【事件の表示】
　特許第２９７４３０３号「被処理体の離脱方法および静電チャック装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７４３０３号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９７４３０３号の請求項１乃至請求項２に係る発明は、平成１０年４月３日に出願され、平成１１年９月３日に特許の設定がなされ、その後特許異議申立人　京セラ株式会社により特許異議の申立てがなされ、特許取消通知がなされ、再度取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１３年３月６日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
（ａ）訂正事項ａ
　特許明細書中の特許請求の範囲の請求項１乃至２において、特許請求の範囲の減縮を目的として、「【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。
【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水もしくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される静電チャック装置。」を
「【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。
【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される静電チャック装置。」と訂正する。
（ｂ）訂正事項ｂ
　特許明細書中の「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明の被処理体の離脱方法は、静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱する方法である。
　また、本発明の静電チャック装置は、被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入されるようにされている装置である。」を
「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明の被処理体の離脱方法は、静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱する方法である。
　また、本発明の静電チャック装置は、被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入されるようにされている装置である。」と訂正する。
イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（ａ）前記訂正事項ａは、本件特許明細書の段落【０００６】、【０００７】、【０００８】に記載されたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする明細書の訂正に該当し、また、前記訂正事項ｂは、本件特許明細書の段落【０００６】、【０００７】、【０００８】に記載されたものであり、前記訂正事項ａとの整合をとるものであって、明りょうでない記載の釈明を目的とする明細書の訂正に該当する。
　したがって、前記訂正事項ａ及びｂは、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張しまたは変更するものでもない。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する１２６条第２項から第３項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
ア．本件発明
　上記２．で示したように、上記訂正が認められるから、本件請求項１ないし２に係る発明は、平成１３年３月６日付けで提出された訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１ないし２に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。
【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される静電チャック装置。
イ．特許異議申立ての理由の概要
（ａ）特許異議申立人　京セラ株式会社は、「本件特許の請求項１、２に係る発明は、その出願前に公開された甲第１号証及び甲第２号証から容易に発明できたものであり、特許法第２９条第２項に違反したものです。したがって、上記発明に係る特許は特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものです。」旨主張する。
　証拠方法
（１）甲第１号証：特開昭９−２１９４４１号公報
（２）甲第２号証：特開平２−２０３９７６号公報
 ウ．判断
　平成１２年１２月１８日付けの取消理由通知で引用した引用例１（甲第１号証）及び引用例２（甲第２号証）のいずれにも、訂正後の本件請求項１に記載の「静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱すること」及び本件請求項２に記載の「静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される」点について記載されていないし、示唆するところもない。
　そして、本件特許明細書の記載によれば、訂正後の本件請求項１及び２の発明は、静電チャックに保持された被処理体の加工が終了した時点で、被処理体を静電チャック表面より容易に離脱できるという効果を奏することが認められる。
　したがって、上記各発明は、引用例１ないし２に記載された発明に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
　また、他に本件請求項１ないし２に係ると発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年４月４日（２００１．４．４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（ａ）訂正事項ａ
　特許明細書中の特許請求の範囲の請求項１乃至２において、特許請求の範囲の減縮を目的として、「【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。
　【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水もしくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される静電チャック装置。」を
「【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱することを特徴とする被処理体の離脱方法。
　【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入される静電チャック装置。」と訂正する。
（ｂ）訂正事項ｂ
　特許明細書中の「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明の被処理体の離脱方法は、静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱する方法である。
　また、本発明の静電チャック装置は、被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入されるようにされている装置である。」を
「【０００６】【課題を解決するための手段】　本発明の被処理体の離脱方法は、静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかを導入して被処理体を静電チャックから離脱する方法である。
　また、本発明の静電チャック装置は、被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して、アルコール又はアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入されるようにされている装置である。
」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
被処理体の離脱方法および静電チャック装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して
、ア
ル又はア
　【請求項２】　被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して
、ア
ル又はア
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、静電チャックに保持された半導体基板等の被処理体を離脱する方法及び静電チャック装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　ジョンソンラーベック力を利用した静電チャックでは、ウェハを加工した後の処理において、静電チャックからウェハを離脱するために残留電荷を除去することが重要な要素の一つとなっている。この目的のために、通常、ウェハを加工した後、例えばドライエッチング装置では、ウェハの加工に関与しないプラズマ放電を行い残留電荷を低減させる手法、或いはウェハ裏面に機械的に電極を接触させ残留電荷を低減させる手法が採用されている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、まず第一の手法であるウェハの加工に関与しないプラズマ放電は一般的には約２０ｓｅｃ程度必要とし、ウェハの加工以外の余分な時間をかけることとなり生産性の観点より十分とは言えず、また第二の手法であるウェハ裏面への電極の機械的な接触では残留電荷の除去が十分でなく、残留電荷による保持力の減衰は期待効果の薄いものとなり、残留保持力のため静電チャックからのウェハの離脱時にウェハが飛び跳ねるなど、離脱の信頼性に欠けるものとなっている。
　【０００４】
　また、特開平０４−２８２８５１号公報においては、オゾン発生器より発生したオゾンを用い残留電荷を除去する事が開示されている。この技術はオゾン発生器より発生したオゾンをウェハ裏面と静電チャック表面の隙間に回り込ませているので、解離したオゾンにより残留電荷を除去し一応の効果を奏している。しかしながら、この技術においてはオゾン発生器を具備する必要があるので生産コストの点において高価な装置となってしまうという問題をもたらしている。
　【０００５】
　本発明の主な目的は、生産性が高く信頼性も備わった低コストの被処理体の離脱方法および静電チャック装置を提供することにある。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の被処理体の離脱方法は、静電チャックに被処理体を保持して被処理体に加工を施した後に、前記静電チャックと被処理体との間に形成された隙間に対して
、ア
ル又はア
　また、本発明の静電チャック装置は、被処理体を静電チャックに保持して被処理体に加工を施すための静電チャック装置であって、前記静電チャックと保持された被処理体との間に形成された隙間に対して
、ア
ル又はア
　【０００７】
　【発明の実施の形態】
　本発明の特徴は、静電チャックを用い、被処理体、例えば半導体製造用基板であるウェハ等の半導体基板の保持機構において、半導体基板の裏面と静電チャックとの間の微小隙間に水（Ｈ２Ｏ）またはアルコール（Ｒ−ＯＨ）の少なくともいずれかを導入したことにある。水は極性が特に大きいので好ましく、アルコールとしては１気圧で沸点が２００°Ｃ以下、好ましくは前記のＲが炭素数１〜６のアルキル基であるアルコールが極性が大きいので好ましい。即ち、隙間には、水の蒸気、アルコールガス、水とアルコールとの混合ガス、水又はアルコールを含む混合ガス等のいずれかが導入されることが好ましい。混合ガス中、水又はアルコールは５体積％以上、特に２０体積％以上であることが好ましい。
　【０００８】
図１は、本発明の静電チャック装置の原理を示す説明図である。
　例えばウェハは、静電チャック表面に帯電した電荷により反対の電位に帯電し、電気的に静電チャック表面への保持力を得ているが、図１に示すように、ウェハ１の裏面と静電チャック表面２との間の隙間１１に、例えば水または水の混合ガス３を導入している。この導入した水または水の混合ガス３は、隙間１１に導入された後、水酸化イオン４および水素イオン５に分極し、ウェハ１、静電チャック表面２に帯電した電荷を打ち消し、ウェハ１および静電チャック表面２を同電位にし、保持力を失わせる役目を果たす。従って、ウェハ１を静電チャック表面２より離脱する際、静電チャック表面２の残留電荷の影響をなくし、ウェハ１をスムーズに離脱できるという効果が得られる。
　以上の説明では導入ガスを水蒸気または水を含む混合ガスとして説明したが、水または水を含む混合ガスの代わりに、極性の大きいアルコール（例えば、エタノール）またはアルコールを含む混合ガスを用いても同様の効果が得られる。
　【０００９】
　図２は、本発明の一実施形態例の静電チャック装置の要部を示す構成図である。装置は、ウェハ１を静電チャック６に保持してウェハ１に加工を施すための装置であって、静電チャック６と保持されたウェハ１との間に形成された隙間１１に対して、水若しくはアルコール、又は水若しくはアルコールを含む混合ガスの少なくともいずれかが導入されるようにされている装置である。
　図２に示すように、ウェハ１を保持するための静電チャック６には、例えば水または水の混合ガス３を、ウェハ１裏面と静電チャック６の表面２との間の隙間１１に導入するための配管７が設けられている。本例の静電チャックは、水または水の混合ガス３を用いて除電するので、確実に除電されて生産性が高いし、しかも除電の信頼性も高く、低コストである。
　【００１０】
　次に、本形態例の静電チャック装置の動作を図２を参照して説明する。静電チャック６に保持されたウェハ１の所定の加工、例えば、ドライエッチングが終了した時点で、配管７を介し水または水の混合ガス３をウェハ１の裏面と静電チャック６の表面２との隙間１１に導入する。
　かかる構成においては、ジョンションラーベック力を利用した静電チャックの場合、静電チャック６の表面に残留電荷が残り、この残留電荷のためウェハの保持力が存在してしまうところを、本例では水または水の混合ガス３を隙間１１に導入したため、静電チャック６の表面電荷とウェハ１の裏面電荷がガス導入とともにうち消され、残留電荷のための保持力は存在しない。従って、ウェハ１をを静電チャック６から容易に離脱できるので、本例では、保持力解消のためのウェハ加工以外の余分な処理は必要としない、という効果がもたらされる。
　【００１１】
　図３は、本発明の静電チャック装置の他の形態例を示す図である。
　図３に示すように、前述の形態例で説明した構成に加え、水又は極性の大きいアルコールの少なくともいずれかを含むガス３を隙間１１に対して導入する配管７内の圧力を測定する圧力測定子８および、該配管７内を流れるガス３の流量を制御する流量制御器９を備えている。本形態例では、配管７内の圧力を一定値に保つため、配管７内の圧力を圧力測定子８によリ測定し、その規定した所望の圧力になるよう圧力信号を流量制御器９へ帰還することでガス３の流量を流量制御器９により制御可能としている。また、制御する規定の圧力は１０〜２２Ｔｏｒｒ（トル）の範囲が好ましい。本形態例は、配管７内に導入したガス３の圧力により、ウェハ１が持ち上げられ、また移動してしまう事を防止できるという新たな効果を奏する。
　【００１２】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の被処理体の離脱方法及び静電チャック装置によれば、静電チャックに保持された被処理体の加工が終了した時点で、被処理体を静電チャック表面より容易に離脱できる。また、本発明の静電チャック装置は、生産性が高く信頼性も備わり低コストである。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の静電チャック装置の原理を説明するための図である。
　【図２】本発明の静電チャック装置の例を示す要部の断面図である。
　【図３】本発明の静電チャック装置の他の例を示す図である。
　【符号の説明】
１・・被処理体（ウェハ）、２・・静電チャック表面、３・・水または水の混合ガス、４・・水酸化イオン、５・・水素イオン、６・・静電チャック、７・・配管、
８・・圧力測定子、９・・流量制御器、１１・・隙間