【事件の表示】
　特許第２８５４７３８号「ウエハの接着装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５４７３８号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２８５４７３８号に係る出願は、平成３年９月２５日に出願され、平成１０年１１月２０日にその特許の設定登録がなされ、その後、株式会社エンヤシステムにより請求項１乃至４に係る特許について、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間である平成１１年１２月１７日に、特許異議意見書の提出とともに訂正請求がなされたものである。
II．訂正の適否
１．訂正の概要
　訂正請求は、本件特許に係る願書に添付した明細書（以下「本件特許明細書」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書（以下「本件訂正明細書」という。）のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正の概要は次のとおりである。
(1) 訂正事項１
　本件特許明細書における特許請求の範囲の請求項１の「搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が」の記載を、
「搬送手段とを具備するウエハの接着装置であって、前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、シリコンウエハの中心が」と訂正する。
(2) 訂正事項２
　段落番号【０００４】欄の「搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が」の記載を、
「搬送手段とを具備するウエハの接着装置であって、前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このべース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、シリコンウエハの中心が」と訂正する。
(3) 訂正事項３
　段落番号【００１５】欄の「回動軸２１３が回転アクチュエータ２１４により回転可能に設けられている。」、「回動軸２１３の先端には、回転軸２１３の軸線と」、「回動軸２１２を回転アクチュエータ２１４により回転し、」及び「ベース２１５と共に回転軸２１３およびアーム２１８を下げて」の記載の各々を、
「回動軸２１３が回転アクチュエータ２１４により回動可能に設けられている。」、「回動軸２１３の先端には、回動軸２１３の軸線と」、「回動軸２１３を回転アクチュエータ２１４により回動し、」及び「ベース２１５と共に回動軸２１３およびアーム２１８を下げて」と訂正する。
２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の有無
　上記訂正事項１は、特許請求の範囲の請求項１の記載において、搬送手段の具体的構成を明確にしたものと認められるから、この訂正は特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、また、これは、本件特許明細書の段落番号【００１５】欄及び本件特許に係る願書に添付した図面（以下「本件特許図面」という。）の図１０の記載に基づくものであって、本件特許明細書及び本件特許図面に記載した事項の範囲を越えるものとはみられないから新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項２は、前記の訂正事項１による、特許請求の範囲の請求項１の訂正に伴って、本件特許明細書を訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、本件特許明細書及び本件特許図面に記載した事項の範囲を越えるものとはみられないから新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項３は、誤記の訂正を目的とするものに該当し、本件特許明細書及び本件特許図面に記載した事項の範囲を越えるものとはみられないから新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
３．独立特許要件の判断
(1) 本件発明
　本件訂正明細書の請求項１乃至４に係る発明（以下「本件発明１」乃至「本件発明４」という。）は、本件訂正明細書及び本件特許図面からみて、本件訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された、次のとおりのものと認める。
「【請求項１】　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着するキャリアプレートを載置し、加熱するヒータ装置と、ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備するウエハの接着装置であって、
　前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回勤するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、
　　シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置したことを特徴とするウエハの接着装置。
　【請求項２】　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段の直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置を設けたことを特徴とする請求項１記載のウエハの接着装置。
　【請求項３】　ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段で搬送する直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置と、シリコンウエハのオリフラ位置を検出する検出手段を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のウエハの接着装置。
　【請求項４】　ウエハが収納されたカセットからウエハ供給装置によりシリコンウエハを取り出して、このシリコンウエハをセンタリング装置に送るウエハ供給部を有するウエハの接着装置において、
　ウエハ供給装置がシリコンウエハの中心が移動する移動軌跡上にあり、かつウエハ供給装置を中心とする円弧上にシリコンウエハが収納されたカセットを配置したことを特徴とする請求項２記載のウエハの接着装置。」
(2) 取消理由の概要
　一方、当審において通知した取消理由の概要は、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、刊行物１（特許異議申立人提出の甲第１号証：特開昭６３−３１６４５１号公報）に記載された発明であり、この発明に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものであり、また、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に係る発明は、刊行物１、刊行物２（特許異議申立人提出の甲第２号証：特開平２−１８９９４９号公報）、刊行物３（特許異議申立人提出の甲第３号証：特開平３−１９２１５号公報）、及び、刊行物４（特許異議申立人提出の甲第４号証：特公平３−７５７４号公報）に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、これらの発明に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるというにある。
(3) 刊行物の記載内容
ア．刊行物１
　第５頁左上欄第１０行〜第２０行には、
「上記スピンチャック手段(96)の上方には、接着剤の塗布装置(106)を設けてある。・・・（中略）・・・上記保持部(97)を回転してウエハを旋回させると、ワックスノズル(107)から滴下した接着ワックスは該ウエハの表面に薄く塗布される。」と、
　第５頁右上欄第５行〜第７行には、
「上記接着剤塗布済のウエハが搬送される位置に対応して反転チャック手段(108)が設けられている（第１２図、第１３図）。」と、
　第５頁右下欄第１０行〜１２行には、
「なお、該ウエハの側方近接部には、赤外線ランプ等の加熱手段(134)を設けてあり、」と、
　第６頁左上欄第２０行〜右上欄第１０行には、
「割出手段(136)は、第１４図に示すように、割出板(137)を上部に有し・・・（中略）・・・該貼付板の所定位置に上記反転チャック手段からのウエハを受け取って接着するようにしてある。・・・（中略）・・・該割出板(137)の上方には、図示を省略した加熱手段を設けてあり、該割出板を所定温度に保温している。」と、
　第６頁左下欄第６行〜第７頁左上欄第１２行には、
「第１４図において・・・（中略）・・・以下、上記操作を繰返し、全自動でウエハを貼付板に接着する。」と、
　第７頁右上欄第１０行〜第１４行には、
「本発明は上記のように構成され全自動で効率よくウエハを接着することができ、シリコン・・・（中略）・・・等のウエハの加工に好適に使用することができる。」と記載されている。
　また、第１図には全体の構成を示す説明図が、第１２図には反転チャック手段が、第１４図にはウエハを供給して接着するまでの操作を示す説明図が、それぞれ記載されている。
　上記のことから、刊行物１には、以下の発明が記載されていると認める。
　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックスを滴下してワックスを塗布する塗布装置と、シリコンウエハの接着面に塗布されたワックスを加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着する貼付板を設け、加熱する加熱手段と、貼付板にシリコンウエハを載置する反転チャック手段とを具備したウエハの接着装置。
イ．刊行物２
　刊行物２には、レジスト塗布装置において、ウエハの中心をスピンチャックのセンタにプリアライメントすることが記載されている。（第４頁右上欄第６行〜左下欄第４行及び第１図(ａ)を参照。）
ウ．刊行物３
　刊行物３には、前記刊行物１記載のウエハ接着装置と同様の貼付装置が記載されている。（第５頁左下欄第４行〜第８頁左下欄第３行及び第１、２図を参照。）
エ．刊行物４
　刊行物４には、連結アーム把手をターンテーブル上におき、その周囲にウエーハを収容したカセットを配置することが記載されている。（第４欄第４１行〜第５欄第２行及び第３図を参照。）
(4) 対比・判断
　本件発明１と刊行物１に記載された発明とを対比する。
　ここで、刊行物１に記載された発明の「貼付板」及び「反転チャック」が、本件発明１における「キャリアプレート」及び「搬送手段」にそれぞれ相当することから、刊行物１に記載された発明は、本件発明１と共通する、
「シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着するキャリアプレートを載置し、加熱するヒータ装置と、キャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備したウエハの接着装置。」
という構成を備えているということができる。
　しかしながら、刊行物１に記載された発明の反転チャック（搬送装置）は、回転アーム(115)が回転して貼付板にウエハを接着するものであって、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能なベース板、ベース板上に設けられた回動軸及び回動軸に連結されたアームの先端に回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた吸着ヘッドの、いずれも備えておらず、また、反転チャック（搬送装置）よって反転されるシリコンウエハの中心が移動する軌跡は、円弧状の軌跡となり、直線とはならない。
　したがって、刊行物１に記載された発明は、本件発明１の構成要件である「搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回勤するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置した」構成（以下「構成要件Ａ」という。）を備えたものではない。
　なお、刊行物１の第７頁左上欄第１７行〜右上欄第９行には、「反転チャック手段(108)は、ウエハを搬送手段から取り出し、移送しながら反転するように構成してあるが、ウエハを搬送手段から取り出し、貼付板方向へ移動した後、該貼付板部分で該ウエハを反転させるように構成してもよい。・・・（中略）・・・保持部若しくは回転アームを自転させて上記ウエハを反転等させることもできる。」との記載があるものの、ウエハを貼付板方向に移動させるに際しての具体的な移動手段、及び、平面方向に円弧状に移動させるか或いはシリコンウエハの送り方向と平行に移動させるか等の具体的な移動軌跡については明確ではないから、刊行物１の上記記載が、上記構成要件Ａを示唆しているものではない。
　また、刊行物２乃至４には、前記「刊行物２」乃至「刊行物４」の欄で示した事項が記載されているものの、上記構成要件Ａに関しては、記載も示唆もされていない。
　一方、本件発明１は、上記構成要件Ａを備えることにより、搬送手段によって搬送されるシリコンウエハーの中心の移動軌跡を平面方向及び上下方向に対して可及的に一直線状とすることができ、その結果、塗布手段、加熱手段、ヒータ装置及び搬送手段とを、シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線上になるように配置することができ、これによって、「シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置したので、シリコンウエハの搬送、位置決めが容易である。」（本件訂正明細書段落番号【００１９】欄）という、本件訂正明細書に記載の効果を奏するものである。
　よって、本件発明１が、刊行物１に記載された発明であるとも、刊行物１乃至４に記載された発明に基づき容易に発明をすることができたものとも認められない。
　本件発明２乃至４は、本件発明１にさらに限定を加えたものであるから、同様に、刊行物１乃至４に記載された発明から、容易に発明をすることができたものとは認められない。
　上記のことから、本件発明１乃至４は、特許出願の際に独立して特許を受けることができるものである。
４．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２項から第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
III．特許異議申立についての判断
１．申立理由の概要
　特許異議申立人株式会社エンヤシステムは、前記のとおりの甲第１乃至４号証（前記刊行物１乃至４）を提出し、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、この発明に係る特許は、特許法第２９条第１項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきであり、また、本件特許明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に係る発明は、甲第１乃至４号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであり、これらの発明に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきであるというにある。
２．判断
　しかしながら、本件特許明細書における特許請求の範囲の請求項１乃至４は、前述のとおり訂正されており、本件発明１乃至４については、前記「II．３．(4)」で示したように、甲第１号証に記載された発明であるとも、甲第１乃至４号証に記載された発明から容易に発明をすることができたものともすることはできない。
IV．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明１乃至４に係る特許を取り消すことは出来ない。
　また、他に本件発明１乃至４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月１５日（２０００．２．１５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２８５４７３８号の明細書（以下「明細書」という。）を、訂正請求書に添付した明細書のとおり、すなわち、次の各訂正事項１乃至３のとおり訂正する。
１．訂正事項１
　明細書の特許請求の範囲の請求項１中の
「搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が」の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「搬送手段とを具備するウエハの接着装置であって、前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、シリコンウエハの中心が」と訂正する
２．訂正事項２
　明細書の段落番号【０００４】欄の
「搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が」の記載を、明瞭でない記載の釈明を目的として、
「搬送手段とを具備するウエハの接着装置であって、前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、シリコンウエハの中心が」と訂正する。
３．訂正事項３
　明細書の段落番号【００１５】欄の
「回動軸２１３が回転アクチュエータ２１４により回転可能に設けられている。」、「回動軸２１３の先端には、回転軸２１３の軸線と」、「回動軸２１２を回転アクチュエータ２１４により回転し、」及び「ベース２１５と共に回転軸２１３およびアーム２１８を下げて」の記載の各々を、誤記の訂正を目的として、
「回動軸２１３が回転アクチュエータ２１４により回動可能に設けられている。」、「回動軸２１３の先端には、回動軸２１３の軸線と」、「回動軸２１３を回転アクチュエータ２１４により回動し、」及び「ベース２１５と共に回動軸２１３およびアーム２１８を下げて」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ウエハの接着装置
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着するキャリアプレートを載置し、加熱するヒータ装置と、ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備
するウエハの接着装置であって
　
前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、
　シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置したことを特徴とするウエハの接着装置。
　　【請求項２】　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段の直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置を設けたことを特徴とする請求項１記載のウエハの接着装置。
　　【請求項３】　ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段で搬送する直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置と、シリコンウエハのオリフラ位置を検出する検出手段を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のウエハの接着装置。
　　【請求項４】　ウエハが収納されたカセットからウエハ供給装置によりシリコンウエハを取り出して、このシリコンウエハをセンタリング装置に送るウエハ供給部を有するウエハの接着装置において、
　ウエハ供給装置がシリコンウエハの中心が移動する移動軌跡上にあり、かつウエハ供給装置を中心とする円弧上にシリコンウエハが収納されたカセットを配置したことを特徴とする請求項２記載のウエハの接着装置。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、ウエハの接着装置に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　一般に、シリコンウエハ（ウエハ）の表面を鏡面仕上げする際には、ワックスを用いてウエハをキャリアプレートに接着し、このキャリアプレートをポリシング装置に供給してウエハの表面を鏡面加工をしている。
　特に、ウエハのキャリアプレートへの接着状態が、ウエハの鏡面加工の品質に大きな影響を及ぼす。このため、ウエハをキャリアプレートに貼り付ける作業は、作業者により特に注意を要する作業である。作業としては、キャリアプレートにワックスを塗り、ウエハを手作業により貼り付けるものである。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、手作業では、ワックス中に気泡や異物が混入することもあり、ウエハをキャリアプレートに平坦に貼り付けるには熟練した技術が必要となり、また多くの作業時間を要する。
　また、ワックス塗布等の一連の作業を部分的に機械化した装置は存在しているが、一連の工程を自動化したものは存在していない。
　そこで、本発明は高精度にシリコンウエハをキャリアプレートに接着することができるウエハの接着装置を提供することを目的とする。
　　　【０００４】
　　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
　すなわち、シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着するキャリアプレートを載置し、加熱するヒータ装置と、ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備
するウエハの接着装置であって、前記搬送手段には、シリコンウエハの送り方向と平行に移動可能でかつ昇降可能に設けられたベース板と、このベース板上に設けられた回転アクチュエータによって回動可能に設けられた回動軸と、この回動軸に連結されたアームの先端に、回動軸と同一方向に移動、昇降、回動するように設けられた、シリコンウエハを吸着する吸着ヘッドとが設けられていると共に、
　また、シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段の直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置を設けてもよい。
　また、ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段で搬送する直前に、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるセンタリング装置と、シリコンウエハのオリフラ位置を検出する検出手段を設けてもよい。
　さらに、ウエハが収納されたカセットからウエハ供給装置によりシリコンウエハを取り出して、このシリコンウエハをセンタリング装置に送るウエハ供給部を設け、このウエハ供給装置がシリコンウエハの中心が移動する移動軌跡上にあり、かつウエハ供給装置を中心とする円弧上にシリコンウエハが収納されたカセットを配置してもよい。
　　　【０００５】
　　【作用】
　作用について説明する。
　塗布手段によりシリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を塗布し、その後加熱手段によりシリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱し、ヒータ装置上に載置したキャリアプレート上にシリコンウエハを貼る付ける。
　また、塗布手段の直前に設けたセンタリング装置により、シリコンウエハの中心を前記直線的移動軌跡上に一致させるようにする。
　また、キャリアプレートにシリコンウエハを貼り付ける直前に、オリフラ位置を検出して、キャリアプレートに貼り付ける。
　　　【０００６】
　　【実施例】
　以下、本発明の好適な実施例について添付図面に基づいて詳細に説明する。
　図１はシリコンウエハの接着装置の概略的な平面図を示している。
　本発明に係る接着装置１０は、ウエハの供給部１２、第１センタリング部１４、ワックスの塗布手段としてのスピンナー部１６、べーキング部１８、第２センタリング部２０、キャリアプレートへウエハを供給する供給装置２１、キャリアプレートへのウエハの接着部２２、接着部２２へキャリアプレートを供給する供給機構２３、キャリアプレートの排出部２４およびキャリアプレートをカセットへ収納する収容部２６とから構成されている。
　なお、各工程を順次移動するウエハの中心が仮想直線上を移動する。この仮想直線を移動ラインＬ（移動軌跡ともいう）という。
　　　【０００７】
　ウエハの供給部１２について説明する。
　昇降シリンダ１２２のシリンダロッド１２２ａの先端に、受取用アーム１２４が設けられている。この受取アーム１２４は、シリンダロッド１２２ａの先端に固定された基部１２４ａと、この基部１２４ａにガイドされ進退可能なアーム１２４ｂとから構成されている。
　昇降シリンダ１２２の周囲には、シリコンウエハが収納されたカートリッジ１２６が昇降シリンダ１２２の軸線を中心として描いた仮想半円上に配置されている。カートリッジ１２６は、載置台１２８上に、開放側が内側を向くように配置されている。
　カートリッジ１２６は、仕切り板１２７により棚状に複数段に区画され、各仕切り板１２７・・・上にウエハが収納されている。また、カートリッジ１２６の開放側から対向する仕切り板１２７、１２７の間隔１２７ａ内に受取アーム１２４のアーム１２４ｂの先端が前進し、ウエハを受け取る。
　ウエハを受け取ったアーム１２４ｂは、収縮位置まで後退し、続いて受取用アーム１２４がシリンダロッド１２２ａを中心に移動ラインＬと一致する位置まで回転し、受取用アーム１２４のアーム１２４ａを次の工程の第１センタリング部１４方向に延ばしてウエハを供給する。
　　　【０００８】
　第１センタリング部１４は、接着装置１０のウエハの供給方向（移動ラインＬ）と平行に一対のセンタリング板１４２、１４２が離間して配置されている。このセンタリング板１４２、１４２上面には、両センタリング板１４２、１４２に跨いでウエハを載置することができるように、凹所１４２ａ、１４２ａが形成されている。この凹所１４２ａ、１４２ａの境界部分には円弧状の段差１４２ｂ、１４２ｂが形成されている。
　センタリング板１４２、１４２の後端には、移動ラインＬと交差するようにラックロッド１４４、１４４が延出している。このラックロッド１４４、１４４は間隔を有して離間しており、対向する側面にラック１４４ａ、１４４ａが刻設され、互いに移動ラインＬ上の１つの歯車１４５に歯合している。このため、歯車１４５の回転により、ラックロッド１４４、１４４を介してセンタリング板１４２、１４２が接離する。歯車１４５は駆動モータ１４６により正逆回転するものである。
　前記凹所１４２ａ、１４２ａにウエハを載せ、センタリング板１４２、１４２を近づけることによりウエハが保持されると、ウエハの中心が移動ラインＬと一致するように設定されている。このウエハの中心と軸線が一致する昇降ユニット１４８が配置されている。この昇降ユニット１４８の昇降する昇降ロッド１４８ａの先端には、吸着ヘッド１４９が設けられている。この吸着ヘッド１４９は、センタリング板１４２、１４２で保持されてセンターリングしたウエハを吸着して上昇させるものである。
　吸着ヘッド１４９で吸着して上昇したウエハは、搬送機構１５０により次の工程に送られる。
　　　【０００９】
　次に、搬送機構１５０について説明する。
　搬送機構１５０は、ウエハを、第１センタリング部１４からスピンナー部１６へ、スピンナー部１６からべーキング部１８へ同時に搬送するものである。
　第１センタリング部１４、スピンナー部１６、スピンナー部１６の各部でのウエハの中心が等間隔Ｍになるように各部が配置されている。
　前記移動ラインＬと平行に配置された２本のガイドシャフト１５１ａに移動ベース１５２が移動可能に設けられ、シリンダ１５３により移動可能である。移動ベース１５２上には、ガイドシャフト１５１ａと直交するガイドシャフト１５４ａ、１５４ａが設けられ、このガイドシャフト１５４ａ、１５４ａに沿ってスライドする搬送アーム１４６が設けられている。この搬送アーム１４６は、ガイドシャフト１５４ａ、１５４ａの間に位置するシリンダ１５８により移動可能である。
　搬送アーム１４６は平面コ字状に形成され、各先端には受渡し部１４７、１４７が設けられ、この受渡し部１４７、１４７の中心の間隔は間隔Ｍに形成され、この受渡し部１４７、１４７には切欠き１４７ａが形成されている。
　　　【００１０】
　上述するように構成された搬送機構１５０の動作について、第１センタリング部１４からスピンナー部１６へのウエハの搬送状態を例に説明する。
　昇降ユニット１４８の吸着ヘッド１４９に吸着した状態で、吸着ヘッド１４９上昇させる。この状態で、シリンダ１５３により２本のガイドシャフト１５１ａに沿って移動ベース１５２を搬送待機位置に移動する（図５に示す位置）。
　なお、スピンナー部１６においてワックスを塗布したウエハは、吸着ヘッド１４９で吸着しているウエハと同一高さまで上昇させておく。
　この状態で、搬送アーム１４６を、ガイドシャフト１５４ａ、１５４ａに沿ってシリンダ１５８によりウエハ方向（移動ラインＬ方向）に移動される。そして、搬送アーム１４６先端の受渡し部１４７の切欠き１４７ａ内に、吸着ヘッド１４９が位置するまで移動させる。続いて、吸着ヘッド１４９を降下させることにより、搬送アーム１４６の受渡し部１４７上に載置される。同様に、スピンナー部１６においても、スピンナー部１６においてワックスを塗布したウエハが搬送アーム１４６の受渡し部１４７上に載置される。
　続いて、搬送アーム１４６を後退させて搬送待機位置まで移動させる。続いて、移動ベース１５２をガイドシャフト１５１ａ、１５１ａに沿って移動ラインＬと平行に搬送方向に移動する（搬送位置）。そして、搬送アーム１４６をガイドシャフト１５４ａ、１５４ａに沿って移動ラインＬ上にウエハを移動して、第１センタリング部１４からスピンナー部１６へ、スピンナー部１６からべーキング部１８へ同時にウエハを搬送して受け渡す。
　　　【００１１】
　スピンナー部１６について、図７を参照して説明する。
　円盤状の可動プレート１６１の中心に下方側からモータ１６２が固定されている。このモータ１６２の回転軸１６２ａの先端は、可動プレート１６１の上方に延出し、吸着ヘッド１６３が固定されている。可動プレート１６１の下面にはモータ１６２を囲むように支柱１６５・・・が垂下し、この支柱１６５・・・の下端に底板１６５ａが設けられている。さらに、支柱１６５・・・および底板１６５ａを囲むように固定フレーム１６６が機台１６７に固定されている。固定フレーム１６６の底板１６６ａには可動シリンダ１６８が固定され、可動シリンダ１６８のロッド１６８ａの先端は底板１６５ａに固定されている。なお、モータ１６２に連繋して、吸着ヘッド１６３を上下動するシリンダ１６２Ａが設けられている。
　前記吸着ヘッド１６３が降下した位置（スピンナー位置、図７の状態）で、吸着ヘッド１６３の周囲および上方がカバー１６４により覆われている。カバー１６４の上面板１６４ａには円形の透孔１６４ｂが穿設されており、この透孔１６４ｂを通過してウエハを上昇することができる。また、可動プレート１６１の上面を覆うようにカバー１６１ａが設けられ、共に上下動する。
　吸着ヘッド１６３のスピンナー位置で、ウエハには上方からワックスを滴下しつつウエハを回転させてワックスを塗布する。その後、シリンダ１６２Ａを駆動して吸着ヘッド１６３を上昇して（搬出入位置）、前記搬送機構１５０により次の工程のべーキング部１８にウエハが搬送される。
　　　【００１２】
　べーキング部１８は、図１に示すように、前記搬送機構１５０により送られたウエハを吸着する吸着盤を有する移動プレート１８２で保持して赤外線ランプの直下を移動することにより加熱し、ウエハの付着物を除去する。
　移動体１８２はスライドロッド１８３に沿って移動可能であり、ウエハを加熱した後、排出位置１８４まで搬送する。この排出位置１８４から、ウエハを搬送機構１９０により第２センタリング部２０に搬送する。
　搬送機構１９０は、前記搬送機構１５０と同様の構成であり、排出位置１８４のウエハを第２センタリング部２０に、第２センタリング部２０のウエハを次の工程の待機位置１９６に搬送する。
　　　【００１３】
　第２センタリング部２０は、前記第１センタリング部１４のセンタリング板１４２、１４２と同一構造の一対のセンタリング板１４２、１４２が離間して配置されている。
　また、前記センタリング板１４２、１４２によりウエハが保持された際に、ウエハの中心と、軸線が一致する昇降ロッド２０３が設けられている（図９参照）。この昇降ロッド２０３は、ガイド筒２０３ａとこのガイド筒２０３ａ内で回動する回動軸２０３ｂとから成り、ガイド筒２０３ａが第２センタリング部２０の固定ベース２０４の軸受け２０４ａに支持されている。昇降ロード２０３の回動軸２０３ｂ後端は可動プレート２０５に軸支されるとともに、回動軸２０３ｂを回動するモータ２０６Ａが連結されている。
　また、可動プレート２０５にシリンダ２０６Ｂが固定され、このシリンダ２０６Ｂのシリンダロッド２０６ａが固定ベース２０４に固定されている。このため、シリンダ２０６Ｂを駆動すると、固定ベース２０４に可動プレート２０５が接離し、昇降ロード２０３を昇降できる。
　回動軸２０３ｂの先端には、吸着ヘッド２０７が設けられ、この吸着ヘッド２０７はセンタリング板２０２、２０２で保持されてセンターリングしたウエハを吸着して上昇し、さらにモータ２０６Ａによりウエハを回転させることができる。なお、ウエハのオリフラ部を検出する検出手段としてのセンサ２０８が、ウエハの送り方向のオリフラ部の下方に対応する位置に配置されている（図８参照）。」
　　　【００１４】
　前記搬送機構１９０により待機位置１９６に送られたウエハは、平面コ字状に形成された搬送アーム１９２先端の受渡し部１９３の切欠き１９３ａに下方から上昇する移送装置２１０の吸着ヘッド２１９により吸着される。
　　　【００１５】
　移送装置２１０は、待機位置１９６で吸着してウエハをキャリアプレート３０に貼り付けるための装置である。図１０を参照して説明する。
　ウエハの送り方向と平行にガイドレール２１１、２１１が配置され、このガイドレール２１１、２１１に沿ってベース板２１２が移動可能である。ベース板２１２上には、回動軸２１３が回転アクチュエータ２１４により回
動
動
　前記ガイドレール２１１、２１１が設けられたベース２１５は、固定ベース２１５Ａに固定されたシリンダ２１６により、固定ベース２１５Ａに固定されたガイドブロック２１６ａ、２１６ａにガイドロッド２１６ｂ、２１６ｂが案内され昇降可能である。
　回動軸２１
３
動
　この状態で搬送アーム１９０を後退させるとともに、吸着ヘッド２１９を反転させる。そして、ベース板２１２をガイドレール２１１、２１１に沿ってヒータ装置２２２のキャリアプレート３０の接着位置まで移動させる。続いて、シリンダ２１６を駆動してベース２１５と共に回
動
　　　【００１６】
　一方、キャリアプレート３０は、ヒータ装置２２２のヒータユニット２２３上に保持され、加熱される。ここでヒータ装置２２２について、図１１を参照して説明する。
　ヒータユニット２２３は、ヒータ２２３ａとヒータ２２３ａの上面を覆う均熱板２２３ｂとから構成されている。ヒータユニット２２３の中心には吸着盤２２４ａが配置され、均熱板２２３ｂと面一である。吸着盤２２４ａは、昇降、回転可能な軸体２２４ｂに支持されている。この軸体２２４ｂは、固定ベース２２１に固定された軸受け２２５ａに支持されている。
　固定ベース２２１とスライドバー２２１Ｃを介して離間して補助ベース２２１Ａが配置されている。この補助ベース２２１Ａにはシリンダ２２８が固定され、このシリンダロード２２８ａの先端は可動ベース２２１Ｂに固定されている。この可動ベース２２１Ｂはスライドバー２２１Ｃ上を移動可能である。また、可動ベース２２８Ｂには軸受け２２５ｂが設けられ、この軸受け２２５ｂにより軸体２２４ｂが支持されている。軸体２２４ｂの後端は軸体２２４ｂを回転させるステッピングモータ２２６に連結されている。このステッピングモータ２２６は補助ベース２２１Ａにスライド可能、かつ非回転状態に支持されている。
　なお、吸着盤２２４ａは軸体２２４ｂ内に形成された連絡通路２２４ｃと接続されており、この連絡通路２２４ｃは外部の負圧源（図示せず）にリング状の継ぎ手部２２４ｄを介して連絡している。
　また、キャリアプレート３０は、供給機構２３０により供給され、ヒータプレート２２３上に四方から保持片２２４・・・により保持される。
　なお、ヒータ装置２２２をレールに沿って移動ラインＬと平行する方向に移動可能としても良い。
　　　【００１７】
　ヒータ装置２２２へのキャリアプレート３０の供給は、供給機構２３０により行われる（図１参照）。供給機構２３０は、回動可能なアーム２３１であり、このアーム２３１の先端には平面コ字状の載置部２３２が形成されている。
　アーム２３１の載置部２３２に載置されたキャリアプレート３０をヒータ装置２２２の均熱板２２３ｂの直上まで移動した状態で、前記シリンダ２２８を駆動すると、シリンダロード２２８ａが可動ベース２２１Ｂを上方に移動し、これに伴って軸体２２４ｂとともに吸着盤２２４ａを上昇させ、吸着盤２２４ａによりキャリアプレート３０を吸着し、アーム２３１を後退させる。
　その後、吸着盤２２４ａの上面が均熱板２２３ｂと面一となるまで、吸着盤２２４ａを降下させ、ヒータユニット２２３によりキャリアプレート３０加熱する。そして、キャリアプレート３０をステッピングモータ２２６により所定角度づつ回転させ、順次ウエハを接着する。
　　　【００１８】
　所定枚数のウエハが接着されたキャリアプレート３０を、キャリアプレート３０の排出部２４により、ストッカ収納位置２４１に搬送される。排出部２４について、図１を参照して説明する。
　排出部２４は、一端に設けた回転軸を中心に回動可能、かつ上下動可能のアーム２４２と、このアーム２４２の先端に設けた挟持片２４３、２４３とから構成されている。ヒータプレート２２３上のキャリアプレート３０の中心を挟持片２４３、２４３で挟持し、ストッカ収納位置２４１に移動する。
　ストッカ収納位置２４１には、一対のガイドレール２４４が設けられている。このガイドレール２４４上には複数のローラが設けられ、搬送アーム２４５によりストッカ２５０方向に押圧し、ストッカ２５０内にウエハが接着されたキャリアプレート３０を供給する。なお、ストッカ２５０は昇降装置（図示せず）により昇降可能であり、収納する棚位置が調節可能である。
　以上本発明の好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものでなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得ることは勿論である。
　　　【００１９】
　　【発明の効果】
　本発明に係るウエハの接着装置は次に示すような顕著な効果を奏する。
▲１▼　シリコンウエハの中心か移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置したので、シリコンウエハの搬送、位置決めが容易である。
▲２▼　シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤滴下して接着剤を塗布する塗布手段の直前に、シリコンウエハの中心を前記移動軌跡と一致させるセンタリング装置を設けることにより、シリコンウエハを回転するときの偏心回転を防ぐことができる。
▲３▼　ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段で搬送する直前に、シリコンウエハの中心を前記移動軌跡と一致させるセンタリング装置と、シリコンウエハのオリフラ位置を検出する検出手段を設けることにより、キャリアプレートへの確実な接着が可能となる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明に係る接着装置の概略的な構造を示す説明図である。
　　【図２】
　ウエハ供給部の概略的平面図である。
　　【図３】
　供給部の側面図である。
　　【図４】
　センタリング装置の平面図である。
　　【図５】
　搬送機構の平面図である。
　　【図６】
　搬送機構の内部構造を示す側面図である。
　　【図７】
　スピンナー部の内部構造を示す断面側面図である。
　　【図８】
　センタリング装置およびオリフラ検出装置を示す平面図である。
　　【図９】
　センタリング装置の駆動機構を示す部分断面側面図である。
　　【図１０】
　移送装置の内部構造を示す部分断面側面図である。
　　【図１１】
　ヒータ装置の内部構造を示す部分断面側面図である。
　　【符号の説明】
　１０　接着装置
　１２　ウエハの供給部
　１４　第１センタリング部
　１６　スピンナー部
　１８　べーキング部
　２０　第２センタリング部
　２１　供給装置
　２２　接着部
　２３　供給機構
　２４　排出部
　２６　収容部