【事件の表示】
　特許第２７６３６７０号「電磁シールド用合金」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７６３６７０号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２７６３６７０号の請求項１〜請求項５に係る発明についての出願は、平成２年９月７日になされ、平成１０年３月２７日に、その発明について特許権が設定登録され、その後、その特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１１年１２月１６日に訂正請求がなされ、さらに、平成１２年１２月２１日に前記訂正請求の補正がなされたものである。
２．訂正の要旨
　1)特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項１、請求項２及び請求項５を削除する。　
　2)特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項３の「・・・組成からなることを特徴とする電磁シールド用合金。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。」と訂正し、これを請求項１と訂正する。
　3)特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項４の「・・・組成からなることを特徴とする電磁シールド用合金。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。」と訂正し、これを請求項２と訂正する。
　明りょうでない記載の釈明を目的として、以下の4)〜17)の訂正をする。
　4)特許明細書第５頁下から１行〜第７頁１行の「請求項１に記載の・・・からなるものである。」を削除する。
　5)特許明細書第７頁２行の「請求項３」を「請求項１」と訂正する。
　6)特許明細書第７頁７行及び第７頁下から６〜５行の「かつ、Zr、Hfのいずれか、又は両方を含み、」を削除する。
　7)特許明細書第７頁１０行の「・・・組成の合金からなるものである。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。」と訂正する。
　8)特許明細書第７頁１１行の「請求項４」を「請求項２」と訂正する。
  9)特許明細書第７頁下から３行の「・・・組成の合金からなるものである。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。」と訂正する。
　10)特許明細書第７頁下から２行〜第８頁１行の「請求項５記載の・・・施されたものである。」及び第８頁下から５行の「請求項５で行なう」をそれぞれ削除する。
　11)特許明細書第９頁下から８〜５行の「またCu，Niおよび・・・改善する作用がある。」を削除する。
　12)特許明細書第９頁下から３〜２行「請求項１，２では９２原子％以下であり、請求項３，４では」を削除する。
　13)特許明細書第９頁下から１行〜第１０頁１行の「請求項１，２では０．５原子％以上９原子％以下であり、請求項３，４では」及び明細書第１０頁６〜８行の「請求項１，２では４原子％以上９原子％以下であり、請求項３，４では」を、それぞれ削除する。
　14)特許明細書１０頁９〜１０行の「請求項１においてはCoの量、請求項３においては」を「請求項１において」と訂正する。
　15)特許明細書１０頁１３〜１７行の「また・・・以下である。」を削除する。
　16)特許明細書１１頁３行の「請求項５記載の」を削除する。
　17)特許明細書第１４頁の第１表中における実施例１及び実施例２の記載を削除する。
３．訂正の適否についての判断
3-1.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　1)の訂正は、特許明細書に記載された特許請求の範囲の請求項１、請求項２及び請求項５を削除する訂正であるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　2)、3)の訂正は、明細書第８頁２〜６行及び第１１頁３〜５行の記載に基づいて、特許明細書に記載された特許請求の範囲の請求項３及び請求項４の「電磁シールド用合金」を、特定温度で「熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなる」ものに限定する訂正であるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号の特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　4)、5)、8)、10)〜17)の訂正は、1)の請求項１、請求項２及び請求項５の削除に伴い、対応する発明の詳細な説明の記載を削除するか又は適切な記載に訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第３号の明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　6)の訂正は、特許明細書に記載された特許請求の範囲の請求項３及び請求項４（訂正後の請求項１及び請求項２）の記載と整合しない、発明の詳細な説明の明りょうでない記載を削除するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第３号の明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　7)及び9)の訂正は、2)及び3)の特許請求の範囲を減縮する訂正に伴い、対応する発明の詳細な説明を訂正するものであるから、特許法第１２０条の４第２項ただし書第３号の明りょうでない記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内のものであり、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
3-2.独立特許要件
（本件発明）
　訂正明細書の請求項１及び請求項２に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】（Fe１-aQa）bBxTy　（但しQはCo，Niのいずれか又は両方、TはTi，Zr，Hf，Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、a≦0.05、b≦93原子％、ｘ＝0.5〜8原子％、ｙ＝4〜9原子％である。）で示される組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。（以下、「本件第１発明」という。）
【請求項２】FebBxTy　（但しTはTi，Zr，Hf，Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、ｂ≦93原子％、ｘ＝0.5〜8原子％、ｙ＝4〜9原子％である。）で示される組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を500〜650℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。（以下「本件第２発明」という。）」
（取消理由の概要）
　取消理由は、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、実質的に刊行物１に記載された発明であるか、刊行物１及び刊行物２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号又は第２項の規定に違反してなされたものであり（取消理由１）、本件請求項３及び請求項４に係る発明は、刊行物１及び刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項３及び請求項４に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり（取消理由２）、また、本件請求項５に係る発明は、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである（取消理由３）、というものである。
（刊行物に記載された発明）
　取消理由に引用された刊行物１（特開昭６４−２８３０１号公報）には、
　「(1)一般式：
(Fe1-aMa)100-x-y-z-α-β-γCuxSiyBzM′αM″βXγ（ただし、ＭはCo及び／又はNiであり、Ｍ′はNb，Ｗ，Ta，Zr，Hf，Ti及びMoからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、Ｍ″はＶ，Cr，Mn，Al，白金属元素，Sc，Ｙ，希土類元素，Au，Zn，Sn，Reからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素、ＸはＣ，Ge，Ｐ，Ga，Sb，In，Be，Asからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ，ｘ，ｙ，α，β及びγはそれぞれ0≦ａ≦0.5，0.1≦ｘ≦3，0≦ｙ≦30，0≦ｚ≦25，0≦ｙ＋ｚ≦35，0.1≦α≦30，0≦β≦10及び0≦γ≦10を満たす。）により表される組成を有し、組織の少なくとも50％が微細な結晶粒からなり、各結晶粒の最大寸法で測定した平均粒径が500Å以下であることを特徴とするFe基合金粉末。」（特許請求の範囲第１項）
が記載され、また、
　「本発明は、圧粉磁心や磁気シールド材等の材料に適する軟磁気特性に優れた超微細結晶粒組織を有するFe基合金粉末およびその製造方法に関するものである。」（第２頁右下欄９〜１２行）
　「第５の方法は前記組成の合金溶湯を超急冷し、非晶質合金薄帯あるいは非晶質合金フレークあるいは非晶質合金線を得る工程とこれを結晶化温度よりも高い温度に加熱し、合金粉末組織の少なくとも50％を平均粒径500Å以下の平均粒径を有する結晶粒とする熱処理工程と次いでこれを粉砕する工程からなる製造方法である。」（第４頁右上欄14〜20行）
　「本発明の合金粉末において、Cuは必須元素であり、その含有量ｘは0.1〜3原子％の範囲である。0.1原子％より少ないとCuの添加による軟磁気特性改善の効果がほとんどなく、一方3原子％より多いと軟磁気特性が未添加のものより悪くなることがあり好ましくない。本発明において特に好ましいCuの含有量ｘは0.5〜2原子％であり、この範囲で特に軟磁気特性が良好である。」（第４頁左下欄10〜17行）
　「Cuを添加しない場合は結晶粒は微細化されにくく、化合物相が形成しやすいため結晶化により磁気特性は劣化する。」（第５頁左上欄11〜13行）
　「実施例１
　Fe73.5Cu1Nb3Si16.5B6の組成を有する厚さ20μm幅5mmの非晶質合金薄帯を作製し、窒素ガス雰囲気の510℃に保った炉に１時間入れ取り出し、・・・粉砕した。」（第６頁左下欄３〜８行）
と記載されている。
　同じく引用された刊行物３（特開昭６４−２８３４３号公報）には、
　「(1)組成式：
　Fe100-x-yＭyＢx（原子％）で表わされ、
　ここでＭはTi，Zr，Hf，Ｖ，Nb，Ta，Cr，Ｗ，Mn，Ru，Rh，Pd，Os，Ir，Ptから選ばれる少なくとも１種の元素であり、
　2≦ｘ≦10，0≦ｙ≦10
の関係の組成を有する体心立方構造を持つ多結晶合金膜であって、各結晶粒の最大寸法で測定した結晶粒径が500Å以下の平均粒径を有することを特徴とする磁気ヘッド用合金膜。」（特許請求の範囲第１項）
が記載され、また、
　「本発明は高飽和磁束密度を有し、高周波磁気特性にも優れた磁気ヘッド用合金膜およびこれを用いた磁気ヘッドに関するものである。」（第２頁左上欄10〜12行）
　「また本発明の合金はFe量の10％以下をCo及び／又はNiで置換することができる。」（第３頁左下欄５〜６行）
　「本発明の合金膜は製造中基板を加熱し作製したり、膜を基板に作製後熱処理を行っても良い。」（第３頁左下欄11〜12行）
　「実施例２
　第２表に示す組成の厚さ２μmの合金膜をイオンビームスパッタ法により作製し300℃で１時間熱処理を行った後１MHzにおける透磁率μ1Mを測定した。得られた膜はbcc構造のFe固溶体であり、結晶粒径は500Å以下であった。得られた結果を第２表に示す。」（第４頁左上欄３〜９行）
と記載され、
　第２表には、μ1Mが900〜1350であることが示されている。
（対比・判断）
　前記訂正請求により、特許明細書に記載された請求項１、請求項２及び請求項５に係る発明は削除されたので、前記取消理由にうち取消理由１及び取消理由３は解消した。
　そこで、取消理由２についてのみ検討する。
　本件第１発明と刊行物１に記載された発明と対比すると、刊行物１に記載された発明は、磁気シールド材等に使用されるFe基合金粉末であるから、両者は、「（Fe１-aQa）bBxTy（但しQはCo，Niのいずれか又は両方）で示される組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金を含む結晶質合金を熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。」である点で一致し、熱処理の温度も重複するものの、本件第１発明が、「TはTi，Zr，Hf，Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素」であり、Cuを含有しないのに対して、刊行物１に記載された発明は、Tとして、上記元素以外にCuを0.1〜3原子％の範囲で必須に含有する点で、少なくとも相違する。
　上記相違点について検討する。
　本件明細書には、「本発明は・・・透磁率が10000以上と極めて大きく、かつ高飽和密度を有し、電磁波吸収能力に極めて優れた電磁シールド用合金を提供することを目的とする。」（本件特許公報第３欄33〜36行）、「電磁シールド用合金を構成する合金に施される熱処理の温度は、500℃以上650℃以下であることが好ましい。これはこの範囲で熱処理を行なうと得られる合金の実効透磁率が10000〜30000程度の高い値となるからである。」（第５欄30〜34行）と記載されているが、刊行物１には、電磁シールド用合金を構成する合金に特定の温度範囲で熱処理を施して透磁率を高めることは何ら示唆されておらず、また、「Cuは必須元素であり、・・・0.1原子％より少ないとCuの添加による軟磁気特性改善の効果がほとんどなく」、「Cuを添加しない場合は結晶粒は微細化されにくく、化合物相が形成しやすいため結晶化により磁気特性は劣化する」と記載されているから、透磁率を高めるために、Cuを含有しない非晶質合金を500〜650℃で熱処理して結晶化することを、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得るとはいえない。
　また、刊行物３には、Cuを含有しない本件第１発明と組成の重複する磁性合金が記載されているが、磁気ヘッド用合金膜であり、用途及び製造手段が全く相違し、熱処理温度も、300℃程度の低温が示されているにすぎず、透磁率としては900〜1350と低いものが示されているだけであるから、刊行物１に記載された発明に刊行物３に記載された発明を組み合わせても、透磁率を高めるために、Cuを含有しない非晶質合金を500〜650℃で熱処理することを、当業者が容易に想到し得るとはいえない。
　したがって、本件第１発明は、刊行物１及び刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　次に、本件第２発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、少なくとも、上記相違点があるから、本件第２発明も、本件第１発明と同様な理由により、刊行物１及び刊行物３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（まとめ）
　したがって、本件第１発明及び第２発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできない。
3-3.訂正の適否についての結論
　よって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項、同条第３項で準用する同法第１２６条第２項〜第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
４．特許異議申立てについての判断
4-1.申立て理由の概要
　特許異議申立人は、甲第１号証〜甲第３号証（前記刊行物１〜刊行物３に対応する。）を提出して、本件請求項１及び請求項２に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり（申立て理由１）、本件請求項３及び請求項４に係る発明は、甲第１号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり（申立て理由２）、本件請求項５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである（申立て理由３）から、本件請求項１〜請求項５に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきである、と主張している。
4-2.当審の判断
　前記訂正請求により、特許明細書に記載された請求項１、請求項２及び請求項５に係る発明は削除されたので、申立て理由１及び申立て理由３は理由がない。
　申立て理由２については、3-2.で述べたとおり、本件第１発明及び第２発明（訂正された請求項３及び請求項４に係る発明）は、甲第１号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
５．むすび
　したがって、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件第１発明及び第２発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件第１発明及び第２発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年２月１４日（２００１．２．１４）
【訂正の要旨】
　１）特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項１、請求項２及び請求項５を削除する。
　２）特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項３の「・・・組成からなることを特徴とする電磁シールド用合金。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。」と訂正し、これを請求項１と訂正する。
　３）特許請求の範囲の減縮を目的として、特許明細書に記載された請求項４の「・・・組成からなることを特徴とする電磁シールド用合金。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。」と訂正し、これを請求項２と訂正する。
　明りょうでない記載の釈明を目的として、以下の４）〜１７）の訂正をする。
　４）特許明細書第５頁下から１行〜第７頁１行の「請求項１に記載の・・・からなるものである。」を削除する。
　５）特許明細書第７頁２行の「請求項３」を「請求項１」と訂正する。
　６）特許明細書第７頁７行及び第７頁下から６〜５行の「かつ、Ｚｒ、Ｈｆのいずれか、又は両方を含み、」を削除する。
　７）特許明細書第７頁１０行の「・・・組成の合金からなるものである。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。」と訂正する。
　８）特許明細書第７頁１１行の「請求項４」を「請求項２」と訂正する。
　９）特許明細書第７頁下から３行の「・・・組成の合金からなるものである。」を「・・・組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。」と訂正する。
　１０）特許明細書第７頁下から２行〜第８頁１行の「請求項５記載の・・・施されたものである。」及び第８頁下から５行の「請求項５で行なう」をそれぞれ削除する。
　１１）特許明細書第９頁下から８〜５行の「またＣｕ，Ｎｉおよび・・・改善する作用がある。」を削除する。
　１２）特許明細書第９頁下から３〜２行「請求項１，２では９２原子％以下であり、請求項３，４では」を削除する。
　１３）特許明細書第９頁下から１行〜第１０頁１行の「請求項１，２では０．５原子％以上９原子％以下であり、請求項３，４では」及び明細書第１０頁６〜８行の「請求項１，２では４原子％以上９原子％以下であり、請求項３，４では」を、それぞれ削除する。
　１４）特許明細書１０頁９〜１０行の「請求項１においてはＣｏの量、請求項３においては」を「請求項１において」と訂正する。
　１５）特許明細書１０頁１３〜１７行の「また・・・以下である。」を削除する。
　１６）特許明細書１１頁３行の「請求項５記載の」を削除する。
　１）特許明細書第１４頁の第１表中における実施例１及び実施例２の記載を削除する。
（５４）【発明の名称】
電磁シールド用合金
（５７）【特許請求の範囲】
（１）（Ｆｅ１−ａＱａ）ｂＢｘＴｙ
　（但しＱはＣｏ，Ｎｉのいずれか又は両方、ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％である。）で示される組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。
（２）ＦｅｂＢｘＴｙ
　（但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％である。）で示される組成からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなることを特徴とする電磁シールド用合金。
【発明の詳細な説明】
　「産業上の利用分野」
　本発明は、各種電子機器からの電磁波の漏洩放射を抑制するための電磁シールド用合金に関する。
　「従来の技術」
　近年、半導体技術の著しい進歩に伴い、電子機器がますます軽薄短小化する中で、これらの機器内のスイッチング素子等から発生する電磁波が他の素子を誤動作させたり、また人体に悪影響を与えるものとして問題化されている。
　このため電磁波吸収能力のある磁性金属もしくはそれと同等の性能を有する磁性材料を利用して、以下のような試みが行なわれてきた。
▲１▼　これらの磁性材料を用いて電子機器筐体を構成することにより、電子機器内から発生する電磁波をシールドする。
▲２▼　粉末形状あるいは短繊維形状をしたこれらの磁性材料をプラスチック等に分散させて電子機器筐体を構成することにより、電子機器内から発生する電磁波をシールドする。
▲３▼　これらの磁性材料を細線状に加工した後、金網状に織布してシールド網を作成し、電子機器筐体内壁面に配置して、電子機器内から発生する電磁波をシールドする。
　「発明が解決しようとする課題」
　しかしながらこれらの電磁波シールドに一般的に用いられる磁性材料は、電磁波吸収能力を左右する透磁率が１０００〜７０００程度と充分に大きくないため、電磁波吸収能力が未だ不充分であるという課題があった。また、このため電磁波吸収能力をさらに向上させるためには、磁性材料を含む筐体の厚みを大きくしたり、磁性材料で形成した網を何枚にも重ねなければならず、電子機器の小型化の際にネックになるという問題点があった。
　本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、透磁率が１００００以上と極めて大きく、かつ高飽和磁束密度を有し、電磁波吸収能力に極めて優れた電磁シールド用合金を提供することを目的とする。
　「課題を解決するための手段」
　本発明者らは、電磁シールド効果の優れた磁性金属線を得るべく鋭意研究を重ねた結果、特定の組成を有する磁性合金が１００００以上の高透磁率と高飽和磁束密度を兼備しており、この磁性合金を用いて形成した合金網は極めて優れた電磁シールド効果を示すことを見出し、本発明に想到した。
　すなわち、請求項１に記載の電磁シールド用合金は、
（Ｆｅ１‐ａＱａ）ｂＢｘＴｙ
　（但しＱはＣｏ，Ｎｉのいずれか、又は両方、ＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、ａ≦０．０５、ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％である。）で示される組成の合金からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。
　請求項２記載の電磁シールド用合金は、
ＦｅｂＢｘＴｙ
　（但しＴはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群がら選ばれた一種又は二種以上の元素であり、ｂ≦９３原子％、ｘ＝０．５〜８原子％、ｙ＝４〜９原子％である。）で示される組成の合金からなり、前記組成の溶湯を急冷して得られる非晶質合金又は非晶質相を含む結晶質合金を５００〜６５０℃で熱処理することにより、微細な結晶粒が形成されてなるものである。
　本発明の電磁シールド用合金を形成する合金は、前記組成の非晶質合金あるいは非晶質相を含む結晶質合金を溶湯から急冷することにより得る工程と、これを加熱し微細な結晶粒を形成する熱処理工程によって通常得ることができる。
　本発明の電磁シールド用合金を形成する合金においては、非晶質相を得やすくするために、非晶質形成能力の高いＺｒ、Ｈｒのいずれかが添加されている。ただしＺｒ、Ｈｒの一部を、他の４Ａ〜６Ａ族元素のうちのＴｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗと置換しても良い。ここでＣｒを含めなかったのは、Ｃｒが他の元素に比べて非晶質形成能力が劣っているからである。
　ホウ素（Ｂ）には上記非晶質形成能を高める効果、および熱処理工程において磁気特性に悪影響を及ぼす化合物相が生成するのを抑制する効果があると考えられるので、Ｂの添加は必須である。またＢと同様にＡｌ，Ｃ，Ｐ等も非晶質形成能力があると考えられるため、これらの元素を添加しても本発明と同一とみなすことができる。
　これらの元素以外でも耐食性を改善するために、Ｃｒ，Ｒｕその他の白金族元素を添加することも可能である。また必要に応じて、Ｙ，希土類元素，Ｚｎ，Ｃｄ，Ｇａ，Ｉｎ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｐｂ，Ａｓ，Ｓｂ，Ｂｉ，Ｓｅ，Ｔｅ，Ｌｉ，Ｂｅ，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｂａ等の元素を添加することで磁歪を調整することもできる。その他、Ｈ，Ｎ，Ｏ，Ｓ等の不可避的不純物については、所望の特性が劣化しない程度に含有していても本発明の電磁シールド用合金の合金組成と同一とみなすことができるのは当然である。
　本発明の電磁シールド用合金において、合金組成式中のｂは、９３原子％以下である。
　Ｂの量を表すｘは、０．５原子％以上８原子％以下である。
　各合金組成式中のｙ、すなわちＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた一種又は二種以上の元素であり、これらの元素の量は、４原子％以上９原子以下である。
　また各合金組成式中のａ、すなわち請求項１においてＣｏ，Ｎｉのいずれか、または両方の合計を表す量は、０．０５以下である。
　以上のように組成を限定したのは、この組成の範囲内においては、合金の実効透磁率が１００００以上の高い値を示すが、この範囲から外れると、その実効透磁率が急激に低下し、実用上好ましくなくなるためである。
また電磁シールド用合金を構成する合金に施される熱処理の温度は、５００℃以上６５０℃以下であることが好ましい。これはこの範囲で熱処理を行なうと得られる合金の実効透磁率が１００００〜３００００程度の高い値となるからである。
　本発明の電磁シールド用合金を用いて網を製造するには、まず前記組成範囲からなる合金を用いて、細線を作成し、次いでこの細線を網状に織って織布とすることが好ましい。
　ここで細線を形成するには、重力を利用して溶融金属をノズルから冷却流体中に噴射して冷却固化する方法、液体冷却媒体を回転ドラムの中に入れ遠心力でドラム内壁に形成させた液体層に溶融金属を噴射して冷却固化させる方法等を用いることができる。上記に挙げた方法によれば、円形断面を有する細線が得られるが、本発明においては断面形状は円形のみには限定されない。
　また、この後、耐食性、電気特性等を改善する目的で、得られた細線上に金属層をコーティングしても良い。
　さらにこの細線をそのまま金網状に織布するだけでなく、例えば可撓性フィルム上に細線を配列して接着剤等で固定しても良い。
　「作用」
　本発明の電磁シールド用合金をなす磁性合金は、所定の組成を有するＦｅ基磁性合金によって形成されているので、高飽和磁束密度を有する。
　その上で、本発明の電磁シールド用合金をなす磁性合金は、上述したような組成を有するものであるので、高透磁率を有する。
　これらの点により本発明の電磁シールド用合金からなる網は極めて優れた電磁波吸収能力を持っている。
　「実施例」
　内径５００ｍｍφの横型回転ドラムを用い、第１表に示す組成より成る合金をＡｒ−Ｈｅ雰囲気中で融解し、０．１ｍｍの紡糸ノズルにより回転中のドラム周壁に配した水中に溶融金属を噴射させて細線を得た。得られた細線は８０〜１４０μｍφの径を有していた。この細線に６００℃で熱処理を施した後、第１図に示すように、この細線１を２００μｍのピッチに配して２０×２０ｃｍの大きさの合金網を形成した。
　これらの合金網の電磁波シールド効果を調べるために、電磁波発信用、受信用コイルとして、直径２ｃｍのループコイルを形成した。次いでこれを１ｃｍ隔ててループ面が同一平面内になるように正対させ、両コイルの中央部に上記合金網を垂直に配置した。合金網中の細線の配列の方向は、発信コイルからの電磁波の磁界成分と平行になるように調整した。次に発信コイルに１０ＫＨｚの電磁波を発生させ、その電磁波の透過量を合金網の無い時の透過量を０ｄＢとして、電磁波シールド効果を比較検討した。
　各種組成からなる合金網の電磁波シールド効果を第１表に示す。また比較例として従来シールド材として用いられる合金組成（第１表参照）を用いて同様に合金網を形成し、電磁波シールド効果を調べた結果を併せて示す。
　【表１】
第１表の結果より、この実施例の電磁シールド用合金網によれば、極めて優れた電磁シールド効果が得られることが確認された。
　「発明の効果」
　以上説明したように、本発明の電磁シールド用合金をなす磁性合金は、所定の組成を有するＦｅ基磁性合金によって形成されているので、高飽和磁束密度を有する。
　その上で本発明の電磁シールド用合金網をなす磁性合金は、上述したような組成を有するものであるので、１００００以上の高い高透磁率を有する。
　これらの点により本発明の電磁シールド用合金による網は極めて優れた電磁波吸収能力を持っている。
　従って、本発明の電磁シールド用合金による網によれば、従来よりも薄い厚みで充分に電磁波をシールドすることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の電磁シールド用合金による網の一実施例を示す平面図である。
１…細線。