【事件の表示】
　特許第２９１３０６０号「窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉およびこれを用いた焼成方法」の請求項１及び２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９１３０６０号の請求項１及び２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第２９１３０６０号は、平成１年１２月２８日に出願され、平成１１年４月１６日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、高柳馨より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年６月５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
　この訂正請求は、特許請求の範囲の減縮を目的として、特許請求の範囲の請求項１及び２を、
「（１）平均粒径が１０〜３００μｍで、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉。
（２）窒化アルミニウムを主成分とする成形体を、平均粒径が１０〜３００μｍで、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなる敷粉を介在させて支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムセラミックスの焼成方法。」から、
「（１）平均粒径が１０〜３００μｍ、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下で、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉。
（２）窒化アルミニウムを主成分とする成形体を、平均粒径が１０〜３００μｍ、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下で、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなる敷粉を介在させて支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムセラミックスの焼成方法。」と訂正するものである。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項は、請求項１及び２の「平均粒径が１０〜３００μｍ」を「平均粒径が１０〜３００μｍ、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下」と訂正するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、しかも、特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．独立特許要件の判断
（本件訂正発明）
　訂正後の特許請求の範囲の請求項１及び２に係る発明（以下、「訂正発明１、２」という）は、平成１２年６月５日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書の上記２−１．に示す特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるとおりのものである。
（取消理由通知の概要）
　当審が通知した平成１２年３月１７日付けの取消理由の概要は、本件請求項１及び２に係る発明は、下記引用刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
（引用刊行物の記載内容）
引用例１：特開平１−１０８１６９号公報
（イ）「主に窒化アルミニウム粉末からなる成形体相互間に、前記成形体の焼成温度よりも高い温度で仮焼した１００〜２５０メッシュの粒度を有する窒化アルミニウム粉末を層状に配置して、前記窒化アルミニウム成形体を焼結することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法」（第１頁左欄特許請求の範囲の項）
（ロ）「本発明に用いる焼結法としては、焼成容器内に焼結すべき窒化アルミニウム粉末成形体を収納し、この収納容器を蓋体で密封し、Ｎ２ガス雰囲気下で、１７００〜１９００℃で焼成して窒化アルミニウム成形体を焼結する常圧焼結法が用いられる。」（第２頁下段右欄第６行乃至第１０行）
（ハ）「また、２５０メッシュより細かい粒度の窒化アルミニウム粉末から得られる敷粉の場合には、窒化アルミニウム成形体を相互に固着させるため好ましくない。」（第３頁下段左欄第１６行乃至右欄第２行）
引用例２：特開平１−１８３４６６号公報
「窒化アルミニウムの熱伝導率は不純物酸素の存在によって著しく低下する。特に窒化アルミニウムは酸素と反応しやすく、その粉末表面には大気中の酸素や水分による、酸素量に換算して数重量パーセントの酸化物層や水酸物層が不可避的に存在する。この粉末中の不純物酸素は焼結途中で窒化アルミニウムと反応し低熱伝導相である酸窒化物を生成する。」（第１頁右欄第１７行乃至第２頁上段左欄第４行）
（当審の判断）
　引用例１には、平均粒径が１００〜２５０メッシュ（６１〜１５２μｍ）の窒化アルミニウム粉末の敷粉が記載されているが、この敷粉の酸素含有量については何ら記載がない。
　また、引用例２も、「窒化アルミニウム焼結体の製造法」に関するものであって、そこには、窒化アルミニウムの性質として、酸素と反応しやすく酸窒化物を生成し易いこと、したがって不純物酸素が多く存在すると窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率が低下すること等について記載されてはいるが、「敷粉」や本件訂正発明１の課題とする窒化アルミニウム焼結体と敷粉との固着防止の点については何ら示唆されていない。
　してみると、引用例１及び２は、窒化アルミニウム焼結体と敷粉との固着防止のために、敷粉の「酸素含有量を１０重量％以下」とする点については何ら示唆するものではないから、本件訂正発明１は、上記引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　また、本件訂正発明２も、本件訂正発明１の「敷粉」を使用した「焼成方法」に係る発明であるから、上記引用例１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　したがって、本件訂正発明１及び２は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
２−４．むすび
　以上のとおり、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．特許異議申立人の主張　
　特許異議申立人は、証拠方法として、下記甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、本件請求項１及び２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、又は甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項に違反してなされたものであり、取り消されるべきものであると主張している。
３−２．証拠の記載内容
甲第１号証：特開昭５９−２０７８８３号公報
（イ）「窒化アルミニウム粉末に易蒸発性の焼結助剤を添加した後、成形する工程と、この成形体を該成形体と同組成もしくは添加物過剰の組成からなる粉末で被覆した後常圧焼結する工程とを具備したことを特徴とする窒化アルミ二ウム焼結体の製造方法」（第１頁左欄特許請求の範囲の項）
（ロ）「まず、窒化アルミニウム粉末に易蒸発性の焼結助剤を添加し、・・・造粒、整粒を行なう。・・・次いで、前記造粒粉を金型成形法、静水圧プレス法、その他シート成形法等により成形する。つづいて、成形体を該成形体と同組成もしくは焼結助剤過剰組成の粉末が充填された黒鉛製容器に埋め込み、脱脂（バインダー除去）の後常圧焼結を行う。」（第２頁上段右欄第１１行乃至下段左欄第９行）
（ハ）「ここに用いる充填用の窒化アルミニウム粉末としては数十μｍ程度の大きな粒子を使用する場合と、成形体の出発材料である窒化アルミニウム粉末と同程度の微細な粒子を使用する場合とがある。充填用粉末の粒度選定については、一概に限定できないが、成形体の形状が比較的複雑な場合、或いは焼結時の変形を極力抑制したい場合には比較的細かい粒径（例えば０．１〜数μｍ）にすることが望ましい。・・・一方、成形体の形状が単純な場合には粗い粒子を使用することによって充填用粉末自体の焼結や焼結体への固着を防止できる。」（第２頁下段左欄第９行乃至右欄第２行）
（ニ）「実施例２と同組成のＡｌＮ−ＣａＣＯ３粉末を１７００℃で熱処理した後、乳鉢で１０〜５０μｍ程度に粉砕し、これを黒鉛製容器に充填した。つづいて、この容器内に実施例１と同様な脱脂成形体を埋め込み．蓋を用いて容器を密封した後、実施例１と同様に常圧焼結してＡｌＮ焼結体を製造した。」（第３頁下段右欄第１６行乃至第４頁上段左欄第１行）
甲第２号証：上記引用例１と同じである。
甲第３号証：特開昭６３−２７７５６９号公報
「ａ）不純物酸素量が７重量％以下であり、平均粒径が０．０５〜５μｍである窒化アルミニウム粉末と、アルカリ土類元素の重量換算で０．０１〜１５重量％のアルカリ土類化合物とを混合したのち成形した成形体、または・・・化合物相を含む焼結体を、
ｂ）窒素ガスを含む還元雰囲気中で
ｃ）１５５０〜２０５０℃で４時間以上焼成することを特徴とした高熱伝導性窒化アルミ二ウム焼結体の製造方法。」（第１頁左欄特許請求の範囲の項）
３−３．当審の判断
　甲第１号証には、「窒化アルミニウムの充填用粉末」や「窒化アルミニウムの敷粉」に関する記載は見受けられるが、「窒化アルミニウムの敷粉」の酸素含有量に関する記載は一切ないから、本件訂正発明１は、甲第１号証に記載された発明であるとすることができない。
　また、甲第２号証については、上記「２−３．独立特許要件の判断」の項で言及したとおりである。
　さらに、甲第３号証について検討すると、この証拠には、不純物酸素含有量を規制することが示唆されてはいるものの、その規制の目的は熱伝導性等の観点からのものであり、本件訂正発明１の「敷粉」やその課題である窒化アルミニウム焼結体と敷粉との固着防止の点については何ら示唆されていない。
　してみると、甲第１号証乃至甲第３号証は、窒化アルミニウム焼結体と敷粉との固着防止のために、敷粉の「酸素含有量を１０重量％以下」とする点については何ら示唆するものではないから、本件訂正発明１は、上記証拠に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
  また、本件訂正発明２も、本件訂正発明１の「敷粉」を使用した「焼成方法」に係る発明であるから、上記証拠に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。　
　したがって、特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月１７日（２０００．１１．１７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
本件訂正の要旨は、本件特許第２９１３０６０号発明の明細書を平成１２年６月５日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲をその減縮を目的として、次のとおりに訂正するものである。
「特許請求の範囲」の欄
「（１）平均粒径が１０〜３００μｍで、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉。
（２）窒化アルミニウムを主成分とする成形体を、平均粒径が１０〜３００μｍで、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなる敷粉を介在させて支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムセラミックスの焼成方法。」から、
「（１）平均粒径が１０〜３００μｍ、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下で、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなることを特徴とする窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉。
（２）窒化アルミニウムを主成分とする成形体を、平均粒径が１０〜３００μｍ、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下で、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末からなる敷粉を介在させて支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成することを特徴とする窒化アルミニウムセラミックスの焼成方法。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
窒化アルミニウムセラミックス焼成用敷粉およびこれを用いた焼成方法
（５７）【特許請求の範囲】
（１）平均粒径が１０〜３００μｍ
、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下
（２）窒化アルミニウムを主成分とする成形体を、平均粒径が１０〜３００μｍ
、粒径１０μｍ以下の粒子が１５体積％以下
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、窒化アルミニウムセラミックスの焼成方法に関し、特に焼成時に用いる敷粉に関する。
〔従来の技術〕
　窒化アルミニウムセラミックスは、高熱伝導性および高電気絶縁性を備えていることから、半導体素子搭載用回路基板などに利用されている。
　この窒化アルミニウムセラミックスを焼成する場合、一般的には板状の窒化アルミニウム成形体間にセラミックス粉末から成る敷粉を介在させて各成形体を積み重ねて焼成することが行われていた（特開昭６１−１１７１６１号、特開平１−１０８１６９号公報参照）。
〔従来技術の課題〕
　上記特開昭６１−１１７１６１号の実施例には、平均粒径３μｍの窒化ホウ素からなる敷粉を厚さ１５μｍに形成して窒化アルミニウム成形体を支持し焼成する方法が示されている。
　しかし、このような粒径の小さい敷粉では、焼成中に敷粉が窒化アルミニウムセラミックス中に侵入したり、表面に固着したりして、表面粗さを大きくしてしまうという問題点があった。そのため、半導体素子搭載用回路基板として用いる場合には焼成後バレル研磨などを施さなければならないという不都合があった。
　また、上記の方法では敷粉層の厚みが不均一になりやすく、窒化アルミニウム焼結体にソリや歪みが生じる恐れがあった。さらに、敷粉として窒化ホウ素や酸化アルミニウムを用いると窒化アルミニウム焼成体にしみや色調の不均一が発生していた。
　これに対し、特開平１−１０８１６９号によれば、平均粒径１００〜２５０メッシュ（６１〜１５２μｍ）の、仮焼してなる窒化アルミニウム粉末を敷粉として用いる方法が示されているが、敷粉の固着を防止するために仮焼しなけばならず、手間がかかるものであった。
〔発明の目的〕
　本発明は前記問題点を解決するためになされたものである。即ち、窒化アルミニウムセラミックスヘの敷粉の反応、固着をなくして表面の平滑度、平面度を良好に保持するとともに、窒化アルミニウムセラミックスのソリ、歪みを低減し、かつしみや色調の不均一をなくすことを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
　上記に鑑みて本発明は、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末を敷粉として窒化アルミニウムを主成分とする成形体を支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成するようにしたものである。
　本発明によれば、敷粉の固着をなくすためには、敷粉として用いる窒化アルミニウム粉末の酸素含有量を１０重量％以下とすればよいことを見い出した。この窒化アルミニウム粉末の酸素含有量が１０重量％を超えると、敷粉の焼結体への固着が多くなり、焼結体の表面を粗くしてしまう。また、窒化アルミニウム粉末の酸素含有量は少ないほど良いが、０．４重量％より少なくするとは極めて困難である。即ち、窒化アルミニウム粉末の製造は、アルミナを還元する方法、または金属吾アルミニウムを直接窒化する方法などによるが、いずれの場合も酸素含有量を０．４重量％より少なくするためには、合成時間が非常に長かったり、合成温度が非常に高くなるためである。
　なお、窒化アルミニウム粉末の酸素含有量とは、粉体の表面に存在するべーマイト、α−アルミナ等の酸化物、あるいは窒化アルミニウム粒子内部に固溶する窒化アルミニウムの酸素置換物等に含まれる酸素の割合のことであり、本発明における酸素含有量の測定はＬＥＣＯ、ＴＣ−１３６型酸素窒素同時分析装置を用いた。
　また、本発明で敷粉として用いる窒化アルミニウム粉末の大きさは、平均粒径１０〜３００μｍのもので、粒径分布の幅がせまく、特に粒径１０μｍ以下の微粉を含まないものが望ましい。敷粉の平均粒径が１０μｍより小さいと焼結体への固着が生じやすく、一方平均粒径が３００μｍより大きいと焼結体にソリかが生じやすい。さらに敷粉は、長径と短径の比が１に近いもの、即ち球状のものが望ましく、この敷粉を互いに重なりあわないように１層に並べて敷粉層を形成させることが望ましい。
　また、本発明の焼成条件は、純度９９．９％以上のＮ２ガス、純度９９．９％以上のＮ２ガスとＨ２ガスの混合ガスの非酸化性雰囲気中で、１６００〜１９００℃の温度で焼成する常圧焼結法またはガス加圧焼結法が用いられる。
　さらに、焼成時に窒化アルミニウム成形体を載置する支持板としては、カーボン板に窒化ホウ素層を形成したもの、窒化アルミニウムセラミックス板あるいはこれに窒化ホウ素層を形成したもの、あるいは金属タングステン板を用いる。
　また、窒化アルミニウム成形体は、焼結助剤を含まないものでも良いが、焼結助剤を用いる場合はイットリウム、ランタン族金属およびアルカリ土類金属よりなる群がら選ばれた少なくとも一種の金属の含酸素化合物などを１５重量％以下の割合で配合する。
〔実施例〕
　以下本発明の実施例を説明する。
　まず、敷粉として、第１表に示す六種類のものを用意した。なお、第１表中、敷粉１は、一次粒が凝集したもので、非球状であるのに対し、敷粉２〜６は一次粒をスプレードライヤー等により造粒したもので、略球状をしている。
　次に、窒化アルミニウムを主成分とする成形体として、以下に示す３種類のものを用意した。
　平均粒径１．６μｍ、ＢＥＴ（比表面積）３．２ｍ２／ｇ、酸素含有量１．２重量％、陽イオン不純物量５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム粉末にバインダーとメタノールを加えて混合した後、噴霧乾燥法により造粒粉体を作成し、この造粒粉体を乾式プレス成形法により、１２０×１２０×２ｍｍの大きさに成形した。〔窒化アノレミニウム成形体ａ〕
　平均粒径１．８μｍ、ＢＥＴ（比表面積）２．８ｍ２／ｇ、酸素含有量０．９重量％、陽イオン不純物量５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム粉末に酸化イッテルビウム５重量％を添加し、バインダーとメタノールを加えて混合した後、上記と同様の方法で６０×６０×２ｍｍの大きさに成形した。〔窒化アミニウム成形体ｂ〕
　平均粒径２．８μｍ、ＢＥＴ（比表面積）２．８ｍ２／ｇ、酸素含有量１．０重量％、陽イオン不純物量５００ｐｐｍ以下の窒化アルミニウム粉末に酸化エルビウム３重量％および酸化カルシウム０．５重量％を添加し、バインダーとメタノールを加えて混合した後、上記と同様の方法で３３×３３×１．５ｍｍの大きさに成形した。〔窒化アルミニウム成形体ｃ〕
　次に、これらの窒化アルミニウム成形体の焼成方法として、以下に示すように３種類の積重体を作成した。
　カーボン板の表面に敷粉を敷き、この上に４枚の窒化アルミニウム成形体を載置し、各窒化アルミニウム成形体間には敷粉を敷きつめた。〔積重体Ｉ〕
　カーボン板の表面に窒化ホウ素層を形成し、この上に純度９５％以上の窒化アルミニウムセラミックス板を載置し、さらに窒化アルミニウムセラミックス板に敷粉を敷いて、この上に４枚の窒化アルミニウム成形体を載置し、各窒化アルミニウム成形体間には敷粉を敷きつめ、これらを覆うように窒化アルミニウムセラミックス容器をかぶせた。〔積重体ＩＩ〕
　金属タングステン板上に窒化アルミニウムセラミックス板を載置して、この表面に敷粉を敷きつめた。この上に４枚の窒化アルミニウム成形体を載置し、各窒化アルミニウム成形体間には敷粉を敷きつめ、これらを覆うように、金属タングステン容器をかぶせた。〔積重体ＩＩＩ〕
　なお、上記各積重体において、敷粉は、その粒径にもよるが、いずれも実質的に１層になるように敷きつめた。
　以上示した窒化アルミニウム成形体ａ，ｂ，ｃ及び積重体Ｉ，ＩＩ，ＩＩＩの組合わせにより、第２表に示すように七種類の条件１〜７を設定した。
　なお、各条件において、窒化アルミニウム成形体は脱脂した後焼成を行った。また、第２表中、Ｎ２は純度９９．９％以上のガスを用い、常圧とは１．０〜１．４気圧であることを示している。
　これらの条件で１〜７で、それぞれ敷粉として、前記第１表に示す６種類の敷粉１〜６を用いて実験を行った。
　それぞれ、得られた焼結体について、焼結体同士の固着の有無、焼結体と敷粉の固着の有無などを調べた。結果は第３表〜第９表に示す通りである。
　なお、第３表〜第９表中、焼結体同士の反応、固着の有無とは、焼結体同士が反応して固着、または敷粉と焼結体が反応して焼結体同士が固着したものを×、焼結体同士が固着しなかったものを○で表した。
　また、焼結体への敷粉の侵入、固着の有無とは、焼結体に敷粉が固着して、表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が４μｍ以上となったものを×、焼結体表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２〜４μｍのものを○で表した。
　さらに、焼結体のソリ値とは、焼結体の厚み方向の平均変形値である。
　また、熱伝導率は、レーザフラッシュ法により、焼結体表面を研磨した後、熱拡散率を測定し、熱伝導率＝熱拡散率×比熱×焼結体密度から求めた。
　以上の結果より、窒化ホウ素からなる敷粉６は、焼結体への固着が生じやすく、焼結体の色調も悪かった。また、敷粉５は酸素量が２０重量％と多いため焼結体への固着が多かった。さらに、敷粉１は、平均粒径が１．２８μｍと小さいため焼結体の固着が多かった。
　これらに対し、敷粉２〜４は、酸素量が１０重量％以下であるため、焼結体への付着が少なかった。
　しかし、敷粉４は、平均粒径が８３０μｍと大きいため、焼結体のソリ値が大きかった。さらに実験を重ねた結果、ソリ値を満足なレベルとするためには平均粒径を３００μｍ以下とすれば良かった。ただし、敷粉の平均粒径を１０μｍ未満とすると、焼結体への固着が多くなるため、平均粒径１０〜３００μｍのものが優れていた。
　また、条件１から７において、熱伝導率は、条件１が２０〜５０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件２が１６０〜１７０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件３が１７５〜１９０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件４が９５〜１１０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件５が１２０〜１４０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件６が１３５〜１５０Ｗ／ｍ・Ｋ、条件７が１７０〜１８０Ｗ／ｍ・Ｋであり、同一条件下において、敷粉の種類による相関はあまりなかった。
〔発明の効果〕
　叙上のように本発明によれば、酸素含有量が１０重量％以下の窒化アルミニウム粉末を敷粉として窒化アルミニウムを主成分とする成形体を支持し、非酸化性雰囲気中１６００〜１９００℃で焼成するようにしたことによって、窒化アルミニウム焼結体への敷粉の反応、固着をなくして、焼結体表面の平滑度、平面度を良好に保持するとともに、焼結体のソリ、歪みを低減し、かつ、しみや色調の不均一をなくすことができる。
　これにより、窒化アルミニウムセラミックスの半導体素子搭載用基板等の電子部品の適用を促進するとともに、その量産性を高めることができる。