【事件の表示】
　特許第２９２３６４７号「ガス処理装置」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９２３６４７号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９２３６４７号についての出願は、昭和６３年６月１８日に特許出願され、平成１１年５月７日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人伊藤辰彦（以下、「申立人」という。）より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年６月１５日に訂正請求書及び意見書の提出がなさたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正の内容
　上記訂正請求は、特許請求の範囲の請求項１及び９の「立ち上がりが極めて早く、幅の極めて短い」を「立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす」と訂正することを求めるものである。
（２）訂正の目的の適否、新規事項追加の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項は、「立ち上がりが極めて早く、幅の極めて短い」という定性的な記載を、定量的な記載とすることによって明確にするものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　そして、「立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす」大きさを有する極短パルス高電圧は、本件特許明細書に記載されていた事項であるから（特許公報第３頁第５欄第２４〜３０行参照）、この訂正事項は、新規事項の追加に該当せず、また、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
（３）むすび
　したがって、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
（１）本件発明
　本件発明は、訂正明細書の請求項１〜９に記載された事項により特定されるとおりのものである（以下。「本件発明１〜９」という。）。
（２）申立て理由の概要
　申立人は、本件発明の詳細な説明中に、本件発明で印加される極短パルス高電圧は、「立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす大きさである極短パルス高電圧」であることが必要な旨が記載されているにも拘わらず、本件特許請求の範囲の請求項１及び９には、この点に関し、単に「立ち上がりが極めて早く、巾の極めて短い極短パルス高電圧」と記載されているのみであり、本件特許請求の範囲には、発明の構成に欠くことができない事項のみが記載されているとはいえないから、本件発明１〜９の特許は、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たさない出願に対してなされたものであって、その特許を取り消すべきであることを主張している。
（３）判断
　上記訂正請求により、本件特許請求の範囲の請求項１及び９の「立ち上がりが極めて早く、幅の極めて短い」は、「立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす」と訂正されたから、特許異議申立理由に係る本件明細書の記載不備は存在しないものとなった。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由によっては、本件発明１〜９に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜９に係る特許を取り消すべき理由も発見しない。
　したがって、本件発明１〜９についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認められない。
　よって、平成６年改正法附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年９月７日（２０００．９．７）
【訂正の要旨】
　特許第２９２３６４７号「ガス処理装置」の明細書を、以下のとおり訂正する。
（ａ）明りょうでない記載の釈明を目的として、特許請求の範囲の請求項１及び９の「立ち上がりが極めて早く、幅の極めて短い」を「立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ガス処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】ガス通路内の上流側にガス流を遮る様に設けられたコロナ放電極と、これに対向の上これより絶縁して配設された非コロナ対向電極とよりなる放電処理部と；
該両電極間に立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす
　【請求項２】該極短パルス高圧電源が、充電用直流高圧電源と、その出力側に両端を接続されたパルス形成用コンデンサーと、該コンデンサーの高圧端と該コロナ放電極との間に介入して設けられた火花スイッチより成る事を特徴とする請求項１記載のガス処理装置。
　【請求項３】該極短パルス高圧電源が、充電用直流高圧電源と、その高圧出力側に一端を接続され該コロナ放電極に他端を接続されたパルス形成用コンデンサーと、該高圧出力側に接続され該パルス形成用コンデンサーの一端とアースとの間に介入して設けられた火花スイッチより成ることを特徴とする請求項１記載のガス処理装置。
　【請求項４】該火花スイッチが互いに距離を隔てて絶縁された固定電極と、その中間に配設された回転体に固定された回転電極と、該回転体の回転運動を駆動するための駆動部よりなる回転火花スイッチである事を特徴とする請求項２又は３記載のガス処理装置。
　【請求項５】該放電処理部の該対向非コロナ放電極がガス流に垂直に接地配設されたガスの通過を許す構造の面状電極であり、該コロナ放電極が該接地対向非コロナ電極に垂直な方向に配向され互いに平行に一定間隔を隔ててアースより絶縁のうえ配設された複数個のストリップ状電極よりなり、該ストリップ状コロナ放電極の該接地対向非コロナ電極に向かう長手方向の側縁が、すべて該接地対向非コロナ電極に平行で、かつこれと一定の間隔を有する事を特徴とする請求項１記載のガス処理装置。
　【請求項６】該放電処理部の該対向非コロナ電極が少なくとも１個の接地円筒電極よりなり、該コロナ放電極が該円筒電極の中心軸に添って絶縁配設された長形の電極であり、ガスが該円筒電極の内部を通過する事を特徴とする請求項１に記載のガス処理装置。
　【請求項７】該触媒部が触媒再生装置を具備し、その触媒再生装置が送風機、ガス加熱器及び該ガス加熱器の加熱ガス出口と触媒部を連通して加熱ガスを該触媒部に導入するための加熱ガス導入ダクトよりなり、該触媒部の触媒層に加熱したガスを通過せしめてその機能を再生する事を特徴とする請求項１記載のガス処理装置。
　【請求項８】該触媒部が複数個の並列ダクトよりなり、それぞれ触媒層とガス流開閉用のダンパーを備え、該触媒再生装置の該加熱ガス導入ダクトを分岐し、そのうえ各分岐管を弁を介して上記各並列ダクトの該触媒層と該開閉用ダンパーの間の位置に開口せしめ、順次に該並列ダクトの該開閉用ダンパーを閉め、そのダクトに導入された上記分岐管の弁のみを開けて該加熱ガスを当該ダクトに導入し、その触媒層を通過せしめてこれを再生し、以下順次に該再生操作を該並列ダクトの全てに行う事を特徴とする請求項１又は７に記載のガス処理装置。
　【請求項９】ガス通路内の上流側にガス流を遮る様に設けられたコロナ放電極と、これに対向の上これより絶縁して配設された非コロナ対向電極とよりなる放電処理部と；
該両電極間に立ち上がり時間Ｔｒが２００ナノセカンド以下、その継続時間Ｔｈ（半値幅）が２０００ナノセカンド以下で、ピーク電圧値Ｖｐが少なくとも８ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす
【発明の詳細な説明】
　【産業上の利用分野】
　この発明はガス中に含まれるＮＯｘ，ＳＯｘ，Ｈｇ，Ｈｃｌ，ダイオキシン等のガス状有害物質、あるいはＮＨ３，Ｈ２Ｓ，メチールメルカプタン等の悪臭物質を分解除去する為のガス処理装置に関するものである。しかし本発明の応用はこれらに止どまらず、各種のガス状物質の分解ないし合成を含むガス処理をも包含する。
　【従来の技術】
　従来上記のガス状有害物質や悪臭物質の除去には、吸着物質に吸着させる方法、触媒で分解する方法、吸収物質に化学的に吸収する方法、高温度で焼却する方法が用いられてきたが、いずれもその装置、運転費とも極めて高価であった。また高エネルギー電子ビームを照射して大量の酸化性活性種（ＯＨ、ｏ等のラジカル、酸素イオン、励起状態の酸素等）を生成し、その酸化分解作用を利用する方式も開発されたが、同じく装置、運転費が極めて高価で実用化されるに至っていない。また本発明者はその先出願に係る別発明（特開昭６２−２８９２４９）に於いて、コロナ放電極と非コロナ対向電極を対向してなるコロナ電極系の電極間隙にガスを流しつつ両電極間に立ち上がりが極めて早く幅の極めて短い極短パルス高電圧を印加する事によって該コロナ放電極より該対向電極に向かって強力なストリーマー・コロナ放電を発生せしめ、その放電化学作用によって生成される多量の酸化性活性種の酸化作用で上記ガス状有害物質を酸化分解するパルス・コロナ・プラズマ化学方式（以下ＰＰＣＰ方式と呼ぶ）を提案したが、この方式もその設備費かかなり高価であった。
　【本発明が解決しようとする課題】
　この発明の目的は上記ＰＰＣＰ方式の効果を飛躍的に向上し、その設備費および運転費を大巾に低減する事である。
　他の目的は各種のガス状物質の分解ないし合成を含む新規のガス処理方式を提供する事である。
　また他の目的は処理対象ガス中に含まれる有害ガス成分や悪臭成分を分解除去する事である。
　【課題を解決するための手段】
　本発明者は上記ＰＰＣＰ方式のガス処理装置の下流側に、残留放電生成物を吸着分解する機能を持った適当な触媒層（例えば蓮根状セラミック担体に担持せるチタニア・シリカ・酸化クローム・酸化マンガン・酸化バナジューム等よりなるオゾン分解触媒等）を配設する事によって、ＰＰＣＰ方式によるガス状有害物質や悪臭物質の除去効果および除去速度を飛躍的に向上し得る事を実験的に発見した。例えば濃度１００００ｐｐｍのアンモニア・ガスをＰＰＣＰにより処理する時は処理時間０．１秒で濃度が約８０００ｐｐｍに下がり、また触媒層のみでは滞留時間０．２秒で濃度の低下は殆ど見られない。所が上記ＰＰＣＰ処理部の下流に触媒層を結合すると、それぞれの処理時間が全く上と同じでも出口のアンニモア濃度は殆どゼロに低下する。すなわちかかる結合によってアンモニア酸化分解効果の著しい向上が発現する。その上この場合ＰＰＣＰ処理部で生成される酸化性活性種の量は、処理されたアンモニアの量に比べて化学量論的に遥かに少なく、その結果装置が大巾に小形となる。この理由は未だ明らかでないが、ＰＰＣＰ処理部で生成された酸化性活性種と対象ガス状物質の大部分が未反応のまま触媒部に進入して触媒層に吸着され、該対象ガス状物質の該酸化性活性種による酸化分解が主として触媒層上で行われ、その際該酸化性活性種のあるもの（例えばＯＨラジカル）が連鎖反応によって再生され、その当初発生量より遥かに多量の対象ガス状物質を酸化分解する為ではないかと考えられる。
　本発明は上記の発見を利用し、ＰＰＣＰと触媒層の結合により上記本発明の目的を達成しようとするものである。
　すなわち本発明による新規のガス処理装置は、ガス通路の上流側にガス流を遮る様に設けられたコロナ放電極とこれに対向の上これより絶縁して配設された非コロナ対向電極とよりなる放電処理部と、両電極間にに立ち上がり極めて早く幅の極めて短い極短パルス高電圧を印加する為の極短パルス高圧電源と、該ガス通路の該放電処理部の下流側にガス流を遮る様に設けられた放電生成物分解触媒層を有する触媒部よりなり、該コロナ放電極より該非コロナ対向電極に向けて強力なパルス誘導型ストリーマー・コロナ放電を発生せしめ、その電化学作用でガス中に含まれる成分を処理し、残留放電生成物を該放電生成物分解触媒層で吸着し分解除去したうえ外部に放出する事を特徴とする。
　この場合最も重要な要素は該極短パルス高電圧の立ち上がり時間Ｔｒ，その継続時間（半値幅Ｔｈで表す）、およびそのピーク電圧値Ｖｐであり、Ｔｒについては２００ナノセカンド以下、Ｔｈは２０００ナノセカンド以下、またＶｐについては該両電極間の間隙に少なくともＥｐ＝８ｋＶ／ｃｍ以上の波高値電界強度、好ましくはＥｐ＝２０ｋｖ／ｃｍ以上の波高値電界強度をもたらす大きさを有する事が必要である。
また該極短パルス高電圧の極性は、該コロナ放電極が該非コロナ対向電極に対して正となるごとき極性を以て両電極間に印加しても、負となるごとき極性を以て印加しても良い。
　該極短パルス高圧電源は、一般に第１図に示す様に充電用直流高圧電源１と、その出力端子２、３に両端４、５を接続されたパルス形成用コンデンサー６と、該コンデンサー６の高圧端４と該コロナ放電極７との間に介入して設けられた火花スイッチ８で構成し、該火花スイッチ８の火花電極９、１０間に火花を発生する事により該コンデンサー６の充電電圧を瞬時に該コロナ放電極７とこれに対向する接地非コロナ対向電極１１との間に導線１２、１３を介して印加する方式のものを用い得る。ここに１４は該充電用直流高圧電源１を保護する為のインダクタンスであるが抵抗を用いても良い。
　該極短パルス高圧電源はまた第２図に示すように充電用直流高圧電源１の高圧出力端子２にインダクタンス（または抵抗）１４を介してパルス形成用コンデンサー６の一端４を接続し、その他端を該コロナ放電極７に接続し、該一端４とアース線１３との間に介入して火花スイッチ８を設けて構成しても良い。
　該火花スイッチは第１図及び第２図に示す様に２個の固定電極９、１０のみで形成し、該コンデンサー６の充電による電位上昇で自爆的に火花を発生せしめる自爆型火花スイッチを用いても良いが、第３図および第４図に示すように、互いに距離を隔てて絶縁された固定電極９、１０と、その中間に配設された回転体１５に固定された回転電極１６、１６′……と、該回転体１５の回転運動を駆動するための駆動部（本例では電動機）１７で構成され、回転体１５の回転によって該固定電極９、１０の中間に該回転電極を次々に近接させて火花を発生させる回転火花スイッチ１８を用いるのが火花の切れを確実にするのに好適である。ここに１９は両端を軸受けに支えられた回転軸で絶縁物で出来たシャフトを用いて該駆動部１７に直結しても良く、あるいは金属シャフトをもちいてその両端の軸受けを絶縁碍子で支え、これを絶縁ベルトで該駆動部１７に連結しても良い。
　該回転火花スイッチ１８の該回転体１５はその回転軸１９を第３図に示す様に該両固定電極９、１０を含む面に垂直に配設しても良いが、これを第４図に示す様に該面に平行に配設しても良い。第３図の例では導体の回転体１５から放射状に偶数個の回転電極１６、１６′……が対称的に突出し、該回転体１５の回転に伴って対称位置の２個の回転電極がそれぞれの固定電極に近接して火花を生じ、電流を導通する。第４図の例では回転体１５は絶縁物円盤２０より成り、その外周付近に第５図（第４図のＸ−Ｘ断面酢）に示すように円筒状の回転電極片１６、１６′……が該円盤２０を貫通して固定されており、該円盤２０の回転に伴ってそれぞれの回転電極片が該固定電極９、１０の間を通過する際火花を生ずる。
　また該放電処理部の電極構造には次の様な方式があり、そのいずれも本発明に用いる事ができる。
　第１の方式は第６図（縦断面図）及び第７図（横断面図）に示す様に該対向非コロナ電極２１を複数個の接地板状電極群２３、２３′…で構成して、これをガスダクト２２内にガス流に平行な方向に、且つ互いに平行に一定間隔を隔て配設し、該コロナ放電極２５を相隣るそれぞれの該板状対向電極の中間２４、２４′…にこれと平行に且つガス流に平行な方向にそれぞれ少なくとも１本宛て絶縁張架して構成する方式で、本例では該コロナ放電極２５は該板状対向電極群２３、２３′…の両端を越えてその上流側及び下流側の外部領域２７、２８に伸延する複数個の線状コロナ放電極群２６、２６′…よりなり、その伸延両端部で該板状対向電極群２３、２３′…と平行な共通支持導体２９、２９′…および３０、３０′…により張架固定される。該共通支持導体２９、２９′…および３０、３０′…は更に該外部領域２７、２８に於いて該コロナ放電極群および該板状対向電極群の双方と直交する導体の共通支持ビーム３１、３１′…および３２、３２′…に固定支持され、該共通支持ビーム３１、３１′…および３２、３２′…はその両端において碍子３３、３３′…および３４、３４′…によって絶縁支持されている。この場合、該コロナ放電極群２６、２６′…の断面形状は円形断面、角形断面、星形断面等々のいずれを用いても良く、また多数の針状突起を有する線状、棒状、またはストリップ状の長形コロナ放電極を用いても良い。また周縁を鋭く尖らせた多数の円盤を棒に等間隔に串ざしにしてなる長形コロナ放電極を用いても良い。
　該放電処理部の電極構造の第２の方式は第８図（縦断面図）及び第９図（横断面図）に示す様に第６図、第７図の例に於ける線状コロナ放電極群２６、２６′…をガス流と垂直な方向に配設して、その上下端で該板状対向電極群２３、２３′…の両端を越えてその上流側及び下流側の外部領域２７、２８に伸延する共通支持導体３５、３５′…および３６、３６′…により張架固定される。該共通支持導体３５、３５′…および３６、３６′…は更に該外部領域２７、２８に於いて該共通支持導体３５、３５′…および３６、３６′…と該板状対向電極群２３、２３′…の双方と直交する導体の共通支持ビーム３７、３７′…および３８、３８′…に固定支持され、該共通支持ビーム３７、３７′…および３８、３８′…はその両端において碍子３３、３３′…および３４、３４′…によって絶縁支持されている。
　該放電処理部の電極構造の第３の方式は第８図及び第９図の例に於ける該共通支持導体３５、３５′…および３６、３６′…を該該板状対向電極群２３、２３′…と垂直に配設し、該共通支持導体３５、３５′…および３６、３６′…の断面寸法より充分大きな内径を有する該板状対向電極群２３、２３′…に設けられた貫通窓の中心を通過してその両最外側板状対向電極の外側に貫通突出の上、そこで支持碍子に担持固定する方式である。
　該放電処理部の電極構造の第４の方式は第１０図（縦断面図）及び第１１図（横断面図）に示す様に、該放電処理部の該対向非コロナ電極をガスダクト２２内でガス流を遮る如くにガス流に垂直に接地配設されたガスの通過を許す構造の面状電極（金網電極、格子状電極、多孔板電極等々）３９、３９′、３９″で構成し、該コロナ放電極を該接地対向非コロナ電極３９、３９′、３９″に垂直な方向に配向され互いに平行に、一定間隔を隔ててアースより絶縁のうえ配設された複数個のストリップ状電極群４０、４０′…および４１、４１′…で構成し、該ストリップ状コロナ放電極群４０、４０′…および４１、４１′…の該面状接地対向非コロナ電極３９、３９′、３９″に向かう長手方向の側縁群４２、４３、４４、４５がすべて当該接地対向非コロナ電極に平行でかつこれと一定の間隔を有する様にし、該側縁群４２、４３、４４、４５をコロナ放電の発生部とする方式である。この場合、該ストリップ状電極群４０、４０′…および４１、４１′…を支持するには、少なくともその両端付近でこれと直交する導体の水平共通支持ロッド４６、４６′および４７、４７′にスペーサー・パイプ４８、４８′…および４９、４９′…を挾んで串ざしに貫通し、該共通支持ロッド４６、４６′および４７、４７′をその両端付近でこれと直交し且つ該接地対向非コロナ電極群３９、３９′、３９″と垂直な方向に配向せる少なくとも４本の導体支持ビーム（本例では平板バー）５０、５０′および５１、５１′に担持固定し、該導体支持ビーム５０、５０′および５１、５１′をその断面寸法より充分大きな内部寸法を有する該面状接地対向非コロナ電極群３９、３９′、３９″に設けられた貫通窓５２、５２′…，５３、５３′…，５４、５４′…の中心を通過して該接地対向非コロナ電極群３９の上流側及び３９″の下流側の外部領域２７、２８に貫通突出せしめ、そこで支持碍子５５、５５′…，５６、５６′…に担持固定する方式である。
　この場合、該ストリップ状電極にはその当該面状接地対向非コロナ電極に向かう長手方向の側縁に該対向非コロナ電極に向かう突起群ないし針状電極群を設けても良い。
　該放電処理部の電極構造の第５の方式は、該対向非コロナ電極として１個ないし複数個の接地円筒電極を用い、その中心軸に沿って長形の該コロナ放電極を絶縁配設する方式で、この場合処理対象ガスが該円筒の内部を通過する。
　該放電処理部の電極構造の第６の方式は、該対向非コロナ電極として１個ないし複数個の接地せる正方形ないし矩形断面の角筒を用いその中心軸に沿って長形の該コロナ放電極を絶縁配設する方式である。
　本発明の触媒部に用いる触媒層は時間と共に劣化する可能性があるので、これをガス流方向に少なくとも２段、脱着自在に設け、交換に際しては劣化が早く現れる上流側の触媒層を取り出し、下流側の触媒層を上流側に移して、その後に新品のまたは再生ずみの触媒層を挿入するのが良い。
　また処理対象ガスがダストを含む場合、該触媒層がダストで汚れてその機能を失う可能性がある。この様な場合に該放電処理部の上流側、もしくは該放電処理部と該触媒部の中間にに集塵装置を配設しダストを除去する必要がある。
　本発明に用いる放電生成物分解触媒にはガスの種類や状態に対応して適当なものを選定する必要があるが、一般に有害ガスや悪臭ガスの処理にはオゾンを分解する作用の勝れた触媒、特にチタニア・シリカの焼結体を用いると効果的である。
　該触媒層の劣化に対処する手段としては、これを再生する機構を本ガス処理装置に設ける事である。その一つの方法は送風機、ガス加熱器および該ガス加熱器の加熱ガス出口と該触媒部を連通して加熱ガスを該触媒部に導入するための加熱ガス導入ダクトよりなる触媒再生装置を本装置の１部として設け、該触媒層に加熱したガスを通過せしめてその機能を再生する事である。
　この場合該送風機のガス入口を外気に連通し、外気を吸入加熱してこれで再生操作を行うのが良い。しかし場合によっては該送風機のガス入口を該触媒部の触媒層に対して該加熱ガス導入ダクトと反対側の位置において該触媒部に連通させ、対象ガス自体を加熱のうえ触媒層を通して循環せしめ再生操作を行っても良い。
　また本装置の運転を停止しないで触媒再生操作を行うには、該触媒部をそれぞれが触媒層とガス流開閉用のダンパー備えた複数個の並列ダクトに分け，該触媒再生装置の該加熱ガス導入ダクトを分岐のうえ各分岐管を弁を介して上記各並列ダクトの該触媒層と該開閉用ダンパーの間の位置に開口せしめ、順次に該並列ダクトの該開閉用ダンパーを閉め、当該ダクトに導入された上記分岐管の弁のみを開けて該加熱ガスを当該ダクトに導入し、その触媒層を通過せしめてこれを再生し、以下順次にこの再生操作を該並列ダクトの全てに行うのが良い。
　このような加熱ガスによる触媒再生操作の効果はアルコール蒸気や水素等の適当な触媒再生助剤を添加することによって大巾に向上しうる可能性があり、これを実施するには該触媒再生助剤の容器とその供給パイプよりなる触媒再生助剤供給装置を設け、該供給パイプをを該加熱ガス導入ダクトに連通し、該触媒再生助剤を該触媒部に導入のうえ該加熱ガスと共に該触媒層を通過せしめてこれを再生すると良い。
　すでに述べたＰＰＣＰで生ずる放電生成物は場合により該放電生成物分解触媒でその全量を完全に分解除去出来ない事があるが、この様な場合には該触媒部の触媒層の下流側に、これを物理吸着する作用を持った適当な吸着剤（活性炭、シリカゲル、ゼオライト等）を設けると良い。この場合該吸着剤は該触媒層と別個に設けても良いが、これと一体化して設けることも出来る。
　【作用】
　処理対象ガス、例えば有害物質や悪臭を含むガスを放電処理部に導入してそのコロナ放電極と接地非コロナ対向電極の間を通過せしめ、両電極間に印加せる極めて高いピーク電圧の極短パルス電圧により生じた強力なストリーマーコロナ放電の放電域を通過させる事により上記有害物質や悪臭の分子に高い運動エネルギーを有する電子を射突せしめてその励起、電離、分解等の改質を行せる。同時に該強カストリーマーコロナ放電の特殊なプラズマ化学反応で定温・定圧下で豊富な励起酸素分子、励起酸素原子、酸素原子、酸素イオン、励起窒素分子、ＯＨ−ラジカル等のラジカル類を含む化学的活性種を生成し、これを気相中で上記有害物質や悪臭の分子に作用せしめてその改質を行う。次いでこれらの有害物質や悪臭の分子と上記化学的活性種を触媒部に導き、その触媒層をガスと共に通過させ、該触媒層の表面（主として内部表面）に吸着させる。この吸着過程により該有害物質や悪臭の分子と上記化学的活性種の密度が吸着相で大巾に上がり、気相中での両者の反応速度より格段に速い速度で該有害物質や悪臭の分子の酸化分解が行われる。この際該オゾン分解触媒の表面に於ける接触分解作用によって上記酸化分解が大きく助長される。残留活性種も該オゾン分解触媒の表面に於ける接触分解作用で完全に分解される。次いでこれら分解生成物（窒素、酸素、炭酸ガス、水分等）がガスと共に外気中に放出される。以上の経過を経て例えば有害物質や悪臭を含むガスの浄化・脱臭が完了する。
　【実施例】
　第１２図は本発明によるガス処理装置の１実施例の縦断面図を示す。図においてダクト５７より導入されたダストを含む処理対象ガスは、先ず集塵装置５８を通過して除塵された後、放電処理部５９に入る。該放電処理部５９は本例では第６図および第７図に示す電極構造を有し、極短パルス高圧電源６０より高圧導線６１、接地導線６２を介して極短パルス高電圧が線状コロナ放電極群６３と接地板状対向電極群６４の間に前者を正とする極性で印加され、該線状コロナ放電極群６３から該接地板状対向電極群６４に向かって強力なストリーマー・コロナ放電が発生している。その間を該処理対象ガスが通過する際、その有害ガス成分や悪臭成分が強力なＰＰＣＰ作用を受けてその１部ないし全部が分解される。ついで放電生成物（未分解の有害ガス成分や悪臭成分、およびオゾン、ラジカル、その他の化学的活性種等）を含むガスは触媒部６５に進入し、その触媒層６６を通過する。この際上記放電生成物が該触媒層６６の触媒表面に吸着され、その作用でことごとく又は大部分が分解除去される。本例では該触媒層６６はその下流側に付設した活性炭層６７を有し、該触媒層６６で分解出来なかった微量の未分解放電生成物を吸着除去する。清浄になった処理後のガスはダクト６８を通ってスタック６９に導かれ、外部に放出させる。長期の運転後、該該触媒層６６及び該活性炭層６７が機能劣化を生じた時は、運転を停止してダンパー７０、７１を閉じ、６６、６７の再生操作を行う。即ちブロアー７２を運転して空気入り口７３から弁７４を介して空気を吸引の上、ガス加熱器７５を通過させて加熱し、タンク７６に蓄えられた再生助剤アルコールを弁７７を介して添加のうえ、加熱ガス導入管７８から該触媒部６５の下流側７９に供給する。アルコール蒸気を含む加熱空気は先ず該活性炭層６７を通ってその吸着成分を脱着した後、該触媒層６６を通過してこれを再生し、該触媒部６５の上流側８０に入り、加熱ガス排出管８１、弁８２、管８３、脱着成分除去部８４を経て該脱着成分を除いた後、ガス排出口８５から外気に放出される。再生操作が完了すると再びダンパーを開けて本装置の運転を開始する。再生操作は場合により、弁７４を閉じ、加熱ガス排出管８１を弁８２によりブロアー７２に連通し加熱ガスを７５−７８−７９−６７−６６−８０−８１−７２の回路で循環させつつ再生を行っても良い。
　第１３図は本発明の別の実施例の垂直断面図、第１４図はその水平断面図である。図における５７から８０までの番号の要素の名称と機能は第１２図の例に於ける同一番号の要素のそれと同じであり、説明を省略する。本例にあっては放電処理部５９の電極構造は第１０図および第１１図に示したものを用いており、ストリップ状電極群８６と面状金網電極群８７の間に極短パルス高電圧が前者を正とする極性で印加され、各ストリップ状電極群８６の長手方向の端部から、これと対向する該面状金網電極郡８７に向かって強力なストリーマー・コロナ放電が発生する。８８は支持碍子、８９はブッシングである。集塵装置５８を出た処理対象ガスは該放電処理部５９を右方に通過し、その間に処理対象ガス中の有害ガス成分や悪臭成分が強力なＰＰＣＰ作用を受けた後、触媒部６５に進入する。本例では該触媒部６５は多数の並列ダクト９０、９０′…に分けられ、それぞれがジグザグに配置された触媒層６６を備え、その下流にそれぞれ別個のダンパー７１、７１′…を有している。これによって運転中に該触媒層の再生が可能となる。すなわち加熱ガス導入管７８は本例では上記並列ダクトの数だけの分岐管９１、９１′…に分岐し、それぞれ弁９２、９２′…を介して該並列ダクト９０、９０′…の触媒層下流側に入り、先端が上流に向かう噴射口９３、９３′…を有している。再生操作に当たっては、先ずダンパー７１のみを締めてダクト９０のガス流を停止させ、次いで弁９２のみを開いてアルコール蒸気を含む加熱空気を分岐管９１を介して噴射口９３から触媒層の下流面に向けて噴射しダクト９０内の触媒層を再生する。次に弁９２を閉じダンパー７１を開き、同じ操作を順次別のダクトについて行ってすべてのダクト内の触媒層６６を再生する。その他のガス処理作用とその機構については第２図の例で説明した通りであり、自明であるので説明を省略する。
　【効果】
　本発明は上述の様にＰＰＣＰと放電生成物分解触媒とを組み合わせ、ＰＰＣＰのすぐれた放電化学的作用を利用して処理対象ガスの分解、合成、その他の処理を迅速かつ効果的に行い、その放電生成物を触媒で完全に除去するので他の方法では従来不可能であった処理が可能となり、また装置が極めて安価となって大きな経済効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に用いる極短パルス高電圧電源の１例の回路図、第２図はその別の例の回路図である。第３図は該電源に用いる回転火花スイッチの構造の１例を示す図である。、第４図は該回転火花スイッチの別の例を示す図、第５図はその回転体部分の構造を示す図である。第６図は本発明に用いる放電処理部の電極構造の１例を示す縦断面図、第７図はその横断面図である。第８図は該電極構造の別の例を示す縦断面図、第９図はその横断面図である。第１０図は該電極構造のいま一つ別の例を示す縦断面図、第１１図はその横断面図である。
第１２図は本発明によるガス処理装置の一実施例の縦断面図を示す。また第１３図は本発明によるガス処理装置の別の実施例の縦断面図、第１４図はその水平断面図を示す。
図に於ける番号の名称は下記の通りである。
１……充電用直流高圧電源
２、３、４、５……端子
６……パルス形成用コンデンサー
７、２５……コロナ放電極
８……火花スイッチ
９、１０……固定火花電極
１１……接地非コロナ対向電極
１２、１３……導線
１４……保護インダクタンス
１５……回転体
１６、１６′……回転火花電極
１７……駆動部
１８……回転火花スイッチ
１９……回転軸
２０……絶縁物円盤
２１……対向非コロナ電極
２２……ガスダクト
２３、２３′……接地板状電極群
２４、２４′……中間
２６、２６′……線状コロナ放電極群
２７、２８……外部領域
２９、２９′……，３０、３０′……．……共通支持導体
３１、３１′……，３２、３２′……．……共通支持ビーム
３３、３３′……，３４、３４′……．……碍子
３５、３５′……，３６、３６′……．……共通支持導体
３７、３７′……，３８、３８′……．……共通支持ビーム
３９、３９′、３９″……面状電極
４０、４０′……，４１、４１′……．……ストリップ状電極群
４２、４３、４４、４５……側縁群
４６、４６′、４７、４７′……水平共通支持ロッド
４８、４８′……，４９、４９′……．……スペーサー，パイプ
５０、５０′、５１、５１′……導体支持ビーム
５２、５２′……，５３、５３′……，５４、５４′……貫通窓
５５、５５′……，５６、５６′……．……支持碍子
５７……ダクト
５８……集塵装置
５９……放電処理部
６０……極短パルス高圧電源
６１……高圧導線
６２……接地導線
６３……線状コロナ放電極群
６４……接地板状対向電極群
６５……触媒部
６６……触媒層
６７……活性炭層
６８…ダクト
６９…スタック
７０、７１…ダンパー
７２……ブロアー
７３……空気入口
７４、７７、８２……弁
７５……ガス加熱器
７６……タンク
７８……加熱ガス導入管
７９……下流側
８０……上流側
８１……加熱ガス排出管
８３……管
８４……脱着成分除去部
８５……ガス排出口
８６……ストリップ状電極群
８７……面状金網電極群
８８……支持碍子
８９……ブッシング
９０、９０′……並列ダクト
９１、９１′……分岐管
９２、９２′……弁
９３、９３′……噴射口