【事件の表示】
　特許第２８２８４２９号「化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置」の請求項１乃至請求項６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８２８４２９号の請求項１乃至請求項４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
  特許第２８２８４２９号の発明についての出願は、平成８年７月２５日に特許出願され、平成１０年９月１８日にその発明について特許の設定登録がされた後、異議申立人・安藤純男により特許異議の申立があったので、取消理由が通知され、その指定期間（３ヶ月の指定期間延長請求あり）内である平成１２年３月３日に意見書の提出とともに訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否について
（１）訂正の目的の適否、新規事項の有無、拡張・変更の存否
  特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
（訂正事項ａ）特許請求の範囲の請求項１において
  「室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてな る」とあるのを、「 室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてなり、なおかつ、前記ダンパによって分流され、ウエーハに直接導かれた前記清浄空気流の一部は、ボート又はウエーハに存在する不純物を乗せてこれを除去した後、室内の反対側に設けた前記排出口から排出され、かつ、前記ダンパを介さずにフィルターから室内へ供給された前記清浄空気流は、室内の他の部分に存在する不純物を乗せた後すぐ排出口へ排出され、不純物を乗せた清浄空気流によってウェーハを再汚染することがないように成された空気流案内装置であって、前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられている」と訂正する。
（訂正事項ｂ）特許請求の範囲の請求項３から６までにおいて、もとの請求項３、４を削除し、以下項数を繰り上げ「３、４」と訂正する。
  前記訂正事項ａについて：訂正明細書の請求項１は、訂正前の特許明細書の請求項１に請求項３及び４に記載された技術的事項を付加することで特許請求の範囲の減縮を目的としたものである。この訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、この訂正により実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
  前記訂正事項ｂについて：前記訂正事項ａにより不要となる訂正前の請求項３、４を削除し、項数を整理したものである。訂正明細書の請求項３，４は訂正明細書の請求項１を引用した従属形式であり、前述のとおり請求項１は特許請求の範囲の減縮に相当するものであるから、これを引用した請求項３、４も特許請求の範囲の減縮に相当するものである。
この訂正は、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、この訂正により実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　なお、訂正明細書の請求項２についても、訂正明細書の請求項１を引用した従属形式となっているほかは、訂正前の請求項２のままであるから、前述と同様に特許請求の範囲の減縮に相当するものであり、願書に添付した明細書又は図面に記載した事項の範囲内の訂正であり、この訂正により実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
（２）独立特許要件
訂正明細書の請求項１〜４に係る発明
【請求項１】　化学気相蒸着を行う反応室にボートを介してローディングされるウエーハの清浄維持のため、
　ボートにウエーハを載せるウェーハローディング室の内部へ清浄空気流を供給する送風部が、前記清浄空気流を濾過して室内へ供給するフィルターと、前記フィルターに設置され、前記清浄空気流の一部を直接ボート内のウエーハに導くよう前記清浄空気流の流れを一定方向に案内する複数個のダンパとを具備し、かつ、
　室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてなり、なおかつ、
　前記ダンパによって分流され、ウエーハに直接導かれた前記清浄空気流の一部は、ボート又はウエーハに存在する不純物を乗せてこれを除去した後、室内の反対側に設けた前記排出口から排出され、かつ、前記ダンパを介さずにフィルターから室内へ供給された前記清浄空気流は、室内の他の部分に存在する不純物を乗せた後すぐ排出口へ排出され、不純物を乗せた清浄空気流によってウェーハを再汚染することがないように成された空気流案内装置であって、
　前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられている、化学気相蒸着設備のウエーハローデイング室の空気流案内装置。
【請求項２】　前記複数個のダンパは、前記フィルターの前記ボート側の一部に部分的に設けられている、請求項１に記載の空気流案内装置。
【請求項３】　前記複数個のダンパの各々の長さは、前記ボートに近く位置するダンパほど長くして、空気流の一部をボートが位置する方に方向づけて、前記ウエーハローディング室の内部に空気渦流が生じるのを防ぐようにした、請求項１又は２に記載の空気流案内装置。
【請求項４】　前記フィルターを介して室内へ送り込まれる前記清浄空気流の流速が０．２〜０．４ｍ／ｓの範囲内にある、請求項１乃至３に記載の空気流案内装置。 
 訂正明細書の請求項１に係る発明と取消理由で引用した刊行物１〜３に記載された発明とを対比すると、いずれの刊行物にも訂正明細書の請求項１に係る発明を特定するための事項である、化学気相蒸着設備のウエーハローデイング室の空気流案内装置において、「前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられている」という構成については記載されていない。
そして、当該構成を有することにより、訂正明細書の請求項１に係る発明は、訂正明細書に記載の作用・効果を奏するものであるから、訂正明細書の請求項１に係る発明は前記刊行物１〜３に記載の発明から当業者が容易に想到することができたものではない。
  また、訂正明細書の請求項２〜４は請求項１を引用した従属形式で記載されたものであるから、請求項１に係る発明が前述のとおり特許要件を有するものである以上、請求項２〜４に係る発明も特許要件を有するものである。
  したがって、前記訂正事項ａ及びｂによる訂正後の特許請求の範囲の請求項１〜４に係る発明は、特許出願の際、独立して特許を受けることができないものとはいえない。
（３）むすび
  以上のとおりであるから、前記訂正事項ａ、ｂの訂正は、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第２項の規定及び同条第３項において準用する特許法第１２６条第２項から第４項までの規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
  （本件発明）
　本件特許の請求項１〜４に係る発明は、前記２．（２）の特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項によって特定されるとおりのものである。
　（異議申立の理由の概要）
  異議申立人・安藤純男は、証拠として、甲第１号証（特開昭６１−５５９１４号公報）、
甲第２号証（特開平４−４８９１３号公報）、甲第３号証（特開平５−７４７２６号公報）、甲第４号証（特開平８−２８９１９号公報）及び 甲第５号証（特開平７−９１７２５号公報）を提出し、訂正前の請求項１〜６に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものであり、本件発明についての特許を取り消すべき旨主張している。
（異議申立人が提出した甲号証記載の発明）
  当審が通知した取消理由に引用した異議申立の証拠である刊行物１（特開平５−７４７２６号公報）には、化学気相蒸着を行う反応室にボートを介してローディングされるウエーハの清浄維持のため、ボートにウエーハを載せるウェーハローディング室の内部へ清浄空気流を供給する送風部が、前記清浄空気流を濾過して室内へ供給するフィルターを具備し、
室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口を設けてなる化学気相蒸着設備のウエーハローデイング室の空気流案内装置に関するものが、刊行物２（特開平４−４８９１３号公報）には、クリーンルームへ清浄空気流を供給する送風部が、前記清浄空気流を濾過して室内へ供給するフィルターと、前記フィルターに設置され、前記清浄空気流の一部をクリーンルーム内の背の高い装置に導くよう前記清浄空気流の流れを一定方向に案内する複数個のダンパとを具備し、かつ、室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口を設けてなるクリーンルームの空気流案内装置に関するものが、また、刊行物３（　特開平８−２８９１９号公報）には、化学気相蒸着を行う反応室にボートを介してローディングされるウエーハの清浄維持のため、ボートにウエーハを載せるウェーハローディング室の内部へ清浄空気流を供給する送風部が、前記清浄空気流を濾過して室内へ供給するフィルターを具備し、室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口を設けてなり、かつ、ウエーハに導かれた前記清浄空気流は、ボート又はウエーハに存在する不純物を乗せてこれを除去した後、不純物を乗せた清浄空気流によってウェーハを再汚染することがないようにされた化学気相蒸着設備のウエーハローデイング室の空気流案内装置に関するものが記載されている。
（対比・判断）
  まず、本件特許の請求項１に係る発明と前記刊行物１〜３に記載された発明とをそれぞれ対比すると、いずれの刊行物にも本件特許の請求項１に係る発明を特定するための事項である、化学気相蒸着設備のウエーハローデイング室の空気流案内装置において、「前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられている」という構成については記載されていない。
  また、かかる構成は、異議申立人の提出したほかの証拠にも記載されていない。
  次に、本件特許の請求項２〜４に係る発明は、それぞれ、請求項１に記載の空気流案内装置において、更に、「前記複数個のダンパは、前記フィルターの前記ボート側の一部に部分的に設けられている」ことを、「前記複数個のダンパの各々の長さは、前記ボートに近く位置するダンパほど長くして、空気流の一部をボートが位置する方に方向づけて、前記ウエーハローディング室の内部に空気渦流が生じるのを防ぐようにした」ことを、「　前記フィルターを介して室内へ送り込まれる前記清浄空気流の流速が０．２〜０．４ｍ／ｓの範囲内にある」ことを技術的に限定したものであり、前述のとおり請求項１に係る発明が特許要件を有するものでる以上、前記請求項２〜４に係る発明も特許要件を有するものである。
　よって、本件特許の請求項１〜４に係る発明は、異議申立人が提出した甲第１〜５号証に記載された発明から当業者が容易に想到することができたものではない。
  そして、前記各構成を有することにより、本件特許の請求項１〜４に係る発明は、明細書に記載の作用・効果を奏するものである。
（むすび）
　以上のとおりであるから、特許異議申立人が主張する理由及び証拠によっては、本件特許の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件特許の請求項１〜４に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
  よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年５月２９日（２０００．５．２９）
【訂正の要旨】
　本件特許異議申立に係る訂正請求における訂正の要旨は、次のとおりである。
（訂正事項ａ）特許請求の範囲の請求項１において
「室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてなる」とあるのを、特許請求の範囲の減縮を目的「室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてなり、なおかつ、前記ダンパによって分流され、ウェーハに直接導かれた前記清浄空気流の一部は、ボート又はウェーハに存在する不純物を乗せてこれを除去した後、室内の反対側に設けた前記排出口から排出され、かつ、前記ダンパを介さずにフィルターから室内へ供給された前記清浄空気流は、室内の他の部分に存在する不純物を乗せた後すぐ排出口へ排出され、不純物を乗せた清浄空気流によってウェーハを再汚染することがないように成された空気流案内装置であって、前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられる」と訂正する。
　（訂正事項ｂ）特許請求の範囲の請求項３から６までにおいて、特許請求の減縮を目的として、もとの請求項３、４を削除し、以下項数を繰り上げ「３、４」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置
（５７）【特許請求の範囲】
　　【請求項１】　化学気相蒸着を行う反応室にボートを介してローディングされるウェーハの清浄維持のため、
　ボートにウェーハを載せるウェーハローディング室の内部へ清浄空気流を供給する送風部が、前記清浄空気流を濾過して室内へ供給するフィルターと、前記フィルターに設置され、前記清浄空気流の一部を直接ボート内のウェーハに導くよう前記清浄空気流の流れを一定方向に案内する複数個のダンパとを具備し、かつ、
　室内の前記フィルターと反対側に前記清浄空気流を排出する排出口をさらに設けてなり、なおかつ、
　前記ダンパによって分流され、ウェーハに直接導かれた前記清浄空気流の一部は、ボート又はウェーハに存在する不純物を乗せてこれを除去した後、室内の反対側に設けた前記排出口から排出され、かつ、前記ダンパを介さずにフィルターから室内へ供給された前記清浄空気流は、室内の他の部分に存在する不純物を乗せた後すぐ排出口へ排出され、不純物を乗せた清浄空気流によってウェーハを再汚染することがないように成された空気流案内装置であって、
　前記複数個のダンパのうちの両端の各ダンパは、各々が前記ボートの両側部に外接する方向に向いているよう調整して設けられ、かつ、他のダンパは、前記両端のダンパの前記指向方向の範囲内で、ダンパの配列順序に従い、各々が、一定の比率で変化していく指向方向を有するように調整して設けられている、化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置。
　　【請求項２】　前記複数個のダンパは、前記フィルターの前記ボート側の一部に部分的に設けられている、請求項１に記載の空気流案内装置。
　　【請求項３】　前記複数個のダンパの各々の長さは、前記ボートに近く位置するダンパほど長くして、空気流の一部をボートが位置する方に方向づけて、前記ウェーハローディング室の内部に空気渦流が生じるのを防ぐようにした、請求項１又は２に記載の空気流案内装置。
　　【請求項４】　前記フィルターを介して室内へ送り込まれる前記清浄空気流の流速が０．２〜０．４ｍ／ｓの範囲内にある、請求項１乃至３に記載の空気流案内装置。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置に関し、特に、低圧化学気相蒸着工程の前後において、ウェーハを載せたボート側に高清浄の空気を送風するため改良を加えた空気流入ユニットを有する、化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置に関する。
　　　【０００２】　　　
　【従来の技術】
　通常、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び集積回路ＩＣ等を半導体チップとして実現するためにウェーハ（ｗａｆｅｒ）が用いられる。ウェーハは、酸化、拡散、蒸着、エッチング及びパッゲージング（ｐａｃｋａｇｉｎｇ）などの工程を経た後、所望の容量を有するＲＯＭ、ＲＡＭ、特定回路を内蔵した集積回路などの半導体チップとして完成する。
　　　【０００３】
　前述した工程においてウェーハ上に微細薄膜を蒸着するためによく用いられる技術として、化学気相蒸着（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：以下、ＣＶＤという）法がある。ＣＶＤは、常圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）及びプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）に大別することができる。低圧ＣＶＤは、ＭＯ　Ｓ集積回路や各種のトランジスタや電荷結合素子（ＣＣＤ：Ｃｈａｒｇｅ　Ｃｏｕｐｌｅｄ　Ｄｅｖｉｃｅ）等を製造するためによく用いられている。特に低圧ＣＶＤは、同一ウェーハ内、及びウェーハ間における薄膜の厚さ及び抵抗の均一性において優れており、低温低圧プロセスのため反応炉とウェーハからのオートドーピングを抑えることができ、多量のウェーハを同時に処理することができて経済的であり、また、低温プロセスのためウェーハ中に予め形成された不純物分布を維持することができる。
　　　【０００４】
　このような理由から、ウェーハ上に窒化膜や酸化膜などを形成するために低圧ＣＶＤが用いられており、低圧ＣＶＤを行う設備は大きく反応室とウェーハローディング室に分けられる。
　　　【０００５】
　反応室は、内部が特定温度及び条件の雰囲気に設定されていて、ボート（Ｂｏａｔ）に載せられローディング（ｌｏａｄｍｇ）されたウェーハに薄膜を形成する装置である。ウェーハローディング室は、ウェーハをボートに載せて待機させた後、薄膜蒸着を行うために反応室にローディングしたり、工程を終えて薄膜を蒸着したウェーハをボートに載せてアンローディングする装置である。
　　　【０００６】
　さらにこれらに付随して、この工程で使用するＳｉＨ４、Ｎ２Ｏ、ＰＨ３及びＮ２等のガスを反応室に供給するためのガス供給設備と、ボートに載せた工程前後のウェーハが、パーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）として周囲に存在する不純物から汚染を受けないよう、清浄な空気をウェーハローディング室へ送風させ、排気させるための空調設備が設けられている。
　　　【０００７】
　垂直型低圧ＣＶＤ設備の場合には、通常、反応室の下部にウェーハローディング室が設けられている。反応室へは蒸着に用いるガスを注入できるようになっており、ウェーハローディング室へは、パーティクル等の不純物によるウェーハの汚染を防ぐため、エアシャワーのための清浄な空気を供給及び排気できるようになっている。
　　　【０００８】
　図６（Ａ）は、このような垂直型低圧ＣＶＤ設備のウェーハローディング室の平面図であり、図６（Ｂ）はその側面図である。
　　　【０００９】
　ウェーハローディング室１０の内部には、ロット（ｌｏｔ）単位別にキャリヤ（ｃａｒｒｉｅｒ）に載せて搬送されたウェーハをボート１２へ移したり、ボート１２に載せたウェーハを後続設備に移送するためにキャリヤへ移すためのロボット（図示せず）が配置されている。また、多数のウェーハを一度に反応室内部にローディングして蒸着させるように昇降動作を行うボート１２が配置されている。さらに、室内の一壁には、外部に設置した空気送風空調装置（図示せず）の送風用ファン（図示せず）の回転によって取り込まれる空気を濾過するため、フィルター１４が設けられており、その反対側の壁には、内部の空気を外部に設置した空気排出空調装置（図示せず）へ排出するため、複数個の排出口１６が設けられている。
　　　【００１０】
　　【発明が解決しようとする課題】
　図６（Ａ）及び図６（Ｂ）のように構成された従来の垂直型低圧ＣＶＤ設備において、ウェーハ上の不純物除去を効果的に行うためには、ウェーハローディング室１０の内部ヘファンの回転によって、０．２〜０．４ｍ／ｓ程の速度で高清浄の空気を供給しなければならない。
　　　【００１１】
　しかし、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）のように構成された従来の垂直型低圧ＣＶＤ設備では、ウェーハローディング室１０の内部容量に比べてフィルター１４の面積が小さく、また、流入する空気がボート１２に直接送風されるようにボート１２の位置が設計されてはいない。このため、フィルター１４から取入れ、流入してきた空気はボート１２に載せたウェーハにすぐ進まず、図６（Ａ）に示した矢印のように気流が形成される。従って、ロボットのような他の部分に存在するパーティクルが気流に乗ってウェーハを汚染する可能性がある。
　　　【００１２】
　特に、排気のための排出口１６の位置が適正に設定されていないためボート１２の付近で渦流が形成され、このような渦流によって円滑な不純物の排出が困難となる。このため、従来においては、ウェーハローディング室１０内のパーティクルを測定すると、単位面積当たり約１００〜３００個程度のパーティクルが検出され、これによってウェーハが汚染されるという問題点があった。
　　　【００１３】
　また、渦流はフィルター１４を介して流入する気流の進行にも影響を及ぼす。すなわち、ウェーハ上の不純物の除去に一番大きな影響のあるボート１２が位置する側に、渦流に起因して気流の流速が約０〜０．２ｍ／ｓ程度に激減する死点（ｄｅａｄ　ｐｏｍｔ）１８ができる。死点１８を通過して流入する空気はウェーハ及びボートの清浄に全く寄与しないという問題点もあった。
　　　【００１４】
　前述した問題点を解決するためには、フィルター１４の面積及び位置を根本的に改善しなければならない。しかし、半導体製造設備は高価であって、予めセットアップされた設備を構造変更したり、取り替えたりすると、高額な費用負担が発生するため、構造変更や取り替えが難しいという問題点があった。また、設備のレイアウト変更は、各設備間の構造上の関係から難しいという問題もあった。
　　　【００１５】
　本発明の目的は、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室内に配置した、ボートに載せたウェーハが、室内の他の部分から発生する不純物から汚染を受けないようにした、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室の空気流案内装置を提供することにある。
　　　【００１６】
　本発明の他の目的は、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室内に配置した、ボートに載せたウェーハが、送り込まれた清浄な空気により直接にエアシャワーを受けて、ウェーハ上の不純物を効果的に除去することのできる、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室の空気流案内装置を提供することにある。
　　　【００１７】
　本発明のさらに他の目的は、渦流を発生させず、流入する空気が各々の場所を適切な流速で流れるように室内における気流を案内することのできる、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室の空気流案内装置を提供することにある。
　　　【００１８】
　　【課題を解決するための手段】
　本発明による化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の空気流案内装置は、化学気相蒸着のためボートを介して反応室にローディングされるウェーハの清浄度維持のために、ウェーハローディング室の内部に清浄な空気流を供給する送風部の内壁に、空気の流れを一定の方向に案内するための案内手段が設けられてなる。
　　　【００１９】
　案内手段は複数個のダンパから構成することができる。複数個のダンパは、室内へ送風する空気を濾過して流入させるために設置されたフィルターに設け、さらに、なるべくフィルターのボート側の一部領域に部分的に設けるのが望ましい。この場合、気流が案内されて空気の室内への流入が円滑に行われ、ボートに載せた化学気相蒸着プロセス前後のウェーハは、ウェーハローディング室内の他の部分に存在するパーティクルのような不純物に汚染されず、ウェーハの位置するボート部分の清浄度は著しく向上する。
　　　【００２０】
　また、フィルターからの清浄な空気流が直接ウェーハに供給されて、ウェーハがエアシャワーを受け、ウェーハ上の不純物が気流によって除去されるので、ウェーハの不純物汚染度を著しく低減することができ、このためウェーハの歩留まりが向上する。
　　　【００２１】
　　【発明の実施の形態】
　本発明の一実施例について、以下に図面を参照しながら説明する。
　　　【００２２】
　図１に示したように、本発明の空気流案内装置は、反応室２０の下部に位置したウェーハローディング室２２のフィルター２４にダンパ２６が複数個設けてなり、ダンパ２６は、フィルター２４を通過する空気流の一部をボート２８側に案内するように構成されている。
　　　【００２３】
　図１に示したフィルター２４に設けたダンパ２６は、図２において、代表的な結合方法の一つであるボルトによって結合させたものを示したが、不純物の発生を最小限に抑えることのできる結合方法であれば、他の結合方法によったものでもよい。ダンパ２６は、フィルター２４のボート２８が位置する側の一部に複数個設けている。
　　　【００２４】
　各ダンパ２６は、気流をボート２８側に案内するように、図３に示すように長さと案内角を調節して結合されている。すなわち、ボート２８に対する案内角は、θ１＞θ２＞θ３＞θ４＞θ５となるように調節されており、長さはこれと反対に、ボート２８に近いダンパ２６ほど長く構成されている。図４に示したように、案内角は、ダンパ２６がロボット３０を避けて気流を正確にボート２８に案内しうる範囲内で、調整することができる。望ましくは、両端のダンパ２６が指向する方向が、ボート２８の円周に外接するように案内角を設定するのが最も適切である。
　　　【００２５】
　前述した図１乃至図４のような構成によって、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示したように、フィルター２４から排出口３２への気流が形成される。従って、低圧ＣＶＤを行うウェーハや、低圧工程を行うウェーハがボート２８に載った状で各ウェーハ上の不純物を除去し、空気に乗せて排出するために、空気を空気送風空調装置からフィルター２４を介して流入させると、ダンパ２６によって案内されていない空気は、自由気流を形成して、ロボット３０などの部分に存在する不純物を乗せ、排出口３２から排出される。一方、ダンパ２６によって案内される空気は、この案内によって、ボート２８を経て排出口３２から排出される。このように、フィルター２４を介して供給された高清浄の空気が直接にボート２８やウェーハに案内されるので、ボートまたはウェーハに存在する不純物が気流に乗って、空気とともに除去され排出される。
　　　【００２６】
　また、図５（Ａ）に示すように、本発明による場合には流速を減少させる渦流発生しないので、ファンの回転によって送り込まれる空気の流速を、０．２〜０．４ｍ／ｓ程度に維持することができる。
　　　【００２７】
　本発明による空気流案内装置を備えたウェーハローディング室において、よくいられているパーティクル測定装置の一つであるメトーワン・パーティクルカウンタ２１００（Ｍｅｔ−Ｏｎｅ　Ｐａｒｔｉｃｌｅ　Ｃｏｕｎｔｅｒ２１００）機種を用いて、直径約０．１μｍ以上のパーティクルを対象としてパーティクル数を測定したところ、表１のような結果が得られた。
　　　【００２８】
　表１に示した数値は、１ｆｔ３の空気中に含まれる０．１μｍ以上のパーティクルの数を表している。測定は、ウェーハローディング室の上部（１）、中部（２）及び下部（３）において、また、ボート２８の中央と（Ｃ）、左側（Ｌ）、及び右側（Ｒ）の合計９箇所で行い、それぞれの場所において一定の時間をおいて、本発明による同一条件下で４回同じ測定を行った。
　　　【００２９】
　表１からわかるように、改善前に相当な数で存在していたパーティクルは、本発明によった場合、全ての位置において平均して０〜２個程度の水準に激減した。
　　　【００３０】
　つまり、前記の実施例において、ダンパ２６によって空気の気流がボート２８に案内されたことの結果として、他の部分に存在していたパーティクルはボート２８に載ったウェーハを汚染せずにすぐに排出口３２へ排出される。また、ウェーハ上に存在していた不純物は、案内されて流入してきた空気に乗って効果的に排出されるのである。
　　　【００３１】
　【表１】
　　　【００３２】
　　【発明の効果】
　本発明によれば、気流の案内手段によって、ＣＶＤ設備のウェーハローディング室内への空気の流入が円滑に行われ、案内を受けて流入する空気が不純物を乗せて効率よく室外へ排出される。導入された空気流がウェーハに直接供給され、また、室内の他の部分に存在していた不純物が空気流に乗ってウェーハが汚染されることもなく、渦流の形成もなくて、室内各部の空気の流速が適正水準に維持される。このため、室内のパーティクル数が表１に示すように激減し、ウェーハが汚染されることなく、歩留まりも向上する。さらに、本発明は、既存のセットアップ済みの設備に容易に適用できるといった利点も有している。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明による空気流案内装置を備えたウェーハローディング室を示す模式図である。
　【図２】
　図１の空気流案内装置を拡大して示す斜視図である。
　【図３】
　図２のＩＩＩ−ＩＩＩの部分断面図である。
　【図４】
　ウェーハローディング室内のダンパとボートとの位置関係を示す配置図である。
　【図５】
　図５（Ａ）は、本発明による空気流案内装置を備えたウェーハローディング室の平面図であり、図５（Ｂ）はその側面図である。
　【図６】
　図６（Ａ）は、従来の化学気相蒸着設備のウェーハローディング室の平面図であり、図６（Ｂ）はその側面図である。
　【符号の説明】
　２０　反応室
　２２　ウェーハローディング室
　２４　フィルター
　２６　ダンパ
　２８　ボート
　３２　排出口