【事件の表示】
　特許第２７９２２７６号「導電ガラス」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７９２２７６号の特許を維持する。
【理由】
１．手続の経緯
　特許第２７９２２７６号の請求項１に係る発明は、平成３年４月３日に特許出願され、平成１０年６月１９日にその特許の設定登録がなされ、その後、辰口工業硝子株式会社より特許異議申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年６月１５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正事項
（ａ）特許請求の範囲の請求項１において、「該化学強化処理は該被膜の被覆の後に施され、」を、「該化学強化処理は、酸化錫を主成分とする被膜の被覆後に施され、」と訂正する。
（ｂ）同請求項１において「該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｃｍ２であり、」を、「該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であり、」と訂正する。
（ｃ）明細書の段落番号【０００９】に「【課題を解決するための手段】請求項１の導電ガラスは、ガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が施された導電ガラスであって、▲１▼該酸化錫を主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、▲２▼カリウムの濃度が、０．１〜１０．０重量％であり、▲３▼ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であることを特徴とする。」とあるのを、
「【課題を解決するための手段】請求項１の透明帯電防止体は、ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が被覆された透明導電防止体であって、該化学強化処理は酸化錫を主成分とする被膜の被覆後に施され、▲１▼該酸化錫を主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、▲２▼該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が、０．１〜１０．０重量％であり、▲３▼該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であり、▲４▼該酸化錫を主成分とする被膜の１ｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であることを特徴とする。」と訂正する。
（ｄ）明細書の段落番号【００１６】に、「こうして得られた導電ガラスでは、その電気抵抗値は化学強化処理前に比べ若干増加するが実用上大きな障害ではない。」とあるのを、「こうして得られた導電ガラスでは、その電気抵抗値は化学強化処理前に比べ若干増加するが、透明帯電防止体として実用上大きな障害ではない。」と訂正する。
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項（ａ）は明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正である。
　上記訂正事項（ｂ）は誤記の訂正を目的とする訂正である。
　上記訂正事項（ｃ）は、特許請求の範囲の記載内容と発明の詳細な説明の欄の記載内容との整合性を図るため、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正である。
　上記訂正事項（ｄ）は明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正である。
　そして、上記の各訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項、第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人は、本件特許明細書の記載は特許法第３６条に規定する要件を満たしておらず、また証拠として甲第１号証（特公昭５３−１９０１３号公報）、甲第２号証（特公昭４７−１３０７号公報）及び甲第３号証（特公昭５４−８４９２号公報）を提出して、本件訂正明細書の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という）の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、本件発明の特許を取り消すべき旨主張する。
イ．本件発明
　本件発明は、訂正明細書の請求項１に記載された次のとおりのものである。（分節記号を付与）「Ａ．ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、
Ｂ．カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が被覆された透明帯電防止体であって、
Ｃ．該化学強化処理は、酸化錫を主成分とする被膜の被覆後に施され、
Ｄ．該酸化錫（「該酸化錫を」の誤記）主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、
Ｅ．該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が０．１〜１０．０重量％であり、
Ｆ．該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であり、
Ｇ．該酸化錫を主成分とする被膜の１ｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であることを特徴とする透明帯電防止体。」
ウ．特許法第３６条違反について
　申立人は、特許異議申立書において、次のことを主張している。
（１）本件特許明細書の発明の詳細な説明の項には、「導電ガラス」に関する説明はあるが、請求項１に記載される「透明帯電防止体」に関する説明は何等なく、また導電ガラスの説明により透明導電防止体を説明したことにはならない。
（２）請求項１の構成要件Ａ，Ｂのうち「ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜を被覆された」という技術は発明の詳細な説明の項に記載されておらず、また構成要件Ｃの内容である「該化学強化処理は該被膜の被覆の後に施され」という技術も記載されていない。
（３）明細書の段落番号【００２７】に「酸化錫膜への化学強化工程の影響を把握するためＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）により・・・，Ｋ，・・原子の深さ方向濃度プロファイルを観察・・・」と記載され、明細書の段落番号【００３３】の【発明の効果】に「酸化錫膜を通してガラス中のナトリウムイオンがカリウムイオンに置換され、」と記載されているが、表面に金属酸化物を被覆したガラスをイオン置換により化学強化することは、技術的に極めて難しいものである。それを可能とするためには特別の工夫発明を要するはずであるが、本件特許明細書には、導電性を有する酸化錫膜とガラスの強度を増大させる化学強化とを結び付けるという最も肝要な点の説明が欠如している。
（４）本件発明の透明帯電防止体が如何にして静電気の発生、蓄積を防止するのか（例えばどのようにアースし、どの程度帯電防止の効果があるか等）の記載が発明の詳細な説明になければ、本件発明を理解することはできないし、実施することもできない。
　上記（１）〜（４）について検討する。
　（１）については、上記訂正請求により、申立人の主張は妥当なものではなくなった。
　（２）について、請求項１の構成要件Ａ，Ｂのうち「ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜を被覆された」という技術は発明の詳細な説明の項に記載されていない旨申立人は主張するが、発明の詳細な説明には、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜を該ガラス板上に被覆する記載があるから、この点の申立人の主張は妥当ではない。また、構成要件Ｃについては、上記訂正請求により、申立人の主張は妥当なものではなくなった。　
　（３）については、発明の詳細な説明、特に実施例１，２には明確に実施した例が示されているし、その結果として、例えば明細書の段落番号【００２７】に「酸化錫膜〜の化学強化工程の影響を把握するためＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）により・・・，Ｋ，　・・原子の深さ方向濃度プロファイルを観察・・・」と記載され、明細書の段落番号【００３３】の【発明の効果】に「酸化錫膜を通してガラス中のナトリウムイオンがカリウムイオンに置換され、」と記載されているのである。よって、この点の申立人の主張は妥当ではない。
　（４）については、本件発明は透明帯電防止体に関するもので、透明帯電防止体自体で静電気の発生、蓄積を防止し得るものであるから、この点の申立人の主張は妥当ではない。　したがって、本件明細書の記載は特許法第３６条違反であるとする申立人の主張は妥当ではない。
エ．特許法第２９条第２項違反について
（１）甲第１〜３号証記載の発明
　甲第１号証；
　特許請求の範囲には、「透明な導電被膜を有するガラス物品において、不純物として０．１〜２．０原子％の弗素を添加した酸化錫または・・・酸化インジウムから上記被膜を構成し、その被膜の厚さを約０．００７〜０．０２μｍとし、かつその抵抗値を１〜１０ｋΩ／口とした・・・」と記載されている。
　甲第２号証；
　ガラスの強化及び耐摩耗処理方法に関するものであって、第１頁第１欄第３３〜３７行には、「ガラスは、その表面のナトリウムイオンの如きイオンをこれより大きいカリウムイオンのようなイオンで置き換えてガラス表面に詰め込み、圧縮応力層を作ることによって強化することができるのは公知である。」と記載されている。
　また、第４頁の特許請求の範囲には、「加熱したガラスの表面をスズ、・・・を含む化合物で処理してこの化合物を熱分解させガラス表面に前記一つの金属の酸化物の被膜を形成する工程と、このガラスをそのひずみ点付近の温度に保持してその表面をリン酸塩溶液で処理する工程と、このガラスをガラスのひずみ点以下の高い温度に所定時間保持してガラスのナトリウムイオンと前記溶液のカリウムイオンとが置換されてガラス表面に所望の厚さの圧縮応力層を形成する工程と、・・」と記載されている。
　さらに、第２頁第３欄第３２〜３７行には、「本発明によれば、上述の二つの望ましい処理、即ち、金属酸化物のコーテイングとオレフインポリマーのコーテイングとを複合した耐磨耗処理と、気化温度においてカリウム塩溶液をガラスに噴霧することによって行われる化学的強化処理とを効果的に組み合わせることができる。」と記載されている。
　甲第３号証；
　特許請求の範囲には「１．・・・ガラス容器外表面にスズ又はチタンの酸化物被膜を形成する工程、２．該ガラス容器を徐冷後その内表面及び外表面にＫＣｌとＫＮＯ３、又はＫ２ＳＯ４とＫＮＯ３よりなる混合塩の水溶液を比較的低温で付着する工程、３．・・・・実質的に圧縮応力層の深さが１０μ以上、圧縮応力値が７００ｋｇ／ｃｍ２以上になるようにする工程、・・・耐摩耗性処理を施したガラス容器を化学強化する方法。」が記載されている。
　第７頁の表には、金属酸化物の厚みが５０〜１３０Åで、３００〜１１０６Ｋｇ／ｃｍ２である例が記載されている。
（２）対比・判断
　本件発明と甲第１〜３号証に記載の各発明とを比較検討する。
　本件発明と甲第１号証に記載の発明とを対比すると、後者のものは、「ガラス板上に、酸化錫を主成分とする被膜が被覆されたもの」である点で本件発明と一致し、かつ該被膜の厚さについて一致する範囲があるが、（１）後者で使用するガラス板は、本件発明（前者）のように「Ａ．ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化が施されたガラス板」ではない点、（２）後者の酸化錫被膜が、前者のように「Ｂ．カリウムを含む被膜」ではない点、（３）前者のガラス表面応力が２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であるのに対して、後者にはその値が記載されていない点、（４）前者は「Ｇ．酸化錫を主成分とする被膜の
１ｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下である」のに対して、後者は、該被膜の抵抗値が１〜１０
ｋΩ／口
　上記各相違点について甲第２、３号証を検討する。
　甲第２号証には、酸化錫被膜を被覆するガラス板として、ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化が施されたガラス板を使用すること、また該化学強化処理は酸化錫被膜の被覆後に施されることが記載されている。しかしながら、甲第２号証には、本件発明のように「Ｅ．該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が０．１〜１０．０重量％であり、Ｆ．該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であり、Ｇ．該酸化錫を主成分とする被膜のｌｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であること」の記載は何等ないし、それらのことを示唆する記載もない。　　　　　　　　　　　　　　　
　甲第３号証には、甲第２号証と同様、酸化錫被膜を被覆するガラス板として、ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化が施されたガラス板を使用すること、また該化学強化処理は酸化錫被膜の被覆後に施されることが記載されている。しかしながら、甲第３号証には、本件発明のように「Ｅ．該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が０．１〜１０．０重量％であり、Ｇ．該酸化錫を主成分とする被膜のｌｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であること」の記載は何等ないし、それらのことを示唆する記載もない。また、甲第３号証には、圧縮応力値（表面応力）が３００〜１１０６Ｋｇ／ｃｍ２（３〜１１．０６Ｋｇ／ｍｍ２）である例が記載されているがこの範囲の値は、本件発明の「２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２」とは明らかに異なる値である。
　したがって、甲第１号証記載の発明と甲第２、３号証記載の発明とを組み合わせて、本件発明が容易に想起し得るものとはいえない。
オ．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年７月５日（１９９９．７．５）
【訂正の要旨】
（ａ）特許請求の範囲の請求項１において、「該化学強化処理は該被膜の被覆の後に施され、」を、明りょうでない記載の釈明を目的として「該化学強化処理は、酸化錫を主成分とする被膜の被覆後に施され、」と訂正する。
（ｂ）同請求項１において「該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｃｍ２であり、」を、誤記の訂正を目的として「該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であり、」と訂正する。
（ｃ）明細書の段落番号【０００９】に
「【課題を解決するための手段】請求項１の導電ガラスは、ガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が施された導電ガラスであって、▲１▼該酸化錫を主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、▲２▼カリウムの濃度が、０．１〜１０．０重量％であり、▲３▼ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２であることを特徴とする。」とあるのを、
明りようでない記載の釈明を目的として、
「【課題を解決するための手段】請求項１の透明帯電防止体は、ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が被覆された透明導電防止体であって、該化学強化処理は酸化錫を主成分とする被膜の被覆後に施され、▲１▼該酸化錫を主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、▲２▼該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が、０．１〜１０．０重量％であり、▲３▼該ガラス表面応力が、２０〜１００Ｋｇ　／ｍｍ２であり、▲４▼該酸化錫を主成分とする被膜のｌｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であることを特徴とする。」と訂正する。
（ｄ）明細書の段落番号【００１６】に、
「こうして得られた導電ガラスでは、その電気抵抗値は化学強化処理前に比べ若干増加するが実用上大きな障害ではない。」とあるのを、明りょうでない記載の釈明を目的として、「こうして得られた導電ガラスでは、その電気抵抗値は化学強化処理前に比べ若干増加するが、透明帯電防止体として実用上大きな障害ではない。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
導電ガラス
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】
　ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施されたガラス板上に、カリウムを含む酸化錫を主成分とする被膜が被覆された透明帯電防止体であって、該化学強化処理は、
酸化錫を主成分とする
▲１▼該酸化錫主成分とする被膜の厚みが、１〜１００ｎｍの範囲であり、
▲２▼該酸化錫を主成分とする被膜中のカリウム濃度が、０．１〜１０．０重量％であり、
▲３▼該ガラス表面応力が、２０〜１００ｋｇ／
ｍｍ２
▲４▼該酸化錫を主成分とする被膜の１ｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下であることを特徴とする透明帯電防止体。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【発明の属する技術分野】
　本発明は導電ガラスに関し、特に高強度・高耐摩耗性能を有する透明導電ガラスに関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　近年、導電ガラスは、各種ディスプレー・薄膜太陽電池などの電極、また透明タッチセンサー、透明帯電防止体、透明電磁波遮蔽体など様々な分野で応用が図られている。導電ガラスはもっぱら、ガラス上に透明導電性の被膜材料をコーティングすることで得られている。この種の材料としては、半金属的挙動を示す酸化物材料が好んで使用され、代表的なものとしては酸化錫、酸化インジウム錫（以下ＩＴＯと記述する）、酸化亜鉛、酸化カドミウム錫などが挙げられる。
　　　【０００３】
　用途によっては、導電ガラスが通常使用空間に露出するため、高い耐摩耗性、耐薬品性（耐酸、耐アルカリ性）を要求されるものもある。また、安全性を確保するため、ガラス自体も通常板ガラスより著しく高い強度を要求される場合がある。高い強度のガラスを得るためには通常、軟化点以上に加熱したガラスを、急速に表面から冷却して圧縮応力を得る風冷強化と言われる手段ないしは、ガラスをカリウムイオンを含む溶融塩に浸漬し、ガラス中のナトリウムイオンと交換させ、イオンの大きさの違いに基づいて表面圧縮応力を得る化学強化と呼ばれる手段が好まれる。いずれにせよ、ガラスの強度を増加させる工程では４００℃から６００℃程度の高温にさらされることになる。
　　　【０００４】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、導電ガラスの電気的特性と膜の機械的強度並びにガラス強度を同時に満足させるのは困難でった。例えば、透明導電膜として代表的なＩＴＯ膜では、優れた電気特性を示すのであるが、膜の耐摩耗性・耐薬品性は弱い上にガラス板の強度を得るために風冷強化または化学強化処理を行うと、電気特性が劣化したりあるいは膜が欠損するという問題に直面する
　　　【０００５】
　一方酸化錫膜では、耐摩耗性能がＩＴＯ膜に比して優れている。しかし、これを風冷強化してガラスの強度を増そうとすると、その工程の急激な温度変化のために、しばしば膜に亀裂が生じたり、著しくガラスが変形してしまう。従ってこの風冷強化処理に当たっては、厳密な温度管理が必要となり、ともすれば生産性を損なうことになる。
　　　【０００６】
　さらに、予め風冷・化学強化処理を施したガラスに透明導電膜を施すことも考えられるが、この場合膜付け処理温度が高温であると、表面圧縮応力層が原子の移動拡散によって消失してしまう。
　　　【０００７】
　したがって、十分なガラス強度を持った導電ガスを作製するための手段としては、強化処理を施した後、低温で膜付け処理が行なえる方法（例えば真空蒸着、スパッタ法）にならざるをえないが、この種の設備は真空を必要とし、膜付けコストが高くなるのはやむを得ない実状であった。
　　　【０００８】
　本発明は上記従来の問題点を解決し、高強度・高耐摩耗性能を有する導電ガラスを提供することを目的とする。
　　　【０００９】
　　【課題を解決するための手段】
　請求項１の
透明帯電防止体
ガラス中のナトリウムイオンをカリウムイオンに置換する化学強化処理が施された
透明導電防止体
酸化錫を主成分とする
り、▲４▼該酸化錫を主成分とする被膜の１ｃｍ間隔の２端子間抵抗が５．０５×１０７Ω以下
　　　【００１０】
　本発明は、ガラス板上に酸化錫被膜を１〜１００ｎｍ形成した後、該ガラス板を溶融硝酸カリウムと接触させて該ガラス板および該被膜中にカリウムを含ませ、該被膜中のカリウム濃度を０．１〜１０重量％、かつ、ガラス表面圧縮応力を２０〜１００Ｋｇ／ｍｍ２とすることにより製造される。
　　　【００１１】
　本発明の酸化錫を主成分とする被膜は、熱分解法によって形成することができる。
　　　【００１２】
　（作用）本発明によれば、適当な厚みの酸化錫膜を成膜した後、化学強化の手法をとれば、膜の電気的特性を大きく損なうことなくガラスに強度がもたせられて、かつ酸化錫膜にカリウムが含まれることによって膜の耐摩耗性能も向上させることが可能となった。
　　　【００１３】
　酸化錫の成膜手段としては、真空蒸着法、スパッタ法、スプレー法、ＣＶＤ法、ディッピング法など種々の方法があるが、この中でもコスト・生産性の点からスプレー・ＣＶＤなどのいわゆる熱分解法が有利である。熱分解法では、熱分解性を有する錫化合物が主原料となり、具体的にはＳｎＣｌ４、（ＣｎＨ２ｎ＋１）４Ｓｎ（ただし、ｎ＝１〜４）、Ｃ４Ｈ９ＳｎＣｌ３、（ＣＨ３）２ＳｎＣｌ２、（Ｃ４Ｈ９）２Ｓｎ（ＯＣＯＣＨ３）２等を使用するのが一般的である。また、電気的特性を向上させるために、ふっ素がしばしば膜に添加されるが、この原料としてはＨＦ、ＣＣｌ２Ｆ２，ＣＨＣｌＦ２、ＣＨ３ＣＨＦ２、ＣＦ３Ｂｒ、ＣＦ３ＣＯＯＨ、ＮＨ４Ｆ等が知られている。これらの原料の蒸気を酸素等の酸化性ガスと共に加熱したガラスに接触させて膜を得る、またはアルコール、ベンゼン、トルエン等の有機溶媒に溶解して加熱されたガラスに噴霧して膜を得る。
　　　【００１４】
　膜厚は電気抵抗を低くするという点からは厚いほうがよいが、あまり厚いと膜の光吸収により透明性が損なわれたり、化学強化工程でのイオン交換が困難となる。実用的な膜厚範囲は１〜１００ｎｍ、望ましくは５〜５０ｎｍである。
　　　【００１５】
　化学強化は硝酸カリウムのようなカリウムを含む塩を溶融させ、所定時間ガラスを浸漬させて行う。
　　　【００１６】
　こうして得られた導電ガラスは、その電気抵抗値は化学強化処理前に比べ若干増加するが
透明帯電防止体として
　　　【００１７】　この膜の耐摩耗性能を調べるために、往復摺動試験器を用いて電気抵抗値の変化を測定したところ、化学強化を施したもののほうが初期抵抗値は高いものの変化の程度は小さく、最終的には抵抗値が逆転し化学強化を施したものが高い耐久性能を持つに至った。この詳細な原因は不明であるが、図２に示す如く酸化錫膜中にほぼ均一に分布しているカリウムが何らかの関与をしていると考えてよかろう。
　　　【００１８】
　化学強化工程で侵入する酸化錫膜中のカリウム濃度は、０．１〜１０重量％が望ましい。カリウム濃度が０．１重量％より低いと耐摩耗性能の向上への効果が薄れる。また１０重量％より高いと膜の電気抵抗が高くなる等の悪影響が現れる。
　　　【００１９】
　またガラスの強度を光弾性法を用いたガラス表面応力測定器で評価したところ、酸化錫の膜のない試料と遜色のない強度を有する導電膜付きガラスが得られることがわかった。化学強化の妥当性に関してガラス表面のカリウムの深さ方向濃度プロファイルを見たが、図１に示すように膜の有無に関わらず同じプロファイルが得られた。
　　　【００２０】
　化学強化処理によるガラス表面応力の値は２０〜１００ｋｇ／ｍｍ２の値が望ましい。表面応力値が１００ｋｇ／ｍｍ２以上では、ガラスの破壊応力値（約２００〜３００ｋｇ／ｍｍ２）に近づき、応力不安定となり自己破壊の恐れが生じ好ましくない。また表面応力値が２０ｋｇ／ｍｍ２以下であるとガラスの強度上昇には事実上結びつかない上に、非膜面（正常に化学強化される）の表面応力との差が大きくなり反り等の悪影響が生じてしまう。
　　　【００２１】
　　【発明の実施の形態】
実施例１
　よく洗浄した１００ｍｍ角のフロート板ガラス（５ｍｍ厚）を用意し、基板とした。これに以下の方法で酸化錫膜を施した。
　　　【００２２】
　モノブチル錫１トリクロライドと水蒸気、酸素ガス、１，１−ジフルオロエタンガスおよび窒素ガスよりなる混合気体を用い，ＣＶＤ法により作製した。ガラスの加熱温度は５４０℃であった。錫原料の流量を適宜変更させ、膜厚の異なる３種類の膜を得た。この導電ガラスの電気抵抗値（１ｃｍ間隔の２端子間抵抗）およびＣ光線透過率は表１に記載した通りである。（以下余白）
　　　
　　　【００２３】
　次にこの３種類の導電ガラスを溶融状態の硝酸カリウム（温度４７０℃）に４．５時間浸漬しその後引き上げてから徐冷した。比較のために酸化錫膜のないフロート板ガラス（５ｍｍ厚）も同時に浸漬した。その後水洗し、電気抵抗値およびＣ光線透過率を測定した。
　　　【００２４】
　このサンプルから５０×７０ｍｍの小片を切り出し、この膜の耐摩耗性能を調べるために、往復摺動試験器を用いて電気抵抗値の変化を測定した。この結果は図３に示す。
　　　【００２５】
　次いでガラスサンプルから３０ｍｍ角の小片を切り出し、東芝硝子製硝子表面応力測定装置により上記強化処理を行ったガラスの表面応力を測定した。これらの結果を同じく表１に記載した。
　　　【００２６】
　イオン交換が行なわれているかどうかを確認するため、ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザー）によりガラス表面からカリウムイオンの深さ方向濃度プロファイルを観察した。結果を図１に示す。
　　　【００２７】
　また、酸化錫膜への化学強化工程の影響を把握するためＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）によりＳｎ、Ｋ、Ｎａ、Ｓｉ原子の深さ方向濃度プロファイルを観察した結果を図２に示した。
　　　【００２８】
実施例２
　よく洗浄した１００ｍｍ角のフロート板ガラス（５ｍｍ厚）を用意し、基板とした。これに以下の方法で酸化錫膜を施した。
　　　【００２９】
　ジブチル錫ジアセテートとトリフルオロアセテート、インプロパノールを以下の割合で混合し、この液を６００℃に加熱したガラスに噴霧して酸化錫膜を作製
　　　　　ジブチル錫ジアセテート　　１０．０ｇ
　　　　　トリフルオロアセテート　　　１．６ｇ
　　　　　イソプロパノール　　　　　２００ｃｃ　　
した。噴霧時間を変更させて膜厚の異なる３種類の膜を得た。この導電ガラスの電気抵抗値（１ｃｍ間隔の２端子間抵抗）およびＣ光線透過率は表２に記載した通りである。
　
　　　【００３０】
　次にこの４種の導電ガラスを溶融状態の硝酸カリウム（温度４７０℃）に４．５時間浸漬しその後引き上げてから徐令した。比較のために酸化錫膜のないフロート板ガラス（５ｍｍ厚）も同時に浸漬した。その後水洗し、電気抵抗値およびＣ光線透過率を測定した。
　　　【００３１】
　次いでガラスサンプルから３０ｍｍ角の小片を切り出し東芝硝子製硝子表面応力測定装置により上記強化処理を行ったガラスの表面応力を測定した。これらの結果を同じく表２に記載した。
　　　【００３２】
　残ったサンプルから５０×７０ｍｍの小片を切り出し、この膜の耐摩耗性能を調べるために、往復摺動試験器を用いて電気抵抗値の変化を測定した。この結果は実施例１と同様であった。
　　　【００３３】
　　【発明の効果】
　以上のように本発明によれば、酸化錫膜を通してガラス中のナトリウムイオンがカリウムイオンに置換され、ガラス表面に圧縮応力層が形成されると同時に、酸化錫被膜中にカリウムが含まれるようになるので、機械的強度の高いガラス板が得られると同時に、膜の耐摩耗性能も著しく増加されることがわかった。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　図１は本発明の実施例における酸化錫膜付けガラスの化学強化処理後のＮａ、Ｋイオンの深さ方向プロファイルである。
　【図２】
　図２は本発明の実施例における酸化錫膜付けガラスの化学強化処理後の膜中およびガラス表面のＳｎ、Ｓｉ、Ｎａ、Ｋの深さ方向プロファイルである。
　【図３】
　図３は本発明の実施例における酸化錫膜付けガラスの化学強化処理前および後のガラスの耐摩耗性能試験結果である。