【事件の表示】
　特許第２８６９５５８号「イオン注入方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８６９５５８号の特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯
　特許第２８６９５５８号の請求項１に係る発明についての出願は、平成１年２月２３日に特許出願され、平成１１年１月８日にその発明について特許の設定登録がなされた後、平成１１年８月９日付けで特許異議申立人日新電機株式会社より請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てがなされ、平成１２年２月１８日付けで請求項１に係る特許に対する取消理由通知がなされたところ、平成１１年５月９日付けで特許異議意見書が提出されたものである。
　
（２）異議申立てについて
ア．本件発明
　特許第２８６９５５８号の請求項１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
【請求項１】 アークチャンバ内に設けられたフィラメントに通電するとともに、前記アークチャンバと前記フィラメントとの間にアーク電圧を印加し、この状態で前記アークチャンバ内に所定のガスを導入してイオンを発生させ、このイオンを引出して被処理物に注入するにあたり、前記ガスが、PH3ガスあるいはAsH3ガスの場合、前記アーク電圧を２５〜４０Vとすることを特徴とするイオン注入方法。
イ．申立ての理由の概要  　
申立ての理由１
　申立人日新電機株式会社は、証拠として甲第１号証（特開昭５７−２０５９５２号公報）、参考資料１（「広辞苑」第三版、岩波書店、１９９１年１月１０日第３版９刷発行、第１２７３頁）、参考資料２（「角川必携国語辞典」、角川書店、平成７年１０月２７日初版発行、第７０３頁）を提出し、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであるから、請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
申立ての理由２
　申立人日新電機株式会社は、証拠として甲第１号証（特開昭５７−２０５９５２号公報）、甲第２号証（実願昭６０−２０３３９号（実開昭６１−１３６４５７号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム）、甲第３号証（実願昭５８−２０１７２４号（実開昭６０−１１２０６８号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム）を提出し、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
ウ．申立人が提出した甲各号証の説明
　申立人が提出した甲第１号証には、次の事項が第１，２図とともに記載されている。
（１）「本発明を適用するイオン注入装置は、例えば第１図に示すようにイオン源系１、…試料系５によって構成されており、…イオン源系１で形成されたイオン８が、…質量分析系３内に引き出され、所望のイオン９のみが分別され、該イオン９が…試料系５内に配置された半導体基板１０等の表面に照射される。…該イオン源系１は、例えば第２図に示すように…アーク・チャンバ１３、フィラメント１４及びガス導入管１５によって構成されている。」（第１頁右欄第１６行〜第２頁左上欄第１９行）
（２）「上記イオン源系に於いて、…例えばフォスフィン（PH3）を…所望の流量でアーク・チャンバ１３内に流入せしめ、…直流電源２３によりフィラメント１４を所望の温度に昇温せしめて熱電子を放出せしめ、直流電源２４によりフィラメント１４とアーク・チャンバ１３間にフィラメントが陰極となるように数１０〜２００［Ｖ］程度のアーク電圧を付与し、該アーク電圧により前記熱電子を加速して前記流入ガス分子を衝突電離せしめる。」（第２頁右上欄第１７行〜同左下欄第１１行）
（３）「なおこの実施例に於いてりん（Ｐ）のイオン源ガスとしては通常用いられる水素（Ｈ２）ベース２０〔％〕フォスフィン（ＰＨ３）を、又ひ素（Ａｓ）のイオン源ガスとしては通常用いられるＨ２ベース１５〔％〕アルシン（ＡｓＨ３）を使用している。」（第２頁左下欄第１６行〜同右下欄第１行）
（４）「従来の化合物ガスをイオン源として用いる量産用イオン注入装置に於ては、電子衝撃形のイオン源系が多く用いられる。電子衝撃形のイオン源系に於ては、フィラメントから出た熱電子を数１０〜２００〔Ｖ〕程度に加速し、該エネルギーで化合物ガスとの衝突電離を行わせて、イオンを生成せしめるが、」（第１頁左欄第１１行〜同第１７行）
　この記載事項によると、甲第１号証には、
「アーク・チャンバ１３内に設けられたフィラメント１４に通電するとともに、前記アーク・チャンバ１３と前記フィラメント１４との間にアーク電圧を印加し、この状態で前記アーク・チャンバ１３内に所定のガスを導入してイオン８を発生させ、このイオン８を引出して半導体基板１０に注入するにあたり、前記ガスが、PH3ガスあるいはAsH3ガスの場合、前記アーク電圧を数１０〜２００Vとすることを特徴とするイオン注入方法。」
が記載されていると認められる。
　
　申立人が提出した甲第２号証には、次の事項が第４図とともに記載されている。
（１）「この考案は、例えばイオンビーム引出し用のイオン源等の低真空アーク放電装置に関し、」（第１頁第１８行〜同第１９行）
（２）「フィラメント１に定電流電源であるフィラメント電源３から電力を供給して加熱を行い、定電流電源であるアーク電源４によって正電圧を印加された電極、この例では電極を兼ねた真空容器２との間で低真空アーク放電を行わせる。…上述のような装置では、低真空中のアーク放電のため、フィラメント１へのイオン衝突によるフィラメント１の消耗が大きい。」（第２頁第６行〜同第１４行）
　
　この記載事項によると、甲第２号証には、
「イオンビーム引出し用のイオン源において、アーク放電のため、フィラメント１へイオンが衝突することによってフィラメント１が消耗すること」
が記載されていると認められる。
　
　申立人が提出した甲第３号証には、次の事項が第４図とともに記載されている。
（１）「上記構造の熱陰極型は、フィラメント電源ＶＦから上記フィラメント３に熱電子を放出させるに充分な電流を流し、アークチャンバ１との間にアーク電圧ＶＡを印加し、フィラメント３より放出された熱電子をアークチャンバ１側に引き付ける間に、アークチャンバ１内に存在するソースガス分子と衝突させ、ソースガスをイオン化して開口部２よりウェーハー（図示せず）側に飛び出させている。…上記フィラメント３の寿命はアーク電圧の大きさに比例し、上記直線状フィラメントでは平均３日間程度の寿命しかなく、交換に手間が掛って装置の稼働に大きな障害になっていた。」（第２頁第１７行〜第３頁第１２行）
　
　この記載事項によると、甲第３号証には、
「アーク電圧の大きさに比例して、フィラメントの寿命が短くなること」
が記載されていると認められる。
　
　また、申立人が提出した参考資料１には、「数は、三、四または五、六の程度の不確定数を表す」ことが、同じく参考資料２には、「数は、二か三、四か五ぐらいの数をいう」ことが、それぞれ、記載されている。
　
エ．対比・判断
（申立ての理由１について）
　請求項１に係る発明と申立人が提出した甲第１号証記載の発明とを対比すると、請求項１に係る発明のアーク電圧は、「２５〜４０V」であるのに対し、甲第１号証記載の発明におけるアーク電圧は、「数１０〜２００V」としている。
　甲第１号証記載の発明におけるアーク電圧の上限値「２００Ｖ」は一義的に明確であるが、下限値である「数１０Ｖ」は不確定な数値であって漠然としてあいまいであり、下限値が特定されているとはいえない。
　下限値「数１０Ｖ」がそれなりに一定の範囲内のいずれかに収まる数値であるとしたところで、下限値が請求項１に係る発明の上限値である４０Ｖを越える場合も想定されることは明らかである。
　このことは「数」に関し、参考資料１において「五、六の程度の不確定数を示すのに用いられる」と説示し、参考資料２において「四か五くらいの数をいう」と説示していることからも裏付けられる。
　よって、請求項１に係る発明のアーク電圧を「２５〜４０V」とした点は、甲第１号証記載の発明との対比において一致点とすることができず、相違点とせざるを得ない。
　してみれば、両者は、
「 アークチャンバ内に設けられたフィラメントに通電するとともに、前記アークチャンバと前記フィラメントとの間にアーク電圧を印加し、この状態で前記アークチャンバ内に所定のガスを導入してイオンを発生させ、このイオンを引出して被処理物に注入するにあたり、前記ガスが、PH3ガスあるいはAsH3ガスの場合、前記アーク電圧を所定の範囲とすることを特徴とするイオン注入方法。」
で一致し、
　
　請求項１に係る発明では、所定の範囲を２５〜４０Vとしているのに対して、甲第１号証に記載の発明では、所定の範囲を数１０〜２００Vとしている点、
で相違する。しかもこの点により、請求項１に係る発明は「従来に比べてイオン源の寿命を長期化することができ、」（特許公報第４欄４６行〜４７行）との明細書記載の効果を奏するものであるから、請求項１に係る発明は甲第１号証記載の発明と実質的に相違するものである。
　
　したがって、請求項１に係る発明は、上記甲１号証に記載の発明と同一であるとは認められない。
　
（申立ての理由２について）
　つぎに、上記相違点について検討すると、甲第１、２，３号証には、アーク電圧を「２５〜４０V」の特定の範囲とすることについての記載や示唆はなく、また、甲第２、３号証の「アーク放電のため、フィラメント１が消耗すること」及び「アーク電圧の大きさによって、フィラメントの寿命が短くなること」の記載は、「フィラメントの寿命を長くするためには、アーク電圧を低くすればよい」ことを示唆するものではあるが、これはフィラメント寿命を延ばすための方策を一般的に述べたにとどまり、そのためにアーク電圧を「２５〜４０Ｖ」の範囲とすることを示唆するものではない。
　また、甲第２号証及び甲第３号証に開示した事項を勘案して甲第１号証に記載された発明を検討したところで、甲第１号証に記載のアーク電圧の「数１０〜２００V」を請求項１に係る発明のように「２５〜４０Ｖ」とすべき記載乃至示唆がいずれの証拠にも示されていないから、これらを組み合わたとしても請求項１に係る発明を当業者が容易に推考しうるものではない。　そして、請求項１に係る発明は、その技術的事項により明細書記載の効果を奏するものと認められる。
　
オ．まとめ
　以上のとおり、請求項１に係る発明は、特許異議申立人が提出した甲第１号証に記載された発明と同一でも、特許異議申立人が提出した甲各号証に記載されたものから当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
（３）取消理由について
ア．取消理由の概要
　取消理由通知は、証拠として刊行物１（特開昭５７−２０５９５２号公報）、刊行物２（実願昭６０−２０３３９号（実開昭６１−１３６４５７号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム）、刊行物３（実願昭５８−２０１７２４号（実開昭６０−１１２０６８号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム）、刊行物４（「広辞苑」第三版、岩波書店、１９９１年１月１０日第３版９刷発行、第１２７３頁）、刊行物５（「角川必携国語辞典」、角川書店、平成７年１０月２７日初版発行、第７０３頁）を提示し、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。なお、上記刊行物１、刊行物２、刊行物３、刊行物４、刊行物５は、それぞれ、特許異議申立人が提出した甲第１号証、甲第２号証、甲第３号証、参考資料１、参考資料２と同じものであり、取消しの理由は、特許異議申立人が申し立てた申立ての理由２と同じである。
　
イ．判断
　請求項１に係る発明が、刊行物１〜３に記載された発明から当業者が容易になし得たものでないことは、上記（２）エ（申立ての理由２について）で述べたとおりである。
　したがって、請求項１に係る発明は、上記甲各号証に記載のものから当業者が容易に推考しうるものではない。
　そして、請求項１に係る発明は、その技術的事項により明細書記載の効果を奏するものと認められる。
　
（４）むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠、そして、取消理由通知の理由及び証拠によっては、請求項１に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月４日（２０００．８．４）