【事件の表示】
　特許第２８３５８６８号「インゴット運搬方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８３５８６８号の特許を維持する。
【理　由】
１手続の経緯
  本件特許第２８３５８６８号の請求項１に係る発明についての出願は、平成２年６月６日に特許出願され、平成１０年１０月９日にその特許の設定登録がなされ、平成１０年１２月１４日にその特許掲載公報が発行されたものである。
　これに対して、特許異議申立人西塚保遠より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月１０日に訂正請求がなされ、その後、特許異議申立人に対し上記訂正請求に関し審尋がなされたが何ら回答がなされなかったものである。
２訂正の適否
２−１訂正の内容
  本件訂正請求書における訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正しようとするものである。
  すなわち、
（１）訂正事項ａ
　請求項１の「インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬することを特徴とするインゴット運搬方法。」を「インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬し、しかも、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にすることを特徴とするインゴット運搬方法。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の「・・・処理台５０に運搬する。」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第１９行）の次に改行して「インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にする。」を挿入する。
２−２訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、インゴットの運搬状態を限定するものであり、この訂正事項は特許明細書に記載されているから（本件特許掲載公報第３頁第５欄第１５〜２０行）、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当し、実質上特許請求の範囲を拡張し、変更するものではなく、新規事項の追加にも該当しない。
　また、上記訂正事項ｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とする上記訂正事項ａの訂正に伴うものであり、減縮された請求項１の記載と明細書の記載を整合させるために明りょうでない記載の釈明を行うことを目的とする訂正に該当する。
２−３独立特許要件
（１）訂正発明
  本件訂正明細書の請求項１に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである（以下、訂正発明という。）。
「【請求項１】インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬し、しかも、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にすることを特徴とするインゴット運搬方法。」
（２）取消理由通知の内容
　当審で通知した取消理由通知の概要は次のとおりである。
「請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明であるか、刊行物１、２に記載された発明に基いて当業者が容易に想到し得るものであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号、第２項に違反してされたものである。」
（３）刊行物の記載内容
　刊行物１（特公昭６０−４１０３８号公報）には、結晶成長炉からの結晶の処理装置及び処理方法に関し次の事項が記載されている。
（ａ）「本発明は結晶成長炉からの結晶を処理するための装置及び方法に関するものであり、特に、手動でない機械的手段を用いて、先行技術による結晶の手動処理と関連した問題を回避しながら、結晶成長炉の結晶成長チャンバからの結晶を有効に移動させるためのシステム及び方法に関するものである。」（第４頁第７欄第４２行〜第８欄第４行）
（ｂ）「この方法では、一且、結晶インゴットが成長され、上部結晶成長チャンバに引き入れられると、下部チャンバを密閉するため真空の分離バルブが閉じられ、次に上部円筒形チャンバが大気に対し開かれる。上部受容チャンバの結晶が分離バルブから離されることをオペレータが確認し得るように、石英の窓のようなポートが上部チャンバに与えられる。一且、成長した結晶が受容チャンバ内に入ると、上部チャンバの基部に滑動するように挿入された特別なロクックピンのような保持手段が始動される。次に上部チャンバ中の依然熱い結晶は引上げヘッド装置によりロックピン保持手段上に下げられる。次に上部チャンバは大気圧にさらされ、分離バルブから機械的に離され、炉の下部チャンバからアセンブリを持上げるためデリツク又はホイスト手段が用いられる。保持された結晶を確実に中に含有する上部チャンバは次に炉の一側に動かされる。下部結晶受容チヤンバを含む結晶受容カートはその側面位置で上部チヤンバの下に配慮されており、カート中の受容チューブ又はチャンバは上部結晶チャンバの底に接続されている。次にエレベータ装置は上部チャンバの底部を介してプラットフオームを持上げ、結晶の底部を係合させ、その後ロックピン又は保持手段が引っ込められ、これにより結晶インゴットの重量が保持手段から離れ、エレベータプラットフオームに移されることが可能になる。次にプラットフオーム上の結晶がカート上の結晶受容チューブに降下することを可能にするためエレベータ装置が始動される。エレベータ装置は結晶が下部受容チャンバにゆっくりと下ろされることを可能にし、従って種子が依然完全であるかどうかには無関係に、結晶が突然落下したり、破損したりすることはない。下部結晶受容チャンバ内に確保された結晶を含有するカートは車輪で動かされ得、処理のため或いは使用のため結晶成長炉部分から移動され得る。」（第４頁第８欄第４０行〜第５頁第９欄第３２行）
　同じく刊行物２（米国特許第４５２３９７２号明細書）には、結晶インゴットの取り扱い方法と装置（訳文、以下同じ。）に関し、次の事項が記載されている。
（ｃ）「本発明は、結晶成長炉の側部開□を通したインゴットの搬出に効果的なインゴットの取り扱いについての有利な装置及び方法を提供する。本発明によれば、片持ち式のインゴット支持体は、横方向に移動可能な少なくとも一対の把持片と、把持片の下に距離調節が可能に吊り下げられたベースサポートとからなる。好ましい実施形態においては、ベースサポートは垂直方向の力成分、即ちインゴットの重量に抗し、把持片は炉からインゴットを取り出す際のインゴットの方向を制御するための十分な横方向の力成分をインゴットの側面に作用させる。」（第２欄第４５〜５３行）
（４）対比・判断
　上記（ａ）、（ｂ）の記載から、上記刊行物１には「結晶成長炉により製造された結晶インゴットを上部チャンバ内で、引上げヘッド装置でロックピン保持手段上に下げ、ホイスト手段により、上部チャンバを炉の一側に動かし、その下に配置されていたカートの下部結晶受容チャンバを上部チャンバの底に接続し、エレベータ装置によりプラットフオームを持ち上げ、ロックピンを引っ込めることによりプラットフオーム上に結晶インゴットを移し、エレベータ装置によりプラットフオームを下げることにより、結晶インゴットをカート上の下部結晶受容チャンバ内に確保し、その後カートにより炉部分から移動させる方法。」という発明が記載されていると云える（以下、刊行物１発明という。）。
  訂正発明と刊行物１発明とを対比すると、
刊行物１発明の「炉の一側」、「カート」は、それぞれ訂正発明の「第１の位置」、「インゴット運搬装置」に相当し、加えて刊行物１発明において、「結晶インゴットを上部チャンバ内で、引上げヘッド装置でロックピン保持手段上に下げ」ることは支持手段により垂直に支持していることであり、また「プラットフオーム上に結晶インゴットを移す」ことはインゴットと支持手段とを分離することであり、さらに「炉部分から移動させる」ことは第２の位置に運搬することであるから、両者は「インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬することを特徴とするインゴット運搬方法。」で一致するが、訂正発明では、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にしているのに対して、刊行物１発明ではその点が触れられていない点で相違する。
　したがって、インゴットの運搬状態が水平であるという点で、訂正発明は刊行物１に記載された発明であるとすることはできない。
　また、刊行物２にも、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にすることについて記載も示唆もされていない。
　そして、訂正発明は、従来垂直に吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬して作業台に水平に載せていたものが、近年半導体ウエーハの大口径化に伴い、シリコンインゴットが重くなり、長くなり、高温でもあることから作業員の力により垂直状態から水平にして運搬するのが不可能となってきたという課題（訂正明細書第１頁第２０行〜第２頁第８行参照）を解決し、明細書記載の「簡単かつ安全にインゴットに損傷を与えず次の段階に運搬できる。」（訂正明細書第７頁第１４〜１６行）という効果を奏する。
　したがって、訂正発明は刊行物１発明に基いて当業者が容易に想到し得るものであるとすることはできない。
  以上のとおり、 訂正後の請求項１に係る発明は特許出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
２−４まとめ
　したがって、上記訂正は、、特許法第１２０条の４第２項及び第３項において準用する特許法第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３特許異議申立てについて
３−１申立ての理由の概要
  特許異議申立人は、証拠方法として甲第１、２号証を提出し、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、甲第１、２号証に記載された発明に基いて当業者が容易に想到し得るものであり、特許法第２９条第１項第３号、第２項の規定にそれぞれ違反してされたものであるから、取り消されるべきものである旨主張している。
３−２甲号各証の記載内容
  甲第１、２号証は、上記刊行物１、２と同じ。
３−３本件発明
  本件請求項１に係る発明は、上記２−３（１）において摘記したとおりのものである。
３−４判断
　上記２−３（４）で述べたとおりである。
４むすび
  以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
  また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１０日（２０００．８．１０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２８３５８６８号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、特許請求の範囲の減縮を目的として、
（１）訂正事項ａ
　請求項１の「インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬することを特徴とするインゴット運搬方法。」を「インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、インゴットと支持手段とを分離し、インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬し、しかも、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にすることを特徴とするインゴット運搬方法。」と訂正し、
　さらに、明りょうでない記載の釈明を行うことを目的として、
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の「・・・処理台５０に運搬する。」（本件特許掲載公報第２頁第３欄第１９行）の次に改行して「インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にする。」を挿入するものである。
（５４）【発明の名称】
インゴット運搬方法
（５７）【特許請求の範囲】
　インゴット製造装置により製造されたインゴットを支持手段により垂直に支持し、
　インゴット製造装置からインゴットを垂直に支持したまま第１の位置に移し、
　第１の位置で垂直に支持されたインゴットをインゴット運搬装置により保持し、
　インゴットと支持手段とを分離し、
　インゴット運搬装置により第１の位置から第２の位置に運搬
し、
　
しかも、インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平に
【発明の詳細な説明】
　
産業上の利用分野
　この発明は、シリコンインゴットなどを運搬するためのインゴット運搬方法に関する。
　
従来技術
　単結晶引上機から垂直に引上げられたインゴット、たとえばシリコンインゴットは、クリーンルーム内において処理台へ載せて種々の処理をする。このために、垂直に吊り下げられたインゴットを作業者が手で持って運搬して作業台に水平に載せていた。
　
発明が解決しようとする課題
　しかし、近年半導体ウェーハの大口径化に伴いシリコンインゴットがたとえば３０ｋｇから６０ｋｇへと重くなり、長さもたとえば約６００ｍｍから約１５００ｍｍとなった。しかも引上げ直後のインゴット　は約３００℃くらいの高温となっている。このため、インゴットを安全かつ確実に作業員の力により垂直状態から水平にして運搬するのが不可能となってきた。
　
発明の目的
　この発明は、引上げ直後のインゴットを簡単かつ安全に次の工程へ運搬できるインゴット運搬方法を提供することを目的とする。
　
発明の要旨
　この発明は特許請求の範囲に記載のインゴット運搬方法を提供することを目的とする。
　
課題を解決するための手段
　第３図〜第６図を参照して説明する。
　第３図に示すように、インゴット製造装置６０により製造されたインゴット３０を支持手段であるワイヤ６７やシードチャック６８などにより引上げて垂直につり下げる。
　第５図のように、インゴット製造装置６０からインゴット３０をつり下げて支持したまま、第１の位置である収容部７８に対応する位置に移す。
　垂直に支持されたインゴット３０を第５図のようにインゴット運搬装置１によりつかんでしっかりと保持する。
　このあとインゴット３０と、ワイヤ６７などとを、たとえば第４図のＬ−Ｌ線で切断することにより分離する。
　インゴット運搬装置１により第６図のインゴット３０を第１の位置から第２の位置である処理台５０に運搬する。
　
インゴットをインゴット運搬装置の回転機構部によって回転させて水平にする。
　
実　施　例
　まず、第１図と第２図を参照して、インゴット運搬装置１を説明する。
［カート２］
　カート２は車体３と上下案内部材４および車輪５を有している。車体３の後端に上下案内部材４が垂直に立てて設けられている。４つの車輪５が車体３の４隅に配置されている。この車輪５は好ましくは走行中の振動を吸収するために、ゴムなどの弾性材料で作られている。上下案内部材４には作業者が手で押す把手６が設けられている。
［上下高さ調整機構７］
　上下案内部材４には、上下高さ調整機構７の台８がかみ合っている。台８は油圧ポンプ９の駆動力により、上下案内部材４に沿って矢印Ａ方向に上下動可能である。油圧ポンプ９は台８に固定されている。
［インゴットの回転機構部１０］
　台８には、回転機構部１０の軸受部１１が固定されている。軸受部１１には第２図に示すように水平軸１２がＳ方向に回転可能に支持されていて、ハンドル１３を矢印Ｂ方向（第１図）に回すことにより、この水平軸１２を回転できる。
［インゴットハンドリング部１４］
　水平軸１２の一端には、インゴットハンドリング部１４が固定されている。ガイド部材１５には爪部１６，１７が相反する方向に移動できるようになっている。爪部１６，１７はたとえばアルミニウムやステンレスなどで作られている。爪部１６，１７の内側には、たとえばテフロンゴムやフッソゴム等で作られた押圧部材１８，１９がそれぞれ固定されている。ハンドル２０を一方の方向に回すことにより爪部１６，１７は近ずき、他方向に回すことにより遠ざかる。
　爪部１６，１７の間にはインゴット３０が保持されている。このインゴット３０は、たとえば大型の８インチのシリコンウェーハを作るためのものである。
　なお、爪部１６，１７の間に挾む際には、水平軸１２の回転中心Ｒとインゴット３０の重心位置Ｃを一致又は近似させる。
　また第２図においては処理台５０が配置されている。
［シリコン単結晶引上げ用のインゴット製造　装置６０］
　次にインゴット製造装置６０を第３図と第４図により説明する。
　引上炉６１は上部６２と下部６３から成る。上部６２は支柱６４のアーム６５により支持されている。
　上部６２は、支柱６４を中心にしてＦ方向に回転することができる。上部６２の中は中空であり下端がラッパ状に拡がって開口している。上部６２の中にはすでに引上げたシリコン単結晶の大形のインゴット３０がつり下げられている。上部６２の上端にはインゴット３０の回転機構６６が設けられている。
　インゴット３０の支持手段は、第４図のワイヤ６７、シードチャック６８、ピン７０を有している。
　インゴット３０はワイヤ６７とシードチャック６８を用いてつり下げられている。ワイヤ６７は回転機構６６に支持され、しかも図示しない装置により巻上げることができる。第４図に示すように、ワイヤ６７にはシードチャック６８が連結されている。このシードチャック６８の穴６９にはインゴット３０の種結晶部３０ａが挿入されピン７０により固定されている。
　一方、第３図の引上炉６１の下部６３は、ベース７１の上に固定され、保温筒７２、石英ルツボ７３、カーボンルツボ７４、ヒータ７５を収容している。石英ルツボ７３の中には残留シリコン７６がある。カーボンルツボ７４は回転機構７７により回転可能である。
　第５図に示すように、インゴット製造装置６０の付近のフロア７９には、シリコンインゴット３０を降ろしたときに収容するための収容部７８が設けられている。またすでに述べたインゴット運搬装置１はこのフロア７９の上を走行するようになっている。
　
インゴット運搬操作
　次にインゴット３０の運搬操作を説明する。
　まず第３図を参照する。
　インゴット運搬装置１のインゴットハンドリング部１４は、インゴットを支持していない状態である。しかもインゴットハンドリング部１４のガイド部材１５は水平になっている。また収容部７８にはインゴット３０が収容されていない。
　一方、インゴット３０は引上炉６１の上部６２の中につり下げられている。上部６２がインゴット３０とともに図示しない駆動源により支柱６４を中心として矢印方向Ｆに１８０°回転される。そうすると、上部６２は第５図の状態になる。つまり、上部６２は第１の位置である収容部７８に対応する位置にくる。
　図示しない装置によりインゴット３０が降ろされ、インゴット３０の下部３０ｂが収容部７８内に入る。
　この状態で、インゴット運搬装置１をインゴット３０に近づけて、すでに第１図に示したようにインゴット３０の重心位置Ｃを水平軸１１の回転中心Ｒに一致又は近似するところで爪部１６，１７によりインゴット３０をしっかりと挾む。そして第４図に示すこのインゴット３０の種結晶部３０ａのＬ−Ｌ線のところでペンチ等でインゴット３０とシールドチャック６８とを切り離す。
　次に第６図のように引上炉６１の上部が１８０°回転してもとの位置にもどされ次の単結晶引上げ操作にかかる。
　一方、第１図の油圧ポンプ９を作動してインゴット３０を上下案内部材４に沿って所定高さ持上げて、インゴット３０を収容部７８から出す。そのあと、オペレータが第１図のハンドル１３を回転して、インゴット３０を第２図のように水平にする。そしてオペレータは把手６を持ってカート２を押して処理台５０に移動し、爪部１６，１７からインゴット３０を放しインゴット３０を処理台５０の上にしずかに置く。
　このようにして、製造されたまだ高温のインゴット３０をオペレータが直接さわらずに処理台５０へ安全かつ確実に運搬できるのである。
　ところで、この発明を実施するためのインゴット運搬装置やインゴット製造装置は上述の実施例に限定されるものではない。たとえば、カート２はリモートコントロール式の自走式カートとしてもよい。また、手動式ハンドル１３や２０に代えてモータなどの駆動手段を設けて自動化してもよい。
　
発明の効果
　この発明によれば、製造された高温状態の重いインゴットを、人手を直接介さずに簡単かつ安全にインゴットに損傷を与えずに次の段階に運搬できる。これによりインゴットの運搬と処理の時間短縮が図れる。また、インゴットが直接人間の手に触れることがないため引上げ直後の高温状態（約３００℃）であっても容易にインゴットを移すことができる。これにより次の単結晶引上げの準備にすぐかかれるので、引上用の製造装置の稼働率を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図はこの発明のインゴット運搬方法を実施するための好適なインゴット運搬装置の側面図であり、インゴットを垂直に保持している状態を示す図、第２図は同運搬装置の側面図であり、インゴットを水平に保持している状態を示す図、第３図はインゴット製造装置とインゴット運搬装置を示す図、第４図はインゴットのつり下げ用の連結部分を示す図、第５図はインゴットを下げてインゴット運搬装置のハンドリング部に垂直に保持した状態を示す図、第６図はインゴットを処理台へ移す作業を説明するための図である。
１……………インゴット運搬装置
４……………上下案内部材
６……………把手
７……………上下高さ調整機構
１０…………回転機構部
１４…………インゴットハンドリング部
１６，１７…爪　部
３０…………インゴット
５０…………処理台（第２の位置）
６０…………インゴット製造装置
６２…………引上炉の上部
７８…………収容部（第１の位置）