(57)【要約】【課題】汎用のインターフェースを用いて情報を転送した場合においても、被測定物に対するフォーカス位置を正確に演算することのできる画像測定装置を提供する。【解決手段】画像測定装置１００は、ワーク１２の画像を撮像する画像測定機１と、画像測定機１で撮像されたワーク１２の画像に関する画像情報にデータ処理を施して画像測定を実行するコンピュータシステム２と、画像測定機１とコンピュータシステム２との間で情報を転送する第１及び第２のインターフェース６１、６２とを備える。画像測定機１は、相対位置情報をインターフェース６２を介してコンピュータシステム２に転送する情報転送制御部５１とを備え、情報転送制御部５１は、フォーカス駆動部５２による駆動がされている間における撮像ユニット１７による複数回の画像撮像動作の終了後に一括して相対位置情報をコンピュータシステム２に転送する。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
被測定物の画像を撮像する画像測定機と、
前記画像測定機で撮像された前記被測定物の画像に関する画像情報にデータ処理を施して画像測定を実行するコンピュータと、
前記画像測定機と前記コンピュータとの間で情報を転送する第１及び第２のインターフェースと
を備え、
前記画像測定機は、
前記被測定物の画像を結像させるための結像レンズ、及び前記被測定物の画像を撮像する撮像面を有し、前記撮像面、前記結像レンズ及び前記被測定物の間の相対位置を調整可能に構成された撮像ユニットと、
前記撮像ユニットで撮像された前記画像情報を前記第１のインターフェースを介して前記コンピュータに転送する画像転送制御部と、
前記相対位置を調整して前記被測定物の画像の前記撮像面におけるフォーカス状態を変化させる駆動部と、
前記駆動部により調整された前記相対位置に関する相対位置情報を記憶する第１メモリと、
前記相対位置情報を前記第２のインターフェースを介して前記コンピュータに転送する情報転送制御部と
を備え、
前記コンピュータは、
前記画像測定機から前記第１のインターフェースを介して転送された前記画像情報を保持するフレームグラバと、
前記画像測定機から前記第２のインターフェースを介して転送された前記相対位置情報を記憶する第２メモリと、
前記画像情報及び前記相対位置情報に基づいて前記被測定物の画像が前記撮像ユニットにおいてフォーカス状態となるフォーカス位置を演算するフォーカス位置演算部と
を備え、
前記情報転送制御部は、前記駆動部による駆動がされている間における前記撮像ユニットによる複数回の画像撮像動作の終了後に一括して前記相対位置情報を前記コンピュータに転送する
ことを特徴とする画像測定装置。
【請求項２】
前記第２のインターフェースは、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｓｅｒｉａｌ  Ｂｕｓ）で形成される
ことを特徴とする請求項１に記載の画像測定装置。
【請求項３】
前記撮像ユニットは、複数回の画像撮像動作により得られた前記画像情報に一連の第１の管理番号を付し、
前記相対位置制御部は、前記相対位置情報に前記第１の管理番号と対応する一連の第２の管理番号を付し、
前記フォーカス演算部は、フォーカス位置を演算するに際し、一の前記画像情報に付された前記第１の管理番号と一の前記相対位置情報に付された前記第２の管理番号とを対応付けて、前記被測定物と前記撮像ユニットとのフォーカス位置を演算する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、画像測定装置に関し、特に被測定物のフォーカス位置を演算して被測定物にフォーカスをあわせるオートフォーカス機能を有する画像測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、精密部品の輪郭形状の測定等にオートフォーカス機能を有する画像測定装置が用いられている。この画像測定装置で精密部品の三次元測定を行う場合は、撮像ユニットを基準位置から光軸方向に移動させ、各ポイントで被測定物を撮像する。そして、各ポイントでの画像データと撮像ユニットの基準位置からの移動量のデータとを取得する。画像データは、画像処理部にてＡ／Ｄ変換、二値化処理、及びエッジ検出処理等の画像処理を行った後、コントラスト演算部にて画像処理が施され、コントラスト値が算出される。このコントラスト値に基づいて、複数のポイントで撮像した画像データのうち、被測定物に対して焦点のあった画像データを選択する。
【０００３】
そして、各ポイントで得られた撮像ユニットの移動量のデータ及び被測定物に対して焦点のあった画像データから、画像測定装置における被測定物と撮像ユニットとのフォーカス位置を決定して、被測定物にフォーカスをあわせる（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−０１７８０５号公報
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
このような画像測定装置においては、ＣＣＤカメラ等を有する画像測定機と、画像処理等を行うホストコンピュータとの間で情報を高速で転送するために専用のインターフェースが用いられており、製品価格の高騰を招いていた。画像測定装置を安価に提供するためには、インターフェースとして汎用インターフェースを用いることが望ましい。しかし、汎用インターフェースを用いた場合、情報の転送に遅延が生じ、画像データと撮像ユニットの移動量のデータとの対応に不整合が生じる問題があった。
【０００５】
本考案は、汎用のインターフェースを用いて情報を転送した場合においても、被測定物に対するフォーカス位置を正確に演算することのできる画像測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本考案の一態様に係る画像測定装置は、被測定物の画像を撮像する画像測定機と、前記画像測定機で撮像された前記被測定物の画像に関する画像情報にデータ処理を施して画像測定を実行するコンピュータと、前記画像測定機と前記コンピュータとの間で情報を転送する第１及び第２のインターフェースとを備え、前記画像測定機は、前記被測定物の画像を結像させるための結像レンズ、及び前記被測定物の画像を撮像する撮像面を有し、前記撮像面、前記結像レンズ及び前記被測定物の間の相対位置を調整可能に構成された撮像ユニットと、前記撮像ユニットで撮像された前記画像情報を前記第１のインターフェースを介して前記コンピュータに転送する画像転送制御部と、前記相対位置を調整して前記被測定物の画像の前記撮像面におけるフォーカス状態を変化させる駆動部と、前記駆動部により調整された前記相対位置に関する相対位置情報を記憶する第１メモリと、前記相対位置情報を前記第２のインターフェースを介して前記コンピュータに転送する情報転送制御部とを備え、前記コンピュータは、前記画像測定機から前記第１のインターフェースを介して転送された前記画像情報を保持するフレームグラバと、前記画像測定機から前記第２のインターフェースを介して転送された前記相対位置情報を記憶する第２メモリと、前記画像情報及び前記相対位置情報に基づいて前記被測定物の画像が前記撮像ユニットにおいてフォーカス状態となるフォーカス位置を演算するフォーカス位置演算部とを備え、前記情報転送制御部は、前記駆動部による駆動がされている間における前記撮像ユニットによる複数回の画像撮像動作の終了後に一括して前記相対位置情報を前記コンピュータに転送することを特徴とする。
【考案の効果】
【０００７】
本考案によれば、汎用のインターフェースを用いて情報を転送した場合においても、被測定物に対するフォーカス位置を正確に演算することのできる画像測定装置を提供することができる。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、添付した図面を参照して、本考案に係る画像測定装置１００の第１の実施の形態について説明する。
【０００９】
［第１の実施の形態に係る画像測定装置１００の構成］
図１は、本実施の形態に係る画像測定装置１００の全体構成を示す斜視図である。この画像測定装置１００は、被測定物の画像を撮像する画像測定機１と、この画像測定機１を駆動制御すると共に、必要なデータ処理を実行して画像測定を実行するコンピュータシステム２とにより構成されている。
【００１０】
画像測定機１は、次のように構成されている。即ち、架台１１上には、被測定物１２（以下、ワーク１２とする）を載置する測定テーブル１３が装着されており、この測定テーブル１３は、図示しないＹ軸駆動機構によってＹ軸方向（図１の矢印Ｙにより示す方向）に駆動される。架台１１の両側縁中央部には上方に延びる支持アーム１４、１５が固定されており、この支持アーム１４、１５の両上端部を連結するようにＸ軸ガイド１６が固定されている。このＸ軸ガイド１６には、撮像ユニット１７が支持されている。撮像ユニット１７は、図示しないＸ軸駆動機構によってＸ軸ガイド１６に沿ってＸ軸方向（図１の矢印Ｘにより示す方向）に駆動される。
【００１１】
撮像ユニット１７の内部は、図２に示すように構成されている。即ち、Ｘ軸ガイド１６に沿って移動可能にスライダ３１が設けられ、スライダ３１に一体にＺ軸ガイド３２が固定されている。このＺ軸ガイド３２には、支持板３３がＺ軸方向に摺動自在に設けられ、この支持板３３に、画像測定用の撮像手段であるＣＣＤカメラ３４と、非接触式変位計であるレーザプローブ３５とが併設されている。この非接触変位計として、レーザプローブ３５の代わりにタッチプローブを用いることもできる。ＣＣＤカメラ３４とレーザプローブ３５とは、一定の位置関係を保ってＸ、Ｙ、Ｚの３軸方向に同時に移動できるようになっている。ＣＣＤカメラ３４は、撮像ユニット１７のＺ軸方向の駆動によりワーク１２に対するフォーカスをあわせる。
【００１２】
ＣＣＤカメラ３４には、撮像範囲を照明するための照明装置３６が付加されている。レーザプローブ３５の近傍位置には、レーザプローブ３５のレーザビームによる測定位置を確認するために、測定位置の周辺を撮像するＣＣＤカメラ３８と、レーザプローブ３５の測定位置を照明するための照明装置３９とが設けられている。レーザプローブ３５は、撮像ユニット１７の移動の際にレーザプローブ３５を退避するための上下動機構４０と、レーザビームの方向性を最適な方向に適合させるための回転機構４１とにより支持されている。
【００１３】
コンピュータシステム２は、図１に示すようにコンピュータ本体２１、キーボード２２、ジョイスティック２３、マウス２４、ディスプレイ２５及びプリンタ２６により構成されている。コンピュータ本体２１は、ＣＣＤカメラ３４により撮像されたワークの画像データ（画像情報）やレーザプローブ３５で検出された変位量等を取り込む。これらの入力情報、オペレータの指示及びプログラム記憶部に格納されたプログラムに基づいて、ワーク１２の画像の解析、撮像ユニット１７によるワーク１２へのフォーカス動作の解析、測定値の演算処理等の各種の処理を実行する。キーボード２２、ジョイスティック２３、マウス２４からはオペレータの指示情報が入力され、コンピュータ本体２１による処理の結果がディスプレイ２５に表示される。また、画像測定装置１００による画像測定の結果が、プリンタ２６から出力される。
【００１４】
次に、画像測定機１及びコンピュータシステム２について、図３を参照して説明する。図３は、画像測定機１及びコンピュータシステム２によって構成される画像測定装置１００のブロック図である。
【００１５】
画像測定機１は、撮像ユニット１７及び測定テーブル１３の位置を制御するフォーカス駆動部５２を有する。フォーカス駆動部５２は、撮像ユニット１７又は測定テーブル１３を制御駆動させて、ワーク１２、ＣＣＤカメラ３４の撮像面及び対物レンズ１９の間の相対位置を調整する。
また、フォーカス駆動部５２は、この相対位置の調整に関する相対位置情報を情報転送制御部５１に転送する。情報転送制御部５１は、後述するように、この相対位置情報のメモリ５３への格納、及びコンピュータ２への転送制御を司る。
また、フォーカス駆動部５２は、コンピュータシステム２から転送されるフォーカス位置制御の指示命令に基づき、ワーク１２、ＣＣＤカメラ３４の撮像面及び対物レンズ１９の間の相対位置を変化させることもできる。これにより、フォーカス駆動部５２はワーク１２の画像の、ＣＣＤカメラ３４の撮像面におけるフォーカス状態を制御する。
【００１６】
また、画像測定機１は、フォーカス駆動部５２により制御駆動された測定テーブル１３及び撮像ユニット１７の相対位置に関する相対位置情報Ｐを保持するメモリ（第１メモリ）５３を有する。メモリ５３には、フォーカス駆動部５２による相対位置の変更を行いつつ撮像ユニット１７によりワーク１２を複数回撮像した場合における、各撮像位置での一連の相対位置情報Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・）が保持される。この実施の形態では、メモリ５３に保持される相対位置情報Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・）には、複数回の画像撮像動作についての一連の管理番号（Ａ００１、Ａ００２、Ａ００３・・・）が付されるものとする。
【００１７】
そして、画像測定機１は、メモリ５３に保持された相対位置情報Ｐをコンピュータシステム２に転送するとともに、コンピュータシステム２から転送されたフォーカス位置制御の指示命令をフォーカス駆動部５２に送信する情報転送制御部５１を有する。
ここで、情報転送制御部５１は、フォーカス駆動部５２による相対移動を行いつつ画像測定機１によるワーク１２の複数回の画像撮像動作を終了した後に、メモリ５３に保持された一連の相対位置情報Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・）をコンピュータシステム２に一括して転送する。すなわち、情報転送制御部５１は、フォーカス駆動部５２による相対移動が行われている間は、相対位置情報Ｐを逐一コンピュータシステム２に送信せずメモリ５３に格納しておく。そして、フォーカス駆動部５２による相対移動が終了した場合において、このメモリ５３に格納されていた相対位置情報Ｐを一括してコンピュータシステム５３に送信する。
情報転送制御部５１は、Ｉ／Ｏ端子５５、５６を介して、Ｉ／Ｆ（第２のインターフェース）６２によりコンピュータシステム２と情報を送受信する。ここで、情報転送制御部５１による相対位置情報の転送に用いられるＩ／Ｆ６２として、汎用のＩ／Ｆ、例えばＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ  Ｓｅｒｉａｌ  Ｂｕｓ）インターフェースを用いることができる。ＵＳＢインターフェースは、汎用性のために転送速度が不十分であるが、本実施の形態では、相対位置情報Ｐを一括して送信する形式としているため、転送速度が不十分であっても問題はない。
【００１８】
また、ＣＣＤカメラ３４によるワーク１２の複数回の画像撮像動作により得られたワーク１２の画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３・・・）は、画像転送制御部５７によりコンピュータシステム２に逐次転送される。画像情報Ｍには、ワーク１２の二次元画像データに加え、複数回の画像撮像動作についての一連の管理番号（Ｂ００１、Ｂ００２、Ｂ００３・・・）が付されているものとする。ここで、画像情報Ｍに含まれる管理番号（Ｂ００１、Ｂ００２、Ｂ００３・・・）は、相対位置情報Ｐに含まれる管理番号（Ａ００１、Ａ００２、Ａ００３・・・）と対応しているものである。ＣＣＤカメラ３４の画像情報は、Ｉ／Ｏ端子５４を介してＩ／Ｆ（第１のインターフェース）６１によりコンピュータシステム２に転送される。
【００１９】
コンピュータシステム２は、画像測定機１から転送された画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３・・・）をＩ／Ｏ端子７４を介して受信して、保持するフレームグラバ７２を有する。また、コンピュータシステム２は、画像測定機１から転送された相対位置情報Ｐを受信して保持するメモリ（第２メモリ）７３を有する。メモリ７３には、コンピュータシステム２において行う一連のフォーカス位置演算に用いるプログラム（例えば、コントラスト値算出プログラム、フォーカス位置算出プログラム等）が保持されている。
【００２０】
コンピュータシステム２のＣＰＵ７１は、フレームグラバ７２及びメモリ７３に記憶された画像情報Ｍ及び相対位置情報Ｐを読み出すとともに、フォーカス位置演算に用いるプログラムを実行する。これにより、撮像ユニット１７のワーク１２に対するフォーカス位置を算出する。また、ＣＰＵ７１は、算出したフォーカス位置に撮像ユニット１７を移動させるフォーカス位置制御の指示命令を画像測定機１に送信する。ＣＰＵ７１及びメモリ７３は、Ｉ／Ｏ端子７５、７６を介してＩ／Ｆ６２に接続されている。
【００２１】
次に、ＣＰＵ７１について、図４を参照して説明する。図４は、ＣＰＵ７１及びその周囲の構成のブロック図である。
【００２２】
ＣＰＵ７１は、フレームグラバ７２からワーク１２の画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２・・・）を取得し、この画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２・・・）に基づき画像撮像動作で得られたワーク１２の画像のコントラスト値Ｃ（Ｃ１、Ｃ２・・・）を算出するコントラスト値算出部８１を有する。また、ＣＰＵ７１は、一連の画像撮像動作で得られた画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２・・・）の管理番号（Ｂ００１、Ｂ００２・・・）を、コントラスト値算出部８１で算出されたコントラスト値Ｃ（Ｃ１、Ｃ２・・・）とともに後述するフォーカス位置演算部８５に転送する管理番号転送部８２を有する。
【００２３】
また、ＣＰＵ７１は、相対位置情報Ｐ（Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３・・・）の管理番号（Ａ００１、Ａ００２・・・）を、相対位置情報Ｐとともに後述するフォーカス位置演算部８５に転送する管理番号転送部８４を有する。
【００２４】
フォーカス位置演算部８５は、コントラスト値算出部８１から転送されたコントラスト値Ｃがピークの値を示す画像情報Ｍを特定するとともに、その画像情報Ｍの管理番号Ｂを特定する。フォーカス位置演算部８５は、その管理番号Ｂに対応する管理番号Ａが付された相対位置情報Ｐを特定し、この特定された相対位置情報Ｐの位置が、ワーク１２の画像のフォーカス位置であると判定する。そして、フォーカス位置情報転送部８６は、フォーカス位置演算部８５により算出されたフォーカス位置すなわち相対位置情報Ｐが示す相対位置に撮像ユニット１７及び被測定物を移動させるように、フォーカス位置の指示命令をＩ／Ｆ６２を介して画像撮像機１に送信する。
【００２５】
［第１の実施の形態に係る画像測定装置１００の動作］
次に、コンピュータシステム２のＣＰＵ７１の動作について、図５を参照して説明する。図５は、第１の実施の形態の画像測定装置１００におけるワーク１２に対するオートフォーカス動作を説明するフローチャートである。以下、図５に示すフローチャートを用いて、画像測定装置１００のオートフォーカス動作について説明する。
【００２６】
画像測定装置１００は、オペレータの指示又はメモリ７３に格納されたプログラムからの命令等に基づいて、ワーク１２に対するオートフォーカス動作を開始する。一連の撮像動作の間に撮像ユニット１７が、Ｚ軸方向の所定の範囲内を等速度で例えば上方に向けて移動して、フォーカス位置を変化させ続けているものとする。
【００２７】
ステップＳ１において、ＣＣＤカメラ３４による撮像動作について、所定の時間の間隔が経過するまで待機する。ＣＣＤカメラ３４による撮像動作は、例えば秒間６０フレームの画像を得るために、１６ｍｓｅｃ毎に実行される。
【００２８】
次に、所定時間経過後、ステップＳ２において、撮像ユニット１７内のＣＣＤカメラ３４による撮像動作を開始する。
【００２９】
次に、ステップＳ３において、フォーカス駆動部５２は、ＣＣＤカメラ３４によるワーク１２の複数回の撮像動作を実行した際の相対位置情報Ｐをメモリ５３に送信する。そして、メモリ５３はこの相対位置情報Ｐを保持する。
【００３０】
次に、ステップＳ４において、ＣＣＤカメラ３４は、撮像動作により得られたワーク１２の画像情報ＭをＩ／Ｆ６１を介してコンピュータシステム２のフレームグラバ７２に逐次転送する。画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２・・・）には前述のようにワーク１２の二次元画像データや複数回の画像撮像動作についての一連の管理番号（Ｂ００１、Ｂ００２・・・）の他に、画像撮像動作を実行した時間をデータとするタイムスタンプ等が含まれていてもよい。
【００３１】
次に、ステップＳ５において、フォーカス駆動部５２は、撮像ユニット１７による複数回の画像撮像動作が終了したかどうかを判定する。これはコントラスト値算出部８２において、得られた複数の画像情報Ｍ（Ｍ１、Ｍ２・・・）に、コントラスト値Ｃのピークを示すものが存在した場合や、Ｚ軸方向の所定の範囲内での撮像ユニット１７の移動が終了した場合等に撮像動作が終了したものと判断することができる。
Ｚ軸方向の所定の範囲内での撮像動作が終了していない場合、ステップＳ１に戻り、所定間隔待機した後、撮像ユニット１７はワーク１２に対する画像撮像動作、相対位置情報Ｐの保持、及び画像情報Ｍの転送の動作（ステップＳ２〜Ｓ４）を繰り返す。撮像動作が終了していた場合、画像測定装置１００は、次のステップＳ６に移行する。
【００３２】
次に、ステップＳ６において、情報転送制御部５１は、メモリ５３に保持されている相対位置情報をメモリ７３に転送する。ここで情報転送制御部５１は、一連の撮像動作の間に得られた相対位置情報Ｐを、一括してメモリ７３に転送する。
【００３３】
次に、ステップＳ７において、ＣＰＵ７１はフレームグラバ７２及びメモリ７３から画像情報Ｍ及び相対位置情報Ｐを取得して、ＣＣＤカメラ３４のワーク１２に対するフォーカス位置を上述の手法により演算する。
【００３４】
次に、ステップＳ８において、ＣＰＵ７１により演算されたフォーカス位置に撮像ユニット１７を移動させる。撮像ユニット１７の移動の代わりに、測定テーブル１３を移動させてワーク１２をフォーカス位置へ移動させることも可能である。これによりワーク１２の画像をＣＣＤカメラ３４の撮像面にフォーカスさせることができる。その後、画像測定装置１００のオートフォーカス動作が終了する。
【００３５】
［第１の実施の形態に係る画像測定装置１００の効果］
本実施の形態に係る画像測定装置１００において、画像測定機１とコンピュータシステム２を接続するインターフェースとして、専用のＩ／Ｆでなく、汎用のＩ／Ｆ、例えばＵＳＢを用いている。専用のＩ／Ｆを用いた場合、コンピュータシステム２には、相対位置情報を受信するため、専用のモーションコントロールボードを導入する必要があった。本実施の形態に係る画像測定装置は汎用のＩ／Ｆ（例えばＵＳＢ）を用いているため、専用のボードを導入する場合よりも、画像測定装置を安価に提供することが可能となる。
【００３６】
ここで、汎用品のインターフェースを用いた場合、情報の転送に遅延が生じ、画像情報と相対位置情報との対応の不整合が生じる問題があった。しかし、本実施の形態に係る画像測定装置は、オートフォーカス動作に際し、一連の画像撮像動作が終了した後に一括して相対位置情報Ｐをコンピュータシステム２に転送する。そして、画像情報Ｍと相対位置情報Ｐとに付した一連の管理番号により、２つの情報を対応付けてフォーカス位置を演算するため、情報の転送遅延により、画像情報と相対位置情報との対応に不整合が生じることがない。
【００３７】
本実施形態に係る画像測定装置は、汎用のインターフェースを用いて情報を転送した場合においても、二次元画像データと撮像ユニット１７の移動量のデータとを対応づけて、被測定物のフォーカス位置を演算することができる。
【００３８】
以上、本考案の実施の形態を説明したが、本考案はこれらに限定されるものではなく、考案の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、組み合わせ等が可能である。例えば、本考案の実施の形態においては、撮像ユニット１７のＺ軸方向の移動によりフォーカス動作を実行していた。このフォーカス動作は、撮像ユニット１７内にフォーカスレンズを設けるとともに、このフォーカスレンズをワーク１２に対して相対的に移動させることによって実行してもよい。
【００３９】
また、本考案に係る画像測定装置の実施の形態には以下のものが含まれる。
（１）画像測定機内の撮像ユニットにより、被測定物の画像を撮像する工程と、
前記撮像ユニットによって撮像された画像情報を第１のインターフェースを介してコンピュータのフレームグラバに転送する工程と、
前記画像測定機内の相対位置制御部によって制御された前記被測定物と前記撮像ユニットとの相対位置を相対位置情報として第１メモリに記憶する工程と、
前記画像測定機内の情報転送制御部が、前記撮像ユニットによる複数回の画像撮像動作の終了後に一括して、前記第１メモリに記憶された前記相対位置情報を第２のインターフェースを介して前記コンピュータに転送する工程と、
前記画像測定機から転送された前記相対位置情報を前記コンピュータ内の第２メモリに記憶する工程と、
前記コンピュータ内のフォーカス位置演算部が前記画像情報及び前記相対位置情報に基づいて前記被測定物と前記撮像ユニットとのフォーカス位置を演算する工程と
を有することを特徴とする画像測定方法。
【００４０】
（２）画像測定機内の撮像ユニットにより、被測定物の画像を撮像するステップと、
前記撮像ユニットによって撮像された画像情報を第１のインターフェースを介してコンピュータのフレームグラバに転送するステップと、
前記画像測定機内の相対位置制御部によって制御された前記被測定物と前記撮像ユニットとの相対位置を相対位置情報として第１メモリに記憶するステップと、
前記画像測定機内の情報転送制御部が、前記撮像ユニットによる複数回の画像撮像動作の終了後に一括して、前記第１メモリに記憶された前記相対位置情報を第２のインターフェースを介して前記コンピュータに転送するステップと、
前記画像測定機から転送された前記相対位置情報を前記コンピュータ内の第２メモリに記憶するステップと、
前記コンピュータ内のフォーカス位置演算部が前記画像情報及び前記相対位置情報に基づいて前記被測定物と前記撮像ユニットとのフォーカス位置を演算するステップと
を画像測定装置のコンピュータに実行させるよう構成されたことを特徴とする画像測定プログラム。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】画像測定装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】画像測定装置の撮像ユニットの内部の斜視図である。
【図３】画像測定装置の画像測定機及びコンピュータシステムのブロック図である。
【図４】画像測定装置のＣＰＵ及びその周囲の構成のブロック図である。
【図５】画像測定装置におけるワークに対するフォーカス動作を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１・・・画像測定機、  ２・・・コンピュータシステム、  １１・・・架台、  １２・・・ワーク、  １３・・・測定テーブル、  １４、１５・・・支持アーム、  １６・・・Ｘ軸ガイド、  １７・・・撮像ユニット、  １９・・・対物レンズ、  ２１・・・コンピュータ本体、  ２２・・・キーボード、  ２３・・・ジョイスティック、  ２４・・・マウス、  ２５・・・ディスプレイ、  ２６・・・プリンタ、  ３１・・・スライダ、  ３２・・・Ｚ軸ガイド、  ３３・・・支持板、  ３４、３８・・・ＣＣＤカメラ、  ３５・・・レーザプローブ、  ３６、３９・・・照明装置、  ４０・・・上下動機構、  ４１・・・回転機構、  ５１・・・情報転送制御部、  ５２・・・フォーカス駆動部、  ５３・・・メモリ、  ５４、５５、５６・・・Ｉ／Ｏ端子、  ５７・・・画像転送制御部、  ６１、６２・・・Ｉ／Ｆ、  ７１・・・ＣＰＵ、  ７２・・・フレームグラバ、  ７３・・・メモリ、  ７４、７５、７６・・・Ｉ／Ｏ端子、  ８１・・・コントラスト値算出部、  ８２、８４・・・管理番号転送部、  ８５・・・フォーカス位置演算部、  ８６・・・フォーカス位置情報転送部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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