【事件の表示】
　特許第２８３８１７０号「レベリング装置」の請求項１乃至５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８３８１７０号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８３８１７０号は、平成３年３月１５日の出願であって、平成１０年１０月１６日にその特許権の設定登録がなされ、その後、金谷尚子より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１１月１６日に訂正請求がなされたものである。
２．特許異議申立理由の概要
　特許異議申立人金谷尚子は、刊行物１（特開昭６２−２７２１８６号公報）及び刊行物２（特開昭６２−１５２６３２号公報）を提示し、本件請求項１乃至５に係る発明は、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件請求項１乃至５に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、その特許を取り消すべき旨主張している。
３．取消理由の概要
　取消理由は、刊行物１及び２を引用し、本件請求項１乃至５に係る発明は、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件請求項１及び５に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、その特許を取り消すべきというものであり、また、本件請求項２の記載事項は意味不明であり、本件請求項２に係る特許は、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであるから、その特許を取り消すべきというものである。
４．訂正の適否
　ア．訂正の内容
　訂正事項ａ
　設定登録時の願書に添付した明細書又は図面（以下「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載された
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられてなるレベリング装置。」を
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられており、
　前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、
　前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とするレベリング装置。」
と訂正する。
　訂正事項ｂ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項２を
「規制手段の規制部材と押圧部材が、ころがり係合又はスライド係合をおこなう請求項１に記載のレベリング装置。」
と訂正し、
　同請求項３を
「規制手段の規制部材が溝部を有する溝部材で、且つ押圧部材が前記溝部材の溝部に嵌合する、部分球面を有する球面コロ又は球体である請求項２に記載のレベリング装置。」
と訂正し、
　同請求項４を
「支持手段の第二の支持部及び第三の支持部にそれぞれ設けられ、基板と載置部材の間隔を可変とする第一の可変手段及び第二の可変手段と、載置部材の基板に対する姿勢が検出された際にその検出結果に基づき、第二の支持部及び第三の支持部が作動して載置部材が所望の姿勢をとり得るように前記二つの可変手段を制御する制御手段が備えられてなる請求項１に記載のレベリング装置。」
と訂正する。
　訂正事項ｃ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項５を削除する。
　訂正事項ｄ
　特許明細書の段落番号【０００６】に記載された
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられてなるレベリング装置である。また、前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線と平行な軸を軸線として、前記規制部材が回動しようとすると、規制部材に押圧力を与えるように、規制部材に対して接触又は当接の状態で規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に設置された押圧部材からなることが好適である。」を
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられており、前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とするレベリング装置である。」
と訂正し、
　特許明細書の段落番号【００３８】に記載された
「その回動を阻止する規制手段を第一支持部以外に設けて構成したことにより、」を
「その回動を阻止する規制部材と押圧部材よりなる規制手段を第一支持部以外に設けており、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことにより、」
と訂正する。
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、請求項１に記載された「規制手段」が規制部材と押圧部材とからなるものに限定し、さらに、載置部材が基板に対して、第１の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとするとき、その回動を阻止するために規制部材と押圧部材の作用を限定しようとするものであるので、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　そして、訂正事項ａの「前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、」は、特許明細書の請求項２に記載されていた事項である。
　また、訂正事項ａの「前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とする」は、特許明細書の段落番号【００３５】に記載された「規制部材６４ａは、規制作用を行うための縦方向に伸びる、断面がＶ次形状の溝部１５ａが形成されている。・・・（中略）・・・押圧部材６５ａは先端が球体６６ａであって、規制部材６４ａの溝部１５ａと当接係合するものである。」、同段落番号【００３６】に記載された「可変手段４ａ及び５ａが作動してそれぞれ基板２ａ及び載置部材３ａの間隔を変えるように、支持部８ａ、９ａが基板２ａと載置部材３ａの支持状態を変化させた際に、基板２ａに対して載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に回動しようとする場合がある。この回動は、支持部７ａを中心とした矢印Ｅａ方向のものであるが、押圧部材６５ａの球体６６ａが規制部材６４ａの溝部１５ａを矢印Ｅａ方向に押圧して基板２ａに対して載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に回動することを規制し、基板２ａと載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に相対的に回動するということは起こらない。」及び同図１３に記載された溝部１５ａと球体６６ａとの当接係合状態より、直接的かつ一義的に導き出せるものである。
　訂正事項ｂは、請求項３乃至５を繰り上げて、請求項２乃至４とするものであり、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　訂正事項ｃは、請求項を削除するものであるので、特許請求の範囲の減縮に該当する。
　訂正事項ｄは、訂正事項ａで訂正された特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合をとるための訂正であるので、明りょうでない記載の釈明に該当し、そして、訂正事項ｄは、訂正事項ａについての検討で示したように、特許明細書より直接的かつ一義的に導き出せるものである。
　そうすると、訂正事項ａ乃至ｄは、いずれも、特許明細書に記載された事項の範囲内のものであり、そして、訂正事項ａ乃至ｄの訂正によって発明の目的が変更されるものでもないから、訂正事項ａ乃至ｄは、いずれも、実質上特許請求の範囲を拡張するものでもなく、また、変更するものでもない。
　ウ．独立特許要件
　訂正請求によって訂正された訂正明細書の請求項１乃至４に係る発明（以下「訂正発明１乃至４」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載された次のとおりのものである。   
「【請求項１】基板と、被載置物を載置する載置部材と、それら基板と載置部材との間に介在され、且つ基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持する第一の支持部、及び基板と載置部材の間隔を、互いに独立して可変で支持する第二及び第三の支持部からなり、基板に対して載置部材を所望の姿勢で支持し得る支持手段が備えられ、
　前記支持手段は第一、第二、及び第三の支持部が同一直線上にない状態で基板と載置部材の間に配置され、
　第二の支持部及び／又は第三の支持部が基板と載置部材の間隔を変化させた際に、載置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると、その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられており、
　前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、
　前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とするレベリング装置。
【請求項２】規制手段の規制部材と押圧部材が、ころがり係合又はスライド係合をおこなう請求項１に記載のレベリング装置。
【請求項３】規制手段の規制部材が溝部を有する溝部材で、且つ押圧部材が前記溝部材の溝部に嵌合する、部分球面を有する球面コロ又は球体である請求項２に記載のレベリング装置。
【請求項４】支持手段の第二の支持部及び第三の支持部にそれぞれ設けられ、基板と載置部材の間隔を可変とする第一の可変手段及び第二の可変手段と、載置部材の基板に対する姿勢が検出された際にその検出結果に基づき、第二の支持部及び第三の支持部が作動して載置部材が所望の姿勢をとり得るように前記二つの可変手段を制御する制御手段が備えられてなる請求項１に記載のレベリング装置。」
　これに対して、当審が通知した取消理由で引用した刊行物１には、
「ワークピースの位置制御に関し、かつ特定的には、特に測定装置においてターンテーブル上にワークピースをセンタリングしかつレベリングするための方法および装置」（第３頁右上欄第１７−２０行）、
「ターンテーブル４のための支持構造はモー夕駆動スピンドル２０に固定されたディスク１８により保持されるベース１６を含む。」（第５頁右上欄第４−７行）及び
「ポスト３８の上端部における凹所に装着されたボール４６は、点Ｐのまわりの自在枢軸移動のためにターンテーブル４を支持する。
　点Ａおよび点Ｂでは、ターンテーブル４はスベーサ５２（第３図のみ）を介してボール５０ａおよびボール５０ｂ上にそれぞれ支持され、それはターンテーブル４の下側に固定されかつボール５０ａ、５０ｂ上に載って支えられている。（第３図の紙の平面に対して直角の）水平軸５８のまわりの枢軸移動のためにブラケット５ ６上に装着されたレバープレート５４ａ、５４ｂは凹部６０ａ、６０ｂを含み、そこでボール５０ａ、５０ｂがそれぞれ受取られる。モータ６２ａ、６２ｂは、その枢軸５ ８のまわりを上方にかつ下方にレバープレート５４ａ、５４ｂを旋回させるためにギヤボックス６６ａ、６６ｂを介してジャッキ６４ａ、６４ｂ（第３図のみ）を駆動する。こうして、モー夕６２ａの駆動によりターンテーブルが点ＰおよびＢを接合する軸のまわりで傾斜し、かつモー夕６２ｂの駆動によりターンテーブル４が点ＰおよびＡを接合する軸のまわりで傾斜する。これらの軸は、ボール４６、５０ａおよび５０ｂの中心を通過する。
　点ＡＢＰは正三角形の頂点に置かれ、その中心Ｃはターンテーブル４の中心に一致し、すなわち点ＡＢＰは点Ｃに関して対照的に置かれる。」（第５頁右下欄第２行−第６頁左上欄第７行）が記載されている。
　また、同刊行物２には、
「その半導体ウエハを設置するテーブルの高さや傾きを調整するときなどに使用するテーブル装置に関する。」（第１頁右欄第４−６行）、
「上記問題点を解決するために本発明は、ベースと、このベースに対し移動自在に設けられた第１の可動体と、この第１の可動体を移動操作する第１の駆動装置と、上記第１の可動体にそれぞれ移動自在に設けられた２つの第２の可動体と、この各第２の可動体をそれぞれ個別に移動操作する第２の駆動装置と、上記第１の可動体および各第２の可動体にそれぞれ個別的に取り付けられ３角形の各頂点にそれぞれ位置して配置された３つの調整用カムと、この各調整用カムのカム面に対してそれぞれ個別的に接合する３つのカムフォロアと、この各カムフォロアを介して支持されそのカムフォロアに追従して傾きおよび上下自在な作業用テーブルとからテーブル装置を構成したものである。」（第２頁右上欄第１０行−同頁左下欄第３行）及び
「この各調整カム２３，４３，４４のカム面２４，４５，４６は同じ向きで同じ大きさの傾きに形成されている。そして、この各調整カム２３，４３，４４のカム面２４，４５，４６には、円筒ローラ状のカムフォロア４７，４８，４９がそれぞれ個別的に転接載置されている。」（第３頁右下欄第２−７行）が記載されている。
　訂正発明１乃至４と刊行物１及び２に記載された発明とを対比すると、刊行物１及び２のいずれにも、訂正発明１乃至４の構成要件である「押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能」であることが記載されておらず、また、このことを示唆する記載もない。
　そして、訂正発明１乃至４は、この構成要件を備えることにより、「基板に対して載置部材の傾斜補正（姿勢制御）を行なった場合にその傾斜補正の前後で支持部が支持する基板と載置部材の二つの部位を結ぶ線分を軸として基板と載置部材が相対的に回動することがな」いという効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明１乃至４は、刊行物１及び２に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないので、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　エ．むすび
　以上のとおりであるから、訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項から第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
５．特許異議の申立てについての判断
　本件発明１乃至４は、前記４．ウ．で示したように訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載されたとおりのものであって、刊行物１及び２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１乃至４に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月１４日（２０００．３．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　１．特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１の「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられてなるレベリング装置。」を
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられており、
　前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、
　前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とするレベリング装置。」
と訂正する。
　２．特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項３乃至５を繰り上げて、請求項２乃至４とするとともに、請求項５を削除する。
　３．明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落番号【０００６】に記載された
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられてなるレベリング装置である。また、前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線と平行な軸を軸線として、前記規制部材が回動しようとすると、規制部材に押圧力を与えるように、規制部材に対して接触又は当接の状態で規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に設置された押圧部材からなることが好適である。」を
「その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられており、前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とするレベリング装置である。」
と訂正し、
　特許明細書の段落番号【００３８】に記載された
「その回動を阻止する規制手段を第一支持部以外に設けて構成したことにより、」を
「その回動を阻止する規制部材と押圧部材よりなる規制手段を第一支持部以外に設けており、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことにより、」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
レベリング装置
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　基板と、被載置物を載置する載置部材と、それら基板と載置部材との間に介在され、且つ基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持する第一の支持部、及び基板と載置部材の間隔を、互いに独立して可変で支持する第二及び第三の支持部からなり、基板に対して載置部材を所望の姿勢で支持し得る支持手段が備えられ、
　前記支持手段は第一、第二、及び第三の支持部が同一直線上にない状態で基板と載置部材の間に配置され、
　第二の支持部及び／又は第三の支持部が基板と載置部材の間隔を変化させた際に、載置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると、その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられて
おり、
　
前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、
　前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しょうとするのを阻止するように構成したことを特徴とする
　　【請求項２】　規制手段の規制部材と押圧部材が、ころがり係合又はスライド係合をおこなう請求項１に記載のレベリング装置。
　　【請求項３】　規制手段の規制部材が溝部を有する溝部材で、且つ押圧部材が前記溝部材の溝部に嵌合する、部分球面を有する球面コロ又は球体である請求項２に記載のレベリング装置。
　　【請求項４】　支持手段の第二の支持部及び第三の支持部にそれぞれ設けられ、基板と載置部材の間隔を可変とする第一の可変手段及び第二の可変手段と、載置部材の基板に対する姿勢が検出された際にその検出結果に基づき、第二の支持部及び第三の支持部が作動して載置部材が所望の姿勢をとり得るように前記二つの可変手段を制御する制御手段が備えられてなる請求項１に記載のレベリング装置。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　この発明は、例えば表面粗さを測定すべき被測定物や被加工物等を載置させ、且つそれらの被測定面や被加工面の姿勢を三次元的に所望の姿勢とさせ得るレベリング装置に関する。特に、姿勢制御（傾斜補正）すべき被載置物の測定や加工を高い精度でおこなうために、姿勢制御の前後で被載置物の位置が変化することを極力抑えた姿勢制御が得られるレベリング装置に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　被載置物を載置する載置部材が基板に対しての姿勢を所望の姿勢にならせ得る装置として、基板と載置部材の間に、載置部材が基板に対して所望の姿勢をとらせ得る支持手段を介在させてなるものが考えられる。
　ここで、支持手段の構成について考慮すると、部材が少なく製造が簡便なものとして、載置部材を基板に対して三点で支持させるものが考えられる。更に、姿勢制御が簡便なものとして、載置部材を基板に対して支持する三点のうちの一点は基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持し、且つ残りの二点は基板と載置部材の間隔を、互いに独立して可変で支持する構成のものが考えられる。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　載置部材を基板に対して第一の支持部、第二の支持部及び第三の支持部の三つで支持し、第一の支持部は基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持し、且つ第二の支持部及び第三の支持部は互いに独立で基板と載置部材の間隔を可変で支持する構成としたレベリング装置では、第二の支持部及び第三の支持部の支持状態を変え、基板と載置部材の間隔を互いに異なる量だけ変えて支持させると、その支持状態の変化の際に、第二の支持部又は第三の支持部のいずれかが他方より、前記異なる量の差に相当して基板と載置部材の間により多くの押圧力を与える。
　ところで、第一の支持部は、基板と載置部材の間隔を一定に保たせるということより、ピローボールを備えて構成されるものが考えられる。そうして、ピローボールを備えてなる支持部では、載置部材は、その支持部を中心に基板に対して全ての方向に回転可能となる。
　従って、載置部材が上記の押圧力を受けると、第一の支持部が支持する基板側部位と載置部材側部位を結ぶ線を軸線として、基板に対して回転するということが生じる。そのために、載置部材の基板に対する姿勢制御の前後において、載置部材上の被載置物の位置が、例えば固定位置を保持している表面粗さ計や工作機械等に対して変化してしまうという問題が生じる。殊に、載置部材上の被載置物に施す測定や加工が高い精度のものであればあるほど、問題は深刻となる。
　　　【０００４】
　この発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、基板に対する載置部材の姿勢制御の前後において、基板に対して載置部材が、第一の支持部が支持する基板側支持の部位と載置部材支持の部位を結ぶ線を軸線として、回転することがないレベリング装置を提供するものである。
　　　【０００５】
　　【課題を解決するための手段】
　この発明は、基板と載置部材の間に第一、第二及び第三の支持部を介在させ、載置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しょうとすると、その回動を阻止する規制手段を設けて構成したレベリング装置である。
　　　【０００６】
　その詳細な構成は、基板と、被載置物を載置する載置部材と、それら基板と載置部材との間に介在され、且つ基板と載置部材の間隔を一定距離に保持して支持する第一の支持部、及び基板と載置部材の間隔を、互いに独立して可変で支持する第二及び第三の支持部からなり、基板に対して載置部材を所望の姿勢で支持し得る支持手段が備えられ、前記支持手段は第一、第二、及び第三の支持部が同一直線上にない状態で基板と載置部材の間に配置され、第二の支持部及び／又は第三の支持部が基板と載置部材の間隔を変化させた際に、載置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると、その回動を阻止する規制手段が前記第一の支持部以外に備えられて
おり、前記規制手段は、基板あるいは載置部材のいずれか一方の部材に設置される規制部材と、前記規制部材が設置された基板あるいは載置部材とは他方側の部材に規制部材に対して接触又は当接の状態で設置された押圧部材からなり、前記押圧部材と規制部材は特定直線軌道上で相対的に変位可能であり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように構成したことを特徴とする
　また、規制手段の規制部材と押圧部材が、ころがり係合又はスライド係合をおこなうことが好適である。
　また、規制手段の規制部材が溝部を有する溝部材で、且つ押圧部材が前記溝部材の溝部に嵌合する、部分球面を有する球面コロ又は球体であることが好適である。
　また、支持手段の第二の支持部及び第三の支持部にそれぞれ設けられ、基板と載置部材の間隔を可変とする第一の可変手段及び第二の可変手段と、載置部材の基板に対する姿勢が検出された際にその検出結果に基づき、第二の支持部及び第三の支持部が作動して載置部材が所望の姿勢をとり得るように前記二つの可変手段を制御する制御手段が備えられてなることが好適である。
　　　【０００７】
　　【作用】
　第二の支持部と第三の支持部が支持状態を変え、基板と載置部材の間隔を互いに異なる量だけ変えて支持すると、その間隔の変化の際に、異なる間隔の量に相当する力が基板と載置部材の間に働く。基板と載置部材はその力を受けると、基板と載置部材を第一の支持部が支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として相対的に回動しようとするが、規制手段がその回動を規制する。
　　　【０００８】
　　【実施例】
　この発明を、図１〜図１３に示す実施例に基づき詳述する。しかし、この実施例によって、この発明が限定されるものではない。
　レベリング装置１は図１〜図７に示すように、基板２と、載置部材３と、支持手段と、可変手段４及び５と、制御手段６が備えられている。
　載置部材３は、被測定物である被載置物を載置するものである。
　　　【０００９】
　支持手段は、三つの支持部７，８及び９からなり、載置部材３が基板２に対して所望の姿勢を得るように支持するものである。
　支持部７は、所謂ピローボールを含んで構成されている。つまり、支持部７は図１、図２、図３及び図５に示すように、丸棒１０と、丸棒１０の上部に固定されているボール１１と、ボール１１を全ての方向に回転可能に嵌合支持するピローブロック１２と、ピローブロック１２を保持する保持部材１３から主に構成されている。そうして、保持部材１３は載置部材３の下面にビスによって取付け固定され、丸棒１０は基板２の上面にビスによって取付け固定されている。
　支持部７はこの構成により、基板２と載置部材３の間隔を一定に保持し、且つ載置部材３が基板２に対していかなる姿勢をもとり得るように、載置部材３を基板２に対して支持するものである。
　　　【００１０】
　支持部８は図１、図２及び図３に示すように、球面コロ１９と、球面コロ１９を回動可能に枢支する枢支体２０と、球面コロ１９が回動可能で係合するスライダ２１から主に構成されている。そうして、枢支体２０は載置部材３の下面に取付け固定され、スライダ２１は矢印Ｃ方向に移動可能で基板２の上面に配設されている。又、スライダ２１の上部は平面１４となっていて、球面コロ２１は平面１４に載置回動の係合をおこなう。更に、スライダ２１は、その底面に対して球面コロ１９の係合する平面１４が１５°の角度で傾斜されている。
　支持部８はこの構成により、基板２と載置部材３の間隔を可変として、つまり載置部材３を、基板２に対して矢印Ｄ方向に変位可能に支持するものである。
　　　【００１１】
　支持部９は図１、図２及び図４に示すように、球面コロ２２と、球面コロ２２を回動可能に枢支する枢支体２３と、球面コロ２２が回動可能で係合するスライダ２４から主に構成されている。そうして、枢支体２３は載置部材３の下面に取付け固定され、スライダ２４は矢印Ｃ方向に移動可能で基板２の上面に配設されている。又、スライダ２４の上部には溝部１５が備えられ、球面コロ２２は溝部１５に回動可能に嵌合されている。更に、スライダ２４は、その底面に対して球面コロ２２の係合する溝部１５の面が１５。の角度で傾斜されている。
　支持部９はこの構成により、基板２と載置部材３の間隔を可変として、つまり載置部材３を、基板２に対して矢印Ｄ方向に変位可能に支持するものである。
　　　【００１２】
　尚、三つの支持部７、８及び９は、支持部７を頂点とした二等辺三角形の形状が形成されるように配置されている。そうして、底辺の長さ、つまり二つの支持部８及び９の距離は２１であって、高さつまり、支持部７から、二つの支持部８及び９を結ぶ線分までの距離も２１になっている。
　　　【００１３】
　可変手段４は図１、図２及び図３に示すように、出力手段であるモータ２５と、ネジ棒２６と、モータ２５の出力軸２７とネジ棒２６を連結するジョイント２８と、ブッシュ２９から主に構成されている。そうして、モータ２５は基板２に固定されていると共に、ブッシュ２９はネジ棒２６と螺合され且つスライダ２１に固定されている。
　可変手段４はこの構成により、モータ２５を出力させるとスライダ２１が矢印Ｃ方向にスライドし、このスライダ２１のスライドにより枢支体２０が上下方向である矢印Ｄ方向に移動し、結果的に支持部８が支持する基板２の部位と載置部材３の部位との距離を変えるものである。
　　　　【００１４】
　可変手段５は図１、図２及び図４に示すように、出力手段であるモータ３０と、ネジ棒３１と、モータ３０の出力軸３２とネジ棒３１を連結するジョイント３３と、ブッシュ３４から主に構成されている。そうして、モータ３０は基板２に固定されていると共に、ブッシュ３４はネジ棒３１と螺合され且つスライダ２４に固定されている。
　可変手段５はこの構成により、モータ３０を出力させるとスライダ２４が矢印Ｃ方向にスライドし、このスライダ２４のスライドにより枢支体２３が上下方向である矢印Ｄ方向に移動し、結果的に支持部９が支持する基板２の部位と載置部材３の部位との距離を変えるものである。
　　　　【００１５】
　尚、モータ２５及び３０は共に、それぞれ１０００ステップで一回転するステップモータである。又、ネジ棒２６及び３１は共に、一回転によってそれぞれブッシュ２９及び３４が矢印Ｃ方向に０．５ｍｍだけ移動するようにネジのピッチが決められている。
　　　【００１６】
　制御手段６は図６に示すように、モータ２５を所望通りに出力させるためのモータドライバ４９及びモータ２５のコントローラ５０と、モータ３０を所望通りに出力させるためのモータドライバ５１及びモータ３０のコントローラ５２と、モータ２５及び３０の出力量を求めるためのモータ２５，３０の出力量演算部５３と、検出部３６からのデータを記憶するデータメモリ５４と、載置部材３の平均傾斜角を演算する平均傾斜角演算部５５と、システムコントローラ５６を備えて構成されている。制御手段６は、載置部材３の基板２に対する姿勢が検出され、更に所望の姿勢が決められると、検出の姿勢を所望の姿勢とするための信号を可変手段４と可変手段５にそれぞれ出力するものである。
　尚、制御手段６の詳細な作動は、レベリング装置１の使用の説明において後述する。
　　　【００１７】
　更に、レベリング装置１は、支持部８及び／又は支持部９が基板２と載置部材３の間隔を変化させた際に、その変化によって載置部材３が基板２に対し、支持部７が基板２及び載置部材３を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると（矢印Ｅ方向）、その回動を阻止する規制手段６３が設けられている。規制手段６３は図１、図２及び図４に示すように、スライダ２４の上部に形成された溝部１５と球面コロ２２から構成されている。
　レベリング装置１は、上述したように構成されている。以下において、作動順序の概略を示すフローチャート（図８）及び作動順序を示すフローチャート（図９〜図１２）を用いて、表面粗さ計３５と共に用いる場合のレベリング装置１の使用を説明する。
　　　【００１８】
　ところで、レベリング装置１に載置した被測定物４８の傾斜（姿勢）の測定は、表面粗さ計３５を用いることによっておこなうものである。つまり詳しくは、表面粗さ計３５によって被測定物４８の被測定面（上面）に相異なる少なくとも二回以上の走査を行なって表面粗さの測定をおこない、走査におけるある点の三次元の相対座標を求める。この座標測定によって得られた複数個のデータに基づいて平均面を求め、この求めた平均面を前記被測定物４８の被測定面の平面とみなす（図８の「平均面の計算」）。そうして、この平面が、被測定物４８の矢印Ｙ方向の移動に拘らず検出部３６の走査方向に対して平行となるように、レベリング装置１を作動させて被測定物４８の傾斜補正（姿勢制御）をおこなうのである。
　　　【００１９】
　尚、二次元についてのみの傾斜補正を求める場合には、表面粗さ計３５を被測定物４８に対して唯一度だけ走査させて表面粗さの測定を一度おこない、この測定の結果に基づいて回帰直線を求め、その回帰直線を検出部３６の走査方向と平行になるようにレベリング装置１を作動させることで達成する（図８の「自動で傾斜補正（姿勢制御）させるために、操作・表示パネル４２で必要な測定条件を設定する」において、ｎ＝１とした場合）。又、傾斜補正（姿勢制御）のための表面粗さ測定では、検出部３６から送られて来るそのままのデータ、つまり被測定物４８の表面粗さを示す断面曲線そのものを表すもの、いわゆる生のデータを用いており、例えばうねり成分を除去するためのフィルタ等を介して得られるデータは用いていない。
　　　【００２０】
　表面粗さ計３５は図７に示すように、スタイラス（図示省略）が設けられてなる検出部３６と、モータ３７が設けられ、検出部３６を保持して矢印Ｘ方向に走査させる走査部３８と、モータ３９が設けられ、走査部３８を支柱４０に沿って上下方向、つまり矢印Ｚ方向にスライドさせるスライド部４１が備えられている。表面粗さ計３５のベース４４の前面は、操作・表示パネル４２になっている。
　　　【００２１】
　レベリング装置１を、表面粗さ計３５のベース４４上のスライド装置４３のスライダ４６に載置する。
　尚、スライド装置４３は、モータ４５が設けられ、スライダ４６が本体４７に対して矢印Ｙ方向にスライドするように構成されている。又、システムコントローラ５６と、モータ３７、モータ３９及びモータ４５の間にはそれぞれモータドライバ５７と矢印Ｘ方向コントローラ５８、モータドライバ５９と矢印Ｚ方向コントローラ６０及びモータドライバ６１と矢印Ｙ方向コントローラ６２が介在されている。
　　　【００２２】
　ここで、スライド装置４３は、表面粗さ計３５の検出部３６の走査方向とスライダ４６の移動方向が直交となるように、配置する。次に、レベリング装置１の載置部材３に被測定物４８を載置して、検出部３６のスタイラスの移動方向に対して被測定物４８の被測定面、つまり上面が平行になるように、レベリング装置１を作動させる。
　　　【００２３】
　レベリング装置１は、操作・表示パネル４２を操作して、まず測定者が表面粗さ計３５の使用の諸条件、つまり測定レンジの設定、サンプリングレングスの設定、測定長さの設定、走査間隔の設定といった測定条件の設定をおこなう。
　続いて、走査・表示パネル４２を操作してオートレベリング選択キーをＯＮにする。
　　　　【００２４】
　更に続いて、自動で被測定物４８を載置している載置部材３の傾斜補正（姿勢制御）をおこなわせるための測定条件の設定をおこなう。走査部３８が作動して検出部３６が被測定物４８の表面粗さを走査検出し、スライド装置４３が作動して走査間隔Ｄｙによって決まる距離だけ被測定物４８を矢印Ｙ方向にスライドさせた後に表面粗さの走査検出をおこなうという走査の回数ｎを、測定者が設定する。この回数ｎの設定により、システムコントローラ５６から矢印Ｙ方向コントローラ６２に、モータ４５を（ｎ−１）回だけ出力させるための信号が送られる。勿論、走査の回数ｎが多いほどデータがより多くなり、より的確なレベリングをおこなうことができる。ここで、矢印Ｙ方向のサンプリング間隔Δｙが決定される。
　　　【００２５】
　ここで、スタートキーをＯＮにし、予備測定を開始する。この予備測定の開始によって、システムコントローラ５６から矢印Ｘ方向コントローラ５８に、モータ３７の出力、つまり走査部３８を作動させるための信号が送られると共に、検出部３６から制御手段６のデータ・メモリ５４に検出データが送られる状態になる。よって、表面粗さ計３５の走査部３８及び検出部３６が作動し、データ・メモリ５４は距離Ｌｘの範囲で離散データを取入れる。データの取入れは、被測定物４８が測定可能な範囲内にあることを確保して、ｎ回の走査検出でおこなわれる。
　　　【００２６】
　尚、この走査検出の際、スライド装置４３は（ｎ−１）回のスライド作動をおこなうが、検出部３６の矢印Ｙ方向の位置ｊ、及び次回の走査検出までの矢印Ｙ方向の移動距離Ｄｙは、図１０のフローチャートに示す等式で与えられるものである。又、前記測定可能な範囲を越える場合、つまりオーバーレンジ状態が生じたり、スライド装置４３のリミットを越える場合には、予備測定を中断して新たな予備測定をやり直す。
　　　【００２７】
　以上の予備測定により、座標測定から得られた複数個のデータに基づいて平均面を求める。ここで求めた平均面を、被測定物４８の被測定面の平面とみなすのである。尚、平均面はＺ＝ａ＋ｂ　Ｘ＋ｃＹと置いて、ここから定数ｂとｃを求める。そうして、この定数ｂとｃから、平均面の矢印Ｚ方向に対する矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向の傾き成分を求めるのである。つまり、平均面Ｚの方向余弦ベクトルの矢印Ｘ方向の成分λ及び矢印Ｙ方向の成分μを求める。制御手段６のデータ・メモリ５４に蓄えられたデータは、システムコントローラ５６の作動によって平均傾斜角演算部５５に送られ、平均面の傾斜角が求められる。ここで、平均面の矢印Ｚ方向に対する矢印Ｘ方向及び矢印Ｙ方向の傾き成分が求まるのである。
　　　【００２８】
　ここで、システムコントローラ５６は、モータ２５，３０の出力量演算部５３に可変手段のモータ２５及び３０の出力の量を演算させる信号を送り、自動機能の場合（図９で「ｈ＝０」の場合）は更にモータ３９が出力してスライド部４１が作動し検出部３６を被測定物４８から１０ｍｍだけ持上がらせるための信号を矢印Ｚ方向コントローラ６０に送り、検出部３６は矢印Ｚ方向に１０ｍｍだけ上昇する。
　　　【００２９】
　ここで、レベリング装置１のレベリング機能が働き、被測定物４８の被測定面の傾斜補正（姿勢制御）が実行される。モータ２５，３０の出力量演算部５３の演算によって得られた結果に基づき、システムコントローラ５６はモータ２５のコントローラ５０及びモータ３０のコントローラ５２にモータ２５及びモータ３０をそれぞれ所定量ずつ出力させるための信号を送る。
　　　【００３０】
　モータ２５及びモータ３０の出力によって、可変手段４及び可変手段５がそれぞれ作動する。つまり、可変手段４ではスライダ２１が、可変手段５ではスライダ２４がそれぞれ矢印Ｃ方向に所定距離だけスライドし、このスライドにより、スライダ２１に係合している球面コロ１９及びスライダ２４に係合している球面コロ２２はそれぞれ所定量づつ矢印Ｄ方向に移動し、支持部８の支持している基板２と載置部材３の間の距離及び支持部９の支持している基板２と載置部材３の間の距離が変化する。他方、支持部７が支持している基板２と載置部材３の間の距離は変わらず、一定を保ち続ける。これら三つの支持部７、８及び９の支持状態の決定によって、基板２に対する載置部材３の傾斜補正（姿勢制御）がなされ、結果的に被測定物４８の被測定面の傾斜補正（姿勢制御）がおこなわれることになる。
　　　【００３１】
　載置部材３がリミット内にある場合において、上記傾斜補正（姿勢制御）で得られた補正の程度が測定者の望むほどになるように傾斜補正（姿勢制御）を繰返して、被測定物４８が所望の姿勢である状態を得る。
　測定者は、所望の姿勢となった被測定物４８に対し、表面粗さ計３５を用いて表面粗さ測定をおこなうことができる。
　　　【００３２】
　上述のレベリング装置１の作動において、可変手段４と可変手段５を互いに異なった量だけ出力させると、それぞれの出力に対応した量の力を、支持部８と支持部９は基板２と載置部材３に働かせ、基板２に対して載置部材３をそれぞれの力に対応して矢印Ｄ方向に移動させる。支持部７ではこの矢印Ｄ方向の移動によって、基板２の側であるボール１１に対して載置部材３の側であるピローブロック１２が、矢印Ｅ方向の回動の軸線と直交する二つの直線をそれぞれの軸線として回動する（矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向）。この回動によって、載置部材３は基板２に対して所望の姿勢を取らせることができる。
　　　【００３３】
　ここで、可変手段４と可変手段５の出力が異なる場合に、その異なった力の量の差によって生じる力について考えると、この力はボール１１とピローブロック１２に作用する。この力の作用で、ボール１１とピローブロック１２の間で矢印Ｅ方向に相対的に回動しようとすると、基板２と載置部材３の間で矢印Ｅ方向の相対的な回動を生じさせることになる。しかし、基板２側にはスライダ２４が保持され且つ載置部材３側には球面コロ２２が枢支されていることより、上記の相対的な回動をおこなおうとすると、球面コロ２２とスライダ２４の溝部１５の間で押圧力が作用し、回動することを規制する。従って、基板２に対して載置部材３が矢印Ｅ方向に回動ずることはなく、矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向にのみ回動する。よって、基板２に対して載置部材３が傾斜補正（姿勢制御）をおこなっても、載置部材３に載置させている被測定物４８が表面粗さ計３５に対して姿勢制御以外の位置変化を生じさせるといった問題はない。
　　　【００３４】
　以下において、図１３を用いてこの発明の他の実施例を説明する。
　レベリング装置１ａは、上述のレベリング装置１と比べて規制手段の構成のみが異なっているが、他については全て同じである。
　　　【００３５】
　レベリング装置１ａの規制手段６３ａは、規制部材６４ａと押圧部材６５ａを備えて構成されている。
　規制部材６４ａは、規制作用を行なうための縦方向に伸びる、断面がＶ次形状の溝部１５ａが形成されている。規制部材６４ａは、基板２ａに固定されている。
　押圧部材６５ａは先端が球体６６ａであって、規制部材６４ａの溝部１５ａと当接係合するものである。押圧部材６５ａは、載置部材３に形成したアリ溝６７ａに嵌合され、且つコイルばね６８ａの押圧力によって、矢印Ｆａ方向にスライド可能に付勢されている。
　　　【００３６】
　可変手段４ａ及び５ａが作動してそれぞれ基板２ａ及び載置部材３ａの間隔を変えるように、支持部８ａ，９ａが基板２ａと載置部材３ａの支持状態を変化させた際に、基板２ａに対して載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に回動しようとする場合がある。この回動は、支持部７ａを中心とした矢印Ｅａ方向のものであるが、押圧部材６５ａの球体６６ａが規制部材６４ａの溝部１５ａを矢印Ｅａ方向に押圧して基板２ａに対して載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に回動することを規制し、基板２ａと載置部材３ａが矢印Ｅａ方向に相対的に回動するということは起こらない。
　尚、レベリング装置１では支持手段９に唯一の規制手段６３が設けられているが、支持手段８にもう一つの規制手段を設けた構成であってもよい。
　　　【００３７】
　レベリング装置１ａでは、基板２ａに対して載置部材３ａが姿勢（傾斜）を変えると、押圧部材６５ａの球体６６ａが規制部材６４ａの溝部１５ａに対してスライドする構成になっている。球体６６ａの替りに球面コロを用いることによって、ころがり係合する構成とすることができる。
　　　【００３８】
　　【発明の効果】
　この発明は、基板と載置部材の間に三つの支持部を同一直線上にない状態で配設し、且つ載置部材が基板に対して、第一の支持部が基板及び載置部材を支持する二つの部位を結ぶ直線を軸線として回動しようとすると、その回動を阻止する
規制部材と押圧部材よりなる
おり、前記載置部材が前記基板に対して回動しようとするのに伴って、前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれようとするが、前記押圧部材が前記規制部材に押圧力を与えることによって前記規制部材が前記押圧部材に対して相対的に特定直線軌道上からはずれることを阻止することで、載置部材が基板に対して回動しようとするのを阻止するように
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　この発明の一実施例を示す斜視図である。
　　【図２】
　図１に示す実施例において、載置部材を除いた際の平面図である。
　　【図３】
　図１のＩ−Ｉ断面図である。
　　【図４】
　図１に示す実施例の側面図である。
　　【図５】
　図１に示す実施例の第一の支持部及びその近傍の断面図である。
　　【図６】
　図１に示す実施例の制御手段の構成を含み、表面粗さ計及びスライダ装置と共に作動させる際、その制御系を示す構成説明図である。
　　【図７】
　図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ装置と共に作動させる際の全体斜視図である。
　　【図８】
　図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ装置と共に作動させる際、その作動順序の概略を示すフローチャート図である。
　　【図９】，【図１０】，【図１１】，【図１２】
　図１に示す実施例を表面粗さ計及びスライダ装置と共に作動させる際、その作動順序を示すフローチャート図である。
　　【図１３】
　この発明の他の実施例の図１の相当図である。
　　【符号の説明】
　１　レベリング装置
　２　基板
　３　載置部材
　７，８，９　支持部（支持手段）
　２２（球面コロ），６５ａ　押圧部材
　２４（スライダ），６４ａ　規制部材
　６３　規制手段