【事件の表示】
　特許第３１０１９５４号「静電チャックの制御装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３１０１９５４号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１　手続の経緯
　特許第３１０１９５４号の請求項１に係る発明についての出願は、平成２年１２月２７日に特許出願され、平成１２年８月２５日にその発明について特許権の設定登録がなされ、その後、平成１３年４月２３日に特許異議申立人高柳馨より請求項１に係る特許について特許異議申立てがなされたものである。
　
２　本件発明
　特許第３１０１９５４号の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、登録時の明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載された次のとおりのものと認められる。
「【請求項１】絶縁体中に備えた電極に直流電圧を印加して物体を吸着する静電チャックに対し、吸着前および離脱時に、作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加する手段を備えたことを特徴とする静電チャックの制御装置。」
　
３　特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人高柳馨は、本件特許に係る出願前に頒布された刊行物である次の甲第１ないし４号証を提示し、本件の請求項１に係る発明は、甲第１ないし４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、本件の請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって、取り消されるべきものである旨を主張する。
甲第１号証：特開平２−６９９５６号公報（以下「刊行物１」という。）
甲第２号証：特開平１−１１２７４５号公報（以下「刊行物２」という。）
甲第３号証：特開平１−１８１５４４号公報（以下「刊行物３」という。）
甲第４号証：特開昭６２−２５５０３９号公報（以下「刊行物４」という。）
　
４　各刊行物に記載された発明
（１）刊行物１
　刊行物１には、次の記載がある。
ａ　第１頁右下欄第１３から２０行（特許請求の範囲の請求項６）
「（６）温度制御されたステージ上に設けられた静電チャック電極と、この静電チャック電極と該電極上に載置される被処理基板との間に所定の電圧を印加する手段と、前記静電チャック電極と被処理基板との間に前記電圧とは逆の符号の電圧を一時的に印加する手段と、前記被処理基板を前記静電チャック電極から剥がす手段とを具備してなることを特徴とする静電チャック装置。」
ｂ　第２頁左上欄第７から１１行
　「本発明は、半導体基板に各種処理を施す半導体集積回路製造装置等に用いられるもので、特に半導体基板を温度制御されたステージ上に保持するための静電チャック方法及び静電チャック装置に関する。」
ｃ　第２頁右下欄第２から１８行
　「しかしながら、この種の方法にあっては次のような問題があった。即ち、実際に静電チャックを、例えば反応性イオンエッチング装置に採用しエッチングを行ってみると、初めの１枚目は静電チャックの吸着力は十分であるが、２枚目、３枚目とエッチングを行っていくうちに吸着力が低下する。そして、ついにはウェハと静電チャック電極の間に導入している冷却用のガスの圧力に耐えきれず、ウェハがエッチング中に静電チャック電極から剥がれる現象が発生する。
　（発明が解決しようとする課題）
　このように、従来の静電チャック装置では、被処理基板の処理枚数が増えるに伴い吸着力が低下し、処理中に被処理基板が静電チャック電極から剥がれる問題があった。このため、高い信頼性を要求される生産装置に適用することは困難であった。」
ｄ　第３頁左上欄第７から１１行
　「本発明の骨子は、静電チャックを使用して被処理基板を所定の電極等に固定し処理を施す方法において、該被処理基板を静電チャック電極から剥がす前に静電チャック電極に前記処理中とは符号が逆の電圧を印加することにある。」
ｅ　第３頁右上欄第１５行から左下欄第４行
　「本発明によれば、所定の処理を施した後の被処理基板を剥がす前に、被処理基板と静電チャック電極との間に、処理中の電圧とは逆の電圧を印加することにより、静電チャック電極を初期状態に戻すことができる。従って、処理枚数が増えても常に１枚目と同様の吸着力を維持することができる。つまり、被処理基板を静電チャック電極上に同じ吸着力で再現性良く固定することができ、処理中の被処理基板の剥がれ等を未然に防止することが可能となる。」
ｆ　第３頁右下欄第１から１１行
　「電極１４上には、静電チャック電極１７が固定されており、この静電チャック電極１７上に被処理ウェハ１８が載置される。この静電チャック電極１７は第２図に示す如く、熱伝導の良い銅等の金属箔４１をポリイミドフィルム等の絶縁膜４２で覆った構造であり、電極１４上に接着等により固定されている。静電チャック電極１７の金属箔４１には、高周波フィルタ１９を介して直流電源（チャック用電源）２０が接続され、この電源２０により金属箔４１に高電圧が選択的に印加されるものとなっている。」
ｇ　第４頁左下欄第１６行から右下欄第８行
　「そこで本実施例では、エッチング終了後、静電チャック電極１７の金属箔４１にエッチング中とは逆の＋の電圧を一時的に印加する。その後、被処理ウェハ１８をプッシャピン４３で押し上げる等して静電チャック電極１７から剥がす。以上の工程を繰返すことにより、被処理ウェハ１８を静電チャック電極１７上に再現性良く吸着することが可能となった。なお、エッチング終了後に静電チャック電極１７の金属箔４１に印加する電圧は、先に印加した電圧と符号が逆で同じ大きさの電圧（１．５〜３ＫＶ）でよい。また、印加する時間は数秒程度の短時間で十分効果があった。」
ｈ　第５頁右下欄第１５行から第６頁左上欄第９行
　「本実施例では、ウェハ１８を剥がす前に、エッチング中とは逆の電圧（エッチング中に静電チャック電極１７に＋であれば−）を短時間（数秒）印加する。これにより、例え高周波電力をオフした後でもウェハ１８と静電チャック電極１７との間にはある電界が掛かり、第９図（ａ）に示す如くウェハ１８及び静電チャック電極１７に電荷が発生する。なお、図中９３は空間の容量、９４はウェハ１８に発生する＋電荷、９５は静電チャック電極１７に発生する−電荷を示している。そして前述の電荷の移動と同様の構成で、第９図（ｂ）に示すように、ウェハ１８を剥がした後に、故意に＋電荷９１を静電チャック電極１７上に残留させることができる。」
　これらの記載から、刊行物１には、次の発明が記載されていると認める。
　絶縁膜で覆った金属箔に直流電源を接続し、高電圧を印加して被処理ウェハを吸着する静電チャック装置に対し、被処理ウェハを静電チャック電極上に同じ吸着力で再現性良く固定することを目的として、被処理ウェハを剥がす前に上記高電圧とは逆の符号の電圧を短時間（数秒）印加する手段を備える静電チャック装置。
　
（２）刊行物２
　刊行物２には、次の記載がある。
ａ　第１頁左下欄第５から９行（特許請求の範囲の請求項１）
　「（１）半導体製造装置の静電チャック（１１）への印加電圧を停止するにおいて、
　印加電圧の極性を交番させつつＯＦＦにすることを特徴とする半導体製造装置におけるウエハ離脱方法。」
ｂ　第１頁右下欄第２から１４行
　「半導体ウエハのドライエッチングに使用する静電チャックから半導体ウエハを離脱させるとき、静電チャックの電極の電圧を交番させながら０Ｖにし、チャックの残留吸着力を減少させるようにした半導体製造装置におけるウエハ離脱方法に関し、
　処理の終わったウエハを、容易に、しかもウエハを損なうことなく静電チャックから確実に離脱させうる方法を提供することを目的とし、
　半導体製造装置の静電チャックへの印加電圧を停止するにおいて、印加電圧の極性を交番させつつＯＦＦにすることを特徴とする半導体製造装置におけるウエハ離脱方法を含み構成する。」
ｃ　第２頁右上欄第８から１３行
　「静電チャックを詳細に示す第５図を参照すると、静電チャック１０は絶縁体１０から成るもので、ウエハ１６を吸着する側とは反対側に、＋（例えば＋１ＫＶ）電源１２に接続された電極１３と、−（例えば−１ＫＶ）電源１４に接続された電極１５が配置されている。
ｄ　第２頁右上欄第１５から１７行
　「第５図を再び参照すると、静電チャック１０には１ＫＶ程度の高電圧を印加し、ウエハに誘起した電荷との間のＣｏｕｌｏｍｂの力でウエハを固定する。」
　また、第５図には、絶縁体１１に配置された電極１３及び１５に直流電源１２及び１４をそれぞれ接続することが示されている
　これらの記載から、刊行物２には、次の発明が記載されていると認める。
　絶縁体に配置された電極に直流電源を接続し、電極に高電圧を印加してウエハを固定する静電チャックにおいて、容易に、しかもウエハを損なうことなく静電チャックから確実に離脱させるため、ウエハを離脱させるとき、静電チャックの電圧を交番させながら０Ｖにすること。
　
（３）刊行物３
　刊行物３には、次の記載がある。
ａ　第１頁左下欄第４から１２行（特許請求の範囲の請求項１）
　「１．絶縁体にて外側を被覆してある導電体と、前記絶縁体の表面に接触する被吸着物との間に直流電圧を印加し、両者間に生じる静電力により、前記被吸着物を吸着，保持する静電チャックにおいて、
　前記被吸着物を離脱せしめる際に、該被吸着物と前記導電体との間に、吸着時と逆方向の直流電圧を印加する逆電圧印加手段を具備することを特徴とする静電チャック。」
ｂ　第２頁左上欄第１８行から右上欄第７行
　「ところが、前記中断の後においても、導電体を被覆する絶縁体に電荷が残留し、静電力が暫時残存するため、被吸着物の取外しが可能となるまでに多大の待ち時間が必要であるという難点があり、また、残存する静電力に抗して被吸着物を離脱せしめるべく、これに大きい離脱力を加えた場合、特に被吸着物が半導体基板のように壊れ易い物体であるときに、前記離脱力によって被吸着物が破壊される虞があった。」
ｃ　第２頁左下欄第１８行から右下欄第２行
　「本願の第１の発明においては、被吸着物を離脱させるに先立ち、前記逆電圧印加手段により、被吸着物と導電体との間に吸着時と逆方向の直流電圧を印加し、両者間に生じている静電力を低減させた後、被吸着物を離脱せしめる。」
ｄ　第２頁右下欄第１３行から第３頁左上欄第１０行
　「図において１は、円板状をなす導電体であり、該導電体１の外表面は、その全面に亘って絶縁体２にて被覆されている。ＥＣＲプラズマを用いた半導体製造装置においては、前記絶縁体２として、耐熱性に優れたセラミック（Ａｌ２Ｏ３）が用いられ、該絶縁体２は、これの焼成時に導電体１を一体的にモールドするか、又は導電体１の表面に溶射せしめることにより、導電体１の表面に薄膜状をなして被着される。
　導電体１は、電源切換スイッチ７を介して、負極側をアースに接続してある第１の直流電源５の正極側と、正極側をアースに接続してある第２の直流電源６の負極側とに夫々接続してあり、電源切換スイッチ７が第１図に示す切換位置にある場合、導電体１は、前記第１の直流電源５に接続されて正に帯電し、また逆の切換位置にある場合、第２の直流電源６に接続されて負に帯電するようになしてある。」
ｅ　第４頁左上欄第１２行から右上欄第５行
　「また第３図は、前記逆電圧の大きさを種々に変更すると共に、該逆電圧の印加と共に、電磁シリンダ４を動作させ、被吸着物３に３００ｇの離脱力を加えた場合、この離脱力により被吸着物３が離脱せしめられるまでに要する時間を示すグラフである。本図に示す如く、被吸着物３の離脱に要する時間はわずかであり、例えば、６００Ｖの逆電圧を印加した場合、印加後５秒程度で被吸着物３を離脱せしめることが可能であり、また、逆電圧が２００Ｖ程度の低い電圧である場合においても、２０秒以下のわずかな時間にて被吸着物３を離脱せしめることが可能であり、本発明に係る静電チャックにおいては、被吸着物３を速やかに離脱させ得ることが明らかである。」
　これらの記載から、刊行物３には、次の発明が記載されていると認める。
　絶縁体に被覆された導電体に直流電圧を印加して被吸着物を吸着する静電チャックにおいて、被吸着物と導電体との間に生じている静電力を低減させた後、被吸着物を離脱せしめるために、被吸着物を離脱せしめる際に吸着時と逆方向の直流電圧をわずかな時間、印加する手段を設けること。
　
（４）刊行物４
　刊行物４には、次の記載がある。
ａ　第１頁左下欄第１３から１５行
　「本発明は、紙やフィルム等の被吸着体を、これを吸着保持する静電吸着装置から容易に脱離させる方法に関する。」
ｂ　第１頁右上欄第４から９行
　「従来、このような用途に用いられる静電吸着装置としては、電極群を形成する導体を絶縁体層に埋設又は塗着等した上に半導電体よりなる吸着層を熱圧着して一体に形成したものが提案されている（例えば、実公昭５４−４１８９２号、実開昭５２−１３７２７２号）。」
ｃ　第２頁左上欄第１１から１５行
　「本発明は、作図等の作業終了後、静電吸着装置から被吸着体をとりはずすに当たり、静電吸着装置の電極間への直流印加電圧切断後吸着力の減衰時間を短縮して、容易に脱離することができる方法を提供するものである。」
ｄ　第２頁左上欄第１７行から右上欄第８行
　「本発明は、静電吸着装置の吸着面上に直流印加電圧によって静電吸着保持されている被吸着体を脱離させる場合において、前記直流印加電圧を切断した際に、該直流印加電圧とは正負逆方向の直流電圧を微小時間印加することを特徴とする静電吸着装置から被吸着体を離脱させる方法に関する。
　上記方法を実施するのは、静電吸着装置の正負一対の電極間に接続する電源回路に、被吸着体を静電保持する直流印加電圧を切断した際にタイマーの設定によって微小時間正負を逆にした直流電圧が印加される回路を組み込むことにより可能である。」
ｅ　第２頁右上欄第１７行から左下欄第１３行
　「電極４−ａと４−ｂは、前記のようにして形成される半導電性シートの下面に接して配置される。即ち表面抵抗値の小さい方のシート表面が電極と接続される。電極は、電極間でコンデンサを構成するように例えば正負一対の櫛型構造とする。図において、４−ａは正極、４−ｂは負極である。この電極は、正負電極間に直流電圧を印加することのできる電源回路に接続され、印加電圧によって電極間にコンデンサが形成されて半導電性シート中に電界を生じ、シート表面で被吸着体を静電的に吸着するのを可能とする。
　電極が形成された半導電性シートの凹凸面は、絶縁体層５と固着されるが、固着を両面接着性絶縁フィルム６で行うことにより、熱圧着等の方法に比較して極めて容易に吸着板を製造でき、また二次曲面状をした吸着面が必要な吸着装置も極めて容易に製造できる。」
ｆ　第３頁左下欄第５から１２行
　「本発明においては、静電吸着装置の吸着面上に直流印加電圧によって静電吸着保持されている被吸着体を脱離させる場合において、直流印加電圧を切断した際に、電極間に、正負を逆にした直流電圧を微小時間印加するため、電極間に帯電している電荷と逆の極性の電荷によって帯電している電荷が打ち消されるので、自然放電により消失する場合に比較して非常に早く滞電電荷が消失する。」
　これらの記載から、刊行物４には、次の発明が記載されていると認める。
　紙やフィルム等の被吸着体を吸着保持する静電吸着装置において、電極群を形成する導体を絶縁体層に埋設又は塗着等した上に半導電体よりなる吸着層を熱圧着して一体に形成すること。
　半導電性シートの下面に接して配置された電極に直流電圧を印加して被吸着体を吸着する紙やフィルム等の被吸着体を吸着保持する静電吸着装置において、静電吸着されている被吸着体を脱離させる場合において、直流印加電圧を切断した際に、電極間に、正負を逆にした直流電圧を微小時間印加する回路を設けること。
　
５　対比・判断
　本件発明と上記刊行物１記載の発明とを対比すると、本件発明は、静電チャックの制御装置において、吸着前および離脱時に、作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加する手段を備えるのに対し、刊行物１記載の発明では、離脱時に、作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加する手段を備える点で相違する。
　この相違点に関し、異議申立人は、刊行物１記載の発明において、処理中の電圧と逆の電圧を短時間印加するのは、被処理基板を剥がすためではなく、次の被処理基板を安定した吸着力で吸着するために行うものであるから、実質的に、次の被処理基板を吸着する前に係る電圧を印加するものである旨を主張する。
　この主張について検討する。
　一般に、静電チャック内部に残る電荷は、静電チャックの材料、印加電圧、印加時間等の種々の条件によって異なるものと認められるところ、本件特許明細書の段落番号【００２１】及び【００２２】の記載によれば、本件発明において、離脱時のみに作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加した場合には、静電チャック内部に電荷がわずかに残っており、そのために吸着力の再現性の低い点は解消されなかったものである。そして、さらに吸着前に作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加することによって、該電荷を矯正し、吸着力の再現性を高めたものである。
　これに対し、刊行物１記載の発明においては、被処理ウェハを剥がす前に逆の符号の電圧を短時間印加することにより、静電チャック内部に残留する電荷は、次の被処理基板を安定した吸着力で吸着する程度に小さくなっていたと考えることができる。一方、被処理ウェハを剥がした後に静電チャック内部に残った電荷を如何に矯正するかについては、何らの示唆もない。
　故に、本件発明は、吸着前に作動電圧と異なる極性の電圧を短時間印加するとの刊行物１記載の発明にない構成を有することによって、離脱後に静電チャック内部に残された電荷の矯正するとの新たな作用効果を奏するものである。
　そして、この本件発明特有の構成及び作用効果は、上記刊行物２ないし４にも記載されておらず、示唆もされていない。
　したがって、本件発明は、上記刊行物１ないし４記載の発明から当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
６　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月４日（２００１．７．４）