【事件の表示】
　特許第２８８９０８３号「二次元座標測定機」の請求項１乃至４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８８９０８３号の請求項１乃至３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　平成　５年　６月２５日　　　特許出願
　平成１１年　２月１９日　　　特許権設定登録
　平成１１年１０月２６日　　　異議申立人大日本スクリーン製造株式会社　　　　　　　　　　　　　　　　から特許異議の申立
　平成１１年１１月　８日　　　異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーか　　　　　　　　　　　　　　　　ら特許異議の申立。
　平成１２年　９月２２日　　　取消理由通知
　平成１２年　９月２８日　　　訂正請求
　
２．訂正の可否についての判断
２−１．訂正事項
　【訂正事項ａ−１】
　特許請求の範囲の請求項４を削除する。
　
　【訂正事項ａ−２】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００１１】を「前記光源部は、前記Ｘ軸フレームに取り付けられ、かつ、前記検出部と同期移動するように構成することができる。また、前記光源部は、複数の発光ダイオードで構成することができる。」と訂正する。
　
　【訂正事項ａ−３】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００１３】を「請求項２の構成によれば、光源部は、Ｘ軸フレームに取り付けられているので、光源部を検出部の二次元方向への移動に追随させるための構成は、一軸方向だけで済む。請求項３の構成によれば、光源部が、複数の発光ダイオードから構成されているので、光源部の発熱を少なくすることができる。」と訂正する。
　
　【訂正事項ａ−４】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００２８】を「【発明の効果】以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかる二次元測定装置によれば、測定精度を大幅に向上することができる。また、請求項２の構成によれば、光源部を同期移動させる構成が簡単になる。さらに、請求項３の構成によれば、光源部の熱影響を低減できる。」と訂正する。
　
　【訂正事項ｂ】
　段落【０００４】を、「Ｙ、Ｘ軸駆動部４、６は、それそれモータ４ａ、６ａと、ボールネジ４ｂ、６ｂとから構成されていて、Ｙ軸駆動部４のモー夕４ａおよびボールネジ４ｂは、基台１の一端に設けられた凹部１ａ内に設置されていて、ボールネジ４ｂにＸ軸フレーム３が係合している。Ｘ軸駆動部６のモータ６ａおよびボールネジ６ｂは、凹形断面に形成されたＸ軸フレーム３内に設置されていて、ボールネジ６ｂに検出部が載せられた載置台５が係合している。」と訂正する。
　
　【訂正事項ｃ】
　段落【０００５】を、「以上のように構成された二次元測定機では、基台１上に被測定物を載せ、これを下方から光源部で照射し、透過光を載置台５上の検出部で受けながら、載置台５を移動させることにより測定が行われる。　この時の移動は、ボールネジ６ｂを回転駆動することにより、検出部がＸ軸フレーム３に沿って移動し、その移動量が、例えば、ロータリーエンコーダなどにより検出され、また、ボールネジ４ｂを回転駆動することにより、Ｘ軸フレーム３がガイドレール２に沿って移動し、その移動量が同様に検出される。」と訂正する。
　
　【訂正事項ｄ】
　段落【００２４】を、「図６および図７は、この発明にかかる二次元測定機の第３実施例を示しており、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示す二次元測定機では、光源部４４が上記第２実施例と同様に複数の発光ダイオード４４ａから構成され、検出部１８の直下において、Ｘ軸フレーム１４の長手軸方向に沿って、直線状に設けられている。」と訂正する。
　
２−２．新規事項の有無、目的の適否、及び拡張・変更の存否からの可否
　【訂正事項ａ−１】
　この訂正は、請求項４を削除するものであるので、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ、特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。
　しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　【訂正事項ａ−２】、【訂正事項ａ−３】及び【訂正事項ａ−４】
　これらの訂正は、上記【訂正事項ａ−１】の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載を、訂正後の特許請求の範囲の記載と整合をとるための訂正であり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ、明りょうでない記載の釈明を目的としたものである。
　しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
　【訂正事項ｂ】、【訂正事項ｃ】
　これらの訂正は、「Ｘ軸駆動部」「Ｙ軸駆動部」「モータ」「ボールネジ」各々の図面における符号を訂正すること、及び「ボルーネジ」を「ボールネジ」に訂正するものであり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ、誤記の訂正を目的としたものである。
　しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
【訂正事項ｄ】
　この訂正は、本件発明の第二実施例の説明において、従来例を表す「図８」を含めて「図６および図８」としたものを、「図６および図７」に訂正するものであり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、かつ、誤記の訂正を目的としたものである。
　しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
２−３．独立特許要件の判断
　取消理由として、請求項４に係る発明が発明の詳細な説明に記載されておらず、特許法第３６条第５項の規定に違反しており、特許を受けることができない旨を通知した。
　これに対して、本件訂正により請求項４が削除され、取消理由は解消した。
　また、訂正明細書の請求項１乃至３に係る発明が、公知の発明と同一あるいはそれから容易に発明をすることができたと言えないのは、下記「４．当審の判断」に示す判断と同様である。
　したがって、訂正明細書の請求項１乃至３に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
　
２−４．訂正の可否についての判断
　以上のとおりであるから、本件訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合しているから、本件訂正を認める。
　
３．特許異議申立てについて
３−１．特許異議申立ての概要
　１）特許異議申立人大日本スクリーン製造株式会社は、申し立ての証拠として、下記の甲第１乃至３号証を提出し、本件請求項１乃至２に記載された発明は、本件出願前に頒布された甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できた旨主張するとともに、本件請求項３に記載された発明は、本件出願前に頒布された甲第１乃至３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明できた旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：実願平３−６０６６９号（実開平５−６３０８号）のＣＤ−ＲＯＭ
　甲第２号証：実願昭６１−６５９５８号（実開昭６２−１７８３９５号）のマイクロフィルム
　甲第３号証：特開昭６０−２５７１６４号公報
　
　２）特許異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーは、申し立ての証拠として、下記の甲第１号証、甲第２号証、甲第３号証の１、甲第３号証の２、及び甲第３号証の３を提出し、本件出願前に本件特許の請求項１乃至３に係る発明が公然実施されていた旨を甲第１号証をもって主張するとともに、本件請求項１に記載された発明は、本件出願前に頒布された甲第２号証、甲第３号証の１、甲第３号証の２、及び甲第３号証の３に記載された発明と同一であるか、あるいは、それらに基づいて当業者が容易に発明できた旨主張している。
　　　　　　　　　　　　　　記
　甲第１号証：平尾忠好の陳述書
　甲第２号証：「機械設計」第３６巻第１６号　１９９２年１２月号
　甲第３号証の１：「ツールエンジニアリング」　１９９１年２月号
　甲第３号証の２：「ＧＩＤＤＩＮＧ　＆　ＬＥＷＩＳ」　ＡＰＯＬＬＯ　ＴＲＡＩＮＩＮＧ　１９９２年２月
　甲第３号証の３：米国特許第５１７３６１３号明細書
　
３−２．本件発明
　訂正明細書の請求項１乃至３に係る発明は、訂正明細書又は図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至３に記載された次のとおりのものである。
　
　【請求項１】　平行に延設されたガイドレール上にスライド移動自在に設置されたＸ軸フレームと、このＸ軸フレームを前記ガイドレールに沿って移動させるＹ軸駆動部と、前記Ｘ軸フレームの長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられた検出部と、この検出部を前記Ｘ軸フレームに沿って移動させるＸ軸駆動部と、前記検出部の下方から被測定物を照射する光源部とを備えた二次元測定装置において、
　前記Ｙ軸駆動部を前記Ｘ軸フレームの長手軸方向略中央に設けたことを特徴とする二次元座標測定機。
　
　【請求項２】　前記光源部は、前記Ｘ軸フレームに取り付けられ、かつ、前記検出部と同期移動することを特徴とする請求項１記載の二次元測定機。
　
　【請求項３】　前記光源部は、複数の発光ダイオードからなることを特徴とする請求項２記載の二次元測定機。
　
３−３．証拠の開示
　１）特許異議申立人大日本スクリーン製造株式会社の提出した甲各号証について
　
　甲第１号証：実願平３−６０６６９号（実開平５−６３０８号）のＣＤ−ＲＯＭ
　「ガイドレール１１と車輪１２を介して、スライド移動自在に設置されたＸ方向駆動架台１３と、このＸ方向駆動架台１３を前記ガイドレール１１に沿って移動させるＹ方向駆動ループ１０ａと、前記Ｘ方向駆動架台１３の長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられたテレビカメラ２２と、このテレビカメラ２２を前記Ｘ方向駆動架台１３に沿って移動させる観察ヘッド駆動ループ１５と、前記テレビカメラ２２の下方から被測定物を照射する投光部１９とを備えたテーブル型測長装置において、
　前記Ｙ方向駆動ループ１０ａを前記Ｘ方向駆動架台１３の長手軸方向端部側に設けたテーブル型測長装置。」及び
　「前記投光部１９は、前記Ｘ方向駆動架台１３に取り付けられ、かつ、前記テレビカメラ２２と同期移動するテーブル型測長装置。」が記載されている。
　
　甲第２号証：実願昭６１−６５９５８号（実開昭６２−１７８３９５号）のマイクロフィルム
　「測定器・・・等に好適なＸ−Ｙ移動テーブル」（明細書第１頁の「産業上の利用分野」）において「従来、この種のＸ−Ｙ移動テーブルとしては第２図及び第３図に示すごときものがある。第２図において、固定台１にはその対向辺に沿って一対のＸ方向レール４が配置され、このレール４上を×方向移動台５がＸ軸方向に移動する。その移動は×方向移動用モータ２の動力を伝えるＸ方向移動用ボールネジ３によって行われる。また、Ｘ方向移動台５の上でＹ方向移動台９がＹ方向レール８に乗ってＹ方向移動用モー夕６及びＹ方向移動用ボールネジ７によってＹ軸方向に移動可能に構成されている。第３図の×ーＹ移動テーブルは，Ｘ方向移動用ボールネジ３の配置に関してのみ第２図のものと相違するが、第２図ではボールネジ３がＸ方向レール４の一方に近接配置されているのに対して、第３図の場合は一対の×方向レール４のほぼ中間位置に配設されている。」（明細書中の「従来の技術」、明細書第２頁第１行目乃至第１７行目）の記載がある。
　
　甲第３号証：特開昭６０−２５７１６４号公報
　「プリント配線板の撮像装置」として、「プリント配線板の表面に照射光を与える照明源を発光ダイオードで構成する」ことが記載されている。
　
　２）特許異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーの提出した各号証について
　
　甲第１号証：平尾忠好の陳述書
　「本件特許に係る発明は、株式会社ソキア製の製品「ＡＭＩＣー７００型装置」として、本件出願前に大日本印刷株式会社に販売し納入された」旨を記載している。
　
　甲第２号証：「機械設計」第３６巻第１６号　１９９２年１２月号
　「プリント基板用ＮＣテープ自動作成装置」として「図４に示すとおり、基礎ベース（下板）にリニアガイド２本を取付け、中央にボールねじを設置し、ボールねじの雄ねじにモータを接続し、これを回しボールねじのナットを移動させる。この移動するナットにテーブル（上板）を固定してＸ方向に移動させる。一方、このスライドの上に直交する同方式のスライドを設け（Ｙ方向）、このスライドにカメラを取り付ける。」（第５８頁）及び図４（第５９頁）には「光源ランプがカメラに隣接して設けられた」構成が記載されている。
　
　甲第３号証の１：「ツールエンジニアリング」　１９９１年２月号
　大形ＣＮＣ３次元測定機として米国シェフィールド社「アポロＲＳ−２８０」の紹介記事が掲載されている。（第７３頁）
　
　甲第３号証の２：「ＧＩＤＤＩＮＧ　＆　ＬＥＷＩＳ」　ＡＰＯＬＬＯ　ＴＲＡＩＮＩＮＧ　１９９２年２月
　荷重の作用方向を示した図が記載されている。
　
　甲第３号証の３：米国特許第５１７３６１３号明細書
　３次元測定械において、Ｙ−軸キャリッジ１６、Ｘ軸キャリッジ５２、及び精査支柱５６を手動あるいはサーボ機構で動かして、テーブル２４上の被測定物の測定位置に精査先端部５８を移動させることが記載されている。（明細書第４欄第１２行乃至１７行）
　
４．当審の判断
４−１．請求項１に係る発明に対して
　１）異議申立人大日本スクリーン製造株式会社の異議申立について
　本件請求項１に係る発明と甲第１号証に記載された発明とを比較すると、甲第１号証には、Ｘ軸フレーム（Ｘ方向駆動架台１３）を設置するガイドレールを「平行に延設」した点、及び「Ｙ軸駆動部（Ｙ方向駆動ループ１０ａ）をＸ軸フレームの長手方向略中央に」設けた点がいずれも記載されていない。
　また、本件請求項１に係る発明と甲第２号証第３図に記載された発明とを比較すると、甲第２号証には「検出部」と「検出部の下方から被測定物を照射する光源部」を備えた点が記載されていない。
　このように甲第１乃至２号証の各々には、本件請求項１に係る発明の構成の一部が記載されているが、全部は記載されていない。
　
　次に甲第１号証に記載された発明と甲第２号証に記載された発明とを組み合わせることが容易であるか否かについて検討する。
　甲第１号証に記載された発明において、Ｘ軸フレームは一端部はガイドレール１１上に配設されているものの、他端部は車輪１２を介して測定テーブル本体１０上に載置されているだけのものであり、甲第１号証に記載された発明には、ガイドレールを「平行に延設」したという本件請求項１に係る発明が前提としている構成を備えておらず、また、そのような構成を示唆する記載もないものである。
　また一方、甲第２号証において、甲第２号証第２図及び第３図に示されるＹ軸駆動部の配置は、「一対の・・・レール４に摩擦力（レール４とＸ方向移動台５との間の摩擦力）の違いがある」（明細書第２頁第１９行乃至第３頁第１行）とともに「位置精度が著しく悪い」（明細書第３頁第６行目）機構であると記載されている。
　したがって、本件請求項１に係る発明が前提としている構成を備えていない甲第１号証のＹ軸駆動部（Ｙ方向駆動ループ）に対して、その配置が甲第２号証第２図のＹ軸駆動部の配置と外見が類似していることをもって、甲第１号証のＹ軸駆動部（Ｙ方向駆動ループ）の配置に代えて、「位置精度が著しく悪い」とされる甲第２号証第３図のＹ軸駆動部（Ｙ方向駆動ループ）の配置の構成を適用するにしても、それらが「測定誤差の低減」（本件明細書【０００９】段落）といった共通の目的を有するものでもないから、適用する動機付けを欠くものであり、当業者が容易になしえたとすることはできない。
　
　そして、請求項１に記載された発明は、請求項１に記載の構成により、明細書記載の効果を奏するものである。
　
　また、以上のことから、甲第１号証の発明においてＹ軸駆動部の配置を、甲第２号証の第３図に記載された配置として、本件請求項１に係る発明の様にすることは、当業者が容易になしえた事であるとの異議申立人の主張は採用することができない。
　
　２）異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーの異議申立について
　２）−１．甲第１号証（平尾忠好の陳述書）について
　本陳述書だけでは、株式会社ソキア製の製品「ＡＭＩＣー７００型装置」の具体的な構成や販売時期が不明であり、本陳述書をもって、本件特許の請求の範囲の請求項１乃至３に係る発明と、株式会社ソキア製の製品「ＡＭＩＣー７００型装置」に係る発明が同一であり、かつ、同装置は本件特許の出願前に販売されていた、とするには不十分である。
　
　したがって、当該甲第１号証は本件特許の請求の範囲の請求項１に係る発明が公然実施されていた発明であるとする証拠としては採用できない。
　
　２）−２．甲第２号証、甲第３号証の１乃至３について
　本件請求項１に係る発明と甲第２号証に記載された発明を比較すると、本件請求項１に係る発明は、ガイドレール上にスライド移動自在に「Ｘ軸フレーム」を設けるとともに、検出部の「下方」から被測定物を照射する光源部を備えているのに対して、甲第２号証に記載された発明では、ガイド上に「テーブル（上板）」を移動自在にするとともに、検出部の「上方」から被測定物照射する光源部を設けた構成が記載されており、Ｘ軸フレームや下方から照射する光源部についての記載はなく、またそれを示唆する記載もない。
　
　次に、本件請求項１に係る発明と甲第３号証の１及び３に記載された発明を比較すると、本件請求項１に係る発明は、ガイドレール上にスライド移動自在に設置された「Ｘ軸フレームの長手方向略中央」にＹ軸駆動部を設けるとともに、検出部の「下方」から被測定物を照射する光源部を備えているのに対して、甲第３号証の１及び３には、Ｙ軸駆動部の配置及び被測定物を照射する光源部については記載されておらず、それらを示唆する記載もない。
　また、甲第３号証の２については、表紙に「Ｆｅｂｒｕａｒｙ　１９９２」と記載され、これが頒布時期を示すものか否か不明である上、他に頒布時期を特定できる記載がないから、当該甲第３号証の２は特許法第２９条に規定する「頒布された刊行物」であるとすることができず、本件特許の請求の範囲の請求項１に係る発明が頒布された刊行物に記載された発明であるとする証拠としては採用できない。
　
　さらに、甲第２号証と甲第３号証の１及び３に記載された発明とを組み合わせることについても、甲第２号証においては本件請求項１に記載された発明における「Ｘフレーム」に代わる「スライド（Ｙ方向）」を備えたフレームは固定されており、本件請求項１に係る発明のようにスライド移動可能には設けられていない。このような本件請求項１に係る発明の前提となる構成を持たない甲第２号証に記載された発明に対して、甲第３号証の１及び３に記載された発明をどう組み合わせるかについて、それを示唆する記載は甲第２号証並びに甲第３号証の１及び３のいずれにも無い。
　
　したがって、請求項１に記載された発明は、異議申立人の提出した甲第２号証並びに甲第３号証の１及び３に記載された発明と同一であるとすることはできないのは無論のこと、それらの発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
　
　そして、請求項１に記載された発明は、請求項１に記載の構成により、明細書記載の効果を奏するものである。
　
　３）まとめ
　以上のように、異議申立人大日本スクリーン製造株式会社の提出した甲第１乃至２号証、及び異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーの提出した甲第２号証並びに甲第３号証の１及び３には、いずれも本件請求項１に係る発明の一部が記載されているのみで、すべてを記載するものではなく、また、これら甲各号証をどのように組み合わせて本件請求項１に係る発明とするかについての示唆や動機付けについても記載されていないのであるから、本件請求項１に係る発明がこれら甲各号証に記載された発明と同一であるとすることはできないのは無論のこと、それらの発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
　また、異議申立人株式会社ブイ・テクノロジーの提出した甲第１号証は、本件請求項１に係る発明が公然実施されていた発明であるとする証拠としては採用できず、また、甲第３号証の２は本件請求項１に係る発明が公衆に対し頒布された刊行物に記載された発明であるとする証拠としては採用できないのは各々上記のとおりである。
　
４−２．請求項２乃至３に係る発明に対して
　本件請求項２乃至３に係る発明は、請求項１に係る発明の構成を引用してさらに限定した構成を含むものであるから、上記の請求項１に係る発明についての判断と同様の理由で、両異議申立人の提出した甲各号証に記載された発明と同一であるとすることはできないのは無論のこと、それらの発明から当業者が容易に発明をすることができたものであるとすることもできない。
　
５．むすび
　以上のとおりであるから、異議申立人の主張及び証拠によっては、本件請求項１乃至３に係る発明の特許を取り消すことができない。
　
　また、他に本件請求項１乃至３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月１２日（２０００．１０．１２）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
　【訂正事項ａ−１】
　特許請求の範囲の請求項４を特許請求の範囲の減縮を目的に削除する。
　【訂正事項ａ−２】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００１１】を「前記光源部は、前記Ｘ軸フレームに取り付けられ、かつ、前記検出部と同期移動するように構成することができる。また、前記光源部は、複数の発光ダイオードで構成することができる。」と訂正する。
　【訂正事項ａ−３】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００１３】を「請求項２の構成によれば、光源部は、Ｘ軸フレームに取り付けられているので、光源部を検出部の二次元方向への移動に追随させるための構成は、一軸方向だけで済む。請求項３の構成によれば、光源部が、複数の発光ダイオードから構成されているので、光源部の発熱を少なくすることができる。」と訂正する。
　【訂正事項ａ−４】
　上記【訂正事項ａ−１】に伴い、段落【００２８】を「【発明の効果】以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかる二次元測定装置によれば、測定精度を大幅に向上することができる。また、請求項２の構成によれば、光源部を同期移動させる構成が簡単になる。さらに、請求項３の構成によれば、光源部の熱影響を低減できる。」と訂正する。
　【訂正事項ｂ】
　段落【０００４】を、「Ｙ、Ｘ軸駆動部４、６は、それそれモータ４ａ、６ａと、ボールネジ４ｂ、６ｂとから構成されていて、Ｙ軸駆動部４のモータ４ａおよびボールネジ４ｂは、基台１の一端に設けられた凹部１ａ内に設置されていて、ボールネジ４ｂにＸ軸フレーム３が係合している。Ｘ軸駆動部６のモータ６ａおよびボールネジ６ｂは、凹形断面に形成されたＸ軸フレーム３内に設置されていて、ボールネジ６ｂに検出部が載せられた載置台５が係合している。」と誤記の訂正を目的として訂正する。
　【訂正事項ｃ】
　段落【０００５】を、「以上のように構成された二次元測定機では、基台１上に被測定物を載せ、これを下方から光源部で照射し、透過光を載置台５上の検出部で受けながら、載置台５を移動させることにより測定が行われる。
　この時の移動は、ボールネジ６ｂを回転駆動することにより、検出部がＸ軸フレーム３に沿って移動し、その移動量が、例えば、ロータリーエンコーダなどにより検出され、また、ボールネジ４ｂを回転駆動することにより、Ｘ軸フレーム３がガイドレール２に沿って移動し、その移動量が同様に検出される。」と誤記の訂正を目的として訂正する。
　【訂正事項ｄ】
　段落【００２４】を、「図６および図７は、この発明にかかる二次元測定機の第３実施例を示しており、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示す二次元測定機では、光源部４４が上記第２実施例と同様に複数の発光ダイオード４４ａから構成され、検出部１８の直下において、Ｘ軸フレーム１４の長手軸方向に沿って、直線状に設けられている。」と誤記の訂正を目的として訂正する。
（５４）【発明の名称】
二次元座標測定機
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　平行に延設されたガイドレール上にスライド移動自在に設置されたＸ軸フレームと、このＸ軸フレームを前記ガイドレールに沿って移動させるＹ軸駆動部と、前記Ｘ軸フレームの長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられた検出部と、この検出部を前記Ｘ軸フレームに沿って移動させるＸ軸駆動部と、前記検出部の下方から被測定物を照射する光源部とを備えた二次元測定装置において、
　前記Ｙ軸駆動部を前記Ｘ軸フレームの長手軸方向略中央に設けたことを特徴とする二次元座標測定機。
　【請求項２】　前記光源部は、前記Ｘ軸フレームに取り付けられ、かつ、前記検出部と同期移動することを特徴とする請求項１記載の二次元測定機。
　【請求項３】　前記光源部は、複数の発光ダイオードからなることを特徴とする請求項２記載の二次元測定機。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　この発明は、二次元測定機に関し、特に、二次元方向にスライド移動可能に設けられた検出部に対して、その下方から被測定物を照射して、透過光により被測定物を測定する二次元測定機に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　プリント配線基板や半導体のパターン図などのフィルム状原板の寸法測定手段として、二次元方向にスライド移動可能に設けられた検出部と、フィルム状原板の下方からこれを照射する光源部とを備えた二次元測定機が知られており、図８にその一例を示している。
　【０００３】
　同図に示す二次元測定装置は、基台１と、この基台１上に平行に固設された複数のガイドレール２と、ガイドレール２上にスライド移動自在に設置されたＸ軸フレーム３と、このＸ軸フレーム３をガイドレール２に沿って移動させるＹ軸駆動部４と、前記Ｘ軸フレーム３の長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられた載置台５に載せられた検出部と、この載置台５を前記Ｘ軸フレーム３に沿って移動させるＸ軸駆動部６とを備えており、基台１の内部に設けられた図示省略の光源部から、基台１上に載置される被測定物に光が照射される。
　【０００４】
　Ｙ，Ｘ軸駆動部４，６は、それぞれモータ４ａ，６ａと、ボールネジ４ｂ，６ｂとから構成されていて、Ｙ軸駆動部４のモータ４ａおよびボールネジ４ｂは、基台１の一端に設けられた凹部１ａ内に設置されていて、ボールネジ４ｂにＸ軸フレーム３が係合している。Ｘ軸駆動部６のモータ６ａおよびボールネジ６ｂは、凹形断面に形成されたＸ軸フレーム３内に設置されていて、ボールネジ６ｂに検出部が載せられた載置台５が係合している。
　【０００５】
　以上のように構成された二次元測定機では、基台１上に被測定物を載せ、これを下方から光源部で照射し、透過光を載置台５上の検出部で受けながら、載置台５を移動させることにより測定が行われる。
　この時の移動は、ボールネジ６ｂを回転駆動することにより、検出部がＸ軸フレーム３に沿って移動し、その移動量が、例えば、ロータリーエンコーダなどにより検出され、また、ボールネジ４ｂを回転駆動することにより、Ｘ軸フレーム３がガイドレール２に沿って移動し、その移動量が同様に検出される。
　【０００６】
　しかしながら、このように構成された従来の二次元測定機には、以下に説明する技術的課題があった。
　【０００７】
　【発明が解決しようとする課題】
　すなわち、図８に示した二次元測定機では、特に、Ｙ軸駆動部４が基台１の端部側に設けられていて、Ｘ軸フレーム３の端部側から駆動力を加えており、例えば、検出部が載置された載置台５をＹ軸駆動部４の反対側の端部に位置させた状態で、Ｘ軸フレーム３をＹ軸駆動部４で移動させる際に、測定誤差が大きくなるという問題があった。
　【０００８】
　この誤差の原因は、ガイドレール２などは、所定の寸法精度で加工されているが、加工精度を零にすることは不可能であって、若干の加工誤差が含まれており、この加工誤差により、Ｘ軸フレーム３をＹ軸駆動部４で移動させる際に、ヨーイング運動が発生することがあって、この運動が発生すると、Ｘ軸フレーム３の長さにヨーイング角の正弦を乗じた誤差がＹ軸方向に発生し、Ｘ軸フレーム３が長くなれば長くなる程大きくなる。
　【０００９】
　本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その第１の目的は、二次元測定機の測定誤差を低減することにある。また、第２の目的として、透過光型の光源部を備えた二次元測定機の、特に、光源部の構成およびその支持構造を簡略化することにある。
　【００１０】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するため、本発明は、平行に延設されたガイドレール上にスライド移動自在に設置されたＸ軸フレームと、このＸ軸フレームを前記ガイドレールに沿って移動させるＹ軸駆動部と、前記Ｘ軸フレームの長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられた検出部と、この検出部を前記Ｘ軸フレームに沿って移動させるＸ軸駆動部と、前記検出部の下方から被測定物を照射する光源部とを備えた二次元測定装置において、前記Ｙ軸駆動部を前記Ｘ軸フレームの長手軸方向略中央に設けたことを特徴とする。
　【００１１】
　前記光源部は、前記Ｘ軸フレームに取り付けられ、かつ、前記検出部と同期移動するように構成することができる。また、前記光源部は、複数の発光ダイオードで構成することができる。
　【００１２】
　【作用】
　上記構成の二次元測定機によれば、Ｙ軸駆動部がＸ軸フレームの長手軸方向略中央に設けられているので、ガイドレールの加工誤差によりヨーイング運動が発生したとしても、Ｘ軸フレームにスライド移動自在に設けられている検出部は、Ｙ軸駆動部に対して、最大でもＸ軸フレームの長手軸方向の略１／２しか移動せず、このため、ヨーイング運動による測定誤差を略１／２に低減できる。
　【００１３】
　請求項２の構成によれば、光源部は、Ｘ軸フレームに取り付けられているので、光源部を検出部の二次元方向への移動に追随させるための構成は、一軸方向だけで済む。請求項３の構成によれば、光源部が、複数の発光ダイオードから構成されているので、光源部の発熱を少なくすることができる。
　【００１４】
　【実施例】
　以下、本発明の好適な実施例について添附図面を参照して詳細に説明する。図１および図２は、本発明にかかる二次元測定機の第１実施例を示している。同図に示す二次元測定装置は、基台１０と、この基台１０に平行に固設された２条のガイドレール１２と、ガイドレール１２上にスライド移動自在に設置されたＸ軸フレーム１４と、このＸ軸フレーム１４をガイドレール１２に沿って移動させるＹ軸駆動部１６と、前記Ｘ軸フレーム１４の長手軸方向に沿ってスライド移動自在に設けられた検出部１８と、この検出部１８を前記Ｘ軸フレーム１４に沿って移動させるＸ軸駆動部２０とを有している。
　【００１５】
　基台１０の上面には、被測定物を載せる透明なガラス製のテーブル２１が設置されていて、このテーブル２１の背面側に被測定物を照射する光源部、例えば、蛍光灯が配置される。また、基台１０の内部には、二次元測定機の制御系が内蔵され、その一側面には、操作部２２が設けられている。
　Ｘ軸フレーム１４は、その縦断面が略凹形に形成され、その下面側の両端にガイドレール１２と嵌合する複数のスライダー２４が固設され、その上端面側には、検出部１８が載置される載置台２５をスライド移動自在に支持する複数のレール２６が固設されている。
　【００１６】
　また、Ｘ軸フレーム１４には、図２にもその詳細を示すように、略角形の窓孔１４ａが設けられていて、テーブル２１は、この窓孔１４ａ内に挿通するようにして設置されている。
　検出部１８は、具体的には、拡大顕微鏡で構成され、載置台２５上に固定支持されるとともに、その側部には、反射照明灯２８が設けられている。Ｘ軸駆動部２０は、モータ２０ａと、このモータ２０ａの回転軸に連結されたボールネジ２０ｂとから構成され、これらの部材がＸ軸フレーム１４内に設置され、ボールネジ２０ｂと載置台２５とが係合している。
　【００１７】
　Ｙ軸駆動部１６は、モータ１６ａと、このモータ１６ａの回転軸に連結されたボールネジ１６ｂとから構成され、これらのＹ軸構成部材は、テーブル２１の下方において基台１０のほぼ中央部に設置されている。そして、ボールネジ１６ｂとＸ軸フレーム１４とは、Ｘ軸フレーム１４の長手軸方向の略中央部下面に突設された連結板３０で結合されている。なお、図１に示した符号３２の部材は、連結板３０のガイドロッドである。
　【００１８】
　以上のように構成された二次元測定機では、従来のこの種の測定機と同様に、基台１０に設けられたテーブル２１上に被測定物を載せ、これを下方から光源部で照射し、透過光を検出部１８で受けながら、検出部１８を移動させることにより測定が行われ、この時の二次元方向の移動量が、ボールネジ１６ｂ，２０ｂの回転駆動量として、例えば、ロータリーエンコーダなどにより検出される。
　【００１９】
　このような測定において、本実施例の測定機では、Ｙ軸駆動部１６がＸ軸フレーム１４の長手軸方向略中央に設けられているので、ガイドレール１２の加工誤差によりヨーイング運動が発生したとしても、Ｘ軸フレーム１４にスライド移動自在に設けられている検出部１８は、Ｙ軸駆動部１６に対して、最大でもＸ軸フレーム１４の長手軸方向の略１／２しか移動せず、このため、ヨーイング運動による測定誤差を略１／２に低減でき、測定機の精度を大きく向上させることが可能になる。
　【００２０】
　また、Ｙ軸駆動部１６がＸ軸フレーム１４の長手軸方向略中央に設けられているので、検出部１８をＸ軸フレーム１４に沿って往復移動させる場合の測定誤差も低減することができる。
　図３から図５は、本発明にかかる二次元測定機の第２実施例を示しており、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示す二次元測定機では、光源部３４が検出部１８の直下に設けられている。この光源部３４は、複数の発光ダイオード３４ａから構成され、この実施例では、発光ダイオード３４ａは、基板３４ｂに取り付けられている。
　【００２１】
　このように構成された光源部３４は、Ｘ軸フレーム１４の端部下面に対向設置された一対の支持プレート３６と、この支持プレート３６間に渡設された２本のガイドバー３７と、ガイドバー３７に挿通され、基板３４ｂが上面に固着されたスライド台３８とによりＸ軸フレーム１４に取り付けられている。
　また、この実施例の光源部３４は、図５にその詳細を示すように、検出部１８とＸ軸フレーム１４の長手方向に沿って同期移動するように構成されている。この移動機構は、複数の回転シーブ３９と複数のワイヤ４０とから構成され、一本のワイヤ４０の一端が、検出部１８の載置台２５の側端に垂設された突片４１に固定され、他端が複数の回転シーブ３９を経てスライド台３８に係止されている。また、別のワイヤ４０は、一端がスライド台３８に固定され、他端が複数の回転シーブを経て突片４１に固定されている。
　【００２２】
　このように構成された移動機構では、検出部１８がＸ軸フレーム１４に沿って移動すると、ワイヤ４０に引っ張られて、スライド台３８がガイドバー３７に沿って同期移動する。
　さて、以上のように構成された二次元測定機では、上記第１実施例と同様な方法で測定が行われるが、このとき、本実施例では、光源部３４がＸ軸フレーム１４に取り付けられていて、光源部３４は、Ｙ軸駆動部１６を駆動するとＸ軸フレーム１４とともに移動するとともに、回転シーブ３９とワイヤ４０とで構成した移動機構により検出部１８とＸ軸フレーム１４に沿って同期移動するので、光源部３４は、検出部１８と二次元方向に同期移動する。
　【００２３】
　このような構成の光源部３４では、まず、光源が発光ダイオード３４ａで構成されているので、蛍光灯などよりも発熱が非常に少なく、このため、たとえば、フィルム状原板などを測定する際に、熱膨張の影響を低減することができ、測定精度が向上する。
　また、このような光源の発熱の影響を排除する手段として、光源を測定機の外部に設け、光ファイバーで光を検出部１８の下方に導く測定機（特開平３−２５５３０１号公報）も提案されているが，この測定機では、二次元方向の同期移動機構を必要とし、しかも、光ファイバーをリンク機構によって二次元方向に移動可能に支持しなければならないので、その構成が複雑になっているが、本実施例の場合には、光源部３４は、Ｘ軸フレーム１４に取り付けられているので、光源部３４を検出部１８の二次元方向への移動に追随させるための構成は、一軸方向だけで済、構成を大幅に簡素化することができる。
　【００２４】
　図６および図７は、この発明にかかる二次元測定機の第３実施例を示しており、以下にその特徴点についてのみ説明する。同図に示す二次元測定機では、光源部４４が上記第２実施例と同様に複数の発光ダイオード４４ａから構成され、検出部１８の直下において、Ｘ軸フレーム１４の長手軸方向に沿って、直線状に設けられている。
　【００２５】
　発光ダイオード４４ａは、基板４４ｂに支持され、基板４４ｂがＸ軸フレーム１４の側面に固設されている。発光ダイオード４４ａの上面側には、拡散フィルター４４ｃが設けられている。
　さて、以上のように構成された二次元測定機では、上記第１，２実施例と同様な方法で測定が行われるが、このとき、本実施例では、光源部４４がＸ軸フレーム１４の長手軸方向に沿って直線状に設けられているので、光源部４４は、Ｙ軸駆動部１６を駆動するとＸ軸フレーム１４とともに移動するとともに、検出部１８がＸ軸フレーム１４に沿って移動すると、その下方側から被測定物を常時照射することができ、この結果、光源部４４は、検出部１８と二次元方向に同期移動させるのと同じことになる。
　【００２６】
　なお、この場合、光源部４４の発光ダイオード４４ａは、必ずしも常時その全部を点灯する必要はなく、例えば、検出部１８の移動に伴って、検出部１８で見る範囲毎に部分的に点灯することもできる。
　このような構成の二次元測定機によれば、上記第２実施例と同等の作用効果が得られるとともに、光源部４４には、検出部１８の二次元方向に同期移動させる機構が不要になるので、より一層構成を簡略にすることができる。
　【００２７】
　また、発光ダイオード４４ａで構成した光源部４４は、その印加電圧を調整することにより、輝度を簡単に変更することができるので、例えば、被測定物に合わせて輝度を変える調光が簡単にできる。
　【００２８】
　【発明の効果】
　以上、実施例で詳細に説明したように、本発明にかかる二次元測定装置によれば、測定精度を大幅に向上することができる。また、請求項２の構成によれば、光源部を同期移動させる構成が簡単になる。さらに、請求項３の構成によれば、光源部の熱影響を低減できる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明にかかる二次元測定機の第１実施例を示す斜視図である。
　【図２】
　図１の要部拡大図である。
　【図３】
　本発明にかかる二次元測定機の第２実施例を示す斜視図である。
　【図４】
　図３の要部拡大図である。
　【図５】
　　図３の要部拡大図である。
　【図６】
　本発明にかかる二次元測定機の第３実施例を示す斜視図である。
　【図７】
　図３の要部拡大図である。
　【図８】
　従来の二次元測定機の一例を示す斜視図である。
　【符号の説明】
　１０　　　　　　基台
　１２　　　　　　ガイドレール
　１４　　　　　　Ｘ軸フレーム
　１６　　　　　　Ｙ軸駆動部
　１６ａ　　　　　モータ
　１６ｂ　　　　　ボールネジ
　１８　　　　　　検出部
　２０　　　　　　Ｘ軸駆動部
　２０ａ　　　　　モータ
　２０ｂ　　　　　ボールネジ
　２１　　　　　　テーブル
　２４　　　　　　スライダー
　２５　　　　　　載置台
　３４，４４　　　光源部
　３４ａ，４４ａ　発光ダイオード
　３６　　　　　　支持プレート
　３７　　　　　　ガイドバー
　３８　　　　　　スライド台
　３９　　　　　　回転シーブ
　４０　　　　　　ワイヤ