【事件の表示】
　特許第２７８８１３９号「電子線描画装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２７８８１３９号の請求項１、３に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第2788139号に係る発明は、平成3年9月25日に特許出願され、平成10年6月5日にその特許の設定登録がされ、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成11年8月27日に訂正請求がなされ、その後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内であるに平成12年1月24日に意見書が提出されたものである。
１．１　異議申立ての概要  
　異議申立人磯上衿子は、甲第１号証（技術報告NS−13023　「電子ビ−ム露光装置ＥＢ52の基本設計」）、甲第２号証（特開昭63一308317号報）及び甲第３号証（特開昭63一952号報）を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１及び甲第２号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項３に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるので、本件特許を取り消すべき旨主張している。
１．２　甲第１号証の記載内容
　第１２頁の「３．２補正方式」の項には、「電子ビームで精度よくパターン露光するためには、・・・制御が必要である。・・・表３．６に補正対象となる主な誤差要因およびその補正方式を示す。」と記載され、第１３頁表３．６に、補正対象の項目に、「ビーム位置ドリフト」が挙げられており、その補正方法として、「露光中に一定間隔でマーク検出によりドリフト量を測定し、偏向系にフィードバックする。」と記載されている。
　第１５頁第１４行〜同頁第１５行には、「補正周期は制御プログラムにより設定される。」と記載されている。
　第１５頁第１５行〜同頁第１８行には、「ビームの偏向量を基準マーク検出により測定し、その誤差量を補正回路と図形発生部にフィードバックして・・・補正を行っている。補正周期は・・・ウエハ直接露光ではフィールドごとになっている。」と記載されている。
　第１７頁第２３行〜同頁第２５行には、「フィールド毎・・・に試料上のマーク位置誤差をマーク検出回路により検出して偏向信号に補正をかける。」と記載されている。
１．３　甲第２号証の記載内容
　甲第2号証には、ビーム位置ドリフト補正に関する発明が記載され、第１頁左下欄第８〜第９行に、「過去複数回の描画おけるビーム位置時間変動データを記憶する手段」と記載され、第１頁左下欄第９〜第１２行に、甲第２号証に記載された発明が「前記データに基づいて演算を行い、次回描画時のビーム位置変動をシュミレーシヨンする手段」である旨記載され、第１頁左下欄第１２〜第１４行に、「このシュミレーシヨン結果に基づきリアルタイムで前記ステージ位置に補正を加える手段」を有する荷電ビーム露光装置である旨記載されている。
１．４　甲第３号証の記載内容
　甲第3号証には、電子ビームを照射する装置であって、電子ビーム位置ドリフト補正に関する発明であり、第3図に代数方程式近似のドリフト特性式が記載されている。
２．訂正の適否について
２．１　本件訂正請求の概要
　平成１１年８月２７日付訂正請求の概要は、願書に添付された明細書の請求項１「試料台上の基準マークに電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段と、上記位置ドリフト検出手段で検出させた複数の位置ドリフト値を記憶するメモリと、上記複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算手段と、上記演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を実時間で補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置において、上記自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせるようにしたことを特徴とする電子線描画装置。」を、「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段と、上記位置ドリフト検出手段で検出させた複数の位置ドリフト値を記憶するメモリと、上記複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算手段と、上記演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を描画毎に繰り返し補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置において、上記自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を上記位置ドリフト検出手段による上記複数の位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビーム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ、上記検出と上記電子ビームの偏向信号の補正とを繰り返すようにしたことを特徴とする電子線描画装置。」と訂正するものである。
２．３　訂正拒絶理由の概要
『第２９条第２項違反について
　引用刊行物
刊行物１：日本通信技術株式会社刊　技術報告
ＮＳ−１３０２３
刊行物２：特開昭６３−３０８３１７号公報
刊行物３：特開昭６３−９５２号公報
（２）．２　訂正後の本件請求項１に係る発明と上記刊行物との対比
　特許権者は、上記刊行物１記載の発明には、訂正後の本件請求項１に係る発明の「複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算手段」（以下、「本件請求項１の構成１」という。）及び「電子ビームの偏向信号の補正を上記位置ドリフト検出手段による上記複数の位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビーム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ、上記検出と上記電子ビームの偏向信号の補正とを繰り返すようにした」（以下、「本件請求項１の構成２」という。）構成の記載及び当該構成の示唆もされておらず、さらに、上記刊行物１に対して上記刊行物２及び３記載の発明を考慮しても、訂正後の本件請求項１に係る発明は、当業者が容易に発明できたものでない旨主張している。
　そこで、特許権者の上記主張について検討する。　上記訂正後の本件請求項１の構成１について検討すると、訂正後の本件請求項１に係る発明と同じ電子線描画装置に係る発明である上記刊行物２においても、複数の位置ドリフト値の検出を行っているので、上記訂正後の本件請求項１の構成１については、上記刊行物１記載の発明に対し、単に公知手段を付加した程度のものと認める。
　上記訂正後の本件請求項１の構成２について検討すると、上記刊行物１において、「ビームの偏向量を基準マーク検出により測定し、その誤差量を補正回路と図形発生部にフィードバックして・・・補正を行っている。補正周期は・・・ウエハ直接露光ではフィールドごとになっている。」（第１５頁第１５行〜第１８行）及び「フィールド毎・・・に試料上のマーク位置誤差をマーク検出回路により検出して偏向信号に補正をかける。」と記載されているので、上記刊行物１記載の発明においても、「検出と電子ビームの偏向信号の補正とを繰り返すようにした」ものと認められ、また、補正する操作が露光に影響しないようにすることは当業者が当然に配慮する事項であるから、電子ビームの補正を「電子ビームがビーム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間」に行なう程度のことは、当業者が容易に想到できたことであると認める。
　従って、上記訂正後の本件請求項１の構成２については、上記刊行物１記載の発明に基づいて当業者が容易に想到できたものである。
　さらに、訂正後の本件請求項１の構成１、２及び請求項１に係る発明の他の構成を総合して考慮しても、特段の作用、効果を見い出せない。
　そうすると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、依然として、上記刊行物１及び２に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものである。
　よって、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項で準用する第１２６条第４項の規定に適合しない。』
旨の訂正拒絶理由を通知した。
２．４　甲第１〜３号証の記載内容
　甲第１〜３号証の記載内容は、上記１．２〜１．４のとおりである。
２．５　訂正の適否についての判断
２．５．１　訂正後の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明１」という。）
「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段と、上記位置ドリフト検出手段で検出させた複数の位置ドリフト値を記憶するメモリと、上記複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算手段と、上記演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を描画毎に繰り返し補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置において、上記自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を上記位置ドリフト検出手段による上記複数の位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビ-ム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ、上記検出と上記電子ビ-ムの偏向信号の補正とを繰り返すようにしたことを特徴とする電子線描画装置。」
２．５．２　訂正発明１の独立特許要件の検討
　訂正発明１と甲第１〜３号証に記載された発明との対比
　訂正発明１と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証に記載された「露光中に一定間隔でマーク検出によりドリフト量を測定し、偏向系にフィードバックする」ことは、訂正発明１の「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する」ことに相当し、また、甲第１号証に記載された「ビームの偏向量を基準マーク検出により測定し、その誤差量を補正回路と図形発生部にフィードバックして・・・補正を行っている。補正周期は・・・ウエハ直接露光ではフィールドごとになっている」ことは、訂正発明１の「電子ビームの偏向信号を繰り返し補正する」ことに相当し、甲第１号証に記載された「補正周期は制御プログラムにより設定される」ことは、訂正発明１の「電子ビームの偏向信号を自動補正」することに相当することを考慮すると、両者は、「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段と、上記電子ビームの偏向信号を繰り返し補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置において、上記検出と上記電子ビ-ムの偏向信号の補正とを繰り返すようにした電子線描画装置」において一致し、訂正発明１が、「位置ドリフト検出手段で検出させた位置ドリフト値を記憶するメモリ」（以下、「訂正発明１の構成１」という。）、「複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算」（以下、「訂正発明１の構成２」という。）、「演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を描画毎に繰り返し補正」（以下、「訂正発明１の構成３」という。）及び「自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を上記位置ドリフト検出手段による上記複数の位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビ-ム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ」る構成（以下、「訂正発明１の構成４」という。）を有するのに対し、甲第１号証にはこの構成の記載がない点で両者は相違する。
　この相違について検討する。
ア．訂正発明１の構成１についての検討
　甲第１号証には、位置ドリフト値を記憶するメモリの直接的記載はないが、甲第１号証記載の発明は、位置ドリフト検出手段で検出した位置ドリフト値を直ちに図形発生部にフィードバックして補正を行うものではなく、「補正周期」を有していることを考慮すると、甲第１号証の発明においても、「位置ドリフト検出手段で検出させた位置ドリフト値を記憶するメモリ」を実質的に有していると認める。
イ．訂正発明１の構成２についての検討
「複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算」することは、荷電ビーム露光装置の発明であって、甲第２号証に記載されているように当業者が知得する事項にすぎず、訂正発明１の構成２については、甲第１号証記載の発明に単に付加した程度のものにすぎない。
ウ．訂正発明１の構成３についての検討
「演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を描画毎に繰り返し補正」
　甲第１号証記載の発明では、電子ビームの偏向信号を繰り返し補正する際に、「描画毎」ではなく、「フィールドごと」に繰り返し補正しており、補正する際の繰り返し単位が訂正発明１と同一でないが、概念として、「描画毎」は「フィールドごと」を含むものであり、かつ、「描画毎」とすることに何ら困難性は認められない。
　また、「演算されたドリフト特性式を用い」ることは、甲第２号証に記載されているように当業者が知得している事項にすぎず、当該事項については、甲第１号証記載の発明に単に付加した程度のものにすぎない。
エ．訂正発明１の構成４についての検討
「自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を上記位置ドリフト検出手段による上記複数の位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビ-ム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ」る構成については、甲第１号証記載の発明では、フィールドごとに電子ビームの偏向信号の補正を行うものであって、訂正発明１の「位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビ-ム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ」るものではないが、電子ビームの偏向信号の補正をどの時点で行うかは、補正の精度などを考慮し、当業者が通常の試行の範囲内において容易に選択できる程度のことにすぎず、また、訂正発明１の「位置ドリフト値の検出以後の、当該電子ビームがビ-ム偏向フィールド内の所要の露光位置から次の露光位置へ移動する間のブランキング期間に行わせ」効果も当業者が予測しうるものにすぎない。
オ．相乗効果について
　訂正発明１の構成要件相互の関係においても相乗効果は特に認められない。
２．５．３　結論
　そうすると、訂正発明１は、甲第１及び２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　従って、訂正発明１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、特許法第１２０条の４第２、３項で準用する訂正についてなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合しないので、本件訂正請求は認められない。  
３．異議申立に対する判断
３．１　本件特許の請求項に係る発明
請求項１
「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段と、上記位置ドリフト検出手段で検出させた複数の位置ドリフト値を記憶するメモリと、上記複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算手段と、上記演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を実時間で補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置において、上記自動補正手段は、上記電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせるようにしたことを特徴とする電子線描画装置。」
請求項３
「請求項１の電子線描画装置において、上記演算手段は、代数方程式近似のドリフト特性式を演算することを特徴とする電子線描画装置。」
３．２　取消理由通知の概容
『（１）．本件特許第２７８８１３９号の請求項１、３に係る発明は、その請求項１、３に記載されたとおりのものである。
（２）．特許法第２９条第２項違反について
  　刊行物１：日本通信技術株式会社刊　技術報告ＮＳ−１３０２３
　刊行物２：特開昭６３−３０８３１７号公報
　刊行物３：特開昭６３−９５２号公報
上記刊行物１〜３には、特許異議申立人磯上衿子が提出した特許異議申立書「（４）証拠の説明」の項に記載された内容が記載されている。
（２）．１　請求項１、３に係る発明について
　請求項１、３に係る発明は、特許異議申立書「（５）本願発明（請求項１）と証拠との対比」の項及び「（６）本願発明（請求項３）と証拠との対比」の項に記載された理由により、当業者が上記刊行物１〜３に基いて容易に発明できたものである。
  よって、本件請求項１、３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。』
３．３　引用例の内容
　上記１．２、１．３及び１．４に記載のとおり。
３．４　本件請求項1及び３に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
３．４．１　本件請求項１に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、甲第１号証に記載された「露光中に一定間隔でマーク検出によりドリフト量を測定し、偏向系にフィードバックする」ことは、訂正発明１の「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する」ことに相当し、また、甲第１号証に記載された「ビームの偏向量を基準マーク検出により測定し、その誤差量を補正回路と図形発生部にフィードバックして・・・補正を行っている。」ことは、本件請求項１に係る発明の「電子ビームの偏向信号を補正する自動補正すること」及び「電子ビームの偏向信号の補正を行わせる」ことに相当することを考慮すると、両者は、「試料台上の基準マークに上記電子ビームを照射して得られる反射電子信号により、上記電子ビームの位置ドリフト(位置誤差)を検出する位置ドリフト検出手段、電子ビームの偏向信号を補正する自動補正手段とを具備した電子線描画装置」において一致し、本件請求項１に係る発明が、「位置ドリフト検出手段で検出させた複数の位置ドリフト値を記憶するメモリ」（以下、「本件請求項１に係る発明の構成１」という。）、「複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算する演算」（以下、「本件請求項１に係る発明の構成２」という。）、「演算されたドリフト特性式を用いて上記電子ビームの偏向信号を実時間で補正する自動補正」（以下、「本件請求項１に係る発明の構成３」という。）及び「電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせる」構成（以下、「本件請求項１に係る発明の構成４」という。）を有するのに対し、甲第１号証にはこの構成の記載がない点で両者は相違する。
　この相違について検討する。
ア．本件請求項１に係る発明の構成１についての検討
　甲第１号証には、位置ドリフト値を記憶するメモリの直接的記載はないが、甲第１号証記載の発明は、位置ドリフト検出手段で検出した位置ドリフト値を直ちに図形発生部にフィードバックして補正を行うものではなく、「補正周期」を有していることを考慮すると、甲第１号証の発明においても、「位置ドリフト検出手段で検出させた位置ドリフト値を記憶するメモリ」を実質的に有していると認める。
イ．本件請求項１に係る発明の構成２についての検討
「複数の位置ドリフト値を用いて径時変化特性式(ドリフト特性式)を演算」することは、荷電ビーム露光装置の発明であって、甲第２号証に記載されているように当業者が知得している事項にすぎず、訂正発明１の構成２については、甲第１号証記載の発明に単に付加した程度のものにすぎない。
ウ．本件請求項１に係る発明の構成３についての検討
　甲第１号証記載の発明では、電子ビームの偏向信号を補正する際に、「実時間」で行う記載はないが、実時間で補正することは、甲第２号証に記載されているように、リアルタイムで補正することが周知手段であることを考慮すると、何ら困難性は認められない。
　また、「演算されたドリフト特性式を用い」ることは、甲第２号証に記載されているように当業者が知得する事項にすぎず、当該事項については、甲第１号証記載の発明に単に付加した程度のものにすぎない。
エ．本件請求項１に係る発明の構成４についての検討
「電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせる」構成については、甲第１号証記載の発明では、フィールドごとに電子ビームの偏向信号の補正を行うものであって、本件請求項１に係る発明の「電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせる」との記載はないが、電子ビームの偏向信号の補正をブランキング時間で行うか否かは当業者が容易に選択できる程度のことにすぎず、また、本件請求項１に係る発明の「電子ビームの偏向信号の補正を、当該電子ビームのブランキング期間に行わせる」点の効果も当業者が予測しうるものにすぎない。
オ．相乗効果について
　本件請求項１に係る発明の構成要件相互の関係においても相乗効果は特に認められない。
３．４．２　本件請求項３に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
　本件請求項３に係る発明の付加構成である「請求項１の電子線描画装置において、上記演算手段は、代数方程式近似のドリフト特性式を演算することを特徴とする電子線描画装置。」について検討すると、「代数方程式近似のドリフト特性式」は、甲第３号証に記載されているように当業者が知得している事項にすぎず、本件請求項３に係る発明の付加構成は、当該事項を甲第１及び２号証記載の発明に単に付加して容易に推考できた程度のものにすぎない。
　また、本件請求項３の付加構成と、本件請求項３において引用する本件請求項1の構成との相乗効果は特に認められない。
　従って、本件請求項３に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
４．むすび
  以上のとおりであるから、本件特許1及び３に係る発明の特許は、取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年２月２８日（２０００．２．２８）