【事件の表示】
　特許第２８８６７５２号「無端環状導波管を有するマイクロ波導入装置及び該装置を備えたプラズマ処理装置」の請求項１ないし３１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８８６７５２号の請求項１ないし３１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件発明
　特許第２８８６７５２号（平成４年１１月５日出願、平成１１年２月１２日設定登録）の請求項１乃至３１に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１乃至３１に記載されたとおりのものである（以下、「本件発明１〜３１」という。）。
２．申立ての理由の概要
　特許異議申立人福田二郎（以下、「申立人」という。）は、証拠として甲第１号証（特開昭６３−１０３０８８号公報）、甲第２号証（特開平３−１２２２７１号公報）、甲第３号証（特開昭６２−５８６３１公報）、甲第４号証（特開昭６０−２５２３４号公報）を提出し、本件請求項１、３〜６、８〜１０、１６、１８〜２２、２４〜２７、２９〜３１に係る発明は甲第１、２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、請求項２、７、１７、２３、２８に係る発明は甲第１〜３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、請求項１１、１３〜１５に係る発明は甲第１、２、４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、請求項１２に係る発明は甲第１〜４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、これらの発明に係る特許は同法第１１３条第１項第２号に該当し、取り消されるべきものであると主張している。
３．引用刊行物の記載事項
　当審が、特許異議申立の理由を踏まえて、通知した取消理由に引用された刊行物１〜４（順に申立人が提出した甲第１〜４号証に相当する。）には、次の事項が記載されている。
（１）刊行物１
ａ．「第７図にスパッタ装置に適用した例を説明する。…（中略）…処理室３３内にはターゲット３４とウエハテーブル３６がある。ターゲットには高周波電源３５が接続されており、ウエハテーブル３６はアースに接続されている。処理室３３の外側にはシールド室４０と矩形リング状の共振器３１ａが設けられている。リング状共振器は矩形導波管をリングにしたもので、リングの周長の１／２の整数倍にしている。リング状導波管の一部には終端壁を設け、共振するマイクロ波の位相がずれないようにしている。」（第５頁左上欄第６〜１９行）
ｂ．「リング状共振器の内側には全周スリット４３が設けられている。マイクロ波をリング状共振器に供給すると、共振器内でマイクロ波の振幅が増幅され、振幅の大きいマイクロ波がスリット４３より処理室３３内に放射される。…（中略）…このリング状共振器とスリットを組合せた方式はスパッタリングのみならず、エッチング、プラズマＣＶＤにも用いることができる。」（第５頁右上欄第７行〜左下欄第４行）
ｃ．リング状共振器を有するプラズマ処理装置。（第７頁第７、８図）
（２）刊行物２
ａ．「本発明においては、マイクロ波透過性の真空チャンバーとその外周に沿って配置した濡れ導波管を用い、濡れ導波管のスリット開口部から真空チャンバーにマイクロ波を放射されることにより、プラズマを安定化させることが出来る。」（第２頁右下欄第９〜１３行）
ｂ．「真空チャンバー１の外周の周りには、スロット開口部１２を真空チャンバー１の外周に対向させて、濡れ導波管１１が配置してある。濡れ導波管１１は接続部Ａ、Ｂで導波管や同軸管等のマイクロ波伝送路に接続され、更にマイクロ波電源、発振器、アイソレータ、チューナー、パワーモーター等に接続される。」（第３頁右下欄第５〜１１行）
ｃ．マイクロ波透過性の真空チャンバー及びその外周に沿って配置した別々の接続部Ａ、Ｂとスリット開口部を持つ濡れ導波管を有する成膜装置。（第４頁図面）
（３）刊行物３
「マイクロ波の進行方向に平行に設けたマイクロ波透過窓を介して、マイクロ波をプラズマ処理部に導入し、該プラズマ処理部のガスをプラズマ化して、被処理試料をプラズマ処理するマイクロ波プラズマ処理装置であって、前記マイクロ波透過窓がλｇ／４（λｇ：管内波長）の間隔をもった複数個の窓から構成されていることを特徴とするマイクロ波プラズマ処理装置。」（第１頁特許請求の範囲）
（４）刊行物４
「マイクロ波プラズマ処理用の処理装置としては、大別してプラズマ発生室（放電室）と反応室とを分離した分離型と…（中略）…第１図に分離型のマイクロ波プラズマ処理装置の一例の概要断面図を示している。１は透過窓、２は導波管、３はプラズマ発生室、４は反応室で、プラズマ発生室３と反応室４とはマイクロ波を遮断し、プラズマ発生室３で生じた活性種（ラジカル等）を反応室４へ導入するための格子（メッシュ）５で仕切られている。」（第１頁右欄第９行〜第２頁左上欄第３行）
４．対比・判断
（１）本件発明１について
　本件発明１は、その主要な構成が「無端環状導波管」を使用する点にあるものである。
　そこで、刊行物１〜４の記載内容を検討すると、刊行物１には、リング状導波管よりなるマイクロ波導入装置を有するプラズマ処理装置が記載されているが、この装置はリング状導波管の一部に終端壁を設けるものである（「３．（１）ａ」参照。）から、「無端環状導波管」を使用するものではない。
　刊行物２には、スリット開口部を持つ濡れ導波管よりなるマイクロ波導入装置を有する成膜装置が記載されているが、この装置の濡れ導波管は、接続部Ａ、Ｂが別々に設けられており（「３．（１）ｃ」参照。）、無端環形状の導波管とはいえないから、刊行物２のマイクロ波導入装置も「無端環状導波管」を使用するものではない。
　また、刊行物３には、λｇ／４の間隔をもった複数個の窓から構成されたマイクロ波透過窓を有するマイクロ波導入装置が、刊行物４には、プラズマ発生室（放電室）と反応室とを分離した分離型のマイクロ波プラズマ処理装置がそれぞれ記載されているが、これらも「無端環状導波管」を使用するものでないことは明らかである。
　以上のとおり、刊行物１〜４のいずれにも本件発明１の「無端環状導波管」については、記載も示唆もされていない。
　そして、本件発明１のマイクロ波導入装置は、本件明細書の【実験１】及び【実験２】の対比によって裏付けられるように「無端環状導波管」を使用することによって、マイクロ波が均一かつ効率的に伝搬されるという顕著な効果を奏するものである。
　してみれば、本件発明１は刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
（２）本件発明２〜３１について
　本件発明２〜３１も、「無端環状導波管」を使用するマイクロ波導入装置乃至プラズマ処理装置に係るものであるから、本件発明１と同様の理由により、刊行物１〜４に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
５．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由によっては本件発明１〜３１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明１〜３１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件発明１〜３１に係る特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものとは認められない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月２１日（２０００．６．２１）