(57)【要約】共通の基材の一部として作製された個々の電子パッケージのシンギュレーションは、マスクパターニングおよび化学曝露を物理的ソーイングと組み合わせることによって達成される。本発明のシンギュレーション法の一つの態様では、基材のパッケージ間領域への最初の浅いソーカットが、下にある金属をその後の化学エッチング工程のために露出させる。他の態様では、別個のフォトレジストマスクを基材上にパターニングして、パッケージ間領域の金属を化学エッチングのために選択的に露出させることもできる。2008509541.tif 000003
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクをパターニングして、作製された共通のパッケージ基材のパッケージ間領域を露出させる工程と、
パッケージ間領域の金属を化学曝露によって除去する工程と、
その後、物理的ソーイングによってパッケージ間領域中に残存する材料を除去する工程とを含む、
パッケージシンギュレーション法。
【請求項２】
マスクをパターニングする工程が、最初にパッケージ間領域にソーイングを行い金属を露出させることを含む、請求項1記載の方法。
【請求項３】
露出される金属が銅を含む、請求項2記載の方法。
【請求項４】
過硫酸イオンおよび触媒の水溶液、ならびに硫酸および過酸化水素とリン酸との混合物からなる群より選択される化学エッチング液への曝露によって金属を除去する、請求項3記載の方法。
【請求項５】
マスクがプラスチック成形物および第二の金属を含む、請求項2記載の方法。
【請求項６】
第二の金属が、はんだおよびNi−Pd−Au積層膜からなる群より選択される、請求項5記載の方法。
【請求項７】
残存する材料がプラスチック成形物を含む、請求項5記載の方法。
【請求項８】
残存する材料をソーイングする前にパッケージにストリップテストを行う工程をさらに含む、請求項7記載の方法。
【請求項９】
残存する材料がプラスチック成形物上に位置する第二の金属をさらに含み、第二の金属が銀およびNi−Pd−Au積層膜からなる群より選択される、請求項7記載の方法。
【請求項１０】
第二の金属をソーイングした後かつプラスチック成形物をソーイングする前にパッケージにストリップテストを行う工程をさらに含む、請求項9記載の方法。
【請求項１１】
最初のソーイング工程の前に基材上にフォトレジスト層を形成する工程をさらに含む、請求項2記載の方法。
【請求項１２】
残存する材料がプラスチック成形物上に位置する第二の金属をさらに含み、プラスチック成形物をソーイングする前にパッケージ間領域内の第二の金属を化学エッチングする工程をさらに含む、請求項11記載の方法。
【請求項１３】
マスクをパターニングする工程が、フォトレジスト層を露光および現像することを含む、請求項1記載の方法。
【請求項１４】
金属を除去する工程が、表面金属を第一の化学エッチング液に曝露したのち、下にある金属を第二の化学エッチング液に曝露することを含む、請求項13記載の方法。
【請求項１５】
下にある金属が銅を含み、
第二の化学エッチング液が、過硫酸イオンおよび触媒の水溶液、ならびに硫酸および過酸化水素とリン酸との混合物からなる群より選択される、請求項14記載の方法。
【請求項１６】
表面金属が、はんだおよびNi−Pd−Au積層膜からなる群より選択される、請求項14記載の方法。
【請求項１７】
現像および露光したフォトレジストを除去する工程をさらに含む、請求項13記載の方法。
【請求項１８】
ウェット有機洗浄剤への曝露によってフォトレジストを除去する、請求項17記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
図1Aは、半導体素子を収容するために使用される従来のクワッドフラットリード（QFN）パッケージの下面平面図を示す。図1Bは、PCボード上に配置された図1Aの従来のQFNパッケージをB-B'線から見た断面図を示す。
【０００２】
QFNパッケージ100は、その上に作製された電気的に能動的な構造を有する半導体ダイ102を含む。ダイ102は、ダイ接着剤106により、下にある、リードフレーム104のダイパッド104a部に固着されている。図1Bに示すダイおよびリードフレームの相対的な厚さならびに本特許出願の他すべての図面は、原寸に比例して描かれてはいない。リードフレーム104はまた、ボンドワイヤ108を介してダイ102と電気的に連絡した非一体化ピン部104bを含む。ボンドワイヤ108はまた、ダイ102とダイパッド104aとの間の電気的連絡を可能にする。
【０００３】
プラスチック成形物109が、リードフレーム部104aおよび104bそれぞれの露出部104a'および104b'を除くすべてを封入している。本特許出願において、「封入」とは、周囲材料への素子の部分的または全体的な包み込み、典型的には、プラスチックのような周囲誘電材料内へのリードフレーム金属の包み込みをいう。
【０００４】
リードフレーム104の上面の一部は、電気めっきによって形成された銀（Ag）105を有している。リードフレーム104の下面は、鉛-スズ、スズまたは、無鉛製品の場合にはスズ合金のはんだ層を有している。リードフレーム104の上下両面は、QFNのための予備めっきされたリードフレームの電気めっきによって形成されたNi−Pd−AuまたはNi−Auの層107を有している。
【０００５】
QFNパッケージ100は、図示のように丸い形を有することが好ましいはんだ114によって下にあるPCボード112のトレース110に固着される。はんだ114の導電性が、リードフレーム部104aおよび104bと下にあるトレース110との間の電気信号の通過を可能にする。
【０００６】
前記QFNパッケージは通常、ダイパッドおよびリードを規定する、より大きな連続的な金属基材の一部として作製される。その後、個々のパッケージが、金属接続を切断するための物理的手段、たとえばソーイングにより、基材からシンギュレーションされる。
【０００７】
図1Cは、シンギュレーションの前のQFNパッケージの基材196の平面図を示す。図1Dは、個々のパッケージのダイパッドおよびリードを示す、図1Cを1D−1D'線から見た拡大断面図を示す。図1Dは、パッケージの成形基材196がソーテープ199によって支持されていることを示す。
【０００８】
図1Eは、図1Cを1E−1E'線から見たパッケージ間領域の断面図を示す。図1Eは、隣接するパッケージのリード104bが、タイバー198として知られる共通の一体金属片から形成されていることを示す。従来、個々のパッケージは、これら共通の金属タイバーを含むパッケージ間領域の「ソーストリート」192に沿った物理的ソーイングにより、共通の基材からシンギュレーションされる。1E−1E'線はそのようなソーストリートを表す。
【０００９】
図1Fは、従来のソーイングパッケージシンギュレーション法の最初の工程後の、予備めっきされたNi−Pd−Auリードフレームを有する図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。最初のソーカット160は、Ni／Pd／Auめっき105の全部および下にあるタイバー198のCu合金の一部をソーストリートに沿って除去するのに十分な幅162である。
【００１０】
図1Gは、パッケージシンギュレーション法の間にソーイングを継続した後の、図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。図1Gは、接続金属タイバーのCu合金の完全な除去を示し、隣接するパッケージ同士は、下にあるソーテープ199によって支持された共通のプラスチック成形物109のみによって基材中でつながっている。図1Gの個々のパッケージのリード104bはもはや共通の金属片を共有しないため、それらは互いに電気的に分離している。
【００１１】
図1Hは、従来のソーイングパッケージシンギュレーション法の最終工程後の、図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。図1H中、ソーイングは、プラスチック成形物109に連続的に加えられ、それにより、個々のパッケージを完全に物理的に切り離し、本時点でパッケージは下にあるソーテープ199によってのみつながっている。この段階でシンギュレーションされたパッケージ100をソーテープ199から取り外し、電子装置内に取り付けることができる。
【００１２】
図1C〜1Hで先に例示した従来のパッケージシンギュレーション法は、大量生産によるパッケージ製造を考慮したものである。しかし、この従来のシンギュレーション法は、潜在的な欠点を数多く抱えている。
【００１３】
そのような欠点の一つが比較的低いスループットである。具体的には、金属材料へのソーイング工程は、パッケージ内に収容された半導体構造の途切れのない電気的整合性を保証するために相当な注意を要する。特に、金属の高速ソーイングは、パッケージ内で入念に作製された電気接続を短絡または他の方法で乱すおそれのある残留電荷を発生させる可能性がある。したがって、金属のソーイングを伴う、従来のパッケージシンギュレーション法の工程は、ゆっくりかつ注意深く制御された条件の下で実行されて、パッケージシンギュレーション法全体のスループットを低下させる。
【００１４】
したがって、当技術分野において、半導体素子パッケージを作製するための改良された技術に対する需要が存在する。
【発明の開示】
【００１５】
発明の簡単な概要
共通の基材の一部として作製された個々の電子パッケージのシンギュレーションは、マスクパターニングおよび化学曝露を物理的ソーイングと組み合わせることによって達成される。本発明のシンギュレーション法の一つの態様では、基材のパッケージ間部分への最初の浅いソーカットが、下にある金属を後続の化学エッチング工程のために露出させる。他の態様では、別個のフォトレジストマスクを基材上にパターニングして、パッケージ間領域の金属を化学エッチングのために選択的に露出させることもできる。
【００１６】
本発明のパッケージシンギュレーション法の一つの態様は、マスクをパターニングして、製造された共通のパッケージ基材のパッケージ間領域を露出させること、パッケージ間領域の金属を化学曝露によって除去すること、およびその後、物理的ソーイングによってパッケージ間領域中に残存する材料を除去することを含む。
【００１７】
本発明のこれらおよび他の態様ならびにその特徴およびいくつかの潜在的な利点を、以下の文および添付図面と併せてさらに詳細に説明する。
【００１８】
発明の詳細な説明
大きめの基材の一部として作製された個々の電子パッケージの物理的シンギュレーションは、ソーイングを化学曝露およびマスクのパターニングと組み合わせることによって達成される。本発明のシンギュレーション法の一つの態様では、基材のパッケージ間部分への最初の浅いソーカットが、下にある金属を後続の化学エッチング工程のために露出させる。本発明のシンギュレーション法の他の態様では、別個のフォトレジストマスクを基材上にパターニングして、パッケージ間領域の金属を化学エッチングのために選択的に露出させてもよい。
【００１９】
参照によりすべての趣旨で本明細書に組み入れられる米国特許非仮出願第10/751,265号は、パッケージの特徴を形成するための電気めっき技術の使用を記載している。本発明のシンギュレーション法の態様は、同特許出願に記載されているようなパッケージを作製するために使用することもできる。
【００２０】
以下、図1A〜Bに示す完成した従来のパッケージ基材を参照しながら本発明のパッケージシンギュレーション法の様々な態様を論じる。図2Aは、本発明のシンギュレーション法の一態様の最初の工程後の、図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。
【００２１】
図2Aでは、最初の浅いソーカット260が施されて、隣接するパッケージ間に位置するNi−Pd−Au積層105だけが除去されている。この最初のソーイング工程は、下にある銅の上で止まるように指定されている。結果として、このごく一部が除去されてしまうこともある。このソーイング工程の幅は、隣接する成形物が本工程中に物理的に除去されるよう、タイバーよりも大きい。
【００２２】
図2Bは、本発明のシンギュレーション法の一態様の第二工程後の、図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。図2Bでは、基材は、Ni−Pd−Au積層上の銅合金材料に対して選択的であるウェット化学エッチング液に曝露される。この化学曝露の結果として、図2Aの最初のソーイング工程によって露出した銅が、エッチングにより、銅の下にあるNi−Pd−Au積層のNiの上で止まるまで除去される。
【００２３】
本発明のシンギュレーション法の態様にしたがう銅材料への選択的エッチングのために使用可能な多数のエッチング液系が存在する。そのようなエッチング液法の一つは、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、または過硫酸アンモニウムの水溶液と硫酸のような触媒とを組合わせることを含む。過硫酸塩が水に溶解すると、生じる過硫酸イオンが銅を第二銅イオンに酸化させる。過硫酸アンモニウムを含むこのような化学反応は以下の簡単な化学反応スキームで示される：
Cu＋(NH4)2S2O8 → CuSO4＋(NH4)S2O4
【００２４】
銅の選択的除去のための他の系は、硫酸-過酸化物エッチングを実施することを含む。具体的には、以下の簡単な化学反応スキームで示されるように硫酸および過酸化水素とリン酸との混合物を選択的Cuエッチング液として使用することもできる：
Cu＋H2O2＋H2SO4 → Cu2SO4＋2H2O
【００２５】
図2Bに示す方法で、パッケージ間の銅材料の大部分は、機械的ソーイングではなく化学反応によって除去され、それにより、パッケージ内の能動素子に対して電気的損傷を生じさせる危険が回避される。このエッチングの具体的な場所は、本質的には、残存するNi−Pd−Au積層およびソーイングされてない成形物からマスクを作製する、その直前の短時間のソーイング工程の浅いソーカットによって範囲が定められる。
【００２６】
図2Cは、機械的ソーイングを再開してより低いNi−Pd−Au積層105および下にあるプラスチック成形物109を除去し、それによってパッケージを完全にシンギュレーションするシンギュレーション法の最終工程後の、図1Cのパッケージ基材を1E−1E'線から見た略断面図を示す。Ni−Pd−Au積層105の相対的な薄さのおかげで、この再開されるソーイング工程は比較的短時間であり、パッケージシンギュレーション法のスループットを過度に損なうことはない。
【００２７】
図2A〜Cで説明した方法は本発明の一つの具体例を表すだけであり、この方法の変法は本発明の範囲に含まれる。たとえば、図2Cに示す最終的なソーイング工程は、実際には二つの別々の工程に存在してもよい。
【００２８】
第一の工程では、Ni−Pd−Au積層105を除去するのに十分な長さの期間だけソーイングを再開してもよい。その後、ソーイングを中断し、本時点で電気的に分離した状態となったストリップ形態のパッケージの並行試験を可能にしてもよい。そのような試験の後、残存する成形プラスチックのソーイングを再開して、パッケージの完全なシンギュレーションを達成してもよい。
【００２９】
そのうえ、図2Cに示す具体的な態様は、パッケージ間領域に残存する、下にあるNi−Pd−Au積層のソーイングによる除去を記載するが、これも本発明には要求されない。他の態様にしたがって、残存するNi−Pd−Au膜は、パッケージ間領域に導入される化学エッチング液によって除去することもできる。このような他の態様では、この工程の間、パッケージ基材の上面に残存するNi−Pd−Au積層を、最初のソーイング工程の前に基材の全表面に形成されるフォトレジスト層によりエッチングから保護され、その後、最初のソーイング工程によってパッケージ間領域から物理的に除去される。
【００３０】
図2A〜Cに示す具体的な態様は、電気めっきされたNi−Pd−Au積層105を両面に有するCu合金リードフレーム上に作製されたパッケージのシンギュレーションを記載するが、これは、本発明には要求されない。他の態様にしたがって、他の材料を使用して作製されたパッケージのシンギュレーションを達成してもよい。
【００３１】
たとえば、図3Aは、大きめの基材の中に作製されたパッケージの略断面図を示す。この図は、図1Bに示す図と類似している。
【００３２】
図3Aのパッケージ300の露出したリード304bおよびダイパッド304aは、Ni−Pd−Au積層膜ではなく、めっきされたはんだ305を有している。図3AのパッケージのCu合金リードおよびダイパッドの非露出面は、選択された位置で特定のパターニングを行った銀めっき膜307を有している。
【００３３】
図3Bは、図3Aに示すタイプのパッケージの基材をパッケージ間領域に沿って見た略断面図を示す。この図は、図1Eに示す図と類似している。
【００３４】
図3Cは、最初の浅いソーカット360がパッケージ間領域のはんだを除去して、下にあるタイバー398のCu合金を露出させる、他のパッケージシンギュレーション法の第一工程を示す。
【００３５】
図3Dは、基材のうち最初のソーカットによって影響されない部分をマスクとして使用しながらタイバーの露出したCu合金を化学エッチングによって除去する、シンギュレーション法の連続工程の略断面図を示す。シンギュレーション法のこの時点で、隣接するパッケージ間には残存する電気的接触はなく、したがって、これらはストリップテストに利用可能である。
【００３６】
図3Eは、単独にに残存する成形プラスチック材料のソーイングをパッケージ間領域で再開してシンギュレーションを完了させる、シンギュレーション法の最終工程の略断面図を示す。
【００３７】
図3A〜Eに示す態様は、予備めっきされた積層金属に頼るのではなく、封入後にはんだでめっきされた露出金属部分を有するパッケージのシンギュレーションに特異的である。これは、Pb材料の限られた利用可能性およびより高いコストがその動機であり得る。
【００３８】
しかしながら、Ni−Pd−Auで予備めっきされたリードフレームを使用する態様は余計なはんだめっき工程を要しないため、図3A〜Eの態様は一般にさほど好ましくない。加えて、鉛含有はんだ材料の使用を避けることにより、予備めっきされたNi−Pd−Auリードフレームを使用するパッケージ作製法は、毒性の低下および有害廃棄物処理に伴うコストの減少を提供する。
【００３９】
ここまで示し、説明した特定の態様では、表面のNi−Pd−Au積層膜を除去する最初の浅いソーイング工程が、最初のソーイングによって物理的に除去されないで残存するNi−Pd−Auおよびプラスチック成形材料からマスクを作製するように働く。しかし、本発明の他の態様にしたがって、別個のマスク層を、パッケージシンギュレーションのためのパッケージ間領域の範囲を定めるように意図的にパターニングすることもできる。
【００４０】
図4A〜Fは、本発明のパッケージシンギュレーション法の他の態様の略断面図を示す。図1Cおよび1Eに示す作製されたパッケージ基材を本方法の出発点とするため再び参照する。図4Aの断面図では、ネガフォトレジスト層480がパッケージ基材上にスピンコートされている。
【００４１】
図4Bの略断面図では、フォトレジスト480が、入射放射線への選択的曝露およびその後の現像により、マスク482中にパターニングされている。このパターニングプロセスの結果として、パッケージ間領域484がマスク482によって露出している。
【００４２】
図4Cの略断面図では、現像したフォトレジストマスクを有する基材が、下にあるタイバー498のCu合金および現像したフォトレジスト480よりもNi−Pd−Au積層405に対して選択的な化学エッチング液に曝露される。
【００４３】
図4Dの略断面図では、現像したフォトレジストを有する部分的にエッチングされた基材が、下にあるNi−Pd−Au積層405および現像したフォトレジスト480よりもタイバー498のCu合金に対して選択的な異なる化学エッチング液に曝露される。
【００４４】
図4Eの略断面では、現像したフォトレジスト480を有するさらにエッチングされた基材が図4Cの最初の化学エッチング液に再び曝露され、それにより、パッケージ間に残存する金属接点が除去される。パッケージ400は本時点でストリップテストを行われる状態にある。
【００４５】
図4Fは、隣接するパッケージ400間に残存するプラスチック成形物409をソーイングすることによる、シンギュレーション法の完了を示す。図4Fの物理的ソーイング工程は本方法において一度のみであるため、金属ソーイング工程から生じる低い効率および対応するスループットの低下が回避される。
【００４６】
図4A〜Fに関連して例示したプロセスの流れでパターニングされるフォトレジスト材料は、パッケージ間に残存する材料を除去するための物理的ソーイングの前または後のいずれかで除去してもよい。フォトレジストを除去する工程は、多様な技術を使用することによって達成することができる。好ましいアプローチでは、現像したフォトレジストをウェット有機洗浄剤への曝露によって剥離させてもよい。さほど好ましくはないが、現像したフォトレジストは、一部のピンに対して静電放電損傷を生じさせるおそれのあるプラズマエッチングへの曝露によって除去してもよい。
【００４７】
図4A〜Fの特定の態様は、フォトレジストの現像を利用して、パッケージ間領域のNi−Pd−Au積層をエッチングするための初期マスクの範囲を規定するが、これは本発明には要求されない。他の態様にしたがって、フォトレジストの初期パターンは、図2Aおよび3Cに示す方法と類似の様式で、最初の浅いソーイング工程でフォトレジストに作製することもできるが、依然として、タイバーの金属材料のバルクの除去は、低効率ソーイング工程によりもむしろ、エッチングによって達成される。
【００４８】
上記は、具体的な態様を十分に説明したものであるが、様々な改変、他の構造および等価物を使用することもできる。したがって、上記説明および例示は、特許請求の範囲によって定義される本発明の範囲を限定するものとみなされるべきではない。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
（図１Ａ）従来のQFNパッケージの下面平面図である。
（図１Ｂ）図1AのパッケージをB−B'線から見た断面図である。
（図１Ｃ）シンギュレーション前のパッケージ基材の略平面図である。
（図１Ｄ）図1Cの1D−1D'線から見た略断面図である。
（図１Ｅ〜Ｈ）従来のパッケージシンギュレーション法の様々な連続段階を示す、図1Cの1E−1E'線から見た略断面図である。
（図２Ａ〜Ｃ）本発明のパッケージシンギュレーション法の一態様の様々な連続段階を示す、図1Cの1E−1E'線から見た略断面図である。
（図３Ａ）従来のパッケージの他の形態の略断面図である。
（図３Ｂ〜３Ｅ）図3Aのパッケージのシンギュレーションのための、本発明の方法の一態様の様々な連続段階を示す略断面図である。
（図４Ａ〜Ｆ）本発明のパッケージシンギュレーション法の他の態様の連続段階を示す略断面図である。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
2008509541.tif 000005
【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
2008509541.tif 000007
【図１Ｅ】
2008509541.tif 000008
【図１Ｆ】
2008509541.tif 000009
【図１Ｇ】
2008509541.tif 000010
【図１Ｈ】
2008509541.tif 000011
【図２】
2008509541.tif 000012
【図３】
2008509541.tif 000013
【図４】
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