【事件の表示】
　特許第２７０２０８３号「基板処理装置間のインターフェイス装置」の請求項１ないし請求項３に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２７０２０８３号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
  本件特許第２７０２０８３号は、平成２年７月２４日に出願された特願平２年１９５１２９号の一部を特許法第４４条第１項の規定により、平成６年１２月７日に出願されたものであって、平成９年１０月３日にその設定登録がなされ、その後、北村二郎より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１月１３日に訂正請求がなされ、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年３月１３日に訂正請求の補正がなされたものである。
２．訂正請求の適否についての判断
（１）訂正請求の補正の適否
　訂正請求の補正の内容は、請求項１の、
「基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板載置用の支持ピンを備えた基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記基板収納搬出機構は、基板保管部から基板を取り出す際、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
を、
「基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板載置用の支持ピンを備えた基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰するように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
と補正し、明細書の記載を、補正した請求項１の記載と整合するように補正するものであるから、この補正は、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明に相当し、補正の要件を満足するので、これを認める。
（２）訂正の内容
　訂正請求の内容は、特許請求の範囲の請求項１ないし請求項３、
「【請求項１】基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記基板収納搬出機構は、基板保管部から基板を取り出す際、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
【請求項２】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
【請求項３】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
を、
「【請求項１】基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板載置用の支持ピンを備えた基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰するように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。　
【請求項２】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、昇降することによって前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
【請求項３】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行うことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
と訂正し、明細書の記載を特許請求の範囲の記載と整合するように、明細書を訂正するものである。
（３）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正は、特許請求の範囲の請求項１では、基板受渡し機構を「基板載置用の支持ピンを備えた」と限定し、さらに、下手側プロセス装置のトラブル発生の有無に対応した基板の搬送・収納等の構成要件を付加し、請求項２では、「基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してな」ること、及び基板保持アームが「昇降する」と限定し、請求項３では、「基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行う」と限定したものであり、特許請求の範囲の減縮に該当し、特許請求の範囲を拡張・変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
　また、発明の詳細な説明の補正は、不明りょうな記載の釈明を目的として訂正するものであり、実質上特許請求の範囲を拡張・変更するものではないし、新規事項の追加にも該当しない。
（４）独立特許要件の検討
（引用例）
　訂正拒絶理由通知に引用した、本件出願前公知である、特開昭６０−１８２７２７号公報（以下、引用例１という。）には、
「第４図及び第５図で３２はロードカセット、３３及び３４はそれぞれレジスト塗布・ベーク装置１と露光装置９との間及び露光装置９と現像・ベーク装置１４との間に設けられているウエハ搬送経路切替部、３５及び３６はそれぞれウエハ搬送経路切替部３３及び３４間のバッファカセット、３７及び３８はそれぞれレジスト塗布・ベーク装置１から露光装置９へ、及び露光装置９から現像・ベーク装置１４へウエハを搬送するベルト搬送機構、３９、４０及び４１はバッファカセット３５又は３６へ、又はバッファカセット３５又は３６からウエハを搬送するベルト搬送機構、４２及び４３はそれぞれウエハ搬送経路切替部３３及び３４に設けられているセンサ、４４はアンロードカセットを示しており、この実施例ではウエハを搬送するベルト搬送機構３７及び３８と３９、４０及び４１は直交するように設けられている。なお、ベルト搬送装置３７、３８、３９、４０及び４１は、例えば第５図に示すように駆動源４５を有する同軸の回転機構４６によって同時回転する平行な２本のベルト４７と、ベルト４７の位置を上下できる機構（図示せず）によって構成されている。」（公報第３頁左上欄第１６行〜第３頁右上欄第１８行）、
「ロードカセット３２にウエハを装着４８したのち、このウエハは、レジスト塗布・ベーク装置１によりレジスト塗布２１及びプリベーク２２後、ベルト搬送機構３７によりウエハ搬送経路切替部３３に自動搬送４９され、センサ４２により検出される。この時、露光装置９が前のウエハを露光５０中の場合には、搬送経路切替部３３に搬送されたウエハはベルト搬送機構３９によりバッファカセット３５に搬送５１され収納される。バッファカセット３５に収納されたウエハは、レジスト塗布・ベーク装置１からのウエハの供給が遅れている場合には、ベルト搬送機構３９により搬送経路切替部３３に排出され、ベルト搬送機構３７により露光装置９に搬送５３供給される。」（公報第３頁左下欄第６行〜第２０行）と記載されている。
　したがって引用例１には、
「ウエハをレジスト塗布・ベークする装置と露光する装置との間に介在設置されるウエハ搬送経路切替装置において、前記両処理装置との間で基板を受渡しする第１のベルト搬送機構と、バッファカセットと、バッファカセットと第１のベルト搬送機構との間でウエハの出し入れを行う第２のベルト搬送機構とを備えたことを特徴とするウエハ処理装置間のウエハ搬送経路切替装置。」
の発明（以下、引用発明という。）が記載されている。
  同じく特開昭６３一１０６２７１号公報（以下、引用例２という。）には、
半導体処理装置間において基板の搬送径路内にて、基板を一時的に収納するバッファ装置に関し、
「つまり、基板の収納に際しては、基板下側容器内のどの水平溝が空であって、どの水平溝から順番に基板を収納すれば、先に収納した基板から先に排出させるのに都合がよいか判断し、また基板の排出に際しては、どの水平溝に基板を収納させておいたのか、これら収納されている基板のうちどの基板が一番先に収納した基板であるのか等を判断し、所望の水平溝が搬送手段の高さになるよう基板収納容器を昇降制御しなければならない。」（公報第２頁右下欄第６行〜第１５行）と記載されている。
　同じく特開平２一１３２８４０号公報（以下、引用例３という。）には、
「通路１０２には、この通路１０２内を例えばボールスクリュー等の図示しない駆動機構によってＹ方向に移動するハンドリング手段例えばウエハー搬送装置１１０が設けられている。この搬送装置１１０はキャリッジ１１１を有し、このキャリッジ１１１にはバキュームピンセット例えばウエハーＷを吸着保持するための２つのピンセット１１２、１１３が上下に重畳されて取付けられてる。ピンセット１１２、１１３は夫々独立にＸ方向（縦方向）、Ｙ方向（横方向）に移動可能で重畳されたピンセット１１２、１１３は同時にＺ方向（垂直方向）に平行移動が可能で、またθ方向に回動することができる。ピンセット１１２、１１３のこのような平行移動および回動を可能とするため、キャリッジ１１１にはステッピングモータ及びこれに連結されたボールスクリュー等の図示しない駆動機構が設けられている。ピンセット１１２、１１３は、一方のピンセットでウエハーを保持して処理ステーションに搬送し、この処理ステーションに処理済ウエハーがあった時、他のピンセットで処理済ウエハ−をピックアップし、上記ウエハーをセットする。この搬送装置１１０はウエハーＷを前述の各処理ステーション１０３〜１０８に搬送するために用いられる。」（公報第３頁左上欄第３行〜右上欄第５行）、
「第２図および第３図Ａ〜第３図Ｃに、上記ピンセット１１２、１１３、１２１を詳細に記載している。これらの図において、２１はピンセット本体である。この本体２１には３つの支点２２、２３、２４が突設され、半導体ウエハーＷはこれら支点によって三点支持される。この三点支持は、ピンセット２１表面のゴミの付着を防止する効果がある。これら支点２２〜２４の内２４には、その頂面に開口した真空吸着のための吸引口が設けられている。また、ウエハーＷのアラインメントのために、ウエハーＷの周綾に対応した円弧状のガイド部材２５と、ストッパ部材２６とが設けられている。半導体ウエハーＷは、まず第３図Ａに示す状態でピンセット上に植設される。この状態では、ウエハーＷはアラインメントされておらず、真空吸着もされていない。ついで、第３図Ｂに示すように、ピンセットをストッパ部材２６に向けて水平に移動させ、ウエハーＷのオリエンテーションフラットＷａがストッパ部材２５に当接させる。その後、更に水平移動を続けることにより、半導体ウエハーＷはピンセットの支点２２〜２４上をスライドし、最終的にはガイド部材２５に当接して停止する。従って、もし第３図Ａの状態でウエハーＷの位置がピンセットの中央部からズレていたとしても、ガイド部材２５に案内されることによって、ピンセット中央の所定位置にアライメントすることができる。」（公報第３頁左下欄第１６行〜第４頁左上欄第１行）と記載されている。
　同じく持開平２‐１２１３４６号公報（以下、引用例４という。）には、
「第３図は、ローダ１１、バッファ１４、およびアンローダ１５に適用される基板受け渡し装置の構成を示した斜視図である。基板搬送路Ａ上に設けられた基板受け渡し装置２１の両側に、それぞれアーム式の収納側基板搬送機構２２と取り出し側基板搬送機構２３が設けられている。ここで、ローダ１１およびアンローダ１５に備えられる収納側基板搬送機構２２および取り出し側基板搬送機構２３は、基板受け渡し装置２１と関連して、本発明における切り換え搬送機構を構成している。」（公報第３頁左下欄第１０行〜第２０行）、
「先に処理された基板がバッファ１４に一時的に格納されている場合には、先入れ先出しの原則に基づき収納および排出する。一方、バッファ１４に基板が収納されていない場合には、バッファ１４に到達した基板をそのまま搬出する（ステップＳＩ６）。」（公報第５頁右下欄第７行〜第１１行）と記載されている。
　同じく特開昭６３一１３９８１１号公報（以下、引用例５という。）には、
「このバッファー装置により処理装置から処理装置への被処理部材の搬送をなすとともに、ある処理装置にて故障が発生しその運転が停止したような場合にはその処理装置の手前の処理装置から流出してくる被処理部材を収容することにより処理部材の流れを停止させることなく継続させるものである。」（公報第３頁左上欄第１０行〜第１６行）と記載されている。
　
（対比）
　本件の訂正後の請求項１に係る発明（以下、訂正発明という。）と引用発明とを対比すると、引用発明の「ウエハ」、「レジスト塗布・ベークする装置」、「露光する装置」、「ウエハ搬送経路切替装置」、「第１のベルト搬送機構」、「バッファカセット」及び「第２のベルト搬送機構」は、訂正発明の「基板」、「第１のプロセス装置」、「第２のプロセス装置」、「インターフェース装置」、「基板受渡し機構」、「基板保管部」及び「基板収納搬出機構」に相当し、引用発明においても、「レジスト塗布・ベークする装置」及び「露光する装置」は、基板搬送手段を有していることは自明であるから、両者は、
「基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備えた基板処理装置間のインターフェイス装置。」
である点で一致しており、
ｉ）基板受渡し機構が、訂正発明では、「基板載置用の支持ピンを備え」ているのに対し、引用発明では、支持ピンを備えていない点、
ii）訂正発明では、「両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰するように構成し」ているのに対し、引用発明では、このような構成は備えていない点、
で相違している。
（当審の判断）
  上記相違点について検討する。
　上記相違点ｉ）及びii）に関して訂正発明が具備している、下手側のプロセス装置にトラブルが発生すると、上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を支持ピン上に支持して基板保管部に収納し、トラブルが解消すれば基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、下手側のプロセス装置に全ての基板を受け渡した後に通常運転に復帰する構成は、いずれの引用例にも記載されていないし、示唆されてもいない。
　そして、前記構成要件を具備することにより、訂正発明は、明細書に記載の、「下手側プロセス装置にトラブルがあって基板受入れが不能となっても、上手側プロセス装置からの基板をインターフェイス装置の基板保管部に収納保管しながら上手側プロセス装置の運転を続行することができ、基板処理装置の稼働効率を低下させることなく連続処理を行うことができる。」、「基板保管部から基板を取り出す際は、基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成しているので、上手側プロセス装置から搬出された順に下手側プロセス装置に基板を引き渡していくことができ、基板の順番が途中で入れ替わるようなこともなく、連続して行われる複数枚の基板への処理を正確にかつスムーズに行うことができる。」という作用効果を奏する。
　よって、訂正発明は、各引用例に記載された発明と同一の発明でも、また、各引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもなく、出願の際に、独立して特許を受けることができるものである。
　
　また、訂正後の請求項２に係る発明は、訂正発明に、「基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、昇降することによって前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成した」という構成要件を付加したものであるから、訂正発明と同様に、各引用例に記載された発明と同一の発明でも、また、各引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもなく、出願の際に、独立して特許を受けることができるものである。
　さらに、訂正後の請求項３に係る発明は、訂正発明に、「基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行う」という構成要件を付加したものであるから、訂正発明と同様に、各引用例に記載された発明と同一の発明でも、また、各引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもなく、出願の際に、独立して特許を受けることができるものである。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、本件訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
（本件発明）
　本件特許第２７０２０８３号の請求項１ないし請求項３に係る発明は、訂正された特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし請求項３に記載されたとおりのものである。
　
（特許異議申立人の主張の概要）
  特許異議申立人北村二郎は、甲第１号証として特開昭６０−１８２７２７号公報、甲第２号証として特開昭６３−１０６２７１号公報、甲第３号証として特開平２−１３２８４０号公報、甲第４号証として特開平２−１２１３４６号公報、甲第５号証として、特開昭６３−１３９８１１号公報を提示して、訂正前の本件請求項１ないし請求項３に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であるか、甲第１号証ないし甲第５号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号あるいは特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである旨、主張している。
（甲各号証の記載内容）
　特許異議申立人の提示した甲第１号証ないし甲第５号証は、訂正拒絶理由通知に引用した引用例１ないし引用例５であるから、各々上記２．（４）（引用例）に記載した発明が記載されている。
　
（対比・判断）
　本件の請求項１ないし請求項３に係る発明と特許異議申立人の提示した甲各号証に記載された発明とを対比すると、上記２．（４）（対比）に記載した相違点があり、上記２．（４）（当審の判断）に記載した理由により、本件の請求項１ないし請求項３に係る発明は、特許異議申立人の提示した甲各号証に記載された発明と同一の発明でも、また、甲各号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
　
（むすび）
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１ないし請求項３に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１ないし請求項３に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年４月１２日（２０００．４．１２）
【訂正の要旨】
１．訂正事項１
　特許請求の範囲の請求項１ないし請求項３、
「【請求項１】基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記基板収納搬出機構は、基板保管部から基板を取り出す際、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
　【請求項２】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
　【請求項３】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
を、
「【請求項１】基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板載置用の支持ピンを備えた基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰するように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
　【請求項２】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、昇降することによって前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。
　【請求項３】請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行うことを特徴とする基板処理装置間のインターフェイス装置。」
と訂正する。
２．訂正事項２
　明細書の段落番号【０００９】
「【課題を解決するための手段】
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成を採る。すなわち、請求項１に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記基板収納搬出機構は、基板保管部から基板を取り出す際、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成したことを特徴とするものである。」
を、
「【課題を解決するための手段】
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成を採る。すなわち、請求項１に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする基板載置用の支持ピンを備えた基板受渡し機構と、複数枚の基板が収納可能な基板保管部と、基板保管部と基板受渡し機構との間で基板の出し入れを行う基板収納搬出機構とを備え、前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰するように構成したことを特徴とするものである。」
と訂正する。
３．訂正事項３
　明細書の段落番号【００１０】
「請求項２に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したものである。」
を、
「請求項２に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり、前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、昇降することによって前記基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを有し、前記基板保持アームを前記基板保管部に対して前後動させて、前記基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように構成したものである。」
と訂正する。
４．訂正事項４
　明細書の段落番号【００１１】
「請求項３に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備えたことを特徴とするものである。」
を、
「請求項３に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行うことを特徴とするものである。」
と訂正する。
５．訂正事項５
　明細書の段落番号【００１２】
「【作用】
　請求項１に記載の発明の構成によると、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構に基板が受渡され、その基板受渡し機構を介して下手側のプロセス装置にその基板が受渡される。」
を、
「【作用】
請求項１に記載の発明の構成によると、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構の支持ピンに基板が受渡され、その基板受渡し機構を介して下手側のプロセス装置にその基板が受渡される。」
と訂正する。
６．訂正事項６
　明細書の段落番号【００１３】
「一方、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれ、基板収納搬出機構によって基板保管部に収納保管される。上手側プロセス装置から搬出されてくる後続の基板も順次基板保管部に収納保管される。」
を、
「一方、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれる。基板受渡し機構の支持ピン上に載置された基板は、基板収納搬出機構によって基板保管部に収納保管される。上手側プロセス装置から搬出されてくる後続の基板も順次基板保管部に収納保管される。」
と訂正する。
７．訂正事項７
　明細書の段落番号【００１５】
「請求項２に記載の発明の構成によると、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれる。基板収納搬出機構の基板保持アームは基板受渡し機構からその基板を受け取り、基板保管部の任意の保管場所の前面に移動し、基板保管部に対して前後動してその基板を基板保管部の所定の保管場所に保管する。上手側プロセス装置から搬出されてくる後続の基板も順次基板保管部に別々の保管場所に収納保管される。」
を、
「請求項２に記載の発明の構成によると、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれる。基板収納搬出機構の基板保持アームは基板受渡し機構からその基板を受け取り、昇降することによって基板保管部の任意の保管場所の前面に移動し、基板保管部に対して前後動してその基板を基板保管部のカセット内の所定の保管場所に保管する。上手側プロセス装置から搬出されてくる後続の基板も順次基板保管部に別々の保管場所に収納保管される。」
と訂正する。
８．訂正事項８
　明細書の段落番号【００１７】
「請求項３に記載の発明によれば、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側プロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構に基板が受渡されると、基板受渡し機構に付設された基板整合手段により基板の位置合わせが行われ、その後、下手側プロセス装置にその基板が受渡される。」
を、
「請求項３に記載の発明によれば、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側プロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構に基板が受渡されると、基板受渡し機構に付設された基板整合手段により基板の位置合わせが行われる。すなわち、基板受渡し機構の支持ピン上に基板が載置されると、支持ピンの両側に配設された一対の整合板が基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせが行われる。その後、下手側プロセス装置にその基板が受渡される。」
と訂正する。
９．訂正事項９
　明細書の段落番号【００５３】
「【発明の効果】
　以上の説明から明らかなように、請求項１ないし３に記載の発明によれば、下手側プロセス装置にトラブルがあって基板受入れが不能となっても、上手側プロセス装置からの基板をインターフェイス装置の基板保管部に収納保管しながら上手側プロセス装置の運転を続行することができ、基板処理装置の稼動効率を低下させることなく連続処理を行うことができる。しかも、基板保管部から基板を取り出す際は、基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成しているので、上手側プロセス装置から搬出された順に下手側プロセス装置に基板を引き渡してくことができ、基板の順番が途中で入れ替わるようなこともなく、連続して行われる複数枚の基板への処理を正確にかつスムーズに行うことができる。」
を、
「【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項１ないし３に記載の発明によれば、下手側プロセス装置にトラブルがあって基板受入れが不能となっても、上手側プロセス装置からの基板を基板受渡し機構の支持ピンを介して基板保管部に収納保管しながら上手側プロセス装置の運転を続行することができ、基板処理装置の稼動効率を低下させることなく連続処理を行うことができる。しかも、基板保管部から基板を取り出す際は、基板保管部に収納した順に基板を取り出すように構成しているので、上手側プロセス装置から搬出された順に下手側プロセス装置に基板を引き渡していくことができ、基板の順番が途中で入れ替わるようなこともなく、連続して行われる複数枚の基板への処理を正確にかつスムーズに行うことができる。」
と訂正する。
１０．訂正事項１０
　明細書の段落番号【００５４】
「特に、請求項２に記載の発明によれば、基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを基板保管部に対して前後動させて、基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように基板収納搬出機構を構成しているので、基板収納搬出機構を簡単な構成で、かつ、コンパクトに実現することができる。」
を、
「特に、請求項２に記載の発明によれば、基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、昇降することによって基板保管部の任意の保管場所の前面に移動可能な基板保持アームを基板保管部に対して前後動させて、基板保管部の任意の保管場所に対する基板の出し入れを行うように基板収納搬出機構を構成しているので、基板収納搬出機構を簡単な構成で、かつ、コンパクトに実現することができる。」
と訂正する。
１１．訂正事項１１
　明細書の段落番号【００５５】
「また、請求項３に記載の発明によれば、基板整合手段を備えることから、プロセス装置にトラブルが発生していない通常運転状態の場合は、上手側のプロセス装置から受け取った基板を下手側のプロセス装置に渡す前に基板の位置合わせが行われ、また、下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合には、基板保管部へ基板を保管収納する前に、あるいは基板保管部から基板を取り出した後に、基板整合手段によって基板の位置合わせが行われるので、いずれにしても上手側のプロセス装置で発生した基板の位置ズレが下手側のプロセス装置に影響を及ぼすことがなく、下手側のプロセス装置における基板搬送を円滑に行わせることができる。」
を、
「また、請求項３に記載の発明によれば、支持ピン上の基板の外縁に一対の整合板を当接離間させることによって基板の位置合わせを行う基板整合手段を備えることから、プロセス装置にトラブルが発生していない通常運転状態の場合は、上手側のプロセス装置から受け取った基板を下手側のプロセス装置に渡す前に基板の位置合わせが行われ、また、下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合には、基板保管部へ基板を保管収納する前に、あるいは基板保管部から基板を取り出した後に、基板整合手段によって基板の位置合わせが行われるので、いずれにしても上手側のプロセス装置で発生した基板の位置ズレが下手側のプロセス装置に影響を及ぼすことがなく、下手側のプロセス装置における基板搬送を円滑に行わせることができる。」
と訂正する。
（５４）【発明の名称】
基板処理装置間のインターフェイス装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする
基板載置用の支持ピンを備えた
　
前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、
　
前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に順に収納し、
　
前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、
　
前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰する
　【請求項２】　請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、
　
前記基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり
　前記基板収納搬出機構は、前記基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、
昇降することによって
　【請求項３】　請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、
　前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え
、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行う
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板等の各種の基板に、フォトレジスト塗布、露光、現像、エッチング等の各種の処理を順次施してゆく基板処理装置間に用いるインターフェイス装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　例えば、基板にフォトレジストを塗布して乾燥させる塗布プロセス装置、フォトレジストが塗布された基板を露光する露光装置、露光された基板を現像処理する現像プロセス装置等のプロセス装置は、それら幾種類かのプロセス装置を連設させて所要の処理ラインを構成するように設置される。
　【０００３】
　なお、個々のプロセス装置は、単数または複数のプロセスユニットから構成される。例えば、塗布プロセス装置は、基板表面にレジスト密着強化剤の蒸気を接触させる密着強化処理ユニット、回転塗布処理ユニット、加熱ユニット、基板の温度を室温へ戻す冷却ユニット等から構成される。また、各プロセス装置は、基板を載置するアームを移動させることによって基板を搬送する基板搬送手段を備え、その周囲に各種プロセスユニットを配置して構成される。
　【０００４】
　このような基板処理装置では、基板を二つのプロセス装置にわたって搬送するのであるが、プロセス装置間の基板の搬送は、両プロセス装置間にインターフェイス装置を設け、一方のプロセス装置の基板搬送手段からインターフェイス装置に一旦、基板を受渡し、その後、他方のプロセス装置の基板搬送手段が前記インターフェイス装置に載置された基板を受け取るようにしている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題点がある。
　上述したインターフェイス装置は、基板を受け取る側（以下、下手側と称する）のプロセス装置がトラブル発生により停止した場合、基板の受渡しが不能にな、るので、基板を渡す側（以下、上手側と称する）プロセス装置も停止せざるを得ず、トラブルが解消されるまで全ての処理を停止しなければならず、プロセス装置の稼動効率が低いものとなっていた。
　【０００６】
　また、上手側のプロセス装置で基板を搬送処理している間に基板の位置ズレが発生することがある。このような位置ズレの発生した基板がインターフェイス装置を介して、そのままの状態で下手側のプロセス装置に受渡されると、下手側のプロセス装置自身で生じる基板の位置ズレが上手側のプロセス装置での位置ズレに累積されることになる。そのため、下手側のプロセス装置で処理される基板の位置ズレが相当大きくなり、基板の搬送不良が発生して基板が脱落したり破損したりするおそれがある。
　【０００７】
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、両プロセス装置間に介在させるインターフェイス装置において、一方のプロセス装置にトラブルが発生しても、他方のプロセス装置を停止させる必要がないインターフェイス装置を提供することを主目的としている。
　【０００８】
　また、本発明の別の目的は、上記主目的に加えて、さらに一方のプロセス装置で基板の位置ズレが生じても、基板が受渡される他方のプロセス装置に、前記基板の位置ズレの影響がでない（すなわち、位置ズレが累積しない）ようにすることができるインターフェイス装置を提供することにある。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成を採る。
　すなわち、請求項１に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、基板を処理する第１のプロセス装置と第２のプロセス装置との間に介在設置されるインターフェイス装置において、前記両プロセス装置の基板搬送手段との間で基板を受渡しする
基板載置用の支持ピンを備えた
前記両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置の基板搬送手段が搬送してきた基板を前記基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持するとともに、前記支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆくという通常運転を行い、前記下手側のプロセス装置にトラブルが発生した場合は、前記上手側のプロセス装置から搬出されてきた基板を基板受渡し機構が受け取って支持ピン上に支持し、この支持ピン上の基板を前記基板収納搬出機構が受け取って前記基板保管部に順に収納し、前記下手側のプロセス装置のトラブルが解消した場合は、前記基板収納搬出機構が、前記基板保管部に収納した順に基板を取り出して支持ピン上に受け渡し、この支持ピン上の基板を下手側のプロセス装置の基板搬送手段が取り出してゆき、前記基板保管部に収納された全ての基板を下手側のプロセス装置に受け渡した後に前記通常運転に復帰する
　【００１０】
　請求項２に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、
前記基板保管部は、基板受渡し機構の側脇に基板を多段に収納可能なカセットを設置してなり
昇降することによって
　【００１１】
　請求項３に記載の発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置は、上記請求項１に記載の基板処理装置間のインターフェイス装置において、前記基板受渡し機構により受渡しする基板の位置合わせを行う基板整合手段をさらに備え
、前記基板整合手段は前記基板受渡し機構の支持ピンの両側に配設された一対の整合板を備え、この整合板を前記支持ピンに載置された基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせを行う
　【００１２】
　【作用】
　請求項１に記載の発明の構成によると、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側のプロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構
の支持ピン
　【００１３】
　一方、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれ
る。基板受渡し機構の支持ピン上に載置された基板は、
　【００１４】
　下手側プロセス装置のトラブルが解消すると、基板収納搬出機構により基板保管部に収納保管されていた基板が、基板保管部に収納された順に取り出されて基板受渡し機構へ搬出され、基板受渡し機構から下手側プロセス装置へ順次渡した後、上手側プロセス装置からの基板を受け取り、下手側プロセス装置へ基板を受渡すという通常運転状態に復帰する。
　【００１５】
　請求項２に記載の発明の構成によると、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれる。基板収納搬出機構の基板保持アームは基板受渡し機構からその基板を受け取り、
昇降することによって
カセット内の
　【００１６】
　下手側プロセス装置のトラブルが解消すると、基板保持アームにより基板保管部に収納されていた基板が、基板保管部に収納された順に取り出されて基板受渡し機構へ搬出され、基板受渡し機構から下手側プロセス装置へ順次渡した後、上手側プロセス装置からの基板を受け取り、下手側プロセス装置へ基板を受渡すという通常運転状態に復帰する。
　【００１７】
　請求項３に記載の発明によれば、両プロセス装置にトラブルが発生していない場合は、上手側プロセス装置から、本発明のインターフェース装置の基板受渡し機構に基板が受渡されると、基板受渡し機構に付設された基板整合手段により基板の位置合わせが行われ
る。すなわち、基板受渡し機構の支持ピン上に基板が載置されると、支持ピンの両側に配設された一対の整合板が基板の外縁に当接離間することによって基板の位置合わせが行われる。
　【００１８】
　一方、下手側プロセス装置にトラブルが発生して処理不能となった場合、上手側プロセス装置から搬出されてきた基板は一旦インターフェース装置の基板受渡し機構に送りこまれ、基板整合手段で位置合わせされた後、あるいは位置合わせを行うことなく、基板収納搬出機構によって基板保管部に収納保管される。上手側プロセス装置から搬出されてくる後続の基板も順次基板保管部に収納保管される。
　【００１９】
　下手側プロセス装置のトラブルが解消すると、基板保持アームにより基板保管部に収納されていた基板が、基板保管部に収納された順に取り出されて基板受渡し機構へ搬出され、基板整合手段で位置合わせを行ってから（あるいは、位置合わせを行うことなく）、基板受渡し機構から下手側プロセス装置へ順次渡した後、上手側プロセス装置からの基板を受け取り、基板を位置合わせし、下手側プロセス装置へ基板を受渡すという通常運転状態に復帰する。
　【００２０】
　なお、基板整合手段による基板の位置合わせは、基板保管部への収納保管動作の前後の少なくとも一方で行えばよい。
　【００２１】
　【実施例】
　以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
　図１は基板処理装置の要部の平面を示しており、図中の符号１は上手側のプロセス装置、２は下手側のプロセス装置、３は両プロセス装置１，２の間に介在された基板受渡し用のインターフェイス装置である。
　【００２２】
　上手側のプロセス装置１は、基板搬送手段１０１によって複数個のプロセスユニット４に対して基板Ｗを順次的に搬入・搬出して複数の処理を基板Ｗに施すよう構成されたものである。また、下手側のプロセス装置２も同様に基板Ｗを搬入・搬出する基板搬送手段１０２と、複数個のプロセスユニット５とを備えている。
　【００２３】
　なお、両プロセス装置１，２の基板搬送手段１０１，１０２における基板を載置する部分は、各プロセス装置内で基板Ｗを頻繁に搬送するものであるため、基板裏面を可能な限り汚染しないようにする必要があり、そのため、基板Ｗの外周の半分以上を囲む円弧部から、基板中心へ向けて延設した支持片が基板裏面を点接触に近い状態で支持する構造となっている。
　【００２４】
　インターフェイス装置３には、図１および図２に示すように、上手側プロセス装置１の基板搬出部、および下手側プロセス装置２の基板搬入部に臨むように基板受渡し機構６が備えられるとともに、その側脇に基板Ｗを多段に収納可能なカセット７を設置してなる基板保管部８と、本発明の構成における基板収納搬出機構に対応するアーム９が設けられている。
　【００２５】
　図３ないし図６に基板受渡し機構６の詳細を示す。
　基板受渡し機構６には、載置した基板Ｗの中心部下面を吸着して保持するように構成された昇降および水平左右動自在なアーム９、昇降自在な基板載置用の３本の支持ピン１０、支持ピン１０上に載置された基板Ｗの位置合わせを行う基板整合手段１１、位置決めされた基板Ｗを載置して昇降する基板仮受けアーム１２、および基板整合手段１１や基板仮受けアーム１２の駆動手段が備えられており、以下各部の詳細な構造と作動を説明する。
　【００２６】
　ベースフレーム１３には中抜き状の固定フレーム１４が立設されており、この固定フレーム１４に上下方向にわたって架設された一対のガイド軸１５に、昇降ブロック１６がスライド軸受１７を介して摺動自在に支持されている。昇降ブロック１６は、ガイド軸１５に並設された螺軸１８にナット部材１９を介して螺合されており、この螺軸１８を固定フレーム１４の上部に取り付けられたモータ２０（図６参照）で正逆方向にベルト駆動することにより、昇降するようになっている。昇降ブロック１６には、一対のブラケット２１が設けられており、このブラケット２１の上に昇降フレーム２２が取付けられている。
　【００２７】
　昇降フレーム２２には、左右方向にガイドレール２３が設けられており、このガイドレール２３にアーム基台２４が摺動自在に嵌め付けられている。このアーム基台２４に立設された支持棒２５の上部に、前記アーム９が水平状態に片持ち支持されている。このアーム９の先端部上面には、基板Ｗを真空吸着するための吸着孔９ａが設けられている。
　【００２８】
　また、昇降フレーム２２には、ガイドレール２３に平行して、無端状のベルト２６が一対のプーリ２７，２８間に張設されており、このベルト２６の一部がアーム基台２４と連結されている。また、一方のプーリ２７と主動プーリ２９との間に無端状のベルト３０が張設され、前記主動プーリ２９をステッピングモータ３１で正逆方向に駆動することにより、アーム基台２４がガイドレール２３に沿って左右に往復動するようになっている。
　【００２９】
　基板整合手段１１は、支持ピン１０の両側にそれぞれ摺動自在に配設された整合板３２ａ，３２ｂに、凸上の複数個（実施例では各４個）の当接片３３を基板Ｗと略同じ曲率になるように円弧上に配置して構成されたものであり、前記当接片３３が支持ピン１０上の基板Ｗの外縁に当接離間するように整合板３２ａ，３２ｂを往復駆動することにより、支持ピン１０に対して基板Ｗの位置合わせを行うようになっている。
　【００３０】
　そして、前記固定フレーム１４の上面には、整合板３２ａ，３２ｂを摺動可能に支持するためのベース板３４が、片持ち状に取り付けられている。このベース板３４の中央部には、前記アーム９の支持棒２５を導出するとともに、基板出し入れ時の支持棒２５の左右移動を許容する長孔３５が形成されている。この長孔３５に直交する方向に、左右一対のガイドレール３６ａが設けられ、このガイドレール３６ａに摺動板３７ａが摺動自在に架設されている。この摺動板３７ａに立設した縦壁板３８ａの上端に方の整合板３２ａが支持板３９ａを介して支持されている。長孔３５を挟んでガイドレール３６ａと対向する位置に同様の一対のガイドレール３６ｂがあり、このガイドレール３６ｂに摺動自在に架設された摺動板３７ｂに、他方の整合板３２ｂが縦壁板３８ｂおよび支持板３９ｂを介して支持されている。
　【００３１】
　図４および図７に示すように、各摺動板３２ａ，３２ｂの下方には、支軸４０を介してベース板３４に揺動自在に取り付けられたリンク部材４１がそれぞれ設けられている。各リンク部材４１は、連結ピン４２を介して摺動板３７ａ，３７ｂにそれぞれ長孔ピン結合されている。また、各リンク部材４１の下方には、ベース板３４上に設けられたガイドレール４３に摺動自在に嵌め付けられたＵの字形状のプッシャー板４４があり、このプッシャー板４４が連結ピン４５を介して、各リンク部材４１に長孔ピン結合されている。図７に示すように、前記プッシャー板４４が、後述するカム構造によって同図の矢印方向に押し出されると、その作用力が連結ピン４５を介して各リンク部材４１に伝えられ、各リンク部材４１は支軸４０を中心にして矢印方向に揺動する。その結果、各リンク部材４１の連結ピン４２に連結された整合板３２ａ，３２ｂが互いに近づく方向に動き、図８に示すように、整合板３２ａ，３２ｂに設けられた各当接片３３が基板Ｗの外縁に当接する。
　【００３２】
　次に、支持ピン１０を上下方向に移動可能に支持するピン支持手段について説明する。
　図３および図５に示すように、整合板３２ａ，３２ｂの間にある３本の支持ピン１０は、Ｕの字状の支持板４６に支持されている。支持板４６の基部は昇降部材４７に連結さ
れ
　【００３３】
　なお、整合板３２ａ，３２ｂに設けられた当接片３３の上端、および下限位置にある支持ピン１０の上端を、図２に示したように、カセット７の最下段にある基板収納高さよりも低い位置になるように設定することにより、アーム９がカセット７に対して基板Ｗを出し入れする際に、当接片３３や支持ピン１０が基板搬送の障害にならないようにしている。
　【００３４】
　次に、上述した当接片３３や支持ピン１０を駆動する手段について説明する。
　図４に示すように、固定フレーム１４の一方の側壁にガイドレール５０が上下方向に設けられており、このガイドレール５０に、可動部材５１が摺動自在に嵌め付けられており、この可動部材５１に連結したプレート部材５２にカム部材５３が連結されている。カム部材５３が設けられた固定フレーム１４の側壁の内側にエアーシリンダ５４が取り付けられており、このエアーシリンダ５４のロッド５４ａが前記カム部材５３およびプレート部材５２の上端に、連結部材５５を介して連結されている。カム部材５３に形成されたカム溝５６の作動曲面は、その上方がプッシャー板４４のスライド方向に凸状態になるような湾曲部分５６ａをもち、湾曲部分５６ａの下方は鉛直に延びている。このカム部材５３に、Ｌの字状の従動部材５７の下方に取り付けられたカムアフォロア５８が嵌入されており、この従動部材５７の他端がプッシャー板４４に連結されている。
　【００３５】
　図４に示すように、カム部材５３を連結したプレート部材５２の下方には、押し上げ部材５９が、昇降部材４７の下向き段部４７ａと離間した状態で取り付けられており、カム部材５３が上昇駆動されている途中で、この押し上げ部材５９が昇降部材４７の下向き段部４７ａに当接することにより、その後のカム部材５３の上昇に伴って押し上げ部材５９がコイルバネ４９の付勢力に抗して昇降部材４７を押し上げて支持ピン１０が上昇するように構成されている。
　【００３６】
　また、図３および図４に示すように、固定フレーム１４の他方の側壁の上下に設けたブラケット６０にわたって一対のガイド軸６１とロッドレスシリンダ６２が鉛直に架設されるとともに、ロッドレスシリンダ６２によって昇降される可動部材６３がこれらに外嵌支持されている。この可動部材６３から立設した支持部材６４の上端に連結部材６５を介して前記基板仮受けアーム１２が片持ち状に取付けられている。この基板仮受けアーム１２の上面には載置した基板Ｗが万一ズレた場合に落下するのを阻止するための小突起６６が備えられている。
　【００３７】
　なお、基板仮受けアーム１２の昇降ストロークは、基板支持ピン１０が下限位置にある状態で支持した基板より下方の位置から、アーム９がカセット７内の最上段の基板収納高さへ基板を出し入れする際にアーム９に対して基板仮受けアーム１２が支障とならない高さに達する上下範囲である。
　【００３８】
　本発明は、以上のように構成されたものであり、次にその作動について説明する。
　（１）プロセス装置１からプロセス装置２への通常の受渡しにおいては、プロセス装置１から搬出されてきた基板Ｗは先ず支持ピン１０上に載置される。
　【００３９】
　（２）次にエアーシリンダ５４が伸長作動してカム部材５３が上昇し、その上昇初期においてカムフォロア５８がカム溝５６の湾曲部分５６ａに作用してプッシャー板４４か図上左方へ移動され、基板整合手段１１の整合板３２ａ−３２ｂが互いに接近作動して基板Ｗの位置決めがなされる。
　【００４０】
　（３）引き続くカム部材５３の上昇に伴って整合板３２ａ，３２ｂが基板Ｗから離反する。
　【００４１】
　（４）プレート部材５２の一層の上昇に伴って押上げ部材５９が昇降部材４７の下向き段部４７ａに当接して、以後はプレート部材５２と一体に昇降部材４７が上昇し、位置決めされた基板Ｗを載置した支持ピン１０が上昇して所定高さで待機する。
　【００４２】
　（５）その後、プロセス装置２のプロセス搬送ユニットが支持ピン１０上の基板Ｗを取り出してゆく。
　【００４３】
　以上の基板受渡し作動において、例えばプロセス装置２でトラブルが発生して基板受入れが不能となった場合で、とくに、支持ピン１０がプロセス装置１から基板Ｗを受け取ったものの、まだプロセス装置２へ渡していない時にプロセス装置２のトラブルが発生した場合、ロッドレスシリンダ６２を上昇作動させて基板仮受アーム１２上に基板Ｗを受取り、図２に示したアーム９の上限位置よりも、高い位置で基板仮受アーム１２を上昇待機させることによって、支持ピン１０はプロセス装置１から基板Ｗをすぐに受け取れる状態となる。その後プロセス装置１から排出されてくる基板Ｗを前述のように支持ピン１０上に受取り、位置決めしたのち、可動ブロック１６を上昇させてアーム９上に支持ピン１０上の基板Ｗを移載保持し、ステッピングモータ３１を作動させてアーム９を基板保管部８へ移動させ、カセット７の例えば最上段に基板Ｗを収納する。
　【００４４】
　プロセス装置２のトラブルが解消されるまでの間、プロセス装置１からの基板Ｗを上記要領で基板保管部８へ順次搬送して保管してゆく。この間、トラブル発生直後に、支持ピン１０から基板仮受けアーム１２が保持した基板Ｗは基板仮受けアーム１２が保持したままである。
　【００４５】
　なお、プロセス装置２のトラブルが解消するまでの間にプロセス装置１から基板保管部８へ搬送されて来る基板Ｗとは、プロセス装置２のトラブルが発生した時に、プロセス装置１内にあった基板Ｗである。つまり、プロセス装置２でトラブルが発生した時点で、プロセス装置１への新たな基板Ｗの供給は停止されるが、すでにプロセス装置１内にある基板Ｗに対する処理は停止することなく継続し、それら基板Ｗが、基板保管部８に受け取られたのである。
　【００４６】
　下手側プロセス装置２でのトラブルが解消すると、基板仮受けアーム１２を下降させて、これに搭載保管していた基板Ｗを最初に支持ピン１０上に移載し、基板仮受けアーム１２上で基板がズレているかも知れないことを考慮して、基板整合手段１１によって基板Ｗの位置決めを行ってから、プロセス装置２へ送り出し、以後は基板受渡し機構６に搬入してきた順序で基板保管部８に収納した基板Ｗを取り出してプロセス装置２へ排出してゆく。
　【００４７】
　以上のように、インターフェイス装置３は、下手側のプロセス装置２でトラブルが発生すると、ただちに、支持ピン１０で支持されている基板Ｗを基板仮受けアーム１２が上方へ持ち上げることにより、インターフェイス装置３は上手側プロセス装置１から基板Ｗを受け取れる状態となり、上手側プロセス装置１を停止させることなく、上手側のプロセス装置１からの基板Ｗをインターフェイス装置３が受け取る。なお、それ以後は、上手側のプロセス装置１が基板Ｗを処理する周期でしかインターフェイス装置３へ基板Ｗが渡されないので、インターフェイス装置３は、アーム９が基板保管部８へ基板Ｗを収納するのに十分な時間間隔を持って、基板Ｗを受け取る。このように、インターフェイス装置３の基板受渡し機構６に基板がある時に、下手側プロセス装置２にトラブルが発生しても、上手側プロセス装置１に影響を及ぼすことなく、基板の保管を行うことができる。
　【００４８】
　なお、インターフェイス装置３における基板仮受けアーム１２から基板受渡し機構６へ基板Ｗを移載する際に、基板整合手段１１で位置決めを行ったが、これは前述したように基板仮受けアーム１２上で基板がズレたかもしれないことを考慮したためであり、そのようなおそれのがない場合には、かかる位置決めをする必要はない。
　【００４９】
　また、上述の実施例では、プロセス装置１が上手側のプロセス装置で、プロセス装置２が下手側のプロセス装置であるとして、基板Ｗの移動は、プロセス装置１からプロセス装置２へ向かう一方通行としたが、次のようにしてもよい。
　【００５０】
　すなわち、未処理基板を供給したり処理済み基板を回収する基板供給回収装置を、プロセス装置１に隣接し、基板供給回収装置から供給された未処理基板をプロセス装置１で第１の処理をし、インターフェイス装置３を介してプロセス装置２へ搬送して、プロセス装置２で第２の処理をし、しかる後に、処理済み基板をインターフェイス装置３を介してプロセス装置１を経て、基板供給回収装置へ回収させるようにしてもよく、インターフェイス装置３は、プロセス装置１からプロセス装置２へ搬送される処理中の基板と、プロセス装置２からプロセス装置１へ戻る処理済み基板の双方を受け渡すようにしてもよい。
　【００５１】
　なお、この場合、処理中の基板に関してはプロセス装置１が上手側で、プロセス装置２が下手側であり、処理済み基板に関してはプロセス装置２が上手側で、プロセス装置１が下手側である。
　【００５２】
　また、上述の実施例で説明した基板受渡し機構や、基板受渡し機構と基板保管部との間で基板を出し入れする基板収納搬出機構、さらには基板仮受けアームを駆動する機構などは、種々変更実施可能であり、実施例で説明したものに限定されるものではない。
　【００５３】
　【発明の効果】
　以上の説明から明らかなように、請求項１ないし３に記載の発明によれば、下手側プロセス装置にトラブルがあって基板受入れが不能となっても、上手側プロセス装置からの基板を
基板受渡し機構の支持ピンを介して
　【００５４】
　特に、請求項２に記載の発明によれば、基板受渡し機構との間で基板の受渡しが可能で、
昇降することによって
　【００５５】
　また、請求項３に記載の発明によれば、
支持ピン上の基板の外縁に一対の整合板を当接離間させることによって基板の位置合わせを行う
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係る基板処理装置間のインターフェイス装置の要部平面図である。
　【図２】
　インターフェイス装置の側面図である。
　【図３】
　基板受渡し機構の平面図である。
　【図４】
　基板受渡し機構の側面図である。
　【図５】
　基板受渡し機構の正面図である。
　【図６】
　基板収納機構を抜き出して示した斜視図である。
　【図７】
　基板位置決め機構の動作説明図である。
　【図８】
　基板位置決め機構の動作説明図である。
　【符号の説明】
　１…上手側プロセス装置
　２…下手側プロセス装置
　３…インターフェイス装置
　６…基板受渡し機構
　８…基板保管部
　９…アーム（基板収納搬出機構）
　１１…基板整合手段