【事件の表示】
　特許第２９４２２１３号「塗布方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９４２２１３号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
I．手続きの経緯
　本件特許第２９４２２１３号の請求項１に係る発明についての出願は、平成２年４月６日に出願した特願平２−９１６８５号の一部を平成９年４月３日に新たな特許出願としたものであって、平成１１年６月１８日にその特許の設定登録がなされた。
　その後、本件請求項１に係る特許に対して、大日本スクリーン製造株式会社、松本佳世子及び松本正孝より特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１２年８月１１日付けで訂正請求がなされた。
　
II．訂正の適否についての判断
１．訂正の内容
（１）特許請求の範囲に関する訂正
「【請求項１】アウターカップの内側に設けられるインナーカップ内に板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめるようにしたことを特徴とする塗布方法。」を
「【請求項１】アウターカップの内側に設けられる板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにしたことを特徴とする塗布方法。」と訂正する。
（２）発明の詳細な説明に関する訂正
Ａ）特許公報の段落【０００７】の記載において、「・・・板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめるようにした。」を　
「・・・板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにした。」と訂正する。
Ｂ）特許公報の段落【０００８】の記載において、「・・・板状被処理物の表面に塗布した塗布液を均一に拡散せしめる。」を　
「・・・板状被処理物の表面に塗布した塗布液を均一に拡散せしめる。以上の処理においてインナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。そして、塗布された板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出す。」と訂正する。
Ｃ）特許公報の段落【００２０】の記載において、「【発明の効果】以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、アウターカップ内に一旦回収した塗布液が霧状になって外部に発散して浮遊することが防げる。したがって、塗布後に蓋体を開けて被処理物を取り出す際等に空気中を浮遊している塗布液が固化した粉体が被処理物表面に付着して欠陥品となることを防止でき歩留まりが大幅に向上する。」を　
「【発明の効果】以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、インナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なしジスト被膜を得ることができる。また、アウターカップ内に一旦回収した塗布液が霧状になって外部に発散して浮遊することが防げる。また、板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出すことで、塗布後に蓋体を開けて被処理物を取り出す際等に空気中を浮遊している塗布液が固化した粉体が被処理物表面に付着して欠陥品となることを防止でき歩留まりが大幅に向上する。」と訂正する。
２．訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
　上記（１）の訂正は、ａ）板状被処理物をセットする場所に関し、訂正前では「アウターカップの内側に設けられるインナーカップ内」であるのに対し、訂正後は「アウターカップの内側に」と訂正するものであるが、訂正後の請求項１に係る発明でも、「インナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ」と記載されており、訂正後の請求項１に係る発明も、板状被処理物をセットする場所はインナーカップ内であると認められる。
　更に、上記（１）の訂正として、ｂ）「、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにしたこと」という構成要件を付加して構成を限定するものである。
　以上から、上記（１）の訂正は特許請求の範囲を減縮するものと認められる。そして、上記（１）の訂正は、願書に添付した明細書の段落【００１４】、【００１８】に記載した事項の範囲内におけるものと認められ、新規事項の追加に該当せず、また実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではないものと認められる。
　上記（２）のＡ）、Ｂ）、Ｃ）の訂正は、特許請求の範囲の上記訂正（１）に伴って発明の詳細な説明の記載を整合させるものであり、明瞭でない記載の釈明に該当する。そして、上記（２）のＡ）、Ｂ）、Ｃ）の訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
３．むすび　
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。　
　
III．特許異議の申立の概要
１．特許異議申立人大日本スクリーン製造株式会社は、甲第１号証（特開平１−１３５５６５号公報：取消理由通知に引用した刊行物３）、甲第２号証（特開昭６３−２４８４７１号公報：取消理由通知に引用した刊行物４）、甲第３号証（特開昭５９−２１６６５５号公報）、及び甲第４号証（特開平１−１５１９７２号公報）を提出し、請求項１に係る発明は、甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本件請求項１に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされた旨、主張している。
２．特許異議申立人松本佳世子は、甲第１号証（特開昭６３−１００９７３号公報：取消理由通知に引用した刊行物１）、甲第２号証（特開平１−１３５５６５号公報：取消理由通知に引用した刊行物３）、甲第３号証（特開昭５７−８７８６２号公報：取消理由通知に引用した刊行物２）、甲第４号証（特開昭６３−２４８４７１号公報：取消理由通知に引用した刊行物４）、及び参考資料１（特開昭６２−２２４３１号公報）を提出し、請求項１に係る発明は、甲第１号証記載の発明であって、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない。したがって、本件請求項１に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされた旨、主張している。
　また、本件請求項１に係る発明の実施例に記載された塗布方法であっても、甲第１〜４号証及び参考資料１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない旨、主張している。
３．特許異議申立人松本正孝は、甲第１号証（特開昭６３−２４８４７１号公報：取消理由通知に引用した刊行物４）、甲第２号証（特開平１−１３５５６５号公報：取消理由通知に引用した刊行物３）、甲第３号証（特開昭５０−３６５３５号公報）、及び甲第４号証（特開平３−２９３０５６号公報）を提出し、請求項１に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明、あるいは甲第２〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。したがって、本件請求項１に係る発明の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされた旨、主張している。
　
IV．特許異議申立てについての判断
１．本件発明
　上記II．で示したように、訂正請求による訂正が認められるので、本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という）は、訂正請求書に添付した訂正明細書の請求項１に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】アウターカップの内側に設けられる板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにしたことを特徴とする塗布方法。」
２．引用刊行物記載の発明　
　刊行物１．特開昭６３−１００９７３号公報　
　刊行物２．特開昭５７−８７８６２号公報　
  刊行物３．特開平１−１３５５６５号公報
  刊行物４．特開昭６３−２４８４７１号公報
　イ）当審が通知した取消理由で引用した上記刊行物１には、
（１）「本発明の塗布装置においては、回転軸によって回転させられる回転容器内に、回転軸から離間かつ傾斜させて基板を配置させ、基板に塗布材を供給した後に回転容器と一体的に回転するように構成している。」（公報第２頁左上欄第１０〜１４行）、及び
（２）「第１図に本発明の塗布装置をレジストの塗布装置に応用した実施例を示した。基板１は、回転円筒２の内側に１つ又は複数置かれる。回転円筒２と同一中心に配した軸３があり、軸３はベルト４、プーリー５を介しモー夕６で回転駆動される。気密室７はシールリング８、上ぶた９、外筒１０、軸封器１１により気密が保たれている。１２は加圧、減圧用の配管接続口を示す。１３はドレン排出口で図示されていないトラップと接続される。１４はレジスト溶液注入口で図示しないレジスト加圧器に接続される。注入口１４から注入されたレジスト溶液はプレナム室１５に入り軸３に設けた中空部１６を流れ分配管１７を通り先端ノズル１８より基板１端面へ流出する構造である。ノズル１８はレジスト溶液を円形の基板１全面に渡り塗布するため第２図に示すように半円形の吹出ノズルを有している。また基板１を支持するため第２図に示すように基板固定金具２０，２１を備えている。固定金具２０は下部の支え、固定金具２１は上部の支えである。固定金具２０，２１により静止又は回転中の基板を安定させることができる。固定金具２０，２１は第１図で示すところの回転円筒２の内側に設けられている。回転円筒２外周面に小孔２２を円周方向に配し余剰となったレジスト溶液の排出を容易にしている。回転円筒２には上ブタ２３があり、レジスト溶液の蒸発が抑制されるようになっている。」（同２頁右上欄第１２行〜同頁左下欄第１９行）が記載されている。
　上記記載及び図面等を参酌すると、刊行物１には、
「外筒１０の内側に設けられる回転円筒２内に基板１（図面では円形基板）をセットし、外筒１０底部に加圧、減圧用の配管接続口１２及びドレン排出口１３を設け、この停止している基板１の表面にレジスト溶液を吹出し、次いで回転円筒２上面を上ブタ２３で、外筒１０上面を上ぶた９でそれぞれ閉塞し、次いで外筒１０及び上ぶた９を回転させずに回転円筒２及び上ブタ２３を基板１と一体的に回転せしめ、基板１の表面に吹出したレジスト溶液を遠心力にて均一に拡散せしめるようにした塗布方法」、及び
「回転円筒２外周面に小孔２２を円周方向に配し余剰となったレジスト溶液の排出を容易にしている」点が記載されているものと認められる。
　ロ）当審が通知した取消理由で引用した刊行物２には、
（３）「上記実施例においては、半導体装置の製造工程・・・円形、方形その他形状の板状物体に塗布する場合にも適用できることは勿論である。」（公報第３頁左欄第１行〜７行）が記載されている。
　ハ）当審が通知した取消理由で引用した刊行物３には、
（４）「本発明は・・・フォトマスク基板（以下基板という）又は液晶デイスプレイに用いられるガラス基板のパターンを形成する・・・」（公報第１頁左欄第１８行〜同頁右欄第１行）、
「スピンドルの上面に基板を吸着させて保持し、スピンドルの回転を停止させた状態で基板表面の中心に塗布液を滴下すると共にスピンドルを回転させ、該スピンドルの回転遠心力により塗布液を全面に拡がらせ」（公報第１頁右欄第１０行〜１５行）、及び
（５）「塗布液を塗布する基板を載置して回転するスピンドルと、該スピンドル上の基板を包むようになすと共にスピンドルと同期して回転する容器を容器本体と蓋体の分離構造に構成し、且つ容器本体底部には廃液排出用の複数の小孔やチューブなどを設けたことを特徴とした塗布装置」（特許請求の範囲第１項）、
「第２図は本発明装置の部分縦断面図で１はスピンドル、２は該上部で真空吸引手段を備えたチャックヘッド、３は基板であってチャックヘッド２に吸着されてなる。４及び４’は上記基板３を包むように配設される容器本体及び蓋体であって、次の如き構成である。」（公報第２頁右上欄第８行〜１３行）が記載されている。
　ニ）当審が通知した取消理由で引用した刊行物４には、
（６）「尚、本実施例装置では塗布材の滴下部を図示していないが、この滴下部は前記第１の容器１１が同図の２点鎖線に示す位置に上昇した際に、ウエハ４の上方に移動し、ここで所定量の塗布材（本実施例ではレジスト材）をウエハ４の中心部に滴下し、その後初期位置に復帰移動するようになっている。以上のように構成された実施例装置の作用について説明する。先ず、昇降駆動部１４を駆動して第１の容器１１を図示の２点鎖線に示す位置まで上昇させ、処理容器１０を開放した状態で、ウエハ４の設定及び前記滴下部５によるレジスト材の滴下を順次行う。その後、昇降駆動部１４の駆動によって第１の容器１１を下降させて、第１，第２の容器１１，１２によって処理容器１０を密閉する。」（公報第３頁左下欄第４行〜１９行）が記載されている。
３．対比・判断
　本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比する。
本件発明では、願書に添付した明細書の段落【００１７】の「そして図３に示すように、アーム３０を下降することで蓋体３５によりインナーカップ２２の上面を閉塞し、蓋体３６によりアウターカップ２３の上面開口を閉塞したならば、スピンナーによって真空チャックとインナーカップ２２を一体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液を被処理物Ｗの表面に均一に拡散塗布する。」、願書に添付した明細書の段落【００１８】の「そして、以上の処理においてインナーカップ２２内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。・・・」、及び訂正請求書に添付した訂正明細書の段落【００２０】の「以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、インナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので・・・」の記載等から、ドレインパイプ、ドレイン回収パイプ、及び排気口を具備する塗布装置において、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転させれば、インナーカップ内の減圧状態を維持できると記載している。
　一方、刊行物１に記載された発明の「小孔２２」、「ドレイン排出口１３」、及び「加圧、減圧用の配管接続口１２」は、夫々の機能に照らし、本件発明の実施例の「ドレインパイプ」、「ドレイン回収パイプ」、及び「排気口」に相当するものと認められる。
　してみれば、本件発明の実施例と同一の機能である小孔、ドレイン排出口、及び加圧、減圧用の配管接続口を具備する刊行物１記載の塗布装置も、回転円筒２及び外筒１０の上面開口を上ブタ２３及び上ぶた９でそれぞれ閉塞した状態で回転円筒２を回転せしめるようにしているので、気密室７及び回転円筒２内は減圧状態を維持できるものと認められる。
　しかも、この刊行物１に記載された発明も、塗布処理を終了した後に基板１を取り出すには、まず上ぶた９を開け、次に上ブタ２３を開ける以外の手順は考えられないから、上ぶた９を開けた時点で気密室７の減圧状態は解除され、小孔２２により連通している回転円筒２内の減圧状態も解除される。しかる後に上ブタ２３を開けて基板１を取り出すこととなるものであって、このことはとりもなおさず、刊行物１に記載された発明も、回転円筒２内の減圧状態を解除した後、回転円筒２内から基板１を取り出すものと認められる。
　上記判断を踏まえ、本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された発明の「外筒１０」、「回転円筒２」、「基板１」、「レジスト溶液」、「上ブタ２３」、及び「上ぶた９」は、夫々の機能に照らし、本件発明の「アウターカップ」、「インナーカップ」、「被処理物」、「塗布液」、「インナーカップ用蓋体」、及び「アウターカップ用蓋体」に相当するものと認められるので、両者は、
「アウターカップの内側に設けられる被処理物をセットし、この停止している被処理物の表面に塗布液を塗布し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を被処理物と一体的に回転せしめ、被処理物の表面に塗布した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から被処理物を取り出すようにした塗布方法」の点で一致し、
【相違点１】被処理物の形状に関して、本件発明は板状被処理物であるのに対し、刊行物１に記載されたものでは単に基板（図面では円形基板）である点、及び
【相違点２】被処理物への塗布液の塗布方法に関し、本件発明は滴下するのに対し、刊行物１に記載されたものでは吹出す点、
で相違するものと認められる。
　ここで、上記相違点を検討する。
　【相違点１について】
　被処理物を板状に限定する点は、技術分野を同一とする刊行物２に記載されている。
　したがって、刊行物１に記載の基板に代えて、板状被処理物とすることは、当業者が容易に想到しうるものものであり、相違点１における本件発明に係る構成は当業者が容易に想到し得る事項にすぎないものと認められる。　
　【相違点２について】
　塗布液を滴下する点は、技術分野を同一とする刊行物３、４に記載されている。
  したがって、刊行物１に記載された塗布液の吹出しに代えて、塗布液を滴下することは、当業者が容易に想到しうるものものであり、相違点２における本件発明に係る構成は当業者が容易に想到し得る事項にすぎないものと認められる。
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は、その出願前に国内において頒布された刊行物１乃至４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、本件発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認められる。
  よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１２月１４日（２０００．１２．１４）
【訂正の要旨】
１．訂正の要旨
（１）特許請求の範囲の減縮を目的として、「【請求項１】アウターカップの内側に設けられるインナーカップ内に板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめるようにしたことを特徴とする塗布方法。」を
「【請求項１】アウターカップの内側に設けられる板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにしたことを特徴とする塗布方法。」と訂正する。
（２）明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書の段落【０００７】の記載において、「・・・板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめるようにした。」を
「・・・板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出すようにした。」と訂正する。
（３）明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書の段落【０００８】の記載において、「・・・板状被処理物の表面に塗布した塗布液を均一に拡散せしめる、」を
「・・・板状被処理物の表面に塗布した塗布液を均一に拡散せしめる。以上の処理においてインナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。そして、塗布された板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出す。」と訂正する。
（４）明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書の段落【００２０】の記載において、「【発明の効果】以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、アウターカップ内に一旦回収した塗布液が霧状になって外部に発散して浮遊することが防げる。したがって、塗布後に蓋体を開けて被処理物を取り出す際等に空気中を浮遊している塗布液が固化した粉体が被処理物表面に付着して欠陥品となることを防止でき歩留まりが大幅に向上する。」を
「【発明の効果】以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、インナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なしジスト被膜を得ることができる。また、アウターカップ内に一旦回収した塗布液が霧状になって外部に発散して浮遊することが防げる。また、板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出すことで、塗布後に蓋体を開けて被処理物を取り出す際等に空気中を浮遊している塗布液が固化した粉体が被処理物表面に付着して欠陥品となることを防止でき歩留まりが大幅に向上する。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
塗布方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　アウターカップの内側に設けられる板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ
、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出す
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）の製造工程等に用いる塗布方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ブラウン管（ＣＲＴ）に代わる表示装置として液晶ディスプレイが注目されてる。液晶ディスプレイは表面に画素を構成する電極や素子を形成した２枚のガラス基板の間に液晶を注入した構造となっている。そして各画素を薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）や金属／絶縁体／金属接合（ＭＩＭ）などの素子で駆動せしめるアクティブマトリクス方式が高画質の画面が得られるため主流になりつつある。
　【０００３】
　そして、上記の薄膜トランジスタをガラス基板上に形成する技術はシリコンウェハ等に集積回路を形成する半導体製造技術をそのまま応用している。レジスト液の塗布も一連の工程のうちの一つであり、この工程に用いる塗布装置として特開平１−１３５５６５号公報に開示される装置が知られている。
　【０００４】
　特開平１−１３５５６５号公報に開示される塗布方法は、アウターカップ内にインナーカップを回転自在に配置し、このインナーカップ内のチャックにシリコンウェハを固定し、インナーカップの上面開口を蓋体で閉じると共に蓋体の中心部に取り付けたノズルからシリコンウェハの表面に塗布液を滴下し、インナーカップとともにシリコンウェハを回転させ、遠心力で塗布液を均一に拡散塗布するようにしている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述した特開平１−１３５５６５号公報に開示される塗布方法にあっては、アウターカップとインナーカップとの間に隙間を積極的に設け、この隙間を介して空気の流れをアウターカップ内に引き込むようにしているが、実際にはインナーカップとアウターカップとの間において乱流が発生し、一旦アウターカップ内に回収された塗布液が外部に霧状等となって浮遊し、この浮遊している塗布液の粒子が被処理物表面に付着してスポット的な欠陥を生じる。とくに液晶ディスプレイの製造にあってはガラス基板上に多数のトランジスタを埋め込む（１平方センチ当たり５０個以上）こととなり、このうちの１個のトランジスタが不良でも基板全体が不良品ということになる。これがアクティブマトリクス方式の液晶ディスプレイの製造やＬＳＩなどの半導体製造時の塗布方法における歩留まりの面における決定的な差となっている。
　【０００６】
　また、特開平１−１３５５６５号公報に開示される塗布方法にあっては、インナーカップの上面開口を閉じる蓋体の中央に塗布液のノズルが臨んでおり、或いは蓋体の中央に開口が形成されているので、インナーカップを回転させてもインナーカップ内は乱流状態を防止できず、塗布ムラが発生し均一な被膜を得ることができない。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決すべく本発明に係る塗布方法は、アウターカップの内側に設けられるインナーカップ内に板状被処理物をセットし、この停止している板状被処理物の表面に塗布液を滴下し、次いでインナーカップ上面をインナーカップ用蓋体で、アウターカップ上面をアウターカップ用蓋体でそれぞれ閉塞し、次いでアウターカップ及びアウターカップ用蓋体を回転させずにインナーカップ及びインナーカップ用蓋体を板状被処理物と一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に滴下した塗布液を遠心力にて均一に拡散せしめ
、次いで、インナーカップ内の減圧状態を解除した後、インナーカップ内から板状被処理物を取り出す
　【０００８】
　【作用】
　インナーカップ内にガラス基板等の板状被処理物をセットし、この板状被処理物の表面に塗布液を塗布し、次いでインナーカップ上面及びアウターカップ上面を蓋体で閉塞した状態で板状被処理物とインナーカップを一体的に回転せしめ、板状被処理物の表面に塗布した塗布液を均一に拡散せしめる。
以上の処理においてインナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。そして、塗布された板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出す
　【０００９】
　【実施例】
　以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る塗布装置を組み込んだ被膜形成ラインの平面図、図２は同塗布装置の蓋体を上げた状態の断面図、図３は同塗布装置の蓋体を閉じた状態の断面図である。
　【００１０】
　被膜形成ラインは最上流部（図１において左端）にガラス基板等の板状被処理物Ｗの投入部１を設け、この投入部１の下流側に本発明に係る塗布装置２を配置し、この塗布装置２の下流側に順次、減圧乾燥装置３、被処理物Ｗの裏面洗浄装置４及びホットプレート５ａ・・・を備えた加熱部５を配置し、投入部１から加熱部５に至るまでは搬送装置６によって被処理物Ｗの前後端の下面を支持した状態で搬送し、加熱部５においては垂直面内でのクランク動をなす搬送装置７により被処理物Ｗの下面を支持した状態で各ホットプレート５ａ上を順次移し換えるようにしつつ被処理物Ｗを搬送するようにしている。
　【００１１】
　次に塗布装置２の詳細について図２及び図３に基づいて説明する。塗布装置２はスピンナー装置の軸２１に取り付けられたインナーカップ２２の外側にアウターカップ２３を固設している。これらインナーカップ２２及びアウターカップ２３は下面を閉じ、上面を開放し、インナーカップ２２内の中央部には被処理物Ｗを吸着固定する真空チャック２４を設け、更にインナーカップ２２の側壁下部にはドレインパイプ２５を取り付けている。
　【００１２】
　また、アウターカップ２３内にはドレイン回収リング２６を配置している。このドレイン回収リング２６は内側壁を外側壁よりも低くして前記ドレインパイプ２５の先端を臨ませ且つ底壁を一方に傾斜せしめ最も低くなった位置にドレイン回収パイプ２７を取り付けている。また、アウターカップ２３の閉じられた下面には排気口２８が形成されている。
　【００１３】
　一方、インナーカップ２２及びアウターカップ２３の上方には図１に示すようにアーム２９、３０を配置している。これらアーム２９、３０は直線動、回転動、上下動或はこれらを合成した動きが可能で互いに干渉しないようになっている。そして、アーム２９にはレジスト液等の塗布液を塗布するためのノズルを取り付け、アーム３０の先端には下方に伸びる軸３１を取り付け、この軸３１にベアリング３２及び磁気シール３３を介してボス部３４を回転自在に嵌合し、このボス部３４にインナーカップ２２の上面開口を閉塞するための円板状をなすアルミニウム製の蓋体３５を取り付けている。また、この蓋体３５の上方アーム３０の先端下面にはアウターカップ２３の上面開口を閉塞するための蓋体３６を固着している。
　【００１４】
　また、前記軸３１にはノズル孔３７を穿設し、このノズル孔３７をジョイント３８を介して窒素ガスなどの圧気源につなげている。
　【００１５】
　一方、蓋体３５の下面にはビス３９によって整流板４０を取り付けている。この整流板４０の外径寸法はインナーカップ２２の内径寸法よりも若干小径とされ、また蓋体３５の下面と整流板４０上面との間に形成される空間に前記ノズル孔３７が開口する。
　【００１６】
　以上において、ガラス基板等の被処理物Ｗ表面にレジスト液を均一に塗布するには、インナーカップ２３の上面を開放して真空チャック２４上に固着されている被処理物Ｗの表面にアーム２９に取り付けられているノズルからレジスト液を滴下し、次いでアーム２９を後退せしめて図２に示すようにインナーカップ２２及びアウターカップ２３上にアーム３０を回動させて蓋体３５、３６を臨ませる。
　【００１７】
　そして図３に示すように、アーム３０を下降することで蓋体３５によりインナーカップ２２の上面を閉塞し、蓋体３６によりアウターカップ２３の上面開口を閉塞したならば、スピンナーによって真空チャックとインナーカップ２２を一体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液を被処理物Ｗの表面に均一に拡散塗布する。
　【００１８】
　そして、以上の処理においてインナーカップ２２内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。またレジスト液が均一に塗布された被処理物Ｗを取り出すには、先ずノズル孔３７を介して蓋体３５と整流板４０の間の空間に窒素ガス等を導入し減圧状態を解除して行う。このときノズル孔３７からのガスは整流板４０があるため、被処理物Ｗ表面のレジスト液に直接吹き付けられることがない。
　【００１９】
　尚、実施例にあってはアウターカップの開口を閉じる蓋体３６をアーム３０の先端下面に取り付けるようにしたが、アーム３０以外の部材に取り付けるようにしてもよい。
　【００２０】
　【発明の効果】
　以上に説明したように本発明の塗布方法によれば、インナーカップ及びアウターカップの上面開口を蓋体で閉塞した状態でインナーカップを回転せしめるようにしたので、
インナーカップ内は減圧密閉状態を維持できるので均一なレジスト被膜を得ることができる。また、
また、板状被処理物はインナーカップ内の減圧状態を解除した後に取り出すことで
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係る塗布方法を実施する塗布装置を組み込んだ被膜形成ラインの平面図
　【図２】
　同塗布装置の蓋体を上げた状態の断面図
　【図３】
　同塗布装置の蓋体を閉じた状態の断面図
　【符号の説明】
　１…被膜形成ライン、２…塗布装置、２２…インナーカップ、２３…アウターカップ、３５，３６…蓋体、３７…ノズル孔、４０…整流板、Ｗ…板状被処理物。