【事件の表示】
　特許第２９８００７８号「移動案内装置」の請求項１乃至請求項４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９８００７８号の請求項１乃至請求項４に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第２９８００７８号については、昭和６３年１月２２日に出願された特願昭６３−１２１３７号（以下「原々出願という。）の一部につき平成８年６月１７日に新たに出願された特願平８−１７７３８１号の一部について更に同９年９月１９日に新たに出願され、同１１年９月１７日に設定の登録がされ、その後、同１２年５月２２日に株式会社ニコンより全請求項に係る特許について特許異議の申立てがされ、同１２年９月１１日付で取消しの理由が通知され、その指定期間内である同１２年１１月２４日に意見書が提出された。
第２　本件発明
　本件の請求項１乃至請求項４に係る発明（以下「本件発明１乃至本件発明４」という。）は、登録時の明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至請求項４に記載された事項により特定される下記のとおりのものであると認める。
「【請求項１】 基準面を有する定盤と、前記基準面に沿って第１方向に移動する第１移動体と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体を前記基準面に対して支持する第１静圧軸受と、前記第１移動体の前記第１方向への移動により前記第１方向に移動すると共に、前記第１移動体に対して第２方向に移動することにより前記基準面に沿って二次元的に移動する第２移動体と、前記第１移動体の前記第１方向への移動を前記第２移動体に伝達する第２静圧軸受と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第２移動体を前記基準面に対して支持する第３静圧軸受と、前記第１移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面に向けて前記第１移動体に予圧を与える第１予圧機構と、前記第２移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面に向けて前記第２移動体に予圧を与える第２予圧機構とを有し、前記第２移動体は前記第２静圧軸受を取り付けるために前記第１方向に関して前記第１移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、前記第３静圧軸受を取り付けるために前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体と前記基準面の間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有し、第２予圧機構は前記第２軸受取付板に取り付けられていると共に、前記第２軸受取付板の前記基準面に対向する面の四隅に前記第３静圧軸受を配置し、複数の第２予圧機構を第１
及び第２方向に関して対称的に配置されていることを特徴とする移動案内装置。
【請求項２】 前記第１，第２及び第３静圧軸受は、多孔質の静圧空気軸受であることを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。
【請求項３】 前記第１及び第２予圧機構は、磁力によって予圧を与えるための磁石を有することを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。
【請求項４】 前記第１移動体及び第２移動体はそれぞれリニアモータで駆動されることを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。」
第３　特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠として原々出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である甲第１号証（特開昭６１−２０９８３１号公報）、甲第２号証（特開昭５９−７３６２５号公報）、甲第３号証（特開昭６１−２１４９３４号公報）、甲第４号証（特開昭６２−７５１２５号公報）、甲第５号証（特開昭６１−２９０２３１号公報）、甲第６号証（特開昭５９−１０１８３５号公報）、甲第７号証（特開昭６２−２７６６１２号公報）、甲第８号証（実願昭６０−６９８７０号（実開昭６１−１８６８２９号）のマイクロフィルム）及び甲第９号証（「電子材料別冊　１９８２年版　超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック」昭和５６年１１月１０日　株式会社工業調査会発行 第１１７〜１２４頁）を提出して、本件発明１乃至本件発明４は、甲第１号証乃至甲第９号証記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１乃至請求項４に係る特許は、特許法第２９条の規定に違反して特許されたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。                     
　また、当審では、甲第１号証乃至甲第９号証を刊行物１乃至刊行物９として引用して上記取消しの理由を通知した。
第４　特許異議申立ての理由の検討
１　甲各号証の記載内容
(1) 甲第１号証
　甲第１号証には、「移動テーブル装置」に関連して以下の事項が記載されている。
「＜従来の技術＞
　従来のこの種移動テーブル装置は、第２図に示す如く、定盤６上の４辺に固定した縦横固定ガイド６１ａ，６１ｂにそれぞれ可動体７ａ，７ｂを取付け、縦横互いに対向する可動体７ａ，７ａおよび７ｂ，７ｂ間に高さを違えて直交させた縦横可動ガイド８ａ，８ｂを架設し、両ガイド８ａ，８ｂの交叉部にテーブル９をスライド自在に係合支持している。斯るテーブル装置では、縦横２本の可動ガイド８ａ，８ｂを要し、構造が複雑且つ直角度の設定に高度な製作技術を要すと共に、特に、テーブル９の重心位置が高く、これが動的走り精度の悪化およびヨーイングの一因をなす等の問題を有す。」（第１頁右欄第７〜２０行）
「＜実施例の説明＞
　図面は本発明に係る移動テーブル装置を示し、定盤１上の対向辺に取付け固定した固定ガイド１１上に駆動装置２，２を構成するリニアモータ２１，２１が平行して配設され、両リニアモータ２１の可動体２２，２２には、それぞれ固定ガイド１１および定盤１との対向面に空気噴出口を開設した空気軸受２３を取付けて、両空気軸受２３，２３間に可動ガイド３が架設され、この可動ガイド３にテーブル４を支持すると共に、ガイド３とテーブル４との間にテーブル４を移行させる作動装置５を設けている。
　作動装置５は、前記可動ガイド３をリニアモータ５１にてなすと共に、その可動体５２をテーブル４に取付けて構成され、テーブル４には、定盤１および可動ガイド３対向面に空気噴出口を有す空気軸受４１を取付けている。」（第２頁左上欄第１７行〜同右上欄第１３行）
「然して、駆動装置における可動体２２，２２の動作により可動ガイド３はテーブル４と共に固定ガイド１１方向に移行し、また、可動ガイド３に構成した作動装置５における可動体５２の動作により、テーブル４は可動ガイド３の軸身方向に移行し、従って、両可動体２２，５２が作動することによってテーブル４は定盤１上の縦横任意の目標位置に移行する。」（第２頁左下欄第４〜１１行）
「テーブル４は、従来の縦横可動ガイドの交叉部に支持した構成に比較して、重心が一段と低下して静的、動的走り精度が向上し、ヨーイングが抑えられ、以て、超精密位置決めを実現し得る等、構成簡易にして実用上の顕著な効果を有す。」（第２頁右下欄第４〜９行）
　空気軸受２３は、可動体２２と可動ガイド３とを連結する部材に取付けられていること。（第１図）
　これらの記載事項から、結局、甲第１号証には、以下の発明が記載されていると認める。
　定盤１と、定盤１の上面に沿って定盤１上の対向辺に取付け固定した固定ガイド１１方向にリニアモータにより移動する空気軸受２３の取付け部を備えた可動ガイド３と、この可動ガイド３を前記固定ガイド１１の側面及び定盤１の上面に対して案内支持する前記空気軸受２３と、前記可動ガイド３の前記固定ガイド１１方向への移動により前記固定ガイド１１方向に移動すると共に、前記可動ガイド３に対してその軸身方向にリニアモータにより移動することにより前記定盤１の上面に沿って二次元的に移動するテーブル４と、前記可動ガイド３の前記固定ガイド１１方向への移動を前記テーブル４に伝達すると共に前記テーブル４を前記可動ガイド３の側面及び定盤１の上面に対して案内支持する空気軸受４１とを有し、前記空気軸受２３は、前記可動ガイド３の軸身方向に関して離して取付けられ、両空気軸受２３，２３間に可動ガイド３が架設されている移動テーブル装置。
(2) 甲第２号証
　甲第２号証には、「空気軸受平面案内」に関連して以下の事項が記載されている。
「次に本発明の実施例を図面について説明すると第４図において平坦な上面４ａを有する台４上に固定された支持枠７に案内体となる四角柱形の固定体６が両端において支持されており、固定体６には箱形の可動体５が摺動自在に嵌合されている。可動体５の４方の内壁の内、上下の内壁５ａ，５ｂと固定体の６上、下の外壁６ａ，６ｂとの間は空気軸受を構成することなく単なる空隙となっており、可動体５の下面５ｆと台４の上面４ａとによって構成される空気軸受面によって可動体５の上面５ｅに加わる荷重Ｗを支持するようになっている。
　従って可動体５の上面５ｅに加わった荷重Ｗは第６図に示すように固定体２（当審注：「固定体６」の誤り。）に力を及ぼすことなく平坦な台４の上面４ａ上に受けとめられる。そのため可動体上面５ｅの変位量ｅ″は可動体５の下面５ｆと台の平坦な上面４ａとの間に構成される空気軸受の剛性Ｋ″のみによってあたえられる。
　・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・。
　尚可動体５の固定体による案内は可動体の内壁の内、左、右の側壁５ｃ，５ｄと固定体の両側壁６ｃ，６ｄとの間に構成される空気軸受によって行われるので、スライドとしての機能は損なわれることはない。また可動体５の内壁５ｃ，５ｄ及び下面５ｆの面に組込む空気軸受の形式は限定しない。」
（第２頁左上欄第１２行〜同右上欄第１８行）
　上記記載事項から、甲第２号証には、以下の発明が記載されていると認める。
　箱形の可動体５は固定体６の両側壁６ｃ，６ｄとの間に構成される空気軸受を取り付けるために固定体６の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、台４の平坦な上面４ａとの間に構成される空気軸受を取り付けるために前記上面４ａに垂直な方向に関して前記固定体６と前記上面４ａの間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有する空気軸受平面案内。
(3) 甲第３号証
　甲第３号証には、「静圧空気軸受」に関連して以下の事項が記載されている。
「空気軸受では、軸受機構の共振周波数を高め、制御特性を向上させるために軸受剛性を大きくする必要があるが、自浮上形軸受では、不可重量Ｗを大きくすると、軸受剛性が大きくなるが、反面、装置が重くなって高速化、小型化が困難になるという問題点があった。
　この問題点を解決するため、従来、軸受パッド部に磁石を組み込み、固定ベースに鉄等の磁性体を用いて、固定べースと軸受パッド部との間に磁気吸引力を発生させることにより負荷重量Ｗを見かけ上増加させ、これによって、空気軸受の高剛性化を計る構造の空気軸受が提案されている。」（第２頁右上欄第３〜１５行）
「第１図および第２図において、２は軸受パッドであって、位置決め装置の可動部３に・・・固定されており、・・・・・・・。４は、軸受パッド２の軸受パッド面であって、外周部には４個の扇形の真空ポケット部が対称的に配置されている。真空ポケット部には、それぞれ１個の真空排気口５ａが設けられており、この真空排気口５ａは真空排気導孔５ｂを介して図示しない真空ポンプ等の真空源に接続されている。６は圧縮空気吹出用のオリフイスであって、軸受パッド面４の中心に形成されており、図示しない圧縮空気源に接続されている。」（第２頁右下欄第３〜１４行）
「次に動作説明を行なう。
　・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・。つまり、軸受パッド２と固定べース１とは、非接触に案内支持されることになる。・・・・・。この状態において、真空排気孔５ａを介して真空源により、真空排気を行なうと、真空ポケット部５内が負圧になり、軸受パッド２と固定ベース１との間には吸引力が作用する。・・・・・。真空ポケット部５は、軸受パッド２の外周に中心対称的に配置されているため、軸受パッド２には固定べース１の方向に均等に吸引力が作用し、回転モーメントが働かない。このため、軸受パッド２は、固定ベース１側に平行に引き寄せられる。軸受パツド２の自重を含めた負荷に加えて上述の真空吸引力が圧縮空気の吹出しによる空気軸受の反力とつり合って、非接触支持状態となる。つまり、軸受負荷が増加したのと同じ効果が得られ、空気軸受としての剛性は、真空ポケット部５がない場合と比較して、増大する。このように、軸受剛性が大きくなると、機構系の共振周波数が高まり、制御特性が向上するなど装置の特性が良くなるので、好ましい。」（第３頁左上欄第１１行〜同頁左下欄第３行）
　したがって、甲第３号証には、静圧空気軸受において、固定ベース１に対する静圧空気軸受面に、固定ベース１と軸受パッド２との間に吸引力を与える真空ポケット部５を設けること、複数の真空ポケット部５を対称的に配置すること及び固定ベース１と軸受パッド２との間に与える吸引力を、磁石によって与えることが記載されていると認める。
(4) 甲第４号証
　甲第４号証には、ガイド面（ベース）と軸受面との間に、磁気的な吸引力を与える軸受機構が記載されていると認める。
(5) 甲第５号証
　甲第５号証には、ガイド面（ベース）と軸受面との間に、磁気的な吸引力を与える軸受機構及び多孔質の静圧軸受が記載されていると認める。
(6) 甲第６号証
　甲第６号証には、「変位装置」に関連して以下の事項が記載されている。
「本発明装置は下方部分１及び上方部分２よりなる移動台を具え、・・・・上方移動台部分２を空気支持板として構成する。」（第３頁左上欄第３〜６行）
「本発明装置には更に３個の駆動部材３，４，５を設け、これらをＨ字型に配置する。・・・・・・・・・・・・。液圧モータ３の外筺６は上方移動台部分２を下方移動台部分１に対し相対的にＸ方向へ移動させるようにし、・・・・・。移動台部分２のＹ方向の移動は駆動部材４，５により行なわせ、・・・・・。Ｘ方向移動用駆動部材３の駆動エレメント１２，１３は夫々Ｙ方向移動用駆動部材４，５の外筺７，８に枢着する。」（第３頁左上欄第１５行〜同頁右上欄第１４行）
「上方移動台部分２に圧搾空気用入ロ２４を設け、これから絞り２５を経て下方移動台部分１と対向する上方移動台２の平坦面に圧搾空気を導びく。絞り２５から流出した圧搾空気は移動台部分１，２間を気体静力学的に支持する。また、移動台部分２に空所２６を設けその内部に負圧を生じせしめて、気体静力学的支持のための所望の予備応力を提供し得るようにする。」（第３頁右下欄第５〜１２行）
　これらの記載事項から、甲第６号証には、以下の発明が記載されていると認める。
　Ｙ方向移動用駆動部材４，５と、部材４，５を連結するとともに、Ｙ方向に移動可能な駆動エレメント１２，１３によって構成される第１移動体と、駆動エレメント１２，１３にそって、Ｘ方向に移動可能な第２移動体（上方移動台部分２）を備えた所謂Ｈ字型構造のステージにおいて、第２移動体（上方移動台部分２）と下方移動体部分１（基準面）間を、圧搾空気によって気体静力的に支持する絞り２５と、気体静力的支持のために負圧による予備応力を提供する空所２６との両方を設けた変位装置。
(7) 甲第７号証
　甲第７号証には、「位置決め装置」に関連して以下の事項が記載されてい
「第１図に示した位置決め装置１の第１実施例は例えば花崗岩より成る水平に配設された板上のベース３を有する。このベースには下面７と平行な極めて平滑に研磨された水平な上面５が設けられる。・・・・・。位置決め装置は、上方のテーブル状の第１支持体９と下方の第２支持体１１とを有し、この第２支持体は空気脚として形成されている。この第２支持体１１は、空気膜１３によってベース３に対して案内され且つ支持される。この空気膜１３は、簡単のために図示してない圧縮空気源により通常のようにして維持される。このようにして得られた空気軸受は、十分な強さを有するように前応力（プレストレス）形である。これは公知のように第２支持体１１の室１５を真空源（図示せず）に連結することによって達成される。」（第４頁左上欄第８行〜同頁右上欄第４行）
「第２図からわかるように、トランスレータ２９（以下「Ｘ−トランスレータ」という）はリニヤモータを有する駆動機構のＨ形システムの一部を形成する・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・。
　第３図と４図によって詳しく説明するローラによって、Ｙ１−トランスレータ４７はＹ１−ステータ３９に沿って案内され、Ｙ２−トランスレータ４９はＹ２−ステータ４５に沿って案内される。Ｙ１−トランスレータ４７とＹ２−トランスレータ４９は夫々ステータ５１と固定連結され、このステータに沿って、前述のＸ−トランスレータ２９がローラによって案内される。」（第４頁左下欄第１９行〜同右下欄第２０行）
　これらの記載事項から、甲第７号証には、以下の発明が記載されていると認める。
　Ｙ方向移動用トランスレータ４７、４９と、トランスレータ４７、４９を連結するとともに、Ｙ方向に移動可能なステータ５１によって構成される第１移動体と、ステータ５１にそって、Ｘ方向に移動可能な第２移動体（第２支持体１１）を備えたＨ字型構造のステージにおいて、第２移動体（第２支持体１１）に設けられた空気軸受１３と、前応力を与えるために真空源に連結された室１５との両方を設けた位置決め装置。
(8) 甲第８号証
　甲第８号証には、「ＸＹステージ」に関連して以下の事項が記載されている。
「＜実施例の説明＞　
　第１図はＸＹステージの全体構成を示している。ＸＹステージは、定盤１の上面に軸受案内面１０が形成され、４辺に互いに対向してリニアモータ等の往復駆動装置２ａ，２ａ，２ｂ，２ｂが配設され、対向する駆動装置２ａと２ａ、２ｂと２ｂの間に段違いに交叉した縦横可動ガイド３，４の両端を取付けて、各ガイド３，４が互いに直交方向に往復動するようになしてい  る。両ガイド３，４の交叉部にはステージ５が摺動自在に支持せられ、該ステージ５は、下面４隅に空気軸受５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを取付けて、軸受案内面１０に対し所定の浮上すきまｈを存して支持され、非接触にて移動案内するようになしている。」（第３頁第１６行〜第４頁第１０行）
(9) 甲第９号証
　甲第９号証の第１２０頁第２２〜３５行には「ウェハのステッピングステージとしては，空気軸受で浮上するＸＹステージを開発した。上述のウェハ微動機構を搭載した浮上ステージと，これに駆動力を伝達するクロスガイドおよびベースの相互はすべて空気軸受で案内されている。・・・・・・。　ウェハステージと送り機構，駆動機構のそれぞれを一平面上に配置し，案内面すべてを非接触化したため相互干渉が無視でき，高精度送りが可能になった」と記載されていることから、甲第９号証には、浮上ステージのベースに対向する面に空気軸受を設けることが開示されていると認める。
２  対比・判断
　本件発明１と甲各号証記載の発明乃至技術的事項とを対比すると、甲各号証記載の発明乃至技術的事項は、それぞれ本件発明１と部分的に共通する構成を備えているものの、いずれも本件発明１の「第２予圧機構は前記第２軸受取付板に取り付けられていると共に、前記第２軸受取付板の前記基準面に対向する面の四隅に前記第３静圧軸受を配置し、複数の第２予圧機構を第１
及び第２方向に関して対称的に配置されていること」という構成を備えていない。
　そして、本件発明１は、上記構成を備えることによって明細書記載の「本発明の移動案内装置によれば、第１及び第２移動体は共に同一の基準面上に静圧軸受で支持され、第１及び第２移動体の両方に予圧機構を設けて、二次元に移動する第２移動体の基準面に対向する面には４つの静圧軸受ならびに複数の第２予圧機構が対称的に配置されているので、二次元の移動に伴って各方向に加速度が生じても移動体の不要な傾きを極めて小さくできる上に極めて高精度な位置決めが可能になる。」という効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証乃至甲第９号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
　また、本件発明２乃至本件発明４は、本件発明１を更に限定するものであるので、同じく甲第１号証乃至甲第９号証記載の発明乃至技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
３　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する特許異議申立ての理由及び提出した証拠によっては、本件の請求項１乃至請求項４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１乃至請求項４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件の請求項１乃至請求項４に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものではない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１２月７日（２０００．１２．７）