(57)【要約】      （修正有）【課題】加工部において生じたずれを調整することで正確な加工処理を行うことができる超音波加工装置を提供する。【解決手段】超音波加工装置１は、アクリル板Ｄを作業台５上に固定する固定機構と、アクリル板Ｄの主面に超音波加工を施す超音波加工部７とを備え、超音波加工部７は、圧電素子と、アクリル板Ｄの主面と略垂直方向に接触可能に形成され、圧電素子において発生した振動を導光板ワークに伝達するホーン部と、ホーン部の傾きを調整する為の傾き調整機構とを有する。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
導光板ワークを作業台上に固定するワーク固定部と、
前記ワーク固定部により固定された前記導光板ワークの主面に超音波加工を施す超音波加工部とを備え、
前記超音波加工部は、
圧電素子と、
前記導光板ワークの主面と略垂直方向に接触可能に形成され、前記圧電素子において発生した振動を前記導光板ワークに伝達する超音波加工用ホーンと、
前記超音波加工用ホーンの傾きを調整する為の傾き調整機構とを有すること
を特徴とする超音波加工装置。
【請求項２】
前記超音波加工用ホーンを前記ワーク固定部上で三次元直交座標に従って移動させる移動機構を備えること
を特徴とする請求項１記載の超音波加工装置。
【請求項３】
前記傾き調整機構は、
少なくとも一方の主面が前記導光板ワークの主面と垂直に形成され、且つ、前記移動機構に固定されたベースプレートと、
前記ベースプレートに、当該ベースプレートの一方の主面の面内方向に回動可能に支持された第１の調整プレートとを有し、
前記超音波加工部は、前記第１の調整プレートに固定されたこと
を特徴とする請求項２記載の超音波加工装置。
【請求項４】
前記傾き調整機構は、
少なくとも一方の主面が前記導光板ワークの主面と垂直に形成され、且つ、前記移動機構に固定されたベースプレートと、
前記ベースプレートに、当該ベースプレートの一方の主面と垂直方向に回動可能に支持された第２の調整プレートとを有し、
前記超音波加工部は、前記第２の調整プレートに固定されたこと
を特徴とする請求項２記載の超音波加工装置。
【請求項５】
前記超音波加工用ホーンは、前記導光板ワークの主面と接触する加工ドットを有し、
前記加工ドットの位置を調整する為の位置調整機構を備えること
を特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかの項記載の超音波加工装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、超音波加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、超音波加工により導光板等を加工する超音波加工装置が知られている。この様な超音波加工装置としては、特許文献１に記載されたものがある。
【０００３】
【特許文献１】登録実用新案公報第３１１９５７７公報
【０００４】
具体的には、特許文献１に記載された加工装置は、加工部を三次元直交座標に移動させる為の移動機構を備える。そして加工装置は、入力された情報に基づいて加工部を移動させ、加工対象物に加工処理を施すこととしている。加工処理を施す際に加工装置は、加工対象物に接触して加工対象物の表面に模様を形成するホーンを使用する。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながらこの様な加工装置においては、ホーンが操作者の手作業により装着されることに起因して、ホーンが所定の位置に固定されない場合が多い。そして例えば加工対象物の表面に微小な模様を形成する場合や、一定の精度が要求される場合には、ホーンの僅かなずれによって加工対象物に形成される模様の精度が低下してしまうという問題があった。
【０００６】
そこで本考案はこの様な実情に鑑みてなされたものであり、加工部において生じたずれを調整することで正確な加工処理を行うことができる超音波加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する為に、本考案にかかる超音波加工装置は、導光板ワークを作業台上に固定するワーク固定部と、前記ワーク固定部により固定された前記導光板ワークの主面に超音波加工を施す超音波加工部とを備え、前記超音波加工部は、圧電素子と、前記導光板ワークの主面と略垂直方向に接触可能に形成され、前記圧電素子において発生した振動を前記導光板ワークに伝達する超音波加工用ホーンと、前記超音波加工用ホーンの傾きを調整する為の傾き調整機構とを有することを特徴としている。
【０００８】
この構成によれば、操作者は、超音波加工用ホーンの角度が所定の角度からずれている場合、調整機構を用いて超音波加工用ホーンの角度を調整することができる。
【考案の効果】
【０００９】
この様に、本考案によれば、加工部において生じたずれを調整することで正確な加工処理を行うことができる超音波加工装置を提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１０】
第１の実施の形態に係る超音波加工装置は、３次元直交座標に従って加工部を移動させることで、加工情報に基づく模様を加工対象物の表面に施す装置である。
【００１１】
超音波加工装置１は、図１に示す様に、機台３と、加工対象物としてのアクリル板Ｄを加工可能とする様に配置する作業台５と、アクリル板Ｄに超音波加工処理を施す超音波加工部７と、入力された加工情報に基づいて超音波加工部７を移動させる移動機構９とを備える。この様な超音波加工装置１は、移動機構９を用いて超音波加工部７を移動させることで、アクリル板上に超音波加工処理を施す。尚、説明の便宜上、以下では各図面に示す３次元直交座標又は２次元直交座標を用いて詳細な説明を行う。
【００１２】
機台３は、超音波加工装置１を構成する部材を搭載する為の台であり、上段板３ａ及び下段板３ｂの２段構成を備える箱型の台である。機台３の上段板３ａには、作業台５及び移動機構９が設けられている。また機台３の下段板３ｂには、真空ポンプ１１及び超音波発振器１３が搭載されている。また、機台３の側面には、ユーザがアクリル板Ｄの加工方法に関する加工情報を入力すると共に、超音波加工装置１全体の制御を行う操作部３ｃが設けられている。さらに機台３の下面の角部には、超音波加工装置１全体を移動可能とすると共に、超音波加工装置１の傾きを調整可能な調整脚３ｄが設けられている。
【００１３】
操作部３ｃは、ユーザが超音波加工装置１を作動させる為の指令を入力する部材であり、タッチパネル式のモニタ３ｅと、モニタ３ｅを支持する支持部材３ｆとによって構成される。操作部３ｃに入力される情報としては、超音波加工部７及び移動機構９を制御する為の情報がある。そして超音波加工部７及び移動機構９を制御する為の情報としては、例えばアクリル板Ｄの表面に加工する模様に関する情報、当該模様を構成する線若しくは点の深さに関する情報、又は当該線若しくは点の位置に関する情報がある。操作部３ｃにおいて入力された、移動機構９を制御する為の情報は、移動機構９に供給され、当該情報を供給された移動機構９は、後述する方法により超音波加工部７を移動させる。さらに操作部３ｃは、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置と接続可能となる様に、インターフェース等の接続手段を備えるものであっても良い。この場合、パーソナルコンピュータにインストールされた所定のアプリケーションを用いて超音波加工装置１を操作することが可能となる。
【００１４】
作業台５は、アクリル板Ｄを一方の主面に敷設可能な板部材５ａと、板部材５ａの一方の主面から他方の主面にかけて穿設された孔５ｂとを備える。アクリル板Ｄに加工を施す場合、ユーザは、板部材５ａの一方の主面、すなわち上面にアクリル板Ｄを敷設し、複数個形成された孔５ｂを通じて、後述する固定機構を用いてアクリル板Ｄを作業台５上に固定する。
【００１５】
超音波加工部７は、ピエゾ圧電素子を用いてアクリル板Ｄ上に加工情報に基づく模様を加工する。具体的には、ユーザによって操作部３ｃに加工情報が入力されると、操作部３ｃは、当該加工情報を超音波発振器１３に供給する。ここで、超音波発振器１３は、当該供給された加工情報を所定の駆動信号に変換し、超音波加工部７に供給する。さらに当該駆動信号を供給された超音波加工部７は、当該駆動信号をピエゾ圧電素子に供給することで当該ピエゾ圧電素子を振動させる。ここで発生した振動は、超音波加工部７によってアクリル板Ｄに伝達されることとなり、当該振動を伝達されたアクリル板Ｄの表面には加工情報に基づく模様が施されることとなる。この様な超音波加工部７は、図２に示す様に、超音波をアクリル板Ｄに伝達するホーン部１５と、ホーン部１５を垂直方向に移動させるホーン移動部１７と、アクリル板Ｄとホーン移動部１７の接触部を冷却するエアー供給ノズル１９とによって構成される。
【００１６】
ホーン部１５は、超音波発振器１３から供給された駆動信号に基づいてアクリル板Ｄの表面に超音波加工処理を施す。この様なホーン部１５は、図３に示す様に、アクリル板Ｄと接触することで、アクリル板Ｄに振動を伝達し、アクリル板Ｄの表面に超音波加工処理を施す先端部２３と、ピエゾ圧電素子、及びコーン部材を備える振動子２５と、振動子２５の一部を被覆する振動子ケース２７とによって構成される。
【００１７】
振動子２５は、コネクタ２９を介して超音波発振器１３と電気的に接続されており、超音波発振器１３から供給された駆動信号を自身の内部に備える、図示せぬピエゾ圧電素子に供給する。ピエゾ圧電素子に駆動信号が供給されると、ピエゾ圧電素子は駆動信号の電流値に応じて機械的振動エネルギを発生させる。ここで発生した機械的振動エネルギは、ホーン部１５内部に備えられた図示せぬコーン部によって増幅される。図示せぬコーン部によって増幅された機械的振動エネルギは、ホーン部１５によって先端部２３に伝達される。ここで、振動子２５内部において発生した機械的振動エネルギは、振動子ケース２７によって外部に漏れることが防止される。
【００１８】
ホーン移動部１７は、ホーン部１５を垂直方向に移動させる。詳細は後述するが、超音波加工装置１は、超音波加工部７全体を移動させる場合は移動機構９を用い、アクリル板Ｄの表面に加工すべき模様に応じてホーン部１５をＸ軸方向に移動させる。例えば、超音波加工装置１を用いて複数の凹部を加工する場合は、ホーン移動部１７を用いてホーン部１５を移動させることで、アクリル板Ｄ上に効率的に超音波加工処理を施すことが可能となる。この様なホーン移動部１７は、図示せぬコンプレッサーと接続された図示せぬエアシリンダーを用いてホーン部１５を垂直方向に移動させる。尚、本実施の形態においてはエアシリンダーを用いてホーン部１５を垂直方向に移動させるが、ホーン部１５内部に弾性部材を設け、ホーン部１５の自重と弾性部材の復元力を用いてホーン部１５を垂直方向に移動させるものであっても良い。
【００１９】
移動機構９は、入力されたアクリル板Ｄの加工方法に関する加工情報に含まれる位置情報に基づいて超音波加工部７を移動させる。この様な移動機構９は、図４に示す様に、上段板３ａ上に固定されたＺ軸レール部材３１と、Ｚ軸レール部材３１上に、Ｚ軸方向に移動可能に形成されたＹ軸レール部材３３と、Ｙ軸レール部材３３上に、Ｙ軸方向に移動可能に形成されたＸ軸レール部材３５とによって構成される。ここで、超音波加工部７は、Ｚ軸レール部材３５に沿って、Ｘ軸方向に移動可能に形成されている。
【００２０】
Ｚ軸レール部材３１は、作業台５の一辺の近傍に、当該辺と略平行に固定されている。また、作業台５を介してＺ軸レール部材３１と対向する位置には、ガイドレール３７が固定されている。Ｙ軸レール部材３３は、この様なＺ軸レール部材３１及びガイドレール３７の間に架設されている。また、Ｙ軸レール部材３３の端部の内、Ｘ軸レール部材３１近傍に形成された端部の下面には、Ｙ軸レール部材３３の一端と固定され、且つ、Ｘ軸レール部材３１上をスライド可能な可動テーブル３９が設けられている。さらに、Ｘ軸レール部材３５の端部の内、Ｙ軸レール部材３３近傍に形成された端部の下面には、Ｘ軸レール部材３３の一端と固定され、且つ、Ｙ軸レール部材３３上をスライド可能な可動テーブル４３が設けられている。さらに、超音波加工部７には、超音波加工部７と固定され、且つ、Ｘ軸レール部材３５に沿って、Ｘ軸方向にスライド可能な可動テーブル４５が設けられている。この様なＺ軸レール部材３１、Ｙ軸レール部材３３、及びＸ軸レール部材３５は、略同一の断面形状を有しており、以下、これらレール部材の構造について詳細な説明をする。尚、説明の便宜上、Ｚ軸レール部材３１及びＹ軸レール部材３３を用いて詳細な説明をする。
【００２１】
Ｚ軸レール部材３１は、図５に示す様に、内部を中空とした箱型の筐体３１ａを備える。当該筐体３１ａ内部には、可動テーブル３９をＺ軸方向にスライドさせることでＹ軸レール部材３３をＺ軸方向に移動させる駆動機構を備える。この駆動機構は、図示せぬ電圧電源から電力が供給されることで駆動するサーボモータ３１ｂと、サーボモータ３１ｂにおいて発生した動力をガイド部材３１ｃを介して可動テーブル３９に伝達するボールネジ３１ｄと、サーボモータ３１ｂにおいて発生した動力をボールネジ３１ｃに伝達するフレキシブルカップリング３１ｅと、ガイド部材３１ｃのスライド方向を制限するガイドレール３１ｆとによって構成される。また、Ｙ軸レール部材３３も、Ｚ軸レール部材３１と同様に筐体３３ａと、図示せぬサーボモータと、ガイド部材３３ｃと、ボールネジ３３ｄと、図示せぬフレキシブルカップリングと、ガイドレール３３ｆとを備える。
【００２２】
移動機構９が超音波加工部７を移動させる場合、操作部３ｃからの指令に基づいてサーボモータ３１ｂを駆動させる。サーボモータ３１ｂが駆動すると、その駆動力は、フレキシブルカップリング３１ｅを介してＺ軸回りの回転力としてボールネジ３１ｄに伝達される。フレキシブルカップリング３１ｅを介してボールネジ３１ｄに回転力が伝達されると、ボールネジ３１ｄは、Ｚ軸回りに回転する。ボールネジ３１ｄが回転すると、ボールネジ３１ｄのネジ山と噛み合う様に形成されたガイド部材３１ｃが、ガイドレール３１ｆによって誘導されることでＺ軸方向に移動する。ガイド部材３１ｃがＺ軸方向に移動すると、当該ガイド部材３１ｃと固定された可動テーブル３９及び当該可動テーブル３９上に固定されたＹ軸レール部材４３は、Ｚ軸方向に移動することとなる。この動作は、Ｙ軸レール部材３３及びＸ軸レール部材３５においても同様であり、移動機構９はこの様な動作を組み合わせることで超音波加工部７を加工情報に含まれる位置情報に示される位置に移動させる。
【００２３】
ところでこの様な超音波加工部７は、例えば操作者の手作業によりＸ軸レール部材４３を上限に移動するベースプレートに固定されるが、例えば形成しようとする模様が微小である場合や、一定の精度が要求される場合には、超音波加工部７に僅かなズレが生じるとホーン部１５の角度にズレが生じてしまい、その加工精度が著しく低下する。そこで超音波加工装置１は、ホーン部１５の角度を微調整する為の調整機構を備える。具体的には、調整機構は、図６に示す様に、ベースプレート６１に支持されるＺ軸調整プレート６３と、Ｚ軸調整プレート６３に支持されるＹ軸調整プレート６５とを備える。
【００２４】
Ｚ軸調整プレート６３は、一方の主面がベースプレート６１の主面と対向する様に配置される。そして所定のビス部材が挿通孔６７にされると、当該ビス部材によってベースプレート６１に回動支持される。また、Ｚ軸調整プレート６３が配置されると、図７に示す様にＺ軸調整プレート６３のガイド孔６９から、ベースプレート６１に形成された突起部７１が突出する。ガイド孔６９は、Ｚ軸調整プレート６３が、ビス部材を中心に回動した際に、突起部７１の動きを規制することで、Ｚ軸調整プレート６３全体の動きを規制する。そしてガイド孔６９の周辺には、突起部７１をＺ軸方向に移動させる為の機構が形成される。
【００２５】
具体的には、ガイド孔６９の左右には、支持部７３ａ，７３ｂが形成される。そして支持部７３ａには、図８に示す様に、マイクロメータヘッド７５が挿通され、支持部７３ｂには、スプリングプランジャ７７が挿通される。そしてこれらマイクロメータヘッド７５と、スプリングプランジャ７７は、突起部７１の先端を挟み込む様に配置される。そして操作者によりマイクロメータヘッド７５が操作されると、マイクロメータヘッド７５の先端がＹ軸方向に伸縮する。一方で、スプリングプランジャ７７の先端部は、突起部７１がマイクロメータヘッド７５によって押されるとその動作に連動して縮み、マイクロメータヘッド７５が縮むことによりマイクロメータヘッド７５が突起部７１から離れると、内蔵したスプリングの付勢により突起部７１を押し戻す。そして、マイクロメータヘッド７５が操作されると、Ｚ軸調整プレート６３は、図９に示す様に、ビス部材を中心とした軸周りに回動する。そしてこれにより、Ｚ軸調整プレート６３に支持されたＹ軸調整プレート６５も同一の方向に回動する。
【００２６】
Ｙ軸調整プレート６５は、Ｙ軸回りに回動可能にＺ軸調整プレート６３に支持される。Ｚ軸調整プレート６３は、Ｚ軸方向に突出した支持部７９ａ，７９ｂを備える。そしてＹ軸調整プレート６５は、Ｚ軸調整プレート６３の側部にそれぞれ形成された支持部７９ａ，７９ｂの間に配置され、所定のシャフトを介してＺ軸調整プレート６３によって支持される。また、Ｙ軸調整プレート６５は、下端から突出した突起部８１を備える。そして突起部８１は、Ｚ軸調整プレート６３に形成された支持部８３とＺ軸調整プレート６３の主面の間に遊挿される。そして、図１１（ａ）に示す様に、支持部８３には、マイクロメータヘッド８５が挿通され、Ｚ軸調整プレート６３の主面には、スプリングプランジャ８７が固定される。そして突起部８１は、これらマイクロメータヘッド８５とスプリングプランジャ８７によって挟み込まれる。そしてマイクロメータヘッド８５の動作により、Ｙ軸調整プレート６５は、図１１（ｂ）に示す様に、シャフト回りを回動する。そしてＹ軸調整プレート６５が移動すると、Ｙ軸調整プレート６５に固定された超音波加工部７は、その動作に連動して移動する。
【００２７】
この様に超音波加工装置１によれば、Ｚ軸調整プレート６３及びＹ軸調整プレート６５からなる調整機構を用いて実質的にホーン部１５の傾きを微調整することができる。
【００２８】
また、超音波加工装置１は、作業台５上にアクリル板Ｄを固定する固定機構を備える。固定機構は、孔５ｂ内部の空気圧を低下させることでアクリル板Ｄを作業台５上に固定する。この様な固定機構は、図１２及び図１３に示す様に真空ポンプ１１と接続されたチューブ材４７と、孔５ｂ内部に配設された真空チャック４９と、各真空チャック４９を個別に制御する制御部材５１とによって構成される。
【００２９】
ここで、孔５ｂは、板部材５ａにおける一方の主面から他方の主面に、貫通する様に穿設されており、略円筒の形状を有する。この様な孔５ｂの内部には、真空チャック４９が配設されている。真空チャック４９は、孔５ｂ内部の空気圧を変化させることでアクリル板Ｄを作業台５上に吸着する為の部材であり、アクリル板Ｄと接触する様に形成された吸入口４９ａと、制御部材５１とチューブ材４７を介して接続される本体部４９ｂとによって構成される。吸入口４９ａは、例えばゴム等の弾性部材をろうと状に形成し、上部開口が孔５ｂから板部材５ａの表面に露出する様に形成される。ユーザが、アクリル板Ｄを作業台５上に敷設した後、真空ポンプ１１を駆動すると、孔５ｂとアクリル板Ｄによって形成される孔５ｂ内部の空間の空気が吸入口４９ａを通じて吸い出され、孔５ｂ内部は真空状態に近づく。この様に、孔５ｂ内部の気圧を低下させることでアクリル板Ｄは作業台５上に固定されることとなる。
【００３０】
以下、超音波加工装置１の動作について詳細な説明をする。
【００３１】
ユーザは、先ず、アクリル板Ｄを作業台５の上に敷設する。次に、ユーザは真空ポンプ１１を駆動させることでアクリル板Ｄを作業台５上に固定する。このとき、制御部材５１と真空チャック４９の接続を調整することで、アクリル板Ｄの大きさにあわせて駆動すべき真空チャック４９を選択することができる構成としても良い。次に、ユーザは、加工情報を操作部３ｃに入力する。
【００３２】
アクリル板Ｄ上に施される模様としては、線若しくは点、又はこれらの組み合わせが考えられるが、まず、線に関する加工情報を操作部３ｃに入力したとする。線に関する加工情報が入力されると、移動機構９は当該加工情報に含まれる位置情報に基づいて線の始点の上部まで超音波加工部７を移動させる。その後、超音波発振器１３を駆動させることでホーン部１５に駆動信号を供給すると共に、ホーン移動部１７及び可動テーブル４５を駆動して、先端部２３をーＸ軸方向に移動させ、アクリル板Ｄに接触させる。先端部２３がアクリル板Ｄに接触すると、ホーン部１５において発生した機械的振動エネルギはアクリル板Ｄに伝達され、先端部２３と接触した箇所は溶解する。その後、移動機構９は、先端部２３がアクリル板Ｄと接触した状態で可動テーブル４３をＹ軸方向に移動させる。そして、先端部２３が位置情報に示される線の終点まで達した後、ホーン移動部１７を駆動して、先端部２３をアクリル板Ｄから離す。仮に、加工情報に複数本の線に関する情報が含まれる場合は、超音波加工装置１は、同様の動作を繰り返し行う。
【００３３】
また、アクリル板Ｄ上に点からなる模様を施す場合、超音波加工装置１は、上述の方法で超音波加工部７を加工情報に示される点の上部まで移動させる。その後、超音波加工装置１は可動テーブル４５を駆動させることで先端部２３をアクリル板Ｄの表面からわずかに離れた位置に移動させる。その後、超音波加工装置１は、ホーン移動部１７を駆動させることで、先端部２３をアクリル板Ｄに接触させ、離反させる。この、接触と離反の動作の間の時間は、超音波加工装置１の電気系統にも因るが、約０．１秒程度とすることができる。仮に、加工情報に複数個の点に関する情報が含まれる場合は、先端部２３がアクリル板Ｄから離反した後、同様の動作を繰り返し行う。
【００３４】
上述の様に、超音波加工装置１は、自由度が高く、加工対象物に様々な模様を加工することが可能である。
【００３５】
尚、本考案は上記実施の形態に限定されるものではなく、本考案の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００３６】
例えば、上記実施の形態において加工部として、超音波加工部７を用いて説明を行ったが、所謂高周波誘導加熱方式を用いた高周波ハンダコテであっても良い。また、超音波加工部７を可動テーブル４５から着脱自在に形成し、高周波ハンダコテを取り付け可能としても良い。また、超音波加工部７の前面にデジタルマイクロスコープを着脱自在に形成しても良い。デジタルマイクロスコープを取り付けることで、加工状況を随時監視することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】実施の形態に係る超音波加工装置の斜視図である。
【図２】同超音波加工装置の超音波加工部の正面図である。
【図３】同超音波加工部のホーン部の正面図である。
【図４】同超音波加工装置の移動機構の概略を示す斜視図である。
【図５】同移動機構の要部断面図である。
【図６】調整機構の要部斜視図である。
【図７】調整機構の要部斜視図である。
【図８】調整機構の要部正面図である。
【図９】調整機構の要部斜視図である。
【図１０】調整機構の要部斜視図である。
【図１１】調整機構の要部側面図である。
【図１２】同超音波加工装置の正面図である。
【図１３】同超音波加工装置の固定機構を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    超音波加工装置
３    機台
３ａ    上段板
３ｃ    操作部
５    作業台
５ｂ    孔
５ａ    板部材
７    超音波加工部
９    移動機構
１１    真空ポンプ
１３    超音波発振器
１５    ホーン部
１７    ホーン移動部
１９    エアー供給ノズル
２３    先端部
２５    振動子
３１    Ｚ軸レール部材
３３    Ｙ軸レール部材
３５    Ｘ軸レール部材
３７    ガイドレール
３９    可動テーブル
４３    可動テーブル
４５    可動テーブル
４７    チューブ材
４９    真空チャック
５１    制御部材
６１    ベースプレート
６３    軸調整プレート
６５    軸調整プレート
６７    挿通孔
６９    ガイド孔
７１    突起部
７３ａ，７３ｂ    支持部
７５    マイクロメータヘッド
７７    スプリングプランジャ
７９ａ，７９ｂ    支持部
８１    突起部
８３    支持部
８５    マイクロメータヘッド
８７    スプリングプランジャ
【図１】
0003140292.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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