【事件の表示】
　特許第２６９６３３４号「超音波モータ制御装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２６９６３３４号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　特許第２６９６３３４号の請求項１〜３に係る発明は、昭和６３年４月１３日に特許出願がなされたものであって、平成９年９月１９日にその発明についての特許権の設定登録がなされ、その後、キャノン株式会社より請求項１、２に係る発明に対して特許異議申立がなされ、請求項１、２に係る発明について当審より取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月２５日に特許権者より特許異議意見書の提出とともに明細書についての訂正請求がなされ、当審より訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年２月２４日に特許権者より意見書とともに手続補正書が提出されたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　ア．訂正請求に対する補正の適否について
　特許権者がした訂正請求に対する補正の内容は、請求項１中の「設定された駆動モードによって選択された超音波モータの予め定められた駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段」と、請求項２中の「設定された駆動モードによって選択された超音波モータの予め定められた駆動優先順位に応じて各超音波モータに対する前記切換手段の作動時間を制御する切換制御手段」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って超音波モータの予め定められた駆動優先順位に応じて各超音波モータに対する前記切換手段の作動時間を制御する切換制御手段」と補正するとともに、発明の詳細な説明中のこれと対応する記載も同様に補正しようとするものである。
　そこでこれらの補正について検討すると、いずれも明りょうでない記載の釈明を目的としており、訂正請求書の要旨を変更するものではないから、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合している。
　イ．訂正の内容
　特許権者が求めている上記補正後の訂正の内容は、
　訂正事項ａ　特許明細書中の特許請求の範囲の請求項１及び２（平成８年１１月２１日付けの手続補正書により補正されたもの）について、
「１．超音波モータの駆動信号を出力駆動信号発生手段と．この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、複数の超音波モータを予め定められた駆動優先順位にしたがって前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。
　２．超音波モータの駆動信号を出力駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、複数の超音波モータを予め定められた駆動優先順位にしたがって前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。」
を、
「１．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。
　２．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って各超音波モータに対する前記切換手段の作動時間を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。」
と訂正する。
　訂正事項ｂ　特許明細書（平成８年８月８日付の手続補正書にて補正された全文補正明細書）中の第２頁第１６行目「圧電セラミックス上の載置した」を「圧電セラミックス上に載置した」と、第３頁第３行目「複数の超音波モータの予め定められた」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの」と、第３頁第２３行目「複数の超音波モータの予め定められた」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの」と、第４頁第１行目「全開駆動時」を「前回駆動時」と、第４頁第３行目「掃引するように」を「掃引するような」と、第７頁第５行目「２台が否か」を「２台か否か」と、第７頁第１２行目「超音波モータII（一ｂ）」を「超音波モータII（ｌｂ）」と、第８頁第３行目 「パターン過」を「パターン化」と、第１０頁第９行目「（ＹＥＳ）ＨＡ」を「（ＹＥＳ）は」と、第１２頁第１２行目「共振周数」を「共振周波数」と、第１２頁第１５行目「主は」を「周波」と、第１４頁第５行目「とかなる」を「とからなる」とそれぞれ訂正する。
　訂正事項ｃ　特許明細書（平成８年８月８日付の手続補正書にて補正された全文補正明細書）中の第１４頁第１８行目「第１図は請求項１乃至請求項３記載の」を「第１図は請求項１及び請求項２記載の」と、第１４頁第１９行目「第２図は請求項４記載の」を「第２図は請求項３記載の」とそれぞれ訂正する。
というものである。
　ウ．訂正の目的の適否、拡張・変更の有無
　上記訂正内容は、訂正事項ａの特許請求の範囲請求項１、２についてのものは特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、訂正事項ｂの発明の詳細な説明についてのものは請求項１、２の記載と整合をとるための明りょうでない記載の釈明と誤記の訂正を目的とするものであり、訂正事項ｃの図面の簡単な説明についてのものは誤記の訂正を目的とするものであり、これらはいずれも新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張するものとも変更するものとも認められない。
　エ．独立特許要件の判断　　　
　訂正明細書の請求項１、２に係る発明は、上記イ．の訂正事項ａに掲記の訂正後の記載のとおりと認められる。
　そして、訂正明細書の請求項１、２に係る発明は、上記のような構成を採用したことにより、例えば３台の超音波モータのうちの２台を駆動させる必要があるときには、明細書中に表−１として例示されているようにどの２台が選択されるときも、３台の超音波モータについて予め定められている駆動優先順位に応じて２台の超音波モータの駆動の制御或いはその時間の長短の割合が設定できるものと認められる。
　一方、特許明細書の請求項１、２に係る発明に対して当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭６２−８５６９５号公報；特許異議申立人が引用した甲第１号証）には、カメラのオートフォーカス、ミラーのアップ・ダウン、フィルムの巻上・巻戻などの動作のためのそれぞれ専用のモータを駆動するための回路についての発明が記載されており、次のような趣旨の説明がある。即ち、
　第１２図に示す構成の表面波（超音波）モータ６０を３個用いて構成したモータ駆動回路が第１６図に示され、この駆動回路のモータ制御用トランジスタＱａｌ〜Ｑｈｌ，Ｑａ２〜Ｑｈ２のベースに信号反転ａｌ〜ｈｌ，反転ａ２〜ｂ２を与えるための電気回路が第１７図に示されている（同公報第７頁右上欄１０行目から同頁右下欄１０行目参照）。
　第１７図に示される電気回路は、発信器７２からの一定周波数信号をＸ波形電圧発生回路７３と，反転Ｘ波形電圧発生回路７４と，Ｙ波形電圧発生回路７５，反転Ｙ波形電圧発生回路７６とにより、第１８図に示す位相のずれた交流電圧に変換するもので、これらの交流電圧はアナログマルチプレクサ７７に入力される（同公報第７頁右下欄１１行目から８頁左上欄２行目参照）。
　アナログマルチプレクサ７７は、マルチプレクサ入力（Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ，Ｇ、Ｈ）の切換により、マルチプレクサ出力が制御され、第１６図に示すモータ駆動回路の表面波（超音波）モータＭ１（発振子Ｐ１１・Ｐ１２）、Ｍ２（発振子Ｐ２１・Ｐ２２）、Ｍ３（発振子Ｐ３１・Ｐ３２）が順に駆動される。アナログマルチプレクサ７７のマルチプレクサ入力（Ａ、Ｂ、Ｄ、Ｅ、Ｇ、Ｈ）の切換は、第８図に示すシーケンス制御回路４３により行われ、その動作は第１１図のフローチャートに示されている（同公報第８頁左上欄３行目から同頁右下欄１９行目参照）。
　第１１図に示すフローチャートは、電磁駆動モータを用いた場合を示すが、超音波モータに対してもブレーキ制御を不要として適用できることが開示され（同公報第８頁右下欄３行目から１４行目参照）、モータＭ１の駆動・停止後、モータＭ２を駆動・停止し、最後にモータＭ３が駆動・停止されることが開示されている（同公報第６頁左上欄３行目から同頁左下欄１４行目参照）。
　また、モータＭ２はミラーアップ・ダウン駆動用モータ、モータＭ３はフィルム巻上・巻戻駆動用モータであり、一眼レフカメラにおいて、ミラーアップ・ダウン動作は予め略動作時間が決まっており、またフィルムの１駒巻上動作の時間も予め略決まっているものである。そして、第１１図のフローチャートによって明らかなように、モータＭ２によるミラー駆動と、モータＭ３によるフィルム巻き上げ駆動とも、作動時間が制御されて駆動の切換が行われている。
　同じく刊行物２（特開昭４９−１２８２１５号公報）には、電動機を１台乃至複数台で電動機グループを形成し、このような電動機グループの複数グループで１台の電源を共用し、且つ時分割で電動機グループを順次起動運転する構成とし、大幅な電源コストの低減を図ると共にシステムの信頼性を向上させた電動機の運転方式を提供することを目的とした発明が記載されており(第２頁右上欄４行目〜１０行目参照）、開示しようとする発明の基本的構成を表す図面第２図をみると、１つの電源Ｄと電動機グループＡ、Ｂ、Ｃが、スイッチＳｗａ、Ｓｗｂ、Ｓｗｃを介して接続されるようになっている。そして、その運転期間説明図である第３図を参照した説明をみると、Ａグループ、Ｂグループ、Ｃグループをこの順番でｔ１，ｔ２，ｔ３の時間配分で切換えて接続するように時分割制御運転することが記載されており、そのように時分割制御運転する以上第２図のものにおいてもＳｗａ、Ｓｗｂ、Ｓｗｃを第３図に示されるように切換え制御する制御手段も必要なことは明らかであるから、上記刊行物２には、電動機の駆動電力を供給する電源と、この電源と複数の電動機の接続を切り換える切換手段とを具備する電動機制御装置において、複数の電動機の予め定められた駆動の順番に従って、前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けた電動機制御装置が開示されているということができる。
　そこで訂正明細書の請求項１に係る発明とこれらの刊行物に記載の発明を対比すると、これらの刊行物には本件訂正明細書の請求項１に係る発明に不可欠の事項である「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段」に関しては明記も示唆する記載も見あたらない。
　すなわち、刊行物１にはモータＭ１〜Ｍ３を予め定められているこの順序で駆動させるものが記載されており、制御手段の作動も必ずこの順序となる点で駆動順番が予め定められていると言うことができるが、駆動するモータが一巡する間に駆動されるモータと駆動されないモータがでてくるようなものではなく全てのモータが駆動されるものであって、この点において駆動優先順位が予め定められているものということができない。
　また、刊行物２のものは、複数の電動機グループを１つの電源で駆動するために時分割的に駆動するものであるが、これは複数の電動機で同時に被駆動体を回転させる必要がある場合に、電動機が一旦回転を始めると慣性の大きい電動機においては短い時間電源に接続されていない状態があっても電動機は慣性で回転を続けるという現象を積極的に利用するようにして、電源設備の節約のために時分割の割合を適当に選ぶことにより１つの電源で全ての電動機が同時に回転している状態にできるようにしたものであって、複数の電動機の一部を時分割駆動が一巡する間に全く駆動しないようにすることは想定していないものであるから、刊行物２のものも駆動優先順位が予め定められているものということができない。　
　したがって、刊行物１、刊行物２には、複数の電動機のうち駆動する電動機が予め選択されて、その選択されている電動機について予め定めている駆動優先順位に従って駆動するという請求項１に係る発明の着想は開示も示唆もないというべきであるから、訂正後の請求項１に係る発明を刊行物１、刊行物２に記載された発明とも、これらに基づいて当業者が容易に推考できたものともいうことができない。
　また、訂正後の請求項２に係る発明についても同様である。
　そして、他に訂正後の本件請求項１ないし２に係る発明の特許についてこれを取り消すべき理由は発見できないから、訂正後の本件請求項１ないし２に係る発明を、出願の際に独立して特許を受けることができない発明とは、いうことができない。
　オ．むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
　
３．特許異議の申立についての判断
　ア．特許異議申立の理由の概要
　異議申立人キャノン株式会社は、請求項１に係る発明は、甲第１号証（特開昭６２−８５６９５号公報）に記載された発明であり、請求項２に係る発明も、甲第２号証（特開昭５９−８９５９２号公報）、甲第３号証（実願昭５９−１３２１９４号（実開昭６１−４６８９７号）のマイクロフィルム）として例示するような周知技術を考慮すれば甲第１号証に記載された発明ということができ、いずれも特許法第２９条第１項第３号に該当するから、同項本文の規定により特許を受けることができないものであり、したがって、請求項１〜２に係る特許は、取り消されるべきものである旨主張している。
　イ．本件発明
　本件請求項１、２に係る発明については、上記２．エで認定したとおりである。
　ウ．判断
　そこで、特許異議申立の理由の当否について判断する。
　まず、甲第１号証乃至甲第３号証にそれぞれ記載されている事項について検討する。
　甲第１号証には、上記２．ウにおいて刊行物１について言及した趣旨の記載がある。
　甲第２号証には、次のような技術開示があるということができる。
　工作機械において、旋削加工時に主軸用モータを駆動し、ワークを指令回転速度で回転させ、旋削加工後のネジ穴等の加工時には、主軸を所定位置に位置決めした後、工具用モータを駆動して工具を回転させ静止したワークに穴加工等を行うことが記載されている（第１頁右欄６行目から１７行目）。すなわち、工作機械においては、２つのモータは駆動の順番が決まっているべきものであり、主軸用モータの回転による旋削加工、工具モータの回転によるワークへの加工時間は予め設定されるものであるから、主軸用モータの駆動後に工具用モータを駆動するという駆動の順番に応じて、主軸用モータは予め設定された時間駆動され、工具用モータもその後予め設定された時間駆動制御されることになる。
　甲第３号証には、次のような技術開示があるということができる。
　コストダウンとコンパクト化を目的として、複数のモータに対して１個のモータ制御回路と１個のモータ・ドライバを設けてモータを時分割で切換え使用し制御するようにしたものが記載されており、実施例のモータ１とモータ２を切換回路３により切換える切換時間は、それぞれのイナーシャ、負荷のイナーシャ等により決定される旨説明されていて（４頁２０行目〜５頁２行目）、これは、駆動の順番に応じてそれを駆動するための電源に接続する切換時間が制御されることを示すものである。
　そこで訂正明細書の請求項１に係る発明と甲第１号証に記載の発明を対比すると、上記２．エで刊行物１について判断したことが該当する。
　また、甲第２号証、甲第３号証の各モータは、その設定されている時間だけ予め定めた順に駆動されるものであるが、これらのモータについても、駆動が一巡するときに駆動されるモータと駆動されないモータがあることは全く想定していないものである。
　従って、甲第１号証〜甲第３号証には本件訂正明細書の請求項１に係る発明に不可欠の事項である「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段」に関しては明記も示唆する記載も見あたらない以上、請求項１に係る発明を甲第１号証〜甲第３号証のいずれかに記載された発明であるとも、これらの発明から容易に推考できたものとも認めることができない。
　また、本件訂正明細書の請求項２に係る発明についても同様にいうことができる。
　したがって、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件請求項１、２に係る特許を取り消すことができない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月５日（２０００．６．５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　訂正事項ａ　特許明細書中の特許請求の範囲の請求項１及び２（平成８年１１月２１日付けの手続補正書により補正されたもの）について、
「１．超音波モータの駆動信号を出力駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、複数の超音波モータを予め定められた駆動優先順位にしたがって前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。
　２．超音波モータの駆動信号を出力駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、複数の超音波モータを予め定められた駆動優先順位にしたがって前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。」
を、特許請求の範囲の減縮を目的として
「１．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って前記切換手段の作動を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。
　２．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの駆動優先順位に従って各超音波モータに対する前記切換手段の作動時間を制御する切換制御手段を設けたことを特徴とする超音波モータ制御装置。」
と訂正する。
　訂正事項ｂ　特許明細書（平成８年８月８日付の手続補正書にて補正された全文補正明細書）中の記載において、明りょうでない記載の釈明を目的として、第３頁第３行目「複数の超音波モータの予め定められた」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの」と、第３頁第２３行目「複数の超音波モータの予め定められた」を「駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの」と、誤記の訂正を目的として、第２頁第１６行目「圧電セラミックス上の載置した」を「圧電セラミックス上に載置した」と、第４頁第１行目「全開駆動時」を「前回駆動時」と、第４頁第３行目「掃引するように」を「掃引するような」と、第７頁第５行目「２台が否か」を「２台か否か」と、第７頁第１２行目「超音波モータＩＩ（一ｂ）」を「超音波モータＩＩ（１ｂ）」と、第８頁第３行目「パターン過」を「パターン化」と、第１０頁第９行目「（ＹＥＳ）ＨＡ」を「（ＹＥＳ）は」と、第１２頁第１２行目「共振周数」を「共振周波数」と、第１２頁第１５行目「主は」を「周波」と、第１４頁第５行目「とかなる」を「とからなる」とそれぞれ訂正する。
　訂正事項ｃ　特許明細書（平成８年８月８日付の手続補正書にて補正された全文補正明細書）中の記載において、誤記の訂正を目的として、第１４頁第１８行目「第１図は請求項１乃至請求項３記載の」を「第１図は請求項１及び請求項２記載の」と、第１４頁第１９行目「第２図は請求項４記載の」を「第２図は請求項３記載の」とそれぞれ訂正する。
（５４）【発明の名称】
超音波モータ制御装置
（５７）【特許請求の範囲】
１．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、
　
駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの
２．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、
　
駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの
３．超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段と、この駆動信号発生手段と複数の超音波モータの接続を切換える切換手段とを具備する超音波モータ制御装置において、
　複数の超音波モータの予め定められた駆動優先順位に応じて各超音波モータに対する前記作動時間を制御する切換制御手段と、
　駆動信号発生手段からの出力信号の終了毎にその出力終了時の出力信号の周波数を記憶する周波数記億手段と、
　超音波モータの駆動時に前記周波数記憶手段に記憶された駆動信号周波数を駆動信号発生手段の発振開始周波数とする発振開始周波数設定手段と、この発振開始周波数から所定の間隔で周波数を増加させる周波数掃引手段と、この周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したか否かを判定する判定手段と、前記周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したと判定された場合に該周波数を維持すると共に、超音波モータによって駆動される部材が目標位置に到達し、前記駆動信号発生手段から駆動信号の出力が停止された場合に、駆動信号周波数を初期値に戻す初期値設定手段とからなる周波数制御手段とを具備したことを特徴とする超音波モータ制御装置。
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
　この発明は、超音波振動を利用した超音波モータの制御装置に関する。
（従来の技術）
　近年、超音波振動源となる圧電セラミックス等の応用としで超音波モータが実用化されつつある。
　この超音波モータは例えば、圧電セラミックスに９０°位相の異なる交流信号を印加することで、この圧電セラミックスに圧電効果による進行波を発生させ、この進行波によって圧電セラミックス上に載置した移動用部材を移動させて回転力を得るようにしたものである。
（発明が解決しようとする課題）
　係る超音波モータの駆動回路は、上述のごとく９０°位相差のある高周波信号の発生を要することから構成が複雑で比較的高価となる。このため、複数の超音波モータを用いる場合にあっては、一つの駆動回路で複数の超音波モータを効率よく制御できることが望まれる。
　そこで、本発明は複数の超音波モータを効率よく、簡易な構成で駆動できる超音波モータ制御装置を提供することを課題とするものである。
（課題を解決するための手段）
　しかして、上記目的を達成するために本発明の超音波モータ制御装置は、第１図に示されるごとく、超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段２００と、この駆動信号発生手段２００と複数の超音波モータＭの接続を切換える切換手段２１０とを具備する超音波モータ制御装置において、
　前記切換手段２１０の作動を所定の条件の下に制御する切換制御手段２２０を設けたもので、該切換制御手段２２０は、
駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータＭを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの
　また、本発明の超音波モータ制御装置は第２図に示されるがごとく、超音波モータの駆動信号を出力する駆動信号発生手段２００と、この駆動信号発生手段２００と複数の超音波モータＭの接続を切換える切換手段２１０とを具備する超音波モータ制御装置において、駆動信号発生手段２００からの出力信号の終了毎にその出力終了時の出力信号の周波数を記憶する周波数記憶手段２４０と、超音波モータの駆動時に前記周波数記憶手段に記憶された駆動信号周波数を駆動信号発生手段の発振開始周波数とする発振開始周波数設定手段と、この発振開始周波数から所定の間隔で周波数を増加させる周波数掃引手段と、この周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したか否かを判定する判定手段と、前記周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したと判定された場合に該周波数を維持すると共に、超音波モータによって駆動される部材が目標位置に到達し、前記駆動信号発生手段から駆動信号の出力が停止された場合に、駆動信号周波数を初期値に戻す初期値設定手段とからなる周波数制御手段２５０とを具備したものである。
（作用）
　したがって、切換制御手段は
、駆動優先順位が予め定められている複数の超音波モータを、設定された駆動モードにより選択し、選択された超音波モータの
　また、周波数記憶手段と周波数制御手段とを付加すれば、駆動信号発生手段の出力信号を超音波モータの共振周波数に設定することにおいて、駆動の度毎に周波数記憶手段に記憶された
前回
な
（実施例）
　以下、この発明の実施例を図面により説明する。
　第３図において、超音波モータ制御装置は、３台の超音波モータＩ（１ａ），ＩＩ（１ｂ），ＩＩＩ（１ｃ）が接続されるので、駆動信号発生回路２及び切換回路３をマイクロコンピュータ４によって制御しつつ、前述の３台の超音波モータ１ａ〜１ｃの駆動を制御するようになっている。
　マイクロコンピュータ４は、図示されない中央処理装置ＣＰＵ、読出専用メモリＲＯＭ、ランダムアクセスメモリＲＡＭ、入出力ポートＩ／Ｏ等を持つそれ自体周知のものである。このマイクロコンピュータ４にはＡ／Ｄ変換器６が接続されており、マルチプレクサ（ＭＰＸ）５により選択された各種入力信号がデジタル信号で入力され、この入力されたデジタル信号を基にマイクロコンピュータ４は各種演算等を行ない、駆動信号発生回路２及び切換回路３に制御信号を出力してその駆動を制御する。
　マルチプレクサ５はマイクロコンピュータ４からの制御信号によって各種入力信号を順次切換えてＡ／Ｄ変換器６へ出力するもので、このマルチプレクサ５には共振検出回路７、回転角検出回路８及び操作部９の各出力信号が入力されている。
　駆動信号発生回路２は、可変周波数発振回路２ａ、スイッチング回路２ｂ及び高周波トランス２ｃから構成されているもので、超音波モータの駆動に必要な９０°位相差を有する二つの高周波信号を発生出力するものである。
　可変周波数発振回路２ａは高周波信号発振源となるものである。
　スイッチング回路２ｂは、高周波トランス２ｃの二次側に前述したような９０°位相差を有する二信号を取り出すために前述した可変周波数発振回路２ａの出力信号を適宜断続して高周波トランス２ｃの一次側へ印加するものである。
　切換回路３は駆動信号発生回路２と超音波モータ１ａ〜１ｃのうち一台と駆動信号発生回路２とを接続するもので、例えば第４図に示されるような構成を有するものである。即ち、第４図において切換回路３は三つの切換スイッチａ（１０ａ），ｂ（１０ｂ），ｃ（１０ｃ）から構成されている。これら三つの切換スイッチ１０ａ〜１０ｃは同一構成を有するものであり、切換スイッチａ（１０ａ）を例にその構成を述べれば、同スイッチ１０ａは、三つの連動する常開接点１１ａ〜１１ｃを有している。この三つの連動する常開接点１１ａ〜１１ｃの一端は駆動信号発生回路２へ接続されるもので、９０°位相差を有する二信号、即ちｓｉｎ波及びｃｏｓ波と称される信号の印加端子として用いられる。
　また、常開接点１１ａ〜１１ｃの他端は超音波モータＩ（１ａ）へ接続されている。
　そして、この切換スイッチ１０ａ〜１０ｃはマイクロコンピュータ４からの制御信号が印加されることで、その開閉を行なうようになっている。
　超音波モータ１ａ〜１ｃは、圧電素子による超音波振動を利用して回転力を得る周知の構成であり、その詳細な構造の説明は省略する。
　この超音波モータ１ａ〜１ｃは例えば、自動車用空調装置において内外気切換ド７等の開閉に用いられ、超音波モータＩ（１ａ）は内外気切換ドアを、超音波モータＩＩ（１ｂ）はモードドアを、超音波モータＩＩＩ（１ｃ）はエアミックスドアをそれぞれ開閉するために用いられるものとする。
　共振検出回路７は、超音波モータ１ａ〜１ｃが共振状態にあるか否かを判定するために用いられるフィードバック信号ＦＢａ，ＦＢｂ，ＦＢｃとして前述したマルチプレクサ５へ出力するもので、具体的には圧電素子（図示せず）の印加電庄と電流の位相差を検出する周知のものである。圧電素子が共振状態にある場合においてはこの位相差は一定であるという特性を利用し、後述するようにこの位相差が一定となるように圧電素子への印加信号の周波数をフィードバック制御するために用いられるものである。
　また、回転角検出回路８は、超音波モータ１ａ〜１ｃによって回動される上述のドアの回動位置を検出し、その検出信号をフィードバック信号ＦＢＰ１，ＦＢＰ２，ＦＢＰ３として前述したマルチプレクサ５へ出力するものである。
　この回転角検出回路８は、例えば超音波モータ１ａ〜１ｃの各出力軸に取り付けられたポテンショメータ（図示せず）によって構成される周知のものである。
　操作部９は被駆動モータの選択を行なうための複数の選択スイッチ（図示せず）から構成されるものである。
　第５図には上述のマイクロコンピュータ４による超音波モータ１ａ〜１ｃの駆動制御例がメインフローチャートとして示されており、以下にこのメインフローチャートに従い制御作動を説明する。
　マイクロコンピュータ４は、スタートステップ２０から実行を開始し、ステップ２２へ進んで各種変数等の初期設定を行なう。
　ステップ２２の処理終了後はステップ２４へ進み、前述の各種フィードバック信号及び操作部９の出力信号をマルチプレクサ５及びＡ／Ｄ変換器６を介して入力し、ステップ２６へ進む。
　ステップ２６では、先ず、図示されない各種センサによりマルチプレクサ５及びＡ／Ｄ変換器６を介して入力された車室内温度、外気温度等に基づいて車室内の熱負荷に対応した総合信号を演算し、この総合信号の値に基づいてエアミックスドア開度、モードドア位置及びインテークドア位置を決定する。そして、上述のステップ２４で入力したフィードバック信号等に基づいて被駆動モータの駆動に必要とされる駆動信号の演算が行なわれ、その後ステップ２８へ進む。
　ステップ２８では、すべてのモータがＯＦＦの設定であるか否かが判定され、すべてＯＦＦと設定されていると判定された場合（ＹＥＳ）は前述のステップ２４へ戻り、それ以外の場合（ＮＯ）は次のステップ３０へ進む。
　ステップ３０では被駆動モータを如何なる駆動モードで駆動するか駆動モードの選択が行なわれる。その処理終了後、ステップ７０へ進み、上述のステップ３０で選択された駆動モードで超音波モータ１ａ〜１ｃの駆動が行なわれる。このステップ７０終了後は前述のステップ２４へ戻り上述した制御が繰り返される。
　第６図には上述のメインルーチンにおけるステップ３０の駆動モード選択処理の具体例がサブルーチンとして示されており、以下同図を参照しつつその内容を説明する。
　マイクロコンピュータ４は、スタートステップ３０から実行を開始し、ステップ３２へ進んで操作部９によりすべての超音波モータ１ａ〜１ｃを駆動すべく設定がなされているか否かが判定され、すべてのモータ１ａ〜１ｃが駆動状態（ＯＮ）に設定されていると判定された場合（ＹＥＳ）はステップ４４へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ３４へそれぞれ進む。
　ステップ３４では，被駆動モータが２台か否かを判定し、２台と判定された場合（ＹＥＳ）はステップ４０へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ３６へそれぞれ進む。
　ステップ３６では被駆動モータが超音波モータＩであるか否かを判定し、超音波モータＩ（１ａ）であると判定された場合（ＹＥＳ）はステップ４６へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ３８へそれぞれ進む。
　ステップ３８では被駆動モータが超音波モータＩＩ（１ｂ）であるか否かの判定を行ない、超音波モータＩＩ（
１
　また、ステップ４０では被駆動モータが超音波モータＩ（１ａ），ＩＩ（１ｂ）の２台であるか否かを判定し、被駆動モータがＩ（１ａ），ＩＩ（１ｂ）の２台であると判定された場合（ＹＥＳ）はステップ５２へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ４２へそれぞれ進む。
　ステップ４２では被駆動モータが超音波モータＩ（１ａ），ＩＩＩ（１ｃ）の２台であるか否かを判定し、被駆動モータがＩ（１ａ），ＩＩＩ（１ｃ）の２台であると判定された場合（ＹＥＳ）はステップ５４へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ５６へそれぞれ進む。
　次にステップ４４〜５６における各モードについて説明するが、これらステップ４４〜５６においては被駆動モータの数に応じて駆動時間と駆動順位が定められているものである。
　先ず、ステップ４４においては、３台の超音波モータ１ａ〜１ｃが第８図（ａ）に示されるように、常に超音波モータＩ（１ａ）からＩＩＩ（１ｃ）へ順次切換えて駆動されるように駆動モードの設定が行なわれる。即ち、この「全モード」状態においては、切換回路３の切換スイッチ１０ａ〜１０ｃが予め定められた超音波モータ１ａ〜１ｃの駆動優先順位（本実施例においては超音波モータＩ，ＩＩ，ＩＩＩの順に優先順位が高いと定められているものとする。）に従って切換えられる。そして、超音波モータＩＩＩ（１ｃ）の切換が終了した後は、再び超音波モータＩ（１ａ）から前述と同様にして順次切換が行なわれるよう切換順序がパターン
化
　しかも、切換スイッチ１０ａ〜１０ｃが閉じられる時間Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３（第８図（ａ）参照）はこれらＴ１，Ｔ２，Ｔ３の総計時間丁を１００％とすれば、表１に示すような割合に設定されるものである。即ち、駆動優先順位の高いほど切換スイッチ１０ａ〜１０ｃの閉じられる時間も長くなるように設定される。
　また、切換スイッチ１０ａ〜１０ｃが切換えられても逆転事故の防止の観点より切換スイッチ１０ａ〜１０ｃが切換えられた瞬間より所定時間Ｔｄだけ遅れて駆動信号発生回路２から出力信号が出力されるようマイクロコンピュータ４内部でタイマが設定され、Ｔｄ時間経過後にマイクロコンピュータ４からの制御信号によって駆動信号発生回路２が駆動信号を出力する（第１０図参照）。
　尚、この遅延処理はこの「全モード」状態のみならず他の駆動モードにおいても同様に行なわれるものであり、以下のステップ４６〜５６においてはその説明を省略する。
　次に、ステップ４６においては「Ａモード」の設定が行なわれる。即ち、「Ａモード」においては超音波モータＩ（１ａ）のみが被駆動モータであり、Ｔ１＝１００％であるが、ステップ４４で述べたごとく切換回路３の切換は当該モードにおける被駆動モータを駆動優先順位に従って所定時間で繰り返すことを基本とするものであるから、この場合には超音波モータＩ（１ａ）のみが対象故、切換スイッチａ（１０ａ）は実質的には第９図（単独駆動の場合参照）に示されるように内外気切換ドア（図示せず）が目標位置に達するまで継続的に閉じられることとなる。
　ステップ４８及びステップ５０においても被駆動モータがそれぞれ超音波モータＩＩ（１ｂ），ＩＩＩ（１ｃ）である点が異なるのみで内容的には本ステップ４６と全く同一であり、ステップ４６の説明をもってステップ４８，５６の説明に代えるものとする。
　ステップ５２では「Ａ＆Ｂモード」の設定が行なわれる。即ち、このモードにおいては超音波モータＩ（１ａ），ＩＩ（１ｂ）が駆動され、各々のモータ１ａ，１ｂが切換回路３により駆動信号発生回路２と接続される時間の割合は前述した駆動優先順位に応じて表１に示すように各々Ｔ１＝７０％及びＴ２＝３０％に設定される。そして、切換のパターンは第９図に示すように超音波モータＩ（１ａ），ＩＩ（１ｂ）を順次にしかも繰り返して行なうものに設定される。この切換パターンも前述のステップ４４において述べたと同様にＲＯＭ等のメモリに予め記憶されたものが選択される。
　ステップ５４では「Ａ＆Ｃモード」の設定が行なわれる。このモードにおいては超音波モータＩ（１ａ），ＩＩＩ（１ｃ）が駆動され、駆動信号発生回路２と接続される時間の割合は表１に示すように前述した駆動優先順位に応じて各々のＴ１＝８０％及びＴ３＝２０％に設定される。
　前述のステップ５２と異なるのはこのＴ１，Ｔ３の割合のみで、他の設定内容については全く同じであるので以下説明を省略する。
　ステップ５６の「Ｂ＆Ｃモード」においては超音波モータＩＩ（１ｂ），ＩＩＩ（１ｃ）が被駆動モータとなり、Ｔ２，Ｔ３が駆動優先順位に対応して表１のように各々７０％及び３０％に設定される点が前述のステップ５２と異なるもので他の設定内容については同一であり、その説明は以下省略する。
　上述のステップ４４〜５６の処理を終了した後はステップ５８を介してメインルーチンへ戻る。
　第７図には前述したメインルーチンにおけるステップ７０の駆動処理の具体例がサブルーチンとして示されており、以下同図を参照しつつその内容を説明する。
　マイクロコンピュータ４は、スタートステップ７０より実行を開始し、ステップ７２へ進んで切換スイッチａ（１０ａ）の作動時間に相当するＴ１が零か否かを判定する。そして、Ｔ１＝０と判定された場合（ＹＥＳ）
は
　ステップ７４ではタイマＴ１を始動させる。
　このタイマＴ１はＴ１の設定時間に応じてその設定時間の間作動するもので、マイクロコンピュータ４内でソフト的に処理されるものである。このタイマＴ１の始動の後はステップ７６へ進む。
　ステップ７６では、切換回路３の切換スイッチａ（１０ａ）を作動させ、超音波モータＩ（１ａ）と駆動信号発生回路２との接続を行ないステップ７８へ進む。
　ステップ７８では駆動信号発生回路２の出力周波数がＦａに設定されて、同回路２よりこの周波数Ｆａの信号が出力される。
　尚、この駆動信号の出力は駆動モード選択処理のサブルーチン（第６図）の説明で既に述べたように、切換スイッチａ（１０ａ）の切換時より所定時間Ｔｄだけ遅延される（第１０図参照）。
　次に、ステップ８０において、マイクロコンピュータ４は前述した共振検出回路７から超音波モータＩ（１ａ）が共振状態か否かを判定するための検出信号ＦＢａを、回転角検出回路８から同モータＩ（１ａ）の出力軸（図示せず）の回転角の検出信号ＦＢＰ１をそれぞれ入力し、ステップ８２へ進む。
　ステップ８２では上述のステップ８０で入力された信号ＦＢａが所定の位相差βにあるか否かが判定され、ＦＢａ＝βと判定された場合（ＹＥＳ）はステップ８６へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ８４へ進む。このように、駆動信号発生回路２の出力周波数が超音波モータＩ（１ａ）を共振状態とする値にあるか否かを確認するのは、一般に、超音波モータの圧電素子の共振周波数は第１１図（ａ）に示すように雰囲気温度が高くなるに伴い徐々に低くなる特性を有しているからである。このため、本実施例では、フィードバック信号ＦＢａ，ＦＢｂ，ＦＢｃを用いてその値が常に所定値となるように駆動信号発生回路２の出力周波数を調節するものである。
　また、同時に駆動信号発生回路２の周波数を共振周波数に設定するために、本実施例においては後述するごとく周波数掃引を行なう（第１１図（ｂ）参照）。
　即ち、ステップ８４では駆動信号発生回路２の出力周波数を前述のステップ７８で設定した周波数Ｆａから所定値αだけ増加させ、これを新たに出力周波数Ｆａとして超音波モータＩ（１ａ）を駆動し、同時にこの新たな周波数ＦａはＲＡＭに記憶され、この後、ステップ８６へ進む。
　ステップ８６では超音波モータＩ（１ａ）の駆動対象たる内外気切換ドア（図示せず）が目標位置に達したか否かをフィードバック信号ＦＢＰ１により判定を行なう。そして、目標位置にあると判定された場合（ＹＥＳ）はステップ９０へ、それ以外の場合（ＮＯ）はステップ８８へそれぞれ進む。
　ステップ８８ではタイマＴ３が終了したか否かを判定し，タイマＴ１が未だ終了していないと判定された場合（ＮＯ）は前述のステップ８０へ戻り、上述と同様の処理を繰り返す。一方，タイマＴ１が終了したと判定された場合（ＹＥＳ）は次のステップ９０へ進み、同ステップ９０においては駆動信号発生回路２からの信号出力を停止する。尚、この信号出力停止の際、ステップ８６の後の本ステップ９０の実行である場合には駆動信号発生回路２の出力周波数が初期値に設定される。そして、このステップ９０の処理終了後はステップ９２へ進む。
　ステップ９２では切換スイッチａ（１０ａ）を開状態（ＯＦＦ）としてステップ９４へ進む。
　以上のステップ８０〜９２の説明から解かるように、超音波モータ１ａ〜１ｃの１回当たりの駆動時間は限られているため、ステップ９０の時点で必ずしも駆動信号発生回路２の出力周波数が未だ共振周波数に達していないこともあり得る。その場合でも超音波モータの駆動は一応停止し、この時点での駆動周波数が記憶され（ステップ８４参照）、次の駆動の際にその記憶されている周波数から掃引を行ない徐々に共振周波数へ近づけて行くものである。
　次に、第８図を参照しつつ、被駆動モータが超音波モータＩＩＩ（１ｃ）の場合を例に更に説明する。
　先ず、超音波モータＩＩＩ（１ｃ）は、Ｔ３の駆動時間（切換スイッチｃ（１０ｃ）が閉じられている時間）で周期的に駆動されるが、第１回目の駆動の際（第８図（ｂ）▲１▼箇所参照）には駆動信号周波数は共振周波数に至らず、駆動最終時の周波数をＦａ１とすれば、ステップ８４で述べたようにこのＦａ１はＲＡＭに記億される。
　次に第２回目の駆動の際（第８図（ｂ）▲２▼箇所参照）には駆動信号発生回路２は上述のＦａ１より出力を開始し、時間Ｔ３の間ステップ８０〜８８で説明した処理を繰り返すことで出力周波数は徐々に変化して行く。
　そして、この第２回目の駆動の際にも共振周波数に達しない場合は、前回同様駆動時間の最終時点の周波数Ｆａ２をＲＡＭに記憶してこの回の駆動を終了する。
　更に、第３回目の駆動（第８図（ｂ）▲３▼筒所参照）も同様にして開始され、時間Ｔ３の途中で共振周波数Ｆａ３に達したとすれば、駆動信号発生回路２は
周波
　最後に第４回目の駆動（第８図（ｂ）▲４▼の箇所参照）は、周波数Ｆａ３に固定して行なわれ、時間Ｔ３内に超音波モータＩＩＩ（１ｃ）の駆動対象であるエアミックスド７（図示せず）が目標に達したとすれば、駆動信号発生回路２はその時点で駆動信号の出力を停止し、同時に出力周波数は初期設定されるものである。
　再び第７図のフローチャートに戻り、ステップ９４以降は、基本的には前述のステップ７２〜９２と同一の処理であり、超音波モータＩＩ（１ｂ）及びＩＩＩ（１ｃ）のそれぞれについて行なわれるもので、同図においては部分省略して示されている。そして、超音波モータＩＩＩ（１ｃ）までの処理が終了したところでステップ１３８を介してメインルーチンへ戻るものである。
　上記構成において、操作部９の設定によりすべての超音波モータ１ａ〜１ｃが被駆動モータとして選択されたとして、本装置の作用を述べれば、切換回路３はマイクロコンピュータ４からの制御信号によって、第８図（ａ）に示すような順序で繰り返して切換を行なう。また、各切換スイッチ１０ａ〜１０ｃの作動時間ばマイクロコンピュータ４からの制御信号により表１の「全モード」の欄に示される割合に定められる。
　そして、駆動信号回路２は切換スイッチ１０ａ〜１０ｃの閉じられた瞬間よりＴｄだけ遅れて信号を出力し（第１０図参照）、しかも周波数を低い方から徐々にかえて行き、共振周波数となつた時点で周波数掃引を停止する（第８図（ｂ）▲３▼，▲４▼参照）。
　被駆動モータが２台の場合は、選択されたモータによって切換回路３の作動時間及ぴ作動順序が異なってくる（表１参照）。
　尚、本実施例においては、超音波モータ３台を制御する場合について説明したが、これに限られないことは勿論である。
　また、駆動優先順位に対応する各切換スイッチ１０ａ〜１０ｃの作動時間についても実施例の数値に限られることなく他の値でも良い。
（発明の効果）
　本発明は、上述の通り構成されているので、次に記載する効果を奏するものである。
　切換制御手段により切換手段の作動を制御するので、一つの駆動信号発生手段で複数の超音波モータを効率良く制御できる。また、切換制御手段は予め定められた超音波モータの駆動優先順位に従って切換手段を作動させるので、一つの駆動信号発生手段で複数の超音波モータをその駆動対象の重要度に応じてより効果的に制御することができる。
　また、切換制御手段は切換手段の各超音波モータに対する作動時間を駆動優先順位に応じて変えるようにするので、時間的にも無駄のない効率の良い制御ができると共に、切換制御手段が所定の切換パターンに沿って切換手段の作動を制御するようにすれば、切換パターンをメモリ化する等により簡易な構成で無駄のない制御ができる。
　さらに、駆動信号発生手段からの出力信号の終了ごとにその出力終了時の出力信号の周波数を記憶する周波数記憶手段と、超音波モータの駆動時に前記周波数記憶手段に記憶された駆動信号周波数を駆動信号発生手段の発振開始周波数とする発振開始周波数設定手段と、この発振開始周波数から所定の間隔で周波数を増加させる周波数掃引手段と、この周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したか否かを判定する判定手段と、前記周波数が超音波モータ各々の共振周波数に到達したと判定された場合に該周波数を維持すると共に、超音波モータによって駆動される部材が目標位置に到達し、前記駆動信号発生手段から駆動信号の出力が停止された場合に、駆動信号周波数を初期値に戻す初期値設定手段とからなる周波数制御手段とを設けることで、超音波モータによって駆動される部材が目標位置に到達するまでの間、超音波モータの駆動の度毎に駆動信号発生手段の出力周波数を初期周波数から共振周波数まで掃引する場合に比べて時間的ロスが少なく、比較的短い時間で効率良く共振周波数の設定ができる。また、超音波モータによって駆動される部材が目標位置に到達した後は出力信号の周波数が初期値に戻され、この初期値から所定の範囲で周波数が高くなるように掃引するので、温度によって変化する共振周波数にもその都度対応でき、さらに周波数を低い方から高い方へ掃引するので、温度が高くなると低くなる共振周波数に早めに到達することができるものである。特に、本願の超音波モータは、温度変化に敏感に対応できるので、車両用空調装置にインテークドア、エアミックスドア、及びモードドアを駆動するのに適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は
請求項１及び請求項２記載の
３
１ａ〜１ｃ・・・超音波モータ、２・・・駆動信号発生回路、３・・・切換回路、４・・・マイクロコンピュータ、２００・・・駆動信号発生手段、２１０・・・切換手段、２２０・・・切換制御手段、２４０・・・周波数記億手段、２５０・・・周波数制御手段。