(57)【要約】  ダマシン構造の製造は、ダマシン構造用の凹部（３０）の周りの領域を保護するため、犠牲層（２０）を基板（１０）上に形成する工程と、前記凹部内に、前記犠牲層と電気接触状態でバリヤ層（４０）を形成する工程と、前記凹部内にダマシン構造（５０）を形成する工程と、平坦化する工程とを含む。平坦化の間、犠牲層は、バリヤ層またはダマシン構造と電気化学的に反応する。これは、ダマシン構造のくぼみまたは突起を減少させ、銅の残渣を減少させ、そして、バリヤ腐食を減少させるように、ダマシン構造および犠牲層の除去の相対速度を変えることができる。バリヤ層は、ＡＬＣＶＤによって形成することができる。バリヤ層の材料は、ＷＣＮおよびＴａＮの１以上である。犠牲層は、ＴａＮ、ＴｉＮまたはＷとすることができる。
2008519450.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性犠牲層を基板上に堆積する工程と、
前記犠牲層を貫通して基板に溝または凹部をエッチングする工程と、
溝または凹部の側壁と底部との間の表面を覆い、かつ前記犠牲層と電気接触状態でバリヤ層を堆積する工程と、
導電層を堆積し、かつ前記溝または前記凹部を過充填する工程と、
ダマシン構造を形成するため、前記導電層を除去および／または平坦化する工程と
を具え、
前記犠牲層と前記バリヤ層の材料は、前記除去または平坦化の間中、前記犠牲層が、バリヤ層またはダマシン構造と電気化学的に反応するように選択される、基板にダマシン構造を製造する方法。
【請求項２】
前記除去および／または平坦化する工程は、スラリー研磨工程によって行われる請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ダマシン構造は金属材料から形成され、また、前記犠牲層は前記ダマシン構造の研磨速度よりも低い研磨速度を有する材料から形成される請求項２に記載の方法。
【請求項４】
バリヤ層の前記堆積工程は、ＡＬＣＶＤ工程である請求項１、２または３に記載の方法。
【請求項５】
前記犠牲層およびバリヤ層は、異なる金属材料を含む請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記バリヤ材料は、ＷＣＮおよびＴａＮの１種以上である請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記犠牲層および前記バリヤ層の材料の組合せは、下記表に示すＮｏ．１〜６のいずれかである請求項５に記載の方法。
2008519450.tif 000005
【請求項８】
前記ダマシン構造は、金属材料から形成し、また、前記基板は誘電体を有する請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
前記溝または凹部は、前記犠牲層を堆積する工程の後、パターニング工程によって形成される請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
前記平坦化は、オーバーポリッシングを含むＣＭＰを具える請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
前記犠牲層は、除去または平坦化する工程の間中、前記バリヤ層に対し電気防食を付与する請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のダマシン構造の製造方法と、
前記平坦化した表面上に一以上のさらなる層を形成する工程と
を具える集積回路の製造方法。
【請求項１３】
前記バリヤ層は、ＷＣＮまたはＴａＮで形成される請求項１２に記載の集積回路の製造方法。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の方法に従って製造したダマシン構造と、
前記平坦化した表面上の１以上のさらなる層と
を含む半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にダマシン構造を製造する方法に関するものであり、例えば、この方法に従って製造される半導体装置ばかりでなく、集積半導体装置のような用途に適用できる。
【背景技術】
【０００２】
現在、ダマシン相互接続構造は、ＣＭＰ（化学機械研磨または化学機械平坦化）により製造される。ＣＭＰプロセスは、非特許文献１によって包括的に記載され、かつ図解されている。ＣＭＰプロセスは、試料表面を、平坦化または研磨されるように、研磨パッドとは反対方向に移動させる工程を具える。この研磨パッドは、前記試料表面に対する支持を提供し、かつ平坦化へと導く研磨に影響を及ぼすため、スラリーを試料表面と研磨パッドとの間に供給するために用いられる。ＣＭＰは、液体スラリーを用いて行なわれる。
【非特許文献１】Ｊ．Ｍ．Ｓｔｅｉｇｅｒｗａｌｄ、Ｓ．Ｐ．Ｍｕｒａｒｋａ  ａｎｄ  ＲＪ  Ｇｕｔｍａｎ、「Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｌａｎａｒｉｓａｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ」、Ｊｏｈｎ  Ｗｉｌｅｙ＆Ｓｏｎｓ、Ｎｅｗ  Ｙｏｒｋ、１９９７
【０００３】
ダマシン構造は、存在する層の表面に象眼され、すなわち、凹部または溝内に象眼される構造である。多くの場合、バリヤ層は、構造物の銅のような金属の拡散を防止し、または銅などの金属の付着を補助するのに必要とされる。ＣＭＰに関連する一の問題は、象眼された金属配線の窪み（ｄｉｓｈｉｎｇ）である。窪みは、金属配線の表面が凹状になることを意味する。これは、金属相互接続部の厚さを減少させ、相互接続抵抗の増加および相互接続寿命の減少を招きうる。加えて、ウェハ表面上の好ましくないでこぼこの表面形態は、その後の処理工程で問題となりうる。
【０００４】
窪むのを回避するため、特別な研磨スラリー（以下、低窪みスラリーと称する。）が開発され、窪み性能に関して、優れた結果が得られており、これらは、従来のＣＭＰよりも優れている。しかしなから、低窪みスラリーを用いるＣＭＰプロセスの一の欠点は、銅などの金属の残渣がウェハ表面上に残存し、取り除くのが非常に困難であることである。このことは、短絡という深刻な危険性を招く。
【０００５】
低窪みスラリーと銅を用いるＣＭＰプロセスの良好な窪み性能に関する説明は、銅とバリヤ材料との間の電気化学的相互作用である。銅およびバリヤ材料の双方が、（銅ＣＭＰプロセスの終了時に、）研磨液に曝されると、それらは、銅をカソードとするガルバニ対を形成する。これは、銅の腐食を停止させ、したがって、窪みからダマシン銅構造を保護する。しかしながら、銅がバリヤ材料と同時に曝されているときの銅の除去を停止することはまた、表面上に残存する銅を除去するのがより困難であるということも意味する。結果として、銅の残渣が存在することとなる。低窪みスラリーを用いるＣＭＰプロセスの他の欠点は、銅腐食を停止している間、バリヤ腐食は促進される可能性があることである。
【０００６】
バリヤ層を、銅特性のためにＡＬＣＶＤ（原子層化学気相蒸着）を用いて設けることもまた知られている。これは、ＷＣＮまたはＴａＮの良好な薄い等角的なバリヤを形成するのに特に有用である。ＷＣＮは、所定の厚さに対する良好なバリヤ特性を有するものとして好ましい。しかしなから、ＷＣＮは化学的に活性バリヤであるので製造するのが困難であり、その結果、ＣＭＰの間中、ＷＣＮは銅よりも速くエッチングされる。その結果として銅の突起が生じ、これは、その後形成される層に対する問題を再び生じさせるおそれがある。また、ＷＣＮバリヤの好ましくない腐食が、ＣＭＰの間中、発生しうる。
【０００７】
ＴｉＮの犠牲層を、酸化物の上方に堆積させて、この酸化物を保護し、かつエンドポイント検出器として作用させることは、特許文献１から知られている。高研磨速度をもつＴｉＮの犠牲層が、窪みを防止するため、酸化物の上方であって、かつバリヤ層とタングステン層の下方に用い得ることは、特許文献２から知られている。例えば、ＴａＮのようなバリヤが、ダマシン構造の銅よりも硬く、かつ化学的により安定である場合に、窪みが問題となり得ることは、特許文献３から知られている。３種類の異なるスラリーを用いて３つの異なるＣＭＰ工程を行うよりはむしろ、この文献は、２つの工程を提案する。第１の工程は、窪みをそのまま残す工程であり、第２の工程は銅の突起をそのまま残す工程である。この突起は、その後、オーバーポリッシングにより減少させることができる。これは、複数の保護層を必要とし、これら複数の保護層は、第１工程で、銅よりも遅く除去されるＴａＮの硬化層と、第２工程で除去される酸化層とを具える。第２工程は、銅よりもはやく酸化物を除去するために酸化物スラリーを用いる。研磨停止層は、酸化層の下に堆積させる。
【特許文献１】米国特許第６１５０２６０号公報
【特許文献２】米国特許第６２７４４８５号公報
【特許文献３】米国特許第６３７６３７６号公報
【０００８】
ＣＭＰ工程のための研磨停止層として、Ｔｉ／ＴｉＮまたはＴａＮ／Ｔａの硬質層を用いることは、特許文献４から知られている。ＲＩＥ工程は、その後、残渣および他の堆積物を除去するのに用いられる。ダマシン凹部または溝内のバリヤ層は、Ｔｉ／ＴｉＮまたはＴａＮ／Ｔａとすることができる。バリヤ層の真下に犠牲酸化層を形成することは、特許文献５から知られている。
【特許文献４】米国特許第６２２１７７５号公報
【特許文献５】米国特許第６３７２６３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、集積半導体装置などの用途のためのダマシン構造を製造するための改良された方法およびこれらの方法に従って製造される半導体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の態様によれば、本発明は、（１）例えば金属犠牲層のような導電性犠牲層を基板上に堆積する工程と、（２）前記犠牲層を貫通して基板に溝または凹部をエッチングする工程と、（３）溝または凹部の側壁と底部との間の表面を覆い、かつ前記犠牲層と電気接触状態でバリヤ層を堆積する工程と、（４）例えば銅またはタングステンなどの金属層のような導電層を堆積し、かつ前記溝または前記凹部を過充填する工程と、（５）ダマシン構造を形成するため、前記導電層を除去および／または平坦化する工程とを具え、前記犠牲層と前記バリヤ層の材料は、前記除去または平坦化の間中、前記犠牲層が、バリヤ層またはダマシン構造と電気化学的に反応するように選択される、基板にダマシン構造を製造する方法を提供する。
【００１１】
他の態様によれば、本発明は、ダマシン構造用の凹部または溝の周りの領域を保護するため、基板上に犠牲層を形成する工程と、前記凹部または溝に、犠牲層と電気接触状態でバリヤ層を形成する工程と、凹部または溝にダマシン構造を形成する工程と、ダマシン構造を平坦化する工程とを具え、犠牲層およびバリヤ層の材料は、平坦化の間中、犠牲層がバリヤ層またはダマシン構造と電気化学的に反応するように選択される、基板にダマシン構造を製造する方法を提供する。
【００１２】
この方法は、平坦化を達成するため、本質的に機械的な除去によるものである上述した先行技術の方法とは対照的である。平坦化している間の電気化学反応は、多くの利点を有すことができる。電気化学反応は、ダマシン構造の好ましくない窪みまたは突起を減少させるため、ダマシン構造および犠牲層の除去の相対速度を変えることができる。電気化学反応は、好ましくない金属、例えば銅の残渣のような量を減少させるのにも役立たせることができる。この電気化学反応はまた、バリヤ腐食を減少させることもできる。
【００１３】
本発明に従って、犠牲材料およびバリヤ材料が腐食を減少させるように選択させるのが好ましい。銅などの金属およびバリヤ材料が、ＣＭＰ溶液中に共存すると、電気化学セル（電池）に、多くの場合、カソードとなる銅などの金属を形成する。これは、溶液中の銅イオンなどの金属イオンが、バリヤから電子を捕捉し、Ｃｕ金属などの金属に変化することを意味し、この変化した金属は、ウェハ表面に再堆積する。その平均時間において、バリヤは、電子を放出することによって腐食される。この堆積および／または腐食は、特定溶液中の銅などの金属と特定溶液中のバリヤとの間の電位差、および溶液と接触している、銅などの金属とバリヤの表面積の間の比率に依存する。前記堆積または腐食が発生するのを防止し、または減少あるいは最小化するため、本発明は、金属犠牲層のような導電性犠牲層を、バリヤと銅のような金属との間に導入することを提案する。この犠牲層の材料は、銅などの金属およびバリヤ材料の除去を緩やかにし、かつ電気防食を提供する。
【００１４】
平坦化時にすべての犠牲層を除去することは必ずしも必要ではなく、換言すれば、本発明は、準犠牲層（ｓｅｍｉ―ｓａｃｒｉｆｉｃｉａｌ  ｌａｙｅｒｓ）を含むことを意図する。
【００１５】
本発明の追加的特徴は、犠牲層およびバリヤ層が異なる金属材料であることである。このような材料の導電率および異なる材料の使用は、電気化学反応をアシストする傾向がある。
【００１６】
もう１つの追加的特徴は、バリヤ層の形成（堆積）工程がＡＬＣＶＤ工程を具えることである。これは、より小さい装置寸法または増加する装置性能を可能にするためには重要な工程であるが、関連した技術的問題を有している。それゆえに、犠牲層および電気化学反応を用いてこれらの問題を減少させうることは、潜在的にかつ商業的に価値がある。
【００１７】
もう１つの追加的特徴は、バリヤ層の材料が、ＷＣＮおよびＴａＮの１種以上であることである。これらは、良好なバリヤ特性を有するため、現在、好適な材料である。また、それらは、ＡＬＣＶＤを用いて形成することができる。
【００１８】
もう１つの追加的特徴は、前記犠牲層および前記バリヤ層の材料の組合せが、下記表に示すＮｏ．１〜６のいずれかにすることである。
2008519450.tif 000003
【００１９】
もう１つの追加的特徴は、ダマシン構造が、金属材料から形成され、基板が誘電体を有することである。
【００２０】
もう１つの追加的特徴は、ダマシン構造が、金属材料から形成され、犠牲層が、ダマシン構造の研磨速度よりも低い研磨速度を有する材料で形成されることである。これは、突起および窪みを最小化するのに役立たせることができる。もう１つの追加的特徴は、凹部が、犠牲層を形成（堆積）する工程の後、パターニング工程によって形成されることである。
【００２１】
もう１つの追加的特徴は、前記平坦化が、オーバーポリッシングを含むＣＭＰを具えることである。
【００２２】
他の態様は、集積回路の一部として、ダマシン構造を製造する前記方法と、平坦化した表面上の一以上のさらなる層を形成する工程を具える集積回路の製造方法を提供する。
【００２３】
本発明の他の態様は、（１）例えば金属犠牲層のような犠牲層を基板上に堆積する工程と、（２）前記犠牲層を貫通して基板に溝または凹部をエッチングする工程と、（３）溝または凹部の側壁と底部との間の表面を覆い、かつ前記犠牲層と電気接触状態でバリヤ層を堆積する工程と、（４）例えば銅、タングステンなどの金属のような導電層を堆積し、かつ前記溝または前記凹部を過充填する工程と、（５）ダマシン構造を平坦化するため、ＣＭＰのような研磨技術を使用する工程とを具える、基板にダマシン構造を形成する方法を提供する。
【００２４】
本発明の他の態様は、ダマシン構造用の凹部または溝も周りの領域を保護するため、犠牲層を基板上に形成する工程と、前記凹部または溝内に、電気接触状態でバリヤ層を形成するため、ＡＬＣＶＤを使用する工程と、ダマシン構造を前記凹部または溝内に計背逸する工程と、前記ダマシン構造を平坦化するため、ＣＭＰのような研磨プロセスを使用する工程とを具える、基板にダマシン構造を形成する方法を提供する。
【００２５】
前記犠牲層とＡＬＣＶＤとの組合せは、ＡＬＣＶＤのいくつかの技術的な欠点を解決することを可能にするのに役立つ。
【００２６】
もう１つの追加的特徴は、バリヤ層の材料が、ＷＣＮ及びＴａＮの１種以上であることである。これらは、良好なバリヤ特性を有するため、現在、好適な材料である。
【００２７】
もう１つの追加的特徴は、前記犠牲層および前記バリヤ層の材料の組合せが、下記表に示すＮｏ．１〜６のいずれかにすることである。
2008519450.tif 000004
【００２８】
他の態様は、上記で説明した方法のいずれかを用いて製造される集積回路である。
【００２９】
前記追加的特徴のいずれかを組み合わせることができ、また、前記追加的特徴のいずれかを、前記態様のいずれかと組み合わせることもできる。他の利点は、特に他の従来技術にわたって、当業者にとって明らかであるであろう。多数の変更および修正は、本発明の特許請求の範囲から逸脱することなしに行なうことができる。したがって、本発明の前記形態が、例証としてのみ示したものであって、本発明の範囲を限定することを意図していないことは明確に理解されるべきである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明がどのように効果があるのかについては、図面を参照しながら実施例によって以下で説明されるであろう。
【００３１】
本発明は、特定の実施形態に関し、また特定の図面を参照して説明するが、本発明はそれらには限定されず、特許請求の範囲によってのみ限定される。説明される図面は、単なる概略図であり、限定するものではない。図面において、いくつかの要素のサイズは、誇張され、かつ説明のためスケールどおりに示されていないかもしれない。「具えるまたは有する」という用語が、本発明の詳細な説明および請求項に用いられている場合、他の要素または工程を除外しない。単数名詞に関して、「ａ」もしくは「ａｎ」または「ｔｈｅ」などの不定冠詞または定冠詞を用いる場合、特別に定められたものを除いて、その名詞の複数形を含む。
【００３２】
更にまた、詳細な説明および請求項中の第１、第２および第３等の用語は、同様な要素を区別するのに用いられ、必ずしも順次または時系列順を説明するために用いられたものとは限らない。そのように使用される用語が、適当な環境下で代替可能であり、また、本願明細書で説明される本発明の実施形態が、ここで説明されかつ図示されたもの以外の順序で実施可能であるということは理解されるべきである。
【００３３】
請求項で使用される「具えるまたは有する」という用語は、後で挙げる手段に限定されるように解釈されるべきではなく、他の要素または工程を除外しないことに注目すべきである。したがって、「手段Ａおよび手段Ｂを具える装置」という表現の範囲は、構成要素ＡおよびＢのみからなる装置に限定されるべきでない。本発明に関し、装置の関連する唯一の構成要素が、構成要素ＡおよびＢであるということを意味する。
【００３４】
以下に説明する本発明の実施形態は、ダマシン構造、例えば金属相互接続などの導電性相互接続の形成に関するものである。ダマシン構造の形成は、銅の残渣などの望ましくない金属の問題を相殺すると同時に、研磨工程、例えば、ＣＭＰのようなスラリー研磨工程の間中、窪みを減少させるために、導電性犠牲層や導電性バリヤ層を積層することによって行なわれる。この改良の背後にある原理は、銅などの金属と、犠牲材料と、バリヤ材料との間の電気化学反応である。この電気化学反応は、バリヤ腐食を減少させることもでき、すなわち、電気防食を付与することができる。犠牲材料およびバリヤ材料が腐食を減少させるように選択されるならば、本発明に従うのが好ましい。銅などの金属およびバリヤ材料が、ＣＮＰ溶液などのスラリーと一緒に接触している場合、電気化学セルに、多くの場合、カソードとなる銅などの金属を形成する。これは、溶液中の銅イオンなどの金属イオンが、バリヤから電子を捕捉し、ウェハ表面に再堆積するであろうＣｕ金属などの金属に変化することを意味する。平均時間で、バリヤは、電子を放出することによって腐食する。この堆積および／または腐食は、特定溶液中における銅などの金属とバリヤとの間の電位差、および溶液と接触している銅などの金属とバリヤの表面積間の比率に依存する。この現象を防止し、または減少あるいは最小化するために、本発明は、バリヤと銅のような金属との間に、金属層のような犠牲導電層を導入することを提案するものである。この犠牲導電層は、相互接続を形成するためのものである。この犠牲材料は、銅などの金属およびバリヤ材料の除去を緩やかにし、かつ電気防食を付与する。
【００３５】
犠牲層および導電層は、異なる材料からなるのが好ましい。好適な犠牲材料は、ＴｉＮ、ＴａＮ、Ｗ、Ａｌ、および、他の半導体に適合可能な金属および金属化合物である。好適なバリヤ材料は、ＴｉＮ、ＴａＮ、Ｔａ、ＷＣＮまたはこれらの組合せである。これらの材料は、２つの重要な点に関し、好適な材料である。すなわち、何よりもまず第一には、前記材料がＩＣプロセスに適応可能なことであり、第二に、ＩＣ製造プロセスへの集積能力が証明されていることである。
【００３６】
代表的な組合せは、以下の通りである
１．  ＴａＮ犠牲層＋ＷＣＮバリヤ層
２．  ＴｉＮ犠牲層＋ＷＣＮバリヤ層
３．  Ｗ犠牲層＋ＷＣＮバリヤ層
４．  Ｗ犠牲層＋ＴａＮバリヤ層
５．  Ａｌ犠牲層＋ＷＣＮバリヤ層
６．  Ａｌ犠牲層＋ＴａＮバリヤ層。
【００３７】
バリヤ層および犠牲層は、電子交換を容易にし、それ故に、電気化学反応を容易にするため、互いに電気接触しているべきである。
【００３８】
図１は、本発明の一実施形態に従うダマシン構造を形成するための製造プロセスにおける第１の工程を示す。この工程は、例えば誘電体層１０の形で基板の塗布または堆積を含む。
【００３９】
本発明の実施形態では、「基板」という用語は、いずれの下層材料、または、使用されうるか、もしくは、その上に装置、回路若しくはエピタキシャル層が形成される材料を含むことができる。他の代案の実施形態では、この「基板」は、たとえば、ドープされたシリコン、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）、ガリウムヒ素リン化物（ＧａＡｓＰ）、リン化インジウム（ＩｎＰ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）またはシリコンゲルマニウム（ＳｉＧｅ）の基板のような半導体基板を含むことができる。この「基板」は、半導体基板部分に加えて、例えば、ＳｉＯ２またはＳｉ３Ｎ４の層のような絶縁層を含むことができる。したがって、基板という用語はまた、ガラス、プラスチック、セラミック、ガラス上シリコン、サファイア上シリコンの基板を含む。このようにして、「基板」という用語は、関心のある層または部分の下にある層に対する要素を一般に定義するのに用いられる。また、「基板」は、その上にガラスまたは金属の層などの層が形成されるいずれかの他のベースであることもできる。それゆえに、この基板層は、ダマシン構造を象眼するのに適しているいずれの材料であってもよく、酸化層、例えば、二酸化ケイ素またはＴＥＯＳなどを含む。それは、基板および半導体または導電層を含む他の下位層の上に形成することができる。
【００４０】
誘電体層に関する例は、ＳｉＯ２、Ｂｌａｃｋ  Ｄｉａｍｏｎｄ（登録商標）、Ｏｒｉｏｎ（登録商標）、Ａｕｒｏｒａ（登録商標）、Ｓｉｌｋ（登録商標）、ｐ−Ｓｉｌｋ（登録商標）、および、ＩＣ製造プロセスで調査され、または、使用される他の低誘電率材料である。この誘電体層は、一の誘電体材料または異なる誘電体材料の複数層の組合せから形成することができる。
【００４１】
図２は、犠牲層２０が誘電体層上にどのように堆積させたかについて示す。犠牲層は、例えば、金属層、または単一金属もしくは複数の金属を含む導電性化合物のような金属的であることができる。この場合、「犠牲」層は、平坦化プロセスの次のエッチング部分のためのマスクとして用いられることで、ダマシン構造の周りの領域を保護する。犠牲材料は、ＰＶＤ、熱蒸発、スパッタリング、ＣＶＤ、ＡＬＣＶＤまたは上記技術のいずれかの組合せのようないずれかの好適な手段によって堆積させることができる。
【００４２】
図３は、ダマシン構造のための凹部３０、例えば溝などを形成するためのパターニングの次の工程の結果を示したものである。このパターニングは、従来の技術、例えばレジスト層を用いるマイクロリソグラフィなどによってすることができる。犠牲層は、溝などの凹部の周りの表面上に残存する。それゆえに、パターニングの後、凹部または溝は、材料または犠牲層によって取り囲まれる。図４は、バリヤ層４０を堆積させる次の工程の結果を示したものである。このバリヤ層は、溝などの凹部の内面の全てを覆う。すなわち、溝の側壁部と底部が覆われる。バリヤ層４０用の材料は、装置寿命の間、基板中にダマシン構造の金属または他の材料の拡散を防止または減少させるよう選択するのが好ましい。このバリヤ層は、集積化のレベルを最大とすべきところの集積回路装置に関し特徴サイズを、できる限り小さく保持されることができるように、できる限り薄くすべきである。バリヤ層の厚さは、例えば、１ｎｍ〜５０ｎｍの間とすることができる。現在、典型的な厚さは、１５〜２５ｎｍであるが、利用可能なプロセス技術に依存する。このバリヤ層の厚さは、ＡＬＣＶＤを用いることにより薄肉化することができる。この方法を用いると、１ｎｍから最大で１５〜２５ｎｍまでの厚さの等角的な層（ｃｏｎｆｏｒｍａｌ  ｌａｙｅｒ）を適用することができる。
【００４３】
バリヤ層は、いずれかの好適な手段、例えば、ＰＶＤ、熱蒸発、スパッタリング、ＣＶＤ、ＡＬＣＶＤまたは上記技術のいずれかの組合せによっても適用することができる。上記したように、ＡＬＣＶＤは、良好な、薄い等角的な層を付与するには有利である。ＡＬＣＶＤプロセスの説明は、Ｈ．Ｋｉｍ、「Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ｏｆ  Ｍｅｔａｌ  ａｎｄ  Ｎｉｔｒｉｄｅ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍｓ」、Ｊｏｕｒ.Ｖａｃｕｕｍ  Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｂ、Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  ａｎｄ  Ｎａｎｏｍｅｔｅｒ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ、Ｖｏｌ２１、Ｎｏ．６、Ｐ２２３１（２００３）、による論文に見出すことができる。
【００４４】
バリヤ層は、凹部または溝の外側の犠牲層を覆う可能性があり、通常これを防ぐのは困難であり、バリヤ層の不要部分は、いずれにしろ、後の工程における平坦化によって除去することができる。
【００４５】
図５は、溝などの凹部内にダマシン構造５０を堆積させる次の工程の結果を示したものである。図示の例では、堆積させる材料は、銅などの金属であるが、他の材料、例えばダマシン構造の目的により、Ａｌ、Ｗのような他の金属、Ａｌ合金のような他の材料を用いることができる。銅などの金属は、例えば、化学的または物理的気相蒸着または他の方法によって堆積することができる。
【００４６】
図６は、平坦化工程を示したものであって、この場合、研磨工程、特に、ＣＭＰなどのスラリーを使用する研磨工程を用いている。これは、溝などの凹部の外側にある銅などの不要な金属を除去し、かつ、凹部または溝の外側の犠牲層およびバリヤ層の不要部分を除去する。実験データは、窪みおよび銅のような金属の残渣に関し、従来のスタック（堆積）と比較して、提案されたスタックの明確な改良を示す。この工程では、バリヤ層は、ダマシン構造の金属との電気化学反応のため、急速にエッチングされる。犠牲層は、ＣＭＰのような適切な平坦化プロセスの間中、ダマシン構造の金属よりもはるかに非常に低い除去速度を有するように選択される。これは、これら層の材料間における電気化学反応と部分的に起因する。これは、ダマシン構造の突起を防止または減少させ、銅のような金属の残渣を減少または防止する。ＣＭＰ工程のような研磨は、突起または残渣をさらに除去するようなオーバーポリッシングを含みうる。
【００４７】
要約すると、新規なスタックが、ダマシン構造の形成に関して記載された。このスタックは、導電性の「犠牲」層で構成される。犠牲層は、バリヤおよび金属の相互接続部と電子を交換できるべきである。したがって、この層は、導電性であるばかりでなく、金属的な層、または単一金属もしくは複数の金属を含有する化合物であることが好ましい。ＣＭＰのようなスラリー研磨プロセスの間中、この層を、銅のような相互接続用金属と相互作用させることは、窪みや銅のような金属残渣を最小化するのに役立つであろう。犠牲層の材料を厳選することによって、バリヤ腐食の問題はまた、回避または減少させうることが予測される。これは、腐食の影響を受けやすいＡＬＣＶＤで堆積したバリヤが適用されるであろうところのいずれの技術にとって非常に有益であろう。前記バリヤの一例は、非常に化学的活性金属であるアルミニウムである。アルミニウムが他の金属と結合すると、そのＡｌはおそらく腐食するであろう。その前提条件としては、Ａｌがさらに腐食するのを保護するＡｌ２Ｏ３層の連続層の形成を回避するため、一定の摩耗（浸食）が維持されることである。
【００４８】
図７〜１２は、２度の研磨時間と３つの異なるスタックの３０μｍ線幅／３０μｍ間隔配列の表面の走査プロファイルのグラフを示したものである。どの場合においても、第１の銅の構造は約５０μｍで走査し始め、第２の銅の構造は約１１５μｍで走査を始める。図７〜９は、ＣＭＰプロセスのオーバーポリッシング前の表面を示したものであり、一方、図１０〜１２は、オーバーポリッシング後の同様な表面を示したものである。図７および図１０は、比較のために、犠牲層なしにＷＣＮバリヤを用いたスタックに関するものである。これらの図は、特に、銅の残渣に問題があることを示している。これらの図を作り出すために用いられる方法は、以下のものを含んでいる。
【００４９】
金属配線が埋設された誘電材料は、ＳｉＯ２であった。犠牲層は、パターニングの後、約１０ｎｍの厚さを有するＴａＮであった。パターニング工程は、また、ＴａＮ層の一部を消滅させることができる。それゆえに、パターニング前のＴａＮの初期の厚さは、最終的な厚さ、例えば２５ｎｍよりも厚いのが好ましい。バリヤ材料は、ＡＬＣＶＤによって堆積させたＷＣＮ層であった。その厚さは、５〜１５ｎｍの間、例えば１０ｎｍであった。金属相互接続部は、スパッタリングなどのＰＶＤ法により堆積された１００ｎｍの厚さや、電気化学堆積によって堆積された約１０００ｎｍの厚さをもつ銅であった。
【００５０】
ＣＭＰプロセスは、２度の異なる研磨時間で行なわれた。第１の期間（研磨時間）はウェハ表面を探し、レーザービームの反射率を検出するシステムによって始動させたエンドポイントまでであり、第２の期間（研磨時間）は、前記エンドポイントの時間に最大で５０秒足したときまでである。標準スラリーを用いるとき、ウェハのキャリア／プラテンのスピードは、それぞれ１２０ｒｐｍ／７０ｒｐｍであった。主な研磨段階の間中の研磨圧は、１．８ｐｓｉであった。
【００５１】
図８および図１１は、上述したような電気化学反応を用いて、犠牲層なしにＴａ／ＴａＮバリヤをもつスタックに関するものである。この場合、かなりの窪みがある。
【００５２】
図９および１２は、ＷＣＮバリヤ層およびＴａＮの犠牲層を有する、本発明の実施形態のスタックに関するものである。図示のように、これは、図１２に示したように、より少ない窪み量と、より少ない残渣を有するよりクリーンな表面を与える。
【００５３】
上述したように、ダマシン構造の製造は、ダマシン構造用の凹部または溝の周りの領域を保護するため、犠牲層を基板上に形成する工程と、凹部または溝に、犠牲層と電気接触状態でバリヤ層を形成する工程と、凹部または溝にダマシン構造を形成する工程と、平坦化する工程とを含む。平坦化の間中、犠牲層は、バリヤ層またはダマシン構造と電気化学的に反応する。これは、ダマシン構造の窪みまたは突起を減少させ、銅などの金属の残渣を減少させ、そしてバリヤ腐食を減少させるように、ダマシン構造および犠牲層を除去する相対速度を変更することができる。バリヤ層は、ＡＬＣＶＤによって形成することができる。バリヤ材料は、ＷＣＮおよびＴａＮの１種以上である。犠牲層は、ＴａＮ、ＴｉＮまたはＷとすることができる。
【００５４】
他のバリエーションを想定することができ、かつこれらのバリエーションは、特許請求の範囲によって包含される範囲で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】図１は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの一工程を示す。
【図２】図２は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの他の一工程を示す。
【図３】図３は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの他の一工程を示す。
【図４】図４は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの他の一工程を示す。
【図５】図５は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの他の一工程を示す。
【図６】図６は、本発明の実施形態に従う製造方法を構成する工程のうちの他の一工程を示す。
【図７】図７は、既知の原理に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図８】図８は、既知の原理に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図９】図９は、本発明の実施形態に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図１０】図１０は、既知の原理に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図１１】図１１は、既知の原理に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図１２】図１２は、本発明の実施形態に従って平坦化された表面状態のグラフを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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