【事件の表示】
　特許第２８８７０３３号「精密位置決め装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８８７０３３号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　本件特許第２８８７０３３号（平成４年１１月１９日出願、平成１１年２月１２日設定登録。）の請求項１ないし４に係る発明は、それぞれ、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項によって特定される以下のとおりのものと認める。
「【請求項１】搬送物体を非接触に案内する案内手段と、前記搬送物体の両側に駆動源が位置する駆動手段と、前記搬送物体の並進変位および重心まわりの回転変位を計測する計測手段と、前記搬送物体を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成する制御手段と、前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有することを特徴とする精密位置決め装置。
【請求項２】前記案内手段は空気軸受を有することを特徴とする請求項１に記載の精密位置決め装置。
【請求項３】前記駆動手段の駆動源はリニアモータであることを特徴とする請求項１記載の精密位置決め装置。
【請求項４】前記計測手段は複数のレーザ測長器を有することを特徴とする請求項１に記載の精密位置決め装置。」
２．申立ての理由の概要
　申立人「株式会社ニコン」は、証拠として甲第１号証（特開昭６２−１５２６３３号公報）、甲第２号証（特開平３−２７３６０７号公報）、甲第３号証（特開昭６１−１３３１４号公報）、甲第４号証（特開昭６１−１２０２１３号公報）を提出し、本件請求項１ないし４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、その特許を取り消すべき旨主張している。
３．引用刊行物記載の発明
　3-1．当審が通知した取消理由に引用された刊行物１（特開昭６２−１５２６３３号公報、上記甲第１号証）には、
　イ）「本発明は、一般的には、対象物の正確に直交するＸ，Ｙ運動軸線に沿った直線運動およびＸ，Ｙ軸線に直交するＺ方向まわりのθ軸線に沿った回転運動を容易にするのに普通利用される気体軸受式Ｘ−Ｙ−θステージ組立体の構造に用いる幾何学的形状に関する。……この場合、半導体ウェファの種々の区域を十字線パターンに従って順次に整合、露光することができる。」（第３頁左下欄第４〜１６行）、
　ロ）「Ｙ軸線の運動制御を所定の要領でＸ−Ｙ−θステージを回転させるように独立して制御できる平行に隔たったＹ，Ｙ運動制御器に分けて行なう改良気体軸受多軸ステージ組立体が望まれている。こうすると、ウェファ・チャック上に置いた半導体ウェファを、Ｘ−Ｙステージとウェファ・チャック間にθ軸線ステージを使用することなくステップアンドリピート・カメラのベースに関して回転させて向きを決めることができる。」（第４頁左下欄第１０〜１９行）、
　ハ）「本発明の別の目的は、Ｙ軸線の運動制御をθ運動軸線に沿ってＸ−Ｙ−θステージを回転位置決めする際に使用すべく独立して制御することのできる平行に隔たったＹ１，Ｙ２運動制御器に振分ける改良した気体軸受式多軸ステージ組立体を提供することにある。本発明の別の目的は、θ運動軸線に沿ってＸ−Ｙ−θステージの回転位置決めを制御する方法を提供することにある。」（第５頁右上欄第５〜１３行）、
　ニ）「第５図には……改良した気体軸受式多軸ステージ組立体７０が示してあり、ここでは、モータ・エンコーダの代わりにリニアモータと測定スケールを用いている。……案内路気体軸受４０は……内面７８を押圧する軸線方向負荷式案内路気体軸受組立体４４によって……基準内面７６と並んだ状態に強制されている。……第１、第２のＹ軸線リニアモータ８４，８６の第１、第２の可動部分８８，９０は……空所９２，９４のそれぞれに装着してある。……Ｘ軸線リニアモータ９８の可動部分１００は……空所１０１内に装着してある。」（第８頁左上欄第２行〜同頁右上欄第２行）、
　ホ）「第６図には……改良した気体軸受多軸ステージ組立体１２０が示してあり、ここでは、測定スケールの代りにレーザー干渉計を用いている。……干渉計１３４，１３６……がベース１６上に装着してある。干渉計１４２……が中間ステージ要素２４上に装着してある。」（第８頁左下欄第１５行〜同頁右上欄第５行）、
　ヘ）「この手順は、３つすべての駆動軸線を制御するために利用される三次元測定システム１８９の二次元測定準システム１８８の制御された位置の差値を更新して直交度エラー角をゼロまで減らすことによって完了する。気体軸受式多軸ステージ組立体１０において、駆動軸線に沿ったこれらの位置はそれぞれ第１、第２のＹ軸線駆動組立体４８，５０によって制御され、気体軸受式多軸ステージ組立体７０，１２０においては、駆動軸線に沿ったこれらの位置は……レーザ干渉計要素によって決定される。新しい差値、δＹ（新）＝Ｙ１−Ｙ２は……コンピュータ５５で計算される。……Ｙ１，Ｙ２はそれぞれ二次元測定準システム１８８の第１、第２の部分１８５，１８７の制御位置の値であり、……Ｌは二次元測定準システムの第１、第２の部分を分離している物理的な距離である。」（第９頁右下欄第７行〜第１０頁左上欄第７行）、
　ト）「これら従来技術の回転ステージは実際には最低限度で受け入れられていた。……さらに、従来技術の回転ステージは最低限度の回転真実性を持っているだけであり、Ｘ、Ｙ運動軸線に沿った半導体ウェファの位置的なエラーを生じさせる。第１０Ｂ図に示すように、改良多軸ステージ組立体１８０のＸ−Ｙ−θステージ１９０の回転方向付けは中間ステージ要素１８６の二次元Ｙ軸線測定準組立体１８８に関する差動制御によって行なわれ得る。したがって、従来技術のＸ−Ｙ−θステージ組立体に典型的な中間回転ステージおよびそれに伴なうすべての問題が完全に排除され得る。」（第１０頁左下欄第１６行〜同頁右下欄第１０行）、
　チ）「第２６図は制御回路の出力部の変更部分を示す。コンピュータ４２０は……速度エラー……を計算し、次いで、これらの値をそれぞれＹレジスタ４２２、θレジスタ４２４，Ｘレジスタ４２６に記憶させる。３つのレジスタの出力信号は次のように３つの加算回路４２８，４３０，４３２の選定したものに送られる。Ｙレジスタ４２２からの出力信号は加算回路４２８，４３０の正の入力端子に送られる。θレジスタ４２４からの出力信号は加算回路４２８の正入力端子および加算回路４３０の負端子に送られる。そして、Ｘレジスタ４２６からの出力信号は加算回路４２８，４３０，４３２の正端子に送られる。加算回路４２８，４３０，４３２の出力信号は……それぞれＹ１モータ４４０、Ｙ２モータ４４２およびＸ１モータ４４４を駆動し、ここで、Ｙ１モータ４４０、Ｙ２モータ４４２およびＸ１モータ４４４は改良気体軸受多軸ステージ組立体３１０または３９０のいずれかのための１組の駆動モータを包含する。」（第１８頁右上欄第１行〜同頁左下欄第３行）
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、刊行物１には、次のものが記載されていると認める。
“Ｘ−Ｙ−θステージ１９０を気体軸受を介して案内する中間ステージ186及び側板７２，７４と、Ｘ−Ｙ−θステージ１９０の両側に平行に隔たって設けられたＹ軸リニアモータ８４，８６と、Ｘ−Ｙ−θステージ１９０の並進変位および回転変位を計測する干渉計１３４，１３６，１４２と、Ｘ−Ｙ−θステージ１９０を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成するコンピュータ４２０と、Ｘ−Ｙ−θステージ１９０のＸ速度情報に応じてＹ軸リニアモータ８４，８６への制御指令値を補正すると共に、干渉計１３４，１３６からのＸ−Ｙ−θステージ１９０の回転変位情報を用いてＹ軸リニアモータ８４，８６への制御指令値を補正する加算回路４２８，４３０（第２６図）とを有するＸ−Ｙ−θステージ組立体。”
　3-2．また、同刊行物２（特開平３−２７３６０７号公報、上記甲第２号証）には、
　イ）「本発明は、例えば半導体露光装置、光学測定機器、精密工作機材等に使用するＸＹステージ等の移動テーブル装置に関する。」（第１頁右下欄第９〜１１行）、
　ロ）「この種の移動テーブル装置に定盤上に対抗配置した一対の固定ガイドを設け、この固定ガイドに沿って移動可能な制圧空気軸受により支持された第１の可動体（Ｙステージ）と第１の可動体および定盤との間を第１の可動体と直角方向に移動可能な静圧空気軸受により支持された第２の可動体（Ｘステージ）により構成される。」（第１頁右下欄第１３〜１９行）、
　ハ）「第１図はＸＹステージの全体構成を示す。……５ａ，５ｂはＹステージ駆動用リニアモータ、６はＸステージ駆動用リニアモータ、……９はＹ軸用干渉系、１０はＸ軸用干渉系……１３ａ，１３ｂはＹステージ用案内固定ガイドである。Ｙステージ２はＹステージ駆動用リニアモータ５ａ，５ｂによりＹ方向にのみ駆動され、Ｘステージ３はＹステージ２に取付けられたＸステージ駆動用リニアモータ６によりＸ方向にのみ駆動される。Ｘ，Ｙ方向の位置はレーザ１２からのレーザ光を用いて周知の方法により検出される。（第２頁右上欄第１３行〜同頁左下欄第７行）、
　ニ）「第３図はＹステージ駆動用制御回路の例を示す。１４はＸ軸位置検出部、１５はＹ軸総駆動力演算部、１６は駆動力分配回路、１７はドライバである。」（第２頁右下欄第５〜８行）、
　ホ）「第４図は、駆動力分配回路１６の回路の例を示す。１８ａ，１８ｂは分配比率を格納するＲＯＭ、１９ａ，１９ｂは１８ａ，１８ｂのＲＯＭのデータに応じて、Ｙ軸総駆動力Ｆを分配するための乗算型Ｄ／Ａ……である。……実際にステージを駆動する時に、このＲＯＭのデータによってＹリニアモータ５ａ，５ｂの駆動力を制御することにより、Ｘステージ３がどの位置にあっても、Ｙステージ２を駆動した場合にＸＹステージ全体の重心まわりの回転モーメントを押えることができる。」（第２頁右下欄第１６行〜第３頁左上欄第１６行）
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、、刊行物２には、次のものが記載されていると認める。
“ＸＹステージを静圧空気軸受により案内する固定ガイド１３ａ，１３ｂ、ＸＹステージの両側に駆動源が位置するＹステージ駆動用リニアモータ５ａ，５ｂ、ＸＹステージの並進変位を計測するためのレーザ１２によるＹ軸用干渉系９及びＸ軸用干渉系１０、ＸＹステージを所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成するＹ軸総駆動力演算部１５、ＸＹステージの並進変位情報に応じてＹステージ駆動用リニアモータ５ａ，５ｂの駆動源への制御指令値の分配率を決定する駆動力分配回路１６を有する半導体露光装置等に使用される移動テーブル装置。”
　3-3．また、同刊行物３（特開昭６１−１３３１４号公報、上記甲第３号証）には、
　イ）「この種の精密ＸＹθ移動台装置は、例えば半導体ウエハを加工したり検査したりする場合に用いられ、サブミクロンオーダーの超高精度が要求される。」（第１頁右下欄第１６〜１９行）、
　ロ）「本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので回動専用のステージを設けることなく、簡単な構成で超高精度の微小角度回転を駆動、制御し得る精密ＸＹθ移動台装置を提供しようとするものである。」（第２頁左上欄第１１〜１５行）、
　ハ）「試料台１は、ガイド軸２を上下左右に４面拘束された静圧エアパッド４をもつ箱形構造で、この上に、半導体ウエハ等の試料５と、試料台１の位置及び回転変位をレーザ干渉測長する基準となる光学スコヤ６を常置している。」（第２頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第４行）、
　ニ）「試料台１を往復矢印Ｙ方向にスライドするためのガイド軸２の両端に、上下及び左右方向を拘束する静圧エアパッド１３を設け、これがスライドガイド３内をエアスライドする構造となっている。」（第２頁右下欄第６〜１０行）、
　ホ）「次に、本実施例における試料台１の微小角度回転の方法について説明する。前述の通り、Ｙ方向の直進移動のために、ガイド軸２の左右２ヶ所に１対のリニアモータ１４，１５が設けられている。試料台１を△θだけ微小回転する時には、左側リニアモータ１４によって定められる駆動位置を基準として右側リニアモータ１５によって定まる駆動位置を微小量だけ変化させる。第１図から容易に理解できるように、往復矢印Ｘ方向（図において左右方向）に設けられたガイド軸２の両端を、違った距離ずつ上下方向に移動させると、該ガイド軸２は水平面内で回動する。」（第３頁左上欄第９行〜同頁右上欄第２行）、
　ヘ）「試料台１のＸ方向、Ｙ方向の移動量は、レーザ発信器３０からのレーザ光３１を、………反射させて、干渉計３３，３４により得られた干渉信号をレシーバ３５，３６でカウントする。同様に、微小回転角Δθの測定は、レーザ光３１を……干渉信号をレシーバ４０でカウントすることにより、……微小回転角Δθは、……求められる。」（第３頁右上欄第１１行〜同頁左下欄第５行）、
　ト）「第３図は、本移動台の位置決めサーボ制御システムを示すブロック図である。各Ｘ，Ｙ，θのレシーバ３５，３６，４０からの干渉信号は、レーザ制御装置（総称）５０内のカウンタ５１，５２，５３にラッチされる。一方、システムコントローラ（ＣＰＵ）５４からは、目標値として、Ｘ，Ｙ，θのカウント数をレジスタ５５，５６，５７にセットしておく。なおθの目標値は、試料台１が移動する際に生ずる微小回転角をなくすようにサーボ制御するために、θカウント±許容カウント数をセットする。次に、目標値と現在値との偏差出力を比較増幅器５８，５９，６０で得、これをＤ／Ａコンバータ６１，６２，６３でアナログ電圧に変換して速度指令値を得る。試料台１を駆動するリニアモータ８は……速度フィードバック値と、指令値に基づくサーボアンプ６５からの出力を得て駆動される。Ｙ１リニアモータ１４も、Ｘリニアモータ８と同一の制御を行なう。　一方、Ｙ２リニアモータ１５は、微小回転角△θの制御を含むＹ方向の制御を行なうため、Ｙ方向Ｄ／Ａコンバータ６２の出力から、θ方向Ｄ／Ａコンバータ６３の出力を差し引いた値を、差動増幅器６７で得、これをＹ２リニアモータ１５の速度指令値とする。Ｙ２リニアモータ１５は、Ｙ１リニアモータ１４と同一のＦ／Ｖ変換器６４から得られる速度フィードバック値と、上記速度指令値とにより、サーボアンプ６７を介して、出力を得る。以上のような完全閉ループ式フィードバック制御方式を用いることにより、試料５を、走行中あるいは、停止状態でＸ，Ｙ，θ方向に位置制御することが可能となる。」（第３頁左下欄第１４行〜第４頁左上欄第７行）
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、刊行物３には、次のものが記載されていると認める。
“試料台１を非接触にエアパッド４，１３を介して案内するガイド軸２及びスライドガイド３、試料台１の両側に駆動源が位置するＹ１リニアモータ１４、Ｙ２リニアモータ１５、試料台１の並進変位および回転変位をレーザ光により計測する干渉信号レシーバ３５，３６，４０、試料台を所望の位置へ位置決めするための制御指令値を生成するＣＰＵ５４、レシーバ３５，３６，４０からの試料台１の回転変位情報を用いてＹ軸リニアモータ１４，１５の制御指令値を補正するＸＹθ移動台。”
　3-4．　また、同刊行物４（特開昭６１−１２０２１３号公報、上記甲第４号証）には、
　「可動体を目標位置に移動するに際し、該可動体を、先ず速度重視の第１制御モードで目標位置近傍まで移動し、次いで停止位置精度重視の第２の制御モードに切換えて目標位置に位置決めするサーボ制御系を具備する位置決め制御装置。」（第１頁左下欄第５行〜同欄第９行）が記載されていると認める。
４．対比・判断
　4-1．本件の請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、両者はともに精密位置決め装置であって、刊行物１に記載されたものの「Ｘ−Ｙ−θステージ」、「中間ステージ及び側板」、「Ｙ軸リニアモータ」、「干渉計」、「コンピュータ」は、本件の請求項１に係る発明の「搬送物体」、「案内手段」、「駆動手段」、「計測手段」、「制御手段」にそれぞれ相当する。そして、刊行物１のFIG２６を参照すると、「駆動手段」に相当する「Ｙ１モータ４４０」には、Ｙレジスタ４２２からの正入力、Ｘレジスタ４２６からの正入力、およびθレジスタからの正入力が加算回路４２８で加算されて制御指令値が決定され、他方同様に「駆動手段」に相当する「Ｙ２モータ４４２」には、Ｙレジスタ４２２からの正入力、Ｘレジスタ４２６からの正入力、およびθレジスタからの負入力が加算回路４３０で加算されて制御指令値が決定されているので、加算回路４２８，４３０の機能は、「Ｘ−Ｙ−θステージのＸ速度情報に応じてＹ軸リニアモータへの制御指令値を決定する」点で、本件請求項１に係る発明の並進変位情報に応じて「駆動手段の各駆動源への制御指令値を補正する」機能に相当するが、ＸレジスタおよびＹレジスタからの入力が、Ｙ１及びＹ２モータそれぞれに同様に入力されて、直接制御指令値を算出するから、両者間の制御指令値の比率を変更するものとはいえず、したがって、制御指令値の「分配率」を決定するものではない。また、加算回路４２８，４３０においては、さらに、θレジスタからの出力信号が、それぞれ反対符号により加算されていることから、加算回路４２８，４３０の機能は、「干渉計からのＸ−Ｙ−θステージの回転変位情報（θレジスタからの出力信号）を用いてＹ軸リニアモータへの制御指令値を補正する」点で、本件発明の「計測手段からの搬送物体の回転変位情報を用いて駆動源への制御指令値を補正する」機能に相当するが、刊行物１に記載のものは、回転変位情報（θレジスタからの出力信号）を、制御指令値を決定する加算回路に直接加えることで補正するのであり、これは「分配率」を補正することには相当しない。
　したがって、両者は、
　「搬送物体を非接触に案内する案内手段と、前記搬送物体の両側に駆動源が位置する駆動手段と、前記搬送物体の並進変位および回転変位を計測する計測手段と、前記搬送物体を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成する制御手段と、前記搬送物体の並進変位情報及び前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値を補正する補正手段を有する精密位置決め装置。」で一致するものの、
　制御指令値を補正する補正手段が、本件請求項１に係る発明は、「前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」ものであるのに対して、刊行物１に記載のものは、Ｙ速度変位に対して搬送物体の並進変位情報に相当するＸ速度変位を加算し、さらに回転変位情報に相当するθ速度変位を一方に加算し、他方に減算するものであり、並進変位情報に応じて「分配率を決定する」もの及び「分配率を補正する」ものではないから、刊行物１に記載のものは、本件請求項１に係る発明を特定する事項である「前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」構成を備えていない。
　　4-2．　また、本件請求項１に係る発明と刊行物２に記載の発明とを対比すると、両者はともに精密位置決め装置であって、刊行物２記載の発明における「ＸＹステージ」、「静圧空気軸受により案内する固定ガイド」、「Ｙステージ駆動用リニアモータ」、「レーザ」、「Ｙ軸総駆動力演算部」、「駆動力分配回路」は、本件請求項１に係る発明の「搬送物体」、「非接触に案内する案内手段」、「駆動手段」、「計測手段」、「制御手段」、「推力分配手段」にそれぞれ相当する。
　したがって、本件の請求項１に係る発明と刊行物２に記載の発明とは、
　「搬送物体を非接触に案内する案内手段と、前記搬送物体の両側に駆動源が位置する駆動手段と、前記搬送物体の並進変位を計測する計測手段と、搬送物体を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成する制御手段と、前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段とを有する精密位置決め装置。」で一致するものの、
　刊行物２に記載の発明は、本件請求項１に係る発明を特定する事項である前記「前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」構成を備えていない。
　4-3．本件請求項１に係る発明と刊行物３に記載の発明とを対比すると、
　両者はともに精密位置決め装置であって、刊行物３に記載の発明における「試料台」、「ガイド軸及びスライドガイド」、「リニアモータ」、「レシーバ」、「ＣＰＵ」が、それぞれ本件請求項１に係る発明の「搬送物体」、「案内手段」、「駆動手段」、「計測手段」、「制御手段」に相当する。
　一方、刊行物３に記載の発明において、並進変位情報に相当するＸ軸方向の位置は、Ｘ軸リニアモータへの指令値を算出するために検出されており、Ｙ軸リニアモータへの制御指令値を決定するものではない。さらに、刊行物３に記載の発明は、回転変位情報を検出してＹ軸リニアモータの推力を補正するものであるが、制御指令値を分配するものではなく、当然分配率を補正する構成を備えるものではない。
　したがって、本件請求項１に係る発明と刊行物３に記載の発明とは、
「搬送物体を非接触に案内する案内手段と、前記搬送物体の両側に駆動源が位置する駆動手段と、前記搬送物体の並進変位および回転変位を計測する計測手段と、前記搬送物体を所望の位置へ位置決め制御するための制御指令値を生成する制御手段、前記計測手段からの搬送物体の回転変位情報を用いて前記制御指令値を補正する補正手段とを有する精密位置決め装置。」で一致するものの、
　刊行物３に記載の発明は、本件請求項１に係る発明を特定する事項である「前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」構成を備えていない。
　4-4．以上のとおり、刊行物１〜３に記載された発明は、いずれも、本件請求項１に係る発明の構成に欠くことができない事項である「搬送物体の回転変位情報を用いて推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」構成を備えておらず、この点は、刊行物４にも記載されていない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、刊行物１〜４に記載された発明とすることはできない。
　4-5．また、上記刊行物２に、搬送物体の並進変位情報に応じて駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段を有する点が記載され、上記刊行物１及び３に、回転変位情報に基づいて制御指令値を補正する補正手段を有する点が記載されていると認められるが、刊行物１又は３に記載されたものと刊行物２に記載されたものを寄せ集めることにより、搬送物体の並進変位情報に応じて決定された分配率によって、駆動手段の各駆動源への制御指令値を補正し、さらにこの補正後の制御指令値を、搬送物体の回転変位情報に基づいてさらに補正する構成が得られるとしても、刊行物１又は３に記載されたものは制御指令値に補正値を直接加算して補正するものであるから、上記「搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する」ことを当業者が容易に想到し得るとすることはできない。
　4-6．そして、本件請求項１に係る発明は、前記「前記搬送物体の並進変位情報に応じて前記駆動手段の各駆動源への制御指令値の分配率を決定する推力分配手段と、前記計測手段からの前記搬送物体の回転変位情報を用いて前記推力分配手段の分配率を補正する補正手段を有する」構成により、制御指令値における補正値の割合は、制御指令値の大小によって異なることはなく、補正された分配率に基づく各駆動手段への入力信号は、制御指令値に比例する信号となり、制御指令値の大小の如何にかかわらず、制御指令値に比例する信号を各駆動手段に入力できるという作用効果を生じるものと認める。
　したがって、本件の請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　4-7．本件請求項２〜４に係る発明は、その発明を特定する事項として、本件請求項１に係る発明を特定する事項を悉く含むものであるから、本件請求項１に係る発明と同様の理由により、上記刊行物１〜４に記載された発明とすることも、上記刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１ないし４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１ないし４に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月３０日（２０００．１０．３０）