【事件の表示】
　特許第２８５６１３０号「高周波加速空胴」の請求項１ないし７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５６１３０号の請求項１ないし７に係る特許を維持する。
【理　由】
１　手続の経緯
　本件特許第２８５６１３０号の出願は、平成７年１２月１８日に出願され、平成１０年１１月２７日に請求項の数７として特許権の設定登録がされた後、申立人三菱電機株式会社及び申立人堀田雄次より特許異議の申立てがされ、取消理由の通知がされ、その指定期間内である平成１３年６月２５日に訂正請求がされた。
　
２　訂正の適否
（１）訂正の内容
　特許権者が求める訂正は、次のとおりである。
【訂正事項ａ】
　請求項１〜７を次のとおり訂正する。なお、下線部が訂正個所である。
【請求項１】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ1-aＭa）100-X-Y-Z-αＣｕXＳｉYＢZＭ′α（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
【請求項２】　
環状加速器用の
一般式：(Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-βＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″β（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
【請求項３】
環状加速器用の
一般式：(Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″γ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０ 及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
【請求項４】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-β-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″βＬγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＬはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの固波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、各磁性体毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
【請求項６】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、該複数の磁性体を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
【請求項７】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記結晶粒は、１０００Å以下の平均粒径を有することを特徴とする
環状加速器用の
【訂正事項ｂ】
　特許請求の範囲の訂正に伴い、明細書の段落【０００５】、【０００６】、【００２４】を次のとおり訂正する。なお、下線部が訂正個所である。
　「　【０００５】
　本発明の目的は、広い周波数帯域、特に低周波数側で効率よく高い加速間隙電圧を得ることのできる
環状加速器用の
　「　【０００６】
　　【課題を解決するための手段】
　上記目的は
環状加速器用の
り、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
る。前記磁性体は一般的に優れた磁気特性を示し、キュリー温度，飽和磁束密度、および比透磁率が高いことに特徴がある。これにより磁性体の温度上昇，磁束の飽和による高電圧化の制限を緩和するとともに低い周波数での使用を可能とすることができる。」
　「　【００２４】
　　【発明の効果】
　本発明によれば、
環状加速器用の
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、請求項１〜４について、「磁性体装荷型の高周波装置」及び「高周波装置」を「環状加速器用」に限定し、また「磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電する」との限定を付加するものであり、請求項５〜７について、「高周波加速空洞」を「環状加速器用」に限定するものである。したがって、訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮を目的とし、明細書【００１０】【００２１】及び図６に記載されているように、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　訂正事項ｂは、訂正された特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載を整合させるための訂正であり、不明りょうな記載の釈明を目的とするもので、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）独立特許要件
（ア）訂正発明
　訂正明細書に記載された請求項１〜７に係る発明（以下、各々「訂正発明１」等という。）は、請求項１〜７に記載された事項により特定される次のとおりのものである
　「【請求項１】環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴において、前記磁性体が
一般式：（Ｆｅ1-aＭa）100-X-Y-Z-αＣｕXＳｉYＢZＭ′α（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からなり、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。
【請求項２】　環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴において、前記磁性体が
一般式：(Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-βＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″β（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からなり、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空洞。
【請求項３】環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴において、前記磁性体が
一般式：(Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″γ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０ 及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からなり、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。
【請求項４】環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴において、前記磁性体が
一般式：（Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-β-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″βＬγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＬはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からなり、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの固波数帯域において高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。
【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、各磁性体毎に高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。
【請求項６】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、該複数の磁性体を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。
【請求項７】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記結晶粒は、１０００Å以下の平均粒径を有することを特徴とする環状加速器用の高周波加速空胴。」
　
（イ）刊行物記載の事項
　取消理由に引用した刊行物は次の刊行物１〜６であり、以下に摘記する事項が記載されている。
［刊行物１：特公平４−４３９３号公報］
（訂正発明１のＦｅ基軟磁性合金について）
　「一般式：（Ｆｅ1-aＭa）100-X-Y-Z-αＣｕXＳｉYＢZＭ′α（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，ｘ，ｙ，ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦ｘ≦３，０＜ｙ≦３０，０＜ｚ≦２５，５≦ｙ＋ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第１項）
（訂正発明２のＦｅ基軟磁性合金について）
　「一般式：（Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-βＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″β（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，ＡＩ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，×，ｙ，ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦ｘ≦３，０＜ｙ≦３０，０＜ｚ≦２５，５≦ｙ＋ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第１４項）
（訂正発明３のＦｅ基軟磁性合金について）
　「一般式：（Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＸγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＸはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，×，ｙ，ｚ，α及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦ｘ≦３，０＜ｙ≦３０，０＜ｚ≦２５，５≦ｙ＋ｚ≦３０，０．１≦α≦３０　及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第２６項）
（訂正発明４のＦｅ基軟磁性合金について）
　「一般式：（Ｆｅ1-aＭa)100-X-Y-Z-α-β-γＣｕXＳｉYＢZＭ′αＭ″βＸγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，ＡＩ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＸはＣＧｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，×，ｙ，ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦ｘ≦３，０＜ｙ≦３０ ，０＜ｚ≦２５，５≦ｙ＋ｚ≦３０，０．１≦α≦３　０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第３９項）
（Ｆｅ基軟磁性合金の特性と用途について）
　「従来、高周波トランス、磁気ヘッド、可飽和リアクトル、チョークコイル等の磁心材料として、うず電流損が少ない等の利点を有するフエライトが主に用いられていた。フエライトは飽和磁束密度が低く、温度特性も悪いため、高周波トランスやチョークコイルに用いる場合磁心を小型化することが困難であるという欠点があった。」（４頁第８欄１６〜２２行）
　「本発明のＦｅ基軟磁性合金は微細結晶粒が全体の５０％以上を占めることにより、コア損失が著しく低く，Ｃｏ基非晶質合金と同程度であるとともに、コア損失の経時変化も小さい。また透磁率及び飽和磁束密度が高く、耐磨耗性にも優れている。さらに高周波磁気特性に優れ、含浸や変形等による歪に帰因する特性劣化が小さく、低磁歪のものである。このような本発明のＦｅ基軟磁性合金は高周波トランス、チョークコイル、可飽和リアクトルだけでなく磁気ヘッド等にも最適な材料であり、著しい特性改善が達成できる。」（２８頁第５６欄５〜１６行）
　
［刊行物２：Proceedings of the 1989 IEEE Particle Accelerator Conference March 20-23,1989 Chicago,IL Volume 1 of 3, 234頁〜236頁　1989年（平成１年）発行］
　「環状加速器向けのフェライト装荷非同調形高周波加速空胴」（表題）に関し、次のとおり記載されている。
（低いＱと高いμについて）
　「同調型加速空胴では高いＱが望ましく、従って共振周波数で高いインピーダンスを得るためにはμの低いフェライトが使用される。しかし非同調型の加速空胴の場合、Ｑが高いと周波数帯域において、インピーダンスが大きく変化することを意味し、μが低いと低周波数以外ではインピーダンスが低くなってしまうことを意味する。この場合、低いＱと高いμは必須である。」（２３５頁左欄２行〜９行）
　「低い周波数で高いμがＭｎ−Ｚｎフェライトによって達成されると思われる。Ｎｉ−Ｚｎフェライトのμは低いが広い周波数で一定である。Ｑは外部並行抵抗器によって下げられる。もし、適切な種類のフェライトが選択されたならば、０．８８〜５．１１ＭＨｚの小さい周波数領域でこれらの特性の両方を満足できる。選択されたフェライトは、日本の日立金属製のＴ−３１４である。それは、１ＭＨｚでμ＝１２００を有するＮｉ−Ｚｎフェライトであり、１ＭＨｚを超えるごとに周波数の−１乗に比例して減少する。」（２３５頁左欄１３〜２１行)
（シャント抵抗について）
　「加速間隙に取り付けたシャント抵抗器（５０、１００及び２００オーム）がある状態で、空胴インピーダンスの大きさと位相をネットワークアナザイラで測定した。」（２３５頁左欄下から１４行〜下から１１行）
　「図３　シャント抵抗器を有する加速空胴のインピーダンスの大きさ及び位相。黒塗りの点は１５０Ｖｒｆでの測定。白抜きの点はネットワークアナライザによる測定。」（２３５頁右欄　Ｆｉｇ．３)
　「図３に示すように、周波数範囲０．８８〜５．１１ＭＨｚにおける空胴インピーダンスの大きさ及び位相の変化は、シャント抵抗器が小さくなるほど小さくなる。５０オームのシャント抵抗器を設けたとき、２ｋＷの高周波電力が４５０Ｖの高周波振幅を生じ、そして電力の大部分が、Ｗ＝Ｖrf2／（２Ｒ）で示されるようにシャント抵抗器で消費される。１００オームまたはそれよりも高いシャント抵抗器を設けることは、高周波増幅器の要求電力を減らすために好ましいことである。」（２３５頁左欄下から４行〜２３６頁左欄７行)
　「高電力測定のデータから、フェライトディスク及びシャント抵抗器における各高周波電力消費は、分離される。図４において、２００オームのシャント抵抗器あり及びそのシャント抵抗器なしにおける高周波電力の消費がプロットされる。シャント抵抗器を有する場合におけるその電力の消費は、その抵抗器での消費と抵抗器なしの場合の加速空洞（フェライト）での消費の合計に等しい。」（２３６頁左欄２０行〜３０行) 
（μ’低下の利用について）
　「Ｓｎｏｅｋの限界というものが存在し、それ以上の周波数ではフェライト材のμ’が周波数の増加と共に下がっていく。このμ’が下がる傾向を積極的に利用することで非同調型空胴を広い帯域にて比較的高インピーダンスに維持することができる。今回使用したフェライトディスクでは周波数が２ＭＨｚ以下の領域では空胴インピーダンスの位相と絶対値が大きく変化したが、低周波数領域でμ’が高く、０．５ＭＨｚ付近から下がり始めるようなフェライトディスクを用いれば、本論文で試験したものよりインピーダンスの変化は抑えることができる。」（２３６頁右欄１行〜１４行)
　
［刊行物３：Journal of Applied Physics 64(10)6044頁〜6046頁　1988年（昭和63年）11月15日発行］
　「結晶温度を超える単ローラ法によって非晶質合金を焼き戻して得られるＦｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｍ（Ｍ：付加剤）合金の磁気特性は、新Ｆｅ基軟磁性合金の開発のために研究された。優れた軟磁気特性は、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ合金に二要素ＣｕとＮｂを加えることにより得られた。”ＦＩＮＥＭＥＴ”と呼ばれるこれらの新合金はｂｃｃ　Ｆｅ固溶体から成る微細粒構造を有することが分った。超軟磁気特性、高飽和磁束密度、並びに磁界焼き戻しにより得られる種々のＢ−Ｈヒステリシスループによって、可飽和リアクトル、チョークコイル、トランスのような各種磁気要素として適する。」（６０４４頁５行〜１３行)と記載され、Ｆｉｇ．６には、「ＦＩＮＥＭＥＴと他の材料に対する比透磁率の周波数依存性」が記載され、「ＦＩＮＥＭＥＴ（Ｆｅ73.5Ｃu1Ｎｂ3Ｓｉ13.5Ｂ9）及び「Ｍｎ−Ｚｎフェライト」について、ＦＩＮＥＭＥＴの比透磁率の値が高く、周波数の増加に応じて比透磁率の値が低下する傾向が認められる。
［刊行物４：特開平６−３３３７１７号公報］
　「絶縁膜が形成されたナノ結晶軟磁性合金薄帯および磁心ならびにパルス発生器、レーザ装置、加速器」（発明の名称）に関し、次のとおり記載されている。
　「【０００４】また、前記線形誘導加速器では、・・・電子ビームなどの荷電粒子ビームの発生あるいは加速に磁心を利用した加速空洞が用いられる。」
　「【０００６】これらの用途で用いられる磁性部品は一般に磁心の小型化と低損失化が重要である。損失による磁心の温度上昇を無視すれば、・・・磁心体積と損失は占積率Ｋと動作磁束密度量△Ｂの積で定義される実効動作磁束密度量Ｋ・△Ｂの２乗に反比例することが知られている。リセットエネルギーの大きさを大とすれば△Ｂはおよそ実効飽和磁束密度Ｂmsの２倍となる。このため実効飽和磁束密度Ｂmsの高いFe基軟磁性合金を用いた磁心を使用するのが好ましい。」
　「【００３０】また、以上説明したようなセラミック絶縁膜の形成されたナノ結晶軟磁性合金薄帯を用いた磁心は、占積率Ｋと動作磁束密度量ΔＢの積である実効動作磁束密度量Ｋ・ΔＢが大きく、単位体積当たりの半周期の磁心損失Ｐｃｇも小さくできるため実効動作磁束密度量Ｋ・ΔＢの２乗で割った損失計数Ｐｃｇ／（Ｋ・ΔＢ）2が小さくでき低損失となる。
【００３１】前記磁心を用いて構成した・・・加速器は、装置の小型化が容易になるとともに、損失の発生源であった・・・磁性部品の損失を低減できるため高効率化も図れる。」
　「【００６７】【発明の効果】以上説明した本発明によれば、・・・線形誘導加速器などの加速器に用いられる・・・加速空胴・・・さらにはこれらの磁性部品を用いたシステムの高信頼性と高性能化を両立することができる。」
　
［刊行物５：特開平２−２９７９０３号公報］
　「Ｆｅ基微結晶軟磁性合金からなる巻磁心及びその製造方法」（発明の名称）が記載されている。
　
［刊行物６：PHILPS TECHNICAL REVIEW,VOL.30,1969年　No.11/12,316頁］
　複数の磁性体毎に高周波電力を給電することが記載されている（３１６頁Ｆｉｇ．７）。
　
（ウ）対比・判断
［訂正発明１について］
　訂正発明１の磁性体であるＦｅ基軟磁性合金と同一組成のものは、刊行物１に記載されている。しかしながら、訂正発明１が、該磁性体を環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴に用い、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電するものであるのに対して、刊行物１記載の発明は、高周波トランス、チョークコイル、可飽和リアクトル、磁気ヘッド等の材料として利用することを開示するものの加速空洞についての利用を開示するものではない点で、訂正発明１は刊行物１記載の発明と相違する。
　そこで、上記相違点を検討する。
　刊行物２には、環状加速器向けのフェライト装荷非同調形高周波加速空胴について記載され、非同調型の加速空胴の場合、低いＱと高いμは必須であること、低周波数領域でμが高く、０．５ＭＨｚ付近から下がり始めるようなフェライトディスクを用いれば、よりインピーダンスの変化は抑えることができることが記載され、環状加速器向けのフェライト装荷非同調形高周波加速空胴において高い比透磁率を有するフェライトを用いることを開示するものであるが、低いＱを得るために、シャント抵抗器を用いるものである。したがって、刊行物２は、シャント抵抗器を必須のものとしこれと共に適切なフェライトを用いることを開示するもので、シャント抵抗器を必要としない本件発明１を開示ないし示唆するものではない。
　また、刊行物４には、Ｆｅ基軟磁性合金を線型誘導加速器の加速空洞に用いることが記載されている。しかしながら、線型誘導加速器の加速空洞においては、磁性体の損失を少なく（Ｑを高く）することが望まれるものであり、Ｆｅ基軟磁性合金の採用も磁性体の損失が少ない点に着目してされたものである。本件発明１の環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴においては、適度な磁性体損失を利用するもので、磁性体を利用する目的ないし条件が異なり、たとえ刊行物４にＦｅ基軟磁性合金を線型誘導加速器の加速空洞に用いることが開示されていたとしても、本件発明１の環状加速器用の高周波加速空胴にＦｅ基軟磁性合金を用いることを示唆するものとはいえない。
　また、刊行物３、５は、Ｆｅ基軟磁性合金であるＦＩＮＥＭＥＴとその特性を開示するものの、環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴に用いることを開示ないし示唆するものではない。
　さらに、刊行物６も、上記相違点を開示ないし示唆するものではない。
　以上のように、Ｆｅ基軟磁性合金を、環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴における磁性体とし採用し、該磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電することは、各引用例に記載も示唆もされていない。そして、訂正発明１は、「環状加速器用の高周波加速空胴を構成する磁性体の温度上昇や磁束の飽和による高電圧化の制限を緩和できるとともに低い周波数での使用を可能とすることができ」、「広い周波数帯域、特に低い周波数側で効率よくかつ安定に高い加速間隙電圧を得ることができる」（【００２４】）という明細書記載の顕著な作用効果を奏することが認められる。
　したがって、引用発明１は、出願前頒布された刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得るものではなく、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
［訂正発明２〜４について］
　訂正発明２〜４の磁性体であるＦｅ基軟磁性合金と同一組成のものは、刊行物１に記載されているものの、訂正発明１についての対比・判断と同様に、訂正発明２〜４の、環状加速器用の磁性体装荷型の高周波加速空胴であって、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電するものである点については、各引用例に開示も示唆もされていない。そして、訂正発明２〜４は、訂正発明１と同様に明細書記載の作用効果を奏することが認められる。
　したがって、訂正発明２〜４は、出願前頒布された刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得るものではなく、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
［訂正発明５〜７について］
　訂正発明５〜７は、訂正発明１〜４のいずれかを限定するものであるから、訂正発明１〜４が、出願前頒布された刊行物１〜６に記載された発明から当業者が容易になし得るものではない以上、訂正発明５〜７も、該刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得るものではなく、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
（４）以上のとおりであるから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法１２６条２項から４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３　特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
（ア）申立人三菱電機株式会社は、甲第１〜５号証（上記刊行物１〜５と同じ。）を提出して、請求項１〜７に係る発明は、甲第１〜５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
（イ）申立人堀田雄次は、甲第１、２号証（上記刊行物１、６と同じ。）を提出して、請求項１〜６に係る発明は、甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許を取り消すべきであると主張している。
　
（２）本件発明
　本件発明は、訂正明細書の特許請求の範囲請求項１〜７に記載されたとおりのものと認められる。
　
（３）甲号証記載の事項
（ア）申立人三菱電機株式会社が提出した甲第１〜５号証には、上記２（３）（イ）で刊行物１〜５として摘記した事項が記載されている。
（イ）申立人堀田雄次が提出した甲第１、２号証には、上記２（３）（イ）で刊行物１及び６として摘記した事項が記載されている。
　
（４）対比・判断
　上記２（３）（ウ）で検討したとおり、本件請求項１〜７に係る発明は、出願前頒布された刊行物１〜６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　したがって、本件請求項１〜７に係る発明は、申立人三菱電機株式会社が提出した甲第１〜５号証（上記刊行物１〜５と同じ。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　また、本件請求項１〜６に係る発明は、申立人堀田雄次が提出した甲第１、２号証（上記刊行物１、６と同じ。）に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたともいえない。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律１１６号）附則１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年７月１９日（２００１．７．１９）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　【訂正事項ａ】
　特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１〜７を次のとおり訂正する。
（下線部が訂正個所である。）
　【請求項１】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−ｘ−ｙ−ｚ−αＣｕＸＳｉＹＢｚＭ′α（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からな
り、
残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項２】　
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−βＣｕＸＳｉＹＢｚＭ′αＭ″β（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、
残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項３】
環状加速器用の
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項４】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−β−γＣｕＸＳｉＹＢｚＭ′αＭ″βＬγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＬはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、
残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの固波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、各磁性体毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
　【請求項６】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、該複数の磁性体を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
　【請求項７】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記結晶粒は、１０００Å以下の平均粒径を有することを特徴とする
環状加速器用の
　【訂正事項ｂ】
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書の段落【０００５】、【０００６】、【００２４】を次のとおり訂正する。（下線部が訂正個所である。）
　「　【０００５】
　本発明の目的は、広い周波数帯域、特に低周波数側で効率よく高い加速間隙電圧を得ることのできる
環状加速器用の
　「　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的は
環状加速器用の
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、
残部が実質的に非晶質であり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
る。前記磁性体は一般的に優れた磁気特性を示し、キュリー温度，飽和磁束密度、および比透磁率が高いことに特徴がある。これにより磁性体の温度上昇，磁束の飽和による高電圧化の制限を緩和するとともに低い周波数での使用を可能とすることができる。」
　「　【００２４】
　【発明の効果】
　本発明によれば、
環状加速器用の
（５４）【発明の名称】
高周波加速空胴
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−αＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′α（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項２】　
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−βＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″β（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項３】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−γＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″γ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０　及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項４】
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−β−γＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″βＬγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＬはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０　，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、
組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、
前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
環状加速器用の
　【請求項５】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、各磁性体毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
　【請求項６】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記磁性体を複数備え、該複数の磁性体を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することを特徴とする
環状加速器用の
　【請求項７】請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記結晶粒は、１０００Å以下の平均粒径を有することを特徴とする
環状加速器用の
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】本発明は、広い周波数帯域、特に低周波数側で効率よくかつ安定に高い加速間隙電圧を得ることのできる環状型加速器用の高周波加速空胴に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】従来より加速空胴に装荷される磁性体としては、一般的にＮｉ−Ｚｎ系，Ｍｎ−Ｚｎ系等のフェライトが用いられている。この従来技術に関係するものとして日本物理学会講演概要集「第５０回年会第１分冊」ｐ７１に、Ｎｉ−Ｚｎフェライトを用いた加速空胴が記載されている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】磁性体の高周波損失がある磁性体装荷型加速空胴では、磁性体部での発熱がある。一般的に磁性体の比透磁率は磁性体温度の上昇とともに緩やかに上昇し、キュリー温度近くで急激に減少する。このため加速間隙に高電圧を安定に発生させるためにはキュリー温度が十分高いことが必要である。また、高電圧化にともない磁性体内の磁束密度が高くなることから磁性体の飽和磁束密度も大きいことが必要である。さらに一般的に磁性体の比透磁率はある周波数ｆａまではほぼ一定の値μ０を示し、ｆａを境に周波数の増加に伴って低下する。磁性体の磁性損失もこの周波数から増加し始める。この周波数ｆａはμ０が大きいほうが小さくなるので、磁性体損失を利用する空胴の場合μ０が大きいことが望まれる。
　【０００４】しかし、従来の加速空胴で使用されてきたフェライトはキュリー温度，飽和磁束密度が小さいため、加速間隙電圧で高電圧を発生させるとき、磁性体の冷却や磁束の飽和の問題があった。また比透磁率μ０も小さいため数百ｋＨｚ程度の低い周波数側で安定に高い加速間隙電圧を得ることが困難であった。
　【０００５】本発明の目的は、広い周波数帯域、特に低周波数側で効率よく高い加速間隙電圧を得ることのできる
環状加速器用の
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】上記目的は
環状加速器用の
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−αＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′α（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ及びαはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０及び０．１≦α≦３０を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも５０％が１μｍ以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなり、残部が実質的に非晶質であるＦｅ基軟磁性合金からな
り、前記磁性体に１００ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの周波数帯域において高周波電力を給電す
　【０００７】　また、前記磁性体として
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−βＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びβはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜β≦１０を満たす。）により表される組成を有し、前述と同様の組織を有するＦｅ基軟磁性合金を用いても同様の効果を得ることができる。
　【０００８】また、前記磁性体として
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−γＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″γ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、前述と同様の組織を有するＦｅ基軟磁性合金を用いても同様の効果を得ることができる。
　【０００９】また、前記磁性体として
一般式：（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−Ｘ−Ｙ−Ｚ−α−β−γＣｕＸＳｉＹＢＺＭ′αＭ″βＬγ（原子％）（ただし、ＭはＣｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ′はＮｂ，Ｗ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｔｉ及びＭｏからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ａｌ，白金属元素，Ｓｃ，Ｙ，希土類元素，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｒｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＬはＣ，Ｇｅ，Ｐ，Ｇａ，Ｓｂ，Ｉｎ，Ｂｅ，Ａｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，Ｘ，Ｙ，Ｚ，α，β及びγはそれぞれ０≦ａ≦０．５，０．１≦Ｘ≦３，０＜Ｙ≦３０　，０＜Ｚ≦２５，５≦Ｙ＋Ｚ≦３０，０．１≦α≦３０，０＜β≦１０及び０＜γ≦１０を満たす。）により表される組成を有し、前述と同様の組織を有するＦｅ基軟磁性合金を用いても同様の効果を得ることができる。
　【００１０】さらに好ましくは、上記の磁性体を用い、高周波電力を空胴に給電する方法として、空胴内に装荷した磁性体毎に高周波電力を給電することにより、高周波電源と空胴のインピーダンスマッチングをとることができ、１００ｋＨｚ〜１０ＭＨｚ程度の広い周波数帯域、特に低い１００〜１０００ｋＨｚ程度の周波数においても効率よくかつ安定に高周波電力が給電でき、加速間隙電圧の高電圧化が可能となる。
　【００１１】また、空胴内に装荷した磁性体を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することによっても同様の効果を得ることができる。
　【００１２】
　【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
　【００１３】　図１は本発明の第１実施例である高周波加速空胴の構成図である。
　【００１４】高周波空胴は少なくとも１つの加速間隙３を有する内導体１と外導体２を有し、この空胴内に磁性体４を備える。前記磁性体４は、
Ｆｅ７１．５Ｃｕ１Ｎｂ５Ｓｉ１３．５Ｂ９（原子％）により表される組成を有し、片ロールの急冷による薄板テープを得た後熱処理を行い、１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒からなる板状のＦｅ基軟磁性合金を環状に巻いた構造をもつ。片ロールによる製造のままのものは非晶質であり、このまま使用可能である。この磁性体４はキュリー温度，飽和磁束密度、および透磁率がいずれも高く、これにより磁性体４の温度上昇，磁束の飽和による高電圧化の制限を緩和するとともに低い周波数での使用を可能とすることができる。さらに空胴内に装荷した複数の磁性体４毎に高周波電力を給電線６を通して給電することにより、高周波電源５と高周波空胴のインピーダンス整合をとり、高周波電力の給電効率を高めることができる。以上より従来と比較して広い周波数帯域、特に低い周波数においても効率よくかつ安定に加速間隙３に高電圧を発生させることができる。また、これにより磁性体の冷却装置，空胴本体ならびに高周波電源５の低コスト化，小型化も可能となる。
　【００１５】ここでは、給電方法として空胴内に装荷した磁性体４毎に高周波電力を給電するとしたが、これらの磁性体４を少なくとも２つのグループに分け、グループ毎に高周波電力を給電することでも同様の効果を得ることができる。
　【００１６】図２は本発明の第１実施例である高周波加速空胴の高周波特性（電圧定在波比）を示す図である。電圧定在波比は高周波電力の反射の大きさを表し、定在波比が１に近いほど反射が小さく、電力を効率よく空胴に給電できることを意味する。実線は図１に示した本発明の第１実施例の実測結果であり、破線は参考のため図５に示す従来例による測定結果を示したものである。この図から分かるように本発明の高周波加速空胴では、従来例のものと比較して低い周波数から効率よく高周波電力が給電できていることが分かる。
　【００１７】図３は本発明の第１実施例である高周波加速空胴に装荷した磁性体４の透磁率を変化させるために、バイアス装置７を設置したものである。前記磁性体４は、Ｆｅ７１．５Ｃｕ１Ｎｂ５Ｓｉ１３．５Ｂ９（原子％）により表される組成を有し、８０体積％が１０００Å以下の平均粒径を有する微細な結晶粒と残部の非晶質である板状のＦｅ基軟磁性合金を環状に巻いた構造をもつ。高周波電力は空胴内に装荷したこれらの磁性体４を４つのグループに分け、グループ毎に給電している。この空胴では前記バイアス装置７により磁性体４の透磁率を変化させ、空胴の共振周波数を調整することが可能である。また、このバイアス装置７によって周回ビーム電流の直流成分による磁場を打ち消すことも可能である。
　【００１８】図４は高周波加速空胴の従来例を示す構成図である。これは従来技術で空胴内に装荷した複数の磁性体４を２つのグループに分け、それぞれのグループに高周波電力を給電した例で、一般的にｐｕｓｈ−ｐｕｌｌ給電法と呼ばれるものである。前記磁性体４としては環状のＮｉ−Ｚｎフェライト等が用いられる。これらのフェライトはキュリー温度が低く、磁性体冷却が大きな問題となる。さらに飽和磁束密度が低いことから磁束の飽和を防ぐには磁性体の大型化が必須となり、加速間隙電圧の高電圧化と空胴小型化の両面で不利である。この従来例の場合、図５に示すように本発明の空胴と比較してその電圧定在波比は高く、広い周波数帯域で効率よく電力が給電できないことがわかる。特に低い周波数において急激に電圧定在波比が上昇しているため、この周波数帯域での使用は困難であることが分かる。
　【００１９】図５は図４に示した高周波加速空胴の高周波特性（電圧定在波比）を示す図である。
　【００２０】この図から分かるように本発明の高周波加速空胴の特性と比較して全般的に電圧定在波比が高く、広い周波数帯域、特に低周波数側での使用が難しいことが分かる。
　【００２１】図６は本発明の高周波加速空胴を環状加速器に適用したときの構成図である。環状加速器は荷電粒子ビームを入射するための入射器１１と、入射された荷電粒子ビームの軌道を偏向させる偏向磁石１２と、ビームの発散を抑さえる収束用４極磁石１３と、加速後のビームを取り出す出射器１４および図１又は図３に示した高周波用加速空胴１０から構成される。さらに、この高周波加速空胴１０には、高周波電源５が高周波電力給電線６を通して接続され、入射されたビームは高周波加速空胴１０によって希望のエネルギーにまで加速された後、出射器１４によって取り出される。本発明による高周波加速空胴１０を用いた場合、広い周波数帯域、特に低い周波数側で効率よくかつ安定に高い加速間隙電圧を得ることができる。また、これにより磁性体の冷却装置、空胴本体ならびに高周波電源の低コスト化や小型化も可能となる。さらには使用周波数帯域が陽子などと比較して低い重イオンでも小型の環状加速器で加速可能となる。
　【００２２】図６では偏向機能を持たせる偏向磁石１２とビーム収束機能を持たせた４極磁石１３を分離させた場合を示したが、これらの両機能を兼ね備えた機能結合型磁石を用いた環状加速器であってもよい。
　【００２３】さらに、ここでは入射ビームを加速する場合について記載したが、ビーム蓄積リングやビーム整形リングなどのように実質的に加速を行わないような場合であってもよい。
　【００２４】
　【発明の効果】本発明によれば、
環状加速器用の
　【００２５】また、医療用陽子シクロトロンに必要な１．５〜８ＭＨｚの周波数帯域で必要な２．５ｋＶ／ｍ以上の電圧が達成できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の第１実施例に係る高周波加速空胴の構成図である。
　【図２】本発明の第１実施例である高周波加速空胴の高周波特性（電圧定在波比）を示す図である。
　【図３】本発明の第２実施例に係る高周波加速空胴の構成図である。
　【図４】従来例である高周波加速空胴の構成図である。
　【図５】従来例である高周波加速空胴の高周波特性（電圧定在波比）を示す図である。
　【図６】本発明の高周波加速空胴を環状加速器に適用した場合の構成図である。
　【符号の説明】
１…内導体、２…外導体、３…加速間隙、４…磁性体、５…高周波電源、６…給電線、７…バイアス装置、１０…高周波加速空胴、１１…入射器、１２…偏向磁石、１３…４極磁石、１４…出射器。