【事件の表示】
　特許第３０２３８１８号「溶融材料の溶融レベル制御方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０２３８１８号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第３０２３８１８号は、１９９２年９月１７日にドイツ国に出願した特許出願に基づいて優先権を主張して、平成５年６月２８日に出願し、平成１２年１月２１日に設定登録され、同年３月２１日に特許公報に掲載されたところ、同年９月２１日に村中祥世から特許異議の申立を受けたものである。
２．本件発明
　本件発明は、本件明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のものである。
［請求項１］チョクラルスキー法により単結晶を引き上げるときに、熱膨張の小さな材料からなるるつぼカバーによりカバーされたるつぼの中の溶融材料の溶融レベルを制御する溶融レベル制御方法において、
ａ）前記溶融材料から発生する光を該溶融材料の溶融面上に照り返すように、前記るつぼカバーに、前記溶融面から距離Ｓだけ離れて位置する少なくとも１つの幾何学的形状部を設ける工程と、
ｂ）前記溶融面上の照り返しのある領域を少なくとも部分的に包含する評価領域を設定し、該評価領域の画像を記録する工程と、
ｃ）前記記録された画像をもとに前記距離Ｓを決定すると共に、前記距離Ｓに比例する実際信号Ｘを出力する工程と、
ｄ）前記実際信号Ｘと予め設定された設定点信号Ｙとを比較すると共に、該信号間に差異が観察される場合に、該溶融レベルを変更するための制御信号Ｚを出力する工程とを具備することを特徴とする溶融材料の溶融レベル制御方法。
３．特許異議申立人の主張
　特許異議申立人村中祥世は甲第１〜２号証を提出して、次のような主旨の主張をしている。
　「本件発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証に記載された発明と同一であるか、もしくは、その発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号に該当するか、もしくは、同条第２項の規定により特許を受けることができないものである。」
４．特許異議申立人の主張についての検討
　甲第１号証（特開昭６３−２８１０２２号公報）には、「坩堝内の融液面の上方であって、単結晶の引上げ域の周囲に輻射スクリーンを配設した単結晶成長装置における融液面のレベル測定方法において、前記輻射スクリーンの一部に定めた基準点と該融液面に対する前記基準点の反射像とを光強度に応じた信号を発するリニアセンサにて捉え、該リニアセンサ上における前記基準点とその反射像との離隔寸法に基づき融液面のレベルを求めることを特徴とする単結晶成長装置における融液面のレベル測定方法。」（特許請求の範囲）が記載されており、また、その第３頁左上欄１１行から同頁右下欄６行には、「カメラ１１は第２，３図に示す如くレンズ１１ａの結像位置にリニアセンサ１２をその視野中に前記輻射スクリーン５のテーパ部５ｂの下端縁５ｃ及び融液面に対する下端縁５ｃの反射像（５ｃ）を捉え得るようにその設置位置および設置角度（３０°程度）を設定されている。リニアセンサ１２は第３図（イ）に示す如く前記下端縁５ｃの曲線状縁部に対する接線と直交する向きであって、テーパ部５ｂの下端縁５ｃの像Ｎａ及びその反射像（５ｃ）の像Ｎｂの両者を共に捉え得る長さに設定されており、各受光素子で捉えた像Ｎａ、Ｎｂの明るさに応じた電気信号を出力するようになっており、その出力は演算制御部１３に読み込まれるようになっている。リニアセンサ１２で捉えられる像のうち下端縁５ｃの像Ｎａは比較的暗く、一方融液面からの反射像Ｎｂは融液面自体が高温で、しかも下端縁５ｃの背面がヒータ３等からの光を反射し、その反射光に融液面が照らされることから極めて明るくなり、リニアセンサ１２を構成する各部の受光素子から出力される電気信号の信号レベルは第３図（ロ）に示す如くになる。即ち、像Ｎｂの受像位置で最も高く、ここから像Ｎａの受像位置までの間は略一定のレベルを示し、像Ｎａの受像位置を過ぎると信号レベルは急激に小さくなる。演算制御部１３はこれらリニアセンサ１２からの信号レベルに基づき像Ｎａ、Ｎｂの位置を検出し、これらの位置に基づきテーパ部５ｂに下端縁５ｃとその反射像５ｃとの離隔寸法ｈを演算する。・・・・・・テーパ部５ｂの下端縁５ｃから融液面までの距離ｌは下記（３）式によって与えられることになる。
　ｌ＝１／２ｈ・・・（３）
演算制御部１３は算出したｌを予め定めた基準レベル値と比較し、その差を解消するように坩堝２用のモータＭ２に制御信号を出力し、坩堝２の位置を調節する。」と記載されている。
　そうすると、甲第１号証に記載された発明の単結晶成長装置における融液面のレベル測定方法は、輻射スクリーンの一部に定めた基準点と融液面に対する基準点の反射像とを、光強度に応じた信号を発生するリニアセンサで捉え、リニアセンサ上における基準点とその反射像との離隔寸法に基づいて融液面のレベルを求めるものであり、具体的には、甲第１号証の第３図（イ）および（ロ）に示されているように、リニアセンサ１２で捉えられた輻射スクリーン５のテーパ部の下端縁５ｃの像Ｎａの位置と、その下端縁５ｃの融液面に対する反射像５ｃの像Ｎｂの位置の間隔に基づきその下端縁５ｃとその反射像５ｃの距離ｈを演算し、ｌ＝１／２ｈの関係からテーパ部５ｂの下端縁５ｃから融液面までの距離ｌを算出するものである。
　そして、甲第１号証の３頁左上欄５〜１０行には、「輻射スクリーン５は金属製の環状リム５ａの内周縁部に、ここから下方に向かうに従って縮径され、中空の逆円錐台形をなすよう傾斜させたテーパ部５ｂを設けて構成され、環状リム５ａの外周縁を保温壁４上に当接懸架せしめることにより保温壁４上に保持されている。」と記載されていることからして、その輻射スクリーン５は、金属製の環状リム５ａとそこから下方に向かうに従って縮径され、中空の逆円錐台形をなすように傾斜させたテーパ部５ｂしかなく、それには、本件発明のａ）でいう「溶融材料から発生する光を溶融材料の溶融面上に照り返すように、るつぼカバーに、溶融面から距離Ｓだけ離れて位置する少なくとも１つの幾何学的形状部」は設けられていないし、また、その「幾何学的形状部」が設けられていなければ、それによって、本件発明のｂ）でいう「溶融面上の照り返しのある領域」も形成されないから、「溶融面上の照り返しのある領域を少なくとも部分的に包含する評価領域を設定し、その評価領域の画像を記録する」ことはないし、さらに、本件発明のｃ）でいう「その記録された画像をもとに距離Ｓを決定すると共に、距離Ｓに比例する実際信号Ｘを出力する」こともない。
　してみると、結局、甲第１号証に記載された発明は、本件発明でいうａ）、ｂ）、ｃ）の構成要件を備えていないから、本件発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるとは認められない。
　甲第２号証（特公昭５７−４０１１９号公報）には、「チョクラルスキー・るつぼ−引き上げ法によって結晶半導体棒を引き上げるときに、るつぼと、るつぼ内に含まれる溶融物とを部分的にカバーする装置において、るつぼの縁から突出している上部の平たい環状リムと、該環状リムに取り付けられ、内側の縁から円筒形状に下方に傾斜しているまたは円錐状に先細りになっている連結部とから成り、該連結部の内部高さがるつぼの深さの０．２〜１．２倍であり底部の開口は被引き上げ半導体棒の断面の１．２〜８倍の面積であることを特徴とする装置。」（特許請求の範囲第１項）、「連結部の下端が上部環状リムと平行な平たい環状で内側に突出したリムとして構成されていることを特徴とする、特許請求の範囲第１項〜第５項までのいずれか１項に記載の装置。」（特許請求の範囲第６項）および「連結部の下端の平たい環状突出部の幅が溶融るつぼの内径の０．０５〜０．３５倍に相当することを特徴とする特許請求の範囲第６項および第１項〜第５項までのいずれか１項に記載の装置。」（特許請求の範囲第７項）等が記載されており、また、その、第４欄３４〜３６行には、「本発明による装置は、赤外放射を反射し得る金属または金属性表面を有する材料から、便宜的に製造することができる。」と記載されており、甲第２号証には、るつぼと、るつぼ内に含まれる溶融物とを部分的にカバーする装置の連結部の下端に平たい環状突出部を設けること、および、そのカバー装置は、赤外放射を反射し得る材料から製造することができることが示されており、そのカバー装置の連結部の下端の平たい環状突出部は、本件発明のａ）でいう「溶融材料から発生する光を溶融材料の溶融面上に照り返すように、るつぼカバーに、溶融面から距離Ｓだけ離れて位置する少なくとも１つの幾何学的形状部」に当たるものであると認められるが、甲第２号証には、溶融レベルの制御について記載するところはない。
　そして、既に検討したように、甲第１号証に記載された発明の単結晶成長装置における融液面のレベル測定方法は、リニアセンサ上における基準点とその反射像との離隔寸法に基づいて融液面のレベルを求めるものであり、基準点およびその反射像はリニアセンサにより鮮明に識別できるようなものでなければならないから、甲第１号証に記載された発明において、基準点として、甲第２号証に記載されたカバー装置の連結部の下端の平たい環状突出部のように幅広のものを敢えて選定しようとする動機がない。
　してみると、結局、甲第１号証および甲第２号証には、本件発明でいうｂ）、ｃ）の構成要件は示されていないし、また、甲第１号証に記載された発明の単結晶成長装置における融液面レベル測定方法において、甲第２号証に記載された発明のカバー装置の連結部の下端の平たい環状突出部を基準点とすることはできないから、本件発明は、甲第１〜２号証の記載を総合したところで、それらに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
５．結び
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由および証拠によっては、本件請求項１に係る特許は取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月２９日（２００１．５．２９）