(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を一方から他方へ移載する移載装置であって、
電子部品を供給する供給ユニットと、
電子部品を収容する収容ユニットと、
前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、
前記供給ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるピックアップ用の第１のロータリーピックアップと、
前記収容ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる収容用の第２のロータリーピックアップと、
を備え、
前記第１及び第２のロータリーピックアップは、同径であり、縦置きされて垂直方向に一致する回転面を有し、回転軸の設置高さを相違させることで、最下端部の高さを異ならせて配置され、前記供給ユニットと前記収容ユニットとの間の搬送経路をロータリーピックアップのみで形成し、
前記第２のロータリーピックアップの最下端部は、前記供給ユニットの最下端部よりも下にあり、
前記供給ユニットは、前記収容ユニットとの対面が開口した設置台に設置され、
前記収容ユニットは、前記設置台の内部に及ぶこと、
を特徴とする移載装置。
【請求項２】
電子部品を一方から他方へ移載する移載装置であって、
電子部品を供給する供給ユニットと、
電子部品を収容する収容ユニットと、
前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、
前記供給ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるピックアップ用の第１のロータリーピックアップと、
前記収容ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる収容用の第２のロータリーピックアップと、
を備え、
前記第１及び第２のロータリーピックアップは、同径であり、縦置きされて垂直方向に一致する回転面を有し、回転軸の設置高さを相違させることで、最下端部の高さを異ならせて配置され、前記供給ユニットと前記収容ユニットとの間の搬送経路をロータリーピックアップのみで形成し、
前記第１のロータリーピックアップの最下端部は、前記収容ユニットの最下端部よりも下にあり、
前記収容ユニットは、前記供給ユニットとの対面が開口した設置台に設置され、
前記供給ユニットは、前記設置台の内部に及ぶこと、
を特徴とする移載装置。
【請求項３】
前記第１及び第２のロータリーピックアップの間に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる中継用の第３のロータリーピックアップを更に備え、
前記第１及び第２のロータリーピックアップは、前記第３のロータリーピックアップの介在により、距離が離されていること、
を特徴とする請求項１又は２記載の移載装置。
【請求項４】
前記第３のロータリーピックアップは、前記第１及び第２のロータリーピックアップと同径であり、最下端部の高さが前記第１のロータリーピックアップと同一か、前記第１及び第２のロータリーピックアップと回転軸の設置高さを相違させることで、第１及び第２のロータリーピックアップの最下端部の間であること、
を特徴とする請求項３記載の移載装置。
【請求項５】
前記第３のロータリーピックアップは、前記第１及び第２のロータリーピックアップの間に直列に並んで複数配置されていること、
を特徴とする請求項３又は４記載の移載装置。
【請求項６】
前記ロータリーピックアップは、合計数が奇数であること、
を特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の移載装置。
【請求項７】
前記ロータリーピックアップは、合計数が３機であること、
を特徴とする請求項６記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、電子部品を一方から他方へ移載する移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来より、収容体から電子部品を取り出して搬送経路に載せつつ、搬送経路上に設定された各加工点で電子部品に加工を施し、最後に他の収容体に搭載する移載装置が提案され、電子部品の製造工程で実際に使用されている。特に、ウェハシート、トレイ、テープ、又はボールフィーダから半導体素子を取り出して、表裏を反転させ、リードフレーム又は実装基板に接着剤を介して接着する移載装置は、ダイボンダー装置と呼ばれている。【０００３】  このような移載装置としては、複数の搬送テーブルを有し、搬送テーブルに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡すことで、１つの搬送経路を形成するタイプが知られている（例えば、特許文献１参照。）。【０００４】  この移載装置は、フォーミングテーブル、捺印テーブル、及び挿入テーブル等の複数の搬送テーブルを有し、これらに設けられた保持部が一直線上に並ぶ位置で電子部品を受け渡すことで、１つの搬送経路を形成する。この搬送経路に対する電子部品の供給は、搬送テーブルの直下で縦回転するロータリーピックアップにより行われることが多い（例えば、特許文献２参照。）。ウェハリング等の供給ユニットからロータリーピックアップで電子部品を取り出す。ロータリーピックアップの回転により、電子部品を搬送テーブルの直下に位置させ、搬送テーブルが其の電子部品を受け取るものである。【０００５】  すなわち、移載装置は、供給ユニットと、複数の搬送テーブルで形成される１つの搬送経路と、供給ユニットと搬送経路との間に介在して電子部品を搬送経路に載せるロータリーピックアップとにより基本構成が形作られる。【０００６】  しかしながら、搬送テーブルが備える電子部品の保持手段は、テーブルの重量や周囲のユニットの構成により、搬送経路に対して直交した上向き又は下向きに設けざるを得ず、そのような搬送テーブルを連接配置して搬送経路を形成するには、搬送テーブル同士に重なりを発生させなくてはならない。【０００７】  移載装置においては、多種の加工を施すことがあり、多くの加工点を搬送経路上に設置することを望む場合がある。しかしながら、搬送テーブルの重なり合った部分には、他の搬送テーブルやモータ等が物理的な障害となり、加工点の設置は困難である。そこで、多くの加工点の設置を試みれば、搬送テーブルの大型化が避けられなかった。【０００８】  そこで、本出願人は、２連のロータリーピックアップが備える保持部の先端が常にテーブル半径方向外方を向くように設置することで、ロータリーピックアップが互いに重ならないように、回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置するようにした（特許文献３参照）。そして、両ロータリーピックアップは、双方が有する保持部の先端が互いに向かい合う共通の停止位置を有し、その停止位置を受け渡し地点として、電子部品を受け渡すようにした。【０００９】  すなわち、従来は、ユニットと搬送経路との間に介在して電子部品を相互に受け渡すための媒介手段として用いられてきたロータリーピックアップを、搬送経路の構成要素として再定義し、保持手段を上方向又は下方向に向けて備える従来の搬送テーブルを排除し、保持手段を半径方向外側に向けて備えるロータリーピックアップの��で電子部品の供給から収容までを賄うようにしたものである。【００１０】  複数のロータリーピックアップで搬送経路を形成することで、搬送手段を互いに重ならないように回転軸を平行にして同一平面上に隣接配置することができ、周囲に多くの加工点を設けることができ、テーブル径を大型化する必要がなく、省スペース化を実現できるようになった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特許第２６６７７１２号公報
【特許文献２】特開２０１１−６６２７７公報
【特許文献３】ＰＣＴ／ＪＰ２０１２／０８１４１２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】  特許文献３の発明により、搬送経路は極めてコンパクトになり、省スペース化が実現したが、搬送経路に設けられる加工点に設置される各種のユニットの小型化が、この搬送経路のコンパクト化に追いついていないのが現状である。【００１３】  例えば、半径１００ｍｍのロータリーピックアップを２連接続すると、両ロータリーピックアップの最下端部の距離は、２００ｍｍとなる。この最下端部の直下には、電子部品を供給する供給ユニットと電子部品を収納する収納ユニットが配置される。ところが、最下端部から１１０ｍｍの長さを有する供給ユニットと収容ユニットとを各々配置しようとすると、これらユニットは、両ロータリーピックアップの最横端部から互いに１０ｍｍ突き出てしまうので、物理的に接触を引き起こしてしまう。【００１４】  つまり、特許文献３の発明においては、このようなロータリーピックアップに比べて大型なユニットを配置することができなかった。大きなユニットを並べて配置できるようにするには、連接するロータリーピックアップの数を増やすことが考えられる。例えば、ロータリーピックアップを１直線に３連接続、４連接続すれば、供給ユニットから電子部品を取り出すロータリーピックアップと収容ユニットへ電子部品を渡すロータリーピックアップの距離が離れ、その直下に配置される供給ユニットと収容ユニットとの距離も離すことができる。【００１５】  しかしながら、ロータリーピックアップを１直線に３連接続、４連接続と連ねれば連ねるほど、小型化とは懸け離れた移載装置となってしまう。このように、従来は、移載装置の小型化に伴って、加工点に配置できるユニットの大きさに制限が生じていた。【００１６】  以上のように、本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたもので、周囲に配置されるユニットの大きさの制限を取り払いつつ、小型化を実現できる移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記のような課題を解決するための移載装置は、電子部品を一方から他方へ移載する移載装置であって、電子部品を供給する供給ユニットと、電子部品を収容する収容ユニットと、前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、前記供給ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるピックアップ用の第１のロータリーピックアップと、前記収容ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる収容用の第２のロータリーピックアップと、を備え、前記第１及び第２のロータリーピックアップは、同径であり、縦置きされて垂直方向に一致する回転面を有し、回転軸の高さを相違させることで、最下端部の高さを異ならせて配置され、前記供給ユニットと前記収容ユニットとの間の搬送経路をロータリーピックアップのみで形成し、前記第２のロータリーピックアップの最下端部は、前記供給ユニットの最下端部よりも下にあり、前記供給ユニットは、前記収容ユニットとの対面が開口した設置台に設置され、前記収容ユニットは、前記設置台の内部に及ぶこと、を特徴とする。
【００１８】
また、上記のような課題を解決するための移載装置は、電子部品を一方から他方へ移載する移載装置であって、電子部品を供給する供給ユニットと、電子部品を収容する収容ユニットと、前記電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる保持部と、前記供給ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させるピックアップ用の第１のロータリーピックアップと、前記収容ユニットの直上間近に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる収容用の第２のロータリーピックアップと、を備え、前記第１及び第２のロータリーピックアップは、同径であり、縦置きされて垂直方向に一致する回転面を有し、回転軸の設置高さを相違させることで、最下端部の高さを異ならせて配置され、前記供給ユニットと前記収容ユニットとの間の搬送経路をロータリーピックアップのみで形成し、前記第１のロータリーピックアップの最下端部は、前記収容ユニットの最下端部よりも下にあり、前記収容ユニットは、前記供給ユニットとの対面が開口した設置台に設置され、前記供給ユニットは、前記設置台の内部に及ぶこと、を特徴とする。
【００１９】
前記第１及び第２のロータリーピックアップの間に配置され、前記保持部を回転軸周りに複数有し、前記先端が外方を向くように前記回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる中継用の第３のロータリーピックアップを更に備え、前記第１及び第２のロータリーピックアップは、前記第３のロータリーピックアップの介在により、距離が離されているようにしてもよい。
【００２０】
前記第３のロータリーピックアップは、前記第１及び第２のロータリーピックアップと同径であり、最下端部の高さが前記第１のロータリーピックアップと同一か、前記第１及び第２のロータリーピックアップと回転軸の設置高さを相違させることで、第１及び第２のロータリーピックアップの最下端部の間であるようにしてもよい。
【００２１】
前記第３のロータリーピックアップは、前記第１及び第２のロータリーピックアップの間に直列に並んで複数配置されているようにしてもよい。
【００２３】  前記ロータリーピックアップは、合計数が奇数であるようにしてもよい。例えば合計数が３機であるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２４】  本発明によれば、供給ユニットと収容ユニットとは配置高さを異ならせることができるので、横長であっても物理的な衝突はなくなり、連なるロータリーピックアップの全長増加も最小限に食い止められる。従って、この移載装置は、周囲に配置されるユニットの大きさの制限を取り払いつつ、小型化を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【図３】第１の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す背面斜視図である。
【図４】第２の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【図５】第３の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【図６】第４の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【図７】第５の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【図８】第６の実施形態に係る移載装置の全体構成を示す正面図である。
【００２６】  （第１の実施形態）  （構成）  以下、本発明に係る移載装置の第１の実施形態について図１乃至３を参照しつつ詳細に説明する。移載装置１は、一方の供給ユニット２から電子部品を取り出し、他方の収容ユニット３に渡す。供給ユニット２には、電子部品が載置される収容体４が存在する。収容ユニット３と供給ユニット２との間には、電子部品の搬送経路１１が形成される。搬送経路１１上の各点には、電子部品の各種の加工点が設けられることもある。【００２７】  電子部品は、電気製品に使用される部品であり、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。【００２８】  供給ユニット２は、取り出し対象の電子部品をピックアップ位置に移動させる装置であり、例えば、電子部品を２次元アレイ状に配置した平板上のトレイを２次元方向に水平移動させるＸＹステージ、投入された個別の電子部品を整列搬送させて取り出し位置に移動させるパーツフィーダ、電子部品を２次元方向に水平移動させるリングホルダ等が挙げられる。【００２９】  収容ユニット３は、電子部品の載置箇所を受け渡し予定位置に移動させる装置であり、例えば、ＸＹステージ、電子部品を収容するポケットが形成されたテープを順次送り出すテーピングユニット等が挙げられる。【００３０】  電子部品を収容している収容体４は、その他、リードフレーム、有機系基板、無機系基板、粘着性のトレイ、基板、分類ビン等の梱包容器も挙げられ、供給ユニット２及び収容ユニット３を、これらの収容体４に適した装置とすることもできる。【００３１】  第１の実施形態では、一方のトレイから電子部品を取り出して他方のトレイに電子部品を移載する。すなわち、第１の実施形態において、供給ユニット２及び収容ユニット３は、共にＸＹステージである。ＸＹステージは、設置面に対して水平なステージ２１、３１を有し、このステージ２１、３１に収容体４を載せて２次元上を水平移動させる。ステージ２１、３１は、２次元の一軸方向であるＸ軸に延びるボールネジ２２、３２に嵌合されたスリーブ２３、３３に固定されている。ボールネジ２２、３２は、回転モータ２４、３４に接続されて軸回転可能となっている。ステージ２１、３１は、ボールネジ２２、３２の回転に伴ってボールネジ２２、３２に沿って移動する。また、ボールネジ２２、３２は、フレーム２５、３５に軸支されており、このフレーム２５、３５は、２次元の他軸方向であるＹ軸に延びるボールネジ２６、３６に嵌合されて固定されている。このボールネジ２６、３６も回転モータ２７、３７に接続されて軸回転可能となっている。ステージ２１、３１は、ボールネジ２６、３６の回転に伴ってボールネジ２６、３６に沿って移動する。【００３２】  搬送経路１１は、複数が直列に連接配置された同径のロータリーピックアップにより構成される。第１の実施形態では、設置面に対して垂直な回転面を有する３機のロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃが、回転面を同一垂直面に一致させて互いに重なりなく、全体として見れば概略横方向に直列に連接配置されている。【００３３】  ３機のロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃのうち、１機のロータリーピックアップ５ａは、電子部品のピックアップ用に、供給ユニット２の直上間近に配置される。また１機のロータリーピックアップ５ｂは、収容用に、収容ユニット３の直上間近に配置される。３機目のロータリーピックアップ５ｃは、ピックアップ用のロータリーピックアップ５aと収容用のロータリーピックアップ５ｂの電子部品の受け渡しを中継するために、これらの間に配置される。【００３４】  各ロータリーピックアップは、間欠的な軸回転により電子部品を外周に沿って搬送する。３連のロータリーピックアップ５ａ、５ｃ、５ｂは、電子部品の搬送経路１１前半、中盤、及び後半を分担しており、電子部品の受け渡しにより、一連の搬送経路１１を形成している。【００３５】  すなわち、これらロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃは、電子部品を先端で保持及び離脱させる複数の保持部５１を備えている。この保持部５１は、テーブル回転軸を中心とする同一円周上に円周等配位置で設置され、その円周中心から半径方向に沿って放射状に延びている。保持部５１は、先端を常に外方に向けて配置されている。ロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃは、電子部品を保持した保持部５１を、その円周中心を通って該半径方向と直交する軸を回転軸を中心として所定角度ずつ回転させる。【００３６】  そして、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１が互いに先端を向き合わせた位置、中継用のロータリーピックアップ５ｃと収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１が互いに先端を向き合わせた位置が、それぞれ電子部品の受け渡し地点Ａ、Ｂとなり、片方が保持していた電子部品を他方に渡すことで、搬送経路１１前半と中盤、中盤と後半とが連続する。【００３７】  また、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの保持部５１が真下に向く位置がピックアップ位置Ｃとなり、供給ユニット２から電子部品が取り出されて搬送経路１１に載る。更に、収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１が真下に向く位置が収容位置Ｄとなり搬送経路１１から電子部品が離脱して収容ユニット３が有するトレイに載置される。【００３８】  このロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃは、同一設計図をもとに同一部品で組み立てられた同一品であり、同じ形状、構造、大きさを有する。受け渡し地点Ａ、Ｂで保持部の先端を同一線上に精度よく並べるためである。このロータリーピックアップは小型であるために縦置き可能となっており、その半径は約５ｃｍ〜３０ｃｍである。【００３９】  ロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃは、モータ５２と回転軸で接続された軸フレーム５３を有し、この軸フレーム５３に保持部５１が取り付けられる。軸フレーム５３は、一端が略円盤状に拡がった円筒であり、モータ５２の回転軸が軸フレーム５３の円筒部分に嵌め込まれてボルト等で締結され、略円盤状部分の周囲に保持部５１が取り付けられる。モータ５２は、回転軸を有する例えばサーボモータであり、一定角度の回転と一定時間の停止を交互に繰り返す。このモータ５２は、何れかの保持部５１を受け渡し地点Ａ、Ｂ、ピックアップ地点Ｃ、及び収容地点Ｄに位置させる。【００４０】  また、保持部５１は、軸受けを介して軸フレーム５３に設置されており、ロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃの半径方向に沿って外方、換言すると、ロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃの中心から離れる方向に進出及び退入可能となっている。また、受け渡し地点Ａ、Ｂ、ピックアップ地点Ｃ、収容地点Ｄには、保持部に対して進出及び退入の推進力を与える進退駆動装置５４が配置されている。【００４１】  この保持部５１は、例えば、ロータリーピックアップ５ａ、５ｂ、５ｃの半径方向に沿った軸を有する吸着ノズルである。吸着ノズルは、ノズル先端が開口した中空状の筒であり、ノズル先端をテーブル半径方向外方に向けており、またノズル内部は真空発生装置の空気圧回路とチューブを介して連通している。この吸着ノズルは、真空発生装置による負圧の発生によって電子部品を吸着し、真空破壊又は正圧の発生によって電子部品を離脱させる。【００４２】  進退駆動装置５４は、例えば、保持部５１の回転中心側端部に当接して、保持部５１をテーブル半径方向外方へ突き出す装置であり、回転モータ、回転運動を直線運動に変換するカム機構、及び保持部５１の回転中心側端部に向けて直線運動するロッドにより構成される。【００４３】  ここで、第１の実施形態では、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと中継用のロータリーピックアップ５ｃは、同一の高さに横並びに並設されている。一方、収容用のロータリーピックアップ５ｂは、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａに対して、一段低い位置に配置されている。換言すると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとの最下端部の高さが異なっている。最下端部とは、真下に位置する保持部５１の先端である。【００４４】  第１の実施形態においては、収容用のロータリーピックアップ５ｂは、中継用のロータリーピックアップ５ｃに対して４５度斜め下に取り付けられている。すなわち、受け渡し地点Ａは、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと中継用のロータリーピックアップ５ｃとの間の真横位置であり、受け渡し地点Ｂは、中継用のロータリーピックアップ５ｃの４５度斜め下、及び収容用のロータリーピックアップ５ｂの４５度斜め上である。【００４５】  一方、供給ユニット２及び収容ユニット３は、ステージ２１、３１が設置面に対して水平となるように配置される。但し、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａが収容用のロータリーピックアップ５ｂより一段高くなっているため、供給ユニット２は、架台１２に更に設置台１３を設けて、その設置台１３の上に設置される。そのため、供給ユニット２と収容ユニット３とは、その設置高さが異なることとなる。【００４６】  ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂの直下に配置された供給ユニット２と収容ユニット３とは、仮に高さ同一とすると衝突する部分が発生する。ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部は、この衝突が高さを違えることで解消される以上の高さの差が設けられる���つまり、この衝突部分の最大厚み以上の高さの差が設けられる。【００４７】  （動作）  この移載装置１では、予め、供給ユニット２のステージ２１に電子部品を搭載したトレイが載置され、収容ユニット３のステージ３１に空のトレイが載置される。供給ユニット２は、取り出し対象の電子部品をピックアップ用のロータリーピックアップ５ａのピックアップ地点Ｃの直下に位置させるように、ロータリーピックアップ５ａの駆動に同期して順次駆動する。具体的には、ステージ２１は、収容ユニット３に近づき又遠ざかる方向、言い換えると収容用のロータリーピックアップ５ｂに近づき又遠ざかる方向、更には、ロータリーピックアップ５ａの回転面と直交する方向に移動する。【００４８】  ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａでは、真下に向いた保持部５１が進退駆動装置５４によりトレイに向けて進出する。そして、保持部５１は、先端で電子部品と当接し、内部に発生させた負圧により電子部品を吸着する。電子部品を吸着すると、進退駆動装置５４は、推力を解除し、保持部５１は、推力の解除によりテーブル半径中心方向に向けて戻る。【００４９】  電子部品を保持した保持部５１は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの間欠的な回転に伴って、ロータリーピックアップ５ａの外周に沿って移動し、受け渡し地点Ａに至る。ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの回転方向は何れでもかまわないが、ロータリーピックアップ５ａの外周に加工点を設置する場合には、受け渡し地点Ａから一旦遠ざかる方向、言い換えると移載装置１の外側に向けて回転させるのがよい。【００５０】  電子部品を保持した保持部５１が受け渡し地点Ａに到達すると、進退駆動装置５４により当該保持部５１を中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１に近づける。中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１の先端が電子部品と当接すると、中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１は、内部に発生させた負圧により電子部品を吸着する。一方、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの保持部５１は、内部に発生させた正圧により電子部品をブローすることで、電子部品を離脱させる。これにより、電子部品は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａから中継用のロータリーピックアップ５ｃへ受け継がれる。【００５１】  尚、進退駆動装置５４は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａ側に配置して、ロータリーピックアップ５ａが備える保持部５１を進出させることで、電子部品を中継用のロータリーピックアップ５ｃに渡しに行くようにしてもよいし、中継用のロータリーピックアップ５ｃ側に配置して、ロータリーピックアップ５ｃが備える保持部５１を進出させることで、電子部品をピックアップ用のロータリーピックアップ５ａに取りに行くようにしてもよい。【００５２】  中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１は、ロータリーピックアップ５ｃの間欠的な回転に伴って、電子部品を保持したまま、ロータリーピックアップ５ｃの外周に沿って移動し、受け渡し地点Ｂに至る。中継用のロータリーピックアップ５ｃの回転方向は何れでもかまわないが、ロータリーピックアップ５ｃの外周に加工点を設置する場合に��、受け渡し地点Ｂから一旦遠ざかる方向、又は移載装置１の外側に向けて回転させるのがよい。【００５３】  中継用のロータリーピックアップ５ｃによる搬送では、電子部品は表裏が反転されている。すなわち、供給ユニット２におけるトレイへの載置面は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａでの搬送段階でテーブル搬送方向外側に向き、中継用のロータリーピックアップ５ｃでの搬送段階ではテーブル搬送方向内側へ向くこととなる。【００５４】  電子部品を保持した保持部５１が受け渡し地点Ｂに到達すると、進退駆動装置５４により当該保持部５１を収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１に近づける。収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１の先端が電子部品と当接すると、収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１は、内部に発生させた負圧により電子部品を吸着する。一方、中継用のロータリーピックアップ５ｃの保持部５１は、内部に発生させた正圧により電子部品をブローすることで、電子部品を離脱させる。これにより、電子部品は、中継用のロータリーピックアップ５ｃから収容用のロータリーピックアップ５ｂへ受け継がれる。【００５５】  収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１は、ロータリーピックアップ５ｂの間欠的な回転に伴って、電子部品を保持したまま、ロータリーピックアップ５ｂの外周に沿って移動し、収容地点Ｄに至る。収容用のロータリーピックアップ５ｂの回転方向は何れでもかまわないが、ロータリーピックアップ５ｂの外周に加工点を設置する場合には、収容地点Ｄから一旦遠ざかる方向、又は移載装置１の外側に向けて回転させるのがよい。【００５６】  収容用のロータリーピックアップ５ｂによる搬送では、電子部品は表裏が再反転されて、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａで搬送されている向きに戻る。すなわち、供給ユニット２におけるトレイへの載置面は、中継用のロータリーピックアップ５ｃでの搬送段階でテーブル搬送方向内側に向くが、収容用のロータリーピックアップ５ｂでの搬送段階ではテーブル搬送方向外側へ戻ることとなる。【００５７】  電子部品を保持した保持部５１が収容地点Ｄに到達すると、進退駆動装置５４により当該保持部５１を収容ユニット３のトレイに近づける。保持部５１が保持している電子部品がトレイに当接すると、収容用のロータリーピックアップ５ｂの保持部５１は、内部に発生させた正圧により電子部品をブローすることで、電子部品を離脱させる。【００５８】  このとき、収容ユニット３は、電子部品の載置予定箇所を収容用のロータリーピックアップ５ｂの収容地点Ｄの直下に位置させるように、ロータリーピックアップ５ｂの駆動に同期して順次駆動する。具体的には、ステージ３１は、供給ユニット２に近づき又遠ざかる方向、更にはロータリーピックアップの回転面と直交する方向に移動する。そして、収容ユニット３においては、供給ユニット２と同じ向きで電子部品が載置されることとなる。【００５９】  以上のような動作を保持部５１毎に繰り返すことにより、電子部品は供給ユニット２のトレイから収容ユニット３のトレイへと３連のロータリーピックアップを経由して移載される。【００６０】  （作用）  まず、半径が１��０ｍｍのロータリーピックアップを設置面に対して平行に２連に配置した装置を考える。すなわち、当該装置はピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと供給用のロータリーピックアップを２連に平行に備えた装置である。供給ユニット２と収容ユニット３とは、トレイが１１０ｍｍの場合、トレイの一番端に電子部品を載置しようとすると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと供給用のロータリーピックアップから各々１０ｍｍ分突き出ることになる。そうすると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと供給用のロータリーピックアップとを同じ高さに隣接配置すると、供給ユニット２と収容ユニット３とが物理的に衝突して配置不能となる。【００６１】  一方、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂが最下端部の高さを違えて２連に配置した装置を考える。第１の実施形態から中継用のロータリーピックアップ５ｃを除いた装置である。第１の実施形態の装置からピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとを高さを維持したまま近づけ、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａから収容用のロータリーピックアップ５ｂに電子部品を直接受け渡すようにする。【００６２】  この装置では、供給ユニット２と収容ユニット３の設置高さも異なることとなり、これらユニットの物理的衝突が回避されている。例えば、半径が１００ｍｍであるピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとを斜め４５度に接続すると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部から、収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部までは、高さ方向に１４１ｍｍの間隔を持つ。すなわち、供給ユニット２と収容ユニット３を仮に高さを同一にして設置した場合、これらユニットの重複部分の最高部が１４１ｍｍ以内であれば、供給ユニット２と収容ユニット３とは物理的な衝突なく設置可能となる。【００６３】  但し、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂの高さを異ならせると、供給ユニット２と収容ユニット３との物理的な接触を防ぐことはできても、収容用のロータリーピックアップ５ｂと供給ユニット２とで物理的な衝突が発生する場合がある。例えば、半径が１００ｍｍであるピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとを斜め４５度に隣接配置すると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部から、収容用のロータリーピックアップ５ｂの真横位置外端部までは、４０ｍｍ分の間隔を持つが、供給ユニット２がピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部から４０ｍｍ以上、収容用のロータリーピックアップ５ｂ側に突き出る場合である。この場合、１１０ｍｍの供給ユニット２を配置すると、供給ユニット２と収容用のロータリーピックアップ５ｂとは長さ７０ｍｍに亘って物理的に重複してしまう。【００６４】  そこで、第１の実施形態に係る移載装置１では、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとの間に中継用のロータリーピックアップ５ｃを設け、中継用のロータリーピックアップ５ｃの存在によって、収容用のロータリーピックアップ５ｂと供給ユニット２との距離を離している。これにより、例えば、半径が１００ｍｍであるピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂとを斜め４５度に接続すると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部から、収容用のロータリーピックアップ５ｂの真横位置外端部までは、中継用のロータリーピックアップ５ｃも加味されて、２４０ｍｍ分の間隔を持つ。すなわち、供給ユニット２がロータリーピックアップに比べて相対的に大型であっても、出っ張りが２４０ｍｍ以内に収まるならば、供給ユニット２と収容用ロータリーピックアップとを物理的な衝突なく設置可能となる。【００６５】  （効果）  以上のように、本実施形態に係る移載装置１は、供給ユニット２、収容ユニット３、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａ、及び収容用のロータリーピックアップ５ｂを備える。供給ユニット２は、電子部品を供給する。収容ユニット３は、電子部品を収容する。ロータリーピックアップ５ａ、５ｂは、それぞれ、供給ユニット２の直上間近、収容ユニット３の直上間近に配置され、保持部５１を回転軸周りに複数有し、先端が常に外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる。保持部５１は、電子部品の一面を先端で保持及び離脱させる。この移載装置１において、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂは、縦置きされて垂直な回転面を有し、最下端部の高さを異ならせて配置される。【００６６】  これにより、供給ユニット２と収容ユニット３とは配置高さが異なるので、横長であっても物理的な衝突はなくなり、連なるロータリーピックアップ５ａ、５ｂの全長増加も最小限に食い止められる。従って、この移載装置１は、周囲に配置されるユニットの大きさの制限を取り払いつつ、小型化を維持することができる。【００６７】  また、本実施形態に係る移載装置１は、更に、中継用のロータリーピックアップ５ｃをピックアップ用と収容用のロータリーピックアップ５ｂの間に配置し、それによりピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂは、中継用のロータリーピックアップ５ｃの介在により距離が離されるようにした。【００６８】  これにより、供給ユニット２と収容ユニット３とは配置高さが異なり、横長であっても物理的な衝突はなくなり、且つ供給ユニット２と収容用のロータリーピックアップ５ｂとの距離をとることができるので、供給ユニット２と収容用のロータリーピックアップ５ｂとの物理的な衝突もなくなり、連なるロータリーピックアップ５ａ、５ｂの全長増加も最小限に食い止められる。従って、この移載装置１は、周囲に配置されるユニットの大きさの制限を更に取り払いつつ、小型化を維持することができる。【００６９】  また、ロータリーピックアップは、直列に並べる合計数を３機とした。これにより、供給ユニット２から取り出された電子部品は、表裏の反転及び再反転を経て、収容ユニット３において同じ向きで収容される。尚、合計数が奇数であれば、供給ユニット２と収容ユニット３とで電子部品が同じ向きとなるため、３機に限られず、奇数機設置するようにしてもよい。【００７０】  （第２の実施形態）  第１の実施形態では、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａよりも収容用のロータリーピックアップ５ｂが低く、また供給ユニット２及び収容ユニット３を共にＸＹステージとしたが、これに限られない。【００７１】  例えば、図４に示すように、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａを収容用のロータリーピックアップ５ｂよりも一段低くし、供給ユニット２をパーツフィーダ、収容ユニット３をＸＹステージとし、収容ユニット３のほうを設置台１３に設置するようにしてもよい。【００７２】  パーツフィーダは、内面に縁に至る螺旋状の溝が穿設された椀状のボウル部と、ボウル部の縁から直線上に延びるシュート部とを備え、ボウル部とシュート部の揺動により、ボウル部に投入された電子部品を整列搬送させながら、シュート部の先端に運ぶ。シュート部の先端は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの真下に位置し、シュート部の先端に位置した電子部品は、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの真下に向いた保持部５１により吸着されて搬送経路１１に載る。【００７３】  （第３の実施形態）  また、図５に示すように、供給ユニット２をパーツフィーダ、収容ユニット３をテーピングユニットとし、供給ユニット２のほうを設置台１３に設置するようにしてもよい。【００７４】  テーピングユニットは、ポケットが帯の延び方向に沿ってエンボス加工されたテープをスプロケットにより１ピッチずつ送り出し、空のポケットを収容用のロータリーピックアップ５ｂの直下に位置させる。真下に向いた保持部５１は、電子部品を保持したまま、ポケットの内部に進行し、ポケット内部で電子部品を離脱させる。【００７５】  （第４の実施形態）  また、図６に示すように、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａを収容用のロータリーピックアップ５ｂよりも一段低くし、供給ユニット２をウェハホルダ、収容ユニット３をＸＹステージとし、収容ユニット３のほうを設置台１３に設置するようにしてもよい。更に、中継用のロータリーピックアップ５ｄを１機増やし、合計偶数機とすることで、電子部品を意図的に表裏反転させて収容するようにしてもよい。【００７６】  ウェハホルダは、電子部品が貼り付けられたウェハリングを水平に保持し、このウェハリングをＸＹ方向に移動させながら、取り出し対象の電子部品をピックアップ地点Ｃの直下に位置させ、ウェハリングの裏側に設けられた突き出しピンで、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの真下に向く保持部５１へ向けて電子部品を押し出す。突き出しピンで押された電子部品は、進退駆動装置により降下した保持部５１により吸着されて搬送経路１１に載る。【００７７】  中継用のロータリーピックアップ５ｃは、斜めに接続されたロータリーピックアップの間に配置し、一段下がったロータリーピックアップの直上、及び一段上のロータリーピックアップの真横に位置させるのがよい。移載装置１の省スペース化のためである。【００７８】  電子部品の搬送においては、第４の実施形態においては、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａを経た後、増設した中継用のロータリーピックアップ５ｄで中継し、次に其の隣の中継用のロータリーピックアップ５ｃで中継し、最後に収容用のロータリーピックアップ５ｂに移して、収容ユニット３に収納させる。【００７９】  尚、この移載装置１では、増設した中継用のロータリーピックアップ５ｄを搬送経路１１に含めるか否かは選択的である。すなわち、電子部品の表裏を反転させて収容したい場合には、増設した中継用のロータリーピックアップ５ｄを経由させ、電子部品の表裏を反転させずに収容したい場合には、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの保持部５１と増設した中継用のロータリーピックアップ５ｄの保持部５１とが向き合う箇所では、電子部品の受け渡しをさせない。【００８０】  （第５の実施形態）  第１乃至第４の実施形態では、中継用のロータリーピックアップ５ｃは、供給ユニット２や収容ユニット３と一段下げたロータリーピックアップとの物理的な衝突を避けるために、これらユニットとロータリーピックアップとの距離を離す役割を与えていたが、中継用のロータリーピックアップ５ｃに供給ユニット２と収容ユニット３との高さを違える役割を与えるようにしてもよい。【００８１】  すなわち、第５の実施形態では、図７に示すように、中継用のロータリーピックアップ５ｃの最下端部もピックアップ用のロータリーピックアップ５ａ及び収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部に対して高さを違えている。具体的には、最上段にピックアップ用のロータリーピックアップ５ａを配置し、中位置に中継用のロータリーピックアップ５ｃを配置し、最下段に収容用のロータリーピックアップ５ｂを配置することで、中継用のロータリーピックアップ５ｃの最下端部をピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部の間に位置させている。【００８２】  中継用のロータリーピックアップ５ｃは、斜め４５度上でピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと接続し、斜め４５度下で収容用のロータリーピックアップ５ｂと接続し、３機のロータリーピックアップは全体として斜め下へ向けて直線的に並んでいる。【００８３】  中継用のロータリーピックアップ５ｃが介在すると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部と収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部とは、中継用のロータリーピックアップ５ｃが一段下がっている分、更に高さを違えることとなる。【００８４】  そのため、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと収容用のロータリーピックアップ５ｂの一方を一段下げただけでは、重なりの排除できない高身長の供給ユニット２や収容ユニット３であっても、重なりを排除し、ロータリーピックアップで構成された移載装置１に搭載することができる。【００８５】  また、図７に示すように、中継用のロータリーピックアップ５ｃをピックアップ用のロータリーピックアップ５ａと高さを違えて配置することで、収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部を、供給ユニット２の最下端部よりも下に位置させることができる。これにより、低い位置に設置する収容ユニット３の全高を超えた高さで、高い位置に設置する供給ユニット２を配置することができる。【００８６】  設置台１３は、収容ユニット３との対面を開口させた箱型を設置する。これにより、低い位置に設置する収容ユニット３を、設置台１３の内部に入り込むように配置したり、ステージ３１を設置台１３の内部に入り込むように移動させることもできる。【００８７】  このように、第５の実施形態に係る移載装置１は、中継用のロータリーピックアップ５ｃは、最下端部の高さがピックアップ用及び収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部の間であるようにした。すなわち、中継用のロータリーピックアップ５ｃについても上段に位置させるピックアップ用又は収容用のロータリーピックアップ５ｂよりも一段下げた位置に配置した。これにより、高身長の供給ユニット２や収容ユニット３であっても、これらユニット２と３の物理的な衝突はなくなり、ロータリーピックアップ５ａ、５ｂが連なる全長増加も最小限に食い止められる。従って、この移載装置１は、周囲に配置されるユニットの全高の制限を取り払いつつ、小型化を維持することができる。【００８８】  また、収容用のロータリーピックアップ５ｂの最下端部は、供給ユニット２の最下端部よりも下に位置させるようにし、供給ユニット２は、収容ユニット３との対面が開口した設置台１３に設置されるようにした。これにより、収容ユニット３は、設置台１３の内部に及ぶようにすることができる。従って、供給ユニット２と収容ユニット３とを大幅に重ねて配置することができるので、移載装置１の更なる小型化を達成することができる。【００８９】  （第６の実施形態）  第５の実施形態では、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａよりも収容用のロータリーピックアップ５ｂが低くしたが、これに限られない。図８に示すように、収容用のロータリーピックアップ５ｂを高い位置に配置し、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａを低い位置に配置する。そして、中継用のロータリーピックアップ５ｃを収容用のロータリーピックアップ５ｂと高さを違えて配置する。そうすると、ピックアップ用のロータリーピックアップ５ａの最下端部を、収容ユニット３の最下端部よりも下に位置させることができる。これにより、低い位置に設置する供給ユニット２の全高を超えた高さで、高い位置に設置する収容ユニット３を配置することができる。【００９０】  設置台１３は、供給ユニット２との対面を開口させた箱型を設置する。これにより、低い位置に設置する供給ユニット２を、設置台１３の内部に入り込むように配置したり、ステージ３１を設置台１３の内部に入り込むように移動させることもできる。【００９１】  このように、第６の実施形態では、中継用のロータリーピックアップ５ｃの最下端部は、収容ユニット３の最下端部よりも下に位置させるようにし、収容ユニット３は、供給ユニット２との対面が開口した設置台１３に設置されるようにした。これにより、供給ユニット２は、設置台１３の内部に及ぶようにすることができる。従って、供給ユニット２と収容ユニット３とを大幅に重ねて配置することができるので、移載装置１の更なる小型化を達成することができる。【００９２】  （他の実施形態）  以上のように本発明の実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を��うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。【００９３】  加工点としては、外観検査、接着剤塗布、姿勢確認、不良品の強制排出、電気特性検査、加熱又は冷却といった温度調整、電子部品から延びる端子の形状加工、姿勢の矯正、マーキング、その他各種を設けることができる。【００９４】  保持部５１に関しては、真空の発生及び破壊又は正圧の発生により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルの他、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
【符号の説明】
【００９５】１  移載装置１１  搬送経路１２  架台１３  設置台２  供給ユニット３  収容ユニット２１、３１  ステージ２２、２６、３２、３６  ボールネジ２３、３３  スリーブ２４、２７、３４、３７  回転モータ２５、３５  フレーム４  収容体５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ  ロータリーピックアップ５１  保持部５２  モータ５３  軸フレーム５４  進退駆動装置Ａ  受け渡し地点Ｂ  受け渡し地点Ｃ  ピックアップ位置Ｄ  収容位置
【要約】  周囲に配置されるユニットの大きさの制限を取り払いつつ、小型化を実現できる移載装置を提供する。移載装置（１）は、供給ユニット（２）、収容ユニット（３）、ピックアップ用のロータリーピックアップ（５ａ）、及び収容用のロータリーピックアップ（５ｂ）を備える。ロータリーピックアップ（５ａ、５ｂ）は、それぞれ、供給ユニット（２）の直上間近、収容ユニット（３）の直上間近に配置され、保持部（５１）を回転軸周りに複数有し、先端が外方を向くように回転軸を中心に所定角度ずつ間欠回転させる。ピックアップ用のロータリーピックアップ（５ａ）と収容用のロータリーピックアップ（５ｂ）は、縦置きされて垂直な回転面を有し、最下端部の高さを異ならせて配置される。【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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