(57)【要約】  微細要素の、検査、規定された構造の測定、構造及び構造誤差のシミュレーション、構造のそして構造での修正、そして、規定された対象位置での再検査の為の、ステージを有する、微細要素の為の装置を開示する。少なくとも、一つの液浸対物レンズと、微小構造の表面上への適正のわずかな液量を供給するための装置を、備えている。微小構造の表面上でわずかの液量を吸引するための装置が取り付けられ、その際、吸引装置は少なくとも部分的に液浸対物レンズを取り囲むかまたは、対物レンズの近傍に配置される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面のある微細要素（２）を検査する装置（１）にして、微細要素（２）の為のステージ（４）並びに液浸対物レンズとして形成された少なくとも一つの対物レンズ（８）を備え、イメージング光線経路（１０）を定める検査装置において、供給ノズル（２２）が微細要素（２）の表面（２ａ）へわずかな液量を配量し、その際、液浸対物レンズ（８ａ）と微細要素の表面（２ａ）の間にただわずかな液量だけが存在することと、微細要素（２）の表面（２ａ）上のわずかな液量を吸引する為の吸引装置（２３）を備え、その際、吸引装置（２３）は液浸対物レンズ（８ａ）を少なくとも部分的に取り囲むこと、を特徴とする装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、わずかな液量が気泡を含まないことを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置において、検査がソフトウェアにより制御され、そして自動化されることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置において、検査が、測定、シミュレーション、修正、若しくは規定された対象の位置の再検査を含んでいることを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置において、微細要素（２）が表面（２ａ）に構造を形成されたマスクであることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置において、微細要素（２）が表面（２ａ）に構造を形成されたウェーハであることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置において、微細要素がその表面（２ａ）上で、とりわけ、複数のマイクロメカニカルな構成要素若しくはその他の微細要素（２）を有する基板であることを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載の装置において、わずかな液量が、液浸用の液体を表す液滴（７０）であり、液浸用の液体が水又はその他の液状の溶媒であり、また、水を用いる場合は液浸対物レンズ（８ａ）が水浸対物レンズであることを特徴とする装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載の装置において、照射光線経路（１２）へ放射する光源（２０）を有することを特徴とする装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置において、液浸対物レンズ（８ａ）を用いた調査の為の光に、２４８ｎｍの波長若しくはより短い波長、例えば１９３ｎｍなどの波長が割り当てられることを特徴とする装置。
【請求項１１】
請求項１に記載の装置において、ターレットに複数の対物レンズ（８ａ、８ｂ、８ｃ）が取り付けられていることを特徴とする装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の装置において、二つ以上の互いに固定されて取り付けられた対物レンズ（８、８ａ）を有し、その際に、一つの対物レンズは液浸対物レンズ（８ａ）であり、その他の対物レンズ（８）はアライメントや可視光を用いるその他の検査課題に利用可能であることを特徴とする装置。
【請求項１３】
請求項１に記載の装置において、わずかな液量を吸引する為の吸引装置（２３）と適量のわずかな液量を供給する為の供給装置（２１）の作業位置における液浸対物レンズ（８ａ）の付近での配列は、供給装置（２１）の液浸用液体を供給する部位が、微細要素（２）の表面（２ａ）に向かい合うように配置され、そして、吸引装置（２３）よりも液浸対物レンズ（８ａ）により近い位置に配置されることを特徴とする装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の装置において、吸引装置（２３）が直線若しくは曲がった梁として形成されることを特徴とする装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の装置において、吸引装置（２３）がＬ字型に形成されることを特徴とする装置。
【請求項１６】
請求項１３に記載の装置において、吸引装置（２３）がＵ字型に形成されることを特徴とする装置。
【請求項１７】
請求項１３に記載の装置において、吸引装置（２３）がＶ字型に形成されることを特徴とする装置。
【請求項１８】
請求項１３に記載の装置において、吸引装置（２３）が、液浸対物レンズ（８ａ）と、微細要素（２）の表面（２ａ）上へ液浸用液体を供給する為の供給装置（２１）の液浸用液体を供給する縁を、完全に取り囲むこむことを特徴とする装置。
【請求項１９】
請求項１８に記載の装置において、吸引装置（２３）が円環として若しくは楕円形に形成されることを特徴とする装置。
【請求項２０】
請求項１８に記載の装置において、吸引装置（２３）が多角形の枠として形成されることを特徴とする装置。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれか一項に記載の装置において、吸引装置（２３）が、微細要素（２）の表面（２ａ）の向かいに位置する側で、多数の吸引ノズル（５５）を有することを特徴とする装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の装置において、複数の吸引ノズル（５５）が縁（６０）及び吸引チャネル（５６，５７）を有し、そして、縁（６０）から微細要素（２）の表面（２ａ）までの距離（６２）が３００μｍよりも短く制御されることを特徴とする装置。
【請求項２３】
請求項１から２２のいずれか一項に記載の装置において、微細要素（２）の表面（２ａ）が向かいに位置する側に、吸引装置（２３）が突起部（５４）を有し、その突起部上で個々の吸引ノズルが突起部（５４）から突き出るように、これら吸引ノズル（５５）が配置されることを特徴とする装置。
【請求項２４】
請求項１から２３のいずれか一項に記載の装置において、浄化装置（３６）が備えられ、それが吸引装置（２３）の内部に出入可能であるように配置され、そして、浄化装置（３６）のノズルチップ（３９）が液浸対物レンズ（８ａ）と微細要素（２）表面（２ａ）との間の液量へ入り込むことを特徴とする装置。
【請求項２５】
請求項１から２４のいずれか一項に記載の装置において、微細要素（２）の表面（２ａ）へ適正な液量を供給する為の供給装置（２１）及び微細要素（２）の表面（２ａ）からわずかな液量を吸引する為の吸引装置（２３）が共通のキャリアー（２８）に取り付けられることを特徴とする装置。
【請求項２６】
請求項１から２４のいずれか一項に記載の装置において、吸引装置（２３）が複数の別々のセグメントに分離していること、そして、ステージ（４）と吸引装置（２３）の間での相対運動に応じて対応するセグメント（６５）に負圧をかけること、を特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微細要素の検査用装置に関している。本発明は特に、微細要素用のステージを有し、少なくとも一つの液浸対物レンズとして形成された対物レンズが形成され、そしてイメージング光線経路が定められた検査装置に関している。
【背景技術】
【０００２】
検査では、微細要素での制御の枠組み内で起こりうる全ての動作は理解されなければならない。それらは、例えば、純粋な検査、定められた構造物の測定、構造物や構造誤差のシミュレーション、構造物の修正、定められた対象位置の再検査、である。当業者はこのプロセスをレビューと呼ぶ。
【０００３】
特許文献１は、リソグラフィー装置及びリソグラフィー装置を用いての構成要素の製造方法を開示する。解像度の向上の為、液浸対物レンズが用いられ、そして構造化される基部の表面に液浸用の液体が供給される。組み立てられる基部と共にステージ全体は、液体によって覆われる。液中でのタービュランスを避ける為に、液体に透明の容器が浸される。その容器には同種の液体があり、そこにイメージングの対象が浸される。この装置はマスク、ウェーハ又は、それに類似の構成装置の検査には適していない。
【０００４】
特許文献２は、液浸リソグラフィー用の装置及び方法を開示する。構造化されるウェーハは液体によって完全に覆われる。イメージング光学部品とウェーハの間には短い距離が存在し、それによって、ここにはわずかな液量のみが存在する。この液体は常にポンプにより還流、ろ過、そして、交換される。
【０００５】
液浸対物レンズを用いることや、液浸用の液体を検査される微細要素（マスク、ウェーハ、顕微鏡構成要素）上に直接供給することは、従来技術により知られている装置において、提案されることはない。
【０００６】
【特許文献１】ＥＰ１４２０３０２Ａ１
【特許文献２】ＵＳ２００４０７５８９５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の課題は検査装置の解像度を向上させることと、その際の被検査構成要素の汚染を避けることである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題は、請求項１の特徴を有する本発明の検査装置によって、解決される。
【０００９】
微細要素の検査装置が、液浸対物レンズとして少なくとも一つの対物レンズを有し形成される場合、それは有利である。更に、前記装置は、微細要素の表面上に適正量の液量を供給する為の供給装置を有している。そして同じく、微細要素の表面上でわずかな液量を吸引する為の吸引装置が取り付けられている。この際、液浸対物レンズの調整装置は少なくとも部分的に取り囲まれるか、対物レンズの近傍に配置される。わずかな液量とは、液浸用の液体を表す液滴のことである。液浸用の液体として水を用いることは特に有利である。いくつかの応用の為に、液浸用の液体として高度に精製された水を用いることが勧められる。それ故、液浸対物レンズとは水により液浸対物レンズである。前記装置は、文献に記載されている、その他の液浸用の液体によって用いられることも可能である。
【００１０】
高い解像度を得る為、液浸対物レンズを用いた検査用の光には、２４８ｎｍ若しくはそれよりも短い（例えば１９３ｎｍ）波長が割り当てられる。複数の対物レンズがターレットに取り付けらる。そして同じく、二つ以上の対物レンズが互いに固定された配置も可能である。その際、一つの対物レンズは液浸対物レンズであり、その他の対物レンズは、可視光を用いた、アライメント又はその他の検査課題の為の対物レンズとなる。
【００１１】
微細要素の表面上でわずかな液量を吸引する為の吸引装置と、作業位置にある液浸対物レンズ付近の液浸に用いられ、適量で気泡を含まないわずかな液量を供給する為の供給装置がある。この時、液浸用の液量を供給する端は、供給装置の向かいに配置され、そして、微細要素の表面上でわずかな液量を吸引する為の吸引装置よりも液浸対物レンズにより近い位置に配置される、ように形成される。
【００１２】
微細要素の表面上でわずかな液量を吸引する為の吸引装置は微細要素の表面に対向する側で複数の吸引ノズルを有している。それらの吸引ノズルは、縁と吸引チャネルを有し、その際、縁から微細要素の表面への距離は制御され３００μｍより短い。更に、微細要素の表面の向かい側にある微細要素の表面上のわずかな液量を吸引する為の吸引装置は、突起部を有する。その突起部で吸引ノズルは、個々の吸引ノズルが突起部の上に突き出るように配置される。突起部は記載されている具体的な形状で実装されている。吸引機能の為、ノズルがそれ自体で突き出ていることが単に要求される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
その他の有利な点、及び有利な発明の形態は以下の図面の形状、及びその説明である。図中には、本発明の対象が概略的に示され、以下の図面を参照にして記載する。
【００１４】
図１には、微細要素２の検査装置１の構成が示されている。ベーシックフレーム３には、スキャンニングテーブルとして形成された、微細要素２用のステージ４が備えられる。ステージ４は、Ｘ座標方向およびＹ座標方向へ移動可能である。ステージ４上には、検査される微細要素２が置かれる。微細要素２はステージ４上で、追加のホルダー６によって固定されることも可能である。微細要素２とは、ウェーハ、マスク、一つの基板上の複数のマイクロメカニカルな構成要素、もしくは、類似の構成部品である。微細要素２のイメージングのために、イメージング光線経路１０を規定する、少なくとも一つの対物レンズ８が備えられている。ステージ４及び追加のホルダー６は、入射光照射そして、同じく透過光照射に適しているように、構成される。この為に、ステージ４及びホルダー６は、照射光線経路１２の通過の為の凹部（図示されてはいない）を有して形成される。照射光線経路１２は、光源２０から出る。イメージング光線経路１０中にビームスプリッター１３が配置され、それは、イメージング光線経路１０でフォーカシング補助光線１４を結合もしくは、分離させる。微細要素の焦点位置は、検出ユニット１５により検知され、そして測定される。この時に、微細要素の表面の対物レンズに対する距離や、浸水液の供給および除去用の装置に対する距離を制御することができる。ビームスプリッター１３の後ろで、ＣＣＤカメラ１６がイメージング光線経路１０中に配置される。このＣＣＤカメラを用いて、微細要素２の検査の為の位置の画像が、録画及び撮影される。ＣＣＤカメラ１６は、ディスプレー１７及び、コンピューター１８に接続されている。コンピューター１８は、検査装置１の制御、得られた画像データの処理及び対応するデータの保存、並びに、浸水液の供給および除去の制御に、利用される。ここで取り上げる実施例では、複数の対物レンズ８が、ターレット（示されてはいない）に備えられており、それにより、使用者は様々な倍率を選択することが可能となる。コンピューター１８によってシステムの自動化が達成される。特に、前記コンピューターは、ステージ４の制御、ＣＣＤカメラ１６の読み込み、微細要素２上へわずかな液量の供給そして、ディスプレー１７の駆動に、利用される。ステージ４は、それぞれがお互いに直交するＸ座標方向とＹ座標方向へ移動可能なように、形成されている。それにより、観察される微細要素２のおのおのの場所が、イメージング光線経路１０へと運ばれる。微細要素２の検査装置１はさらに、微細要素２にわずかな液量を供給する為の供給装置２１を有している。わずかな液量の供給する為の供給ノズル２２が備えられ、そのノズルは適切な方法によって、わずかな液量を供給されるべき位置へと移動させることが可能である。
【００１５】
図２には、ターレット２５上に配置される複数の対物レンズ８について図示されている。対物レンズ８は、望まれる検査方法に応じて、イメージング光線経路１０へと運ばれる。ターレットにある複数の対物レンズ８の一つは液浸対物レンズ８ａであり、そのとなりには乾燥対物レンズ８ｂ（液浸対物レンズではない）とアライメント対物レンズ８ｃ（アライメント）がある。様々な対物レンズ８を有しているターレット２５は、観察される微細要素２の上へ運ばれる。ここで示される図では、液浸対物レンズ８ａが、作業位置にあり、微細要素２の表面２ａに向かい合って配置されている。同じように、液浸対物レンズ８ａには、微細要素２の表面２ａ上に、適正量のわずかな液量を供給する為の供給装置２１が配置される。さらに、微細要素２の表面２ａ上でわずかな液量を吸引する為の吸引装置２３が取り付けられる。その際、液体の供給装置２１は、液浸対物レンズ８ａに対して、吸引装置２３よりも、より近くに配置される。ここに示される具体的な形状では、吸引装置２３は、液浸対物レンズ８ａが少なくとも部分的に取り囲まれるように、配置されている。
【００１６】
図３には、作業位置での液浸対物レンズ８ａの概略図が示されている。液浸対物レンズ８ａと微細要素２の表面２ａの間には、わずかな液量２６が注入されている。その際、わずかな液量２６は液浸対物レンズ８ａの最前列のレンズ２７を完全に湿らせる。
【００１７】
図４には、作業位置から液浸対物レンズ８ａの交換を可能にする為の、吸引装置２３の様態の概略図が示されている。微細要素２の表面８ａの向かいには、吸引装置２３も備えられている。すでに言及したように、ここで示されている吸引装置２３は対物レンズ８ａを部分的に取り囲んでいる。吸引装置のみが対物レンズに隣接して配置されているということも、具体的な形状から見て取れる。対物レンズの交換を可能にするために、吸引装置２３は対物レンズの移動領域若しくは旋回領域から移動されなければならない。図４にて矢印３０によって示されるように、吸引装置２３は動かされる。図４下段の例で見て取れるように、吸引装置２３はもはや対物レンズの領域にはない。
【００１８】
図５では、吸引装置２３のその他の具体的な形状が示されている。ここでは、液浸対物レンズ８ａは吸引装置２３によって完全に包囲されている。吸引装置２３は環状に形成されている。液浸対物レンズ８ａを少なくとも部分的に包囲するために、吸引装置２３がそれぞれ、閉められた構造または開かれた構造、そのどちらをとることも可能であることは、それぞれの当業者にとって自明である。吸引装置２３の内部には更に、供給装置２１が備えられている。
【００１９】
図６には、図５の具体的な形状におけるＡ‐Ａ切断面の概略図が示されている。微細要素２の表面２ａの向かいには液浸対物レンズ８ａが配置されている。液浸対物レンズ８ａの最前列のレンズ２７と微細要素２の表面２ａの間には、わずかな液量２６が注入される。液浸対物レンズ８ａは吸引装置２３によって取り囲まれている。吸引装置２３は、微細要素２の表面２ａの向かい側３２に、複数の開口部３４を有している。必要があれば、この開口部３４によって、微細要素２の表面２ａで液体が吸引される。吸引装置２３はチューブ３５によって、負圧タンク（図示されてはいない）に連結されている。導入される負圧によって、液体は表面２ａ上から吸引される。
【００２０】
図７には、微細要素２の検査装置の基部が図示されている。その際、吸引装置２３の周りの領域が図示される。吸引装置２３は液浸対物レンズ８ａに付設されている。ここで示される具体的な形状では、吸引装置２３はＵ字型に形成されている。後述の点は、Ｕ字型の吸引装置２３に限られるが、これは本発明における制限として解釈されるべきものではない。吸引装置２３はキャリアー２８に取り付けられている。一方では吸引装置２３が対物レンズ８ａの移動領域若しくは旋回領域から動かすことが可能であり、他方では微細要素の表面からの距離を制御して調整できるよう、キャリアー２８は移動可能であるように形成されている。さらに、同様にキャリアー８ａで供給装置２１と浄化装置３６を有している。浄化装置３６は、可能であれば、付着している液体を確実に取り除く為に、利用される。供給装置２１及び浄化装置３６は、吸引装置２３の対応する凹部３７及び３８を通して、液浸対物レンズ８ａ周辺の領域に配置される。浄化装置３６は、液浸対物レンズ８ａに留まっている残留液の吸引に用いられる、ノズルチップ３９を有している。
【００２１】
図８には、微細要素２の検査装置の基部が図示されている。その際、吸引装置２３の周辺領域が図示され、また、それ以外の要素は対物レンズ８ａの周辺から外へ出されている。それ以外の要素とは、前に触れたように、吸引装置２３及び浄化装置３６のことである。既に図４で述べたように、対物レンズの交換は、浄化装置３６が完全に吸引装置２３の外へ出された時のみ行うことができる。浄化装置３６は移動可能であるように形成されており、そのために、対応した可動性のミミック４０に取り付けられている。
【００２２】
図９には、対物レンズ８，８ａそして微細要素２の周辺領域の詳細な斜視図が示されている。供給装置２１及び、浄化装置３６は、可動性に形成されたミミック４０に固定されている。吸引装置２３はキャリアー２８に固定されている。吸引装置２３は、作業体勢において、微細要素２の表面２ａの向かいの極近傍に備えられる。図９に示される具体的な形状では、微細要素２とは、半導体作成用のマスクである。その際、マスクは個別のマスクホルダー４２によって配置される。キャリアー２８は、剛体アーム４３を介して、リフティング装置４４に取り付けられる。リフティング装置４４は吸引装置２３と共にキャリアー２８を微細要素２の表面２ａから持ち上げる。アーム４３はこのために、リフティング装置４４で二つの伸張孔４５方向において移動可能である。
【００２３】
図１０には、微細要素２の検査用または／もしくは測定用装置の、その他の具体的な形状について図示されている。その際、ターレット２５は、二つの互いに固定されて配置された対物レンズ８，８ａによって、交換される。対物レンズの一方は液浸対物レンズ８ａであり、それはＤＵＶ照射（２４８ｎｍ又は１９３ｎｍ）用に形成及び見積もられている。第二の対物レンズ８は、可視光用のレンズであり、それはアラインメント用、又は他の検査課題に用いることができる。個々の対物レンズは、少なくとも一つ画像の補足に用いられるＣＣＤ４８を備えている。この場合の微細要素２とは、その基板が透明であるようなマスクである。照射光学素子４６が照射のためにマスクの下に備えられている。
【００２４】
図１１には、吸引装置２３の具体的な形状が斜視図的に図示されている。この具体的な形状では、吸引装置２３はＵ字型に形成されており、第一５１、第二５２及び第三５３の足を有している。吸引装置２３は微細要素２が向かいに位置する側で、突起部５４を有する。この突起部５４には吸引ノズル５５（図１２参照）が形成されている。
【００２５】
図１２には、吸引装置２３の具体的な形状における基部が斜視図的に図示されている。突起部５４は周りに伸びるバンドとして、第一の足５１、第二の足５２及び第三の足５３、に沿って形成される。突起部は複数の吸引ノズル５５を支持している。吸引ノズル５５は作業体勢においては、吸引装置２３に対向して位置する。
【００２６】
図１３には、図１１での吸引装置２３の具体的な形状における基部が図示されている。既に触れたように、複数の吸引ノズル５５が突起部５４に形成される。吸引ノズル５５は、周りに伸びるバンドとして、第一、第二及び第三の足に沿って広がっている。個々の吸引ノズル５５は、突起部５４を介してそれ自体で上昇する。更に、吸引ノズル５５は互い違いに配置されている。図１３に示されているラインＢ‐Ｂは、吸引ノズル５５のオフセットについて明らかにしている。
【００２７】
図１４には、図１３の吸引装置２３の具体的な形状における側面図が図示されている。個々の吸引ノズル５５は突起部５４より突き出ている。個々の吸引ノズル５５の配置は、投影の際吸引ノズルが、そのオフセットによって、吸引される液浸用の液体用の障壁となるように形成される。それにより、液浸用の液体が吸引ノズル５５を通過できないことが保障される。
【００２８】
図１５には、図１３における吸引装置２３の直線Ｂ‐Ｂに沿った断面図が図示されている。第三の足５３の個々の吸引ノズル５５は、吸引チャネル５６に連結されている。そしてまた、第二の足５２における吸引ノズル５５は、他の別の吸引チャネル５７に連結されている。吸引チャネルを分離させることにより、個々の足５１，５２及び５３は、吸引力によって別々に与圧することが可能となる。
【００２９】
図１６には、吸引ノズル５５の形状が図示されている。吸引ノズル５５は、追加的に突起部５４の方向へ持ち上げられた縁６０を形成する。吸引ノズル５５の吸引チャネル５６，５７はおよそ１ｍｍの直径６１を有する。縁６０は微細要素２（マスク）の表面２ａに平行に形成される。微細要素２の表面２ａまでの距離６２が３００μｍよりも短くなるよう制御され、縁６０は配置される。
【００３０】
図１７には、吸引ノズル５５のその他の形状が図示されている。吸引ノズル５５の吸引チャネル５７は縁６３を有し、その縁６３は吸引チャネル５７の中心から外側へ向うと、微細要素２の表面２ａから継続的に離れてゆく。前記形状では特に、液浸用の液体の確実な吸引を達成する為に、液浸用の液体は毛管力によって吸引チャネル５７の方向へ引くことが用いられる。
【００３１】
図１８には、Ｕ字型の吸引装置２３の異なるセグメントの回路図が図示されている。Ｕ字型をした吸引装置２３の第一の足５１、第二の足５２そして第三の足５３は、別々のセグメント６５に分離されている。それぞれのセグメントは、負圧をかける為に専用のチューブ６７を備えている。ステージ４（図１参照）と吸引装置２３との間の相対運動の依存性に応じて、対応するセグメント６５にて、負圧をかけることができる。ステージ４と吸引装置２３との間の相対運動が図１８で矢印６８によって示される。それにり、第一の足５１は液滴７０に向かって移動するため、第一の足５１のセグメント６５は負圧をかけなければならない。吸引装置２３の移動方向へに応じて、対応する足に負圧をかける制御装置７１が備えられている。この回路によって、それぞれのセグメントにおいて最適の吸引能力を達成する。
【００３２】
図１９には、正方形をした吸引装置２３のセグメント区分の具体的な形状が図示されている。個々のセグメント６５は正方形の側面８１，８２，８３そして８４を成す。
【００３３】
図２０には、円形をした吸引装置２３のセグメント区分のその他の具体的な形状が図示されている。個々のセグメント６５とはここでは、円形の吸引装置２３の直角に配置されたセクター９１，９２，９３そして９４である。その他のセグメント６５の区分も可能であることはそれぞれの当業者には明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】微細要素の検査及び／又は測定、シミュレーションそして修正に用いられる装置の構成の概略図である。
【図２】ターレットに配置された複数の対物レンズと、それらの、検査対象となる微細要素に対する、配置である。
【図３】作業位置における液浸対物レンズの概略図である。
【図４】作業位置からの液浸対物レンズの交換を可能にする為の、吸引調整装置の過程の概略図である。
【図５】吸引調整装置のその他の具体的な形状の概略図である。
【図６】図５のＡ‐Ａ断面に沿った具体的な形状の概略図である。
【図７】微細要素の検査装置基部の概略図であり、供給装置の周りの領域が表される。
【図８】微細要素の検査装置基部の概略図であり、供給装置の周りの領域が表され、また、その他の要素は対物レンズの周辺領域の外にある。
【図９】対物レンズ及び微細要素の周辺領域の詳細な斜視図である。
【図１０】微細要素の検査及び／又は測定用装置の、その他の具体的な形状の概略図であり、二つの互いに固定され構成された対物レンズを備えている。
【図１１】斜視図的なわずかな液量の吸引装置の具体的な形状の上面概略図である。
【図１２】斜視図的なわずかな液量の吸引装置の具体的な形状の下面概略図である。
【図１３】図１１の具体的な形状の下面概略図である。
【図１４】図１１の具体的な形状の側面概略図である。
【図１５】図１３の直線Ｂ‐Ｂに沿った断面図である。
【図１６】吸引ノズルの様態の概略図である。
【図１７】吸引ノズルの様態のその他の概略図である。
【図１８】Ｕ字型の吸引装置の異なるセグメントのスイッチングの概略図である。
【図１９】正方形の吸引装置２３のセグメント区分の具体的な形状の概略図である。
【図２０】円形の吸引装置２３のセグメント区分の具体的な形状の概略図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  検査装置
２  微細要素
２ａ  微細要素２の表面
４  ステージ
８ａ  液浸対物レンズ
８ｂ  乾燥対物レンズ
８ｃ  アライメント対物レンズ（アライメント）
１０  イメージング光線経路
１２  照射光線経路
２０  光源
２１  供給装置
２２  供給ノズル
２３  吸引装置
２５  ターレット
２８  キャリアー
３６  浄化装置
３９  ノズルチップ
５４  突起部
５５  吸引ノズル
５６  吸引チャネル
５７  吸引チャネル
６０  縁
６２  縁から微細要素の表面までの距離
６５  セグメント
７０  液滴
【図１】
2008509426.tif 000003
【図２】
2008509426.tif 000004
【図３】
2008509426.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008509426.tif 000008
【図７】
2008509426.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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