(57)【要約】  本発明は，光記録担体上にデータをマスタリングするためのマスタディスクを製造するための装置に関する。読取り時のクロストーク効果，又はマスタリング時のクロス記録効果さえ生じ得る大き過ぎるピット幅から生じるジッタレベルを減じるために，パルス記録ストラテジの適用がマスタディスクを製造するために提案される。パルス記録ストラテジではピットは，実質ゼロの光強度を持つ幾つかの記録パルスを含む一連の予め決められた数の記録パルス列により記録される。
2008509504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録担体上にデータをマスタリングするためのマスタディスクを製造するための装置であって，
-  記録されるべき前記データを表す情報信号に従って変調された露光ビームを照射し，前記マスタディスク上にピット及びランドの列を形成する手段と，
-  実質的にゼロの光強度を持った幾つかの記録パルスを含む一連の予め決められた数の記録パルス列により前記マークが記録されるよう前記露光ビームの強度を変調するための制御手段とを有する装置。
【請求項２】
前記制御手段は，一連の記録パルス列の後半部分はその前半部分と同じ強度を持つが但し並び方は逆である当該一連の予め決められた数の記録パルス列によってマークを記録するために適した請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記制御手段は，2nT記録パルスの使用により，長さnTのピットを記録するために適し，ここでTは1チャネルクロックのチャネルビット期間である請求項1に記載の装置。
【請求項４】
最初の記録パルスと最後の記録パルスとが，実質ゼロの光強度を持つ請求項3に記載の装置。
【請求項５】
最大長に等しいか，又は最大長の半分より長い長さを持つピットを記録するために，最初の2個及び最後の2個の記録パルスは実質的にゼロの光強度を持ち，3番目及び4番目の記録パルスと最後から3番目及び4番目の記録パルスとは，実質的に最大の光強度を持つ請求項1に記載の装置。
【請求項６】
最長及び最短のピットを記録するために，前記一連の記録パルス列の中央部の記録パルス列は，前記ピットを記録するための前記一連の記録パルス列において最大の光強度を持つ請求項1に記載の装置。
【請求項７】
最短のピットを記録するために前記一連の記録パルス列の中央部の記録パルスは，前記ピットを記録するための一連の記録パルス列の中で最大の強度を持つ請求項1に記載の装置。
【請求項８】
記録担体を製造するための装置であって，
-  請求項1に記載のマスタディスクを作成する装置と，
-  前記マスタディスクを使って記録担体を製造するための手段とを有する装置。
【請求項９】
光記録担体上にデータをマスタリングするためのマスタディスクを作成するための方法であって，
-  記録されるべき前記データを表す情報信号に従って変調された露光ビームを照射し，前記マスタディスク上にマーク及びランドの列を形成するステップと，
-  実質的にゼロの光強度を持つ幾つかの記録パルスを含む一連の予め決められた数の記録パルス列によりピットが記録されるよう前記露光ビームの強度を変調するステップとを有する方法。
【請求項１０】
-  請求項1に記載のマスタディスクを作成するステップと，
-  前記マスタを用いて記録担体を製造するステップとを有する記録担体を製造する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，光記録担体上にデータをマスタリングするためのマスタディスクを製造するための装置及び対応する方法に関する。本発明は他に、記録担体を製造するための装置及び対応する方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばUS特許第6,026,072号で開示されているような従来からのマスタリング方法においては、マスタディスク上に異なる効果長（即ちピット）を作るために記録ストラテジは用いられていない。これは，より高いエネルギー量に対して、記録された効果は感光後はより長くかつより幅広になることを意味する。これによりピット幅は，このようなマスタディスクを使用して作られた光記録担体からのデータの読出し時にクロストーク効果が生じたり、 及び/又はマスタリング時にクロス書込み効果が生じたりするほど、あまりに大きくなるかも知れない。これらの効果はすべて、望ましくない高いジッタレベルの誘因となり得る。これらの効果の影響を防ぐためにエネルギー量を減じることは，当該エネルギー量では前記ピットを十分なピット深さで書くには不十分（又はピットを書くことにさえ全く不十分となる）となり得るので，一般的には不可能である。
【０００３】
欧州特許出願第EP 04102470.4 (03-06-2004; 出願人整理番号PHNL040596)号では，記録ストラテジを用いてマスタディスクを製造するための方法及び装置が記述されている。前記ピットは，ギャップ幅とバイアスパワーレベルの強度とを持った期間により分断されている，パルス幅と記録パワーレベルの強度とを持つパルスを有するパルスの列（即ち，一連のパルス）によって記録される。長いピットを記録するために使われるこのようなパルス列は，最初のパルスと最後のパルスとが中間部のパルスに比べてより高い強度を持った，犬の骨のような形を示す。これは，前記長いピットの始端エッジ部と終端エッジ部との間の中央のピット区間の幅よりも，より広い幅を持つ前記長いピットの始端エッジ部と終端エッジ部とを生じ，より大きな変調を生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
より低いジッタレベルが得られるマスタディスクを製造するための装置及び対応する方法を供することが本発明の目的である。
【０００５】
本発明によれば，この目的は，請求項1に記載のマスタディスクを製造するための装置であって，
-  記録されるべきデータを表す情報信号に従って変調された露光ビームを照射し，前記マスタディスク上にピット及びランドの列を形成する手段と，
-  実質的にゼロの光強度を持つ記録パルスを含む一連の予め決められた数の記録パルス列により前記ピットが記録されるよう前記露光ビームの強度を変調する手段とを有する装置により達成される。
【０００６】
マスタディスクを製造するための対応する方法は，請求項9にて規定される。本発明はまた，上記で規定されたマスタディスクを製造するための装置と前記マスタディスクを用いて記録担体を製造する手段とを有する，記録担体を製造する装置及び対応する方法にも関する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は，マスタディスクを製造するためにパルス記録ストラテジを適用する，即ち，一連の予め決められた数の記録パルス列をマスタディスク上にピットを記録するために適用するという考えに基づく。更に，ピットを記録するための一連の記録パルス列の強度は，すべて同一ではなく，幾つかの記録パルスは実質ゼロの光強度を持つ。即ち，すべての記録パルスが，ゼロパワーレベルより大幅に上の記録パワーレベル，又は前記一連のパルス列中の個々の記録パルスの間にあるギャップ部では記録パワーは通常減じられているバイアスパワーレベルより大幅に上の記録パワーレベルを持つのではない（バイアスパワーレベルは「実質的にゼロ」の光強度を持っていると理解されるべきである）。このようにして前記ピット幅及びピット長さは，実質的にゼロより上の光強度を持つ一連のパルス列内で前記記録パルスの強度と位置とを制御することにより，うまく制御することが出来る。
【０００８】
本発明の好ましい実施例は，従属の請求項にて規定される。第1の実施例においては，一連の記録パルス列の前半と後半とは，同じ連続の強度を持ち，但し並び方は逆の同数の記録パルスを持つ。一つの連続した記録パルス列の前半と後半とは，このように鏡のような対称順となり，このような記録ストラテジにおいては少ない数のパラメータのみが関与するという長所を持つ。これとは逆に，非対称な記録は，スペースの次のデータ記録に，より多くの知識を必要とするかも知れない。このことは，スペースの大きさがスポットの大きさより小さい場合，即ち前記ピットを分断する2Tランド及び3Tランドに対しては，長所になり得る。
【０００９】
もうひとつの実施例においては，前記制御手段は，2nT記録パルスを使って長さnTのピットを記録するために適用される（Tは1チャネルクロックのチャネルビット期間）。このように，相変化型光記録担体上へピットを記録することから一般的に知られる，いわゆる2T記録ストラテジが使われる。このような記録ストラテジにおいては，記録パルス長は0.5Tに選ばれることが出来る。パワーレベルを0.5T時間周期ごとに変更できるので，0.5Tパルス長は十分な分解能を持つ。
【００１０】
他の好ましい実施例においては，一連の記録パルスの最初及び最後のパルスは，実質的にゼロの光強度を持つ。この長所は，記録ストラテジ中のスペース部が増え，結果としてピット間のクロス照射に対するより良いマージンを生じることである。
【００１１】
他に本発明の実施例において，最大の許容ピット長に等しいか，又は最大許容ピット長の半分より長いピットを記録するために，最初の2個及び最後の2個の記録パルスは実質ゼロの光強度を持ち，かつ「最初から」3番目と4番目との記録パルス，及び最後から3番目と4番目との記録パルスは，実質的に最大の光強度を持つと言う提案がされている。前記最初のパルス及び最後のパルスの高パワーは，スペースからピット，及びピットからスペースへの過渡部分の傾斜を増す。これは読出し信号の過渡部を改善する。前記ピット長は，最初の数パルス及び最後の数パルスへのエネルギー量によりこのように制御され，前記ピット幅は，前記最初の数パルスと最後の数パルスとの中間にあるパルス列へのエネルギー量により制御される。
【００１２】
他の実施例において，最長のピット及び最短のピットを記録するために，一連の記録パルス列の中央部の記録パルス列は，前記ピットを記録するための一連の記録パルス列において，実質的に最大の光強度を持つという提案がされる。ピットを記録するための前記記録パルス列の間に，より多くのスペースがあればあるほど，読取りスポットの検出限界を超えて前記スペースを最小化するために，前記記録エネルギーはより高くなければならない。1.5Tより大きなギャップは一般的には大きすぎてピットをつなぐことは不可能で，ピットの連続性を保つために，その間に，追加の記録パルスが好ましくは使用される。
【００１３】
他の実施例において，最短長のピットを記録するために，一連の記録パルス列の中央部の記録パルスは，前記最短長ピットを記録するための一連の記録パルス列の中で最大の強度を持つという提案がされ，及び/又はより長いピットを記録するために，一連の記録パルス列の中央部の記録パルスは，前記より長いピットを記録するための一連の記録パルス列の読み出し信号の連続性を保つように選択された強度を持つという提案がされる。好ましくは，記録パルス列の数と強度とは，記録されるべきピットの長さによって変化させる。特に，各々のピット長に対し，予め決められた強度を持った各々の記録パルスからなる一連の予め決められた記録パルス列が使用される。
【００１４】
本発明は，図を参照して，詳細に説明されるだろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図1は記録ストラテジを使わない従来のマスタリング方法を適用して記録された長いピットの例を示す。図1aに示されるピットは低いエネルギー量で書かれていて，図1bに示されるピットは高いエネルギー量で書かれている。図示のように，より高いエネルギー量が用いられたときは，ピットはより長くかつより幅広い。ピット幅は過大になり得，その結果として読出し時のクロストーク効果を生じたり，又はマスタリング時のクロス記録効果さえ生じる。すべてのこれらの効果は高いジッタレベルの誘因となる。この問題は本発明により避けられるか，又は少なくとも減じられる。
【００１６】
本発明によってマスタディスクを製造する装置の概観的なブロック線図が図2に示される。当該図は，データD を表す（ピットに対応した）マークとランドとの列をマスタディスク上に記録するために使用される当該マスタディスク2に向けられた露光ビームL を照射する装置1を示す。前記マスタディスク2は後に，ここではより詳細を記してはいない既知の方法にて再生専用の記録担体を製造するために使用される。記録ストラテジによって前記露光ビームLの強度を変調するための変調信号Mを供する制御手段3も示されている。本発明によれば露光ビームLは，予め決められた数の一連の記録パルス列の形となるように変調される。即ち，マスタディスク2上にマークを記録するために，パルス記録ストラテジが本発明に従って使われる。 一連の前記記録パルス列は，特に前記記録パルス列の前半と後半とが同じ強度（エネルギー量）を示し，しかし並び方は逆になるように供される。これは下記に，より詳細に示されかつ説明されるだろう。
【００１７】
本発明によれば長いピットは，実際に作られるピットよりも短いピットのパルス列によって作られる。最初のパルス及び最後のパルスのエネルギー量は，正しいピット長に加減するために使用され，これら2個のパルスの間のエネルギー量は，前記効果変調に対応して生じる物理的なパルス幅の加減に使用される。一連の短い記録パルス列を用いて記録された長いピットの典型的なイメージが図3に示される。このようにして，ピットの幅と長さとが別々に制御され得る。
【００１８】
例として， 7T長（Tはチャネルビットクロックの1周期）を持つ四つの異なるT7ピットが，下記の表に示されるように比較される。
2008509504.tif 000003
【００１９】
この表は，一つのT7ピットが，各々T/2長の14個の別々の部分に分割されていることを示す。各T/2の部分で，露光ビームのエネルギー量（又は強度）に対応するAWG（任意波形発生器）の電圧出力レベルは，別々に調整可能である。
【００２０】
表の第1の行では，T7ピットは最大パワーレベルの50%の連続記録パワーレベルを適用して，即ちパルス記録ストラテジ（WS）を使用することなく，書かれている。次の三つの行では，001100という同じ開始パターン及び終了パターンを持ち，中央部のパルスに適用されたパワーレベルのみが異なる，即ち適用されたパワーレベルは最大パワーレベルの70%，75%，又は100%である，三つの異なる記録ストラテジが示されている。
【００２１】
AFM（原子間力顕微鏡）のデータは，より強い中央スポットが使用されたときはT7ピットはより幅広になることを示している。特に，AFM分析は，T7-100で記録されたピットはT7-75ピットに比べて約58nm幅が広いことを示していた。この結果から，中央パルスの1%ごとのパワー増加に対して約2nmの平均的な拡幅が仮定できる。マーク長及びスペース長の測定の例が図4に描かれている。図4aは，上の表の四つの異なるT7の記録パターンの電圧レベルを示す。図4bは，T7マーク（又はスペース）長の偏差はT7-70をT7-75マーク（又はスペース）と比較しても大きく変わらないことを示す。前記T7-75パターンは，このようにT7マークに好ましい記録パターンである。これらの測定の補間は，T7マークとスペースとの偏差が1nS以下しか違わないios = -10（ios =強度のオフセットレベル）での記録パワーを示す。更に，中央スポットでの5%のパワー増加は前記測定された偏差を大きく変えることはない。この比較が，前記T7-75記録パターンをT7効果の記録のために選択するよう使われている。
【００２２】
上記の方法はT2からT8まで，記録される全てのマークに適用されている。結果として得られた記録パターンを以下の表に表す。
2008509504.tif 000004
【００２３】
上記はまた，長さTなる1クロック周期を持つクロック信号10を示す図5にも例示されている。データ信号11は，2Tから8Tの範囲の異なる長さのピット（即ち，データ信号11の高い値の部分）を表して示されている。更に，対応する前記制御信号12が，前記異なる長さの前記ピットを記録するために一連の記録パルス列を使用するという本発明による前記記録ストラテジを適用して示されている。各々の一連の記録パルス列において見ることが出来るように，特定のピット長のピットを記録するための前記記録パルス列の前半と後半とは，同一の強度を示すが順番は逆になっている。 図5に示される前記記録パルスのパワーレベルは，上記の表で与えられている数値に対応する。
【００２４】
当該の表はT2パルスが四つの1/2Tパルスを用いて記録されていることを示し，T3は六つの1/2Tパルスを用いており，以下同様である。上の表中の一連の記録パルスで，最初の1/2Tパルス，又は最後の1/2Tパルスが使われているものはひとつもない（即ち，これらの最初と最後の1/2Tパルスは実質ゼロの光強度を持つ）。2Tピットを記録するための前記パルス列では，中央部の値のみが残っていて，これは最大記録パワーの81%にて記録される。3Tピットを記録するためには，前記中央部の1/2Tパルスは100%の両脇のパルスの33%となる。4Tピットを記録するためには，前記中央部の1/2Tパルスは使用しない。100%の1/2Tパルスと63%の1/2Tパルスとの組み合わせが4T ピットを記録するためにパルス列の最初及び最後に使われる。
【００２５】
（5Tから8Tまでの）より長いピットを記録するための前記パルス列は，全て001100の開始パターン及び終了パターンを使っている。5Tと6Tとのパルス列間の違いは，5Tピットに対しては中央部の「ギャップ」が2個の1/2Tパルス長であり，6Tピットに対しては4個の1/2Tパルス長であることである。7Tピットに対しては，前記中央部の1/2Tパルスが再び使われ，前記記録パワーの75%は，これらの長いピットの始端部と終端部との間の大きなギャップをつなぐのに十分である。同じことが8Tピットについても言え，前記中央部の1/2Tパルスは最大記録パワーの100%である。
【００２６】
上述の記録パターンを用いた記録に対するジッタ測定とプッシュプル測定とが図6に示される。測定では特に320nm，359nm及び400nmの異なるトラックピッチ(TP)が使われている。前記ジッタ測定の結果（図6a）は，前記トラックピッチが400nmから320nmに減じられたときに7.5%の低いジッタレベルを保ち得ることを示している。プッシュプル信号（図6b）は，前記トラックピッチが小さくなると0.17に向かって僅かに減少していくが，しかし，これらの値は未だ，例えばBD-ROM仕様の範囲内である。
【００２７】
最後に図7は，本提案の記録ストラテジ（WS）の上述の実施例を用いた記録からのジッタ測定を，記録ストラテジを使わない(no WS) 他の記録と比較して示す。記録ストラテジを使わぬ（no WS）記録においては，最低ジッタ値は-0.15から+0.15の非対称性の範囲外で得られることが見て取れる。本発明による前記記録ストラテジが使われた場合，低いジッタ値は保たれ，しかしここでは非対称性の値がゼロ近傍に得られる。
【００２８】
まとめると，良い品質の小さく長いピット形状を作るために，マスタリング用に前記パルス記録ストラテジが提案される。ピット長は，最初の幾つかのパルス及び最後の幾つかのパルスの前記エネルギー量によって制御される。前記ピット幅は，最初の幾つかのパルス及び最後の幾つかのパルスの間に位置するパルスのエネルギー量によって制御される。追記型，又は書き換え型のメディアへの記録のための既知のパルス記録ストラテジは対称ではないのに対し，本発明で提案された前記記録ストラテジは，記録パルスの位置及び記録パルスのパワーの両方において対称である。長いピットを記録するための前記パルス列は，同じ開始パターン及び終了パターンを使用する。この方法を用いることにより，概略0nSのマーク及びスペース偏差を得ることが出来る。本発明で提案されたパルス記録ストラテジを適用することにより，読取り信号でのクロストーク効果及びマスタリング時のクロス記録効果が最小化される。
【００２９】
本発明で提案された記録ストラテジの使用で，いかなるマスタフォーマットの性能も改善できることが期待される。このように本発明は，いかなる特定のマスタリング技術，又はCD, DVD若しくはBDのようないかなる特定の種類の記録担体に限定されることはない。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１ａ】低いエネルギー量及び高いエネルギー量で記録した長いピットの例を示す。
【図１ｂ】低いエネルギー量及び高いエネルギー量で記録した長いピットの例を示す。
【図２】本発明によってマスタディスクを製造するための装置を概観的に示す。
【図３】本発明による記録ストラテジを適用して記録された長いピットを示す。
【図４ａ】四つの異なるT7 記録パターンの電圧レベルと二つのT7記録パターンに対する対応するIOSレベルとを説明している線図を示す。
【図４ｂ】四つの異なるT7 記録パターンの電圧レベルと二つのT7記録パターンに対する対応するIOSレベルとを説明している線図を示す。
【図５】異なる長さのピットを記録するために，光ビーム強度を変調するための制御信号を示す。
【図６ａ】本発明による記録ストラテジと，異なるトラックピッチとを適用したときのジッタ測定及びプッシュプル測定の結果を示す。
【図６ｂ】本発明による記録ストラテジと，異なるトラックピッチとを適用したときのジッタ測定及びプッシュプル測定の結果を示す。
【図７】本発明による記録ストラテジを用いた記録のジッタ測定を，他の記録と比較して示す。
【図１ａ】
2008509504.tif 000005
【図１ｂ】
2008509504.tif 000006
【図２】
2008509504.tif 000007
【図３】
2008509504.tif 000008
【図４ａ】
2008509504.tif 000009
【図４ｂ】
2008509504.tif 000010
【図５】
2008509504.tif 000011
【図６ａ】
2008509504.tif 000012
【図６ｂ】
2008509504.tif 000013
【図７】
2008509504.tif 000014
【国際調査報告】
2008509504.tif 000015
2008509504.tif 000016