【事件の表示】
　特許第２９５１６２８号「ウェハ保管用カセット」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９５１６２８号の請求項１ないし５に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２９５１６２８号（以下、「本件特許」という）は、平成１０年１月２２日に出願された特願平１０−１０６２７号の特許出願に係り、平成１１年７月９日に設定登録（請求項の数５）されたものであるが、本件特許の全請求項に係る発明に関して、柴崎喜江より特許異議の申立てがあったので、当審において、当該申立ての理由を検討の上、当審より特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１３年１月１５日に、特許異議意見書と共に訂正請求書が提出されたものである。
　
２．訂正請求の可否
（１）訂正の要旨
　本件特許異議申立てに係る訂正請求における訂正の要旨は、次のア〜ウのとおりである。
　ア．特許請求の範囲の請求項１中の「傾斜面となっていることを特徴とする」を、「傾斜面となっており、上縁部が丸められていることを特徴とする」と訂正する。
　イ．特許請求の範囲の請求項２中の「前記側壁面」を「前記傾斜面」と訂正する。
　ウ．明細書の段落【００１３】中の「前記側壁面」を「前記傾斜面」に訂正し、同じく【００２５】中の「福へき面」を「側壁面」に訂正する。
（２）訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更の存否
　ア．上記訂正事項アについて
　上記訂正事項アは、請求項１に係る発明の側壁面の形状について、側壁面の上縁部形状を限定しているものであって、特許請求の範囲の減縮を目的としている。そして、側壁面の上縁部が丸められていることは、特許明細書の段落【００２１】、【００２８】に記載されており、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　イ．訂正事項イについて
　上記訂正事項イの「前記側壁面」を「前記傾斜面」と訂正することは、請求項２が請求項１の従属項であり、訂正前の「前記側壁面」は実質的に「傾斜面」しか意味しないのであるから、明りょうでない記載の釈明を目的としており、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものでもない。
　ウ．訂正事項ウについて
　訂正事項ウにおける明細書の段落【００１３】中の「前記側壁面」を「前記傾斜面」に訂正する点は、上記訂正事項イの訂正に伴って、対応する詳細な説明部分を訂正するものであって、不明瞭な記載の釈明を目的としている。同じく、【００２５】中の「福へき面」を「側壁面」に訂正する点は、その前後の記載からみて、上記「福へき面」は「側壁面」の誤記であることは明らかであるので、誤記の訂正を目的としている。そして、それぞれの事項は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものでもない。
（３）訂正請求の認容について
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書きの第１〜３号に掲げる事項を目的とするものであり、同第１２０条の４第３項において準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正の請求を認容する。
（４）本件特許発明の認定
　上記のとおり、平成１３年１月１５日付の訂正請求は認容されるので、本件特許発明は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲に記載された請求項１〜５に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
【請求項１】
　所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁と、前記側壁のそれぞれの内面から互いに向かって突出し、ウェハが載置される少なくとも一対のくし歯部と、
　を備えるウェハ保管用カセットであって、
　前記くし歯部の先端のウェハ載置部分にウェハが収容される窪みが形成されており、
　前記窪みを画する側壁面が、上方に向かって末広がりの傾斜面となっており、上縁部が丸められていることを特徴とするウェハ保管用カセット。
【請求項２】
　前記窪みの前記傾斜面は、前記側壁間の所定の鉛直軸を中心軸とする仮想倒立円錐台の側面と一致しており、前記窪みの底面の半径Ｄ０の最小値Ｄ０minは、載置するウェハの規格上の最大径をＤmax、前記窪みの円弧半径の加工公差をΔｒとするとき、Ｄ０min＝Ｄmax＋２Δｒを満たすことを特徴とする請求項１記載のウェハ保管用カセット。
【請求項３】
　ウェハハンドリングロボットによりウェハを前記くし歯部に対して受け渡す場合において、前記ウェハハンドリングロボットの搬送時の最大位置ずれ量をΔｌとするとき、前記窪みの上縁の直径Ｄ１はＤ０min＋２Δｌ≦Ｄ１≦Ｄ０min＋４Δｌを満たすことを特徴とする請求項２記載のウェハ保管用カセット。
【請求項４】
　前記窪みの深さｔ２は、（Ｄ１−Ｄ０）／２×ｔａｎ（６０°）に略等しいことを特徴とする請求項３記載のウェハ保管用カセット。
【請求項５】
　前記側壁間の両側面からウェハの出し入れが可能なパススルー型であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のウェハ保管用カセット。　
　
３．引用刊行物の記載事項と本件特許発明の対比・判断
（１）引用刊行物とその記載事項
　上記特許取消理由で引用した刊行物１〜４には、次の事項が記載されている。
　刊行物１：米国特許第５０５８５２６号明細書（異議申立人が提出した甲第１号証）
　上記刊行物１には、「縦型ロードロック減圧型化学気相成長装置」に関して、以下に相当する記載がある。
　ア．「図６は本発明に使用されるカセットを遠近法によって示した図。図７は図６のVII一VII線に沿った断面を示す図。図８は図６のVIII−VIII線に沿った断面を示す図。」（第３欄第２２〜２７行）
　イ．「ローディングカセット８とアンローディングカセット９は、図６，７，８に示す同じ形状を有する。夫々のカセットは、対向する１対の面が開□され、一方側からウエハを挿入し、他方側から取出せるようになった箱型のフレームを有する。複数の対の内側への突出部５３が、フレームの内側の壁のギャップにウエハを水平に受け入れるために、隣接する対との間に所定の間隔をあけて設けられている。夫々の複数の突出部５３は、適当なアーチの形に形成され、これによってウエハのサイドエッヂを移動できるようにその上に受け取る。突出部５３の対のステップ数は、製品のウエハカセット１６（通常２５ステップ）より２一３ステップ多い。」（第５欄第４９〜６２行）
　ウ．上記記載に対応する図面として、図６〜８が示されている。
　刊行物２：特開平８−３０６７５７号公報（異議申立人が提出した甲第２号証）
　上記刊行物２には、「ウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法」に関して、次の記載がある。
　エ．「また、ウエハ搬送装置の第３の手段として、ロボットアームの先端にピックを取り付け、カセット内に収納されているウエハを前記ピック上のウエハ被移載部に移載して搬送するようにしたウエハ搬送装置において、前記ピックのウエハ被移載部に沿うピック先端部側に第１の位置決め用の突部を設けるとともに、ウエハ被移載部に沿うピック元部側に前記第１の位置決め用の突部より高い第２の位置決め用の突部を形成し、かつ、前記第１，第２の位置決め用の突部が移載されるウエハの端面の案内となる傾斜ガイド面を備える構成としたものである。」（【０００９】欄）
　オ．「ピック４３Ａ，４３Ｂの上面には、座ぐり凹部からなるウエハ被移載部６１が形成されている。そして、このウエハ被移載部６１に沿うピック先端部側に第１の位置決め用の突部６２が形成されているとともに、ウエハ被移載部６１に沿うピック元部側に前記第１の位置決め用の突部６２より高い第２の位置決め用の突部６３が形成された状態となっている。また、前記第１，第２の位置決め用の突部６２，６３には、ウエハ被移載部６１に移載されるウエハＷの端面の案内となる傾斜ガイド面６２Ａ，６３Ａが形されている。」（【００３０】〜【００３１】欄）
　カ．「また、突部６２，６３の傾斜ガイド面６２Ａ，６３Ａの勾配、すなわち、角度θ１，θ２は、ウエハＷを載置し易いように５〜４５°の勾配（角度）となっている。」（【００３４】欄）
　キ．「さらに、ピックのウエハ被移載部に移載されたウエハは、第１，第２の位置決め用の突部によって位置規制がなされ、搬送途上におけるずれを防止できる。また、第１，第２の位置決め用の突部に移載されるウエハの端面の案内となる傾斜ガイド面を設けたから、ウエハ被移載部に対するウエハの移載動作が良好に行える。」（【００４７】欄）
　刊行物３：特開昭６３−１４６７３１号公報（異議申立人が提出した甲第３号証）
　上記刊行物３には、「ＣＶＤ薄膜形成装置」に関して、以下の事項が記載されている。
　ク．「このウエハハンドリングアームは両側方向に開閉する水平な二本の細長い爪を有しており、この爪の部分にはウエハを載置するための水平段部と、この水平段部に続くウエハ着脱時の位置決め用傾斜ガイド部がそれぞれ対時するように配設されている・・・傾斜ガイド部の傾斜面はウエハの外周の軌跡と一致する曲率を有する」（第１頁左欄第５〜１７行）
　ケ．「しかし、この方式では、ウエハの中心とウエハ載置台の中心とが、ずれる事が多く」（第２頁右上欄第２０行〜左下欄第１行）
　コ．「ウエハの直径よりも極僅かに大きい程度までしか開かないように構成されている。かくして、ウエハは突き上げピンに乗った状態で下降してくるが、爪の傾斜ガイド部により位置修正を受けながら徐々に下降してくる。爪の傾斜ガイド部の下端面をウエハ載置台の上端面と一致させておけば、ウエハを所定の位置に配置させることができる。」（第３頁左上欄第８〜１８行）
　サ．「傾斜ガイド部１２の傾斜面はウエハの外周の軌跡と一致する曲率を有するように構成することもできる。」（第３頁左下欄第８〜１０行）
　シ．「ウエハが片寄った状態で突き上げピンに保持されていれば、ウエハは下降中に爪部の傾斜ガイド部の傾斜面に接触して位置が補正されるはずである。そして、最後には傾斜ガイド部の傾斜面の下端部と完全に一致するようにウエハ載置台上に配置される。」（第４頁左上欄第１６行〜右上欄第１行）
　ス．上記記載に対応する図面として第１図、第２図、第５図が示されている。
　刊行物４：特開平５−１６６９１７号公報（異議申立人が提出した参考資料１）
　上記刊行物４には、「バッファ・カセット」に関して、次の記載がある。
　セ．「そして、従来のバッファ・カセット１０は、図７に示すように、その外観は立方体をなし、対向する一対の側面の内側には、ウエハを水平に支持するための支持部材１０ａを上下に複数有し、また、搬送ロボット１側からのアクセスも、搬送ロボット２側からのアクセスも可能なように、支持部材１０ａが形成されていない側面は開放されている。」（【０００４】欄）
　ソ．「各支持板１４ａ〜１４ｄには、ウエハ支持部１５の中心点Ｏを中心とした同心円を形成するように、中央側に傾斜するテーパ部１６が形成され、さらに、テーパ部１６の低い部分に連続して平坦部１７が形成されていて、これら各支持板１４ａ〜１４ｄに形成された平坦部１７が、ウエハ２０の下面に当接してこれを水平に支持する。そして、各支持板１４ａ〜１４ｄに形成された平担部１７は、それらによって形作られる円の直径Ｌ１が、支持するウエハ２０の直径に一致する。」（【００１２】【００１３】欄）
　
（２）発明の対比・判断
（２−１）刊行物１との対比
（２−１−１）本件の請求項１に係る発明について
　本件の請求項１に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記刊行物１記載の「カセット」が、本件の請求項１に係る発明における「ウエハ保持用カセット」に相当し、以下同様に「突出部５３」が「くし歯部」に相当し、ＦＩＧ．８の図面及び詳細な説明の上記指摘された箇所の記載からみて、該突出部５３（くし歯部）にウエハが収容される窪みが形成されていると言えるので、両者は、
「所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁と、前記側壁のそれぞれの内面から互いに向かって突出し、ウェハが載置される少なくとも一対のくし歯部と、を備えるウェハ保管用カセットであって、前記くし歯部の先端のウェハ載置部分にウェハが収容される窪みが形成されているウェハ保管用カセット。」で一致しており、以下の点で相違している。
＜相違点１＞
　本件の請求項１に係る発明においては、窪みを画する側壁面が、上方に向かって末広がりの傾斜面となっているのに対して、刊行物１に記載された発明では、図面上において窪みを画する側壁面が、上方に向かって末広がりの傾斜面となっているように見えるものの詳細な説明においては明確な記載がない点。
＜相違点２＞
  本件の請求項１に係る発明においては、窪みを画する側壁面の上縁部を丸めているのに対して、刊行物１には、窪みを画する側壁面の上縁部の形状について明確な記載がない点。
　以下、相違点について検討する。
　相違点１について
　ウエハを載置する際に、ウエハ端面を傾斜面によってガイドしてウエハを所定位置に案内することは、刊行物２、３、４にも記載されているように当該技術分野においては慣用されている事項であり、刊行物１におけるＦＩＧ．８の記載に接した当業者にとって、窪みを画する側壁面を上方に向かって末広がりの傾斜面となっているように構成することは、容易に想到し得た事項である。
　相違点２について
　物品の角部を丸める構成は、その角部によって与える損傷や角部自身の摩耗・損傷を防止するために物品一般に広く採用されている周知の構成であるから、傾斜面の上縁部を丸めることは、上記周知技術に基づき当業者が容易になしえたことである。
　また、本件の請求項１に係る発明の効果は、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術から予測しうるものである。
（２−１−２）本件の請求項２に係る発明について　
　本件の請求項２に係る発明は、前述した請求項１に係る発明をさらに請求項２に記載のとおり限定するものであるので、本件の請求項２に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記相違点１，２に加えて、次の点で相違し、その余の点で一致している。
＜相違点３＞
　本件の請求項２に係る発明においては、「前記窪みの前記側壁面は、前記側壁間の所定の鉛直軸を中心軸とする仮想倒立円錐台の側面と一致しており、前記窪みの底面の半径Ｄ０の最小値Ｄ０ｍｉｎは、載置するウェハの規格上の最大径をＤｍａｘ、前記窪みの円弧半径の加工公差を△ｒとするとき、Ｄ０ｍｉｎ＝Ｄｍａｘ十２△ｒを満たす」のに対して、上記刊行物１においては、この点について言及されていない点。
　以下、相違点について検討すると、相違点１、２は、上記請求項１に係る発明において検討したとおりであり、相違点３については、ウエハは、略円形であるため、このウエハの外形に応じた形状とした窪みの側壁面を一様な傾斜面とすると、必然的に仮想倒立円錐台の側面と一致することになることは、当業者にとって自明であり、さらに、ウエハの規格上の最大径をＤｍａｘ、窪みの円弧半径の加工公差を△ｒとすると、窪みの底面の半径Ｄ０の最小値Ｄ０ｍｉｎが、Ｄ０ｍｉｎ＝Ｄｍａｘ十２△ｒ若しくはそれ以上ないと、公差の関係から、載置できないウエハが生じてしまうことも、当業者にとって自明であるから、相違点３に係る請求項２の発明の構成は、公差から決まる必然的寸法構成であって、なんら格別なものではなく、適宜選択しうる設計的事項であり、当業者が容易になしえたものである。
　また、本件の請求項２に係る発明の効果は、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術から予測しうるものである。
（２−１−３）本件の請求項３に係る発明について
　本件の請求項３に係る発明は、前述した請求項２に係る発明をさらに請求項３に記載のとおり限定するものであるので、本件の請求項３に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記相違点１，２，３に加えて、次の点で相違し、その余の点で一致している。
＜相違点４＞
　本件の請求項３に係る発明においては、「ウェハハンドリングロボットによりウェハを前記くし歯部に対して受け渡す場合において、前記ウェハハンドリングロボットの搬送時の最大位置ずれ量を△ｌとするとき、前記窪みの上縁の直径Ｄ１が、Ｄ０ｍｉｎ＋２△ｌ≦Ｄ１≦Ｄ０ｍｉｎ＋４△ｌを満たす」のに対して、上記刊行物１では、この点について言及されていない点。
　以下、相違点について検討すると、相違点１〜３は、上記請求項１及び２に係る発明において検討したとおりであり、相違点４については、上記最大位置ずれ量が△ｌの場合、窪みの上縁の直径Ｄ１が、Ｄ０ｍｉｎ＋２△ｌより小さければ、ウエハを載置できなくなることが生じることは、当業者にとって自明であり、かかる最大位置ずれ量を△ｌの２倍程度の余裕を見込んで上縁の直径Ｄ１をＤ０ｍｉｎ＋４△ｌ以下とすることは、当業者が適宜選択する単なる設計的事項に過ぎず、さらに、その上限をＤ０ｍｉｎ＋４△ｌとすることによって、それ以外の場合と比べて、なんら臨界的な作用、効果上の相違が生じるものとも認められない。したがって、相違点４における請求項３に係る発明の構成は、なんら格別なものではなく、当業者が容易になしえたことである。
　また、本件の請求項３に係る発明の効果は、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術から予測しうるものである。
（２−１−４）本件の請求項４に係る発明について
　本件の請求項４に係る発明は、前述した請求項３に係る発明をさらに請求項４に記載のとおり限定するものであるので、本件の請求項４に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、上記相違点１，２，３，４に加えて、次の点で相違し、その余の点で一致している。
＜相違点５＞
　本件の請求項４に係る発明においては、「前記窪みの深さｔ２は、（Ｄ１−Ｄ０）／２×ｔａｎ（６０°）に略等しい」のに対して、上記刊行物１では、この点について言及されていない点。
　以下、相違点について検討すると、相違点１〜４は、上記請求項１〜３に係る発明において検討したとおりであり、相違点５については、上記窪みの深さｔ２は、前述した寸法Ｄ１及びＤ０と、本件特許の図２に示された角度θを６０°とすることにより、必然的に決まる寸法であり、また、特許明細書には、相違点５における６０°という角度が、それ以外の角度と比べて、臨界的な作用、効果上の相違が生じるものとの記載はなく、格別な効果が生じるとも認められない。
　したがって、相違点５における請求項４に係る発明の構成は、なんら格別なものではなく、当業者が適宜選択しうる単なる設計的事項である。
　また、本件の請求項４に係る発明の効果は、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術から予測しうるものである。
（２−１−５）本件の請求項５に係る発明について
　本件の請求項５に係る発明は、前述した請求項１〜４に係る発明をさらに「前記側壁間の両側面からウエハの出し入れが可能なパススルー型である」点で限定するものであるが、上記刊行物１のものも「カセット」（ローディングカセット８，アンローディングカセット９）は、「対向する１対の面が開口され、一方側からウエハを挿入し、他方側から取出せるようになっており」（第５欄第４９〜６２行）、側壁間の両側面からウエハの出し入れが可能な「パススルー型」とされているので、本件の請求項５に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比すると、それぞれ引用する請求項に応じ相違点は、上記相違点１，２，３，４，５の点で相違し、その余の点で一致しており、それぞれの相違点については、上記検討したとおり、格別なものとはいえないものである。
  また、本件の請求項５に係る発明の効果は、刊行物１に記載された発明及び上記周知技術から予測しうるものである。
　
（２−２）刊行物４との対比
（２−２−１）本件の請求項１に係る発明について
　本件の請求項１に係る発明と上記刊行物４に記載された発明とを対比すると、上記刊行物４記載の「バッファ・カセット」が、本件の請求項１に係る発明における「ウエハ保持用カセット」に相当し、以下同様に「支持板１４ａ，ｂ，ｃ，ｄ」が「くし歯部」に、「テーパ部１６」が「上方に向かって末広がりの傾斜面となっている窪みの側端面」に相当しているといえるので、両者は、
「側壁のそれぞれの内面から互いに向かって突出し、ウェハが載置される少なくとも一対のくし歯部と、を備えるウェハ保管用カセットであって、前記くし歯部の先端のウェハ載置部分にウェハが収容される窪みが形成されており、前記窪みを画する側壁面が、上方に向かって末広がりの傾斜面となっているウェハ保管用カセット。」で一致しており、以下の点で相違している。
＜相違点６＞
　本件の請求項１に係る発明においては、窪みを画する側壁面の上縁部を丸めているのに対して、刊行物４には、窪みを画する側壁面の上縁部の形状について明確な記載がない点。
＜相違点７＞
　本件の請求項１に係る発明においては、所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁からくし歯部が突出しているのに対して、刊行物４に記載された発明では、くし歯部（支持板１４ａ，ｂ，ｃ，ｄ）が四隅に設けられた支柱から突出している点。
　以下、相違点について検討する。
　相違点６について
  相違点６は、上記刊行物１との対比における相違点２と同一であるので、上記（２−１−１）に説示の理由により、当業者が容易になしえたことといえる。
　相違点７について
　刊行物４の従来例の記載においては、所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁からくし歯部が突出しているものが記載されており（上記３．（１）セ．）、ウエハへのアクセス方向を多方向とする必要がないのであれば、所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁からくし歯部が突出するようにすることは、当業者が容易になし得たことである。
　また、本件の請求項１に係る発明の効果は、刊行物４に記載された発明及び周知技術から予測しうるものである。　
  さらに、本件の請求項２〜４に係る発明についての上記刊行物４に記載された発明との相違点は、上記相違点６，７に加えて、上記（２−１−２）〜（２−１−４）に提示した各相違点であって、当該箇所に説示の理由により、それぞれの相違点は、当業者が容易になし得たことといえる。
　加えて、本件の請求項５に係る発明は、前述した請求項１〜４に係る発明をさらに「前記側壁間の両側面からウエハの出し入れが可能なパススルー型である」点で限定するものであるが、刊行物４の上記セの記載及び刊行物１の上記イの記載にもあるとおり、パススルー型の保管用のカセットは周知であるので、上記請求項５で限定する点は、当業者が容易になしえたことである。
　また、本件の請求項２〜５に係る発明の効果は、刊行物４に記載された発明及び周知技術から予測しうるものである。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１〜５に係る発明は、上記刊行物１又は４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１〜５に係る発明についての特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項１〜５に係る発明の特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年２月１４日（２００１．２．１４）
【訂正の要旨】
　本件特許異議申立に係る訂正請求における訂正の要旨は、次のア〜ウのとおりである。
　ア．特許請求の範囲の請求項１中の「傾斜面となっていることを特徴とする」を、「傾斜面となっており、上縁部が丸められていることを特徴とする」と訂正する。
　イ．特許請求の範囲の請求項２中の「前記側壁面」を「前記傾斜面」と訂正する。
　ウ．明細書の段落【００１３】中の「前記側壁面」を「前記傾斜面」に訂正し、同じく【００２５】中の「福へき面」を「側壁面」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
ウェハ保管用カセット
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁と、
　前記側壁のそれぞれの内面から互いに向かって突出し、ウェハが載置される少なくとも一対のくし歯部と、
　を備えるウェハ保管用カセットであって、
　前記くし歯部の先端のウェハ載置部分にウェハが収容される窪みが形成されており、
　前記窪みを画する側壁面は、上方に向かって末広がりの傾斜面となっており、上縁部が丸められていることを特徴とするウェハ保管用カセット。
　【請求項２】　前記窪みの前記傾斜面は、前記側壁間の所定の鉛直軸を中心軸とする仮想倒立円錐台の側面と一致しており、前記窪みの底面の半径Ｄ０の最小値Ｄ０ｍｉｎは、載置するウェハの規格上の最大径をＤｍａｘ、前記窪みの円弧半径の加工公差をΔｒとするとき、Ｄ０ｍｉｎ＝Ｄｍａｘ＋２Δｒを満たすことを特徴とする請求項１記載のウェハ保管用カセット。
　【請求項３】　ウェハハンドリングロボットによりウェハを前記くし歯部に対して受け渡す場合において、前記ウェハハンドリングロボットの搬送時の最大位置ずれ量をΔｌとするとき、前記窪みの上縁の直径Ｄ１はＤ０ｍｉｎ＋２Δｌ≦Ｄ１≦Ｄ０ｍｉｎ＋４Δｌを満たすことを特徴とする請求項２記載のウェハ保管用カセット。
　【請求項４】　前記窪みの深さｔ２は、（Ｄ１−Ｄ０）／２×ｔａｎ（６０°）に略等しいことを特徴とする請求項３記載のウェハ保管用カセット。
　【請求項５】　前記側壁間の両側面からウェハの出し入れが可能なパススルー型であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のウェハ保管用カセット。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、枚葉式のマルチチャンバ型半導体製造装置等において、複数枚のウェハを保管するのに用いられるウェハ保管用カセットに関する、
　【０００２】
　【従来の技術】
　枚葉式のマルチチャンバ型半導体製造装置では、各チャンバにウェハを一枚ずつ自動的に供給するためにウェハハンドリングロボットが用いられる。チャンバ数が多い場合は、複数台のウェハハンドリングロボットが用いられ、ウェハハンドリングロボット間でのウェハ受け渡しを行うために、両者の間にウェハを一時保管するカセットが用いられる。このカセットは両側からウェハを出し入れすることが可能なものであり、パススルー型カセットと呼ばれている。
　【０００３】
　図４にパススルー型カセットをウェハハンドリングロボット間で使用している状態を概略的に示す。送り側のロボット１と、受け側のロボット２の間にパススルー型カセット３が配置される。ロボット１、２はそれぞれ駆動機構を備える本体１１、２１上に３６０度回転し、放射方向に先端が移動自在なアームアセンブリ１２、２２が配置されており、アームアセンブリ１２、２２の先端には、ウェハを保持するブレード１３、２３が取り付けられている。
　【０００４】
　カセット３は、それぞれのロボットに面した対向する一組の側面が開口した箱型形状をしており、開口側面の間の側壁に内側に突出するくし歯部３１が所定の間隔で複数設けられて、ウェハを収容するスロット３２を形成している。
　【０００５】
　送り側のロボット１は、アームアセンブリ１２を操作してブレード１３で保持したウェハ４をカセット３の空いているスロット３２に収容し、ウェハ４をブレード１３から取り外す。受け側のロボット２は、アームアセンブリ２２を操作してカセット３内のウェハ４’が収容されているスロット３２にブレード２３を伸ばして、ウェハ４’を保持した後、アームアセンブリ２２を引き込んでウェハ４’を取り出す。このようにしてウェハハンドリングロボット１、２間でウェハ４の受け渡しが行われる。逆方向へのウェハ４の受け渡しも同様の手法で行うことができる。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　半導体を精度よく製作するためには、ウェハハンドリングロボット１、２がウェハを正確かつ慎重に取り扱う必要がある。しかし、従来のパススルー型カセット３には以下のような問題点があった。
　【０００７】
　図５は、従来のカセット３のくし歯部３１およびスロット３２の構造を示した拡大断面図である。同図に示されるように、くし歯部３１の先端には、ウェハ４を載置できるように対向するくし歯部３１間で円形となる窪み３３が設けられている。そして、この窪み３３の側壁面３４’は、窪み３３の底面３５に対して直交している。
　【０００８】
　図６は、このカセットのスロット３２へのウェハ４の配置例を示している。この窪み３３内部に確実にウェハを収めるには、窪み３３の直径Ｄ１がウェハ４の規格上許容される最大径Ｄｍａｘより大きい必要がある。しかし、これをＤｍａｘと比較して大きくしすぎると、装置内での振動等によりカセットが動き、これにより窪み３３内部でウェハ４が位置ずれを起こした場合に、この位置ずれがロボット１、２の搬送精度を超えてロボット１、２が確実にウェハ４を保持できなくなったり、チャンバヘの正確な搬送ができずに、結果としてウェハの加工精度が劣化するおそれがある。
　【０００９】
　逆に、同図（ｂ）に示されるようにこの窪み３３の直径Ｄ１をＤｍａｘと同程度以下とした場合、窪み３３内部に収められたウェハが振動等により大きな位置ずれを起こすことは防止できる。しかし、ロボット１、２の搬送精度に起因する位置ずれが大きい場合には、ウェハ４が窪み３３の縁に乗り上げてしまうおそれがある。こうなった場合は、ロボット１、２のブレード１３、２３がウェハ４を保持することが困難になるとともに、窪み３３の縁が直角であるため、この直角部分でウェハ４に傷がつきやすい。そして、ウェハ４が傷つけられて生成された微粒子がマルチチャンバ内のプロセスチャンバに侵入することで、各種の成長プロセスや処理プロセスに悪影響を及ぼし、処理半導体の性能を劣化させる原因ともなる。
　【００１０】
　本発明は、上記の問題点に鑑みて、ウェハを確実に位置決めでき、ウェハ損傷のおそれのないウェハ保管用カセットを提供することを課題とする。
　【００１１】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を達成するため、本発明のウェハ保管用カセットは、所定の間隔をおいて互いに対向して配置された一対の側壁と、これらの側壁のそれぞれの内面から互いに向かって突出し、ウェハが載置される少なくとも一対のくし歯部と、を備えるウェハ保管用カセットであって、くし歯部の先端のウェハ載置部分にウェハが収容される窪みが形成されており、この窪みを画する側壁面が、上方に向かって末広がりの傾斜面となっており、上縁部が丸められていることを特徴とする。
　【００１２】
　これによれば、窪みの側壁面には傾斜面が形成され、この傾斜側壁面の上縁は、鈍角となる。したがって、万一、ウェハが窪みの縁に乗り上げても縁が丸められて鋭利でないため傷がつきにくい。また、ウェハの縁が窪みの傾斜側壁面上に置かれた場合は、ウェハの端がこの傾斜側壁面を滑ることによりウェハは最終的に窪みの底面上に傾斜することなく載置される。
　【００１３】
　さらに、窪みの傾斜面は、側壁間の所定の鉛直軸を中心軸とする仮想倒立円錐台の側面と一致しており、窪みの底面の半径Ｄ０の最小値Ｄ０ｍｉｎは、載置するウェハの規格上の最大径をＤｍａｘ、窪みの円弧半径の加工公差をΔｒとするとき、Ｄ０ｍｉｎ＝Ｄｍａｘ＋２Δｒを満たすことが好ましい。これによれば、径Ｄｍａｘを有するウェハを確実に窪みの底面に載置できる。
　【００１４】
　そして、ウェハハンドリングロボットによりウェハをくし歯部に対して受け渡す場合において、ウェハハンドリングロボットの搬送時の最大位置ずれ量をΔｌとするとき、窪みの上縁の直径Ｄ１はＤ０ｍｉｎ＋２Δｌ≦Ｄ１≦Ｄ０ｍｉｎ＋４Δｌを満たすことが好ましい。
　【００１５】
　これによれば、窪みの上縁の直径は、ウェハが中心から平面方向のどの方向にΔｌ〜２Δｌずれても窪みの内部に収容しうるだけの余裕がある。ウェハハンドリングロボットによる受け渡し時のウェハの位置ずれ量は最大Δｌであるから、受け渡しによってウェハが窪みの外にはみ出すことはない。
　【００１６】
　さらに、窪みの深さｔ２は、（Ｄ１−Ｄ０）／２×ｔａｎ（６０°）に略等しいことが好ましい。
　【００１７】
　これによれば、窪みの傾斜側面が窪みの底面となす角度は約６０°となる。したがって、窪みの傾斜側面上にウェハの縁が乗り上げた場合に、ウェハの自重によりウェハの縁はこの傾斜側面を滑り、最終的に窪みの底面にさらに達しやすくなる。一方、窪みの上縁の角度は１２０°であるから、角は鋭利でない状態が維持される。
　【００１８】
　また、側壁間の両側面からウェハの出し入れが可能なパススルー型であってもよい。これによれば、２つのロボット間でウェハを確実に受け渡すことができる。
　【００１９】
　【発明の実施の形態】
　以下、図面を参照して本発明の好適な実施の形態を説明する。なお、図面内の寸法、形状は説明のために簡略化して図示してあり、実際の寸法、形状と正確な縮尺比で対応するものではない。
　【００２０】
　図１に本発明のパススルー型カセットの形状を示す。同図（ａ）は、スロット部分の断面斜視図であり、同図（ｂ）は、その縦断面図である。
　【００２１】
　本発明のパススルー型カセット３は、基本的には図４に示した従来構成と同様な略箱型形状をなし、対向する側面が開口されており、この対向する側面の間の一対の側壁３０の内側には、図１に示すように所定の間隔ｐをおいて対向して突出する厚さｔ１の複数のくし歯部３１を有する。くし歯部３１の先端には、窪み３３が形成されており、その傾斜側壁面３４は、窪み３３に載置されるウェハ４の理想的配置中心３６を中心軸とする仮想倒立円錐台３７の側面に一致している。この仮想倒立円錐台３５は、直径Ｄ１と直径Ｄ０の二つの底面にはさまれており、大きい側の直径Ｄ１の底面がくし歯部３１の上面を含む平面に一致する。そして、小さい側の直径Ｄ０の底面が窪み３３の底面３５を含む平面に一致する。したがって、仮想円錐台３５の高さと窪み３３の深さは等しく、以下、これをｔ２で表す。図２は、この窪み３３の傾斜側壁面３４の拡大図である。したがって、傾斜側壁面３４と窪み３３の底面３５は、角度θをなす。ここで、傾斜側壁面３４の上縁、下縁はそれぞれ丸められていてもよい。
　【００２２】
　８インチウェハ（直径２００ｍｍ）に対する好適な各寸法の一例は、Ｄ０が２０１．０２０ｍｍ、Ｄ１が２０１．７５４ｍｍ、ｔ１が２．１５９ｍｍ、ｔ２が０．６３５ｍｍである。以下、これらの寸法値に設定した根拠について説明する。
　【００２３】
　まず、窪み３３の底面３５の直径は、ウェハ４が確実に収容される大きさである必要がある。８インチウェハのＳＥＭＩ規格による直径は２００ｍｍ±０．５ｍｍであるから、最大値Ｄｍａｘは２００．５ｍｍとなる。これに対してカセット３の加工公差が半径あたり±０．２５４ｍｍあるから、小さめに作られる場合を見込んでこの最大径のウェハ４を確実に収容するには、窪み３３の最小底面直径Ｄ０ｍｉｎは２００．５＋２×０．２５４＝２０１．００８ｍｍ必要である。本実施形態では、さらに余裕をもってＤ０を２０１．０２ｍｍとした。この大きさはＤ０ｍｉｎにできるだけ近いことが好ましい。寸法に余裕が有ると、ウェハの位置ずれを許すことになるからである。
　【００２４】
　次に、くし歯部３１の厚さｔ１と、窪み３３の深さｔ２は、スロット３２にウェハ４を保持する強度を保つ必要がある。そのため、本実施形態では、ｔ１を０．０８５インチに相当する２．１５９ｍｍ、ｔ２を０．０２５インチに相当する０．６３５ｍｍとした。窪み３３の深さｔ２は、くし歯部３１の厚さｔ１の約３０％に相当する。
　【００２５】
　最後に、窪み３３の上縁の直径に相当するＤ１については、スロット３２にウェハを配置するロボット１、２（図４参照）の搬送精度に起因する位置ずれによりウェハ４の位置がずれても窪み３３の上縁からはみ出さないようにウェハ４の最大直径Ｄｍａｘより少なくとも各径方向についてそれぞれ最大の立置ずれ量Δｌだけ大きくする必要がある。また、Ｄ０に対するこの余裕が大きすぎると、結果的に窪み３３内部でのウェハ４の位置ずれを許すことになるので、Ｄｍａｘに対するこの余裕は半径方向について２Δｌ以内とすることが好ましい。本実施形態のカセット３が適用されるロボット１、２のウェハ平面方向の搬送精度は１軸方向に±０．２ｍｍである。したがって、２軸方向である平面方向には最大０．２×２０．５＝０．２８２８ｍｍずれる可能性がある。つまりこれがΔｌに相当する。したがって、Ｄ２は、Ｄｍａｘに加工公差を加えたＤ０ｍｉｎである２０１．００８ｍｍより２Δｌ〜４Δｌ、つまり０．５６５６ｍｍ〜１．１３１２ｍｍ広い２０１．５７３６ｍｍ〜２０２．１１３９２ｍｍであればよい。ここでは、加工を容易にするため、傾斜面３４が窪み３３の底面となす角θが６０度となるように設定し、２０１．７５４ｍｍとした。このように傾斜側壁面３４の傾斜角をある程度急にすることにより、ウェハ４の縁が傾斜側壁面３４上に配置された場合でも、ウェハ４はその自重により傾斜側壁面３４上を滑って最終的に窪み３３の底面に水平に配置される可能性が増す。
　【００２６】
　本発明のカセット３を図４に示されるロボット１、２の間において使用した場合のウェハ４の動作を図３を用いて説明する。ウェハ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄはそれぞれ正規のウェハ配置位置からの位置ずれ状態の異なるウェハ４を比較して示している。ウェハの大きさが規格内であれば、正規位置に配置されたウェハ４ａ、４ｂは、窪み３３の底面３５に平行に配置される。装置内の振動等により位置ずれが起こった場合でも、ウェハ４ａ、４ｂは、窪み３３の底面３５部分に収められ、位置ずれを起こすことがない。
　【００２７】
　一方、ウェハハンドリングロボットの搬送精度により大きな位置ずれが起こった場合、ウェハ４ｃは、一方の縁が窪み３３の傾斜側壁面３４に接して配置される。この場合、ウェハ４ｃのこの縁は、傾斜側面３４上を自重によって滑り、ウェハ４ｃは、最終的にウェハ４ｂと同様の位置に落ち着く。このため、ウェハが確実に位置決めされ、次にウェハハンドリングロボットでウェハを取り出す際に正確にウェハとブレードを位置合わせしてウェハを取り出すことができる。
　【００２８】
　万一、ウェハ搬送時の振動等により、ロボットの搬送精度を大きく超える位置ずれが発生したウェハ４ｄの場合は、傾斜側壁面３４の縁にウェハ４ｄが乗り上げた形になるが、傾斜側壁面３４の上縁が鈍角であるか、丸められているので、ウェハ４ｄの底面が削られて傷つくおそれがない。したがって、微粒子がチャンバー内に入り込むこともなく、製造プロセスの安定性も向上する。
　【００２９】
　なお、上記実施形態のカセットはパススルー型であるが、開口が一方の側面のみに形成されたカセットに対しても本発明は適用可能である。
　【００３０】
　【発明の効果】
　以上、説明したように本発明によれば、ウェハを収容するカセットの窪みの側面を傾斜側壁面とし、窪みの底面の最小径をウェハの最大許容径とほぼ等しくし、上縁の径をウェハ搬送用ロボットの搬送精度を考慮した所定の大きさに設定しているので、載置されたウェハの振動等による位置ずれが抑えられる。また、搬送用のウェハハンドリングロボットの搬送精度に伴い位置ずれが発生した場合でも、傾斜側面でウェハが窪みの所定位置に戻る可能性が高く、万一窪みからはみ出した場合でも窪みの縁が鈍角なのでウェハが傷つくことがない。
　【００３１】
　さらに、傾斜側面が窪みの底面となす角度を６０度とすれば、より効果的である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　（ａ）は本発明のカセットの分解斜視図であり、（ｂ）はその一部縦断面図である。
　【図２】
　図１のカセットの窪みの拡大断面図である。
　【図３】
　図１のカセットヘのウェハの配置例を示す図である。
　【図４】
　ウェハ収容用カセットの使用形態を示す図である。
　【図５】
　従来のカセットの拡大断面図である。
　【図６】
　（ａ）（ｂ）はそれぞれ図５のカセットヘのウェハの配置例を示す図である。
　【符号の説明】
　１、２…ウェハハンドリングロボット、３…ウェハ収容用カセット、１１、２１…ロボット本体、１２、２２…アームアセンブリ、１３、２３…ブレード、３０…カセット側壁、３１…くし歯部、３２…スロット、３３…窪み部、３４…窪み側壁面、３５…窪み底面、３６…仮想倒立円錐台、３７…仮想倒立円錐台中心。