【事件の表示】
　特許第２９６９０３４号「搬送方法および搬送装置」の請求項1ないし4に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９６９０３４号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第2969034号に係る発明についての出願は、平成5年6月18日に特許出願されたものであって、平成11年8月20日にその発明について特許の設定登録がなされた後、その特許について、特許異議の申立てがなされたものである。
２．特許異議の申立てについて
ア．本件発明
　本件特許第2969034号の特許請求の範囲の請求項１乃至4に係る発明は、特許明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至4に記載された事項によって特定されるとおりのものである。
イ．申立ての理由の概要
(1)申立人　加藤清子は、「本件特許の請求項1乃至請求項4に係る発明はその出願前に頒布された甲第1号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第29条第2項の規定により特許を受けることができないものである。従って、本件特許は、同法第113条第1項第2号の規定により取り消されるべきものである。」旨主張する。
(1-1)証拠方法
(a)甲第１号証：特開昭62-195143号公報
　甲第１号証には、発明の概要に関し、「本発明は、半導体素子製造用の複数のマスク・・・を所定の収納位置から設置位置へ搬送するマスク搬送装置において、そのマスクをそれぞれ1個ずつ載置して前記の収納位置と設置位置との間を移動可能な一対のマスク搬送アームを設け、一方のマスク搬送アームが前記の設置位置からマスクを搬出すると引き続いて他方のマスク搬送アームが他のマスクを前記の設定位置へ搬送するように構成することを技術的要点とするものである。」との記載、実施例に関し、(a)「昇降台8は、・・・支柱2に沿って上下に移動するように構成されている。」、(b)「回転台10上には、・・・平行な2個の水平案内台11、12が固設されている。・・・長い第1水平案内台11には第1搬送アーム13が摺動可能に支持され、また、短い第2水平案内台12には第2搬送アーム14が摺動可能に支持されている。・・・搬送アーム13、14を水平案内台11、12に沿って平行移動させるように構成されれている。」との記載、(c)搬送部の動作に関し、(c-1)「回転台10を90°回転したならば、昇降台8をさらに上昇させて、第1搬送アーム13上のマスク20Aをプリアライメント装置に近接させる。・・・プリアラインメント装置60による位置決めが終了したならば、マスク20Aは再び第1搬送アーム13のフォーク部13Bに真空吸着される。」、(c-2)「次に、昇降台8は所定の位置まで下降して停止し、引き続いて第1搬送アーム13がＹ軸方向に移動して、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上に搬送する。第9図に示すように、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上の所定の位置に置いたならば、第1搬送アーム13は直ちに第1水平案内台11の第9図中で右端位置まで待機する。」（5頁左下欄8行乃至右下欄5行）との記載、(c-3)「第1搬送アーム13によって露光装置光軸L上に搬送された一方のマスク20Aが露光のために使用されている間に、・・・再び昇降台8が上昇して第2搬送アーム14上の他方のマスク20Bをプリアライメント装置60に接近させ、・・・プリアライメント装置60による位置決めが終了したならば、昇降台8は再び下降し、位置決めされた他方のマスク20Bを吸着した第2搬送アーム14を所定の位置に待機させる。」（5頁右下欄6行乃至15行）との記載、(c-4)「一方のマスク20Aによる露光工程が終了すると、第1搬送アーム13は露光装置光軸Lの位置まで前進してマスク20Aを真空吸着し、回転台10のほぼ回転中心位置まで後退する。その後退と同時に昇降台8が上昇すると共に、第2搬送アーム14が前進して他方のマスク20Bを露光装置光軸L上に搬送する。第2搬送アーム14はマスク20Bを露光装置光軸L上の所定の位置に置くと、後退して所定の位置でマスク20Bによる露光が終了するまで待機する。マスク20Bによる露光が終了すると、再び第2搬送アーム14が前進、後退して、そのマスク20Bは露光装置光軸Lから取り除かれ、第1搬送アーム上のマスク20Aと交換される。このようにして、2個のマスク20Aと20Bは交換使用される」（5頁右下欄16行乃至6頁左上欄11行）との記載がある。
(b)参考資料：特開平5-144922号公報
　参考資料には、薄膜装置の実施例に関し、(d)「成膜室3は、・・・室内中央には・・・サセプタ12が立設されており、このサセプタ12は上下方向に移動自在かつ任意の位置に固定自在である。」との記載、(e)「搬送機構5は、基板11を保持し該基板11を成膜室3内の所定位置に搬入するための複数の棒状のアーム31、32と・・・駆動部とから構成されている。これらのアーム31、32は、予備室4の中央部に該予備室4の軸線に沿って上下にかつ互いに平行に配置されている。」との記載、この装置の操作方法に関し、(f)「バルブ17を開放し、アーム31をサセプタ12の方向へ移動させ、同時にサセプタ12を下降させる（図3）。サセプタ12を下降させて基板11aをアーム31の凹部へ移す。次に、該アーム31を予備室4へ移動させ、同時にアーム32をサセプタ12の方向へ移動させる（図4）。次に、アーム32をサセプタ12の方向へ移動させてサセプタ12の真上に凹部を位置させ、サセプタ12を上昇させる（図5）。」（段落番号0012）との記載、「サセプタ12を上昇させて該サセプタ12の上端部12aに基板11ｂを載置し、・・・（図6）。」（段落番号0013）との記載がある。
３．対比・判断
ア．第29条第2項違反について
(1)本件請求項1に係る発明について
　甲第１号証の上記記載によれば、甲第１号証には、「昇降台8が所定の位置まで下降して停止し、引き続いてマスク20Aを真空吸着した第1搬送アーム13がＹ軸方向に移動して、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上に搬送し、第9図に示すように、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上の所定の位置に置いたならば、第1搬送アーム13は直ちに第1水平案内台11の第9図中で右端位置まで待機する。一方のマスク20Aによる露光工程が終了すると、第1搬送アーム13は露光装置光軸Lの位置まで前進してマスク20Aを真空吸着し、回転台10のほぼ回転中心位置まで後退する。
　その後退と同時に昇降台8が上昇し、第2搬送アーム14が前進して他方のマスク20Bを露光装置光軸L上に搬送する。第2搬送アーム14はマスク20Bを露光装置光軸L上の所定の位置に置くと、後退して所定の位置でマスク20Bによる露光が終了するまで待機する。マスク20Bによる露光が終了すると、再び第2搬送アーム14が前進、後退して、そのマスク20Bは露光装置光軸Lから取り除かれ、第1搬送アーム上のマスク20Aと交換される。」ことが開示されている。
　また、　参考資料の上記記載によれば、参考資料には、基板11を保持し該基板11を成膜室3内の所定位置に搬入するための複数の棒状のアーム31、32は、予備室4の中央部に該予備室4の軸線に沿って上下にかつ互いに平行に配置されていて、アーム31を予備室4へ移動させ、同時にアーム32をサセプタ12の方向へ移動させ（図4）、サセプタ12の上端部に基板11を載置又サセプタ12よりアームの凹部へ基板11を移すには、サセプタ12を上昇又は下降させることが開示されている。
　しかしながら、甲第１号証及び参考資料には、本件請求項1に係る発明を特定するための事項である「一の上記被処理基板保持部が後退する時期に合わせて他の上記被処理基板保持部を被処理基板の処理部に向け前進させて、一の上記被処理基板保持部の後退時期と他の上記被処理基板保持部の前進時期とをオーバーラップさせ、上記オーバーラップ時間内において、上記被処理基板保持部が上昇若しくは下降動作を合わせて行うこと」ことについて記載されていないし、また、示唆さえされていない。
(2)請求項２及び3に係る発明について
　甲第１号証には、前記したように、「昇降台8が所定の位置まで下降して停止し、引き続いてマスク20Aを真空吸着した第1搬送アーム13がＹ軸方向に移動して、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上に搬送し、第9図に示すように、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上の所定の位置に置いたならば、第1搬送アーム13は直ちに第1水平案内台11の第9図中で右端位置まで待機する。一方のマスク20Aによる露光工程が終了すると、第1搬送アーム13は露光装置光軸Lの位置まで前進してマスク20Aを真空吸着し、回転台10のほぼ回転中心位置まで後退する。
　その後退と同時に昇降台8が上昇し、第2搬送アーム14が前進して他方のマスク20Bを露光装置光軸L上に搬送する。第2搬送アーム14はマスク20Bを露光装置光軸L上の所定の位置に置くと、後退して所定の位置でマスク20Bによる露光が終了するまで待機する。マスク20Bによる露光が終了すると、再び第2搬送アーム14が前進、後退して、そのマスク20Bは露光装置光軸Lから取り除かれ、第1搬送アーム上のマスク20Aと交換される。」ことが開示されている。また、参考資料の上記記載によれば、参考資料には、基板11を保持し該基板11を成膜室3内の所定位置に搬入するための複数の棒状のアーム31、32は、予備室4の中央部に該予備室4の軸線に沿って上下にかつ互いに平行に配置されていて、アーム31を予備室4へ移動させ、同時にアーム32をサセプタ12の方向へ移動させ（図4）、サセプタ12の上端部に基板11を載置又サセプタ12よりアームの凹部へ基板11を移すには、サセプタ12を上昇又は下降させることが開示されている。
　しかしながら、甲第１号証及び参考資料には、本件請求項2及び請求項3に係る発明を特定するための事項である「前記支持部の上側位置は、被処理基板を保持した前記下側被処理基板保持部が、前記被処理基板が前記載置部に接触せず、かつ前記載置部上方に位置するように設定され、前記支持部の中間位置は、前記下側被処理基板保持部が、前記載置部上の被処理基板に接触せず、かつ前記載置部の上面下方に位置するように設定され、加えて、被処理基板を保持した前記上側被処理基板保持部が、前記被処理基板が前記載置部に接触せず、かつ前記載置部上方に位置するように設定され、前記支持部の下側位置は、前記上側被処理基板保持部が、前記載置部上の被処理基板に接触せず、かつ前記載置部の上面下方に位置するように設定され、前記上側および下側の被処理基板保持部を後退させた状態で、・・・前記支持部を前記上側位置までさらに上昇させるとともに、前記上側被処理基板保持部を後退させながら、前記第２の基板を保持する前記下側被処理基板保持部を前記載置部へ向けて前進させる第４の工程を含むこと」及び「前記支持部の上側位置は、被処理基板を保持した前記下側被処理基板保持部が、前記被処理基板が前記載置部に接触せず、かつ前記載置部上方に位置するように設定され、前記支持部の中間位置は、前記下側被処理基板保持部が、前記載置部上の被処理基板に接触せず、かつ前記載置部の上面下方に位置するように設定され、加えて、被処理基板を保持した前記上側被処理基板保持部が、前記被処理基板が前記載置部に接触せず、かつ前記載置部上方に位置するように設定され、前記支持部の下側位置は、前記上側被処理基板保持部が、前記載置部上の被処理基板に接触せず、かつ前記載置部の上面下方に位置するように設定され、前記上側および下側の被処理基板保持部を後退させた状態で、・・・前記下側被処理基板保持部を前記載置部へ向けて前進させながら、前記第２の被処理基板を保持する前記上側被処理基板保持部を前記載置部へ向けて前進させる第２の工程と、・・・前記第１の基板を保持する前記下側被処理基板保持部を後退させるとともに、前記支持部を下降させる第４の工程とを含むこと」について記載されていなし、また、示唆さえされていない。
(3)請求項4に係る発明について
　(1)において記載したように、甲第１号証には、「昇降台8が所定の位置まで下降して停止し、引き続いてマスク20Aを真空吸着した第1搬送アーム13がＹ軸方向に移動して、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上に搬送し、第9図に示すように、マスク20Aを露光装置光軸Ｌ上の所定の位置に置いたならば、第1搬送アーム13は直ちに第1水平案内台11の第9図中で右端位置まで待機する。一方のマスク20Aによる露光工程が終了すると、第1搬送アーム13は露光装置光軸Lの位置まで前進してマスク20Aを真空吸着し、回転台10のほぼ回転中心位置まで後退する。
　その後退と同時に昇降台8が上昇し、第2搬送アーム14が前進して他方のマスク20Bを露光装置光軸L上に搬送する。第2搬送アーム14はマスク20Bを露光装置光軸L上の所定の位置に置くと、後退して所定の位置でマスク20Bによる露光が終了するまで待機する。マスク20Bによる露光が終了すると、再び第2搬送アーム14が前進、後退して、そのマスク20Bは露光装置光軸Lから取り除かれ、第1搬送アーム上のマスク20Aと交換される。」ことが開示されている。
　また、参考資料には、基板11を保持し該基板11を成膜室3内の所定位置に搬入するための複数の棒状のアーム31、32は、予備室4の中央部に該予備室4の軸線に沿って上下にかつ互いに平行に配置されていて、アーム31を予備室4へ移動させ、同時にアーム32をサセプタ12の方向へ移動させることが開示されているが（図4）、サセプタ12の上端部に基板11を載置又サセプタ12よりアームの凹部へ基板11を移すには、サセプタ12を上昇又は下降させるものであることが開示されていて、アーム31の後退時期とアーム32の前進時期とをオーバーラップさせ、上記オーバーラップ時間内において、上記アーム31、32を上昇若しくは下降させることについて記載されていない。
　してみれば、甲第１号証及び参考資料には、本件請求項4に係る発明を特定するための事項である「上記進退駆動部は、一の上記被処理基板保持部が後退する時期に合わせて他の上記被処理基板保持部を被処理基板の処理部に向け前進させて、一の上記被処理基板保持部の後退時期と他の上記被処理基板保持部の前進時期とをオーバーラップさせ、上記搬送手段は、上記オーバーラップ時間内において、上記被処理基板保持部を上昇若しくは下降させること」について記載されていないし、また、示唆さえされていないというべきである。
　そして、本件請求項1乃至請求項4に係る発明は、明細書記載（段落番号0038）の効果を奏することが認められる。
　したがって、請求項1乃至4に係る発明は、参考資料の記載を参酌しても、甲第１号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項1乃至４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項1乃至４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１０日（２０００．８．１０）