【事件の表示】
　特許第３０２９４０９号「基板処理装置」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０２９４０９号の請求項１ないし８に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  特許第３０２９４０９号の請求項１〜８に係る特許発明についての出願は、平成２年５月２８日に特許出願した特願平２−１３７４９０号の一部を平成９年５月２７日に分割して新たな特許出願とし、平成１２年２月４日にその発明について特許権の設定登録がなされた後、その特許について、特許異議申立人より特許異議の申立てがなされたものである。
２．特許異議申立てについて
（１）本件発明
  特許第３０２９４０９号の請求項１〜８に係る特許発明は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１〜８に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する静止した力セット載置用の基台と、前記力セット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降して、カセットから基板を取り出すインデクサー搬送ユニットと、前記第１搬送路の中央部から略直角の方向に延びる第２搬送路に沿って、基板支持アームに基板を載置した状態で移送するプロセス搬送ユニットと、前記インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第１の高さと、前記プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降する基板載置具と、前記第２搬送路に沿って配置された複数個の基板処理部とを備え、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を前記第１の高さにある基板載置具に受け渡し、前記基板載置具は受け取った基板を第２の高さにまで昇降させ、前記プロセス搬送ユニットは第２の高さにある基板を基板載置具から受け取り、その基板を第２搬送路に沿って前記複数個の基板処理部へ搬送することを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】基板にフォトレジストをコーティングして熱処理する基板処理装置であって、基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する静止したカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降して、カセットから基板を取り出すインデクサー搬送ユニットと、前記第１搬送路の中央部から略直角の方向に延びる第２搬送路に沿って、基板支持アームに基板を載置した状態で移送するプロセス搬送ユニットと、前記インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第１の高さと、前記プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降する基板載置具と、前記第２搬送路に沿って配置され、スピンナー部と熱処理部とを含む複数個の基板処理部からなるプロセスユニットとを備え、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を前記第１の高さにある基板載置具に受け渡し、前記基板載置具は受け取った基板を第２の高さにまで昇降させ、前記プロセス搬送ユニットは第２の高さにある基板を基板載置具から受け取り、その基板を第２搬送路に沿ってスピンナー部と熱処理部を含む前記複数個の基板処理部へ搬送することを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】請求項１または２に記載の基板処理装置において、前記複数個の基板処理部は、プロセス搬送ユニットを間にして第２搬送路に沿って２列に分割して配置されている基板処理装置。
【請求項４】請求項３に記載の基板処理装置において、前記基板載置具は、インデクサー搬送ユニットと一体となって力セット載置用の基台に沿って移動する基板処理装置。
【請求項５】請求項４に記載の基板処理装置において、前記基板載置具は、上端に基板が載置される複数本の支持ピンで構成され、各支持ピンが一体に昇降する基板処理装置。
【請求項６】請求項５に記載の基板処理装置において、前記基板処理装置はさらに、インデクサー搬送ユニットによってカセットから取り出された基板の位置合わせを行う基板整合機構を備え、前記基板整合機構はインデクサー搬送ユニットと一体となって力セット載置用の基台に沿って移動する基板処理装置。
【請求項７】請求項６に記載の基板処理装置において、前記基板は半導体ウエハであって、前記基板整合機構は、基板の外径と略同一曲率となるように配置された複数個の突起を、基板の周辺に当接・離間して基板の位置合わせを行う基板処理装置。
【請求項８】請求項７に記載の基板処理装置において、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットに向かって前後動する基板取り出し用のアームを備える基板処理装置。
（２）申立ての理由の概要
  申立人は、本件の請求項１〜８に係る特許発明は、甲第１〜４号証に基づいて、当業者であれば容易に発明することができるものであるから、特許法第２９条第２項の規定に該当するので、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであり、また、本件の請求項１〜８に係る特許発明は、他人による先願であって本件特許出願後に公開された甲第５号証に係る特願平２−２８０８００号（特開平３−２９０９４６号公報）の願書に最初に添付された明細書及び図面に記載されており、しかも、前記甲第２〜４号証に記載の周知事項を考慮すれば、前記甲第５号証に記載の発明と実質的に同一であるから、特許法第２９条の２の規定に該当するので、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものである旨主張している。
（３）申立人が提出した甲各号証記載の発明
  申立人が提出した甲第１号証刊行物（特開平２−１３２８４０号公報）には、その第１〜４図の実施例を参照すると、基板にフォトレジストをコーティングして熱処理する基板処理装置であって、基板を多段に収納する複数個のカセット１２２を載置する上下動可能なカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、カセットから基板を取り出す搬入搬出機構のピンセット１２１（本件発明のインデクサー搬送ユニットに相当、以下括弧内は同様）と、前記第１搬送路の中央部から略直角の方向に延びる通路１０２（第２搬送路）に沿って、ピンセット１１２，１１３（基板支持アーム）に基板を載置した状態で移送するウエハー搬送装置１１０（プロセス搬送ユニット）と、前記搬入搬出機構のピンセット１２１（インデクサー搬送ユニット）との間で基板の受け渡しをすると共に、同じ受け渡し高さ位置で前記プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする昇降可能なインターフェース機構３０（基板載置具）と、前記通路１０２（第２搬送路）に沿って配置され、スピンナー部と熱処理部とを含む複数個の基板処理部からなる処理ステーション１０３〜１０８（プロセスユニット）とを備え、前記搬入搬出機構のピンセット１２１（インデクサー搬送ユニット）は、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板をインターフェース機構３０（基板載置具）に受け渡し、同じ受け渡し高さ位置で前記インターフェース機構３０（基板載置具）は受け取った基板を前記ウエハー搬送装置１１０（プロセス搬送ユニット）へ受け渡し、その基板を通路１０２（第２搬送路）に沿ってスピンナー部と熱処理部を含む前記複数個の基板処理部へ搬送する基板処理装置が記載されている。
　また、甲第２号証刊行物（特表昭６４−５０００７２号公報）には、その８、９図を参照すると、半導体ウエーハ処理装置であって、基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する上下動可能な力セット載置用の基台と、前記力セット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降して、カセットから基板を取り出すアーム４３２（インデクサー搬送ユニットに相当）を備えたものが、甲第３号証刊行物（特開平１−２２７４５１号公報）には、その第１、３、４図を参照すると、半導体ウエハ処理装置であって、基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する前後方向移動可能な力セット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台から略直角の方向に延びる搬送ステージ１７上を、基板を載置した状態で搬送ユニット１６が水平方向、上下方向、旋回方向に移動可能となし、前記搬送ステージに沿って配置された複数個の基板処理部とを備え、前記搬送ユニットは基板を前記搬送ステージに沿って前記複数個の基板処理部へ搬送するようにしたものが、甲第４号証刊行物（特開昭６２−２２２９０６号公報）には、その第３、４図には、ウエーハの表面検査等におけるウエーハ搬送機構に関するものであって、基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する静止した力セット載置用の基台と、基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降してカセットから基板を取り出すと共に、取り出した基板を試料台へ搬送・載置する展開可能な第１、第２のアーム６、６’を備えたものが、それぞれ記載されている。
　さらに、甲第５号証（甲第５号証として、特開平３−２９０９４６号公報が提示されているが、当該公報は、本件出願より後の出願である特願平２−２８０８００号（出願日：平成２．１０．１９）の公開公報であることに注意を要する。当該出願は、特願平２−８３２３７号（出願日：平成２．３．３０）を基礎とした国内優先権主張を伴った出願であることから、ここでは、本件出願より出願日が前であり、本件出願より後に出願公開された前記の特願平２−８３２３７号の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明（以下、先願発明という）を便宜上甲第５号証として取り扱う。そして、特願平２−８３２３７号を参照すると、特願平２−８３２３７号の発明は、特願平２−２８０８００号の第３図に示された「他の実施例」を除いた第１、２図に示された実施例のものに限られている。）には、基板にフォトレジストをコーティングして熱処理する基板処理装置であって、基板を多段に収納する複数個のカセットを載置する上下動可能なカセット載置用の基台と、前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、カセットから基板を取り出す搬送機構（インデクサー搬送ユニット）と、前記第１搬送路の中央部から略直角の方向に延びる第２搬送路に沿って、ウエハピンセット（基板支持アーム）に基板を載置した状態で移送する搬送路ユニット（プロセス搬送ユニット）と、前記搬送機構（インデクサー搬送ユニット）との間で基板の受け渡しをする第１の高さと、前記搬送路ユニット（プロセス搬送ユニット）との間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降するウエハ受け渡し機構（基板載置具）と、前記第２搬送路に沿って配置され、スピンナー部と熱処理部とを含む複数個の基板処理部からなるプロセスユニットとを備え、前記搬送機構（インデクサー搬送ユニット）は、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を前記第１の高さにあるウエハ受け渡し機構（基板載置具）に受け渡し、前記ウエハ受け渡し機構（基板載置具）は受け取った基板を第２の高さにまで昇降させ、前記搬送路ユニット（プロセス搬送ユニット）は第２の高さにある基板をウエハ受け渡し機構（基板載置具）から受け取り、その基板を第２搬送路に沿ってスピンナー部と熱処理部を含む前記複数個の基板処理部へ搬送する基板処理装置に関する発明が記載されている。
（４）対比・判断
（４．１）請求項１に係る特許発明について
  本件の請求項１に係る特許発明（以下、本件第１発明という）と甲第１号証刊行物に記載の発明とを対比すると、両者は、
　Ａ　本件第１発明が、カセット載置用の基台が静止していて、インデクサー搬送ユニットが前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降するのに対して、甲第１号証刊行物記載の発明では、カセット載置用の基台が上下動可能で、インデクサー搬送ユニットが前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動するのみで、上下動しない点（以下、相違点１という）
　Ｂ　基板載置具が、本件第１発明では、前記インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第１の高さと、前記プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降するのに対して、甲第１号証刊行物記載の発明では、前記インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをすると共に、同じ受け渡し高さ位置で前記プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする点（以下、相違点２という）
　Ｃ　本件第１発明が、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を前記第１の高さにある基板載置具に受け渡し、前記基板載置具は受け取った基板を第２の高さにまで昇降させ、前記プロセス搬送ユニットは第２の高さにある基板を基板載置具から受け取り、その基板を第２搬送路に沿って前記複数個の基板処理部へ搬送するのに対して、甲第１号証刊行物記載の発明では、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を基板載置具に受け渡し、同じ受け渡し高さ位置で前記基板載置具は受け取った基板を前記プロセス搬送ユニットへ受け渡し、その基板を第２搬送路に沿って前記複数個の基板処理部へ搬送する点（以下、相違点３という）
で相違し、その他の構成では一致しているものと認められる。
　前記相違点について検討すると、
相違点１について：甲第４号証刊行物には、基板を多段に収納する複数個のカセット側を静止させ、基板を取り出す搬送アーム側を上下昇降させたものが開示されているから、
このカセット側と搬送アーム側との動作関係を甲第１号証刊行物記載のカセット載置用の基台と基板取り出し用の搬送ユニットとのいずれを上下昇降させるかの動作関係に採用して本件第１発明における前記相違点１の構成とすることは、当業者であれば容易に想到し得たものというべきである。
相違点２、３について：基板載置具が、インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第１の高さと、プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降すること、そして、前記インデクサー搬送ユニットは、カセットから取り出した基板を第１搬送路に沿って搬送して、その基板を前記第１の高さにある基板載置具に受け渡し、前記基板載置具は受け取った基板を第２の高さにまで昇降させ、前記プロセス搬送ユニットは第２の高さにある基板を基板載置具から受け取り、その基板を第２搬送路に沿って前記複数個の基板処理部へ搬送することについては甲第２〜４号証刊行物のいずれにも記載されていない。そして、このような構成としたことにより特許明細書記載の効果を奏するものと認められる。それゆえ、本件第１発明における前記相違点２、３に係る構成は、当業者が容易に想到できたものとはいえない。
  よって、本件第１発明は甲第１〜４号証刊行物に記載された発明から容易に想到し得たものではない。
（４．２）請求項２に係る特許発明について
  請求項２は、独立記載形式であるが、請求項１に係る特許発明において、基板処理装置が、基板にフォトレジストをコーティングして熱処理する基板処理装置であること、複数個の基板処理部が、スピンナー部と熱処理部とを含むプロセスユニットであることを限定したものであるが、これらの両構成は、前記甲第１号証刊行物に記載されているので、このことを踏まえて、本件の請求項２に係る特許発明（以下、本件第２発明という）と甲第１号証刊行物に記載の発明とを対比すると、両者は、前記（４．１）請求項１に係る特許発明についての項で説示したのと同様に、相違点１〜３で相違するものであるが、相違点についての判断は前述のとおりであるから、結局、相違点２、３に係る構成は、当業者が容易に想到できたものではない。
　それゆえ、本件第２発明も甲第１〜４号証刊行物に記載された発明から容易に想到し得たものではない。
（４．３）請求項３〜８に係る特許発明について
  請求項３〜８は、それぞれが請求項１、請求項２を直接又は間接に引用しており、前述のとお本件第１発明及び第２発明がそれぞれ特許要件を有するものであるから、これらの第１発明及び第２発明の構成に更に限定を加えた請求項３〜８に係る特許発明も特許要件を有するものというべきである。
（４．４）請求項１に係る特許発明について
  本件の請求項１に係る特許発明（以下、本件第１発明という）と甲第５号証の先願発明とを対比すると、両者は、
  本件第１発明が、カセット載置用の基台が、静止していて、インデクサー搬送ユニットが前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動し、かつ基板を上下多段に収納しているカセットの収納高さを昇降するのに対して、先願発明では、カセット載置用の基台が、上下動可能で、インデクサー搬送ユニットが前記カセット載置用の基台に沿った第１搬送路を移動するのみで上下動しない点で相違する。
　そして、本件第１発明は、この相違点に係る構成としたことにより、特許明細書に記載の「カセットからの基板の取り出しに際してカセットが昇降しないので、カセットの振動に伴う塵埃の発生がなく、基板を清浄な状態で搬送して処理することができる」という効果を奏することができるものである。
  よって、本件第１発明は甲第５号証の先願発明と同一とはいえない。
（４．５）請求項２に係る特許発明について
 請求項２は、独立記載形式であるが、請求項１に係る特許発明において、基板処理装置が、基板にフォトレジストをコーティングして熱処理する基板処理装置であること、複数個の基板処理部が、スピンナー部と熱処理部とを含むプロセスユニットであることを限定したものであるが、これらの両構成は、前記甲第５号証の先願発明にも記載されているので、このことを踏まえて、本件の請求項２に係る特許発明（以下、本件第２発明という）と甲第５号証の先願発明とを対比すると、両者は、前記（４．４）請求項１に係る特許発明についての項で対比した相違点で相違する。よって、本件第２発明も甲第５号証の先願発明と同一とはいえない。
（４．６）請求項３〜８に係る特許発明について
  請求項３〜８は、それぞれが請求項１、請求項２を直接又は間接に引用しており、前述のとおり本件第１発明及び第２発明がそれぞれ先願発明と同一といえないのであるから、これら第１発明及び第２発明の構成に更に限定を加えた請求項３〜８に係る特許発明も先願発明と同一とはいえない。
（５）申立人の主張について
  申立人は、甲第２号証または甲第３号証において、「インデクサー搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第１の高さと、プロセス搬送ユニットとの間で基板の受け渡しをする第２の高さとの間を昇降する基板載置具」とに対応する構成が開示ないし示唆されていると主張するが、そのような構成は、前記甲第２、３号証刊行物には記載されていない。
  また、申立人は、甲第５号証の先願発明では、前記（４．４）で対比した相違点で本件第１発明と相違するとした上で、カセット側とインデクサー搬送ユニット側とのいずれを上下動させるかについては、当業者が選択可能な設計事項にすぎないから、本件第１発明は甲第５号証の先願発明と実質的に同一であると主張しているが、カセット側とインデクサー搬送ユニット側との動作関係でみたとき、カセット側が静止してインデクサー搬送ユニット側が上下動するタイプの基板取り出し装置が周知でない限り（異議申立人の提出した証拠：甲第４号証からだけでは、到底周知とはいえない）、カセット側とインデクサー搬送ユニット側との動作関係を本件第１発明のようになすことは当業者が選択可能な設計事項の範囲であるとすることはできない。
　それゆえ、申立人の前記各主張は採用できない。
（６）むすび
  以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び提出した証拠によっては、本件請求項１〜８に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜８に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
  したがって、本件請求項１〜８に係る発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月１７日（２００１．５．１７）