【事件の表示】
　特許第２９２１７５０号「移動案内装置」の請求項１乃至請求項５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９２１７５０号の請求項１乃至請求項５に係る特許を取り消す。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第２９２１７５０号については、昭和６３年１月２２日に特許出願された特願昭６３−１２１３７号（以下「親出願」という。）の一部につき平成８年６月１７日に新たに特許出願され、同１１年４月３０日に設定の登録がされ、その後、同１２年１月１９日に株式会社ニコンより全請求項に係る特許について特許異議の申立てがされ、同１２年４月１７日付で取消しの理由の通知がされた。
第２　本件発明
　本件の請求項１乃至請求項５に係る発明（以下「本件発明１乃至本件発明５」という。）は、登録時の明細書及び図面の記載からみて、特許請求の範囲の請求項１乃至請求項５に記載されたとおりの次のものであると認める。
１　本件発明１
「【請求項１】基準面を有する定盤と、前記基準面に沿って第１方向に移動する第１移動体と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体を前記基準面に対して案内支持する第１静圧軸受と、前記第１移動体の前記第１方向への移動により前記第１方向に移動すると共に、前記第１移動体に対して第２方向に移動することにより前記基準面に沿って二次元的に移動する第２移動体と、前記第１移動体の前記第１方向への移動を前記第２移動体に伝達すると共に、少なくとも前記第１移動体の前記基準面に垂直な方向の振動が前記第２移動体に連成しないように前記第２移動体を前記第１移動体に対して案内支持する第２静圧軸受と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第２移動体を前記基準面に対して案内支持する第３静圧軸受と、前記第１移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第１移動体との間に予圧を発生させる複数の第１予圧機構と、前記第２移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第２移動体との間に予圧を発生させる第２予圧機構とを有し、前記複数の第１予圧機構は前記第２方向に関して離して前記第１移動体に設けられ、前記複数の第１予圧機構は前記第１移動体の一部を構成する連結部材により連結されており、前記第２予圧機構は前記基準面に垂直な方向に関して前記連結部材と前記基準面の間に位置するように前記第２移動体に設けられていることを特徴とする移
動案内装置。」
２　本件発明２
「【請求項２】前記第２移動体は前記第２静圧軸受を取り付けるために前記第１方向に関して前記第１移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、前記第３静圧軸受を取り付けるために前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体と前記基準面の間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有し、第２予圧機構は前記第２軸受取付板に取り付けられていることを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。」
３　本件発明３
「【請求項３】前記第２軸受取付板の前記基準面に対向する面には４つの前記第３静圧軸受ならびに複数の第２予圧機構が対称的に配置されていることを特徴とする請求項２記載の移動案内装置。」
４　本件発明４
「【請求項４】前記第１及び第２予圧機構は、磁力によって予圧を与えるための磁石を有することを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。」
５　本件発明５
「【請求項５】前記第１移動体及び第２移動体はそれぞれリニアモータで駆動されることを特徴とする請求項１記載の移動案内装置。」
第３　引用例
１　引用例１　
　上記取消しの理由で引用した親出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭６１−２０９８３１号公報（以下「引用例１」という。）には、「移動テーブル装置」に関して以下の事項が記載されている。
「＜従来の技術＞
　従来のこの種移動テーブル装置は、第２図に示す如く、定盤６上の４辺に固定した縦横固定ガイド６１ａ，６１ｂにそれぞれ可動体７ａ，７ｂを取付け、縦横互いに対向する可動体７ａ，７ａおよび７ｂ，７ｂ間に高さを違えて直交させた縦横可動ガイド８ａ，８ｂを架設し、両ガイド８ａ，８ｂの交叉部にテーブル９をスライド自在に係合支持している。斯るテーブル装置では、縦横２本の可動ガイド８ａ，８ｂを要し、構造が複雑且つ直角度の設定に高度な製作技術を要すと共に、特に、テーブル９の重心位置が高く、これが動的走り精度の悪化およびヨーイングの一因をなす等の問題を有す。」（公報第１頁右欄第７〜２０行）
「＜実施例の説明＞
　図面は本発明に係る移動テーブル装置を示し、定盤１上の対向辺に取付け固定した固定ガイド１１上に駆動装置２，２を構成するリニアモータ２１，２１が平行して配設され、両リニアモータ２１の可動体２２，２２には、それぞれ固定ガイド１１および定盤１との対向面に空気噴出口を開設した空気軸受２３を取付けて、両空気軸受２３，２３間に可動ガイド３が架設され、この可動ガイド３にテーブル４を支持すると共に、ガイド３とテーブル４との間にテーブル４を移行させる作動装置５を設けている。
　作動装置５は、前記可動ガイド３をリニアモータ５１にてなすと共に、その可動体５２をテーブル４に取付けて構成され、テーブル４には、定盤１および可動ガイド３対向面に空気噴出口を有す空気軸受４１を取付けている。」（同第２頁左上欄第１７行〜同右上欄第１３行）
「然して、駆動装置における可動体２２，２２の動作により可動ガイド３はテーブル４と共に固定ガイド１１方向に移行し、また、可動ガイド３に構成した作動装置５における可動体５２の動作により、テーブル４は可動ガイド３の軸身方向に移行し、従って、両可動体２２，５２が作動することによってテーブル４は定盤１上の縦横任意の目標位置に移行する。」（同第２頁左下欄第４〜１１行）
「テーブル４は、従来の縦横可動ガイドの交叉部に支持した構成に比較して、重心が一段と低下して静的、動的走り精度が向上し、ヨーイングが抑えられ、以て、超精密位置決めを実現し得る等、構成簡易にして実用上の顕著な効果を有す。」（同第２頁右下欄第４〜９行）
　空気軸受２３は、可動体２２と可動ガイド３とを連結する部材に取付けられていること。（第１図）
　これらの記載事項から、結局、引用例１には、以下の発明が記載されていると認める。
　定盤１と、定盤１の上面に沿って定盤１上の対向辺に取付け固定した固定ガイド１１方向にリニアモータにより移動する空気軸受２３の取付け部を備えた可動ガイド３と、この可動ガイド３を前記固定ガイド１１の側面及び定盤１の上面に対して案内支持する前記空気軸受２３と、前記可動ガイド３の前記固定ガイド１１方向への移動により前記固定ガイド１１方向に移動すると共に、前記可動ガイド３に対してその軸身方向にリニアモータにより移動することにより前記定盤１の上面に沿って二次元的に移動するテーブル４と、前記可動ガイド３の前記固定ガイド１１方向への移動を前記テーブル４に伝達すると共に前記テーブル４を前記可動ガイド３の側面及び定盤１の上面に対して案内支持する空気軸受４１とを有し、前記空気軸受２３は、前記可動ガイド３の軸身方向に関して離して取付けられ、両空気軸受２３，２３間に可動ガイド３が架設されている移動テーブル装置。
２　引用例２
　同じく上記取消しの理由で引用した親出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である特開昭５９−７３６２５号公報（以下「引用例２」という。）には、「空気軸受平面案内」に関して以下の事項が記載されている。
「次に本発明の実施例を図面について説明すると第４図において平坦な上面４ａを有する台４上に固定された支持枠７に案内体となる四角柱形の固定体６が両端において支持されており、固定体６には箱形の可動体５が摺動自在に嵌合されている。可動体５の４方の内壁の内、上下の内壁５ａ，５ｂと固定体の６上、下の外壁６ａ，６ｂとの間は空気軸受を構成することなく単なる空隙となっており、可動体５の下面５ｆと台４の上面４ａとによって構成される空気軸受面によって可動体５の上面５ｅに加わる荷重Ｗを支持するようになっている。
　従って可動体５の上面５ｅに加わった荷重Ｗは第６図に示すように固定体２（当審注：「固定体６」の誤り。）に力を及ぼすことなく平坦な台４の上面４ａ上に受けとめられる。そのため可動体上面５ｅの変位量ｅ″は可動体５の下面５ｆと台の平坦な上面４ａとの間に構成される空気軸受の剛性Ｋ″のみによってあたえられる。
　・・・・・・・・・・・・・・（中略）・・・・・・・・・・・・・・
　尚可動体５の固定体による案内は可動体の内壁の内、左、右の側壁５ｃ，５ｄと固定体の両側壁６ｃ，６ｄとの間に構成される空気軸受によって行われるので、スライドとしての機能は損なわれることはない。また可動体５の内壁５ｃ，５ｄ及び下面５ｆの面に組込む空気軸受の形式は限定しない。」
（公報第２頁左上欄第１２行〜同右上欄第１８行）
　この記載事項を本件請求項２の記載に沿って表現すると、引用例２には、以下の発明が記載されていると認める。
　箱形の可動体５は固定体６の両側壁６ｃ，６ｄとの間に構成される空気軸受を取り付けるために固定体６の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、台４の平坦な上面４ａとの間に構成される空気軸受を取り付けるために前記上面４ａに垂直な方向に関して前記固定体６と前記上面４ａの間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有する空気軸受平面案内。
３　引用例３
　同じく上記取消しの理由で引用した親出願の出願前に日本国内において頒布された刊行物である実願昭６０−６９８７０号（実開昭６１−１８６８２９号）のマイクロフィルム（以下「引用例３」という。）には、「ＸＹステージ」に関して以下の事項が記載されている。
「＜実施例の説明＞　
　第１図はＸＹステ−ジの全体構成を示している。ＸＹステージは、定盤１の上面に軸受案内面１０が形成され、４辺に互いに対向してリニアモータ等の往復駆動装置２ａ，２ａ，２ｂ，２ｂが配設され、対向する駆動装置２ａと２ａ、２ｂと２ｂの間に段違いに交叉した縦横可動ガイド３，４の両端を取付けて、各ガイド３，４が互いに直交方向に往復動するようになしている。両ガイド３，４の交叉部にはステージ５が摺動自在に支持せられ、該ステージ５は、下面４隅に空気軸受５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを取付けて、軸受案内面１０に対し所定の浮上すきまｈを存して支持され、非接触にて移動案内するようになしている。」（明細書第３頁第１６行〜第４頁第１０行）
第４　対比
１　本件発明１について　
　本件発明１と引用例１記載の発明とを対比すると、引用例１記載の発明の
「定盤１の上面」、「固定ガイド１１方向」、「空気軸受２３の取付け部を備えた可動ガイド３」、「可動ガイド３の軸身方向」、「テーブル４」及び「移動テーブル装置」は、技術常識に照らしてみてそれぞれ本件発明１の「基準面」、「第１方向」、「第１移動体」、「第２方向」、「第２移動体」及び「移動案内装置」に相当することが明らかである。
　また、引用例１記載の発明の「空気軸受２３」は、可動ガイド３を、固定ガイド１１に対して案内支持するだけでなく、定盤１の上面に対しても案内支持する、すなわち、基準面に垂直な方向に関して第１移動体を基準面に対して案内支持するものであって、本件発明１の「第１静圧軸受」を包含している。
　さらに、引用例１記載の発明の「空気軸受４１」は、可動ガイド３の固定ガイド１１方向への移動をテーブル４に伝達すると共にテーブル４を可動ガイド３に対して案内支持する、すなわち、第１移動体の第１方向への移動を第２移動体に伝達すると共に第２移動体を第１移動体に対して案内支持するという限りで、本件発明１の「第２静圧軸受」に対応すると共に、テーブル４を定盤１の上面に対して案内支持する、すなわち、基準面に垂直な方向に関して第２移動体を基準面に対して案内支持するものであって、本件発明１の「第３静圧軸受」にも対応している。
　したがって、本件発明１と引用例１記載の発明とは、
　基準面を有する定盤と、前記基準面に沿って第１方向に移動する第１移動体と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体を前記基準面に対して案内支持する第１静圧軸受と、前記第１移動体の前記第１方向への移動により前記第１方向に移動すると共に、前記第１移動体に対して第２方向に移動することにより前記基準面に沿って二次元的に移動する第２移動体と、前記第１移動体の前記第１方向への移動を前記第２移動体に伝達すると共に前記第２移動体を前記第１移動体に対して案内支持する第２静圧軸受と、前記基準面に垂直な方向に関して前記第２移動体を前記基準面に対して案内支持する第３静圧軸受とを有する移動案内装置、
である点で一致し、以下の２点で相違している。
相違点１：
　本件発明１では、第２静圧軸受が「少なくとも前記第１移動体の前記基準面に垂直な方向の振動が前記第２移動体に連成しないように前記第２移動体を前記第１移動体に対して案内支持」しているのに対して、引用例１記載の発明では、空気軸受４１の第２静圧軸受対応部が本件発明１のように第２移動体を第１移動体に対して案内支持しているの否か明らかでない点。
相違点２：
　本件発明１では、「前記第１移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第１移動体との間に予圧を発生させる複数の第１予圧機構と、前記第２移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第２移動体との間に予圧を発生させる第２予圧機構とを有し、前記複数の第１予圧機構は前記第２方向に関して離して前記第１移動体に設けられ、前記複数の第１予圧機構は前記第１移動体の一部を構成する連結部材により連結されており、前記第２予圧機構は前記基準面に垂直な方向に関して前記連結部材と前記基準面の間に位置するように前記第２移動体に設けられている」のに対して、引用例１記載の発明では、予圧機構が設けられていない点。
２　本件発明２について                        
　本件発明２と引用例１記載の発明とを対比すると、本件発明２は、本件発明１を引用するものであることから、本件発明２と引用例１記載の発明とは、上記１記載の一致点並びに相違点１及び相違点２を有す外、下記の点でさらに相違している。
相違点３：
  本件発明２では、「前記第２移動体は前記第２静圧軸受を取り付けるために前記第１方向に関して前記第１移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、前記第３静圧軸受を取り付けるために前記基準面に垂直な方向に関して前記第１移動体と前記基準面の間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有し、第２予圧機構は前記第２軸受取付板に取り付けられている」のに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
３　本件発明３について
　本件発明３と引用例１記載の発明とを対比すると、本件発明３は、本件発明２を引用するものであることから、本件発明３と引用例１記載の発明とは、上記１記載の一致点並びに上記相違点１乃至相違点３を有す外、下記の点でさらに相違している。
相違点４：
　本件発明３では、「前記第２軸受取付板の前記基準面に対向する面には４つの前記第３静圧軸受ならびに複数の第２予圧機構が対称的に配置されている」のに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
４　本件発明４について
　本件発明４と引用例１記載の発明とを対比すると、本件発明４は、本件発明１を引用するものであることから、本件発明４と引用例１記載の発明とは、上記１記載の一致点並びに相違点１及び相違点２を有す外、下記の点でさらに相違している。
相違点５：
　本件発明４では、「前記第１及び第２予圧機構は、磁力によって予圧を与えるための磁石を有する」のに対して、引用例１記載の発明では、そのようになっていない点。
５　本件発明５について           
　本件発明５と引用例１記載の発明とを対比すると、本件発明５は、本件発明１を引用するものであることから、本件発明５と引用例１記載の発明とは、上記１記載の一致点並びに相違点１及び相違点２を有す外、「前記第１移動体及び第２移動体はそれぞれリニアモータで駆動される」点でも一致している。
第５　判断
１　本件発明１について
(1) 相違点１について
　引用例１には、空気軸受４１の第２静圧軸受対応部が、テーブル４、すなわち、第２移動体を、第１移動体を構成する部材である可動ガイド３に対してどのように案内支持しているかについて詳しく記載されていないものの、テーブル４に取付けられた空気軸受４１の第２静圧軸受対応部は、可動ガイド３対向面に空気噴出口を有しており、その具体的構成において本件発明１の第２静圧軸受と格別異なる点はないことからみて、引用例１記載の発明の空気軸受４１の第２静圧軸受対応部も第１移動体の基準面に垂直な方向の振動が第２移動体に連成しないように第２移動体を第１移動体に対して案内支持するという機能を奏するものであるということができる。
(2) 相違点２について
ア　移動体を静圧軸受により基準面上に案内支持するに当たって、基準面と移動体との間に静圧軸受に併置して予圧機構を設けることは、例えば、上記取消しの理由に引用した刊行物２乃至刊行物６（特開昭５９−１０１８３５号公報、特開昭６２−２７６６１２号公報、特開昭６１−２１４９３４号公報、特開昭６２−７５１２５号公報、特開昭６１−２９０２３１号公報）に示されているように従来周知であり、この従来周知の事項を引用例１記載の発明に適用して第１静圧軸受及び第３静圧軸受に併置して「前記第１移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第１移動体との間に予圧を発生させる複数の第１予圧機構と、前記第２移動体の前記基準面に対する姿勢を一定に保つために前記基準面と前記第２移動体との間に予圧を発生させる第２予圧機構」を設ける点に格別の発明性はない。
イ　また、引用例１記載の発明では、第１静圧軸受を包含する空気軸受２３は、可動ガイド３の軸身方向、すなわち、第２方向に関して離して第１移動体を構成する軸受取付け部に取付けられると共に両空気軸受２３，２３間に可動ガイド３が架設されている、すなわち、両空気軸受２３，２３は、第１移動体の一部を構成する可動ガイド３により連結されているので、空気軸受２３の第１静圧軸受対応部に併置して第１予圧機構を設けることにより「前記複数の第１予圧機構は前記第２方向に関して離して前記第１移動体に設けられ、前記複数の第１予圧機構は前記第１移動体の一部を構成する連結部材により連結されており」となるように構成することは上記適用に当たって適宜なし得る事項にすぎない。
ウ　さらに、本件発明１では、「前記第２予圧機構は前記基準面に垂直な方向に関して前記連結部材と前記基準面の間に位置するように前記第２移動体に設けられている」が、この構成は、本件発明１の実施例によると、第２移動体が、第２静圧軸受を取付けるために第１方向に関して第１移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、第３静圧軸受を取付けるために基準面に垂直な方向に関して第１移動体と基準面の間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板とを有しており、この第２軸受取付板に第３静圧軸受に併置して第２予圧機構を取付けることにより齎される構成であると認められる。
　ところで、先に認定したように引用例２には「箱形の可動体５は固定体６の両側壁６ｃ，６ｄとの間に構成される空気軸受を取り付けるために固定体６の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、台４の平坦な上面４ａとの間に構成される空気軸受を取り付けるために前記上面４ａに垂直な方向に関して前記固定体６と前記上面４ａの間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板を有する空気軸受平面案内。」が記載されている。
　引用例２記載の「空気軸受平面案内」は、箱形の可動体５が固定体６に沿って一次元的に移動するものではあるが、引用例１記載の発明と同様「移動案内装置」である点に変わりはなく技術分野を共通にするものであることから、第２引用例記載の発明を第１引用例記載の発明に適用してそのテーブル４，すなわち、第２移動体を本件発明１の実施例に示されるもののように、第２静圧軸受を取付けるために第１方向に関して第１移動体の両側にそれぞれ設けられる複数の第１軸受取付板と、第３静圧軸受を取付けるために基準面に垂直な方向に関して第１移動体と基準面の間に位置し、前記複数の第１軸受取付板のそれぞれに連結される第２軸受取付板とを有す箱形に構成する点に格別の困難性は見当たらず、また、上記したように、基準面と移動体との間に静圧軸受に併置して予圧機構を設けることは従来周知であることから、上記のようにして構成される第２軸受取付板に、第３静圧軸受に併置して第２予圧機構を取付けることにより本件発明１のように「前記第２予圧機構は前記基準面に垂直な方向に関して前記連結部材と前記基準面の間に位置するように前記第２移動体に設けられている」とする点にも格別の困難性はない。
２　本件発明２について
　相違点１及び相違点２については上記のとおりであり、また、相違点３については、実質的に上記１(2)ウで判断したとおりである。
３　本件発明３について
　相違点１乃至相違点３については、上記のとおりである。
　相違点４について検討すると、引用例３記載のＸＹステージにおけるステージ５は、下面４隅に空気軸受５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄを取付けて、軸受案内面１０に対し所定の浮上すきまｈを存して支持され、非接触にて移動案内するものであり、結局、引用例３には、移動案内装置において、移動体の基準面に対向する面に４つの静圧軸受を対称的に配置することが記載されている。
　相違点４における本件発明３の構成は、引用例１記載の発明に引用例２記載の発明を適用することにより構成される第２移動体の第２軸受取付板に、引用例３記載の上記事項及び静圧軸受に併置して予圧機構を設けるという上記従来周知の事項をさらに適用して、４つの静圧軸受ならびに複数の予圧機構を対称的に配置したものにすぎない。
４　本件発明４について
　相違点１及び相違点２については上記のとおりである。
　相違点５について検討すると、静圧軸受に併置して設けられる予圧機構において、磁力によって予圧を与えるために磁石を備えることは、上記１(2)アで挙げた特開昭６２−７５１２５号公報、特開昭６１−２９０２３１号公報に示されているように従来周知である。
５　本件発明５について
　相違点１及び相違点２については上記のとおりである。
６　本件各発明の効果について　
　そして、本件発明１乃至本件発明５の採用する構成によって齎される効果も、引用例１乃至引用例３記載の発明乃至技術的事項及び上記従来周知の事項から予期できる程度のものであって格別のものではない。
第６　むすび
　このように、本件発明１乃至本件発明５は、いずれも引用例１乃至引用例３記載の発明乃至技術的事項及び上記従来周知の事項基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１乃至請求項５に係る特許は、いずれも特許法第２９条の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月２４日（２０００．７．２４）