【事件の表示】
　特許第２８８１６１６号「インクジェット式ヘッド装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８８１６１６号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続きの経緯
　本件特許第２８８１６１６号の特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に係る発明の出願は、平成７年１１月３０日に出願されたもので、平成１１年２月５日にその特許の設定登録がなされ、その後、その特許について内野光平より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年４月１３日に訂正請求（取り下げ）がなされ、訂正拒絶理由を兼ねる取消理由の通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月２６日に訂正請求（取り下げ）がなされ、さらに訂正拒絶理由を兼ねる取消理由の通知がなされ、平成１３年２月７日に訂正請求がなされたものである。
　
ＩＩ．訂正に対する判断
　１．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、次の（１）〜（２）のとおりである。
　（１）訂正事項ａ
　特許明細書（特許査定時の明細書）の特許請求の範囲の【請求項１】の「【請求項１】帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の
一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列したことを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。」を、
　「【請求項１】帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列し、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接することを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。」と訂正する。
　（２）訂正事項ｂ
　特許明細書の「【０００７】【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートとを備えている。また、このノズルプレートの表面に複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、流路形成部材の他方の面に装着され複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板とを有する。更に、複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備えている。このうち、流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列毎に圧電素子を順次選択駆動するようになっている。特に、ノズル孔を、流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによってｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列した、という構成を採っている。」を、
　「【０００７】【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートとを備えている。また、このノズルプレートの表面に複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、流路形成部材の他方の面に装着され複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板とを有する。更に、複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備えている。このうち、流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列毎に圧電素子を順次選択駆動するようになっている。特に、ノズル孔を、流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによってｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列し、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する、という構成を採っている。」と訂正する。
　　２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　（１）前記１．の（１）の訂正は、請求項１の構成に、「し、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する」と、「複数の圧電素子」の配置構成を限定するものであるから、特許請求の範囲を減縮するものに相当する。そして、この訂正は、特許明細書の【００２０】から【００２３】及び第２図から明らかであるから、訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　　（２）前記１．の（２）の訂正は、特許請求の範囲の請求項１の訂正に伴って、それとの整合を図るために、発明の詳細な説明を訂正したもので明りょうでない記載の釈明に相当する。そして、これらの訂正事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　３．特許独立要件の判断
　訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に記載された事項により特定される発明は、後述のＩＩＩ．の４の対比・判断で検討するように、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　４．むすび
　以上のとおりであるから、前記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１〜３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
ＩＩＩ．特許異議申立てについて　
　１．本件発明
　本件特許第２８８１６１６号の特許請求の範囲に係る各発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　「【請求項１】帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列し、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接することを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。
【請求項２】前記駆動手段は、前記流路の長手方向に沿ったヘッド走査方向に向かい先行するノズル列から順に前記圧電素子を駆動することを特徴とした請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。
【請求項３】前記各ノズル列毎のずらし量をδ，記録ドット密度をｄ，圧電素子の最大駆動周波数をｆｍ，ヘッド走査速度をｖ，前記ノズル列間の駆動遅延時間をｔとして、δ＝（ｆｍ／ｄ）×（１／ｆｍ）×（１／ｎ）＝ｖ×ｔを満たすように各値が設定されていることを特徴とした請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。
【請求項４】前記振動板の前記圧電素子との当接面に凸状に形成した島状突起部を設けると共に、この島状突起部の流路長手方向の幅と、前記各ノズル孔毎のずらし量との和が前記圧電素子の流路方向長さよりも短くなるように各部の長さを設定したことを特徴とする請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。」
　２．特許異議申立ての理由の概要
　（１）内野光平は、証拠として、
　甲第１号証（特開平６−１７１０８４号公報）
　甲第２号証（特開昭５８−３８１７３号公報）
　甲第３号証（特開平７−１５６３８３号公報）
　甲第４号証（米国特許第５３０８４４２号明細書、特許日１９９４年５月３日）及び
　甲第５号証（米国特許第５３０８４４２号明細書（（甲第４号証）の第３欄第４７行〜第６１行の翻訳文）
　を提出し、
本件請求項１〜請求項４に係る発明は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである、と主張している。
　なお、共通インク室に連通するインキ流路とノズルとが一体的に構成されて、流路長手方向に千鳥状にずらされて配置されている点についても、甲第４，５号証に示すように公知である。
（２）当審では、甲第４号証（米国特許第５３０８４４２号明細書）のパテントファミリである特開平７ー１７３８号公報（公開日、平成７年１月６日）を、公知文献として訂正拒絶理由を兼ねる取消理由として通知した。
　３．各引用例の記載事項
　（１）甲第１号証（特開平６−１７１０８４号公報、訂正拒絶理由を兼ねる取消理由通知で刊行物１として通知した。以下「引用例１」という。）には、　
　「【０００６】【実施例】・・・図１は本発明の一実施例を示すもので図中符号７は、ノズルプレートで、４つノズル開口列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが形成されていて、・・・そして、これら各ノズル開口列は、図に示したように第２列Ｂ、第４列Ｄ、第３列Ｃ、第１列Ａの順番で１ドット（△ｄ）ずつ紙送り方向にずれるようにその配列が選択されている。
　【０００７】図２は、・・・ノズル開口の配列を採るインクジェット記録ヘッドの構造を示すもので、図中符号５は、ノズルプレート７と後述する振動板６との間に配置されてインク流路を構成するスペーサで、図３に示したように各ノズル開口列Ａ、Ｂ，Ｃ，Ｄのノズル開口１，１，１…，２，２，２…３，３，３…，４，４，４…の配列ピッチに合わせて圧力発生室となる通孔１０，１０，１０…，１１，１１，１１…１２，１２，１２…，１３，１３，１３…の列と、タンクからのインクを圧力発生室に供給するインク流路となる通孔１４が形成されている。・・・
　【０００８】図中符号１４は、タンクからのインクを供給口３０を介して受けるインク供給路となる通孔で、これには、圧力発生室となる通孔１０，１０，１０…，１１，１１，１１…，１２，１２，１２…、１３，１３，１３…と連絡用凹部１０ａ，１０ａ，１０ａ…、１１ａ，１１ａ，１１ａ…，１２ａ，１２ａ，１２ａ…，及び１３ａ、１３ａ，１３ａ…と接続するリザーブタンクとなる通孔１５，１６，１７が連通するように形成されている。・・・
　【０００９】６は、前述の振動板で、・・・振動子ユニット２０，２１，２２，２３を構成している各圧電振動子２５，２５，２５…、２６，２６，２６…２７，２７，２７…、２８，２８，２８…の先端に接していて、振動子２５，２６，２７，２８の振動を圧力発生室に伝達するものである。そしてインク供給路に対向する位置には通孔３０が穿設されていて、インク供給パイプ３６の先端をインク供給路を構成する凹部１４に連通させるようになっている。
　【００１０】２０，２１，２２，２３は、それぞれ前述の振動子ユニットで、各ノズル開口列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの圧力発生室に先端が対向するように振動子２５，２６，２７，２８の一端を固定板３１，３２，３３，３４に取り付けて構成され、・・・
　【００１１】図４は、上述のインクジェット記録ヘッドの断面構造を示すもので、スペーサ５により振動板６とノズルプレート７との間に一定のギャップＧが確保され、スペーサ５の通孔１５，１６、１７及び凹部１０ａ，１０ａ，１０ａ…，１１ａ，１１ａ，１１ａ…、１２ａ１２ａ、１２ａ…、１３ａ，１３ａ，１３ａ…によりリザーブタンク４０，４１圧力発生室４４，４５、連絡用流路４７，４８が形成されており、圧力発生室４４，４５に対向するように振動ユニット２０，２１の振動子２５，２６の先端が振動板６に当接している。これら振動子２５，２５，…、２６，２６…には導電パターン５０，５１を介してケーブル５２，５３により駆動信号が供給できるようになっている。なお、図中符号５４，５５は、それぞれ振動板６を支持する補強部材を示す。」（公報２頁２欄３０行〜３頁４欄１７行）
　「【００１３】この実施例において、第２（「１」の誤記である。）のノズル列Ｂ（「Ａ」の誤記である。）が所定の位置に到達した段階で、このノズル列に属するノズル開口４，４，４…により印刷すべきドットに対応する振動子２５，２５，２５…に駆動信号を印加すると、ノズル開口１，１，１…からインク滴が噴射して図示しない記録用紙にドットが形成される。キャリッジにより記録ヘッドが距離Ｌ１十１ドット移動した時点で、第２のノズル列Ｂにより印刷すべきドットに対応する振動子２６，２６，２６に駆動信号を印加すると、前回印刷されたドットと１ドット分主走査方向にずれた桁の、対応する行でドットが印刷されることになる。更にキャリッジがＬ３十１ドット分移動した時点で第３のノズル開口列Ｃを駆動して対応するドットを、また距離Ｌ２十１ドット分キャリッジが移動した段階でノズル開口列４，４，４（「２，２，２」の誤記である。）…によりドットを形成する。
　【００１４】このようにしてインクジェット記録ヘッドを主走査方向に移動させて１行分の印刷が終了した段階で、記録用紙を１行分紙送りし、ついで次の行の印刷に入る。第２行目の印刷においては、ノズル開口の第１列のノズル開口列が所定位置に到達した段階で、印刷が開始され、以下１行目の印刷時におけるドット形成と同様の工程を順次繰り返してドットを形成することになる。」（３頁４欄３３行〜４頁５欄４行）と記載され、
　これらの記載を含む明細書及び図面からは、次の技術的事項（以下、「引用例１発明」という。）が把握される。
　「圧力発生室構成用通孔１０〜１３が複数平行に形成されると共にこれら複数の圧力発生室構成用通孔の一端部を一体的に連通するリザーブタンク構成用通孔１５，１６，１７の設けられたスペーサ５と、このスペーサの一方の面に装着されたノズルプレート７と、このノズルプレートの表面に前記複数の圧力発生室構成用通孔にそれぞれ個別に対応して設けられた副走査方向に配列された複数のノズル開口１，２，３，４と、前記スペーサの他方の面に装着され前記複数の圧力発生室構成用通孔に貯留されるインクと接触する振動板６と、前記複数の圧力発生室構成用通孔の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電振動子２５，２６，２７，２８と、これら複数の圧電振動子に駆動信号を印加する駆動手段とを備えたインクジェット式ヘッド装置において、前記ノズル開口を、前記圧力発生室構成用通孔の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、ノズル列方向に形成され形成位置にそれぞれ対応して圧電振動子が振動板に当接された前記圧力発生室構成用通孔毎のノズル開口の位置を、当該圧力発生室構成用通孔を副走査方向に物理的配列順序を異ならせるようにノズル開口を千鳥状に配設されてなることを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。」
　（２）甲第２号証（特開昭５８ー３８１７３号公報、以下、「引用例２」という。）には、
　「このようなマルチノズルヘッドではノズルを第２図（ａ）に示すようにたとえば１６個ずつ表面端に第Ｉ列３１〜３１６、裏面端に第ＩＩ列３’１〜３’１６を相互に千鳥形に配列し、・・・その外側表面、裏面に圧電素子２Ｋ，２’Ｋが設けられる。」（公報１頁右下欄１９行〜２頁左上欄９行）
　「本発明ではノズル配列の列ピッチｌＭを記録すべきドットのピッチｌＤの整数倍にｌＤの列数Ｎ分の１を加えることにより、表裏の圧電素子が同時に駆動されないようにする。・・・ノズルは第２図（ａ）で前述したとおり１６×２列の配列であるとし、解像度１０ドット／ｍｍとした場合、記録する最小ドットピッチは１００μｍである。・・・従って列ピッチｌＭの値は１５０μｍ、２５０μｍ、３５０μｍ、４５０μｍ，５５０μｍ，６５０μｍ等が適当となる。・・・ｌＭ＝３５０μｍに設定すると、Ｉ列目、ＩＩ列目の駆動パルスのタイミングは第４図（ａ）、（ｂ）に示すようにヘッドの相対速度ＶＭとすればＩ列目の頭からｌＮ／ＶＭだけずれた時点でＩＩ列目が駆動され、両者が同期することがない。」（２頁左下欄１０行〜２頁右下欄７行）と記載されている。
　（３）甲第３号証（特開平７ー１５６３８３号公報（公開日、平成７年６月２０日）、以下、「引用例３」という。）には、
「【０００９】【課題を解決するための手段】本発明は、・・・、（１）複数のノズルと、各ノズルに連通する複数のインク室と、前記各インク室を加圧するために配置した複数の圧電素子とを備えたオンデマンド型インクジェットヘッドにおいて、圧電材料と電極材料を交互に複数組積層して成る圧電素子を所定のピッチで１列に配列されたアクチュエータユニットと、該アクチュエータユニットに対して複数列設けられた液室ユニットと、該液室ユニットに連通されたノズルユニットとを具備したこと、・・・、（２）・・・、（３）前記アクチュエータユニットが、前記圧電材料と電極材料を交互に複数組積層して成る圧電素子を積層の厚み方向である変位を利用した構成で１列に配列されたものであること、更には、（４）前記圧電材料と電極材料を交互に複数組積層して成る圧電素子を所定のピッチで１列に配列したアクチュエータユニットに対し、前記液室ユニットおよびノズルユニットを千鳥配置に構成したこと、或いは、（５）・・・、（６）・・・」（公報３頁３欄７行〜３８行）と記載され、　
　「【００１４】【実施例】図１は、本発明によるオンデマンド型インクジェットヘッドの一実施例を説明するための構成図で、図中、１はノズルプレート、２はノズル、３は振動板領域、４はインク液室、５はインク共通液室、６は液室部材、７は隔壁部材、８は積層圧電素子（ＰＺＴ）、９はフレーム、１０は基板である。」（３頁４欄２０行〜２６行）と記載され、
　「【００１６】次に、インクの供給、加圧、吐出動作を行う液室ユニットの構成としては、ＰＺＴ面に接合し、ＰＺＴの変位に応じてインク液室４を変位加圧する振動板領域３を有する隔壁部材７を設ける。更に、その上面にインク液室４とインク共通液室５を有する液室部材６を接合する。最後にインク吐出量、速度、方向を決定するノズルを有するノズルプレート１を接合した構成である。」（３頁４欄３６行〜４３行）と記載され、
　「【００１９】図１において、１列にＰＺＴ配列した液室ユニットに対して、振動板とインク液室４とノズル２とを複数列、ここでは２列設けた構成を示してある。この２列間距離Ｄに対し、液室ユニットとの接合面寸法のｂを大きく構成する。すなわち、千鳥状にある隔壁部の凸部がＰＺＴ面にピッチＰで千鳥で接合されることになる。この構成により、インク液室４については配列方向のピッチが２Ｐとなり、Ｄ×２Ｐの領域内にインク液室を構成すればよいことになる。」（４頁５欄１５行〜２３行）と記載され、
　「【００２６】第５図、ヘッド上面から見たノズル配置の構成図で、図中、１２はダイヤフラム領域である。１列にＰＺＴ配列した液室ユニットに対して、振動板とインク液室とノズルとを複数列、ここでは３列設けた構成である。配列密度が上がり、１チャンネル当たりのピッチＰが小さくなった場合でも、この列においてはインク液室の配列方向ピッチは３Ｐとなり、液室形状を円形、又は長円形を保つことが可能となる。この長円形は積層ＰＺＴの変位に追従して変形するダイヤフラムを構成しており、インクジェット記録ヘッドとしての耐久性，例えば、通常のプリンタの場合、最小１０９回以上の振動耐久性においても疲労のないものが要求される。」（４頁６欄２６行〜３７行）と記載されている。
　（４）甲第４号証（米国特許第５３０８４４２号明細書（特許日１９９４（平成６）年５月３日）のパテントファミリで日本国において出願公開された、特開平７ー１７３８号公報、公開日、平成７年１月６日、当審で訂正拒絶理由を兼ねる取消理由で刊行物２として通知した。以下、「引用例４」という。）には、
「【００１８】【実施例】・・・図１は基板１２上に形成された印刷あるいはインク吐出素子１０を示す。図２は３つの隣接する印刷素子１０を示し、図３は複数のかかる吐出素子からなる印刷ヘッドの一部を示し、またそれにインクを供給する共通のインク充填スロット１８を示す。図３は複数の吐出素子の１つの一般的な構成、・・・
　【００１９】各吐出素子１０はインク供給流路１４を有し、その一端１４Ａに抵抗器１６が配置されている。３つの側面で抵抗器を取り囲むインク供給流路１４とインク吐出室１５は光重合可能な材料からなる層１７中に形成され、この層が適当にマスクされ、さらにエッチング／現像されて所望のパターンの開口部が形成される。
　【００２０】インク（図示せず）が１８に示すインク充填スロットから矢印“Ａ”で示すようにインク供給流路１４の反対側の端部１４ｂに導入される。抵抗器１６にはノズル板２２中に抵抗器１６に近く配置されたノズルすなわち先細穴２０が連設されている。インクはある量のインクがこの抵抗器によって加熱されるとこのノズルから（たとえば抵抗器１６の面に直角に）吐出される。」（公報３頁４欄３９行〜４頁５欄１３行）
　「【００２２】かかる印刷素子１０はそれぞれ上述した各種の機構を有する。各抵抗器１６は３つの障壁と少なくとも素子１０のいくつかに共通のインク充填スロット１８に開いた第４の横開口部によって形成されるインク吐出室１５中に設けられている。複数のノズル２０は抵抗器１６の近傍のカバープレート２２中に配設されたオリフィスからなる。各オリフィス２０は抵抗器１６と連動し、ある量のインクをその抵抗器によって形成される面に直角にオリフィスを介して印刷媒体（図示せず）に向かって所定のパターンで吐出し、印刷媒体上に英数字と図形を形成する。
　【００２３】インクはインク供給流路１４によってインク充填スロット１８から各素子１０に供給される。各インク吐出室１５にはインク供給流路１４中の壁によって形成され、インク充填スロット１８とこの流路の間にしぼりを生じさせる幅“Ｂ”だけ離れた一対の対向する突起２４が設けられている。各吐出素子１０には突起２４の間に配設されインク供給流路１４を隣接するインク供給流路１４’から離す引き込み突出部２４Ａを設けることができる。」（４頁５欄１９行〜３６行）と記載されている。
　（５）甲第５号証は、前記甲第４号証の一部（３欄第４７行〜６１行）の部分翻訳で、甲第５号証（以下、「引用例５」という。）には、各吐出部１０は、インク供給チャネル１４を有しており、その一端部１４ａに抵抗器１６が配置されている。３つの側部において抵抗器１６を取囲むインク供給チャネル１４と小滴吐出室１５とは、光重合物質を有する層１７内に形成されている。それは、適切にマスクされてエッチングされるか、現像されて、所望のパターン開口を形成している。インク（図示せず）は、矢印”Ａ”で示すように、全体を１８として示すインク充填スロットから、インク供給チャンネル１４の反対側端１４ｂで導入される。抵抗器１６に対応して、ノズルまたは収束開口２０が、ノズルプレート２２内で抵抗器１６の近くに配置されている。抵抗器による所定量のインクの加熱時に、インクの小敵（「滴」の誤り）がノズルを通って（たとえば、抵抗器１６の面に垂直に）吐出される。」（３欄４７行〜６１行）が記載されている。
　４．対比・判断
　（１）本件請求項１に係る発明と引用例１発明とを対比するに、引用例１発明の「圧力発生室構成用通孔」、「リザーブタンク構成用通孔」、「スペーサ」、「圧電振動子」、「駆動信号」は、本件請求項１に係る発明の「流路」、「共通インク室」、「平板状の流路形成部材」、「圧電素子」、「駆動パルス」に、それぞれ相当するから、両者は、「帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、ノズル列方向に形成され形成位置にそれぞれ対応して圧電素子が振動板に当接された前記流路毎のノズル孔の位置を前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列したことを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。」の点で一致し、次の点で相違する。
　相違点　
　本件請求項１に係る発明では、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接するのに対して、引用例１発明では、この構成は明記されていない点。
　そこで、相違点について検討するに、
　引用例２には、流路は長手方向に対し平行に向けて設けられていて、各ノズル列内の圧力発生室がノズル列方向に隣接し、圧力室は異なるタイミングで駆動することが記載されているが、該ノズル孔は、板状ヘッド１の端部にほぼ流路の長手方向に向いており、また、ノズル孔は、流路の長手方向に沿って周期的にずらしていないから、前記相違点の「ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する」の構成は記載されていない。また、引用例３には、第５図に、ノズル孔を上下方向に沿って周期的にずらした振動板とインク液室とノズルとが３列に配列に設けられ、３列に配された各ノズル孔への流路が全て同一方向からのものとは、第１図、第２図からみても考えられないので、例えば、２番目、３番目、５番目、及び６番目の流路は、上方向からの流路とみると、本件請求項１に係る発明の「複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室に設けられた平板状の流路形成部材」に相当する。そして、インク液室は、それぞれノズル孔２を中心とする点線状のダイヤフラム領域１２である。また、前記発明の「ノズル孔の位置が第１の位置」とは、左から２番目、５番の流路に相当し、前記発明の「第１と異なる流路」とは、３番目、６番目の流路に相当する。さらに、前記発明の「第１の位置の複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子」は、２番目の点線のダイヤフラム領域（圧電素子）、５番目のダイヤフラム領域に相当し、前記ダイヤフラムが、振動板領域３（振動板）とそれぞれ当接する流路方向の第１と第２の当接範囲内に存在していないことは、第５図から明らかであるので、引用例３には、前記相違点である「ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する」の構成は記載されていない。さらに、引用例４には、シリコン基板上１６に備えられた誘電体層２６の表面に抵抗器１６が形成され、誘電体層２６の主面上に障壁層１７を形成してインク供給流路１４とインク吐出室１５を形成しインク吐出室１５内のインクをインク吐出室１５内に設けられ抵抗器１６で加熱することにより吐出させるサーマルインクジェットヘッドである。
　しかしながら、引用例４は、サーマルインクジェット印刷ヘッドで、圧電素子、振動板は記載されていないことから、引用例４には、前記相違点である「ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する」の構成は記載されていない。さらにまた引用例５にも、「ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する」の構成は記載されていない。そして、上記の構成により「駆動された圧電素子から振動板に加えられた振動は、これに隣接する非駆動の圧電素子により抑制され、隣接ノズル間での干渉を有効に抑制することができると共に、吐出を行う流路では当該吐出に必要な十分な流路体積変化を得ることができ、安定したインク吐出、高印字品質を実現することができる。」という作用効果を奏するものと認められる。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　（２）本件特許請求の範囲の請求項２に係る発明は、請求項１を引用した発明であり、請求項１に係る発明が引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない以上、それを引用した本件請求項２に係る発明も引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものすることはできない。
　（３）本件特許請求の範囲の請求項３に係る発明は、請求項１を引用した発明であり、請求項１に係る発明が引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない以上、それを引用した本件請求項３に係る発明も引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものすることはできない。
　（４）本件特許請求の範囲の請求項４に係る発明は、請求項１を引用した発明であり、請求項１に係る発明が引用例１〜引用例５に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない以上、それを引用した本件請求項４に係る発明も引用例１〜引用例５から当業者が容易に発明をすることができたものすることはできない。
　
ＩＶ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件特許請求の範囲の請求項１〜請求項４に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認められない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月７日（２００１．３．７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載
「【請求項１】　帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、
前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、
前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、
前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列したことを特徴とするインクジェット式ヘッド装置。」を、
「【請求項１】　帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、
前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、
前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列
し、
ノズル孔の位置が前記流の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複の圧電のうちの任意の２つの圧電素子が前記動板とそれぞれ当接する流長手方向の１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電子が、前記振動板に当接する
　▲２▼訂正事項ｂ
　特許掲載公報の第２頁右欄の第８行から第２９行の段落０００７の記載
　「【０００７】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートとを備えている。また、このノズルプレートの表面に複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、流路形成部材の他方の面に装着され複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板とを有する。更に、複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備えている。このうち、流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列毎に圧電素子を順次選択駆動するようになっている。特に、ノズル孔を、流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによってｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列した、という構成を採っている。」を、
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、
帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートとを備えている。また、このノズルプレートの表面に複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、流路形成部材の他方の面に装着され複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板とを有する。更に、複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備えている。このうち、流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列毎に圧電素子を順次選択駆動するようになっている。特に、ノズル孔を、流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによってｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列し
、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの　任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する
（５４）【発明の名称】
インクジェット式ヘッド装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートと、このノズルプレートの表面に前記複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、前記流路形成部材の他方の面に装着され前記複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板と、前記複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して前記振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備え、
前記流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、
前記駆動手段が、前記千鳥配列を成す各ノズル列毎に前記圧電素子を順次選択駆動するインクジェット式ヘッド装置において、
前記ノズル孔を、前記流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、前記流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによって前記ｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列
し、
ノズルの位置が前記流路の長手方向に同じ第１の位置である複数の流路に対応する複数の圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動板とそれぞれ当接する流長手向の１及び第２の当接範囲内の位置で、ノズル孔の位置が前記第１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する
　【請求項２】　前記駆動手段は、前記流路の長手方向に沿ったヘッド走査方向に向かい先行するノズル列から順に前記圧電素子を駆動することを特徴とした請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。
　【請求項３】　前記各ノズル列毎のずらし量をδ，記録ドット密度をｄ，圧電素子の最大駆動周波数をｆｍ，ヘッド走査速度をｖ，前記ノズル列間の駆動遅延時間をｔとして、
δ＝（ｆｍ／ｄ）×（１／ｆｍ）×（１／ｎ）＝ｖ×ｔ
を満たすように各値が設定されていることを特徴とした請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。
　【請求項４】　前記振動板の前記圧電素子との当接面に凸状に形成した島状突起部を設けると共に、この島状突起部の流路長手方向の幅と、前記各ノズル孔毎のずらし量との和が前記圧電素子の流路方向長さよりも短くなるように各部の長さを設定したことを特徴とする請求項１記載のインクジェット式ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット式ヘッド装置に係り、特に、インク滴の吐出駆動源として圧電素子を用いたインクジェット式ヘッド装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】この種のインクジェット式ヘッド装置は、圧電素子に電圧を印加することによりプリントヘッド内に設けてあるインク室に圧力波を発生させ、この圧力波の作用により、流路に設けてあるノズル孔からインク滴を吐出させるように構成されている。
　【０００３】図６に第１の従来例を示す。この従来例は、特開昭６３−３１２１５８号公報に開示されている。この図６に示す従来例では、複数列のインクキャビティ１０５が形成された２枚の圧電プレート１０２をカバープレート１０４の両面に接合し、各インクキャビティ１０５の先端にそれぞれ設けられたインクノズル１０１を千鳥状に互い違いに配置した構成を採っている。
　【０００４】続いて、図７に第２の従来例を示す。この従来例は、特開昭６１−６３４５６号公報に開示されている。この図７に示す従来例では、１枚の中央基板２０６の両側に、同一形状を成す２枚のフロント基板２０４及びバック基板２０７を互いに同一面が相対するように装着し、各インク流路溝を内側に積層する。この際、各基板２０６，２０４，２０７に設けられた位置決め穴２０８を対応付けて固定することにより精密な組み立てが可能となっている。ここで、フロント基板２０４とバック基板２０７にそれぞれ設けられた複数のノズル孔２０１は、それぞれ千鳥状に配置されている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従来例にあっては、全てのノズル又は隣接するノズルを同時に駆動する場合、当該隣接するノズル間の干渉や圧電体プレート１０２の駆動パワーにより図６のカバープレート１０４又は図７の中央基板２０６に変形を生じ得る。かかる場合、吐出に必要な流路体積変化をロスし、吐出効率が低下し、印字品質の劣化を来すという不都合があった。
　【０００６】
　【発明の目的】本発明は、上記従来例の有する不都合を改善し、特に、全ノズル又は隣接ノズルを同時に駆動した場合において、吐出に必要な流路体積変化が隣接ノズル間の干渉により低下させられる事態を防止し、安定した吐出を確保し高速印字かつ高印字品質を実現するインクジェット式ヘッド装置を提供することをその目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため、請求項１記載の発明では、
帯状の流路が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路の一端部を一体的に連通する共通インク室の設けられた平板状の流路形成部材と、この流路形成部材の一方の面に装着されたノズルプレートとを備えている。また、このノズルプレートの表面に複数の流路にそれぞれ個別に対応して設けられた複数のノズル孔と、流路形成部材の他方の面に装着され複数の流路に貯留されるインクと接触する振動板とを有する。更に、複数の流路の形成位置にそれぞれ対応して振動板に外部から当接する複数の圧電素子と、これら複数の圧電素子に選択的に駆動パルスを印加する駆動手段とを備えている。このうち、流路毎のノズル孔の位置を、周期的にずらしｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列すると共に、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列毎に圧電素子を順次選択駆動するようになっている。特に、ノズル孔を、流路の長手方向に対しほぼ直交する方向に向けて設けると共に、流路毎のノズル孔の位置を、当該流路の長手方向に沿って周期的にずらすことによってｎ列のノズル列から成る千鳥状に配列し
、ノズル孔の位置が前記流路の長手方向に行同じ第１の位置である複数の流路に応するの圧電素子のうちの任意の２つの圧電素子が前記振動とそれぞれ当接する流路長手方向の第１及び２の当囲の位置で、ノズル孔の位置が前記１の位置と異なる流路に対応する圧電素子が、前記振動板に当接する
　【０００８】本発明では、駆動手段により駆動された圧電素子から振動板に加えられた振動が、これに隣接する非駆動の圧電素子により抑制され、隣接ノズル間での干渉が抑制される。
　【０００９】請求項２記載の発明では、駆動手段は、流路の長手方向に沿ったヘッド走査方向に向かい先行するノズル列から順に圧電素子を駆動する、という構成を採っている。本発明では、ヘッド走査が連続的に行われながら、ヘッド走査方向に先行するノズル列から順に圧電素子が駆動される。
　【００１０】請求項３記載の発明では、前記各ノズル列毎のずらし量をδ，記録ドット密度をｄ，圧電素子の最大駆動周波数をｆｍ，ヘッド走査速度をｖ，ノズル列間の駆動遅延時間をｔとして、
δ＝（ｆｍ／ｄ）×（１／ｆｍ）×（１／ｎ）＝ｖ×ｔ
を満たすように各値を設定した、という構成を採っている。
　【００１１】請求項４記載の発明では、前記振動板の前記圧電素子との当接面に凸状に形成した島状突起部を設けると共に、この島状突起部の流路長手方向の幅と、各ノズル孔毎のずらし量との和が圧電素子の流路方向長さよりも短くなるように各部の長さを設定した、という構成を採っている。
　【００１２】これらにより、前述した目的を達成しようとするものである。
　【００１３】
　【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図１乃至図４に基づいて説明する。
　【００１４】図１において、平板状の流路形成部材４には、帯状の流路８が複数平行に形成されると共にこれら複数の流路８，８，…の一端部を一体的に連通する共通インク室１０が設けられている。この流路形成部材４の一方の面には、ノズルプレート１が装着されている。このノズルプレート１の表面には、複数の流路８、８，…にそれぞれ個別に対応して複数のノズル孔３，３，…が設けられている。一方、流路形成部材４の他方の面には、複数の流路８，８，…に貯留されるインクと接触するように振動板５が設けられている。また、複数の流路８，８，…の形成位置には、当該複数の流路８，８，…にそれぞれ対応して複数の圧電素子６，６，…が振動板５に外部から当接している。これら複数の圧電素子６，６，…には、当該圧電素子６，６，…に選択的に駆動パルス１４，１５を印加する駆動手段（図示略）が併設されている。ここで、符号７は、複数の圧電素子６，６，…を一体的に固定する固定部材を示す。
　【００１５】また、流路８，８，…毎のノズル孔３，３，…の位置は、図２に示すように、当該流路８，８，…の長手方向に沿って周期的にずらされ２列のノズル列１２，１３から成る千鳥状に配列されている。そして、駆動手段が、千鳥配列を成す各ノズル列１２，１３毎に圧電素子６，６，…を順次選択駆動するようになっている。
　【００１６】これを更に詳述すると、本実施形態において、ノズルプレート１及びノズル孔３，３，…は、Ｎｉ等の金属によるエレクトロフォーミング，ＰＥＳＰＳＦ等のモールド成形やレーザ加工等の工程を経て製造される。特に、ノズルプレート１の表面は、撥水性を高めるため、サイトップ等で撥水処理されている。一方、流路形成部材４は、ドライフィルムや感光性ガラス等の材料を用いて形成されている。この流路形成部材４には、露光及び現像プロセスにより上述した流路８，８，…，インク供給路９，９，…や共通インク室１０が形成されている。また、振動板５は、Ｎｉ，ＳＵＳ等の金属材料で形成され、エレクトロフォーミングやエッチング等で島状突起部２，２，…が形成されている。
　【００１７】このように振動板５の圧電素子６，６，…との当接面に凸状に形成された島状突起部２，２，…の流路方向幅は、各ノズル孔３，３，…毎のずらし量δよりも広く且つ圧電素子６，６，…の流路方向幅よりも狭く設定されている。
　【００１８】島状突起部２，２，…の上方には、振動板５への圧力付勢素子として圧電素子６，６，…が接合されている。この圧電素子６，６，…は、圧電材料と導電材料とを交互に積層してブロック状に形成したものにスリット加工を施すことにより、固定部材７と一体的に形成された積層型圧電素子である。そして、その圧力発生源として縦効果振動モードを利用するものである。一方、ここで用いる圧電素子は、上記一例によらず、バイモルフ効果を利用した単一層の圧電素子であっても良い。
　【００１９】この圧電素子６，６，…には、記録信号としての駆動パルスを印加する駆動手段が併設されている（図示略）。この駆動手段は、流路の長手方向に沿ったヘッド走査方向（図２中矢印方向）に向かい先行するノズル列１２から順に圧電素子６，６，…を駆動する。この駆動手段は、図４に示すように、予め設定された１ドットピッチ当たりの記録周期以内で２列のノズル列１２，１３すべての駆動が終了するように圧電素子６，６，…に所定の周期で駆動パルス１４，１５を印加する。この駆動手段により、各流路８に対応した個々の圧電素子６，６，…に選択的に駆動パルスが印加され、当該圧電素子６に電歪効果を生じ、振動板５が振動される。そして、流路８内には圧力が付勢され、この圧力が波動としてノズル孔３に伝幡することによりインク滴が吐出されるようになっている。
　【００２０】本実施形態では、図２に示すように、隣接する各ノズル孔３，３，…が、流路８の長手方向に一定のずらし量δだけずらして交互に設けられ、これに伴い、各ノズル孔３，３，…に通ずる流路８，８，…，インク供給路９，９，…及び島状突起部２，２，…もそれぞれ一定量ずらした位置に設定されている。ここで、図２に示す島状突起部２は、図示しない振動板５に形成されたものであるが便宜上２点鎖線で図示してある。また、各ノズル列毎のずらし量δは、記録ドット密度をｄ，圧電素子の最大駆動周波数をｆｍ，ヘッド走査速度をｖ，ノズル列間の駆動遅延時間をｔとして、
　δ＝（ｆｍ／ｄ）×（１／ｆｍ）×１／ｎ＝ｖ×ｔ　・・・　　式（１）
を満たすように設定されている（本実施形態においてｎ＝２である）。即ち、ずらし量δは、ヘッド走査速度とグループノズル列間の駆動遅延時間との積に等しくなるように設定されれば良い。
　【００２１】ここで、図２に示すように、ずらし量δだけ離れて千鳥状に配設されたノズル列１２，１３のうち、ヘッド走査方向（図２中矢印方向）に向かって先行するノズルのグループをグループＡノズル列１２、遠い方のノズルのグループをグループＢノズル列１３とする。
　【００２２】そして、この２組のグループノズル列を交互に使って、ヘッド走査方向の１ドットピッチ当たりの記録を行うが、ヘッド走査方向に近い方のグループＡノズル列１２より駆動し、グループＡノズル列１２の駆動終了後にグループＢノズル列１３を駆動する。このように、グループＡノズル列１２によるインク吐出とグループＢノズル列１３によるインク吐出との双方により、１ドットピッチ当たりの印字が行われる。
　【００２３】このため、本実施形態によれば、駆動された圧電素子６から振動板５に加えられた振動は、これに隣接する非駆動の圧電素子６，６により抑制され、隣接ノズル間での干渉を有効に抑制することができると共に、インク吐出を行う流路では当該吐出に必要な十分な流路体積変化を得ることができ、安定したインク吐出、高印字品質を実現することができる。また、ヘッド走査方向に先行するノズル列から順に圧電素子を駆動するので、ヘッド走査を連続的に行うことができ、印字の高速化を図ることができる。
　【００２４】この際、駆動手段から圧電素子６に印加される駆動パルスを図４に示す。この図４に示すように、駆動パルスの印加周期は、１ドットピッチ当たりの総記録時間が１ドットピッチ当たりの記録周期（１／ｆ，ｆは１ドットピッチ当たりの記録周波数）以内となるように設定されているので、これによると、印字速度を低下させることなく分割駆動を実現することができ、一直線上に全ノズルが並んでいる従来の記録ヘッドと、本実施形態による記録ヘッドとを同じノズル数，同じノズルピッチ，かつ同じ駆動周波数の条件下で駆動させた場合でも、印字速度は同じになり、十分な印字速度を確保することができる。
　【００２５】また、島状突起部２の流路長手方向の幅と、ずらし量δとの和が、圧電素子６の流路方向長さよりも短くなるように各部の長さを設定したので、島状突起部２をずらし量δだけずらしても、図３のように各島状突起部２，２，…の全体を圧電素子６，６，…の底面に収めることができ、グループＡノズル列１２用の圧電素子６，６，…の配設位置とグループＢノズル列１３用の圧電素子６，６，…とを、全て流路長手方向の同一位置とすることができ、上述したようにブロック状圧電材料をスリット加工して形成した圧電素子６，６，…を共通に使用することができる。
　【００２６】ここで、本発明は上述した実施形態に限定されず、例えば、図５に示すように、３組のグループノズル列（ｎ＝３）又はそれ以上のノズル列を設けた場合であっても前述した実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
　【００２７】
　【発明の効果】本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、すべての流路を平行に並べて形成し、これら流路と個別に通ずる複数のノズル孔を当該流路の長手方向に干鳥状にずらして設け、これにより複数のノズル列を形成し、各ノズル列ごとに圧電素子を順次駆動する構成としたので、駆動された圧電素子から振動板に加えられた振動は、これに隣接する非駆動の圧電素子により抑制され、隣接ノズル間での干渉を有効に抑制することができると共に、吐出を行う流路では当該吐出に必要な十分な流路体積変化を得ることができ、安定したインク吐出、高印字品質を実現することができる、という従来にない優れたインクジェット式ヘッド装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図である。
　【図２】図１に示す実施形態において各ノズル，流路及び島状突起部のずらし量を示す説明図である。
　【図３】図１に示す流路部分の縦断面図である。
　【図４】図１の実施形態において各ノズル列の圧電素子に印加される駆動パルスを示す信号波形図である。
　【図５】本発明の他の実施形態を示す構成図である。
　【図６】第１の従来例を示す斜視図である。
　【図７】第２の従来例を示す斜視図である。
　【符号の説明】
１　ノズルプレート
２　島状突起部
３　ノズル孔
４　流路形成部材
５　振動板
６　圧電素子
７　固定板
８　流路
９　インク供給路
１０　共通インク室
δ　ずらし量