(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台に載置されている回路基板を当該載置台における予め規定された規定位置に位置決めする位置決め装置であって、
前記載置台に載置されている前記回路基板における互いに対向する一対の端部を押圧して当該載置台における第１方向に沿って当該回路基板を位置決めする第１位置決め機構と、当該回路基板における互いに対向する他の一対の端部を押圧して当該載置台における前記第１方向に直交する第２方向に沿って当該回路基板を位置決めする第２位置決め機構とを備え、
前記第１位置決め機構は、前記第１方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設されて前記一対の端部をそれぞれ押圧する一対の第１スライダと、前記第２方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設された第２スライダと、前記各第１スライダおよび前記第２スライダをそれぞれ連結する一対の第１リンク部材と、前記各第１スライダおよび前記第２スライダのいずれか１つのスライダをスライドさせる第１駆動部とを備え、当該いずれか１つのスライダのスライドに連動して前記各第１スライダが前記規定位置を中心とする対称の位置関係を維持しつつ前記第１方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に構成され、
前記第２位置決め機構は、前記第２方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設されて前記他の一対の端部をそれぞれ押圧する一対の第３スライダと、前記第１方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設された第４スライダと、前記各第３スライダおよび前記第４スライダをそれぞれ連結する一対の第２リンク部材と、前記各第３スライダおよび前記第４スライダのいずれか１つのスライダをスライドさせる第２駆動部とを備え、当該いずれか１つのスライダのスライドに連動して前記各第３スライダが前記規定位置を中心とする対称の位置関係を維持しつつ前記第２方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に構成され、
前記載置台は板状に構成され、
前記第１位置決め機構は、前記載置台における一方の面側に配置され、
前記第２位置決め機構は、前記載置台における他方の面側に配置されている位置決め装置。
【請求項２】
前記第１駆動部は、前記第２スライダをスライドさせる請求項１記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記第２駆動部は、前記第４スライダをスライドさせる請求項１または２記載の位置決め装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の位置決め装置と、当該位置決め装置によって位置決めされている前記回路基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング機構と、前記検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記回路基板を検査する検査部とを備えている回路基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、載置台に載置されている回路基板を予め規定された規定位置に位置決めする位置決め装置、およびその位置決め装置を備えた回路基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回路基板を予め規定された位置に位置決めする装置として、特開２００８−２３５７２７号公報において出願人が開示した固定装置が知られている。この固定装置は、載置台およびスライド板などを備え、載置台における予め規定された位置に回路基板を位置決めした状態で固定可能に構成されている。この固定装置では、載置台に形成されている凹部に載置した回路基板の１つの角部（第１角部）にスライド板を当接させ、凹部の対角線に沿ってスライド板をスライドさせることにより、回路基板をこの対角線に沿って移動させる。次いで、回路基板における上記の第１角部に対向する他の１つの角部（第２角部）が凹部の角部に位置したときには、回路基板における上記の第２角部を構成する側面が凹部の角部を構成する側壁に押し当てられて、予め規定された位置としての凹部の角部に第２の角部が位置決めされた状態で、回路基板が載置台に固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２３５７２７号公報（第４−６頁、第３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記の固定装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この固定装置では、予め規定された位置としての凹部の角部に回路基板の１つの角部を位置決めしている。このため、例えば、大きさや形状（縦横比）が互いに異なる２つの回路基板をこの固定装置で位置決めしたときには、各回路基板の中心部が互いに異なる位置に位置することとなる。一方、位置決めした回路基板に対して次の作業を行う際の作業効率を向上させる上で、回路基板の大きさに拘わらず、予め規定された位置に回路基板の中心部が位置するように位置決めするのが好ましいことがある。例えば、複数の検査用プローブを有する治具型のプローブユニットにおける各検査用プローブを位置決めした回路基板にプロービングさせるときに、プローブユニットの中心部と回路基板の中心部とを位置合わせすることがある。この際には、予め規定された位置に回路基板の中心部が位置するように位置決めすることで、回路基板の形状や大きさに拘わらず、プローブユニットと回路基板との位置合わせを短時間で容易に行うことができる。しかしながら、回路基板の１つの角部を予め規定された位置に位置決めする上記の固定装置では、このような態様での位置決めは困難である。このため、この点を解決可能な手段の開発が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、大きさが異なる複数種類の回路基板の中心部が予め規定された位置に位置するように位置決めし得る位置決め装置および回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の位置決め装置は、載置台に載置されている回路基板を当該載置台における予め規定された規定位置に位置決めする位置決め装置であって、前記載置台に載置されている前記回路基板における互いに対向する一対の端部を押圧して当該載置台における第１方向に沿って当該回路基板を位置決めする第１位置決め機構と、当該回路基板における互いに対向する他の一対の端部を押圧して当該載置台における前記第１方向に直交する第２方向に沿って当該回路基板を位置決めする第２位置決め機構とを備え、前記第１位置決め機構は、前記第１方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設されて前記一対の端部をそれぞれ押圧する一対の第１スライダと、前記第２方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設された第２スライダと、前記各第１スライダおよび前記第２スライダをそれぞれ連結する一対の第１リンク部材と、前記各第１スライダおよび前記第２スライダのいずれか１つのスライダをスライドさせる第１駆動部とを備え、当該いずれか１つのスライダのスライドに連動して前記各第１スライダが前記規定位置を中心とする対称の位置関係を維持しつつ前記第１方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に構成され、前記第２位置決め機構は、前記第２方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設されて前記他の一対の端部をそれぞれ押圧する一対の第３スライダと、前記第１方向に沿ってスライド可能に前記載置台に配設された第４スライダと、前記各第３スライダおよび前記第４スライダをそれぞれ連結する一対の第２リンク部材と、前記各第３スライダおよび前記第４スライダのいずれか１つのスライダをスライドさせる第２駆動部とを備え、当該いずれか１つのスライダのスライドに連動して前記各第３スライダが前記規定位置を中心とする対称の位置関係を維持しつつ前記第２方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に構成され、前記載置台は板状に構成され、前記第１位置決め機構は、前記載置台における一方の面側に配置され、前記第２位置決め機構は、前記載置台における他方の面側に配置されている。
【０００７】
また、請求項２記載の位置決め装置は、請求項１記載の位置決め装置において、前記第１駆動部は、前記第２スライダをスライドさせる。
【０００８】
また、請求項３記載の位置決め装置は、請求項１または２記載の位置決め装置において、前記第２駆動部は、前記第４スライダをスライドさせる。
【００１０】
また、請求項４記載の回路基板検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の位置決め装置と、当該位置決め装置によって位置決めされている前記回路基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング機構と、前記検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記回路基板を検査する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載の位置決め装置では、第１駆動部による各第１スライダおよび第２スライダのいずれか１つのスライドに連動して各第１スライダが規定位置を中心として対称の位置関係を維持しつつ第１方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に第１位置決め機構が構成され、第２駆動部による第３スライダおよび第４スライダのいずれか１つのスライドに連動して各第２スライダが規定位置を中心として対称の位置関係を維持しつつ第２方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に第２位置決め機構が構成されている。このため、この位置決め装置によれば、回路基板が載置台に載置された状態において、回路基板の中心部と規定位置とが位置ずれしているときには、各第１スライダのスライドによって回路基板を第１方向に沿った位置ずれ分だけ第１方向に沿って移動させると共に、各第３スライダのスライドによって回路基板を第２方向に沿った位置ずれ分だけ第２方向に沿って移動させることができる結果、位置ずれを矯正して中心部が規定位置に位置するように回路基板を確実に位置決めを行うことができる。また、この位置決め装置では、各第１スライダおよび各第３スライダが規定位置を中心として対称の位置関係を維持しつつスライドすることで、回路基板の大きさや形状に拘わらず、このような位置ずれが確実に矯正される。したがって、この位置決め装置によれば、大きさが異なる複数種類の回路基板を、その中心部が予め規定された規定位置に位置するように確実に位置決めすることができる。また、この位置決め装置によれば、載置台を板状に構成し、載置台の一方の面側に第１位置決め機構を配置し、載置台の他方の面側に第２位置決め機構を配置したことにより、例えば、一方の面および他方の面のいずれか一方側に第１位置決め機構および第２位置決め機構の双方を配置する構成と比較して、中心部が予め規定された規定位置に位置するように回路基板を確実に位置決めする機能を確保しつつ位置決め装置を全体として平面視で小形に構成することができる。
【００１２】
請求項２記載の位置決め装置では、第１駆動部が各第１スライダおよび第２スライダのうちの第２スライダをスライドさせる。この場合、例えば、第１駆動部が各第１スライダの一方をスライドさせる構成では、第１リンク部材を介して一方の第１スライダに連結されている第２スライダが、一方の第１スライダのスライドによってスライドし、さらに第１リンク部材を介して第２スライダに連結されている他方の第１スライダが、第２スライダのスライドによってスライドする。このため、この構成では、一方の第１スライダには第１駆動部の駆動力が直接伝達されるのに対して、他方の第１スライダには第１駆動部の駆動力が直接伝達されない（つまり、第１駆動部の駆動力が各第１スライダに均等に伝達されない）こととなり、各第１スライダを規定位置を中心として対称の位置関係を維持しつつスムーズにスライドさせるのが困難となることがある。これに対して、この構成では、第１駆動部が第２スライダをスライドさせるため、第１駆動部の駆動力を各第１スライダに均等に伝達させることができる結果、回路基板の中心部を規定位置に位置させる位置決めをより確実に行うことができる。
【００１３】
請求項３記載の位置決め装置では、第２駆動部が各第３スライダおよび第４スライダのうちの第４スライダをスライドさせる。この場合、例えば、第２駆動部が各第３スライダの一方をスライドさせる構成では、第２リンク部材を介して一方の第３スライダに連結されている第４スライダが、一方の第３スライダのスライドによってスライドし、さらに第２リンク部材を介して第４スライダに連結されている他方の第３スライダが、第４スライダのスライドによってスライドする。このため、この構成では、一方の第３スライダには第２駆動部の駆動力が直接伝達されるのに対して、他方の第３スライダには第２駆動部の駆動力が直接伝達されない（つまり、第２駆動部の駆動力が各第３スライダに均等に伝達されない）こととなり、規定位置を中心として対称の位置関係を維持しつつ各第３スライダをスムーズにスライドさせるのが困難となることがある。これに対して、この構成では、第２駆動部が第４スライダをスライドさせるため、第２駆動部の駆動力を各第３スライダに均等に伝達させることができる結果、回路基板の中心部を規定位置に位置させる位置決めをより確実に行うことができる。
【００１５】
請求項４記載の回路基板検査装置では、上記の位置決め装置を備えたことにより、上記の位置決め装置が有する効果と同様の効果を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】回路基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】表面１１ａ側から見た位置決め装置２の平面図である。
【図３】裏面１１ｂ側から見た位置決め装置２の平面図である。
【図４】位置決め装置２の動作を説明する第１の説明図である。
【図５】位置決め装置２の動作を説明する第２の説明図である。
【図６】位置決め装置２の動作を説明する第３の説明図である。
【図７】位置決め装置２の動作を説明する第４の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、位置決め装置および回路基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１８】
最初に、回路基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す回路基板検査装置１は、回路基板の一例としての回路基板１００ａ，１００ｂ（図２〜図７参照：以下、区別しないときには「回路基板１００」ともいう）に対する電気的検査を実行可能に構成されている。具体的には、回路基板検査装置１は、一例として、図１に示すように、位置決め装置２、プローブユニット３、プロービング機構４、検査用信号出力部５、スキャナ部６、測定部７、記憶部８および制御部９を備えて構成されている。
【００１９】
位置決め装置２は、図２に示すように、載置台１１、第１位置決め機構１２ａ、第２位置決め機構１２ｂおよび給気機構１３（図１参照）を備え、載置台１１に載置されている回路基板１００を、その中心部Ｃが載置台１１において予め規定された規定位置Ｐｒに位置するように（対向するように）位置決め可能に構成されている。この場合、図２に示すように、一例として、回路基板１００が載置される載置領域Ｆの中心位置が規定位置Ｐｒとして規定されている。
【００２０】
載置台１１は、図２に示すように、全体として矩形の板状に形成され、表面１１ａ（一方の面）における載置領域Ｆに回路基板１００を載置可能に構成されている。また、載置台１１には、裏面１１ｂ（他方の面：図３参照）側に配設された後述する第２位置決め機構１２ｂの先端部６１を表面１１ａ側に突出させるためのスリットＳが載置領域Ｆの一部を切り抜くようにして形成されている。
【００２１】
第１位置決め機構１２ａは、図２に示すように、載置台１１の表面１１ａ側に配設され、載置台１１に載置されている回路基板１００における互いに対向する一対の端部１０１ａ，１０１ｂを押圧して、載置台１１における第１方向（同図に示す矢印Ｘの方向であって、以下「Ｘ方向」ともいう）に沿って回路基板１００を位置決め可能に構成されている。具体的には、第１位置決め機構１２ａは、一対のスライダ２１ａ，２１ｂ、スライダ２２、ガイドレール２３ａ，２３ｂ、リンク部材２４ａ，２４ｂ、および駆動部２５を備えて構成されている。
【００２２】
スライダ２１ａ，２１ｂは、第１スライダに相当し、図２に示すように、Ｘ方向に沿って載置台１１の表面１１ａに取り付けられているガイドレール２３ａに係合して、ガイドレール２３ａに沿って（つまり、Ｘ方向に沿って）スライド可能に載置台１１に配設されている。また、スライダ２１ａ，２１ｂは、規定位置Ｐｒ（載置領域Ｆの中心位置）を挟んで互いに対向する位置に配設され、互いに近接するようにスライドさせられたときに、回路基板１００における一対の端部１０１ａ，１０１ｂを各々の先端部５１でそれぞれ押圧する。
【００２３】
スライダ２２は、第２スライダに相当し、図２に示すように、第１方向（Ｘ方向）に直交する第２方向（同図に示す矢印Ｙの方向であって、以下「Ｙ方向ともいう）に沿って載置台１１の表面１１ａに取り付けられているガイドレール２３ｂに係合して、ガイドレール２３ｂに沿って（つまり、Ｙ方向に沿って）スライド可能に載置台１１に配設されている。
【００２４】
リンク部材２４ａ，２４ｂは、第１リンク部材に相当し、同じ長さに形成されている。この場合、図２に示すように、リンク部材２４ａは、スライダ２１ａの支持軸５２およびスライダ２２の支持軸５３に両端部がそれぞれ支持されることにより、スライダ２１ａとスライダ２２とを連結し、リンク部材２４ｂは、スライダ２１ｂの支持軸５２およびスライダ２２の支持軸５３に両端部がそれぞれ支持されることにより、スライダ２１ｂとスライダ２２とを連結する。
【００２５】
駆動部２５は、第１駆動部に相当し、一例として、エアシリンダで構成されて、各スライダ２１ａ，２１ｂ，２２のいずれか１つ（この例では、スライダ２２）をスライドさせる。具体的には、駆動部２５は、給気機構１３からの圧縮空気が供給口２５ａ，２５ｂ（図２参照）から供給されることによってロッド２５ｃ（同図参照）を伸縮させ、これによって、スライダ２２をＹ方向に沿ってスライドさせる。
【００２６】
この第１位置決め機構１２ａでは、駆動部２５によってスライダ２２が図２に示す矢印Ｙ１の向きにスライドさせられたときに、リンク部材２４ａを介して連結されているスライダ２１ａが同図に示す矢印Ｘ１の向きにスライドし、リンク部材２４ｂを介して連結されているスライダ２１ｂが同図に示す矢印Ｘ２の向きにスライドする。また、駆動部２５によってスライダ２２が同図に示す矢印Ｙ２の向きにスライドさせられたときに、スライダ２１ａが同図に示す矢印Ｘ２の向きにスライドし、スライダ２１ｂが同図に示す矢印Ｘ１の向きにスライドする。つまり、スライダ２１ａ，２１ｂは、スライダ２２のスライドに連動して互いに近接する向きおよび互いに離反する向きにスライドする。この場合、リンク部材２４ａ，２４ｂが同じ長さに形成されているため、スライダ２１ａ，２１ｂは、規定位置Ｐｒに対して互いに同じ距離だけ離間した状態を維持しつつ、つまり、規定位置Ｐｒを中心とする対称の位置関係を維持しつつＸ方向（同図における左右方向）に沿ってスライドする。
【００２７】
第２位置決め機構１２ｂは、図３に示すように、載置台１１の裏面１１ｂ側に配設され、載置台１１に載置されている回路基板１００における互いに対向する一対の端部１０１ｃ，１０１ｄ（上記した一対の端部１０１ａ，１０１ｂとは異なる他の一対の端部）を押圧して、載置台１１におけるＹ方向に沿って回路基板１００を位置決め可能に構成されている。具体的には、第２位置決め機構１２ｂは、一対のスライダ３１ａ，３１ｂ、スライダ３２、ガイドレール３３ａ，３３ｂ、リンク部材３４ａ，３４ｂ、および駆動部３５を備えて構成されている。
【００２８】
スライダ３１ａ，３１ｂは、第３スライダに相当し、図３に示すように、Ｙ方向に沿って載置台１１の裏面１１ｂに取り付けられているガイドレール３３ａに係合して、ガイドレール３３ａに沿って（つまり、Ｙ方向に沿って）スライド可能に載置台１１に配設されている。また、スライダ３１ａ，３１ｂは、規定位置Ｐｒを挟んで互いに対向する位置に配設され、互いに近接するようにスライドさせられたときに、回路基板１００における一対の端部１０１ｃ，１０１ｄに各々の先端部６１がそれぞれ押圧する。
【００２９】
スライダ３２は、第４スライダに相当し、図３に示すように、Ｘ方向に沿って載置台１１の裏面１１ｂに取り付けられているガイドレール３３ｂに係合して、ガイドレール３３ｂに沿って（つまり、Ｘ方向に沿って）スライド可能に載置台１１に配設されている。
【００３０】
リンク部材３４ａ，３４ｂは、第２リンク部材に相当し、同じ長さに形成されている。この場合、図３に示すように、リンク部材３４ａは、スライダ３１ａの支持軸６２およびスライダ３２の支持軸６３に両端部がそれぞれ支持されることにより、スライダ３１ａとスライダ３２とを連結し、リンク部材３４ｂは、スライダ３１ｂの支持軸６２およびスライダ３２の支持軸６３に両端部がそれぞれ支持されることにより、スライダ３１ｂとスライダ３２とを連結する。
【００３１】
駆動部３５は、第２駆動部に相当し、駆動部２５と同様のエアシリンダで構成されて、各スライダ３１ａ，３１ｂ，３２のいずれか１つ（この例では、スライダ３２）をスライドさせる。具体的には、駆動部３５は、給気機構１３からの圧縮空気が供給口３５ａ，３５ｂ（図３参照）から供給されることによってロッド３５ｃ（同図参照）を伸縮させ、これによって、スライダ３２をＸ方向に沿ってスライドさせる。
【００３２】
この第２位置決め機構１２ｂでは、駆動部３５によってスライダ３２が図３に示す矢印Ｘ１の向きにスライドさせられたときに、リンク部材３４ａを介してスライダ３２に連結されているスライダ３１ａが同図に示す矢印Ｙ１の向きにスライドし、リンク部材３４ｂを介してスライダ３２に連結されているスライダ３１ｂが、同図に示す矢印Ｙ２の向きにスライドする。また、駆動部３５によってスライダ３２が同図に示す矢印Ｘ２の向きにスライドさせられたときに、スライダ３１ａが同図に示す矢印Ｙ２の向きにスライドし、スライダ３１ｂが同図に示す矢印Ｙ１の向きにスライドする。つまり、スライダ３１ａ，３１ｂは、スライダ３２のスライドに連動して互いに近接する向きおよび互いに離反する向きにスライドする。この場合、リンク部材３４ａ，３４ｂが同じ長さに形成されているため、スライダ３１ａ，３１ｂは、規定位置Ｐｒに対して互いに同じ距離だけ離間した状態を維持しつつ、つまり、規定位置Ｐｒを中心とする対称の位置関係を維持しつつＹ方向（同図における上下方向）に沿ってスライドする。
【００３３】
給気機構１３は、一例として、コンプレッサおよびおよび電磁弁（いずれも図示せず）を備えて構成され、制御部９の制御に従い、エアチューブ１３ａを介して第１位置決め機構１２ａにおける駆動部２５の供給口２５ａ，２５ｂ、および第２位置決め機構１２ｂにおける駆動部３５の供給口３５ａ，３５ｂに圧縮空気を供給することにより、駆動部２５および駆動部３５を作動させる。
【００３４】
プローブユニット３は、図１に示すように、回路基板１００に形成されている各導体パターン（図示せず）にそれぞれプロービングさせる複数の検査用プローブ３ａを備えて治具型に構成されている。プロービング機構４は、制御部９の制御に従い、プローブユニット３を上下方向に移動させることにより、位置決め装置２によって位置決めされている回路基板１００の各導体パターンに対してプローブユニット３の各検査用プローブ３ａをプロービングさせる。
【００３５】
検査用信号出力部５は、制御部９の制御に従い、検査用信号（例えば、直流電圧信号）を出力する。スキャナ部６は、複数のスイッチ（図示せず）を備えて構成され、制御部９の制御に従って各スイッチをオン状態またはオフ状態に移行させることにより、プローブユニット３における検査用プローブ３ａと検査用信号出力部５との接断（接続および切断）、および検査用プローブ３ａと測定部７との接断を行う。
【００３６】
測定部７は、例えば、回路基板１００の各導体パターンに接触された検査用プローブ３ａを介して各導体パターンに検査用信号が供給されている状態において、各導体パターン間の抵抗値を測定する測定処理を実行する。
【００３７】
記憶部８は、プローブユニット３の各検査用プローブ３ａを回路基板１００の導体パターンにプロービングさせるのに必要なプロービング情報（例えば、プローブユニット３の中心位置を示す情報や、規定位置Ｐｒを示す情報）を記憶する。また、記憶部８は、測定部７によって測定された抵抗値（測定値）を記憶すると共に、制御部９によって実行される各導体パターンの間の絶縁状態の良否の検査の際に用いる抵抗の基準値を記憶する。
【００３８】
制御部９は、図外の操作部から出力される操作信号に従って回路基板検査装置１を構成する各構成要素を制御する。具体的には、制御部９は、プロービング機構４によるプロービングを制御する。また、制御部９は、検査用信号出力部５による検査用信号の出力を制御する。
【００３９】
また、制御部９は、検査部として機能し、検査用プローブ３ａを介して入出力する電気信号に基づく回路基板１００に対する電気的検査を実行する。具体的には、制御部９は、測定部７によって測定された抵抗値と基準値とを比較して、回路基板１００における各導体パターンの間の絶縁状態の良否を検査する。
【００４０】
次に、回路基板検査装置１を用いて回路基板１００ａ，１００ｂに対する検査を行う方法、およびその際の各構成要素の動作について、添付図面を参照して説明する。なお、図２，３に示すように、初期状態において、スライダ２１ａ，２１ｂが互いに離間し、スライダ３１ａ，３１ｂが互いに離間しているものとする。
【００４１】
まず、図２に示すように、位置決め装置２の載置台１１における表面１１ａの載置領域Ｆに回路基板１００ａを載置し、次いで、図外の操作部を操作して検査開始を指示する。この際に、制御部９が、操作部から出力された操作信号に従い、位置決め装置２の給気機構１３を制御して、第１位置決め機構１２ａにおける駆動部２５の供給口２５ａに圧縮空気を供給させる。
【００４２】
続いて、給気機構１３からの圧縮空気の供給により、図４に示すように、ロッド２５ｃが縮長する。この際に、ロッド２５ｃに接続されているスライダ２２が、ガイドレール２３ｂに沿って、同図に示す矢印Ｙ１の向きにスライドする。
【００４３】
また、スライダ２２のスライドに伴い、リンク部材２４ａを介してスライダ２２に連結されているスライダ２１ａが、ガイドレール２３ａに沿って、図４に示す矢印Ｘ１の向きにスライドする。また、スライダ２２のスライドに伴い、リンク部材２４ｂを介してスライダ２２に連結されているスライダ２１ｂが、ガイドレール２３ａに沿って、同図に示す矢印Ｘ２の向きにスライドする。つまり、スライダ２１ａ，２１ｂが互いに近接する向きにスライドする。
【００４４】
次いで、スライダ２１ａ，２１ｂが上記した向きにさらにスライドさせられたときには、スライダ２１ａ，２１ｂにおける各々の先端部５１が回路基板１００ａの端部１０１ａ，１０１ｂをそれぞれ押圧する。
【００４５】
この場合、この第１位置決め機構１２ａでは、スライダ２２のスライドに連動して、スライダ２１ａ，２１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＸ方向に沿ってスライドする。このため、回路基板１００ａが載置領域Ｆに載置された状態において、回路基板１００ａの中心部Ｃと規定位置Ｐｒとが位置ずれしているときには、回路基板１００ａが、Ｘ方向に沿った位置ずれ分だけスライダ２１ａ，２１ｂのスライドに伴ってＸ方向に沿って移動させられる結果、Ｘ方向に沿った位置ずれが矯正される。
【００４６】
続いて、制御部９は、給気機構１３を制御して、第２位置決め機構１２ｂにおける駆動部３５の供給口３５ａに圧縮空気を供給させる。この際に、給気機構１３からの圧縮空気の供給により、図５に示すように、ロッド３５ｃが縮長する。この際に、ロッド３５ｃに接続されているスライダ３２が、ガイドレール３３ｂに沿って、同図に示す矢印Ｘ２の向きにスライドする。
【００４７】
また、スライダ３２のスライドに伴い、リンク部材３４ａを介してスライダ３２に連結されているスライダ３１ａが、ガイドレール３３ａに沿って、図５に示す矢印Ｙ２の向きにスライドする。また、スライダ３２のスライドに伴い、リンク部材３４ｂを介してスライダ３２に連結されているスライダ３１ｂが、ガイドレール３３ａに沿って、同図に示す矢印Ｙ１の向きにスライドする。つまり、スライダ３１ａ，３１ｂが互いに近接する向きにスライドする。
【００４８】
次いで、スライダ３１ａ，３１ｂが上記した向きにさらにスライドさせられたときには、スライダ３１ａ，３１ｂにおける各々の先端部６１が回路基板１００ａの端部１０１ｃ，１０１ｄをそれぞれ押圧する。
【００４９】
この場合、この第２位置決め機構１２ｂでは、スライダ３２のスライドに連動して、スライダ３１ａ，３１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＹ方向に沿ってスライドする。このため、回路基板１００ａが載置領域Ｆに載置された状態において、回路基板１００ａの中心部Ｃと規定位置Ｐｒとが位置ずれしているときには、回路基板１００ａが、Ｙ方向に沿った位置ずれ分だけスライダ３１ａ，３１ｂのスライドに伴ってＹ方向に沿って移動させられる結果、Ｙ方向に沿った位置ずれが矯正される。これにより、中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置する（対向する）ように回路基板１００ａが確実に位置決めされる。この場合、この時点では、上記したように、第１位置決め機構１２ａにおけるスライダ２１ａ，２１ｂの先端部５１によって回路基板１００ａの端部１０１ａ，１０１ｂが押圧されているため、Ｙ方向に沿って回路基板１００ａが移動させられる際に先端部５１と端部１０１ａ，１０１ｂとが摺動するが、摩擦抵抗が小さい材料で先端部５１を形成することで、回路基板１００ａをＹ方向に沿ってスムーズに移動させることができる。
【００５０】
なお、上記の例では、第１位置決め機構１２ａを作動させた後に第２位置決め機構１２ｂを作動させて、Ｘ方向（第１方向）に沿った位置ずれの矯正（第１方向に沿った位置決め）を行った後にＹ方向（第２方向）に沿った位置ずれの矯正（第２方向に沿った位置決め）を行っているが、これとは逆に、第２位置決め機構１２ｂを作動させた後に第１位置決め機構１２ａを作動させて、Ｙ方向に沿った位置ずれの矯正を行った後にＸ方向に沿った位置ずれの矯正を行う構成を採用することもできる。また、第１位置決め機構１２ａおよび第２位置決め機構１２ｂを並行して作動させて、Ｘ方向に沿った位置ずれの矯正とＹ方向に沿った位置ずれの矯正とを並行して行う構成を採用することもできる。
【００５１】
続いて、制御部９は、記憶部８からプロービング情報を読み出す。次いで、制御部９は、プロービング情報に基づいてプロービング機構４を制御してプロービングを行わせる。具体的には、制御部９は、プロービング情報に含まれているプローブユニット３の中心位置、および位置決め装置２における載置台１１の規定位置Ｐｒを特定し、プローブユニット３の中心位置が規定位置Ｐｒに位置する（対向する）ように位置合わせさせつつ、プローブユニット３を下向きに移動させる。これにより、プローブユニット３の各検査用プローブ３ａの先端部が回路基板１００ａの各導体パターンにプロービングさせられる。
【００５２】
この場合、この回路基板検査装置１では、回路基板１００ａの中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置する（対向する）ように位置決め装置２によって回路基板１００ａが位置決めされているため、プロービングの際に、回路基板１００ａの中心部Ｃと規定位置Ｐｒとの位置ずれ分を補正する処理を省略することが可能なため、その分、プロービングが完了するまでの時間が短縮される結果、検査効率の向上が可能となっている。
【００５３】
続いて、制御部９は、検査用信号出力部５を制御して、検査用信号（例えば、直流電圧信号）の出力を開始させる。次いで、制御部９は、スキャナ部６を制御して、検査用信号出力部５および測定部７と検査用プローブ３ａとを接続させる。これにより、各導体パターンの間に検査用信号が供給される。続いて、制御部９は、測定部７に対して測定処理を実行させて、各導体パターン間の抵抗値を測定させると共に、測定された抵抗値（測定値）を記憶部８に記憶させる。次いで、制御部９は、制御部９から抵抗の基準値および測定値を読み出して両者を比較し、各導体パターンの間の絶縁状態の良否を検査する。この場合、制御部９は、測定値が基準値以上のときには、絶縁状態が良好と判定し、基準値よりも小さいときには、絶縁状態が不良と判定する。
【００５４】
続いて、制御部９は、位置決め装置２の給気機構１３を制御して、第１位置決め機構１２ａにおける駆動部２５の供給口２５ｂ（図２参照）に圧縮空気を供給させる。この際に、駆動部２５のロッド２５ｃが伸長し、ロッド２５ｃに接続されているスライダ２２が、同図に示す矢印Ｙ２の向きにスライドする。
【００５５】
また、スライダ２２のスライドに伴い、スライダ２１ａが、図２に示す矢印Ｘ２の向きにスライドし、スライダ２１ｂが、同図に示す矢印Ｘ１の向きにスライドする。つまり、スライダ２１ａ，２１ｂが互いに離反する向きにスライドする。これにより、同図に示すように、スライダ２１ａ，２１ｂにおける各々の先端部５１が回路基板１００ａの端部１０１ａ，１０１ｂからそれぞれ離反する。
【００５６】
次いで、制御部９は、給気機構１３を制御して、第２位置決め機構１２ｂにおける駆動部３５の供給口３５ｂ（図２参照）に圧縮空気を供給させる。この際に、駆動部３５のロッド３５ｃが伸長し、ロッド３５ｃに接続されているスライダ３２が、同図に示す矢印Ｘ１の向きにスライドする。
【００５７】
また、スライダ３２のスライドに伴い、スライダ３１ａが、図２に示す矢印Ｙ１の向きにスライドし、スライダ３１ｂが、同図に示す矢印Ｙ２の向きにスライドする。つまり、スライダ３１ａ，３１ｂが互いに離反する向きにスライドする。これにより、同図に示すように、スライダ３１ａ，３１ｂにおける各々の先端部６１が回路基板１００ａの端部１０１ｃ，１０１ｄからそれぞれ離反する。続いて、回路基板１００ａを取り出す。以上により、回路基板１００ａに対する検査が終了する。
【００５８】
次に、図６に示すように、上記した回路基板１００ａよりも横長で大形の回路基板１００ｂを検査する際には、載置台１１の載置領域Ｆに回路基板１００ｂを載置し、次いで、検査開始を指示する。この際に、制御部９が、上記したように、給気機構１３を制御して圧縮空気を供給させることにより、図７に示すように、第１位置決め機構１２ａおよび第２位置決め機構１２ｂが上記したように作動する。
【００５９】
この場合、第１位置決め機構１２ａでは、スライダ２２のスライドに連動して、スライダ２１ａ，２１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＸ方向に沿ってスライドし、第２位置決め機構１２ｂでは、スライダ３２のスライドに連動して、スライダ３１ａ，３１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＹ方向に沿ってスライドする。このため、回路基板１００ａの大形の回路基板１００ｂが載置領域Ｆに載置された状態において、回路基板１００ｂの中心部Ｃと規定位置Ｐｒとが位置ずれしているときにも、スライダ２１ａ，２１ｂのスライドに伴ってＸ方向に沿った位置ずれ分だけ回路基板１００ｂがＸ方向に沿って移動させられると共に、スライダ３１ａ，３１ｂのスライドに伴ってＹ方向に沿った位置ずれ分だけ回路基板１００ｂがＹ方向に沿って移動させられる。この結果、図７に示すように、位置ずれが矯正されて、中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置する（対向する）ように回路基板１００ｂが確実に位置決めされる。つまり、この位置決め装置２では、回路基板１００の大きさや形状に拘わらず、位置ずれを矯正して、中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置するように回路基板１００を確実に位置決めすることが可能となっている。
【００６０】
続いて、制御部９は、プロービング機構４を制御してプロービングを行わせる。この場合、この回路基板検査装置１では、回路基板１００の大きさや形状に拘わらず、回路基板１００の中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置するように位置決め装置２によって回路基板１００が位置決めされている。このため、大きさや形状が異なる複数種類の回路基板１００に対する検査を行う場合には、プロービング時における回路基板１００の中心部Ｃと規定位置Ｐｒとの位置ずれ分を補正する処理を省略することによって多くの時間が短縮され、その結果、検査効率をさらに向上させることが可能となる。
【００６１】
この後、制御部９は、検査用信号出力部５を制御して、検査用信号（例えば、直流電圧信号）の出力を開始させる。次いで、制御部９は、スキャナ部６を制御して、検査用信号出力部５および測定部７と検査用プローブ３ａとを接続させる。これにより、各導体パターンの間に検査用信号が供給される。続いて、制御部９は、測定部７によって測定された各導体パターン間の抵抗値（測定値）と抵抗の基準値とを比較し、各導体パターンの間の絶縁状態の良否を検査する。
【００６２】
次に、制御部９は、位置決め装置２の給気機構１３を制御して、第１位置決め機構１２ａにおける駆動部２５の供給口２５ｂ、および第２位置決め機構１２ｂにおける駆動部３５の供給口３５ｂに圧縮空気を供給させる。この際に、スライダ２１ａ，２１ｂが互いに離反する向きにスライドし、スライダ３１ａ，３１ｂが互いに離反する向きにスライドする。これにより、スライダ２１ａ，２１ｂにおける各々の先端部５１が回路基板１００ｂの端部１０１ａ，１０１ｂからそれぞれ離反し、スライダ３１ａ，３１ｂにおける各々の先端部６１が回路基板１００ｂの端部１０１ｃ，１０１ｄからそれぞれ離反する。次いで、回路基板１００ｂを取り出す。以上により、回路基板１００ｂに対する検査が終了する。
【００６３】
このように、この位置決め装置２および回路基板検査装置１では、駆動部２５による各スライダ２１ａ，２１ｂ，２２のいずれか１つのスライドに連動してスライダ２１ａ，２１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＸ方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に第１位置決め機構１２ａが構成され、駆動部３５によるスライダ３１ａ，３１ｂ，３２のいずれか１つのスライドに連動してスライダ３１ａ，３１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつＹ方向に沿って近接および離反するようにスライド可能に第２位置決め機構１２ｂが構成されている。このため、この位置決め装置２および回路基板検査装置１によれば、回路基板１００が載置領域Ｆに載置された状態において、回路基板１００の中心部Ｃと規定位置Ｐｒとが位置ずれしているときには、スライダ２１ａ，２１ｂのスライドによって回路基板１００をＸ方向に沿った位置ずれ分だけＸ方向に沿って移動させると共に、スライダ３１ａ，３１ｂのスライドによって回路基板１００をＹ方向に沿った位置ずれ分だけＹ方向に沿って移動させることができる結果、位置ずれを矯正して中心部Ｃが規定位置Ｐｒに位置するように回路基板１００を確実に位置決めを行うことができる。また、この位置決め装置２および回路基板検査装置１では、各スライダ２１ａ，２１ｂ，３１ａ，３１ｂが規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつスライドすることで、回路基板１００の大きさや形状に拘わらず、このような位置ずれが確実に矯正される。したがって、この位置決め装置２および回路基板検査装置１によれば、大きさが異なる複数種類の回路基板１００を、その中心部Ｃが予め規定された規定位置Ｐｒに位置するように確実に位置決めすることができる。
【００６４】
また、この位置決め装置２および回路基板検査装置１では、駆動部２５がスライダ２１ａ，２１ｂ，２２のうちのスライダ２２をスライドさせる。この場合、例えば、駆動部２５がスライダ２１ａ，２１ｂの一方（例えば、スライダ２１ａ）をスライドさせる構成では、リンク部材２４ａを介してスライダ２１ａに連結されているスライダ２２が、スライダ２１ａのスライドによってスライドし、さらにリンク部材２４ｂを介してスライダ２２に連結されているスライダ２１ｂが、スライダ２２のスライドによってスライドする。このため、この構成では、スライダ２１ａには駆動部２５の駆動力が直接伝達されるのに対して、スライダ２１ｂには駆動部２５の駆動力が直接伝達されない（つまり、駆動部２５の駆動力が各スライダ２１ａ，２１ｂに均等に伝達されない）こととなり、スライダ２１ａ，２１ｂを規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつスムーズにスライドさせるのが困難となることがある。これに対して、この構成では、駆動部２５がスライダ２２をスライドさせるため、駆動部２５の駆動力を各スライダ２１ａ，２１ｂに均等に伝達させることができる結果、回路基板１００の中心部Ｃを規定位置Ｐｒに位置させる位置決めをより確実に行うことができる。
【００６５】
また、この位置決め装置２および回路基板検査装置１では、駆動部３５がスライダ３１ａ，３１ｂ，３２のうちのスライダ３２をスライドさせる。この場合、例えば、駆動部３５がスライダ３１ａ，３１ｂの一方（例えば、スライダ３１ａ）をスライドさせる構成では、リンク部材３４ａを介してスライダ３１ａに連結されているスライダ３２が、スライダ３１ａのスライドによってスライドし、さらにリンク部材３４ｂを介してスライダ３２に連結されているスライダ３１ｂが、スライダ３２のスライドによってスライドする。このため、この構成では、スライダ３１ａには駆動部３５の駆動力が直接伝達されるのに対して、スライダ３１ｂには駆動部３５の駆動力が直接伝達されない（つまり、駆動部３５の駆動力が各スライダ３１ａ，３１ｂに均等に伝達されない）こととなり、規定位置Ｐｒを中心として対称の位置関係を維持しつつスライダ３１ａ，３１ｂをスムーズにスライドさせるのが困難となることがある。これに対して、この構成では、駆動部３５がスライダ３２をスライドさせるため、駆動部３５の駆動力を各スライダ３１ａ，３１ｂに均等に伝達させることができる結果、回路基板１００の中心部Ｃを規定位置Ｐｒに位置させる位置決めをより確実に行うことができる。
【００６６】
また、この位置決め装置２および回路基板検査装置１によれば、載置台１１を板状に構成し、載置台１１の表面１１ａ側に第１位置決め機構１２ａを配置し、載置台１１の裏面１１ｂ側に第２位置決め機構１２ｂを配置したことにより、例えば、表面１１ａおよび裏面１１ｂのいずれか一方側に第１位置決め機構１２ａおよび第２位置決め機構１２ｂの双方を配置する構成と比較して、中心部Ｃが予め規定された規定位置Ｐｒに位置するように回路基板１００を確実に位置決めする機能を確保しつつ位置決め装置２を全体として平面視で小形に構成することができる。
【００６７】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、エアシリンダで構成された駆動部２５，３５（第１駆動部および第２駆動部）を備えた例について上記したが、モータで構成された第１駆動部および第２駆動部を備えた構成を採用することもできる。また、回路基板検査装置１に組み込まれて、回路基板１００に対してプロービングを行う際に、回路基板１００を位置決めするために位置決め装置２を用いる例について上記したが、例えば、回路基板を製造する製造ライン内において、製造途中の回路基板１００を受け渡す位置に位置決め装置２を配置して、受け渡しの際に回路基板の位置決めを行うために位置決め装置２を用いることもできる。
【００６８】
また、駆動部２５がスライダ２２をスライドさせる構成例について上記したが、駆動部２５がスライダ２１ａ，２１ｂのいずれか一方をスライドさせる構成を採用することもできる。また、駆動部３５がスライダ３２をスライドさせる構成例について上記したが、駆動部３５がスライダ３１ａ，３１ｂのいずれか一方をスライドさせる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００６９】
１  回路基板検査装置
２  位置決め装置
３  プローブユニット
３ａ  検査用プローブ
４  プロービング機構
７  測定部
９  制御部
１１  載置台
１１ａ  表面
１１ｂ  裏面
１２ａ  第１位置決め機構
１２ｂ  第２位置決め機構
２１ａ，２１ｂ  スライダ
２２  スライダ
２４ａ，２４ｂ  リンク部材
２５  駆動部
３１ａ，３１ｂ  スライダ
３２  スライダ
３４ａ，３４ｂ  リンク部材
３５  駆動部
１００ａ，１００ｂ  回路基板
１０１ａ〜１０１ｄ  端部
Ｃ  中心部
Ｐｒ  規定位置
【図１】
0005787613.tif 000002
【図２】
0005787613.tif 000003
【図３】
0005787613.tif 000004
【図４】
0005787613.tif 000005
【図５】
0005787613.tif 000006
【図６】
0005787613.tif 000007
【図７】
0005787613.tif 000008