【事件の表示】
　特許第２９５３９８５号「サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法」の請求項１乃至請求項９に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９５３９８５号の請求項１乃至請求項９に係る特許を維持する。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許第２９５３９８５号については、平成７年４月２０日に特許出願され、同１１年７月１６日に設定の登録がされ、その後、同１２年３月２７日に池亀　利昌より全請求項について特許異議の申立てがされ、同１２年６月２日付で取消しの理由の通知がされ、その指定期間内である同１２年８月３日に明細書の訂正の請求がされた。
第２　訂正の適否
１　訂正の内容
　特許権者は、訂正請求書において、本件特許明細書を以下のように訂正しようとするものである。
(1) 訂正事項ａ
　【発明の名称】「サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法」を「気体放電型表示装置用サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法」に訂正する。
　これに伴い、【特許請求の範囲】、【発明の詳細な説明】、【図面の簡単な説明】において、字句の統一を図るため、【請求項１】〜【請求項６】及び【発明の詳細な説明】の【０００１】、【００１４】、【００１５】、【００１８】、【００１９】及び【図面の簡単な説明】の【図１】における「サンドブラスト装置」を「気体放電型表示装置用サンドブラスト装置」に訂正する。
(2) 訂正事項ｂ
　【特許請求の範囲】の【請求項１】「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、前記表面物質の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置。」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」に訂正する。
(3) 訂正事項ｃ
　【特許請求の範囲】の【請求項２】「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置。」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」に訂正する。
(4) 訂正事項ｄ
　上記訂正事項ｂ、ｃの訂正に伴い、【特許請求の範囲】の記載と【発明の詳細な説明】の記載の整合をとるため、【発明の詳細な説明】の【００１５】において、「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気こより研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、前記表面物質の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備える」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備える」に訂正する。
(5) 訂正事項ｅ
　上記訂正事項ｂ、ｃの訂正に伴い、【特許請求の範囲】の記載と【発明の詳細な説明】の記載の整合をとるため、【発明の詳細な説明】の【００２４】において、「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置に複数の噴射ガンを備え、」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、複数の噴射ガンを備え、」に訂正する。
２　訂正の目的の適否、新規事項の追加の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａの中、請求項１乃至請求項６に係るもの並びに訂正事項ｂ及び訂正事項ｃは、サンドブラストにより研磨される対象を「表面物質」から「隔壁となる隔壁層」に限定して、本件の請求項１乃至請求項６に係る発明を「気体放電型表示装置用サンドブラスト装置」に明確化したものであり、特許請求の範囲の減縮に相当し、且つ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　上記訂正事項ａのその余のもの並びに訂正事項ｃ及び訂正事項ｄは、上記請求項１乃至請求項６の減縮に伴ってなされた【発明の名称】、【発明の詳細な説明】及び【図面の簡単な説明】の欄の部分的訂正であり、明りょうでない記載の釈明に相当し、且つ、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であって、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
３　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する同法第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので当該訂正を認める。
第３　本件発明
　本件の請求項１乃至請求項９に係る発明（以下「本件発明１」乃至「本件発明９」という。）は、訂正請求書に添付された明細書（以下単に「訂正明細書」という。）及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至請求項９に記載された事項によって特定されるとおりの以下のものと認める。
１　本件発明１
「【請求項１】 基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
２　本件発明２
「【請求項２】 基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
３　本件発明３
「【請求項３】 前記噴射ガンの噴射圧力を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
４　本件発明４
「【請求項４】 前記噴射ガンのノズル口径を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
５　本件発明５
「【請求項５】 前記噴射ガンのノズル先端と前記基板上の隔壁層との距離を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
６　本件発明６
「【請求項６】 前記噴射ガンより噴射する研磨砂の粒径を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」
７　本件発明７
「【請求項７】 基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備え、前記隔壁を形成する工程において、前記隔壁層に対する前記複数の噴射ガンの切削速度をそれぞれ調整して前記隔壁層を切削する気体放電型表示装置の製造方法。」
８　本件発明８
「【請求項８】 基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、前記隔壁層に対する切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備えた気体放電型表示装置の製造方法。」
９　本件発明９
「【請求項９】 基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、前記隔壁層に対する切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備え、前記隔壁を形成する工程において、所定の切削速度に設定された噴射ガンにより前記隔壁層を切削した後、前記所定の切削速度よりも小さい切削速度に設定された他の噴射ガンにより前記隔壁層をさらに切削する気体放電型表示装置の製造方法。」
第４　特許異議の申立ての理由の概要
　特許異議申立人・池亀　利昌は、証拠として本件特許の出願前に日本国内において頒布された刊行物である下記甲各号証を提出し、訂正前の請求項１乃至請求項９に係る発明は、甲各号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件の請求項１乃至請求項９に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消すべきものである旨主張している。また、この特許異議の申立ての理由は、上記取消しの理由と同一である。
［証拠］
甲第１号証：特公平　７−　２２８９３号公報
甲第２号証：実開昭６１−１８７６６３号公報
甲第３号証：特開平　４−３４３６６９号公報
甲第４号証：特開平　６−２９７３３２号公報
甲第５号証：特開昭５６−１１９３７４号公報
甲第６号証：特開平　４−　５７６７２号公報
甲第７号証：廣瀬政吉著「吹付加工法」昭和３１年３月５日共立出版株式会
　　　　　　社発行　第１頁、第５３〜５６頁
甲第８号証：諏訪誠著「実用湿式・乾式ブラストとその応用」昭和４９年３
　　　　　　月１日　不二機材株式会社発行　第１７，１３３〜１４０頁
第５　特許異議申立人の主張の検討
　そこで、特許異議申立人の特許異議の申立ての理由について検討する。
１　甲各号証の記載内容
(1) 甲第１号証
　甲第１号証には、以下の事項が記載されている。
「【請求項１】基板上に全面的に低融点ガラス層を形成し、該低融点ガラス層表面を所定パターンを有するレジスト膜で被覆保護した上でサンドブラスト装置で該低融点ガラスを彫刻することにより、該低融点ガラスに所定パターンを形成させ、その後該低融点ガラスの焼成を行なうことを特徴とする低融点ガラスのパターニング方法。」（第１頁【特許請求の範囲】）
「本発明に用いられる基板である基材としてはガラス、金属、セラミックス等があり、第１図に示すように基材（１）上には全面的に低融点ガラス層（２）が形成される。該基材（１）上に全面的に低融点ガラス層（２）を形成するにはペースト状の低融点ガラスをスクリーン印刷、ナイフコーター、ロールコーター等により基材（１）表面に塗布し乾燥固化させるのである。
　上記低融点ガラス層（２）表面は所定パターンを有するレジスト膜（３）で被覆保護される。このようなレジスト膜（３）としては、例えば特願平１−２２６１８４号、特願平１−２２６１８５号、特願平１−２２６１８６号等によって開示される方法で製造されたものが用いられる。
　上記レジスト膜（３）で保護された低融点ガラス層（２）に対してアルミナ、カーボランダム、ガラスビーズ等の望ましくは200番よりも細かい研磨材を用いてサンドブラスト装置で彫刻を行なう。このようにして第２図に示すようにレジスト膜（３）で保護された低融点ガラス層（２）部分以外の部分を完全に削除して低融点ガラス層（２）に所定パターンを彫刻する。上記低融点ガラス層（２）の彫刻において基材（１）を傷付けないようにする場合には、基材（１）の硬度と同等、もしくは基材（１）より低い硬度であり、かつ低融点ガラス層（２）より高い硬度の研磨材（例えばガラスビーズ）を用いることが望ましい。
　本発明では低融点ガラス層（２）は焼成前にサンドブラスト装置によって彫刻を行なうから、上記したような基材（１）よりも低い硬度の研磨材を用いても、低融点ガラス層（２）を彫刻することが出来るのである。」（第２欄第１４行〜第４欄第２行）
　上記記載事項から、甲第１号証には次の発明が記載されていると認める。　基板上に形成した低融点ガラス層上に所定パターンのレジスト膜を形成し、サンドブラスト装置で彫刻することにより、該低融点ガラスのパターニングを行うこと。
(2) 甲第２号証
　甲第２号証には、複数本の研磨材噴射ノズルを有するサンドブラスト装置、が記載されていると認める。
(3) 甲第３号証
　甲第３号証には、以下の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】　微粉体を噴射して所定の処理を行なう微粉体噴射加工処理装置であって、所定のピッチで配列されると共に各別にワークを着脱自在に載置する複数のワーク台と、これらワーク台を同時に移動させてワーク台の配列ピッチと同じ間隔で往復運動させるワーク台移動手段と、各ワーク台の一方の停止位置（以下、「第１の停止位置」と言う。）と他方の停止位置（以下、「第２の停止位置」と言う。）との間でワーク台に載置されているワークに対して微粉体を噴射する噴射ノズルと、隣り合ったワーク台の一方に載置されているワークを取り上げてこれを他方のワーク台に載置するワーク移送手段とを備え、上記各ワーク移送手段は一のワーク台の第２の停止位置と該一のワーク台に隣り合う別のワーク台の第１の停止位置になる停止位置に対応した位置に配設され、また、上記噴射ノズルは各ワーク台の第１の停止位置と第２の停止位置との間に配設されており、ワークは第１の停止位置において各ワーク台にそれぞれ載置された後、ワーク台移動手段により第１の停止位置から第２の停止位置まで移動されると共に、その移動範囲における中間の位置で上記各噴射ノズルにより各別に微粉体の噴射による処理が施され、第２の停止位置においてワーク移送手段に取り上げられた後、ワーク台移動手段により各ワーク台が第１の停止位置に戻ったときに、ワーク移送手段により取り上げられたワークを最初に載置したワーク台の隣りのワーク台に載置して、再び、ワークをワーク台移動手段により第２の停止位置へ向けて移動させて次の別の処理に移行するようにして、順次、ワークを一の方向に送って行くと共に、各噴射ノズルにおいて各別に処理を行なって所定の加工を行なうようにしたことを特徴とする微粉体噴射加工処理装置。」
「【０００５】
【発明が解決しようとする課題】　ところで、例えば、基板に形成されるホールにはその両端が開口したスルーホールと一端だけが開口したブラインドホールの２種類があり、しかもブラインドホールには深さの異なった複数種のものがあり、１枚の基板にこれら複種類のホールを混在させて形成しなければならないことがある。
【０００６】　このような複数種のホールを１枚の基板に１つの噴射ノズルによって形成しようとする場合、浅いブラインドホールに対しては噴射時間を短く、深さがより深いブラインドホールに対しては噴射時間をより長く、更にはスルーホールに対しては噴射時間を最も長くして微粉体を各別のホールの形成予定部位に噴射しなければならず、１枚の基板に所定のホールを形成するのにかなりの時間を要するという問題があった。」
「【０００９】
【作用】　従って、本発明微粉体噴射加工処理装置によれば、各別の噴射ノズルにより各別の微粉体噴射による処理を行なうようにしたので、例えば、微粉体を噴射する時間、範囲あるいは微粉体の種類、噴射圧等を各噴射ノズルにおいて異ならせることができ、これらを適宜設定することにより１板の基板に複数種のホールを形成することができ、しかも、処理前の基板を当該微粉体噴射加工処理装置に供給した後、所定のホールが形成された基板が取り出されるまでの時間はワーク移送手段がワークを移送するタイミングの間隔と同じ間隔であり、従って、完成した基板は順次このタイミングで取り出され、いわゆるタクトタイムを短くすることができる。」
「【００９８】
　更に、各処理工程において、微粉体の大きさ、噴射圧等を異ならせておけば、さまざまな組み合わせで、ブラインドホールやスルーホールを形成することが考えられる。」
　上記記載事項から、甲第３号証には次の発明が記載されていると認める。
　基板上にスルーホールやブラインドホールのように異なる種類の加工を施すに当たって、それぞれ異なる加工を施すための複数の噴射ノズルを設置し、基板を搬送しながらそれぞれの噴射ノズルで所定の加工を行う微粉体噴射加工処理装置。        
　微粉体の種類・大きさ、噴射圧等を各噴射ノズルにおいて異ならせること。
(4) 甲第４号証
　甲第４号証には、以下の事項が記載されている。
「【０００３】
【発明が解決しようとする課題】　しかし、このような従来のショットピーニング法では、各種のショットを投射するための各種のショット投射装置と、投射した各種のショットを回収する複数のショット回収装置とを設ける必要があり、このため、設備が大型のものと成って設備費が非常に嵩むなどの問題があった。本発明は、上記の問題を解消するためになされたもので、一種類のショットを用いても、各種のショットを用いたのと同等の圧縮残留応力を付与することが可能なショットピーニング方法およびその設備を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】　上記の目的を達成するために本発明におけるショットピーニング方法は、製品に打痕が生じない範囲で相互に異なる投射速度のショットを製品に順次投射して製品に圧縮残留応力を付与することを特徴とする。ここで、製品の表面に打痕が生じない範囲のショットの投射速度は、硬度を主とした製品の性質と、ショットの硬度、比重および投射速度との相関関係によって適宜決定される。また、ショットの投射速度は、第１段階のものが第２段階より遅くてもよく、または早くてもよい。
【０００５】
【実施例】　本発明の実施例について図１および図２に基づき詳細に説明する。正面図である図１に示すように、研掃室を構成するキャビネット１内には、製品を矢印方向へ移送するコンベヤ２がキャビネット１を左右に貫通して配設してあり、キャビネット１の天井には、３台のショット投射装置３、４、５が前記コンベヤ２に沿うようにして装着してある。これらショット投射装置３、４、５においては、インペラ６、７、８を回転させるモータ９、１０、１１の出力軸に、直径の異なるベルトプーリ１２、１３、１４がそれぞれ嵌着してあり、ベルトプーリ１２、１３、１４の直径は、左のものから順次長くなっている。
【０００６】　したがって、これらショット投射装置３、４、５から投射されるショットの投射速度は、左側のショット投射装置３に係るものから順次速くなっている。」　　　
　上記記載事項から、甲第４号証には次の発明が記載されていると認める。
　ショットピーニング装置において、複数のショット投射装置から一種類のショットを各投射装置毎に異なる投射速度で製品に順次投射すること。
(5) 甲第５号証
　甲第５号証には、１つの研磨材噴射ノズルを有するサンドブラスト装置によるチップコンデンサのトリミングに於いて、研削の前半には研磨材を高い噴射圧で噴射させて高速で研削を行い、研削の後半には噴射圧を低くして低速で研削を行うこと、が記載されていると認める。
(6) 甲第６号証
　甲第６号証には、ショットピーニング方法及び装置に於いて、処理品表面の圧縮残留応力値を大きくすると共に圧縮残留応力域を深くするために 、ショット球の速度や大きさを異ならせてショット球の衝突エネルギを最初は大きく、次に小さくして、圧縮残留応力域を深くした後に表面を高硬度にできるようにしたこと、が記載されていると認める。
(7) 甲第７号証
　甲第７号証には、以下の事項が記載されている。
「一般的な呼び方は、すべてこの加工法を“ブラスチング”と称し、その先に適宜使用砥粒の名を冠せて砂を用いたときはサンドブラスチングあるいはサンドブラスト・・・・と呼ばれている。ショットを用いたときはショットブラスチングであるが、ただこの場合は他の砥粒と違って特別な加工効果が著しくなるので、特に・・・・・ショットピーニングと呼ばれる。」（第１頁1・1吹付加工法の分類の項の第１３〜１９行）
「加工性能を左右する要素としては第一に空気圧力であって、次いでノズル直径・・・吹き付け距離・・・ であり、この他に使用する砥粒にも左右せられることはいうまでもない。」（第５３頁7・1加工性能を支配する要素の項の第３〜６行）
「加工性能は、グリッドをたとえば軟鋼板にあてたとき、一定時間内にたくさん削ることができる程大きいという考え方で定義した。」（同第１４〜１７行）
(8) 甲第８号証
　甲第８号証には、以下の事項が記載されている。
　ブラスト加工装置として、乾式装置に空気加速吸引式（所謂サクション式）の他、第４号証、第６号証に記載される遠心力投射式（所謂インペラ式）、平打式があること。（第１７頁）
　サンドブラストによる破壊研削作用などの作用度を変化させる噴射条件として、噴射速度（噴射圧力）、研摩材の大きさ・形状、吹付時間、角度、距離があること。（第１３３頁末行〜第１３４頁第５行）
２　対比・判断
　訂正明細書の【発明が解決しようとする課題】の項にその旨記載されているように、気体放電型表示装置を製作するに当たって、基板上に隔壁を形成する従来のサンドブラストのやり方では、本来その断面が矩形状であるべき隔壁が凹曲面を有する逆太鼓状の隔壁となってしまい隔壁としての精度、強度共に劣化してしまうという課題があり、本件各発明は、この課題を解決するために、それぞれ各請求項記載の構成を備えているものである。
　ところで、上記課題については、本件の審査段階で提出された「早期審査に関する事情説明書」中の先行文献２である特開平７−４５１９０号公報第２頁第１欄の【発明が解決しようとする課題】に同様の事項が記載されており、また、甲第１号証乃至甲第８号証には、本件各発明と部分的に共通する構成について記載されている。
　しかしながら、上記課題を解決するために本件各発明の構成、すなわち、「隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えた」こと（本件発明１及び同発明を引用する本件発明３乃至本件発明６）、「隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えた」こと（本件発明２及び同発明を引用する本件発明３乃至本件発明６）、「複数の噴射ガンの切削速度をそれぞれ調整して前記隔壁層を切削する」こと（本件発明７）、「隔壁層に対する切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えた」こと（本件発明８）及び「隔壁を形成する工程において、所定の切削速度に設定された噴射ガンにより前記隔壁層を切削した後、前記所定の切削速度よりも小さい切削速度に設定された他の噴射ガンにより前記隔壁層をさらに切削する」こと（本件発明９）については、上記先行文献２及び甲第１号証乃至甲第８号証のいずれにも何等記載されておらず示唆もされていない。
　そして、本件各発明は、各請求項に記載された構成を備えることにより、訂正明細書に記載されている「【発明の効果】　本発明は、基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、複数の噴射ガンを備え、噴射圧力、噴射距離、噴射ガンのノズル口径または研磨砂の粒径等の条件を設定することにより、製造装置のスループットを低下させることなく極めて超微細、かつ正確な寸法形状を有する隔壁をサイドエッチを生じることなく容易に形成することができ、高精細度テレビ画像の再生に適した気体放電型表示装置の製造に極めて有効である。」という効果を奏すものである。
　したがって、本件各発明は、甲第１号証乃至甲第８号証記載の発明に基づいて、当業者が容易に想到し得たとすることはできない。
　よって、本件の請求項１乃至請求項９に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものであるとする特許異議申立人の主張は採用できない。
第６　むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する特許異議の申立ての理由及び提出した証拠によっては、本件の請求項１乃至請求項９に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１乃至請求項９に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１５日（２０００．８．１５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許第２９５３９８５号の明細書を、本件に係る訂正請求書に添付された明細書のとおり、すなわち、次の訂正事項ａ乃至訂正事項ｅのとおりに訂正する。
（１）訂正事項ａ
　明りょうでない記載の釈明を目的として、【発明の名称】「サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法」を「気体放電型表示装置用サンドブラスト装置及び気体放電型表示装置の製造方法」に訂正する。
　これに伴い、【特許請求の範囲】、【発明の詳細な説明】、【図面の簡単な説明】において、字句の統一を図るため、【請求項１】〜【請求項６】及び【発明の詳細な説明】の【０００１】、【００１４】、【００１５】、【００１８】、【００１９】及び【図面の簡単な説明】の【図１】における「サンドブラスト装置」を「気体放電型表示装置用サンドブラスト装置」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、【請求項１】の「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、前記表面物質の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置。」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」に訂正する。
（３）訂正事項ｃ
　特許請求の範囲の減縮を目的として、【請求項２】の「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置。」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えた気体放電型表示装置用サンドブラスト装置。」に訂正する。
（４）訂正事項ｄ
　上記訂正事項ｂ、ｃの訂正に伴い、【特許請求の範囲】の記載と【発明の詳細な説明】の記載の整合をとるため、【発明の詳細な説明】の【００１５】において、「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気こより研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置において、前記表面物質の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備える」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、前記隔壁となる隔壁層の切削速度がそれぞれ調整可能な複数の噴射ガンを備える」に訂正する。
（５）訂正事項ｅ
　上記訂正事項ｂ、ｃの訂正に伴い、【特許請求の範囲】の記載と【発明の詳細な説明】の記載の整合をとるため、【発明の詳細な説明】の【００２４】において、「マスクパターン等を介して選択的に必要とする部分以外の基板上の表面物質を高圧空気により研磨砂を吹き付けて除去するサンドブラスト装置に複数の噴射ガンを備え、」を「基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、複数の噴射ガンを備え、」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
気体放電型表示装置用
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用
隔壁となる隔壁層
気体放電型表示装置用
　【請求項２】　
基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用
隔壁となる隔壁層の
気体放電型表示装置用
　【請求項３】　前記噴射ガンの噴射圧力を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の
気体放電型表示装置用
　【請求項４】　前記噴射ガンのノズル口径を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の
気体放電型表示装置用
　【請求項５】　前記噴射ガンのノズル先端と前記基板上の
隔壁層
気体放電型表示装置用
　【請求項６】　前記噴射ガンより噴射する研磨砂の粒径を変えることによって、前記噴射ガンの切削速度を設定する請求項１または２記載の
気体放電型表示装置用
　【請求項７】　基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備え、前記隔壁を形成する工程において、前記隔壁層に対する前記複数の噴射ガンの切削速度をそれぞれ調整して前記隔壁層を切削する気体放電型表示装置の製造方法。
　【請求項８】　基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、前記隔壁層に対する切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備えた気体放電型表示装置の製造方法。
　【請求項９】　基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、前記隔壁層に対する切削速度がそれぞれ異なる複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備え、前記隔壁を形成する工程において、所定の切削速度に設定された噴射ガンにより前記隔壁層を切削した後、前記所定の切削速度よりも小さい切削速度に設定された他の噴射ガンにより前記隔壁層をさらに切削する気体放電型表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は基板上に形成された表面物質にガラスビーズ等の研磨砂の粉末を高圧空気を用いて噴射させることによってその表面物質を選択的に除去するサンドブラスト装置に関し、特に気体放電型表示装置の放電セル構成のための隔壁を迅速に、かつ微細加工することができる
気体放電型表示装置用
　【０００２】
　【従来の技術】
　近年、気体放電型表示装置（プラズマディスプレイパネル、以下ＰＤＰという）は平面型の表示装置として携帯型コンピュータなどの情報端末機に利用され、その鮮明な表示と液晶パネルに比べて視野角の広さによってその応用分野が拡大してきている。
　【０００３】
　さらにテレビ受像機の大型化が進み、その対応として投射ブラウン管または液晶パネルによる投射型テレビ等も商品化されてきているが、いずれも画面の輝度や装置の大きさに課題が残っている。
　【０００４】
　一方ＰＤＰは最近そのカラー化技術が著しく進歩し、ブラウン管に代わって奥行きを大幅に薄型化できる表示装置として脚光を浴びつつあり、ハイビジョン用の”壁掛けテレビ”の最右翼として注目され、忠実な色再現と輝度および寿命の向上が期待されている。
　【０００５】
　次に一般的なメモリ駆動方式の直流形ＰＤＰの一例について図４を参照しながら説明する。図４に示すように従来の直流形ＰＤＰは、透明ガラス等よりなる前面板１に形成された陰極線２の群と、背面板３に形成された陽極母線４ａ群とが互いに直交する配置で隔壁５を挟んで対向し、その交点には多数の放電セル６がマトリックス状に形成されている。組み合わされた前面板１と背面板３とはその周囲を低融点ガラスなどで封止され、内部には希ガスを主体とした放電ガスが封入されている。
　【０００６】
　それぞれの放電セル６の背面板側のアノード電極４ｂの上には表示電極体７が設置され、抵抗体８によって陽極母線４ａに接続されており、表示電極体７と陰極線２とによって一対の放電電極を構成している。したがって陰極線２が放電セル６における放電電極の陰極、表示電極体７が陽極となる。背面板３上には表示電極体７の部分を除いて蛍光体９が塗布されている。
　【０００７】
　前面板１において陰極線２以外の部分は透明であり、放電セル６を通して蛍光体９の表面を直接観察できる状態にある。また陽極母線４ａ、アノード電極４ｂおよび抵抗体８が形成されている背面板３と蛍光体９との間には層間絶縁層１０が設けられており、放電セル６内にあるプラズマと陽極母線４ａや抵抗体８との間の放電を防止している。　【０００８】
　陰極線２、陽極母線４ａ、アノード電極４ｂ、表示電極体７、抵抗体８、層間絶縁層１０、蛍光体９および隔壁５などは厚膜印刷技術を用いてガラス板等よりなる前面板１または背面板３上に形成されており、極めて安価に製造することができる。
　【０００９】
　上記構成において、前記したハイビジョンテレビ画像のように画素密度を高め、高精細化した映像を再生するためには各画素を構成する放電セル形成のための隔壁を超微細に形成する必要があり、高さ１６０〜２００μｍ、幅５０〜６０μｍの形状寸法を有する微細な隔壁を形成しなければならない。特にカラー画像を表示するためには１ドットをＲ，Ｇ，Ｂの３個の放電セルで構成しなければならないので高精細度の表示画像を得ようとすれば極めて微細かつ高精度に形成された隔壁が必要となる。
　【００１０】
　つぎに従来のサンドブラスト装置および気体放電型表示装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。図５（ａ）〜（ｅ）は従来の製造方法における工程を示すものであり、図６はそのサンドブスト工程を示す略図である。図５は気体放電型表示装置の隔壁部分を形成する工程を簡略化して示したものであり、隔壁形成に関係ない構成要素に関しては説明を省略する。
　【００１１】
　まずアノード電極４ｂが設けられた背面板３となるガラス基板上に隔壁を形成するためのリブペースト１２をナイフコート法によって塗布し（ａ）、乾燥固化した後感光性フィルム１３をその上に展着する（ｂ）。つぎにこの感光性フィルム１３に隔壁パターンが形成されている露光マスクを介して紫外線を照射し、感光した部分を現像除去してマスクパターン１４を形成する（ｃ）。
　【００１２】
　つぎに図５（ｄ）に示すように噴射ガン１５を備えるサンドブラスト装置によりガラスビーズ等よりなる研磨砂をリブペースト１２上に吹き付けてマスクパターン１４が設けられている部分を除いて切削して行くことにより、背面板３上に隔壁５が形成される（ｅ）。上記の工程中、サンドブラスト装置は図６に示すように一方向に移動する背面板３上に設けられたリブペースト１２の上部を背面板３の移動方向に対して直角方向に往復運動をしながら噴射ガン１５のノズルからガラスビーズ等の研磨砂を噴射してマスクパターン１４が設けられていない部分のリブペースト１２を切削除去して行く。
　【００１３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら従来のＰＤＰは上記したように、隔壁となるリブペースト１２を一旦基板上の全面に塗布したのち、サンドブラストにより不要部分を除去し、隔壁を形成する場合、図５または図６に示すようにリブペースト１２のサンドブラストによる切削除去は一つの噴射ガン１５を有するサンドブラスト装置によって行われるのが一般的であった。つぎに一つの噴射ガン１５によるサンドブラストにおける研磨砂の噴射圧力や噴射距離すなわちリブペースト１２と噴射ガンとの距離がリブペーストの切削速度または隔壁のサイドエッチ量に与える影響を図７に示す。図７より明らかなように噴射圧力を上げることによって切削レートは上昇するが同時に隔壁のサイドエッチ量は切削レートの上昇程度よりもさらに大きく増加してしまう。したがって噴射圧力の相対値をサイドエッチの少ない３以下に下げ、低下した切削レートを上げるために噴射距離を短くしょうとすると図８に見られるように再びサイドエッチ量も上昇してしまい、図９（ａ）に示すように本来その断面が矩形状であるべき隔壁が（ｂ）に見られるような凹曲面を有する逆太鼓状の隔壁となってしまい隔壁としての精度、強度共に劣化してしまうという課題を有していた。
　【００１４】
　本発明は上記従来の課題を解決するものであり、高精細度のカラー画像を表示するのに適した放電セルの形成に必要な隔壁構造を形成することができる
気体放電型表示装置用
　【００１５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するために本発明の
気体放電型表示装置用
基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用
隔壁となる隔壁層
　【００１６】
　さらに本発明の気体放電型表示装置の製造方法は、基板上に隔壁となる隔壁層を形成する工程と、前記隔壁層の上に耐サンドブラスト性のマスクパターンを形成する工程と、複数の噴射ガンを備えたサンドブラスト装置を用いて、前記マスクパターンの形成されていない部分の前記隔壁層を切削することにより隔壁を形成する工程とを備え、前記隔壁を形成する工程において、前記隔壁層に対する前記複数の噴射ガンの切削速度をそれぞれ調整して前記隔壁層を切削するものである。
　【００１７】
　【作用】
　したがって本発明によれば、隔壁を形成するためのサンドブラスト装置に複数の噴射ガンを備え、その複数の噴射ガンがそれぞれ調整可能な切削速度やノズル口径または噴射距離等を有しており、これらの切削条件を任意に、かつ最適状態に微調整することによってサイドエッチ量を最低限に抑制し、寸法精度に優れた超微細な放電セルを構成できる隔壁を装置のスループットを低下することなく作ることが可能となる。
　【００１８】
　【実施例】
　以下、本発明の一実施例
による気体放電型表示装置用
　【００１９】
　図１は本発明の一実施例における
気体放電型表示装置用
による
　【００２０】
　つぎに複数の噴射ガンの噴射条件を変更した場合について説明する。
第１の実施例
噴射ガンのノズル口径は９ｍｍに固定し、研磨砂の平均粒径を２０μｍとしたときの各噴射ガンの噴射圧力を相対値で示す。
　【００２１】
噴射ガン１６ａ：　　４．０
噴射ガン１６ｂ：　　２．５
噴射ガン１６ｃ：　　１．０
噴射ガン１６ｄ：　　０．５
第２の実施例
噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ２）、研磨砂の平均粒径を２０μｍとしたときの各噴射ガンのノズル口径
噴射ガン１６ａ：　　　６ｍｍ
噴射ガン１６ｂ：　　　９ｍｍ
噴射ガン１６ｃ：　　１２ｍｍ
噴射ガン１６ｄ：　　１５ｍｍ
第３の実施例
噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ２）、研磨砂の平均粒径を２０μｍ、ノズル口径９ｍｍとしたときの噴射距離
噴射ガン１６ａ：　　５０ｍｍ
噴射ガン１６ｂ：　１００ｍｍ
噴射ガン１６ｃ：　１５０ｍｍ
噴射ガン１６ｄ：　２００ｍｍ
第４の実施例
噴射圧力一定（２ｋｇ／ｃｍ２）、ノズル口径９ｍｍ、噴射距離１００ｍｍとしたときの研磨砂の平均粒径
噴射ガン１６ａ：　　１５μｍ
噴射ガン１６ｂ：　　３５μｍ
噴射ガン１６ｃ：　　６０μｍ
噴射ガン１６ｄ：　１００μｍ
なお、研磨砂の粒径は隔壁形成用のマスクパターンが設けられていない部分ではリブペースト１２の切削速度に影響はみられないが、マスクパターンで囲まれた部分では一般的に粒径の小さい方がリブペースト１２の切削速度は大きい。
　【００２２】
　上記実施例はいずれも気体放電型表示装置の放電セルの開口部寸法が５５０μｍ×４５０μｍ、隔壁の高さが２００μｍのものを形成した場合について実験したものであり、図３に本発明において得られた気体放電型表示装置のスループットと隔壁のサイドエッチ状態を従来例との比較において示す。図から明らかなように従来の製造方法において装置のスループットを上げようとすると隔壁のサイドエッチ量が増加したのに対して本発明によって得られた気体放電型表示装置の隔壁はスループットに関係なくその寸法精度は極めて高く、かつ装置のスループットを早めても隔壁のサイドエッチ量は極めて少なく抑えることができ、気体放電型表示装置の量産性向上に貢献できる。
　【００２３】
　なお、上記実施例において噴射ガンの数を４個使用した例について説明したが、この他噴射ガンの数を２個から１０個使用することも可能であり、これらの条件は目的とする気体放電型表示装置の大きさ、使用目的、放電セルの形状等によって変更できるものである。
　【００２４】
　【発明の効果】
　本発明は、
基板上の隔壁層の必要とする部分以外を、マスクパターン等を介して高圧空気により研磨砂を吹き付けて選択的に除去することにより隔壁を形成する気体放電型表示装置用サンドブラスト装置において、
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例における
気体放電型表示装置用
　【図２】
　本発明の一実施例における気体放電型表示装置の製造方法を示すサンドプラスト工程断面図
　【図３】
　同実施例および従来例における装置のスループットと隔壁のサイドエッチ量との関係を示す特性図
　【図４】
　一般的な気体放電型表示装置の部分断面図
　【図５】
　従来の気体放電型表示装置の製造方法を示す工程断面図
　【図６】
　従来のサンドブラスト装置の概略説明図
　【図７】
　噴射圧力と切削レートおよびサイドエッチ量との関係を示す特性図
　【図８】
　噴射距離と切削レートおよびサイドエッチ量との関係を示す特性図
　【図９】
　隔壁の正常状態およびサイドエッチ状態を示す断面図
　【符号の説明】
　３　背面板
　１２　リブペースト
　１４　マスクパターン
　１６　複数の噴射ガン