【事件の表示】
　特許第２６３４０３９号「投影露光装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２６３４０３９号の特許を取り消す。
【理由】
１）．本件特許の経緯
　本件特許第２６３４０３９号（昭和５９年１０月１１日に出願された特願昭５９−２１１２６９号の分割出願として、平成８年３月１１日出願）は、平成９年４月２５日に設定登録がされたものであって、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年１１月９日に訂正請求がなされ、その後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年２月２６日に補正がなされ、その後、訂正拒絶理由を兼ねる取消理由通知がなされ、その後、その指定期間内である平成１１年７月８日に特許異議意見書が提出されたものである。
２）．異議申立ての概要
「異議申立人大野幸子は、甲第１号証（特願昭５９−２１１２６９号に対する平成８年３月１１日付手続補正書）及び甲第２号証（本件特許の原出願の公開公報である特開昭６１−９１６６２号公報）を提出し、本件請求項１〜４に係る発明は、本件原出願の発明と同一であり、本件特許は分割要件を満足していないので、本件特許の出願日は分割出願がなされた平成８年３月１１日であり、本件請求項１〜４に係る発明は、甲第２号証に記載された発明と同一であるので、本件請求項１〜４に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
３）．平成１１年４月２８日付取消理由通知の概要
「本件特許の請求項１に係る発明は、原出願の明細書又は図面に記載されておらず、かつ、示唆もされていないので本件特許に係る出願は、特許法第４０条第１項の規定による適法な分割出願であるとすることができず、本件特許出願日は、平成８年３月１１日であると認める。
　そして、請求項１〜４に係る発明は、特開平４−２６７５１号公報に記載された発明及び特開昭６１−９１６６２号公報（以下、「引用例」という。）に記載された発明に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、請求項１〜４に係る発明の特許は取り消すべきものである。」旨の取消理由を通知した。
４）．訂正の概要
　平成１１年２月２６日付手続補正書で補正がされた訂正請求は、願書に添付された明細書の請求項１「レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レクチルを均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、前記２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ該第一領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有することを特徴とする投影露光装置。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、該均一化光学系の入射側の照明光の分布を円輪状にする入射光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、前記２次光源の中心から偏心した位置に配置された１対の透過部である第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ不透過部である第２領域とを有することを特徴とする投影露光装置。」と訂正するものである。
５）．訂正拒絶理由の概要
「訂正請求における請求項１に係る発明は、原出願の明細書又は図面に記載されておらず、かつ、示唆もされていないので本件特許に係る出願は、特許法第４０条第１項の規定による適法な分割出願であるとすることができず、本件特許出願日は、平成８年３月１１日であると認める。
　そして、請求項１に係る発明は、特開平４−２６７５１号公報に記載された発明及び特開昭６１−９１６６２号公報（以下、「引用例」という。）に記載された発明に基いて当業者が容易に発明することができたものであるから、訂正請求における請求項１に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　従って、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しない。」旨の訂正拒絶理由を通知した。
６）．引用例に記載された発明の認定
６）．１　引用例の記載内容
　引用例には、以下の事項が記載されている。
　引用例の発明の詳細な説明【産業上の利用分野】の項には、「本発明は、半導体集積回路等の製造に要する微細レジストパターンを形成する投影露光装置に関するものである。」と記載されている。
　また、引用例の発明の詳細な説明の【発明が解決しようとする問題点】の項には、「・・・従来の装置においては、レチクル８を照射する光の性質を制御するのがコヒーレンシイσ値だけであるため、焦点深度、領域内均一性、線幅制御性等各種条件を満たしつつ微細パターンを形成しようとすると、ＮＡとσとによって決まる限界があった。したがって、投影光学系１４の開口数ＮＡと２次光源２４の大きさが決まると、パターン形成特性が自動的に決り、さらに解像性能を高めることはできなかった。
　本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、投影光学系の開口数とレチクル照射用２次光源の大きさを固定した後のパターン解像性能をさらに向上させる投影露光装置を提供することにある。」と記載されている。
　また、【問題点を解決するための手段】の項には、「このような目的を達成するために本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着可能としたものである。」と記載されている。
　さらに、【実施例】の項において、「本発明に係わる投影露光装置に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図〜第４図に示す。
　第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が高い石英、フッ化カルシウム、フッ化リチウム等の基板にクロム等の遮光体を蒸着することによって作製することができる。また第２図（ａ）に示す絞りは透過率に分布を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すように、周辺に近づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる絞りである。この絞りは、第１図に示す絞り同様に、透過基板に遮光体を径方向に厚さ分布を持たせて付着させるとにより作製することができる。なお第２図（ｂ）に示す曲線は、円の周辺に近づく程透過率が高くなる曲線であれば何でもよい。第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製できる。また、第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたものである。」と記載されている。
　さらに、「第１図に示した円輪状開口絞りを使用した本発明の投影露光装置の一実施例によれば、線幅０．４μｍ、ピッチ０．８μｍのラインアンドスペースまで解像し得ることが確認されている。円輪状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光線だけを使うようにする程高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果はおのおの異なってくるが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解像となる。また、第２図〜第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた効果を生じ、これら以外の形状でも外側で高透過率を有する形状ならば何でもよい。」と記載されている。
　また、「オプチカルインテグレータ５に入る光の分布を円錐レンズの着脱により周辺円輪状と中央集中型とに切り替え可能とし」と記載され、均一化光学系の入射側の照明光の分布を円輪状にする入射光学系が示されている。
　また、【発明の効果】の項には、「以上説明したように本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパターンをより深い焦点深度で形成することができるので、半導体集積回路等の製造に適用すれば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。」と記載されている。
　第６図の説明として、第２頁右下欄１０行〜第３頁左上欄１８行を参照すると、第６図における第１集光光学系１８、均一化光学系１９、開口絞り９及び第２集光光学系２０は、レチクル８を照明する光学系を構成するから、第６図には、レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを基板１５上に投影露光する投影光学系１４とを有する投影露光装置が図示され、均一化光学系１９の出射側の、２次光源２４が形成される位置に開口絞り９が配置されたものが図示されている。
　第３図には、周縁部に８つの円形状の小開口部を有する開口絞りが図示されいる。
　第４図には、周縁部に４つの弓形状の開口部を有する開口絞りが図示されている。
６）．２　引用例に記載された発明の認定
　引用例には、「第１集光光学系１８、均一化光学系１９、開口絞り９及び第２集光光学系２０からなる、レチクル８を照明する照明光学系と、前記レチクル８上のパターンを投影光学系とを有する投影露光装置において、均一化光学系１９と、前記均一化光学系に相当するオプティカルインテグレータに入る光の分布を周辺円輪状とする円錐レンズと、均一化光学系１９の出射側の、２次光源２４が形成される位置に配置された開口絞り９とを有し、前記開口絞り９は、周縁部に８つの円形状の小開口部を有する金属板又は、周縁に４つの弓形状の開口部を有する金属板である投影露光装置。」の発明が記載されている。
７）．訂正の適否についての判断
７）．１　訂正明細書に基づく出願日の認定
　訂正された明細書の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明」という。）の必須の構成である「１対の透過部である第１領域」が、原出願の明細書に記載又はその構成の示唆がされているか否かについて検討すると、原出願の明細書には、「１対の透過部である第１領域」なる記載がなく、また、その構成の示唆もない。さらに、原出願の明細書には、「１対の透過部である第１領域」なる構成についての技術的意義に関して何ら記載されておらず、その示唆もされていない。
　そうすると、原出願の明細書に記載又は示唆されていない「１対の透過部である第１領域」を構成とする前記訂正発明は、原出願に包含される発明の一部を分割したものとすることができないので、本件特許に係る出願の出願日は、平成８年３月１１日であると認める。
　なお、特許権者は、平成１１年２月２６日付け意見書において、原出願の明細書において「１対の透過部」なる技術上の概念が示唆されている根拠として、原出願の明細書第１４項第１４行〜第１５項第６行の記載「第１図に示した円輪状開口絞りを利用した本発明の投影露光装置の一実施例によれば、線幅０．４μｍ、ピッチ０．８μｍラインアンドスペースまで解像し得ることが確認されている。円輪状開口絞りにおいてはできるだけ外側の光線だけを使うようにする程高解像性となるので、円輪開口絞りの外形、内径により効果はおのおの異なってくるが、いずれの場合も単純な円形開口に比較すると高解像となる。また、第２図〜第４図に示した絞りを用いてもそれぞれ透過光に応じた効果を生じ、これら以外の形状でも外側で高透過率を有する形状ならば何でもよい。」旨の記載を挙げている。
　また、この記載から、第１図に示した円輪状開口フィルタによる効果とは異なる、第３図に示された１対の開口部を４組有するフィルタによる透過光の分布に応じた効果、第４図に示された１対の開口部を２組有するフィルタによる透過光の分布に応じた効果が生じる旨主張している。
　上記主張について検討すると、原出願の明細書【問題点を解決するための手段】の項には、「本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着可能としたものである。」と記載されていること、また、【実施例】の項において、「本発明に係わる投影露光装置に適用される特殊絞りとしての２次光源制御用絞りの各実施例を第１図〜第４図に示す。
　第１図に示す絞りは円輪状に通過域を有する絞りであり、照射光の透過率が高い石英、フッ化カルシウム、フッ化リチウム等の基板にクロム等の遮光体を蒸着することによって作製することができる。また第２図（ａ）に示す絞りは透過率に分布を有する絞りである。この透過率の分布は、第２図（ｂ）に示すように、周辺に近づく程透過率が高く中心に近づくと低透過率あるいは完全遮光となる絞りである。この絞りは、第１図に示す絞り同様に、透過基板に遮光体を径方向に厚さ分布を持たせて付着させることにより作製することができる。なお第２図（ｂ）に示す曲線は、円の周辺に近づく程透過率が高くなる曲線であれば何でもよい。第３図に示す絞りは周辺部のみに数個又はそれ以上の多数個の小開口を有する絞りであり、金属板等に穴をあけることにより作製できる。また、第４図に示す絞りは第１図に示した絞りに近いものを簡便に金属板等をくりぬいて作製するため、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたものである。」と記載されていること、さらに、【発明の効果】の項には、「以上説明したように本発明は、従来装置が用いていた２次光源の大きさを決める円形絞り等の均一絞りの代わりに円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞りを装着することにより、薄いレジスト層に従来より微細なパターンをより深い焦点深度で形成することができるので、半導体集積回路等の製造に適用すれば大幅な集積度向上がはかれる効果がある。」と記載されていることからすると、原出願の出願当初の明細書に記載されまたは示唆された実施例は、「円輪状透過部を有する形状等中央部に対して周辺部の透過率が高くなるようにした特殊絞り」なる概念を開示したにすぎない。
　そうすると、原出願の願書に最初に添付された図面の第３図及び第４図に示されたものに固有の効果は、「金属板等に穴をあけることにより作成できる」又は、「簡便に金属板等をくりぬいて作成」できるというものであって、それらの開口部が一対であるか否かによって生ずるものでないから、それらの図に示されたものが、それぞれ、一対の開口部を４組有するもの及び一対の開口部を２組有するものであると解したとしても、これらの図は、「円輪状透過部を有する形状」を単に例示するものとして記載されたにすぎず、「一対の透過部である第１領域」という技術的概念が、原出願の出願当初の明細書又は図面に、記載又は示唆されていたとする根拠とはならない。
７）．２　訂正拒絶理由において示した引用例との対比
　訂正発明と、引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された発明の「開口絞り９」及び「円錐レンズ」は、訂正発明の「光学部材」及び「入射光学系」に相当し、引用例に記載された発明において、２次光源２４は均一化光学系によって形成され、レチクル８を均一に照明するためのものである。そして、４つの弓形状の開口部は、開口絞り９の周縁部にあることから２次光源の中心から偏心した位置にあたり、開口絞り９は、４つの弓形状の開口部でのみ照明光を透過させるから、透過部である領域と、光を透過させない、すなわち、透過部よりも低い透過率である領域とから構成されている。
　そうすると、訂正発明と引用例に記載された発明とは、「レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを投影光学系を基板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、前記均一化光学系の入射側の照明光の分布を円輪状にする入射光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、前記２次光源の中心から偏心した位置に配置された透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ第１領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有する投影露光装置」である点で一致し、訂正発明が、「１対の透過部」なる構成を有するのに対し、引用例に記載された発明は４つの弓形状の透過部を有するものである点で相違する。
　上記相違点について検討すると、引用例に記載された発明において、弓形状の開口部は、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたことによって、形成されたものであって、つなぎの部分は、開口絞り９の中央部分を支持するために適宜の数形成すればよいものであるから、引用例に記載された発明において、つなぎの部分を２箇所とし、弓形状の開口部を２つすなわち一対とすることは、当業者が容易になし得るものにすぎず、またそのようにすることに格別の意義は認められない。
　そうすると、訂正発明は、引用例に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものであると認められる。
７）．３　結論
　そうすると、訂正発明は、出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　従って、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しない。
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、認められない。
８）．異議申立に対する判断
８）．１　本件特許の請求項１〜４に係る発明
請求項１
「レチクルを照明する照明光学系と、前記レチクル上のパターンを投影光学系を基板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、２次光源の中心から．偏心した位置に配置された１対の透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ該第１領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有することを特徴とする投影露光装置。」
請求項２
「前記一対の透過部は、前記中心から等距離の位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の投影露光装置。」
請求項３
「前記光学部材は、２対の弓形状の開口部を有するフィルタを含むことを特徴とする請求項１または請求項２記載の投影露光装置。」
請求項４
「前記光学部材は、４対の円形状の開口部を有するフィルタを含むことを特徴とする請求項１または請求項２記載の投影露光装置。」
８．２　特許明細書に基づく出願日の認定
　請求項１に係る発明の必須の構成である「１対の透過部を持つ第１領域」が、原出願の明細書に記載又はその構成の示唆がされているか否かについて検討すると、原出願の明細書には、「１対の透過部を持つ第１領域」なる記載がなく、また、その構成の示唆もない。さらに、原出願の明細書には、「１対の透過部を持つ第１領域」なる構成についての技術的意義に関して何ら記載されておらず、その示唆もされていない。
　そうすると、原出願の明細書に記載又は示唆されていない「１対の透過部を持つ第１領域」を構成とする請求項１に係る発明は、原出願に包含される発明の一部を分割したものとすることができないので、本件特許に係る出願の出願日は、平成８年３月１１日であると認める。
８）．３　本件特許の請求項１〜４に係る発明と上記取消理由に示した引用例との対比　　　
８）．３．１　本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件第１発明」という。）と引用例との対比
　本件第１発明と、引用例に記載された発明とを対比すると、引用例に記載された発明の「開口絞り９」及び「円錐レンズ」は、本件第１発明の「光学部材」及び「入射光学系」に相当し、引用例に記載された発明において、２次光源２４は均一化光学系によって形成され、レチクル８を均一に照明するためのものである。そして、４つの弓形状の開口部は、開口絞り９の周縁部にあることから２次光源の中心から偏心した位置にあたり、開口絞り９は、４つの弓形状の開口部でのみ照明光を透過させるから、透過部である領域と、光を透過させない、すなわち、透過部よりも低い透過率である領域とから構成されている。
　そうすると、本件第１発明と引用例に記載された発明とは、「レチクルを照明する照明光学系と前記レチクル上のパターンを投影光学系を基板上に投影露光する投影光学系とを有する投影露光装置において、前記照明光学系は、前記レチクルを均一に照明するために２次光源を形成する均一化光学系と、該２次光源が形成される位置に配置された光学部材とを有し、前記光学部材は、２次光源の中心から偏心した位置に配置された透過部を持つ第１領域と、該第１領域以外の領域に形成されかつ第１領域の透過部よりも低い透過率を持つ第２領域とを有する投影露光装置。」である点で一致し、本件第１発明が、「１対の透過部」なる構成を有するのに対し、引用例に記載された発明は４つの弓形状の開口部を有するものである点で相違する。
　上記相違点について検討すると、引用例に記載された発明において、弓形状の開口部は、円輪開口部の一部につなぎの部分を入れたことによって、形成されたものであって、つなぎの部分は、開口絞り９の中央部分を支持するために適宜の数形成すればよいものであるから、引用例に記載された発明において、つなぎの部分を２箇所とし、弓形状の開口部を２つすなわち一対とすることは、当業者が容易になし得るものにすぎず、またそのようにすることに格別の意義は認められない。
　そうすると、本件第１発明は、引用例に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものであると認められる。
８）．３．２　本件特許の請求項２に係る発明（以下、「本件第２発明」という。）と引用例との対比
　引用例に記載された発明における開口絞り９の弓形の開口部も２次光源の中心から等距離に配置されているものと認められるから、本件第２発明は、第１発明と同様に上記引用例に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものであると認められる。
　従って、本件第２発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
８）．３．３　本件特許の請求項３に係る発明（以下、「本件第３発明」という。）と引用例との対比
　上記引用例に記載された発明の開口絞り９も４つの弓形状の開口部を有し、フィルタとして機能するものであるから、本件第３発明は、第１発明と同様に上記引用例に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものであると認められる。
　従って、本件第３発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
８）．３．４　本件特許の請求項４に係る発明（以下、「本件第４発明」という。）と引用例との対比
　上記引用例２に記載された発明の開口絞り９も８つの円形状の開口部を有し、フィルタとして機能するものであるから、本件第４発明は、第１発明と同様に上記引用例に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明できたものであると認められる。
　従って、本件第４発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
９）．むすび
　以上のとおりであるから、本件第１〜第４発明に係る特許は、取消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年９月３０日（１９９９．９．３０）