【事件の表示】
　特許第３０５０９１０号「薄板状部材の保持装置」の請求項１及び請求項２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０５０９１０号の請求項１及び請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　本件発明
　特許第３０５０９１０号（平成２年１１月３０日出願、同１２年３月３１日設定登録。）の請求項１及び請求項２に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」及び「本件発明２」という。）は、登録時の明細書及び図面の記載からみて、それぞれその特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された事項により特定される以下のとおりのものであると認める。
「【請求項１】
Ａ　薄板状部材を保持して搬送、加工等を行う装置において、
Ｂ　吸送気源であるポンプに連通した多数の空気孔が厚さ方向に貫設されたセラミックスプレートと、該セラミックスプレートの下面に取り付けられ、前記空気孔と連通する多数の空気孔が厚さ方向に貫設された弾性体からなる吸着パッドと、
Ｃ　該吸着パッドの下面の周縁部に取り付けられたリング状の保持テンプレートとからなり、
Ｄ　保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、リング状の凹部を設けたことを特徴とする薄板状部材の保持装置。
　【請求項２】
Ａ　薄板状部材を保持して搬送、加工等を行う装置において、
Ｂ　吸送気源であるポンプに連通した多数の空気孔が厚さ方向に貫設されたセラミックスプレートと、該セラミックスプレートの下面に取り付けられ、前記空気孔と連通する多数の空気孔が厚さ方向に貫設された弾性体からなる吸着パッドと、
Ｃ　該吸着パッドの下面の周縁部に取り付けられたリング状の保持テンプレートとからなり、
Ｅ　保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、当該吸着パッドの他の部分より軟らかい材質を用いたことを特徴とする薄板状部材の保持装置。」
（なお、特許異議申立人がなしたように各発明の構成要件毎に分節した。）
第２　特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、本件特許の出願前に日本国内において頒布された刊行物である下記の証拠を提出して、本件の請求項１及び請求項２に係る特許は、特許法第２９条の規定に違反してされたものであるから取り消すべきものである旨主張している。
［証拠］
甲第１号証：特開昭５６−１３９８７３号公報
甲第２号証：実開昭６０−　５６４６１号公報
甲第３号証：特開昭５８−　２２６５７号公報
第３  特許異議申立ての理由の検討
１　甲各号証の記載内容
　甲第１号証乃至甲第３号証には、それぞれ下記の発明乃至技術的事項が記載されていると認める。
(1) 甲第１号証
　研磨方法およびこれに使用する保持治具に関連して、
ア　公報第１頁右欄第８〜１０行
「本発明は薄板状の被加工物の研磨加工における精度、品質を向上させた研磨方法およびこれを実施するための保持治具に関する。」
イ　公報第２頁左上欄第４〜１７行
「第２図は従来の研磨装置の要部を示すもので、保持治具（２）はウエハ（１）を取付ける吸着面（４）の中央部に多孔質の焼結合金からなる減圧路体（５）を埋め込んで吸着部（６）を形成した本体（７）と、吸着面（４）に設けた環状溝に嵌め込まれて、減圧路体（５）の表面である吸着部（６）の外側を囲むパッキン（１０）と、減圧路体（５）に接続した減圧導管（１２）などからなる減圧部材（１３）とから構成されている。回転するラップ（２１）は上面に合成皮革からなるポリシングパッド（２２）が取り付られている。上述の減圧導管（１２）は真空源に連通していて減圧路体（５）の表面である吸着部（６）には多孔質により形成される多数の減圧路（２４）、…の開口（２５）、…が設けられていて真空源により吸着作用を生じる。」
ウ　公報第２頁左上欄第１７〜１９行
「吸着部（６）には、通気孔（２６）を多数設けた弾性部材・・・・が・・・・コーティングされていて」
エ　公報第２頁右上欄第１５〜２０行
「また第３図に示す保持治具（２）は、上述の不都合を解決したものである。なお第２図と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。すなわち、パッキン（３５）は環状に形成され、かつ内周面に段部（３６）を設けたもので、段部（３６）を形成する一面でウエハ（１）の周縁（３３）近傍を支持する」
オ　公報第２頁左下欄第６〜１１行
「パッキン（３５）（例えばゴム）が硬すぎるとウエハ（１）の周縁（３３）がもり上がり、周縁部が余計にポリシングされて加工精度が低下し、軟かすぎるとウエハ（１）周縁部が加工中に逃げるため周縁部がポリシングされず同様に精度が低下するという不都合があり、これらの改良が要望されていた。」
カ　公報第２頁左下欄第１８，１９行
「なお、本明細書において研磨とはポリシング、ラッピングおよびこれらに類する加工方法のことである。」
キ　公報第２頁右下欄第４，５行
「なお被加工物は従来例と同様なウエハである。」
と記載されている。
(2) 甲第２号証
　ウエーハの研磨治具に関連して、第１図及び第２図に、テンプレート３の円孔４にウエーハ７が挿入保持されていることが記載されている。
(3) 甲第３号証
　ウエハのラッピング装置に関連して、公報第２頁左上欄第１２〜１８行に
「保持体４へウエハ３を保持させる際に均一的になっていると考えられるパッド９の含水量はウエハ３の真空吸着動作によって真空孔１１付近では極端に少なくなるとともに、研磨中にはパッド９とウエハ３の界面間及びパッド内部に多量の水（含研磨剤）を含むことによって不均一になることが第２図で示すように実験で明らかとなった。」と記載されている。
２　対比・判断　
(1) 本件発明１について、
　本件発明１と甲各号証記載の発明乃至技術的事項とを比較すると、甲各号証記載の発明乃至技術的事項は、それぞれ本件発明１の構成要件Ａ，Ｂ及びＣについて部分的に共通しているものの、甲各号証には、本件発明１の構成要件Ｄ、特に、「保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、リング状の凹部を設けたこと」については、何等記載されておらず示唆もされていない。
　特許異議申立人は、特許異議申立書において本件発明１の構成要件Ｄに関連しておおよそ次のように主張している。
ア　１の(1)オに示すように、甲第１号証には「パッキン（３５）（例えばゴム）が硬すぎるとウエハ（１）の周緑（３３）がもり上がり、周縁部が余計にポリシングされて加工精度が低下し、軟かすぎるとウエハ（１）周縁部が加工中に逃げるため周縁部がポリシングされず同様に精度が低下するという不都合があり、これらの改良が要望されていた。」と記載されており、このことは、パッキン（３５）（例えばゴム）が、軟らかすぎるとパッドの押圧抵抗が弱くてウエハ（１）周縁部が加工中に逃げるため周縁部がポリシングされない状態ができることを記載している。よって、パッドの前記押圧抵抗を適宜設定すれば、ウエハ（１）の周縁（３３）がもり上がることがない状態が設定可能であることを示唆している。
イ　また、１の(3)に示すように、甲第３号証には、「保持体４へウエハ３を保持させる際に均一的になっていると考えられるパッド９の含水量はウエハ３の真空吸着動作によって真空孔１１付近では極端に少なくなるとともに、研磨中にはパッド９とウエハ３の界面間及びパッド内部に多量の水（含研磨剤）を含むことによって不均一になることが第２図で示すように実験で明らかとなった。」ことが開示されている。よって、第２図を参照すると、真空吸着されることにより水分による抵抗が少なくなり、パッド９がその分薄くなってウエハ３がパッド９側に引かれることが理解され、甲第３号証公報の第３図では、パッド９の周辺側の水分による抵抗を少なくすることによってウエハ３の周辺側がパッド９側に引かれていることが開示されている。
ウ　したがって、ウエハの周縁部のパッドの押圧抵抗がポリシング程度に影響することは公知であり、ウエハ周縁部に対応する部位に空所を設けてウエハ周縁部へのパッドの押圧抵抗を無くすようにすることは当業者が容易に行える設計的事項と思料する。
　しかしながら、たとえ本件発明１の課題やウエハの周縁部のパッドの押圧抵抗がポリシング程度に影響することが公知であったとしても、本件発明１は、ウェーハの縁ダレによる平面精度の悪化を防止するための具体的な構成として甲各号証のいずれにも開示されていない「保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、リング状の凹部を設けたこと」という構成を採用しているのであって、この構成を示唆する格別の証拠も存在しないのに斯く構成することは当業者が容易に行える設計的事項であるとすることはできない。
(2) 本件発明２について、　     　
　本件発明２と甲各号証記載の発明乃至技術的事項とを比較すると、甲各号証記載の発明乃至技術的事項は、それぞれ本件発明２の構成要件Ａ，Ｂ及びＣについて部分的に共通しているものの、甲各号証には、本件発明２の構成要件Ｅ、特に、「保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、当該吸着パッドの他の部分より軟らかい材質を用いたこと」については、何等記載されておらず示唆もされていない。
　特許異議申立人は、特許異議申立書において本件発明２の構成要件Ｅに関連して、甲第１号証には(1)で摘記した事項が記載されており、甲第１号証には、通気孔２６を多数設けた弾性部材である吸着部６の周囲にはパッキン３５が配置され、そのパッキン３５はゴム製の軟らかいパッキン３５を用いることにより、縁ダレが防止されると記載されているから、吸着部６よりパッキン３５部分を軟らかい材質を用いることは当業者が容易に想到することである旨主張している。
　しかしながら、本件発明１についてと同様、本件発明２は、ウェーハの縁ダレによる平面精度の悪化を防止するための具体的な構成として甲各号証のいずれにも開示されていない「保持される薄板状部材の外周縁に対応する前記吸着パッドの部分に、当該吸着パッドの他の部分より軟らかい材質を用いたこと」という構成を採用しているのであって、この構成を示唆する格別の証拠も存在しないのに斯く構成することは当業者が容易に想到することであるとすることはできない。
第４　むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１及び請求項２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年４月２３日（２００１．４．２３）