(57)【要約】      （修正有）【課題】ＨＧＡにおける浮上型磁気ヘッドスライダの位置誤差及び角度誤差とＨＧＡの特性との関係を見いだすことが可能なＨＧＡの特性検査装置を提供する。【解決手段】画像処理部２０は、側面カメラ２２及び正面カメラ２４によって撮像された画像を基に浮上型磁気ヘッドスライダのｘｙ座標を特定し、上方カメラ２６によって撮像された画像を基にディンプル中心（目標搭載点）のｘｙ座標を特定し、浮上型磁気ヘッドスライダの位置誤差を求める。データ処理部１４は、レーザ変位計２８の測定結果とＨＧＡ１の直線移動距離とを基に浮上型磁気ヘッドスライダの角度誤差を求める。【選択図】図１
0003138704.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ＨＧＡ（Head Gimbal Assembly）の特性を検査する装置であって、
前記ＨＧＡによってデータの書込み及び読出しが実行される擬似メディアと、
前記擬似メディアを回転駆動する駆動モータと、
前記ＨＧＡを前記ＨＧＡの長手方向に直線移動可能に保持するホルダと、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡを側面、正面及び上方からそれぞれ撮像する第１から第３の撮像部と、
前記第１から第３の撮像部によって撮像された画像を処理する画像処理部と、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡの側方に配置され、前記ＨＧＡの浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位を測定する非接触変位計と、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡの前記擬似メディアに対するデータの書込み及び読出しの実行結果から前記ＨＧＡの特性を評価する測定器と、
前記画像処理部における処理結果、前記非接触変位計における変位測定結果、及び前記測定器における特性評価結果を記憶する記憶部と、
前記記憶部の記憶データを処理するデータ処理部とを備える、ＨＧＡの特性検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の特性検査装置において、この特性検査装置が検査対象とするＨＧＡのサスペンションは第１及び第２の基準マークを有し、
前記画像処理部は、前記第１及び第２の撮像装置によって撮像された画像を基に前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定し、前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記第１及び第２の基準マークと所定位置関係にある目標搭載点の２次元座標を特定し、前記目標搭載点の２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求めるとともに、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記第１及び第２の基準マークを結ぶ直線と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第１の角度を特定するものであり、
前記データ処理部は、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記非接触変位計によって測定された前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位と、前記ＨＧＡの直線移動距離とを基に、前記浮上型磁気ヘッドスライダの側面と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第２の角度を特定し、この第２の角度と、前記画像処理部によって特定された前記第１の角度とを基に、前記第１及び第２の基準マークを結ぶ直線に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の角度誤差を求め、前記位置誤差及び前記角度誤差を前記記憶部に記憶することを特徴とする、ＨＧＡの特性検査装置。
【請求項３】
請求項２に記載の特性検査装置において、前記第１及び第２の基準マークが貫通孔であることを特徴とする、ＨＧＡの特性検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の特性検査装置において、この特性検査装置が検査対象とするＨＧＡのサスペンションは、浮上型磁気ヘッドスライダ搭載面の背後に接するように形成されたディンプルと、基準マークとを有し、
前記画像処理部は、前記第１及び第２の撮像装置によって撮像された画像を基に前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定し、前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記ディンプルの２次元座標を特定し、前記ディンプルの２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求めるとともに、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記ディンプル及び前記基準マークを結ぶ直線と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第１の角度を特定するものであり、
前記データ処理部は、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記非接触変位計によって測定された前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位と、前記ＨＧＡの直線移動距離とを基に、前記浮上型磁気ヘッドスライダの側面と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第２の角度を特定し、この第２の角度と、前記画像処理部によって特定された前記第１の角度とを基に、前記ディンプル及び前記基準マークを結ぶ直線に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の角度誤差を求め、前記位置誤差及び前記角度誤差を前記記憶部に記憶することを特徴とする、ＨＧＡの特性検査装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれかに記載の特性検査装置において、前記データ処理部は、複数のＨＧＡについて求められた前記位置誤差及び前記角度誤差と、前記複数のＨＧＡについての前記測定器における前記特性評価結果とを基に、前記位置誤差及び前記角度誤差と前記特性評価結果との相関を導出することを特徴とする、ＨＧＡの特性検査装置。
【請求項６】
ＨＧＡ（Head Gimbal Assembly）の特性を検査する装置であって、
所定位置に保持される前記ＨＧＡによってデータの書込み及び読出しが実行される擬似メディアと、
前記擬似メディアを回転駆動する駆動モータと、
前記ＨＧＡの浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定する手段と、
前記浮上型磁気ヘッドスライダの目標搭載点の２次元座標を特定する手段と、
前記目標搭載点の２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求める手段と、
前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の基準方向に対する角度誤差を特定する手段と、
前記ＨＧＡの前記擬似メディアに対するデータの書込み及び読出しの実行結果から前記ＨＧＡの特性を評価する測定器と、
前記位置誤差、前記角度誤差、及び前記測定器における特性評価結果を記憶する記憶部と、
前記記憶部の記憶データを処理するデータ処理部とを備える、ＨＧＡの特性検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、ハードディスクドライブ等に用いられるＨＧＡの特性を検査する特性検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ（以下「ＨＤＤ」）では、高速回転する磁気ディスクとＨＧＡの磁気ヘッドスライダとが非接触の状態でデータが磁気ディスクに書き込まれ、またデータが磁気ディスクから読み出される。ＨＧＡの最終検査は、実際のＨＤＤに対する書込み及び読出しと同じような状況を作り出して行う必要がある。これは例えば動特性検査といわれる。ＨＧＡの動特性検査に関しては種々の方法が提案されており、一般的には、ＨＧＡによる擬似メディアへのデータの書込み（記録）及び読出し（再生）の結果をオリジナルデータと比較して、出力レベルやビット欠落などを基にＨＧＡの特性が評価される。
【０００３】
ＨＧＡの特性検査装置に関する文献として、下記特許文献１及び２が挙げられる。
【特許文献１】特開２００２−１３３６０１号公報
【特許文献２】特開２００２−３４２９０６号公報
【０００４】
特許文献１は、磁気ディスク上の所定のトラック位置に磁気ヘッドを位置決めし、記録再生特性を測定する特性評価装置を開示している。この装置は、時間経過に伴う熱ドリフトに起因する磁気ディスクの記録トラックと磁気ヘッドとの相対的な位置ずれ（オフトラック）を記録再生特性の測定中に定期的に補正することにより、記録再生特性をより正確に測定しようとするものである。
【０００５】
特許文献２は、薄膜磁気ヘッドの検査装置を開示している。この装置は、回転する磁気ディスク上に磁気ヘッドを位置決めして記録再生特性を測定した後、磁気ディスク上から磁気ヘッドを移動して磁気ヘッドに外部磁界を印加し、それよって磁気ヘッドから得られた信号から磁気ヘッドの発生するイレギュラーパルス（多くの再生出力波形の中で一波形だけ振幅が高くなったり低くなったりしたもの）を検出する。
【０００６】
他方、ハードディスクの高密度記録化に伴い、ＨＧＡにおける磁気ヘッドコアの搭載精度（すなわち浮上型磁気ヘッドスライダの搭載精度）を高めることが要求されており、その要求に応えるための技術が下記特許文献３及び４に提案されている（ＨＧＡの形状は図４参照）。
【特許文献３】特開平１１−３１３６９号公報
【特許文献４】特開２００５−１３５４６７号公報（本出願人提案）
【０００７】
特許文献３は、ＨＤＤヘッド用コアのジンバル（サスペンション）に対する位置決め及び固定が簡単かつ確実になされるＨＤＤヘッド用ジンバルを開示している。このジンバルは、ロードビームに形成されたビューホール及びツーリングホールを基準点とし、撮像手段を用いて基準点の位置決めを行い、この位置決めの結果に基づいて、ロードビームに設けられたディンプルに対して適切な位置関係を持つようにＨＤＤヘッド用コアをフレキシャのコア搭載部上に配置するものである。
【０００８】
特許文献４は、磁気記録装置において用いられる浮上型磁気ヘッドスライダをサスペンションに対して搭載する際の搭載位置の測定装置を開示している。この装置は、サスペンション上に形成されたディンプルの凹面最深部の位置を下カメラによって撮影することで取得し、浮上型磁気ヘッドスライダの中心をディンプルの中心と一致させる。なお、ディンプルの凹面最深部と凸面頂部との位置ずれが存在する場合は、そのずれ量を加味して浮上型磁気ヘッドスライダの搭載位置を決定している。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献３及び４の技術は、浮上型磁気ヘッドスライダの搭載精度を高める観点から有意義と考えられる。しかし、浮上型磁気ヘッドスライダの搭載精度を高めても、搭載する際の誤差（位置誤差、角度誤差）を完全になくすことは不可能といえる。この誤差はＨＧＡの特性に影響を与えると考えられるが、それらの関係を見いだすことを可能とする技術の好適な開示は為されていない。
【００１０】
本考案はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、ＨＧＡにおける浮上型磁気ヘッドスライダの位置誤差及び角度誤差とＨＧＡの特性との関係を見いだすことの可能なＨＧＡの特性検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本考案のある態様は、ＨＧＡの特性検査装置である。この特性検査装置は、
前記ＨＧＡによってデータの書込み及び読出しが実行される擬似メディアと、
前記擬似メディアを回転駆動する駆動モータと、
前記ＨＧＡを前記ＨＧＡの長手方向に直線移動可能に保持するホルダと、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡを側面、正面及び上方からそれぞれ撮像する第１から第３の撮像部と、
前記第１から第３の撮像部によって撮像された画像を処理する画像処理部と、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡの側方に配置され、前記ＨＧＡの浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位を測定する非接触変位計と、
前記ホルダに保持される前記ＨＧＡの前記擬似メディアに対するデータの書込み及び読出しの実行結果から前記ＨＧＡの特性を評価する測定器と、
前記画像処理部における処理結果、前記非接触変位計における変位測定結果、及び前記測定器における特性評価結果を記憶する記憶部と、
前記記憶部の記憶データを処理するデータ処理部とを備える。
【００１２】
ある態様の特性検査装置において、この特性検査装置が検査対象とするＨＧＡのサスペンションは第１及び第２の基準マークを有し、
前記画像処理部は、前記第１及び第２の撮像装置によって撮像された画像を基に前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定し、前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記第１及び第２の基準マークと所定位置関係にある目標搭載点の２次元座標を特定し、前記目標搭載点の２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求めるとともに、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記第１及び第２の基準マークを結ぶ直線と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第１の角度を特定するものであり、
前記データ処理部は、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記非接触変位計によって測定された前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位と、前記ＨＧＡの直線移動距離とを基に、前記浮上型磁気ヘッドスライダの側面と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第２の角度を特定し、この第２の角度と、前記画像処理部によって特定された前記第１の角度とを基に、前記第１及び第２の基準マークを結ぶ直線に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の角度誤差を求め、前記位置誤差及び前記角度誤差を前記記憶部に記憶してもよい。
【００１３】
また、前記第１及び第２の基準マークは、貫通孔であってもよい。
【００１４】
ある態様の特性検査装置において、この特性検査装置が検査対象とするＨＧＡのサスペンションは、浮上型磁気ヘッドスライダ搭載面の背後に接するように形成されたディンプルと、基準マークとを有し、
前記画像処理部は、前記第１及び第２の撮像装置によって撮像された画像を基に前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定し、前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記ディンプルの２次元座標を特定し、前記ディンプルの２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求めるとともに、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記第３の撮像装置によって撮像された画像を基に前記ディンプル及び前記基準マークを結ぶ直線と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第１の角度を特定するものであり、
前記データ処理部は、前記ホルダによる前記ＨＧＡの直線移動前後に前記非接触変位計によって測定された前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の変位と、前記ＨＧＡの直線移動距離とを基に、前記浮上型磁気ヘッドスライダの側面と前記ＨＧＡの直線移動方向とが成す第２の角度を特定し、この第２の角度と、前記画像処理部によって特定された前記第１の角度とを基に、前記ディンプル及び前記基準マークを結ぶ直線に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の角度誤差を求め、前記位置誤差及び前記角度誤差を前記記憶部に記憶してもよい。
【００１５】
さらに、前記データ処理部は、複数のＨＧＡについて求められた前記位置誤差及び前記角度誤差と、前記複数のＨＧＡについての前記測定器における前記特性評価結果とを基に、前記位置誤差及び前記角度誤差と前記特性評価結果との相関を導出してもよい。
【００１６】
本考案の別の態様も、ＨＧＡの特性検査装置である。この特性検査装置は、
所定位置に保持される前記ＨＧＡによってデータの書込み及び読出しが実行される擬似メディアと、
前記擬似メディアを回転駆動する駆動モータと、
前記ＨＧＡの浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標を特定する手段と、
前記浮上型磁気ヘッドスライダの目標搭載点の２次元座標を特定する手段と、
前記目標搭載点の２次元座標に対する前記浮上型磁気ヘッドスライダの２次元座標の位置誤差を求める手段と、
前記浮上型磁気ヘッドスライダ側面の基準方向に対する角度誤差を特定する手段と、
前記ＨＧＡの前記擬似メディアに対するデータの書込み及び読出しの実行結果から前記ＨＧＡの特性を評価する測定器と、
前記位置誤差、前記角度誤差、及び前記測定器における特性評価結果を記憶する記憶部と、
前記記憶部の記憶データを処理するデータ処理部とを備える。
【００１７】
なお、以上の構成要素の任意の組合せもまた、本考案の態様として有効である。
【考案の効果】
【００１８】
本考案によれば、ＨＧＡの特性を検査するとともにＨＧＡにおける浮上型磁気ヘッドスライダの位置誤差及び角度誤差を求めることができるため、その位置誤差及び角度誤差とＨＧＡの特性との関係を見いだすことが可能となる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら本考案の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は考案を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも考案の本質的なものであるとは限らない。
【００２０】
図１は本考案の実施の形態に係るＨＧＡの特性検査装置１００の概略斜視図である。図２は、図１に示される特性検査装置１００の要部平面図である。図３は、図１に示される特性検査装置１００の要部側面図である。図４は、特性検査の対象となるＨＧＡ１の形状説明図である。
【００２１】
特性検査装置１００は、筐体１０と、制御部１２と、測定器１８と、画像処理部２０と、第１の撮像部としての側面カメラ２２と、第２の撮像部としての正面カメラ２４と、第３の撮像部としての上方カメラ２６と、非接触変位計としてのレーザ変位計２８と、擬似メディア３０と、駆動モータ３２と、ホルダ３４と、ローダ３６と、操作ボックス３８とを備える。
【００２２】
筐体１０内部に制御部１２と測定器１８と画像処理部２０とが収容され、筐体１０上方はワークスペースとなっている。制御部１２は特性検査装置１００全体の動作を統括して制御するものであり、データ処理部１４及び記憶部１６の機能は制御部１２に含まれる。
【００２３】
ローダ３６はＨＧＡ１を順次ホルダ３４に供給し、ホルダ３４がＨＧＡ１を保持する。なお、ＨＧＡ１の形状については図４を参照して後述する。ホルダ３４は、ボイスコイルモータ（不図示）を内蔵し、ＨＧＡ１を図２のα方向に回転可能である。これは書込み又は読出しトラックを移動するためである。ホルダ３４はさらに、図示しないスライダによってＨＧＡ１長手方向（図１及び２のｘ方向）に直線移動可能である。つまり、ホルダ３４はＨＧＡ１を回転可能かつＨＧＡ１長手方向に直線移動可能に保持する。
【００２４】
擬似メディア３０は、ＨＧＡ１の特性検査用の磁気ディスクであり、ハードディスクと実質的に同じものである。駆動モータ３２は、筐体１０上面に固定され、擬似メディア３０を支持するとともに擬似メディア３０を回転駆動する。
【００２５】
特性検査装置１００が検査対象とするＨＧＡ１は、浮上型磁気ヘッドとして薄膜磁気ヘッドを用いたものであり、図４に示されるように、ロードビーム３及びフレキシャ５を有するサスペンション７（ジンバル）に浮上型磁気ヘッドスライダ２を搭載している。ロードビーム３は、金属製の板バネからなり、先端部にはフレキシャ５側に突出したディンプル１１が形成されている。ロードビーム３及びフレキシャ５は、先端部を除いて例えば溶接されて一体化され、サスペンション７を成す。サスペンション７を上下方向に貫通するように、第１の基準マークとしてのビューホール７ａ及び第２の基準マークとしてのツーリングホール７ｂが形成されている。フレキシャ５は、本体部５ａと、長方形状のタング５ｂとを有する。タング５ｂは、本体部５ａ先端側の辺のみが本体部５ａに接続され、その他の辺は切断されている。タング５ｂ背面はディンプル１１によって付勢（押圧）され、タング５ｂはロードビーム３と略平行となる。浮上型磁気ヘッドスライダ２は、タング５ｂ上に固定され、タング５ｂを介してディンプル１１に付勢されて実際の書込み及び読出しにおいて最適な姿勢が保たれる。
【００２６】
図１及び２に示されるように、第１の撮像部としての側面カメラ２２は、ＨＧＡ１の側方（図中ｙ方向）に配置され、ＨＧＡ１の磁気ヘッドスライダ２の側面を撮像する。第２の撮像部としての正面カメラ２４は、ＨＧＡ１の前方（図中ｘ方向）に配置され、ＨＧＡ１の磁気ヘッドスライダ２正面を撮像する。また、図１及び３に示されるように、第３の撮像部としての上方カメラ２６は、ＨＧＡ１の上方に配置され、ＨＧＡ１を上方から撮像する。
【００２７】
画像処理部２０は、後述のように側面カメラ２２、正面カメラ２４及び上方カメラ２６によって撮像された画像を処理する。レーザ変位計２８は、ＨＧＡ１の側方に配置され、ＨＧＡ１の浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面の変位を測定する。測定器１８は、ＨＧＡ１の擬似メディア３０に対する書込み及び読出しの実行結果からＨＧＡ１の特性（例えば記録再生特性）を評価する。その評価方法は公知のものでよい。記憶部１６は、画像処理部２０における処理結果、レーザ変位計２８における変位測定結果及び測定器１８における特性評価結果を記憶する。データ処理部１４は、記憶部１６の記憶データを処理する。操作ボックス３８は、使用者が特性検査装置１００を操作する際に用いられる。
【００２８】
以下、浮上型磁気ヘッドスライダ２の位置誤差の導出について説明する。本実施の形態では、浮上型磁気ヘッドスライダ２の目標搭載点はディンプル１１中心とする。
【００２９】
画像処理部２０は、側面カメラ２２及び正面カメラ２４によって撮像された画像を基に、浮上型磁気ヘッドスライダ２のｘｙ座標（２次元座標）を特定する。より詳しくは、画像処理部２０は、側面カメラ２２によって撮像された画像を基に浮上型磁気ヘッドスライダ２のｘ方向位置を画像処理によって特定し、正面カメラ２４によって撮像された画像を基に浮上型磁気ヘッドスライダ２のｙ方向位置を画像処理によって特定する。なお、浮上型磁気ヘッドスライダ２の位置とは浮上型磁気ヘッドスライダ２における基準点の位置を意味し、この基準点は、例えば外形中心（又は浮上型磁気ヘッドスライダ２に形成されたパターンの中心）であってもよい。いずれにしても、浮上型磁気ヘッドスライダ２の基準点は画像処理によって特定可能なものである。
【００３０】
画像処理部２０はさらに、上方カメラ２６によって撮像された画像を基に、第１及び第２の基準マークとしてのビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのｘｙ座標（２次元座標）を画像処理によって特定する。ここで、ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのｘｙ座標は、例えば外形中心あるいは重心とする。画像処理部２０は、特定したビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのｘｙ座標を基に、それらと所定位置関係にあるディンプル１１中心（目標搭載点）のｘｙ座標（２次元座標）を画像処理によって特定する。そして、ディンプル１１中心のｘｙ座標に対する先に特定した浮上型磁気ヘッドスライダ２のｘｙ座標の位置誤差を求める。
【００３１】
図５は、図４に示されるビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのｘｙ座標とディンプル１１中心のｘｙ座標との関係を示す説明図である。本図において、ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線がｘ軸として定義される。例えばビューホール７ａを原点（０，０）としてツーリングホール７ｂの座標が（Ｘ１，０）であるとき、ディンプル１１中心（目標搭載点）の座標は（Ｘｔｈ，０）と一義的に定められる。特定された浮上型磁気ヘッドスライダ２のｘｙ座標が（ＸＳ，ＹＳ）であるとき、その位置誤差は、（ΔＸ，ΔＹ）＝（ＸＳ−Ｘｔｈ，ＹＳ）と求められる。
【００３２】
続いて、浮上型磁気ヘッドスライダ２の角度誤差の導出について説明する。本実施の形態では、浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面がビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線（図５のｘ軸）と平行になった状態を角度誤差０とする。角度誤差導出には下記の手順を踏む。
手順１：図１のホルダ３４によるＨＧＡ１の直線移動方向に対するビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線の角度（以下「第１の角度」）を特定する。
手順２：ＨＧＡ１の前記直線移動方向に対する浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面の角度（以下「第２の角度」）を特定する。
手順３：手順１及び２で特定された第１及び第２の角度を基に、ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線に対する浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面の角度（すなわち角度誤差）を求める。
なお、ホルダ３４はＨＧＡ１をＨＧＡ１長手方向に直線移動するが、この直線移動方向は多くの場合ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線の方向と厳密には一致しない。以下、各手順について詳細に説明する。
【００３３】
（手順１）
図６は上述の第１の角度の説明図である。図１の画像処理部２０は、ホルダ３４によってＨＧＡ１がＨＧＡ１長手方向に直線移動される前後にそれぞれ上方カメラ２６によって撮像された２枚の画像を基に、ＨＧＡ１の直線移動方向と、ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂを結ぶ直線（図５のｘ軸）とが成す角度（第１の角度、図６のθＸ）を特定する。ここで、ＨＧＡ１の直線移動方向は、ＨＧＡ１の直線移動前後におけるＨＧＡ１の所定点（例えばビューホール７ａ）の移動方向という形で特定される。なお、図６では理解を助けるためにθＸを実際の角度より大きくとってある（図７中の拡大図と図８についても同様）。
【００３４】
（手順２）
図７は上述の第２の角度の説明図である。ΔＸＳは、レーザ変位計２８による２回の変位測定間におけるホルダ３４によるＨＧＡ１の直線移動距離（図中、ＨＧＡの直線移動（２）の距離）である。なお、これに先だって、ＨＧＡ１はホルダ３４によってレーザ変位計２８による変位測定が可能となる位置まで移動されている（図中、ＨＧＡの直線移動（１））。図１のデータ処理部１４は、ホルダ３４によってＨＧＡ１がＨＧＡ１長手方向に直線移動される前後それぞれにレーザ変位計２８によって測定された浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面の変位（図７のＹＳ１及びＹＳ２）と、ＨＧＡ１の直線移動距離（同図のΔＸＳ）とを基に、浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面とＨＧＡ１の直線移動方向とが成す角度（第２の角度、図７のθＳ）を特定する。このとき、ｔａｎθＳ＝ΔＹＳ／ΔＸＳの関係が利用される（但し、ΔＹＳ＝ＹＳ１−ＹＳ２）。
【００３５】
（手順３）
図８は、図４の浮上型磁気ヘッドスライダ２の角度誤差の説明図である。図１のデータ処理部１４は、手順１及び２で特定された第１及び第２の角度（θＸ及びθＳ）を基に角度誤差を求め、この角度誤差を記憶部１６に記憶する。角度誤差は、図８に示すように、Δθ＝θＸ＋θＳである。
【００３６】
以下、特性検査装置１００の動作を説明する。
【００３７】
検査対象となるＨＧＡ１は、ローダ３６からホルダ３４に供給される。ホルダ３４はＨＧＡ１を保持し、この状態で側面カメラ２２、正面カメラ２４及び上方カメラ２６による撮像が行われる。画像処理部２０は、撮像された画像を基に浮上型磁気ヘッドスライダ２の位置誤差を求め、この位置誤差を記憶部１６に記憶する。
【００３８】
ホルダ３４はＨＧＡ１をＨＧＡ１長手方向に所定距離だけ直線移動させ、この状態で上方カメラ２６による撮像が再度行われる。画像処理部２０は、上方カメラ２６によって撮像された２枚の画像（直線移動前後のＨＧＡ１の画像）を基に、上述の第１の角度（図６のθＸ）を特定する。
【００３９】
ホルダ３４はＨＧＡ１をＨＧＡ１長手方向に、レーザ変位計２８による浮上型磁気ヘッドスライダ２の側面の変位測定が可能となる位置まで直線移動させる。この状態でレーザ変位計２８による変位測定が行われる。ホルダ３４はＨＧＡ１をさらにＨＧＡ１長手方向に、レーザ変位計２８による変位測定が可能な範囲内で所定距離（例えば図７のΔＸＳ）だけ直線移動させる。この状態でレーザ変位計２８による変位測定が再度行われる。データ処理部１４は、レーザ変位計２８による２回（ＨＧＡ１の直線移動前後の１回ずつ）の変位測定結果と、その２回の間のＨＧＡ１の直線移動距離とを基に、上述の第２の角度（図７のθＳ）を特定する。データ処理部１４はさらに、第１及び第２の角度を基に浮上型磁気ヘッドスライダ２の角度誤差（図８のΔθ）を求め、この角度誤差を記憶部１６に記憶する。
【００４０】
ホルダ３４はＨＧＡ１を元の位置（位置誤差を求めた位置）に戻す。この状態で、ＨＧＡ１の特性検査が行われる。すなわち、駆動モータ３２は擬似メディア３０を回転駆動し、ＨＧＡ１は擬似メディア３０に対してテスト用データの書込み及び読出しを実行する。この実行結果から、測定器１８はＨＧＡ１の特性（動特性）を評価し、評価結果を記憶部１６に記憶する。以上の動作が複数のＨＧＡについて行われる。
【００４１】
所定数のＨＧＡについて位置誤差及び角度誤差の導出と特性評価とが終了した後、データ処理部１４は、位置誤差及び角度誤差と、特性評価結果との相関を導出する。相関の導出結果を図９に例示する。本図において、縦軸は動特性の良否に関し、上に行くほど動特性が良いことを示す。横軸は位置誤差と角度誤差を総合的に考慮した誤差に関し、原点では誤差が０であり、原点から左右に離れるほど誤差が大きいことを示す。
【００４２】
本実施の形態によれば、下記の通りの効果を奏することができる。
【００４３】
(1) ＨＧＡ１の特性を検査するとともにＨＧＡ１における浮上型磁気ヘッドスライダ２の位置誤差及び角度誤差を求めることができるため、その位置誤差及び角度誤差とＨＧＡ１の特性との関係を見いだすことが可能となる。
【００４４】
(2) 非接触変位計として高精度のレーザ変位計２８を用いているので、レーザ変位計２８の測定結果を基にデータ処理部１４によって浮上型磁気ヘッドスライダ２の角度誤差が精度よく求められる。
【００４５】
(3) ある程度の数のＨＧＡ１について位置誤差及び角度誤差の導出と特性評価とを行い、データ処理部１４によって位置誤差及び角度誤差と特性評価結果との相関を導出することで、位置誤差及び角度誤差とＨＧＡの特性との関係を一般化することが可能になることも期待される。
【００４６】
以上、実施の形態を例に本考案を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００４７】
実施の形態ではディンプル１１中心（浮上型磁気ヘッドスライダ２の目標搭載点）をビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのｘｙ座標を基に特定した。変形例では、上方カメラ２６によって撮像された画像からディンプル１１中心（凹部中心）を画像処理部２０により直接特定してもよい。特定の方法には上記特許文献４（本出願人提案）に記載の技術を用いることができる。この場合、ビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのいずれかは不要となる。角度誤差の基準は、ディンプル１１中心とビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂのいずれかを結ぶ線とする。本変形例も実施の形態と同様の効果を奏する。
【００４８】
実施の形態では第１及び第２の基準マークをビューホール７ａ及びツーリングホール７ｂ（いずれも貫通孔）としたが、変形例では貫通孔に替えて突起としてもよい。要するに、基準マークは、それを撮像した画像から画像処理によって位置が特定可能なものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本考案の実施の形態に係るＨＧＡの特性検査装置の概略斜視図である。
【図２】図１に示される特性検査装置の要部平面図である。
【図３】図１に示される特性検査装置の要部側面図である。
【図４】実施の形態において特性検査の対象となるＨＧＡの形状説明図である。
【図５】図４に示されるビューホール及びツーリングホールのｘｙ座標と、ディンプル中心のｘｙ座標との関係を示す説明図である。
【図６】図４のビューホール及びツーリングホールを結ぶ直線と、図１のホルダによるＨＧＡの直線移動方向とが成す角度（第１の角度）の説明図である。
【図７】図４の浮上型磁気ヘッドスライダの側面と、図１のホルダによるＨＧＡの直線移動方向とが成す角度（第２の角度）の説明図である。
【図８】図４の浮上型磁気ヘッドスライダの角度誤差の説明図である。
【図９】浮上型磁気ヘッドスライダの位置誤差及び角度誤差と、ＨＧＡの特性評価結果との例示的な相関図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ＨＧＡ
３  ロードビーム
５  フレキシャ
７  サスペンション
１０  筐体
１２  制御部
１４  データ処理部
１６  記憶部
１８  測定器
２０  画像処理部
２２  側面カメラ
２４  正面カメラ
２６  上方カメラ
２８  レーザ変位計
３０  擬似メディア
３２  駆動モータ
３４  ホルダ
３６  ローダ
３８  操作ボックス
１００  特性検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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