【事件の表示】
　特許第２９０２９８９号「洗浄装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０２９８９号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
〔１〕本件特許及び本件特許異議事件の手続の経緯
　本件特許第2902989号（以下「本件特許」という。）は、特許法第30条第１項の規定の適用を受けようとする特許出願として出願され、特許されたものであり、本件特許及び本件特許異議事件に係る手続の経緯の概要は、以下のとおりである。
１）本件特許の出願日：平成７年11月15日
２）本件特許権の設定の登録：平成11年３月19日
３）特許掲載公報の発行：平成11年６月７日
４）特許異議の申立て（全請求項に対して）：平成11年11月２日（申立人：ジャパン・フイールド株式会社）
５）取消理由の通知(１)：平成12年３月15日付け（発送日：平成12年３月31日）
６）特許異議意見書：平成12年５月31日付け
７）訂正請求書(１)：平成12年５月31日付け
８）上申書（特許権者）：平成12年６月２日付け
９）訂正請求書に係る手続に対する手続却下理由の通知：平成12年６月８日付け（発送日：平成12年７月４日）
10）同手続却下の決定：平成12年９月６日付け（発送日：平成12年９月26日）
11）取消理由の通知(２)：平成13年１月29日付け（手交日：平成13年２月８日）
12）訂正請求書(２)：平成13年２月８日付け
　
〔２〕訂正の適否の判断
１．平成13年２月８日付け訂正請求書において特許権者の求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
ａ）特許請求の範囲の請求項１を、
「開閉弁(V4,V5)を介して互いに連通している洗浄槽(2)及び単一の貯留槽(3)と、第１の真空弁(V1)を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、かつ前記洗浄槽(2)及び貯留槽(3)を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)と、加熱部(15)を有しており、前記貯留槽(3)から液面調整タンク(16)を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽(4)と、凝縮機構(20)を介して上記蒸気発生槽(4)に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部(23)とを備え、前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽(3)から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており、前記蒸留再生部の動作に並行して、前記真空ポンプの作用によって、前記洗浄槽と前記貯留槽の間の洗浄液の給排液、前記洗浄槽での蒸気洗浄、及び、被洗浄物の真空乾燥を実現していることを特徴とする洗浄装置。」
と訂正する。
ｂ）発明の詳細な説明の段落【0003】中の「開閉弁(V4,V5)を介して互いに連通している洗浄槽(2)及び単一の貯留槽(3)と、前記洗浄槽(2)及び貯留槽(3)を、所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)と、加熱部(15)を有しており、前記貯留槽(3)から導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽(4)と、凝縮機構(20)を介して上記蒸気発生槽(4)に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を、前記貯留槽に供給する蒸留再生部(23)とを備え、・・・」という記載を、「開閉弁(V4,V5)を介して互いに連通している洗浄槽(2)及び単一の貯留槽(3)と、第１の真空弁(V1)を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、かつ前記洗浄槽(2)及び貯留槽(3)を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)と、加熱部(15)を有しており、前記貯留槽(3)から液面調整タンク(16)を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽(4)と、凝縮機構(20)を介して上記蒸気発生槽(4)に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部(23)とを備え、前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽(3)から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており、・・・」と訂正する。
ｃ）発明の詳細な説明の段落【0004】、【0007】、【0009】、【0010】中の「真空弁V1」を「第１の真空弁V1」と訂正する。
ｄ）発明の詳細な説明の段落【0005】、【0008】、【0009】、【0010】中の「真空弁V7」を「第２の真空弁V7」と訂正する。
　
２．上記訂正ａ）は、特許請求の範囲において、「真空ポンプ(8)」の構成（機能）を、「第１の真空弁(V1)を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、かつ前記洗浄槽(2)及び貯留槽(3)を、所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)」である旨限定、「蒸気発生槽(4)」の構成（機能）を「貯留槽(3)から液面調整タンク(16)を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽(4)」である旨限定、さらに、「貯留槽(3)」と「蒸気発生槽(4)」の間に、「前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽(3)から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温される」ものを備えた洗浄装置である旨限定したものであり、訂正事項ｂ）〜ｄ）は、訂正された特許請求の範囲の記載と整合させたものであるから、これらの訂正は、特許法第120条の４第２項ただし書第１号にいう特許請求の範囲の減縮に該当し、また、本件訂正事項は、全体として願書に添付した明細書及び図面の範囲内においてされたものであって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。さらに、本件訂正後の請求項１〜３の記載により特定される発明が特許出願の際独立して特許を受けることができない発明であることもできない。（後述のとおり特許異議の申立ては理由がなく、その他本件訂正後の請求項１〜３の記載により特定される発明が特許を受けることができない発明であるとする理由を発見しない。）ので、本件訂正は、特許法第120条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第126条第２〜４項の規定に適合する。
　したがって、本件訂正を認める。
　
〔３〕特許異議申立てに対する判断
１．本件発明は、その特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「請求項１
　開閉弁(V4,V5)を介して互いに連通している洗浄槽(2)及び単一の貯留槽(3)と、第１の真空弁(V1)を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、かつ前記洗浄槽(2)及び貯留槽(3)を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)と、加熱部(15)を有しており、前記貯留槽(3)から液面調整タンク(16)を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽(4)と、凝縮機構(20)を介して前記蒸気発生槽(4)に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部(23)とを備え、前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽(3)から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており、前記蒸留再生部の動作に並行して、前記真空ポンプの作用によって、前記洗浄槽と前記貯留槽の間の洗浄液の給排液、前記洗浄槽での蒸気洗浄、及び、被洗浄物の真空乾燥を実現していることを特徴とする洗浄装置。
　請求項２
　前記真空ポンプには、その入力部にリーク弁が設けられており、真空乾燥時には、前記リーク弁を開閉動作させることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
　請求項３
　前記貯留槽から前記洗浄槽に洗浄液が供給されるとき、洗浄液が洗浄槽の壁面全体に広げて流すか、或いは、霧状などに広げることによって脱気することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置。」
　
２．これに対して、異議申立ての理由は、「本件請求項１乃至３に係る特許発明は、甲第２号証乃至甲第８号証に記載された発明と同一又はこれらの発明から容易に発明できたものであり、特許出願前に日本国内に於いて公然知られ、公然実施され又日本国内で頒布された刊行物に記載されたものである。従って、特許法第113条第２号の規定により取り消すべきものである。」というにある。
（証拠方法）
甲第１号証：特許第2902989号公報（本件特許公報）
甲第２号証：日刊工業新聞、1995年(平成７年)３月23日号、第20面
甲第３号証：本件特許の特許出願時に提出された、願書及び発明の新規性の喪失の例外の規定の適用を受けるための証明書
甲第４号証：アクア化学株式会社のカタログ「コンセプト−ヴィ、仕上リンスも熱風乾燥もいらない新技術！！」
甲第５号証：ジャパン・フィールド株式会社からアクア化学株式会社宛の平成６年10月19日付け警告書
甲第６号証：弁理士清水修宛の郵便物配達証明書
甲第７号証：特開平5-123658号公報
甲第８号証：特開平7-155505号公報
　
３．そこで、甲号各証について検討する。
(１)甲第２号証所載のアクア化学株式会社の「炭化水素系真空超音波蒸気洗浄機」に係る広告中には、「仕上リンスも熱風乾燥もいらない新技術」と題して、フロー図とともに、
「コンセプト−Vの特徴
・装置内はすべて真空環境で使用することから、溶剤の引火に必要な酸素濃度レベルに無く、本質的な安全性が常に確保されています。
・溶剤の引火点以上の液加温でも安全に使用できるため、溶解力に優れた脱脂洗浄効果が得られます。
・微細な隙間に介在する空気と入れかわり洗浄液が浸透するため、被洗浄物の形状や密着状態に拘わらずムラの無い洗浄ができます。
・蒸気洗浄では多量の洗浄液を必要とせず、大型部品の洗浄や精密仕上げ洗浄できるため、液保有量や洗浄工程数の削減に貢献します。
・ワークは蒸気熱により素早く自熱乾燥させるため、熱風ヒーター乾燥機や従来の乾燥時間も不要になり、シミの無い完璧な乾燥状態が得られます。
・すべての行程が真空クローズドシステムのため、液消耗量もトリエタンの30％と低く、汚染された洗浄液を浄化再生する蒸留再生機能（80l/hr）も内蔵しております。」
旨記載されている。
　この甲第２号証に記載された発明を本件各発明と対比すると、甲第２号証に記載されたものは、「開閉弁を介して互いに連通している洗浄槽及び単一の貯留槽と、第１の真空弁を通して前記洗浄槽に接続され洗浄槽及び貯留槽を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ、加熱部を有し貯留槽から導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽、蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に貯留槽に供給する蒸留再生部とを備え、蒸留再生部の動作に並行して真空ポンプの作用によって洗浄槽と貯留槽の間の洗浄液の給排液、洗浄槽での蒸気洗浄、及び、被洗浄物の真空乾燥を実現する」構成を具備している点では本件各発明と一部共通するものと認められるが、本件各発明の、「第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、貯留槽(3)を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)」及び「貯留液から液面調整タンク(16)を経由して導入された・・・蒸気発生槽(4)」を有するとともに、「液面調整タンクと蒸気発生槽とを、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とし、貯留槽(3)から液面調整タンクに導入される洗浄液を、蒸気発生槽と洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温されるように」する構成に関しては、甲第２号証には記載も示唆もない。
　したがって、本件各発明が甲第２号証に記載された発明であるとはいえない。
　
(２)甲第３号証は、本件特許の特許出願時に提出された、特許法第30条第１項の規定の「発明の新規性の喪失の例外の規定の適用を受けるための証明書」であるが、それに添付された刊行物に係る「メカトロニクス」1995年６月号第34〜36頁、アクア化学(株)和田龍一「炭化水素溶剤の真空超音波・蒸気リンス・自熱乾燥技術」（株式会社技術調査会、平成７年５月１５日発行）には、炭化水素溶剤の真空超音波・蒸気リンス・自熱乾燥技術に関して、図１〜４とともに、
ａ）「蒸留再生器は真空蒸留釜(D)と真空冷却ユニット(E)及び蒸留釜の間接加熱器(F)とで構成されており、蒸留釜には常時20l程度の洗浄液を貯留し、約60Torrの真空度で毎時80l以上の連続再生をさせることができる（当社製洗浄溶剤アクアソルベントG使用データ）。蒸留釜は洗浄液貯槽より洗浄液を自吸し、間接加熱で発生させた高純度蒸気は、蒸気洗浄用に洗浄槽へ導入される。または真空冷却ユニットに直接導入して液化冷却されるが、いずれも再生洗浄液として洗浄液貯槽へ返送することにより還流している。これらの独立したユニットが「コンセプトV」を構成し、機能的に接続された配管は真空対応形のエアバルブでコントロールされる。」（第34頁中欄第３〜17行）旨、
ｂ）「1)洗浄
　被洗浄物を投入する洗浄槽は、まず洗浄液がない状態で減圧される。この圧力差により洗浄液貯槽より洗浄液が瞬時（毎秒10ｌ）に洗浄槽へ給液され超音波洗浄が開始される。洗浄完了後給液時と同じ圧力差と時間で、洗浄液は元の液貯槽に排液される。
2)リンス
　洗浄液の排出された洗浄槽には、蒸留再生器より発生する高純度蒸気が導入され、この蒸気洗浄によって高精度な仕上げリンスをしながら、同時に自熱乾燥に必要な熱エネルギーを効率よく与えられることになる。また蒸気洗浄以外の間は、本来の洗浄液連続再生として機能する。
3)乾燥
　次に、乾燥機内の真空度を高めることにより被洗浄物に残留した洗浄液（被洗浄物に結露した炭化水素蒸気）は、被洗浄物のもつ自熱と急激な蒸気圧差だけで瞬時に沸騰乾燥してしまう。乾燥完了後の洗浄槽は、投入前と同様に洗浄液のない状態で大気に戻され、被洗浄物を排出する。」（第34頁中欄第19行〜右欄第２行）旨、などが記載されている。
　しかしながら、このものは、甲第２号証に記載されたアクア化学株式会社の「炭化水素系真空超音波蒸気洗浄機」と同様のものと認められ、前述した本件各発明の、「第２の真空弁(V7)を通して前記貯留槽(3)に接続され、貯留槽(3)を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ(8)」に係る構成、及び、「貯留液から液面調整タンク(16)を経由して導入された・・・蒸気発生槽(4)」を有するとともに、「液面調整タンクと蒸気発生槽とを、連通管(17)を介して接続されて同じ圧力とし、貯留槽(3)から液面調整タンクに導入される洗浄液を、蒸気発生槽と洗浄槽とを接続する蒸気出力管(18)に設けられた加熱部によって、予め加温されるように」する構成に関しては、記載も示唆もない。
　したがって、本件各発明が甲第３号証に添付された刊行物に記載された発明であるとはいえない。
　（なお、本件発明は、甲第３号証に添付された刊行物に記載された発明とはいえない、すなわち旧特許法第30条第１項にいう刊行物に発表した発明であるとはいえないので、本件特許は、旧特許法第30条第１項の規定の適用を受けることができないものであると認める。）
　
(３)次に、甲第４号証に係るカタログは、その頒布日が明らかでないが、そこに記載されたものは甲第２号証に記載されたアクア化学株式会社の「炭化水素系真空超音波蒸気洗浄機」と同様のものと認められ、前述した本件各発明の構成に関しては、記載も示唆もない。
  したがって、本件各発明が甲第４号証に添付された刊行物に記載された発明であるとはいえない。
　
(４)甲第７号証には、「被洗浄物の洗浄方法およびその装置」に関して、図１〜３とともに、
ａ）「本発明は、電子部品、機械部品、プリント基板等の被洗浄物の洗浄方法およびその装置に係るものである。」（段落【0001】）旨、
ｂ）「(1)は蒸気発生槽で、溶剤(2)を加熱する加熱機構(3)を設けて、蒸気発生部(4)としている。この加熱機構(3)は溶剤(2)中に位置させた加熱コイル(5)内に加熱スチームを導入して行う。この加熱スチームは、供給源から電磁弁(6)、ニードルバルブ(7)を介して加熱コイル(5)に導入し、この加熱コイル(5)を介して溶剤(2)と熱交換を行った後、凝縮した水分を、スチームトラップ(8)を介して外部に排出する。」（段落【0025】）旨、
ｃ）「この第３実施例は、図３に示すごとく洗浄槽(38)の溶剤(2)の液面よりも上部に、第１開閉弁(48)を介して外気に連通する連結管(50)を接続する。また、この連結管(50)には、第２開閉弁(51)を介して溶剤(2)の貯留槽(52)の上部空間に連通管(53)を接続している。…また、洗浄槽(38)は、下部に第３開閉弁(54)を介して溶剤(2)の貯留槽(52)を接続し、洗浄槽(38)内の溶剤(2)を貯留槽(52)に抜き取り可能としている。また、貯留槽(52)に抜き取った溶剤(2)は、ポンプ(55)とフィルター(56)を介して洗浄槽(38)に還流可能としている。…また、洗浄槽(38)の凝縮部(16)の上部に接続した吸引管(57)の第４開閉弁(58)を介して凝縮器(26)に接続している。また、凝縮器(26)と蒸気発生器(1)とは第５開閉弁(59)を介して連通している。また、凝縮器(26)と蒸気発生槽(1)とは、内径を小さくした管をコイル状に形成した安全用バイパス(61)により常時連通している。」（段落【0041】、【0042】、【0043】）旨、などが記載されている。
　これを本件各発明対比すると、甲第７号証に記載されたものは、「開閉弁を介して互いに連通している洗浄槽及び単一の貯留槽、洗浄槽を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ、加熱部を有し貯留槽から導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽、凝縮機構を介して蒸気発生槽に接続され蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部」を具備している点で本件各発明と一部共通するものであると認められるが、前述した本件各発明の主要な構成については、記載も示唆もない。
　したがって、本件各発明が甲第７号証に記載された発明であるとはいえない。
　
(５)甲第８号証には、液体中からの空気抜方法と装置が記載されるにすぎず、上述した本件各発明の主要な構成については、記載も示唆もない。
　したがって、本件各発明が甲第８号証に記載された発明であるとはいえない。
　
(６)なお、甲第５号証はジャパン・フィールド株式会社からアクア化学株式会社宛の平成６年10月19日付けの警告書であり、甲第６号証は弁理士清水修宛の郵便物配達証明書であり、これらを併せもってしても、本件各発明が、特許出願前に日本国内において公然知られ、公然実施され、又は日本国内で頒布された刊行物に記載されたものであるとすることは、到底できない。
　
(７) また、甲号各証のいずれにも、上述した本件各発明の主要な構成については記載も示唆もないのであるから、甲号各証に記載された発明を併せもってしても、本件各発明に到達することにもならない。
  しかも、本件各発明は、明細書に記載される、「すべての行程が真空環境で行われるため、引火に必要な酸素濃度になく、本質的な安全性が確保される。」、「高純度蒸気による仕上げ洗浄が、洗浄ムラを無くし、炭化水素洗浄の用途範囲と洗浄度のワクを最大限に広げた。」、「蒸留蒸気の熱エネルギーだけを利用した自熱乾燥方式にため、熱風や輻射熱などの危険性の高い乾燥熱とエネルギーが一切不要となった。」、「蒸気圧を利用した高真空乾燥により、あらゆる形状・姿勢の被洗浄物でも高速乾燥することができる。」、「全システムが真空クローズドのため洗浄液の持ち出しや自然消耗が殆どない。」、「被洗浄物には、同時に、自熱乾燥に必要な熱エネルギー効率よく与えられる。」という、甲号各証に記載された発明に比して有利な効果を奏するものと認められる。
  したがって、本件各発明が甲第２号証乃至甲第８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
  
〔４〕むすび
　以上のとおりであるから、本件特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜３に係る特許を取り消すことはできない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月６日（２００１．３．６）
【訂正の要旨】
ａ）特許請求の範囲の請求項１を、
「開閉弁（Ｖ４，Ｖ５）を介して互いに連通している洗浄槽（２）及び単一の貯留槽（３）と、第１の真空弁（Ｖ１）を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁（Ｖ７）を通して前記貯留槽（３）に接続され、かつ前記洗浄槽（２）及び貯留槽（３）を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ（８）と、加熱部（１５）を有しており、前記貯留槽（３）から液面調整タンク（１６）を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽（４）と、凝縮機構（２０）を介して上記蒸気発生槽（４）に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部（２３）とを備え、前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管（１７）を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽（３）から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管（１８）に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており、前記蒸留再生部の動作に並行して、前記真空ポンプの作用によって、前記洗浄槽と前記貯留槽の間の洗浄液の給排液、前記洗浄槽での蒸気洗浄、及び、被洗浄物の真空乾燥を実現していることを特徴とする洗浄装置。」
と訂正する。
ｂ）発明の詳細な説明の段落【０００３】中の「開閉弁（Ｖ４，Ｖ５）を介して互いに連通している洗浄槽（２）及び単一の貯留槽（３）と、前記洗浄槽（２）及び貯留槽（３）を、所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ（８）と、加熱部（１５）を有しており、前記貯留槽（３）から導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽（４）と、凝縮機構（２０）を介して上記蒸気発生槽（４）に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構にようて液化された洗浄液を、前記貯留槽に供給する蒸留再生部（２３）とを備え、・・・」という記載を、「開閉弁（Ｖ４，Ｖ５）を介して互いに連通している洗浄槽（２）及び単一の貯留槽（３）と、第１の真空弁（Ｖ１）を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁（Ｖ７）を通して前記貯留槽（３）に接続され、かつ前記洗浄槽（２）及び貯留槽（３）を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプ（８）と、加熱部（１５）を有しており、前記貯留槽（３）から液面調整タンク（１６）を経由して導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽（４）と、凝縮機構（２０）を介して上記蒸気発生槽（４）に接続され、前記蒸気発生槽を減圧状態に維持すると共に、前記凝縮機構によって液化された洗浄液を前記貯留槽に供給する蒸留再生部（２３）とを備え、前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管（１７）を介して接続されて同じ圧力とされ、前記貯留槽（３）から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管（１８）に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており、・・・」と訂正する。
ｃ）発明の詳細な説明の段落【０００４】、【０００７】、【０００９】、【００１０】中の「真空弁Ｖ１」を「第１の真空弁Ｖ１」と訂正する。
ｄ）発明の詳細な説明の段落【０００５】、【０００８】、【０００９】、【００１０】中の「真空弁Ｖ７」を「第２の真空弁Ｖ７」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
洗浄装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　開閉弁（Ｖ４，Ｖ５）を介して互いに連通している洗浄槽（２）及び単一の貯留槽（３）と、
第１の真空弁（Ｖ１）を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁（Ｖ７）を通して前記貯留槽（３）に接続され、かつ
液面調整タンク（１６）を経由して
　
前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管（１７）を介して接続されて同じ圧力とされ
前記貯留槽（３）から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する蒸気出力管（１８）に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており
　【請求項２】　前記真空ポンプには、その入力部にリーク弁が設けられており、真空乾燥時には、前記リーク弁を開閉動作させることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
　【請求項３】　前記貯留槽から前記洗浄槽に洗浄液が供給されるとき、洗浄液が洗浄槽の壁面全体に広げて流すか、或いは、霧状などに広げることによって脱気することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、炭化水素溶剤を用いて電子部品や機械部品などを洗浄する洗浄装置に関し、特に、超音波洗浄から仕上げリンス及び乾燥までの一連の洗浄動作を円滑に実現する高性能の洗浄装置に関する。
　【０００２】
　【発明が解決しようとする課題】
　フロンやトリエタンの全廃を目前に控えて、理想的な代替洗浄剤の開発が進まない中、汎用性や価格上の利点から、水溶性洗剤や炭化水素溶剤への切替えが積極的に推進されている。その中でも溶剤系洗浄液の簡便さから炭化水素溶剤が注目される。
　しかしながら、炭化水素洗浄溶剤は、その性質上、引火性・脱脂性・乾燥性などの本質的な問題を有しており、これを用いた高性能の洗浄装置は存在しなかった。例えば、従来の炭化水素洗浄では、洗浄後に仕上げ洗浄と液切りの工程があり、その後、熱風乾燥によって洗浄処理を完了するが、これでは、被洗浄物に付着する洗浄液の汚染物質が、熱乾燥によって凝縮残留してしまうことになる。
　本発明は、この問題点に着目してなされたものであって、炭化水素溶剤を用いて超音波洗浄から仕上げリンス及び乾燥までの一連の洗浄動作を一槽で円滑に実現することのできる高性能の洗浄装置を提供することを目的とする。
　【０００３】
　【課題を解決するための手段】
　上記の目的を達成するため、請求項１に係る発明では、開閉弁（Ｖ４，Ｖ５）を介して互いに連通している洗浄槽（２）及び単一の貯留槽（３）と、
第１の真空弁（Ｖ１）を通して前記洗浄槽に接続され、第２の真空弁（Ｖ７）を通して前記貯留槽（３）に接続され、かつ
液面調整タンク（１６）を経由して
前記液面調整タンクと前記蒸気発生槽とは、連通管（１７）を介して接続されて同じ圧力とされ
前記貯留槽（３）から前記液面調整タンクに導入される洗浄液は、前記蒸気発生槽と前記洗浄槽とを接続する抜気出力管（１８）に設けられた加熱部によって、予め加温されるようになっており
　本発明では、所定の速度で所定レベルまで減圧可能な高性能の真空ポンプを備えているので、洗浄槽と貯留槽の間の洗浄液の給排液だけでなく、洗浄槽での蒸気洗浄を円滑に実現することができ、しかも、その後の被洗浄物の真空乾燥を迅速に完了させることができる。但し、真空度を高め過ぎると、蒸発潜熱によって被洗浄物の温度が低下しすぎることになるので、真空ポンプの入力部にリーク弁を設け、これを開閉動作しつつ真空乾燥するのが好適である。また、超音波洗浄に先立って、貯留槽から洗浄槽に洗浄液が供給されるとき、洗浄液が洗浄槽の壁面全体に広げて流すか、或いは、霧状などに広げることによって脱気すると、超音波洗浄の効果を更に高めることができる。また、従来装置の場合、被洗浄物の形状によっては、穴袋のエアポケットなどに洗浄液が入り込まず、洗浄できないのが一般的であったが、本発明では、真空ポンプによって、先ず洗浄槽を減圧することができるので、この時にエアポケット内などの空気を抜き去ることができ、その後、瞬時に大気圧に戻すことで細部にわたって洗浄液を流入させることができる。つまり、エアポケットを有する被洗浄物や、密着性の高い被洗浄物の隙間にも確実に洗浄液を流入させることができ、洗浄不良の問題が解消される。
　【０００４】
　【発明の実施の態様】
　以下、実施例に基づいて、この発明を更に詳細に説明する。
　図１は、この発明の一実施例である洗浄装置１を図示したものである。この洗浄装置１は、密閉シャッター付きの洗浄槽２と、洗浄液を蓄える洗浄液タンク３と、洗浄液の蒸留釜として機能する蒸気発生槽４と、開閉弁Ｖ１〜Ｖ９とを中心的に備えている。洗浄槽２と洗浄液タンク３は、ともに１Ｔｏｒｒ以下の真空度に対応できる液槽であり、洗浄槽２では、超音波洗浄や蒸気洗浄を行うようになっている。なお、洗浄液の種類は、特に限定されないが、可燃性液体である炭化水素溶剤を用いることができる。
　洗浄槽２は、その内部に超音波発振器５を備えると共に、壁面全周にわたって凝縮器６を備えており、蓋体７によって適宜に密閉されるようになっている。また、洗浄槽２は、
第１の
　【０００５】
　洗浄槽２と洗浄液タンク３とは、洗浄液導入管１１と洗浄液排出管１２と凝縮回収管１３とで接続されており、洗浄液導入管１１と洗浄液排出管１２には、それぞれ、洗浄液導入弁Ｖ４と洗浄液排出弁Ｖ５が設けられている。また、洗浄液タンク３には、凝縮器１４が設けられると共に、大気開放弁Ｖ６が設けられている。なお、真空ポンプ８の入力側と洗浄液タンク３とは、
第２の
　蒸気発生槽４には、オイルヒータ１５ａやポンプなどによる加熱部１５が設けられており（スチームを使用しても良い）、洗浄液の沸点と内部圧力とに対応した所定温度で加熱することにより、洗浄液の蒸気を常に発生させている。そして、蒸発によって減少する洗浄液は、液面調整タンク１６から補給されるようになっている。また、蒸気発生槽４と液面調整タンク１６とは、連通管１７を介して接続されており、蒸気発生槽４の内部圧力と同じ圧力での安定的な液供給を可能にしている。
　蒸気発生槽４と洗浄槽２は、蒸気出力管１８によって接続されており、蒸気導入弁Ｖ８によって連通状態が制御される。また、蒸気出力管１８には、加温部１９が設けられており、洗浄液タンク３から液面調整タンク１６に導入される洗浄液が予め加温されるようになっている。
　蒸気発生槽４はまた、蒸留再生弁Ｖ９を介してコンデンサ２０に接続されており、コンデンサ２０の出力側は、エゼクタータンク２１や循環ポンプ２２などで構成されたエゼクター２３に接続されている。その為、蒸気発生槽４で発生した洗浄液の蒸気は、コンデンサ２０で液化された後、エゼクター２３によって吸引されてセパレートタンク２１に導入される。このように、この洗浄装置１では、蒸気発生槽４→コンデンサ２０→エゼクター２３→洗浄液タンク３→加温器１９→液面調整タンク１６からなる蒸留再生ラインが形成されている。なお、洗浄液の種類に応じて異なるが、蒸気発生槽４は、エゼクター２３によって５００〜６５０ｍｍＨｇ程度の減圧状態になっており、洗浄液の沸点を低下させた状態で、効率のよい蒸留再生が行われている。
　【０００６】
　以上、図１に示す洗浄装置１について、主として機器構成を説明したので、次に、洗浄装置１の動作内容について説明する。
〔蒸留再生動作〕
　洗浄装置１は、洗浄槽２において超音波洗浄や蒸気洗浄が行われるが、この洗浄動作に並行して、上記した蒸留再生ラインにおいて、汚染物質を含んだ洗浄液の蒸留再生を行っている。
　すなわち、洗浄後の汚染物質を含んだ洗浄液は、洗浄液タンク３に貯留されるが、この洗浄液（混合液）は、加温部１９において予め加温された状態で蒸気発生槽４に供給される。蒸気発生槽４は、混合液から当該洗浄液のみを蒸発させることにより、純粋な洗浄液を抽出する蒸留釜であるが、エゼクター２３によって所定の減圧状態に維持されているので、内部の洗浄液は、比較的低沸点で沸騰させることができる。
　蒸気発生槽４において発生した洗浄蒸気は、加温部１９で熱交換した後、蒸留再生弁Ｖ９を介してコンデンサ２０に伝えられて液化される。そして、エゼクター２３により吸引されてエゼクタータンク２１に導入される。エゼクタータンク２１に貯留される洗浄液は、蒸留再生された高純度の洗浄液であるから、これが洗浄液タンク３に導入されることにより、洗浄液タンク３内の洗浄液の純度が上がることになる。以上の通り、この洗浄装置１では、蒸気発生槽４→コンデンサ２０→エゼクター２３→洗浄液タンク３→蒸気発生槽４からなる蒸留再生ラインが形成されており、洗浄によって混入する汚染物質を蒸気発生槽４に集積させることによって、蒸気液タンク３の洗浄液の純度を維持している。
　【０００７】
〔超音波洗浄〕
　続いて、洗浄槽２における超音波洗浄の手順について説明する。
　洗浄槽２に被洗浄物を投入して蓋体７を密閉したら、最初に、
第１の
第１の
　すると、洗浄槽２が減圧状態であることから、洗浄液タンク３の洗浄液は、１秒間に１０リットル以上、洗浄液導入管１１を通って洗浄槽２に供給される。この時、スプレーノズルを通して洗浄槽２の壁面全体に洗浄液を膜状に供給するか、或いは、スプレーノズルからの洗浄液を霧状、フラット状、又は円錐状などにして液表面積を大きくして真空下にさらすことにより、洗浄液の溶存気体（酸素）を脱気させる。なお、この脱気処理により、６〜７ｐｐｍの溶存酸素が１〜２ｐｐｍ程度まで減少し、音圧測定によると音圧が８ｍＶから１８ｍＶまで上昇することが実験的に確認されている。
　【０００８】
　その後、洗浄液導入弁Ｖ４と大気開放弁Ｖ６を閉じて、超音波発振器５を動作させて洗浄槽２内の被洗浄物を超音波洗浄する。前述したように、この洗浄液からは、キャビテーションを阻害する溶存酸素が除去されているので、強力な洗浄力を発揮する。また、エアポケット部や被洗浄物の隙間にも、確実に洗浄液が行き渡っているので、高性能の超音波洗浄が実現される。なお、この超音波洗浄の動作中、
第２の
　超音波洗浄が完了すると、洗浄槽２の大気開放弁Ｖ２と、洗浄液排出管１２の洗浄液排出弁Ｖ５とを共に開放して、洗浄槽２の洗浄液を洗浄液タンク３に回収する。このように、本発明の洗浄装置１では、洗浄液タンク３と洗浄槽２の気圧差を利用して、洗浄液の供給や排出を行っているので、ポンプなどの動力機器を用いる場合より安全であり、迅速に給排液の動作を終えることができる。
　【０００９】
　〔蒸気洗浄（仕上げリンス）〕
　蒸気洗浄を行う場合は、続いて、
第１の
第１の
　次に、蒸気導入弁Ｖ８、洗浄液排出弁Ｖ５、及び
第２の
　なお、上記の説明では、洗浄槽２と洗浄液タンク３とを連通させ、液化した洗浄液を直接的に回収したが、洗浄槽２からコンデンサ２０を通してエゼクタータンク２１に回収するようにしても良い。この場合には、蒸気導入弁Ｖ８と蒸気排出弁Ｖ５’のみを開放して、洗浄槽２の洗浄蒸気をコンデンサ２０に回収するので、凝縮器１４を省略することができるが、所定の減圧状態を維持するためには洗浄動作中に蒸留再生弁Ｖ９を閉じる必要があり、蒸留再生と蒸気洗浄とを並行処理できないという不利がある。
　【００１０】
　〔真空乾燥〕
　続いて、洗浄液排出弁Ｖ５と
第２の
第１の
　この真空乾燥を行う場合、被洗浄物に付着した溶剤は沸騰乾燥するが、反面、蒸気潜熱によって被洗浄物の表面温度を急激に低下させることにもなる。そこで、被洗浄物の表面温度をあまり低下させることがないよう、真空度調整弁Ｖ３を適宜に開閉制御して、被洗浄物の材質、形状、寸法などを考慮した最適な真空乾燥を実現している。
　以上説明したように、本発明に係る洗浄装置１では、次のような種々のすぐれた特徴を有している。すなわち、▲１▼すべての工程が真空環境で行われるため、引火に必要な酸素濃度になく、本質的な安全性が確保される。▲２▼高純度蒸気による仕上げ洗浄が、洗浄ムラを無くし、炭化水素洗浄の用途範囲と洗浄度のワクを最大限に広げた。▲３▼蒸留蒸気の熱エネルギーだけを利用した自熱乾燥方式のため、熱風や輻射熱など危険性の高い乾燥熱とエネルギーが一切不要となった。▲４▼蒸気圧を利用した高真空乾燥により、あらゆる形状・姿勢の被洗浄物でも高速乾燥することができる。▲５▼全システムが真空クローズドのため洗浄液の持ち出しや自然消耗が殆どない。
　【００１１】
　【発明の効果】
　本発明は、開閉弁を介して連通している洗浄槽及び貯留槽と、洗浄槽及び貯留槽を所定の速度で所定レベルまで減圧可能な真空ポンプと、貯留槽から導入された洗浄液を常時に加熱している蒸気発生槽と、蒸気発生槽を減圧すると共に、凝縮機構により液化された洗浄液を貯留槽に供給する蒸留再生部とを備えているので、炭化水素溶剤を用いて超音波洗浄から仕上げリンス及び乾燥までの一連の洗浄動作を円滑に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例である洗浄装置を図示したものである。
　【符号の説明】
２　　　　　洗浄槽
３　　　　　洗浄液タンク（貯留槽）
４　　　　　蒸気発生槽
８　　　　　真空ポンプ
１５　　　　加熱部
２０　　　　コンデンサ（凝縮機構）
２３　　　　エゼクター（蒸留再生部）
Ｖ４，Ｖ５　開閉弁