【事件の表示】
　特許第２９０９４７６号「ウエハの位置合わせ装置」の請求項１及び２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９０９４７６号の請求項１及び２に係る特許を維持する。
【理　由】
一．［手続の経緯］
　本件特許第２９０９４７６号（以下、「本件特許」という）は、平成３年３月２６日に出願された特願平３−８７５２６号の特許出願に係り、平成１１年４月９日に設定登録されたが、本件特許に対して、表記特許異議申立人より特許異議の申立があったので、当審において、当該申立の理由を検討の上、特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１２年６月１９日に、特許権者より特許異議意見書の提出と共に訂正請求があったものである。
　
二．［訂正請求について］
　１．訂正の要旨
　上記訂正請求における訂正の要旨は、次の（イ）〜（チ）のとおりである。
　（イ）　「【請求項１】」中の、「この回動部に保持されたウエハの面に沿って回動しかつ伸縮すると共に、当該ウエハを保持して搬送する搬送アームと、」という記載を、
　「ウエハの周縁部を光学的に検出してウエハの中心と回動部の回動中心とを結んだ直線と基準線とのなす角度α、ウエハに設けられたウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線と基準線とのなす角度β、回動部の回動中心とウエハの中心との距離γを求める位置検出部と、
　前記回動部に保持されたウエハの面に沿ってその基端側の位置固定された回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本からなる関節アームである搬送アームと、」に訂正する。
　（ロ）　同じく「【請求項１】」中の、「位置合わせ前のウエハの向き、位置合わせにより予定しているウエハの向き、及び前記回動部の回動中心に対するウエハの相対位置に基づいて、ウエハの向きを補正するための前記回動部の回動量と、ウエハの中心位置を補正するための搬送アームによるウエハの保持位置または解除位置を演算する演算部」という記載を、
　「前記位置検出部の検出結果α、β、γと、搬送アームの回動中心と回動部の回動中心との間の長さＲ１と、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対する予め定められたウェハの向きであるオフセット角度ψと、に基づいて、ウエハの向きを前記予め定められた向きに補正するための回動部の回動角θａと、搬送アームの回動中心に対して、回動部の回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置とのなす角度θｂと，搬送アームの回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置との長さＲ２と、を演算して求める演算部」に訂正する。
　（ハ）　同じく「【請求項１】」中の、「前記演算部の演算結果に基づいて前記回動部及び搬送アームを制御することを特徴とする」という記載を、
　「前記演算部の演算結果に基づいて、前記回動部をθａだけ回動させることにより、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予め定められたオフセット角度ψとし、次いで搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を前記θｂ及びＲ２に基づいて制御することを特徴とする」に訂正する。
　（ニ）　「【請求項２】」中の、「前記回動部に保持されたウエハの面に沿って回動しかつ伸縮すると共に、当該ウエハを保持して搬送する搬送アームと、」という記載を、
　「前記回動部に保持されたウエハの面に沿ってその基端側の位置固定された回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本の関節アームからなる搬送アームと、」に訂正する。
　（ホ）　同じく「【請求項２】」中の、「前記位置検出部の検出結果に基づいて、ウエハの向きを予定している向きに補正するための回動部の回動角」という記載を、
　「前記位置検出部の検出結果に基づいて、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予定している向きに補正するための回動部の回動角」に訂正する。
　（ヘ）　同じく「【請求項２】」中の、「前記演算部の演算結果に基づいて、前記回動部を回転させると共に、搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を制御することを特徴とする」という記載を、
　「前記演算部の演算結果に基づいて、前記回動部をθａだけ回動させることにより、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予め定められたオフセット角度ψとし，次いで搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を前記θｂ及びＲ２に基づいて制御することを特徴とする」に訂正する。
　（ト）　同じく「【請求項２】」末尾の、「ψ；ウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線に対して搬送アームの軸線がなす角度であって、予め定められたオフセット角度。」という記載を、
　「ψ；ウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線に対して搬送アームの回動中心とウエハの中心位置とを結ぶ線がなす角度であって、予め定められたオフセット角度。」
　（チ）　特許明細書の「発明の詳細な説明」中、上記（イ）〜（ト）の訂正事項に対応する箇所【0007】（【課題を解決するための手段】）について、上記（イ）〜（ト）の訂正事項と同趣旨の訂正をすると共に、【0006】中の、「搬送装置を提供する」という記載を、「位置合わせ装置を提供する」に訂正する。
　２．訂正請求の適否
　（１）訂正の目的
　上記（イ）〜（ヘ）の訂正は、本件特許発明の必須の構成をより限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮とみることができる。
　また、上記（ト）、（チ）の訂正は、上記（イ）〜（ヘ）の訂正によって生じる明細書の前後の記載内容の齟齬と、特許請求の範囲の各請求項末尾の記載と発明の詳細な説明の記載との不整合を、訂正により解消させようとするものであるから、明瞭でない記載の釈明に該当する。
　（２）新規事項の有無
　本件特許に係る、願書に添付した明細書の記載からみて、上記各訂正の内容は、当該明細書及び図面に記載された事項の範囲内のものといえる。
　（３）拡張、変更の有無
　上記（イ）の訂正では、訂正前の請求項１には明確な言及のなかった「位置検出部」が付加されたことになるが、当該位置検出部に係る訂正は、「演算部」における演算の対象となる数値を決定するために当然存在するべき構成を明示したものであり、上記（イ）の訂正をはじめとする各訂正の内容は、訂正前の特許請求の範囲を実質的に拡張したり、変更したりするものとはいえない。
　（４）独立特許要件の適否
　上記訂正に係る特許請求の範囲に記載された発明について、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができるものか否かについて検討する。
　（４-1）＜訂正に係る発明＞
　上記訂正に係る発明は、平成１２年６月１９日付で提出された全文訂正明細書の特許請求の範囲（請求項１、２）に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
【請求項１】　「中心位置及び向きが検出されたウエハについてその位置合わせを行う装置において、
　ウエハを保持してその面に沿って回動させる回動部と、
　ウエハの周縁部を光学的に検出してウエハの中心と回動部の回動中心とを結んだ直線と基準線とのなす角度α、ウエハに設けられたウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線と基準線とのなす角度β、回動部の回動中心とウエハの中心との距離γを求める位置検出部と、
　前記回動部に保持されたウエハの面に沿ってその基端側の位置固定された回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本からなる関節アームである搬送アームと、
　前記位置検出部の検出結果α、β、γと、搬送アームの回動中心と回動部の回動中心との間の長さＲ１と、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対する予め定められたウェハの向きであるオフセット角度ψと、に基づいて、ウエハの向きを前記予め定められた向きに補正するための回動部の回動角θａと、搬送アームの回動中心に対して、回動部の回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置とのなす角度θｂと，搬送アームの回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置との長さＲ２と、を演算して求める演算部と、を設け、
　前記演算部の演算結果に基づいて、前記回動部をθａだけ回動させることにより、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予め定められたオフセット角度ψとし、次いで搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を前記θｂ及びＲ２に基づいて制御することを特徴とするウエハの位置合わせ装置。」（上記の請求項１に係る発明を、以下、「本件発明」という）
【請求項２】　「ウエハを保持してその面に沿って回動させる回動部と、
　この回動部によりウエハを１回転させたときのウエハの周緑部を光学的に検出して下記の（イ）に定めるα、β、γの各値を求める位置検出部と、
　前記回動部に保持されたウエハの面に沿ってその基端側の位置固定された回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本の関節アームからなる搬送アームと、
　前記位置検出部の検出結果に基づいて、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予定している向きに補正するための回動部の回動角と、ウエハの向きを予定している向きに補正したあとの搬送アームの回動中心に対するウエハの中心位置とを以下の（ロ）の式に基づいて演算する演算部と、を備え、　
　前記演算部の演算結果に基づいて、前記回動部をθａだけ回動させることにより、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予め定められたオフセット角度ψとし，次いで搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を前記θｂ及びＲ２に基づいて制御することを特徴とするウエハの位置合わせ装置。
　（イ）　α；ウエハの中心と回動部の回動中心とを結んだ直線と基準線とのなす角度
　　　　　β；ウエハに設けられたウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線と基準線とのなす角度
　　　　　γ；回動部の回動中心とウエハの中心との距離
　（ロ）　θａ＝ａｒｃｓｉｎ｛（γ／Ｒ１）ｓｉｎ（α−β＋ψ）｝＋β−φ−ψ
　　　　　θｂ＝ａｒｃｓｉｎ｛（γ／Ｒ１）ｓｉｎ（α−β＋ψ）｝
　　　　　Ｒ２＝｛Ｒ１−γｃｏｓ（α−φ−θａ）｝／ｃｏｓθｂ
　ただし、
　　θａ；ウエハの向きを予定している向きに補正するための回動部の回動角
　　θｂ；搬送アームの回動中心に対して、回動部の回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置とのなす角度
　　Ｒ２；搬送アームの回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置との長さ
　　Ｒ１；搬送アームの回動中心と回動部の回動中心との間の長さ
　　φ；搬送アームの回動中心と回動部の回動中心とを結ぶ直線と基準線とのなす角度
　　ψ；ウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線に対して搬送アームの回動中心とウエハの中心位置とを結ぶ線がなす角度であって、予め定められたオフセット角度。」
　（４-2）＜引用例とその記載事項の概要＞
　これに対して、引用例となるものは、いずれも本件特許に係る出願日より前に頒布された次の刊行物である。
　刊行物１：特開昭６３−２３３３２号公報（甲第１号証）
　刊行物２：特開昭６１−２７８１４９号公報（甲第２号証）
　刊行物３：特開平２−３１１２８８号公報（甲第３号証）
　上記の刊行物１には、次のａ〜ｅの記載がある。
　ａ　「第３図を参照すれば、ウエーハ移送アーム２２は、１次軸７２のまわりで回転するように駆動組立体５４に１次軸７２に接続された細長い１次セクション７０を含む。・・・１次セクション７０の各回転について、２次セクション７４は、２回回転する。この配列は、１次軸７２と枢軸７６との間の距離が枢軸７６と名目上のウエーハ中心９２との間の距離に等しいとき、ウエーハピック８０上で名目上のウエーハ中心９２の直線運動をもたらす。」（第１１頁左上欄第２０行〜同左下欄第５行）
　ｂ　「ウエーハが１次軸７２のまわりで回転するとき、・・・ソーラセル１３４の出力はウエーハの平坦部を除いて一定のままである。平坦部での信号変化は、ウエーハ平坦部の角度配向を決定し、配向器チャック１１４の回転によって所望の角度配向に平坦部を補正するために用いることができる。ウエーハが１次軸７２上に完全には中心づけられない通常の場合に、ソーラセル１３４の出力は、ウエーハが回転するとき変化する。出力信号変化は、第７図で示すように１次軸７２上で所望のウエーハの中心ｘ０，ｙ０に対して実際のウエーハ中心を決定するべく処理される。」（第１３頁左上欄第１〜１４行）
　ｃ　「本発明の配向器で、ウエーハの位置に対する補正は、補正した位置で投入ステーション２８にあるウエーハを配置することによって行われる。ｘ軸エラーは、移送アーム２２ののびに対する補正によって補償される。すなわち、アーム２２は、ｘ軸エラーを除去するため正常ののびより幾分のばされる。ｙ軸エラーは、ｙ軸エラーの量だけ案内トラック６２に沿って駆動組立体５４及び移送アーム２２全体が移動することによって補償される。」（第１３頁右上欄第７〜１６行）
　ｄ　「ウエーハの回転配向は、位置及び配向ステーション２６で決定され、配向器チャック１１４の回転によって補正される。ウエーハが位置及び配向ステーション２６から投入ステーション２８へ移送アーム２２によって移動されるときウエーハは回転される・・・この回転は、計算され、配向器チャック１１４の対応する逆回転によって補償され、そのためウエーハは投入ステーション２８で所望の配向で位置づけられる。」（第１３頁左下欄第１２行〜同右下欄第１行）
　ｅ　「ソーラセルからの多数の記憶された生データ点のため、・・・座標系に対して計算する。・・・但し、（ｘ０、ｙ０）は回転の中心であり、（ｘｍ、ｙｍ）は回転中心に対するウエーハの実際の中心であり、φｉは座標系と（ｘｉ、ｙｉ）との間の角度である。次に、ウエーハの角度配向を考える。ｄを投入ステーション２８でのウエーハ平坦部の所望の角度とする。アーム２２がステーション２６から投入ステーション２８へウエーハを移送するとき、ウエーハは、第１図で示すようにアーム２２が投入ステーション２８までのびるとき、アーム２２とｘ軸との間の角に等しい角度だけ回転する。」（第１３頁右下欄第１４行〜第１４頁右上欄第１行）
　次に、上記刊行物２には、次のｆ、ｇの記載がある。
　ｆ　「第１図には示していないが、センサ６と伸縮回転機構に制御装置が接続されていて、この制御装置はパンタグラフハンド３の一定角度の回転毎にセンサ６が検出したウエハ１の縁の座標を記憶する記憶装置と、これらの座標からウエハの中心位置とオリエンテーションフラットの向きを算出する手段を含んでいる。制御装置は、・・・センサ６からの検出信号からウエハの位置ずれを決定し、それからその位置ずれを修正するようパンタグラフハンド３の伸縮回転を制御して固定チャック７上のウエハ１に対してパンタグラフ３を適正位置に配向する。この適正位置で固定チャック７からウエハ１を受取って支持部材２上にウエハ１を保持する。」（３頁左上欄第５行〜同右上欄第３行）
　ｇ　「センサ６は・・・反射型または透過型の光センサなどが使用できる。」
　更に、上記刊行物３には次のｈ〜ｋの記載がある。
　ｈ　「第１図に示すようにアームロボットは台座１２と、ここから突出し第１アーム１４と第２アーム１６と作動端１８とを有したカンチレバー型多関節ロボットを有する。・・・レッグ１４はピボットハウジング３０により台座１２につながれている。レッグ１４とレッグ１６はピボットハウジング３２によって旋回する。レッグ１６とハンド１８はピボットハウジング３４によりつながれている。・・・電子制御装置４０は４２の位置の軸に沿う独立のｒ，θ，ｚ運動を創生する台座１２の内の独立運動システムを制御する。」（第４頁左下欄第１６行〜第５頁左上欄第３行）
　ｉ　「吸引チャック５２の上で回転させられる半導体ウエハ２２のエッジの位置を検出するために、容量型又は他のタイプのエッジ検出器５４が設けられている。
　位置情報はオフセット検出及び制御回路５６に供給される。制御回路５６は・・・吸引チャック５２上のウエハ２２のミスアライメント、即ち当初にハンドから吸引チャック５２に移された時のハンド１８上においてウエハがミスアライメントされていた程度の角度と大きさとを判断する。」（第５頁右上欄第９〜１９行）
　ｊ　「次のステップ６４において吸引チャック５２はモー夕支持台５０により回転させられる。ステップ６６においてエッジの位置は検出器５４により検出され制御回路５６により処理されて、吸引チャック５２の回転中心に関してウエハの中心位置を一致させる。次のステップ６８において、吸引チャックの中心を通りピボットハウジング３０の中心に至る軸７０に沿ってオフセットを置くように、吸引チャック５２はウエハの位置を定める。・・・ウエハはハンド１８により持ち上げられて軸７０に沿って、ｒ方向に厳密に直線的に動かされる。その結果、ウエハの中心は回転軸と一致するように置かれる。・・・その後、ステップ７２においてウエハ２２の平らな部分或いは基準点等の加工品の位置が予め決められた位置に置かれる。」（第５頁左下欄第７行〜同右下欄第７行）
　ｋ　「これにかえて２番目のケースとして、ステップ６６または６８の後、ステップ８２へと動作が分岐しても良い。このステップにおいては吸引チャック５２の上で再アライメントする前に、ハンド１８へウエハ２２を運ぶ。この場合、ミスアライメントの程度は既知である。ウエハ２２は台座１２内の駆動システムによる制御の下で、ロボットアームにより運ばれ、ウエハ２８はｒ，θ，ｚ方向にミスアライメントのオフセットを伴って移動ステップに算出した所定のステップ数動かされる。そして該ウエハは予め決められた同一のアライメントで、ステーション８０に配置される。」（第５頁右下欄第１５行〜第６頁左上欄第６行）
　（４-3）＜発明の対比＞
　上記（４-1）における認定のとおり、本件発明（訂正に係る請求項１の発明）では、「回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本からなる関節アームである搬送アーム」を備えることが前提構成とされるのに対し、上記（４-2）における、ａ、ｃ、ｄ、ｆとして指摘したところから明らかなように、刊行物１及び２に記載されるウエハの搬送機構は、基本的に直線経路のみに沿った搬送をするもので、本件発明と同様に、３本からなる関節アームによる搬送機構を用いる際のウエハの位置決めに言及しているのは、刊行物３のみである。
　そこで、本件発明と刊行物３の記載とを対比すると、刊行物３記載の「吸引チャック５２」は、その上で半導体ウエハが「回転させられる」のであるから、本件発明における「回動部」に相当し、同様の関係で「エッジ検出器５４」は「位置検出部」に、「制御回路５６」は「演算部」に対応している。そして、刊行物３の上記ｋにおける「このステップにおいては吸引チャック５２の上で再アライメントする前に、・・・ロボットアームにより運ばれ、ウエハ２８はｒ，θ，ｚ方向にミスアライメントのオフセットを伴って移動ステップに算出した所定のステップ数動かされる。そして該ウエハは予め決められた同一のアライメントで、ステーション８０に配置される」という記載は、制御回路５６（演算部）が「ウエハの向きを予め定められた向きに補正する」ための演算をすると共に、「搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時にウエハの中心位置が予定の位置となるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を制御する」ことを意味するとみてよい。更に、刊行物３では、上記のエッジ検出器に関して、「容量型又は他のタイプ」としているが、当該他のタイプのうちには、「光学的に検出」するものが含まれることは、刊行物１における上記ｂ、ｅの記載や、刊行物２における上記ｇの記載等から明らかである。
　したがって、刊行物３の上記ｈ〜ｋに記載されたところを総合すると、刊行物３には次の発明が開示されているといえ、この限りにおいて、本件発明と一致している。
　「中心位置及び向きが検出されたウエハについてその位置合わせを行う装置において、
　ウエハを保持してその面に沿って回動させる回動部と、
　ウエハの周縁部を光学的に検出する位置検出部と、
　前記回動部に保持されたウエハの面に沿ってその基端側の位置固定された回動中心の回りに回動しかつ伸縮すると共に、ウエハを保持して搬送する３本からなる関節アームである搬送アームと、
　前記位置検出部の検出結果に基づいて、ウエハの向きを予め定められた向きに補正するための演算をする演算部と、を設け、
　前記演算部の演算結果に基づいて、搬送アームにより前記ウエハを別の位置に搬送した時に、ウエハの向きと中心位置が予定のものとなるように前記回動部上のウエハに対する搬送アームの保持位置または別の場所での搬送アームの解除位置を制御するウエハの位置合わせ装置。」
　一方、本件発明と刊行物３記載の発明との間には、次の相違点がある。
　［相違点１］　位置検出部に関して、本件発明では、「ウエハの中心と回動部の回動中心とを結んだ直線と基準線とのなす角度α、ウエハに設けられたウエハの向きを表すための部位とウエハの中心位置とを結ぶ線と基準線とのなす角度β、回動部の回動中心とウエハの中心との距離γ」と共に、「搬送アームの回動中心に対して、回動部の回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置とのなす角度θｂと，搬送アームの回動中心と回動部で向きが補正された後のウエハの中心位置との長さＲ２と、」を求めるというものであるのに対し、刊行物３には、上記の角度や長さを求めることについて明確な言及がない点。
　［相違点２］　ウエハの向きを予定のものとするための手法として、本件発明では、上記の「α、β、γ」と「搬送アームの回動中心と回動部の回動中心との間の長さＲ１と、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対する予め定められたウエハの向きであるオフセット角度ψと、に基づいて、ウエハの向きを予め定められた向きに補正するための回動部の回動角θａ」を求めて、「回動部をθａだけ回動させることにより、ウエハの中心位置と搬送アームの回動中心とを結ぶ線に対するウエハの向きを予め定められたオフセット角度ψと」するものであるのに対し、刊行物３記載の発明では、上記ｊのとおり、ウエハの中心を「回転軸と一致するように置」いた後、ウエハの向きを回動部において「予め決められた位置」とするか、または、上記ｋのとおり、ウエハの向きを補正する手段としては、回動部（吸引チャック）を回動させるという手法をとらないとしている点。
　（４-4）＜相違点の検討＞
　先ず、上記の相違点１について検討すると、本件発明で演算されるという、上記の  「α、β、γ」や、θｂ、Ｒ２の値は、「ウエハを別の位置に搬送した時に、ウエハの向きと中心位置が予定のものとなるように制御する」ためには当然必要となるもので、そのような必要性は、上記ｉの「制御回路５６は・・・吸引チャック５２上のウエハ２２のミスアライメント・・・の角度と大きさとを判断する」という記載によって示唆されているし、また、これらの値を位置検出部で求めるようにすることも特段困難とみるべき事情もないから、上記の相違点１は格別の技術的意義をもつものではない。
　しかし、相違点２で指摘した、本件発明における、ウエハの向きを予定のものとするための手法は、ウエハの中心を吸引チャックの「回転軸と一致する」ように置き直してからウエハの向きを補正することを前提としている刊行物３の上記ｊの記載から示唆されるところではないし、基本的に直線移動させるだけの搬送機構を開示した刊行物１及び２においても記載や示唆がないことは明らかである。そして、上記相違点２に係る構成を備える本件発明では、ｘ方向、ｙ方向それぞれの駆動機構が不要となって、システムの小型化やコストダウンを図れるのみでなく、回動部上でウエハを置き直すことなく、簡便な方法でウエハの向きを補正して、位置合わせの時間を短縮できるという、格別の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　（４-5）＜訂正請求に係る請求項２の発明について＞
　訂正請求に係る、上記請求項２の発明も、上記相違点２で指摘した本件発明の構成と同様の構成を備えるものであって、やはり、上記刊行物１〜３に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　（４-6）＜その他の理由について＞
　更に、本件発明及び上記請求項２の発明については、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができないとする他の理由も発見しない。
  （５）訂正の認容
　上記（１）〜（４）で検討したところによれば、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１、３号に掲げる事項を目的とするものであって、平成１１年法律第４１号附則第２条第１３項の規定により適用される、同法律第４１号による改正前の特許法第１２０条の４第３項で準用され、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により適用される、同法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、同条第２項及び第３項の規定に適合しているといえるので、上記訂正の請求は認容される。
　
三．［特許異議申立について］
　１．特許異議申立の理由
　特許異議申立人は、甲第１〜３号証（上記の「刊行物１〜３」）を提出すると共に、本件特許に係る発明は、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定をするべき出願に対してされたことになり、取り消すべきものである旨を主張している。
　２．当審の判断
　上記二．２．（５）で述べたとおり、上記訂正請求が認容されることにより、上記平成１２年６月１９日付で提出された訂正明細書を本件特許明細書として、本件特許発明は、当該特許明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載されたとおりのものと認める。
　そして、これらの本件各特許発明について、甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないことは、上記二．２．（４-2）で指摘した各刊行物の記載事項の認定と、同（４-3）〜（４-5）で指摘した、それぞれの発明の対比と相違点の検討結果から明らかである。
　
四．［むすび］
　以上のとおりであるから、本件特許は、特許異議申立人の主張する理由およびその提出した証拠によっては、取り消すことはできないし、また、他に取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月７日（２０００．８．７）