【事件の表示】
　特許第２９８１２１０号「磁気軸受け支持ファンを有するエキシマレーザ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９８１２１０号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９８１２１０号の請求項１に係る発明は、平成１０年７月１３日(パリ条約による優先権主張１９９７年７月１１日、米国)に特許出願され、平成１１年９月１７日にその特許権の設定登録がされ、その後異議申立人小松製作所により特許異議の申立がなされ、取消の理由が通知され、その指定期間内に特許異議意見書が提出されたものである。
　
２．特許異議の申立の概要
　申立人株式会社小松製作所は、下記の甲第１から６号証を提出し、請求項１に係る発明の特許は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて、また、甲第１号証に記載された発明及び甲第３号証にから甲第６号証に示されるような周知慣用技術に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
　甲第１号証：米国特許第５，０２３，８８４号明細書
　甲第２号証： G.Schweitzer,「Magnetic　Bearinngs　Proceedinngs　of　the　First　International　Symposium　ETH　Zurich,　Switzerland,　June　6-8,　1988」，　Springer-Verlag,　1989,p.59-66
　甲第３号証：特開平３−１５００４２号公報
　甲第４号証：「磁気軸受を用いて非回転要素を腐食性液体から完全に隔離したシールドポンプ」，機械設計，株式会社日刊工業新聞社，平成２年５月１日，第３４巻，第６号，p.118
　甲第５号証：Joseph Imlach et. al.,「Testing of a Magnetic Bearing　Equipped Canned Motor Pump for Installation in the Field」,PROCEEDINGS OF THE SECOND INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON　MAGNETIC BEARINGS SEIKEN SYMPOSIUM JULY 12-14,1990 TOKYO JAPAN ,平成３年１０月９日国立国会図書館受け入れ,p.39-45
　甲第６号証：John Sears et. al.,「MAGNETIC BEARING OPERATING  EXPERIENCE」,23RD TURBOMACHINERY SYNPOSIUM PROCEEDINGS,平成７年７月２０日国立国会図書館受け入れ,p.235-242
　
３．本件発明
　本件の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるものである。
「Ａ．　内部レーザキャビティを形成する壁を有するハウジング構造、
　Ｂ．　レーザキャビティ内に位置した、レーザ作用の可能なガス、
　Ｃ．　レーザキャビティ内に位置し、間に電気放電領域を形成する一対の間隔を隔てた細長い電極、前記電気放電領域は、該放電領域内のガスを、電極間の電気放電に従ってレーザ作用まで励起し、
　Ｄ．　レーザキャビティ内に位置したシャフトを有し、ガスを放電領域を通して循環させるためのファン、
　Ｅ．　ステータと、ファンに回転を与えるためのロータとを有するブラシレス直流モータ、
　Ｆ．　各々、ステータと、ロータと、位置センサーとを有し、半径方向支持を前記シャフトに与えるための、少なくとも２つの磁気軸受け、
　Ｇ．　前記モータのロータ及び前記少なくとも２つの磁気軸受けのロータは各々前記シャフトに直接又は間接的に連結され、
　Ｈ．　前記ロータと前記ステータとの間に介在され、前記ロータを包囲する少なくとも１つの密封部材、前記密封部材は、前記ロータをガス環境内に効果的に密封させ、ステータをガス環境の外に置くためにハウジング構造に対して密封される、電気放電ガスレーザ。」
　なお、上記構成要件Ｃの「該放電領域内なの」及び構成要件Ｆの「２つ磁気軸受け」は、前後の記載等からみて明らかな誤記と認められるので、上記のとおり認定した。
　
４．引用刊行物記載の発明
　当審が通知した取消理由通知において引用した刊行物１：米国特許第５，０２３，８８４号明細書（異議申立人の提出した甲第１号証）第１０欄第５１行〜第１１欄１２行及びＦｉｇ．１の記載によれば、
「内部レーザキャビティを形成する複数の壁を有するハウジング構造、
　レーザキャビティ内に位置した、レーザ作用の可能なガス、
　レーザキャビティ内に位置し、間に電気放電領域を形成する一対の間隔を隔てた細長い電極、前記電気放電領域は、該放電領域内のガスを、電極間の電気放電に従ってレーザ作用まで励起し、
　前記一対の電極のうち一方は、前記キャビティ内の中央位置に沿って配置されており、前記ハウジング構造に接地されており、
　前記一対の電極のうち他方は、前記ハウジング構造の壁の一つに隣接して配置されており、
　レーザキャビティ内に位置した、ガスを放電領域を通して循環させるための回転ファン、
　ファンに回転を与えるための、ファンに連結されたブラシレス直流モータ、
　前記ファンは軸を有し、前記ブラシレス直流モータはロータとステータにより形成され、前記ロータは前記ファン軸に連結され、
　さらに前記ローターとステータとの間に介在するロータを包囲する密封部材を含み、
　前記密封部材は前記ハウジング構造に密封され、前記ロータを効果的に前記ガス環境内に、そして前記ステータを前記ガス環境外に置き、前記ハウジング構造を通したモータ駆動のための回転シールを不要とするようにしたコンパクトなエキシマレーザー。」の発明が開示されている。 
 　
　同じく、刊行物２： G.Schweitzer,「Magnetic　Bearinngs　Proceedinngs　of　the　First　International　Symposium　ETH　Zurich,　Switzerland,　June　6-8,　1988」，　Springer-Verlag,　1989,p.59-66（甲第２号証）には、
「要約
　真空遠心分離機を説明する。それは、長い垂直のロータからなっており、そのロータは上端部において真空タンクの内部に電磁的に保持されている。その設計は、完全に清浄な真空レシピエントの要件を充足するようになされている。その遠心分離機をシリコン多層の液相エピタキシへの応用を説明する実験を検討する。
　序
　高品質のエピタクシ半導体層の生産をするためには、極端に清浄な条件が要求される。不純物や異原子は、僅かな痕跡程度であっても、基板上の新しい結晶材料の一様な成長を阻害し得る上、よって多層の必要とされる構造的完璧さを傷つける。加えるに、不純物はエピタキシャル層の電気的、光学的特性を変えてしまうかもしれない。
　液相エピタクシ（ＬＰＥ）は、基板に液が短時間とどまるようにする結晶成長システムを必要とする。それ故、回転るつぼ内の遠心力による溶液の移送は有利である。溶液の短時間の滞留は、基板上の望ましい薄い結晶層の成長を確かなものとする。従来型の回転運動用軸受けを備える成長システムでは、光学的材料特性の品質と一様性、及び成長結果の再現性は、潤滑剤で汚染されたり、あるいは摩耗等によって、損害を受ける。
　磁気軸受けは、そのような困難性を回避する独特の機会を提供する。以下説明する真空遠心分離機は、磁気軸受けを使っており、液相エピタクシの全ての要件を充足する。」（５９頁上段〜６０頁３行）と記載され、Ｆｉｇ．１の説明には、「ロータの非接触磁気軸受け保持機構付きＬＰＥ遠心分離機、長手方向断面図。軸受けセンサ面の位置ａ，ｂ，ｃとｄは、ｘ（ｃ＝０）における重心から測定する。面はｚ軸に直角である。」と記載され、Ｆｉｇ．１には、真空タンクで包囲された垂直方向に描かれたロータの軸に沿って、上方から半径方向センサｄ、半径方向軸受けｂ、誘導モータ、半径方向軸受けａ、軸方向軸受け、半径方向センサｃ、軸方向センサ、がこの順で配列され、前記誘導モータのロータ及び半径方向軸受けａ，ｂのロータは前記ロータ軸に連結されている点が示されている。
　さらに、６０頁下から３行〜６１頁６行には、
「Ｆｉｇ．１は、真空エピタクシ遠心分離機の長手方向断面を示す。エピタクシるつぼは、垂直な軸の下端に搭載されている。ロータの上端は、薄壁の真空タンク内部の非接触電磁保持機構の一部を構成している。軸受け磁石とロータ駆動（ｒｏｔｏｒ　ｄｒｉｖｅ）は、タンクの外部にある。タンクの上部は、ロータを囲んでおり、ステンレス鋼からなっている。・・・」と記載されている。
　上記によれば、刊行物２には、
「真空エピタクシ遠心分離機において、潤滑剤や摩耗等による汚染、損害を防止するために、回転運動用軸受けに代え、磁気軸受けを用いるものであって、
　真空タンクの内部に、上端が電磁的に保持されているロータと、
　前記真空タンクの外部にあり、前記ロータの軸に沿って、上方から半径方向センサｄ、半径方向軸受けｂの磁石、誘導モータのロータ駆動、半径方向軸受けａの磁石、軸方向軸受け、半径方向センサｃ、軸方向センサ、がこの順で配列され、
　前記誘導モータのロータ及び２つの半径方向軸受けａ，ｂのロータは、前記ロータの軸に連結され、前記真空タンクの壁により、半径方向軸受けａ、ｂの磁石及び誘導モータのロータ駆動から隔絶されている、ロータの非接触磁気軸受け保持機構。」の発明が開示されている。
　
 同じく、刊行物３：特開平３−１５００４２号公報（甲第３号証）には、
「駆動用コイルへの通電によって励磁される駆動用磁極が形成されたモータステータと、
　該モータステータの磁極面に対して僅かのすきまを隔てて面対向に配設されると共に磁気軸受を介して回転自在に支承されたモータロータと、
　該モータロータの変位を測定する変位検出手段とを備え、
　前記モータステータの外面に非磁性金属隔壁を気密に固着して、前記モータステータの磁極と磁気軸受の磁極と変位検出手段の磁極との収納空間を密閉し、モータロータ側空間とは隔絶したことを特徴とする密閉型アクチュエータ。」（特許請求の範囲の請求項１）
「本発明は、超高真空雰囲気中などの微量の汚染物質や不純物ガスも許容されない雰囲気中や、腐食性ガス雰囲気中のようにモータの磁極やコイルが腐食されてしまうような環境中で用いるのに好適な密閉型アクチュエータに関する。」（１頁左下欄１９行〜右下欄３行）、
「モータロータを支承する軸受として、非接触型の磁気軸受を使用することにより、軸受潤滑が不要となり摩耗による寿命の短縮とか、軸受交換等の作業による稼働効率の低下が解消される。また、接触型軸受にみられる発塵による汚染もない。」（３頁右上欄６〜１０行）と記載されている。
　
５．対比・判断
　本件発明と刊行物１記載の発明（以下、「引用発明１」という。）とを対比する。
　先ず、本件発明の構成要件Ｈにおける、「前記ロータ」は、本件特許明細書の【０００４】【問題点を解決するための手段】等の記載からみて、構成要件Ｇの「モータのロータ及び少なくとも２つの軸受けのロータ」を意味するものと解される。
　そして、引用発明１の「エキシマレーザー」は、本件発明の「電気放電ガスレーザ」に相当するから、両者は、
「内部レーザキャビティを形成する壁を有するハウジング構造、
　レーザキャビティ内に位置した、レーザ作用の可能なガス、
　レーザキャビティ内に位置し、間に電気放電領域を形成する一対の間隔を隔てた細長い電極、前記電気放電領域は、該放電領域内のガスを、電極間の電気放電に従ってレーザ作用まで励起し、
　レーザキャビティ内に位置したシャフトを有し、ガスを放電領域を通して循環させるためのファン、
　ステータと、ファンに回転を与えるためのロータとを有するブラシレス直流モータ、
　半径方向支持を前記シャフトに与えるための軸受け、
　前記モータのロータと前記ステータとの間に介在され、前記モータのロータを包囲する少なくとも１つの密封部材、前記密封部材は、前記モータのロータをガス環境内に効果的に密封させ、ステータをガス環境の外に置くためにハウジング構造に対して密封される、電気放電ガスレーザ。」で一致し、下記の点で相違する。
　相違点１；本件発明は、軸受けが、各々、ステータと、モータと、位置センサーとを有し、半径方向支持を前記シャフトに与えるための、少なくとも２つ磁気軸受けであるのに対し、引用発明１は、そのような構成を有しない点、
　相違点２；本件発明では、モータのロータ及び少なくとも２つの磁気軸受けのロータは各々前記シャフトに直接又は間接的に連結されているのに対し、引用発明１では、そのような構成を有しない点、
　相違点３；本件発明では、モータのロータ及び少なくとも２つの軸受けのロータとステータとの間に介在される密封部材は、前記ロータをガス環境内に効果的に密封させるのに対し、引用発明１では、モータのロータをガス環境内に効果的に密封させるものの、軸受けは密封されない点。
　
　上記相違点につき検討する。
　先ず、磁気軸受けは、ポンプ、電動機、大型産業用ファン、タービンエンジンなど種々の分野で用いられることが従来周知であり、特に、汚染物質や不純物ガスも許されない雰囲気や、腐食性ガス雰囲気中のようにモータの磁極やコイルが腐食されてしまうような環境中で、従来型の軸受けに代え、磁気軸受けを用いることは、刊行物２及び３に記載されているように従来周知の事項である。
　
［相違点１及び２について］
　本件発明と刊行物２記載の発明（以下、「引用発明２」という。）を対比すると、引用発明２の「ロータの軸」、「半径方向センサ、軸方向センサ」、「誘導モータ」、「ロータ駆動及び半径方向軸受けの磁石」、「半径方向軸受け」は、本件発明の「シャフト」、「位置センサー」、「モータ」、「ステータ」、「磁気軸受け」に各々相当し、引用発明２の半径方向軸受けが半径方向支持をロータの軸に与えることは明らかである。
　よって、引用発明２には、本件発明の構成要件である
「Ｆ．　各々、ステータと、ロータと、位置センサーとを有し、半径方向支持を前記シャフトに与えるための、少なくとも２つの磁気軸受け、」及び
「Ｇ．　前記モータのロータ及び前記少なくとも２つの磁気軸受けのロータは各々前記シャフトに直接又は間接的に連結され、」
の構成（相違点１及び２の構成）が備わっている。
　もっとも、引用発明２は、真空エピタクシ遠心分離機に関するもので、本件発明の電気ガス放電レーザとはその属する技術分野が異なるように見える。しかし、両者は、特殊な環境、雰囲気中で用いられる磁気軸受けに関するものである点で共通の技術分野に属し、しかも、引用発明２は、前掲のとおり、潤滑剤や摩耗等による汚染、損害を防止することを課題とし、その課題を、回転運動用軸受けに代えて磁気軸受けを用いることで解決している点で、本件発明と共通している。
　したがって、本件発明と同一技術分野に属する引用発明１に、引用発明２の磁気軸受け及びそのロータに関する技術を適用することは当業者が容易に想到し得たものである。
　
［相違点３について］
　引用発明２において、「誘導モータのロータ及び２つの半径方向軸受けのロータ」（ロータ）は真空タンクの内部に、「半径方向軸受けａ、ｂの磁石及び誘導モータのロータ駆動」（ステータ）は、真空タンクの外部に設けられているのであるから、真空タンクは、両者の間に介在され、前記ロータを包囲する密封部材を構成しているということができる。
　もっとも、引用発明２のロータは真空タンク内に密封されるものであり、本件発明のようにガス環境内に効果的に密封されるものではないが、引用発明１の密封部材が、ロータを効果的にガス環境内に、そしてステータをガス環境外に置くものである以上、引用発明１の軸受けに代え、引用発明２の磁気軸受けを採用する際、磁気軸受けのロータをモーターのロータと共にガス環境内に効果的に密封させることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　そして、本件発明によってもたらされる「先行技術の玉軸受けて支持されたファンと比較して本発明発明は多くの利点を有する。軸受けの寿命が相当に増す。ロータ位置の磁石軸受けの有効制御は振動を実質的に除去する。潤滑汚染問題が除去される。ファンの入念な平衡の必要性が回避される。」という明細書に記載された効果は、引用発明１，２及び従来周知の技術から予測しうるものであり、格別とは言えない。なお、磁気軸受けにより振動が少なくなることも良く知られているところである。（例、特開平１−２０５５８４号公報、特開平８−３４０１４０号公報参照。）
　
６．むすび
　以上のとおり、本件発明は上記刊行物１，２に記載された発明及び従来周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年６月１２日（２００１．６．１２）