(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面および裏面、並びに前記主面から前記裏面へ光を通過させるための光学的開口を有する基板と、
前記主面に沿った方向に交互に並んで配置されたＮａ個（Ｎａは２以上の整数）の第１の光導波路端およびＮｂ個（Ｎｂは２以上の整数）の第２の光導波路端を含む端面を有し、前記基板の前記主面側に配置された光導波路モジュールと、
（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズを有し、該（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズそれぞれが前記第１及び第２の光導波路端それぞれと光学的に結合されるように前記光導波路モジュールの前記端面に固定されたレンズアレイと、
Ｎａ個の受光素子を含み前記基板の前記主面上に配置された第１の受信装置と、
Ｎｂ個の受光素子を含み前記基板の前記裏面上に配置された第２の受信装置と、
前記第１の光導波路端から出射される信号光を前記第１の受信装置に向けて反射する第１の光反射面、および前記第２の光導波路端から出射される信号光を前記基板の前記光学的開口へ向けて反射する第２の光反射面を有する第１の部材と、
前記基板の前記裏面側に設けられ、前記光学的開口を通過した前記第２の光反射面からの前記信号光を前記第２の受信装置に向けて反射する第３の光反射面を有する第２の部材と、
前記第１の部材を支持する第１の支持構造と、
前記第２の部材を支持する第２の支持構造とを備え、
前記第１及び第２の部材それぞれが、前記第１及び第２の支持構造それぞれに対し接着固定されており、
前記第１の部材と前記第１の支持構造とが接着固定される前の時点において、前記第１の部材が前記第１の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能であり、
前記第２の部材と前記第２の支持構造とが接着固定される前の時点において、前記第２の部材が前記第２の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能であることを特徴とする、多チャネル光受信装置。
【請求項２】
前記第１の部材及び前記第１の支持構造が、前記第１の受信装置の受光面を含む平面に沿っており相互に当接する面をそれぞれ有することを特徴とする、請求項１に記載の多チャネル光受信装置。
【請求項３】
前記第２の部材及び前記第２の支持構造が、前記第２の受信装置の受光面を含む平面に沿っており相互に当接する面をそれぞれ有することを特徴とする、請求項１または２に記載の多チャネル光受信装置。
【請求項４】
前記第２の支持構造が、前記第２の光反射面からの前記信号光を前記第３の光反射面に向けて反射する第４の光反射面を有することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の多チャネル光受信装置。
【請求項５】
前記第１の光反射面が、前記Ｎａ個の第１の光導波路端の光軸上にそれぞれ配置されたＮａ個の面を含み、
前記第２の光反射面が、前記Ｎｂ個の第２の光導波路端の光軸上にそれぞれ配置されたＮｂ個の面を含み、
前記Ｎａ個の第１の光導波路端から出射される前記信号光それぞれが、前記Ｎｂ個の面同士の隙間を通って前記Ｎａ個の面それぞれに達することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の多チャネル光受信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多チャネル光受信装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数の光導波路（チャネル）を有する平面型の光導波路素子を基板上に実装する際に用いられる、サブキャリアといった光学部品が開示されている。この文献に記載されたサブキャリアは、複数の光導波路に対応して交互に設けられた上側反射面と下側反射面とを有する。上側反射面は、光学部品の上面に設けられた複数の光半導体素子と光学的に結合されており、下側反射面は、光学部品の下面に設けられた複数の光半導体素子と光学的に結合されている。隣接する反射面の間には、クロストーク防止用の仕切板が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１７７７０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数の光導波路（チャネル）を介して信号光を受け取る多チャネル光受信装置として、信号光を検出するための受光素子が光導波路の並び方向に一列に配列されたものがある。しかし、このような構成では、チャネル数が増えることによって受光素子の数が増加すると、装置全体が大型化してしまうという問題がある。受光素子として用いられる光半導体素子は、一個あたり例えば数百マイクロメートル四方といった大きさを有しており、光導波路の集積間隔よりも大きいからである。また、微弱な信号光を増幅するために受光素子の後段に増幅器を配置する場合、一般的に増幅器のサイズは受光素子より大きく、加えて高周波信号を伝搬する多数の電気配線をできるだけ等しい長さで且つ短く配置することが望まれるので、回路の高集積化を図ることが難しいからである。
【０００５】
これらの問題を回避するため、特許文献１に記載された装置では、複数の光導波路からの信号光を光学部品（サブキャリア）によって上方及び下方に交互に反射させ、光学部品の上面及び下面に配置された複数の光半導体素子によってこれらの信号光を受けている。しかし、このような構成では、次の問題がある。すなわち、一つの光学部品に複数の光半導体素子が一体的に実装されているので、複数の光半導体素子それぞれの位置が、機械的な取り付け精度のみによって定まってしまう。したがって、複数の光導波路とこれらの光半導体素子との間で光軸を調整する際に、個々の光半導体素子において軸ずれが生じ易く、複数の光半導体素子間の結合効率のばらつきが大きくなりやすい。また、光半導体素子と後段の増幅器とを接続する複数本の高周波配線を、等しい長さでもって且つ短く配置することが構造上難しい。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、複数の光導波路と受光素子との間の光軸ずれを低減することができ、且つ高周波配線の配置を容易にできる多チャネル光受信装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するために、本発明による多チャネル光受信装置は、（１）主面および裏面、並びに主面から裏面へ光を通過させるための光学的開口を有する基板と、（２）主面に沿った方向に交互に並んで配置されたＮａ個（Ｎａは２以上の整数）の第１の光導波路端およびＮｂ個（Ｎｂは２以上の整数）の第２の光導波路端を含む端面を有し、基板の主面側に配置された光導波路モジュールと、（３）（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズを有し、該（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズそれぞれが第１及び第２の光導波路端それぞれと光学的に結合されるように光導波路モジュールの端面に固定されたレンズアレイと、（４）Ｎａ個の受光素子を含み基板の主面上に配置された第１の受信装置と、（５）Ｎｂ個の受光素子を含み基板の裏面上に配置された第２の受信装置と、（６）第１の光導波路端から出射される信号光を第１の受信装置に向けて反射する第１の光反射面、および第２の光導波路端から出射される信号光を光学的開口へ向けて反射する第２の光反射面を有する第１の部材と、（７）基板の裏面側に設けられ、光学的開口を通過した第２の光反射面からの信号光を第２の受信装置に向けて反射する第３の光反射面を有する第２の部材と、（８）第１の部材を支持する第１の支持構造と、（９）第２の部材を支持する第２の支持構造とを備え、第１及び第２の部材それぞれが、第１及び第２の支持構造それぞれに対し接着固定されており、第１の部材と第１の支持構造とが接着固定される前の時点において、第１の部材が第１の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能であり、第２の部材と第２の支持構造とが接着固定される前の時点において、第２の部材が第２の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能であることを特徴とする。
【０００８】
この多チャネル光受信装置において、Ｎａ個の第１の光導波路端から信号光が出射すると、この信号光は、コリメートレンズによってコリメートされたのち、第１の部材の第１の光反射面に達する。そして、この信号光は、第１の光反射面において反射したのち、基板の主面上に配置された第１の受信装置の受光素子によって検出される。他方、Ｎｂ個の第２の光導波路端から信号光が出射すると、この信号光は、コリメートレンズによってコリメートされたのち、第１の部材の第２の光反射面に達する。そして、この信号光は、第２の光反射面において反射したのち、基板の裏面側に配置された第２の部材の第３の光反射面に達する。この信号光は、第３の光反射面において反射し、第２の受信装置の受光素子によって検出される。
【０００９】
この多チャネル光受信装置では、第１の支持構造が、第１の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能なように第１の部材を支持している。更に、第１の部材は、第１の支持構造に対し接着固定されている。このような構成によれば、この多チャネル光受信装置の製造工程において第１の部材と第１の支持構造とを接着固定する前に、第１の受信装置の受光面に沿った方向に第１の部材をスライドさせることにより、第１の光導波路端からの信号光の光軸を、第１の受信装置の受光素子に対して容易に且つ精度良く調整することができる。
【００１０】
また、これと同様に、この多チャネル光受信装置では、第２の支持構造が、第２の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能なように第２の部材を支持している。更に、第２の部材は、第２の支持構造に対し接着固定されている。このような構成によれば、この多チャネル光受信装置の製造工程において第２の部材と第２の支持構造とを接着固定する前に、第２の受信装置の受光面に沿った方向に第２の部材をスライドさせることにより、第２の光導波路端からの信号光の光軸を、第２の受信装置の受光素子に対して容易に且つ精度良く調整することができる。
【００１１】
このように、この多チャネル光受信装置によれば、Ｎａ個の第１の光導波路端から出射される信号光に関する光軸調整と、Ｎｂ個の第２の光導波路端から出射される信号光に関する光軸調整とを個別に行うことができるので、特許文献１に記載された構成と比較して、複数の光導波路と受光素子との間の光軸ずれを低減することができる。
【００１２】
更に、この多チャネル光受信装置では、第１及び第２の受信装置が、基板の主面上及び裏面上にそれぞれ配置されている。したがって、特許文献１のように光学部品上に受光素子が配置される場合と比較して、受光素子と後段の増幅器とを接続する複数本の高周波配線を、等しい長さでもって且つ短く配置することが容易にできる。
【００１３】
また、上述した多チャネル光受信装置において、第１の部材及び第１の支持構造は、第１の受信装置の受光面を含む平面に沿っており相互に当接する面をそれぞれ有することを特徴としてもよい。これにより、第１の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能なように第１の部材を支持する構造を好適に実現できる。
【００１４】
また、上述した多チャネル光受信装置において、第２の部材及び第２の支持構造は、第２の受信装置の受光面を含む平面に沿っており相互に当接する面をそれぞれ有することを特徴としてもよい。これにより、第２の受信装置の受光面に沿った方向にスライド可能なように第２の部材を支持する構造を好適に実現できる。
【００１５】
また、上述した多チャネル光受信装置において、第２の支持構造が、第２の光反射面からの信号光を第３の光反射面に向けて反射する第４の光反射面を有してもよい。
【００１６】
また、上述した多チャネル光受信装置において、基板は、主面から裏面へ信号光を通過させるための光学的開口を有してもよい。
【００１７】
また、上述した多チャネル光受信装置において、第１の光反射面が、Ｎａ個の第１の光導波路端の光軸上にそれぞれ配置されたＮａ個の面を含み、第２の光反射面が、Ｎｂ個の第２の光導波路端の光軸上にそれぞれ配置されたＮｂ個の面を含み、Ｎａ個の第１の光導波路端から出射される信号光それぞれが、Ｎｂ個の面同士の隙間を通ってＮａ個の面それぞれに達するように構成されてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明による多チャネル光受信装置によれば、複数の光導波路と受光素子との間の光軸ずれを低減することができ、且つ高周波配線の配置を容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る多チャネル光受信装置の外観を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示された多チャネル光受信装置のＩ−Ｉ線に沿った側断面図である。
【図３】図３は、光導波路モジュールの外観を示す斜視図である。
【図４】図４は、レンズアレイの構成を示す側面図である。
【図５】図５は、下方向折り返しミラーアレイを底面側から見た構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、上方向折り返しミラー付き可動台の外観を示す斜視図である。
【図７】図７は、受信装置の構成を示す分解斜視図である。
【図８】図８は、第１変形例に係る受信装置を示す分解斜視図である。
【図９】図９は、第２変形例に係る受信装置を示す分解斜視図である。
【図１０】図１０は、第３変形例に係る受信装置を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照しながら本発明による多チャネル光受信装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２１】
図１は、本発明の一実施形態に係る多チャネル光受信装置１０の外観を示す斜視図である。また、図２は、図１に示された多チャネル光受信装置１０のＩ−Ｉ線に沿った側断面図である。なお、理解を容易にするため、図１及び図２には、ＸＹＺ直交座標系が併せて示されている。図１及び図２に示されるように、多チャネル光受信装置１０は、基板２０、光導波路モジュール３０、レンズアレイ４０、下方向折り返しミラーアレイ５０、固定台６０、上方向折り返しミラー付き可動台７０、並びに受信装置８０Ａ及び８０Ｂを備えている。
【００２２】
基板２０は、互いに対向する主面２１及び裏面２２を有する平板状の部材である。本実施形態では、基板２０は略長方形状といった平面形状を有しており、その長手方向はＸ軸方向に沿っており、短手方向はＹ軸方向に沿っている。この基板２０は、例えばガラスエポキシ基板（ＦＲ４）といった材料からなる。基板２０は、Ｙ軸方向に延びる平面形状を有する光学的開口２３を有している。本実施形態の光学的開口２３は、基板２０の主面２１から裏面２２まで貫通するように形成された開口によって構成されている。なお、光学的開口２３はこのような形態に限られず、例えば基板２０の一部に埋め込まれたガラス等の透明部材によって実現されてもよい。
【００２３】
光導波路モジュール３０は、基板２０の主面２１側（本実施形態では主面２１上）に配置されている。図３は、光導波路モジュール３０の外観を示す斜視図である。図３に示されるように、光導波路モジュール３０は、ＸＹ平面に沿った面内に複数の光導波路３１が配置された光学部材である。複数の光導波路３１は、Ｘ軸方向に延びており、Ｙ軸方向に並んで配置されている。そして、複数の光導波路３１の端面（光導波路端）３３は、ＹＺ平面に沿った光導波路モジュール３０の端面３２に含まれており、複数の光導波路３１は該端面３２において露出している。この複数の光導波路端３３には、Ｎａ個（Ｎａは２以上の整数）の光導波路端３３ａ（第１の光導波路端）と、Ｎｂ個（Ｎｂは２以上の整数）の光導波路端３３ｂ（第２の光導波路端）とが含まれる。Ｎａ個の光導波路端３３ａとＮｂ個の光導波路端３３ｂとは、基板２０の主面２１に沿った方向（本実施形態ではＹ軸方向）に沿って交互に並んで配置されている。光導波路モジュール３０は、例えば高分子化合物やシリカによって好適に構成される。なお、複数の光導波路３１の中心間隔（ピッチ）は、後述する受信装置８０Ａ及び８０Ｂに含まれる受光素子の幅の１／２以上であることが好ましい。
【００２４】
レンズアレイ４０は、光導波路モジュール３０の複数の光導波路端３３から出射される信号光をコリメートするための光学部品である。図４は、レンズアレイ４０の構成を示す側面図である。図４に示されるように、レンズアレイ４０は、（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズ４１を有する。これらのコリメートレンズ４１は、Ｙ軸方向に並んで設けられており、その中心間隔（ピッチ）は、光導波路モジュール３０の複数の光導波路端３３の中心間隔（ピッチ）と等しい。このようなレンズアレイ４０は、例えば板状のガラス部材４２に（Ｎａ＋Ｎｂ）個のコリメートレンズ４１を一体成形（或いは接着）することによって好適に実現される。レンズアレイ４０は、これらのコリメートレンズ４１それぞれが光導波路モジュール３０の複数の光導波路端３３それぞれと光学的に結合されるように、光導波路モジュール３０の端面３２に固定されている。なお、レンズアレイ４０のガラス部材４２と光導波路モジュール３０とは互いに直接接触していることが好ましい。これにより、コリメートレンズ４１それぞれと光導波路端３３それぞれとの距離を容易に均一にすることができる。
【００２５】
下方向折り返しミラーアレイ５０は、本実施形態における第１の部材であり、光導波路モジュール３０の複数の光導波路端３３から出射されてレンズアレイ４０を通過した信号光を下方（Ｚ軸の正方向）へ反射する。図５は、下方向折り返しミラーアレイ５０を底面側から見た構成を示す斜視図である。図５に示されるように、下方向折り返しミラーアレイ５０は、底面５１を有する略直方体状の部材であり、第１の光反射面５２と、第２の光反射面５３とを有している。第１の光反射面５２はＮａ個の面５２ａを含んで構成され、第２の光反射面５３はＮｂ個の面５３ａを含んで構成されている。Ｎａ個の面５２ａ及びＮｂ個の面５３ａは、例えば誘電体多層膜フィルタや金属膜によって好適に構成される。
【００２６】
図２に示されるように、Ｎａ個の面５２ａは、Ｎａ個の光導波路端３３ａの光軸上にそれぞれ配置される。そして、これらの面５２ａは、対応する光導波路端３３ａから出射される信号光Ｌａを、受信装置８０Ａに向けて反射する。信号光Ｌａは、Ｘ軸方向からＺ軸正方向へ向きを変えて、受信装置８０Ａに達する。また、Ｎｂ個の面５３ａは、Ｎｂ個の光導波路端３３ｂの光軸上にそれぞれ配置される。そして、これらの面５３ａは、対応する光導波路端３３ｂから出射される信号光Ｌｂを、基板２０の裏面２２側へ向けて反射する。信号光Ｌｂは、Ｘ軸方向からＺ軸正方向へ向きを変えて、基板２０の光学的開口２３を通過し、基板２０の裏面２２側に達する。
【００２７】
ここで、図２に示されるように、Ｎａ個の面５２ａと、Ｎｂ個の面５３ａとは、互いにＸ軸方向にずれて配置されている。具体的には、図５に示されるように、直方体状の部材の底面５１に対してＸ軸方向に延びるＮａ本の溝５５が形成されており、このＮａ本の溝５５を仕切る側壁部分５４のＸ軸方向における端面が傾斜して形成されることによって、第２の光反射面５３としてのＮｂ個の面５３ａが実現されている。また、Ｎａ本の溝５５のＸ軸方向における壁面が傾斜して形成されることによって、第１の光反射面５２としてのＮａ個の面５２ａが実現されている。なお、Ｎａ個の面５２ａ及びＮｂ個の面５３ａそれぞれのＹ軸方向の幅は、光導波路端３３の中心間隔（ピッチ）と等しい。このような構成において、Ｎｂ個の光導波路端３３ｂから出射される信号光Ｌａそれぞれは、Ｎｂ個の面５３ａ同士の隙間を通ってＮａ個の面５２ａそれぞれに達する。
【００２８】
再び図１を参照すると、下方向折り返しミラーアレイ５０は、基板２０の主面２１上に固定された固定台６０の上に載置されている。固定台６０は、本実施形態における第１の支持構造を構成する。固定台６０は、基板２０の主面２１上に設けられている。そして、固定台６０は、下方向折り返しミラーアレイ５０を、受信装置８０Ａの受光面に沿った方向にスライド可能なように支持する。なお、「スライド可能なように支持する」とは、多チャネル光受信装置１０の製造途中、下方向折り返しミラーアレイ５０と固定台６０とが接着固定される前の時点において、下方向折り返しミラーアレイ５０が或る特定の面内（受信装置８０Ａの受光面に沿った面内）において平行に移動することが可能な状態をいう。多チャネル光受信装置１０の製造が完了した時点では、下方向折り返しミラーアレイ５０と固定台６０とは接着剤によって互いに接着固定され、下方向折り返しミラーアレイ５０がスライドすることはない。
【００２９】
上述したような固定台６０と下方向折り返しミラーアレイ５０との支持構造は、例えば次のような構成によって好適に実現される。すなわち、図２に示されるように、下方向折り返しミラーアレイ５０の底面５１が、受信装置８０Ａの受光面を含む平面（本実施形態ではＸＹ平面）に沿っており、固定台６０が、該平面に沿った上面６１を有しており、底面５１と上面６１とが互いに当接しているとよい。
【００３０】
図６は、上方向折り返しミラー付き可動台７０の外観を示す斜視図である。図６に示されるように、上方向折り返しミラー付き可動台７０は、可動部７１及び支持部７２を有する。可動部７１は、本実施形態における第２の部材であって、基板２０の裏面２２側に設けられており、第３の光反射面７３を有する。また、支持部７２は、基板２０の裏面２２上に固定されており、第４の光反射面７４を有する。この支持部７２は、本実施形態における第２の支持構造であって、可動部７１を、受信装置８０Ｂの受光面に沿った方向にスライド可能なように支持する。なお、ここで「スライド可能なように支持する」とは、多チャネル光受信装置１０の製造途中、可動部７１と支持部７２とが接着固定される前の時点において、可動部７１が或る特定の面内（受信装置８０Ｂの受光面に沿った面内）において平行に移動することが可能な状態をいう。多チャネル光受信装置１０の製造が完了した時点では、可動部７１と支持部７２とは接着剤によって互いに接着固定され、可動部７１がスライドすることはない。
【００３１】
上述したような可動部７１と支持部７２との支持構造は、例えば次のような構成によって好適に実現される。すなわち、図２に示されるように、Ｘ軸方向に突き出した凸部７１ａを可動部７１が有しており、この凸部７１ａが挿入される凹部７２ａを支持部７２が有しており、凸部７１ａの上面７１ｂ及び下面７１ｃが受信装置８０Ｂの受光面を含む平面（本実施形態ではＸＹ平面）に沿っており、凹部７２ａが該平面に沿った内面７２ｂ及び７２ｃを有しており、上面７１ｂ及び下面７１ｃの少なくとも一方と、内面７２ｂ及び７２ｃの少なくとも一方とが互いに当接しているとよい。
【００３２】
第４の光反射面７４は、例えば支持部７２に形成された斜面にミラー部材７６が接着されることにより形成される。第４の光反射面７４は、第２の光反射面５３において反射された信号光Ｌｂを、第３の光反射面７３に向けて反射する。信号光Ｌｂは、Ｚ軸正方向からＸ軸方向へ向きを変えて、第３の光反射面７３に達する。第３の光反射面７３は、例えば可動部７１に形成された斜面にミラー部材７５が接着されることにより形成される。第３の光反射面７３は、第２の光反射面５３から第４の光反射面７４を介して到達した信号光Ｌｂを、受信装置８０Ｂに向けて反射する。信号光Ｌｂは、Ｘ軸方向からＺ軸負方向へ向きを変えて、受信装置８０Ｂに達する。なお、第３の光反射面７３及び第４の光反射面７４は、例えば誘電体多層膜フィルタや金属膜によって好適に構成される。
【００３３】
受信装置８０Ａは、本実施形態における第１の受信装置であって、基板２０の主面２１上に配置されている。また、受信装置８０Ｂは、本実施形態における第２の受信装置であって、基板２０の裏面２２上に配置されている。図７は、受信装置８０Ａ及び８０Ｂの構成を示す分解斜視図である。図７に示されるように、受信装置８０Ａ及び８０Ｂは、複数（受信装置８０ＡはＮａ個、受信装置８０ＢはＮｂ個）の受光素子８１と、これらの受光素子８１を内蔵するパッケージ８２と、レンズアレイ８３とを有している。パッケージ８２は、平らな底面８２ａを有する有底容器である。複数の受光素子８１は、基板２０の主面２１及び裏面２２の法線方向（すなわちＺ軸方向）を向くように、換言すれば各受光面がＸＹ平面に沿うように、パッケージ８２の底面８２ａ上においてＹ軸方向に並んで配置されている。レンズアレイ８３は、例えば板状のガラス部材（レンズリッド）に複数のレンズ８３ａが一体成形（或いは接着）されて成る。このレンズリッドがパッケージ８２の開口に溶接されることによって、レンズアレイ８３はパッケージ８２の内部を気密に封止する。また、複数のレンズ８３ａは、複数の受光素子８１の中心間隔（ピッチ）と等しい中心間隔でもって配置され、各レンズ８３ａが、対応する受光素子８１と光学的に結合される。なお、レンズアレイ８３の一部とパッケージ８２の一部とが互いに嵌合することによって相対位置が定まるような形状を各々が有することにより、各受光素子８１と各レンズ８３ａとの調芯作業を省くことができる。
【００３４】
受信装置８０Ａの受光素子８１は、第１の光反射面５２において反射された信号光Ｌａをレンズ８３ａを介して受光し、信号光Ｌａの光強度に応じた電気信号を生成する。受信装置８０Ｂの受光素子８１は、第３の光反射面７３において反射された信号光Ｌｂをレンズ８３ａを介して受光し、信号光Ｌｂの光強度に応じた電気信号を生成する。
【００３５】
以上の構成を備える多チャネル光受信装置１０の組み立て方法について説明する。まず、基板２０の主面２１に受信装置８０Ａを実装するとともに、裏面２２に受信装置８０Ｂを実装する。なお、基板２０の主面２１及び裏面２２には、受信装置８０Ａ及び８０Ｂからの電気信号を伝えるための配線パターンが形成されており、受信装置８０Ａ及び８０Ｂはそれぞれ所定の位置に実装される。
【００３６】
次に、基板２０の主面２１における所定位置に、固定台６０を接着剤により固定する。また、基板２０の裏面２２に、上方向折り返しミラー付き可動台７０の支持部７２を接着剤により固定する。その際、基板２０の光学的開口２３を通して第４の光反射面７４を観察しながら、第４の光反射面７４の位置及び向きと、光学的開口２３の位置及び向きとを互いに合致させるとよい。
【００３７】
また、上述した各工程とは別に、光導波路モジュール３０とレンズアレイ４０とを接合する。すなわち、光導波路モジュール３０の端面３２にレンズアレイ４０を接触させつつ各光導波路３１に光を導波させ、各コリメートレンズ４１を介してこれらの光を観測する。そして、観測される光がコリメート光となる相対位置でもって、光導波路モジュール３０とレンズアレイ４０とを接着剤により固定する。
【００３８】
続いて、光導波路モジュール３０を、基板２０の主面２１における所定位置に接着剤により固定する。そして、下方向折り返しミラーアレイ５０を固定台６０の上に載せた状態で、光導波路モジュール３０の複数の光導波路３１に光を導波させ、受信装置８０Ａにおける受光感度を確認しながら、下方向折り返しミラーアレイ５０をスライドさせてその平面位置を調整する（第１の調芯作業）。受信装置８０Ａにおける受光感度が必要な大きさに達したら、固定台６０と下方向折り返しミラーアレイ５０とを接着剤により固定する。
【００３９】
続いて、上方向折り返しミラー付き可動台７０の可動部７１を支持部７２に差し込む。そして、光導波路モジュール３０の複数の光導波路３１に光を導波させ、受信装置８０Ｂにおける受光感度を確認しながら、支持部７２をスライドさせてその平面位置を調整する（第２の調芯作業）。受信装置８０Ｂにおける受光感度が必要な大きさに達したら、可動部７１と支持部７２とを接着剤により固定する。
【００４０】
以上に説明した本実施形態の多チャネル光受信装置１０によれば、次の効果を得ることができる。すなわち、多チャネル光受信装置１０では、固定台６０が、受信装置８０Ａの各受光素子８１の受光面に沿った方向にスライド可能なように、下方向折り返しミラーアレイ５０を支持している。更に、下方向折り返しミラーアレイ５０は、固定台６０に対し接着固定されている。このような構成によれば、多チャネル光受信装置１０の製造工程において下方向折り返しミラーアレイ５０と固定台６０とを接着固定する前に、受信装置８０Ａの受光面に沿った方向に下方向折り返しミラーアレイ５０をスライドさせることにより、Ｎａ個の光導波路端３３ａからの信号光Ｌａの光軸を、受信装置８０Ａの受光素子８１に対して容易に且つ精度良く調整することができる。
【００４１】
また、これと同様に、多チャネル光受信装置１０では、上方向折り返しミラー付き可動台７０の支持部７２が、受信装置８０Ｂの各受光素子８１の受光面に沿った方向にスライド可能なように可動部７１を支持している。更に、可動部７１は、支持部７２に対し接着固定されている。このような構成によれば、多チャネル光受信装置１０の製造工程において可動部７１と支持部７２とを接着固定する前に、受信装置８０Ｂの受光面に沿った方向に可動部７１をスライドさせることにより、Ｎｂ個の光導波路端３３ｂからの信号光Ｌｂの光軸を、受信装置８０Ｂの受光素子８１に対して容易に且つ精度良く調整することができる。
【００４２】
このように、本実施形態の多チャネル光受信装置１０によれば、Ｎａ個の光導波路端３３ａから出射される信号光Ｌａに関する光軸調整と、Ｎｂ個の光導波路端３３ｂから出射される信号光Ｌｂに関する光軸調整とを、個別に行うことができる。したがって、前述した特許文献１に記載された構成と比較して、複数の光導波路３１と受光素子８１との間の光軸ずれを低減することができる。
【００４３】
更に、本実施形態の多チャネル光受信装置１０では、受信装置８０Ａ及び８０Ｂが、基板２０の主面２１上及び裏面２２上にそれぞれ配置されている。したがって、特許文献１のように光学部品上に受光素子が配置される場合と比較して、受光素子８１と後段の増幅器とを接続する複数本の高周波配線を、等しい長さでもって且つ短く配置することが容易にできる。
【００４４】
また、多チャネル光受信装置では、信頼性を向上させる目的で受光素子の周囲を気密に封止することがあるが、特許文献１に記載された構成では光導波路およびサブキャリアの全体を封止する必要があるので、大きなパッケージが必要となり、装置全体が大型化してしまう。これに対し、本実施形態の多チャネル光受信装置１０では、レンズアレイ４０によってコリメートされた信号光が受信装置８０Ａ及び８０Ｂに到達する構成を備えるので、受信装置８０Ａ及び８０Ｂのみを気密封止構造とすることができ、装置全体を小型化することができる。
【００４５】
（第１の変形例）
図８は、上記実施形態の第１変形例に係る受信装置９０Ａを示す分解斜視図である。この受信装置９０Ａは、図７に示された複数の受光素子８１に代えて、一個の受光素子アレイ９１を有する。この受光素子アレイ９１には複数の受光素子９２が含まれており、複数の受光素子９２は、基板２０の主面２１及び裏面２２の法線方向（すなわちＺ軸方向）を向くように、パッケージ８２の底面８２ａ上においてＹ軸方向に並んで配置されている。また、複数のレンズ８３ａは、複数の受光素子９２の中心間隔（ピッチ）と等しい中心間隔でもって配置され、各レンズ８３ａが、対応する受光素子９２と光学的に結合される。
【００４６】
上記実施形態の受信装置８０Ａ及び８０Ｂが本変形例の受信装置９０Ａのような構成を有する場合であっても、多チャネル光受信装置１０は、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４７】
（第２の変形例）
図９は、上記実施形態の第２変形例に係る受信装置９０Ｂを示す分解斜視図である。この受信装置９０Ｂは、図７に示された構成に加え、複数の信号増幅器９３を更に有している。複数の信号増幅器９３は、複数の受光素子８１に対応して、パッケージ８２の底面８２ａ上においてＹ軸方向に並んで配置されている。複数の信号増幅器９３それぞれと、複数の受光素子８１それぞれとは、図示しない信号配線を介して互いに電気的に接続されている。
【００４８】
上記実施形態の受信装置８０Ａ及び８０Ｂが本変形例の受信装置９０Ｂのような構成を有する場合であっても、多チャネル光受信装置１０は、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。また、信号増幅器９３を受光素子８１の近傍に配置できるので、これらの間の配線長をより短くすることができ、多チャネル光受信装置１０の高周波特性を更に向上させることができる。
【００４９】
（第３の変形例）
図１０は、上記実施形態の第３変形例に係る受信装置９０Ｃを示す分解斜視図である。この受信装置９０Ｃは、図７に示された構成に加え、複数の信号増幅器９４を更に有している。複数の信号増幅器９４それぞれは、複数の受光素子８１それぞれとパッケージ８２の底面８２ａとの間に配置されている。すなわち、複数の信号増幅器９４がパッケージ８２の底面８２ａ上に実装され、複数の受光素子８１それぞれが複数の信号増幅器９４それぞれの上に個別に実装されている。
【００５０】
上記実施形態の受信装置８０Ａ及び８０Ｂが本変形例の受信装置９０Ｃのような構成を有する場合であっても、多チャネル光受信装置１０は、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。また、受光素子８１が信号増幅器９４上に実装されているので、これらの間の配線長を第２変形例より更に短くすることができ、多チャネル光受信装置１０の高周波特性をより一層向上させることができる。
【符号の説明】
【００５１】
１０…多チャネル光受信装置、２０…基板、２１…主面、２２…裏面、２３…光学的開口、３０…光導波路モジュール、３１…光導波路、３２…端面、３３…光導波路端、３３ａ…第１の光導波路端、３３ｂ…第２の光導波路端、４０…レンズアレイ、４１…コリメートレンズ、５０…下方向折り返しミラーアレイ、５１…底面、５２…第１の光反射面、５３…第２の光反射面、５４…側壁部分、５５…溝、６０…固定台、６１…上面、７０…上方向折り返しミラー付き可動台、７１…可動部、７２…支持部、７３…第３の光反射面、７４…第４の光反射面、７５，７６…ミラー部材、８０Ａ，８０Ｂ…受信装置、８１…受光素子、８２…パッケージ、８３…レンズアレイ、８３ａ…レンズ、９０Ａ〜９０Ｃ…受信装置、９１…受光素子アレイ、９２…受光素子、９３，９４…信号増幅器、Ｌａ，Ｌｂ…信号光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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