【事件の表示】
　特許第２８１２８７９号「電気電子部品用板条材及びその製造方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８１２８７９号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］手続の経緯
　本件特許第2812879号発明は、平成6年6月30日に出願され、平成１０年８月７日にその特許の設定登録がなされ、その後古河電気工業株式会社及び西田良幸より請求項１乃至６に係る特許の異議の申立てがなされ、その後、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１０月１９日に訂正請求がなされたものである。
［２］訂正の適否について
(2.A)訂正の要旨
　訂正事項ａ
　本件特許の設定登録時に願書に添付された明細書（以下「特許明細書」という。）に記載された特許請求の範囲を次のように訂正する。
「【請求項１】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材であって、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６kgf/mm２以下であることを特徴とする電気電子部品用板条材。
　【請求項２】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪みの高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgfmm２であることを特徴とする電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項３】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２であることを特徴とする電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項４】前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２又は３に記載の電気電子部品用板条材の製造方法。」
　訂正事項ｂ
　特許明細書の段落００６の記載を次のように訂正する。
「【課題を解決するための手段】
　本発明に係る電気電子部品用板条材は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材であって、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６kgf/mm２以下であることを特徴とする。」
　訂正事項ｃ
　特許明細書の段落００７の記載を次のように訂正する。
「また、本発明に係る電気電子部品用板条材の製造方法は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪みの高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２であることを特徴とする。」
　訂正事項ｄ
　特許明細書の段落００８の記載を次のように訂正する。
「更に、本発明に係る電気電子部品用板条材の他の製造方法は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２であることを特徴とする。」
　訂正事項ｅ
　特許明細書の段落００１２の記載を次のように訂正する。
「【作用】
　本願発明者等は、テープ、板又は矩形断面をもつ条材からなる電気電子部品用板条材から形成したリ一ドフレームのリードの変形を抑制すベく種々実験研究を行った。その結果、例えばリードフレームにおいて、0.4mmのピッチで配列されるリードのコプラナリティーを２０μｍ以下にするためには、リードフレームの圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧縮応力の絶対値と引張応力との絶対値との和を夫々１２kgf/mm２ 以下及び６kgf/mm２以下にすることが必要であることが判明した。」
　訂正事項ｆ
　特許明細書の段落００１４の記載を次のように訂正する。
「そこで、本願の第１の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して急峻度を１．０％以下にすることにより、リードフレーム等の電気電子部品用板条材として要求される平坦性を確保する。この第１のテンションレベラー工程終了後の板条材は、平坦性は良好であるものの、その厚さ方向の応力分布における残留応力が比較的大きい。この残留応力を低減するために、第２のテンションレベラー工程として、張力を一定に維持しつつ、板条材をテンションレベラーに通す。これにより、残留応力を低減することができ、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２ 以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６kgf/mm２以下にする。これにより、例えば、リードフレームにおいて、０．４mmのピッチで配列されたり一ドのコブラナリティーを２０μｍ以下にすることができる。」
　訂正事項ｇ
　特許明細書の段落００１５の記載を次のように訂正する。
「また、本願の第２の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程において、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して所望の平坦性を確保し、次いで、第２のテンションレベラー工程において、板条材に第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力を加えつつテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２ 以下及び６kgf/mm２以下にする。これにより、例えば板条材をリードフレームに加工する工程及び加工後の熱処理工程におけるリードの変形も小さくすることができる。」
　訂正事項ｈ
　特許明細書の段落００１６の記載を次のように訂正する。
　「上述の第１及び第２の発明方法において、第１のテンションレベラー工程における張力を大きくするほど板条材の急峻度は小さくなるが、張力が大きすぎると第１のテンションレベラー工程後の材料の残留応力が大きくなって、第２のテンションレベラー工程で残留応力を小さくするためには第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３近傍にする必要があり、残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２程度とする。また、第２のテンションレベラー工程における張力を３〜８kgf/mm２とすることにより、より一層確実に残留応力を小さくすることができる。更に、テンションレベラーのワークロールとして小径（１６mm以下）のものを使用すると、残留応力を更に小さくすることができる。」
　訂正事項ｉ
　特許明細書の段落００１７の記載を次のように訂正する。
「なお、本発明は、リードフレームに使用されるＣｕ合金を対象としている。」
　訂正事項ｊ
　特許明細書の段落００２５の記載を次のように訂正する。
「図５は、このようにして第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図５に示すように、本実施例方法により製造した板条材１１は、圧縮応力及び引張応力がいずれも小さい。また、通常、圧延方向に直交する断面においては、圧延方向に平行な断面に比して残留応力が小さくなる。このようにして、圧延方向に平行の断面及び直交する断面において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下及び６kgf/mm２以下とすることにより、リードフレームに加工する工程及びリードフレームに加工した後の熱処理工程におけるリードの変形を抑制することができる。」
　訂正事項ｋ
　特許明細書の段落００３０の記載を次のように訂正する。
　「この表１から明らかなように、比較例１及び従来例１，２はいずれも圧延方向に平行の断面における残留応力（圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和）が１４kgf/mm２以上であり、リードの板厚方向の変形量が夫々２３μｍ、６０μｍ及び３７μｍと大きいのに対し、本発明の実施例においては、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における残留応力が夫々１２kgf/mm２以下及び６kgf/mm２以下であり、リードの板厚及び板幅方向の変形量がいずれも１７μｍ以下と小さい。これにより、本発明は、リードフレームに使用する電気電子部品用板条材の製造に極めて有用であることが明らかである。」
　訂正事項ｌ
　特許明細書の段落００３２の記載を次のように訂正する。
「また、本発明において、第１及び第２のテンションレベラー工程は、例えば２台のテンションレベラーにより連続的に実施してもよく、又は、１台のテンションレベラーにより第１のテンションレベラー工程を実施した後、張力を調整して前記テンションレベラーにより第２のテンションレベラー工程を実施してもよい。」
(2.B)訂正の目的の適否、新規事項の存否および拡張変更の有無
　訂正事項ａについて
訂正事項ａは、
　(1)特許明細書の請求項１（以下特許明細書の各請求項は、「旧」を付し、訂正後の請求項は「新」を付して呼ぶ。）について、旧請求項２の構成（金属又は合金がＣｕ合金であるという構成）を付加して新請求項１とすると共に、「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が12kgf/mm２以下である」という規定を「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が6kgf/mm２以下である」という規定に訂正すると共に、
(2)旧請求項２を削除し、
(3)旧請求項３について、新請求項２とすると共に、旧請求項６の構成（金属又は合金がＣｕ合金であるという構成）を付加し、「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下にする」という規定を「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を6kgf/mm２以下にする」という規定に訂正し、さらに「第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２である」構成を付加し、
(4)旧請求項４について、新請求項３とすると共に、旧請求項６の構成（金属又は合金がＣｕ合金であるという構成）を付加し、「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下にする」という規定を「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を6kgf/mm２以下にする」という規定に訂正し、さらに「第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２である」構成を付加し、
(5)旧請求項５について、新請求項４とすると共に、引用請求項を「請求項２又は３」と訂正し、
(6)旧請求項６を削除するものである。
　そして、「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が6kgf/mm２以下である」ことは、願書に最初に添付された明細書の本発明の実施例及び比較例を示す表１において、本発明の実施例を示す圧延方向に平行の断面における残留応力(L)が12kgf/mm２以下、圧延方向に平行の断面における残留応力(C)が6kgf/mm２以下である記載があり、
　「第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２である」ことについては、特許明細書の段落【００１６】に記載されているから、いずれも願書に最初に添付された明細書に記載された事項の範囲内のものであるといえる。
　したがって、上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項を追加するものでもなく、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　訂正事項ｂ〜ｄについて
訂正事項ｂ〜ｄは、訂正事項ａの訂正に伴ない、【課題を解決するための手段】の項の記載を特許請求の範囲の記載と整合させたもので、上記訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項を追加するものでもなく、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　訂正事項ｅ〜ｌについて
訂正事項ｅ〜ｌは、訂正事項ａの訂正に伴ない、【作用】の項及び【実施例】の項の記載を特許請求の範囲の記載と整合させたもので、上記訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項を追加するものでもなく、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
(2.C)独立特許要件の判断
（１）訂正後の発明
　上記訂正請求書に添付された明細書（以下「訂正明細書」という。）の請求項１乃至４にる発明（以下これら発明を「訂正発明１」乃至「訂正発明４」という。）は、訂正明細書および願書に添付された図面の記載からみて、上記「[２](2.A)」の訂正事項ａの【請求項１】乃至【請求項４】に記載のとおりのものであると認める。
（２）取消理由通知の概要
　当審において通知した取消理由の概要は次の通りである。
「a)請求項１に係る発明
(1-1)請求項１に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１に記載された発明であるから、請求項１の発明については、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものである。
(1-2)請求項１に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１および２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
(1-3)請求項１に係る発明は本件特許出願前の他の特許出願であって本件特許出願後に出願公開が発行されたものの願書に最初に添付した下記(3)の明細書又は図面に記載された発明と同一であるので、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである。
b)請求項２に係る発明
　請求項２に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１、２および３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項２の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
c)請求項３に係る発明
　請求項３に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１、３および４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項３の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
d)請求項４に係る発明
　請求項４に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１、３、４および５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項４の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
e)本件請求項５に係る発明
　本件請求項５に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１、３、４、５および６または７に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項５の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
f)請求項６に係る発明
　請求項６に係る発明は本件特許出願前に日本国内において頒布された下記の刊行物１、３、４、５および６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項６の発明については、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものである。
　　　　　　　　　　記
(1)刊行物１：特開平１−２０１４２１号公報（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第１号証刊行物）
(2)刊行物２：塑性と加工vol.17,no.191,1976年12月発行（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第５号証刊行物）
(3)特願平５−３１７８５６号の願書に最初に添付した明細書及び図面（特開平７−１７６６６９号公報、以下「先願明細書」という。特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第４号証）
(4)刊行物３：特公昭６４−４５９号公報（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第７号証刊行物）
(5)刊行物４：特開昭５３−６０８６４号公報（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第６号証刊行物）
(6)刊行物５：特開昭５２−１０３３６５号公報（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第８号証刊行物）
(7)刊行物６：特開昭６３−２６８５１７号公報（特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲第９号証刊行物）
(8)刊行物７：日新製鋼技報第６０号１９８９May「極薄用テンションレベラーライン改造」第78〜84頁」（特許異議申立人・西田良幸の提出した甲第３号証刊行物）」
（３）引用刊行物等の記載事項
　そこで、上記取消理由において引用された刊行物及び先願明細書の記載事項を検討すると、刊行物１乃至７及び上記(3)の先願明細書にはそれぞれ次のことが記載されている。
(1)刊行物１：　リードフレーム用板条材において、圧縮応力及び引張応力との絶対値の和が12kgf/mm２以下であるNi合金薄板（第１図参照）。
(2)刊行物２：圧延板状材の残留応力は、圧延方向の残留応力がそれと直交する方向の残留応力より大きいこと（第９９２頁第１１図参照）。
(3)先願明細書：ステンレス鋼、鉄−ニッケル合金等の板又は条からなる板条材を冷間圧延し、該板条材の表裏面をウェットエッチング加工によりそれぞれ１〜２０μｍずつ除去して、板状材の内部残留応力を約−８〜２kgf/mm２に低減する電気電子部品用板条材の内部応力低減方法。
(4)刊行物３：リードフレーム用圧延材において、銅合金を用いる点および急峻度を1.0％以下にする第１のテンションレベラー工程の後あまり歪みをかけない第２のテンションレベラーに通して、異方性のないリードフレーム用の板条材を製造する方法。
(5)刊行物４：第１のテンションレベラーによる矯正の後、小さな張力のもとに第２のレベラーを通して、残留応力を小さくする点（第２頁上左欄１〜６行参照）。
(6)刊行物５：第１のテンションレベラーの張力に対し第２のテンションレベラーの張力を1/3以下にすること（第３頁下左欄１〜１４行及び第１〜３図参照）。
(7)刊行物６：リードフレームの圧延用ロールの直径を16mm以下とすること（第３頁上左欄１行〜上右欄２０行参照）。
(8)刊行物７：第２のレベラーのワークロール直径を１６mm以下とすること（第８３頁左欄及び図６〜７参照）。
（４）対比・判断
(4.1)訂正発明１について
　訂正発明１と旧請求項１に係る発明の取消理由において引用された上記刊行物１，２及び先願明細書に記載のものとを対比する。
　刊行物１及び２並びに先願明細書には、訂正発明１の必須の構成である「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が6kgf/mm２以下である」構成（以下この構成を「構成Ａ」という。）につき記載がない。
　したがって、訂正発明１が上記刊行物１に記載された発明であるともいえず、先願明細書に記載された発明と同一であるともいえないし、また刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
(4.2)訂正発明２について
　訂正発明２は、旧請求項３の構成を減縮した上で、旧請求項６の構成を付加したものである。　そこで、旧請求項３及び旧請求項６に係る発明の取消理由において引用された上記刊行物１，３，４、５及び６に記載のものと訂正発明２を対比すと、上記刊行物のいずれにも訂正発明２の「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を6kgf/mm２以下にする」構成（以下該構成を「構成Ａ’」という。）及び「第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５kgf/mm２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８kgf/mm２である」構成（以下該構成を「構成Ｂ」という。）につき記載がない。
　したがって、訂正発明２が上記刊行物に記載された発明であるとも、またそれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　また、他に訂正発明２を拒絶すべき理由を発見しない。
(4.3)訂正発明３について
　訂正発明３は、旧請求項４に訂正発明２と同じ減縮を行うと共に、旧請求項６の構成を付加したものである。
　そこで、旧請求項４及び旧請求項６に係る発明の取消理由において引用された上記刊行物１、３、４、５及び６に記載のものと訂正発明３を対比すと、上記刊行物のいずれにも訂正発明３の上記「構成Ａ’」及び「構成Ｂ」につき記載がない。
　したがって、訂正発明３が上記刊行物に記載された発明であるとも、またそれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　また、他に訂正発明３を拒絶すべき理由を発見しない。
(4.4)訂正発明４について
　訂正発明４は、訂正発明２又は３の構成を引用して記載され、旧請求項５の呼称を改めたものである。
　そこで、旧請求項５に係る発明の取消理由において引用された上記刊行物１、３、４、５、６及び７に記載のものと訂正発明４を対比すと、上記刊行物のいずれに、もやはり訂正発明４の「構成Ａ’」及び「構成Ｂ」につき記載がない。
　したがって、訂正発明４が上記刊行物に記載された発明であるとも、またそれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　また、他に訂正発明４を拒絶すべき理由を発見しない。
(4.5)まとめ
　したがって、訂正発明１乃至４はいずれも特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
(2.D)むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き各号及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
［３］特許異議の申立てについての判断
(3.A)特許異議申立ての理由
　(A)特許異議申立人・古河電工株式会社は、下記甲第１号証乃至第９号証を提出し、
　請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものであり（以下「理由A1.1」という。）、
　請求項１に係る発明は甲第４号証の先願明細書に記載された発明と同一であるので、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張し（以下「理由A1.2」という。）、
　請求項１に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張（以下「理由A1.3」という。）し、
　請求項２に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張し（以下「理由A2」という。）、
　請求項３に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５号証乃至甲第７号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張し（以下「理由A3」という。）、
　請求項４に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５乃至６号証及び甲第８号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張し（以下「理由A4」という。）、
　請求項５に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５乃至９号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張し（以下「理由A5」という。）、
　請求項６に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５乃至９号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張（以下「理由A6」という。）している。
　　　古河電工株式会社提出の甲各号証
(1)甲第１号証：特開平１−２０１４２１号公報
(2)甲第２号証：特開平５−３２０号公報
(3)甲第３号証：C.D.A.COPPER-ENERGY EFFICIENCY,HIGH CONDUCTIVITY,1993年10月4日発行
(4)甲第４号証：特願平５−３１７８５６号（特開平７−１７６６６９号公報）の願書に最初に添付された明細書又は図面
(5)甲第５号証：塑性と加工vol.17,1976年12月発行
(6)甲第６号証：特開昭５３−６０８６４号公報
(7)甲第７号証：特公昭６４−４５９号公報
(8)甲第８号証：特開昭５２−１０３３６５号公報
(9)甲第９号証：特開昭６３−２６８５１７号公報
　(B)特許異議申立人・西田良幸は、下記の甲第１号証乃至第４号証を提出し、
　請求項１乃至６に係る発明は、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものであり（以下「理由B1」という。）、
　請求項１乃至６に係る発明は甲第１号証乃至甲第３号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができるものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり（以下「理由B2」という。）、
　請求項１乃至６に係る発明は、甲第４号証の発明と同一であるから、これらの請求項に係る特許は、特許法第３９条第１項に違反してされたものであるからその特許を取り消すべきであると主張（以下「理由B3」という。）している。
　　　　西田良幸提出の甲各号証
(1)甲第１号証：伸銅技術研究会誌(1993)３２巻「エッチング加工から見た素材への要望」第28〜31頁
(2)甲第２号証：伸銅技術研究会誌(1992)３１巻「矯正機の進歩」第24〜31頁
(3)甲第３号証：日新製鋼技報第６０号１９８９May「極薄用テンションレベラーライン改造」第78〜84頁
(4)甲第４号証：特願平6-21509号（平成６年２月１８日出願）（特許第2812869号参照）
(3.B)当審の判断
　そこでこれらの特許異議申立の理由につき検討する。
（１）本件発明
　本件発明１乃至４は適法に訂正された結果、上記「［２］(2.C)（１）訂正後の発明」において認定した通りのものである。
（２）特許異議申立人・古河電工株式会社の提出した甲各号証記載事項
　甲第１号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等の記載事項」の(1)刊行物１に同じ。
　甲第２号証：打ち抜き加工等によりリードフレームに加工した場合に反りが発生する事がないリードフレーム用板条材において、剪断により残留応力が生じる側縁部における残留応力値として、板条側縁部の表面部で−２kgf/mm２、板厚方向中心部で３kgf/mm２（両者の絶対値の和は、５kgf/mm２）であるもの、及び上記表面部で−７kgf/mm２、中心部は第１実施例とほぼ同等（両者の絶対値の和は１２kgf/mm２以下であるもの（第６頁左欄【0041】〜【0043】参照）、および、リードフレーム用板条材は、所定幅に剪断して使用されるが剪断応力によって、打ち抜き加工時に大きな反りが発生すること、残留応力を低減することによりこの反りが防止できること。
　甲第３号証：エフテック−６４Ｔと呼ばれるCu-Cr-Sn合金は、リードフレーム材料として広く用いられていること及び厚さ0.15mmの帯条材の断面における制御された残留応力の大きさがおよそ−４０〜５０N/mm２（−４〜５kgf/mm２）であること（第３頁５〜７行及びFig.６参照）。
　甲第４号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(3)先願明細書に同じ。
　甲第５号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(2)刊行物２に同じ。
　甲第６号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(5)刊行物４に同じ。
　甲第７号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(4)刊行物３に同じ。
　甲第８号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(6)刊行物５に同じ。
　甲第９号証：上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等記載事項」の(7)刊行物６に同じ。
（３）理由A1.1乃至理由A1.2について
　請求項１に係る発明は、適法になされた訂正の結果、訂正発明１に訂正された。
　そして、訂正発明１は、上記「[２](2.C)（４）対比・判断」の項の「(4.1)訂正発明１について」において述べたように、刊行物１又は刊行物２に記載された発明であるともいえず、また先願明細書に記載された発明と同一であるともいえないのだから、甲第１号証の刊行物に記載された発明であるとも甲第４号証の先願明細書に記載された発明と同一であるとも言えない。
　したがって、請求項１に係る発明が甲第１号証の発明及び甲第４号証の明細書に記載された発明と同一であるとする特許異議申立の理由A1.1及び理由A1.2は理由がなくなった。
（４）理由A1.3について
　上記「[２](2.C)（４）対比・判断」の項の「(4.1)訂正発明１について」において述べたように、訂正発明１は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえないのだから、甲第１号証及び甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえない。
　また、甲第２号証及び第３号証には、やはり訂正発明１の必須構成である構成Ａにつき記載がない。
　したがって、請求項１に係る発明が甲第１号証乃至３号証及び甲第５号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明であるは言えないから、理由A1.3は理由がない。
（５）理由A.2について
　請求項２は訂正により削除されたので、理由A.2は判断する必要がなくなった。
（６）理由A.3について
　請求項３は、訂正の結果訂正発明２となった。そして、上記「[２](2.C)（４）対比・判断」の項の「(4.2)訂正発明２について」において述べたように、訂正発明２は、刊行物１、３，４，５及び刊行物６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえないのだから、これら刊行物に対応する甲第１、７，６，８号証及び甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえない。
　また、甲第２号証及び第３号証には、やはり訂正発明２の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　さらに、甲第５号証にも、やはり訂正発明２の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　したがって、請求項３に係る発明が甲第１号証乃至第３号証及び甲第５号証乃至甲第７号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができるものであるとする理由A.3は理由がない。
（７）理由A.4について
　請求項４は、訂正の結果訂正発明３となった。そして、上記「[２](2.C)（４）対比・判断」の項の「(4.3)訂正発明３について」において述べたように、訂正発明３は、刊行物１、３、４、５及び刊行物６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえないのだから、これら刊行物に対応する甲第１、７、６、８号証及び甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえない。
　また、甲第２号証及び第３号証には、やはり本件訂正発明３の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　さらに、甲第５号証にも、やはり訂正発明３の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　したがって、請求項４に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５乃至６号証及び甲第８号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができるものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張する理由A.4は理由がない。
（８）理由A.5について
　請求項５に係る発明は、訂正の結果訂正発明４となった。そして、上記「[２](2.C)（４）対比・判断」の項の「(4.4)訂正発明４について」において述べたように、訂正発明４は、刊行物１、３、４、５及び刊行物６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえないのだから、これら刊行物に対応する甲第１、７，６，８号証及び甲第９号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明する事ができたとはいえない。
　また、甲第２号証及び第３号証には、やはり本件訂正発明３の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　さらに、甲第５号証にも、やはり訂正発明４の必須構成である構成Ａ’につき記載がない。
　したがって、請求項５に係る発明は甲第１号証乃至第３号証及び甲第５乃至甲第９号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができるものであるから特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、この請求項に係る特許を取り消すべきであると主張する理由A.5は理由がない。
（９）理由A.6について
　請求項６は訂正により削除されたので、理由A.6は判断する必要がなくなった。
（１０）特許異議申立人・西田良幸提出の甲各号証記載事項
(1)甲第１号証（伸銅技術研究会誌(1993)３２巻「エッチング加工から見た素材への要望」第28〜31頁）：面実装パッケージ用リードフレームの素材（銅合金）として、Ｚ方向の精度を厳しくコントロールするために、残留応力を制御する必要があること、Die Pad Flatness　が２０μｍでは内部応力がおよそ70N/mm２（７kgf/mm２）であること。
(2)甲第２号証（伸銅技術研究会誌(1992)３１巻「矯正機の進歩」第24〜31頁）：鋼板、アルミ及びアルミ合金ストリップでは、急峻度0.4％以内、あるいは0.2％以内も一般化しつつあり、テンションレベラーでは、形状検出とそのフィードバック制御することなくこの要求を満足させることができること（２９頁左欄２３行〜２７行）、エッチング加工やパンチング加工後の平坦度が要求されるリードフレーム材等の最終加工工程前の材料は残留応力の極めて小さいものが要求されること（第３０頁５〜１０行及びFig.13参照）。
(3)甲第３号証（日新製鋼技報第６０号１９８９May「極薄用テンションレベラーライン改造」第78〜84頁、取消理由通知のおいて引用された刊行物７に同じ）：　上記「［２］(2.C)（３）引用刊行物等の記載事項」の(8)刊行物７に同じ。
(4)甲第４号証（特願平6-21509号（平成６年２月１８日出願）（特許第2812869号参照））：下記請求項１〜６項に係る発明。
「【請求項１】その一面にハーフエッチングが施されるハーフエッチング用電気電子部品用板条材において、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材であって、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２kgf/mm２ 以下であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材。
【請求項２】前記金属又は合金はＣｕ合金であることを特徴とする請求項１に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材。
【請求項３】金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有することを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
【請求項４】金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有することを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
【請求項５】前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６mm以下であることを特徴とする請求項３又は４に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
【請求項６】前記金属又は合金はＣｕ合金であることを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。」
（１１）理由B1及び理由B2について
　請求項２及び請求項６は訂正により削除され、請求項１，３，４及び請求項５に係る発明は夫々訂正発明１，２、３及び訂正発明４となった。
　そして、訂正発明１は必須の構成Ａを有し、訂正発明２乃至４は、必須の構成Ａ’及び構成Ｂを有するものとなった。
　しかるに、甲第３号証には、訂正発明１の構成Ａについても、また訂正発明２乃至４の構成Ａ’についても記載がないことは、すでに前記「(2.C)独立特許要件の判断（４）対比・判断」の(4.1)〜(4.4)において述べたとおりである。
　また、甲第１号証及び甲第２号証の記載事項を見るに、甲第１号証には、リードフレームの素材（銅合金）として、Ｚ方向の精度を厳しくコントロールするために、残留応力を制御する必要があり、Die Pad Flatness　を２０μｍ以内に抑えるには内部応力をおよそ70N/mm２（７kgf/mm２）にすることが記載され、甲第２号証には、急峻度0.4％以内、あるいは0.2％以内の要求に応えるには、テンションレベラーにより残留応力を極めて小さくすることが要求されることが記載されているが、訂正発明１の必須の構成である構成Ａについても、また訂正発明２乃至４の必須の構成である構成Ａ’についても記載がない。
　したがって、訂正発明１乃至４は、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明であるとはいえないし、甲第１号証乃至甲第３号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができた発明であるともいえない。
　したがって、理由B1も理由B2も理由がない。
（３）理由B3について
　甲第４号証の請求項１及び２に係る発明は、「圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２kgf/mm２ 以下である」という構成を有するものの、訂正発明１の必須構成である構成Ａ即ち、「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が6kgf/mm２以下である」という構成を有しない。
　したがって、甲第４号証の請求項１及び２に係る発明が、訂正発明１と同一であるとは言えない。
　次に甲第４号証の請求項３乃至６に係る発明について見るに、これらの発明が「圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２kgf/mm２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有する」構成を有するものの、訂正発明２乃至４の必須構成である構成Ａ’即ち「圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を12kgf/mm２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を6kgf/mm２以下にする」という構成を有しない。　したがって、甲第４号証の請求項３乃至６に係る発明が訂正発明２乃至４と同一であるとは言えない。
　したがって、請求項１乃至６に係る発明は、甲第４号証の発明と同一であるから、これらの請求項に係る特許を取り消すべきであるという理由B3は理由がない。
（3.C）結び
　以上の通りであるから、本件特許異議のいずれの申立ても理由があるとは言えない。
　また、他に本件の各訂正発明に対してなされた特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月１日（２０００．２．１）
【訂正の要旨】
　　　　　　　　　　　　　　　　訂正の要旨
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ａ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、本件特許の設定登録時に願書に添付された明細書（以下「特許明細書」という。）に記載された特許請求の範囲を次のように訂正する。
「【請求項１】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材であって、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６ｋｇｆ／ｍｍ２以下であることを特徴とする電気電子部品用板条材。
　【請求項２】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪みの高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項３】銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項４】前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項２又は３に記載の電気電子部品用板条材の製造方法。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｂ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００６の記載を次のように訂正する。
「【課題を解決するための手段】
　本発明に係る電気電子部品用板条材は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材であって、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６ｋｇｆ／ｍｍ２以下であることを特徴とする。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｃ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００７の記載を次のように訂正する。
「また、本発明に係る電気電子部品用板条材の製造方法は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪みの高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｄ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００８の記載を次のように訂正する。
「更に、本発明に係る電気電子部品用板条材の他の製造方法は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｆｋｇ／ｍｍ２であることを特徴とする。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｅ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００１２の記載を次のように訂正する。
「【作用】
　本願発明者等は、テープ、板又は矩形断面をもつ条材からなる電気電子部品用板条材から形成したリードフレームのリードの変形を抑制すべく種々実験研究を行った。その結果、例えばリードフレームにおいて、０．４ｍｍのピッチで配列されるリードのコプラナリティーを２０μｍ以下にするためには、リードフレームの圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧縮応力の絶対値と引張応力との絶対値との和を夫々１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下及び６ｋｇｆｍｍ２以下にすることが必要であることが判明した。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｆ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００１４の記載を次のように訂正する。
「そこで、本願の第１の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して急峻度を１．０％以下にすることにより、リードフレーム等の電気電子部品用板条材として要求される平坦性を確保する。この第１のテンションレベラー工程終了後の板条材は、平坦性は良好であるものの、その厚さ方向の応力分布における残留応力が比較的大きい。この残留応力を低減するために、第２のテンションレベラー工程として、張力を一定に維持しつつ、板条材をテンションレベラーに通す。これにより、残留応力を低減することができ、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧延方向に平行の断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする。これにより、例えば、リードフレームにおいて、０．４ｍｍのピッチで配列されたり一ドのコブラナリティーを２０μｍ以下にすることができる。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｇ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００１５の記載を次のように訂正する。
「また、本願の第２の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程において、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して所望の平坦性を確保し、次いで、第２のテンションレベラー工程において、板条材に第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力を加えつつテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下及び６ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする。
これにより、例えば板条材をリードフレームに加工する工程及び加工後の熱処理工程におけるリードの変形も小さくすることができる。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｈ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００１６の記載を次のように訂正する。
　「上述の第１及び第２の発明方法において、第１のテンションレベラー工程における張力を大きくするほど板条材の急峻度は小さくなるが、張力が大きすぎると第１のテンションレベラー工程後の材料の残留応力が大きくなって、第２のテンションレベラー工程で残留応力を小さくするためには第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３近傍にする必要があり、残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２程度とする。また、第２のテンションレベラー工程における張力を３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２とすることにより、より一層確実に残留応力を小さくすることができる。更に、テンションレベラーのワークロールとして小径（１６ｍｍ以下）のものを使用すると、残留応力を更に小さくすることができる。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｉ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００１７の記載を次のように訂正する。
「なお、本発明は、リードフレームに使用されるＣｕ合金を対象としている。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｊ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００２５の記載を次のように訂正する。
「図５は、このようにして第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図５に示すように、本実施例方法により製造した板条材１１は、圧縮応力及び引張応力がいずれも小さい。また、通常、圧延方向に直交する断面においては、圧延方向に平行な断面に比して残留応力が小さくなる。このようにして、圧延方向に平行の断面及び直交する断面において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下及び６ｋｇｆ／ｍ２以下とすることにより、リードフレームに加工する工程及びリードフレームに加工した後の熱処理工程におけるリードの変形を抑制することができる。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｋ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００３０の記載を次のように訂正する。
　「この表１から明らかなように、比較例１及び従来例１，２はいずれも圧延方向に平行の断面における残留応力（圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和）が１４ｋｇｆ／ｍｍ２以上であり、リードの板厚方向の変形量が夫々２３μｍ、６０μｍ及び３７μｍと大きいのに対し、本発明の実施例においては、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における残留応力が夫々１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下及び６ｋｇｆ／ｍｍ２以下であり、リードの板厚及び板幅方向の変形量がいずれも１７μｍ以下と小さい。これにより、本発明は、リードフレームに使用する電気電子部品用板条材の製造に極めて有用であることが明らかである。」
　　　　　　　　　　　　　　　　　訂正事項ｌ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落００３２の記載を次のように訂正する。
「また、本発明において、第１及び第２のテンションレベラー工程は、例えば２台のテンションレベラーにより連続的に実施してもよく、又は、１台のテンションレベラーにより第１のテンションレベラー工程を実施した後、張力を調整して前記テンションレベラーにより第２のテンションレベラー工程を実施してもよい。」
（５４）【発明の名称】
電気電子部品用板条材及びその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　
銅合金の
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
　　【請求項２】　
銅合金の
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である
　　【請求項３】　
銅合金の
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である
　　【請求項４】　前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項
２又は３
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明はリードフレームの材料として好適の電気電子部品用板条材及びその製造方法に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　ＩＣリードフレーム等の電気電子部品用の金属又は合金製のテープ、板又は条（以下、板条材という）は、通常、圧延により製造されている。ＩＣリードフレーム用板条材には、ワイヤボンディング工程等での不良の発生を回避するために平坦性が要求される。このため、従来、ＩＣリードフレーム用板条材の製造工程には、圧延により形成された板条材をテンションレベラーに通して歪を矯正する工程が設けられている（特開平４−９４８１５号）。この場合に、残留応力をより一層確実に除去するために、テンションレベラー工程の前及び／又は後に低温焼鈍が実施されることもある。ＩＣリードフレームは、このようにして歪を矯正した板条材を所定の幅に切断した後、エッチング加工又はスタンピング加工により所定の形状に成形加工することにより製造されている。なお、最終圧延材からリードフレームに成形するまでの間には、脱脂、酸洗及び研磨等の処理が適宜実施されている。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上述した方法により製造された従来の電気電子部品用板条材には、以下に示す問題点がある。図６（ａ），（ｂ）はいずれもＩＣ（集積回路装置）の一部分を示す斜視図である。これらのＩＣは、リードフレームのアイランド部に半導体チップを搭載し、樹脂等により前記半導体チップをモールドすることにより形成される。この場合に、図６（ａ）に示すように、アウターリード１４がモールド部１３から水平方向に直線状に導出される場合と、図６（ｂ）に示すように、樹脂モールド部１５から導出されたアウターリード１６がクランク状に曲げ成形される場合とがある。このようなＩＣの製造工程において、従来の板条材をリードフレームの形状に加工する工程及びリードフレームに加工した後の熱処理工程において、リードフレームが変形し、リード１４，１６がリードフレームの板厚方向及び板幅方向に変形する。従来、ＩＣのリード１４，１６の板厚方向のコプラナリティーは２０μｍを超え、板幅方向のコプラナリティーは３０μｍを超えていた。なお、コプラナリティーとは、平坦度のことであり、板の表面において最も高い部分と、最も低い部分との高低差である。
　　　【０００４】
　このようなリードの変形は、板条材の残留応力に起因して発生する。図７は、従来のリードフレーム用板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図７に示すように、板条材１１の厚さ方向の中央部に残留する引張応力（正の値）と、端部に残留する圧縮応力（負の値）との絶対値の和（Ａ）が大きい。また、これと同様に、従来の電気電子部品用板条材においては、板厚方向及び圧延時の板幅方向の残留応力が大きく且つ均一でない。このため、板条材の状態では引張応力と圧縮応力とがバランスしているため変形は発生しないが、リードフレーム等に加工する工程及び加工した後の熱処理工程において引張応力と圧縮応力とのバランスが崩れ、板厚方向及び板幅方向に変形が発生する。
　　　【０００５】
　本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、残留応力が小さいと共に均一であり、例えばリードフレームに加工する工程又はリードフレームに加工した後の熱処理工程においてリードの変形が発生しにくい電気電子部品用板条材及びその製造方法を提供することを目的とする。
　　　【０００６】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明に係る電気電子部品用板条材は、
銅合金の
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
　　　【０００７】
　また、本発明に係る電気電子部品用板条材の製造方法は、
銅合金の
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である
　　　【０００８】
　更に、本発明に係る電気電子部品用板条材の他の製造方法は、銅合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、
圧延方向に平行の断面における
、圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である
　　　【０００９】
　なお、急峻度は、板条材に生じる波状の歪の高さを波のピッチで除して得られるものである。具体的には、図８に示すように、テープ、板又は条からなる板条材に発生した波状の歪の波底間の距離をＬ、高さをＨとした場合に、急峻度＝（Ｈ／Ｌ）×１００で表される。
　　　【００１０】
　また、本願において厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和とは、厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の最大値の絶対値と引張応力の最大値の絶対値との和をいう。
　　　【００１１】
　更に、第１及び第２のテンションレベラー工程は例えば２台のテンションレベラーにより連続的に実施してもよく、また個別的に（不連続に）実施してもよい。
　　　【００１２】
　　【作用】
　本願発明者等は、テープ、板又は矩形断面をもつ条材からなる電気電子部品用板条材から形成したリードフレームのリードの変形を抑制すべく種々実験研究を行った。その結果、例えばリードフレームにおいて、０．４ｍｍのピッチで配列されるリードのコプラナリティーを２０μｍ以下にするためには、リードフレームの圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧縮応力の絶対値と引張応力との絶対値との和を
夫々
及び６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
　　　【００１３】
　また、本願発明者等は、テンションレベラーによる歪矯正時に板条材に加える張力を低く設定すると、厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が小さくなるとの知見を得た。しかし、テンションレベラーに通すときの張力を低減すると、板条材の歪を矯正することができない。
　　　【００１４】
　そこで、本願の第１の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して急峻度を１．０％以下にすることにより、リードフレーム等の電気電子部品用板条材として要求される平坦性を確保する。この第１のテンションレベラー工程終了後の板条材は、平坦性は良好であるものの、その厚さ方向の応力分布における残留応力が比較的大きい。この残留応力を低減するために、第２のテンションレベラー工程として、張力を一定に維持しつつ、板条材をテンションレベラーに通す。これにより、残留応力を低減することができ、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、
圧延方向に平行の断面における
圧延方向に直交する断面における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
　　　【００１５】
　また、本願の第２の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程において、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して所望の平坦性を確保し、次いで、第２のテンションレベラー工程において、板条材に第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力を加えつつテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下
及び６ｋｇｆ／ｍｍ２以下
　　　【００１６】
　上述の第１及び第２の発明方法において、第１のテンションレベラー工程における張力を大きくするほど板条材の急峻度は小さくなるが、張力が大きすぎると第１のテンションレベラー工程後の材料の残留応力が大きくなって、第２のテンションレベラー工程で残留応力を小さくするためには第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３近傍にする必要があり、残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２程度とす
る。
　　　【００１７】
　なお、本発明は
、リ
る。
　　　【００１８】
　　【実施例】
　次に、本発明の実施例について、添付の図面を参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る電気電子部品用板条材の製造方法において使用するテンションレベラーを示す模式図である。このテンションレベラーは、複数本のワークロール１と、第１及び第２の中間ロール２，３とにより構成されており、ワークロール１は、図２に示すように、入側のロール１のロール咬み込み量ｘｌが大きく、後段のロール１ほどロール咬み込み量ｘｎが小さくなるように設定している。第１及び第２の中間ロール２，３は、第１のワークロールの曲げ応力に対する強度を補強するために設けられている。また、テンションレベラーの入側及び出側には夫々複数本のロールにより構成されたプライドル部４，５が設けられている。これらのプライドル部４，５の各ロールのテンションを調整する等の方法により、プライドル部４，５間の被処理材（圧延材１０）の張力を調整することができるようになっている。
　　　【００１９】
　一方、処理すべき最終圧延材１０（例えば、Ｃｕ合金圧延材）はロール６に巻取られている。圧延材１０はこのロール６から巻解かれて入側ブライドル部４を構成する各ロール間に掛け渡され、テンションレベラーのワークロール１間を通過し、更に出側ブライドル部５を構成する各ロール間に掛け渡された後、巻取口ール７に巻取られるようになっている。
　　　【００２０】
　本実施例においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、圧延材１０の伸びを一定（例えば、０．２５％又は０．３％）に保って、この圧延材１０をテンションレベラーに通す。この場合に、張力は変動（振動）するが、平均張力を例えば１５ｋｇｆ／ｍｍ２とする。
　　　【００２１】
　図３は、横軸に板条材に加える張力（ユニットテンション）をとり、縦軸に急峻度をとって、抗張力が相互に異なる３種類の板条材（Ａ材、Ｂ材及びＣ材）におけるユニットテンションと急峻度との関係を示すグラフ図である。なお、Ａ材はＢ材の約１．５倍の抗張力を有する板条材であり、Ｃ材はＢ材の約０．５倍の抗張力を有する板条材である。この図３に示すように板条材に加える張力を大きくすると、板条材の急峻度は小さくなる。リードフレームとして使用する場合は、急峻度を１％以下とする。板条材の抗張力により張力の好ましい範囲は異なるが、張力が大きすぎると、第２のテンションレベラー工程で残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程において板条材（圧延材１０）に加える張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２程度とすることが好ましい。
　　　【００２２】
　次いで、第２のテンションレベラー工程として、圧延材１０に加える張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下に設定し、張力が一定となるようにブライドル部４，５を調整して圧延材１０をテンションレベラーに通す。この場合に、残留応力を低減することだけを考えると、張力を０とすることが好ましい。しかし、張力を０とすると、テンションレベラー内で圧延材１０の横流れが発生する。このため、横流れが発生しない程度の最低限の張力を印加することは必要である。具体的には、第２のテンションレベラー工程における張力は、３〜８．３ｋｇｆ／ｍｍ２とすることが好ましい。
　　　【００２３】
　このように、第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下と小さくすることにより、圧延材１０の厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を小さくすることができる。
　　　【００２４】
　図４は、横軸に第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径をとり、縦軸に圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和をとって、両者の関係を示すグラフ図である。但し、第１のテンションレベラー工程における張力は１５ｋｇｆ／ｍｍ２、ワークロールの直径は１６ｍｍであり、第２のテンションレベラー工程における張力は４．５ｋｇｆ／ｍｍ２である。また、第１のテンションレベラー工程のみを行った板条材の圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和は約２２ｋｇｆ／ｍｍ２である。この図４から、第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径を１６ｍｍ以下とすることにより、圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下とすることができることがわかる。
　　　【００２５】
　図５は、このようにして第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図５に示すように、本実施例方法により製造した板条材１１は、圧縮応力及び引張応力がいずれも小さい。また、通常、圧延方向に直交する断面においては、圧延方向に平行な断面に比して残留応力が小さくなる。このようにして、圧延方向に平行の断面及び直交する断面において、夫々圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下
及び６ｋｆ／ｍｍ２以下
　　　【００２６】
　次に、本発明の実施例方法により実際にリードフレーム用板条材を製造し、この板条材から形成したリードフレームのリードの板厚方向及び板幅方向の変形を調べた結果について、従来例及び比較例と比較して説明する。
　　　【００２７】
　原料材として、Ｃｕ合金（Ｃｕ−３．２重量％Ｎｉ−０．７重量％Ｓｉ−１．２５重量％Ｓｎ−０．２重量％Ｚｎ）からなり、板厚が０．１２７ｍｍの薄板を用意した。この薄板を下記表１に示す張力を加えつつ、実施例１〜４及び比較例１については２回、従来例１，２については１回だけテンションレベラーに通した。この場合に、実施例４の第２のテンションレベラー工程におけるワークロール径は１２ｍｍであり、それ以外のテンションレベラー工程におけるのワークロール径はいずれも１６ｍｍである。また、従来例２では、テンションレベラーを通した後に低温焼鈍（３８０℃×２時間）を施した。
　　　【００２８】
　このようにして歪矯正を行った薄板から、リードフレームを形成した。このリードフレームのリード配列ピッチは０．４ｍｍである。そして、圧延方向（Ｌ）及び圧延方向に直交する方向（幅方向：Ｃ）に残留する残留応力の厚さ方向の分布をべ、圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を求めた。即ち、（Ｌ）は、圧延方向に平行の断面における残留応力であり、（Ｃ）は圧延方向に直交する断面における残留応力である。その結果を、表１の残留応力の欄に示す。また、リードの板厚方向及び板幅方向の変形量を３次元工具顕微鏡にて測定した。その結果も表１に併せて示す。
　　　【００２９】
　【表１】
　　　【００３０】
　この表１から明らかなように、比較例１及び従来例１，２はいずれも圧延方向に平行の断面における残留応力（圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和）が１４ｋｇｆ／ｍｍ２以上であり、リードの板厚方向の変形量が夫々２３μｍ、６０μｍ及び３７μｍと大きいのに対し、本発明の実施例においては、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における残留応力が
夫々
及び６ｋｆ／ｍｍ２以下
　　　【００３１】
　なお、上述の実施例１〜４においては、いずれもテンションレベラー工程の前及び後に熱処理工程を有していないが、テンションレベラー工程の前及び／又は後に熱処理工程を加えてもよい。
　　　【００３２】
　また、本発明に
おいて
　　　【００３３】
　　【発明の効果】
　以上説明したように本発明に係る電気電子部品用板条材は、圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を所定値以下に規制したから、リードフレームに加工する工程及び加工後の熱処理工程におけるリードの変形も少ない。
　　　【００３４】
　また、本発明に係る電気電子部品用板条材の製造方法は、第１のテンションレベラー工程で板条材の急峻度を１％以下とし、第２のテンションレベラー工程で前記板条材の圧延方向に平行の断面及び直交する断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を所定値以下にするから、平坦性が優れていると共に、リードフレームに加工する工程及びリードフレームに加工した後の熱処理工程におけるリードの変形も少ない電気電子部品用板条材を得ることができる。
　　　【００３５】
　更に、本発明の他の電気電子部品用板条材の製造方法は、板条材を第１及び第２のテンションレベラー工程で夫々テンションレベラーに通し、第２のテンションレべラー工程においては第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の低い張力でテンションレベラーに通すから、平坦性が優れていると共に、残留応力を小さくできて、リードフレーム加工する工程及び加工後の熱処理工程におけるリードの変形が極めて少ない電気電子部品用板条材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　　　【図１】
　本発明の実施例に係る電気電子部品用板条材の製造方法において使用するテンションレベラーを示す模式図である。
　　　【図２】
　テンションレベラーのワークロールの配置を示す模式図である。
　　　【図３】
　板条材に加える張力（ユニットテンション）と急峻度との関係を示すグラフ図である。
　　　【図４】
　第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径と残留応力との関係を示すグラフ図である。
　　　【図５】
　第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す図である。
　　　【図６】
　ＩＣの一部を示す斜視図である。
　　　【図７】
　従来の電気電子部品用板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す図である。
　　　【図８】
　急峻度を示す模式図である。
　　【符号の説明】
　１；ワークロール
　２，３；中間ロール
　４，５；ブライドル部
　１０；圧延材
　１１；板条材
　１３，１５；モールド部
　１４，１６；リード