(57)【要約】【課題】  ベースに支持フレームとフラットモータが設置され、該フラットモータの移動部材と移動部材の下端に検査部材が設けられる構成により、精密かつ安定的にフラットパネルディスプレイに対して点検作業を行うことができ、検査作業の効率を向上させることができるフラットパネルディスプレイ用検査装置を提供する。【解決手段】  ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが垂直状に立設されると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上側には板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、該固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、該移動部材の下端に検査部材が設置され、該固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とする。【選択図】  図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが垂直状に立設されると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上側には板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、該固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、該移動部材の下端に検査部材が設置され、該固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項２】
前記検査部材がＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項３】
前記検査部材が光学レンズであることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項４】
前記検査部材が画像認識装置であることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項５】
ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが垂直状に立設されると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上側に位置決め部材が設けられ、該位置決め部材の底部に板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、該固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、前記移動部材の下端に検査部材が設置され、前記固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項６】
前記位置決め部材は、前記複数本の支持フレームの上部に設置される複数の梁部材を有し、複数本の梁部材には夫々、該梁部材をフラットモータに固定するために、フラットモータの底部まで螺入可能なねじが設けられることを特徴とする請求項５に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項７】
ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが設けられると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上部に屋根を有する位置決め部材が設置され、該位置決め部材の底部に板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、前記固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、該移動部材の下端に検査部材が設置され、該固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項８】
前記位置決め部材の屋根は、三角屋根の形状を呈し、その底部に複数本の支柱が設けられ、該各支柱の下端は前記フラットモータに固定されることを特徴とする請求項７に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【請求項９】
前記位置決め部材の屋根は、丸屋根の形状を呈し、該屋根の底部に複数本の支柱が設けられ、該各支柱の下端は前記フラットモータに固定されることを特徴とする請求項７に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、特にフラットパネルディスプレイの検査作業を安定的に且つスムーズに行うことにより、作業効率を大幅に向上させることができるフラットパネルディスプレイ用検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用検査装置は、ガントリーと、そのガントリーに設けられた検査設備とからなるものであり、使用時には、フラットパネルディスプレイをガントリーの下部に固定した状態でガントリーを移動させて、前記検査設備によりフラットパネルディスプレイの検査を行う。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記従来のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用検査装置のガントリーは、重量が百キログラム以上にもなるものであることから、該ガントリーの底部に設置されたリニア式移動機構のみでは、移動時の振動を防ぎきれないので、作業中に、前記フラットパネルディスプレイが振動によりずれてしまい、検査結果に誤差が生じる恐れがある。また、前記従来の構造においては、同時に１セット或いは２セットの検査設備しか設置することができないので、作業効率が非常に悪い。
【０００４】
そこで、案出されたのが本考案であって、精密かつ安定的にフラットパネルディスプレイを検査することにより、検査作業の効率を向上させることができるフラットパネルディスプレイ用検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願の請求項１の考案は、ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが垂直状に立設されると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上側には板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、該固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、該移動部材の下端に検査部材が設置され、該固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【０００６】
本願の請求項２の考案は、前記検査部材がＣＣＤカメラであることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【０００７】
本願の請求項３の考案は、前記検査部材が光学レンズであることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【０００８】
本願の請求項４の考案は、前記検査部材が画像認識装置であることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【０００９】
本願の請求項５の考案は、ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが垂直状に立設されると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上側に位置決め部材が設けられ、該位置決め部材の底部に板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、該固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、前記移動部材の下端に検査部材が設置され、前記固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【００１０】
本願の請求項６の考案は、前記位置決め部材は、前記複数本の支持フレームの上部に設置される複数の梁部材を有し、複数本の梁部材には夫々、該梁部材をフラットモータに固定するために、フラットモータの底部まで螺入可能なねじが設けられることを特徴とする請求項５に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【００１１】
本願の請求項７の考案は、ベースを有し、該ベースの周縁に複数本の支持フレームが設けられると共に、上面にステージが設置され、該複数本の支持フレームの上部に屋根を有する位置決め部材が設置され、該位置決め部材の底部に板状の固定部材を有するフラットモータが設置され、前記固定部材の下面に少なくとも１つの移動部材が設けられ、該移動部材の下端に検査部材が設置され、該固定部材の下面に移動部材を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材が設けられることを特徴とするフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【００１２】
本願の請求項８の考案は、前記位置決め部材の屋根は、三角屋根の形状を呈し、その底部に複数本の支柱が設けられ、該各支柱の下端は前記フラットモータに固定されることを特徴とする請求項７に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【００１３】
本願の請求項９の考案は、前記位置決め部材の屋根は、丸屋根の形状を呈し、該屋根の底部に複数本の支柱が設けられ、該各支柱の下端は前記フラットモータに固定されることを特徴とする請求項７に記載のフラットパネルディスプレイ用検査装置、を提供する。
【考案の効果】
【００１４】
本考案は上記の課題を解決するものであり、移動部材の下端に、前記駆動部材により精密に駆動する、例えば、ＣＣＤカメラ、光学レンズ、画像認識装置、高度測定モジュール、レーザー整備モジュール、研削整備モジュール、液体レジスト整備モジュール、紫外線ベーキングモジュールなどの検査部材が設けられることにより、前記トレーに固定したフラットパネルディスプレイに対して精密かつ安定的に検査作業を行うことができるので、検査作業の効率を大幅に向上させることができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。尚、下記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、本考案の技術的範囲は、下記実施例そのものに何ら限定されるものではない。
【００１６】
図１は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の斜視図であり、図２は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の正面図であり、図３は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の平面図であり、図４は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の移動状態を示す平面図であり、図５は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第２実施例の斜視図であり、図６は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第２実施例の正面図であり、図７は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第３実施例の正面図であり、図８は本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第４実施例の正面図である。
【００１７】
図１乃至図３に示すように、本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例は、ベース（１０）を有し、該ベース（１０）の周縁に複数本の支持フレーム（１１）が垂直状に立設されると共に、上面にステージ（３０）が設置され、該複数本の支持フレーム（１１）の上部に板状の固定部材（２１）を有するフラットモータ（２０）が設置され、該固定部材（２１）の下面に少なくとも１つの移動部材（２２）が設けられ、該移動部材（２２）の下端に検査部材（２３）が設置され、該固定部材（２１）の下面に移動部材（２２）を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材（１２）が設けられる。
【００１８】
また、前記フラットモータ（２０）は、エアーベアリングを使用しているので、磨耗の問題は発生しなく、そのフラットモータ（２０）の磁場は、一定の範囲のみであるので、周辺の設備に影響を与えることはない。更に、エアーベアリング及び整合式位置センサーの稼働により、前記移動部材（２２）を固定部材（２１）の表面に移動させることができる。
【００１９】
更に、前記ベース（１０）の上にフラットパネルディスプレイ（５０）を乗せるためのステージ（３０）が設置され、前記フラットモータ（２０）の移動部材（２２）の下端に、例えばＣＣＤカメラ、光学レンズ、画像認識装置、高度測定モジュール、レーザー整備モジュール、研削整備モジュール、液体レジスト整備モジュール、紫外線ベーキングモジュールなどを検査部材（２３）として設けることができる。これにより、前記駆動部材（１２）により駆動する移動部材（２２）は、精密かつ安定的に移動することができることから、点検、整備すべき箇所に精確に位置させて検査作業を行うことができるので、フラットパネルディスプレイの検査作業の効率を大幅に向上させることができる。
【００２０】
図４に示すように、本考案では前記ベース（１０）に搬送ベルト（４０）を設けてもよく、該搬送ベルト（４０）により、フラットパネルディスプレイ（５０）をベース（１０）に搬送した後、前記フラットモータ（２０）の移動部材（２２）を移動させ、フラットパネルディスプレイ（５０）に対して検査作業を行う。
【００２１】
図５及び図６に示すように、本考案の第２実施例は、ベース（１０）を有し、該ベース（１０）の周縁に複数本の支持フレーム（１１）が垂直状に立設され、該複数本の支持フレーム（１１）の上側に位置決め部材（６０）が設置され、該位置決め部材（６０）の底部に板状の固定部材（２１）を有するフラットモータ（２０）が設置され、該固定部材（２１）の下面に少なくとも１つの移動部材（２２）が設けられ、該移動部材（２２）の下端に検査部材（２３）が設置され、該固定部材（２１）の下面に移動部材（２２）を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材（１２）が設けられる。
【００２２】
前記位置決め部材（６０）は、該複数本の支持フレーム（１１）の上部に設置される複数の梁部材（６１）を有し、前記複数の梁部材（６１）には夫々、梁部材（６１）を前記フラットモータ（２０）に固定するために、前記フラットモータ（２０）の底部まで螺入されるねじ（図示せず）が設けられ、前記ベース（１０）の上面に、前記ステージ（３０）を設置するためのフレーム（１０１）が設けられ、該ステージ（３０）に前記フラットパネルディスプレイ（５０）が載置される。
【００２３】
尚、前記フラットモータ（２０）の移動部材（２２）の下端には、例えばＣＣＤカメラ、光学レンズ、画像認識装置、高度測定モジュール、レーザー整備モジュール、研削整備モジュール、液体レジスト整備モジュール、紫外線ベーキングモジュールなどを検査部材（２３）として設けることができる。これにより、前記駆動部材（１２）により駆動する移動部材（２２）は、精密かつ安定的に移動することができることから、点検・整備すべき箇所に精確に位置させて検査作業を行うことができるので、フラットパネルディスプレイの検査作業の効率を大幅に向上させることができる。
【００２４】
図７に示すように、本考案の第３実施例は、ベース（１０）を有し、該ベース（１０）の周縁に複数本の支持フレーム（１１）が垂直状に立設されると共に、上面にステージ（３０）が設置され、該複数本の支持フレーム（１１）の上部に位置決め部材（７０）が設置され、該位置決め部材（７０）の底部に板状の固定部材（２１）を有するフラットモータ（２０）が設置され、該固定部材（２１）の下面に少なくとも１つの移動部材（２２）が設けられ、該移動部材（２２）の下端に検査部材（２３）が設置され、該固定部材（２１）の下面に移動部材（２２）を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材（１２）が設けられる。
【００２５】
尚、前記フラットモータ（２０）の移動部材（２２）の下端には、例えばＣＣＤカメラ、光学レンズ、画像認識装置、高度測定モジュール、レーザー整備モジュール、研削整備モジュール、液体レジスト整備モジュール、紫外線ベーキングモジュールなどを検査部材（２３）として設けることができる。
【００２６】
また、前記ベース（１０）の上面に、前記ステージ（３０）を設置するためのフレーム部材（１０１）が設置され、該ステージ（３０）にフラットパネルディスプレイ（５０）が載置される。
【００２７】
更に、本実施例においては、テーブル（１０２）が設けられ、該テーブル（１０２）にベース（１０）が設置されるので、該ベース（１０）を一定の高さに位置させることができる。
【００２８】
前記位置決め部材（７０）は、前記複数本の支持フレーム（１１）の上部に設置された屋根（７１）を有し、該屋根（７１）は、三角屋根の形状を呈し、その底部に複数本の支柱（７２）が設けられ、該各支柱（７２）の下端は前記フラットモータに固定される。
更に、前記フラットモータ（２０）の周辺と前記ポール（１１）とは密着的に固定される。
【００２９】
図８に示すように、本考案の第４実施例は、ベース（１０）を有し、該ベース（１０）の周縁に複数本の支持フレーム（１１）が垂直状に立設されると共に、上面にステージ（３０）が設置され、該複数本の支持フレーム（１１）の上部に位置決め部材（８０）が設置され、該位置決め部材（８０）の底部に板状の固定部材（２１）を有するフラットモータ（２０）が設置され、該固定部材（２１）の下面に少なくとも１つの移動部材（２２）が設けられ、該移動部材（２２）の下端に検査部材（２３）が設置され、該固定部材（２１）の下面に移動部材（２２）を稼動させるための少なくとも１つの駆動部材（１２）が設けられる。
【００３０】
前記ベース（１０）の上面に、前記ステージ（３０）を設置するフレーム部材（１０１）が設けられ、該ステージ（３０）にフラットパネルディスプレイ（５０）が載置される。
【００３１】
前記フラットモータ（２０）の移動部材（２２）の下端には、例えばＣＣＤカメラ、光学レンズ、画像認識装置、高度測定モジュール、レーザー整備モジュール、研削整備モジュール、液体レジスト整備モジュール、紫外線ベーキングモジュールなどを検査部材（２３）として設けることができる。
【００３２】
前記位置決め部材（８０）は、前記複数本の支持フレーム（１１）の上に設置される屋根（８１）を有し、該屋根（８１）は、丸屋根の形状を呈し、その底部に複数本の支柱（８２）が設けられ、該各支柱（８２）の下端はフラットモータ（２０）に固定される。
更に、前記フラットモータ（２０）の周辺と前記ポール（１１）とは密着的に固定される。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本考案は上記構成のように、ベースに支持フレームとフラットモータが設置され、該フラットモータの移動部材が固定部材の下面に吊設される構造であることから、前記移動部材の下端に設置される検査部材をスムーズに移動させ、精密かつ安定的にフラットパネルディスプレイに検査や整備などの作業を行うことができるので、従来のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用ガントリー型検査装置の欠点を改善し、大幅に作業効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の斜視図である。
【図２】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の正面図である。
【図３】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の平面図である。
【図４】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第１実施例の移動状態を示す平面図である。
【図５】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第２実施例の斜視図である。
【図６】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第２実施例の正面図である。
【図７】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第３実施例の正面図である。
【図８】本考案に係るフラットパネルディスプレイ用検査装置の第４実施例の正面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０ ベース
１０１ フレーム部材
１０２ テーブル
１１ 支持フレーム
１２ 駆動部材
２０ フラットモータ
２１ 固定部材
２２ 移動部材
２３ 検査部材
３０ ステージ
４０ 搬送ベルト
５０ フラットパネルディスプレイ
６０ 位置決め部材
６１ 梁部材
７０ 位置決め部材
７１ 屋根
７２ 支柱
８０ 位置決め部材
８１ 屋根
８２ 支柱  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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