【事件の表示】
　特許第２９６４３１７号「原子間力顕微鏡型表面粗さ計」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９６４３１７号の請求項１ないし４に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許２９６４３１７号の請求項１ないし４に係る発明についての出願は、平成８年８月２６日に特許出願され、平成１１年８月１３日に設定登録がなされ、特許異議申立人山崎宏より請求項１ないし４に係る特許につき特許異議の申立てがなされた。そして、請求項１ないし４に係る発明について平成１２年１０月１６日付けで取消理由通知を通知したところ、特許権者から平成１２年１２月２６日付けで意見書が提出された。
　
２．本件発明
　本件特許第２９６４３１７号の請求項１ないし４に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし４に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】試料表面の凹凸を検出する触針と、半導体レーザー、レンズ、光検出素子より成り、触針の変位量をレーザー光を触針に照射しその反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出する変位検出手段と、試料と触針を一定の距離に制御するための微動機構と、触針を試料に対して接近させるためのモーター駆動型Ｚステージと、試料を触針に対して２次元的に走査させるモーター駆動型ＸＹステージと、装置全体を制御するコンピュータを有することを特徴とする表面粗さ計。
【請求項２】上記触針が原子間力顕微鏡に使用されるカンチレバーであることを特徴とする特許請求の範囲第一項記載の表面粗さ計。
【請求項３】上記微動機構が圧電素子であることを特徴とする特許請求の範囲第一項記載の表面粗さ計。
【請求項４】上記微動機構の変位を測定する変位測定手段を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第一項記載の表面粗さ計。」（以下「本件発明１」ないし「本件発明４」という。）
　
３．取消理由の概要
　請求項１ないし４に係る発明は、下記刊行物１ないし８記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１ないし４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであって取り消すべきである。
記
刊行物１：光技術コンタクト、
２９
刊行物２：特開平６−２６８５２号公報
刊行物３：特開平３−２９６６１２号公報
刊行物４：レーザ顕微鏡研究会第７回講演会論文集（１９９１−５−１０）ｐ．４９〜５４（「力顕微鏡」）
刊行物５：トライボロジスト、
３８
刊行物６：特開平６−２８１４４９号公報
刊行物７：特開平８−２１７２２号公報
刊行物８：特開平６−１９４１５２号公報
（刊行物１〜８は、甲第１〜８号証にそれぞれ対応している）
　
４．刊行物記載の発明
　特許異議申立人の提出した上記刊行物２には、次の事項が図面とともに記載されている。
「【産業上の利用分野】本発明は、試料の表面に沿って探針を走査することにより試料の情報を得る走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡としては、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）や磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）などが知られている。
【０００３】ＳＴＭは、１ｎｍ程度の間隔で配置された導電性の探針と試料の間に電圧を印加した際に流れ、その大きさが間隔に依存して変化するトンネル電流の性質を利用し、トンネル電流を一定に保ちながら探針を試料表面に沿って走査したときの探針の位置情報に基づいて試料表面の形状を計測する装置である。
【０００４】一方、ＡＦＭとＭＦＭは共に、柔軟なカンチレバーの自由端に設けた探針を試料に近づけた際に探針と試料の間に作用する力（ＡＦＭでは原子間力、ＭＦＭでは磁気力）を利用して試料の情報を得ている。つまり、探針の受ける力に応じて生じるカンチレバーの自由端の変位を一定に保ちながら試料の表面を走査し、そのときの探針の位置情報から試料の情報を得ている。このように探針と試料の間に作用する何等かの力を利用して試料観察を行なうこれらの装置は総称して走査型力顕微鏡（ＳＦＭ）と呼ばれている。」（【０００２】〜【０００４】）、
「まず、本発明の第一実施例である原子間力顕微鏡について図１〜図３を参照しながら説明する。本実施例は、図１に示すように、光てこセンサユニット４を有している。光てこセンサユニット４は、自由端に探針を有するカンチレバー５と、レーザービームを射出するレーザーダイオード３と、レーザービームをカンチレバー５の自由端に向けて偏向するミラー２と、カンチレバー５の自由端で反射されたレーザービームを受光するフォトディテクター１とを有している。光てこセンサユニット４は、ｚステージ９に固定した円筒型圧電体１５の上にセンサユニット支持部２１を介して設けられている。円筒型圧電体１５は、光てこセンサユニット４を上下方向すなわちｚ方向に移動させる。ｚステージ９は、モーター８によりｚ方向に移動できるようにリニアガイド１０を介して基盤１１に取り付けられており、移動を円滑に行なうためのばね１２がｚステージ９と基盤１１の間に設けられている。ｚステージ９の上端には、光てこセンサユニット４のｚ方向の位置を光学的に検出するｚ変位検出センサ１３が取り付けてある。また、ｚステージ９は円筒型圧電体１５を取り付けた底部に開口を有しており、これらの内側に、下端が基盤１１に固定された円筒型圧電体７が配置されている。円筒型圧電体７の上端には試料６を載せる試料台２４が取り付けてあり、円筒型圧電体７はこの試料６をｘｙ方向に移動させる。さらに、円筒型圧電体１５の内側には、試料６のｘｙ位置を光学的に検出するｘ変位検出センサ１４ａとｙ変位検出センサ１４ｂが設けられている。このｘ変位検出センサ１４ａとｙ変位検出センサ１４ｂさらに上述したｚ変位検出センサには、光干渉計センサや容量変位計センサ・バンドルファイバ型変位計センサ・臨界角法による変位計センサ（ＨＩＰＯＳＳ）等の非接触型変位検出センサを用いる。これらの変位検出センサの変位−出力信号特性は図９に示すようにヒステリシスを含んでいない。
【００１１】次に図３を参照しながら測定動作について説明する。まず、フォトディテクター１の出力をモニターしながらモーター８を用いてｚステージ９を下げて行き、カンチレバー５の探針と試料６の間に所定の大きさの原子間力が発生し、フォトディテクター１が所定の出力を示したところで接近を停止させる（図２（Ａ））。」（【００１０】〜【００１１】）、
「この走査の間、光てこセンサユニット４から出力されるカンチレバー変位信号は常にｚ制御回路３４に入力されており、ｚ制御回路３４はカンチレバー変位信号を一定に保つように円筒型圧電体１５を駆動するｚサーボ信号を出力している。・・・ｚ制御回路３４は、この変化が消えるように、すなわち探針と試料表面の間隔が初期の値に戻るように、光てこセンサユニット４を移動させるｚサーボ信号を円筒型圧電体１５に供給している。このとき、光てこセンサユニット４の位置すなわち探針の位置は・・・マイコン３１に入力されている。
【００１４】マイコン３１は、入力したｘ変位信号とｙ変位信号とｚ変位信号をホストコンピュータ３２に転送し・・・試料６の表面の画像を形成し、これを表示する。」（【００１３】〜【００１４】）、
「続いて、本実施例の変形例について図７と図８を参照しながら説明する。本実施例では、図７に示すように、光ファイバーセンサユニット６０をｘｙ方向に移動させる円筒型圧電体１５がｚステージ９に固定されている。そして、基盤１１の上には大型のｘｙ微動ステージ２３が設けられている。・・・この試料台２４は、その側面がｘ方向とｙ方向に直交するように配置されており、ｘ方向に直交した側面には、一端が基盤固定台１１ａに固定されたｘ駆動圧電体２３ａの他端が固定され、ｙ方向に直交した側面には、一端が基盤固定台１１ｂに固定されたｙ駆動圧電体２３ｂの他端が固定されている。・・・この変形例の装置は、大型のｘｙ微動ステージ２３を有しているので、大型の試料６を観察することができる。」（【００２１】）
　
５．判断
【本件発明１について】
　本件発明１と刊行物２に記載の発明とを対比する。
（１）刊行物２の「原子間力顕微鏡」は「走査型プローブ顕微鏡」の一種（【０００２】）であり、また同様に「走査型プローブ顕微鏡」の一種である「ＳＴＭ」は、「試料表面に沿って走査したときの探針の位置情報に基づいて試料表面の形状を計測する装置」（【０００３】）であって、該「試料表面の形状を計測する装置」が「表面粗さ計」に相当することは明らかであるから、刊行物２の「原子間力顕微鏡」は本件発明１の「表面粗さ計」に相当する。（このことは刊行物５にも見られるように明らかなことにすぎない。）
（２）刊行物２の「探針」「レーザーダイオード３」「フォトディテクター１」「マイコン３１」がそれぞれ本件発明の「触針」「半導体レーザー」「光検出素子」「変位検出手段」「装置全体を制御するコンピュータ」に相当することは明らかである。
（３）刊行物２には、「ｚステージ９は、モーター８によりｚ方向に移動できるようにリニアガイド１０を介して基盤１１に取り付けられ」（【００１０】）、「フォトディテクター１の出力をモニターしながらモーター８を用いてｚステージ９を下げて行き、カンチレバー５の探針と試料６の間に所定の大きさの原子間力が発生し、フォトディテクター１が所定の出力を示したところで接近を停止させる」（【００１１】）、「ｚ制御回路３４は、この変化が消えるように、すなわち探針と試料表面の間隔が初期の値に戻るように、光てこセンサユニット４を移動させるｚサーボ信号を円筒型圧電体１５に供給している。」（【００１３】）と記載されており、該記載は本件発明１の「試料と触針を一定の距離に制御するための微動機構」及び「触針を試料に対して接近させるためのモーター駆動型Ｚステージ」との技術的事項を開示するものである。
（４）刊行物２には、「円筒型圧電体７の上端には試料６を載せる試料台２４が取り付けてあり、円筒型圧電体７はこの試料６をｘｙ方向に移動させる。」（【００１０】）と記載されており、該記載は本件発明１の「試料を触針に対して２次元的に走査させる」「ＸＹステージ」との技術的事項を開示するものである。
　上記（１）〜（４）の考察より、両者は、「試料表面の凹凸を検出する触針と、半導体レーザー、光検出素子より成り、触針の変位量をレーザー光を触針に照射しその反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出する変位検出手段と、試料と触針を一定の距離に制御するための微動機構と、触針を試料に対して接近させるためのモーター駆動型Ｚステージと、試料を触針に対して２次元的に走査させるＸＹステージと、装置全体を制御するコンピュータを有する表面粗さ計」である点で一致し、次の点で相違する。
相違点１：
　本件発明１は、変位検出手段が「レンズ」を有しているのに対し、刊行物２のものは、レンズを有するものではない点。
相違点２：
　本件発明１のＸＹステージは、「モーター駆動型」であるのに対し、刊行物２のＸＹステージは、円筒型圧電体で駆動されており、したがってモーター駆動型ではない点。
　
相違点１について：
　「試料表面の凹凸を検出する触針と、半導体レーザー、光検出素子より成り、触針の変位量をレーザー光を触針に照射しその反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出する変位検出手段」にレンズを設けることは、刊行物１、３、４にも見られるように周知のことにすぎないので、上記相違点１は必要に応じ当業者が適宜なし得る程度のことである。
相違点２について：
　表面あらさ測定器等においてモーター駆動型のＸＹステージを採用することは、刊行物６ないし８にも見られるように周知のことにすぎない。また刊行物２には、「この変形例の装置は、大型のｘｙ微動ステージ２３を有しているので、大型の試料６を観察することができる。」（【００２１】）と記載されており、大型の試料を観察するとき、すなわち広い範囲を原子間力顕微鏡で観察するときには、大型のｘｙ微動ステージを採用すればよいことを示唆している。してみれば刊行物２の大型のｘｙ微動ステージとして、従来周知のモーター駆動型ＸＹステージを採用することは当業者が容易になし得る事項である。
　よって本件発明１は、刊行物２に記載の発明及び周知技術から当業者が容易になし得たものである。
　
【本件発明２について】
　本件発明２は、本件発明１の技術的事項をさらに「上記触針が原子間力顕微鏡に使用されるカンチレバーである」と限定するものであるが、刊行物２は、原子間力顕微鏡を開示するものであるから、上記の限定された点は刊行物２に対する相違点を構成するものではないので、本件発明２についての判断は本件発明１と同様である。
　
【本件発明３について】
　本件発明３は、本件発明１の技術的事項をさらに「微動機構が圧電素子である」と限定するものであるが、本件発明１と同様の技術的事項については上記の判断と同様であり、また上記の限定された点については、刊行物１（「ＳＦＭでは・・・探針−カンチレバーではなく試料を移動させるのが普通である。・・・角柱上のＰＺＴを、ＸＹＺ３軸に組むことによって３次元走査を実現している。」（６１８頁右欄１４行〜３０行）との記載参照）及び刊行物３（「試料１は微動素子４に固定され、３次元に駆動される。・・・微動素子としては圧電素子が使われる例が多い。」（２頁左下欄１６行〜同頁右下欄１行）との記載参照）にも見られるように周知のことにすぎないので、本件発明３は、本件発明１についての判断と同様に、刊行物２に記載の発明及び周知技術から当業者が容易になし得たものである。
　
【本件発明４について】
　本件発明４は、本件発明１の技術的事項をさらに「微動機構の変位を測定する変位測定手段を設けた」と限定するものであるが、刊行物２のものは、微動機構の変位を測定する変位測定手段を設けたもの（刊行物２の「光てこセンサユニット４のｚ方向の位置を光学的に検出するｚ変位検出センサ１３」参照）であるから、上記の限定された点は刊行物２に対する相違点を構成するものではないので、本件発明４についての判断は本件発明１と同様である。
　そして、本件発明１ないし４が奏する効果も、刊行物２に記載された発明及び周知技術から予測しうる程度のものである。
　
６．むすび
　以上のとおり、本件発明１ないし４は、刊行物２に記載の発明及び周知技術に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、請求項１ないし４に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月２５日（２００１．１．２５）