【事件の表示】
　特許第２９１９３０９号「ターゲット用高純度チタン材、ターゲットおよびこれを用いて形成される薄膜」の請求項１乃至６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９１９３０９号の請求項１乃至６に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第２９１９３０９号（平成７年８月７日出願、平成１１年４月２３日設定登録）の請求項１乃至６に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至６に記載された事項により特定されるとおりのものである。
２．特許異議申立ての理由の概要
２−１．特許異議申立人日立金属株式会社について
（申立ての理由）
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証を提出すると共に参考資料１をも提出して、本件請求項１乃至６に係る発明は、上記甲第１号証に記載された発明であるから、本件請求項１乃至６に係る発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものであると主張している。
（証拠の記載内容）
　特許異議申立人が提出した上記甲第１号証と参考資料１には、それぞれ次の事項が記載されている。
甲第１号証：特開平２−２１３４９０号公報
（イ）「本発明は、・・特には半導体デバイス製造用の高純度チタンターゲットを製造するに適する高純度チタン材の製造に関するものである。」（第１頁右欄）
（ロ）「４）アルカリ金属含有率が０．１ｐｐｍ以下、・・・そして重金属含有率が０．５ｐｐｍ以下であり、・・・高純度チタンターゲット材」（第１頁右欄）
（ハ）「Ｆｅ等の重金属もまた界面接合部のトラブルの原因となる。」（第２頁上段右欄）
（ニ）「本明細書において、・・・重金属とは、比較的原子量の重いＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等を包括する。」（第３頁下段左欄）
（ホ）第７頁の「表」には、チタンスポンジと電析チタンの各元素（Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｓｎ等）の分析値（ｐｐｍ）が示されている。
参考資料１：「化学大辞典４」共立出版（株）、昭和３５年１２月３０日、第６２０頁
「重金属　比重５以上の金属をいう。・・・ただ一般に比較的比重の大きい金属という意味で鉄、マンガン、クロム、銅、鉛などのような金属をこのようによんでいる。」
（当審の判断）
（ｉ）請求項１に係る発明について
　上記甲第１号証には、「重金属のＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等が０．５ｐｐｍ以下である高純度チタンターゲット材」が記載されているが、この「高純度チタンターゲット材」が「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」の高融点金属をどの程度含有しているかについてまでは一切記載されていない。
　特許異議申立人は、この点に関し、上記参考資料１を提出して、「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」は比重が重い「重金属」と云えるものであるから、上記甲第１号証には、「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウムの重金属の含有量がそれぞれ０．５ｐｐｍ以下である高純度チタンターゲット材」の発明も記載されていると主張している。
　しかしながら、上記甲第１号証には、「重金属とは、比較的原子量の重いＦｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等を包括する。」と記載されているが、その具体的な金属元素が列挙されている上記甲第１号証の第７頁の「表」をみても、「高純度チタンターゲット材」の金属元素の中に、「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」は示されておらず、他の記載をみても、上記甲第１号証に記載の「重金属」が、「Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ」以外の比較的原子量の重い金属「全て」を包括するものであると解するに足る根拠が見当たらない。
　また、上記参考資料１にも、「重金属」として列挙されている金属元素は、鉛など高融点金属とはいえない金属をも含む「鉄、マンガン、クロム、銅、鉛」であり、そこには、本件発明の高融点金属である「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」は一切例示されていない。
　加えて、上記甲第１号証には、「Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等の重金属」の課題について、「界面接合部のトラブルの原因」と記載されており、これは、本件発明の解決すべき課題である「ライフタイムの改善」とは別異のものであるから、上記甲第１号証に記載される「Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等の重金属」と本件発明の「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」とは区別するのが相当であると云える。
　してみると、上記甲第１号証には、「Ｆｅ、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｍｎ等の重金属が０．５ｐｐｍ以下であるターゲット用高純度チタン材」の発明は記載されているが、「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウムの含有量がそれぞれ１ｐｐｍ以下であるターゲット用高純度チタン材」の発明が記載されているとまでは云うことができない。
（ｉｉ）請求項２乃至６に係る発明について
　これら発明も、請求項１に係る発明と同様、「高融点金属であるモリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウムの含有量がそれぞれ１ｐｐｍ以下」という点を主要な構成とするものであるから、請求項１に係る発明について、上記（ｉ）で述べたと同様の理由により、上記甲第１号証に記載された発明であるとすることはできない。
　したがって、特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
２−２．特許異議申立人西田良幸について
（申立ての理由）
　特許異議申立人は、証拠として、甲第１号証乃至甲第４号証を提出して、本件請求項１乃至６に係る発明は、上記甲第１号証乃至甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１乃至６に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきものであると主張している。
（証拠の記載内容）
　特許異議申立人が提出した上記甲第１号証乃至甲第４号証には、それぞれ次の事項が記載されている。
（１）甲第１号証：特開平１−１０４７６９号公報
（イ）「本発明はチタン（Ｔｉ）ターゲットに関し、・・・高純度チタン材を提供するチタンターゲットに関する。」（第１頁右欄）
（ロ）「（１）酸素含有量２５０ｐｐｍ以下；鉄、ニッケル、クロムの各元素の含有量１０ｐｐｍ以下、・・・チタンターゲット」（第１頁左欄）
（ハ）「Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒのような重金属はＶＬＳＩなど形成された薄膜との界面接合部におけるリーク現象の原因を構成し、」（第２頁下段左欄）
（ニ）第４頁の第１表には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒの含有量が示されている。
（２）甲第２号証：「ＣＯＬＬＯＱＵＥ　ＥＵＲＯＰＥＥＮ　ＤＥ　ＭＥＴＡＬＬＵＲＧＩＥ　ＳＯＵＳ　ＶＩＤＥ」１９７５年１０月、第１５１頁乃至第１５５頁（ＶＡＮ　ＡＲＫＥＬ法による高純度チタンの製造）
（イ）沃化物熱分解法による高純度チタンの製造法に係り、第１５５頁の表１には、チタンＡ乃至チタンＦの分析値（ｐｐｍ）が示されている。
（３）甲第３号証：「まてりあ」第３３巻第１号、１９９４年、第５１頁乃至第５４頁（チタンの電解法による高純度化）
（イ）「Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒなどの重金属を十分に除去しなければならない。・・・また重金属は界面接合部にトラブルを発生させる要因となる。」（第５１頁左欄）
（ロ）第５４頁の表３には電析ＴｉとＥＢ溶解Ｔｉの組成（ｐｐｍ）が示されている。
（４）甲第４号証：「Ｒａｒｅ　Ｍｅｔａｌｓ　’９０」１９９０年１１月、第１９１頁乃至第１９４頁（Ｅｌｅｃｔｒｏｒｅｆｉｎｉｎｇ　ｏｆ　Ｔｉｔａｎｉｕｍ　ｉｎ　Ｍｏｌｔｅｎ　Ｓａｌｔｓ）
（イ）第１９４頁のＴａｂｌｅ１には、「６ＮグレードＴｉ」の分析値（ｐｐｍ）が示されている。
（当審の判断）
（ｉ）請求項１に係る発明について
　上記甲第１号証には、「鉄、ニッケル、クロムの各元素の含有量が１０ｐｐｍ以下であるチタンターゲット」が記載されているが、これは、本件特許明細書の「ここで、高純度チタン材とは・・・鉄、ニッケル、クロムの含有量がそれぞれ１０ｐｐｍ以下であることを前提としている。」（段落【００１０】）の記載から明らかな如く、本件発明の前提条件を示すだけのものである。
　また、上記甲第２号証には、沃化物熱分解法による高純度チタン材の製造法とそれによって得られた数例の高純度チタン材の分析値が示されているが、これら高純度チタン材例の中には、本件発明の上記前提条件と「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウムの含有量がそれぞれ１ｐｐｍ以下である高純度チタン材」という条件を満足する高純度チタン材は見当たらない。
　さらに、上記甲第３号証及び甲第４号証について検討すると、これら証拠に記載された高純度チタン材の元素分析例も、「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」をどの程度含有するか等について一切示唆するものではない。
　そして、上記甲第１号証乃至甲第４号証には、上述したとおり、「ターゲット用高純度チタン材」における「モリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウム」の高融点金属が起因する課題やそれを解決するためのこれら金属の含有量について何ら示唆するところがないから、本件発明は、これら証拠に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（ｉｉ）請求項２乃至６に係る発明について
　これら発明も、請求項１に係る発明と同様、「高融点金属であるモリブデン、タンタル、タングステン、ニオブおよびジルコニウムの含有量がそれぞれ１ｐｐｍ以下」という点を主要な構成とするものであるから、請求項１に係る発明について上記（ｉ）で述べたと同様の理由により、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　したがって、特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
　
３．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１乃至６に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年４月７日（２０００．４．７）