【事件の表示】
　特許第２８９８９５６号「ターボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８９８９５６号の特許を維持する。
【理　由】
１）手続の経緯
  特許第２８９８９５６号の発明（以下、「本件発明」という）は、昭和６０年３月１４日に出願した特願昭６０−５２１１４号の一部を平成１０年３月９日に新たな特許出願とし、平成１１年３月１２日にその特許の設定登録がされ、その後、本件特許に対して特許異議申立人松原いづみにより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年５月２３日に特許異議意見書が提出されたものである。
　
（２）特許異議申立てについて
ア．本件発明
  本件発明の要旨は、明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載される次のとおりのものである。
「ロータ室内でロータシャフトにロータを固着している一方、このロータシャフトを回転駆動する機械室内において、該シャフトの長手方向に間隔をおいたシャフトまわりに配置され各々該シャフトをラジアル方向に浮上する２個の２軸能動形ラジアル磁気軸受と、この各２軸能動形ラジアル磁気軸受近傍の前記シャフトまわりに配置されて該シャフトの軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変位量に応じてそれぞれ前記２軸能動形ラジアル磁気軸受の磁気浮力を可変するラジアル制御センサと、前記シャフトの反ロータ側端部に着脱可能に繋着されるスラスト軸支部を挟んで配置され該シャフトをアキシャル方向に浮上する能動形スラスト磁気軸受と、前記シャフトのスラスト軸支部における反ロータ側端に対面して配置され該シャフトのアキシャル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記能動形スラスト磁気軸受の磁気浮力を可変するスラスト制御センサとを設けて、前記ロータシャフトを５軸制御で軸支させるとともに、このロータシャフトの外径を反ロータ側部位に至る程径小なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法であって、
　前記ハウジングの機械室内に、前記２軸能動形ラジアル磁気軸受と、前記ラジアル制御センサとを取付け、次に、この機械室内に、前記ロータを固着した前記ロータシャフトを反ロータ側部位を下にして、ロータ室側から機械室内に挿入し、その後、前記シャフトの反ロータ側端部にスラスト軸支部を繋着して組立てたことを特徴とするターボ分子ポンプ用磁気軸受装置の組立方法。」
　
イ．申立ての理由の概要
　異議申立人松原いづみは、証拠として甲第１号証（特開昭５９−９３９９２号公報）、甲第２号証（特開昭５８−８１２１７号公報）、甲第３号証（特開昭５９−１０１５９６号公報）、甲第４号証（セイコー精機株式会社のカタログ「ターボ分子ポンプ」　昭和５８年８月発行）、甲第５号証（日刊工業新聞　昭和５８年８月１８日）、甲第６号証（東洋通商株式会社のセイコー精機株式会社の磁気浮上式ターボ分子ポンプの販売案内状の写し、昭和５９年２月２２日付け）、甲第７号証（ 東洋通商株式会社のセイコー精機株式会社の磁気浮上式ターボ分子ポンプ（ＳＴＰ−３００）の納入実績の写し、昭和５９年２月２２日付け）を提出し、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
　
ウ．甲１〜４号証に記載の発明
　甲第１号証には、ロータ室内でシャフト３にロータ９を固着している一方、このシャフト３を回転駆動する機械室内において、シャフト３まわりに配置され該シャフト３をラジアル方向に浮上する径方向電磁石２と、この径方向電磁石２と、この径方向電磁石２近傍の前記シャフト３まわりに配置されて該シャフト３の軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記径方向電磁石２の磁気浮力を可変する径方向変位センサー１と、前記シャフト３の反ロータ側端部に着脱可能に繋着されるアーマチュアディスク８を挟んで配置され該シャフトをアキシャル方向に浮上する軸方向電磁石と、前記シャフト３のアーマチュアディスク８における反ロータ側端に対面して配置され該シャフト３のアキシャル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記軸方向電磁石の磁気浮力を可変する軸方向変位センサ６とを設けて、前記シャフト３を３軸制御で軸支させるとともに、このシャフト３の外径を、径方向変位センサー１に対応する部分と、径方向電磁石２の対応する部分と、駆動モータ１０に対応する部分とについて、アキシャル方向に沿って同一なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸受装置、が記載され、また、５軸制御型磁気軸受の場合には、さらにもう一つの能動型ラジアル磁気軸受が必要になること、が記載されている。
　甲第２号証には、回転体２を回転駆動する機械室内において、該回転体２の長手方向に間隔をおいた回転体２まわりに配置され各々該回転体２をラジアル方向に浮上する２個の半径方向磁気軸受７、８と、この半径方向磁気軸受７、８近傍の前記回転体２まわりに配置されて該回転体２の軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変位量に応じてそれぞれ前記半径方向磁気軸受７、８の磁気浮力を可変する半径方向位置検出器９、１０と、前記回転体２の反ロータ側端部に着脱可能に繋着されるアーマチャディスク５を挟んで配置され該回転体２をアキシャル方向に浮上する軸方向電磁石６と、前記回転体２のアーマチャディスク５における反ロータ側端に対面配置され該回転体２のアキシャル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記軸方向電磁石６の磁気浮力を可変する軸位置検出器１とを設けて、前記回転体２を５軸制御で軸支させるとともに、この回転体２の外径を、２つの半径方向位置検出器９、１０に対応する部分と、２つの半径方向磁気軸受７、８に対応する部分と、モータ４に対応する部分とについて、アキシャル方向に沿って同一なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸受装置、が記載されている。
　甲第３号証には、ロータ室内にロータ１を設ける一方、このロータ１を回転駆動する機械室内において、固定軸２を設け、該固定軸２の長手方向に間隔を置いたシャフトまわりに配置され各々該ロータ１をラジアル方向に浮上する２個のラジアル磁気軸受２１，２２と、この各ラジアル磁気軸受２１，２２近傍の前記固定軸２に配置されて該ロータ１の軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変位量に応じてそれぞれ前記ラジアル磁気軸受２１，２２の磁気浮力を可変するラジアル方向位置センサ２３、２３と、前記固定軸２に着脱可能に繋着されるスラスト磁気軸受２５に近接して配置され該ロータ１をアキシャル方向に位置制御するスラスト磁気軸受２４と、転り軸受３４、３５とを設け、前記ロータ１を５軸制御で軸支させるとともに、この固定軸２の外径をロータ側部位に至る程（上側に至る程）径小なものに形成したアウタロータ型ターボ分子ポンプ用磁気軸受装置、が記載されている。
　甲第４号証には、ロータ室内でロータシャフトにロータを固着している一方、このロータシャフトを回転駆動する機械室内において、該シャフトのまわりに配置され該シャフトをラジアル方向に浮上する２軸能動形ラジアル磁気軸受と、この２軸能動形ラジアル磁気軸受近傍の前記シャフトまわりに配置されて該シャフトの軸心のラジアル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記２軸能動形ラジアル磁気軸受の磁気浮力を可変するラジアル制御センサと、前記シャフトの反ロータ側端部に着脱可能に繋着されるスラスト軸支部の近傍に配置され該シャフトをアキシャル方向に浮上する能動形スラスト磁気軸受と、前記シャフトのスラスト軸支部における反ロータ側端に対面して配置され該シャフトのアキシャル変位を検出するとともにこの変位量に応じて前記能動形スラスト磁気軸受の磁気浮力を可変するスラスト制御センサとを設けて、前記ロータシャフトを３軸制御で軸支させるとともに、さらに、タッチベアリング３、４を設け、このロータシャフトの外径を反ロータ側部位に至る程径小なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸受装置、が記載されている
　なお、甲５〜７号証は、甲第４号証に記載されたターボ分子ポンプ用磁気軸受装置が、本件の分割出願の基礎となった出願の出願前に、公然実施されていたことを示すためのものである。
　
エ．対比・判断
　本件発明と甲第１〜４号証に記載の発明とを対比すると、甲第１〜４号証に記載の発明は、ロータシャフトを５軸制御で軸支させるとともに、ロータシャフトの外径を反ロータ側部位に至る程径小なものに形成したターボ分子ポンプ用磁気軸受け装置において、ハウジングの機械室内に、２軸能動形ラジアル磁気軸受と、ラジアル制御センサとを取付け、次に、この機械室内に、ロータを固着したロータシャフトを反ロータ側部位を下にして、ロータ室側から機械室内に挿入し、その後、前記シャフトの反ロータ側端部にスラスト軸支部を繋着して組立てた点を備えておらず、また、この点は、甲第１〜４号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものとは認められない。そして、本件発明は、この点により、分解組立が簡便で回転軸系の動バランスの調整も容易となるという顕著な効果を奏するものであり、本件発明が甲１〜４号証に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　また、他に本件特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　なお、申立人は、甲第１号証に記載のターボ分子ポンプに、甲第２号証に記載の５軸制御型のターボ分子ポンプ用磁気軸受を組み込んで、５軸制御型のターボ分子ポンプを得ることは、当業者にとって容易なことであり、それによって得られた５軸制御型のターボ分子ポンプは、まず機械室に、ラジアル制御センサ、ラジアル磁気軸受、モータを取り付けておき、次に、ロータを取り付けたシャフトを反ロ?タ側部位を下にして機械室内に挿入し、その後、シャフトの反ロータ側端部にスラスト軸支部を繋着し、磁石６を取り付け、スペーサを取り付け、センサが組み付けられている蓋を取り付けて組み立てることは当業者にとって自明のことであり、また、甲第３号証には、組立性を良くするために、タッチベアリングの径を他の磁気軸受等の磁気的な結合を利用する部材の径とは異ならせる技術が記載されているから、本件発明は、甲第１〜３号証記載のものから当業者が容易に想到しうるものである旨主張している。
　また、申立人は、甲第４号証に記載の構造図を見れば、このターボ分子ポンプを組み立てるには、まず機械室にタッチベアリング、ラジアル制御センサ、ラジアル磁気軸受、高周波モータ、タッチベアリングを取り付けておき、次に、ロータ翼を固着したロータシャフトを反ロータ部位を下にして機械室内に挿入し、その後、ロータシャフトの反ロータ側端部にスラスト軸支部を繋着することは、当業者にとって自明のことであり、甲第４号証記載のものに、甲第２号証に記載の５軸制御型のターボ分子ポンプ用磁気軸受を組み込んで、５軸制御型のターボ分子ポンプを得ることは、当業者にとって容易なことであり、本願発明は、甲４号証および甲第２号証から当業者が容易に想到しうるものである旨主張している。
　しかしながら、前記甲１〜４号証には、ターボ分子ポンプの組立に関しては、何ら記載されておらず、また、請求人が、当業者にとって自明であると主張する組立手順も図からの推測にすぎず、そのような組立手順が、当業者にとって自明であるとする根拠もみいだせない。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月１２日（２０００．６．１２）