【事件の表示】
　特許第３０１５８１７号「遠心力を利用した薬液塗布装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３０１５８１７号の請求項１に係る特許を取り消す。
　同請求項２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許第３０１５８１７号は、特許法第４１条に基づく優先権主張を伴い平成７年４月４日（優先日：平成６年４月４日、出願番号：特願平６−６６１７９号）に出願され、平成１１年１２月２４日にその発明について特許が設定登録され、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年５月１日に意見書が提出されたものである。
２．本件発明
　本件特許の請求項１ないし２に係る発明は、それぞれその特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定される以下のとおりのものである。
「【請求項１】内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回
転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードを吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降機構と、上記フードと吊持手段との間に介在され、フードが上昇された状態でフードと吊持手段とを結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で上記フードと吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は、フードが上昇された状態でフードの周方向の位置決めが行われるような形状を有していることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置。
【請求項２】内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードを吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降機構と、上記フードと吊持手段との間に介在され、フードが上昇された状態でフードと吊持手段とを結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で上記フードと吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は、上記フードおよび吊持手段のうちのいずれか一方に形成されたフランジと他方に形成された係合孔とから構成され、上記フランジは外側周縁部を有し、上記係合孔はフランジの外側周縁部に対応した内側周縁部を有し、上記外側周縁部と上記内側周縁部とは、それらが相互に当接した状態でフードの周方向の位置決めが行われる形状に形成されていることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置。」
３．申立て理由の概要
　特許異議申立人井上博史は、証拠方法として甲第１ないし３号証を提出し、本件特許の請求項１ないし２に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるか、あるいは甲第２号証又は甲第３号証に記載された発明であるから、請求項１ないし２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項あるいは第２９条の２の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものである旨主張している。
４．取消理由の概要
　当審で通知した取消理由の概要は、本件の請求項１に係る発明は、その出願の日前の特許出願であって、その出願後に出願公開がされた特願平４−３４７３６２号（特開平６−１９０３２６号）の願書に最初に添付された明細書又は図面（前記甲第３号証と同一）に記載された発明と同一であり、しかも、この出願の発明者がその出願前の特許出願に係る上記の発明をしたものと同一ではなく、またこの出願の時において、その出願人が上記特許出願の出願人と同一でもないので、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないというものである。
５．甲第１ないし３号証の記載内容
　本件出願前に頒布された刊行物である甲第１号証（特開平５−１６９００３号公報）には以下の事項が記載されている。
（ａ）「塗布装置２はベース１０、インナーカップ２０、アウターカップ３０及び蓋部４０から構成されている。ベース１０には軸受け１１が取り付けられ、この軸受け１１を貫通してスピンナー装置の中空回転軸１２を支承し、この回転軸１２上端にインナーカップ２０の底板２１を固着し、この底板２１の上面周縁に環状の壁体２２を立設し、この壁体２２と底板２１とでカップ形状をなすようにしている。」（段落【００１０】〜【００１１】）
（ｂ）「またインナーカップ２０及びアウターカップ３０の上方には図１に示すようにアーム５０、５１を配置している。これらアーム５０、５１は直線動、回転動、上下動或いはこれらを合成した動きが可能で互いに干渉しないようになっている。そして、アーム５０にはレジスト液等の塗布液を滴下するノズルを取り付け、前記蓋部４０を支持するアーム５１の先端には下方に伸びる軸５２を取り付け、この軸５２にはノズル孔を穿設し、このノズル孔からチッ素ガスや洗浄液が噴出するようにしている。また、前記軸５２にはベアリング及び磁気シールを介してボス部５３を回転自在に嵌合し、このボス部５３にインナーカップ２０の上面開口を閉塞するための円板状をなすアルミニウム製の蓋体４１を取り付けている。また、この蓋体４１の上方のアーム５１の先端下面にはアウターカップ３０の上面開口を閉塞するための蓋体４２を固着している。」（段落【００１６】〜【００１７】）
（ｃ）「このため、蓋体４１の外周には前記壁体２２上面に設けたピン２２ａに係合する切欠４１ａを形成し、また蓋体４１からは上方に向けてピン４５を突出し、このピン４５が係合する受け部材４６を蓋体４２に取り付けている。即ち、蓋体４２は前記したガイドポスト５７により回転が阻止されガラス基板Ｗに対する相対位置が確定しているので、蓋体４１を上昇させた図２の状態では受け部材４６に蓋体４１のピン４５が係合することで蓋体４１及び整流板４３のガラス基板Ｗに対する相対位置も定まる。」（段落【００２０】）
（ｄ）「スピンナーによって真空チャック１３とインナーカップ２０を一体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液をガラス基板Ｗの表面に均一に拡散塗布する。」（段落【００２３】）
　甲第２号証［特願平４−３０４６８４号（特開平６−１３２２１２号公報）の願書に最初に添付された明細書又は図面（以下「先願１明細書等」という）］（異議申立人は甲第２号証として公開公報を引用しているが、特許異議申立書の全趣旨からみて甲第２号証は前記先願１明細書等であり、この先願１明細書等に代えてその記載内容を示す公開公報を引用提出しているものと認められる）には以下の事項が記載されている。
（ｅ）「本発明は、液晶表示パネル用のガラス基板、半導体ウエハ、半導体製造装置用のマスク基板などの基板の表面に、遠心力を利用してフォトレジスト液などの塗布液を薄膜状に塗布する」（段落【０００１】）
（ｆ）「図１は本実施例に係る回転式塗布装置の全体の概略構成を示す縦断正面図であり、角型基板１を載置する回転台２が鉛直方向の軸心Ｐ周りに水平回転可能に設けられ、その回転台２の上方に、回転台２と平行に上部回転板３が設けられるとともに、その上部回転板３が回転台２に上部支持板４を介して一体的に回転可能に取り付けられ、これら回転部材の下方及び周辺部を外から囲むように廃液回収ケース５が設けられ、前記回転台２に、縦向き回転軸としての出力軸６を介して電動モータ７が連結されている。」（段落【００１５】）
（ｇ）「また、回転台２の外周上面には、回転台２と同外径のスペーサリング９およびリングプレート１０が同心円線上の場所に複数箇所で連結されるとともに、このリングプレート１０に上部支持板４がノブボルト１１を介して着脱自在に取り付けられ、上部支持板４を取り外すことで、リングプレート１０の中央開口から基板１を出し入れすることができるようになっている。」（段落【００１７】）
（ｈ）「固定支持部材１６の下方側支持プレート１６ｂは環状に形成され、その内周面側に寄った上面の周方向所定の４箇所それぞれに、山形状の係合突起２９が設けられ、一方、下方側支持プレート１６ｂよりも上方に位置するように、上部支持板４に取付部材３０…を介して環状プレート３１が取り付けられるとともに、その環状プレート３１の周方向所定の４箇所それぞれに、係合突起２９を嵌入する筒体３２が設けられ、前記上部回転板３を着脱する際に、係合突起２９…を筒体３２…に嵌入することにより、固定支持部材１６で吊り下げることがてきるように構成されている。以上の構成により、先ず、塗布処理に際しては、固定支持部材１６を筒状カバー１５から取り外すとともに上部支持板４を回転台２から取り外し、固定支持部材１６で吊り下げて上部回転板３を上方に外して角型基板１を回転台２の基板支持ピン８…上に所定の姿勢で載置する。」（段落【００２５】〜【００２６】）
　甲第３号証［特願平４−３４７３６２号（特開平６−１９０３２６号公報）の願書に最初に添付された明細書又は図面（以下「先願２明細書等」という）］（異議申立人は甲第３号証として公開公報を引用しているが、特許異議申立書の全趣旨からみて甲第３号証は前記先願２明細書等であり、この先願２明細書等に代えてその記載内容を示す公開公報を引用提出しているものと認められる）には以下の事項が記載されている。
（ｉ）「塗布装置は、図１に示すように、回転カップ１を有しており、この回転カップ１は、円形状の回転ステージ２を有し、この回転ステージ２の中央には開口３０が形成され、回転ステージ２の裏面には開口３０より径小でこの開口３０に連通した挿通孔３１が形成された回転軸３２が設けられており、この回転軸３２は軸受３３にて回転自在に支持され、回転ステージ２の表面の周囲には中央側よりやや低く形成された係合段部５が形成されている。」（段落【００２７】）
（ｊ）「さらに、回転ステージ２の上面の係合段部５には、回転ステージ２の外周と略同形で下方に向けて縮径した回転枠１１が係合されており、この回転枠１１の上面にはガイドピン１２が上方に向けて突出形成されている。また、回転枠１１の上面には、上蓋１４が取り付けられ、回転枠１１および上蓋１４などにてチャンバー１５を形成している。そして、この上蓋１４の周囲にも、回転ステージ２と同様に中央よりやや低く形成された係合段部１６が形成され、この係合段部１６には回転枠１１の上部が係合され、この係合段部１６にはガイドピン１２が挿入されるガイド孔１７が穿設されている。さらに、上蓋１４の上面にも回転軸１８が突出して形成され、この回転軸１８は上蓋１４を昇降させる昇降装置１９に装着されている。また、回転軸１８の上端には、鍔部５１が形成され、この鍔部５１にはガイド孔５２が形成され、昇降装置１９に形成されたガイドピン５３に係止して、位置決め回転されるようになっている。また、回転軸３２はモー夕５５に接続されたプーリ５６によりタイミングベルト５７にて回転されるように構成され、回転円筒３４はモータ５５にクラッチ５８を介して接続されたプーリ５９によりタイミングベルト６０にて回転駆動されるように構成されている。」（段落【００３２】〜【００３５】）
６．当審の判断
（１）請求項１に係る発明について
　当審において、本件の請求項１に係る発明は特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないとの取消理由を通知し、意見書を提出する機会を与えたところ、特許権者は請求項１に係る発明についての取消理由通知に対して意見はないと主張している。
　そして、上記取消理由は妥当なものと認められるので、本件の請求項１に係る発明は、取消理由通知で示したとおりの理由で、特許を受けることができないものと認める。
（２）請求項２に係る発明について
（特許法第２９条第２項違反について）
　甲第１号証には、上記（ａ）〜（ｄ）より「内部にレジスト液が供給されるガラス基板装填用のインナーカップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させるスピンナー装置と、上記インナーカップとの結合によって内部に閉鎖空間を作る蓋体４１と、蓋体４１を回転自在に軸支する手段と蓋体４２を上下摺動自在に保持する手段を備えた蓋体の昇降機構と、蓋体間に介在され、蓋体４１が上昇された状態で両蓋体を結合するとともに、蓋体４１がインナーカップに結合された状態で両蓋体の結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は蓋体４１に設けたピンと蓋体４２に設けた受け部材とから構成され、それらが相互に当接した状態でインナーカップの周方向の位置決めが行われる形状に形成されている、遠心力を利用したレジスト液塗布装置」が記載されていると云える。
　本件請求項２に係る発明（以下「本件２発明」という）と甲第１号証に記載された発明（以下「甲１発明」という）とを対比すると、甲１発明の「レジスト液」は本件２発明の「薬液」、同じく「ガラス基板」は「基盤」、「インナーカップ」は「回転カップ」、「スピンナー装置」は「駆動機構」、「蓋体４１」は「フード」にそれぞれ相当するため、両者は「内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードの昇降機構と、フードが上昇された状態で結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部はそれらが相互に当接した状態でフードの周方向の位置決めが行われる形状に形成されていることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置」である点で一致し、以下の点で相違している。
（イ）本件２発明は昇降機構がフードの吊持手段を備えているのに対し、甲１発明は昇降機構がフードを回転自在に軸支する手段を備えている点。
（ロ）本件２発明は係合部がフードと吊持手段との間に介在され、フードおよび吊持手段のうちのいずれか一方に形成されたフランジと他方に形成された係合孔とから構成され、上記フランジは外側周縁部を有し、上記係合孔はフランジの外側周縁部に対応した内側周縁部を有しているのに対し、甲１発明はフードと蓋体４２との間に介在され、フードに設けたピンと蓋体４２に設けた受け部材とから構成されている点。
　上記相違点のうち相違点（ロ）に着目して以下検討する。
　甲１発明に記載されていない、位置決めのための本件２発明のフランジの外側周縁部とそれに対応した内側周縁部を有する係合孔とで係合部を構成する点は周知慣用のものとは認められず、さらに、本件２発明はその構成により「簡単な構成で確実なフードの周方向の位置決めが実現し、位置決め構造の製造コストを低減させる」（特許明細書段落【０１２９】）という効果を奏するものであるから、甲１発明の受け部材とピンに代えて本件２発明の上記構成に置き換えることはできない。よって、本件２発明は甲１発明に基いて当業者が容易に想到し得るものとすることができない。
　なお、異議申立人は、甲１発明の係合部と本件２発明の係合部とは位置決めの作用・効果が全く同じであるから、甲１発明の係合部を本件２発明の係合部に置き換えることに困難性はないと主張しているが、本件２発明の係合部の構成の公知性について何ら立証されていないから、この主張は採用することができない。
（特許法第２９条の２違反について）
　先願１明細書等には、上記（ｅ）〜（ｈ）より「内部にフォトレジスト液が供給される基板装填用の回転台とスペーサリング及びリングプレートを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる電動モータと、リングプレートとの結合によって内部に閉鎖空間をつくる上部支持板と、上部支持板を吊持して昇降させる支持プレートを備えた昇降機構と、上部支持板と支持プレートとの間に介在され、上部支持板が上昇された状態で上部支持板と支持プレートとを結合するとともに、上部支持板がリングプレートに結合された状態で上部支持板と支持プレートとの結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は、上部支持板に付設された筒体と支持プレートに設けられた係合突起とから構成され、それらが相互に当接した状態で回転台とスペーサリング及びリングプレートの周方向の位置決めが行われる形状に形成されている、遠心力を利用したフォトレジスト液塗布装置」が記載されていると云える。
　本件２発明と先願１明細書等に記載された発明（以下「先願１発明」という）とを対比すると、先願１発明の「フォトレジスト液」は本件２発明の「薬液」、同じく「基板」は「基盤」、「回転台とスペーサリング及びリングプレート」は「回転カップ」、「電動モータ」は「駆動機構」、「上部支持板」は「フード」、「支持プレート」は「吊持手段」にそれぞれ相当するため、両者は「内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードを吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降機構と、上記フードと吊持手段との間に介在され、フードが上昇された状態でフードと吊持手段とを結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で上記フードと吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部はそれらが相互に当接した状態でフードの周方向の位置決めが行われる形状に形成されていることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置」である点で一致し、本件２発明は係合部がフードおよび吊持手段のうちのいずれか一方に形成されたフランジと他方に形成された係合孔とから構成され、上記フランジは外側周縁部を有し、上記係合孔はフランジの外側周縁部に対応した内側周縁部を有しているのに対し、先願１発明は係合部がフードに付設された筒体と吊持手段に設けられた係合突起とから構成されている点で相違している。
　上記相違点について検討すると、先願１明細書等に記載されていない本件２発明の係合部の上記構成は、先願１明細書等の記載及びその出願時の技術水準からみて自明の事項とは認められない。よって、本件２発明は先願１発明と同一であるとすることができない。
　また、先願２明細書等には、上記（ｉ）〜（ｊ）より「内部に塗布液が供給される基板装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくる上蓋と、上蓋を吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降装置と、
上蓋と吊持手段との間に介在され、上蓋が上昇された状態で上蓋と吊持手段とを結合するとともに、上蓋が回転枠に結合された状態で上蓋と吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部は、上蓋に付設された鍔部のガイド孔と吊持手段に設けられたガイドピンとから構成され、それらが相互に当接した状態で回転カップの周方向の位置決めが行われる形状に形成されている、遠心力を利用した塗布装置」が記載されていると云える。
　本件２発明と先願２明細書等に記載された発明（以下「先願２発明」という）とを対比すると、先願２発明の「塗布液」は本件２発明の「薬液」、同じく「基板」は「基盤」、「上蓋」は「フード」、「昇降装置」は「昇降機構」にそれぞれ相当するため、両者は「内部に薬液の供給される基盤装填用の回転カップを備えた回転部材と、上記回転部材を高速回転させる駆動機構と、上記回転カップとの結合によって内部に閉鎖空間をつくるフードと、上記フードを吊持して昇降させる吊持手段を備えた昇降機構と、上記フードと吊持手段との間に介在され、フードが上昇された状態でフードと吊持手段とを結合するとともに、フードが回転カップに結合された状態で上記フードと吊持手段との結合状態が解除される係合部とが設けられ、上記係合部はそれらが相互に当接した状態でフードの周方向の位置決めが行われる形状に形成されていることを特徴とする遠心力を利用した薬液塗布装置」である点で一致し、本件２発明は係合部がフードおよび吊持手段のうちのいずれか一方に形成されたフランジと他方に形成された係合孔とから構成され、上記フランジは外側周縁部を有し、上記係合孔はフランジの外側周縁部に対応した内側周縁部を有しているのに対し、先願２発明は係合部がフードに付設された鍔部のガイド孔と吊持手段に設けられたガイドピンとから構成されている点で相違している。
　上記相違点について検討すると、先願２明細書等に記載されていない本件２発明の係合部の上記構成は、先願２明細書等の記載及びその出願時の技術水準からみて自明の事項とは認められない。よって、本件２発明は先願２発明と同一であるとすることができない。
７．むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１に係る特許は、特許法第２９条の２の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第２項に該当し、特許を取り消すべきものである。
　また、本件の請求項２に係る特許については、特許異議申立人の主張および証拠方法によっては取り消すことはできず、他に特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年６月１９日（２００１．６．１９）