(57)【要約】  デバイスは、第１の表面をもつ。第２の表面は、パッケージを形成するために、第１の表面からオフセットしている。少なくとも１つの可動素子は、パッケージ内において、別の表面に接触する可動表面をもっている。環境制御物質は、パッケージ内部に含められ、可動素子の動作に影響を与える。【選択図】    図４
2008500564.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表面と、
パッケージを形成するために、第１の表面からオフセットしている第２の表面と、
別の表面に接触する可動表面をもつ、パッケージ内の少なくとも1つの可動素子と、
可動素子の動作に影響を与える、パッケージ内部の環境制御物質とを含むデバイス。
【請求項２】
第１の表面が基板を含む請求項１記載のデバイス。
【請求項３】
基板が、ガラス、プラスチック、金属、シリコン、およびセラミックの中の少なくとも1つを含む請求項２記載のデバイス。
【請求項４】
第２の表面が、背板を含む請求項１記載のデバイス。
【請求項５】
背板が、ガラス、プラスチック、金属、金属箔、シリコン、セラミック、および流体環境の中の少なくとも1つを含む請求項４記載のデバイス。
【請求項６】
第１の表面および第２の表面を接合する接合物質をさらに含む請求項１記載のデバイス。
【請求項７】
接合物質が、エポキシベースの接着剤、Ｏリング、ＰＩＢ、ポリウレタン、ゼオライトが組込まれた接着剤、薄膜金属溶接、液体スピンオンガラス（liquid spin-on glass）、はんだ、成長した重合体（grown polymer）、および成長したプラスチック（grown plastic）から成るグループから選択されるものを含む請求項６記載のデバイス。
【請求項８】
環境制御物質が、ゼオライト、モレキュラーシーブ、デシカント（dessicant）、表面吸収剤、バルク吸収剤、化学反応物、物理的妨害物から成るグループから選択されるものを含む請求項１記載のデバイス。
【請求項９】
モレキュラーシーブが、付着させられた薄膜におけるモレキュラーシーブ、重合体上でスピンさせられたモレキュラーシーブ、モレキュラーシーブ上にスプレーされた、および前もって準備された再生モレキュラーシーブから成るグループから選択されるプロセスによって形成される請求項８記載のデバイス。
【請求項１０】
第１の表面および第２の表面がオフセットして、モジュールパッケージの第１および第２の表面を含むパッケージを形成する請求項１記載のデバイス。
【請求項１１】
環境制御物質が、可動素子内に埋め込まれた環境制御物質を含む請求項１記載のデバイス。
【請求項１２】
環境制御物質が、パッケージの構成要素内に埋め込まれた環境制御物質を含む請求項１記載のデバイス。
【請求項１３】
可動素子の動作が、可動表面を動かすことを含む請求項１記載のデバイス。
【請求項１４】
可動素子の動作が、可動素子と第１の表面とを接触させることを含む請求項１記載のデバイス。
【請求項１５】
第１および第２の表面がオフセットして、オフセットを実現するための側部をもつ第１の表面を含むパッケージを形成する請求項１記載のデバイス。
【請求項１６】
第１の表面が、モジュールパッケージおよびデバイスパッケージの両者に共通の表面を含む請求項１記載のデバイス。
【請求項１７】
デバイスをパッケージングする方法であって、
基板上に少なくとも１つの可動素子を形成することと、
パッケージ内に可動素子および基板を封入することと、
パッケージ内に環境制御物質を含めることとを含み、環境制御物質が、素子の動作に対する物質の作用に基づいて選択される方法。
【請求項１８】
少なくとも1つの可動素子を形成することが、インターフェロメトリック変調器を形成することを含む請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
パッケージ内に素子および基板を封入することが、デバイスパッケージ内に素子および基板を封入することを含み、環境制御物質を含めることが、デバイスパッケージ内に環境制御物質を含めることを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２０】
パッケージ内に素子および基板を封入することが、モジュールパッケージ内に素子および基板を封入することを含み、環境制御物質を含めることが、モジュールパッケージ内に環境制御物質を含めることを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２１】
基板上に少なくとも１つの可動素子を形成することが、薄膜から可動素子を形成することを含み、環境制御物質を含めることが、薄膜の１つに埋め込まれた環境制御物質を含めることを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２２】
環境制御物質を含めることが、基板に環境制御物質を埋め込むことを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２３】
基板および背板を接合物質で接合することをさらに含む請求項１７記載の方法。
【請求項２４】
基板および背板を接合物質で接合することが、基板および背板を、環境制御物質をその中にもつ接合物質で接合することを含む請求項２３記載の方法。
【請求項２５】
環境制御物質を含めることが、パッケージ内部に粉末を加えることを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２６】
環境制御物質を型に形成し、型をパッケージ内部に適用することをさらに含む請求項１７記載の方法。
【請求項２７】
環境制御物質を含めることが、環境制御物質をスプレーの形で適用することを含む請求項１７記載の方法。
【請求項２８】
環境制御物質を含めることが、環境制御物質を浸漬被覆の形で適用することを含む請求項１７項記載の方法。
【請求項２９】
環境制御物質を含めることが、環境制御物質をスクリーン印刷として適用することを含む請求項１７項記載の方法。
【請求項３０】
環境制御物質を含めることが、環境制御物質を液体の形で分配することを含む請求項１７項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
超小型電気機械システム（microelectromechanical system, MEMS）は、一般に、独立型パッケージ内の少なくとも1つの可動素子に関与する。例えば、インターフェロメトリック（interferometric）または偏向可能な反射変調器のような空間光変調器は、リングまたは他のパッケージング支持物によって基板から明らかなウィンドウのオフセットをもつパッケージ内に含まれ得る。ＭＥＭＳベースのスイッチは、同様の構成要素によって基板から保護キャップのオフセットをもつパッケージに入れられ得る。通常、ＭＥＭＳデバイスは、作動信号によって作動させられるときに動く余地を必要とするので、基板と、オフセットしたキャップまたはカバーとの間に位置することになる。
【０００２】
このパッケージングのタイプは、制御される必要があるＭＥＭＳデバイスのための動作環境になる。多くの場合に、パッケージ内部の環境を制御する解決策は、パッケージ内部の環境を設定し、次に、それをハーメチックシールし、環境が一定であり続けることを保証することを必要とする。このようなハーメチックプロセスの例は、２００３年７月８日に発行された米国特許第６，５８９，６２５号に記載されている。パッケージをハーメチックシールするプロセスは、デバイスのコスト、並びに製造プロセスの複雑さの一因となる。
【０００３】
パッケージ環境への別の適応は、ゲッタの使用である。ゲッタは、デバイスから水分を吸収するために、パッケージ環境内へ挿入される物質である。ゲッタは、例えば、それが高温での動作から発生する水分を吸収するか、または他の物質を吸収して、デバイスの動作からのガスを除去し得る。
【０００４】
パッケージの内部の湿度の制御は、デバイスの動作に内部で著しく影響を及ぼし得る。高い湿度は、スティクション、すなわち粘着と摩擦との結合に関する問題を引き起し、一方で、完全に乾燥した環境は、他の影響を及ぼし得る。
【０００５】
環境の他の側面は、問題を引き起こすか、または向上した性能をもたらし得る。例えば、パッケージ内部の分圧の低減は、可動素子と基板との間の空気の減衰作用が低減され得るので、デバイスの速度を速め得る。これは、素子が、分圧の低減されていない環境内よりも、より迅速に動き得るので、向上した性能をもたらし得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、図面を参照して開示を読むことによって、最も良く理解され得る。
【０００７】
超小型電気機械（microelectromechanical, MEMS）デバイスは、機械的構造が、異なる物質の他の構造と接触するようになる大きいクラスのデバイスを含む。例えば、可動素子は、誘電体で被覆された表面と接触し得る。これらのタイプのＭＥＭＳデバイス内の水分の存在は、動き（behavior）を変えることがあり、これは、望ましい場合と、望ましくない場合があり得る。
【０００８】
望ましくない動きの例は、デバイスの動作環境内の湿度が高くなり過ぎるときに生じる。湿度レベルが、それを超えると、水分からの表面張力が可動素子の回復力よりも高くなるレベルを上回るとき、可動素子は、表面に永久に張り付くことになり得る。湿度レベルが低過ぎる場合は、可動素子が被覆された表面と接触するようになるとき、水分は、素子と同じ極性まで充電される。これは、図１に示されているヒステリシス曲線10の急落を引き起こし得る。図１は、正規の動作条件におけるＭＥＭＳデバイスの標準的な動作曲線を示している。
【０００９】
デバイスが、低い水分または完全に乾燥した環境において動作しているとき、デバイスの動きは、可動素子、および接触するようになる被覆された表面のような、物質およびデバイスの設計に依存することになり得る。これは、デバイスの動作の動きの激変をもたらし得る。図２は、標準的な環境において動作しているデバイス10と、湿度が低いまたは無い環境において動作しているデバイス12とを比較している。
【００１０】
幾つかの例では、大部分は応用に依存して、これらの異なる環境は、望ましい結果を生じ得る。その代わりに、それらは、回避されるべき結果を生じ得る。１つ以上の可動素子の環境の制御は、素子の動きを制御することができる。これは、動作環境のいくつかの異なる側面に影響を及ぼす。
【００１１】
例えば、既に記載したように、電気的な動きが変えられ得る。ＭＥＭＳデバイスにおいて観察される充電量は、水分量で制御されることができ、静電放電(electro-static discharge, ESD)の制御ができる。作動電圧、すなわち可動素子を初期位置から動かす電圧を変更するために、水分の有無が制御され得る。解放電圧、すなわち、可動素子をその作動位置から解放させる電圧も、または作動電圧の代わりに制御され得る。ＭＥＭＳデバイスを切り換えるのに必要とされる電圧量は、デバイスを実行するのに必要とされる電流量にも関係する。切り換え電圧の変更は、デバイスの電流消費量の変更につながり得る。
【００１２】
機械的な作用も制御され得る。色々な環境制御物質が、パッケージ内部のガスの分圧を変更することができる。これは、可動素子の機械的応答時間を変更することができる。ＭＥＭＳデバイスにおいて、機械的メンブレン（mechanical membrane）と基板との間のギャップは、空気の平均自由行程の移動抵抗に似た移動抵抗をもたらす。分圧を線形に低減することは、減衰を低減し、可動素子がその作動状態に達するのにかかる時間を相当に低減することになり得る。
【００１３】
さらに加えて、構造フィルムの機械的剛性も変えられ得る。パッケージ内部の湿度の制御は、フィルムを酸化させ、その機械的剛性を変更し得る。変えられた機械的剛性は、可動素子の応答時間または解放時間を変え得る。
【００１４】
デバイスの全体的な特性も変えられ得る。例えば、デバイスの寿命が、調整され得る。１つのシナリオにおいて、デバイスは、ＣＯ２への露出後に故障し得る。デバイスが５年もつことを意図されているとき、ＣＯ２の吸収が制御され得る。ＣＯ２の浸透率が、（Ｘ）グラム／平方メートル／２４時間であると仮定する。Ａが、ＣＯ２が浸透することができる領域であるとき、５Ａのポアサイズをもつ環境制御物質が選択され得る。物質によって吸収されるＣＯ２の総量をＹで除算する。ここで、Ｙは、０と１との間である。パッケージ内に置かれる環境制御物質の量の式は、次のようになる。
【００１５】
（Ｘ＊５＊３６５＊２４＊Ａ）／Ｙ
光電子スイッチまたはディスプレイ素子のような、光学的応用において使用されるＭＥＭＳデバイスでは、光学的特性も制御され得る。１つの例は、水分がある状態で可動素子の表面上に酸化アルミニウムを生成させる物質を、デバイス内に置き、それによって、デバイスの光学的特性を変更することに関与し得る。
【００１６】
環境制御物質は、熱効果も変え得る。一例において、通常は、真空におけるデバイスのハーメチクシーリングによってパッケージされるデバイスである。熱の放散は、放熱によってのみ行われる。良好な対流熱放散をもつ環境制御物質を使用するとき、ハーメチックシーリングまたは真空は、もう必要ない。環境制御物質は、異なる分子サイズ、すなわち異なる物質、例えば、水、酸素、および窒素を吸収することができるいくつかの異なる物質から構成され得る。環境制御物質の再生も、パッケージ内部で制御され得る。
【００１７】
環境制御物質によって制御されることができるデバイスの他の側面は、腐食を含む。水分がある状態における酸化および酸性環境の生成は、素子を損傷し得る。例えば、塩素は、高温で、デバイスからガスを除去し得る。塩酸は、水分と結合されると、デバイスを損傷し得るものを生成し得る。この作用は、環境制御物質の選択によって避けることができる。
【００１８】
環境制御物質は、選択されると、デバイスパッケージまたはモジュールパッケージの何れかに挿入されることができる。デバイスパッケージは、図３に示されている。ＭＥＭＳデバイス22は、単に一例として、基板24上に形成された薄膜（thin film）の層として示されている。この特定の例では、デバイスは、インターフェロメトリック作用を使用して、入射光から画像を形成するディスプレイデバイスである。インターフェロメトリック変調器素子は、図示されているように、基板または薄膜のスタックの一部のような別の表面と接触するようになる可動素子から形成される。ビューワ（viewer）19は、基板24を通して、変調器によって形成される画像を見ることになる。背板、すなわち第２の表面26は、基板24、すなわち第１の表面に対してオフセットしていて、接合物質30によって接合され、パッケージを形成し得る。その代わりに、背板26と側部30とが１つのユニットであるときは、背板は、第２の表面および側部をもつ構造から形成され得る。これは、窪みのある背板を形成し、変調器を収容する。環境制御物質28はパッケージ内に挿入され、既に記載した作用を引き起こすか、または回避する。
【００１９】
別の実施形態では、環境制御物質は、モジュールパッケージ内に挿入されることができる。本明細書に定められているモジュールパッケージは、図４に示されているように、デバイスパッケージが収容されているパッケージである。モジュールパッケージ30は、接合物質34によって第２の表面36からオフセットしている第１の表面32をもつ。モジュールパッケージ30の内部には、デバイスパッケージ20がある。環境制御物質28は、モジュールパッケージ内に挿入されている。さらに加えて、環境制御物質は、接合物質の一部基板、あるいはデバイス製造の一部として作られることにより、パッケージの一部にされることができる。１つの実施形態では、変調器20のウィンドウと、モジュールパッケージ32の第１の表面とは、同じ表面であるか、またはそれらが1つの構造を形成するように取り付けられ得る。この場合に、第１の表面は、モジュールおよびデバイスパッケージの両者の第１の表面であることになる。
【００２０】
製造プロセスの実施形態は、図５に示されている。プロセスは、３つの基本要素、すなわち可動素子の製造60、デバイスのパッケージング70、および環境物質を含めること50をもつ。可動素子の製造40は、50aにおいて環境制御物質を含め得る。環境制御物質は、薄膜の付着のような素子の形成中である素子自体の製造または種々の物質の処理中に基板の一部として作られることができる。
【００２１】
パッケージングプロセスは、モジュールパッケージを含んでも、含まなくてもよい。可動素子は、デバイスパッケージ内に封入される42。環境制御物質を含めることは、既に記載したように、50bにおいてデバイスパッケージに含められ得る。44において、接合物質が適用され、第１の表面と第２の表面との間にデバイスパッケージを形成する。ここでも、既に記載したように、50cにおいて、環境制御物質は、接合物質の一部としてパッケージ内に挿入され得る。
【００２２】
デバイスがモジュールパッケージ内へ封入されるとき、50dにおいて、モジュールパッケージは環境制御物質をもつことができる。次に、48において、接合物質が適用され、モジュールパッケージを形成し、そこには、50eにおいて環境制御物質が含められ得る。プロセスは、デバイスパッケージ、モジュールパッケージ、または両者を含み得る。第１の表面および第２の表面が、デバイスパッケージであっても、またはモジュールパッケージであっても、パッケージングプロセスは、第１の表面または第２の表面を接合物質で接合することを必要とする。
【００２３】
プロセスの各部分において使用される物質は、ＭＥＭＳデバイスおよびその応用、並びに希望の環境の効果に依存して、変わり得る。デバイスパッケージは、通常、基板および背板を含む。基板、すなわちデバイスまたはモジュールパッケージの第1の表面は、とりわけ、ガラス、プラスチック、金属、シリコン、またはセラミックを含み得る。背板、すなわちデバイスまたはモジュールパッケージの第２の表面は、ガラス、プラスチック、金属、金属箔、シリコン、セラミック、流体、等であり得る。何れのパッケージにも使用される接合物質は、エポキシベースの接着剤、Ｏリングシーラント、ＰＩＢ、ポリウレタン、環境制御物質をもつ接着剤、薄膜の金属と金属との溶接された継手（thin-film metal-to-metal welded joint）、液体スピンオンガラス（liquid spin-on glass）、はんだ、あるいはシールを形成するための重合体またはプラスチック層の原位置成長（insitu growth）であり得る。
【００２４】
環境制御物質は、ゼオライトであり得る。これは、ナトリウムのアルミノケイ酸塩の一般名であり、種々のポアサイズ、モレキュラーシーブ、表面上またはバルク内の他の分子を吸収する表面またはバルク吸着剤、あるいはデシカント（dessicant）をもつ。環境制御物質は、望ましくない物質と反応して、無害の化合物を形成する化学反応物、例えば、水分を吸収して、不活性である別の化合物を生成するものであり得る。環境制御物質が分子内部に入ると、環境制御物質は、分子の漏れを物理的に遮断するデバイスとして作られ得る。モレキュラーシーブは、重合体上に付着させられた、またはその上でスピンさせられた薄膜内へ組込まれ得る。モレキュラーシーブは、デバイスの表面上にスプレーされるか、または前もって準備されて、使用する前に再生されるか、さらに加えて、浸漬被覆として適用され得る。
【００２５】
それらに適用する色々なタイプの物質および色々な方法に加えて、環境制御物質は、異なる形、サイズ、および形状をもち得る。環境制御物質は、固体、すなわちパッケージ内部に直接にダンプされるか、適用するための接着剤と混合される粉末であり得る。物質は、円柱、薄板、等のような形に形成され、次に、パッケージ内部に適用され得る。物質は、パッケージ内部または基板上にスクリーン印刷または液体を分配され得る。物質の適用は、システム設計者に任せられる。
【００２６】
したがって、この点に対して、環境制御物質をもつＭＥＭＳデバイスのための方法および装置についての個々の実施形態が記載されたが、このような特定の参照は、特許請求項に記載されている範囲を除いて、本発明の範囲に対する制限として見なされることは意図されていない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】動作している超小型電気機械デバイスのヒステリシス曲線を示すグラフ。
【図２】異なる環境条件における動作している超小型電気機械デバイスのヒステリシス曲線を示すグラフ。
【図３】環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスのためのデバイスパッケージの1つの実施形態を示す図。
【図４】環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスのためのモジュールパッケージの1つの実施形態を示す図。
【図５】環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスを製造する実施形態のフローチャート。
【符号の説明】
【００２８】
10,12・・・ヒステリシス曲線、19・・・ビューワ、20・・・デバイスパッケージ、22・・・ＭＥＭＳデバイス、24,32・・・基板、26,36・・・背板、28・・・環境制御物質、30,34・・・接合物質。
【図１】
2008500564.tif 000003
【図２】
2008500564.tif 000004
【図３】
2008500564.tif 000005
【図４】
2008500564.tif 000006
【図５】
2008500564.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月26日(2006.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】明細書
【発明の名称】微細機械加工されたデバイスの電気機械的動きの変更
【背景技術】
【０００１】
超小型電気機械システム（microelectromechanical system, MEMS）は、一般に、独立型パッケージ内の少なくとも1つの可動素子に関与する。例えば、インターフェロメトリック（interferometric）または偏向可能な反射変調器のような空間光変調器は、リングまたは他のパッケージング支持物によって基板から明らかなウィンドウのオフセットをもつパッケージ内に含まれ得る。ＭＥＭＳベースのスイッチは、同様の構成要素によって基板から保護キャップのオフセットをもつパッケージに入れられ得る。通常、ＭＥＭＳデバイスは、作動信号によって作動させられるときに動く余地を必要とするので、基板と、オフセットしたキャップまたはカバーとの間に位置することになる。
【０００２】
このパッケージングのタイプは、制御される必要があるＭＥＭＳデバイスのための動作環境になる。多くの場合に、パッケージ内部の環境を制御する解決策は、パッケージ内部の環境を設定し、次に、それをハーメチックシールし、環境が一定であり続けることを保証することを必要とする。このようなハーメチックプロセスの例は、２００３年７月８日に発行された米国特許第６，５８９，６２５号に記載されている。パッケージをハーメチックシールするプロセスは、デバイスのコスト、並びに製造プロセスの複雑さの一因となる。
【０００３】
パッケージ環境への別の適応は、ゲッタの使用である。ゲッタは、デバイスから水分を吸収するために、パッケージ環境内へ挿入される物質である。ゲッタは、例えば、それが高温での動作から発生する水分を吸収するか、または他の物質を吸収して、デバイスの動作からのガスを除去し得る。
【０００４】
パッケージの内部の湿度の制御は、デバイスの動作に内部で著しく影響を及ぼし得る。高い湿度は、スティクション、すなわち粘着と摩擦との結合に関する問題を引き起し、一方で、完全に乾燥した環境は、他の影響を及ぼし得る。
【０００５】
環境の他の側面は、問題を引き起こすか、または向上した性能をもたらし得る。例えば、パッケージ内部の分圧の低減は、可動素子と基板との間の空気の減衰作用が低減され得るので、デバイスの速度を速め得る。これは、素子が、分圧の低減されていない環境内よりも、より迅速に動き得るので、向上した性能をもたらし得る。
【０００６】
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
実施形態は、第１の表面と、第１の表面からオフセットしている第２の表面とを含み、パッケージを形成しているデバイスを提供する。この実施形態のデバイスは、別の表面に接触する可動表面をもつ、パッケージ内の少なくとも1つの可動素子をさらに含む。この実施形態のデバイスは、可動素子の動作に影響を与える、パッケージ内部の環境制御物質をさらに含む。
別の実施形態は、デバイスをパッケージングする方法であって、方法が、基板上に少なくとも1つの可動素子を形成することと、パッケージ内に素子および基板を封入することと、パッケージ内に環境制御物質を含めることとを含み、環境制御物質が、素子の動作に対する物質の作用に基づいて選択される方法を与える。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明は、図面を参照して開示を読むことによって、最も良く理解され得る。
【０００８】
超小型電気機械（microelectromechanical, MEMS）デバイスは、機械的構造が、異なる物質の他の構造と接触するようになる大きいクラスのデバイスを含む。例えば、可動素子は、誘電体で被覆された表面と接触し得る。これらのタイプのＭＥＭＳデバイス内の水分の存在は、動き（behavior）を変えることがあり、これは、望ましい場合と、望ましくない場合があり得る。
【０００９】
望ましくない動きの例は、デバイスの動作環境内の湿度が高くなり過ぎるときに生じる。湿度レベルが、それを超えると、水分からの表面張力が可動素子の回復力よりも高くなるレベルを上回るとき、可動素子は、表面に永久に張り付くことになり得る。湿度レベルが低過ぎる場合は、可動素子が被覆された表面と接触するようになるとき、水分は、素子と同じ極性まで充電される。これは、図１に示されているヒステリシス曲線10の急落を引き起こし得る。図１は、正規の動作条件におけるＭＥＭＳデバイスの標準的な動作曲線を示している。
【００１０】
デバイスが、低い水分または完全に乾燥した環境において動作しているとき、デバイスの動きは、可動素子、および接触するようになる被覆された表面のような、物質およびデバイスの設計に依存することになり得る。これは、デバイスの動作の動きの激変をもたらし得る。図２は、標準的な環境において動作しているデバイス10と、湿度が低いまたは無い環境において動作しているデバイス12とを比較している。
【００１１】
幾つかの例では、大部分は応用に依存して、これらの異なる環境は、望ましい結果を生じ得る。その代わりに、それらは、回避されるべき結果を生じ得る。１つ以上の可動素子の環境の制御は、素子の動きを制御することができる。これは、動作環境のいくつかの異なる側面に影響を及ぼす。
【００１２】
例えば、既に記載したように、電気的な動きが変えられ得る。ＭＥＭＳデバイスにおいて観察される充電量は、水分量で制御されることができ、静電放電(electro-static discharge, ESD)の制御ができる。作動電圧、すなわち可動素子を初期位置から動かす電圧を変更するために、水分の有無が制御され得る。解放電圧、すなわち、可動素子をその作動位置から解放させる電圧も、または作動電圧の代わりに制御され得る。ＭＥＭＳデバイスを切り換えるのに必要とされる電圧量は、デバイスを実行するのに必要とされる電流量にも関係する。切り換え電圧の変更は、デバイスの電流消費量の変更につながり得る。
【００１３】
機械的な作用も制御され得る。色々な環境制御物質が、パッケージ内部のガスの分圧を変更することができる。これは、可動素子の機械的応答時間を変更することができる。ＭＥＭＳデバイスにおいて、機械的メンブレン（mechanical membrane）と基板との間のギャップは、空気の平均自由行程の移動抵抗に似た移動抵抗をもたらす。分圧を線形に低減することは、減衰を低減し、可動素子がその作動状態に達するのにかかる時間を相当に低減することになり得る。
【００１４】
さらに加えて、構造フィルムの機械的剛性も変えられ得る。パッケージ内部の湿度の制御は、フィルムを酸化させ、その機械的剛性を変更し得る。変えられた機械的剛性は、可動素子の応答時間または解放時間を変え得る。
【００１５】
デバイスの全体的な特性も変えられ得る。例えば、デバイスの寿命が、調整され得る。１つのシナリオにおいて、デバイスは、ＣＯ２への露出後に故障し得る。デバイスが５年もつことを意図されているとき、ＣＯ２の吸収が制御され得る。ＣＯ２の浸透率が、（Ｘ）グラム／平方メートル／２４時間であると仮定する。Ａが、ＣＯ２が浸透することができる領域であるとき、５Ａのポアサイズをもつ環境制御物質が選択され得る。物質によって吸収されるＣＯ２の総量をＹで除算する。ここで、Ｙは、０と１との間である。パッケージ内に置かれる環境制御物質の量の式は、次のようになる。
【００１６】
（Ｘ＊５＊３６５＊２４＊Ａ）／Ｙ
光電子スイッチまたはディスプレイ素子のような、光学的応用において使用されるＭＥＭＳデバイスでは、光学的特性も制御され得る。１つの例は、水分がある状態で可動素子の表面上に酸化アルミニウムを生成させる物質を、デバイス内に置き、それによって、デバイスの光学的特性を変更することに関与し得る。
【００１７】
環境制御物質は、熱効果も変え得る。一例において、通常は、真空におけるデバイスのハーメチクシーリングによってパッケージされるデバイスである。熱の放散は、放熱によってのみ行われる。良好な対流熱放散をもつ環境制御物質を使用するとき、ハーメチックシーリングまたは真空は、もう必要ない。環境制御物質は、異なる分子サイズ、すなわち異なる物質、例えば、水、酸素、および窒素を吸収することができるいくつかの異なる物質から構成され得る。環境制御物質の再生も、パッケージ内部で制御され得る。
【００１８】
環境制御物質によって制御されることができるデバイスの他の側面は、腐食を含む。水分がある状態における酸化および酸性環境の生成は、素子を損傷し得る。例えば、塩素は、高温で、デバイスからガスを除去し得る。塩酸は、水分と結合されると、デバイスを損傷し得るものを生成し得る。この作用は、環境制御物質の選択によって避けることができる。
【００１９】
環境制御物質は、選択されると、デバイスパッケージまたはモジュールパッケージの何れかに挿入されることができる。デバイスパッケージ20は、図３に示されている。ＭＥＭＳデバイス22は、単に一例として、基板24上に形成された薄膜（thin film）の層として示されている。この特定の例では、デバイスは、インターフェロメトリック作用を使用して、入射光から画像を形成するディスプレイデバイスである。インターフェロメトリック変調器素子は、図示されている基板または薄膜のスタックの一部のような別の表面と接触するようになる可動素子から形成される。ビューワ（viewer）19は、基板24を通して、変調器によって形成される画像を見ることになる。背板、すなわち第２の表面26は、基板24、すなわち第１の表面に対してオフセットしていて、接合物質を含む側部30によって接合され、パッケージを形成し得る。その代わりに、背板26と側部30とが１つのユニットであるときは、背板は、第２の表面26および側部30をもつ構造から形成され得る。これは、窪みのある背板を形成し、変調器を収容する。環境制御物質28はパッケージ内に挿入され、既に記載した作用を引き起こすか、または回避する。
【００２０】
別の実施形態では、環境制御物質は、モジュールパッケージ内に挿入されることができる。本明細書に定められているモジュールパッケージは、図４に示されているように、デバイスパッケージが収容されているパッケージである。モジュールパッケージ31は、接合物質34によって第２の表面36からオフセットしている第１の表面32をもつ。モジュールパッケージ31の内部には、デバイスパッケージ20がある。環境制御物質28は、モジュールパッケージ31内に挿入されている。さらに加えて、環境制御物質は、接合物質34の一部、基板、またはデバイス製造の一部として作られることにより、パッケージの一部にされることができる。１つの実施形態では、変調器のウィンドウと、モジュールパッケージ31の第１の表面32とは、同じ表面であるか、またはそれらが1つの構造を形成するように取り付けられ得る。この場合に、第１の表面は、モジュールパッケージ31およびデバイスパッケージ20の両者の第１の表面であることになる。
【００２１】
製造プロセスの実施形態は、図５に示されている。プロセスは、３つの基本ステップ、すなわち可動素子の製造、ステップ60、デバイスのパッケージング、ステップ70、および環境物質を含めること、ステップ50aないし50eをもつ。可動素子の製造、ステップ40は、ステップ50aにおいて環境制御物質を含め得る。環境制御物質は、薄膜の付着のような素子の形成中である素子自体の製造または種々の物質の処理中に、基板の一部として作られることができる。
【００２２】
パッケージングプロセスは、モジュールパッケージを含んでも、含まなくてもよい。可動素子は、デバイスパッケージ内に封入される、ステップ42。環境制御物質を含めることは、既に記載したように、ステップ50bにおいてデバイスパッケージに含められ得る。ステップ44において、接合物質が適用され、第１の表面と第２の表面との間にデバイスパッケージを形成する。ここでも、既に記載したように、ステップ50cにおいて、環境制御物質は、接合物質の一部としてパッケージ内に挿入され得る。
【００２３】
ステップ46において、デバイスがモジュールパッケージ内へ封入されるとき、ステップ50dにおいて、モジュールパッケージは環境制御物質をもつことができる。次に、ステップ48において、接合物質が適用され、モジュールパッケージを形成し、そこには、ステップ50eにおいて環境制御物質が含められ得る。プロセスは、デバイスパッケージ、モジュールパッケージ、または両者を含み得る。第１の表面および第２の表面が、デバイスパッケージであっても、またはモジュールパッケージであっても、パッケージングプロセスは、第１の表面または第２の表面を接合物質で接合することを必要とする。
【００２４】
プロセスの各部分において使用される物質は、ＭＥＭＳデバイスおよびその応用、並びに希望の環境の効果に依存して、変わり得る。デバイスパッケージは、通常、基板および背板を含む。基板、すなわちデバイスまたはモジュールパッケージの第1の表面は、とりわけ、ガラス、プラスチック、金属、シリコン、またはセラミックを含み得る。背板、すなわちデバイスまたはモジュールパッケージの第２の表面は、ガラス、プラスチック、金属、金属箔、シリコン、セラミック、流体、等であり得る。何れのパッケージにも使用される接合物質は、エポキシベースの接着剤、Ｏリングシーラント、ＰＩＢ、ポリウレタン、環境制御物質をもつ接着剤、薄膜の金属と金属との溶接された継手（thin-film metal-to-metal welded joint）、液体スピンオンガラス（liquid spin-on glass）、はんだ、あるいはシールを形成するための重合体またはプラスチック層の原位置成長（insitu growth）であり得る。
【００２５】
環境制御物質は、ゼオライトであり得る。これは、ナトリウムのアルミノケイ酸塩の一般名であり、種々のポアサイズ、モレキュラーシーブ、表面上またはバルク内の他の分子を吸収する表面またはバルク吸着剤、あるいはデシカント（dessicant）をもつ。環境制御物質は、望ましくない物質と反応して、無害の化合物を形成する化学反応物、例えば、水分を吸収して、不活性である別の化合物を生成するものであり得る。環境制御物質が分子内部に入ると、環境制御物質は、分子の漏れを物理的に遮断するデバイスとして作られ得る。モレキュラーシーブは、重合体上に付着させられた、またはその上でスピンさせられた薄膜内へ組込まれ得る。モレキュラーシーブは、デバイスの表面上にスプレーされるか、または前もって準備されて、使用する前に再生されるか、さらに加えて、浸漬被覆として適用され得る。
【００２６】
それらに適用する色々なタイプの物質および色々な方法に加えて、環境制御物質は、異なる形、サイズ、および形状をもち得る。環境制御物質は、固体、すなわちパッケージ内部に直接にダンプされるか、適用するための接着剤と混合される粉末であり得る。物質は、円柱、薄板、等のような形に形成され、次に、パッケージ内部に適用され得る。物質は、パッケージ内部または基板上にスクリーン印刷または液体を分配され得る。物質の適用は、システム設計者に任せられる。
【００２７】
したがって、この点に対して、環境制御物質をもつＭＥＭＳデバイスのための方法および装置についての個々の実施形態が記載されたが、このような特定の参照は、特許請求項に記載されている範囲を除いて、本発明の範囲に対する制限として見なされることは意図されていない。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】  動作している超小型電気機械デバイスのヒステリシス曲線を示すグラフ。
【図２】  異なる環境条件における動作している超小型電気機械デバイスのヒステリシス曲線を示すグラフ。
【図３】  環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスのためのデバイスパッケージの1つの実施形態を示す図。
【図４】  環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスのためのモジュールパッケージの1つの実施形態を示す図。
【図５】  環境制御物質を含んでいる超小型電気機械デバイスを製造する実施形態のフローチャート。
【符号の説明】
【００２９】
10,12・・・ヒステリシス曲線、19・・・ビューワ、20・・・デバイスパッケージ、22・・・ＭＥＭＳデバイス、24,32・・・基板、26,36・・・背板、28・・・環境制御物質、30,34・・・接合物質。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2008500564.tif 000008
【国際調査報告】
2008500564.tif 000009
2008500564.tif 000010