【事件の表示】
　特許第２８６７６０２号「プレートの接合方法およびインクジェットヘッドの製造方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８６７６０２号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
［１］手続きの経緯
　本件特許第２８６７６０２号発明は、平成２年５月８日に特許出願され、平成１０年１２月２５日にその特許の設定登録がなされ、その後、山口雅行より請求項１乃至５に係る発明について特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年４月４日に訂正請求がなされたものである。
［２］訂正の適否についての判断
１．訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲を次に訂正する。
「【請求項１】　ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、
　前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとべースプレートとを接合する第３の工程と、
　からなるプレートの接合方法。
　【請求項２】　ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとべースプレートとを接合する第３の工程と、
　からなるインクジェットヘッドの製造方法。」
（２）訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項を次に訂正する。
「本発明は、ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとべースプレートとを接合する第３の工程と、からなるプレートの接合方法である。
　また、ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとべースプレートとを接合する第３の工程と、からなるインクジェットヘッドの製造方法である。」
２．訂正の目的、新規事項禁止、拡張変更禁止の各要件の判断
（１）訂正事項ａ
　本訂正は、接合材料が形成されたプレートと他方のプレートを接合した後に光エネルギーを照射する工程を採る請求項２，３，５を削除し、光エネルギーを照射した後に接合材料が形成されたプレートと他方のプレートを接合する工程を採る請求項１，４を新たな請求項１，２とし、この新たな請求項１，２について、願書に添付した明細書に記載した事項（特に、実施例１に係る記載参照。）の範囲内で、接合される２つのプレートが予めノズルが形成されたノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートであること、ノズルが位置すべき領域の接合材料の層を除去すること、及び接合材料の層が除去されてからノズルプレートとベースプレートを接合することを明確にするものであり、実質的な拡張変更もないため、特許請求の範囲の減縮と明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、上記各要件を満たすものである。
（２）訂正事項ｂ
　本訂正は、訂正事項ａに伴う訂正であり、上記各要件を満たすものである。
３．独立特許要件の判断と訂正の適否のまとめ
　以下に述べるように、訂正後の発明は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることはできないことから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号。以下「平成６年改正法」という。）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成１１年改正前の特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項乃至第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
［３］異議申立についての判断
１．本件請求項１，２に係る発明
　本件請求項１，２に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１，２に記載された事項により特定されるとおりのものである（上記訂正事項ａ参照。以下、「本件発明１」、「本件発明２」という。）。
２．異議申立ての証拠とその記載事項
　これに対し、異議申立人は、本件各請求項に係る発明は特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができない旨主張し、証拠として甲第１，２号証を提出している（当審が通知した取消理由は、申立人が提出した証拠と主張理由をそのまま採用したものである。）。
　甲第１、２号証（以下、「先願１」、「先願２」という。）とそれぞれの願書に最初に添付した明細書又は図面（以下、「先願明細書１」、「先願明細書２」という。）の記載事項は次のとおりである。
（１）先願１：特願平１−７４０９号（平成１年１月１３日出願、平成２年７月２３日公開（特開平２−１８７３４５号））
　「最近・・・エキシマレーザー光によるオリフィス加工は、オリフィスプレートとなる樹脂フィルムをインク液路に連通する開口が配された開口面に接合した後、エキシマレーザー光を照射することによって行っていた。この様子を第９図に示す。・・・詳細を第１０図および第１１図に示す。・・・７は・・天板、８は・・・基板、・・・１０は・・・オリフィスプレート、１１は・・・オリフィスである。・・・１３は・・・粘着剤・・・である。・・・従来の・・・加工では、オリフィスの形状は吐出口方向側が広がったテーパ状となる。」（公開公報２頁右上欄９行〜右下欄２行）、「第１図は本発明の一実施例に係るインクジェット記録ヘッドを示し、・・・第２図は、樹脂フィルム製のオリフィスプレートにエキシマレーザー光によってオリフィス加工を行う様子を示したものであり、・・・第３図は第２図に示すオリフィスプレート部材１６を拡大した断面図であり、図において、１２はオリフィスプレートをなすＰＥＳフィルム、１３は・・・粘着層、１７はマイラーである。・・・レーザービーム２の照射によって・・・ＰＥＳフィルム１２・・・に・・・オリフィスが・・・形成される。・・・マイラー１７を剥離して得たオリフィスプレート１２をインク液路の開口面に接合して・・・完成させる。第４図はこのようにして得た・・・断面図である。・・・オリフィスの形状は吐出方向とは逆の方向に広がるテーパ状になる。」（同３頁右上欄４行〜４頁左上欄２行）、「次に、オリフィスプレートの材料としてドライフィルム・・・を用いた実施例を、第５図〜第７図を参照して説明する。・・・１８はオリフィスプレートをなすドライフィルム、１９は・・・保護フィルム、２０はマイラーである。・・・レーザービーム２を照射した後、保護フィルム１９を剥離して得たドライフィルムのオリフィスプレートをインク液路の開口面に接合する・・・次に、マイラーを剥離・・・インク吐出方向とは逆方向にオリフィスのテーパが広がる形状が得られる。」（同４頁左上欄６行〜右上欄６行）、及び、第１〜４図に第１実施例、第５〜７図に第２実施例、第９〜１１図に従来例、等が記載されている。
　これらの記載によれば、オリフィスを有しないオリフィスプレートに粘着層を形成し、次に、エキシマレーザー光の照射によってオリフィスを形成し、その後、インク液路を構成する部材のインク液路の開口面に接合する工程からなる発明が記載されているものと認められる。
　また、従来例として、オリフィスを有しないオリフィスプレートを粘着剤を介してインク液路を構成する部材のインク液路の開口面に接合した後、エキシマレーザー光の照射によってオリフィスを形成していたことが記載されている。
（２）先願２：特願平１−７４０３号（平成１年１月１３日出願、平成２年７月２３日公開（特開平２−１８７３４２号））
　「レーザ光を用いた加工は、微細加工に適しているため、オリフィスの加工にも用いられている。ところが、微小なオリフィスのあいたオリフィスプレートと、これに対応したインク液路を接合することは極めて難しく・・・また、接合に際してなんらかの接着剤を用いるが、位置ずれにより接合時にその接着でインク液路を防いでしまうこともあった。このため、最近ではオリフィスプレートの材料としての樹脂フィルムをヘッドに接合した後に、レーザー光によってオリフィス加工をする方法がとられるようになった。・・・しかしながら、従来の単一のフィルムにレーザー加工を施す場合は、第９図に示されるように吐出口側からインク液路に行くほど径が小さくなるテーパ形状になってしまうという問題点があった。」（公開公報２頁右上欄１５行〜左下欄末行）、「第２図は本発明の一実施例・・・４０ａは２種の材料からなるオリフィスプレートの一方のプレートであり、４０ｂはもう一方のオリフィスプレートである。・・・ＰＩフィルム４０ａとドライフィルム４０ｂを接合してからインク液路の開口面に接合したが・・・４０ｂを開口面に接合した後に・・・４０ａを接合しても良い。・・・次に、オリフィスプレートを接合した記録ヘッド本体にレーザー光によってオリフィスを加工する。・・・このとき、フィルムの材質により除去される範囲が変化するため・・・第２図に示すように先端に向うほど径が小さくなる」（同３頁右上欄末行〜右下欄１０行）、「第５図および第６図は本発明の他の実施例に関し・・・オリフィスプレート４０ｂの材料は第２図と同様のドライフィルムを用いる。・・・オリフィスと形成した金属材４０ａ’をインク液路の開口と位置合わせしながら接合する。・・・次に・・・エキシマレーザー光を照射してオリフィスを加工する。・・・マスクを兼ねたＳＵＳ材４０ａ’がそのままオリフィスプレートとなる」（同３頁右下欄１３行〜４頁左上欄５行）、「さらに他の実施例・・・オリフィスプレート４０ｂの材料は上述の実施例と同じであり、オリフィスプレート４０ａの材料として撥水性を有した・・・フィルムを用いる。予めこのフィルム４０ａをプレート４０ｂと接合し、次に、インク液路の開口面に接合する。しかる後、エキシマレーザー光にて、オリフィスを加工する。」（同４頁左上欄８〜１５行）、及び、第１〜４図に第１実施例、第５〜６図に第２実施例（他の実施例）、第８〜９図に従来例、等が記載されている。
　これらの記載によれば、オリフィスを有しない２つのプレートからなるオリフィスプレート又はオリフィスを有する外側のプレートとオリフィスを有しない内側のプレートとからなるオリフィスプレートをインク液路を構成する部材のインク液路の開口面に接合し、次に、エキシマレーザー光の照射によってオリフィスを形成する工程からなる発明が記載されているものと認められる。
　また、従来例として、オリフィスを有しない１つのオリフィスプレートをインク液路を構成する部材のインク液路の開口面に接合した後、レーザー光の照射によってオリフィスを形成する最近の方法が採られる以前には、レーザー光の照射によってオリフィスを形成したオリフィスプレートをインク液路を構成する部材のインク液路の開口面に接着剤を用いて接合していたことが記載されている。
３．対比・判断
（１）本件発明１（前者）と先願明細書１記載の発明（後者）とを対比するに、後者の、オリフィス、オリフィスプレート、粘着層、エキシマレーザー光の照射、インク液路を構成する部材は、それぞれ、前者の、ノズル、ノズルプレート、接合材料の層、光エネルギーを照射、インク流路が形成されたベースプレートに相当するから、両者は、ノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、前記ノズルプレートに接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとべースプレートとを接合する第３の工程と、からなるプレートの接合方法において一致し、次の点で相違する。
　相違点：前者が、予めノズルを有するノズルプレートを用いるのに対し、後者は、上記光エネルギーを照射したときに接合材料の層への開口と同時にノズルを形成する点。
　相違点について検討するに、後者は、上記光エネルギーの照射により形成されるノズルのテーパの向きを考慮して、接合材料の層の側から光エネルギーを照射し、ベースプレートに逆向きに接合することを特徴とするものであり、ノズルプレートを上記光エネルギーを照射する前に予めノズルが形成されているものに変更することや上記光エネルギーの照射により接合材料の層のみに開口するように変更することが単なる設計の変更であるとは認めがたい。
　また、先願明細書１記載の従来例は、本件発明１とは、上記相違点に加え、ノズルプレートとベースプレートとを接合した後で光エネルギーを照射している点でも相違するものであり、これらの相違点を単なる設計の変更とはいえない。
　したがって、本件発明１は先願明細書１に記載された発明と同一であるとは認められない。
（２）次に、本件発明１（前者）と先願明細書２記載の発明（後者）とを対比するに、後者の、オリフィス、オリフィスプレート、エキシマレーザー光の照射、インク液路を構成する部材は、それぞれ、前者の、ノズル、ノズルプレート、光エネルギーを照射、インク流路が形成されたベースプレートに相当し、接合のために接合材料の層を介することは常套手段であるから、後者は、実質的に、接合材料の層を介してノズルを有しないノズルプレートとベースプレートとを接合する工程と、次に、光エネルギーを照射して接合材料の層への開口と同時にノズルを形成する工程からなるものであるが、前者とは、予めノズルを有するノズルプレートを用いない点でも、工程全体の点でも相違するものであり、これらの相違点が単なる設計の変更であるとは認めがたい。
　また、先願明細書２には、従来例として、光エネルギーの照射によりノズルプレートに予めノズルを形成しておき、このノズルプレートを接合材料の層を介してベースプレートに接合することが記載されているが、接合材料の層を両プレートの一方に形成する際に未だ開口されていないものとすることや光エネルギーの照射によって接合材料の層に開口することが単なる設計変更であるとは認めがたい。
　したがって、本件発明１は先願明細書２に記載された発明と同一であるとは認められない。
（３）また、本件発明２と先願明細書１，２に記載された発明とを対比するに、本件発明２は、本件発明１と同様に予めノズルが開口されたノズルプレートを用いるものであり、かつ、本件発明１と同じ工程を採るものであるから、上記本件発明１について述べた理由と同じ理由により、先願明細書１，２に記載された発明と同一であるとは認められない。
（４）異議申立人の主張は、本件発明１，２に係る訂正前の発明が、予めノズルが形成されていないノズルプレートを用いることや光エネルギーの照射により接合材料の層への開口とノズルの形成とがなされることを含み得ることを前提にしているが、訂正により、予めノズルが形成されているノズルプレートを用いることや光エネルギーの照射は接合材料の層についてのみ開口するものであることが明確にされたことから、該前提に基づく主張は採用できない。
［４］むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立ての理由によっては本件請求項１乃至２に係る発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１乃至２に係る発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１乃至２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１０日（２０００．８．１０）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲を次に訂正する。
「【請求項１】　ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、
　前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、
　からなるプレートの接合方法。
　【請求項２】　ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、
　前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、
　からなるインクジェットヘッドの製造方法。」
（２）訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の［課題を解決するための手段］の項を次に訂正する。
「本発明は、ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、からなるプレートの接合方法である。
　また、ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、からなるインクジェットヘッドの製造方法である。」
（５４）【発明の名称】
プレートの接合方法およびインクジェットヘッドの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　
ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートの接合方法において、
　
前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　
前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　
前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、
　
からなるプレートの接合方法。
　【請求項２】　
ノズルを有するノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとを接合するインクジェットヘッドの製造方法において、
　
前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、
　
前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、
　
前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、
　
からなるインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はノズルを複数個有し、特にノズル径が微細であり、ノズル間ピッチが小さいプレートを接合するのに有効な方法に関するものである。主にインクジェット記録装置のヘッド構造体であるノズルプレートとノズルの他にインク流路等も形成されたベースプレートとを接合する方法に関するものである。
〔従来の技術〕
従来の技術を特にインクジェット記録装置のヘッド構造体であるノズルプレートと、ノズル、インク流路等を有するベースプレートとの接合方法に関して述べる。
ノズルプレートとベースプレートとを接合する際の主たる必要特性は以下の３点である。
第１に、ノズル内の目詰まりがないことである。第２に、接合材料がシール剤の役割をすることによって、隣接するノズル間でインクの流入がないことである。第３に、ノズルプレートとベースプレートとは充分な接合強度によって固定されていることである。
上記３点を満足させるため従来は以下の２通りの方法で採られてきた。
第１の方法は、感光性樹脂を接合材料として用いる方法である。一例を第２図に示す。第２図はノズルを有するベースプレート上にパターニングされた感光性樹脂の形状を示したものである。図中１はベースプレート、２はノズル、３はパターニングされた感光性樹脂である。この感光性樹脂３は、露光、現像、もしくは▲剥▼離という工程を経て形成されたものである。
第２の方法は、接着剤をスクリーン印刷によってパターニング印刷し、接合材料として用いる方法である。被印刷対象は、ノズルプレートの場合とベースプレートの場合とがあるが、ベースプレートの場合の方が印刷時の位置ずれ等を考慮すると良い。
以上のごとく、第１の方法、第２の方法によりシール部を形成した後にノズルプレートとベースプレートとを貼合わせ、インクジェット記録装置用ヘッドのインク噴出部が形成される。
〔発明が解決しようとする課題〕
以上述べてきた従来技術でのノズルプレートとベースプレートとを接合する方法においては、以下の課題を有する。
第１の感光性樹脂を用いたパターニング方法ではパターン精度の面では優位であるものの、加工のための工程が多く複雑である。また、感光性樹脂の接着強度及び耐インク性を考慮すると、感光性樹脂の選定はかなりの制約を受ける。
第２のスクリーン印刷を用いたパターニング方法では、印刷時のパターニング位置精度及び接合材料の粘度や厚みの管理に限界がある。
特にノズルの隣接ピッチが１００μｍ以下の場合、パターンの位置ずれ或は貼合わせ時の接合材料の流れ出しがら、ノズルの目詰まりを招き、インクの安定した噴出性能を確保できなくなる。
本発明はこのような課題を解決するものであり、その目的とするところは、ノズルプレートとベースプレートとの接合方法を容易にすると同時に、接合のための接合材料の選定を広範囲にし、最終的には充分な接合強度と、インクの安定した噴出性能を確保するところにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、ノズルを有する
ノズルプレートとインク流路が形成されたベースプレートとの接合方法において、前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する３の工程と、からなるプレートの接合方法
　また、
ノズルを有する
とを接合する
前記ベースプレート、または前記ノズルプレートの一方に接合材料の層を形成する第１の工程、前記ノズルプレートのノズルが位置すべき近傍に光エネルギーを照射して前記接合材料の層を除去して連通用の開口を形成する第２の工程と、前記接合材料の層を介して前記ノズルプレートとベースプレートとを接合する第３の工程と、からなるインクジェットヘッドの製造方法である
〔実施例〕
（実施例１）
第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）に本発明の第一実施例として、ノズルプレートとベースプレートとの接合工程を順を追って示す。本実施例においては接合材料として、フィルム状熱硬化型接着剤を用いた。図中（ａ）図はノズル２、インク流路（図示せず）が形成されたベースプレート１の接合面１ａにフィルム状の接合材料３を貼付する工程を示している。この接合材料３は膜厚が一定であり、強い接着性を有し、ホットプレスを用いることによって加圧力＝１ｋｇ／ｃｍ２、加熱温度＝８０℃、加熱時間＝２秒の条件にて短時間で貼付可能である。予め、プレス加工等により、必要とする形状、寸法に加工しておくと良い。
（ｂ）図は本実施例のもっとも特徴とすべき工程であり、ベースプレート１の接合面に接合材料３を貼付した後、ベースプレート面のノズル２を塞いだ接合材料３を、光子エネルギーとしてエキシマレーザー５を照射することにより除去する工程を示している。この際、エキシマレーザー５をノズル穴径のサイズまで絞りこんで１穴ずつ除去することも可能であるが、ノズル穴径のサイズと略同サイズの穴を複数個あけた金属製プレートをマスクとして用い、複数個同時に除去することによって、時間短縮することも可能である。尚、次工程の接合において、接合材料がノズル内に目詰まりすることを防止するために、接合材料の除去量をノズル穴径より大きめに設定するとよい。この設定は、接合材料の厚み、物性、接合荷重、接合温度、接合時間等の条件から最適値を見いだし決めることができる。
（ｃ）図は最後の上記ベースプレート１とノズルプレート４との接合を行う工程を示している。接合前にベースプレート１とノズルプレート４とのノズルの位置合わせを行った後に、前記ホットプレスを用いることによって加圧力＝２ｋｇ／ｃｍ２加熱温度＝１００℃、加熱時間＝１０秒の条件にて短時間で接合可能である。
以上の実施例において、接合材料３の貼付する面をベースプレート１の接合面ではなく、ノズルプレート４の接合面４ａにしても何ら問題はない。又、接合材料を上記のような熱硬化型接着剤の他に感圧性接着剤としても良い。
（実施例２）
次に、第２実施例として、ノズルプレートとベースプレートとを接合材料を介して貼合わせた後に、ノズル内の接合材料を除去する方法について述べる。この場合、先ずノズルプレート、或はベースプレートどちらか一方に均一な接着剤層を形成する。形成する方法としては、接合材料がフィルム状接合材料である場合は実施例１と同様である。熱硬化型樹脂、フォトレジスト、紫外線又は可視光で硬化する感光性樹脂、硬化剤を用いた混合型接着剤、嫌気性接着剤、シアノ系接着剤等の液状もしくは半固形状接合材料である場合はスピナー法、スクリーン印刷等が良好である。そして、ノズルプレート、ベースプレート両者を貼合わせ、それぞれの接合材料に応じた硬化方法によって硬化さてた後、ノズルプレート、或はベースプレート側からノズル内に詰まった接合材料にエキシマレーザーを照射することにより除去する。この際、エキシマレーザーをノズル穴径のサイズまで絞りこんで１穴ずつ除去することも可能であるが、ノズル穴径と略同のサイズの穴を複数個あけたは金属製プレートをマスクとして用い、複数個同時に除去することによって、時間短縮することも可能である。尚、ノズルプレートが金属製の場合、これをマスクとして使用可能であるため、前記金属製プレートは必要ない。
以上述べてきたように、エキシマレーザー等の光子エネルギーによってノズルプレート面上及びノズル内の接合材料を除去する方法を採ることによって、ノズルプレートとベースプレートとの接合方法が容易になると同時に、接合のための接合材料の選定が広範囲になった。以下ノズルプレートとベースプレートとを接合する際に用いた接合材料を素状別、機能別に揚げる。
１）フィルム状接合材料
・熱硬化型接着剤
・感圧性接着剤
２）液状もしくは半固形状接合材料
・熱硬化型樹脂
・フォトレジスト
・紫外線及び可視光で硬化する感光性樹脂
・硬化剤を用いる混合型接着剤
・嫌気性接着剤
・シアノ系接着剤
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によればノズルが形成されたプレートとの接合方法が容易になると同時に、接合のための接合材料の選定が広範囲になる。したがって、特にインクジェットヘッドに用いた場合には、充分な接合強度と、インクの安定した噴出性能を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の一実施例であるノズルプレートとベースプレートとの接合方法を示す概略図。
第２図は従来技術によって形成されたベースプレート面上のシール形状の一例を示す概念図。
１……ベースプレート
２……ベースプレート内のノズル
３……接合材料
４……ノズルプレート
５……エキシマレーザー