【事件の表示】
　特許第２８５４２１０号「スピンナ装置」の請求項１乃至６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５４２１０号の請求項１乃至４に係る特許を維持する。
【理　由】
Ｉ、手続の経緯
　本件特許第２８５４２１０号は、平成４年１２月２日に特許出願されたものであって、同１０年１１月２０日に設定登録された。その後、その特許請求の範囲の請求項１乃至６に係る特許について特許異議の申立て、及び特許請求の範囲の請求項１乃至４及び６に係る特許について取消理由の通知がなされ、取消理由通知の指定期間内である同１１年１２月７日に願書に添付した明細書について訂正請求がなされたものである。
　
II、訂正の内容
　上記訂正請求は、本件特許明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めたものであるが、その要旨は次のとおりである。
　
　特許請求の範囲の記載を、
「【請求項１】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
【請求項２】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
【請求項３】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
【請求項４】　上記環状突起部の上面のレベルは、上記被塗布体の上面のレベルよりも０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度低いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの１に記載のスピンナ装置。」
と訂正する。
　
III、訂正の適否についての判断
１、訂正の目的、新規事項及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、特許請求の範囲請求項１及び４を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除し、
　特許請求の範囲請求項２において、「上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように」を、「上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように」と、
　特許請求の範囲請求項３において、「上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように」を、「上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように」と、
　特許請求の範囲請求項５において、「近接して環状突起部が」を、「近接して網目になっている環状突起部が」と、
　特許請求の範囲請求項６において、「上面のレベルよりも低いことを特徴とする請求項２乃至５のいずれかの１に記載のスピンナ装置。」を、「上面のレベルよりも０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度低いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの１に記載のスピンナ装置。」と訂正することによって、構成要件の附加によって構成を限定するものであり、特許請求の範囲を減縮するものと認められ、
　また、削除した特許請求の範囲の請求項１及び４以外の請求項について、請求項番号をそれぞれ繰り上げたものと認められる。
　そして、この訂正に関連する記載として、特許明細書第３頁第２１〜２６行中（特許公報第２頁右欄第１８〜２５行中）に「これらの図において、ガードリング７の上面には、一周にわたって溝７ａが形成されており、溝７ａの外周部が内周部より高くなるように、溝７ａの外周部には環状突起部７ｂが設けられている。また、溝７ａの底部には外部に貫通するドレイン孔７ｃが数カ所形成されている。環状突起部７ｂは、被塗布体１の外周側面の下部を囲むように、被塗布体の外周に近接して設けられている。」、特許明細書第３頁第２８行〜第４頁第１行中（特許公報第２頁右欄第２７〜３０行中）に「環状突起部７ｂは、被塗布体１の外周より水平方向に１〜３ｍｍ程度離れた位置に、被塗布体の外周側面の下部を０．１〜０．５ｍｍ程度囲むように設けられている。」、及び特許明細書第５頁第９〜１１行中（特許公報第３頁左欄第３２〜３４行中）に「環状突起部２ａは、被塗布体１の外周より水平方向に１〜３ｍｍ程度離れた位置に、被塗布体の外周側面の下部を０．１〜０．５ｍｍ程度囲むように設けられている。」の記載があり、これらの記載を根拠として、特許請求の範囲の記載を上記のように訂正したものといえるから、上記訂正は、特許明細書又は図面に記載した事項の範囲内であり、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
２、独立特許要件について
（１）、上記平成１１年１２月７日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１乃至４に係る発明（以下「訂正後の請求項１乃至４に係る発明」という。）は、同訂正明細書の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至４に記載されたとおりのものと認められる。
　
（２）−１、これに対して、当審で通知した取消理由で引用した刊行物１（特開昭５２−１４４９７１号公報）には、
　第１頁左下欄第１０行〜同頁右下欄第４行中に「本発明はスピン塗布装置に関する。たとえば半導体装置の製造において、ウエーハ状の半導体基板面にフォトレジスト膜を形成する場合、半導体基板上の中央部に粘液性のフォトレジスト液を滴下した後、前記半導体基板を約２０００〜６０００ｒｐｍの回転数で回転させ、約０．２〜２μｍの均一な膜厚にする。そしてベーキングを経てこれを固化する。このときに使用する装着がスピン塗布装置で、回転するスピンヘッドと称される真空チャックと、その軸方向上に配置されるフォトレジスト液滴下ノズルとからなり、前記真空チャック上に半導体基板を固着載置し、フォトレジスト液滴下を行なった後、前記真空チャックとともに半導体基板を回転させるものが考えられる。」と、
　第２頁左上欄第１８行〜同頁右上欄第１０行中に「そして前記真空チャック１の上面部（半導体ウエーハ載置部１ｂの上面部）を囲うように皿状部材５があり、これは前記皿状部材５の外方部に配置されたフォトレジスト液受けカップ６に円筒柱７を介して保持設定されている。なお前記皿状部材５の底面５ａは半導体ウエーハ載置部１ｂの上面より若干低めに設定されているものである。そして前記円筒柱７の柱内は空気挿入孔８が形成され、図示しない空気送出器から空気が挿入され前記皿状部材５の底面５ａを周辺方向へ流出できるようになっている。また前記真空チャック１の軸上方向にはフォトレジスト滴下ノズル９が配置されている。」と、
　第２頁右上欄第１６〜２０行中に「その後、フォトレジスト滴下ノズル９より粘液性のフォトレジスト液を半導体ウエーハ１０の主表面に滴下し、前記空気挿入孔８へ乾燥した空気を挿入させる。」と、
　第２頁左下欄第３〜１５行中の「このようにすれば、空気挿入孔８から排出される空気は半導体ウエーハ１０と皿状部材５の間を流出し、前記半導体ウエーハ１０の周辺端部で上昇気流となることから、この空気に妨げられて半導体ウエーハ１０の主表面に滴下されたフォトレジスト１２はその周辺端部１０ａでやや上方向へ飛散する。したがって第３図（ｂ）に示すように、半導体ウエーハ１０の周辺端部におけるフォトレジスト液の表面張力は上昇気流する空気圧によって打ち消される結果、ここにフォトレジスト液１２の盛り上がりが形成されることなく、さらには基板周辺端の側面１０ｂ及び裏面１０ｃに到るということはなくなる。」と、
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物１には、以下の発明が記載されていると認められる。
 　半導体ウエーハ１０の上面にフォトレジスト液１２を滴下して、半導体ウエーハ１０の上面に均一な塗膜を形成するスピン塗布装置において、
　皿状部材５が、真空チャック１の周囲に該真空チャック１の回転軸と同軸的に、且つ上記皿状部材５の上面と半導体ウエーハ１０の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記皿状部材５の上面に上記半導体ウエーハ１０の外周側面の下部を囲むように該半導体ウエーハ１０の外周に近接して環状突起部が設けられているスピン塗布装置。
　
（２）−２、同刊行物２（実願昭６３−７３２０１号（実開平１−１７６９２４号）の願書に添付された明細書および図面の内容を撮影したマイクロフィルム）には、
第２頁第１１〜１４行中に「本発明は・・・すなわちスピンコート法に対して好適なレジスト塗布装置に関するものである。」と、
　第８頁第１６行〜２０行中に「第３図に示すように突出部１２の上面よりも、少なくとも側板１３の一端１３ａ側の上面１３ｄ ａが上方（例えばＬ４＝約１ｍｍ）に位置するようにする必要がある。」と、
　第９頁第８行〜第１０頁第７行中に「先ず、例えば石英ガラスからなるガラス板上にクロム酸等の遮光性膜を被着したフォトマスクブランクである基板１８（１２５ｍｍ×１２５ｍｍで厚さは約２ｍｍである。）を突出部１２上に載置する。これによって基板１８は側板１３によって実質的に包囲され、かつ第３図に示すように基板１８の裏面１８ａは側板１３の上面１３ｄよりも下方にくる。さらに基板１８は真空チャック１１の表面とは当接しない。次に、真空吸着手段（例えば真空ポンプ）により吸着孔１１ｄを介して基板１８を真空吸着する。次にレジスト（例えば、ポリブデン−１−スルホンからなるレジスト）を滴下し、所定の回転数（例えば１２００ｒｐｍ）で回転軸２０を介して、モーター等により回転し、膜厚４０００Åのレジストを基板１８上に形成する。
　このレジスト塗布において、基板１８の裏面１８ａよりも側面１３の上面１３ｄが上方にあるのみならず、側板１３の長手方向の寸法（第４図におけるＬ１）が１００ｍｍであることから、充分にレジストが基板１８の裏面１８ａに付着しない。」と記載されている。
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物２には、以下の発明が記載されていると認められる。
　基板１８の上面にレジストを滴下して、基板１８の上面に均一な塗膜を形成するレジスト塗布装置において、
  真空チャック１１の周囲に上記基板１８の外周側面の下部を囲むように該基板１８の外周に近接して側板１３が設けられているレジスト塗布装置。
　
（２）−３、同刊行物３（特開平４−１５６９７４号公報）には、
　第１頁右下欄第１３〜１４行中に「本発明は、被塗布体の表面に液状物質の塗布を行うスピンナ装置に関する。」と、
　第２頁左上欄第１８行〜同頁右上欄第２行中に「被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧し、しかる後、被塗布体１を高速回転させる。その結果、液状物質は被塗布体１の全面に均一に塗布される。」と、
　第２頁左下欄第１５行〜同頁右下欄第４行中に「第１図は、本発明の一実施例を説明するための図である。同図において、コーターハウス４内のスピンナヘッド２の周面には、そのスピンナヘッド２を囲むように、ガードリング７とそれを支える円筒８とが、スピンナヘッド２の回転軸５と同軸に且つガードリング７の上面と被塗布体１の裏面とがエア吹き出し口９としての所定の間隔、例えば
１ｍｍ程度のほぼ均一な間隔をなすように配置されている。」と、
　第３頁左上欄第１９行〜同頁右上欄第７行中に「第３図は本発明の他の一実施例を説明するための図である。第１図及び第２図の実施例のガードリング７が固定されているのに対して、この実施例ではガードリング７がスピンナヘッド２の側壁に固定されて被塗布体１と共に回転するようになっているが、この実施例においても第１図及び第２図と同様に実施することができ、同様の効果が得られる。」と記載されている。
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物３には、以下の発明【Ａ】及び【Ｂ】が記載されていると認められる。
　【Ａ】　被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体１の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリング７が、スピンナヘッド２の周囲に該スピンナヘッド２の回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリング７の上面と被塗布体１の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリング７の上面に該被塗布体１に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。
　【Ｂ】　被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体１の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッド２の側面に設けたガードリング７の上面に、該被塗布体１に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。
　
（２）−４、同刊行物４（特開平４−８７６６４号公報）には、
　第１頁右下欄第１７〜第２頁左上欄第１行中に「本発明は、液晶表示器用ガラス基板などの角形基板の表面にレジスト液の塗布処理、現像処理、エッチング処理する場合などに用いる回転処理装置に係り、特に基板裏側への処理液ミストの回り込みを防止する技術に関する。」と、
　第３頁右下欄第１０〜１５行中に「このモータはベース板８上に備えたブラケット９に連結支持されていて、縦向き回転軸６に回転台２の中央ボス１０が上方から外嵌されて、回転軸６に備えた駆動ピン６ａをボス１０の切欠き１０ａに係合させて回転伝達が行われるようになっている。」と、
　第４頁右上欄第１０〜１５行中に「つまり、回転台２の上面には、基板１の各辺における回転下手側にあたる基板角部近傍と平行（必ずしも平行であることを要しない）に隔壁２４が立設されるとともに、この隔壁２４の上端は基板１に触れないように０．５〜１．０ｍｍ程度の小間隔２５をもって基板表面に対向されている。」と、
　第４頁右上欄第２０行〜同頁左下欄第２行中に「次に、図示しない塗布液供給ノズルを基板１の中央上方に移動させ、所定量の塗布液を供給する。」と、
　第４頁左下欄第２０行〜同頁右下欄第６行中に「この場合、基板１周縁から余剰塗布液の飛散は、第６図に示すように各辺の中央部から始まり、回転下手側にあたる基板角部近傍辺１ｅ（第３図参照）が塗布液ミスト中に突入してゆくが、この基板角部近傍辺１ｅの下側に沿って回転台２の上に立設されている隔壁２４が塗布液ミストの基板下方空間への流入を阻止することになる。」と記載されている。
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物４には、以下の発明が記載されていると認められる。
　基板１の上面に塗布液を滴下して、基板１の上面に均一な塗膜を形成する回転処理装置において、
  回転台２が、中央ボス１０の回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記回転台２の上面に該基板１に近接して隔壁２４が設けられている回転処理装置。
　
（２）−５、同刊行物６（特開昭５６−５６６２９号公報）には、
　第１頁右下欄第２〜４行中に「本発明はウエーハ、マスク等を被塗物とし、この被塗物にレジストを塗布するための方法及びその装置に関するものである。」と、
　第２頁右下欄第１３〜１６行中の「尚、前記した回込防止体１７，１７の上面１７ｂ、１７ｂの位置はテーブル１１上に固着した被塗物２の上面（表面）高さと同一か、それよりも幾分低くなるように設定する。」と、
　第３頁左上欄第１７行〜同頁右上欄第９行中の「従って、このようにセットした後にスピンナ１を回転してマスク２、支持体１４及び回込防止体１７，１７を一体に回動させ、上方からマスク２上にレジストを滴下すれば、レジストは遠心力によって周辺方向へ流動され、マスク表面全体にレジストが塗布される。そしてこのときマスク周辺に流動された余剰のレジストは、マスク周縁外に流動した後は回込防止体１７，１７の上面１７ｂ、１７ｂを流動し、最終的には回込防止体１７，１７の外方へ流される。マスク２の周側面２ａは回込防止体１７，１７の内側面１７ａ、１７ａと液密的に当接しているため、レジストが両者の間からマスク裏面側に洩れることはない。」と記載されている。
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物６には、以下の発明が記載されていると認められる。
　被塗物２の上面にレジストを滴下して、被塗物２の上面に均一な塗膜を形成するレジスト塗布装置において、
  支持体１４が、テーブル１１の周囲に該テーブル１１の回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記支持体１４の上面に設けられた回込防止体１７，１７であって上記被塗物２の外周側面の下部を囲むように該被塗物２の外周に近接して回込防止体１７，１７が設けられているレジスト塗布装置。
　
（３）、対比・判断
（３）−１、訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物１記載の発明とを対比する。
　上記刊行物１記載の発明の「半導体ウエーハ１０」、「フォトレジスト液１２」、「スピン塗布装置」、「皿状部材５」、「真空チャック１」は、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明の「被塗布体」、「液状物質」、「スピンナ装置」、「ガードリング」、「スピンナヘッド」に相当する。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物１記載の発明は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−２、訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物２記載の発明とを対比する。
　上記刊行物２記載の発明の「基板１８」、「レジスト」、「レジスト塗布装置」、「真空チャック１１」、「側板１３」は、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明の「被塗布体」、「液状物質」、「スピンナ装置」、「スピンナヘッド」、「突起部」に相当する。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドに上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物２記載の発明は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
（３）−３、訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物３記載の発明【Ａ】とを対比する。
　両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に該被塗布体に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物３記載の発明【Ａ】は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
（３）−４、訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物４記載の発明とを対比する。
　上記刊行物４記載の発明の「基板１」、「塗布液」、「回転処理装置」、「回転台２」、「中央ボス１０」、「隔壁２４」は、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明の「被塗布体」、「液状物質」、「スピンナ装置」、「ガードリング」、「スピンナヘッド」、「突起部」に相当する。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に該被塗布体に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物４記載の発明は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−５、訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物６記載の発明とを対比する。
　上記刊行物６記載の発明の「被塗物２」、「レジスト」、「レジスト塗布装置」、「支持体１４」、「テーブル１１」、「回込防止体１７，１７」は、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明の「被塗布体」、「液状物質」、「スピンナ装置」、「ガードリング」、「スピンナヘッド」、「環状突起部」に相当する。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物６記載の発明は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−６、刊行物１〜４及び６に記載された発明（刊行物３については発明【Ａ】、以下同じ）には、上記（３）−１〜（３）−５に示したように、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明との一致点を有しているが、刊行物１〜４及び６記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項１に係る発明は、上記構成により、明細書に記載された「その飛び出し初めは液状物質１１が大量に飛び出すため、図４に示すように膜を張って下方向に飛び出す。飛び出した液膜が切れる際、液状物質１１が四方八方へ飛び散るが、被塗布体１の外周側面の下部が環状突起部７ｂにより近接して囲まれているので、液状物質１１が直接塗布体１の下面へ衝突することはない。」（明細書第４頁第５〜９行中、特許公報第２頁右欄第３５〜４１行中）、「このようにして、被塗布体１の下面へ侵入しないで溝７ａ内に捕集された液状物質は、ドレイン孔７ｃより円錐傘３とコーターハウス４とで構成されるエアの通路を介して外部へ排出される。」（明細書第４頁第２３〜２５行中、特許公報第３頁左欄第１１〜１４行中）等の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項１に係る発明は上記刊行物１〜４及び６に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記刊行物１〜４及び６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（３）−７、訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物１記載の発明とを対比する。
　上記刊行物１記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−１」刊行物１記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物１記載の発明は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−８、訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物２記載の発明とを対比する。
　上記刊行物２記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−２」刊行物２記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドの周囲に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物２記載の発明は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−９、訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物３記載の発明【Ａ】とを対比する。
　両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に該被塗布体に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物３記載の発明【Ａ】は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−１０、訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物４記載の発明とを対比する。
　上記刊行物４記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−４」刊行物４記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に該被塗布体に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物４記載の発明は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。                  　
（３）−１１、訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物６記載の発明とを対比する。
　上記刊行物６記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−５」刊行物６記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物６記載の発明は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−１２、刊行物１〜４及び６に記載された発明（刊行物３については発明【Ａ】、以下同じ）には、上記（３）−７〜（３）−１１に示したように、それぞれ訂正後の請求項２に係る発明との一致点を有しているが、刊行物１〜４及び６記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項２に係る発明は、上記構成により、前記（３）−６記載と同様の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項２に係る発明は上記刊行物１〜４及び６に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記刊行物１〜４及び６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（３）−１３、訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物１記載の発明とを対比する。
　上記刊行物１記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項３に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−１」刊行物１記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置」の点では一致している。
　しかし、刊行物１記載の発明は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−１４、訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物２記載の発明とを対比する。
　上記刊行物２記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項３に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−２」刊行物２記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドに上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して突起部が設けられているスピンナ装置」の点では一致している。
　しかし、刊行物２記載の発明は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に、網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−１５、訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物３記載の発明【Ｂ】とを対比する。
　両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドに被塗布体に近接して環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物３記載の発明【Ｂ】は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
（３）−１６、訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物４記載の発明とを対比する。
　上記刊行物４記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項３に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−４」刊行物４記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドに該被塗布体に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物４記載の発明は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
 　
（３）−１７、訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物６記載の発明とを対比する。
　上記刊行物６記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項３に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（３）−５」刊行物６記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  スピンナヘッドに上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物６記載の発明は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（３）−１８、刊行物１〜４及び６に記載された発明（刊行物３については発明【Ｂ】、以下同じ）には、上記（３）−１３〜（３）−１７に示したように、それぞれ訂正後の請求項３に係る発明との一致点を有しているが、刊行物１〜４及び６記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項３に係る発明は、上記構成により、明細書に記載された「このように被塗布体の外周より飛び出した液状物質は前述した実施例と同様にして、被塗布体１の下面に侵入することなく、環状突起部２ａによって補足される。環状突起部２ａによって補足された液状物質は、環状突起部２ａも被塗布体１と一緒に回転しているため、遠心力により環状突起部２ａの網目を介して外部に放出される。」（明細書第５頁第１５〜１９行中、特許公報第３頁左欄第４０行〜同頁右欄第４行中）等の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項３に係る発明は上記刊行物１〜４及び６に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記刊行物１〜４及び６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（３）−１９、訂正後の請求項４に係る発明と、刊行物１〜４及び６記載の発明とを対比する。
　訂正後の請求項４に係る発明は、訂正後の請求項１〜３に係る発明を引用したものであり、訂正後の請求項１〜３に係る発明に構成要件を付加するものであるから、検討するまでもなく、上記刊行物１〜４及び６に記載された発明であるとすることも、また、上記刊行物１〜４及び６に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（３）−２０、　したがって、訂正後の請求項１〜４に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
３、むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するものであり、当該訂正を認める。
　
IV、特許異議の申立ての判断 
１、申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１〜６号証刊行物を証拠として提出し、請求項１〜６に係る発明は、甲第１〜６号証刊行物に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１〜６に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、その特許は取り消されるべきものである旨、主張している。
　
２、特許異議申立人が提出した刊行物
（１）、特許異議申立人が提出した甲第１〜４及び６号証刊行物は、当審が通知した取消理由で引用し、前記「IIIの２」において検討した刊行物１〜４及び６と同じである。
　異議申立人が提出した項第５号証（特開昭５８−８２５２１号公報）には、
　第１頁右下欄第６〜７行中に「本発明は、ホトレジストの塗布等に使用されるスピンナに関する。」と、
　第３頁左下欄第２〜４行中に「２６はチャックテーブルであり、半導体ウエハ１４の如き被処理物品を載せて真空吸着すると共に回転可能となっているものである。」と、
　第４頁左上欄第３〜５行中に「一方、半導体ウエハ１４上にホトレジストを滴下するためのホトレジスト滴下ノズル３８は上カップ２０の上壁の中央部付近に設けられている。」と、
　第４頁左下欄第７〜１２行中に「また、下カップ２２の内周辺には、不要なホトレジストを霧状（ミスト）化するもので、ウエハから飛び散ったホトレジストがはね返ってふたたびウエハ表面に付着するのを防止する円筒形網状体６６が設けられている。」と記載されている。
　そして、上記記載、及び図面の記載を併せて見ると、刊行物５には、以下の発明が記載されていると認められる。
　半導体ウエハ１４の上面にホトレジストを滴下して、半導体ウエハ１４の上面に均一な塗膜を形成するスピンナにおいて、
  下カップ２２が、チャックテーブル２６の周囲に該チャックテーブル２６の回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記下カップ２２の上面に上記半導体ウエハ１４の外周側面の下部を囲むように網目になっている円筒形網状体６６が設けられているスピンナ。
　
（２）、判断
（２）−１、訂正後の請求項１に係る発明と、甲第５号証刊行物記載の発明とを対比する。
　上記刊行物５記載の発明の「半導体ウエハ１４」、「ホトレジスト」、「スピンナ」、「下カップ２２」、「チャックテーブル２６」、「円筒形網状体６６」は、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明の「被塗布体」、「液状物質」、「スピンナ装置」、「ガードリング」、「スピンナヘッド」、「環状突起部」に相当する。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように環状突起部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、甲第５号証記載の発明は、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（２）−２、訂正後の請求項１に係る発明と、甲第１〜６号証刊行物記載の発明との相違点を検討する。
　訂正後の請求項１に係る発明と、刊行物１〜４及び６である甲第１〜４及び６号証刊行物に記載された発明（甲第３号証刊行物については発明【Ａ】、以下同じ）との対比・判断による一致点及び相違点は、上記IIIの２の（３）−１〜（３）−５に示したとおりであり、訂正後の請求項１に係る発明と、甲第５号証刊行物に記載された発明との対比・判断による一致点及び相違点は、前記IVの２の（２）−１に示したとおりである。
　甲第１〜６号証刊行物に記載された発明には、前記のように、それぞれ訂正後の請求項１に係る発明との一致点を有しているが、甲第１〜６号証刊行物記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項１に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項１に係る発明は、上記構成により、上記IIIの２の（３）−６記載と同様の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項１に係る発明は上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（２）−３、訂正後の請求項２に係る発明と、甲第５号証刊行物記載の発明とを対比する。
　上記刊行物５記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（２）−１」刊行物５記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように環状部材が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物５記載の発明は、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（２）−４、訂正後の請求項２に係る発明と、甲第１〜６号証刊行物記載の発明との相違点を検討する。
　訂正後の請求項２に係る発明と、刊行物１〜４及び６である甲第１〜４及び６号証刊行物に記載された発明（甲第３号証刊行物については発明【Ａ】、以下同じ）との対比・判断による一致点及び相違点は、上記IIIの２の（３）−７〜（３）−１１に示したとおりであり、訂正後の請求項２に係る発明と、甲第５号証刊行物に記載された発明との対比・判断による一致点及び相違点は、前記IVの２の（２）−３に示したとおりである。
　甲第１〜６号証刊行物に記載された発明には、前記のように、それぞれ訂正後の請求項２に係る発明との一致点を有しているが、甲第１〜６号証刊行物記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項２に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に環状突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項２に係る発明は、上記構成により、上記IIIの２の（３）−６記載と同様の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項２に係る発明は上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（２）−５、訂正後の請求項３に係る発明と、甲第５号証刊行物記載の発明とを対比する。
　上記刊行物５記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項２に係る発明の部材名称との対応関係は、前記「（２）−１」刊行物５記載の発明の部材名称と、訂正後の請求項１に係る発明の部材名称との対応関係と同じである。
　したがって、両者は、「被塗布体の上面に液状物質を滴下して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
  上記被塗布体の外周側面を囲むように網目になっている環状部が設けられているスピンナ装置。」の点では一致している。
　しかし、刊行物５記載の発明は、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、「スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられている」構成を有していない点で、両者は相違している。
　
（２）−６、訂正後の請求項３に係る発明と、甲第１〜６号証刊行物記載の発明との相違点を検討する。
　訂正後の請求項３に係る発明と、刊行物１〜４及び６である甲第１〜４及び６号証刊行物に記載された発明（甲第３号証刊行物については発明【Ｂ】、以下同じ）との対比・判断による一致点及び相違点は、上記IIIの２の（３）−１３〜（３）−１７に示したとおりであり、訂正後の請求項３に係る発明と、甲第５号証刊行物に記載された発明との対比・判断による一致点及び相違点は、前記IVの２の（２）−５に示したとおりである。
　甲第１〜６号証刊行物に記載された発明には、前記のように、それぞれ訂正後の請求項３に係る発明との一致点を有しているが、甲第１〜６号証刊行物記載のいずれの発明にも、訂正後の請求項３に係る発明の構成に欠くことのできない事項である、スピンナ装置において「スピンナヘッドに上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して突起部が設けられている」構成を有していない。
　そして、訂正後の請求項３に係る発明は、上記構成により、上記IIIの２の（３）−１８記載と同様の明細書に記載された作用効果を期待できるものである。
　したがって、訂正後の請求項３に係る発明は上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明と同一の発明とすることはできず、また、上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
（２）−７、訂正後の請求項４に係る発明と、甲第１〜６号証刊行物に記載された発明とを対比する。
　訂正後の請求項４に係る発明は、訂正後の請求項１〜３に係る発明を引用したものであり、訂正後の請求項１〜３に係る発明に構成要件を付加するものであるから、検討するまでもなく、上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明であるとすることも、また、上記甲第１〜６号証刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることもできない。
　
３、むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人が主張する理由及び提出した証拠によっては、訂正後の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に訂正後の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１４日（２０００．８．１４）
【訂正の要旨】
訂正の内容
特許第２８５４２１０号発明の明細書を次のとおり訂正する。
　特許請求の範囲の記載を、
「【請求項１】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
　【請求項２】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　ガードリングが、スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に、且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に、上記ガードリングの上面に一周にわたって設けられた溝であって、底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに、この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
　【請求項３】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して、被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において、
　スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して網目になっている環状突起部が設けられていることを特徴とするスピンナ装置。
　【請求項４】　上記環状突起部の上面のレベルは、上記被塗布体の上面のレベルよりも０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度低いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかの１に記載のスピンナ装置。」
と、特許請求の範囲の減縮を目的として訂正する。
（５４）【発明の名称】
スピンナ装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して，被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において，
　ガードリングが，スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に配置されていると共に，上記ガードリングの上面に
一周にわたって設けられた溝であって，底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに，この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって
　【請求項２】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して，被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において，
　ガードリングが，スピンナヘッドの周囲に該スピンナヘッドの回転軸と同軸的に，且つ上記ガードリングの上面と被塗布体の下面とがエア吹き出し口としての所定の間隔をなすように配置されていると共に，上記ガードリングの上面に
一周にわたって設けられた溝であって，底部とこの底部に設けられ外部に貫通するドレイン孔と内周部と外周部とを有する溝を備えるとともに，この溝の上記外周部が上記内周部より高くなるように上記外周部に設けられた環状突起部であって
　【請求項３】　被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して，被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において，
　スピンナヘッドの上面に上記被塗布体の外周側面の下部を囲むように該被塗布体の外周に近接して
網目になっている
　【請求項４】　上記環状突起部の上面のレベルは，上記被塗布体の上面のレベルよりも
０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度
１
３
【発明の詳細な説明】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は，被塗布体の上面に液状物質の塗布を行うスピンナ装置の改良に関する。
　　【従来の技術】
　試料に液状物質を塗布する方法として，回転する試料例えばガラス基板やディスク基板の上面に紫外線硬化型等の液状物質を滴下または噴霧して，試料の全面に液状物質を均一に施す方法が知られている。この方法を実施する装置として，図８に示すようなスピンナ装置がある。同図において，１は被塗布体，２は被塗布体１が載置されるスピンナヘッド，３はスピンナヘッド２の外側近傍に取り付けられた円錐傘，４はこれらを収容するコーターハウス，５はモータ（図示せず）の回転をスピンナヘッド２に伝達する回転軸であり，コーターハウス４の底面中央を貫通して導出され，真空装置（図示せず）に接続されている。コーターハウス４の底面周辺部には排気口６が設けられている。コーターハウス４内のスピンナヘッド２の周囲には，そのスピンナヘッド２を囲むように，ガードリング７とそれを支える円筒８とが，スピンナヘッド２の回転軸５と同軸的に且つガードリング７の上面と被塗布体１の下面とがエア吹き出し口９としての所定の間隔，例えば１ｍｍ程度のほぼ均一な間隔をなすように配置されている。また，上記円筒８の側面には，１個所或いは数個所のエア供給口１０を設け，そのエア供給口１０からエアを供給し，エア吹き出し口９からエアを吹き出させる。
　以上説明したスピンナ装置を用いて被塗布体１上面へ液状物質の塗布を行うに際しては，先ず真空装置を作動させて，被塗布体１をスピンナヘッド２の上面に吸引固定すると共に，エア供給口１０から供給されたエアを被塗布体１の下面の通路を通って，エア吹き出し口９から被塗布体１の下面全周にわたりほぼ均一且つ高速に吹き出させる。ついで，スピンナヘッド２を回転させ，排気口６からコーターハウス４内を排気しつつ，被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧し，しかる後，被塗布体１を高速回転させる。その結果，液状物質は被塗布体１の全面に均一に塗布される。
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら，このような従来のスピンナ装置にあっては，ガードリングから吹き出すエアにより，数十μｍ程度の比較的粒径の小さな液状物質の被塗布体１下面への浸入を防止することができるが，被塗布体１の回転の立ち上がり時に，液状物質に遠心力が加わり被塗布体１の外周に飛び出す際の液状物質の固まりから発生する百μｍ程度以上の比較的粒径の大きな液状物質の被塗布体１下面への浸入については，その浸入を防止することができない。この被塗布体１の下面に付着した液状物質は，汚れの原因となるため後で除去しなければならないが，液状物質の種類によっては除去は非常に困難であり，また被塗布体１の傷の発生にもつながり，生産性が低下する。また，液状物質の付着した部分は利用できないため，被塗布体１の利用率も低下するという問題があった。
　　【課題を解決するための手段】
　本発明は以上の欠点を除去するために，被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して，被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において，上記被塗布体の下面に上記液状物質が浸入しないように，少なくとも上記被塗布体の外周側面の下部が近接して囲まれていることを特徴とするスピンナ装置を提供するものである。
　　【実施例】
　図１乃至図３は，本発明の一実施例を説明するための図であり，図２及び図３は図１に示すガードリング７の詳細を示す図である。これらの図において，ガードリング７の上面には，一周にわたって溝７ａが形成されており，溝７ａの外周部が内周部よりも高くなるように，溝７ａの外周部には環状突起部７ｂが設けられている。また，溝７ａの底部には外部に貫通するようにドレイン孔７ｃが数カ所形成されている。環状突起部７ｂは，被塗布体１の外周側面の下部を囲むように，被塗布体の外周に近接して設けられている。また，環状突起部７ｂの上面のレベルは，被塗布体１の上面のレベルよりも低いことが望ましい。例えば，環状突起部７ｂは，被塗布体１の外周より水平方向に１〜３ｍｍ程度離れた位置に，被塗布体の外周側面の下部を０．１〜０．５ｍｍ程度囲むように設けられている。
　このように構成されたスピンナ装置において，被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧し，被塗布体１を高速回転させると，被塗布体１の上面に吐出された液状物質は，被塗布体１が回転することにより遠心力が加わり，被塗布体１の上面に膜を形成しながら被塗布体の外周より飛び出す。その飛び出し初めは液状物質１１が大量に飛び出すため，図４に示すように膜を張って下方向に飛び出す。飛び出した液膜が切れる際，液状物質１１が四方八方へ飛び散るが，被塗布体１の外周側面の下部が環状突起部７ｂにより近接して囲まれているので，液状物質１１が直接被塗布体１の下面へ衝突することはない。また，図５に示すように，液状物質の飛び出す方向は，遠心力による液の飛び出し速度ベクトルＡと，被塗布体１の回転による液の飛び出し速度ベクトルＢとの合成速度ベクトルＣの方向となるが，被塗布体１が環状突起部７ｂに近くから囲まれている場合の環状突起部７ｂに液状物質の衝突する角度αは，被塗布体１が環状突起部７ｂに遠方から囲まれている場合の環状突起部７ｂに液状物質の衝突する角度βに比較して小さく，しかも実際上，速度ベクトルＢは速度ベクトルＡに比較して１０倍以上と著しく大きいので，環状突起部７ｂを被塗布体の外周に極力近づけて設けると，被塗布体の回転の初めに大量に飛び出す液状物質を環状突起部７ｂの側面にほぼ平行に当てることとなるため，環状突起部７ｂによる跳ね返りの液状物質も被塗布体１の下面へ衝突しない。また，被塗布体１の回転中に被塗布体１の上面及び下面に発生する気流の流れは，環状突起部７ｂにより図２に示すように上昇方向に変化するので，液状物質が被塗布体１の下面に浸入するのを妨げる。このようなことが相まって，液状物質が被塗布体１の下面に浸入するのを防止することができる。このようにして，被塗布体１の下面へ浸入しないで溝７ａ内に捕集された液状物質は，ドレイン孔７ｃより円錐傘３とコーターハウス４とで構成されるエアの通路を介して外部へ排出される。尚，この実施例においては，エア供給口１０からエアを供給し，エア吹き出し口９からエアを吹き出させる構成のものについて述べたが，例えばコンパクトディスク等のような被塗布体の場合には，数十μｍ程度の比較的粒径の小さな液状物質についてはその読み取りに支障をきたさないので，エアを吹き出させる構成のものでなくても同様に実施することができる。
　図６及び図７は本発明の他の一実施例を説明するための図であり，図７は図６に示すスピンナヘッドの詳細を示す図である。前述した実施例が環状突起部が回転しない構造のものであるのに対して，この実施例は環状突起部が回転する構造のものである。これらの図において，スピンナヘッド２の上面の外周部には，一周にわたって網目，例えばステンレスメッシュからなる環状突起部２ａが設けられている。この環状突起部２ａは，被塗布体１の外周側面の下部を囲むように，被塗布体の外周に近接して設けられている。また，環状突起部２ａの上面のレベルは，被塗布体１の上面のレベルよりも低いことが望ましい。例えば，環状突起部２ａは，被塗布体１の外周より水平方向に１〜３ｍｍ程度離れた位置に，被塗布体の外周側面の下部を０．１〜０．５ｍｍ程度囲むように設けられている。
　このように構成されたスピンナ装置において，被塗布体１の上面に液状物質を滴下または噴霧し，被塗布体１を高速回転させると，被塗布体１の上面に吐出された液状物質は，被塗布体１が回転することにより遠心力が加わり，被塗布体１の上面に膜を形成しながら被塗布体の外周より飛び出す。このように被塗布体の外周より飛び出した液状物質は前述した実施例と同様にして，被塗布体１の下面に浸入することなく，環状突起部２ａによって捕捉される。環状突起部２ａによって捕捉された液状物質は，環状突起部２ａも被塗布体１と一緒に回転しているため，遠心力により環状突起部２ａの網目を介して外部に放出される。尚，この実施例においては，環状突起部２ａが網目からなるものについて説明したが，網目に限定されることなく，環状突起部２に液状物質放出用の孔を数カ所設ければ同様に実施することができる。
　　【発明の効果】
　以上述べたように本発明は，被塗布体の上面に液状物質を滴下または噴霧して，被塗布体の上面に均一な塗膜を形成するスピンナ装置において，上記被塗布体の下面に上記液状物質が浸入しないように，少なくとも上記被塗布体の外周側面の下部が近接して囲まれていることを特徴とするスピンナ装置である。本発明はこのような特徴を有するので，上記液状物質が上記被塗布体の下面に浸入し，付着するのを防止することができる。従って，従来のスピンナ装置に比べ付着物を除去する必要がないため，生産性が著しく向上する。また，被塗布体上面の全面が利用できるので，被塗布体の利用率が向上する。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図２】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図３】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図４】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図５】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図６】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図７】
　本発明の一実施例を説明するための図である。
　【図８】
　従来例を説明するための図である。
　【符号の説明】
　１…被塗布体　　　　　　　２…スピンナヘッド
　２ａ…環状突起部　　　　　３…円錐傘
　４…コーターハウス　　　　５…回転軸
　６…排気口　　　　　　　　７…ガードリング
　７ａ…溝　　　　　　　　　７ｂ…環状突起部
　８…円筒　　　　　　　　　９…エア吹き出し口
　１０…エア供給口　　　　　１１…液状物質