【事件の表示】
　特許第３０２８４７５号「ブラシスクラバ」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０２８４７５号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　特許第３０２８４７５号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成９年１２月２日に特許出願され、平成１２年２月４日にその発明について特許権の設定の登録がなされ、その後、平成１２年１０月２日に特許異議申立人加藤清子より請求項１及び５に係る特許について特許異議の申立てがなされ、また、平成１２年１０月４日に特許異議申立人坂本典子より請求項１ないし５に係る特許について特許異議の申立てがなされ、平成１２年１２月１５日付けで取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年３月２日に特許異議意見書とともに訂正請求書が提出されたものである。
　
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のａないしｉのとおりである。
ａ　登録時の明細書（以下「登録明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項１に記載された「各アームを区分けして揺動させるようにした」を、「複数のアームは、少なくともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている」と訂正する。
ｂ　登録明細書の特許請求の範囲の請求項２及び３を削除し、請求項４及び５をそれぞれ請求項２及び３とするとともに、それぞれが請求項１に従属するよう訂正する。
ｃ　発明の詳細な説明の段落番号【０００５】に記載された「アームの揺動範囲を区分けして上記複数のアームを揺動させるようにした」を、「複数のアームは、少なくともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている」と訂正する。
ｄ　登録時の図面の図２ないし図４を削除し、図５ないし図９を図２ないし図６に繰り上げる。また、図２に符号３の表示を加え、図４の符号３６の引出線の位置を訂正する。
ｅ　登録明細書の段落番号【０００７】に記載された「図１〜図４」を「図１」と訂正する。
ｆ　登録明細書の段落番号【０００８】に記載された「実施例では、２つのアーム（Ａ１），（Ａ２）を」を、「ように、２つのアーム（Ａ１），（Ａ２）は」と訂正する。
ｇ　登録明細書の段落番号【０００９】に記載された「等を同軸的に設けないで‥‥‥この際、上記図１，図３，図４等に示す実施例ではアーム（Ａ１），（Ａ２）若しくはアーム（Ａ３），（Ａ４）の」を、「は、」と訂正する。
ｈ　登録明細書の段落番号【００１０】に記載された「図５以降に示されている。図５，図６を」を「図２以降に示されている。図２，図３を」と、同段落番号【００１１】に記載された「（図６）」を「（図３）」と、同段落番号【００１３】に記載された「図７は」を「図４は」と、同段落番号【００１８】に記載された「図７に示す装置を用いて洗浄するには、図６」を「図４に示す装置を用いて洗浄するには、図３」と、同段落番号【００２０】に記載された「図８」を「図５」と、同段落番号【００２１】に記載された「図９」を「図６」と、「図７」を「図４」と、同段落番号【００２４】に記載された「図９」を「図６」と、それぞれ訂正する。
ｉ　登録明細書の図面の簡単な説明の項に記載された
「【図２】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
　【図３】ブラシの動きのさらに他の実施例を示す説明図。
　【図４】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
　【図５】本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面図。
　【図６】図５に示すブラシスクラバの平面図。
　【図７】図５に示すブラシスクラバの主としてブラシ部分の拡大断面図。
　【図８】アームの基端部分の拡大平面図。
　【図９】本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側面図。」を、
「【図２】本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面図。
　【図３】図２に示すブラシスクラバの平面図。
　【図４】図２に示すブラシスクラバの主としてブラシ部分の拡大断面図。
　【図５】アームの基端部分の拡大平面図。
　【図６】本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側面図。」と訂正する。
　
２　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、訂正前の請求項１に記載された「各アームを区分けして揺動させるようにした」構成を具体化して限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。そして、訂正前の請求項２には「上記複数のアームは、少くともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含む」と、同請求項３には「上記複数のアームは同時に揺動するように揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている」と記載されていることから、訂正事項ａは登録明細書に記載されているものと認める。また、上記訂正事項ａは、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｂにおいて、訂正前の請求項２及び３を削除し、請求項４及び５を繰り上げることは、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。また訂正後の請求項３を訂正後の請求項１に従属させることも、各アームを揺動させる構成を具体化して限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものに該当する。そして、上記訂正事項ｂは登録明細書に記載されているものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｃ及びｅ〜ｉは、上記ａ及びｂの訂正に伴って生じる明りょうでない記載の釈明を目的としたものに相当し、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　上記訂正事項ｄのうち図２ないし図４の削除は、上記ａ及びｂの訂正に伴って生じる明りょうでない記載の釈明を目的としたものに該当し、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　また上記訂正事項ｄのうち図２に符号３を加えた点は、登録明細書の段落番号【００１０】に記載され、図面上示されていなかった支持ブロック３を、図２上に示すものであるから、明りょうでない記載の釈明を目的としたものに該当する。そして、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　さらに上記訂正事項ｄのうち図４の符号３６の引出線の位置を訂正した点は、登録明細書の段落番号【００１６】における「中央に取付け孔を有する金属板で形成され、駆動軸に嵌着する枚数を加減することにより重さを調整している」との記載から構成が明らかなバランスウェイト３６に関し、図示位置を訂正するものであるから、誤記の訂正を目的としたものに該当する。そして、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
第３　特許異議の申立てについて
１　本件特許に係る発明
　上記第２で示したように上記訂正が認めるられるから、本件の請求項１ないし３に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】先端にブラシを有するアームをウエーハ面上で揺動させて該ウエーハをスクラブ洗浄するブラシスクラバにおいて、ブラシを有する複数のアームを形成し、該アームを揺動した際各ブラシが分担してウエーハの全面をスクラブ洗浄するよう上記複数のアームは、少くともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びていることを特徴とするブラシスクラバ。
【請求項２】上記アーム間の角度は調整可能に設けられている請求項１に記載のブラシスクラバ。
【請求項３】上記各ブラシはそれぞれ上下動可能に設けられている請求項１に記載のブラシスクラバ。」
　
２　特許異議申立て理由の概要
　特許異議申立人加藤清子は、次の甲第１及び第２号証を提示し、本件の請求項１及び５に係る発明は、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許に係る発明の発明者が甲第１号証に係る発明の発明者と同一ではなく、また、本件特許の特許出願時の出願人が甲第１号証に係る出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により特許をうけることができないものであり、さらに、本件特許に係る出願前に頒布された甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１及び５に係る特許は取り消されるべきである旨を主張する。
甲第１号証：特願平８−２２１２６０号（特開平１０−４０７２号、以下「特許出願１」という。）
甲第２号証：特開平９−５０９８１号公報（以下「刊行物１」という。）
　
　また、特許異議申立人坂本典子は、次の甲第１ないし第４号証を提示し、本件の請求項１ないし５に係る発明は、甲第１号証に係る出願の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明と同一であり、しかも、本件特許に係る発明の発明者が甲第１号証に係る発明の発明者と同一ではなく、また、本件特許の特許出願時の出願人が甲第１号証に係る出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により特許をうけることができないものであり、さらに、本件特許に係る出願前に頒布された甲第２ないし第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件の請求項１ないし５に係る特許は取り消されるべきである旨を主張する。
甲第１号証：特願平９−１１７８０９号（特開平１０−３０８３７０号、以下「特許出願２」という。）
甲第２号証：特開平７−７４１３４号公報（以下「刊行物２」という。）
甲第３号証：特開平５−１２９２６０号公報（以下「刊行物３」という。）
甲第４号証：特開昭５３−４９３０号公報（以下「刊行物４」という。）
　
３　当審が通知した取消しの理由の概要
　当審が通知した取消しの理由は、本件特許の請求項１、２及び５に係る発明は、上記特許出願１及び２の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明とそれぞれ同一であり、しかも、本件特許に係る発明の発明者が上記特許出願１及び２に係る発明の発明者と同一ではなく、また、本件特許の特許出願時の出願人が上記特許出願１及び２に係る出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により特許をうけることができないものであるから、本件の請求項１、２及び５に係る特許は取り消されるべきであるというものである。
　
４　各出願及び各刊行物に係る発明の内容
　上記各出願の願書に最初に添付された明細書又は図面に記載された発明及び上記各刊行物に記載された発明は、次のとおりである。
（１）特許出願１
　　洗浄ブラシを半導体基板上で回動させて該半導体基板を洗浄する回転式基板洗浄装置（スピンスクラバー）において、洗浄ブラシを複数本配置し、各洗浄ブラシが上記半導体基板の回転中心近傍から周縁部への範囲を洗浄する回転式基板洗浄装置（スピンスクラバ）。
　
（２）特許出願２
　先端部に洗浄ブラシを有する支持アームを半導体ウエハ上で回転させて該半導体ウエハを洗浄する基板洗浄装置において、支持アームの先端の先端ブロック部を平面視で円弧状の部材で構成し、該先端ブロック部に２個の洗浄ブラシを円弧に沿って並設し、上記支持アームを回転した際各ブラシが分担して半導体ウエハの洗浄面を洗浄するように、一の洗浄ブラシが半導体ウエハの洗浄面の回転中心から外周部方向への範囲を変位し、他の洗浄ブラシが半導体ウエハの洗浄面の外周部から回転中心方向への範囲を変位するよう上記支持アームを回転させる基板洗浄装置。
　
（３）刊行物１
　基板を保持したチャックを回転させると共に、ブラシ一体型ノズルを基板の上方で揺動させながら、該基板に対してエッチング液を吐出して基板表面をスクラブしながらエッチングするエッチング装置において、複数のブラシ一体型ノズルを設け、各ノズルに相互に異なるエッチング液（但し、その内一つはリンス液、すなわち純水）を供給するようにして、順序選択的に稼働すること。
　
（４）刊行物２
　先端に洗浄ブラシを有する揺動アームを半導体ウエハ表面上で移動させて該半導体ウエハを洗浄する基板洗浄装置において、揺動アームは昇降可能に設けられている基板洗浄装置。
　
（５）刊行物３
　表面に薄膜トランジスタが完成または半完成状態で形成されている基板の洗浄装置であって、基板表面と接触する複数の回転ブラシと、該回転ブラシを上下動させる機構を具備する基板洗浄装置。
　
（６）刊行物４
　ワイパブレードを取付けた複数の揺動腕を、自動車の前面窓ガラスに接触させてそれぞれ揺動させることにより、該窓ガラスを払拭すること。
　
５　対比・判断
　本件の請求項１に係る発明（以下「本件発明１」という。）と、上記特許出願１の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明（以下「先願発明１」という。）とを比較すると、本件発明１は、アームを揺動した際各ブラシが分担してウエーハの全面をスクラブ洗浄する構成を有するのに対し、先願発明１は、複数本の洗浄ブラシのそれぞれが、半導体基板の回転中心近傍から周縁部への範囲を洗浄する点で相違する。そして、本件発明１は、この構成を有することにより大口径のウエーハでも短時間で洗浄することができるとの効果を奏するものであるから、上記相違点は、課題解決のための具体的手段における微差であるとは言えず、本件発明１は、先願発明１と同一ではない。
　次に、本件発明１と、上記特許出願２の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明（以下「先願発明２」という。）とを比較すると、本件発明１は、ブラシを有する複数のアームが同時に揺動するように揺動中心を同軸的に設け、角度をあけて放射状に延びる構成を有するのに対し、先願発明２は、支持アーム先端に２個の洗浄ブラシを並設した構成を有する点で相違する。そして、本件発明１のこの構成は、周知あるいは慣用的な技術であるとは認められないから、上記相違点は、課題解決のための具体的手段における微差であるとは言えず、本件発明１は、先願発明２と同一ではない。
　また、上記刊行物１ないし４には、本件発明１を特定するための構成である、複数のアームが揺動した際各ブラシが分担してウエーハの全面をスクラブ洗浄するように、少くともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含む点、及び同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている点が記載されていない。そして、本件発明１は、これらの構成を備えることによって明細書記載の効果を奏するものである。したがって、本件発明１は、上記刊行物１ないし４に記載されたものから当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　そして、本件の請求項２及び３に係る発明は、本件発明１をさらに限定した構成を有するものであるから、上記本件発明１についての判断と同様の理由により、上記先願発明１又は先願発明２と同一ではなく、また、上記刊行物１ないし４に記載されたものから当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
６　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１ないし３に係る特許を取消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１ないし３に係る特許を取消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月２３日（２００１．３．２３）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
１．訂正事項ａ
　特許第３０２８４７５号発明の明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された「各アームを区分けして揺動させるようにした」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「複数のアームは、少なくともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている」と訂正する。
２．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、同明細書の特許請求の範囲の請求項２及び３を削除し、請求項４及び５をそれぞれ請求項２及び３とするとともに、それぞれが請求項１に従属するよう訂正する。
３．訂正事項ｃ
　同明細書の発明の詳細な説明の段落番号【０００５】に記載された「アームの揺動範囲を区分けして上記複数のアームを揺動させるようにした」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「複数のアームは、少なくともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている」と訂正する。
４．訂正事項ｄ
　特許第３０２８４７５号発明の図面の図２ないし図４を、明りょうでない記載の釈明を目的として削除し、図５ないし図９を図２ないし図６に繰り上げる。また、同じく明りょうでない記載の釈明を目的として図２に符号３の表示を加え、誤記の訂正を目的として図４の符号３６の引出線の位置を訂正する。
５．訂正事項ｅ
　上記明細書の段落番号【０００７】に記載された「図１〜図４」を、明りょうでない記載の釈明を目的として「図１」と訂正する。
６．訂正事項ｆ
　同明細書の段落番号【０００８】に記載された「実施例では、２つのアーム（Ａ１），（Ａ２）を」を、明りょうでない記載の釈明を目的として「ように、２つのアーム（Ａ１），（Ａ２）は」と訂正する。
７．訂正事項ｇ
　同明細書の段落番号【０００９】に記載された「等を同軸的に設けないで……この際、上記図１，図３，図４等に示す実施例ではアーム（Ａ１），（Ａ２）若しくはアーム（Ａ３），（Ａ４）の」を、明りょうでない記載の釈明を目的として「は、」と訂正する。
８．訂正事項ｈ
　同明細書の段落番号【００１０】に記載された「図５以降に示されている。図５，図６を」を「図２以降に示されている。図２，図３を」と、同段落番号【００１１】に記載された「（図６）」を「（図３）」と、同段落番号【００１３】に記載された「図７は」を「図４は」と、同段落番号【００１８】に記載された「図７に示す装置を用いて洗浄するには、図６」を「図４に示す装置を用いて洗浄するには、図３」と、同段落番号【００２０】に記載された「図８」を「図５」と、同段落番号【００２１】に記載された「図９」を「図６」と、「図７」を「図４」と、同段落番号【００２４】に記載された「図９」を「図６」と、それぞれ明りょうでない記載の釈明を目的として訂正する。
９．訂正事項ｉ
　登録明細書の図面の簡単な説明の項に記載された
「【図２】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
　【図３】ブラシの動きのさらに他の実施例を示す説明図。
　【図４】ブラシの動きの他の実施例を示す説明図。
　【図５】本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面図。
　【図６】図５に示すブラシスクラバの平面図。
　【図７】図５に示すブラシスクラバの主としてブラシ部分の拡大断面図。
　【図８】アームの基端部分の拡大平面図。
　【図９】本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側面図。」を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「【図２】本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面図。
　【図３】図２に示すブラシスクラバの平面図。
　【図４】図２に示すブラシスクラバの主としてブラシ部分の拡大断面図。
　【図５】アームの基端部分の拡大平面図。
　【図６】本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側面図。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ブラシスクラバ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　先端にブラシを有するアームをウエーハ面上で揺動させて該ウエーハをスクラブ洗浄するブラシスクラバにおいて、ブラシを有する複数のアームを形成し、該アームを揺動した際各ブラシが分担してウエーハの全面をスクラブ洗浄するよう上記
複数のアームは、少くともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている
　【請求項２】　上記
アーム間の角度は調整可能に設けられている
　【請求項３】　上記
各ブラシはそれぞれ上下動可能に設けられ
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、ウエーハの表面に洗浄液をかけながら回転するブラシを該ウエーハに押し当てて移動し、表面付着物をスクラブ洗浄するようにしたブラシスクラバに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　表面をスクラブ洗浄するためカップ型のブラシを先端に有するアームをウエーハ面上で揺動させるようにしたブラシスクラバが用いられている。このブラシスクラバによる洗浄面積は、ブラシの揺動範囲に対応しているから、ウエーハの全面を洗浄するには該ブラシは少くともウエーハの端縁から該ウエーハの中心部にわたる範囲を移動しなければならない。
　【０００３】
　そして、上記アームの揺動は、ウエーハ面を充分に洗浄できるまで繰り返されるので、ウエーハの口径が大きくなるとそれに伴って洗浄時間も長くならざるを得ない。例えば、従来用いられていた６インチ、８インチ等のウエーハに比べて１２インチ若しくはそれ以上の大口径のウエーハになると被洗浄面が大きいから洗浄に長時間を要するようになる。この際、ウエーハに応じてブラシの口径を大きくすることも考えられるが、大口径のブラシでは装置全体が大型化し、また該ブラシの駆動も大変であり、その上、ブラシ全体に均一な押圧力を作用させることや高度な洗浄をすることがむずかしくなってウエーハ全面の均質な洗浄効果を奏しにくくなる。
　【０００４】
　【発明の解決課題】
　本発明の解決課題は、上記のように１２インチ若しくはそれ以上というような大口径のウエーハを長い洗浄時間をかけずに効率よく洗浄できるようにしたブラシスクラバを提供することである。
　【０００５】
　【課題解決の手段】
　本発明によれば、ウエーハを洗浄するブラシを先端に有する複数のアームを形成し、該アームを揺動した際各ブラシが分担してウエーハの全面をスクラブ洗浄するよう上記
複数のアームは、少くともブラシがウエーハの縁部から中心方向への範囲を揺動するアームと、ブラシがウエーハの中心を通って縁部方向への範囲を揺動するアームを含み、同時に揺動するよう揺動中心が同軸的に設けられ、角度をあけて放射状に延びている
　【０００６】
　【発明の実施の形態】
　ブラシスクラバは、基本的な構成として揺動可能に設けたアームと、該アームの先端に回転自在に設けたブラシを具備し、回転するウエーハ上で該ブラシを自転、公転させることによりウエーハをスクラブ洗浄する装置であって、本発明は各種の形式のブラシスクラバに適用することができる。
　【０００７】
　図１
に
　【０００８】
　図１に示す
ように
は
　【０００９】
　図１に示すアーム（Ａ１），アーム（Ａ２）
は、
　【００１０】
　上記アーム、ブラシ等を備えたブラシスクラバの具体的な一実施例が図
２
２
３
　【００１１】
　ウェーハ（Ｗ）を保持するチャック（１２）は、上記アーム等に隣接して設けられ、洗浄液が飛散しないようカップ（１３）内にウエーハを収納して回転する。なお、該カップ（１３）の手前には上記各ブラシ（５），（６）が待機位置にあるとき、該ブラシを洗浄するようブラシ洗浄槽（１４），（１５）が設けられている（図
３
　【００１２】
　上記ブラシは、カップ（１３）の上縁を越えて該カップ内に出入りし、かつ所定の接触圧でウエーハに押圧することができるよう上下動可能に設けられている。上記ブラシを上下動させるには種々の構成にすることができるが、好ましくは複数のブラシが個々に上下動するように構成することが好ましい。
　【００１３】
　図
４
　【００１４】
　上記軸受ハウジング（２３）は、上記アーム本体（１６）に固定され、上部には押えナット（２４）を有し、上記軸受（２２），（２２）間にはディスタンスピース（２５）が設けられている。上記ねじ軸（２０）の内方には中間に径大部（２６）を有する駆動軸（２７）が図において上下動可能に挿通され、上記径大部（２６）と上記ねじ軸（２０）の内方に形成した肩部（２８）の間には、該駆動軸（２７）を上方へ付勢するようばね（２９）が設けられている。
　【００１５】
　上記駆動軸（２７）の下部は、軸受（３０）を介して上記ねじ軸（２０）の下方に延出し、下端にコレッドボディ（３１）を止ねじ（３２）で止着してあり、該コレッドボディ（３１）には下端にスポンジブラシ、ナイロンブラシ、レーヨンブラシ、モヘヤブラシその他のブラシ（５）を有するブラシ本体（３３）が着脱可能に取付けられている。
　【００１６】
　上記駆動軸（２７）の上部は、角軸（３４）に形成され、該角軸部分が上記押えナット（２１）の角孔を通して上方に延び、下行端を規制するナット（３５）をねじ着し、その上方にバランスウエイト（３６）を設けてあり、該バランスウエイト（３６）により上記ばね（２９）による上方への移動位置を調整するようにしてある。図において該バランスウエイト（３６）は、中央に取付孔を有する金属板で形成され、駆動軸に嵌着する枚数を加減することにより重さを調整しているが、その他適宜に構成することができる。
　【００１７】
　上記アーム本体（１６）に取付けたブラケット（３７）には、エアシリンダその他のアクチュエーター（３８）を設けてあり、該アクチュエーター（３８）の軸（３９）の下端に先端チップ（４０）を取付けてある。該先端チップ（４０）は、上記バランスウエイト（３６）を取付けた上記駆動軸（２７）の上端に当接し、上記アクチュエーター（３８）の操作により上記ばね（２９）で上方に付勢されている上記駆動軸（２７）を押圧し、この押圧量を変えることにより上記ブラシ（５）を上下に移動させることができる。なお、上記ブラシ（５）に向けて洗浄液を噴出するノズル（４１）があり、好ましくは該洗浄液には超音波振動が付加される。
　【００１８】
　図
４
３
　【００１９】
　洗浄後、上記アーム回転用モーター（１１）により上記アーム（１），（２）はカップ（１３）から取り出されるが、この際各アーム（１），（２）のブラシ（５），（６）が上記ウエーハ面から水平方向に離れる位置まで該ウエーハ面に接触しているように上記アクチュエーター（３８）を操作し、ウエーハ面から離れたときブラシを個々に上方に上昇して上記カップ（１３）の外方へ取り出すようにしている。
　【００２０】
　上記装置において、アーム（１），（２）間の角度を固定的に設けてあるが、開き角度を変えるには、例えば図
５
　【００２１】
　図
６
４
　【００２２】
　上記アーム（１）の下方に設けた支持脚（５７）には支柱（５８）に上下動可能に設けたりニアベアリング（５９）が取付けられ、該支柱（５８）の他側にはバランスウエイト（図示略）に取付けた他のリニアベアリング（６０）が上下動可能に設けられ、該支柱（５８）の上端に設けたプーリー（６１）を介してワイヤ（６２）で両ベアリング（５９），（６０）を連結してある。これにより、上記アーム（１）等に作用する荷重はバランス調整される。そして、上記支柱（５８）にアーム昇降用シリンダ（６３）を設け、該シリンダ（６３）のロッド（６４）を上記アーム（１）に連結して上記アーム（１）を昇降し、上記ブラシ（５），（６）を上下動する。
　【００２３】
　上記支柱（５８）の下端に連結した軸（６５）は、軸受（６６）を挿通して下方に延び、アーム回転用モーター（図示略）の軸（６７）に連結している。上記アーム昇降用シリンダ（６３）で上記アーム（１），（２）を上昇し、ブラシ（５），（６）をカップ（１３）の上縁を越える高さに保持して上記アーム回転用モーターを駆動すれば、上記ブラシ（５），（６）を支障なくウエーハに押圧させることができる。
　【００２４】
　上記カップ（１３）の口径を大きくすれば上記アーム（１），（２）間の角度を固定して設けてもよいが、該アーム（１），（２）間の開き角度を適時に可変調整できるようにすれば、従来のカップ内で洗浄することができる。図
６
　【００２５】
　上記開閉用モーター（７０）を駆動すれば、上記歯車（６９），（７２）を介して上方のアーム（２）は下方のアーム（１）に対して上記筒状軸（６８）を中心として回転するから、例えば上記アーム（１），（２）の開き角度を狭くした状態で上記カップ（１３）内へ２つのブラシ（５），（６）を入れ、その後上記開閉用モーター（７０）を駆動して上記図１に示す如き状態に２つのアーム（１），（２）間の角度を広げ、ウエーハをスクラブ洗浄し、洗浄後はウエーハ面から水平方向に離れた上記アーム（１），（２）を収束して上記カップ（１３）から取り出せばよい。なお、上記スクラブ洗浄時に２つのアーム（１），（２）間の角度が不安定になるときは、所定の角度状態を保持するようにブレーキ機構、ストップ機構等を適宜位置に設けることもできる。
　【００２６】
　【発明の効果】
　本発明は上記のように構成され、ウエーハ全面を複数のブラシで分担してスクラブ洗浄するよう先端にブラシを有する複数のアームを区分けして揺動させるようにしたので、ウエーハの口径が１２インチ若しくはそれ以上というような大口径であっても短時間で洗浄することができ、各ブラシが独立しているから、ウエーハ面に確実に均一な接触圧を付与してウエーハ全面を効果的にスクラブ洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のブラシスクラバのブラシの動きの一実施例を示す説明図。
　【図２】
　
本発明のブラシスクラバの一実施例を示す側面図。
　【図３】
　
図２に示すブラシスクラバの平面図。
　【図４】
　
図２に示すブラシスクラバの主としてブラシ部分の拡大断面図。
　【図５】
　
アームの基端部分の拡大平面図。
　【図６】
　
本発明のブラシスクラバの他の実施例を示す側面図。
　【符号の説明】
　Ａ１，Ａ２　アーム
　Ｂ１，Ｂ２　ブラシ
　１，２　アーム
　５，６　ブラシ
【図面】