【事件の表示】
　特許第２８２６５６０号「排煙処理方法」の特許請求の範囲第１項の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８２６５６０号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許２８２６５６０号は、平成８年６月３日に特願昭６２−３０３９号（出願日昭和６２年１月９日）の分割出願として出願され、平成１０年９月１８日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、三菱重工業株式会社、住友重機械工業株式会社及び千代田化工建設株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１１年１１月２２日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
　この訂正請求は、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、本件特許明細書及び図面を次のとおり訂正するものである。
（ｉ）特許請求の範囲の項
訂正事項１：特許請求の範囲の減縮を目的として、
「１．ボイラ等の排ガス流路に設けた該排ガス中に含まれるばい塵を除去する電気集塵器と、該電気集塵器の下流側の硫黄酸化物を除去する排煙脱硫装置と、前記電気集塵器の上流側の熱回収用の熱交換器と、前記排煙脱硫装置の下流側の再加熱用の熱交換器を有する排煙処理装置を用いる排煙処理方法において、熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに前記排煙脱硫装置では硫黄酸化物を除去し、排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とすることを特徴とする排煙処理方法。
２．前記電気集塵器の上流側の排ガス流路に設けられた熱回収用の熱交換器と前記排煙脱硫装置の下流側の排ガス流路に設けられた再加熱用の熱交換器の間にはポンプで熱媒体を強制的に循環させることを特徴とする第１項記載の排煙処理方法。」と訂正する。
（ｉｉ）発明の詳細な説明の項
訂正事項２：特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００１２】の記載を、
「【００１２】【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、次の構成によって達成される。すなわち、ボイラ等の排ガス流路に設けた該排ガス中に含まれるばい塵を除去する電気集塵器と、該電気集塵器の下流側の硫黄酸化物を除去する排煙脱硫装置と、前記電気集塵器の上流側の熱回収用の熱交換器と、前記排煙脱硫装置の下流側の再加熱用の熱交換器を有する排煙処理装置を用いる排煙処理方法において、熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに前記排煙脱硫装置では硫黄酸化物を除去し、排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とする排煙処理方法である。」と訂正する。
（ｉｉｉ）図面の簡単な説明の項
訂正事項３：誤記の訂正を目的として、【図２】の欄を、「【図２】機器などの腐食を生じさせないＥＰ出口の排ガス中のばい塵濃度とＥＰ入口排ガス温度との関係を示す図」と訂正する。
（ｉｖ）図面
訂正事項４：誤記の訂正を目的として、「図２」を「図３」に、「図３」を「図２」にそれぞれの図面番号を差し替える。
訂正事項５：明りょうでない記載の釈明を目的として、図４を訂正し、図４の横軸の目盛り５に相当する箇所に「５」の数値を挿入する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項１は、特許請求の範囲の減縮に該当し、訂正事項２及び訂正事項５は、明りょうでない記載の釈明に該当する。また訂正事項３及び４は誤記の訂正に該当し、しかも、これら訂正事項は、特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．独立特許要件の判断
（本件訂正発明）
　本件訂正明細書の特許請求の範囲第１項に記載の発明（以下、「訂正発明」という）は、平成１１年１１月２２日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の上記２−１．（ｉ）に示す特許請求の範囲第１項に記載された事項により特定されるとおりのものである。
（引用刊行物）
　当審が平成１１年９月３日付けの取消理由通知において引用した刊行物１及び２には、それぞれ次の事項が記載されている。
引用例１：特開昭５６−１４４３２５号公報
（イ）「ボイラの燃焼部から排出されて空気予熱器を経由した排ガスを導入する前段ガス・ガスヒータと、この前段ガス・ガスヒータで冷却された排ガスを導入する集塵器と、この集塵器を経由した排ガスを導入する後段ガス・ガスヒータと、この後段ガス・ガスヒータで冷却された排ガスを導入する湿式脱硫装置と、この脱硫装置で脱硫された排ガスを上記後段ガス・ガスヒータに導いて再加熱したのち更に上記前段ガス・ガスヒータに導いて再加熱してから排出する再加熱排出系が配設されたことを特徴とする、排ガス冷却脱硫再加熱装置」（第１頁左欄特許請求の範囲の項）
（ロ）「第２図は本発明の第１実施例としての排ガス冷却脱硫再加熱装置を示す系統図であって、石炭焚ボイラ１１の燃焼部から排出された排ガス２を導入する脱硝装置１２と、この脱硝装置１２からさらに空気予熱器１３を経由した排ガスを導入する前段ガス・ガスヒータ１５−１とが設けられている。」（第２頁上段右欄第８行乃至第１４行）
（ハ）「また本発明の装置では、湿式脱硫装置１６で脱硫された排ガスを、後段ガス・ガスヒータ１５−２で再加熱してから、さらに前段ガス・ガスヒータ１５−１で再加熱して、大気中へ排出しうるようにした再加熱排出系が設けられている。すなわち、処理前の排ガス２は、脱硝装置１２を経由した後、空気予熱器１３で１３０〜１５０℃にまで冷却され、さらに前段ガス・ガスヒータ１５−１で９０〜１２０℃まで冷却されてから、集塵器１４を経由し、ついで後段ガス・ガスヒータ１５−２で８０〜１００℃まで冷却される。」（第２頁下段左欄第２行乃至第１３行）
（ニ）「ボイラ１１の燃焼部を出た処理前ガス２は、１０〜２０ｐｐｍのＳＯ３ガスを含んでいるが、各温度におけるＳＯ３濃度は露点温度より決まるから、処理前ガス中のＳＯ３濃度は、１３５℃で１０〜２０ｐｐｍ、１３０℃で２〜８ｐｐｍ、１１０℃で０．２〜０．８ｐｐｍである。そして、その余剰分は硫酸ミストになり、あるものはダストに吸着される。」（第２頁下段右欄第７行乃至第１４行）
（ホ）「もし、第１図に示す従来の装置のまま空気予熱器１３の出口温度を１３５〜１５０℃程度にまで上げるとすると、ＳＯ３はガスのまま集塵器１４を通過してしまい、ガス・ガスヒータ１５で温度が下がることによりミストとなるが、ダスト量が少ないため、ダストに吸着されずにミストのまま脱硫装置１６へ到達する量が多くなる。」（第２頁下段右欄第２０行乃至第３頁上段左欄第７行）
（ヘ）「さらに本発明の装置では、集塵器１４の性能面でも大きな効果がある。すなわち、第３図に示すように、電気集塵器１４内におけるガス温度とダスト移動速度との関係をみると、集塵能力はダスト移動速度に比例するものであるから、従来の装置のように、１２０〜１４０℃で集塵するよりも、本装置のように前段ガス・ガスヒータ１５−１で排ガスの温度を下げて９０〜１２０℃で集塵した方が有利なことがわかる。第４図は本発明の第２実施例としての排ガス冷却脱硫再加熱装置を示す系統図であって、この実施例では、前段ガス・ガスヒータ１５−１が、熱媒循環用配管５−１とポンプ１８−１とで連結された未処理ガス側熱媒加熱器・・・とから成る熱媒循環型ガス・ガスヒータとして構成され、」（第３頁上段右欄第３行乃至第１８行）
（ト）「この熱媒は・・・未処理ガスにより加熱され、ポンプ１８−１、１８−２により強制循環されて、・・・処理ガスに放熱する。」（第３頁下段左欄第６行乃至第９行）
引用例２：「川崎重工技法第８９号」１９８５年７月、第６３頁乃至第７２頁
（イ）「石炭火力環境対策技術の中で重要な開発課題の一つとして、煙突出口での低ばいじん化があり、石炭火力においても、石炭火力並の排出ばいじん濃度の達成が要求されてきつつある。」（第６３頁左欄第６行乃至第８行）
（ロ）「煙突出口ばいじん濃度が１０ｍｇ／Ｎｍ３といった高性能脱じんシステムが要求される場合には、リークの無いノンリーク型が有利になる。・・・ノンリーク型ガスガスヒータとしては媒体循環式とヒートパイプ式がある。前者は・・・熱媒体をポンプで循環させることによって熱交換を行なわせる方式であり、」（第６３頁右欄第５行乃至第１３行）
（ハ）第６４頁右欄には「図２煙突出口ばいじん濃度の比較」として、脱硫装置入口ばいじん濃度（ｍｇ／Ｎｍ３）と煙突出口ばいじん濃度（ｍｇ／Ｎｍ３）の関係が図示。
（当審の判断）
　引用例１には、石炭焚ボイラなどの排ガスを脱硫処理する「排煙処理方法」に関し、上記（ハ）の記載に徴すれば、「処理前の排ガス２を空気予熱器１３で１３０〜１５０℃まで冷却し、さらに前段ガス・ガスヒータ１５−１で９０〜１２０℃まで冷却してから、集塵器１４を経由し後段ガス・ガスヒータ１５−２で８０〜１００℃まで冷却する」ことが記載されているから、引用例１には、「ボイラ等の排ガス流路に設けた該排ガス中に含まれるばい塵を除去する電気集塵器と、該電気集塵器の下流側の硫黄酸化物を除去する排煙脱硫装置と、熱回収用の熱交換器と、前記排煙脱硫装置の下流側の再加熱用の熱交換器を有する排煙処理装置を用いる排煙処理方法において、熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を９０〜１２０℃にする排煙処理方法」の発明（以下、「引用例１発明」という）が記載されていると云える。
　そこで、本件訂正発明と上記引用例１発明とを対比すると、本件訂正発明は、「電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、」る点で上記引用例１発明と相違していると云える。
　次に、この相違点について検討すると、上記引用例１には、ばい塵とＳＯ３濃度との関係については、上記（ニ）及び（ホ）にみられる如く、その問題点が指摘されているだけであり、電気集塵器出口のばい塵濃度を規制することにより機器等の腐食を防止する具体的な手段については何ら示唆されていない。
　また、引用例２にも、媒体循環式ノンリーク型ガスガスヒータの「煙突出口ばいじん濃度の比較」のグラフが示されているだけで、電気集塵器入口の排ガス温度と電気集塵器出口のばい塵濃度との関係については何ら示唆されていない。
　してみると、本件訂正発明は、上記引用例１に記載された発明であるとすることはできないし、また、上記引用例１及び２に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
　そして、訂正された特許請求の範囲の記載には不明瞭であるとする程の記載不備はないし、また発明の詳細な説明の記載にも当業者が本件訂正発明を容易に実施することができないとする程の記載不備も見当たらない。
　したがって、本件訂正発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
２−４．むすび
　以上のとおり、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
３−１．特許異議申立人三菱重工業株式会社について
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証及び甲第２号証を提出して、本件発明の特許は、次の（１）及び（２）の理由により、取り消されるべきものであると主張している。
（１）本件発明は、甲第１号証に記載された発明であり、また甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項により特許を受けることができない。
（２）本件特許明細書は、次の（ｉ）及び（ｉｉ）の点で記載不備であるから、特許法第３６条第３項又は第４項に規定する要件を満たしていない。
（ｉ）請求項１の「所定濃度以下とする」の記載が定量的な記載ではないから、本件発明の構成が不明瞭である。
（ｉｉ）本件発明の「電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に低減する」ための具体的な手段（方法）が記載されていないから、本件特許明細書には当業者が容易に実施することができる程度に本件発明の目的、構成及び効果が記載されていない。
（証拠の記載内容）
甲第１号証：上記引用例１と同じである。
甲第２号証：特開昭６１−１１１１２５号公報
（イ）「排ガスを乾式集じん器及び湿式排ガス処理装置に導いて該排ガス中に含まれるばいじんを除去し、該排ガス中に含まれる硫黄酸化物を湿式排ガス処理装置にて除去し、ガス・ガスヒータにより湿式排ガス処理装置を経た該排ガスを再加熱し、さらに、湿式排ガス処理装置よりの排水を該排ガスにスプレイする事により排水を処理するにあたり、エアヒータ出口よりのボイラ排ガスに湿式排ガス処理装置よりの排水をスプレイし、該排ガス温度を５〜１５℃下げて、ガス・ガスヒータに導びき、該排ガス温度を更に３０〜５０℃下げた後、該排ガスを乾式集じん器に導き、該排ガス中のばいじんを除去して該排ガスを湿式排ガス処理装置に導き、該排ガス中の硫黄酸化物を除去した後、該ガス・ガスヒータに導き、該排ガス温度を３０〜５０℃上げて、該排ガスを煙突に導びく事を特徴とする排煙処理法」（第１頁右欄第４行乃至第２頁上段左欄第１行）
（ロ）「本発明方法において使用されるガス・ガスヒータとしては、多管式熱媒強制循環式（排ガスがリークしないタイプ）及び蓄熱型回転再成式などが挙げられる。」（第３頁下段左欄第５行乃至第８行）
（ハ）「実施例２（本発明）
第１図のフローに従い、表ー３の通りのガスバランスにより、煙突出口ＮＯｘ３５ｐｐｍ、ＳＯｘ３０ｐｐｍ、ばいじん１０ｍｇ／Ｎｍ３を達成した。」（第４頁下段左欄第１行乃至第４行）
（当審の判断）
上記（１）の主張について
　甲第１号証については、上記２−３．で述べたとおりである。
　また、甲第２号証について検討すると、この証拠に記載の「排煙処理法」は、「湿式排ガス処理装置よりの排水を該排ガスにスプレイする事により排水を処理する」ものであるから、本件訂正発明とその基本的な構成の点で大きく相違するものであり、また、この証拠にも、電気集塵器入口の排ガス温度と電気集塵器出口のばい塵濃度との関係については何ら示唆されていないから、本件訂正発明は、上記甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないし、また上記甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
　したがって、特許異議申立人の上記（１）の主張は採用することができない。
上記（２）の主張について
　上記（２）（ｉ）の主張については、この「所定濃度以下」の記載は、可能な限り少なくするという、いわば本件発明の目的とも云うべき程度の内容であり、これが定量的に特定されていなくとも本件訂正発明の構成が不明瞭であるとは云えない。
　また、上記（２）（ｉｉ）の主張についても、本件特許明細書や図２には、電気集塵器出口のばい塵濃度と電気集塵器入口ガス温度との関係が記載されており、これら記載によれば「電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下に低減する」ことも当業者であれば容易になしうると云える。
　したがって、特許異議申立人の上記（２）の主張も採用することができない。
３−２．特許異議申立人住友重機械工業株式会社について
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、本件発明の特許は、次の（１）及び（２）の理由により、取り消されるべきものであると主張している。
（１）本件発明は、甲第１号証に記載された発明であり、また甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項により特許を受けることができない。
（２）本件特許明細書は、次の（ｉ）及び（ｉｉ）の点で記載不備であるから、特許法第３６条第３項又は第４項に規定する要件を満たしていない。
（ｉ）本件発明の目的が「ＳＯ３による低温腐食の防止」にあるのであれば、「電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以上に、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以上」にそれぞれ低減する必要があると思われるが、本件発明の構成ではそのように限定されていないから、本件発明の目的、構成及び効果が不明瞭である。
（ｉｉ）本件発明は、「ＳＯ３による低温腐食の防止」を効果としているが、その特許請求の範囲の構成によれば、この効果を奏することができないから、特許請求の範囲には本件発明の構成に欠くことができない事項が記載されていない。
（証拠の記載内容）
甲第１号証：特開昭６１−１１１１２５号公報
特許異議申立人三菱重工業株式会社の上記甲第２号証と同じである。
甲第２号証：実願昭５６−１８６２０７号（実開昭５８−９３６４１号）のマイクロフィルム
（イ）「本考案は石炭、石炭と油、・・・を燃焼させるボイラ等から排出されるガス中のばいじん、亜硫酸ガス、窒素酸化物を除去する排ガス処理装置に関する。」（第１頁第１４行乃至第１７行）
（ロ）「従って、燃焼排ガス温度を低下させる限界値は約１４０℃であり、そのため、燃料排ガスを集じん装置５前で１００〜１２０℃まで低減するには、別の熱交換器で吸熱する必要がある。そこで本考案は、空気予熱器４出口の排ガス温度を、煙突８入口ガスとの熱交換で降下させ、排ガス中の無水硫酸を硫酸液滴化せしめ大量のばいじんへ吸着後集じん装置５で捕集することにより、腐食雰囲気の低いボイラ排ガス処理装置を提供することを目的としてなされたものでその要旨は、・・・熱交換器を設けたことを特徴とするガス処理装置にある。」（第６頁第８行乃至第７頁第７行）
（ハ）「そして、本考案によれば大部分の硫酸液滴をもばいじんに吸着させて補集し得ると共に集じん装置５入口排ガス温度の低下は集じん効率の向上をももたらす効果を得ることができる。次に本考案を第２図に示す１実施例に基づいて具体的に説明する。火炉１出口には煙道２が取付けられ、脱硝装置３を介して、空気予熱器４が設けられている。空気予熱器４出口にガス冷却器９があり、排ガスはガス冷却器９で冷却後集じん装置５へ送気される。集じん装置５出口には、ガス再加熱装置６と脱硫装置７が設けられ、脱硫装置７で増湿冷却された排ガスは再びガス再加熱装置６で再加熱され、ガス加熱器１０でさらに加熱後煙突８から大気に放出される。ガス冷却器９とガス加熱器１０は水又は他の流体を熱媒体とする熱交換器で、ガス冷却器９ではポンプ１２で送られた冷媒でガスを冷却し加熱された媒体は熱媒となり配管１１を介しガス加熱器１０に送られる。ガス加熱器１０では熱媒でガスを加熱し媒体は冷媒となり再びガス冷却器９に戻る。このように媒体を使用して熱移動を行わせしめる熱交換器であるので、煙道２の複雑な引廻しが不要である。」（第７頁第８行乃至第８頁第１３行）
（ニ）「一方、第２図の方式では、・・・５〜１０ｐｐｍの残留無水硫酸はさらにガス冷却器９で約１２０℃まで冷却されることによりほとんど全量が硫酸液滴となり約２０ｇ／Ｎｍ３のばいじんに吸着して集じん装置５で捕集されガス冷却器９出口の残留無水硫酸は約１ｐｐｍまで減少する。」（第９頁第１８行乃至第１０頁第３行）
（ホ）「従って、本考案の排ガス処理装置では集じん装置５入口排ガスの熱量の一部をガス再加熱装置６低温部出口へ移す熱交換器を設けることにより熱損失を生じることなく、空気予熱器４出口の排ガス中の無水硫酸をほゞ全量凝縮させ硫酸液滴としてばいじんに吸着後集じん装置５で捕集出来るので、さらに低温となる部分の機器の硫酸腐食を防止することが可能となる。さらに集じん装置５入口ガス温度を低減することはばいじん捕集効率を向上させるのに有効である。」（第１０頁第１９行乃至第１１頁第９行）
甲第３号証：特開昭５６−１２６４２６号公報
流量調節器により熱媒体量を調節して温度制御する技術に関する証拠であり、特許請求の範囲が限定された場合を想定して提出されたもの。
（当審の判断）
上記（１）の主張について
　甲第１号証は、特許異議申立人三菱重工業株式会社の上記甲第２号証と同じであるから、上記「３−１．（当審の判断）（ｉ）」で述べたとおりである。
　また、甲第２号証について検討すると、この証拠には、ガス冷却器９で電気集塵器入口の排ガス温度を「１２０℃まで冷却」（上記（ニ）参照）することが唯一記載されているだけであり、それより低温の「１２０℃以下」まで冷却させることについては何ら示唆するところがない。加えて、この証拠にも、電気集塵器入口の排ガス温度と電気集塵器出口のばい塵濃度との関係については何ら示唆されていないから、本件訂正発明は、上記甲第１号証に記載された発明であるとすることはできないし、また上記甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものともすることができない。
　したがって、特許異議申立人の上記（１）の主張は採用することができない。
上記（２）の主張について
　この（２）の主張の根拠となった本件明細書の記載不備は、上記訂正により解消されたと云えるから、特許異議申立人の上記（２）の主張も採用することができない。
３−３．特許異議申立人千代田化工建設株式会社について
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、本件発明の特許は、次の（１）及び（２）の理由により、取り消されるべきものであると主張している。
（１）本件の分割出願は、その発明が原出願の出願当初の明細書又は図面に記載された発明ではないから、適法になされたものではない。
　そうであるならば、本件出願の出願日は遡及しないから、本件発明は、甲第１号証に記載された発明であり、また甲第１号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項により特許を受けることができない。
　さらに、本件発明は、上記甲第２号証及び甲第３号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項により特許を受けることができない。
（２）本件特許明細書には、「ＳＯ３による低温腐食が防止できる温度にＥＰ入口ガス温度を低下させる」や「ＳＯ３低温腐食も防止することができる」と記載されているが、本件発明の構成によれば、この効果を奏することができないから、本件特許明細書は、その特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明とが一致しておらず、特許法第３６条第３項又は第４項に規定する要件を満たしていない。
（証拠の記載内容）
甲第１号証：特開昭６３−１７１６２２号公報（原出願の公開公報）
甲第２号証：上記引用例１と同じである。
甲第３号証：上記引用例２と同じである。
（当審の判断）
上記（１）の主張について
　原出願の当初の明細書及び図面（甲第１号証）には、次のような事項が記載されている。
（イ）「上記目的は、ＥＰ入口に熱交換器を設け、かつ該熱交換器出口（ＥＰ入口）ガス温度を、該熱交換器下流側（ＥＰ以降）の煙道および機器の低温腐食が防止できる温度に制御する手段を設けることによって達成される。」（甲第１号証第３頁上段左欄第３行乃至第７行）
（ロ）「また、ＳＯ３濃度とばい塵濃度による腐食の関係を第５図に示したが、ＳＯ３露点腐食を支配する要因として、排ガス中のばい塵濃度がある。・・・したがって、ＥＰ出口ガス中のばい塵濃度を把握することによってＥＰ以降の煙道および機器の腐食を防止することができる。」（同第３頁下段右欄第１行乃至第１２行）
（ハ）「しかしながら、本発明によれば、例えば第３図の空気予熱器出口ガス温度とＳＯ３濃度の関係から、Ａのガス温度に対してＳＯ３濃度Ｂが求められ、第４図のＳＯ３濃度と露点温度の関係から、露点温度Ｃが求められるため、第２図に示すＩＩの特性を有するＥＰを選定すれば良いことになる。」（第３頁下段右欄第１７行乃至第４頁上段左欄第３行）
（ニ）「また、他の方法は、第２図、第３図および第５図の関係が組み込まれた演算器２３によって行うことができる。・・・第５図から前記ＳＯ３濃度における腐食が防止できるガス中のばい塵濃度が求められる。このばい塵濃度が低温腐食を防止できるＥＰ出口ガスばい塵濃度となり、第２図のＥＰ特性曲線ＩＩから該ばい塵濃度にするためのＥＰ入口ガス温度（設定値）が決定される。」（第４頁下段左欄第９行乃至第１９行）
（ホ）甲第１号証には、本件図面の第２図乃至第５図と同じ図面が記載されている。
　これら記載と図面を参酌すれば、原出願の当初の明細書及び図面には、本件発明が記載されていることは明らかであるから、本件の分割出願が不適法であるという特許異議申立人の上記主張は採用することができない。
　また、上記甲第２号証及び甲第３号証についても、これら証拠は上記引用例１及び２とそれぞれ同じであり、上記２−３．で述べたとおりであるから、特許異議申立人の上記（１）の主張はいずれも採用することができない。
　なお、特許異議申立人は、回答書において、参考資料１乃至４を提出しているから、これら証拠についても検討すると、参考資料１（特開昭５９−２２５３５１号公報）は、電気集塵装置の下流側の脱硫装置用熱交換器、脱硫装置、煙突の腐食を防止するという技術的課題を解決するために、脱硫装置用熱交換器入口のＳＯ３ガス濃度と電気集塵装置出口の排ガスのダスト量を制御する排煙処理法に関するものであるから、この証拠に記載の排煙処理方法は、本件訂正発明とその解決すべき課題や解決手段の点で相違するものである。参考資料２（特開昭５８−１５３０１７号公報）は、除塵処理後の排ガス中のダストと排ガス中のＳＯ３ガス濃度を検知し該濃度比が４以上となるように集塵装置出口ダスト濃度を制御する排煙処理方法に関するものであり、この証拠にも、電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下にすることやこの排ガス温度と電気集塵器出口のばい塵濃度との関係については何ら示唆されていない。参考資料３（特開昭５８−１２００２０号公報）には、空気予熱器出口ガス温度を下げてガス中のＳＯ３をフライアッシュに吸着させて除去するという一般的な事項が記載されているだけであり、また参考資料４（特開昭６０−８４１３１号公報）にも、排煙の平均温度を１００〜１２０℃にまで下げることが記載されているだけであるから、これら証拠にも、電気集塵器入口の排ガス温度と電気集塵器出口のばい塵濃度との関係については何ら示唆されていない。
　してみると、これら証拠も、上記結論に何ら影響を及ぼすものではないと云うべきである。
上記（２）の主張について
　この（２）の主張の根拠となった本件特許明細書の記載不備は、上記訂正により解消されたと云えるから、特許異議申立人の上記（２）の主張も採用することができない。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。 
【異議決定日】
平成１２年７月１４日（２０００．７．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
本件訂正の要旨は、本件特許第２８２６５６０号発明の明細書を平成１１年１１月２２日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、本件特許明細書及び図面を次のとおり訂正するものである。
（ｉ）特許請求の範囲の項
訂正事項１：特許請求の範囲の減縮を目的として、
「１．ボイラ等の排ガス流路に設けた該排ガス中に含まれるばい塵を除去する電気集塵器と、該電気集塵器の下流側の硫黄酸化物を除去する排煙脱硫装置と、前記電気集塵器の上流側の熱回収用の熱交換器と、前記排煙脱硫装置の下流側の再加熱用の熱交換器を有する排煙処理装置を用いる排煙処理方法において、熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに前記排煙脱硫装置では硫黄酸化物を除去し、排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とすることを特徴とする排煙処理方法。
２．前記電気集塵器の上流側の排ガス流路に設けられた熱回収用の熱交換器と前記排煙脱硫装置の下流側の排ガス流路に設けられた再加熱用の熱交換器の間にはポンプで熱媒体を強制的に循環させることを特徴とする第１項記載の排煙処理方法。」と訂正する。
（ｉｉ）発明の詳細な説明の項
訂正事項２：特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明を目的として、特許明細書の段落【００１２】の記載を、
「【００１２】【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、次の構成によって達成される。すなわち、ボイラ等の排ガス流路に設けた該排ガス中に含まれるばい塵を除去する電気集塵器と、該電気集塵器の下流側の硫黄酸化物を除去する排煙脱硫装置と、前記電気集塵器の上流側の熱回収用の熱交換器と、前記排煙脱硫装置の下流側の再加熱用の熱交換器を有する排煙処理装置を用いる排煙処理方法において、熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに前記排煙脱硫装置では硫黄酸化物を除去し、排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とする排煙処理方法である。」と訂正する。
（ｉｉｉ）図面の簡単な説明の項
訂正事項３：誤記の訂正を目的として、【図２】の欄を、「【図２】機器などの腐食を生じさせないＥＰ出口の排ガス中のばい塵濃度とＥＰ入口排ガス温度との関係を示す図」と訂正する。
（ｉｖ）図面
訂正事項４：誤記の訂正を目的として、「図２」を「図３」に、「図３」を「図２」にそれぞれの図面番号を差し替える。
訂正事項５：明りょうでない記載の釈明を目的として、図４を訂正し、図４の横軸の目盛り５に相当する箇所に「５」の数値を挿入する。
（５４）【発明の名称】
排煙処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　ボイラ等の
排ガス流路に設けた該
の
　熱媒体循環式の前記両方の熱交換器を用いて熱媒体により前記電気集塵器の上流側で排ガスの熱回収をして前記排煙脱硫装置の下流側の排ガスを再加熱することで、前記電気集塵器入口の排ガス温度を１２０℃以下、電気集塵器出口のばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下
であって、電気集塵器以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに
排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とする
　【請求項２】　前記電気集塵器の上流側の
排ガス流路
排ガス流路
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、排煙処理方法に係り、特にボイラ等の燃焼装置から排出されるばい塵、硫黄酸化物（以下、ＳＯｘと略す）を除去するに好適な排煙処理方法に関する。
　本発明は、排煙処理装置に係り、特にボイラ等の燃焼装置から排出されるばい塵装置から排出されるばい塵、硫黄酸化物（以下、ＳＯｘと略す）を除去するに好適な排煙処理装置と方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　湿式排煙脱硫装置（以下、脱硫装置という）では、排ガス中のＳＯｘを除去するために、排ガスと吸収液との気液接触が行われるが、吸収塔（以下、脱硫装置と称することがある）出口ガス温度が、例えば約５０℃と飽和温度以下まで低下するため、吸収塔出口ガスは煙突からの白煙防止および拡散に適した温度まで再加熱されたのち、煙突から排出されている。この再加熱装置としては、脱硫装置入口ガスの熱を再利用する熱交換器を用いるのが一般的である。
　【０００３】
　図６は、従来技術による排煙処理装置の系統図である。この装置は、ボイラ１と、該ボイラ１の排ガスの熱を回収するための空気予熱器２と、排ガス中のばい塵を除去する電気集塵器（以下、ＥＰと称する）３と、ばい塵が除かれた排ガスの熱を回収する熱交換器９と、排ガス中のＳＯｘを除去する脱硫装置６と、脱硫された排ガスを熱交換器９で回収した熱で再加熱する熱交換器１０とから構成される。熱交換器９と熱交換器１０は熱媒体が通る連絡管１１によって連結されている。熱交換器９としては、熱媒体をポンプで強制循環する方式、ヒートパイプを利用する方式などが用いられる。
　【０００４】
　このような構成において、ボイラ１からの燃焼排ガスは、空気予熱器２によって約１５０℃まで熱回収された後、ＥＰ３に送られ、ばい塵の除去が行われる。ばい塵が除去された排ガスは、誘引送風機（ＩＤＦ）４および脱硫ファン５で昇圧され、熱交換器９に送られ、約１００℃まで冷却された後、脱硫装置６に導入される。脱硫装置６内ではアルカリ剤スラリからなる吸収液が噴霧され、気液接触により、冷却、脱硫、除塵が行われ、脱硫装置出口排ガスは約５０℃の飽和温度まで冷却される。前記脱硫装置６の出口ガスは、前記熱交換器１０に導入され、熱交換器９で回収した熱によって約１００℃まで再加熱され、煙突７から排出される。
　【０００５】
　最近、エネルギーの多様化に伴い、ボイラ燃料の重油から石炭への転換によるボイラ排ガス中のばい塵量の増加と、環境規制の強化に伴う煙突７入口のばい塵排出量低減の必要性から、排煙処理装置の除塵性能の高度化が要求されている。通常、石炭焚ボイラの場合、ボイラ出口ばい塵量約２０ｇ／ｍ３Ｎに対し、排煙処理装置出口のばい塵量を０．０２ｇ／ｍ３Ｎまで除塵することが要求され、９９．９％以上の除塵性能が必要となる。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記のような高度な除塵性能を得るためには、排煙処理装置のＥＰの容量を増加させる方法あるいは脱硫装置での噴霧液量を増加させるなどの方法が必要であるが、いずれも、設備費、運転費が増加するという問題がある。
　【０００７】
　また、ＥＰ性能は、ばい塵の電気抵抗に依存し、またばい塵の電気抵抗はガスの関係湿度により影響されることも知られているから、ＥＰ性能の向上は、排ガスの関係湿度を上げ、ばい塵の電気抵抗を低下させることにより図ることができる。ばい塵の電気抵抗を低下させるには、空気予熱器２の容量を大きくしてＥＰ３の入口ガス温度を下げる方法、またはガス中に水を噴霧し、水分量を上げる方法が考えられる。
　【０００８】
　しかしながら、前者の方法では、ボイラ出口ガス中には燃焼に伴い酸化されたＳＯ３がＳＯ２濃度の約２〜３％（ＳＯ２濃度１０００ｐｐｍで２０〜３０ｐｐｍ）存在するため、ガス温度を下げすぎると空気予熱器２の低温側エレメント温度の低下によりＳＯ３が凝縮し、ばい塵とともにエレメントに固着し、腐食、閉塞を起こす問題がある。また、後者の方法では、水を完全に蒸発させないと、機器表面を濡らすことになり、腐食の原因となるため、実用化されていない。
　【０００９】
　本発明の課題は、上記の従来技術の問題を改善し、ＥＰの除塵性能を向上させ、しかもＳＯ３による低温腐食が防止できる、経済的な排煙処理方法を提供することにある。
　【００１０】
　また、本発明の課題は、上記の従来技術の問題を改善し、ＥＰ出口のばい塵濃度を低減させても、後続の装置に腐食などの悪影響を与えない排煙処理方法を提供することにある。
　【００１１】
　また、本発明の課題は、排煙処理装置の除塵性能の高度化の要求に合致するように、排煙処理装置出口のばい塵量を環境規制の強化にも対応した値に低減する排煙処理方法を提供することにある。
　【００１２】
　【課題を解決するための手段】
　本発明の上記課題は、次の構成によって達成される。
　すなわち、
ボイラ等の排ガス流路に設けた該
であって、電気集塵以降の機器及び煙道の腐食を防止する濃度に低減させ、さらに
排煙脱硫装置出口のばい塵濃度を所定濃度以下とする
　【００１３】
　本発明は、例えばノンリーク型ガス−ガスヒータを用いるような、熱交換器の形式が媒体をポンプで強制循環する方式において適用される。この場合はポンプを複数台設け、運転台数を制御することによって行うことができる。
　【００１４】
　ボイラ排ガス中のＳＯ３は、空気予熱器内でばい塵に吸着され、約５ｐｐｍ程度に低下するため、空気予熱器の出口では、硫酸露点温度が空気予熱器の入口に比べ低くなる。したがってＥＰ入口に設けられた熱交換器のＳＯ３露点腐食（低温腐食）に起因するガス温度の下限値を、前記の空気予熱器出口ガス温度より低くすることが可能であり、ＥＰ入口ガス温度を低下させ、ＥＰの性能を向上させることができる。さらに、常にＳＯ３露点腐食が防止できる下限温度以上で運転できるように前記熱交換器の熱交換量を制御することにより、前記ＥＰ以降の煙道および機器の腐食が防止できる。
　【００１５】
　また、ＳＯ３濃度とばい塵濃度による腐食の関係を図５に示したが、ＳＯ３露点腐食を支配する要因として、排ガス中のばい塵濃度がある。ＳＯ３濃度に対してばい塵濃度が高い場合は、ＳＯ３がばい塵に吸着されて機器の付着面を乾いた状態に保ち、腐食を軽減することができるが、ＳＯ３濃度に対してばい塵濃度が低い場合は、ガス温度低下に伴いＳＯ３が凝縮して硫酸となり、機器表面に付着し、腐食をおこす。したがって、ＥＰ出口ガス中のばい塵濃度を把握することによってＥＰ以降の煙道および機器の腐食を防止することができる。
　【００１６】
　さらにまた、例えばＥＰ出口ばい塵濃度１００ｍｇ／ｍ３Ｎの条件でＥＰを設計する場合、従来技術のＥＰ入口ガス温度１５０℃（Ａ）の条件ではＥＰは図２のＥＰ特性曲線のＸの特性を有するＥＰを選定する必要があった。しかしながら、本発明によれば、例えば図３の空気予熱器出口ガス温度とＳＯ３濃度の関係から、Ａのガス温度に対してＳＯ３濃度Ｂが求められ、図４のＳＯ３濃度と露点温度の関係から、露点温度Ｃが求められるため、図２に示すＹの特性を有するＥＰを選定すれば良いことになる。したがって、ＥＰの設備費を大きく低減することができる。
　【００１７】
　本発明を図３と図４に基づき、具体例で説明すると、次のようなことが言える。図３と図４のグラフにより空気予熱器２の出口ガスの具体例の露点温度を求めると、次のことが言える。
　図３より
　　空気予熱器２出口ガス温度　　　　　　空気予熱器２の出口ガスＳＯ３濃度
　　　　１５０℃　　　　　　　　→　　　　　４ｐｐｍ
　　　　１４０℃　　　　　　　　→　　　　　３ｐｐｍ
　　　　１３０℃　　　　　　　　→　　　　　２ｐｐｍ
　図４より
　　空気予熱器２の出口ガスＳＯ３濃度　　空気予熱器２の出口ガス露点温度
　　　　４ｐｐｍ　　　　　　　　→　　　　　１２０℃
　　　　３ｐｐｍ　　　　　　　　→　　　　　１１５℃
　　　　２ｐｐｍ　　　　　　　　→　　　　　１１０℃
　こうして得られた空気予熱器２の出口ガスの露点温度がＥＰ３の入口側にある熱交換器８の出口ガスの露点温度となるように熱交換器８での交換熱量を決定すれば、熱交換器８より下流側の煙道及び該煙道に配置された機器の低温腐食が防止できる。
　このときＥＰ３の出口ばいじん量を図２により求めると、本発明の一つの実施の形態である特性曲線Ｙを有するＥＰ３では
　　ＥＰ３の入口ガス温度　　　　　　ＥＰ３の出口ばいじん量
　　　　１２０℃　　　　　　→　　　　　１００ｍｇ／ｍ３Ｎ
　　　　１１５℃　　　　　　→　　　　　　９０ｍｇ／ｍ３Ｎ
　　　　１１０℃　　　　　　→　　　　　　８０ｍｇ／ｍ３Ｎ
なる値が得られる。
　以上説明したように、本発明によれば、▲１▼ＥＰ３の入口ガス温度を１２０℃以下にすることと▲２▼ＥＰ３出口ばい塵濃度を１００ｍｇ／ｍ３以下にすることにより、排ガス温度低下によるＥＰ３の集塵性能向上が図れると同時に熱交換器８の下流側煙道および機器の低温腐食の防止を可能にすることができる。
　言い換えれば、本発明において、少なくともＥＰ特性曲線Ｙを有するＥＰを用いる場合は、排ガス中のＳＯ３によるＥＰの後流側の機器の腐食を防止するためにＥＰの出口ばい塵濃度を約１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下になるように調整するには、約１００ｍｇ／ｍ３Ｎ以下のＥＰの出口のばい塵濃度に応じてＥＰ３の入口温度は図２から少なくとも１２０℃以下の適切な範囲内の温度に設定する必要がある。
　【００１８】
　【発明の実施の形態】
　以下、本発明の実施の形態を詳しく説明する。
　図１は、本発明の一実施例に係る排煙処理装置の系統図である。図１において、図６と同一部分は同一符号を付し、説明を省略する。また、図１において、従来の装置（図６）と異なる点は、ＥＰ入口に熱交換器８と、該熱交換器８と熱交換器１０を連結し熱媒体が循環する連絡管１２と、前記熱交換器８での交換熱量を制御して熱交換器８出口ガス温度を低温腐食が防止できる温度に制御する手段、すなわち、空気予熱器２出口ガス温度を測定する温度検出器２０およびＥＰ３入口のガス温度を測定する温度検出器２１と、前記温度検出器２０、２１の測定値から低温腐食が防止できる温度にするための交換熱量を演算する演算器２３と、該演算器２３からの信号によって熱媒体流量を調節する前記連絡管１２に設けられた流量調節器２４と設けたことである。
　【００１９】
　このような構成において、ボイラ１からの排ガスは、空気予熱器２を経て熱交換器８に導入され、乾式ＥＰ３の集塵性能向上のために排ガス温度が下げられる。該熱交換器８出口ガス温度は、温度検出器２０、２１で測定された測定値から、熱交換器８下流側煙道および該煙道に配置された機器の低温腐食が防止される温度に演算器２３によって演算され、さらに演算器２３によって前記温度になるように熱交換器８で交換される熱量が決定され、流量調節器２４により媒体圧力が調節される。
　【００２０】
　前記演算器２３による交換熱量の決定は、例えば次の二つの方法によって行うことができる。
　まず、図３から、空気予熱器２出口ガス温度を温度検出器２０で計測することによって、従来、連続的に高精度の測定が不可能であった空気予熱器２出口ガスＳＯ３濃度を連続的に求めることができる。さらに図４から、図３で求めた空気予熱器２出口ガスＳＯ３濃度の露点温度を求めることができる。該露点温度は熱交換器８出口の低温腐食を防止できる下限温度（設定値）となる。
　【００２１】
　したがって図３および図４の関係が組み込まれた演算器２３によって、前記熱交換器８の下限温度を先行信号とし、温度検出器２１で測定された温度をフィードバック信号として、熱交換器８での交換熱量（熱媒体量）が求められる。
　【００２２】
　また、他の方法は、図２、図３および図５の関係が組み込まれた演算器２３によって行なうことができる。空気予熱器２出口ガス温度を温度検出器２０で計測することにより、図３から空気予熱器出口ガスのＳＯ３濃度が求められ、図５から前記ＳＯ３濃度における腐食が防止できるガス中のはい塵濃度が求められる。このばい塵濃度が低温腐食を防止できるＥＰ出口ガスばい塵濃度となり、図２のＥＰ特性曲線Ｙから該ばい塵濃度にするためのＥＰ入口ガス温度（設定値）が決定される。したがって、図２、図３および図５の関係が組み込まれた演算器２３は、該ＥＰ入口ガス温度を先行信号とし、温度検出器２１で計測したＥＰ入口ガス温度をフィードバック信号として熱交換器８の交換熱量を求めることができる。
　【００２３】
　なお、上記実施例では空気予熱器出口ガスの露点温度を演算により求めたが、露点計を設置して同様に行なうことができるのはいうまでもない。
　【００２４】
　図７は、本発明の他の実施例に係る排煙処理装置の系統図である。本発明における図１と異なる点は、熱交換器８の交換熱量の制御をＥＰ出口ガスばい塵濃度とＥＰ入口ガス温度の測定によって行うために、ＥＰ出口にばい塵温度計２２とＥＰ入口に温度検出器２１とを設けたことである。このような構成において、演算器２３による交換熱量の決定は、次のようにして行なわれる。まず、ばい塵濃度計２２によってＥＰ出口ガスのばい塵濃度が測定される。該ばい塵濃度におけるＳＯ３露点腐食を防止できるＳＯ３濃度が図５から求められ、さらに図４から該ＳＯ３濃度の露点温度が求められる。該露点温度が熱交換器８出口ガス温度の下限値（設定値）となる。したがって、該下限温度を先行信号とし、温度検出器２１の測定値をフィードバック信号として、図４および図５の関係が組み込まれた演算器２３は熱交換器８の熱交換量を求めることができ、連絡管１２に設けた流量調節器２４により前記熱交換量に相当する媒体圧力に調節される。
　【００２５】
　【発明の効果】
　本発明によれば、ＳＯ３による低温腐食が防止できる温度にＥＰ入口ガス温度を低下させることができるので、ＥＰの性能を向上させることができるとともにＳＯ３低温腐食も防止することができる。また熱交換器で回収した熱をガスの再加熱に使用し、さらにＥＰの設備費も低減することができるので経済的である。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の一実施例に係る排煙処理装置の系統図
　【図２】
機器などの腐食を生じさせないＥＰ出口の排ガス中のばい塵濃度とＥＰ入口排ガス温度との関係を示す図
　【図３】空気予熱器出口ガス温度とＳＯ３濃度の関係を示す図
　【図４】ＳＯ３濃度と露点温度の関係を示す図
　【図５】ＳＯ３濃度とばい塵濃度による腐食の関係を示す図
　【図６】従来技術による排煙処理装置の系統図
　【図７】本発明の他の実施例による排煙処理装置の系統図
　【符号の説明】
　１　ボイラ　　　　　　　　２　空気予熱器
　３　電気集塵器　　　　　　６　脱硫装置
　７　煙突　　　　　　　　　８　熱交換器
　９　熱交換器　　　　　　　１０　熱交換器
　１１連絡管　　　　　　　　１２　連絡管
　２０温度検出器　　　　　　２１　温度検出器
　２２ばい塵濃度計　　　　　２３　演算器
　２４流量調節器