【事件の表示】
　特許第３０２７６８６号「紫外線照射装置」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０２７６８６号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯・本件発明
　本件特許第３０２７６８６号は、平成６年８月２２日の出願であって、平成１２年１月２８日に設定登録がなされたものである。そして、その請求項１ないし３に係る発明は、明細書及び図面の記載からみて、それぞれ、その特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された次のものと認められる。
　「【請求項１】　基板の表面に紫外線を照射して所定の処理を行う紫外線照射装置において、
　基板を支持する基板支持手段と、
　前記基板支持手段に支持された基板の表面に向けて紫外線を照射する紫外線ランプと、
　前記基板支持手段に支持された基板の表面に向けて酸素を供給する酸素供給手段と、
　前記基板支持手段に支持された基板を収容可能であるとともに、基板の出し入れのための開口を有する処理室と、
　前記処理室の開口に設けられ、この開口を開閉可能なシャッタと、
　前記処理室及び前記シャッタによって形成される閉空間内の気体を外部に排出する排気手段と、
　前記酸素供給手段の供給動作を停止させるとともに前記紫外線ランプを消灯させた状態で、前記排気手段を排気動作させつつ前記シャッタを開状態にさせる制御手段と、
を有することを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項２】　前記制御手段は、前記紫外線ランプにフィラメント電流を流しつつ前記紫外線ランプを消灯させることを特徴とする請求項１記載の紫外線照射装置。
【請求項３】　前記排気手段は、その排気量を増減可能であるとともに、前記制御手段は、前記酸素供給手段からの酸素の供給中、前記排気手段による排気量を所定値まで減少させるとともに、前記酸素供給手段からの酸素の供給停止後、前記排気手段による排気量を増加させることを特徴とする請求項１及び請求項２のいずれか記載の紫外線照射装置。」
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人永田大樹は、甲第１号証（特開昭６３−２６６８３４号公報）、甲第２号証（特開昭６２−１５８２４号公報）、及び甲第３号証（実願平２−１０３６４２号（実開平４−６１７９９号）のマイクロフィルム）を提出し、請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、請求項１ないし３に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
３．甲各号証記載の事項
　異議申立人が提出した甲第１号証ないし甲第３号証には、それぞれ、次の事項が記載されている。
　甲第１号証（特開昭６３−２６６８３４号公報）；
「この発明は、少なくとも気相反応装置の反応室へウエハをロードするためのロードロック室が反応室に接続されている気相反応装置において、ローダ側ロードロック室に紫外線照射装置と酸素ガス供給装置とが配設されていることを特徴とする気相反応装置を提供する。
［作用］
　本発明の気相反応装置は、紫外線による有機化合物の化学結合の切断効果とオゾンの強力な酸化効果とを組合わせることにより、有機質汚れを揮発性の物質（例えば、ＣＯ２　，Ｎ２　，水等）に分解除去するドライ洗浄手段を備えている。」（公報第３頁左上欄第１〜１３行）
「反応室１０とロードロック室２０とは開閉可能なゲート１８で隔てられている。ロードロック室２０の内部にはウエハ３を反応室内へ搬入するための進退可能なウエハキャリア手段２２が配設されている。
　ロードロック室２０の適当な箇所に０２　ガス供給手段３０が配設されている。・・・また、ロードロック室２０には排気ダクト２４が配設されている。これはロードロック室内の空気を排気し、高酸素雰囲気を形成したり、不活性雰囲気を形成するために必要である。空気中の酸素に紫外線を照射するよりも、純酸素雰囲気下で紫外線を照射したほうがオゾンの生成効率を高めることができる。・・・ロードロック室天井部に紫外線照射装置４０が配設されている。」（公報第３頁左下欄第１８行〜右下欄第１５行）
「先ず、ローダ側ロードロック室にウエハを搬入し、ロードロック室を密閉する。室内に残っている空気を排気する。所定の真空圧に達したら酸素ガス供給手段から酸素ガスを室内に送入する。室内の酸素ガス濃度が所定の値に達したら紫外線光源から紫外線を照射しオゾンを発生させながらウエハクリーニングを実施する。クリーニング終了後、室内の残留酸素ガスおよびオゾンを排出し、不活性ガス（例えば、Ｎ２　またはＡｒ）で置換する。その後、清浄化されたウエハを反応室内へ搬入する。」（公報第４頁右下欄第１７行〜第５頁左上欄第７行）
　甲第２号証（特間昭６２−１５８２４号公報）；
「ウエハ上の水分を有機溶剤の蒸気で置換して水分を除去した後、・・・残存する有機物を紫外線照射によって光分解すると共に光分解物を気化させるものである。」（公報第２頁左上欄第１４〜１７行）
「ウエハ１１が水平になるように反転させたキャリヤー１０を紫外線照射装置の入口にセットする。第３図に示す紫外線照射装置１２において、キャリヤー１０中のウエハ１１を１枚ずつエアシリンダー３１に連結したプッシャー２２によって押し出し、石英ローラー３５の上に乗せる。その時センサー３４でウエハ１１の通過を確認し、上下駆動シリンダー３３に信号を送りキャリヤー１０を自動的に１ピッチずつ上げる。紫外線照射装置１２の入口の自動扉３６を自動的に開閉させる。、紫外線照射装置１２内では石英ローラー３５に乗ったウエハ１１の表裏の両面に紫外線ランプ３８から発する紫外線及び反射板３９で反射した紫外線を均一に照射して有機物を光分解させて気化させる。気化物を除去するため酸素ガス供給口４０より清浄な酸素ガスを供給し排気口３７より排気除去する。これによって線幅２μｍ以下の微細な配線間に残存する有機物を紫外線照射によって光分解すると共に気化物を排気除去する。
　紫外線照射完了したウエハ１１の通過をセンサー４１で確認して出口の自動扉４２を開閉し、装置の外にウエハ１１を送り出す。」（公報第２頁右下欄第１４行〜第３頁左上欄第１６行）
　甲第３号証（実開平４−６１７９９号公報）；
「照明ランプに対し非点灯中も常に高周波の予熱電流を流し続け、常時予熱を施す構成としたから、点灯待機期間を利用して照明ランプを充分予熱しておくことができ、これにより点灯指令を発してから間髪を入れることなく点灯するいわゆる即時点灯が可能であり、またフィラメント電極は常に予熱されているため、冷陰極放電に伴って過剰エミッ夕消費が起きることはなく、ランプ寿命を長寿命化することができる等の優れた効果を奏する。」（明細書第１１頁第１１〜２０行）
４．対比・判断
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証ないし甲第３号証に記載された発明とを対比すると、
　甲第１号証に記載のものは、紫外線光源（本件請求項１に係る発明の「紫外線ランプ」に対応する。）は、点灯時期は示されているにしても、いつ消灯するかは不明であり、また排気ダクト２４（同「排気手段」に対応する。）は、ロードロック室（同「処理室」に対応する。）内の空気を排気し、高酸素雰囲気を形成したり、不活性雰囲気を形成するために必要なものであって、ゲート１８（同「開閉可能なシャッタ」に対応する。）を開状態にさせるときに排気動作させることについても不明である。
　甲第２号証に記載のものは、紫外線照射を完了したウエハは紫外線照射装置１２（同「処理室」に相当する。）の自動扉（同「開閉可能なシャッタ」に対応する。）から大気中に搬出されるものの、この自動扉を開状態にさせることに関連して、いつ紫外線ランプを消灯させるのか、又排気口３７より排気動作がなされるのか否かはいずれも不明である。
　甲第３号証記載のものは、インバータ照明装置に関し、ランプの再点灯を容易にするためにフィラメントに電流を流しておく一般的な周知技術にすぎない。
　従って、前記甲第１号証ないし甲第３号証に記載の発明のいずれにも、本件請求項１に係る発明を特定する事項である、「酸素供給手段の供給動作を停止させるとともに前記紫外線ランプを消灯させた状態で、前記排気手段を排気動作させつつ前記シャッタを開状態にさせる制御手段」を備えておらず、当該事項により本件請求項１に係る発明は、「基板の交換時に、有害な紫外線やオゾンが処理室の外部に漏れ出すことを効果的に防止することができる。さらに、シャッタが開状態にあるとき紫外線ランプを消灯させているので、処理室の周囲に漂う薬液の蒸気成分などが処理室内に入り込んだ場合であっても、紫外線によって薬液が化学変化して処理室内に反応物質が付着するという汚染の問題の発生を抑制できる。」という明細書記載の顕著な効果を奏するものであり、本件請求項１に係る発明が前記甲第１号証ないし甲第３号証に記載の発明から容易に発明をすることができたものとはいえない。
　また、本件請求項２，３に係る発明は、請求項１に係る発明を更に限定したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記甲各号証に記載の発明から当容易に発明をすることができたものとはいえない。
　以上のとおり、請求項１ないし３に係る発明は、異議申立人が提出した甲各号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては請求項１ないし３に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１ないし３に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月１５日（２００１．１．１５）