【事件の表示】
　特許第２５９７２６１号「金属から粉末を製造する装置」の請求項１〜１２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２５９７２６１号の請求項１ないし９に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２５９７２６１号の請求項１〜１２に係る発明についての出願は、平成４年１月７日になされ、平成９年１月９日に、その発明について特許の設定登録がなされ、その後、その特許について特許異議の申立てがなされ、平成１０年３月１０日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１０年９月１７日に訂正請求がなされ、これに対して訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年２月２８日に手続補正書（訂正請求書）が提出され、さらに、平成１２年７月２１日に取消理由通知の手交がなされると同時に訂正請求がなされ、また、平成１０年９月１７日付け訂正請求及び平成１２年２月２８日付け手続補正書（訂正請求書）が取り下げられたものである。
２．訂正の要旨
(i)特許請求の範囲の請求項１０、１１及び１２を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
(ii)特許請求の範囲の記載
　「【請求項１】・・・b)・・・開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズルを有する隔壁・・・c)前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた・・・」を、
　特許請求の範囲の減縮を目的として、
　「【請求項１】・・・b)・・・開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）を有する隔壁・・・c)前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた・・・」
と訂正する。
(iii)特許明細書の段落【０００８】の「開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズル」、「c)前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」を、
　明りょうでない記載の釈明を目的として、
　それぞれ、「開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）」、「c)前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」
と訂正する。
３．訂正の適否についての判断
3-1.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　(i)の訂正は、請求項１０、１１及び１２に係る発明が、発明の詳細な説明に記載されていないので削除するものであり、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　(ii)の訂正は、特許明細書の段落【００１３】の「この環状ノズル５は、環状チャンバ２９からのガスを噴流２８に外から内側に向かって吹き付ける」という記載及び図２に基づき、特許請求の範囲の【請求項１】における訂正前の「開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズル」を、「開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）」と訂正し、また、特許明細書の段落【００１３】の「この圧力差の勾配は上方から下方へ向かうものである。圧力差の勾配による加速により、噴流２８の分散効果が達成され」という記載に基づき、特許請求の範囲の【請求項１】における訂正前の「前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」に「前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように」という限定を付加したものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　(iii)の訂正は、(i)の特許請求の範囲の訂正に伴い、明細書の対応する記載を訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第３号の明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
3-2.独立特許要件
（本件発明）
　訂正明細書の請求項１〜９に係る発明（以下、「本件請求項１〜９に係る発明」という。）は、特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】棒材と、該棒材の下端から物質を溶解し、異なった直径の少なくとも２つの巻き線を有し、小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている誘導コイルと、溶解した物質を分散させる分散装置と、ばらばらになった物質を収集する容器とを備えた、誘導コイルによって溶解し得る物質から粉末を製造する装置において、
a)２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角αを有し、
b)前記棒材および前記誘導コイルを配置した第１のチャンバおよびばらばらになった物質を受け取る第２のチャンバが、開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）を有する隔壁を介して互いに分離しており、
c)前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けたことを特徴とする装置。
【請求項２】誘導コイルが仮想円錐面上に配置した２つないし８つの巻き線を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】誘導コイルの最下方の巻き線の直径が約20mmであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】最上方の巻き線の直径が金属棒の直径よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】棒材をその軸線方向へ移動させる棒材用駆動装置が設けてあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】棒材をその長手軸線まわりに回転させる棒材用駆動装置が設けてあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】前記第１のチャンバがガス供給管路を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】前記第２のチャンバがガス排出口を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】誘導コイルの巻き線が双曲線面上に配置してあることを特徴とする請求項１に記載の装置。」
（取消理由の概要）
　平成１０年３月１０日付けの取消理由は、本件請求項１〜９に係る発明は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１〜９に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである、というものであり、平成１２年６月１６日付けの取消理由は、特許請求の範囲の請求項１における「開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズル」という記載は不明りょうであり、本件特許は、明細書及び図面の記載が不備のため、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものである、というものである。
（刊行物に記載された発明）
　取消理由に引用された刊行物１（特開昭６２−１７１０３号公報）には、金属粉末の製造方法に関し、
　「本発明の金属粉末の製造方法の一実施例を説明するに先立って本法を実施する為の装置の概要を第１図によって説明する。１は不活性ガスタンク、２はその不活性ガスタンクの下側に設けた粉末飛散タンク、３はその粉末飛散タンク２の底の出口の下側に設けた粉末集積ボックスである。前記不活性ガスタンク１内には、上端開放の高周波誘導加熱炉４が設けられ、その高周波誘導加熱炉４の高周波コイル５の内側にガイドパイプ６が設けられ、その下端は絞り込まれて溶融金属滴下口７が形成されている。溶融金属滴下口７は不活性ガスタンク１の底に設けたノズル装置８の溶融金属噴出口９に連通され、この溶融金属噴出口９の周囲にはガス又は液体の噴出口１０が設けられ、これらは粉末飛散タンク２に開口されている。前記高周波コイル５の上側には金属棒材である金属インゴット１１をガイドパイプ６に送り込む一対の送り歯車１２が設けられている。」（第２頁右上欄５行〜左下欄２行）
と記載され、
　第１図には、本発明の金属粉末の製造方法の一実施例を示す図（高周波コイル５が同一の直径の５つの巻き線を有すること、不活性ガスタンク１および粉末飛散タンク２がノズル装置２を有する隔壁を介して互いに分離していること、ガス又は液体の噴出口１０に外部から噴霧媒体であるガス又は液体が供給されることが読みとれる。）が示されている。
　同じく引用された刊行物２（Industrial Heating,Sept.1989,p.62-63）には、「るつぼ無し誘導溶融によるガスアトマイズ法による粉末製造」と題し、
　「図１に示す縦型の回転電極は、連続的に先端部で溶解する。液体金属は、供試材料の円錐形の先端を流下することによって、ある過熱温度に達する。供試材料の溶融の幾何学的形状は、液体金属の底部ノズル中への定常的滴下のために非常に重要である。したがって、コイルシステムは特殊なデザインを持つ必要がある。液体金属が不活性ガスノズルを介して落下した後、材料は高速度ガス流中でアトマイズされる。製造された粉末は、サイクロンでアトマイズガスから分離され、容器に集積される。」（第63頁左欄２〜１８行）
と記載され、
　図１には、誘導加熱滴下アトマイズ法を実施するための装置（コイルが異なった直径の３つの巻き線２を有し、小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れていること、２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角を有すること、ノズルが開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えていることが読みとれる。）が示されている。
　同じく引用された刊行物３（米国特許第2,858,586号明細書，Nov.4,1958）には、精錬装置及び方法に関し、
　「Tiの連続鋳造のための装置の特殊な例として、第１図には、円柱状の断面形状を有する直径が約４インチのTiバーを用い、チャンバー４及びチャンバー２４は２５ミクロン以下の真空状態におかれたものが記載され、溶解されるTiバーは外径が２インチであり、速度６インチ／分の割合で高周波コイル８の間を引き下げられる。高周波コイル８は１／２メガサイクルで操作され、最小ターンの直径が約1インチで最大ターンの直径が約３インチである円錐形状に構成されている。このコイル８の最小ターンから最大ターンまでの垂直方向の長さは約６インチである。」（第５欄１９〜３１行）と記載され、
　第１図には、この発明の連続鋳造装置に隣接する部分の縦断面図が示されている。
　同じく引用された刊行物４（特開昭６３−２６２４０５号公報）には、
　「(1)溶湯金属を流下させ噴霧ノズルにより粉化するアトマイズ方法において、ノズルボックス４内の圧力をP1、噴霧チャンバー５内の圧力をP2とし、その差圧(P1-P2)をΔPとすると、ΔPが液体アトマイズの場合50mmHg以上、700mmHg以下、ガスアトマイズの場合10mmHg以上、400mmHg以下で±10％以内の一定値であり、噴霧チャンバー５内をノズルボックス４内に対して、一定の負圧状態に保持することを特徴とする、金属粉末製造方法。」（特許請求の範囲第１項）
　「第１図に示す装置により、水を噴霧媒体とした場合に得られたノズルボックス４内の圧力P1と噴霧チャンバー５内の圧力P2との差圧ΔP(P1-P2)と噴霧可能域との関係を第２図に示した。」（第５頁左上欄14〜17行）
　「第３図には、空気を噴霧媒体とし、第１図の装置をガスアトマイズのために、チャンバーを大型化したものを用いて得られた第２図と同様のものを示した。」（第５頁右上欄11〜14行）
　「本発明は、ノズルボックスと噴霧チャンバーとの差圧ΔPを一定値に保持してアトマイズすることにより、ガスアトマイズ、液体アトマイズに於ける噴霧角度の高角度における吹き上げを解決し、効率の高いアトマイズを可能とする産業上有用な発明である。」（第６頁右上欄６〜11行）
と記載されている。
（対比・判断）
(1)本件請求項１に係る発明について
　本件請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された発明における「金属インゴット１１」、「高周波コイル５」、「粉末集積ボックス３」、「不活性ガスタンク１」及び「粉末飛散タンク２」は、本件請求項１に係る発明における「棒材」、「少なくとも２つの巻き線を有する誘導コイル」、「ばらばらになった物質を収集する容器」、「第１のチャンバ」及び「第２のチャンバ」に相当し、刊行物１に記載された発明においても、「不活性ガスタンク１」及び「粉末飛散タンク２」により「溶解した物質を分散させる分散装置」が構成されているから、両者は、「棒材と、該棒材の下端から物質を溶解し、少なくとも２つの巻き線を有する誘導コイルと、溶解した物質を分散させる分散装置と、ばらばらになった物質を収集する容器とを備えた、誘導コイルによって溶解し得る物質から粉末を製造する装置において、前記棒材および前記誘導コイルを配置した第１のチャンバおよびばらばらになった物質を受け取る第２のチャンバが、ノズルを有する隔壁を介して互いに分離している装置。」である点で一致し、以下の点で相違する。
(ア)誘導コイルが、本件請求項１に係る発明においては、「異なった直径の少なくとも２つの巻き線を有し、小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている」のに対して、刊行物１に記載された発明において具体的に示されているのは、同一の直径の少なくとも２つの巻き線を有するものである点
(イ)本件請求項１に係る発明においては、「２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角αを有し」ているのに対して、刊行物１に記載された発明においては、上記傾斜角を有するものではない点
(ウ)ノズルが、本件請求項１に係る発明においては、「開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）」であるのに対して、刊行物１に記載された発明においては、環状ノズルではあるが、外部から噴霧媒体であるガス又は液体が供給されるノズルである点
(エ)本件請求項１に係る発明においては、「前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」のに対して、刊行物１に記載された発明においては、上記手段を設けていない点
　上記相違点について検討する。
　(ア)の誘導コイルの巻き線の形状・構造については、誘導加熱アトマイズ法を実施する装置である刊行物２の図１に示されるように本件出願前公知の構成であり、また、(イ)の「２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角αを有」するようにコイル巻き線を配置することも、刊行物２の図1より読みとることができ、刊行物３にも示されているから、当業者が適宜採用し得るものである。
　(ウ)の点については、刊行物２には、ノズルが「開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル」であることが示されているものの、「不活性ガスノズル」、「アトマイズガス」と記載されているように、刊行物２に記載された環状ノズルは、外部から噴霧媒体である「アトマイズガス」が供給されるものであり、刊行物４に記載されたノズルも、外部から水、空気等の噴霧媒体が供給されるものであり、刊行物３に記載された発明は、環状ノズルを採用する方式のものではないから、いずれの刊行物にも、(ウ)の構成は示されていない。
　(エ)の点については、刊行物２及び３には記載がなく、刊行物４に、金属粉末製造装置のノズルボックス４（本件請求項１に係る発明の「第１のチャンバ」に相当）内の圧力を噴霧チャンバー５（本件請求項１に係る発明の「第２のチャンバ」に相当）内より高いガス圧力とする手段を設けることが記載されているが、刊行物４に記載された発明は、上記手段により「ガスアトマイズ、液体アトマイズに於ける噴霧角度の高角度における吹き上げを解決」するものであり、溶湯金属（溶解した物質）の噴流の加速は、水、空気等の噴霧媒体を供給することにより行うものであるから、「前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設け」るものとはいえない。
　以上のとおりであるから、本件請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明との相違点のうち、環状ノズルとして、「外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く」ものを採用し、「前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」点は、刊行物２〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得たとはいえない。
　したがって、本件請求項１に係る発明は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
(2)本件請求項２〜９に係る発明について
　本件請求項２〜９に係る発明は、請求項１を引用するものであるから、本件請求項１に係る発明と同様の理由で、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
(3)特許法第３６条第４項及び第５項違反について
　特許請求の範囲の請求項１の記載は、上記のとおり訂正されたから、本件特許明細書の記載不備は解消された。
（まとめ）
　したがって、本件請求項１〜９に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
3-3.訂正の適否についての結論
　よって、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
４．特許異議申立てについての判断
4-1.申立て理由の概要
　特許異議申立人は、訂正前の請求項１、請求項１０〜１２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものでなく、発明の要旨が不明確であり、また、発明の詳細な説明には、当業者が容易に実施できるような記載になっていないから、本件請求項１、請求項１０〜１２に係る発明の特許は、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものであり（申立て理由１）、訂正前の請求項１〜１２に係る発明は、甲第１〜４号証（「刊行物１〜４」に対応する。）に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１〜１２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり（申立て理由２）、本件特許は取り消されるべきものである、と主張している。
4-2.当審の判断
(1)申立て理由１について
　特許異議申立人は、本件請求項１に係る発明は、「小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている誘導コイル」を形成することを必須としているが、「コイル巻き線の傾斜角α」は９０°の場合も許容し、誘導コイルの巻き線は円筒状に配置する場合もあるとしており、矛盾した構成要件が存在するから、本件請求項１に係る発明を不明確なものにしている旨の主張をするが、本件請求項１の「２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角αを有し」という記載は、傾斜角αという記載からみて、９０°は含まないと解釈するのが技術常識であり、誘導コイルの巻き線は円筒状に配置する場合はなく、「小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている誘導コイル」という記載と矛盾するものではないから、本件請求項１に係る発明は不明確とはいえない。
　また、請求項１０〜１２は削除されたから、本件特許明細書の記載不備は解消された。
(2)申立て理由２について
　3-2に述べたとおり、本件請求項１〜９に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはすることはできない。
５．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜９に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜９に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月３１日（２０００．７．３１）
【訂正の要旨】
（ｉ）特許請求の範囲の請求項１０、１１及び１２を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
（ｉｉ）特許請求の範囲の記載
　「【請求項１】・・・ｂ）・・・開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズルを有する隔壁・・・ｃ）前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた・・・」を、
　特許請求の範囲の減縮を目的として、
　「【請求項１】・・・ｂ）・・・開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）を有する隔壁・・・ｃ）前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた・・・」
と訂正する。
（ｉｉｉ）特許明細書の段落【０００８】の「開口の周囲に環状のギャップを有する環状ノズル」、「ｃ）前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」を、
　明りょうでない記載の釈明を目的として、
　それぞれ、「開口の周囲に環状のギャップを有する環状チャンバを備えた環状ノズル（外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く）」、「ｃ）前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように前記第１のチャンバ内を前記第２のチャンバ内よりも高いガス圧力とする手段を設けた」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
金属から粉末を製造する装置
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項】　棒材と、該棒材の下端から物質を溶解し、異なった直径の少なくとも２つの巻き線を有し、小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている誘導コイルと、溶解した物質を分散させる分散装置と、ばらばらになった物質を収集する容器とを備えた、誘導コイルによって溶解し得る物質から粉末を製造する装置において、
ａ）２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の間の傾斜角αを有し、
ｂ）前記棒材および前記誘導コイルを配置した第１のチャンバおよびばらばらになった物質を受け取る第２のチャンバが、開口の周囲に環状のギャップを有する
環状チャンバを備えた
外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く
ｃ）
前記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように
　　【請求項２】　誘導コイルが仮想円錐面上に配置した２つないし８つの巻き線を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項３】　誘導コイルの最下方の巻き線の直径が約２０ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項４】　最上方の巻き線の直径が金属棒の直径よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項５】　棒材をその軸線方向へ移動させる棒材用駆動装置が設けてあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項６】　棒材をその長手軸線まわりに回転させる棒材用駆動装置が設けてあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項７】　前記第１のチャンバがガス供給管路を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項８】　前記第２のチャンバがガス排出口を有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
　　【請求項９】　誘導コイルの巻き線が双曲線面上に配置してあることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、特許請求の範囲の請求項１に記載する、金属から粉末を製造する装置に関する。
　　　【０００２】
　　【従来技術】
　粉末状態の金属は、種々の目的で用いられている。たとえば、金属粉末を焼結することによって成形部品を製造する。溶融、合金化、鋳造、切削、非切削成形を含む、粉末金属を用いない他のあらゆる方法を用いることが技術的に非常に難しくかつ大きな費用がかかる場合には、粉末状の金属で材料や加工片を製造することが行われている。粉末冶金処理法は、本質的に、３つのステップに区分し得る。すなわち、粉末の製造と、処理・分類と、最終製品の輪郭に近いプリフォームを形成する圧縮である。
　　　【０００３】
　粉末の製造は、材料の物理的、化学的特性の関数である。もろい金属は他の方法で粉砕できるし、延性のある金属も処理でき、粉末を形成することはできる。原則として、溶融可能な金属は、ガスまたは水の噴流で溶融物を分散させ、化学的に、たとえば、電着、気体相での揮発性金属化合物の熱分解、金属酸化物あるいは金属塩溶液の還元その他の方法で処理して粉末を形成する。
　　　【０００４】
　　【発明が解決しようとする課題】
　ばらばらにしょうとしている金属棒を正のＤＣ電圧電位のところに、負電位のリング電極に対向して配置する、反応性および耐火性金属の急冷粉末を浮遊ゾーン製造する方法は公知である（ＤＥ−Ｐ−３５　２８　１６９）。この金属棒の下端は中間周波こいるによって溶融させられ、溶融した正電荷の金属滴は負リング電極を通して案内され、後続の高周波こいるによってさらに過加熱され、分散が容易となるように粘度を低下させられる。分散そのものは、続く環状のノズルを通して生じる。この方法の欠点は、中間周波数と高周波数を必要とすることにある。
　　　【０００５】
　さらに、材料系の当該金属成分を予め合金化したものを所望の濃度比率で溶融し、こうして得た溶融物から、急速固化技術を用いて中間製品を生成する超電導セラミックの製造法が知られている（ＤＥ　３８　２１　１２７　Ａｌ）。ここでは、溶融物は化学的に均質となる温度とされる。次いで、この温度になった溶融物は不活性ガスで粉末へ分散させられ、その後、この粉末が酸素雰囲気中で徐冷され、酸化粉末が生成される。この溶融物は、融解炉内で普通の方法で製造される。
　　　【０００６】
　最後に、誘導コイルによって棒状の材料を融解する方法、装置であって、誘導コイルあるいはディスク・コイルの軸線方向寸法をその半径方向寸法の数分の１とした方法装置が知られている（ＤＥ　３４　３３　４５８　Ａｌ）。ここでは、この誘導コイルは、棒の直径よりも小さい開口を有し、棒の下端がその前面を誘導コイル上方ほぼ一定の軸線方向距離のところにあるように保持される。この公知の方法あるいは装置の範囲は、非常に均質な部分に溶融物を棒下端から溶出させ、これを常に同じ下向きの経路に案内することにある。このために、棒下端は、常に誘導コイル上方に配置され、その中には配置されない。それ故、この融解方法は非常にゆっくりである。
　　　【０００７】
　したがって、本発明は、融解過程を加速すると共に、溶融金属の簡単で効果的な分散を行えるようにすることを目的とする。
　　　【０００８】
　　【課題を解決するための手段】
　この目的は、棒材と、該棒材の下端から物質を溶解し、異なった直径の少なくとも２つの巻き線を有し、小さい方の直径の巻き線が大きい方の直径の巻き線よりも前記棒材の上部より前記棒材の軸線方向に離れている誘導コイルと、溶解した物質を分散させる分散装置と、ばらばらになった物質を収集する容器とを備えた、誘導コイルによって溶解し得る物質から粉末を製造する装置において、ａ）２つの隣り合ったコイル巻き線の横断面中心点を通って延びる直線が、棒材の軸線に対して直角に延びる水平線に対して、２０°と９０°の問の傾斜角αを有し、ｂ）前記棒材および前記誘導コイルを配置した第１のチャンバおよびばらばらになった物質を受け取る第２のチャンバが、開口の周囲に環状のギャップを有する
環状チャンバを備え
外部から噴霧媒体が供給されるノズルを除く
記棒材の溶解した物質の噴流が圧力差の勾配により加速されるように
　　　【０００９】
　　【実施例】
　本発明の実施例を、以下、添付図面を参照しながらさらに詳しく説明する。
　　　【００１０】
　図１において、ここには、本発明による装置１が示してあり、この装置は、上方融解チャンバ２と下方分散チャンバ３とを包含する。これらのチャンバ２、３は、隔壁４によって互いに分離されており、この隔壁には、環状ノズル５が設けてある。この環状のノズル５には、融解チャンバ２と分散チャンバ３とを互いに連絡する開口６が設けてあり、その下方には、ばらばらになった、すなわち、微粉砕された金属８を受け入れる収集容器７が設置してある。この収集容器は、組み合わせ弁９を介して分散チャンバから分離してもよい。環状ノズル５の上方には、誘導コイル１０が配置してあり、この誘導コイルには、融解チャンバ２の外側に設潰した高周波発生器１３から接続ライン１１、１２を通して電気エネルギが供給される。誘導コイル１０は円錐形となっており、その中に、融解しようとしている棒状材料１５の先端１４が挿入される。加工片の先端を硬化させる円錐形のコイル、インダクタは、たとえば、「Ｒａｄｉｏ　Ｍｅｎｔｏｒ」１９４９年、第６巻、第２８９頁、第８図（ＣＨ−Ａ−４４３　５７４）に記載されていて公知である。棒状材料１５は支持棒１６に連結してあり、この支持棒は継手１７を介して回転駆動装置１８と連結している。この回転駆動装置１８は、垂直方向に移動できるようにキャリッジ１９に連結してあり、このキャリッジは、融解チャンバ２の天井２１に止めた移動装置２０と連結している。融解チャンバ２の側壁には、観察窓２３を備えたドア２２が設けてある。さらに、融解チャンバ２は、分配弁２４を備え、この分配弁はガス管路２５に接続している。分散チャンバ３にも同様に分配弁２６が設けてあり、これもガス管路２７に接続している。
　　　【００１１】
　弁２４を経て、ガスは融解チャンバ２に導入され、弁２６を経て、ガスは分散チャンバ３から運び出される。
　　　【００１２】
　棒状材料１５を融解し、分散させる過程は次のようになっている。
　　　【００１３】
　まず、棒状材料１５、たとえば、チタン棒を上昇させたまま、誘導コイル１０に高周波発生器１３から電気エネルギを供給し、このとき、誘導コイル内に強い高周波フィールドが発生し、この中へ、棒状材料１５をキャリッジ１９によって加工させ、このとき、矢印３８の方向へ軽く回転させる。こうして、棒状材料１５の下端部が融解され、誘導コイル１０の高周波フィールドの電磁圧力によって絞られて噴流２８となり、これが開口６を通して分散チャンバ３内へ侵入する。この噴流２８の動きと、重力の作用の下に、融解チャンバ２と分散チャンバ３の間に圧力差が生じる。この圧力差の勾配は上方から下方へ向かうものである。圧力差の勾配による加速により、噴流２８の分散効果が達成され、それは環状ノズル５を通してさらに増大する。この環状ノズル５は、環状チャンバ２９からのガスを噴流２８に外から内側に向かってを吹き付ける。ここで、溶解材料は非常に細かく分散させられ、たとえば、４．５ｇ／ｃｍ２の密度の材料で、２０ｋｇ／ｈｒの処理量の場合、５０μのｄ５０が達成される。この細かい粉末は容器７に集められ、容器７がいっぱいになったならば、組み合わせ弁９を通して分散チャンバ３から分離される。容器は、流動化のための空気を使う分散ユニットなしで、取り外すことができる。棒状材料１５の下降過程と融解過程は窓２３を通して観察できる。
　　　【００１４】
　図２において、棒状材料１５を融解し、分散させる領域はが拡大して示してある。ここでわかるように、誘導コイル１０は、４つの巻き線３０、３１、３２、３３からなり、これらの巻き線は上下に重ねられて円錐形となっている。この形状は、傾斜平面３４に近似して較正してあり、この傾斜平面は、水平方向の直線３５と角αをなす。この角は、好ましくは、２０°と９０°の問である。誘導コイル１０に最も近い場所で、したがって、巻き線３０のところで、コイルの直径は２０ｍｍであると好ましい。
　　　【００１５】
　図２に示す巻き線３１は、正しくは、傾斜平面３４にはなく、コイルは、幾分双曲線形状となっており、これは特に融解作用にとっては望ましい。
　　　【００１６】
　環状ノズル５は、外側ハウジング３６を有し、この中に、環状の溝形部材３７が嵌め込んであり、この溝形部材そのものがノズルの機能を果たす。
　　　【００１７】
　　【発明の効果】
　本発明で達成される利点は、特に、金属棒の端に円錐形の溶出面を創ることによって、溶出面が全体的に拡大され、高い溶出率を得ることができるということにある。さらに、溶出面を所与の圧力の別個のチャンバ内で分散装置のすぐ上に配置することによって、金属の簡単で効果的な微粉砕を行える。融解に用いる金属棒は鋳造したものでもプレス加工したものでもよい。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　溶融金属の分散を行う装置を示す。
　　【図２】
　融解、分散領域の拡大図である。
　　【符号の説明】
　２　融解チャンバ
　３　分散チャンバ
　４　隔壁
　５　環状ノズル
　６　開口
　７　収集容器
　８　ばらばらになった金属
　９　組み合わせ弁
　１０　誘導コイル
　１１、１２　接続ライン
　１３　高周波発生器
　１５　棒状材料
　１６　支持棒
　１７　継手
　１８　回転駆動装置
　１９　キャリッジ
　２０　移動装置
　２２　ドア
　２３　観察窓
　２４、２６　分配弁
　２５　ガス管路
　２７　ガス管路
　２８　噴流
　２９　環状チャンバ
　３０、３１、３２、３３　巻き線
　３４　傾斜平面