【事件の表示】
　特許第２８５４２５０号「誘電体バリア放電ランプ装置」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８５４２５０号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯
　特許第２８５４２５０号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成６年９月２０日に特許出願され、平成１０年１１月２０日にその発明について特許の設定登録がなされた後、平成１１年８月３日付けで特許異議申立人日本電池株式会社より請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てがなされ、平成１１年３月３０日付けで請求項１に係る特許に対する取消理由通知がなされたところ、平成１１年５月２３日付けで特許異議意見書が提出されたものである。
　
（２）取消理由について
ア．本件発明
　特許第２８５４２５０号の請求項１ないし５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１に係る発明は次のとおりである。
【請求項１】 外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプと、少なくとも一部に前記エキシマ分子から放射される光の光取り出し窓を有するランプハウスと、前記ランプハウスに不活性ガスを充填する不活性ガス充填手段と、前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプ全体が前記ランプハウス内に収納され、前記放電容器の内側管の少なくとも一端が開放していることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
　
イ．取消理由の概要
　取消理由通知は、証拠として刊行物１（特開平４−２０６７２３号公報）、刊行物２（特開平６−２１５７３５号公報）、刊行物３（特開平３−２０１３５８号公報）を提示し、請求項１に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
ウ．刊行物に記載された発明
　取消理由通知が提示した刊行物１には、次の事項が第１図とともに記載されている。
（１）「表面処理に必要な紫外線ランプ４はランプハウス５に収納させている。ランプハウス５の下面には、石英ノズル板６が保持体７により固定されている。…また、ランプハウス５にはその内部の雰囲気をガス置換するノズル１０ａ、１０ｂが取り付けられている。…ステージ２に載置した被処理物１の表面に…反応ガスを供給し、且つ紫外線ランプ４から紫外線を照射して表面処理を行う。…ノズル１０ａから窒素ガスを供給しノズル１０ｂから排出することによってランプハウス５の内部を窒素置換して、ランプハウス５内の紫外線の吸収を防止している。」（第２頁右上欄第１９行〜同左下欄第２０行）
（２）第１図には、番号４で紫外線ランプが示されていることがみてとれ、該紫外線ランプは一部がランプハウス内に描かれ、一部がランプハウス５外に描かれていることがみてとれる。
　
　この記載事項によると、刊行物１には、
「少なくとも一部に紫外線ランプ４から放射される光の光取り出し石英ノズル板６を有するランプハウス５と、前記ランプハウス５に窒素ガスを充填する窒素ガス供給ノズル１０ａと、前記紫外線放射を行うための電源とからなる紫外線ランプ装置において、前記紫外線ランプ４の
一部
が記載されていると認められる。
　
　取消理由通知が提示した刊行物２には、次の事項が第１図とともに記載されている。
（１）「本発明の第１の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約３００ｍｍの石英ガラス製で、外径Ｄ１が６ｍｍの内側管２、内径Ｄ2 が８ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。内側管２、外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼任しており、それぞれその外面に光を透過する金属網からなる電極４，５が設けられている。放電空間８の一端にアルミニウムとジルコニウムの合金のリング状のゲッター６が設けられている。ゲッター６は、外側管３に設けられた突起部７によって放電空間内で移動するのを阻止されているだけで、放電容器１には固定されていない。放電空間８に放電用ガスとして圧力１００トールのキセノンガスを充填して、該誘電体バリヤ放電ランプの表面積１平方センチメートルあたりの入力電力を０．２ワットとして交流電源９で点灯したところ、従来のアーク放電ランプのようにゲッターを放電容器内に固定するための特別な部材を有さないこと、および筒形誘電体バリヤ放電ランプにリング状ゲッターを採用したことにより、小型であるという利点を保ったまま、寿命特性の優れた誘電体バリヤ放電ランプを得ることが出来た。」（第３頁左欄第１９行〜同第４０行）
（２）「放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し」（第２頁右欄第３行〜同第５行）
　
　この記載事項によると、刊行物２には、
「外形が概略円筒状である外側管３と内側管２とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間８を形成した放電容器１に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガス（キセノンガス）が充填され、前記内側管２の内壁の少なくとも一部に金属からなる電極４が設けられ、前記外側管３の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性（金属製）網状電極５が設けられ、前記誘電体バリア放電を行うための交流電源９とからなり、前記放電容器１の内側管２の少なくとも一端が開放している少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプ」
が記載されていると認められる。
　
　取消理由通知が提示した刊行物３には、次の事項が第１図、第２図とともに記載されている。
（１）「本発明は、…ヨーロッパ特許出願公開公報第８８１１３５９３．３（２２．０８．１９８８）…にも示されている公知技術にも関連する。」（第２頁右上欄第１７行〜同左下欄第４行）
（２）「冒頭に述べたヨーロッパ特許出願において、…新規なエキサイマが記載されている。この新しい放射装置機種は、エキサイマ・ビーム放射をサイレント放電においても実施できるようにした基本構成に基づく、…、この放電の電流アーク中で、電子衝突により希ガス原子が励起され、これが、励起された分子鎖化合物（エキサイミーレン　Excimieren）に次々に反応する。このエキサイミーレンは数１００ナノセコンドの寿命しかなく、さらに軌道遷移の際にその束縛エネルギをＵＶビームとして放出する。」（第２頁左下欄第１９行〜同右下欄第１７行）
（３）「即ち冒頭に述べた上位概念の高出力ビーム放射装置において、第１の管状誘電体の内部に誘電体材料から成るロッドが設けられており、…例えば石英ガラスから成るロッドの外径は、」（第３頁右上欄第３行〜同第１０行）
（４）「空気の除去の下でのＵＶ作業が適切であると考えられる２つの理由がある。第１の理由は、ビームの波長が短い（波長＜１９０ｎｍ）ため空気により吸収されて弱められてしまうからである。このビームは酸素の分解を即ち不所望なオゾン発生を生じさせる。…この場合に…ちっ素を処理室の中へ案内する」（第３頁右下欄第１８行〜第４頁左上欄
第１６行）
（５）「第１図に石英管１が示されている。この石英管は、…さらに金網として形成される外側電極２を有する。この石英管１の中に同心的に第２の石英管３が設けられている。…内側石英管３の中を線４が通されている。この線が放射装置の内側電極を構成し、金網２が放射装置の外側電極を構成する。外側石英管１はその両端において閉鎖されている。両方の管１と３との間の空間である放電室５は、放電条件の下にビームを放射するガス／混合ガスにより充填されている。交流電流源６の両方の極が接続されている。」（第４頁右上欄第８行〜同左下欄第２行）
（６）「電極２と４の間に交流電圧を加えると、放電室５の中で、複数個の放電路（複数個の部分放電）が形成される。このことは充填ガスの原子／分子の相互作用と共に発生し、そのため最終的に紫外線ビームまたは真空紫外線ビームを放射させる。
　埋め込まれた線を有する石英小管ではなく、中に金属線の溶着された石英ロッドを用いることもできる。誘電体で覆われた金属ロッドも効果的に用いられる。」（第５頁左上欄第１２行〜右上欄第１２行）
（７）「第９図に示されている放射装置は…金属ブロック８の長手方向に延在するチャンネル１１を有する。…チャンネル１１は、図示されていない不活性ガス源へ例えばちっ素源またはアルゴン源へ接続されている。チャンネル１１から、加圧された不活性ガスが前述の様に処理室１２の中へ達する。この処理室は、金属ブロック８における脚１４によりおよび照射されるべき基板１５により区画される。処理室は短時間で不活性ガスにより満たされる。…このようにして冒頭に述べた、放電室５の中で発生されるＵＶビームと空気の酸素との間の相互作用が確実に回避される。」（第６頁左上欄第６行〜同右上欄第８行）
　
　この記載事項によると、刊行物３には、
「外形が概略円筒状である石英管１と石英管３とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電室５を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガス（ガス／混合ガス）が充填され、前記石英管３の少なくとも一部に金属からなる内側電極４が設けられ、前記石英管１の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性網状（金網）外側電極２が設けられた少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプと、少なくとも一部に前記エキシマ分子から放射される光の光取り出し窓（脚１４により区画される面）を有する金属ブロック８と、前記金属ブロック８に不活性ガスを充填するチャンネル１１と、前記誘電体バリア放電を行うための交流電流源６とからなる放射装置において、前記誘電体バリア放電ランプが前記金属ブロック８内に収納されていることを特徴とする放射装置。」
　
エ．対比・判断
（請求項１に係る発明について）
　請求項１に係る発明と取消理由通知が示した刊行物１に記載の発明とを対比すると、両者は、
「少なくとも一部に放射される光の光取り出し窓を有するランプハウスと、前記ランプハウスに不活性ガスを充填する不活性ガス充填手段と、電源とからなる紫外線ランプ装置において、前記紫外線ランプが前記ランプハウス内に収納されていることを特徴とする紫外線ランプ装置。」
で一致し、
　
　請求項１に係る発明では、紫外線ランプとして、外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられ、誘電体バリア放電を行うための電源とからなり、前記放電容器の内側管の少なくとも一端が開放している少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプが用いられ、誘電体バリア放電ランプ
全体
刊行物１に記載の発明では、紫外線ランプとして、誘電体バリア放電ランプが用いられているとの記載はなく、紫外線ランプの
全体
で相違する。
　
　そこで、上記相違点について検討すると、
確かに、刊行物２に記載の発明は、請求項１に係る発明の誘電体バリア放電ランプと同じ構成を有する誘電体バリア放電ランプではあるが、刊行物１，２のいづれにも、「紫外線ランプを誘電体バリア放電ランプで置換する」という技術課題の記載や示唆はない。
　また、刊行物３に記載の発明は、ランプハウス内に誘電体バリア放電ランプを収納した誘電体バリア放電ランプ装置であり、刊行物３には、「ちっ素を処理室に案内することにより、空気を除去し、ＵＶビームの空気による吸収をなくし、不所望なオゾン発生を防止する」旨の記載があるが、内側電極４については、これが石英管３の内壁に設けられているかどうか不明であるばかりでなく、「埋め込まれた線」、「中に金属線の溶着された石英ロッド」、「誘電体で覆われた金属ロッド」との記載があること、及び、石英管３については、これの少なくとも一端が解放しているかどうか不明であることから判断して、内部電極４は放電室５に対して露出状態にはないと解するのが相当である。よって、刊行物３は刊行物２を刊行物１に適用することを示唆するものではない。このため、刊行物１〜３に記載の発明から、刊行物１に記載の紫外線ランプを刊行物２に記載の誘電体バリア放電ランプで置換し、誘電体バリア放電ランプ
全体
　したがって、請求項１に係る発明は、その技術的事項により「内側電極の腐食を防止する」という明細書記載の効果を奏するものと認められる。
　
オ．まとめ
　以上のとおり、請求項１に係る発明は、取消通知に提示した各刊行物に記載されたものから当業者が容易に発明をすることができたものとすることはではない。
　
（３）異議申立てについて
ア．本件発明
　特許第２８５４２５０号の請求項１ないし５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし５に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１、２に係る発明は次のとおりである。
【請求項１】 外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプと、少なくとも一部に前記エキシマ分子から放射される光の光取り出し窓を有するランプハウスと、前記ランプハウスに不活性ガスを充填する不活性ガス充填手段と、前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプ全体が前記ランプハウス内に収納され、前記放電容器の内側管の少なくとも一端が開放していることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。
【請求項２】 前記内側管は両端が開放され、前記不活性ガス充填手段が、該内側管の一端に対向配置されていることを特徴とする請求項１に記載の誘電体バリア放電ランプ装置。
　
イ．申立ての理由の概要  　
　申立人日本電池株式会社は、証拠として甲第１号証（特開平６−２１５７３５号公報）、甲第２号証（特開昭６４−４２１２９号公報）、甲第３号証（特開平４−２０６７２３号公報）を提出し、請求項１，２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、請求項１，２に係る発明の特許を取り消すべき旨主張している。
　
ウ．申立人が提出した甲各号証の説明
　申立人が提出した甲第１号証には、次の事項が第１図とともに記載されている。
（１）「本発明の第１の実施例である同軸円筒形誘電体バリヤ放電ランプの概略図を図１に示す。放電容器１は全長約３００ｍｍの石英ガラス製で、外径Ｄ１が６ｍｍの内側管２、内径Ｄ2 が８ｍｍの外側管３を同軸に配置して中空円筒状にしたものである。内側管２、外側管３は誘電体バリヤ放電の誘電体バリヤと光取り出し窓部材を兼任しており、それぞれその外面に光を透過する金属網からなる電極４，５が設けられている。放電空間８の一端にアルミニウムとジルコニウムの合金のリング状のゲッター６が設けられている。ゲッター６は、外側管３に設けられた突起部７によって放電空間内で移動するのを阻止されているだけで、放電容器１には固定されていない。放電空間８に放電用ガスとして圧力１００トールのキセノンガスを充填して、該誘電体バリヤ放電ランプの表面積１平方センチメートルあたりの入力電力を０．２ワットとして交流電源９で点灯したところ、従来のアーク放電ランプのようにゲッターを放電容器内に固定するための特別な部材を有さないこと、および筒形誘電体バリヤ放電ランプにリング状ゲッターを採用したことにより、小型であるという利点を保ったまま、寿命特性の優れた誘電体バリヤ放電ランプを得ることが出来た。」（第３頁左欄第１９行〜同第４０行）
（２）「放電容器に誘電体バリヤ放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスを充填し」（第２頁右欄第３行〜同第５行）
　
　この記載事項によると、甲第１号証には、
「外形が概略円筒状である外側管３と内側管２とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間８を形成した放電容器１に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガス（キセノンガス）が充填され、前記内側管２の内壁の少なくとも一部に金属からなる電極４が設けられ、前記外側管３の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性（金属製）網状電極５が設けられ、前記誘電体バリア放電を行うための交流電源９とからなり、前記放電容器１の内側管２の少なくとも一端が開放している少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプ」
が記載されていると認められる。
　
　申立人が提出した甲第２号証には、次の事項が第１図とともに記載されている。
（１）「第１図において、紫外線放射放電灯１は、被処理基板３の面積より大きい面に配置し、ランプハウス１０の中は、たとえば窒素ガスを流入口７から入れ流出口７’から出してランプ１のまわりをパージする。合成石英よりなる仕切板２…被処理基板３の表面上に吸き付ける。」（第２頁右下欄第３行〜同第１０行）
（２）「紫外線は石英仕切板を透過し、処理表面に到達する。」（第２頁右上欄第１１行〜同第１２行）
（３）「紫外線の放射源を低圧水銀放電灯とし、該放電灯はオゾンを発生しないガスでパージされたランプハウスに設置され」（第１頁左欄第８行〜同第１０行）
　
　この記載事項によると、甲第２号証には、
「少なくとも一部に紫外線放射放電灯１から放射される光の光取り出し石英仕切板２を有するランプハウス１０と、前記ランプハウス１０に窒素ガスを充填する窒素ガス流入口７と、前記紫外線放射を行うための電源とからなる紫外線放射放電灯装置において、紫外線放射放電灯１が前記ランプハウス１０内に収納された紫外線放射放電灯装置」
が記載されていると認められる。
　
　申立人が提出した甲第３号証には、次の事項が第１図とともに記載されている。
（１）「表面処理に必要な紫外線ランプ４はランプハウス５に収納させている。ランプハウス５の下面には、石英ノズル板６が保持体７により固定されている。…また、ランプハウス５にはその内部の雰囲気をガス置換するノズル１０ａ、１０ｂが取り付けられている。…ステージ２に載置した被処理物１の表面に…反応ガスを供給し、且つ紫外線ランプ４から紫外線を照射して表面処理を行う。…ノズル１０ａから窒素ガスを供給しノズル１０ｂから排出することによってランプハウス５の内部を窒素置換して、ランプハウス５内の紫外線の吸収を防止している。」（第２頁右上欄第１９行〜同左下欄第２０行）
（２）第１図には、番号４で紫外線ランプが示されていることがみてとれ、該紫外線ランプは一部がランプハウス内に描かれ、一部がランプハウス５外に描かれていることがみてとれる。
　
　この記載事項によると、甲第３号証には、
「少なくとも一部に紫外線ランプ４から放射される光の光取り出し石英ノズル板６を有するランプハウス５と、前記ランプハウス５に窒素ガスを充填する窒素ガス供給ノズル１０ａと、前記紫外線放射を行うための電源とからなる紫外線ランプ装置において、前記紫外線ランプ４の
一部
が記載されていると認められる。
　
エ．対比・判断
（請求項１に係る発明について）
　請求項１に係る発明と申立人が提出した甲第１号証記載の発明とを対比すると、両者は、
「外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して前記の光透過性である誘電体の外壁の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられ、前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなり、前記放電容器の内側管の少なくとも一端が開放している少なくとも一つの誘電体バリア放電ランプ」
で一致し、
　
　請求項１に係る発明では、上記誘電体バリア放電ランプに加えて、少なくとも一部にエキシマ分子から放射される光の光取り出し窓を有するランプハウスと、前記ランプハウスに不活性ガスを充填する不活性ガス充填手段とを具備することによって、誘電体バリア放電ランプ装置が構成され、また、前記誘電体バリア放電ランプ
全体
で相違する。
　
　そこで、上記相違点について検討すると、
確かに、甲第２，３号証に記載の発明は、それぞれ、請求項１に係る発明のランプハウスに対応するランプハウス１０（甲第２号証）、ランプハウス５（甲第３号証）、及び、請求項１に係る発明の不活性ガス充填手段に対応する窒素ガス流入口７（甲第２号証）、窒素ガス供給ノズル１０ａ（甲第３号証）、とを具備してはいるが、甲第１，２，３号証のいづれにも「誘電体バリア放電ランプが通常の紫外線ランプと同様の構造を有する」との記載、及び、「誘電体バリア放電ランプにランプハウスを設ける」という記載や示唆はなく、甲第１号証に記載の誘電体バリア放電ランプに甲第２又は３号証に記載のランプハウスを設けることが、当業者にとって容易であるとすることはできない。
　したがって、請求項１に係る発明は、上記甲各号証に記載のものから当業者が容易に推考しうるものではない。
　
（請求項２に係る発明について）　
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明の技術的事項を限定したものであるから、上記請求項１に係る発明についての判断と同様の理由により、上記甲各号証に記載されたものから当業者が容易に推考しうるものではない。
　
　そして、請求項１、２に係る発明は、その技術的事項により明細書記載の効果を奏するものと認められる。
　
オ．まとめ
　以上のとおり、請求項１、２に係る発明は、特許異議申立人が提出した甲各号証に記載されたものから当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
（４）むすび
　したがって、取消理由通知及び特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１、２に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１、２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月１４日（２０００．７．１４）