(57)【要約】本発明は、リニアモーターの固定子及び回転子と、メインベースに形成された上向き凸形仕切り部、ＬＭレール及びＬＭブロックと、そして長手方向に長く弾設されたメインカバーとを含み、これにより装置を簡便に設置できることはもとより、装置を全体として安定的に所定距離を往復移動させられるようにしたリニアモーターのガイド装置に関する。本発明によるリニアモーターのガイド装置は、作業ロボットに装着され、装置の長手方向の全長の範囲内で往復移動手段が往復移動し、本装置は装置全体にわたって所定幅と所定長さを有し、その上面に装置の構成要素が装着されるメインベースと；前記メインベース上に形成される駆動手段と；前記メインベースに設けられ、駆動手段の駆動力によって装置の長手方向全長の範囲内で往復移動する往復移動手段と；そして前記往復移動手段上に設けられメインベースの側端部をカバーする側面カバーと係合されるメインカバーと、を含む。【選択図】図２
2008509650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業ロボットに装着されるリニアモーターのガイド装置であって、
装置全体にわたって所定幅と所定長さを有することを可能にする寸法で、かつその上に装置の構成要素が装着されるメインベースと；
前記メインベース上に配置される駆動手段と；
前記メインベースに設けられ、前記駆動手段の駆動力によって装置の長手方向全長の範囲内で所定の距離を往復移動するための往復移動手段と；そして
前記往復移動手段上に設けられ、且つメインベースの両側面をカバーするために前記メインベースの両側面に結合された側面カバーと係合するメインカバーと、を含むことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記メインカバーが上部密閉型テーブルに形成された結合空間に取り付けられ、そして前記係合空間の下側に開口部を形成し、これによりその下側でメインベースに取り付けられ、メインカバーに係合するため前記開口部に少なくとも１つの支持体を内設することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記メインカバーの両側は、メインベースの本体部の外側を囲む下向き湾曲部を形成するため下を向き、前記湾曲部の両側は該湾曲部に対応する、外係合空間と連通する下向きの側面空間部を形成することを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
その側面が夫々長手方向に沿って凹入するＬＭレールが所定の長さだけ前記メインベース内に設置されることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記駆動手段は、リニアモーターの固定子であることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
前記メインカバーは、前記メインカバーの両側面から内方へ凹入した凹入部と、前記凹入部の両端付近に形成された細長い中空部と、そして弾性ブロックを介して固定手段によって前記凹入部に固定された側面カバーと、を含むことを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記メインベースは、中央部で所定幅を置いて対向形成され、そのどちらか一方の内面には移動距離の計測を可能にするスケールが取り付けられている上向き凸形仕切り部と、前記上向き凸形仕切り部とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部とそれぞれ対向形成されている上向き凸形部材と、を含む請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項８】
前記往復移動手段は、その形状及び位置が前記ＬＭレールの凹部に対応する凹部を有し、これにより前記ＬＭブロックは前記ＬＭレールに沿って直線的に往復移動することが出来る前期テーブルの底面に取付けられた少なくとも一つのＬＭブロックを含み、そして該テーブルはリニアモーターの固定子と対向配置されたリニアモーターの回転子を有し、メインカバのエッジ表面に沿って非接触式で移動し得るように位置し、これにより、前記リニアモーターの固定子とリニアモーターの回転子の相互作用により前記往復移動手段が往復移動することを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記往復移動手段は、その一側面が前記メインベースの上向き凸形仕切り部とそれに取り付けられた所定形状のスケールに沿って摺動自在に移動し、これにより移動距離を計測するスケールヘッドと、前記スケールヘッドの頂部に一体に結合され、その一端に前記テーブルの一側面上に固定手段で固定されるスケールブロックと、を含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
４個のストッパーブロックが前記メインベースのそれぞれの角部に位置し、 前記メインベースに固定手段によって固着され、さらにそれぞれの側面カーバに固定手段によって固着され、これにより互いに対向するそれぞれのストッパーブロックの端部に突出型クッション部が形成されることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記往復手段の移動方向に沿って前記メインベースの所定の位置に一直線上に配列され、前記往復移動手段の位置を感知する複数のセンサーが前記ＬＭブロックとともにメインベース上に配置されることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記メインベースは、メインベースの底部に形成されたねじ穴部材と、ＬＭブロックに形成されたボルト結合部材とを含む固定手段を備え、これにより前記部材が前記装置を外部装置に対し上方または下方に選択的に固定されることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
前記メインカバーの両側端部には、階段状貫通穴が形成されることを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記テーブルの側面(side)には、メインベースに固定されたＬＭブロックと連結される油路が貫通形成され、該油路には油供給用ニップルを含むことを特徴とする請求項１または３のいずれかに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモーターのガイド装置に係り、特に、リニアモーターの固定子及び回転子と、メインベースに形成された上向き凸形仕切り部、ＬＭレール及びＬＭブロックと、そして長手方向に弾設されたメインカバーとを含み、これにより装置を簡便に設置できることはもとより、装置を全体として安定的に所定距離を往復移動させることができるほか、メインベースに取り付けられたメインカバーを垂れ下がりのない非接触方式で構成することにより、移動距離を大幅に増やすとともに作動安定性を確保し、しかも、メインカバーを分離することなくＬＭレール及びＬＭブロックに潤滑油を提供できるようにしたリニアモーターのガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアモーターのガイド装置は、作業用ロボット（図示せず）に装着して精緻な往復移送を可能にする装置として多用されている。
しかし、従来のリニアモーターのガイド装置は、長距離移送が必要な場合、装置自体の荷重が原因で垂れ下がりなどが生じ、さらにリニアモーターガイド装置の作業用ロボットへの装着時に不便さを感じるという不具合があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、かかる従来のリニアモーターのガイド装置の上記問題を回避するために開発されたもので、従ってその目的は、従来の作業用ロボットに簡単に装着でき、かつ、使用中に装置の垂れ下がりが発生することを防止するために、装置の縦断面を拡大するとともに縦方向の強度を高めて装置の捻れ及び撓みを防げるようにした新たな形のリニアモーターのガイド装置を提供することにある。  
本発明の他の目的は、メインベースに固定された支持体によってメインカバーの下側が支持される非接触方式で構成され、かつＬＭレール及びＬＭブロックにメインカバーを分離することなく潤滑油を供給する油供給用ニップルを含む、リニアモーターのガイド装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明によると、作業ロボットに装着されるリニアモーターのガイド装置が提供され、装置全体にわたって所定幅と所定長さを有することを可能にする寸法で、かつその上に装置の構成要素が装着されるメインベースと；前記メインベース上に配置される駆動手段と；前記メインベースに設けられ、前記駆動手段の駆動力によって装置の長手方向全長の範囲内で所定の距離を往復移動するための往復移動手段と；そして、前記往復移動手段上に設けられ、且つメインベースの両側面をカバーするために前記メインベースの両側面に結合された側面カバーと係合するメインカバーと、を含む。
【０００５】
本発明の特徴によると、その側面が夫々長手方向に沿って凹入するＬＭレールが所定の長さだけ前記メインベース内に設置される。
【０００６】
本発明の特徴によると、前記メインカバーが上部密閉型テーブルに形成された結合空間に取り付けられ、そして前記係合空間の下側に開口部を形成し、これによりその下側でメインベースに取り付けられ、メインカバーに係合するため前記開口部に少なくとも１つの支持体を内設する。
【０００７】
本発明の特徴によると、前記メインカバーの両側は、メインベースの本体部の外側を囲む下向き湾曲部を形成するため下を向き、前記湾曲部の両側は該湾曲部に対応する、外係合空間と連通する下向きの側面空間部を形成する。
本発明の特徴によると、前記駆動手段は、リニアモーターの固定子である。
【０００８】
本発明の特徴によると、前記メインカバーは、前記メインカバーの両側面から内方へ凹入した凹入部と、前記凹入部の両端付近に形成された細長い中空部と、そして弾性ブロックを介して固定手段によって前記凹入部に固定された側面カバーと、を含む。
【０００９】
本発明の特徴によると、前記メインベースは、中央部で所定幅を置いて対向形成され、そのどちらか一方の内面には移動距離の計測を可能にするスケールが取り付けられている上向き凸形仕切り部と、前記上向き凸形仕切り部とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部とそれぞれ対向形成されている上向き凸形部材と、を含む。
【００１０】
本発明の特徴によると、前記往復移動手段は、その形状及び位置が前記ＬＭレールの凹部に対応する凹部を有し、これにより前記ＬＭブロックは前記ＬＭレールに沿って直線的に往復移動することが出来る前期テーブルの底面に取付けられた少なくとも一つのＬＭブロックを含み、そして該テーブルはリニアモーターの固定子と対向配置されたリニアモーターの回転子を有し、メインカバーのエッジ表面に沿って非接触式で移動し得るように位置し、これにより、前記リニアモーターの固定子とリニアモーターの回転子の相互作用により前記往復移動手段が往復移動する。
【００１１】
本発明の特徴によると、前記往復移動手段は、その一側面が前記メインベースの上向き凸形仕切り部とそれに取り付けられた所定形状のスケールに沿って摺動自在に移動し、これにより移動距離を計測するスケールヘッドと、前記スケールヘッドの頂部に一体に結合され、その一端に前記テーブルの一側面上に固定手段で固定されるスケールブロックと、を含む。
【００１２】
本発明の特徴によると、４個のストッパーブロックが前記メインベースのそれぞれの角部に位置し、 前記メインベースに固定手段によって固着され、さらにそれぞれの側面カバーに固定手段によって固着され、これにより互いに対向するそれぞれのストッパーブロックの端部に突出型クッション部が形成される。
本発明の特徴によると、前記往復手段の移動方向に沿って前記メインベースの所定の位置に一直線上に配列され、前記往復移動手段の位置を感知する複数のセンサーが前記ＬＭブロックとともにメインベース上に配置される。
本発明の特徴によると、前記メインベースは、メインベースの底部に形成されたねじ穴部材と、ＬＭブロックに形成されたボルト結合部材とを含む固定手段を備え、これにより前記部材が前記装置を外部装置に対し上方または下方に選択的に固定される。
本発明の特徴によると、前記メインカバーの両側端部には、階段状貫通穴が形成される。
本発明の特徴によると、前記テーブルの側面(side)には、メインベースに固定されたＬＭブロックと連結される油路が貫通形成され、該油路には油供給用ニップルを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明によるリニアモーターのガイド装置について添付図面を参照して詳しく説明する。
図１は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の概略斜視図、図２は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の平面図、図３は、 本発明によるリニアモーターのガイド装置の横側面図、図４は、本発明によるリニアモーターのガイド装置の縦側面図である。
添付図に示すように、リニアモーターのガイド装置１００は、全体を平面からみると大略長方形の形をしている。前記リニアモーターのガイド装置１００は多数の部品が組み立てられてなる。
【００１４】
符号１４０は、装置全体の底面をなすメインベースを示し、その上面に複数の部品が載置されている。前記メインベース１４０には、側面からみると（図４参照）、中央で互いに対向しており、後述するスケールブロック１８０に固定されたスケールヘッド１８７が当接して移動する上向き凸形仕切り部１４２が形成されている。前記上向き凸形仕切り部１４２は、メインベースの強度を高め、かつ、ＬＭレール１８４とＬＭブロック１９０との間から濡出する油のスケール１４３の方への流入を防止し、しかも、異物の流入を防ぎ、なお、ＬＭレール表面上のグリースの残量がテーブル１３０の高速往復移動時に飛散し、スケールブロック１８０に固定されたスケールヘッド１８７の表面、及び上向き凸形仕切り部１４２に取り付けられたスケール１４３の表面に散布されてエラーを引き起こすことを防止する役割を果す。前記上向き凸形仕切り部１４２のうちどちらか一方の内側に移動距離の計測を可能にする、目盛りが刻まれたスケール１４３が取り付けられている。
【００１５】
前記上向き凸形仕切り部１４２の間に後述するリニアモーターの固定子１８２とリニアモーターの回転子２１０が設置される。また、前記メインベース１４０は、前記上向き凸形仕切り部１４２とほぼ同じ形状を有する、前記上向き凸形仕切り部１４２とそれぞれ対向形成されている２つの鉤形(hook-shaped)本体側１４４と、前記上向き凸形仕切り部１４２と本体側１４４との間に配置されるＬＭレール１８４と噛み合っているＬＭブロック１９０と、前記ＬＭブロック１９０に一体化されてＬＭレール１８４に沿って往復移動可能に設置されたテーブル１３０と、前記テーブル上１３０に位置し、メインベース１４０の上面をカバーするとともに、テーブル１３０の両側面と結合されてテーブル１３０の垂れ下がり(crooking down)を防止するメインカバー１１０と、メインベース１４０の両側面をカバーするためにメインベース１４０の横端両側面に固定された側面カバー１２２、１２４と、を含む。
【００１６】
前記メインカバー１１０は、側面カバー１２２、１２４と弾性的に結合される。
本発明の好適な実施形態を示す平面図を参照すると、前記メインカバーは、 凹入部(recesses)１３７が幅方向の両側面から内方へ凹入しており、細長い中空部が前記凹入部の両端の付近に形成されており、側面カバー１２２，１２４が側面カバー弾性ブロックを介して固定手段１３９によって前記凹入部１３７の付近に固定されている。
より具体的に、ＬＭレール１８４は、側面視で中央部が凹入状をしており、メインベース１４０上に長手方向に沿って所定の長さ（テーブル１３０の往復移動距離（Ｌ））で設けられている。ＬＭブロック１９０は、形状及び位置がＬＭレール１８４の凹部と対応する凹部１９３を有して、噛み合いながら揺れ動かず安定的に往復移動する。好適な実施形態では、４つのＬＭブロックが設けられているが、テーブル数によって変わることができる。
【００１７】
側面からみると、前記テーブル１３０の上部は、メインカバー１１０をほぼ取り囲んでいるが、当接していない状態とされている。前記テーブル１３０は、内方に突設された端部１３２，１３４を有し、前記端部の内側に斜面１３５を有する。前記斜面１３５は、メインカバー１１０の両端面１１２、１１３に近接している。また、前記テーブル１３０の上面は、メインカバー１１０の下面に近接して設置されている。
前記テーブル１３０の下面には、前記リニアモーターの回転子の上面が結合され、さらにＬＭブロック１９０がボルト１９２によって結合されている。符号１３１は、前記テーブル１３０の両端部（突出部分）に形成された上狭下広の階段状貫通穴を示す。すなわち、前記テーブル１３０の上面には他の部品が設置できるが、該部品はボルトで前記テーブル１３０の上面に固定しても、下面に固定しても良い。
【００１８】
平面図からみると（図２参照）、テーブル１３０の幅は、メインベース１４０の縦方向の幅よりも長い。もちろん，テーブル１３０の幅は、メインベース１４０の幅とほぼ等しくしても良いが、図２のように若干長くすると、テーブル１３０の役割を一層発揮することができる。
図２の平面図から、前記ＬＭブロック１９０は、前記テーブル１３０のそれぞれの所定位置に取り付けられていることがわかる。
符号１６０は、ストッパーブロックを示す。４つのストッパーブロック１６０は、リニアモーターのガイド装置１００のそれぞれの角部に位置し、 メインベース１４０上に固定手段１６３によって固着され、さらに それぞれの側面カバー１２２，１２４に固定手段１６２によって固着される。テーブル１３０と互いに対向するそれぞれのストッパーブロック１６０の端部に突出形クッション部１７０が形成され、テーブル１３０の側面に弾接されている。
【００１９】
符号１５０は、下方にＬＭブロック１９０が設置されたテーブル１３０の移動位置を感知するセンサーを示す。前記センサー１５０は、テーブル１３０の移動方向に沿ってメインベースの所定の位置に配列される。好適な実施形態では、３つのセンサーが設けられている。
符号１８０は、 テーブル１３０の一側面上に固定手段によって固定されるスケールブロックを示す。スケールブロックについての詳細は、図５乃至図７及び図８を参照して後述する。
符号２４０は、電源接続端子を示す。
符号２６３は、リニアモーターの回転子２１０の電源入力端子に接続される電線を示す。一方、リニアモーター回転子２１０の対応する右側部には、パルス出力端に接続される電線が示されている。これら電線についての詳細は、省略する。
【００２０】
図４に示す符号２９２は、作業ロボット（図示せず）に前記リニアモーターのガイド装置１００を固定する固定手段を示す。前記固定手段２９２は、長手方向に沿ってメインベース１４０の底部に形成された中空部から下方に延在するねじ穴を示す。リニアモーターのガイド装置１００は、固定手段２９２によって外部装置に設けられる。
符号２９３は、メインベース１４０を他の器具に固定させる固定手段であって、凸形ボルトを示す。
【００２１】
図５は、図２のスケールヘッドの正面図、図６は、図２のスケールヘッドの平面図、図７は、図２のスケールヘッドの側面図、図８は、図２のメインベース及びスケールヘッドの結合関係を示す側面図である。
図面に示すように、スケールブロック１８０は、テーブル１３０の一側面上に固定され、前記スケールブロック１８０の底部と一体化され、一側面がメインベース１４０の上向き凸形仕切り部１４２及びこれに固定されたスケール１４３に沿って移動するスケールヘッド１８７を有する。
符号１４５は、前記ＬＭレール１８７が取り付けられる取り付け面を示し、符号１４７は、前記リニアモーターの固定子１８２が取り付けられる取り付け面を示す。
図９は、本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の斜視図、図１０は、本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の平面図、図１１は、本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。
【００２２】
該第２実施形態において、上部密閉型テーブル１３０の内側に結合空間を形成し、該結合空間３００に、メインベース１４０の両端に結合されている側面カバー１２２，１２４によって支持されるメインカバー１１０を結合する。
結合空間３００の下側には開口を形成し、メインベース１４０に下側が固定された支持本３１０の上部を前記開口に内設し、固定手段によってメインカバー１１０と結合させる。このため、メインカバー１４０が長くなる場合にもメインカバー１１０の垂れ下がりや撓みを防止する。
前記支持体３１０は、隣り合う支持体３１０から略１〜２Ｍの間隔をおいて設けることが好ましい。
【００２３】
前記支持体３１０と前記メインカバー１１０が互いに直接結合しても構わないが、メインカバー１１０の垂れ下がりや撓みを考慮に入れ、支持体３１０は、結合板を用いて結合することが好ましい。
前記メインカバー１１０としては、メインベース１４０と同様な長いものを用いても構わないが、メンテナンスなどの便利性を考慮に入れ、２〜３メートルで分割構成することが好ましい。
油路２５１は、前記テーブル１３０の側方に貫通形成され、メインベース１４０に固定されたＬＭブロックの上部と接続される。
【００２４】
そして、前記テーブル１３０には、往復移動手段を構成するＬＭレール１８４とＬＭブロック１９０に潤滑油の供給を可能にするために、メインベース１４０に固定されたＬＭブロックの上部と接続される油路２５１を貫通形成する。前記油路２５１に油供給用ニップル２５０を結合することにより、メインカバー１１０を分離することなくＬＭレール１８４及びＬＭブロック１９０に油を供給することができる。
図１２は、本発明の第３実施形成によるリニアモーターのガイド装置を示す横断面図である。この第３実施形成において、メインカバー１１０の両端部には、メインベースのボディの外側に位置する下向き折曲げ側板１４４を一体化し、前記テーブルの両端部には、該側板１１４に対応する、結合空間３００と連通する下向き折曲げ空間部３０３を延設する。これにより、各種異物（各種部品および埃など）の駆動手段への流入を効果的に遮断して駆動手段の作動精密性を保証することができる。
【００２５】
次に、本発明によるリニアモーターのガイド装置１００の動作を説明する。
先ず、ユーザは、本発明のリニアモーターのガイド装置を固定手段を用いて作業ロボット（図示せず）に結合させる。
ユーザが電源入力端子２４０を介してリニアモーターのガイド装置に電源を供給して駆動装置（図示せず）を駆動すると、リニアモーターの固定子１８２に電源が供給され、リニアモーターの固定子１８２およびリニアモーターの回転子２１０が磁化されて、リニアモーターの回転子２１０が移動することになる。
【００２６】
この際、互いに一体化された移動手段、すなわちリニアモーターの回転子２１０、テーブル１３０及びＬＭブロック１９０を含む移動手段は、前記ＬＭレール１８４に沿って移動する前記ＬＭブロック１９０に従って移動される。このとき、前記テーブル１３０の一側面に取り付けられたスケールブロック１３０と一体化されたスケールヘッド１８７は、上向き凸形仕切り部１４２及びこれに結合されたスケール１４３に沿って往復移動される。ユーザは、どちらか一方の上向き凸形仕切り部１４２に設置されたスケール１４３を介して移動距離を計測し得る。
一方、テーブル１３０の往復移動の際、テーブル１３０の下方、すなわちメインベース１４０に結合されているテーブル１３０の移動経路に沿って設けられたセンサー１５０によってテーブル１３０の現在位置を感知することができる。このようにテーブル１３０の移動距離は、別途のディスプレイ装置（図示せず）を用いて表示しても良い。これについての詳細は、省略することにする。
【００２７】
また、テーブル１３０の移動方向を駆動装置（図示せず）を用いて制御することができる。
前記テーブル１３０が所定の距離を移動した後、前記テーブル１３０の一側面がストッパーブロック１６０のクッション部１７０に当接すると（図３参照）、テーブル１３０が停止される。
符号２５０は、潤滑油の注入口の役割をするニップルを示す。該ニップルに介してＬＭレール１８４及びＬＭブロック１９０に潤滑油が供給でき、円滑な移動が可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明によるリニアモーターのガイド装置１００によれば、前記メインカバー１１０の縦断面を長くし、かつ両端部に形成された中空部と弾性ブロックを結合することにより、テーブル１３０の移動の際に発生するメインカバー１１０の垂れ下がりを防止し、耐ねじれ性及び縦方向の強度を高めることができる。
また、メインベース１４０の内部に上向き凸形仕切り部１４２を形成することにより、メインベースの断面の強度を高めてねじれや縦方向の撓みを防止し、かつ、ＬＭレール１８４とＬＭブロック１９０との間から漏出する油のスケール１４０の方への流入を防止し、しかも、異物の流入を防ぎ、なお、 ＬＭレール表面上のグリースの残量がテーブル１３０の高速往復移動時に飛散し、スケールブロック１８０に固定されたスケールヘッド１８７の表面、及び上向き凸形仕切り部１４２に取り付けられたスケール１４３の表面に散布されてエラーを引き起こすことを防止することができ、その結果、安定した作動性を確保することができる。
【００２９】
また、本発明の装置を作業ロボットの上部に組みつけ、メインフレームの上部または下部に組み付けることができることから、装置の取り付けを容易に行うことができる。
また、スケールヘッドをテーブル１３０の移動方向の側面外部に取り付けることから、取り付け、調整及びメンテナンスを容易に行うことができる。
また、本発明の第２実施形態及び第３実施形態によれば、メインカバー１１０の垂れ下がりや撓みを防止することから、メインベース１４０の長さを３〜５０メートルの範囲内で選択可能であり、その結果、各種産業機械、自動化機械、半導体装備、ＬＣＤ又はＰＤＰの製造装備及び検査装備に対し、優れた精密移動装置を提供することができる。
また、メインカバー１１０とテーブル１３０が非接触式であるため、作動騒音が抑えられ、異物の発生を防ぎ、しかも揺動を防止することができ、その結果、テーブルの移動精度を向上させることができる。
【００３０】
また、メインカバー１１０を２〜３メートルで分割構成し得ることから、メンテナンスを簡単に行うことができる。
また、メインカバー１１０を分離することなくＬＭレール１８４に潤滑油を供給することができることから、機器のメンテナンスの利便性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明によるリニアモーターのガイド装置の概略斜視図である。
【図２】本発明によるリニアモーターのガイド装置の平面図である。
【図３】本発明によるリニアモーターのガイド装置の縦側面図である。
【図４】本発明によるリニアモーターのガイド装置の横側面図である。
【図５】図２におけるスケールヘッドの正面図である。
【図６】図２におけるスケールヘッドの平面図である。
【図７】図２におけるスケールヘッドの側面図である。
【図８】図２におけるメインベース及びスケールヘッドの結合関係を示す側面図である。
【図９】本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の斜視図である。
【図１０】本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の平面図である。
【図１１】本発明の第２実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。
【図１２】本発明の第３実施形態によるリニアモーターのガイド装置の横断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１００          リニアモーターのガイド装置
１１０          メインカバー
１１２,１１３   メインカバー両端面
１２２,１２４   側面カバー
１３０          テーブル
１３５          斜面
１３７          凹入部(recess)
１３９          固定手段
１４０          メインベース
１４２          上向き凸形仕切り部
１４４          本体側
１５０          センサー
１６０          ストッパーブロック
１７０          クッション部
１８０          スケールブロック
１８２          リニアモーターの固定子
１８４          ＬＭレール
１９０          ＬＭブロック
１９３          凹部(concaved portion)
２１０          リニアモーターの回転子
２５０          油供給用ニップル
３００          係合空間
３１０          支持体
【図１】
2008509650.tif 000003
【図２】
2008509650.tif 000004
【図３】
2008509650.tif 000005
【図４】
2008509650.tif 000006
【図５】
2008509650.tif 000007
【図６】
2008509650.tif 000008
【図７】
2008509650.tif 000009
【図８】
2008509650.tif 000010
【図９】
2008509650.tif 000011
【図１０】
2008509650.tif 000012
【図１１】
2008509650.tif 000013
【図１２】
2008509650.tif 000014
【国際調査報告】
2008509650.tif 000015
2008509650.tif 000016