(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送の案内機構を静圧エア軸受けの原理を応用した非接触方式の案内装置に変えることが可能になるエア浮上搬送用の走路を提供する。【解決手段】エア浮上搬送用走路は、搬送荷重を支える面と当該面に垂直な案内面を有し、夫々の面の搬送方向に設けた多孔質材が埋め込まれた溝から噴出するエアにより、搬送荷重支持用のエア静圧と搬送方向案内用のエア静圧を発生させる。また、長手方向に溝を有する市販標準品のアルミ製押し出し材をエア浮上搬送用走路の部材に用いることにより装置のコストを低減できる。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
内部にエア供給路を有し且つ搬送面を成す平坦な上面とそれに垂直な側面を有する部材の上面及び側面に、１乃至複数本の溝を当該部材の長手方向に設け、当該溝と前記エア供給路とを連通せしめ、且つ当該溝に多孔質材を前記の部材の上面及び側面と同一平面を成すようにして埋め込み、当該多孔質材に前記の部材内部のエア供給路から加圧エアを供給することにより前記多孔質材の表面全体からエアが噴出する構造にしたことを特徴とする、エア浮上搬送用の走路
【請求項２】
請求項１に於いて、内部にエア供給路を有し平坦な上面とそれに垂直な側面を有する部材が、長手方向に溝を有するアルミ製の押し出し部材であることを特徴とする、エア浮上搬送用の走路
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の走路を、多孔質材が埋め込まれた側面の溝が夫々対向するように平行に配置することにより、一対構造のエア浮上搬送用走路としたことを特徴とする、エア浮上搬送用の走路
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本考案は、エア浮上搬送用の直線走路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来のエア浮上搬送用の走路は、特許文献１に一例を示すように、ガラス基板など板状の被搬送物自体を搬送用走路上で浮上させることを目的とするものであった。またエアの圧力を発生させる面は、被搬送物の自重を支える面に限られており、被搬送物の搬送方向の案内はローラーなどの機械的な接触により行われていた。【０００３】
【特許文献１】  特開２００４−３４５７４４
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】  従来のエア浮上搬送用走路は被搬送物の自重のみをエアの圧力で支える構造であり、搬送方向の案内にはローラー等の機械的な手段を用いていた。このため、被搬送物と案内機構との接触部及び案内機構自体からの発塵、設備のコスト増加等の問題があった。また、ガラス基板などの板状の被搬送物以外の物のエア浮上搬送は、最初から目的にしていなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本考案のエア浮上搬送用走路は、被搬送物の自重を支える面及び当該面に垂直な面の両者に適切な幅と深さを有する１乃至複数本の溝を搬送方向に設け、当該溝と走路内部に設けたエア供給路とを連通せしめ、且つ前記の溝に多孔質部材を埋め込み当該多孔質部材の表面からエアを噴出させることにより、簡単な構造で走路の面にエアの静圧力を発生させることができる走路を実現するものである。これにより、機械的案内機構に依らずにエアの静圧軸受けの原理を応用した案内装置を用いる事ができ、又、その様な案内装置を有する搬送用キャリヤを用いることにより、板状の被搬送物以外の一般的形状の被搬送物もエア浮上方式で搬送することが可能になる。
【考案の効果】
【０００６】  上述の様に、本考案に関わる構造のエア浮上走路を用いれば、エア浮上搬送用キャリヤを用いることが可能になり、エア浮上搬送の対象物をガラス基板などの板状の被搬送物から半導体ウェハー用カセットなどの一般的形状の被搬送物に拡大することができる。また搬送の案内機構を静圧エア軸受けの原理を応用した非接触方式の案内装置に変えることが可能になり、機械的な案内機構と比較して発塵が減るため、クリーンルーム内での応用に好適である。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００７】  添付図面により本考案の実施形態を説明する。図１は多孔質材を埋め込む前の走路部材の構造の一例であり、説明の便のため斜め上方からの視点で示す。図で１は被搬送物の重量をエアの静圧で支えるエア浮上搬送面であり、２ａ及び２ｂは１の面の長手方向に設けられた多孔質材を埋め込むための溝である。３ａ及び３ｂは搬送方向を案内する案内面であり、４ａ及び４ｂは面３ａ及び３ｂの長手方向に設けられた多孔質材を埋め込むための溝である。図で５ａ及び５ｂは走路部材の内部に設けたエア供給路であり、夫々エア通路６ａ及び６ｂにより溝２ａ及び２ｂと連通している。なおエア通路６ａ及び５ｂは溝２ａ及び２ｂの全長に渡り適宜な間隔で複数個が設けられており、図示はされていないが、同様のエア通路が溝４ａ及び４ｂにも設けられ、夫々エア供給路５ａ及び５ｂと内部で連通している。【０００８】  次に図２は、図１の溝２ａ、２ｂ、並びに４ａ、４ｂに多孔質材を埋め込んだ外観を立体的に示したものである。図２で、埋め込まれた多孔質材７の表面は、夫々が埋め込まれた面と同一平面を成すように仕上げられなければならない。
【実施例】
【０００９】  本考案の実施例として、コスト低減のために市販標準品のアルミ製押し出し材８を走路部材として応用したエア浮上搬送用走路９を図３に示す。図３は、搬送方向案内用の側面溝の片方に多孔質材７を埋め込んだ例であるが、多孔質材７を埋め込む溝が片側側面なのか或いは両側面なのかは、エア浮上搬送用走路の使い方で決まる。また、当然のことながら、多孔質材が埋め込まれない溝４には走路内部のエア供給路５と連通するエア通路は設けられていない。【００１０】  図４は、エア浮上搬送用走路９の両側面の溝に多孔質材を埋め込み、走路９に跨座型搬送キャリヤ１０を乗せた例である。搬送キャリヤ１０の側面１１の内側とエア浮上搬送用走路９の両側面の間には、両側面の溝に埋め込まれた多孔質材から噴出するエアの静圧により一種のスラスト軸受け面が形成され、搬送方向の非接触的な案内を可能にする。【００１１】  図５は、一対の図３で示したエア浮上搬送用走路９を多孔質材が埋め込まれた側面３を互いに対向させて用い、新たなエア浮上搬送用走路を構成した例である。一対のエア浮上搬送用走路９は、枕木部材１２を用いて夫々の走路９が平行且つ所定の間隔になるように、正確に設置する必要がある。【００１２】  図６は、図５に示した一対構造のエア浮上搬送用走路に中央部下面に静圧エアを利用した搬送方向案内装置１４を有する搬送キャリヤ１５を乗せた例である。この場合は一対のエア浮上搬送用走路の間に比較的幅の広い案内溝１３が形成されるので、搬送方向案内装置１４のみならず、搬送キャリヤの駆動装置（図示せず）も案内溝１３の中に収めることが可能となり、またエア静圧の受圧面積も大きく取れるので、搬送荷重が比較的大きな場合のエア浮上搬送に適している。
【産業上の利用可能性】
【００１３】  本考案に関わるエア浮上搬送用走路を用いることにより、従来のエア浮上搬送が対象にしていたガラス基板などの板状の被搬送物以外に、半導体ウェハー搬送用カセットなど、一般的形状の被搬送物もエア浮上方式により搬送する事が可能になる。またエア浮上搬送用走路の部材として市販標準品のアルミ製押し出し材などを用いることでコストが低減するので、半導体製造工程の他に、電子機器、化粧品、薬品などの製造工程にも、クリーン且つ低コストの搬送装置として利用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】エア浮上搬送用走路の基本的な構造の１例を示す。未だ長手方向の溝には多孔質部材が埋め込まれていない状態である。
【図２】図１の長手方向の溝に多孔質部材を埋め込み、エア浮上搬送用走路の基本要素として完成させた状態を示す。
【図３】コスト低減のため、市販標準品のアルミ製押し出し材を用いてエア浮上搬送用走路を構成した実施例である。
【図４】両側面の溝に多孔質材が埋め込まれたエア浮上搬送用走路に跨座型の搬送キャリヤを乗せた応用例である。
【図５】図３に示したエア浮上搬送用走路を一対で用いて、新たなエア浮上搬送用走路を構成した例である。
【図６】図５に示した一対のエア浮上搬送用走路に、中央部下面に静圧エアを利用した搬送方向案内装置を有する搬送キャリヤを乗せた応用例である。
【符号の説明】
【００１５】１    被搬送物の荷重を支える面
２ａ  面１の長手方向に設けた溝
２ｂ  面１の長手方向に設けた溝
３    面１と垂直な案内面
３ａ  面１と垂直な、複数の案内面の一方
３ｂ  面１と垂直な、複数の案内面の他方
４    面１と垂直な案内面の長手方向に設けられた溝
４ａ  面３ａの長手方向に設けられた溝
４ｂ  面３ｂの長手方向に設けられた溝
５    エア浮上搬送用走路の内部に設けられた、エア供給路
５ａ  エア浮上搬送用走路部材の内部に設けられた、複数のエア供給路の一方
５ｂ  エア浮上搬送用走路部材の内部に設けられた、複数のエア供給路の他方
６ａ  エア供給路５ａと溝２ａを連通させるエア通路
６ｂ  エア供給路５ｂと溝２ｂを連通させるエア通路
７    多孔質材
８    市販標準品のアルミ製押し出し材
９    低コストのエア浮上搬送用走路の実施例
１０  跨座型のエア浮上搬送キャリヤ
１１  跨座型のエア浮上搬送キャリヤの側面に設けられた案内装置
１２  一対のエア浮上搬送用走路の平行度と間隔を正確に保持する枕木部材
１３  一対のエア浮上搬送用走路により形成される、案内溝
１４  一対のエア浮上搬送用走路に用いる搬送キャリヤの搬送方向案内装置
１５  一対のエア浮上搬送用走路に用いる搬送用キャリヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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