【事件の表示】
　特許第３０８５１２８号「光洗浄方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０８５１２８号の請求項１ないし６に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件特許第３０８５１２８号は、平成７年２月２４日の出願であって、平成１２年７月７日に設定登録されたものである。そして、その請求項１ないし６に係る発明は、願書に添付した明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲に記載されたとおりの次のものと認める。
「【請求項１】　被照射物を酸素を含む雰囲気中に配置して酸素と被照射物に紫外線ランプからの紫外線を照射するＵＶ／Ｏ３ 洗浄方法において、紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中に該紫外線ランプの点灯と消灯を行うことを特徴とした光洗浄方法。
【請求項２】　該紫外線ランプとして誘電体バリア放電ランプを用いることを特徴とした請求項１に記載の光洗浄方法。
【請求項３】　消灯時間が３０秒間以下であることを特徴とした請求項１または請求項２のいずれかに記載した光洗浄方法。
【請求項４】　該消灯時間と該点灯時間の比を変えることによって１周期当たりの紫外線の量を調整可能にした請求項１，２または請求項３のいずれかに記載の光洗浄方法。
【請求項５】　洗浄開始頃の紫外線照射量よりも洗浄終了頃の紫外線照射量が少ないことを特徴とした請求項４に記載の光洗浄方法。
【請求項６】　１個の電源に複数個の該誘電体バリア放電ランプを並列に接続したことを特徴とする請求項２，３，４または請求項５のいずれかに記載の光洗浄方法。」
　
２．これに対して、特許異議申立人山下千代子は、甲第１号証として特開平７−７８７５１号公報を、甲第２号証として特開平６−２３１７３５号公報を甲第３号証として特開平６−３１２１３０号公報を、甲第４号証として特開平６−３１２１３１号公報を、甲第５号証として日立評論　ＶＯＬ．７１　Ｎｏ．５、ｐ．３９−４５を、甲第６号証として「Ozone　Generation　With　Narrow-Band　ＵＶ　Radiation」の論文、Ozone　13　1991年、ｐ．３６５−３７３を提示し、請求項１ないし６に係る発明は、いずれも、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものであり、
　また、本願発明の詳細な説明には、当業者がその記載内容に基づき発明を実施することができる程度に洗浄中に紫外線ランプの点滅点灯させる構成が明確かつ十分に記載していないから、特許法第３６条第４項に規定する要件を満たさない出願に対してされたものであり、
　請求項１ないし６に係る特許は取り消すべき旨主張している。
　
３．異議申立人の提示した甲第１ないし６号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
　甲第１号証；「この発明は、半導体製造装置や液晶製造装置などにおいて、半導体ウエハ、液晶用基板や各種ワークなどの被処理物（（以下、「基板」と総称する）に対し紫外線を照射してオゾンを発生させ、基板表面上の有機物を分解させたり、基板表面を親水化させて後段の洗浄工程における水洗効果を高めたりするために使用される基板処理装置に関する。」（第２頁左欄３８−４４行目）及び「Ｃ．第３実施例　図６は、この発明に係る基板処理装置の第３実施例を示す図である。また、図７は、紫外線ランプ４の制御システムを示す図である。この装置では、図７に示すように紫外線照射ユニット３の紫外線ランプ４は対向配置された２つのフィラメント電極４１，４１を有しており、各フィラメント電極４１にはフィラメント給電回路１１が接続されている。このフィラメント給電回路１１は電源１２と電源スイッチ１３とからなり、基板処理装置が連続動作している間、スイッチ１３は常時閉状態であり、フィラメント電極４１にフィラメント電流が流れている。また、２つのフィラメント電極４１の間に紫外線ランプ点灯制御回路１４が直列に接続されている。この紫外線ランプ点灯制御回路１４は、交流電源１５と、直流電源１６と、安定器１７及びスイッチ１８とで構成されており、点灯時間設定装置１９からの信号に応じてスイッチ１８が開閉動作し、その結果、紫外線ランプ４を点灯・消灯するようになっている。なお、その他の構成は、第１実施例のそれとほぼ同様であるため、ここでは、その説明を省略する。この第３実施例にかかる基板処理装置では、点灯時間設定装置１９からの信号に基づき、処理開始から所定時刻Ｔまでの間スイッチ１８を閉状態にして紫外線ランプ４を点灯させる。これにより、図８に示すように、当該時間ｔ１（時刻０から時刻Ｔ１までの時間）、紫外線ランプ４からの紫外線が基板１に照射されて、適量の紫外線エネルギーが基板１に与えられる。そして、時刻Ｔ１を経過すると、点灯時間設定装置１９からの信号に応じてスイッチ１８を開状態にして紫外線ランプ４を消灯し、基板１への紫外線照射を停止する。したがって、この装置によれば、タクトタイムにかかわらず、適量の紫外線エネルギーを基板に与えることができる。なお、上記実施例においても、基板１に作用する紫外線エネルギーを基板に与えることができる。なお、上記実施例においても、基板１に作用する紫外線エネルギーをより正確に制御するためには、チャック２に照度センサを取り付けてチャック２上に載置された基板１に照射される紫外線照度を実測し、この実測値に応じて紫外線ランプ点灯制御回路１４の出力信号を調節して紫外線ランプ４の出力を調節すればよい。また、本実施例では紫外線ランプ４を点灯させているときのみならず消灯させているときにもフィラメント電極４１に電流を流しているので、次の基板を処理するために紫外線ランプ４を点灯させたときに紫外線ランプ４は短時間で安定状態に戻ることができる。したがって、従来のように一旦紫外線ランプ４を消灯させても次に点灯させるときに長時間を要することはないので、タクト時間の長時間化を防止することができる。」（第５頁左欄４０−右欄３７行目）と記載されている。
　甲第２号証；紫外線の放射源として誘電バリヤ放電ランプを使用し、紫外線照射下において、被処理物にオゾンを接触させてフォトレジストを灰化して除去することが記載されている。
　甲第３号証；被洗浄物を酸素雰囲気下に配置し、誘電バリヤ放電ランプから放射される紫外線で、被処理物を洗浄することが記載されている。
　甲第４号証；被洗浄物を塩素雰囲気下に配置し、誘電バリヤ放電ランプから放射される紫外線で、被処理物を洗浄することが記載されている。
　甲第５号証；「レジスト除去技術」の項の「４．２．２ＵＶオゾンアッシャの開発のポイント」の欄に「ところでＯ＊はそのままでは１５０秒のライフタイムをもつ準安定状態の電子であるが、実際の反応ではＯ２との再結合により、そのライフタイムは１ナノ秒程度と極めて短くなる。したがって、Ｏ＊とレジストとの反応効率を上げるためには、レジスト表面のごく近傍でＯ３からＯ＊を生成し、速やかに反応に寄与させなければならない。」（４２頁右欄４−９行目）と記載されている。
　甲第６号証；酸素からのオゾン生成を研究するためにＸｅ＊エキシマ放射を生成する誘電体バリヤ放電装置を用いたことが記載されている。
　
４．請求項１に係る発明と前記甲第１号証に記載されたものとを対比する。
　請求項１に係る発明と甲第１号証に記載されたものとを対比すると、甲第１号証に記載されたものは、洗浄の間紫外線ランプを連続して点灯しておくものであるのに対し、請求項１に係る発明が、「紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中の紫外線ランプの点灯と消灯を行う」ものである点で構成上相違する。そして、請求項１に係る発明が、洗浄効率を高め、紫外線や熱によるダメージを少なくし、ランプ交換頻度を少なくし、大面積を精密洗浄することを目的としているのに対し、甲第１号証に記載されたものは、タクトタイムにかかわらず、紫外エネルギーの量を適量にするために、前記構成を採用したものであるから、前記構成の相違が、単なる設計的事項であるとすることもできない。
　したがって、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるとすることは、できない。
　
５．次に、請求項２ないし６に係る発明についてみると、請求項２ないし６に係る発明は、請求項１に係る発明の構成を全て備えた上で、さらに限定を加えたものであるから、この限定した構成が甲第１号証に記載されているまたは、周知の事項であるとしても、前記４．のとおり、請求項１に係る発明が甲第１号証に記載された発明と同一であるとすることができない以上、請求項２ないし６に係る発明も、前記甲第１号証に記載された発明と同一であるとすることはできない。
　
６．異議申立人は、図１および図２に記載された照射装置では、紫外線ランプを点滅させることは不可能であるから、本願は、請求項１ないし６に係る各発明を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に説明したことにはならない旨主張するが、図１は、本願発明の概要を表したものに過ぎず、また、第２図は、誘電体バリヤ放電ランプの一例を示したものであって、本件請求項１ないし６に係る発明の誘電体バリヤ放電ランプの点灯のための回路構成の全てを表したものではない。
　そして、本件特許の願書に添付した明細書の発明の詳細な説明には、段落【００２２】に、「このような照射装置を使用して上記ランプのランプ１本当たりの電気入力を５０Ｗとして、点滅間隔を変化せしめた際の紫外線の総照射時間に対する洗浄速度を調べた。」と記載され、また、段落【００２４】に、「未照射の接触角から洗浄が完全に終了したと考えられる３度の接触角までの所要時間を比較してみると低圧水銀ランプでは２４０秒間、連続点灯の誘電体バリア放電ランプでは１２０秒間、本発明の点滅点灯の誘電体バリア放電ランプでは点灯時間と消灯時間の比が１：３では４７秒間、１：１では７７秒間で洗浄しており、連続点灯の低圧水銀ランプや誘電体バリア放電ランプよりも著しく高い洗浄効率で洗浄が可能となることがわかる。」と記載されていることから、誘電体バリヤ放電ランプは点灯点滅を繰り返すものであることが記載されており、また、段落【００２６】に、「本発明の第二の実施例は、洗浄装置の構成は第一の実施例と同一で、被洗浄物を半導体シリコンウエハに変えて、光洗浄工程の後半１／３工程における単位時間当たりの紫外線照射量を、前半２／３工程における照射量の約５０％に減少させたものである。」と記載されていることから、誘電体バリヤ放電ランプは、単位時間の出力を変化させることができるものであることが記載されている。一方、ランプを点滅させるには、ランプと電源との間に適宜のスイッチング手段を設ければよいこと、また、ランプの出力を変化させるためにランプと電源との間に何らかの制御装置を組み込めばよいことは、技術常識であるから、本発明の実施例の概要を示す図面に、電源と放電ランプとの間に何らの装置を介在させないものしか記載されていないからといって、発明の詳細な説明及び図面には、当業者が容易に実施できる程度に発明の構成が記載されていないとすることはできない。
　
７．したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１ないし６に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１ないし６に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年８月１７日（２００１．８．１７）