(57)【要約】  物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムが開示されている。開示された分配システムは、物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、ＡＯＩ系から物体を受け取り、ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、物体をその位置から使用可能なステーションに運ぶよう搬送手段を制御するように動作する制御装置とを備える。
2008509011.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムであって、
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する分配システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記物体に関する情報パッケージを受信し、前記物体と共に前記情報パッケージを前記使用可能なステーションに転送するようにさらに動作する、請求項１に記載の分配システム。
【請求項３】
前記物体は、前記ＡＯＩ系により認識された、疑わしい欠陥を有する走査された物体であり、前記ステーションは検証ステーションである、請求項１に記載の分配システム。
【請求項４】
前記搬送手段はロボットであり、前記ロボットは、前記制御装置の命令に従って、前記物体を前記ＡＯＩ系から取得し、前記物体をステーションに運ぶことが可能である、請求項１に記載の分配システム。
【請求項５】
前記ステーションのうちの１つは、前記ステーションの全てが使用不可能である場合に、前記搬送手段が物体を運ぶバッファステーションであり、前記搬送手段は、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となるステーションに運ぶ、請求項１に記載の分配システム。
【請求項６】
前記分配は複数のＡＯＩ系から行なわれる、請求項１に記載の分配システム。
【請求項７】
疑わしい欠陥を有する走査された物体を少なくとも１つの自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムであって、
ａ）物体を前記ＡＯＩ系のそれぞれから取得して複数の検証ステーションのそれぞれに移送することが可能なロボットと、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）必要に応じて、前記物体を追跡可能となるようにマークし、前記ロボットを、前記走査された物体のそれぞれを前記位置から移送し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運ぶよう制御し、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送するように動作する分配システム。
【請求項８】
前記ステーションのうちの１つは、前記ステーションの全てが使用不可能である場合に、前記ロボットが物体を運ぶバッファステーションであり、前記ロボットは、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となるステーションに運ぶ、請求項７に記載の分配システム。
【請求項９】
前記システムは、少なくとも１つのＡＯＩ系および複数の検証ステーションと共に統合型システムに一体化されている、請求項７に記載の分配システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体を複数の位置から複数の移動先に分配する分野に関する。より詳細には、本発明は、物体を分配するとともに、好ましい移動先を選択することが可能な分配システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動光学検査（ＡＯＩ）系は、画像処理および専用アルゴリズムを用いてＰＣＢまたはウェハの表面を検査し、その表面の欠陥を認識するものである。欠陥を有する表面の走査された画像が検証系に転送され、そこで、操作者は画像の目視検査を行い、自動測定を検証する。
【０００３】
一部のＡＯＩ系は自らの検証ステーションを有するが、効率的な処理のためには、ＰＣＢやウェハ等の走査された物体は、複数の検証ステーションのうちの１つに手作業で運ばれる。あいにく、検証ステーションの全てが使用可能な状態にあるのではなく、一部は、前の物体の検証を行なっており使用中であり得る。使用可能な検証ステーションを手動で探すことは、大変に非効率的であり、多くの時間を浪費する。
【０００４】
したがって、走査された物体を使用可能な検証ステーションに自動で運ぶことが可能なシステムを得ることは有利であろう。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムである。
【０００６】
本発明の教示によれば、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供され、この分配システムは、
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ）  ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する制御装置とを備える。
【０００７】
好適な実施形態におけるさらなる特徴によれば、前記制御装置は、前記物体に関する情報パッケージを受信し、前記物体と共に前記情報パッケージを前記使用可能なステーションに転送するようにさらに動作する、本発明による上記分配システムが提供される。
【０００８】
別の好適な実施形態において、前記物体は、前記ＡＯＩ系により認識された、疑わしい欠陥を有する走査された物体であり、前記ステーションは検証ステーションである、上記分配システムが提供される。
【０００９】
別の好適な実施形態において、前記搬送手段はロボットであり、前記ロボットは、前記制御装置の命令に従って、前記物体を前記ＡＯＩ系から取得し、前記物体をステーションに運ぶことが可能である、上記分配システムが提供される。
【００１０】
別の好適な実施形態において、前記ステーションのうちの１つは、前記動作の全てが行なわれた場合に、前記搬送手段が物体を運ぶバッファステーションであり、前記搬送手段は、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となったステーションに運ぶ、上記分配システムが提供される。
【００１１】
別の好適な実施形態において、前記分配は複数のＡＯＩ系から行なわれる、上記分配システムが提供される。
【００１２】
本発明の別の局面により、疑わしい欠陥を有する走査された物体を少なくとも１つの自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供される。分配システムは、
ａ）前記ＡＯＩ系のそれぞれから物体を取得して複数の検証ステーションのそれぞれに運ぶことが可能なロボットと、
ｂ）  ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）前記走査された物体のそれぞれをその位置から取得し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運ぶよう、前記ロボットを制御し、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送するように動作する制御装置とを備える。
【００１３】
さらに別の好適な実施形態において、上記分配システムは、処理全体を通じて物体の完全な追跡を可能にするために物体をマークするものである。
【００１４】
本発明のさらに別の局面によると、前記システムは、少なくとも１つのＡＯＩ系、ならびに複数の検証ステーションと共に統合型システムに一体化されている、上記分配システムが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
添付の図面を参照しながら、本発明を例示としてのみここに説明する。以下において図面を具体的に詳しく参照するが、図示した特定事項は、例示として、また、本発明の好適な実施形態を説明する目的においてのみ示され、本発明の原理および概念的局面を最も有用かつ容易に理解される説明であると考えられるものを提供するために提示されていることに注意されたい。この点に関し、本発明の基本的理解に必要である以上に本発明の構造的な詳細を明らかにする試みはなされておらず、図面を伴う説明により、本発明のいつかの形態が実際にどのように実施されるかは当業者に明らかとなるであろう。
（好適な実施形態の説明）
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数の検証ステーションに分配するための分配システムである。
【００１６】
本発明の好適な実施形態において、ＡＯＩ系、複数の検証ステーション、ロボット、および制御装置で構成される機構が設けられている。
【００１７】
制御装置は、走査された物体の位置およびこの物体に関する情報パッケージをＡＯＩ系から受信する。情報パッケージは、物体の画像および／または疑わしい欠陥の画像、識別情報等を含み得る。また、制御装置は、各検証ステーションの使用可能性に関して順次更新される。
【００１８】
制御装置は、疑わしい欠陥を検証するために、ロボットに対し、受け取った位置から走査物体を移送し、その物体を使用可能な検証ステーションのうちの１つに運ぶよう命令する。検証を可能にするために、制御装置は、使用可能な検証ステーションに、物体と共に情報パッケージを転送する。
【００１９】
この機構における分配は、自動的かつ効率的に行なわれる。検証ステーションの全てが使用不可能である場合、制御装置は、物体を待機ステーションに運ぶようロボットに命令し、使用可能となる最初の検証ステーションを待つ。
【００２０】
本発明による分配システムの原理および動作は、図面およびそれに付随する説明を参照することによってより良く理解され得る。
【００２１】
図面を参照すると、図１は、本発明の好適な実施形態のブロック図を示している。ＡＯＩ系１１は、複数の検証ステーション１２と共にセットアップされている。走査された物体１３は、各物体の位置および情報パッケージを制御装置１４に転送するＡＯＩ系１１の出口で待機している。制御装置１４は、検証ステーション１２のそれぞれの使用可能性に関して順次更新される。
【００２２】
制御装置１４は、特定の物体１６の方に移動１７し、ピックアップするようロボット１５に命令する。制御装置１４は、検証ステーションのうちの１つ１８が使用可能であることを認識し、ピックアップされた物体１６を使用可能な検証ステーション１８に運ぶために、移動１９するようロボット１５に命令する。同時に、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６に関する情報パッケージを、ピックアップされた物体１６が運ばれたのと同じ検証ステーション１８に転送する。
【００２３】
検証ステーション１２の全てが使用不可能である場合、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６をバッファステーション２０に運ぶようロボット１５に命令し、検証ステーション１２のうちの１つが使用可能になるまで待機し、その後、ロボット１５は、物体をこの使用可能なステーションに運ぶ。
【００２４】
本発明を、その具体的な実施形態により説明したが、多くの代替例、変形例および変更例が当業者に明らかであることは明白であり、従って、添付の請求項の精神および広い範囲に含まれるそのような代替例、変形例および変更例のすべてを包含することが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明の好適な実施形態のブロック図を示している。
【図１】
2008509011.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月3日(2005.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムであって、
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶとともに、複数の検証ステーションのそれぞれから他の任意のステーションに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体の位置を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する分配システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記物体に関する情報パッケージを受信し、前記物体と共に前記情報パッケージを前記使用可能なステーションに転送するようにさらに動作する、請求項１に記載の分配システム。
【請求項３】
前記物体は、前記ＡＯＩ系により認識された、疑わしい欠陥を有する走査された物体であり、前記ステーションは検証ステーションである、請求項１に記載の分配システム。
【請求項４】
前記搬送手段はロボットであり、前記ロボットは、前記制御装置の命令に従って、前記物体を前記ＡＯＩ系から移送し、前記物体をステーションに運ぶことが可能である、請求項１に記載の分配システム。
【請求項５】
前記ステーションのうちの少なくとも１つは、前記ステーションの全てが使用不可能である場合に、前記搬送手段が物体を運ぶバッファステーションであり、前記搬送手段は、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となるステーションに運ぶ、請求項１に記載の分配システム。
【請求項６】
前記ステーションのうちの少なくとも１つは、前記動作の全てが行なわれた場合に、前記搬送手段が物体を運ぶアンローダステーションである、請求項１に記載の分配システム。
【請求項７】
前記分配は複数のＡＯＩ系から行なわれる、請求項１に記載の分配システム。
【請求項８】
疑わしい欠陥を有する走査された物体を少なくとも１つの自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムであって、
ａ）物体を前記ＡＯＩ系のそれぞれから複数の検証ステーションのそれぞれに移送するとともに、複数の検証ステーションのそれぞれから他の任意のステーションに移送することが可能なロボットと、
ｂ）制御装置とを備え、前記制御装置は、
ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）必要に応じて、前記物体を追跡可能となるようにマークし、前記ロボットを、前記走査された物体のそれぞれを前記位置から移送し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運ぶよう制御し、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送し、
ｖｉ）検証された物体のそれぞれをその位置から移送し、該物体をそれぞれアンローダに運び、
ｖｉｉ）必要に応じて、オリジナルのまたは更新された情報パッケージを、さらなる動作のためにそれを必要とし得る他の任意のシステムに転送するように動作する分配システム。
【請求項９】
前記ステーションのうちの１つは、前記ステーションの全てが使用不可能である場合に、前記ロボットが物体を運ぶバッファステーションであり、前記ロボットは、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となるステーションに運ぶ、請求項８に記載の分配システム。
【請求項１０】
前記システムは、少なくとも１つのＡＯＩ系および複数の検証ステーションと共に統合型システムに一体化されている、請求項８に記載の分配システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】          明細書
【発明の名称】      物体を分配するためのシステム
【技術分野】
本発明は、物体を複数の位置から複数の移動先に分配する分野に関する。より詳細には、本発明は、物体を分配するとともに、好ましい移動先を選択することが可能な分配システムに関する。
【背景技術】
自動光学検査（ＡＯＩ）系は、画像処理および専用アルゴリズムを用いてＰＣＢまたはウェハの表面を検査し、その表面の欠陥を認識するものである。欠陥を有する表面の走査された画像が検証系に転送され、そこで、操作者は画像の目視検査を行い、自動測定を検証する。
一部のＡＯＩ系は自らの検証ステーションを有するが、効率的な処理のためには、ＰＣＢやウェハ等の走査された物体は、複数の検証ステーションのうちの１つに手作業で運ばれる。あいにく、検証ステーションの全てが使用可能な状態にあるのではなく、一部は、前の物体の検証を行なっており使用中であり得る。使用可能な検証ステーションを手動で探すことは、大変に非効率的であり、多くの時間を浪費する。
したがって、走査された物体を使用可能な検証ステーションに自動で運ぶことが可能なシステムを得ることは有利であろう。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数のステーションのうちの１つに分配するための分配システムである。
本発明の教示によれば、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供され、この分配システムは、
ａ）物体をＡＯＩ系から複数のステーションのそれぞれに運ぶことが可能な搬送手段と、
ｂ）  ｉ）前記ＡＯＩ系から前記物体の位置を受け取り、
ｉｉ）前記ステーションのそれぞれの使用可能性を順次受信し、
ｉｉｉ）前記搬送手段を、前記物体を前記位置から使用可能なステーションに運ぶよう制御するように動作する制御装置とを備える。
好適な実施形態におけるさらなる特徴によれば、前記制御装置は、前記物体に関する情報パッケージを受信し、前記物体と共に前記情報パッケージを前記使用可能なステーションに転送するようにさらに動作する、本発明による上記分配システムが提供される。
別の好適な実施形態において、前記物体は、前記ＡＯＩ系により認識された、疑わしい欠陥を有する走査された物体であり、前記ステーションは検証ステーションである、上記分配システムが提供される。
別の好適な実施形態において、前記搬送手段はロボットであり、前記ロボットは、前記制御装置の命令に従って、前記物体を前記ＡＯＩ系から移送し、前記物体をステーションに運ぶことが可能である、上記分配システムが提供される。
別の好適な実施形態において、前記ステーションのうちの少なくとも１つは、前記動作の全てが行なわれた場合に、前記搬送手段が物体を運ぶバッファステーションであり、前記搬送手段は、前記物体を前記バッファステーションから使用可能となったステーションに運ぶ、上記分配システムが提供される。
別の好適な実施形態において、前記ステーションのうちの少なくとも１つは、前記搬送手段が必要な動作が全て行なわれた物体を運ぶアンローダステーションである、上記分配システムが提供される。
別の好適な実施形態において、前記分配は複数のＡＯＩ系から行なわれる、上記分配システムが提供される。
本発明の別の局面により、疑わしい欠陥を有する走査された物体を少なくとも１つの自動光学検査（ＡＯＩ）系から分配するための分配システムが提供される。分配システムは、
ａ）前記ＡＯＩ系のそれぞれから複数の検証ステーションのそれぞれに物体を移送することが可能なロボットと、
ｂ）  ｉ）前記ＡＯＩ系から複数の前記走査された物体の位置を受け取り、
ｉｉ）前記ＡＯＩ系から前記走査された物体のそれぞれに関する情報パッケージを受信し、
ｉｉｉ）前記検証ステーションのそれぞれから使用可能性を順次受信し、
ｉｖ）前記走査された物体のそれぞれをその位置から移送し、前記物体をそれぞれ使用可能な検証ステーションに運び、
ｖ）前記情報パッケージのそれぞれを、当該物体が運ばれる検証ステーションに転送し、
ｖｉ）検証された物体のそれぞれをその位置から移送し、該物体をそれぞれアンローダに運び、必要に応じて、
ｖｉｉ）オリジナルのまたは更新された情報パッケージを、さらなる動作のためにそれを必要とし得る他の任意のシステムに転送するように動作する制御装置とを備える。
さらに別の好適な実施形態において、上記分配システムは、処理全体を通じて物体の完全な追跡を可能にするために物体をマークするものである。
本発明のさらに別の局面によると、前記システムは、少なくとも１つのＡＯＩ系、ならびに複数の検証ステーション、バッファおよびアンローダと共に統合型システムに一体化されている、上記分配システムが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
添付の図面を参照しながら、本発明を例示としてのみここに説明する。以下において図面を具体的に詳しく参照するが、図示した特定事項は、例示として、また、本発明の好適な実施形態を説明する目的においてのみ示され、本発明の原理および概念的局面を最も有用かつ容易に理解される説明であると考えられるものを提供するために提示されていることに注意されたい。この点に関し、本発明の基本的理解に必要である以上に本発明の構造的な詳細を明らかにする試みはなされておらず、図面を伴う説明により、本発明のいつかの形態が実際にどのように実施されるかは当業者に明らかとなるであろう。
（好適な実施形態の説明）
本発明は、物体を自動光学検査（ＡＯＩ）系から複数の検証ステーションに分配するとともに、他の各種ステーションに分配するための分配システムである。
本発明の好適な実施形態において、ＡＯＩ系、複数の検証ステーション、ロボット、および制御装置で構成される機構が設けられている。
制御装置は、走査された物体の位置およびこの物体に関する情報パッケージをＡＯＩ系から受信する。情報パッケージは、物体の画像および／または疑わしい欠陥の画像、識別情報等を含み得る。また、制御装置は、各検証ステーションの使用可能性に関して順次更新される。
制御装置は、疑わしい欠陥を検証するために、ロボットに対し、受け取った位置から走査物体を移送し、その物体を使用可能な検証ステーションのうちの１つに運ぶよう命令する。検証を可能にするために、制御装置は、使用可能な検証ステーションに、物体と共に情報パッケージを転送し、それにより、自動連係機構を実現する。制御装置は、必要に応じて、オリジナルのまたは更新された情報を、それを必要とし得る任意のさらなるシステムに転送してもよい。
この機構における分配は、自動的かつ効率的に行なわれる。検証ステーションの全てが使用不可能である場合、制御装置は、物体を待機ステーションに運ぶようロボットに命令し、使用可能となる最初の検証ステーションを待つ。
制御装置は、ひとたび物体が検証されると、その物体をアンローダステーションに移送する。
本発明による分配システムの原理および動作は、図面およびそれに付随する説明を参照することによってより良く理解され得る。
図面を参照すると、図１は、本発明の好適な実施形態のブロック図を示している。ＡＯＩ系１１は、複数の検証ステーション１２と共にセットアップされている。走査された物体１３は、各物体の位置および情報パッケージを制御装置１４に転送するＡＯＩ系１１の出口で待機している。制御装置１４は、検証ステーション１２のそれぞれの使用可能性に関して順次更新される。
制御装置１４は、特定の物体１６の方に移動１７し、ピックアップするようロボット１５に命令する。制御装置１４は、検証ステーションのうちの１つ１８が使用可能であることを認識し、ピックアップされた物体１６を使用可能な検証ステーション１８に運ぶために、移動１９するようロボット１５に命令する。同時に、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６に関する情報パッケージを、ピックアップされた物体１６が運ばれたのと同じ検証ステーション１８に転送する。
検証ステーション１２の全てが使用不可能である場合、制御装置１４は、ピックアップされた物体１６をバッファステーション２０に運ぶようロボット１５に命令し、検証ステーション１２のうちの１つが使用可能になるまで待機し、その後、ロボット１５は、物体をこの使用可能なステーションに運ぶ。
本発明を、その具体的な実施形態により説明したが、多くの代替例、変形例および変更例が当業者に明らかであることは明白であり、従って、添付の請求項の精神および広い範囲に含まれるそのような代替例、変形例および変更例のすべてを包含することが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の好適な実施形態のブロック図を示している。
【国際調査報告】
2008509011.tif 000004