【事件の表示】
　特許第２７５２１００号「積層セラミックコンデンサの製造方法」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７５２１００号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理由】
（１）手続の経緯
　特許第２７５２１００号の請求項１〜２に係る発明は、昭和６３年９月３０日に特許出願され、平成１０年２月２７日にその特許の設定登録がなされ、その後、重森幹成、株式会社村田製作所より、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年４月１３日に訂正請求がなされたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正明細書の請求項１に係る発明
　訂正明細書の請求項１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
「誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む内部電極ペーストを印刷したシートを交互に積重ねて加圧して一体化して積層体とし、この積層体を焼成し、酸化鉛を含む誘電体層を有する積層セラミックコンデンサの製造方法において、前記内部電極ペーストが焼成時にペロブスカイト系複合酸化物となる酸化物を含むことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。」
イ．　訂正の内容
ａ．特許請求の範囲の請求項１に記載されている「誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を
「誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に、
ｂ．明細書第４頁第６〜８行（公報３コラム２８〜３０行）の「本発明は、誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を
「本発明は、誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロプスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に訂正する。
ウ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正ａについて、
　特許請求の範囲の請求項１に記載された「誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を「誘電体がＰｂＴｉ０３を主体としＰｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に限定しようとするもので、そして、これは、明細書第６頁１５〜１９行（公報４コラム２１〜２４行）に「誘電体はＰｂＴｉＯ３を主体とし、ＰｂのサイトをＢａ、Ｃａ、Ｓｒ等で置換し、また、Ｔｉサイトを（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）、（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）、Ｚｒ等で置換したペロブスカイト系の複合酸化物」、及び、明細書第５頁第３〜４行（公報３コラム４３行）「Ａｇを主体とする内部電極の金属」と記載されている。
　訂正ｂについて
　訂正ｂは、訂正ａによる訂正後の特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との記載の整合を図るものであるから、明瞭でない記載の釈明に相当する。
　したがって、上記訂正ａ、ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項の追加にも該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
エ．独立特許要件の判断
ａ（引用刊行物）
　訂正明細書の訂正後における請求項１に係る発明の特許に対して、当審が平成１１年１月１９日付けで通知した取消理由で引用した刊行物１〜４には次のことが記載されている。
　刊行物１（特公昭５３−２３４９５号公報）には、「少なくとも４０重量％のパラジウムと白金、銀および金よりなる群から選ばれた１種またはそれ以上の別の貴金属との混合物または合金、そして更に貴金属および添加剤酸化物の合計重量基準で０．７〜１３重重％のＴｈＯ２・・・ＺｒＯ２・・・よりなる群から選ばれた１種またはそれ以上の微細分倒された添加剤酸化物を・・・多重層コンデンサー中の伝導体パターンの形成に用いられる貴金属組成物。」（公報の特許請求の範囲２）、
　「本発明は、伝導体そして更に特定的には多重層コンデンサーの電極製造に有用な組成物に関する。」（公報２コラム７〜８行）、
　「本発明において使用される誘電体基村は、・・・チタン酸バリウム、・・・ジルコン酸鉛、ジルコン酸チタン鉛その他があげられる。」（公報８コラム４〜１３行）、
　「そのような強化されたキャパシタンスは焼成コンデンサー電極の濃密化（デンシフイケーンヨン）すなわちパラジウム粒子の焼成厚膜中に往往にして認められる「レース状化」の減少）の結果として生じうる。更に散逸係数のより低いことも望ましい。」（公報３コラム３９〜末行）、
　「多重層コンデンサー中の導体生成に有用な微細分割されたパラジウムをベースとする粉末組成物（すなわちその中の貴金属がパラジウムであるかまたは銀、白金および金よりなる群から選んだ貴金属との少なくとも４０重量％のパラジウムの混合物または白金）中における改善を・・・パラジウム分散液の増大した被覆を可能ならしめ・・・より高いキャパシタンスを招来する結果となるものである。」（公報４コラム２〜１４行）、
　「微細分されたＰｄをベースとした分散物に、少量のある種の微細分割された添加剤酸化物を添加すると低減したシート抵抗率を有する焼成（焼結）金属フイルムを生成することができ従って得られるコンデンサーのキャパシタンスを増強する」（公報５コラム３４〜３８行）、
　「本発明において使用される誘電体基材は、当技術分野こおいてよく確立されている原則によれば、選ばれた電極組成物と焼成温度とに調和する任意の誘電体でありうる。そのような誘電体としては、チタン酸バリウム・・・ジルコン酸鉛、ジルコン酸チタン酸鉛その他があげられる。本発明ではチタン酸バリウムが好まい。
　本発明の電極組成物をなまの（未焼成）誘電体基材上に印刷した後で、得られた金属化した誘電体を所望のように切断（ダイス状）し、所望の層数に積み重ねそして既知の技術を使用して焼成する。
　各種層コンデンサーに対する典型的な焼成サイクルは・・・一般に、主成分としてチタン酸バリウムを使用した場合にはソーキング温度は約１１８０〜１４００°Ｃ・・・の範囲である。」（公報８コラム４〜３２行）が記載されている。
　刊行物２（特開昭６０−９７６１３号公報）には、積層セラミックコンデンサの製造方法において、「前記の薄片を重ねて加圧し、個々のコンデンサ体に切断する。」（公報第２頁左上欄第１３〜１４行）が記載されている。
　刊行物３（桐山良一外１名著「構造無機化学Ｉ」第３版　昭和５４年１２月１日　共立出版ｋｋ　ｐ１２９，ｐ２３７〜２３９）、及び、
　刊行物４（岡崎清著「セラミック誘電体工学」第３版　１９８３年６月１０日　ｋｋ学献社　ｐ１４３〜１４５，ｐ１４８〜１５３）には、ペロブスカイト構造に関することが記載されている。
ｂ（対　比・判　断）
　上記刊行物１には、酸化鉛を含有する誘電体に、焼成時にベロブスカイト酸化物となるＺｒＯ２を含む内部電極ペーストを印刷し焼成してコンデンサを製造する方法であって、このコンデンサの内部電極は、Ｐｄをベースとする粉末組成物の電極ペーストであることが記載されている。ここで、この刊行物には、Ｐｄを主体とする金属粉末を含む電極ペーストのみを対象にして記載されているから、本件請求項１に係る発明の、Ａｇを主体とする金属粉末を含む内部電極ペーストであることが、記載されていないし、示唆することも見あたらない。さらに、刊行物１には、誘電体基板がジルコン酸鉛、ジルコン酸チタン酸鉛が記載されているにとどまり、請求項１に係る発明の、誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したものであることが記載されていない。
　そして、請求項１に係る発明では、上記の、▲１▼誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシートと、▲２▼Ａｇを主体とする金属粉末を含む内部電極ペーストが、焼成時にペロブスカイト系複合酸化物となる酸化物を含むものとを組合わせた積層コンデンサの製造方法であり、したがって、請求項１に係る発明が、刊行物１〜４に基づいて、当業者が直ちに容易に発明をすることができたものとは到底いえない。
　また、この請求項１に係る発明が、上記刊行物１に記載された発明であるともいえない。
　この構成要件により、請求項１に係る発明は、明細書に記載されているように、低温焼成して、内部電極の切れがなく、ＥＳＲが上昇することがないので、高周波領域まで使用できる酸化鉛を含む誘電体層を有する積層セラミックコンデンサの製造方法を提供できるという効果を生じている。
　したがって、上記請求項１に係る発明は特許出願の際独立して特許を受けることができる
オ．　む　　す　　び
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立てについて
ア．本件請求項１〜２に係る発明は、下記のとおりである。
［請求項１］これは、上記（２）アに示したとおりである。
［請求項２］「前記焼成時にペロブスカイト系複合酸化物となる酸化物が、Ｚｒ０２、ＭｇＮｂ２Ｏ６および　ＺＤＮｂ２Ｏ６より成る群から選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする請求項１記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。」
イ．　申立ての理由の概要
　ａ申立人・重森幹成は、
▲１▼請求項１〜２に係る発明は、甲第１号証（特公昭５３−２３４９５号公報、これは、上記刊行物１と同一である。）に記載された発明と同一であり、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反してなされたものとし、また、▲２▼請求項１〜２に係る発明は、当業者が上記甲第１号証、甲第２号証（特開昭６２−１５０８０８号公報）に基いて容易に発明をすることができたものであり、同法第２９条第２項に該当するとし、
　ｂ申立人・株式会社村田製作所は、
　請求項１〜２に係る発明は、当業者が甲第１号証（特開昭５０−４２３６２号公報、これは、上記刊行物１の公開公報である。）、甲第２号証（これは、上記刊行物２と同一である。）、甲第３号証（上記刊行物３と同一である。）、及び、甲第４号証（これは、上記刊行物と同一である。）に基いて容易に発明をすることができたものであり、同法第２９条第２項に該当するから、
　上記請求項１〜２に係る発明の特許は、特許法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきものであると主張している。
ウ．　各号証の発明
　ａ異議申立人・重森幹成が提出した、
甲第１号証には、上記に（２）エａに示したこと、甲第２号証には、「セラミックシートがＰｂを含むプロブスカイト結晶構造を有する誘電体を素材となっているため、前記の最後の焼成工程を一般的な方法で行うと焼成時にＰｂが蒸発してコンデンサのチップの表面と内部とで若干組成が変化し、クラックが生じて絶縁抵抗が劣化し、生産性の歩留りや信頼性に欠けるので、実際にはセラミックシートをＰｂＯ粉末に埋設し、ＰｂＯの粉末によりセラミックシートの周囲の蒸気圧を高め、セラミックシートからのＰｂの蒸発を抑制する方法を採っている。」（第２頁左上欄第７〜１７行）ことが記載されている。　ｂ異議申立人・株式会社村田製作所が提出した、甲第１〜４号証には、上記（２）エａに示したことが記載されている。
エ．　対　比　・　判　断
　異議申立人・重森幹成及び株式会社村田製作所の提出した各号証は、上記刊行物１〜４であり、さらに重森幹成が提出した上記甲第２号証である。しかし、この甲第２号証には、セラミックシートがＰｂを含んでいると焼成時にＰｂが蒸発するので、これを抑制することが記載されているにすぎず、これを検討しても、請求項１に係る発明は、上記（２）エｂに示したように、甲第１号証（刊行物１）に記載された発明であるといえないし、また、当業者が各号証に基いて容易に発明をすることができたものとはいえない。
　請求項２に係る発明は、請求項１を引用したものであるから、甲第１号証（刊行物１）に記載された発明であるといえないし、また、当業者が各号証に基いて容易に発明をすることができたものとはいえない。
オ．　む　す　び
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件請求項１〜２に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１〜２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年６月３０日（１９９９．６．３０）
【訂正の要旨】
　請求項１に記載されている「誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を
「誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に、
ｂ．明細書第４頁第６〜８行（公報３コラム２８〜３０行）の「本発明は、誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を
「本発明は、誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロプスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に訂正する。
　訂正ａについて、
　請求項１に記載された「誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するための金属粉末を含む」を「誘電体がＰｂＴｉ０３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である誘電体層を形成するための酸化鉛を含むセラミックグリーンシート上に、内部電極を形成するためのＡｇを主体とする金属粉末を含む」に限定しようとするもので、これは、明細書第６頁１５〜１９行（公報４コラム２１〜２４行）に「誘電体はＰｂＴｉＯ３を主体とし、ＰｂのサイトをＢａ、Ｃａ、Ｓｒ等で置換し、また、Ｔｉサイトを（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）、（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）、Ｚｒ等で置換したペロブスカイト系の複合酸化物」、及び、明細書第５頁第３〜４行（公報３コラム４３行）「Ａｇを主体とする内部電極の金属」と記載されている。
　訂正ｂについて
　訂正ｂは、訂正ａによる訂正後の特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明との記載の整合を図るものであるから、明瞭でない記載の釈明に相当する。
　したがって、上記訂正ａ、ｂは、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、特許請求の範囲の減縮に該当し、新規事項の追加にも該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（５４）【発明の名称】
積層セラミックコンデンサの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
（１）　
誘電体がＰｂＴｉＯ３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である
Ａｇを主体とする
（２）　前記焼成時にペロブスカイト系複合酸化物となる酸化物が、ＺｒＯ２、ＭｇＮｂ２Ｏ６およびＺｎＮｂ２Ｏ６より成る群から選ばれた少なくとも１種であることを特徴とする請求項１記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
　本発明は積層セラミックコンデンサに係わり、特に、酸化鉛を含む誘電体層を有する積層セラミックコンデンサの製造方法に関する。
（従来の技術）
　一般に積層セラミックコンデンサ、セラミックグリーンシートならびにセラミックシート上に内部電極ペーストを印刷したシートを交互に重ね、その後加圧して一体化して積層体とし、この積層体を脱バインダー後焼成して得られる。
　この積層セラミックコンデンサの内部電極は焼成によりセラミック誘電体と一体化されるために、セラミック誘電体と反応しないようにその材料を選択する必要があり、従来は、この電極材料として、Ａｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｇ等の様な貴金属およびこれらの合金が主として用いられてきた。
　一方、最近、誘電体としては、鉛ペロブスカイト化合物を主体とする低温焼結型のセラミック誘電体材料が用いられ始めている。これを用いた積層セラミックコンデンサの内部電極としては、安価なＡｇやＡｇを主体とするＡｇ／Ｐｄ合金等が多く用いられている。さらに、最近になって、より安価なＣｕやＮｉあるいはこれらの合金等も検討され始めている。ところが、特に、誘電体が鉛系である場合、内部電極としてＡｇ主体の電極を用いると、ＥＳＲ（等価直列抵抗）が大きくなるという、新たな問題が生じた。この問題は、Ｃｕを主体、あるいはＮｉを主体とする内部電極を用いた場合にも生じる。このために、酸化鉛を含む誘電体層を有する積層セラミックコンデンサとしては、ＥＳＲが上昇し、特に高周波領域での使用が難しいという問題点が生じる。
（発明が解決しようとする課題）
　前述した様に、酸化鉛を含む酸化鉛系の誘電体層を有する積層セラミックコンデンサでは、内部電極の切れやＥＳＲが上昇するために高周波領域での使用ができない等の問題点があった。
　本発明の目的は、内部電極の切れがなく、しかもＥＳＲが上昇することがないので高周波領域まで使用できる酸化鉛系の誘電体層を有する積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することにある。
〔発明の構成〕
（課題を解決するための手段および作用）
　本発明は、
誘電体がＰｂＴｉＯ３を主体とし、Ｐｂのサイト及びＴｉサイトを置換したペロブスカイト系複合酸化物である
Ａｇを主体とする
　酸化鉛を含む誘電体層を有する従来の積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極の切れやＥＳＲの上昇は以下の原因に起因すると考えられる。即ち、セラミックグリーンシート中に含まれるＰｂと、内部電極ペースト中のＡｇとが反応し、Ａｇを主体とする内部電極の金属（例えば、Ａｇ７０／Ｐｄ３０）の実質的な融点が下がってしまうため、誘電体の通常の焼成温度において電極切れを起こすと考えられる。
　これに対して、本発明の製造方法においては、内部電極ペースト中に含まれるＺｒＯ２やＭｇＮｂ２Ｏ６やＺｎＮｂ２Ｏ６の酸化物が、誘電体の焼成時にグリーンシートから放出されるＰｄ蒸気を取囲んでその一部がＰｂＺｒＯ３やＰｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３やＰｂ（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３等のペロブスカイト系複合酸化物となり、内部電極中の金属がＰｂ蒸気と反応ることを防ぐために電極の切れが防止できると考えられる。しかも、Ｐｂ蒸気との反応生成物はプロブスカイト系複合酸化物であるために、誘電体層の誘電特性に影響を及ぼすことがなく、極めて有効である。
　内部電極ペースト中に含まれる上記酸化物の量は、金属粉末１００重量部に対して２０重量部以下の範囲が好ましい。なお、この添加量が２０重量部を越えると、内部電極の有効面積が減少し、実質的なコンデンサの容量が低下してしまう。
　また、内部電極ペースト中に含まれる上記酸化物の粉末は、粒径が０．５〜１０μｍの範囲が望ましく、好ましくは、２〜５μｍの範囲である。粒径が０．５μｍより細かい場合は電極中に拡散してしまうために、電極の抵抗値が高くなり、ＥＳＲが上昇してしまい、また、１０μｍを超えると内部電極を印刷する時にスクリーンが目詰まりを起こすと共に、内部電極を印刷したシートを積層圧着する際にシートを破り、欠陥を作る可能性があり、信頼性の低下を招く。
　なお、本発明における誘電体はＰｂＴｉＯ３を主体とし、ＰｂのサイトをＢａ、Ｃａ、Ｓｒ等で置換し、また、Ｔｉサイトを（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）、（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）、Ｚｒ等で置換したペロブスカイト系の複合酸化物を様いることが好ましい。また更に、ＭｎＯ２、ＣｏＯ、ランタニド元素等の添加物を含んでいても良い。この誘電体は少なくともＰｂＯに換算して３０ｗｔ％以上のＰｂを含んでいることが本発明の効果上好ましい。
（実施例）
　以下、本発明の実施例について説明する。
　誘電体層として、（Ｐｂ０．９Ｃａ０．１）１．０３（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）０．３（Ｍｇ１／２Ｎｂ２／３）０．５Ｔｉ０．２Ｏ３と組成となる様に、通常のセラミック手法で、ＰｂＯ、ＣａＣＯ３、ＺｎＯ、Ｎｂ２Ｏ５、ＭｇＣＯ３、ＴｉＯ２を秤量し、混合した後、８８０℃で２時間仮焼し、粉砕して、粒径が０．５〜０．９μｍの粉末を得た。この粉末に、有機バインダー、溶剤、可塑剤を加えて、セラミックスラリーを作成した。このスラリーを一定の厚みを持つドクターブレードでキャリアフィルム上にシート引きし、固化乾燥して、誘電体のグリーンシートを作成した。
　内部電極ペーストは、Ａｇ７０ｗｔ％、Ｐｄ３０ｗｔ％の混合粉末１００部に対して、平均粒径が約５μｍのＺｒＯ２粉末を０〜５０部、エチルセルロース３０部、ブチルカルビトール６０部、石油系シンナー１０部を加えて、均一混合して作成した。
　この電極ペーストをグリーンシートにスクリーン印刷し、これを１０枚積層して圧着し、切断して積層体とし、この積層体を９５０℃〜１０５０℃の焼成温度で焼成し、外部電極を焼き付けて積層セラミックコンデンサとした。
　この様にして得られた積層セラミックコンデンサの電気的特性を測定した結果を第１表に示した。表中の各種測定データは各５個のコンデンサの測定データの平均値である。
　次に、他の内部電極ペーストとして、平均粒径０．９６μｍのＣｕ粉末１００部に対して、平均粒径５μｍのＺｒＯ２の粉末を１０部、エチルセルロース３０部、ブチルカルビトール６０部、石油系シンナー１０部を加えて均一混合し、他の内部電極ペーストを作成した。このペーストを同様なグリーンシート上にスクリーン印刷し、これを１０枚積層して圧着し、切断して積層体を得、この積層体を０．５％のＯ２を含むＮ２ガス中で４２０℃で脱バインダした。この積層体を酸素分圧１０−８〜１０−９ａｔｍのＮ２ガス中で９５０℃で１時間焼成した後、外部電極として市販の銅ペースト（Ｄｕｐｏｎｔ７００１Ｄ）を焼き付けて、積層セラミックコンデンサとした。この様にして得られた積層セラミックコンデンサの電気的特性を測定した結果を第２表に示した。表中の各種測定データは各５個のコンデンサの測定データの平均値である。
　これらの表から明らかな様に、本実施例の積層セラミックコンデンサは、内部電極ペースト内に含まれるＺｒＯ２が焼結時に発生するＰｂ蒸気を吸収してペロブスカイト系複合酸化物となり、電極ペースト内の金属がＰｂ蒸気と反応することを防ぐことができるために、ＡｇやＣｕやＮｉを主体とする内部電極の電極切れがなく、そのために、容量低下がなく、ＥＳＲの上昇がなく、高周波領域でも安定に使用できる。
　次に、本発明の他の実施例について説明する。
　まず、誘電体層として、（Ｐｂ０．９Ｃａ０．１）１．０３（Ｚｎ１／３Ｎｂ２／３）０．３（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）０．５Ｔｉ０．２Ｏ３と組成となる様に、上記実施例と同様に、通常のセラミック手法で、グリーンシートを作成した。
　一方、これとは別に、ＭｇＣＯ３とＮｂ２Ｏ５およびＺｎＯとＮｂ２Ｏ５を等モルの割合で秤量し、混合した後、１１００℃で８時間仮焼し、粉砕して、平均粒径が約３μｍのＭｇＮｂ２Ｏ６およびＺｎＮｂ２Ｏ６の粉末を作成した。
　内部電極ペーストは、Ａｇ７０ｗｔ％、Ｐｄ３０ｗｔ％の混合粉末１００部に対して、上述のＭｇＮｂ２Ｏ６およびＺｎＮｂ２Ｏ６の粉末を０〜５０部、エチルセルロース３０部、ブチルカルビトール６０部、石油系シンナー１０部を加えて、均一混合して作成した。
　この電極ペーストをグリーンシートにスクリーン印刷し、これを１０枚積層して圧着し、切断して積層体とし、この積層体を９５０℃〜１０５０℃の焼成温度で焼成し、外部電極を焼き付けて積層セラミックコンデンサとした。
　この様にして得られた積層セラミックコンデンサの電気的特性を測定した結果を第３表に示した。表中の各種測定データは各５個のコンデンサの測定データの平均値である。
　この第３表から明らかな様に、本実施例の積層セラミックコンデンサは、内部電極ペースト内に含まれるＭｇＮｂ２Ｏ６もしくはＺｎＮｂ２Ｏ６が焼給時に発生するＰｂ蒸気を吸収してペロブスカイト系複合酸化物となり、電極ペースト内の金属がＰｂ蒸気と反応することを防ぐことができるために、ＡｇやＣｕやＮｉを主体とする内部電極の電極切れがなく、そのために、容量低下がなく、ＥＳＲの上昇がなく、高周波領域でも安定に使用できる。なお、この実施例においては、内部電極ペーストとしてＡｇ／Ｐｄの金属を含むものについて説明したが、金属として、ＣｕやＮｉを含む内部電極ペーストに対しても、同様な効果がある。
〔発明の効果〕
　以上の様に、本発明によれば、内部電極の切れがなく、しかもＥＳＲが上昇することがないので、高周波領域まで使用できる酸化鉛系の誘電体層を有する積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することができる。