【事件の表示】
　特許第２９７４９９５号「試料搬出入装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７４９９５号の請求項１、２に係る特許を取り消す。
【理　由】
　１．［手続の経緯］
　本件特許第２９７４９９５号（請求項の数２、以下、「本件特許」という）は、平成１年１２月１３日（以下、「遡及出願日」という）に出願された特願平１−３２１４４１号の特許出願の一部を、特許法第４４条第１項に規定する新たな特許出願とした、特願平１０−６４９６９号の特許出願に係るもので、平成１１年９月３日に登録された。その後平成１２年５月９日に、上記特許異議申立人より、全請求項に関して特許異議の申立てがあったので当審において、当該申立ての理由を検討の上、平成１２年９月１日付で、全請求項に係る本件特許の取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１２年１１月２０日に特許異議意見書と共に訂正請求書が提出されたものである。
　
　２．［訂正請求の認容と本件特許発明］
　特許権者が上記訂正請求によって求める訂正の趣旨は、特許請求の範囲の減縮と、当該減縮に基づいて生じる明細書の明瞭でない記載の釈明とを目的として、特許明細書又は図面に記載された事項の範囲内で特許明細書を訂正しようとするものであって、しかも、実質上、特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもないから、請求に係る訂正は、特許法第１２０条の４第２項の規定及び同条第３項で準用する同第１２６条の規定を満たしている。
　したがって、上記訂正請求を認容することとし、本件特許発明は、上記訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項によって、それぞれ特定される次のとおりのものと認める。
　【請求項１】「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、
　前記閉容器を開閉する開閉手段と、
　前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに１つの前記閉容器が連結された状態で、前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」（この請求項１に係る発明を、以下、「本件発明」という）
　【請求項２】「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、
　該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段と、
　前記閉容器を開閉する開閉手段と、
　前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに１つの前記閉容器が連結された状態で前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」
　
　３．［引用例とその記載事項の概要］
　上記取消理由において引用した、いずれも、本件特許に係る上記遡及出願日（平成１年１２月１３日）より前に頒布された刊行物は、次のとおりである。
　刊行物１：特開昭６３−２８０４７号公報（甲第２号証）
　刊行物２：特開昭６０−１１５２１６号公報（甲第１号証）
　刊行物３：特開昭５６−４２４４号公報（参考資料１）
　（１）上記刊行物１には、「クリーン搬送方法」に関して、第１〜４図と共に、次のイ〜ホの記載がある。
　イ　「各作業工程を実行する設備は、それぞれ独立したクリーンチャンバー内に配設されている。すなわち、パターン形成工程の設備はクリーンチャンバー５Ａ、・・・、イオン注入工程の設備はクリーンチャンバー５Ｈ内にそれぞれ設けられている。」（第２頁左下欄第１３行〜同右下欄第４行）
　ロ　「本発明は、複数のクリーンチャンバーを用い、それらの複数のクリーンチャンバーのうち少なくとも１個以上を移動自在とし、前記クリーンチャンバーの移送口相互を結合した状態で被搬送物を移し変える方法・・・」（第２頁右上欄第１０〜１４行）
　ハ　「クリーン搬送車７は、クリーンチャンバーに車（キャスター）８を設けて移動自在にしたもの」（第２頁右下欄第１７〜１８行）
　ニ　「被搬送物の各クリーンチャンバー５Ａ乃至５Ｈ間の移送及び資材保管庫９及び半製品保管庫１０と各クリーンチャンバー５Ａ乃至５Ｈ間の搬送は、クリーン搬送車７を無線もしくは有線で移動させることによって行う。例えば、第２図のように、クリーンチャンバー５Ａの搬送口１５にクリーン搬送車７の移送口１６を結合（ドッキング）し、両移送口１５，１６を開き、搬送車７側のローダ及びアンローダとしてのマジックハンド機構２０を介して被搬送物をクリーンチャンバー５Ａに対して供給するか、またはクリーンチャンバー５Ａより取り出す。」（第３頁左上欄第１５行〜同右上欄第６行）
　ホ　「なお、スパッタや蒸着等の成膜工程及びイオン注入工程は、真空中で行われるので、・・・真空チャンバー自体をクリーンチャンバーとして利用するが、・・・これらの真空チャンバーとクリーン搬送車の間は気密性と機能性を高める上から２重扉構造が望ましい。・・・真空チャンバーへの搬送には、真空の効率と機能性を高めるために真空チャンバーを載置した搬送車を利用しても良い。」（第５頁右下欄第３〜１６行）
　（２）また、上記刊行物２（特に、第４頁左下欄第２〜１６行参照）には、真空処理室とバッファ室と真空予備室を、また、刊行物３（特に、第２頁左上欄第１４行〜同右上欄第４行参照）には、真空処理室に相当するウエーハ処理室と、バッファ室に相当するウエーハ搬送室と、真空予備室とをそれぞれ連設すると共に、バッファ室あるいはバッファ室に相当するところに、ウエハ等を搬送する搬送機構を設ける構成が示されている。
　４．［発明の対比］
　刊行物１記載の「クリーンチャンバー」のうちで、「各作業工程を実行する設備」を備えているものは、上記イ、ロ及びホの記載を参酌すると、本件発明において、試料を真空処理する「真空処理モジュール」に相当し、同様に「クリーン搬送車」は「移動可能な閉容器」に相当している。また、上記ニの「クリーンチャンバー５Ａの搬送口１５にクリーン搬送車７の移送口１６を結合（ドッキング）し、両移送口１５，１６を開き」という記載から、クリーンチャンバー及びクリーン搬送車のそれぞれの「移送口」に「開閉手段」が設けられていることは明らかである。更に、上記イのとおり、各クリーチャンバーは、各作業工程に対応して設けられているところから、各クリーチャンバーには単一の真空処理室が備えられているとみることができる。そして、上記ニの「クリーンチャンバー５Ａの搬送口１５にクリーン搬送車７の移送口１６を結合（ドッキング）し、両移送口１５，１６を開き、搬送車７側のローダ及びアンローダとしてのマジックハンド機構２０を介して被搬送物をクリーンチャンバー５Ａに対して供給するか、またはクリーンチャンバー５Ａより取り出す」という記載は、「各真空処理モジュールのいずれかに１つの前記閉容器が連結された状態で、前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する」ことと同義といえる。
　したがって、本件発明と刊行物１記載の発明の一致点と相違点は、次のとおりである。
　＜一致点＞　「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、
　前記閉容器を開閉する開閉手段と、
　前記各真空処理モジュールのいずれかに１つの前記閉容器が連結された状態で、前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えた試料搬出入装置。」である点。
　＜相違点＞  本件発明では、真空処理モジュールに「真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室」が備えられ、当該バッファ室内に「前記ロック室を介して試料を搬出入する搬出入手段」が設けられるとされるのに対し、刊行物１には、真空処理モジュールにバッファ室及びロック室が備えられことや、ロック室を介して試料を搬出入する搬出入手段をバッファ室内に設けることについて言及がない点。
　
　５．［相違点の検討］
　上記の刊行物２及び３記載の「真空予備室」は、大気状態と真空状態とが切り替え可能に構成されているもので、本件発明における「ロック室」に相当しており、これらの刊行物にも示されているように、真空処理室にバッファ室とロック室とを連設すると共に、ロック室を介して被処理物の搬出入を行う手段をバッファ室に設ける構成は、真空処理モジュールにおいて通常採用されている周知のものである。
　一方、刊行物１における、上記ホの「２重扉構造が望ましい」という記載は、ロック室の必要性を示唆したものとも解しうるし、また、真空処理モジュールと閉容器とによって形成される閉空間の内部において試料の搬出入を行うための手段は、真空処理モジュールあるいは閉容器のいずれの側に設けてもよいものであることは明らかである。
　そうすると、刊行物１における上記の示唆等に基づいて、刊行物１記載の「各作業工程を実行する」ためのクリーンチャンバー（真空モジュール）において、上記周知の構成を採用して、本件発明のようにすることは、当業者が容易に想到しうる設計事項といえる。
　しかも、本件発明の作用効果は、上記各刊行物の記載から予測しうる範囲を越えるものではない。
　したがって、本件発明は、上記刊行物記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものといえるし、請求項１に係る本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定をしなければならない特許出願に対してされたことになる。
　
　６．［請求項２に係る発明について］
　請求項２に係る発明では、本件発明の構成に加えて「該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段」が付加されているが、上記３．のロ〜ニに指摘したように、刊行物１には、「複数のクリーンチャンバーのうち少なくとも１個以上」に「車（キャスター）８を設けて移動自在にしたもの」を「無線もしくは有線で移動させる」旨が記載されており、当該移動させる手段は実質上刊行物１にも開示されているといえる。
　したがって、請求項２記載の発明も本件発明と同様に、上記刊行物記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたもので、請求項２に係る本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定をしなければならない特許出願に対してされたことになる。
　
　７．［むすび］
　以上のとおりであるから、請求項１及び２に係る本件特許は、平成６年法律第１１６号附則第１４条の規定によって適用される、平成７年政令第２０５号第４条第２項の規定に基づいて、特許法第１１４条第２項に規定の取り消すべき旨の決定をすべきものに該当する。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１２月２１日（２０００．１２．２１）
【訂正の要旨】
　上記訂正の要旨は、次のイ〜ニのとおりである。
　イ　発明の名称を「試料搬出入装置」から「複数真空処理装置」に訂正する。
　ロ　請求項１及び２のそれぞれにおいて、冒頭の「各々試料が真空処理される単一の真空処理室とバッファ室とを備えた複数の真空処理モジュールと、各真空処理モジュールに対応して配置される移動可能な閉容器と、」という記載を、「各々試料が真空処理される単一の真空処理室と真空保持のバッファ室と大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段を備えた複数の真空処理モジュールと、前記試料を保持し各真空処理モジュールに対応して連結される移動可能な閉容器と、」と訂正する。
　ハ　同じく、請求項１及び２それぞれの末尾の「前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して前記閉容器が配置された状態で、前記閉容器に前記各開閉手段を介して前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」という記載を、「前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュールのいずれかに１つの前記閉容器が連結された状態で、前記ロック室および前記各開閉手段を介して前記閉容器内の前記試料を搬出入する搬出入手段とを備えたことを特徴とする試料搬出入装置。」と訂正する。
　ニ　特許明細書における「発明の詳細な説明」の、上記ロ、ハの訂正事項に対応する箇所（【０００７】）について、当該各訂正事項と同趣旨の訂正をする。
（５４）【発明の名称】
複数真空処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　各々試料が真空処理される単一の真空処理室と
真空保持の
大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段
前記試料を保持し
連結
　前記閉容器を開閉する開閉手段と、
　前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュール
のいずれかに１つの
連結
前記ロック室および
前記閉容器内の
　【請求項２】
　各々試料が真空処理される単一の真空処理室と
真空保持の
大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段
前記試料を保持し
連結
　該閉容器を所定の前記真空処理モジュールに対応する位置に移動させる手段と、
　前記閉容器を開閉する開閉手段と、
　前記各バッファ室内に設けられ、前記各真空処理モジュール
のいずれかに１つの
連結
ロック室および前記
前記閉容器内
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、試料を真空で連続して複数処理する真空処理装置に係わり、特に半導体製造装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　従来の複数処理装置は、例えば、セミ・コンダクタ・ワールド（Ｓｅｍｉ　Ｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｗｏｒｌｄ）１９８９、８、３８〜４０頁に記載されているように各処理室は、真空にされた搬送室等で連結されていた。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記従来技術の放射状連結は、各処理室が放射状に連結されているため、試料の大口径化に伴う設置場所の拡がり、又は、連結される処理室の数にも制限があった。
　【０００４】
　また、上記従来技術の直線状連結は、各処理室が放射状に連結されているため、処理前後の試料の位置が離れ操作性が悪く、各処理室の大きさにより、各室の標準化が困難であった。
　【０００５】
　さらに、上記従来技術は、各処理室が真空の搬送室等で常に連結されているため、各処理室の保守スペースが不十分で移動等も困難であり、また、各真空処理室間が連結されるための相互汚染も問題があった。
　【０００６】
　本発明の目的は、各処理室の相互汚染がなく、保守性が良い連続で複数の処理が行えるようにすることにある。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために、本発明の特徴とするところは、各々試料が真空処理される単一の真空処理室と
真空保持の
大気または真空雰囲気に切替えられるロック室および開閉手段
前記試料を保持し
連結
のいずれかに１つの
連結
前記ロック室および
前記閉容器内の
　【０００８】
　上記のように構成すれば、閉容器により閉じた状態で搬送した試料を、汚染させること無く、複数の真空処理モジュールの各処理室に容易に、且つより確実に搬出入可能な試料出搬入装置を得ることができる。
　また、各真空処理モジュールは単一の真空処理室とバッファ室とを備えており、各バッファ室内に搬出入手段が設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して閉容器が配置された状態で、閉容器に開閉手段を介して試料を搬出入するように構成したので、閉容器に搬送手段を設けたものに比べて、構成が簡単になり、制御が容易になる。
　特に、真空処理モジュールを単一の真空処理室とバッファ室から構成し、閉容器を移動型としているため、各真空処理室の処理時間に差が有っても、試料の搬出入に大きなロスタイムを生ずることはない。
　【０００９】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の一実施例を図１および図２により説明する。
　【００１０】
　図１において、システムの構成は、試料を大気中から真空中へ、および真空中から大気中へ戻すため、ロードアンロード装置１と、そこから試料を真空保持の状態で受け取り又は受け渡し可能な真空移動装置２と、その真空移動装置２との間で試料を真空保持状態で搬出入可能な一つ以上の処理モジュール３ａ〜３ｃでなる。
　【００１１】
　図２において、真空移動装置２と一つの処理モジュールの構成について説明する。
　【００１２】
　まず、真空移動装置２は、試料を真空状態に保持する移動真空室４と、試料搬出入時開くゲートバルブ５ａとで真空室を形成する。その移動真空室４には、試料の搬出入時に稼働する試料搭載装置１０が取り付けられている。また、真空移動装置２がロードアンロード装置１および各処理モジュール３ａ〜３ｃ間を移動するために移動装置１１が設けられると共に、移動真空室４に設けられたロック室６ａを処理モジュール３又はロードアンロード装置の真空室のロック室６ｂと連結する結合装置９が設けられている。
　【００１３】
　各処理モジュール３は、試料の処理を行う処理室８と、搬送アーム１６の収納される真空保持のバッファ室７と、真空移動装置２のロック室６ａと連結されるロック室６ｂより真空室が形成され、各室は、ゲートバルブ５ｂおよび５ｃにより連通となる。ロック室６ｂには、ロック室６ａおよび６ｂを大気に戻すためにＮ２ガス元１４がバルブ１５を介して接続され、また、真空引きをするために真空ポンプ１２がバルブ１３を介して接続されている。また、ロードアンロード装置１にも上記の処理モジュール３と同様の機構が設けられる。
　【００１４】
　以上、本実施例によれば、ロードアンロード装置および各処理モジュールの真空室を単独で切り離して配置していても、試料は、各処理の開始から終了まで真空状態で処理することができる。
　【００１５】
　【発明の効果】
　本発明によれば、閉容器により閉じた状態で搬送した試料を、汚染させること無く、複数の真空処理モジュールの各処理室に容易に、且つより確実に搬出入可能な試料出搬入装置を得ることができる。
　また、各真空処理モジュールは単一の真空処理室とバッファ室とを備えており、各バッファ室内に搬出入手段が設けられ、前記各真空処理モジュールに対応して閉容器が配置されれた状態で、閉容器に開閉手段を介して試料を搬出入するように構成したので、閉容器に開閉手段を設けたものに比べて、構成が簡単になり、制御が容易になる。
　特に、真空処理モジュールを単一の真空処理室とバッファ室から構成し、閉容器を移動型としているため、各真空処理室の処理時間に差が有っても、試料の搬出入に大きなロスタイムを生ずることはない。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例の複数真空処理装置の構成を表した平面図である。
　【図２】
　図１の処理モジュール部の縦断面図である。
　【符号の説明】
　１…ロードアンロード室、２…真空移動装置、３…処理モジュール、４…移動真空室、５ａ〜５ｃ…ゲートバルブ、６…ロック室、７…バッファ室、８…処理室、９…結合装置、１０…試料搭載装置、１１…移動装置、１２…真空ポンプ、１３…バルブ、１４…Ｎ２ガス元、１５…バルブ、１６…搬送アーム。