【事件の表示】
　特許第２９０３２３９号「プラズマエッチング方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９０３２３９号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］本件発明
　本件特許第２９０３２３９号（平成２年３月１５日出願、平成１１年３月２６日設定登録）の発明は、特許された明細書及び図面（以下、「特許明細書および図面という。）の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１、２に記載された次のとおりのものである。
　「（１）気密容器内で、対向する２つの電極の一方の電極に被処理体が設置され、前記２つの電極の間に電力を印加して処理ガスをプラズマ化し、このプラズマ化した処理ガスによりエッチングを行う方法において、前記２つの電極の温度差を調整することにより、被処理体のエッチング部のテーパ形状を調整するようにしたことを特徴とするプラズマエッチング方法。
（２）前記２つの電極の温度差は、それぞれの電極を所定の温度に設定することにより生じさせることを特徴とする請求項（１）に記載のプラズマエッチング方法。」（以下、「本件発明１、２」という。）
　
［２］特許異議の申立ての理由の概要
　特許異議申立人池中　実は、甲第１、２号証を提示して、本件発明１、２は、甲第１、２号証に記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、同法第１１３条第１項第２号の規定により取り消すべきものである旨主張する。
　なお、異議申立人は、甲第１、２号証とともに甲第３号証も提出しているので、甲第１、２号証に併せて甲第３号証についても、以下において検討する。
　
［３］甲第１〜３号証
（１）甲第１号証の記載事項
　甲第１号証の特開昭６０−１４０７２３号公報には、連続運転を行った場合でも常に安定したエッチング特性を得ることができるドライエッチング装置に関する発明が、第１、２図とともに記載され、さらに、
　具体例として、
　「両電極の温度差によって第１図に示すようにエッチング特性が変動する。すなわち、第１図は、両電極の温度差に対するＰＳＧ膜のエッチング速度（実線）と、デポジション膜残渣量（点線）の関係を示す。この図に示すように、ウエハ配置側の他方の電極の温度が高周波印加側電極の温度よりも低くなると、ウエハ上の被エッチング部にデポジション現象が起こり、その温度差が広がる程、その現象は著しくなる。その結果として、エッチングはうまく進行しなくなり、ついては、エッチング残渣が発生し、不良となる。なお、第１図は、Ｃ２Ｆ６ガス８０ｃｃ、ＣＨＦ３２０ｃｃ、エッチング圧力０．６ｔｏｒｒ、高周波電力２ＫＷ、周波数１３．５６ＭＨｚのエッチング条件でエッチングを行っている。」（第２頁左上欄８行〜右上欄２行）、
　第１図について、
　「このように構成された装置においては、第１および第２の冷却器（同一冷却能力）１４、１９により冷却された冷却水が冷却水循環路１１、１６を循環することにより、高周波印加側電極２と接地側電極３が冷却される。」（第２頁右下欄１４〜１８行）、
　２つの電極の冷却構造の相違により、
　「高周波印加側電極２の冷却効率の方が、接地側電極３の冷却効率より高くなる。それゆえ、電極間の温度バランスとしては、常に、高周波印加側電極２の温度の方が接地側電極３の温度より低く保たれる。したがって、連続運転において常に安定したエッチング特性を得ることができる。」（第３頁左上欄第１３〜１８行）
が、それぞれ記載されている。
　
（２）甲第２号証の記載事項
　甲第２号証の「ＳＥＭＩテクノロジーシンポジウム８９講演予稿集（ＴＥＣＨＮＩＣＡＬ　ＰＲＯＣＥＥＤＩＮＧＳ　ＳＥＭＩＣＯＮ／ＪＡＰＡＮ　１・９・８・９）」第１６１〜１７３頁には、基板が載置された、ＲＦパワーが供給される基板電極と対向電極とを備えた低温ＲＩＥ装置に関する発明が、１、２図とともに記載され、さらに、
　「図１に、実験に使用した温度制御が可能なＲＩＥ装置を示す。ウエハー裏面と電極間の熱接触を得るために、静電吸着とＨｅガス伝導を併用した。ウエハー温度は、・・・電極温度又はＨｅガス圧を変えることで制御した。
　・・・
　図２に、・・・エッチング形状に対するエッチング中のウエハー温度の影響を示す。低温で、垂直又は順テーパー形状が得られた。・・・１６０℃以上の高温では・・・アンダーカット形状に、ノンドープはオーバーハング形状になった。
　・・・
　以上の結果を基に、次のような「反応生成物の側壁保護」による異方性機構を提案した。
（１）低温では、・・・が付着し側壁保護する。堆積とエッチングの平衡により垂直やテーパーになる。検出された付着物の厚さは、テーパー形成に十分である。
　・・・
（３）２００℃以上の高温では、反応生成物の蒸気圧が上がるので、側壁保護はなくなり、・・・では、中性種との反応によりアンダーカットがおこる。ノンドープでは、中性種との反応確率が非常に小さいので、散乱された斜め入射イオンにより、オーバーハングになると考えられる。」（第１６３頁２〜下から１２行）
が記載されている。
　以上の記載をまとめると、図２には、ウエハー温度を２９７．２℃、５１．０℃および３２．５℃というように変化させると、エッチング形状がアンダーカット形状、垂直形状およびテーパー形状という具合に変化することが例示され、ウエハーが低温の状態では、反応生成物がエッチング部の側壁に付着する側壁保護効果が生じて、反応生成物の堆積とエッチングの平衡により側壁形状が垂直形状やテーパー形状になることが開示されている。
　
（３）甲第３号証の記載事項
　甲第３号証の特開昭５８−１５３３３２号公報には、フロロカーボン系のガスのプラズマにさらしてウエーハをエッチングするドライエッチング装置に関する発明が、第２図とともに記載され、さらに、
　第２図について、
　「エッチングステージ（２）、チャンバー容器（４）の容器壁および上部電極（５）の温度をそれぞれ所定温度値に制御保持することができるので、エッチングステージ（２）の温度を低温度値に設定して、エッチングステージ（２）上に載置されたウエーハ（１００）の表面上のエッチングマスク用レジスト膜が劣化しないようにするとともに、チャンバー容器（４）の容器壁および上部電極（５）の温度をそれぞれエッチングステージ（２）の温度より高い温度値に設定して、チャンバー容器（４）の内壁面上および上部電極（５）の表面上にエッチング残渣が付着しないようにしてこのエッチング残渣をガス排気管（８）を通して排出することができる。従って、エッチング残渣からの揮発性成分の蒸発によってチャンバー容器（４）内のガス圧が変動することがないので、チャンバー容器（４）内のガス圧を最適値に設定してウエーハ（１００）への所望のエッチング速度を再現性よく得ることができる。」（第３頁左上欄９行〜右上欄７行）
が記載されている。
　
［４］対比・判断
　本件発明１、２は、２つの電極の温度差を調整することにより、被処理体であるウエーハのエッチング部のテーパ形状を調整するようにしたものであって、これにより、逆テーパ形状、正テーパ形状などの所望のエッチング形状が得られるとともに、エッチングレート、選択性、均一性のエッチング特性が悪化することがないようにしたものである。
　これに対し、甲第１号証に記載のものは、ウエハを配置した接地側電極の温度が高周波印加側電極の温度よりも低くなると、エッチング残渣が発生し、不良となるので、高周波印加側電極の温度の方を接地側電極の温度より低く保つことにより、常に安定したエッチング特性を得るようにしたものであって、本件発明１、２のように、２つの電極の温度差を調整することにより、ウエーハのエッチング部のテーパ形状を調整して所望のテーパ形状を得るものではないし、甲第１号証に記載の、高周波印加側電極の温度を接地側電極の温度より低く保つことによって常に安定したエッチング特性を得るものに替えて、２つの電極の温度差を調整することにより、所望のテーパ形状を得るようにすることは、その技術的思想の相違からみて容易に想到することはできない。
　また、甲第２号証に記載のものは、ウエハーの温度を、ウエハーを載置する電極の電極温度を変えることで制御しているものの、ウエハーの温度を変えることによりエッチング形状を垂直形状やテーパー形状にしており、本件発明１、２のように、２つの電極の温度差を調整することにより、ウエーハのエッチング部のテーパ形状を調整するものではなく、しかも、ウエハーの温度の制御はウエハーを載置する電極の電極温度によるものであって、２つの電極の温度差を制御するものではないから、２つの電極の温度差を調整することにより、ウエーハのエッチング部のテーパ形状を調整することは容易に想到できるものではない。
　さらに、甲第３号証に記載のものは、チャンバー容器（４）の容器壁および上部電極（５）の温度をそれぞれエッチングステージ（２）の温度より高い温度値に設定することにより、チャンバー容器（４）の内壁面上および上部電極（５）の表面上にエッチング残渣が付着しないようにしたものであって、本件発明１、２のように、２つの電極の温度差を調整することにより、ウエーハのエッチング部のテーパ形状を調整するものではないし、本件発明１、２の構成については何らの記載もなく示唆もない。
　しかも、上記甲第１〜３号証に記載のものを組み合わせてみても、本件発明１、２を容易に想到できるものではない。　　
　そして、本件発明１、２は、プラズマを生起させる電極の温度を制御することにより、エッチング特性を所望のものにすることができ、所望のエッチング形状に制御することができるという、特許明細書に記載の顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１、２は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではないから、異議申立人の主張は採用できない。
　
［５］むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由によっては、本件特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１、２の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１、２の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものとは認められない。
　よって、平成６年改正法附則第１４条の規定に基づく、平成７年政令２０５号第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月１９日（２０００．７．１９）