【事件の表示】
　特許第２８３１３５６号「スパッタリング用ターゲットの製造方法」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８３１３５６号の特許を取り消す。
【理　由】
Ｉ．手続の経緯
　特許出願　　　　　　　　　　昭和６３年　５月　９日
　設定登録　　　　　　　　　　平成１０年　９月２５日
　　　　　　　　　　　　　　　　　（特許第２８３１３５６号）
　特許公報発行　　　　　　　　平成１０年１２月　２日
　特許異議の申立て１　　　　　平成１１年　５月２８日
　　　　　　　　　　　　　　　　（申立人１：西　田　良　幸）
　特許異議の申立て２　　　　　平成１１年　５月２８日
　　　　　　　　　　　　　　　　（申立人２：内　野　光　平）
　特許異議の申立て３　　　　　平成１１年　６月　１日
　　　　　　　　　　　　　　　（申立人３：日立金属株式会社）
　取消理由通知　　　　　　　　平成１１年１０月　８日
　審尋書（特許権者宛）　　　　平成１１年１０月　８日
　意見書，訂正請求書　　　　　平成１１年１２月２７日
　訂正拒絶理由通知　　　　　　平成１２年　３月　８日
　
II．訂正の適否
１．本件訂正発明
　平成１１年１２月２７日付け訂正請求書に添付された訂正明細書の請求項１に係る発明は、訂正明細書及び図面の記載よりみて、その特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
　【請求項１】ニッケルからなるターゲット本体と無酸素銅からなるバッキングプレートとを別体で製造し、これらを接合用材料を介することなく直接圧接して一体化することを特徴とするスパッタリング用ターゲットの製造方法。
（以下、「本件訂正発明」という。）
２．訂正拒絶理由の概要
　平成１２年３月８日付け訂正拒絶理由の概要は次のとおりである。
　本件訂正発明は、下記引用例１〜３に記載された発明に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、該発明の特許は特許出願の際独立して特許を受けることができない発明である。
　　　　　　　　　　　　　　　　記
　引用例１：特開昭６１−１３６６７３号公報
　　　　　　　　　　　　　　　　（申立人２の甲第１号証に該当）
　引用例２：「金属」１９８６年５月号、第１４〜２０頁
　　　　　　　　　　　　　　　　（申立人１の甲第１号証に該当）
　引用例３：「川崎技報」第６２号（１９７６）、第４５〜５０頁
　　　　　　　　　　　　　　　　（申立人１の甲第２号証に該当）
（備考）
　上記引用例２及び３には、ニッケルと無酸素銅とを別体で製造し、これらを接合用材料を介することなく直接圧接して一体化し、ニッケルと無酸素銅との拡散接合体を製造する方法が記載されている。
　そして、上記引用例２及び３には得られたニッケルと無酸素銅との拡散接合体をスパッタリングターゲットして使用することについては示唆されていないが、上記引用例１には銅とターゲット本体である他の金属とを接合用材料を介することなく直接圧接して拡散接合体であるスパッタリング用ターゲットを製造する方法が記載されており、しかも銅の部分を冷却板部分（バッキングプレートに対応）として使用すること（実施例３及び４の記載を参照）及びターゲット本体は「種々の金属や合金が所要薄膜に応じて適宜選定」されることも示されている（２頁右上欄１７〜１８行参照）。
　してみれば、ターゲット本体としてニッケルが要求されるならば、引用例２及び３に記載の製造方法で得られたニッケルと無酸素銅との拡散接合体をスパッタリング用ターゲットとして使用し得ることは当業者に自明であるから、引用例２及び３に記載されているニッケルと無酸素銅との拡散接合体の製造方法をスパッタリング用ターゲットの製造方法として採用するようになすことに何らの技術的困難性も認められない。
　また、本件訂正発明の効果についても、引用例１には、従来例のものよりもターゲット材の表面温度が低く、冷却効率に優れていることが示されているし、さらに、引用例３にはニッケル金属と無酸素銅の拡散接合体は接合強度が強いことも示されているから、格別なものであるとは認められない。
３．当審の判断
　上記訂正拒絶理由通知により、特許権者に対し期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。そして、上記の訂正拒絶理由は妥当なものと認められる。
　したがって、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第３項の規定に違反するので、当該訂正は認められない。
　
III．特許異議申立てについての判断
１．本件発明
　上記訂正は認められないから、本件特許の請求項１に係る発明は、特許明細書及び図面の記載よりみて、特許請求の範囲の請求項１に記載された次のとおりのものである。
　【請求項１】金属からなるターゲット本体と金属からなるバッキングプレートとを別体で製造し、これらを接合用材料を介することなく直接圧接して一体化することを特徴とするスパッタリング用ターゲットの製造方法。
（以下、「本件発明」という。）
２．各引用例の記載
　当審が通知した取消理由で引用した引用例１（特開昭６１−１３６６７３号公報、申立人２の甲第１号証に該当）には、「スパッタリング用ターゲット材」に関し、次の事項が記載されている。
(1-1)「平板のターゲット材の裏面に冷却板を介して間接冷却し、陰極を構成してスパッタリングを行うスパッタリング用ターゲット材において、ターゲット材を構成する原子と冷却板を構成する原子が直接に結合することにより、ターゲット材と冷却板が一体化されたことを特徴とするスパッタリング用ターゲット材。」（１頁左下欄５〜１１行）、
(1-2)「この発明において、ターゲット材は様々の金属や合金が所要薄膜に応じて適宜選定され、また、冷却板とターゲット材はそれぞれ溶融温度や熱膨張係数が互いに近い方が望ましく、さらに、ステンレススチール、Ｎｉ−Ｃｕ合金や銅などの非磁性材が望ましく、冷却を考慮し熱伝導率の高い材料が望ましい。」（２頁右上欄１７行〜同頁左下欄３行）、
(1-3)「この発明によるターゲット材は、上記の半田やろう材を使用することなく、昇温や加圧による拡散あるいは圧接などの手段により、両者組成の原子間の直接的な結合で一体化したことを特徴としている。具体的な手段として、室温で強大な圧力を掛けて接合する冷間圧接や、ターゲット材及び冷却板の各融点以下の高温で圧下する熱間圧接、さらに冷間圧接後に高温に保持して原子の拡散を促進し、より強固な結合を得る方法のほか、ホットプレスや治具等を用いて圧力を印加しながら高温に保持して結合させる方法などがある。」（２頁左下欄７〜１８行）、
(1-4)「また、上記手段のほか、一体化する両者を接触加圧しながら相対的に回転させて、摩擦熱により接合する方法、所謂爆発圧接、超音波圧接、高周波圧接あるいは通電加熱を利用する圧接等の手段を、ターゲット材及び冷却板材質や形状に応じて、適宜適用することができる。」（２頁右下欄４〜９行）。
２．対比・判断
　上記「(1-2)」には、「ターゲット材」及び「冷却板」として、両者とも「金属」からなるものを使用し得ることが示されている。
　また、上記「(1-1)」、「(1-3)」及び「(1-4)」には「ターゲット材」と「冷却板」とを、半田やろう材を使用することなく、一体化することが示されている。
　そして、本件特許明細書にも「このようなターゲットは、通常冷却板となるバッキングプレートに単体金属や合金からなるターゲット本体が接合された構造になっている。」（特許公報２欄２〜４行）と記載されているように、本件発明における「バッキングプレート」は「ターゲット本体に接合されている冷却板」のことをいうものであるから、引用例１に記載の「冷却板」は本件発明における「バッキングプレート」に相当する。
　また、上記「(1-3)」及び「(1-4)」には、「ターゲット材」と「冷却板」とを半田やろう材を使用することなく一体化する方法として、「昇温や加圧による拡散あるいは圧接などの手段により、両者組成の原子間の直接的な結合で一体化」する方法、「爆発圧接」により接合する方法等が示されており、これらの方法は、本件特許明細書にも「ここでターゲット本体とバッキングプレートとを直接接合する方法としては、圧接法が採用される。圧接法は、接続すべき両金属を粘性状態あるいは溶融に近い状態において機械的打撃または圧力を加えて圧接する方法であり、これに属する方法として、爆圧接（爆着）や、抵抗溶接、熱間ロール圧延、拡散接合などの方法が挙げられる。」（同公報３欄２３〜２９行）と記載されているように、本件発明における「接合用材料を介することなく直接圧接して一体化」する方法に相当する。
　さらに、引用例１に記載のものでも、「ターゲット材」と「冷却板」とは、一体化される前は別体として製造されていることは明らかである。
　してみれば、上記引用例１には、
『金属からなるターゲット本体と金属からなるバッキングプレートとを別体で製造し、これらを接合用材料を介することなく直接圧接して一体化することを特徴とするスパッタリング用ターゲットの製造方法。」
の発明が記載されていると云えるから、本件発明と上記引用例１に記載の発明とは相違するところがない。
　
IV．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明は、特許法第２９条第１項第３号の規定に該当し、特許を受けることができない。
　したがって、本件発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、平成６年改正法附則第１４条の規定に基く、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月２２日（２０００．８．２２）