【事件の表示】
　特許第２９３８８８１号「照明装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９３８８８１号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
〔１〕本件請求項１、２に係る発明
　特許第2938881号（昭和63年10月24日出願、平成11年６月11日設定登録。）の請求項１、２に係る発明（以下、「本件請求項１に係る発明」等という。）は、その特許請求の範囲の請求項１、２に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】対象物の所定の領域を照明する照明装置において、照明光源と前記対象物の間に狭い波長域の光を透過する第１及び第２の誘電体干渉フィルタを二枚配置し、第１誘電体干渉フィルタは照明光源が発する光から狭い波長域の光を取り出し、第２誘電体干渉フィルタは第１誘電体干渉フィルタに対して駆動手段により所期する角度範囲で傾くようにし、所望の照明光量を得ることを特徴とする照明装置。
【請求項２】請求項１の照明装置は蛍光観察用の照明装置であることを特徴とする照明装置。」
〔２〕申立の理由の概要
　申立人有限会社オフィスアテナは、本件請求項１、２に係る発明は、甲第１号証（「蛍光顕微鏡とその応用法」、工藤吉郎著、聖マリアンナ医科大学雑誌、第15巻、第１号別刷、昭和62年３月発行）、甲第２号証（特開昭62-187815号公報）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第29条第２項に規定する発明に該当し、本件特許を取り消すべきと主張している。
〔３〕甲第１、２号証に記載された発明
　甲第１号証には、「おもに紫外線を光源とした光学顕微鏡を蛍光顕微鏡という。蛍光顕微鏡法といえば、そのすべてが蛍光抗体法であるかに考えられがちであるのが現状である。蛍光抗体法は、蛍光顕微鏡法の１つであることを知っていただきたい。そこで、今回は蛍光顕微鏡法についてその基本ともいうべき蛍光と蛍光色素、蛍光顕微鏡装置、固有蛍光と普通蛍光染色法、それにその応用法についてふれ、そのうえ普通の組織標本についても、ＵＶまたはＢＶ励起フィルターと接眼フィルターをうまく正しく使用すれば、異なった角度から観察研究が可能であること等を解説した。」（第１頁第７〜13行）こと、「紫外線をおもな光源とした光学顕微鏡装置を蛍光顕微鏡Florescence microscope（紫外線顕微鏡ともいう）といい、これを使って種々の観察または検出する方法を蛍光顕微鏡法Fluorescence microscopyという。顕微鏡の誕生は古く、1619年もしくはそれより少し前といわれている。当時は１枚ないし２枚のレンズを重ねあわせた程度のものであったが、17世紀後半から18世紀にかけて改良がくりかえされ、現在われわれの眼にする光学顕微鏡の原型ができあがったのは19世紀になってからのことである。ところで、蛍光顕微鏡の創案についてであるが、これも比較的古く1904年もしくはそれより少し前といわれる。最初Kohlerは可視光のかわりに紫外線を光源とすることを考え出したが、一応それらしき装置の原型が完成したのは、1913年Lehmannによってであった。しかし、その装置は複雑で、操作技術に熟練を要したうえ、高価であり、鏡見できる材料は蛍光性があるものに限られていたという。ところが、1934年Haitingerによって可検物をあらかじめ蛍光色素で染色色素で染色して観察するという蛍光染色法Fluorochromingが考案されてから急速にその応用の途がひろがり、現在に至ったのである。今日、蛍光顕微鏡法といえば、そのすべてが蛍光抗体法であるかにみられている。それは誤りで、種々の方法があり、蛍光抗体法はその一方法であることを知っていただきたい。そこで今回は、蛍光顕微鏡についての概要とその応用法を述べ、ついでに紫外線下におけるマクロの観察法とその撮影法等についてもふれてみることにする。」（第１頁左欄第１行〜右欄第15行）こと、「蛍光顕微鏡とは、被検物に普通の可視光ではなくて、紫外線およびそれに近い短波可視光の紫色・藍色光を照射し、それによって励起される被検物の発する蛍光を鏡見する顕微鏡装置である。蛍光顕微鏡装置の基本ともいうべき装置の概要は図１に示した通りである。
１）光源
　蛍光光源としては、カーボンアーク灯・タングステンランプ・クセノンランプ・低圧水銀灯・常圧水銀灯・高圧水銀灯・超高圧水銀灯等がある。被検物の中で、目的とするものをできるだけ他のものと正しく区別するためには、光源がなるべく強くて明るいエネルギーの大なるものほどよい。かって超高圧水銀灯がなかった時分では、カーボンアーク灯が使用されていたと聞くが、分きざみでカーボンの先端が消退するため常に時計仕掛けで２本のカーボンの先端を近づけなくてはならなかった。現在では高性能の超高圧水銀灯ができているので、カーボンアーク灯のような欠点はない。蛍光光源としてもっとも必要な波長は、365.0・404.7・435.0nmであり、これらが輝線スペクトルではなくて、連続スペクトルでエネルギーが大なるほどよい。このようなわけで、現在もっともよいと思われる光源はOsram,Philipの超高圧水銀灯であろう（図３参照）。
２）蛍光励起フィルター（光源フィルター）
光源から発せられる光線のうち、365.0,404.7,435.0nmの波長域をよく透過してそれより波長の長い可視光と赤外部を遮断できる特殊の色ガラスフィルターが必要である。黒色ないし除赤外域兼用の青紫色ガラスフィルターを単独あるいは適宜に組み合わせて用いるとよい。（図４，５，６参照）。なお、赤外域を除去するために、２〜10％の硫酸銅水溶液の水槽（厚さ数cmの良質の両面平行ガラス水槽）を光源と励起フィルターの間におくこともよい。
３）顕微鏡部分
比較的高級の光学顕微鏡を用い、必要に応じて明視野コンデンサー（鏡光率は1.4が望ましい）か暗視野コンデンサー、時には蛍光位相差コンデンサーを使いわける。なお、いうまでもなく、レンズはより上質のものが必要で、蛍光顕微鏡用または蛍光位相差レンズがよい（図７，８参照）。被検物を乗せるスライドガラスは、普通のものでよいが、できれば、1.0〜1.2mmの厚さの無蛍光のものが望ましい。
４）接眼フィルター
このフィルターは鏡筒を通過してくる紫外線をカットすることによって、検者の眼の保護し、眼球自体の蛍光による霧視現象を防いで、被検物を正しく明視するために使うガラスフィルターである。これも目的によって使いわけなくてはならないが、普通は橙黄色、黄色または緑色系色ガラスを用いる（図４，５，６参照）。なお、蛍光励起に黒色ガラスフィルターを使った場合およびそれに暗視野コンデンサーを用いた場合、接眼フィルターが不要な場合もある。さて、蛍光顕微鏡を用いて被検物を観察することにしよう。それには上記１）〜４）のすべてをかねそなえていなくてはならないのはいうまでもないが、目的によって種々の方法がある。もっとも基本的なものは図７のような透過型のもので、時によりコンデンサーを明視野にしたり、暗視野にする必要がある。また、図８のような落射型もある。要は、目的によってどのような蛍光顕微鏡装置を使うかが大体きまっているので、それに従って種類を正しく選べばよい（図９，10参照）。」（第３頁右欄22行〜第５頁右欄第８行）ことが図面とともに記載されている。
　甲第２号証には、光量制御装置に関して「光源からの光束を光分割手段により複数の光束に分割し、前記複数の光束のうち少なくとも一つの光束の光路中に回動可能の干渉フィルターを配置し、該干渉フィルターへの光束の入射角を変化させることにより該干渉フィルターを透過する光量を変えた後、前記複数の光束を集光部材により集光させて全体の光量を制御するようにしたことを特徴とする光量制御装置。」（特許請求の範囲の請求項１）、「本発明は光学的な手段により照明用光量や露光用光量を制御する光量制御装置に関し、特に半導体製造装置においてレーダーからの光束を用いてレクチルやウエハ等を照明し露光する際に好適な光量制御装置に関するものである。」（第１頁左欄18行〜右欄第１行）こと、「最近の半導体技術は電子回路の高集積化、微細化の一途を辿り、光学的な露光方法も高解像力のレンズの開発等でますますその領域を拡げつつある。このような半導体製造における露光装置において、マスク又はレクチルの回路パターンをウエハ面上に転写、焼付ける場合には、ウエハ面上に焼付けられる回路パターンの解像線巾は光源の波長に比例するため、近年ではリソグラフィの光源として紫外線用ではHgランプを、またデイープ紫外線用では超高圧Xe-Hgを使用している。しかし、かかる光ではレジスト感度が弱く、このため長い露出時間を必要とし、作業性に乏しかった。一方、近年エキシマ（excimer）レーザーという高出力の遠紫外領域を発振波長とする光源が各方面で使用されている。このエキシマレーザーは高輝度性、単色性そして可干渉距離が短いことから半導体製造の際の露出装置には大変有効である。このエキシマレーザーの励起方式は放電励起方式であるのでエキシマレーザーを回路パターンの露光用の照明光学系の光源として用い、ウエハ面上への露光エネルギーを所定値に維持する為には放電励起電圧を制御することによって行うことが考えられる。しかしながら励起電圧が大きくなりすぎるとレーザー或いは励起回路が破壊され、逆に励起電圧が小さくなりすぎるとレーザーが発振しなくなる等、励起電圧を制御して出力エネルギーを大きく変えることは一般に大変困難である。又エキシマレーザーは大出力のパルス発振のため、通常１パルスから数パルス程度で必要な露光エネルギーが得られ、さらにパルスの発行時間も10〜20nsec程度と非常に短いため、超高速シャッターを必要とする等露出時間を制御することにより、精密に露光エネルギーを制御することは難しい。」（第１頁右欄第３行〜第２頁左上欄第18行）こと、「本発明は常に安定した状態でしかも長時間にわたり感光性材料への露光性材料への露光量を適切なる値に制御することのできる光学的な手段を利用した簡易な構成の光量制御装置の提供を目的とする。特に本発明においてはウエハ面状のフォトレジスト等の感光性材料面へ回路パターンを投影露光する際に好適な光量制御装置の提供を目的とする。」（第２頁左上欄第20行〜右上欄第６行）こと、「第１図は本発明を半導体製造用の露光装置に適用したときの一実施例の概略構成図である。同図において10は光源であり、例えばインジェクションロッキングタイプのエキシマレーザーより成っている。11は本発明に係る光量制御装置、12はレクチルやマスク等��被照射面14を照明する為の照明光学系、13は反射鏡で一部が半透過面若しくは透過面となっている。15は被照射面14上のレクチルやマスク等の回路パターンをウエハ面である被投影面16に投影する為の投影光学系である。17は被照射面14への光量を監視する為の監視装置、18は監視装置17からの指令信号に基づき光量制御装置11を駆動させる駆動装置である。本実施例では光源１からの光量を光量制御装置11により所定値に制御しつつ照明光学系により被照射面14を照明している。このとき照明光束の一部を反射鏡10の一部より取り出し、監視装置17により被照射面14への光量を監視する。そして被照射面への光量が所定値から変化したときは指令信号をを駆動装置18に出す。駆動装置18は指令信号に基づいて光量制御装置11を制御し、これにより常に一定の光量で被照射面14を照明するようにしている。第２図は本発明の光量制御装置の一実施例の光学系の説明図である。図中１は光分割手段で例えば透過率がＴ１のハーフミラーより成り、入射光束Ｉoを２つの光束Ｉ１、Ｉ２に分割している。尚、分割の数は２つ以上であっても良い。２は全反射鏡、３は干渉フィルターで第１図の駆動装置により回動可能となっている。４は全反射鏡、５はハーフミラーである。本実施例では全反射鏡４とハーフミラー５は集光部材の一部を構成している。本実施例では監視装置17からの指令信号に基づいて駆動装置18により干渉フィルター３を回動させ、光束Ｉ２の入射角を変えることにより干渉フィルター３からの透過光量を変えている。そして分割した２つの光束Ｉ１，Ｉ２を全反射鏡４とハーフミラー５により集光し、全体の光量の出力値を制御している。このように分割した複数の光束の一つの光束の光路中に干渉フィルターより成る光量制御手段を設けることにより全体の光量の出力の調整を可能としている。即ち干渉フィルターへの光束の入射角をｉｏとすると干渉フィルターからの光束の透過率Ｔ(io)は
　　　　（数式略）
となる。但し厚さｄ、屈折率ｎの透明層の両側を、反射率ｒ、屈折率ｎoの薄膜で挟み、膜中の光の屈折角をｉとしたとき
　　　　（数式略）
である。第３図はこのときの干渉フィルターへの入射角ｉoを横軸、透過率Ｔを縦軸にとったときの説明図である。同図に示す如く入射角ｉoを種々変えることにより干渉フィルターから任意の光量を透過させることができる。これより入射光量をＩin、出力光量をＩoutとすると出力光量Ｉoutは
　　　　　（数式略）
となる。(2)式より明らかのように本実施例では透過率の異なった光分割手段を交換したり分割した複数の光束の一部の光束に干渉フィルターから成る光量制御手段を設け干渉フィルターへの光束の入射角を回動させて変えることにより全体の出力光量の微調及び粗調を行っている。即ち透過率Ｔ１を大きくすれば入射角ｉoの変化による出力光量Ｉoutの変化は小さくなり、逆に透過率Ｔ１を小さくすれば入射角ｉoの変化による出力光量Ｉoutの変化を大きくすることができる。尚、本実施例において光分割手段により入射光束を２つ以上複数の光束に分割し各々の光束の光路中に異った特性の干渉フィルターから成る光量制御手段を設け各々の光量制御手段により出力光量を制御するようにしても良い。」（第２頁右上欄第19行〜第３頁右上欄第18行）ことが第１〜３図とともに記載されている。
〔４〕対比・判断
　甲第１号証記載の発明は、光源フィルタを適宜組合せて用いることが記載されているから光源フィルタを２枚備えている照明装置が記載されているものと認められる。
　そこで請求項１に係る発明と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証の「標本試料」、「超高圧水銀灯」は、請求項１に係る発明の「対象物」、「照明光源」に相当するから、両者は、「対象物の所定の領域を照明する照明装置において照明光源と前記対象物の間に狭い波長域の光を透過する第１、第２のフィルタを二枚配置したことを特徴とする照明装置。」の点で一致し、両者は、
（１）第１及び第２フィルタが本件請求項１に係る発明では「誘電体干渉フィルタ」であるのに対し、甲第１号証記載の発明では「色ガラスフィルタ」である点、
（２）本件請求項１に係る発明では「第１誘電体フィルタは照明光源が発する光から狭い波長域の光を取り出し、第２誘電体干渉フィルタは第１誘電体干渉フィルタに対して駆動手段により所期する角度範囲で傾くようにし、所望の照明光量を得る」ようにしたのに対し、甲第１号証記載の発明ではそのようになっていない点、
で相違しているものと認められる。
　次に両者の課題について検討してみると、本件の明細書の[従来技術]の欄には、「一般に微少な形状を観察・測定する場合、照明する光源は短波長、単一波長である方が解像度が上り、・・・知られている。ところで観察・測定の対象物の材質の違い等から反射率が異なるので、汎用性のある装置とするためには対象物によって照明光量を調節し、適正な明るさを得る必要がある。そこで照明光量を調節し、適正な明るさを得る必要がある。そこで照明光量が連続的に変えられる機構が望まれている。・・・」と記載され、本願の目的は光源から出射した光から狭い波長域の光のみを取出し、しかもその光量は最小限の光量ロスで連続的に変化し、そのうえ再現性のよい照明装置を提供することにある。
　一方甲第１号証記載のものは、黒色ないし除赤外域兼用の青紫ガラスフィルタを適宜組合せ、「光源から発せられる光線のうち365.0,404.7,435nmの波長域をよく透過してそれより波長の長い可視光と赤外部を遮断」するようにしたものである。
　要するに両者は解決すべき課題を異にするとともに、上記の相違点について甲第１号証記載のものは何ら言及していない点で相違するものである。
　そこで、上記相違点についてさらに検討する。
　甲第２号証に記載されたものには、「誘電体干渉フィルタは駆動手段により所期する角度範囲で傾くようにし、所望の照明光量を得る」点を具備しているが、本件請求項１に係る発明の必須構成である「狭い波長域の光を透過する第１及び第２の誘電体干渉フィルタを二枚配置し、第１誘電体干渉フィルタは照明光源が発する光から狭い波長域の光を取り出し、第２誘電体干渉フィルタは第１誘電体干渉フィルタに対して駆動手段により所期する角度範囲で傾くようにし、所望の照明光量を得る」構成を具備しない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、上記構成を有することにより、「効率よく光量を得ることができると共に、狭い波長域の照明光の光量変化を正確かつ容易にすることができる。」という明細書に記載の作用効果を得ることができる。
　特許異議申立人は、特許異議申立書の第11頁第末行〜第12頁23行において、甲第１号証に記載されたものに甲第２号証に記載されたものを組み合わせれば、当業者が容易に本件請求項１に係る発明を想到することができると主張する。しかしながら、甲第１号証に記載された前記「蛍光励起フィルター」は、駆動手段により所期する角度範囲で傾くものではないし、光量を制御したものではないから、甲第２号証に記載された回転可能な「干渉フィルター３」を前記「蛍光励起フィルター」に置き換えることはできない。また、甲第２号証に記載のものは、入射光束を２つの光束に分割し、その１つの光束を干渉フィルターに入射させたものであって、本件請求項１に係る発明と構成が異なる。さらに、甲第２号証に記載のレーザー光源は、半導体製造用の露光装置であって、照明装置ではない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、甲第１、２号証に記載のものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　本件請求項２に係る発明は、本件請求項１に係る発明をさらに減縮したものであるから、本件請求項１に係る発明が取り消されない以上、取り消されない。
〔５〕むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件請求項１、２に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１、２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月２０日（２０００．６．２０）