【事件の表示】
　特許第２７５２３５２号「洗浄方法」の請求項１ないし１９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７５２３５２号の請求項１〜１７に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続きの経緯
　本件特許第２７５２３５２号発明に係る出願は、平成２年１０月２５日（優先権主張　１９８９年１０月２６日、１９８９年１１月２１日、１９９０年３月１６日、日本国）を国際出願日とする特許出願（特願平２−５１４６２５号、以下「親出願」という。）の一部を特許法第４４条第１項の規定により分割して出願された特許出願（特願平６−２１４６６２号、以下「子出願」という。）の一部を、さらに特許法第４４条第１項の規定により平成９年２月４日に分割して出願がなされ、平成１０年２月２７日に特許の設定登録がなされ、その後、特許異議申立人東レ・ダウコーニング・シリコーン株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年４月２７日に訂正請求がなされ、さらに平成１２年２月１４日付けで二度目の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年４月２５日に訂正請求書が提出された。
（なお、平成１１年４月２７日付けの訂正請求書は、取り下げられた。）
　　　
II．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
　本件訂正請求は、本件特許明細書を訂正明細書のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正内容は次のとおりである。
（１）特許請求の範囲の請求項１を下記のとおり訂正する。
「硬質表面を有する工業部品を、
・・・・（２）
(式中、R１は同一または相異なる置換または非置換の1価のアルキル基、フェニル基、mは３〜７の整数を示す)
　で表される環状ポリオルガノシロキサンからなる低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および/または親水性溶剤から実質的になる第1の洗浄剤で洗浄する第1の工程と、
　前記工業部品の表面に存在する前記第1の洗浄剤成分を、実質的に前記低分子量ポリオルガノシロキサン単独の第2の洗浄剤で置換する第2の工程とを具備することを特徴とする洗浄方法。」
（２）特許請求の範囲の請求項５〜９、１１、１４〜１７における「洗浄対象物」を「工業部品」に訂正する。
（３）特許請求の範囲の請求項２を削除し、請求項３〜９の番号を繰り上げるとともに、従属する請求項の項番を訂正する。
（４）特許請求の範囲の請求項１０を削除し、請求項１１〜１９の番号を繰り上げるとともに、従属する請求項の項番を訂正する。
（５）特許明細書の段落【００４２】に記載された「各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄剤、非水系洗浄剤等が挙げられる。」を「各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄剤等が挙げられる。」に訂正する。
　　　
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無、及び変更・拡張の存否
　訂正（１）は、「洗浄対象物」をより下位概念である「硬質表面を有する工業部品」に限定するものであることから、特許請求の範囲の減縮を目的としている。
　訂正（２）についても、上記（１）と同様の理由により、特許請求の範囲の減縮を目的としている。
　訂正（３）及び（４）は、請求項を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、また不連続となる請求項の番号を連続番号とすると共に、従属項で引用する請求項の項番を訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　訂正（５）は、請求項１０を削除することによって、記載が一致しなくなった発明の詳細な説明の記載を訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものである。
　　　　
　そして、これらの各訂正は、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、かつ、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　　　
３．独立特許要件について
  訂正明細書の請求項１〜１７に係る発明が、出願の際独立して特許を受けることができるか否かについて検討する。
　　　
３−１．訂正明細書の請求項１〜１７に係る発明
　訂正明細書の請求項１〜１７に係る発明は、下記の事項により特定されるものである。
「【請求項１】　硬質表面を有する工業部品を
　・・・・（２）
(式中、R１は同一または相異なる置換または非置換の1価のアルキル基、フェニル基、mは３〜７ の整数を示す)
　で表される環状ポリオルガノシロキサンからなる低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および/または親水性溶剤から実質的になる第1の洗浄剤で洗浄する第1の工程と、
　前記工業部品の表面に存在する前記第1の洗浄剤成分を、実質的に前記低分子量ポリオルガノシロキサン単独の第2の洗浄剤で置換する第2の工程とを具備することを特徴とする洗浄方法。
【請求項2】請求項１記載の洗浄方法において、前記工業部品は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれた少なくとも1種からなることを特徴とする洗浄方法。
【請求項3】請求項1記載の洗浄方法において、前記工業部品は、金属部品、ガラス部品、セラミックス部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品および光学部品から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とする洗浄方法。
【請求項4】請求項1記載の洗浄方法において、前記第1の工程にて、予備洗浄の際の残留物または汚れ成分などの工業部品の表面に存在する液体を、前記第1の洗浄剤で洗浄および置換することを特徴とする洗浄方法。
【請求項5】請求項4記載の洗浄方法において、前記工業部品の表面に存在する液体は、前記低分子量ポリオルガノシロキサンに対して不溶性もしくは灘溶性で、かつ表面張力が前記低分子量ポリオルガノシロキサンより大きいことを特徴とする洗浄方法。
【請求項6】請求項4記載の洗浄方法において、前記工業部品の表面に存在する液体は、水を含むことを特徴とする洗浄方法。
【請求項7】請求項4記載の洗浄方法において、前記工業部品の表面に存在する液体は、汚れ成分を含むことを特徴とする洗浄方法。
【請求項8】請求項4記載の洗浄方法において、前記工業部品の表面に存在する液体は、予備洗浄の水系洗浄組成物を含むことを特徴とする洗浄方法。
【請求項9】請求項1記載の洗浄方法において、前記第1の工程にて、工業部品の表面に存在する油脂系汚れを、前記第1の洗浄剤で洗浄することを特徴とする洗浄方法。
【請求項10】請求項1記載の洗浄方法において、前記第1の工程は、複数の洗浄工程を有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項11】請求項1または請求項10記載の洗浄方法において、前記第2の工程は、複数の置換工程を有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項12】請求項11記載の洗浄方法において、前記複数の置換工程は、前記第2の洗浄剤で前記工業部品を仕上げ洗浄する工程を有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項13】請求項4記載の洗浄方法において、前記第1の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記液体を前記第1の洗浄剤で洗浄および置換する工程と、前記工業部品を前記第1の洗浄剤ですすぎ洗浄する工程とを有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項14】請求項9記載の洗浄方法において、前記第1の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記工業部品の表面に存在する油脂系汚れを前記第1の洗浄剤で洗浄する工程と、前記工業部品を前記第1の洗浄剤ですすぎ洗浄する工程とを有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項15】請求項1記載の洗浄方法において、
前記第2の工程の後に、前記工業部品を乾燥する工程を有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項16】請求項1記載の洗浄方法において、前記第1の洗浄剤は、前記低分子量ポリオルガノシロキサン100重量部に対して、20重量部以下の界面活性剤および/または100 重量部以下の親水性溶剤を含有することを特徴とする洗浄方法。
【請求項17】請求項1記載の洗浄方法において、前記親水性溶剤の引火点が40℃以上であることを特徴とする洗浄方法。」
　　　
３−２．特許法第２９条第１項、同第２９条第２項違反について
（１）当審の取消理由通知で引用した刊行物に記載の事項
刊行物１：国際公開９１／０６６２１号パンフレット
　　　　　（平成３年１１月７日発行、（親出願の公開パンフレットに相当　　　　　　）甲第９号証）
刊行物２：特開平７−２１６３８７号公報
　　　　　（子出願の公開公報、甲第１０号証）
　刊行物１及び刊行物２には、それぞれ本件特許発明と同一の内容が記載されている。
刊行物３：特開昭６１−２４５０９７号公報
　　　　　（二回目目の取消理由通知で引用）
　上記刊行物３は、ドライクリーニング液による洗浄方法に関するもので、「原子力施設で使用し放射能汚染またはその恐れのある防護衣類を洗濯する方法において、共通のワッシャードラムで、溶剤に洗剤を加えてなるドライクリーニング液を用いて予洗（第１浴）および本洗（第２浴）をし、清浄な溶剤を用いてすすぎ（第３浴）をしたのち、脱液、乾燥し、続いて水洗いをし、脱水および乾燥する諸工程からなることを特徴とする洗濯方法。」（特許請求の範囲第１項）、「出願人は、水、溶剤および洗剤のエマルジョンを用いることを提案した（特開昭５９−２２５３９９号公報）。」（第２頁左下欄第２〜４行）、「本発明の目的は、油性汚れおよび水溶性汚れの両方とも十分に洗浄できて、廃水や排気の廃棄にとくに除染処理を必要としない原子力施設の防護衣類を洗濯する方法およびそのための装置を提供するにある。」（第２頁左下欄第９〜１３行）と記載されている。　
　　　
刊行物４：トーレ・シリコーン株式会社発行の技術資料
　　　　　「揮発性シリコーンオイルのクリーナーへの応用」、
　　　　　１９８７年５月発行（甲第１３号証）
　　　　　（二回目の取消理由通知で引用）
　上記刊行物４には、従来クリーナー用溶剤としては汚染物質に対して溶解し、かつ非汚染基材上に残らないという条件を満たすためにトリクレン、パークレンのような塩素系溶剤等の揮発性有機溶剤が使用されてきたこと。これら揮発性有機溶剤は非汚染基材の材質の種類によっては、その溶解力のため基材表面を損傷したり、再汚染や安全性の点で問題を有していること。環状ジメチルポリシロキサン等の揮発性シリコーンオイルを使用したクリーナーにはこれらの問題がなく、その用途として、家具、ガラス、樹脂、金属表面等向けのクリーナー、ドライクリーニング用溶剤等があることが記載されている。
　　　
刊行物５：特開昭５９−２２５３９９号公報
　　　　　（二回目目の取消理由通知で引用）
　上記刊行物５は、防護衣類の洗浄方法に関するものであり、「防護衣類を、本発明に従って、水、フレオンおよび洗剤を併用するエマルジョン洗浄を行なうことにより達成される。本発明で使用するフレオンとしては、フレオンR11・・・・およびフレオンR113・・・が適切である。」（第２頁右上欄第１８行〜左下欄第４行）と記載されている。
（２）出願日について
　当審で、訂正前の請求項１０に係る発明は、親出願の出願明細書又は図面に記載された発明ではないので、本件特許出願は適法な分割出願ではなく出願日が遡及しないことから、訂正前の請求項１〜１９に係る発明は、刊行物１、２に記載の発明であるとの取消理由を通知したところ、「非水系洗浄組成物」を含む請求項１０を削除すると共に特許明細書の段落【００４２】に記載された「各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄剤、非水系洗浄剤等が挙げられる。」を「各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄剤等が挙げられる。」と訂正する訂正請求がなされた。
　該訂正の結果、当審が指摘した、本件特許出願は適法な分割出願ではなく出願日が遡及しないという理由は解消された。
　また、異議申立人の本件特許出願は適法な分割出願ではないという主張は、後述する理由III．２（２）により採用することができない。
　したがって、本件特許出願の出願日は親出願の出願日である。
  以下、独立特許要件について検討するにあたり出願日がそ及しないことを前提として取消理由で用いられた、刊行物１，２に関しては対象外とする。
　　　
（３）訂正明細書の請求項１に係る発明について　
　以下、「環状ポリオルガノシロキサン」を単に「環状シロキサン」という。　
（ア）特許法第２９条第１項第３号について
　上記刊行物３〜５のいずれにも、訂正後の本件請求項１に係る発明の構成である、「硬質表面を有する工業部品を特定の環状シロキサンと界面活性剤および／または親水性溶剤から実質的になる第１の洗浄剤で洗浄する第１の工程と、工業部品の表面に存在する第１の洗浄剤成分を実質的に環状シロキサン単独の第２の洗浄剤で置換する第２の工程からなる方法」は記載されておらず、またその方法を示唆する記載もない。
　したがって、請求項１に係る発明が、刊行物３〜５に記載された発明であるとすることはできない。
　　　
（イ）特許法第２９条第２項について　
　次に、請求項１に係る発明が、刊行物３〜５に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができるか否かについて検討する。
　　　
　上記刊行物３に記載の発明は、原子力施設で使用する防護衣類をワッシャードラムで溶剤に洗剤を加えてなるクリーニング液を用いて予洗、本洗、すすぎを行うものであり、刊行物５の記載から該クリーニング液が水、塩素系溶剤及び洗剤からなるものと認められ、さらに、刊行物４のドライクリーニング用溶剤やガラス、樹脂、金属表面等向けのクリーナー用に環状ジメチルポリシロキサンが用いられる旨の記載から、該防護衣類用のクリーニング液に使用する塩素系溶剤に代えて環状ジメチルポリシロキサンを採用することまでは容易に実施できるものと認められる。
　しかしながら、ドライクリーニングにおける洗剤には界面活性剤が使用され、アルコール等を添加することが周知であるとしても、これらの周知の事項が適用される対象物は、依然として原子力施設で使用する防護衣類であって、硬質表面を有する工業製品までも洗浄対象とすることが示唆されるものではない。
　つまり、刊行物３に記載の発明は、特に除染せずに廃水や排気の廃棄ができるという効果を狙って、洗濯物を回転・攪拌させるワッシャードラム内でドライクリーニング液を用いて予洗と本洗を行い、次いで清浄な溶剤によりすすぎを行うことにより、被洗浄物は回転・攪拌作用を受けるものであり、刊行物４の記載によって、環状ジメチルポリシロキサンがドライクリーニング用やガラス等向けのクリーナー用にも使用できるとしても、やはり刊行物３に記載の発明において、被洗浄物をドライクリーニングされる衣類等に代えて硬質の物品とすることが教示されているとはいえない。
　したがって、訂正後の請求項１に係る発明は、刊行物３〜５に記載の発明に基いて当業者が容易に発明できたものとはいえない。
　　　
（４）異議申立人が提出した他の刊行物
甲第１号証：特公昭６３−５０４６３号公報
　　　　　（以下、「刊行物６」という。）
　上記刊行物６の特許請求の範囲第１項には、編織物のクリーニング方法として、「オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン、およびドデカメチルシクロヘキサシロキサンからなる群から選択された環状シロキサンを汚れ除去助力に有効な量含有している液状組成物を油及び／又は脂肪で汚れた編織物に適用して汚れを溶解し且つ／又はほごし、そして汚れと環状シロキサンからなる結合物を編織物から除去することを特徴とする、編織物クリーニング方法」と記載されている。
　また、第6欄第35行〜第7欄第10行には、本発明の環状シロキサンにイソプロパノールやブタノールのようなアルコールを、該アルコールが約30〜70重量％と環状シロキサン30〜70重量％となるような混合物はそのシミ可動化能力から特に好ましい旨、第7欄第33行〜第8欄第15行には、環状シロキサン溶剤に加えて不揮発性界面活性剤成分を含有している洗濯前シミ抜き剤組成物を使用でき、該界面活性剤はアニオン、非イオン、両性イオン性、及び両性界面活性剤化合物であり、一般に本発明の洗濯前シミ抜き組成物中には約10〜80重量％の界面活性剤を使用してもよい旨記載されている。
　　　
甲第２号証：Dow Corning Corporation発行のlnformation about Silicone
　　　　　　 Fluids　　　
　　　　　（以下「刊行物７」という。）
　第1頁には、Dow Corning 344　FLUIDはポリジメチルシクロシロキサン(4量体)であり、Dow Corning 345　FLUIDはポリジメチルシクロシロキサン(5量体)であり、揮発性であり、低粘度であり、毒性がなく、刺激性がない。表面張力は各々19.0 dynes/cm,20.8 dynes/cmである旨記載されている。
　また、第2頁の左欄には、パーソナル品以外のその用途はガラス洗浄剤や特殊洗浄剤である。Dow Corning の揮発性フルイドは単独で使用してもよいし、相互に混合してもよいし、他の化粧品用フルイドと混合してもよい。Dow Corning 344　FLUIDとDow Corning 345　FLUIDは測定可能な蒸気圧を持つ揮発性の液体である。Dow Corning 344　FLUIDとDow Corning 345　FLUIDはアルコール、脂肪族および芳香族炭化水素等に溶解する旨、第4頁の左欄には、Dow Corning 344 FLUIDとDow Cornlng345 FLUIDは低い急性毒性を持ち、工業上の取り扱いに支障となる危険性を呈しない。低い急性経口毒性を持ち、ネズミのLD50は35g/kgより大きい。本質的に皮膚刺激性がなく、急性毒性量となるほどは皮膚に吸収されない旨記載されている。
　　　
甲第３号証：SOAP COSMETICS CHEMICAL SPECIALTIESの1986年12月号の表　　　　　　紙、目次、40頁、４１頁、42頁、43頁
　　　　　　（以下「刊行物８」という。）
　第41頁の中欄には、多くの人は、洗浄剤が働くには溶剤を含まなければならないが、すべての溶剤は毒性があると思っている。政府は毒性のある物に注意しており、環境保護庁と食品医薬局は消費者製品への塩素化溶剤の使用を疑問視している旨、第41頁の右欄には、揮発性環状シリコーンは良好な洗浄剤であり、表面仕上げを濁らさず、2次リングを残さず、織物を傷つけない。シリコーンは本質的に人間および動物に非毒性であり、環境に安全である旨、第42頁の左欄上段には、図2の揮発性環状シリコーン(4量体および5量体)は、油とグリースの洗浄剤として特に興味がある旨、第42頁の左欄中段下段には、揮発性環状シリコーンは、表面張力が非常に小さく、蒸発速度は脂肪族炭化水素並みであり、洗浄力が優れてワックスを除去できる旨、第42真中欄中段には、揮発性環状シリコーンは、金属、ガラス、塗装金属のような硬質表面の洗浄剤となる旨、第43頁右欄には、揮発性環状シリコーンは、通常の有機溶剤以上に洗浄作用があり、その代わりになり、グリースや油汚れを除去できる旨記載されている
　　　
甲第４号証：Chemosphere,Vol.16,Nos.10‐12,pp2567‐2577,1987
　　　　　（以下、「刊行物９」という。）
　オリゴマー状の環状ジメチルシロキサンは、自然環境に準じた光照射下で速やかに酸化分解した旨記載されている。
　　　
甲第５号証：「ガラス洗浄剤の選定、開発と最適洗浄技術・洗浄設計の実際　　　　　　　−総合資料集−」(ソフト技研出版部、昭和59年3月15日　　　　　　　発行)の表紙、目次、142頁〜154頁、奥付け
　　　　　（以下、「刊行物１０」という。）
　第148頁右欄13行〜149頁左欄10行には、水で濡れた部品を沸とうしている特殊添加剤入りフロン113槽（第１槽）に浸漬し、水のとれたガラスの表面には特殊添加剤が付着しているので、フロン113が入れてある第２槽及び第３槽ですすぐと、ガラスの表面には、水も、添加剤も残らずきれいに乾燥できる。水で濡れた部品を、フロン113にイソプロパノールまたはエタノール等を35％までの範囲で添加した第１槽に入れ、その後、フロン113の沸騰槽（第2槽）や冷浴槽を通して洗えば、水の乾燥だけでなく、油類もきれいに落ちる旨記載されている。
　また、第152頁右欄6行〜19行には、まず水溶性切削油で汚れた部品を沸騰しているフロン113/活性剤混合溶剤中に入れると、水溶性切削油は部品からきれいに落ちるが部品には活性剤が付着しているので、フロン113の沸騰槽、超音波槽などですすぐ。なお、このシステムは電子電機業界、光学機器業界、自動車業界、事務機器業界など、切削、研削加工を要する部品を用いた製品を作っている業界で採用されている旨記載されている。
　　　
甲第６号証：特公昭58‐35108号公報
　　　　　（以下、「刊行物１１」という。）
　第1頁の左欄、第2頁の左欄中段、第2頁右欄上段、第3頁左欄には、水が付着した被洗浄物品(ケイ素ウエハー、金メッキ、光学レンズ)をトリクロロトリフロロエタン(フロン113)と水溶性有機溶剤(例、アルコール、アセトン)の混合液に浸潰し、引き上げてフロン113液に浸潰し、フロン113の加熱蒸気中を通し引き上げて洗浄乾燥する旨記載されている。
　　　
甲第７号証：「ガラス表面設計-洗浄と表面処理-」(近代編集社、昭和58年　　　　　　　11月25日発行)の表紙、246頁〜261頁、奥付け
　　　　　　（以下、「刊行物１２」という。）
　第246頁8行〜11行には、実用的なガラス洗浄の主流である湿式洗浄法は洗浄-リンス-乾燥からなる旨記載されている。
　また、第252頁5行〜254頁2行には、被洗浄物に付着した洗浄液自身とその中の汚れを除去するリンサーとして純粋の有機溶剤が一般に用いられる旨、第255頁4行〜15行には、乾燥工程は洗浄において不可欠であり、その方法として熱風乾燥法などがある旨、第256頁には、溶剤による水置換乾燥法は、水分をイソプロピルアルコール、フロンとアルコールの共沸混合物、フロンと界面活性剤等の水置換剤（水切り剤）で処理したのち、有機溶剤の蒸気乾燥を行うものであり、ほとんど加熱せずに乾燥できる旨記載されている。
　　　
甲第８号証：特公昭59‐39162号公報
　　　　　（以下、「刊行物１３」という。）
　第3欄29行〜43行に、物品をエタノール含有フロン113である洗液に浸潰し引き上げて、沸騰槽に浸潰し引き上げて風乾するか、温風を吹き付けて乾燥速度を速める旨記載されている。
　　　
甲第１２号証：米国特許第3,498,923号明細書
　　　　　　（以下、「刊行物１４」という。)
　第2欄6〜35行には、界面活性剤の揮発性溶剤溶液である新規な液状界面活性組成物の適用により固体表面から油性被膜を除去する。該界面活性剤は部分フッ素化脂肪族カルボン酸であり、通常0.1〜0.5%含有される。溶剤は線状の2量体から8量体である低分子量ジメチルシリコーンである旨、第2欄第36〜62行には、新規な液状界面活性組成物は固体表面への噴霧、フラッシング、固体表面の浸債などの種々の方法で適用され、超音波を適用してもしなくてもよい。本発明の方法は、金属、ガラス、樹脂、ポリマーのような固体表面から液状有機被膜、例えば、脂肪族もしくは芳香族炭化水素油、液状脂肪酸、液状アルコール、液状エステルとケトンを置換するのに効果的である。電気モータ、電子機器、時計、メーター、その他の精密機器のような固体表面から油性被膜を洗浄するのに有用である。一回の作業により、固体表面から液状有機被膜を取り除き、その上に、短時間或いは表面から取り除かれた液状有機物の表面張力に応じて決まる時間だけ、取り除かれた液状有機物が再び広がることを防止する溶質の単一膜を形成する旨、第3欄第31〜33行には、形成された単一膜は、湿気を有する大気によるその後の金属腐食を防止する効果がある旨記載されている。
　　　
甲第１１号証：特開平9‐188897号公報(以下、「刊行物１５」という。）
　　本件特許出願の公開公報である。
　　　
参考資料１：「プラスチック材料講座［９］けい素樹脂」（日刊工業新聞社　　　　　　、昭和４５年４月２０日発行）の表紙、目次、４７〜５１頁、　　　　　　奥付上記参考資料１には、ポリオルガノシロキサンの沸点等の　　　　　　物性について記載されている。
　　　
　刊行物６〜９及び１４には、環状シロキサンや線状の低分子量ジメチルシリコーンにより編織物やガラス等の硬質表面を洗浄する方法が記載されているが、本件発明のように界面活性剤および／または親水性溶剤を含有する環状シロキサンにより洗浄する第１の工程と、環状シロキサン単独で洗浄する第２の工程からなる方法までは記載されておらず、また示唆するものでもない。
　また、上記刊行物１０〜１３には、硬質の対象物をフロンと界面活性剤やアルコールとの混合物により洗浄し、次いでフロンで洗浄する方法が記載されているものの、これらの方法はフロンを基礎とした洗浄液において、界面活性剤やアルコールを併用すると効果がみられるというものであり、フロンに代えて別の物質を採用することを動機付けるような何の示唆もされていない。
　なお、刊行物１５は本件特許出願の公開公報であるが、上記（３）のように本件特許出願の出願日が親出願の出願日にそ及するので、刊行物１５は検討の対象外とする。
　　　
　よって、請求項１に係る発明が、刊行物６〜１４に記載の発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
　
　また、参考資料１は、単に環状シロキサンの物性を示しているに過ぎないので、上記判断を左右するものではない。
　　　
（５）訂正明細書の請求項２〜１７に係る発明について
　請求項２〜１７に係る発明は、請求項１に係る発明又は請求項１を引用する請求項に係る発明の構成を全て備えるとともに、さらに構成を限定するものであることから、上記（４）と同様の理由により、刊行物３〜１４に記載された発明であるとすることも、またこれら各刊行物に記載の発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるすることもできない。
　　　
３−３．特許法第２９条第１項柱書違反について
　後述［III．２．（３）］のとおりであるので、特許法第２９条第１項柱書に違反するとは言えない。
　　　
３−４．明細書の記載不備について
　後述［III．２．（４）］のとおりであるので、本件特許明細書に記載不備があるとは言えない。
　　　
３−５．まとめ　　　
　よって、訂正明細書の請求項１〜１７に係る発明は、出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　　　
４．訂正の適否についての結論
　以上のとおり、本件訂正請求は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、本件訂正を認める。
　なお、以後、訂正明細書の請求項１〜１７に係る発明を、それぞれ本件請求項１〜１７に係る発明という。
　　　
III．特許異議申立てについての判断
１．特許異議申立ての理由の概要
（１）理由１
　訂正前の請求項１〜４、１１、１７、１８に係る発明（訂正の結果、訂正前の請求項２、１０が削除され項番が整理されたので、本件請求項１〜３、９、１５、１６に係る発明に対応する。）は、甲第１号証に記載された発明及び甲第２〜８、１２号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（２）理由２
　訂正前の請求項５〜１０に係る発明（訂正の結果、訂正前の請求項２、１０が削除され項番が整理されたので、本件請求項４〜８に係る発明に対応する。）は、甲第９、１０号証に記載の発明及び甲第５、６号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
 (３)理由３
　訂正前の請求項１〜４、１７〜１９に係る発明（訂正の結果、訂正前の請求項２、１０が削除され項番が整理されたので、本件請求項１〜３、１５〜１７に係る発明に対応する。）は、甲第９、１０号証に記載された発明である。
（４）理由４
　訂正前の請求項１２〜１６に係る発明（訂正の結果、訂正前の請求項２、１０が削除され項番が整理されたので、本件請求項１０〜１４に係る発明に対応する。）は、甲第９、１０号証に記載の発明及び甲第５、７号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
（５）理由５
　訂正前の請求項１〜１９に係る発明（訂正の結果、訂正前の請求項２、１０が削除され項番が整理されたので、本件請求項１〜１７に係る発明に対応する。）は、実施不可能な発明、目的の達成が不可能な発明を含んでおり、特許法第２９条第１項柱書の規定に違反している。
（６）理由６
　本件特許明細書には記載不備があり、特許法第３６条第４項、第６項の規定に違反する。
　　　
２．異議申立理由についての判断
（１）理由１について
　本件請求項１〜３、１５〜１７に係る発明が、甲第１号証（刊行物６）に記載された発明及び甲第２〜８、１２号証（刊行物７〜１４）に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることのができないことは、II．３−１．（４）で示したとおりであり、上記理由１の主張は採用できない。
　　　
　なお、訂正前の請求項２、１０は訂正の結果削除されたので、該請求項に係る発明についての申立人の主張については判断の対象が存在しない。
　　　
（２）理由２〜４について
　上記理由は、本件特許出願が適法な分割出願ではなく出願日が遡及しないということを前提にしたものであることから、申立人が本件特許出願が適法な分割出願ではないと主張している理由について検討する。　　
　
　申立人が本件特許出願が適法な分割出願ではないと主張する理由は、訂正前の請求項５〜１０に係る発明における予備洗浄に関する構成、及び訂正前の請求項１２〜１６に係る発明における複数の洗浄工程乃至複数の置換工程に関する構成が、それぞれ親出願及び子出願に記載されていないというものである。
(i)予備洗浄に関する構成について
　液切りの対象となる液体として、親出願及び子出願の当初明細書には「水を分散媒として使用している各種の液体、例えばアルコールとの混合液や各種物質が溶解しているような液体」（親出願では再公表公報の第５頁左下欄、子出願の当初明細書の【００４２】を参照）が共通して記載されている。
　そして、かかる液体が前工程の洗浄、つまり予備洗浄に由来することは明らかであり、訂正前の請求項５〜１０に係る発明における予備洗浄に関する構成は、親出願及び子出願の当初明細書に記載されていたものと認められる。
(ii)複数の洗浄工程乃至複数の置換工程に関する構成について
　親出願及び子出願の当初明細書には、第１工程に二つの槽を、第２工程に二つの槽を有する装置が詳細な説明及び図面に記載されていることから、訂正前の請求項１２〜１６に係る発明における複数の洗浄工程乃至複数の置換工程に関する構成は、親出願及び子出願の当初明細書に記載されたていたものと認められる。
　　　
　以上のことから、申立人の上記理由により、本件特許出願が適法な分割出願に基づくものではないとすることはできない。
　そして、本件特許出願の出願日は、上記II．３．（３）で示したように親出願の出願日であるので、甲第９号証及び甲第１０号証は、本件特許出願日前に頒布された刊行物には該当せず、特許法第２９条に関する証拠としては採用することができない。
　また、甲第９号証及び甲第１０号証以外の甲第５〜７号証（刊行物７〜９）の記載内容を検討しても、上記理由２〜４を採用することはできない。
　　　
（３）理由５について
　本件請求項１〜１７に係る発明は、環境破壊や環境汚染を引起こす恐れがなく、フロン等に匹敵する液置換性と乾燥性とを有する洗浄剤による洗浄方法を提供することを目的の一つにしており（本件特許明細書の段落【００１３】参照）、この目的を達成するために、洗浄剤である低分子量ポリオルガノシロキサンは３３３Ｋ以下の温風で揮散、乾燥を容易に行うことを可能とするものである（同じく段落【００４４】参照）から、本件請求項１〜１７に係る発明の洗浄方法で使用する洗浄剤は、室温乃至３３３Ｋ以下の温風で揮散するものである。
　異議申立人は、「親水性基を多数有する沸点が高く常温乾燥の困難となるようなポリオルガノシロキサンの洗浄剤」が、訂正前の請求項１〜１９に係る発明に含まれる旨主張しているが、上記のように本件特許明細書の記載からは、そのような環状ポリシロキサンまでも含むとされるものではない。
　したがって、本件請求項１〜１７に係る発明（訂正前の請求項１、３〜９、１１〜１９に係る発明）は、実施不可能な発明を含むものではなく、特許法第２９条第１項柱書の規定に違反してなされたものではない。
　
　なお、訂正前の請求項２、１０に係る発明は、上記したように訂正の結果削除されたので、該請求項に係る発明についての申立人の主張については判断の対象が存在しない。
　また、参考資料１は、環状シロキサンの沸点として３３３Ｋ以下又は以上のものが存在することを示すものであるが、上記判断を左右するものではない。
　　　
（４）理由６について
　異議申立人は、本件特許明細書が記載不備である具体的理由及びその箇所を指摘しておらず、申立人の主張は採用することができない。
　なお、記載不備についての申立人の主張が、訂正前の請求項１〜１９に係る発明が、実施不可能な部分を含むという意味で不明りょうであるとしても、上記（３）で示したように、本件請求項１〜１７に係る発明（訂正前の請求項１、３〜９、１１〜１９に係る発明）が、実施不可能な発明を含むとすることはできず、申立人の主張は採用することはできない。
　　　
IV．結び
　以上のとおり、異議申立ての理由及びその証拠方法並びに取消理由通知の理由によっては、本件請求項１〜１７に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に、本件請求項１〜１７に係る発明の特許を取り消すべき理由を見出すことができない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月１７日（２０００．１１．１７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　次の（ａ）〜（ｂ）の訂正により、下記のように特許請求の範囲及び発明の詳細な説明を訂正した。
（ａ）明細書の特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１に記載の「洗浄対象物」を硬質表面を有する工業部品」とした。
（ｂ）請求項５〜９、１１、１４〜１７に記載の「洗浄対象物」を「工業部品」とした。
（ｃ）請求項２及び１０を削除し、続く請求項の番号と従属する請求項の番号を訂正した。
（ｄ）特許請求の範囲の記載に整合させるために、明細書中の段落【００４２】中の「水系洗浄剤、非水系洗浄剤等」を「水系洗浄剤等」と訂正した。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　記
　【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　
硬質表面を有する工業部品
　【化１】
（式中、Ｒ１は同一または相異なる置換または非置換の１価のアルキル基、フェニル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリオルガノシロキサンからなる低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および／または親水性溶剤から実質的になる第１の洗浄剤で洗浄する第１の工程と、
　前記
工業部品
　を具備することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
２
　前記工業部品は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれた少なくとも１種からなることを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
３
１
　前記工業部品は、金属部品、ガラス部品、セラミックス部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品および光学部品から選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
４
　前記第１の工程にて、予備洗浄の際の残留物または汚れ成分などの
工業部品
　　【請求項
５
４
　前記
工業部品
　　【請求項
６
４
　前記
工業部品
　　【請求項
７
４
　前記
工業部品
　　【請求項
８
４
　前記
工業部品
　　【請求項
９
　前記第１の工程にて、
工業部品
　　【請求項
１０
　前記第１の工程は、複数の洗浄工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１１
１０
　前記第２の工程は、複数の置換工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１２
１１
　前記複数の置換工程は、前記第２の洗浄剤で前記
工業部品
　　【請求項
１３
４
　前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記液体を前記第１の洗浄剤で洗浄および置換する工程と、前記
工業部品
　　【請求項
１４
９
　前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記
工業部品
工業部品
　　【請求項
１５
　前記第２の工程の後に、前記
工業部品
　　【請求項
１６
　前記第１の洗浄剤は、前記低分子量ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して、２０重量部以下の界面活性剤および／または１００重量部以下の親水性溶剤を含有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１７
　前記親水性溶剤の引火点が４０℃以上であることを特徴とする洗浄方法。
　【発明の詳細な説明】
　　　【００４２】
　次に、本発明の液切り洗浄剤について説明する。ここで、液切り洗浄剤とは、上述した低分子量ポリオルガノシロキサンによる水等の各種液体との置換性を利用したものであり、低分子量ポリオルガノシロキサンによって置換が可能な代表的な液体である水を例とすれば、水切り洗浄剤と呼べるものである。本発明の液切り洗浄剤は、各種液体との置換・洗浄に用いることができるものであり、対象となる液体としては、低分子量ポリオルガノシロキサンに対して不溶性もしくは難溶性で、かつ表面張力が低分子量ポリオルガノシロキサンより大きいものであればよい。具体的には、水、汚れ成分を含む水、水を分散媒として使用している各種の液体、例えばアルコールとの混合液や各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄
剤等
（５４）【発明の名称】
洗浄方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
硬質表面を有する工業部品
　【化１】
（式中、Ｒ１は同一または相異なる置換または非置換の１価のアルキル基、フェニル基、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリオルガノシロキサンからなる低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および／または親水性溶剤から実質的になる第１の洗浄剤で洗浄する第１の工程と、
　前記
工業部品
　を具備することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
２
　前記工業部品は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれた少なくとも１種からなることを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
３
１
　前記工業部品は、金属部品、ガラス部品、セラミックス部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品および光学部品から選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
４
　前記第１の工程にて、予備洗浄の際の残留物または汚れ成分などの
工業部品
　　【請求項
５
４
　前記
工業部品
　　【請求項
６
４
　前記
工業部品
　　【請求項
７
４
　前記
工業部品
　　【請求項
８
４
　前記
工業部品
　　【請求項
９
　前記第１の工程にて、
工業部品
　　【請求項
１０
　前記第１の工程は、複数の洗浄工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１１
１０
　前記第２の工程は、複数の置換工程を有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１２
１１
　前記複数の置換工程は、前記第２の洗浄剤で前記
工業部品
　　【請求項
１３
４
　前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記液体を前記第１の洗浄剤で洗浄および置換する工程と、前記
工業部品
　　【請求項
１４
９
　前記第１の工程は複数の洗浄工程からなり、前記複数の洗浄工程は、前記
工業部品
工業部品
　　【請求項
１５
　前記第２の工程の後に、前記
工業部品
　　【請求項
１６
　前記第１の洗浄剤は、前記低分子量ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して、２０重量部以下の界面活性剤および／または１００重量部以下の親水性溶剤を含有することを特徴とする洗浄方法。
　　【請求項
１７
　前記親水性溶剤の引火点が４０℃以上であることを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、フロン系等の有機溶剤系洗浄剤に代る洗浄用組成物に関する。
　　　【０００２】
　【従来の技術】
　金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子部品、半導体部品等の各種工業部品の製造工程においては、フロン１１３に代表されるフロン系溶剤や、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン、四塩化炭素等の有機溶剤が油汚れ等を除去するための洗浄剤として幅広く使用されている。
　　　【０００３】
　また、上記したような有機溶剤系洗浄剤は、各種部品の水洗後の水切り洗浄剤としても用いられている。これは、被洗浄物に付着した水分を直接乾燥しようとした場合に生じる、高温（３７３Ｋ以上）にしなければならない（エネルギーロス大）、乾燥に時間がかかることによって生産効率が低下する、高温にすることによって被洗浄物が変形するおそれがある（許容値以上の熱膨脹）、冷却や熱遮蔽のスペースを必要とし洗浄装置の設置面積が増大する等の問題を回避することができるためである。
　　　【０００４】
　なお、ここで言う水切り洗浄剤とは、水洗した後の被洗浄物を浸漬ないしはシャワーリンスすることによって、被洗浄物に付着した水分と置換（水置換）した後、室温ないしは３３３Ｋ以下の温風で揮散させることで、被洗浄物を乾燥させ得る洗浄剤のことである。
　　　【０００５】
　しかし、最近、フロンの放出がオゾン層の破壊に繋がり、人体や生物系に深刻な影響を与えることが明らかとなってきたことから、オゾン破壊係数の高いフロン１２やフロン１１３等は世界的な規模で段階的に使用を削減し、将来的には全廃の方向に進んでいる。また、トリクロロエチレンやテトラクロロエチレン等の塩素系有機溶剤も、土壌や地下水等の汚染を引起こす等の環境問題にからんで、使用規制が強化させる方向に進んでいる。
　　　【０００６】
　このような状況下にあって、現状のフロン系溶剤よりオゾン破壊係数の低いフロン系物質が開発されつつあり、既に工業的生産が一部で進められているが、これらとてもオゾン層の破壊が皆無ではないことから、好ましい代替洗浄剤とは目されていない。
　　　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　そこで、上述したような有機溶剤系による洗浄剤の代替品として、環境破壊や環境汚染を引起こすことがない、界面活性剤を用いた水系の洗浄剤が見直され始めている。しかし、単に界面活性剤だけによる洗浄剤では浸透力が弱く、例えば部品細部へ侵入した汚れや中粘度から高粘度のこびりついた油汚れに対しては十分な洗浄力を発揮することができないという問題がある。
　　　【０００８】
　また、シリコーン系化合物を編織物の汚れ除去に使用することが特公昭６３−５０４６３号公報に記載されている。これによれば、Ｓｉ数が４〜６の環状シロキサンを洗浄用溶剤中に有効な量含有する液状洗浄組成物を用いて、編織物のクリーニングを行う方法が開示されている。しかし、上述したシリコーン系化合物を含む液状洗浄組成物は、編織物を洗浄対象としているため、一般的な工業製品の洗浄はまるで考慮されていないと共に、環状シロキサン単独あるいは環状シロキサンと有機溶剤との混合系であるため、水を使用する系に対する洗浄も考慮されていない。しかも、このような系は当然ながら、水に対する分散性が極めて悪く、界面活性物質を併用しても均質に混合しにくく、直ちに相分離を起こしてしまうため、到底水系洗浄剤として使用に耐え得るものではない。
　　　【０００９】
　また、特開昭５３−５６２０３号公報には、エアゾール型水性クリーニング組成物として、水溶性洗浄組成物に分子当り２〜３個のケイ素原子を有する鎖状ポリジメチルシロキサンを配合することが記載されているが、その配合量はあくまでも０．０２〜０．１重量％程度と限定されているため、水系の洗浄組成物の洗浄力を十分に高めるような効果は示していない。
　　　【００１０】
　このようなことから、環境問題を引起こすことがなく、かつ十分な洗浄能力を有すると共に、洗浄剤として十分に機能しうる程度の安定性を有した水系洗浄剤が強く望まれている。
　　　【００１１】
　一方、前述したような有機溶剤の水切り洗浄剤としての代替品としては、イソプロピルアルコールのような低級アルコールの使用が検討されている。しかし、上記イソプロピルアルコールは、引火点が２８４．７Ｋと室温より低く、通常の使用条件下では常に火災の危険が伴うという欠点がある。さらに、イソプロピルアルコールは水との相溶性が高く、初期の水切り性能は保持されても、連続して使用する場合には溶解した水の再付着が起こるため、経時的な水切り性能の低下は免れない。このような水を含んだイソプロピルアルコールから水を除去して再使用するための精製には、多大な設備の投資を必要とする。さらに、イソプロピルアルコールは人体に対する毒性も高く、この面での使用規制が進行しているのが現状である。
　　　【００１２】
　また、室温を超えるような引火点を持つ炭化水素、高級アルコールを使用する場合は、水の除去は幾分容易ではあるが、これら自身の揮発性が低く、例えば３３３Ｋ以下といった低温での乾燥が困難であるため、水切り洗浄剤として使用し得るものではない。このような問題は水分との置換、乾燥に限らず、乾燥が困難な各種液体との置換、乾燥時においても同様に生じる問題である。
　　　【００１３】
　本発明は、上述したような課題に対処するためになされたもので、フロン系等の有機溶剤系洗浄剤に匹敵する洗浄能力を有し、かつ水系としての安定性等に優れた環境破壊や環境汚染を引起こすことがない水系洗浄剤、および有機溶剤系液切り洗浄剤に匹敵する液置換性と乾燥性とを有すると共に、発火性のような危険性がほとんどなく、かつ環境破壊を引き起こすことがない液切り洗浄剤を提供することを目的としている。さらには、フロン系等の有機溶剤系洗浄剤を用いた洗浄システムの代替システムとして有効な洗浄方法を提供することを目的としている。
　　　【００１４】
　【課題を解決するための手段と作用】
　本発明における第１の水系洗浄剤は、
　【化２】
（式中、Ｒ１は同一または相異なる置換または非置換の１価の有機基を、１は０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび
　【化３】
　
（式中、Ｒ１は同一または相異なる置換または非置換の１価の有機基を、ｍは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンと、
　【化４】
（式中、Ｒ２はアルキル基またはフェニル基を、Ａはポリオキシアルキレン基を示す）
　で表されるシロキシ単位を１分子中に少なくとも１個有するポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤と、水とを含有することを特徴としている。
　　　【００１５】
　また、本発明における第２の水系洗浄剤は、上記（３）式で表されるシロキシ単位を１分子中に少なくとも１個有するポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤と、水とを含有することを特徴としている。
　　　【００１６】
　本発明における第１の液切り洗浄剤は、上記（１）式で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になることを特徴としており、また第２の液切り洗浄剤は、上記（１）式で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および親水性溶剤から選ばれた少なくとも１種とからなることを特徴としている。
　　　【００１７】
　さらに、本発明における第１の洗浄方法は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれた少なくとも１種の洗浄対象物を、上記（３）式で表されるシロキシ単位を１分子中に少なくとも１個有するポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤と、水とを含有する洗浄剤、さらに上記（１）式で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンを含有する洗浄剤で洗浄することを特徴としている。
　　　【００１８】
　本発明における第２の洗浄方法は、金属、セラミックスおよびプラスチックから選ばれた少なくとも１種の洗浄対象物を、上記（１）式で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になる洗浄剤で洗浄することを特徴としている。
　　　【００１９】
　本発明における第３の洗浄方法は、上記（１）式で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンから選ばれた少なくとも１種の低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および親水性溶剤から選ばれた少なくとも１種とからなる洗浄剤で洗浄することを特徴としている。
　　　【００２０】
　本発明における第４の洗浄方法は、上記（２）式で表される環状ポリジオルガノシロキサンからなる低分子量ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤および親水性溶剤から選ばれた少なくとも１種とから実質的になる第１の洗浄剤で洗浄する第１の工程と、前記洗浄対象物の表面に存在する前記第１の洗浄剤成分を、前記低分子量ポリオルガノシロキサン単独の第２の洗浄剤で置換する第２の工程とを具備することを特徴としている。
　　　【００２１】
　本発明において、上述した（１）式および（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンは、汚れに対して強力な浸透力を発揮すると共に、これら単独で水を含む各種液体と良好な置換性を示し、さらには低蒸気圧、低蒸発熱、低表面張力等を有するものであり、本発明における特徴的な成分である。
　　　【００２２】
　（１）式および（２）式中のＲ１は、置換または非置換の１価の有機基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基やフェニル基のような１価の非置換炭化水素基、トリフロロメチル基のような１価の置換炭化水素基等が例示され、また上記（１）式における末端のＲ１としては、さらにアミノ基、アミド基、アクリル酸エステル基、メルカプタン基等が例示されるが、系の安定性、揮発性の維持等からメチル基が最も好ましい。
　　　【００２３】
　水系洗浄剤として使用する際の低分子量ポリオルガノシロキサンとしては、浸透力と洗浄性の点から環状構造を有するオクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンおよびこれらの混合物や、直鎖状構造を有するオクタメチルトリシロキサン、デカメチルテトラシロキサン等の使用が特に好ましい。なお、水系洗浄剤のアルカリ性が強い領域では、ポリシロキサンの安定性の点から、上記（１）式で示される直鎖状構造を有するものが好ましい。
　　　【００２４】
　上記（１）式および（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンは、上述したように汚れに対して強力な浸透力を発揮するものの、これら単独では水に対して難溶性でかつ分散安定性が悪く、水中で相分離を起こす可能性があるが、上記（３）式で表されるシロキシ単位を１分子中に少なくとも１個有するポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンを併用することによって、水に対して良好な分散安定性が得られ、上記低分子量ポリオルガノシロキサンの汚れに対する強力な浸透力を十分に発揮させることが可能となる。またさらに、界面活性剤を併用することによって、洗浄性能の向上が図れる。
　　　【００２５】
　上記ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンは、ケイ素原子に結合したポリオキシアルキレン基によって水に対して親和性を示し、安定な水系分散液もしくは水溶液を形成する成分であると共に、汚れとそれが被着している金属等の基地との界面に浸透して汚れを引剥がす作用も示し、さらに消泡作用も有している。
　　　【００２６】
　このようなポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンは、ヒドロシリル基を有するポリオルガノシロキサンと、末端に不飽和基を有するポリオキシアルキレン化合物とを、白金系触媒の存在下に付加反応させることによって得られる。
　　【００２７】
　上記（３）式中におけるＡのポリオキシアルキレン基としては、
　【化５】
（式中、Ｒ３は炭素数１〜８のアルキレン基、炭素数４〜１１のβ−ヒドロキシプロピレンオキシアルキレン基およびポリメチレンオキシアルキレン基からなる群がら選ばれた２価の基を、Ｒ４は炭素数２〜４のアルキレン基を、Ｒ５は水素原子および１価の有機基から選ばれた末端基を示し、ｎは正の整数を示す）
　で表される１価の基が例示される。
　　　【００２８】
　上記ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンの主骨格を成すシロキサンは特に限定されるものではない。このシロキサンのケイ素原子に結合する有機基は、基本的にはメチル基であるが、本発明の効果を損わない範囲で、エチル基、プロピル基、ブチル基、フェニル基等の１価の炭化水素基や、トリフロロメチル基のような１価の置換炭化水素基を含有していてもよい。
　　　【００２９】
　また、分子量や上記ポリオキシアルキレン基１個当りの分子量も特に限定されるものではなく、これらの値が大きいものであっても界面活性剤の併用等によって、十分に水溶もしくは安定に水分散させることが可能である。ただし、実用的にはポリオキシアルキレン基１個当りの分子量が１００〜５０００程度のものが好ましい。また、ポリオキシアルキレン鎖においては、全ポリオキシアルキレン中オキシエチレン部分が４０モル％以上であることが好ましい。さらに、ポリオキシアルキレン基の量は特に限定されないが、該ポリオルガノシロキサンのケイ素原子に結合した全有機基中の５モル％以上であることが系の安定性からより好ましい。
　このようなポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンとしては、
　【化６】
（式中、Ｐ、ｑ、ｒおよびｓは正の整数を示す）
　のような鎖状ポリシロキサンや、
　【化７】
（式中、ｔ、ｕおよびｖは正の整数を示す）
　のような環状ポリシロキサンが例示される。
　　　【００３０】
　また界面活性剤は、上記した低分子量ポリオルガノシロキサンやポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンによって引剥がされた汚れを溶解あるいは乳化し、かつ安定化させる成分である。
　　　【００３１】
　このような界面活性剤には、活性を発揮する化学構造により、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性系およびこれらの複合系に分類されるが、本発明においてはそれらのいずれをも使用することが可能である。ただし、上記ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンとの組合せによる効果を考えた場合、アニオン系、ノニオン系、両性系のいずれかの界面活性剤の使用が好ましく、特にアニオン系／ノニオン系の組合せあるいは両性系／ノニオン系の組合せによる界面活性剤を使用することにより、これらによる洗浄性と上記した低分子量ポリオルガノシロキサンやポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンによる浸透性とに顕著な相乗効果が得られる。
　　　【００３２】
　これら界面活性剤のうち、本発明の水系洗浄剤において好ましく用いられるものとしては、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルスルホン酸塩、リン酸エステル等のアニオン系界面活性剤、多価アルコール脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル等のノニオン系界面活性剤、イミダゾリン誘導体等の両性界面活性剤、アルキルアミン塩、アルキル第４級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤等が例示され、その他には単一物質で存在することは少ないが、天然物から抽出されるテルペン系化合物や高級脂肪酸エステル等が挙げられる。また、上述したような各種化合物の化学構造の一部をフッ素原子やケイ素原子で置き換えた合成化合物を用いることも可能である。
　　　【００３３】
　上述した４成分系の水系洗浄剤における組成比は、特に限定されるものではないが、界面活性剤をポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して１０〜１０００重量部の範囲で配合し、低分子量ポリオルガノシロキサンを上記界面活性剤とポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンとの合計量１００重量部に対して１０００重量部以下で配合することが好ましい。
　　　【００３４】
　界面活性剤の配合量が少なすぎると洗浄力が弱くなり、また多すぎると浸透性が弱くなる。また、低分子量ポリオルガノシロキサンの配合量が多すぎると系に分散しずらくなり、また水系洗浄剤としての安定性が低下する。上記界面活性剤のより好ましい配合比としては、ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン１００重量部に対し３０〜７００重量部であり、さらに好ましくは５０〜３００重量部の範囲である。低分子量ポリオルガノシロキサンのより好ましい配合比は、１０重量部〜１０００重量部の範囲である。また、上記４成分系の水系洗浄剤における水の配合量は、特に限定されるものではないが、洗浄剤の安定性の点からは全組成物中で４０重量％以上とすることが好ましく、さらに好ましくは７０〜９９．５重量％の範囲である。
　　　【００３５】
　ところで、上記（３）式で表されるシロキシ単位を１分子中に少なくとも１個有するポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンは、それ自体も上述　したように汚れとそれが被着している金属等の基地との界面に浸透し、汚れを引剥がす作用を有するため、上記ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン、界面活性剤および水の３成分系でも水系洗浄剤としての効果を発揮する。なお、この際の配合比は、上述した４成分系の水系洗浄剤に準じるものとする。
　　　【００３６】
　上記３成分系または４成分系の水系洗浄剤は、日本工業標準規格ＪＩＳの繊維織物の試験方法で規定する浸透性評価キャンバス法で測定して得られる室温での数値が１５以下、１０以下、５以下となるように、その配合比を設計することが好ましい。また、これら水系洗浄剤の洗浄性能は液自体のｐＨ値に依存するため、アルカリ域に調整することが好ましい。さらに好ましいｐＨ値は８〜１４の範囲である。
　　　【００３７】
　上述したような３成分系または４成分系の水系洗浄剤は、上記ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン、界面活性剤および水、さらに必要に応じて上記（１）式や（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンを混合、撹拌することにより容易に得られる。混合にあたっては、公知の分散装置を用いることにより、容易に水系洗浄剤を得ることができる。
　　　【００３８】
　また、上述したような水系洗浄剤には、適用される汚れ物質の性質、量、付着状態、洗浄条件等に応じて、通常の水溶性洗浄剤に添加されるｐＨ調整剤、吸着剤、固形粒状物、合成ビルダ、防錆剤、帯電防止剤等を洗浄の助剤や洗浄後の付加価値向上剤等として配合してもよいし、使用用途によっては重要な位置付けを示す。
　　　【００３９】
　本発明による水系洗浄剤の使用対象物（洗浄対象物）としては、金属、セラミックス、プラスチック等からなる硬質表面を有する工業部品が挙げられ、さらに具体的には金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品等である。
　　　【００４０】
　また、汎用的な洗浄プロセスの具体例としては、上述したような各種部品を対象に、超音波、機械的撹拌、吹付け等による洗浄の後、水洗（純水やイオン交換水が望ましい）し、熱風乾燥等による水切り仕上げを行うことが一般的である。また、洗浄後の汚れを含む洗浄剤の処理は、例えば汚れ物質をフィルタ等で分離した後、一般的な排水処理技術を適用することによって、容易に無公害化することが可能である。
　　　【００４１】
　上述した本発明による水系洗浄剤によれば、上記（１）式や（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンによる汚れと基地との界面に対する強力な浸透力と、界面活性剤よる汚れに対する洗浄力とによって、従来から使用されているフロン系に匹敵する洗浄効果が得られ、ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンを併用することによって、水系での良好な分散安定性が得られる。また、ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン、界面活性剤および水による３成分系としても、ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンの汚れに対する浸透力によって、十分な洗浄効果が得られる。そして、水系であることから環境破壊や環境汚染の心配もない。このようなことから、本発明による水系洗浄剤は環境問題を抱えるフロン系等の有機溶剤系洗浄剤の有効な代替洗浄剤と言える。
　　　【００４２】
　次に、本発明の液切り洗浄剤について説明する。ここで、液切り洗浄剤とは、上述した低分子量ポリオルガノシロキサンによる水等の各種液体との置換性を利用したものであり、低分子量ポリオルガノシロキサンによって置換が可能な代表的な液体である水を例とすれば、水切り洗浄剤と呼べるものである。本発明の液切り洗浄剤は、各種液体との置換・洗浄に用いることができるものであり、対象となる液体としては、低分子量ポリオルガノシロキサンに対して不溶性もしくは難溶性で、かつ表面張力が低分子量ポリオルガノシロキサンより大きいものであればよい。具体的には、水、汚れ成分を含む水、水を分散媒として使用している各種の液体、例えばアルコールとの混合液や各種物質が溶解しているような液体、水系洗浄剤等が挙げられる。なお、直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンを用いる場合には、液切り以外に一般的な油脂系汚れやフラックスのような固形汚れ等の洗浄剤としても有用である。
　　　【００４３】
　液切り洗浄剤として使用する際の低分子量ポリオルガノシロキサンとしては、水置換性、浸透性等の点から、環状構造を有するものが好ましく、さらにオクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサンおよびこれらの混合物が好適である。なお、酸やアルカリ等が混入する可能性がある過酷な条件下では、安定性の点から直鎖状の低分子量ポリオルガノシロキサンを用いることが好ましい。
　　　【００４４】
　上記（１）式および（２）式で表される低分子量ポリオルガノシロキサンは、前述したように、これら単独で水を含む各種液体と良好な置換性を示すものであり、３３３Ｋ以下の温風で揮散、乾燥を容易に行うことを可能にするものである。このような液切り洗浄剤としては、上記低分子量ポリオルガノシロキサンから実質的になるものであっても、その効果を十分に得ることが可能であるが、上記低分子量ポリオルガノシロキサンに界面活性剤および親水性溶剤から選ばれた少なくとも１種を配合した組成物とすることにより、さらに優れた洗浄性、液切り性等を付与することができる。
　　　【００４５】
　上記した界面活性剤は、特に液切り性の向上および洗浄性の向上に寄与するものである。本発明において好ましく用いられる界面活性剤としては、ポリオキシアルキレンアルキルエーテルスルホン酸塩、リン酸エステル等のアニオン系界面活性剤、多価アルコール脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレン脂肪酸エステル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル等のノニオン系界面活性剤、イミダゾリン誘導体等の両性界面活性剤、アルキルアミン塩、アルキル第４級アンモニウム塩等のカチオン系界面活性剤等が例示され、その他には単一物質で存在することは少ないが、天然物から抽出されるテルペン系化合物や高級脂肪酸エステル等が挙げられる。また、上述したような各種化合物の化学構造の一部をフッ素原子やケイ素原子で置き換えた合成化合物を用いることも可能である。また特に、低分子量ポリオルガノシロキサンとの組合せによる液切り洗浄剤としての効果を考えた場合、ノニオン系の界面活性剤の使用が好ましい。界面活性剤の組成比は、特に限定されるものではないが、低分子量ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して２０重量部以下、さらに３重量部以下であることが好ましい。
　　　【００４６】
　また、上述した親水性溶剤としては、低分子量ポリオルガノシロキサンに対して相溶性を有するものが用いられ、特に引火点が３１３Ｋ以上のものが実用上好適である。この親水性溶剤も液置換性や洗浄性の向上に寄与するものである。このような親水性溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等の多価アルコールとその誘導体等が例示され、低分子量ポリオルガノシロキサンとの相溶性、人体への安全性等の点からジエチレングリコールモノブチルエーテルが特に好ましい。これら化合物は、低分子量ポリオルガノシロキサンとの共存下で揮発性が向上するために、この配合品のみでの液置換、乾燥も可能である。親水性溶剤の組成比は、特に限定されるものではないが、低分子量ポリオルガノシロキサン１００重量部に対して１００重量部以下、さらに５０重量部以下であることが好ましい。
　　　【００４７】
　なお、上述したように界面活性剤や親水性溶剤を配合した液切り洗浄剤は、各種汚れ成分に対しても洗浄効果を発揮するものである。
　　　【００４８】
　上述した液切り洗浄剤の使用対象物としては、金属、セラミックス、プラスチック等からなる硬質表面を有する工業部品が挙げられ、さらに具体的には金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品等である。
　　　【００４９】
　また、本発明の液切り洗浄剤を用いた汎用的な洗浄プロセスの具体例としては、上述したような洗浄対象物を本発明による液切り洗浄剤中に浸漬するか、あるいは対象物に本発明の液切り洗浄剤を吹付けて液置換および必要に応じて脱脂洗浄等を行った後、温風等による乾燥を行うのが一般的である。また、上記浸漬や吹付け時に超音波、機械的撹拌等を併用することも可能である。
　　　【００５０】
　上述した本発明の液切り洗浄剤は、強力な液切り性を有することから、従来から使用されているフロン系等に匹敵する洗浄・液置換効果が得られる。また、各種基材に対して浸蝕性が極めて低いため、より安定な洗浄を行うことができる。さらに、その構成成分中に塩素や臭素のようなハロゲン元素を基本的に含まないため、フロン系等の有機溶剤系液切り洗浄剤のように環境破壊や環境汚染を及ぼすおそれがほとんどない。このようなことから、本発明による液切り洗浄剤は、環境問題を抱えるフロン系等の有機溶剤系洗浄剤の有効な代替液切り洗浄剤と言える。
　　　【００５１】
　【本発明の実施の態様】
　以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。
　　　【００５２】
　まず、本発明の水系洗浄剤を用いた実施例について説明する。
　　　【００５３】
実施例１
　ポリオキシアルキレン基含有ポオルガノシロキサンとして、下記（５）式および（６）式でそれぞれ表される２種類を用意した。
　　　【００５４】
　【化８】
　【化９】
　次に、上記（５）式で表されるポリオキシアルキレン変性シリコーン（Ａ１）と、上記（６）式で表されるポリオキシアルキレン変性シリコーン（Ａ２）と、界面活性剤としてラウリン酸ナトリウム（Ｂ１）およびポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル（Ｂ２）（ポリオキシエチレン：２０モル）と、水とを重量比で５：５：４：４：８２となるように、それぞれの成分を所定量秤量した後、ホモミキサーに投入して撹拌混合し、水系洗浄剤Ｐ１を得た。
　　　【００５５】
実施例２
　Ａ１のポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンと、界面活性剤として（Ｂ１）のラウリン酸ナトリウムおよび（Ｂ２）のポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテルと、水とを表１に示す組成比となるように所定量秤量し、実施例１と同様にして水系洗浄剤Ｐ２を得た。
　　　【００５６】
実施例３〜５
　（Ａ１）および（Ａ２）のポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン、界面活性剤として前述した（Ｂ１）、（Ｂ２）、および（Ｂ３）としてスルホコハク酸ジオクチルナトリウム、さらに低分子量ポリオルガノシロキサンとしてオクタメチルテトラシロキサン（Ｄ１）およびオクタメチルトリシロキサン（Ｄ２）と、水とをそれぞれ選択して用い、表１に示す組成比の水系洗浄剤Ｐ３〜Ｐ５を実施例１と同様にしてそれぞれ作製した。
　　　【００５７】
比較例１〜３
　ポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンを使用しない以外は、上記各実施例と同様にして、表１にその組成比を示す３種類の水系洗浄剤を作製した。
　　　【００５８】
　これら実施例１〜５および比較例１〜３の各水系洗浄剤の諸特性を下記に示す方法に従ってそれぞれ評価した。その結果を併せて表１に示す。
　　　【００５９】
　▲１▼　浸透性評価試験
　　　カンバス法／ＪＩＳ法に準拠し測定。数値が小さい程浸透性が高く、細部への洗浄に有利であることを示す。
　　　【００６０】
　▲２▼　洗浄力評価試験
　　　スピンドル油を鋼板上に塗布し、４０８Ｋで４８時間焼付けして試験片を作製する。この試験片の焼付けられた油脂の洗浄（超音波洗浄）に要した時間を測定する。数値が小さい程洗浄力が強いことを示す。
　　　【００６１】
　▲３▼　安定性試験
　　　各洗浄剤を容積２００ｍｌの透明なガラスビンに入れて密封し、３２３Ｋで６時間加温後２９８Ｋに徐冷し、外観を観察した。
　　　【００６２】
　【表１】
　表１に示した評価結果から明らかなように、本発明による水系洗浄剤は、いずれも洗浄力および浸透力共に優れ、従来、フロン系等の溶剤系洗浄剤を用いていた用途に十分に使用しうることが分る。また、安定性にも優れていることから実用性も高い。これに対して比較例による水系洗浄剤は、いずれも洗浄力および浸透力共に満足のいくものではなかった。
　　　【００６３】
　次に、本発明による水系洗浄剤を用いた具体的な洗浄対象物の洗浄例について説明する。
　　　【００６４】
実施例６
　液晶デバイスの製造工程では、液晶セルを高真空にして液晶材料をデバイスに封入することが行われる。この際、排気性能が大きな拡散真空ポンプで排気処理を行うが、拡散オイルが徐々にミストとして真空系に入るため、時々ポンプを洗浄してオイルを除去するメインテナンスが必要である。
　　　【００６５】
　この実施例は、従来用いられていたトリエタン洗浄剤に代えて、本発明の水系洗浄剤を適用した具体例である。すなわち、拡散オイルとしてシリコーン油Ｆ−４（信越化学（株）製）が付着しているステンレスＳＵＳ３０４ならびにそれにＮｉメッキを施した材質からなるポンプ部品を被洗浄物とした。使用した水系洗浄剤の配合は以下に示す通りである。
　　　【００６６】
　イオン交換水８０重量％を常温で十分撹拌している中に、下記の（７）式で表されるポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン６重量％を徐々に添加し、無色透明な均質溶液とした。
　　　【００６７】
　【化１０】
　一方、界面活性剤として、特殊ノニオン型アデカノールＢ−４００１（旭電化（株）製）８重量％と、硫酸エステルプルロニック構造のアニオン型ＴＷＡ−２０２３（一方社油脂（株）製）６重量％とを混合したものを上記水／シロキサン溶液に加えた。このようにして得た水系洗浄剤を任意の割合でイオン交換水で稀釈して、上記シリコーン油Ｆ−４の洗浄を試みた結果、１０倍量の水稀釈では常温、１分間撹拌浸漬、３０倍稀釈では３１３Ｋ、１分間揺動浸漬、もしくは２９３Ｋ、１分間超音波洗浄、５０倍稀釈では３２３Ｋ、１分間超音波洗浄で、それぞれ十分に洗浄除去することができた。
　　　【００６８】
　また、本発明との比較として、上記洗浄剤のうちポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンを含まない、上記界面活性剤のみの組成系を用いて同様に洗浄を行ったところ、超音波を併用しても１０倍量稀釈では、常温で１０分間以上浸漬してもシリコーン油は十分に洗浄しきれずに残ってしまった。また、この濃度で同一条件では、３３８Ｋ以上で５分間以上を要した。
　　　【００６９】
　この結果から、本発明よるポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンを含む水系洗浄剤の抜群の洗浄効果が示された。
　　　【００７０】
実施例７
　本発明によるポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンおよび低分子量ポリオルガノシロキサンは、市販の水溶性洗浄剤の洗浄効果を飛躍的に高めることにも寄与する。
　　　【００７１】
　機械部品や金属部品の洗浄用としてよく用いられている、界面活性剤を含む低発泡性、防錆性洗浄剤ケミクリーンＭＳ−１０９水溶液（三洋化成工業（株）製）６５重量％に、実施例１で使用した上記（５）式で示したポリオキシアルキレン変性シリコーン（Ａ１）３重量％およびヘキサメチルシクロトリシロキサン５重量％、イオン交換水１７重量％を混合し、新規な水系洗浄剤を調整した。
　　　【００７２】
　これをイオン交換水で２０倍に稀釈して、下記に示す方法によって洗浄性を評価した。その結果を表２に示す。なお、比較例としてケミクリーンＭＳ−１０９市販洗浄剤の２０倍水稀釈したものについても併記した。
　　　【００７３】
　試験方法
　（１）洗浄テスト−１
　脱脂したアルミニウム板（ＡＣ−４Ａ）に下記の汚染物質を浸漬塗布後風乾し、各洗浄液（２０倍希釈液）に撹拌下（４００ｒｐｍ）１５秒〜１分間浸漬する。次に、水に浸漬後風乾し、粘着テープにて汚染物質を転写して白紙に貼り、色度計にて反射率を測定して洗浄率を求める。
　　【００７４】
　　汚染物質
　　　スピンドル油　　　　７８％
　　　脂肪酸エステル　　　１５％
　　　塩素化パラフィン　　　５％
　　　カーボンブラック　　　２％
　　洗浄率（％）＝Ｒｗ−Ｒｓ／Ｒｏ−Ｒｓ
　　　Ｒｏ：原白紙の反射率
　　　Ｒｓ：標準汚染板の反射率
　　　Ｒｗ：洗浄後の汚染板の反射率
　（２）　洗浄テスト−２
　上記洗浄テスト−１と同様にして汚染物質を水溶性切削油（エマルジョン系）にカーボンブラック２％を加えて行う。洗浄率は上記と同様にして算出する。
　　　【００７５】
　【表２】
　同様の試験を市販水系洗浄剤である超効力洗浄液ＥＰ−６８０（イーピージャパン（株）製）、エマルジョン型脱脂洗浄剤バンライズＤ−２０（常盤化学工業（株）製）、強力特殊洗浄液ヒカリエース（昭光通商（株））についても行った結果、本発明によるポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサンならびに低分子量ポリオルガノシロキサンの併用により格段の洗浄性が得られた。
　　　【００７６】
実施例８
　本発明による水系洗浄剤は、プリント基板への部品実装（配線）に使用するフラックスの洗浄にも顕著な効果を示す。フラックスはロジン系と水溶系に大別されるが、特にロジン系の洗浄が難しいとされているので、この具体的な実施例について示す。
　　　【００７７】
　部品をプリント基板にハンダメッキする前処理工程として、ＷＷ系ロジンエステルを付けた後、５０３〜５２３Ｋのハンダ浴を通して配線を完了した。これを下記の水系洗浄剤を用いて、３０８Ｋ、４５秒間シャワーリンスすることにより、完全にフラックスが除去されることを確認した。
　　　【００７８】
　ここで用いた水系洗浄剤は、下記の（８）式で示されるポリオキシアルキレン基含有ポリオルガノシロキサン２重量％、両性界面活性剤センカノールＦＭ（日本染化（株）製）３重量％およびナトリウム・Ｎ−ココイルメチルタウリン系ノニオン界面活性剤ニッコールＣＭＴ−３０（日本サーファクタント（株）製）５重量％を、イオン交換水で１００重量％にしたものである。
　　　【００７９】
　【化１１】
　この組成物をイオン交換水で１０倍量に稀釈して用いたところ、ＭＩＬ−Ｆ−１４２５６Ｃ規格（米国）をクリアする加速時効テスト、表面絶縁抵抗テスト、イオン残▲渣▼テスト等を満足する結果が得られた。
　　　【００８０】
　次に、本発明の液切り洗浄剤を用いた実施例について説明する。
　　　【００８１】
実施例９〜１７
　低分子量ポリオルガノシロキサンとして、オクタメチルトリシロキサン（Ｅ１）、オクタメチルシクロテトラシロキサン（Ｅ２）およびデカメチルシクロペンタシロキサン（Ｅ３）を用意し、また界面活性剤としてポリオキシエチレンオレイルエーテル（Ｆ１）（Ｐ．Ｏ．Ｅ＝６ｍｏｌ）およびポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル（Ｆ２）（Ｐ．Ｏ．Ｅ＝１０ｍｏｌ）を、親水性溶剤としてジエチレングリコールモノブチルエーテル（Ｇ１）を用意した。
　　　【００８２】
　そして、これら各成分を選択的に用いて、表３に示す組成比に従ってそれぞれ水切り洗浄剤を調整した。
　　　【００８３】
比較例４〜８
　従来の水切り洗浄剤として、フロン１１３、塩化メチレン、イソプロピルアルコールおよびエタノールを用意し、表３にその組成比を示す５種類の水切り洗浄剤を調整した。
　　　【００８４】
　これら実施例９〜１７および比較例４〜８の各水切り洗浄剤の諸特性を下記に示す方法に従ってそれぞれ評価した。その結果を併せて表３に示す。
　　　【００８５】
　▲１▼　水切り性
　各種基材（ステンレス板、セラミックス、ポリカーボネート、Ｎｉメッキ鋼板）を水洗した後、各水切り洗浄剤中に浸漬した。実施例１３〜１５の水切り洗浄剤については、さらにそれぞれ使用した低分子量ポリオルガノシロキサンですすぎを行った。その後、３２３Ｋでオーブン乾燥を行った。そして、乾燥後のウォーターマーク（水垢によるしみ）を目視および走査型電子顕微鏡により観察し、以下の基準に従って評価した。
　　　【００８６】
　　　××：水切り工程で基材が浸蝕され、評価に至らなかった場合。
　　　【００８７】
　　　×　：目視でウォーターマークが観察された場合。
　　　【００８８】
　　　○　：目視でウォーターマークが観察されなかった場合。
　　　【００８９】
　　　◎　：走査型電子顕微鏡により５０μｍ以上のウォーターマークが観察されなかった場合。
　　　【００９０】
　▲２▼　連続水切り性
　　　ステンレス板を基材として、５０回の水切り性テストを行った後の外観を上記▲１▼と同様に評価した。
　　　【００９１】
　▲３▼　乾燥性
　　　ステンレス板を各洗浄剤に浸漬後、３２３Ｋでオーブン乾燥し、５分毎に指触にて乾燥しているかどうかを試み、その時間を５分単位で記録した。
　　　【００９２】
　【表３】
　表３に示した評価結果から明らかなように、本発明による水切り洗浄剤は、いずれも水切り性に優れ、従来、フロン系等の有機溶剤系洗浄剤を用いていた用途に十分に使用し得ることが分る。
　　　【００９３】
　また、比較例４、５、８の塩化メチレン、イソプロピルアルコールを用いた水切り洗浄剤は、金属膜やプラスチックに対する発錆性や浸蝕性を有していた。これに対して、本発明による水切り洗浄剤はいずれも金属膜やプラスチックに対して安定で、しかも表面粗度の大きいセラミックスに対しても十分な水切り性を有し、金属部品、メッキ部品、電子部品、半導体部品、プラスチック部品、セラミックス部品等に対して十分な信頼性をもって使用し得ることが分る。なお、イソプロピルアルコールは水が相溶してしまい、これにより基材への水の再付着が発生した。さらに、界面活性剤や親水性溶剤を配合することによって、さらに水切り性が向上し、工業用用途に有効であることが分る。
　　　【００９４】
　次に、本発明による液切り洗浄剤を使用した洗浄装置の一例について、図１を参照して説明する。
　　　【００９５】
　図１に示す洗浄装置は、大別して洗浄および／または水置換工程（第１の工程）Ａと清浄化工程（第２の工程）Ｂとから構成されている。
　　　【００９６】
　第１の工程となる洗浄および／または水置換工程Ａには、沈降分離機能とオーバーフロー分離機能とを併せ持つ第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２と液切り槽３とが設けられている。上記第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２間は、ドレン配管２ａとオーバーフロー管２ｂとにより連結されている。これら第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽には、必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用される。
　　　【００９７】
　上記第１および第２の洗浄槽１、２には、本発明による水切り洗浄剤のうち、低分子量ポリオルガノシロキサンに界面活性剤等を添加した洗浄剤Ｄ１がそれぞれ収容されている。この界面活性剤等を含む洗浄剤Ｄ１は、その比重を水より小さく、かつ油脂系の汚れより大きく設定することができる。従って、被洗浄物Ｘにより持ち込まれた水Ｙは、第１および第２の洗浄槽１、２に収容された界面活性剤を含む洗浄剤Ｄ１の下方にそれぞれ沈降分離される。また、被洗浄物Ｘに油脂系の汚れＺが付着している場合には、油脂系の汚れＺは第１および第２の洗浄槽１、２に収容された界面活性剤を含む洗浄剤Ｄ１の上方にそれぞれ浮上分離される。
　　　【００９８】
　第２の洗浄槽２で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管２ａによって間欠的に第１の洗浄槽１側に排出される。また、第１の洗浄槽１で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管４により間欠的に後述する洗浄剤再生機構Ｃへと排出される。また、液切り槽３に設けられたドレン配管３ａも洗浄剤再生機構Ｃと接続されている。また、第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２で浮上分離された油脂系の汚れＺは、順次オーバーフローし、第１の洗浄槽１に設けられたオーバーフロー管５から系外に排出される。第１の洗浄槽１および第２の洗浄槽２内に収容された界面活性剤を含む洗浄剤Ｄ１は、常時フィルタ６を介して循環されており、このフィルタ６によって洗浄剤Ｄ１中の固体物、水粒子、未溶解物質等が除去される。
　　　【００９９】
　第２の工程となる清浄化工程Ｂには、第３の洗浄槽７とシャワーリンス槽８とが設けられている。シャワーリンス槽８の下方には、バッファタンク９が設けられており、このバッファタンク９および第３の洗浄槽７間は、ドレン配管９ａとオーバーフロー管９ｂとにより連結されている。この第３の洗浄槽７にも必要に応じて超音波、揺動、機械的撹拌、洗浄剤加温、ブラッシング等が併用される。上記第３の洗浄槽７には、上記第１の工程Ａで使用した低分子量ポリオルガノシロキサンと同一のシリコーン組成物のみの洗浄剤Ｄ２が収容されている。この洗浄剤Ｄ２は、その比重を水より小さく、かつ油脂系の汚れより大きく設定することができる。従って、第１の工程Ａにおける洗浄槽と同様に、水Ｙは洗浄剤Ｄ２の下方に沈降分離され、また油脂系の汚れＺは洗浄剤Ｄ２の上方に浮上分離される。
　　　【０１００】
　第３の洗浄槽７で沈降分離された水Ｙは、ドレン配管１０によって間欠的に洗浄剤再生機構Ｃへと排出される。また、第３の洗浄槽７で浮上分離された油脂系の汚れＺは、オーバーフロー管１１から系外に排出される。また、第３の洗浄槽７内に収容された洗浄剤Ｄ２は、常時フィルタ１２を介して循環されており、このフィルタ１２によって洗浄剤Ｄ２中の固体物、水粒子、未溶解物質等が除去される。
　　　【０１０１】
　そして、被洗浄物Ｘは第１の工程Ａから第２の工程Ｂへと順次送られて、洗浄および水切りが施された後、図示を省略した温風乾燥器等により乾燥処理が施されて洗浄工程が終了する。
　　　【０１０２】
　上記洗浄装置における洗浄剤の回収・再使用については、以下の通りである。上述したように、第１、第２、第３の洗浄槽１、２、７および液切り槽３に設けられた各ドレン配管４、３ａ、１０は、洗浄剤再生機構Ｃに接続されている。各洗浄槽に収容された洗浄剤Ｄ１またはＤ２は、フィルタ６、１２によって常時浄化されているが、洗浄剤の汚れがひどくなった際には、各ドレン配管４、１０により洗浄剤再生機構Ｃに送水ポンプ１３によって送られて分溜精製される。また、液切り槽３に溜まった洗浄剤Ｄ１も間欠的に洗浄剤再生機構Ｃに送られる。洗浄剤再生機構Ｃでは、まず濾過器１４により液体と固体との分離が行われ、固体分は廃棄され、液体のみ蒸留器１５へ送られる。この蒸留器１５では洗浄剤中の各成分、水、油脂系汚れ等の沸点の差を利用して分離が行われる。なお、蒸留器１５にて残留した水分等は、デカンタ１６によってさらに分離される。
　　　【０１０３】
　ここで、上記洗浄装置において使用している洗浄剤において、洗浄剤Ｄ１は低分子量ポリオルガノシロキサンのみの洗浄剤Ｄ２に界面活性剤等を添加したものであるため、洗浄剤Ｄ１および洗浄剤Ｄ２それぞれから低分子量ポリオルガノシロキサン、すなわち洗浄剤Ｄ２を分離抽出することができ、洗浄剤Ｄ２が再生される。また、この再生された洗浄剤Ｄ２以外の成分、すなわち界面活性剤や水分等は廃棄される。
　　　【０１０４】
　この再生された洗浄剤Ｄ２は、配管１７によりシャワーリンス槽８、第３の洗浄槽７、もしくは第２の洗浄槽２に洗浄剤Ｄ１を供給する配合器１８へと送られる。シャワーリンス槽８では、上記再生洗浄剤Ｄ２もしくは洗浄剤供給配管１９から送られてきた新規な洗浄剤Ｄ２によって、不純物を含まない洗浄剤Ｄ２のみでシャワー洗浄が行われる。
　　　【０１０５】
　また、配合器１８では、再生もしくは新規の洗浄剤Ｄ２と、界面活性剤供給配管２０から送られてきた新規な界面活性剤とが混合され、新たに洗浄剤Ｄ１が調合される。この洗浄剤Ｄ１は、必要に応じて第２の洗浄槽２に供給される。
　　　【０１０６】
　上述したような構成を有する洗浄装置を用いることにより、本発明による液切り洗浄剤を効率よく、かつ有効に使用することができると共に、本発明による液切り洗浄剤の特性を十分に発揮することが可能となる。
　　　【０１０７】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の水系洗浄剤は、従来から使用されているフロン系に匹敵する洗浄効果と、環境破壊や環境汚染のない水系としての良好な安定性とが得られることから、環境問題を抱えるフロン系等の有機溶剤系洗浄剤の代替洗浄剤として有用である。また、本発明の液切り洗浄剤は、強力な液切り性を有し、かつ環境破壊や環境汚染の心配もないことから、環境問題を抱えるフロン系等の有機溶剤系洗浄剤の代替液切り洗浄剤として有用である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　本発明の液切り洗浄剤を使用した洗浄装置の一構成例を示す図である。
　【符号の説明】
　１……第１の洗浄槽
　２……第２の洗浄槽
　３……液切り槽
　７……第３の洗浄槽
　８……シャワーリンス槽