【事件の表示】
　特許第２９１９１２３号「板状体搬送装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９１９１２３号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経過
 特許第２９１９１２３の請求項１〜４に係わる発明は、平成３年８月８日に特許出願され、平成１１年４月２３日にその特許の設定登録がなされ、その後、平成１２年１月１３日に加藤清子より特許異議の申立てがなされ、その特許異議の申立てに対して合議体より平成１２年６月２９日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月１１日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
  ア．特許権者が求めている訂正
訂正事項１
 特許請求の範囲の請求項１の記載を以下のとおりに訂正する。
【請求項１】搬送基台に設けられた板状体保持部村の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置において、前記板状体保持部材は、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に構成され、この板状体保持部材の先端付近に設けられた第１の位置決め部材と、前記板状体を載置した前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動したときに、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を．位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、前記板状体保持部材の基端側に設けられ、前記第１の位置決め部材の高さより高い押圧部と、を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項２】搬送基台を備え、板状体収納箱と他の搬送装置との間において板状体を搬送する板状体搬送装置であって、先端付近に第１の位置決め部材を備え、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に形成され、上面に前記板状体が載置される板状体保持部材と、前記板状体を載置した状態で前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動する際に、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、位置決めされた前記板状体を下方から突き上げ、前記板状体搬送装置より直接に前記他の搬送装置への受け渡しを可能とする突き上げ部材と、を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項３】請求項１または請求項２において、前記板状体は半導体ウエハであり、前記第２の位置決め部材は、前記板状体保持部材の両側に配置された２つの位置決め片を備え、前記位置決め片は、板状体に当接される側面が平面視において円弧状の形状を有することを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項４】請求項２において、前記板状体保持部材は、板状体が載置される位置より基端側に、前記第１の位置決め部材の高さより高い、押圧部を有することを特徴とする板状体搬送装置。                                                  
訂正事項２
  段落番号【００１２】の請求項１〜４記載の箇所を上記に合わせて訂正する。
訂正事項３
  段落番号【００１３】の「請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、」を「請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、板状体が載置される前に、板状体保持部材が基台に対して遠隔方向に移動したとき、板状体保持部材に設けられた押圧部が一体的に移動する。もし、板状体が正しい位置よりも前方に突出していたとすると、板状体は押圧部により押圧されて正しい位置側に戻るように位置修正される。その後、板状体搬送装置全体が上昇し、板状体が板状体保持部材に載置される。」と訂正する。
訂正事項４
  段落番号【００１４】の「・・他の搬送装置への・・可能となる。」を「・・他の搬送装置への直接の受け渡しを可能とする突き上げ部材を備えているため、確実に位置決めされた状態で、板状体を他の搬送装置に直接に受け渡すことが可能となる。」と訂正する。
訂正事項５
  段落番号【００４３】の「以上・・発明によれば」を「以上詳細に説明したように、請求項１記載の発明によれば、板状体保持部材を基台に対して遠隔方向に移動させることで、正常位置よりも突出した板状体の位置を押圧部により位置修正することができ、」と訂正し、「・・板状体を他の搬送装置に・・」を「・・板状体を他の搬送装置に直接に・・」と訂正する。
 イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
 上記訂正事項１及び２は、特許明細書の請求項１に、同明細書に記載された「第１の位置決め部材の高さより高い押圧部」なる事項を追加したもので、この訂正は、特許請求の範囲を特許明細書に記載の技術的事項により限定することにより減縮したものである。特許明細書の請求項２は、同明細書に記載された「板状体搬送装置より直接に」なる事項により板状体の受け渡しの態様を限定したもので、この訂正は、特許請求の範囲を特許明細書に記載の技術的事項により限定することにより減縮したものである。特許明細書の請求項４は、請求項１ないし３のいずれかに従属したものを請求項２のみに従属することにしたもので限定を明りょうにするものである。いずれも新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
  上記訂正事項３〜４は、請求項の訂正に合わせて同明細書に記載された作用及び効果の記載を訂正したもので、いずれも新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
ウ．独立特許要件の判断
 訂正明細書の請求項１〜４に係る発明に対して、当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（実公平３−１８４３５号公報）には「保持部材に押さえ部を設け、近接方向または遠隔方向に移動し共働して板状体を保持して搬送する板状体搬送装置」が記載されている。刊行物２（特開平２−２７１６４３号公報）には「搬送基台に設けられた板状体保持部材と、搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に構成された前記板状体保持部材の先端付近に設けられたウエハ受取用凹溝部と基端側に設けられた段付き基部を具備する板状体保持部村の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置」が記載されている。刊行物３（特開平１−３２１６４９号公報）には「２個のチャックを設けた把持部材と１個のチャックを設けた把持部によってウエハをつかんで板状体保持部材の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置」が記載されている。                                                          　　　 （対比、判断）
  訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明と上記刊行物１〜３に記載されている発明とを対比すると、訂正明細書の請求項１に係わる発明は「搬送基台に板状体保持部材と第２の位置決め部材を設け、板状体保持部材には第１の位置決め部材と板状体保持部材の基端側に第１の位置決め部材の高さより高い押圧部設けた」点を、また同請求項２に係わる発明は「搬送基台に板状体保持部材と第２の位置決め部材を設け、板状体保持部材には第１の位置決め部材を設け、位置決めされた板状体を下方から突き上げ、板状体搬送装置より直接に他の搬送装置への受け渡しを可能とした点」を構成の一部として有し、請求項３，４に係わる発明も同じくそれ等の構成を有するものであるのに対して、当該刊行物には「搬送基台に板状体保持部材と第２の位置決め部材を設け、板状体保持部材には第１の位置決め部材と板状体保持部材の基端側に第１の位置決め部材の高さより高い押圧部設けた点」が記載されておらず、さらに、「搬送基台に板状体保持部材と第２の位置決め部材を設け、板状体保持部材には第１の位置決め部材を設け、位置決めされた板状体を下方から突き上げ、板状体搬送装置より直接に他の搬送装置への受け渡しを可能とした点」も記載されておらず、それらの示唆もない。また、それぞれの点が当該技術分野において周知の技術であるとする客観的証拠は何等ない。しかも、訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明は、これらの構成により「板状体保持部材に板状体が載置された後、板状体保持部材が搬送基台に戻る動作と共に、板状体の位置決めができ、正常位置よりも突出した板状体の位置を押圧部により位置修正することができ」さらに「板状体搬送装置より直接に他の搬送装置への受け渡しができる」という顕著な効果を奏するものであるから、訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明は、上記刊行物のものに基いて容易に発明をすることができたものとすることはできない。
  また、この他に訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明がその特許出願の際独立して特許を受けることができないとする理由を発見しない。
 したがって、訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明は特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
エ．むすび
 以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
 特許異議申立人加藤清子は、上記引用例１〜３と同じ証拠を提出し、請求項１〜４に係わる発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１〜４に係わる発明の特許を取り消すべき旨主張している。   
イ．判断
  甲第１〜３号証に示されたものは上記引用例１〜３と同じものであるから、上記引用例１〜３についての判断と同じものとなり、上記２．ウ．で示した理由により請求項１〜４に係わる発明は、甲１〜３号証に記載の発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。                                          ４．むすび         
 以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明の特許を取り消すことはできない。
 また、他に訂正明細書の請求項１〜４に係わる発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
 よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月４日（２００１．１．４）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
訂正事項１
特許請求の範囲の請求項１の記載を以下のとおりに訂正する。
　【請求項１】搬送基台に設けられた板状体保持部村の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置において、前記板状体保持部材は、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に構成され、この板状体保持部材の先端付近に設けられた第１の位置決め部材と、前記板状体を載置した前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動したときに、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を．位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、前記板状体保持部材の基端側に設けられ、前記第１の位置決め部材の高さより高い押圧部と、を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項２】搬送基台を備え、板状体収納箱と他の搬送装置との間において板状体を搬送する板状体搬送装置であって、先端付近に第１の位置決め部材を備え、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に形成され、上面に前記板状体が載置される板状体保持部材と、前記板状体を載置した状態で前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動する際に、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、位置決めされた前記板状体を下方から突き上げ、前記板状体搬送装置より直接に前記他の搬送装置への受け渡しを可能とする突き上げ部材と、を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項３】請求項１または請求項２において、前記板状体は半導体ウエハであり、前記第２の位置決め部材は、前記板状体保持部材の両側に配置された２つの位置決め片を備え、前記位置決め片は、板状体に当接される側面が平面視において円弧状の形状を有することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項４】請求項２において、前記板状体保持部材は、板状体が載置される位置より基端側に、前記第１の位置決め部材の高さより高い、押圧部を有することを特徴とする板状体搬送装置。
訂正事項２
　段落番号【００１２】の請求項１〜４記載の箇所を上記に合わせて訂正する。
訂正事項３
　段落番号【００１３】の「請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、」を「請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、板状体が載置される前に、板状体保持部材が基台に対して遠隔方向に移動したとき、板状体保持部材に設けられた押圧部が一体的に移動する。もし、板状体が正しい位置よりも前方に突出していたとすると、板状体は押圧部により押圧されて正しい位置側に戻るように位置修正される。その後、板状体搬送装置全体が上昇し、板状体が板状体保持部材に載置される。」と訂正する。
訂正事項４
　段落番号【００１４】の「・・他の搬送装置への・・可能となる。」を「・・他の搬送装置への直接の受け渡しを可能とする突き上げ部材を備えているため、確実に位置決めされた状態で、板状体を他の搬送装置に直接に受け渡すことが可能となる。」と訂正する。
訂正事項５
　段落番号【００４３】の「以上・・発明によれば」を「以上詳細に説明したように、請求項１記載の発明によれば、板状体保持部材を基台に対して遠隔方向に移動させることで、正常位置よりも突出した板状体の位置を押圧部により位置修正することができ、」と訂正し、「・・板状体を他の搬送装置に・・」を「・・板状体を他の搬送装置に直接に・・」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
板状体搬送装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　搬送基台に設けられた板状体保持部材の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置において、
　前記板状体保持部材は、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に構成され、
　この板状体保持部材の先端付近に設けられた第１の位置決め部材と、
　前記板状体を載置した前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動したときに、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、
　
前記板状体保持部材の基端側に設けられ、前記第１の位置決め部材の高さより高い押圧部と、
　を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項２】　搬送基台を備え、板状体収納箱と他の搬送装置との間において板状体を搬送する板状体搬送装置であって、
　先端付近に第１の位置決め部材を備え、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に形成され、上面に前記板状体が載置される板状体保持部材と、
　前記板状体を載置した状態で前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動する際に、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、
　位置決めされた前記板状体を下方から突き上げ、
前記板状体搬送装置より直接
　を具備することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項３】　請求項１または請求項２において、
　前記板状体は半導体ウエハであり、
　前記第２の位置決め部材は、前記板状体保持部材の両側に配置された２つの位置決め片を備え、
　前記位置決め片は、板状体に当接される側面が平面視において円弧状の形状を有することを特徴とする板状体搬送装置。
　【請求項４】　請求項
２
　前記板状体保持部材は、板状体が載置される位置より基端側に、前記第１の位置決め部材の高さより高い、押圧部を有することを特徴とする板状体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、例えば半導体素子の製造工程等においてウエハの搬送に使用される、板状体搬送装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、板状体搬送装置として、ウエハを収納したウエハキャリアと各種処理装置との間や処理装置間などで半導体ウエハの搬送を行なう装置が、ウエハ搬送装置として知られている。
　【０００３】
　さらに、かかるウエハ搬送装置として、搬送基台にピンセットを設け、このピンセットの上面にウエハを載置し真空吸着、静電吸着により仮固定することにより半導体ウエハを保持し、この状態で搬送基台を移動させることにより、半導体ウエハの搬送を行なうものが知られている。
　【０００４】
　このようなウエハ搬送装置を用いて半導体ウエハを搬送する場合、複数台のウエハ搬送装置を用いる場合がある。例えば、第１のウエハ搬送装置でウエハキャリアから半導体ウエハを取り出して一旦移しかえのために一時的に半導体ウエハを載置する載置台に載置し、続いて、この載置台に載置された半導体ウエハを第２のウエハ搬送装置で保持して処理装置まで搬送するといった場合である。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述のようなウエハ搬送装置においては、搬送基台に設けられたピンセットで半導体ウエハを保持する際に、ピンセットの上面の載置位置の中心と半導体ウエハの中心とを正確に一致させる必要がある。これが不正確であると載置位置がずれたままの状態で搬送されるので、例えばウエハキャリアや処理装置の載置位置に半導体ウエハを正しくセットできない場合が生じるおそれがあるからである。不正にキャリアへ搬入することはウエハの破損を招き、また、処理装置に不正な位置へ搬入することは、均一な処理を実行できず、歩留まりの劣化を招く。
　【０００６】
　また、上述したような問題は複数のピンセットを使用し一枚のウエハを連続して搬送する場合も生ずる。例えばこのような載置位置のずれは、第１の搬送装置で載置台に載置した半導体ウエハを第２の搬送装置で保持搬送する際に、特に生じやすい。
　【０００７】
　かかる課題は、載置台に半導体ウエハの位置合わせ手段を設けることによって解決することが可能である。例えば、第１の搬送装置から第２の搬送装置へ半導体ウエハの受け渡しを行なう場合であれば、第１の搬送装置で半導体ウエハを載置台に載置した後、この載置台に設けられた位置合わせ手段で半導体ウエハのセンタリングを行ない、その後、この半導体ウエハを第２の搬送装置で保持することとすれば、ピンセットの上面の載置位置の中心と半導体ウエハの中心とを正確に一致させることが可能である。
　【０００８】
　しかしながら、載置台上で半導体ウエハのセンタリングを行なう場合、センタリング中は半導体ウエハの搬送は行われないので、このセンタリングに要する時間がロスタイムとなり、搬送を効率よく行なう上で妨げとなるという課題を生じる。
　【０００９】
　また、このような新たな工程を付加することは、パーティクルの発生原因を増加させることとなり、半導体製品の歩留まり低下の原因となるという課題も生じる。
　【００１０】
　さらに、位置合わせ手段を設ける分、処理装置全体のコストが高くなってしまうという課題も生じる。
　【００１１】
　本発明は、このような課題に鑑みて成されたものであり、ウエハ保持部材の上面の載置位置の中心と半導体ウエハの中心とを正確に一致させることができ、上述のような位置合わせ手段を別途設ける必要のないウエハ搬送装置を安価に提供することを目的とする。
　【００１２】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、
　搬送基台に設けられた板状体保持部材の上面に板状体を保持して搬送する板状体搬送装置において、
　前記板状体保持部材は、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に構成され、
　この板状体保持部材の先端付近に設けられた第１の位置決め部材と、
　前記板状体を載置した前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動したときに、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、
　
前記板状体保持部材の基端側に設けられ、前記第１の位置決め部材の高さより高い押圧部と、
　を具備することを特徴とする。
　請求項２記載の発明に係る板状体搬送装置は、
　搬送基台を備え、板状体収納箱と他の搬送装置との間において板状体を搬送する板状体搬送装置であって、
　先端付近に第１の位置決め部材を備え、前記搬送基台に対して近接方向または遠隔方向に移動自在に形成され、上面に前記板状体が載置される板状体保持部材と、
　前記板状体を載置した状態で前記板状体保持部材が前記搬送基台に対して近接方向に移動する際に、前記板状体の側面に当接し、前記第１の位置決め部材と共働して前記板状体を位置決めする如く前記搬送基台に設けられた第２の位置決め部材と、
　位置決めされた前記板状体を下方から突き上げ、
前記板状体搬送装置より直接に
　を具備することを特徴とする。
　請求項３記載の板状体搬送装置は、請求項１または請求項２において、
　前記板状体は半導体ウエハであり、
　前記第２の位置決め部材は、前記板状体保持部材の両側に配置された２つの位置決め片を備え、
　前記位置決め片は、板状体に当接される側面が平面視において円弧状の形状を有することを特徴とする。
　請求項４記載の板状体搬送装置は、請求項
２
　前記板状体保持部材は、板状体が載置される位置より基端側に、前記第１の位置決め部材の高さより高い、押圧部を有することを特徴とする。
　【００１３】
　【作用】
　請求項１記載の発明に係る板状体搬送装置は、
板状体が載置される前に、板状体保持部材が基台に対して遠隔方向に移動したとき、板状体保持部材に設けられた押圧部が一体的に移動する。もし、板状体が正しい位置よりも前方に突出していたとすると、板状体は押圧部により押圧されて正しい位置側に戻るように位置修正される。
　【００１４】
　請求項２記載の発明にかかる板状体搬送装置は、板状体を載置した板状体保持部材が搬送基台に対して近接方向に移動したときに、板状体保持部材の先端付近に設けられた第１の位置決め部材と、搬送基台に設けられた第２の位置決め部材とが共働して、板状体を位置決めする。したがって、板状体保持部材に板状体が載置された後、板状体保持部材が搬送基台に戻る動作と共に、板状体の位置決めを行うことができるため、位置決めのための時間を別途必要としない。また、位置決めのための別機構も必要としない。
　さらに本発明の板状体搬送装置は、位置決めされた板状体を下方から突き上げて、他の搬送装置への
直接の
直接に
　請求項３記載の板状体搬送装置は、第２の位置決め部材が板状体保持部材に両側に配置された２つの位置決め片を備え、各位置決め片が平面視において円弧状の形状を有する。したがって、半導体ウエハをスムースに位置決めできる。そのため、半導体ウエハの位置決めに起因するパーティクルの発生が少ない。また、比較的大きな位置ずれがある場合でも、半導体ウエハを位置決めできる。
　請求項４記載の発明に係る板状体搬送装置は、板状体保持部材が板状体が載置される位置より基端側に、第１の位置決め部材より高い押圧部を備えている。したがって、所定位置より飛び出している板状体を受け取る場合でも、板状体保持部を板状体の下方に適切な上下位置で挿入することによって、板状体が押圧部によって所定位置まで押し込まれるため、所定位置で板状体保持部材を上昇させて板状体を受け取ることができる。
　【００１５】
　【実施例】
　以下、本発明の１実施例として、本発明に係わる板状体搬送装置をレジスト膜形成装置において使用されるウエハ搬送装置に適用した場合について説明する。
　【００１６】
　図１に示したように、本実施例に係わるレジスト膜形成装置は、ウエハの搬入・搬出を行う搬入搬出ユニット３０とウエハの処理を行う処理機構ユニット４０とを有している。
　【００１７】
　搬入搬出ユニット３０は、本発明に係わるウエハ搬送装置（すなわち、センタリングの機構を有するウエハ搬送装置）としての第１のウエハ搬送装置１０と、半導体ウエハ６０を収納する任意の数（本実施例では４個とする）のウエハキャリア３２と、３本の立設したピンによって構成されたウエハ載置手段３４とを有している。この搬入搬出ユニット３０では、第１のウエハ搬送装置１０によって、ウエハキャリア３２に収納された処理前の半導体ウエハ６０を取り出してセンタリングすると共に載置手段３４まで搬送して載置する工程、および、載置手段３４に載置された処理後の半導体ウエハ６０を保持してセンタリングすると共にウエハキャリア３２まで搬送して収納する工程が行なわれる。
　【００１８】
　一方、処理機構ユニット４０は、半導体ウエハ６０に対する例えば、レジスト塗布処理、べーキング処理、現像処理などの各種処理を行なうための各処理機構４２〜４８と、これらの各処理機構４２〜４８に対する半導体ウエハ６０の搬入および搬出を行なうための第２のウエハ搬送装置５０とを有している。第２のウエハ搬送装置５０は、載置手段３４に載置された処理前の半導体ウエハ６０を予め定められたプログラムによりアドヒージョン処理機構４２、冷却機構４６、塗布機構４８、べーク機構４４などへ順次選択的に搬送し、最後に、すべての処理が終わった半導体ウエハ６０を再び載置手段３４に載置する。これら工程プログラムはプログラマブルで各ウエハに応じた処理プログラムが設定できる。なお、本実施例では、第２のウエハ搬送装置５０としては、センタリングの機能を有していないものを使用することとする。
　【００１９】
　図２は、第１のウエハ搬送装置１０の構成を概略的に示すものであり、図２（ａ）は上面図、図２（ｂ）は正面図である。また、図３は、第１の搬送装置１０を示す側面図であり、図３（ａ）はウエハ保持部材であるピンセット１４をのばしていない状態（すなわち、図２（ａ）と同じ状態）、図３（ｂ）はピンセット１４をのばした状態を示している。
　【００２０】
　第１の搬送装置１０は、搬送基台１２に、上面に前記ウエハを載置させるように構成されたピンセット１４と、取付金具２０ａ，２０ｂによって支持されたセンタリング部材（第２の位置決め部材）１８ａ，１８ｂと、この搬送基台１２を昇降させるための昇降ロッド２２とを設けて構成されている。さらに、この第１のウエハ搬送装置１０は、図示していない手段により、各ウエハキャリア３２の近傍と、載置手段３４の近傍との間を移動することができる。
　【００２１】
　また、ピンセット１４は、図示していない駆動手段により図２（ａ）においてＡで示した方向に自動的に移動させることができるように構成されている。さらに、このピンセットの上面部には、先端にはウエハ載置面より上方に突出する段部（第１の位置決め部材）１６ａが、センタリング部材１８ａ，１８ｂ側には上端が段部１６ａよりも高く構成された壁部が形成された押圧部１６ｂが、それぞれ形成されている。
　【００２２】
　次に、このような第１の搬送装置１０を用いて、ウエハキャリア３２に収納された半導体ウエハ６０を保持してセンタリングを行ない、載置手段３４まで搬送する方法について説明する。
　【００２３】
　図４（ａ）において、半導体ウエハ６２は、ウエハキャリア３２に正規な状態で収納されている場合を示している。また、他の半導体ウエハ６４は、正規な状態よりウエハキャリア３２の奥側にずれた状態で収納されている場合を示している。
　【００２４】
　図に示したように、ウエハキャリア３２の近傍（本実施例ではウエハキャリア３２の開口３２ａから例えば２ｍｍの位置とした）まで移動させた第１の搬送装置１０から、ピンセット１４を各ウエハ間でウエハに接触しない状態で延ばして保持したい半導体ウエハ６４の下側に挿入し、このピンセット１４を昇降ロッド２２（図４（ａ）では図示せず）を用いて当該ウエハ６４を支持し上方のウエハに接触しない範囲で上昇させることにより、半導体ウエハ６４をピンセット１４上に載置することができる。さらに、この状態でピンセット１４を伸びた状態から縮んだ状態にすなわち搬送基台１２側に前後移動させて、予め定められた位置（すなわち、図３（ａ）に示した状態）まで戻ったとき、前記ウエハ６４の側壁面がセンタリング部材１８ａ，１８ｂに当接する。このとき、段部１６ａの下り傾斜の内側面１６ａ′とセンタリング部材１８ａ，１８ｂの円弧状の側面１８ａ′，１８ｂ′（図２参照）とで半導体ウエハ６４の側壁面部分を押圧して挟み込む作用が生じ、この奥側にずれて収納されていた半導体ウエハ６４のセンタリングをピンセット１４上において行なうことができる。すなわち、半導体ウエハ６４を保持したピンセット１４が搬送基台１２側に戻ってきたときに、同時にセンタリングを行う。このため、従来のように、別途センタリング機構を必要とせず、かつ、センタリング時間も特に必要とはしない。
　【００２５】
　なお、図から解るように、ピンセット１４の段部１６ａの内側面１６ａ′と押圧部１６ｂの押圧面１６ｂ′との間隔は、奥側にずれた半導体ウエハ６４もそのままピンセット１４に載置できるように寸法に余裕をもたせて定められている。
　【００２６】
　また、図４（ｂ）において、半導体ウエハ６６は、ウエハキャリア３２の開口３２ａ側にずれた状態で収納されている場合を示している。
　【００２７】
　この場合でも、押圧部１６ｂの高さを段部１６ａの高さよりも高くし、ピンセット１４を延ばして保持したい半導体ウエハ６４の下側に挿入する際に押圧部１６ｂの内側面１６ｂ／で半導体ウエハ６６を押し込むことができるように構成しているので、開口３２ａ側にずれた状態で収納された半導体ウエハ６６をそのまま保持することが可能となる。なお、センタリングを行なう方法は、上述の図４（ｂ）の場合と同様である。
　【００２８】
　以上説明したようにしてセンタリングを行なった状態で保持された半導体ウエハ６０は、載置手段３４の近傍まで搬送され、この載置手段３４上に載置される。載置手段３４上への載置は、載置手段３４上までピンセット１４をのばし、続いてこのピンセット１４を昇降ロッド２２を用いて下降させることにより行なうことができる。
　【００２９】
　一方、載置手段３４上に載置された半導体ウエハ６０を保持してセンタリングを行ない、ウエハキャリア３２に収納する工程も、ほぼ同様にして行なうことができる。
　【００３０】
　このように、本実施例のレジスト膜形成装置では、第１のウエハ搬送装置をウエハを保持する際に併せてセンタリングもできるように構成した。したがって、センタリングのためのロス時間がなくなり、一工程少ない分パーティクルの発生も減少し、さらに、従来のように、載置手段３４付近に別途位置合わせ手段を設ける必要がないのでコストを削減させることができる。
　【００３１】
　なお、本実施例では、第１のウエハ搬送装置１０にのみセンタリングの機能を設けることとしたが、この機能を第２のウエハ搬送装置５０にも設け、各処理機構４２〜４８間の搬送を行なう際にセンタリングを行なうこととしてもよい。
　【００３２】
　また、本実施例では、段部１６ａとセンタリング部材１８ａ，１８ｂとによってセンタリングを行なうこととしたが、例えば複数本のピンを設けるなど、他の構成の位置決め部材によってセンタリングを行なってもよい。すなわち、ピンセット１４の先端に設けられた位置決め部材と、搬送基台１２に固定された位置決め部材とで半導体ウエハ６０のセンタリングを行なう場合には、位置決め部材の形状や配置によらず、本発明の効果を得ることができる。
　【００３３】
　加えて、本実施例では、ピンセット１４に載置することのみによって半導体ウエハ６０の保持を行なうこととしたが、センタリング後搬送を行なう際に、真空吸着や静電吸着等の仮固定機構を設けるようにしてもよい。
　【００３４】
　さらに、本実施例では、本発明に係わるウエハ搬送装置をレジスト膜形成装置に使用した場合について説明したが、他の装置に使用することもできるのはもちろんである。
　【００３５】
　また、搬送する板状体は、前記ウエハの他に、側面が円形であるものや、ＬＣＤ基板、プリント基板、方形状の板状体でもよい。
　【００３６】
　なお、本実施例では搬入搬出ユニット３０の半導体ウエハ受け渡し位置に立設した３本のピンによってウエハ載置手段３４を構成し、この載置手段３４に半導体ウエハ６０を一旦載置して第１のウエハ搬送装置１０と第２のウエハ搬送装置５０との間の半導体ウエハの受け渡しを行う例について説明したが、図５に示すように、載置手段３４を設けずに、第１のウエハ搬送装置１０と第２のウエハ搬送装置５０との問で、直接受け渡しを行うこととしてもよい。
　【００３７】
　この場合の第１のウエハ搬送装置１１０の機構は上述の実施例の第１のウエハ搬送装置１０とほぼ同一でよいため省略するが、図示していない手段により、直列に配置した各ウエハキャリア３２の近傍および処理機構ユニット４０の第２のウエハ搬送装置５０との半導体ウエハ受け渡し位置に移動することができる。
　【００３８】
　図５において、ウエハキャリア３２に収納された半導体ウエハ６０は、第１のウエハ搬送装置１１０によって保持されるとともに、上述の実施例の場合と同様にしてセンタリングが行われ、そのままの状態で、この第１のウエハ搬送装置１１０によって、第２のウエハ搬送装置５０の搬送路の左端付近まで搬送される。そして、第１のウエハ搬送装置１１０のピンセット１４を半導体ウエハ６０を保持したまま伸ばすとともに、第２のウエハ搬送装置５０のピンセット５２をピンセット１４の下方から上昇させることにより、半導体ウエハ６０のピンセット１４からピンセット５２への受け渡しを行うことができる。
　【００３９】
　一方、第２のウエハ搬送装置５０から第１のウエハ搬送装置１１０への受け渡しを行うときは、第２のウエハ搬送装置５０を処理機構ユニット４０の左端付近に搬送し、第１のウエハ搬送装置１１０を、ピンセット１４を伸ばしたままの状態で、ピンセット５２の下方から上昇させることとすればよい。
　【００４０】
　さらに、このように第１のウエハ搬送装置１１０と第２のウエハ搬送装置５０との間の半導体ウエハ６０の受け渡しを直接行う場合に、第１のウエハ搬送機構１１０に突き上げ部材としての昇降可能な複数（例えば３本）のピンを設け（図示せず）、このピンを用いて受け渡しを行うこととしてもよい。例えば、第１のウエハ搬送装置１１０を半導体ウエハの受け渡し位置まで移動させた後に、これらピンをアップさせることにより、ピンセット１４に載置されていた半導体ウエハ６０を、これらのピンで支持し、その後、第２のウエハ搬送装置５０のピンセット５２を半導体ウエハ６０の下方から上昇させることにより、かかる半導体ウエハ６０の受け渡しを行うこととしてもよい。
　【００４１】
　また、かかる場合において、第２のウエハ搬送装置５０から第１のウエハ搬送装置１１０への受け渡しを行うときには、一旦、第１のウエハ搬送装置１１０に設けられた上述のごとき複数のピン上に半導体ウエハ６０を載置し、その後、これらのピンを下降させることにより、ピンセット１４上に半導体ウエハ６０を載置させることとすればよい。或いは、上述した第１のウエハ搬送装置１１０に複数のピンを設けない場合と同様に、第１のウエハ搬送装置１１０を、ピンセット１４を伸ばしたままの状態で、第２のウエハ搬送装置５０のピンセット５２の下方から上昇させることとしてもよい。
　【００４２】
　このように、ウエハ載置手段３４を半導体ウエハの受け渡し場所に固定して設けることは必須ではなく、第１のウエハ搬送装置１１０と第２のウエハ搬送装置５０との間で、直接、半導体ウエハの受け渡しを行うことも可能である。
　【００４３】
　【発明の効果】
　以上詳細に説明したように、請求項１記載の発明によれば、
板状体保持部材を基台に対して遠隔方向に移動させることで、正常位置よりも突出した板状体の位置を押圧部により位置修正することができ、
　請求項２記載の発明によれば、板状体保持部材に板状体が載置された後、板状体保持部材が搬送基台に戻る動作と共に、板状体の位置決めを行うことができるため、位置決めのための時間を別途必要としない。また、位置決めのための別機構も必要としない。
　さらに、請求項２記載の発明の板状体搬送装置は、突き上げ部材を備えているため、確実に位置決めされた状態で、板状体を他の搬送装置に
直接に
　請求項３記載の発明によれば、半導体ウエハをスムースに位置決めできる。そのため、半導体ウエハの位置決めに起因するパーティクルの発生が少ない。また、比較的大きな位置ずれがある場合でも、半導体ウエハを位置決めできる。
　請求項４記載の発明によれば、所定位置より飛び出している板状体を受け取る場合でも、板状体が押圧部によって所定位置まで押しまれるため、所定位置で板状体保持部材を上昇させて板状体を受け取ることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の１実施例に係わるウエハ搬送装置を用いたレジスト膜形成装置の概略構成を示す概念図である。
　【図２】
　本発明の１実施例に係わるウエハ搬送装置の構成を概略的に示す図であり、図２（ａ）は上面図、図２（ｂ）は正面図である。
　【図３】
　本発明の１実施例に係わるウエハ搬送装置を概略的に示す側面図であり、図３（ａ）はピンセットをのばしていない状態を示す図、図３（ｂ）はピンセットをのばした状態を示す図である。
　【図４】
　図４（ａ）、図４（ｂ）ともに、本発明の１実施例に係わるウエハ搬送装置を用いたウエハの保持方法を説明するための概念図である。
　【図５】
　本発明に係わるウエハ搬送装置を用いたレジスト膜形成装置の他の例を示す概念図である。
　【符号の説明】
　１０，１１０　　第１のウエハ搬送装置
　１２　　　　　　搬送基台
　１４　　　　　　ピンセット
　１６ａ　　　　　段部
　１６ｂ　　　　　押圧部
　１８ａ，１８ｂ　センタリング部材
　２０ａ，２０ｂ　取付金具
　２２　　　　　　昇降ロッド