(57)【要約】  内周面（２．１）が第１の周方向（２．２）に延びる第１の保持装置（２）、および、少なくとも、第１の保持装置（２）の内周面（２．１）に締結された、第１の光学素子（５．１）を支える第１の支持装置（３．１）を含み、ここで、第１の支持装置（３．１）を第１の周方向（２．２）に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第１の構造スペース（３．１８）が規定されている対物レンズ用光学モジュール、特にマイクロリソグラフィ装置のための対物レンズ用光学モジュールであって、少なくとも、第１の保持装置（２）の内周面（２．１）に締結された、第２の光学素子（５．２）を支える第２の支持装置（３．２）が設けられており、この第２の支持装置（３．２）を第１の周方向（２．２）に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第２の構造スペース（３．２８）が規定されており、第１の構造スペース（３．１８）が第２の構造スペース（３．２８）を横断することを特徴とする光学モジュール。
2008500569.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面（２．１；１０２．１；２０２．１）が第１の周方向（２．２；１０２．２；２０２．２）に延びる第１の保持装置（２；１０２；２０２）と、
少なくとも、前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）の内周面（２．１；１０２．１；２０２．１）に締結された、第１の光学素子（５．１；１０５．１；２０５．１）を支える第１の支持装置（３．１；１０３．１；２０３．１）と、を含み、
前記第１の支持装置（３．１；１０３．１；２０３．１）を前記第１の周方向（２．２；１０２．２；２０２．２）に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第１の構造スペース（３．１８；１０３．１８；２０３．１８）が規定されている対物レンズ用光学モジュール、特にマイクロリソグラフィ装置のための対物レンズ用光学モジュールであって、
少なくとも、前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）の内周面（２．１；１０２．１；２０２．１）に締結された、第２の光学素子（５．２；１０５．２；２０５．２）を支える第２の支持装置（３．２；１０３．２；２０３．２）が設けられており、
前記第２の支持装置（３．２；１０３．２；２０３．２）を前記第１の周方向（２．２；１０２．２；２０２．２）に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第２の構造スペース（３．２８；１０３．２８；２０３．２８）が規定されており、
前記第１の構造スペース（３．１８；１０３．１８；２０３．１８）が前記第２の構造スペース（３．２８；１０３．２８；２０３．２８）を横断する、ことを特徴とする光学モジュール。
【請求項２】
前記第１の構造スペース（３．１８；２０３．１８）が前記第２の構造スペース（３．２８；２０３．２８）を貫通する、ことを特徴とする請求項１に記載の光学モジュール。
【請求項３】
前記第１の周方向（２．２；１０２．２；２０２．２）が第１の平面の中にあり、
前記第１の支持装置（３．１；１０３．１）および／または第２の支持装置（３．２；１０３．２）が、少なくとも、前記第１の平面の中を前記第１の周方向（２．２；１０２．２）に垂直に走る第１の方向に延び、および／または
前記第１の支持装置（２０３．１）および／または第２の支持装置（２０３．２）が、少なくとも、前記第１の平面に垂直に走る第２の方向に延びる、ことを特徴とする請求項１または２に記載の光学モジュール。
【請求項４】
少なくとも、前記第１の保持装置（２）の内周面（２．１）に締結された、第３の光学素子（５．３）を支える第３の支持装置（３．３）が設けられており、
前記第３の支持装置（３．３）を前記第１の周方向（２．２）に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第３の構造スペース（３．３８）が規定されており、
前記第３の構造スペース（３．３８）が前記第１の構造スペース（３．１８）および／または第２の構造スペースを横断する、特に前記第１の構造スペースおよび／または第２の構造スペースを貫通すること、を特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項５】
支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が、隣接の支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）に対して前記第１の周方向（２．２；１０２．２；２０２．２）にシフトした形に配置されていること、を特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項６】
総数Ｓの支持装置（３．１、３．２、３．３；２０３．１、２０３．２）が前記第１の保持装置（２；２０２）の内周面（２．１；２０２．１）に締結されており、支持装置（３．１、３．２、３．３；２０３．１、２０３．２）が、隣接の支持装置（３．１、３．２、３．３；２０３．１、２０３．２）に対して前記保持装置の中心軸（１．１：２０１．１）を基準として
角度α＝３６０°／Ｓ
だけ前記第１の周方向（２．２；２０２．２）にシフトした形に配置されており、前記中心軸（１．１：２０１．１）が、中に前記第１の周方向（２．２；２０２．２）がある第１の平面に垂直に走ること，を特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項７】
少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が解放可能な形で前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）に締結されていること、を特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項８】
少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が、前記支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）を前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）、特に第１の保持装置（２；１０２）の接触素子（２．３、２．４、２．５；１０２．３、１０２．４）に接続する少なくとも１つの接続素子（３．１７、３．２７、３．３７；１０３．１７、１０３．２７；２０３．１７、２０３．２７）を含むこと、を特徴とする請求項７に記載の光学モジュール。
【請求項９】
前記第１の支持装置（１０３．１）が前記第１の保持装置（１０２）の第１の接触素子（１０２．３）と連結されており、
前記第２の支持装置（１０３．２）が前記第１の保持装置（１０２）の第２の接触素子（１０２．４）と連結されており、
前記第１の接触素子（１０２．３）と前記第２の接触素子（１０２．４）が、中に前記第１の周方向（１０２．２）がある第１の平面に平行に走る共通の第２の平面の中にほぼ配置されていること、を特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１０】
少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が位置調節可能、特に能動的に位置調節可能な形で前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）に締結されていること、を特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１１】
少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が、これにより支えられた前記光学素子（５．１、５．２；１０５．１、１０５．２）の位置を調節する、特に能動的に調節するように形作られていること、を特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１２】
少なくとも１つの光学素子（５．１、５．２、５．３；１０５．１、１０５．２；２０５．１、２０５．２）のために1つ以上の支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）が前記第１の保持装置（２；１０２；２０２）に締結されており、前記支持装置が、前記光学素子（５．１、５．２、５．３；１０５．１、１０５．２；２０５．１、２０５．２）の少なくとも１つを静定的に支持する、特にアイソスタティック方式で支持するように形作られていること、を特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１３】
少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）がバイポッドのような形に作られていること、を特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１４】
少なくとも１つの光学素子（５．１、５．２、５．３；１０５．１、１０５．２）のためにホールド装置（４．１、４．２、４．３；１０４．１、１０４．２）が設けられており、該ホールド装置が、前記光学素子（５．１、５．２、５．３；１０５．１、１０５．２）のための少なくとも１つの支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２）の、前記第１の保持装置（２；１０２）と反対側の端と、特に解放可能な形で連結されていること、を特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１５】
前記支持装置（３．１、３．２、３．３；１０３．１、１０３．２；２０３．１、２０３．２）の少なくとも１つを介して前記保持装置（２；１０２；２０２）で支えられた少なくとも１つの光学素子（５．１、５．２、５．３；１０５．１、１０５．２；２０５．１、２０５．２）が設けられていること、を特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１６】
少なくとも１つの光学素子（２０５．１、２０５．２）が直接、該光学素子（２０５．１、２０５．２）のための少なくとも１つの支持装置（２０３．１、２０３．２）の、前記第１の保持装置（２０２）と反対側の端と、特に解放可能な形で連結されていること、を特徴とする請求項１５に記載の光学モジュール。
【請求項１７】
少なくとも１つの前記光学素子が反射型素子（２０５．１、２０５．２）、特にミラーであること、を特徴とする請求項１５または１６に記載の光学モジュール。
【請求項１８】
第１の反射型光学素子（２０５．１）、特にミラーが少なくとも１つの第１の支持装置（２０３．１）によって支えられており、
第２の反射型光学素子（２０５．１）、特にミラーが少なくとも１つの第２の支持装置（２０３．２）によって支えられていること、を特徴とする請求項１から１７のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項１９】
前記第１の光学素子（２０５．１）が第１の反射面（２０５．１２）を有し、前記第２の光学素子（２０５．１）が第２の反射面（２０５．２２）を有し、
前記第１の光学素子（２０５．１）と前記第２の光学素子（２０５．１）が互いに直接隣接して配置されており、
前記第１の反射面（２０５．１２）が前記第２の反射面（２０５．２２）と向き合っていること、を特徴とする請求項１８に記載の光学モジュール。
【請求項２０】
前記少なくとも１つの光学素子（２０５．１、２０５．２）が突出部（２０５．１７、２０５．２７）を有し、これが、前記光学素子（２０５．１、２０５．２）のための支持装置（２０３．１、２０３．２）の、前記第１の保持装置（２０２）と反対側の端と、特に解放可能な形で連結されている、ことを特徴とする請求項１５から１７のいずれか１項に記載の光学モジュール。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれか１項に記載の光学モジュール（１；１０１；２０１）を備えた、特にマイクロリソグラフィ装置のためのレンズフード。
【請求項２２】
前記光学モジュール（１；１０１；２０１）を締結した支持構造（１１．３）が設けられていること、を特徴とする請求項２１に記載のレンズフード。
【請求項２３】
マスク（１０）の上に作られたパターンを、請求項２１または２２に記載のレンズフード（１１）を含む光学投射システム（８）でもって基体（１２）上に転写するマイクロリソグラフィ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の背景
本発明は、対物レンズ用光学モジュールに関するものである。本発明は、マイクロエレクトロニクス回路の製造に使用されるマイクロリソグラフィとの関連において採用することができる。それゆえ、これは更に、特にマイクロリソグラフィ装置での使用に適したレンズフード、ならびに、このようなレンズフードを含むマイクロリソグラフィ装置に関するものでもある。
【背景技術】
【０００２】
特にマイクロリソグラフィの領域では、それ相当に高い質の写像を獲得するために、使用されるレンズフードの光学素子を、つまり例えばレンズを室内において、可能な限り高い精度で互いに位置決めすることが必要である。そこで高い精度が要求されるのは、何よりもまず、製造すべきマイクロエレクトロニクス回路の小型化を推進するための当然の帰結として、マイクロエレクトロニクス回路の製造に使用される光学系の解像度を高めたいという絶えざる欲求である。
【０００３】
解像度が高まるにつれて、使用される光学素子の位置決め精度に対する要求は高まる。これは、写像エラーを回避するために、組み込まれた状態において使用期間全体にわたって可能な限り広く維持されなければならない。更に、これに関連して、使用される光学系の可能な限り高い固有周波数を持つ可能な限り好ましいダイナミック挙動を獲得したいという欲求がある。
【０００４】
多数の光学用途のために、複数の光学モジュールから構成されたレンズフードが使用されるが、上で述べたマイクロリソグラフィの領域では特にそうである。そこでは通例、個々の光学モジュールが、ホルダの内周面に沿って1つ以上の支持装置で支えられたレンズ等の光学素子を含む。光学素子の所与条件、すなわち、とりわけレンズの獲得すべき光学特性に応じて、大抵、複数の光学素子を互いに近くに位置決めすることが必要である。
【０００５】
例えばＥＰ１１６８０２８Ａ１から知られているような、光学モジュール当たり１枚のレンズを持つ光学系では、レンズを支える支持装置をレンズと共に入れ子式に配置することにより、複数のレンズを狭小スペースの中に立てて配置することが可能である。その結果、レンズフードの構造長さが比較的大きくなる。これは、各光学モジュールが十分な強度と剛性を示すためにはレンズフードの光軸の方向にある一定の広がりを持たなければならないことを条件とされているためである。更に、ホルダの軸方向の広がりと共に所与のレンズ間隔が、極めて長尺の支持装置を条件としている場合もある。これは、剛性を望ましくないほど低減させ、結果的に固有周波数を望ましくないほど低減させることになるので、特に剛性の視点から不利である。
【０００６】
ＵＳ２００２／０１６３７４１Ａ１では、複数の光学モジュールを重ね合わせ、各ホルダに、その下にある光学モジュールの支持装置の一部を受容する凹部を設けた形態が提案されている。確かに、これで支持装置の長さを縮小することはできる。しかし、凹部はここでも各ホルダの剛性を引き下げ、強度を引き下げる要因であり、場合によっては、手間をかけてそれを補償しなければならない。他面、この解決策は、特定の形態の支持装置にしか適していない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
よって、本発明の課題は、上で挙げた欠点を全く、または少なくとも僅かしか見せず、特に剛性にすぐれた省スペースの配置を確保する、冒頭に挙げた種類の光学モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明の要旨
上記の課題は、請求項１に記載の特徴によって解決される。
【０００９】
本発明は、特に複数の光学素子を互いに近接するように並置する場合、第１の保持装置において少なくとも２つの光学素子がそれぞれ少なくとも１つの付属の第１、第２の支持装置を介して支えられる形にすれば、剛性にすぐれた省スペース配置が達成できるという認識を基礎に置いている。支持装置は、それぞれ保持装置の周方向において環状に周回する第１、第２の構造スペースを有する。支持装置はそこで、第１の構造スペースが第２の構造スペースを横断するように配置されている。
【００１０】
このように支持装置を横断し合うように互い違いに配置することにより、両方にとって共通の保持装置の寸法をその中心軸の方向において短小に抑えることが可能である。場合によっては、この寸法が、唯一の光学素子を相応の保持装置で支える場合より僅少であってもよい。なぜなら、更なる支持装置の接続が、場合によっては光学モジュールの剛性を高めることにも貢献するからである。
【００１１】
このコンパクトな配置により、更に、支持装置の寸法も可能な限り短小に抑えることができる。これは、支持装置の質量および剛性に有利に働き、従ってまた、配置全体の固有周波数に有利に働く。
【００１２】
従って、換言すれば、従来公知の光学モジュールと比べて、同等の剛性の配置において所要構造スペースを、従ってまた、光学モジュールの質量を顕著に減少させることが可能であり、それにより、固有周波数は有利に高められることになる。
【００１３】
よって、本発明の対象は、内周面が第１の周方向に延びる第１の保持装置、および、この第１の保持装置の内周面に締結された、第１の光学素子を支える第１の支持装置を含む対物レンズ用光学モジュール、特にマイクロリソグラフィ装置のための対物レンズ用光学モジュールである。ここでは、第１の支持装置を第１の周方向に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第１の構造スペースが規定されている。更に、少なくとも、第１の保持装置の内周面に締結された、第２の光学素子を支える第２の支持装置が設けられている。この第２の支持装置を第１の周方向に沿って１周分シフトさせることにより、環状に周回する第２の構造スペースが規定されている。ここで、第１の構造スペースは第２の構造スペースを横断する。
【００１４】
本発明の更なる対象は、発明通りの光学モジュールを備えた、特にマイクロリソグラフィ装置のためのレンズフードである。
【００１５】
本発明の更なる対象は、最終的に、マスクの上に作られたパターンを、発明通りのレンズフードを含む光学投射システムでもって基体上に転写するマイクロリソグラフィ装置である。
【００１６】
本発明の更なる好ましい形態は、従属請求項、ないしは、以下の添付図面に則した好ましい実施例の説明から明らかとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
発明の詳細な説明
第１の実施例
先ず、図１および図２に則して、本発明によるマイクロリソグラフィのための対物レンズ用光学モジュール１の優先的な一実施態様について述べる。図１は光学モジュール１の図解的断面図であり、図２の方は光学モジュール１のモジュール軸１．１の方向における該光学モジュール１の図解的平面図である。ここで図１が示すのは、図２の切断線Ｉ−Ｉに沿った断面である。
【００１８】
光学モジュール１は、往々にしてフランジとも呼ばれる環状ホルダ２の形の第１の保持装置を含む。このホルダ２は、第１の周方向２．２に延びる内周面２．１を有する。ホルダ２の内周面２．２には、一端でもって、第１のバイポッド３．１（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第１の支持装置が締結されている。この第１のバイポッド３．１は、その他端でもって第１のホールド４．１の形の第１のホールド装置と連結されている。この第１のホールド４．１がまた、レンズ５．１の形の光学素子を支持する。従って、第１のバイポッド３．１は、第１のホルダ２のところで第１のホールド４．１を介して第１のレンズ５．１を支持する。換言すれば、つまり、レンズ５．１は、第１のホールド４．１と第１のバイポッド３．１を介して第１のホルダ２に締結されている。
【００１９】
第１のバイポッド３．１は、それぞれ第１のレッグ３．１１と第２のレッグ３．１２を具備する。これらのレッグは、その共通の平面において互いに傾いて配置されており、それで、バイポッド３．１はそれぞれ中心軸３．１３を有する。第１のバイポッド３．１は更にホルダ２の第１の内周面２．１に沿って均一に分布しており、それで、図２の投影面に平行な第１の平面においてその第１の中心軸３．１３の間にそれぞれ１２０°の角度が作られている。
【００２０】
第１のバイポッド３．１は、一体となってヘキサポッド方式のいわゆるパラレルキネマティクスを作り、これを介して第１のホールド４．１は、従ってまた、第１のレンズ５．１はスペース内でホルダ２を基準として位置決めされている。第１のレッグ３．１１と第２のレッグ３．１２は、ここでそれぞれ、ボールソケットジョイント方式で移動できる曲げジョイント３．１４、３．１５、３．１６を介してホルダ２に締結されている。よって、第１のバイポッド３．１は各々２つの空間自由度を定着させ、これで、第１のレンズ５．１をホルダ２で支える静定支持がアイソスタティック方式で実現している。
【００２１】
ホールド側の曲げジョイント３．１４が第１のホールド４．１に直接固定されているのに対し、ホルダ側の曲げジョイント３．１５および３．１６は第１の接続素子３．１７に締結されている。第１の接続素子３．１７の方は、第１のショルダ２．３の形の第１の接触素子の上で解放可能な形でホルダ２の内周面２．１に締結されている。第１のショルダ２．３はすべて、モジュール軸１．１に垂直に走る第１の接続平面の中にある。第１の接続素子３．１７をホルダ２に締結し、バイポッド３．１をホールドに締結するために任意の締結素子、例えばクランプ継手またはねじ継手が設けてあってよい。
【００２２】
第１のショルダ２．３は、周方向において第１の接続素子３．１７とほぼ同じ角度範囲に及んでいる。それぞれの接続素子３．１７とそれぞれの第１のショルダ２．３の間の結合が解放できるので、モジュール軸１．１を中心としてレンズ５．１を回転させ、それで写像誤差を補正することが可能である。また、これにより、レンズ５．１をホルダ２から外し、必要に応じて、例えばイオンビームを使って追加加工を施すことも可能である。そうすることにより、場合によって必要なモジュール軸１．１を中心とする調整の手間を省くことができる。
【００２３】
ホルダ２を基準としてレンズ５．１を位置決めできるようにするため、第１のレッグ３．１１と第２のレッグ３．１２は長さが変えられるようになっている。加えて、または、その代わりとして、第１のレッグ３．１１と第２のレッグ３．１２のそれぞれの少なくとも１つの可動部分の、ホルダ２を基準とする位置ないしは距離を調節することができる。最後に、第１の接続素子３．１７と第１のショルダ２．３の間の軸方向距離をモジュール軸１．１の方向において調節することができる。いずれの場合でも、この調節は、起動制御可能な能動素子（例えば圧電素子）を介するのと同様に受動素子（例えば調整ねじ等）を介して行うことができる。但し、本発明の他のバリエーションでは、支持装置が場合によって少なくとも部分的に位置調節不可能な作りであってもよいと理解される。
【００２４】
第１のレンズ５．１は、第１のホールド４．１において任意の適当な仕方、噛み合い方式および／または摩擦方式および／または素材締め合い方式で定着させてあってよい。つまり、それは例えば接着、締付等々の仕方で定着させてあってよい。第１のホールド４．１は、そこで第１のレンズ５．１と第１のバイポッド３．１の間の厳密に規定されたインタフェースを形成する。但し、本発明の別のバリエーションでは、第１のバイポッドをホールド等の中間接続なしにレンズに締結する形が見込んであってもよいと理解される。
【００２５】
図１および図２から分かる通り、光学モジュール１は更に、第２のバイポッド３．２（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第２の支持装置を含む。これらは、すでに述べた第１のバイポッド３．１におけると同様、それぞれ第２の接続素子３．２７を介して一端でもってホルダ３の内周面２．１に締結されている。第２の接続素子３．２７も、第２のショルダ２．４の上で解放可能な形でホルダ２の内周面２．１に締結されている。第２のショルダ２．４はすべて、モジュール軸１．１に垂直に走る第２の接続平面の中にある。ここで、第２の接続平面は第１の接続平面の下に第１の間隔をあけて位置する。
【００２６】
第２のバイポッド３．２は、その他端でもって第２のホールド４．２の形の第２のホールド装置と連結されている。この第２のホールド４．２がまた、第２のレンズ５．２の形の第２の光学素子を支持する。従って、第２のバイポッド３．２は、第１のホルダ２のところで第２のホールド４．２を介して第２のレンズ５．２を支持する。換言すれば、つまり、第２のレンズ５．２は、第２のホールド４．２と第２のバイポッド３．２を介して第１のホルダ２に締結されている。
【００２７】
第２のバイポッド３．２は第１のバイポッド３．１と同様の構造を有し、ホルダ２および第２のホールド４．２にそれぞれ締結されているので、これについては上の記述を参照されたい。特に、第２のバイポッド３．２もまた、ヘキサポッド方式のいわゆるパラレルキネマティクスを作り、これを介して第２のホールド４．２は、従ってまた、第２のレンズ５．２はスペース内でホルダ２を基準として能動的に位置決めすることができる。
【００２８】
最後に、光学モジュール１は更に、第３のバイポッド３．３（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第３の支持装置を含む。これらは、すでに述べた第１のバイポッド３．１におけると同様、それぞれ第３の接続素子３．３７を介して一端でもってホルダ３の内周面２．１に締結されている。第３の接続素子３．３７も、第３のショルダ２．５の上で解放可能な形でホルダ２の内周面２．１に締結されている。第３のショルダ２．５は、第１のショルダ２．３と同様にすべて、モジュール軸１．１に垂直に走る第１の接続平面の中にある。
【００２９】
第３のバイポッド３．３は、その他端でもって第３のホールド４．３の形の第３のホールド装置と連結されている。この第３のホールド４．３がまた、第３のレンズ５．３の形の第３の光学素子を支持する。従って、第３のバイポッド３．３は、第１のホルダ２のところで第３のホールド４．３を介して第３のレンズ５．３を支持する。換言すれば、つまり、第３のレンズ５．２は、第３のホールド４．３と第３のバイポッド３．３を介して第１のホルダ２に締結されている。
【００３０】
第２のバイポッド３．３は第１のバイポッド３．１と同様の構造を有し、ホルダ２および第３のホールド４．３にそれぞれ締結されているので、これについては上の記述を参照されたい。特に、第３のバイポッド３．３もまた、ヘキサポッド方式のいわゆるパラレルキネマティクスを作り、これを介して第３のホールド４．３は、従ってまた、第３のレンズ５．３はスペース内でホルダ２を基準として能動的に位置決めすることができる。
【００３１】
第１、第２および第３のバイポッド３．１、３．２、３．３は、ホルダ２の第１の内周面２．１に沿って均一に分布するように配置されている。隣接し合うバイポッド３．１、３．２、３．３の中心軸は、バイポッド総数Ｓ＝９の場合、下の方程式に従い、第１の周方向２．２においてモジュール軸１．１を基準としてそれぞれ角度
α＝３６０°／Ｓ＝３６０°／９＝４０°      （１）
だけねじれた形に配置されている。
【００３２】
但し、本発明の別のバリエーションでは、支持装置がそのように保持装置の周囲に沿って均一に分布してなくてもよいと理解される。特に光学素子ごとに支持装置の数が互いに異なる場合は、支持装置が均一に分布していることが少なく、また、その必要もない。
【００３３】
第１のバイポッド３．１のレッグ３．１１とレッグ３．１２は、それぞれモジュール軸１．１の方向にも、それに対して半径の方向にも延びる。そのため、ホルダ２の内周面２．１で第１のバイポッド３．１を第１の周方向２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図１において輪郭３．１８で表されている通り、環状に周回する第１の構造スペースが規定されている。第１の構造スペースは、ここで戴頭円錐の側面のような形を呈する。換言すれば、円形ホルダを有する本例では、第１の構造スペース３．１８は、モジュール軸１．１を中心として第１のバイポッド３．１を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００３４】
第２のバイポッド３．２のレッグ３．２１とレッグ３．２２は、それぞれモジュール軸１．１の方向にも、それに対して主に半径の方向にも延びる。そのため、ホルダ２の内周面２．１で第２のバイポッド３．２を第１の周方向２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図１において輪郭３．２８で表されている通り、環状に周回する第２の構造スペースが規定されている。第２の構造スペース３．２８も、ここで極めて平らな戴頭円錐の側面のような形を呈する。換言すれば、円形ホルダを有する本例では、第２の構造スペース３．２８も、モジュール軸１．１を中心として第２のバイポッド３．２を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００３５】
第３のバイポッド３．３のレッグ３．３１とレッグ３．３２は、それぞれモジュール軸１．１の方向にも、それに対して主に半径の方向にも延びる。そのため、ホルダ２の内周面２．１で第３のバイポッド３．２を第１の周方向２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図１において輪郭３．３８で表されている通り、環状に周回する第３の構造スペースが規定されている。第３の構造スペース３．３８も、ここで極めて平らな戴頭円錐の側面のような形を呈する。換言すれば、円形ホルダを有する本例では、第３の構造スペース３．３８も、モジュール軸１．１を中心として第３のバイポッド３．３を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００３６】
第１のバイポッド３．１と第２のバイポッド３．２は、第１の構造スペース３．１８と第２の構造スペース３．２８が横断し合うように互い違いに配置されている。そこで、両方の構造スペース３．１８と３．２８は第１の貫通領域６．１の中を貫通している。第１の貫通領域６．１は、図２において円環状の輪郭を見せている。第１の貫通領域６．１は、ここでモジュール軸１．１を基準として半径方向においてホルダ２とホールド４．１ないしは４．２のほぼ中間に位置する。
【００３７】
第１のバイポッド３．１と第３のバイポッド３．３は、第１の構造スペース３．１８と第３の構造スペース３．３８がそれぞれ接続素子３．１７、３．３７の領域内で横断し合うように互い違いに配置されている。ここでは、両方の構造スペースが第１の横断領域６．２において横断する。この横断領域も、図２において円環状の輪郭を見せている。
【００３８】
構造スペース３．１８と構造スペース３．２８および３．３８がそれぞれ貫通ないしは横断し合うこの作りにより、ホルダ２が複数のレンズ５．１〜５．３を保持するにしても、モジュール軸１．１の方向におけるホルダ２の高さ寸法を短小に抑えることが可能である。これにより、省スペース化と軽量化が達成できる。場合によっては、複数の支持装置の接続が光学モジュールの剛性を高めることにも貢献するので、高さ寸法は、唯一の光学素子を匹敵する保持装置で保持する場合より僅少であってもよい。
【００３９】
このコンパクトな配置により、更にバイポッドを可能な限り短小に抑えることもできる。これは、支持装置の質量および剛性に有利に働き、従ってまた、配置全体の固有周波数に有利に働く。換言すれば、発明通りの作りの光学モジュール１をもってすれば、従来公知の光学モジュールと比べて、同等の剛性の配置において所要構造スペースを、従ってまた、光学モジュール１の質量を顕著に減少させることが可能であり、それにより、配置全体の固有周波数は有利に高められることになる。
【００４０】
第１のショルダ２．３と第３のショルダ２．５を共通の一平面の中に配置することは、所要スペースの減少をもたらすだけでない。むしろ、それにより、ホールドの製作も容易になる。なぜなら、それが、例えば内周面２．１に沿って周回する単一のリングショルダから製作できるからである。
【００４１】
上で述べた通りバイポッド３．１、３．２、３．３がホルダ２の内周面２．１に沿って均一に分布することは、それらがそれぞれ周方向２．２において限られた範囲にしか及ばないショルダ２．３、２．４、２．５に締結されていることと相俟って、レンズ５．１、５．２、５．３を個別に取付けできることを確実にしている。ここでは更に、上側の第１のレンズ５．１と下側の第３のレンズ５．３を互いに関係なく取付けたり取外したりすることが可能で、その都度、他方のレンズをゆるめたり外したりするには及ばない。ただ、真中の第２のレンズ５．２を取付けるときだけは、勿論、第１のレンズ５．１と第３のレンズ５．３をそれぞれ外す必要がある。
【００４２】
但し、本発明の別のバリエーションでは、支持装置と保持装置の間の接続領域を相応に形作り、相応に配置することにより、複数の光学素子を他の任意の仕方で個々別々に取付けできるようにすることも可能であると理解される。
【００４３】
ここでは更に、本発明の別のバリエーションでは、支持装置が別様の作りであってよく、または、光学素子当たり別の数だけ設けてあってもよいと理解される。特に相応の作りである場合、光学素子当たり１つだけ支持装置が設けてあれば足りる。その場合、支持装置は、構造スペースが横断し合う互い違いの配置を確保するために、必要に応じて相応に局限された周囲セクションにわたっていてよい。あるいは代わりに、そのような個々の支持装置が保持装置の周囲全体にわたっていてもよい。この場合は、構造スペースが横断し合う互い違いの配置を確保するために、1つ以上の別の支持装置のために相応の突破口が設けられていなければならない。
【００４４】
図３は、本発明に基づくマイクロリソグラフィ装置７の好ましい実施態様の概略図である。マイクロリソグラフィ装置７は、照明システム９、マスク１０、および対物レンズ光軸１１．１を持つレンズフード１１を備えた光学投射システム８を含む。照明システム９はマスク１０を照らす。マスク１０の表面に、レンズフード１１を介して基体１２、例えばウェーハの上に投射されるパターンがある。
【００４５】
レンズフード１１は、レンズ、ミラー、グリッド等の屈折型、反射型および／または回折型の光学素子を備えた一連のフードモジュール１１．２を含む。フードモジュール１１．２の方は、図１および２に示した通りの光学モジュール１を含む。ここで、光学モジュール１はフードモジュール１１．２のサポート構造１１．２１に締結されている。
【００４６】
第２の実施例
図４および図５は、本発明に基づくマイクロリソグラフィ装置のための対物レンズ用光学モジュール１０１の更なる第２の好ましい実施態様の概略図である。ここで、図４は図５の切断線ＩＶ−ＩＶに沿った断面を示す。この実施態様は、その基本的な働き方とその基本的な構造の点で図１および図２のそれと違わないので、ここでは主として相違点に言及する。
【００４７】
光学モジュール１０１は、環状ホルダ１０２の形の第１の保持装置を含む。このホルダ１０２は、第１の周方向１０２．２に延びる内周面１０２．１を有する。ホルダ１０２の内周面１０２．１には、一端でもって、第１のバイポッド１０３．１（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第１の支持装置が締結されている。この第１のバイポッド１０３．１は、その他端でもって第１のホールド１０４．１の形の第１のホールド装置と連結されている。この第１のホールド１０４．１がまた、レンズ１０５．１の形の第１の光学素子を支持する。
【００４８】
第１のバイポッド１０３．１は、それぞれ第１のレッグ１０３．１１と第２のレッグ１０３．１２を具備する。これらのレッグは、その共通の平面において互いに傾いて配置されており、それで、バイポッド１０３．１はそれぞれ中心軸１０３．１３を有する。第１のバイポッド１０３．１はホルダ１０２の第１の周面１０２．１に沿って均一に分布しており、それで、図５の投影面に平行な第１の平面（これの中に周方向１０２．２がある）においてその第１の中心軸１０３．１３の間にそれぞれ１２０°の角度が作られている。
【００４９】
第１のバイポッド１０３．１は、図１および図２に示した第１のバイポッド１０３．１と同様の構造を有し、ホルダ１０２および第１のホールド１０４．１にそれぞれ締結されている。特に、第１のバイポッド１０３．２もまた、第１の接続素子１０３．１７を介して第１のショルダ１０２．３の形の第１の接触素子の上で解放可能な形でホルダ１０２の内周面１０２．１に締結されている。第１のショルダ１０２．３はすべて、モジュール軸１０１．１に垂直に走る第１の接続平面の中にある。
【００５０】
第１のバイポッド１０３．１は、図１および図２に示した第１のバイポッド１０３．１と同様、一体となってヘキサポッド方式のパラレルキネマティクスを作り、これを介して第１のホールド１０４．１は、従ってまた、第１のレンズ１０５．１はスペース内でホルダ１０２を基準として能動的に位置決めされ、アイソスタティック方式でおさまっている。
【００５１】
図４および図５から分かる通り、光学モジュール１０１は更に、第２のバイポッド１０３．２（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第２の支持装置を含む。これらは、すでに述べた第１のバイポッド１０３．１におけると同様、それぞれ第２の接続素子１０３．２７を介して一端でもってホルダ１０３の内周面１０２．１に締結されている。第２の接続素子１０３．２７も、第２のショルダ１０２．４の上で解放可能な形でホルダ１０２の内周面１０２．１に締結されている。第２のショルダ１０２．４はすべて、第１の接続平面の中にある。
【００５２】
第２のバイポッド１０３．２は、その他端でもって第２のホールド１０４．２の形の第２のホールド装置と連結されている。この第２のホールド１０４．２がまた、第２のレンズ１０５．２の形の第２の光学素子を支持する。第２のバイポッド１０３．２は第１のバイポッド１０３．１と同様の構造を有し、ホルダ１０２および第２のホールド１０４．２にそれぞれ締結されているので、これについては上の記述を参照されたい。特に、第２のバイポッド１０３．２もまた、ヘキサポッド方式のいわゆるパラレルキネマティクスを作り、これを介して第２のホールド１０４．２は、従ってまた、第２のレンズ１０５．２はスペース内でホルダ１０２を基準として能動的に位置決めすることができる。
【００５３】
更に、第２のバイポッド１０３．２もホルダ１０２の第１の周面１０２．１に沿って均一に分布しており、それで、図５の投影面に平行な第１の平面（これの中に周方向１０２．２がある）においてその第２の中心軸１０３．２３の間にそれぞれ１２０°の角度が作られている。
【００５４】
第１および第２のバイポッド１０３．１、１０３．２は、周方向１０２．２においてホルダ１０２の内周面１０２．１に沿って均一に分布するように、それも、隣接し合うバイポッド１０３．１、１０３．２の中心軸がそれぞれ、第１の周方向１０２．２においてモジュール軸１０１．１を基準として角度α＝４０°だけねじれた形になるように配置されている。
【００５５】
第１のバイポッド１０３．１のレッグ１０３．１１とレッグ１０３．１２は、それぞれモジュール軸１０１．１の方向にも、それに対して半径の方向にも延びる。そのため、ホルダ１０２の内周面１０２．１で第１のバイポッド１０３．１を第１の周方向１０２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図４において輪郭１０３．１８で表されている通り、環状に周回する第１の構造スペースが規定されている。第１の構造スペースは、ここで戴頭円錐の側面のような形を呈する。換言すれば、円形ホルダを有する本例では、第１の構造スペース１０３．１８は、モジュール軸１０１．１を中心として第１のバイポッド１０３．１を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００５６】
第２のバイポッド１０３．２のレッグ１０３．２１とレッグ１０３．２２は、それぞれモジュール軸１０１．１の方向にも、それに対して主に半径の方向にも延びる。そのため、ホルダ１０２の内周面１０２．１で第２のバイポッド１０３．２を第１の周方向１０２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図４において輪郭１０３．２８で表されている通り、環状に周回する第２の構造スペースが規定されている。第２の構造スペース１０３．２８も、ここで戴頭円錐の側面のような形を呈する。換言すれば、円形ホルダを有する本例では、第２の構造スペース１０３．２８も、モジュール軸１０１．１を中心として第２のバイポッド１０３．２を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００５７】
光学モジュール１０１により支持されたレンズの数を度外視すれば、図１および２に示した実施態様との本質的な相違点は、第１のレンズ１０５．１が第１の接続平面より上で保持され、第２のレンズ１０５．２が第１の接続平面より下で保持されるように第１のバイポッド１０３．１と第２のバイポッド１０３．２が整列させられていることにある。
【００５８】
第１のバイポッド１０３．１と第２のバイポッド１０３．２は更に、第１の構造スペース１０３．１８と第２の構造スペース１０３．２８が横断し合うように互い違いに配置されている。第１の横断領域１０６．１は、図５において円環状の輪郭を見せている。
【００５９】
構造スペース１０３．１８と１０３．２８が横断し合うこの作りにより、ホルダ１０２によって複数のレンズ１０５．１および１０５．２が保持されながらも、モジュール軸１０１．１の方向におけるホルダ１０２の高さ寸法を短小に抑えることが可能である。
【００６０】
これにより、すでに詳述した通り省スペース化と軽量化が達成でき、また、配置全体の固有周波数も高められる。レンズ１０５．１を第１の接続平面より上に、レンズ１０５．２を第１の接続平面より下にそれぞれ配置することにより、特に、極めて短尺のバイポッド１０３．１と１０３．２を使った極めてコンパクトな配置が達成できる。
【００６１】
第１のショルダ１０２．３と第２のショルダ１０２．４を共通の一平面の中に配置することは、所要スペースの減少をもたらすだけでない。むしろ、それにより、ホールド１０２の製作も容易になる。なぜなら、それが、例えば内周面１０２．１に沿って周回する単一のリングショルダから製作できるからである。
【００６２】
光学モジュール１０１は、任意の光学モジュールの代わり、例えば光学モジュール１の代わりに、図３に示したマイクロリソグラフィ装置に嵌め込むことができる。
【００６３】
第３の実施例
図６および図７は、本発明に基づくマイクロリソグラフィ装置のための対物レンズ用光学モジュール２０１の第３の好ましい実施態様の概略図である。ここで、図６は図７の切断線ＶＩ−ＶＩに沿った断面を示す。この実施態様は、その基本的な働き方とその基本的な構造の点で図１および図２のそれと違わないので、ここでは主として相違点に言及する。
【００６４】
光学モジュール２０１は、環状ホルダ２０２の形の第１の保持装置を含む。このホルダ２０２は、第１の周方向２０２．２に延びる内周面２０２．１を有する。ホルダ２０２の内周面２０２．２には、一端でもって、能動型の第１のバイポッド２０３．１（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第１の支持装置が締結されている。この第１のバイポッド２０３．１は、その他端でもってミラー２０５．１の形の第１の光学素子と直接連結されている。
【００６５】
第１のバイポッド２０３．１は、それぞれ第１のレッグ２０３．１１と第２のレッグ２０３．１２を具備する。これらのレッグは、その共通の平面において互いに傾いて配置されており、それで、バイポッド２０３．１はそれぞれ中心軸２０３．１３を有する。第１のバイポッド２０３．１はホルダ２０２の第１の周面２０２．１に沿って均一に分布しており、それで、図７の投影面に平行な第１の平面（これの中に周方向２０２．２がある）において、図７の投影面に垂直に走るその第１の中心平面２０３．１３の間にそれぞれ１２０°の角度が作られている。
【００６６】
第１のバイポッド２０３．１はそれぞれ、述べた通り直接、すなわち、中間接続されたホールド等なしで第１のミラー２０５．１と連結されている。加えて、この第１のミラー２０５．１は３つの半径方向突出部２０５．１１を有し、これに第１のバイポッド２０３．１のそれぞれのレッグ２０３．１１と２０３．１２が締結されている。
【００６７】
第１のバイポッド２０３．１は、基本的に図１に示した第１のバイポッド２０３．１と同様の構造を有し、ホルダ２０２および第１のミラー２０５．１にそれぞれ締結されている。特に、第１のバイポッド２０３．２もまた、第１の接続素子２０３．１７を介して解放可能な形でホルダ２０２の内周面２０２．１に締結されている。第１の接続素子２０３．１７はすべて、モジュール軸２０１．１に垂直に走る第１の接続平面の中にある。第１の接続素子２０３．１７は、例えばホルダ２０２の半径方向に働くねじ継手、クランプ継手等々を介してホルダ２０２と連結してあってよい。
【００６８】
第１のバイポッド２０３．１は、図１および２に示した第１のバイポッド３．１と同様、一体となってヘキサポッド方式のパラレルキネマティクスを作り、これを介して第１のミラー２０５．１は、スペース内でホルダ２０２を基準として能動的に位置決めされ、アイソスタティック方式でおさめられている。
【００６９】
図６および７から分かる通り、光学モジュール２０１は更に、能動型の第２のバイポッド２０３．２（かなり単純化して描かれた）の形の３つの第２の支持装置を含む。これらは、すでに述べた第１のバイポッド２０３．１におけると同様、それぞれ第２の接続素子２０３．２７を介して一端でもってホルダ２０３の内周面２０２．１に締結されている。第２の接続素子２０３．２７も、例えばホルダ２０２の半径方向に働くねじ継手、クランプ継手等々を介して解放可能な形でホルダ２０２と連結してあってよい。第２の接続素子２０３．２７はすべて、第２の接続平面の中にある。
【００７０】
第２のバイポッド２０３．２は、その他端でもって直接、すなわち、中間接続されたホールド等なしで第２のミラー２０５．２の形の第２の光学素子と連結されている。加えて、この第２のミラー２０５．２も３つの半径方向突出部２０５．２１を有し、これに第２のバイポッド２０３．２のそれぞれのレッグ２０３．２１と２０３．２２が締結されている。
【００７１】
第２のバイポッド２０３．２は第１のバイポッド２０３．１と同様の構造を有し、ホルダ２０２および第２のミラー２０５．２にそれぞれ締結されているので、これについては上の記述を参照されたい。特に、第２のバイポッド２０３．２もまた、ヘキサポッド方式のいわゆるパラレルキネマティクスを作り、これを介して、第２のミラー２０５．２はスペース内でホルダ２０２を基準として能動的に位置決めすることができる。
【００７２】
更に、第２のバイポッド２０３．２もホルダ２０２の第１の周面２０２．１に沿って均一に分布しており、それで、図７の投影面に平行な第１の平面（これの中に周方向２０２．２がある）において、図７の投影面に垂直に走るその第２の中心平面２０３．２３の間にそれぞれ１２０°の角度が作られている。
【００７３】
第１および第２のバイポッド２０３．１、２０３．２は、周方向２０２．２においてホルダ２０２の内周面２０２．１に沿って均一に分布するように、それも、隣接し合うバイポッド２０３．１、２０３．２の中心平面が方程式（１）に従ってそれぞれ、第１の周方向２０２．２においてモジュール軸２０１．１を基準として角度α＝６０°だけねじれた形になるように配置されている。
【００７４】
第１のバイポッド２０３．１のレッグ２０３．１１とレッグ２０３．１２は、それぞれモジュール軸２０１．１の方向にも、第１の周方向２０２．２に対して接線の方向にも延びる。そのため、ホルダ２０２の内周面２０２．１で第１のバイポッド２０３．１を第１の周方向２０２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図６において輪郭２０３．１８で表されている通り、環状に周回する第１の構造スペースが規定されている。第１の構造スペースは、ここで円筒の側面のような形を呈する。換言すれば、環状ホルダを有する本例では、第１の構造スペース２０３．１８は、モジュール軸２０１．１を中心として第１のバイポッド２０３．１を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００７５】
第２のバイポッド２０３．２のレッグ２０３．２１とレッグ２０３．２２は、それぞれ軽くモジュール軸２０１．１の方向にも、第１の周方向２０２．２に対して接線の方向にも延びる。そのため、ホルダ２０２の内周面２０２．１で第２のバイポッド２０３．２を第１の周方向２０２．２に沿って１周分シフトさせることにより、図６において輪郭２０３．２８で表されている通り、環状に周回する第２の構造スペースが規定されている。第２の構造スペース２０３．２８も、ここで円筒の側面のような形を呈する。換言すれば、環状ホルダを有する本例では、第２の構造スペース２０３．２８も、モジュール軸２０１．１を中心として第２のバイポッド２０３．２を回転させたときに出来るトロイド形により規定されている。
【００７６】
光学モジュール２０１により支持されたミラーの数を度外視すれば、図１および図２に示した実施態様との相違点は、第１のミラー２０５．１が第１の接続平面より下で保持され、第２のミラー２０５．２が、これも第１の接続平面より下に位置する第２の接続平面より上で保持されるように第１のバイポッド２０３．１と第２のバイポッド２０３．２が整列させられていることにある。
【００７７】
更なる相違点は、円筒側面形の第１の構造スペース２０３．１８およびこれと同軸の円筒側面形の第２の構造スペース２０３．２８がほぼ同等の直径を有するように第１のバイポッド２０３．１と第２のバイポッド２０３．２が整列させられていることにある。第１のバイポッド２０３．１と第２のバイポッド２０３．２は、ここで、第１の構造スペース２０３．１８と第２の構造スペース２０３．２８が横断ないしは貫通し合うように互い違いに配置されている。第１の横断領域２０６．１はここで円筒側面形の輪郭を見せている。換言すれば、第１の構造スペース２０３．１８と第２の構造スペース２０３．２８は、幅広い区間にわたって大体重なり合うように貫通し合う。これにより、大径の光学素子を所与の内径のレンズフードに嵌め込むことも可能にする特に省スペースの支持構造が実現している。
【００７８】
構造スペース２０３．１８と２０３．２８が貫通し合うこの作りにより、ホルダ２０２が複数のミラー２０５．１および２０５．２を保持するにしても、モジュール軸２０１．１の方向におけるホルダ２０２の高さ寸法を短小に抑えることが可能である。これにより、すでに述べた通り省スペース化と軽量化が達成でき、また、配置全体の固有周波数も高められる。ミラー２０５．１を割当てられた接続平面より上に、ミラー２０５．２を割当てられた接続平面より下にそれぞれ配置することにより、特に、極めて短尺のバイポッド２０３．１と２０３．２を使った極めてコンパクトな配置が達成できる。
【００７９】
第１のミラー２０５．１は、第１の反射面２０５．１２および第１の突破口２０５．１３を有する。同等のことが、第２の反射面２０５．２２および第２の突破口２０５．２３を有する第２のミラー２０５．１２に当てはまる。ミラー２０５．１と２０５．２は、その反射面２０５．１２と２０５．２２が向き合うように保持されている。ここで、突破口２０５．１３と２０５．２３は、有効光が先ず突破口２０５．１３を通って反射面２０５．１２と２０５．２２の間のスペースに到達し、第１の反射面２０５．１２から第２の反射面２０５．２２へと向けられ、ここから次に第２の突破口２０５．２３を通って反射面２０５．１２と２０５．２２の間のスペースから脱出するのを確実にできるようにする。これにより、最小のスペースで極めてコンパクトな反射屈折装置が実現可能である。
【００８０】
第２の実施例におけると同様、光学モジュール２０１は、任意の光学モジュールの代わり、例えば光学モジュール１の代わりに、図３に示したマイクロリソグラフィ装置に嵌め込むことができる。
【００８１】
以上、本発明をもっぱら、同じ種類の光学素子が唯一の光学モジュールにおいて保持される実施例に則して説明したが、本発明は、異なる種類の光学モジュールが唯一の光学モジュールにおいて保持される任意の組み合わせにも同様に適用し得ると理解される。
【００８２】
更に、本発明をもっぱら、マイクロリソグラフィ用対物レンズの領域からの実施例に則して説明したが、本発明は任意の他の対物レンズにも同様に適用し得ると理解される。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】図１は、発明通りの光学モジュールの好ましい実施態様の図解的断面図である。
【図２】図２は、図１に示した光学モジュールの図解的平面図である。
【図３】図３は、発明通りのレンズフードを備えた本発明によるマイクロリソグラフィ装置の好ましい実施態様の概略図である。
【図４】図４は、発明通りの光学モジュールの更なる好ましい実施態様の図解的断面図である。
【図５】図５は、図４に示した光学モジュールの図解的平面図である。
【図６】図６は、発明通りの光学モジュールの更なる好ましい実施態様の図解的断面図である。
【図７】図７は、図６に示した光学モジュールの図解的平面図である。
【図１】
2008500569.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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