【事件の表示】
　特許第３０４７４１４号「スクリーン印刷装置および方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４７４１４号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０４７４１４号の請求項１、２に係る発明は、平成１年１２月２５日に特許出願され、平成１２年３月２４日にその特許権の設定登録がなされ、その後、芝崎京子より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年４月１０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
ア．訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１の記載について、「被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を撮像する撮像手段と、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定するスクリーン印刷装置。」とあるのを、「被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えたスクリーン印刷装置。」と訂正する。
イ．訂正事項２
　特許請求の範囲の請求項２の記載について、「上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンと比較解析して、印刷パターンの良否を判断する解析手段とを備えた請求項１記載のスクリーン印刷装置。」とあるのを、「前記光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンとを比較解析して、印刷パターンの良否を判断する前記解析手段とを備えた請求項１記載のスクリーン印刷装置。」と訂正する。
ウ．訂正事項３
　明細書第５頁第１４行〜第６頁第１７行の「〔課題を解決するための手段〕　課題を解決するために本発明は、被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を撮像する撮像手段と、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定するスクリーン印刷装置であり、更に上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンと比較解析して、印刷パターンの良否を判断する解析手段とを備えたものである。　作用」とあるのを、「〔課題を解決するための手段〕　課題を解決するために本発明は、被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えたスクリーン印刷装置であり、更に光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンとを比較解析して、印刷パターンの良否を判断する前記解析手段とを備えたものである。　〔作用〕」と訂正する。
エ．訂正事項４
　発明の名称、明細書第２頁第７行、第１９頁第４行、第１１行の「および方法」を削除する。
オ．訂正事項５
　明細書第２頁第１０行〜第１１行の「およびスクリーン印刷方法」を削除する。
カ．訂正事項６
　明細書第５頁第１１行〜第１２行の「、および、スクリーン印刷方法」を削除する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び特許請求の範囲の拡張・変更の存否
　上記訂正事項１に関連する記載として、願書に添付した明細書には、「光ビーム照射手段６２は、・・・直線的な平行光を照射できるようになっている。」（第１０頁第１０行〜第１４行）、「撮像手段６３は、ＴＶカメラのように２次元画像を撮像できる」（第１０頁第１８行〜第１９行）、「撮像手段６３で撮像された光ビームの反射画像線６５は、電気信号に変換されて、マイクロコンピュータ等の解析手段７０に送られる。解析手段７０では、正しい印刷パターン４１の場合に得られる反射画像線と実際に得られた反射画像線６５とを比較して、形成された印刷パターン４１の良否を検査判定する。」（第１１頁第１７行〜第１２頁第３行）、「反射画像線６５のズレ量Ｘは印刷パターン４１の高さ（Ｚ方向寸法）を表し、凹形状部の長さ（被印刷体１０の幅方向）は印刷パターン４１の幅（Ｙ方向寸法）を示し、反射画像線６５が被印刷体１０の表面を走査していく間に、ズレの始まる位置とズレが無くなる位置の距離が印刷パターン４１の長さ（Ｘ方向寸法）を示すことになる。・・・解析手段７０では、上記のようにして得られた印刷パターン４１の反射画像線６５の撮像データ７１と、予め判っている正しい印刷パターン４１から得られる反射画像線６５のマスクデータ７２とをコンパレータ７３で比較し、撮像データ７１がマスタデータ７２と一致しているか否か、すなわち印刷パターン４１の良否を判定して、その検査結果を信号出力７４として取り出す。解析手段７０におけるデータ処理や信号の入出力処理は、マイクロコンピュータの演算機能や記憶機能を利用して適当な処理をプログラミングしておけばよい。」（第１３頁第９行〜第１５頁第１５行）と記載されている。
　そうすると、上記訂正事項１は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内において、「光ビーム」を「直線的な平行光となる光ビーム」に技術的に限定し、「光ビームの反射画像を撮像する撮像手段」を「光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段」に技術的に限定し、「撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する」を解析手段で測定することに技術的に限定し、「撮像手段と」を「撮像手段とを備え」と変更したものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　上記訂正事項２に関連する記載として、願書に添付した明細書には、「光ビームは、被印刷体１０に対して、走行方向と直交する方向の幅全体に照射され、」（第１１頁第３行〜第４行）と記載されている。
　そうすると、上記訂正事項２は、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内において、「前記光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射」することに限定し、「印刷パターンと」を「印刷パターンとを」に変更し、「解析手段」を「前記解析手段」に変更したものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　また、上記訂正事項３は、上記訂正事項１，２と整合を図るもので、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　更に、上記訂正事項４〜６は、特許請求の範囲に記載された発明が「スクリーン印刷装置」であるから、「スクリーン印刷方法」に関する記載を削除したものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当する。
　よって、いずれも、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立についての判断
（１）申立の理由の概要
　特許異議申立人芝崎京子は、甲第１号証（特開昭６１−９７５０５号公報）、甲第２号証（特開昭６３−２１２８０６号公報）、甲第３号証（特開昭５９−１７１８０６号公報）、甲第４号証（特開昭６２−２９９７０６号公報）を提示して、請求項１，２に係る発明の特許は、その明細書が特許法第３６条第３項、第４項第１号、第２号、第２９条第１項柱書の規定に適合していない出願に対してなされたものであり、取り消されるべき旨主張している。
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、特許第３０４７４１４号の請求項１、２に係る発明（以下、「本件発明1」、「本件発明２」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に記載されたとおりのものである。（上記２．（１）ア．訂正事項１、イ．訂正事項２参照）
（３）引用刊行物等
（３−１）当審で先の取消理由通知で通知した特開昭５９−１８６３９１号公報（以下、「刊行物１」という。）、特開昭６２−２９９７０６号公報（以下、「刊行物２」という。）には、以下のような事項が記載されている。
ア．刊行物１
　「印刷機構１２はスクリーン印刷機構からなり、・・・このステージ２の上方に配設され周囲を版枠６によって支持されるスクリーン３と、このスクリーン３の上面に接触して版枠６の一端から他端に亘ってペースト４をスクリーン３に押し付けながら移動するスキージ５と、からなっている。」（第２頁左下欄第１８行〜右下欄第４行）
　「パターン検査機構１３は印刷直後の印刷層（ペースト層）８をテレビカメラ１８で撮映し、・・・制御装置１７ではこの検査パターン２１と基準パターン２２とを比較処理して第６図に示すような印刷層のかすれ２３や断線２４があるか否かを判定する。」（第２頁右下欄第１１行〜第２０行）
　「基板１上に配線層となる印刷層８を導電性のペースト４を用いて形成する方法について、・・・基板１は搬送機構９によって印刷ステーションに運ばれ、このステーションでスクリーン印刷によって印刷される。つぎに、印刷が終了した基板１は検査ステーションに運ばれ、このステーションで印刷パターンを検査される。テレビカメラ１８で撮映され、・・・この検査パターン２１と第５図に示す基準パターン２２との比較判定が制御装置１７においてなされ、かすれ２３や断線２４の有無が検査される。」（第３頁左上欄第２０行〜右上欄第１９行）
イ．刊行物２
　「本発明は、例えば、ＩＣやＬＳＩ等のウェハ上に形成されている微細パターン、プリント板の配線パターン、それにプリント板上におけるチップ部品の実装状態等を光学的に自動検査するパターン検査装置に関する。」（第２頁左下欄第１３行〜第１７行）
　「第１図（ａ）に示した光偏向手段１ａによって、第１図（ｂ）に示すようにライン状の光ｌ１を矢印Ａ方向にｔ０からΔｔだけ走査したとすれば、被検物Ｍ上に形成される光切断線は、上記走査に応じて例えば、Ｌ１からＬ５のように順次移動することになる。これらの光切断線Ｌ１〜Ｌ５をラインセンサ２ａで一定方向から順次観測すれば、その検知方向Ｎと交わった部分だけが検知されていくことになる。この結果、例えば第１図（ｂ）に示したような三次元のパターンＰの場合は、ライン状の光ｌ１の１回の走査で、光切断線Ｌ１〜Ｌ５に対して同図（ｃ）に示すような検知画像ｍ１〜ｍ５からなる１つの光切断画像が得られる。このような光切断画像を被検物Ｍの各位置ごとに得て、これらを全体的に見れば、パターンＰの三次元形状を正確に検出することができる。」（第３頁右上欄第７行〜左下欄第３行）
　「被検物Ｍ上には、上記光ｌ１４の走査に応じて、第１図（ｂ）に示したように、順次光切断線が形成される。なお、被検物Ｍはｘｙテーブル２６上に載置され、ＣＰＵ２３の指示に基づきテーブル駆動部２５によって、上記光ｌ１４のライン方向と直交する方向に順次移動されている。被検物Ｍが所定距離移動する毎に、超音波偏光器１５によって光ｌ１４を一回走査するようにする。・・・散乱光成分ｌ１５、ｌ１６を、それぞれミラー１８，１９で反射させて、ＣＣＤラインセンサ等のラインセンサ２０，２１に与える。・・・第１図（ｂ）に示したと同様に、その検知方向と交わった部分からの反射光だけが、順次ラインセンサ２０、２１で検知されていく。この結果、ライン状の光ｌ１４の１回の走査に対して各ラインセンサ２０、２１で順次得られた複数ライン分の検知信号を並べると、１つの光切断画像が得られる。この光切断画像は、被検物Ｍ（パターンＰを含む）をラインセンサ２０、２１の検知方向（斜面）で切断した場合の断面形状に相当する。・・・１回の走査毎に得られる光切断画像は、被検物Ｍの移動に伴い、第４図（ａ）に示すようにメモリプレーンＭＰとして順次画像処理回路２２に貯えられる。ここで、メモリプレーンＭＰ中の光切断画像はいずれも、上述したようにラインセンサ２０、２１の検知方向である斜面に沿って切断された場合の断面形状に相当するものなので、この画像を、ライン状の光ｌ１４の入射方向である垂直面に沿った断面形状となるように、すなわち被検物Ｍ上の同一位置に形成された光切断線と同一の光分布を持つように、画像を変換する処理を行う。・・・例えば任意のｎ枚目のメモリプレーンＭＰｎにおけるｎ番目の画像ラインとｎ＋１枚目のメモリプレーンＭＰｎ＋１におけるｎ＋１番目の画像ラインとが、ちょうど同一の垂直面に沿った異なる高さを検知して得られる画像ラインとなるように、・・・アドレスコントローラ２２ａの指示に従って、例えばｎ枚目のメモリプレーンＭＰｎにおけるｎ番目の画像ラインを順次ｎ＝１からＮまで引出し、これらを合成して一枚の画像を得る。このようにして得られた光切断画像は、垂直面に沿った断面形状となり、１つの光切断線と同一の光分布を持つ。次に第４図（ｂ）において、上記のようにして得られた各位置毎の光切断画像から高さ判別回路２２ｂで各位置の高さを求めることによりパターンＰの三次元形状を得て、次にパターン判別回路２２ｃでパターンＰの欠陥等に関する判別を行う。」（第３頁右下欄第８行〜第４頁右下欄第１４行）
（３−２）対比・判断
ア．請求項１に係る発明について
　請求項１に係る発明と上記刊行物１及び２に記載の発明とを対比すると、両刊行物に記載の発明は、請求項１に係る発明を特定する事項である、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像し、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する事項を備えていない。
　敷衍すると、上記刊行物１に記載の発明には、反射画像線から測定時における印刷パターンの各寸法を測定するという技術思想がなく、上記刊行物２に記載の発明には、時間経過毎にラインセンシングした画像をつなぎ合わせてパターンの形状を知ることについて記載されているだけであるから、時間経過とともに形状が変化してしまうと撮像画像の形状は時間経過毎に変化した印刷パターンの寄せ集めの形状となり、正確な印刷パターンの寸法を検査することができず、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定するものではない。
　また、申立人芝崎京子が提出し、当審で通知していない証拠である甲第１号証乃至甲第３号証についても、請求項１に係る発明を特定する事項である、被印刷体に印刷された印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像し、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する事項を備えていない。
　そして、当該事項により本件請求項１に係る発明は、「印刷パターンの良否の判定検査を正確に行うことができる。」という顕著な効果を奏するものであり、請求項１に係る発明が上記刊行物１乃至２及び甲第１号証乃至甲第３号証に記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
イ．請求項２に係る発明について
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を更に限定したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記刊行物１及び２に記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
（４）異議申立人の主張について
（４−１）３６条違反について
　異議申立人は、
「「幅」の測定をするという目的を達成するためにどのような手段、方法を採用してこれを解決するのか、その具体的手段あるいはその方法、作用が当業者が容易にその実施をすることができる程度に記載されているとは到底いえないから、その記載は、特許法第３６条第３項に規定する要件を満たしていないものといわねばならない。」、
「「幅」に関してどのように測定するのか当業者にとって実施する事ができる程度に記載されているとは言えない。・・・発明の詳細な説明の記載によっても何ら具体的構成が把握できない以上、本件発明の目的、効果を達成する事ができるものとは言えない。即ち、本件発明の技術思想たる発明を把握する事ができない。従って、請求項１は特許を受けようとする発明が発明の詳細な説明に記載されておらず本件発明は特許法第３６条第４項第１号の規定に適合しない。請求項２も請求項１を引用しており、同様の理由で、特許法第３６条第４項第１号の規定に適合しない。」、
「「高さ」を「ズレＸ」からどのようにして求めるのか、あるいは「幅」を「ズレＸ」からどのようにして求めるのかが明らかでないため、請求項１の記載によっては、「高さ」「幅」を測定する構成要件を具体的に特定する事はできないといわなければならない。又、「高さ」「幅」を測定する構成は、詳細な説明に当業者がその実施をすることができる程度に示されているものとは認めることはできない　よって、本件特許の請求項１は、特許を受けようとする発明の構成に書く事ができない事項のみを記載した項に区分してあること。と規定する特許法第３６条第４項２号の規定に適合しない。請求項２も請求項１を引用しているため、請求項１と同じ理由で、特許法第３６条第４項第２号の規定に適合しない。」
と主張しているが、各寸法は直線的なズレ量Ｘや凹形状の長さであるから、通常の画像処理分野における技術を適用して解析手段による演算、データ処理で求めること（例えば、各寸法のマスターデータと撮像データとの比較演算処理や、画素数と寸法との関係をプログラミングしておき撮像画素数から寸法への変換処理を行うことにより求める）は当業者であれば容易にできることである。
　すなわち、発明の詳細な説明において説明されている直線的なズレ量Ｘや凹形状の長さを測定するという技術内容の開示があれば当業者が種々の技術を用いることにより「幅」「高さ」を測定することができるものである。
　したがって、この主張は採用できない。
　また、異議申立人は、
「「撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する」との構成要件と「検出手段」がどのような技術上の有機的な結合関係にあるのかは全く明らかでなく、この点が明らかにならなければ本件特許発明の目的、効果を達成する事ができるものとはいえない。従って、請求項１は不明瞭記載である。」
と主張しているが、上記２．（１）ア．訂正事項１により、「検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えた」と訂正され、「撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する」との構成要件と「検出手段」の結合関係が明らかとなった。
　したがって、この主張も採用できない。
　さらに、異議申立人は、
「本件特許発明の「発明の名称」は「スクリーン印刷装置および方法」と記載されているが、「特許請求の範囲」には「方法の発明」が記載されていない。又、明細書全体を見ても「発明の詳細な説明」の項の「産業上の利用分野」及び「発明の効果」の欄において「方法の発明」が記載されているかのような趣旨で記載されており、明細書全体が不明瞭となっている。」
と主張しているが、上記２．（１）エ．訂正事項４乃至カ．訂正事項６により明確となった。
　したがって、この主張も採用できない。
（４−２）２９条柱書違反について
　異議申立人は、
「本件の請求項１，２に係る特許発明の技術内容は、当該技術分野における通常の知識を有する者が反復実施して目的とする技術効果をあげる事ができる程度まで具体的客観的なものとして構成されておらず、発明として未完成のものであって、特許法第２９条第１項柱書における「発明」に該当しない」
と主張しているが、上記（４−１）に記載したように、発明の詳細な説明において説明されている直線的なズレ量Ｘや凹形状の長さを測定するという技術内容の開示があれば当業者が種々の技術を用いることにより「幅」「高さ」を測定することができるものであるから、当該技術分野における通常の知識を有する者が反復実施して目的とする技術効果をあげる事ができる程度まで具体的客観的なものとして構成されている。
　したがって、この主張も採用できない。
　したがって、本件の発明の詳細な説明は、特許法第３６条第３項に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるとすることができず、本件請求項１，２に係る発明の特許は、特許法第３６条第４項第１号、第２号に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるとすることができず、特許法第２９条第１項柱書に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるとすることができない。
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由及び取消理由通知の理由によっては本件請求項１，２に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１，２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１，２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改定する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月２２日（２００１．５．２２）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
（イ）訂正事項１
　特許請求の範囲第１項に係る記載を、
「被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えたスクリーン印刷装置。」に訂正する。
（ロ）訂正事項２
　特許請求の範囲第２項に係る記載を、
「（２）前記光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンとを比較解析して、印刷パターンの良否を判断する前記解析手段とを備えた請求項１記載のスクリーン印刷装置。」に訂正する。
（ハ）訂正事項３
明細書第５頁第１４行〜第６頁第１７行の「〔課題を解決するための手段〕……作用」を、
「〔課題を解決するための手段〕
　課題を解決するために本発明は、被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えたスクリーン印刷装置であり、更に光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンとを比較解析して、印刷パターンの良否を判断する前記解析手段とを備えたものである。
　〔作用〕」に訂正する。
（ニ）訂正事項４
　発明の名称、明細書第２頁第７行、第１９頁第４行、第１１行の「および方法」を、削除する。
（ホ）訂正事項５
　明細書第２頁第１０行〜第１１行の「およびスクリーン印刷方法」を、削除する。
（ヘ）訂正事項６
　明細書第５頁第１１行〜第１２行の「、および、スクリーン印刷方法」を、削除する。
（５４）【発明の名称】
スクリーン印刷装置
（５７）【特許請求の範囲】
（１）被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から
直線的な平行光となる
２次元画像として
を備え
解析手段とを備えた
（２）
前記光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、
を
前記
【発明の詳細な説明】
　〔産業上の利用分野〕
　この発明は、スクリーン印刷装置に関し、詳しくは、配線回路板等の精密電子部品の製造工程におけるハンダペーストのパターン形成等に利用されるスクリーン印刷装置に関するものである。
　〔従来の技術〕
　配線回路板の製造工程において、ハンダペーストや導電ペースト、レジスト材料等のパターン形成を能率的に行う方法として、スクリーン印刷法が採用されている。具体的には、例えば、スクリーン印刷法で配線回路基板にハンダペーストをパターン形成した後、ハンダペーストの上に必要な電子部品を載せ、いわゆるリフローにより溶融させたハンダペーストで電子部品を配線回路に接続搭載することが行われている。
　上記ハンダペースト等の機能性材料の印刷形成においては、印刷パターンの精度が最終製品の品質や性能に大きな影響があるため、印刷品質の向上および安定化が特に要求されている。
　〔発明が解決しようとする課題〕
　スクリーン印刷法では、ハンダペースト等の印刷剤の性状や供給量の不適正、印刷スクリーンの汚れなどを原因として印刷不良が発生する。通常のスクリーン印刷法では、印刷スクリーンの傷みや汚れを考慮して、約２０００回の印刷で版交換するようにしているが、印刷条件が不適正であったり、突発的な原因が発生すれば、版交換の前に印刷不良が発生することも多い。印刷不良が発生すれば、その印刷不良が発生した製品は使用できないとともに、印刷不良の原因を取り除かなければ、それ以後に印刷する製品は全て不良品となる。
　ところが、従来技術では、スクリーン印刷法で印刷された配線回路基板等は、そのまま前記したリフロー工程もしくは電子部品の実装工程に供給されていた。そして、電子含品を実装した配線回路基板に対して、導通試験等の電気的な試験を行ったときに不良品が出ることによって、初めてスクリーン印刷の印刷不良が発見されていた。
　このようにして印刷不良が発見された段階では、不良が発見された配線回路基板を廃棄するだけでなく、不良が発見された時点までに電子部品の実装工程等を終了している配線回路基板も当然印刷不良がある可能性が高いので廃棄しなければならず、高価な電子部品を無駄にしたり、それまでの作業が無駄になるという問題があった。また、電子部品の実装工程には入っていなくても、印刷工程を終了した配線回路基板は全て廃棄しなければならない。すなわち、印刷工程の終了後、次の工程がかなり進行した段階まで印刷不良の発見が行われず、印刷工程と印刷不良の発見が時間的に大幅にずれているので、この時間のズレによる廃棄製品の無駄および作業時間の無駄は極めて重大なものであった。
　さらに、前記したような電気的な試験では発見できない印刷不良があった場合には、配線回路板を最終的な機器や製品に組み込んで、使用しているうちに、印刷不良による故障や不都合が発生することもあり、最終製品の信頼性や品質性能を低下させる原因にもなる。
　そこで、この発明の課題は、印刷不良に伴う廃棄製品の発生や無駄な作業を行うことがないようにして、スクリーン印刷を含む各種製造工程の経済性を高め、最終的な製品の品質および信頼性の向上を図ることのできるスクリーン印刷装置を提供することにある。
　〔課題を解決するための手段〕
　課題を解決するために本発明は、被印刷体の上に近接して配置される印刷スクリーンと、印刷スクリーン上に供給されたペースト状印刷剤を印刷スクリーンを通して被印刷体の表面に塗布し印刷パターンを形成する塗布手段と、前記被印刷体に印刷された印刷パターンの良否を印刷直後に検査する検査手段とを備えたスクリーン印刷装置において、前記検査手段が、被印刷体の印刷パターンに対して斜め方向から直線的な平行光となる光ビームを照射する光照射手段と、印刷パターンを含む被印刷体からの光ビームの反射画像を２次元画像として撮像する撮像手段とを備え、撮像された画像に基づいて測定時における前記印刷パターンの高さと幅と長さの各寸法を測定する解析手段とを備えたスクリーン印刷装置であり更に光照射手段が被印刷体の送り方向に直交する方向であり、かつ被印刷体の全幅に光ビームを照射し、上記寸法測定により得られた印刷パターンと、所定の印刷パターンとを比較解析して、印刷パターンの良否を判断する前記解析手段とを備えたものである。
　〔作用〕
　スクリーン印刷による印刷工程を終えた被印刷体に対して、形成された印刷パターンの良否を検査した後、次の工程に供給するようにしておき、前記検査工程で印刷不良が発見されれば、直ちに印刷工程の修正を行うようにすれば、印刷不良品が、後工程に送られることがないとともに、印刷工程を常に良好な状態で行うことができる。
　スクリーン印刷装置に、通常のスクリーン印刷作業を行う印刷部に隣接して、印刷パターンの検査手段が設けられていれば、前記したスクリーン印刷工程後の印刷パターンの良否検査が能率的に行える。
　印刷パターンの良否を検査する手段として、前記したような光ビーム照射手段と撮像手段および解析手段を備えておけば、被印刷体の表面に凸状に形成された印刷パターンに斜め方向から照射された光ビームは、印刷パターンの存在およびその高さによって、反射位置が違ってくるので、光ビームの反射光を撮像手段で撮像し、撮像された反射光を解析することによって、印刷パターンの形状を知ることができる。
　印刷パターンの形状が判れば、これを目的とする正しい印刷パターンの形状と比較することによって、実際に印刷された印刷パターンの良否を判定検査することができる。
〔実　施　例〕
　ついで、この発明の実施例を、図面を参照しながら以下に説明する。
　第１図はスクリーン印刷装置の概略構造を示しており、図中右側に印刷部Ａが設けられ、左側に検査手段Ｂが設けられている。
　印刷部Ａは、通常のスクリーン印刷装置の構造と同様のものであり、配線回路基板等の被印刷体１０を載置する基台２０の上方に、スクリーン枠３０が配置され、スクリーン枠３０の内側には、ステンレスの薄板やメッシュからなる印刷スクリーン３１が貼られている。印刷スクリーン３１は、所望の印刷パターンに合わせてパターン形成されている。スクリーン枠３０は、基台２０の上に載置された被印刷体１０の表面に接触しない程度に近接して配置される。
　このような構造の印刷部Ａでスクリーン印刷を行うには、印刷スクリーン３１の上に、ハンダペースト等の印刷剤４０を供給し、ゴム等からなるスキージ５０で印刷剤４０を印刷スクリーン３１全体に延ばしながら、印刷スクリーン３１の形成パターンを通して被印刷体１０の表面に印刷剤４０を塗布する。被印刷体１０の表面には、印刷剤４０による所定の印刷パターン４１が凸状に形成される。
　印刷パターン４１が形成された被印刷体１０は、基台２０から検査手段Ｂへと送られる。被印刷体１０の移送手段は、通常の加工装置等で用いられている各種の部品取扱機構が採用される。
　検査手段Ｂは、通常の印刷分野で用いられている検査装置や各種製造分野における形状検査装置が利用できるが、以下に説明する構造のものが好ましいものである。
被印刷体１０を載置して一定方向に走行するコンベア機構６０を備えている。コンベア機構６０は、パルスモータ６１等の駆動手段で駆動されている。パルスモータ６１は、コンベア機構６０の走行すなわち被印刷体１０の移動を正確かつ迅速に等速送りすることができ、後述する画像の検査処理と同期させることによって、検査精度を高めることができる。
　但し、パルスモータ以外のＡＣモータその他、通常の駆動手段を採用することもできる。また、コンベア機構６０は、被印刷体１０を載置して一定方向に等速送りできれば、通常の各種製造分野で採用されている搬送手段に変更することもできる。
　コンベア機構６０の上方には、被印刷体１０の表面に斜め方向から光ビームを照射する光ビーム照射手段６２が設けられている。光ビーム照射手段６２は、半導体レーザ等の光ビーム発生器と光学系等からなり、コンベア機構６０の走行方向と直交する方向に直線的な平行光を照射できるようになっている。
　光ビーム照射手段６２から被印刷体１０の表面に照射された光ビームの反射光を捉えることの出来る位置には、ＴＶカメラ等の撮像手段６３が設けられている。撮像手段６３は、ＴＶカメラのように２次元画像を撮像できるもののほか、ラインイメージセンサのように１次元の画像情報を得るものでもよい。
　第２図に示すように、光ビーム照射手段６２で照射された光ビームは、被印刷体１０に対して、走行方向と直交する方向の幅全体に照射され、光ビームの反射画像線６５が被印刷体１０の幅全体に表れるので、撮像手段６３は前記反射画像線６５を撮像できるように被印刷体１０の幅全体を撮像範囲に設定する。この実施例では、２台のＴＶカメラ６３を並べて、それぞれの撮像範囲６４，６４が一部重なった状態で連続して、被印刷体１０の全幅を覆うようにしている。但し、ＴＶカメラ６３の撮像範囲６４が広ければ、１台のＴＶカメラ６３で被印刷体１０の全幅をカバーすることも可能である。撮像手段６３がラインイメージセンサの場合には、ラインイメージセンサを被印刷体１０の全幅にわたって設けておけばよい。
撮像手段６３で撮像された光ビームの反射画像線６５は、電気信号に変換されて、マイクロコンピュータ等の解析手段７０に送られる。解析手段７０では、正しい印刷パターン４１の場合に得られる反射画像線と実際に得られた反射画像線６５とを比較して、形成された印刷パターン４１の良否を検査判定する。検査結果は、適宜のディスプレイに表示したり、印刷不良の発生を警告する信号を発生したり、印刷部Ａの作業を中止させたりする等の形で出力される。
　検査手段Ｂにおける印刷パターン４１の検査機構を、第２図および第３図によって詳しく説明する。
　第３図に示すように、被印刷体１０の表面に形成された印刷パターン４１は、被印刷体１０の平坦な表面に凸状に形成されている。この印刷パターン４１に斜め方向から光ビームｂを照射すると、被印刷体１０の表面と、印刷パターン４１の形成位置では、光ビームｂの反射位置が変わってくる。すなわち、印刷パターン４１における反射光ｒ１は、被印刷体１０の表面での反射光ｒ０よりも手前で反射することになる。この反射光ｒ０、ｒ１のズレＸは、印刷パターン４１の高さによって違ってくる。したがって、この反射光ｒ０、ｒ１のズレＸを測定すれば、印刷パターン４１の存在およびその高さが判ることになる。
　これを、第２図でみれば、光ビームの反射画像線６５が、被印刷体１０の表面では連続した１直線状になり、印刷パターン４１の形成位置では、反射画像線６５がずれて屈曲した凹形状を示す。この反射画像線６５の局部的な凹形状部の存在位置およびズレ量Ｘから印刷パターン４１の存在および形状が判る。すなわち、反射画像線６５のズレ量Ｘは印刷パターン４１の高さ（Ｚ方向寸法）を表し、凹形状部の長さ（被印刷体１０の幅方向）は印刷パターン４１の幅（Ｙ方向寸法）を示し、反射画像線６５が被印刷体１０の表面を走査していく間に、ズレの始まる位置とズレが無くなる位置の距離が印刷パターン４１の長さ（Ｘ方向寸法）を示すことになる。
　なお、上記のような反射画像線６５を、被印刷体１０の幅方向全長にわたって形成するには、光ビーム照射手段６２から、被印刷体１０の幅よりも広い線状の光ビームを照射すれば、反射画像線６５の全長を同時に形成できる。また、点状の光ビームを被印刷体１０の幅方向に走査しながら照射することによって線状の光ビームを構成することができる。
　被印刷体１０はコンベア機構６０で走行させられながら、光ビームを照射されるので、光ビームの反射画像線６５が被印刷体１０を走行方向に沿って順次走査することなり、被印刷体１０の全面における印刷パターン４１の形状を捉えることができるようになっている。
　なお、この実施例では、光ビームの照射位置すなわち反射画像線６５の形成位置は固定し、コンベア機構６０すなわち被印刷体１０を走行させることによって、被印刷体１０の走行方向に反射画像線６５を走査するようにしているが、これとは逆に、被印刷体１０を固定しておき、光ビームの照射手段６２を作動させて反射画像線６５を走査移動させることもできる。さらに、被印刷体１０を印刷部２０の基台上に載置したまま、印刷スクリーン３１を移動させて被印刷体１０の上方を開放し、つぎに光ビームの照射手段６２を被印刷体１０の上に配置して光ビームを走査させる方法でも実施できる。
　第２図に示すように、解析手段７０では、上記のようにして得られた印刷パターン４１の反射画像線６５の撮像データ７１と、予め判っている正しい印刷パターン４１から得られる反射画像線６５のマスタデータ７２とをコンバレータ７３で比較し、撮像データ７１がマスタデータ７２と一致しているか否か、すなわち印刷パターン４１の良否を判定して、その検査結果を信号出力７４として取り出す。解析手段７０におけるデータ処理や信号の入出力処理は、マイクロコンピュータの演算機能や記憶機能を利用して適当な処理をプログラミングしておけばよい。
　以上に説明したようにして検査手段ｂで印刷パターン４１を検査し、印刷不良が発生すれば、この被印刷体１０には不良マークを打刻するなどして工程ラインから外すとともに、直ちに印刷部Ａにおける印刷工程の修正処理を行う。印刷部Ａにおける印刷不良の原因としては、印刷剤４０の不足や印刷スクリーン３１の目づまり、スキージ５０の動作不良、印刷圧力の不適正、その他があり、それによる印刷不良の現象としては、カスレやライン切れ、膜厚不良、パターンズレ等が生じる。そして、上記のような印刷不良を解消する対策としては、ペースト補給や版交換、印刷スクリーン３１のクリーニング、スキージ押込量の調整等が考えられる。これらの、印刷不良の現象とその原因および必要な対策の相関関係を予め見出しておけば、前記した検査によって得られた反射画像線６５を解析手段７０で解析して、印刷不良の原因を判断し、その原因に応じた対策をディスプレイに表示させたり、印刷スクリーンの清掃や版交換等の対策を自動的に実行させるように制御することも可能である。
　つぎに、前記した印刷不良の原因と対策の具体例について説明する。印刷不良のひとつに印刷パターン４１のニジミがあり、その原因は、印刷スクリーン３１の裏面に印刷剤４０が付着するためであることが判っている。そこで、このような印刷スクリーン３１裏面の汚れによる印刷不良を無くす対策が必要となる。従来のスクリーン印刷法では、印刷スクリーン３１の裏面にロール紙や布等を当てて汚れを拭い取る方法が採用されている。ところが、この方法は、印刷スクリーン３１として、第４図に示すようなメッシュ構造の印刷スクリーンを使用した場合、メッシュ３４の裏面に膜形成されたパターン形成用のエマルジョン層３５が、汚れとともに拭い去られてしまったり、パターンのエッジが壊れてしまうという欠点がある。メッシュ構造の印刷スクリーンは、金属薄板をエッチングして形成するプレート構造の印刷スクリーンに比べて、微細なパターン形成が出来るため、例えば、高密度配線回路板の製造にはメッシュ構造の印刷スクリーンを用いることが多く、このような高密度印刷に適したメッシュ構造の印刷スクリーンに対して、従来の汚れを拭い取る方法が適用できないことは大きな問題であった。
　そこで、第５図および第６図に示すような汚れ取り手段を採用すれば、上記のような問題を解消することが出来る。すなわち、第５図に示すように、裏面に印刷剤４０が付着して汚れた印刷スクリーン３１に対して、金属板３７の表面に粘着層３８が形成された汚れ取り具３６を、印刷スクリーン３１の裏面に押し当てるようにする。つぎに、第６図に示すように、印刷スクリーン３１の上面からスキージ５０を押し当て、印刷スクリーン３１の表面に沿って移動させた後、汚れ取り具３６を印刷スクリーン３１の裏面から引き剥がす。そうすると、印刷スクリーン３１の裏面に付着していた印刷剤４０は、汚れ取り具３６の粘着層３８に付着して取り去られる。この方法であれば、裏面にエマルジョン層３５を有するメッシュ構造の印刷スクリーン３１であっても、エマルジョン層３５が剥がれて印刷パターンが壊れるような問題が生じない。
　上記した汚れ取り具３６において、粘着層３８の形成手段として、金属板３７の表面に両面粘着テープを貼着しておけば、製造容易であるとともに、使用済みの両面粘着テープを貼り換えるだけで粘着層３８を新しくすることができる。
　以上に説明した、この発明にかかるスクリーン印刷装置は、前記した配線回路板の製造工程におけるハンダペーストの印刷形成だけでなく、各種電子部品や精密部品の製造分野において、導電ペーストやレジスト材料その他の機能性材料をパターン形成する場合にも適用できる。
〔発明の効果〕
　以上に述べた、この発明にかかるスクリーン印刷装置によれば、スクリーン印刷を終了した段階で、次の工程に移る前に、印刷パターンの検査を行い、その検査結果を直ちに印刷工程にフィードバックすることができるので、印刷不良の発生を最小限に押えることができるとともに、印刷不良を知らずに後工程を行うような作業の無駄がなくなる。その結果、印刷不良による後工程への影響を無くし印刷不良に伴う製品不良や品質性能の低下を無くすことができる。
　印刷パターンの検査手段として、前記した斜め方向の光ビーム照射手段と撮像手段とを組み合わせたものを用いれば、印刷パターンの良否の判定検査を印刷パターンに接触せずに迅速かつ正確に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明にかかる実施例のスクリーン印刷装置を示す概略構造図、第２図は検査手段の構成図、第３図は検査原理を示す説明図、第４図はメッシュ構造印刷スクリーンの断面図、第５図および第６図は印刷スクリーン用の汚れ取り具の構造および使用方法を順次示す断面図である。
Ａ……印刷部、１０……被印刷体、３１……印刷スクリーン、４０……印刷剤、４１……印刷パターン、５０……スキージ（塗布手段）、Ｂ……検査手段、６０……コンベア機構、６２……光ビーム照射手段、６３……撮像手段、６５……反射画像線、７０……解析手段