブル２２の下面には周方向に９０度間隔で上記保持ヘッド１９が設けられている。
【００３３】
それによって、上記一対の第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂによって搬送されたＴＣＰ４は各インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９によって吸着保持される。つまり、ＴＣＰ４は第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂからインデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９に受け渡される。インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９がＴＣＰ４を受け取る受け取り位置を図２にＡで示す。  
なお、各インデックステーブル２２の回転方向は図２に矢印で示すように逆方向となっている。
【００３４】
上記第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は、各受け渡し手段６Ａ，６Ｂのそれぞれの受け具２４によって受け取られる。この受け具２４は図３に矢印で示すＸ方向、つまり装置本体１の前後方向に沿って駆動されるＸテーブル２５にＺ・θ駆動源２３によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動可能に設けられている。上記Ｘテーブル２５は、Ｘ方向に沿って設けられたＸガイド体２６に移動可能に設けられ、図示しないリニアモータなどによって上記Ｘガイド体２６に沿って駆動可能となっている。
【００３５】
一方の第１の受け渡し手段６Ａの受け具２４は、第１の打ち抜き装置５ＡからＴＣＰ４を受けると、図２に矢印Ｘで示す装置本体１の前後方向及び矢印Ｙで示す幅方向に駆動される。
【００３６】
それによって、上記受け具２４の上面に保持されたＴＣＰ４は、その一端部が第１のインデックス手段１８Ａのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう位置決めされる。
【００３７】
同様に、他方の第１の受け渡し手段６Ｂの受け具２４は、ＴＣＰ４を受けると第２のインデックス手段１８Ｂのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう駆動位置決めされる。
【００３８】
位置決めされた受け具２４は上記Ｚ・θ駆動源２３によって上昇方向に駆動される。それによって、受け具２４に保持されたＴＣＰ４が上記インデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９の下面に接触接近し、その状態でＴＣＰ４が上記受け具２４から上記保持ヘッド１９に受け渡されて吸着保持される。
【００３９】
ＴＣＰ４が第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂのインデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９に受け渡されると、一対のインデックステーブル２２は上記第１のθ駆動源２１によって図２に矢印で示す逆方向にそれぞれ９０度の角度で間欠的に回転駆動される。それによって、ＴＣＰ４を吸着保持した各インデックステーブル２２の保持ヘッド１９は図２にＢで示すブラッシング位置に位置決めされる。
【００４０】
上記受け具２４からＴＣＰ４を受けた保持ヘッド１９がインデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されてブラッシング位置Ｂに位置決めされると、上記保持ヘッド１９に保持された上記ＴＣＰ４の端子部（図示せず）は図示しない回転ブラシによってブラッシング、つまりクリーニングされる。それによって、端子部に付着した塵埃が除去される。
【００４１】
ＴＣＰ４の端子部が回転ブラシによってクリーニングされると、そのＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は、インデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されて図２にＣで示す貼着位置に位置決めされる。
【００４２】
貼着位置Ｃに位置決めされたＴＣＰ４は、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂによって上記ＴＣＰ４のクリーニングされた端子部に、その端子部と対応する長さに切断された異方性導電部材からなら粘着テープ３２が後述するように貼着される。
【００４３】
上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ及び第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは、第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂと同様、装置本体１の幅方向の中心線Ｏに対して左右対称に配置されている。
【００４４】
第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂよりも装置本体１の幅方向外方に配置され、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂよりも幅方向外方に配置されている。
【００４５】
上記第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは図３に示すように装置本体１内の底面に近い下部に配置された供給リール３４を有する。この供給リール３４には上記粘着テープ３２が離型テープ３５の一側面に貼着されて巻装されている。
【００４６】
離型テープ３５の一側面に貼着された上記粘着テープ３２は上記供給リール３４から帯板状の支持ブロック３３の板面に沿って上方にほぼ垂直に引き出され、第１のガイドローラ３６によって粘着テープ３２が上を向くよう水平方向に方向変換されて走行する。
【００４７】
上記粘着テープ３２が上記支持ブロック３３に対向して垂直に走行する部分では、切断手段３７を構成する駆動源３７ａによって二枚刃を有するカッタ３７ｂが粘着テープ３２に接近する方向に駆動されることで、その粘着テープ３２に２本の切断線を所定間隔で形成する。なお、粘着テープ３２が貼着された離型テープ３５はカッタ３７ｂによって切断されないよう、上記カッタ３７ｂによる切込み量が設定されている。
【００４８】
上記粘着テープ３２の２本の切断線によって他の部分と分離された部分、つまり抜き取り部分は切断手段３７よりも上方に配置された抜き取り手段３９によって抜き取られる。それによって、粘着テープ３２は所定長さ、つまりＴＣＰ４に対応する長さに分離される。
【００４９】
上記抜き取り手段３９は、駆動源３９ａと、この駆動源３９ａによって上記粘着テープ３２に接離する方向に駆動される押圧部３９ｂと、この押圧部３９ｂによって上記抜き取り部分３２ｂに押圧される除去テープ（図示せず）を有する。
【００５０】
除去テープの一部が上記押圧部３９ｂによって粘着テープ３２の抜き取り部分に押圧されることで、この抜き取り部分が除去テープに貼着されて除去される。なお、除去テープは図示しない供給リールから繰り出され、同じく図示しない巻き取りリールによって所定長さずつ巻き取られるようになっている。
【００５１】
所定長さに分離された粘着テープ３２は、図３に示すように離型テープ３５とともに上記第１のガイドローラ３６によって水平方向に方向変換されて走行し、上記第１のガイドローラ３６に対して所定間隔で配置された第２のガイドローラ４１によって下方に方向変換される。
【００５２】
上記離型テープ３５の上記第１のガイドローラ３６と第２のガイドローラ４１との間の部分は、上記インデックステーブル２２の貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４のクリーニングされた端子部の下面を走行する。
【００５３】
上記離型テープ３５は、図示しない駆動源によって開閉駆動及び同図にＺで示す上下方向に往復駆動されるチャック機構４２によって挟持されて所定長さずつ間欠的に搬送される。つまり、離型テープ３５の所定長さに切断された粘着テープ３２が貼着された部分はチャック機構４２によって貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９の下方を水平に走行するようになっている。
【００５４】
上記離型テープ３５がチャック機構４２によって間欠的に搬送され、所定長さに分離された粘着テープ３２が貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の端子部の下方に対向するよう位置決めされると、その粘着テープ３２は押し上げ手段４３によって加熱されながら上記ＴＣＰ４に加圧貼着される。
【００５５】
上記押し上げ手段４３は、駆動源４４によって上昇方向に駆動される加圧体４５を有する。この加圧体４５は熱源となるヒータ４５ａが内蔵されている。そして、加圧体４５が上昇方向に駆動されると、この加圧体４５は離型テープ３５を介して所定長さに分離された上記粘着テープ３２を上記ＴＣＰ４の端子部に加熱しながら加圧する。それによって、粘着テープ３２がＴＣＰ４の端子部に貼着される。なお、粘着テープ３２はヒータ４５ａによって加熱されることで粘着性が向上するから、ＴＣＰ４の端子部に確実に貼着されることになる。
【００５６】
粘着テープ３２がＴＣＰ４に貼着されると、図示しない離型ローラによってその粘着テープ３２から離型テープ３５が剥離される。剥離後、インデックステーブル２２はさらに９０度回転させられる。それによって、粘着テープ３２が貼着されたＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は図２にＤで示す受け渡し位置に位置決めされる。それと同時に、離型テープ３５がチャック機構４２によって搬送され、粘着テープ３２の所定長さに切断された新たな部分が貼着位置ＣのＴＣＰ４に対向位置決めされる。なお、離型テープ３５の粘着テープ３２が貼着除去された部分は回収容器４６に格納される。
【００５７】
上記第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂ、上記第１、第２の受け渡し手段６Ａ，６Ｂ、上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ及び上記第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは所定長さに切断された上記粘着テープ３２が貼着された電子部品としてのＴＣＰ４を後述する実装ヘッド５３に受け渡す電子部品の供給部を構成している。
【００５８】
粘着テープ３２が貼着されて受け渡し位置Ｄに位置決めされたＴＣＰ４は、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂによってそれぞれ仮圧着手段としての一対の上記実装ヘッド５３にそれぞれ受け渡される。なお、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂから一対の実装ヘッド５３へのＴＣＰ４の受け渡しは、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂの一方から一対の実装ヘッド５３の一方に対して行った後、他方から他方の実装ヘッド５３に対して行われる。つまり、ＴＣＰ４は一対の実装ヘッド５３に対して交互に受け渡されるようになっている。
【００５９】
図４に示すように、上記第２の受け渡し手段５１Ａ、５１ＢはＸ方向に沿って配置されたＸガイド体５５を有する。このＸガイド体５５には可動体５６が図示せぬ駆動源によって駆動可能に設けられている。この可動体５６にはＺ駆動源５７が設けられている。このＺ駆動源５７の駆動軸５７ａは上下方向であるＺ方向に駆動されるようになっていて、その先端には側面形状がＬ字状の受け具５４が取り付けられている。
【００６０】
受け具５４は、上記可動体５６によってＸ方向に駆動され、その上面（吸着面）が上記受け渡し位置Ｄに位置決めされた保持ヘッド１９に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着されていない他端部に対向するよう位置決めされる。
【００６１】
ついで、受け具５４は鎖線で示すようにＺ方向上方に駆動されて上記ＴＣＰ４の他端部の下面を吸着する。それと同時に、ＴＣＰ４は保持ヘッド１９による吸着保持が解除される。それによって、ＴＣＰ４はインデックステーブル２２の保持ヘッド１９から受け具５４に受け渡される。
【００６２】
ＴＣＰ４を受けた受け具５４が下降すると、可動体５６は図４に矢印Ｘで示す方向に駆動され、鎖線で示す位置に位置決めされる。それによって、受け具５４は、その移動方向の上方で待機した上記実装ヘッド５３の下方に対向するよう位置決めされる。実装ヘッド５３はＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動されるようになっている。
【００６３】
上記実装ヘッド５３の下方に上記受け具５４が位置決めされると、実装ヘッド５３は下降方向に駆動されて受け具５４に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着された一端部の上面を吸着する。それと同時に、上記受け具５４による上記ＴＣＰ４の吸着状態が解除される。それによって、ＴＣＰ４が上記受け具５４から実装ヘッド５３に受け渡される。
【００６４】
ＴＣＰ４を受けた実装ヘッド５３は、図３に示すように仮圧着位置Ｙ１に位置決めされた第１の仮圧着テーブル６１又は第２の仮圧着テーブル６２の一方の上面に吸着保持された基板Ｗの上記ＴＣＰ４が実装される側部の上方に位置決めされる。実装ヘッド５３と基板Ｗは図示しない撮像手段によって撮像され、その撮像手段からの撮像信号に基いて上記基板Ｗの実装位置の上方に上記ＴＣＰ４が位置決めされるよう上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ及びθ方向に対して駆動される。
【００６５】
上記実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの実装位置の上方に位置決めされると、上記実装ヘッド５３は上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によって下降方向に駆動される。それによって、実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの側辺部に実装される。
【００６６】
このようにして、粘着テープ３２が貼着された複数のＴＣＰ４が図２に鎖線で示すように第１の仮圧着テーブル６１の上面に吸着保持された基板Ｗの側辺部に対して所定間隔で順次実装される。
【００６７】
図２に示すように、上記装置本体１内のＹ方向の下端側、つまり上記仮圧着位置Ｙ１よりも−Ｙ方向側である、待機位置Ｙ２には上記第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２がＸ方向に沿って所定間隔で配置されている。
【００６８】
上記第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２はそれぞれリニアモータなどの図示しないＹ駆動源によって上記待機位置Ｙ２と仮圧着位置Ｙ１との間で往復駆動されるようになっている。
【００６９】
上記装置本体１の側壁の、上記第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２との駆動方向（Ｙ方向）と交差するＸ方向の一端側と他端側にはそれぞれ開口部６３が形成されている。−Ｘ方向側の開口部６３には供給テーブル６４が配置され、＋Ｘ方向側の開口部６３には中継テーブルを兼ねる排出テーブル６５が配置されている。
【００７０】
上記供給テーブル６４にはＴＣＰ４が仮圧着されていない基板Ｗが図示しないロボットなどによって供給載置される。供給テーブル６４に供給された基板Ｗは、搬送手段としての第１の吸着ユニット６７によって上面が吸着されて上記供給テーブル６４から取出される。
【００７１】
上記第１の吸着ユニット６７は図３に示すように基部６７ａの下面に複数の吸着パッド６７ｂが設けられていて、Ｘ・Ｚ駆動源６８によって上記第１の仮圧着ユニット１０１の装置本体１内の待機位置Ｙ２の上方をＸ方向の全長にわたって駆動されるとともに、上下方向であるＺ方向に駆動されるようになっている。
【００７２】
上記供給テーブル６４から基板Ｗの上面を吸着保持した第１の吸着ユニット６７は、＋Ｘ方向に駆動されて上記基板Ｗを上記第１の仮圧着テーブル６１或いは第２の仮圧着テーブル６２に供給する。この実施の形態では最初に第１の仮圧着テーブル６１に基板Ｗを供給する。
【００７３】
基板Ｗが供給された第１の仮圧着テーブル６１は待機位置Ｙ２から＋Ｙ方向に駆動されて仮圧着位置Ｙ１に位置決めされる。ここで、上記基板Ｗの一側辺である長辺に複数のＴＣＰ４が上述したように実装ヘッド５３によって仮圧着される。
【００７４】
上記仮圧着位置Ｙ１位置で、第１の仮圧着テーブル６１に保持された基板ＷにＴＣＰ４を仮圧着している間に、上記第１の吸着ユニット６７は供給テーブル６４に供給されたつぎの基板Ｗを取り出して第２の仮圧着テーブル６２に供給載置する。
【００７５】
そして、上記仮圧着位置Ｙ１で第１の仮圧着テーブル６１の基板Ｗに所定数のＴＣＰ４が仮圧着され終わると、上記第１の仮圧着テーブル６１は待機位置Ｙ２に後退する。それと同時に、第２の仮圧着テーブル６２が待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１に前進し、第２の仮圧着テーブル６２に保持された基板Ｗに対してＴＣＰ４が仮圧着される。なお、第１の仮圧着テーブル６１が待機位置Ｙ２に後退する前に、第２の仮圧着テーブル６２を仮圧着位置Ｙ１に前進させておいてもよい。
【００７６】
それと同時に、第１の吸着ユニット６７は待機位置に後退した第１の仮圧着テーブル６１からＴＣＰ４が仮圧着された基板Ｗの上面を吸着して取出す。そして、第１の吸着ユニット６７は＋Ｘ方向に駆動され、第１の仮圧着テーブル６１から取出した基板Ｗを排出テーブル６５に供給載置する。
【００７７】
上記第１の吸着ユニット６７が待機位置Ｙ２に後退して待機した第１の仮圧着テーブル６１から基板Ｗを取り出して排出テーブル６５に供給し終わると、この第１の吸着ユニット６７は供給テーブル６４から新たな基板Ｗを取り出して第１の仮圧着テーブル６１に供給する。
【００７８】
一方、仮圧着位置Ｙ１で、上記第２の仮圧着テーブル６２に保持された基板Ｗに所定寸のＴＣＰ４が仮圧着され終わると、上記第２の仮圧着テーブル６２が待機位置Ｙ２に後退する。そして、ＴＣＰ４が仮圧着された基板Ｗが上記第１の吸着ユニット６７によって取出されて排出テーブル６５に受け渡される。それと同時に、待機着位置Ｙ２で待機していた第１の仮圧着テーブル６１が仮圧着位置Ｙ１へ前進し、その上面に保持された基板Ｗの長辺に対して所定数のＴＣＰ４が仮圧着されるということが繰り返して行われる。なお、第１の仮圧着テーブル６１は待機位置Ｙ２で基板Ｗが供給されたならば、直ちに仮圧着位置Ｙ１に前進させて待機させておいてもよい。
【００７９】
上記第１の仮圧着ユニット１０１の＋Ｘ方向には上記第２の仮圧着ユニット１０２が隣接して配置されている。この第２の仮圧着ユニット１０２は上記第１の仮圧着ユニット１０１とほぼ同じ構成であるが、図５に示すように第１の仮圧着テーブル６１Ａと第２の仮圧着テーブル６２ＡがＹ方向だけでなく、同図に矢印で示す回転方向であるθ方向に対して回転駆動される構成となっているという点で相違している。
【００８０】
なお、第１の仮圧着ユニット１０１の第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２を、第２の仮圧着ユニット１０２の第１の仮圧着テーブル６１Ａと第２の仮圧着テーブル６２Ａと同じように、Ｙ方向だけでなく、θ方向に対して回転駆動できるようにしてもよい。
【００８１】
上記第１の仮圧着ユニット１０１で長辺に所定数のＴＣＰ４が仮圧着されて中継テーブルを兼ねる排出テーブル６５に載置された基板Ｗは、第２の吸着ユニット６７Ａ（図１に示す）によって上面が吸着されて取出される。
【００８２】
上記第２の吸着ユニット６７Ａによって排出テーブル６５から取出された基板Ｗは上記第２の仮圧着ユニット１０２の第１の仮圧着テーブル６１Ａ又は第２の仮圧着テーブル６２Ａに供給載置される。
【００８３】
基板が供給載置された、たとえば第１の仮圧着テーブル６１Ａは待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１に駆動位置決めされた後、上記第１の仮圧着ユニット１０１でＴＣＰ４が仮圧着された長辺と隣り合う一方の短辺がＹ方向と直交するよう９０度回転駆動される。  
なお、第１の仮圧着テーブル６１Ａは待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１に駆動されている最中に、９０度回転させるようにしてもよい。
【００８４】
そして、仮圧着位置Ｙ１で、上記基板Ｗの短辺に所定数のＴＣＰ４が仮圧着される。その間に第２の仮圧着テーブル６２Ａには上記第２の吸着ユニット６７Ａによって上記排出テーブル６５からつぎの基板Ｗが供給され、９０度回転させられた状態で待機する。
【００８５】
第１の仮圧着テーブル６１Ａの基板Ｗの短辺に所定数のＴＣＰ４が仮圧着され終わると、第１の仮圧着テーブル６１Ａは仮圧着位置Ｙ１から待機位置Ｙ２に戻りながら基板Ｗの長辺がＸ方向に沿うよう９０度回転させられる。なお、基板Ｗは待機位置Ｙ２に戻ってから９０度回転させてもよい。
【００８６】
それと同時に、第２の仮圧着テーブル６２Ａが９０度回転駆動された状態で待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１に駆動位置決めされ、この第２の仮圧着テーブル６２Ａに載置された基板Ｗの短辺に所定数のＴＣＰ４が仮圧着される。
【００８７】
第２の仮圧着テーブル６２Ａに載置された基板Ｗの短辺に所定数のＴＣＰ４が仮圧着されている間に、長辺と短辺とにそれぞれＴＣＰ４が仮圧着された第１の仮圧着テーブル６１Ａ上の基板Ｗが上記第２の吸着ユニット６７Ａによって取出され、上記第２の仮圧着テーブル６２Ａよりも＋Ｘ方向に配置された中継テーブルを兼ねる排出テーブル６５Ａに供給載置される。
【００８８】
そして、空となった第１の仮圧着テーブル６１Ａ上には、上記第２の吸着ユニット６７Ａによって第１の仮圧着ユニット１０１で長辺にＴＣＰ４が仮圧着された新たな基板Ｗが上記排出テーブル６５から取出されて供給載置される、ということが繰り返して行なわれる。
【００８９】
このように、上記構成の第１、第２の仮圧着ユニット１０１，１０２には、第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）と、第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）をそれぞれ待機位置Ｙ２と仮圧着位置Ｙ１との間で駆動可能に設けるようにした。
【００９０】
そのため、たとえば第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）に載置された基板Ｗに対して仮圧着位置Ｙ１でＴＣＰ４を仮圧着している間に、既にＴＣＰ４の仮圧着が終了して待機位置Ｙ２に戻った第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）から基板を取り出した後、この第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）につぎの新たな基板Ｗを供給させて待機させておくことができるから、タクトタイムが短縮されて生産性が向上するということがある。
【００９１】
図６は第１の仮圧着ユニット１０１と第２の仮圧着ユニット１０２に設けられた第１、第２の吸着ユニット６７，６７Ａによる基板Ｗの搬送を示す図である。すなわち、第１の仮圧着ユニット１０１と第２の仮圧着ユニット１０２は、基板Ｗの上面を吸着パッド６７ｂによって吸着して搬送するため、同図に矢印で示すように供給テーブル６４からその隣りに位置する第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）だけでなく、第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）を飛び越えて第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）にも基板Ｗを搬送供給することができる。
【００９２】
同様に、第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）から、その隣りに位置する第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）だけでなく、第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）を飛び越えて排出テーブル６５（６５Ａ）にも基板Ｗを搬送供給することができる。
【００９３】
つまり、第１の吸着ユニット６７と第２の吸着ユニット６７Ａによって基板Ｗの上面を吸着して搬送するため、仮圧着テーブルをレールに沿ってＸ方向とＹ方向の二方向に移動させて基板を位置決めする従来の場合に比べ、基板Ｗの搬送位置決めの自由度が向上するばかりか、その搬送を迅速に行なうことができ、さらには第１の仮圧着テーブル６１（６１Ａ）と第２の仮圧着テーブル６２（６２Ａ）移動方向がＹ方向だけの一方向であるから、二方向に移動させる場合に比べて移動精度が向上し、それによって仮圧着精度も向上する。
【００９４】
上記第２の仮圧着ユニット１０２で長辺と短辺とにＴＣＰ４が仮圧着されて排出テーブル６５Ａに供給載置された基板Ｗは、上記本圧着ユニット１０３で上記ＴＣＰ４が上記基板Ｗに対して本圧着される。
【００９５】
上記本圧着ユニット１０３は図７に示すように箱型状の装置本体７５を有する。この装置本体７５の内の、−Ｙ方向側の端部には、第１の本圧着テーブル７６と第２の本圧着テーブル７７とがＸ方向に沿って配置されている。
【００９６】
各本圧着テーブル７６，７７は図示しない駆動機構によってＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動されるようになっていて、同時に破線で示す第１の待機位置Ｂ２と、鎖線で示す本圧着位置Ｂ１との間で、互いに干渉し合うことなく往復駆動されるようになっている。
【００９７】
上記第１の待機位置Ｂ２の上方には第３の吸着ユニット６７Ｂ（図１に示す）がＸ・Ｚ駆動源６８によってＸ方向及びＺ方向に駆動されるように設けられている。この第３の吸着ユニット６７Ｂは長辺と短辺とにＴＣＰ４が仮圧着されて上記排出テーブル６５Ａに供給された基板Ｗの上面を吸着して取り出し、上記第１の待機位置Ｂ２に位置決めされた上記第１の本圧着テーブル７６と第２の本圧着テーブル７７とに交互に供給する。  
なお、上記本圧着ユニット１０３においては、上記排出テーブル６５Ａが供給テーブルとなる。
【００９８】
上記本圧着位置Ｂ１には第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７９がそれぞれＸ方向に沿う水平線Ｌに対して所定の角度、この実施の形態では角度θで示す４５度の角度で配置されている。
【００９９】
上記第１、第２の本圧着部７８，７９は図８に示すようにバックアプツール８１を備えている。各本圧着部７８，７９のバックアプツール８１は基板Ｗの長辺を支持することができる長さに設定されていて、その上方には上記バックアプツール８１と同じ長さに設定された本圧着ツール８２が配置されている。つまり、各本圧着部７８，７９は矩形状の基板Ｗの長辺と同等或いはそれ以上の長さに設定されている。
【０１００】
なお、上記第１、第２の本圧着テーブル７６，７７は、図８に示すようにＸ・Ｙテーブル７６ａ，７７ａにＺ・θテーブル７６ｂ，７７ｂを介して設けられている。それによって、上述したようにＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動されるようになっている。
【０１０１】
上記本圧着ツール８２は帯板状の固定部材８３の上面に設けられたシリンダやリニアモータなどの１つ若しくは複数のＺ駆動源８４によってＺ方向に駆動されるようになっている。
【０１０２】
上記バックアプツール８１と上記本圧着ツール８２にはそれぞれヒータ８１ａ，８２ａがほぼ全長にわたって設けられている。これらのヒータ８１ａ，８２ａは、後述するように上記基板Ｗに仮圧着されたＴＣＰ４を本圧着する際に、上記基板ＷにＴＣＰ４を貼着した粘着テープ３２を溶融硬化させる。
【０１０３】
上記第１の本圧着テーブル７６に基板Ｗが供給載置されると、この第１の本圧着テーブル７６は第１の待機位置Ｂ２からＸ、Ｙ及び知った方向に駆動されてＢ３ａで示す第２の待機位置に位置決めされる。
【０１０４】
上記第２の待機位置Ｂ３ａは基板Ｗが第２の待機位置Ｂ３ａよりも第１、第２の本圧着部７８，７９に近づき、しかもＴＣＰ４が仮圧着された基板Ｗの短辺が第１の本圧着部７８と平行で、長辺が第２の本圧着部７９と平行になる状態である。
【０１０５】
上記第１の本圧着テーブル７６は、上記第２の待機位置Ｂ３ａから矢印Ｐ１で示す方向へ直進することで、短辺が第１の本圧着部７８のバックアップツール８１の上方に位置決めされ、長辺が第２の本圧着部７９のバックアップツール８１の上方に位置決めされる。
【０１０６】
その状態で、上記第１の本圧着テーブル７６がＺ方向下方に駆動されて上記基板Ｗの短辺と長辺の下面をそれぞれバックアップツール８１の上端面で支持した後、上記本圧着ツール８２を下降方向へ駆動すれば、各辺に仮圧着されたＴＣＰ４が本圧着されることになる。
【０１０７】
上記第２の本圧着テーブル７７に上記第３の吸着ユニット６７Ｂによって二辺にＴＣＰ４が仮圧着された基板Ｗが供給載置されると、この第２の本圧着テーブル７７は第１の待機位置Ｂ２よりも第１、第２の本圧着部７８，７９に接近する第２の待機位置Ｂ３ｂに位置決めされる。つまり、基板Ｗの短辺が第１の本圧着部７８と平行で、長辺が第２の本圧着部７９と平行な状態に位置決めされる。
【０１０８】
第２の待機位置Ｂ３ｂに位置決めされた基板Ｗは同図に矢印Ｐ１で示す方向へ直進させれば、短辺が第１の本圧着部７８のバックアップツール８１の上方に位置決めされ、長辺が第２の本圧着部７９のバックアップツール８１の上方に位置決めされる。
【０１０９】
その状態で、上記第２の本圧着テーブル７７がＺ方向下方に駆動されて上記基板Ｗの短辺と長辺の下面をそれぞれバックアップツール８１の上端面で支持した後、上記本圧着ツール８２を下降方向へ駆動すれば、各辺に仮圧着されたＴＣＰ４が本圧着されることになる。
【０１１０】
このように構成された本圧着ユニット１０３は、第１の本圧着テーブル７６に供給された基板Ｗの短辺と長辺に仮圧着されているＴＣＰ４を本圧着している最中に、第２の本圧着テーブル７７に第３の吸着ユニット７６Ｂによって基板Ｗを排出テーブル６５から第１の待機位置Ｂ２で待機する第２の本圧着テーブル７７に供給する。そして、基板Ｗが供給された第２の本圧着テーブル７７は第１の待機位置Ｂ２から第２の待機位置Ｂ３ｂに移動して待機する。
【０１１１】
この間に、第１の本圧着テーブル７６に載置された基板Ｗに仮圧着されたＴＣＰ４の本圧着が終了すると、上記第１の本圧着テーブル７６が第２の待機位置Ｂ３ａを経て第１の待機位置Ｂ２へ戻る。
【０１１２】
第１の本圧着テーブル７６が第１の待機位置Ｂ２へ戻ると、第３の吸着ユニット６７Ｂがその基板Ｗの上面を吸着して取り出し、装置本体７５の＋Ｘ方向側の側壁に形成された開口部６３に位置決めされた排出テーブル６５Ｂに載置する。排出テーブル６５Ｂに載置された基板は図示しないロボットなどによって次工程に搬出される。
【０１１３】
そして、第１の待機位置Ｂ２へ戻った第１の本圧着テーブル７６には第３の吸着ヘッド６７Ｂによって新たな基板Ｗが供給載置された後、この第１の本圧着テーブル７６は第２の待機位置Ｂ３ａに駆動されて待機する。
【０１１４】
第３の吸着ユニット６７Ｂが第１の本圧着テーブル７６から基板Ｗを取り出した後、新たな基板Ｗを供給している間に、第２の本圧着テーブル７７は第２の待機位置Ｂ３ｂから本圧着位置Ｂ１に駆動される。そして、第２の本圧着テーブル７７に載置された基板Ｗの２つの辺に仮圧着されたＴＣＰ４が本圧着されることになる。
【０１１５】
このように、第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７９とを９０度の角度で配置し、基板Ｗの２つの辺に仮圧着されたＴＣＰ４を同時に本圧着することができるようにした。そのため、基板Ｗの２つの辺に仮圧着されたＴＣＰ４を別々に本圧着する場合に比べてタクトタイムを短縮して生産性を向上させることができる。
【０１１６】
ＴＣＰ４が仮圧着された基板Ｗを供給載置する２つの本圧着テーブル７６，７７を備え、どちらか一方の本圧着テーブルに供給された基板Ｗに仮圧着されたＴＣＰ４を本圧着しているときに、他方の本圧着テーブルを第１の待機位置Ｂ２から第１、第２の本圧着部７８，７９にさらに近づく第２の待機位置Ｂ３ａ（Ｂ３ｂ）で待機させるようにした。
【０１１７】
そのため、一方の本圧着テーブルの基板ＷのＴＣＰ４の本圧着が終了したならば、他方の本圧着テーブルの基板Ｗを本圧着位置Ｂ１に迅速に位置決めすることができるから、そのことによってもタクトタイムを短縮して生産性を向上させることができる。
【０１１８】
第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７９をそれぞれ水平線Ｌに対して４５度の角度で傾斜させ、さらにこれら第１、第２の本圧着部７８，７９が９０度の角度をなすよう配置した。
【０１１９】
そのため、第１の本圧着部７８を水平線Ｌに対して直角に配置し、第２の本圧着部７９をそれぞれ水平線Ｌに対して平行に配置した場合に比べ、第１の本圧着テーブル７６と第２の本圧着テーブル７７を本圧着位置Ｂ１に位置決めするときのＹ方向の移動量を少なくすることができる。
【０１２０】
しかも、第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７９は第１の待機位置Ｂ２で基板を受けてから、第２の待機位置Ｂ３ａ，Ｂ３ｂに位置決めされるため、第２の待機位置Ｂ３ａ，Ｂ３ｂから直進させて本圧着位置Ｂ１に位置決めすることができる。
【０１２１】
したがって、これらのことによって第１の本圧着テーブル７６と第２の本圧着テーブル７７を本圧着位置Ｂ１に位置決めするタクトタイムを短縮して生産性を向上させることができるということがある。
【０１２２】
上記第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７９の長さ、つまりバックアップツール８１と本圧着ツール８２の長さを、基板Ｗの長辺に対応する長さに設定している。そのため、ＴＣＰ４が仮圧着される基板Ｗの長辺と、この長辺に隣り合う２つの短辺のうち、ＴＣＰ４が仮圧着される短辺が一方から他方に変更になった場合、図７において第１の本圧着テーブル７６に載置された基板Ｗの長辺を第１の本圧着部７８に対向させることで、変更になった短辺を第２の本圧着部７９に対向させることが可能となる。
【０１２３】
すなわち、第１、第２の本圧着部７８，７９の長さが基板Ｗの長辺に対応する長さを有することで、基板Ｗを回転させれば、基板Ｗの隣り合う全ての２つの辺に仮圧着されたＴＣＰ４を本圧着することができる。
【０１２４】
この場合、第２の本圧着テーブル７７に載置される基板Ｗに対しても同様である。
【０１２５】
また、第３の吸着ユニット６７Ｂによって排出テーブル６５Ａに載置された基板Ｗの上面を吸着して搬送するため、第１、第２の本圧着テーブル７６，７７をレールに沿ってＸ方向とＹ方向の二方向に移動させて基板Ｗを位置決めする従来に比べ、基板Ｗの搬送位置決めの自由度が向上するばかりか、その搬送を迅速に行なうことができるということがある。さらに、第１の本圧着テーブル７８と第２の本圧着テーブル７９移動方向がＹ方向だけの一方向であるから、二方向に移動させる場合に比べて移動精度が向上し、それによって本圧着精度も向上する。
【０１２６】
なお、本圧着ユニット１０３において、第１、第２の本圧着テーブル７６，７７を第１の待機位置Ｂ２から第２の待機位置Ｂ３ａに前進させて待機させるようにしたが、第１の待機位置Ｂ２から直接、本圧着位置にＢ１に移動させるようにしてもよい。
【０１２７】
図９は第１の仮圧着ユニット１０１における第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２が待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１へ移動する経路の変形例を示す。すなわち、第１の実施の形態では、第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２は待機位置Ｙ２から仮圧着位置Ｙ１へ移動する際、＋Ｙ方向へ直進させたが、この第２の実施の形態では第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２を同図に矢印で示すようにＹ方向だけでなく、Ｘ方向にも駆動し、これらの仮圧着テーブル６１，６２を同一の仮圧着位置Ｙ１に位置決めするようにした。
【０１２８】
このようにして基板Ｗを仮圧着位置に位置決めすれば、第１の仮圧着テーブル６１と第２の仮圧着テーブル６２に保持された基板Ｗに対するＴＣＰ４の仮圧着位置も同じになるから、ＴＣＰ４の仮圧着を精度よく迅速に行なうことができる。
【０１２９】
また、上記第１の実施の形態における本圧着ユニット１０３では、第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７８を水平線Ｌに対してそれぞれ４５度の角度で配置したが、水平線に対して４５度以外の角度で配置するようにしてもよく、要は第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７８が９０度の角度をなしていて、しかも第１の本圧着部７８と第２の本圧着部７８がＹ方向に対して所定の角度で傾斜していればよい。
【０１３０】
また、本圧着ユニット１０３の装置本体７５を図７に示すように断面形状が矩形状の箱型状として例を挙げて説明したが、一対の本圧着部７８，７９の配置形状に対応させて上記装置本体７５の＋Ｙ方向側におけるＸ方向の両端部の無駄なスペースを除去することで、上記装置本体７５の＋Ｙ方向側の形状を山形状としてもよい。
【０１３１】
このような形状にすれば、一対の本圧着部７８，７９に対するメンテナンスを、作業者が装置本体７５内に入り込まずに、外部から容易に行なうことが可能となる。
【０１３２】
また、一対の本圧着部７８，７９において、基板Ｗの側辺部に仮圧着された複数のＴＣＰ４を一括で本圧着するようにしたが、バックアップツール８１と本圧着ツール８２を複数に分割し、各辺に仮圧着された複数のＴＣＰ４を一括で、若しくは別々に本圧着するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１３３】
１…装置本体、５Ａ，５Ｂ…第１、第２の打ち抜き装置（供給部）、６Ａ，６Ｂ…第１、第２の受け渡し手段（供給部）、１８Ａ，１８Ｂ…第１、第２のインデックス手段（供給部）、３１Ａ，３１Ｂ…第１、第２の貼着装置（供給部）、５２（供給部）、実装ヘッド、６１，６２…第１、第２の仮圧着テーブル、６４…供給テーブル、６５…排出テーブル、７６，７７…第１、第２の本圧着テーブル、７８，７９…第１、第２の本圧着部、８１…バックアップツール、８２…本圧着ツール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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