【事件の表示】
　特許第２９９６８９７号「液晶配向制御方法及び装置及び前記方法により形成された配向膜を有する液晶表示装置」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９９６８９７号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９９６８９７号の請求項１ないし５に係る発明は、平成７年６月２２日に特許出願され、平成１１年１０月２９日にその特許の設定の登録がなされ、その後、森脇大樹により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年１２月２２日付けで訂正請求がなされ、再度取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年２月１６日付けで訂正請求がなされ、前記平成１２年１２月２２日付けの訂正請求が取り下げられたものである。
２．訂正の適否について
（１）訂正事項
　ａ．特許明細書の請求項１
「基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴とする液晶配向制御方法。」を、
「基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴とし、
　前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、液晶配向制御方法。」と訂正する。
　ｂ．請求項３
「基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射して前記偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射してプレチルト角をつける処理をすることを特徴とする液晶配向制御方法。」を、
「基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して前記偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断してプレチルト角をつける処理をすることを特徴とする液晶配向制御方法。」と訂正する。
　ｃ．請求項４
「直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源と、
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段とを備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。」を、
「基板上に形成された高分子配向膜の配向特性を制御する液晶配向制御装置において、
　直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源であって、前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、紫外線光源と、
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段とを備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。」と訂正する。
　ｄ．明細書第９頁下から２行における「配向力の法が」の「法」を、「方」と訂正する。
　ｅ．明細書第１０頁第８行における「容易に御可能」の「容易に」と「御可能」の間に「制」の１文字を挿入する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａ〜ｃは、特許明細書の【００１４】、【００３２】〜【００３９】及び図５に記載された事項に基づいて特許請求の範囲を減縮するものであり、訂正事項ｄ及びｅは、明らかな誤記の訂正に該当する。
　そして、上記訂正事項はいずれも、新規事項に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（３）訂正の適否のむすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２，３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立人の主張の概要
　特許異議申立人森脇大樹は、甲第１号証ないし甲第３号証を提出し、本件の請求項１ないし５に係る発明は甲第１号証に記載された発明であり、請求項４に係る発明は、甲第２号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号または第２項の規定により取り消すべき旨、主張している。
　
４．当審の判断
（１）本件発明
　本件の請求項１ないし５に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　
　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴とし、
　前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、液晶配向制御方法。
【請求項２】　
　請求項１記載の液晶配向制御方法において、
　前記偏光方向の回転角がほぼ９０°であることを特徴とする液晶配向制御方法。
【請求項３】　
　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して前記偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断してプレチルト角をつける処理をすることを特徴とする液晶配向制御方法。
【請求項４】　
　基板上に形成された高分子配向膜の配向特性を制御する液晶配向制御装置において、
　直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源であって、前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、紫外線光源と、
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段とを備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。
【請求項５】　
　請求項１乃至３のいずれかに記載の液晶配向制御方法により形成された高分子配向膜を備えたことを特徴とする液晶表示装置。」
　
（２）甲各号証記載の発明
　特許異議申立人の提出した本件出願前に頒布された刊行物である
甲第１号証：SOCIETY　FOR　INFORMATION　DISPLAY　INTERNATIONAL　SYMPOSIUM　DIGEST　OF　TECHNICAL　PAPERS　VOLUME　XXVI　には、液晶ディスプレイの配向膜の配向方向及びプレチルト角を制御する方法に関し、
「ネガ型フォトレジストとして知られる光重合材料の１つであるＰＶＣｉは、ＵＶ光照射（図１参照）による２量体化を通して、その分子配向を変える。」（８７７頁右欄４行〜７行）、
「最初に、図４（ａ）に示すように、垂直の入射角（ベクトルＫとＺ軸は平行）であって、Ｙ軸に対して平行な偏向方向を持つＵＶ光が、薄膜に照射される。」（８７８頁右欄６行〜８行）、
「２回目の照射として、基板（Ｘ軸）から角度θｉだけ傾斜したＵＶ光を薄膜に照射した。そしてそのＵＶ光はＸ−Ｚ平面内に偏光軸をもつ。」（８７８頁右欄１３行〜１６行）、
「スピンコートによりＩＴＯガラス基板上に塗布されたＰＶＣｉ薄膜が１００℃で１時間ベーキングされる。その後、ＰＶＣｉ薄膜は直線偏光ＵＶ光を照射される。」（８７９頁左欄５行〜８行）、
「結晶回転法により、プレチルト角の２回目の照射角度θｉ依存性を測定した。使われたネマチック液晶は５ＣＢである。結果が表１に示される。θｉの増加に伴い、プレチルト角が増加する傾向にある。」（８７９頁左欄３５行〜３９行）と記載されている。
　上記によれば、甲第１号証には、
「最初に、垂直の入射角であって、Ｙ軸に対して平行な偏光方向を持つＵＶ光が、ＰＶＣｉ薄膜に照射され、２量体化を通して、その分子配向を変え、２回目の照射として、Ｘ−Ｚ平面内に偏光軸をもつ、基板（Ｘ軸）から角度θｉだけ傾斜したＵＶ光を前記薄膜に照射し、プレチルト角をつける」発明が記載されている。
　
　同じく、甲第２号証：特開平７−７２４８４号公報には、液晶表示素子の製造に用いる装置が図２に示されるとともに、
「【００３４】
　光偏光記憶膜を利用して微小領域毎に配向処理をした基板を作成する方法について種々の実施例を以下に述べる。図２は、配向処理をした微小領域を有する基板を作成するための装置を示す。レーザ光源２よりのレーザ光出力はまず光学系（たとえば、所定形状の開口とレンズを含む）３で絞りこまれ、偏光特性を解消された所定のビームスポット径を与えられる。
【００３５】
　さらに、レーザビームを所定方向の偏光軸を有する偏光板４を通過させて直線偏光レーザ光５とする。直線偏光レーザ光５は透明ガラス基板６の表面に所定の微小領域に対応する面積のビームスポットとなって照射される。・・・
【００３８】
　ガラス基板６は２次元方向Ｘ，Ｙに移動可能な可動ステージ７の上に配置されており、可動ステージ７を移動させ、同時に偏光板４を光軸回りに回転させて偏光方向を変えながら偏光レーザビーム５を基板６上の光偏光記憶膜全域にパルス状に照射すると図１に示すような配向構造が得られる。」
と記載されている。
　
　同じく、甲第３号証：特開平７−５６１７３号公報には、
「光源１０から出た照射偏光１１の偏光方向１２に液晶分子が配向する光偏光記憶膜２を用い、照射偏光１１の照射方向は基板１の鉛直線Ｐに対してある角度傾けてある。」（【００４５】）
「図５（Ａ）に示すこの光配向記憶膜は、直線偏光により図５（Ｃ）のように光二重化し、ポリマー間の重合を行い、偏光方向に対して垂直方向に屈折率の異方性を生じる・・・」（【００５０】）と記載されている。
　
（３）対比・判断
［請求項１について］
　訂正された本件の請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という）と上記甲各号証に記載の発明とを対比するに、上記甲各号証には、本件発明１の「紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである」とする点が備わっていない。
　ちなみに、甲第１号証記載のものは、ＵＶ光を薄膜に照射し、２量体化を通して、その分子配向を変えるものであり、甲第３号証記載のものも直線偏光により光二重化し、ポリマー間の重合を行うもので、本件発明とは異なる原理によっている。
　そして、本件発明１は、上記構成を具備することにより、基板上に静電気、埃等の発生を防止させずに配向膜を形成することができ、また、配向方向及びプレレチルト角を容易に変えることができるという格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明であるとも、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
［請求項２について］
　請求項２に係る発明は、請求項１の発明の構成を全て引用しさらに限定を加えたものであるから、上記本件発明１に対すると同様の理由で、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明であるとも、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
［請求項３について］
　請求項３に係る発明（以下「本件発明３」という）と上記甲各号証に記載の発明とを対比するに、上記甲各号証には、本件発明３の「紫外線を所定の偏光方向で照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して前記偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射し、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断してプレチルト角をつける処理をする」点が備わっていない。
　したがって、本件発明３は、上記本件発明１に対すると同様の理由で、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明であるとも、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
［請求項４について］
　請求項４に係る発明（以下「本件発明４」という）と上記甲各号証に記載の発明とを対比するに、上記甲各号証には、本件発明４の「紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである」点が備わっていない。
　したがって、本件発明４は、上記本件発明１に対すると同様の理由で、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明であるとも、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
［請求項５について］
  請求項５に係る発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の発明の方法により形成された高分子配向膜を備えた液晶表示装置に関するものであるが、甲各号証には、「紫外線の偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断した高分子配向膜を備えた液晶表示装置」については、記載も示唆もないから、上記本件発明１ないし３に対すると同様の理由で、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明であるとも、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
　
６．むすび
　以上のとおり、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件発明の特許を取り消すことはできない。
　又、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年２月２０日（２００１．２．２０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２９９６８９７号発明の明細書中特許請求の範囲を請求書に添付された訂正明細書のとおりに訂正する。すなわち、
ａ．請求項１
「　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射すること
　を特徴とする液晶配向制御方法。」
を、
「　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴と
し、
　前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、
と訂正する。
ｂ．請求項３
「　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射して前記偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射してプレチルト角をつける処理をすること
　を特徴とする液晶配向制御方法。」
を、
「　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射し
、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射し
、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して
　を特徴とする液晶配向制御方法。」
と訂正する。
ｃ．請求項４
「　直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源と、
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段と
　を備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。」
を、
「
　基板上に形成された高分子配向膜の配向特性を制御する液晶配向制御装置において、
　直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源
であって、前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、紫外線光源
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段と
　を備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。」
と訂正する。
ｄ．明細書第９頁下から２行（特許第２９９６８９７号公報第４頁右欄第１１行）における「配向力の法が」の「法」を、「方」と訂正する。
ｅ．明細書第１０頁第８行（特許第２９９６８９７号公報第４頁右欄第２０行）における「容易に御可能」の「容易に」と「御可能」の間に「制」の１文字を挿入する。
（５４）【発明の名称】
液晶配向制御方法及び装置及び前記方法により形成された配向膜を有する液晶表示装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、
　前記直線偏光の偏光方向を回転させて前記高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴と
し、
　前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、
　【請求項２】
　請求項１記載の液晶配向制御方法において、
　前記偏光方向の回転魚がほぼ９０°であること
　を特徴とする液晶配向制御方法。
　【請求項３】
　基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射し
、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して
　前記直線偏光の偏光方向を前記配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ前記高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射し
、前記高分子配向膜中の当該偏光方向にほぼ平行な分子鎖を切断して
　を特徴とする液晶配向制御方法。
　【請求項４】
　基板上に形成された高分子配向膜の配向特性を制御する液晶配向制御装置において、
　直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源
であって、前記紫外線は、その偏光方向にほぼ平行な前記高分子配向膜中の分子鎖を切断するものである、紫外線光源
　前記紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、
　前記基板の基準方向に対して所定の偏光方向で前記紫外線を照射させる偏光方向変更手段と
　を備えたことを特徴とする液晶配向制御装置。
　【請求項５】
　請求項１乃至３のいずれかに記載の液晶配向制御方法により形成された高分子配向膜を備えたことを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業土の利用分野】
　本発明は、液晶分子に接する配向膜の液晶配向制御方法及び装置に関する。また本発明は、前記液晶配向制御方法により形成された配向膜を有する液晶表示装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来より、液晶表示装置の液晶配向膜の配向方法としてラビング法が用いられている。ラビングとは、綿等の毛足の短い布でガラス基板上に塗布されたポリイミド等の高分子を擦る工程である。摩擦によって高分子の鎖が一方向に揃い、また微小な溝が表面に形成されるために液晶分子が配向すると言われている。しかしながら、ラビング法は製造装置が簡単で済むという利点を有するものの、製造工程において静電気や埃が発生するため、これらを取り除く洗浄工程等に工夫を必要としている。このためラビングに変わる配向方法が幾つか提案されている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　既に提案されている配向方法として斜方蒸着、延伸高分子膜、グレーティング法、ＬＢ膜の貼り付け、有機分子の光異性化の利用等がある。以下にこれらの配向方法を簡単に説明する。まず、斜方蒸着は、ＳｉＯ２、Ａｕ、Ａｌ等の金属及びその酸化物をガラス基板に対して傾斜させて蒸着させるものであり、ガラス基板表面に斜方構造を形成し、この構造に沿って液晶分子を配向させるようにしたものである。液晶配向のガラス基板に対する傾き角であるプレチルト角の制御は蒸着の角度を変化させることで可能であるが、反面斜方蒸着のための装置は大がかりなものになり、さらに所望の配向膜形成に時間がかかってしまうという欠点を有している。
　【０００４】
　また延伸高分子膜を用いた場合には、高分子膜の膜厚が厚くなってしまうため、製造された液晶表示パネルの印加電圧が大きくなってしまうという欠点を有している。
　【０００５】
　また、グレーティング法はフォトリソグラフィやレプリカによりガラス基板に溝を形成し、溝の方向に液晶を配向させるものであるが、製造工程が複雑になってしまうとともにプレチルト角の制御も困難であるという欠点を有している。
　【０００６】
　ＬＢ（ラングミュアー−ブロジェット）膜は数分子層からなる、よく配向した単分子膜をガラス基板に貼り付け、ＬＢ膜の分子によって液晶を配向させるものであり、プレチルト角の制御はＬＢ膜の分子を変更させることで可能ではあるがＬＢ膜の作成及びガラス基板への貼り付けが困難であるという欠点を有している。
　【０００７】
　光異性化の利用は、プレチルト角の制御が不可能であり、光重合、光分解を用いた配向方法も提案されてきているが（例えば、平成５年（１９９３年）２月１２日に出願公開された特開平５−３４６９９号公報参照）、配向力が弱くしかもプレチルト角を持たないためリバースチルト欠陥を生じるという問題を有している。
　【０００８】
　本発明の目的は、基板上に静電気、埃等の発生を防止させることができる液晶配向制御方法及び装置を提供することにある。
　また本発明の目的は、配向膜材料としてさまざまな高分子材料を用いることを可能とし、配向の特性を制御可能である液晶配面制御方法及び装置を提供することにある。
　【０００９】
　さらに本発明の目的は、配向方向を容易に変えることができ、基板上で部分的に配向方向を変化させることができる液晶配向制御方法及び装置を提供することにある。
　またさらに、本発明の目的は、上記液晶配向制御方法により形成された配向膜を有する液晶表示装置を提供することにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的は、基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を照射し、直線偏光の偏光方向を回転させて高分子配向膜に斜めに紫外線を照射することを特徴とする液晶配向制御方法により達成される。
　【００１１】
　また上記自的は、基板上に形成された高分子配向膜に直線偏光した紫外線を所定の偏光方向で照射して偏光方向に対して直角方向に配向させる配向処理をし、直線偏光の偏光方向を配向膜面内でほぼ９０°回転させ、且つ高分子配向膜に偏光面内で斜めから紫外線を照射してプレチルト角をつける処理をすることを特徴とする液晶配向制御方法により達成される。
　【００１２】
　さらに上記目的は、直線偏光された紫外線を照射する紫外線光源と、紫外線光源から照射された直線偏光の紫外光を基板法線に対して所定の角度だけ相対的に傾ける照射光傾斜手段と、基板の基準方向に対して所定の偏光方向で紫外線を照射させる偏光方向変更手段とを備えたことを特徴とする液晶配向制御装置により達成される。
　【００１３】
　またさらに上記目的は、上記いずれかの液晶配向制御方法により形成された高分子配向膜を備えたことを特徴とする液晶表示装置によって達成される。
　【００１４】
　【作用】
　本発明によれば、液晶配向制御装置がガラス基板及び配向膜に接触しないため、静電気、埃の発生を防止させることができるようになる。また配向膜材料としてさまざまな高分子材料を用いることが可能となるので、配向の特性を制御可能である。さらに偏光の方向を容易に変えることができるので配向方向を変えることができ、基板上で部分的に配向方向を変化させることができる。
　【００１５】
　そして、紫外線を照射するだけなので他の付加的な工程を要することもなく、液晶にプレチルト角を持たせて配向させることができるから液晶表示パネルに電圧を印加してもリバースチルト等の配向不良を生じない。従来の光を利用した配向は配向力が弱かったが、本発明により形成される配向は、ラビング法のそれと同程度のものを得ることができるようになる。
　【００１６】
　【実施例】
　本発明の一実施例による液晶配向制御装置の構成を図１を用いて説明する。
　本実施例による液晶配向制御装置は、図１（ａ）に示すような水銀ランプ２とウオラストンプリスム等の直線偏光素子４と組み合わせた紫外線光源６、或は図１（ｂ）に示すような紫外線レーザ８等のすでに直線偏光された紫外線を照射できる紫外線光源６のいずれかと、当該光源６から照射された直線偏光の紫外光を基板１０法線に対して任意の角度相対的に傾ける照射光傾斜手段１２と、基板の基準方向に対して任意の偏光方向で照射できるようにする偏光方向変更手段１４からなる。
　【００１７】
　照射光傾斜手段１２及び偏光方向変更手段１４としては、例えば光源を固定して、光照射されるガラス基板を光源に対して回転／傾斜させる機構であればよく、従来の基板保持／搬送テーブル或はＸ−Ｙ−Ｚテーブル等を利用して容易に製造することができるので本実施例では説明を省略する。
　【００１８】
　次に、本発明の一実施例による液晶配向制御装置を用いた液晶配向制御方法を図２を用いて説明する。図２（ａ）、（ｂ）はそれぞれ高分子配向膜を塗布した基板の平面図及び側面図である。
　【００１９】
　まず、図２に示すようにガラス基板等の基板１０に高分子配向膜（ポリイミド、ポリビニルアルコール等）１６をスピンコート等により薄く塗布した後、乾燥させる。
　【００２０】
　次に、図３（ａ）に示すように塗布された高分子配向膜１６に吸収される波長の紫外線を直線偏光状態で高分子配向膜１６に照射する。この照射により基板１０面内の配向方向は偏光方向と垂直になる。本実施例においてはこれを配向照射と呼ぶこととする。
　【００２１】
　次に、２回目の紫外線照射を行う。２回目の紫外線照射は図３（ｂ）に示すように、偏光方向を配向照射の偏光に対して９０°回転させ、且つ照射方向を基板に対して偏光方向を含む垂直面内で所定量傾ける。つまり、偏光方向は基板１０に対して傾いている。この２回目の照射により液晶にプレチルト角を持った配向をさせることができるようになる。この照射を本実施例ではチルト照射と呼ぶこととする。
　【００２２】
　チルト照射の照射エネルギとポリイミド等の高分子配向膜の種類によってプレチルト角を制御することができる。また配向照射とチルト照射とを同時に実施することもできる。使用する高分子配向膜としては、後述するが紫外線によって分子鎖が切れるものであって、また液晶に対して水平配向を行う高分子配向膜である必要があり、これを満足するものとしてポジ型ポリイミドがある。
　【００２３】
　紫外線の照射時間は、高分子配向膜の紫外線に対する感度と紫外線の強度によって異なる。
　上記紫外線照射を２枚のガラス基板上の高分子配向膜に紫外線照射を行った後、高分子配向膜側を内側にして２枚のガラス基板を対向させて、所定の間隔（セルギャップ）で貼り合わせ、液晶を注入して封止する。このとき、所望の配向状態を得られるように両基板の高分子配向膜の配向方向を設定するようにする。セルギャップは液晶が配向できる範囲であればよく通常の液晶表示装置では、数ミクロンから十数ミクロンである。セルギャップは、フィルムやビーズ球などのスペーサにより実現される。
　【００２４】
　図４に本実施例による液晶配向制御方法で製造された液晶表示装置の概略の構造を示す。所定のセルギャップになるように対向する２枚のガラス基板１０がスペーサ１８により支持されている。両ガラス基板１０内面に本実施例での配向処理を施された高分子配向膜１６が形成されその間に液晶２０が封入されている。
　【００２５】
　封入された液晶２０は液晶状態でもアイソトロピック状態でもよく、液晶２０注入後液晶相となった液晶２０はガラス基板１０上の高分子配向膜１６によりプレチルト角をもって配向する。以上のようにして液晶の一方向への水平配向がラビングせずに得られる。
　【００２６】
　上述の構成及び方法の具体例を以下に説明する。まず紫外線光源６としてＳＨＧ（二次高調波）による紫外線レーザを用いた。波長は２５７ｎｍである。基板１０としては、透明電極（ＩＴＯ：インジウム・ティン・オキサイド）を形成したガラス基板を用いた。基板１０上に形成する高分子配向膜１６としては、可溶性ポリイミド（日本合成ゴム社製のオプトマーＡＬ１２５６）を用いた。
　【００２７】
　ポリイミドの高分子配向膜１６をスピンコートにより電極付ガラス基板１０のＩＴＯ上に塗布した後、１８０℃で１時間ベークし乾燥させる。ポリイミド１６の塗布面を紫外線レーザ６の紫外線照射面に向け、直線偏光した紫外線光を１８ｍＷの８ｍｍ径のスポット（３２ｍＷ／ｃｍ２）で２分間、基板１０に垂直に照射した。
　【００２８】
　次に、２回目の紫外線照射のため偏光方向を９０°回転し、さらに基板１０を偏光面内で１０°傾けて１分間紫外線をポリイミド１６にチルト照射した。
　【００２９】
　このようにして形成された基板１０を２枚用い、ポリイミド１６側を内側にして１２ミクロンのポリエチレンフィルムをスペーサ１８として挟む。このとき２枚の基板１０は、２回目に照射した紫外線の偏光方向が互いに平行になるように、つまり液晶のプレチルトが平行になるように２枚の基板１０を貼り合わせた。液晶２０を液晶相のまま毛細管現象を利用して注入して液晶表示装置を完成させた。
　【００３０】
　できあがった液晶表示装置の高分子配向膜１６を偏光顕微鏡で観察し、またクリスタルローテーション法を用いてプレチルト角を測定した。紫外線が照射された部分では偏光方向と直角に配向していた。またプレチルト角は０．２°であった。２枚の基板１０のＩＴＯに電圧を印加すると液晶２０の液晶分子の配向が傾いたが配向の回転方向は同一でリバースチルトによる欠陥は生じなかった。
　【００３１】
　また、チルト照射の角度を３０°にして同様の実験をしたところプレチルト角は０．６°を得た。このようにチルト照射の角度によってプレチルト角の制御が可能である。
　【００３２】
　本実施例は原理的に、直線偏光した紫外線に対する高分子配向膜の吸収の異方性を用いている。即ち、高分子配向膜に照射した紫外線の偏光方向とほぼ平行に分子鎖が並んだ高分子配向膜の分子鎖は吸収が大きくて、紫外線の偏光方向とほぼ直角方向に並ぶ分子鎖より相対的にその分子鎖の切断が生じやすいことを用いている。
　【００３３】
　以下に図５を用いて直線偏光した紫外線による高分子配向膜であるポリイミド分子鎖の変化を説明する。図５（ａ）は基板１０上面から見た平面図であり、基板１０上に高分子配向膜１６であるポリイミドをスピンコートしたときのポリイミド分子鎖の状態を示している。この状態ではポリイミド分子鎖２２、２４等はあらゆる方向に向いている。
　【００３４】
　図５（ｂ）は、直線偏光した紫外線を基板面の法線方向から配向照射させた状態を示している。図中破線３０で示した領域内が偏光照射の領域である。照射した紫外線の偏光方向は図５（ｂ）の矢印ａで示すように、図中縦方向である。このような配向照射を行うと、高分子配向膜１６の分子鎖２２、２４は照射された紫外線の偏光方向にほぼ平行な分子鎖２４は多く紫外線を吸収して切れて短くなり、相対的に偏光方向と直角方向の分子鎖２２は切断されずにそのままの状態を保つ。
　【００３５】
　従って、偏光方向と直交した方向のポリイミドの分子鎖は偏光方向に平行な方向より長くなって液晶に対する配向力が強くなり、液晶をこのポリイミドの上に置くと液晶は偏光方向と直交した方向に配向する。
　【００３６】
　図５（ｃ）は図５（ｂ）のＡ−Ａ断面図である。同図に示すように、ポリイミド膜中の積層した分子鎖２２（主鎖）は側鎖２６、２８を有している。側鎖は主鎖に対して、その高分子材料で決定される所定の角度をもって主鎖に対して左右両方向にでている。従って、このままでは液晶は配向はしても、基板１０面に対して平行にプレチルト角０°で配向している。
　【００３７】
　そこで次に、図５（ｄ）に示すように、まず基板１０を基板法線を回転軸として９０°回転させてから、直線偏向の紫外線が基板１０面に対して偏向方向に所定角傾斜させた紫外線照射領域３２でチルト照射を行う。紫外線の偏光方向は図５（ｄ）の矢印ｂで示すように同図にＸ印で示した１回目の照射における偏光方向ａに対して直交し、且つポリイミドの表面に対して傾斜している。
　【００３８】
　こうすることにより、基板に対してさまざまな方向に傾いて並んでいた分子鎖のうち、偏光方向に平行な分子鎖が短くなり、偏光方向から大きく傾いている分子鎖ほど長く残るようになる。主鎖２２についている側鎖２６、２８のうち偏光方向と平行に近い側鎖２８は図中破線で示すように紫外線の吸収が大きく、短く切断される。
　【００３９】
　このため反対方向に並んでいる側鎖２６の配向力の
方
　【００４０】
　以上説明したように本実施例の配向制御方法及び装置を用いれば、ラビングを用いずに配向が実現できるため静電気や埃の発生が防止でき、紫外線を照射するだけなので他の付加的な工程を要しない。
　【００４１】
　また上記方法によれば、配向膜材料としてさまざまな高分子材料を用いることができ、従って配向特性を容易に制御可能となる。さらに、配向方向を容易に変えることができ、基板上で部分的に配向方向を変化させることもできるので、偏光方向を変えながら紫外線をガラス基板上に走査しつつ照射することにより、液晶表示画素の１画素内を分割し各領域で異なる配向方向を形成するマルチドメイン法に容易に適用することができる。
　【００４２】
　本発明は、上記実施例に限らず種々の変形が可能である。
　例えば、上記実施例においては光源からの光として波長２００〜３００ｎｍの範囲の深紫外線を用いたが、本発明はこれに限られず、高分子材料の吸収特性に対応させて他の電磁波、例えば真空紫外線（波長２００ｎｍ以下）或は紫外線（波長３００〜４００ｎｍ）等を用いることももちろん可能である。
　【００４３】
　【発明の効果】
　以上の通り本発明によれば、基板上に静電気、埃等の発生を防止させずに配向膜を形成することができ、また、配向方向及びプレチルト角を容易に変えることができ、基板上で部分的に配向方向を変化させることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例による液晶配向制御装置を示す図である。
　【図２】
　高分子配向膜を塗布した基板を示す図である。
　【図３】
　本実施例の液晶配向制御方法を示す図である。
　【図４】
　本発明の一実施例による液晶表示装置を示す図である。
　【図５】
　直線偏向した紫外線を照射することによるポリイミド分子鎖の変化を説明する図である。
　【符号の説明】
２　水銀ランプ
４　直線偏光素
６　紫外線光源子
８　紫外線レーザ
１０　基板
１２　照射光傾斜手段
１４　偏光方向変更手段
１８　スペーサ
２０　液晶
２２　分子鎖（主鎖）
２４　分子鎖（主鎖）
２６　側鎖
２８　側鎖
３０　紫外線照射領域
３２　紫外線照射領域