【事件の表示】
　特許第２８７３４１０号「被試料体の記号・文字識別装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７３４１０号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第２８７３４１０号は、平成３年７月１８日（優先権主張平成３年２月２５日）に特許出願され、平成１１年１月１４日にその特許の設定登録がなされ、その後、異議申立人菅原忠男から特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年５月１６日に訂正請求（後日取り下げ）がなされ、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月１８日に訂正請求がなされたものである。
１．１　異議申立ての概要
　異議申立人菅原忠男は、甲第１号証（特開昭６３−２３７４２８号公報）及び甲第２号証（特開昭６３−９８６１９号公報）を提出し、本件請求項１〜４に係る発明は、甲第１及び甲第２号証に基づいて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、本件請求項１〜４に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
１．２　異議申立人菅原忠男が提出した甲第１及び甲第２号証の記載内容
１．２．１　甲第１号証の記載内容
　甲第１号証第２頁左上欄第１８行〜右上欄第１行には、「第１図は本発明の一実施例を示す半導体素子のパターン認識装置の構成図であり、ここでは、ワイヤボンダのパターン認識を行う場合について説明する。」と記載されている。
　甲第１号証第２頁右上欄第６行〜９行には、「第１図において、１はへツダ、２はダイス、３は白色光の光源、４は赤外線透過可視光シャープカットフィルタ、５はハーフミラー、６はカメラである。」と記載されている。
　甲第１号証第２頁右上欄１９行〜左下欄４行には、「白色光の光源３より出た光は赤外線透過可視光シャープカットフィルタ４により可視領域の光がカットされ、赤外線領域の光のみが選択されることになる。この光はハーフミラー５によりダイス１に照射され、その反射光はハーフミラー５を透過しカメラ６に入射する。」と記載されている。
１．２．２　甲第２号証の記載内容
　甲第２号証第２頁左上欄第１８行〜同右上欄第３行には、「第１図は第１実施例を示しており、この照明光学系は顕微鏡の代表的な照明光学系である…。光源としては、通常のハロゲンランプ光源の代わりに半導体光源１（例えばＬＥＤ、レーザダイオード）を二次元に配列して成る面光源２を用いている。」と記載されている。
　甲第２号証第２頁左下欄第２行〜同右下欄第３行には、「第２図は面光源２の一例を示し、この例では半導体光源１を７個二次元に並べている。尚、半導体光源１-１は前記光学系の光軸上にあるものとする。次に、各種照明方式に対応するこの面光源２の発光パターンを説明する。
（１）明視野照明
　７個の半導体光源（１-１，１-２，１-３，１-４，１-５，１-６，１-７）を全部点灯する。
（２）暗視野照明、環状照明
　半導体光源１-１以外の半導体光源（１-２，１-３，１-４，１-５，１-６，１-７）を全部点灯する。
（３）偏斜照明
　半導体光源１-１以外の光軸中心より離れた半導体光源の一部を点灯する（例えば、１-２又は１-２，１-３を点灯する。）。
　以上のように複数個の半導体光源１をスイッチコントロール部１２とスイッチ部９により選択的に点灯することにより、従来のような特殊な光学装置なしに簡単に各種の照明が得られる。」と記載されている。
　甲第２号証第２頁右下欄第１０行〜１４行には、「第３図は面光源２の他の例を示しており、これは数ｍｍ角の半導体チップ１３上に複数の半導体光源１（大きさは数１０μｍ〜数１００μｍ）を二次元に並べてオンチップ（Ｏｎ　Ｃｈｉｐ）面光源としたものである。」と記載されている。
２．訂正の適否について
  本件訂正請求は、本件特許第２８７３４１０号の明細書（以下、「特許明細書」という。）を、本件訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに、訂正しようとするものである。
２．１　訂正事項
訂正事項ａ１
　特許請求の範囲の請求項２の「発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする請求項１記載の被試料休の記号・文字識別装置。」を、「被試料体面に所定の入射角を有して照射する光源と、上記被試料体面からの反射光を検出する画像検出手段とを有する被試料体の記号・文字識別装置において、上記光源を光軸に対してリング状の発光体にて形成し、上記被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設し、かつ前記発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする被試料体の記号・文字識別装置。」と訂正する。
訂正事項ａ２
　特許請求の範囲の請求項１，３及び４を削除する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【００３５】、【００３６】、【００３７】及び【００８８】にそれぞれ記載された「１）請求項１記載の記号・文字識別装置によれば、」、「２）請求項２記載の記号・文字識別装置によれば、」、「３）請求項３記載の記号・文字識別装置によれば、」ならびに「４）請求項４記載の記号・文字識別装置によれば、」をそれぞれ削除する。
２．２　訂正後の請求項１
「被試料体面に所定の入射角を有して照射する光源と、上記被試料体面からの反射光を検出する画像検出手段とを有する被試料体の記号・文字識別装置において、上記光源を光軸に対してリング状の発光体にて形成し、上記被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設し、かつ前記発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする被試料体の記号・文字識別装置。」
３．　訂正の適否
３．１　目的該当性等について
３．１．１　訂正事項ａ
　上記訂正事項ａ１については、特許明細書の請求項２を、請求項１の削除に伴い、独立形式とするものであるから、明りょうでない記載の釈明にあたる。
　また、上記訂正事項a１は、出願当初の明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　上記訂正事項ａ２については、特許明細書の請求項１，３及び４を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮にあたる。
　また、上記訂正事項a２は、実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
　上記訂正事項ｂについては、上記訂正事項ａ
に伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明を整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明にあたる。
　また、上記訂正事項ｂは、出願当初の明細書又は図面に記載された事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張または変更するものではない。
３．２　独立特許要件について
　異議申立人菅原忠男が提出した甲第１及び甲第２号証には、訂正後の本件請求項１に係る発明の特徴である、「被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設し、かつ前記発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする被試料体の記号・文字識別装置」の構成（以下、「本件請求項１に係る発明の特徴的構成」という。）が記載又は当該構成の示唆がなく、さらに、訂正後の本件請求項１に係る発明が、上記本件請求項１に係る発明の特徴的構成を有することにより、平成１２年８月８日付特許異議意見書に記載された「本訂正拒絶理由通知に引用された引用例（甲第１号証：特開昭６３−２３７４２８号公報及び甲第２号証：特開昭６３−９８６１９号公報）には、平成１２年５月１６日付提出の特許異議意見書に記載したような技術的事項が記載されているだけであって、本件の訂正発明２の構成要件について、とくに「第１発光体部に対して４５度の間隔をおいて第２の発光体群を配置した」点について、記載あるいは示唆が全くない。
すなわち、本件特許明細書の段落【０００３】に記載されているように半導体ウエハのパターン認識に用いられるパターンの種類には、レーザ光で連続的に刻設したイングレービング文字、散点状に刻設したドット文字あるいはオリフラ面に対して４５度に傾斜された微細帯状体を組合せたタイトラ文字等があり（参考資料１参照）、また、刻設深さも目的に応じて数μｍ〜十数μｍのような深いものから１〜２μｍ のように浅いものまで用いられている。そして、本件特許発明の訂正発明２は、これらのパターンのうちオリフラ面に対して「４５度に傾斜された微細帯状体を組合わせたタイトラ文字」の認識に用いられる。さらに、段落【００３０】に明示されているように、「識別領域に刻設される記号・文字が溝２ｂ（凹部）の深さが１〜２μｍのタイトラ文字の場合には、凹部２ｂ〔図２参照〕が〔オリフラに対して常に〕４５度傾斜しているので、第２の発光体群９を点灯して、上記と同様に識別領域２ａの識別を行えば、記号・文字部分とそれ以外の部分とが明確に識別できる暗視野測定を行うことができる。」ようになる。ここで、訂正発明２がオリフラに対して常に「４５度に傾斜された微細帯状体を組合わせたタイトラ文字」の認識についてとくに有効であるためには、本件特許明細書の図１とその関連説明に示すように、「識別領域２ａ」と「光源１」が常に一定の位置関係にあることが必須である。つまり、本件特許発明に用いられる被試料体（ウエハ）の記号・文字識別装置は、プリアライメント部の上方に配置されていて、この識別装置でウエハに刻設された記号・文字の認識を行うようになっていて、このプリアライメント部における識別領域の位置をウエハのオリエンテーションフラット（オリフラ）の位置と、図１に示すように、常に平行に配置する必要がある。これにより、この識別領域に４５度に傾斜して刻設された微細帯状体の文字・記号が常にオリフラに対して４５度に傾斜して配置されることになる。
　ここで、さらにウエハのオリフラの位置について解説すると、まず、一般に本件特許明細書の段落【００２３】及び図７と８に示すように、この種のウエハ識別装置では、ウエハの搬送経路は、ウエハカセット２１→ロ一ダ部２３→プリアライメント部２６→ウエハ検査部２５となっていて、ウエハのプリアライメント部２６の上方に識別装置２０が配設されている。そして、このプリアライメント部２６では、周知のように、ウエハ２の中心を検出するとともに、ウエハのオリフラ（図１参照）を検出して一定の方向にウエハを整列させる〔参考資料２（ＭＯＤＥＬ　２０Ｓ）の第２頁のウエハ搬送の説明図ならびに参考資料３（Ｐ−８Ｉオペレーションマニュアルの２−１７頁のプリアライメントの説明）参照〕。
なお、ウエハのプリアライメント方法については、例えば、参考資料４（特開平３−１２９４７号公報）、に明示されている。
　そして、このようにして、プリアライメントされたウエハのオリフラの位置を基準にしてウエハにチップが形成されている〔例えば、参考資料５（特開平２−１９７１４４号の第４図）及びその関連説明ならびに参考資料２（ＭＯＤＥＬ２０Ｓ）に示されているウエハの写真を参照のこと〕。かくして、プリアライメント部でウエハのオリフラの位置が一定方向に整列された後、ウエハの検査部に搬送され、この検査部で微調整の位置合わせした後、最終的なウエハの検査を行うようになっている。このようにして、プリアライメント部でウエハのオリフラの位置を一定方向に位置合わせして整列させ、この状態でプリアライメント部の上方に配設した認識装置でウエハ上にオリフラに対して４５度傾斜して刻設した文字・識別記号を認識するので、光源１と認識領域２ａ内の認識記号の位置関係が４５度方向になっている微細帯状体の場合（参考資料１参照）には、両者の相対角度が常に一定となる。
このため、本件特許明細書に縷々記載があるように、識別領域２ａに刻設された記号．文字の溝２ｂ（凹部）の深さが１〜２μｍのタイトラ文字の場合であって、凹部（記号・文字の溝）２ｂがウエハのオリフラに対して常に４５度傾斜している場合には、第１の発光体群８に対して４５度の間隔をおいて配置された第２の発光体群９を点灯して、識別領域２ａの識別を行えば、記号・文字部分とそれ以外の部分とを明確に識別した暗視野測定を行うことができる、ようになる。
勿論、識別領域２ａに刻設された溝２ｂの深さが１〜２μｍのイングレービング文字、ドット文字の場合には、光源の第１の発光体群８を点灯して識別領域２ａの識別パターンの識別を行うことになる。」という効果を有する。
　そうすると、訂正後の本件請求項１に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたとすることができない。
３．３　訂正の適否の判断
　上記訂正事項ａ１、ａ２及びｂは、上記３．１及び３．２のとおりであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、同条第２項及び同条第３項の規定に適合する。
　従って、当該請求を認める。
４．特許異議申立てについての判断
４．１　本件請求項１に係る発明
　上記２．２に記載のとおり。
４．２　異議申立ての理由の概要
　上記１．１に記載のとおり。
４．２．１　本件請求項１に係る発明と甲各号証との対比、判断
　独立特許要件を判断した上記３．２のとおりであるから、本件請求項１に係る発明は、上記甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できたとすることができない。
５．むすび
 したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　従って、本件請求項１に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年９月１９日（２０００．９．１９）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
訂正事項ａ１、ｂは、明りょうでない記載の釈明を目的とし、訂正事項ａ２は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
訂正事項ａ１
　特許請求の範囲の請求項２の「発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする請求項１記載の被試料休の記号・文字識別装置。」を、「被試料体面に所定の入射角を有して照射する光源と、上記被試料体面からの反射光を検出する画像検出手段とを有する被試料体の記号・文字識別装置において、上記光源を光軸に対してリング状の発光体にて形成し、上記被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設し、かつ前記発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、上記第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成して成ることを特徴とする被試料体の記号・文字識別装置。」と訂正する。
訂正事項ａ２
　特許請求の範囲の請求項１，３及び４を削除する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【００３５】、【００３６】、【００３７】及び【００８８】にそれぞれ記載された「１）請求項１記載の記号・文字識別装置によれば、」、「２）請求項２記載の記号・文字識別装置によれば、」、「３）請求項３記載の記号・文字識別装置によれば、」ならびに「４）請求項４記載の記号・文字識別装置によれば、」をそれぞれ削除する。
（５４）【発明の名称】
被試料体の記号・文字識別装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
被試料体面に所定の入射角を有して照射する光源と、上記被試料体面からの反射光を検出する画像検出手段とを有する被試料体の記号・文字識別装置において、上記光源を光軸に対してリング状の発光体にて形成し、上記被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設し、かつ前記
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】この発明は被試料体の記号・文字識別装置に関するもので、更に詳細には、例えば半導体ウエハ等の被試料体面に刻設された識別記号・文字等を正確に識別できるようにした被試料体の記号・文字識別装置に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】一般に、半導体ウエハ（以下にウエハという）の製造工程においては、ウエハの品種や製造工程等の識別管理を行うためにウエハの所定位置に刻設された英数字あるいはバーコード等のパターンを用いている。このパターンに測定光を照射して、その反射光をＣＣＤカメラ等の画像検出手段に入射させ、この画像認識されたパターンを予め記憶されたパターンと比較してパターンを認識し、ウエハの品質や工程管理を確認しながら製造を行っている。
　【０００３】上記パターンの種類には、レーザ光で連続的に刻設したイングレービング文字、散点状に刻設したドット文字あるいは４５度に傾斜された微細帯状体を組合わせたタイトラ文字等があり、また、刻設深さも目的に応じて数μｍ〜十数μｍのような深いものから１〜２μｍのように浅いものまで用いられている。この場合、数μｍ〜十数μｍのように刻設が深いものはウエハに対して光源の光をほぼ直角に照射（明視野照射）することにより、明るい画面に溝の部分だけ暗く浮き出て認識される明視野測定を行っている。これは溝の底面が凹凸状であるため反射光は散乱し、溝以外の面は鏡面状であるため正反射して溝部分に比較して反射光量が多いためである。ところが、刻設された溝が１〜２μｍのように浅い場合には、溝の底面からの散乱光量とウエハの鏡面状の表面からの反射光量の差が少ないため、溝部分と鏡面部分とを明確に識別することができない。
　【０００４】そこで、従来では、図１１に示すように、光源ａからの光をウエハｂに対して所定の入射角θをもって斜め照射させ、光源ａの正反対光軸ｃよりθ１だけ僅かに外れた位置の反射光を受光して、周囲の正反射光を受光しないようにして周囲に比較して溝ｄ部分を明るくして溝ｄを認識する暗視野測定を行っていた。この場合、正反射光を更に受光しないようにするため、光源ａと受光側との間に遮蔽板ｅを配設するなどの配慮がなされていた。
　【０００５】また、被試料体の溝の深さに適応した明視野測定、暗視野測定を選択的に行える被試料の記号・文字識別装置として、発明者が先に開発したものが知られている（特開平２−５７６１号公報参照）。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来のこの種の識別装置においては、光源ａが単体であるため、暗視野測定では被試料体面に均一に光を照射することができず、溝ｄ部分と溝以外の鏡面部分とを明確に識別することは困難であった。また、光源ａと画像検出手段との間に配設されるレンズやミラー等の光学系が複雑であるため、装置が複雑となるばかりか、大型となり、スペースの有効利用が図れないという問題があるため、この種の識別装置をプローブ装置等のウエハ検査装置に組込んで使用することが困難となっている。
　【０００７】この発明は上記事情に鑑みなされたもので、暗視野測定において被試料体面に均一に光を照射して、記号・文字を明確に識別でき、かつ、スペースの有効利用が図れるようにした被試料体の記号・文字識別装置を提供することを目的とするものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の被試料体の記号・文字識別装置は、被試料体体面に所定の入射角を有して照射する光源と、上記被試料体面からの反射光を検出する画像検出手段とを有する被試料体の記号・文字識別装置を前提とし、上記光源を光軸に対してリング状の発光体にて形成し、上記被試料体側の照明用集光レンズと上記画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設して成るものである。
　【０００９】この発明において、上記発光体は光軸に対してリング状のものであれば、単一の発光体の照射側に中心部が遮光された光透過部材を配設した構造のものであってもよいが、好ましくは同一円周上に配列される複数の発光体にて形成する方がよい。この場合、複数の発光体を同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成し、第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成する方が更に好ましい。
　【００１０】また、上記発光体は少なくとも光軸に対してリング状であればよいが、好ましくは発光体の中心部に、被試料体面に対してほぼ直角に光を照射する明視野用発光体を配置すると共に、明視野用発光体とリング状発光体とを選択的に発光可能に形成する方がよい。
　【００１１】加えて、この発明の識別装置は単独で使用することも可能であるが、例えばプローブ装置等の被試料体の検査装置に組込んで使用することもできる。この場合、光源、照明用集光レンズ及び検出用対物レンズの配列は任意であるが、プローブ装置に組込んで使用する場合、照明用集光レンズと検出用対物レンズを結ぶ光軸を水平に形成し、上記光軸における上記照明用集光レンズと検出用対物レンズの間に、光源からの光を光軸上に案内すると共に、被試料体面からの反射光を透過させる半透過性反射鏡を配設し、上記光軸上に、この光軸上の光を上記被試料体面に案内すると共に、被試料体面からの反射光を光軸上に案内する反射鏡を配設する方が好ましい。
　【００１２】
　【作用】上記のように構成されるこの発明の被試料の記号・文字識別装置によれば、光軸に対してリング状の発光体から被試料体面に照射することにより、被試料体面に均一に光を照射することができ、被試料体面に刻設された記号・文字の溝と溝以外の鏡面とを明確なコントラストにて識別することができる。また、被試料体側の照明用集光レンズと画像検出手段側の検出用対物レンズを同一光軸上に配設することにより、構造を簡単にすることができると共に、装置の小型化が図れ、スペースの有効利用が図れる。
　【００１３】また、発光体を、同一円周上に９０度の間隔をおいて配置される第１の発光体群と、この第１の発光体群に対して４５度の間隔をおいて配置される第２の発光体群とで構成すると共に、第１及び第２の発光体群を選択的に発光可能に形成することにより、識別対象物の形態に応じた最適な照射を行うことができる。
　【００１４】更に、リング状の発光体の中心部に、被試料体面に対してほぼ直角に光を照射する明視野用発光体を配置すると共に、明視野用発光体とリング状発光体とを選択的に発光可能に形成することにより、識別対象物の形態に応じて明視野測定と暗視野測定とを選択的に行うことができ、１台の装置を更に多目的に使用することができる。
　【００１５】更にまた、プローブ装置等の被試料体の検査装置に組込むことにより、被試料体の検査工程と共に、被試料体の記号や文字等を識別することができ、検査工程の信頼性を高めることができる。
　【００１６】
　【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細に説明する。
　【００１７】図１はこの発明の記号・文字識別装置の概略斜視図、図２はその概略構成図が示されている。
　【００１８】この発明の記号・文字識別装置は、光源１と、この光源１からの光を被試料体であるウエハ２上に刻設された識別領域２ａに案内すると共にウエハ２からの反射光を透過する半透過性反射鏡であるハーフミラー３と、このハーフミラー３とウエハ２との間に配設される照明用の集光レンズ４と、この集光レンズ４と同一の光軸上におけるハーフミラー３の上方に配設される検出用の対物レンズ５と、この対物レンズ５の焦点位置に配設される画像検出手段であるＣＣＤカメラ６とで主要部が構成されている。なお、ハーフミラー３と対物レンズ５との間には絞り７が配設されており、この絞り７によって識別領域２ａ以外で反射された光を遮断している。
　【００１９】光源１は、図１及び図３に示すように、光軸Ａに対して同心円上に９０度の間隔をおいて配設される４つの発光ダイオード８ａ〜８ｄにて構成される第１の発光体群８と、この第１の発光体群８の発光ダイオード８ａ〜８ｄに対して４５度の間隔をおいて配設される４つの発光ダイオード９ａ〜９ｄにて構成される第２の発光体群９とで構成されており、かつ、これら第１及び第２の発光体群９はそれぞれ選択的に点灯可能に形成されている。したがって、識別領域２ａの形態に応じて第１の発光体群８あるいは第２の発光体群９を点灯するか、第１及び第２の発光体群８，９の双方を点灯することにより、光源１からの光が光軸Ａに対してリング状に照射される。この場合、第１及び第２の発光体群８，９を構成する発光ダイオード８ａ〜８ｄ，９ａ〜９ｄの各々の照射形態は、第１の発光体群８を代表して図５及び図６に示すように、発光ダイオード８ａ〜８ｄから照射された光が集光レンズ４にて識別領域２ａの中心部側に向って平行に屈折されてスポット状に照射Ｂされ、それぞれの発光ダイオード８ａ〜８ｄのスポット照射部Ｂの一部が重なった状態で識別領域２ａの全体に均一に照射される。
　【００２０】ＣＣＤカメラ６は図示しない画像処理装置に接続されており、ＣＣＤカメラ６にて撮像された画像データは画像処理装置により画像処理されて識別領域２ａの読取りが行われるようになっている。
　【００２１】なお、光源１は必ずしも上記のような構造とする必要はなく、例えば図４に示すように、単一の発光体１０の照射側に中央部に遮蔽部１１を設けた光透過板１２を配設した構造であってもよい。
　【００２２】また、上記実施例では光源１をリング状の発光体のみにて形成した場合について説明したが、図１ないし図３に想像線で示すように、リング状発光体の中心部すなわち光軸Ａ上に、識別領域２ａに対してほぼ直角に光を照射する明視野用の光源すなわち発光ダイオード１３を配設し、この明視野用発光ダイオード１３と暗視野用のリング状発光体１（具体的には第１の発光体群８及び第２の発光体群９）とを選択的に点灯可能にしてもよい。したがって、識別領域２ａの形態に応じて明視野測定と暗視野測定とを選択的に行うことができる。
　【００２３】上記のよう構成されるこの発明の記号・文字識別装置は、具体的には図７及び図８に示すように、プローブ装置のウエハ搬送部に組込まれて使用される。すなわち、ウエハカセット２１内に収容されたウエハ２を１枚ずつ保持して搬送するウエハ搬送機構２２を有するローダ部２３と、ウエハ２を載置保持する水平及び垂直方向に移動可能なウエハ保持手段２４を配設する検査部２５との間に形成されるウエハ搬送部すなわちプリアライメント部２６の上方にブラケット２０ａによってこの発明の識別装置２０を配設して使用することができる。したがって、ウエハ２の検査工程の前後において、ウエハ２に施された記号・文字を識別することができるので、各ウエハ２に対応させて電極パッドの良否を測定することができ、検査の信頼性を高めることができる。
　【００２４】この場合、ウエハ保持手段２４は、Ｙ方向案内レール２７上に摺動自在に搭載されるＹステージ２８と、このＹステージ２８上に設けられたＹ方向と直角に配設されるＸ方向案内レール２９上に摺動自在に搭載されるＸステージ３０と、Ｘステージ３０の上部に昇降及び水平回転可能に搭載されるチャック３１とで構成されている。なおチャック３１の側面には検査の際に触針に付着した微細塵（例えば電極パッドの表面のアルミニウム製酸化膜の削り屑等）を除去する針研磨器３７が取付られている。また、プリアライメント部２６にはローダ部２３のウエハ搬送機構２２との間と、ウエハ保持手段２４のチャック３１との間でウエハ２の授受を司るプリアライメントステージ３２が配設されている。
　【００２５】なお、検査部２５の上部には、テストヘッドローディング機構３３によってテストヘッド３４が起倒可能に配設されるようになっており、テストヘッド３４に接続するプローブカード（図示せず）の下方に移動したチャック３１上のウエハ２の電極パッドにプローブカードの触針が接触してウエハ２の電気特性が測定されるようになっている。なお、図７において、符号３５はマイクロスコープ、３６はプローブ装置動作表示灯である。
　【００２６】上記のようにプローブ装置に組込まれるこの発明の識別装置２０は、図９に示すように、横長に配置されたケーシング１６の中央部にハーフミラー３を配設し、このハーフミラー３の左側に集光レンズ４を配設すると共に、集光レンズ４を透過した光を下方のウエハ２上の識別領域２ａに照射案内する反射鏡１４（以下に反射ミラーという）を配設し、また、ハーフミラー３の右側には絞り７及び対物レンズ５を介してＣＣＤカメラ６を配設した構造となっている。また、ハーフミラー３の下部に設けられた光源室１７内に光源１を配設することができるので、装置全体を小型にすることができると共に、光源１からの光のウエハ面への照射及びウエハ面からの反射光のＣＣＤカメラ６への案内を小スペース内で効率よく行うことができるので、プローブ装置のウエハ搬送部に容易に組込むことができる。なお、このように構成される記号・文字識別装置においてはＣＣＤカメラ６にて撮像される画像データは反転像として認識されるが、画像反転機構（図示せず）を設けることによって正転像に変換することができる。
　【００２７】一方、図１０に示す装置はＣＣＤカメラ６で正転像を認識できるようにしたもので、図９に示す装置において対物レンズ５とＣＣＤカメラ６との間に第２の反射ミラー１５を配設するもので、その他は図９の装置と同様である。
　【００２８】次に、この発明の記号・文字識別装置の作動態様について説明する。
　【００２９】識別領域２ａに刻設される溝２ｂの深さが１〜２μｍの場合には、光源１の第１の発光体群８が点灯される。すると、第１の発光体群８からの光はハーフミラー３にて反射されて集光レンズ４に案内されて集光レンズ４を透過した光は識別領域２ａに照射され、識別領域２ａの溝２ｂに照射された光は乱反射し、溝２ｂ以外の鏡面２ｃに照射された光は正反射する。反射した光は集光レンズ４及びハーフミラー３を透過した後、ＣＣＤカメラ６側に直進する。この際、正反射した光は絞り７によって遮断され識別に必要な光のみが対物レンズ５を透過し、対物レンズ５によって結像されてＣＣＤカメラ６にて撮像（暗視野測定）される（図２参照）。そして、ＣＣＤカメラ６にて撮像された画像データは画像処理機構により画像処理され、識別領域２ａの識別パターンが識別される。
　【００３０】また、識別領域に刻設される記号・文字が溝２ｂ（凹部）の深さが１〜２μｍのタイトラ文字の場合には、凹部２ｂが４５度傾斜しているので、第２の発光体群９を点灯して、上記と同様に識別領域２ａの識別を行えば、記号・文字部分とそれ以外の部分とが明確に識別できる暗視野測定を行うことができる。
　【００３１】また、識別領域２ａに刻設される記号・文字の溝２ｂが数μｍ〜十数μｍのような深い場合には、明視野用の光源１を点灯すれば、この光源１からの光がウエハ２にほぼ直角に照射され、明るい画面に溝２ｂの部分だけが暗く浮き出て認識される明視野測定を行うことができる。
　【００３２】なお、上記の測定形態に限られるものではなく、識別形態に応じて第１の発光体群８と第２の発光体群９とを同時に点灯してもよく、あるいは、更に明視野用光源１も同時に点灯して測定してもよい。
　【００３３】なお、上記実施例ではプローブ装置において、ウエハ２に刻設された記号・文字の識別について説明したが、この構造のものに限定されるものではなく、単独の記号・文字識別装置として使用できる他、例えばＣＶＤ装置、スパッタ装置の位置合せ機構等、光学的な情報読取機構であればいずれにも適用可能である。
　【００３４】
　【発明の効果】以上に説明したように、この発明の記号・文字識別装置によれば、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
　【００３５】識別領域に均一に光を照射するため、記号・文字等を明確に識別することができ、かつ、集光レンズ、対物レンズ等の光学系を同一光軸上に配設するため、簡単な構造でコンパクトにすることができ、スペースの有効利用が図れる。
　【００３６】識別対象物の形態に応じて光源の発光形態を選択することができるので、最適な状態で識別することができると共に、エネルギの省力化を図ることができる。
　【００３７】明視野測定と暗視野測定とを選択的に行うことができるので、更に使用範囲を広範囲にして、多目的に使用することができる。
　【００３８】集光レンズ、対物レンズ等の光学系を被試料体の上方の水平光軸上に配設することができると共に、光源からの光の被試料体面への照射及び被試料体面の反射光の画像検出手段への案内を小スペース内で効率よく行うことができるので、例えば被試料体の検査装置等の他の装置に容易に組込むことができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】この発明の記号・文字識別装置の概略斜視図である。
　【図２】この発明の記号・文字識別装置の概略構成図である。
　【図３】この発明における光源を示す正面図である。
　【図４】光源の別の形態を示す斜視図である。
　【図５】この発明における光源の照射態様を示す概略平面図である。
　【図６】光源の照射態様を示す概略側面図である。
　【図７】この発明の記号・文字識別装置を具備するプローブ装置を示す概略斜視図である。
　【図８】図７の要部拡大斜視図である。
　【図９】記号・文字識別装置の具体的構造を示す断面図である。
　【図１０】記号・文字識別装置の別の構造を示す断面図である。
　【図１１】従来の記号・文字識別態様を示す説明図である。
　【符号の説明】
１　光源
２　ウエハ（被試料体）
３　ハーフミラー（半透過性反射鏡）
４　照明用集光レンズ
５　検出用対物レンズ
６　ＣＣＤカメラ（画像検出手段）
８　第１の発光体群
９　第２の発光体群
１０　発光体
１１　遮蔽部
１２　光透過板
１３　明視野用光源
１４　反射ミラー（反射鏡）