【事件の表示】
　特許第３００９１７９号「静電記録装置及び静電潜像測定装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３００９１７９号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１. 手続きの経緯
　特許第３００９１７９号（以下、本件特許と言う。）の請求項１〜４に係る発明は、平成２年４月１６日に特許出願され、平成８年６月１４日に拒絶査定されたが、その拒絶査定を不服として、平成８年８月７日に審判が請求され、平成１１年１０月１８日に、当該拒絶査定を取り消し、特許をすべき旨の審決がされ、平成１１年１２月３日にその特許権が登録された。その後、平成１２年２月１４日に特許公報が発行され、特許異議申立期間内である平成１２年８月１４日に、特許異議申立人梅沢靖幸より特許異議の申し立てがされ、平成１２年１１月９日に請求項１および４に係る発明について取消理由が通知され、その指定期間内である平成１３年１月１９日に訂正請求書および意見書が提出されたものである。
　
２. 訂正の適否についての判断
２.１. 訂正の内容
　平成１３年１月１９日付けで提出された訂正請求書は、本件特許明細書を、当該訂正請求書に添付した訂正明細書のとおりに訂正することを求めるものである。そして、当該訂正請求書の請求の要旨によると、以下の訂正事項を含んでいる。
　
（訂正事項１）
　訂正前の請求項１および４を削除する。
　
（訂正事項２）
　訂正前の請求項２に
　
「
請求項１において、
　
とあるのを、
　
「
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
　
と訂正し、その項数を繰り上げ、訂正後の請求項１とする。
　
（訂正事項３）
　訂正前の請求項３に
　
「
請求項１において、
　
とあるのを、
　
「
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
　
と訂正し、その項数を繰り上げ、訂正後の請求項２とする。
　
（訂正事項４）
　訂正前の請求項５〜９の項数を繰り上げ、訂正後の請求項３〜７とする。
　
２.２. 訂正の目的の適否、新規事項の有無および特許請求の範囲の拡張または変更の存否
２.２.１. 訂正事項１について
　この訂正は、訂正前の請求項１および４を削除するものである。
　そして、この訂正は、特許請求の範囲の減縮を目的としたものであって、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内においてされており、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
　
２.２.２. 訂正事項２について
　この訂正は、訂正前の請求項２を引用形式から独立形式に改め、その項数を繰り上げて訂正後の請求項１とするものである。
　そして、この訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的としたものであって、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内においてされており、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
　
２.２.３. 訂正事項３について
　この訂正は、訂正前の請求項３を引用形式から独立形式に改め、その項数を繰り上げて訂正後の請求項２とするものである。
　そして、この訂正は、明瞭でない記載の釈明を目的としたものであって、願書に添付した明細書または図面に記載した事項の範囲内においてされており、実質上特許請求の範囲を拡張し、または変更するものではない。
　
２.２.４. 訂正事項４について
　この訂正は、訂正前の請求項１および４が削除されたことに伴い、訂正前の請求項５〜９の項数を繰り上げ、訂正後の請求項３〜７とするものである。
　したがって、訂正後の請求項３〜７は、実質的に訂正されていない。
　
２.３. むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項および第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３. 特許異議申立てについての判断
３.１. 本件訂正発明
　上記２．３．で述べたとおり、上記訂正が認められる。この結果、本件特許異議申立ての対象である訂正前の請求項１〜４は、訂正後の請求項１および２となった。当該訂正後の請求項１および２に係る発明（以下、本件発明１および２と言う。）は、訂正明細書および図面の記載から見て、その請求項１および２に記載された次のとおりのものであると認める。
　
【請求項１】　帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、前記静電潜像測定装置が測定対象の電圧の最大電圧と最低電圧の間の電圧となる基準電圧を複数備え、前記静電潜像測定装置の測定回路のコモン電圧を前記複数の基準電圧と接地電位で切り替える手段を備えたことを特徴とする静電記録装置。
　
【請求項２】　帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、前記露光パターンとして、数ドット〜数十ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＡと、１ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用い、前記パターンＡの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＷ、前記パターンＢの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＳとしたとき、Ｓ／Ｗの値が最大となるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする静電記録装置。
　
３.２. 取消理由通知およびそれに対する特許権者の応答
　平成１２年１１月９日付け取消理由通知の概要は、以下のとおりである。
　
「本件特許の訂正前の請求項１および４に係る発明は、本件特許に係る出願の前に国内で頒布された刊行物であって、いずれも特許異議申立人が提出した
　
（刊行物１）
　特開昭５９−１３６７５４号公報、
　
（刊行物２）
　島田昭、「微小面積プローブを用いた高解像度表面電位測定」、静電気学会誌第１２巻第３号（１９８８年）第２１０ページ〜第２１５ページ、
　
（刊行物３）
　実願昭６２−１２７０１８号（実開昭６４−３３６７１号）のマイクロフィルム、および
　
（刊行物４）
　特開昭６０−８３９６３号公報
　
に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件特許の訂正前の請求項１および４に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、同法第１１３条第１項第２号に該当する。」
　
　これに対し、特許権者は、訂正請求書を提出し、訂正前の請求項１および４を削除した。
　上記２．３．で述べたとおり、上記訂正は認められる。したがって、上記取消理由は、その対象がなくなり、解消された。
　そこで、訂正前の請求項２および３に対応する訂正後の請求項１および２に係る発明についての特許異議申立について検討する。なお、以下では、特許異議の証拠として提出された甲第１号証を刊行物１と言い、その他も同様とする。
　
３.３. 特許異議の証拠に記載された事項
３.３.１. 刊行物１
　刊行物１には、以下の（１）〜（５）の事項が図面とともに記載されている。
　
（１） 第１ページ右下欄第１３行から第２０行まで
「レーザービームプリンタ等の光ビーム走査型画像形成装置においては、安定した良質の画像を得るためにレーザービーム等のオン、オフによりそれぞれ感光体上に明部電位、暗部電位を形成し、それぞれの電位をセンサで検出し、検出値に応じてレーザービーム等の出力あるいは帯電器の高圧出力を制御し、目標の明部電位あるいは暗部電位に収束させる方法がとられている。」
　
（２） 第２ページ左下欄第２行から第５行まで
「画像の鮮鋭度及び中間調の再現性を向上させ、しかも一定の画質を得ることができるように構成した画像形成装置を提供することを目的としている。」
　
（３） 第２ページ右下欄第１６行から第３ページ左上欄第１１行まで
「一方、第５図は本発明を適用する複写装置の一実施例を示す。
　図において符号１で示すものはレーザ制御ユニットで、これに入力された電気信号は変調されたレーザ光として出力され、走査ミラー２とｆ−θレンズ３により感光ドラム４の長手方向に沿って走査する。感光ドラム４は図中時計方向に回転しレーザビームを２次元的に走査することを可能としている。
　感光ドラム４は有機光導電体を用い、ＡＣ除電器５により感光体表面の電位を均一化した後、帯電器６により（−）帯電を行ない、しかる後レーザビーム露光を行なって感光体に静電潜像を形成する。
　次に静電潜像は現像装置９によって可視化され、転写帯電器１０によって転写紙１１上に転写され、定着器１２によって定着される。」
　
（４） 第３ページ左上欄第１４行から右上欄第１６行まで
「表面電位計のプローブ１４はレーザービーム露光後の位置で感光ドラム４の表面に近接して設けられており、表面電位制御時に感光ドラム４上に形成される第４図に示したような潜像パターンの電位検出を行なう。
　検出された電位はアナログ値であるため、これをデジタル信号に変換して電位制御用マイクロコンピュータに入力し、その制御出力は再度アナログ値に変換され、レーザ制御ユニット１および高圧制御ユニット１５に入力され、レーザ光強度及び帯電器６の帯電々流が制御される。
　一方、第６図（Ａ）〜（Ｃ）は本発明による電位検出を説明するための模式図で、第６図（Ａ）は第４図（Ａ）に示したＡの領域を露光するレーザ光強度分布を示し、第６図（Ｂ）は感光ドラムに対し、第６図（Ａ）の分布を有するレーザビーム露光を行なった場合の潜像パターンを示す。また、第６図（Ｃ）は第６図（Ｂ）に示した潜像パターンをプローブ１４により相対的に走査した場合の検出出力を示す。
　第６図（Ｃ）に示すようにプローブ１４は第６図（Ｂ）の非露光部の電位を個々に検出せずに、非露光部の電位を平均値あるいは平均値より小さい値の一定値として検出する。」
　
（５） 第４ページ左下欄第５行から第７行まで
「鮮鋭度が高く、しかも中間調の再現性の良好な画像が得られると共に、これらの良好な画質を一定に保つことができる。」
　
　ここで、帯電器６による感光ドラム４の帯電が一様に行われることは、周知の技術事項である。また、上記表面電位計による測定が非接触で行われることも、周知の技術事項であり、上記表面電位計が測定のための測定回路を有していることは、自明である。
　以上の記載事項を総合すると、刊行物１には、
　
（ア） 帯電器６により感光ドラム４を一様に帯電し、レーザビーム露光を行なって前記感光ドラム４に静電潜像を形成し、現像装置９によって前記静電潜像を可視化し、転写帯電器１０によって前記可視化された静電潜像を転写紙１１上に転写する複写装置において、
　
（イ） 前記感光ドラム４の表面に近接して設けられ、非露光部の電位の平均値を測定可能なプローブ１４と、測定回路とを有し、前記感光ドラム４上に形成される潜像パターンの電位検出を行なう非接触表面電位計と、
　
（ウ） 前記非接触表面電位計によって検出された電位に基づいて、露光用レーザ光の強度および前記帯電器６の帯電電流を制御する電位制御用マイクロコンピュータとを有する複写装置。
　
が記載されていると認められる。
　
３.３.２. 刊行物２
　刊行物２には、以下の（１）〜（６）の事項が記載されている。
　
（１） 第２１０ページ左欄第２行から右欄第１行まで
「表面電位の測定は、固体誘電体表面の電荷分布あるいは電位分布状態を知るうえで重要である。とくに、電子写真に用いられる感光体や静電記録に用いられる記録体の特性評価には欠かすことができないものである。しかし、この分野で通常用いられている表面電位計は記録体上に形成された静電電荷像とそれを現像によって可視化したトナー像との関係を解析するには、十分な解像度が得られていない。また、最近表面電位測定の電気信号から電荷分布状態を直接表示する記録方法が報告されているが、この場合においてもより高解像化することが望まれる。一方、電荷分布の高解像度測定法として電子ビームを使う方法もあるが、この方法は測定用試料に制限があることや電荷分布を破壊せずに測定できないなどの問題もある。以上のような理由から、従来から表面電位測定に用いられてきた静電誘導方式において、どの程度まで高解像度測定が可能であるか、詳しく検討しておく必要がある。
　そこで、本報告において、表面電位測定の特性解析をもとに高解像度測定に適する微小面積プローブを作製し、その解像特性を測定・評価する。さらに、この解像特性を利用し、表面電位測定のより高精度化を図ることができる処理法について検討する。」
　
（２） 第２１０ページ右欄第８行から第１４行まで
「図１に、表面電位測定装置の微小面積プローブ部分の構成を示す。検出電極とアース間には、検出電極と記録体間との静電容量（約０．００１ｐＦ）に比べて十分に大きな容量をもつコンデンサＣ１を接続し、検出電極がアースと同等になるようにする。そして、Ｃ１に誘起される電圧を直接ＭＯＳＦＥＴで増幅し、その出力を高精度電圧計で読み取るのである。」
　
（３） 第２１０ページ右欄第１７行から第２１１ページ左欄第１行まで
「微小面積プローブの詳細部の設計には、文献１）に述べられている内容と同じ次の４点を考慮する必要がある。
　（１）表面電位測定の走査方向における解像度が高いこと。
　（２）感度が高く、検出電極と被測定物表面とのギャップが精密に調整でき、かつ一定に保てること。
　（３）ダイナミックレンジが広く、十分に応答速度がとれること。
　（４）取扱いが容易で、できれば信号処理機能をもつこと。」
　
（４） 第２１３ページ左欄第２行から第９行まで
「本実験に用いた測定装置の全体構成を図５に示す。微小面積プローブはマイクロメータに取り付け、プローブと記録体とのギャップを精度よく設定できるようにした。測定用試料は位置コントロールのできる精密移動台の上に固定し、移動台を図中の矢印方向に走査し測定する（走査速度：５０ｍｍ／ｓ）。測定データはデジタルメモリを介してマイコンに入力できるようにした。」
　
（５） 第２１３ページ右欄第２行から第９行まで
「測定用試料は、図６のようにポリエチレンテレフタレートのフィルムを用い、その表面をＡｌ蒸着した後、表面をフォトエッチングで、ｕが０．１〜１０本／ｍｍのパターンを形成させた。電位分布の作成は、表面電極部に外部電源から電圧を印加するか、または電極部をアースに接続し、その他の記録体表面部分をコロナ放電を用いて一様に帯電させる方法を用いた。本報ではおもに前者（電極への印加電圧４００Ｖ）を用いた。」
　
（６） 第２１３ページ右欄第１１行から第２１４ページ左欄第１行まで
「図７に空間周波数特性測定の出力例とＨ（ｕ）の求め方を示す。Ｈ（ｕ）は、光学系の解像度を評価するときに用いるＭＴＦ特性と同様である。作成した微小面積プローブを用いて、ギャップを５０、１００、２００μｍと設定し、それぞれの空間周波数特性を測定した。結果を図８に示す。図８の特性は、図２（ｂ）の計算から求めた特性に対応している。
　次に、空間周波数ｕを固定し、Ｈ（ｕ）の値とＧの関係を調べた。結果を図９に示す。図中の点線が計算から予測される特性で、実線が測定結果である。この結果から、Ｇを大きくするほど計算値と測定値がずれることがわかる。」
　
３.４. 対比・判断
３.４.１. 本件発明１について
３.４.１.１. 対比
　本件発明１と刊行物１に記載された発明とを比較すると、以下のとおりである。
　
（ア） 刊行物１に記載された発明の「帯電器６」、「感光ドラム４」、「現像装置９」、「転写帯電器１０」、「転写紙１１」および「複写装置」が、それぞれ、本件発明１の「帯電手段」、「感光体」、「現像手段」、「転写手段」、「用紙」および「静電記録装置」に相当することは、明らかである。そして、刊行物１に記載された発明において、「レーザビーム露光を行なって感光体に静電潜像を形成」することは、本件発明１において、「露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成」することに相当する。
　
（イ） 刊行物１に記載された発明の「プローブ１４」は、感光体上に形成された静電潜像の露光パターンを測定するために設けられた電極であるという点で、本件発明１の「測定電極」と共通している。そして、刊行物１に記載された発明の「非接触表面電位計」は、測定電極と測定回路とを備え、感光体上に形成された静電潜像の露光パターンを測定する非接触表面電位計であるという点で、本件発明１の「静電潜像測定装置」と共通している。
　
（ウ） 刊行物１に記載された発明において、「前記非接触表面電位計によって検出された電位に基づいて、露光用レーザ光の強度および前記帯電器６の帯電電流を制御」することは、本件発明１において、「前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御」することに相当するから、刊行物１に記載された発明の「電位制御用マイクロコンピュータ」は、本件発明１の「印写プロセス制御部」に相当する。
　
　以上をまとめると、本件発明１と刊行物１に記載された発明とは、表現が相違するものの、
　
「帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを測定可能な測定電極と、測定回路とを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有している静電記録装置。」
　
である点で一致し、次の点で相違している。
　
（相違点１）
　本件発明１の測定電極が、露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能であるのに対し、刊行物１に記載された発明のプローブは、非露光部の電位の平均値を測定可能であるのにすぎない点。
　
（相違点２）
　本件発明1の静電潜像測定装置が、測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサを備えているのに対し、刊行物１に記載された発明の非接触表面電位計は、距離センサを備えていない点。
　
（相違点３）
　本件発明１の静電潜像測定装置が、測定対象の電圧の最大電圧と最低電圧の間の電圧となる基準電圧を複数備え、前記静電潜像測定装置の測定回路のコモン電圧を前記複数の基準電圧と接地電位で切り替える手段を備えているのに対し、刊行物１に記載された発明の非接触表面電位計は、これらを備えていない点。
　
３.４.１.２. 相違点の検討
（１） 相違点１について
　まず、本件発明１において、測定電極が「少なくとも１ドット毎に測定可能」であることの技術的意義を検討する。本件発明１の静電記録装置では、当該測定電極を用いることにより、１ドット毎の測定結果が得られるはずである。しかし、本件発明１の静電記録装置の制御は、この１ドット毎の測定結果を活用して行われているというわけではなく、単にその「測定結果に基づいて」行われているに過ぎない。したがって、「少なくとも１ドット毎に測定可能」であることの実質的な技術的意義は、静電記録装置に設けられた非接触の静電潜像測定装置に、高解像度の測定電極を採用したという程度にしか解されない。
　一方、刊行物２には、電子写真に用いられる感光体の表面電位の測定を行うための高解像度測定に適した表面電位測定装置が記載されている。そして、刊行物２には、「しかし、この分野で通常用いられている表面電位計は…十分な解像度が得られていない。また、…この場合においてもより高解像化することが望まれる。」および「本報告において、…高解像度測定に適する微小面積プローブを作製し、その解像特性を測定・評価する。さらに、…表面電位測定のより高精度化を図ることができる処理法について検討する。」と記載されているから、望ましくはこの測定装置をより高解像度化すべきことが示唆されている。
　上述のとおり、「少なくとも１ドット毎に測定可能」であることの実質的な技術的意義は、高解像度の測定電極を採用したという程度のことであるから、これは、刊行物２が示唆する「より高解像度化する」ことと軌を一にするものである。そうすると、刊行物１に記載された静電記録装置において、非接触表面電位計のプローブを高解像度の測定電極に変更し、上記相違点１の構成に想到することは、刊行物２の示唆に従って当業者が容易に行い得ることである。
　
（２） 相違点２について
　刊行物２には、「微小面積プローブの詳細部の設計には、文献１）に述べられている内容と同じ次の４点を考慮する必要がある。…（２）感度が高く、検出電極と被測定物表面とのギャップが精密に調整でき、かつ一定に保てること。」と記載されている。そして、上記微小面積プローブは、刊行物２の図５に全体構成が記載されているとおり、当該プローブと記録体とのギャップを精度よく設定できるようにマイクロメータに取り付けられ、上記ギャップを調整するようになっている。すなわち、刊行物２には、表面電位測定装置の微小面積プローブの詳細設計に際し、検出電極と被測定物表面とのギャップを精度よく設定するために距離測定手段を設け、当該ギャップが精密に調整でき、かつ一定に保てるようにすべきことが示唆されている。
　そうすると、刊行物１の発明において、表面電位を測定する際に、非接触表面電位計の測定電極から感光体表面までのギャップを精度よく設定できるようにするために、当該非接触表面電位計に適当な距離測定手段を設け、上記相違点２の構成に想到することは、刊行物２の示唆に従って当業者が容易に行い得ることである。
　
（３） 相違点３について
　特許異議申立人は、特許異議申立書の中で、「測定回路のコモン電位を感光体の最大電位と最小電位の中間電位に設定することによって、測定電極と感光体との電位差を小さくし、感光体と測定電極間の距離が小さくなったときの放電を防ぐ程度のことは、当業者であれば容易に想起し得ることであり、その効果も予想しうる範囲のものである。」と主張している。
　一般に、物体間の距離を大きくするか、物体間の電位差を小さくすれば、当該物体間での放電が起こりにくくなることは、周知の事実である。したがって、特許異議申立人の上記主張は、一般論としては採用することができる。
　しかし、訂正後の請求項１に「…基準電圧を複数備え、…コモン電圧を前記複数の基準電圧と接地電位で切り替える手段を備えた」と記載されているように、本件発明１の静電潜像測定装置は、単に測定回路のコモン電位を感光体の最大電位と最小電位の中間電位に設定するだけでなく、コモン電位を、接地電位を含む複数の値の中から選択した値に切り替え設定できるようにしている。そして、この点は、刊行物１〜４のいずれにも記載されておらず、それを示唆する記載もない。また、放電を防ぐために、測定回路のコモン電位を感光体の最大電位と最小電位の中間電位に設定することによって、測定電極と感光体との電位差を小さくするという一般論からさらに進んで、コモン電位を、接地電位を含む複数の値に切り替え設定できるようにすることが、当業者にとって自明な事項であると認めることもできない。
　したがって、相違点３は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得る構成であるとする特許異議申立人の主張は、採用することができない。
　
　以上のとおりであるから、本件発明１は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明することができたものは言えない。
　また、他に本件発明１についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
３.４.２. 本件発明２について
３.４.２.１. 対比
　本件発明２と刊行物１に記載された発明とを比較すると、両者は、上記相違点１および２に加え、次の点でさらに相違している。
　
（相違点４）
　本件発明２では、露光パターンとして、数ドット〜数十ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＡと、１ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用い、前記パターンＡの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＷ、前記パターンＢの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＳとしたとき、Ｓ／Ｗの値が最大となるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御しているのに対し、刊行物１に記載された発明は、このような制御をしていない点。
　
３.４.２.２. 相違点の検討
　相違点１および２が、刊行物１および２に記載された発明に基づいて容易に想到し得ることは、上述のとおりである。
　そこで、相違点４について検討する。
　特許異議申立人は、特許異議申立書の中で、刊行物２には「Ｈ（Ｕ）＝Ｖ（Ｕ）／Ｖ（０）即ち本件特許発明のＳ／Ｗにより測定値を評価することが示されている。」と主張し、さらに「従って、一般に測定値の評価に用いられているＳ／Ｗの値が最大になるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御することは、当業者であれば容易に想起し得ることである。」と主張している。
　ここで、刊行物２の「図７に空間周波数特性測定の出力例とＨ（ｕ）の求め方を示す。」という記載および図７を参照すると、刊行物２に記載された「Ｈ（Ｕ）＝Ｖ（Ｕ）／Ｖ（０）」と本件発明２の「Ｓ／Ｗ」とは、算出の基礎となる量および算出方法が共通しているから、両者は一応の対応関係にあると認められる。
　しかし、刊行物２にはまた、「測定用試料は、…表面をフォトエッチングで、ｕが０．１〜１０本／ｍｍのパターンを形成させた。電位分布の作成は、表面電極部に外部電源から電圧を印加する…方法を用いた。」、「作成した微小面積プローブを用いて、ギャップを…設定し、それぞれの空間周波数特性を測定した。」および「次に、空間周波数ｕを固定し、Ｈ（ｕ）の値とＧの関係を調べた。」と記載されている。これらの記載から、刊行物２に記載された発明における空間周波数の応答特性Ｈ（ｕ）は、微小面積プローブを用いて、既知の電位分布を有する試料を種々の条件で測定したときの出力に基づき、当該微小面積プローブを用いた表面電位測定の解像特性を評価するために用いられている量であると認められる。
　これに対して、本件発明２における「Ｓ／Ｗ」は、訂正明細書の第１８ページ第７行から第９行に「美しい画像を形成するためには、露光量または露光時間が、１ドット毎の露光パターンにおける電位差が最大となる（＊）の位置をとなるように制御すればよい。」と記載されていることから分かるように、未知量である感光体の表面電位を測定し、その測定結果に基づいて露光量または露光時間を制御した結果、当該感光体の表面電位が美しい画像を形成するための条件を満たしているかどうかを判断するために用いられている量である。なお、何かを測定する場合には、特性があらかじめ判明している測定装置を使用するのが自然であるから、刊行物２に記載された発明とは異なり、本件発明２において表面電位の測定に用いられる静電潜像測定装置の空間周波数特性Ｈ（ｕ）は、既知であると認められる。
　そうすると、刊行物２に記載された発明における「Ｈ（ｕ）」と本件発明２の「Ｓ／Ｗ」とは、何かを評価するために用いられる量であるという点では共通するものの、それらを用いて評価すべき対象が相違している。そして、刊行物２に記載された発明において、微小面積プローブを用いた表面電位測定の解像特性を評価するために用いられている「Ｈ（ｕ）」を、感光体の表面電位が美しい画像を形成するための条件を満たしているかどうかを判断するための量として転用することは、刊行物１〜４のいずれにも記載されておらず、また、それを示唆する記載もない。さらに、これが当業者にとって自明であるとも認められない。
　したがって、相違点４は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて当業者が容易に想到し得る構成であるとする特許異議申立人の主張は、採用することができない。
　以上のとおりであるから、本件発明２は、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明することができたものは言えない。
　また、他に本件発明２についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
３.５. むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては、本件発明１および２についての特許を取り消すことができない。また、他に当該特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１および２についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月７日（２００１．５．７）
【訂正の要旨】
　特許第３０３６３５８号発明の明細書中、特許請求の範囲において
１．特許請求の範囲の減縮を目的として、請求項１および４を削除する。
２．請求項２に
　「請求項１において、前記静電潜像測定装置が測定対象の電圧の最大電圧と最低電圧の間の電圧となる基準電圧を複数備え、前記静電潜像測定装置の測定回路のコモン電圧を前記複数の基準電圧と接地電位で切り替える手段を備えたことを特徴とする静電記録装置。」
　とあるのを、明瞭でない記載の釈明を目的として
　「
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
と訂正し、その項数を繰り上げ、請求項１とする。
３．請求項３に
　「請求項１において、前記露光パターンとして、数ドット〜数十ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＡと、１ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用い、前記パターンＡの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＷ、前記パターンＢの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＳとしたとき、Ｓ／Ｗの値が最大となるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする静電記録装置。」
とあるのを、明瞭でない記載の釈明を目的として
「
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、現像手段により可視画像を形成し、転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
と訂正し、その項数を繰り上げ、請求項２とする。
４．明瞭でない記載の釈明を目的として、請求項５〜９の項数を繰り上げ、請求項３〜７とする。
（５４）【発明の名称】
静電記録装置及び静電潜像測定装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項
１
　
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、
　
露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、
　
現像手段により可視画像を形成し、
　
転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、
　
前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、
　
前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
　前記静電潜像測定装置が測定対象の電圧の最大電圧と最低電圧の間の電圧となる基準電圧を複数備え、
　前記静電潜像測定装置の測定回路のコモン電圧を前記複数の基準電圧と接地電位で切り替える手段を備えたことを特徴とする静電記録装置。
　【請求項
２
　
帯電手段により感光体上を一様に帯電し、
　
露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、
　
現像手段により可視画像を形成し、
　
転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、
　
前記露光パターンを少なくとも１ドット毎に測定可能な測定電極と、測定回路と、前記測定電極から前記感光体表面上までの距離を一定に保つための距離センサとを有する非接触の静電潜像測定装置と、
　
前記静電潜像測定装置の測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御部とを有していて、
　前記露光パターンとして、数ドット〜数十ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＡと、
　１ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用い、
　前記パターンＡの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＷ、前記パターンＢの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定装置の測定出力の最大値と最小値の差をＳとしたとき、Ｓ／Ｗの値が最大となるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする静電記録装置。
　【請求項
３
　帯電手段により感光体上を一様に帯電し、
　露光手段によって、前記感光体上に非露光部と露光部の露光パターンの静電潜像を形成し、
　現像手段により可視画像を形成し、
　転写手段により用紙上に前記可視画像を転写することにより画像を形成する静電記録装置において、
　前記静電潜像を感光体表面電位や電荷量の相対的変化として、１ドット毎に測定可能な静電潜像測定手段と、
　前記静電潜像の感光体表面電位の絶対値を測定する表面電位測定手段と、
　前記静電潜像測定手段と前記表面電位測定手段との測定結果に基づいて、前記帯電手段、前記露光手段、前記現像手段、前記転写手段の各印写プロセスの少なくとも１つ以上を制御する印写プロセス制御手段とを有する静電記録装置。
　【請求項
４
　請求項
３
前記露光パターンとして、数ドット〜数十ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＡと、
　１ドット毎のＯＮ、ＯＦＦを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用い、
　前記感光体上の全面露光部と全面非露光部とを前記表面電位測定手段にて測定した電位差をＶ、前記パターンＡの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定手段の測定出力の最大値と最小値の差をＷ、前記パターンＢの露光によって感光体上に形成された静電潜像の前記静電潜像測定手段の測定出力の最大値と最小値の差をＳとしたとき、
　Ｖ×Ｓ／Ｗの値が最大となるように前記露光手段の露光量、露光時間の少なくとも一方を制御することを特徴とする静電記録装置。
　【請求項
５
　測定電極を感光体に近接させ、静電潜像を非接触で測定する静電潜像測定装置において、
　前記感光体と前記測定電極との間の距離を測定する距離測定手段と、
　前記測定電極を移動する測定電極駆動手段と、
　前記距離測定手段の測定出力に基づいて前記測定電極駆動手段を制御し、
前記感光体と前記測定電極の距離を測定する距離制御手段と、前記測定電極を囲むように配置され、放電開始電圧の高い気体を供給する供給口を備えたガスチャンバとを有することを特徴とする静電潜像測定装置。
　【請求項
６
　請求項
５
　前記測定電極を囲むケースと外ケースの間に、ＳＦ６の気体を供給する供給口と、前記気体を排出する排出口を設け、
　前記測定電極と前記測定対象間に前記ＳＦ６の気体を充満させる構成としたことを特徴とする静電潜像測定装置。
　【請求項
７
　感光体に近接させるガード電極を有する測定電極と、
　感光体上の電荷を電圧に変換するための測定用コンデンサと、
　出力信号のインピーダンス変換をするためのバッファアンプと、
　測定前に測定用コンデンサの電荷を除去するためのディスチャージ・スイッチからなる直流増幅型静電潜像測定回路を備えた静電潜像測定装置において、
　前記ディスチャージ・スイッチがコモン電位との接続と遮断を切り替える主ディスチャージ・スイッチ部と、
　主ディスチャージ・スイッチが遮断状態でのリーク電流を少なくするために、測定時には前記主ディスチャージ・スイッチ部の測定電極に接続されている端子以外の全ての端子にバッファアンプの出力電位が接続されるように切り替える副ディスチャージ・スイッチ部とからなることを特徴とする静電潜像測定装置。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、静電潜像測定装置を具備した静電記録装置と静電潜像測定装置に係わり、特に静電潜像の測定結果による静電記録装置の制御手法および静電記録装置の感光体上に形成された静電潜像を直接測定可能な静電潜像測定装置に関する。
［従来の技術］
　従来の静電記録装置において、静電潜像測定手段が搭載されているものはない。これまで、露光量や現像バイアスなどは、予め決定された十分誘度のある設計値とされており，装置毎に、人が微調整を行うのが一般的であるが、露光体の疲労補正として、印刷枚数から疲労補正プログラムにより帯電系，露光系，現像系を制御するものも知らされている（特公昭６２−２７３９０号公報）。また、感光体の寿命などに対しても、印刷枚数などで判定する方式が知られている（特公昭６２−５０５号公報）。
　また、従来、静電潜像を測定する方法としては、イオン運動型，直流増幅型，回転セクタ型，電気光学効果型，電気力型（浅野和俊：静電気高額における電界・電位測定法，静電気学会誌，１０，ｐｐ．２０５−２１２（１９８６））などがある。感光体上の静電潜像は数１００〜数１０μｍであるので、この分布を測定するためには、十分高い解像度を有する静電潜像測定手法が必要である。解像度を向上するためにはを測定するためには測定電極の面積を小さくし、測定電極と感光体とを近接しなければならない。すでに、非常に測定面積の小さい電極を用いて、静電潜像を測定した報告はいくつかある。（松井満：微小面積表面電位計，静電気学会誌，１０，ｐｐ，２１７−２２４（１９８６））また、測定電極を用いず静電潜像を電子顕微鏡で測定した報告もある。（Ｇ．Ｆ．Ｆｒｉｔｚ，Ｄ．Ｃ．Ｈｏｅｓｔｅｒｅｙ　ａｎｄ　Ｌ．Ｅ．Ｂｒａｄｙ：Ｏｂｓｅｒｖａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｘｅｒｏｇｒａｐｈｉｃ　Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ　Ｌａｔｅｎｔ　Ｉｍａｇｅｓ　ｗｉｔｈ　ａ　Ｓｃａｎｎｉｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ　Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，１９，ｐｐ．２７７−２７８（１９７１））
［発明が解決しようとする課題］
　静電記録装置上において、静電潜像を観測する手段が存在しなかったために、静電記録装置の制御に関する従来技術は、感光体個々にあった装置の微調整は困難であり、完全に感光体の性能を出しきることが難しい。また、静電潜像の有無を観測しないために、感光体の寿命を正確に把握することもできない。
　本発明は、静電記録装置の感光体上の静電潜像を測定できるような静電潜像測定手段を提供することを目的としており、さらに、静電記録装置に静電潜像を測定する手段を搭載することによって、感光体の状態や性能に見合った最適な装置制御を行う手法とそれを用いた静電記録装置を提供することにある。
　また、測定電極の面積を小さくした静電潜像測定装置に対する上記従来技術は、静電記録装置上において静電潜像を測定する様には配慮がされいない。静電記録装置上では感光体ドラムには偏心などがあり、測定電極を感光体と微小距離で近接させることができなかった。また、感光体上の静電潜像の電位は１ｋＶ近くに達する場合もあり、測定電極を感光体に近接させると放電してしまう問題もあった。
　また、電子顕微鏡を用いて静電潜像を測定する上記従来技術は、測定環境が特殊であるために、静電記録装置の感光体上の静電潜像を直接測定することはできない。
［課題を解決するための手段］
　感光体の状態に合わせた最適な制御を行うという上記目的のために、静電記録装置に静電潜像を観測する手段を設け、各部プロセスの制御と感光体の寿命判定を行うようにしたものである。
　さらに、静電記録装置上の感光体の偏心等のある静電記録装置において測定電極を感光体に近接させるという上記目的を達成するために、微小面積を有する測定電極と感光体との距離を一定に制御する手段をもうけたものである。
　さらに、測定電極と感光体間の放電を防ぐという上記目的のために、測定回路のコモン電位を測定対象の電位の最大電位と最低電位の間の基準電源電位とする手段を設けたものである。
　さらに、測定電極と感光体の間に気体を充満させる手段を設け、放電開始電位の高い気体を充満させるものである。
［作用］
　静電記録装置に、静電潜像測定手段を設けることによって、感光体上の静電潜像の状態を検出することができる。潜像が最適になるように印写プロセスを制御するために、感光体の状態に合わせた適切な制御ができる。また、潜像の状態を観測しているので、感光体の寿命も正確に判定することができる。
　潜像測定のための露光パターンとして数ドット〜数十ドット毎のｏｎ，ｏｆｆを繰り返すパターンＡと１ドット毎のｏｎ，ｏｆｆを繰り返すパターンＢを組み合わせたものを用いることによって、露光部と非露光部により形成された電荷パターンの幅や１ドットの露光により形成された電荷潜像の形成状態を知ることができる。
　この電荷潜像の状態をもとに露光量，露光時間，現像バイアス，感光体加熱時間を制御するので、最適な印写プロセス制御が可能となる。また、感光体寿命も静電潜像の状態から判定するために、正確に行うことができる。
　距離測定手段が測定電極を中心とする同心円上に配置され、かつ距離測定手段間の間隔が一定となる様に配置されているので、感光体面が平面であるとすれば測定電極と感光体面の高さは、距離測定手段の平均値で与えられる。
　また、測定対象が感光体ドラムの場合、距離測定手段を二つとし、この二つの距離測定手段を結ぶ線と感光体ドラム軸を並行にすることによって、感光体と測定電極の距離は二つの距離センサの平均で与えられる。
　これらの平均値を一定に保つことによって測定電極と感光体の高さを一定に保つことができる。
　測定回路のコモン電位を測定対象の最大電位と最小電位の間の電位にすることによって、測定電極と感光体間の電位差を小さくし、感光体と測定電極間の距離が小さくなったときの放電を防ぐことができる。また、測定電極面積を小さくすると測定回路の出力が非常に小さくなり、この為に基準電源の持つリップルなどで測定回路の出力が読み取れなくなってしまう。基準電源として、電池を用いることによって安定した基準電圧を得ることができる。
　また電極先端を、感光体に面する方向に開口部を有するケース１と感光体に面する方向に開口部を有しケース１を取り囲むケース２で囲まれており、ケース１に放電開始電圧の高い気体を充満させ、ケース２で外部の空気と共にケース１の放電開始電圧の高い気体を吸気することによって、ケース２の外には放電開始電圧の高い気体を放出することなく測定電極と感光体の間は放電開始電圧の高い気体で充満させることができる。また、この様な手法で、測定電極と感光体間に放電開始電圧の高い気体を充満させることによって、測定電極と感光体間の距離が小さくなった場合の放電を防止できる。
　測定電極に誘起された電荷を測定用コンデンサで電圧に変換し、インピーダンス変換して電荷測定を行う直流増幅型の電荷測定回路において、ディスチャージ・スイッチを主ディスチャージ・スイッチと副ディスチャージ・スイッチの２段構造とする。主ディスチャージ・スイッチは測定電極とコモン電位との接続と遮断を行う。副ディスチャージ・スイッチは非測定時（ディスチャージ時）に主ディスチャージ・スイッチを接続状態にするための駆動電圧とコモン電位を主ディスチャージ・スイッチに供給し、測定時には主ディスチャージ・スイッチの測定電極に接続されていない全ての端子に、測定電極電位出力をバッファアップを通して、インピーダンス変換した出力を供給する。これにより、測定時に主ディスチャージ・スイッチにおける測定電極側とその他の端子にかかる電位差をなくすることができ、見かけ上、ディスチャージ・スイッチ全体の開放時抵抗を非常に大きくすることができる。このため、測定時の漏れ電流が測定用コンデンサに蓄積される為に発生するドリフトを非常に小さくすることができる。
　また、副ディスチャージ・スイッチを測定時にのみ接続される第１副ディスチャージ・スイッチと非測定時にのみ接続される第２副ディスチャージ・スイッチより構成し、非測定状態（ディスチャージ状態）から、第１副ディスチャージ・スイッチと第２副ディスチャージ・スイッチがともに接続となる状態を経由して測定状態に切り替える。
　これにより、第１副ディスチャージ・スイッチを接続する際に発生する飛び込み電流は、第２副ディスチャージ・スイッチから逃がすことができ、非測定状態から測定状態に切り替える際に、測定用コンデンサに蓄積される不用な電流は第２副ディスチャージ・スイッチを開放する際の飛び込み電流のみにすることができる。
　また、測定回路ケース内の測定回路を振動吸収部材で保持することによって、測定時の外部振動による測定回路配線間の容量変化などによるノイズを防ぐことができる。
［実施例］
　以下本発明の静電潜像測定装置を具備した静電記録装置とその印写プロセス制御手法並びに静電記録装置に搭載可能な静電潜像測定装置の実施例を第１〜１７図により、説明する。
　まず、第１〜１３図において、静電記録装置に搭載可能な静電潜像測定装置の一実施例を説明し、第１４，１５図において、その静電潜像測定装置を搭載した静電記録装置を説明し、最後に第１６，１７図を用いて、各印写プロセスの制御手法を説明する。
　第１図は、静電潜像測定装置の各部配置の一実施例を説明するための図である。静電潜像測定回路ケース２の両側にレーザ式非接触距離センサ１を有しており、測定回路先端部３に測定電極（静電潜像測定センサ部）があり、測定電極近傍に放電開始電圧の高い気体を充満させるために、測定電極を取り囲む内ケース４ａと外ケース４ｂの二重のケースにより構成されるガスチャンバ４が取り付けられている。
　測定回路ケース２とレーザ式非接触距離センサ１と上記の測定電極を取り囲むガスチャンバ４は、精密パルスステージ５上に取り付けられている。レーザ式センサの出力８は、コンピュータに接続されており、この出力に基づいて、コンピュータが精密パルスステージ５を制御し、感光体との距離を一定に保つことができる。
　第２図は、測定電極近傍に放電開始電圧の高い気体を充満させるためのガスチャンバ４の構造の一実施例を説明するための図である。内ケース４ａには、放電開始電圧の高いＳＦ６が減圧弁を通して供給される７ａようになっており、外ケース４ｂは排気ポンプに接続７ｂされている。これにより、内ケース４ａ内に放電開始電圧の高いＳＦ６を充満させると共に、外ケース４ｂの外部にＳＦ６を漏らさずに回収することができる。静電記録装置内で本潜像測定装置を使用する場合、放電開始電圧の高いＳＦ６が装置内に漏れると帯電器などの放電を利用したプロセスに悪影響を及ぼすために、この様な放電開始電圧の高い気体の回収手段が必要である。
　第３図は、測定ケース２内の測定回路の一実施例を説明するための図である。測定回路は、測定電極３ａを感光体に近接させることにより電極３ａに誘起される電荷を測定用コンデンサ１２により電圧に変換し、入力インピーダンスの高い増幅器１３で増幅するのが基本原理である。微少な電荷の測定であるので、外部からの微小な電流の流入によっても出力電圧は大きく影響を受ける。このため、アンプはバッファアンプ１３ａと増幅率２０倍のアンプ１３ｂの２段構造となっている。測定電極に誘起された電圧は、バッファアンプ１３ａ（増幅率１：１の増幅器）で出力電圧のインピーダンス変換を行い、この電圧を測定電極のガード電極３ｂや測定回路全体を取り囲むシールドに印加することによって、外部からの電流流入を極力小さくする構成としている。バッファアンプ１３ａの出力は、増幅率２０倍のアンプ１３ｂで増幅され、バッファアンプ出力でシールドされた測定回路ケースの外部に出力される。２段目のアンプ１３ｂの増幅は、測定回路ケース外に出力信号を出すときに、外部ノイズの影響を少なくするためで、バッファアンプ１３ａの出力電圧に応じて適当な増幅率を用いるとよい。
　感光体表面の電位をＶＳとし、感光体の静電容量をＣＰとすると感光体上に存在する電荷量ＱＰは
　ＱＰ＝ＶＳ・ＱＰ
となる。感光体に測定電極を非常に近接させると感光体の表面電位は低くなる。これは、測定電極を非常に近接させたことにより感光体表面の静電容量が変化する為である。この測定時の静電容量はＣＰＭは、測定電極と感光体間の微小空隙の静電容量をＣＡ，測定用コンデンサ１２の静電容量をＣＭとすると次式で表される。
　測定電極を感光体に非常に近接させた測定時の感光体表面電位ＶＳＭは次式で表される。
　この時の検出電極電圧つまりオペアンプ入力電圧ＶＩＮは、測定電極と感光体間の微小空隙と測定用コンデンサ１２の静電容量から次式となる。
　測定電極直径を５０μｍであるとすると、測定面積は約１．９６×１０−３ｍｍ２である。
　測定する感光体が約２０μｍ厚の有機感光体であるとすると感光体の比誘電率が約４であり、測定面積における２０μｍ厚の有機感光体の静電容量ＣＰは約３．５×１０−１５Ｆ程度である。また、測定ギャップをＧ（μｍ）とすると測定電極と感光体間の微小空隙による静電容量は、ＣＡ＝１．７４×１０−１４／Ｇ（Ｆ）となる。これらの値を用いて、この測定時の感光体表面電位が１ｋＶの時、測定ギャップと測定用コンデンサ１２の静電容量に対するオペアンプ１３ａ入力電圧を計算した結果を第４図に示す。ノイズ等に対する出力の安定性から考えると感光体表面電位が１ｋＶで約１００ｍＶ近くの電圧が必要である。測定ギャップを５０μｍとすると数ｐＦ以下の測定用コンデンサを用いなくてはならない。測定用コンデンサとして５ｐＦを用いた場合のオペアンプ入力電圧は、感光体表面電位が１ｋＶで、約６３ｍＶとなる。
　本実施例の回路方式では、測定前に測定用コンデンサに充電されている電荷を放電するためのディスチャージ・スイッチ１１を設ける必要がある。ディスチャージ・スイッチ１１は、測定時に静電容量や漏れ電流が発生しないようにしなければならない。ディスチャージ・スイッチとして通常のアナログスイッチやリレー等を用いると電源線からの漏れ電流による急速なドリフトが観察された。また、スイッチ部の容量によって測定用の静電容量が大きくなってしまい十分な電極電圧が得られない。このため、ディスチャージ・スイッチは第３図に示すようなフォトカプラによる主ディスチャージ・スイッチ１１ａとアナログスイッチによる副ディスチャージ・スイッチ１１ｂ，ｃの２段構造とし、測定時はフォトカプラの全端子にバッファアンプの出力がフィードバックされるように構成している。
　第５図（ａ）に、この構成において、非測定状態（ディスチャージ状態）から測定状態に切り替えたとき出力変化を実験用基板上で測定した結果を示す。、モード切り替え時に、アナログスイッチ１１ｂ，ｃからの飛び込み電流によるものと予測される０．５ｍＶ程度の出力の急激な変化が観察される。このようなモード切り替え時の電圧上昇があると、２段目のアンプ１３ｂでの増幅の際に出力がすぐ飽和してしまい、十分な増幅をすることができない。
　第５図（ｂ）は遅延回路によって、第２副ディスチャージ・スイッチ１１ｃの開放より第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂの接続のタイミングを遅らせた場合の測定結果である。図から第２副ディスチャージ・スイッチ１１ｃの飛び込み電流による電圧上昇は０．０５〜０．１５ｍＶ，第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂからの飛び込み電流は０．３５〜０．４ｍＶ程度であることがわかる。第５図（ｃ）は、第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂの接続より第２副ディスチャージ・スイッチ１１ｃの開放のタイミングを遅らせた場合の結果である。このように、第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂの接続より第２副ディスチャージ・スイッチ１１ｃの開放のタイミングを遅らせることによって、第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂからの飛び込み電流の影響を無くすことができる事がわかる。これは、両スイッチが接続された状態で、第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂより発生した電流はコモン電源に流されるためである。このために、本実施例の回路構成では、副ディスチャージ・スイッチを測定時のみ接続される第１副ディスチャージ・スイッチ１１ｂと非測定時のみ接続される第２副ディスチャージ・スイッチ１１ｃに分けた構造とし、非測定状態から測定状態への切り替えの際、両スイッチが共に接続状態を経て切り替わるように遅延回路を設けてある。
　第６図は、測定回路先端部の製作法の一実施例を説明するための図である。測定電極先端部は、測定時に静電潜像を乱さ無いためや接触時に感光体表面を傷つけないために、十分な面積のガード電極３ｂを有していることが望ましい。この様な大きなガード電極３ｂを有する測定電極先端部３は次のようにして製作することができる。
　測定電極先端部３は、まず測定電極先端部母材１５（３ｂ）に、測定電極直径よりやや大きい直径を有する微細な穴を加工する。この加工には放電加工機などを用いることができる。次に樹脂などにより表面が絶縁コートされた極細線１６（３ａ）を挿入後、エポキシ系樹脂１７などで接着を行う。挿入した極細線１６（３ａ）を測定電極表面で切断後、測定電極表面を旋盤またはフライス盤で平面加工を行い、研磨を行うことによって測定電極表面を平滑にする。これによって、ガード電極面積の十分大きい測定電極先端部３を製作することができる。
　第７図は、測定回路ケース外部の回路構成を説明するための図である。測定回路のコモン電圧は感光体の持つ最大電圧と最小電圧の中間の基準電圧を複数持つ基準電位電源１９に接続されており、コモン電圧を複数の基準電圧と接地電圧で切り替える手段を備えている。測定信号は絶縁アンプ２０を通して、データ記憶手段２１に接続されている。データ記憶手段２１は、タイミング信号発生手段２３からのタイミング信号２２ｂに合わせて、ある時間間隔のだけの測定データを記憶するようになっている。
　測定回路のコモン電位を感光体の持つ最大電圧と最小電圧の中間の電位にしているのは、測定電極を感光体に近接させた場合の、感光体と測定電極間の電界強度を極力小さくするためで、これによって、測定電極と感光体間の放電を防ぐことができる。
　コモン電位を与える基準電源１９は、電源リップルの非常に小さい必要があり、高圧の電池などを用いることができる。
　前記の放電開始電圧の高いＳＦ６等の気体を用いた放電防止策と基準電源によるバイアス印加による放電防止策は、測定電極と感光体の間に発生する電界強度に応じて、いずれか一方または、いずれも用いなくてもよい場合がある。
　第８図は、測定電極と感光体間の接触位置を検出する手法の一実施例を説明する図であり、距離センサ出力による精密パルス・ステージの制御プログラムの流れを説明するための図である。
　まず、測定電極と感光体間の設定距離ＨＳを入力する。次に、全距離測定手段の平均値として得られる距離データＬ１を取り込み、次に静電潜像測定装置の取り付けられている精密パルス・ステージ５を感光体に向かって、微小距離前進（例えば、精密パルス・ステージ１パルス相当分）させる。再び、距離測定手段から距離データＬ２を取り込む。次にこれらの距離データの差（Ｌ２−Ｌ１）を計算し、この値が、予め決定しておいた値△Ｌより小さければ、そのときの距離センサの出力値が測定電極と感光体の接触高さであるとして、この時の距離データを感光体位置Ｈ０として記憶手段に記憶する。距離データの差（Ｌ２−Ｌ１）が予め決定しておいた値△Ｌより大きい場合は、Ｌ２をＬ１とし、精密パルス・ステージを感光体に向かって前進させ、前記動作を繰り返す。
　測定電極と感光体の接触位置の測定後は、精密パルス・ステージを後退させる。測定電極と感光体との距離Ｈは、距離測定手段の距離データＨＬから、Ｈ＝ＨＬ−Ｈ０として算出できる。
　この操作は、測定電極が感光体と接触した場合、精密パルス・ステージ５にパルスを送っても、ステージが前進しなくなることを利用している。しかし、精密パルス・ステージ５の前進動作により、静電潜像測定装置の各部や感光体等が変形すると正確な測定が不可能となる。そこで、この距離設定の際の精密パルス・ステージ５の駆動電圧を距離制御時などの通常時より小さくすることによって、駆動力を小さくし、測定電極と感光体の接触時の各部変形を極力小さくする。前記の接触判定のための値△Ｌは、この微少な変形を考慮して、実験的に決定することができる。
　第９図は、測定電極と感光体との接触位置を検出するための他の一実施例を説明するための図であり、精密パルス・ステージ５の制御プログラムの流れを説明するための図である。
　静電潜像測定装置の測定電極が感光体と接触した際に歪が発生するような位置に応力センサまたは歪センサを取り付ける。このセンサの出力変化を監視しつつ、精密パルス・ステージ５を前進させてゆき、測定電極と感光体の接触による歪を検出した位置における距離測定手段の距離データを、感光体位置Ｈ０として記憶手段に記憶する。
　測定電極と感光体の接触位置の測定後、精密パルス・ステージを後退させる。測定電極と感光体の距離Ｈは、距離測定手段の距離データＨＬから、Ｈ＝ＨＬ−Ｈ０として算出できる。
　第１０図は、測定電極と感光体との接触位置を検出するための他の一実施例を説明するための図である。
　測定回路ケース２は、精密パルス・ステージ５にステージ移動方向ヘスライド可能な状態で取り付けられている。（ａ）精密パルス・ステージ５が、後退した位置で測定回路ケース２と感光体６を接触させる。（ｂ）次に、予め決定しておいた距離測定手段の距離データ位置Ｈ０まで、精密パルス・ステージ５を感光体側にゆっくりと前進させ、測定回路ケース２を感光体６に押し付けスライドさせる。（ｃ）その後、精密パルス・ステージ５を後退させることによって、測定電極と感光体との接触位置は、予め決定しておいた距離測定手段の出力位置Ｈ０となる。このとき、測定回路ケースの固定強さは重要であるので、回路ケースの固定強さは容易に変えられる構造とされている。
　第１１図は、測定電極と感光体との距離制御の一実施例を説明するための図であり、距離制御プログラムの流れを示している。
　全距離測定測定手段の出力の和または平均値として出力される距離測定手段の距離データＨＤを読み込み、距離データＨＤと感光体位置距離データＨ０の差をとる事によって、測定電極と感光体との距離Ｈ（＝ＨＤ−Ｈ０）を算出する。次に、距離Ｈが、距離設定値ＨＳと等しくなるように、精密パルス・ステージを前進または後退させる。
　第１２図は、測定電極と感光体の接触位置測定と距離制御を含んだ精密パルス・ステージの制御プログラムの全体構成の一実施例であり、プログラムの流れを示す図である。
　第１３図は、静電記録装置の静電潜像を測定した結果を示す一実施例である。有機感光体をＬＥＤで露光した結果であり、露光パターンは、「８ドット露光−８ドット非露光−４ドット露光−４ドット非露光−４ドット露光−４ドット非露光−２ドット露光−２ドット非露光−２ドット露光−２ドット非露光−１ドット露光−１ドット非露光−１ドット露光−１ドット非露光」の繰り返しパターンである。
　第１４図は、静電潜像測定装置を組み込んだ静電記録装置の制御回路構成の一実施例を説明するための図である。
　測定装置３３は、精密パルスステージ制御部２８と放電防止気体供給，排気機構部２４と制御部２７，タイミング制御部２６が接続され、測定動作の制御が行われる。
　測定回路３３の出力信号は絶縁アンプ２０を通して、測定データ記憶手段２１に送られ、データ解析手段２５で解析される。
　静電潜像測定装置制御部３０によって、精密パルスステージ制御部２８と放電防止気体供給，排気機構制御部２７，タイミング制御部２６の制御が行われ、データ解析手段２５の解析結果出力が、静電潜像測定装置制御部３０に送られ、制御情報として、静電記録装置のプロセス制御部３１に送られる。
　第１５図は、静電潜像測定装置を組み込んだ静電記録装置の潜像測定及び装置制御の流れの一実施例を説明するための図である。
　まず、静電記録装置の感光体ドラム停止させ、測定電極と感光体間の距離設定が行われ、測定ギャップ制御がなされる。次に、放電開始電圧の高い気体またはコモン電位を基準電源電圧とすることによる放電防止部を動作させる。静電記録装置を起動し、タイミング制御回路の３つのタイミング信号より、露光系から診断用露光パターンの露光、静電潜像測定回路のモードをディスチャージ状態から測定状態への切り替え、測定データの保持手段への記憶が制御される。測定データの保持手段に記憶されたデータはデータ解析手段により、分析されて、露光量、露光時間、現像バイアス、感光体ヒータなどが制御される。
　潜像状態の解析結果が正常となるまで、測定と制御が繰り返される。また、各プロセスの制御範囲を越えても正常な潜像測定結果が得られない場合、感光体寿命を判定する。
　潜像状態が正常になると、感光体ドラムを停止し、放電防止部の動作を停止し、距離制御を停止し、測定電極を感光体近傍から待避させ、一連の潜像測定及び装置状態設定動作を終了する。
　また、距離設定を予めしておけば、印写中の感光体の一部に測定・制御用の露光場所を設けることによって、静電記録装置の印写動作を停止させる事なく、印写プロセスの制御を行うことも可能である。
　上記実施例は、前記した実施例で示した静電潜像測定装置を用いた場合の静電記録装置についての実施例であり、静電潜像測定装置の構成や性能によっては、上記プロセス及び構成は、簡略化できるものである。
　第１６図および第１７時は、静電潜像による露光系および現像系の制御手法の一実施例を説明するための図である。
　第１６図は数ドット毎の露光・非露光の繰り返し３５ａと一ドット毎の露光非露光の繰り返し３５ｂによる感光体上に形成された静電潜像を本実施例における潜像測定装置により測定した結果を示している。露光量または露光時間の変化に対して静電潜像は、図（ａ），（ｂ），（ｃ）のように変化する。この時、美しい画像を得るためには、図（ｂ）のように露光位置位置の潜像の幅３４ｂと非露光位置の潜像幅３４ａを同一にする様に制御を行えばよい。
　また、静電潜像測定手段と表面電位測定手段を併用することによって、潜像各部の絶対電位を知ることもできる。表面電位測定手段で測定した露光領域及び非露光領域における電位ＶＲＡ，ＶＲＤは、第１６図の静電潜像測定手段の十分露光幅の広い潜像部３５ａの出力電圧ＶＡ，ＶＤの位置に相当する。潜像の幅が小さい露光パターンにより形成される潜像部３５ｂにおける、実際の最大電位ＶＲＢと最小電位ＶＲＣは、静電潜像測定手段の出力電圧ＶＡ，ＶＢ，ＶＣ，ＶＤと表面電位測定手段による測定電圧ＶＲＡ，ＶＲＤから次式で求めることができる。
　第１７図は、前記手法によって１ドットまたは２ドット毎の露光、非露光を繰り返しパターン部におけるコントラスト電位Ｘ＝Ｓ／Ｗ×Ｖ（最大電位ＶＲＢと最小電位ＶＲＣの差）を、実際の静電潜像と表面電位の測定結果から前記手法で計算した結果を示している。尚、ＳはＶＢ−ＶＣ、ＷはＶＡ−ＶＤ、ＶはＶＲＡ−ＶＲＤ。
　美しい画像を形成するためには、露光量または露光時間が、１ドット毎の露光パターンにおける電位差が最大となる（＊）の位置をとなるように制御すればよい。
　上記実施例は、静電潜像測定手段が感光体上の静電潜像を感光体表面電位や電荷量の相対的変化として検出する物の場合であり、静電潜像測定手段が感光体上の静電潜像を感光体表面電圧の絶対値変化を検出できる物の場合は、上記計算による潜像各部の絶対電圧値換算は不用であるとともに、測定手段は、静電潜像測定手段（高精細な表面電位測定手段）のみでよい。
　次に、静電潜像による現像バイアスの制御手法の一実施例を説明する。
　プリンタなどの反転現像の場合、現像バイアスが、第１６図におけるＶＢの電位ＶＲＢの以上であると、細線は黒くつぶれてしまう。また、現像バイアスが、第１６図におけるＶＣの電位ＶＲＣ以下の場合、細線は現像されない。現像バイアスを、細線の最大電位ＶＲＢと最小電位ＶＲＣの間の電位に設定することによって、図の静電潜像は細線まで現像することができ、最大電位ＶＲＢと最小電位ＶＲＣの中間付近の電位で最も美しく画像を形成することができる。現像バイアスが、細線の静電潜像の最大電位と最小電位の中間付近になるように制御することによって、感光体の種類や経時変化に対しても安定な現像を行うことができる。
　ａ−Ｓｉ感光体などは、湿度や温度によって潜像が像流れを起こすことが知られている。静電潜像測定手段を用いることによって、感光体上の静電潜像の状態を知る事ができるので、感光体のヒータ等の作動停止の制御を行うこともできる。
　また、静電潜像測定手段を用いることによって感光体上の静電潜像の状態を知る事ができるので、それによって、感光体の寿命を判定することができる。実際は、露光系の制御範囲内で、細線の潜像に十分な電位差を与えることができない場合や現像バイアスの制御範囲が細線の最大電位と最小電位の間から外れてしまった場合などに、感光体寿命と判定すればよい。
　ａ−Ｓｉ感光体などの湿度や温度によって潜像が像流れを起こす感光体の場合は、規定の温度、湿度または、感光体のヒータを十分な時間動作させた後、上記寿命判定を行えばよい。
［発明の効果］
　本発明による静電記録装置は、以上説明したような構成と制御手法によって以下に記載されるよう効果を奏する。
　静電潜像測定手段を静電記録装置に用いることによって、感光体上の潜像状態を測定することができるために、露光量，露光時間，現像バイアス，感光体用ヒータなど潜像形成に関係のある印写プロセスを最適に制御することができるとともに、感光体の寿命を判定することができる。
　また、本発明による静電潜像測定装置は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果をそうする。
　測定電極と感光体間の距離を一定に保つ手段を有するために、感光体ドラム偏心などを有する実機上での測定ができる。また、複数の距離センサによって、測定電極部分の距離制御ができる。
　さらに、測定回路のコモン電位を感光体の最大電位と最小電位の中間電位に設定することによって、測定電極と感光体との放電を防ぐことができる。また、測定電極と感光体の間に放電開始電圧の高い気体を充満させる手段を設けることによって、測定電極と感光体間の放電を防ぐことができる。
　測定回路のディスチャージ・スイッチを上記のような構成にすることによって、スイッチ切り替え時の飛び込み電流や測定時の漏れ電流を小さくすることができ、安定した静電潜像測定ができる。
　測定回路を振動吸収部材で支持することによって、実機上における測定時において実機の振動によるノイズの無い測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は、静電潜像測定装置の各部配置の一実施例を説明するための三面図である。
　第２図は、測定電極近傍に放電開始電圧の高い気体を充満させるための内ケースと外ケースの構造の一実施例を説明するための図である。
　第３図は、測定回路の一実施例を説明するための図である。
　第４図は、測定時の感光体表面電位が１ｋＶの時、測定ギャップと測定用コンデンサの静電容量に対するオペアンプ入力電圧を計算した結果を示す図である。
　第５図は、第１副ディスチャージ・スイッチと第２副ディスチャージ・スイッチの切り換えタイミングを、ずらしたときの効果を説明するための図である。
　第５図（ａ）は、非測定状態（ディスチャージ状態）から測定状態に切り替えたとき出力変化を実験用基板上で測定した結果を示す。
　第５図（ｂ）は遅延回路によって、第２副ディスチャージ・スイッチの開放より第１副ディスチャージ・スイッチの接続のタイミングを遅らせた場合の測定結果である。
　第６図は、測定回路先端部の製作法の一実施例を説明するための図である。
　第７図は、回路ケース外部の構成を説明するための図である。
　第８図は、測定電極と感光体間の接触位置を検出する手法の一実施例を説明する為の図であり、距離センサ出力による精密パルス・ステージの制御プログラムの流れを説明するための図である。
　第９図は、測定電極と感光体との接触位置を検出するための他の一実施例を説明するための図であり、精密パルス・ステージの制御プログラムの流れを説明するための図である。
　第１０図は、測定電極と感光体との接触位置を検出するための他の一実施例を説明するための図である。
　第１１図は、測定電極と感光体との距離制御の一実施例を説明するための図であり、距離制御プログラムの流れを示している。
　第１２図は、測定電極と感光体の接触位置測定と距離制御を含んだ精密パルス・ステージの制御プログラムの全体構成の一実施例であり、プログラムの流れを示す図である。
　第１３図は、静電記録装置の静電潜像を測定した結果を示す一実施例である。
　第１４図は、静電潜像測定装置を組み込んだ静電記録装置の制御回路構成の一実施例を説明するための図である潜像測定及び装置制御の流れの一実施例を説明するための図である。
　第１５図は、静電潜像測定装置を組み込んだ静電記録装置の潜像測定及び装置制御の流れの一実施例を説明するための図である。
　第１６図および第１７図は、静電潜像による露光系および現像系の制御手法の一実施例を説明するための図である。
　第１６図は数ドット毎の露光・非露光の繰り返しと一ドット毎の露光非露光の繰り返しによる感光体上に形成された静電潜像を本実施例における潜像測定装置により測定した結果を示す図である。
　第１７図は、１ドットまたは２ドット毎の露光・非露光の繰り返しパターン部におけるコントラスト電位を、計算した結果を示している。
１……距離測定手段（レーザ式非接触距離センサ）
２……静電潜像測定回路ケース
３……測定回路先端部（静電潜像測定センサ部）
３ａ……測定電極，３ｂ……ガード電極
４……ガスチャンバ
４ａ……内ケース，４ｂ……外ケース
５……精密パルスステージ
６……感光体ドラム
７……放電防ガス供給・排気線
７ａ……ガス供給，７ｂ……ガス排気
８……距離測定手段出力
９……測定回路制御及び出力線
１０……精密パルスステージ制御線
１１……ディスチャージ・スイッチ
１１ａ……主ディスチャージ・スイッチ
１１ｂ……第１副ディスチャージ・スイッチ
１１ｃ……第２副ディスチャージ・スイッチ
１２……測定用コンデンサ
１３……増幅器
１３ａ……バッファアンプ
１３ｂ……増幅率２０倍のアンプ
１４……コモン・シールド
１５……測定電極先端部母材（３ｂ）
１６……表面が絶縁コートされた極細線１６（３ａ）
１７……エポキシ系樹脂
１８……測定ケース内の測定回路
１９……基準電位電源
２０……絶縁アンプ
２１……データ記憶手段
２２……タイミング信号
２２ａ……測定タイミング
２２ｂ……記憶タイミング
２２ｃ……露光タイミング
２３……タイミング信号発生手段
２４……放電防止気体供給，排気機構部
２５……データ解析手段
２６……タイミング制御部
２７……放電防止気体供給，排気制御部
２８……精密パルス・ステージ制御部２７，タ２　第
２９……静電潜像測定装置制御部の制御信号
２９ａ……タイミング制御部制御信号
２９ｂ……放電防止気体制御部制御信号
２９ｃ……精密パルス・ステージ制御部制御信号
３０……静電潜像測定装置制御部
３１……静電記録装置のプロセス制御部３１
３２……露光制御部
３３……測定装置部
３４ａ……非露光部潜像
３４ｂ……露光部潜像
３５ａ……数ドット毎の露光・非露光の繰り返しにより形成された静電潜像
３５ｂ……一ドット毎の露光・非露光の繰り返しにより形成された静電潜像