(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが連結されるアームと、前記アームを支持する支持部材と、前記支持部材を上下方向に移動可能に支持する柱状部材とを備え、
前記柱状部材は、複数の柱部によって構成されるとともに、
前記柱状部材は、前記柱部として、複数の前記柱部のうちの他の前記柱部または前記支持部材を相対移動可能に保持する複数の保持柱部を備え、
少なくとも２個の前記保持柱部は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、
傾斜している前記保持柱部が前記支持部材を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への前記支持部材の相対移動が可能となっており、
傾斜している前記保持柱部が他の前記柱部を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への他の前記柱部の相対移動が可能となっていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記柱状部材は、前記保持柱部として、前記支持部材を保持する第１保持柱部と、前記第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、
前記第１保持柱部と前記第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、
前記第１保持柱部は、その傾斜方向への前記支持部材の相対移動が可能となるように前記支持部材を保持し、
前記第２保持柱部は、その傾斜方向への前記第１保持柱部の相対移動が可能となるように前記第１保持柱部を保持していることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
基台と、前記基台に対して回動可能な旋回部材とを備え、
前記第２保持柱部は、前記旋回部材に固定されていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
鉛直方向に対して傾斜している前記保持柱部に保持される前記支持部材または前記柱部を個別に移動させるための複数の移動機構を備え、
前記支持部材が鉛直方向へ移動するように、少なくとも２個の前記移動機構が駆動することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記移動機構として、第１移動機構と第２移動機構とを備え、
前記柱状部材は、前記保持柱部として、前記支持部材を保持する第１保持柱部と、前記第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、
前記第１保持柱部と前記第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、
前記第１移動機構は、前記第１保持柱部に対して前記支持部材を前記第１保持柱部の傾斜方向へ移動させ、
前記第２移動機構は、前記第２保持柱部に対して前記第１保持柱部を前記第２保持柱部の傾斜方向へ移動させ、
前記第１移動機構と前記第２移動機構とが駆動すると、前記支持部材が鉛直方向へ移動することを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。
【請求項６】
前記移動機構は、モータと、前記モータの出力軸に連結されるネジ部材と、前記ネジ部材のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材とを備えることを特徴とする請求項４または５記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、ガラス基板が搭載されるハンドと、ハンドが回動可能に取り付けられるアームと、アームが回動可能に取り付けられる本体部とを備えている。アームは、第１のアームと第２のアームとから構成されている。本体部は、架台の上に載置されており、所定の水平方向へ直線状に移動可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１１７８６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、本体部を架台に対して移動させることができるため、架台に対する本体部の移動方向において、ハンドおよびアームの位置を調整することが可能である。しかしながら、この産業用ロボットの場合、水平方向でのハンドおよびアームの位置調整を行うためには、本体部を水平方向へ移動可能に支持する架台や本体部を水平方向へ移動させるための機構が必要であり、産業用ロボットが大型化する。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても小型化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下方向に移動可能に支持する柱状部材とを備え、柱状部材は、複数の柱部によって構成されるとともに、柱状部材は、柱部として、複数の柱部のうちの他の柱部または支持部材を相対移動可能に保持する複数の保持柱部を備え、少なくとも２個の保持柱部は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、傾斜している保持柱部が支持部材を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への支持部材の相対移動が可能となっており、傾斜している保持柱部が他の柱部を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への他の柱部の相対移動が可能となっていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の産業用ロボットでは、柱状部材は、複数の柱部のうちの他の柱部または支持部材を相対移動可能に保持する複数の保持柱部を備え、少なくとも２個の保持柱部は、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、かつ、傾斜している保持柱部が支持部材を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への支持部材の相対移動が可能となっており、傾斜している保持柱部が他の柱部を相対移動可能に保持している場合には、この保持柱部が傾斜している方向への他の柱部の相対移動が可能となっている。そのため、鉛直方向に対して傾斜している保持柱部に対して支持部材または他の柱部を相対移動させることで、ハンドおよびアームを水平方向へ移動させることが可能になる。したがって、本発明では、産業用ロボットの本体部を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことが可能になる。すなわち、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても産業用ロボットを小型化することが可能になる。
【０００８】
また、本発明では、少なくとも２個の保持柱部が、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しているため、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても、支持部材や他の柱部の移動量や移動速度を調整することで、ハンドおよびアームとともに支持部材を鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、本発明では、位置調整後のハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。
【０００９】
また、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことができるため、水平方向で搬送対象物が位置ずれを起こしている場合には、この位置ずれを補正することが可能になる。また、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整を行うことで、産業用ロボットの設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。
【００１０】
本発明において、柱状部材は、保持柱部として、支持部材を保持する第１保持柱部と、第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、第１保持柱部と第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、第１保持柱部は、その傾斜方向への支持部材の相対移動が可能となるように支持部材を保持し、第２保持柱部は、その傾斜方向への第１保持柱部の相対移動が可能となるように第１保持柱部を保持していることが好ましい。このように構成すると、第１保持柱部と第２保持柱部との２個の保持柱部を柱状部材が備えていれば、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能になり、かつ、ハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。
【００１１】
本発明において、産業用ロボットは、基台と、基台に対して回動可能な旋回部材とを備え、第２保持柱部は、旋回部材に固定されていることが好ましい。このように構成すると、所定の収納位置に収納されている搬送対象物の水平面内での傾きが検出されたときに、支持部材または第１保持柱部を相対移動させるとともに、基台に対して旋回部材を回動させれば、所定の作業位置等へ搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。また、このように構成すると、搬送対象物を搬出する際にハンドが直線状に移動する場合に、搬送対象物を搬出する際のハンドの移動方向にかかわらず、搬出時のハンドの移動方向と異なる所定の水平方向へハンドを移動させることが可能になる。したがって、本発明では、搬送対象物を搬出する際のハンドの移動方向にかかわらず、搬送対象物の傾きが検出されたときに、支持部材または第１保持柱部を相対移動させるとともに、基台に対して旋回部材を回動させれば、搬入される搬送対象物の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。
【００１２】
本発明において、産業用ロボットは、鉛直方向に対して傾斜している保持柱部に保持される支持部材または柱部を個別に移動させるための複数の移動機構を備え、支持部材が鉛直方向へ移動するように、少なくとも２個の移動機構が駆動することが好ましい。このように構成すると、ハンドおよびアームの位置調整を行う必要がない場合に、あるいは、ハンドおよびアームの位置調整を行った後に、複数の移動機構の全てまたはいくつかの移動機構を駆動させれば、ハンドは鉛直方向へ移動する。したがって、ハンドを容易に制御することが可能になる。
【００１３】
本発明において、産業用ロボットは、移動機構として、第１移動機構と第２移動機構とを備え、柱状部材は、保持柱部として、支持部材を保持する第１保持柱部と、第１保持柱部を保持する第２保持柱部とを備え、第１保持柱部と第２保持柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、第１移動機構は、第１保持柱部に対して支持部材を第１保持柱部の傾斜方向へ移動させ、第２移動機構は、第２保持柱部に対して第１保持柱部を第２保持柱部の傾斜方向へ移動させ、第１移動機構と第２移動機構とが駆動すると、支持部材が鉛直方向へ移動することが好ましい。このように構成すると、第１保持柱部と第２保持柱部との２個の保持柱部を柱状部材が備えていれば、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能になり、かつ、ハンドおよびアームを鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。したがって、産業用ロボットの構成を簡素化することが可能になる。また、このように構成すると、ハンドおよびアームの位置調整を行う必要がない場合に、あるいは、ハンドおよびアームの位置調整を行った後に、第１移動機構と第２移動機構との２個の移動機構を駆動させれば、ハンドは鉛直方向へ移動する。したがって、ハンドをより容易に制御することが可能になる。
【００１４】
本発明において、移動機構は、たとえば、モータと、モータの出力軸に連結されるネジ部材と、ネジ部材のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材とを備えている。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明では、水平方向におけるハンドおよびアームの位置調整が可能であっても産業用ロボットを小型化することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボットを示す側面図である。
【図３】図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボットを示す正面図である。
【図４】図２に示すハンドおよびアームが上限位置にあるときの産業用ロボットの側面図である。
【図５】本発明の実施の形態にかかる移動機構の構成を説明するための図である。
【図６】図１に示す基板が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボットの動作を説明するための平面図である。
【図７】図２に示すハンドの水平方向の移動量を説明するための模式図である。
【図８】本発明の他の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図であり、（Ａ）はハンドおよびアームが下限位置にある状態を示す図、（Ｂ）はハンドおよびアームが上限位置にある状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１８】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から産業用ロボット１を示す側面図である。図３は、図１のＦ−Ｆ方向から産業用ロボット１を示す正面図である。なお、以下の説明では、互いに直交する３方向のそれぞれをＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向とする。本形態では、Ｚ方向が上下方向（鉛直方向）と一致する。また、以下の説明では、Ｘ方向を前後方向、Ｙ方向を左右方向とする。
【００１９】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するための搬送用の多関節型ロボットである。図１〜図３に示すように、ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５とを備えている。本体部５は、２本のアーム４の基端側を支持する支持部材６と、支持部材６を上下方向へ移動可能に支持する柱状部材７と、本体部５の下端部分を構成する基台８と、柱状部材７の下端を支持するとともに基台８に対して回動可能な旋回部材９とを備えている。
【００２０】
ハンド３の基端側は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。このハンド３には、上述の特許文献１に記載の産業用ロボットと同様に、所定の収納位置に収納された基板２の傾き（具体的には、前後方向等の基板２の搬出方向に対する基板２の傾き）を検出するためのセンサ（図示省略）が取り付けられている。なお、上述の特許文献１に記載の産業用ロボットと同様に、支持部材６には、基板２の端面を検出するためのエッジセンサが取り付けられている。また、基板２の傾きを検出するためのセンサは、ロボット１に取り付けられる以外に、基板２の収納位置に取り付けられる場合もある。
【００２１】
アーム４は、第１アーム部１３と第２アーム部１４との２個のアーム部を備えている。第１アーム部１３の基端側は、支持部材６の先端側に回動可能に支持されている。第２アーム部１４の基端側は、第１アーム部１３の先端側に回動可能に支持されている。第２アーム部１４の先端側には、ハンド３の基端側が回動可能に支持されている。本形態のロボット１は、本体部５に対してアーム４を伸縮させるための駆動用モータ（図示省略）を備えており、この駆動用モータが起動すると、ハンド３が所定方向を向いた状態（たとえば、前後方向を向いた状態）で直線状に動くように、アーム４が伸縮する。
【００２２】
支持部材６は、支持部材６の基端側部分を構成する昇降部１５と、２本のアーム４のそれぞれを支持する２個のアーム支持部１６とを備えている。昇降部１５は、柱状部材７に上下動可能に保持されている。アーム支持部１６は、ハンド３の移動方向に直交する方向を長手方向とする細長い扁平なブロック状に形成されている。２個のアーム支持部１６の基端は、昇降部１５に固定されている。アーム支持部１６の先端側には、第２アーム部１４の基端側が回動可能に保持されている。本形態では、２個のハンド３、２本のアーム４および２個のアーム支持部１６が上下方向に重なるように配置されている。すなわち、本形態のロボット１は、ダブルアーム型のロボットである。
【００２３】
柱状部材７は、旋回部材９に固定される柱部１７と、昇降部１５を保持する柱部１８とを備えている。すなわち、柱状部材７は、２個の柱部１７、１８によって構成されている。柱部１７は、その長手方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持している。柱部１８は、その長手方向への昇降部１５の相対移動（すなわち、支持部材６の相対移動）が可能となるように昇降部１５を保持している。また、本形態のロボット１は、柱部１７に対して柱部１８を移動させる移動機構２１（図５参照）と、柱部１８に対して支持部材６を移動させる移動機構２２（図５参照）とを備えている。柱状部材７および移動機構２１、２２の詳細な構成については後述する。
【００２４】
旋回部材９は、基台８から柱状部材７に向かって延びる細長い扁平なブロック状に形成されている。旋回部材９の基端側は、基台８に回動可能に保持されており、ロボット１は、旋回部材９を回動させる旋回機構（図示省略）を備えている。また、旋回部材９の先端側には、柱部１７の下端が固定されている。
【００２５】
（柱状部材および移動機構の構成）
図４は、図２に示すハンド３およびアーム４が上限位置にあるときの産業用ロボット１の側面図である。図５は、図２に示す柱部１８を柱部１７に対して移動させる移動機構２１および支持部材６を柱部１８に対して移動させる移動機構２２の構成を説明するための図である。
【００２６】
柱部１７は、図２、図４に示すように、鉛直方向（上下方向）に対して傾いた状態で、旋回部材９に固定されている。具体的には、柱部１７は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。本形態では、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜している。柱部１８は、図２、図４に示すように、鉛直方向に対して傾いた状態で、柱部１７に保持されている。具体的には、柱部１８は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。本形態では、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜している。すなわち、柱部１７と柱部１８とは、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。
【００２７】
移動機構２１は、図５に示すように、回転型のモータ２３と、モータ２３の出力軸に連結されるネジ部材としてのボールネジ２４と、ボールネジ２４のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材２５とを備えている。モータ２３は、中空状に形成された柱部１７の内部に固定されている。ボールネジ２４は、柱部１７の内部に固定された軸受２６に回転可能に支持されている。このボールネジ２４は、その軸方向と柱部１７の長手方向とが平行になるように配置されている。すなわち、ボールネジ２４は、その軸方向と柱部１７の傾斜方向とが平行になるように配置されている。
【００２８】
また、ナット部材２５には、ブラケット２７を介して柱部１８の下端側が固定されている。そのため、モータ２３が駆動すると、柱部１８は、柱部１７の傾斜方向へ柱部１７に対して相対移動する。すなわち、モータ２３が駆動すると、図２に示す下限位置と図４に示す上限位置との間で、柱部１８は、柱部１７の傾斜方向へ柱部１７に対して相対移動する。また、柱部１８が柱部１７の傾斜方向へ移動すると、柱部１８および支持部材６とともにハンド３およびアーム４は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する方向へ移動する。
【００２９】
移動機構２２は、図５に示すように、回転型のモータ２８と、モータ２８の出力軸に連結されるネジ部材としてのボールネジ２９と、ボールネジ２９のオネジ部に螺合するメネジ部を有するナット部材３０とを備えている。モータ２８は、中空状に形成された柱部１８の内部に固定されている。ボールネジ２９は、柱部１８の内部に固定された軸受３１に回転可能に支持されている。このボールネジ２９は、その軸方向と柱部１８の長手方向とが平行になるように配置されている。すなわち、ボールネジ２９は、その軸方向と柱部１８の傾斜方向とが平行になるように配置されている。
【００３０】
また、ナット部材３０には、ブラケット３２を介して昇降部１５が固定されている。そのため、モータ２８が駆動すると、支持部材６は、柱部１８の傾斜方向へ柱部１８に対して相対移動する。すなわち、モータ２８が駆動すると、図２に示す下限位置と図４に示す上限位置との間で、支持部材６は、柱部１８の傾斜方向へ柱部１８に対して相対移動する。また、支持部材６が柱部１８の傾斜方向へ移動すると、支持部材６とともにハンド３およびアーム４は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する方向へ移動する。
【００３１】
本形態では、モータ２３、２８が同時に駆動すると、支持部材６が水平方向へは移動せずに鉛直方向へ略直線状に移動するように、ナット部材２５、３０のストローク、ボールネジ２４、２９の傾斜角度（すなわち、柱部１７、１８の傾斜角度）、および、モータ２３、２８の回転数等が設定されている。また、本形態では、図２に示すハンド３の下限位置と図４に示すハンド３の上限位置とで、ハンド３が水平方向にずれないように、ナット部材２５、３０のストロークおよびボールネジ２４、２９の傾斜角度等が設定されている。
【００３２】
なお、本形態の柱部１８は、支持部材６を相対移動可能に保持する保持柱部であり、また、第１保持柱部である。柱部１７は、他の柱部１８を相対移動可能に保持する保持柱部であり、また、第１保持柱部である柱部１８を保持する第２柱部である。また、移動機構２２は、第１保持柱部である柱部１８に対して支持部材６を柱部１８の傾斜方向へ移動させる第１移動機構であり、移動機構２１は、第２保持柱部である柱部１７に対して第１保持柱部である柱部１８を柱部１７の傾斜方向へ移動させる第２移動機構である。
【００３３】
（産業用ロボットの概略動作）
図６は、図１に示す基板２が傾いた状態で収納されているときの産業用ロボット１の動作を説明するための平面図である。図７は、図２に示すハンド３の水平方向の移動量を説明するための模式図である。
【００３４】
以上のように構成されたロボット１では、柱部１７に対して柱部１８が上下動するとともに、柱部１８に対して支持部材６がハンド３およびアーム４等と一緒に上下動する。また、本体部５に対してアーム４が伸縮する。具体的には、ハンド３が所定方向を向いた状態で直線状に動くようにアーム４が伸縮する。さらに、基台８に対して旋回部材９が回動する。これらの動作の組合せによって、ロボット１は、基板２が収納される収納位置から基板２に所定の作業が行われる作業位置へ基板２を搬送する。
【００３５】
ここで、本形態では、ロボット１は、収納位置に収納された基板２を搬出する際に、まず、ハンド３を伸縮させて、ハンド３に設けられたセンサによって、基板２の搬出方向に対する基板２の傾きを検出する。この基板２の傾き検出動作で、基板２の傾きが検出されなければ（あるいは、基板２の傾きが規定値以下であれば）、ロボット１は、再び、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出し、搬出した基板２を所定の作業位置へ搬入する。このとき、収納位置で基板２を搭載する際のロボット１の状態は、図６の二点鎖線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド３は、基板２の搬出方向と略平行になっている。
【００３６】
一方、基板２の傾き検出動作で、基板２の傾きが検出されると（あるいは、検出された基板２の傾きが規定値を超えていると）、基板２の搬出方向に略直交する方向での基板２の位置ずれを抑制しつつ基板２の傾きを補正するため、ロボット１は、基台８に対して旋回部材９を所定量、回動させるとともに、モータ２３またはモータ２８を起動させて、柱部１８または支持部材６を移動させる。柱部１８または支持部材６が移動すると、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と直交する水平方向へ移動する。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出する。このとき、収納位置で基板２を搭載する際のロボット１の状態は、図６の実線で示す状態となる。すなわち、このときには、ハンド３は、基板２の搬出方向に対して、基板２の傾きと同程度傾いている。また、ロボット１は、基板２を搬出した後に、モータ２３またはモータ２８を起動させて、先程の移動方向と逆方向へ柱部１８または支持部材６を移動させるとともに先程の回動方向と逆方向へ旋回部材９を所定量、回動させる。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、基板２を作業位置へ搬入する。なお、本形態では、ロボット１は、柱部１８または支持部材６を移動させた後には、モータ２３とモータ２８とを同時に起動させて、上下方向におけるハンド３の位置ずれを補正する。
【００３７】
このように、本形態では、基板２の傾きに応じて基台８に対して旋回部材９を所定量、回動させるとともに、柱部１８または支持部材６を移動させた状態で、収納位置から基板２を搬出し、その後、旋回部材９を逆方向へ所定量、回動させるとともに、柱部１８または支持部材６を逆方向へ移動させてから、基板２を作業位置へ搬入するため、収納位置に収納された基板２の傾きは、基板２の搬出方向に直交する方向における基板２の位置ずれが抑制された状態で作業位置へ搬入される際に補正される。なお、本形態では、通常は、モータ２３とモータ２８とが同時に駆動して、ハンド３は、鉛直方向へ移動する。
【００３８】
また、収納位置に収納された基板２の、ハンド３の移動方向と直交する方向での位置ずれが検出されると、この位置ずれを補正するため、ロボット１は、モータ２３またはモータ２８を起動させて、柱部１８または支持部材６を移動させ、ハンド３の移動方向と直交する水平方向へハンド３およびアーム４を移動させる。その後、ロボット１は、ハンド３を伸縮させて、収納位置から基板２を搬出する。また、ロボット１は、基板２を搬出した後に、モータ２３またはモータ２８を起動させて、先程の移動方向と逆方向へ柱部１８または支持部材６を移動させてから、ハンド３を伸縮させて、基板２を作業位置へ搬入する。なお、本形態では、ロボット１は、柱部１８または支持部材６を移動させた後には、モータ２３とモータ２８とを同時に起動させて、上下方向におけるハンド３の位置ずれを補正する。
【００３９】
上述のように、本形態では、図２に示すハンド３の下限位置と図４に示すハンド３の上限位置とで、ハンド３が水平方向にずれないように、ナット部材２５、３０のストロークおよびボールネジ２４、２９の傾斜角度等が設定されているため、ナット部材３０が停止した状態でナット部材２５が下限位置から上限位置まで移動したときのハンド３の水平方向の移動量と、ナット部材２５が停止した状態でナット部材３０が下限位置から上限位置まで移動したときのハンド３の移動量とが等しい。
【００４０】
したがって、図７の実線で示すように、ハンド３が下限位置にあるときに、ナット部材２５を上限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部に近づく方向へ移動量Ｘだけ移動し、ハンド３が上限位置にあるときに、ナット部材３０を下限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部に近づく方向へ移動量Ｘだけ移動する。一方、図７の破線で示すように、ハンド３が下限位置にあるときに、ナット部材３０を上限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部から離れる方向へ移動量Ｘだけ移動し、ハンド３が上限位置にあるときに、ナット部材２５を下限位置まで移動させると、ハンド３は、基台８と旋回部材９との連結部から離れる方向へ移動量Ｘだけ移動する。
【００４１】
なお、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１（図７参照）は、２５００ｍｍであり、かつ、ナット部材３０のストロークＬ２（図７参照）は、１３００ｍｍである。また、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１は、１３００ｍｍであり、かつ、ナット部材３０のストロークＬ２は、１７００ｍｍである。また、たとえば、ナット部材２５のストロークＬ１およびナット部材３０のストロークＬ２は、１３００ｍｍである。また、これらの場合には、移動量Ｘは、たとえば、１２５ｍｍである。
【００４２】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、柱部１７と柱部１８とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しており、柱部１７は、その傾斜方向への柱部１８の相対移動が可能となるように柱部１８を保持し、柱部１８は、その傾斜方向への支持部材６の相対移動が可能となるように支持部材６を保持している。そのため、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３およびアーム４を水平方向へ移動させることができる。したがって、本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させれば、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができる。すなわち、基台８を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができる。そのため、本形態では、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整が可能であっても、基台８を水平方向へ移動させるための機構が不要となり、その結果、ロボット１を小型化することが可能になる。
【００４３】
また、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができるため、基板２の搬出方向に直交する方向で基板２が位置ずれを起こしている場合に、この位置ずれを補正することが可能になる。特に本形態では、旋回部材９に柱状部材７が固定されているため、基板２を搬出する際のハンド３の移動方向にかかわらず、基板２の搬出方向に直交する方向での基板２の位置ずれを補正することが可能になる。また、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整を行うことができるため、ロボット１の設置誤差や組立誤差を補正することが可能になる。そのため、ロボット１の設置や組立を容易に行うことが可能になる。
【００４４】
また、本形態では、柱部１７、１８が、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜しているため、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整が可能であっても、支持部材６および柱部１８の移動量や移動速度を調整することで、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６を鉛直方向へ略直線状に移動させることができる。したがって、本形態では、位置調整後のハンド３およびアーム４を鉛直方向へ略直線状に移動させることが可能になる。
【００４５】
特に本形態では、モータ２３、２８が同時に駆動すると、支持部材６が鉛直方向へ略直線状に移動するように、ナット部材２５、３０のストローク、ボールネジ２４、２９の傾斜角度、および、モータ２３、２８の回転数等が設定されているため、ハンド３やアーム４の位置調整を行う必要がない場合や、ハンド３およびアーム４の位置調整を行った後に、モータ２３、２８を同時に駆動させれば、ハンド３は鉛直方向へ略直線状に移動する。したがって、本形態では、ハンド３を容易に制御することが可能になる。
【００４６】
本形態では、柱部１７と柱部１８とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。そのため、２個の柱部１７、１８を用いて、水平方向におけるハンド３およびアーム４の位置調整ができ、かつ、ハンド３およびアーム４を鉛直方向へ略直線状に移動させることができる。したがって、本形態では、ロボット１の構成を簡素化してロボット１を小型化することが可能になる。
【００４７】
本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３およびアーム４を水平方向へ移動させることができ、かつ、柱状部材７が旋回部材９に固定されている。そのため、基板２の傾きが検出されたときに、支持部材６または柱部１８を移動させるとともに基台８に対して旋回部材９を旋回させれば、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。すなわち、基台８を水平方向へ移動させるための機構を備えていなくても、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。
【００４８】
特に本形態では、支持部材６または柱部１８を移動させることで、ハンド３を水平方向へ移動させることができるため、ハンド３がどの方向を向いていても、基板２の搬送時のハンド３の移動方向に直交する水平方向へハンド３を移動させることができる。したがって、本形態では、基板２を搬出する際のハンド３の移動方向にかかわらず、作業位置に搬入される基板２の位置ずれを抑制しつつその傾きを補正することが可能になる。
【００４９】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００５０】
上述した形態では、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜し、かつ、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜している。この他にもたとえば、図８に示すように、柱部１７は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部から離れるように傾斜し、かつ、柱部１８は、その上端が基台８と旋回部材９との連結部に近づくように傾斜しても良い。
【００５１】
上述した形態では、柱状部材７は、２個の柱部１７、１８を備えている。この他にもたとえば、柱状部材７は、３個以上の柱部を備えていても良い。たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、３個の柱部のうちの２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、残りの１個の柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良い。たとえば、支持部材６を相対移動可能に保持する柱部を第１柱部、第１柱部を相対移動可能に保持する柱部を第２柱部、第２柱部を相対移動可能に保持するとともに旋回部材９に固定される柱部を第３柱部としたときに、第１柱部と第２柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第３柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良いし、第１柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第２柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良いし、第２柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜するとともに、第１柱部は鉛直方向に対して傾斜していなくても良い。なお、この場合の第１柱部、第２柱部および第３柱部は、保持柱部である。また、この場合には、ロボット１は、支持部材６、第１柱部および第２柱部を個別に移動させるための３個の移動機構を備えている。
【００５２】
また、たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、３個の柱部のうちの２個の柱部が鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、残りの１個の柱部は鉛直方向に対して他の２個の柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜していても良い。たとえば、上述の第１柱部と第２柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第３柱部が鉛直方向に対して第１柱部および第２柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良い。この場合には、第１柱部の傾斜角度と第２柱部の傾斜角度とは等しくても良いし、異なっていても良い。また、第１柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第２柱部が鉛直方向に対して第１柱部および第３柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良いし、第２柱部と第３柱部とが鉛直方向に対して一方向へ傾斜するとともに、第１柱部が鉛直方向に対して第２柱部および第３柱部の傾斜方向と逆方向へ傾斜しても良い。なお、この場合の第１柱部、第２柱部および第３柱部も、保持柱部である。また、この場合にも、ロボット１は、支持部材６、第１柱部および第２柱部を個別に移動させるための３個の移動機構を備えている。また、この場合には、３個の移動機構の全てが駆動したときにハンド３が鉛直方向へ移動しても良いし、３個の移動機構のうちの２個の移動機構が駆動したときにハンド３が鉛直方向へ移動しても良い。すなわち、この場合には、ハンド３およびアーム４とともに支持部材６が鉛直方向へ移動するように、少なくとも２個の移動機構が駆動すれば良い。
【００５３】
また、たとえば、柱状部材７が３個の柱部を備えている場合には、１個の柱部は、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持していなくても良い。たとえば、上述の第１柱部に支持部材６が固定されていても良いし、または、第２柱部に第１柱部が固定されていても良いし、あるいは、第３柱部に第２柱部が固定されていても良い。この場合には、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持する２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜している。また、この場合には、支持部材６または他の柱部を相対移動可能に保持する２個の柱部が保持柱部である。
【００５４】
このように、柱状部材７が３個以上の柱部を備えている場合には、少なくとも２個の柱部が鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜していれば良い。また、この場合には、鉛直方向に対して互いに逆方向へ傾斜する柱部が、その傾斜方向への支持部材６または他の柱部の相対移動が可能となるように支持部材６または他の柱部を保持していれば良い。
【００５５】
上述した形態では、柱部１７、１８は、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に直交する平面内で傾いている。この他にもたとえば、柱部１７、１８は、上下方向に平行な平面であってかつ基板２を搬送する際のハンド３の移動方向に対して傾いた平面内で傾いていても良い。すなわち、柱部１７、１８の傾きの方向が、基板２を搬送する際のハンド３の移動方向と一致していなければ良い。このようにすることで、ハンド３の移動方向と直交する方向で基板２の位置ずれを補正することが可能になる。
【００５６】
上述した形態では、本体部５は、水平方向へ移動可能となってはいないが、本体部５は、水平方向へ移動可能となっていても良い。すなわち、ロボット１は、水平方向（たとえば、左右方向）へ移動可能に基台８を支持するベース部材と、ベース部材に対して基台８を水平方向へ移動させる水平移動機構とを備えていても良い。
【００５７】
上述した形態では、支持部材６は、アーム支持部１６を備えており、アーム４の基端側は、アーム支持部１６の先端側に支持されている。この他にもたとえば、支持部材６が昇降部１５によって構成されるとともに、アーム４の基端側が昇降部１５に支持されても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、旋回部材９を備えているが、ロボット１は、旋回部材９を備えていなくても良い。この場合には、基台８に柱状部材７の下端が固定される。
【００５８】
上述した形態では、移動機構２１、２２は、回転型のモータ２３、２８と、ボールネジ２４、２９と、ナット部材２５、３０とを備えているが、移動機構２１、２２は、リニアモータであっても良い。また、上述した形態では、アーム４は、第１アーム部１３と第２アーム部１４との２個のアーム部によって構成されているが、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されても良い。さらに、上述した形態では、ロボット１は、２個のハンド３および２個のアーム４等を備えるいわゆるダブルアーム型のロボットであるが、ロボット１は、１個のハンド３および１個のアーム４等を備えるシングルアーム型のロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、基板２以外の半導体ウエハ等であっても良い。
【符号の説明】
【００５９】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（ガラス基板、搬送対象物）
３  ハンド
４  アーム
６  支持部材
７  柱状部材
８  基台
９  旋回部材
１７  柱部（保持柱部、第２保持柱部）
１８  柱部（保持柱部、第１保持柱部）
２１  移動機構（第２移動機構）
２２  移動機構（第１移動機構）
２３、２８  モータ
２４、２９  ボールネジ（ネジ部材）
２５、３０  ナット部材
Ｚ  鉛直方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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