【事件の表示】
　特許第２８３１３４９号「Ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８３１３４９号の特許を維持する。
【理　由】
1.本件発明
　特許第２８３１３４９号（昭和６１年１２月２５日出願、平成１０年９月２５日設定登録。）の発明の要旨（以下「本件発明」という。）はその特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の第１項に記載された下記のとおりのものである。
　
「１．互いに屈折率の異なる２種の物質の交互層よりなる多層構造を有するＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡において、層の構成物質に融点が2000℃を超える融点物質を用い、前記２種の物質を第１の層の物質の複素屈折率を
ｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、（左辺のｎ１は複素屈折率を表す。以下この注訳は省略する。）
第２層の物質の複素屈折率を
ｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、（左辺のｎ２は複素屈折率を表す。以下この注訳は省略する。）
Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せとしたことを特徴とするＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡。」
　
２．取消理由通知の概要
  本件発明の特許は、刊行物１（Proceedings of SPIE,Vol.688(1986年８月の学会）の抜粋［139〜145頁］）、刊行物２（AIP Conference Proceedings,Number75,1981年発行の抜粋［146〜155頁］）、刊行物３（AIP Conference Proceedings,Number75,1981年発行の抜粋［340〜388頁］）、刊行物４（化学便覧、丸善株式会社、(1966年)）に基づき当業者であれば容易に想到し得る程度のものにすぎないので、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、特許法１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきものである。
　
３．各刊行物記載の発明
・刊行物１（Proceedings of SPIE,Vol.688(1986年８月の学会）の抜粋［139〜145頁］）には以下の事項が記載されている。
（ア）「Ｘ線その他の照射が性能を低下させるのに十分な強度である状況において、多層膜が使用される。シンクロトロン１次モノクロメータおよびＸ線レーザ用のエンド反射鏡への適用が、実例に包含される。」（１３９頁Introductionの１〜２行）
（イ）「長時間にわたって機能することが望まれる多層膜は、その２つの層状物質の屈折率が最大の差を有するべきであり、」（１４０頁１１〜１２行）
（ウ）「望ましい物質対は、Figure１から、電子密度の差が大きいもので、意図される適用に対して融点が十分高い物質を選ぶことによって、選択され得る。」（１４０頁３１〜３２行）
（エ）１４４頁のFigure１には横軸に「electrons/Å３」縦軸に「temperature，Ｋ」が示されグラフに「Ｃ」、「ＺｒＢ２」、「ＴｉＢ２」、「ＴｉＣ」、「ＺｒＣ」、「ＮｂＣ」、「ＴａＮ」、「ＴｈＯ２」、「ＨｆＣ」、「ＴａＣ」、「ＷＣ」、「Ｔａ」、「Ｗ」がそれぞれ点でプロットされていることがみてとれる。
（オ）１４１頁のTable１．には「Materials」として「Ｗ/Ｃ」、「ＷＣ/Ｃ」、「HfＣ/Ｃ」、「Ta/Ｃ」が示されていることがみてとれる。
（カ）「この論文は、熱による破損に対して耐え得る最適な物質対の選択について論ずる。」（１３９頁Abstractの１〜２行）
（キ）「レーザへの適用において、多層膜は、所定の波長を垂直に反射することが望まれる。」（１３９頁Introductionの５〜６行）
（ク）「温度は、光の吸収率に比例するので、物質は、全入射光の多層吸収を最少にするように選択される。」（１３９頁Damage mechanismsの９〜１０行）
（ケ）「与えられた波長（吸収端近くを除く）では、要素の屈折率は、全電子密度に比例する。」（１４０頁２１〜２２行）　
　
・刊行物２（AIP Conference Proceedings,Number75,1981年発行の抜粋［146〜155頁］）には、以下の（２）〜（６）の数式が記載されている。
「複素屈折率ｎγ＝ｌ−δ−ｉβ　　　（２）」
「δ＝ｒ０λ２／２π＊ｎｆ１＝α／２　　　（３）」
「β＝ｒ０λ２／２π＊ｎｆ２＝γ／２　　　（４）」
「ｎｆ１＝Σｎｑｆ１ｑ　　　（５）」
　 　　 　ｑ
「ｎｆ２＝Σｎｑｆ２ｑ　　　（６）」
 　　　 　 ｑ
（ｒ０は電子の古典半径、λは波長、ｎｆ１、ｎｆ２は単位体積当たりの原子散乱因子、ｎｑ は単位体積当たりの種類ｑの原子の数）
　
・刊行物３（AIP Conference Proceedings,Number75,1981年発行の抜粋［340〜388頁］）には、λが１２４Åのときの各物質の原子散乱因子「ｆ１」、「ｆ２」の値がそれぞれ示され、３４３頁には「Ｂ」、「Ｃ」、「Ｎ」の値が、３５１頁には、「Ｔｉ」の値が、３６１頁には「Ｎｂ」、「Ｍｏ」の値が、３７７頁には「Ｔａ」、「Ｗ」、「Ｒｅ」の値が示されていることがみてとれる。
・刊行物４（化学便覧、丸善株式会社、［1966年］）には、「原子番号」、「元素名」、「記号」、「原子量」、「クラーク数（順位）」、「色、結晶系」、「比重（測定温度）」、「融点（沸点）」の値が示され、３８頁には、「Ｉｒ」と「Ｏｓ」の値が、４２頁には「Ｗ」、「Ｃ（無定形）」、の値が、４４頁には「Ｃ（黒鉛）」、「Ｔａ」の値が、４６頁には「Ｈｆ」、「Ｂ」の値が、４８頁には「Ｍｏ」、「Ｒｅ」の値が示されていることがみてとれる。
　
４．対比
  刊行物１には、上記記載事項（ア）〜（ク）によれば、Figure１に示されているいずれも融点が２０００℃を超えている層状物質群のうち、屈折率の差または電子密度の差の大きい物質対を選択てＸ線反射多層膜を形成する点が記載されている。
　よって、本件発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、「互いに屈折率の異なる２種の物質の交互層よりなる多層構造を有するＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡において、層の構成物質に融点が2000℃を超える融点物質を用いたＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　本件発明が、「第１の層の物質の複素屈折率をｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、第２層の物質の複素屈折率をｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せ」としているのに対して、
　刊行物１記載の発明では、Figure１に示されている層状物質群のうち、屈折率の差または電子密度の差の大きい物質対を選択して多層膜を形成する点が記載されているが、複素屈折率に着目して数値限定することは記載されていない点。
　
５．判断
　上記相違点について検討すると、
　刊行物２には、複素屈折率を求める数式が記載され、刊行物３には、該数式で使われる各物質の原子散乱因子が表記され、刊行物４では、各物質の物性値が示されているが、Ｘ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡を形成する物質対を選択する際に、複素屈折率に着目することが記載されておらず、したがって、複素屈折率の実数部と虚数部の係数から構成される条件式により物質対を選択する点も上記刊行物２〜刊行物４のいずれにも記載されていないから、上記刊行物１に記載されているFigure１に示されている層状物質群において、本件発明の「第１の層の物質の複素屈折率をｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、第２層の物質の複素屈折率をｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せ」との具体的な構成を導くことはできない。
　そして、本件発明は高融点物質を用いることにより熱に対する耐性を向上させると共に、上記相違点に係る構成により反射率を向上して吸収に起因する熱の蓄積そのものを減少させる効果を奏するものである。
　したがって、刊行物１〜刊行物４の記載事項に基づき本件発明を当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
６．特許異議申立についての判断
6-1．申立ての理由（異議番号１）の概要
　申立人村岡宏は、本件発明は、その出願前公知の甲第１号証（Proceedings of SPIE,Vol.688(1986年８月の学会）の抜粋［139〜145頁］）及び甲第２号証（AIP Conference Proceedings,Number75,1981年発行の抜粋［85〜96頁］）に記載された発明であり、またはそれらから当業者が容易に発明しうる程度のものであるから、特許法第２９条第１項または特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は特許法１１３条第２号により取り消されるべきものである旨主張している。
 
6-1-1．証拠の記載事項
　甲第１号証は取消理由通知で引用された刊行物１と同一文献であるから、甲第１号証の記載事項は上記［３．各刊行物記載の発明・刊行物１］で述べた通りである。そして、甲第２号証には以下の事項が記載されている。
（サ）「スパッタ法／蒸着法による多層が、連続および単一パルスの１００〜２０００ｅＶ領域の低エネルギＸ線の相対的に早く、かつ高い効率の分析に適用され得る。」（８５頁ABSTRACTの１〜３行）
（シ）８８頁のFigure６には（Ａ）タングステン／ホウ素、（Ｂ）タングステン／炭素、（Ｃ）モリブデン／炭素の積分反射率Ｒのグラフが記載されている。
6-1-2.本件発明と甲第１号証との対比・判断
　本件発明と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、「互いに屈折率の異なる２種の物質の交互層よりなる多層構造を有するＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡において、層の構成物質に融点が2000℃を超える融点物質を用いたＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　本件発明が、「第１の層の物質の複素屈折率をｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、第２層の物質の複素屈折率をｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せ」としているのに対して、
　甲第１号証記載の発明では、Figure１に示されている層状物質のうち、屈折率の差または電子密度の差の大きい物質対を選択して多層膜を形成する点が記載されているが、複素屈折率に着目して数値限定することは記載されていない点。
（異議申立人の主張）
　異議申立人は、上記相違点に関して、甲第１号証のFigure１に示されている層状物質のうち、屈折率の差が大きい物質対であるＷ／Ｃ、Ｔａ／Ｃ、ＷＣ／ＴｉＢ２、ＷＣ／ＴｉＣ、ＷＣ／ＴａＮ、ＴａＣ／ＴｉＣ、Ｔａ／ＴｉＢ２  の組み合わせを採用した場合に、参考資料１（上記刊行物２と同一文献）で示されている複素屈折率を求める数式（２）〜（６）と、参考資料２（上記刊行物３と同一文献）に示されている波長λが１２４Åのときの原子散乱因子「ｆ１」、「ｆ２」の値と、参考資料３（上記刊行物４と同一文献）に示されている物性値を利用して各物質対についての複素屈折率実部の差の絶対値Δｎと複素屈折率の虚数部の係数の差の絶対値|ｋ１−ｋ２|の値を求めると、Ｗ／Ｃ、Ｔａ／Ｃ、ＷＣ／ＴｉＢ２、ＷＣ／ＴｉＣ、ＴａＣ／ＴｉＣの組み合せでは、Δｎの値が10-3以上であり、本件発明の前段部のΔｎ≧10-3  の条件を充たしている。また、ＷＣ／ＴａＮ、Ｔａ／ＴｉＢ２  の組み合せでは、Δｎ≧10-3  の条件を充たしてはいないが、本件発明の後段部の|ｋ１−ｋ２|＞Δｎ の条件は充たしている旨の主張をしている。
（判断）
　しかしながら、上記異議申立人の主張は、本件特許明細書に記載されている実施例において波長λを１２４Åに設定した点に着目し、かつ、層状物質について本件発明の複素屈折率の実数部と虚数部の係数から構成されるΔｎ＝|ｎ１−ｎ２|≧10-3又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎの条件式を借用して解析し、はじめて判明した結果であり、甲第１号証の記載を客観的にみれば層状物質を選ぶ際に、屈折率または電子密度の差の大きい物質対を選択することは示唆しているものの、Ｘ線又は真空紫外線の波長をパラメータとする複素屈折率に着目して条件式を設定する技術的思想は存在しない。
　そして、本件発明は高融点物質を用いることにより熱に対する耐性を向上させると共に、上記相違点に係る構成により反射率を向上して吸収に起因する熱の蓄積そのものを減少させる効果を奏するものである。
　したがって、甲第１号証には屈折率の差または電子密度の差の大きい物質対を選択する事項が記載され、また、各参考資料に記載されている複素屈折率を求める数式、各物質の波長に対応した原子散乱因子の数値、及び各物質の物性値が技術常識だとしても、本件発明と甲第１号証記載の発明とは同一のものとはいえず、また、甲第１号証記載の発明に基づいて本件発明を当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　
6-1-3.本件発明と甲第２号証との対比・判断
　本件発明と甲第２号証記載の発明とを対比すると、甲第２号証に例示されているタングステン／ホウ素、タングステン／炭素、モリブデン／炭素の物質対はいずれも融点が２０００℃を超えているから、「互いに屈折率の異なる２種の物質の交互層よりなる多層構造を有するＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡において、層の構成物質に融点が2000℃を超える融点物質を用いたＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　本件発明が、「第１の層の物質の複素屈折率をｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、第２層の物質の複素屈折率をｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せ」としているのに対して、
　甲第２号証記載の発明では、Figure６にタングステン／ホウ素、タングステン／炭素、モリブデン／炭素の物質対の例示がなされているだけで、何に基づいてこれらの物質が選択されたかは記載されていない点。
（異議申立人の主張） 
 　異議申立人は、上記相違点に関して、異議申立人が提出した参考資料１（上記刊行物２と同一文献）で示されている複素屈折率を求める数式（２）〜（６）と、同じく異議申立人が提出した参考資料２（上記刊行物３と同一文献）に示されている波長λが１２４Åのときの原子散乱因子「ｆ１」、「ｆ２」の値と、同じく異議申立人が提出した（上記刊行物４と同一文献）に示されている物性値を利用して、各物資対についての複素屈折率実部の差の絶対値であるΔｎの値を求めると、上記全ての物質対について本件発明の前段部のΔｎ≧10-3  の条件を充たしている旨の主張をしている。
（判断）
　しかしながら、甲第２号証には、多層物質を形成する物質対としてタングステン／ホウ素、タングステン／炭素、モリブデン／炭素の例示はなされているが、複素屈折率に着目して選択する点は記載も示唆もされていない。
　上記異議申立人の主張は、本件特許明細書に記載されている実施例において波長λを１２４Åに設定した点に着目し、かつ、層状物質について本件発明の複素屈折率の実数部と虚数部の係数から構成される条件式を借用して解析してはじめて判明した結果であり、甲第２号証には、Ｘ線又は真空紫外線の波長をパラメータとする複素屈折率に着目して条件式を設定する技術的思想は存在しない。
　そして、本件発明は高融点物質を用いることにより熱に対する耐性を向上させると共に、上記相違点に係る構成により反射率を向上して吸収に起因する熱の蓄積そのものを減少させる効果を奏するものである。
　したがって、本件発明と甲第２号証記載の発明とは同一のものとはいえず、また、甲第２号証記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
  また、甲第１号証と甲第２号証を組み合わせて考えても、Ｘ線又は真空紫外線の波長により変化する複素屈折率に着目して条件式を設定する技術的思想を導くことはできない。
　
6-2．申立ての理由（異議番号２）の概要
　甲第１号証（SPIE Vol.563 Applications of Thin-Film Multilayered Structures Fingured X-ray Optics pp.258-263）には、本件特許発明の構成が実質的に全て記載されているものであり、特許法２９条第１項第３号の規定に該当するものであるから、本件は特許法第１１３条第１項第２号の規定により取り消されるべきである。
　
6-2-1.証拠の記載事項
　甲第１号証には、以下の事項が記載されている。
（タ）「高品質ソフトＸ線用反射鏡」（２５８頁２１〜２２行）
（チ）２５９頁のTable１には、MultilayerとしてHigh Ｚ MaterialとLow Ｚ Materialと称する欄に物質名が複数示され、Fig．１にはタングステンとカーボンの多層膜の断面図が記載されており、タングステンとカーボンとは交互に積層された多層構造を成していることがみてとれる。
　
6-2-2.対比・判断
　甲第１号証のTable１に例示されている物質のうちＷ／Ｃ、Ｔａ／Ｃの組み合わせを採用した場合、Ｗ、Ｔａ、Ｃのいずれの融点も２０００℃を超えており、また、反射鏡を形成する多層膜に互いに屈折率の異なる物質対を採用することは技術常識であるから、本件発明と甲第１号証記載の発明とを対比すると、「互いに屈折率の異なる２種の物質の交互層よりなる多層構造を有するＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡において、層の構成物質に融点が2000℃を超える融点物質を用いたＸ線又は真空紫外線用多層膜反射鏡。」である点で一致し、次の点で相違する。
（相違点）
　本件発明が、「第１の層の物質の複素屈折率をｎ１＝ｎ１＋ｉｋ１、第２層の物質の複素屈折率をｎ２＝ｎ２＋ｉｋ２、Δｎ＝|ｎ１−ｎ２|としたとき、Δｎ≧10-3となる組み合せ、又はΔｎ＜10-3の場合には|ｋ１−ｋ２|＞Δｎとなる組み合せ」としているのに対して、
　甲第１号証記載の発明では、Table１に多層膜としてHigh Ｚ MaterialとLow Ｚ Materialと称する欄にそれぞれ物質名が例示されているだけで、何に基づいてこれらの物質が選択されたかは記載されていない点。
（異議申立人の主張） 
 　異議申立人は、上記相違点に関して、異議申立人が提出した参考資料２（上記刊行物２及び刊行物３に相当）に示されている複素屈折率を求める各数式（２）〜（６）及び波長λが１２４Åのときの各物質の原子散乱因子「ｆ１」、「ｆ２」の値と、同じく異議申立人の提出した参考資料１（理科年表：昭和５８年１１月３０日発行）に示されている物性値を利用して、Ｗ／Ｃ、Ｔａ／Ｃの組み合わせにおける複素屈折率実部の差の絶対値であるΔｎの値を求めると、本件発明の前段部のΔｎ≧10-3  の条件を充たしている旨の主張をしている。
（判断）
　しかしながら、甲第１号証には、多層物質を形成する物質対として複素屈折率に着目して選択する点は記載も示唆もされていない。
　上記異議申立人の主張は、本件特許明細書に記載されている実施例において波長λを１２４Åに設定した点に着目し、かつ、層状物質について本件発明の複素屈折率の実数部と虚数部の係数から構成される条件式を借用して解析し、はじめて判明した結果であり、甲第１号証にはＸ線又は真空紫外線の波長をパラメータとする複素屈折率に着目して条件式を設定する技術的思想は存在しない。
　そして、本件発明は高融点物質を用いることにより熱に対する耐性を向上させると共に、上記相違点に係る構成により反射率を向上して吸収に起因する熱の蓄積そのものを減少させる効果を奏するものである。
　したがって、本件発明と甲第１号証記載の発明とは同一のものとはいえない。
５．むすび
　したがって、上記各特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。
  また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月１４日（２０００．７．１４）