【事件の表示】
　特許第２５３１７８８号「狭帯域発振エキシマレ―ザ」の請求項１ないし請求項１０に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２５３１７８８号の請求項４、請求項７ないし請求項１０に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
  本件特許第２５３１７８８号に係る出願は、平成１年５月１８日に出願され、平成８年６月２７日にその設定登録がなされ、サイマー・イン・コーポレイテッドより特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成９年１０月２８日に訂正請求がなされ、その後、平成１３年８月２１日に訂正請求の取下書が提出されたものである。
　なお、本件特許第２５３１７８８号については、本件とは別に平成１０年審判第３５２４１号の無効審判が請求され、請求項１ないし請求項３、請求項５及び請求項６を無効とするとの審決が確定している。
　
２．特許異議申立ての理由の概要
  特許異議申立人サイマー・イン・コーポレイテッドは、
　甲第１号証として、Ｅｌｓｅｖｉｅｒ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　Ｐｕｂｌｉｓｈｅｒｓ　Ｂ．Ｖ．社により１９８５年に発行された「Ｌａｓｅｒ　Ｈａｎｄｂｏｏｋ、ｖｏｌｕｍｅ．５」及び関連文献、
　甲第２号証として、Ｔｅｒｒｅｎｃｅ　Ｊ．　ＭｃＫｅｅ、”Ｓｐｅｃｔｒａｌ−ｎａｒｒｏｗｉｎｇ　ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ　ｆｏｒ　ｅｘｃｉｍｅｒ　ｌａｓｅｒ　ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒｓ”、ＣＡＮ．Ｊ．ＰＨＹＳ．ＶＯＬ．６３、１９８５、
　甲第３号証として、Ｄｕａｒｔｅ　ｅｔ　ａｌ．、”Ｎａｒｒｏｗ　ｌｉｎｅｗｉｄｔｈ、ｈｉｇｈ　ｐｒｆ　ｃｏｐｐｅｒ　ｌａｓｅｒ−ｐｕｍｐｅｄ　ｄｙｅ−ｌａｓｅｒ　ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒｓ”、Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｏｐｔｉｃｓ、Ｖｏｌ．２３（９）、ｐｐ．１３９１−１３９４（Ｍａｙ　１、１９８４）、
　甲第４号証として、米国サイマー社の社員であるダン・ウィルソン氏（Ｍｒ．Ｄａｎ　Ｗｉｌｓｏｎ）の宣誓供述書、
　甲第５号証として、米国サイマー社の社員であるリチャード・サンドストーム氏（Ｍｒ．Ｒｉｃｈａｒｄ　Ｓａｎｄｓｔｒｏｍ）の宣誓供述書、
　甲第６号証として、米国サイマー社の特許代理人である米国特許弁護士のチャールズ・ディー・ホーランド氏（Ｍｒ．Ｃｈａｒｌｅｓ　Ｄ．　Ｈｏｌｌａｎｄ）の宣誓供述書、
　甲第７号証として、米国サイマー社の社員であるジェス・バック氏（Ｍｒ．Ｊｅｓｓｅ　Ｂｕｃｋ）の宣誓供述書、
　甲第８号証として、佐山文美氏の証明書を提示して、
　本件の請求項１ないし請求項１０に係る発明は、本件特許出願前に日本国内において公然知られた発明又は公然実施された発明若しくは本件特許出願前に頒布された刊行物に記載された発明と同一か又はこれらの発明に基づいて容易に発明をすることができるものであるため、特許法第２９条第１項１号又は同第２９条第２項の規定により、取り消されるべきである旨主張している。
　
３．本件の請求項に係る発明
　本件の特許異議申立時の請求項は１ないし１０であったが、上記無効審決の確定により、請求項１ないし請求項３、請求項５及び請求項６に係る特許権は最初からなかったものとなったので、本件の請求項４及び請求項７ないし請求項１０に係る特許が異議申立ての対象となる。
　本件の請求項４及び請求項７ないし請求項１０に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その請求項４及び請求項７ないし請求項１０に記載された次のとおりのものである。
「【請求項４】前記ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、前記シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる請求項（１）記載の狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項７】波長選択素子としてグレーティングを用いた放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングを、その線引方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項８】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスバンダを介してレーザ光を照射した放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
　光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項９】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯域発振エキシマレーザにおいて、
　前記光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングを、その線引き方向が前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置し、更に前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。
【請求項１０】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射し、かつ光共振器内にアパーチャを配置した放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
　前記光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い、
　前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向と略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置するとともに前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置し、更に前記アパーチャを前記放電方向に長い形状にした狭帯域発振エキシマレーザ。」
　
　なお、請求項４は請求項１を引用しており、請求項１に係る発明は、
「【請求項１】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
  前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置した狭帯域発振エキシマレーザ。」
であったから、請求項４に係る発明は実質的に、
「【請求項４】波長選択素子としてグレーティングを用いるとともに該グレーティングヘビームエキスパンダを介してレーザ光を照射する放電励起による狭帯城発振エキシマレーザにおいて、
  前記グレーティングの線引方向と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向とが前記放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置し、
　前記ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、前記シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる狭帯域発振エキシマレーザ。」
である。
　
４．甲各号証の記載
  特許異議申立人の提示した甲第１号証には、
「狭帯域幅は、グレーティング上を覆う線の数を増加させることによっても達成できる。これは、図２ｂ（マイヤーズ１９７１）に示されたようにビームのサイズを分散方向に拡大するプリズムを用いるか又は斜入射形グレーティング（アンドリューら１９７８、マッキーら１９７９、カローら１９８２、バカラら１９８２）を用いることにより達成できる。」（４５頁下８行〜４行）と記載されており、４６頁の図２４には、リトロー・グレーティングを用いたより狭い狭帯域を得るための方法として、（ｂ）に、プリズム・ビーム拡大器を有するリトロー・グレーティングが示されている。
　同じく甲第２号証には、「エキシマ・レーザー発振器のための狭帯域化技術」という題名の論文が掲載されており、
「２．発振器の光学キャビティー
　図１ａ及び１ｂに示されたパルス色素レーザーに最も一般的に使用されている分散技術は、１９８２年（引用文献３）に導入されたビームを拡大する高水準のリトロー・グレーティング技術、及び、１９７７年（引用文献４）に導入された斜入射形グレーティング技術である。」（２１４頁左欄）と記載されており、２１５頁の図１には、エキシマ・スペクトル・狭帯域・発振器・キャビティの概略図として、（ａ）ビーム拡大を用いるリトロー・グレーティング、（ｂ）斜入射形グレーティング、（ｃ）キャビティ内プリズム、（ｄ）キャビティ内エタロンの例、光学部品として、（１）一部反射出力カプラー、（２）アパーチャ、（３）レーザー、（４）レンズ、（５）グレーティング、（６）ミラー、（７）プリズム、及び（８）エタロンが示されている。
　同じく甲第３号証には、「狭帯域で高周波数の銅レーザーポンピングされた色素レーザー発振器」という題名の論文が掲載されており、
　９０頁の図１（ａ）には、二重プリズム拡大リトロー・グレーティング・キャビティの概要図が示され、ダイ・セル、二重プリズム拡大、リトロー・グレーティング、結合ミラー、銅レーザー、ポンプ・ビームが図示されている。
　同じく甲第４号証ないし甲第７号証は、米国サイマー社の社員又は米国サイマー社の特許代理人である米国特許弁護士の宣誓供述書であり、サイマー社の製造した狭帯域エキシマレーザー及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザーが本件出願前公知であったこと、これらのエキシマレーザーは、プリズム・ビーム・エキスパンダ及びグレーティングを有しており、ビーム拡大方向とレーザー放電方向及びグレーティングの溝方向とは垂直であることが供述されている。
　同じく甲第８号証は、ラムダ・フィジック社のエキシマ・レーザの代理店に勤務していた佐山文美の証明書であり、前記ラムダ・フィジック社のエキシマ・レーザが本件出願前に日本の複数の研究所に納入されたことを証明している。
　
５．特許異議申立てについての判断
　
（１）本件の請求項４に係る発明について
　請求項４に係る発明と甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明とを対比・判断すると、甲第１号証ないし甲第３号証には、「放電励起のための放電方向」に関する記載がなく、「グレーティングの線引方向とビームエキスパンダのビーム拡大方向とが放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置」しているとはいえないし、ビームエキスパンダとして開示されているのはプリズム及び凹レンズであり、シリンドリカルレンズを用いることは示唆されていないから、請求項４に係る発明は、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明と同一、もしくはこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　また、請求項４に係る発明と特許異議申立人が甲第４号証ないし甲第８号証に基づき公知と主張するサイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザーに関する発明とを対比すると、これら狭帯域エキシマレーザーは、請求項４に係る発明の構成要件である「ビームエキスパンダは、シリンドリカルレンズを用いて構成され、前記シリンドリカルレンズの機械軸は前記放電方向と略平行にされる」という構成要件を有していない。
　この点について、特許異議申立人は、「ビームエキスパンダとして、プリズムの代わりにシリンドリカルレンズを用いること、及び、そのシリンドリカルレンズの機械軸を放電方向と略平行に配置することは、当業者にとって単なる設計事項である」と主張するが、これらが単なる設計事項であることを示す証拠は挙げていない。そして、これらが周知・慣用の技術であるとの証拠もないから、特許異議申立人の主張は採用できない。
　したがって、「サイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザー」が公知であることを証明するための証人尋問を行う必要性は認められず、これらが仮に公知であったとしても、請求項４に係る発明は、「サイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザー」の発明と同一、もしくはこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
（２）請求項７ないし請求項１０に係る発明について
　請求項７ないし請求項１０に係る発明と甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明とを対比・判断すると、前述の如く、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明は、「グレーティングの線引方向とビームエキスパンダのビーム拡大方向とが放電励起のための放電方向とそれぞれ略垂直となるように前記グレーティングおよびビームエキスパンダを配置」しているとはいえないし、また、甲第１号証ないし甲第３号証には、請求項７ないし請求項１０に係る発明の構成要件である「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い」、「前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した」という点について記載されておらず、示唆されてもいないから、請求項７ないし請求項１０に係る発明は、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明と同一、もしくはこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　また、請求項７ないし請求項１０に係る発明と前記サイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザーに関する発明とを対比すると、これら狭帯域エキシマレーザーは、請求項７ないし請求項１０に係る発明の構成要件である「光共振器のフロントミラーとしてシリンドリカルミラーを用い」、「前記シリンドリカルミラーをその機械軸が前記放電方向と略平行になるように配置した」という構成要件を具備していない。
　この点について、特許異議申立人は、「フロントミラーとして、シリンドリカルミラーを用い、このシリンドリカルミラーの機械軸を放電方向と略平行に配置することは、当業者にとって単なる設計事項である」と主張するが、これらが単なる設計事項であることを示す証拠は挙げていない。そして、これらが周知・慣用の技術であるとの証拠もないから、特許異議申立人の主張は採用できない。
　したがって、「サイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザー」が仮に公知であったとしても、請求項７ないし請求項１０に係る発明は、「サイマー社及びラムダ・フィジック社の製造した狭帯域エキシマレーザー」の発明と同一、もしくはこれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものということはできない。
　
６．むすび
  以上のとおりであるから、本件請求項４、請求項７ないし請求項１０に係る発明の特許は、特許異議申立ての理由及び証拠によっては取り消すことができない。
  また、他に本件請求項４、請求項７ないし請求項１０に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年９月５日（２００１．９．５）