(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに複数のレンズ形状を加工するレンズアレイ金型の加工方法であって、
ベッドと、このベッドの上に設けられた往復移動テーブルと、この往復移動テーブルを前記ベッドに対して第１の軸方向へ移動させる第１の移動機構と、前記往復移動テーブルの上に回転可能に設けられた回転テーブルと、この回転テーブルを前記第１の軸方向に対して直交する軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転テーブルの回転軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられ発熱要素である工具スピンドルと、この工具スピンドルを前記第１の軸方向に対して直交しかつ互いに直交する第２および第３の軸方向へ移動させる第２の移動機構および第３の移動機構とを備えた加工機を用意する工程と、
前記回転テーブルに前記ワークを載置するとともに、前記工具スピンドルの先端に加工工具を取り付け、この加工工具の先端を前記回転テーブルの回転中心に位置させる段取工程と、
前記加工工具の先端を位置させた前記回転テーブルの回転中心を加工基準として、前記回転機構および前記第１の移動機構により前記ワークを回転および第１の軸方向へ移動させるとともに、前記第２および第３の移動機構により前記加工工具を前記第２および第３の軸方向へ移動させながら、前記ワークにレンズ形状を加工する加工工程と、を備えたことを特徴とするレンズアレイ金型の加工方法。
【請求項２】
ワークに複数のレンズ形状を加工するレンズアレイ金型の加工装置であって、
前記ワークを加工する加工機と、この加工機を制御する制御装置とを備え、
前記加工機は、ベッドと、このベッドの上に設けられた往復移動テーブルと、この往復移動テーブルを前記ベッドに対して第１の軸方向へ移動させる第１の移動機構と、前記往復移動テーブルの上に回転可能に設けられ上面にワークを載置する回転テーブルと、この回転テーブルを前記第１の軸方向に対して直交する軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転テーブルの回転軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられ先端に加工工具を有する発熱要素となる工具スピンドルと、この工具スピンドルを前記第１の軸方向に対して直交しかつ互いに直交する第２および第３の軸方向へ移動させる第２の移動機構および第３の移動機構とを含んで構成され、
前記制御装置は、前記加工工具の先端を位置させた前記回転テーブルの回転中心を加工基準として、前記回転機構および前記第１の移動機構を制御するとともに、前記第２の移動機構および第３の移動機構を制御して、前記ワークにレンズ形状を加工する、ことを特徴とするレンズアレイ金型の加工装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズアレイ金型の加工装置において、
前記加工機の全体を覆うとともに内部が温度制御可能な筐体を備えている、ことを特徴とするレンズアレイ金型の加工装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載のレンズアレイ金型の加工装置において、
前記工具スピンドルには、温度制御が可能な温度制御機構を設けられている、ことを特徴とするレンズアレイ金型の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイ金型の加工方法および加工装置に関する。例えば、比較的大面積のレンズ形状を複数有するレンズアレイ金型の加工方法および加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズアレイの用途は近年拡大しており、特に、ウェハレベルで製造される光学素子に用いるレンズアレイは要求が高く、これに用いる金型の高精度かつ高効率な加工の検討が急務な課題となっている。この加工においては、個々のレンズ形状の加工品位だけでなく、位置精度や加工品位の均一性が重要視されることが特徴として挙げられる。
従来、このような課題に対して、直交３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）を基本とした超精密加工機を用いて対応する取り組みが試みられるようになってきた。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１１５７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、直交３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）を基本とした超精密加工機を用いた対応でも、数日間にわたる長時間加工においては、サブミクロンオーダの位置精度や加工品位の均一性を得ることは容易ではない。
また、工具やワークの交換が困難であり、加工効率が低下しやすいという課題がある。つまり、旋盤系の加工では、ワークスピンドルの回転中心が加工中心となっているため、ワークの芯や工具先端の基準は、ワークスピンドルの回転中心に合わせられるが、直交３軸系の加工では、ワークや工具に対する加工機の特定の基準を持っていないため、ワークごとに工具中心とワーク基準点との相互位置を確認する作業、例えば、タッチプローブに取り替えてワーク座標を確認する作業が必要となる。しかし、超精密加工の場合、工具の着脱によるミクロンオーダの誤差も許されないため、前述のようなタッチプローブに取り替えてワーク座標を確認することができない。従って、ある程度の取り代の余裕をみて加工を行わなくてはならないため、その分、除去量が増え加工効率が低下する。
【０００５】
本発明の目的は、このような課題を解消し、レイズアレイの作成に用いられる金型を高精度かつ高効率で加工できるレンズアレイ金型の加工方法および加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のレンズアレイ金型の加工方法は、ワークに複数のレンズ形状を加工するレンズアレイ金型の加工方法であって、ベッドと、このベッドの上に設けられた往復移動テーブルと、この往復移動テーブルを前記ベッドに対して第１の軸方向へ移動させる第１の移動機構と、前記往復移動テーブルの上に回転可能に設けられた回転テーブルと、この回転テーブルを前記第１の軸方向に対して直交する軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転テーブルの回転軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられ発熱要素である工具スピンドルと、この工具スピンドルを前記第１の軸方向に対して直交しかつ互いに直交する第２および第３の軸方向へ移動させる第２の移動機構および第３の移動機構とを備えた加工機を用意する工程と、前記回転テーブルに前記ワークを載置するとともに、前記工具スピンドルの先端に加工工具を取り付け、この加工工具の先端を前記回転テーブルの回転中心に位置させる段取工程と、前記加工工具の先端を位置させた前記回転テーブルの回転中心を加工基準として、前記回転機構および前記第１の移動機構により前記ワークを回転および第１の軸方向へ移動させるとともに、前記第２および第３の移動機構により前記加工工具を前記第２および第３の軸方向へ移動させながら、前記ワークにレンズ形状を加工する加工工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、回転テーブルおよび工具スピンドルを備えた加工機を準備し（準備工程）、回転テーブルにワークを載置するとともに、工具スピンドルの先端に加工工具を取り付け、この加工工具の先端を回転テーブルの回転中心に位置させる（段取工程）。
そして、加工工具の先端を位置させた回転テーブルの回転中心を加工基準として、回転テーブルの回転および往復移動テーブルの移動によりワークを回転および第１の軸方向へ移動させるとともに、第２および第３の移動機構により加工工具を第２および第３の軸方向へ移動させながら、ワークにレンズ形状を加工する（加工工程）。
【０００８】
つまり、長時間加工において大きな誤差要因となる熱的影響が最も少ない回転テーブルの回転中心を加工基準としたので、レンズアレイ金型を高精度に加工できる。また、回転テーブルにワークを載置するとともに、工具スピンドルに加工工具を取り付けるようにしたので、外形基準が設定してあるワークに対しては、回転テーブルを回転させながらワークを回転テーブルの回転中心に容易に一致させることができ、また、加工工具を回転テーブル回転中心に合わせることも、旋盤系の加工ノウハウから１ミクロン以下でも難しくはないため、レンズアレイ金型を高効率で加工できる。
【０００９】
本発明のレンズアレイ金型の加工装置は、ワークに複数のレンズ形状を加工するレンズアレイ金型の加工装置であって、前記ワークを加工する加工機と、この加工機を制御する制御装置とを備え、前記加工機は、ベッドと、このベッドの上に設けられた往復移動テーブルと、この往復移動テーブルを前記ベッドに対して第１の軸方向へ移動させる第１の移動機構と、前記往復移動テーブルの上に回転可能に設けられ上面にワークを載置する回転テーブルと、この回転テーブルを前記第１の軸方向に対して直交する軸を中心に回転させる回転機構と、前記回転テーブルの回転軸と平行な軸を中心として回転可能に設けられ先端に加工工具を有する発熱要素となる工具スピンドルと、この工具スピンドルを前記第１の軸方向に対して直交しかつ互いに直交する第２および第３の軸方向へ移動させる第２の移動機構および第３の移動機構とを含んで構成され、前記制御装置は、前記加工工具の先端を位置させた前記回転テーブルの回転中心を加工基準として、前記回転機構および前記第１の移動機構を制御するとともに、前記第２の移動機構および第３の移動機構を制御して、前記ワークにレンズ形状を加工する、ことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、前述したレンズアレイ金型の加工方法と同様に、長時間加工において大きな誤差要因となる熱的影響が最も少ない回転テーブルの回転中心を加工基準としたので、レンズアレイ金型を高精度に加工できる。また、回転テーブルにワークを載置するとともに、工具スピンドルに加工工具を取り付けるようにしたので、外形基準が設定してあるワークに対しては、回転テーブルを回転させながらワークを回転テーブルの回転中心に容易に一致させることができ、また、加工工具を回転テーブル回転中心に合わせることも、旋盤系の加工ノウハウから１ミクロン以下でも難しくはないため、レンズアレイ金型を高効率で加工できる。
【００１１】
本発明のレンズアレイ金型の加工装置において、前記加工機の全体を覆うとともに内部が温度制御可能な筐体を備えている、ことが好ましい。
一般に、長時間加工を行うと、周囲環境の温度変化や工具スピンドルからの発熱による誤差要因が加工精度に影響を与える。
この発明によれば、長時間加工を行った際、周囲環境の温度変化があっても、筐体内が温度制御されているから、加工精度に与える影響を少なくできる。
【００１２】
本発明のレンズアレイ金型の加工装置において、前記工具スピンドルには、温度制御が可能な温度制御機構を設けられている、ことが好ましい。
この発明によれば、長時間加工を行った際、工具スピンドルからの発熱があっても、工具スピンドルに設けられた温度制御機構によって工具スピンドルが温度制御されているから、加工精度に与える影響を少なくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る加工装置を示す斜視図。
【図２】前記実施形態の加工機のＣ軸旋回機構および工具スピンドルを示す図。
【図３】前記実施形態の加工機でレンズアレイ金型を加工している様子を示す図。
【図４】前記実施形態の加工機における熱の伝達経路を示す正面図。
【図５】前記実施形態の加工機における熱の伝達経路を示す側面図。
【図６】前記実施形態の加工機の回転テーブルの再現性誤差（＋方向）を示す図。
【図７】前記実施形態の加工機の回転テーブルの再現性誤差（−方向）を示す図。
【図８】本発明の実施例の効果を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
＜加工装置の説明（図１参照）＞
本実施形態の加工装置は、図１に示すように、ワークＷを加工する加工機Ａと、この加工機Ａの全体を覆うとともに内部が温度制御可能な筐体Ｂと、加工機Ａの駆動を制御する制御装置Ｃとを備える。
【００１５】
加工機Ａは、ベッド１と、このベッド１の上面前側に第１の軸方向としてのＸ軸方向へ往復移動可能に設けられた往復移動テーブルとしてのＸテーブル１１と、このＸテーブル１１の上にＸ軸方向に対して直交する軸（Ｂ軸）を中心に回転可能に設けられた回転テーブル２１と、この回転テーブル２１の回転軸（Ｂ軸）と平行な軸を中心として回転可能に設けられ先端にエンドミルなどの加工工具Ｔを有する工具スピンドル６０と、この工具スピンドル６０をＸ軸に対して直交しかつ互いに直交する第２および第３の軸方向としてのＺ軸方向およびＹ軸方向へ移動させるとともにＺ軸と平行な軸（Ｃ軸）を中心に旋回させる工具移動機構３０と、この工具移動機構３０に隣接してベッド１上に設けられ回転テーブル２１の上面を観察可能な観察装置７０とを備える。
【００１６】
ベッド１とＸテーブル１１との間には、Ｘテーブル１１をＸ軸方向へ案内駆動するＸ軸案内機構１２ＸおよびＸ軸移動機構１３Ｘが設けられている。Ｘ軸案内機構１２Ｘは、ベッド１に形成されたＶ溝と、このＶ溝に対応してＸテーブル１１に形成された三角形状の突条と、これらＶ溝と突条との間の傾斜面に介在されたコロとを有するＶ−Ｖころがり案内機構によって構成されている。Ｘ軸移動機構１３Ｘは、リニアモータ機構によって構成されている。
【００１７】
回転テーブル２１とＸテーブル１１との間には、回転テーブル２１をＢ軸を中心に回転させる回転機構２３が設けられている。回転機構２３は、例えば、モータなどの回転駆動源を有する回転機構によって構成されている。
【００１８】
工具移動機構３０は、ベッド１の上面後側に前後方向（Ｚ軸方向）へ移動可能に設けられたＺテーブル３１と、このＺテーブル３１の上面に固定されたコラム３４と、このコラム３４に沿って上下方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられたＹスライダ４１と、このＹスライダ４１にＺ軸方向と平行な軸（Ｃ軸）を中心として回転可能に設けられ先端に工具スピンドル６０を取り付けたＣ軸旋回機構５０とを含んで構成されている。
【００１９】
ベッド１とＺテーブル３１との間には、Ｚテーブル３１をＺ軸方向へ案内駆動するＺ軸案内機構３２ＺおよびＺ軸移動機構３３Ｚが設けられている。Ｚ軸案内機構３２ＺおよびＺ軸移動機構３３Ｚは、Ｘ軸案内機構１２ＸおよびＸ軸移動機構１３Ｘと同様に、Ｖ−Ｖころがり案内機構およびリニアモータ機構によって構成されている。
コラム３４とＹスライダ４１との間には、Ｙスライダ４１をＹ軸方向へ昇降させるＹ軸案内機構４２ＹおよびＹ軸移動機構４３Ｙが設けられている。Ｙ軸案内機構４２Ｙは、Ｘ軸案内機構やＺ軸案内機構と同様に、Ｖ−Ｖころがり案内機構により構成されている。Ｙ軸移動機構４３Ｙは、コラム３４の上端に設けられＹスライダ４１を昇降可能かつ任意の位置に位置決め可能な一対のシリンダ機構４４によって構成されている。
【００２０】
観察装置７０は、ベッド１の上面後側に立設された支柱７１と、この支柱７１の上端に支持されＺ軸方向に沿って延びるガイドレール７２と、このガイドレール７２に沿ってＺ軸方向へ移動可能に支持されたマイクロスコープ７３とから構成されている。マイクロスコープ７３は、レンズ、照明およびカメラなどが内蔵されているとともに、パソコンなどに接続され、カメラで撮像した画像をパソコンにおいて拡大表示させることができるほか、撮像された画像から寸法計測ができるようになっている。
【００２１】
筐体Ｂは、加工機Ａの全体を覆う大きさに形成され、エアー供給口８１およびエアー排出口８２を有する。エアー供給口８１には、温度調節機能を備えた温度調整エアー供給装置（図示省略）からのエアーが筐体Ｂの内部に供給される。筐体Ｂの内部に供給されたエアーは、筐体Ｂの内部を循環したのち、エアー排出口８２から筐体Ｂの外部へ排出され、温度調整エアー供給装置に戻される。これにより、筐体Ｂの内部温度が設定温度に対して＋０．０２℃〜−０．０２℃に温度制御されるようになっている。
【００２２】
制御装置Ｃは、予め設定された加工プログラムに従って加工機Ａの駆動を制御する。具体的には、加工工具Ｔの先端を回転テーブル２１の中心に位置させた状態において、回転テーブル２１の回転中心を加工基準として、回転テーブル２１の回転、Ｘテーブル１１の移動、Ｚテーブル３１の移動、Ｙスライダ４１の移動、工具スピンドル６０の旋回動作を制御する。つまり、回転機構２３、Ｘ軸移動機構１３Ｘ、Ｚ軸移動機構３３Ｚ、Ｙ軸移動機構４３ＹおよびＣ軸旋回機構５０を制御する。
【００２３】
＜Ｃ軸旋回機構および工具スピンドルの説明（図２参照）＞
Ｃ軸旋回機構５０は、図２に示すように、Ｃ軸を中心として回転可能な回転軸５１と、この回転軸５１の先端に開閉可能に設けられたチャック５２と、回転軸５１の内部に形成された温度制御機構としての冷却流体循環路５３とを含んで構成されている。冷却流体循環路５３には、温度調節された空気や水などの流体が循環される。
工具スピンドル６０は、図２に示すように、チャック５２に着脱可能に把持されるアーム６１を有する工具本体６２と、この工具本体６２にモータなどの駆動源によって回転可能に設けられ先端に加工工具Ｔを取り付けたスピンドル６３と、このスピンドル６３の周囲で工具本体６２の内部に形成された温度制御機構としての冷却流体循環路６４とを含んで構成されている。冷却流体循環路６４には、温度調節された空気や水などの流体が循環される。これにより、Ｃ軸旋回機構５０を含む工具スピンドル６０の温度が設定温度に対して＋０．０５℃〜−０．０５℃に温度制御されるようになっている。
【００２４】
＜レンズアレイ金型の加工方法（図３参照）＞
まず、加工工具Ｔの先端を回転テーブル２１の回転中心に位置させる。これには、Ｘテーブル１１をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｚテーブル３１をＺ軸方向に移動させ、加工工具Ｔの先端を回転テーブル２１の回転中心に位置させ、この回転テーブル２１の回転中心を加工基準として設定する。
ここで、ワークＷの上面において、回転テーブル２１の中心位置からオフセットされた加工点にレンズ形状を加工するには、Ｘテーブル１１をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｚテーブル３１をＺ軸方向に移動させる。または、回転テーブル２１を１８０度回転させたのち、Ｘテーブル１１をＸ軸方向に移動させるとともに、Ｚテーブル３１をＺ軸方向に移動させる。さらには、回転テーブル２１の回転中心から加工点までを結ぶ線と回転中心を通るＸ軸線とのなす角度だけ、回転テーブル２１を回転させたのち、回転テーブル２１の回転中心から加工点までの距離だけＸテーブル１１を移動させる。すると、加工工具Ｔの真下に加工点が位置される。
【００２５】
この状態において、図３に示すように、Ｘテーブル１１をＸ軸方向へ移動させるとともに、加工工具ＴをＺ軸方向およびＹ軸方向へ移動させ、ワークＷに対して加工工具Ｔを螺旋運動させながら、かつ、次第に中心に近づくように動作させて、ワークＷの加工点にレンズ形状を加工する。
従って、長時間加工において大きな誤差要因となる熱的影響が最も少ない回転テーブル２１の回転中心を加工基準としたので、レンズアレイ金型を高精度に加工できる。また、回転テーブル２１にワークＷを載置するとともに、工具スピンドル６０に加工工具Ｔを取り付けるようにしたので、ワークＷおよび加工工具Ｔの交換も能率よく行うことができる。従って、レンズアレイ金型を高効率で加工できる。
【００２６】
＜熱の伝達経路の説明（図４および図５参照）＞
長時間加工における位置誤差は、熱的影響が大きな要因として考えられる。加工点からＸ，Ｙ，Ｚ軸の各軸位置検出器、例えば、リニアエンコーダＳＸ、ＳＹ，ＳＺまでの経路に対して、熱的影響がおよぶ箇所を明確化すると、図４および図５のようになる。
ＥＸ１経路＝ワーク→回転テーブル→Ｘテーブル→Ｘ軸リニアスケール
ＥＸ２経路＝加工工具→工具スピンドル→Ｙ軸→ベッド→Ｘ軸リニアスケール
ＥＺ１経路＝ワーク→回転テーブル→Ｘテーブル→ベッド→Ｚ軸リニアスケール
ＥＺ２経路＝加工工具→工具スピンドル→Ｃ軸旋回機構→Ｙ軸→Ｚ軸リニアスケール
ＥＹ１経路＝ワーク→回転テーブル→Ｘテーブル→ベッド→Ｙ軸→Ｙ軸リニアスケール
ＥＹ２経路＝加工工具→工具スピンドル→Ｃ軸旋回機構→Ｙ軸リニアスケール
【００２７】
加工工具ＴやワークＷの位置決めは、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向およびＢ軸、Ｃ軸系統を経て、リニアエンコーダＳＸ、ＳＹ，ＳＺの指示値が参照される。この中で、主な熱的要素は、周囲環境温度の変化と、工具スピンドル６０からの発熱とが挙げられる。
本実施形態では、加工機Ａの全体が、内部温度制御可能な筐体Ｂで覆われているため、長時間加工を行った際に周囲環境の温度変化があっても、筐体Ｂ内が温度制御されているから、加工精度に与える影響を少なくできる。
【００２８】
また、筐体Ｂ内の温度管理が十分でないとしても、ベッド１やコラム３４など熱容量の大きな部材については、周囲環境の温度変化に対する熱的影響の度合いが小さくなるが、Ｃ軸旋回機構５０など、熱源に近く、熱容量の小さな部材は熱的影響の度合いが大きくなると考えられる。
これに対しても、本実施形態では、Ｃ軸旋回機構５０および工具スピンドル６０に冷却流体循環路５３，６４を設けてあるため、長時間加工を行った際に工具スピンドル６０からの発熱があっても、熱的影響を抑えることができる。従って、加工精度に与える影響を少なくできる。
【００２９】
＜回転テーブルの位置決め再現性（図６および図７参照）＞
一方、加工対象であるレンズアレイ金型では、水平方向の位置精度が＋０．５〜−０．５μｍ以下、加工深さが＋１〜−１μｍ以下程度の目標値が示されることが多いことから、水平方向の位置決め精度を重要視する必要がある。
本実施形態では、Ｘテーブル１１の上に回転テーブル２１を搭載した構造であるため、回転テーブル２１の割出精度の再現性が、水平方向の位置精度に影響を及ぼす。そこで、回転テーブル２１の上に２００ｍｍの基準平面を固定し、回転テーブル２１を１８０度で繰り返し位置決めして、電気マイクロメータをＸ軸に平行に走査して得られる傾き誤差を評価したところ、図６および図７の結果が得られた。
結果として、２００ｍｍで０．０５μｍ程度の再現性が得られていることから、要求される位置決め精度に対応できると考えられる。
【００３０】
＜その他の効果＞
また、回転テーブル２１の上面を観察可能な観察装置７０を備えているから、長時間加工において、工具寿命により加工工具を交換する必要が生じても、常に加工工具の先端を同じ座標位置に調整することができる。例えば、回転テーブル２１の回転中心にて試し加工を行い、マイクロスコープ７３で位置精度を確認することにより、交換した加工工具Ｔの刃先を回転テーブル２１の回転中心に正確に位置させることができる。
【００３１】
また、Ｘ軸移動機構１３ＸおよびＺ軸移動機構３３Ｚとしてリニアモータ機構を用いているため、高トルクでありながら消費電力が非常に少なく、また、Ｘ軸案内機構１２ＸおよびＺ軸案内機構３２Ｚとして、高い案内面剛性を有するＶ−Ｖころがり案内機構が合わせて採用されているため、高い制御特性が得られる。
【００３２】
＜変形例＞
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものでなく、本発明を達成できる範囲での変形、改良などは本発明に含まれる。
例えば、前記実施形態では、Ｃ軸旋回機構５０の回転軸５１にチャック５２を介して工具スピンドル６０を着脱可能に取り付けたが、ボルトなどによって工具スピドル６０を回転軸５１にしっかりと固定するようにすれば、より高精度な加工が期待できる。
【００３３】
また、前記実施形態では、マイクロスコープ７３によって、ワークＷに加工した形状を測定するようにしたが、これに限らず、レーザ計測や白色干渉計測などによって、加工した形状を測定するようにしてもよい。
【実施例】
【００３４】
＜実施例（図８参照）＞
上記加工装置によるレンズアレイ金型の加工方法について、有効性の検証を行った。加工位置と評価結果を図８に示す。
検証手順としては、まず、加工工具ＴおよびワークＷを加工基準となる回転テーブル２１の回転中心に合わせ、この回転中心からオフセットされた位置に３つのレンズ形状（凹球面）を加工する。次に、回転テーブル２１を１８０度回転させ、再度３つのレンズ形状（凹球面）を加工した。同様の動作を２４時間ごとに５回実施した。
加工位置の評価は、３次元形状測定器（ＵＡ３Ｐ、Panasonic製）を用い、最初の加工位置を誤差ゼロとし、計測位置と加工指示位置との差を評価した。測定時の温度差によるワークの熱膨張や測定の再現性など、評価の不確かさが少なからず含まれていると考えられるが、Ｘ軸方向およびＺ軸方向ともに加工位置誤差がおおよそ０．２μｍ以下と良好な結果が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、比較的大面積のレンズ形状を複数有するレンズアレイ金型の加工方法などに利用することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１…ベッド、
１１…Ｘテーブル（往復移動テーブル）、
１３Ｘ…Ｘ軸移動機構、
２１…回転テーブル、
２３…回転機構、
３３Ｚ…Ｚ軸移動機構、
４３Ｙ…Ｙ軸移動機構、
５３…冷却流体循環路（温度制御機構）、
６０…工具スピンドル、
６４…冷却流体循環路（温度制御機構）、
Ａ…加工機、
Ｂ…筐体、
Ｃ…制御装置、
Ｔ…加工工具、
Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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