【事件の表示】
　特許第２９０２８３０号「リードフレーム材料およびその製造方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０２８３０号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
（Ｉ）手続きの経緯
　本件特許第２９０２８３０号の請求項１，２に係る発明の特許出願は、平成３年１０月１５日になされ、平成１１年３月１９日にその請求項１，２に係る特許権が設定登録されたところ、平成１１年１２月６日に西田良幸（以下、申立人Ａという。）から、また、平成１１年１２月７日に大同特殊鋼株式会社（以下、申立人Ｂという。）から、それぞれ、請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立がなされ、その後、取消理由通知に対し、その指定期間内である平成１２年９月２９日付けで訂正請求（後日取下げ）がなされ、再度の取消理由通知に対し、その指定期間内である平成１２年１２月２５日付けで訂正請求がなされたものである。
（ＩＩ）訂正請求について
ＩＩ−１．訂正事項
（１）請求項１の先頭に、「プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、」という記載を追加する。
（２）請求項２の先頭に、「プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料の製造方法において、」という記載を追加する。
（３）請求項２の「加熱した材料の常温における該材料の収縮率を０．０３％以下」という記載を「加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率を０．０３％以下」と訂正する。
（４）段落番号【０００４】の「 本発明者は、リードフレーム素材の加熱収縮を低減すべく検討を行なった結果、次のことを見出した。」という記載を、「本発明者は、プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、リードフレーム素材の加熱収縮を低減すべく検討を行なった結果、次のことを見出した。」と訂正する。
ＩＩ−２．訂正の適否            
ＩＩ−２−１．訂正の目的・新規事項の有無・拡張変更の存否
　訂正事項（１）および（２）は、特許査定時の明細書の段落番号【０００２】、【０００３】、【０００５】および【０００７】に記載された事項の範囲内において、訂正前の請求項１および請求項２に係る発明の適用分野を限定するものであり、特許請求の範囲の減縮に該当するものである。
　訂正事項（３）は、特許査定時の明細書の段落番号【０００５】および【０００７】の記載に基づいて、明りょうでない記載を明りょうな記載に訂正するものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当するものである。
　訂正事項（４）は、明細書中の記載を、訂正事項（１）および（２）の訂正と整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当するものである。
　そして、訂正事項（１）〜（４）が、ともに、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでないことは明らかである。
ＩＩ−２−２．独立特許要件の存否
ＩＩ−２−２−１取消理由の概要
　平成１２年１２月２０日付けの取消理由は、特許請求の範囲に記載された「収縮率」なる表現はその内容が不明確であるから、本件の特許は取り消されるべきものである、というものである。
ＩＩ−２−２−２．検討
　上記取消理由で指摘した、特許請求の範囲の不明確な記載は、前記訂正により明確なものとなった。
　そして、他に、訂正後の請求項１および２に係る発明が特許出願の際に独立して特許を受けることができないものであるとする理由を発見しない。
ＩＩ−２−３．訂正に関するむすび
　上記の訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するものであるから、上記訂正は適法なものと認める。
（ＩＩＩ）特許異議申立について
ＩＩＩ−１．本件発明
　本件の請求項１および２に係る発明は、上記訂正により訂正された明細書および図面の記載からみて、訂正後の請求項１および２に記載された次のとおりのものである。
【請求項１】プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、Ｆｅ−Ｎｉ系合金またはＦｅ‐Ｎｉ‐Ｃｏ系合金からなり、６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率が０．０３％以下であることを特徴とするリードフレーム材料。
【請求項２】プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料の製造方法において、製品板厚に冷間圧延した後、所定の幅にスリット加工し、次に歪取り焼鈍を施す製造工程において、張力を付加しないて歪取り焼鈍を行なうか、張力を５．０ｋｇ／ｍｍ２　以下に抑えて歪取り焼鈍を行なうことにより、６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率を０．０３％以下とすることを特徴とするリードフレーム材料の製造方法。　　　　　　　
ＩＩＩ−２．特許異議申立の理由
　申立人Ａは、甲第１号証［特願平３−８６６２号（特開平４−２１４８２１号公報）の願書に最初に添付された明細書および図面］、甲第２号証（特開平２−１０４６２４号公報）、および、甲第３号証（特開平１−１６８８２０号公報）を提示し、
（い）訂正前の本件の請求項１，２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものである、
（ろ）訂正前の本件の請求項１，２に係る発明は、甲第２号証および甲第３号証に記載された発明に基いて当業者が容易になし得た発明であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である、
との理由で、訂正前の本件の請求項１，２に係る特許は取り消すべきものである旨を主張し、
　申立人Ｂは、甲第１号証（特開昭６０−７１３４０号公報）、甲第２号証（神戸製鋼技報、Ｖｏｌ．３２、Ｎｏ．３、ｐ．３８〜４２）、および、甲第３号証［特願平３−８６６２号（特開平４−２１４８２１号公報）の願書に最初に添付された明細書および図面］を提示し、
（は）訂正前の本件の請求項１，２に係る発明は、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明であるから特許法第２９条第１項第３号に規定された発明に該当する、
（に）訂正前の本件の請求項１，２に係る発明は、甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基いて当業者が容易になし得た発明であるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない発明である、
（ほ）訂正前の本件の請求項１，２に係る発明は、甲第３号証に記載された発明と同一であるから特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない発明である、
との理由で、訂正前の本件の請求項１，２に係る特許は取り消すべきものである旨を主張する。
　なお、申立人Ａの甲第１号証と申立人Ｂの甲第３号証は同一であり、（い）と（ほ）は同一内容である。
ＩＩＩ−３．特許異議申立理由の検討
ＩＩＩ−３−１．甲各号証の記載
　甲各号証の記載事項を示すと、下記のとおりである。
（ただし、申立人Ａの提示した甲第１〜３号証を、それぞれ、引用例１〜３といい、申立人Ｂの提示した甲第１〜３号証を、それぞれ、引用例４〜６という。）
引用例１及び６：
「【請求項１】ＩＣリードフレーム用合金の長尺の薄板に対し、その長手方向に張力を加えつつ、張力の加えられた部分を加熱する焼鈍処理を施すことからなるＩＣリードフレーム材の製造方法。・・・・【請求項３】ＩＣリードフレーム用合金として、Ｆｅ−（４０〜５０）Ｎｉ低膨張合金を使用し、２〜１０ｋｇｆ／ｍｍ２　の張力を加えながら、５００〜６００℃に３分間以内の時間加熱する焼鈍条件で処理する請求項１・・・のＩＣリードフレーム材の製造方法。」（特許請求の範囲参照）、
「ＩＣリードフレーム用合金としては、前記したＦｅ−４２Ｎｉ低膨張合金が代表的であって、その場合に好適な焼鈍条件は、２〜１０Ｋｇｆ／ｍｍ２　の張力を加えながら５００〜６００℃に３分間以内の時間加熱することである。」（段落番号【０００８】）、
「ＩＣリードフレーム用合金としてＦｅ−４２Ｎｉ低膨張合金を使用した場合の焼鈍条件について説明すると、テンション・アニールの効果は、加える張力が２Ｋｇｆ／ｍｍ２　以上ないと微弱であり、一方、１０Ｋｇｆ／ｍｍ２　を超える張力は、ばね限界値をかえって低下させる。一般に３Ｋｇｆ／ｍｍ２　以上、７Ｋｇｆ／ｍｍ２　以下が好適である。加熱温度は、高い方が所要時間が短くてすみ．連続処理の生産性が高いが、高温および長時間の処理はばね限界値の低下を招くから、５００〜６５０℃の温度で３分間以内、の範囲から適当な条件をえらぶ。」（段落番号【００１３】）
「【実施例１】Ｆｅ−４２Ｎｉ合金の厚さ０．２５ｍｍの薄板材料を、・・・・同じ材料について、加熱条件を６００℃×１分間（または２分間）と一定にして、張力を０〜１５ｋｇｆ／ｍｍ２　で変化させて、ばね限界値、ヤング率および伸びを測定した。」（段落番号【００１５】、【００１７】参照）、
「【実施例２】・・・・Ｆｅ−４２Ｎｉ合金の厚さ０．２５ｍｍの薄板を対象に、１〜６０．５ｋｇｆ／ｍｍ２　範囲の張力を加えながら６００℃×２分間に加熱した後、平均冷却速度５℃／秒で冷却する処理を行った。」（段落番号【００２０】、【００２１】参照）、および、
「本発明の方法で製造したリードフレーム材は、・・・残留応力も低下していて、打抜き加工後も形状が正確で歪みの少ない、高精度のリ一ドフレームをつくることができる。」（段落番号【００２３】参照）。
引用例２：
「Ｎｉ３８−５０重量％を含有するＦｅ−Ｎｉ合金を最終冷間圧延を行った後、５５０℃以上の温度で熱処理して圧延異方性を除去し、次に冷間で引張と同時に繰り返し曲げを行うことを特徴とする打ち抜き加工性に優れたリードフレーム材料の製造方法。」（特許請求の範囲）、
「本発明は、集積回路用素子のリードフレーム素材の打抜き加工時の加工精度を向上させることを目的としたりードフレーム材の製造方法に関するものである。」（第１頁左下欄１３〜１６行）、
「集積回路用素子のリードフレームは主として４２％Ｎｉ合金等の帯板を打抜き加工して製造される。」（第１頁左下欄１８〜１９行）、
「本発明実施後にリ一ドフレーム製造工程として帯素材を所定幅にスリット加工し．加工部の応力除去のため、比較的低温で短時間の熱処理（以下ストレスレリーフと言う）を行うことが考えられるが、材料硬さの低下および本発明の効果に影響を与えるものである。」（第２頁左下欄１１〜１６行）、
「以下、本発明を実施例により説明する。・・・・Ｆｅ−Ｎｉ合金（４２Ｎｉ合金）に・・・最終冷間圧延を施し・・・・次に第１表に示す種々の条件で圧延異方性除去のための熱処理を施した後テンションレベラーにより表層部に圧縮応力、中央部に引張応力が存在する応力状態とした。・・・次にスリット加工を行うことにより、幅７０ｍｍの帯条にした後、６５０℃にて１分間ストレスレリーフを施し、リードフレーム素材とした。・・・このようにして得られた帯条を第１図に示す形状の６４ピンのリードフレームに打抜き加工し（第１図は大部分のリードを省略した図である）、打抜き加工後のワイヤボンディング部（インナーリードの先端部、以下単にリード、あるいはインナーリードと言う）のリード位置の変化の状況を調査した」（第２頁右下欄３行〜第３頁左上欄６行参照）、
「第１表から明らかなように、本発明のリードフレームにおいては、リードの位置変化が極めて少なく．良好な打抜き加工性が得られている。」（第３頁左上欄１４〜１６行）、
焼鈍条件（６００℃〜９５０℃、２〜１０分間）に係る第１表、および、
打抜き加工状態に係る第１図。
引用例３：
「熱の加わる加工の用途に用いられる金属条板の製造方法にいおいて、加工時の熱処理温度より５０℃以上高い温度で最終歪取り焼鈍を行うことを特徴とする収縮のない金属条板の製造方法。」（特許請求の範囲）、
「本発明は、金属条板を加工していく途中に熱の加わる用途に用いられる金属条板さらに詳しくは加工中の熱により収縮のない金属条板の製造方法に関する。」（第１頁左下欄１１〜１４行）、
「寸法異常が発生すると、次工程以降で使用するガイドピン間の距離が変化するため、次工程以降でスムーズに加工できなくなる。・・・・このような現象は、エッチングのみならず、加工途中で熱の加わる場合には必ず起こる現象である。しかし、寸法精度については年々厳しい規格となってきており、収縮の発生が大きな問題となっている。各種部品の品質向上の観点から、加工中に発生する熱及び加工後の加熱処理しても収縮の発生しない金属条板が待ち望まれている。」（第１頁右下欄４〜１８行）、
「予め金属条板に熱処理を施し、加工歪の除去をしておく必要があるが、加工歪を十分に除去していくと、金属条板の機械的強度も低下していくため、加工歪を除去さえすればよいというものではない。・・・・各種温度で熱処理を施した金属条板の再加熱後（加工途上の加工工程の意味）の収縮量を種々検討したところ、再加熱時の温度より５０℃以上高い温度で熱処理する必要があることがわかった。すなわち、再加熱時の温度より低い温度あるいは高くても５０℃未満の温度で熱処理を行なうと、再加熱時に収縮を完全に防止することができないためである。」（第２頁右上欄１〜１４行）、
「本発明において、母材は特に限定されるものではない。その適用の例をあげるとシャドウマスク用に使用される軟鋼、珪素鋼、Ｆｅ−Ｎｉ合金などに用いることができる。特にパーマロイ系合金ではエッチング時に収縮の問題があり、本発明が有効である。又リードフレームとして使用される銅及び各種銅合金、ステンレス鋼についても同様に適用できる。」（第２頁左下欄３〜１０行）、および、
収縮率０．００４〜０．０３４（実施例では収縮率０．００４〜０．００８）％とする第１表。
引用例４：
「Ｎｉ：３８〜４５重量％を含有するＦｅ−Ｎｉ合金材料を圧下率が３７．５％以上の仕上冷間圧延を行って製品板厚とし、前記製品板厚合金板を製品幅にスリッティングした後６００℃以上の温度で焼鈍して最終製品の硬さを１９０ＨＶ以上とすることを特徴とするリードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ合金帯の製造方法。」（特許請求の範囲）、
「本発明は・・・工程を簡素化し、スリッティングによる残留応力の少ないすぐれたＦｅ−Ｎｉ合金帯の製造方法に関し、・・」（第１頁左下欄１０〜１３行参照）、
「残留応力も６００℃以上の焼鈍により著しく低下していることがわかる。実工程では６００〜７５０℃が好ましく、焼鈍温度範囲が従来より高温となっているのが本発明の特徴である。」（第６欄８〜１２行）、および、
「冷間圧延（０．２５ｍｍ厚）→スリッティング→調質および残留応力除去焼鈍（調質焼鈍）・・・本発明法は基本的に調質焼鈍法であり、圧延のままでは過度の硬さ、劣化した曲げ特性となっているものを、焼鈍により適当な硬さ、曲げ特性にまで調質するものである。更に高温で行う調質焼鈍が残留応力除去焼鈍をも併せ行うため、特にスリッティングによる残留応力が十分に除去されている。」（第４欄３６行〜第５欄３行参照）。
引用例５：
ＩＣリードフレーム用４２アロイストリップの製造工程の一例として、スキンパス圧延（仕上厚０．２５　ｔ）→エッジトリミング（６００Ｗ×５７５Ｗ）→スリッティング（５７５Ｗ→２５Ｗ×２３条）→残留応力除去（真空炉　４５０℃）→矯正（テンションレベラ）の工程を経ること（第４０頁参照）、
「ストリップに残留応力があると、打抜後に残留応力が開放され、シリコンチップを乗せるステージとリード間の距離がばらつき、ワイヤボンディング時に支障をきたす。・・・このため冷間圧延では、・・・残留応力の発生を極力押さえるとともに、第３図に示したように、硬度変化のない５００℃以下の低温温度域での残留応力除去焼鈍をおこなっている。」（第３９頁左欄下から１７〜６行参照）、
焼鈍温度を６００〜７００℃程度としたときの４２アロイの硬度はＨｖ２００±２０であること（第３図参照）、および、
冷間圧延後に残留応力除去焼鈍を行うことにより、塩化第二鉄溶液による片面腐食法による４２アロイブランクのそりが小さくなること（第５図参照）。
引用例６：
引用例１と同一。
ＩＩＩ−３−２．本件発明と甲各号証の発明との比較・検討
（Ａ）本件発明について
　本件の請求項１および２に係る発明は、ともに、下記Ａの課題を解決するべくなされたものであり、リードフレーム材料が「プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用される」ものであり、「６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率が０．０３％以下」のものであることを構成とするものである。
Ａ．近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常に多ピン、複雑化してきており、打抜き加工後のインナーリードの位置に対する規格が非常に厳しくなってきており、それら規格を満足させるためには、従来の打抜き加工技術だけでは極めて難しく、インナーリードがタブに接続された中間のリードフレーム状態において歪取り焼鈍を施した後、再度打抜き加工を施し、インナーリードをタブと切り離し、最終のリードフレームに加工する方法が採用されるようになってきている。しかし、従来のリードフレーム素材は、打抜き加工性を重視する観点から材料の内部歪を多くする方向で製造が行なわれており、従来のリードフレーム素材を用いると、前記リードフレームの加工方法においても、最終打抜き加工が不可能であったり、加工精度が出ない等の問題があることが判明し、該問題を解決することを課題としたものである（本件の明細書の段落番号【０００２】、【０００３】参照）。
　これに対して、引用例１〜６には、ＩＩＩ−３−１で示した事項からみて、それぞれ、下記Ｂの発明が記載されていると認める。
Ｂ．
引用例１，６：プレス打ち抜き加工が施されるＦｅ−Ｎｉ系合金からなるリードフレーム材料の製造方法において、張力を５．０ｋｇ／ｍｍ２　以下に抑え、６５０℃までの温度で３分間以内の範囲で歪取り焼鈍を行なうことに係る発明。
引用例２：プレス打ち抜き加工を施すリードフレーム材料の製造方法において、Ｆｅ−Ｎｉ合金を製品板厚に冷間圧延した後、６５０℃、１０分間等の種々の条件で圧延異方性除去のための熱処理を施し、さらにテンションレベラーにより表層部に圧縮応力、中央部に引張応力が存在する応力状態とした後に、所定の幅にスリット加工し、その後、加工部の応力除去のため、比較的低温で短時間の熱処理、具体的には、６５０℃にて１分間のストレスレリーフを施し、リードフレーム素材とすることに係る発明。
引用例３：リードフレーム用の銅合金やステンレス鋼に適用できる金属条板の製造方法において、加工時の熱処理温度より５０℃以上高い温度で最終歪取り焼鈍を行うようにすること、及び、銅合金の場合、２７５〜５００℃、１５〜２分間の歪取り焼鈍で収縮率を０．００８〜０．００４％にできること、加工歪は、金属条板の機械的強度とも関係するので、除去すればよいというものではないこと、さらに、加工時の熱処理温度より高い温度でもその程度が５０℃未満では、再加熱時の収縮を完全に防止することができないことに係る発明。
（ステンレス鋼の収縮率でない）
引用例４：
リードフレーム用Ｆｅ−Ｎｉ合金帯の製造方法において、製品板厚に冷間圧延した後、所定の幅にスリット加工し、次に６００〜７５０℃での歪取り焼鈍（実施例では６５０℃または７００℃で１分間）を施すと、スリッティングによる残留応力が十分に除去できることに係る発明、
（スリッティングによる残留応力で、収縮率について記載なし）
引用例５：製品板厚に冷間圧延した後、所定の幅にスリット加工し、次に歪取り焼鈍を施す、プレス打ち抜き加工が施されるリードフレーム材料の製造方法において、歪取り焼鈍を硬度変化のない５００℃以下の低温温度域で行うこと、及び、焼鈍温度を６００〜７００℃程度としたときの４２アロイの硬度はＨｖ２００±２０となることに係る発明。
　しかし、いずれの引用例にも、プレス打ち抜き工程における打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍を適用することについて記載はなく、プレス打ち抜き加工を複数回に分けて行うこと、複数回の打ち抜き加工の中間の工程として歪み取り焼鈍を行うこと、さらには、該歪み取り焼鈍の実施によりリードフレームの加工において加工精度の問題が生ずることを示唆する記載もない。
　してみると、プレス打ち抜き工程における打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍を適用した場合に、リードフレームの加工において加工精度の問題が生ずるとの認識のもとに、その問題を解決するべく、リードフレーム材料の収縮率（６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する割合）を０．０３％以下とすること、すなわち、本件の請求項１および２に係る発明のような構成とすることが、各引用例に記載又は示唆されているとすることはできない。
　また、いずれの引用例にも、リードフレーム材料の収縮率（６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する割合）が０．０３％以下であるとする記載はなく、収縮について記載する唯一の引用例である引用例３の、再加熱時の収縮を完全に防止することができる旨の記載も、その「再加熱時の収縮」との表現が曖昧であり、プレス打ち抜き工程における打ち抜き加工と打ち抜き加工との間の中間の歪み取り焼鈍時の収縮が前記収縮率について０．０３％以下であることを示しているとすることはできないうえに、打ち抜き加工を施すリードフレーム材料における加工歪と機械的強度や打ち抜き加工性との関連からみて、前記収縮率を０．０３％以下とすることが必ずしも望まれていたことであるとすることもできないから、引用例３を含む各引用例に、本件の請求項１および２に係る発明のように、リードフレーム材料における前記収縮率を０．０３％以下とすることが実質的に記載されているとすることもできない。
　したがって、本件の請求項１および２に係る発明の上記構成が、引用例１〜５に記載されていた構成であるとも、引用例２〜５に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到することができた構成であるともすることができない。
　そして、本件の請求項１および２に係る発明は、その構成を採用することにより、前記中間の歪み取り焼鈍における加熱収縮が小さく、加工性及び加工精度を向上させることができるという、明細書に記載されたとおりの効果を奏したものである。
　してみれば、本件の請求項１および２に係る発明が、引用例１に記載された発明と同一であるとも、引用例４，５に記載された発明であるとも、引用例２及び３、または、４及び５に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
（ＩＶ）むすび
　以上のとおりであるから、申立人の主張する理由および証拠によっては、本件の請求項１および２に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１および２に係る特許を取消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月１６日（２００１．１．１６）
【訂正の要旨】
訂正事項
（１）請求項１の先頭に、「プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、」という記載を追加する。
（２）請求項２の先頭に、「プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料の製造方法において、」という記載を追加する。
（３）請求項２の「加熱した材料の常温における該材料の収縮率を０．０３％以下」という記載を「加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率を０．０３％以下」と訂正する。
（４）段落番号【０００４】の「本発明者は、リードフレーム素材の加熱収縮を低減すべく検討を行なった結果、次のことを見出した。」なる記載を、「本発明者は、プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、リードフレーム素材の加熱収縮を低減すべく検討を行なった結果、次のことを見出した。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
リードフレーム材料およびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、Ｆｅ−Ｎｉ系合金またはＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金からなり、６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率が０．０３％以下であることを特徴とするリードフレーム材料。
　　【請求項２】　プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料の製造方法において、製品板厚に冷間圧延した後、所定の幅にスリット加工し、次に歪取り焼鈍を施す製造工程において、張力を付加しないで歪取り焼鈍を行なうか、張力を５．０ｋｇ／ｍｍ２以下に抑えて歪取り焼鈍を行なうことにより、６５０℃において１０分間加熱した材料の常温における該材料の元の長さに対する収縮率を０．０３％以下とすることを特徴とするリードフレーム材料の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は集積回路素子のリードフレーム成形素材に関し、加熱時の収縮量を低減し、加工時の加工精度を向上したリードフレーム材料に関するものである。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　集積回路素子のリードフレームは、Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金に代表されるＦｅ−Ｎｉ系合金、またはＦｅ−２９％Ｎｉ−１７Ｃｏ％（コバール）に代表されるＦｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合金等の帯板を所定の幅にスリット加工し、次いで打抜き加工を施して製造される。
　この打抜き加工において、リードフレームの特にインナーリードの位置精度は集積回路素子の組立工程のワイヤボンディング作業における自動位置決め等に極めて重要な影響を及ぼす。
　近年、集積回路素子の高集積化に伴ってリードは非常に多ピン（ピンはリードともいう）、複雑化してきており、また前記のワイヤボンディングの際の自動位置決め等の点より、打抜き加工後のインナーリードの位置に対する規格が非常に厳しくなってきており、インナーリードの位置等に対する規格を満足させるためには、従来の打抜き加工技術だけでは極めて難しくなってきている。
　このため、図１（ａ）に示すようにインナーリードｂがタブａに接続された中間のリードフレーム状態において歪取り焼鈍（ストレスレリーフ）を施し、打抜き加工により付加された加工歪を解放した後、再度打抜き加工を施し、インナーリードｂをタブａと切り離し、図１（ｂ）に示す最終のリードフレームに加工する方法が採用されるようになってきている。
　しかし、この打抜き加工に供されるリードフレーム素材の加熱収縮が大きいと中間状態のフレームで施される歪取り焼鈍時に送り穴ｃのピッチが収縮し、次の最終打抜き加工が困難になるかまたは加工精度が劣る等の問題を生ずるため、加熱収縮の小さいリードフレーム素材が必要になる。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　従来のリードフレーム素材は、打抜き加工性を特に重視してきたため、加工性の点から材料の内部歪を多くする方向で製造が行なわれてきた。すなわち、リードフレームの一般的な硬さ規格ＨＶ＝２００±２０に対し圧延歪により上限の硬さを狙うことおよび素材のスリット後の歪取り焼鈍においても平坦度改善等のために比較的大きな張力（テンション）を付加する方法（テンションアンニーリング）がとられてきた。しかし、このようなリードフレーム素材は、前述の打抜き加工中間状態のフレームでの歪取り焼鈍において、加熱収縮が大きく、フレームの送り穴のピッチの変化量が大きく最終打抜き加工が不可能であったり、加工精度が出ない等の問題があった。
　本発明は、以上の点に鑑み、加熱収縮の小さいリードフレーム材料およびその製造方法を提供することを目的とするものである。
　　　【０００４】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明者は、プレス打ち抜き工程にあって、打ち抜き加工と打ち抜き加工との間に中間の歪み取り焼鈍が適用されるリードフレーム材料において、リードフレーム素材の加熱収縮を低減すべく検討を行なった結果、次のことを見出した。
　すなわち、製品板厚に冷間圧延した後、所定の幅にスリット加工し、次に歪取り焼鈍を施す製造工程において、歪取り焼鈍時に全く張力を付加しないかまたは張力を５、０ｋｇ／ｍｍ２以下に抑えることにより、従来のリードフレーム材料に比べ著しく加熱収縮が小さい新規な材料が得られることを見出した。また、この新規な材料はフレーム製造中の中間状態での歪取り焼鈍条件を想定した６５０℃において１０分間加熱した場合の材料の元の長さに対する収縮率が０．０３％以下であり、この収縮率の場合には、良好なフレームの加工精度が得られることを知見した。
　ここで素材の歪取り焼鈍時の張力を５．０ｋｇ／ｍｍ２以下に規定したのは、それ以上の張力においては歪取り焼鈍時に新たに引張応力が付加され、加熱収縮が０．０３％以上になるためである。好ましくは、歪取り焼鈍時の張力は２．０ｋｇ／ｍｍ２以下に抑えることが望ましい。
　本発明でいうＦｅ−Ｎｉ系合金とは主要成分として、Ｎｉを重量％で２０％以上とＦｅを含有する合金であり、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金とは主要成分として、ＮｉとＣｏおよびＦｅを含有する合金であるが、これらの合金はいずれも少量の他の元素（例えばＳｉ，Ｍｎ，Ｃｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｗなど）を含有してもよいものである。
　　　【０００５】
　　【実施例】
　以下、本発明を実施例により説明する。
　Ｆｅ−４２％Ｎｉ合金、Ｆｅ−５０％Ｎｉ合金ならびにＦｅ−２９％Ｎｉ−１７％Ｃｏ合金のストリップを製造し、冷間圧延工程の後所定のスリット加工を行なうことにより、厚さ０．２５ｍｍ、幅７０ｍｍのリードフレーム素材を得た。この素材に６００〜７００℃の温度に１〜３分間加熱する条件で材料に付加する張力量を０〜７．０ｋｇ／ｍｍ２の範囲で変化させ、歪取り焼鈍を行ない、リードフレーム材料を得た。各条件で得られたリードフレーム材の加熱収縮率は、図２に示すように材料を２００ｍｍの長さに切断した後、元の長さである１６０ｍｍ長さの圧痕ｄをつけ、次に６５０℃において、１０分間加熱した後の圧痕間の距離を測って収縮量を測定し、次式により求めた。
加熱収縮率＝｛（１６０ｍｍ−Ｌ１）／１６０ｍｍ｝×１００（％）
　　Ｌ１：６５０℃において１０分間加熱後の常温における長さ
　表１に結果を示す。表から明らかなように、本発明のリードフレーム材料においては、従来材に比べ著しく加熱収縮率が低減されている。このリードフレーム材料を図１（ａ）に示すタブａとインナーリードｂを切り離さない形状に打抜き、次に６００℃で３分間加熱して加工歪を解散し、その後タブａとインナーリードｂを仕上げ打抜き加工により切り離して図１（ｂ）に示す形状を得た。この仕上げ打抜き加工の時に、送り穴ｃのピッチが収縮し、送り不可となったものを不良（×）、全く問題なくスムーズな送りが可能なものを良好（○）、送りは可能であるが、スムーズではないものをやや良好（△）として、仕上げの打抜き加工性を評価した。
この結果を表１に示す。
　表１より本発明のリードフレーム材料は、仕上げ打抜きにおいて、送り不良が発生しないことがわかる。また、張力を２．０ｋｇ／ｍｍ２のリードフレーム材料は、スムーズな送りが可能となり、より好ましいことが確認された。
　　　【０００６】
　【表１】
　　　【０００７】
　　【発明の効果】
　本発明の方法によれば、リードフレーム材料製造時の歪取り焼鈍を、張力を極力抑えて行なうという比較的簡単な方法によって、加熱時の材料収縮量が小さい新規なリードフレーム材料が得られる。このリードフレーム材料は、６５０℃において、１０分間加熱した後の収縮率が、元の長さに対して０．０３％以下という、今まで実現されていなかった特性を有するものである。本発明のリードフレーム材料は、前述のようなインナーリードがタブに接続された製造工程の中間のリードフレーム状態での歪取り焼鈍において、送り穴のピッチ変化量が小さいので、その後の仕上げ打抜き加工における加工性ならびに加工精度の向上に対して、非常に効果がある。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　図１（ａ）は、インナーリードがタブと接続したリードフレームの中間状態を示す図であり、図１（ｂ）は歪取り焼鈍後仕上げ打ち抜き加工を施した状態のリードフレームを示す図である。
　　【図２】
　加熱収縮量の測定方法を示す図である。
　　【符号の説明】
　ａ　タブ
　ｂ　インナーリード
　Ｃ　送り穴
　ｄ　圧痕