【事件の表示】
　特許第２８８７２８４号「超純水の製造方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８８７２８４号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許２８８７２８４号は、平成８年８月９日に特願昭５９−２３１７３８号（出願日昭和５９年１１月２日）の分割出願として出願され、平成１１年２月１９日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、オルガノ株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年３月２７日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
　この訂正請求は、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件特許明細書を次のとおり訂正するものである。
（ｉ）特許請求の範囲の欄
訂正事項１：特許請求の範囲をその減縮と明りょうでない記載の釈明を目的として、
「半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、該被処理水を、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水処理手段で処理することを特徴とする超純水の製造方法。」と訂正する。
（ｉｉ）発明の詳細な説明の欄
訂正事項２：特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【０００８】の記載を、「即ち、本発明は、半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、該被処理水を、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた、超純水処理手段で処理することを特徴とする超純水の製造方法、を要旨とする。」と訂正する。
訂正事項３：明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００３０】の記載を、「なお、図１の実施例においては、図２に示す装置の回収システムＡと１次純水システムＤとの間に生物処理システムＦを設けた構成としているが、本発明においては、生物処理システムＦを回収システムＡのイオン交換塔３と紫外線酸化装置４との間に設けても良く、また、この紫外線酸化装置４に代えて設けた構成としても良い。」と訂正する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項１は、超純水処理手段での処理と生物処理手段での処理の前後関係を明確化したものであるから、特許請求の範囲の減縮と明りょうでない記載の釈明に該当し、訂正事項２及び訂正事項３も、明りょうでない記載の釈明に該当する。しかも、これら訂正事項は、特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．独立特許要件の判断
（本件訂正発明）
　訂正明細書の特許請求の範囲第１項に記載の発明（以下、「訂正発明」という）は、平成１２年３月２７日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書の上記２−１．（ｉ）に示す特許請求の範囲第１項に記載された事項により特定されるとおりのものである。
（取消理由通知の概要）
　当審が通知した平成１２年１月２６日付けの取消理由の概要は、次のとおりである。
（１）本件の特許請求の範囲第１項の記載では、被処理水が「生物処理手段」で処理された後に「超純水処理手段」で処理されるのか否かが必ずしも明確ではないから、本件特許明細書は、特許法第３６条第４項又は第５項に規定する要件を満たしていない。
（２）本件発明は、下記の刊行物に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
（引用刊行物）
引用例：「造水技術」第５巻第３号、１９７９年、第６６頁及び第６７頁
引用例には、「排水処理の完全クローズドシステムを完成」と題して、次の事項が記載されている。
（イ）「花王石鹸（株）九州工場では、このたび、排水を一切外部に流さない”完全クローズドシステム”を完成した。」（第６６頁左欄第１行及び第２行）
（ロ）第６６頁右欄の「２．排水処理システムを生物酸化処理に変更」の項には、「従来の凝集沈殿処理に代わり生物酸化処理を行った。」として、第６７頁の図２「クローズドシステム完成後（水量は完成前の規模に換算した数値）」に、「雨水」、「工業用水」及び「上水」を「生物酸化」−「活性炭吸着」−「逆浸透脱塩」の処理工程で処理するクローズド処理システムが図示されている。
（ハ）「生物酸化処理を行った水は、活性炭吸着処理ののち、半分以上は中水道水として、プロセス用水やその他、雑用水に再利用される。残りの水は、さらに逆浸透処理によって脱塩し、上水道なみの水質にしたうえでイオン交換処理によって純水化したのち、ボイラー用水や、プロセス用水として再利用する。」（第６７頁左欄「３．逆浸透脱塩処理による排水の再利用」の項）
（当審の判断）
　引用例には、工業用水や上水などの被処理水を生物処理する「排水処理方法」が記載されているが、そこには、「工業用水」が花王石鹸（株）九州工場から出る排水以外の、いわゆる本件訂正発明が対象とする「半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水」であるとする何らの記載もない。また、引用例には、「クローズド処理システム」で処理された水質についても、良質なものでもせいぜい「上水道なみの水質にしたうえでイオン交換処理によって純水化」した程度であり、その用途も「ボイラー用水やプロセス用水」であるから、結局のところ、引用例には、「生物処理による超純水の製造」に関する何らの記載又は示唆すらないと云うべきである。
　してみると、本件訂正発明は、上記引用例に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができない。
　また、本件特許明細書の上記記載不備も、上記訂正により解消されたと云える。
　したがって、本件訂正発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
２−４．むすび
　以上のとおり、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第６号証を提出して、本件発明の特許は、次の（１）乃至（３）の理由により、取り消されるべきものであると主張している。
（１）本件の分割出願は、その発明が原出願の発明と同一であるから、適法になされたものではない。
　そうすると、本件出願の出願日は遡及しないから、本件発明は、甲第１号証に記載された発明であり、また甲第１号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項により特許を受けることができない。
（２）本件発明は、甲第２号証乃至甲第６号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項により特許を受けることができない。
（３）本件特許明細書の特許請求の範囲第１項の記載が不明確であるから、特許法第３６条第４項又は第５項に規定する要件を満たしていない。
（証拠の記載内容）
甲第１号証：特開昭６１−１１１１９８号公報（原出願の公開公報）
甲第２号証：上記引用例と同じである。
甲第３号証：特開昭５０−４９８５７号公報
「本発明は有機性物質（例えば食堂排水、食品工場排水、醸造洗米排水、下水排水等）を含有する排水を微生物処理に関し、・・・すなわち排水を微生物処理をした後、更に化学反応処理、沈殿処理、濾過処理、イオン交換処理等を施して、これを浄化精製すると共に回収し、再利用する閉鎖型循環式処理を提供するものである。」（第２頁上段左欄第２行乃至第１２行）
甲第４号証：「用水と廃水」第２５巻第８号、１９８３年、第７４９頁乃至第７５７頁
「水道における生物処理の歴史」と題して、「ハニコームチューブ生物接触酸化法」等の生物処理に関する記載がある。
甲第５号証：「用水と廃水」第２５巻第８号、１９８３年、第７８２頁乃至第７８８頁
「河川系水道原水の生物処理（３）東京都における生物膜接触酸化法の比較実験」に関する記載がある。
甲第６号証：「用水と廃水」第２５巻第８号、１９８３年、第７９７頁乃至第８０５頁
「河川系水道原水の生物処理（４）大阪府における生物処理実験」に関する記載がある。
（当審の判断）
上記（１）の主張について
　原出願の発明（登録第２１３０３８４号特許）は「超純水製造装置」に係るものであり、その構成も本件訂正発明の「超純水の製造方法」と相違する別異の発明であるから、特許異議申立人の上記（１）の主張は採用することができない。
上記（２）の主張について
　甲第２号証は、上記引用例と同じであるから、この証拠については、上記２−３．で述べたとおりである。
　また、甲第３号証乃至甲第６号証についても検討すると、これら証拠も有機排水や水道原水などの生物処理に関するものであり、そこには「半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を生物処理する超純水の製造方法」について何ら記載されていないから、本件訂正発明は、甲第２号証乃至甲第６号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
　したがって、特許異議申立人の上記（２）の主張も採用することができない。
上記（３）の主張について
　この主張の根拠となった本件特許明細書の記載不備は、上記訂正により解消されたと云えるから、特許異議申立人の上記（３）の主張も採用することができない。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。 
【異議決定日】
平成１２年７月１８日（２０００．７．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
本件訂正の要旨は、本件特許第２８８７２８４号発明の明細書を平成１２年３月２７日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明を目的として、本件特許明細書を次のとおり訂正するものである。
（ｉ）特許請求の範囲の欄
訂正事項１：特許請求の範囲をその減縮と明りょうでない記載の釈明を目的として、
「半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、該被処理水を、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水処理手段で処理することを特徴とする超純水の製造方法。」と訂正する。
（ｉｉ）発明の詳細な説明の欄
訂正事項２：特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【０００８】の記載を、「即ち、本発明は、半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、該被処理水を、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた、超純水処理手段で処理することを特徴とする超純水の製造方法、を要旨とする。」と訂正する。
訂正事項３：明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００３０】の記載を、「なお、図１の実施例においては、図２に示す装置の回収システムＡと１次純水システムＤとの間に生物処理システムＦを設けた構成としているが、本発明においては、生物処理システムＦを回収システムＡのイオン交換塔３と紫外線酸化装置４との間に設けても良く、また、この紫外線酸化装置４に代えて設けた構成としても良い。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
超純水の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、
　該被処理水を
、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、
　膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた超純水処理手
段で
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は超純水の製造方法に係り、特に生物処理を組み入れて、水中の微生物の増殖を抑制するようにした超純水の製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ＬＳＩや超ＬＳＩの製造においては、多量の純水や超純水が用いられている。超純水は理論純水（Ｈ２Ｏのみからなる水）の比抵抗１８．２４ＭΩ・ｃｍに極めて近く、１７〜１８ＭΩ・ｃｍの比抵抗を有する純水である。
　【０００３】
　一般に、超純水製造プロセスは、活性炭、イオン交換樹脂、ＵＶ酸化、逆浸透膜（ＲＯ）、限外濾過膜（ＵＦ）等で構成されている。
　【０００４】
　例えば、超純水を用いた半導体ウェーハ洗浄システムからの洗浄廃液回収工程における超純水製造プロセスは図２に示す通りである。図２に示す装置においては、半導体洗浄工程１からの廃水を、まず回収システムＡの活性炭吸着塔２において活性炭吸着処理し、イオン交換塔３で処理して脱塩した後、更に必要なときには逆浸透膜装置（図示せず）を介して紫外線酸化装置４で処理している。紫外線酸化装置４においては、有機物をほぼ完全に酸化分解させるために、一般に、酸化剤として過酸化水素を添加し、過酸化水素存在下で紫外線を照射して処理が行なわれる。
　【０００５】
　このような活性炭吸着塔２、イオン交換塔３及び紫外線酸化装置４からなる回収システムＡからの処理水は、超純水製造システムＢに戻される。この超純水製造システムＢは、前処理システムＣ（凝集槽５及び二槽濾過器６からなる。）、１次純水システムＤ（逆浸透膜装置７、脱気塔８及びイオン交換装置９からなる。）及びサブシステムＥ（紫外線殺菌装置１０、混床式イオン交換装置１１及び限外濾過膜装置１２からなる。）から構成されている。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　このような超純水製造装置で得られる超純水や純水のような貧栄養の水中においても、微生物は極めて微量ではあるが存在し、純水中にｐｐｂオーダーでも有機物質が存在すると、微生物は増殖して、ＲＯ装置等の超純水製造装置にトラブルが生じる原因となる。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水を原水として超純水を製造する方法であって、膜処理装置及びイオン交換塔を有する超純水処理に、更に、微量のエネルギー源及び／又は栄養源を除去するために、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在のもとに生物処理する生物反応槽と、この生物反応槽で増殖した菌体を分離・除去するためのマイクロフィルターからなる菌体分離器とからなる生物処理を付加するようにしたものである。
　【０００８】
　即ち、本発明は、半導体洗浄工程からの排出水、工水、又は井水よりなる被処理水を処理して超純水を製造する方法において、
　該被処理水
を、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に生物処理する生物反応槽と、該生物反応槽からの処理水が導入されるマイクロフィルターからなる菌体分離器とを有する生物処理手段で処理した後、
　膜処理装置及びイオン交換樹脂を内蔵したイオン交換塔を備えた、超純水処理手
段で
を要旨とする。
　【０００９】
　純水処理手段から得られる水は、ＴＯＣ成分や塩類の含有量が少ないものであり、半導体の洗浄工程等に使用し得る。しかるに、叙上の如く、このままでは微生物が増殖し易い。そこで、この処理水を更に生物処理手段にて処理する。
　【００１０】
　この生物処理手段においては、エネルギー源及び栄養源の存在下で好気的に生物処理が行なわれ、純水に含まれていた微量のＴＯＣ成分及び／又はリン成分がほぼ完全に除去される。
　【００１１】
　これにより、得られる超純水は、微生物の増殖のおそれのない、極めて優れた水質のものとなる。
　【００１２】
　ところで、下水や産業廃水等、有機物を比較的多く含む水を生物処理することは慣用技術に属する。
　【００１３】
　しかし、超純水のように極めて貧栄養下の水を生物処理することは従来全く行なわれていなかった。また、そもそも生物処理は不可能と考えられていた。
　【００１４】
　それは、超純水のような貧栄養下での生物増殖機構は全く解明されていなかったことに加え、このような水を生物処理することは、微生物を加えることになるので、逆に水を汚染するものと考えられていたからである。
　【００１５】
　そこで、本発明者らは、従来の純水製造プロセスにおける微生物の挙動を研究した結果、このプロセスでは、有機性炭素は大部分除去されるものの、処理水中にはＴＯＣ濃度で５０ｐｐｂ程度の有機物質がなおも残存し、そして、微生物は、水中のＴＯＣが１ｐｐｂ存在すれば、これを資化することにより４〜５×１０３Ｎ／ｍｌに増殖し、ＴＯＣが５０ｐｐｂ残存する場合には約２×１０５Ｎ／ｍｌとなり、ＲＯ、ＵＦ膜等の目詰りの原因となり、純水製造に悪影響を及ぼすことが分った。実際、測定の結果（バイオアッセイ値）、超純水中では、微生物が菌数として１０３〜１０４Ｎ／ｍｌにまで増殖するに十分な有機物が残存しており、これに更に、配管、樹脂等の設備からのリンあるいは窒素の溶出又は洗浄薬品等により、リン等が付加された場合には、微生物は更に容易に増殖し、１０５Ｎ／ｍｌ以上にも達することが確認された。
　【００１６】
　なお、従来の純水製造装置において、紫外線殺菌処理が行なわれているが（図２の装置ではサブシステムＥの１０）、紫外線照射処理は一過性のものであり、微量の微生物がその後再び増殖することが分った。
　【００１７】
　而して、本発明者らは、純水中の微生物の増殖機構について上述したような研究の結果、微生物はリンが極めて低濃度例えば１０ｐｐｔとなるまで速い除去速度でＴＯＣ、リンその他の栄養塩を除去して増殖し、ＴＯＣ、リン又は窒素が欠乏した時点で、増殖が急激に抑制されるという事実が判明した。
　【００１８】
　本発明はこのような知見を発明完成の背景として有するものであり、本発明の好ましい一態様においては、純水製造手段からの純水を、生物処理手段にて処理し、該水中に含まれるＴＯＣ成分を除去する。この際、好ましくは栄養源を添加して生物処理する。前述のように、通常、純水中にはイオン交換樹脂等から溶出してくる窒素が溶解しているので、添加する栄養源としてはリンを添加するのが好ましい。リンの添加量は、純水中のＴＯＣが殆ど除去された時点でリンが殆ど全て消費されるような量とするのが最も好ましいが、この量よりも若干、増減しても良い。
　【００１９】
　このようにしてＴＯＣ成分が十分に除去されれば、その後、微生物が増殖することはない。
　【００２０】
　ＴＯＣの除去の程度としては、純水中のＴＯＣが１０ｐｐｂ以下好ましくは１ｐｐｂ以下となるようにするのが好ましい。
　【００２１】
　本発明の好ましい他の態様においては、純水製造手段からの処理水を、生物処理手段にて処理し、該純水中に含まれるリンを１０ｐｐｔ以下まで除去する。このようにリンを除去すれぱ、その後リンが該純水に付加されない限り、微生物が増殖することはない。
　【００２２】
　本発明の更に他の態様としては、純水製造手段からの処理水を生物処理手段にて処理し、該純水中に含まれる窒素を除去することである。
　【００２３】
　本発明において、このような貧栄養下における生物処理に用いられる菌種としては、オリゴトロフィックバクテリア（Ｏｒｉｇｏｔｒｏｐｈｉｃ　ｂａｃｔｅｒｉａ）等が好適である。オリゴトロフィックバクテリアは超純水のような極度にＴＯＣ濃度の低い水中において生育する微生物であって、これを用いることにより、処理水中のＴＯＣ濃度を５０ｐｐｂ以下、例えば１０〜１ｐｐｂ以下程度に、リン又は窒素濃度であれば１０ｐｐｔ以下程度まで低減することが可能となる。
　【００２４】
　図３は超純水中のＴＯＣ濃度（横軸）とオリゴトロフィックバクテリアの増殖速度（縦軸）との関係の一例を示すグラフである。この例は酢酸を基質とし、その添加量を変えることにより水中のＴＯＣ濃度を０〜３５ｐｐｂの間で変えている。図示の如く、この例ではＴＯＣ濃度の減少に伴って増殖速度μ（ｈｒ−１）も次第に減少し、ＴＯＣ濃度が５ｐｐｂ以下になると増殖速度μは直線的に小さくなる。一方、ＴＯＣ濃度が増加してもμの増加率は次第に減少し、増殖速度の最大値μｍａｘは０．２４ｈｒ−１であった。この例から、酢酸を基質とした場合は、０．１２〜０．２４ｈｒ−１の増殖速度でオリゴトロフィックバクテリアが増殖し、純水中のＴＯＣ濃度を５ｐｐｂ以下にまで、かなり速い速度で低下され得ることが認められる。
　【００２５】
　【発明の実施の形態】
　以下に本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
　【００２６】
　図１は本発明の方法を、図２に示す洗浄廃液回収工程に採用した例を示す系統図である。なお図１において、Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｅのシステムの構成は図２のものと同様であるので、同一部材に同一符号を付し、その構成の説明を省略する。
　【００２７】
　図１において、回収システムＡの紫外線酸化装置４を通過した水は、生物反応槽１３に導入され好気的に生物処理される。即ち、生物反応槽１３は、生物固定手段、例えば材質がセラミックからなるハニカムチューブ等の固定床、又はセラミックの粒状等の流動床を内蔵している。従って、これら充填材からは、無機あるいは有機物の溶出は無視できる。そして、微生物のエネルギー源及び栄養源の存在下に微生物が十分に繁殖（増殖）するに必要な時間以上反応が行なわれる。なお、通常、純水中には溶存酸素が数ｐｐｍ存在するので、この反応は好気的に進行するが、溶存酸素が少ないときには、純酸素等で曝気し、好気的条件を与えることが必要である。この反応により、微生物は活性化し、水中のＴＯＣ成分を資化する。而して、本実施例においては、生物反応槽１３内の水に、微生物の増殖に十分な量のリン及び窒素が含まれており、反応槽１３内の水に含まれるＴＯＣ成分が殆ど完全に無くなるまでこの生物反応が継続する。
　【００２８】
　生物反応槽１３におけるかかる反応により、有機炭素はＣＯ２あるいは菌体となる。菌体は後続の菌体分離器１４において、マイクロフィルターで捕捉され分離される。マイクロフィルターとしてはメンブレンフィルター、セラミックからなる多孔質濾過等が利用できる。菌体が分離された水はＴＯＣが極めて低濃度であるため、微生物の増殖能力は殆どない。この水はその後１次純水システムＤの供給側に導入される。
　【００２９】
　なお、図１に示す装置において、紫外線酸化装置４からの水のリン又は窒素濃度がＴＯＣ濃度に対して著しく低い場合には、生物反応槽１３における生物処理速度が非常に遅くなる。このような場合には、生物が増殖し、有機性炭素を資化できるように、生物反応槽入口部において微量のリン又は窒素を添加しても良い。この場合、リンは水中のＢＯＤ成分量に対し、重量比でＢＯＤ／リン≒１００／１程度、窒素は１００／５程度となるように添加するのが好ましい。
　【００３０】
　なお、図１の実施例においては、図２に示す装置の回収システムＡと１次純水システムＤとの間に生物処理システムＦを設けた構成としているが、本発明においては、生物処理システムＦ
を回
設けても良く、また
　【００３１】
　また、図１の実施例においては、生物反応槽１３で、ＴＯＣが残留しなくなるように必要に応じてリンあるいは窒素を添加し生物反応を行なっているが、本発明においては、リン又は窒素が残留しなくなるように生物反応させても良い。この場合は、超純水製造装置全体を、リンや窒素の溶出のおそれのない材質で構成するのが好ましい。
　【００３２】
　また本発明においては、生物処理を行なうに際し、リンとＴＯＣ成分とが共に殆ど全て微生物に消化されるようリン及び／又はＴＯＣ成分の調整を行なうようにしても良い。
　【００３３】
　上記の説明では半導体洗浄工程からの排出水を処理して超純水に再生するよう構成した例について説明したが、本発明は、工水、井水から純水を製造するプロセスにも適用し得る。
　【００３４】
　【発明の効果】
　以上詳述した通り、本発明の超純水の製造方法は、生物処理を組み入れ、微生物の増殖反応を利用してＴＯＣ及び／又はリン成分を除去するものであり、ＴＯＣ及び／又はリン成分を、低コストで極めて低濃度にまで除去することができる。
　【００３５】
　本発明の方法により製造された超純水は、微生物増殖の要因であるＴＯＣ及び／又はリン成分の濃度が極めて低いことから、微生物の増殖は確実に抑制される。従って、本発明方法によれば、超純水製造システム系内の微生物増殖に起因するスライムの発生が抑制され、ＲＯあるいはＵＦ膜面等のスライム付着等の各種の機器トラブルが防止される。そして、ＲＯ又はＵＦの洗浄回数も低減され、装置の運転を円滑に行ない、効率的な超純水製造を実施することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の超純水の製造方法を採用した超純水製造・回収システムを示す系統図である。
　【図２】
　一般的な超純水製造・回収システムを示す系統図である。
　【図３】
　超純水のＴＯＣ濃度と微生物の増殖速度との関係を示すグラフである。
　【符号の説明】
　Ａ　回収システム
　Ｂ　超純水製造システム
　Ｃ　前処理システム
　Ｄ　１次純水システム
　Ｅ　サブシステム
　Ｆ　生物処理システム
　４　紫外線酸化装置
　７　逆浸透膜装置
　９　イオン交換装置
　１２　限外濾過膜装置
　１３　生物反応槽
　１４　菌体分離器