【事件の表示】
　特許第３００６３５４号「積層型圧電体素子の製造方法」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３００６３５４号の請求項１、２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．　経緯
　特許出願　　　　　　　　　　　　　　　平成　５年　７月　６日
　設定登録（特許第３００６３５４号）　　平成１１年１１月２６日
　特許異議申立（キヤノン株式会社）　　　平成１２年　８月　７日
　取消理由通知　　　　　　　　　　　　　平成１２年１１月２９日
　特許異議意見書　　　　　　　　　　　　平成１３年　２月１３日
　訂正請求　　　　　　　　　　　　　　　平成１３年　２月１３日
　
２．　訂正請求について
２．１　訂正事項
　上記訂正請求の概要は次のとおりである。
訂正事項ａ
　特許された特許請求の範囲の請求項１の記載「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨することを特徴とする積層型圧電体素子の製造方法。」を、
「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に
厚膜法を用いて
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
訂正事項ｂ
　段落【０００７】の記載を、「上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電体素子の製造方法は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に厚膜法を用いて外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨するとともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨することを特徴とする。」と訂正する。
２．２　訂正制限事項について
　上記訂正事項ａは、特許請求の範囲の減縮に該当し、特許明細書または図面に記載した事項の範囲内であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲の拡張し、変更するものではない。
　訂正事項ｂは、明りょうでない記載の釈明に該当し、特許明細書または図面に記載した事項の範囲内であり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲の拡張し、変更するものではない。
２．３　訂正請求のまとめ
　以上のとおりであるから、上記訂正は特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
２．４　本件発明の要旨
　本件特許に係る発明は、上記訂正請求で訂正された特許請求の範囲請求項１、２に記載されたとおりの、次のものである。
「【請求項１】複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に
厚膜法を用いて
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
【請求項２】　前記積層体の最上層の内部電極より上側の圧電体部分、及び最下層の内部電極より下側の圧電体部分の厚みを大きくして、積層体の上・下面の研磨しろとしたことを特徴とする請求項１記載の積層型圧電体素子の製造方法。（以下、訂正発明２という。）」
　
３．　異議申立理由及び取消理由の概要
３．１　異議申立理由の概要
　特許異議申立人キヤノン株式会社は、甲第１号証（特開昭６１−６９３００号公報）、甲第２号証（特開昭６３−１５１０８７号公報）、甲第３号証（特開平３−２５６３７６号公報）を提出し、請求項１、２に係る特許発明は甲第１号証記載の発明と同一であり、また、請求項２に係る発明は甲第１号証〜甲第３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、いずれも取消されるべきであると主張している。
３．２　取消理由の概要
　請求項１に係る特許発明は甲第１号証記載の発明と同一であり、また、請求項１、２に係る発明は甲第１号証〜甲第３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　請求項１において、「圧電体層と内部電極との積層体」の上・下面を平坦に研磨してしているが、外部電極を研磨することは明示されておらず、外部電極をそのままにして、積層体のみを研磨することも示すので不明瞭な記載である。請求項２は請求項１を引用しているので、同様に不明瞭な記載である。従って、請求項１、２に係る発明は、特許法第３６条第５項の規定を満たしていない。
　
４．　甲各号証記載の発明
４．１　甲第１号証記載の発明
　　甲第１号証における積層構造の圧電セラミック変換子の製造方法は、グリーンシート２０（焼成後は圧電セラミックス３０）に導電ペースト２１（焼成後は内部電極３１となる）を塗布したものを積層し、圧着して得られたグリーンシート積層体を焼成し、圧電セラミック積層体を得る（３頁左上欄２行〜１５行）。
　第２図に示すように、導電ペースト２１はグリーンシート２０の長手方向１側面を除く端面まで塗布されており、第１図、第３図に示すように、焼成後における内部電極３１は圧電セラミック積層体の側面まで引き出されていることになる。
　その後、焼成された圧電セラミック積層体の２側面に外部電極３２、３２’を設けている（３頁左上欄１２行〜２０行）。
　そして、表面のセラミック層（表面磁器層）３３、３３’を研磨する（３頁右上欄８行〜９行、４頁左上欄１４行〜１５行）。研磨された変換子の上下面は、第３図に示すように平坦面に形成されている。
　しかしながら、甲第１号証の圧電セラミック積層体の研磨は、表面のセラミック層の厚みを減らすことによって変換子の周波数調整を行うものであり、このためには外部電極の研磨は必ずしも必要なく、積層体の研磨の際に、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する方法が記載されているとは言えない。
４．２　甲第２号証記載の発明
　甲第２号証には、グリーンシートを積層し、その間に内部電極としての金属化電極面１２ａ，１２ｂを設けた積層体の両端面にさらに絶縁板３となるグリーンシートを積層したものを焼結し、焼結後、両端の絶縁板３の端面を平坦に研削して一単位の圧電体Ｐを製作することが開示されている。そして、第２図には、２組の圧電体Ｐを積層したものが図示され、外部電極としての導電面により内部電極としての金属化電極面　１２ａ，１２ｂと接続している。
　そして、絶縁板３は、積層体の凹凸、うねりを研削して平坦な表面が得られる厚さに設定されたもので、絶縁板３に研削しろが設けられていることを示す。
　しかしながら、甲第２号証の圧電体は、外部電極となるリード線を、圧電体の両端を研削した後に形成するもので、甲第２号証には積層体の研磨の際に、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を同時に研磨することは記載されていない。
４．３　甲第３号証記載の発明
　甲第３号証には、積層型圧電アクチュエー夕素子の製造方法が記載されており、内部電極が印刷された７０枚のグリーンシートを積層し、さらにその上下に内部電極の印刷されていない３０枚のグリーンシートをそれぞれ種層したものを焼成して積層焼結体を得た後、この焼結体の上下面を研磨する。
　すなわち、内部電極の印刷されていないグリーンシートを３０枚は、研磨しろを示す。
　しかしながら、アクチュエータ素子の外部電極は、暁結体の研磨後に形成されるもので、また、外部電極は素子の上下面まで達していない。すなわち、積層体の研磨の際に、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を同時に研磨することは記載されていない。
　
５．　訂正発明と甲各号証との対比
　訂正発明１と甲各号証とを対比すると、訂正発明１の構成である「外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨する
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
　そして、該構成により、上・下面の平坦性に優れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能であるという顕著な効果を奏する。
　してみると、訂正発明１は、甲第１号証〜甲第３号証記載の発明と同一でもなく、それらに記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　訂正発明２は、訂正発明１を引用する発明であるので、甲第１号証〜甲第３号証記載の発明と同一でもなく、それらに記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいえない。
　
６．　異議申立のまとめ
　訂正発明１に「外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨する
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
　従って、訂正発明１、２はいずれも、特許異議申立の理由及び取消理由に該当せず、それらの理由で訂正発明に係る特許を取消すことはできない。
　また、他に訂正発明に係る特許を取消すべき理由を発見しない。
　従って、本件訂正発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項に規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月１１日（２００１．５．１１）
【訂正の要旨】
訂正事項
訂正事項ａ
　特許された特許請求の範囲の請求項１の記載「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨することを特徴とする積層型圧電体素子の製造方法。」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、
「複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に
厚膜法を用いて
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
訂正事項ｂ
　段落【０００７】の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電体素子の製造方法は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に厚膜法を用いて外部電極を形成した後、積層体の上・下面を平坦に研磨するとともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨することを特徴とする。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
積層型圧電体素子の製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、
圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に
厚膜法を用いて
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
　【請求項２】　前記積層体の最上層の内部電極より上側の圧電体部分、及び最下層の内部電極より下側の圧電体部分の厚みを大きくして、積層体の上・下面の研磨しろとしたことを特徴とする請求項１記載の積層型圧電体素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】この発明は、積層型圧電体素子に関し、詳しくは、圧電体層間に配設された内部電極と導通する外部電極を、圧電体層と内部電極との積層体の側面に配設してなる積層型圧電体素子の製造方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】圧電体を利用した積層型圧電アクチュエータとしては、例えば、図３に示すように、複数の圧電体層５１の間に部分電極構造を有する内部電極５２を配設するとともに、圧電体層５１と内部電極５２からなる積層体５３の、内部電極５２が引き出された側面に外部電極５４を配設してなる複数の積層型圧電体素子５５を積み重ね、接着剤５６により接合するとともに、外部電極５４をリード線５７により接続した構造の積層型圧電アクチュエータが提案されている。
　【０００３】なお、上記の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子５５においては、内部電極５２は、図４に示すように、一層おきに逆側の側面の外部電極５４（図３）と導通するように交互に逆側の端部に引き出されている。
　【０００４】また、外部電極５４としては、内部電極５２との導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられている。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の積層型圧電アクチュエータにおいては、図５に示すように、積層型圧電体素子５５の側面に、ディッピングなどの方法により外部電極５４を形成（塗布）する際に、外部電極５４の上端部５４ａ及び下端部５４ｂが積層体５３の角部（エッジ部）で盛り上がり、積層体５３の上・下面に回り込んだり、上・下面から突出したりするため、積層型圧電体素子５５の上・下面の平坦性が損われる。そのため、複数の積層型圧電体素子５５を接着剤５６を介して積み重ねた場合に、積重ね（接合）状態が不安定になり、確実に固定することができなかったり、積層型圧電アクチュエータとして使用した場合に、外力によって破壊が生じたりするというような問題点がある。
　【０００６】この発明は、上記問題点を解決するものであり、上・下面の平坦性に優れ、複数個積み重ねて接合することにより積層型圧電アクチュエータを構成した場合に、接合の安定性に優れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能な積層型圧電体素子の製造方法を提供することを目的とする。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、この発明の積層型圧電体素子の製造方法は、複数の圧電体層と、圧電体層間に配設された内部電極と、内部電極が引き出された側面に形成された外部電極とを備えてなる積層型圧電体素子の製造方法において、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に
厚膜法を用いて
とともに、外部電極の、積層体の上・下面から突出した部分を研磨する
　【０００８】また、前記積層体の最上層の内部電極より上側の圧電体部分、及び最下層の内部電極より下側の圧電体部分の厚みを大きくして、積層体の上・下面の研磨しろとしたことを特徴とする。
　【０００９】
　【作用】この発明の積層型圧電体素子の製造方法においては、積層体の側面に外部電極を形成した後（すなわち、積層型圧電体素子を構成する要素をすべて配設した後）に、その上・下面を研磨するようにしているため、確実に上・下面の平坦性を実現することが可能になる。
　【００１０】また、前記積層体の最上層の内部電極より上側の圧電体部分と、最下層の内部電極より下側の圧電体部分の厚みを大きくして、積層体の上・下面の研磨しろを確保することにより、研磨工程において、内部電極を摩滅させて圧電特性に悪影響を与えたりすることなく、上・下面を十分に研磨してその平坦性を実現することが可能になる。
　【００１１】
　【実施例】以下、この発明の実施例を図に基づいて説明する。図１はこの発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子の製造方法の一工程を示す図である。また、図２はこの発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子の製造方法により製造された積層型圧電体素子を示す図であり、（ａ）は上・下面を研磨する前の状態を示す図、（ｂ）は上・下面を研磨した後の状態を示す図である。
　【００１２】この実施例の方法により製造される積層型圧電体素子５（図２（ｂ））は、積層された複数の圧電体層（例えばチタン酸ジルコン酸鉛系材料からなる圧電体層）１と、複数の圧電体層１間に配設され、一層おきに相対向する２つの側面に引き出された内部電極２ａ，２ｂと、圧電体層１と内部電極２ａ，２ｂからなる積層体３の相対向する２つの側面３ｃ，３ｄに引き出された同一極の各内部電極２ａ，２ｂと導通する２つの外部電極４ａ，４ｂとを備えて構成されており、その上・下面３ａ，３ｂは平坦に形成されている。なお、外部電極４ａ，４ｂとしては、内部電極２ａ，２ｂとの導通の確実性を考慮して厚膜電極が用いられている。
　【００１３】次に、上記の積層型圧電体素子５の製造方法について説明する。
　【００１４】上記積層型圧電体素子５を製造するにあたっては、まず、圧電体層（グリーンシート）を製造するために、原料を秤量し、粉砕してバインダとともに混合し、脱泡した後、シート状に成形し、所定の形状に打抜く。それから、これに内部電極を印刷する。一方、積層型圧電体素子の上・下面側の圧電体部分（圧電体層）を形成するために、内部電極が印刷されていない圧電体層（グリーンシート）を用意する。
　【００１５】そして、図１に示すように、上記の内部電極２ａ，２ｂが印刷された圧電体層１（１ｃ）を積層するとともに、その上・下面側に、圧電体層１ｃと寸法が同じで、内部電極が印刷されていない圧電体層１（１ａ，１ｂ）を積層圧着する。そして、これを焼成して積層体３（図２（ａ））を形成した後、内部電極２ａ，２ｂが引き出された側面３ｃ，３ｄに外部電極４ａ，４ｂを形成する。なお、積層体３の側面３ｃ，３ｄに形成された外部電極４ａ，４ｂは、積層体３の上・下面３ａ，３ｂにまで回り込んでいる。
　【００１６】また、この積層体３においては、最上層の内部電極２ａ１より上側の圧電体部分（圧電体層）１ａと、最下層の内部電極２ｂ１より下側の圧電体部分（圧電体層）１ｂの厚みＴ１（図２（ａ））が、内部電極２ａ，２ｂに挟まれた他の圧電体層１の厚みＴ０（図２（ａ））よりも相当に大きくなっている。
　【００１７】それから、両側面３ｃ，３ｄに外部電極４ａ，４ｂが形成された積層体３を、その上・下面３ａ，３ｂが平坦になるまでラッピング装置などを用いて研磨することにより、図２（ｂ）に示すような上・下面３ａ，３ｂが平坦な積層型圧電体素子５を得ることができる。
　【００１８】この発明の積層型圧電体素子の製造方法においては、上・下面側の圧電体部分１ａ，１ｂを構成する、内部電極が印刷されていない圧電体層（グリーンシート）の積層数に特別の制約はないが、上・下面の圧電体部分１ａ，１ｂの厚みが、上記の研磨工程で上・下面３ａ，３ｂを十分に研磨した場合にも、積層体３の最上層の内部電極２ａ１及び、最下層の内部電極２ｂ１に達しないだけの厚みになるように（すなわち、研磨しろを確保することができるように）積層することが必要である。
　【００１９】この実施例の方法により製造された積層型圧電体素子５（図２（ｂ））は、上述のように、外部電極４ａ，４ｂが形成された後に（すなわち、積層型圧電体素子５を構成する要素が全て配設された後に）、その上・下面が研磨されており、その後に上・下面の平坦性が損われることがないため、積層体の上・下面の平坦性を確実に実現することができる。
　【００２０】また、積層体３の上・下面側の圧電体部分１ａ，１ｂの厚みを大きくして上・下面の研磨しろを確保しているため、研磨工程で内部電極２（２ａ１，２ｂ１など）を摩耗させたり、損傷を与えたりすることを確実に防止できるため、変位量などの特性に悪影響を及ぼすことなく、上・下面の平坦性を確保することができる。
　【００２１】したがって、この発明の積層型圧電体素子の製造方法により製造された積層型圧電体素子を複数個積み重ね、例えば、有機系接着剤を用いて各積層型圧電体素子を接合し、外部電極どうしをリード線などを介して導通させることにより、積重ね（接合）の安定性に優れ、外力によって破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータ（図示せず）を得ることができる。
　【００２２】また、この発明は、その他の点においても上記実施例に限定されるものではなく、圧電体層を構成する材料の種類や組成、あるいは圧電体層の具体的な形状や積層方法、内部電極や外部電極の構成材料及びその形成方法などに関し、発明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
　【００２３】
　【発明の効果】上述のように、この発明の積層型圧電体素子の製造方法は、圧電体層と内部電極との積層体の、前記内部電極が引き出された側面に外部電極を形成した後、積層体の上・下面を研磨するようにしているので、上・下面の平坦性に優れ、複数個積み重ねて接合することにより積層型圧電アクチュエータを構成した場合に、接合の安定性に優れ、外力により破壊が生じたりすることがなく、信頼性の高い積層型圧電アクチュエータを得ることが可能な積層型圧電体素子を確実に製造することができる。
　【００２４】また、積層体の最上層の内部電極より上側の圧電体部分と、最下層の内部電極より下側の圧電体部分の厚みを大きくして、積層体の上・下面の研磨しろを確保することにより、研磨工程において、内部電極を摩滅させて圧電特性に悪影響を与えたりすることなく、上・下面を十分に研磨してその平坦性を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本願発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子の製造方法の一工程を示す図である。
　【図２】本願発明の一実施例にかかる積層型圧電体素子の製造方法により製造された積層型圧電体素子を示す図であり、（ａ）は上・下面を研磨する前の状態を示す断面図、（ｂ）は上・下面を研磨した後の状態を示す断面図である。
　【図３】従来の積層型圧電アクチュエータを示す断面図である。
　【図４】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子の内部電極のパターンを示す分解斜視図である。
　【図５】従来の積層型圧電アクチュエータを構成する積層型圧電体素子を示す断面図である。
　【符号の説明】
１　　　　　　　　　　圧電体層
１ａ、１ｂ　　　　　　上・下面側の圧電体部分（圧電体層）
１ｃ　　　　　　　　　内部電極が印刷された圧電体層
２ａ、２ｂ　　　　　　内部電極
２ａ１　　　　　　　　最上層の内部電極
２ｂ１　　　　　　　　最下層の内部電極
３　　　　　　　　　　積層体
３ａ、３ｂ　　　　　　積層体の上・下面
３ｃ、３ｄ　　　　　　積層体の側面
４ａ、４ｂ　　　　　　外部電極
５　　　　　　　　　　積層型圧電体素子
Ｔ１　　　　　　　　　上・下面側の圧電体部分の厚み