【事件の表示】
　特許第３００８８５２号「電子放出素子およびその製造方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３００８８５２号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３００８８５２号の請求項１ないし３に係る発明についての出願は、平成８年６月２１日に特許出願され、平成１１年１２月３日にその発明について特許の設定登録がなされ、その後、請求項１ないし３に対して、特許異議申立人シャープ株式会社より特許異議の申立てがなされたものである。
　
２．特許異議申立てについて
（ア）本件発明
　特許第３００８８５２号の請求項１ないし３に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「【請求項１】 カーボンナノチューブの電子源と引き出し電極とを備え、該引き出し電極によって該電子源から電子を引き出し放出させる機能を有する電子放出素子において、絶縁基板上に金属薄膜を介して細孔を有する陽極酸化膜が設けられ、該細孔中に金属触媒が埋め込まれ、該金属触媒を起点として成長したカーボンナノチューブを有し、該細孔の開口部に電子引き出し電極が設けられた構造を有することを特徴とする電子放出素子。（以下、「本件発明１」という。）
【請求項２】 絶縁基板上に金属膜を介して細孔を有する陽極酸化膜を形成する工程と、前記陽極酸化膜の細孔中に金属触媒を析出させる工程と、該金属触媒の触媒作用により前記陽極酸化膜の細孔中にカーボンナノチューブを成長させる工程とを有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。（以下、「本件発明２」という。）
【請求項３】 前記陽極酸化膜の細孔中に金属触媒を析出させる際、電解着色技術を用いることを特徴とする請求項２に記載の電子放出素子の製造方法。（以下、「本件発明３」という。）」
　
（イ）特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人シャープ株式会社は、証拠として甲第１号証（ＳＣＩＥＮＣＥ、Ｖｏｌ．２７０（１９９５−１１−１７）（米）、Walt A．de Heer 外２名「A Carbon Nanotube Field−Emission Electron Source」、第１１８０〜１１８１頁　）、甲第２号証（特開平５−２１１０２９号公報）、甲第３号証（特開平２−２７０２４７号公報）、甲第４号証（特開平５−２１１０３０号公報）、甲第５号証（特開平４−３６９２２号公報）、甲第６号証（固体物理、Ｖｏｌ．１２、Ｎｏ．１（１９７７−１−１５）、遠藤外１名、第１〜１２頁）、甲第７号証（表面、Ｖｏｌ．３２、Ｎｏ．５（１９９４−５−１）遠藤外３名、第２７７〜２８３頁）、甲第８号証（ＣＥＭＩＳＴＲＹ　ｏｆ　ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ、Ｖｏｌ．７、Ｎｏ．８（１９９５−８）（米）、第１４２７〜１４２８頁）を提出し、本件発明１ないし３は、甲第１ないし８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件発明１ないし３の特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである旨主張している。
　
（ウ）甲各号証記載の発明
　甲第１号証には、カーボンナノチューブ電子放出源に関し、
「Ｆｉｇ．１．電子放出源の概略図
この電子放出源は室温でβ配列のカーボンナノチューブフィルム（ａ）からなり、ナノチューブは、ポリテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）基層に垂直に植え込まれている。・・・カーボンナノチューブは、Ｅｂｂｅｓｅｎ、Ａｊａｙａｎ（１０）の方法にしたがって、カーボン電極のアーク放電により析出形成される。・・・カーボンナノチューブの懸濁液はいくらか精製された後、セラミックフィルタへ流出され、フィルタの表面上にフィルム状物を生成する。該フィルム状物はＰＴＦＥシートに押し付けられ、それによって、ナノチューブフィルムがＰＴＦＥシートに結合される。・・・厚さ２０μｍ、直径１ｍｍの孔あき雲母シート（ｂ）がナノチューブフィルムに固着される。前記孔は、直径３ｍｍ、空孔率５０％、２００メッシュの銅製グリッド（ｃ）で覆われる。電圧が印加されるとカーボンナノチューブフィルムから電子線が生起しグリッドを通り陽極に捕捉される。」（第１１８０頁第１図の説明参照）と記載されている。
　甲第２号証には、
「【００２０】次に、その電子放出素子の製造方法を説明する。まず、図３（ａ）に示すように、ガラス基板４上にＡｕ金属層５及びＡｌ薄膜２ｂを形成した後、図３（ｂ）に示すように、Ａｌ薄膜２ｂを陽極酸化して微細孔２ａを有するＡｌ陽極酸化膜２を形成する。次に、図３（ｃ）に示すように、Ａｌ陽極酸化膜２上にゲート電極となる金属薄膜を形成し、金属薄膜上にレジストマスク７を形成した後、このレジストマスク７を用い、金属薄膜をエッチングして微細孔２ａが露出された開口部８を有する金属薄膜パターン６を形成する。
【００２１】次いで、金属層５を電極とし、電解析出により開口部８内の微細孔２ａ内に円柱状電極３を形成する。そして、円柱状電極３近傍のＡｌ陽極酸化膜２をエッチングした後、レジストマスク７を剥離することにより、図３（ｄ）、（ｅ）に示すような電子放出素子を得ることができる。」（第４頁左欄段落【００２０】〜段落【００２１】）、
「【００２３】図３の第３実施例では、円柱状電極３近傍のＡｌ陽極酸化膜２を全て除去して構成する場合について説明したが、本実施例では、円柱状電極３先端が突出した状態でＡｌ陽極酸化膜２のエッチングを終了させるようにして、円柱状電極３補強用にＡｌ陽極酸化膜２を残して構成している。」（第４頁右欄段落【００２３】参照）、
「【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、電子放出を行う針状カソード電極の密度を高くすることにより単価面積当りの電子放出量を大きくすることができるという効果がある。」（第４頁右欄段落【００２４】）と記載されている。
　甲第３号証には、
「陽極処理されたアルミナの層であってそれの主表面に対して実質的に直交関係にある複数の細長い孔を有する陽極処理アルミナ層を設け、前記孔を電子放出材料で完全に充填し、次に前記層の少なくとも一部分を除去してその層の画定された表面を形成しかつ前記画定された表面からそれに対して角度をもって延長した複数の電子放出スパイクを形成して、複数の電子放出構造を作成し、この構造がそれぞれ互に傾斜した複数の電子放出スパイクを具備しているようにすることよりなる、冷陰極電界放出装置の製造方法」（特許請求の範囲請求項１）、
「前記電子放出材料は電気メッキ可能な金属または電気メッキ可能な金属の混合物あるいは電気メッキ可能な金属の合金でありえかつコバルト、ニッケル、すず、タングステン、銀、テルル、セレン、マンガン、亜鉛、カドミウム、鉛、クロムおよび鉄のグループから選択されうる。」（第２頁右下欄第１３〜１８行）と記載されている。
　甲第４号証には、
「【請求項２】アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の複数の孔（１ａ）内に形成された円柱状電子放出部（２ａ）を結合して構成された陰極を有することを特徴とする電子放出素子。
【請求項６】前記導電部（２ｂ）が形成されている側とは反対側の前記アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）上に絶縁膜（３）が形成され、該絶縁膜（３）上に電子引出し用電極（５）が形成されてなることを特徴とする請求項２記載の電子放出素子。
【請求項７】アルミニウム部材を陽極酸化して複数の孔（１ａ）を有するアルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）を形成する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）の少なくとも一部の孔（１ａ）内に電子放出部（２ｃ）を充填する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）上に導電部（２ｂ）を形成することにより複数の電子放出部（２ｃ）が結合された陰極を形成する工程と、次いで、該アルミニウム部分を除去する工程と、次いで、該アルミニウム多孔性陽極酸化膜（１）のバリヤー層（１ｂ）上に電子引出し電極（５ａ）を形成する工程と、次いで、該電子放出部（２ｃ）の先端上の該バリヤー層（１ｂ）を除去する工程とを含むことを特徴とする電子放出素子の製造方法。」（特許請求の範囲請求項２、請求項６、請求項７）、
「【００１９】次に、図２は本発明の第１実施例に則した電子放出素子の構造を示す断面図である。図２において、図１と同一符号は同一または相当部分を示し、２ａはＡｌ多孔性陽極酸化膜１の複数の孔１ａ内に形成された円柱状電子放出部であり、２ｂはこの円柱状電子放出部２ａを結合するための導電部である。なお、円柱状電子放出部２ａの材料にはＷ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｄ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｃ等やこれらの合金を使用することができ、また、導電部２ｂの材料にはＡｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｃｄ等を使用することができる。」（段落【００１９】）、
「次に、図４（ｃ）に示すように、Ａｌ多孔性陽極酸化膜１の一部の孔１ａ（全部の孔１ａでもよい）に円柱状電子放出部２ａを充填する。ここでの充填方法には電解析出法、蒸着法、溶融金属を流入する方法等を使用することができ、一部の孔１ａ内に充填するにはフォトプロセス技術を用いればよい。」（段落【００２３】参照）と記載されている。
　甲第５号証には、
「（１）表面および裏面を有するとともに表面で開口する孔を有する絶縁部材と、尖端部を有するとともに導電材料からなり、絶縁部材の孔内に設けられたチップと、導電材料からなり、絶縁部材の孔内および絶縁部材の表面上の少なくとも一方にチップから隔離するように設けられたゲートと、を備え、前記絶縁部材がＡｌを陽極酸化して形成される陽極酸化膜により構成されることを特徴とする電子放出素子。」（特許請求の範囲請求項１）、
「まず、Ａｌ基板（図示しない）の表層を陽極酸化処理する。・・・第２、３図に示すような多数の微細孔１１ａを有するＡｌ２　Ｏ３　からなる陽極酸化膜１１が形成される。・・・次いで、第４図に示すように、電解析出により陽極酸化膜１１の微細孔１１ａ内に例えばＡｕを析出させＡｕ部材１３を形成する。」（第３頁左上欄第第２〜１７行参照）と記載されている。
　甲第６号証には、気相成長炭素繊維の成長機構と物性に関し、
「一方、炭化水素ガス（主にベンゼン・・・）を熱分解して得られる気相成長炭素繊維（ｖａｐｏｒ−ｇｒｏｗｎ　ｃａｒｂｏｎ　ｆｉｂｅｒ、ＶＧＣＦと略す）がある。」（第１頁左欄第１６〜１８行参照）、
「従来から、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｏなどの炭素生成に及ぼす触媒効果が多数報告されている。」（第７頁右欄第５〜６行）、
「最近Ｂａｉｒｄらは、液滴表面上の炭素種の拡散に着目した。このモデルは本繊維の発達に関して最も有効であり、これを応用してＶＧＣＦの発達は次のように説明される（第１２図）。酸化鉄の還元で生成された微少鉄粒子は”液滴状”で基板表面に存在し、この表面に炭素種（多環芳香族的物質）が供給される。この炭素種は、表面拡散を経ながら縮合過程を進めて炭素固体に変化していく。基板−液滴状粒子界面部で垂直方向に炭素層面が形成され、やがて粒子はおし上げられて第一段階繊維が形成される。この反応過程は、液滴表面でのみなされ中空チューブが形成される。」（第６頁右欄第２６〜３７行）と記載されている。
　甲第７号証には、カーボンナノチューブの生成、構造と物性に関し、
「さらに最近、・・・、ＣｏやＦｅを触媒に用いたグラファイト電極のアーク放電法、あるいはチャンバー内にメタン等を共存させる方法で、グラフェンシート単層で構成されるナノチューブを調整した。すなわち、Ｃｏを含んだグラファイト電極を用いて、チャンバー内を真空排気した後１００〜５００ＴｏｒｒのＨｅを導入してアーク放電を起こさせた。この方法では、チューブ径は１．２ｎｍと非常に細く、単層のナノチューブが多量に成長することが特徴であり・・・このＣｏやＦｅの触媒を用いる生成法が超微粒金属触媒を用いる気相成長炭素繊維（Ｖａｐｏｒ−ｇｒｏｗｎ　ｃａｒｂｏｎ　ｆｉｂｅｒ；ＶＧＣＦ）の生成法と類似していることは興味深い。」（第２７８頁左欄第６〜２２行参照）、
「一方、著者らはＡＣＮＴｓと同様のカーボンナノチューブがベンゼンなどの炭化水素の熱分解プロセスでも成長することを見出した。水素と炭化水素の混合ガスを１１００°Ｃに保たれた電気炉内の反応管に導入することによって、あらかじめ超微粒金属触媒を分散した基板上に気相成長炭素繊維（ＶＧＣＦ）が形成される。この生成の極く初期段階において、しばしば中空チューブ径が２〜３ｎｍ程度のカーボンナノチューブ（ＰＣＮＴｓ）が形成される。」（第２７８頁右欄第１〜９行）と記載されている。
　甲第８号証には、陽極酸化アルミニウム膜を型として用いた超微細カーボンチューブの形成に関し、
「陽極酸化膜は、石英製の縦型反応器（内径：２０ｍｍ）中に置いた。窒素フローの下、反応器の温度を８００°Ｃまで増加させ、その後、プロピレンガス（窒素中で２．５％）を反応器に導入した。トータルフローレートは２００ｃｍ３　（ＳＴＰ）／ｍｉｎであった。陽極酸化膜の均一で、直線的な細孔中に於けるプロピレンの熱分解は、細孔内壁での熱分解カーボンの堆積を引き起こす。所望時間堆積後、陽極酸化膜を反応器より取り出した。４６％ＨＦを用い、取り出した陽極酸化膜を室温で洗浄することにより、陽極酸化膜を形成するアルミニウム酸化物を溶解した。その結果、カーボンが不溶物として得られた。」（第１４２７頁右欄第１３〜２５行参照）と記載されている。
　
（エ）対比・判断
　本件発明１を甲第１〜８号証に記載された発明と対比すると、甲第１〜８号証には、本件発明１を特定するための事項である「細孔中に金属触媒が埋め込まれ、該金属触媒を起点として成長したカーボンナノチューブを有する」点が記載されていない。すなわち、甲第１号証には、カーボンナノチューブを電子源とする記載はあるものの、細孔を用いたものではなく、金属触媒を用いたものでもない。甲第２〜５号証には、陽極酸化膜の細孔中に金属を析出させ電子源としたものが記載されているものの、細孔中に析出した金属は、それ自身が電子源となるものであるから、金属触媒とはいえず、また、カーボンナノチューブに関する記載もない。甲第６、７号証には、カーボンナノチューブの生成に金属触媒を用いる点が記載されているものの、細孔を用いたものではなく、金属触媒は基板上に分散されるか、カーボン電極に含有されるものであって、細孔中に金属触媒を埋め込むことを示唆するものではない。甲第８号証には、陽極酸化膜の細孔中にカーボンナノチューブを堆積させる記載があるものの、金属触媒を用いたものではなく、しかも細孔を有する陽極酸化膜はカーボンナノチューブを不溶物として取り出すために溶解されるものである。
　そして、本件発明１は、電流強度安定性の改善を図ることができ、電子放出素子の真空度に対する制約を緩和できるという明細書記載の顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、甲第１ないし８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　つぎに、本件発明２を甲第１ないし８号証に記載された発明と対比すると、本件発明２は、本件発明１を方法の発明で表現したものであるから、上記本件発明１と同様にして、甲第１ないし８号証には、本件発明２を特定するための事項である「陽極酸化膜の細孔中に金属触媒を析出させる工程と、該金属触媒の触媒作用により前記陽極酸化膜の細孔中にカーボンナノチューブを成長させる工程」が記載されていない。
　そして、本件発明２は明細書記載の顕著な効果を奏するものである。
　したがって、本件発明２は、甲第１ないし８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　つぎに、本件発明３は、本件発明２を引用してさらに限定したものであるから、本件発明２と同様の理由により、甲第１ないし８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　なお、特許異議申立人は特許異議申立書において、特許明細書にはＩ−Ｖ特性等の電界放出特性が開示されておらず当業者が発明を実施できる程度に明確かつ十分に記載されていない旨主張しているが、特許明細書の記載で発明は十分明確であり、電界放出特性の記載がないからといって明確でないとはいえず、特許異議申立人の主張するような記載不備はない。
　
（オ）むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては本件発明１ないし３についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１ないし３についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月４日（２００１．１．４）