【事件の表示】
　特許第２８７６２５０号「縦型熱処理装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７６２５０号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８７６２５０号の発明は、平成２年９月２７日に出願され、平成１１年１月２２日に設定登録され、その後、平成１２年９月５日付で取消理由通知をし、その指定期間内である平成１２年９月１１日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否の判断
（イ）訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載「前面に被処理物搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構と」を、「前面に被処理物を収容したカセットの搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられた被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記上下動機構及び前記トランスファの部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構と」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項３を、「被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための前面開口部を有する筐体と、前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記熱処理炉の前面側方、かつ、前記トランスファステージの上方に設けられ、複数の前記カセットを収容可能に構成されたキャリアステージと、前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファとを具備したことを特徴とする縦型熱処理装置。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書の第４頁第１０行〜第５頁第５行の「（課題を解決するための手段）・・・（作用）」を、
「（課題を解決するための手段）
　すなわち本発明の縦型熱処理装置は、前面に被処理物を収容したカセットの搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられた被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記上下動機構及び前記トランスファの部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構とを具備したことを特徴とする。
　また、請求項２記載の縦型熱処理装置では、前記清浄化気体流を形成する機構は、前記筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタとを具備したことを特徴とする。
　また、請求項３の縦型熱処理装置は、被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための前面開口部を有する筐体と、前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記熱処理炉の前面側方、かつ、前記トランスファステージの上方に設けられ、複数の前記カセットを収容可能に構成されたキャリアステージと、前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファとを具備したことを特徴とする。
　また、請求項４の縦型熱処理装置では、前記キャリアステージは、送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタを有し、該キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を具備したことを特徴とする。
　また、請求項５の縦型熱処理装置は、前記筐体の上部から取り入れた空気を清浄化しつつ、前記キャリアステージの後方から前方に向かい、この後、前記キャリアトランスファの配置部位および前記開口部近傍を通って下降して一旦底部に至り、しかる後、前記筐体の一側面から対向する側面に向けて前記上下動機構の配置部位を横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構を具備したことを特徴とする。
（作用）」と訂正する。
（ロ）訂正の適否
　訂正事項ａ，ｂは特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。また訂正事項ｃは不明瞭な記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　上記訂正された特許請求の範囲請求項１及び３に係る発明の独立特許要件について検討すると、当審が通知した取消理由において指摘した不備な点は全て解消されている。したがって、本件特許請求の範囲請求項１及び３に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同第３項で準用する同第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立についての判断
（イ）本件発明
　特許請求の範囲請求項１〜４に係る発明は下記のとおりである。
（１）前面に被処理物を収容したカセットの搬入・搬出用開口部を有する筐体と、
　前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられた被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、
　前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記上下動機構及び前記トランスファの部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構と
　を具備したことを特徴とする縦型熱処理装置。
（２）前記清浄化気体流を形成する機構は、前記筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタを具備したことを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
（３）被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための前面開口部を有する筐体と、
　前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、
　前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記熱処理炉の前面側方、かつ、前記トランスファステージの上方に設けられ、複数の前記カセットを収容可能に構成されたキャリアステージと、
　前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファと
　を具備したことを特徴とする縦型熱処理装置。
（４）前記キャリアステージは、送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタを有し、該キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を具備したことを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理装置。
（ロ）申立の理由の概要
　申立人高島昌代は、甲第１号証（国際電気技報Ｍａｒ．１９８９．Ｎｏ．１６　Ｐ．４５〜４８）、甲第２号証（特開平２−５６９２６号公報）、甲第３号証（特開平１−２９２８１５号公報）及び甲第４号証（実願昭５７−７４３１９号のマイクロフィルム（実開昭５８−１７７９３６号参照））を提示し、特許請求の範囲請求項１〜４に係る発明は、甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、当該特許は取り消されるべきであると主張する。
（ハ）判断
（１）甲各号証について
　申立人高島昌代提示の甲第１号証には、「筐体は、構造の簡素化、組立の簡易化、及び工期完了短縮を目的に、ウェーハ移載筐体と炉筐体に分かれている。ウェーハ移載筐体は、正面側とし主に作業者が操作するユニットを合理的に配置した。ユニットとしては、ウェーハをカセットから石英製ボートに移載するウェーハハンドリング機構、ガスシステム、コントローラが収納されている。炉筐体は、メンテナンス側で、メンテナンスが容易にできるように配置してある。石英ボートを反応炉に搬送するエレベータ機構部とその上部にヒータ石英反応管などが収納されている。」（第５６頁左欄第３行〜右欄第４行）及び「カセットローダはカセット置き台にカセットがセットされると、自動的に指定された炉体内のカセット棚にカセットをセットし、また逆動作によりカセットをカセット棚から取り出して、カセット置き台まで自動的に搬送する。」（第４７頁左欄第９〜１３行）と記載されている。
　上記記載事項と図５〜７を参照すると、甲第１号証には、「ウェーハを収容したカセットを搬入・搬出するため前面開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられたウェーハを、前記熱処理炉内にロード・アンロードするためのエレベータ機構部と、前記カセットと前記ボートとの間でウェーハを移載するウェーハハンドリング機構と、複数の前記カセットを収容可能に構成されたカセット棚と、前記筐体内で前記カセットを搬送する機構とを具備したことを特徴とする縦型熱処理装置」が、開示されている。
　同じく甲第２号証には、「第１図においてウェハ上に半導体集積回路素子を形成する拡散、ＣＶＤ等の縦型熱処理炉（１５）は送風ダクト（１６）からクリーンルームフィルタ（１７）を通過し、床（１８）より排気される垂直のクリーンエアの流れを有するクリーンルーム（１９）内に設置されている。一方、第２図は縦型熱処理炉（１５）の搬送部（２０）を後背面から見た正面図であり、搬送部（２０）へクリーンエアを送風する装着部（２１）は前面にフィルタであるプレフィルタ（２２）を設けたクリーンエアユニット送風ファン（２３）及びフィルタであるＨＥＰＡフィルタ（２４）を扉（２５）に一体化させて形成される。この装着部（２１）は縦型熱処理炉（１５）のウェハボート搬送部（２０）の後背面の架台（２６）に抜差蝶番（２７）で開閉自在に蝶設され、第２図に示す如くコーナーキャッチ及び固定用ブラケット等の係子手段（２８）により扉（２５）の外周に接着されたシール材（２９）を介して架台（２６）に密着するよう固定される。これらの装着部（２１）が接続される縦型熱処理炉（１５）の後背面はクリーンルーム（１９）外のグレールーム（３０）に面している。
　ウェハボート（３１）の搬送系は、前工程を終了したウェハ移替え装置（図示せず）でキャリア内のウェハ（３２）を熱処理用のウェハボート（３１）例えば石英ボートに移替える。この時、ウェハ（「ウェハウ」のウは誤記のため削除）（３２）はオリフラ部で整列された状態になっている。ウェハボート（３１）の移載終了後、ボート（３１）を縦方向に姿勢制御して縦型炉（１５）の搬送部（２０）へローディングロボット（図示せず）により移送し、予め定められた位置でローディングロボットにより反応炉（３３）の下方から挿入する。上記搬送部（２０）ではウェハがボート（３１）に水平して所定間隔で縦方向に配列するため送風は横方向に行う。」（第３頁右上欄第４行〜左下欄第１７行）と記載されている。
　同じく甲第３号証には、横型拡散炉の側方空間にカセット収納体であるカセットダムを配置することが開示されている。
　同じく甲第４号には、「前後に貫通した間仕切りした棚を有する収容部と、前記収納部の後方から前方へ清浄空気を均一に送風する清浄空気発生部と、保管物供給取出し機構と、保管物密閉機構と上下および水平移動機構とを備えた保管物搬送機構部とからなることを特徴とする自動保管棚。」（実用新案登録請求の範囲）が記載されている。
（２）請求項１及び２について
　上記甲第１〜４号証には、本件請求項１及び２に係る発明の構成要件である、トランスファを筐体内の上下動機構の前面側方に設け、上下動機構及びトランスファの部位に、筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構を備える点が記載されてない。そして本件請求項１及び２に係る発明は、上記構成により、上下動機構及びトランスファにそれぞれ清浄化気体流を形成する機構を通過した直後の清浄度の高い気体流を当てることができ、被処理物に塵埃が付着することを確実に防止することができるという顕著な効果を奏する。
　よって、本件請求項１及び２に係る発明は、上記甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものといえない。
（３）請求項３及び４について
　上記甲第１〜４号証には、本件請求項３及び４に係る発明の構成要件である、キャリアステージを熱処理炉の前面側方、かつ、トランスファステージの上方に設ける点について、記載されていない。そして本件請求項３及び４に係る発明は、上記構成により、省スペース化を図ることができるという顕著な効果を奏する。
　よって、本件請求項３及び４に係る発明は、上記甲第１〜４号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものといえない。
（ニ）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月３０日（２０００．１０．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載「前面に被処理物搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構と」を、「前面に被処理物を収容したカセットの搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられた被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記上下動機構及び前記トランスファの部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構と」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項３を、「被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための前面開口部を有する筐体と、前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記熱処理炉の前面側方、かつ、前記トランスファステージの上方に設けられ、複数の前記カセットを収容可能に構成されたキャリアステージと、前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファとを具備したことを特徴とする縦型熱処理装置。」と訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書の第４頁第１０行〜第５頁第５行の「（課題を解決するための手段）・・・（作用）」を、
　「（課題を解決するための手段）
　すなわち本発明の縦型熱処理装置は、前面に被処理物を収容したカセットの搬入・搬出用開口部を有する筐体と、前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、ボートに設けられた被処理物を前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記上下動機構及び前記トランスファの部位に、該筐体の一側面から対向する側面に向けて横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構とを具備したことを特徴とする。
　また、請求項２記載の縦型熱処理装置では、前記清浄化気体流を形成する機構は、前記筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタとを具備したことを特徴とする。
　また、請求項３の縦型熱処理装置は、被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための前面開口部を有する筐体と、前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、前記筐体内の前記熱処理炉の前面側方、かつ、前記トランスファステージの上方に設けられ、複数の前記カセットを収容可能に構成されたキャリアステージと、前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファとを具備したことを特徴とする。
　また、請求項４の縦型熱処理装置では、前記キャリアステージは、送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタを有し、該キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を具備したことを特徴とする。
　また、請求項５の縦型熱処理装置は、前記筐体の上部から取り入れた空気を清浄化しつつ、前記キャリアステージの後方から前方に向かい、この後、前記キャリアトランスファの配置部位および前記開口部近傍を通って下降して一旦底部に至り、しかる後、前記筐体の一側面から対向する側面に向けて前記上下動機構の配置部位を横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構を具備したことを特徴とする。
（作用）」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
縦型熱処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
（１）前面に被処理物
を収容したカセットの
　前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、
ボートに設けられた
　
前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記上下動機構
及び前記トランスファ
　を具備したことを特徴とする縦型熱処理装置。
（２）前記清浄化気体流を形成する機構は、前記筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵挨除去用フィルタを具備したことを特徴とする請求項１記載の縦型熱処理装置。
（３）被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための
前面
　前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、
前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、
　
前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記熱処理炉の
前面
、かつ、前記トランスファステージの上方
　前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファ
と
　
を
（４）前記キャリアステージは、送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタを有し、該キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を具備したことを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理装置。
（５）前記筐体の上部から取り入れた空気を清浄化しつつ、前記キャリアステージの後方から前方に向かい、この後、前記キャリアトランスファの配置部位および前記開口部近傍を通って下降して一旦底部に至り、しかる後、前記筐体の一側面から対向する側面に向けて前記上下動機構の配置部位を横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構を具備したことを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
　本発明は、縦型熱処理装置に関する。
（従来の技術）
　近年、半導体デバイスの製造工程における熱拡散工程や成膜工程で使用される熱処理装置として、無塵化および省スペース化等を図ることのできる縦型熱処理装置が用いられるようになってきた。
　すなわち、このような縦型熱処理装置では、円筒状に形成された反応管およびこの反応管を囲繞する如く設けられた均熱管、ヒータ、断熱材等からなる熱処理炉が筐体内にほぼ垂直に設けられている。また、この筐体内の熱処理炉の下部には、被処理物である半導体ウエハを載置されたウエハボートを熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構（ボートエレベータ）が設けられている。
　このため、熱処理炉をほぼ水平に設けた横型熱処理装置に較べて設置スペースを削減して省スペース化を図ることができ、また、反応管と非接触で熱処理炉内にウエハボートをロード・アンロードすることができ、無塵化を図ることができる。
　なお、上記熱処理炉およびボートエレベータが収容された筐体の前面には、被処理物（半導体ウエハ）を搬入・搬出するための開口部が設けられている。また、例えばこの筐体後部下側に送風用ファンおよび塵挨除去用フィルタ等を設け、後側から前方に向けてボートエレベータ配置部位に、前後方向に流れる清浄化気体流を形成し、半導体ウエハに対する塵埃の付着を防止するよう構成された縦型熱処理装置もある。
（発明が解決しようとする課題）
　しかしながら、近年半導体ウエハは大口径化される傾向にあり、一方半導体デバイスの回路パターンは微細化される傾向にある。
　このため、縦型熱処理装置においては、さらに被処理物に対する塵埃の付着を確実に防止して歩留まりのの向上を図ること、大口径ウエハに対応しつつ省スペース化およびメンテナンス性の向上を図ること等が要求される。
　本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので、被処理物に対する塵埃の付着を確実に防止して歩留まりの向上を図ることができるとともに、省スペース化およびメンテナンス性の向上を図ることのできる縦型熱処理装置を提供しようとするものである。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
　すなわち本発明の縦型熱処理装置は、前面に被処理物
を収容したカセットの
　前記筐体内の後側上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下方に設けられ、
ボートに設けられた
　
前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記上下動機構
及び前記トランスファ
　を具備したことを特徴とする。
　また、請求項２記載の縦型熱処理装置では、前記清浄化気体流を形成する機構は、前記筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタとを具備したことを特徴とする。
　また、請求項３の縦型熱処理装置は、被処理物を収容したカセットを搬入・搬出するための
前面
　前記筐体内の上部にほぼ垂直に設けられた熱処理炉と、
　前記筐体内の前記熱処理炉の下部に設けられ、ボートに設けられた被処理物を、前記熱処理炉内にロード・アンロードするための上下動機構と、
　
前記筐体内の前記上下動機構の前面側方に設けられ、前記カセットが配置されるトランスファステージ、及び、前記トランスファステージに配置された前記カセットと前記ボートとの間で前記被処理物を移載するトランスファと、
　前記筐体内の前記熱処理炉の
前面
、かつ、前記トランスファステージの上方
　前記筐体内で前記カセットを搬送するキャリアトランスファ
と
を
　また、請求項４の縦型熱処理装置では、前記キャリアステージは、送風用ファンおよび塵挨除去用フィルタを有し、該キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を具備したことを特徴とする。
　また、請求項５の縦型熱処理装置は、前記筐体の上部から取り入れた空気を清浄化しつつ、前記キャリアステージの後方から前方に向かい、この後、前記キャリアトランスファの配置部位および前記開口部近傍を通って下降して一旦底部に至り、しかる後、前記筐体の一側面から対向する側面に向けて前記上下動機構の配置部位を横方向に流れる清浄化気体流を形成する機構を具備したことを特徴とする。
（作用）
　上記構成の本発明の縦型熱処理装置では、例えば、筐体の側面に設けられたメンテナンス用ドアに取り付けられた送風用ファンおよび塵挨除去用フィルタ等の機構により、筐体内の上下動機構（ボートエレベータ）の部位に、横方向（左右方向）に流れる清浄化気体流を形成する。
　したがって、例えばボートエレベータの前方（筐体開口部側）にウエハ移載機構等を設けても、被処理物である半導体ウエハに対する塵挨の付着を確実に防止して歩留まりの向上を図ることができる。また、メンテナンス用ドアに送風用フアンおよび塵挨除去用フィルタを取り付けることにより、省スペース化およびメンテナンス性の向上を図ることができる。
　さらに、請求項３の縦型熱処理装置では、筐体内の熱処理炉の側方に、複数のカセットを収容可能に構成されたキャリアステージが設けられている。そして、キャリアトランスファにより、カセットを搬送し、トランスファにより、カセットとボートとの間で被処理物（例えば半導体ウエハ）を移載して処理を実施するよう構成されている。
　すなわち、従来の縦型熱処理装置において、筐体内の熱処理炉の側方は、空き空間となる場所であるが、ここにキャリアステージを設けることにより、省スペース化を図ることができる。特に、８インチウエハ等大口径対応の装置の場合、キャリアステージ等も大型となるため、省スペース化の効果が顕著となる。
　また、このキャリアステージを筐体内の上部に設けることにより、被処理物を筐体内の比較的清浄度の高いクリーンな環境に置くこととなり（筐体内下部は上部に較べて清浄度が低い）、被処理物に対する塵埃の付着を防止することができる。さらに、このキャリアステージに、送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタ等からなり、キャリアステージ内に収容されたカセットに清浄化気体流を当てる機構を設けることにより、確実に塵埃の付着を防止することができる。
　さらにまた、筐体の上部から取り入れた空気を清浄化しつつ、キャリアステージの後方から前方に向かい、この後、キャリアトランスファの配置位置および開口部近傍を通って下降して一旦底部に至り、しかる後、筐体の一側面から対向する側面に向けて上下動機構の配置位置を横方向に流れる清浄化気体流を形成することにより、各部を確実にクリーンな環境に保つことができる。
（実施例）
　以下、本発明を８インチ径の半導体ウエハに対応することのできる縦型熱処理装置に適用した一実施例を図面を参照して説明する。
　第２図に示すように、筐体１は、例えば鉄板等からほぼ矩形状に形成されており、その幅（Ｗ）は例えば１００ｃｍ程度、奥行（Ｄ）は例えば２００ｃｍ程度、高さ（Ｈ）は例えば２８０ｍ度とされている。
　上記筐体１の後側上部には、円筒状に形成された反応管およびこの反応管を囲続する如く設けられた均熱管、ヒータ、断熱材等からなる熱処理炉２がほぼ垂直に設けられている。また、この筐体１内の熱処理炉２の下部には、被処理物である半導体ウエハ（図示せず）を載置されたウエハボート３を熱処理炉２内にロード・アンロードするための上下動機構（ボートエレベータ）４が設けられている。
　一方、上記筐体１の前面には、図示しないドアを備えた開口部５が設けられており、ここから筐体１内に被処理物である半導体ウエハ（図示せず）を収容したウエハカセット６を搬入・搬出可能に構成されている。
　すなわち、本実施例の場合、この開口部５には、一度に２つのウェハカセット６をほぼ水平な状態（半導体ウエハが垂直な状態）に載置可能に構成されたキャリアＩＯポート７が設けられており、キャリアＩＯポート７の後方には、ウエハカセット６を搬送するためのキャリアトランスファ８が設けられている。なお、キャリアＩＯポート７には、オリエンテーションフラットを利用してウエハカセット６内の半導体ウエハを所定方向に整列させるウエハ整列機構（図示せず）と、ウエハカセット６を回転させて水平−垂直変換する水平−垂直変換機構（図示せず）が設けられており、ウエハ整列機構によってウエハカセット６内の半導体ウエハを所定方向に整列させた後、水平−垂直変換機構によってウエハカセット６を垂直な状態（半導体ウエハが水平な状態）とし、しかる後このウエハカセット６をキャリアトランスファ８によって搬送するように構成されている。
　また、上記キャリアトランスファ８の後方には、上部にキャリアステージ９、下部にトランスファステージ１０が設けられており、トランスファステージ１０の後方には半導体ウエハの移載を行うウエハトランスファ１１が設けられている。このキャリアステージ９は、棚状に複数例えば８つのウエハカセット６を収容可能に構成されており、筐体１内に搬入されたウエハカセット６を一時的に収容するものである。一方、トランスファステージ１０は、例えば２つのウエハカセット６を正確に位置決めした状態で収容可能に構成されており、このトランスファステージ１０に収容したウエハカセット６と、ボートエレベータ４上に設けられたウエハボート３との間で、ウエハトランスファ１１により半導体ウエハの移載を行うように構成されている。
　さらに、第１図に示すように、筐体１のボートエレベータ４およびウエハトランスファ１１側方（筐体１の前から見て左側）には、２つのメンテナンス用ドア１２が設けられている。このメンテナンス用ドア１２には、第３図に示すように、それぞれ送風用ファン１３と、塵埃除去用フィルタ１４が内蔵されており、下部から取り入れた空気を清浄化し、内側面ほぼ前面から清浄化空気を送出するよう構成されている。また、これらのメンテナンス用ドア１２に対向する如く、筐体１の反対側（筐体１の前から見て右側）側部には、排気部１５が設けられており、メンテナンス用ドア１２から送られてきた気体流を、筐体１後部に排出（一部床下に再循環）するよう構成されている。
　そして、第１図に矢印で示すように、筐体１の天井部開口１６から筐体１内に取り込んだ空気を、上部から下部に向けて、キャリアステージ９、キャリアトランスファ８、キャリアＩＯポート７の順で通過させ、一旦床下部に取り込んだ後、ボートエレベータ４、ウエハトランスファ１１およびトランスファステージ１０を通過させる如く、メンテナンス用ドア１２から排気部１５に向かう（筐体１の前から見て左から右に向かう）清浄化気体流を形成するよう構成されている。
　なお、キャリアステージ９、キャリアトランスファ８、キャリアＩＯポート７には、図示しない送風用ファンおよび塵埃除去用フィルタ等が設けられており、これらの部位にそれぞれ清浄化気体流を形成し、半導体ウエハに塵埃が付着することを防止するように構成されている。
　次に、上記構成の本実施例の縦型熱処理装置の動作について説明する。
　予め、実施する処理に応じて熱処理炉２を所定温度に設定しておくとともに、メンテナンス用ドア１２に設けられた送風用ファン１３および各部に設けられた送風用ファンを駆動し、筐体１内に第１図に矢印で示したような清浄化気体流を形成しておく。そして、被処理物として例えば直径８インチ（２０ｃｍ）の半導体ウエハを複数（例えば２５枚）収容したウエハカセット６を、例えば搬送ロボット等により２つずつキャリアＩＯポート７の所定位置に載置する。
　すると、縦型熱処理装置は、図示しないウエハ整列機構により、ウエハカセット６内の半導体ウエハを所定方向に整列させ、この後、図示しない水平−垂直変換機構によってウエハカセット６を後ろ向きに垂直な状態（半導体ウエハが水平な状態）とする。そして、このウエハカセット６をキャリアトランスファ８によって搬送し、キャリアステージ９に収容する。このような動作を繰り返して、所望数のウェハカセット６をキャリアステージ９に収容する。
　しかる後、順次キャリアステージ９のウエハカセット６をトランスファステージ１０に移動し、ウエハトランスファ１１によりこのウエハカセット６内の半導体ウエハをボートエレベータ４上に設けられたウエハボート３に移載する。
　そして、所望枚数（例えば１００枚以上）の半導体ウエハの移載が終了すると、ボートエレベータ４を上昇させて、ウエハボート３を熱処理炉２内にロードし、所定時間、所定温度、所定雰囲気で所望の熱処理を実施し、処理が終了すると、上記手順と反対の手順で処理済の半導体ウエハをアンロードする。
　このように、本実施例の縦型熱処理装置では、上記一連の処理中、被処理物である半導体ウエハが位置する各部位、すなわち、キャリアステージ９、キャリアトランスファ８、キャリアＩＯポート７、ボートエレベータ４、ウエハトランスファ１１およびトランスファステージ１０の部位に、清浄化気体流を形成する。
　特に、筐体１の下部においては、メンテナンス用ドア１２に設けられた送風用ファン１３および塵埃除去用フィルタ１４により、筐体１内のボートエレベータ４、ウエハトランスファ１１およびトランスファステージ１０の部位に、横方向（筐体１の前から見て左から右）に流れる清浄化気体流を形成する。したがって、例えばこれらの部位に前後方向に清浄化気体流を形成する場合と異なり、それぞれの部位に設けられた半導体ウエハに塵埃除去用フィルタ１４を通過した直後の清浄度の高い気体流を当てることができる。これにより、半導体ウエハに塵埃が付着することを確実に防止して歩留まりの向上を図ることができる。
　つまり、例えばこれらの部位に前後方向に清浄化気体流を形成すると、例えば、ボートエレベータ４を通過した気体が、次にウエハトランスファ１１を通過し、この後トランスファステージ１０を通過することになり、下流側（この場合ウエハトランスファ１１）に設けられた半導体ウエハには、塵埃を含んだ清浄度の低い気体流が当たることになり、半導体ウエハに塵埃が付着する可能性が生じる。
　また、送風用ファン１３および塵埃除去用フィルタ１４をメンテナンス用ドア１２内に設けたので、これらの機器の設置スペースを別途設ける必要がなく、省スペース化を図ることができる。
　なお、メンテナンス用ドア１２に塵埃除去用フィルタ１４のみを設け、送風用ファン１３を筐体１の下部に設けることも考えられるが、このように構成すると、送風用ファン１３とメンテナンス用ドア１２との気体流路の接続部において、漏れの発生する可能性が生じるので、本実施例の如く送風用ファン１３および塵埃除去用フィルタ１４を一体的にメンテナンス用ドア１２内に設けることが好ましい。また、本実施例では、メンテナンス用ドア１２を２つ設けたが、これは、１つのメンテナンス用ドア１２の大きさを小さく抑え、ドア開閉に必要とする筐体１の側方の空き空間を少なくするためである。つまり、例えば大きなメンテナンス用ドアを１つ設けると、このドアを開閉するために、筐体１の側方におおきなスペースが必要となり、大きなデッドスペースが生じてしまうためである。
　さらに、これらのメンテナンス用ドア１２により、筐体１の側方から、例えば筐体１内のボートエレベータ４、ウエハトランスファ１１、トランスファステージ１０等にアクセスできるので、メンテナンス性の向上を図ることができる。特に本実施例の縦型熱処理装置においては、８インチの半導体ウエハに対応するためと、筐体１内の前後方向にボートエレベータ４、ウエハトランスファ１１を並べて配列してあるために、筐体１の奥行が長くなり、例えば筐体１の後方にメンテナンス用ドア等を設けると、ウエハトランスファ１１等に対するメンテナンス性が著しく悪化する。ところが、メンテナンス用ドア１２により、ウエハトランスファ１１等に側方からアクセスできるので、これらに対するメンテナンス性を確保することができる。
［発明の効果］
　以上説明したように、本発明の縦型熱処理装置によれば、被処理物に対する塵埃の付着を確実に防止して歩留まりの向上を図ることができるとともに、省スペース化およびメンテナンス性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図および第２図は本発明の一実施例の縦型熱処理装置の構成を示す図、第３図は本発明の一実施例の縦型熱処理装置の要部構成を示す図である。
　１……筐体、２……熱処理炉、３……ウエハボート、４……上下動機構（ボートエレベータ）、５……開口部、６……ウエハカセット、７……キャリアＩＯポート、８……キャリアトランスファ、９……キャリアステージ、１０……トランスファステージ、１１……ウエハトランスファ、１２……メンテナンス用ドア、１３……送風用ファン、１４……塵埃除去用フィルタ、１５……排気部、１６……天井部開口。