【事件の表示】
　特許第２７０５７８５号「ステージ装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２７０５７８５号の特許を取り消す。
【理　由】
１．本件特許第２７０５７８５号は、昭和５８年１月８日にされた特願昭５８−１５７６号の出願の一部を平成６年３月１４日に分割出願したものであって、平成９年１０月９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、株式会社ニコン、藤田耕三、佐久間徹及び岡田香よりそれぞれ、特許異議の申立てがなされ、取消理由が通知され、その指定期間内である平成１１年２月２３日に訂正請求がなされ、訂正拒絶理由が通知され、その指定期間内である平成１１年７月２７日に訂正請求の補正がなされたものである。
　
２．本件特許に対し、異議申立人は、以下のとおり主張する。
（１）異議申立人株式会社ニコンは、甲第１号証として、「電子材料」１９８１年１１月号別冊「超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック／1982年版」昭和５６年１１月１０日発行P.117−124を、甲第２号証として、特開昭５６−１７３４１号公報（以下、「刊行物１」という。）を、甲第３号証として、特開昭５７−１８４７２３号公報（以下、「刊行物２」という。）を、甲第４号証として、「機械の研究」第３５巻第１号昭和５８年１月１日発行P.225−230（以下、「刊行物３」という。）を、甲第５号証として、特公昭５５−４９６７号公報を、甲第６号証として、特開昭５４−１１３７４５号公報を、甲第７号証として、柳田博明編著「ファインセラミックス」昭和５７年９月２０日オーム社発行P.10−13を、及び甲第８号証として、特開昭５３−９０８７１号公報（以下、「刊行物４」という。）を提示し、本件特許の特許請求の範囲第１〜５項に記載された発明（以下、「本件特許発明」という。）は、甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明に係る特許は、取り消されるべきである旨主張する。
　
（２）異議申立人藤田耕三は、甲第１号証として、特公昭５４−１３３５２号公報（以下、「刊行物５」という。）を、甲第２号証として、昭和５５年度精機学会春季大会学術講演会論文集P.787−789 （以下、「刊行物６」という。）を、甲第３号証として、昭和５５年度精機学会秋季大会学術講演会論文集P.86−88を、甲第４号証として、特公昭５５−４９６７号公報を、甲第５号証として、精密機械４５巻１０号（１９７９年１０月発行）（以下、「刊行物７」という。）を、甲第６号証として、特開昭５４−１１３７４５号公報を、甲第７号証として、柳田博明編著「ファインセラミックス」昭和５７年９月２０日オーム社発行P.10−13を、甲第８号証として、昭和５６年度精機学会春季大会学術講演会論文集P.783−785（以下、「刊行物８」という。）を、甲第９号証として、「機械の研究」第３５巻第１号昭和５８年１月１日発行P.225−230を、甲第１０号証として、「DESIGN　ENGINEERING」１９８１年１月号を、甲第１１号証として、特開昭５３−９０８７１号公報を提示し、本件特許発明は、甲第１〜１１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　また、本件特許発明は、本件特許の分割出願（以下、「本件出願」という。）時の明細書及び図面に記載されていない事項を包含するものであるから、本件出願の出願日は、本件出願の補正書が提出された日に繰り下がるべきであり、本件出願の原出願の公開公報又は公告公報に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、
当該発明に係る特許は、取り消されるべきである旨主張する。
　
（３）異議申立人佐久間徹は、甲第１号証として、昭和５５年度精機学会春季大会学術講演会論文集P.787−789を、甲第２号証として、昭和５６年度精機学会春季大会学術講演会論文集P.783−785を、甲第３号証として、特開昭５７−１８４７２３号公報を、甲第４号証として、特開昭５２−１１６０７８号公報を、甲第５号証として、竹中規雄編「機械工作法・５　研削加工」昭和４３年５月２５日誠文堂新光社発行P.117−118を、甲第６号証として、特開昭５２−９０９００号公報を提示し、本件特許発明は、甲第１〜６号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　また、本件特許の請求項１に記載されたものは、発明の詳細な説明の欄に、これに対応する実施例が記載されていないから、本件特許は、特許法第３６条に規定する要件を満たさない特許出願に対してされたものであるから、
当該発明に係る特許は、取り消されるべきである旨主張する。
　
（４）異議申立人岡田香は、甲第１号証として、特開昭５８−１４７１３４号公報（以下、「先願公報」という。）を提示し、本件特許発明は、先願公報に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であるから、当該発明に係る特許は、取り消されるべきである旨主張する。
　
３．上記取消理由は、前記刊行物１〜８、実開昭５０−８５６５１号公報及び特開昭５３−５２２１５号公報を引用し、本件特許発明は、前記引用した刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、
　また、特許請求の範囲の記載において、請求項１における「ガイド部」、「空気軸受」がどこに設けられるか不明であり、請求項４における「ステージ」の構成が不明であるから、本件特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たさない特許出願に対してなされたものであって、
取り消すべきというものである。
　
４．上記訂正拒絶理由は、特開昭５６−３３８３１号公報（以下、「刊行物９」という。）及び前記刊行物１〜６を引用し、訂正された明細書の特許請求の範囲第１〜５項に記載された発明（以下、「訂正発明」という。）は、前記引用した刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該発明に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際、特許を受けることができないものであるから、当該訂正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しないので当該訂正は認められないというものである。
　
５．上記訂正請求は、願書に添付された明細書の請求項１の「ステージ」、「ガイド部」及び「駆動源」をそれぞれ「Ｙステージ」、「Ｙステージ用ガイド部」及び「Ｙステージ用駆動源」とし、「前記Ｙステージに対してＸ方向に移動するＸステージと、前記Ｘステージを前記基準となる面と平行な面内をＸ方向に移動させるために前記Ｙステージに設けられるＸステージ用ガイド部と、前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する前記Ｙステージに設けられたＸステージ用駆動源」を加入し、「空気軸受」が、Ｙステージに対してＸステージを支持案内するものとする訂正をするものである
　そして、訂正発明の要旨は、訂正請求書に添付された訂正明細書及び願書に添付された図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１項に記載された以下のとおりのものである。
「基準となる面を備える基盤と、前記基盤上に載置されるＹステージと、前記Ｙステージを前記基盤の基準となる面と平行な面内をＹ方向に移動させるためのＹステージ用ガイド部と、前記Ｙステージを前記Ｙステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生するＹステージ用駆動源と、前記Ｙステージに対してＸ方向に移動するＸステージと、前記Ｘステージを前記基準となる面と平行な面内をＸ方向に移動させるために前記Ｙステージに設けられるＸステージ用ガイド部と、前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する前記Ｙステージに設けられたＸステージ用駆動源と、前記Ｙステージに対して前記Ｘステージを空気によって支持案内する空気軸受とを有し、前記空気軸受は前記Ｘステージを前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部によりＸ方向に案内するためのエアーパッドと、前記Ｘステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパッドとを備え、前記Ｘ及びＹステージと、前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部と、前記エアーパッドの材質をセラミツクスとしたことを特徴とするステージ装置。」
　
６．上記訂正請求の補正は、訂正請求書に添付された訂正明細書の請求項１に係る記載を
「基準となる面を備える基盤と、前記基盤上に載置されるＹステージと、前記Ｙステージを前記基盤の基準となる面と平行な面内をＹ方向に移動させるためのＹステージ用ガイド部と、前記Ｙステージを前記Ｙステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生するＹステージ用駆動源と、前記Ｙステージに対してＸ方向に移動するＸステージと、前記Ｘステージを前記基準となる面と平行な面内をＸ方向に移動させるために前記Ｙステージに設けられるＸステージ用ガイド部と、前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する前記Ｙステージに設けられたＸステージ用駆動源と、前記Ｙステージに対して前記Ｘステージを空気によって支持案内する空気軸受とを有し、前記空気軸受は、前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部の両側面に対向するように前記Ｘステージに設けられ前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部によりＸ方向に案内するためのエアーパッドと、前記Ｘステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパッドとを備え、前記Ｘ及びＹステージと、前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部と、前記エアーパッドの材質をセラミツクスとしたことを特徴とするステージ装置。」と補正するものである。
　
７．上記訂正請求の補正の適否について検討する。
　訂正明細書は、訂正請求の趣旨を構成するものであるところ、上記訂正請求の補正は、訂正明細書の請求項１に関し、「前記空気軸受は前記Ｘステージを前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部によりＸ方向に案内するためのエアーパッドと、前記Ｘステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパットとを備え、」を「前記空気軸受は、前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部の両側面に対向するように前記Ｘステージに設けられ前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部によりＸ方向に案内するためのエアーパッドと、前記Ｘステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパッドとを備え、」と補正するものであるが、前記補正は、訂正事項の一部を変更する補正であるから、訂正請求の要旨を変更するものである。
　また、本件特許発明の実施例を図示した、願書に添付された図面の第３図によれば、Ｘステージ用のガイド部は、互いに離れた一対のガイド部で構成され、それぞれのガイド部の一方の側面に面するようにＸステージに設けられたエアーパッドが配されるものであって、一つのガイド部の両側面に対向するようにエアーパッドが配されるものではないから、前記補正された訂正明細書の請求項１に記載された事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載されていたものということはできないので、前記訂正明細書の補正は、訂正請求の要旨を変更するものである。
　そうすると、上記訂正請求の補正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同法第１３１条第２項に規定する要件を満たさないものであるから、採用することができない。
　
８．上記訂正請求の適否について検討する。
　上記訂正請求は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに相当すると認められる。
　そこで、訂正発明が出願の際に独立して特許を受けることかできるか否かについて判断する。
（１）訂正拒絶理由に引用された、刊行物９には、「本発明はパターン検査装置に関し、とくに、光走査に伴う光源と被検体の相対移動量を少なくし、正確なパターン検査ができるようにしたパターン検査装置に関する。」（第１頁左下欄１９行目−右下欄２行目）及び「第３図はフォトマスクを載置するステージの概略図であって、ベースＢ上に設けられたガイドＧ１，Ｇ２に沿って移動し得るＸ側ステージＤ１と、該Ｘ側ステージ上に設けられた、ガイドＧ３，Ｇ４に沿って前記Ｘ側ステージの移動方向と直行する方向に移動し光ビーム透過用窓Ｗが設けられたＹ側ステージＤ２とを具える。Ｘ側及びＹ側ステージの駆動は、パルスモータＭ１，Ｍ２によって回転するボールねじＮ１，Ｎ２に噛合するナットＬ１を介して行われる。Ｎ２に噛合するナットは図示しない。」（第２頁左下欄１３行目−右下欄７行目）と記載されていることから、刊行物９には、「ベースＢと、前記ベースＢ上に載置されるＸ側ステージＤ１と、前記Ｘ側ステージをＸ方向に移動させるためのガイドＧ１，Ｇ２と、前記Ｘ側ステージＤ１を前記ガイドＧ１，Ｇ２に沿って移動させるための駆動力を発生するパルスモータＭ１と、前記Ｘ側ステージＤ１に対してＸ側ステージの移動方向と直行する方向に移動するＹ側ステージと、前記Ｙ側ステージを、Ｘ側ステージの移動方向と直行する方向に移動させるために前記Ｘ側ステージに設けられるガイドＧ３，Ｇ４と、前記Ｙ側ステージを前記ガイドＧ３，Ｇ４に沿って移動させるための駆動力を発生する前記Ｘ側ステージに設けられたパルスモータＭ２とを有するステージ装置。」の発明が記載されていると認められる。
　取消理由及び訂正拒絶理由に引用された、刊行物１には、「本発明はＴｒ，ＩＣ等の半導体製造工程において、比較的小面積のマスクパタンを大口径ウエハ上にステップアンドリピート方式によって露光転写するために必要とされるウエハの高速移動ならびにマスク・ウエハ相互位置の高精度位置合わせを行うアライメントステージに関するものである。」（第２頁左上欄９−１５行目）及び「第１図は本発明アライメントステージの一実施例の概要を示す一部切欠正面図で、１は上面を精度良く平面に仕上げられた定盤、２はウエハ３を載置した移動台で、その下面に配置された図示しない小穴から吹き出す圧力を制御された空気などによる静圧気体軸受によって定盤１に非接触で保持されている。４は一方向（図では左右方向）に移動台２を移動させる移動体で、互いに平行な対向する２平面からなる案内部を有し、移動台２との間隙は移動台２の図示しない小穴から吹き出す気体により定盤１と移動台２との間隙と同様に保持されている。５は他の一方向の移動体で、図において紙面に、垂直方向に移動台２を移動させる。また移動体５の案内部（図示されない）と移動台２の間隙も静圧気体軸受を構成している。６は移動体５を案内するガイドで、移動体５との間隙は円筒静圧気体軸受を構成している。７は移動台５の駆動用リニアモータの移動ヨークで、コイル板により構成される。８は同じくリニアモータの固定ヨークで、磁気回路により構成される。そして各案内部を井桁状に交差させ、その井桁状中央部に前記移動台２を案内部に近接して保持し、コイル板（移動ヨーク）７のガイド６を上記円筒静圧気体軸受と共通にしたリニアモータにより非接触に駆動せしめる送り機構によって移動体４及び５は定盤１上を直交する２方向に移動する。」（第２頁左下欄１８行目−第３頁左上欄５行目）と記載されていることから、刊行物１には、「精度良く平面に仕上げられた上面を有する定盤１と、小穴から吹き出す圧力を制御された空気による静圧気体軸受によって定盤１に保持される移動台２と、移動台２を一方向に移動させるため互いに平行な対向する２平面からなる案内部を有する移動体４と、移動台２をリニアモータ７，８によって一方向へ移動させる移動体５とを有し、前記移動体４の案内部と移動台２との間隙は静圧気体軸受を構成するアライメントステージ。」の発明が記載されていると認められる。
　取消理由及び訂正拒絶理由に引用された、刊行物２には、「本発明は移動部材を固定部材に対し直線方向に相対的に移動させる直動案内装置に関する。従来の直動案内装置では、パルスモータにボールねじを組み合わせたもの等の駆動装置により、移動部材に固定された移動台を案内軸に嵌合して案内軸をガイドとし直線運動させ、これにより移動部材を固定部材に対し直線運動させていた。」（第１頁右下欄１５行目−第２頁左上欄１行目）及び「これを図の実施例について説明すると、移動部材１は移動台２に固定されており、移動部材２はパルスモータ５および図示しないボールねじを組み合わせたもの等公知構造の駆動機構により直線運動を行うことができる。すなわち、固定部材４に矩形断面の長い案内軸３が固定されており、案内軸３に案内軸嵌合面をもった移動台１が嵌合し、案内軸嵌合面には案内軸３の軸線をはさんで対向する２個の直動制御用静圧軸受１１、１２が案内軸１の両側面に相対して設けられ、直動制御用静圧軸受１１、１２と軸直角に併列して案内軸１の上面に相対して荷重支持用静圧軸受１３が設けられており、移動台１はこれらの軸受により案内軸３に支承されかつ案内されて移動する。これらの軸受けは多孔質物質の軸受金を用いたポーラス型の静圧軸受として示してあるが他の形式の静圧軸受でもよい。」（第２頁右上欄１−１７行目）と記載されていることから、刊行物２には、「パルスモータにボールねじを組み合わせたもの等の駆動装置により、移動部材１に固定された移動台２を案内軸３に嵌合して案内軸３をガイドとして、直線運動させ、これにより移動部材１を固定部材４に対し直線運動させるものに代えて、案内軸３に支承され、案内される移動台２に案内軸３の軸線をはさんで対向する２個のポーラス型の静圧軸受１１、１２及び案内軸上面に相対して荷重支持用静圧軸受１３を設けたもの」の発明が記載されている。
　取消理由及び訂正拒絶理由に引用された、刊行物３には、「アルミナセラミックスを産業機械用部品として使用する場合、次の特徴がある。
（丸１）重量当りの剛性が大きく、軽量化、運動の高速化が可能である。
（丸２）耐摩耗性に優れるため、摺動部材に適している。
（丸３）耐食、耐熱性に優れるため、使用範囲が広く、維持管理がしやすい。
（丸４）常温では完全な剛性体であるため、加工ひずみ、経時変化がなく、加工精度の向上、精度の維持が可能である。
　アルミナセラミックスの他材料との特性比較表を表１に示した。またアルミナセラミックスを使用する場合の注意すべき点を列記すれば、次の通り、
（丸１）靱性に欠けるため、衝撃的応力、引張り応力に弱く破壊は瞬間的、広範囲に起りやすい。
（丸２）金属材料と組み合わせるとき、熱膨張の差によりひずみや変形が起りやすい。
（丸３）セラミック独特の製造方法を理解し、コストアップにならないよう設計面で考慮することが必要である。」（第２２５頁左欄９−２７行目、なお、（丸１）、（丸２）、（丸３）及び（丸４）は、それぞれ丸付き数字の１、２、３及び４を意味する。）及び「最近これまでに見られなかった高精度な加工の施された鋳造形状の大型アルミナセラミックスが開発され、産業機械用の大型部品としての用途が期待されている。製法、歴史、応用例などを概説する。
　３．１製法
　アルミナ粉体、可塑性粘土、水を混合粉砕し、調製した泥漿を、多孔質の型に注入、脱水固形化し、脱型後、乾燥、焼成する。多孔質の型は一般に石膏が使用され、泥漿中の水分は、毛細管の吸引力によって脱水される。石膏型は種から容易に造型されるが、比較的大型のもの、複雑な形のものの成形にも対応できる。」（第２２８頁右欄６−１７行目）と記載され、アルミナセラミックスの加工例として、図６に軸受が、図９に定盤が、図１１にガイド軸が示されている。
　
（２）訂正発明と、前記刊行物９に記載された発明とを対比すると、刊行物９に記載された発明の「ベースＢ」、「Ｘ側ステージＤ１」、「ガイドＧ１、Ｇ２」、「パルスモータＭ１」、「Ｙ側ステージＤ２」、「ガイドＧ３、Ｇ４」及び「パルスモータＭ２」は、それぞれ、訂正発明の「基盤」、「Ｙステージ」、「Ｙステージ用ガイド」、「Ｙステージ用駆動源」、「Ｘステージ」、「Ｘステージ用ガイド」及び「Ｘステージ用駆動源」に相当し、刊行物９に記載された発明のベースＢも、Ｘ側ステージＤ１、Ｙ側ステージＤ２を所定の面内で移動させるものであるから、基準となる面を備えるものであり、Ｘ方向及びＹ方向は互いに相対的なものであるから、両者は、「基準となる面を備える基盤と、前記基盤上に載置されるＹステージと、前記Ｙステージを前記基盤の基準となる面と平行な面内をＹ方向に移動させるためのＹステージ用ガイド部と、前記Ｙステージを前記Ｙステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生するＹステージ用駆動源と、前記Ｙステージに対してＸ方向に移動するＸステージと、前記Ｘステージを前記基準となる面と平行な面内をＸ方向に移動させるために前記Ｙステージに設けられるＸステージ用ガイド部と、前記Ｘステージを前記Ｘステージ用ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する前記Ｙステージに設けられたＸステージ用駆動源とを有するステージ装置。」の点で一致し、訂正発明が、「Ｙステージに対してＸステージを空気によって支持案内する空気軸受を有し、前記空気軸受は前記Ｘステージを前記Ｙステージに設けられた前記Ｘステージ用ガイド部によりＸ方向に案内するためのエアーパッドと、前記Ｘステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパッドとを備えている」のに対し、刊行物９に記載された発明は、Ｙ側ステージＤ２が空気軸受で案内されていない点（以下、「相違点１」という。）、及び訂正発明が、「Ｘ及びＹステージと、前記Ｙステージに設けられたＸステージ用ガイド部と、エアーパッドの材質をセラミツクスとした」のに対し、刊行物９に記載された発明は、各部材の材質について特段の記載がない点（以下、「相違点２」という。）で、相違する。
　
（３）前記相違点について検討する。
相違点１について；
　前記刊行物２には、エアーパッドを備えた垂直支持用静圧軸受、すなわち基準となる面に垂直な方向に支持する静圧気体軸受と、直動制御用静圧軸受で、移動台を支承しかつ案内するものが記載されている。そして、前記刊行物３に記載された発明は、刊行物９に記載された発明のステージを直動案内する機構と同様、移動台を案内軸に嵌合させて案内する直動案内機構を従来技術として発明されたものであるから、前記刊行物９に記載された発明において、ステージを直動案内する機構を刊行物２に記載された静圧軸受を用いた案内機構とすることに格別の困難性はない。また、静圧軸受のための流体として、空気を用いることは普通に行われていることであるから、刊行物９に記載された発明に刊行物２に記載された発明を適用するに際し、静圧軸受の流体として空気を選択することは単なる設計的事項にすぎない。
相違点２について：
　アルミナセラミックスを産業用機械の部品として使用することは、前記刊行物３に記載されており、軸受、定盤、案内軸に使用することも例示されていることからすれば、刊行物９に記載された発明に刊行物２に記載された発明を適用するに際し、さらに、Ｘ及びＹステージと、Ｘステージ用ガイド部と、エアーパッドの材質をセラミックスとすることに格別の困難性があるとも認められない。
　
（４）さらに効果の点についてみても、刊行物３に、セラミックスを使用したときの特長として、軽量化、運動の高速化が可能であること、耐摩耗性に優れるために摺動部材に適すること、耐食、耐熱性に優れること、及び経時変化がないこと、が記載されていることからすれば、訂正発明の効果も、予測可能であって、格別のものということはできない。
　なお、特許権者は、平成１１年７月２７日付け意見書において、４つの特長を挙げてこれらの有機的結合について主張しているが、それらの特長による効果はいずれも、刊行物３に記載されたセラミックスを使用したときの固有の効果にすぎず、格別のものということはできない。
　
（５）したがって、訂正発明は、刊行物９、刊行物２及び刊行物３に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明をすることができるものであり、本件特許の出願の際に独立して特許を受けることができないものである。
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する特許法第１２６条第４項に規定する要件を満たさないから、認めることができない。
　
９．次に、本件特許に対する特許異議の申立てについて判断する。
（１）本件特許発明の要旨は、願書に添付された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲第１項に記載された次のとおりのものである。
「基準となる面を備える基盤と、該基盤上に載置されるステージと、該ステージを該基盤の基準となる面と平行な面内を所定方向に移動させるためのガイド部と、該ステージを該ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する駆動源と、該ステージを空気によって支持案内する空気軸受とを有し、該空気軸受はステージを前記ガイド部に沿った移動方向に案内するためのエアーパッドと、ステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するためのエアーパッドとを備えると共に、前記ステージ、ガイド部、及びエアーパッドの材質をセラミツクスとしたことを特徴とするステージ装置。」
（２）本件特許発明と、上記取消理由に引用された刊行物１に記載された発明とを対比すると、
　刊行物１に記載された発明の「定盤１」、「基盤１の上面」、「移動台２」「移動体４の案内部」、「リニアモータ７，８」、「静圧気体軸受」及び「アライメントステージ」は、それぞれ本件特許発明の「基盤」、「基準となる面」、「ステージ」、「ガイド部」、「駆動源」、「空気軸受」及び「ステージ装置」に相当するから、両者は、「基準となる面を備える基盤と、該基盤上に載置されるステージと、該ステージを該基盤の基準となる面と平行な面内を所定方向に移動させるためのガイド部と、該ステージを該ガイド部に沿って移動させるための駆動力を発生する駆動源と、該ステージを空気によって支持案内する空気軸受とを有し、該空気軸受はステージを前記ガイド部に沿った移動方向に案内するための軸受と、ステージを前記基準となる面に垂直な方向に支持するための軸受とを備えるステージ装置。」の点で一致し、本件特許発明がエアーパッドを備えるものであるのに対し、刊行物１に記載された発明では、小穴から空気を吹き出して空気軸受を構成しているものである点（以下、「相違点１」という。）、及び、本件特許発明が、「ステージ、ガイド部、及びエアーパッドの材質をセラミツクスとした」ものであるのに対し、刊行物１に記載された発明においては、これらの部材の材質について特段の記載がない点（以下、「相違点２」という。）で、相違する。
　
（３）上記相違点について検討する。
相違点１について；
　静圧気体軸受において、エアーパッドを使用することは、一般に行われており、相違点１は単なる設計的事項にすぎない。
相違点２について；
　アルミナセラミックスを産業用機械の部品として使用することは、取消理由に引用された刊行物３に記載されており、軸受、定盤、案内軸に使用することも例示されていることからすれば、刊行物１に記載された発明においてステージ、ガイド部及びエアーパッドの材質をセラミックスとすることに格別の困難性があるとも認められない。
　
（４）さらに効果の点についてみても、刊行物３に、セラミックスを使用したときの特長として、軽量化、運動の高速化が可能であること、耐摩耗性に優れるために摺動部材に適すること、耐食、耐熱性に優れること、及び経時変化がないこと、が記載されていることからすれば、本件特許発明の効果も、予測可能であって、格別のものということはできない。
　
１３．したがって、本件特許発明は、刊行物１及び刊行物３に記載されたものに基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年５月９日（２０００．５．９）