【事件の表示】
　特許第２８５１７８２号「ディスクバルブ」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５１７８２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
一．［手続の経緯］
　本件特許第２８５１７８２号（以下、「本件特許」という）は、平成５年１２月２４日付で出願された、特願平５−３２７９２４号の特許出願に係り、平成１０年１１月１３日に設定登録されたが、本件特許に対して、表記特許異議申立人より、特許異議の申立があったので、当審において、当該申立の理由を検討の上、特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１２年９月１１日に、特許異議意見書の提出と共に訂正請求があったものである。
　
二．［訂正請求について］
　１．訂正の要旨
　上記平成１２年９月１１日付訂正請求における訂正の要旨は、次のイ、ロのとおりである。
　イ　特許明細書における特許請求の範囲（請求項１）について、
　冒頭の「中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、」とある記載を、
　「アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスからなり、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、」に訂正すると共に、
　末尾の「非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面が構成された弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」とある記載を、
　「非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有する弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」に訂正する。
　ロ　特許明細書の「発明の詳細な説明」の欄における、上記イの訂正事項と関連する箇所（【0014】、【0020】、【0021】、【0060】）について、当該訂正事項の趣旨に対応した訂正をする。
　２．訂正請求の適否
　（１）訂正の目的
　上記イの訂正は、本件特許に係る発明の必須の構成をより限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮とみることができるし、また、ロの訂正は、イの訂正に伴って生じる、明細書の前後における記載内容の齟齬の解消を図るもので、明瞭でない記載の釈明に該当する。
　（２）新規事項の有無
　本件特許に係る、願書に添付した明細書（特に、【0027】、【0035】【0036】）の記載からみて、上記各訂正の内容は、当該明細書に記載された事項の範囲内のものといえる。
　（３）拡張、変更の有無
　上記各訂正の内容は、登録時における特許請求の範囲を実質的に拡張したり、変更するものとはいえない。
　（４）独立特許要件具備の有無
　上記訂正に係る特許請求の範囲に記載された発明について、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができるものか否かについて検討する。
　（４-1）＜訂正に係る発明＞
　上記訂正に係る、特許請求の範囲（請求項１）に記載された事項によって特定される発明は、次のとおりのものと認める。
　【請求項１】「アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスからなり、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１５〜０．４μｍである基体の表面に、膜厚が０．４〜１．０μｍでかつラマン分光分析におけるラマンスペクトルの２つのピークがそれぞれダイヤモンドの１３３３ｃｍ−１とグラファイトの１５５０ｃｍ−１の近傍に存在する非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有する弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」（この請求項１に係る発明を、以下、「本件発明」という）
　（４-2）＜引用例とその記載事項の概要＞
　これに対して、引用例となるものは、いずれも本件特許に係る出願日より前に頒布されたとされる次の甲第１〜６号証の刊行物である。
　甲第１号証：特開平３−２２３１９０号公報
　甲第２号証：「セラミックス」１９８７年３月号（第２２巻第３号、昭和６２年３月１日社団法人窯業協会）第１８５〜１８８頁
　甲第３号証：特開平３−２３０１０号公報　
　甲第４号証：特開平５−１７９４５１号公報
　甲第５号証：「信学技報」１９９２年１２月号（社団法人電子情報通信学会）第１９〜２４頁
　甲第６号証：榎本祐嗣（外１名）「薄膜トライボロジー」（１９９４年９月５日、財団法人東京大学出版会）第１２８〜１３１頁、第２１３頁 
　上記甲第１号証には、固定側と可動側の２枚の部材を用いる「水栓金具等のバルブを構成する」「セラミック製摺動部構造」に関して、次のイ〜ハの事項が記載されている。（第１頁左下欄第３〜１０行、第２頁左下欄下から４行目〜第３頁左上欄第７行参照）
　イ　アルミナセラミック製部材からなるディスクの、少なくとも一方の摺動面側に、０．０２〜２．０μｍ厚のアモルファス・ダイヤモンド薄膜（ｉ−Ｃ膜或いはダイヤモンド状炭素膜）が形成されること、
　ロ　ｉ−Ｃ膜と対向するアルミナ摺動面の表面粗さ（中心線平均面粗さ）を０．０５〜０．０７μｍＲａとすること、
　ハ　「ｉ−Ｃ膜を形成する母材の表面粗さが大きいと表面の凸部のみが相手方の摺動面に当たるため、初期摩耗が大きくなり、母材が現れる。この場合は、摩擦係数が大きくなる。また、ｉ−Ｃ膜のあつみを０．０２μm 未満とするとｉ−Ｃ膜自体が摩耗してしまい、 ２．０μm 以上とすると、膜自体の内部歪によって剥離が発生し、段差を生じやすくなり、その結果水漏れを生じることとなる。このため、ｉ−Ｃ膜の厚みとしては０．０２μm〜２．０μm とし、母材の表面粗さとしては０．０２μm Ｒa〜０．５μmＲa とするのが好ましい」こと。
　次に、上記甲第２号証には、湯水混合栓用バルブを構成する２枚のディスク（シートとローター）に関して、リークとハンドトルクとの両面からみて、ディスクの適切な「平坦度を０．６μｍ以下と規定した」こと、及び「シール性向上のため完全鏡面に近づけると、アルミナセラミックスでは２枚の板がくっついて離れないリンキング現象を起こしてハンドルトルクが大きくなり、レバーの動きが固くなる」ことが記載されている。（第１８６〜１８７頁「２．２　シール性」の項）
　また、上記甲第３号証には、「硬質炭素膜」に関して、ダイヤモンドに準じた硬度をもつことや、そのラマンスペクトルは、１５８０ｃｍ−１付近と１３６０ｃｍ−１の付近にピークを示すことが記載（第２頁右上欄第１２〜１７行）され、甲第４号証には、「ｉ−Ｃ膜」は「アモルファス炭素」ともいわれ、「炭素の大部分が軟質グラファイトとされている」もので、「ラマン分光法にてダイヤモンドのピークを示す部位もあるためダイヤモンドライクとも呼ばれ」、「硬度は一般的にＨｖ１０００〜５０００程度」であって、炭素源となるガスを用いて、「高周波イオンプレーティング法、ＨＣＤイオンプレーティング法、プラズマＣＶＤ法、ＥＣＲスパッタ法、イオンビーム照射法で形成できる」旨が記載されている（【0011】、【0017】参照）。更に、甲第５号証（第２０〜２１頁）及び甲第６号証（第１３０〜１３１頁）にも、ＤＬＣ膜（ダイヤモンド・ライク・カーボン膜）やアモルファス状炭素膜に関する、上記と同趣旨の記載がある。
　（４-3）＜発明の対比＞
　本件発明と、甲第１号証の記載とを対比すると、甲第１号証記載の「摺動面」と「母材」は、それぞれ本件発明の「摺接面」と「基体」に相当している。そして、甲第１号証記載の「アモルファス・ダイヤモンド薄膜（ｉ−Ｃ膜）」とは、甲第３号証以下の上記記載によれば「非晶質硬質炭素膜」といえるもので、甲第１号証に言及はないものの、当該ｉ−Ｃ膜のラマンスペクトルは、「ダイヤモンドの１３３３ｃｍ−１とグラファイトの１５５０ｃｍ−１の近傍」に２つのピークが存在するものであることは明らかである。更に、弁体摺接面の中心線平均粗さと基体表面の中心線平均粗さ、非晶質硬質炭素膜の膜厚の数値範囲は、本件発明と甲第１号証記載のものとの間で重複している。
　したがって、本件発明と甲第１号証の記載の発明とは、「アルミナセラミックスからなり、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１５〜０．４μｍである基体の表面に、膜厚が０．４〜１．０μｍでかつラマン分光分析におけるラマンスペクトルの２つのピークがそれぞれダイヤモンドの１３３３ｃｍ−１とグラファイトの１５５０ｃｍ−１の近傍に存在する非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成した弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」である点では一致するものの、次の点で相違している。
　［相違点１］　平坦度に関して、本件発明では「１μｍ以下」という数値限定があるのに対し、甲第１号証には平坦度に関する言及がない点。
　［相違点２］　本件発明では、弁体を形成するアルミナセラミックスに関して、「アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有」したものとすると共に、非晶質硬質炭素膜の厚みを特定して、当該炭素膜で被覆して形成される摺接面が、「基体表面と同等の面粗さを有する」ようにしているのに対し、甲第１号証には焼結助剤に関連した言及や、当該摺接面の面粗さ及び当該面粗さと関係づけた非晶質硬質炭素膜の厚みに関する言及がない点。
　（４-4）＜相違点の検討＞
　先ず、上記相違点１における本件発明の平坦度に関する数値限定については、上記のとおり甲第２号証において、弁体を構成するディスクの適切な平坦度が「０．６μｍ以下」とされているところから、当業者が容易になし得る設計事項といえる。
　しかし、上記相違点２として指摘した、本件発明の焼結助剤に関する構成については、いずれの甲号証にも言及はないし、その構成を示唆するものもなく、また、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１５〜０．４μｍである基体の表面を、所定の厚さの非晶質硬質炭素膜で被覆して「基体表面と同等の面粗さを有する」摺接面とする構成については、上記のとおり、甲第２号証に、リンキング回避のために摺接面の面粗さをある程度大きくするべきことを示唆した記載はあるものの、他の甲号証には関連記載がなく、当該甲第２号証の記載も、本件発明の上記具体的構成を想到させるに足りる程度のものとはいえない。
　そして、本件発明は当該相違点２で指摘した構成を備えることによって、「摺動時に脱粒を生じ」ることを回避して、「摺接面の面粗さを維持することができなくなるために」生じる水漏れを防止できると共に、非晶質硬質炭素膜で被覆して形成される摺接面が滑らか過ぎることに起因する「リンキング」を防止する手段を、容易に講じることができるという、独自の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、上記甲第１〜６号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（４-5）＜その他の理由について＞
　更に、本件発明については、当審より通知した特許取消理由をはじめとして、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができないとする他の理由も発見しない。（上記取消理由では、上記甲第１〜６号証以外の刊行物である、実願平３−１１８３０号（実開平４−１０８６５４号）のマイクロフィルムも引用されているが、その記載事項は、上記（４-2）で指摘した、甲第１号証に開示された事項と実質的に変わるところがない。）
 （５）訂正の認容
　上記（１）〜（４）で検討したところによれば、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１号及び第３号に掲げる事項を目的とするものであって、平成１１年法律第４１号附則第２条第１２項及び第１３項の規定により適用される、同法律第４１号による改正前の特許法第１２０条の４第３項で準用され、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により適用される、同法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、同条第２項及び第３項の規定に適合しているといえるので、上記訂正の請求は認容される。
　
三．［特許異議申立について］
　１．特許異議申立の理由
　特許異議申立人は、上記二．３．（４-2）で指摘した刊行物である甲第１〜６号証を提出すると共に、甲第３号証以下の、アモルファス・ダイヤモンドあるいはｉ−Ｃ膜に関連する記載を参酌すると、本件特許に係る発明は、甲第１及び２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定をするべき出願に対してされたことになり、取り消すべきものである旨を主張している。
　２．当審の判断
　上記二．３．（５）に示されるように、上記訂正請求が認容されることにより、上記平成１２年９月１１日付で提出された訂正明細書を本件特許明細書として、本件特許発明は、当該特許明細書の特許請求の範囲の第１項に記載された、上記二．３．（４-1）で「本件発明」としたとおりのものと認める。
　そして、当該本件発明について、上記１．の特許異議申立理由が採用できないものであることは、上記二．３．（４-2）〜（４-4）における、本件発明と上記各刊行物記載のものとの対比の検討結果から明らかである。
　
四．［むすび］
　以上のとおりであるから、本件特許は、特許異議申立人の主張する理由およびその提出した証拠によっては、取り消すことはできないし、また、他に取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月１３日（２０００．１０．１３）
【訂正の要旨】
　上記訂正請求における訂正の要旨は、次のイ、ロのとおりである。
イ　特許明細書における特許請求の範囲（請求項１）について、
　冒頭の「中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、」とある記載を、
　「アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスからなり、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下の摺接面を有する弁体と、」に訂正すると共に、
　末尾の「非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面が構成された弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」とある記載を、
　「非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有する弁体との組み合わせからなるディスクバルブ。」に訂正する。
　ロ　特許明細書の「発明の詳細な説明」の欄における、上記イの訂正事項と関連する箇所（【００１４】、【００２０】、【００２１】、【００６０】）について、当該訂正事項の趣旨に対応した訂正をする。
（５４）【発明の名称】
ディスクバルブ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスからなり、
を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有する
【発明の詳細な説明】
　【産業上の利用分野】本発明は、特に水栓、或いは湯水混合栓に使用される可動弁体と固定弁体とからなるディスクバルブに関するものである。
　【従来の技術】水栓、或いは湯水混合栓に用いられるフォーセットバルブは、２枚の円盤状弁体を互いに摺接した状態で相対摺動させることによって、各弁体に形成した流体通路の開閉を行うようになっている。
　例えば図６（Ａ）に示すように、固体弁体３０と可動弁体２０を互いの摺接面２１、３１で接した状態として配置し、図６（Ｂ）に示すように、レバー４０の操作で可動弁体２０を摺動させることによって、互いの弁体２０、３０に形成した流体通路２２、３２の開閉を行い、流体の流量調整を制御するようになっていた。
　又、この種のディスクバルブ１０には、摺動性及びシール性が要求されるとともに、互いが絶えず摺り合わされることから耐摩耗性に優れた材質が求められており、上記可動弁体２０及び固定弁体３０として硬質金属やセラミックスが使用されていた。
　ところで、摺動性とシール性は相反するものであり、例えばシール性を高めようとすると摺接面を極めて平滑にしなければならないが、逆に摺動性が損なわれることが知られており、この典型的な例がリンキング（凝着）であった。これは極めて平滑な面を持った１対の部材同志を摺り合わせたときに発生する引っかかりや異音の発生、そしてついには張り付いて動かなくなるような現象のことであり、このようなリンキングを防止するために、さまざまな解決案が考えられている。その一例として１対の弁体のうち、一方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下の面とし、他方の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３〜０．６μｍの面としたディスクバルブを本出願人は先に提案している（特開平１−１１６３８６号公報参照）。
　又、特開昭６１−２０６８７５号、６１−２４４９８０号、６２−４９４９号、６２−３７５１７号公報には、一方の弁体を三次元網目構造の多孔質体とし、この開気孔中に樹脂やオイルなどの潤滑剤を充填したものもあった。
　【発明が解決しようとする課題】
　ところが、摺接面に微少な凹凸を形成したディスクバルブでは、摺動性を保っために潤滑剤が不可欠であり、しかも、一方の摺接面が若干粗い面となっていることから、長期使用中に潤滑剤が流出して凹凸を有する摺接面同士の摺動となるために、摺動トルクが大きくなるといった問題やシール性が損なわれる恐れがあった。
　また、潤滑剤の種類によっては、長期使用中に劣化したり、ゴミ等が付着することによる摺動特性の悪化を避けることができなかった。
　しかも、摺動摩耗によって摺接面が滑らかになってしまい結局リンキングが発生していた。
　一方、多孔質体の開気孔中に樹脂を充填したものにあっては、硬度の低い樹脂部分が先に削られては全面が削られるというように潤滑作用をなす樹脂が常に相手材と接しないため、摺動トルクにばらつきがあった。しかも、緻密な相手材に比べ多孔質体であるために硬度が低く、その結果、短期間で磨耗してしまうという問題があった。
　ところで、今日では耐摩耗性に優れ、摩擦係数の小さい非晶質ダイヤモンドが注目されており、この非晶質ダイヤモンドから成る膜をセラミック部材に形成した摺動部材が提案されている（特開平３−２２３１９０号公報参照）。
　しかし、非晶質ダイヤモンドは密着性が悪く、フォーセットバルブ等のディスクバルブに用いるには膜の剥離やシール性等の問題があり、まだ実用に供するものではなかった。
　本発明の目的は、非晶質ダイヤモンドなどの非晶質硬質炭素膜を備えたディスクバルブを完成させ、リンキングを生じることなくスムーズな摺動が可能で、その性能を長期間にわたって維持することができるディスクバルブを提供することにある。
　【課題を解決するための手段】
　そこで、本発明では上記課題に鑑み、そこで、本発明では上記課題に鑑み、２枚の弁体からなるディスクバルブのうち、一方の弁体を、アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスにより形成し、上記弁体の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下とし、他方の弁体は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１５〜０．４μｍである基体上に、膜厚が０．４〜１．０μｍでかつラマン分光分析におけるラマンスペクトルの２つのピークがそれぞれダイヤモンドの１３３３ｃｍ−１とグラファイトの１５５０ｃｍ−１の近傍に存在する非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有し、互いの摺接面同士を摺接させるようにしたものである。
　【作用】
　本発明によれば、一方の弁体に非晶質硬質炭素膜を形成してあるため、摺動性に優れリンキングを防止できる。
　又、非晶質硬質炭素膜を備える弁体の摺接面は、膜の密着性を考慮した最適な面粗さとしてあるために膜の剥離がない。しかも、他方の弁体の摺接面も滑らかな面としてあることから、膜を傷つけることなくシール性を損なうことがない。その為、極めて長期間にわたり摺動特性を維持することができる。
　【実施例】
　以下、本発明実施例を説明する。
　図１は本発明に係るディスクバルブの一例であるフォーセットバルブの弁体同士を摺接させた状態を示す斜視図であり、図２は可動弁体２０のみを、図３は固定弁体３０のみをそれぞれ示す斜視図である。
　図１に示すように、円盤状をした固定弁体３０と可動弁体２０を互いの摺接面２１，３１で接した状態としておいて、可動弁体２０を動かすことによって、互いの弁体２０、３０に備えた流体通路２２、３２の開閉を行い、流体の流量調整を行うようにしてある。
　又、これら弁体２０、３０には、耐磨耗性に優れ変形し難い材質が要求されることから、弁体２０を、アルミナを主体とする焼結体であって、助剤を所定量配合するアルミナセラミックスにより形成し、弁体３０を、真鍮やステンレス、或いは超硬合金などの硬質金属、又はアルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素等を主体とする焼結体であって、助剤を所定量配合するセラミックスにより形成する。
　上記セラミックスとしては、例えば、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素等を主体とする焼結体であって、助剤を所定量配合することで得られる。例えば、アルミナに対してはＣａＯ、ＳｉＯ２、ＭｇＯのうち少なくとも一種を、炭化珪素に対してはＣ、Ｂ、Ｂ４Ｃ、Ａｌ２Ｏ３、Ｙ２Ｏ３等を、さらに窒化珪素に対しては周期律表２ａ、３ａ族元素の酸化物や窒化物をそれぞれ焼結助剤として添加し、ジルコニアに対してはＹ２Ｏ３、ＣａＯ、ＭｇＯなどの安定化剤を添加する。
　ところで、図２に示す可動弁体２０の摺接面２１は、表面粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下の面に形成する。これは、表面粗さが０．２μｍより大きいと、摺動時に固定弁体３０の摺接面３１を磨耗させてしまうからであり、好ましくは表面粗さ（Ｒａ）０．１μｍ以下の滑らかな面とすることが望ましい。又、シール性を保つために摺接面２１の平坦度は１μｍ以下とすることが重要である。
　一方、図３に示す固定弁体３０は、基体３４の表面に、ＰＶＤ法、ＣＶＤ法、スパッタリング法等の薄膜形成手段により均一な非晶質硬質炭素膜３３を被覆して摺接面３１を構成する。
　非晶質硬質炭素は、表１に示すように高硬度であるため耐磨耗性に優れ、動摩擦係数も非常に小さい材質であることから、潤滑剤を介さなくとも可動弁体２０との摺動トルクを大幅に軽減することができるとともに、その性能を長期間にわたって保つことができる。
　【表１】
　ただし、非晶質硬質炭素は他部材との密着性が悪く、可動弁体２０との摺動に伴い基体３４の表面から剥離してしまう恐れがある。その為、基体３４の表面は中心線平均粗さ（Ｒａ）０．１５〜０．４μｍの面粗さに形成する。この理由としては、基体３４の面粗さが中心線平均粗さ（Ｒａ）０．１５μｍより小さいと充分なアンカー効果が得られず、可動弁体２０との摺動時に膜３３が剥がれてしまう恐れがあるからである。ただし、アンカー効果を持たせるために基体３４の表面を中心線平均粗さ（Ｒａ）０．４μｍより大きくすると、摺接面３１の凹凸が大きくなり過ぎ、逆にシール性が損なわれる。
　又、非晶質硬質炭素は動摩擦係数が非常に小さいことから摺動トルクを大幅に軽減することができるものの、摺接面３１が滑らか過ぎるとリンキングを生じる恐れがあるため、固定弁体３０の摺接面３１は基体３４の表面と同等の面粗さとすることが重要であり、その為、非晶質硬質炭素膜３３の厚み幅ｈは０．４〜１．０μｍの範囲とする。
　即ち、膜３３の厚み幅ｈが０．４μｍより小さいと、薄すぎるために短期間で膜３３が摩耗してしまうからであり、逆に厚み幅ｈが１．０μｍより大きいと、厚み幅ｈのばらつきが大きくなり、均一な膜３３を形成することができないために摺接面３１の面粗さが大きくなってしまうからである。
　しかも、非晶質硬質炭素はダイヤモンド（ビッカース硬度：１００００ｋｇ／ｍｍ２）ほど高い硬度を有してはいないものの、ビッカース硬度で２０００〜５０００ｋｇ／ｍｍ２と非常に高い硬度を持った材質であるために研摩加工を施すことは非常に大変であり多大な労力を要する。その為、厚み幅ｈは１．０μｍ以下としておけば短期間で膜３３が摩耗してしまうことはなく、又、均一な厚み幅ｈを持った膜３３を形成することができるため、研摩加工の必要がない。
　ところで、非晶質硬質炭素は、非常に緻密で結晶粒界が見られず、ガラスを割ったような形態をした非晶質構造をしたもので、規則的な結晶構造を持つダイヤモンドや立方晶窒化ほう素（ｃＢＮ）、六方晶窒化ほう素（ｈＢＮ）とは異なる組成のものである。ただし、若干の結晶質を含んだ非晶質構造であってもよい。又、この非晶質硬質炭素をグラファイトやダイヤモンドの同定によく用いられるラマン分光分析装置を使って調べると図４に示すようなダイヤモンドのピーク位置である１３３３ｃｍ−１とグラファイトのピーク位置である１５５０ｃｍ−１の近傍にそれぞれピークを持ったものとなる。
　ただし、本発明に用いる非晶質硬質炭素は、ピークがダイヤモンド或いはグラファイトの何方か一方に偏っていてもよく、好ましくはダイヤモンドのピーク位置に偏っている方がよい。
　なお、実施例では、非晶質硬質炭素膜を有する弁体を固定弁体３０に用いた例を示したが、上記非晶質硬質炭素膜を有する弁体を可動弁体２０として用いても同様の効果が得られることは言うまでもない。
　
実施例１
　次に、本発明に係るディスクバルブを図１のフォーセットバルブを例にとり具体的に説明する。
　フォーセットバルブを構成する可動弁体２０及び固定弁体３０を共にアルミナセラミックスで形成し、上記固定弁体３０をなす基体３４の表面に非晶質硬質炭素膜３３を被覆する。
　各弁体は、純度９０％以上で、且つ平均粒子径３μｍ程度のアルミナ粉末に、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上で、且つＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上添加し、さらにバインダーを所定量添加してボールミルにて混合粉砕したあと、スラリー状の原料をスプレードライヤーで造粒する。次に得られた造粒体を乾式形成したあと、酸化雰囲気中で約１６００℃の焼成温度にて焼成することでアルミナセラミックスから成る弁体が得られる。
　ただし、アルミナ粉末の純度は９０％以上のものを使用することが必要で、純度９０％未満のアルミナ粉末を使用すると、耐摩耗性が大きく劣ってしまうため、短期間で摩耗しシール性を保つことができない。
　又、焼結助剤として添加するＳｉＯ２、ＭｇＯ、及びＣａＯのうち、一つでも上記範囲を満足していないと摺動時に脱粒を生じ、摺接面の面粗さを維持することができなくなるために水漏れを生じる。
　又、このフォーセットバルブを湯水混合栓に使用する時には、弁体をなすアルミナセラミックスが急に熱せられるために耐熱衝撃性を高めておいた方がよい場合がある。このような時には焼結助剤以外にＴｉＯ２を合計に対して２〜１０重量％の範囲で添加する。上記範囲でＴｉＯ２を添加すれば、アルミナセラミックスの耐熱衝撃性を向上させることができ、万一１００℃を越える高温の温水が急に流入したとしても弁体を変形させたり、破損することがない。
　このようにして得られた弁体を２つ用意し、そのうちの一方を可動弁体２０とし、その摺接面２１を中心線平均粗さで０．２μｍ以下、且つ平坦度１μｍ以下となるように研摩する。
　又、他方を固定弁体３０とし、基体３４の表面を中心線平均粗さで０．１５〜０．４μｍ、且つ平坦度１μｍ以下となるようにそれぞれ研摩加工を施し、さらに、ベンゼン（Ｃ６Ｈ６）ガスをフィラメントでイオン化した炭素イオンをイオン加速器により基体３４の表面に蒸着させ、０．４〜１．０μｍの厚み幅ｈを有する非晶質硬質炭素膜３３を形成する。そして、上記可動弁体２０及び固定弁体３０の互いの摺接面２１，３１を摺接させれば本発明に係るフォーセットバルブを得ることができる。
　
実験例１
　ここで、弁体がアルミナセラミックスから成る図１のフォーセットバルブを試作し、固定弁体３０をなす基体３４の表面の面粗さをいろいろ変化させて摺動実験を行った。
　この実験に使用したフォーセットバルブは、外径３０ｍｍで、厚み１５ｍｍの円盤状体に直径５ｍｍの流体通路２２を穿設した可動弁体２０と、外径４０ｍｍで、厚み５ｍｍの円盤状体に直径５ｍｍの流体通路３２を穿設するとともに、表面に非晶質硬質炭素膜３３を被覆した固定弁体３０とを組み合わせて構成してある。又、可動弁体２０の摺接面２１は平坦度１μｍで、且つ中心線平均粗さ０．２μｍに仕上げてあり、固定弁体３０をなす基体３４の表面には、厚み幅ｈが０．５μｍの非晶質硬質炭素膜３３を被覆し、基体３４の面粗さを表２に示すようにそれぞれ変化させたものを用意した。
　なお、固定弁体３０はアルミナ純度９４％で、且つＭｇＯが０．５重量％、ＣａＯが０．５重量％、及びＳｉＯ２が５．０重量％含有するアルミナセラミックスにより形成してあり、可動弁体２０は、固定弁体３０に比べ厚みが大きいことから耐熱衝撃性を高めるため、アルミナ純度９１％で、且つＭｇＯが０．５重量％、ＣａＯが０．５重量％、ＳｉＯ２が５．０重量％、及びＴｉＯ２を３．０重量％含有するアルミナセラミックスにより形成してある。
　これらの固体弁体３０に可動弁体２０をケーシングによって３０Ｋｇｆの軸力で押さえつけながら、流体通路２２，３２に８０℃の温水を１Ｋｇ／ｃｍ２の圧力で注入し、可動弁体２０を操作レバー４０により摺動させて行った。
　それぞれの結果は表２に示す通りである。
　【表２】
　表２より判るように、基体３４の面粗さが中心線平均粗さで０．１５μｍ未満であると模３３の剥離が発生し、バルブとして使用できないことが判る。又、基体３４の面粗さが中心線平均粗さで０．４μｍより大きいと膜３３の剥離はないものの摺接面３１の凹凸が大き過ぎるため、摺接面２１，３１間より水漏れが発生した。
　これに対し、本願発明の範囲である中心線平均粗ささ０．１５〜０．４μｍの面粗さに形成した固定弁体３０を有するフォーセットバルブでは膜３３の剥離がなく、又、水漏れを生じることもなくスムーズに可動弁体２０を摺動させることができた。
　なお、基体３４がステンレスや超硬合金、或いは炭化珪素や窒化珪素から成る固定弁体３０についても同様の実験を行ったが、弁体３０の表面を中心線平均粗さで０．１５〜０．４μｍの範囲に形成してあれば、非晶質硬質炭素嘆３３が剥がれることはなく、スムーズに可動弁体２０を摺動させることができた。
　
実験例２
　次に、図１に示すフォーセットバルブを用いて、可動弁体２０の摺接面２１の面粗さと固定弁体３０に被覆した非晶質硬質炭素膜３３の厚み幅ｈをそれぞれ変化させた時の摺動荷重について実験を行った。
　可動弁体２０及び固定弁体３０は共に、実験例１で使用した形状のものを用意した。ただし、非晶質硬質炭素模３３を被覆する基体３４の表面は中心線平均粗さで０．１５〜０．４μｍの範囲で設けてある。
　又、この実験に使用する可動弁体２０の摺接面２１の面粗さと基体３４に被覆した非晶質硬質炭素膜３３の厚み幅ｈはそれぞれ表２に示す通りである。なお、比較・参考例として非晶質硬質炭素膜３３を設けていないフォーセットバルブも用意して同様の実験を行った。
　【表３】
　なお、この試験における測定条件は実験例１と同様の方法で行い、操作レバーを操作して可動弁体２０を１０万回摺動させた時の摺動荷重が０．８Ｋｇｆを超えていないものを摺動性良好として判断した。
　それぞれの結果は図５に示す。
　図５より判るように、非晶質硬質炭素膜３３を備えていない試料Ｎｏ．６のバルブでは短期間で摺接面２１，３１が摩耗してリンキングが発生し、摺動荷重が増大してしまい、実用的ではなかった。
　又、試料Ｎｏ．５のバルブは、非晶質硬質炭素膜３３の厚み幅ｈが０．４μｍより薄いために５万回程度の摺動で模３３の摩耗が始まり、９万回程度で摺動荷重が０．８ｋｇｆを超えてしまい、１０万回をクリアすることができなかった。
又、試料Ｎｏ．４のバルブでは、可動弁体２０の摺接面２１が中心線平均粗さで０．２μｍ以上であるために、２万回程度の摺動で膜３３の摩耗が始まり、５万回程度で摺動荷重が０．８ｋｇｆを超えてしまった。
　さらに、試料Ｎｏ．３のバルブは、試料Ｎｏ．４の可動弁体２０より摺接面２１の面粗さ滑らかであるものの、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍより大きいために、４万回程度の摺動で非晶質硬質炭素膜３３の摩耗が始まり、７万回程度で摺動荷重が０．８ｋｇｆを越えてしまった。
　これに対し、本発明に係る試料Ｎｏ．１及びＮｏ．２のバルブは、共に可動弁体２０の摺接面２１が中心線平均粗さで０．２μｍ以下であり、且つ膜３３の厚み幅ｈが０．４〜１．０μｍの範囲にあるために摺動性に優れ、１０万回の摺動に対しても膜３３が残っており摺動荷重が０．８ｋｇｆを超えることはなかった。
　なお、可動弁体２０を真鍮やステンレス、或いは炭化珪素や窒化珪素で形成し、同様の実験をそれぞれ行ったが、摺接面２１を表面粗さ（Ｒａ）０．２μｍ以下０で、且つ平坦度１μｍ以下の面としてあれば１０万回の摺動でも摺動荷重が０．８ｋｇｆを超えるこはなかった。
　【発明の効果】
　以上のように本発明によれば、２枚の弁体からなるディスクバルブのうち、一方の弁体を、アルミナを主体とし、焼結助剤としてＳｉＯ２を０．５重量％以上、ＭｇＯ及びＣａＯをそれぞれ０．２重量％以上含有するアルミナセラミックスにより形成し、上記弁体の摺接面を中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２μｍ以下、平坦度が１μｍ以下とし、他方の弁体は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．１５〜０．４μｍである基体上に、摸厚が０．４〜１．０μｍでかつラマン分光分析におけるラマンスペクトルの２つのピークがそれぞれダイヤモンドの１３３３ｃｍ−１とグラファイルの１５５０ｃｍ−１の近傍に存在する非晶質硬質炭素膜を被覆して摺接面を構成し、該摺接面が上記基体表面と同等の面粗さを有し、互いの摺接面同士を摺接させるようにしたことから、シール性に優れるとともに、潤滑剤を用いなくとも優れた摺動性が得られるためにリンキングを生じることがなく、その性能を極めて長期間にわたって維持することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
本発明に係るディスクバルブの一例であるフォーセットバルブの弁体のみを示す斜視図である。
　【図２】
図１の可動弁体を示す斜視図である。
　【図３】
図１の固定弁体を示す斜視図である。
　【図４】
図１の固定弁体に被覆する非晶質硬質炭素膜のラマンスペクトルを示すグラフである。
　【図５】
本発明及び比較例のフォーセットバルブにおけるサイクル数と摺動荷重の関係を示すグラフである。
　【図６】
一般的なフォーセットバルブの作動状態を示す斜視図で（Ａ）は流体通路を開通させた図であり、（Ｂ）は流体通路を遮断した図である。
　【符号の説明】
１０：フォーセットバルブ
２０：可動弁体
２１：摺接面
３０：固定弁体
３１：摺接面
３３：非晶質硬質炭素膜
３４：基体
４０：操作レバー