(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
投入された電子部品Ｃが載置され、透明な材質からなる検査板（１１０）と、
前記検査板（１１０）を回転させ、前記検査板（１１０）を帯電させることで、前記電子部品（Ｃ）を静電力によって前記検査板（１１０）の上に吸着固定させる回転板（１５１，１５１ａ）と、
前記回転板（１５１，１５１ａ）の中心側に連結され、前記検査板（１１０）を回転させる回転モータ（１３０）と、
前記回転板（１５１，１５１ａ）に静電誘導用電源を供給する電源供給装置（１４０）と、
を含み、
前記検査板（１１０）の下面にコーティングされており、前記回転板（１５１，１５１ａ）から静電誘導用電源の供給を受けて、前記検査板（１１０）の上に載置されて移動する電子部品（Ｃ）に静電力を加える補助静電誘導層（１２０，１２０ａ）を更に含むことを特徴とする
静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項２】
前記補助静電誘導層（１２０）は、前記電子部品（Ｃ）が載置される検査板（１１０）の枠（Ｂ）の部分を含むようにコーティングされ、透明な材質からなる透明電極であることを特徴とする請求項１に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項３】
前記補助静電誘導層（１２０ａ）は、前記電子部品（Ｃ）が載置される検査板（１１０）の枠（Ｂ）の部分を除いた部分にコーティングされ、透明または不透明の材質からなる伝導性電極であることを特徴とする請求項１に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項４】
前記回転板（１５１，１５１ａ）の大きさは、前記補助静電誘導層（１２０，１２０ａ）を介して前記電子部品（Ｃ）に誘導される静電力の大きさによって調節されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項５】
前記検査板（１１０）の上面には、前記回転板（１５１，１５１ａ）と共に前記検査板（１１０）を固定する上部固定板（１５２，１５２ａ）が設置されていることを特徴とする請求項４に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項６】
前記電源供給装置（１４０）は、静電誘導用電圧を供給する電圧発生装置（１４１）と、電源を伝送する電圧線（１４３）と、前記回転モータ（１３０）の中心側に設置された回転電源供給装置（１４４）と、回転板（１５１，１５１ａ）に接触して電源を供給する接触端子（１４５）と、を含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【請求項７】
前記電源供給装置（１４０）は、検査環境によって、前記補助静電誘導層（１２０，１２０ａ）に供給される静電誘導用電源の大きさを可変させる電圧調節器（１４２）を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の静電誘導吸着式電子部品検査テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査板上に載置され、検査位置へ移送中の電子部品を静電力で吸着固定する静電誘導吸着式電子部品検査テーブルに関し、より詳しくは、検査板を回転させる回転板で直接検査板を帯電させることにより、別途の静電誘導装置なしで検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着する静電誘導吸着式電子部品検査テーブルに関する。
【０００２】
また、本発明は、前記回転板以外に、検査板の下面に直接コーティングされた補助静電誘導層を介して検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着するように補助することにより、静電力をさらに高めるようにする静電誘導吸着式電子部品検査テーブルに関する。
【０００３】
また、本発明は、検査板の回転速度および同時に移送される電子部品の数などの検査環境により、補助静電誘導層に供給される電源の強さ及び前記補助静電誘導層に接触して電源を供給する回転板の大きさをそれぞれ可変的に調節することにより、最適の条件で電子部品に静電力を加えることができる静電誘導吸着式電子部品検査テーブルに関する。
【背景技術】
【０００４】
一般的に、積層型セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ：Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  ｃｅｒａｍｉｃ  ｃａｐａｃｉｔｏｒ）、抵抗器、及びインダクターのような受動形素子はもちろん、その他の能動形素子を含む多様な電子部品は、大量生産に適合しながらも不良率を減少させるように生産された電子部品を検査し、不良品を自動で選別及び除去する工程を行う。
【０００５】
このために、部品供給部から透明な検査板（すなわち、検査ステージ）の上に電子部品を供給し、回転中の検査板上に載置された電子部品の上／下、前／後、及び左／右面をそれぞれカメラで撮像して分析することにより、電子部品に不良があるか否かを自動で検査する電子部品の外観検査装置が使用されている。
【０００６】
一方、電子部品は、回転中の検査板上に載置された状態で、カメラのある検査位置まで移送されるので、検査収率を高めるために検査板を高速で回転させれば、各電子部品に遠心力が作用することはもちろん、検査板が振動しながら電子部品に揺れが発生することになる。
【０００７】
したがって、電子部品が検査板の外側に離れて検査が行えなくなるか、正常に投入された電子部品の姿勢が不良となり、検査に適合しなくなるか、あるいは、電子部品間の間隔が均一でなくなり、検査を終了した後に高圧の空気を加えて、良否の電子部品別にそれぞれ分離排出できないという問題点が発生する。
【０００８】
このため、韓国公開特許第２０１１−５９５２４号では、図１に示すように、無振動部４を介して返送テーブル２（すなわち、検査板）の上に検査対象電子部品のワークＷを投入し、このとき、返送テーブル２の下側に所定の距離が離隔設置された導電板１５に直流電源１６で電源を供給することにより、静電誘導によってワークＷが吸着固定されるようにした。
【０００９】
しかしながら、以上のような従来の技術によれば、返送テーブル２に静電誘導現象を発生させる導電板１５を設置しなければならないので、別途の静電誘導装置をさらに具備しなければならないという問題点があった。
【００１０】
また、導電板１５が返送テーブル２の下側に離隔設置されているので、ワークＷに作用する静電力の強さが小さく、返送テーブル２に作用する静電力が一部の区間に作用するなど、返送テーブル２の全体に均一に静電力が作用できず、外部から衝撃が加えられるか又は高圧空気でワークＷを排出する時にワークＷが歪むという問題点があった。
【００１１】
また、返送テーブル２の下側に導電板１５及び直流電源１６が空間を占めているので、空間的な制約を受けて、返送テーブル２の下側にワークＷの下面を検査する検査用カメラなどを設置するのが難しいという問題点があった。
【００１２】
また、ワークＷ間の間隔やワークＷの１列供給または２列供給などの差によって、返送テーブル２の上に同時に載置されて移送されるワークＷの数が変化し、検査速度によって返送テーブル２の回転速度が変化すれば、それにより加えられる静電力の大きさも変化させ、最適の状態でワークＷを吸着しなければならないが、従来にはこのような変化に対応できないという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上述したような問題点を解決するために提案されたもので、検査板を回転させる回転板で直接検査板を帯電させることにより、別途の静電誘導装置なしで検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着する静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを提供しようとする。
【００１４】
また、本発明は、前記回転板以外に、検査板の下面に直接コーティングされた補助静電誘導層を介して検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着するように補助することにより、静電力の強さが大きく且つ均一な静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを提供しようとする。
【００１５】
また、本発明は、検査環境によって、補助静電誘導層に供給される電源の強さ及び前記補助静電誘導層に接触して電源を供給する回転板の大きさをそれぞれ可変的に調節するとことにより、最適の条件で電子部品に静電力を加えることができる静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このために、本発明に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルは、投入された電子部品が載置され、透明な材質からなる検査板と、前記検査板を回転させ、前記検査板を帯電させることで、前記電子部品を静電力によって前記検査板上に吸着固定させる回転板と、前記回転板の中心側に連結され、前記検査板を回転させる回転モータと、前記回転板に静電誘導用電源を供給する電源供給装置と、を含むことを特徴とする。
【００１７】
このとき、前記検査板の下面にコーティングされており、前記回転板から静電誘導用電源の供給を受けて、前記検査板上に載置されて移動する電子部品に静電力を加える補助静電誘導層をさらに含むことが好ましい。
【００１８】
また、前記補助静電誘導層は、前記電子部品が載置される検査板の枠の部分を含むようにコーティングされ、透明な材質からなる透明電極であることが好ましい。
【００１９】
また、前記補助静電誘導層は、前記電子部品が載置される検査板の枠の部分を除いた部分にコーティングされ、透明または不透明の材質からなる伝導性電極であることが好ましい。
【００２０】
また、前記回転板の大きさは、前記補助静電誘導層を介して前記電子部品に誘導される静電力の大きさによって調節されることが好ましい。
【００２１】
また、前記検査板の上面には、前記回転板と共に前記検査板を固定する上部固定板が設置されていることが好ましい。
【００２２】
また、前記電源供給装置は、静電誘導用電圧を供給する電圧発生装置と、電源を伝送する電圧線と、前記回転モータの中心側に設置された回転電源供給装置と、回転板に接触して電源を供給する接触端子と、を含むことが好ましい。
【００２３】
また、前記電源供給装置は、検査環境によって、前記補助静電誘導層に供給される静電誘導用電源の大きさを可変させる電圧調節器を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、検査板上に載置されて検査位置へ移送中の電子部品を静電力で吸着固定するに当たり、検査板を回転させる回転板で直接検査板を帯電させる。したがって、別途の静電誘導装置がなくても検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着することができ、検査板の下部に検査カメラを設置する時に空間の制約なしで自由に設置することができる。
【００２５】
また、本発明は、検査板の下面にコーティングされた補助静電誘導層を介して検査板の上面に載置された電子部品を静電吸着するように補助する。したがって、静電力の強さを十分に大きくし、且つ均一な静電力を提供することはもちろん、検査板の下部に検査カメラを設置する時に空間の制約なしで自由に設置することができる。
【００２６】
また、本発明は、検査板の回転速度および同時に移送される電子部品の数などの検査環境により、補助静電誘導層に供給される電源の強さ及び前記補助静電誘導層に接触して電源を供給する回転板の大きさを、それぞれ可変的に調節することができる。したがって、最適の条件で電子部品に静電力を加えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来の技術による静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した部分断面図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した部分斜視図である。
【図３】本発明の第１実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した斜視図である。
【図４】本発明の第１実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した切開図である。
【図５】本発明の第１実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルの検査板を示した斜視図である。
【図６】本発明の第２実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した切開斜視図である。
【図７】本発明の第２実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルの検査板を示した斜視図である。
【図８】本発明の第３実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルを示した切開図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、添付された図面を参照して本発明の好ましい実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルについて詳細に説明する。
【００２９】
先に、図２に示すように、本発明の第１実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブル１００は、ラインフィーダ（ｌｉｎｅ  ｆｅｅｄｅｒ）Ｆのような投入装置を介して積層型セラミックキャパシタＭＬＣＣをはじめとする多様な電子部品Ｃの供給を受けて、移送させながら電子部品Ｃの各面を撮像して分析する方式で良否を検査し、検査結果別に分離排出されるようにする。
【００３０】
このとき、図３及び図４に示すように、本発明に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブル１００は、上面に投入された電子部品Ｃを回転させ、検査位置に移動させる検査板１１０と、前記検査板１１０を支持するとともに検査板１１０を帯電させることで、電子部品Ｃを検査板１１０の上に吸着固定させる回転板１５１を有する支持部１５０と、前記支持部１５０を回転させる回転モータ１３０と、を含む。
【００３１】
また、回転板１５１に静電誘導用電源を供給する電源供給装置１４０を含み、必要に応じて検査板１１０の下面にコーティングされており、検査板１１０上の電子部品Ｃに静電力を加えるように補助する補助静電誘導層１２０をさらに含んでもよい。
【００３２】
このような本発明に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブル１００は、例えば、ベースプレートＳ１及び前記ベースプレートＳ１に固定された支持フレームＳ２に設置されることが一般的であるが、その他の支持部材が使用されてもよい。
【００３３】
以上のような構成によれば、検査板１１０の上に一定間隔で電子部品Ｃが投入されると、支持部１５０によって支持された検査板１１０が回転モータ１３０によって回転し、電子部品Ｃをカメラが設置された検査位置へ移送させる。
【００３４】
このとき、電源供給装置１４０により電源を供給された回転板１５１を利用して検査板１１０を帯電させるので、別途の静電誘導装置を具備する必要なく、検査板１１０を安定的に支持する支持部１５０だけで電子部品Ｃを吸着固定させることができる。
【００３５】
また、必要に応じて、回転板１５１を介して静電誘導用電源を供給された補助静電誘導層１２０をさらに具備し、検査板１１０を帯電させて静電誘導現象が起こるようにすることにより、さらに大きな静電力で電子部品Ｃを吸着固定させることができる。
【００３６】
したがって、従来は、静電誘導現象を発生させるように静電誘導装置に該当する導電板１５をさらに具備しなければならなかったが、本発明は、検査板１１０を安定的に支持する支持部１５０の回転板１５１を静電誘導装置として使用するので、別途の静電誘導装置を必要としない。
【００３７】
また、従来は、導電板１５が返送テーブル２の下側に離隔設置され、ワークＷに作用する静電力の強さが小さく且つ均一でなかったが、本発明は、検査板１１０が回転板１５１及び補助静電誘導層１２０によって帯電されるので、静電力の強さが大きく且つ均一になる。
【００３８】
また、従来は、返送テーブル２の下側に導電板１５及び直流電源１６を設置しなければならなかったため、空間的な制約を受けて、返送テーブル２の下側に検査用カメラなどを設置することが難しかった。しかしながら、本発明は、回転板１５１を静電誘導装置として使用し、電源供給装置１４０も回転モータ１３０の中心側を介して補助静電誘導層１２０に連結されるので、検査用カメラなどの設置時に空間的な制約を受けなくなる。
【００３９】
さらに、補助静電誘導層１２０を有しても補助静電誘導層１２０が検査板１１０の下面に一体にコーティングされ、空間的な制約を受けなくなる。
【００４０】
また、従来は、返送テーブル２の上に同時に載置されて移送されるワークＷの数が変化するか、検査速度によって返送テーブル２の回転速度が変化しても、常に同一の電源を供給して同一の強さの静電力を加えた。しかしながら、本発明は、電子部品Ｃの数や検査板１１０の回転速度が変化すれば、以下でさらに詳細に説明するように、電源供給装置１４０の供給電源の大きさ及び回転板１５１の大きさを最適に可変させることにより、最適の状態で電子部品Ｃを吸着させることができる。
【００４１】
さらに具体的には、検査板１１０は、透明材質からなり、検査板１１０の上に電子部品Ｃが投入され載置されても、透明な検査板１１０の下面を介して電子部品Ｃの下面を撮像して検査することができる。もちろん、その他の面もそれぞれ必要な位置に設置されたカメラで検査することができる。
【００４２】
このような検査板１１０は、ガラス材質からなるのが一般的であるが、これに限定するものではなく、透明で且つ帯電が可能となり、静電誘導だけが可能であれば、透明プラスチックをはじめとする多様な材質が使用されてもよい。
【００４３】
補助静電誘導層１２０は、検査板１１０を帯電させることにより静電誘導現象が起こるように補助するもので、検査板１１０の下面に直接コーティングされている。特に、図５に示すように、電子部品Ｃが載置される検査板１１０の枠Ｂの部分を含むようにコーティングされた場合には、補助静電誘導層１２０として透明な材質からなる「透明電極」が使用される。
【００４４】
電子部品Ｃが載置される検査板１１０の枠Ｂの部分を含むようにコーティングされればよいので、図５のように検査板１１０の枠Ｂの部分を含んで検査板１１０の下面全体にコーティングすることができるが、その他の検査板１１０の枠Ｂの部分から内側に一定の部分までコーティングすることも可能である。
【００４５】
このような補助静電誘導層１２０は、伝導性材質からなり、電源供給装置１４０でプラス（＋）またはマイナス（−）電源が印加されれば検査板１１０を帯電させる。したがって、検査板１１０の上に載置された電子部品Ｃが静電力によって吸着固定されるので、遠心力や振動が加えられてもその力に耐えて、電子部品Ｃの姿勢を維持させる。
【００４６】
一例として、回転板１５１を介して補助静電誘導層１２０にプラス（＋）電源を印加すれば、検査板１１０の下側はマイナス（−）電荷が配置され、検査板１１０の上側はプラス（＋）電荷が配置される。したがって、静電誘導によって電子部品Ｃの下側はマイナス（−）電荷が配置され、電子部品Ｃの上側はプラス（＋）電荷が配置されながら、電子部品Ｃが検査板１１０に吸着する。
【００４７】
また、補助静電誘導層１２０である透明電極は、透明な材質からなり、検査板１１０の下面中の枠Ｂの部分を含むようにコーティングしても、積層された検査板１１０と補助静電誘導層１２０の全体が透明である。したがって、検査板１１０の上面に載置された電子部品Ｃを検査板１１０の下側からカメラで撮像しながら電子部品Ｃの下面を検査することができる。
【００４８】
図５では、補助静電誘導層１２０のコーティング位置を表示するために、補助静電誘導層１２０を図面上において有色で表示したが、実際には透明であり、補助静電誘導層１２０である透明電極に使用できる材質としては、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、透明グラフェン（ｇｒａｐｈｅｎｅ）、ＳｎＯ２（ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）、ＺｎＯ（ｚｉｎｃ  ｏｘｉｄｅ）、及び透明炭素ナノチューブなどをはじめとする多様な材質が使用されてもよい。
【００４９】
ただし、上記では、補助静電誘導層１２０が検査板１１０にコーティングされていると表現したが、「コーティング」には、検査板１１０の下面に直接コーティングすることはもちろん、検査板１１０の下面に透明電極を塗布する方式や別に準備された透明電極層を透明接着材で検査板１１０の下面に付着することも含まれる。
【００５０】
回転モータ１３０は、検査板１１０を回転させるものであり、本発明では、回転モータ１３０の回転軸が回転板１５１の中心部に連結されており、検査板１１０は回転板１５１に固定されており、当該回転モータ１３０で回転板１５１を回転させれば、検査板１１０も共に回転することになる。
【００５１】
このような回転モータ１３０としは、例えば、騒音、振動、及び電気使用量の少ないＤＤモータ（ｄｉｒｅｃｔ  ｄｒｉｖｅ  ｍｏｔｏｒ）が使用され、検査速度によって検査板１１０の回転速度を可変させるようにマイクロプロセッサーにより回転モータ１３０の動作速度が調節される。
【００５２】
すなわち、検査速度を上げて検査収率を高めようとする場合には、回転モータ１３０の動作速度が上がるように制御し、逆に、検査速度を下げて検査精度を高めようとする場合には、回転モータ１３０の動作速度が下がるように制御する。
【００５３】
検査は、電子部品Ｃを所定の間隔及び１列または２列などで検査板１１０に供給した後、検査板１１０の上に載置されて移送される電子部品Ｃを検査カメラで撮像する方式が利用され、検査結果によってその良否が判断された電子部品Ｃをそれぞれ高圧の空気で撃って収集筒に分離排出する。
【００５４】
電源供給装置１４０は、回転板１５１にプラス（＋）またはマイナス（−）の静電誘導用電源を供給するものであり、回転する回転板１５１に接触して静電誘導用電源を供給することができれば、その構成に特別な制限はない。例えば、ＥＳＣ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｓｔａｔｉｃ  Ｃｈｕｃｋ）のような電圧発生装置１４１と、前記電圧発生装置１４１の供給電源の大きさを調節する電圧調節器１４２と、電圧線１４３と、回転電源供給装置１４４と、補助静電誘導層１２０に接触して電源を供給する接触端子１４５と、を含む。
【００５５】
このうち回転電源供給装置１４４は、例えば、スリップリング（ｓｌｉｐ  ｒｉｎｇ）が使用されるが、スリップリングは、電動機や発動機の回転子に外部から電流を流すために、回転子軸に付着する接触者として使用されたもので、これを本発明に適用すれば、回転モータ１３０の回転中心軸を貫通して回転板１５１まで電源を供給することができる。
【００５６】
したがって、電圧発生装置１４１で高電圧が加えられれば、電圧線１４３を介して回転電源供給装置１４４に印加され、回転電源供給装置１４４に印加された高電圧は接触端子１４５を介して回転板１５１に供給される。さらに、補助静電誘導層１２０を含む場合には、回転板１５１を介して補助静電誘導層１２０まで伝達されるので、これを静電誘導用電源として使用できるようにする。
【００５７】
特に、電圧発生装置１４１には電圧調節器１４２が設けられ、検査板１１０の上に投入される電子部品Ｃの間隔及び１列または２列の供給によって電子部品Ｃの数が変われば、それにより静電誘導用電源の強さも適応的に調節することができる。したがって、各電子部品Ｃに最適の強さを有する静電力を作用することができる。
【００５８】
もちろん、検査速度を調節するために、検査板１１０の速度を調節することによって遠心力の大きさや振動の強さが変わる場合には、それに対応して静電誘導用電源の強さを適応的に調節できるようにする。例えば、検査板１１０の回転速度を上げれば、電子部品Ｃに作用する遠心力及び振動も大きくなるので、供給電源の強さも高めて十分な静電力で固定できるようにする。
【００５９】
ただし、図４では、電圧調節器１４２としてボタンタイプの調節器を一例として挙げたが、本発明はこれに限定されず、投入された電子部品Ｃの数及び検査板１１０の回転速度を感知し、自動で電圧を調節するマイクロプロセッサーなども使用できることは自明である。
【００６０】
支持部１５０は、検査板１１０を下側から固定する回転板１５１と、検査板１１０を上側から固定する上部固定板１５２と、前記回転板１５１と上部固定板１５２を互いに組み立てる連結ブロック１５３と、回転板１５１と回転モータ１３０の間に挿入された絶縁層１５４と、を含む。
【００６１】
回転板１５１は、補助静電誘導層１２０にコーティングされた検査板１１０の下面を支持するように、検査板１１０の下部に水平に設置され、回転モータ１３０に連結されている。したがって、回転モータ１３０の動作速度に同期して検査板１１０を回転させる。
【００６２】
また、回転板１５１は、伝導性材質からなるとともに、接触端子１４５と電気的に連結されている。したがって、接触端子１４５を介して供給された静電誘導用電源で検査板１１０を帯電させることにより、検査板１１０の上に載置された電子部品Ｃに静電誘導現象による静電力が作用するようになる。
【００６３】
ただし、回転板１５１の大きさは、図８に示すように補助静電誘導層１２０を介して電子部品Ｃに誘導される静電力の大きさによって調節されることが好ましい。これに対する詳細な説明は後述する。
【００６４】
上部固定板１５２は、検査板１１０の上面に水平に設置されるので、組み立て時に検査板１１０の上面を加圧しながら捕捉し、非伝導性材質からなるので、接触端子１４５によって帯電されない。
【００６５】
連結ブロック１５３は、上部固定板１５２と、検査板１１０、及び回転板１５１を貫通して組み立てられることにより、上部固定板１５２と回転板１５１の間に挿入された検査板１１０を加圧して捕捉する。したがって、高速回転時にも検査板１１０の振動を防止して安定的な回転を保障する。
【００６６】
図５に示すように、検査板１１０の中心部には組み立て孔Ｈが形成され、このような組み立て孔Ｈは、上部固定板１５２及び回転板１５１にもそれぞれ形成され、連結ブロック１５３を組み立て孔Ｈに挟んで組み立てることができる。
【００６７】
絶縁層１５４は、回転板１５１と回転モータ１３０の間に挿入され、絶縁体として作用するので、接触端子１４５によって回転板１５１に電源が供給されても、回転板１５１の下側に配置された回転モータ１３０には電気が流れないようにする。
【００６８】
以下、添付された図面を参照して、本発明の第２実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルについて説明する。
【００６９】
上記で説明した本発明の第１実施例では、検査板１１０の下面枠Ｂの部分にも補助静電誘導層１２０がコーティングされており、補助静電誘導層１２０として必ず透明な電極（すなわち、「透明電極」）を使用しなければならなかった。
【００７０】
しかし、本発明の第２実施例は、検査板１１０の枠Ｂの部分に補助静電誘導層１２０ａがコーティングされていないので、必ず透明な電極を使用する必要はなく、「伝導性電極」であれば良いという点で、差がある。
【００７１】
すなわち、図６に示すように、本発明に係る静電誘導吸着式電子部品Ｃの検査テーブルは、電子部品Ｃを検査位置へ移動させる検査板１１０と、電子部品Ｃに静電力を加える補助静電誘導層１２０ａと、検査板１１０を捕捉する支持部１５０と、前記支持部１５０を介して検査板１１０を回転させる回転モータ１３０と、補助静電誘導層１２０ａに静電誘導用電源を供給する電源供給装置１４０と、を含む。
【００７２】
また、支持部１５０は、回転板１５１と、上部固定板１５２と、連結ブロック１５３と、絶縁層１５４とを含んで、電源供給装置１４０は、電圧発生装置１４１と、電圧調節器１４２と、電圧線１４３と、回転電源供給装置１４４と、接触端子１４５とを含んで、これにより、検査板１１０の上に載置された電子部品Ｃに静電力を加えて電子部品Ｃを吸着固定させることは、上記で説明した本発明の第１実施例と同様である。
【００７３】
しかし、本発明の第２実施例は、図７に示すように、電子部品Ｃが載置される検査板１１０の枠Ｂの部分を除いた部分のみに、補助静電誘導層１２０ａがコーティングされている。
【００７４】
したがって、電子部品Ｃが透明な検査板１１０の下側を介してすぐに見えるので、補助静電誘導層１２０ａの材質が透明／不透明に関係なく、伝導性材質であればよい「伝導性電極」が使用される。
【００７５】
補助静電誘導層１２０ａの伝導性電極が透明材質の場合には、上述したようにＩＴＯ、透明グラフェン、ＳｎＯ２、ＺｎＯ、及び透明炭素ナノチューブなどが使用され、不透明材質の場合には、銅箔などが使用される。
【００７６】
検査板１１０の枠Ｂの部分を除いて伝導性電極をコーティングしても、伝導性電極がコーティングされない検査板１１０の枠Ｂの部分まで十分に帯電されるので、伝導性電極によっても電子部品Ｃに静電誘導現象が発生し、電子部品Ｃを静電力で吸着することができる。
【００７７】
以下、添付された図面を参照して、本発明の第３実施例に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルについて説明する。
【００７８】
本発明の第３実施例は、回転板１５１ａの大きさを静電誘導用電源の大きさにより、最適の状態で調節して設置する点で、差がある。
【００７９】
すなわち、図８に示すように、本発明に係る静電誘導吸着式電子部品検査テーブルは、検査板１１０と、補助静電誘導層１２０と、支持部１５０と、回転モータ１３０と、電源供給装置１４０とを含む。
【００８０】
そして、支持部１５０は、回転板１５１ａと、上部固定板１５２ａと、連結ブロック１５３と、絶縁層１５４とを含んで、電源供給装置１４０は、電圧発生装置１４１と、電圧調節器１４２と、電圧線１４３と、回転電源供給装置１４４と、接触端子１４５とを含む。
【００８１】
このとき、本発明の第３実施例では、検査板１１０を直接帯電させるか又は補助静電誘導層１２０を介して検査板１１０を帯電させる回転板１５１ａの大きさ（特に、直径）を、電子部品Ｃに誘導される静電力の大きさによって調節し、製作した後に組み立てる。
【００８２】
したがって、電子部品Ｃが供給される間隔が狭いか又は同時に２列に供給されることにより、検査板１１０を介して同時に移送中の電子部品Ｃの数が増加するか、検査板１１０の回転速度を上げることによって遠心力が大きくなれば、相対的に大きさが大きな回転板１５１ａを使用することにより、静電力を高めることができる。
【００８３】
図８では、回転板１５１ａの大きさが十分に大きくて、補助静電誘導層１２０を具備しなくても検査板１１０の全体を十分に帯電させるので、補助静電誘導層１２０がないことを例に挙げたが、選択的に補助静電誘導層１２０をさらに具備してもよいことは自明である。
【００８４】
その一方、静電力を減らす必要がある場合には、相対的に大きさが小さな回転板１５１ａを使用することにより、回転板１５１ａだけで検査板１１０を帯電させることができ、仮に、補助静電誘導層１２０を選択的にさらに具備した場合であれば、補助静電誘導層１２０による静電力を減らして電力の浪費を防止し、周辺装置に及ぼす影響を最小化させるようにする。
【００８５】
もちろん、回転板１５１ａが大きくなるか又は小さくなれば、それに合わせて上部固定板１５２の大きさも調節することが好ましい。
【００８６】
以上、本発明の特定実施例について上述した。しかし、本発明の思想及び範囲は、このような特定実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で多様に修正及び変形が可能であることは、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば理解できるはずである。
【００８７】
したがって、上述した実施例は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであるため、すべての面で例示的なものであり、限定的なものではないことを理解しなければならない。本発明は、請求項の範疇によって定義されるだけである。
【符号の説明】
【００８８】
１１０：検査板
１２０、１２０ａ：補助静電誘導層
１３０：回転モータ
１４０：電源供給装置
１４１：電圧発生装置
１４２：電圧調節器
１４３：電圧線
１４４：回転電源供給長針（スリップリング）
１４５：接触端子
１５０：支持部
１５１、１５１ａ：回転板
１５２、１５２ａ：上部固定板
１５３：連結ブロック
１５４：絶縁層
【図１】
0005683553.tif 000002
【図２】
0005683553.tif 000003
【図３】
0005683553.tif 000004
【図４】
0005683553.tif 000005
【図５】
0005683553.tif 000006
【図６】
0005683553.tif 000007
【図７】
0005683553.tif 000008
【図８】
0005683553.tif 000009