【事件の表示】
　特許第２９４９７３２号「透過気化膜モジュールを用いた脱気方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９４９７３２号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  本件特許第２９４９７３２号の請求項１ないし２に係る発明についての出願は、平成１年９月２６日に特許出願されたものであって、平成１１年７月９日にその発明について特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、三菱レイヨン株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内に平成１２年７月２５日付けで訂正請求書が提出されたものである。
２．訂正の適否
２−１．訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａのとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項a　  
　明細書中の「、または多孔質膜」（本件特許公報第３頁第６欄第４６、４７行）を削除する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、透過気化膜を、多孔質膜を削除することによって残された「非多孔層を有する非対称膜、非多孔質膜」に限定したものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正に該当する。上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
２−３．まとめ
　したがって、上記訂正は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立ての理由の概要
  特許異議申立人は、証拠方法として甲第１号証（特開昭５５−１８１６号公報）、甲第２号証（ＲＥＳＥＡＲＣＨ　ＡＮＤ　ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ　，ＪＯＵＲＮＡＬ　ＡＷＷＡ，第１６２〜１６７頁　ＡＰＲＩＬ　１９８９）、甲第３号証（特開昭６３−１５８１０７号公報）を提出し、請求項１に係る発明は甲第１号証に記載された発明であるか、または請求項１ないし２に係る発明は甲第１〜３号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に、また請求項１ないし２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反したものであり取り消されるべきものである旨主張している。
３−１．本件発明
  上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件請求項１に係る発明（以下、本件発明１という）は、上記訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】処理すべき液体を隔膜の一方の側に導入し、他方の側の気相を減圧することにより、前記液体中に含有される気体ないし揮発性物質を気相側へ除去する透過気化膜モジュールを用いる脱気方法において、透過気化膜モジュールの減圧側に、空気を搬送ガスとする搬送ガス導入手段が設けられた透過気化膜モジュールを用いることを特徴とする、脱気方法。
【請求項２】揮発性物質が、トリハロメタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレンおよびトリクロロエタンより成るから選ばれる少なくとも１種である、請求項１に記載された脱気方法。」
３−２．甲号各証の記載内容
　甲第１号証：
（ａ）「ポリエチレン、ポリプロピレン又はポリ弗化ビニリデンより成り、周壁部が互いにつながった微細空孔を有する多孔質で構成されている中空糸の中空内部を液体流路となし、該多孔質中空糸壁を隔膜として中空糸外部を気体流路となして中空糸の多孔質壁を介して気液を接触せしめる如くなした気液接触装置。」（請求項１）
（ｂ）「かゝる方法によって製造された多孔質中空糸は中空糸壁膜に平均孔径が５０〜５０００Åの多数の連続した微細孔を有し、その壁膜は極めて優れた気体透過性を有する。」（第２頁左下欄第１〜４行）
（ｃ）「本発明の装置を用いることにより、中空糸外部から内部の液体中に気体を供給することができる。また中空糸内部の液体中に含まれる気体を外部へ放出することも出来る。更に気体の供給及び放出を同時に行うこともできる。本発明に適応される気体及び液体は特に限定される訳ではなく、目的によって種々の組合せで使用可能であるが、例えば気体としては空気、・・・等が挙げられる。又、液体としては・・・特に水、・・・が好ましい。」（第３頁左上欄第８行〜右上欄第７行）
（ｄ）「又、液体中含まれる気体成分の放出のみを目的とする場合には気体導入口１は放出気体のキャリヤーガス導入口として使用する以外は不要であり閉鎖が計られるか、もしくは気体排出口として使用に供せられる。これらの際、気体排出口２は常圧下の装置外雰囲気に連結されても良く又積極的に気体成分の放出をうながす目的で減圧下に操作される装置外雰囲気に連結し液体流路側に対して気体流路側の圧力を積極的に負圧として使用に供しても良い。」（第４頁左上欄第４〜１３行）
　甲第２号証：
（ｅ）「水から揮発性有機汚染物質を分離するための微多孔質中空糸膜の使用」（第１６２頁表題）
（ｆ）「膜は約２５μｍの厚さであり、表面の４０％に０．０２〜０．０４μｍの孔を有する。これらの孔は、膜が疎水性のために水に面した時に濡れない。結果として、膜の空気が充満した孔は気体と揮発性有機汚染物質を水から空気へ移動させる。」（第１６２頁下段中欄第１〜１０行）
（ｇ）第１６３頁の図１には、ＶＯＣ脱離速度測定用実験装置が図示され、該装置には空気入口（Ａｉｒ　ｉｎ）から空気を導入し、中空糸モジュール（Ｈｏｌｌｏｗ−ｆｉｂｅｒ　ｍｏｄｕｌｅ）の中空糸外部を流し、空気出口（Ａｉｒ　ｏｕｔ）から排出して、中空糸内部を流れる水中のＶＯＣｓを気相側へ除去することが図示されている。
（ｈ）第１６４頁のＴＡＢＬＥ２には２０℃のＶＯＣｓの拡散定数とヘンリー定数が記載されており、ＶＯＣｓ（揮発性有機汚染物質）として、１，１，２トリクロロエタン、クロロホルム、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、カーボンテトラクロライドが記載されている。
甲第３号証：
（ｉ）「疎水性の材質の薄膜から成るチューブの内側を真空にし、かつ不活性ガスを流し、該チューブの外側の水又は水溶液に溶存するガス成分を該チューブの薄膜を通ってその内側に侵入させるようにしたことを特徴とする脱気方法。」（請求項１）
（ｊ）「チューブ内は真空で不活性ガスが流れているので、侵入した酸素は直ちに不活性ガスによって外部へと運び去られ、常にチューブ内外の酸素の濃度差を大きくして脱気効率を高くすることができる。」（第１頁右欄第１６〜２０行）
（ｋ）「チューブ（４）は例えば、ポリプロピレンで成り、例えば０．０５μｍφポアサイズの小孔を多数有している。」（第２頁左上欄第１４、１５行）
（ｌ）第２頁右上欄表には、原水の溶存酸素が７ｐｐｍであり、処理水（不活性ガス流す）の溶存酸素が２．５ｐｐｍであることが記載されている。
３−３．対比・判断
（１）請求項１に係る発明について
　本件請求項１に係る発明（以下、本件発明１という）は、「透過気化」による脱気方法の技術課題すなわち「透過気化により上水を浄化する場合、揮発性溶存物質の残存濃度を０．１ｐｐｍ以下とし、また透過気化により水から酸素を除去する場合、処理量を著しく小さくせずに溶存酸素濃度を０．５ｐｐｍ以下とする。」といった課題を解決するものであって、
その解決手段は「透過気化膜モジュールを用いる脱気方法」において、「透過気化膜モジュールの減圧側に、空気を搬送ガスとする搬送ガス導入手段が設けられた透過気化膜モジュールを用いる」というものである。
　これに対し、甲第１号証ないし甲第３号証のいずれにも、「透過気化による脱気方法」の上記技術課題及びその解決手段については何ら示唆する記載もない。
　すなわち、甲第１号証では、「平均孔径が５０〜５０００Åの多数の連続した微細孔を有する中空糸」を使用し、しかも脱気に当たって、脱気すべき物質を膜に溶解させておらず、微細孔を脱気に使用しているから、この脱気方法では「透過気化」は行われておらず、使用された膜モジュールも「透過気化膜モジュール」ではない。
　したがって、甲第１号証には、「透過気化による脱気方法」の上記技術課題及びその解決手段については記載も示唆もされていない。
　次に、甲第２、３号証を検討すると、これら各号証の脱気方法で使用されている「膜」はそれぞれ甲第２号証では「０．０２〜０．０４μｍの孔」、甲第３号証では「０．０５μｍの小孔」を有する「膜」であるから、これら各号証の脱気方法では「透過気化」は行われておらず、使用された膜モジュールも「透過気化膜モジュール」ではない。
  なお、特許異議申立人が回答書で提出した参考資料１には、脱気方法において「透過気化膜モジュール」を使用することは記載も示唆もされておらず、参考資料２は本件出願後に頒布された文献である。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明とすることはできないし、脱気方法において透過気化膜モジュールを使用することの証拠が提出されていない以上、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（２）請求項２に係る発明について
　本件請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を引用しさらに限定したものであるから、上記（１）と同じ理由で、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることはできない。
４．むすび
  以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１ないし２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
  また、他に本件請求項１ないし２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月３０日（２０００．１１．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２９４９７３２号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、
（１）訂正事項ａ
　明細書中の「、または多孔質膜」（本件特許公報第３頁第６欄第４６、４７行）を削除する。
（５４）【発明の名称】
透過気化膜モジュールを用いた脱気方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】処理すべき液体を隔膜の一方の側に導入し、他方の側の気相を減圧することにより、前記液体中に含有される気体ないし揮発性物質を気相側へ除去する透過気化膜モジュールを用いる脱気方法において、透過気化膜モジュールの減圧側に、空気を搬送ガスとする搬送ガス導入手段が設けられた透過気化膜モジュールを用いることを特徴とする、脱気方法。
　　【請求項２】揮発性物質が、トリハロメタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレンおよびトリクロロエタンより成る群から選ばれる少なくとも１種である、請求項１に記載された脱気方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　〔産業上の利用分野〕
　本発明は新規にして有用なる透過気化膜モジュールを用いた脱気方法に関する。さらに詳細には、本発明は搬送ガス導入手段という新たな手段を設けて成る、改良された透過気化膜モジュール（以下、膜モジュールまたはモジュールとも言う。）を用いることから成る、改良された脱気方法に関する。
　そして、本発明は改良された透過気化式脱気装置ならびに透過気化方式による脱気方法を提供するものであり、つまり、液体中に含有される気体、悪臭物質または揮発性物質などの、除去すべき対象（除去対象物質）を効率よく除去せしめるという、改良された透過気化膜モジュールを用いた脱気方法を提供するものである。
　【０００２】
〔従来の技術〕
　ところで、これまでの処、選択性透過牒を隔膜として、こめ隔膜の一方の側に被処理液体を導入し、該膜の他方の側を減圧することにより、液体中に溶存する気体や揮発性物質などを除去せしめるという、いわゆる透過気化（パーべーバレーション）方式による隔膜脱気が知られている。
　こうした技術的現況下において、たとえば、上水の浄化、すなわち、水中に含まれる悪臭物質や、低沸点ハロゲン化合物などの揮発性有害物質の除去に当たっては、処理水中の残存量が極めて微量であることが要求される。
　因みに、黴臭の原因物質とされる２−メチルイソボルネオールは、１０ｐｐｔ（ｐｐｔ＝１０−１２）で臭気を感じるとされ、したがって、それ以下のオーダーにまで除去することが求められることになる。
　【０００３】
　ところが、これまでの隔膜脱気においては、溶存物質が気体であっても、その完全除去は困難な技術であり、除去対象物質が常温で液体であるような、蒸気圧の低い物質の場合には、特に困難であった。すなわち、透過気化により液体から揮発性溶存物質を除去するに当たって、常温で液体であるような物質の残存濃度を０．１ｐｐｍ　以下にまで除去する方法は知られていなかった。
　また、水から酸素を除去する用途において、真空ポンプとして、水封式真空ポンプを用いた場合には、減圧度上の制約のために、常温下で、たとえば、溶存酸素濃度を０．５ｐｐｍ以下という低残存量にしようとすると、処理流量が著しく小さくなるという欠点があった。
　【０００４】
〔発明が解決しようとする課題〕
　しかるに、本発明者らは上述した如き従来技術における種々の問題点ないしは諸々の欠点の存在に鑑みて、それらの問題点の解決を図かり、諸欠点の解消を目的として、鋭意、研究に着手した。
　したがって、本発明が解決しようとする課題は、一にかかって、透過気化による効果的な上水の浄化方法、すなわち、上水に含まれるトリハロメタンやトリクロロエチレンなどの揮発性有害物質を、はぼ完全に除去せしめる方法、および、黴臭などの悪臭を感覚の閾値以下にまで除去せしめる方法、さらには、水から酸素を除去せしめる場合において、残存酸素濃度を低く保ちながら、処理量を増大化せしめる方法を提供することである。
　つまり、本発明が解決しようとする課題は、一口で言えば、改良された透過気化方式による脱気方法を提供することである．
　【０００５】
〔課顆を解決するための手投〕
　そこで、本発明者らは上述した如き発明が解決しようとする課題に照準を合わせて、鋭意、検討を重ねた結果、搬送ガス導入手投という新たな手段を設けて成る、改良された透過気化膜モジュールを用いることから成る、改良された脱気方法を見い出すに及んで、本発明を完成させるに到った。
　すなわち、本発明は一面においては、搬送ガス導入手段を設けて成る透過気化膜モジュール、すなわち、液体を隔膜の一方の側に導入し、もう一方の側の気相を減圧せしめることにより、該液体中に含有される気体ないしは揮発性物質を、上記気相側へ除去せしめる透過気化膜モジュールにおいて、膜モジュールの減圧側に、搬送ガス導入手段を設けるようにした透過気化膜モジュールを提供するものである。そして本発明は、搬送ガス導入手段が設けられて成る透過気化膜モジュールを用いた脱気方法、すなわち、液体を隔膜の一方の側に導入し、もう一方の側の気相を減圧せしめることにより、該液体中に含有される気体ないしは揮発性物質を上記気相側へ除去せしめることからなる透過気化方式による脱気方法において、膜モジュールの減圧側（気相側）に空気を搬送ガスとする搬送ガス導入手段を設け、除去効果を増大せしめるようにした脱気方法を提供しようとするものである。
　【０００６】
　ここにおいて、まず、本発明の透過気化膜モジュール、つまり、脱気用膜モジュールは、隔膜の一方の側に被処理液体を導入すると共に、隔膜のもう一方の側を、真空ホンプなどの慣用の減圧手段によって減圧せしめ、隔膜の減圧側に、空気を搬送ガスとする搬送ガス手段により、微量の搬送ガスを導入せしめるようにしたものである。
　【０００７】
　当該搬送ガス導入手段として特に代表的なものには、エアブリーダーなどがあるが、かかるエアブリーダーの要点としては、モジュール外部よりモジュールの減圧部へ向けて、空気やその他のガス類を導入させる機能をもった、微小な通気孔を備えたものと理解されたい。
　こうした微小な通気孔を備えたエアブリーダーとしては、オリフイス、バルブ、またはガス流量調節装置などの機構を有するものであってよい。
　就中、ニードルバルブなる機構のものが、安価でもあり、取扱いも簡便であり、しかも、流量の調節が可能であるという点などから、望ましい。
　【０００８】
　また、当該搬送ガス導入手段としては、気体ポンプを備えた定量ガス供給装置などが用いられてもよい。
　導入すべさ搬送ガスは、基本的には空気を用いるが、除去対象物質が特定の揮発性物質の場合には所望により空気以外のものも有効に利用でき、特に代表的なもののみを例示するに留めれば、窒素、炭酸ガスまたは不活性ガスなどであり、目的に応じて、適宜、選択されうるが、上水の浄化を目的とする場合には、簡便であるという点で、空気を使用するという本発明の構成が、その簡便さの故に極めて効果的である。
　【０００９】
　そして、エアブリーダー入口には、塵挨や油分などを除去するろ過フィルターを設けることも望ましい。
　以下においても、特に断りのない限りは、当該搬送ガス導入手投をエアブリーダーで代表させて述べるものとする。
　かかるエアブリーダーを設ける位置としては、このエアブリーダーから導入されたガスの流線が隔膜と接しさえずればよい処から、膜モジュールの任意の部位であってもよいが、減圧手段（図示されず。）の接続口から最も遠い位置に設けられ、このエアブリーダーから導入されたガスの体積流で、隔膜を透過した揮発性物質を運び去るような位置に設けられるのが、最も効率がよく、望ましい。
　【００１０】
　因みに、本発明の透過気化膜モジュールの好ましい一実施態様を示す、たとえば、外部灌流型の膜モジュールを図示している第２図のような、隔膜が中空糸型の膜モジュールであって、その中空糸１の内側が気相である場合には、気体排出口８に面する中空糸端とは反対側の中空糸端にガス導入される形の構造となることが望ましい。
　【００１１】
　他方、本発明透過気化膜モジュールの、もう一つの好ましい実施態様を示す、たとえば、内部濯流型の膜モジュールを図示している第１図のような、隔膜が中空糸型の膜モジュールであって、その中空糸１の外側が気相である場合には、この中空糸１とガスとの接触効率を上げるために、中空糸それ自体を編組体の形で封止せしめたり、あるいは、モジュールに邪庵板の如き類の流路変更手段などの、エアブリーダーから導入されたガスが、隔膜を透過した揮発性物質を効率よく運び去るような、格別の構造をもたせることもできる。
　【００１２】
　本発明にあっては、気体の流量調節機構をモジュールと一体化させた形での搬送ガス導入手段を用いることもできるし、あるいは、この気体流量調節機構とモジュールとを、全く、別々に設けた形での搬送ガス導入手段を用いることもでき、かくして、当該搬送ガス導入手段をモジュールの気相側に接続せしめることによってガスを導入せしめることもできる．
　【００１３】
　エアブリーダーから導入されるガスの量は、減圧手投の種類、減圧度および排気量、モジュール減圧側の圧力損失、ならびに、除去すべき揮発性物質の種類、蒸気圧、膜透過性および透過量などにより、それぞれ、異なるもめではあるが、本発明においては、排気口８で測定されるエアブリーダーを全く設けない場合の真空度よりも０．０１〜５０Ｔｏｒｒ高くなるように設定された流量である。
　かかる範囲以外の導入ガス量では、除去効果が抵下したり、または大容量の減圧手投が必要になってくる。
　【００１４】
　最適なガス導入量は、ガス導入量を、適宜、変化させて、処理水中の残存ガス量もしくは残存低揮発性物質量を測定するという、簡単な実験を行なうことによって決定することができる。
　エアブリーダーに供給されるガスの圧力は、特に限定されない。
　また、本発明におけるモジュールの気相例の真空度は、透過気化法で、通常、用いられる程度のものでよく、たとえば、排出口８において、０．０１〜２０Ｔｏｒｒ程度の真空度を採用することができる。
　【００１５】
　本発明は、液体から揮発性物質を除去する系全般に適用できるが、特に、請求項２に記載の発明の如くを目的とする揮発性物質が、沸点が３５〜２５０℃であるような蒸気圧の低い物質である場合に効果を発揮する。たとえば、トリハロメタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、ジクロロエタンもしくはトリクロロエタンの如きハロゲン化合物；トルエンもしくはベンゼンまたはガソリンの如き炭化水素；メタノール、エタノールもしくはアセトンなどの水溶性有機溶剤；あるいはフレオンの如き含フッ素化合物などをはじめとする各種の有機溶剤
や２−メチルイソボルネオールまたはジオスミンなどの各種の悪臭物質などである。また同定されていなくとも、上水に含有される揮発性悪臭物質や揮発性有害物質なども包含される。
　【００１６】
　本発明はまた、特に、液体から揮発性物質を高度に脱気する用途に効果を発揮する．たとえば、飲用や食用に供される上水から、悪臭物質やトリハロメタンなどの有害物質を除去する用途に効果を発揮する。本発明によれば、水に含まれるクロロホルムやトリクロロエチレンなどの低沸点ハロゲン化合物を０．１ｐｐｍ　以下まで除去することが可能であるし、また、２−メチルイソボルネオールのような高沸点化合物を臭気の検知限界（１０ｐｐｔと言われる。）以下にまで除去することが可能である。
　【００１７】
　本発明が適用できる液体についても特に制限はない。すなわち、対象の液体に適する隔膜を選択することで、本発明を適用できるということである。しかしながら、液体が水である場合が特に有用である．たとえば、上水、中水、洗浄用水または廃水などである。
　本発明はさらに、水の脱酸素にも効果を発揮する。
　とくに、搬送ガスとして空気を導入することにより、それぞれ、一定処理量ならば残存酸素濃度を低下させることが可能となるし、一定残存酸素濃度ならば処理流量を増大させることが可能となる。
　【００１８】
　このさいの処理量の増大の程度は、膜モジュールの滅圧側の真空度が５〜２００Ｔｏｒｒと抵真空であって、しかも、残存酸素濃度が斯かる真空度における平衡植（処理流量を無限小に外挿させたときの残存酸素濃度の収束値）の４倍以下と低い場合に、特に大きく、本発明の効果が最大限に発揮される。
　また、搬送ガスとして、窒素や不活性ガスなどではなくて、酸素を含有する、いわゆる空気を用いることによって、処理流量の増大化効果ないしは残存酸素濃度の低減化効果が上がることは、実に、驚くべきことである。
　【００１９】
　而して、本発明においては、隔膜の種類や構造などを何ら限定する必要もなく、目的とする系に適した隔膜でさえあれば、いかなるものでも採用することができるが、そのうちでも特に代表的なもののみを例示するに留めれば、非多孔層を有する非対称膜、非多孔均質膜などであり、さらには、平膜、中空糸膜、または管状膜などの任意のものが適用できる。
　減圧手段についても制約がなく、目的および用途に応じて、適宜、選択することができる。
　【００２０】
〔発明の効果〕
　本発明は、まず、液体に溶存する揮発性物質を極めて抵残存量の領域にまで除去せしめることを可能にしたものであり、とりわけ、上水中に含有される悪臭原因物質を検知限界以下にまで除去せしめることを可能にしたものであり、加えて、上水中に含有される低沸点ハロゲン化合物などの有害物質を０．１ｐｐｍ以下にまで除去せしめることをも可能にしたものである。
　このように、透過気化方式による脱気によって、常温で液体であるような低蒸気圧物質を０．１ｐｐｍ以下という低残留量にまで除去しうる方法は、これまでの処、全く知られていなかったものである。
　【００２１】
　本発明はまた、水の脱酸素にも適用しうるものであり、かかる本発明に従えば、低残留酸素濃度の処理水を、大きな処理量で、確実に得ることができる。
　しかも、こめ水の脱酸素に当たり、小型軽量で、かつ、保守が容易なる水封式真空ポンプを使用することができ、また、搬送ガスとしても、安価にして簡便なる空気を用いることができるというメリットがある。
　【００２２】
　本発明はさらに、上述した如き種々の効果を、極めて簡単な機構で実現化が図り得たものであり、したがって、特殊で大掛りな機構を何ら持ち込むことなしに、既存の透過気化装置を、その極く一部に限って、改造せしめるのみで、より一層の脱気効果の増大化が図れるというメリットをも有するものである。
　そして、本発明の透過気化膜モジュールおよび脱気方法は、たとえば、上水の脱臭ならびに浄化に有用なものである。
　【００２３】
〔実施例〕
　以下、本発明を実施別によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれにより限定されるものではない．
　【００２４】
実施例１
　ポリ４メチルペンチン１を素材として溶融成形法により製造した中空糸不均質膜は、外径が２５３μｍで、内径が１９９μｍであり、ＡＳＴＭ　Ｄ１４３４に準じて測定した気体透過速度は、酸素透過速度２・４×１０−５ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ２，Ｓｅｃ，ｃｍＨｇ　で、かつ、窒素透過速度が６．２×１０−６ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ２，Ｓｅｃ，ｃｍＨｇであった。この中空糸膜１００００本を平行な束状でモジュールハウジングに装填し、有効中空糸長５００ｍｍの、第１図に示されるような内部灌流型モジュールを作製した。モジュールハウジング２の中空糸１の内側につながる空間部には、液体の導入口４および液体の排出口５が、また、中空糸の外側につながる空間部には、ニードルバルブ６と気体導入口７からなるエアブリーダーと、真空ポンプを接続する排気口８とが設けられている。
　【００２５】
　このモジュールに、２−メチルイソボルネオールを添加した蒸留水、またはクロロホルムおよびトリクロロエチレンを添加した蒸留水を０．５ｍｌ／ｍｉｎで流し、排気口に排気量が５０　ｌ／ｍｉｎなる油回転真空ポンプを接続して減圧し、ニードルバルブにて空気導入量を調節した。このときの、原水中および排出される水中の揮発性物質の量をニードルバルブを全閉にした場合の比較例とともに第１表に示した。なお、表中の気相圧力は、排気口８にて測定した値である。
　【００２６】
比較例１
　ニードルバルブを全開にして全く空気を導入しないように変更した以外は、実施例１と全く同様の実験を行った。結果を第１表に示す。
　【００２７】
実施例２
　外経が２８２μｍで、内経が２１７μｍ、かつ、酸素透過速度が３．４×１０−４ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ２，Ｓｅｃ，ｃｍＨｇで、窒素透過速度が３．１×１０−４ｃｍ３（ＳＴＰ）／ｃｍ２，Ｓｅｃ，ｃｍＨｇであるように変更した以外は　実施例１と同じ中空糸膜を、３０デール１２フィラメントのポリエステル糸を用いて、絡み織り法にて中空糸密度が２５本／ｃｍなる簾状シートに加工した。この中空糸シートを、多数の穴が穿たれた直経１３ｍｍなる硬質ポリ塩化ビニル製パイプ９に巻き付け、内径１００ｍｍなる硬質ポリ塩化ビニル製のモジュールハウジング２に装填し、第２図に示されるような形状の、有効膜面積（中空糸外表面基準）が５．Ｏｍ２なる外部灌流型モジュールを製作した。
　【００２８】
　このモジュールに、２−メチルイソボルネオールを添加した蒸留水、またはクロロホルムおよびトリクロロエチレンを添加した蒸留水を２．０　ｌ／ｍｉｎで流し、排気口に排気量が４５０　ｌ／ｍｉｎなる水封式真空ポンプを接続して減圧し、ニードルバルブにて空気導入量を調節した。このときの、原水中および排出される水中の揮発性物質の量を、ニードルバルブを全開にした場合の比較例とともに第１表に示した。なお、表中の気相圧力は、排気口８にて判定した値である．
　【００２９】
比較例２
　ニードルバルブを全開にして全く空気を導入しないように変更した以外は、実施例２と全く同様の実験を行った。結果を第１表に示す。
実施例３
　実施例１と同じ中空糸膜を用いて、実施例１と同様の形状を持つ膜面積（内表面積）が１３ｍ２のモジュールを作製した。このモジュールに水道水を流し、排気口に排気量が４５０　ｌ／ｍｉｎなる水封式真空ポンプを接続して減圧し、ニードルバルブにて排気口８における圧力が２９ｔｏｒｒとなるように空気導入量を調節した。このとき、モジュールに導入される原水の溶存酸素濃度は８．５ｐｐｍであり、処理水の溶存酸素濃度は、水の流量が極低流量（０．１ｌ／ｍｉｎ）時に０．３３ｐｐｍであった。処理水の溶存酸素濃度は水の流量増加に伴って増加し、０．５ｐｐｍになる流量は７．４ｌ／ｍｉｎであった．
　【００３０】
　さらに、圧力が３８ｔｏｒｒとなるように空気導入量を調節した条件下では、処理水の溶存酸素濃度は、水の流量が０．１ｌ／ｍｉｎの時には０．３８ｐｐｍと、比較例３よりも、やや、悪化したものの、処理水の溶存酸素濃度が、０．５ｐｐｍになる流量は８．３ｌ／ｍｉｎに増加した。
　【００３１】
比較例３
　ニードルバルブを全開とするように変更した以外は、実施例３と同じ試験を行った。排気口８における圧力は２８ｔｏｒｒで、原水の溶存酸素濃度は８．５ｐｐｍで、水の流量が０．１　ｌ／ｍｉｎなる場合の処理における溶存酸素濃度は０．３５ｐｐｍであって、処理水の溶存酸素濃度が０．５ｐｐｍになる流量は７．０ｌ／ｍｉｎであった。
　【００３２】
【図面の簡単な説明】
　各図面は、本発明の好ましい実施態様を示すものであり、第１図は、実施例１で用いた膜モジュールの部分縦断面正面図であり、第２図は、実施例２で用いた膜モジュールめ縦断面正面図である．
　図中、１は中空糸、２はハウジング、３は樹脂封止部、４は液体導入口、５は液体排出口、６はニードルバルブ、７は気体導入口、８は排出口を、そして９は多孔パイプを指称するものである。
【図面】