【事件の表示】
　特許第２８５７０９０号「マイクロ波励起プラズマ処理装置」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８５７０９０号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
   ［１］本件発明
　本件特許第２８５７０９０号（平成７年１０月３０日出願、平成１０年１１月２７日設定登録）の請求項１〜５に係る発明（以下、「本件発明１〜５」という。）は、特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１〜５に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】上部にプラズマ生成室、およびこのプラズマ生成室の下方に形成され、被処理部材が配置される処理室を有する真空チャンバと、
　前記プラズマ生成室内に処理ガスを供給するためのガス供給管と、
　前記チャンバの上壁部の開口に配置された誘電体窓と、
　前記誘電体窓を含む前記チャンバの上壁部に配置され、マイクロ波の電界方向に垂直な面（Ｈ面）が前記誘電体窓に対向し、マイクロ波の電界方向に平行な面（Ｅ面）が前記Ｈ面に対して垂直方向に伸び、かつマイクロ波導入側と反対側に前記Ｈ面およびＥ面に対して垂直に設けられたマイクロ波を反射する反射面を有する矩形状の導波管と、
を具備し、
　前記導波管は、前記Ｅ面近傍の前記Ｈ面に２つのスリットが前記Ｅ面に沿って平行もしくはほぼ平行それぞれ開口され、かつ前記スリットは前記反射面側ほど狭い幅を有することを特徴とするマイクロ波励起プラズマ処理装置。
　　【請求項２】前記スリットは、その幅が前記反射面に向かって狭くなるように階段状に変化した形状を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置。
　　【請求項３】前記スリットは、その幅が前記反射面に向かって狭くなるようにテーパ状に変化した形状を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置。
　　【請求項４】前記スリットは、長さが導波管内のマイクロ波波長（λｇ）のｎ／２（ｎは整数）からλｇ×（ｎ／２）＋λｇ／８であることを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置。
　　【請求項５】前記スリットの長さ方向の中心は、前記反射面から導波管内のマイクロ波波長（λｇ）に位置することを特徴とする請求項１記載のマイクロ波励起プラズマ処理装置。」
　
［２］特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人志賀　孝は、
　　甲第１号証：特開平３−２０４６０号公報
　　甲第２号証：特開昭６２−２２２６３８号公報
　　甲第３号証：特開平６−２１６０３９号公報
　　甲第４号証：特開昭６４−２３５３７号公報
を提示し、本件請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載の発明と同一であるか、甲第１〜３号証に記載の発明に基づいて容易に発明することができたものであり、また、本件請求項２、３に係る発明は、甲第１、３号証に記載の発明に基づいて容易に発明をすることができたものであり、本件請求項４、５に係る発明は、甲第１、４号証に記載の発明に基づいて容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許受けることができない旨主張している。
　
［３］甲各号証に記載の発明
 （１）甲第１号証
　上記甲第１号証には、マイクロ波プラズマ装置に関する発明が、第１、２図とともに開示され、さらに、
　「第１図（ａ）、（ｂ）において、３は真空に保たれた放電室、４は基板５を配置した真空チャンバである。・・・７は真空をシールすると共にマイクロ波電力１を透過するための石英ガラス製のマイクロ波透過窓、・・・
　ここで矩形導波管２に設けたスロット６のマイクロ波放射アンテナとしての作用原理について、第２図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を用いて簡単に説明しておく。第２図（ａ）には、矩形導波管２内をＴＥ０１モードのマイクロ波が伝達する場合に、矩形導波管２内面に流れる高周波電流の様子を破線で示している。ＴＥ０１モードでは図示した破線の方向に、および半周期後には図示した破線の逆方向に高周波電流が流れる。
　６１、６２、６３、６４は矩形導波管２の側面に設けた各種のスロットである。例としてスロット６１に注目してその断面を見ると、第２図（ａ）で示した周期の時には同図（ｂ）に示した矢印の方向に高周波電流が流れる。この時にはスロット６１の上下の辺に図示したように正と負の電荷があらわれる。次に半周期後には、同図（ｃ）に示した矢印の方向に高周波電流が流れ、スロット６１の上下には図示したように半周期前と逆の電荷があらわれる。すなわち、高周波電流を横切るスロット６１の上下の辺にはダイポールアンテナのように半周期毎に異なった電荷があらわれ、マイクロ波１２を放射する。この作用は、スロット６２、６３、６４についても同様である。第１図の実施例で用いたスロット６は第２図のスロット６１である。」（２頁右上欄末行〜右下欄１７行）、
　「そこで放電ガス供給口１０から、成膜すべき成分を含んだガスを供給すれば基板５上には薄膜が堆積され、またエッチングガスを供給すれば基板５上の薄膜をエッチングすることができる。」（３頁左上欄６〜１０行）、
　「また、第２図（ａ）に示すようなスロット６２、６３、６４でもよく、それ以外の形状であってもよい。」（３頁右上欄５〜７行）
 が、それぞれ記載されている。
　
 （２）甲第２号証
　上記甲第２号証には、垂直入射方式のマイクロ波プラズマ処理装置に関する発明が、第１図とともに開示され、さらに、
　「第１図に示されるように・・・進行するマイクロ波１２の電場に垂直方向に開口部１３を有する導波管１１と、開口部１３に着脱自在に配設され、前記マイクロ波１２が透過する窓材１５を保持すると共に窓材１５を透過したマイクロ波１２が通過する開口部１６を有するホルダ１４と」（２頁左下欄１０〜１８行）、
　「このホルダ１４には２個の矩形の開口部１６ａ、１６ｂが設けられており」（３頁右上欄４〜５行）
が、それぞれ記載されている。
　
（３）甲第３号証
　上記甲第３号証には、マイクロ波を用いたプラズマＣＶＤに関し、特に、マイクロ波導入窓上への堆積膜の形成を抑制することで、プラズマを安定的に長時間維持するロール・ツウ・ロール方式のマイクロ波プラズマＣＶＤ装置に関する発明が、第１６〜２０図とともに開示され、さらに、
　「【０２１５】また、図１６および図１８に示すように孔が１つだけ開けられている場合には、方形の縦横比が大きく、導波管の長手方向にマイクロ波の１波長よりも大きな寸法でほぼ全体の幅、長さに亘って開けられることが望ましい。そして、長手方向に放射されるマイクロ波電力密度の分布を調整するために、その開口度が制御できるシャッターが設けられる。
【０２１６】上記のようなシャッターの代表的な形状を図１９（ａ）〜（ｃ）、図２０（ａ）〜（ｄ）に示す。
【０２１７】図１９（ａ）〜（ｃ）にそれぞれ示すシャッター１９０１〜１９０３のそれぞれは図１５および図１６に示した円形導波管に用いられ、図２０（ａ）〜（ｄ）に示されるシャッター２００１〜２００４のそれぞれは図１７および図１８に示した方形導波管に用いられるものである。
【０２１８】上記の各シャッターの形状は短冊状、細長い台形状、および短冊または細長い台形からその一辺上の一部を半月状に切り欠いた形状等で、導波管の表面形状に沿ったものであることが望ましく、その材質としては金属または導電処理された樹脂が好ましい。そして、その端部は孔のマイクロ波電源に近い側の角付近に設けられた連結部に固定され、そこを支点として開口度が調整されるが、所望の条件出し終了後はプラズマの安定性向上のため固定されても良い」（２６頁段落０２１５〜０２１８）
が記載されている。
　
（４）甲第４号証
　上記甲第４号証には、プラズマ処理装置に関する発明が、第１〜５図とともに開示され、さらに、
　「各スリット５ｃの長さは２．４５ＧＨｚのマイクロ波を用いた場合、スリットからのマイクロ波の放射をよくするため、マイクロ波の１／２波長に当たる６０ｍｍ以上の寸法としている。」（４頁右下欄３〜７行）
が記載されている。
　
［４］対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１と上記甲第１号証に記載の発明とを対比すると、甲第１号証の第２図およびその説明には、矩形導波管２に設けた、マイクロ波を放射するスロット６１、６２、６３、６４（本件発明１のスリットに相当する。）が記載されており、特に、スロット６４は、側面（本件発明１のマイクロ波の電界方向に平行な面（Ｅ面）に相当する。）近傍の上面（本件発明１のマイクロ波の電界方向に垂直な面（Ｈ面）に相当する。）に、この側面に沿って平行に開口している記載があるものの、該スロット６４は１つであり、しかも、このスロット６４は、第１図に記載の矩形導波管２の端部（本件発明１の反射面に相当する。）側ほど狭い幅を有するものではない。
　したがって、本件発明１は甲第１号証に記載の発明であるとすることはできないから、申立人の、本件発明１は甲第１号証に記載の発明と同一であるとする旨の主張は採用できない。
　また、申立人は、２つのスロットが開口している点については、甲第２号証に記載され、スロットが反射面側ほど狭い幅を有する点については、甲第３号証に記載されている旨主張している。
　しかしながら、２つのスロットに相当する甲第２号証に記載の２つの開口部１６ａ、１６ｂは、導波管１１の開口部１３に配設した窓材１５（本件発明１の誘電体窓に相当する。）を保持するホルダ１４に設けたものであって、本件発明１のように導波管のＨ面に２つのスリットを設けたものではない。
　また、甲第３号証の図１７、１８、２０及びその説明には、方形導波管の孔（本件発明１のスリットに相当する。）に設けるシャッターについて、導波管の長手方向にマイクロ波の１波長よりも大きな寸法でほぼ全体の幅、長さに亘って開けられた１つの孔の開口度を、長手方向に放射されるマイクロ波電力密度の分布を調整するために、シャッターにより制御することが開示され、さらに、孔の長手方向に亘ってその幅が狭くなるシャッターは記載されているものの、本件発明１のように、反射波と入射波との合成波を均一にしてマイクロ波の放射電力を均一にするために、スリットが反射面側ほど狭い幅を有することまでは開示されていない。
　なお、申立人は、甲第３号証の図１６、１９についても言及しているが、図１６、１９に記載の導波管は円形導波管であって、本件発明１のＥ面、Ｈ面を有する矩形導波管とは明らかに異なるものである。
　そうしてみると、甲第１号証に記載の矩形導波管２に設けたマイクロ波を放射するスロット６４に、甲第２号証に記載のホルダに設けた２つの開口部を適用し、しかも、このスロット６４の幅を、甲第３号証に記載のように、孔の長手方向に亘ってその幅を狭くする構成を適用しても、本件発明１のように、マイクロ波の放射電力を均一にするために、Ｅ面近傍のＨ面に２つのスリットがＥ面に沿って平行もしくはほぼ平行にそれぞれ開口され、かつスリットは反射面側ほど狭い幅を有する導波管とすることは容易に想到することはできない。
　
（２）本件発明２〜５について
　本件発明２、３については、本件発明１を引用してさらに他の構成を付加した発明であるから、本件発明１と同じ理由により、甲第１〜３号証に記載の発明から容易に想到することはできないし、また、本件発明４、５については、甲第４号証にスリットの長さをマイクロ波の１／２波長とすることが記載されているとしても、本件発明１を引用してさらに他の構成を付加した発明であるから、本件発明１と同じ理由により、甲第１〜４号証に記載の発明から容易に想到することはできない。
　そして、本件発明１〜５は、上記構成を有することにより、マイクロ波出力および圧力共に広い範囲で安定したプラズマをプラズマ生成室内に発生でき、かつ均一なプラズマをプラズマ生成室内に発生でき、ひいてはアッシングやエッチングを効率よく行うことができるという、特許明細書に記載の顕著な作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１〜５は、上記甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　
［４］むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件発明１〜５の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜５の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１〜５の特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認めない。
　よって、平成６年改正法附則第１４条の規定に基づく、平成７年政令２０５号第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
　
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年４月２６日（２０００．４．２６）