(57)【要約】      （修正有）【課題】回転軸が一点にある遊星円錐はすば歯車の噛み合わされた対応部品の円錐上球形螺旋凸歯面及び凹歯面を高精度で加工でき、また、座標測定機器を有した研磨機を使って加工された表面の形状及び寸法パラメータを制御できる装置の提供。【解決手段】研磨機１が、二つの研磨ディスク５、５１を有し、その第一研磨ディスク５は、凸面の加工を行い、第二研磨ディスク５１は凹面の加工を行う。研磨機１は二つの測定ゲージ４０を有し、第一測定ゲージは、第一研磨ディスクの形状と寸法に一致する幾何学的形状と寸法を有し、第二測定ゲージ４０は、第二研磨ディスクが二つの互いに垂直な軸線Ｃ２と軸線Ｄを中心に同時に回転したときに形成される球体の寸法と一致する寸法の球体形状を有する。測定ゲージ４０は、それぞれの面の形状及び寸法の制御を可能にする。【選択図】図１
0003138770.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
回転軸線が共通する噛み合わされた対応部品における円錐球形螺旋凸歯面、凹歯面を成形する複雑形状の高精度製品の測定器付きマイクロ研磨装置であって、水平面ＸＹに測定開始点Ｏが配置された座標系Ｘ、Ｙ、Ｚを有した研磨機（１）を備え、該研磨機（１）が作動機器のプログラム制御器（１６）を有し、第一切削工具（５）が、該第一切削工具（５）の固定具（４）によって水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃを中心に回転できるようになっていると共に、切削粒子の集合体（２１）から均一な高さに切削粒子（７）が表出した製造工具面（６）を有しており、前記固定具（４）の下に配置されたサポート台（８）の上には、加工ワーク（１１、１１１）の固定具（１０）が取り付けられるテーブル（９）が設けられており、前記研磨機（１）の架台（３）に作動機器が固定されており、該作動機器は、
前記テーブル（９）を測定開始点Ｏから研磨機のＸ座標軸方向に前記サポート台（８）に対して往復運動させる第一アクチュエータ（１２）と、
前記テーブル（９）が搭載された前記サポート台（８）を測定開始点Ｏから研磨機のＹ座標軸方向に往復運動させる第二アクチュエータ（１３）と、
前記テーブル（９）が搭載された前記サポート台（８）を測定開始点Ｏから前記研磨機（１）のＸ１座標軸方向に移動させる第三アクチュエータ（１４）であって、前記テーブル（９）が搭載されたサポート台（８）を測定開始点Ｏから研磨機（１）のＸ及びＺ座標軸方向に移動された結果起こる測定開始点の移動にも用いられる第三アクチュエーター（１４）と、
水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ１を中心に前記第一切削工具（５）を回転させる第四アクチュエータ（１５）と、
前記研磨機（１）の平面ＸＺに平行な座標軸Ａを中心に前記加工ワーク（１１、１１１）を回転させる第五アクチュエータ（８９）と、
座標軸Ａに対する垂直面と平行で且つ前記研磨機（１）の座標軸Ｙに平行な座標軸Ｂを中心に、前記加工ワーク（１１、１１１）を回転させる第六アクチュエータ（９０）と、  を含み、
前記プログラム制御器（１６）の制御出力（４８〜５７）が、前記研磨機の作動機器の各制御入力と電気的に接続されており、
前記第一切削工具（５）が凸歯面を加工できるようになっている第一研磨ディスク（５）であり、
該第一研磨ディスク（５）は、前記研磨機（１）の作動機器の前記移動の測定開始点Ｏと一致する曲率中心を有し且つ前記第一切削工具（５）の回転軸線Ｃ１がその中心を通る平面ＸＹにある円周上に前記切削粒子（７）の先端が配置された前記製造工具面（６）を備え、
第二切削工具（５１）の固定具（４１）は、前記測定開始点Ｏを通り且つ平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ２を中心に回転できるようになっており、さらに、前記第二切削工具（５１）が前記測定開始点Ｏを通り且つ軸線Ｃ２を含む平面ＹＺに対する法線方向に延びる軸線Ｄを中心に回転することができるようになっており、
該第二切削工具（５１）が凹面を加工できるようになっている第二研磨ディスク（５１）であり、該第二研磨ディスク（５１）が、切削粒子の集合体（２１１）から略均一な高さに表出した切削粒子（７１）が付いた製造工具面（６１）と、上記の測定開始点Ｏと一致する曲率中心を有し、断面ＸＺで見ると、水平面ＸＹに対する法線との交点を中心とする半径方向の円周に沿って配置される切削粒子（７１）の先端とを備え、
前記作動機器が、
軸線Ｃ２を中心に第二切削工具（５１）を回転させる第七アクチュエータ（１５１）と、
軸線Ｄを中心に第二切削工具（５１）を回転させる第八アクチュエータ（１５２）と、
加工仕上り凸歯面と直接接触感知でき、第一研磨ディスクの製造工具面（６）の形状及び寸法に一致する形状、寸法を有する第一測定ゲージ（３９）と、加工仕上り凹歯面と直接接触感知でき、第二研磨ディスクの製造工具面（６１）が軸線Ｃ２及びＤを中心に同時に回転する際に形成される球体の寸法と一致する寸法を有する球体形状を有する第二測定ゲージ（４０）とを有する加工仕上り凸歯面、凹歯面の寸法及び形状パラメータを運転制御する多チャンネル機器（３４）と、
をさらに含み、
前記第一、第二測定ゲージ（３９、４０）が、座標軸Ｘ、Ｙ、Ｚ上の直線移動センサ（３５、３６、３７）を備え、
前記プログラム制御機器（１６）は、補助制御出力（９１〜９６）を有し、該補助制御出力が研磨機（１）の補助作動機器のそれぞれの制御入力と電気的に接続されていることを備えることを特徴とする測定器付きマイクロ研磨装置。
【請求項２】
前記第一、前記第二、前記第五アクチュエータ（１２、１３、８９）の各々が、第一及び第二減速機（２４１、２４２、２５１、２５２、１０９、１１０）を備えた集積機構（２２、２３、１２２）と、
前記減速器の各々に、ギア部品が偏心サイクロ（登録商標）イド噛み合いになっている第一及び第二遊星列と、
前記第一及び前記第二モータ（３０、３１、３２、３３、１００、１０１）とを備え、  前記第一モータ（３０、３２、１００）が前記第一減速器（２４１、２５１、１０９）の入力軸（２６、２８、１０６）と接続され、前記第二モータ（３１、３３、１０１）が前記第二減速器（２４２、２５２、１１０）の入力軸（２７、２９、１０７）と接続されており、
前記第二減速器（２４２、２５２、１１０）の前記第二遊星列が、前記第一減速器（２４１、２５１、１０９）の前記第一遊星列と動力学的に接続されており、前記第一減速器（２４１、２５１、１０９）の前記第二遊星列の出力軸が、前記集積機構（２２、２３、１２２）の出力軸と接続され、前記研磨機（１）の作動機器を移動させることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第一減速器（１３６、１３８）では、遊星歯車（１４２、１４３）の第一遊星列のギア部品数が第二遊星列のギア部品数より一つ多く、前記第二減速機（１３７、１３９）では、遊星歯車（１４４、１４５）の第一遊星列のギア部品数が第二遊星列のギア部品数より一つ少なく、
前記第一減速器（１３６、１３８）の前記遊星歯車（１４２、１４３）の第一及び第二遊星列のギア部品の合計数は、前記第二減速機（１３７、１３９、１３６、１３８）の第一及び第二遊星列の前記遊星歯車（１４４、１４５）のギア部品の合計数に等しいことを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第一及び前記第二研磨ディスク、及び前記第一及び前記第二測定ゲージ（３９、４０）が、固定具に設置され、該固定具が、ターレットヘッドとして、座標軸Ｚに平行で且つ架台（３）に真直性を保持して固定され、軸線Ｅを中心として研磨機（１）の架台（３）に対して工具交換のためのインデックス回転ができることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
各測定ゲージ（３９、４０）が、着脱可能であり、架台（３）に据え付けられた前記固定具（３８）の各々に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超硬材料及び脆性材料から複雑形状の製品を形成することに関し、詳細には、複雑形状の高精度製品の測定器付きマイクロ研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術水準
現在、遊星円錐はすば歯車において、ある新しい種類の製品が出始めている。これは、回転軸線が共通する円錐表面上を断面半円形状の螺旋が延びて形成される凸歯面（以下、円錐球状螺旋凸歯面という。）と円錐表面上を断面半円形状の螺旋が延びて形成される凹歯面（以下、円錐球状螺旋凹歯面という。）との対応部品を噛み合わせている。
【０００３】
このような製品の一例として、例えば特許文献１に記載されたラジアルスラスト軸受がある。
【０００４】
上記のラジアルスラスト軸受は、外部部品と内部部品と振動体とから構成される。内部部品の支承面は、少なくとも三つの円錐球状螺旋凸表面に形削りされ、個々の面は、母線が螺旋となった他の内部円錐面から分離されている。
【０００５】
各振動体は円錐状部品で、その支承面は少なくとも二列の螺旋状羽根の形状に形削りされており、それらの羽根は円錐球状螺旋凹面を有し、個々の面は母線が螺旋となった他の外部円錐面から分離されている。
【０００６】
この軸受の外部部品の内部支承面は、円錐状になっており、各振動体の外側円錐面の走路となっている。
【０００７】
上記の軸受は、全ての噛み合わさった対応部品の回転軸線が共通する遊星円錐はすば歯車である。これにおいては、噛み合わさった対を形成するそれぞれについて、少なくとも二箇所の噛み合わせ極部で同時に連続した螺旋円錐状の噛み合わせになっている。
【０００８】
現在、回転軸線が共通するラジアルスラスト軸受（遊星円錐はすば歯車）の対応部品の円錐球形螺旋の凸面、凹面を、高精度に許容できる生産性で形成できる装置は存在しない。
【０００９】
特許文献２に記載の公知の測定器付きマイクロ研磨装置の研磨機は、配列された切削粒子表面が表出した製造工具面を形成する切削工具の固定具が架台に固定されており、その固定具の下のサポート台の上に加工ワーク固定具を有するテーブルが配置され、テーブルを成形平面上で研磨機のＸ座標軸方向に往復運動させるアクチュエータと、テーブルのついたサポート台を成形平面上で研磨機のＹ座標軸方向に往復運動させるアクチュエータと、テーブルのついたサポート台を研磨機のＺ座標軸方向に移動させるアクチュエータと、切削工具固定具を回転させるアクチュエータとを有する。
【００１０】
ここでは、この装置は、数値プログラム制御器を有し、その制御出力は、それぞれのアクチュエータに電気的に接続されている。研磨機のＸ及びＹ座標軸方向に往復運動させる各アクチュエータは、サイクロイド噛み合わせの遊星ピン減速器を有する集積機構を備えたアクチュエータである。ここで、この装置は、研磨工程での切削の静的及び動的分力の値の変化を制御管理するシステムを有している。それらの力の分析より、完成品の加工表面品質に関する情報が得られる。
【００１１】
上記の装置は、プラスチックのマイクロ研磨条件で、加工面の脆性破壊を起こさず複雑形状の高精度製品の加工が可能で、その完成品の表面品質は手作業によるものと同じくらい高く、寸法も保証されている。
【００１２】
【特許文献１】ロシア共和国特許第２２４７８７６号明細書
【特許文献２】ロシア共和国特許第２１６５８３７号明細書
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、この装置の構造的特徴により、回転軸線が共通する遊星円錐はすば歯車の噛み合わされた対応部品の円錐球形螺旋の凸歯面及び凹歯面を加工することはできない。
【００１４】
回転軸線が共通する遊星円錐はすば歯車の噛み合わされた対応部品の円錐球形螺旋の凸歯面及び凹歯面を高精度で加工でき、また、座標測定機器として研磨機を使用して加工された表面の形状及び寸法パラメータを制御できる装置を作るという課題が、この有益なモデルの基礎である。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この課題は、回転軸線が共通する噛み合わされた対応部品に円錐球形螺旋の凸歯面及び凹歯面を有する複雑形状の高精度製品の測定器付きマイクロ研磨装置を作ることで解決される。この装置には、水平面ＸＹにある測定開始点Ｏが配置された座標系Ｘ、Ｙ、Ｚ有した研磨機を備える。この研磨機は、その作動部のプログラム制御器を有し、研磨機の架台には、次の作動部が固定されている。
・水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ１を中心に回転するようになっている第一切削工具の固定具。この切削工具の製造工具面は、切削粒子が切削粒子の集合体から均一な高さに表出した切削面がある。
・その固定具の下にはサポート台があり、その上には、加工ワーク固定具がついたテーブルがある。
・研磨機のＸ座標軸方向に測定開始点Ｏからサポート台に対して左右方向にテーブルを移動させる第一アクチュエータ。
・研磨機のＹ座標軸方向に測定開始点Ｏからテーブル付きサポート台を前後方向に移動させる第二アクチュエータ。
・研磨機のＸ１座標軸方向に測定開始点Ｏからテーブル付きサポート台を移動させる第三アクチュエータ（この移動は、研磨機のＸ及びＺ座標軸方向に測定開始点Ｏからテーブル付きサポート台を移動させた結果起こる測定開始の移動にも用いられる）。
・水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ１を中心に第一切削工具固定具を回転させる第四アクチュエータ。
・研磨機の平面ＸＺに平行な座標軸Ａを中心として加工ワークを回転させる第五アクチュエータ。
・座標軸Ａに対する垂直面上で、研磨機のＹ座標軸に平行な座標軸Ｂを中心として、加工ワークを回転させる第六アクチュエータ。
・プログラム制御器。この制御出力は、提案されている有益なモデルに応じて研磨機の作動部のそれぞれの制御入力と電気的に接続されている。
・凸歯面の加工ができるようになっている第一切削工具。これは、第一研磨ディスクである。その製造工具面の切削粒子の先端は、平面ＸＹ上にある円周上に沿って位置している。この円周の曲率中心は、研磨機の作動機器の上記の移動の測定開始点Ｏと一致しており、第一切削工具の回転軸線Ｃ１がこの点を通っている。さらに研磨機は、架台に固定された作動機器として、第二切削工具の固定装置も備える。この第二切削工具は、上記の測定開始点Ｏを通り、平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ２を中心に回転するようになっている。また、上記の測定開始点Ｏを通り、軸線Ｃ２を含む平面ＹＺに対する法線方向に延びる軸線Ｄを中心に回転できる。更に、第二切削工具は、凹面の加工が可能で、配列された切削粒子が切削粒子の集合体から均一な高さに表出した製造工具面を有する第二研磨ディスクであり、第二研磨ディスクの切削粒子の先端は、上記の測定開始点Ｏと一致する曲率中心を有し、断面ＸＺで見ると、水平面ＸＹに対する法線との交点から半径方向の円周上に配置されている。
・第二切削工具を、軸線Ｃ２を中心に回転させる第七アクチュエータ。
・第二切削工具を、軸線Ｄを中心に回転させる第八アクチュエータ。
・加工された凸及び凹歯面の寸法及び幾何パラメータの多チャンネル運転制御器。これは、加工された凸歯面と直接接触することができ、第一研磨ディスクの製造工具面の幾何形状及び寸法に一致する形状及び寸法を有する第一測定ゲージ、加工された凹歯面と直接接触することができ、第二研磨ディスクの製造工具面が軸線Ｃ２及び軸線Ｄを中心に同時に回転する際に形成される球体の寸法に一致する寸法の球形をした第二測定ゲージを有している。
・Ｘ、Ｙ及びＺ座標軸方向での第一及び第二測定ゲージの直線移動センサ。ここでは、プログラム制御器は、補助制御出力を有し、これは、研磨機の補助作動機器の対応する制御入力と電気的に接続されている。
【００１６】
提案された有益なモデルの上記の構造的特徴により、回転軸線が共通する遊星円錐はすば歯車の噛み合わされた対応部品の円錐球状螺旋凸歯面及び凹歯面を高精度で加工でき、また、座標測定機器として研磨機を使って加工された表面の形状及び寸法パラメータを制御できる。
【００１７】
第一、二、五の各アクチュエータが、第一及び第二減速機（それぞれが、ギア部品が偏心サイクロイド噛み合いとなっている第一及び第二遊星列を有する）、第一及び第二モータ（第一モータは第一減速機の入力軸と接続されており、第二モータは第二減速機の入力軸と接続されている）を備える集積機構を有し、第二減速機の第二遊星列は第一減速機の第一遊星列と機構学的に接続されており、第一減速機の第二遊星列は、研磨機の対応する作動機器の移動を担う集積機構の出力軸と接続されるというのが適当である。
【００１８】
第一減速機では、遊星歯車の第一遊星列のギア部品数は第二遊星列のギア部品数より一つ多く、第二減速機では、遊星歯車の第一遊星列のギア部品数は、第二遊星列のギア部品数より一つ少ないのが望ましい。この場合、第一減速機の遊星歯車の第一及び第二遊星列のギア部品合計数は、第二減速機の第一及び第二遊星列での遊星歯車の合計ギア部品数と等しい。
【００１９】
第一及び第二研磨ディスク及び第一及び第二測定ゲージは、座標軸Ｚに平行で架台に固定された軸線Ｅを中心として研磨機架台に対してインデックス回転できる「ターレットヘッド」として作られた固定具に設置されるのが好ましい。
【００２０】
可能であれば、各測定ゲージは、着脱可能であり、架台に取り付けられたその固定装置に配置する。
【００２１】
提案された有益なモデルの原則的な新規性は、その部品表面が、瞬間的な多極噛み合いの際に、噛み合った部品のそれぞれの全高さにおいて作動支持面として使用され、その瞬間的な多極噛み合わせ条件で噛み合った部品それぞれの全長において密封可動封止表面として使用される遊星円錐はすば歯車の原則的な新規性による。
【００２２】
提案された装置は、相互結合した多極円錐球形螺旋噛み合わせについて、複雑形状の高精度製品一式を加工することができる。また、研磨機を座標測定器として用いて、加工面の形状及び寸法パラメータを制御できる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００２３】
回転軸が共通する遊星円錐はすば歯車の噛み合わされる対応部品である円錐球形螺旋凸歯面及び凹歯面を形成するために提案された有効モデルに従って製造された装置で、水平面ＸＹにある測定開始点Ｏを有するＸＹＺ座標系に配置された研磨機１（図１）（研磨機の作動機器の数値プログラム制御器を有する）を備える。
【００２４】
研磨機１は、弾性加工システム２を有し、後述する作動機器を備える。
【００２５】
架台３に固定された、第一及び第二切削工具５、５１の固定具４、４１が示されている。
【００２６】
第一切削工具５が示されている（図２）。これは、水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ１を中心に回転可能に固定された製造工具面６を有する。この工具面には、切削粒子７がほぼ均一な高さに配列され表出した切削粒子の集合体が取り付けられている。第一切削工具５は、凸歯面を加工することができる第一研磨ディスクである。その工具面６の切削粒子７の先端は、平面ＸＹ上向きの円周に配置されている。この円周の曲率中心は、研磨機の作動機器の移動の測定開始点Ｏと一致し、この研磨機の回転軸線Ｃ１が通っている。
【００２７】
第二切削工具５１が示されている（図３）。これは、凹面の加工ができ、上記の測定開始点Ｏを通り、平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ２を中心に回転ができるよう配置されている。また、平面ＸＹに平行で、上記の測定開始点Ｏで軸線Ｃ２に直交する軸線Ｄを中心に回転できる。第二切削工具５１は、切削粒子７１がほぼ均一な高さに配列され表出した切削粒子の集合体を有する製造工具面６１を備える。第二研磨ディスクの切削粒子の先端は、上記の測定開始点Ｏと座標が一致する曲率中心を有し、断面ＸＺで見ると、水平面ＸＹに対する法線との交点から半径方向の円周上に配置されている。
【００２８】
第一及び第二切削工具５、５１の固定具４、４１（図１）の下にはサポート台８があり、サポート台８の上に、それぞれ凸面又は凹面を有する加工ワーク１１又は１１１を固定する冶具１０（図４）がある。
【００２９】
提案された装置は、作動機器として後述の部分を有する。
・テーブル９を、研磨機１のＸ座標軸方向に測定開始点Ｏから水平面上を往復運動させる第一アクチュエータ１２。
・テーブル９を取り付けたサポート台８を、研磨機１のＹ座標軸方向に測定開始点Ｏから水平面上を往復運動させる第二アクチュエータ１３（図５）。
・テーブル９を取り付けたサポート台８を、研磨機１のＸ１座標軸方向に測定開始点Ｏから移動させる第三アクチュエータ１４（図４）。ここで、テーブル９を取り付けたサポート台８が研磨機１のＸ及びＺ座標軸方向に測定開始点Ｏから移動した結果、上記の往復運動が発生する。
・第一切削工具５の固定具を、水平面ＸＹに対する法線方向に延びる軸線Ｃ１を中心に回転させる第四アクチュエータ１５（図６）。
・加工ワーク１１、１１１（図７）をテーブルに固定するために、研磨機１の平面ＸＺに平行な座標軸Ａを中心に加工ワーク１１、１１１回転させる第五アクチュエータ。
・座標軸Ａと垂直な平面で且つ研磨機１の座標軸Ｙに平行な座標軸Ｂを中心に加工ワーク１１、１１１を回転させる第六アクチュエータ。
・第二切削工具５１の固定具を、軸線Ｃ２を中心に回転させる第七アクチュエータ１５１（図８）。
・第二切削工具５１を、軸線Ｄを中心に回転させる第八アクチュエータ１５２（図９）。
・数値プログラム制御器１６（図７、１０）。この制御出力１７、１８、１９、２０、１７１、１７２は、上記の対応するアクチュエータと電気的に接続されている。
【００３０】
上記のように、第一及び第二の切削工具５、５１の製造工具面６、６１は、先端が均一な高さに成形された研削粒子の集合体２１、２１１から表出した切削粒子７、７１を有する。
【００３１】
各アクチュエータ１２、１３（図６）は、それぞれ集積機構２２、２３を有する。各集積機構２２、２３は、それぞれ入力部２６、２７及び２８、２９を有する、ギア部品がサイクロイド噛み合わせになった第一及び第二の二段式遊星ピン減速器２４１、２５１及び２４２、２５２を有する。各減速機２４１、２５１及び２４２、２５２は、ギア部品が偏心サイクロイド噛み合わせになった第一及び第二遊星列を有する。
【００３２】
さらに、各集積機構は、第一及び第二モータ３０、３１又は３２、３３を有し、それぞれの第一モータは、第一減速機２４１、２５１の入力部分（入力軸）と接続され、各第二モータは第二減速機２４２、２５２の入力部分（入力軸）と接続されている。第二減速機２４２、２５２の第二遊星列は、第一減速機２４１、２５１の第一遊星列と機構学的に接続されている。第一減速機２４１、２５１の第二遊星列は、出力軸を有するが、これは、研磨機１のそれぞれの作動機器を移動させる集積機構２２、２３の出力軸である。
【００３３】
ここで、本装置は、加工された凸歯面及び凹歯面の寸法及び形状パラメータを運転制御する多チャンネル機器３４（図１０）を有する。この機器３４の各電気回路には、電気センサ３５、３６、３７が含まれる。各センサ３５、３６、３７は、それぞれその取付具３８（図１）に取り付けられている。
【００３４】
多チャンネル機器３４は、加工された凸歯面と直接接触感知できる着脱可能な第一測定ゲージ３９（図６）と、加工された凹歯面と直接接触感知できる着脱可能な第二測定ゲージ４０とを有する。ここで、第一測定ゲージ３９は、第一研磨ディスクの製造工具面の形状及び寸法に一致する形状及び寸法を有する。第二測定ゲージ４０は、第二研磨ディスクの製造工具面が軸線Ｃ２及びＤを中心に同時に回転した際に形成される球体の寸法に一致する寸法の球体形状を有する。
【００３５】
各電気センサ３５、３６、３７（図１０）は、加工される製品面１１、１１１との各接触点でのＸ、Ｙ、Ｚ座標軸方向への各測定ゲージ３９、４０（図６）の直線方向の移動を電流Ｕの電圧に変換する。
【００３６】
また、多チャンネル機器３４（図１０）は、正規化増幅器４１及びアナログ−デジタル変換器４２を備える。その出力４３は、多チャンネル信号記録器４４の対応する入力に接続され、記録器は、接続インターフェース４５を経て、数値プログラム制御器１６のコンピュータに接続されている。
【００３７】
数値プログラム制御器１６は、接続インターフェース４６を経て、バッファメモリを有する多チャンネル線形マイクロ補間器４７と接続されている。その出力４８〜５７はアクチュエータ１２、１３、１４の各制御入力に接続されている。
【００３８】
また、本装置は、デジタル・アナログ変換器５８を備え、その入力５９は、数値プログラム制御器１６のコンピュータに対応する制御出力に接続されており、出力６０はアクチュエータ１５、１５１、１５２の制御入力に接続されている。
【００３９】
テーブル９を有するサポート台８を移動させる第三アクチュエータ１４（図６）は、サポート台８（楔形をしている）の座標軸Ｘ１（座標軸Ｘに対し角度α）に沿って、水平面ＸＹに対して傾斜した架台３のガイド６１上を往復運動する機構を有する。
【００４０】
上記の機構には、伝動用ステッピングモータ６４と接続された一つの入力部６３とサイクロイド噛み合わせの複式二段遊星ピン減速器６２（図４）とからなる。
【００４１】
ここで、第一及び第二のアクチュエータ１２（図１０）、１３のそれぞれに、ステッピングモータ３０、３１又は３２、３３の制御ブロックが２つずつ、つまり、６５、６６又は６７、６８がある。第三アクチュエータ１４は、ステッピングモータ６４の制御ブロック６９を一つ有する。
【００４２】
第一切削工具５の固定具４を回転させる第四アクチュエータ１５は、交流周波数調整器７５を有し、その入力は、デジタル・アナログ変換器５８の出力６０に接続され、その出力７６はモータ７７の入力に接続されている。
【００４３】
第七アクチュエータ１５１及び第八アクチュエータ１５２は、第四アクチュエータ１５と同じように作動できる。
【００４４】
このとき、第二切削工具５１を、軸線Ｄを中心に回転させる第八アクチュエータ１５２（図３）は、切削工具５１が取り付けられているローターを回転させる空力学的軸受に組み込まれているサイクロイド噛み合いの螺旋空圧モータとして作動できる。
【００４５】
第一及び第二切削工具５、５１の固定具４（図８）、４１は、例えば、架台３に固定された静圧的アキシアル及びラジアル軸受に各研磨スピンドルのベースを有する研磨スピンドルユニットとして機能できる。
【００４６】
上記の第一、第二及び第三アクチュエータ１２（図１０）、１３、１４は、転がりネジ・ナットタイプの機構７９、８０、８１をそれぞれ有し、それらの各入力部は、それぞれ二段遊星ピン減速器２４１（図６）、２４２、２５１、２５２、６２の出力軸と接続されている。
【００４７】
研磨機１の弾性加工システム２は、削り代除去程度の加工条件を再生し、各アクチュエータを作動させるために指令する接続部８２（図１０）、８３、８４、８５を有する。上記のアクチュエータの作動の結果、各切削工具の製造工具面の曲率中心８６に向けられた切削力が生じる。
【００４８】
第一切削工具５の製造面６の個々の切削粒子７（図２）は、曲率中心８６を有する円周上に整然と配置された点として研削粒子の集合体２１に固定されている。さらに、各切削粒子７の先端は、研磨機１の水平面８７（ＸＹ）上にある。ここで、曲率中心８６を有する上記の円周線の回転軸線Ｃ１は、円周線の曲率中心点８６で、水平面８７を通っており、この点は、研磨機１の固定座標系ＸＹＺでの作動機器の座標移動の測定開始点（Ｏ）である。
【００４９】
第二切削工具５１の製造面６１の個々の切削粒子７１（図３）は、上記の測定開始点Ｏと一致する曲率中心を有し且つ平面にある円周８８上に、水平面ＸＹに対する法線との交点から半径方向の円周上に配置された点として整然と研削粒子の集合体２１１に固定されている。
【００５０】
上記のように、提案された装置は、加工ワーク１１、１１１の固定具１０を、座標軸Ａを中心に回転させる第五アクチュエータ８９（図１０）、及びこの加工ワーク１１、１１１の固定具１０を、座標軸Ｂを中心に回転させる第六アクチュエータ９０を有する。この第五及び第六アクチュエータ８９、９０の電気入力は、バッファメモリ付き多チャンネル線形マイクロ補間器４７の対応する出力９１〜９６に接続されている。
【００５１】
上記のアクチュエータ８９（図１０）及び９０は、ステッピングモータ１００、１０１、１０２をそれぞれ制御する制御ブロック９７、９８、９９を有する。ここで、バッファメモリ付き多チャンネル線形マイクロ補間器４７は、出力９１〜９６を有し、それらはアクチュエータ８９、９０の各制御入力に接続されている。
【００５２】
また、アクチュエータ８９、９０のステッピングモータ１００、１０１、１０２は、一つずつ入力チャンネル１０３、１０４、１０５及び出力軸１０６、１０７、１０８を有する。
【００５３】
さらに、上記の第五アクチュエータ８９（図７）は、一つの複式二段遊星ピン減速器１０９と一つのサイクロイド噛み合いの二段遊星ピン減速器１１０とを有する。ここで、減速器１０９の入力軸は、ステッピングモータ１００の出力軸１０６と接続されており、減速器１０９の出力軸は、座標軸Ａと同軸に、研磨機１の座標面ＸＺに平行に配置されており、加工ワーク１１、１１１の固定具１０と機械的に接続されている。
【００５４】
二段遊星ピン減速器１１０の入力軸は、ステッピングモータ１０１の出力軸１０７と接続されており、減速器１１０の出力軸は、それと平行な減速器１０９の出力軸と機構的伝動装置により接続されている。
【００５５】
上記の第六アクチュエータ９０は、サイクロイド噛み合いの二段遊星ピン減速器１１１を有し、その入力軸は、ステッピングモータ１０２の出力軸１０８と接続され、減速器１１１の出力軸は、座標軸Ｂと同軸に、研磨機１の座標面ＹＺと平行に配置されている。
【００５６】
ここで、研磨機１の弾性加工システム２は、削り代除去程度の加工条件を再生し、各アクチュエータ８９、９０を作動させるための指令をする接続部１１２（図１０）、１１３を有する。上記のアクチュエータの作動の結果、各切削工具の製造工具面の曲率中心８６に向けられた切削力が生じる。
【００５７】
数値プログラム制御器１６は、制御出力１１４（図６）、１１５を有し、これらは、接続インターフェース４６を経て、アクチュエータ８９及び９０と電気的に接続された多チャンネル線形マイクロ補間器４７と接続されている。
【００５８】
多チャンネルデジタル信号記録器４４（図１０）は、Ｘ、Ｙ、Ｚ座標軸方向の直線移動及び角速度の電気センサの容量に相当する容量の記憶装置、パルス発生器、パルスカウンタ及び制御ブロックを有する。制御ブロックの出力、パルスカウンタの出力及び各記憶装置の出力は、多チャンネルデジタル信号記録器４４の出力であり、これらは、接続インターフェース４５を経て数値プログラム制御器１６のコンピュータに接続されている。
【００５９】
加工ワーク１１、１１１を保持する固定具１０は、補助テーブル１１６（図７、８）を有し、このテーブルはテーブル９の上に設置され、座標軸Ａ及びＢを中心に回転できる。
【００６０】
回転テーブル１１６は、回転軸線Ａに対して垂直平面となる基準平面を有する円形面板１１７を有する。面板１１７上には、カム１１８があり、面板１１７の基準端面で半径方向の隙間に沿って移動できるようになっている。さらに、面板１１７の中心は座標軸Ａにあり、その面板上には、円錐部品１１９があり、面板１１７上でバネ１２０の作用により軸線Ａに沿って移動し、軸受１２１で軸線Ａを中心に回転できるようになっている。
【００６１】
アクチュエータ８９の機械部分は二つの部分から成る。その一つは、軸線Ａと同軸に配置され、回転テーブル１１６の第一部分１２２（集積機構の実行機能）の中央の開口部に位置する。アクチュエータ８９の機械部分のもう一つの部分は、ステッピングモータ１０１を有する上記の減速器１１０を含み、回転テーブル１１６のハウジングの上記第一部分１２２の端面に位置している。ここで、ステッピングモータ１００及び１０１の出力軸１０６及び１０７の回転軸線は、互いに平行である。
【００６２】
回転テーブル１１６のハウジングの第二の構成部分１２３は、ラジアルスラストベアリング１２４で、上記の固定具１０に取り付けられており、座標軸Ｂを中心に回転できるようになっている。
【００６３】
ラジアルスラストベアリング１２５上で軸線Ａを中心に回転できる回転テーブル１１６のハウジングの第二部分１２３の開口部には、着脱可能な円錐ブッシュ１２６があり、この中には、加工ワーク１１、１１１をセットするための円形で円錐状の開口がある。
【００６４】
第一構成部分１２２と第二構成部分１２３は、面板１１７の基準平面と軸線Ｂの位置間の固定間隔を制御するために、軸線Ａに沿った加工ワーク１１、１１１の長さによって、それぞれに対して様々な位置に固定することができる。
【００６５】
軸線Ｂを中心として加工ワーク１１、１１１を回転させるアクチュエータ９０の機械部分は、固定具１０のハウジング上に配置され、軸線Ｂと同軸に設置されたステッピングモータ１０２を有する減速器１１１を備える。
【００６６】
モータ７７の軸７８は、固定具４を固定された第一切削工具５とともに回転させ、角速度（周速）センサ１２７を内蔵している。
【００６７】
各アクチュエータ１２（図１１）、１３は、集積機構２２、２３を有し、そのそれぞれが、互いに平行な２本の入力軸１２８、１２９、１３０、１３１を有しており、それぞれの入力軸は、２つのステッピングモータ３０、３１又は３２、３３の出力軸２６、２７又は２８、２９と接続されている。また、一本の出力軸１３２、１３３を有し、これは転がりネジ・ナット機構の送りネジ１３４、１３５としっかりと接続されている。
【００６８】
ここで、集積機構２２、２３の各入力軸１２８、１２９、１３０、１３１は、それぞれ、ヒステリシスの無い第一（１３６、１３８）及び第二（１３７、１３９）遊星ピン減速器の入力軸である。各減速器１３６、１３８、１３７、１３９では、二つの平行遊星列で同時に偏心サイクロイド噛み合いとなる。減速器１３６、１３８、１３７、１３９の回転の伝動は、入力軸１２８、１２９、１３０、１３１からそれらと同軸の出力軸１３２、１３３、１４０、１４１へ行われる。ここで、各減速器１３６、１３７、１３８、１３９は、二つの歯冠を有する遊星歯車１４２、１４３、１４４、１４５と二つの太陽歯車１４６、１４７、１４８、１４９、１５０、１５１、１５２、１５３とを備える。更に、遊星歯車１４２、１４３及び１４４、１４５の第一歯冠の全てのギア部品と第一太陽歯車１４６，１４７及び１４８、１４９のすべてのギア部品とを同時にサイクロイド噛み合わせさせたとき、また、上記の遊星歯車１４２、１４３及び１４４、１４５の第二歯冠の全てのギア部品と第二太陽歯車１５０、１５１及び１５２、１５３の全てのギア部品とを同時にサイクロイド噛み合わせさせたとき、遊星歯車１４２、１４３及び１４４、１４５の遊星運動の結果、回転の伝動が生じる。このとき、この太陽歯車は、各減速機１３６、１３７、１３８、１３９の出力部１３２、１３３及び１４０、１４１と一体となって作動する。
【００６９】
第二減速機１３７、１３９の第二太陽歯車１５２、１５３は、ベルト歯車伝動装置１５４、１５５により、第一減速機１３６、１３８の第一太陽歯車１４６、１４７と動力学的に接続されている。
【００７０】
第一減速器１３６、１３８では、遊星歯車１４２、１４３の第一遊星列のギア部品数は、第二遊星列のギア部品数より一つ多く、第二減速機１３７、１３９では、遊星歯車１４４、１４５の第一遊星列のギア部品数は、第二遊星列のギア部品数より一つ少ない。ここで、第一減速器１３６、１３８の遊星歯車１４２、１４３の第一と第二遊星列の総ギア部品数は、第二減速機１３７、１３９、１３６、１３８の第一と第二遊星列の遊星歯車１４４、１４５の総ギア部品数に等しい。
【００７１】
アクチュエータ１２、１３、８９及び９０の機械部分に上記のサイクロイド噛み合いのヒステリシスの無い二段遊星ピン減速器を使うことにより、上記の移動の世界的水準で得られている最大速度を落とすことなく、経済的に有利に（超高分解能を有するフィードバックセンサーを用いることなく）、各制御パルス単位に対し、数１０オーダー広い個別移動値範囲（０．０２μｍ以下の減少を目標としている）の条件で、安定した座標移動の輪郭制御が可能となる。
【００７２】
アクチュエータ１４の複式減速器６２は、アクチュエータ９０の減速器１１１と同様な構造となっている。複式減速器６２には、順次配置された第一及び第二減速機があり、研磨機１の架台３に動かないように固定されている。各第一、第二減速機は、二つの遊星列に同時に偏心サイクロイド噛み合わせされるヒステリシスの無い遊星ピン減速器で、ステッピングモータ６４の出力軸６３からの回転を、それと同軸に配置された減速器６２の出力軸１５６（図４）に伝動するためのものである。この出力軸は、ボールネジ一対の送りネジ１５７（このボールナット１５８はサポート台８としっかりと接続されている）としっかりと接続されている。
【００７３】
提案された装置は、次の手順で作動する。
【００７４】
例として、本明細書の「背景技術」及び特許文献１に記載されたラジアルスラスト軸受の対応部品を加工する際のこの装置の作動を説明する。
【００７５】
加工ワークとして、事前に例えば鋳造法で形成され、完成品の所定の形状と同様の形状を有するが、この装置での加工工程で取り除くべき削り代分、完成品より寸法が大きい半製品を使用する。
【００７６】
１．加工ワークの外側の円錐面を二つの支持基準面（互いに向かい合って位置している）の一つとして用いて、加工ワークを中央に置く。
【００７７】
２．加工ワークの外側の円錐面の基準面の頂点が座標軸Ａと座標軸Ｂの交点と一致するように、加工ワークを長手方向の軸線に沿って中心に固定する。
【００７８】
３．加工ワークの角度位置を座標軸Ａに沿って固定する。このとき、加工ワークの半製品の隣り合う二つの歯の間のくぼみに挿入される固定具として、それぞれの測定ゲージの側面を用いる。
【００７９】
４．所定の値に一致する形状及び寸法パラメータに従った側面を加工の結果得るために、加工ワークから取り除かなければならない削り代の最大値を求める。このとき、加工ワークの各一対の隣り合う二つの歯の間の各くぼみに順々に挿入される固定具として、それぞれの測定ゲージの側面を用いる。座標軸Ａと座標軸Ｂの交点とそれぞれの測定ゲージの断面の曲率中心点との間の通常の所定距離からのずれの実際の値について、各加工ワークのそれぞれの二つの隣り合う歯の間のくぼみの加工に対する削り代の実際の値を求める。
【００８０】
５．各加工ワークから取り除くべき削り代の最大値を差し引いて、それぞれの測定ゲージの断面の曲率半径に数値的に等しいディスクの断面の曲率半径を得て、各研磨ディスクの製造加工面の修正を行う。
【００８１】
６．加工ワークの各噛み合わせ対について、それぞれの製造加工面（この曲率半径は正常な曲率半径値より削り代分小さい）の曲率中心点に対する座標軸Ａと座標軸Ｂの交点の開始（出発）位置を求める。
【００８２】
７．加工表面の微少粗さの所定の値Ｒ2に従い、加工ワークの組み合わせた各対の表面について、所定の形状と寸法の完成品を得るために、同一の作動機器走行回数を指定する。
【００８３】
８．各走行について、分析関係に基づき、円錐螺旋状の経路母線（その全体で所定寸法の所定表面が形成される）の各走行において連続形成する時の、研磨機の作動機器の相互関連した直線、曲線移動の制御プログラムを計算する。
【００８４】
９．各研磨ディスクの製造工具面を、その製造工具面の切削粒子の先端の動きの平面旋回軌道の少なくとも一回が機械の座標系の平面ＸＹにあるように、開始（出発）位置にセットする。このとき、各走行で加工ワークがそれぞれの開始（出発）位置にセットされる。
【００８５】
１０．噛み合わされた凸面と凹面が数学的に所定の形状と寸法を有する完成品の噛み合わされた対の幾何学的仮想モデルを指定する。
【００８６】
このとき、凸面と凹面の噛み合わせ対の各瞬間における接触地点の座標、及び、球状表面の曲率半径（噛み合わせた表面の相互接触の線がある）を指定する。
【００８７】
１１．実際の凸面上での実際の凹面の連続回転経路の個々の相互噛み合わせ対の算定数として、幾何学的仮想モデルのそれぞれの表面に配置された完成品の実際の仮想モデルを指定する。
【００８８】
１２．加工ワーク１１、１１1の個々の経路を研磨するため、切削工具５、５1がついた固定具４、４1に対して、加工ワーク１１、１１1を置いた固定具１０を移動させ、研磨機１の作動機器を出発位置にセットする。
【００８９】
このとき、決められた各経路を研磨する前に、加工ワーク１１、１１1を、アクチュエータ１２のステッピングモータ３０及び３１の作動でＸ座標軸方向に、アクチュエータ１３のステッピングモータ３２及び３３の作動でＹ座標軸方向に、アクチュエータ１４のステッピングモータ６４の作動でＸ１座標軸方向に、アクチュエータ８９のステッピングモータ１００及び１０１の作動でＡ座標軸方向に、アクチュエータ９０のステッピングモータ１０２の作動でＢ座標軸方向に調整のため移動させる。
【００９０】
このとき、各研磨ディスクの製造工具面と加工面の接触点が、その研磨ディスクの曲率中心と幾何学的仮想モデルの加工面の曲率中心とを結ぶ直線上にあるような状態とする。
【００９１】
１３．加工ワーク１１、１１1の実際の表面の各回転経路の研磨工程において、加工ワーク１１、１１1を各研磨ディスク５、５１の製造工具面に対して相互関連した成形移動させるために、固定具１０のアクチュエータ１２のステッピングモータ３０、３１とアクチュエータ８９のステッピングモータ１００、１０１を制御する。加工ワーク１１、１１1から削り代を取り除くために、加工ワーク１１、１１1の固定具１０の回転テーブル１１６の第２部分１２３に対して第一部分１２２を軸線Ａに沿って調整移動させて、切り込み、切削軸を送る。
【００９２】
１４．互いに噛み合わされた対応部品の各加工仕上り表面を、噛み合わされた表面の相互接触線の位置で監視し、所定の幾何学的仮想面（全ての組み合わされた対の表面の全ての回転軸が共通する多極円錐球状螺旋噛み合いを可能にする）に対する、各加工仕上り面の近似精度を求める。
【００９３】
各加工仕上り表面の幾何学的仮想表面に対する近似精度は、相互接触線にある個々の点での実際の曲率半径を各測定ゲージ３９、４０により測定し、それを所定の曲率半径と比較して求められる。
【００９４】
１５．加工の結果得られた近似精度とその近似精度の許容値を比較する。
【００９５】
このとき、得られた近似精度が、許容値より低い場合は、さらに削り代を取り除くことにより、互いに噛み合わされた凸面、凹面の対を再度加工する。このような仕上げ工程は、上記の得られた近似精度が、許容値に等しいかそれ以上となるまで続けられる。
【００９６】
発明の有効性
提案された発明により、回転軸が共通する遊星円錐はすば歯車の噛み合わせた対応部品の円錐球形螺旋凸歯面及び凹歯面を高精度で加工でき、座標測定器として研磨機を使用して加工された表面の形状と寸法パラメータをコントロールすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】有効モデルに従って作られた提案装置の斜視図。
【図２】提案された有効モデルに従って作られた第一切削工具の断面図。
【図３】提案された有効モデルに従って作られた固定具に固定された第二切削工具の断面図。
【図４】提案された有効モデルに従って作られた研磨機の平面ＸＺの断面図。
【図５】提案された有効モデルに従って作られた研磨機の平面ＹＺの断面図。
【図６】提案された有効モデルに従って作られた研磨機の作動状態図。
【図７】提案された有効モデルに従って作られたワーク固定具付きの提案装置の部分の軸線Ａ、Ｂの交差平面の断面図。
【図８】提案された有効モデルに従って作られた研磨機の一部分の平面ＸＺの断面図。
【図９】提案された有効モデルに従って作られた第八アクチュエータを有する第二切削工具の断面。
【図１０】提案された有効モデルに従って作られた研磨機の制御ブロック図。
【図１１】提案された有効モデルに従って作られた第一及び第二アクチュエータの機械部分の断面。
【符号の説明】
【００９８】
１    研磨機
２    弾性加工システム
３    研磨機１の架台
４、４1    第一及び第二切削工具の固定具
５、５1    第一及び第二切削工具
６、６1    製造工具面
７、７1    切削粒子
８    研磨機１のサポート台
９    研磨機１のテーブル
１０    加工ワークの固定具
１１、１１1    加工ワーク
１２    テーブル９の軸Ｘ上の往復運動用アクチュエータ
１３    サポート台８の軸Ｙ上の往復運動用アクチュエータ
１４    サポート台８の軸Ｘ1上の往復運動用アクチュエータ
１５    工具５の固定具４を、軸線Ｃ1を中心に回転させるアクチュエータ
１５1    切削工具５１のついた固定具４1を、軸線Ｃ2を中心に回転させるアクチュエータ
１５2    切削工具５1を、軸線Ｄを中心に回転させるアクチュエータ
１６    数値プログラム制御器
１７、１８、１９、２０、１７1、１７2    数値プログラム制御器システム１６からアクチュエータ１２、１３、１４、１５、１５1、１５2への制御出力
２１、２１１    切削粒子の集合体
２２    アクチュエータ１２の集積機構
２３    アクチュエータ１３の集積機構
２４1、２５1、２４2、２５2    集積機構２２、２３の二段遊星ピン減速器
２６、２７、２８、２９    集積機構２２、２３の入力部
３０、３１、３２、３３    集積機構２２、２３のステッピングモータ
３４    多チャンネル運転制御器
３５、３６、３７    電気センサ
３８    電気センサ３５、３６、３７の固定具
３９    着脱可能第一測定ゲージ
４０    着脱可能第二測定ゲージ
４１    正規化増幅器
４２    アナログ−デジタル変換器
４３    アナログ−デジタル変換器の出力
４４    多チャンネル信号記録器
４５    数値プログラム制御器１６のコンピュータに接続された接続インターフェース
４６    マイクロ補間器４７に接続された接続インターフェース
４７    マイクロ補間器
４８〜５７    マイクロ補間器４７の出力
５８    デジタル−アナログ変換器
５９    デジタル−アナログ変換器５８の入力
６０    デジタル−アナログ変換器５８の出力
６１    架台３のガイド
６２    アクチュエータ１４の複式二段遊星ピン減速器
６３    減速器６２の入力部
６４    アクチュエータ１４のステッピングモータ
６５、６６、６７、６８、６９    アクチュエータ１２、１３、１４のステッピングモータの制御ブロック
７５    交流周波数調整器
７６    交流周波数調整機７５の出力
７７    アクチュエータ１５、１５1、１５2のモータ
７８    モータ７７のシャフト
７９、８０、８１    転がりネジ・ナット機構
８２、８３、８４、８５    接続部
８６    製造工具面６、６1の曲率中心
８７    水平面
８８    第二切削工具５1の切削粒子７1がある円周
８９    ワーク１１、１１1を、軸線Ａを中心に回転させるアクチュエータ
９０    ワーク１１、１１1を、軸線Ｂを中心に回転させるアクチュエータ
９１〜９６    マイクロ補間器４７の出力
９７、９８、９９    アクチュエータ１２、１３、１４、８９、９０のステッピングモータ制御ブロック
１００、１０１、１０２    アクチュエータ８９、９０のステッピングモータ
１０３、１０４、１０５    制御ブロック９７、９８、９９からのステッピングモータ１００、１０１、１０２の入力チャンネル
１０６、１０７、１０８    ステッピングモータ１００、１０１、１０２の出力軸
１０９    アクチュエータ８９の複式二段遊星ピン減速器
１１０    アクチュエータ８９の二段遊星ピン減速器
１１１    アクチュエータ９０の減速器
１１２、１１３    接続部
１１４、１１５    アクチュエータ８９、９０への数値プログラム制御器１６の制御出力
１１６    補助回転テーブル
１１７    テーブル１１６の回転面板
１１８    面板１１７のカム
１１９    面板１１７の円錐部品
１２０    円錐部品１１９のバネ
１２１    回転テーブル１１６のラジアルスラスト軸受
１２２    集積機構の機能を実行する回転テーブル１１６の第一部分
１２３    回転テーブル１１６の第二部分
１２４、１２５    回転テーブル１１６のラジアルスラスト軸受
１２６    回転テーブル１１６の着脱可能円錐ブッシュ
１２７    アクチュエータ１５、１５1、１５2の角速度（周速）センサ
１２８〜１３１    集積機構２２、２３の入力軸
１３２、１３３    減速器１３６、１３７の出力軸
１３４、１３５    転がりネジ・ナット機構７９、８０の送りネジ
１３６    集積機構２２のヒステリシスの無い第一遊星ピン減速器
１３７    集積機構２２のヒステリシスの無い第二遊星ピン減速器
１３８    集積機構２３のヒステリシスの無い第一遊星ピン減速器
１３９    集積機構２３のヒステリシスの無い第二遊星ピン減速器
１４０、１４１    減速器１３８、１３９の出力軸
１４２〜１４５    減速器１３６〜１３９の遊星歯車
１４６〜１５３    減速器１３６〜１３９の太陽歯車
１５４、１５５    集積機構２２、２３のベルト歯車伝動装置
１５６    減速器６２の出力軸
１５７    転がりネジ・ナット機構８１の送りネジ
１５８    転がりネジ・ナット機構８１のボールナット
【図１】
0003138770.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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