(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）測定対象の情報に対応した信号を出力するセンサ素子（６）、およびこのセンサ素子（６）に電気的に接続されるセンサ回路部（７、８）を有するセンサ（Ｓ）と、
（ｂ）このセンサ（Ｓ）を螺子締結により固定するセンサ支持部材（Ｂ）と、
（ｃ）前記センサ回路部（７、８）と外部との電気的な接続を行うターミナル導体群とを備えたセンサモジュールにおいて、
前記ターミナル導体群は、前記センサ（Ｓ）に対して前記センサ（Ｓ）と一体回転可能に組み付けられる第１ターミナル導体群、およびこの第１ターミナル導体群と別体で構成されて、前記センサ支持部材（Ｂ）に対して位置決めされて固定される第２ターミナル導体群を有し、
前記第１ターミナル導体群は、前記センサ支持部材（Ｂ）に対して前記センサ（Ｓ）を螺子締結する際の前記センサ（Ｓ）の回転中心線上に位置する第１中心点を中心に、その第１中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出する複数の第１接続端子（１１〜１４）を有し、
前記第２ターミナル導体群は、前記センサ（Ｓ）の回転中心線上に位置し、且つ前記第１中心点との間に所定距離分だけ隔離された第２中心点を中心に、その第２中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出する複数の第２接続端子（２１〜２４）を有し、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）は、前記複数の第２接続端子（２１〜２４）に導通接合されると共に、前記センサ（Ｓ）の回転中心線を中心とする円周方向に等間隔で分割された部分円筒状の電極部（１５〜１８）をそれぞれ有し、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）の各電極部（１５〜１８）は、前記センサ（Ｓ）の回転中心線を中心とする同一円周上に前記第１ターミナル導体群の３６０°／電極数の角度間隔で配置されていることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項２】
請求項１に記載のセンサモジュールにおいて、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）は、前記センサ回路部（７、８）の外面から突出して露出した径方向部分をそれぞれ有し、
前記径方向部分の先端は、前記径方向部分の突出方向に対して垂直な方向で、且つ前記センサ（Ｓ）の回転中心線と平行な方向に折り曲げられていることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のセンサモジュールにおいて、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）の各電極部（１５〜１８）は、前記複数の第２接続端子（２１〜２４）と導通接合が可能な位置まで前記センサ（Ｓ）の回転中心線と平行な方向に向けて延びる軸方向部分をそれぞれ有していることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項４】
請求項３に記載のセンサモジュールにおいて、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）の各電極部（１５〜１８）は、前記軸方向部分から前記センサ（Ｓ）の回転中心線を中心とする円周方向の一方側または両側に向けて延びる周方向部分を有していることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載のセンサモジュールにおいて、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）の各電極部（１５〜１８）は、
前記センサ（Ｓ）の回転中心線を中心とする円周方向に前記第１ターミナル導体群の電極数分だけ分割されていることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載のセンサモジュールにおいて、
前記複数の第１接続端子（１１〜１４）の形状は、同一であることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のうちのいずれか１つに記載のセンサモジュールにおいて、
前記センサ支持部材（Ｂ）は、外部から噴孔へ燃料を供給する流路を有し、
前記センサ（Ｓ）は、前記センサ支持部材（Ｂ）に螺子締結される有底筒状のステム（４）を有し、
前記センサ素子（６）は、前記ステム（４）の表面上に搭載されていることを特徴とするセンサモジュール。
【請求項８】
請求項７に記載のセンサモジュールにおいて、
前記ステム（４）は、前記流路に連通する圧力導入孔（４５）、およびこの圧力導入孔（４５）に燃料の圧力が導入されると変位するダイヤフラム（４４）を有し、
前記センサ素子（６）は、前記ダイヤフラム（４４）の変位に対応した信号を出力する圧力測定素子を有していることを特徴とするセンサモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車部品（特にエンジン部品、燃料噴射装置）のボディに螺子締結されるセンサを備えたセンサモジュールに関するもので、特に燃料噴射弁（インジェクタ）のボディに螺子締結される圧力センサを備えたセンサモジュールに係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、複数の気筒を有するディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）の各気筒には、各気筒毎の燃焼室内に高圧燃料を噴射供給する燃料噴射弁（インジェクタ）がそれぞれ搭載されている。
インジェクタは、外部から噴孔へ高圧燃料を導入する燃料通路を形成したハウジング（ノズルボディ、インジェクタボディ）の内部に、噴孔を開閉するノズルニードル、およびこのノズルニードルを駆動するアクチュエータ等を収容して構成されている。
【０００３】
ここで、このようなインジェクタのボディ（インジェクタボディ）の軸線方向の一端部（上端部）に、各気筒毎の燃料噴射に伴って変動する燃料圧力変動を検出する圧力センサを螺子締結により固定するようにした圧力センサのターミナル構造が提案されている。
このような圧力センサのターミナル構造において、インジェクタボディに対する圧力センサの螺子締結により回転方向が決まらない複数のセンサターミナルと、インジェクタボディに対して位置決めされる複数のコネクタターミナルとの誤接続を防止するという目的で、複数のセンサターミナルと複数のコネクタターミナルとの位置合わせのために、円環状の電極部や格子状の電極部を用いて、対応したターミナル同士の誤接続を防止するようにした構造も提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００４】
ここで、インジェクタの噴孔からの燃料噴射に伴い燃料通路内の高圧燃料の圧力は変動する。この圧量変動を検出する圧力センサがインジェクタボディに取り付けられていると、圧力センサにより検出された圧力変動波形中において、噴孔からの噴射開始に伴い燃料圧力が下降を開始した時期を検出することで、実際の噴射開始時期を検出することが可能となる。
また、噴射終了に伴い燃料圧力が上昇を開始した時期を検出することで、実際の噴射終了時期を検出することが可能となる。
また、これらの噴射開始時期および噴射終了時期に加えて、噴射に伴い生じた燃料圧力下降量の最大値を検出することで、燃料噴射量を検出することが可能となる。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところが、特許文献１及び２に記載のターミナル構造においては、センサターミナルの突出方向が任意の回転方向に対して有効であるが、複雑な形状のコネクタターミナル（円環状の電極部や格子状の電極部）が必要となるので、製造コストが上昇する要因となるという問題がある。
近年、上記の不具合を解消するという目的で、ターミナル電極部の形状を簡素化しながらも、複数のコネクタターミナルと複数のセンサターミナルとの間の誤接続を防止することのできるターミナル構造が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−２４２５７４号公報
【特許文献２】特開２０１０−２４２５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、簡素な形状でありながらも、複数の第１、第２接続端子を誤接続することなく、対応した第１、第２接続端子同士を容易に導通接合することのできるセンサモジュールを提供することにある。
また、複数の第１、第２接続端子の形状を単純化（簡素化）することで、製造コストを低減することのできるセンサモジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明（センサモジュール）は、測定対象の情報に対応した信号を出力するセンサ素子、およびこのセンサ素子に電気的に接続されるセンサ回路部を有するセンサと、このセンサを螺子締結により固定するセンサ支持部材と、センサのセンサ回路部と外部との電気的な接続を行うターミナル導体群とを備えている。
ターミナル導体群は、センサに対してセンサと一体回転可能に組み付けられる第１ターミナル導体（例えばセンサターミナル）群、およびセンサ支持部材に対して位置決めされて固定される第２ターミナル導体（例えばコネクタターミナル）群を備えている。
【０００９】
第１ターミナル導体群は、センサ支持部材に対してセンサを螺子締結する際のセンサの回転中心線上に位置する第１中心点を中心に、その第１中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出する複数の第１接続端子を備えている。
第２ターミナル導体群は、第１ターミナル導体群と別体で構成されている。
第２ターミナル導体群は、センサの回転中心線上に位置し、且つ第１中心点との間に所定距離分だけ隔離された第２中心点を中心に、その第２中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出する複数の第２接続端子を備えている。
複数の第１接続端子は、複数の第２接続端子（の各接合部）に導通接合される部分円筒状の電極部をそれぞれ備えている。
複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）は、センサの回転中心線を中心とする円周方向に等間隔で分割されている。また、センサの回転中心線を中心とする同一円周上に第１ターミナル導体群の３６０°／電極数（センサターミナル電極数）の角度間隔で配置されている。
【００１０】
請求項１に記載の発明によれば、複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）が、センサの回転中心線を中心とする円周方向に等間隔で分割されている。また、センサの回転中心線を中心とする同一円周上に第１ターミナル導体群の３６０°／電極数（センサターミナル電極数）の角度間隔で複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）を配置している。
また、センサおよび第１ターミナル導体は、センサ支持部材に対して、第１ターミナル導体群の３６０°／電極数以内の精度で組み付けることができる。これにより、複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）の形成位置（設置場所）は、複数の第２接続端子（の接合部）と導通接合が可能な位置（場所）に組み付けられる（配される）。
【００１１】
これによって、センサ支持部材に螺子締結されて、突出方向が円周方向に対して任意となる複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）に対する、センサ支持部材に対して位置決めされる複数の第２接続端子の接合範囲、つまり対応した第１、第２接続端子同士が誤接続することなく導通接合可能な範囲を増やすことができる。
したがって、複数の第１、第２接続端子の電極部の形状を簡素化しながらも、複数の第１、第２接続端子を誤接続することなく、対応した第１、第２接続端子同士を容易に導通接合することができる。また、複数の第１、第２接続端子の形状を単純化（簡素化）することができるので、センサモジュールの製造コストを低減することができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、複数の第１接続端子に、センサ回路部の外面から突出して露出した径方向部分をそれぞれ設けている。その径方向部分の先端は、径方向部分の突出方向に対して垂直な方向で、且つセンサの回転中心線と平行な方向に（直角に）折り曲げられている。
請求項３に記載の発明によれば、複数の第１接続端子の各電極部に、複数の第２接続端子（の各接合部）と導通接合が可能な位置まで、センサの回転中心線と平行な方向に向けて延びる軸方向部分をそれぞれ設けている。
【００１３】
請求項４に記載の発明によれば、複数の第１接続端子の各電極部に、軸方向部分からセンサの回転中心線を中心とする円周方向の一方側または両側に向けて延びる周方向部分を設けている。
これによって、センサ支持部材に螺子締結されて、突出方向が円周方向に対して任意となる複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）に対する、センサ支持部材に対して位置決めされる複数の第２接続端子の接合範囲、つまり対応した第１、第２接続端子同士が誤接続することなく導通接合可能な範囲を増やすことができる。
請求項５に記載の発明によれば、複数の第１接続端子の各電極部は、センサの回転中心線を中心とする円周方向に第１ターミナル導体群の電極数分だけ（等間隔で）分割されている。
請求項６に記載の発明によれば、第１ターミナル導体群は、全て同一形状の第１接続端子を備えている。
【００１４】
請求項７に記載の発明によれば、センサ支持部材（の内部）に、外部から噴孔へ燃料を供給する流路を設けている。
センサは、センサ支持部材に螺子締結される有底筒状のステムを備えている。
センサ素子は、ステムの表面上に搭載されている。
請求項８に記載の発明によれば、ステムに、流路に連通する圧力導入孔、およびこの圧力導入孔に燃料の圧力が導入されると変位するダイヤフラムを設けている。
センサ素子は、ダイヤフラムの変位に対応した信号を（外部に対して）出力する圧力測定素子（半導体素子、ピエゾ抵抗素子）を有している。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】インジェクタに一体化されたセンサモジュールを示した部分断面図である（実施例１）。
【図２】センサモジュールのセンサ・コネクタターミナル構造を示した斜視図である（実施例１）。
【図３】（ａ）、（ｂ）はセンサモジュールのセンサ・コネクタターミナル構造を示した平面図、正面図である（実施例１）。
【図４】燃料圧力センサの単体構造を示した断面図である（実施例１）。
【図５】（ａ）、（ｂ）は燃料圧力センサの単体構造を示した平面図、正面図である（実施例１）。
【図６】（ａ）、（ｂ）はセンサモジュールのコネクタターミナル構造を示した平面図、正面図である（実施例１）。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
本発明は、簡素（単純）な電極形状でありながらも、複数の第１、第２接続端子を誤接続することなく、対応した第１、第２接続端子同士を容易に導通接合（接続）するという目的を、複数の第１接続端子の各電極部（部分円筒状の電極部）を、センサの回転中心線を中心とする円周方向に等間隔で分割し、且つセンサの回転中心線を中心とする同一円周上に第１ターミナル導体群の３６０°／電極数（センサターミナル電極数）の角度間隔で配置したことで実現した。
【実施例１】
【００１７】
［実施例１の構成］
図１ないし図６は本発明の実施例１を示したもので、図１はインジェクタに一体化されたセンサモジュールを示した図で、図２および図３はセンサモジュールのセンサ・コネクタターミナル構造を示した図である。
【００１８】
本実施例の内燃機関の制御装置（エンジン制御システム）は、ディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）用の燃料噴射システムとして知られるコモンレール式燃料噴射システム（蓄圧式燃料噴射装置）を備えている。
コモンレール式燃料噴射システムは、サプライポンプ（高圧燃料ポンプ）、コモンレール、複数の燃料噴射装置（インジェクタ）および燃料圧力測定装置を備えている。
燃料圧力測定装置は、各種エンジン制御を行うエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵと呼ぶ）と、インジェクタのボディ（インジェクタボディＢ）に螺子締結される燃料センサアッシー（以下燃料圧力センサＳと言う）を有し、外部回路に相当するＥＣＵのマイクロコンピュータへ燃料圧力信号を出力するセンサモジュールとを備えている。  
【００１９】
センサモジュールは、インジェクタボディＢ、燃料圧力センサＳ、センサコネクタＣ、および燃料圧力センサＳと外部との電気的な接続を行うターミナル導体群を備えている。  燃料圧力センサＳは、絶縁性を有する合成樹脂製の第１樹脂成形体（第１モールド材：以下樹脂成形体１と言う）を備えている。
センサコネクタＣは、絶縁性を有する合成樹脂製の第２、第３樹脂成形体（第２、第３モールド材：以下樹脂成形体２、３と言う）を備えている。
燃料圧力センサＳは、ステム４、ハウジング５、センサチップ６、モールドＩＣ７、回路基板８およびシールドケース９を備えている。
【００２０】
ターミナル導体群は、燃料圧力センサＳに対して燃料圧力センサＳと一体回転可能に組み付けられるセンサターミナル導体群、およびインジェクタボディＢに対して位置決めされて固定されるコネクタターミナル導体群を備えている。このコネクタターミナル導体群は、センサターミナル導体群に対して別体で構成されている。
センサターミナル導体群は、全て同一形状とされた第１接続端子１１〜１４により構成されている。複数の第１接続端子１１〜１４の各々には、センサターミナル電極部１５〜１８が一体的に形成されている。
【００２１】
コネクタターミナル導体群は、複数の第１接続端子１１〜１４に導通接合される複数の第２接続端子２１〜２４を備えている。第２接続端子２１〜２４の各々には、複数のセンサターミナル電極部１５〜１８に対して導通接合が可能なコネクタターミナル接合部２５〜２８が一体的に形成されている。
コネクタターミナル導体群は、複数の第３接続端子３１〜３４を備えている。第３接続端子３１〜３４の各々には、コネクタターミナル接合部３５〜３８が一体的に形成されている。
【００２２】
コモンレール式燃料噴射システムは、コモンレールの内部に蓄圧された高圧燃料を各インジェタを介してエンジンの各気筒毎の燃焼室内に噴射供給するように構成されている。  サプライポンプは、燃料タンクから燃料を汲み上げる周知の構造のフィードポンプ（低圧燃料ポンプ）を内蔵している。このサプライポンプは、フィードポンプから電磁弁を経て加圧室内に吸入した燃料を加圧して高圧化し、この高圧燃料をコモンレールへ圧送供給する高圧燃料ポンプである。
コモンレールの内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室内に噴射供給する燃料の噴射圧力に相当する高圧燃料を蓄圧する蓄圧室が形成されている。
なお、サプライポンプまたはコモンレールは、高圧燃料を発生する高圧発生部を構成する。
【００２３】
エンジンの各気筒毎に対応して搭載されるインジェクタは、コモンレールの内部に蓄圧された高圧燃料を、直接燃焼室内に霧状に噴射供給する直接噴射タイプの燃料噴射弁（自動車部品、エンジン部品）である。
インジェクタは、燃料を噴射する噴孔およびこの噴孔に連通する燃料流路を有し、噴孔を開閉するノズルニードルを内蔵するノズルボディと、このノズルボディの燃料流路を介して噴孔に連通する燃料流路を有するインジェクタボディＢと、このインジェクタボディＢの長軸方向の先端部にノズルボディを螺子締結により固定するリテーニングナットとを備えている。
インジェクタボディＢの内部には、外部からインジェクタ（ピエゾ）駆動信号を受けるとノズルニードルを開弁方向に駆動するピエゾアクチュエータと、このピエゾアクチュエータにより駆動されてノズルニードルの背圧を制御する背圧制御機構とが収容されている。
【００２４】
ピエゾアクチュエータは、ＥＣＵによって電子制御されるピエゾ駆動回路（外部回路）を介して、自動車等の車両に搭載された外部電源（バッテリ）に電気的に接続されている。このピエゾアクチュエータは、ピエゾ素子をその軸線方向に多数積層してなる積層体（ピエゾスタック）、このピエゾスタックに圧縮方向（収縮方向）の予荷重（プリセット荷重）を付与するスリットスプリング、ピエゾスタックの伸縮に伴う変位を加圧ピストンに伝達するプレート等により構成されている。
ピエゾアクチュエータの主要部であるピエゾスタックは、インジェクタボディＢの内部（アクチュエータ収容孔）に収容保持されている。
ピエゾアクチュエータは、ピエゾスタックの伸縮に伴う変位を加圧ピストンに伝達し、この加圧ピストンの往復変位に伴って圧力制御室内の燃料圧力を増減させてノズルニードルの開閉動作（燃料噴射）を制御するニードルアクチュエータとして利用される。
なお、ピエゾアクチュエータの代わりに、ステータおよびアーマチャにより構成された電磁アクチュエータを採用しても良い。
また、ノズルボディおよびインジェクタボディＢの燃料流路には、外部（コモンレール）から高圧燃料が導入される。
【００２５】
ここで、インジェクタボディＢは、その軸線方向の反噴孔側（図示上端側）の端部に円筒状の締結部（センサ搭載部）を有している。
センサ搭載部には、センサモジュールを構成する燃料圧力センサＳ、センサコネクタＣ、コネクタホルダＨが組み付けられる。また、センサ搭載部の外周には、コネクタホルダＨの雌螺子部に螺合する雄螺子部を有している。
センサ搭載部には、センサ搭載部の図示上端面（反噴孔側端面）で開口し、この開口部側から奥側まで軸線方向に延びる嵌合凹部４１が形成されている。この嵌合凹部４１の内周には、雌螺子部４２が形成されている。また、嵌合凹部４１の底面には、インジェクタボディＢの燃料流路から分岐した分岐流路４３の出口（圧力導入ポート）が開口している。嵌合凹部４１には、各気筒毎の燃料噴射に伴って変動する燃料圧力変動を検出する燃料圧力センサＳが組み付けられている。
【００２６】
燃料圧力センサＳは、分岐流路４３内の高圧燃料の圧力を受けて弾性変形するステム４（起歪体）と、このステム４の外周に嵌合されるハウジング５と、ステム４にて生じた歪みの大きさを電気信号に変換して圧力検出値として出力する複数の歪みゲージ（半導体ピエゾ抵抗素子）を有するセンサチップ６と、このセンサチップ６から出力される検出信号を処理するモールドＩＣ７とを備えている。
ステム４は、図２に示したように、有底円筒状の金属によって形成されている。このステム４は、インジェクタボディＢの嵌合凹部４１の雌螺子部４２に螺子締結される締結体である。
【００２７】
ステム４は、一端側に薄肉状の平面部であるダイヤフラム４４を有し、且つ他端側にダイヤフラム４４へ燃料圧力を導くための圧力導入孔４５を有している。
ステム４の外周面には、インジェクタボディＢの嵌合凹部４１の雌螺子部４２に螺合する雄螺子部４６が形成されている。インジェクタボディＢの嵌合凹部４１にステム４の雄螺子部４６を螺子締結することで、燃料圧力センサＳがインジェクタボディＢに取り付けられる。
ステム４の外周には、鍔状のフランジが一体的に形成されている。このフランジの図示上方には、環状のハウジング５が嵌合する円筒状の嵌合部４７が一体的に形成されている。
【００２８】
ハウジング５は、トルクレンチ等の工具が係合可能な多角環状の金属によって形成されている。このハウジング５の中央部には、ステム４の嵌合部４７の外周に嵌まる嵌合孔４８が形成されている。
ステム４とハウジング５とは、同一中心軸線上に設けられる嵌合部４７と嵌合孔４８でインロー位置決めされている。なお、図２に示したように、ステム４とハウジング５とを溶接等の手段を用いて固定しても良い。あるいはステム４とハウジング５とを一体成形しても良い。
ハウジング５の図示上端面には、モールドＩＣ（センサ回路部）７が接着等の手段を用いて支持固定されている。
【００２９】
ステム４のダイヤフラム４４の外面（表面、センサ搭載面）には、センサチップ６が低融点ガラスにより接合されている。このセンサチップ６は、ステム４の圧力導入孔４５内に導入された燃料圧力によってダイヤフラム４４が変形した時に発生する歪みを検出する歪みゲージとして機能するものである。
センサチップ６は、正方形状の半導体基板（単結晶シリコン基板）上に４つのピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４である長方形状の歪みゲージを形成したものである。
４つのピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４は、インジェクタボディＢに対して燃料圧力センサＳを螺子締結する際の、燃料圧力センサＳの回転中心線上に位置する、ダイヤフラム４４の中心点を中心とする同一円周上に配置されている。
【００３０】
センサチップ６には、４つのピエゾ抵抗素子Ｒ１〜Ｒ４がブリッジ回路を構成し、外部回路と接続するための配線や電極パッド、さらには保護膜が形成される。そして、センサチップ６は、ステム４のダイヤフラム４４の表面上に低融点ガラスを用いて接着される。これにより、センサチップ６は、ステム４の圧力導入孔４５内に流入した高圧燃料の圧力の作用により変位（撓む）ダイヤフラム４４の変位（ダイヤフラム４４に生じた歪み）を電気的な信号（本実施例では、ピエゾ抵抗素子の抵抗変化に伴うブリッジ回路の電位差）に変換することができる。この電気的な信号は、モールドＩＣ７の回路基板８の処理回路で処理されて燃料圧力が検出される。
【００３１】
モールドＩＣ７は、センサチップ６の周囲を取り囲むように円環状または多角環状に形成されている。このモールドＩＣ７は、ハウジング５の図示上端面に対して位置決めされた状態で接着剤等を用いて固定されている。
モールドＩＣ７は、燃料圧力センサＳにおけるセンサ信号処理回路を構成する回路基板８を、樹脂成形体１により樹脂封止（モールド）することで形成されている。
樹脂成形体１は、ハウジング５のステム４の外周面に沿って環状に延びる円筒形状に形成されている。
樹脂成形体１の外周面からは、回路基板８上の電極パッドに半田材を介して導通接合（半田付け）されるセンサターミナル導体群が延出している。このセンサターミナル導体群は、モールドＩＣ７の内部にて電子部品と電気接続されている。
なお、センサターミナル導体群の詳細は後述する。
【００３２】
回路基板８は、センサチップ６の電極パッドにボンディングワイヤ等を介して導通接合されている。ボンディングワイヤは、回路基板８上の電子部品（導体）およびセンサチップ６の電極パッドに半田材を介して導通接合（半田付け）される。
センサチップ６の電極パッドおよび回路基板８上の電極パッドは、真空蒸着やスパッタリングによって形成された白金膜、ポリシリコン膜、単結晶シリコン膜等である。
電子部品は、センサチップ６から出力される検出信号を増幅する増幅回路や、検出信号に重畳するノイズを除去するフィルタリング回路、および歪みゲージに電圧を印加する電圧印加回路等により構成される。
【００３３】
なお、電圧印加回路から電圧が印加された歪みゲージは、上述したように、ダイヤフラム４４にて生じた歪みの大きさに応じて電気抵抗値が変化するブリッジ回路（センサ回路）を構成している。これにより、ダイヤフラム４４の歪みに応じてブリッジ回路の出力電圧が変化し、当該出力電圧が高圧燃料の圧力検出値としてモールドＩＣ７の増幅回路に出力される。
増幅回路は、センサチップ６（ブリッジ回路）から出力される圧力検出値を増幅し、増幅した信号をセンサ端子から出力する。
【００３４】
モールドＩＣ７には、樹脂成形体１、センサチップ６および回路基板８を覆うようにシールドケース９が接着剤等を用いて固定されている。
シールドケース９は、矩形状に形成されて、周方向に等間隔に複数の開口部４９を有している。このシールドケース９は、締結部としてのステム４およびハウジング５に保持されて、内部にセンサチップ６、回路基板８および樹脂成形体１を収容する。シールドケース９は、外部（外乱）ノイズを遮断して、センサチップ６およびモールドＩＣ７を保護する。
【００３５】
センサコネクタＣは、コネクタターミナル導体群、このコネクタターミナル導体群を保持する直方体形状（多面体形状）の樹脂成形体（ターミナルホルダ）２と、第１〜第４ワイヤハーネス（外部接続用電線）の端末部を保持する直方体形状の樹脂成形体３と、内部にコネクタターミナル導体群および樹脂成形体２、３を収容保持するコネクタホルダＨとを備えている。
コネクタホルダＨは、内部に中空部を有する円筒部５１、内部に中空部を有する角筒部５２、およびこれらの角筒部５２の内部空間（中空部）と円筒部５１の内部空間（中空部）とを区画する仕切り壁５３を備えている。
円筒部５１の内部（中空部）には、燃料圧力センサＳ、樹脂成形体２、センサターミナル導体群およびコネクタターミナル導体群が収容されている。この円筒部５１の内周面には、インジェクタボディＢの雄螺子部に螺合する雌螺子部が形成されている。
角筒部５２の内部には、樹脂成形体３が収容されている。
仕切り壁５３には、コネクタターミナル導体群の第３接続端子３１〜３４が位置決めされた状態で貫通する貫通孔５４が形成されている。
【００３６】
樹脂成形体２は、多面体形状（直方体形状または立方体形状）に形成されている。この樹脂成形体２は、シールドケース９の表面上（天井）に載置されている。
樹脂成形体２の周方向に複数設けられる各外側面（平坦面）からは、コネクタターミナル導体群が延出している。
樹脂成形体３には、外部（ＥＣＵ等の外部回路や外部電源等）との第１〜第４ワイヤハーネスが各々独立して挿入される複数（本実施例では４つ）のターミナル収容孔５５が形成されている。これにより、第１〜第４ワイヤハーネスを介して、モールドＩＣ７から出力される圧力検出信号がＥＣＵに入力される。
なお、コネクタターミナル導体群の詳細は後述する。
【００３７】
次に、本実施例のセンサターミナル導体群（第１ターミナル導体群）の詳細を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
センサターミナル導体群は、例えば銅合金またはアルミニウム合金等の金属導体板（配線部材）により構成される複数（本実施例では４つ）の第１接続端子１１〜１４を備えている。これらの第１接続端子１１〜１４は、導電性を有する金属体をプレス成形機で打ち抜き成形を行い、この打ち抜き成形と同時または打ち抜き成形後に所定の部位で折り曲げ成形を行うことで製造される。
【００３８】
第１接続端子１１の一端部は、回路基板８上に形成される第１電極パッド（センサチップ６に形成されるブリッジ回路の圧力信号出力端子Ｖｏｕｔ＋に対応して設けられる電極パッド）に半田材を介して導通接合（半田付け）されている。第１接続端子１１は、第１電極パッドとの導通接合部がモールド樹脂材（樹脂成形体１）により樹脂封止されている。
第１接続端子１２の一端部は、回路基板８上に形成される第２電極パッド（ブリッジ回路の圧力信号出力端子Ｖｏｕｔ−に対応して設けられる電極パッド）に半田材を介して導通接合（半田付け）されている。第１接続端子１２は、第２電極パッドとの導通接合部がモールド樹脂材（樹脂成形体１）により樹脂封止されている。
【００３９】
第１接続端子１３の一端部は、回路基板８上に形成される第１電極パッド（センサチップ６に形成されるブリッジ回路の外部電源端子Ｖｄｄに対応して設けられる電極パッド）に半田材を介して導通接合（半田付け）されている。第１接続端子１３は、第３電極パッドとの導通接合部がモールド樹脂材（樹脂成形体１）により樹脂封止されている。
第１接続端子１４の一端部は、回路基板８上に形成される第２電極パッド（ブリッジ回路のグランド（接地）端子ＧＮＤに対応して設けられる電極パッド）に半田材を介して導通接合（半田付け）されている。第１接続端子１４は、第４電極パッドとの導通接合部がモールド樹脂材（樹脂成形体１）により樹脂封止されている。
【００４０】
複数の第１接続端子１１〜１４は、インジェクタボディＢに対して燃料圧力センサＳを螺子締結する際の燃料圧力センサＳの回転中心線（以下センサアッシー回転中心線と言う）上に位置する第１中心点を中心に、その第１中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出して露出している。
これらの第１接続端子１１〜１４は、モールドＩＣ７の外側面またはシールドケース９の外面から、第１中心点を中心とする円周方向に等角度間隔（例えば９０°間隔）で第１中心線の半径方向の外側へ向かって真っ直ぐに延びる半径方向部分（四角柱状部分）をそれぞれ有している。
複数の第１接続端子１１〜１４の各半径方向部分の先端は、各半径方向部分の突出方向に対して垂直な方向で、且つセンサアッシー回転中心線と平行な方向の一方側（インジェクタの反噴孔側、図示上方側）に直角に折り曲げられている。
【００４１】
複数の第１接続端子１１〜１４には、複数の第２接続端子２１〜２４の各コネクタターミナル接合部２５〜２８にそれぞれ導通接合される部分円筒状のセンサターミナル電極部１５〜１８が一体的に形成されている。
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、直角に折り曲げられた屈曲部よりもコネクタ側（図示上方側）の端部に設けられている。これらのセンサターミナル電極部１５〜１８は、導電性を有する金属体をプレス成形機で加圧して断面円弧状の金属薄板としている。
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、センサアッシー回転中心線を中心とする円周方向に等角度間隔、つまりセンサターミナル電極数（本実施例では４つ）分だけ分割された部分円筒状の金属薄板電極（プレート電極）である。
【００４２】
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、センサアッシー回転中心線を中心とする同一円周上に３６０°／センサターミナル電極数の角度間隔で配置されている。
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、対応するコネクタターミナル接合部２５〜２８と導通接合が可能な位置までセンサアッシー回転中心線と平行な方向に向かって真っ直ぐに延びる軸方向部分、およびこの軸方向部分の円周方向の両端からセンサアッシー回転中心線を中心とする円周方向の両側に向かって延びる周方向部分をそれぞれ有している。これにより、複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、センサアッシー回転中心線を中心とする同一円周上に帯状に配される。
【００４３】
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、対応したコネクタターミナル接合部２５〜２８との導通接合部が、センサアッシー回転中心線を中心とした所定の曲率半径を有する凹曲面形状に形成されている。その凹曲面部は、コネクタターミナル接合部２５〜２８が摺接可能にコネクタターミナル接合部２５〜２８と対向している。
複数のセンサターミナル電極部１５〜１８は、樹脂成形体２、モールドＩＣ７、シールドケース９の周囲を円周方向に取り囲むように設置されている。隣設する２つの電極部間には、所定の絶縁ギャップが設けられている。
【００４４】
次に、本実施例のコネクタターミナル導体群（第２ターミナル導体）の詳細を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
コネクタターミナル導体群は、例えば銅合金またはアルミニウム合金等の金属導体板（外部接続部材）により構成される複数（本実施例では４つ）の第２接続端子２１〜２４および複数（本実施例では４つ）の第３接続端子３１〜３４を備えている。
コネクタターミナル導体群は、それぞれ対応した第２、第３接続端子２１〜２４、３１〜３４間を中継する中間部（中継部）が、樹脂成形体２の内部にモールド樹脂材によるインサートにより固定（埋設保持）されている。
複数の第２、第３接続端子２１〜２４、３１〜３４および中間部は、導電性を有する金属体をプレス成形機で打ち抜き成形を行い、この打ち抜き成形と同時または打ち抜き成形後に所定の部位で折り曲げ成形を行うことで製造される。
なお、第２接続端子２１〜２４は、概ねＬ字形状に形成されているが、完全に形状が同一ではない。
【００４５】
第２接続端子２１は、第１接続端子１１のセンサターミナル電極部１５にレーザー溶接等の手段を用いて導通接合されている。
第２接続端子２２は、第１接続端子１２のセンサターミナル電極部１６にレーザー溶接等の手段を用いて導通接合されている。
第２接続端子２３は、第１接続端子１３のセンサターミナル電極部１７にレーザー溶接等の手段を用いて導通接合されている。
第２接続端子２４は、第１接続端子１４のセンサターミナル電極部１８にレーザー溶接等の手段を用いて導通接合されている。
【００４６】
複数の第２接続端子２１〜２４は、センサアッシー回転中心線上に位置し、且つ第１中心点との間に所定距離分だけ隔離された第２中心点を中心に、その第２中心点から放射方向に向かってそれぞれ突出して露出している。
これらの第２接続端子２１〜２４は、樹脂成形体２の外面から、第２中心点を中心とする円周方向に等角度間隔（例えば９０°間隔）で第２中心線の半径方向の外側へ向かって真っ直ぐに延びる半径方向部分（四角柱状部分）をそれぞれ有している。
複数の第２接続端子２１〜２４の先端には、対応したセンサターミナル電極部１５〜１８に溶接等の手段を用いて導通接合されるコネクタターミナル接合部２５〜２８が一体的に形成されている。
ここで、複数のセンサターミナル電極部１５〜１８および複数のコネクタターミナル接合部２５〜２８は、センサアッシー回転中心線を中心とする同一円周上に等角度間隔で配置されている。
【００４７】
コネクタターミナル導体群は、樹脂成形体２の内部にインサートされるターミナルインサート（中間部、埋設部）において、そのターミナルインサートの形成方向に対して垂直な方向で、且つセンサアッシー回転中心線と平行な方向の一方側（インジェクタの反噴孔側、図示上方側）に直角に折り曲げられて、樹脂成形体２の上端面から図示上方側へ向かって複数の第３接続端子３１〜３４が突出して露出している。
これらの第３接続端子３１〜３４は、樹脂成形体２の上端面からセンサアッシー回転中心線と平行な方向の一方側（インジェクタの反噴孔側、図示上方側）へ向かって真っ直ぐに延びる軸方向部分（四角柱状部分）をそれぞれ有している。
【００４８】
複数の第３接続端子３１〜３４は、コネクタホルダＨの仕切り壁５３に形成される貫通孔５４を貫通して、コネクタホルダＨの仕切り壁５３に位置決めされている。なお、コネクタターミナル導体群を位置決めした状態で保持する樹脂成形体２をインジェクタボディＢまたはコネクタホルダＨに一体的に形成しても良い。
複数の第３接続端子３１〜３４の先端には、対応した第１〜第４ワイヤハーネスの接続金具に溶接等の手段を用いて導通接合されるコネクタターミナル接合部３５〜３８が一体的に形成されている。
【００４９】
［実施例１の組付方法］
次に、本実施例のインジェクタボディＢに対する燃料圧力センサＳの組付方法を図１ないし図６に基づいて簡単に説明する。
【００５０】
先ず、燃料圧力センサＳを組み立てる。ステム４のダイヤフラム４４の表面上に低融点ガラスを用いてセンサチップ６を接着する。
次に、ステム４に円環状のハウジング５を組み付け、ハウジング５の回路搭載面上に円環状の回路基板８を有するモールドＩＣ７を接着等により固定する。
次に、センサチップ６上に形成された複数の電極パッドとモールドＩＣ７の回路基板８上に形成された複数の電極パッドとをボンディングワイヤ等を介して導通接合する。
【００５１】
このとき、センサターミナル導体群の第１接続端子１１〜１４の基端部は、モールドＩＣ７の樹脂成形体１の内部にモールド（インサート）されている。
そして、部分円筒状のセンサターミナル電極部１５〜１８は、モールドＩＣ７の周囲を円周方向に取り囲むように同一円周上に配置される。
また、ハウジング５がステム４に対して回転不能な状態で組み付けられているので、工具をハウジング５に係合させてハウジング５を回転させると、ステム４がハウジング５と一体回転し、ステム４の雄螺子部４６がインジェクタのインジェクタボディＢの嵌合凹部４１に螺子締結される。
これにより、インジェクタボディＢに対して燃料圧力センサＳを螺子締結される。
【００５２】
一方、インジェクタボディＢに組み付けられるコネクタホルダＨには、コネクタターミナル導体群が位置決めされている。
ここで、センサターミナル導体群は、モールドＩＣ７からセンサターミナル電極数分だけ分割された状態で突出した複数の第１接続端子１１〜１４を有している。
コネクタターミナル導体群は、センサターミナル電極部１５〜１８の内周で接合可能な複数の第２接続端子２１〜２４を有している。
【００５３】
このため、燃料圧力センサＳは、インジェクタボディＢの嵌合凹部４１に対して、３６０°／センサターミナル電極数以内の精度で組み付けるので、複数のセンサターミナル電極部１５〜１８の位置は、複数のコネクタターミナル接合部２５〜２８と接合可能な位置に組み付けられる。
そして、インジェクタボディＢの嵌合凹部４１に対するステム４の螺子締結が終了した後に、インジェクタボディＢに対して位置決めされた複数のコネクタターミナル接合部２５〜２８と溶接等により電気接続される。
以上により、インジェクタボディＢに対する燃料圧力センサＳの取り付け、および内部電気配線、接続が完了する。
【００５４】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のセンサターミナル導体群は、部分円筒状のセンサターミナル電極部１５〜１８が、センサアッシー回転中心線を中心とする円周方向に３６０°／センサターミナル電極数の等角度間隔で分割されている。
また、センサターミナル電極部１５〜１８は、センサアッシー回転中心線を中心とする同一円周上に３６０°／センサターミナル電極数の角度間隔で設置されている。
また、燃料圧力センサＳおよびセンサターミナル導体群（複数の第１接続端子１１〜１４）は、インジェクタボディＢに対して、センサターミナル電極数／３６０°以内の精度で組み付けることができる。これにより、センサターミナル電極部１５〜１８の形成位置（設置場所）は、コネクタターミナル導体群を構成する複数の第２接続端子２１〜２４のコネクタターミナル接合部２５〜２８と導通接合が可能な位置（場所）に組み付けられる（配される）。
【００５５】
これによって、インジェクタボディＢの嵌合凹部４１の雌螺子部４２に螺子締結されて、突出方向が円周方向に対して任意となる複数のセンサターミナル電極部１５〜１８に対する、インジェクタボディＢに対して位置決めされる複数のコネクタターミナル接合部２５〜２８の接合範囲、つまり対応した第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４同士が誤接続することなく導通接合可能な範囲を増やすことができる。
したがって、センサターミナル電極部１５〜１８またはコネクタターミナル接合部２５〜２８のターミナル電極（端子）形状を簡素化しながらも、複数の第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４を誤接続することなく、対応した第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４同士を容易に導通接合することができる。また、複数の第１、第２接続端子１１〜１４、２１〜２４のターミナル電極（端子）形状を単純化（簡素化）することができるので、センサモジュールの製造コストを低減することができる。
【００５６】
［変形例］
本実施例では、本発明のセンサモジュールを、内燃機関（エンジン）の各気筒毎に対応して搭載されるインジェクタ内部の燃料圧力を測定可能な燃料圧力センサＳをインジェクタボディＢに螺子締結する燃料圧力測定装置に適用しているが、本発明のセンサモジュールを、サプライポンプ、コモンレール等の他の燃料供給機器（燃料噴射機器）内部の燃料圧力を測定可能な圧力センサを燃料噴射機器のボディに螺子締結する燃料圧力測定装置に適用しても良い。
【００５７】
本実施例では、測定対象の情報に対応した信号を外部に対して出力する測定素子（センシング素子）として、インジェクタ内部の燃料圧力に対応した圧力検出信号（例えば電圧信号）を外部回路（ＥＣＵ等）に対して出力するピエゾ抵抗素子を有する半導体燃料圧力センサＳを採用しているが、測定対象の物理的情報（光、磁気、変位、角度、速度、温度、圧力、流量、音等）に対応した電気信号を外部に対して出力する測定素子（半導体素子、センシング素子）を有する物理的情報センサを採用しても良い。
【００５８】
本実施例では、燃料を噴射する噴孔を開閉するニードルをその軸線方向に開閉動作させるアクチュエータを、ピエゾアクチュエータによって構成しているが、ニードルをその軸線方向に開閉動作させるアクチュエータを、モータ、減速機構、変換機構を備えた電動アクチュエータによって構成しても良い。また、電磁式または電動式負圧制御弁を備えた負圧作動式アクチュエータによって構成しても良い。
また、エンジンとして、ディーゼルエンジンだけでなく、ガソリンエンジンを用いても良い。また、エンジンとして、多気筒エンジンだけでなく、単気筒エンジンを用いても良い。
【００５９】
本実施例では、ステム４のダイヤフラム４４の変位に対応した信号を外部に対して出力するピエゾ抵抗素子（半導体素子、圧力測定素子）をセンサチップ６上に形成（搭載）しているが、ステム４のダイヤフラム４４の変位に対応した信号を外部に対して出力する圧力測定素子をダイヤフラム４４の表面（センサ搭載面）上に直接形成（搭載）しても良い。また、シールドケース９は設けなくても良い。
また、センサターミナル電極数は、測定素子（センサ素子、センシング素子）のリード端子数や、センサ回路（信号処理回路や信号増幅回路等）の電極数に応じて、２、３または５以上任意である。
【符号の説明】
【００６０】
Ｂ  インジェクタボディ（センサ支持部材）
Ｃ  センサコネクタ
Ｓ  燃料圧力センサ
１  樹脂成形体（第１樹脂成形体、第１モールド材）
２  樹脂成形体（第２樹脂成形体、第２モールド材）
３  樹脂成形体（第３樹脂成形体、第３モールド材）
４  ステム（締結体）
５  ハウジング（締結体）
６  センサチップ（センサ素子を有するセンサ本体）
７  モールドＩＣ（センサ回路部）
８  回路基板（センサ回路部）
９  シールドケース
１１  センサターミナル導体群の第１接続端子
１２  センサターミナル導体群の第１接続端子
１３  センサターミナル導体群の第１接続端子
１４  センサターミナル導体群の第１接続端子
１５  センサターミナル電極部
１６  センサターミナル電極部
１７  センサターミナル電極部
１８  センサターミナル電極部
２１  コネクタターミナル導体群の第２接続端子
２２  コネクタターミナル導体群の第２接続端子
２３  コネクタターミナル導体群の第２接続端子
２４  コネクタターミナル導体群の第２接続端子
２５  コネクタターミナル接合部
２６  コネクタターミナル接合部
２７  コネクタターミナル接合部
２８  コネクタターミナル接合部
３１  第３接続端子
３２  第３接続端子
３３  第３接続端子
３４  第３接続端子
３５  コネクタターミナル接合部
３６  コネクタターミナル接合部
３７  コネクタターミナル接合部
３８  コネクタターミナル接合部
４４  ステムのダイヤフラム
４５  ステムの圧力導入孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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