(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を備えた複数の個別液室を有する液室基板と、積層することにより共通液室を形成する複数のフレーム基板とを有し、前記液室基板上に駆動ＩＣがフリップチップ実装されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記複数のフレーム基板のうち、駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板が前記駆動ＩＣと接触しており、さらに、前記フレーム基板の前記共通液室の壁面間に、共通液室のインクに放熱するための梁部材が少なくとも１つ、フレーム基板と一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
３枚以上の前記フレーム基板を有しており、前記共通液室のインクに放熱するための梁部材が、少なくとも駆動ＩＣ近傍のフレーム基板に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記フレーム基板に前記梁部材が一定間隔で形成されていることを特徴とする請求項１または２いずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
複数のフレーム基板に梁部材が設けられており、異なるフレーム基板に設けられた梁部材同士が接触しないように当該梁部材が配置されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記フレーム基板のインクと接触する箇所が、接液膜で覆われていることを特徴とする請求項１乃至４いずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
液室基板とフレーム基板との間に、前記個別液室に液体を供給するインク供給口を有する液体供給基板を有しており、前記駆動ＩＣ、前記液体供給基板、前記フレーム基板の３つ全てが面をなす空間に、充填剤を封入したことを特徴とする請求項1乃至５いずれか1項に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
インク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドと、該インクジェット記録ヘッドにインクを供給するインクタンクとを一体化したインクカートリッジにおいて、前記インクジェット記録ヘッドとして、請求項1乃至６いずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドを備えたことを特徴とするインクカートリッジ。
【請求項８】
インクカートリッジのヘッド部から液滴を吐出させて被記録媒体に記録を行うインクジェット記録装置において、前記インクカートリッジとして、請求項７記載のインクカートリッジを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項９】
請求項８に記載のインクジェット記録装置を画像形成部に備えたことを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、および、画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドを搭載したプリンタは、近年、画質のきれいさ、値段の安さ、高速対応性（ノズルを増減することにより速いプリンタから遅いプリンタまで対応ができる）が評価され、インクジェットプリンタとして普及が進んでいる。そのような中で、一層の画質向上、信頼性向上、コストダウン、小型化が要求されてきている。
【０００３】
更なる画質向上の要求に応えるためには、インクジェット記録ヘッドにおけるノズルの高密度化が欠かせない技術となってきており、そのためには、駆動ＩＣについても小型化・高密度実装化を行う要求に迫られている。このため近年、ワイヤ同士の接触によるショートや生産性の低下の恐れあるワイヤボンディングよりも、端子の細密化が可能なフリップチップ接合が好まれている。
【０００４】
しかしながら、フリップチップ実装の場合、ヘッド内の密閉された空間に駆動ＩＣを実装することになるため、駆動ＩＣからの発熱で駆動ＩＣが動作不良を起こしたり、駆動ＩＣ周辺の構造材が高温になり接合剥離を起こすなどという問題があった。また、ノズル数の増加に伴い、駆動ＩＣの発熱量も多くなるため駆動ＩＣの発熱の効率的な放熱は重要な課題である。
【０００５】
係る課題を解決するため、従来から各種検討がなされてきた。例えば、特許文献１に記載された発明は、駆動ＩＣが圧電素子の同一基板上にフリップチップ実装された構成で、駆動ＩＣに放熱部材を備えるというものである。しかしながら、放熱部材の具体的な配置方法が実際に検討されておらず、記載もされていない。このため、当該文献に記載の構成のまま十分な放熱特性が実現される可能性は乏しく、駆動ＩＣの発熱を十分に放熱できないために、駆動ＩＣが動作不良を起こし信頼性が低下する。
【０００６】
特許文献２に記載された発明は、圧電素子を配置した基板のノズル板と反対側に断熱部材、放熱部材の順に配置して、放熱部材の上に駆動ＩＣをフリップチップ実装することで、駆動ＩＣの発熱を効率的に放熱するというものである。しかしながら、放熱板、断熱板、絶縁性構造物などの構造物を置くことで、自動的に駆動ＩＣの電気的接続面と圧電素子の電極が同一基板面上にないという構成になる。そのため、共通液室を大きく取ろうとすると、配線の複雑化や長距離化を避けられず、シグナルのＳ／Ｎ比の低下による信頼性の低下や、工程の増加によるコストアップ、配線の複雑化による歩留まり低下につながる。
【０００７】
特許文献３に記載された発明は、駆動ＩＣの電気的接合面（フリップチップ接合）が圧電素子の電極と同一基板面上にある構成で、駆動ＩＣの発熱を熱伝導性の優れた接着剤を介し保護基板側へ放熱を行うというものである。この構成によると、保護基板上面と駆動ＩＣ上面を高い精度で合わせて、均一に接着剤を分布させる必要がある。しかしながら、駆動ＩＣ、保護基板の加工、各接合工程で高い精度を出すことは難しい。このため、実際は駆動ＩＣ固定不良による不具合、接着剤不均一により生じる熱分布から特性ばらつきが避けられない。また、熱伝導率の高い接着剤であっても、熱伝導率は1０（Ｗ／ｍ・Ｋ）以下であり、銅３９８（Ｗ／ｍ・Ｋ）やアルミニウム２３６（Ｗ／ｍ・Ｋ）と比べると十分な放熱性能を確保できない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記従来技術が有する問題に鑑み、新たな部品を追加することなしに効率的に熱を逃がし、インクジェット記録ヘッド内の温度分布による吐出特性のばらつきを軽減させたインクジェット記録ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、および、画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明は、圧電素子を備えた複数の個別液室を有する液室基板と、積層することにより共通液室を形成する複数のフレーム基板とを有し、前記液室基板上に駆動ＩＣがフリップチップ実装されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記複数のフレーム基板のうち、駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板が前記駆動ＩＣと接触しており、さらに、前記フレーム基板の前記共通液室の壁面間に、共通液室のインクに放熱するための梁部材が少なくとも１つ、フレーム基板と一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッドを提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、インクジェット記録ヘッドチップの短手方向に効率的に熱を逃がすことが可能になり、インクジェット記録ヘッドチップ内の温度分布による吐出特性のばらつきが軽減できる。そして、共通液室を構成するフレーム基板を放熱部材として使用していることから、新たな部材を発生させずに放熱特性の良いインクジェット記録ヘッドが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施例におけるインクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）１００の斜視図であり、一部断面図で示す。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は各部材の平面図、（ｆ）は図１の断面Ｘ−Ｘ'をそれぞれ示す。
【図３】図１の断面Ｙ−Ｙ'を示す。
【図４】実施例２における図１の断面Ｙ−Ｙ'を示す。
【図５】本発明におけるインクカートリッジを示す。
【図６】本発明におけるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の斜視説明図を示す。
【図７】本発明におけるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の側面説明図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に、本発明の実施例を添付図面を参照にして説明するが、本発明は、実施例により限定されるものではない。
【実施例１】
【００１３】
図１〜３に、本発明のインクジェット記録ヘッドの一例を示す。図１はインクジェット記録ヘッドの斜視図であり、図２の（ａ）〜（ｅ）は各部材の平面図、（ｆ）は図１の断面Ｘ−Ｘ'を、図３は図１の断面Ｙ−Ｙ'をそれぞれ示している。
【００１４】
図１〜３に示すとおり、本実施例におけるインクジェット記録ヘッド１００は、ノズル基板１、液室基板１２、液体供給基板７、フレーム基板積層体９（９ａ〜９ｃ）、ダンパーフィルム１９、補強板２０、ハウジング２１が積層して構成されており、各基板は以下のように構成される。
【００１５】
ノズル基板１には、複数のノズル２が設けられている。
【００１６】
液室基板１２は、側壁により個別の液室に区切られた複数の個別液室（圧力室）３、振動板１７、及び、この振動板１７と一体的に形成された圧電素子１６、駆動ＩＣ１１実装部、引き出し配線２５を有している。片面にノズル基板１が、もう片面に液体供給基板７が接合されている。なお、液室基板上に設けられる駆動ＩＣ１１とは、ＩＣ等のチップ化された集積回路中に少なくとも圧電素子の駆動回路を備えた電子部材である。
【００１７】
液体供給基板７は、個別液室（圧力室）３に液体を供給するインク供給口６を有する。片面に液室基板１２が、もう片面にフレーム基板積層体９が接合されている。
【００１８】
フレーム基板積層体９は、複数のフレーム基板を積層することによって構成されており、共通液室を有する。積層するフレーム基板の枚数は限定されるものではないが、複数のフレーム基板に梁部材を設けることが好ましいため、３枚以上から構成されていることが好ましい。本実施例においては以下の９ａ〜９ｃの３つの基板からなる積層構造を例示している。
【００１９】
フレーム基板の材質は限定されないが、熱伝導率の良いものが好ましく、熱伝導率が１００（Ｗ／ｍ・Ｋ）以上のものがより好ましい。具体的な材料としては、銅、アルミニウム等が例示できる。
本発明においては、主な発熱源となる圧電素子の駆動ＩＣと、梁部材を設けることによって共通液室内でのインクとの接触面積を大きく確保したフレーム基板の一部とが接触している。このため、フレーム基板がヒートシンクとしての役割を果たし、インクへの効率的な放熱が可能となる。
ここで、梁部材はいずれかのフレーム基板に設けられていれば、上記効果を得ることができる。しかしながら、効率よく熱をインクに伝達する観点から、伝達経路が短くなるように、少なくとも発熱源である駆動ＩＣ近傍のフレーム基板に梁部材を設けることが好ましい。
【００２０】
また、一般的に熱伝導率の良い物質は耐溶液性が低い傾向にあるため、フレーム基板を保護するために、インクと接触する箇所に接液膜（耐インク保護膜）を有していることが望ましい。接液膜としては一定の耐溶液性（耐インク性）を付与できるものであれば足り、その材料は限定されないが、薄膜化が容易な材料が好ましく用いられ、例えば、金メッキ、Ｎｉメッキ、ポリイミドやポリパラキシレンなどが挙げられる。中でも熱伝導性の良い材料がより好ましく、例えば、金メッキ、Ｎｉメッキなどはより好ましく用いられる。
【００２１】
上記接液膜を設けることにより、インクの物性の安定と、構造材腐食防止を図ることができ、インク吐出特性と信頼性が向上する。
【００２２】
本実施例においてフレーム基板積層体９を構成する各フレーム基板９ａ〜９ｃについて以下に説明する。
【００２３】
フレーム基板９ａには、本実施例では、ダンパーフィルムの可動領域を広くするために梁部材は設けていない。ただし、ダンパーフィルムの可動領域を阻害しない程度の間隔、本数で梁部材を設けることは可能である。片面をフレーム基板９ｂと、片面をダンパーフィルムと接合される。
【００２４】
フレーム基板９ｂには、その共通液室部にフレーム基板と一体的に複数本の梁部材が一定間隔で形成してある。ここで、本発明における梁部材とは、フレーム基板のうち共通液室を構成する壁面間に、フレーム基板と一体的に形成された棒状部材のことである。そして、フレーム基板に設ける梁部材の本数、大きさ、形状、間隔は、駆動ＩＣの発熱量やフレーム基板の熱伝導率等を考慮して選択されるものであり限定されない。ただし、梁部材を複数本設ける場合、共通液室内のインクに温度分布が生じるのを防ぐため、梁部材間の距離を等間隔とすることが好ましい。また、２以上のフレーム基板に梁部材を設ける場合、異なる基板に設けられた梁部材同士が接触しないように梁部材を設けた方が好ましい。これは、梁部材とインクとの接触面積を最大限に確保することが可能となるためである。
【００２５】
本実施例において、フレーム基板９ｃは駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板であり、共通液室部にフレーム基板と一体的に梁部材が等間隔に複数本設置してある。ここで、梁部材の本数、大きさ、形状、間隔等についてはフレーム基板９ｂと同様に、各種条件を考慮して選択されるものであり限定されるものではない。
さらに、平面投影で駆動ＩＣ１１に相当する箇所の一部に形成された弾性部材１８が板梁構造になっており、駆動ＩＣ１１の上面に接触している。板梁部は根本で折れ曲がった構造で、駆動ＩＣ１１との接触面積をできるだけ広くとるために、駆動ＩＣ１１の上面に沿って弾性部材１８が接触している。このとき、弾性部材１８と駆動ＩＣ１１は接触しているだけでも、接着してあってもどちらでもよい。また、板梁の根本が他の部分よりも薄い構造だと弾性が増して駆動ＩＣとの接触がさらに容易になる。なお、フレーム基板の一部を弾性部材として駆動ＩＣ１１に接触させる方法を例示したが、フレーム基板の一部と駆動ＩＣ１１とが接触するように構成されていれば本願発明の効果を得ることができ、その具体的手段は限定されない。
そして、フレーム基板９ｃの片側は液体供給基板、片側はフレーム基板９ｂに接合されており、フレーム基板９ｂ，９ｃの梁部材はその位置が互い違いになるように形成されている。
【００２６】
ダンパーフィルム１９は、共通液室８における圧力緩和の機能（ダンパー）を果たすフィルムであり、フレーム基板積層体９と補強板２０の間に設けられる。
【００２７】
補強板２０はダンパーフィルム１９の可動域を確保する目的で設けられている。
【００２８】
ハウジング２１は、共通液室８へインクを供給するインク供給口２２を有する。
【００２９】
以上の部材からなる本発明のインクジェット記録ヘッドは、液室基板１２上に形成されたバンプの上にフリップチップ接合により実装された駆動ＩＣ１１が、引き出し配線２５を介して圧電素子１６に電圧を印加し、前記個別液室３に圧力を発生させるものである。
【００３０】
製造方法
以下に、本実施例の構成のインクジェット記録ヘッドの製造方法を示す。
（ａ）液室基板１２上の振動板１７を設ける以外の箇所にマスクとしてのシリコン窒化膜をパターニングする。次いで、ポリシリコンとシリコン熱酸化膜形成手段である、例えばプラズマＣＶＤ法、パイロ酸化法によりポリシリコンとＳｉＯ２の多層積層膜である振動板１７を液室基板１２上に形成する。
（ｂ）薄膜形成手段としてのゾルゲル法またはスパッタ法により、例えばＰｔ、Ｔｉ、ＬＮＯ、ＳＲＯからなる共通電極１３、例えばＰＺＴからなる圧電体１４、例えばＰｔ、ＬＮＯ、ＳＲＯからなる上部電極１５を順次形成する。
（ｃ）フォトリソグラフィー法により上電極１５、圧電体１４をパターニングし圧電素子１６を形成する。
（ｄ）圧電素子１６の放電防止のための絶縁膜(例えばＡｌ２Ｏ３)を全体に成膜する。次いで、振動変位の妨げにならないように上電極１５上を避けて圧電素子１６の端部と共通電極１３に例えばＳｉＯ２、ＳｉＮからなる層間絶縁膜を形成する。
（ｅ）アルミニウムからなる引き出し配線２５を所望の箇所に形成する
（ｆ）別途シリコン基板にリソエッチ法で凹部２６を形成してある液体供給基板７を製作しておき、基板１２の圧電素子面に接着する。
（ｇ）基板１２の圧電素子形成面の反対側を所望の厚さまで研磨する。
（ｈ）基板１２の圧電素子形成面の反対側をＩＣＰドライエッチングによりエッチングし個別液室３、流体抵抗部４、インク導入路５、となる凹部を形成する。
別途ＳＵＳのプレス加工、研磨によるノズル穴２を形成しておいたノズル基板１を基板１２の凹部形成側に接合する。
（ｉ）液室基板１２の液体供給基板７側に設けたバンプ１０に別途製作した駆動ＩＣ１１をフリップチップ接合により実装する。
（ｊ）プレス加工、微細切削加工により形成したフレーム基板９ａ，９ｂ，９ｃを別途接合しフレーム基板積層体９を製作し、接液膜を成膜したのちに液体供給基板７に接合する。
（ｋ）ダンパーフィルム１９を設けた補強板２０をフレーム基板積層体９に接合する。
（ｌ）補強板の上に別途製作したハウジングを接合する。
以上の工程により、本実施例のインクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）１００が完成する。
【実施例２】
【００３１】
図４は本発明の実施例２を示す。
実施例１と同様の機能をする部品、箇所には同様の番号で図示した。
実施例１の内容に加えて駆動ＩＣ１１と液体供給基板７とフレーム基板９ｃと液室基板１２で囲われた空間に熱伝導性の良い充填剤２７を封入したものである。熱伝導性の良い充填剤としては、空気よりも熱伝導率の高いものが好ましく、熱伝導率が１０（Ｗ／ｍ・Ｋ）以上のものがより好ましい。例えば、アルミニウム、銅などの金属や、炭素を混ぜ合わせた樹脂などが挙げられる。
【実施例３】
【００３２】
次に、本発明に係るインクカートリッジについて図５を参照して説明する。
このインクカートリッジは、ノズル２等を有する上記各実施形態のいずれかのインクジェット記録ヘッド６１と、このインクジェット記録ヘッド６１に対してインクを供給するインクタンク６２とを一体化したものである。
このようにインクタンク一体型のヘッドの場合、ヘッドの低コスト化、信頼性向上は、ただちにインクカートリッジ全体の低コスト化、信頼性向上につながるので、上述したように低コスト化、高信頼性化、製造不良低減することで、インクカートリッジの歩留まり、信頼性が向上し、ヘッド一体型インクカートリッジの低コスト化を図れる。
【実施例４】
【００３３】
次に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図６及び図７を参照して説明する。なお、図６は同記録装置の斜視説明図、図７は同記録装置の機構部の側面説明図である。
【００３４】
このインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明を実施したインクジェット記録ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクタンク等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
【００３５】
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係るインクジェット記録ヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。
インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェット記録ヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド９４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。さらに、実施例３で述べたように、インクカートリッジはインクタンクとインクジェット記録ヘッドを一体化することも可能である。
【００３６】
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト２００を張装し、このタイミングベルト２００をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００３７】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
【００３８】
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１０９を設けている。この印写受け部材１０９の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５，１１６とを配設している。
【００３９】
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００４０】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
【００４１】
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
【００４２】
このように、このインクジェット記録装置においては本発明を実施したインクジェットヘッドを搭載しているので、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られて、画像品質が向上する。
【００４３】
また、ここでは、インクジェット記録装置についてのみ記述したが、上記インクジェット記録装置を画像形成部に配置し、制御装置等の外部装置と組み合わせて画像形成装置を構成することができる。
【符号の説明】
【００４４】
３．          個別液室（圧力室）
６．          インク供給口
７．          液体供給基板
８．          共通液室
９ａ〜９ｃ．  フレーム基板
１１．        駆動ＩＣ
１２．        液室基板
１６．        圧電素子
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４５】
【特許文献１】特開２００７−１１２０６２号公報
【特許文献２】特開２００６−２８９９６３号公報
【特許文献３】特開２００６−１１６７６７号公報
【図１】
0005716431.tif 000002
【図２】
0005716431.tif 000003
【図３】
0005716431.tif 000004
【図４】
0005716431.tif 000005
【図５】
0005716431.tif 000006
【図６】
0005716431.tif 000007
【図７】
0005716431.tif 000008