【事件の表示】
　特許第２９４２４１９号「レーザ加工装置、レーザ発振器およびレーザ加工方法」の請求項１ないし７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９４２４１９号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２９４２４１９号発明は、平成４年９月３０日の出願であって、平成１１年６月１８日に特許の設定登録がなされ、その後、日本電気株式会社より請求項１ないし７に係る特許について異議の申立てがなされ、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月２５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
　訂正請求は、願書に添付した明細書（以下「特許明細書」という。）を訂正請求書に添付した訂正明細書（以下「訂正明細書」という。）のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正の内容は次のとおりのものである。
　ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１の記載を、
「　【請求項１】　　レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、
　３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を選択して出力するレーザ発振器と、
　前記被照射体上における前記紫外光の照射位置を示すためのガイド光を出射する照明光源と、
　前記照明光源より出射されたガイド光と前記紫外光とを合成する合成部と、
　前記合成部により合成された前記紫外光及び前記ガイド光のビーム形状を変化させる絞りと、
　前記レーザ発振器の出力側に、前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、
　前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成することを特徴とするレーザ加工装置。」
と訂正する。
　イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３を、上記請求項２の削除に伴い、項数を繰り上げて新請求項２として、
「【請求項２】　請求項１に記載のレーザ加工装置において、
　前記レーザ発振器が固体レーザと、前記固体レーザの出力を前記顕微鏡部の光学系を透過し得る紫外光に変換する波長変換素子と、前記紫外光の波長が３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲の波長のみを選択する選択素子とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。」と訂正する。
　エ．訂正事項ｄ　
　特許請求の範囲の請求項４〜７を削除する。
　オ．訂正事項ｅ
　特許明細書の段落【０００８】の記載を、
「　【課題を解決するための手段】
　本発明では上記課題を解決するために、レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を選択して出力するレーザ発振器と、前記被照射体上における前記紫外光の照射位置を示すためのガイド光を出射する照明光源と、前記照明光源より出射されたガイド光と前記紫外光とを合成する合成部と、前記合成部により合成された前記紫外光及び前記ガイド光のビーム形状を変化させる絞りと、前記レーザ発振器の出力側に、前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成することを特徴とするレーザ加工装置が、提供される。」と訂正する。　
　カ．訂正事項ｆ
　特許明細書の段落【００１９】の第１行目に記載された「なお、上記の決像レンズ３１ｂ」とあるのを、
「なお、上記の決像レンズ３１ａ」と訂正する。　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　訂正事項ａについては、特許明細書の請求項１において、「３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を出力するレーザ発振部」を「３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を選択して出力するレーザ発振器」に、「紫外光及びガイド光のビーム形状を変化させる絞り」を「合成部により合成された紫外光及びガイド光のビーム形状を変化させる絞り」に、「前記レーザ発振部の出力側に、紫外光とガイド光とを透過する光学系を有し、絞りにより決められた前記紫外光及びガイド光のビーム形状が前記被照射体上に結像するように構成した顕微鏡部」を「前記レーザ発振器の出力側に、前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部」に、それぞれ限定し、さらに、レーザ発振部と顕微鏡部とを、「前記レーザ発信器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成すること」に特定するものであるから、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。また、これらの限定は、それぞれ、特許明細書の段落【００１３】の第９〜１１行目、同【００１４】の第３〜５行目、同【００１４】と同【００１５】の第１〜３行目と同【００１６】と図１、及び同【００２７】の第３〜６行目の各記載に基づくものであり、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　訂正事項ｂおよびｄについては、特許請求の範囲の請求項２、及び請求項４ないし７を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　訂正事項ｃについては、特許請求の範囲の請求項３に係る発明の「レーザ発振器」を、訂正後の請求項１に係る発明の「レーザ加工装置」の従属請求項に訂正し、新請求項２に繰り上げたものであって、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　訂正事項ｅについては、訂正事項ａないしｃによる特許請求の範囲の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　訂正事項ｆについては、　誤記の訂正を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
(3)むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　本件特許に対し、特許異議申立人日本電気株式会社は、甲第１号証（「レーザマスクリペア　ＳＬ４５４Ａ」の製品カタログ、１９８６年発行）を提出し、請求項１ないし７に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきものである旨主張している。
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められる結果本件の特許請求の範囲は、請求項１ないし２だけとなり、本件の請求項１ないし２に係る発明は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定される上記２．のア及びウに示す「レーザ加工装置」である。
（３）引用刊行物記載の発明
　当審が通知した取消しの理由で引用した刊行物１（「レーザマスクリペア　ＳＬ４５４Ａ」の製品カタログ、１９８６年発行、特許異議申立人の提出した甲第１号証）には、
　レーザマスクリペア装置において、スリット照明用ファイバーから発せられたスリット光と、レーザ光とが光路を重ね合わされて可変スリットを通過し、該可変スリットを透過したスリット光と、レーザ光が次の光学部品を通じて分離して、スリット光は次の２つの光学部品を通して、レーザ光は次の一つの光学部品を通して、それぞれ独立した光路に沿って透過し、そして、次の光学部品を通して再び重ね合わされ、対物レンズを通じてホトマスク上に結像していること（第５頁、光学系・ブロックダイアグラム参照）、レーザ光は、波長０．２６６μｍであること（第７頁、「仕様」参照）が記載されており、
　また、同刊行物２（特開昭６１−２６９９９２号公報）には、
「被処理物にレーザ処理用の赤外または紫外領域のレーザ光を投射し得るレーザ光学系と、前記レーザ光と同一光軸上に配置してアライメント用の白色光を照射し得るアライメント光学系と、前記レーザ光学系とアライメント光学系の両光学系に対して共通に配置しかつ両光学系の光の色収差を補正してなる平行光収束用光学系とを備えることを特徴とするレーザ処理装置。」（特許請求の範囲第５項）、「前記レーザ光学系１１はＹＡＧレーザ、エキシマレーザ、Ｎ２レーザ等のレーザ源２０を有し、ここから紫外域（本例では３５０ｎｍの波長）のレーザ光を射出でき、」（第３頁右上欄第７〜１０行目）、及び「白色ランプ２４からの白色光をコンデンサレンズ２５、ハーフミラー２６にて光軸上に導き、ビームスプリッタ２２および対物レンズ２３を経てダミーの被処理物上に結像させる。また、この時レーザ源２０からレーザ光を射出し、可変アパーチャ２１，ビームスプリッタ２２更に対物レンズ２３を経て前記ダミーの被処理物上に投射させる。」（第３頁右下欄第１８行目〜第４頁左上欄第５行目）と記載されている。
(4) 対比・判断
ア．請求項１に係る発明について
　請求項１に係る発明と刊行物１及び刊行物２に記載された発明とを対比すると、両刊行物に記載されたものは、請求項１に係る発明を特定する事項である、「絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部」を備えておらず、当該事項により本件請求項１に係る発明は、「紫外光とガイド光を合成し、絞りでそのビーム形状を変化させるようにしたので、ガイド光によって被照射体上のビーム形状を確認してから、紫外光によって実際の加工を行うことができるので、紫外光での微細加工を精度良く行うことができる。」という明細書に記載の顕著な効果を奏するものであり、請求項１に係る発明が上記刊行物１及び刊行物２に記載されたものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
イ．請求項２に係る発明について
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明を更に限定したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記刊行物１及び刊行物２に記載されたものから容易に発明をすることができたものとはいえない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては請求項１ないし２に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に請求項１ないし２に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月１日（２０００．１１．１）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許第２９４２４１９号発明の明細書（以下「明細書」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり、すなわち、次の各訂正事項ア〜オのとおり訂正する。
　ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載を、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【請求項１】　　レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、
　３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を選択して出力するレーザ発振器と、
　前記被照射体上における前記紫外光の照射位置を示すためのガイド光を出射する照明光源と、
　前記照明光源より出射されたガイド光と前記紫外光とを合成する合成部と、
　前記合成部により合成された前記紫外光及び前記ガイド光のビーム形状を変化させる絞りと、
　前記レーザ発振器の出力側に、前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、
　前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成することを特徴とするレーザ加工装置。」と訂正する。
　イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
　ウ．訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の請求項３に係る記載を、特許請求の範囲の減縮、及び明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【請求項２】　請求項１に記載のレーザ加工装置において、
　前記レーザ発振器が固体レーザと、前記固体レーザの出力を前記顕微鏡部の光学系を透過し得る紫外光に変換する波長変換素子と、前記紫外光の波長範囲が３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲の波長のみを選択する選択素子とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。」と訂正する。
　エ．訂正事項ｄ
　特許請求の範囲の請求項４〜７を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
　オ．訂正事項ｅ
　特許明細書の段落番号【０００８】の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、
「　【課題を解決するための手段】
　本発明では上記課題を解決するために、レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を選択して出力するレーザ発振器と、前記被照射体上における前記紫外光の照射位置を示すためのガイド光を出射する照明光源と、前記照明光源より出射されたガイド光と前記紫外光とを合成する合成部と、前記合成部により合成された前記紫外光及び前記ガイド光のビーム形状を変化させる絞りと、前記レーザ発振器の出力側に、前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成することを特徴とするレーザ加工装置が、提供される。」と訂正する。
　カ．訂正事項ｆ
　特許明細書の段落番号【００１９】の第１行目に記載された「なお、上記の決像レンズ３１ｂ」とあるのを、誤記の訂正を目的として、
「なお、上記の決像レンズ３１ａ」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
レーザ加工装置
（５７）【特許請求の範囲】
　　　【請求項１】　レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、
　３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を
選択して
器
　前記被照射体上における前記紫外光の照射位置を示すためのガイド光を出射する照明光源と、
　前記照明光源より出射されたガイド光と前記紫外光とを合成する合成部と、
　
前記合成部により合成された
　前記レーザ発振
器
前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、
　
前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成すること
　　　【請求項２】　
請求項１に記載のレーザ加工装置において、
　前記レーザ発振器が固体レーザと、前記固体レーザの出力を前記顕微鏡部の光学系を透過し得る紫外光に変換する波長変換素子と、前記紫外光の波長が３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲の波長のみを選択する選択素子とを備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明はレーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置に関し、特に液晶ディスプレイ用カラーフィルタの欠陥修正など各種電子部品に微細加工を施したり、生体に種々の処理を施すために使用されるレーザ加工装置に関する。
　【０００２】
　　【従来の技術】
　近年、紫外レーザ加工は、半導体分野を初め、各分野への応用が広がりつつある。この紫外レーザ加工は、熱による加工ではなく、分子の結合を切断するアブレーション加工であるため、有機材料、例えば半導体やカラーフィルタのオーバーコート、半導体多層膜の樹脂膜などに微細な穴加工を施す場合の有効な手段としても活用されている。そのレーザ発振器としては、エキシマレーザ（例えばＫｒＦレーザ）が使用されることが多く、このエキシマレーザによって有機材料等に対する質の高い加工が行われる。
　【０００３】
　一方、上記の様な微細なレーザ加工を行う場合は、レーザ照射位置の精度を上げる必要があるため、通常、固体レーザと顕微鏡とを一体化したレーザ加工装置が使用される。ところが、固体レーザが出力するレーザ光（基本波）は、近赤外の波長を持つため熱による加工となり、上記の有機材料などに対する加工には適さない。したがって、紫外レーザ加工においても、そのレーザ照射位置の精度を上げようとすると、エキシマレーザと顕微鏡を一体化したレーザ加工装置を使用することが要請される。
　【０００４】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、エキシマレーザは装置が大きいため、顕微鏡と一体に構成することは困難である。
　【０００５】
　また、顕微鏡と一体に構成しようとすると、顕微鏡に可視光から紫外光までを透過する光学系を使用する必要がある。３００ｎｍ程度の紫外光までは、その光学系をレンズ設計や光学材料、コーティング等において変更すれば対応することができるが、３００ｎｍ以下の紫外光に対しては、その光学系に溶融石英などの高価な材料を使わなければならなくなり、可視光から紫外光までを透過する光学系を構成するのが困難になる。
　【０００６】
　さらに、エキシマレーザは、装置が大型化するだけでなく、特殊なガスを消費するのでその取扱いも容易でなく、集光光学系を含め多大な設備投資が必要になる。このように、紫外光を用いて微細加工を精度良く行おうとする場合、エキシマレーザそのものの使用に限界があった。
　【０００７】
　本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、簡単な設備と低コストで、紫外光での微細加工を精度良く行うことができるレーザ加工装置を提供することを目的とする。
　【０００８】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明では上記課題を解決するために、レーザ光を被照射体に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置において、３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を
選択して
器
前記合成部により合成された
器
前記照明光源と前記絞りを設け、更に、前記絞りにより決められたビーム形状の前記紫外光及び前記ガイド光を、単一の光路に沿って透過させると共に、前記被照射体上に結像させる光学系を有する顕微鏡部とを備え、前記レーザ発振器と前記合成部と前記絞りを有するレーザ発振部と、前記顕微鏡部とを一体に構成すること
　【０００９】
　　【作用】
　紫外光及びガイド光は合成部で合成され、絞りでビーム形状を加工形状に対応して変えられる。紫外光とガイド光は顕微鏡部によってそのビーム形状が被照射体上に結像するように集光される。
　【００１０】
　そして、ガイド光によって被照射体上のビーム形状を確認し、紫外光によって加工を行う。
　【００１２】
　　　【実施例】
　以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
　図１は本発明のレーザ加工装置の構成を示す図である。図において、レーザ加工装置は、３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長の紫外光を出力するレーザ発振部１、及びレーザ照射位置での被照射体４を観察すると共に加工像をモニタする機能を有する顕微鏡部２から構成される。なお、ここでは、被照射体４にポリイミドフィルムを用いそのポリイミドフィルムに穴加工を施す場合について説明する。
　【００１３】
　レーザ発振部１の紫外レーザ発振器１００は、全反射ミラー１０１、発振媒体であるＮｄ：ＹＡＧロッド１０２、ポラライザ１０３、Ｑスイッチ素子１０４及び出力ミラー１０５から成るＹＡＧレーザ構成部分において、基本波である１０６４ｎｍ波長のレーザ光を出力する。その基本波は、第１の波長変換素子であるＫＴＰ１０６で２倍波（第２次高調波）の５３２ｎｍ波長のレーザ光に変換され、さらに、第２の波長変換素子であるＢＢＯ１０７で３倍波（第３次高調波）の３５５ｎｍ波長のレーザ光に変換される。この３倍波は紫外域のレーザ光である。波長変換素子１０７からは上記の基本波、２倍波及び３倍波が同時に出射され、紫外透過フィルタ１０８に入射する。紫外透過フィルタ１０８は、その基本波、２倍波及び３倍波のうち３倍波のみを通過させ、その３倍波（以下「紫外光」という）はダイクロイックミラー１３に入射する。
　【００１４】
　レーザ発振部１には、さらに、上記の紫外レーザ発振器１００の出射側に照明光源１１及び絞り１４が設けられている。照明光源１１のガイド光は、集光レンズ１２で集光された後、上記のダイクロイックミラー１３に入射する。ダイクロイックミラー１３は、入射してきた紫外光とガイド光を合成して絞り１４に出射する。絞り１４は、所望の加工形状を得るべく紫外光のビーム形状を変化させるためのものである。
　【００１５】
　レーザ発振部１の後段にはダイクロイックハーフミラー２１が設けられる。このダイクロイックハーフミラー２１は、紫外光及びガイド光を透過し、その紫外光及びガイド光は顕微鏡部２の本体部分２Ｂに入射する。また、ダイクロイックハーフミラー２１は被照射体４の加工像をモニタ側に導く。すなわち、被照射体４の加工像は、ダイクロイックハーフミラー２１で反射され、リレーレンズ２２ａ、折り返し用ミラー２３及びリレーレンズ２２ｂを経由してテレビ観察用または写真撮影用のカメラ２４に導かれる。このダイクロイックハーフミラー２１からカメラ２４までは、顕微鏡部２のモニタ部分２Ａを構成している。
　【００１６】
　顕微鏡部２の本体部分２Ｂに入射した紫外光及びガイド光は、被照射体４の像を一旦結像させるための結像レンズ３１ａ、レーザ光路調整のためのシリンダガラス３２、結像レンズ３１ｂ、照明用ハーフミラー３３及び対物レンズ３４を経由して被照射体４に照射される。そのときの被照射体４上での結像は、絞り１４でのビーム形状を縮小した形状となり、その形状でレーザ加工が行われる。
　【００１７】
　また、顕微鏡部２には、被照射体４を拡大して肉眼で観察するための接眼レンズ３７が設けられている。接眼レンズ３７で観察する場合は、上記のシリンダガラス３２は光路から外され、その代わりにダハブリズム３８が光路に入る。この状態で通常の顕微鏡と同様の構成となり、レーザ発振部１と顕微鏡部２のモニタ部分２Ａは、光路から遮断される。したがって、接眼レンズ３７での観察時には、レーザを発振しても被照射体４や接眼レンズ３７にレーザ光が達することがなく眼の安全が確保される。逆に、レーザ加工状態では、ダハプリズム３８が光路から外れシリンダガラス３２が光路に入るため、接眼レンズ３７は使用できない。したがって、レーザ加工時にレーザ光が接眼レンズ３７から出ることはなく、この点でも同様に眼の安全が確保される。
　【００１８】
　被照射体４の像は、ダハプリズム３８及び結像レンズ３１ｃを経由して接眼レンズ３７に導かれる。この接眼レンズ３７で被照射体４を観察する場合、観察用照明光源３６の照明光が用いられる。観察用照明光源３６の照明光はケーラー照明系３５、照明用ハーフミラー３３及び対物レンズ３４を経由して被照射体４を照明する。
　【００１９】
　なお、上記の結像レンズ
３１ａ
　【００２０】
　上記のレーザ加工装置において、ダイクロイックミラー１３から、ダイクロイックハーフミラー２１、結像レンズ３１ａ、シリンダガラス３２、結像レンズ３１ｂ、照明用ハーフミラー３３を経て対物レンズ３４に至る光学系は、紫外光と可視光（ガイド光）の双方が合成されて透過する。このため、これらの光学系は、紫外光と可視光の両波長での透過率の向上、収差の減少、耐レーザパワー密度の向上等を考慮して設計され、その設計に基づいてレンズの曲率半径や光学材料、コーティング条件等が決定されている。このような紫外光と可視光の双方を透過する光学系としては、例えば石英を主成分とする紫外光透過型ガラスから成る光学部材に、高屈折率物質（ＣｅＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＨｆＯ２、ＬａＦ３等）と、低屈折率物質（ＳｉＯ２、ＡｌＦ３、ＭｇＦ２等）とを交互に積層した誘電体多層膜を被着させて形成したものがある。
　【００２１】
　この紫外光とガイド光の内、紫外光は、被照射体４に照射されて被照射体４に微細な穴加工を施す。一方、ガイド光は、上述したように、紫外光と同時に被照射体４に照射される。そのガイド光による被照射体４の像はダイクロイックハーフミラー２１等を経由してカメラ２４に導かれる。すなわち、レーザ加工時にカメラ２４も同時に使用することができ、そのカメラ２４にモニタを接続することで、被照射体４の加工像をリアルタイムにかつレーザ光と同軸で観察することができる。したがって、操作性に優れたレーザ加工装置となる。また、ガイド光は、紫外光と同様に、絞り１４で所望の加工形状に形成されて被照射体４の面に結像する。結像した絞り像は、カメラ２４で観察することができるので、レーザの照準光として利用することができ、この点でも、レーザ加工時の操作が非常に容易になる。
　【００２２】
　図２はポリイミドフィルムの分光特性を示す図である。図において、横軸はレーザ光の波長λを、縦軸は透過率Ｔを示す。ポリイミドフィルムは、レーザ光の波長λが略４００ｎｍ以下では、透過率Ｔが０％となるため紫外光を良く吸収し、略４００ｎｍ以上では透過率Ｔが８０％近くまで上がるため可視光や赤外光を透過してしまう。すなわち、ポリイミドフィルムには、可視光や赤外光に比べて紫外光の方が効率良く吸収される。したがって、ポリイミドフィルムにレーザ加工を施す場合は、紫外光を用いた方が、良好な加工が行われる。
　【００２３】
　また、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの３倍波である３５５ｎｍの波長での透過率Ｔは、その４倍波（波長２６６ｎｍ）やＫｒＦエキシマレーザ（波長２４８ｎｍ）の透過率Ｔと同じく０％である。しかも、波長が３００ｎｍ以下になると顕微鏡部２の各光学系に高価な溶融石英等を用いて対応する必要があるのに対し、波長が３００ｎｍ以上の紫外光では、その光学系に設計レベルでの変更を加えるだけで対応することができる。
　【００２４】
　すなわち、３００ｎｍ以上の紫外光でレーザ加工を施すようにすれば、簡単に低コストで顕微鏡部２の各光学系を構成することができると共に、３００ｎｍ以下の波長のレーザ光で行うのと同様の精度で微細なレーザ加工を行うことができる。
　【００２５】
　図３はポリイミドフィルムに穴加工を施した場合を示す図であり、（Ａ）はＮｄ：ＹＡＧレーザの３倍波３５５ｎｍの紫外光による加工例を、（Ｂ）はＮｄ：ＹＡＧレーザの２倍波５３２ｎｍの緑色可視光での加工例をそれぞれ示す。ポリイミドフィルム４０の厚さは約１０μｍである。図３（Ａ）に示すように、ポリイミドフィルム４０に紫外光で穴加工を施すと、穴径が１５μｍの真円に近い穴４１ａが得られた。一方、図３（Ｂ）に示すように、ポリイミドフィルム４０に可視光で穴加工を施すと、穴径は少し大きくなり２２μｍの穴４２ａが得られた。その形状も真円から少し歪んだ形状となる。図３（Ａ）の穴４１ａの周囲には、加工時の熱によると思われる影部４１ｂが発生するが、その影部４１ｂは図３（Ｂ）の影部４２ｂに比べてはるかに小さい程度で収まっている。
　【００２６】
　これは、紫外光ではアブレーション加工となるため、周囲に熱影響を与えることは少ないが、可視光や赤外光では熱加工となるため、周囲に熱による影響が出てしまうからである。なお、穴４１ａ及び４２ａの内側に形成されている円４１ｃ及び４２ｃは、観察時の透過光の干渉によって発生したものである。
　【００２７】
　このように、ポリイミドフィルムのような有機材料等にレーザ加工を行う場合は、可視光や赤外光を使用するよりも、吸収効率が良くしかもアブレーション加工となる紫外光を使用する方が良好な加工を施すことができる。この紫外光によるレーザ加工において、本実施例では、紫外光の光源として小型なＮｄ：ＹＡＧレーザを使用するので、レーザ発振部１と顕微鏡部２とを一体に構成することができる。また、顕微鏡部２に可視光から紫外光までを透過する光学系を使用するので、顕微鏡部２を用いて紫外光を集光し被照射体に照射することができると共に、可視光による照射位置のモニタ観察や拡大像の肉眼による観察を行うことができる。
　【００２８】
　この紫外光の波長は３００ｎｍ〜４００ｎｍであるために、顕微鏡部２の光学系に溶融石英などの高価な材料を使うことなく、設計レベルでの変更を加えるだけで、紫外光と可視光の両方を透過するようにその光学系を構成することができる。
　【００２９】
　すなわち、紫外光を出力するレーザ発振部１と顕微鏡部２とを簡単な設備と低コストで一体に構成することができ、紫外光での微細加工を精度良く行うことができる。
　【００３０】
　上記の説明では、ポリイミドフィルムに紫外光を照射して加工を行う場合について説明したが、他の有機材料や各種電子部品に対して紫外光を照射して加工を行うこともできる。
　【００３１】
　　【発明の効果】
　以上説明したように本発明では、紫外光の光源として小型なレーザ発振器を使用し、レーザ発振器と顕微鏡部を、一体に構成したので、レーザ加工装置を小型化できる。
　【００３２】
　また、紫外光とガイド光を合成し、絞りでそのビーム形状を変化させるようにしたので、ガイド光によって被照射体上のビーム形状を確認してから、紫外光によって実際の加工を行うことができるので、紫外光での微細加工を精度良く行うことができる。
　【００３３】
　さらに、紫外光を３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長としたので、顕微鏡部の光学系に溶融石英などの高価な材料を使うことなく、通常の顕微鏡を使用でき、安価なレーザ加工装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明のレーザ加工装置の構成を示す図である。
　　【図２】
　ポリイミドフィルムの分光特性を示す図である。
　　【図３】
　ポリイミドフィルムに穴加工を施した場合を示す図であり、（Ａ）はＮｄ：ＹＡＧレーザの３倍波３５５ｎｍの紫外光による加工例を、（Ｂ）はＮｄ：ＹＡＧレーザの２倍波５３２ｎｍの緑色可視光での加工例をそれぞれ示す。
　　【符号の説明】
　１　レーザ発振部
　２　顕微鏡部
　２Ａ　顕微鏡部のモニタ部分
　２Ｂ　顕微鏡部の本体部分
　２Ｃ　顕微鏡部の接眼観察部分
　４　被照射体（ポリイミドフィルム）
　１１　照明光源
　２１　ダイクロイックハーフミラー
　２４　カメラ
　３２　シリンダガラス
　３３　照明用ハーフミラー
　３４　対物レンズ
　３６　観察用照明光源
　３７　接眼レンズ
　３８　ダハプリズム
　１００　紫外レーザ発振器
　１０２　Ｎｄ：ＹＡＧロッド