【事件の表示】
　特許第２９０１５５０号「防曇素子」の請求項１ないし９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０１５５０号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　　特許第２９０１５５０号の請求項１ないし９に係る発明は、平成８年７月２６日に特許出願され、平成１１年３月１９日にその特許権の設定登録がなされ、その後、その特許について、異議申立人　岡林茂、北田紘治、依田昌三により特許異議の申立がなされ、取消の理由が通知され、その指定期間内である平成１２年６月２０日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
（１）訂正の内容
　　ア．訂正事項ａ
　　　特許請求の範囲の請求項１について「【請求項１】基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を多孔質状に成膜してなり、該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈するように構成してなる防曇素子。」を「【請求項１】基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる多孔質状に成膜してなり、該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解除去して親水性の低下を防止するように構成してなる防曇素子。」と訂正する。
　　イ．訂正事項ｂ
　　　特許請求の範囲の請求項９について「【請求項９】基板部材の表面に反射膜を成膜し、その上に光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、さらにその上に透明な無機酸化膜を多孔質状に成膜してなり該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈する防曇鏡として構成されてなる防曇素子。」を「【請求項９】基板部材の表面に反射鏡を成膜し、その上に光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、さらにその上に透明な無機酸化膜を、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる多孔質状に成膜してなり、該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解除去して親水性の低下を防止する防曇鏡として構成してなる防曇素子。」と訂正する。
　　ウ．訂正事項ｃ
　　　発明の詳細な説明の記載について、「【０００７】【課題を解決するための手段】この発明の防曇素子は、透明基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を多孔質状に成膜して表面が親水性を呈するように構成してなるものである。」を「【０００７】【課題を解決するための手段】この発明の防曇素子は、基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる多孔質状に成膜してなり、該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解除去して親水性の低下を防止するように構成してなるものである。」と訂正する。
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　　上記ａ，ｂの訂正事項に関連する記載として、願書に添付した明細書
（以下、「特許明細書」という）の発明の詳細な説明には、「・・表面を多孔質状に形成したものである。これによれば、毛細管現象により、表面の濡れ性が向上し、・・」（段落【０００２】）、及び「また、多孔質状無機酸化膜の多孔質の開口は、光触媒反応物質膜の表面にまで達するようにして、多孔質の開口内に入り込んだ有機物やＮＯｘが光触媒反応物質膜に直接接触できるようにした方が、光触媒反応が高く得られる。しかし、無機酸化膜がＳｉＯ２等、光触媒反応物質膜がＴｉＯ２等の場合は、多孔質の開口が光触媒反応物質膜の表面にまで達していなくても（すなわち、光触媒反応物質膜の表面に達する途中で塞がれていても）、光触媒反応を生じさせる光線（ＴｉＯ２の場合、主に紫外線）は透明な多孔質状無機酸化膜を透過し、また、光触媒物質で生じた電子や正孔は多孔質状無機酸化膜を透過するので、多孔質に入り込んで付着した有機物やＮＯｘを光触媒反応によって分解して除去することができる。」（段落【００１２】）と記載されていることから、「多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上」することは、特許明細書に記載された範囲内のものであり、新規事項の追加に該当しない。また、上記ａ，ｂの訂正事項は、請求項１及び９の
「多孔質状に成膜」について、さらに技術的に限定してより明瞭にするものであるから、特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明に該当する。
　　また、ｃの訂正事項も同様に、明瞭でない記載の釈明に該当し、新規事項の追加に該当しない。
　　そして、上記いずれの訂正も実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
（３）むすび
　　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する第１２６条第２，３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立の概要
（１）異議申立人岡林茂は、甲第１号証を提出し、請求項１ないし９に係る発明の特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであるから請求項１ないし９に係る発明の特許を取り消すべき旨、また甲第２号証ないし甲第９号証を提出し、請求項１および２，４ないし９に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項に違反してなされたものであるから請求項１及び２，４ないし９に係る発明の特許は取り消すべき旨、さらに請求項１ないし９に係る発明の特許は、その明細書が特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり取り消されるべき旨主張している。
　甲第１号証：特願平８−１８９８５０号（特開平９−５７９１２号公報）
　甲第２号証：「光学薄膜技術」平成３年３月２０日、（株）トリケップス　　　　　　　発行
　甲第３号証：特開平８−１１６３１号公報
　甲第４号証：特開平７−１６４９７１号公報
　甲第５号証：実願昭５９−１５５３８６号（実開昭６１−７０１６０号）　　　　　　　の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロ　　　　　　　フィルム
　甲第６号証：実願平３−１４２１２号（実開平５−１３８７２号）の願書　　　　　　　に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィル　　　　　　　ム
　甲第７号証：特開平２−２４８３４４号公報
　甲第８号証：日本経済新聞　平成８年７月２４日付
　甲第９号証：日本経済新聞　平成８年７月２５日付
（２）異議申立人北田紘治は、甲第１号証ないし甲第４号証を提出し、請求項１，２，４ないし９に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項に違反してなされたものであるから請求項１，２，４ないし９に係る発明の特許は取り消されるべき旨、さらに甲第５号証を提出し、請求項１，２，４，５，８，９に係る発明の特許は、特許法第２９条の２に違反してなされたものであるから、請求項１，２，４，５，８，９に係る発明の特許は取り消されるべき旨主張している。
　甲第１号証：特開平８−１１６３１号公報
　甲第２号証：特開昭６１−９１０４２号公報
　甲第３号証：Advances　in　Chemistry　series，Colloid　Chemistry　
　　　　　　　of　Silica，Vol.234，p535-559
　甲第４号証：J．Phys．Chem．，99，9882-9885（1995）
　甲第５号証：特願平８−２１８２２０号（特開平９−２２７１６０号）
（３）異議申立人依田昌三は、甲第１号証および参考資料として甲第２号証を提出し、請求項１ないし９に係る発明の特許は特許法第２９条の２の規定に違反してなされたものであるから請求項１ないし９に係る発明の特許を取り消すべき旨、また請求項１及びそれに従属する請求項に係る発明の特許は、その明細書が特許法第３６条第６項第２号および特許法第３６条第４項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり取り消されるべき旨主張している。
　甲第１号証：特開平９−５７９１２号公報
　甲第２号証：「光学薄膜技術」平成３年３月２０日、（株）トリケップス　　　　　　　発行
４．特許異議申立についての判断
（１）特許法第２９条第２項違反の申立に対して
　　ア　本件発明
　　　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という）は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　　イ　引用刊行物
　　　当審が通知した取消理由に引用した刊行物１（異議申立人岡林茂の提出した甲第８号証）には、ＴＯＴＯが開発した「汚れを防ぐ被膜技術」に関し、水がかかっても水滴にならず曇らない、且つ油性物質をはじくために汚れもつきにくい、超親水性薄膜を開発したこと、該薄膜が酸化チタン系の薄膜にシリコン系の蓄水性物質を組み合わせて薄膜を焼成するものであること、刊行物２（異議申立人岡林茂の提出した甲第９号証）には、超親水性技術は、光触媒となる酸化チタンと、ある組成を組み合わせたもので、酸化チタンの光触媒反応を利用することが、刊行物３（異議申立人岡林茂の提出した甲第３号証、異議申立人北田紘治の提出した甲第１号証）には、多孔質状のＳｉＯ２　膜を固定成膜して、表面の濡れ性を改良し親水性を高めた防曇鏡が、刊行物４（異議申立人北田紘治の提出した甲第２号証）には、「ガラス表面上に所定の厚さで表面に微細な凹凸を有するシリカ、チタニア等の無機酸化物の薄膜を形成したことを特徴とする防曇ガラス。」が、刊行物５（異議申立人岡林茂の提出した甲第４号証）には、親水性膜を設けた防曇鏡において、反射膜に抵抗発熱体を積層し、抵抗発熱体に通電して発熱させ、防曇効果を向上せしめることが、刊行物６（異議申立人岡林茂の提出した甲第５号証）には、親水性膜を設けた防曇鏡において、反射鏡を抵抗発熱体を積層し、抵抗発熱体に通電して発熱させることが、刊行物８（異議申立人岡林茂の提出した甲第７号証）には、ガラス基板と撥水シリコーン層の間に反射鏡を設けることが、それぞれ記載されている。
　　ウ　対比・判断
　　　本件発明と刊行物１記載の発明とを比較すると、刊行物１には、光触媒としての酸化チタンの薄膜に、無機酸化物であるシリコン系蓄水性物質を組み合わせることが記載されているが、酸化チタン膜の表面に、無機酸化膜を多孔質状に成膜することは記載がない。
　　　そして、刊行物３ないし８の記載を参酌すれば、多孔質のシリコン膜が親水性を有し、鏡の表面に成膜すれば、防曇性が発揮できることが知られていたとしても、刊行物１の技術が、酸化チタン膜自体が光触媒活性によって、（超）親水性を発揮するものであるから、刊行物３ないし４に記載されるような多孔質状酸化膜による親水性を利用する防曇技術を刊行物１記載の技術に適用する動機付けが存在しない。
　　　したがって、本件請求項１に係る発明は、刊行物１ないし８記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
　　　請求項２ないし９に係る発明は、請求項１を引用するか、請求項１の構成をそっくり含む発明であるから、請求項１に係る発明と同じ理由で、刊行物１ないし８記載のものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
（２）特許法第２９条の２違反の申立に対して
　　ア　先願明細書
　　　当審が通知した取消理由に引用した先願明細書１（異議申立人岡林茂の提出した甲第１号証、異議申立人依田昌三の提出した甲第１号証）には、「基材と、前記基材の表面に形成された光触媒性半導体からなる層と、さらにその表面に形成されたシリカのごとき無機酸化物の層からなり、該無機酸化物が最表面に配置された、前記光触媒性半導体材料の光励起に応じて、親水化され基材の曇りが防止される複合材料」が記載され、、さらにシリカ膜の形成方法として、金属シリコン又はシリカのターゲットに酸化雰囲気で電子ビームを照射する方法が示されている。
　　　当審が取消理由に引用した先願明細書２（異議申立人北田紘治の提出した甲第５号証）は、本件特許出願日の前の他の特許出願の願書に最初に添付した明細書ではないので、特許法第２９条の２は適用できない。
　　イ　対比・判断
　　　本件発明の請求項１に係る発明と先願明細書１に記載される発明とを比較すると、両者は、「基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を成膜してなり、該無機酸化膜を素子の最表面に配置して、表面が親水性を呈するように構成してなる防曇素子」である点で一致するが、後者には、「多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる多孔質状に成膜し」という構成について記載がない点で相違する。
　　　ところで、先願明細書１に記載された発明において、光触媒性半導体材料からなる層の表面に、さらに親水性の層を設けた理由は、「基材表面に光触媒性半導体のみからなる層を形成いたのではいったん光触媒性半導体材料の光励起に応じて、親水化させた後、暗所に放置すると水の接触角の上昇が早い」という問題を解決するためであり、前記親水性の層の表面は前記光触媒性半導体材料の光励起に応じて、親水化されるものである。したがって、親水性層の表面は特に多孔質状である必要性はなく、また、権利者が提出した乙第１ないし３号証の記載によれば、電子ビームの照射などによる成膜法により必ず多孔質状になるとは限らないことを考えると、先願明細書１に、親水性層の成膜方法の一つに電子ビーム法が開示されていたからといって直ちに多孔質状膜が成膜されると解することはできない。
    　したがって、本件請求項１に係る発明は先願明細書１に記載された発明とはいえない。
（３）特許法第３６条明細書の不備について
　　異議申立人岡林茂は、一般に膜の表面は多かれ少なかれ、空隙や凹凸を有しているのであるから、「多孔質状」の定義がされていなければ、どの程度の空隙を有しているものまでが本件発明に含まれるのか不明でありその外延を特定することが不可能であるのに、本件明細書には「多孔質状」を定義する記載はなく、請求項１及び請求項９に記載の「無機酸化膜を多孔質状に成膜してなり」は、明確ではない旨主張し、また特許異議申立人依田昌三も、請求項１の「多孔質状」の意味するところが明確でなく、その外延が不明確であり、その結果、本件発明は明細書及び図面に当業者が容易に実施ができる程度に明確かつ十分に記載されていない旨主張する。
　　しかしながら、本件発明は、表面を多孔質状に形成し、その毛細管現象により表面の濡れ性を向上させ、親水性を高めて防曇性を向上させる技術に関するものであるから、本件発明の「多孔質状」とは、毛細管現象により表面の濡れ性を向上させ得るようなものをいい、毛細管現象を生じ得ない単なる凹凸のようなものが含まれないことは明らかであるから、本件明細書の記載が不明確とはいえず、本願は特許法第３６条各項の要件を満たしている。
４．むすび
　　以上のとおりであるから、本件発明の特許は、特許異議申立の理由及び証拠によっては取り消すことはできない。
　　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月１４日（２００１．５．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
１．特許第２９０１５５０号発明の明細書中特許請求の範囲【請求項１】及び【請求項９】の、「透明な無機酸化膜を」の後に「、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる」を、「表面が親水性を呈」の後に「し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解除去して親水性の低下を防止」を、特許請求の範囲の減縮及び明瞭でない記載の釈明を目的として、それぞれ挿入する。
２．特許第２９０１５５０号発明の明細書中発明の詳細な説明段落【０００７】の、「透明な無機酸化膜を」の後に「、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる」を、「表面が親水性を呈」の後に「し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解除去して親水性の低下を防止」を、明瞭でない記載の釈明を目的として、それぞれ挿入する。
（５４）【発明の名称】
防曇素子
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を
、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる
し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解し除去して親水性の低下を防止
　【請求項２】
　前記光触媒反応物質膜がＴｉＯ２膜で構成され、前記無機酸化膜がＳｉＯ２膜で構成されてなる請求項１記載の防曇素子。
　【請求項３】
　前記基板部材の表面と前記光触媒反応物質膜との間に透明電極膜が成膜され、当該透明電極膜が通電可能に構成されてなる請求項１または２記載の防曇素子。
　【請求項４】
　全体が透明で自動車用ウインドウとして構成されてなる請求項１から３のいずれかに記載の防曇素子。
　【請求項５】
　前記基板部材の裏面に反射膜が成膜されて、防曇鏡として構成されてなる請求項１から３のいずれかに記載の防曇素子。
　【請求項６】
　前記基板部材の裏面に反射膜が成膜され、当該反射膜のさらに背面側に抵抗発熱体が積層され、当該抵抗発熱体が通電可能に構成されて、防曇鏡として構成されてなる請求項１または２に記載の防曇素子。
　【請求項７】
　前記基板部材の裏面に反射膜が成膜され、当該反射膜が通電可能に構成されて当該反射膜自体が抵抗発熱体を構成し、防曇鏡として構成されてなる請求項１または２に記載の防曇素子。
　【請求項８】
　自動車用アウタミラーとして構成されてなる請求項５から７のいずれかに記載の防曇素子。
　【請求項９】
　基板部材の表面に反射膜を成膜し、その上に光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、さらにその上に透明な無機酸化膜を
、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる
し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解し除去して親水性の低下を防止
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　この発明は、ガラス板等の基板部材の表面に多孔質状の無機酸化膜を成膜して表面を親水性にして防曇性を持たせた防曇素子に関し、親水性の低下を防止して、長期間にわたり防曇性を維持できるようにしたものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ガラス基板等の基板部材の表面に多孔質状の無機酸化膜を成膜して表面を親水性にして防曇性を持たせた防曇素子として、本出願人が特願平６−１６８５８２号（特開平８−１１６３１号）で提案した防曇素子がある。これは、図２に拡大断面図で示すように、透明ガラス基板等の基板部材１０の表面にＳｉＯ２等の無機酸化膜１２をイオンプレーティングやスパッタリング等のＰＶＤ法等で成膜して、表面を多孔質状に形成したものである。これによれば、毛細管現象により、表面の濡れ性が向上し、親水性が高められて、防曇性が得られる。したがって、これを自動車用アウタミラー、バスルーム用鏡、自動車用ウインドウ、窓ガラス等に適用すれば、水滴が玉状に付着しにくくなり、視認性が良好になる。
　【０００３】
　基板部材の表面に多孔質状無機酸化膜を形成した場合と形成してない場合での、ミラー表面に付着した水滴の挙動の違いを図３に示す。図３（ａ）は、多孔質状無機酸化膜を形成してない場合で、水滴１４は玉状になったまま撥水性のミラー表面（ガラス基板１０の表面）に付着する。この状態では、水滴１４が曲率の小さな半球状となり、レンズ効果で水滴！４に映る後方像が上下反転するため、空、街灯等の明るい像が水滴１４の下半分に映し出されて見にくさを増長する。
　【０００４】
　これに対し、図３（ｂ）のように多孔質状無機酸化膜１２を形成した場合には、ミラー表面（多孔質状無機酸化膜１２の表面）に付着した水滴１４は薄い膜状に広がる。このためレンズ効果が起こりにくくなり、水が付着したままでも視認性の低下が防止される。また、このように膜状に広がることにより、空気との接触面積が広がって蒸発しやすくなる。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　前記図２の構造によれば、例えば自動車用アウタミラーに適用した場合に、誤って多孔質無機酸化膜１２の表面に直接ワックスを塗り込んでしまった場合、あるいは液状ワックスがかかってしまった場合等には、多孔質の開口がワックス等で埋められて平滑面となり、親水性が低下して防曇性が失われることがあった。このような場合にクリーナで洗浄する必要があり、傷付き等品質が低下するおそれがあった。また、長期間の使用により、大気中の有機物やＮＯｘ等が付着して親水性が低下して防曇性が失われることがあった。
　【０００６】
　この発明は、前記従来の技術における問題点を解決して、親水性の低下を防止して、長期間にわたり防曇性を維持できるようにした防曇素子を提供しようとするものである。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　この発明の防曇素子は、基板部材の表面に、光触媒反応を呈する透明な光触媒反応物質膜を成膜し、その上に透明な無機酸化膜を
、多孔質の開口が該無機酸化膜の表面から該無機酸化膜の内部の途中までまたは前記光触媒反応物質膜の表面にまで達して形成され、もって表面の濡れ性が向上し親水性が高められる
し、かつ該表面に付着した有機物を前記光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解し除去して親水性の低下を防止
　【０００８】
　光触媒反応とは、ＴｉＯ２等の半導体をそのバンドギャップ以上のエネルギを持つ波長で励起すると、半導体内部に電子・正孔対が生成され、この電子・正孔対が半導体表面に取り出されて、半導体表面に付着した物質に酸化還元反応を生じさせる現象である。光励起されたＴｉＯ２の正孔は非常に強い酸化力を持ち、表面に付着した有機物は光触媒反応によって分解されて除去される。
　【０００９】
　したがって、この発明によれば、多孔質状無機酸化膜の多孔質の開口にワックス等の有機物やＮＯｘが入り込んで付着しても、光触媒反応物質膜の光触媒反応によって分解されて除去される。したがって、親水性の低下が防止され、長期間にわたり防曇性を維持することができる。
　【００１０】
　なお、この発明の無機酸化膜の材料としては、例えばＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３等の金属酸化物を用いることができる。これらの金属酸化物は表面に親水性のＯＨ基を有しているため概して親水性を示す。発明者らの実験によればＳｉＯ２が最良の親水性が得られた。
　【００１１】
　また、この発明の光触媒反応物質膜の材料としては、ＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＳｎＯ２、ＺｎＳ、ＣｄＳ等の半導体を用いることができる。このうち、ＴｉＯ２は反応性、持続性、安全性等の点で最も適している。
　【００１２】
　また、多孔質状無機酸化膜の多孔質の開口は、光触媒反応物質膜の表面にまで達するようにして、多孔質の開口内に入り込んだ有機物やＮＯｘが光触媒反応物質膜に直接接触できるようにした方が、光触媒反応が高く得られる。しかし、無機酸化膜がＳｉＯ２等、光触媒反応物質膜がＴｉＯ２等の場合は、多孔質の開口が光触媒反応物質膜の表面にまで達していなくても（すなわち、光触媒反応物質膜の表面に達する途中で塞がれていても）、光触媒反応を生じさせる光線（ＴｉＯ２の場合、主に紫外線）は透明な多孔質状無機酸化膜を透過し、また光触媒物質膜で生じた電子や正孔は多孔質状無機酸化膜を透過するので、多孔質の開口に入り込んで付着した有機物やＮＯｘを光触媒反応によって分解して除去することができる。
　【００１３】
　また、光触媒反応物質膜の膜厚は、厚い方が光触媒反応が強く得られるが、膜強度との兼ね合いもあり、例えばＴｉＯ２の蒸着膜では２０００オングストローム以内程度が適当であると考えられる。また、多孔質状無機酸化膜の膜厚は、例えばＳｉＯ２膜を多孔質の開口が塞がれないように（すなわち、開口が光触媒反応物質膜の表面にまで達するように）蒸着で成膜するには、蒸着速度とも関係するが、１５０オングストローム程度が適当であると考えられる。この程度の厚さでも親水性は十分に得られる。なお、蒸着速度が速い場合は、１５０オングストロームより厚く成膜しても、多孔質の開口が塞がれないように成膜することができる。
　【００１４】
　この発明の防曇素子は、例えば基板部材を透明ガラス基板等の透明基板部材で構成することにより自動車用ウインドウや建物用窓ガラス等として構成することができる。この場合、太陽光線によって光触媒反応が得られる。なお、光触媒反応物質膜をＴｉＯ２で構成すれば、ＴｉＯ２は紫外線を吸収する作用があるため、紫外線カット効果も得られる。また、防曇膜を室外（車外）側に形成すれば、雨滴等の除去効果が得られ、室内（車内）側に形成すれば、結露等の除去効果が得られる。内外両面に防曇膜を形成することもできる。
　【００１５】
　また、この発明の防曇素子は、基板部材に反射膜を成膜して、自動車用アウタミラーやバスルーム用鏡として構成することができる。自動車用アウタミラーの場合は、太陽光線によって光触媒反応が得られる。また、バスルーム用鏡の場合は蛍光灯から照射される紫外線等によって光触媒反応を得ることができる。
　【００１６】
　【発明の実施の形態】
　この発明の実施の形態を図１（ａ）に断面図で示す。ガラス基板等の透明基板部材１０の一方の表面１０ａには、ＴｉＯ２等の透明な光触媒反応物質膜１８が例えば約１０００オングストロームの厚さに成膜され、さらに光触媒反応物質膜１８の表面１８ａには、ＳｉＯ２等の透明な無機酸化膜１２が例えば約１５０オングストロームの厚さに成膜されて、全体が透明（無色透明または有色透明）に構成されている。無機酸化膜１２は図１（ｂ）に拡大して示すように多孔質状に構成され、多孔質の開口２０は光触媒反応物質膜１８の表面１８ａにまで達していて、この開口２０内に露出する光触媒反応物質膜１８の表面１８ａは外気２２に晒されている。
　【００１７】
　以上の構成によれば、表面の無機酸化膜１２は多孔質状に形成されているので親水性を呈し、付着した水滴を薄い膜状に広げて防曇効果を発揮する。また、図１（ｂ）に示すように、多孔質の開口２０にワックス等の有機物やバクテリアや大気中のＮＯｘ等２４（以下「有機物等」という）が入り込んで付着した場合には、太陽光その他の光線２６（紫外線等）が無機酸化膜１２を透過して光触媒反応物質膜１８に照射されて、光触媒反応物質膜１８が光励起される。この光励起によって光触媒反応物質膜１８内に電子・正孔対が生成され、これが開口２０内に付着した有機物等２４と反応し、酸化還元反応が進行して有機物等２４を分解して除去させる。したがって、親水性の低下が防止され、長期間にわたり防曇性を維持することができる。
　【００１８】
　【発明の他の実施の形態】
　この発明の他の実施の形態を図４に、図１（ａ）のＡ部拡大断面図として示す。ガラス基板等の透明基板部材１０の一方の表面１０ａには、ＴｉＯ２等の透明な光触媒反応物質膜１８が例えば約１０００オングストロームの厚さに成膜され、さらに光触媒反応物質膜１８の表面１８ａには、ＳｉＯ２等の透明な無機酸化膜１２が例えば約１０００オングストロームの厚さに成膜されて、全体が透明（無色透明または有色透明）に構成されている。無機酸化膜１２は多孔質状に構成され、多孔質の開口２０は光触媒反応物質膜１８の表面１８ａにまで達せず、途中で塞がれている。
　【００１９】
　以上の構成によれば、表面の無機酸化膜１２は多孔質状に形成されているので親水性を呈し、付着した水滴を薄い膜状に広げて防曇効果を発揮する。また、図１（ｂ）に示すように、多孔質の開口２０に有機物等２４が入り込んで付着した場合には、太陽光その他の光線２６（紫外線等）が無機酸化膜１２を透過して光触媒反応物質膜１８に照射されて、光触媒反応物質膜１８が光励起される。この光励起によって光触媒反応物質膜１８内に電子・正孔対が生成され、これが無機酸化膜１２を透過して、開口２０内に付着した有機物等２４と反応し、酸化還元反応が進行して有機物等２４を分解して除去させる。したがって、親水性の低下が防止され、長期間にわたり防曇性を維持することができる。
　【００２０】
　図１、図４の防曇素子２８の製造方法の一例について説明する。ここでは、基板部材１０をガラス基板で構成し、光触媒反応物質膜１８をＴｉＯ２で構成し、無機酸化膜１２をＳｉＯ２で構成するものとする。また、ＴｉＯ２膜１８、ＳｉＯ２膜１２の成膜をいずれも蒸着法で行うものとする。
　【００２１】
　図５に真空蒸着装置７２の一例を示す。真空槽７４内は、拡散ポンプ８６およびロータリポンプ８８によって排気される。真空槽７４内の上部には基板ホルダ７６が配置され、これにガラス基板１０が成膜面を下方に向けて保持されている。基板ホルダ７６はヒータ７８で加熱され、ガラス基板１０は基板ホルダ７６を介して所望の温度に調整される。ガラス基板１０の下方位置にはるつぼ８０が配置され、その中に蒸着材（蒸着の出発物質）８２が収容されている。ＴｉＯ２膜１８を成膜する場合の蒸着材８２としては、ＴｉＯ２、Ｔｉ２Ｏ３、Ｔｉ等がある。ＳｉＯ２膜１２を成膜する場合の蒸着材８２としては、ＳｉＯ２、ＳｉＯ等がある。
　【００２２】
　蒸着材８２は熱陰極８４から放射される電子ビーム８６が照射されて蒸発する。酸素ボンベ９０からは反応性ガスとして酸素ガス９４が真空槽７４内に導入される。蒸発した蒸着材８２は酸素と反応してＴｉＯ２あるいはＳｉＯ２が生成され、これがガラス基板１０の表面に堆積して、ＴｉＯ２膜１８あるいはＳｉＯ２膜１２が成膜される。成膜時の膜厚は膜厚監視装置９２で監視され、所望の膜厚に達したところで蒸着が停止される。
　【００２３】
　蒸着膜の膜質は、真空槽内の酸素ガスの分圧、基板温度、蒸着速度等によって変化することが知られている。ＴｉＯ２の結晶構造にはルチル型とアナターゼ型があるが、アナターゼ型の方が光触媒効果が大きいので、アナターゼ型に成膜させるのが望ましい。アナターゼ型に成膜させるためには、基板温度を２００℃前後の比較的低温でＴｉＯ２膜１８の成膜を行うことが望ましい（基板温度が高いとルチル型となる。）。
　【００２４】
　また、ＳｉＯ２膜１２は、蒸着速度を速くしたり、酸素分圧を高くする等により、多孔質に成膜することができる。すなわち、蒸着速度を速くすると均一な膜になりにくくなり、凹凸の大きい膜になり易くなる。また、酸素分圧を高くすると、基材の表面（この場合、ＴｉＯ２膜１８の表面）に付着するエネルギが低下し、凹凸の大きい膜になり易くなる。
　【００２５】
　ＴｉＯ２膜１８を繊密な膜に成膜し、ＳｉＯ２膜１２を多孔質の膜に成膜するための成膜条件の一例を下表に示す。
　【００２６】
　なお、ＴｉＯ２膜１８の成膜に比較的繊密な膜を成膜できるスパッタ法を行い、ＳｉＯ２１２膜の成膜に比較的粗い膜を成膜できる蒸着法で行うというように、両膜１８，１２の成膜法を異ならせることもできる。
　【００２７】
　図５の真空蒸着装置７２によるＴｉＯ２膜１８およびＳｉＯ２膜１２の成膜手順の一例を以下説明する。ＴｉＯ２膜１８の成膜は例えば次の手順で行われる。
（１）ガラス基板１０を基板ホルダ７６に保持し、るつぼ８０内に蒸着材８２として例えばＴｉ２Ｏ３を収容して真空槽７４を閉じる。
（２）ロータリポンプ８８および拡散ポンプ８６を駆動して真空槽７４内を真空引きする。
（３）ヒータ７８を駆動して、基板ホルダ７６を通してガラス基板１０を所定の温度に加熱する。
（４）酸素ボンベ９０から酸素を真空槽７４内に導入する。
（５）熱陰極８４を駆動して、電子ビーム８６を蒸着材８２であるＴｉ２Ｏ３に照射してＴｉ２Ｏ３を蒸発させる。
（６）蒸発したＴｉ２Ｏ３は酸素と反応してＴｉＯ２が生成され、ガラス基板１０上に堆積して成膜される。
（７）約１０００オングストローム堆積したところで成膜を終了させる。
　【００２８】
　ＴｉＯ２膜１８の成膜が終了したら、引き続きＳｉＯ２膜１２の成膜を行う。ＳｉＯ２膜の成膜は例えば次の手順で行われる。
（１）るつぼ８０内に蒸着材８２として例えばＳｉＯ２を収容して真空槽７４を閉じる。
（２）ロータリポンプ８８および拡散ポンプ８６を駆動して真空槽７４内を真空引きする。
（３）ヒータ７８を駆動して、基板ホルダ７６を通してガラス基板１０を所定の温度に加熱する。
（４）酸素ボンベ９０から酸素を真空槽７４内に導入する。
（５）熱陰極８４を駆動して、電子ビーム８６を蒸着材８２であるＳｉＯ２に照射してＳｉＯ２を蒸発させる。
（６）蒸発したＳｉＯ２がガラス基板１０のＴｉＯ２膜１８上に堆積して成膜される。
（７）約１５０オングストローム（図１（ｂ）の構造の場合）あるいは約１０００オングストローム（図４の構造の場合）堆積したところで成膜を終了させる。
　【００２９】
　【実施例】
　この発明の各種実施例を説明する。実施例１〜５（図６〜１０）は自動車用アウタミラーに適用した例（図７〜１０）はミラーボデーを省略して図示）、実施例６〜８（図１１〜１３）は自動車用ウインドウに適用した例（建物用窓ガラスに適用した場合も同じ）、実施例９（図１４）はバスルーム用鏡に適用した例である。
　【００３０】
　（１）実施例１（図６）
　自動車用アウタミラー３０はドアミラーやフェンダーミラーとして構成されたものである。アウタミラー３０はミラーボデー３２内にミラーアッセンブリ３４を収容配置している。ミラーアッセンブリ３４は透明ガラス基板１０の前面にＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を成膜し、透明ガラス基板１０の背面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６を成膜している。車両の後方映像はＳｉＯ２膜１２、ＴｉＯ２膜１８、透明ガラス基板１０を透過して反射膜３６で反射されて、逆の経路を辿って運転者の視点に導かれる。ＳｉＯ２膜１２の多孔質の開口に入り込んで付着した有機物等はＴｉＯ２膜１８の光触媒反応による酸化還元反応で分解される。
　【００３１】
　（２）実施例２（図７）
　自動車用アウタミラー３８のミラーアッセンブリ４０は透明ガラス基板１０の前面にＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を成膜し、透明ガラス基板１０の背面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６を成膜している。反射膜３６の裏面のほぼ全域には、発熱体としてパネル状ヒータ４２が粘着剤、接着剤等によって貼着され、電源４４によって通電される。パネル状ヒータ４２は例えばＰＴＣ（正特性サーミスタ）パネルヒータであれば、自動車用バッテリ電源で直接駆動することができ、温度制御回路等は不要である。ＰＴＣパネルヒータは、ＰＴＣ特性を付与された高分子面状発熱体（導電性樹脂に銀、銅等の電極を配設し、ＰＥＴフィルムでラミネートしたもの等）等で構成される。ＳｉＯ２膜１２で薄い膜状に広がった水滴は、パネル状ヒータ４２で加熱されることによって、効果的に除去（蒸発）される。
　【００３２】
　（３）実施例３（図８）
自動車用アウタミラー４６のミラーアッセンブリ４８は透明ガラス基板１０の前面に発熱体としてＩＴＯ等の透明電極膜５０、ＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を順次成膜し、透明ガラス基板１０の背面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６を成膜している。透明ガラス基板１０と透明電極膜５０の積層体の上辺および下辺にはクリップ電極５４，５６が装着され、電源４４から透明電極膜５０に通電することにより、透明電極膜５０が加熱されて、ＳｉＯ２膜１２の表面で薄い膜状に広がった水滴が効果的に除去される。
　【００３３】
　（４）実施例４（図９）
自動車用アウタミラー５６のミラーアッセンブリ５８は透明ガラス基板１０の前面にＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を成膜し、透明ガラス基板１０の背面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６を成膜している。ミラーアッセンブリ５８の上辺および下辺にはクリップ電極５４，５６が装着され、電源４４から反射膜３６（兼発熱体）に通電することにより、反射膜３６が加熱されて、ＳｉＯ２膜１２の表面で薄い膜状に広がった水滴が効果的に除去される。
　【００３４】
　（５）実施例５（図１０）
この自動車用アウタミラー６０は表面鏡（基板部材の前面側に反射膜が形成されたミラー）として構成されたものである。ミラーアッセンブリ６２はガラス基板１０′（透明である必要はない。）の前面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６、ＴｉＯ２膜１２、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を順次成膜し、ガラス基板１０′の背面にパネル状ヒータ４２を貼着または接着している。パネル状ヒータ４２は電源４４によって通電されて加熱される。パネル状ヒータ４２に代えて、図９と同様に反射膜３６自体を発熱体として用いることもできる。
　【００３５】
　（６）実施例６（図１１）
自動車用ウインドウ６４は、ウインドウガラス本体を構成する透明ガラス基板１０の一方の表面（車外側の面あるいは車内側の面）１０ａにＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２に成膜して全体が透明（無色透明、有色透明）に構成されている。ＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２が車外側にあれば雨滴等の除去効果が得られ、車内側にあれば結露等の除去効果が得られる。
　【００３６】
（７）実施例７（図１２）
自動車用ウインドウ６６は、ウインドウガラス本体を構成する透明ガラス基板１０の一方の表面（車外側の面あるいは車内側の面）１０ａにＩＴＯ等の透明電極膜５０、ＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を順次成膜して全体が透明に構成されている。透明ガラス基板１０と透明電極膜５０の積層体の上辺および下辺にはクリップ電極５４，５６が装着され、電源４４から透明電極膜５０に通電することにより、透明電極膜５０が加熱されて、多孔質状ＳｉＯ２膜１２の表面で薄い膜状に広がった水滴が効果的に除去される。
　【００３７】
　（８）実施例８（図１３）
自動車用ウインドウ６８は、透明ガラス基板１０の両面にＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を成膜して、両面に防曇性を持たせたものである。透明ガラス基板１０の表面とＴｉＯ２膜１８との間にＩＴＯ等の透明電極膜を配することもできる。
　【００３８】
　（９）実施例９（図１４）
バスルーム用鏡７０は透明ガラス基板１０の前面にＴｉＯ２膜１８、多孔質状ＳｉＯ２膜１２を成膜し、透明ガラス基板１０の背面にＣｒ，Ａｌ等の反射膜３６を成摸している。反射膜３６の背面に発熱体（ＰＴＣ等のパネル状ヒータ等）を配置したり、透明ガラス基板１０とＴｉＯ２膜１８との間にＩＴＯ等の透明電極膜を配置することもできる。
　【００３９】
　尚、前記各実施例では基板部材をガラス基板で構成したが、ガラス以外の基板（プラスチック等）で構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】　この発明の実施の形態を示す断面図および一部拡大断面図である。
　【図２】　従来の防曇素子を示す断面図である。
　【図３】　多孔質状無機酸化膜による防曇動作の説明図である。
　【図４】　この発明の他の実施の形態を示す一部拡大断面図である。
　【図５】　この発明の無機酸化膜および光触媒反応物質膜を成膜するための真空蒸着装置の一例を示す図である。
　【図６】　この発明を自動車用アウタミラーに適用した実施例（実施例１）を示す断面図である。
　【図７】　この発明を自動車用アウタミラーに適用した実施例（実施例２）を示す断面図である。
　【図８】　この発明を自動車用アウタミラーに適用した実施例（実施例３）を示す断面図である。
　【図９】　この発明を自動車用アウタミラーに適用した実施例（実施例４）を示す断面図である。
　【図１０】　この発明を自動車用アウタミラーに適用した実施例（実施例５）を示す断面図である。
　【図１１】　この発明を自動車用ウインドウに適用した実施例（実施例６）を示す断面図である。
　【図１２】　この発明を自動車用ウインドウに適用した実施例（実施例７）を示す断面図である。
　【図１３】　この発明を自動車用ウインドウに適用した実施例（実施例８）を示す断面図である。
　【図１４】　この発明をバスルーム用鏡に適用した実施例（実施例９）を示す断面図である。
　【符号の説明】
１０　透明ガラス基板（透明基板部材）
１０′　ガラス基板（基板部材）
１２　ＳｉＯ２膜（多孔質状の無機酸化膜）
１８　ＴｉＯ２膜（光触媒反応物質膜）
２０　多孔質の開口
２２　外気
３０，３８，４６，５６，６０自動車用アウタミラー（防曇鏡）
４２　パネル状ヒータ（抵抗発熱体）
５０　ＩＴＯ膜（透明電極膜）
６４，６６，６８　自動車用ウインドウ
７０　バスルーム用鏡（防曇鏡）