(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、
開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、
上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、
上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、
上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧又は外圧を感知する逆止弁が備わって、
上記ベローズに加えられる内圧又は外圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧又は外圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、
ピストンが凹形状をしており、
上記ピストンの外径にシール部材を備え、
上記凹形状の中央にピストンロッドを備え、
上記ピストンロッドを覆うベローズの内径側がバルブケーシングと導通してなることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造。
【請求項２】
請求項１に記載のゲートバルブのベローズ保護構造において、
上記ピストンロッドを覆うベローズが開閉シリンダーに内包されたことを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造。
【請求項３】
対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、
開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、
上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、
上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、
上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧を感知する逆止弁が備わって、
上記ベローズに加えられる内圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、
上記逆止弁は、一方が固定端として設置される弾性部材および、上記弾性部材の自由端にゲート部材が結合され、
上記受圧口がゲート部材により塞がれて、
受圧口について導通されるベローズの内圧が基準圧力を超過すれば、ゲート部材が後退し上記受圧口と排気口を連通させ、
上記排気口は閉動作圧排出口を通じてベローズの内圧を排気させることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造。
【請求項４】
対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、
開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、
上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、
上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、
上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧を感知する逆止弁が備わって、
上記ベローズに加えられる内圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、
上記逆止弁は、一方が固定端として設置される弾性部材および、上記弾性部材の自由端にゲート部材が結合され、
上記受圧口がゲート部材により塞がれて、
受圧口について導通されるベローズの内圧が基準圧力を超過すれば、ゲート部材が後退し上記受圧口と排気口を連通させ、
上記排気口は開動作圧排出口を通じてベローズの内圧を排気させることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明はゲートバルブのシールユニットに備えられた開閉シリンダーからリークしたシリンダー駆動用空気などのガスが、シールユニット外部の真空環境へ漏れ出さないように具備されたベローズを保護する構造に関することであり、より詳細には、ゲートバルブのシールユニットで開閉シリンダーの摺動動作に伴い駆動用空気が漏れ出た空間と真空環境空間を隔離するベローズに対し、駆動用空気が漏れ出た空間に一定以上の空気圧が加えられても、これを感知して該当空気圧を排気させることで、加圧によるベローズの損傷や寿命短縮を未然に防止できるゲートバルブのベローズ保護構造に関することである。
【背景技術】
【０００２】  一般的にＬＣＤ基板や半導体素子、ソーラーセルなどを製造するための工程の大部分は真空状態で行われる。したがって、ＬＣＤ基板や半導体素子を製造するための装置は真空装置が大部分であり、このような真空装置には真空装置内部の真空度を維持するために真空ポンプが使われ、真空装置のチャンバーとチャンバーの間でチャンバーの真空度を維持または、真空チャンバーを加工物が通過できるように、仕切りの役割をするためのゲートバルブが備わる。【０００３】  このようなゲートバルブは技術の発展および生産性の向上などのためにウェハーまたは、ガラス基板などの大型化が進んでいる。それにともないゲートバルブも大型化されているが、既存のカム構造によるゲートバルブでの対応は、多数の駆動部が必要であり、性能を維持するための保守箇所の増加、重量の増加、作動速度の遅延などによって技術的にユーザーが求める性能、コスト、維持のためのメンテナンスを確保することがかなり難しいという問題点がある。【０００４】  一般的にゲートバルブの構成は真空チャンバーの間に設置されるバルブケーシング、真空チャンバーの開口部を開閉するシールユニット、シールユニットを昇降させる昇降駆動部、そして空気圧供給および動作を制御するための制御盤で構成される。【０００５】  ここでシールユニットの内部にはバックプレートとシールプレートの間に介在しロッド部を通じてバックプレートに対しシールプレートを前進・後退させて開閉動作を行う開閉シリンダーが備わることになるが、このような開閉シリンダーのロッド部からはシール動作時にシリンダー駆動用空気が漏れ出す場合がある。この漏れ出たシリンダー駆動用空気が装置内部の真空度を低下させないよう真空環境の空間と漏れた空気を隔離するためにベローズのような弾性体が挿入される。【０００６】  しかし、このようなベローズとロッド部の間の空間の圧力が大気圧以上に上がることになれば、該当ベローズの寿命に顕著な低下が発生することになり、寿命予測が難しく、さらに材料の特性上大気圧を超えることによって深刻な変形や損傷が発生するため、ユーザーは予期しないゲートバルブの機能異常による作業遅延や不良発生で大きな損失を見込まねばならず、維持保守が必要な場合にはゲートバルブ全体を分解しなければならない事態も招いてしまう。【０００７】  なお、従来は、特許文献１の段落００４２欄に「第２シリンダ室１１８より漏出した圧力流体がベローズ１１０内に流入して蓄積されることにより生じるベローズ１１０の破損を防止するために、ベローズ１１０内に連通する第２呼吸通路６４が弁ロッド１８の内部に形成される。」とある通り、ベローズを保護するための経路をエアシリンダーの圧力供給路や排出路とは別に設けるか、特許文献２の図４のように、ベローズの保護構造を設けないままでいた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−６５４４８号公報
【特許文献２】特開２００２−１８１２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】  本発明は上記のような問題点を解決するために考案されたもので、その目的はゲートバルブのシールユニットを開閉する空気圧シリンダー内で摺動するロッド部から漏れた空気が、真空装置内部の空間に漏洩しないようピストンロッドの周囲の空間と真空装置内部の空間を隔離し、装置内部の真空度の低下防止目的に設置した金属ベローズに対し内部で一定以上の空気圧が加えられてもこれを感知して排気し、当該空気圧の上昇を防止することで加圧によるベローズの損傷や寿命短縮を未然に防止できるゲートバルブのベローズ保護構造を提供することである。【００１０】  また、ベローズ保護のための空気圧排気経路は、シリンダー開閉のための既存の空気圧の吸気及び排気経路をそのまま使うことによって構成が可能で、金属ベローズ内部の圧力上昇を防止する機構の簡略化と既存製品への適用性を高めることができるゲートバルブのベローズ保護構造を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧又は外圧を感知する逆止弁が備わって、上記ベローズに加えられる内圧又は外圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧又は外圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、ピストンが凹形状をしており、上記ピストンの外径にシール部材を備え、上記凹形状の中央にピストンロッドを備え、上記ピストンロッドを覆うベローズの内径側がバルブケーシングと導通してなることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造を提供する。
【００１２】
また、本発明のゲートバルブのベローズ保護構造において、上記ピストンロッドを覆うベローズが開閉シリンダーに内包されていてもよい。
【００１４】
また、本発明は、対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧を感知する逆止弁が備わって、上記ベローズに加えられる内圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、上記逆止弁は、一方が固定端として設置される弾性部材および、上記弾性部材の自由端にゲート部材が結合され、上記受圧口がゲート部材により塞がれて、受圧口について導通されるベローズの内圧が基準圧力を超過すれば、ゲート部材が後退し上記受圧口と排気口を連通させ、上記排気口は閉動作圧排出口を通じてベローズの内圧を排気させることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造を提供する。
【００１５】
また、本発明は、対向するバックプレートとシールプレートの間に内蔵された開閉シリンダーによりシールユニットが作動し、バルブケーシングの開口部を開閉するゲートバルブにおいて、開動作圧と閉動作圧により伸縮するピストンロッドを覆うベローズの保護構造として、上記シールユニットはロッド部を備える開閉シリンダーと、上記開閉シリンダーが固定され、開閉のための開動作圧と閉動作圧を導通する供給排出路を備えたバックプレートと、上記開閉シリンダーのロッド部に結合されたシールプレートとで構成され、上記開閉シリンダーには上記ベローズの内圧を感知する逆止弁が備わって、上記ベローズに加えられる内圧が基準圧力を超過すれば、ベローズの内圧を上記逆止弁を通じてシールユニット外部へ排出させ、上記逆止弁は、一方が固定端として設置される弾性部材および、上記弾性部材の自由端にゲート部材が結合され、上記受圧口がゲート部材により塞がれて、受圧口について導通されるベローズの内圧が基準圧力を超過すれば、ゲート部材が後退し上記受圧口と排気口を連通させ、上記排気口は開動作圧排出口を通じてベローズの内圧を排気させることを特徴とするゲートバルブのベローズ保護構造を提供する。
【発明の効果】
【００１６】  本発明によれば、ゲートバルブのシールユニットで開閉シリンダー内の摺動するロッド部から漏れた空気が、真空装置内部の空間に漏洩しないようピストンロッドの周囲の空間と真空装置内部の空間を隔離し、装置内部の真空度の低下防止目的に設置した金属ベローズに対し、内部で一定以上の空気圧が加えられてもこれを感知して該当空気圧を解消させることで加圧によるベローズの損傷や寿命短縮を未然に防止する効果がある。【００１７】  また、ベローズ保護のための空気圧解消時シリンダー開閉のための既存の空気圧経路をそのまま使うことによって構成の簡略化と既存製品への適用性を高める効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットの昇降状態を現わす図面。
【図２】本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットの下降状態を現わす図面。
【図３】本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットを現わす図面。
【図４】本発明にともなうベローズ保護構造が適用されたシールユニットの開放状態を現わす断面図。
【図５】本発明にともなうベローズ保護構造が適用されたシールユニットの閉鎖状態を現わす断面図。
【図６】本発明の実施例にともなう逆止弁の構造を説明するための図面。
【図７】本発明を応用した実施例を現わす図面。
【発明を実施するための形態】
【００１９】  以下、本発明にともなうゲートバルブのベローズ保護構造に対する実施例を添付した図面によって詳細に説明する。
【００２０】  図１は本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットの昇降状態を現わす図面で、図２は本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットの下降状態を現わす図面である。
【００２１】  本発明が適用されるゲートバルブは真空チャンバーの間に設置されて所定の開口部を持つバルブケーシング（１００）と、上記バルブケーシング（１００）内に内蔵されて開口部を開閉するシールユニット（３００）と、上記シールユニット（３００）を昇降または、下降させる昇降駆動部（２００）と、空気圧の供給および動作制御を遂行する制御盤（４００）を含んで構成される。
【００２２】  上記昇降駆動部（２００）は昇降シリンダーとガイドブロックで構成され、空気圧により上記シールユニット（３００）を昇降させる。ここで上記昇降シリンダーは空気圧シリンダーが使用できる。このような昇降駆動部（２００）とバルブケーシング（１００）とはＯリングなどの気密維持手段によって気密が維持される。
【００２３】
そして、このような昇降駆動部（２００）には別途のバルブロッド（図示無し）が空気圧供給路として軸方向へ平行に穴加工されて、これを通じて供給及び排気される空気圧によって所定の開口部を上記シールユニット（３００）が閉動作および開動作することができる。該当バルブロッドはシールユニット（３００）のバックプレート（３１０）に結合してバックプレート（３１０）の空気圧経路と連結される。
【００２４】  上記昇降駆動部（２００）およびシールユニット（３００）の空気圧の調整は上記制御盤（４００）内にある空気圧ユニットおよびソレノイドバルブによって成り立つ。
【００２５】  図３には本発明が適用されるゲートバルブのシールユニットが図示されている。
【００２６】  上記シールユニット（３００）は開閉シリンダー（３２０）を中心に前後にそれぞれバックプレート（３１０）とシールプレート（３３０）が設置される構造を持ち、該当開閉シリンダー（３２０）のシリンダー本体（３２１）部分はバックプレート（３１０）に固定されてロッド部（３２３）の末端にはシールプレート（３３０）が結合される構造を持つ。
【００２７】  このようなシールユニット（３００）は空気圧の供給及び排気により前後方向で上記バックプレート（３１０）とシールプレート（３３０）を押圧して該当バックプレート（３１０）とシールプレート（３３０）がバルブケーシング（１００）の開口部を開閉できるように構成される。
【００２８】  上記バックプレート（３１０）には空気圧経路となる通路用穴を加工し開閉シリンダー（３２０）の作動に必要な空気圧の供給および排気通路で使うことになって、その穴の位置は給気、排気穴の位置により変更されることができ、必要に応じてその数を増減することができる。以下の説明および図面では説明の便宜のために給気および排気に必要な経路を一つだけ設置した場合を示す。図３に図示された通りバックプレート（３１０）にはバルブケーシング（１００）の開口部の大きさに応じた必要な数の開閉シリンダー（３２０）を具備できるが、その数には制限がない。
【００２９】  上で述べた開閉シリンダー（３２０）の詳細な構成に対し、図４および図５を参照して説明すれば次のとおりである。
【００３０】  上記開閉シリンダー（３２０）は該当バックプレート（３１０）の内側面に固定され、空気圧が供給できる所定の内部空間を持つように構成されるシリンダー本体（３２１）、およびシリンダー蓋（３２２）と、上記シリンダー本体（３２１）内に備わって、供給される空気圧によってシリンダー本体（３２１）内で伸縮するピストン（３２４）と、上記シリンダー蓋（３２２）を貫通し一側面が上記ピストン（３２４）に固定され他方が上記シールプレート（３３０）に連結され、上記ピストン（３２４）の動きによって連動して伸縮するロッド部（３２３）を含んで構成される。
【００３１】  図４において、開閉シリンダー（３２０）により該当バルブケーシング（１００）の開口部を開放する開動作状態にするには、上記バックプレート（３１０）中の閉動作圧供給口（３１３）から供給されていた圧空を閉動作圧供給口（３１３）から排出し、同時に、開動作圧供給口（３１１）を通じて開動作圧を供給し、該当開動作供給圧伝達時には開動作圧供給経路（３１２）によって開閉シリンダー（３２０）のシリンダー本体（３２１）の内部が加圧されてピストン（３２４）をバックプレート（３１０）の方向に押圧することになる、このような加圧によりロッド部（３２３）がバックプレート（３１０）方向に前進しながらバックプレート（３１０）とシールプレート（３３０）が該当バルブケーシング（１００）の開口部から離れてバルブケーシング（１００）開放が成り立つことになる。
【００３２】  図５において、開閉シリンダー（３２０）により該当バルブケーシング（１００）の開口部を閉鎖する閉動作状態にするには、上記バックプレート（３１０）中の開動作圧供給口（３１１）から供給されていた圧空を開動作圧供給口（３１１）から排出し、同時に、閉動作圧供給口（３１３）を通じて、閉動作圧を供給し、該当閉動作圧供給時には閉動作圧供給経路（３１４）によって開閉シリンダー（３２０）のシリンダー本体（３２１）の内部が加圧されてピストン（３２４）をシールプレート（３３０）方向に押圧することになる、このような加圧によりロッド部（３２３）がバックプレート（３１０）と離隔しながらシールプレート（３３０）が該当バルブケーシング（１００）の開口部に押されバルブケーシング（１００）の閉鎖が成り立つことになる。
【００３３】  ここで開動作供給圧と閉動作供給圧により移動することになる上記ロッド部（３２３）はベローズ（Ｂｅｌｌｏｗｓ）（３２６）に内包される。このベローズ（３２６）は伸縮性を持ち、溶接ベローズ、成形ベローズが利用される。
【００３４】  通常、バルブケーシング（１００）の内部は真空状態であるから上記ロッド部（３２３）摺動部から微小に漏出する開動作供給圧をバルブケーシング内に拡散させないためにベローズ（３２６）によって上記ロッド部（３２３）を覆い開閉シリンダー（３２０）の内部とバルブケーシング（１００）内部の空間をそれぞれ分離および気密維持をすることになる。このような気密維持によって真空空間内に大気の進入を遮断することになる。
【００３５】  本発明では上記ベローズ（３２６）を保護するために逆止弁（３２７，３２８）を開閉シリンダー（３２０）内に具備させ、このような逆止弁（３２７，３２８）を通じてロッド部（３２３）とベローズ（３２６）の間の内圧を感知し、一定圧を超過する圧力がベローズ（３２６）に加えられると自動で開かれて該当空気圧を排気させることによってベローズ（３２６）の変形および損傷を防止することができることになる。
【００３６】  実際のベローズ（３２６）は内側の空気圧（約０．１０１ＭＰａ以上）が一定以上の圧力に上昇することになれば、該当ベローズ（３２６）の寿命に顕著な低下が発生することになり、通常使用される空気圧は０．３〜０．７ＭＰａであり、ベローズ内部（３２６）に大気圧を超える圧力が加えられれば該当ベローズは著しい寿命の低下や深刻な変形、損傷が発生する。
【００３７】  また、閉動作時にベローズ内圧が大気圧だったとしても、シールユニットが開動作状態になればベローズ内部体積が減少し、ベローズ内部圧力が大気圧より上昇し、ベローズの寿命低下の原因にもなっていた。
【００３８】
これらを防止するために該当開閉シリンダー（３２０）の内部には開動作圧供給時、ベローズ（３２６）の内圧上昇を感知し基準圧を超過する内圧発生時、該当ベローズ（３２６）に加えられる内圧を排気し、解消する第１逆止弁（３２７）が備わる。
【００３９】
同じように、該当開閉シリンダー（３２０）の内部には閉動作圧供給時、ベローズ（３２６）の内圧を感知し基準圧を超過する内圧上昇発生時、該当ベローズ（３２６）に加えられる内圧を排気させ解消する第２逆止弁（３２８）が備わる。
【００４０】  図４および図６を参照すれば、上記第１逆止弁（３２７）はピストン（３２４）若しくはピストンロッドに設置されて、一面側の開放口を通じて上記ベローズ（３２６）の内圧を受け入れる受圧口（３２７ａ）と、上記測定器と連結されて受圧口（３２７ａ）を通じて引入される空気圧により開閉される本体部（３２７ｂ）と、上記本体部（３２７ｂ）と連結されて本体部（３２７ｂ）の開放時該当空気圧を排気させる排気口（３２７ｃ）で成り立つ。
【００４１】  ここで上記第１逆止弁（３２７）を成す受圧口（３２７ａ）、本体部（３２７ｂ）および排気口（３２７ｃ）は一列で配列されることが望ましい。
【００４２】  ここで上記受圧口（３２７ａ）はその末端が上記ベローズ（３２６）の内圧を受け入れることができる位置まで延長形成される。
【００４３】
このような延長は上記ロッド部（３２３）に内蔵されることができる。また、上記本体部（３２７ｂ）は内部にスプリングの様な弾性部材（３２７ｄ）が一方を固定側として固定設置されて該当弾性部材（３２７ｄ）の自由側には上記受圧口（３２７ａ）を開閉できるゲート部材（３２７ｅ）が結合される。したがって、上記ゲート部材（３２７ｅ）は上記弾性部材（３２７ｄ）の弾性力によって平常時該当受圧口（３２７ａ）を防いでいて（図６の（ａ）参照），該当測定器に基準圧力（ＲＰ）を超過するベローズ（３２６）の内圧が引入れられれば該当空気圧に押されて受圧口（３２７ａ）を開放させることによって受圧口（３２７ａ）と排気口（３２７ｃ）を連通させ異常空気圧が排気口（３２７ｃ）を通じて排気（図６の（ｂ）参照）する構造である。
【００４４】  この時、上記基準圧力（ＲＰ）は差圧０．００５ＭＰａであることもあって、該当基準圧力（ＲＰ）は弾性部材（３２７ｄ）の弾性係数で調節することができる。
【００４５】  そして上記第１逆止弁（３２７）の排気口（３２７ｃ）は開動作供給圧発生時使われない閉動作圧排出口（３１３）へ連通している。
【００４６】  より具体的には第１逆止弁（３２７）の排気口（３２７ｃ）はバックプレート（３１０）とピストン（３２４）の間の空間と連通した閉動作圧排出経路（３１４）を通過し閉動作圧排出口（３１３）より外部へ排気されることになる。
【００４７】  次に図５および図６を参照すれば、上記第２逆止弁（３２８）はシリンダー蓋（３２２）に設置されて、一面の開放口を通じて上記ベローズ（３２６）の内圧を受け入れる受圧口（３２８ａ）と、上記受圧口（３２８ａ）と連結されて受圧口（３２８ａ）を通じて引入される空気圧により開閉される本体部（３２８ｂ）と、上記本体部（３２８ｂ）と連結されて本体部（３２８ｂ）の開放時、該当空気圧を排気させる排気口（３２８ｃ）で成り立つ。ここで上記第２逆止弁（３２８）を成す受圧口（３２８ａ）、本体部（３２８ｂ）および排気口（３２８ｃ）は一列で配列されることが望ましい。
【００４８】  ここで上記受圧口（３２８ａ）はその末端が上記ベローズ（３２６）の内圧を受け入れができる位置に形成される。また、上記本体部（３２８ｂ）は内部にスプリングの様な弾性部材（３２８ｄ）が一方を固定側として固定設置され該当弾性部材（３２８ｄ）の自由側には上記受圧口（３２８ａ）を開閉できるゲート部材（３２８ｅ）が結合される。したがって、上記ゲート部材（３２８ｅ）は上記弾性部材（３２８ｄ）の弾性力によって平常時該当受圧口（３２８ａ）を防いでいて（図６の（ａ）参照），該当受圧口（３２８ａ）に基準圧力（ＲＰ）を超過するベローズ（３２６）の内圧が引入されれば該当内圧に押され受圧口（３２８ａ）を開放させることによって受圧口（３２８ａ）と排気口（３２８ｃ）を連通させ異常内圧が排気口（３２８ｃ）を通じて排気（図６の（ｂ）参照）する構造である。
【００４９】  この時、上記基準圧力（ＲＰ）は差圧０．００５ＭＰａであることもあって、該当基準圧力（ＲＰ）は弾性部材（３２８ｄ）の弾性係数で調節することができる。
【００５０】  そして上記第２逆止弁（３２８）の排気口（３２８ｃ）は閉動作供給圧発生時使われない開動作圧排出口（３１１）へ連通している。
【００５１】
より具体的には第２逆止弁（３２８）の排気口（３２８ｃ）は開動作圧排出経路（３１２）によって排気されて開動作圧排出口（３１１）により外部へ排気されることになる。
【００５２】  ベローズ（３２６）によってバルブケーシング内部の真空雰囲気と隔離されたベローズ（３２６）の内部はロッド部（３２３）の伸縮時に合わせてベローズも伸縮することにより、ベローズ内部体積の変化が発生するので、これに伴い発生する空気圧を適切に排気させない場合深刻な機能異常または、寿命の低下を招くようになるが、本発明にともなう第１逆止弁（３２７）および第２逆止弁（３２８）を通じて基準を超過する内圧発生時、外部へ該当空気圧を排気させることによってベローズの損傷または、寿命低下を防止できることになる。
【００５３】  ここで、上で述べた説明および図面では開閉シリンダー（３２０）内に第１逆止弁（３２７）および第２逆止弁（３２８）がそれぞれ一つずつ備わることを図示した説明となっているが、本発明はこれにのみ制限されるものではなく、一つ以上の第１逆止弁（３２７）および第２逆止弁（３２８）がそれぞれ開閉シリンダー（３２０）内に備わっていればよい。
【００５４】  例えば図７に示すように、ベローズ（３２６’）及びロッド部（３２３’）をシリンダー本体（３２１）の内部に配し、また、逆止弁（３２８）をベローズの外側に配して、ベローズ（３２６’）及びロッド部（３２３’）が開閉シリンダー（３２０’）内部に収まるようすることでコンパクトな開閉シリンダー（３２０’）を提供することも可能である。
【００５５】  また、上記開閉シリンダーに使用する逆止弁は、図６で示した逆止弁に限定されるものではなく、例えば実用新案登録第３１５７６６５号公報の図１に示すような逆止弁を用いてもよい。なお、上記実施形態では、ベローズに加えられる内圧を感知して基準圧力を超過した空気圧を逆止弁を通じてシールユニット外部に排出するようにしたが、これに代えて、ベローズに加えられる外圧を感知して基準圧力を超過した空気圧を逆止弁を通じてシールユニット外部に排出するようにしてもよい。
【００５６】  特定の用語を用いて図面と明細書で最適実施例を開示したが、これは単に本発明を説明するための目的で使われたことであって、意味限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するものではない。よって、本技術分野の既存の知識を有する者ならばこれらの多様な変形および同等な他実施例が可能だという点を理解できる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は添付された特許請求の範囲の技術的思想によって決められなければならない。
【符号の説明】
【００５７】１００    バルブケーシング
２００    昇降駆動部
３００    シールユニット
３１０    バックプレート
３１１    開動作圧供給口（開動作圧排出口）
３１２    開動作圧供給経路（開動作圧排出経路）
３１３    閉動作圧供給口（閉動作圧排出口）
３１４    閉動作圧供給経路（閉動作圧排出経路）
３２０    開閉シリンダー
３２０’  開閉シリンダー
３２１    シリンダー本体
３２２    シリンダー蓋
３２３    ロッド部
３２３’  ロッド部
３２４    ピストン
３２６    ベローズ
３２６’  ベローズ
３２７    第１逆止弁
３２７ａ  受圧口
３２７ｂ  本体部
３２７ｃ  排気口
３２７ｄ  弾性部材
３２７ｅ  ゲート部材
３２８    第２逆止弁
３２８ａ  受圧口
３２８ｂ  本体部
３２８ｃ  排気口
３２８ｄ  弾性部材
３２８ｅ  ゲート部材
３３０    シールプレート
４００    制御盤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図７】
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【図５】
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