【事件の表示】
　特許第３０４６７３０号「反射拡散板および反射型液晶表示装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０４６７３０号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３０４６７３０号の請求項１ないし２に係る発明は、平成６年１１月２８日に特許出願がなされたものであって、平成１２年３月１７日にその特許の設定の登録がなされ、その後、株式会社ディスク及び田中勇により特許異議の申立がなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１３年４月４日付けで訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否について
（１）訂正事項
　ａ．特許明細書の請求項１の１行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」を「面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する」と訂正する。
　ｂ．特許明細書の請求項２の６〜７行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」を「面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する」と訂正する。
　ｃ．段落【００１５】の２行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」を「面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する」と訂正する。
　ｄ．段落【００１６】の６〜７行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反射型液晶表示装置。」を「面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反射型液晶表示装置である。」と訂正する。
　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａ及びｂは、特許明細書の【００２５】の「・・・所定のフォトマスク２４を介して紫外光（ＵＶ光）２５を照射する。このフォトマスク２４により、紫外光（ＵＶ光）２５が照射した部分と照射しない部分ができるため、上記の有機材料膜２３ｂに屈折率が異なる領域を形成できる。」との記載に基づいて、特許請求の範囲１及び２における「屈折率分布を有する拡散層」を具体的に限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　訂正事項ｃ及びｄは、上記特許請求の範囲の訂正に伴いそれとの整合を図るため及び脱字を訂正するためになされたものであり、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正に該当する。
　そして、上記訂正事項はいずれも、新規事項に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
（３）訂正の適否のむすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立人の主張の概要
（１）特許異議申立人株式会社ディスクは、甲第１号証ないし甲第４号証を提出し、本件の請求項１、２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条の２の規定に該当し、また、甲第２号証〜甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明し得た程度のものであるので、特許法第２９条第２項の規定に該当するので、本件発明の特許は同法第１１３条第２号の規定により取りすべき旨主張している。
（２）特許異議申立人田中勇は、甲第１号証〜甲第８号証を提出し、本件特許の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、また、本件特許の請求項２に係る発明は、甲第１号証〜甲第３号証に記載された発明に基づいて、もしくは甲第１号証、甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到できるものであるから、特許法第２９条第２項の規定に該当し、同法第１１３条第２号の規定により取り消されるべき旨主張している。
　
４．当審の判断
（１）本件発明
　本件の請求項１及び２に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　反射層上に、表面がほぼ平坦で面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反射拡散板。
【請求項２】　液晶層を介在して対向配置される一対の基板のうちの少なくともどちらかの基板が透明基板であり、一方の基板上の液晶層側に他方の基板側からの入射光を反射する反射層を形成し、該他方の基板の液晶層側にほぼ全面にわたって透光性を有する共通電極を形成して構成される反射型液晶表示装置において、
前記一方の基板上の反射層と他方の基板の間に、表面がほぼ平坦で面内に紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反射型液晶表示装置。」
　
（２）甲各号証記載の発明
　特許異議申立人株式会社ディスクの提出した、甲第１号証：特願平５−２４１８５９号（特開平７−９８４４６号）の願書に最初に添付した明細書又は図面には、
「【請求項１】
　矩形状の各画素に対応した複数の電極が基板の画面表示領域内にパターン状に設けられた光反射性背面電極板と、この背面電極板に対向して配置されかつ透明基板の上記画面表示領域に対応する部位に一様に設けられた透明電極を有する観察者側電極板と、これ等の電極板間に封入された液晶物質とを備え、この液晶物質に対し画素毎に電圧を印加して画面表示する液晶表示装置用の上記観察者側電極板において、
上記透明基板に、透明樹脂とこの透明樹脂中に分散されかつこの透明樹脂と屈折率が異なる微粒子とを主成分とする光散乱層を設けたことを特徴とする液晶表示装置用観察者側電極板。」（特許請求の範囲）と記載され、【００２１】には、「光散乱層は均一な厚みに形成することが望ましい」と記載されている。
　
　同じく、本件出願前に頒布された刊行物である甲第２号証：特開平６−３１３８９０号公報には、反射型液晶表示装置において、金属反射膜上に設けられた光散乱膜が、透明樹脂と、この透明樹脂中に分散されこの透明樹脂とその屈折率が異なる微粉末とで構成されていることが記載されている。
　
　同じく、甲第３号証：特開平４−１１２２０号公報には、液晶表示装置において、凹凸を有する金属膜を設けることにより散乱状態とする反射膜の表面に凹凸を吸収するための平坦化膜を設けることが記載されている。
　
　同じく、甲第４号証：特開昭５６−３７１２４号公報には、透光性合成樹脂シートの表面に顔料と塗料ベースレジンからなる光拡散剤層を形成し、加熱プレスを行って光拡散剤層を合成樹脂シート層内に埋設させ、平滑面とすることが記載されている。
　
　特許異議申立人田中勇の提出した、本件出願前に頒布された刊行物である甲第１号証：特開昭５５−１０６４８５号公報には、反射・透過両用液晶表示装置に関し、透明基板に、樹脂層の中に屈折率の異なる非相容性の他の樹脂を分散させた中間層と光透過性を有する蒸着金属層を配することが記載されている。
　
　同じく、甲第２号証：特開平６−３１３８９０号公報は、株式会社ディスクの提出した甲第２号証と同じ。
　
　同じく、甲第３号証：特開平６−２７４８１号公報には、絵素電極の上表面が連続する波形に形成された反射型アクティブマトリクス基板を用いた液晶表示装置において、対向基板の全面に透明電極（共通電極）を設けることが記載されている。
　
　同じく、甲第４号証：特開平５−３２３３７１号公報には、凹凸を有する絶縁膜上に反射電極を形成した反射型液晶表示装置において、カラーフィルタが形成された基板の全面に透明電極を形成することが記載されている。
　
　同じく、甲第５号証：特開昭５１−１０９７９７号公報には、液晶表示装置の光散乱層として白色粉末などをポリカーボネート樹脂などに分散して塗布することが記載されている。
　
　同じく、甲第６号証：特開昭６０−２９１８号公報には、液晶マルチカラー表示装置において、光散乱用フィルタは、透明樹脂の中に屈折率が樹脂より大きい球状の透明なボールを混在させていることが記載されている。
　
　同じく、甲第７号証：特開平３−１０７８２０号公報には、液晶装置において、光散乱剤として保護膜の基材と適度に屈折率の差が得られる材料を使用することが記載されている。
　
　同じく、甲第８号証：特開昭５３−８３４９７号公報には、液晶表示装置用反射板において、透明物質の中に、それと異なる屈折率を有する粒子と染料とを微量だけ混入することが記載されている。
　
（３）対比・判断
　訂正された本件の請求項１及び２に係る発明（以下「本件発明１及び２」という。）と上記甲各号証に記載の発明とを対比する。
　上記甲各号証には、本件発明１及び２に共通する構成要件である
「紫外光照射によって屈折率を変化させた屈折率分布を有する拡散層」については、何も記載されておらず、示唆もされていない。
　そして、本件発明１及び２は、上記構成要件を具備することにより、光の照射量を変化させることにより屈折率を変化させるので、「作製条件を変化させることにより指向性、散乱性を精度良く制御できる良好な反射拡散板が得られる。また、この反射拡散板を反射型液晶表示装置に用いることで、液晶が良好な配向性を示し、良好なコントラストが得られる。」という明細書に記載された格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１及び２は、上記甲各号証に記載された発明ではなく、また、上記甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
６．むすび
　以上のとおり、特許異議申立の理由及び証拠によっては本件発明１及び２の特許を取り消すことはできない。
　又、他に本件発明１及び２の特許を取り消すべき理由を発見しない。 
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年４月１８日（２００１．４．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　ａ．特許請求の範囲の減縮を目的として、
本件特許明細書の請求項１の１行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」
という記載を添付の訂正明細書の通り、
『面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
という記載に訂正する。
　ｂ．特許請求の範囲の減縮を目的として、
本件特許明細書の請求項２の６〜７行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」
という記載を添付の訂正明細書の通り、
『面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
という記載に訂正する。
　ｃ．明瞭でない記載の釈明を目的として、
本件特許明細書の段落番号００１５の２行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する」
という記載を添付の訂正明細書の通り、訂正後の特許請求の範囲との整合性を取るため、
『面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
という記載に訂正する。
　ｄ．明瞭でない記載の釈明を目的として、
本件特許明細書の段落番号００１６の６〜７行目に記載された
「面内に屈折率分布を有する拡散層を形成したことを特徴とする反射型液晶表示装置。」
という記載を添付の訂正明細書の通り、訂正後の特許請求の範囲との整合性を取るため及び脱字を訂正するため、
『面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
である
という記載に訂正する。
（５４）【発明の名称】
反射拡散板および反射型液晶表示装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　反射層上に、表面がほぼ平坦で面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
　【請求項２】　液晶層を介在して対向配置される一対の基板のうちの少なくともどちらかの基板が透明基板であり、一方の基板上の液晶層側に他方の基板側からの入射光を反射する反射層を形成し、該他方の基板の液晶層側にほぼ全面にわたって透光性を有する共通電極を形成して構成される反射型液晶表示装置において、
　前記一方の基板上の反射層と他方の基板の間に、表面がほぼ平坦で面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、周囲光を反射することによって表示を行う反射型液晶表示装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　反射型液晶表示装置に要求される性能の中で最も重要となるのは、液晶表示装置内に入射した周囲光をいかに効率よく反射させて、表示に有効に活用できるかである。現在、明るい表示を得るために、反射板の凹凸形状を最適化し、その表面に反射膜を設け反射板とし、反射特性に指向性を持たせる方法が、例えば特開平５−３２３３７１号公報に提案されている。
　【０００３】
　以下に、特開平５−３２３３７１号公報に記載された技術を説明する。図１５は、反射型液晶表示装置１３０の断面図であり、図１６は図１５に示される反射板１５２の平面図である。ガラスなどから成る絶縁性の基板１３１上に、クロム、タンタルなどから成る複数のゲートバス配線１３２が互いに平行に設けられ、ゲートバス配線１３２からはゲート電極１３３が分岐している。ゲートバス配線１３２は、走査線として機能している。
　【０００４】
　ゲート電極１３３を覆って基板１３１上の全面に、窒化シリコン（ＳｉＮＸ）、酸化シリコン（ＳｉＯＸ）などから成るゲート絶縁膜１３４が形成されている。ゲート電極１３３の上方のゲート絶縁膜１３４上には、非晶質シリコン（以下、ａ−Ｓｉと記す）、多結晶シリコン、ＣｄＳｅなどから成る半導体層１３５が形成されている。半導体層１３５の両端部には、ａ−Ｓｉなどから成るコンタクト電極１４１が形成されている。一方のコンタクト電極１４１上にはチタン、モリブデン、アルミニウム等から成るソース電極１３６が重畳形成され、他方のコンタクト電極１４１上にはソース電極１３６と同様にチタン、モリブデン、アルミニウムなどから成るドレイン電極１３７が重畳形成されている。
　【０００５】
　図１６に示すようにソース電極１３６には、ゲートバス配線１３２に上記のゲート絶縁膜１３４を挟んで交差するソースバス配線１３９が接続されている。ソースバス配線１３９は、信号線として機能している。ソースバス配線１３９も、ソース電極１３６と同様の金属で形成されている。ゲート電極１３３、ゲート絶縁膜１３４、半導体層１３５、ソース電極１３６およびドレイン電極１３７は、ＴＦＴ１４０を構成し、該ＴＦＴ１４０はスイッチング素子の機能を有する。
　【０００６】
　ゲートバス配線１３２、ソースバス配線１３９およびＴＦＴ１４０を覆って、基板１３１上全面に有機絶縁膜１４２が形成されている。有機絶縁膜１４２の反射電極１３８が形成される領域には先細状で底面部の断面形状が直径３〜２０μｍの凸部が高さＨで、隣接する凸部が１μｍ以上離れて形成されており、ドレイン電極１３７部分にはコンタクトホール１４３が形成されている。有機絶縁膜１４２の形成方法やこれにコンタクトホール１４３を形成する工程上の問題、および液晶表示装置１３０を作成する際のセル厚のばらつきを小さくするため、前記凸部の高さＨは１０μｍ以下が好ましい。有機絶縁膜１４２の円形の凸部１４２ａの形成領域上にアルミニウム、銀などから成る反射電極１３８が形成され、反射電極１３８はコンタクトホール１４３においてドレイン電極１３７と接続される。さらにその上には配向膜１４４が形成される。
　【０００７】
　他方の基板１４５上には、カラーフィルター１４６が形成される。カラーフィルター１４６の基板１３１の反射電極１３８に対向する位置にはマゼンタまたは緑のフィルター１４６ａが形成され、反射電極１３８に対向しない位置にはブラックのフィルター１４６ｂが形成される。カラーフィルター１４６上の全面にはＩＴＯなどから成る透明電極１４７、さらにその上には配向膜１４８が形成される。
　【０００８】
　両基板１３１、１４５は、反射電極１３８とフィルター１４６ａとが一致するように対向して貼り合わせられ、間に液晶１４９が注入されて反射型液晶表示装置１３０が完成する。
　【０００９】
　有機絶縁膜１４２上の凸部の形状は、マスクの形状、ホトレジストの厚さ、ドライエッチングの時間によって制御することができるが、さらに他の有機絶縁膜を塗布してもよい。
　【００１０】
　有機絶縁膜１４２のドライエッチング時間を長くして、種々の半径の円形の凸部１４２ａとのそれぞれの高さＨを１μｍとした基板１３１を得ることができ、高さＨが１μｍである反射電極１３８を有する反射板１５２を基板とする反射型液晶表示装置が得られる。
　【００１１】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来の反射板をドライエッチングやウエットエッチングで作製すると、次のような問題がある。ドライエッチングはエッチング槽内でのガスの流れによるエッチング力の分布ができるため、面内での分布が悪く、均一な形状に制御できなく、またウエットエッチングは全面が液につかっているため、均一な形状に制御するのが困難である。従って、上記従来の反射板では指向性、散乱性を精度良く制御できないという問題がある。
　【００１２】
　また、従来の反射型液晶表示装置では凹凸形状の反射板を液晶層側に作成するとラビングなどの配向処理を行った場合、基板界面の液晶分子が一定方向の傾きをしないため、ディスクリネーションラインが生じ、安定した配向にならないという問題がある。
　【００１３】
　また、液晶層側に凹凸が形成されている基板を用いると、凹部と凸部があるため、画面内で均一なセル厚を達成することができなくなる。これはコントラスト低下、表示画面内でのムラなど表示品位の低下につながるという問題がある。
　【００１４】
　また、反射膜が凹凸表面であると反射電極としてパターニングするとき、凹凸のためにパターニング不良が起こる原因となるという問題がある。
　【００１５】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、反射層上に、表面がほぼ平坦で面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
　【００１６】
　また、本発明は、液晶層を介在して対向配置される一対の基板のうちの少なくともどちらかの基板が透明基板であり、一方の基板上の液晶層側に他方の基板側からの入射光を反射する反射層を形成し、該他方の基板の液晶層側にほぼ全面にわたって透光性を有する共通電極を形成して構成される反射型液晶表示装置において、
　前記一方の基板上の反射層と他方の基板の間に、表面がほぼ平坦で面内に
紫外光照射によって屈折率を変化させた
である
　【００１７】
　【作用】
　本発明の反射拡散板によれば、従来にない良好な指向性を持った反射特性が得られる。
　【００１８】
　また、この反射拡散板を反射型液晶表示装置に適用した場合、液晶層と電極の間に絶縁膜を設けない構造を取ることができるので、ロスのない電圧印加が行われる。
　【００１９】
　また、基板に凹凸を持たせて散乱光を得ているのではなく、平坦な反射拡散板を用いているため、基板界面の液晶分子が一定方向の傾きをし、安定した配向するという理由により、良好な配向状態が得られる。
　【００２０】
　また、反射拡散板の表面が平坦であるため、表示領域で均一なセル厚が得られ、そのため液晶層への均一な電圧印加がなされ、その結果、良好な均一表示と視角特性が得られる。
　【００２１】
　さらに、反射拡散板が平坦な膜であるために各膜のパターニングが良好に行われ、プロセス性に優れた反射型液晶表示装置が得られる。
　【００２２】
　【実施例】
　（実施例１）
　本発明の第１の実施例である反射拡散板およびこれを用いた反射型液晶表示装置について説明する。実施例１である表面がほぼ平坦で屈折率の異なる分布を有する膜を使用した反射拡散板２０の形成工程を図１に示す。
　【００２３】
　まず、図１の（ａ）に示すように、ガラス（コーニング社製７０５９）などから成る絶縁性の基板２１に反射膜２２としてアルミニウムを３００ｎｍの均一な厚さにスパッタリングして形成する。反射膜２２はアルミニウムに限定されるものではなく、Ｔｉ，Ｔａ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｐｔなどの他の金属でもよく、またスパッタ法の他に蒸着などの方法で形成してもよい。また、反射膜の膜厚も光を充分反射する範囲であればよい。この後、アルミニウムをストライプ電極にパターニングし、これを反射電極とする。
　【００２４】
　次に、図１の（ｂ）に示すように、有機材料膜２３ａとして、クロロメタクリレートにドーパントとしてメチルメタクリレートを加えた感光性共重合体と、４重量％のトルエン溶液との混合液を、基板２１上にスピンコートで均一に塗布する。膜厚は好ましくは０．５μｍ〜４μｍがよい。膜厚が０．５μｍより薄ければ膜が形成しにくく、４μｍより厚ければ、膜厚むらが発生する。塗布後、オーブンで６０℃、３０分焼成する。
　【００２５】
　次に、図１の（ｃ）に示すように、所定のフォトマスク２４を介して紫外光（ＵＶ光）２５を照射する。このフォトマスク２４により、紫外光（ＵＶ光）２５が照射した部分と照射しない部分ができるため、上記の有機材料膜２３ｂに屈折率が異なる領域を形成できる。
　【００２６】
　フォトマスク２４としては、上記スピンコーティングにより形成した有機材料膜２３が、一つの画素内ではランダムな屈折率の分布をもち、その画素が多数配列した表示部分全体で均一になるパターンのものを用いた。
　【００２７】
　図２にフォトマスク２４の１例を示す。図２（ａ）のフォトマスク２４は一辺が１００〜２００μｍの方形のＦで示す単位パターンを基準にし、該単位パターンを縦横に繰返し配列している。また、このフォトマスクは図２（ｂ）に示すように鏡面反転を利用して設計したフォトマスクでもよい。
　【００２８】
　さらに、これら以外に、表示部分全体でランダムな屈折率分布になるようなフォトマスクでもよい。
　【００２９】
　また、この実施例ではフォトマスクを一枚使用してランダムな屈折率の分布を形成させたが、複数のマスクを積層して露光を一回させて作製させることも可能であり、複数のマスクを１枚ずつ露光する操作を複数回行って作製させることも可能である。
　【００３０】
　また、光の照射量と屈折率とは、例えば図３に示すような相関関係があり、光の照射量が大きければ、屈折率の変化が大きくなるという結果が得られている。このことにより、光の照射量を変化させることにより屈折率を変化させることが可能である。
　【００３１】
　次に、オーブンで９５℃、５時間の再焼成を行って、図１の（ｄ）に示すように、屈折率が異なる領域を有する有機材料膜２３を形成した反射拡散板２０が完成する。
　【００３２】
　このようにして得られた反射拡散板２０の反射特性の測定方法を図４に示す。反射拡散板２０を実際の液晶表示装置に用いる場合と同じ条件にするために、液晶層とガラス基板の屈折率はいずれも約１．５とほぼ等しいので、反射拡散板２０上に屈折率１．５の紫外線硬化接着樹脂４２を用いてガラス基板４３を密着させて、測定装置４０を作製する。
　【００３３】
　ガラス基板４３の上部には、光の強度を測定するフォトマルチメーター４５が配置されている。フォトマルチメータ４５は、反射拡散板２０に対して入射角θで入射する入射光４４のうち、反射拡散板２０によって測定装置４０の法線方向に反射する散乱光４６を検出するように、反射拡散板２０の法線方向に固定されている。
　【００３４】
　測定装置４０に入射される入射光４４の入射角θを変化させて反射拡散板２０による法線方向の散乱光４６を測定することにより、反射特性が得られる。
　【００３５】
　上述した反射拡散板の製造条件を変化させて、反射特性が異なる反射拡散板を作製し、その反射特性を測定した結果を図５に示す。図５において、入射角θをもって入射する光の反射強度はθ＝０°の線に対する角度θの方向に原点０からの距離として表される。白丸で示す反射特性曲線は標準白色板（酸化マグネシウム）について測定したものである。反射特性３１は指向性の強い反射拡散板を示し、反射特性３３は散乱性の強い反射拡散板を示し、反射特性３２はそれらの中間の反射特性をもつ反射拡散板を示す。例えば、反射特性３３の反射拡散板はθが約±４０°の範囲で標準白色板より反射特性がよく、明るい表示が得られ、周囲光を有効に利用していることがわかる。
　【００３６】
　上記の方法で作製した反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図を図６に示す。反射拡散板側基板５６上には、ポリイミドをスピンコータで塗布した後、焼成することにより配向膜５１を形成する。ガラス（コーニング製７０５９）などから成る絶縁性の対向基板５２に、ＩＴＯ膜（ｉｎｄｉｕｍ　ｔｈｉｎ　ｏｘｓｉｄｅ）５３が膜厚０．１μｍで形成され、ストライプ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対向電極とする。その上に反射拡散板側基板５６と同様の方法で配向膜５１を形成する。上下の両配向膜５１・５１はフェルトでラビング処理を行う。
　【００３７】
　対向基板５２と反射拡散板側基板５６を例えば６μｍのスペーサを混入した接着性のシール材５７を用いてラビング方向が逆向きになるように貼合せ、真空脱気することにより液晶５４（メルク社製：ＺＬＩ２４５９）を注入した後、注入口を樹脂で封止する。次に、光の入射側に位置する対向基板５２の外側に偏光板５５を設置して、反射型液晶表示装置５０が完成する。
　【００３８】
　本反射型液晶表示装置によれば、良好な反射特性が得られ、均一な表示で白表示時に極めて明るく、コントラストも高い見やすい表示が得らる。
　【００３９】
　（実施例２）
　本発明の第２の実施例である反射型液晶表示装置について以下に説明する。実施例２である表面がほぼ平坦で屈折率の異なる分布を有する膜を使用した反射拡散板６０の反射拡散板形成工程を図７に示す。
　【００４０】
　　まず、図７の（ａ）に示すように、実施例１と同様にガラスなどから成る絶縁性の基板６１上に反射膜６２を均一な厚さに形成する。
　【００４１】
　次に、図７の（ｂ）に示すように、有機材料膜６３ａとして、クロロメタクリレートにドーパントとしてメチルメタクリレートを加えた感光性共重合体と、４重量％のトルエン溶液との混合液を、基板６１上にスピンコートで均一に塗布する。塗布後、オーブンで６０℃、３０分焼成する。
　【００４２】
　次に、図７の（ｃ）に示すように、所定のフォトマスク６４を介して紫外光（ＵＶ光）６５を照射する。このフォトマスク６４により、紫外光（ＵＶ光）６５が照射される部分と照射されない部分ができるため、上記の有機材料膜６３ｂに屈折率が異なる領域を形成できる。
　【００４３】
　照射後、オーブンで９５℃、５時間の再焼成を行って、図７の（ｄ）に示すような有機材料膜６３が完成する。その後、ＩＴＯ膜６６を０．１μｍの膜厚で形成し、ストライプ電極として所望の形状にパターニングを行い、これを反射電極６６とする反射拡散板６０が完成する。
　【００４４】
　この構造にすることで、絶縁層による電圧ロスがなく、液晶層に有効に電圧印加することが可能になる。
　【００４５】
　上記の方法で作成した反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図を図８に示す。反射拡散板側基板７６上には、ポリイミドをスピンコータで塗布した後、焼成することにより配向膜７１を形成する。ガラス（コーニング製７０５９）などから成る絶縁性の対向基板７２に、ＩＴＯ膜（ｉｎｄｉｕｍ　ｔｈｉｎ　ｏｘｓｉｄｅ）７３が膜厚０．１μｍで形成され、ストライプ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対向電極とする。その上に反射拡散板側基板７６と同様の方法で配向膜７１を形成する。上下の両配向膜７１、７１はフェルトでラビング処理を行う。
　【００４６】
　対向基板７２と反射拡散板側基板７６を例えば６μｍのスペーサを混入した接着性のシール材７７を用いてラビング方向が逆向きになるように貼合せ、真空脱気することにより液晶７４（メルク社製：ＺＬＩ２４５９）を注入した後、注入口を樹脂で封止する。次に、光の入射側に位置する対向基板７２の外側に偏光板７５を設置して、反射型液晶表示装置７０が完成する。
　【００４７】
　本実施例の反射型液晶表示装置によれば、良好な反射特性が得られ、かつ、低電圧駆動が可能で明るい高コントラストな反射型液晶表示が可能となる。
　【００４８】
　（実施例３）
　本発明の第３の実施例である反射拡散板およびこれを用いた反射型液晶表示装置について説明する。実施例３である表面がほぼ平坦で屈折率の異なる分布を有する膜を使用した反射拡散板８０の形成工程を図９に示す。
　【００４９】
　まず、図９の（ａ）に示すように、ガラス（コーニング社製７０５９）などから成る絶縁性の基板８１に反射膜８２としてアルミニウムを３００ｎｍの均一な厚さにスパッタリングして形成する。反射膜８２はアルミニウムに限定されるものではなく、Ｔｉ，Ｔａ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｐｔなどの他の金属でもよく、またスパッタ法の他に蒸着などの方法で形成してもよい。また、反射膜の膜厚も光を充分反射する範囲であればよい。この後、アルミニウムをストライプ電極にパターニングし、これを反射電極とする。
　【００５０】
　次に、図９の（ｂ）に示すように、有機材料膜８３として、ポリイミド樹脂（大日本インキ社製ＨＮＡ−１０１）とアクリル系樹脂（日東電工製Ｔｄ−１１）を混合したものを上記アルミ反射電極８２上にスピンコートで均一に塗布する。その混合する樹脂の屈折率は波長６００ｎｍでそれぞれ１．３７と１．５９であり、この屈折率の違いにより、光の拡散効果が生じる。
　【００５１】
　このとき、樹脂の違いによる屈折率の差を変化させるか、あるいは膜厚を変化させることにより、光の拡散強度を制御することが可能である。屈折率差により透過率がどのような変化するのかを図１０に示す。図１０により、屈折率差が０．１より小さければほとんどの光が透過してしまい、屈折率差が０．１以上であれば光の散乱度が高くなっているのがわかる。よって、屈折率の差は好ましくは０．１以上あればよい。有機材料膜８３の膜厚は好ましくは０．５μｍ〜１０μｍがよい。膜厚が０．５μｍより薄ければ膜が形成しにくく、１０μｍより厚ければ、電圧降下が問題となる。その場合には、有機材料膜８３上にＩＴＯ膜を形成し、これを表示電極とすることにより、電圧降下の問題を回避できる。
　【００５２】
　また、実施例３では、有機材料膜８３として屈折率が異なる絶縁性の樹脂を２種類混合したが、屈折率の異なる絶縁性の樹脂を少なくとも２種類以上混合したものでもよい。
　【００５３】
　また、樹脂の種類としては、本実施例３で使用したポリイミド樹脂やアクリル系樹脂に限定されるものではなく、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂などでもよい。
　【００５４】
　また、有機材料膜８３である光拡散層は必ずしも反射板８２上に設ける必要はなく、上部基板に設けても同様の効果が得られ、上部基板電極の下に、設けた場合にも、有機材料膜８３である光拡散層による電圧降下を防ぐことができる。
　【００５５】
　このようにして得られた反射拡散板８０の反射特性の測定方法を図１１に示す。反射拡散板８０を実際の液晶表示装置に用いる場合と同じ条件にするために、液晶層とガラス基板の屈折率はいずれも約１．５とほぼ等しいので、反射拡散板８０上に屈折率１．５の紫外線硬化接着樹脂８４を用いてガラス基板８５を密着させて、測定装置８９を作製する。
　【００５６】
　ガラス基板８５の上部には、光の強度を測定するフォトマルチメーター４５が配置されている。フォトマルチメータ４５は、反射拡散板８０に対して入射角θで入射する入射光４４のうち、反射拡散板８０によって測定装置８９の法線方向に反射する散乱光４６を検出するように、反射拡散板８０の法線方向に固定されている。
　【００５７】
　測定装置８９に入射される入射光４４の入射角θを変化させて反射拡散板８０による法線方向の散乱光４６を測定することにより、反射特性が得られる。
　【００５８】
　上述した反射拡散板の製造条件を変化させて、反射特性が異なる反射拡散板を作製し、その反射特性を測定した結果を図１２に示す。図１２において、入射角θをもって入射する光の反射強度はθ＝０°の線に対する角度θの方向に原点０からの距離として表される。白丸で示す反射特性曲線は標準白色板（酸化マグネシウム）について測定したものである。反射特性８６は指向性の強い反射拡散板を示し、反射特性８８は散乱性の強い反射拡散板を示し、反射特性８６はそれらの中間の反射特性をもつ反射拡散板を示す。例えば、反射特性８８の反射拡散板はθが約±４０°の範囲で標準白色板より反射特性がよく、明るい表示が得られ、周囲光を有効に利用していることがわかる。
　【００５９】
　上記の方法で作製した反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図を図１３に示す。反射拡散板側基板９６上には、ポリイミドをスピンコータで塗布した後、焼成することにより配向膜９１を形成する。ガラス（コーニング製７０５９）などから成る絶縁性の対向基板９２に、ＩＴＯ膜（ｉｎｄｉｕｍ　ｔｈｉｎ　ｏｘｓｉｄｅ）９３が膜厚０．１μｍで形成され、ストライプ電極として所望の形状にパターニングされ、これを対向電極とする。その上に反射拡散板側基板９６と同様の方法で配向膜９１を形成する。上下の両配向膜９１・９１はフェルトでラビング処理を行う。
　【００６０】
　対向基板５２と反射拡散板側基板５６を例えば６μｍのスペーサを混入した接着性のシール材９７をスクリーン印刷して、ラビング方向が左２４０°ツイストになるように貼合せ、真空脱気することにより、カイラル剤（メルク社製：Ｓ−８１１）を混入した液晶９４（メルク社製：ＺＬＩ４４２７）を注入した後、注入口を樹脂で封止する。この液晶層のリタデーション値は６７６ｎｍである。
　【００６１】
　次に、光の入射側に位置する対向基板９２の外側にリタデーション値が４００ｎｍの位相差板９５と偏光板９８を設置し、反射型液晶表示装置９０が完成する。このとき、偏光板９８の偏光軸と光の入射側基板のラビング方向との成す角を反時計回りに１０°に設定し、また位相差板の遅相軸と光の入射側基板のラビング方向との成す角度を直交するように設定している。
　【００６２】
　このようにして作製した本反射型液晶表示装置９０と従来の凹凸付きの反射板を用いた反射型液晶表示装置の電気光学特性を測定した結果を図１４に示す。図１４において、電気光学特性１０１は本発明の反射型液晶表示装置９０の特性を示し、電気光学特性１０２は従来の凹凸付きの反射板を用いた反射型液晶表示装置の特性を示している。図１４より、電気光学特性の急峻性が向上し、反射率の範囲も広くなっていることがわかる。
　【００６３】
　本反射型液晶表示装置によれば、反射板の凹凸がない構造のため、電気光学特性の急峻性が向上し、その結果、表示コントラスト比を改善することができる。さらに、白表示に極めて明るく、コントラストも高い見やすい表示が得られる。
　また、本実施例では反射板として、鏡面反射板を利用したが、散乱性の反射板を用いてもよく、これを用いた場合はさらに散乱効果が顕著になる。
　【００６４】
　また、本実施例では配向膜に屈折率の異なる微粒子あるいは樹脂を配向膜の機能を損なわない程度に混入することにより、有機材料膜である光拡散層と配向膜を１つの層で構成することにより、プロセスの簡略化が実現できる。
　【００６５】
　なお、本実施例では偏光板付きの反射型ＳＴＮモードを例に説明したが、表面に凹凸があることで配向に影響のあるモード、例えばゲストホストモードのような光吸収モード、高分子分散型液晶表示装置のような光散乱モード、強誘電型液晶表示装置で使用される複屈折表示モードなどのいずれにも適用可能である。
　【００６６】
　また、スイッチング素子としてＴＦＴ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）、ＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ　Ｍｅｔａｌ）、ダイオード、バリスタ等を用いたアクティブマトリクス基板にも適用することができる。
　また、カラーフィルターや各種色素を組合せることでカラー表示への適用も可能である。
　【００６７】
　【発明の効果】
　以上のように、本発明によれば、作製条件を変化させることにより指向性、散乱性を精度良く制御できる良好な反射拡散板が得られる。
　【００６８】
　また、この反射拡散板を反射型液晶表示装置に用いることで、液晶が良好な配向性を有し、良好なコントラトが得られる。
　【００６９】
　さらに、良好な反射電極のパターニング性が得られ、液晶表示装置の低電圧化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　図１は実施例１の反射拡散板の断面および形成工程を示す図である。
　【図２】
　図２はフォトマスクの１例を示す図である。
　【図３】
　図３は光の照射量と屈折率の変化量の特性を示す図である。
　【図４】
　図４は実施例１の反射拡散板の反射特性測定法を示す図である。
　【図５】
　図５は実施例１の反射拡散板の反射特性を示す図である。
　【図６】
　図６は実施例１の反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図である。
　【図７】
　図７は実施例２の反射拡散板の形成工程を示す図である。
　【図８】
　図８は実施例２の反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図である。
　【図９】
　図９は実施例３の反射拡散板の断面および形成工程を示す図である。
　【図１０】
　図１０は屈折率差と透過率の光学特性を示す図である。
　【図１１】
　図１１は実施例３の反射拡散板の反射特性測定法を示す図である。
　【図１２】
　図１２は実施例３の反射拡散板の反射特性を示す図である。
　【図１３】
　図１３は実施例３の反射拡散板を用いた反射型液晶表示装置の断面図である。
　【図１４】
　図１４は反射型液晶表示装置の電気光学特性を示す図である。
　【図１５】
　図１５は従来技術である反射型液晶表示装置の断面図である。
　【図１６】
　図１６は図１５に示されている基板の平面図である。
　【符号の説明】
　２０，６０，８０　反射拡散板
　２１，４３，６１，８１，１３１，１４５　基板
　２２，６２，８２　反射膜
　２３，６３，８３　有機材料膜
　２４，６４　フォトマスク
　２５，６５　紫外光（ＵＶ光）
　３１，３２，３３，８６，８７，８８　反射拡散板の反射特性の特性曲線
　４０，８９　測定装置
　４２，８４　屈折率１．５の紫外線硬化接着樹脂
　４５　フォトマルチメーター
　４４　入射光
　４６　散乱光
　５０，７０，９０，１３０　反射型液晶表示装置
　５１，７１，９１，１４４，１４８　配向膜
　５２，７２，９２　対向基板
　５３，７３　９３　ＩＴＯ
　５４，７４　９４　液晶
　５５，７５，９８　偏光板
　５６，７６，９６　反射拡散板側基板
　５７，７７，９７　シール材
　６６，９３，ＩＴＯ膜
　９５　位相差板
　１０１　実施例３の反射型液晶表示装置の電気光学特性
　１０２　従来の反射型液晶表示装置の電気光学特性
　１３８　反射電極
　１４０　ＴＦＴ
　１４２　有機絶縁膜
　１４２ａ　円形の凸部
　１４６　カラーフィルター
　１５２　反射板