【事件の表示】
　特許第２７９４５８７号「投影露光装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認めない。
　特許第２７９４５８７号の特許請求の範囲第１項ないし第８項、第１０項に記載された発明についての特許を取り消す。
　同特許請求の範囲第９項に記載された発明についての特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第２７９４５８７号に係る発明は、平成１年１月３０日に特許出願され、平成１０年６月２６日にその特許の設定登録がされ、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年９月６日に訂正請求がなされ、その後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１２月７日に手続補正がなされたものである。
１．１　異議申立ての概要
　異議申立人キャノン株式会社は、甲第１号証（特開昭５７−１７７１４４号公報）、甲第２号証（特開昭６１−１３６２２７号公報）及び甲第３号証（特開昭６３−２１３９２６号公報）を提出し、本件請求項１、２及び６〜９に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項の規定により特許を受けることができないものであり、また、本件請求項１、２及び６〜９に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、さらに、本件請求項３〜５及び１０に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、本件特許を取り消すべき旨主張している。
１．２　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第１号証の記載内容
　甲第１号証には、露光方法及び露光装置が記載されている。
１．３　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第２号証の記載内容
　甲第2号証には、レチクル1（本件請求項１に係る発明の「第1物体」に相当する。）に形成されたパターンの像をレンズ光学系2を介してウエハ4（本件請求項１に係る発明の「第2物体」に相当する。）上に投影することによりウエハ4を露光する投影露光装置が記載されている。
　甲第2号証の第2頁右上欄10行から第3頁左下欄5行には、「投影光学系のピント位置を変える要因として・・・レチクルとウエハとの間の空気の温度変化および投影光学系中の硝材の温度変化、・・・レチクルとウエハとの間の空気の大気圧、・・・レチクルとウエハとの間の空気の湿度等である。・・・このような温度変化によるピント位置の変化は、係数的には・・・最も大きい。従来は、エアコンデショニング等の手段により装置の環境および装置内の温度を制御してピント位置の変化量を抑えていた。」と記載されている。
　甲第2号証の第3頁左上欄15行から同欄19行には、「本発明の目的は、第１物体上のパターンを光学系を介して第１物体上に投影する装置において、気圧、温度、湿度等の外的環境が変化してもパターンを第２物体上に正確に投影することができる投影装置を提供することにある。」と記載されている。
　甲第2号証の第3頁右下欄1行から第4頁左上欄12行には、第1図に示される実施例の説明がされ、その第3頁右下欄9行から第4頁左上欄3行目には、「33は一定周波数のレーザ光LBを発生するレーザ光源、・・・ 35はXYステージ31上に固定されている測長用反射鏡、・・・即ちX-Yステージ31のX方向の移動距離を測定する・・・Y方向の移動距離を測定するために、もう一組設けられている。」と記載されている。
　また第4頁右上欄14行から同頁左下欄12行には、「42はレチクルステージ23と支持台24の間を略密閉状態に覆うカバーで、レンズ光学系2の大部分はこのカバー42で覆われた空間内に位置している。43はカバー42で覆われた空間内の温度を調整する温調ユニットで、・・・ 45は支持台24と定盤32の間を略密閉状態に覆うカバーで・・・ ウエハステージ28、X-Yステージ31、モータ、干渉計34 ・・・が少なくとも位置している。46はカバー45内の温度を調整する空調ユニットで・・・冷却もしくは熱せられた空気をカバー45内に流入される。」と記載されている。
１．４　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第３号証の記載内容
　甲第3号証は、投影露光装置に関するものであり、甲第3号証の第4頁右上欄16行から同頁左下欄2行には、「また、上記各実施例では、レーザ光源を・・・よりクリーン度の高いクリーンチャンバー内に露光部のみを設置するようにしても良い。」と記載されている。
２．訂正の適否について
２．１　訂正請求に対する補正の適否について
　特許件者は、訂正明細書の、特許請求の範囲の請求項１
「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバと、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内に配置され、前記第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調することによって前記第2空間内の温度が一定となるように温度制御する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」
請求項２
「前記隔壁部材は、前記投影光学系と前記第2物体との間の空間を取り囲む第2チャンバと前記第1チャンバ内に形成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。」
請求項３
「前記隔壁部材は、前記第1物体と前記投影光学系との間の空間を取り囲む第3のチャンバを前記第1チャンバ内に形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。」
請求項４
「前記第2物体を載置するステージと、前記ステージの位置を計測するための干渉計とをさらに備え、前記第2チャンバは、前記ステージ及び前記干渉計の光路を含む空間を取り囲むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。」
請求項６
「前記第1チャンバ内の空調を行う第2空調手段を前記前記第1空調手段とは別個に備え、前記第1、第2空調手段は、前記第1、第2チャンバのそれぞれに独立に設けられ、各チャンバ内の空気を排除するためのダクトをそれぞれ備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項７
「前記第1空調手段は、前記隔壁部材によって隔たれた空間内の圧力をその外側よりも高く設定することを特徴とする請求項1又は6に記載の露光装置。」
請求項９
「前記チャンバの隔壁は温度制御された流体を流すための流露が内部に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項１０
「前記第1チャンバの外に設置され、前記第2物体を露光するための露光光を供給する光源をさらに有することを特徴とする請求項1又は6に記載の露光装置。」
を、
請求項１
「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置の全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバと、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内に配置され、前記第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1空間外に配置され、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調することによって前記第2空間内の温度が一定となるように温度制御する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」
請求項２
「前記第2空間は、前記投影光学系と前記第2物体との間の空間を含み、前記隔壁部材は、前記第2空間を取り囲む第2チャンバを構成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。」
請求項３
「前記第2空間は、前記第1物体と前記投影光学系との間の空間を含み、前記隔壁部材は、前記第2空間を取り囲む第3のチャンバを構成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。」
請求項４
「前記第2物体を載置するためのステージと、前記ステージの位置を計測するための干渉計とをさらに備え、前記第2チャンバは、前記ステージ及び前記干渉計の光路を含む空間を取り囲むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。」
請求項６
「前記第1チャンバ内の空調を行う第2空調手段を前記前記第1空調手段とは別個に備え、前記第1、第2空調手段は、前記第1、第2チャンバのそれぞれに独立に設けられ、各チャンバ内の空気を排除するためのダクトをそれぞれ備えることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。」
請求項７
「前記第1空調手段は、前記隔壁部材によって隔たれた空間内の圧力をその外側よりも高く設定することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の露光装置。」
請求項９
「前記チャンバの隔壁は温度制御された流体を流すための流路が内部に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項１０
「前記第1チャンバの外に設置され、前記第2物体を露光するための露光光を供給する光源をさらに有することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の露光装置。」
と補正し、特許請求の範囲の補正に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明を整合させる補正をし、さらに、訂正請求書に添付した第1図中の符号「38」を「33」に補正するものであり、当該訂正請求に対する補正は、訂正請求の要旨を変更するものではなく、特許法第１２０条の４第第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合する。
２．２　本件訂正請求の概要
　平成１１年１２月７日付手続補正書により補正された平成１１年９月６日付訂正請求の概要は、願書に添付された明細書の請求項１「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲む第1チャンバと、前記第1チャンバ内で所定空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1チャンバ内の前記隔壁部材によって隔てられた空間を空調する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」を、「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバと、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内に配置され、前記第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第１空間外に配置され、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調することによって前記第2空間内の温度が一定となるように温度制御する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」と訂正する内容を含むものである。
２．３　訂正拒絶理由の概要
「訂正請求における請求項1に係る発明は、甲第２号証（特開昭６１−１３６２２７号公報）に記載された発明に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、訂正後の請求項１に記載された発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　従って、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しない。」旨の訂正拒絶理由を通知した。
２．４　甲第２号証の記載内容
　甲第２号証の記載内容は、上記１．３のとおりである。
２．５　訂正の適否についての判断
２．５．１　訂正後の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明１」という。）
「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバと、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内に配置され、前記第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第１空間外に配置され、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調することによって前記第2空間内の温度が一定となるように温度制御する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」
２．５．２　訂正発明１の独立特許要件の検討
　訂正発明１と甲第２号証に記載された発明との対比
　甲第２号証には、「従来は、エアコンデショニング等の手段により装置の環境および装置内の温度を制御してピント位置の変化量を抑えていた。」と記載され、また、甲第２号証に記載された発明は、当該コンデショニング等の手段を不要とするものではなく、甲第２号証に記載された発明における投影露光装置は、当該技術分野の常套手段である温度制御されたクリーンルーム内に設置されているものと認められるから、甲第２号証に記載された発明は、訂正発明１の「投影露光装置全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバ」に相当する構成を有していると認める。また、甲第２号証に記載された発明は、投影露光装置に支持台24と定盤32の間を略密閉状態に覆うカバー45及びカバー45内の温度を調整する空調ユニット46を設け、冷却もしくは熱せられた空気をカバー45内に流入するものであるから、甲第２号証に記載された発明は、訂正発明１の「第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調することによって前記第2空間内の温度制御する第1空調手段」に相当する構成を有していると認める。
　上記認定を考慮すると、訂正発明１と甲第２号証に記載された発明は、「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲むとともに、該取り囲んだ第1空間を温度制御する第1チャンバと、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内に配置され、前記第1空間内の所定の第2空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1チャンバで囲まれ温度制御された第1空間内の前記隔壁部材によって隔てられた前記第2空間を空調する温度制御する第1空調手段と、を備えた投影露光装置。」である点で一致し、訂正発明１が、「第１空間外に配置された第１空調手段」（以下、「訂正発明１の構成１」という。）及び「第2空間内の温度が一定となるように温度制御する」手段（以下、「訂正発明１の構成２」という。）を有するのに対し、甲第２号証に記載された発明は、上記訂正発明１の構成１、２がない点で相違する。
　そこで、上記訂正発明の構成１、２について検討する。
２．５．２．１　訂正発明１の構成１について
　甲第２号証に記載された発明では、第1空調手段が、第1空間内に配置されているが、投影露光装置は、クリーンルーム内に設置することが常套手段であるから、空調手段は、クリーン性の観点からすると、空調手段の本体（少なくとも吸気部）をクリーンルーム内に置くことが望ましく、また、熱負荷の観点からすると、空調手段の本体をクリーンルーム外に置くことが有利であることは明らかであり、従って、訂正発明１のように、第1空調手段を、第1空間外に配置された第1空調手段とするか、甲第２号証に記載された発明のように、第1空調手段を、第1空間内に配置された第1空調手段とするかは、いずれを優先するかにすぎず、単に設計上の選択事項にすぎない。
２．５．２．２　訂正発明１の構成２について
　甲第２号証に記載された発明は、第１物体上に投影する装置において、気圧、温度、湿度等の環境が変化してもパターンを第２物体上に正確に投影することができる投影装置を提供することを目的として、温度を調整しているので、温度を一定に保つものではないが、温度を一定に保つようにすることは、当業者が容易に想到できたものである。
　また、甲第２号証に記載された発明は、外的環境の変化を考慮しているが、投影露光装置自体による温度変化を考慮することは当業者において自明の事項にすぎない。
２．５．２．３　相乗効果について
　訂正発明１の構成要件相互の関係においても相乗効果は特に認められない。
２．６　結論
　そうすると、訂正発明１は、甲第２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　従って、訂正発明１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、特許法第１２０条の４第２、３項で準用する訂正についてなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合しないので、本件訂正請求は認められない。  
３．異議申立に対する判断
３．１　本件特許の請求項に係る発明
請求項１
「第1物体に形成されたパターンの像を投影光学系を介して第2物体上に投影することにより前記第2物体を露光する投影露光装置において、前記投影露光装置全体を取り囲む第1チャンバと、前記第1チャンバ内で所定空間を隔てるための隔壁部材と、前記第1チャンバ内の前記隔壁部材によって隔てられた空間を空調する第1空調手段と、を備えたことを特徴とする投影露光装置。」
請求項2
「前記隔壁部材は、前記投影光学系と前記第2物体との間の空間を取り囲む第2チャンバを前記第1チャンバ内に形成することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。」
請求項3
「前記隔壁部材は、前記第1物体と前記投影光学系との間の空間を取り囲む第3のチャンバを前記第1チャンバ内に形成することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。」
請求項4
「前記第2物体を載置するためのステージと、前記ステージの位置を計測するための干渉計とをさらに備え、前記第2チャンバは、前記干渉計の光路を含む空間を取り囲むことを特徴とする請求項2に記載の露光装置。」
請求項5
「前記干渉計のためのレーザ光源をさらに有し、該レーザ光源は、前記第2チャンバの外に設置されることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。」
請求項6
「前記第1チャンバ内の空調を行う第2空調手段を前記第1空調手段とは別個に備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項7
「前記第1空調手段は、前記隔壁部材によって隔てられた空間内の圧力をその外側よりも高く設定することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の露光装置。」
請求項8
「前記チャンバの隔壁は断熱材を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項9
「前記チャンバの隔壁は温度制御された流体を流すための流路が内部に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の露光装置。」
請求項10
「前記第1チャンバの外に設置され、前記第2物体を露光するための露光を供給する光源をさらに有することを特徴とする請求項1または請求項6に記載の露光装置。」
３．２　取消理由通知の概容
　本件請求項１及び２に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条第１項の規定により特許を受けることができない。
　本件請求項３〜１０に係る発明は、甲第１〜３号証に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．３　引用例の内容
　１．３及び１．４に記載のとおり。
３．４　本件請求項1〜８、１０に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
３．４．１　本件請求項１に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項１に係る発明は、「２．５．２訂正発明１の独立特許要件の検討」の項で検討した甲第２号証との相違がないから、甲第２号証に記載された発明と同一である。
　従って、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同項の規定に違反してされたものである。
３．４．２　本件請求項２に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項２に係る発明の付加構成である「前記投影光学系と前記第2物体との間の空間を取り囲む第2チャンバを前記第1チャンバ内に形成」した隔壁部材は、甲第２号証記載のカバー45が当該隔壁部材に対応しているから、本件特許請求項２に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一である。
　従って、本件請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号に該当し、同項の規定に違反してされたものである。
３．４．３　本件請求項３に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項３に係る発明の付加構成である「前記第1物体と前記投影光学系との間の空間を取り囲む第3のチャンバを前記第1チャンバ内に形成」した隔壁部材について検討する。
　甲第２号証記載のカバー42が、「レチクルステージ23と支持台24の間を略密閉状態に覆うカバーで、レンズ光学系2の大部分はこのカバー42で覆われた空間内に位置している」ものであり、当該「レチクル」及び「レンズ光学系」は、それぞれ、本件請求項３に係る発明の「第1物体」及び「投影光学系」に相当するので、本件請求項３に係る発明の隔壁部材が、「第1物体と前記投影光学系との間の空間を取り囲む」のに対し、甲第２号証記載のカバー42は、「レチクル（本件請求項３に係る発明の「第1物体」に相当する。）ステージ23と支持台24の間を略密閉状態に覆うカバーで、レンズ光学系2（本件請求項３に係る発明の「投影光学系」に相当する。）の大部分はこのカバー42で覆われた空間内に位置」させる点で相違する。
　レチクルとレチクルステージは、通常、密着する構成を用いるから、カバーにより覆うべき空間を特定するものがレチクルとレチクルステージである点の相違は実質的な差異とは認められない。
　また、甲第２号証記載のカバー42のように、レンズ光学系の大部分をカバー42で覆うことに換え、本件請求項３に係る発明の隔壁部材のように、「投影光学系との間の空間を取り囲む」ことは、当業者が容易に推考できたものである。
　また、本件請求項３の付加構成と、本件請求項３において引用する本件請求項1、２の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項３に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．４　本件請求項４に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項４に係る発明の付加構成である「前記第2物体を載置するためのステージと、前記ステージの位置を計測するための干渉計とをさらに備え、前記第2チャンバは、前記干渉計の光路を含む空間を取り囲む」点について検討する。
　甲第２号証に記載の「ウエハステージ28」、「干渉系34」及び「カバー45」は、それぞれ、本件請求項４に係る発明の「ステージ」、「干渉計」及び「第2チャンバ」に相当する。また、甲第２号証に記載のカバー45は、干渉系34を覆っているから、本件請求項４に係る発明の「干渉計の光路を含む空間を取り囲む」第2チャンバの構成は当業者が容易に想到できたものである。
　また、本件請求項４の付加構成と、本件請求項４において引用する本件特許請求項２の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．５　本件請求項５に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項５に係る発明の付加構成である「前記干渉計のためのレーザ光源をさらに有し、該レーザ光源は、前記第2チャンバの外に設置される」点について検討する。
　甲第２号証に記載の「レーザ光源」及び「カバー45」は、それぞれ、本件請求項５に係る発明の「レーザ光源」及び「第2チャンバ」に相当する。また、甲第２号証に記載のカバー45は、レーザ光源を覆っていないから、本件請求項５に係る発明の「レーザ光源は、前記第2チャンバの外に設置される」構成は当業者が容易に想到できたものである。
　また、本件請求項５の付加構成と、本件請求項５において引用する本件請求項４の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．６　本件請求項６に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項６に係る発明の付加構成である「前記第1チャンバ内の空調を行う第2空調手段を前記第1空調手段とは別個に備える」点について検討する。
　甲第２号証に記載の「空調ユニット」は、本件請求項６に係る発明の「第1空調手段」に相当する。また、甲第２号証には、本件請求項６に係る発明の「第1チャンバ内の空調を行う第2空調手段」について記載はないが、上記「２．５．２　訂正発明１の独立特許要件の検討」でしたとおり、甲第２号証には、「従来は、エアコンデショニング等の手段により装置の環境および装置内の温度を制御してピント位置の変化量を抑えていた。」と記載され、また、甲第２号証に記載された発明は、当該コンデショニング等の手段を不要とするものではないから、甲第２号証に記載された発明における投影露光装置は、当該技術分野の常套手段である温度制御されたクリーンルーム内に設置されているものと認められ、当該クリーンルームを空調する空調手段を必然的に備えているものと認める。
　当該空調手段（本件請求項６に係る発明の「第2空調手段」に相当する。）と、上記空調ユニットを別個に備えることは、当業者が容易になし得たことにすぎないから、本件請求項６に係る発明は当業者が容易に想到できたものである。
　また、本件請求項６の付加構成と、本件請求項６において引用する本件特許請求項1〜３の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項６に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．７　本件請求項７に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項７に係る発明の付加構成である、内部空間の圧力その外部空間の圧力より高く設定することは、空調を安定化させるための慣用手段である。
　従って、本件請求項７に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．８　本件請求項８に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項８に係る発明の付加構成である、隔壁を断熱材を有するようにすることは、空調を安定化させるための慣用手段である。
　従って、本件請求項８に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．９　本件請求項１０に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項１０に係る発明の付加構成である「前記第1チャンバの外に設置され、前記第2物体を露光するための露光を供給する光源をさらに有することを特徴とする請求項１または請求項6に記載の露光装置。」点について検討する。
　甲第3号証の第4頁右上欄16行から同頁左下欄2行には、「また、上記各実施例では、レーザ光源を・・・よりクリーン度の高いクリーンチャンバー内に露光部のみを設置するようにしても良い。」と記載されており、当該「クリーンチャンバー」及び「レーザ光源」は、それぞれ、本件請求項１０に係る発明の「第1チャンバ」及び「第2物体を露光するための露光を供給する光源」に相当するから、本件請求項１０に係る発明の付加構成は、甲第３号証に記載された手段である。
　また、本件請求項１０の付加構成と、本件請求項１０において引用する本件請求項1、６の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項１０に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
３．４．１０　本件請求項９に係る発明と異議申立人が提出した甲第1〜３号証との対比
　本件請求項９に係る発明の付加構成である「前記チャンバの隔壁は温度制御された流体を流すための流路が内部に形成されている」点について検討すると、甲第１〜３号証のいずれにも上記付加事項が記載されておらず、また、その構成を示唆する記載もない。
　従って、本件請求項９に係る発明は、甲第１〜３号証と同一であるとも、また、甲第１〜３号証から容易に発明できたものとすることもできない。
　従って、本件請求項９に係る発明は、特許法第２９条第１項又は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるとすることができない。
４．むすび
  以上のとおりであるから、本件特許1〜８、１０に係る発明の特許は、取り消すべきものである。
　また、本件請求項９に係る発明の特許については、特許異議申立人が提示した特許異議申立の理由および証拠によって取り消すことができず、他に取消理由を発見しない。
  よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月４日（２０００．２．４）