【事件の表示】
　特許第２８５２５９３号「静電容量式圧力センサ」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８５２５９３号の特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２８５２５９３号に係る特許は、その出願が平成５年３月１１日の出願であって、平成１０年１１月２０日に特許権の設定の登録があり、平成１１年８月２日付けで特許異議申立人ローズマウント　インコーポレーテッドより特許異議の申立てがあり、平成１１年１０月２６日付けで取消理由通知を特許権者に通知したところ、平成１２年１月１１日付けで、意見書及び訂正請求書が提出された。
　
２．訂正の内容
訂正事項ａ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して密着接合される」の記載を、「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して接合材を用いることなく密着接合される」と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の「形成されたことを特徴とする静電容量式圧力センサ」の記載を、「形成され、直接接触する測定媒体の圧力を計測する静電容量式圧力センサ」と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号[０００９]欄の「空洞が少なくとも一方に設けられた第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して密着接合されることにより形成」の記載を、「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを対向して接合材を用いることなく密着接合することにより空洞を形成し」と訂正する。
訂正事項ｄ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号[０００９]欄の「形成するものである。」の記載を、「形成し、直接接触する測定媒体の圧力を計測するものである。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号[００１３]欄及び[００１９]欄の「表面荒さ」の記載を、「表面粗さ」と訂正する。
　
３．訂正の適否（目的要件、新規事項、拡張変更）
　訂正事項ａ及びｂは、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであり、訂正事項ｃ及びｄは、それに伴って、めいりょうでない記載の釈明を目的とするものであり、訂正事項ｅは、誤記の訂正を目的とするものである。
　また、上記訂正事項ａ乃至ｅは、いずれも願書に添付した明細書又は図面の記載事項の範囲内の訂正である。
  さらに、上記訂正事項ａ乃至ｅによっても特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
４．独立特許要件の適否
４−１．本件発明
　訂正された請求項１に係る発明（以下、本件発明という。）は、訂正明細書及び図面の記載からみて特許請求の範囲の請求項１に記載された次の事項により特定されるものである。
　２枚の平行平板電極が空洞内に対向配置されて形成された静電容量式圧力センサにおいて、
　前記空洞が少なくとも一方に窪みが設けられた第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して接合剤を用いることなく密接結合されることにより形成され、直接接触する測定媒体の圧力を計測する静電容量式圧力センサ。　
　
４−２．取消理由通知の概要
　本件発明は、刊行物１（米国特許第4,542,436号明細書）及び刊行物２（米国特許第5,024,098号明細書）、及び、刊行物３（スイス国特許第632,891Ｇ号明細書）、刊行物４（特開平２−１４４８００号明細書）及び刊行物５（岩波書店「理化学辞典」第３版、1974年6月10日発行、第501頁「サファイア」の項及び第471頁「コランダム」の項参照）に記載された周知技術に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反し、取り消されるべきものである。
　
４−３．刊行物の記載事項
刊行物１について
「好ましい実施例の説明
図１，２，３，４に示すように、本発明の容量性圧力変換器１０は、第１の誘電性基板またはボデイー１１と、相互に取り付けられる第２の誘電性基板１３とを含み、それら間には空洞１５を規定している。各ボデイー１１，１３は、対向する関係に相互を接着するためにそれから突出している環状の肩部１７を含む。ボデイー１１，１３が形成される材料及び材料の選択された厚さは、数ある要因の中で、達成される製造コストパラメータと、変換される圧力の大きさとに依存する。とはいえ、好ましいボデイー材料は、アルミナセラミックおよびクオーツを含む。第１のボデイー１１は、その上に配列されるベース部材２１を支持する第一の表面１９を含み、一方、第２のボデイー１３は、センサを支持する第二の表面２３と、その上にそれぞれ配置されたリファレンス部材２５、２７を支持する第二の表面２３とを含む、好ましい変換器１０において、ボデイー１１，１３が組み立てられるとき、表面１９，２３は実質的に平らで相互に平行である。もしボデイー１１，１３が全く同じに構成されるならば、一定の製造上の経済性が生じるとは言え、第一または第二のボデイー１１，１３のどちらか一方が、一方のボデイー上のベース部材２１と、他方のボデイー上のセンサおよびリファレンス部材２５，２７との間に要求される間隔と等しい高さの出っ張りを有する肩部を持つようにしてもよいことは通常の技術の経済性によって評価される。他のボデイーは、その時ディスクとして形成されてよい。他の選択肢として、ディスク形の基板は、ガラス製のフリット、スペーシングディスクを使用して、または他の既知の手段によって接合されてもよい。」（第３欄３０行〜６２行）
刊行物２について
「センサは、面１１で接合される第１０Ａと１０Ｂの部分によって構成される測定セルから成る。」（第２欄４２行〜４４行）
「測定セルは、ハーメチックシールされた内部の部屋１２を規定する。」（第３欄２７行〜２８行）
「今、第３図を参照すると、各々が内部ハーフチャンバーを示しかつ内部チャンバー１２を形成するように接合面１１で接合されたハーフシェル１０Ａと１０Ｂから構成される。」（第３欄５２〜５５行）
「ハーフシェル１０Ａと１０Ｂは、好ましくは、できるだけサファイアに近い膨張係数を持つシールガラスによって互いに接合される。接合技術は、本分野において公知である。例えば、スイス特許出願No．８２７２／７９（No．６３２８９１Ｇとして公開）は、本出願中に参照により合体された。サファイアは、好ましくは、同じ結晶軸を持つ２つのハーフシェル１０Ａ，１０Ｂを得るためにカットされた単結晶である。接合面１１および好ましくは歪みゲージがおかれる表面２０への垂直軸は、結晶のｃ結晶軸を構成した。」（第３欄５９行〜第４欄１行）
「図２は、提案された発明のセンサにおいて、良く使用される電気的な抵抗歪み測定デバイスを示す。デバイスは、好ましくは直接外部の平面に置かれる薄いフィルムの電気的な抵抗からなる。デバイスが挿入される表面２０のセルの直径は、好ましくはおよそ１０ミリメートル（mm）である。」（第４欄５０行〜５７行）
刊行物３について
　時計ガラスとリングとの固着方法において、円板ガラス１はサファイア製、リング２，５〜８は合成サファイアとされ、円板ガラス１とリング２などとは接合材を用いることなしに両者を回転させながら接合する点。
刊行物４について
「本発明は装飾品、科学機器、工業用の計器等に使用するために複数の合成コランダムの単結晶板を重ね合わせて化学結合させ一体同化した合成コランダムの単結晶構造体の製造方法に関する。」（第２頁左上欄４行〜７行）
「超小型で超微量、超精密、超正確に測定出来、耐凍、耐薬品の特性を持った素材は地球上で最も硬度の高いダイアモンドの次に硬い合成コランダム（例えばサファイア）の単結晶以外にはない。」（第２頁１４行〜１８行）
「合成コランダムは、結晶構造を持った単結晶であるので、・・・各々が独立して単結晶構造を持った一個の単結晶体であるから、互いの単結晶同士を密着して接合させ、一体化して均一な単結晶体を得るためには、ｃ’面の境界面同士の結晶軸、軸率、軸角を精密に一致させ、かつ均一に密着を保ちながら適切な温度で加熱しなければならない。」（第４頁右下欄６行〜１５行）　
　
４−４．本件発明との対比
　本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、下記１の一致点で一致し、下記２の相違点で相違する。
記１（一致点）
２枚の平行平板電極が空洞内に対向配置されて形成された静電容量式圧力センサにおいて、前記空洞が少なくとも一方に窪みが設けられた第１の基板と第２の基板とが対向して接合されることにより形成される静電容量式圧力センサ。
記２（相違点）
相違点１
　本件発明は、２つの基板がサファイア基板からなり、接合形態が「接合材を用いることなく密着接合される」のに対し、刊行物１に記載された発明は、２つのボデイー材料がアルミナセラミックからなり、接合形態が明らかでない点。
相違点２
　本件発明は、センサが直接接触する測定媒体の圧力を計測するのに対し、刊行物１に記載された発明は、かかる点について明示の記載がない点。
　
４−５．相違点の判断
　相違点１について
　訂正明細書の発明の詳細な説明には次の記載がある。
「[発明が解決しようとする課題]
　しかしながら、前述した従来の静電容量式圧力センサは、カバーガラス２とシリコンウエハ４とが異種材料で構成されており、パイレックスとシリコンとは熱膨張率は近いが、同じではなく、また、熱膨張率の温度特性も同じでないため、接合時に残留応力が生じ、この残留応力がダイアフラムの変位量に影響を与えるという問題があった。また、この残留応力の値は、使用時に経時変化するために精度劣化を招くという問題があった。
　また、前述した従来の静電容量式圧力センサは、カバーガラス２とシリコンウエハ４とが異種材料で構成されることから、使用時に温度変化があると、熱膨張率の差により接合部５に熱応力が生じ、この熱応力がダイアフラムの変位量に影響を与え、大きな温度特性が生じてしまうという問題があった。
　さらに前述した従来の静電容量式圧力センサを構成するシリコンウエハ４は、弱アルカリなどで容易に腐食されるため、液体の圧力を直接計測する場合に液体の種類にかなり制限されるという問題があった。
　したがって従来構造の静電容量式圧力センサは、そのパッケージを構成する基板材料およびその基板間接合部の残留応力に左右され、高精度でしかも信頼性の高い圧力計測に悪影響をおよぼすという問題があった。
　したがって本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、基本材料および基板接合部の残留応力などに左右されることなく、高精度で量産性に優れかつ信頼性の高い圧力計測を可能にした静電容量式圧力センサを提供することにある。」（段落番号[０００４]欄〜[０００８]欄）
「第１のサファイア基板および第２のサファイア基板の同一材料で圧力センサチップ構造を構成したことにより、製作時に接合部に生じる残留応力および使用時に生じる熱応力に起因する誤差が発生し難くなる。また、第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを接合材を介さずにサファイア基板同士を接合したことによりサブミクロンのギャップのコントロールが可能となるので、容量式圧力センサに適用した場合に第１のサファイア基板と第２のサファイア基板との対向間に制御性の極めて良い計測コンデンサギャップ間隔が得られる。　したがって高精度で信頼性の高い圧力計側が可能となるなどの極めて優れた効果が得られる。また、静電容量式圧力センサチップのパッケージ構造を第１のサファイア基板および第２のサファイア基板の同一材料で構成したことにより、これらのサファイア基板は極めて高い耐食性を有していることから、各種の気体、液体および水蒸気などの測定媒体に直接接触させることが可能となるので、従来、センサチップの表面をシリコンオイルで覆っていた封入液を使用せずに全ての測定媒体の圧力を計測できる圧力センサが得られる。」（段落番号[００４０]欄」
　上記記載によれば、本件発明は、ダイアフラムの基板接合部の残留応力等に左右されず、高精度かつ信頼性の高い静電容量式圧力センサを提供することを目的とし、請求項１の如く構成することにより、残留応力および熱応力に起因する誤差を少なくし、基板の間隔にサブミクロン程度のコントロールが可能となり、制御性の良いコンデンサギャップが得られ、さらに耐食性の優れた材料を用いることにより測定媒体に直接接触が可能になるとの、高精度および高信頼性が得られる効果を奏するものである。
　その上で相違点１について検討するに、まず、刊行物１にはボデイー材料をアルミナセラミックとし、その厚さを選択する技術的意義について「達成される製造コストパラメータと変換される圧力の大きさとに依存する」と記載するのみで、本件発明における上述の技術的意義を有しているものとは解することができない。
　また、刊行物２に記載された圧力センサは、サファイアを材料とするハーフシェル１０Ａ，１０Ｂを接合してダイアフラムを構成しているものの、その表面２０に測定デバイスを設けた歪みゲージ式の圧力センサであって、本件発明のような静電容量式のものではなく、電極間隔のような精密なコントロールを必要とするものではない。
　刊行物２には、耐久性、耐温度性、安定性、弾性、ひずみ、圧力差等の課題がある旨の記載があるが、これらに着目したとしても本件発明の静電容量式圧力センサの「電極間距離」を高精度に仕上げるという課題は見出すことができない。
　よって、刊行物２の圧力センサのダイアフラムがサファイアを材料とするものであったとしても、これを刊行物１に記載された発明に適用すべき合理的理由を見出すことができない。
　つぎに、刊行物３にはサファイア同士を接合材を用いることなく密着接合させることが開示されているが、時計ガラスとリングとの固定に関するものであって、これを刊行物１の静電容量式圧力センサの基板を構成するアルミナセラミックに代えて適用すべき動機付けがない。なお、刊行物２に関する接合技術として刊行物３が引用されているが、この点を考慮しても、刊行物２に記載された発明が上述の通り刊行物１に記載された発明に適用することが困難であるから、刊行物３に記載された材料を刊行物１のアルミナセラミックに代えて適用すべき動機付けがない。
　さらに、刊行物４はサファイアなどの合成コランダムについての知見が記載され、刊行物５には「サファイア」および「コランダム」の技術的意味が記載されているのみである。
　よって、前記刊行物２乃至刊行物５に記載された事項について検討しても、相違点１について、当業者が容易に想到し得たものとすることができない。
　したがって、相違点２について検討するまでもなく、本件発明は、刊行物１及び刊行物２に記載された発明及び刊行物３乃至刊行物５に記載された周知技術によっても、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができず、その出願の際、独立して特許を受けることができるものである。
　
５．訂正についての結論
　以上のとおりであるから本件訂正は、特許法第１２０条の４第２項の規定を満たしており、本件訂正のうち訂正事項ａ乃至訂正事項ｄについては、同条第３項の規定で準用する特許法第１２６条第２項乃至第４項の規定を満たしており、訂正事項ｅについては、同法第１２０条の４条第３項の規定で準用し附則（平成６年法律第１１６号）第６条第１項の規定で「なお従前の例による。」とされた改正前の特許法第１２６条第２項の規定を満たしている。
  よって、本件訂正を認める。
　
６．特許異議申立の概要
　本件発明は、甲第１号証（米国特許第4,542,436号明細書）、甲第２号証（岩波書店「理化学辞典」第３版、1974年6月10日発行、第501頁「サファイア」の項参照）、甲第３号証（岩波書店「理化学辞典」第３版、1974年6月10日発行、第471頁「コランダム」の項参照）、甲第４号証（米国特許第5,024,098号明細書）、甲第５号証（スイス国特許第632,891Ｇ号明細書）、及び甲第６号証（特開平２−１４４８００号明細書）に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明に係る特許は特許法第２９条第２項の規定に違反し、取り消されるべきものである。
　
７．本件発明
　上記訂正が認容されたので、本件発明は上記４−１で認定したとおりである。
　
８．特許異議申立に対する判断
　上記４−２で述べた取消理由通知と理由及び証拠が実質上同じである。
　よって、特許異議申立に対する判断は「４．独立特許要件の適否」で検討したとおりである。
　
９．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許異議申立の理由及び証拠によっては本件発明に係る特許を取り消すことができない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年５月３０日（２０００．５．３０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
訂正事項ａ
　特許第２８５２５９３号の特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して密着接合される」の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して接合材を用いることなく密着接合される」と訂正する。
訂正事項ｂ
　特許第２８５２５９３号の特許明細書の特許請求の範囲の請求項１の「形成されたことを特徴とする静電容量式圧力センサ」の記載を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「形成され、直接接触する測定媒体の圧力を計測する静電容量式圧力センサ」と訂正する。
訂正事項ｃ
　特許第２８５２５９３号の特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号［０００９］欄の「空洞が少なくとも一方に設けられた第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して密着接合されることにより形成」の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを対向して接合材を用いることなく密着接合することにより空洞を形成し」と訂正する。
訂正事項ｄ
　特許第２８５２５９３号の特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号［０００９］欄の「形成するものである。」の記載を、明りょうでない記載の釈明を目的として、「形成し、直接接触する測定媒体の圧力を計測するものである。」と訂正する。
訂正事項ｅ
　特許第２８５２５９３号の特許明細書の発明の詳細な説明の段落番号［００１３］欄及び［００１９］欄の「表面荒さ」の記載を、誤記の訂正を目的として、「表面粗さ」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
静電容量式圧力センサ
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　２枚の平行平板電極が空洞内に対向配置されて形成された静電容量式圧力センサにおいて、
　前記空洞が少なくとも一方に窪みが設けられた第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とが対向して接合材を用いることなく密着接合されることにより形成され、直接接触する測定媒体の圧力を計測する静電容量式圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　　【産業上の利用分野】
　本発明は、被測定媒体の圧力の変化を計測する静電容量式圧力センサに係わり、特にその静電容量式圧力センサを構成するチップ構造に関するものである。
　　　【０００２】
　　【従来の技術】
　一般に静電容量式センサにおいては、センシング容量部を形成する一対の電極間に発生する寄生容量を最小に抑えるため、少なくとも一方の基板に絶縁材料を用いることが必要とされている。
　　　【０００３】
　従来、この種の静電容量式圧力センサとしては、図５に断面で示すように固定電極１を有するパイレックスからなるカバーガラス２と、表裏面に凹部を形成し表面側の凹部内に可動電極３を設けたシリコンウエハ４とをその両電極面をギャップＧを介して対向配置させ、その周辺部分を陽極接合による接合部５により接合して構成されたダイアフラム構造の静電容量式圧力センサが提案されている（特開平１−２５３６２７号）。
　　　【０００４】
　　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、前述した従来の静電容量式圧力センサは、カバーガラス２とシリコンウエハ４とが異種材料で構成されており、パイレックスとシリコンとは熱膨張率は近いが、同じではなく、また、熱膨張率の温度特性も同じでないため、接合時に残留応力が生じ、この残留応力がダイアフラムの変位量に影響を与えるという問題があった。また、この残留応力の値は、使用時に経時変化するために精度劣化を招くという問題があった。
　　　【０００５】
　また、前述した従来の静電容量式圧力センサは、カバーガラス２とシリコンウエハ４とが異種材料で構成されることから、使用時に温度変化があると、熱膨張率の差により接合部５に熱応力が生じ、この熱応力がダイアフラムの変位量に影響を与え、大きな温度特性が生じてしまうという問題があった。
　　　【０００６】
　さらに前述した従来の静電容量式圧力センサを構成するシリコンウエハ４は、弱アルカリなどで容易に腐食されるため、液体の圧力を直接計測する場合に液体の種類にかなり制限されるという問題があった。
　　　【０００７】
　したがって従来構造の静電容量式圧力センサは、そのパッケージを構成する基板材料およびその基板間接合部の残留応力に左右され、高精度でしかも信頼性の高い圧力計測に悪影響をおよぼすという問題があった。
　　　【０００８】
　したがって本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板材料および基板間接合部の残留応力などに左右されることなく、高精度で量産性に優れかつ信頼性の高い圧力計測を可能にした静電容量式圧力センサを提供することにある。
　　　【０００９】
　　【課題を解決するための手段】
　このような目的を達成するために本発明は、少なくとも一方に窪みが設けられた第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを対向して接合材を用いることなく密着接合することにより空洞を形成し、直接接触する測定媒体の圧力を計測するものである。
　　　【００１０】
　　【作用】
　本発明においては、第１のサファイア基板と、第２のサファイア基板とがシール材を不要としてサファイア同士の物理化学的な結合力により直接的に密着して接合される。
　　　【００１１】
　　【実施例】
　以下、図面を用いて本発明に実施例を詳細に説明する。
　図１は本発明による静電容量式圧力センサの一実施例による構成を示す図であり、図１（ａ）は平面図，図１（ｂ）はその断面図である。同図において、サファイア基板１１は、その表面側中央部に全体形状がほぼ正方形で断面が凹状となる深さの浅い凹部１２が形成されており、この凹部１２内の底部には導電性膜からなる第１の電極としての可動電極１３が形成されて可動ダイアフラム構造が構成されている。
　　　【００１２】
　また、この第２のサファイア基板１４は、この第１のサファイア基板１１と同一材料からなり、その表面側中央部に全体形状がほぼ正方形の導電性膜からなる第２の電極としての固定電極１５が形成されている。そして可動電極１３が形成されたサファイア基板１１と、固定電極１５が形成されたサファイア基板１４とが凹部１２を介してそれぞれ両電極形成面を対向させて配置し、その周辺部分が接合材を用いることなく、サファイア同士の直接接合により密着されて固定され、圧力センサチップ構造が構成されている。
　　　【００１３】
　この場合、サファイア基板１１とサファイア基板１４との接合部となる基板表面は、表面粗さＲａが約１０Å程度以下の平坦な鏡面を有して形成されており、サファイア基板１１と、サファイア基板１４とを室温において対向配置させて張り合わせ、２００〜１１００℃程度まで加熱することにより、サファイア同士が物理化学的な結合力によって密着され、強固に接合されることになる。
　　　【００１４】
　このような構成において、可動電極１３が形成されたサファイア基板１１が圧力に応じて変位する。したがって圧力の変化に対応して変化するサファイア基板１１の可動電極１３と、サファイア基板１４の固定電極１５との間の静電容量を測定することにより圧力の計測が行われる。
　　　【００１５】
　このような構成によると、サファイア基板１１と、サファイア基板１４とが同種の材料であり、かつ接合材を用いずに物理化学的な結合力によって密着して接合されているため、サファイア基板１１と、サファイア基板１４との接合が使用温度以上で行われた後、使用温度に冷却されても、残留応力の発生が殆どなくなる。
　　　【００１６】
　また、使用温度の変化があってもサファイア基板１１と、サファイア基板１４とが同種の材料であるため、接合に起因する圧力センサの温度特性に悪影響をおよぼさなくなる。したがって高精度でしかも信頼性の高い圧力センサを製作することができる。
　　　【００１７】
　また、サファイアは、シリコンやパイレックスと比較して優れた耐食性を持つため、シリコンやパイレックスでは使用できない液体、例えば弱アルカリ液などの圧力も直接測定が可能となる。
　　　【００１８】
　また、静電容量式圧力センサの基板部としてサファイア基板を用いたことにより、前述した効果に加えて基板接合時の位置合わせを、基板上方から肉眼または光学顕微鏡を用いて容易に行うことができ、生産性を大幅に向上させることができる。
　　　【００１９】
　また、サファイア基板１１およびサファイア基板１４は、接合材を用いずに接合可能な表面粗さの殆どないウエハの入手が比較的容易であり、容易に高精度な圧力センサを構成することが可能である。
　　　【００２０】
　図２は、本発明による静電容量式圧力センサの他の実施例による構成を示す図で図２（ａ）は平面図，図２（ｂ）はその断面図であり、前述の図と同一部分には同一符号を付してある。同図において、サファイア基板１１に形成される可動電極１３は、センシング容量部１３ａとその周辺部にレファレンス容量部１３ｂとを有して構成されている。
　　　【００２１】
　このような構成においても前述と同様な効果が得られるとともに、センシング容量部１３ａとその周辺部にレファレンス容量部１３ｂとの差により、圧力以外の外乱および雑音などが相殺され、高精度な圧力測定が可能となる。
　　　【００２２】
　次に図１で説明した静電容量式圧力センサの製造方法について説明する。
　図３は、静電容量式圧力センサの製造方法の一実施例を説明する工程の断面図である。同図において、まず、図３（ａ）に示すように少なくとも対向配置されて接合される周辺部分の表面が鏡面研磨されたサファイア基板１１を準備する。
　　　【００２３】
　次に図３（ｂ）に示すようにこのサファイア基板１１の中央部分にドライエッチング法により、凹部１２を形成する。
　　　【００２４】
　次に図３（ｃ）に示すようにサファイア基板１１の凹部１２内にＣＶＤ法，スパッタリング法または真空蒸着法などにより導電性薄膜を被着形成して可動電極１３を成膜する。
　　　【００２５】
　次に図３（ｄ）に示すように少なくとも対向配置されて接合される周辺部分の表面が鏡面研磨されたサファイア基板１４を準備する。
　　　【００２６】
　次に図３（ｅ）に示すようにこのサファイア基板１４の中央部分にＣＶＤ法，スパッタリング法または真空蒸着法などにより導電性薄膜を被着形成して固定電極１５を成膜する。
　　　【００２７】
　次に図３（ｆ）に示すように可動電極１３が形成されたサファイア基板１３と固定電極１５が形成されたサファイア基板１４とを接合材を用いずにクリーンな雰囲気中において室温付近で電極形成面を対向させて張り合わせ、２００〜１１００℃程度の高温雰囲気中で熱処理を行って接合を強固にする。
　　　【００２８】
　次に図３（ｇ）に示すようにサファイア基板１３の接合されていない表面側を研磨し、このサファイア基板１３を圧力レンジに応じた所定の厚さに研削加工して完成する。
　　　【００２９】
　なお、前述した実施例においては、サファイア基板１１およびサファイア基板１４の形状を、正方形とした場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、長方形，多角形，円形あるいは楕円形などの各種の形状に形成しても良い。
　　　【００３０】
　また、前述した実施例においては、凹部１２および可動電極１３，固定電極１５の形状を、正方形とした場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、長方形，多角形，円形あるいは楕円形などの各種の形状に形成して良いことは言うまでもない。
　　　【００３１】
　また、前述した実施例において、サファイア基板１１とサファイア基板１４との間に設けた凹部１２内には、例えば真空，空気あるいはその他の封入物を収納して用いても良い。
　　　【００３２】
　図４は、本発明による静電容量式圧力センサのさらに他の実施例による構成を示す図である。同図において、２１は第１のサファイア基板であり、この第１のサファイア基板２１の下面側には、断面が凹状となる深さの浅い凹部２２が形成されており、この凹部２２内の底面には導電性膜からなる固定電極２３が形成されている。
　　　【００３３】
　また、この第１のサファイア基板２１の溝２２の底面には固定電極２３の電極取り出し孔２１ａが外部に貫通して形成され、この電極取り出し孔２１ａの内面には固定電極２３のリード部２３ａが一体形成されるとともに第１のサファイア基板２１の上面に引き出されて固定電極取り出し端子２３ｂが形成されている。さらにこの第１のサファイア基板２１には、図４（ｂ）に下斜め方向から見た斜視図で示すように上記凹部２２が大気圧に連通する大気圧導入孔２１ｂが設けられている。
　　　【００３４】
　また、この第１のサファイア基板２１の凹部２２が形成された下面側には、この凹部２２を塞ぐように第２のサファイア基板２４が配置され、この第２のサファイア基板１４の固定電極２３と対向する上面側には可動電極２５およびこの可動電極２５の取り出し端子２５ａが形成されている。この場合、この第２のサファイア基板２４は、第１のサファイア基板２１よりも板厚を薄くして形成され、可動ダイアフラム構造が構成される。
　　　【００３５】
　また、この第２のサファイア基板２４の下面側には、図４（ｃ）に斜め上方からみた斜視図で示すように断面が凹状となる深さの浅い測定圧力印加凹部２６が形成されるとともにこの凹部２６の外気と連通する測定圧力導入孔２７ａおよび圧力印加凹部２７ｂが設けられた第３のサファイア基板２７が配置されている。また、この第３のサファイア基板２７の下面側には、測定圧力導入孔２７ａに連通する開口２８ａを設けた台座２８が配置されている。
　　　【００３６】
　そして第１のサファイア基板２１と、第２のサファイア基板２４と、第３のサファイア基板２７との各周辺接合部がサファイア同士の直接接合により密着されて固定され、容量式圧力センサチップのパッケージ構造が構成されている。
　　　【００３７】
　このような構成において、可動電極２５が形成された第２のサファイア基板２４からなる可動ダイアフラム構造が測定導入孔２７ａから導入された圧力に応じて変位する。したがって圧力の変化に対応して変化する第２のサファイア基板２４の可動電極２５と、第１のサファイア基板２１の固定電極２３との間に形成されたギャップＧの静電容量を測定することにより圧力の計測が行われる。
　　　【００３８】
　このような構成によれば、測定導入孔２７ａから導入される測定媒体は、第２のサファイア基板２４および第３のサファイア基板２７のみに接触構造となるので、各固定電極２３および可動電極２５などの腐食され易い電極材料とは接触しないため、各種の気体，液体および水蒸気などの測定媒体の圧力計測が可能となる。
　　　【００３９】
　また、このような構成によれば、可動ダイアフラム構造と、センサチップが取り付けられる例えばステンレス製金属管などの本体との接合個所が離れているため、可動ダイアフラム構造が受けるセンサチップと、本体との接合個所に発生する残留応力の影響が小さくなるので、残留応力に起因する誤差の影響が極めて少なくなる。
　　　【００４０】
　　【発明の効果】
　以上、説明したように本発明によれば、第１のサファイア基板および第２のサファイア基板の同一材料で圧力センサチップ構造を構成したことにより、製作時に接合部に生じる残留応力および使用時に生じる熱応力に起因する誤差が発生し難くなる。
　また、第１のサファイア基板と第２のサファイア基板とを接合材を介さずにサファイア基板同士を接合したことにより、サブミクロンのギャップのコントロールが可能となるので、容量式圧力センサに適用した場合に第１のサファイア基板と第２のサファイア基板との対向間に制御性の極めて良い計測コンデンサギャップ間隔が得られる。
　したがって高精度で信頼性の高い圧力計測が可能となるなどの極めて優れた効果が得られる。
　また、静電容量式圧力センサチップのパッケージ構造を第１のサファイア基板および第２のサファイア基板の同一材料で構成したことにより、これらのサファイア基板は極めて高い耐食性を有していることから、各種の気体，液体および水蒸気などの測定媒体に直接接触させることが可能となるので、従来、センサチップの表面をシリコンオイルで覆っていた封入液を使用せずに全ての測定媒体の圧力を計測できる圧力センサが得られる。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　本発明による静電容量式圧力センサの一実施例による構成を示す図である。
　　【図２】
　本発明による静電容量式圧力センサの他の実施例による構成を示す図である。
　　【図３】
　図１に示す静電容量式圧力センサの製造方法の一例を説明する工程の断面図である。
　　【図４】
　本発明による静電容量式圧力センサのさらに他の実施例による構成を示す図である。
　　【図５】
　従来の静電容量式圧力センサの構成を示す断面図である。
　　【符号の説明】
　　１１　　サファイア基板
　　１２　　凹部
　　１３　　可動電極
　１３ａ　　センシング容量部
　１３ｂ　　レファレンス容量部
　　１４　　サファイア基板
　　１５　　固定電極
　　２１　　第１のサファイア基板
　　２１ａ　電極取り出し孔
　　２１ｂ　大気圧導入孔
　　２２　　凹部　　２３　　固定電極
　　２３ａ　リード音Ｂ
　　２３ｂ　固定電極取り出し端子
　　２４　　第２のサファイア基板
　　２５　　可動電極
　　２５ａ　可動電極取り出し孔
　　２６　　測定圧力印加凹部
　　２７　　第３のサファイア基板
　　２７ａ　測定圧力導入孔
　　２７ｂ　圧力印加凹部
　　２８　　台座
　　２８ａ　開口
　　３１　　第１のサファイア基板
　　３２　　凹部
　　３３　　第２のサファイア基板
　　３３ａ　大気圧導入孔
　　３３ｂ　電極取り出し端子
　　３４　　歪ゲージ
　　３５　　台座