【事件の表示】
　特許第２８２３２０４号「軟磁性合金」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８２３２０４号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８２３２０４号の請求項１及び請求項２に係る発明についての出願は、昭和６３年５月１７日に出願され、平成１０年９月４日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年１月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の要旨
　ａ．特許請求の範囲の、
　「【請求項１】(Fe1-a-b-cCuaCobM'c)100-dYd　
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。
【請求項２】一般式
(Fe1-a-b-cMaCobM'c)100-dYd　
M：Ag、Au、Zn、Sn、Pb、Sb、Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。」を、
　「【請求項１】(Fe1-a-b-cCuaCobM'c)100-dYd　
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁化が14.1KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。
【請求項２】一般式
(Fe1-a-b-cMaCobM'c)100-dYd　
M：Ag、Au、Zn、Sn、Pb、Sb、Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁化が13.5KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。」と訂正する。
　ｂ．第１表及び第２表の「飽和磁心」を、「飽和磁化」と訂正する。
　
３．訂正の適否についての判断
3-1.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　まず、訂正事項ｂは、第１表及び第２表の「飽和磁心」を、特許明細書の第１２頁４〜８行の記載に基づき「飽和磁化」と訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第２号の誤記の訂正に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　つぎに、訂正事項ａは、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された「・・・存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金」を、本件請求項１に係る発明を示す特許明細書の第１表の実施例の飽和磁化が14.1〜17.6KG、同請求項２に係る発明を示す特許明細書の第２表の実施例の飽和磁化が13.5〜17.7KGであることに基づき、「・・・存在し、飽和磁化が14.1KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金」（請求項１）及び「・・・存在し、飽和磁化が13.5KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金」（請求項２）と訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
3-2.独立特許要件
（本件発明）
  本件の請求項１及び請求項２に係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
  「【請求項１】(Fe1-a-b-cCuaCobM'c)100-dYd　
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁化が14.1KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。（以下、「本件第１発明」という。）
【請求項２】一般式
(Fe1-a-b-cMaCobM'c)100-dYd　
M：Ag、Au、Zn、Sn、Pb、Sb、Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'：周期律表IVa、Va、VIa族元素またはMn、Ni、Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y：Si、B、P、Cから選ばれる少なくとも１種以上
0.005≦ａ≦0.05
0.14≦ｂ≦0.7
0≦ｃ≦28
15≦ｄ≦28     （原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁化が13.5KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。（以下、「本件第２発明」という。）」
（取消理由の概要）
　取消理由は、本件の請求項１に係る発明は、本件出願前に出願され、その出願後に公開された先願１（特願昭６２−３１７１８９号（特開昭６４−７９３４２号））の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書１」という）に記載された発明と同一であり、同請求項２に係る発明は、本件出願前に出願され、その出願後に公開された先願２（特願昭６２−３０２７７３号（特開平１−１４２０４９号））の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書２」という）に記載された発明と同一であるから、それぞれ、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである、というものである。
（引用先願明細書に記載された発明）
　取消理由に引用された先願明細書１には、
　「(1)一般式
（Fe1-aMa)100-x-y-z-αCuxSiyBzM'α　
（ただし、MはCo及び／又はNiであり、M'はNb，W，Ta，Zr，Hf，Ti及びMoからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、a，x，y，z及びαはそれぞれ0≦ａ≦0.5，0.1≦ｘ≦3.0，0≦ｙ≦30，0≦z≦25，5≦y＋z≦30及び0.1≦α≦30を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも50％が微細な結晶粒からなることを特徴とするFe基軟磁性合金。
(2)特許請求の範囲第１項に記載のFe基軟磁性合金において、前記組織の残部が実質的に非晶質であり、前記結晶粒が1000Å以下の平均粒径を有することを特徴とするFe基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第１項、第２項）
が記載され、また、
　「本発明は、優れた磁気特性を有するFe基軟磁性合金、特に各種トランス、チョークコイル、可飽和リアクトル、磁気ヘッド等に好適な低磁歪Fe基磁性合金、及びそれらの製造方法に関するものである。」（第3頁右下欄17行〜第4頁左上欄1行）
　「従って、本発明の目的はコア損失、コア損失の経時変化、透磁率等その他の磁気特性に優れた新規なFe基磁性合金を提供することである。
　本発明のもう１つの目的は、軟磁気特性特に高周波磁気特性）に優れ、含浸や変形等による特性劣化の小さい低磁歪のFe基軟磁性を提供することを目的とする。」（第5頁左上欄9〜15行）
　「この結晶粒は、・・・1000Å以下と著しく小さな平均粒径を有することを特徴とし、合金組織中に均一に分布している。結晶粒の平均粒径とは各粒子の最大寸法を平均したものである。平均粒径が1000Åを超えると良好な軟磁気特性が得られなくなる。好ましい平均粒径は500Å以下であり、より好ましくは50〜200Åである。」（第8頁左上欄7〜16行）
と記載され、実施例３３として第１９図に示されるFe73.5Cu1Nb3SiyB22.5-y（10＜ｙ＜２２）なる組成の合金の飽和磁束密度Bsが11〜13.3kGであることが記載され、実施例３４として第２３図に示される(Fe−Cu1−Nb3)−Si−B擬三元系合金の状態図上で飽和磁束密度Bsが10〜15.5kGであるものが記載され、また、実施例３６として第１２表に示される一般式Fe１００−ｘ−ｙ−ｚ−αCuｘSiｙBｚNbαの合金No.1〜10は飽和磁束密度Bsが10.0〜12.7kGであり、同No.11、No.12は、それぞれBsが14.5、14.3kGであることが記載されている。
　同じく引用された先願明細書２には、
　「１．一般式
　a，x，y，z，α，β，γ及びδはそれぞれ0≦ａ＜0.5，0.1≦ｘ≦10，0≦ｙ≦30，3≦z≦25，3≦α≦20，0≦β≦15，10≦ｙ＋ｚ＋γ≦35，0≦γ≦20，0≦δ≦2を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも50％が微細な結晶粒からなり、前記結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下の平均粒径を有することを特徴とするFe基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第１項）
が記載され、また、
　「本発明は、各種トランス、チョークコイル、磁気ヘッド等に用いられるFe基磁性合金に関するものである。」（第2頁左上欄14〜16行）
　「本発明に目的はコア損失、コア損失の経時変化、透磁率等その他の磁気特性の安定性に優れた磁歪の小さい新規なFe基磁性合金を提供することである。」（第2頁右下欄13〜16行）
　「本発明合金は、1000Å以下の粒径の超微細な均一に分布した結晶粒からなるが、特に優れた軟磁性を示す合金の場合は、その粒径が500Å以下であり、より好ましくは20〜200Å平均粒径を有する場合が多い。」（第4頁左下欄10〜14行）
と記載され、実施例１として、Fe69.5Cu1Si13.5B9V7なる組成の溶湯から作成された合金の磁束密度Bsが11.3kGであることが記載されている。
（対比・判断）
(1)本件第１発明について、
　本件発明と先願明細書１に記載された発明とを対比すると、両者は、一般式で表される化学成分組成において重複し、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金である点で一致し、本件発明は、（１ａ）微細結晶の中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する点、（１ｂ）飽和磁化が14.1KG以上である点で、先願明細書１記載の発明と一応相違する。
　以下、前記相違点について検討する。
　相違点（１ａ）について
　先願明細書１には、微細な結晶粒の粒径について、「結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下」、「好ましい平均粒径は500Å以下であり、より好ましくは200Å以下であり、特に20〜200Åの平均粒径を有する」と記載され、本件第１発明の「微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する」ものとは粒径の範囲が重複しているから、この点で両者が実質的に相違するとはいえない。
　　相違点（１ｂ）について
　先願明細書１には、飽和磁束密度（飽和磁化に相当）Bsが11〜13.3KG、10〜15.5kG、10.0〜12.7kG、14.5kG及び14.3kGの例が開示されているが、これらの実施例はその成分組成が本件第１発明と相違しているから、本件第１発明の成分組成でかつ飽和磁束密度が14.1KG以上であるものが開示されているとは認められない。
　したがって、本件第１発明は、前記相違点（１ｂ）において先願明細書１記載の発明と実質的に相違するから、先願明細書１に記載された発明と同一であるとはいえない。
(2)本件第２発明について、
　本件第２発明と先願明細書２に記載された発明と対比すると、両者は、一般式で表される化学成分組成において重複し、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金である点で一致し、本件発明は、（２ａ）微細結晶の中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する点、（２ｂ）飽和磁化が13.5KG以上である点で、先願明細書２記載の発明と一応相違する。
　以下、前記相違点について検討する。
　相違点（２ａ）について
　先願明細書２には、微細な結晶粒の粒径について、「結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下」、「好ましい平均粒径は500Å以下であり、より好ましくは200Å以下であり、特に20〜200Åの平均粒径を有する」と記載され、本件第２発明の「微細結晶が合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する」ものとは粒径の範囲が重複しているから、この点で両者が実質的に相違するとはいえない。
　相違点（２ｂ）について
　先願明細書２には、飽和磁束密度（飽和磁化に相当）Bsが11.3KGの実施例が１例開示されているにすぎないから、飽和磁束密度が13.5KG以上のものが開示されているものとは認められない。
　したがって、本件第２発明は、前記相違点（２ｂ）において先願明細書２記載の発明と実質的に相違するから、先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえない。
（まとめ）
  したがって、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
3-3.訂正の適否についての結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
４．特許異議申立てについての判断
4-1.申立て理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証（前記先願明細書１と同じ）及び甲第２号証（前記先願明細書２と同じ）を提出して、本件請求項１に記載された発明は甲第１号証に記載された発明と同一であり、本件請求項２に係る発明は甲第２号証に記載された発明と同一であるから、本件請求項１及び２に係る発明の特許は、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである、と主張している。
4-2.当審の判断
　上記3-2に記載したとおり、本件請求項１に係る発明が甲第１号証に記載された発明と同一であるとも、同請求項２に係る発明が甲第２号証に記載された発明と同一であるとも認められない。
　
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１４日（２０００．８．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件訂正請求の要旨は、特許第２８２３２０４号の明細書を次のように訂正するものである。
　ａ．特許請求の範囲の
　「【請求項１】（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＣｕａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。
　【請求項２】一般式
（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＭａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ：Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。」を、
特許請求の範囲の減縮を目的として、
　「【請求項１】（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＣｕａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在し、飽和磁化が１４．１ＫＧ以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。　
　【請求項２】一般式
（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＭａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ：Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在し、飽和磁化が１３．５ＫＧ以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金。」と訂正する。
　ｂ．第１表及び第２表の「飽和磁心」を、誤記の訂正を目的として「飽和磁化」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
軟磁性合金
（５７）【特許請求の範囲】
　（１）（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＣｕａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在
し、飽和磁化が１４１：ＫＧ以上である
（２）一般式
（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＭａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
Ｍ：Ａｇ、Ａｕ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ、Ｎｉ、Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ、Ｂ、Ｐ、Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
０．００５≦ａ≦０．０５
０．１４≦ｂ≦０．７
０≦ｃ≦２８
１５≦ｄ≦２８　　　（原子％）
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶が合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在
し、飽和磁化が１３．５ＫＧ以上である
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
　本発明は、軟磁性合金に関する。
（従来技術）
　従来から、スイッチングレギュレータなど高周波で使用する磁心としては、パーマロイ、フェライトなどの結＜ＢＲ＞晶質材料が用いられれている。
　しかしながら、パーマロイは比抵抗が小さいので高周波での鉄損が大きくなる。また、フェライトは高周波で＜ＢＲ＞の損失は小さいが、磁束密度もせいぜい５０００Ｇと小さく、そのため大きな動作磁束密度での使用時にあっては飽和に近くなり、その結果鉄損が増大する。近時、スイッチングレギュレータに使用される電源トランス、平滑チョークコイル、コモンコードチョークコイルなど高周波で使用されるトランスにおいては、形状の小形化が望まれているが、その場合、動作磁束密度の増大が必要となるため、フェライトの鉄損増大は実用上大きな問題となる。
　このため、結晶構造を持たない非晶質磁性合金が、高透磁率、低保磁力など優れた軟質磁気特性を示すので最近注目を集めて一部実用化されている。これらの非晶質磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどを基本とし、これに非晶質化元素（メタロイド）としてＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｇｅなどを包含するものである。
　しかしながら、これら非晶性質磁性合金の全てが高周波領域で鉄損が小さいというわけではない。例えば、Ｆｅ基非晶質合金は、安価であり５０〜６０Ｈｚの低周波領域ではケイ素鋼の約１／４という非常に小さい鉄損を示すが、１０〜５０Ｈｚという高周波領域にあっては著しく大きな鉄損を示し、とてもスイッチングレギュレータ等の高周波領域での使用に適合するものではない。これを改善するために、Ｆｅの一部をＮｂ、Ｍｏ、Ｃｒ等の非磁性金属で置換することにより低磁歪化し、低鉄損、高透磁率を図っているが、例えば樹脂モールド時の樹脂の硬化収縮等による磁気特性の劣化も比較的大きく、高周波領域で用いられる軟磁性材料としては、充分な特性を得られるに至っていない。
　一方、Ｃｏ基非晶質合金は、高周波領域で低鉄損、高角形比が得られるため可飽和リアクトルになどの電子機器用磁性部品に実用化されるが、コストが比較的高いものである。
（発明が解決しようとする課題）
　以上に述べたように、Ｆｅ基非晶質合金は安価な軟磁性材料でありながら、磁歪が比較的大きく、Ｃｏ基非晶質合金に比べ鉄損、透磁率とも劣っており、高周波領域における用途には問題があった。一方Ｃｏ基非晶質合金は磁気特性は良好であるものの、素材の値段が高いため工業上有利ではなかった。
　したがって本発明は、上記問題点に鑑み、高周波領域において高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有する軟磁性合金を提供することを目的とする。
［発明の概要］
（課題を解決するための手段と作用）
　上記目的を達成するために本願発明者らは合金組性および組織について種々検討を重ねた結果、まず第１の合金として
　　（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＭａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
　Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
　Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
　　　　０．００５≦ａ≦０．０５
　　　　　０．０１≦ｂ≦０．７
　　　　　　　　０≦ｃ≦０．１
　　　　　　　１５≦ｄ≦２８　　　（原子％）
で表わされ、微細結晶粒を有する合金、および第２の合金として、
　　（Ｆｅ１−ａ−ｂ−ｃＭａＣｏｂＭ′ｃ）１００−ｄＹｄ
　Ｍ：Ａｇ，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ｓｂ，Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
　Ｍ′：周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
　Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐ，Ｃから選ばれる少なくとも１種以上
　　　０．００５≦ａ≦０．０５
　　　　０．０１≦ｂ≦０．７
　　　　　　　０≦ｃ≦０．１
　　　　　　１５≦ｄ≦２８　　　（原子％）
で表わされ、微細結晶粒を有する合金が、軟磁性材料として優れた特性を有することを初めて見い出し、本発明に至ったものである。
　本発明は上記組成を有する合金中に特に微細結晶粒を有することを特徴とする。
　特に微細結晶粒は、合金中に面積比で３０％以上存在することが好ましく、さらには前記微細結晶粒中に５０〜３００Åの結晶粒が８０％以上存在することが好ましい。
　以下に、本発明合金の組成限定理由および微細結晶粒の限定理由について説明する。
　まず組成限定理由について説明する。
　ＣｕあるいはＭは耐食性を高め、結晶粒の粗大化を防ぐと共に、鉄損、透磁率など軟磁気特性を改善するのに有効な元素であるが、その量があまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと磁気特性の劣化を生じるために、その範囲を０．００５〜０．０５とした。好ましくは０．０１〜０．０４である。
　Ｍ′は結晶粒径の均一化に有効であると共に、磁歪および磁気異方性を低減させ軟磁気特性の改善、および温度変化に対する磁気特性の改善に有効な元素であるが、その量があまり多いとキュリー温度が低くなると共に飽和磁束密度が低くなるため、その量を０〜０．１とした。好ましくは０．０２〜０．１、さらに好ましくは０．０２〜０．０７である。ここでＭ′における各添加元素は上記効果と共にさらにそれぞれ、ＩＶａ族元素は最適磁気特性を得るための熱処理条件の範囲の拡大、Ｖａ族元素およびＭｎは耐脆化性の向上および切断等の加工性の向上、ＶＩａ族元素は耐食性の向上および表面性状の向上、Ａｌは結晶粒の微細化と共に磁気異方性の低減に有効であり、これにより磁歪、軟磁気特性の改善、等の効果を有している。
　Ｃｏは低磁歪化、高飽和磁束密度化に有効な元素であるが、その量があまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと飽和磁束密度が低減するため、その量を０．０１〜０．７とした。
　特に磁歪の低減を重視する場合は０．０１〜０．１が好ましく、高飽和磁束密度化を重視する場合は０．３〜０．７が好ましいが、０．１〜０．３でも優れた軟磁気特性が得られる。
　なおＣｕまたはＭ，Ｍ′Ｃｏの複合添加により磁気特性の温度変化に対する改善が図れる。
　Ｙは製造時における合金の非結晶化または直接微細結晶を析出させるのに有効な元素であり、その量があまり少ないと製造時における超急冷の効果が得られにくく上記状態が得られず、逆にあまり多いと飽和磁束密度が低くなり上記状態が得られにくく、優れた磁気特性が得られなくなるため、その量を１５〜２８原子％とした。好ましくは１８〜２６原子％である。特に（Ｓｉ，Ｃ）／（Ｂ．Ｐ）の比は１以上が好ましい。
　上記本発明の軟磁性合金は、例えば液体急冷法により、非晶質合金薄帯を得た後、または、アトマイズ法などにより急冷粉末を得た後、前記非晶質合金の結晶化温度に対し−５０〜＋１２０℃、好ましくは−３０〜＋１００℃の温度で１分〜１０時間、好ましくは１０分〜５時間の熱処理を行い、意図する微細結晶を析出させる方法、あるいは液体急冷法の急冷速度を制御して微細結晶粒を析出させる方法等により得ることが可能となる。
　次に本発明の軟磁合金の微細結晶粒について述べる。
　本発明の合金中において、あまり微細結晶粒が少ないと、すなわち非晶質相があまり多いと鉄損が大きく、透磁率が低く、磁歪が大きく、樹脂モールドによる磁気特性の劣化が増大するため、合金中の微細結晶粒は面積比で３０％以上存在することが好ましい。
　さらに上記微細結晶粒中においても結晶粒径があまり小さいと磁気特性の改善が図れず、逆にあまり大きいと磁気特性の劣化が発生するため、上記微細結晶粒中においても、結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在することが好ましい。
　本発明の軟磁性合金は高周波での軟磁気特性に優れているため、例えば磁気ヘッド、薄膜ヘッド、大電力用を含む高周波トランス、可飽和リアクトル、コモンモードチョークコイル、ノーマルモードチョークコイル、高電圧パルス用ノイズフィルタ、レーザ電源等に用いられる磁気スイッチなど高周波で用いられる磁心、電源センサー、方位センサー、セキュリティセンサー等の各種センサー用の磁性材料等磁性部品の合金として優れた特性を示している。
（実施例）
　下記第１表に示す本願の第１の発明の組成の合金および第２表に示す本願の第２の発明の組成の合金より単ロール法により厚さ約２１μｍの非晶質合金薄帯を得た。その後得られた非晶質合金薄帯を巻回し、外径１８ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ４．５ｍｍのトロイダル状磁心に成形し、各試料の結晶化温度（昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｉｎで測定）より約５０℃高い温度で約４０分間熱処理し測定に供した。
　また比較として前記巻回後の磁心に各試料の結晶化温度（昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｉｎで測定）より約７０℃低い温度で約４０分間熱処理した非晶質状態の磁心を作成した。
　得られた磁心を構成する薄帯中の微細結晶粒の割合とその中での５０〜３００Åの微細結晶粒の割合をそれぞれＡ，Ｂ（％）として併せて第１表および第２表に示す。
　さらに本発明の微細結晶が存在する磁心と比較例の微細結晶粒が存在しない磁心についてそれぞれ５個用い、Ｂ＝３ＫＧ，ｆ＝５０ＫＨｚでの熱処理後の鉄損、磁歪１ＫＨｚ２ｍＯｅでの透磁率・飽和磁化を併せて第１表および第２表に示す。
　上記第１表および第２表により明らかなように、本願発明の合金は微細結晶を設けることにより、同組成の非晶性質合金薄帯よりなる磁心または他の合金組成の磁心に比べ鉄損が低く、低磁歪で高透磁率であり、高周波において優れた軟磁気特性を示している。
　また、これらの磁心をエポキシ系樹脂により含浸硬化を行ったところ、本発明の微細結晶粒を有する磁心の鉄損の増大はいずれも５％以下であり、良好な磁気特性を保持しているが、比較として示した合金および非晶質合金薄帯を用いた磁心の鉄損の増大は３倍程度となり、本発明との差が一層顕著となった。
［発明の効果］
　本発明の合金は、所望の合金組成において、微細結晶粒を設けることにより、高周波領域において高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金を提供することが可能となる。