【事件の表示】
　特許第２９１０１６１号「固体撮像素子」の請求項１に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９１０１６１号の請求項１に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
一.手続の経緯
　本件特許第２９１０１６１号の発明は、平成２年５月３１日に出願され、平成１１年４月９日に設定登録され、その後、平成１１年１２月２４日に坂本陽より特許異議申立がなされ、平成１２年４月１０日付で取消理由通知をし、その指定期間内である平成１２年６月２６日に訂正請求がなされ、これに対して１２年７月１１日付で訂正拒絶理由を通知し、その指定期間内である平成１２年９月２６日に訂正請求の補正がなされたが、上記訂正請求と訂正請求の補正が取り下げられたので、再度平成１２年１０月１３日付けで取消理由を通知し、その指定期間内である平成１２年１０月２６日に訂正請求がなされたものである。
二.訂正の適否の判断
（イ）訂正の要旨
(1)訂正事項ａ
特許請求の範囲の請求項１を
「有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、
　前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、
　前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素部（「分」は「部」の誤りと認められるので、補正して訂正の請求項１を認定した。）と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された前記反射防止膜に集められることを特徴とする固体撮像素子。」と訂正する。
(2)訂正事項ｂ
明細書の第５頁第２行（特許公報の第３欄第３５行）〜同書同頁第１４行（同公報の第３欄第４５行）の「上述の目的・・・挙げられる。」を
「上述の目的を達成するために、本発明は、有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素部（「分」は「部」の誤りと認められるので、補正して訂正された発明の詳細な説明を認定した。）と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された前記反射防止膜に集められるようにしたものである。」と訂正する。
（ロ）訂正の適否
　上記訂正事項ａは特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。また、上記訂正事項ｂは不明瞭な記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　訂正された請求項１に係る発明の独立特許要件について検討すると、平成１２年４月１０日付で通知した取消理由において引用した刊行物１（特開昭５９−２８７７０号公報）には、固体撮像素子より出力された信号の例えば増幅、白クリップ等の信号処理に用いられる基準レベルを黒の有機フィルタで覆われ入射光が遮断された部分より取り出すことによって、基準レベルにも出力信号と同様に暗電流が加わり、温度による暗電流の変動が出力信号と基準レベルとの差を変動させることを防止することが、同様に引用された刊行物２（特開昭６０−５３０７３号公報）には、マイクロレンズを周辺回路からドライエッチングにより除去するとき周辺回路がダメージを受けるのを防止するために、画素領域上のみならず周辺回路上にもマイクロレンズを設けた固体撮像素子が、同様に引用された刊行物３（特開昭５８−３６０７８号公報）には、Ａｌ等の金属でできている遮光膜は光を反射し、この反射光が光電変換部に入射してノイズとなるのを防止するために、遮光膜上に光透過率及び光反射率の低い膜を形成した固体撮像素子が、そして同様に引用された刊行物４（特開平１−１９１４８１号公報）には、Ａｌ遮光膜は入射光を反射して受光素子に入射してノイズとなったり、Ａｌ遮光膜が寄生コンデンサを形成して受光素子の動作速度を低下させるという問題を解決するために、Ａｌ遮光膜に替えて黒色絶縁樹脂からなる遮光膜を用いた受光素子がそれぞれ記載されているものと認められる。しかしながら、上記各刊行物には、訂正された請求項１に係る発明の「オプティカルブラック部において集光レンズがセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、集光レンズで集光された光が有効画素部とオプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された反射防止膜に集められるようにした」構成は記載はおろか示唆もされていない。よって、訂正された請求項１に係る発明は、上記刊行物１〜４記載の発明に基づいて当業者が容易に発明できたものとはいえない。
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同第３項で準用する同第１２６条第２〜４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
三．特許異議申立についての判断
（イ）本件発明
　本件特許請求の範囲請求項１に係る発明は上記二．（イ）に示したとおりである。
（ロ）申立の理由の概要
　申立人坂本陽は、甲第１号証（上記刊行物１）、甲第２号証（上記刊行物２）、甲第３号証（上記刊行物４）及び甲第４号証（上記刊行物４）を提示し、請求項１に係る発明は、甲第１号証記載の発明と同一であり、また甲第１号証〜甲第４号証記載の発明に基づき当業者が容易に発明できたものであるから特許法第２９条第１項第３号または同法第２９条第２項の規定によりその特許が取り消されるべきである旨及び本件発明の詳細な説明には当業者が実施できる程度にその発明の目的、構成、効果が記載されていないか、または請求項１には特許を受けようとする発明の構成に欠くことができない事項のみが記載されていないから、特許法第３６条第３項または第４項の規定によりその特許が取り消されるべきである旨主張する。
（ハ）判断
　上記二．（ロ）で述べたように、本件請求項１に係る発明は上記甲第１号証記載の発明と同一とも、上記甲各号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明できたともいえない。
　また、特許法第３６条第３項または第４項違反についても上記請求項１の訂正によって解消されたものと認められる。
(4)むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件特許請求の範囲請求項１に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許請求の範囲請求項１に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月３０日（２０００．１０．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
特許請求の範囲の請求項１を
「有効画素部部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、
　前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、
　前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素部（「分」は「部」の誤りと認められるので、補正して訂正の請求項１を認定した。）と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもつて配された前記反射防止膜に集められることを特徴とする固体撮像素子。」と訂正する。
（２）訂正事項ｂ
明細書の第５頁第２行（特許公報の第３欄第３５行）〜同書同頁第１４行（同公報の第３欄第４５行）の「上述の目的・・・挙げられる。」を
「上述の目的を達成するために、本発明は、有効画素部部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素部（「分」は「部」の誤りと認められるので、補正して訂正された発明の詳細な説明を認定した。）と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された前記反射防止膜に集められるようにしたものである。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
固体撮像素子
（５７）【特許請求の範囲】
（１）有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ
、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、
　
前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、
　
前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素分と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された前記反射防止膜に集められる
（２）有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられる固体撮像素子において、そのオプティカルブラック部の集光レンズの集光率は上記有効画素部の集光レンズのそれよりも低くされることを特徴とする固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
　本発明は、有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられる固体撮像素子に関する。
〔発明の概要〕
　本発明は、有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられる固体撮像素子において、入射光がオプティカルブラック部では反射防止膜に集光される構造とすることや、オプティカルブラック部の集光レンズの集光率を有効画素部のそれよりも低くすることにより、フレアのレベルを大幅に改善するものである。
〔従来の技術〕
　一般に、ＣＣＤイメージャの如き固体撮像素子では、有効に光電変換を行う有効画素部に隣接して、黒レベルを検出するためのオプティカルブラック部が配される。このオプティカルブラック部は、通常、アルミニウム膜からなる遮光膜が覆うように形成されている。また、高感度化を図るための技術として、チップ上に直接画素毎に形成されるオンチップ・マイクロレンズを用いた技術が知られる（例えば、日経マイクロデバイス，６月号，１９９０年，第９１頁〜第９２頁，日経ＢＰ社発行参照）。
　第６図は、オンチップ・マイクロレンズを形成したＣＣＤイメージャの断面図である。シリコン基板１００の表面には、略等間隔で複数のセンサー部１０１が形成されている。有効画素部での各センサー部１０１の間の領域上や、オプティカルブラック部上は、アルミニウム膜からなる遮光膜１０２に覆われている。その遮光膜１０２上には、反射防止のための染色層１０３が形成されており、この染色層１０３によりフレアの低減がなされる。そして、各センサー部１０１上には、各画素毎に集光レンズ１０６が形成されており、各集光レンズ１０６によりセンサー部１０１に光が集められる。これら集光レンズ１０６は、プロセス上のムラを低減するために、本来必要な有効画素部上のみならずオプティカルブラック部上にも延長して形成される。すなわち、オプティカルブラック部と有効画素部の間の境界面で連続性を持たせないで有効画素部内のみに集光レンズ１０６を形成した場合は、集光レンズ１０６の曲率が有効画素部の中心部と境界部で変化してしまい、感度のムラが発生することになり、それを防ぐために本来不要なオプティカルブラック部上にも集光レンズ１０６を連続的に形成している。
〔発明が解決しようとする課題〕
　ところが、集光レンズ１０６をオプティカルブラック部上も連続的に形成した場合には、その集光レンズ１０６によって集光率が増加し、オプティカルブラック部上の遮光膜１０２での反射によるフレアは、より強調されることになる。特に、斜め方向の光線は、シールガラス１０７の臨界角以下の角度で全反射となるために、有効画素部で再結像することがあり、フレアやゴーストが顕著となる。
　そこで、本発明は上述の技術的な課題に鑑み、フレアのレベルを大幅に改善するような固体撮像素子の提供を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
　上述の目的を達成するため、本発明は、有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられ、該オプティカルブラック部では反射防止膜に入射光が集光される固体撮像素子において、前記オプティカルブラック部の反射防止膜上には該反射防止膜に入射光を集光させる集光レンズが設けられ、前記オプティカルブラック部において、前記集光レンズはセンサー部に対して半画素分ずれた状態に設けられ、前記集光レンズで集光された光は、前記有効画素分と前記オプティカルブラック部で連続的に一定の間隔をもって配された前記反射防止膜に集められるようにしたものである。
　また、他の本発明の固体撮像素子は、有効画素部に隣接してオプティカルブラック部が設けられる固体撮像素子において、そのオプティカルブラック部の集光レンズの集光率は上記有効画素部の集光レンズのそれよりも低くされることを特徴とする。そのオプティカルブラック部のより低い集光率の集光レンズは、レンズ形状を有しない平坦な膜自体である場合も含む。
〔作用〕
　オプティカルブラック部で反射防止膜に入射光を集光させることにより、フレア成分が集光レンズにより集光され強調されたとしても反射防止膜に吸収されてしまう。従って、オンチップ・マイクロレンズ構造において、フレアの大幅な低減がなされることになる。
　また、本願の他の発明の固体撮像素子では、オプティカルブラック部の集光レンズは、有効画素部のそれよりも集光率が低くなるため、オプティカルブラック部におけるフレアの強調が軽減されることになる。
〔実施例〕
　本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明する。
　第１の実施例
　本実施例は、オプティカルブラック部の全面に反射防止膜としての染色層が形成されるＣＣＤ固体撮像素子の例である。
　まず、その画素の全体的な配置は、第５図に示す如き構造とされる。第５図は、入射光の光軸方向から撮像領域を臨んだ平面図であって、第５図に示すように、略矩形状の有効画素部ＥＰは、その周囲をオプティカルブラック部（光学的黒部）ＯＰＢに囲まれている。このオプティカルブラック部ＯＰＢは、黒レベルの基準を得るための領域であり、水平方向の前後部や垂直方向の前後部に例えば２，３画素〜数十画素程度形成される。有効画素部ＥＰは、後述するようにマトリクス状に配列されたセンサー部を有し、そのセンサー部で光電変換が行われる。
　次に、第１図にその要部断面を示す。シリコン基板１の表面に所定の間隔でセンサー部２が配列される。このセンサー部２では入射光に応じて信号電荷が発生し、その信号電荷が図示しない垂直レジスタや水平レジスタにより転送されて行く。この第１図は、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの境界部分の断面を示しており、有効画素部ＥＰでは、アルミニウム膜からなる遮光膜３は、各センサー部２の間の領域上に形成され、各センサー部２上の領域は遮光膜３の開口された開口部４とされる。逆に、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、遮光膜３がシリコン基板１上を一様に覆い、オプティカルブラック部ＯＰＢのセンサー部２に対して光が直接入射することはない。このような遮光膜３上には、それぞれ反射防止膜として機能する染色層５が形成される。すなわち、有効画素部ＥＰでは、各センサー部２の間の領域上に形成された各遮光膜３上に染色層５がそれぞれ形成され、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、該オプティカルブラック部ＯＰＢの全面を覆う遮光膜３上に染色層５がその遮光膜３を覆って形成される。このオプティカルブラック部ＯＰＢの染色層５は、遮光膜３を覆うように形成されて後述するようにフレアを吸収するように機能する。
　染色層５上には、レンズ材料層を加工して、集光レンズ６が画素毎に形成される。すなわち、有効画素部ＥＰ上では、各開口部４上に集光レンズ６が配され、オプティカルブラック部ＯＰＢ上では有効画素部ＥＰ上の集光レンズ６と同じピッチで配された集光レンズ６が形成される。有効画素部ＥＰ上の集光レンズ６は、入射光を集束して、見掛け上の開口率を向上させる機能を有する。また、オプティカルブラック部ＯＰＢ上の集光レンズ６は、有効画素部ＥＰ上のそれと連続的に形成されるため、有効画素部ＥＰの周辺部分のレンズ形状をその中央部分と同様のレンズ形状に維持させることが可能となる。このような各集光レンズ６上には、シールガラス７が配され、そのシールガラス７を介して入射光が入射する。
　このような構造の本実施例のＣＣＤ固体撮像素子では、次のような機構により、オプティカルブラック部ＯＰＢからのフレアが抑えられる。
　例えば、第１図に示すように、シールガラス７を介して光線ＰＯが入射したものとすると、その光線ＰＯはオプティカルブラック部ＯＰＢ上の集光レンズ６に入射する。その光線ＰＯは、集光レンズ６の界面で屈折し、その屈折光Ｐ１は集束されながら染色層５に向かう。この染色層５は、反射防止膜として機能するため、屈折光Ｐ１はその染色層５で弱められ、染色層５からの反射光Ｐ２はその光強度が十分に小さいものとなる。従って、集光レンズ６で集光された光の反射が防止され、フレアのレベルを十分に小さくすることが可能となる。
　なお、本実施例では、反射防止膜として染色層５を用いたが、他の反射防止機能を有し、プロセス上適合できる膜であれば他の材料膜であっても良い。
　第２の実施例
　本実施例は、第１の実施例の変形例であって、集光レンズの下部のみに反射防止膜として機能する染色層を設けた例である。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子は、第２図に示す要部を有しており、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの関係は第５図を用いて第１の実施例で説明したものに準ずる。
　このＣＣＤ固体撮像素子の構造について、第２図を参照しながら説明すると、まず、シリコン基板１１の表面に所定の間隔で光電変換を行うためのセンサー部１２が配列される。有効画素部ＥＰでは、アルミニウム膜からなる遮光膜１３は、各センサー部１２の間の領域上に形成され、各センサー部１２上の領域は遮光膜１３の開口された開口部１４とされる。逆に、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、遮光膜１３がシリコン基板１１を一様に覆い、オプティカルブラック部ＯＰＢのセンサー部１２に対して光が直接入射することはない。
　そして、このような遮光膜１３上には、それぞれ反射防止膜として機能する染色層１５ａ，１５ｂが形成される。すなわち、有効画素部ＥＰでは、各遮光膜１３上に染色層１５ａがそれぞれ形成される。この有効画素部ＥＰの遮光膜１３は、センサー部１２の間の頂域に形成されているため、そのセンサー部１２の間の領域で染色層１５ａによる反射防止がなされる。また、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、その全面を覆う遮光膜１３上に複数の染色層１５ｂが形成される。オプティカルブラック部ＯＰＢの染色層１５ｂは、次に説明する集光レンズ１６に対応して配置されており、オプティカルブラック部ＯＰＢの遮光膜１３の下に隠されたセンサー部１２にも対応して配置される。このように染色層１５ｂを各画素毎のパターンとすることにより、有効画素部ＥＰの染色層１５ａとの加工上の連続性を持つことができ、徽細加工に有利となる。
　染色層１５ａ，１５ｂ上には、レンズ材料層を加工して、第１の実施例と同様に、集光レンズ１６が画素毎に形成される。すなわち、有効画素部ＥＰ上では、各開口部１４上に集光レンズ１６が配され、オプティカルブラック部ＯＰＢ上では有効画素部ＥＰ上の集光レンズ１６と同じピッチで配された集光レンズ１６が形成される。有効画素部ＥＰ上の集光レンズ１６は、入射光を集束して、見掛け上の開口率を向上させる機能を有する。また、オプティカルブラック部ＯＰＢ上の集光レンズ１６は、有効画素部ＥＰ上のそれと連続的に形成されるため、有効画素部ＥＰの周囲のレンズ形状をその中央部と同様のレンズ形状に維持させることが可能となる。このような各集光レンズ１６上には、シールガラス１７が配され、そのシールガラス１７を介して入射光が入射する。
　このような構造の本実施例のＣＣＤ固体撮像素子は、第１の実施例と同様に、オプティカルブラック部ＯＰＢの集光レンズ１６で集光された光線は、反射防止膜である染色層１５ｂでその反射が抑えられることになり、フレアの低域を図ることが実現される。また、染色層１５ｂの加工性も染色層１５ａとの連続性から向上し、微細加工にも有利である。
　第３の実施例
　本実施例は、オプティカルブラック部上の集光レンズをハーフピッチずらせたＣＣＤ固体撮像素子の例である。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子は、第３図に示す要部を有しており、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの関係は第５図を用いて第１の実施例で説明したものに準ずる。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子の構造について、第３図を参照しながら説明すると、第１の実施例や第２の実施例と同様に、シリコン基板２１の表面に所定の間隔で光電変換を行うためのセンサー部２２が配列される。有効画素部ＥＰでは、アルミニウム膜からなる遮光膜２３は、各センサー部２２の間の領域上に形成され、各センサー部２２上の領域は遮光膜２３が開口された開口部２４とされる。また、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、遮光膜２３がシリコン基板２１を一様に覆い、オプティカルブラック部ＯＰＢのセンサー部２２に対して光が直接入射することはない。
　このような遮光膜２３上には、反射防止膜である染色層２５が形成される。有効画素部ＥＰでは、染色層２５が遮光膜２３のピッチに合わせて該遮光膜２３上に配される。この有効画素部ＥＰでは、染色層２５の間隔Ｌは遮光膜２３のピッチと等しい。次に、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、有効画素部ＥＰのピッチをそのまま引き継いだ間隔Ｌで染色層２５が配される。このオプティカルブラック部ＯＰＢでは遮光膜２３は一様に基板表面を覆って形成されるが、染色層２５は有効画素部ＥＰのパターンをそのまま引き継いで形成される。
　この反射防止膜として機能する染色層２５上には、レンズ材料層を加工して集光レンズ２６が形成される。この集光レンズ２６は、有効画素部ＥＰ上では、開口部２４上に各画素毎に形成される。そして、オプティカルブラック部ＯＰＢ上にも、同様の集光レンズ２６が形成されるが、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの間の領域の空隙部２７を介して、その集光レンズ２６のピッチは半画素分ずれた位置に配されることになる。すなわち、有効画素部ＥＰでは集光レンズ２６は周期１を以て規則正しく配列されているが、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの境界に設けられた空隙部２７は１／２のサイズを以て配されており、この空隙部２７上には集光レンズ２６は形成されない。その結果、オプティカルブラック部ＯＰＢではその空隙部２７に隣接して集光レンズ２６が再び周期１を以て規則正しく配列されるが、有効画素部ＥＰからみると空隙部２７のサイズ分だけずれていることになり、結局オプティカルブラック部ＯＰＢでは有効画素部ＥＰに比べて半画素分ずれることになる。
　このような集光レンズ２６上には、シールガラス２８が形成され、このシールガラス２８を介して入射光が入射する。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子では、前述のようにオプティカルブラック部ＯＰＢの集光レンズ２６のピッチが半画素分ずらせて配列される。一方、その下部の染色層２５は、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢで連続的に間隔Ｌを以て配されている。従って、有効画素部ＥＰの集光レンズ２６で集められた光は、開口部２４を介してセンサー部２２に入射するが、オプティカルブラック部ＯＰＢの集光レンズ２６で集光された光は、オプティカルブラック部ＯＰＢの染色層２５に集められることになる。第３図中、光線Ｑ１，Ｑ２はそれぞれオプティカルブラック部ＯＰＢの集光レンズ２６で集光される光線を示しており、それぞれオプティカルブラック部ＯＰＢの染色層２５に集められる。このように染色層２５に集められた光は、その反射が防止されるため、フレアの低減がなされることになる。
　第４の実施例
　本実施例は、オプティカルブラック部上の集光レンズを平坦化膜に置き換えたＣＣＤ固体撮像素子の例である。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子は、第４図に示す要部を有しており、有効画素部ＥＰとオプティカルブラック部ＯＰＢの関係は第５図を用いて第１の実施例で説明したものに準ずる。
　本実施例のＣＣＤ固体撮像素子の構造について、第４図を参照しながら説明する。第１の実施例等と同様に、本実施例のＣＣＤ固体撮像素子は、シリコン基板３１の表面に所定の間隔で光電変換を行うためのセンサー部３２が配列される。有効画素部ＥＰでは、アルミニウム膜からなる遮光膜３３は、各センサー部３２の間の領域上に形成され、各センサー部３２上の領域は遮光膜３３が開口された開口部３４とされる。また、オプティカルブラック部ＯＰＢでは、遮光膜３３がシリコン基板３１を一様に覆う。
　このような遮光膜３３上には、反射防止膜である染色層３５が形成される。有効画素部ＥＰでは、染色層３５が遮光膜３３のピッチに合わせて該遮光膜３３上に配される。そして、オプティカルブラック部ＯＰＢでは染色層３５が有効画素部ＥＰと同様の周期的なパターンで連続的に形成される。
　そして、本実施例では、各画素毎に開口部３４上に形成される集光レンズ３６が、有効画素部ＥＰのみで形成され、オプティカルブラック部ＯＰＢでは集光レンズが形成されずに平坦化膜３７のみが積層して形成される。平坦化膜３７や集光レンズ３６を得るためのレンズ材料層の厚みＴは、他の実施例のものに比べて比較的に厚いものとされ、このようにある程度厚く形成することで、集光レンズ３６のパターンの連続性を代わりの平坦化膜３７によって確保することが可能である。このようにオプティカルブラック部ＯＰＢに平坦化膜３７を形成することにより、オプティカルブラック部ＯＰＢの集光率は低減され、その結果、フレアの強調は抑制されることになる。従って、オプティカルブラック部ＯＰＢ上のアルミニウム膜である遮光膜３３による反射に起因したフレアは低減されることになる。
　なお、本実施例では、オプティカルブラック部ＯＰＢ上の集光レンズを平坦な平坦化膜としたが、これに限らず、有効画素部ＥＰのレンズ形状よりも曲率の小さなレンズをオプティカルブラック部上に形成するようにしても良い。このような場合でも、オプティカルブラック部における集光率が低下するため、フレアの低減がなされることになる。
〔発明の効果〕
　本発明の固体撮像素子は、上述のように、反射防止膜に集光させる構造やオプティカルブラック部の集光率を低くする構造により、オプティカルブラック部の遮光膜に入射する光の反射によるフレアを低減させることができる。その結果、本発明の固体撮像素子では、フレアのレベルの低い高画質の映像信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明の固体撮像素子の一例の要部断面図、第２図は本発明の固体撮像素子の他の一例の要部断面図、第３図は本発明の固体撮像素子のさらに他の一例の要部断面図、第４図は本発明の固体撮像素子のまた更に他の一例の要部断面図、第５図は本発明の固体撮像素子の有効画素部とオプティカルブラック部の配置を示す平面図、第６図は従来の固体撮像素子の一例の要部断面図である。
１，１１，２１，３１……シリコン基板
２，１２，２２，３２……センサー部
３，１３，２３，３３……遮光膜
４，１４，２４，３４……開口部
５，１５ａ，１５ｂ，２５，３５……染色層
６，１６，２６，３６……遮光膜
２７……空隙部
３７……平坦化膜