【事件の表示】
　特許第２９４２５３２号「多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９４２５３２号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９４２５３２号に係る発明についての出願は、平成１０年２月１８日に特許出願（特願平１０−３６３１０号）され、平成１１年６月１８日にその発明についての特許の設定登録がなされ、その後、東谷満より全請求項に係る特許について特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年７月１４日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下の（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）のとおりである。
（ａ）明細書中の特許請求の範囲の請求項１〜３において、請求項３を削除し、請求項１および２のみと訂正する。
（ｂ）明細書第５頁第２行〜第７行の記載「また、被洗浄物を洗浄槽に収納して洗浄槽に供給ラインを設けて洗浄液を供給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、洗浄槽に洗浄液を供給する供給ラインと、この供給ライン上に配設されて洗浄槽に供給する洗浄液の流量を調節する流量調節手段とを備え、この流量調節手段により洗浄槽に洗浄液の流量を調節して液流を変化させて供給することでこの変化する洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する。」を削除する。
（ｃ）明細書中の【発明の名称】、および、段落番号【０００１】、【０００７】、【０００９】、【００１９】、【００２５】、【００２９】、【００３３】、【００３４】、【００３５】にそれぞれ記載された「多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置」を「多段階流量式洗浄方法」に訂正する。
　
 イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　（ａ）の訂正事項は、特許請求の範囲の請求項３を削除するものであり、この訂正は特許請求の範囲の減縮に該当する。
　（ｂ）の訂正事項は、明細書中の記載中の、（ａ）の訂正で削除された特許請求の範囲の請求項３に対応する記載部分を削除するものであり、この訂正は明りょうでない記載の釈明に該当する。
　（ｃ）の訂正事項は、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるためのものであり、この訂正は明りょうでない記載の釈明に該当する。
　そして、上記（ａ）、（ｂ）および（ｃ）のいずれの訂正も、願書に最初に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてしたものであると認められ、さらに、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
ア．本件発明について
　本件請求項１及び２に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】被洗浄物を洗浄槽に収納し、この洗浄槽に洗浄液を供給することで前記洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、
　前記洗浄槽に供給する洗浄液の流量を洗浄中に調節し、前記洗浄槽に洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給することで、この変化する洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする多段階流量式洗浄方法。
【請求項２】請求項１に記載の多段階流量式洗浄方法において、
　前記洗浄液の供給流量は、少なくとも前記洗浄槽に供給する洗浄液により前記被洗浄物が完全に浸漬するまでの間、低流量で供給することを特徴とする多段階流量式洗浄方法。
　
イ．特許異議の申立ての概要
　申立人東谷満は、証拠として甲第１号証（特開平６−２５２１１７号公報）を提出し、請求項１及び３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に該当し、請求項１ないし３に係る特許は同法第１１３条第１項第２号の規定により取消されるべきものであり、また、請求項１ないし３の記載は特許法第３６条第６項に規定する要件を満たしていないから、請求項１ないし３に係る特許は同法第１１３条第１項第４号の規定により取消されるべきものである旨主張している。
　
ウ．判断
（１）甲第１号証に記載された発明について
　甲第１号証はウエハの洗浄方法に関するものであり、次の事項が、図面とともに記載されている。
　「洗浄槽内に洗浄液をオーバーフローさせた状態でウエハの洗浄を行うウエハ洗浄方法において、前記洗浄槽内の洗浄液の流速分布を変化させながらウエハの洗浄を行うことを特徴とするウエハ洗浄方法。」（特許請求の範囲　請求項１）
　「洗浄槽内に供給する洗浄液の流量を制御することにより前記洗浄液の流速分布を変化させることを特徴とする請求項１に記載のウエハ洗浄方法。」（特許請求の範囲　請求項３）
　「図１は、本発明の実施例に係る薬液洗浄の場合の洗浄装置の構成図である。洗浄槽１の外周にオーバーフロー槽２が設けられる。オーバーフロー槽２には薬液配管３が接続され、ポンプ４およびフィルター６を介して洗浄槽１の底部と連結される。ポンプ４には、ストロークカウンタ５が取り付けられポンプ４のストローク数を計測してポンプ４による薬液循環流量を検出する。ポンプ４はコントローラ８により駆動制御される。この場合、ストロークカウンタ５からの検出信号をコントローラ８に入力しこの入力信号に基づいてポンプ４の流量をフィードバック制御してもよい。また、管外測定タイプの超音波流量計１３を用いて常時薬液流量を検出し、この検出信号をコントローラ８に送ることによりさらに精密な流量のフィードバック制御ができる。
【００１１】洗浄すべきウエハ７は洗浄槽１内の支持部材（図示しない）上に装着され保持される。洗浄槽１内には、洗浄用薬液が一杯に充填されオーバーフローした薬液はオーバーフロー槽２に収容される。オーバーフロー槽２内の薬液はポンプ４により矢印Ａのように循環され、フィルタ６によりろ過された後、洗浄槽１の底部より矢印Ｂのように槽内に供給される。この場合の供給流量は一定ではなく例えばポンプ４の駆動制御により後述のように変化させる。これにより洗浄槽１内の薬液流速分布が変化する。この場合、薬液配管３上に設けた弁（図示しない）のオンオフ制御により洗浄槽１の底部から供給する薬液を断続的にオンオフさせて流速分布を変化させてもよい。
【００１２】このような薬液による洗浄処理後のウエハ７は、ウエハ表面の薬液除去のために超純水によりさらに洗浄される。このような超純水による洗浄処理装置の構成を図２に示す。図１の例と同様に、洗浄槽１の内部にウエハ７が図示しない支持部材上に装着される。洗浄槽１の底部には純水配管１５が接続され、ユーティリティ側から矢印Ｃのように送られた超純水が、矢印Ｂのように洗浄槽１の底部から槽内部に供給される。オーバーフローした超純水は洗浄層１の下に設けたドレンパン（図示しない）から外部に排出される。純水供給配管１５上には流量制御弁１０が設けられる。配管１５を流れる超純水流量は管外測定タイプあるいはその他適当な形式の流量計１２により検出され、検出信号がコントローラ８に送られ、この検出結果に基づいて制御弁１０の開度を調整し流量のフィードバック制御を行う。
【００１３】この超純水による洗浄の場合にも、流速分布を一定とせずに、流量変化あるいは超純水供給の断続的オンオフ制御により槽内流速を変化させる。
【００１４】この場合、洗浄処理の進行状況は、抵抗計１１により洗浄槽１内の超純水の比抵抗値を検出し、超純水中の薬液量をモニターすることにより知ることができる。このような比抵抗値の変化のグラフを図４に示す。横軸は時間、縦軸は比抵抗値を表す。時間ｔ１でウエハが洗浄槽内に入れられ、時間ｔ２で取り出される。ウエハ投入直後はウエハに付着した薬液が純水中に溶けこむため比抵抗値が急激に下がり、洗浄されていくうちに次第に純水中の薬液濃度が減少して比抵抗値が増加し、徐々にウエハ投入前の超純水の値まで回復する。所定の比抵抗値の値まで回復したらウエハを取り出す。」（第２頁右欄第３０行〜第３頁左欄第３６行）
　「また、本発明によるウエハ洗浄方法においては、洗浄液供給流量は例えばグラフｃのように変化する。このように流量を変化させる方法としては、洗浄液供給配管上に制御弁を設けその開度を調整する方法、配管上のオンオフ弁の駆動時間を制御する方法、定量ストロークポンプのストローク数を制御する方法、配管を複数に分岐し各分岐管上にバルブを設け開状態のバルブ数の選択により流量調整する方法等が実施可能である。このように、洗浄処理中に洗浄液供給流量を変化させることにより洗浄槽内の流速分布が変化する。」（第３頁右欄第１８行〜第２７行）
　「以上説明したように、本発明に係るウエハ洗浄方法においては、薬液あるいは超純水による洗浄処理中に洗浄すべきウエハ面およびその周辺の流速分布が変化するため、従来のように大量の洗浄液を流すことなく、よどみ部分の洗浄不良や流速の大小による洗浄処理進行程度の差が解消され、洗浄作用の信頼性が向上しウエハ面が効率よく均一に洗浄処理される。」（第３頁右欄第４３行〜第４６行）
　また、図３にはウエハが洗浄液中に投入される時点から洗浄処理終了後洗浄液から取り出される時点まで供給流量を変化させた具体的データが示されている。
　
（２）対比・判断
・特許法第２９条第１項第３号について
　請求項１に係る発明の構成要件である「洗浄槽に洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給することで、この変化する洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄する」点については、甲第１号証には記載されていない。
　申立人は図３のグラフ中の供給流量が増加する部分を指摘して、甲第１号証に記載されている旨主張している。しかしながら、「被洗浄物を洗浄する」ための「変化する洗浄液の液流」は、請求項１に係る発明にあっては「洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給」するものであり、甲第１号証に記載された発明おいてはグラフ全体に示されているような流量の増加、減少を含む変化をさせて供給するものであって、甲第１号証に記載された発明の、供給流量の増加する部分だけをもって、両者を同一であるとすることはできない。
　したがって、請求項１に係る発明は甲第１号証に記載された発明ではないから、特許法第２９条第１項第３号には該当しない。
　
・特許法第２９条第２項について
　請求項１に係る発明の構成要件である「洗浄槽に洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給することで、この変化する洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄する」点については、甲第１号証には記載されていない。（甲第１号証に記載された発明との相違は、上述したとおり。）
　そしてこのことにより、図９、図１０で比較されるように、顕著な効果を奏するものと認められるから、甲第１号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとは認められない。
　なお、申立人は、「洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給すること」は、通常行われている常識的な操作である旨主張しているが、それを裏付ける根拠は示されておらず、当該主張は認められない。
　
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を更に「少なくとも前記洗浄槽に供給する洗浄液により前記被洗浄物が完全に浸漬するまでの間、低流量で供給する」と限定したものであって、請求項１に係る発明が甲第１号証に記載された発明から容易に発明をすることができたものと認められない以上、当然に、請求項２に係る発明についても、甲第１号証に記載された発明に基づいて容易に発明をすることができたものとは認められない。
　
　したがって、請求項１および２に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定には該当しない。
　
・特許法第３６条第６項について
　請求項１及び請求項２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されており、明確であり、かつ請求項ごとの記載は簡潔であるから、特許法３６条第６項第１号ないし第３号の規定に違反するものとは認められない。
　申立人は、「本件特許明細書の発明の詳細な説明の欄には、いかなる場合においても効果が得られるということは何ら説明されていない。したがって、本件請求項１は、発明の詳細な説明の欄に記載された発明の範囲を逸脱する不当に広範なものである。」と主張しているが、特許法３６条第６項第１項ないし３号において、特許請求の範囲の記載された発明について、発明の詳細な説明の欄に、いかなる場合においても効果が得られるということが説明されていなければならないような規定はなされておらず、また、特許請求の範囲に記載された発明が効果を得られない範囲を含むとしても、そのことが直接「発明の詳細な説明の欄に記載された発明の範囲を逸脱する」ことには該当しない。したがって、当該申立人の主張は採用できない。
　また、申立人は「本件請求項２の構成は、本件特許明細書の発明の詳細な説明の欄において何ら具体的な説明が為されておらず、その実施例の欄においても実施されていない。」と主張しているが、請求項２に係る発明は、訂正後の特許明細書の段落番号【０００８】に記載されており、また、具体的な説明や実施例の記載はなくとも、請求項２の記載はそれ自身で充分明確である。したがって、当該主張も採用できない。
　
　なお、訂正により特許請求の範囲の請求項３は削除されたので、請求項３に係る特許についての異議の理由はないものとなった。
　
エ．むすび
　以上のとおりであって、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月３０日（２０００．８．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（ａ）明細書中の特許請求の範囲の請求項１〜３において、請求項３を削除し、請求項１および２のみと訂正する。
（ｂ）明細書第５頁第２行〜第７行の記載「また、被洗浄物を洗浄槽に収納して洗浄槽に供給ラインを設けて洗浄液を供給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、洗浄槽に洗浄液を供給する供給ラインと、この供給ライン上に配設されて洗浄槽に供給する洗浄液の流量を調節する流量調節手段とを備え、この流量調節手段により洗浄槽に洗浄液の流量を調節して液流を変化させて供給することでこの変化する洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する。」を削除する。
（ｃ）明細書中の【発明の名称】、および、段落番号【０００１】、【０００７】、【０００９】、【００１９】、【００２５】、【００２９】、【００３３】、【００３４】、【００３５】にそれぞれ記載された「多段階流量式洗浄方法および多段階流量式洗浄装置」を「多段階流量式洗浄方法」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
多段階流量式洗浄方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　被洗浄物を洗浄槽に収納し、この洗浄槽に洗浄液を供給することで前記洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、
　前記洗浄槽に供給する洗浄液の流量を洗浄中に調節し、前記洗浄槽に洗浄液の液流を段階的または連続的のいずれかにより低流量から高流量に変化させて供給することで、この変化する洗浄液の液流により前記被洗浄物を洗浄することを特徴とする多段階流量式洗浄方法。
　　【請求項２】　請求項１に記載の多段階流量式洗浄方法において、
　前記洗浄液の供給流量は、少なくとも前記洗浄槽に供給する洗浄液により前記被洗浄物が完全に浸漬するまでの間、低流量で供給することを特徴とする多段階流量式洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【発明の属する技術分野】
　本発明は、
多段階流量式洗浄方法
多段階流量式洗浄方法
　　　【０００２】
　　【従来の技術】、
　従来、半導体ウェーハ、ガラス基板、電子基板などの被洗浄物は、薬液処理（エッチング）した後、この被洗浄物の表面から薬液を除去するために純水などの洗浄液により洗浄する洗浄工程が必要とされる。この洗浄工程では、薬液処理した被洗浄物を洗浄槽内に収納し、この洗浄槽の底面から純水などの洗浄液を供給することで、この洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗浄装置がよく使用されている。
　　　【０００３】
　図１１は、このように洗浄槽に洗浄液を流出させて液流により被洗浄物を洗浄する従来の洗浄装置の構造を示す配管図である。
　図１１に示すように、従来の洗浄装置は、薬液処理した被洗浄物（図示せず）を収納する洗浄槽２０と、この洗浄槽２０の底面から純水などの洗浄液を供給する供給ライン２４と、この供給ライン２４の途中に接続されて洗浄液の供給を制御するバルブ２２とを備えている。
　ここで、バルブ２２は、電気的なオン・オフにより供給ラインを開閉する構造を備えている。従って、バルブ２２は、供給ライン２４から流出する洗浄液を洗浄槽２０に供給および供給停止することができる。
　　　【０００４】
　このような従来の洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程からエッチングなどの薬液処理を終えた被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２０内に搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽２０内に搬送すると、供給ライン２４を介して供給された純水などの洗浄液をバルブ２２を開くことにより洗浄槽２０内に流入させる。
　　　【０００５】
　ここで図１２は、図１１に示した従来の洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフである。図１１に示すように、洗浄槽２０内に供給される洗浄液流量は、バルブ２２を開いて洗浄が終了するまで、常に一定の流量が洗浄槽２０内に供給されている。この一定の流量で供給される洗浄液は、洗浄槽２０内に収納した洗浄用カセット（図示せず）の内部に流入することで被洗浄物の表面を洗浄液の液流により洗浄する。
　　　【０００６】
　このように、従来の洗浄装置は、洗浄槽２０の底面に接続した供給ライン２４から洗浄液を一定の流量で供給することで、洗浄用カセット（図示せず）に収納した被洗浄物の表面を一定に流れる液流により洗浄していた。
　　　【０００７】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、従来の洗浄装置では、洗浄槽に供給される洗浄液の液流により薬液処理で被洗浄物の表面に付着した異物の一部は除去できるが、一定に供給される洗浄液の液流では一部の頑固な異物が被洗浄物の表面に残存してしまう。従って、従来の洗浄装置では、薬液処理で付着した異物を十分に低減させることが困難であった。
　また、このような従来の洗浄装置では、薬液処理で被洗浄物の表面に付着した頑固な異物を十分に除去するためには多量の洗浄液および長い洗浄時間が必要になる。従って、被洗浄物を十分に洗浄するためには、洗浄液の削減および洗浄時間の短縮が困難であった。
　本発明は、上述の問題点を解決し、被洗浄物を洗浄液の液流により効果的に洗浄するとともに被洗浄物の表面に付着する異物の増加を抑制する
多段階流量式洗浄方法
　　　【０００８】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明は上述の課題を解決するために、被洗浄物を洗浄槽に収納して洗浄液を供給することで洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する洗浄方法において、洗浄槽に洗浄液の流量を洗浄中に調節して液流を変化させて供給することでこの変化する洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する。ここで、洗浄槽に供給する洗浄液の流量は、低流量から段階的に高流量に変化、または低流量から連続的に高流量に変化させるいずれかの方法で供給する。また、洗浄液の供給流量は、少なくとも洗浄槽に供給する洗浄液により被洗浄物が完全に浸漬するまで低流量で供給する。
　　　【０００９】
　　【発明の実施の形態】
　次に、添付図面を参照して本発明による
多段階流量式洗浄方法
　　　【００１０】
　図１に示すように、本発明による多段階流量式洗浄装置の第１の実施の形態は、薬液処理した被洗浄物（図示せず）を収納する洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底面に接続して外部から純水などの洗浄液を供給する供給ライン１４と、この供給ライン１４の途中に配設して純水などの洗浄液の流量を調節する調節バルブ１２とを備えている。
　ここで、調節バルブ１２は、電気的にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、調節パルプ１２は、従来の洗浄装置と異なり、開閉部１２ａからの供給流量と、バイパス１２ｂからの供給流量とにより時間経過に伴って洗浄液の流量を２段階に調節することができる。
　　　【００１１】
　このように構成された多段階流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を供給ライン１４から洗浄槽１０内に流出させる。
　このとき、調節バルブ１２の開閉部１２ａは、閉めた状態に維持することで供給ライン１４に供給された洗浄液がバイパス１２ｂを介して洗浄槽１０内に流出する。この洗浄槽１０内に流出した洗浄液は、洗浄用カセット（図示せず）の下部から上部に流入して収納された被洗浄物の表面を液流により洗浄する。
　また、調節バルブ１２は、バイパス１２ｂから供給する洗浄液により被洗浄物を一定の時間洗浄した後、開閉部１２ａを開いてバイパス１２ｂに加えて開閉部１２ａからも洗浄液を供給する。
　　　【００１２】
　このように第１の実施の形態では、図２に示すように、最初の１段階にバルブ１２を閉めた状態でバイパス１２ｂから低流量で流出する洗浄液の液流により被洗浄物を洗浄する。次に、１段階で被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、２段階として調節バルブ１２の開閉部１２ａを開いて、バイパス１２ｂおよび開閉部１２ａから同時に洗浄液を供給して高流量で被洗浄物の洗浄を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液は、この洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を２段階に変化する洗浄液の液流により洗浄する。
　このように第１の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って２段階の純水流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。
　　　【００１３】
　次に、図３および図４を参照して本発明による多段階流量式洗浄方法の第２の実施の形態を詳細に説明する。図３は、本発明による多段階流量式洗浄装置の第２の実施の形態の構造を示す配管図である。また、図４は、図３に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフである。ここで、第２の実施の形態は、第１の実施の形態での調節バルブ１２を複数装着したものであり、同一構成要素には同一符号を記載するとともに、重複する説明は省略する。
　　　【００１４】
　図３に示すように、本発明による多段階流量式洗浄装置の第２の実施の形態は、被洗浄物を収納する洗浄槽１０と、純水などの洗浄液を供給する供給ライン１４と、この供給ライン１４に直列に配設された複数の調節バルブ１２−１、１２−２およびバルブ１６とを備えている。
　また、バルブ１６は、電気的にオン・オフすることにより供給ラインを開閉するように設けてある。さらに、調節バルブ１２−１、１２−２は、電気的にオン・オフすることにより供給ライン１４を開閉する開閉部１２ａと、この開閉部１２ａを通過するように設けたバイパス１２ｂとを備えている。従って、第２の実施の形態は、調節バルブ１２−１、１２−２およびバルブ１６により時間経過に伴って洗浄液の流量を複数段階に変化させることができる。
　　　【００１５】
　このように構成された多段階流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。被洗浄物を収納した洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を供給ライン１４から洗浄槽１０内に流出させる。
　このとき、調節バルブ１２−１、１２−２は、開閉部１２ａ−１、１２ａ−２を閉めた状態に維持する。ここで、バルブ１６を開けることにより、調節バルブ１２−１、１２−２のバイパス１２ｂ−１、１２ｂ−２を介して洗浄槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄する。
　　　【００１６】
　また、このような状態で一定の時間洗浄を行った後には、調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２を閉めた状態から開けた状態にする。これにより洗浄槽１０には、調節バルブ１２−１のバイパス１２ｂ−１を介して、バイパス１２ｂ−２、および開閉部１２ａ−２から高流量の洗浄液が流出することで被洗浄物の表面を洗浄する。
　さらに、このような高流量で一定の時間洗浄を行った後、調節バルブ１２−１の開閉部１２ａ−１を閉めた状態から開けた状態にする。これにより、洗浄槽１０には、調節バルブ１２−１、１２−２から更に高流量の洗浄液が供給されて被洗浄物の表面を洗浄する。
　　　【００１７】
　このように第２の実施の形態では、図４に示すように、最初の１段階にバルブ１６を開いて流出する洗浄液により被洗浄物を洗浄する。また、１段階による被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、２段階として調節バルブ１２−２の開閉部１２ａ−２を開いて、被洗浄物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、３段階として調節バルブ１２−１の開閉部１２ａ−１を開いて、被洗浄物の洗浄を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液は、３段階に変化する洗浄液の液流により、洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を洗浄することができる。
　　　【００１８】
　このように第２の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って３段階の純水流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。また第２の実施の形態は、第１の実施の形態に比べてより効果的な洗浄を実行することができる。
　　　【００１９】
　次に、図５および図６を参照して本発明による
多段階流量式洗浄方法
　　　【００２０】
　図５に示すように、本発明による多段階流量式洗浄装置の第３の実施の形態は、被洗浄物を収納する洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から並列に２つ分岐して純水などの洗浄液を各々供給する供給ライン１４−１、１４−２と、この並列に配列する供給ライン１４−１、１４−２に各々配設されたバルブ１６−１、１６−２とを備えている。
　また、バルブ１６−１、１６−２は、電気的にオン・オフすることにより供給ラインを開閉するように設けてある。また、バルブ１６−２は、バルブ１６−１に比べて洗浄液の流量を多く供給できるように設けてある。従って、第３の実施の形態は、バルブ１６−１からの供給流量と、バルブ１６−２からの供給流量と、この両方のバルブ１６−１、１６−２から同時に供’給する供給流量とにより、時間経過に伴って洗浄液の流量を３段階に変化させることができる。
　　　【００２１】
　このように構成された多段階流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を洗浄槽１０内に流出させる。
　このとき、バルブ１６−２は、閉めた状態に維持する。また、バルブ１６−１は、閉めた状態から徐々に開いた状態にする。これにより、バルブ１６−１を介して洗浄槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄する。
　　　【００２２】
　また、このような状態で一定の時間洗浄を行った後には、バルブ１６−１を閉じると同時に、バルブ１６−２を閉めた状態から開けた状態にする。これにより洗浄槽１０には、バルブ１６−２を介して洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄する。
　さらに、このような状態で一定の時間洗浄を行った後、バルブ１６−１、１６−２を同時に開いた状態にする。これにより、洗浄槽１０には、バルブ１６−１、１６−２から高流量の洗浄液が供給されて被洗浄物を洗浄する。
　　　【００２３】
　このように第３の実施の形態では、図６に示すように、最初の１段階にバルブ１６−１を開くことにより被洗浄物を洗浄する。また、１段階による被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、２段階としてバルブ１６−１を閉めてバルブ１６−２を開くことにより被洗浄物の洗浄を実行する。さらに、２段階による被洗浄物の洗浄を一定時間実行した後、３段階としてバルブ１６−１、１６−２を同時に開いて被洗浄物の洗浄を実行する。このように洗浄槽１０内に供給した洗浄液は、この洗浄槽１０内に収納した被洗浄物を３段階に変化する洗浄液の液流により洗浄することができる。
　　　【００２４】
　このような構成による第３の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って洗浄液の流量を３段階に変化させて洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した異物を効果的に除去でき、洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。また第３の実施の形態は、第２の実施の形態と同じ効果を得ることができる。
　　　【００２５】
　次に、図７および図８を参照して本発明による
多段階流量式洗浄方法
　　　【００２６】
　図７に示すように、本発明による多段階流量式洗浄装置の第４の実施の形態は、被洗浄物を収納する洗浄槽１０と、この洗浄槽１０の底部から純水などの洗浄液を供給する供給ライン１４と、この供給ライン１４に配設されたバルブ１６と、このバルブ１６から供給された洗浄液を流量調整するレギュレータ１８とを備えている。
　また、バルブ１６は、電気的にオン・オフすることにより供給ラインを開閉するように設けてある。また、レギュレータ１８は、バルブ１６から供給される洗浄液を電圧またはエアー駆動圧により流量調整するように設けてある。従って、第４の実施の形態は、バルブ１６からの供給流量をレギュレータ１８が時間経過に伴って連続的に変化させることができる。
　　　【００２７】
　このように構成された多段階流量式洗浄装置を使用する場合、まず、所定の工程から被洗浄物を洗浄用カセット（図示せず）に複数枚収納し、この洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送する。被洗浄物を収納した洗浄用カセット（図示せず）を洗浄槽１０内に搬送すると、純水などの洗浄液を洗浄槽１０内に流出させる。
　このとき、バルブ１６を開けた状態にするとともに、レギュレータ１８を駆動させ、洗浄槽１０内に連続的に洗浄液の流量を変化させて供給する。これにより、レギュレータ１８を介し、洗浄槽１０内に洗浄液が供給されて被洗浄物が洗浄される。
　　　【００２８】
　このように第４の実施の形態では、図８に示すように、バルブ１６を開くことでレギュレータ１８が洗浄液の流量を連続増加させる。また、レギュレータ１８は、所定の時間が経過すると、洗浄液の流量を一定の流量で供給する。このように被洗浄物は、レギュレータ１８が洗浄槽１０内に供給する洗浄液により、最初は連続的に増加する洗浄液の液流により洗浄され、所定の時間が経過すると一定の流量で洗浄される。
　　　【００２９】
　このような構成による第４の実施の形態によると、被洗浄物を洗浄する際に、時間経過に伴って連続増加する純水流量で洗浄処理するため、被洗浄物の表面に付着した汚染物質を効果的に除去することができ、洗浄時間の短縮および洗浄液の削減を実現できる。
　このように、本発明による
多段階流量式洗浄方法
　　　【００３０】
　　
実施例
　図９は、図１１に示した従来の洗浄装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフである。また、図１０は図１に示した本発明による多段階流量式洗浄装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフである。
　図９に示すように、従来の洗浄装置においての洗浄実験は、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉｎの純水流量で各々１０ｍｉｎ、１５ｍｉｎ、および２０ｍｉｎの処理時間で洗浄実験を行った。
　　　【００３１】
　また、図１０に示すように、本発明による多段階流量式洗浄装置は、従来の洗浄装置と比較するために、被洗浄物を１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１１ｍｉｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で３ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計１３ｍｉｎの洗浄と、１０Ｌ／ｍｉｎの低流量で１０ｍｉｎおよび３０Ｌ／ｍｉｎの高流量で１０ｍｉｎの合計２０ｍｉｎの洗浄とによる各々３種類の洗浄実験を行った。
　　　【００３２】
　ここで、被洗浄物は、ベアのシリコン基板を酸化シリコン膜に覆われたシリコン基板で挟んでフッ素酸により処理された基板を使用する。また、図９および図１０に示した異物増加数は、薬液処理前および洗浄処理後に被洗浄物の表面に付着した異物数を測定し、この洗浄処理後の異物数から薬液処理前の異物数を引いた数を示している。また、図９および図１０に示したグラフでは、０．１３〜０．３μｍの大きさの異物をハッチングした棒グラフで、０．３μｍ以上の大きさの異物を白地の棒グラフで各々示している。
　　　【００３３】
　図９に示したように、従来の洗浄装置は、純水流量が１０Ｌ／ｍｉｎ、３０Ｌ／ｍｉｎのどちらとも処理時間が延長されることで異物増加が減少する傾向にあるが、２０ｍｉｎ間、洗浄処理を実行しても、常時約２００個〜１０００個の異物が常に残存してしまうことが分かる。
　一方、図１０に示した本発明による多段階流量式洗浄装置は、低流量で３ｍｉｎおよび高流量で１０ｍｉｎの計１３ｍｉｎの洗浄処理を行うことで、従来の洗浄装置と比べて約２００個以下に異物増加を抑制していることが分かる。
　従って、本発明による
多段階流量式洗浄方法
　　　【００３４】
　以上、本発明によってなされた
多段階流量式洗浄方法
　例えば、本実施の形態で説明した調節バルブ１２の数は、本実施の形態で説明した数に限定されるものではなく、必要に応じて増やしてもよい。
　　　【００３５】
　　【発明の効果】
　このように、本発明による
多段階流量式洗浄方法
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明による多段階流量式洗浄装置の第１の実施の形態の構造を示す配管図。
　【図２】
　図１に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
　【図３】
　本発明による多鵬流量式洗浄装置の第２の実施の形態の構造を示す配管図
　【図４】
　図３に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
　【図５】
　本発明による多段階流量式洗浄装置の第３の実施の形態の構造を示す配管図。
　【図６】
　図５に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
　【図７】
　本発明による多段階流量式洗浄装置の第４の実施の形態の構造を示す配管図。
　【図８】
　図７に示した多段階流量式洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示
すグラフ。
　【図９】
　図１１に示した従来の洗浄装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフ。
　【図１０】
　図１に示した本発明による多段階流量式洗浄装置により洗浄実験を行った異物の増加数を示すグラフ。
　【図１１】
　従来の洗浄装置の構造を示す配管図。
　【図１２】
　図１１に示した従来の洗浄装置が洗浄中に供給する洗浄液の流量変化を示すグラフ。
　【符号の説明】
　１０　　洗浄槽
　１２　　調節バルブ
　１２ａ　開閉部
　１２ｂ　バイパス
　１４　　供給ライン