【事件の表示】
　特許第２８１２８６９号「ハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２８１２８６９号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理由】
　【１】　手続きの経緯
　特許出願　　　　　　　平成６年２月１８日
　特許権設定登録　　　　平成１０年８月７日
　特許異議の申立て（西田良幸）
　　　　　　　　　　　　平成１１年４月２１日
　特許異議の申立て（古河電気工業株式会社）
　　　　　　　　　　　　平成１１年２月１７日
　取消理由通知　　　　　平成１１年７月６日
　訂正請求　　　　　　　平成１１年９月２７日
　【２】　訂正の適否について
　［１］　訂正事項
　（１）　訂正事項１
　特許請求の範囲を次のとおり訂正する。
　「【請求項１】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項２】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項３】　前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項４】　前記金属又は合金はＣｕ合金であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。」
　（２）　訂正事項２
　発明の名称を「ハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法」を、「ハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法」と訂正する。
　（３）　訂正事項３
　願書に添付した明細書の段落番号０００１の記載を「　【産業上の利用分野】本発明はその一面にハーフエッチングが施されるハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法に関し、特にアイランド部にハーフエッチングが施されるリードフレームの材料として好適のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法に関する。」と訂正する。
　（４）　訂正事項４
　願書に添付した明細書の段落番号０００５の記載を「本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、平坦性が優れていると共に、ハーフエッチングしても反りが発生しにくいハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法を提供することを目的とする。」と訂正する。
　（５）　訂正事項５
　願書に添付した明細書の段落番号０００６の記載を削除する。
　（６）　訂正事項６
　願書に添付した明細書の段落番号０００７の記載を「【課題を解決するための手段】　本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。」と訂正する。
　（７）　訂正事項７
　願書に添付した明細書の段落番号０００８の記載を「　また、本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の他の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。」と訂正する。
［２］訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張、変更の存否
　（１）　訂正事項１による訂正について
　願書に添付した明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２を削除し、請求項３及び請求項４における張力に係る条件を「前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である」と限定したものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そして、この訂正事項は、願書に添付した明細書の段落番号０００１６の記載に基づくものである。
　（２）　訂正事項２ないし訂正事項７による訂正について
　訂正事項１による訂正に伴って生じる明細書の明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　そして、訂正事項１ないし訂正事項７による訂正は、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
［３］　独立特許要件の判断
　訂正された明細書に係る発明にいて、独立特許要件を検討する。
　訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明の構成に欠くことができない事項は、訂正明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項４に記載されたとおりのものと認める。
　訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明のそれぞれは、第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２である点を必須の構成要件として具備している。
　そして、訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明のそれぞれは、前記必須の構成要件を具備していることによって、平坦性が優れていると共に、残留応力が少なく、ハーフエッチングを施しても反りが極めて少ない電気電子部品用板条材を得ることができるという作用効果を奏し、所期の目的を達成できるものである。
　これに対して、取消理由の理由１において引用した甲第１号証刊行物（伸銅技術研究会誌（１９９２）３１巻「矯正機の進歩」、第２４〜３１頁）には、そのＦｉｇ．１２及びＦｉｇ．１３の記載から、第１のテンションレベラー工程における張力は４１ｋｇｆ／ｍｍ２であり、第２のテンションレベラー工程における張力は１．７５ｋｇｆ／ｍｍ２である点が記載されていることが読み取れる。
　また、取消理由の理由２において引用した甲第９号証刊行物（特開昭５２−１０３３６５号公報）には、残留応力を小さくするために、第２のテンションレベラー工程における張力を、第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下とする点が記載されていることが読み取れる。
　しかし、これらの刊行物には、第１のテンションレベラー工程及び第２のテンションレベラー工程における張力を前記した訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明のそれぞれにおいて限定した数値の範囲とする点については記載がない。
　したがって、前記した訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明のそれぞれが具備している必須の構成要件は、取消理由の理由１及び理由２において引用した他の刊行物のいずれにも記載がなく、また、このことは、取消理由の理由１及び理由２において引用した刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到することができたものではない。
　よって、訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明は、取消理由の理由１及び理由２において引用した刊行物に記載された発明と同一の発明又はそれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　また、他に訂正明細書の請求項１ないし請求項４に係る発明を特許出願の際、独立して特許を受けることができない発明とすべき理由を発見しない。
［４］　むすび
　以上のとおりであるから、前記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２項ないし同条第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　【３】　特許異議の申立てについての判断
　特許異議申立人・西田良幸が掲げている特許異議の申立ての理由は、前記取消理由の理由１のとおりである。
　また、特許異議申立人．古河電気工業株式会社が掲げている特許異議の申立ての理由は、前記取消理由の理由２のとおりである。
　【４】　そして、本件特許の請求項１ないし請求項４に係る発明は、前記【２】［３］のとおり、前記取消理由において引用した刊行物に記載された発明と同一の発明又はそれらの発明に基づいて当業者が容易に発明をできたものでもないから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件特許の請求項１ないし請求項４に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件特許の請求項１ないし請求項４に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１０月２２日（１９９９．１０．２２）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　【１】訂正事項
　（１）訂正事項１
　特許請求の範囲を次のとおり訂正する。
　「【請求項１】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項２】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項３】　前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　【請求項４】　前記金属又は合金はＣｕ合金であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。」
　（２）　訂正事項２
　発明の名称を「ハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法」を、「ハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法」と訂正する。
　（３）　訂正事項３
　願書に添付した明細書の段落番号０００１の記載を「【産業上の利用分野】本発明はその一面にハーフエッチングが施されるハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法に関し、特にアイランド部にハーフエッチングが施されるリードフレームの材料として好適のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法に関する。」と訂正する。
　（４）　訂正事項４
　願書に添付した明細書の段落番号０００５の記載を「本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、平坦性が優れていると共に、ハーフエッチングしても反りが発生しにくいハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法を提供することを目的とする。」と訂正する。
　（５）　訂正事項５
　願書に添付した明細書の段落番号０００６の記載を削除する。
　（６）　訂正事項６
　願書に添付した明細書の段落番号０００７の記載を「【課題を解決するための手段】本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。」と訂正する。
　（７）　訂正事項７
　願書に添付した明細書の段落番号０００８の記載を「また、本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の他の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。」と訂正する。
　【２】　訂正の目的
　（１）　訂正事項１による訂正について
　特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　（２）　訂正事項２ないし訂正事項７による訂正について
　明細書の明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当する。
（５４）【発明の名称】
ハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　　【請求項２】　金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とするハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　　【請求項３】　前記第２のテンションレベラー工程におけるテンションレベラーのワークロール径が１６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
　　【請求項４】　前記金属又は合金はＣｕ合金であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明はその一面にハーフエッチングが施されるハーフエッチング用電気電子部品用板条材及びその製造方法に関し、特にアイランド部にハーフエッチングが施されるリードフレームの材料として好適のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法に関する。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　ＩＣリードフレーム等の電気電子部品用の金属又は合金製のテープ、板又は条（以下、板条材という）は、通常、圧延により製造されている。ＩＣリードフレーム用板条材には、ワイヤボンディング工程等での不良の発生を回避するために平坦性が要求される。このため、従来、ＩＣリードフレーム用板条材の製造工程には、圧延により形成された板条材をテンションレベラーに通して歪を矯正する工程が設けられている（特開平４−９４８１５号）。この場合に、残留応力をより一層確実に除去するために、テンションレベラー工程の前及び／又は後に低温焼鈍が実施されることもある。ＩＣリードフレームは、このようにして歪を矯正した板条材を所定の幅に切断した後、エッチングにより所定の形状に成形加工することにより製造されている。なお、最終圧延材からリードフレームに成形するまでの間には、脱脂、酸洗及び研磨等の処理が適宜実施されている。
　　　【０００３】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上述した方法により製造された従来の電気電子部品用板条材には、以下に示す問題点がある。即ち、近年、リードフレームのアイランド部と封止樹脂との密着性を向上させるため及び前記アイランド部の表面積を増加させて熱放散性を向上させるために、アイランド部の半導体チップ搭載面の反対側の面にハーフエッチングを施して、多数の微小な凹部（ディンプル）を形成することがある。この場合に、従来のリードフレーム用板条材は、圧延方向に直交する断面においては、残留応力が小さく問題とならないが、圧延方向に平行の断面においては残留応力が大きく、この残留応力に起因して反りが問題となっている。図８は、従来のリードフレーム用板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図８に示すように、板条材１１の厚さ方向の中央部に残留する引張応力（正の値）と、端部に残留する圧縮応力（負の値）との絶対値の和（Ａ）が大きい。ハーフエッチング前の状態では引張応力と圧縮応力とがバランスしているため、反りは発生しないが、図９に示すように一方の面をハーフエッチングしてディンプル１２を形成すると、引張応力と圧縮応力とのバランスが崩れ、図１０に示すようにハーフエッチングした面を内側にして大きく反りが発生する。
　　　【０００４】
　従来のリードフレーム用板条材の場合は、ハーフエッチングを施すと、図１１に示すように長さが１５０〜２５０ｍｍのリードフレームの場合に、反りＨ１が最大で約５０ｍｍとなる。また、図１２に示すように１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部に対し、反りＨ２は約５０μｍになる。一般的に、１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部の場合に、反りＨ２は１５μｍ以下であることが必要であるとされている。従来の電気電子部品用板条材においては、板厚方向に２／３〜１／２の深さのディンプルを形成すると、この基準を満足することができない。
　　　【０００５】
　本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、平坦性が優れていると共に、ハーフエッチングしても反りが発生しにくいハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法を提供することを目的とする。
　　　【０００６】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通し波状の歪の高さを波のピッチで除して得られる急峻度を１．０％以下にする第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を張力を一定に維持してテンションレベラーに通し、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にする第２のテンションレベラー工程とを有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。
　　　【０００７】
　また、本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材の他の製造方法は、金属又は合金のテープ、板又は条からなる板条材をテンションレベラーに通す第１のテンションレベラー工程と、この第１のテンションレベラー工程終了後の前記板条材を前記第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力でテンションレベラーに通す第２のテンションレベラー工程と、を有し、前記第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２であり、前記第２のテンションレベラー工程における張力は３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２であることを特徴とする。
　　　【０００８】
　なお、急峻度は、板条材に生じる波状の歪の高さを波のピッチで除して得られるものである。具体的には、図１３に示すように、テープ、板又は条からなる板条材に発生した波状の歪の波底間の距離をＬ、高さをＨとした場合に、急峻度＝（Ｈ／Ｌ）×１００で表される。
　　　【０００９】
　また、本願において厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和とは、厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の最大値の絶対値と引張応力の最大値の絶対値との和をいう。圧延材の場合は、圧延方向に残留する残留応力に比して圧延方向に直交する方向に残留する残留応力は小さい。本発明においては、圧延方向に残留する圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を、１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にするものである。
　　　【００１０】
　更に、第１及び第２のテンションレベラー工程は例えば２台のテンションレベラーにより連続的に実施してもよく、また個別的に（不連続に）実施してもよい。
　　　【００１１】
　　【作用】
　本願発明者等は、テープ、板又は矩形断面をもつ条材からなる電気電子部品用板条材のハーフエッチング後の反りを抑制すべく種々実験研究を行った。その結果、例えばリードフレームにおいて、１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部のハーフエッチング後の反りを１５μｍ以下にするためには、リードフレームの圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において、圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下にすることが必要であることが判明した。
　　　【００１２】
　また、本願発明者等は、テンションレベラーによる歪矯正時に板条材に加える張力を低く設定すると、厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和が小さくなるとの知見を得た。しかし、テンションレベラーに通すときの張力を低減すると、板条材の歪を矯正することができない。
　　　【００１３】
　そこで、本願の第１の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して急峻度を１．０％以下にすることにより、リードフレームとして要求される平坦性を確保する。この第１のテンションレベラー工程終了後の板条材は、平坦性は良好であるものの、その厚さ方向の応力分布における残留応力が比較的大きい。この残留応力を低減するために、第２のテンションレベラー工程として、張力を一定に維持しつつ、板条材をテンションレベラーに通す。これにより、残留応力を低減することができて、例えばリードフレームにおいて、１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部の反りを１５μｍ以下にすることができる。
　　　【００１４】
　また、本願の第２の発明方法においては、先ず、第１のテンションレベラー工程において、板条材を比較的大きな張力を加えつつテンションレベラーに通して所望の平坦性を確保し、次いで、第２のテンションレベラー工程において、板条材に第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の張力を加えつつテンションレベラーに通す。これにより、板条材に残留する応力を十分に低減することができ、ハーフエッチング後の反りの発生を抑制することができる。
　　　【００１５】
　上述の第１及び第２の発明方法において、第１のテンションレベラー工程における張力を大きくするほど板条材の急峻度は小さくなるが、張力が大きすぎると第１のテンションレベラー工程後の材料の残留応力が大きくなって、第２のテンションレベラー工程で残留応力を小さくするためには第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３近傍にする必要があり、残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程における張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２程度とすることが好ましい。また、第２のテンションレベラー工程における張力を３〜８ｋｇｆ／ｍｍ２とすることにより、より一層確実に残留応力を小さくすることができる。更に、テンションレベラーのワークロールとして小径（１６ｍｍ以下）のものを使用すると、残留応力を更に小さくすることができる。
　　　【００１６】
　なお、本発明は、主にリードフレームに使用されるＣｕ合金を対象としているが、その他の金属又は合金に適用することもできる。
　　　【００１７】
　　【実施例】
　次に、本発明の実施例について、添付の図面を参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る電気電子部品用板条材の製造方法において使用するテンションレベラーを示す模式図である。このテンションレベラーは、複数本のワークロール１と、第１及び第２の中間ロール２，３とにより構成されており、ワークロール１は、図２に示すように、入側のロール１のロール咬み込み量ｘ１が大きく、後段のロール１ほどロール咬み込み量ｘｎが小さくなるように設定している。第１及び第２の中間ロール２，３は、第１のワークロールの曲げ応力に対する強度を補強するために設けられている。また、テンションレベラーの入側及び出側には夫々複数本のロールにより構成されたブライドル部４，５が設けられている。これらのプライドル部４，５の各ロールのテンションを調整する等の方法により、ブライドル部４，５間の被処理材（圧延材１０）の張力を調整することができるようになっている。
　　　【００１８】
　一方、処理すべき最終圧延材１０（例えば、Ｃｕ合金圧延材）はロール６に巻取られている。圧延材１０はこのロール６から巻解かれて入側ブライドル部４を構成する各ロール間に掛け渡され、テンションレベラーのワークロール１間を通過し、更に出側ブライドル部５を構成する各ロール間に掛け渡された後、巻取ロール７に巻取られるようになっている。
　　　【００１９】
　本実施例においては、先ず、第１のテンションレベラー工程として、圧延材１０の伸びを一定（例えば、０．２５％又は０．３％）に保って、この圧延材１０をテンションレベラーに通す。この場合に、張力は変動（振動）するが、平均張力を例えば１５ｋｇｆ／ｍｍ２とする。
　　　【００２０】
　図３は、横軸に板条材に加える張力（ユニットテンション）をとり、縦軸に急峻度をとって、抗張力が相互に異なる３種類の板条材（Ａ材、Ｂ材及びＣ材）におけるユニットテンションと急峻度との関係を示すグラフ図である。なお、Ａ材はＢ材の約１．５倍の抗張力を有する板条材であり、Ｃ材はＢ材の約０．５倍の抗張力を有する板条材である。この図３に示すように板条材に加える張力を大きくすると、板条材の急峻度は小さくなる。リードフレームとして使用する場合は、急峻度を１％以下とする。板条材の抗張力により張力の好ましい範囲は異なるが、張力が大きすぎると、第２のテンションレベラー工程で残留応力を十分に低減することが難しくなる。このため、第１のテンションレベラー工程において板条材（圧延材１０）に加える張力は９〜２５ｋｇｆ／ｍｍ２程度とすることが好ましい。
　　　【００２１】
　次いで、第２のテンションレベラー工程として、圧延材１０に加える張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下に設定し、張力が一定となるようにブライドル部４，５を調整して圧延材１０をテンションレベラーに通す。この場合に、残留応力を低減することだけを考えると、張力を０とすることが好ましい。しかし、張力を０とすると、テンションレベラー内で圧延材１０の横流れが発生する。このため、横流れが発生しない程度の最低限の張力を印加することは必要である。具体的には、第２のテンションレベラー工程における張力は、３〜８．３ｋｇｆ／ｍｍ２とすることが好ましい。
　　　【００２２】
　このように、第２のテンションレベラー工程における張力を第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下と小さくすることにより、圧延材１０の厚さ方向の残留応力分布における圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を小さくすることができる。
　　　【００２３】
　図４は、横軸に第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径をとり、縦軸に圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和をとって、両者の関係を示すグラフ図である。但し、第１のテンションレベラー工程における張力は１５ｋｇｆ／ｍｍ２、ワークロールの直径は１６ｍｍであり、第２のテンションレベラー工程における張力は４．５ｋｇｆ／ｍｍ２である。また、第１のテンションレベラー工程のみを行った板条材の圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和は約２２ｋｇｆ／ｍｍ２である。この図４から、第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径を１６ｍｍ以下とすることにより、圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下とすることができることがわかる。
　　　【００２４】
　図５は、このようにして第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す模式図である。この図５に示すように、本実施例方法により製造した板条材１１は、圧縮応力及び引張応力がいずれも小さいので、図６に示すように一方の面をハーフエッチングしディンプル１２を形成しても、このハーフエッチングを施した面側に作用する圧縮力は小さく、図７に示すように反りが小さい。これにより、リードフレームにおいて、１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部にハーフエッチングを施した場合に、反りを１５μｍ以下に抑えることができる。
　　　【００２５】
　以下、本発明の実施例方法により実際にリードフレーム用板条材を製造し、この板条材から形成したリードフレームのアイランド部にハーフエッチングを施し、反りを調べた結果について、従来例及び比較例と比較して説明する。
　　　【００２６】
　原料材として、Ｃｕ合金（Ｃｕ−３．２重量％Ｎｉ−０．７重量％ｓｉ−１．２５重量％Ｓｎ−０．２重量％Ｚｎ）からなり、板厚が０．１２７ｍｍの薄板を用意した。この薄板を下記表１に示す張力を加えつつ、実施例１〜４及び比較例については２回、従来例については１回だけテンションレベラーに通した。この場合に、実施例４の第２のテンションレベラー工程におけるワークロール径は１２ｍｍであり、それ以外のテンションレベラー工程におけるのワークロール径はいずれも１６ｍｍである。また、従来例２では、テンションレベラーを通した後に低温焼鈍（３８０℃×２時間）を施した。
　　　【００２７】
　このようにして歪矯正を行った薄板から、１辺が１０ｍｍの正方形のアイランド部を有するリードフレームを形成し、アイランド部の一方の面をハーフエッチングした。そして、圧延方向（Ｌ）及び圧延方向に直交する方向（幅方向：Ｃ）に残留する残留応力の厚さ方向の分布を調べ、圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を求めた。即ち、（Ｌ）は、圧延方向に平行の断面における残留応力であり、（Ｃ）は圧延方向に直交する断面における残留応力である。その結果を、表１の残留応力の欄に示す。また、アイランド部の反りを３次元工具顕微鏡にて測定した。その結果も表１に併せて示す。
　　　【００２８】
　【表１】
　　　【００２９】
　この表１から明らかなように、比較例及び従来例１，２はいずれも残留応力（圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和）が１４ｋｇｆ／ｍｍ２以上であり、ハーフエッチング後のアイランド部の反り（Ｌ）が夫々１７μｍ、５０μｍ及び２５μｍと大きいのに対し、本発明の実施例においては、いずれも残留応力が１２ｋｇｆ／ｍｍ２以下であり、アイランド部の反り（Ｌ）がいずれも１２μｍ以下と小さい。これにより、本発明は、ハーフエッチングを施す電気電子部品用板条材の製造に極めて有用であることが明らかである。また、本発明によれば、圧延方向に直交する方向（Ｃ）の残留応力及び反りも低減できることがわかる。
　　　【００３０】
　なお、上述の実施例１〜４においては、いずれもテンションレベラー工程の前及び後に熱処理工程を有していないが、テンションレベラー工程の前及び／又は後に熱処理工程を加えてもよい。また、本発明に係る電気電子部品用板条材は前述した銅合金に限定されるものでないことは勿論であり、本発明は銅及び銅合金の外に、アルミニウム及びアルミニウム合金並びに４２アロイ等に適用することもできる。また、第１及び第２のテンションレベラー工程は、例えば２台のテンションレベラーにより連続的に実施してもよく、又は、１台のテンションレベラーにより第１のテンションレベラー工程を実施した後、張力を調整して前記テンションレベラーにより第２のテンションレベラー工程を実施してもよい。
　　　【００３１】
　　【発明の効果】
　以上説明したように本発明に係るハーフエッチング用電気電子部品用板条材は、圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を所定値以下に規制したから、ハーフエッチング後の反りが極めて少ない。
　　　【００３２】
　また、本発明に係るハーフエッチング用電子電子部品用板条材の製造方法は、第１のテンションレベラー工程で板条材の急峻度を１％以下とし、第２のテンションレベラー工程で前記板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布において圧縮応力の絶対値と引張応力の絶対値との和を所定値以下にするから、平坦性が優れていると共に、ハーフエッチングを施しても反りが極めて少ない電気電子部品用板条材を得ることができる。
　　　【００３３】
　更に、本発明の他のハーフエッチング用電気電子部品用板条材の製造方法は、板条材を第１及び第２のテンションレベラー工程で夫々テンションレベラーに通し、第２のテンションレベラー工程においては第１のテンションレベラー工程における張力の１／３以下の低い張力でテンションレベラーに通すから、平坦性が優れていると共に、残留応力が少なく、ハーフエッチングを施しても反りが極めて少ない電気電子部品用板条材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明の実施例に係る電気電子部品用板条材の製造方法において使用するテンションレベラーを示す模式図である。
　　【図２】
　テンションレベラーのワークロールの配置を示す模式図である。
　　【図３】
　板条材に加える張力（ユニットテンション）と急峻度との関係を示すグラフ図である。
　　【図４】
　第２のテンションレベラー工程におけるワークロールの直径と残留応力との関係を示すグラフ図である。
　　【図５】
　第１及び第２のテンションレベラー工程を経た板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す図である。
　　【図６】
　同じくその板条材にハーフエッチングを施した状態を示す模式図である。
　　【図７】
　同じくその板条材の反りを示す模式図である。
　　【図８】
　従来の電気電子部品用板条材の圧延方向に平行の断面における厚さ方向の残留応力分布を示す図である。
　　【図９】
　同じくその板条材にハーフエッチングを施した状態を示す模式図である。
　　【図１０】
　同じくその板条材の反りを示す模式図である。
　　【図１１】
　従来の電気電子部品用板条材により形成されたリードフレームにハーフエッチングを施した場合の反りを示す模式図である。
　　【図１２】
　従来の電気電子部品用板条材により形成されたリードフレームのアイランド部にハーフエッチングを施した場合の反りを示す模式図である。
　　【図１３】
　急峻度を示す模式図である。
　　【符号の説明】
１；ワークロール
２，３；中間ロール
４，５；ブライドル部
１０；圧延材
１１；板条材
１２；ディンプル