【事件の表示】
　特許第３０１４８６０号「搬入搬出装置」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０１４８６０号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
【１】手続の経緯
　本件特許第３０１４８６０号（請求項数１；以下、「本件特許」という。）は、平成４年６月１日に出願された特願平４−１４０４３４号の特許出願に係り、平成１１年１２月１７日に設定登録されたものであるが、本件特許に対して、東谷 満より特許異議の申立てがなされ、平成１２年１１月２１日に取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年２月１３日に訂正請求がされた後、平成１３年２月２６日に再度取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１３年４月２７日に再度の訂正請求がされたものである。
　
【２】訂正請求の可否
　（１）特許権者が求めている訂正
　本件特許には、平成１３年２月１３日付けと平成１３年４月２７日付けの２つの訂正請求がなされているが、２つの訂正請求は並立しえないから、最後に提出した訂正請求である平成１３年４月２７日付けの訂正請求を特許権者の意図する訂正請求と認める。
　よって、特許権者が請求する訂正は、特許明細書を平成１３年４月２７日付けで提出された訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正するものと認める。
　（２）訂正請求の要旨
　上記訂正請求は、願書に添付した明細書を訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり訂正することを求めるものであるが、その要旨は以下の１）、２）のとおりのものと認める。
　１）訂正事項ａ
　本件の特許請求の範囲の請求項１に係る記載
「【請求項１】　
所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。」を、
「【請求項１】　
予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。」
と訂正する。
　２）訂正事項ｂ
　明細書の【０００５】の記載の
「【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するための手段は、特許請求の範囲に記載されている。すなわち、本発明の目的は、所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置によって達成される。」を、
「【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するための手段は、特許請求の範囲に記載されている。すなわち、本発明の目的は、予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置によって達成される。」に訂正する。
　（３）訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更の存否
  １）訂正事項ａについて
　上記訂正事項ａは、本件特許明細書の特許請求の範囲に記載された、ア）「所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、」を「予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、」に限定し、イ）「前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、」を「前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、」に限定し、ウ）「前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、」を「前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、」に限定し、さらに、エ）特許請求の範囲に「前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、」を付加して特許請求の範囲を限定するものであり、それぞれ特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。また、この訂正事項ａのア）については願書に最初に添付した明細書の【０００８】と【０００４】に記載されており、イ）、ウ）については【０００１】に記載されており、エ）については【００１０】に記載されており、それぞれ願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　２）訂正事項ｂについて
　上記訂正事項ｂは、訂正事項ａの特許請求の範囲の訂正によって生じる、特許明細書の発明の詳細な説明と特許請求の範囲との齟齬を解消しようとするもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものといえ、願書に添付した明細書に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
  （４）訂正請求の認容について
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書きの各号に掲げる事項を目的とするものであり、同法第１２０条の４第３項において準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認容する。
　
【３】本件特許発明の認定
　上記のとおり、平成１３年４月２７日付けの訂正請求は認容されるので、本件特許の請求項１に係る発明は、平成１３年４月２７日付けの訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものと認める（以下、「本件発明」という。）。
　「予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。」
　
【４】引用刊行物及びその記載事項
　これに対して、当審における平成１３年２月２６日付けで通知した取消の理由に引用した本件特許の出願前である平成４年５月２９日に日本国内において頒布された特開平４−１５７７４９号公報（以下、「刊行物１」という。）には、次の事項が記載されている。
　ａ）「簡易クリーン室１０には台車１２等に搭載された真空クリーンボックス１５が移動自在に配置される。すなわち簡易クリーン室１０は被搬送物を移送するための搬送室として利用される。」（第３頁右上欄１８〜左下欄２行）
　ｂ）「真空クリーンボックス１５の内部の真空度は１Torr以下のクリーンな状態に設定されている。ここで、真空クリーンボックス１５は真空排気系をそれ自体が有していても良い・・・」（第３頁左下欄２〜５行）
　ｃ）「第３図及び第４図に示すように、真空チャンバー１３を備えた各種装置１１のフランジ付き移送口２０にはシャッター２１が気密に嵌合しており、同様に真空クリーンボックス１５の移送口２２にもシャッター２３が気密に嵌合している。すなわち、シャッター２１には移送口２０との間を気密封止するためのＯリング３２が、同様にシャッター２３には移送口２２との間を気密封止するためのＯリング３３が設けられている。また、装置側移送口２０の突き合わせ面（フランジ面）にはＯリング２５が配置され、移送口２０のフランジ背後には、シャッター２１をロックしておくためのロック部材２６が設けられている。また、シャッター２１，２３の突き合わせ面にもＯリング２７，２８がそれぞれ配置されるとともに、相互に吸着可能なように各シャッター２１，２３に永久磁石３０，３１が埋設固定されている。これらのシャッター２１，２３を含む移送口２０，２２の構造は２重ゲートバルブ構造を成している。」（第３頁左下欄９行〜右下欄７行）
　ｄ）「チャンバー内が１Torr以下の真空度であれば浮遊粉塵がなくなるが１Torrよりも真空度が低下し、例えば数Torr乃至５Torrや８Torrとなると粉塵の浮遊が多少見られるようになることが判る。」（第４頁左上欄７〜１１行）
　ｅ）「まず、真空クリーンボックス１５の内部を予め１Torr以下に真空排気して浮遊粉塵が実質的に零となっている状態で第３図のように被搬送物Ｗを真空クリーンボックス１５内の載置台４０上に載置する。それから、第４図のように、装置側真空チャンバー１３の移送口２０の突き合わせ面をクリーンボックス側移送口２２の突き合わせ面に圧接して両移送口間を気密封止するとともにシャッター２１，２３の突き合わせ面を永久磁石３０，３１で相互に吸着し、Ｏリング２７，２８でシャッター突き合わせ面間の空気を閉じ込めた状態とし、ロック部材２６を解錠状態として一体となったシャッター２１，２３を第４図仮想線のごとく外し、移送口２０，２２を連通させる。そして、真空クリーンボックス側の被搬送物Ｗを装置側の所定位置、例えば装置側真空チャンバー１３内のホルダー４１上に移し変える。また、装置内から真空クリーンボックス内への被搬送物の移し変えも第４図のごとく移送口２０，２２を気密に連結した状態において同様に行うことができる。」（第４頁左上欄１３行〜右上欄１３行）
　ｆ）「各種装置１１側の真空チャンバー１３内は通常１Torr以下の高真空であり、第４図の如く装置側真空チャンバー１３と真空クリーンボックス１５とを連通させても真空クリーンボックス内の真空度は１Torrよりも劣化する可能性はなく・・・」（第４頁右上欄１６行〜左下欄１行）
　ｇ）「第３図は真空クリーンボックス及び装置側移送口の構造を示すものであって、連結前の状態を示す側断面図、第４図は連結状態を示す同側断面図、・・・」（第４頁右下欄６〜９行）
　
　上記ｄ）、ｆ）の記載から、真空チャンバー１３内は予め設定された１Torr以下の雰囲気条件に保持されており、上記ａ）の記載から、真空クリーンボックス１５は被搬送物Ｗの搬送装置であり、上記ｂ）、ｅ）の記載から、真空クリーンボックス１５は、空気清浄度の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段としての真空排気系を有しており、空気清浄度の雰囲気が、真空チャンバー１３内と同じ雰囲気条件である１Torr以下の高真空になったことを判断して、被搬送物Ｗを真空クリーンボックス１５内の載置台４０上に載置し、移送口２０、２２の突き合わせ面を圧接して両移送口間を気密封止し、移送口２０，２２を連通させ、被搬送物Ｗを移し変えるための何らかの判断手段が存在するものと認められる。また、上記ｃ）、ｅ）の記載から、真空クリーンボックス１５は、被搬送物Ｗの搬出、搬入を可能とするシャッター２１，２３を備えており、ｇ）の記載から、真空クリーンボックスと装置側移送口は、何らかの連結手段によって着脱自在に連結され、さらに、真空チャンバー１３と真空クリーンボックス１５内には被搬送物Ｗが保持されているから、該真空クリーンボックス１５は当然被搬送物保持室を備えているものと認められる。
　したがって、上記刊行物１には、
　「予め設定された雰囲気条件に保持された真空チャンバー１３と、被搬送物保持室と該被搬送物保持室内の雰囲気を予め設定された雰囲気条件に調整制御する雰囲気制御手段を有する搬送装置である真空クリーンボックス１５と、前記真空チャンバー１３と前記真空クリーンボックス１５とを着脱自在に連結する連結手段と、搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記真空チャンバー１３内からの物品類の搬出または前記真空チャンバー１３内への物品類の搬入を可能とするシャッター２１，２３を備えた搬入搬出装置。」
の発明が記載されているものと認める。
　
　同じく当審における平成１３年２月２６日付けで通知した取消の理由に引用した本件特許の出願前である昭和６１年５月１６日に日本国内において頒布された特公昭６１−１９２９４号公報（以下、「刊行物２」という。）には、次の事項が記載されている。
　ｈ）「予備室が排気されたのちに気密ゲートを開くことによって真空処理室と予備室の間で真空処理室の雰囲気を実質上変化させることなしに被処理物の出入が達成でき・・・」（第１頁左欄７〜１０行）
　ｉ）「この発明による装置は、主排気弁の真空処理室側および排気系側の絶対圧力をそれぞれ検出する第１真空計および第２真空計、並びに予備室の排気後に第２真空計で検出される絶対圧力が第１真空計で検出される絶対圧力より低くなったときに主排気弁を開く制御装置を有することを特徴とする。
　この特徴によれば真空処理室側の絶対圧力が排気系側の絶対圧力より低い状態で主排気弁が開かれることはないから、予備室の残留ガスが真空処理室へ逆流してこれの雰囲気を汚染するおそれはない。」（第２頁左欄１７〜２８行）
　ｊ）「符号１１によって示される排気系は、主配管１２の中の通路によって真空処理室１に連通しかつ主配管１２から分岐する副配管１３の中の通路によって予備室１３に連通する。主配管１２はこれの中の通路を遮断するための副排気弁１５を有する。
　主排気弁１４の真空処理室側例えば主排気弁１４と真空処理室１の間の主配管１２の途中には第１真空計の測定子１６が配置され、主排気弁１４の排気系側・・・には第２真空計の測定子１７が配置される。」（第２頁右欄３〜１４行）
　ｋ）「符号１８で示され両真空計のコントロール部を包含する制御装置は、例えば、第１真空計測定子１６および第２真空計測定子１７から電路１９および２０をそれぞれ介して受取った電流値の差をブリッジ回路で検出し、これを増幅器で増幅し、前記差の正負に応じて第２真空計で検出される絶対圧力が第１真空計で検出される絶対圧力より低くなったときに継電器を作動させ、この継電器が作動されたときに電路２１を介して主排気弁１４に電流を流すように構成される。主排気弁１４は手動以外に電磁的または電動的にも作動できるように構成され、その際には電路２１に電流が流れたときに閉から開になるように駆動される。このようにして制御装置１８は第２真空計１７で検出される絶対圧力が第１真空計１６で検出される絶対圧力より低くなったときに（勿論、これら真空計の作動範囲内で）主排気弁１４を開くように働く。」（第２頁右欄２０〜３７行）
　ｌ）「被処理物７を真空処理室１の中へ搬入する際には、最初に第２気密ゲート８が開かれ（この際に気密ゲート６および副排気弁１５は閉じている）、これを通して被処理物７が装置外から予備室３に搬入される、次いで第２気密ゲート８および主排気弁１４が閉じられて（この時点以前には真空処理室１の排気のために主排気弁１４は開かれている）副排気弁１５が開かれ、これによって予備室３は真空に排気される。この際に真空計および制御装置１６，１７，１８は作動状態に置かれる。予備室３の排気後に主排気弁の排気系側の絶対圧力がこれの真空処理室側の絶対圧力より低くなると制御装置１８の作用によって主排気弁１４が開き、残留ガスの逆流なしに真空処理室１の排気が再開始される。気密ゲート６は予備室３の排気後に開かれ、これを通して被処理物７は真空処理室１の雰囲気を実質上損なうことなしに真空処理室に投入される。その後に気密ゲート６および副排気弁１５が閉じられる。」（第２頁右欄３８行〜第３頁左欄１３行）
　
　上記ｉ）〜ｌ）の記載によれば、第２引用例の主排気弁の真空処理室側と排気系側の絶対圧力は、それぞれ第１、第２真空計の測定子１６，１７で検出され、そのデータを示す電流値は、伝送手段である電路１９、２０を介して判断手段である制御装置１８に送られ、制御装置１８は第２真空計で検出される絶対圧力が第１真空計で検出される絶対圧力より低くなったことを判断して主排気弁１４と気密ゲート６を開き、これにより、予備室３の残留ガスが真空処理室１へ逆流してこれの雰囲気を汚染することを防止するものであると認められる。また、主排気弁の真空処理室側は真空処理室１と連通し、主排気弁の排気系側は副排気弁１５が開かれた状態では予備室３と連通するから、主排気弁の真空処理室側と排気系側の絶対圧力は、真空処理室１と副排気弁１５が開かれた状態での予備室３の絶対圧力と略等しく、しかも、絶対圧力のデータは、真空度のデータであるから、上記ｈ）、ｉ）及び第１引用例のｄ）の記載にもあるように空気清浄度の雰囲気データである。
　したがって、上記刊行物２には、
　「真空処理室１と、被処理物７が搬入保持され、排気系１１によって雰囲気を調整できる予備室３と、前記真空処理室１と前記予備室３の空気清浄度の雰囲気データと略等しい主排気弁の真空処理室側と排気系側の空気清浄度の雰囲気データ（絶対圧力データ）を伝送する伝送手段（電路１９、２０）と、前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データ（絶対圧力データ）を用いて前記予備室３内の絶対圧力と略等しい主排気弁の排気系側の絶対圧力が、前記真空処理室１の絶対圧力と略等しい主排気弁の真空処理室側の絶対圧力より低くなるという雰囲気条件を満たすことを判断して、主排気弁１４と気密ゲート６を開かせるための出力を発生する判断手段（制御装置１８）と、前記判断手段の出力に対応して前記真空処理室１内からの被処理物７の搬出または前記真空処理室１内への被処理物７の搬入を可能とする気密ゲート６を備えた真空処理装置。」
の発明が記載されているものと認める。
　
【４】対比
　本件発明と上記刊行物１に記載された発明を対比すれば、上記刊行物１に記載された発明の「真空チャンバー１３」、「被搬送物Ｗ」、「真空クリーンボックス１５」、「シャッター２１，２３」は、それぞれ訂正請求に係る発明の「チャンバ」、「物品」及び「物品類」、「搬送装置」、「開閉手段」に相当するから、訂正請求に係る発明は上記刊行物１に記載された発明と、
「予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段を有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えた搬入搬出装置。」
である点で一致し、以下の＜相違点＞で相違している。
＜相違点＞
（１）本件発明では、搬送装置が物品移動手段を有しているのに対し、上記刊行物１に記載された発明は被搬送物Ｗを移し代える装置を有してはいるものの、それが真空チャンバー１３と真空クリーンボックス１５のどちらに設けられているか明かでない点。
（２）本件発明では、チャンバと搬送装置とを連結し係止する係止手段を有しているのに対し、上記刊行物１に記載された発明は、連結手段は有しているものの、係止手段を有しているかどうかが明かでない点。
（３）本件発明では、チャンバと搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段を備え、伝送手段からの空気清浄度の雰囲気データを用いて搬送装置内の雰囲気条件が予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段を備えているのに対し、上記刊行物１に記載された発明は、搬送装置内の雰囲気条件が、予め設定された、真空チャンバー１３内と同じ雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段を有してはいるものの、そのためのデータをチャンバと搬送装置間で伝送する手段を備えていない点。
　
【５】相違点の検討・当審の判断
　相違点（１）、（２）に関して
　物品移動手段を搬送装置に設けるか、チャンバに設けるかは、当業者が適宜選択する単なる設計事項であるから、物品移動手段を搬送装置が有するようにした点は当業者が容易に行うことができたものである。また、上記刊行物１に記載された発明のような搬入搬出装置では、チャンバ内からの物品類の搬出時、または前記チャンバ内への物品類の搬入時にチャンバと搬送装置の連結が外れることは許されないから、両者の連結が確実でないとき、両者を係止する手段を別に設けることは当業者が適宜採用する設計事項であり、当業者が容易に行うことができたものである。
  相違点（３）に関して
　上記刊行物２には、チャンバと搬送装置間で物品を搬出入するものではないが、物品を真空処理室１と、排気系１１によって雰囲気を調整できる予備室３間で搬出入するのに、真空処理室１から伝送される空気清浄度の雰囲気データを用いて、予備室３内の雰囲気条件が真空チャンバー１３内と同じ雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段を用いる発明が記載されている。そして、この技術をチャンバと搬送装置間での物品の搬出入に適用することに格別な困難性は認められない。してみれば、予め設定された空気清浄度の雰囲気データをチャンバと搬送装置間で伝送して、搬送装置内の雰囲気条件が予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する手段を備えた点は、上記刊行物２の発明に基づいて、当業者が容易に行うことができたものである。
　そして、本件発明の作用効果は、上記刊行物１，２に記載された発明から予測しうる程度のものであるから、本件発明は、上記刊行物１，２に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
【６】むすび
　以上のとおりであるから、本件発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　したがって、本件特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してなされたものである。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年５月１８日（２００１．５．１８）
【訂正の要旨】
　本件特許異議申立てに係る訂正請求における訂正の要旨は、次のａ）、ｂ）のとおりである。
　ａ）本件の特許請求の範囲の請求項１に係る記載
「【請求項１】
所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。」を、
「【請求項１】
予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。」
と訂正する。
　ｂ）明細書の【０００５】の記載の
「【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するための手段は、特許請求の範囲に記載されている。すなわち、本発明の目的は、所定雰囲気条件に保持されたチャンバと、前記チャンバの内部の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段を有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、前記チャンバと前記搬送装置間で雰囲気データを伝送する伝送手段と、前記伝送手段からの雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記所定雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置によって達成される。」を、
「【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するための手段は、特許請求の範囲に記載されている。すなわち、本発明の目的は、予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置によって達成される。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
搬入搬出装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
　予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、
　部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、
　前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
　
前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、
　前記チャンバと前記搬送装置間で予め設定された空気清浄度の雰囲気データを伝送する伝送手段と、
　前記伝送手段からの前記空気清浄度の雰囲気データを用いて前記搬送装置内の雰囲気条件が前記予め設定された雰囲気条件を満たすことを判断して出力を発生する判断手段と、
　前記判断手段の出力に対応して前記チャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を可能とする開閉手段を備えたことを特徴とする搬入搬出装置。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、所定の温湿度、ガス濃度、および空気清浄度（以下これらを雰囲気と記す）条件を高精度に制御する必要のあるチャンバ内からの物品類の搬出または前記チャンバ内への物品類の搬入を行なう搬入搬出装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　半導体分野をはじめ高品質、高精度を追及する産業分野の製造プロセスにおいて、ますます超清浄環境が不可欠になっている。例えば、クリーンルーム内に清浄空間を細長いトンネル状にした清浄作業室が“バイオロジカルクリーンルームの設計と維持管理，環境制御技術”工学情報センター編，１９８６，ｐ８５〜ｐ９０に記載されている。従来技術における清浄度レベルは０．１μｍ粒子で１０〜１００個／ｆｔ３程度であり、チャンバ内から物品を搬入したり搬出したりする場合、搬出入口の開閉にともない前記チャンバ内の空気がチャンバ外に流出または流入することにより、前記チャンバ内の雰囲気が変動するおそれがある。
　【０００３】
　これを防止するため、チャンバの温度調整能力や送風量などをそれぞれ増加させ、搬入搬出にともなう影響を小さくするなどの手段がとられていた。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記のように、温度調整能力や送風量などを増加させることは省エネルギーの見地からは問題であった。また、上記はチャンバ内外への空気の移動を前提とする調整手段であるから高精度な調整制御を行なうには限界があり、さらに極限に近い例えば０．０１μｍ粒子で０．１〜１個／ｆｔ３の高清浄度を得るには、無人化を前提とする搬入搬出装置が要求されている。本発明は、上記の問題点に鑑み、チャンバ内外への物品類の搬入搬出を実施するに際して、高精度にチャンバ内の雰囲気条件を確保するに好適な搬入搬出装置を提供することを目的としている。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記の課題を解決するための手段は、特許請求の範囲に記載されている。すなわち、本発明の目的は、予め設定された雰囲気条件に保持されたチャンバと、部品保持室と該部品保持室内の雰囲気を調整制御する雰囲気制御手段と物品移動手段とを有する搬送装置と、前記チャンバと前記搬送装置とを着脱自在に連結する連結手段と、
前記チャンバと前記搬送装置とを連結し係止する係止手段と、
　【０００６】
　【作用】
　上記の構成により、物品の搬入搬出に際しては、チャンバと搬送装置が結合した後、通信手段からの情報交換により、それぞれが所定の雰囲気条件を満たしたことを確認し、搬送装置とチャンバ間の雰囲気を流通させることにより、物品の搬入搬出にともないチャンバ内の雰囲気が大きく変動することはない。
　【０００７】
　【実施例】
　図１は本発明の全体システムの一実施例の構成を示す図である。本実施例は、複数のチャンバ１を連結したラインによって管状の清浄室装置を形成し、前記クリーンチューブを複数列配列したものである。各ラインは１台以上のチヤンバ１から形成され、各チャンバ１は、ラインの内容によって図示のように物品搬入出口２０を有する。さらに、各ラインとラインの間もしくはチャンバ１とチャンバ１間に、一台以上の物品搬送用の搬送装置２を備えている。
　【０００８】
　搬入出口２０を有するチャンバ１及び搬送装置２の構造を第２、３、４図によって説明する。図２はチヤンバ１と搬送装置２との非結合状態を示す側面図、図３はチヤンバと搬送装置が結合し物品搬入出時の断面を示す側面図、図４はチヤンバと搬送装置の結合時の平面図である。チャンバ１はチャンバ１の内外から物品類を搬入搬出する搬入出口２０とチャンバ１と搬送装置２０間で雰囲気データを伝送する伝送手段５０を有し、一方搬送装置２の内部には、部品保持室１５と、物品保持室１５内の雰囲気を制御する制御系８０を有する。さらにチャンバ１の伝送手段５０と交信する伝送手段５５を有する。また、物品の処理ならびに雰囲気に関する履歴を記録するメモリ６０をチヤンバ１内に、またメモリ６５を搬送装置２内に有する。伝送手段５０と伝送手段５５は、それぞれチャンバ１と搬送装置２内の雰囲気条件の記録、交信および演算処理を行なう。メモリ６０、６５、伝送手段５０、５５は中央演算処理装置（以下ホストと記す）１００と連結されている。チャンバ１の搬出口２０にドア４１、搬送装置２の搬入出口にはドア４０を備えており、物品の搬入搬出時以外は、ドア４０、ドア４１は閉じられている。搬送装置２の外部に、搬送装置２の雰囲気条件を外部から視覚的に監視可能のようにインジケータ７０を設ければさらに効果的である。チャンバ１と保持室１５内に物品の搬入搬出用としてマニピュレータ９０を備えており、物品９５を容易に搬入搬出することができるようになっている。伝送手段５０を通して、搬送装置２の結合を指示した場合、搬送装置２側には伝送手段５５を介してチャンバ１内のデータを受信して、制御系８０により保持室１５内の雰囲気を制御し、チャンバ１内の雰囲気に適合させるように構成されている。次に、図３に示すように、チャンバ１に付設する搬出口２０を介して搬送装置２を結合する。搬送装置２の保持室１５内とチャンバ１内との雰囲気条件が所定の範囲内であれば、図４に示すようにドア４０、４１を開け、マニピュレータ９０を用いてチャンバ１内外に物品９５の搬入または搬出を行なう。搬入搬出後はドア４０、４１を閉じ、搬送装置２をチャンバ１から切り離す。全体システムを統括するためにホスト１００が設けられ、ホスト１００からの指令によって制御系８０、伝送手段５０、５５、メモリ６０、６５が制御される。ホスト１００の設置場所については、チャンバ１内、または他の適切な場所を選択することが好ましい。
　【０００９】
　本発明の搬入搬出装置の一実施例のフローを図５に示す。ここで、Ｔｐはチャンバ１の雰囲気、Ｍｐは演算時にＴｐを入力するメモリ６０を示す。Ｔｃは搬送装置２の雰囲気、ＭｃはＴｃの入力用メモリ６５を示す。△ＴはＴｐ、Ｔｃの許容範囲を示す。
　【００１０】
　図６は、チャンバ１と搬送装置２との結合機構による結合手順を示す図であって、同図（ａ）は結合前の状態を示す図、同図（ｂ）は結合時の状態を示す図、同図（ｃ）は結合解除した直後の状態を示す図である。搬送装置２内には、フック３０、スプリング３１、ソレノイド３２を有し、チャンバ１には、ストッパ３４、ガスケット３５、ポンプ３６を有する。図６（ａ）の状態から搬送装置２をチヤンバ１に対して矢印Ａ方向に押し込むことによって、同図（ｂ）に示すようにフック３０とストッパ３４とが接触したのち、テーパ部３０ａに沿って摺動しフック３０は上方に持ち上げられてからストッパ３４に係止される。ストッパ３４に係止したことが確認されると、ガスケット３５内にポンプ３６から圧縮空気を送りガスケット３５を膨張させる。これによって、搬送装置２とチャンバ１側の搬出口２０とはガスケット３５を介して密着し、雰囲気制御を行なっている保持室１５またはチャンバ１内の空気が保持室１５およびチャンバ１以外の外部空間に漏洩するのを防止することができる。同図（ｃ）はチャンバ１と搬送装置２との結合を解除するために、ガスケット３５内の圧縮空気を抜き、ソレノイド３２を駆動することによりスプリング３１の付勢力に抗してフック３０を開き、ストッパ３４とフック３０との係止を解除した状態を示している。以後は、同図（ａ）に示す矢印Ａと反対方向に保持室１５を移動させることにより物品の搬入搬出を終了することができる。請求項１記載の雰囲気制御手段とは、例えば実施例における制御系８０に相当し、同じく連結手段とは、例えば実施例におけるフック３０、スプリング３１、ソレノイド３２、ストッパ３４、ガスケット３５、ポンプ３６に相当し、同じく判断手段とは、例えば実施例における制御系８０、伝送手段５０、５５、メモリ６０、６５ならびにこれらを指令するホスト１００がこれに該当するものとする。
　【００１１】
　【発明の効果】
　物品の搬入搬出に際しては、搬送装置とチャンバの雰囲気が所定条件内にあるときのみドアを開けるため、チャンバ内の雰囲気は物品の搬入搬出にともなって変動を生じることはない。したがって、ドア開放により、チャンバ室内の雰囲気は変動しにくくなり、従来と比較してはるかに高精度の雰囲気制御が可能であり、また物品類の搬入搬出に伴う雰囲気条件の変動が小さいため、雰囲気調整のための制御系の処理能力を大きくする必要がないから省エネルギーの点でも効果が大きく経済的である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の全体システムの一実施例の構成を示す図である。
　【図２】本発明のチヤンバと搬送装置の一実施例の結合前の状態を示す側面図である。
　【図３】本発明のチヤンバと搬送装置が結合し物品搬入出時の断面を示す側面図である。
　【図４】本発明のチヤンバと搬送装置の一実施例の結合を示す平面図である。
　【図５】本発明の一実施例の制御フローを示す図である。
　【図６】本発明の一実施例の搬入出口の結合機構を示す図である。
　【符号の説明】
１：チャンバ　　　　　　　　　２：搬送装置
１５：保持室　　　　　　　　　２０：搬入出口
４０、４１：ドア　　　　５０、５５：伝送手段
６０：メモリ（Ｍｐ）　　　　　６５：メモリ（Ｍｃ）
７０：インジケータ　　　　　　８０：制御系
９０：マニピュレータ　　　　　９５：物品
１００：中央演算処理装置（ホスト）
Ｔｐ：チャンバの雰囲気データ
Ｔｃ：搬送装置の雰囲気データ
△Ｔ：ＴｐとＴｃの差の許容範囲