【事件の表示】
　特許第２８７９０８８号「サ−マルヘッド」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７９０８８号の特許を維持する。
【理　由】
［手続の経緯］
　本件特許第２８７９０８８号の特許請求の範囲第１〜３項に係る発明の出願は、昭和５６年９月７日に出願した特願昭５６−１４０６５３号の一部を平成４年６月２６日に新たな特許出願としたものであって、平成１１年１月２９日にその特許の設定登録がなされ、その後、その特許について友田宏人及び今村和実より特許異議の申立がなされ、当審において取消理由の通知がなされたところ、その指定期間内である平成１２年６月１３日に訂正請求がなされたものである。
　　　　　　
　　　　　　
［訂正の適否についての判断］
【１】訂正の内容
〔１〕訂正事項ａ
　特許請求の範囲において、第１項を「基板と、当該基板上に形成された発熱体層と、当該発熱体層に電流を供給する電極と、水素を３０モル％以下含み、前記発熱体層および電極を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜と、から構成されることを特徴とするサーマルヘッド。」と訂正する。
〔２〕訂正事項ｂ
　特許請求の範囲において、第２，３項を削除する訂正をする。
〔３〕訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明において、段落【０００５】の【課題を解決するための手段】の項を「前記目的を達成するために、本発明のサーマルヘッドは、基板（１）と、当該基板（１）上に形成された発熱体層（３）と、当該発熱体層（３）に電流を供給する電極（４）、（４’）と、水素を３０モル％以下含み、前記発熱体層（３）および電極（４）、（４’）を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜（５）とから構成されることを特徴とする。」と訂正する。
〔４〕訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明において、段落【０００６】【０００７】を削除する訂正をする。
〔５〕訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明において、段落【０００８】の【作用】の項を「本発明のサーマルヘッドは、基板上に形成された発熱体層および当該発熱体層に電流を供給する電極の上に保護膜が形成されている。そして、この保護膜は、絶縁体で、水素を３０モル％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる。また、上記保護膜は、たとえば、プラズマ気相によって、非晶質炭素として作製される。したがって、前記保護膜は、耐磨耗性および耐熱性に優れているため、薄く成膜でき、発熱体層からの熱を応答性良く感熱記録用紙に伝達する。また、上記発熱体層は、低温によって膜を形成することができ、安価なサーマルヘッドとなる。」と訂正する。
〔６〕訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明において、段落【００１７】の【発明の効果】の項を「本発明によれば、サーマルヘッドの発熱体層および電極を保護する保護膜は、非晶質炭素からなり、高い耐磨耗性および高い耐熱性を有すると共に、極めて薄い保護膜を形成したため、発熱体層からの熱が感熱記録用紙へ高速で応答し伝達される。また、本発明によれば、保護膜は、水素をモル３０％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素であるため、製造するに際し低温で安価な薄い膜を得ることができる。」と訂正する。
　　　　　　
【２】訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張，変更の存否
〔１〕訂正事項ａについて
　この訂正は、特許明細書の「その上面に少なくとも非晶質を有する炭素または珪素を主成分とする保護膜が形成されている・・・非晶質（アモルファス）、または５〜２０Åの大きさの微結晶性を有する半非晶質（セミアモルファス）半導体層が形成される。」（段落【０００９】），「上記炭素被膜は、・・・というダイヤモンド類似の硬さを有するきわめてすぐれた特性を見出した。」（段落【００１０】），「前者にあっては、炭素に水素が３０モル％以下、・・・炭素どうしの共有結合が強くダイヤモンドと類似の物性を有していた。」（段落【００１１】），「本実施例は、非晶質または半非晶質の絶縁性の炭素または炭素中に水素、珪素が３０モル％以下に含有した炭素を主成分とする被膜を形成せんとするものである。」（段落【００１２】）の記載、及び、図面の記載の範囲内で、特許請求の範囲第１項の構成を限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
〔２〕訂正事項ｂについて
　この訂正は、特許請求の範囲第２，３項を削除する訂正であり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
〔３〕訂正事項ｃ〜ｆについて
　これらの訂正は、上記訂正事項ａ，ｂの訂正に伴い、それとの整合を図るために発明の詳細な説明の段落【０００５】【０００６】【０００７】【０００８】【００１７】の記載を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　　　　　　
【３】独立特許要件
　訂正後の特許請求の範囲第１項に係る発明は、後述するように、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　　　　　　
【４】訂正の適否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、特許明細書に対する上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号、以下「平成６年改正法」という）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１〜３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　　　
　　　　　　　
［特許異議申立について］
【１】訂正後の特許請求の範囲第１項に係る発明
　訂正後の特許請求の範囲第１項に係る発明の要旨は、訂正明細書及び図面の記載からみて、前述、［訂正の適否についての判断］の欄、【１】〔１〕「訂正事項ａ」の項に記載されたとおりである。
　　　　　　
【２】異議申立の理由の概要
〔１〕異議申立人・友田宏人の主張
（１）主張１
　証拠方法として、甲第１号証〔特開昭５５−７７５８４号公報（以下「刊行物１」という）〕、甲第２号証〔画像電子学会第５９回研究会講演予稿（８０〜０７）、１９８１年３月１６日、東芝総合研究所・真下正夫、「薄膜サーマルヘッドの寿命推定に関する一考察」（以下「刊行物２」という）〕、及び、甲第３号証〔特開昭５２−１４６００号公報（以下「刊行物３」という）〕を提出し、本件特許請求の範囲第１項に係る発明は、本件出願前に公知である刊行物１〜３に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、本件特許請求の範囲第１項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
（２）主張２
　本件特許請求の範囲第１項において、「保護膜」に関する「共有結合した炭素を主成分とし、」の記載については、特許明細書に「炭素被膜は、ビッカース硬度４５００ｋｇ／ｍｍ２以上、特に、６５００ｋｇ／ｍｍ２というダイヤモンド類似の硬さを有するきわめてすぐれた特性を見出した。」（段落【００１０】）との記載はあるが、炭素の共有結合には、一般に、耐摩耗性の優れた物質を得ることができるダイヤモンド結合と呼ばれる共有結合以外にも、耐摩耗性の劣る物質しか得られないグラファイト結合と呼ばれる共有結合が存在（参考資料：堂山昌男・山本良一編、水田進・河本邦仁著、１９８６年４月２５日初版（１９９２年４月３０日３刷）東京大学出版会発行、「材料テクノロジー１３　セラミック材料」参照）するから、「共有結合した炭素を主成分とし、」との表現では発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないことが明らかであり、本件特許請求の範囲第１項に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していない特許出願に対してされたものである。
〔２〕異議申立人・今村和実の主張
（１）主張１
　証拠方法として、甲第１号証〔特開昭５３−１０１４２６号公報（以下「刊行物４」という）〕、甲第２号証〔特開昭５２−１４６００号公報（以下「刊行物５」という、異議申立人・友田宏人の提出した刊行物３と同じ）〕、及び、甲第３号証〔特開昭５３−２８５７６号公報（以下「刊行物６」という）〕を提出し、本件特許請求の範囲第１〜３項に係る発明は、本件出願前に公知である刊行物４〜６号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、本件特許請求の範囲第１〜３項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
（２）主張２
　本件特許請求の範囲第１，２項において、「保護膜」に関する「共有結合した炭素を主成分とし、」の記載については、「主成分」がどの程度の割合であるのか不明であり、また、本件特許請求の範囲第３項において、「保護膜」に関する「水素、ハロゲン元素または珪素が０．０１モル％ないし２０モル％添加されている」の記載については、特許明細書の段落【０００７】にそれに対応する記載があり、段落【００１１】【００１２】【００１５】に水素及び珪素に関する記載はあるものの、ハロゲンに関する記載は一切ないものであるから、「水素、ハロゲン元素または珪素が０．０１モル％ないし２０モル％添加されている」との表現では発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないことが明らかであり、本件特許請求の範囲第１〜３項に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していない特許出願に対してされたものである。
　　　　　
【３】特許法第２９条第２項違反との主張（異議申立人・友田宏人の主張１
、又は、異議申立人・今村和実の主張１に対応）について
　訂正請求により、特許請求の範囲第１項が訂正されると共に特許請求の範囲第２，３項が削除されたので、以下、訂正された特許請求の範囲第１項に係る発明（以下「本件発明」という）について検討する。
〔１〕各刊行物に記載された発明
（１）刊行物１〔特開昭５５−７７５８４号公報〕
　絶縁性基板２，１２と、当該絶縁性基板２，１２上に形成された発熱抵抗体４，１４と、当該発熱抵抗体４，１４に電流を供給する導体３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂと、前記発熱抵抗体４，１４および導体３ａ，３ｂ，１３ａ，１３ｂ を保護する炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなる耐摩耗性保護膜５，１５と、から構成されることを特徴とするサーマルヘッド１，１１、が記載されている。（第１，２図、等参照）
（２）刊行物２〔画像電子学会第５９回研究会講演予稿（８０〜０７）、１９８１年３月１６日、東芝総合研究所・真下正夫、「薄膜サーマルヘッドの寿命推定に関する一考察」〕  
　サーマルヘッドサンプルの３種類の耐摩耗膜Ｔａ２Ｏ５，Ｓｉ３Ｎ４，ＳｉＣはいずれも非晶質膜であること、ＳｉＣ（炭化ケイ素）の耐摩耗膜はアルミナ粉末を塗布したテープを用いた摩耗率測定では他のものよりも耐摩耗性に優れているがサーマルヘッド動作時では摩耗率が大きいこと、等が記載されている。（４頁左欄１６行〜同頁右欄４行の「３．１摩耗劣化による寿命推定」の項，「テープによる摩耗強制試験」の結果を示す第７図、等参照）
（３）刊行物３〔特開昭５２−１４６００号公報〕
　グロー放電のプラズマ領域内における高エネルギー状態を利用し、プラズマ領域内に電気的に浮遊した状態で配設された基板上にアルキルシランまたはシランもしくはアルキルシランとアルキル炭化水素を直接的に反応生長させ、比較的低温において炭化珪素の数ミクロンあるいはそれ以下の薄膜を得ることができるプラズマ気相法による炭化珪素薄膜の形成方法と、炭化珪素の薄膜を薄膜サーマルプリントヘッドの耐摩耗性膜として利用した場合、二酸化珪素，一酸化珪素などの薄膜に比して大きな耐摩耗性を有すること、等が記載されている。（特許請求の範囲，１頁左下欄１２行〜同頁右下欄１８行，２頁右上欄２〜１８行，３頁左上欄１５行〜同頁右下欄７行，図面、等参照）
（４）刊行物４〔特開昭５３−１０１４２６号公報〕
　絶縁性基板１０と、当該基板１０上に形成された発熱抵抗体１１と、当該発熱抵抗体１１に電流を供給する電極１２と、前記発熱抵抗体１１および電極１２を保護する耐摩耗層１３と、から構成されることを特徴とするサーマルヘッドと、耐摩耗層１３を構成する材料として熱伝導率が高く且つ熱容量の小さい材料であるＳｉＣ（炭化珪素）やＳｉを用い、低電力で高速熱応答性を有するサーマルヘッドを提供すること、等が記載されている。（特許請求の範囲，３頁右上欄５行〜同頁右下欄１５行，第２図、等参照）
（５）刊行物５〔特開昭５２−１４６００号公報（＝上記刊行物３）〕
　刊行物３の記載内容を参照。
（６）刊行物６〔特開昭５３−２８５７６号公報〕
　炭素質の物質による表面塗装方法及び該方法に使用される装置、即ち、塗装表面を炭素と水素とから成るガス中に生成されるイオン化ガス雰囲気（プラズマ）下におき、大気圧より低い圧力で周波数０．５〜１００ＭＨｚの電磁放射源を用いて、炭素質塗膜を形成する方法及び装置と、異なる条件下で行なわれるコーティングタイプには、重合体タイプ，非晶質炭素，黒鉛状炭素の３種類があり、そのうちの非晶質炭素は炭素−水素結合を含まず炭素が結晶構造を有していないが硬質合金による引掻きに対し耐性を有すること、等が記載されている。（特許請求の範囲，３頁左上欄１行〜同頁左下欄６行，５頁右下欄１１行〜７頁右下欄１３行、等参照）
〔２〕異議申立人・友田宏人の主張１について
　この主張は、本件発明は、本件出願前に公知である刊行物１〜３に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、本件特許請求の範囲第１項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるというものであるが、刊行物１〜３には、それぞれ耐摩耗性の保護膜を設けたサーマルヘッドについては開示されているが、何れの保護膜も炭化珪素を材料としたものであるから、本件発明を特定する事項である「発熱体層および電極を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜」の点について開示されていないばかりでなく、「水素を３０モル％以下含み、」の点についても開示されていないというべきであり、本件発明が刊行物１〜３に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるとの本主張は採用できない。
〔３〕異議申立人・今村和実の主張１について
  この主張は、本件発明は、本件出願前に公知である刊行物４〜６に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものと認められるから、本件特許請求の範囲第１項に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるというものであるが、刊行物４，５には、上記刊行物１〜３と同様、それぞれ炭化珪素を材料とした耐摩耗性の保護膜を設けたサーマルヘッドについて開示され、また、刊行物６には、非晶質炭素の薄膜をプラズマ気相法により形成する方法が開示されてはいるが、この「非晶質炭素の薄膜」がどのような性質を有するのか定かでなく、また、サーマルヘッドへの適用の如何についても定かでないものであるから、本件発明を特定する事項である「発熱体層および電極を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜」の点について開示されていないばかりでなく、「水素を３０モル％以下含み、」の点についても開示されていないというべきであり、本件発明が刊行物４〜６に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるとの本主張は採用できない。
〔４〕その他
　刊行物１〜６に記載された発明を組み合わせても、上述したように、各刊行物には本件発明を特定する事項について何ら開示されていないから、本件発明が各刊行物から当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　　　　　　
【４】特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していないとの主張（異議申立人・友田宏人の主張２、又は、異議申立人・今村和実の主張２に対応）について
〔１〕異議申立人・友田宏人の主張２について
　この主張は、本件特許請求の範囲第１項において、「保護膜」に関する「共有結合した炭素を主成分とし、」の記載については、特許明細書に記載した以外の炭素の共有結合を含みうるものであり、この表現では発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないことが明らかであるから、本件特許請求の範囲第１項に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していない特許出願に対してされたものであるというものであるが、訂正請求により、特許査定時の特許請求の範囲第１項における、当該「保護膜」に関する記載は、「水素を３０モル％以下含み、・・・ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜」と訂正され、発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されたことになり、本主張は採用できない。
〔２〕異議申立人・今村和実の主張２について
　この主張は、本件特許請求の範囲第１，２項において、「保護膜」に関する「共有結合した炭素を主成分とし、」の記載については、「主成分」がどの程度の割合であるのか不明であり、また、本件特許請求の範囲第３項において、「保護膜」に関する「水素、ハロゲン元素または珪素が０．０１モル％ないし２０モル％添加されている」の記載については、特許明細書にそれに関して一切記載されていない事項を含むものであり、これらの表現では発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されていないことが明らかであるから、本件特許請求の範囲第１〜３項に係る発明の特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していない特許出願に対してされたものであるというものであるが、訂正請求により、特許査定時の特許請求の範囲第１項における、当該「保護膜」に関する記載は、「水素を３０モル％以下含み、・・・ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜」と訂正され、特許査定時の特許請求の範囲第２，３項は削除されたから、発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されたことになり、本主張は採用できない。
　　　　　　
【５】各異議申立人の各主張についての結論
　したがって、本件発明は、「発熱体層および電極を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜」を発明を特定する事項とするものであり、当該事項を具備することにより刊行物１〜６に記載された発明からは期待できない格別の作用効果を奏するものと認められるから、本件発明が本件出願前に公知である刊行物１〜３に記載された発明、或いは、本件出願前に公知である刊行物４〜６に記載された発明、から当業者が容易に想到しえたものと認められるから本件発明の特許が特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるという各異議申立人の主張は採用できず、また、本件特許請求の範囲の記載は、発明の詳細な説明に記載した発明の構成に欠くことができない事項が記載されたことになったから、本件発明の特許が特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していない特許出願に対してされたものであるという各異議申立人の主張も採用できない。
　　　　　　
【６】取消理由
〔１〕取消理由の概要
　当審が、平成１２年３月２７日付けで通知した取消理由において、【２】〔１〕「その１（異議申立人・友田宏人の異議申立理由（４）に対応）」の理由、【２】〔２〕「その２（異議申立人・今村和実の異議申立理由（４）−２に対応）」の理由は、それぞれ、前述、［特許異議申立について］の欄、【２】〔１〕（１）「主張１」、【２】〔２〕（１）「主張１」に対応し、また、【３】「特許法第３６条違反（異議申立人・今村和実の異議申立理由（４）−３，（ｉｉ）に対応）」の理由は、前述、［特許異議申立について］の欄、【２】〔２〕（２）「主張２」に対応する。
〔２〕取消理由についての検討　
　上記各取消理由については、前述、［特許異議申立について］の欄、【３】「特許法第２９条第２項違反との主張（異議申立人・友田宏人の主張１、又は、異議申立人・今村和実の主張１に対応）について」の項、及び、【４】「特許法第３６条第５項に規定する要件を満足していないとの主張（異議申立人・友田宏人の主張２、又は、異議申立人・今村和実の主張２に対応）について」の項の〔２〕「異議申立人・今村和実の主張２について」に記載したとおりである。
　　　　　　
　　　　　　
［むすび］
　以上のとおりであるから、異議申立の理由および証拠方法によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１２年９月５日（２０００．９．５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
〔１〕訂正事項ａ
　特許請求の範囲において、第１項を「基板と、当該基板上に形成された発熱体層と、当該発熱体層に電流を供給する電極と、水素を３０モル％以下含み、前記発熱体層および電極を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜と、から構成されることを特徴とするサーマルヘッド。」と訂正する。
〔２〕訂正事項ｂ
　特許請求の範囲において、第２，３項を削除する訂正をする。
〔３〕訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明において、段落【０００５】の【課題を解決するための手段】の項を「前記目的を達成するために、本発明のサーマルヘッドは、基板（１）と、当該基板（１）上に形成された発熱体層（３）と、当該発熱体層（３）に電流を供給する電極（４）、（４’）と、水素を３０モル％以下含み、前記発熱体層（３）および電極（４）、（４’）を保護するダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる保護膜（５）とから構成されることを特徴とする。」と訂正する。
〔４〕訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明において、段落【０００６】【０００７】を削除する訂正をする。
〔５〕訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明において、段落【０００８】の【作用】の項を「本発明のサーマルヘッドは、基板上に形成された発熱体層および当該発熱体層に電流を供給する電極の上に保護膜が形成されている。そして、この保護膜は、絶縁体で、水素を３０モル％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる。また、上記保護膜は、たとえば、プラズマ気相によって、非晶質炭素として作製される。したがって、前記保護膜は、耐磨耗性および耐熱性に優れているため、薄く成膜でき、発熱体層からの熱を応答性良く感熱記録用紙に伝達する。また、上記発熱体層は、低温によって膜を形成することができ、安価なサーマルヘッドとなる。」と訂正する。
〔６〕訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明において、段落【００１７】の【発明の効果】の項を「本発明によれば、サーマルヘッドの発熱体層および電極を保護する保護膜は、非晶質炭素からなり、高い耐磨耗性および高い耐熱性を有すると共に、極めて薄い保護膜を形成したため、発熱体層からの熱が感熱記録用紙へ高速で応答し伝達される。また、本発明によれば、保護膜は、水素をモル３０％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素であるため、製造するに際し低温で安価な薄い膜を得ることができる。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
サーマルヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　基板と、
　当該基板上に形成された発熱体層と、
　当該発熱体層に電流を供給する電極と、
　
水素を３０モル％以下含み、
ダイヤモンド類似の硬さを有する
炭素
　から構成されることを特徴とするサーマルヘッド。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、耐磨耗性および耐熱性に優れた保護膜を備えたサーマルヘッドに関するものである。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　従来、サーマルヘッドは、基板と、当該基板上に形成された熱応答性の良い発熱体層と、当該発熱体層に電流を供給する電極と、前記発熱体層と電極とを保護する保護膜とから構成されていた。
　そして、サーマルヘッドにおける発熱体層の表面は、感熱記録用紙と絶えず摩擦接触するため、発熱体層部分を耐磨耗性、耐熱性を有する部材によって保護する必要があった。このため、前記保護膜は、感熱記録用紙と発熱体層との磨耗を防ぐ耐磨耗性および耐熱性の優れた部材が要求されている。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来の技術においては、サーマルヘッドの発熱体層部分と感熱記録用紙の間に耐磨耗性および耐熱性を有する保護膜が存在する。そして、発熱体層部分の熱は、耐磨耗性および耐熱性の保護膜を介した上で、感熱記録用紙に伝達されるので、その応答速度をある程度以上高くできないという問題があった。
　また、保護膜は、その熱応答性を向上させるために、厚さを薄くすると耐磨耗性および耐熱性に問題が発生する。すなわち、保護膜は、耐磨耗性および耐熱性と熱応答性とが矛盾し、全部の特性を向上させることが困難であった。
　　　【０００４】
　本発明は、以上のような課題を解決するためのもので、発熱体層を保護する保護膜の耐摩耗性および耐熱性と熱応答性とを共に向上させたサーマルヘッドを提供することを目的とする。
　　　【０００５】
　　【課題を解決するための手段】
　前記目的を達成するために、本発明のサーマルヘッドは、基板（１）と、当該基板（１）上に形成された発熱体層（３）と、当該発熱体層（３）に電流を供給する電極（４）、（４’）と、
水素を３０モル％以下含み、
ダイヤモンド類似の硬さを有する
炭素
　　　【０００６】
削除
　　　【０００７】
削除
　　　【０００８】
　　【作用】
　本発明のサーマルヘッドは、基板上に形成された発熱体層および当該発熱体層に電流を供給する電極の上に保護膜が形成されている。そして、この保護膜は、絶縁体で、
水素を３０モル％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する非晶質炭素からなる
　また、上記保護膜は、たとえば、プラズマ気相によって、非晶質
炭素
　したがって、前記保護膜は、耐磨耗性および耐熱性に優れているため、薄く成膜でき、発熱体層からの熱を応答性良く感熱記録用紙に伝達する。
　また、上記発熱体層は、低温によって膜を形成することができ、安価なサーマルヘッドとなる。
　　　【０００９】
　　【実　施　例】
　本発明は、基板上に発熱体層が設けられ、その上面に少なくとも非晶質を有する炭素または珪素を主成分とする保護膜が形成されているサーマルヘッドであり、この実施例について説明する。
　先ず、セラミック基板上に形成されたガラス層の上に、非晶質（アモルファス）、または５〜２０Åの大きさの微結晶性を有する半非晶質（セミアモルファス）半導体層が形成される。そして、これらの非晶質または半非晶質半導体層を得るために、たとえばプラズマ気相法を採用し、図示されていない反応容器内は、温度１００〜４５０℃好ましくは２００〜３５０℃、圧力０．０１〜１０ｔｏｒｒ、直流高周波５００ＫＨｚ〜５０ＭＨｚ）、またはマイクロ波（たとえば、２．４５ＧＨｚの周波数の電磁エネルギー）が印加された状態で、反応性気体として、珪素または炭素を主成分とする材料を前記反応容器内に挿入する。
　反応性気体、たとえばエチレン、プロパン等の炭化水素ガスは、ア−ク放電を発生させてプラズマ化し、かかる電磁エネルギーにより気化し、活性化し、分解せしめられ、前記基板上に非晶質または半非晶質半導体層が形成される。
　　　【００１０】
　上記プラズマ気相法により形成された炭素被膜は、そのエネルギーバンド巾が２．３ｅＶ以上代表的には３ｅＶを有する絶縁体で、炭素の主成分どうしの共有結合が強い。また、炭素被膜の熱伝導率は、２．５以上代表的には５．０（Ｗ／ｃｍ　ｄｅｇ）とダイヤモンドの６．６０（Ｗ／　ｃｍ　ｄｅｇ）に近いきわめてすぐれた高い値を有する。
　さらに、上記炭素被膜は、ビッカース硬度４５００ｋｇ／ｍｍ２以上、特に、６５００ｋｇ／ｍｍ２というダイヤモンド類似の硬さを有するきわめてすぐれた特性を見出した。
　本出願人は、この特性に着目し、この炭素被膜または珪素被膜をサーマルヘッドに適用して、すぐれた耐摩耗性、耐熱性で熱応答性の優れた保護膜を得ることができた。
　　　【００１１】
　本実施例において、反応性気体は、炭化水素、たとえばアセチレン（Ｃ２Ｈ２）、メタン系炭化水素（ＣｎＨ２ｎ＋２）等の気体、または珪素を一部に含んだ場合、テトラメチルシラン（（ＣＨ３）４Ｓｉ）、テトラエチルシラン（（Ｃ２Ｈ５）４Ｓｉ）等を用いてもよい。
　前者にあっては、炭素に水素が３０モル％以下、特に、半非晶質とすると、０．０１〜５モル％と低く存在しつつも、炭素どうしの共有結合が強くダイヤモンドと類似の物性を有していた。
　また、後者にあっては、水素が０．０１〜２０モル％を含み、さらに珪素を炭素の１／３〜１／４含むいわゆる炭素過剰の炭化珪素であり、主成分を炭素としている絶縁性材料（光学的エネルギーバンド幅Ｅｇ＞２．３ｅＶ代表的には３．０ｅＶ）であった。
　　　【００１２】
　以下、炭素を主成分とする被膜を耐摩耗層とする実施例を記載する。
　本実施例は、非晶質または半非晶質の絶縁性の炭素または炭素中に水素、珪素が３０モル％以下に含有した炭素を主成分とする被膜を形成せんとするものである。
　図１（Ａ）は本参考例に用いられたサーマルヘッドプリンタの縦断面図を示す。図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示すＢ−Ｂ’の断面図を示す。図１（Ｃ）は図１（Ａ）に示すＣ−Ｃ’の断面図を示す。
　図１（Ａ）において、基板特にセラミック基板（１）上にグレイズされたガラス層（２）が形成され、このガラス層（２）上には、発熱体層（３）が形成されている。
　電極（４）および（４’）は、発熱体層（３）上において、所定間隔を置いて配置されている。そして、電極（４）および（４’）と発熱体層（３）の上には、耐摩耗層（５）が形成されている。
　また、図１（Ｃ）に示す如く、感熱記録用紙がこすられる部分は、発熱体層（３）上に接して耐摩耗層（５）が設けられている。
　　　【００１３】
　本実施例は、この耐摩耗層（５）を炭素または炭素を主成分とした材料とし、この材料をプラズマ気相法により形成するため、図１（Ｂ）、（Ｃ）に示す如く、発熱体層（３）の側部の厚さが発熱体層（３）上の厚さを概略一致させることができるという特徴を有する。
　これは減圧下（０．０１〜１０ｔｏｒｒ）であり、反応性気体の平均自由行程が長くなり気相法を行うに際しても、側辺へのまわりこみが大きいためである。加えてプラズマ化し反応性気体どうしに大きな運動エネルギーを与えて互いに衝突させ、四方八方への飛翔を促していることにある。
　耐摩耗層（５）に関しては、以下の如くにして作製した。すなわち、被形成面を有する基板を反応容器内に封入しこの反応容器を１０−３ｔｏｒｒまでに真空引きをすると共に、上記セラミック基板（１）を加熱炉により１００〜４５０℃好ましくは２００〜３５０℃、たとえば３００℃に加熱した。この後、この雰囲気中に水素ヘリュームを導入し、１０−２〜１０ｔｏｒｒにした後、誘導方式または容量結合方式により電磁エネルギーを加えた。
　　　【００１４】
　たとえば、電気エネルギーの周波数は１３．５６ＭＨｚ、出力は５０〜５００Ｗとし、その実質的な電極間隙は１５〜１５０ｃｍと長くした。それはプラズマ化した時の反応性気体である炭素はきわめて安定な材料であるため、各元素または炭素が会合した会合分子に対し高いエネルギーを与え炭素どうし互いに共有結合をさせるためである。形成された被膜に関して出力が５０〜１５０Ｗを加えた時は、非晶質が２５０〜５００Ｗを加えた時は、半非晶質が、その中間ではそれらが混合した構造が電子線回折で観察された。
　さらに、このプラズマ化した雰囲気に対し、炭化物気体、たとえばメタンまたはプロパンを導入した。すると、この反応性気体が脱水素化し、炭素の結合が互いに共有結合し合って、被形成面に炭素被膜を形成させることができた。
　基板の温度が１００〜２００℃では、硬度が若干低く、また基板への密着性が必ずしも好ましいものではなかったが、２００℃以上、特に、２５０〜３５０℃においては、きわめて安定な強い被形成面への密着性を有していた。
　　　【００１５】
　加熱処理は、４５０℃以上にすると、基板との熱膨張係数の差によりストレスが内在してしまい問題を有し、２５０〜４５０℃で形成された被膜が理想的な耐摩耗材料であった。
　出発物質をＴＭＳ（（ＣＨ２）４Ｓｉ）、ＴＥＳ（（Ｃ２Ｈ６）４Ｓｉ）を用いると、形成された被膜には珪素が１５〜３０原子％含まれる炭素を主成分とする被膜であった。これでも炭素のみと同様の硬度があった。熱伝導度は炭素のみが５Ｗ／ｃｍ　ｄｅｇであったが２〜３Ｗ／ｃｍ　ｄｅｇと少なかった。
　以上の如くにして形成された炭素被膜は、０．０５〜０．２μｍの厚さ、すなわち従来の１／５〜１／１０の薄さであっても１０５時間の使用に耐える耐摩耗性を有していた。
　　　【００１６】
　以上の説明より明らかな如く、本実施例は、絶縁膜を薄くできるため、この絶縁をサーマルヘッドの保護膜とした場合、その厚さが０．１〜０．３μｍあれば十分であり、結果としてサーマルヘッド全体の厚さを薄くできる。このため、発熱体層の熱は、感熱記録用紙に速やかに伝達されて、感熱の応答速度を向上させることができるようになった。
　　　【００１７】
　　【発明の効果】
　本発明によれば、サーマルヘッドの発熱体層および電極を保護する保護膜は、非晶質
炭素
　また、本発明によれば、保護膜は、
水素をモル３０％以下含み、ダイヤモンド類似の硬さを有する
炭素
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　（Ａ）は本参考例に用いられたサーマルヘッドプリンタの縦断面図を示す。（Ｂ）は図１（Ａ）に示すＢ−Ｂ’の断面図を示す。（Ｃ）は図１（Ａ）に示すＣ−Ｃ’の断面図を示す。
　　【符号の説明】
　１・・・基板
　２・・・ガラス層
　３・・・発熱体層
　４、４’・・・電極
　５・・・耐磨耗層