(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給される蒸気を過熱する熱交換器と、前記熱交換器に供給される蒸気を冷媒により減温させる減温器と、前記減温器に供給される冷媒の量を調節する調節弁とを備えたボイラ設備を有するプラントに適用される蒸気温度制御装置において、
前記熱交換器の入口温度の実測値を示す信号に基づいて、少なくとも前記熱交換器で生じる無駄時間を補償するための信号を出力する無駄時間補償手段と、
前記熱交換器の出口温度の実測値を前記無駄時間補償回路から出力される信号に応じて補正した後の値と、前記熱交換器の出口温度の目標値とに基づいて、前記熱交換器の出口温度が目標値に等しくなるようにする第１の制御信号を出力する第１の制御手段と、
前記熱交換器の入口温度の実測値と、前記熱交換器の入口温度の目標値を前記第１の制御信号に応じて補正した後の目標値とに基づいて、前記熱交換器の入口温度が当該補正後の目標値に等しくなるようにする第２の制御信号を前記調節弁に供給する第２の制御手段と
を具備することを特徴とする蒸気温度制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の蒸気温度制御装置において、前記無駄時間補償手段は、前記熱交換器で生じる無駄時間だけでなく遅れ時間要素をも補償するための信号を出力することを特徴とする蒸気温度制御装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の蒸気温度制御装置において、プラントの負荷の変化に伴う前記熱交換器の熱量の変化を示す動特性モデルを有し、前記動特性モデルに従い前記熱交換器の入口温度の目標値を変化させる手段を更に具備することを特徴とする蒸気温度制御装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の蒸気温度制御装置において、プラントの運転状態の変化に伴う前記熱交換器の出口蒸気と入口蒸気との蒸気エネルギー比率の変化に応じて前記無駄時間補償手段の出力信号のゲインを変化させる手段を更に具備することを特徴とする蒸気温度制御装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の蒸気温度制御装置において、前記無駄時間補償手段、前記第１の制御手段、および前記第２の制御手段のそれぞれの演算に使用されるパラメータの少なくともいずれかの可変設定を行う手段を更に具備することを特徴とする蒸気温度制御装置。
【請求項６】
供給される蒸気を過熱する熱交換器と、前記熱交換器に供給される蒸気を冷媒により減温させる減温器と、前記減温器に供給される冷媒の量を調節する調節弁とを備えたボイラ設備を有するプラントに適用される蒸気温度制御方法において、
無駄時間補償手段により、前記熱交換器の入口温度の実測値を示す信号に基づいて、少なくとも前記熱交換器で生じる無駄時間を補償するための信号を出力し、
第１の制御手段により、前記熱交換器の出口温度の実測値を前記無駄時間補償回路から出力される信号に応じて補正した後の値と、前記熱交換器の出口温度の目標値とに基づいて、前記熱交換器の出口温度が目標値に等しくなるようにする第１の制御信号を出力し、
第２の制御手段により、前記熱交換器の入口温度の実測値と、前記熱交換器の入口温度の目標値を前記第１の制御信号に応じて補正した後の目標値とに基づいて、前記熱交換器の入口温度が当該補正後の目標値に等しくなるようにする第２の制御信号を前記調節弁に供給する
ことを特徴とする蒸気温度制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、蒸気温度制御装置および蒸気温度制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
火力発電プラント等におけるボイラ設備には、過熱器等の熱交換器の出口もしくは入口の蒸気温度を制御するための蒸気温度制御装置が備えられる。
【０００３】
例えば、蒸気温度制御装置により火力発電プラント等における主蒸気の制御を行う場合、対象の熱交換器の前段にある減温器に注入する水の量を調節弁で調節することにより、該熱交換器を通過した後の蒸気の温度を一定に保つようにしている。
【０００４】
このような制御系においては、熱交換器において図９に示すような無駄時間（入力値が変化した場合に出力値が応答し始めるまでに要する時間）や時間遅れ（出力値が応答し始めてから変化し終えるまでの時間）が生じることから、制御が難しくなる。このような無駄時間等の時間的な遅れ要素を除去するためには、一般に、コントローラの出力をスミス予測器（Smith Predictor）を通じて該コントローラの入力側にフィードバックさせるスミス法が採用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１１０１０８号公報
【特許文献２】特開平５−８７３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
既存のスミス法は、無駄時間要素を除去する方法としては有効であるが、プラントの例えば調節弁から熱交換器入口までの間などに発生する外乱には弱い。すなわち、プラントに外乱が発生した場合には、その外乱の影響を制御に反映することが難しいという問題がある。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、無駄時間を補償しつつ外乱に強い制御系を実現する蒸気温度制御装置および蒸気温度制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態の蒸気温度制御装置は、供給される蒸気を過熱する熱交換器と、前記熱交換器に供給される蒸気を冷媒により減温させる減温器と、前記減温器に供給される冷媒の量を調節する調節弁とを備えたボイラ設備を有するプラントに適用される蒸気温度制御装置において、前記熱交換器の入口温度の実測値を示す信号に基づいて、少なくとも前記熱交換器で生じる無駄時間を補償するための信号を出力する無駄時間補償手段と、前記熱交換器の出口温度の実測値を前記無駄時間補償回路から出力される信号に応じて補正した後の値と、前記熱交換器の出口温度の目標値とに基づいて、前記熱交換器の出口温度が目標値に等しくなるようにする第１の制御信号を出力する第１の制御手段と、前記熱交換器の入口温度の実測値と、前記熱交換器の入口温度の目標値を前記第１の制御信号に応じて補正した後の目標値とに基づいて、前記熱交換器の入口温度が当該補正後の目標値に等しくなるようにする第２の制御信号を前記調節弁に供給する第２の制御手段とを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、無駄時間を補償しつつ外乱に強い制御系を実現する蒸気温度制御装置および蒸気温度制御方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】各実施形態に共通するボイラ設備の概略構成を示すブロック図。
【図２】第１の実施形態に係る蒸気温度制御装置およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図。
【図３】図２中に示す無駄時間補償回路の機能構成を示す概念図。
【図４】第２の実施形態に係る蒸気温度制御装置およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図。
【図５】図４中に示す無駄時間・遅れ時間補償回路の機能構成を示す概念図。
【図６】第３の実施形態に係る蒸気温度制御装置およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図。
【図７】第４の実施形態に係る蒸気温度制御装置およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図。
【図８】第５の実施形態に係る蒸気温度制御装置およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図。
【図９】無駄時間および遅れ時間を説明するための概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は、各実施形態に共通するボイラ設備の概略構成を示すブロック図である。
【００１３】
図１に示すボイラ設備１は、火力発電プラント等に設けられるものであり、主要な構成要素として、ボイラ２、蒸気ドラム３、蒸発器４、熱交換器（第１の熱交換器）５、熱交換器（第２の熱交換器）６、減温器７、調節弁８、脱気器９、給水ポンプ１０、節炭器１１、および蒸気温度制御装置２０を有する。上記蒸発器４、熱交換器５、熱交換器６、および節炭器１１は、ボイラ２に収納されている。
【００１４】
ボイラ設備１には外部から水が取り込まれ、この水は脱気器９により脱気が行われた後、給水ポンプ１０によりボイラ２へ供給され、節炭器１１により温度が上げられて、蒸気ドラム３に入り、蒸発器４により蒸気になる。この蒸気は蒸気ドラム３から熱交換器５を通って過熱され、減温器７によって減温された後、更に熱交換器６を通って再び過熱され、過熱された蒸気が蒸気タービン（図示せず）へ供給される。
【００１５】
一方、減温器７には、スプレー弁等の水量を調節する調節弁８を介して冷媒としての水が供給される。調節弁８の開度は蒸気温度制御装置２０によって制御される。蒸気温度制御装置２０は、制御対象としての熱交換器６の出口における蒸気の温度が目標の温度に等しくなるように調節弁８の開度指令値を計算し、その指令値を調節弁８に出力することにより、減温器７に供給される注水量を調節する。
【００１６】
以下、上記蒸気温度制御装置２０の詳細について、個々の実施形態を通じて説明する。
【００１７】
（第１の実施形態）
図２および図３を参照して、第１の実施形態について説明する。
【００１８】
図２は、第１の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図である。
【００１９】
第１の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０は、主要な構成要素として、無駄時間補償回路２１、補正部２２、出口温度目標値設定部２３、出口温度制御部（第１の制御部）２４、入口温度目標値設定部２５、補正部２６、および入口温度制御部（第２の制御部）２７を有する。また、熱交換器６の入口Ａには、熱交換器６の入口における蒸気の温度（以下、「入口温度」と称す。）を検出する温度検出器２８が設けられ、熱交換器６の出口Ｂには、熱交換器６の出口における蒸気の温度（以下、「出口温度」と称す。）を検出する温度検出器２９が設けられる。
【００２０】
無駄時間補償回路２１は、温度検出器２８により検出される熱交換器６の入口温度の実測値を示す信号を入力し、この信号に基づいて少なくとも熱交換器６内で生じる無駄時間を補償するための無駄時間補償信号を出力するものである。この無駄時間補償回路２１は、例えばスミス予測器を用いて実現してもよい。
【００２１】
補正部２２は、温度検出器２９により検出される熱交換器６の出口温度の実測値を示す信号を入力し、この信号を無駄時間補償回路２１から出力される無駄時間補償信号に応じて補正し（即ち、出口温度の実測値を示す信号から無駄時間要素を除去し）、補正後の値を出口温度制御部２４に供給するものである。なお、この補正部２２は、無駄時間補償回路２１の中に設けられてもよいし、あるいは、出口温度制御部２４の中に設けられてもよい。
【００２２】
出口温度目標値設定部２３は、熱交換器６の出口温度の目標値を設定し、設定した出口温度の目標値を出力するものである。
【００２３】
出口温度制御部２４は、温度検出器２９により検出される熱交換器６の出口温度の実測値を無駄時間補償回路２１から出力される値に応じて補正した後の値と、出口温度目標値設定部２３から出力される熱交換器６の出口温度の目標値とに基づいて、ＰＩＤ制御などによるフィードバック制御を行い、熱交換器６の出口温度が目標値に等しくなるようにする第１の制御信号を出力するものである。
【００２４】
入口温度目標値設定部２５は、負荷指令値などのプラント指標に基づいて熱交換器６の入口温度の目標値を設定し、設定した入口温度の目標値を出力するものである。
【００２５】
補正部２６は、入口温度目標値設定部２５から出力される熱交換器６の入口温度の目標値を、出口温度制御部２４から出力される第１の制御信号に応じて補正するものである。
【００２６】
入口温度制御部２７は、温度検出器２８により検出される入口温度の実測値と、補正部２６により補正される入口温度の目標値とに基づいて、ＰＩＤ制御などによるフィードバック制御を行い、熱交換器６の入口温度が当該補正後の目標値に等しくなるようにする第２の制御信号を調節弁８の開度指令値信号として調節弁８に供給するものである。
【００２７】
上述の説明からわかるように、この蒸気温度制御装置２０は、上位の制御として温度検出器２９の実測値に基づいて出口温度制御部２４により熱交換器６の出口温度を制御する構成と、下位の制御として温度検出器２８の実測値に基づいて入口温度制御部２７により熱交換器６の入口温度を制御する構成とを含む。図２の例では、１つの熱交換器（熱交換器６）の制御に対応する構成のみが図示されているが、図示しない直列接続された複数の熱交換器のそれぞれに対して同様の制御を並行して行えるように構成されていてもよい。例えば各熱交換器の入口・出口から温度の実測値を取り出すための回路がカスケード状に接続された構成が施されていてもよい。
【００２８】
プラントの運転中は、例えば調節弁８から熱交換器６入口までの間に外乱が生じる。温度検出器２８で検出される入口温度の実測値は、このような外乱の影響を受けた形で無駄時間補償回路２１へ伝えられる。無駄時間補償回路２１においては、外乱の影響を含む入口温度の実測値に基づいて無駄時間補償要素の演算が行われ、無駄時間補償回路２１からは外乱の影響が反映された無駄時間補償信号が補正部２２に伝えられ、補正部２２からは外乱の影響が反映された無駄時間補償信号により出口温度の実測値を示す信号が補正された信号（即ち、出口温度の実測値を示す信号から無駄時間要素が除去された信号）が出口温度制御部２４に伝えられる。出口温度制御部２４および入口温度制御部２７においては、外乱の影響が反映されたフィードバック信号に基づいて制御が行われることになるため、無駄時間のみならず外乱をも補償された制御系が実現される。
【００２９】
図３は、図２中に示す無駄時間補償回路２１の機能構成を示す概念図である。
【００３０】
制御部３０は、図２中の要素２４〜２７を包括して表した要素である。実機としての熱交換器６には、無駄時間要素３１のほか、１次遅れ要素３２や２次遅れ要素３３などを含む各種の遅れ時間要素が存在する。ここでは、３次以上の高次の遅れ時間要素の図示を省略している。
【００３１】
一方、無駄時間補償回路２１は、実機としての熱交換器６における無駄時間要素３１、１次遅れ要素３２、２次遅れ要素３３をそれぞれ予想する演算モデルとしての無駄時間要素３１’、１次遅れ要素３２’、２次遅れ要素３３’を有する。ここでは説明の簡単化のため、３次以上の高次の遅れ時間要素の説明については割愛する。なお、補正部２２は、無駄時間補償回路２１の中に設けられてもよいし、あるいは、制御部３０の中に設けられてもよい。
【００３２】
無駄時間要素、１次遅れ要素、２次遅れ要素は、それぞれ、例えば伝達関数Exp(-Ls)、G1(s)=G1×1/(1+T1s)、G2(s)=G2×1/(1+T2s)で表現することができる（但し、L：無駄時間、T1，T2：時定数、G1，G2：ゲイン）。また、無駄要素３１’、１次遅れ要素３２’、２次遅れ要素３３’における各種の制御パラメータ（L：無駄時間、T1，T2：時定数、G1，G2：ゲイン）は可変であり、適宜、設定変更して調整することができる。
【００３３】
無駄時間補償回路２１は、熱交換器６の入口Ａから、外乱の影響を受けた入口温度の実測値を示す信号を入力し、この入力信号に対して例えば次数の高い遅れ要素から順に各遅れ要素を乗じ、最後に無駄時間要素を乗じる。ここでは、２次遅れ要素３３’、１次遅れ要素３２’、無駄時間要素３１’の順に演算を行う。ここで、無駄時間補償回路２１は、無駄時間要素３１’を乗じる前の演算結果を所定の記憶領域（図示せず）に一時的に記憶し、無駄時間要素３１’を乗じた後の演算結果から、当該無駄時間要素３１’を乗じる前の演算結果を演算部３４において差し引き、その結果を無駄時間補償信号として出力する。この無駄時間補償信号には、前述の外乱の影響が反映されている。
【００３４】
これにより、補正部２２においては、熱交換器６の出口Ｂから得られる出口温度の実測値を示す信号が、外乱の影響が反映された無駄時間補償信号により補正されて、制御部３０にフィードバックされる。
【００３５】
この第１の実施形態によれば、無駄時間補償回路２１が、熱交換器６の入口Ａから、外乱の影響を受けた入口温度の実測値を示す信号を入力して、無駄時間補償を行う構成となっているため、外乱補償のための装置を別途設置する必要なく、コストを増大させずに、無駄時間補償のみならず外乱補償をも行うことが可能となる。
【００３６】
また、無駄時間要素および外乱時間の除去が可能となることから、例えば出口温度制御部２４の制御パラメータの値を大きく（強めに）設定した場合においても、プラント静定時の安定性を維持したまま、プラントの負荷変動などに対する応答性・追従性を高めることができる。
【００３７】
（第２の実施形態）
図４および図５を参照して、第２の実施形態について説明する。
【００３８】
図４は、第２の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図である。なお、図２と共通する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３９】
図４に示す蒸気温度制御装置２０は、図２に示した蒸気温度制御装置２０の構成において、無駄時間補償回路２１の代わりに、無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａを設けた構成となっている。
【００４０】
無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａは、前述の無駄時間補償回路２１の中に熱交換器６内で生じる遅れ時間を補償する機能を付加したものであり、熱交換器６内で生じる無駄時間だけでなく遅れ時間をも補償するための無駄時間・遅れ時間補償信号を出力する。
【００４１】
図５は、図４中に示す無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａの機能構成を示す概念図である。なお、図３と共通する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４２】
図５に示す無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａは、図３に示した無駄時間補償回路２１の構成において、１次遅れ要素３２’の配置位置を変えた構成となっている。
【００４３】
無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａは、熱交換器６の入口Ａから、外乱の影響を受けた入口温度の実測値を示す信号を入力し、この入力信号に対して例えば次数の高い遅れ要素から順に各遅れ要素を乗じ、最後に無駄時間要素を乗じる。ここでは、２次遅れ要素３３’、１次遅れ要素３２’、無駄時間要素３１’の順に演算を行う。ここで、無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａは、１次遅れ要素３２’および無駄時間要素３１’を乗じる前の演算結果を所定の記憶領域（図示せず）に一時的に記憶し、１次遅れ要素３２’および無駄時間要素３１’を乗じた後の演算結果から、当該１次遅れ要素３２’および無駄時間要素３１’を乗じる前の演算結果を演算部３４において差し引き、その結果を無駄時間・遅れ時間補償信号として出力する。この無駄時間・遅れ時間補償信号には、前述の外乱の影響が反映されている。
【００４４】
これにより、補正部２２においては、熱交換器６の出口Ｂから得られる出口温度の実測値を示す信号が、外乱の影響が反映された無駄時間・遅れ時間補償信号により補正されて、制御部３０にフィードバックされる。
【００４５】
なお、図５の例では、無駄時間要素３１’に対して１次遅れ要素３２’を直列接続する場合を例示しているが、これに加えて更に２次遅れ要素３３’を直列接続するように構成してもよい。これにより、１次遅れ要素３２’に加えて２次遅れ要素３３’をも補償することができる。また、３次遅れ以上の高次の遅れ時間要素については、例えば複数個の１次遅れ要素３２’を直接接続することで代用してもよい。
【００４６】
また、プロセスが例えば無駄時間要素および１次〜４次遅れ要素を考慮して同定されるような場合は、例えば無駄時間要素および１次〜２次遅れ要素の分を無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａにより補償し、残りの３次〜４次遅れ要素の分を出口温度制御部２４の制御（ＰＩＤ制御など）により補償するように構成してもよい。この場合、無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａ側で取り扱う次数と、出口温度制御部２４側で取り扱う次数とが同じになるため、制御パラメータを決定しやすい。
【００４７】
この第２の実施形態によれば、第１の実施形態で得られる効果に加え、更に、熱交換器６における遅れ時間をも補償することが可能となる。
【００４８】
（第３の実施形態）
図６を参照して、第３の実施形態について説明する。
【００４９】
図６は、第３の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図である。なお、図４と共通する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００５０】
図６に示す蒸気温度制御装置２０は、図４に示した蒸気温度制御装置２０の構成において、更に、動特性予想演算部４１を含む構成となっている。
【００５１】
動特性予想演算部４１は、プラントの負荷（負荷指令値など）の変化に伴う熱交換器６の熱量の変化を示す動特性モデルを有し、この動特性モデルに従い熱交換器６の入口温度の目標値を変化させるものである。すなわち、動特性予想演算部４１は、動特性モデルを用いて、プラントの負荷変化時に熱交換器６に加わる熱量の変化を予測した予測値を演算し、その演算結果を、入口温度目標値設定部２５により設定される熱交換器６の入口温度の目標値に対して加算する。
【００５２】
この第３の実施形態によれば、第１および第２の実施形態で得られる効果に加え、更に、熱交換器６の入口から出口までの間に加わる負荷変化時の熱量変化の影響をも補償することが可能となり、より一層外乱に強い制御系を実現することが可能となる。
【００５３】
（第４の実施形態）
図７を参照して、第４の実施形態について説明する。
【００５４】
図７は、第４の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図である。なお、図６と共通する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００５５】
図７に示す蒸気温度制御装置２０は、図６に示した蒸気温度制御装置２０の構成において、更に、ゲイン補償回路５１を含む構成となっている。
【００５６】
ゲイン補償回路５１は、プラントの運転状態の変化に伴う熱交換器６の出口蒸気と入口蒸気との蒸気エネルギー比率の変化に応じて無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａの出力信号のゲインを変化させるものである。すなわち、このゲイン補償回路５１は、プラントが高負荷状態の時と低負荷状態の時とで熱交換器６の入口と出口の比熱比などの蒸気エネルギー比率が異なるという特性を利用し、例えば負荷指令値などに基づいて当該蒸気エネルギー比率に応じたゲインを決定する。
【００５７】
この第４の実施形態によれば、第１〜第３の実施形態で得られる効果に加え、更に、負荷が高く蒸気が大量に発生している場合や負荷が低く蒸気が少量である場合など、プラントの運転状態が大きく変化する場合においても、無駄時間補償、遅れ時間補償、外乱補償、熱量変化補償を伴う高精度な制御を維持することができる。
【００５８】
（第５の実施形態）
図８を参照して、第５の実施形態について説明する。
【００５９】
図８は、第５の実施形態に係る蒸気温度制御装置２０およびその制御対象周辺の構成の一例を示すブロック図である。なお、図７と共通する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００６０】
図８に示す蒸気温度制御装置２０は、図７に示した蒸気温度制御装置２０の構成において、更に、可変設定部６１〜６３を含む構成となっている。
【００６１】
可変設定部６１〜６３は、それぞれ、無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａ、出口温度制御部２４、および入口温度制御部２７の各演算に使用される制御パラメータの可変設定を行うものである。
【００６２】
例えば、あるプラント運転状態において、システム同定を行い、熱交換器６における無駄時間や遅れ時間などの推定を行い、これに伴い、無駄時間・遅れ時間補償回路２１Ａでの演算に使用されるゲイン，無駄時間，時定数などの制御パラメータ、出口温度制御部２４での演算に使用されるゲインなどの制御パラメータ、および、入口温度制御部２７での演算に使用されるゲインなどの制御パラメータのそれぞれについて最適値を計算する。そして、可変設定部６１〜６３により、各制御パラメータを最適値に設定する。なお、これら一連の処理の全部もしくは一部は、情報処理装置を用いて実施することが可能である。
【００６３】
この第５の実施形態によれば、第１〜第４の実施形態で得られる効果に加え、更に、プラント運転状態に応じて、上位の制御に関わる制御パラメータおよび下位の制御に関わる制御パラメータならびに無駄時間・遅れ時間補償のそれぞれを最適値に設定することができ、現地における制御調整を効率的に行うことが可能となる。
【００６４】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６５】
１…ボイラ設備、２…ボイラ、３…蒸気ドラム、４…蒸発器、５…熱交換器（第１の熱交換器）、６…熱交換器（第２の熱交換器）、７…減温器、８…調節弁、９…脱気器、１０…給水ポンプ、１１…節炭器、２０…蒸気温度制御装置、２１…無駄時間補償回路、２１Ａ…無駄時間・遅れ時間補償回路、２２…補正部、２３…出口温度目標値設定部、２４…出口温度制御部（第１の制御部）、２５…入口温度目標値設定部、２６…補正部、２７…入口温度制御部（第２の制御部）、２８…温度検出器、２９…温度検出器、３０…制御部、３１，３１’…無駄時間要素、３２，３２’…１次遅れ要素、３３，３３’…２次遅れ要素、３４…演算部、４１…動特性予想演算部、５１…ゲイン補償回路、６１〜６３…可変設定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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