(57)【要約】      （修正有）【課題】フラックス等の不純物を除去するだけでなく臭いを取り去ったうえで、排出ガスを効率的に冷却し大気に戻すことができる手軽な構成の排出ガスクリーナを提供する。【解決手段】不純物を含有するガスを内部で発生させるリフロー炉等の不純物ガス発生器から排出される排出ガスを導入して浄化し、大気に放出するために、ガス導入口Ｐ１とガス導出口Ｐ２との間に形成した内部流路９上に、臭い除去フィルタ３、冷却部材５及び不純物回収機構４を設ける。さらに、前記冷却部材５を平板状にして、その厚み方向に貫通する多数のガス貫通孔を形成するとともに、この冷却部材５をガス流通方向に対して斜めに傾斜させて配置するようにした。【選択図】図２
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
不純物を含有するガスを内部で発生させるリフロー炉等の不純物ガス発生器から排出される排出ガスを導入して浄化し、大気に放出するものであって、
ガス導入口とガス導出口との間に形成した流路と、前記流路上に設けた臭い除去フィルタ、冷却部材及び不純物回収機構とを具備してなり、
前記冷却部材が平板状をなし、その厚み方向に貫通する多数のガス貫通孔を形成したものであって、この冷却部材をガス流通方向に対して斜めに傾斜させて配置していることを特徴とする排出ガスクリーナ。
【請求項２】
前記冷却部材が、内部に冷却用媒体が流通する流通管を隙間を空けて複数並列させ平板状に形成するとともに、隣接する流通管の間に帯状の金属伝熱板を仮想平板面と垂直で、なおかつ波状に折り曲げて配設し、折り曲げた金属伝熱板間に前記ガス貫通孔が形成されるように構成したものである請求項１記載の排出ガスクリーナ。
【請求項３】
前記不純物回収機構が、受け皿部材と、この受け皿部材上に設けられて曲がりくねった流路を形成する複数の起立壁とを具備してなり、排出ガス中の不純物が前記流路を通過する過程で液化又は固化して顕出し、前記受け皿部材に回収されるように構成したものである請求項１又は２記載の排出ガスクリーナ。
【請求項４】
前記流路上に設けた排出ガス吸引用のブロアをさらに具備している請求項１、２又は３記載の排出ガスクリーナ。
【請求項５】
前記流路の上流から、臭い除去フィルタ、不純物回収機構、冷却部材の順に直列させるとともに、不純物回収機構の直上に冷却部材を配置している請求項１、２、３又は４記載の排出ガスクリーナ。
【請求項６】
不純物ガス発生器がリフロー炉である請求項１、２、３、４又は５記載の排出ガスクリーナ。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれか記載の排出ガスクリーナと、リフロー炉とを具備した排出ガス浄化システムであって、
リフロー炉における基板搬入口及び／又は基板搬出口の近傍に一端を開口させ、他端を排出ガスクリーナのガス導入口に接続した排出ガス吸引ダクトを具備していることを特徴とする排出ガス浄化システム。
【請求項８】
前記排出ガス吸引ダクトの一端開口を、リフロー炉における基板搬入口及び／又は基板搬出口の近傍かつ上方に配置していることを特徴とする請求項７記載の排出ガス浄化システム。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、リフロー炉等から排出される不純物を含んだ排出ガスを浄化して外部に排出ガスクリーナに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リフロー炉には、大気を次々導入して加熱するとともに余ったガスを外部に放出する開放型のものと、ガスを内部で循環させて外部には排出しない内部循環型のものとがある。これらのリフロー炉においては、内部で加熱されたガスに、半田に含まれるフラックス等が気化して含有することになるが、特に内部循環型のリフロー炉では、ガス中のフラックス濃度が次第に増加する上、そのフラックスが、ゾーン間の温度差などで顕出し、炉内壁や基板に付着する恐れが生じるため、特許文献１に示すように、内部にガス循環経路を設け、その循環経路上にフラックス除去機構を設けてガス中のフラックスを除去するように構成している。
【特許文献１】特開平１０−３３５８０７号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近時では、排出されるガスの不純物が環境汚染等につながるとして開放型のリフロー炉は用いられなくなってきており、また、内部循環型のリフロー炉でさえ、基板搬入口又は基板搬出口からわずかに漏れ出る内部ガスを問題にされる場合がある。
さらに、開放型、内部循環型を問わず、従来のリフロー炉において、漏れ出る内部ガスの臭いに着目したものは見あたらない。例えば前述した特許文献１記載のフラックス除去装置は、内部にガスを戻すのではなく、外部に排出することも可能に構成してあるが、臭いは除去されない。フラックスを除去したとしても、実際の排出ガスにはかなりの臭いがあり、これが問題となる場合がある。
【０００４】
本考案は係る問題点を鑑みてなされたものであって、フラックス等の不純物を除去するだけでなく臭いを取り去ったうえで、排出ガスを効率的に冷却し大気に戻すことができる手軽な構成の排出ガスクリーナを提供することをその主たる所期課題としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
すなわち、本願請求項１に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、不純物を含有するガスを内部で発生させるリフロー炉等の不純物ガス発生器から排出される排出ガスを導入して浄化し、大気に放出するものであって、ガス導入口とガス導出口との間に形成した流路と、前記流路上に設けた臭い除去フィルタ、冷却部材及び不純物回収機構とを具備する。そして前記冷却部材が平板状をなし、その厚み方向に貫通する多数のガス貫通孔を形成したものであって、この冷却部材をガス流通方向に対して斜めに傾斜させて配置していることを特徴とする。
【０００６】
このようなものであれば、臭い及びフラックス等の不純物を除去するとともに、排出ガスを冷却して大気に戻すことができる。また、冷却部材を傾けて配置することで、冷却効率を大きく高めることが可能になる。さらに、この排出ガスクリーナは、リフロー炉等の不純物ガス発生器とは別体で構成することができるので、既存のリフロー炉等に後付けすることで、簡便に排出ガス浄化システムを構築することができる。
【０００７】
本願請求項２に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、前記冷却部材が、内部に冷却用媒体が流通する流通管を隙間を空けて複数並列させ平板状に形成するとともに、隣接する流通管の間に帯状の金属伝熱板を仮想平板面と垂直で、なおかつ波状に折り曲げて配設し、折り曲げた金属伝熱板間に前記ガス貫通孔が形成されるように構成したものである。
このような構成であれば、冷却部材を傾斜させているので、金属伝熱板の面板部に排出ガスが斜めから当たり、冷却効率が特に向上する。
【０００８】
本願請求項３に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、前記不純物回収機構が、受け皿部材と、この受け皿部材上に設けられて曲がりくねった流路を形成する複数の起立壁とを具備してなり、前記流路を通過する排出ガスが冷やされるとともに当該排出ガス中の不純物が液化又は固化して顕出し、前記受け皿部材に回収されるように構成したものである。
このような構成であれば、比較的単純な構成で不純物を顕出させて回収することができる。
【０００９】
本願請求項４に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、前記流路上に設けた排出ガス吸引用のブロアをさらに具備しているものである。
このような構成であれば、ブロアを一体に有しているので、この排出ガスクリーナのみをリフロー炉に接続するだけで良く、使い勝手が格段に向上する。
【００１０】
本願請求項５に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、流路の上流から、臭い除去フィルタ、不純物回収機構、冷却部材の順に直列させるとともに、不純物回収機構の直上に冷却部材を配置しているものである。
このような順序で臭い除去フィルタ、不純物回収機構、冷却部材を配設すれば、排出ガスが温度の高いうちに臭い除去フィルタを通過するので、このフィルタに含まれる臭い除去因子が活性な状態となり、効率よく臭いを除去できる。また、冷却部材を不純物回収機構より上流に配置すると冷却部材で不純物が多く顕出し、目詰まりなどの不具合が生じやすいが、冷却部材を不純物回収機構よりも下流に配置しているので、上記不具合を好適に回避できる。さらに、仮に冷却部材で不純物が顕出したとしても、その不純物はその直下の不純物回収機構に滴下することから、不純物が漏出することを確実に防止できる。
【００１１】
本願請求項６に記載された考案に係る排出ガスクリーナは、不純物ガス発生器がリフロー炉である。
このようなものであれば、本考案の効果が特に顕著なものとなる。
【００１２】
本願請求項７に記載された考案に係る排出ガス浄化システムは、前記排出ガスクリーナと、リフロー炉とを具備したものであって、リフロー炉における基板搬入口及び／又は基板搬出口の近傍に開口させ、他端を排出ガスクリーナのガス導入口に接続した排出ガス吸引ダクトを設けたことを特徴とする。
このようなものであれば、既存のリフロー炉に後付けで排出ガスクリーナを付加し、容易に排出ガス浄化システムを構築することができる。
【００１３】
本願請求項７に記載された考案に係る排出ガス浄化システムは、前記排出ガス吸引ダクトの一端開口を、リフロー炉における基板搬入口及び／又は基板搬出口の近傍かつ上方に配置していることを特徴とする。
リフロー炉内ガスは、暖かいため基板搬出入口から上方に流出するところ、このような構成であれば、その排出ガスを効果的に吸引することができる。
【考案の効果】
【００１４】
このように構成した本考案によれば、臭い及びフラックス等の不純物を除去するとともに、排出ガスを冷却して大気に戻すことができる。また、冷却部材を傾けて配置することで、冷却効率を大きく高めることが可能になる。さらに、この排出ガスクリーナは、リフロー炉等の不純物ガス発生器とは別体で構成することができるので、既存のリフロー炉等に後付けすることで、簡便に排出ガス浄化システムを構築することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本考案の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
本実施形態に係る排出ガスクリーナ１００は、図１に示すように、例えばリフロー炉２００に接続して排出ガス浄化システムＳを構成することにより、リフロー炉２００から排出されるガスを浄化して大気に解放するものである。
具体的にこの排出ガスクリーナ１００は、図２〜図４に示すように、直方体状をなす中空の筐体１と、この筐体１の内部に設けた内部流路９とを具備しており、この内部流路９上に、上流側から順に吸引器たるブロア２、臭い除去フィルタ３、不純物回収機構４及び冷却部材５を直列に配設したものである。
【００１７】
そして、リフロー炉２００からの排出ガスを、ブロア２の吸引力によって筐体１の上面に設けたガス導入口Ｐ１から内部流路９に導入して、前記臭い除去フィルタ３、不純物回収機構４及び冷却部材５を経由させて浄化し、筐体１の上面に設けたガス導出口Ｐ２から大気に放出する。
【００１８】
詳述すれば、前記ガス導入口Ｐ１には外部接続のための吸引ダクトＤが接続してあって、この吸引ダクトＤの一端開口を、リフロー炉２００における基板搬入口Ｐｉｎ及び基板搬出口Ｐｏｕｔの近傍かつ上方に配設している。なぜなら、リフロー炉２００内のガスは暖かいため、基板搬入口Ｐｉｎ及び基板搬出口Ｐｏｕｔから上方に流出するところ、この構成によってその排出ガスを効果的に吸引することができるからである。
【００１９】
ブロア２は、図２、図４等に示すように、前記ガス導入口Ｐ１のほぼ直下であって筐体１の底面近傍に配置してある。そして前記ガス導入口Ｐ１からブロア２の吸入口２１までを、内部流路９の一部である第１パイプ９１で接続して、リフロー炉２００からの排出ガスが吸引されるように構成している。
【００２０】
ブロア２の側方には、図２〜図４等に示すように、内部流路９の一部である上下に延びるボックス型流路９３が設けてあり、このボックス型流路９３の底部近傍に設けたガス流入口９３ａにブロア２の吐出口２２が第２パイプ９２によって接続してある。
【００２１】
臭い除去フィルタ３は、例えば、内部に種々の臭い除去因子を包含させた板状をなす繊維物質であり、図２に示すように、前記ボックス型流路９３のガス流入口９３ａ或いは第２パイプ９２に嵌め込んである。なお、この実施形態では、ガス導出口Ｐ２にも付加的に臭い除去フィルタ３を嵌め込んでいる。
【００２２】
不純物回収機構４は、特に図５、図６に示すように、前記ボックス型流路９３を軸方向（ガスの流通方向）と垂直に横切って該ボックス型流路９３にほぼ隙間無く嵌め込まれたトレー状の受け皿部材４１と、その受け皿部材４１上に起立させて曲がりくねった流路を形成する複数の起立壁４２とからなるラビリンス構造体４ａを具備するものである。この実施形態では、前記ラビリンス構造体４ａを上下複数段（ここでは２段）に積み重ねて不純物回収機構４を構成している。
【００２３】
この不純物回収機構４には、まず前記ガス流入口９３ａから下段のラビリンス構造体４ａ（図６（ａ）参照）にガスが流入し、その後、上段のラビリンス構造体４ａ（図６（ｂ）参照）における受け皿部材４１の隅部に形成した貫通孔４１ａから当該上段のラビリンス構造体４ａにガスが流入する。そして上段のラビリンス構造体４ａを通過したガスは、その上方に配置した仕切板４４の流通孔４４ａを通って後述する冷却部材５に流れていく。
【００２４】
ところで、この不純物回収機構４の周囲には、図２〜図４、図７に示すように、水冷配管４３が配設してあって、ラビリンス構造体４ａが冷却されるように構成してある。このことにより、当該不純物回収機構４を通過する過程で、ガス中に含まれるフラックス等の不純物が液化又は固化して顕出し、前記受け皿部材４１に蓄積される。
【００２５】
冷却部材５は、図８、図９に示すように、概略平板状をなすものであり、その厚み方向に多数のガス貫通孔５ａを貫通させてある。そして、不純物回収機構４の直上においてボックス型流路９３を斜めに横切るように、すなわちガス流通方向に対して斜めに傾斜させて配置してある。より具体的にこのものは、内部に冷却用媒体が流通する流通管５１を隙間を空けて複数並列させ平板状に形成するとともに、隣接する流通管５１の間に帯状の金属伝熱板５２を仮想平板面と垂直で、なおかつ波状に折り曲げて配設し、折り曲げた金属伝熱板間に前記ガス貫通孔５ａが形成されるように構成したものである。
【００２６】
この冷却部材５を通過した排出ガスは、ボックス型流路９３を出てガス導出口Ｐ２から大気に放出される。
【００２７】
しかしてこのような構成の排出ガスクリーナ１００によれば、リフロー炉２００から排出されたガスの臭い及びフラックス等の不純物を除去するとともに、この排出ガスを冷却して大気に戻すことができる。また、冷却部材５をガス流通方向に対して傾けて配置しているので、金属伝熱板４２の面板部に排出ガスが斜めから当たり、冷却効率を大きく高めることが可能になる。さらに、この排出ガスクリーナ１００は、リフロー炉２００等の不純物ガス発生器とは別体で構成することができるので、既存のリフロー炉２００等に後付けすることで、簡便に排出ガス浄化システムＳを構築することができる。
【００２８】
また、この内部流路９上に、上流側から順に臭い除去フィルタ３、不純物回収機構４及び冷却部材５を直列に配設しているところ、この順であれば温度の高い排出ガスが臭い除去フィルタ３を通過するので、この臭い除去フィルタ３に含まれる臭い除去因子が活性な状態となり、効率よく臭いを除去できる。また、冷却部材５を不純物回収機構４より上流に配置すると冷却部材５で不純物が多く顕出し、目詰まりなどの不具合が生じやすいが、不純物回収機構４を冷却部材５よりも上流側に配置しているので、上記不具合を好適に回避できる。さらに、仮に冷却部材５で不純物が顕出したとしても、その不純物はその直下の不純物回収機構４に滴下して蓄積されることから、不純物が漏出することを確実に防止できる。
【００２９】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、リフロー炉以外の不純物ガス発生器に取り付けても構わない。また、必ずしも、臭い除去フィルタ、冷却部材及び不純物回収機構の順に設ける必要はなく、不純物の種類によっては、前記順番を変えた方が良い場合もある。さらに、臭い除去フィルタは１箇所に限られず、例えば不純物回収機構と冷却部材との間にも設けるなど、複数箇所に配設してもよい。また、ブロアは必ずしも必要なく、別に取り付けるようにしても良い。
【００３０】
その他、本考案は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本考案の一実施形態に係る排出ガス浄化システムの模式的全体構成図。
【図２】同実施形態における排出ガスクリーナの内部構造を示す正面図。
【図３】同実施形態における排出ガスクリーナの内部構造を示す左側面図。
【図４】同実施形態における排出ガスクリーナの内部構造を示す右側面図。
【図５】同実施形態における不純物回収機構を示す斜視図。
【図６】同実施形態におけるラビリンス構造体を示す平面図。
【図７】同実施形態における水冷管を示す斜視図。
【図８】同実施形態における冷却部材を示す斜視図。
【図９】同実施形態における冷却部材を示す部分詳細斜視図。
【符号の説明】
【００３２】
２００・・・リフロー炉
２・・・ブロア
３・・・臭い除去フィルタ
４・・・不純物回収機構
４１・・・受け皿部材
４２・・・起立壁
５・・・冷却部材
５１・・・流通管
５２・・・金属伝熱板
５ａ・・・ガス貫通孔
９・・・流路（内部流路）
Ｐ１・・・ガス導入口
Ｐ２・・・ガス導出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
0003144228.tif 000009
【図８】
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【図９】
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