【事件の表示】
　特許第２９６９１６１号「超音波探触子」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９６９１６１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９６９１６１号の請求項１に係る発明についての出願は、平成４年２月２９日に特許出願され、平成１１年８月２７日にその発明について特許の設定がされ、その後、異議申立人　藤田　洋子　により特許異議の申立がされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１２年９月１８日に訂正請求がなされたものである。
　　
　　
　　
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　イ．訂正事項ａ
　　【特許請求の範囲】の【請求項１】において、
“ 複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子において、
前記音響レンズの表面を含むケース前面に耐薬品性の保護膜を蒸着により一体的に形成し、上記探触子ユニット内部への薬品の浸透を防止したことを特徴とする超音波探触子。”（特許公報第１頁１欄第２〜１２行）を
「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子において、
前記音響レンズの表面と、前記音響レンズと前記ケースの間隙部分と、前記ケースの上面と
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　　上記訂正事項ａは、発明を特定する事項である、耐薬品性の保護膜を蒸着により一体形成する範囲を“音響レンズの表面を含むケース前面”から、これに含まれる事項である「
音響レンズの表面と、音響レンズとケースの間隙部分と、ケースの上面
　
（３）むすび
　　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
　
　
３．特許異議の申立について
（１）申立ての理由の概要
　　特許異議申立人　藤田　洋子　は、請求項１に係る発明（訂正前のその特許請求の範囲の請求項１に記載された発明）は、甲第１号証（実願昭６２−１２８５２６号（実開昭６４−３４５５９号）のマイクロフィルム）、甲第２号証（ｌＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ＥＬＥＣＴＲＯＮ 　ＤＥＶＩＣＥＳ，Ｄｅｃｅｍｂｅｒ ｌ９７９，Ｖｏｌ．ＥＤ‐２６，ＮＯ．１２，ＰＰ．１９２１‐１９３１ ”Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｓｉｌｉｃｏｎ‐ＰＶＦ２　Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　Ａｒｒａｙｓ“、及び和訳　）をもとに当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、特許法第１１３条第１項第２号の規定により特許を取り消すべきものである旨主張している。
　
　
（２）本件請求項１に係る発明
　　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項に特定されるとおりのものである。（上記２．（１）イ．訂正事項参照）
　
　
（３）引用刊行物等
　　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１〜４には、それぞれ、以下のような発明が記載されている。
　
　刊行物１：実願昭６２−１２８５２６号（実開昭６４−３４５５９号）のマイクロフィルム（異議申立人提示の甲第１号証）
　・第４頁第２行〜第７行及び第１図には、圧電振動子４の前面にマッチン　　グ層３（音響整合層）を形成し、さらにマッチング層３上にシリコンゴ　　ムで形成してなる音響レンズ２を設けた短触子ユニット。
　・第１図には短触子ユニットの音響レンズ２をケース１の開口部から露出　　させた状態で保持固定する構成。
　・第４頁第８〜１４行、及び第２図には音響レンズ２の表面を高分子皮膜　　２Ａで覆うことにより、（消毒液等薬品の）液体のユニット内部への進　　入防止を図る。
　
　刊行物２：ｌＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ＥＬＥＣＴＲＯＮ ＤＥＶＩＣＥＳ，Ｄｅｃｅｍｂｅｒ ｌ９７９，Ｖｏｌ．ＥＤ‐２６，ＮＯ．１２，ＰＰ．１９２１‐１９３１ ”Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｓｉｌｉｃｏｎ‐ＰＶＦ２　Ａｃｏｕｓｔｉｃ 
Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ　Ａｒｒａｙｓ“、及び和訳（異議申立人提示の甲第２号証）
　・和訳第１頁第８〜１０行には、圧電ポリマーは、医療用の超音聴音波撮　　像システムとして魅力的である。
　・和訳第３５頁第４〜８行には、アレーの作成手順として、防湿障壁とし　　て作用するように、モノマー・プラスチック・コーティング材であるパ　　レリンの１０μｍの層を堆積する。
　
　刊行物３：イ．特開昭６１−１８４１００号公報
　　　並びに
　　　　　　ロ．特開昭６１−１８１４４７号公報
　・上記刊行物　イ．第１図及び　同　ロ．第１、２図には、実施例として　　、複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音　　響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レ　　ンズを設けた超音波探触子。
　
　刊行物４：イ．ｌＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ＢＩＯＭＥＤＩＣＡＬ　ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ，Ｍａｒｃｈ　ｌ９７７，Ｖｏｌ．　ＢＭＥ‐２４，ＮＯ．２ＰＰ．１２１‐１２８ ”　Ｐａｒｙｌｅｎｅ ａｓ ａ Ｃｈｒｏｎｉｃａｌｌｙ　Ｓｔａｂｌｅ，Ｒｅｐｒｏｄｕｃｉｂｌｅ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｄｅ　ｌｎｓｕｌａｔｏｒ”、及び和訳（異議申立人提示の参考資料）、
　　　並びに
　　　　　　ロ．特開平２−１６６９０９号公報
　　　並びに
　　　　　　ハ．実願平１−１１０６８３号（実開平３−５００３５号）の　　　　　　　　マイクロフィルム（第２頁７行〜第３頁１５行等参照）
　・上記刊行物　ロ．の第２頁左上欄１２行〜同頁左下欄２０行、　同　ハ　　．の第２頁１３〜１８行等には、各プリント基板等の電気部品の表面を　　蒸着被覆で保護する記載がある。
　
　
（４）対比・判断
　　本件発明と上記刊行物１〜４に記載の発明とを比較すると、
　イ．上記刊行物１とは、「音響レンズの露出面あるいは音響レンズ２の全周に耐薬品性を達成するために（ポリイミド、またはポロエステル）樹脂シートを貼りつけて覆う超音波短触子の構成」で一致するが、短触子ユニットが、「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニット前記樹脂被膜は蒸着により一体的に形成」したものでない。
　
　ロ．上記刊行物２は、“圧電ポリマーは、医療用の超音波撮像システムとして魅力がある。プレーナ集積回路技術によって、ＭＯＳＦＥＴ入力増幅器アレイがシリコン・ウエハー上に作成される。一枚のＰＶＦ２によって検出されて、下地の増幅器アレーにおいて対応する電荷分布に変換される。”
“露出した上部アルミニウム電極およびワイヤボンディング接続の簿写し障壁として作用するように、モノマー・プラスチック・コーティング材であるパレリンの層を堆積した。”なる記載等から、「基板上に超音波短触子を設けパレリン層で被覆するから」蒸着手法であろう記載はうかがえるが、「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子」の具体的構成の記載はない。
　
　ハ．上記刊行物３の各文献には、「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けた探触子の構成」で一致するが、「探触子ユニットをケース内に収容して保持固定し、前記音響レンズの表面を含むケース前面に耐薬品性の保護膜を蒸着により一体的に形成し、上記探触子ユニット内部への薬品の浸透を防止する」記載はない
　
　ニ．上記刊行物４の各文献には、「（プリント基板、コンデンサ類等の）電気部品の表面にパレリン蒸着法で被覆構成する」記載はあるが、電気部品として具体的構成の超音波短触子の記載はない。
　
　ホ．そして、上記刊行物の部分構成を組合わせるにしても、本件発明を特定する事項である、訂正後に追加された
「（音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した短触子ユニットであって）、
音響レンズの表面と、前記音響レンズと前記ケースの間隙部分と、前記ケースの上面と
する事項については何れにも備えておらず、当該事項により本件請求項に係る発明は、
（ａ）ケース前面のすべてに保護膜８を形成したので、音響レンズ５の表面あるいは音響レンズ５とケース７の間隙部分からの、薬品の侵入を確実に防止できる。
（ｂ）保護膜８には、フィルム貼着のときのように、折り目もシワも発生することなく、また、フィルム（２０乃至３０μ程度）等に比較し保護膜８を薄くできることから超音波
特性に与える影響も少ない。
（ｃ）保護膜８はシリコンオイルとは異なって固体であるため、使用環境によって変化することがなく、特性を一定に維持できる。
という顕著な効果を奏するものであり、本件発明が上記刊行物１〜４に記載のものから容易に発明をすることができないものとは言えない。
　
　
（５）むすび　
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　　また、他に訂正後の本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　　よって、結論のとおり決定する。　
【異議決定日】
平成１２年１０月２７日（２０００．１０．２７）
【訂正の要旨】
（３）　訂正の要旨
　特許請求の範囲である「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子において、前記音響レンズの表面を含むケース前面に耐薬品性の保護膜を蒸着により一体的に形成し、上記探触子ユニット内部への薬品の浸透を防止したことを特徴とする超音波探触子」を
　「複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子において、
前記音響レンズの表面と、前記音響レンズと前記ケースの間隙部分と、前記ケースの上面と
（５４）【発明の名称】
超音波探触子
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】複数の微小圧電片の各間隙に充填材の埋設された圧電片群の前面に音響整合層を形成し、さらに該音響整合層上にシリコン材からなる音響レンズを設けて探触子ユニットとし、該探触子ユニットの音響レンズをケースの開口面から露出させた状態で、該探触子ユニットを前記ケース内に収容して保持固定した超音波探触子において、
前記音響レンズの表面と、前記音響レンズと前記ケースの間隙部分と、前記ケースの上面と
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は医用の超音波探触子を利用分野とし、特に消毒液や滅菌用等の薬品の浸透を排除して特性を良好に維持する配列型の超音波探触子（配列型探触子とする）に関する。
　　　【０００２】
　　【発明の背景】
　配列型探触子は、複数個の微小圧電片を並べてセクタあるいはリニア駆動等の電子走査され、超音波診断装置に超音波の送受波部として有用される。そして、近年では、特に、薬品等の侵入により、音響的特性の低下を来すことから、これらを防止することが望まれている。
　　　【０００３】
　　【従来技術】
　第２図は従来例を説明する超音波探触子の図で、同図（ａ）は外観図、同図（ｂ）はＡ−Ａ’断面図である。
　配列型探触子は、超音波発生源としての複数の微小圧電片１を例えばチタン酸ジルコン酸鉛（通称ＰＺＴ）として形成される。そして、両主面に駆動電極（未図示）を有し、その複数個を幅方向としてバッキング材２上に並べられる。通常では、微小圧電片１間にはその強度を維持するために充填材３が埋設される。
　但し、充填材３は、微小圧電片１間の音響的結合を防止してその超音波特性を維持する必要から、例えば音響インピーダンスが小さく音響減衰の大きいシリコン系の樹脂が選定される。そして、微小圧電片群（以下、圧電片群とする）の超音波送受波面となる前面に音響整合層４を形成し、さらに音響レンズ５を被着される。
　音響整合層４は生体への送受波効率を高めるため、例えば二層構造とし、一層目４ａをエポキシ系、二層目４ｂをポリウレタン系の樹脂として、生体の音響インピーダンスに順次接近するようにする。
　音響レンズ５は超音波を収束して効率を高めるために使用されるが、その材料は、音速や生体への密着性等の関係からシリコン材が選定される。そして、凸状のレンズ本体を音響整合層の前面にして、圧電片群を脚部内に嵌挿する（以下、これらを便宜上探触子ユニット６とする）。探触子ユニット６は、音響レンズ５をケース７の開口面から露出させた状態で、ケース７内に収容されて保持固定される。なお、圧電片群の電極に接続するフレキシブル基板や、これをケース７外に導出するケーブルの図及びその説明は省略する。
　　　【０００４】
　　【従来技術の問題点】
　しかしながら、上記構成の超音波探触子では、音響レンズ５を薬品の浸透性が大きなシリコン材とするため、その表面からあるいはケースとの間隙から探触子ユニット６内に侵入する。そして、音響的特性を阻害する問題があった。特に、充填材３としてのシリコン及び音響整合層４の二層目４ａのポリウレタンに悪影響を及ぼす。このため、充填剤３や音響整合層４は、超音波特性のみならず耐薬品性を考慮しての選定を余儀なくされていた。例えば充填材３はウレタン系とし、音響整合層４は一層目４ａをガラス系、二層目４ｂをエポキシ系を選択せざるを得ないこともあった。しかし、このようなものでは、微小圧電片１間の独立性を損うとともに、生体との充分な音響整合を行えず、超音波特性を阻害する要因になっていた。
　このようなことから、例えば音響レンズ５の表面あるいは裏面に耐薬性に優れたポリイミドフィルムを貼付したり、音響レンズ５にシリコンオイルを含浸させたりして、薬品の侵入を防止することが提案されている。しかし、ポリイミドフィルムを貼付する場合には、音響レンズが曲面であるために外周部分に折り目やシワができる。したがって、その取扱作業を困難にすることに加えて、放射効率の低下や、不要な反射波の発生を招く等の超音波特性にも悪影響を及ぼす。そして、ポリイミドフィルムを貼付したとしても、ケースと音響レンズとの間隙を埋めることはできない。また、音響レンズ５にシリコンオイルを入れる場合には、使用環境変化により外部へ逆流出する虞もあり、シリコンオイルの量を制御することが困難である。したがって、いずれの場合も、実際に採用することが非現実的であった。
　　　【０００５】
　　【発明の目的】
　本発明は、耐薬性を向上して、しかも超音波特性を良好に維持する配列型探触子を提供することを目的とする。
　　　【０００６】
　　【解決手段】
　本発明は、前述の音響レンズの表面を含むケース前面に耐薬品性の保護膜を蒸着により一体的に形成し、探触子ユニット内部への薬品の浸透を防止したことを解決手段とする。以下、本発明の一実施例を説明する。
　　　【０００７】
　　【実施例】
　第１図は本発明の一実施例を説明する超音波探触子の断面図である。なお、前従来例図と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略する。
　配列型探触子は、前述同様に、音響レンズ５をケース７の開口面から露出させた状態で、探触子ユニット６をケース７内に収容して保持固定される。但し、探触子ユニット６は、微小圧電片１間に充填材３が埋設された圧電片群の前面に音響整合層４を形成してさらに音響レンズ５を被着したものをいう。
　この実施例では、音響整合層４の一層目４ａをエポキシ系、二層目４ｂをポリウレタン系の樹脂とし、各微小圧電片１間に埋設する充填材３をシリコン系の樹脂とする。そして、音響レンズ５を含むケース前面に、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）により、保護膜８を形成する。保護膜８は耐薬性に優れたポリパラキシリレン系のプラスチックとし、その膜厚を１０μｍ程度とする。すなわち、固形状のポリパラキシリレン系のプラスチックを粉体状にして飛散させ、これを音響レンズ５の表面と、音響レンズ５とケース７の間隙部分と、ケース７の上面に被着させて一体的に形成する。
　　　【０００８】
　このような構成であれば、ケース前面のすべてに保護膜８を形成したので、音響レンズ５の表面あるいは音響レンズ５とケース７の間隙部分からの、薬品の侵入を確実に防止できる。そして、保護膜８には、フィルム貼着のときのように、折り目もシワも発生することなく、また、フィルム（２０乃至３０μ程度）等に比較し保護膜８を薄くできることからも超音波特性に与える影響も少ない。また、保護膜８はシリコンオイルとは異なって固体であるため、使用環境によって変化することがなく、特性を一定に維持できる。また、この実施例でのポリパラキシレン系のプラスチックは耐摩耗性に優れ、体表面とのこすりで音響レンズ５が摩耗することを防止できる。
　そして、薬品の侵入を確実に防止するので、充填材３や音響整合層４の材質について耐薬性を考慮することなく、音響特性を優先（重視）して選定できるため、その選択幅を広げることができる。したがって、本実施例のように、例えば各微小圧電片１間に埋設する充填材３にシリコン系を、また音響整合層４の一層目４ａにエポキシ系を、二層目４ｂにポリウレタン系を選択できる。このようなことから、耐薬品性のみならず、微小圧電片１間の独立性を維持して、生体との充分な音響整合を行えることにより、総合的な超音波特性を良好にできる。
　　　【０００９】
　　【他の事項】
　上記実施例では、音響整合層４は二層構造としたが、一層構造あるいは三層以上の多層構造であってもよい。また、保護膜８は、ＣＶＤにより形成するとしが、これに限らずＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等であってもよく、要は、保護膜８としての材料を粉末状にして付着させる方法であれば、特許請求の範囲にていう蒸着に該当する。また、保護膜８は、ケース前面に設けたが、ケース７の外周全面に設けてもよい。この場合、ケースの材料についても耐薬性を考慮することなく、設計上有利である。また、充填材３はシリコン系を、また音響整合層４の一層目４ａはエポキシ系、二層目４ｂはポリウレタン系を選択したが、これに限らず他のものであってもよく、要は、薬品の浸透しやすい部分に、蒸着により保護膜８を設けて遮断し、これにより超音波特性を維持させたものは、その実施形態に拘らず本発明の技術的範囲に包含される。
　　　【０００９】
　　【発明の効果】
　本発明は、本発明は、音響レンズの表面を含むケース前面に耐薬品性の保護膜を蒸着により一体的に形成し、探触子ユニット内部への薬品の浸透を防止したので、耐薬性を向上して超音波特性を良好に維持する配列型探触子を提供でき、実際的なメリットには非常に大きなものがある。
【図面の簡単な説明】
　　【第１図】
　本発明の一実施例を説明する超音波探触子の断面図である。
　　【第２図】
　従来例を説明する超音波探触子の図で、同図（ａ）は外観図、同図（ｂ）はＡ−Ａ’断面図である。
　　【符号の説明】
　１　微小圧電片、２　バッキング材、３　充填材、４　音響整合層、５　音響レンズ、６　探触子ユニット、７　ケース、８　保護膜．