【事件の表示】
　特許第２９００１８１号「電子ビームリソグラフイ装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９００１８１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第２９００１８１号に係る発明は、平成２年８月８日（優先権主張１９８９年８月８日、米国）に特許出願され、平成１１年３月１９日にその特許の設定登録がされ、その後、異議申立人株式会社東芝より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年６月２日に意見書が提出され、その後、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月２９日に訂正請求がなされ、その後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年２月６日に手続補正がなされたものである。
１．１　異議申立ての概要
　異議申立人株式会社東芝は、甲第１号証（High　resolution　patterning　system　with　a　single　bore　objective　lens　（J．Vac．Sci．Technol．B5（1），Jan/Feb　1987）及び甲第２号証（特開昭58−130522号公報）を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１及び２号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
１．２　異議申立人株式会社東芝が提出した甲第１号証の内容
　甲第1号証には、Fig.1.および第88頁のA.Optical columnの欄に、光学的コラム(optical column)を備えかつ該光学的コラムの下に配置された試料(sample)上にパターンを書き込むことができる制御された電子銃(electron gun)を有するナノリソグラフイシステム(NANOLITHOGRAPHYSYSTEM)が記載され、Fig.2.および第89頁B.objective lensの欄に、対物レンズ(objective lens)が、前記電子ビームによる前記基板上への電子衝突によって発生される後方散乱電子(backscattered electron)を感知してビーム位置を位置決めするシリコンソーラーセル(Silicon Solar Cells)が記載されている。
１．３　異議申立人株式会社東芝が提出した甲第２号証の内容
　甲第2号証には、第1頁特許請求の範囲の欄に、被露光基板に電子ビームを照射して基板にパターンを露光する電子ビーム装置が記載され、第3図および第2頁右下欄14行目には、後方散乱を検出する反射電子検出器が記載されている。
　また、第4頁左上欄4行目から第4頁右上欄7行目に、後方散乱電子が反射電子検出器に衝突することによりこの検出器から放出された再反射電子の基板への到達を減少する手段を有する点が記載されている。
２．訂正の適否について
２．１　訂正請求に対する補正の適否について
　上記補正は、訂正後の請求項１の「電気的」を、「ための電圧を前記検出器に印加する」と補正するものであるが、当該訂正請求に対する補正は、訂正請求書の「訂正事項ａ」の変更に該当し、訂正請求の要旨を変更するものであるから、特許法第１２０条の４第第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合しないので、本件訂正請求に対する補正は認められない。
２．２　本件訂正請求の概要
　平成１２年９月２９日付訂正請求の概要は、願書に添付された明細書の請求項１の「減少または除去する手段」を、「減少または除去する電気的手段」と訂正するものである。
２．３　訂正の適否についての判断
 本件訂正請求における、「２次電子の前記基板への到達を減少又は除去する電気的手段」は、願書に添付した明細書又は図面に記載されておらず、かつ、このことは、願書に添付した明細書又は図面から直接的かつ一義的に導き出せる事項ではない（願書に添付した明細書又は図面に記載には、「電気的手段」と一般した記載はない。）。
　従って、本件訂正請求は、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、特許法第１２０条の４第３項で準用する訂正についてなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第１項ただし書きの規定に適合しないので、本件訂正請求は認められない。
３．異議申立に対する判断
３．１　異議申立に係る、本件請求項１に係る発明
「ビームコラムを備えかつ該ビームコラムの下に配置された基板上にパターンを書き込むことができる制御された電子ビームを有する電子ビームリソグラフイ装置において、
ビーム位置位置決め装置が、
前記電子ビームによる前記基板上への電子衝突によって発生される後方散乱電子を感知してビーム位置を位置決めする電子検出器手段と、
および前記後方散乱電子が前記電子検出手段に衝突することにより、前記検出器から放出された２次電子の前記基板への到達を減少または除去する手段と、からなり、
それにより前記ビームを偏向しかつパターンひずみを生じる前記基板上の電荷蓄積を減少または除去すること、
を特徴とする電子ビームリングラフイ装置。」
３．２　取消理由通知の概容
　第２９条第２項違反について
  刊行物１：High　resolution　patterning
system　with　a　single　bore　objective
lens　（J．Vac．Sci．Technol．B5（1），Jan/Feb　1987）　
　刊行物２：特開昭58−130522号公報
　請求項１に係る発明は、特許異議申立人株式会社東芝が提出した特許異議申立書に記載された理由により、上記刊行物1及び2に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものである。
  よって、本件請求項１に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
３．３　引用例の内容
　１．２、１．３に記載のとおり。
３．４　本件請求項１に係る発明（以下、「本件発明１」という。）と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明１の「検出器から放出された２次電子の前記基板への到達を減少または除去する手段」点について検討すると、甲第１及び２号証のいずれにも上記手段が記載されておらず、また、その手段を示唆する記載もなく、本件発明１は、上記手段を有する構成により、「検出器ダイオードが電子ビームによる書き込みの間中基板上に２次電子をより少なく堆積するようにし、したがってパターンひずみの原因となる・・・電荷蓄積を減少または除去」（発明の概要）できる効果を有する。　そうすると、本件発明１は、甲第１及び２号証から容易に発明できたものとすることができない。
　従って、本件発明１は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるとすることができない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明１についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第１及び２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月１４日（２００１．３．１４）