【事件の表示】
　特許第３０１９０７５号「感光性フィルム、感光性樹脂層の積層方法感光性樹脂層積層基板及び感光性樹脂層の硬化方法」の請求項１ないし１７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０１９０７５号の請求項１ないし１７に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第３０１９０７５号（平成１０年９月１６日出願〔平成９年９月１９日優先権主張〕、平成１２年１月７日設定登録）の請求項１ないし１７に係る発明（以下「本件発明１」ないし「本件発明１７」という。）は、それぞれ、その特許請求の範囲の各請求項に記載された以下のとおりのものである。
「【請求項１】 支持フィルム（Ａ）上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）を形成し、さらにその上に保護フィルム（Ｃ）を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム（Ｃ）中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層（Ｂ）の膜厚が５〜３０μｍであることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項２】 感光性樹脂層（Ｂ）の感光性樹脂組成物が、（ａ）アクリル酸又はメタクリル酸及びこれらのアルキルエステルを構成モノマーとして共重合してなるバインダーポリマー、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマー及び（ｃ）光重合開始剤を含有してなる組成物である請求項１記載の感光性フィルム。
【請求項３】 感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂光層（Ｂ）と支持フィルム（Ａ）の接着強度が、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂光層（Ｂ）と保護フィルム（Ｃ）の接着強度よりも大きい請求項１又は２記載の感光性フィルム。
【請求項４】 保護フィルムがポリプロピレンフィルムである請求項１、２又は３記載の感光性フィルム。
【請求項５】 感光性フィルムがメタルエッチング用である請求項１、２、３又は４記載の感光性フィルム。
【請求項６】 支持フィルム（Ａ）の膜厚が１２〜２５μｍである請求項１、２、３、４又は５記載の感光性フィルム。
【請求項７】 保護フィルム（Ｃ）の膜厚が５〜５０μｍである請求項１、２、３、４、５又は６記載の感光性フィルム。
【請求項８】 感光性樹脂層（Ｂ）の粘度（３０℃）が１５〜５０MPa・sである請求項１、２、３、４、５、６又は７記載の感光性フィルム。
【請求項９】 （ａ）バインダーポリマーの重量平均分子量が２０，０００〜３００，０００である請求項２、３、４、５、６、７又は８記載の感光性フィルム。
【請求項１０】 （ａ）バインダーポリマーのカルボキシル基含有率（使用する全モノマーに対するカルボキシル基を有するモノマーの割合）が１２〜４０重量％である請求項２、３、４、５、６、７、８又は９記載の感光性フィルム。
【請求項１１】 （ａ）バインダーポリマーがメタクリル酸を必須の構成モノマーとする請求項２、３、４、５、６、７、８、９又は１０記載の感光性フィルム。
【請求項１２】 （ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーがビスフェノールＡポリオキシアルキレンジアクリレート又はビスフェノールＡポリオキシアルキレンジメタクリレートを必須成分とする請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０又は１１記載の感光性フィルム。
【請求項１３】 （ｃ）光重合開始剤が２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体を必須成分とする請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１又は１２記載の感光性フィルム。
【請求項１４】 （ａ）成分、（ｂ）成分及び（ｃ）成分の（ａ）成分及び（ｂ）成分の総量１００重量部に対する配合量が、（ａ）成分が４０〜８０重量部、（ｂ）成分が２０〜６０重量部及び（ｃ）成分が０．１〜２０重量部である請求項２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２又は１３記載の感光性フィルム。
【請求項１５】 請求項１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、１１、１２、１３又は１４記載の感光性フィルムを、保護フィルム（Ｃ）を除去しながら、基板上に感光性樹脂層が密着するようにしてラミネートすることを特徴とする感光性樹脂層の積層方法。
【請求項１６】 請求項１５記載の積層方法により感光性樹脂層が積層された感光性樹脂層積層基板。
【請求項１７】 請求項１６記載の感光性樹脂層積層基板を露光することを特徴とする感光性樹脂層の硬化方法。」
　
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人 旭化成工業株式会社 は、証拠として甲第１，２号証及び参考資料１〜２５を提出し、本件発明１ないし１７は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、特許を取り消すべきものである旨主張している。
　
３．甲号証等記載の発明
　特許異議申立人の提出した甲第１，２号証及び参考資料１〜６，１６には、以下の事項が記載されている。
［甲第１号証］（特開平６−８３０６６号公報）
「【請求項１】 二軸延伸ポリオレフィンフイルム（Ａ層）の少なくとも片面に、粗面層（Ｂ層）を積層してなる積層フイルムからなり、該粗面層（Ｂ層）は１μｍ以上の粗さ密度ＰＣ１が１０個／ｍｍ以上であり、該積層フイルムは、複屈折率が０．００２〜０．０１０の範囲で、トータルヘイズが１０％以上で、ゲルおよびフィッシュアイが５個／１００ｍｍ2 以下であることを特徴とする感光製版用フォトレジストカバーフイルム。」（特許請求の範囲）
「カバーフイルムとしては、厚みむらが小さくて平面性が良く、かつ異物突起（ゲルやフィッシュアイ）の少ないものが好ましい。」（【０００３】）
「本発明の目的は、粗面で厚みむらが小さくて平面性が良く、異物突起（ゲルやフィッシュアイ）が少なく、フォトレジストからの剥離性が良好な感光製版用フォトレジストカバーフイルムを提供することにある。」（【０００７】）
「本発明の感光製版用フォトレジストカバーフイルムの、ゲルおよびフィッシュアイが５個／１００ｍｍ2 以下であることが必要である。ゲルおよびフィッシュアイが５個／１００ｍｍ2 以上では、フォトレジストと貼り合わす際に大きな空気のかみ込みができ、ＤＦＲ（注．ドライフイルムフォトレジスト）としたときに外観上の欠点となる。」（【００１９】）
「該Ａ層と粗面層（Ｂ層）の２層積層フイルムとした場合には、粗面層（Ｂ層）がフォトレジスト側になるように貼ることによって、フォトレジストとカバーフイルムとの間に形成される微小空間に入り込んだ空気層により、巻芯部のフォトレジストが酸欠状態となり、自己架橋するのを防止することができる。またフォトレジストに貼る際に大きな空気のかみ込みによる外観的な欠点が起こらない。」（【００２１】）
「塗布し乾燥したフォトレジストを覆うように本発明のフイルムをロール圧着して、ロール状に長巻する。その後、感光製版が使用される場合には、カバーフイルムをフォトレジストから剥離しながら基盤にフォトレジストを接着させる。このとき、本発明の感光製版用フォトレジストカバーフイルムは、フォトレジストからの剥離性が良好で、フォトレジスト表面にさざ波状の傷がつかない。」（【００３２】）
［甲第２号証］（「化学工業日報」平成８年９月６日発行、３頁、「ゲルフリー型増産」の記事）
「タマポリ（本社・東京都豊島区南池袋、松木正通社長）は、ゲルフリーの低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）製フィルムを増産する。フォトレジストの保護用や各種電子材料のマスキングフィルム向けに需要を伸ばしているもので、均一な厚みと清浄な品質に評価が定着した。」（第１段）
「製品の最終用途は食品包装や産業用など多岐にわたるが、とくにクリーン度が求められる電子材料用には早くから技術対応しており、ゲルフリーフィルムとして供給してきた。同フィルムはインフレーションによるＬＤＰＥの単層。仕上がり状態はゲルや粒子が微細で、フィッシュアイがなく、厚み精度も高い。」（第５〜６段）
［参考資料１］（特開平４−２０９６４１号公報）
「プロピレン重合体組成物」（発明の名称）
「【発明が解決しようとする課題】これら３−メチル−１−ブテン重合体を核剤として用いる方法は、確かに剛性、透明性に関しては比較的改良されているが、得られた組成物を成形品とした時、３−メチル−１−ブテン重合体によるフィッシュアイが発生するため成形品の外観が不良となるなどの問題があった。」（【０００６】）
「以下の実施例における物性値は下記の方法にて測定した。
　…
３）フィッシュアイの数
厚み３０μの二軸延伸フイルム１５００ｃｍ2 中の直径０．０３ｍｍ以上のフィッシュアイの数を目視によって測定した。」（【００１７】【００１８】）
「実施例−１
　…フィッシュアイの数は５３ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００２０】【００２２】）
「実施例−２
　…フィッシュアイの数は５８ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００２３】【００２４】）
「実施例−３
　…フィッシュアイの数は４３ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００２５】）
「実施例−４
　…フィッシュアイの数は９２ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００２６】【００２７】）
「比較例−１
　…フィッシュアイの数は４５１ケ／１５６０ｃｍ2 であった。」（【００２８】）
「比較例−２
　…フィッシュアイの数は２００ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００２９】【００３０】）
「比較例−３
　…フィッシュアイの数は８８ケ／１５００ｃｍ2 であった。」（【００３１】）
「【発明の効果】本発明の重合体組成物は透明性及び成形品の外観に優れており各種の包装材、その他の用途に使用でき実用的効果は大きい。」（【００３２】）
［参考資料２］（特開昭６４−３１８４６号公報）
「プロピレン重合体フイルム」（発明の名称）
「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、プロピレン重合体フイルムに関し、より詳しくは、ゲル、フィッシュアイの少ない、耐寒性、低温耐衝撃性、アンチブロッキング性に優れた単層または多層のプロピレン重合体フイルムに関する。」（１頁右下欄）
「〔従来の技術〕
　プロピレン重合体系フイルムは剛性が高く、透明性が良好であり、かつ安価であるので、種々の包装材料に使用されていた。しかし、これらは耐寒性および低温耐衝撃性に劣り、用途が限定されている。
　これらの欠点を改良するために、耐衝撃性ブロックプロピレン重合体として市販されているエチレン−プロピレン共重合体組成物を使用することが考えられるが、従来のブロックプロピレン重合体組成物を使用したものはゲルが多く、商品価値の点で問題があった。」（１頁右下欄）
「なお表中の物性の測定は以下のように行った。
フィッシュアイ：竹中システム機器(株)製、欠点検出装置（タイプＴＤ−２８２改良型）を用いてフィルム１，０００ｃｍ2 あたりの０．２ｍｍ以上のフィッシュアイを測定した。」（６頁右上欄）
［参考資料３］（特開平５−１１７３１７号公報）
「オレフイン重合体の製造方法」（発明の名称）
「【産業上の利用分野】本発明は、気相重合プロセスにおいて遷移金属当りの活性が極めて高い固体触媒成分を用い、フィッシュアイ（加工製品化された重合体の外観をそこなうゲル）が少なく、嵩密度が高く、微粉の少ない流動性良好なオレフィン重合体を製造する方法に関するものである。」（【０００１】）
「また、製品の品質面でフィッシュアイは、加工品の外観、物性を悪化させるためできるだけ少ないことが望ましい。」（【０００２】）
「（Ｄ）フィッシュアイの観察
　（Ｃ）で得られた重合体を小型インフレーション加工機により、１９０℃でフィルム加工し厚さ３０μｍのフィルムにしてフィッシュアイを観察した。フィルム１ｍ2 当り、直径０．２ｍｍ以上のフィッシュアイをカウントしたところ、３６個であり、この価は製品規格上問題のないものであった。」（【００３１】）
［参考資料４］（特開平６−２９７５６５号公報）
「カバーフィルム」（発明の名称）
「【産業上の利用分野】本発明は、カバーフィルム、特に感光製版用フォトレジストカバーフィルムに関する。更に詳しくは、柔軟で、粗面で平面性に優れ、フォトレジストとの適度な粘着性と剥離性を有した感光製版用フォトレジストカバーフィルムに関するものである。」（【０００１】）
「【従来の技術】従来、感光製版用フォトレジストカバーフィルムとして、ポリエチレンやポリプロピレンフィルムが用いられている（特開平１−１７９１５４号）。
　カバーフィルムとしては、厚みむらが小さくて平面性が良く、かつ異物突起（ゲルやフィッシュアイ）の少ないものが好ましい。」（【０００２】【０００３】）
「（１）厚みむらな小さくて平面性がよく、ゲルやフィッシュアイなどの突起異物が少なくて、ＤＦＲとしたときの外観がよい。」（【００７６】）
［参考資料５］（特開平４−１９５０４９号公報）
「光重合性組成物及びこれを用いた積層体」（発明の名称）
「〔産業上の利用分野〕
　本発明は、光重合性組成物及びこれを用いた積層体（以下感光性フィルムと称する。）に関する。」（１頁右下欄）
「光重合性組成物層の厚みは、用途により異なるが、通常、乾燥後の厚みで１０〜１００μｍ程度である。」（５頁左下欄）
［参考資料６］（特開平８−３６２５８号公報）
「感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法」（発明の名称）
「【従来の技術】従来、精密加工業界、例えば、プリント配線板製造等において、めっき、エッチング等のためのレジスト形成や無電解めっきマスク、ソルダマスク等の永久マスク形成に、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の耐熱性の支持体フィルム上に感光層を形成した感光性エレメントを用いることはよく知られている。」（【０００２】）
「本発明の提案する感光性エレメントは、ポリプロピレンフィルム（ａ）上に、感光性樹脂組成物の層（ｂ）及び高伸長性の可撓性フィルム（ｃ）を順次形成することにより得られる。」（【０００８】）
「前記感光性樹脂組成物の層の厚さは、適用する凹凸基板への追従性の確保及び形成されるレジストパターンの解像性の点から１０〜１５０μｍであることが好ましい。」（【００１１】）
［参考資料１６］（特開平７−２５６８３２号公報）
「【請求項１】 支持フィルム（Ａ）と架橋硬化型樹脂層（Ｂ）と保護フィルム（Ｃ）とを順次積層してなる架橋硬化型樹脂組成物積層体であって、…、架橋硬化型樹脂層（Ｂ）の厚みが１〜３０μｍであることを特徴とする架橋硬化型樹脂組成物積層体。」（特許請求の範囲）
「【従来の技術】近年、プリント配線板作製用フォトレジストとして、架橋硬化型樹脂層を保護フイルムと支持フイルムとでサンドイッチ状に挟んだ構造の、いわゆるドライフイルムレジストが広く使用されている。」（【０００２】）
　
４．対比・判断
４．１．本件発明１について
　特許異議申立人は、本件発明１は、甲第１，２号証に記載された発明及び周知技術（参考資料１〜６，１６）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない旨主張している。
　甲第１号証には、異物突起（ゲルやフィッシュアイ）が少なく、ゲルおよびフィッシュアイが５個／１００ｍｍ2 以下である感光製版用フォトレジストカバーフイルムが開示されており、フォトレジストに貼る際に大きな空気のかみ込みによる外観的な欠点が起こらないこと、ゲルおよびフィッシュアイが５個／１００ｍｍ2 以上では、フォトレジストと貼り合わす際に大きな空気のかみ込みができ、ドライフイルムフォトレジストとしたときに外観上の欠点となることが、述べられている。
　したがって、本件発明１と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、両者は、
「支持フィルム上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層を形成し、さらにその上に保護フィルムを張りあわせた感光性フィルムにおいて、保護フィルム中に含まれるフィッシュアイ数が或る値以下である感光性フィルム」である点において一致しているが、次の２点で相違している。
（相違点１）
　本件発明１では、保護フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であるのに対し、甲第１号証においては、フィッシュアイの数は５個／１００ｍｍ2 以下すなわち５００００個／ｍ2以下であり、フィッシュアイの大きさについては明らかでない点。
（相違点２）
　本件発明１では、感光性樹脂層の膜厚が５〜３０μｍであるのに対し、甲第１号証においては、感光性樹脂層の膜厚は明らかでない点。
　ところで、甲第２号証の新聞記事には、タマポリ社がフォトレジストの保護用等に用いられるゲルフリーの低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）製フィルムを増産する旨報じられており、このフィルムの仕上がり状態は、「ゲルや粒子が微細で、フィッシュアイがなく、厚み精度も高い」と記載されている。
　しかし、このタマポリ社の低密度ポリエチレン製フィルムについて、「ゲルや粒子が微細で、フィッシュアイがなく、厚み精度も高い」とは、どの程度のものであるか、甲第２号証の新聞記事には具体的な記載はない。そして、この時期にタマポリ社によって増産された上記の低密度ポリエチレン製フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であることは立証されていない。（逆に、本件特許明細書では、市販されていたタマポリ社製ポリエチレンフィルムＮＦ−１３は、直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が約１０００個／ｍ2〔比較例１〕であるとされている。）また、甲第２号証には、感光性フィルムの感光性樹脂層の膜厚についての記載はない。
　したがって、甲第２号証の新聞記事の存在によっても、上記相違点１，２について示唆するところはない。
　なお、特許異議申立人は、参考資料１〜３をあげ、３０〜６００μｍ程度のフィッシュアイが形成されることは周知であること、また、甲第１号証や参考資料４をあげ、フォトレジスト用保護フィルムにおいてはフィッシュアイがより少ないものが望まれていることを指摘している。
　しかし、参考資料２，３は直径０．２ｍｍすなわち２００μｍ以上のフィッシュアイを測定しているだけである。また、参考資料１は、「直径０．０３ｍｍ（すなわち３０μｍ）以上のフィッシュアイの数を目視によって測定した」と記載されているが、目視によって直径０．０３ｍｍ以上のフィッシュアイの数を測定できるか否かはともかくとしても、その数は５３ケ／１５００ｃｍ2 のとき約３５０個／ｍ2に相当するので直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下と直接比較することができないから、直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下であるものを示すものとはいえない。しかも、甲第１号証や参考資料１〜４においてフィッシュアイがより少ないものが望まれるのは外観上のことであり、本件発明１のように金属精密加工の歩留まり向上とはその目的が異なる。
　したがって、参考資料１〜４の存在によっても、上記相違点１について示唆するところはない。
　また、特許異議申立人は、参考資料５，６，１６をあげ、感光性樹脂層の膜厚を１０〜１５０μｍとすることは周知であることを指摘し、感光性樹脂層の膜厚を５〜３０μｍとする程度のことは当業者が必要に応じてなし得ることであると主張している。
　しかし、本件発明１は、感光性樹脂層の膜厚が５〜３０μｍであるときに、保護フィルム中に含まれる直径８０μｍ以上のフィッシュアイ数が５個／ｍ2以下とすることにより、明細書記載の効果を奏するものであるが、そのことを示唆する記載は上記各甲号証ないし各参考資料には存在しない。
　したがって、本件発明１は甲第１，２号証に記載された発明及び周知技術（参考資料１〜６，１６）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることはできない。
４．２．本件発明２〜１７について
　特許異議申立人は、本件発明２〜１７は、甲第１，２号証に記載された発明及び周知技術（参考資料１〜２５）に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない旨主張している。
　本件発明２〜１７は本件発明１を引用するものであるから、同様に甲第１，２号証に記載された発明及び周知技術（参考資料１〜２５）に基づいて当業者が容易に発明できたものとすることはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜１７に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件の請求項１〜１７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年６月２５日（２００１．６．２５）