【事件の表示】
　特許第２９８６５０２号「浮上式スライダ」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９８６５０２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　出願　　　　　　　平成２年２月９日
　特許権設定登録　　平成１１年１０月１日
　特許異議の申立て　平成１２年６月６日
　　　（異議申立人中沢尚）
　取消理由通知　　　平成１２年９月２９日
　特許異議意見　　　平成１２年１２月１１日
　訂正請求　　　　　平成１２年１２月１１日
　
２．訂正の適法性
（１）本件発明
　訂正特許明細書の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、前記段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、前記流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、前記段差部と前記平坦部との高さの差が１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記特許請求の範囲は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の記載事項に、下線部の構成を付加して構成要件を限定する訂正をしたものであって、該訂正は、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（３）その他の訂正について
　上記特許請求の範囲の減縮に伴い、明細書の明りょうでない記載の釈明をしたものであって、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（４）むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議申立ての理由の概要
　異議申立人中沢尚は、特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２の規定により、また、甲第２，３号証に記載された発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、その特許は取り消されるべきものである旨主張している。
　
４．当審の判断
　異議申立人中沢尚が提示した刊行物１（特開平２−２３０５７５号公報：甲第１号証）には、「この浮動ヘッドスライダは、第２図に示すように、記録媒体の走行方向にほぼ平行に延びる２本のレール１１および１２と、これらの間にあってその長手方向軸がこれらとほぼ直交するように配置されて上記２本のレール１１および１２をつなぐクロスレール２１を有していた。前記平行する２本のレール１１および１２とクロスレール２１は同一平面を形成し、正圧、すなわち浮上力を発生する面として作用する。前記平行する２本のレール１１および１２とクロスレール２１に三方を囲まれた領域はこれら３本のレール１１、１２および２１が形成する平面より１〜１０μm程度凹んだ段差面４０となっており、負圧、すなわち記録媒体方向への吸収力を発生する面として作用する。」（〔従来の技術〕の項及び第２図）ことが、
　同刊行物２（特開平１−２４５４８０号公報：甲第２号証）には、「第１２図及び第１３図には、本発明の第６実施例の構成が示されている。本実施例においては、補助リセス溝として、前端側の幅a とし、後端側の幅bとし、さらにa ＜bとする補助リセス溝２８Eを形成したものである。即ち、補助リセス溝２８Eを、前端側から後端側への漸次幅が広くなるように形成したものである。本実施例によれば、流体が補助リセス溝２８Ｅを進むに従って溝の幅方向に広がって膨張するため、減圧効果が発生する。さらに、補助リセス溝２８Ｅの深さを数１０μmオーダかそれ以下にすると、溝の幅ａ＝ｂでは、この溝で正圧ステップ軸受作用を示し、正の圧力を発生するが、溝の幅をｂ＞ａと先広がりとし、溝の深さをｄ２とし、ステップ溝１２Ｅ，１４Ｅの深さＤ３よりも浅くすると、減圧と正圧の両効果がバランスし、この部分での圧力発生を実質的に無くすることができる。これにより正圧ステップ軸受の働きをするステップ溝１２Ｅ、１４Ｅを有する正圧発生部１８，２０からの正圧と、クロスレール領域２２とリセス溝１６からなる負圧発生部の負圧とがバランスし、良好な浮上特性を示すことになる。」（〔実施例〕の項及び第１２，１３図）ことが、
　同刊行物３（特開昭５９−１７８６４８号公報：甲第３号証）には、「第１図、第２図で（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である第１図のスライダーではサイドレール１とスライダーのテーパーを有する前端部２でＵ字型をなし、部分３には数〜１０μm程度の深さの切欠溝が形成されている。又第２図はＨ型スライダーで、その両側部に設けられたサイドレール部１とサイドレール部１に直交するようにして設けられているクロスレール部４を有し、部分５，６には数〜１０μm程度の深さの切欠き溝が形成されている。」（「（２）技術の背景」の項及び第１，２図）ことが、
それぞれ記載されている。
　そこで、本件発明と刊行物１〜３に記載された発明とを対比すると、後者のいずれも少なくとも前者の必須の構成である「前記段差部と前記平坦部との高さの差が１μｍ以下（但し、１μｍを除く。）である」構成を具備していない。
　そして、前者は上記必須の構成を具備することにより、後者のいずれからも予想できない「流体潤滑面の平坦部とテーパ部もしくは段差部と前面とが交差する部分との間の高さの差をほとんどなくすことができ、さらに媒体表面と流体潤滑面との間に空気を導入する開口部の高さ方向をより狭くすることができるので、導入される空気に混じっている塵埃が媒体表面と流体潤滑面、特に段差部やテーパ部との間に侵入する可能性を低減でき、ヘッドや媒体の損傷の発生を最小限度に抑制できる。」という明細書記載のとおりの特有の作用効果を奏するものであるから、前者が後者から容易に発明をすることができたものであるとも、前者が後者のいずれかと同一であるともすることはできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によって、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月２９日（２００１．１．２９）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　訂正事項（ａ）
　特許請求の範囲の請求項１の
「　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、前記段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、前記流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、前記段差部と前記平坦部との高さの差が１μｍ以下であることを特徴とする浮上式スライダ。」
　を、
「　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、前記段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、前記流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、前記段差部と前記平坦部との高さの差が１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
に訂正致します。
　訂正事項（ｂ）
　明細書の発明の詳細な説明における「課題を解決するための手段」の項である、
「　課題を解決するための手段
　本発明は上記目的を達成するために、平坦部と、それに隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、段差部と平坦部との高さの差を１μｍ以下に構成する。
　また、平坦部と、それに隣接して設けられたテーパ部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、テーパ部の傾斜角を１°以下、かつ、テーパ部の前面側と平坦部側の高さの差を１μｍ以下に構成する。」
　を、
「　課題を解決するための手段
　本発明は上記目的を達成するために、平坦部と、それに隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、段差部と平坦部との高さの差を１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
　また、平坦部と、それに隣接して設けられたテーパ部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、テーパ部の傾斜角を１°以下、かつ、テーパ部の前面側と平坦部側の高さの差を１μｍ以下に構成する。」
に訂正致します。
　訂正事項（ｃ）
　明細書の発明の詳細な説明における「発明の効果」の項である、
「　発明の効果
　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、段差部と平坦部との高さの差が１μｍ以下であること、または平坦部及びその平坦部に隣接して設けられたテーパ部を備えた流体潤滑面において、テーパ部の傾斜を１°以下、テーパ部の前面側と平坦部側の高さの差を１μｍ以下とすることにより、流体潤滑面の平坦部とテーパ部もしくは段差部と前面とが交差する部分との間の高さの差をほとんどなくすことができ、さらに媒体表面と流体潤滑面との間に空気を導入する開口部の高さ方向をより狭くすることができるので、導入される空気に混じっている塵埃が媒体表面と流体潤滑面、特に段差部やテーパ部との間に侵入する可能性を低減でき、ヘッドや媒体の損傷の発生を最小限に抑制できる。」
　を、
「　発明の効果
　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、段差部と平坦部との高さの差が１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
に訂正致します。
（５４）【発明の名称】
浮上式スライダ
（５７）【特許請求の範囲】
（１）　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、前記段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、前記流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、前記段差部と前記平坦部との高さの差が１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
（２）　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられたテーパ部を備えた流体潤滑面と、前記テーパ面に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、前記流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、前記テーパ部の傾斜角が１°以下で、かつ、前記テーパ部の前面側と平坦部側の高さの差が１μｍ以下であることを特徴とする浮上式スライダ。
（３）　前面が鏡面であることを特徴とする請求項１，２いずれか１記載の浮上式スライダ。
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
　本発明は磁気ディスク装置に用いる浮上式スライダに関する。
従来の技術
　近年、磁気ディスク装置の利用が盛んであるが、この磁気ディスク装置には浮上式スライダが広く用いられる。このスライダはＩＢＭの発表した磁気ディスク装置に始まり、１９７６年の製品番号３３５０装置のミニスライダで確固たる地位を得たものである。
　以下、従来の磁気ディスク装置について第５図を参照しながら説明する。
　第５図は従来の浮上式スライダの構造を磁気ディスク面に対向する面を上にして斜視図で示している。磁性材料で形成されスライダ２に磁気コアー３がヘッドギャップ２１を保ちながら磁気的に結合して保持される。その磁気コアー３に設けられた空間部４にコイル（図示せず）が巻かれて磁気ヘッド部が構成される。
前記スライダ２は磁気ディスクに対向する面に２本の側レール５と、中央にあって前記磁気ディスクのトラック幅に対応して幅を狭くした中央レール６とを備え、前記レールはそれぞれ磁気ディスク面にほぼ並列となる平坦部１２と１３および１度以下程度の緩い傾斜を持ったテーパ部１１と１４を備えて流体潤滑面を構成している。スライダ２の前面１０は前記レールの平坦部１２に直角な面で、流体潤滑面にもほぼ直角な面となる。また、レール５および６はその立ち上がり面の稜線部分で面取りされた面取り部７，８，９を備え、機械加工で発生する欠けなどに対処している。
　このような構造のスライダがそのレールの面を回転する磁気ディスク面に接近して置かれるとき、磁気ディスク表面の空気流が前記レールとの間に流れ込んで薄い流体潤滑膜を形成し、スライダを磁気ディスク表面から遠ざける圧力（以下、本文では正圧力と呼ぶ）を発生し、その正圧力と磁気ディスク面方向へあらかじめ与えた加重（外力）との釣合により、スライダは磁気ディスク表面との間に１μｍ以下の非常に狭い空隙を保って保持される。このような正圧力と外力との釣合で浮上するスライダを一般的に正圧力方式と呼ぶ。前記外力はばね圧や自重などによる。このとき、前記レールのテーパ部１１および１４は空気流の流入に貢献し、面取り部７および８は流体潤滑面の面積を決めるので正圧力の適正化に関与している。
発明が解決しようとする課題
　このような従来の浮上式スライダでは、その前面部１０とレールとの稜線部に設けた面取り部１および９に前記空気流中の塵埃（以下、本文ではダストと呼ぶ）が噛み込まれ、磁気ディスク面とスライダの間に押し込まれることにより、磁気ディスク表面に欠陥部が発生する。この状況を第２図の（ｂ）を参照して説明する。第２図（ｂ）は従来のスライダの側レール５の先端部分が磁気ディスク面２２から浮上している状態を断面で示す。
　図において、スライダの側レール５の平坦部１２が１μ以下の空隙を保って磁気ディスク面から浮上しているとき、テーパ部１１の先端部２３が磁気ディスク面２２から浮上する距離ｈ１はせいぜい数μｍである。しかし、面取り部１はおよそ４５度の傾斜で設けられるので、その先端部２４が磁気ディスク面から浮上する距離ｈ２はおよそ１００μｍにもなる。このような状態で空気流に混在するダストがレールの先端部に達すると、前記の面取り部の１００μｍにも達する開口部分からディスク面との空隙に噛み込まれて侵入し、ダストが磁気ディスク面に圧接して磁気ディスク表面に局所的摩耗を引き起こす。この問題は磁性膜の厚みが大きく、また硬質のアルミナ粉や潤滑剤を含有する塗布型磁気ディスクでは機械的信頼性が高いので、重大な欠陥にならなかった。しかし、近年の高密度記録に対応して開発された薄膜磁気ディスクでは、硬いアルミナ粉や潤滑剤を含まないので機械的信頼性が低く、傷の付いた部分は即座に欠陥部となり、その部分は以後の書き込みが不可能となるだけでなく、すでに書き込まれたデータが失われるという致命的な課題を有していた。
　本発明は、上記問題を解決するもので、空気流に混在するダストの影響の少ない浮上式スライダを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
　本発明は上記目的を達成するために、平坦部と、それに隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、段差部と平坦部との高さの差を１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
　また、平坦部と、それに隣接して設けられたテーパ部を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接し、気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダにおいて、テーパ部の傾斜角を１°以下、かつ、テーパ部の前面側と平坦部側の高さの差を１μｍ以下に構成する。
作用
　流体潤滑面の先端部と媒体表面との間の空気が流入する開口部を高さ方向により狭くできる。
実施例
　以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら説明する。
　第１図は本発明の第１の実施例の浮上式スライダの構成をその流体潤滑面を上にして斜視図で示す。
　磁性材料で形成されスライダ２に磁気コアー３がヘッドギャップ２１を保ちながら磁気的に結合して保持される。その磁気コアー３に設けられた空間部４にコイル（図示せず）が巻かれて磁気ヘッド部が構成される。前記スライダ２は磁気ディスク面に対向する面に２本の側レール５と、中央の幅の狭い中央レール６とを備え、前記レールはそれぞれ磁気ディスク面にほぼ平行となる平坦部１２と１３および１度以下程度の緩い傾斜を持ったテーパ部１１と１４を備えて流体潤滑面を構成している。スライダの前面１０は前記レールの平坦部１２に直角な面で、前記流体潤滑面にもほぼ直角な面となる。また、レール５および６はその立ち上がり側面の稜線部分で面取りされた面取り部７，８を備え、機械加工で発生する欠けなどに対処している。以上の構成の主な部分は第５図に示した従来例と同じであり、その機能もまた同じであるが、本発明のこの実施例では、流体潤滑面上のテーパ部１１および１４と空気流の流入に対向する前面１０との稜線部分が面取りされずに存在する。また、前記前面１０は加工時の欠けなどを除くために研磨して鏡面仕上げとし、レール面との稜線に欠損部のないように処理される。
　上記構成において動作を説明すると、スライダ２がそのレールの面を回転する磁気ディスク面に接近して置かれるとき、磁気ディスク表面の空気流が前記レールとの間に流れ込んで正圧力を発生し、その正圧力と磁気ディスク面方向へあらかじめ与えた加重との釣合により、スライダは磁気ディスク表面との間に１μｍ以下の非常に狭い空隙を保って保持される。このとき前記レールのテーパ部１１および１４はその空気の流入に貢献し、面取り部７および８はレールの表面積を決めるもので、浮上力の適正化にも関与している。
　第２図（ａ）はこのスライダの側レール５の先端部分が磁気ディスク面２２から浮上している状態を断面で示す。
　図示のように、スライダの側レール５の平坦部１２が１μ以下の空隙を保って磁気ディスク面から浮上しているとき、テーパ部１１の先端部２３が磁気ディスク面２２から浮上する距離ｈ１はせいぜい数μｍである。従来のスライダのように面取り部がないので空気流の導入される開口部はこの数μｍの開口部だけである。このような状態で空気流に混在するダストがレールの先端部に達すると、前記の狭い開口部でダストは磁気ディスク面との空隙に入り込むことなく、スライダの前面１０で跳ね除けられる。実際に１０μｍのダストが混在する空気流を用いた一実験例では、従来の浮上式スライダでは５０％の確率で磁気ディスクが破壊したのが、本発明のこの実施例では１％の確率で破壊したに過ぎなかった。
　このように、本発明の一実施例の浮上式スライダによれば、流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接して前記気流の流入に対向する前面とをほぼ直角に構成することにより、磁気ディスク面とスライダの空隙にダストが侵入するのを有効に排除することができる。
　なお、スライダの前面１０を流体潤滑面にほぼ直角に設定することは前記圧力への関与のない独立性と製作上の加工性で好ましい選択といえるが、正確に直角である必要はない。
　第３図に本発明の第２の実施例のスライダの構成をその流体潤滑面を上にして斜視図で示す。
　図に示すように、磁性材料で形成されスライダ２に磁気コアー３がヘッドギャップ２１を保ちながら磁気的に結合して保持される。その磁気コアー３に設けられた空間部４にコイル（図示せず）が巻かれて磁気ヘッド部が構成される。前記スライダ２は磁気ディスク面に対向する面に２本の側レール５を備え、前記レールはそれぞれ磁気ディスク面にほぼ平行となる平坦部１２と段差部１５を備えて流体潤滑面を構成している。スライダの前面１０は前記レールの平坦部１２に直角で、流体潤滑面にも直角な面となる。この段差部１５は従来例のテーパ部に相当して流体潤滑面の一部を構成し、１μｍ以下の僅かな段差がラッピング加工など欠損の発生しない加工手段で設けられる。前記磁気ヘッド部は前記レールの後端部が磁気ディスクのトラックの幅に合わせて短冊状に狭く加工され、その両脇はガラス材料１６で補填された構造としている。
　上記第２の実施例において動作を説明すると、スライダがそのレールの面を回転する磁気ディスク面に接近して置かれるとき、磁気ディスク表面の空気流が前記レールとの間に流れ込んで正圧力を発生し、その正圧力と磁気ディスク面方向へあらかじめ与えた加重との釣合により、スライダは磁気ディスク表面との間に１μｍ以下の非常に狭い空隙を保って保持される。このとき前記レールの段差部１５は空気流の流入に貢献し、また、レールの平坦部１２の表面積は正圧力の適正化に関与している。
　スライダの側レール５の平坦部１２が１μ以下の空隙を保って磁気ディスク面から浮上しているとき、段差部の先端部が磁気ディスク面から浮上する距離はせいぜい数μｍである。従来のスライダのように面取り部がないので空気流の導入される開口部はこの数μｍの開口部だけである。このような状態で空気流に混在するダストがレールの先端部に達すると、前記の狭い開口部でダストは磁気ディスク面との空隙に入り込むことなく、スライダの前面１０で跳ね除けられる。
　このように、本発明の第２の実施例の浮上式スライダによれば、先端部に段差部分を備えた流体潤滑面と、その流体潤滑面に隣接して前記気流の流入に対向する面をほぼ直角に構成することにより、磁気ディスク面とスライダの空隙にダストが侵入するのを有効に排除することができる。
　なお、この実施例では磁気ヘッド部を二つ設けたことにより、その一方を記録動作に最適なものとし、他方を再生動作に最適なものとして使い分けることができる。また、スライダの前面１０を流体潤滑面にほぼ直角に設定することは前記圧力への関与のない独立性と製作上の加工性で好ましい選択といえるが、正確に直角である必要はない。
　また、スライダ前面１０を鏡面加工することによる効果は第１の実施例に同じである。
　第４図に本発明の第３の実施例をその流体潤滑面を上にして斜視図で示す。
　この第３の実施例は一般に負圧方式と呼ばれるスライダに本発明を用いた実施例である。
　図に示すように、磁性材料で形成されスライダ２に磁気コアー３がヘッドギャップ２１を保ちながら磁気的に結合して保持される。その磁気コアー３に設けられた空間部４にコイル（図示せず）が巻かれて磁気ヘッド部が構成される。前記浮上部２は磁気ディスク面に対向する面に２本の側レール５と、その２本の側レールを先端部分で連結する交差レール１６とを備え、前記３本のレールはそれぞれ磁気ディスク面にほぼ平行となる一つの平坦面を有し、前記交差レール１６の前縁部には段差部１５を設け、この段差部はレールの平坦部とともに流体潤滑面を構成している。スライダ２の前面１０は各レールに直角な面で、前記流体潤滑面にも直角な面である。段差部１５は従来例のテーパ部に相当し、１μｍ以下程度の僅かな段差がラッピング加工などで稜線部分に欠けなどの発生しない加工手段で設けられる。一方、３本のレール５，１６とあらかじめ決めた深さの面１７とが窪んだ空間部分を構成している。
　前記磁気ヘッド部は前記レールの後端部が磁気ディスクのトラックの幅に合わせて短冊状に狭く加工されて構成される。
　上記第３の実施例において動作を説明すると、スライダがそのレールの面を回転する磁気ディスク面に接近して置かれるとき、磁気ディスク表面の空気流が前記交差レール１６を横切って流入し、主に側レール５では正圧力を発生してスライダを磁気ディスク面から遠ざけるとともに、前記窪みの空間部分では空気流の断面積が増大するために負圧力が発生してスライダを磁気ディスク方向へ吸引する力が発生する。この相反する正圧力と負圧力とは磁気ディスクから特定の距離で釣り合って、スライダは磁気ディスク表面との間に１μｍ以下の非常に狭い空隙を保って保持される。このような動作を行なうスライダを一般的に負圧方式のスライダと呼ぶ。このとき、前記交差レールの段差部１５は空気流の流入に貢献し、また、各レールの平坦部の表面積は正圧力に関与し、前記交差レールは負圧の発生のための空間部分の形成に関与し、その窪みの深さは負圧力の大きさに関与して、それぞれ浮上量の適正化に貢献している。
　スライダのレール５の平坦部１２が１μ以下の空隙を保って磁気ディスク面から浮上しているとき、交差レールの段差部の先端部が磁気ディスク面から浮上する距離はせいぜい数μｍである。従来のスライダのように面取り部がないので空気流の導入される開口部はこの数μｍの開口部だけである。このような状態で空気流に混在するダストがスライダの先端部に達すると、前記の狭い開口部でダストは磁気ディスク面との空隙に入り込むことなく、スライダの前面１０で跳ね除けられる。
　このように、本発明の第３の実施例の浮上式スライダによれば、２本の側レールと、その側レールの先端部を連結して横切る交差レールを備えて負圧発生部を構成し、その交差レールの前縁に段差を設け、前記交差レールと、その交差レールに隣接して空気流の流入に対向する面とがほぼ直角となる構成により、磁気ディスク面とスライダの空隙にダストが侵入するのを有効に排除することができる。
　なお、２本の側レールの平坦部面積を小さく設定して正圧力のない負圧だけのスライダを構成することができる。
　また、スライダの前面１０を流体潤滑面にほぼ直角に設定することは前記圧力への関与のない独立性と製作上の加工性で好ましい選択といえるが、正確に直角である必要はない。
　また、この実施例では磁気ヘッド部を二つ設けたことにより、その一方を記録動作に最適なものとし、他方を再生動作に最適なものとして使い分けることができる。
　また、スライダ前面１０を鏡面加工することによる効果は第１の実施例に同じである。
発明の効果
　平坦部及び前記平坦部に隣接して設けられた段差部を備えた流体潤滑面と、段差部に隣接し気流の流入に対向する前面とがほぼ直角をなし、流体潤滑面で正圧と負圧の少なくとも一方を発生させる浮上式スライダであって、段差部と平坦部との高さの差が１μｍ以下
（但し、１μｍを除く。）
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の第１の実施例の浮上式スライダの構成を示す斜視図、第２図はスライダが磁気ディスク面から浮上している状態を示す要部断面図、第３図は本発明の第２の実施例の浮上式スライダの構成を示す斜視図、第４図は本発明の第３の実施例の浮上式スライダの構成を示す斜視図、第５図は従来の浮上式スライダの構成を示す斜視図である。
　２……スライダ、１０……スライダ前面、１１……テーパ部（流体潤滑面）、１２……平坦部（流体潤滑面）、１３……平坦部（流体潤滑面）、１４……テーパ部（流体潤滑面）、２２……磁気ディスク面。
【図面】