【事件の表示】
　特許第２８７３２８７号「インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法」の請求項１乃至７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７３２８７号の請求項２乃至７に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］手続きの経緯
　本件特許第２８７３２８７号発明は、平成１０年３月２０日に特許出願され、平成１１年１月８日にその特許の設定登録がなされ、その後、関恵美子より請求項１乃至７に係る特許に対して特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年３月１０日に訂正請求がなされたものである。
［２］訂正の適否についての判断
１．訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除する訂正である。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を次に訂正するものである。
「【請求項２】圧電体からなるプレートと、前記プレート上に形成された溝と、前記溝内面に電極を有し
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
前記側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
であって、かつ
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の段落【００１３】を次に訂正するものである。
「【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、圧電体からなるプレートと、プレート上に形成された溝と、溝内面に電極を有し
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
あって、かつ
　その場合、ダミーチャネルは外部に連通するスリットを有し、インクチャネルにのみインクを供給する構成とすることもできる。また、トッププレートに、ダミーチャネルと外部とを連通させるスリットを形成するようにしても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルの長さが前記ダミーチャネルの長さより大きい構成としても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルが前記ノズル側で曲率を有するようにしても良い。その場合の曲率は、ノズル側に向かうほど先細りになるようにするのが好適である。
　本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、圧電体にインクチャネル及びダミーチャネルとして機能する溝を形成する工程と、溝内面に電極層を形成する工程と、電極層上にパッシベーション膜を形成する工程と、パッシベーション膜を形成した後にノズルプレート及びトッププレートを接合する工程と、トッププレートにスリットを形成する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、トッププレートにスリットを形成する際に、ダミーチャネルの底面にまで溝形成を行い電極層を分離することで個別電極を形成することを特徴とする。」（下線箇所が訂正に係る箇所である。）
２．訂正の目的、新規事項禁止、拡張変更禁止の各要件の判断
（１）訂正事項ａ
　本訂正は、請求項１を削除するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、上記各要件を満たすものである。
（２）訂正事項ｂ
　本訂正は、願書に添付した明細書に記載した事項（特に、段落【００１８】、【００２２】〜【００２７】参照。）の範囲内で、圧電体の分極方向と電界の印加方向とを限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、上記各要件を満たすものである。
（３）訂正事項ｃ
　本訂正は、訂正事項ａ，ｂに伴う訂正であり、上記各要件を満たすものである。
３．独立特許要件の判断と訂正の適否のまとめ
　以下に述べるように、訂正後の発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできないことから、上記訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
［３］異議申立についての判断
１．本件請求項２乃至７に係る発明
　本件請求項２乃至７に係る発明（請求項１は訂正により削除された。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項２乃至７に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項２】圧電体からなるプレートと、前記プレート上に形成された溝と、前記溝内面に電極を有し幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された圧電体の側壁で両側が仕切られ上側がトッププレートで覆われたチャネルと、前記チャネルに連通するノズルと、前記電極に前記側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に電界を印加することでインク滴を吐出させる電圧印加手段を含む制御系とを備え、前記側壁は前記チャネルの範囲内にあり隣接する前記チャネルの間で共有され、前記チャネルの１本おきにインクを充填したものをインクチャネル、他のチャネルをダミーチャネルとし、前記インクチャネルを構成する両側の前記側壁を変形させてインク滴を前記ノズルから吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、かつ、インクチャネルに形成された電極を共通電極とし、ダミーチャネルに形成されている個別電極上のパッシベーション膜上にインクを接触させないことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】前記ダミーチャネルは外部に連通するスリットを有し、前記インクチャネルにのみインクを供給する構成としたことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】前記トッププレートに、前記ダミーチャネルと外部とを連通させるスリットを形成したことを特徴とする請求項２又は３記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項５】前記インクチャネルの長さが前記ダミーチャネルの長さよりも大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
  【請求項６】前記インクチャネルがノズル側に向かって先細りとなるような曲率を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項７】前記インクチャネルがノズル側とその反対側とで互いに先細りとなるような曲率を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。」
２．異議申立ての証拠とその記載事項
　これに対し、異議申立人は、本件請求項１乃至７に係る発明（請求項１は訂正により削除された。）は特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない旨主張し、証拠として甲第１乃至４号証を提出している（当審が通知した取消理由は、申立人が提出した証拠と主張理由をそのまま採用したものである。）。
　甲第１乃至４号証とその記載事項は次のとおりである。
　甲第１号証：特開平９−３９２３３号公報
　「一端がインクノズルと連通し且つ他端が開放されたインクを噴射する噴射チャンネル及び前記噴射チャンネル内のインクにインク液滴を噴射するためのエネルギーを付与するエネルギー発生素子を備えた複数のインク噴射手段が互いに接着された構成を有し、前記噴射チャンネルの開放端に接合されたマニホールド部材により各噴射チャンネルにインクが供給されるインクジェットヘッドにおいて、前記インク噴射手段の各接着面の少なくとも一方の面に、前記噴射チャンネルの長手方向と交差する溝が２本以上形成されていることを特徴とするインクジェットへッド。」（請求項１）、隔壁３０６は矢印３０５方向（図面縦方向）に分極されて電界は矢印１１３ｂ、１１３ｃ方向（図面横方向）であること（段落【００１７】【００３８】【００４５】）、駆動電圧の印加は、まずインク室３０４ｂの容積を増加するように印加した後停止して該容積を自然状態に戻すことでインク滴を噴射するか、或いはまず該容積を減少する印加により噴射した後停止して該容積を自然状態に戻すことでインクを供給すること（段落【００４３】）、等が記載されている。
　甲第２号証：特開平７−１７８９０３号公報
　「インクが噴射される複数の噴射チャンネルと、前記噴射チャンネルの両側において、開口する溝形状に形成され、インクが噴射されない複数の非噴射領域と、前記噴射チャンネルと前記非噴射領域とを隔て、分極された圧電セラミックスで少なくとも一部が形成された隔壁と、前記隔壁の噴射チャンネル側の第一電極と、前記隔壁の前記非噴射領域側の第二電極と、前記非噴射領域の前記溝の底面及び前記溝の前記開口を介して各第二電極を電気的に接続する第三電極とを備えたことを特徴とするインク噴射装置。」（請求項１）、隔壁６，下部壁６０７，上部壁６０５は矢印５，６１１，６０９方向（図面縦方向）に分極されて電界は分極方向と直交する矢印１３，１３ｂ，１３ｃ方向（図面横方向）であること（段落【０００５】【００２０】【００２６】【００３４】【００４０】）、駆動電圧の印加は、まずインク室３ｂの容積を増加するように印加した後停止して該容積を自然状態に戻すことでインク滴を噴射するか、或いはまず該容積を減少する印加により噴射した後停止して該容積を自然状態に戻すことでインクを供給すること（段落【００２８】【００４２】）、等が記載されている。
  甲第３号証：特開平４−３４８９４９号公報
　「圧電トランスデューサを用いてインク流路の容積を変化させることにより該インク流路のインクを噴射する噴射装置を備えた液滴噴射装置において、前記圧電トランスデューサが前記インク流路の一部を構成し、かつ該インク流路に連続し前記インク流路の断面積よりも小さな断面積の溝を前記圧電トランスデューサのインク噴射側に有することを特徴とする液滴噴射装置。」（請求項１）、圧電セラミックス板１は矢印５１方向（図面縦方向）に分極されて電界は分極方向と直交する方向であること（段落【０００３】乃至【０００５】）、駆動電界をインク流路３１ｂの容積を減少するように印加してインク液滴を噴射した後印加を停止して該容積をもとに戻すことでインクを供給すること（段落【０００４】）、等が記載されている。
　甲第４号証：特開平６−１７１０９６号公報
　「電圧が印加されて変形する駆動部を含む圧電セラミックス部材と、その駆動部の変形によりインク滴が噴出されるノズルとを備えたインク噴射装置において、前記圧電セラミックス部材と前記ノズルとを射出成形法により一体に形成することを特徴とするインク噴射装置の製造方法。」（請求項１）、側壁１１は矢印５方向（図面縦方向）に分極されて電界は分極方向と直交する矢印１４ｂ，１４ｃ方向（図面横方向）であること（段落【０００４】【００１２】【００４４】【００４９】）、正の駆動電圧Ｖをインク流路１２ｂの容積を減少するように印加してインク液滴を噴射した後印加を停止して該容積をもとに戻すことでインクを供給すること（段落【００４９】）、等が記載されている。
３．対比・判断
　本件請求項２に係る発明と甲第１号証記載の発明とを対比するに、申立人が申立書で示した両者の対比は妥当なものと認められるため、両者は、“圧電体からなるプレートと、前記プレート上に形成された溝と、前記溝内面に電極を有し分極処理された圧電体の側壁で両側が仕切られ上側がトッププレートで覆われたチャネルと、前記チャネルに連通するノズルと、前記電極に電界を印加することでインク滴を吐出させる電圧印加手段を含む制御系とを備え、前記側壁は前記チャネルの範囲内にあり隣接する前記チャネルの間で共有され、前記チャネルの１本おきにインクを充填したものをインクチャネル、他のチャネルをダミーチャネルとし、前記インクチャネルを構成する両側の前記側壁を変形させてインク滴を前記ノズルから吐出させるインクジェット記録ヘッドであって、かつ、インクチャネルに形成された電極を共通電極とし、ダミーチャネルに形成されている個別電極上のパッシベーション膜上にインクを接触させないことを特徴とするインクジェット記録ヘッド”において一致し、前者が、側壁を幅方向に分極処理し、側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に電界を印加することでインク滴を吐出させるのに対し、後者は、側壁の高さ方向に分極処理し、側壁の分極方向と直交する幅方向の一方向に電界を印加することでインク滴を吐出させる点で相違する。
　相違点について検討するに、甲第２乃至４号証記載の発明は、甲第１号証記載の発明と同様、いずれも、側壁の高さ方向に分極処理し、側壁の分極方向と直交する幅方向の一方向に電界を印加することでインク滴を吐出させるものであり、かつ、甲第１乃至４号証の記載からでは、分極方向と電界の印加方向とを同じにすることも、インク滴吐出に当たって、電界を分極方向に対して逆方向及び同一方向の両方向から印加することも示唆されないものである。
　そして、本件請求項２に係る発明は、特に相違点に係る構成により、側壁に変化のない状態（図３）から側壁が幅方向に伸張し且つ高さ方向に縮んでインク滴を吐出する状態（図５）となり、その後再び側壁に変化のない状態（図３）となることを繰り返すときに、これら各状態の間に、側壁が幅方向に縮み且つ高さ方向に伸張するインク供給状態（図４，６）を入れることで、メニスカスの位置を制御することができ、インク滴の速度や滴径の周波数特性が安定し、良好なインク滴の吐出を行うことができるという、明細書記載の効果を奏し（段落【００２１】〜【００２７】）、また、甲第１乃至４号証記載のもののように側壁がせん断変形するものではないため、せん断劣化が生ぜず高寿命になるという効果も期待できるものである。
　したがって、本件請求項２に係る発明は、甲第１乃至４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは認められない。
　また、本件請求項２を引用する本件請求項３乃至７に係る発明についても、本件請求項２に係る発明の場合と同様の理由により、甲第１乃至４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとは認められない。
［４］むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件請求項２乃至７に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項２乃至７に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月５日（２０００．７．５）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除する訂正である。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を次に訂正するものである。
「【請求項２】圧電体からなるプレートと、前記プレート上に形成された溝と、前記溝内面に電極を有し
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
前記側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
であって、かつ
（３）訂正事項ｃ
　特許明細書の段落【００１３】を次に訂正するものである。
「【課題を解決するための手段】
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、圧電体からなるプレートと、プレート上に形成された溝と、溝内面に電極を有し
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
あって、かつ
　その場合、ダミーチャネルは外部に連通するスリットを有し、インクチャネルにのみインクを供給する構成とすることもできる。また、トッププレートに、ダミーチャネルと外部とを連通させるスリットを形成するようにしても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルの長さが前記ダミーチャネルの長さより大きい構成としても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルが前記ノズル側で曲率を有するようにしても良い。その場合の曲率は、ノズル側に向かうほど先細りになるようにするのが好適である。
　本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、圧電体にインクチャネル及びダミーチャネルとして機能する溝を形成する工程と、溝内面に電極層を形成する工程と、電極層上にパッシベーション膜を形成する工程と、パッシベーション膜を形成した後にノズルプレート及びトッププレートを接合する工程と、トッププレートにスリットを形成する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、トッププレートにスリットを形成する際に、ダミーチャネルの底面にまで溝形成を行い電極層を分離することで個別電極を形成することを特徴とする。」（下線箇所が訂正に係る箇所である。）
（５４）【発明の名称】
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　（削除）
　【請求項２】　圧電体からなるプレートと、前記プレート上に形成された溝と、前記溝内面に電極を有し
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
前記側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
であって、かつ
　【請求項３】　前記ダミーチャネルは外部に連通するスリットを有し、前記インクチャネルにのみインクを供給する構成としたことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】　前記トッププレートに、前記ダミーチャネルと外部とを連通させるスリットを形成したことを特徴とする請求項２又は３記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項５】　前記インクチャネルの長さが前記ダミーチャネルの長さよりも大きいことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項６】　前記インクチャネルがノズル側に向かって先細りとなるような曲率を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項７】　前記インクチャネルがノズル側とその反対側とで互いに先細りとなるような曲率を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項８】　圧電体にインクチャネル及びダミーチャネルとして機能する溝を形成する工程と、前記溝内面に電極層を形成する工程と、前記電極層上にパッシベーション膜を形成する工程と、前記パッシベーション膜を形成した後にノズルプレート及びトッププレートを接合する工程と、前記トッププレートにスリットを形成する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記トッププレートに前記スリットを形成する際に、前記ダミーチャネルの底面にまで溝形成を行い前記電極層を分離することで個別電極を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
　【請求項９】　前記スリットの形成にダイシングソーを用いることを特徴とする請求項８記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、インクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関し、特にプリンタ、ファクシミリ、コピー装置等に用いる高密度かつ多ノズル配列可能なインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来、この種のインクジェット記録装置は、インク吐出駆動源の点で大きく二つに分類できる。
　【０００３】
　一つは、サーマルインクジェット又はバブルジェットと呼ばれる方式であり、例えば特公昭６１−５９９１３号公報に開示されている。これは、複数のサーマルエレメントが配列されたサーマルヘッド上に、それぞれのサーマルエレメントに対応して圧力室が形成され、その圧力室にはノズルとインク供給路が連通している構造であり、印字時、サーマルエレメントに通電しその上にインクを加熱し気泡を発生させ、その圧力によりインクをノズルから吐出させる方式である。
　【０００４】
　このタイプは、吐出源となるサーマルヘッドをフォトリソグラフィ技術により製作できるため、高密度で多ノズルの印字ヘッドを作ることができ、小型で高速のインクジェット記録装置が得られる。しかしながら、気泡を発生させるためインクを３００℃以上に加熱する必要があり、長時間吐出を行うとインク中の成分がサーマルエレメント上に堆積し吐出不良を起こし、また、熱応力やキャビテーションによる損傷、サーマルエレメントの保護層のピンホールによるパッシベーション故障なども起き、長寿命の印字ヘッドを得ることは難しい。
　【０００５】
　他の一つは圧電式と呼ばれる方式であり、例えば特公昭５３−１２１３８号公報に開示されている。これは、ノズルとインク供給路に連通する圧力室とその圧力室に容積変化を生じさせる圧電素子とから構成され、印字時、圧電素子に電圧を印加し圧力室に容積変化を発生させてインクをノズルから吐出させる方式である。
　【０００６】
　この方式は、インクを加熱しないためインク選択の自由度が高く、また、長寿命であるが、多数の圧電素子を高密度に配列することが難しく、小型で高速のインクジェット記録装置を得るのは難しかった。
　【０００７】
　そこでこのような問題点を解決するものとして、特開平６−１４３５６４号公報には図１６に示すものが開示されている。これは、圧電材料からなる一枚の平板状に成形された圧電性素材の基板４０に、上方をトッププレート４４に、側面を隔壁４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ、・・・で囲まれたインクチャネル４１ｂｃ、４１ｄｅ、・・・およびダミーチャネル４２ａｂ、４２ｃｄ、・・・が交互に形成されている。インクはインクチャネル４１ｂｃ、４１ｄｅ、・・・のみに充填する。
　【０００８】
　更に、隔壁４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ、・・・はチャネル内に形成した電極４８ｂｃ、４８ｃｄ、４８ｄｅ、・・・を用いて、隔壁４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ、・・・を、矢印（分極方向４７）のように分極する。この場合、分極の方向は隣接する隔壁間で互いに反対方向を向くようにする。ダミーチャネル４２ａｂ、４２ｃｄ、・・・のダミーチャネルを共通のグランド電位に固定し、インクチャネルに駆動電気パルスを印加すると、隔壁が電界方向に伸張し、インクチャネル内の容積を変化させてインク吐出を行うことができる。
　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述した従来のインクジェット記録ヘッドでは、電極を保護する保護層に欠陥または無欠陥でも電気的耐圧不良があった場合に、個別電極−共通電極間で発生する電界がインクにも作用するという問題がある。通常用いられるインクは、ある導電率を有していることから、電界が作用すると電気分解が発生し、陰極からは水素が、陽極からは酸素が発生する。
　【００１０】
　水素並びに酸素の発生状況はインク導電率、保護層電気的特性、電極材料の酸化還元電位にも依存するが、いずれにしてもこのガス発生がインクチャネル内の気泡となりインク吐出不良の原因となるばかりか、電気分解を引き起こすことによりインクの物性値が大きく変化し、この事がインク吐出特性に大きな影響を与える。
　【００１１】
　また、電気分解反応が大きく進行した場合にはインクの粘性が大きく増大し、インクチャネル内でのインクの流動を阻害させるまでに至ることもある。
　【００１２】
　本発明の目的は、圧電体を用いたインクジェット記録ヘッドの個々の構造や機構に起因したインク電気分解の発生を招かないインクジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。
　【００１３】
　【課題を解決するための手段】
　
本発明のインクジェット記録ヘッドは、
幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理された
側壁の分極方向と逆方向及び同一方向に
ことでインク滴を吐出させる
であって、かつ
　その場合、ダミーチャネルは外部に連通するスリットを有し、インクチャネルにのみインクを供給する構成とすることもできる。また、トッププレートに、ダミーチャネルと外部とを連通させるスリットを形成するようにしても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルの長さが前記ダミーチャネルの長さより大きい構成としても良い。
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルが前記ノズル側で曲率を有するようにしても良い。その場合の曲率は、ノズル側に向かうほど先細りになるようにするのが好適である。
　本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、圧電体にインクチャネル及びダミーチャネルとして機能する溝を形成する工程と、溝内面に電極層を形成する工程と、電極層上にパッシベーション膜を形成する工程と、パッシベーション膜を形成した後にノズルプレート及びトッププレートを接合する工程と、トッププレートにスリットを形成する工程とを含むインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、トッププレートにスリットを形成する際に、ダミーチャネルの底面にまで溝形成を行い電極層を分離することで個別電極を形成することを特徴とする。
　【００１４】
　【発明の実施の形態】
　本発明の好適な実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
　図１は、本発明の第１の実施形態を示すインクジェット記録ヘッドの一部断面斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
　【００１５】
　これらの図において、インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、１ｅｆ・・・とダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・は、両側と下側を圧電体１１よりなる側壁３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、・・・で囲まれ、上側と前方はそれぞれトッププレート８、ノズルプレート７で囲まれている。インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・の後方にはインク供給口９を経てインクプール１２が連通している。
　【００１６】
　ノズルプレート７には各インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・に連通するノズル６ａｂ・６ｃｄ、６ｅｆ、６ｇｈ、６ｉｊ、・・・（６ａｂ、６ｃｄ、６ｅｆは図示せず）が設けられている。圧電体１１よりなる側壁３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、・・・の側面と下面には、インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・内に共通電極５、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・内に個別電極４ａｂ、４ｃｄ、・・・を有しいる。
　【００１７】
　ここで個別電極は、４ｃｄを例にとると、ダミーチャネル２ｂｃの側壁３ｃ側とダミーチャネル２ｄｅの側壁３ｄ側を接続するように設けている。また後述するが、個別電極４ａｂ、４ｃｄ、・・・と共通電極５が交差する領域には層間絶縁膜１３が、共通電極５のチャネルに露出している部分はパッシベーション膜１４がそれぞれ設けられている。
　【００１８】
　インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・、ノズル６ａｂ、６ｃｄ、・・・、インクプール１２の中にはインク（図示せず）が充填されている。圧電体１１よりなる側壁３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ、・・・はその幅方向（矢印Ｐ方向）に分極処理が施されている。また、トッププレート８は可撓性を有し、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・上で分離するようなスリット１０がそれぞれ設けられている。
　【００１９】
　また、インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・の長さはダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・の長さより大きくなっている。これは、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・上のトッププレート８にスリット１０が設けられているため、インクチャネルのみにインクを充填させるようにしたためである。インクプールに充填されたインクは、インク供給口９よりインクチャネルに供給される。
　【００２０】
　図２は図１のＡ−Ａ’断面図を示す。図２において、共通電極５と個別電極４ａｂ、４ｃｄ、・・・との間には層間絶縁膜１３が、パッド部を除いた全領域にパッシベーション膜１４が設けられている。パッシベーション膜１４によりインクと前記電極が直接接触しないようになっている。
　【００２１】
　次に、動作について説明する。
　図３〜図６は、図１に示すインクジェット記録ヘッドのＢ−Ｂ’線断面図に対応する動作説明図である。この図３〜図６を参照して、まず複数のインクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・のうちのある特定のインクチャネル１ｃｄを駆動して、それに連通するノズル６ｃｄ（図示せず）からインク滴を吐出する場合について説明する。
　【００２２】
　ここで、インクチャネルを駆動するということは、そのインクチャネルを構成する両側の圧電体１１よりなる側壁３ｃ、３ｄを駆動するという意味である。図４に示すように、インク滴を吐出するインクチャネル１ｃｄを囲む圧電体１１の側壁３ｃ、３ｄにそれぞれ電極から電圧を印加して矢印Ｅ方向に電界を発生させると、分極方向（矢印Ｐ方向）と電界方向（矢印Ｅ方向）が逆方向のために、側壁３ｃ、３ｄは電界方向には縮み、電界方向と垂直方向には伸張する。
　【００２３】
　その結果、インクチャネル１ｃｄの容積が増加して圧力が低下するために、容積増加分だけインクがインクプールからインクチャネル１ｃｄへ供給される。
　【００２４】
　次に、図５に示すように、側壁３ｃ、３ｄにそれぞれ電極から電圧を印加して矢印Ｅ方向に電界を発生させると、インクチャネルの分極方向（矢印Ｐ方向）と電界方向（矢印Ｅ方向）が同一のために、側壁３ｃ、３ｄは電界方向に伸張動作を惹起し、また電界方向と垂直方向には縮む。
　【００２５】
　その結果、インクチャネル１ｃｄの容積は減少して圧力が上昇するために、インク滴がノズル６ｃｄから吐出される。ここで留意するべきことは、図３の状態から直接図５の状態にさせてもインクチャネルの圧力上昇によりインク滴は吐出させるが、図４の状態を入れることによって、メニスカスの位置を制御することができるということである。
　【００２６】
　次に、側壁３ｃ、３ｄの印加電圧すなわち電界を０にすると、図６に示すように側壁３ｃ、３ｄは元に戻り、インクチャネル１ｃｄの容積が増加して圧力が低下するために、容積増加分だけインクがインクプールからインクチャネル１ｃｄに供給される。
　【００２７】
　このため、インクチャネルヘのインク供給は図４と図６の２つの状態で行われることになり、インク滴の速度や滴径の周波数特性が安定し、良好なインク滴の吐出を行うことができる。
　【００２８】
　また上記動作の間、インクチャネルは常にグランドでありかつインクは個別電極４ａｂ、４ｃｄ、・・・上のパッシベーション膜１４には全く接触しない。従って、駆動の際にインクに電界が作用せず、パッシベーション膜１４の欠陥あるいは無欠陥でも電気的耐圧不良によって起こるインクの電気分解が全く発生しない。
　【００２９】
　次に、図１に示されたインクジェット記録ヘッドの製造方法について図面を参照して説明する。図７）〜図１４は、各製造工程毎のインクジェット記録ヘッドの斜視図である。製造工程は大きく分類して、チャネル形成、電極形成、保護層形成、スリット形成、接着工程の６つに分けることができる。
　【００３０】
　図４を参照すると、チャネル形成工程においては、まず、図７に示すように、ＰＺＴにペロブスカイト系複合酸化物を加えた３成分系ソフトセラミクスよりなる圧電体１１に、図８に示すようにダイシングソーなどの機械加工によって、インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・として機能する溝と、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・として機能する溝が交互に配列するようにチャネル形成を行う。
　【００３１】
　この際、インクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・の長さはダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・よりも大きくし、溝のインクプール側の端部は曲率を有する形状にする。
　【００３２】
　次に、電極形成では、３つのプロセスから構成される。第一のプロセスは、溝全面を被覆するように電極層としてアルミニウムをスパッタリングで成膜し、フォトリソグラフィ技術を用いて図９に示すように共通電極５と個別電極４ａｂ，４ｃｄ、・・・の一部を形成する。
　【００３３】
　ここで、個別電極４ａｂ，４ｃｄ、・・・の一部と言うのは、共通電極５と交差する部分を除いた領域の事である。電極層として、アルミニウムの他にアルミニウム−銅、アルミニウム−シリコン、アルミニウム−シリコン−銅などのアルミニウム合金を、スパッタリング、蒸着などにより形成することもできる。
　【００３４】
　第二のプロセスは、共通電極５上に層間絶縁膜１３を図１０に示す領域に形成する。この際に、溝の部分はマスキングを行い、平面部にのみ絶縁膜を成膜する。その後、フォトリソグラフィ技術を用いて所定のパターンを得る。
　【００３５】
　層間絶縁膜１３として、二酸化シリコン、窒化シリコン、ＢＰＳＧ膜、高分子材料をＣＶＤ、スパッタリング等により形成することができる。また、層間絶縁膜１３のパターニングにはドライエッチングを用いる。
　【００３６】
　第三のプロセスは、図１１に示すように個別電極４ａｂ，４ｃｄ、・・・の残りの部分を形成する。ここで、残りの部分というのは図９で形成しなかった共通電極５と交差する部分のことである。この場合も、溝の部分はマスキングを行い、平面部にのみ電極層を成膜する。その後、フォトリソグラフィ技術を用いて所定のパターンを得る。
　【００３７】
　この時、個別電極４ａｂ，４ｃｄ、・・・は、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・内で接続されており、完全に形成されていない。この形成については図１２のところで後述する。
　【００３８】
　次に、保護層形成としてパッシベーション膜１４をパッド部を除く全面（溝部含む）に対して形成する。パッシベーション膜１４はインクと直接接触する部分であるため、濡れ性の良い二酸化シリコンやＢＰＳＧ膜をステップカバレッジが良好なＣＶＤによって形成するのが望ましい。
　【００３９】
　次に、接着工程では、インク供給口９があらかじめ形成されたポリイミドのトッププレート８をダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・を完全に覆い、かつインクチャネル１ａｂ、１ｃｄ、・・・とインク供給口９が連通するように接着する。
　【００４０】
　その後、トッププレート８をダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・上で分離し、かつダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・底部よりも深くダイシングソーでスリット１０を形成する。この状態を図１２に示す。
　【００４１】
　ここで、ダミーチャネル２ｂｃ、２ｄｅ、・・・底部にスリットを形成するのは、個別電極を完全に分離するためである。この時点で個別電極として完全に機能するものが形成される。ここで、トッププレートとして、片面に熱可塑性接着剤、熱硬化性接着剤などを塗布しておいたポリイミドの他にセラミック、ガラス、シリコンなどの剛性の高い材料も用いることができる。
　【００４２】
　その後、図１３に示すように、ポリイミドのノズルプレート７上にエキシマレーザ加工により複数形成されたノズル６ａｂ，６ｃｄ、・・・が、インクチャネル１ａｂ，１ｃｄ、・・・と連通するように、インクチャネル１ａｂ，１ｃｄ、・・・の端面にノズルプレート７を接着する。
　【００４３】
　その後、インク供給口９を覆うようにＰＳ（ポリサルフォン）のインクプール１２をシリコン系接着シートを用いて接着する。ここで、ノズルプレート７として、片面に熱可塑性接着剤、熱硬化性接着剤などを塗布しておいたポリイミドの他にニッケルやステンレスの薄板を用いることができる。
　【００４４】
　次に、図１４に示すように、圧電体１１の底面にプリント基板１６を接合する。プリント基板にはパッド部と電気的に接続するリード端子部１４ａｂ，１４ｃｄ、・・・が形成されており、駆動回路（図示せず）と電気的に接続される。パッド部とリード端子部１４ａｂ，１４ｃｄ、・・・はワイヤボンディング１５によって接続する。ボンディングワイヤ１５の材料としては金を用いる。
　【００４５】
　更に、上記の実施の形態において、図１５に示すようにインクチャネルのノズル側端部の形状は曲率を有しても良い。曲率を有することによって、インクチャネル内に侵入したエアーがトラップされにくくなり、エアー排出性も向上され、インクの流れがスムーズになりインク滴吐出の安定化に寄与する。
　【００４６】
　本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルに形成された電極を共通電極として機能させ、かつダミーチャネルに形成されている個別電極上のパッシベーション膜にインクを接触させない構造にあるため、駆動の際にインクに電界が作用せず、パッシベーション膜１４の欠陥あるいは無欠陥でも電気的耐圧不良によって起こるインクの電気分解が全く発生しない。これはヘッドの長寿命化はもちろんのこと、駆動中のインク物性変化を招く恐れも全くないため、高印字品質に大きく寄与する。
　【００４７】
　更に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ダミーチャネル内の電極分離をスリット形成と同時に行うことができ、精度良く低コストで安定に製造することができる。また、インクチャネルの両端で曲率を有する形状にチャネル形成することにより、エアー排出性にも優れインク滴吐出の安定化に寄与するという効果がある。
　【００４８】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクチャネルに形成された電極を共通電極とし、ダミーチャネルに形成されている個別電極上のパッシベーション膜上にインクを接触させない構造のために、インクの電気分解の発生を防ぐことができ、高寿命でかつ高品質の印字を行うことが可能となるという効果がある。
　【００４９】
　更に、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、個別電極形成とスリット形成を同一工程で行うことができるため、低コストで安定に製造することができるという効果がある。
　【００５０】
　また、インクチャネルの両端で曲率を有する形状にチャネルを形成することにより、エアー排出性にも優れ、インク滴吐出の安定化に寄与するという効果がある。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す一部断面斜視図である。
　【図２】
　図１のＡ−Ａ’断面図である。
　【図３】
　図１のＢ−Ｂ’断面図である。
　【図４】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用を説明するために示した図４同様の断面図である。
　【図５】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用を説明するために示した図４同様の断面図である。
　【図６】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの作用を説明するために示した図４同様の断面図である。
　【図７】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図８】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図９】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１０】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１１】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１２】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１３】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１４】
　本発明の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を工程順に示す斜視図である。
　【図１５】
　本発明の他の実施の形態に係るインクジェット記録ヘッドの断面図である。
　【図１６】
　従来例を示す説明図である。
　【符号の説明】
　１ａｂ、１ｃｄ、１ｅｆ　インクチャネル
　２ｂｃ、２ｄｅ、２ｆｇ　ダミーチャネル
　３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３ｅ　側壁
　４ａｂ、４ｃｄ、４ｅｆ　個別電極
　５　共通電極
　６ａｂ、６ｃｄ、６ｅｆ　ノズル
　７　ノズルプレート
　８　トッププレート
　９　インク供給口
　１０　スリット
　１１　圧電体
　１２　インクプール
　１３　層間絶縁膜
　１４　パッシベーション膜
　１４ａｂ、１４ｃｄ、１４ｅｆ　リード端子部
　１５　ボンディングワイヤ
　１６　プリント基板
　４０　圧電性素材の基板
　４１ｂｃ、４１ｄｅ　インクチャネル
　４２ａｂ、４２ｃｄ　ダミーチャネル
　４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅ　隔壁
　４４　トッププレート
　４７　分極方向
　４８ａｂ、４８ｂｃ、４８ｃｄ、４８ｄｅ　電極