【事件の表示】
　特許第２８４７８８３号「反射屈折縮小投影光学系」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８４７８８３号の請求項１ないし４、７および９に係る特許を取り消す。
　同請求項８に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　 本件特許第２８４７８８３号に係る発明は、平成２年３月３０日に特許出願され、平成１０年１１月６日にその特許の設定登録がされ、その後、異議申立人キャノン株式会社より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年１２月２１日に訂正請求がなされ、その後、訂正拒絶理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年４月２７日に手続補正がなされたものである。
１．１　異議申立ての概要
　異議申立人キャノン株式会社は、甲第１号証（特開平２−６６５１０号公報）、甲第２号証（特公昭６３−１１６４４号公報）、甲第３号証（特公昭６４−９６０６号公報）、甲第４号証（「光学薄膜」　Ｈ．Ａ．Ｍａｃｌｅｏｄ著　日刊工業新聞社刊　１９８９年１１月３０日発行）及び甲第５号証（「光学技術シリーズ１１、光学薄膜」共立出版株式会社刊　昭和６０年２月２５日発行）を提出し、本件請求項１〜４及び７〜９に係る発明は、甲第１〜５号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、本件特許を取り消すべき旨主張している。
１．２　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第１号証の内容
　甲第１号証第３頁右上欄第１行〜同頁左下欄第１６行には、「第１図は、本発明の縮小光学系10の第１実施例を示す。その長い共役側端部から、該光学系は物体もしくはレティクル面11、シェル12と正のレンズ13とからなる第１のレンズ群及び負のレンズ群14と正のレンズ15とからなる第2のレンズ群から構成されている。・・・次にビームスプリッタキューブ17が配置され、それに正のレンズ18と負のレンズ19からなる第３のレンズ群が引き続いている。・・・次に、凹面鏡20が設けられている。最後に全体で正の屈折力を有する第４のレンズ群は、正のレンズ21、僅かに負であるシェル22並びに正のレンズ23と24からなる。レティクル・・・から系に入射するビームは第１群、即ちレンズ12及び13を通過し、・・・第２のレンズ群、即ちレンズ14及び15、ビームスプリッタ17、第３のレンズ群、即ちレンズ18及び19を通過し、鏡20によって反射されて逆方向にレンズ18及び19を通過しかつビームスプリッタ17によって、レンズ21、22、23及び24・・・を通過するように反射され、・・・ウエハ面25に焦点が合わされる。
第１のレンズ群12及び13並びに第４のレンズ群21、22、23、及び24は、物体面11と像面25でそれぞれテレエントリック系を構成する。」と記載されている。
　甲第１号証第５頁左上欄第14行〜同欄第１6行には、「第１レンズ群の第１レンズ33は、ビームスプリッタ36への入射ビームを平行にする、さもなければこれは若干の収差が発生する。」と記載されている。
１．３　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第２号証の内容
　甲第２号証第２頁左欄第９行〜１０行には、「本発明は投影装置特に、物体の鏡像を投影面上に形成する投影装置に関するものである。」と記載されている。
　第２頁右欄第２６行〜同欄第３７行には、「
物体1から射出する光束は偏光子9によりその振動面に等しい偏光成分のみを透過させられた直線偏光となる。・・・偏光子9を透過した直線偏光光は、それと振動面の等しい偏光ビームスプリッター2を透過し、レンズ3を経てλ/４板10を透過して、円偏光となりミラー4上へ収レンする。それはミラー4より反射され、再度λ/４板10を透過して前記直線偏光とは直交する振動面を有する直線偏光となって偏光ビームスプリッター2に向いここで全部反射されて像面5へ収レンする。」と記載されている。
１．４　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第３号証の内容
　甲第３号証第３頁右欄第２０行〜４２行には、「マスクの裏面反射によるフレア分と、ウエハーかの反射光とは従って偏光手段を用いて容易に分離する事ができる。この場合入射光として直線偏光の光を用いると簡便である。
　本発明では目視系について従来知られている偏光が利用した方法と、近年新たに開発されてきたオートアライメント用光学系を効率よく結合する事を目的とする。本発明ではこの目的の為に光電検出系と目視系の偏光方向を制御するように偏光ビームスプリツターを活用する事を特徴とする。
　第4図に本発明の好ましい実施例を示す。構成は第1図の系を結像光学系40の上にそのまま載せた格好をしている。マスクの像をウエハー上に転写する結像光学系の中には1/4波長板41が配置されている。マスクの上に載つている光学系で第1図と異なるのはビームスプリツター5の代りにダイクロイツクビームスプリツター50が配置されていること。ビームスブリツター7の代りに偏光ビームスプリツター5 1が配されていること、及び照明光学系内に偏光板52が入つている事である。物体と瞳についての共役関係は第1図と同様であるので説明は省略する。」と記載されている。
１．５　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第４号証の内容
　甲第４号証第３９４頁下から第６行〜３９５頁第２行には、「偏光ビームスプリッターは、ブルースター条件が単に設計角度のみでしか適合しないため、ある限られた角度視野・・・のみに限定される。・・・設計角度50.4°」と記載されている。
１．６　異議申立人キャノン株式会社が提出した甲第５号証の内容
　　甲第5号証には、「6.4　偏光フィルター」と題して、その「A.　偏光プリズムの設計」欄における図6・24に、「多層膜の構成とその偏光器のP成分分光反射率Rpの入射依存性(計算値)」としてP偏光成分反射率Rpに角度依存性があることが示されている。
２．訂正の適否について
２．１　訂正請求に対する補正の適否について
２．２　本件訂正請求の概要
　平成１１年１２月２１日付訂正請求の概要は、願書に添付された明細書の請求項１の「前記偏光ビームスプリッターの前記凹面反射鏡との間に配置された４分の１波長板とを有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系」を、「前記偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された４分の１波長板と、大きな開口数を有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系」と訂正するものである。
２．３　訂正拒絶理由の概要
 本件訂正請求の要旨は、特許請求の範囲の減縮及び誤記の訂正を目的として、請求項１の「前記偏光ビームスプリッターの前記凹面反射鏡との間に配置された４分の１波長板とを有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系」を、「前記偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された４分の１波長板と、大きな開口数を有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系」と訂正するものである。
　訂正後の請求項1に係る発明は、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　従って、訂正後の請求項１に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、特許法第１２０条の４第３項で準用する訂正についてなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合しないので、本件訂正請求は認められない。
２．５　訂正の適否についての判断
２．５．１　訂正後の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明１」という。）
「第1面のパターンを第2面上に縮小投影するための光学系であって、該第1面からの光束を平行に近い光束に変換するための正屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を偏光状態により反射と透過に分割する偏光ビームスプリッターと、該偏光ビームスプリッターにより分割された一方の光路中に配置されて該偏光ビームスプリッターから射出する光束を発散させるための負屈折力の第2レンズ群と、該負屈折力第2レンズ群からの発散光束を集束すると共に前記負屈折力第2レンズ群を通して前記偏光ビームスプリッターへ戻すための凹面反射鏡と、該凹面反射鏡で反射されて再び偏光ビームスプリッターを経由した光束を収斂して前記第2面上に前記第1面のパターンの縮小像を形成するための正屈折力の第3レンズ群と、前記偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された4分の1波長板と、大きな開口数とを有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系。」
２．５．２　訂正発明１の独立特許要件の検討
　訂正発明１と甲第１号証に記載された発明との対比
　甲第１号証第１図に示される光学系の、「レティクル」、「ウエハ」、「第1のレンズ群及び第2のレンズ群」、「ビームスプリッターキューブ」、「凹面鏡」、「第3のレンズ群」及び「第4のレンズ群」は、それぞれ、訂正発明１の「第1面」、「第2面」、「第1レンズ群」、「ビームスプリッター」、「凹面反射鏡」、「第2レンズ群」及び「第3レンズ群」に相当し、上記１．２で引用した、甲第１号証の上記記載を考慮すると、両者は、「第1面のパターンを第2面上に縮小投影するための光学系であって、該第1面からの光束を平行に近い光束に変換するための正屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を反射と透過に分割するビームスプリッターと、該ビームスプリッターにより分割された一方の光路中に配置されて該ビームスプリッターから射出する光束を発散させるための負屈折力の第2レンズ群と、該負屈折力第2レンズ群からの発散光束を集束すると共に前記負屈折力第2レンズ群を通して前記ビームスプリッターへ戻すための凹面反射鏡と、該凹面反射鏡で反射されて再びビームスプリッターを経由した光束を収斂して前記第2面上に前記第1面のパターンの縮小像を形成するための正屈折力の第3レンズ群と、を有する反射屈折縮小投影光学系。」で一致し、訂正発明１のビームスプリッターが、「偏光ビームスプリッター」であって、「偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された4分の1波長板を有する」（以下、「訂正発明の構成１」という。）ものであって、「大きな開口数」を有する構成（以下、「訂正発明の構成２」という。）であるのに対し甲第１号記載の発明には、訂正発明の構成１がない点（以下、「相違点１」という。）及び訂正発明の構成２がない点（以下、「相違点２」という。）で相違する。
　そこで、相違点１について検討すると、「偏光ビームスプリッターと凹面反射鏡との間に配置された4分の1波長板を有する」光学系は、甲第２及び３号証に記載されているように周知の光学系であって、甲第１号証の光学系のビームスプリッターを偏光ビームスプリッターと1/4λ板との組合わせに換えることは当業者が容易になし得たことである。また、その効果についても当業者が予測できたものである。
　相違点２について検討すると、縮小投影光学系において、「開口数の大きな光学系」を用い、「優れた解像力を有するようにする」ことは当然配慮する事項にすぎず、甲第１号証記載の発明は、縮小投影光学系に関するものであるから、「開口数の大きな光学系」を用い、「優れた解像力を有するようにする」ことを内在していると認める。そうすると、相違点２に特段の意義は認められない。
　さらに、訂正発明１の構成要件相互の関係においても相乗効果は特に認められない。
２．６　結論
　そうすると、訂正発明１は、甲第１号証に記載された発明及び周知手段に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
　従って、訂正発明１は、特許出願の際独立して特許を受けることができないものであるから、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により、特許法第１２０条の４第３項で準用する訂正についてなお従前の例によるとされる、改正前の特許法第１２６条第３項の規定に適合しないので、本件訂正請求は認められない。  
３．異議申立に対する判断
３．１　異議申立に係る、本件請求項に係る発明
請求項1
「第1面のパターンを第2面上に縮小投影するための光学系であって、該第1面からの光束を平行に近い光束に変換するための正屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を偏光状態により反射と透過に分割する偏光ビームスプリッターと、該偏光ビームスプリッターにより分割された一方の光路中に配置されて該偏光ビームスプリッターから射出する光束を発散させるための負屈折力の第2レンズ群と、該負屈折力第2レンズ群からの発散光束を集束すると共に前記負屈折力第2レンズ群を通して前記偏光ビームスプリッターへ戻すための凹面反射鏡と、該凹面反射鏡で反射されて再び偏光ビームスプリッターを経由した光束を収斂して前記第2面上に前記第1面のパターンの縮小像を形成するための正屈折力の第3レンズ群と、前記偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された4分の1波長板とを有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系。」
請求項2
「前記偏光ビームスプリッターは、前記第1面から前記凹面反射鏡に達する光束を透過し、該凹面反射鏡にて反射されて前記第2面に達する光束を反射する構成であることを特徴とする請求項(1)記載の反射屈折縮小投影光学系。」
請求項3
「前記偏光ビームスプリッターはプリズムの接合面に形成された偏光分離面を有するビームスプリッターキューブであり、該ビームスプリッターキューブから前記正屈折力の第3レンズ群へ入射する軸上物点からの周縁光線の光軸とのなす角度はプリズム内にて7度を超えないことを特徴とする請求項(2)記載の反射屈折縮小投影光学系。」
請求項4
「前記偏光ビームスプリッターはプリズムの接合面に形成された偏光分離面を有するビームスプリッターキューブであり、該ビームスプリッターキューブから前記正屈折力の第3レンズ群へ入射する軸外物点からの主光線が光軸となす角度は5度を超えないことを特徴とする請求項(2)記載の反射屈折縮小投影光学系。」
請求項7
「前記第1面から前記凹面反射鏡に向かう光路の光軸と前記偏光ビームスプリッターの偏光分離面の法線との成す角度が45度以上であるように構成されたことを特徴とする請求項(2)記載の反射屈折縮小投影光学系。
請求項8
「前記4分の1波長板は水晶から構成され、その厚さは 200μm以下であることを特徴とする請求項(1)記載の反射屈折縮小投影光学系。
請求項9
「前記4分の1波長板は、前記偏光ビームスプリッターと負屈折力の第2レンズ群との間に配置されていることを特徴とする請求項(1)記載の反射屈折縮小投影光学系。」
３．２　取消理由通知の概容
　本件請求項１〜４及び７〜９に係る発明（以下、それぞれ、「本件発明１〜４及び７〜９」という。）は、甲第１〜５号証に記載された発明に基いて容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである。
３．３　引用例の内容
　１．２〜１．６に記載のとおり。
３．４　本件発明１〜４及び７〜９に係る発明と取消理由に引用した引用例との対比
３．４．１　本件発明１と取消理由に引用した引用例との対比
　甲第１号証第１図に示される光学系の、「レティクル」、「ウエハ」、「第1のレンズ群及び第2のレンズ群」、「ビームスプリッターキューブ」、「凹面鏡」、「第3のレンズ群」及び「第4のレンズ群」は、それぞれ、本件発明１の「第1面」、「第2面」、「第1レンズ群」、「ビームスプリッター」、「凹面反射鏡」、「第2レンズ群」及び「第3レンズ群」に相当し、上記１．２で引用した、甲第１号証の上記記載を考慮すると、両者は、「第1面のパターンを第2面上に縮小投影するための光学系であって、該第1面からの光束を平行に近い光束に変換するための正屈折力の第1レンズ群と、該第1レンズ群からの光束を反射と透過に分割するビームスプリッターと、該ビームスプリッターにより分割された一方の光路中に配置されて該ビームスプリッターから射出する光束を発散させるための負屈折力の第2レンズ群と、該負屈折力第2レンズ群からの発散光束を集束すると共に前記負屈折力第2レンズ群を通して前記ビームスプリッターへ戻すための凹面反射鏡と、該凹面反射鏡で反射されて再びビームスプリッターを経由した光束を収斂して前記第2面上に前記第1面のパターンの縮小像を形成するための正屈折力の第3レンズ群と、を有することを特徴とする反射屈折縮小投影光学系。」で一致し、本件発明１のビームスプリッターが、「偏光ビームスプリッター」であって、「偏光ビームスプリッターと前記凹面反射鏡との間に配置された4分の1波長板を有する」（以下、「本件発明１の特徴的構成」という。）ものであるのに対し甲第１号記載の発明には、本件発明１の特徴的構成がない点で相違する。
　そこで、相違点について検討すると、偏光ビームスプリッターと反射鏡との間に配置された4分の1波長板を有する光学系は、甲第２及び３号証に記載されているように周知の光学系であって、甲第１号証の光学系のビームスプリッターを偏光ビームスプリッターと4分の1波長板との組み合わせに換えることは当業者が容易になし得たことである。また、その効果についても当業者が予測できたものである。
　そうすると、本件発明１は、甲第１号証に記載された発明及び周知の光学系に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．４．２　本件発明２と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明２の付加構成である「前記偏光ビームスプリッターは、前記第1面から前記凹面反射鏡に達する光束を透過し、該凹面反射鏡にて反射されて前記第2面に達する光束を反射する構成であること」は、甲第１号証記載のビームスプリッターを、甲第２及び３号証記載の偏光ビームスプリッターと周知の4分の1波長板とを用いる周知の手段に単に置換した当然の結果にすぎない。また、その効果についても当業者が予測できたものである。
　そうすると、本件発明２は、甲第１号証に記載された発明及び周知の手段に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．４．３　本件発明３と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明３の付加構成である「前記偏光ビームスプリッターはプリズムの接合面に形成された偏光分離面を有するビームスプリッターキューブであり、該ビームスプリッターキューブから前記正屈折力の第3レンズ群へ入射する軸上物点からの周縁光線の光軸とのなす角度はプリズム内にて7度を超えないこと」について検討する。
　甲第４及び５号証に記載されているように、偏光ビームスプリッターには角度依存性があり、偏光分離面への光束の入射角度が変化すると反射率が変化することは周知であり、偏光分離面での角度依存性を少なくするため、偏光ビームスプリッターからの射出角度を制限することは設計事項である。この際、射出角度を「第3レンズ群へ入射する軸上物点からの周縁光線の光軸とのなす角度はプリズム内にて7度を超えない」角度とすることに臨界的意義は認められないから、本件発明３の付加構成は、単なる設計事項である。
　そうすると、本件発明３は、甲第１号証に記載された発明及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．４．４　本件発明４と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明４の付加構成である「前記偏光ビームスプリッターはプリズムの接合面に形成された偏光分離面を有するビームスプリッターキューブであり、該ビームスプリッターキューブから前記正屈折力の第3レンズ群へ入射する軸外物点からの主光線が光軸となす角度は5度を超えないこと」点について検討すると、上記本件請求項３に係る発明の付加構成と同様に、甲第４及び５号証に記載された周知事項からみて、単なる設計事項であると認められるから、本件発明４は、甲第１号証に記載された発明及び周知事項に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．４．５　本件発明７と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明７の付加構成である「前記第1面から前記凹面反射鏡に向かう光路の光軸と前記偏光ビームスプリッターの偏光分離面の法線との成す角度が45度以上であるように構成されたこと」点について検討する。
　甲第４号証には、偏光面へ設計角度50.4°で光束を入射させたときのＰ波の残留反射率について開示している。また、偏光ビームスプリッターの偏光分離面の法線との成す角度が45度において臨界的意義は認められない。
　よって、本件請求項７に係る発明の付加構成は、甲第４号証において公知の設計角度から当業者が容易に設定できる事項と認める。
　そうすると、本件発明７は、甲第１、４号証に記載された発明及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
３．４．６　本件発明８と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明８の付加構成である「前記4分の1波長板は水晶から構成され、その厚さは 200μm以下であること」点について検討すると、甲第１〜５号証のいずれにも上記付加事項記載されておらず、また、その構成を示唆する記載もなく、本件請求項８に係る発明は、上記構成により収差波面Ｗを、Ｗ＜λ/4とすることができる効果を有する。　
　そうすると、本件請求項８に係る発明は、甲第１〜５号証から容易に発明できたものとすることができない。
　従って、本件請求項８に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるとすることができない。
３．４．７　本件発明９と取消理由に引用した引用例との対比
　本件発明９の付加構成である「前記4分の1波長板は、前記偏光ビームスプリッターと負屈折力の第2レンズ群との間に配置されていること」について検討する。
　甲第2号証にはλ/4板を主光線が光軸と平行となるテレセントリック系の光路中に配置して、λ/4板の全面にわたり均一の光学性能を得ることが開示されている。
　また、一般にλ/4板は通過光束に光路長差を付与する為に各光束がλ/4板を通過するとき互いに同一の厚さとなる平行光束中に設けてられることを考慮すると、甲第1号証においてビームスブリッタの代わりに周知の偏光ビームスプリッターとλ/4板を用いる際に、甲第2号証の記載に基づいてλ/4板を軸上光束が略平行光となる偏光ビームスプリッターと第2レンズ群との間に配置することは当業者にとって単なる設計事項である。
　そうすると、本件発明９は、甲第１号証に記載された発明及び周知の事項に基いて当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件発明１〜４、７及び９は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件発明１〜４、７及び９についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　また、本件発明８に係る特許については、他に取消理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成六年法律第百十六号）附則第十四条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成七年政令第二百五号）第四条第一及び二項の規定により、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月５日（２０００．６．５）