(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、長さ方向のどの位置でも前記扁平形状の毛細管状であることを特徴とするリーク量標準器。
【請求項２】
リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、コイル状に巻かれていることを特徴とするリーク量標準器。
【請求項３】
リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、
前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、
前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含み、前記キャピラリ部の前記一の径方向と直交する巾方向の両端部には前記接続部を介して前記ガス圧路にそれぞれ連なるキャピラリ路が形成され、前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されており、
前記キャピラリ部が、前記本体の軸方向に折り返されていることを特徴とするリーク量標準器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、リークテスタの校正、保守点検、ワークの容積測定等を行う際に一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器に関する。
【背景技術】
【０００２】
密封性を要求される製品の密封性を検査する装置としてリークテスタが知られている。リークテスタは、ワークにガス圧を導入するガス圧路と、上記ガス圧路に設けられた圧力センサとを備えている。ワークが不良である場合、不良箇所からガスが漏れ、上記ガス圧路の圧力が変動する。この圧力変動を圧力センサにて検出することで、ワークの良否判定を行うことができる。
【０００３】
上記圧力センサを診断したり、ワークの容積を測定したりする際は、リークテスタにリーク量標準器を接続する（特許文献１等参照）。リーク量標準器にはリーク管が設けられている。リーク管は、毛細管（キャピラリチューブ）状のキャピラリ部を有している。例えば、特許文献１では、ガラス管の一部を加熱して延伸することで細径化し、上記キャピラリ部としている。上記ガス圧路にガス圧を印加すると、上記リーク管から上記ガス圧に応じた流量の微小なリークが発生し、圧力センサにて圧変化が検出される。この圧変化に基づいて、圧力センサの診断、ワークの容積測定等を行うことができる。
【０００４】
リーク管が円形断面である場合、該リーク管を流れる流体が非圧縮性流体であるかまたは非圧縮性流体と看做せるとき、流れを層流とすると、リーク量は次式（１）で表わされる。
【数１】
0005702992.tif 000002
ここで、
Ｑｗ：  流量（リーク量）
ΔＰ：キャピラリ部の入口と出口間の圧力差
ｒ：  キャピラリ部の内半径
μ：  流体の粘性係数
Ｌ：  キャピラリ部の長さ
リーク管を流れる流体が圧縮性流体であるときは、リーク量は次式（２）で表わされる。
【数２】
0005702992.tif 000003
ここで、
Ｑｎ：圧力Ｐ２での圧縮性流体の体積流量
Ｐ１ ：一次側圧力
Ｐ２ ：二次側圧力
通常、リークテストでは圧力を大気圧換算し、リークの単位を［圧力×体積／時間］で表わす。代表的なリーク量の単位は、Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−０７２８１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
式（１）から分かるように、リーク量はキャピラリ部の内径の４乗に比例し、キャピラリ部の長さの１乗に反比例するから、キャピラリ部の長さを長くするよりキャピラリ部の内径を小さくしたほうが、リーク量をより小さくできる。一般的なリーク量標準器において、例えば１０−４Ｐａ・ｍ３／ｓｅｃ程度のリーク量を得るためのキャピラリ部の内径は、１０μｍ程度である。これほど細い内径の管は、製造が容易でなく一般に高価である。
本発明は、微小なリーク量を発現できるリーク量標準器を簡易に製造できるようにし、製品コストを安価にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、リークテスタのガス圧路から一定の流量のリークを発生させるリーク量標準器において、前記ガス圧路に接続される接続部と、一端が前記接続部に連なり、他端が開放されたリーク管とを備え、前記リーク管が、一の径方向に潰れた扁平形状のキャピラリ部を含むことを特徴とする。前記キャピラリ部の内部には、前記接続部を介して前記ガス圧路に連なるキャピラリ路が形成されている。前記キャピラリ路は、前記キャピラリ部の前記巾方向の両端部に一対設けられていることが好ましい。前記キャピラリ部の前記巾方向の中央部の互いに対向する管壁部どうしの間が、前記キャピラリ路より狭隘又は閉塞されていることが好ましい。前記キャピラリ路の断面は、短径を前記径方向に向け、長径を前記径方向と直交する巾方向に向けた長円形状（扁平形状）であってもよい。
前記リーク管の素材として、比較的大きな真円形断面の管を用いることができる。この素材管を一の径方向に潰すことでキャピラリ部を容易に形成できる。これによって、リーク量標準器を簡易に製造でき、製造コストを安価にすることができる。更には、キャピラリ路の内径ないしは流路断面積を十分に小さくでき、微小なリーク量を発現できる。
【０００８】
前記キャピラリ部は、コイル状に巻かれていてもよい。或いは、前記キャピラリ部が、前記本体の軸方向に折り返されていてもよい。これによって、本体の長さを大きくすることなく、キャピラリ路の路長を大きくでき、リーク量を一層微量にすることができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、リーク量標準器のキャピラリ部を簡易に製造でき、製造コストを安価にすることができる。更には、キャピラリ路の内径ないしは流路断面積を十分に小さくでき、微小なリーク量を発現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】リークテスタの概略構成を示す回路図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るリーク量標準器の断面図である。
【図３（ａ）】上記リーク量標準器のリーク管の基部の断面図である。
【図３（ｂ）】上記リーク管のキャピラリ部の断面図である。
【図４】（ａ）は、上記リーク管の製造装置の一例を示す側面図である。（ｂ）は、上記リーク管の製造装置の他の例を示す側面図である。（ｃ）は、上記リーク管の製造装置の他の例を示す正面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るリーク量標準器の断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係るリーク量標準器のキャピラリ部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１に示すように、リークテスタ１は、ガス圧路１０を備えている。ガス圧路１０は、共通路１０ａと、２つの枝路１０ｂ，１０ｃとを有している。共通路１０ａの上流端が、加圧ガス源２に接続されている。共通路１０ａには、レギュレータ１１と電磁開閉弁１２が上流側から順次設けられている。共通路１０ａの下流端から２つの枝路１０ｂ，１０ｃが分岐されている。
【００１２】
枝路１０ｂには、電磁開閉弁１３と手動開閉弁１７が上流側から順次設けられている。これら弁１３，１７どうし間の枝路１０ｂからセンサ路１０ｄ及び接続路１０ｅが分岐している。接続路１０ｅには手動開閉弁１６が設けられている。枝路１０ｂの下流端に検査対象のワークＷが接続される。
【００１３】
枝路１０ｃには、電磁開閉弁１４と手動開閉弁１８が上流側から順次設けられている。これら弁１４，１８どうし間の枝路１０ｃからセンサ路１０ｆが分岐している。枝路１０ｃの下流端にマスタ容器Ｍが接続される。
【００１４】
枝路１０ｂ，１０ｃどうしの間に圧力センサ１５が設けられている。圧力センサ１５は、ダイヤフラム１５ａと、２つの室１５ｂ，１５ｃを有するダイヤフラム式差圧センサにて構成されている。ダイヤフラム１５ａによって２つの室１５ｂ，１５ｃが仕切られている。室１５ｂにセンサ路１０ｄが連なっている。室１５ｃにセンサ路１０ｆが連なっている。
【００１５】
図１に示すように、接続路１０ｅの下流端にリーク量標準器２０が接続されている。図２に示すように、リーク量標準器２０は、本体２１と、リーク管３０を備えている。本体２１は、両端が開口されたストレートな筒状になっている。本体２１の一端側（図２において左）の開口部２１ａ（接続部）にガス圧路１０の接続路１０ｅが接続される。他端側（図２において右）の開口部２１ｂは、開放されている。
開口部２１ｂに接続路１０ｅが接続されて、開口部２１ａが開放されていてもよい。
【００１６】
開口部２１ａ，２１ｂの内周にそれぞれ雌ねじ２１ｃが刻設されている。雌ねじ２１ｃと、それより奥側の本体２１の内周との間には段差２１ｄが形成されている。本体２１の開口部２１ａ側の内部に筒状のホルダ２２が収容されている。ホルダ２２の一端部に鍔２２ｆが設けられている。鍔２２ｆが段差２１ｄに引っ掛けられている。開口部２１ａ側の雌ねじ２１ｃに環状のナット２４がねじ込まれている。ナット２４がホルダ２２に当たっている。これによって、ホルダ２２が抜け止めされている。
【００１７】
ホルダ２２の外周面と本体２１の内周面との間には、Ｏリング等のシール部材２３が設けられている。シール部材２３によって、本体２１の内周とホルダ２２の外周との間がシールされている。
【００１８】
本体２１の内部にリーク管３０が収容されている。リーク管３０の材質は、塑性に富むことが好ましく、例えばステンレス鋼等の金属であることが好ましく、耐蝕性の観点からはオーステナイト系ステンレス鋼であることがより好ましい。リーク管３０は、基部３１（ガス圧路連通部）と、キャピラリ部３２を含む。図３（ａ）に示すように、基部３１は、断面真円の筒形になっている。図２に示すように、基部３１の長さは、ホルダ２２の長さとほぼ等しい。基部３１がホルダ２２の中心穴に嵌め込まれ、半田付け、ろう付け、接着剤等の固着手段により固着されている。これによって、リーク管３０がホルダ２２を介して本体２１に固定されている。基部３１の内部通路３１ａが、ナット２４の中心穴に連なり、更に開口部２１ａを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なっている。また、上記固着手段によって、ホルダ２２の内周と基部３１の外周との間がシールされている。ホルダ２２の内周と基部３１の外周との間にＯリング等のシール部材を設けてもよい。
【００１９】
図２に示すように、リーク管３０の基部３１を除く部分の略全体がキャピラリ部３２を構成している。キャピラリ部３２は、基部３１より十分に長い。キャピラリ部３２は、全体的にコイル状になっている。コイル状のキャピラリ部３２が、ホルダ２２と開口部２１ｂとの間の本体２１内に収容されている。
【００２０】
図３（ｂ）に示すように、キャピラリ部３２の巻き方向の各位置における断面は、一の径方向（図３（ｂ）において上下）に潰れた扁平形状になっている。図２に示すように、キャピラリ部３２の上記径方向（潰し方向、短径方向）と直交する巾方向（長径方向、図３（ｂ）において左右）は、コイル状のキャピラリ部３２全体の巻き軸に沿い、ひいてはリーク量標準器２０の軸線に沿っている。
【００２１】
図３（ｂ）に示すように、キャピラリ部３２の巾方向の両端部に一対のキャピラリ路３２ａが形成されている。キャピラリ部３２の巾方向の中央部における互いに対向する管壁部３２ｂ，３２ｂどうしが当接している。これによって、キャピラリ部３２の巾方向の中央部が閉塞され、閉塞部３２ｃが形成されている。閉塞部３２ｃは、２つのキャピラリ路３２ａどうしの間に介在されている。２つのキャピラリ路３２ａが、間に閉塞部３２ｃを挟んで分離されている。
【００２２】
図３（ｂ）に示すように、キャピラリ路３２ａの断面は、閉塞部３２ｃに向かって突出する変形円形状をなしている。キャピラリ路３２ａの上記潰し方向（図３（ｂ）において上下）の内径は、数μｍ〜数十μｍである。図２に示すように、各キャピラリ路３２ａの一端（図２において左）が、基部内通路３１ａに連なり、ひいては開口部２１ａを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なっている。各キャピラリ路３２ａの他端（図２において右）は、本体２１の内部空間に開口され、ひいては開口部２１ｂを介して大気に開放されている。
なお、接続路１０ｅが開口部２１ｂに接続される場合には、各キャピラリ路３２ａの上記他端（図２において右）が開口部２１ｂを介してガス圧路１０の接続路１０ｅに連なり、
各キャピラリ路３２ａの上記一端（図２において左）が、基部内通路３１ａ、ナット２４の中心穴、開口部２１ａを順次介して大気に開放される。
【００２３】
リーク量標準器２０の製造方法を、キャピラリ部３２の形成方法を中心に説明する。
図４（ａ）に示すように、リーク管３０となる素管３９を用意する。加工前の素管３９は、図３（ａ）に示す基部３１と同一の真円形断面になっている。素管３９の内部空間３９ａの内直径は、０．１ｍｍ〜０．数ｍｍ程度でよい。この程度の大きさの管は低コストで入手可能である。一対のロール３，３の間に素管３９を挟む。図４において、素管３９の外直径は、ロール３，３に対して誇張されている。また、図４において、素管内空間３９ａの内直径は、素管３９の管壁の肉厚に対し誇張されている。
【００２４】
素管３９を当該素管３９の軸方向に送りながら、基部３１以外の部分をロール３，３によって加圧する。これによって、素管３９がロール３，３の対向方向（一の径方向）に圧縮され、上記対向方向と直交する巾方向に延展される。そして、対向する管壁部３２ｂ，３２ｂの巾方向の中央部分どうしが当接する。これによって、閉塞部３２ｃを形成でき、かつ閉塞部３２ｃの両側にキャピラリ路３２ａを形成できる。
【００２５】
図４（ａ）において、潰し工程を複数回に分け、次の回に移行するたびにロール３，３どうしの間隙をステップ的に狭めて、徐々に潰し量を増大させることにしてもよい。あるいは、図４（ｂ）に示すように、ロール３を素管３９の送り方向に複数段（図では３段）設け、これら複数段のロール３によって素管３９を段々と扁平に潰すことにしてもよい。図４（ｃ）に示すように、特に後段のロール３の軸方向の中央部に凸部３ａを設け、管壁部３２ｂの巾方向の中央部分を強制的に凹ませることにしてもよい。これによって、閉塞部３２ｃを確実に形成できる。
【００２６】
次に、キャピラリ部３２をコイル状に成形する。このようにして、リーク管３０を容易に製造することができる。このリーク管３０を本体２１に組み込む。これによって、リーク量標準器２０を簡易に製造でき、リーク量標準器２０の製品コストを安価にすることができる。
【００２７】
リークテスタ１の使用方法を説明する。
ワークＷを漏れ検査する際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。そして、差圧センサ１５の検出差圧を読み取る。ワークＷが良品であれば、ワークＷからの漏れが無く、差圧が発生しない。ワークＷに欠損等があれば、そこから漏れが起き、差圧センサ１５によって差圧が検出される。これによって、ワークＷの良否判定を行なうことができる。
【００２８】
ワークＷの内容積を測定する際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。ワークＷは漏れの無いものを用いる。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。更に開閉弁１６を開く。これによって、枝路１０ｂのガスが、接続路１０ｅを経てリーク量標準器２０に導入され、更にキャピラリ路３２ａを通って大気へ漏れる。キャピラリ路３２ａの内径ないしは流路断面積が十分に小さいため、上記の漏れ流量（リーク量）を十分に微量にすることができる。この漏れに伴なって、枝路１０ｂ，１０ｃ間に差圧が発生する。この差圧を差圧センサ１５によって検出する。この検出差圧とワークＷの内容積との間には、上掲特許文献１に記載の通り、一定の関係がある。これによって、ワークＷの内容積を算出できる。そして、ワークの漏れ検査の際にワークＷの内容積を加味して大気圧換算漏れ量を算出でき、ワークＷの良否判定の精度を高めることができる。
【００２９】
リークテスタ１の保守点検の際は、開閉弁１６を閉じ、開閉弁１７，１８を開いておく。ワークＷは洩れの無いものを用いる。そして、電磁開閉弁１２，１３，１４を開き、加圧ガス源２の圧縮エア（加圧ガス）をガス圧路１０に導入し、ひいてはワークＷ及びマスタ容器Ｍに導入する。次に、開閉弁１２を閉じる。その後、少し間を置いて開閉弁１３，１４を閉じる。更に開閉弁１６を開く。これによって、枝路１０ｂのガスが、接続路１０ｅを経てリーク量標準器２０に導入され、更にキャピラリ路３２ａを通って大気へ漏れる。上述したように、この漏れ流量（リーク量）は十分に微量である。この漏れに伴なって、枝路１０ｂ，１０ｃ間に一定の差圧が発生する。差圧センサ１５が正常であれば、検出差圧が上記一定の値になる。差圧センサ１５が故障しているときは、検出差圧が上記一定の値にならない。これによって、差圧センサ１５の故障の有無を判定できる。
【００３０】
リーク量標準器２０によれば、キャピラリ部３２をコイル状に巻くことによって、キャピラリ路３２ａの路長をキャピラリ部３２の軸長より長くでき、更には本体２１の軸長より長くできる。これによって、リーク量標準器２０の基準リーク量をより小さくできる。或いは、キャピラリ路３２ａの路長を長くした分だけキャピラリ路３２ａの流路断面積を大きくすることによって、パーティクルによるキャピラリ路３２ａの詰まりを防止することができる。
１つのキャピラリ部３２にキャピラリ路３２ａを２つ形成できる。
【００３１】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の形態と重複する部分に関しては図面に同一符号を付して説明を省略する。
図５は、本発明の第２実施形態に係るリーク量標準器２０Ａを示したものである。リーク量標準器２０Ａの本体２１Ａの内部にリーク管３０Ａが収容されている。リーク管３０Ａのキャピラリ部３２は、リーク管３０Ａの管軸方向（図５において左右）に複数回折り返されている。これによって、キャピラリ路３２ａの路長を本体２１Ａの長さより長くできる。
【００３２】
キャピラリ部３２は、折り返し部３３において１８０度折り返され、折り返し部３３が半円形状になっている。折り返し部３３の折り返し角度は、１８０度に限られず、１８０度より小さくてもよく、１８０度より大きくてもよい。キャピラリ部３２は、２箇所で折り返され、２つの折り返し部３３が形成されているが、折り返し部３３が１つだけでもよく、３つ以上でもよい。
【００３３】
第２実施形態におけるキャピラリ部３２の断面は、図３（ｂ）に示す第１実施形態のキャピラリ部３２の断面と同じである。第２実施形態においても、キャピラリ部３２が一の径方向に潰れた扁平形状であり、キャピラリ部３２の上記径方向（短径方向）と直交する巾方向（長径方向）の両端部に一対のキャピラリ路３２ａが形成され、巾方向の中央部の互いに対向する管壁部３２ｂどうしの間が閉塞されて閉塞部３２ｃを形成している。折り返し部３３においては、キャピラリ部３２の上記短径方向が折り返し部３３の半径方向を向き、キャピラリ部３２の巾方向が折り返し部３３の半径方向と直交していることが好ましい。
【００３４】
リーク管３０Ａのキャピラリ部３２の一端（図５において左）には基部３１（ガス圧路連通部）が一体に連なり、キャピラリ部３２の他端（図５において右）には開放連通部３４が一体に連なっている。第２実施形態における基部３１の断面は、図３（ａ）に示す第１実施形態のキャピラリ部３２の断面と同じであり、真円形状になっている。基部３１が、接続部２５に接続されている。接続部２５が、ガス圧路１０（図１参照）の接続路１０ｅに接続されている。これによって、各キャピラリ路３２ａの一端が、基部内通路３１ａ及び接続部２５を介して接続路１０ｅに連なっている。
【００３５】
開放連通部３４は、基部３１と同一形状になっている。各キャピラリ路３２ａの他端が、開放連通部３４の内部通路３４ａを介して大気に開放されている。
【００３６】
図６は、本発明の第３実施形態を示したものである。第３実施形態は、キャピラリ部３２の断面形状の変形例に係る。このキャピラリ部３２の短径方向に対向する管壁部３２ｂ，３２ｂどうしは、当接するのに代えて近接している。これら管壁部３２ｂ，３２ｂどうし間の間隙３２ｄは、各キャピラリ路３２ａより狭隘になっている。一対のキャピラリ路３２ａが間隙３２ｄを介して連なっている。
【００３７】
本発明は、上記実施形態に限定されず、発明の要旨を変更しない限りにおいて種々の改変をなすことができる。
キャピラリ部３２の全体ではなく一部が、コイル状に巻かれていてもよい。キャピラリ部３２がコイル状に巻かれるとともに本体２１の軸方向に折り返されていてもよい。
素管３９からキャピラリ部３２を形成する装置は、プレス機であってもよい。
間隙３２ｄの厚さが、キャピラリ路３２ａと同程度であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、密封ワークの良否判定を行なうリークテスタに適用できる。
【符号の説明】
【００３９】
１      リークテスタ
２      加圧ガス源
３      ロール
１０    ガス圧路
１０ａ  共通路
１０ｂ  ワーク側枝路
１０ｃ  マスタ側枝路
１０ｄ  ワーク側センサ路
１０ｅ  リーク量標準器接続路
１０ｆ  マスタ側センサ路
１１    レギュレータ
１２    共通路の開閉弁
１３    ワーク側枝路の開閉弁
１４    マスタ側枝路の開閉弁
１５    圧力センサ
１５ａ  ダイヤフラム
１５ｂ  ワーク側センサ室
１５ｃ  マスタ側センサ室
１６    リーク量標準器接続路の開閉弁
２０    リーク量標準器
２１    本体
２１ａ  開口部（接続部）
２１ｂ  開口部（開放部）
２１ｃ  雌ねじ
２１ｄ  段差
２２    ホルダ
２２ｆ  鍔
２３    シール部材
２４    ナット
２５    接続部
３０，３０Ａ  リーク管
３１    基部（ガス圧路連通部）
３１ａ  基部内通路
３２    キャピラリ部
３２ａ  キャピラリ路
３２ｂ  管壁部
３２ｃ  閉塞部
３３    折り返し部
３４    開放連通部
３９    素管
３９ａ  素管内路
【図１】
0005702992.tif 000004
【図２】
0005702992.tif 000005
【図３（ａ）】
0005702992.tif 000006
【図３（ｂ）】
0005702992.tif 000007
【図４】
0005702992.tif 000008
【図５】
0005702992.tif 000009
【図６】
0005702992.tif 000010