(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が吐出される複数の吐出口が開口した吐出面、前記複数の吐出口に供給される液体を貯留する共通流路、及び、前記共通流路の出口から圧力室を経て前記吐出口に至る複数の個別流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、を備え、
前記流路ユニットは、
前記吐出面に直交する方向に関して、前記吐出面と前記共通流路とに挟まれて前記共通流路と対向するダンパ室と、前記ダンパ室と前記共通流路とに挟まれた、前記共通流路内の圧力変動に応じて撓むダンパ壁を含むダンパプレートと、を有し、
前記ダンパプレートに、当該ダンパプレートと交差する前記共通流路の側面近傍に沿って延在し且つ前記共通流路内に開口した第１溝及び第２溝であって、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記側面との間に設けられた第１溝、及び、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記第１溝との間に設けられた第２溝が形成されており、
前記ダンパ壁は、１の前記ダンパプレートから構成されており、前記第１溝及び前記第２溝が開口した面とは反対側の面に、前記ダンパ室を画定する凹部が形成されていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
液体が吐出される複数の吐出口が開口した吐出面、前記複数の吐出口に供給される液体を貯留する共通流路、及び、前記共通流路の出口から圧力室を経て前記吐出口に至る複数の個別流路が形成された流路ユニットと、
前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、を備え、
前記流路ユニットは、
前記吐出面に直交する方向に関して、前記吐出面と前記共通流路とに挟まれて前記共通流路と対向するダンパ室と、前記ダンパ室と前記共通流路とに挟まれた、前記共通流路内の圧力変動に応じて撓むダンパ壁を含むダンパプレートと、を有し、
前記ダンパプレートに、当該ダンパプレートと交差する前記共通流路の側面近傍に沿って延在し且つ前記共通流路内に開口した第１溝及び第２溝であって、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記側面との間に設けられた第１溝、及び、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記第１溝との間に設けられた第２溝が形成されており、
前記第１溝が、前記吐出面に直交する方向から見て前記側面と重なる位置に設けられていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記共通流路が一方向に長尺であり、
前記第１溝及び前記第２溝が、前記一方向に関して、前記側面近傍において前記一方向に並列した複数の前記吐出口からなる吐出口列よりも長いことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第１溝及び前記第２溝が、前記吐出面に直交する方向に関して前記ダンパ室と対向せず且つ前記ダンパ室よりも前記側面に近い位置に設けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１溝及び前記第２溝が、互いに対向する２つの前記側面のそれぞれに対して設けられていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記ダンパプレートを含む複数のプレートを積層することにより、前記流路ユニットが形成されており、
前記ダンパプレートは、これに隣接する他の前記プレートよりも、線膨張係数が小さいことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記共通流路の延在方向と直交する断面において、前記ダンパ室が、前記共通流路の中心と一致し、前記第１溝及び前記第２溝が、前記ダンパ室の中心に関して対称に配置されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第１溝、前記第２溝、及び前記ダンパ室が、前記共通流路の全長に亘って延在していることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドの一例であるインクジェットヘッドは、インクが吐出される複数の吐出口が開口した吐出面を有する流路ユニットを含む。流路ユニットには、複数の吐出口に供給されるインクを貯留する共通流路、及び、共通流路の出口から圧力室を経て吐出口に至る複数の個別流路が形成されている場合がある。この場合、吐出口からのインク吐出動作に伴って、ある個別流路に生じた圧力波が共通流路を介して他の個別流路に伝播する現象（流体的クロストーク）が生じ得る。流体的クロストークは、インク吐出性能（インクの吐出速度、吐出方向、サイズ等）に影響を及ぼし、記録品質悪化の要因となるため、抑制する必要がある。
【０００３】
そこで、特許文献１のように、共通流路（マニホールド室）に対向する位置にダンパ室を形成し、ダンパ室と共通流路とに挟まれた薄肉のダンパ壁の撓みによって、共通流路内の圧力変動を吸収するという技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２５６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ダンパ壁は、厚みが小さい（薄い）ほど、撓み易く、圧力変動を吸収する効果が向上する。そのため、ダンパ壁の厚みをできる限り小さく（薄肉化）することが望まれるが、薄肉化に伴い、ダンパ壁に孔が生じる等の不具合が生じ得る。
【０００６】
本発明の目的は、ダンパ壁の薄肉化に伴う不具合を抑制しつつ、ダンパ壁を撓み易くすることが可能な、液体吐出ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の観点によると、液体が吐出される複数の吐出口が開口した吐出面、前記複数の吐出口に供給される液体を貯留する共通流路、及び、前記共通流路の出口から圧力室を経て前記吐出口に至る複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、を備え、前記流路ユニットは、前記吐出面に直交する方向に関して、前記吐出面と前記共通流路とに挟まれて前記共通流路と対向するダンパ室と、前記ダンパ室と前記共通流路とに挟まれた、前記共通流路内の圧力変動に応じて撓むダンパ壁を含むダンパプレートと、を有し、前記ダンパプレートに、当該ダンパプレートと交差する前記共通流路の側面近傍に沿って延在し且つ前記共通流路内に開口した第１溝及び第２溝であって、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記側面との間に設けられた第１溝、及び、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記第１溝との間に設けられた第２溝が形成されており、前記ダンパ壁は、１の前記ダンパプレートから構成されており、前記第１溝及び前記第２溝が開口した面とは反対側の面に、前記ダンパ室を画定する凹部が形成されていることを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。また、本発明の別の観点によると、液体が吐出される複数の吐出口が開口した吐出面、前記複数の吐出口に供給される液体を貯留する共通流路、及び、前記共通流路の出口から圧力室を経て前記吐出口に至る複数の個別流路が形成された流路ユニットと、前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、を備え、前記流路ユニットは、前記吐出面に直交する方向に関して、前記吐出面と前記共通流路とに挟まれて前記共通流路と対向するダンパ室と、前記ダンパ室と前記共通流路とに挟まれた、前記共通流路内の圧力変動に応じて撓むダンパ壁を含むダンパプレートと、を有し、前記ダンパプレートに、当該ダンパプレートと交差する前記共通流路の側面近傍に沿って延在し且つ前記共通流路内に開口した第１溝及び第２溝であって、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記側面との間に設けられた第１溝、及び、前記吐出面に直交する方向から見て前記ダンパ室と前記第１溝との間に設けられた第２溝が形成されており、前記第１溝が、前記吐出面に直交する方向から見て前記側面と重なる位置に設けられていることを特徴とする、液体吐出ヘッドが提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によると、ダンパ壁が、溝の存在により、共通流路内の圧力変動に応じて撓み易くなっている。したがって、上記構成によれば、ダンパ壁の薄肉化に伴う不具合を抑制しつつ、ダンパ壁を撓み易くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドが適用されるインクジェット式プリンタの内部構造を示す概略側面図である。
【図２】インクジェットヘッドの流路ユニット及びアクチュエータユニットを示す平面図である。
【図３】図２の一点鎖線で囲まれた領域ＩＩＩを示す拡大図である。
【図４】（ａ）は、図３のＩＶＡ−ＩＶＡ線に沿った部分断面図である。（ｂ）は、（ａ）に示す領域ＩＶＢの拡大図である。
【図５】インクジェットヘッドの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
先ず、図１を参照し、本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッド１０が適用されるインクジェット式プリンタ１の全体構成について説明する。
【００１２】
プリンタ１は、直方体形状の筐体１ａを有する。筐体１ａの天板上部には、排紙部３１が設けられている。筐体１ａの内部空間は、上から順に空間Ａ，Ｂ，Ｃに区分できる。空間Ａ及びＢは、排紙部３１に連なる用紙搬送経路が形成された空間である。空間Ａでは、用紙Ｐの搬送と用紙Ｐへの画像の記録が行われる。空間Ｂでは、給紙に係る動作が行われる。空間Ｃには、インク供給源としてのインクカートリッジ４０が収容されている。
【００１３】
空間Ａには、４つのインクジェットヘッド１０、用紙Ｐを搬送する搬送ユニット２１、用紙Ｐをガイドするガイドユニット（後述）等が配置されている。空間Ａの上部には、これらの機構を含めたプリンタ１各部の動作を制御してプリンタ１全体の動作を司るコントローラ１ｐが配置されている。
【００１４】
コントローラ１ｐは、外部から供給された画像データに基づいて、用紙Ｐに画像が記録されるよう、記録に係わる準備動作、用紙Ｐの供給・搬送・排出動作、用紙Ｐの搬送に同期したインク吐出動作、吐出性能の回復維持動作（メンテナンス動作）等を制御する。
【００１５】
各ヘッド１０は、主走査方向に長尺な略直方体形状を有するラインヘッドである。４つのヘッド１０は、副走査方向に所定ピッチで並び、ヘッドフレーム３を介して筐体１ａに支持されている。ヘッド１０は、流路ユニット１２、８つのアクチュエータユニット１７（図２参照）、及びリザーバユニット１１を含む。画像記録に際して、４つのヘッド１０の下面（吐出面１０ａ）からは、それぞれマゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが吐出される。ヘッド１０のより具体的な構成については後に詳述する。
【００１６】
搬送ユニット２１は、図１に示すように、ベルトローラ６，７及び両ローラ６，７間に巻回されたエンドレスの搬送ベルト８に加え、搬送ベルト８の外側に配置されたニップローラ４及び剥離プレート５、搬送ベルト８の内側に配置されたプラテン９等を有する。
【００１７】
ベルトローラ７は、駆動ローラであって、搬送モータ（図示せず）の駆動により回転し、図１中時計回りに回転する。ベルトローラ７の回転に伴い、搬送ベルト８が図１中の太矢印方向に走行する。ベルトローラ６は、従動ローラであって、搬送ベルト８が走行するのに伴って、図１中時計回りに回転する。ニップローラ４は、ベルトローラ６に対向配置され、上流側ガイド部（後述）から供給された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえつける。剥離プレート５は、ベルトローラ７に対向配置され、用紙Ｐを外周面８ａから剥離して下流側ガイド部（後述）へと導く。プラテン９は、４つのヘッド１０に対向配置され、搬送ベルト８の上側ループを内側から支える。これにより、外周面８ａとヘッド１０の吐出面１０ａとの間に、画像記録に適した所定の間隙が形成される。
【００１８】
ガイドユニットは、搬送ユニット２１を挟んで配置された、上流側ガイド部及び下流側ガイド部を含む。上流側ガイド部は、２つのガイド２７ａ，２７ｂ及び一対の送りローラ２６を有する。当該ガイド部は、給紙ユニット１ｂ（後述）と搬送ユニット２１とを繋ぐ。下流側ガイド部は、２つのガイド２９ａ，２９ｂ及び二対の送りローラ２８を有する。当該ガイド部は、搬送ユニット２１と排紙部３１とを繋ぐ。
【００１９】
空間Ｂには、給紙ユニット１ｂが配置されている。給紙ユニット１ｂは、給紙トレイ２３及び給紙ローラ２５を有し、給紙トレイ２３が筐体１ａに対して着脱可能である。給紙トレイ２３は、上方に開口する箱であり、複数種類のサイズの用紙Ｐを収納する。給紙ローラ２５は、給紙トレイ２３内で最も上方にある用紙Ｐを送り出し、上流側ガイド部に供給する。
【００２０】
上述したように、空間Ａ及びＢに、給紙ユニット１ｂから搬送ユニット２１を介して排紙部３１に至る用紙搬送経路が形成されている。記録指令に基づいて、コントローラ１ｐは、給紙ローラ２５用モータ（図示せず）、各ガイド部の送りローラ用モータ（図示せず）、搬送モータ等を駆動する。給紙トレイ２３から送り出された用紙Ｐは、送りローラ２６によって、搬送ユニット２１に供給される。用紙Ｐが各ヘッド１０の真下を副走査方向に通過する際、順に吐出面１０ａからインクが吐出されて、用紙Ｐ上にカラー画像が記録される。インクの吐出動作は、用紙センサ３２からの検出信号に基づいて行われる。用紙Ｐは、その後剥離プレート５により剥離され、２つの送りローラ２８によって上方に搬送される。さらに用紙Ｐは、上方の開口３０から排紙部３１に排出される。
【００２１】
ここで、副走査方向とは、搬送ユニット２１による用紙Ｐの搬送方向と平行な方向であり、主走査方向とは、水平面に平行且つ副走査方向に直交する方向である。
【００２２】
空間Ｃには、インクユニット１ｃが筐体１ａに対して着脱可能に配置されている。インクユニット１ｃは、カートリッジトレイ３５、及び、トレイ３５内に並んで収納された４つのカートリッジ４０を有する。各カートリッジ４０は、インクチューブ（図示せず）を介して、対応するヘッド１０にインクを供給する。
【００２３】
次に、図２〜図５を参照し、ヘッド１０の構成についてより詳細に説明する。なお、図３では、アクチュエータユニット１７の下側にあって点線で示すべき圧力室１６及びアパーチャ１５を実線で示している。
【００２４】
図５に示すように、ヘッド１０は、流路ユニット１２、アクチュエータユニット１７、リザーバユニット１１、及び基板６４が積層した積層体である。このうち、アクチュエータユニット１７、リザーバユニット１１、及び基板６４が、流路ユニット１２の上面１２ｘとカバー６５とにより形成される空間に収容されている。当該空間内において、ＦＰＣ（平型柔軟基板）５０は、アクチュエータユニット１７と基板６４とを電気的に接続している。ＦＰＣ５０には、ドライバＩＣ５７が実装されている。
【００２５】
ＦＰＣ５０は、アクチュエータユニット１７毎に設けられており、対応するアクチュエータユニット１７の各電極に対応する配線を有する。配線はそれぞれドライバＩＣ５７の出力端子と接続されている。ＦＰＣ５０は、コントローラ１ｐ（図１参照）による制御の下、基板６４で調整されたデータをドライバＩＣ５７に伝達し、ドライバＩＣ５７で生成された各駆動電圧を、配線を介してアクチュエータユニット１７の各電極に伝達する。駆動電圧は、各電極に対し、選択的に印加される。
【００２６】
カバー６５は、図５に示すように、トップカバー６５ａ及びアルミ製のサイドカバー６５ｂを含む。カバー６５は、下方に開口する箱であり、流路ユニット１２の上面１２ｘに固定されている。ドライバＩＣ５７は、サイドカバー６５ｂの内面に当接し、カバー６５ｂと熱的に結合している。なお、当該熱的結合を確実にするため、ドライバＩＣ５７は、リザーバユニット１１の側面に固定された弾性部材（例えばスポンジ）５８によってサイドカバー６５ｂ側に付勢されている。
【００２７】
リザーバユニット１１は、４枚の金属プレート１１ａ〜１１ｄを互いに接着した積層体である。リザーバユニット１１の内部には、インク溜りのリザーバ７２を含むインク流路が形成されている。当該インク流路の一端はチューブ等を介してカートリッジ４０に接続し、他端は流路ユニット１２に接続している。プレート１１ｄの下面には、図５に示すように、凹凸が形成されており、凹部によってプレート１１ｄと上面１２ｘとの間に空間が形成されている。アクチュエータユニット１７は、ＦＰＣ５０の上方に若干の間隙を残して、当該空間内で上面１２ｘに固定されている。凸部には、その先端面（即ち、上面１２ｘとの接合面）に開口したインク流出流路７３が形成されている。
【００２８】
流路ユニット１２は、９枚の金属プレート１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅ，１２ｆ，１２ｇ，１２ｈ，１２ｉ（図４（ａ）参照）を互いに接着した積層体である。即ち、プレート１２ａ〜１２ｉを積層することにより、流路ユニット１２が形成されている。プレート１２ａ〜１２ｉは、吐出面１０ａに直交する方向から見て（即ち、平面視で）、略矩形状で、略同じサイズである。プレート１２ａ〜１２ｉのうち、ダンパプレート１２ｈを除くプレート１２ａ〜１２ｇ，１２ｉはＳＵＳ４３０、ダンパプレート１２ｈは４２アロイ（４２Ａｌｌｏｙ）からなる。ここで、ＳＵＳ４３０の線膨張係数は１０．４×１０−６／℃、４２アロイの線膨張係数は４．５〜６．５×１０−６／℃である。
【００２９】
図２に示すように、流路ユニット１２の上面１２ｘには、インク流出流路７３の開口７３ａに接続する開口１２ｙが形成されている。流路ユニット１２の内部には、開口１２ｙから吐出口１４ａに繋がるインク流路が形成されている。当該インク流路は、図２、図３、及び図４（ａ）に示すように、開口１２ｙを一端に有するマニホールド流路１３、マニホールド流路１３から分岐した副マニホールド流路１３ａ、及び、副マニホールド流路１３ａの出口１３ａ３ｘから圧力室１６を経て吐出口１４ａに至る複数の個別流路１４を含む。これらのうち、マニホールド流路１３及び副マニホールド流路１３ａが、吐出口１４ａに供給されるインクを貯留する共通流路である。
【００３０】
個別流路１４は、吐出口１４ａ毎に形成されており、図４（ａ）に示すように、流路抵抗調整用の絞りとして機能するアパーチャ１５、及び、上面１２ｘに開口した圧力室１６を含む。圧力室１６は、図３に示すように、それぞれ略菱形形状であり、上面１２ｘでマトリクス状に配置されることで、平面視で略台形領域を占める計８つの圧力室群を構成している。各圧力室群は、主走査方向に延びる１６の圧力室列から構成されている。１の圧力室列に含まれる圧力室の数は、台形領域の形状に合わせて、台形の下底側から上底側に向けて順に少なくなっている。吐出口１４ａも、圧力室１６と同様、吐出面１０ａでマトリクス状に配置されることで、平面視で略台形領域を占める計８つの吐出口群を構成している。
【００３１】
共通流路は、複数の吐出口１４ａに共通の流路である。図３に示すように、上記の略台形領域において、４つの副マニホールド流路１３ａが、それぞれ主走査方向に延在し、副走査方向に互いに離隔して配置されている。１の副マニホールド流路１３ａは、片側２列で計４つの圧力室列に共有されている。副走査方向に関して、１つの副マニホールド流路１３ａは、各２つずつの圧力室列及び吐出口列１４ａＲによって両側から挟まれている。各圧力室１６は、平面視でアパーチャ１５の先端に重なる副マニホールド流路１３ａの出口にそれぞれ連通している。図３に示すように、平面視で副マニホールド流路１３ａ内に、主走査方向に延びた４つの出口列が構成されている。
【００３２】
図４（ａ）に示すように、プレート１２ｅ〜１２ｇには、共通流路を構成する貫通孔が形成されている。これらプレート１２ｅ〜１２ｇの上下にプレート１２ｄ及びダンパプレート１２ｈをそれぞれ積層することにより、共通流路が形成されている。即ち、副マニホールド流路１３ａの側面１３ａ１，１３ａ２、上面１３ａ３、及び底面１３ａ４はそれぞれ、プレート１２ｅ〜１２ｇにおける貫通孔を画定する面、プレート１２ｄの下面、及びダンパプレート１２ｈの上面によって構成されている。
【００３３】
さらに、流路ユニット１２において、平面視で副マニホールド流路１３ａと対向する部分に、ダンパ室１２ｈ１が形成されている。ダンパ室１２ｈ１は、ダンパプレート１２ｈの下面に形成された凹部と、プレート１２ｉの上面とによって画定された空間である。ダンパ室１２ｈ１は、吐出面１０ａに直交する方向に関して、吐出面１０ａと副マニホールド流路１３ａとに挟まれている。
【００３４】
ダンパプレート１２ｈにおける副マニホールド流路１３ａに対向する薄肉部分（厚み略２０μｍ）が、ダンパ壁１２ｈ２である。ダンパ壁１２ｈ２は、副マニホールド流路１３ａ内の圧力変動に応じて撓み、当該圧力変動を吸収する。ダンパ壁１２ｈ２は、吐出面１０ａに直交する方向に関して、ダンパ室１２ｈ１と副マニホールド流路１３ａとに挟まれている。
【００３５】
ダンパプレート１２ｈの上面には、各側面１３ａ１，１３ａ２の近傍に沿って主走査方向に延在する、溝２０が形成されている。溝２０は、側面１３ａ１，１３ａ２毎に、サイズ及び形状が略同一の２つの溝（第１溝２０ａ及び第２溝２０ｂ）をそれぞれ含む。これら溝２０ａ，２０ｂは、平面視でダンパ室１２ｈ１と対向せず且つダンパ室１２ｈ１よりも側面１３ａ１，１３ａ２に近い位置に設けられ、副マニホールド流路１３ａ内に開口している（図４（ｂ）参照）。
【００３６】
第１溝２０ａ及び第２溝２０ｂのうち、側面１３ａ１，１３ａ２により近い位置に設けられた第１溝２０ａは、側面１３ａ１，１３ａ２を構成する側壁１３ｗに部分的に覆われている。即ち、第１溝２０ａは、平面視で側面１３ａ１，１３ａ２と重なる。第２溝２０ｂは、平面視で、第１溝２０ａとダンパ室１２ｈ１との間に設けられている。
【００３７】
ダンパ室１２ｈ１、ダンパ壁１２ｈ２、及び溝２０（第１溝２０ａ及び第２溝２０ｂを「溝２０」と総称する。）は共に、主走査方向に延在し、副マニホールド流路１３ａの全長に亘って形成されている。また、ダンパ室１２ｈ１、ダンパ壁１２ｈ２、及び溝２０は共に、主走査方向に関して、対応する吐出口列１４ａＲ（図３参照）よりも長い。
【００３８】
ダンパプレート１２ｈは、図４（ａ）に示すように、主走査方向と直交する断面が、側面１３ａ１，１３ａ２に挟まれた副マニホールド流路１３ａの中心を通る直線Ｏに対して、対称な形状を有する。当該断面の形状は、ダンパ室１２ｈ１が形成されている範囲において、主走査方向に亘って一定である。
【００３９】
ダンパ室１２ｈ１を構成する凹部、及び、溝２０は、共にハーフエッチングで形成されている。例えば、ダンパプレート１２ｈの厚みは５０μｍ、ダンパ室１２ｈ１用凹部及び溝２０の深さは共に３０μｍである。
【００４０】
アクチュエータユニット１７は、図２に示すように、それぞれ台形の平面形状を有し、上面１２ｘにおいて２列の千鳥状に配置されている。各アクチュエータユニット１７は、図３に示すように、圧力室群（吐出口群）の占める台形領域を覆っている。アクチュエータユニット１７は、リザーバユニット下面の凸部を避けて配置され、その台形の下底部分が、主走査方向に関して両側から開口１２ｙ（開口７３ａ）によって挟まれている。アクチュエータユニット１７は、各圧力室１６に対向する部分に、個別に変形可能な圧電型アクチュエータを含む。圧電型アクチュエータは、圧電層を挟む電極を含み、ドライバＩＣ５７からＦＰＣ５０を介して当該電極に駆動電圧が印加されることで、変形する。アクチュエータユニット１７は、当該圧電型アクチュエータの変形により、対応する圧力室１６の容積を変化させ、圧力室１６内のインクにエネルギーを付与する。
【００４１】
このエネルギーは、圧力波となってインク中を伝搬する。圧力波の内、吐出口１４ａに向かう成分は、吐出口１４ａのメニスカスの振動や、吐出口１４ａからのインク吐出に関与する。一方、アパーチャ１５に向かう成分は、アパーチャ１５で反射し、大部分が吐出口１４ａに向かう成分となるが、一部は副マニホールド流路１３ａの出口から内部に漏れ出ることがある。このとき、副マニホールド流路１３ａのコンプライアンスによっては、漏れた圧力波は、この出口と所定の位置関係で隣接する出口から別の圧力室１６に至り、流体的クロストークとしてその吐出特性に影響する。しかし、本実施の形態では、副マニホールド流路１３ａが、溝２０で挟まれたダンパ壁１２ｈ２を備えるので、漏れ出た圧力波をより効果的に減衰できる。そのため、流体的クロストークの影響が非常に少ない画像形成が可能となっている。
【００４２】
以上に述べたように、本実施形態のヘッド１０によると、図４に示すように、ダンパ壁１２ｈ２が、溝２０の存在により、副マニホールド流路１３ａ内の圧力変動に応じて撓み易くなっている。したがって、本実施形態によれば、ダンパ壁１２ｈ２の薄肉化に伴う不具合を抑制しつつ、ダンパ壁１２ｈ２を撓み易くすることができる。
【００４３】
溝２０が、主走査方向に関して吐出口列１４ａＲ（図３参照）よりも長い。これにより、吐出口列１４ａＲを構成する全ての吐出口１４ａについて、流体的クロストークの影響を確実に抑制することができる。
【００４４】
溝２０が、平面視でダンパ室１２ｈ１と対向せず且つダンパ室１２ｈ１よりも側面１３ａ１，１３ａ２に近い位置に設けられている。例えば平面視でダンパ室１２ｈ１と対向する位置に溝２０を形成した場合、ダンパ壁１２ｈ１に強度低下や貫通孔が生じ得る。しかし本実施形態によれば、このような問題を軽減しつつ、溝２０を深く形成してダンパ壁１２ｈ２をより撓み易くすることができる。
【００４５】
溝２０が、互いに対向する２つの側面１３ａ１，１３ａ２に対して設けられている。これにより、ダンパ壁１２ｈ２がより撓み易くなっている。
【００４６】
ダンパ壁１２ｈ２が、１のダンパプレート１２ｈから構成されている。そして、ダンパプレート１２ｈにおける溝２０が開口した面（上面）とは反対側の面（下面）に、ダンパ室１２ｈ１を画定する凹部が形成されている。これにより、複数のプレートでダンパ壁を構成する場合に比べ、ダンパ壁１２ｈ２を薄くより撓み易くすることができる。
【００４７】
ダンパプレート１２ｈは、これに隣接する他のプレート１２ｇ，１２ｉよりも、線膨張係数が小さい。したがって、ダンパプレート１２ｈとプレート１２ｇ，１２ｉとの接合時に、これらプレート１２ｇ，１２ｈ，１２ｉが加熱後に冷却されるとき、プレート１２ｇ，１２ｉがダンパプレート１２ｈよりも大きく収縮しようとし、ダンパプレート１２ｈ全体に圧縮応力が加わる。これにより、当該部分の固有振動数が低下し、圧力変動の吸収効果が高まる。
【００４８】
溝２０が、平面視で側面１３ａ１，１３ａ２と重なる位置に設けられた第１溝２０ａを含む。このように側面１３ａ１，１３ａ２に近接した位置に第１溝２０ａを設けることで、ダンパ壁１２ｈ２が確実に撓み易くなる。また、プレート１２ａ〜１２ｉ同士を接着するのに接着剤を用いた場合に、余剰の接着剤を第１溝２０ａ内に積極的に逃がし、当該接着剤がダンパ壁１２ｈ２の可動部（ダンパプレート１２ｈにおけるダンパ室１２ｈ１の凹部の底壁に相当する部分）に付着するのを防止することができる。可動部に接着剤が付着すると、ダンパ壁１２ｈ２が撓み難くなり、圧力変動の吸収効果が低減してしまうが、上記構成によればこの問題を軽減することができる。
【００４９】
溝２０が、側面１３ａ１，１３ａ２に近接した第１溝２０ａと、第１溝２０ａよりも側面１３ａ１，１３ａ２から離隔した第２溝２０ｂとを含む。これにより、第１溝２０ａ内に接着剤を逃がしつつ、第２溝２０ｂによってダンパ壁１２ｈ２をより確実に撓み易くすることができる。また、第２溝２０ｂを平面視でダンパ室１２ｈ１と第１溝２０ａとの間に設けたことで、ダンパ壁１２ｈ２の強度低下や貫通孔の発生を抑制することができる。
【００５０】
さらに、ダンパプレート１２ｈは、図４（ａ）に示すように、主走査方向と直交する断面が直線Ｏに関して対称な形状を有する。このようなバランスの良い構成によって、ダンパ壁１２ｈ２が、直線Ｏに関して対称に、バランス良く撓み易くなる。
【００５１】
また、ダンパ室１２ｈ１及び溝２０は、主走査方向に副マニホールド流路１３ａの全長に亘って延在している。これにより、長尺な副マニホールド流路１３ａ内で発生する圧力変動を効率よく吸収することができる。
【００５２】
また、ダンパ室１２ｈ１を構成する凹部、及び、溝２０は、共にハーフエッチングで形成されている。このようにして同じ製法で凹部及び溝２０を形成することで、流路ユニット１２の製造が容易になる。
【００５３】
また、第１溝２０ａの一部が、側面１３ａ１，１３ａ２を構成する側壁１３ｗに覆われている。これにより、接着剤をより積極的に第１溝２０ａ内に逃がすことができる。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【００５５】
流路ユニット１２を構成する各プレートの材料は、特に限定されず、本実施形態と同様の線膨張係数の大小関係を満たすものであればよい。
なお、流路ユニットを構成するプレートの線膨張係数は特に限定されない。例えば、ダンパプレートの線膨張係数は、これに隣接する他のプレートの線膨張係数と同じ又は大きくてもよい。
ダンパ室は、平面視で、本実施形態では副マニホールド流路１３ａと対向する部分に形成されているが、マニホールド流路１３も含めた共通流路全域に亘って形成されてもよい。この場合、個別流路１４からの不要な圧力波ばかりでなく、外部(開口１２ｙ)からの不要な圧力波の影響を抑制することができる。
流路ユニットは、プレート積層構造であることに限定されない。
【００５６】
ダンパ室を構成する凹部及び溝は、ハーフエッチング以外の方法（機械加工による切削等）で形成されてもよい。また、凹部及び溝が互いに異なる方法で形成されてもよい。
【００５７】
溝の数、サイズ、形状、位置等は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて、変更可能である。例えば、３以上の溝を設けてもよい。また、共通流路の互いに対向する２つの側面のそれぞれに対して第１溝及び第２溝を設けるのではなく、当該２つの側面の一方にのみ第１溝及び第２溝を設けてもよい。第２溝の一部は、吐出面に直交する方向に関してダンパ室と対向してもよい。
【００５８】
ダンパ室及びダンパ壁の長さは、特に限定されない。例えば、ダンパ室及びダンパ壁は、共通流路の全長に亘って延在しなくてもよく、例えば１の共通流路に対して分割して設けられてよい。
【００５９】
ダンパ壁は、１の部材から構成されることに限定されず、２以上の部材（プレート等）から構成されてもよい。
【００６０】
共通流路は、一方向に長尺であることに限定されない。
【００６１】
アクチュエータユニットは、圧電型アクチュエータを含むことに限定されず、サーマル型、静電型等のアクチュエータを含んでもよい。
【００６２】
本発明に係る液体吐出ヘッドは、プリンタに限定されず、ファクシミリやコピー機等の液体吐出装置に適用可能である。また、液体吐出装置に適用される液体吐出ヘッドの数は４に限定されず、１以上であればよい。液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式でもよい。さらに、本発明に係る液体吐出ヘッドは、インク以外の液体を吐出してもよい。
【符号の説明】
【００６３】
１  インクジェット式プリンタ
１０  インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１０ａ  吐出面
１２  流路ユニット
１２ａ〜１２ｉ  プレート
１２ｈ  ダンパプレート
１２ｈ１  ダンパ室
１２ｈ２  ダンパ壁
１３ａ  副マニホールド流路（共通流路）
１３ａ１，１３ａ２  側面（共通流路の側面）
１３ａ３ｘ  出口（共通流路の出口）
１４  個別流路
１４ａ  吐出口
１４ａＲ  吐出口列
１６  圧力室
１７  アクチュエータユニット
２０  溝
２０ａ  第１溝
２０ｂ  第２溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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