【事件の表示】
　特許第２８２３２０３号「Ｆｅ基軟磁性合金」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８２３２０３号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８２３２０３号の請求項１に係る発明についての出願は、昭和６３年５月１７日に出願され、平成１０年９月４日に、その発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年１月２０日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の要旨
　ａ．特許請求の範囲の
　「【請求項１】Fe100-a-b-c-ｄMaM'bYcY'dM；Cu，Ag，Au，Zn，Sn，Pd，Sb，Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'；周期律表IVa，Va，VIa族元素またはMn，Co，Ni，Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y；Si，B，Pから選ばれる少なくとも１種以上
Y'；C，Nから選ばれる少なくとも１種以上
0.01≦ａ≦5    （原子％）
0.1≦ｂ≦10
15≦ｃ≦28
0.15＜ｄ≦8
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金。」を、
　「【請求項１】Fe100-a-b-c-ｄMaM'bYcY'dM；Cu，Ag，Au，Zn，Sn，Pd，Sb，Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'；周期律表IVa，Va，VIa族元素またはMn，Co，Ni，Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y；Si，B，Pから選ばれる少なくとも１種以上
Y'；C，Nから選ばれる少なくとも１種以上
0.01≦ａ≦5    （原子％）
0.1≦ｂ≦10
15≦ｃ≦28
0.15＜ｄ≦8
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁束密度が13.2KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金。」と訂正する。
　
３．訂正の適否についての判断
3-1.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、特許明細書の特許請求の範囲に記載された「・・・存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金」を、実施例１及び実施例２における飽和磁束密度(KG)を示す第１表及び第２表のデータがそれぞれ13.2KG、13.4KGであることに基づき、「・・・存在し、飽和磁束密度が13.2KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金」と訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
3-2.独立特許要件
（本件発明）
  本件請求項１に係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
  「【請求項１】Fe100-a-b-c-ｄMaM'bYcY'dM；Cu，Ag，Au，Zn，Sn，Pd，Sb，Biから選ばれる少なくとも１種以上
M'；周期律表IVa，Va，VIa族元素またはMn，Co，Ni，Alから選ばれる少なくとも１種以上
Y；Si，B，Pから選ばれる少なくとも１種以上
Y'；C，Nから選ばれる少なくとも１種以上
0.01≦ａ≦5    （原子％）
0.1≦ｂ≦10
15≦ｃ≦28
0.15＜ｄ≦8
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在し、飽和磁束密度が13.2KG以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金。」（以下、「本件発明」という）。
（取消理由の概要）
　取消理由は、本件発明は、本件出願前に出願され、その出願後に公開された先願１（特願昭６２−３０２７７３号（特開平１−１４２０４９号公報参照））の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書１」という）又は先願２（特願昭６２−１９６６５１号（特開昭６４−３９３４７号公報参照））の願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書２」という）に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである、というものである。
（引用先願明細書に記載された発明）
　取消理由に引用された先願明細書１には、
　「１．一般式
　a，x，y，z，α，β，γ及びδはそれぞれ0≦ａ＜0.5，0.1≦ｘ≦10，0≦ｙ≦30，3≦z≦25，3≦α≦20，0≦β≦15，10≦ｙ＋ｚ＋γ≦35，0≦γ≦20及び0≦δ≦2を満たす。）により、表される組成を有し、組織の少なくとも50％が微細な結晶粒からなり、前記結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下の平均粒径を有することを特徴とするFe基軟磁性合金。」（特許請求の範囲第１項）
が記載され、また、
　「本発明は、各種トランス、チョークコイル、磁気ヘッド等に用いられるFe基磁性合金に関するものである。」（第2頁左上欄14〜16行）
　「本発明の目的はコア損失、コア損失の経時変化、透磁率等その他の磁気特性の安定性に優れた磁歪の小さい新規なFe基磁性合金を提供することである。」（第2頁右下欄13〜16行）
　「本発明合金は1000Å以下の粒径の超微細な均一に分布した結晶粒からなるが、特に優れた軟磁性を示す合金の場合はその粒径が500Å以下であり、より好ましくは20〜200Å平均粒径を有する場合が多い。」（第4頁左下欄10〜14行）
と記載され、実施例１には、Fe69.5Cu1Si13.5B9V7なる組成の溶湯から作製された合金の磁束密度Bsが11.3kGであることが示されている。
　同じく引用された先願明細書２には、
　「(1)一般式
が記載され、また、
　「本発明は、優れた磁気特性を有し、磁気特性の安定性に優れたFe基軟磁性合金、特に組織の大半が超微細な結晶粒からなるFe基軟磁性合金に関する。」（第2頁左上欄16〜19行）
  「本発明の目的はコア損失、コア損失の経時変化、透磁率その他の磁気特性の安定性に優れた新規なFe基軟磁性合金を提供することである。」（第2頁右下欄16〜18行）
　「本発明合金は1000Å以下の粒径の超微細な均一に分布した結晶粒からなるが、特に優れた軟磁性を示す合金の場合はその粒径が500Å以下であり、より好ましくは20〜200Åの平均粒径を有する場合が多い。」（第4頁左下欄18行〜右下欄2行）
  「本合金からなる磁心の磁路方向に磁場を印加し熱処理した場合は、・・・可飽和リアクトル、磁気スイッチ、パルス圧縮用コア、スパイク電圧防止用リアクトル等に好適な特性が得られ、一方磁路と直角方向に磁場を印加し熱処理した場合は、・・・トランスやノイズフィルター、チョークコイル等に好適となる。
　・・・・・
　また応力下で熱処理し磁気特性を調整することもできる。特に本発明の場合は・・・優れた特性のモールドコアやカットコア、コーティングコア、磁気ヘッド等を作製できる。」（第5頁右上欄1行〜左下欄6行）
とそれぞれ記載され、実施例１では、Fe73.4Cu1Si16.5B6Nb3Ca0.1なる組成の溶湯から作成された合金の磁束密度Bsが12kGであることが示されている。
（対比・判断）
　本件発明と引用先願明細書１に記載された発明とを対比すると、両者は、一般式で表される化学成分組成において重複し、微細結晶を有し、高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金である点で一致し、本件発明は、（１−１）微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する点、（１−２）飽和磁束密度が13.2KG以上である点で、先願明細書１記載の発明と一応相違する。
　以下、前記相違点について検討する。
　相違点（１−１）について
　先願明細書１には、微細な結晶粒の粒径について、「結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下」、「特に優れた軟磁性を示す合金の場合はその粒径が500Å以下であり、より好ましくは20〜200Åの平均粒径を有する」と記載され、本件第１発明の「微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する」ものとは粒径の範囲が重複しているから、この点で両者が実質的に相違するとはいえない。
　相違点（１−２）について
　飽和磁束密度について先願明細書１には、Bsが11.3KGのものが１例開示されているにすぎないから、飽和磁束密度が13.2KG以上のものが開示されているものとは認められない。
　したがって、本件発明は、先願明細書１に記載された発明と前記相違点（１−２）において実質的に相違するから、先願明細書１に記載された発明と同一であるとはいえない。
  次に、本件発明と先願明細書２に記載された発明と対比すると、両者は一般式で表される化学成分組成において重複し、微細結晶を有し、高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するFe基軟磁性合金である点で一致し、本件発明は、（２−１）微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する点、（２−２）飽和磁束密度が13.2KG以上である点で、先願明細書２記載の発明と一応相違する。
　以下、前記相違点について検討する。
　相違点（２−１）について
　先願明細書２には、微細な結晶粒の粒径について、「結晶粒の最大寸法で測定した粒径の平均が1000Å以下」、「特に優れた軟磁性を示す合金の場合はその粒径が500Å以下であり、より好ましくは20〜200Åの平均粒径を有する」と記載され、本件第１発明の「微細結晶は合金中に面積比で30％以上存在し、その中で結晶粒径50〜300Åの結晶が80％以上存在する」ものとは粒径の範囲が重複しているから、この点で両者が実質的に相違するとはいえない。
　相違点（２−２）について
　飽和磁束密度について先願明細書２には、Bs＝12KGのものが１例開示されているにすぎないから、飽和磁束密度が13.2KG以上のものが開示されているものとは認められない。
　したがって、本件発明は、先願明細書２に記載された発明と前記相違点（２−２）において実質的に相違するから、先願明細書２に記載された発明と同一であるとはいえない。
（まとめ）
  したがって、本件請求項１に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
3-3.訂正の適否についての結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
４．特許異議申立てについての判断
4-1.申立て理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証及び甲第２号証（それぞれ、先願明細書１及び２に対応する）を提出し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証又は甲第２号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定に違反して特許されたものである、と主張している。
4-2.当審の判断
　上記3-2に記載したとおり、本件請求項１に係る発明は、先願明細書１又は先願明細書２に記載された発明と同一であるものとは認められない。
　
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１４日（２０００．８．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　本件訂正請求の要旨は、特許第２８２３２０３号の明細書を次のように訂正するものである。
　ａ．特許請求の範囲の
　「【請求項１】Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＭａＭ′ｂＹｃＹ′ｄ
Ｍ；Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｐｄ，Ｓｂ，Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′；周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ；Ｓｉ，Ｂ，Ｐから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ′；Ｃ，Ｎから選ばれる少なくとも１種以上
０．０１≦ａ≦５　　（原子％）
０．１≦ｂ≦１０
１５≦ｃ≦２８
０．１５＜ｄ≦８
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在することを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。」を、
特許請求の範囲の減縮を目的として、
　「【請求項１】Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＭａＭ′ｂＹｃＹ′ｄ
Ｍ；Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｐｄ，Ｓｂ，Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′；周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ；Ｓｉ，Ｂ，Ｐから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ′；Ｃ，Ｎから選ばれる少なくとも１種以上
０．０１≦ａ≦５　　（原子％）
０．１≦ｂ≦１０
１５≦ｃ≦２８
０．１５＜ｄ≦８
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在し、飽和磁束密度が１３．２ＫＧ以上であることを特徴とする高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
Ｆｅ基軟磁性合金
（５７）【特許請求の範囲】
（１）Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＭａＭ′ｂＹｃＹ′ｄ
Ｍ；Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｐｄ，Ｓｂ，Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′；周期律表ＩＶａ、Ｖａ、ＶＩａ族元素またはＭｎ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少くなくとも１種以上
Ｙ；Ｓｉ，Ｂ，Ｐから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ′；Ｃ，Ｎから選ばれる少なくとも１種以上
０．０１≦ａ≦５　　　（原子％）
０．１≦ｂ≦１０
１５≦ｃ≦２８
０．１５＜ｄ≦８
で表わされ、微細結晶を有し、該微細結晶は合金中に面積比で３０％以上存在し、その中で結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在し
、飽和磁束密度が１３．２ＫＧ以上である
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
　本発明は、Ｆｅ基軟磁性合金に関する。
（従来技術）
　従来から、スイッチングレギュレータなど高周波で使用する磁心としては、パーマロイ、フェライトなどの結＜ＢＲ＞晶質材料が用いられている。
　しかしながら、パーマロイは比抵抗が小さいので高周波での鉄損が大きくなる。また、フェライトは高周波での損失は小さいが、磁束密度もせいぜい５０００Ｇと小さく、そのため、大きな動作磁束密度での使用時にあっては、飽和の近くなりその結果鉄損が増大する。近時、スイッチングレギュレータに使用される電源トランス、平滑チョークコイル、コモンモードチョークコイルなど高周波で使用されるトランスにおいては、形状の小型化が望まれているが、この場合、動作磁束密度の増大が必要となるため、フェライトの鉄損増大は実用上大きな問題となる。
　このため、結晶構造を持たない非晶質磁性合金が、高透磁率、低保磁力など優れた軟質磁気特性を示すので最近注目を集め一部実用化さている。これらの非晶質磁性合金は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉなどを基本とし、これに非晶質化元素（メタロイド）としてＰ、Ｃ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｇｅなどを包含するものである。
　しかしながら、これら非晶質磁性合金の全てが高周波領域で鉄損が小さいというわけではない。例えば、Ｆｅ基非晶質合金は、安価であり５０〜６０Ｈｚの低高波領域ではケイ素鋼の約１／４という非常に小さい鉄損を示すが、１０〜５０ＫＨｚという高周波領域にあっては著しく大きな鉄損を示し、とてもスイッチングレギュレータ等の高周波領域での使用に適合するうものではない。これを改善するために、Ｆｅの一部をＮｂ、Ｍｏ、Ｃｒ等の非磁性金属で置換することにより低磁歪化し、低鉄損、高透磁率を図っているが、例えば樹脂モールド時の樹脂の硬化収縮等による磁気特性の劣化も比較的大きく、高周波領域で用いられる軟磁性材料としては、十分な特性を得られるに至っていない。
　一方、Ｃｏ基非晶質合金は、高周波領域で低鉄損、高角形比が得られるため可飽和リアクトルなどの電子機器用磁性部品に実用化されているが、コストが比較的高いものである。
（発明が解決しようとする課題）
　以上に述べたように、Ｆｅ基非晶質合金は安価な軟磁性材料でありながら磁歪が比較的大きく、Ｃｏ基非晶質合金に比べ鉄損、透磁率とも劣っており、高周波領域における用途には問題があった。一方、Ｃｏ基非晶質合金は磁気特性は良好であるものの、素材の値段が高いため工業上有利ではなかった。
　したがって本発明は、上記問題点に鑑み、高周波領域において高飽和磁束密度で優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金を提供することを目的とする。
［発明の概要］
（課題を解決するための手段と作用）
　上記目的を達成するためにＦｅ基合金について種々検討を重ねた結果、一般式、
Ｆｅ１００−ａ−ｂ−ｃ−ｄＭａＭ′ｂＭ′ｃＭ′ｄ
Ｍ：Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｐｄ，Ｓｂ，Ｂｉから選ばれる少なくとも１種以上
Ｍ′：周期律表ＩＶａ，Ｖａ，ＶＩａ，ＶＩＩａ族元素またはＣｏ，Ｎｉ，Ａｌから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ：Ｓｉ，Ｂ，Ｐから選ばれる少なくとも１種以上
Ｙ′：Ｃ，Ｎから選ばれる少なくとも１種以上
　　　０．０１≦ａ≦５　　　（原子％）
　　　０．１≦ｂ≦１０
　　　　１５≦ｃ≦２８
　　　　　　　ｄ≦８
で表わされ、微細結晶粒を有する合金が、軟磁性材料として優れた特性を有することを初めて見い出し、本発明に至ったものである。
　本発明は上記組成を有する合金中に特に微細結晶粒を有することを特徴とする。
　特に微細結晶粒は、合金中に面積比で３０％以上存在することが好ましく、さらには前記微細結晶中に５０〜３００Åの結晶粒が８０％以上存在することが好ましい。
　以下に、本発明合金の組成限定理由および微細結晶粒の限定理由について説明する。
　まず組成限定理由について説明する。
　Ｍは耐食性を高め、結晶粒の粗大化を防ぐと共に、鉄損、透磁率など軟磁気特性を改善するのに有効な元素であるが、あまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと磁気特性の劣化を生じるために、その範囲を０．０１〜５原子％とした。好ましくは０．５〜３原子％である。Ｍ′は結晶粒径の均一化に有効であると共に、磁歪および磁気異方性を低減させ軟磁気特性の改善、および温度変化に対する磁気特性の改善に有効な元素であるが、その量があまり少ないと添加の効果が得られず、逆にあまり多いと飽和磁束密度が低くなるため、その量を０．１〜１０原子％とした。好ましくは１〜７原子％、さらに好ましくは１．５〜５原子％である。ここでＭ′における各添加元素は上記効果と共に、さらにそれぞれ、ＩＶａ族元素は最適磁気特性を得るための熱処理条件の範囲の拡大、Ｖａ族元素およびＭｎは耐脆化性の向上および切断等の加工性の向上、ＶＩａ族元素は耐食性の向上および表面性状の向上、Ａｌは結晶粒の微細化と共に磁気異方性の低減に有効であり、これにより磁歪、軟磁気特性の改善、等の効果を有している。
　Ｙは製造時における合金の非晶質化に有効な元素であり、その量があまり少ないと製造時における超急冷の効果が得られにくく上記状態が得られず、逆にあまり多すぎると飽和磁束密度が低くなり上記状態が得られにくくなるため、優れた磁気特性が得られなくなるため、その量を１５〜２８原子％とした。好ましくは１８〜２６原子％である。特にＳｉ／Ｂの比、またはＳｉ／Ｐの比は１以上が好ましい。
　次にＹ′は最適磁気特性を得るための熱処理条件の範囲を拡大するために有効な元素であり、その量があまり多いと微細結晶を得るのが困難となるため、その量を８原子％以下とした。好ましくは６原子％以下、さらに好ましくは４原子％以下である。
　上記本発明のＦｅ基軟磁性合金は、例えば液体急冷法により非晶質合金薄帯を得た後、前記非晶質合金の結晶化温度に対し−５０〜＋１２０℃、好ましくは−３０〜＋１００℃の温度で１分〜１０時間、好ましくは１０分〜５時間の熱処理を行い、意図する微細結晶を析出させる方法等により得ることが可能となる。
　次に、本発明のＦｅ基軟磁性合金の微細結晶粒について述べる。
　本発明の合金中において、あまり微細結晶粒が少ないと、すなわち非晶質相があまり多いと鉄損が大きく、透磁率が低く、磁歪が大きく、樹脂モールドによる磁気特性の劣化が増大するため、合金中の微細結晶粒は面積比で３０％以上存在することが好ましい。より好ましくは４０％以上、さらに好ましくは５０％以上が良い。
　さらに上記微細結晶粒中においても結晶粒径があまり小さいと、磁気特性の改善が図れず、逆にあまり大きいと磁気特性の劣化が発生するため、上記微細結晶粒中においても、結晶粒径５０〜３００Åの結晶が８０％以上存在することが好ましい。
　本発明のＦｅ基軟磁性合金は高周波での軟磁気特性に優れているため、例えば磁気ヘッド、薄膜ヘッド、大電力用を含む高周波トランス、可飽和リアクトル、コモンモードチョークコイル、ノーマルモードチョークコイル、高電圧パルス用ノイズフィルタ、レーザ電源等に用いられる磁気スイッチなど高周波で用いられる磁心、電源センサー、方位センサー、セキュリティセンサー等の各種センサー用の磁性材料等、磁性部品用の合金として優れた特性を示している。
（実施例）
実施例１
　Ｆｅ７４Ｃｕ１．５Ｎｂ２．５Ｓｉ１１Ｂ１０Ｃ１なる合金より単ロール法により約１５μｍの非晶質合金薄帯を得た。その後この非晶質合金を巻回し、外径１８ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ４．５ｍｍのトロイダル状磁心に成形した後、約５７０℃で約４０分間の熱処理を行った。なお本合金の結晶化温度は５２０℃（昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｉｎで測定）である。
　得られた磁心には合金全体の面積に対し約７０％の微細結晶粒が存在しており、その中で５０〜３００Åの微細結晶粒は約９０％であった。
　また比較として、熱処理条件を約４３０℃で約４０分間とし熱処理を行った磁心を製作した。
　得られた磁心にはＴＥＭ観察により微細結晶粒は析出していないことを確認した。
　上記本発明の微細結晶粒が存在する磁心と比較例の微細結晶粒が存在しない磁心についてそれぞれ５個用い、５０ＫＨｚ、３ＫＧでの熱処理後の鉄損とエポキシコーティング後の鉄損、磁歪、１ＫＨｚ２ｍＯｅでの透磁率および飽和磁束密度を測定し、それらの平均値を第１表に示す。
　上記第１表より明らかなように、本願の合金は、微細結晶粒を設けることにより、同組成の非晶質合金薄帯よりなる磁心に比べ鉄損、特に樹脂モールド後の鉄損が低く、低歪磁で高透磁率であり高周波において優れた軟磁気特性を示している。
　また、上記合金組成よりなる磁心の熱処理温度を種々変化させた磁心の鉄損をＵ関数計を用いて、５０ＫＨｚ、３ＫＧについて測定し、その結果を第１図に示す。なお比較としてＣを含まないＦｅ７４Ｃｕ１．５Ｎｂ２．５Ｓｉ１１Ｂ１１合金についても同様の磁心を製作し、同様の測定を行い、併せて第１図に示す。
　その結果、Ｃを含有することにより本発明の合金は、低鉄損が得られる熱処理の温度範囲が拡大することは明らかである。
実施例２
　Ｆｅ７４Ｃｕ２Ｍｏ２Ｓｉ１１Ｂ９Ｎ２なる合金より単口ール法により約１５μｍの非晶質合金薄帯を得た。その後この非晶質合金を巻回し、外径１８ｍｍ、内径１２ｍｍ、高さ４．５ｍｍのトロイダル状磁心に成形した後約５５０℃で約９０分間の熱処理を行った。なお本合金の結晶化温度は昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｍで約５７５℃（上昇温速度１０ｄｅｇ／ｍｉｎで測定）である。
　得られた磁心には合金全体の面積に対し約８５％の微細結晶粒が存在しており、その中で５０〜３００Åの微細結晶粒は約９０％であった。
　また比較として、熱処理条件を約４５０℃で約４０分間とし熱処理を行った磁心を製作した。
　得られた磁心にはＴＥＭ観察により微細結晶粒は析出していないことを確認した。
　上記本発明の微細結晶粒が存在する磁心と比較例の微細結晶粒が存在しない磁心についてそれぞれ５個用い、１００ＫＨｚ、２ＫＧでの鉄損を測定した以外は実施例１と同様の測定を行った。その結果を第２表を示す。
　上記第２表より明らかなように、本願の合金は、微細結晶粒を設けることにより、同組成の非晶質合金薄帯よりなる磁心に比べ鉄損、特に樹脂モールド後の鉄損が低く、低磁歪で高透磁率であり高周波において優れた軟磁気特性を示している。
　また、上記合金組成よりなる磁心の熱処理温度を種々変化させた磁心の鉄損をＵ関数計を用いて、１００ＫＨｚ、２ＫＧについて測定し、その結果を第２図に示す。なお比較として、Ｎを含まないＦｅ７４Ｃｕ２Ｍｏ３Ｓｉ９Ｂ１２についても同様の磁心を作製し、同様の測定を行い、併せて第２図に示す。
　その結果、Ｎを含有することにより本発明の合金は、低鉄損が得られる熱処理の温度範囲が拡大することは明らかである。
［発明の効果］
　本発明の合金は、所望の合金組成において、微細結晶粒を設けることにより、高周波領域において高飽和磁束密度で、優れた軟磁気特性を有するＦｅ基軟磁性合金を提供することができると共に熱処理の温度範囲が広いため容易に意図するＦｅ基軟磁性材料を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図および第２図は、本発明合金と比較例合金の熱処理温度を変化した場合の鉄損の変化を示すグラフである。