(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジグザグ状に配置された複数の金属箔層を形成する伸張金属箔と、
第１端部で第２金属箔層に連結される第１金属箔層と、
前記第１端部から離間した第２端部にて第３金属箔層と連結される前記第２金属箔層と
、
前記金属箔層の間に配置されたスペーサと、
を有し、
前記スペーサがメッシュ様式層からなり、流体が前記メッシュ様式層の面内に流れると
共に、前記メッシュ様式層の面を横断する、流体の処理に好適な装置であって、
前記第２及び第３金属箔層の長手方向の面が前記第２端部から所定の距離離間した点まで前記第２金属箔層と前記第３金属箔層との間の通路を開放した状態で相互に連結されると共に、前記第１及び第２金属箔層の長手方向の面が前記第１端部から所定の距離離間した点まで前記第１金属箔層と前記第２金属箔層との間の通路を開放した状態で相互に連結され、
前記金属箔層は、円筒容器の中心軸付近に位置する前記第１端部から、前記中心軸から所定の距離離間した前記第２端部まで螺旋状に伸延すると共に、前記金属箔層は軸方向に伸長する前記第１及び第２端部を有する前記円筒容器の内部に配置されていることを特徴とする流体処理装置。
【請求項２】
前記第１及び第２金属箔層の長手方向の面は、当該面の長さの少なくとも一部が接合剤により相互に接合されていることを特徴とする請求項１に記載の流体処理装置。
【請求項３】
ジグザグ状に配置された前記金属箔層の長手方向の面は、前記メッシュ様式層に接合されていることを特徴とする請求項１または２に記載の流体処理装置。
【請求項４】
前記メッシュ様式層は、前記金属箔層の全範囲に亘って伸延していることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の流体処理装置。
【請求項５】
前記長手方向の面に横断的に広がる通路が前記第２端部付近で前記第１及び第２金属箔層の間に存在することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の流体処理装置。
【請求項６】
前記金属箔は、薄膜金属箔及び熱伝導金属箔からなり、前記薄膜金属箔及び前記熱伝導金属箔の長手方向に沿って接合剤により相互に接合されると共に、蒸留物の放出のために上記接合剤内に凹部が形成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の流体処理装置。
【請求項７】
前記メッシュ様式層が前記第１金属箔層を形成する前記伸張金属箔の一部上に載置され、
その後前記第２金属箔層を形成する部分が前記メッシュ様式層上に載置され、
前記第１及び第２金属箔層は前記第１端部で相互に接続されている、
前記流体処理装置の製造に好適な方法であって、
前記第２及び第３金属箔層の長手方向の面は、前記第２端部から所定の距離離間した点まで前記第２金属箔層と前記第３金属箔層の間の前記通路を開放した状態で相互に連結されていると共に、
前記第１及び第２金属箔層の長手方向の面は、前記第１端部から所定の距離離間した点まで前記第１金属箔層と前記第２金属箔層の間の前記通路を開放した状態で相互に連結されていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の流体処理装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１及び第２金属箔層は、前記第１端部から所定の距離離間した点まで前記通路を開放した状態で相互に連結されていることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記メッシュ様式層の長手方向の面と同様に前記第１及び第２金属箔層の長手方向の面
が相互に連結されていることを特徴とする請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
多数の前記金属箔層は、前記メッシュ様式層に隣接して形成されていることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記金属箔は薄膜金属箔と熱伝導金属箔からなり、蒸留物の放出のために凹部が接合剤内に形成されていると共に、前記薄膜金属箔と前記熱伝導金属箔の長手方向の面に沿って前記接合剤により相互に接合されていることを特徴とする請求項７から１０のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体処理装置に関するものであり、当該装置はジグザグ状に配置された複数の金属箔層で形成された伸張金属箔と、第１端部で第２金属箔層と接続された第１金属箔層と、第１端部から離間した第２端部で第３金属箔層に接続された第２金属箔層と、複数の金属箔層の間に設置されたスペーサと、からなるものである。
【０００２】
本発明は、さらに上記装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
上記流体処理装置は、第１流体から第２流体への熱伝達するための熱交換器として機能する装置にも適している。この場合、金属箔は熱伝導を行う金属箔となる。
【０００４】
上記装置はさらにフィルターとしての使用にも好適であり、フィルター内で物質は第１流体から第２流体に移動する。また、上記装置は空気加湿器として使用することもできる。この場合、金属箔は薄膜金属箔である。
【０００５】
上記装置は下記特許文献から周知であり、第１端部、第２端部及びそれ以降の端部付近に配置されたビーム形状のスペーサ要素は、金属箔層を離間した状態に保つ。当該ビーム形状のスペーサ要素は端部間にも配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】欧州特許出願公開第００４０８９０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記スペーサ要素の欠点は、金属箔上を流れる流体が実質的に流れているといえない箇所が金属箔層の表面に比較的何か所も存在するということである。結果的に、熱の移動や濾過される物質の移動が最適なものではなくなる。
【０００８】
本発明の目的は、熱及び／又は物質の移動が最適になるように、金属箔層の全範囲において乱流を実質的に成立させることができる装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
当該目的は、前記スペーサがメッシュ様式層からなり、当該メッシュ様式層を通る流体がメッシュ様式層の面内で流れると共にメッシュ様式層の面を横断して流れる装置によりなし得る。また、第２金属箔層と第３金属箔層の長手方向の面は、第２金属箔層と第３金属箔層の間の通路を開放した状態で第２端部から所定の距離離間した点まで相互に連結されていると共に、第１金属箔層と第２金属箔層における長手方向の面は、第１金属箔層と第２金属箔層の間の通路を開放した状態で第１端部から所定の距離離間した点まで相互に連結されている。また、金属箔層は、円筒容器の中心軸付近に位置する第１端部から、当該中心軸から所定の距離離間した第２端部まで螺旋状に伸延する一方で、金属箔層が軸方向に伸延し、第１及び第２端部を有する円筒容器の内部に配置されている。
【発明の効果】
【００１０】
メッシュ様式層の存在により、使用時に流体は金属箔層の全表面に拡がり、メッシュ様式層のいずれかの面に設けられた伸張金属箔の金属箔層との良好な接触が同時に確立される。また、上記通路を通って、流体は容易な方法で金属箔層間に存在する空間に導入される。上記通路は、流体が内部に導入され、又は２つの面から金属箔相関の空間から放出されるように、２つの長手方向の面付近に位置していることが望ましい。このような方法で、メッシュ様式層を通過する適切な流れ分布が得られる。また、円筒容器は、比較的高圧使用時に円筒容器を通じて流れる流体の良好な圧力及び／又は流れ分布を確立し制御することができる。
【００１１】
本発明における装置の実施形態は、第１金属箔層及び第２金属箔層の長手方向の面が、面の長さの少なくとも一部に亘り接合剤により相互に接合されていることを特徴とする。
【００１２】
接合剤により金属箔層間の適切な接合が可能となる。さらに、接合剤の使用により、接合は柔軟になり、金属箔層の膨張が吸収される。接合剤は、例えばシリコンペースト、シリコン熱溶融性接着剤、エポキシ樹脂などがある。接合剤は、金属箔層を相互に接合し、金属箔層間に存在する空間をシールする。当該空間内に存在する流体により金属箔層間に存在する空間内の圧力が増加した場合に、圧力の増加は接合剤により直ちに吸収される。シリコンペーストに加えて、金属箔層を有する適切な接着ボンドを提供し、金属箔層の膨張を吸収して、空間内に存在する流体における金属箔層間の空間を適切にシールできる、別の種類の接合剤を使用することも可能である。
【００１５】
さらに本発明による装置の別の実施形態は、ジグザグ状に配置された金属箔層の長手方向の面がメッシュ様式層に連結されていることを特徴とする。
【００１６】
金属箔層とメッシュ様式層を相互に連結することにより、前記長手方向の面の適切なシールが、簡単な方法で得られる。金属箔層とメッシュ様式層が接合剤により相互に連結される場合、金属箔層とメッシュ様式層の連結は接合剤の塗布と同時に実現される。これにより金属箔層間に存在する流体は、常にメッシュ様式層を通って流れることになる。
【００１７】
さらに本発明による装置の別の実施形態は、メッシュ様式層が金属箔層の全範囲に亘って実質的に伸延していることを特徴とする。
【００１８】
メッシュ様式層は、金属箔層の全範囲に亘って実質的に伸延しているので、大きな乱流流れが相対的に金属箔層の全範囲に形成されることとなる。
【００１９】
本発明による装置の別の実施形態は、長手方向の面を横断して伸延する通路が第２端部付近で第１と第２金属箔層の間に存在することを特徴とする。
【００２０】
当該通路は金属箔層がジグザグ状に配列されている結果、自ずと得られるものである。上記通路を通じて、流体は伸張金属箔の幅方向全てに亘って金属箔層間に導入され、その後流体は第１端部付近かつ長手方向の面、またはその真逆に位置する通路を通じて放出される。結果的に金属箔層の全範囲に亘る良好な流れ分布が実現される。
【００２３】
本発明は流体処理装置を製造する方法に関するものでもある。
【００２４】
この目的は、メッシュ様式層が第１金属箔層を形成する伸張金属箔上の一部に配置され、その後第２金属箔層を形成する一部が前記メッシュ様式層上に配置されて、第１及び第２金属箔層が第１端部で相互に連結されるという本発明方法により達成される。
【００２５】
この方法を使用することにより、全自動的な配置仕上げが可能な流体処理装置を比較的容易な方法で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明における流体処理装置の斜視図である。
【図２】図１における装置の部分概略図である。
【図３】図３Ａは図２に示す装置の部分の断面図、図３Ｂは図３Ａにおける矢印Ｂ−Ｂで示す部分の断面図、図３Ｃは図３Ａにおける矢印Ｃ―Ｃで示す部分の断面図である。
【図４】金属箔が薄膜から構成され、ジグザグ状に配置された複数の金属箔層から形成される伸張金属箔の斜視図である。
【図５】金属箔が熱伝導物質から構成され、ジグザグ状に配置された複数の金属箔層からなる伸張金属箔の斜視図である。
【図６】図６Ａは図１に示す装置のメッシュ様式層の平面図、図６Ｂは図１に示すメッシュ様式層の断面図である。
【図７】図７Ａ−図７Ｈは本発明における方法の種々のステップを示したものである。
【図８】本発明における装置の第２の実施の形態を示す図である。
【図９】本発明における装置の第２の実施の形態を示す図である。
【図１０】本発明における装置の第２の実施の形態を示す図である。
【図１１】本発明における装置の２つの異なる実施の形態について図３Ａの矢印Ｄ−Ｄでの断面図である。
【図１２】本発明における装置の２つの異なる実施の形態について図３Ａの矢印Ｄ−Ｄでの断面図である。
【図１３】本発明における装置の平面図である。
【図１４】本発明における装置の２つの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
図面内において同一の構成には同一の符号を付すこととする。
【００２８】
図１は本発明における装置１を示す図であり、装置１は間隔を空けた多数の板２を有し、２つの対向する板２の間に伸張金属箔が設けられているが、この伸張金属箔はジグザグ状に配置された複数の金属箔層に形成されている。これら金属箔層の間にはスペーサが配置されている。金属箔とスペーサは図３Ａ−図６Ｂを参照して詳細に説明することとする。
【００２９】
複数の密閉板３が伸張金属箔とスペーサの周囲に配置されている。板２、金属箔及びそれらの間に位置するスペーサは、スタッドボルト４とナット５により端部で螺合されて結合している。板２には第１、第２流入口６，７及び第１、第２流出口８，９が設けられている。第１流体は第１流入口６を通じて伸張金属箔層の間に導入され、その後第１流出口８まで矢印Ｐ１により示される方向に輸送されるが、流体はまず矢印Ｐ２、Ｐ３により示される方向に輸送され、その後第１流出口８から流れることとなる。同様の方法で、第２流体は第２流入口７を通じて矢印Ｐ４により示される方向に向かって金属箔の他の層の間に導入され、第２流出口９に輸送されるが、流体は矢印Ｐ５、Ｐ６により示される方向に向かって第２流出口９から流れることとなる。
【００３０】
図２は、図１の複数の板２間に位置する複数の層と、当該層（略示した）間に位置するスペーサとを有するモジュール１０を示すと共に、矢印Ｐ１−Ｐ６により示された流体の流れの方向を示した図である。Ｐ１−Ｐ３及び／又はＰ４−Ｐ６の流れの方向を逆転させて対向流れや平行流れのモジュール１０を実現する事も可能である。
【００３１】
図３Ａは、図２に示すモジュール１０の断面図であり、伸張金属箔１１とジグザグ状の金属箔層１２１，１２２，１２３・・・１２ｎは明確に識別できる。第１金属箔層１２１は第１端部１３１付近で第２金属箔層１２２に連結され、第２金属箔層は第１端部１３１から離間した側で第３金属箔層１２３に連結されている。上記のように各金属箔層１２ｉは一端部１３ｉで隣の金属箔層１２ｉ＋１に連結され、他端部１３ｉ−１で１つ前の金属箔層１２ｉ−１に連結されている。これら金属箔層は端部１３１・・・１３ｎから離間した点で相互に距離Ｌを越えて内部連結されているが、この距離Ｌは対向する２つの端部１３１と１３２の距離Ａ未満である。通路１４、１５は、端部１３１から１３ｎ付近の連結されていない金属箔層１２１・・・１２ｎの箇所に形成され、当該通路を通じて第２流体と第１流体は各々モジュール１０から流れることができる。
【００３２】
金属箔層１２１・・・１２ｎの間にはメッシュ様式層１６が存在し（図６Ａ、図６Ｂ参照）、金属箔層１２１・・・１２ｎの全範囲を超えて伸延されている。メッシュ様式層１６は２組の合成繊維の糸１７，１８により形成され、各々は金属箔層の長手方向に対して１５°−４５°の角度を有することが好ましい。メッシュ様式層１６は、いわゆるスペーサを形成する。
【００３３】
糸１７、１８は０．５−２．５ｍｍの厚さであることが好ましい。従ってメッシュ様式層は、特に２つの糸１７、１８が交差する位置で約１−５ｍｍの厚さを有する。メッシュ状の開口部２０は、開口部２０の面積と糸１７，１８の面積の比率が約８０％対２０％となって糸１７，１８の間に存在している。流体がメッシュ様式層１６を通過して流れる際に、流れの長さはどの位置においても、良好な流れにおいては実質的に同一であり、様々な圧力降下は生じない。
【００３４】
メッシュ様式層１６は、２つの対向する金属箔層１２１と１２２の間に配置され、メッシュ様式層１６を通じての流れが開口部２０や糸１７，１８の上または下を通ってのみ行なわれることが可能となるように、金属箔層１２１・・・１２ｎと共にメッシュ様式層１６は板２、スタッドボルト４及びナット５と共に結び付けられている。糸１７，１８は比較的細いので、流体と金属箔層１２１・・・１２ｎとの間の接触は金属箔層１２１・・・１２ｎの全範囲で生じる。金属箔層１２１・・・１２ｎの表面の流体の流れは、糸１７，１８により乱流を生じさせる。結果的に、流体と金属箔層１２１・・・１２ｎとの間の物質や熱の輸送がさらに改善され、メッシュ様式層１６を横断する際の圧力降下を比較的低くすることができる。
【００３５】
図４は、ジグザグ状に設けられた複数の金属箔層を有する金属箔２１の実施形態を示す図であり、金属箔は所望の物質を透過させることができる薄膜金属箔でできている。
【００３６】
図５は、ジグザグ状に設けられた複数の金属箔を有する金属箔２２の別の実施形態であり、金属箔は熱伝導金属箔、または薄膜金属箔と熱伝導金属箔との組み合わせによりできている（図１３及び１４参照）。
【００３７】
薄膜金属箔は、例えば厚さが３０−５００μｍ、細孔径が０．１−０．４５μｍを有する疎水性のＰＦＦＥ薄膜金属箔または別の疎水性薄膜金属箔または親水性薄膜金属箔であってもよい。熱伝導性金属箔２２は、例えばアルミニウムからなる金属の両面を、ＰＥＴからなるプラスチックで被覆した、３層の金属箔であってもよい。例えばアルミニウム箔の厚さが３７μｍである場合、ＰＥＴ箔層の厚さは１２μｍであってもよい。
【００３８】
図７Ａから７Ｈは、本発明における方法の７つのステップを示しており、図２の装置１に示すモジュール１０を製造するのに適している。図７Ａに示すステップにおいて、第１金属箔層１２は、金属箔２７が巻回されたロール２６から支持部２５上に載置される。その後メッシュ様式層１６が金属箔層１２１の上に載置される。続いて、粘着フィルム２８が長手方向の両面に沿って距離Ｌ（図３Ｂ、３Ｃ参照）に亘って粘着アプリケータにより設けられ、粘着フィルム２８が第１金属箔層１２１（図７Ｃ）の第１端部１３１から所定の距離だけ離間した点まで伸張される。粘着層は、シリコンペースト、シリコン熱溶融性接着剤、又はエポキシ樹脂のような接合剤からなる。続いて、ロール２６は、矢印Ｐ７により示される方向に移動され、移動中、金属箔２７がロール２６から解かれ、第１金属箔層１２１（図７Ｄ、７Ｅ参照）から離れた側のメッシュ様式層１６の上に載置される。これにより、第２金属箔層１２２が形成される。その後メッシュ様式層１６は第２金属箔層１２２（図７Ｆ）の上に載置され、粘着フィルム２８は第１端部１３１（図７Ｇ）から距離Ｌに亘って設けられる。その後ロール２６は第１端部１３１に向かって矢印Ｐ７の反対方向に移動され、移動中、金属箔２７はロール２６から解かれ、メッシュ様式層１６の上に第３金属箔層１２３を載置する。これと同時に通路１４が形成される（図７Ｈ）。その後、モジュール１０が、その金属箔層間にメッシュ様式層１６を有する、所望数の金属箔層１２１・・・１２ｎとなるまで、図７Ａ−７Ｈに図示されたステップが複数回繰り返される。モジュール１０はその後２つの対向する板１０の間に配置され、各通路１４，１５が流出口８，９に連通される。流入口７に連通された通路は、通路１５付近で端部１３１・・・１３ｎの間に位置している。同様に、通路１４付近で端部１３２・・・１３ｎ−１の間に位置する通路は、流入口６に連通される。必要とされるシールは例えばシリコンペーストにより実現することができる。
【００３９】
図１−７に示す装置１では、金属箔層１２１・・・１２ｎと、これらの間のメッシュ様式層１６は、相互に並行でかつ平面的に伸延されている。
【００４０】
本発明における装置３１の図８−１０Ｂに示すそれぞれの実施形態においては、金属箔層１２１・・・１２ｎと、これらの間のメッシュ様式層は、円筒容器の中心軸線３２から円筒容器３３の外側に向かって伸延している。これら実施形態では比較的高圧力を使用することができる。
【００４１】
図８は、装置３１の一部が破断された斜視図である。
【００４２】
装置３１は円筒容器３３を有し、円筒容器３３は流入口及び流出口が設けられたディスク形状のカバー３５によって両端が閉鎖された円筒管３４を有している。
【００４３】
図９Ａ、９Ｂは、図８に示す装置３１の実施形態４１について示すものであり、ここでの金属箔層は、円筒容器３３の短辺側でシリコンペーストにより相互に連結されているが、その方法は、図３Ａに示す方法と実際上同一の方法で、１つおきに通路１４，１５が開放状態となっている。第１流体は、中心流入口４２を通じて金属箔層とメッシュ様式層１６の間に位置する空間に導入され、通路１４を通じて排出される。第２流体は、金属箔層の外側と円筒管３４との間に位置する空間４３を通じて供給され、通路１５を通じて排出される。金属箔層は、非透水性の熱伝導金属箔、薄膜金属箔、及び／又は疎水性の薄膜金属箔を有する熱伝導金属箔の組み合わせから構成されていてもよい。
【００４４】
図１０Ａ、１０Ｂは、図８に示す装置３１の別の実施形態５１を示すものであり、金属箔層１２は、短辺側において中心から外側まで全長にわたりシリコンペースト５２により１つおきに交互連結されているが、それらの間の金属箔層１２は、通路５３が形成されるように、全長の大部分が連結されていない。適切なシールを実現するために、金属箔層は、中心付近と外端部付近の両方、及び上部付近と底部付近の両方において環状のシリコンバンド５４，５５により相互に連結されている。実施形態５１の作用は次のようになる。金属箔層１２は薄膜金属箔層で形成され、第１流体は通路５３を通じて供給される。液体の充満は金属箔層１２を通り、その後中央通路５６及び／又は円筒管３４の付近に位置する通路５７に対して放射状に流れることで生じる。実施形態５１は例えば逆浸透（RO）のような高圧を必要とする濾過への利用に特に好適である。
【００４５】
図１１は、図３Ａにおける矢印Ｄ−Ｄで示した方向での断面図であり、金属箔層１２は長手方向の両面においてシリコンペースト２８により所望の距離に亘って相互に連結されている。図を見ると明確にわかるように、メッシュ様式層１６の幅はいずれかの面に塗布されたシリコンペースト２８のバンド間の距離より小さいため、メッシュ様式層１６とシリコンペースト２８との間に小さな隙間６２が存在する。金属箔層１２間を流れる流体は主にメッシュ様式層１６を通って流れる。流体により生じる力は、両端矢印Ｐ１０で示される横方向及び金属箔層１２の長手方向に金属箔層１２及びシリコンペースト２８により吸収される。これらと交差する方向に生じる力は板２により吸収される。
【００４６】
図１２は図３Ａの矢印Ｄ−Ｄにより示される方向の別の実施形態における断面図であり、メッシュ様式層１６の幅は、メッシュ様式層１６の端部６３がシリコンペースト２８の塗布により金属箔層１２に連結される程度である。使用時に金属箔層１２間及びメッシュ様式層１６を通って流れる流体は、両端矢印Ｐ１０により示される方向に内部圧力を生じさせる。当該発生した力は、相対的に薄い金属箔層だけでなく、メッシュ様式層１６やシリコンペースト２８によって、より大きい範囲において吸収されることになる。このような方法で、簡易ではあるが非常に適切に機能する熱交換器、濾過装置、つまり、相対的に薄い複数の金属箔層１２、これらの間に位置するメッシュ様式層１６及び、例えばシリコンペーストのようなペースト２８の組み合わせを実現することができる。
【００４７】
完璧を期するために、図１１、１２に示す断面図では、メッシュ様式層１６は金属箔層１２から離されている。これは、単に図面を明確にするためである。実際には金属箔層１２はメッシュ様式層１６にしっかりと接合されている。
【００４８】
図１３、１４は、本発明における装置７１の別の実施形態を示すものであり、薄膜蒸留装置としての使用のために、薄膜金属箔と熱交換金属箔との組み合わせによる使用がなされる。
【００４９】
金属箔７２は、透過性のない熱伝導金属箔７３と薄膜金属箔７４とを有している。熱伝導金属箔７３と薄膜金属箔７４は、長手方向の両側に沿って、例えば幅５ｍｍ、厚さ０．１ｍｍのポリウレタン溶液型ラッカー７５により相互に連結されている。その後、図２、図３Ａ−３Ｃに示されているように、装置は、シリコンペースト２８により相互に連結されたジグザグ状の金属箔層と共に、上記と同様の方法で実現される。続いて、装置７１の高さ方向の全体に亘って伸延する凹部７６が、ポリウレタンラッカー７５と金属箔７２内に多数形成される。凹部７６は、熱伝導金属箔７３と薄膜金属箔７４の間に位置する蒸留空間７７の流出口を形成する。この装置７１を通る流れは、図２に示す装置と同様の方法で行われ、薄膜７４を通じて蒸留空間７７に集められる蒸留物が矢印Ｐ１１により示される方向に付加的な流れが得られ、この付加されたものを除く。
【００５０】
モジュール１０は、例えば２０×１５０×５００ｍｍから５００×５００×１５００ｍｍまでの種々の寸法を有することができる。
【符号の説明】
【００５１】
１…      装置、
２…      板、
３…      密閉板、
４…      スタッドボルト、
５…      ナット、
６…      第１流入口、
７…      第２流入口、
８…      第１流出口、
９…      第２流出口、
１０…    モジュール、
１１…    伸長金属箔、
１２…    金属箔層、
１３…    端部、
１４…    通路、
１５…    通路、
１６…    メッシュ様式層、
１７…    糸、
１８…    糸、
２０…    メッシュ状開口部、
２１…    金属箔、
２２…    熱伝導金属箔、
２５…    支持部、
２６…    ロール、
２７…    金属箔、
２８…    粘着フィルム（シリコンペースト）、
３１…    装置、
３２…    中心軸、
３３…    円筒容器、
３４…    円筒管、
３５…    カバー、
４１…    実施形態、
４２…    中心流入口、
４３…    空間、
５１…    実施形態、
５２…    シリコンペースト、
５３…    通路、
５４…    シリコンバンド、
５５…    シリコンバンド、
５６…    通路、
５７…    通路、
６２…    隙間、
６３…    端部、
７１…    装置、
７２…    金属箔、
７３…    熱伝導金属箔、
７４…    薄膜金属箔、
７５…    ラッカー、
７６…    凹部、
７７…    蒸留空間。
【図１】
0005702281.tif 000002
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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