(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層および内部電極が交互に複数積層されてなる活性部と、該活性部の積層方向両端に設けられた圧電体層からなる不活性部とを有する積層体と、
該積層体の側面に設けられて前記内部電極と電気的に接続されたメタライズ層と、
前記メタライズ層の上に設けられた導電性接合材層と、
該導電性接合材層を介して前記メタライズ層に接合された外部電極とを含み、
前記導電性接合材層には前記メタライズ層と接する側の面に開口しないように複数のボイドがあるとともに、該ボイドは前記活性部に分布しており、
前記導電性接合材層は前記外部電極の上側にまで盛り上がっていることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
前記外部電極が網目構造の電極であることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項３】
前記外部電極の網目に対応する位置にボイドがあることを特徴とする請求項２に記載の積層型圧電素子。
【請求項４】
前記ボイドが前記導電性接合材層の前記外部電極と接する側の面で開口していることを特徴とする請求項３に記載の積層型圧電素子。
【請求項５】
前記ボイドが前記外部電極の網目と同じ大きさで開口していることを特徴とする請求項４に記載の積層型圧電素子。
【請求項６】
前記ボイドが前記積層体の積層方向の中央部に対応する位置に分布していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のうちのいずれかに記載の積層型圧電素子。
【請求項７】
噴射孔を有する容器と、請求項１に記載の積層型圧電素子とを備え、前記容器内に蓄えられた流体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されることを特徴とする噴射装置。
【請求項８】
高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する請求項７に記載の噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えたことを特徴とする燃料噴射システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、圧電駆動素子（圧電アクチュエータ），圧力センサ素子および圧電回路素子等として用いられる積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型圧電素子として、圧電体層および内部電極が積層された積層体と、この積層体の側面に設けられて内部電極と電気的に接続されたメタライズ層と、メタライズ層の上に設けられた導電性接合材層と、導電性接合材層を介してメタライズ層に接合された外部電極とを含む構成のものが知られている。
【０００３】
そして、積層体の伸縮に追従させるために、外部電極として網目構造の電極（平板状金網導体）を用い、導電性接合材層を部分的に形成してメタライズ層と外部電極とを接合する技術が提案されている（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２-２６１３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、特許文献１に記載された積層型圧電素子においては、高電界かつ高圧力下で長期間連続駆動させた場合、駆動時にメタライズ層と導電性接合材層との境界に応力が集中し、この境界にクラックが生じて断線し、積層型圧電素子の駆動が止まるおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、駆動時にメタライズ層と導電性接合材層との境界にクラックが生じて断線するのを抑制し、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の積層型圧電素子は、圧電体層および内部電極が交互に複数積層されてなる活性部と、該活性部の積層方向両端に設けられた圧電体層からなる不活性部とを有する積層体と、該積層体の側面に設けられて前記内部電極と電気的に接続されたメタライズ層と、前記メタライズ層の上に設けられた導電性接合材層と、該導電性接合材層を介して前記メタライズ層に接合された外部電極とを含み、前記導電性接合材層には前記メタライズ層と接する側の面に開口しないように複数のボイドがあるとともに、該ボイドは前記活性部に分布しており、前記導電性接合材層は前記外部電極の上側にまで盛り上がっていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の積層型圧電素子は、上記の構成において、前記外部電極が網目構造の電極であることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の積層型圧電素子は、上記の構成において、前記外部電極の網目に対応する位置にボイドがあることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の積層型圧電素子は、上記の構成において、前記ボイドが前記導電性接合材層の前記外部電極と接する側の面で開口していることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の積層型圧電素子は、上記の構成において、前記ボイドが前記外部電極の
網目と同じ大きさで開口していることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の積層型圧電素子は、上記の構成において、前記ボイドが前記積層体の積層方向の中央部に対応する位置に分布していることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、噴射孔を有する容器と、積層型圧電素子とを備え、前記容器内に蓄えられた流体が前記積層型圧電素子の駆動により前記噴射孔から吐出されることを特徴とする噴射装置である。
【００１４】
また、本発明は、高圧燃料を蓄えるコモンレールと、該コモンレールに蓄えられた前記高圧燃料を噴射する噴射装置と、前記コモンレールに前記高圧燃料を供給する圧力ポンプと、前記噴射装置に駆動信号を与える噴射制御ユニットとを備えたことを特徴とする燃料噴射システムである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の積層型圧電素子によれば、導電性接合材層にはメタライズ層と接する側の面に開口しないように複数のボイドがあることで、メタライズ層と導電性接合材層との接合強度を維持しつつ、駆動時にメタライズ層と導電性接合材層との境界に集中する応力を緩和でき、この境界にクラックが生じて断線するのを抑制することができる。そのため、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子が得られる。
【００１６】
また、本発明の噴射装置によれば、積層型圧電素子におけるメタライズ層と導電性接合材層との境界にクラックが生じて断線するのを抑制することができるので、流体の所望の噴射を長期にわたって安定して行なうことができる。
【００１７】
また、本発明の燃料噴射システムによれば、高圧燃料の所望の噴射を長期にわたって安定して行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示す積層型圧電素子の要部の一例を示す拡大断面図である。
【図３】（ａ）は図１に示す積層型圧電素子の要部の他の例を示す一部透過平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す要部の拡大断面図である。
【図４】（ａ）は図１に示す積層型圧電素子の要部の他の例を示す一部透過平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す要部の拡大断面図である。
【図５】図１に示す積層型圧電素子の要部の他の例を示す拡大断面図である。
【図６】図１に示す積層型圧電素子の要部の他の例を示す拡大断面図である。
【図７】図１に示す積層型圧電素子の要部の他の例を示す拡大断面図である。
【図８】本発明の噴射装置の実施の形態の一例を示す概略的な断面図である。
【図９】本発明の燃料噴射システムの実施の形態の一例を示す概略的なブロック図である。
【図１０】比較例としての積層型圧電素子の要部の一例を示す拡大断面図である。
【図１１】比較例としての積層型圧電素子の要部の他の例を示す拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例について図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
図１は、本発明の積層型圧電素子の実施の形態の一例を示す断面図であり、図２は図１に示す積層型圧電素子の要部の一例を示す拡大断面図である。図１および図２に示す積層
型圧電素子１は、圧電体層３および内部電極５が積層された積層体７と、積層体７の側面に設けられて内部電極５と電気的に接続されたメタライズ層８と、メタライズ層８の上に設けられた導電性接合材層10と、導電性接合材層10を介してメタライズ層８に接合された外部電極12とを含み、導電性接合材層10にはメタライズ層８と接する側の面に開口しないように複数のボイド２がある。
【００２１】
積層型圧電素子１を構成する積層体７は、例えば圧電体層３および内部電極５が交互に複数積層されてなる活性部と、活性部の積層方向両端に設けられた圧電体層３からなる不活性部とを有し、例えば縦0.5〜10ｍｍ、横0.5〜10ｍｍ、高さ１〜100ｍｍの直方体状に
形成されている。
【００２２】
積層体７を構成する圧電体層３は、圧電特性を有するセラミックスで形成されたもので、このようなセラミックスとして、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）などを用いることができる。この圧電体層３の厚みは、例えば３〜250μｍとされる。
【００２３】
積層体７を構成する内部電極５は、圧電体層３を形成するセラミックスと同時焼成により形成されたもので、圧電体層３と交互に積層されて圧電体層３を上下から挟んでおり、積層順に正極および負極が配置されることにより、それらの間に挟まれた圧電体層３に駆動電圧を印加するものである。この形成材料として、例えば圧電セラミックスとの反応性が低い銀−パラジウム合金を主成分とする導体、あるいは銅、白金などを含む導体を用いることができる。図１に示す例では、正極および負極（もしくはグランド極）がそれぞれ積層体７の対向する一対の側面に互い違いに導出されて、積層体７の側面に設けられた一対のメタライズ層８と電気的に接続されている。この内部電極５の厚みは、例えば0.1〜
５μｍとされる。
【００２４】
積層体７の側面に設けられて内部電極５と電気的に接続された一対のメタライズ層８は、例えば銀とガラスからなるペーストを塗布して焼き付けて形成されたもので、積層体７の側面に接合されて、積層体７の対向する側面に互い違いに導出された内部電極３とそれぞれ電気的に接続されている。このメタライズ層８の厚みは、例えば５〜500μｍとされ
る。
【００２５】
メタライズ層８の上には、導電性接合材層10を介して外部電極12が設けられている。
【００２６】
ここで用いられる導電性接合材層10としては、例えばＡｇ粉末やＣｕ粉末など導電性の良好な金属粉末を含んだエポキシ樹脂やポリイミド樹脂からなる導電性接着剤からなるのが好ましい。導電性接合材層10は、例えば５〜500μｍの厚さに形成される。
【００２７】
外部電極12は、銅、鉄、ステンレス、リン青銅等の金属からなり、例えば幅0.5〜10ｍ
ｍ、厚み0.01〜1.0ｍｍに形成されたものである。外部電極12としては、積層体７の伸縮
により生じる応力を緩和する効果の高い形状として、例えば幅方向にスリットの入った形状、縦断面波型の形状、網目状に加工された金属板、線状の金属を編み込んだ金網導体などが挙げられる。特に、図３に示すように線状の金属を編み込んだ金網導体などの網目構造の電極とするのが好ましい。なお、図３（ａ）は一部透過平面図であり、図３（ｂ）に示すように後述する導電性接合材層10の内部にあるボイド２を透過して表している。
これにより、外部電極12の剥がれが生じたとしても、一部剥がれた時点で応力は解放されて、局所的にしか剥がれないことから、通電状態を維持することができる。なお、外部電極12には、電気伝導性や熱伝導性を向上させるため、すずや銀などのメッキが施されていてもよい。
【００２８】
そして、導電性接合材層10には、図２に示すように、メタライズ層８と接する側の面に開口しないように複数のボイド２がある。
【００２９】
この複数のボイド２は、例えば0.05〜２μｍの径であり、この値は導電性接合材層10の断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡や金属顕微鏡により観察し、任意の線分間に含まれるボイドの個数およびボイドに含まれる線分の長さを測定し、このボイドに含まれる線分の長さの合計距離をボイドの個数で割ることによって求めることができる。また、導電性接合材層10の任意の断面において複数のボイド２が占める面積比率は例えば５〜60％であり、この値も断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の電子顕微鏡や金属顕微鏡により観察することによって求めることができる。
【００３０】
なお、複数のボイド２がメタライズ層８と接する側の面に開口していると、メタライズ層８と導電性接合材層10との接合面積が小さくなるので接合強度が十分ではなく、またメタライズ層８と導電性接合材層10との境界がボイド２内に露出していてその部分が起点となってこれらの境界にクラックが入りやすくなる。さらに、複数のボイド２が図11に示すように導電性接合材層10を貫通していると、メタライズ層８におけるこのボイド２に対応する位置に駆動による亀裂が入った場合に電気の通り道が遮断されて亀裂周辺が発熱し、導電性接合材層10が剥がれるおそれがある。
【００３１】
外部電極12にはリード部材14が接合され、外部回路と電気的に接続されて、積層型圧電素子１が駆動する。
【００３２】
以上述べたように、図１および図２に示す積層型圧電素子１によれば、導電性接合材層10にはメタライズ層８と接する側の面に開口しない複数のボイド２があることで、メタライズ層８と導電性接合材層10との接合強度を維持しつつ、駆動時にメタライズ層８と導電性接合材層10との境界に集中する応力を緩和でき、この境界にクラックが生じて断線するのを抑制することができる。そのため、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子が得られる。
【００３３】
また、図４に示すように、外部電極12の網目に対応する位置にボイドがあるのが好ましい。なお、図４（ａ）は一部透過平面図であり、図４（ｂ）に示すように導電性接合材層10の内部にあるボイド２を透過して表している。ここで、網目とは、外部電極12を正面から見たとき、網を構成する線と線とで囲まれる開口のことである。この網目としては、例えば直径３〜200μｍの円、一辺の長さが３〜200μｍの長方形、長軸が５〜300μｍ短軸
が３〜200μｍのひし形などが挙げられ、網目に対応する位置に設けられるボイドは網目
よりも小さな径になっている。
【００３４】
この構成によれば、外部電極12がより伸縮しやすくなり、さらに伸縮が均等になるので、駆動時にメタライズ層８と導電性接合材層10との境界に集中する応力をより緩和でき、より長期間の耐久性が得られる。
【００３５】
また、図５に示すように、ボイド２が導電性接合材層10の外部電極12と接する側の面で開口しているのが好ましい。
【００３６】
この構成によれば、外部電極12がさらに伸縮しやすくなるので、駆動時にメタライズ層８と導電性接合材層10との境界に集中する応力をさらに緩和でき、さらに長期間の耐久性が得られる。
【００３７】
また、図６に示すように、ボイド２が外部電極12の網目と同じ大きさで開口しているの
が好ましい。この構成によれば、さらに長期間の耐久性が得られる。なお、ボイド２の開口部が円状または楕円状の形状であるのに対して外部電極12の網目が矩形状である場合には、ボイド２の開口部は網目の形状におさまる最大の円状または楕円状になっていることを意味する。
【００３８】
なお、図７に示すように、導電性接合剤層10はメタライズ層８と外部電極12との間にあるのみならず、外部電極12の外側まで盛り上がっていてもよい。
【００３９】
さらに、ボイド２が積層体７の活性部に分布しており、特に積層体７の積層方向の中央部に対応する位置に分布しているのが好ましい（図示せず）。ここで、積層体７の積層方向の中央部とは、積層体７を積層方向に３等分したときの真ん中の領域の部分のことをいう。積層体７の積層方向の活性部、特に中央部が伸縮の大きい領域であることから、この構成によれば、より長期間の耐久性が得られる。
【００４０】
次に、本実施の形態の積層型圧電素子１の製造方法について説明する。
【００４１】
まず、圧電体層３となるセラミックグリーンシートを作製する。具体的には、圧電セラミックスの仮焼粉末と、アクリル系，ブチラール系等の有機高分子からなるバインダーと、可塑剤とを混合してセラミックスラリーを作製する。そして、ドクターブレード法、カレンダーロール法等のテープ成型法を用いることにより、このセラミックスラリーを用いてセラミックグリーンシートを作製する。圧電セラミックスとしては圧電特性を有するものであればよく、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３）からなるペロブスカイト型酸化物等を用いることができる。また、可塑剤としては、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ），フタル酸ジオクチル（ＤＯＰ）等を用いることができる。
【００４２】
次に、内部電極５となる導電性ペーストを作製する。具体的には、銀−パラジウム合金の金属粉末にバインダーおよび可塑剤を添加混合することによって導電性ペーストを作製する。この導電性ペーストを上記のセラミックグリーンシート上に、スクリーン印刷法を用いて内部電極５のパターンで塗布する。さらに、この導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを複数枚積層し、所定の温度で脱バインダー処理を行なった後、900〜1200℃の温度で焼成することによって、交互に積層された圧電体層３および内部電極
５を備えた積層体７を作製する。
【００４３】
なお、積層体７は、上記の製造方法によって作製されるものに限定されるものではなく、圧電体層３と内部電極層５とを複数積層してなる積層体７を作製できれば、どのような製造方法によって作製されてもよい。
【００４４】
次に、焼成して得られた積層体７に、平面研削盤等を用いて所定の形状になるよう研削処理を施す。
【００４５】
その後、銀を主成分とする導電性粒子とガラスとを混合したものに、バインダー，可塑剤および溶剤を加えて作製した銀ガラス含有導電性ペーストを、メタライズ層８のパターンで積層体７の側面にスクリーン印刷法等によって印刷後、乾燥させた後、650〜750℃の温度で焼き付け処理を行ない、メタライズ層８を形成する。
【００４６】
次に、導電性接合材層10を介して外部電極12をメタライズ層８の表面に接続し固定する。
【００４７】
導電性接合材層10は、Ａｇ粉末やＣｕ粉末などの導電性の良好な金属粉末を含んだエポキシ樹脂やポリイミド樹脂からなる接着剤、半田などを用い、スクリーン印刷やディスペ
ンス方式により所定の厚みや幅に制御して形成することができる。ここで、接着剤や半田中に、接着剤の乾燥時あるいは半田溶融時の熱により溶けてボイドを形成しやすい高分子フィラー、例えばアクリル、ポリエチレン、天然ゴムなどからなるビーズ状のフィラーを混ぜることにより、導電性接合材層10にボイド２を形成することができる。
【００４８】
具体的には、導電性接合材層10にメタライズ層８と接する側の面に開口しないように複数のボイド２を形成するには、例えば２回にわけて接着剤を塗布する方法が挙げられる。このとき、下層には高分子フィラーの混ざっていない接着剤を塗布し、適宜乾燥させる。そうして、メタライズ層と接する側の面は開口しないようにする。その上に高分子フィラーを混ぜた接着剤を塗布し、適宜乾燥させて、狙いのボイドを形成するのがよい。また、高分子フィラーはあらかじめ所定量、混合させておく方法もあるが、狙いの位置にあとからスクリーン印刷や、ディスペンスする方法を用いてもよい。
【００４９】
例えば、図４に示す構成は、例えば、高分子フィラーの入っていない接着剤を塗布したあと、あらかじめボイド２にする部分をきめたスクリーンメッシュで高分子フィラーのみを精度よくスクリーン印刷し、その上に接着剤を塗布する。そして、精度よく位置決めして外部電極12をセットすればよい。
【００５０】
また、図５に示す構成および図６に示す構成は、例えば、高分子フィラーの入っていない接着剤を塗布したあと、その上に精度よく位置決めして外部電極12をセットし、上から高分子フィラーのみを精度よくディスペンスすればよい。
【００５１】
また、図７に示す構成は、例えば、高分子フィラーの入っていない接着剤を塗布したあと、その上に精度よく位置決めして外部電極12をセットし、上から高分子フィラーのみを精度よくディスペンスし、さらにディスペンサーで接着剤を狙いの部分に塗布すればよい。
【００５２】
そして、リード部材14を外部電極12に溶接またははんだや導電性接着材で接合する。
【００５３】
その後、一対のメタライズ層８にそれぞれ接続した外部電極12に0.1〜３ｋＶ／ｍｍの
直流電界を印加し、積層体７を構成する圧電体層３を分極することによって、積層型圧電素子１が完成する。この積層型圧電素子１は、外部電極12を介してメタライズ層８と外部の電源とを接続して、圧電体層３に電圧を印加することにより、各圧電体層３を逆圧電効果によって大きく変位させることができる。これにより、例えばエンジンに燃料を噴射供給する自動車用燃料噴射弁として機能させることが可能となる。
【００５４】
次に、本発明の噴射装置の実施の形態の例について説明する。図８は、本発明の噴射装置の実施の形態の一例を示す概略断面図である。
【００５５】
図８に示すように、本実施の形態の噴射装置19は、一端に噴射孔21を有する収納容器（容器）23の内部に上記の本実施の形態の積層型圧電素子１が収納されている。
【００５６】
収納容器23内には、噴射孔21を開閉することができるニードルバルブ25が配設されている。噴射孔21には流体通路27がニードルバルブ25の動きに応じて連通可能になるように配設されている。この流体通路27は外部の流体供給源に連結され、流体通路27に常時高圧で流体が供給されている。従って、ニードルバルブ25が噴射孔21を開放すると、流体通路27に供給されていた流体が外部または隣接する容器、例えば内燃機関の燃料室（不図示）に、噴射孔21から吐出されるように構成されている。
【００５７】
また、ニードルバルブ25の上端部は内径が大きくなっており、収納容器23に形成された
シリンダ29と摺動可能なピストン31になっている。そして、収納容器23内には、上述した例の積層型圧電素子１がピストン31に接して収納されている。
【００５８】
このような噴射装置19では、積層型圧電素子１が電圧を印加されて伸長すると、ピストン31が押圧され、ニードルバルブ25が噴射孔21に通じる流体通路27を閉塞し、流体の供給が停止される。また、電圧の印加が停止されると積層型圧電素子１が収縮し、皿バネ33がピストン31を押し返し、流体通路27が開放され噴射孔21が流体通路27と連通して、噴射孔21から流体の噴射が行なわれるようになっている。
【００５９】
なお、積層型圧電素子１に電圧を印加することによって流体通路27を開放し、電圧の印加を停止することによって流体通路27を閉鎖するように構成してもよい。
【００６０】
また、本実施の形態の噴射装置19は、噴射孔を有する容器23と、本実施の形態の積層型圧電素子１とを備え、容器23内に充填された流体を積層型圧電素子１の駆動により噴射孔21から吐出させるように構成されていてもよい。すなわち、積層型圧電素子１が必ずしも容器23の内部にある必要はなく、積層型圧電素子１の駆動によって容器23の内部に流体の噴射を制御するための圧力が加わるように構成されていればよい。なお、本実施の形態の噴射装置19において、流体とは、燃料，インク等の他、導電性ペースト等の種々の液体および気体が含まれる。本実施の形態の噴射装置19を用いることによって、流体の流量および噴出タイミングを長期にわたって安定して制御することができる。
【００６１】
本実施の形態の積層型圧電素子１を採用した本実施の形態の噴射装置19を内燃機関に用いれば、従来の噴射装置に比べてエンジン等の内燃機関の燃焼室に燃料をより長い期間にわたって精度よく噴射させることができる。
【００６２】
次に、本発明の燃料噴射システムの実施の形態の例について説明する。図９は、本発明の燃料噴射システムの実施の形態の一例を示す概略図である。
【００６３】
図９に示すように、本実施の形態の燃料噴射システム35は、高圧流体としての高圧燃料を蓄えるコモンレール37と、このコモンレール37に蓄えられた高圧流体を噴射する複数の本実施の形態の噴射装置19と、コモンレール37に高圧流体を供給する圧力ポンプ39と、噴射装置19に駆動信号を与える噴射制御ユニット41とを備えている。
【００６４】
噴射制御ユニット41は、外部情報または外部からの信号に基づいて高圧流体の噴射の量およびタイミングを制御する。例えば、エンジンの燃料噴射に噴射制御ユニット41を用いた場合であれば、エンジンの燃焼室内の状況をセンサ等で感知しながら燃料噴射の量およびタイミングを制御することができる。圧力ポンプ39は、燃料タンク43から流体燃料を高圧でコモンレール37に供給する役割を果たす。例えばエンジンの燃料噴射システム35の場合には1000〜2000気圧（約101ＭＰａ〜約203ＭＰａ）程度、好ましくは1500〜1700気圧（約152ＭＰａ〜約172ＭＰａ）程度の高圧にしてコモンレール37に流体燃料を送り込む。コモンレール37では、圧力ポンプ39から送られてきた高圧燃料を蓄え、噴射装置19に適宜送り込む。噴射装置19は、前述したように噴射孔21から一定の流体を外部または隣接する容器に噴射する。例えば、燃料を噴射供給する対象がエンジンの場合には、高圧燃料を噴射孔21からエンジンの燃焼室内に霧状に噴射する。
【００６５】
なお、本発明は、上記の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何ら差し支えない。例えば、メタライズ層８は、上記の例では積層体７の対向する２つの側面に１つずつ形成したが、２つのメタライズ層８を積層体７の隣り合う側面に形成してもよいし、積層体７の同一の側面に形成してもよい。また、積層体７の積層方向に直交する方向における断面の形状は、上記の実施の
形態の例である四角形状以外に、六角形状や八角形状等の多角形状、円形状、あるいは直線と円弧とを組み合わせた形状であっても構わない。
【００６６】
本実施の形態の積層型圧電素子１は、例えば、圧電駆動素子（圧電アクチュエータ），圧力センサ素子および圧電回路素子等に用いられる。駆動素子としては、例えば、自動車エンジンの燃料噴射装置，インクジェットのような液体噴射装置，光学装置のような精密位置決め装置，振動防止装置が挙げられる。センサ素子としては、例えば、燃焼圧センサ，ノックセンサ，加速度センサ，荷重センサ，超音波センサ，感圧センサおよびヨーレートセンサが挙げられる。また、回路素子としては、例えば、圧電ジャイロ，圧電スイッチ，圧電トランスおよび圧電ブレーカーが挙げられる。
【実施例】
【００６７】
本発明の積層型圧電素子の実施例について以下に説明する。
【００６８】
本発明の積層型圧電素子を備えた圧電アクチュエータを以下のようにして作製した。まず、平均粒径が0.4μｍのチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ：ＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３
）を主成分とする圧電セラミックスの仮焼粉末、バインダーおよび可塑剤を混合したセラミックスラリーを作製した。このセラミックスラリーを用いてドクターブレード法により厚み50μｍの圧電体層となるセラミックグリーンシートを作製した。また、銀−パラジウム合金にバインダーを加えて、内部電極となる導電性ペーストを作製した。
【００６９】
次に、セラミックグリーンシートの片面に、内部電極となる導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷し、導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを200枚
積層した。また、内部電極となる導電性ペーストが印刷されたセラミックグリーンシート200枚を中心にして、その上下に、内部電極となる導電性ペーストが印刷されていないセ
ラミックグリーンシート合計15枚を積層した。そして、980〜1100℃で焼成することによ
り積層体を得た。得られた積層体を、平面研削盤を用いて所定の形状に研削した。
【００７０】
次に、積層体の側面のメタライズ層の形成部に、銀とガラスにバインダーを混合した導電性ペーストをスクリーン印刷法により印刷し、700℃で焼き付け処理を行なった。
【００７１】
次に、メタライズ層に、分子量1万〜３万程度のポリエチレンからなる平均粒径が約２
０μｍのビーズ状のフィラーを所定量混入した導電性接合材層をディスペンサーにて塗布し、線状の金属を編み込んだ金網導体からなる網目構造の外部電極を積層体の表面と平行に接続し固定した。図３に示す断面を有する積層型圧電素子（試料１）を作製した。
【００７２】
また、比較例として、図10に示す断面を有する積層型圧電素子（試料２）、図11に示す断面を有する積層型圧電素子（試料３）も作製した。
【００７３】
これらの積層型圧電素子に、外部電極に溶接で接合されたリード部材を介して外部電極に３ｋＶ／ｍｍの直流電界を15分間印加して、分極処理を行なった。これらの積層型圧電素子に160Ｖの直流電圧を印加したところ、積層体の積層方向に30μｍの変位量が得られ
た。さらに、室温で０Ｖ〜＋160Ｖの交流電圧を150Ｈｚの周波数で印加して、連続駆動した耐久性試験を行なった。
【００７４】
その結果、試料２の積層型圧電素子は、１×10４回の連続駆動でメタライズ層と導電性接合材層との境界に亀裂が入るのを確認した。
【００７５】
また、試料３の積層型圧電素子は、１×10７回の連続駆動でメタライズ層と導電性接合材層との境界に亀裂が入って導電性接合材層の一部にはがれが生じた。
【００７６】
これに対し、試料１の積層型圧電素子は、連続駆動１×10７回をすぎても亀裂が入ることなく駆動していた。
【００７７】
以上の結果から、本発明によれば、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子を実現することができることがわかる。
【符号の説明】
【００７８】
１・・・積層型圧電素子
２・・・ボイド
３・・・圧電体層
５・・・内部電極
７・・・積層体
８・・・メタライズ層
10・・・導電性接合材層
12・・・外部電極
14・・・リード部材
19・・・噴射装置
21・・・噴射孔
23・・・収納容器（容器）
25・・・ニードルバルブ
27・・・流体通路
29・・・シリンダ
31・・・ピストン
33・・・皿バネ
35・・・燃料噴射システム
37・・・コモンレール
39・・・圧力ポンプ
41・・・噴射制御ユニット
43・・・燃料タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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