【事件の表示】
　特許第２９０４５６４号「中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０４５６４号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１手続の経緯
  本件特許第２９０４５６４号の請求項１ないし４に係る発明についての出願は、平成２年８月３１日に特許出願されたものであって、平成１１年３月２６日にその発明について特許の設定登録がなされたものである。
　これに対して、近見勇生より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年５月２６日付けで訂正請求書が提出され、この訂正請求書に関し審尋がなされたが何ら応答がなされなかったものである。
２訂正の適否
２−１訂正の内容
  本件訂正の内容は、本件特許明細書を訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち訂正事項ａ〜訂正事項ｅのとおりに訂正しようとするものである。
（１）訂正事項a　
　明細書中の特許請求の範囲の請求項１の「塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、スクラビング工程を続行することを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」を、「塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、前記初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行することを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」と訂正する。
（２）訂正事項b
　明細書中の特許請求の範囲の請求項３を削除する。
（３）訂正事項c　
　明細書中の特許請求の範囲の請求項４を請求項３に繰り上げ、その記載の「請求項１ないし３のいずれかにおいて、スクラビング工程の初期に行う初期スクラビングの気泡の単位時間当たりの供給量を、前記の容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な範囲内で可及的に少なくすることを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」を「請求項１又は２のいずれかにおいて、スクラビング工程の初期に行う初期スクラビングの気泡の単位時間当たりの供給量を、前記の容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な範囲内で可及的に少なくすることを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」と訂正する。
（４）訂正事項d　
　明細書中の「前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、スクラビング工程を続行することを特徴とするものである。また、前記の排除工程は、これに代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部ないし全部を塔外に排出する予備ブローを行うようにすることもできる。この予備ブローを行う場合には、スクラビングのために行う濾過塔への気体供給を、該予備ブローの際に中断するか、又は初期スクラビングから後続するスクラビング工程に渡って続行するかのいずれによることもできる。」（本件特許公報第３頁第５欄１５〜２７行)を「前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、前記初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行することを特徴とするものである。また、前記の排除工程は、これに代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部を塔外に排出する予備ブローを行うようにすることもできる。この予備ブローを行う場合には、スクラビングのために行う濾過塔への気体供給を、該予備ブローの際に中断するか、又は初期スクラビングから後続するスクラビング工程に渡って続行するかのいずれによることもできる。」と訂正する。
（５）訂正事項e　
　明細書中の記載「本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除した後に、スクラビング工程を続行するか、またはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除しながらスクラビング工程を行うことにより、硬質粗大微粒子が膜表面に衝突するのを極力回避し、これによって膜表面の肌荒れを防止するものである。」(本件特許公報第３頁第５欄４６行〜第６欄２行)を「本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除した後に、スクラビング工程を続行することにより、硬質粗大微粒子が膜表面に衝突するのを極力回避し、これによって膜表面の肌荒れを防止するものである。」と訂正する。
２−２訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張変更の存否
　上記訂正事項ａは、初期スクラビングの時間と排除工程後のスクラビング工程の時間を限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。そして、この訂正事項ａは、願書に添付した明細書（本件特許公報第４頁第７欄第７、８行、第８欄第５、６行、第８欄第３８、３９行）に記載されているから、該訂正事項ａは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内においてなされたものであり、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　また、上記訂正事項ｂは、請求項の削除であるから、特許請求の範囲の減縮に該当し、訂正事項ｃ〜ｅは、特許請求の範囲の減縮に伴って明細書の記載を整合させるためのものであるから、明りょうでない記載の釈明に該当する。
２−３独立特許要件
（ア）訂正後の請求項１〜３に係る発明
  本件訂正明細書の請求項１〜３に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、それぞれその特許請求の範囲の請求項１〜３に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、前記初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行することを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。
【請求項2】 請求項１の排除工程に代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部ないし全部を塔外に排出する予備ブローを行うことを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。
【請求項3】　請求項１又は２のいずれかにおいて、スクラビング工程の初期に行う初期スクラビングの気泡の単位時間当たりの供給量を、前記の容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な範囲内で可及的に少なくすることを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」
（イ）引用刊行物の記載内容
  当審が先に通知した取消理由通知に引用した刊行物１（特開昭６２−２３７９０８号公報）には、中空糸膜分離装置用の濾過（「濾」の原文は略字。以下同じ。）モジュールに関し次の事項が記載されている。
（ａ）「（発明が解決しようとする問題点）しかしながら濾過モジュールの保護筒は上部、中部、下部の全長にわたり一様に孔を有するので、保護筒の内部に放出された気泡の一部は保護筒下部の孔から筒外に抜け出し、処理室内の濾過モジュールの間隔中を浮上して洗浄に寄与しなくなるため洗浄効率が悪く、且つ洗浄に時間がかる。
（間題点を解決するための手段）そこで本発明は濾過モジュールの保護筒の孔を中部、上部に多く設けたことを特徴とする。
（作用）洗浄の際に保護筒の内部に放出された気抱は、保護筒の下部は孔が無いか、あつても少ないので、保護筒下部から筒外に抜出すことは無いか、少なく、大部分は中部、上部に達して外に抜出す。
（実施例）図示の実施例において、１は処理塔、２は処理塔内上部に設けられてその上を集水室３、下を処理室４に区画する仕切板、５・・・は上端を仕切板２に固定される処理室内に吊設された多数の濾過モジュール・・・を示す。各濾過モジュール５は多孔の保護筒１１と上記保護筒の内部で集束された多数本の中空糸１２・・・からなる。」（第２頁右上欄第３行〜左下欄第１７行）
（ｂ）「濾過を行うには処理室４内に底部の口１８から原水を供給する。これにより原水は各濾過モジュール５の内部に下端盤１４の貫通孔１４’や、ガイド筒１６、保護筒１１の孔を通って入り、中空糸１２の管壁を透過し、各中空糸の中空部を経て集水室３に集まり、処理筒１の頂部の口１９から出、中空糸の外面には原水中の濁質が捕捉されて次第に付着する。中空糸の外面に付着した濁質によって濾過差圧が上昇して来たら、濾過を中断して洗浄を行う。それには種々の方法があるが、いずれにしても空気排出口２０に接続した排気管の弁を開き、保持板６の下の筒部８で囲まれた内部に送気管９で空気を供給する。これにより空気は各濾過モジュール５の下端盤１４の貫通孔１４’からモジュール５の各々の内部に均等に入り、中空糸１２の間隔中を気泡となって浮上する際に水と協同して中空糸の外面に付着した濁質を剥離するフラッシングを行い、処理室の水面上に出た空気は空気排出口２０から塔外に排気する。こうしてフラッシングを行ったら空気の供給を停止し、処理室内の水を剥離した濁質とゝもに洗浄廃水として口１８から処理塔の外に排出する。」（第３頁左上欄第２０行〜左下欄第３行）
（ｃ）「５本の濾過モジュールの各保護筒が全長に均一に孔を有している場合は空気を１０分間３５Ｎｌ／ｍｉｎエレメント供給し６回洗浄を行っても濾過差圧の回復効率は６０％に過ぎなかった。しかるに５本の濾過モジュールの各保護筒が下端に１０％、中部に３０％、上部に６０％の開口面積の孔を有する場合、２５Ｎｌ／ｍｉｎエレメントで空気を１０分間供給し、３回洗浄を行っただけで濾過差圧の回復は９５％に達した。」（第４頁第５〜１３行）
（ウ）対比・判断
　刊行物１には、「塔内を集水室と処理室とに区画する仕切板に中空糸を多数本束ねた濾過モジュールを吊設してなる処理塔の前記処理室内に、濁質を含む原水を流入して各中空糸の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸の外側で濁質を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記集水室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸の間隔中を気泡となって浮上させることにより、各中空糸の外側に付着した前記濁質を剥離するフラッシング工程と、剥離した濁質を含む洗浄廃水を処理室から排出する排出工程とを含む中空糸を用いる濾過方法において、前記フラッシング工程は、空気を１０分間エレメント供給して３回洗浄を行う中空糸を用いる濾過塔のフラッシング方法。」という発明が記載されていると云える（以下、刊行物発明という）。
  訂正後の請求項１に係る発明（以下、訂正発明１という）と刊行物発明とを対比すると、刊行物発明の「集水室」、「処理室」、「濾過モジュール」、「処理塔」、「濁質」及び「フラッシング工程」は、訂正発明１の「上室」、「下室」、「中空糸膜モジュール」、「濾過塔」、「微粒子」及び「スクラビング工程」にそれぞれ相当するから、
両者は「塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出する工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法」で一致するが、（１）訂正発明１では、スクラビング工程が、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行するのに対して、刊行物発明では、スクラビング工程が、空気を１０分間エレメント供給して３回洗浄を行う点、（２）訂正発明１では、排出する工程をブロー工程としているのに対して、刊行物発明では、その点が記載されていない点で相違している。
　してみると、訂正発明１は、刊行物１に記載された発明であるとすることはできない。
 ところで、訂正発明１は、その解決しようとする課題が「中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法において、膜表面の肌荒れを起こす元となるような硬質粗大微粒子の影響を極力抑え、しかも中空糸膜に捕捉された微粒子の剥離効果を低下させない」ことであるのに対して、刊行物１に記載された発明は、「濾過モジュールの保護筒は上部、中部、下部の全長にわたり一様に孔を有するので、保護筒の内部に放出された気泡の一部が保護筒下部の孔から筒外に抜け出し、洗浄に寄与しなくなるため洗浄効率が悪く、且つ洗浄に時間がかる」ということであるから、訂正発明１と刊行物１に記載された発明とは解決しようとする課題を別にしている。
  そして、その解決手段については、刊行物１には、空気を１０分間エレメント供給し６回洗浄を行っている比較例や、空気を１０分間エレメント供給し３回洗浄を行っている実施例が記載されているだけであり、これら例は、洗浄時間を短縮しようと試みるときは、一回毎の空気供給時間を短縮ではなく、回数の減少により洗浄時間の短縮化を図ることを示唆しているだけと云える。
　してみると、刊行物１には、膜表面の肌荒れを起こす元となるような硬質粗大微粒子の影響を極力抑え、しかも中空糸膜に捕捉された微粒子の剥離効果を低下させないために、「最初の１０分間のスクラビングを５分以内とし、かつ剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行する」ことは何ら示唆されていないから、上記相違点（１）は、当業者が容易に推考し得る程度のことであるとすることができない。
　そして、訂正発明１は、上記相違点（１）の構成を具備することにより、明細書記載の「硬質粗大微粒子無しで初期スクラビング以後のスクラビングを行うことができ中空糸に存在する微細孔が閉塞されることを効果的に回避することができる」という効果を奏する。
  したがって、その余の相違点（２）について検討するまでもなく、訂正発明１は、刊行物１に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　訂正後の請求項２、３に係る発明は、訂正後の請求項１に係る発明を引用し、さらに限定した発明であるから訂正後の請求項１に係る発明についての理由と同じ理由で、刊行物１に記載された発明であるとすることはできず、かつ刊行物１に記載された発明に基いて当業者が容易に想到し得るものであるとすることもできない。
　以上のとおり、訂正後の請求項１〜３に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
２−４まとめ
　したがって、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３特許異議申立ての理由の概要
  特許異議申立人は、証拠方法として甲第１号証を提出し、請求項１ないし３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明であり、請求項１ないし４に係る発明は甲第１号証に記載された発明に基いて容易に発明をすることができたものであるから、請求項１ないし３に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反したものであり、請求項１ないし４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり取り消されるべきものである旨主張している。
３−１本件発明
  請求項１〜３に係る発明は、上記２−３（ア）において摘記したとおりのものである。
３−２甲第１号証の記載内容
  甲第１号証は、上記刊行物１と同じ。
３−３対比・判断
  上記２−３（ウ）で述べたとおりである。
４むすび
  以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
  また、他に本件請求項１〜３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１〜３に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、平成６年改正法附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年９月２７日（２０００．９．２７）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２９０４５６４号発明の明細書を、本件訂正請求書に添付された訂正明細書のとおりに、すなわち、
（１）訂正事項ａ
　明細書中の特許請求の範囲の請求項１の「塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、スクラビング工程を続行することを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」を、「塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、前記初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行することを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　明細書中の特許請求の範囲の請求項３を削除する。
（３）訂正事項ｃ
　明細書中の特許請求の範囲の請求項４を請求項３に繰り上げ、その記載の「請求項１ないし３のいずれかにおいて、スクラビング工程の初期に行う初期スクラビングの気泡の単位時間当たりの供給量を、前記の容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な範囲内で可及的に少なくすることを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」を「請求項１又は２のいずれかにおいて、スクラビング工程の初期に行う初期スクラビングの気泡の単位時間当たりの供給量を、前記の容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な範囲内で可及的に少なくすることを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。」と訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　明細書中の「前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、スクラビング工程を続行することを特徴とするものである。また、前記の排除工程は、これに代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部ないし全部を塔外に排出する予備ブローを行うようにすることもできる。この予備ブローを行う場合には、スクラビングのために行う濾過塔への気体供給を、該予備ブローの際に中断するか、又は初期スクラビングから後続するスクラビング工程に渡って続行するかのいずれによることもできる。」（本件特許公報第３頁第５欄１５〜２７行）を「前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な５分以内の初期スクラビングを行いかつ該剥離した微粒子を水中で沈降させて中空糸膜モジュール内から下方に排除する排除工程を行ったのち、前記初期スクラビングよりも長時間のスクラビング工程を続行することを特徴とするものである。また、前記の排除工程は、これに代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部を塔外に排出する予備ブローを行うようにすることもできる。この予備ブローを行う場合には、スクラビングのために行う濾過塔への気体供給を、該予備ブローの際に中断するか、又は初期スクラビングから後続するスクラビング工程に渡って続行するかのいずれによることもできる。」と訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　明細書中の記載「本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除した後に、スクラビング工程を続行するか、またはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除しながらスクラビング工程を行うことにより、硬質粗大微粒子が膜表面に衝突するのを極力回避し、これによって膜表面の肌荒れを防止するものである。」（本件特許公報第３頁第５欄４６行〜第６欄２行）を「本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除した後に、スクラビング工程を続行することにより、硬質粗大微粒子が膜表面に衝突するのを極力回避し、これによって膜表面の肌荒れを防止するものである。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な
５分以内の
前記初期スクラビングよりも長時間の
　【請求項２】　請求項１の排除工程に代えて、スクラビング工程の初期に剥離した微粒子を含む洗浄廃水の一部ないし全部を塔外に排出する予備ブローを行うことを特徴とする中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法。
　【請求項
３
又は２
【発明の詳細な説明】
　〈産業上の利用分野〉
　本発明は原子力発電所や火力発電所の復水処理や産業廃水処理等において使用される、中空糸膜モジュールを用いる濾過塔のスクラビング方法に関するものである。
　〈従来の技術〉
　中空糸膜を用いる濾過塔は、微細孔を多数有する中空糸膜を多数本束ねて中空糸膜モジュールを形成し、当該中空糸膜モジュールの多数本の濾過塔内に横設した仕切板に懸架したもので、濾過工程は仕切板で区画した下室に原水を供給することにより、当該各中空糸膜の外側から内側へ、原水を通過させて各中空糸膜の外側で原水中の微粒子を捕捉し、中空糸膜の内側から得る濾過水を仕切板で区画した上室で集合して濾過塔から流出させるものである。
　このような濾過工程を行うことにより濾過塔の差圧が上昇した際に、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程を行い、次いで剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程を行い、前記濾過工程と、スクラビング工程と、ブロー工程を順次繰り返して処理を行うものである。
　なお、スクラビング工程の前あるいは後あるいはスクラビング工程中に、中空糸膜の内側から外側に洗浄水を逆流する逆洗工程を行うこともある。また中空糸膜の近傍に気泡を供給する手段としては、中空糸膜モジュールの下方部に空気等の気体を放出して、中空糸膜モジュールの内部に気泡を流入させる場合と、各中空糸膜の内側に空気等の気体を圧入して各中空糸膜の微細孔から気体を流出させることで気泡を発生させる場合とがあり、前者は中空糸膜の微細孔に気体を通過させ難い中空糸膜を用いる場合に採用されることが多く、後者は中空糸膜の微細孔に気体を通過させ易い中空糸膜を用いる場合に採用されることが多い。
このように中空糸膜を用いる濾過塔は基本的には濾過工程とスクラビング工程とブロー工程を繰り返し行って操作するものであるため、濾過工程で膜に捕捉された微粒子が蓄積して濾過塔の差圧が高くなって濾過の継続が出来なくならないように充分な配慮をする必要がある。
　このため、従来から微粒子の蓄積を防止するために、中空糸膜モジュールの構造、塔構造、スクラビングを含む中空糸膜の洗浄方法等の検討、試験、開発が進められている。
　〈発明が解決しようとする問題点〉
　本発明者等も上述のようにより効果的な中空糸膜の洗浄を開発すべく努力を行って来た。しかし、微粒子として酸化鉄を含む、たとえば沸騰水型原子力発電所の復水（一次冷却水）などを原水とした場合、濾過工程によって差圧が上がった中空糸膜モジュールに対して前記スクラビング工程や逆洗工程を行っても差圧が元に戻らず、さらに、酸で中空糸膜モジュールを洗浄して膜面に付着している酸化鉄を溶解、除去しても差圧が元に戻らないケースがあることを知見した。
この原因を究明すべく本発明者等は種々の調査と実験を行った。その結果以下のことが明らかとなった。
　すなわち、差圧が回復しない理由は、▲１▼膜自体の透水性が低下しているためであり、▲２▼膜の内外間の差圧により膜が圧密化したものでも、膜が潰れたものでもなく、膜の表面のみが言わば肌荒れ状態になっており、当該肌荒れ部分にもともと存在していた微細孔が閉塞されており、その結果中空糸膜全体の微細孔が極めて少なくなったためであり、▲３▼その状態は酸、酸化剤、還元剤等の洗浄剤を用いて洗浄しても変化がなく、▲４▼中空糸膜の引張り強度、引張り伸度、破裂強度等の機械的強度の低下として現れる、いわゆる物性劣化ではないことが明らかとなった。
　さらに調査と実験を重ねた結果以下のことが明らかとなった。
　すなわち、膜表面の肌荒れは、▲１▼膜表面に酸化鉄等の微粒子が衝突することにより発生し、▲２▼それは、中空糸膜が振動を起こしているときに前記した微粒子が中空糸膜の間に存在すると発生し、▲３▼それは、中空糸膜のスクラビング工程において最も発生しやすく、▲４▼膜表面の肌荒れを起こす元となる酸化鉄等の微粒子は粒径が大きくて硬いもの（以下、硬質粗大微粒子という）で、当該硬質粗大微粒子が膜表面の肌荒れに著しく関与していることが明らかとなり、▲５▼さらに、特に沸騰水型原子力発電所の復水のように低濃度の酸化鉄微粒子が長時間にわたって膜に捕捉され、この酸化鉄微粒子の捕捉層で酸化鉄微粒子と共存する鉄イオンが吸着、析出する環境においては、原水中の酸化鉄微粒子が小さくても、膜表面で強固に造粒されるため、スクラビング工程で膜から剥離された酸化鉄微粒子は前記硬質粗大微粒子を含み、▲６▼しかもこのような硬質粗大微粒子はスクラビング工程の初期に剥離することを知見した。
　本発明はこのような背景のもとになされたものであり、膜表面の肌荒れを起こす元となるような硬質粗大微粒子の影響を極力抑え、しかも中空糸膜に捕捉された微粒子の剥離効果を低下させない中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法を提供することを目的とするものである。
　〈問題点を解決するための手段〉
　上記目的を達成するためになされた本発明よりなる中空糸膜を用いる濾過塔のスクラビング方法は、塔内を上室と下室とに区画する仕切板に中空糸膜を多数本束ねた中空糸膜モジュールを懸架してなる濾過塔の前記下室内に、微粒子を含む原水を流入して各中空糸膜の外側から内側に原水を通過させることにより、各中空糸膜の外側で微粒子を捕捉するとともに、各中空糸膜の内側に得られる濾過水を前記上室から流出させる濾過工程と、水中に存する各中空糸膜の近傍の水に気泡を供給して撹拌することにより、各中空糸膜を振動させて各中空糸膜の外側で捕捉した前記微粒子を剥離するスクラビング工程と、剥離した微粒子を含む洗浄廃水を下室から排出するブロー工程とを含む中空糸膜を用いる濾過方法において、前記スクラビング工程は、その初期に、容易に剥離し易い硬質粗大粒子を剥離するのに必要十分な
５分以内の
前記初期スクラビングよりも長時間の
　以下に本発明を詳細に説明する。
　硬質粗大微粒子が膜表面に衝突することにより、中空糸膜がもともと有している微細孔を閉塞させるという問題を回避するためには、膜表面の肌荒れを起こし易いスクラビング工程の設定時間を短くするか空気流量を小さくしたマイルドなスクラビングを行ったり、あるいはスクラビングをしない方法が考えられる。しかし上述のようにすると膜表面に捕捉された微粒子を充分に除去できず、洗浄が不十分となり、その結果、差圧が回復しないケースが発生する。
　つまり、従来から行っているスクラビング工程を削除することなく、膜表面の肌荒れを抑制する方法を考える必要があり、そのためには膜表面の肌荒れを起こす元となるような前記硬質粗大微粒子が膜表面上に捕捉されていても、スクラビング工程そのものを工夫することにより当該硬質粗大微粒子の影響を極力少なくすることができる。
　〈作用〉
　本発明の作用は基本的にはスクラビング工程の初期に剥離する前記硬質粗大微粒子を排除した後に、スクラビング工程を続行す
るこ
　〈発明の操作例−１〉
　以下に本発明を図面を用いて説明する。
　第１図は本発明に用いる中空糸膜モジュールを示す断面図であり、第２図は本発明に用いる濾過塔のフローを示す説明図である。
　本発明に用いる中空糸膜モジュール１は第１図に示したごとく、０．０１μ〜１μの微細孔を有する外径０．３〜４ｍｍ、内径０．２〜３ｍｍの中空糸膜２を１００〜５０，０００本前後、外筒３に収納したもので、当該各中空糸膜２の上端をその中空部を閉塞することなく上部接合部４で接着し、各中空糸膜２の下端を閉塞して下部接合部５で接着し、また外筒３の上方部、下方部にそれぞれ流通口６Ａおよび６Ｂを設けるとともに、下部接合部５に開口部７を設け、さらに外筒３を下方にやや延長させてスカート部８を設けたものである。
　なお、上述の中空糸膜モジュールは膜の内側から得られる濾過水を上部接合部４からのみ取水する片端集水型であるが、下部接合部５で中空糸膜２の下端を閉塞することなく接着して下部接合部５の下方に図示していない小室を設け、中空糸膜２の下部接合部５からも濾過水を得て当該小室に集合し、当該小室に連通する中空糸膜２に沿って立設した図示していない集水管により、濾過水を上部に送水する両端集水型も用いられる。
　当該中空糸膜モジュール１を濾過塔に配置するにあたっては、第２図に示したごとく、濾過塔９の上方部に仕切板１０を設け、濾過塔内９を上室Ｆと下室Ｒに区画し、当該仕切板１０に多数本の中空糸膜モジュール１を懸架する。
　また、濾過塔９内の下方に気泡分配機構１１を配置する。当該気泡分配機構１１は気泡分配板１２と当該気泡分配板１２に取り付けられた気泡分配管１３とからなるもので、中空糸膜モジュール１のスカート８の直下に当該気泡分配管１３を対応させた構成とする。
　なお、濾過塔９の上部に濾過水流出管１４の一端と圧縮空気流入管１５Ａの一端を連通し、また濾過塔９の下部に原水流入管１６の一端および圧縮空気流入管１５Ｂの一端およびドレン管１８の一端をそれぞれ連通し、さらに前記仕切板１０の直下の側胴部に空気抜き管１７の一端および補給水供給管１９を連通する。
　なお、２０ないし２６はそれぞれ弁を示し、２７はバッフルプレートである。
　当該濾過塔９を用いて本発明を、処理対象として酸化鉄を含む復水を例として以下に説明する。
　濾過工程においては、弁２０および弁２４を開として、原水を原水流入管１６から濾過塔９の下室Ｒに流入し、中空糸膜モジュール１により原水中の酸化鉄を濾過し、濾過水は上室Ｆで集合し濾過水流出管１４から流出する。中空糸膜２により濾過された酸化鉄は第３図に示したように、膜の外表面上に酸化鉄付着層２８と酸化鉄付着層２９を形成する。なお第３図中の矢印線は原水の流入方向を示している。
　ここで、酸化鉄付着層２８は膜の外表面上に比較的強く付着している微細な酸化鉄からなる緻密な付着層であり、充分なスクラビングを行わなければ剥離し難い付着層であり、濾過とスクラビングを繰り返す度に徐々に蓄積され、通常、この蓄積がスクラビング後の濾過差圧を上昇させる大きな因子となる。
　さらに、酸化鉄付着層２９は酸化鉄付着２８の外側に比較的弱く付着している比較的大きな酸化鉄からなる粗い付着層であり、酸化鉄付着層２８と異なり、比較的容易に剥離できるが、膜表面の肌荒れを起こし易い硬質粗大微粒子の大半を含む付着層であり、通常、膜表面に捕捉される酸化鉄の大部分は酸化鉄付着層２９に含まれる。
　本発明は、以上のように膜表面の肌荒れを引起こす硬質粗大微粒子が比較的容易に剥離し易いという特性を利用して、スクラビング工程の初期に比較的容易に離し易い硬質粗大微粒子を取り除き、続いて充分なスクラビングをして容易に剥離し難い酸化鉄付着層２８の除去を行うとともに膜表面の肌荒れを防止するものである。
　すなわち、濾過を続行することにより濾過塔９の差圧が規定の値に達した際には、濾過を停止して膜表面に形成された酸化鉄付着層を除去するためのスクラビング工程が実施されるが、本発明によるスクラビングは以下のようにして行われる。
　すなわち、まず硬質粗大微粒子の大半が含まれる容易に剥離し易い酸化鉄付着層２９を剥離、除去するため、弁２０および弁２４を閉じ、下室Ｒに流入した復水を、また上室Ｆに濾過水を満たしたまま、弁２２および弁２３を開口し、圧縮空気入口管１５Ｂから圧縮空気を流入する。当該圧縮空気を気泡分配板１２の下面で一旦受けられ、次いで気泡分配管１３の側部に開口した小穴（図示せず）から気泡となって中空糸膜モジュール１のスカート８内に上昇し、次いで開口部７を介して各中空糸膜モジュール１内に流入する。
　当該気泡の上昇により各中空糸膜２は振動するとともに中空糸膜モジュール１内の水が撹拌され、各中空糸膜２の表面に形成された酸化鉄付着層２９が剥離し、濾過塔９の下室Ｒ中に分散する。
　なお気泡は中空糸膜モジュール１の流通口６Ｂから当該モジュール１外に流出し、ついで空気抜き管１７から濾過塔９外に排出する。
　上述した硬質粗大微粒子を含む酸化鉄付着層２９は比較的容易に剥離するので、酸化鉄付着層２８を剥離するための後述するスクラビングに用いる空気量と同じ場合は、前記スクラビングの時間は３分以内、通常は１分前後の短時間でよい。なお本スクラビングの時間を長くすると、剥離した硬質粗大微粒子が中空糸膜２の膜表面に衝突する機会が多くなり、膜表面の肌荒れの原因となる。但し、前記スクラビングの空気量を後述する酸化鉄付着層２８を剥離するためのスクラビングの空気量よりたとえば１／２に低下させる場合は、いわゆるマイルドなスクラビングとなるので、剥離した硬質粗大微粒子が膜表面に強く衝突しなくなるので、スクラビング時間を３〜５分程度とすることもできる。
　以上のスクラビングにより剥離し、濾過塔９の下室Ｒ内水中に分散した硬質粗大微粒子を含む酸化鉄付着層２９の酸化鉄はスクラビングを中断して放置すると気泡分配板１２の上面やバッフルプレート２７付近まで沈降する。したがって次に酸化鉄付着層２８を剥離するために再び圧縮空気入口管１５Ｂから圧縮空気を流入しても、当該空気によって沈降した酸化鉄を巻き上げることがない。但し、上述した沈降のための放置時間を省略するために前述したスクラビングを行った後、硬質粗大微粒子を含む酸化鉄を塔外に排出する予備ブローを行うこともできる。
すなわち弁２３を開口したまま弁２２を閉じ、弁２１を開口して、硬質粗大微粒子を含む酸化鉄が分散している洗浄廃水の一部ないし全部をドレン管１８から流出させる。なお、洗浄廃水を排出させる当該工程は水頭差を用いるものであるが、空気抜き管１７あるいは圧縮空気流入管１５Ｂあるいは、補給水供給管１９から圧縮空気を流入して当該空気圧を用いる急速流出を行うことができる。
　当該予備ブローは、下室Ｒ内の洗浄廃水の半量あるいは全量を排出するが、本予備ブローの目的は硬質粗大微粒子の排除にあるので、当該硬質粗大微粒子が排除できる限り半量以下のブロー水とすることもできる。
　以上の洗浄廃水の予備ブローを行った後は弁２１を閉じ、弁２６を開口して補給水供給管１９より洗浄水を濾過塔９内に流入して濾過塔の下室Ｒに水を張った後弁２６を閉じ、従来行われているスクラビング工程を行い、酸化鉄付着層２８の酸化鉄を剥離する。
　すなわち、弁２３、弁２２を開口して、圧縮空気入口管１５Ｂから圧縮空気を流入してスクラビングを行う。このとき行うスクラビングは膜表面に比較的強く付着し、充分なスクラビングを行なわなければ剥離し難い酸化鉄付着層２８を剥離する目的で行うため、スクラビング時間は前述したスクラビングよりも長時間の設定となり、５分間から３０分間行い、通常は１０分間前後とする。充分にスクラビングを行った後、従来と同様に弁２２を閉じて圧縮空気の供給を中止し、弁２３を開口したまま、弁２１を開口して、剥離した微粒子を含む洗浄廃水をドレン管１８から排出するブロー工程を行う。
　従来のスクラビング工程はスクラビング工程の初期に剥離する硬質粗大微粒子の排除を全く行わずに一律的にスクラビングを行っていたため、当該硬質粗大微粒子によって膜表面の肌荒れが起こり易くなっていたが、本発明では、膜表面の肌荒れを起こす原因となる硬質粗大微粒子が多量含まれる酸化鉄付着層２９の剥離、およびその排除工程を行った後にスクラビングを行うため、膜表面の肌荒れは従来よりも大幅に低減できるとともに、続いて従来と同様なスクラビング工程を行うため、中空糸膜に捕捉された全微粒子の剥離を効果的に達成することができる。
　上述した操作は基本的にはスクラビング工程を２段階に分け、前段のスクラビングで硬質粗大微粒子を含む初期に剥離し易い微粒子を剥離するとともに、当該スクラビングの時間を短時間としたり、さらにはスクラビングの空気量を少なくすることにより、硬質粗大微粒子による膜表面の肌荒れを防止し、次いで当該硬質粗大微粒子を沈降させたり、あるいは硬質粗大微粒子を含む洗浄廃水の予備ブローを行うなどの硬質粗大微粒子の排除工程を行い、その後に後段のスクラビングによって剥離し難い酸化鉄付着層２８の剥離を行うものであるが、スクラビング工程の初期に当該スクラビング工程中に硬質粗大微粒子を含む洗浄廃水の予備ブローを付加することもできる。
　〈本発明の操作例−２〉
　すなわち、濾過を終了した後、下室Ｒに流入した復水を、また上室Ｆに濾過水を満たしたまま、弁２２および弁２３を開口し、圧縮空気入口管１５Ｂから圧縮空気を流入するとともに弁２１を開口してドレン管１８から洗浄廃水を排出する予備ブローを行う。この時、中空糸膜モジュール１内に流入した圧縮空気の気泡の上昇により各中空糸膜２は振動するとともに中空糸膜モジュール１内の水が攪拌され、各中空糸膜２の表面に形成された硬質粗大微粒子を含む酸化鉄付着層２９が剥離し、濾過塔９の下室Ｒ内の水中に分散し、さらに洗浄廃水の排出に伴って当該酸化鉄がドレン管１８から排出される。
　なお、この時排出される洗浄廃水の排出速度は弁２１で調整でき、初期に剥離する硬質粗大微粒子による膜表面の肌荒れを防止するために、下室Ｒ内の洗浄廃水が比較的短時間で排出される速度に調整するとよい。
　次いで、圧縮空気入口管１５Ｂからの圧縮空気の流入を続行したまま、あるいは中断し、弁２１を閉じるとともに弁２６を開口して補給水供給管１９より洗浄水を流入し、下室Ｒ内を水で満たした後弁２６を閉じ、スクラビングを続行する。当該スクラビングは膜表面に比較的強く付着している剥離し難い酸化鉄付着層２８を剥離する目的で行うものであり、従来と同様に充分に行う。充分にスクラビングを行った後、弁２２を閉じて圧縮空気の供給を中止し、弁２３を開口したまま弁２１を開口して、剥離した微粒子を含む洗浄廃水をドレン管１８から排出するブロー工程を行う。
　なお前記予備ブローを行っている間のスクラビングの空気量を前述したと同様に低下させて剥離した硬質粗大微粒子による膜表面の肌荒れをより防止することもできる。
　上述した本発明の操作例−１および２共通してスクラビング工程の前あるいは後あるいはスクラビング工程中に、圧縮空気流入間１５Ａから圧縮空気を流入し上室Ｆ内に存在する濾過水を各中空糸膜２の内側から外側に逆流させる逆洗を実施することもできる。
　〈結果〉
　以上説明したごとく、本発明はスクラビング工程の初期に剥離する微粒子を沈降あるいは予備ブローなどの工程で排除するので、当該微粒子中に含まれている硬質粗大微粒子無しで以後のスクラビングを行うことができ、スクラビングによって硬質粗大微粒子が膜表面に衝突して中空糸に存在する微細孔が閉塞されることを効果的に回避することができる。
　以下に本発明の効果をより明確とするために本発明の実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
　〈実施例〉
　０．２μ前後の微細孔を有する外径１．２ｍｍ、内径０．７ｍｍ、長さ２．０ｍの中空糸膜の４，２００本程度を内径直径１２５ｍｍの外筒内に束ねた第１図に示したような中空糸膜モジュールを形成し、当該中空糸膜モジュールを濾過塔に１本配置して、第２図に示したフローに準じて小型実験濾過塔を構成し、以下の実験を行った。
　すなわち、粒径２０〜４０μのαＦｅ２Ｏ３と粒径１〜３μの水酸化鉄とが２：１の割合で存在する原水を当該中空糸膜の外側から内側へ通過させることにより通水し、各中空糸膜の表面に酸化鉄付着層を中空糸膜１ｍ２あたりＦｅとして１５ｇ付着するように形成させ、次いで通水を停止し、スクラビングを１分間行い、濾過塔内の全洗浄廃水を排出した後、洗浄水により濾過塔内を満水してスクラビングを２９分間行い、洗浄廃水を排出し、その後濾過塔内を満水して清浄な水を通水して通水差圧を測定するという操作を１０回繰り返したところ、１０サイクル目のスクラビング終了後の差圧上昇幅は０．１５ｋｇ／ｃｍ２であった。
　また、１０サイクル終了後の中空糸膜モジュールから中空糸膜を採取して６規定の塩酸で２４時間洗浄した後の膜の透水量を測定したところ、膜の透水量は新品膜の透水量に対して１０％以下の低下に止まっていた。
　第４図に１サイクルから１０サイクルまでの通水終了時とスクラビング終了時の差圧上昇幅の推移を示した。なお図中の白丸は通水終了時の差圧上昇幅、黒丸はスクラビング終了時の差圧上昇幅である。
　〈比較例〉
　実施例と同様な小型実験濾過塔を用いて、実施例と同じ方法で同じ原水を同じ水量、中空糸膜の外側から内側へ通過させることにより通水し、各中空糸膜の表面に実施例と同量の酸化鉄付着層を形成させ、通水を停止した後、実施例と同じ空気量を用いたスクラビングを３０分間行った後、洗浄廃水を排出し、再度濾過塔内を満水して清浄な水を通水して通水差圧を測定するという操作を１０回繰り返したところ、１０サイクル目のスクラビング終了後の差圧上昇幅は０．４ｋｇ／ｃｍ２であった。
　また、１０サイクル終了後の中空糸膜モジュールから中空糸膜を採取して６規定の塩酸で２４時間洗浄した後の膜の透水量を測定したところ、膜の透水量は新品膜の透水量に対して３０％の低下が見られた。
　第５図に１サイクルから１０サイクルまでの通水終了時とスクラビング終了時の差圧上昇幅の推移を示した。なお図中の白丸は通水終了時の差圧上昇幅、黒丸はスクラビング終了時の差圧上昇幅である。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明に用いる中空糸膜モジュールを示す断面図であり、第２図は本発明に用いる濾過塔のフローを示す説明図であり、第３図は濾過中における中空糸膜の状態を示す拡大説明図である。
　また第４図は実施例における濾過時の差圧の上昇幅および洗浄により差圧が回復する様子を示したグラフであり、第５図は比較例における濾過時の差圧の上昇幅および洗浄により差圧が回復する様子を示したグラフであり、第４図、第５図とも縦軸に差圧上昇幅、横軸に通水と洗浄のサイクル数を示す。
１……中空糸膜モジュール、２……中空糸膜
３……外筒、４……上部接合部
５……下部接合部、６……流通口
７……開口部、８……スカート部
９……濾過塔、１０……仕切板
１１……気泡分配機構、１２……気泡分配板
１３……気泡分配管、１４……濾過水流出管
１５……圧縮空気流入管、１６……原水流入管
１７……空気抜き管、１８……ドレン管
１９……補給水供給管、２０〜２６……弁
２７……バッフルプレート
２８、２９……酸化鉄付着層