(57)【要約】      （修正有）【課題】検査工程全体の効率と、空間利用効率を向上させることのできる、光学検査モジュールを提供する。【解決手段】光学検査モジュールは、少なくとも、光源３４と、半透過型素子３６と、反射素子３８と、イメージ捕捉素子４０と、からなる。光源からの光線３４１は、半透過型素子を経て、平面の検査物に到達し、その後、平面の検査物３２の光学イメージが、半透過型素子に反射して、更に、半透過型素子により、反射素子に反射し、反射素子は、光学イメージをイメージ捕捉素子に伝送する。【選択図】図３
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
光学検査モジュールであって、平面の検査物に対し光学画像捕捉を実行し、前記光学検査モジュールは、少なくとも、
光線を射出する光源と、
前記平面の検査物と前記光源間に設置され、第一直線で配列される半透過型素子と、
前記第一直線を離れて配列され、且つ、前記半透過型素子と一定距離が隔てられた反射素子と、
前記反射素子と第二直線で配列される画像感知素子と、からなり、
前記光源が射出する光線は、前記半透過型素子を通過して、前記平面の検査物に到達し、前記平面の検査物は、画像経路を前記半透過型素子に反射し、更に、前記半透過型素子により、前記画像経路を前記反射素子に反射し、前記反射素子により前記画像感知素子に導引することを特徴とする光学検査モジュール。
【請求項２】
前記反射素子は、全反射素子であることを特徴とする請求項１に記載の光学検査モジュール。
【請求項３】
前記画像感知素子は、CCD、または、相補MOS半導体であることを特徴とする請求項１に記載の光学検査モジュール。
【請求項４】
更に、前記画像感知素子と前記反射素子の間にレンズを含むことを特徴とする請求項１に記載の光学検査モジュール。
【請求項５】
少なくとも固定素子を有し、前記半透過型素子、及び、前記反射素子を固定することを特徴とする請求項１に記載の光学検査モジュール。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、光学検査モジュールに関するものであって、平面物体外観を検査する光学検査モジュールに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
パネルの検査過程において、パネルが正常に動作するか以外に、パネルに瑕疵がないか、ほこりが付着していないかを確認する必要がある。図１は、公知のパネルの光学検査モジュールを示す図である。図のように、光学検査モジュール１０は、光源１２、半透過型素子１４、及び、CCD１６からなり、CCD１６は検査されるパネル１８上方に設置され、半透過型素子１４はパネル１８、及び、CCD１６間に設置され、光源１２は半透過型素子１４の一側に設置され、光源１２が射出する光線１２１の一部は、半透過型素子１４からパネル１８に反射し、パネル１８は画像経路２０を反射し、且つ、半透過型素子１４からCCD１６を通過する。CCD１６によりパネル１８の表面画像を撮影する。しかし、この種の設計の光学検査モジュール１０は、パネル１８により反射する画像経路２０が半透過型素子１４を通過しないとCCD１６に達することができないので、CCD１６の光学イメージ品質に限りがあり、確実な検査ができない。
【０００３】
図２は、公知のパネルの光学検査モジュールを示す図で、図で示されるように、半透過型素子１４は、検査するパネル１８と光源１２の間に設置され、CCD１６は、半透過型素子１４の一側に設置され、光源１２が射出する光線１２１の一部は、半透過型素子１４を通過してパネル１８に到達し、パネル１８は画像経路２０を半透過型素子１４に反射し、且つ、半透過型素子１４によりCCD１６に反射する。この種の設計の光学検査モジュール１０は、CCD１６の画像品質劣化を招かないが、光源１２とCCD１６の間を９０度に配置設計しなければならないので、配置に制限がある。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の問題を解決することを目的として、本考案の目的は、光学検査モジュールを提供し、反射素子の設計により、効果的に、撮影する画像の品質や画像感知素子の設置位置が制限を受ける問題を解決して、検査工程全体の効率と空間利用を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述の目的を達成することを目的として、本考案の実施例による光学検査モジュールは、平面の検査物に対して、光学画像捕捉を実行する。光学検査モジュールは、光線を射出する光源と、平面の検査物と光源間に設置され、第一直線で配列される半透過型素子と、第一直線を離れて配列され、且つ、半透過型素子と一定距離が隔てられた反射素子と、反射素子と第二直線で配列される画像感知素子と、からなり、光源が射出する光線は、半透過型素子を通過して、平面の検査物に到達し、平面の検査物は画像経路を半透過型素子に反射し、更に、半透過型素子により、画像経路を反射素子に反射し、反射素子により画像感知素子に導引する。
【考案の効果】
【０００６】
本考案により、パネルが反射する画像経路は、半透過型素子を必要としないので、CCDの画像品質劣化が生じず、同時に、CCDは光源と同一側に設置されるので、公知のCCDと光源の間を９０度に調整して配置する問題を効果的に解決し、配置上、制限を受けない。
【考案を実施するための最良の形態】
【０００７】
図３は、本考案の第一実施例による光学検査モジュールの構造を示す図である。光学検査モジュール３０は、平面の検査物を検査するのに用いられる。本実施例中、平面の検査物はパネル３２で、光学検査モジュール３０は、光源３４、半透過型素子３６、反射素子、及び、画像感知素子、からなり、本実施例中、反射素子は全反射素子３８で、画像感知素子はCCD４０である。
【０００８】
光源３４は、検査されるパネル３２の相対位置に設置され、半透過型素子３６は、光源３４とパネル３２の間に設置され、且つ、三者は第一直線４２で配列される。また、全反射素子３８は、第一直線４２を離れて配列され、半透過型素子３６の一方の側に設置されると共に、半透過型素子３６と一定距離隔てられる。CCD４０は全反射素子３８の相対位置に設置され、全反射素子３８と第二直線４４で配列される。CCD４０と全反射素子３８の間に、第二直線４４上に位置するレンズ４６を設置する。
【０００９】
上述の説明を継続すると、図３で示されるように、光源３４が射出する光線３４１は、半透過型素子３６を通過して、検査されるパネル３２に到達し、パネル３２は画像経路４８を半透過型素子３６に反射し、更に、半透過型素子３６により、画像経路４８を全反射素子３８に反射し、全反射素子３８により画像経路４８を、レンズ４６からCCD４０に導引して、CCD４０が画像を捕捉する。
【００１０】
光源３４と半透過型素子３６の間で、第一直線４２上に集光レンズ５０を設置して、光源３４が射出する光線３４１を半透過型素子３６上に集光する。この他、本実施例中、半透過型素子３６、及び、全反射素子３８を固定装置５２上に設置し、且つ、両者は平行に設置されているが、これに限定されない。第二実施例では、図４で示されるように、全反射素子３８と半透過型素子３６間は非平行であり、全反射素子３８は、半透過型素子３６に対して傾斜し、第一実施例と比較すると、CCD４０、及び、レンズ４６の位置と光源３４の間の間隔が大きく、半透過型素子３６が、画像経路４８を全反射素子３８に反射した後、全反射素子３８により、画像経路４８をレンズ４６からCCD４０に導引して、CCD４０が画像捕捉を実行する。
【００１１】
上述の実施例中、パネルが反射する画像経路は、半透過型素子を必要としないので、CCDの画像品質劣化が生じず、同時に、CCDは光源と同一側に設置されるので、公知のCCDと光源の間を９０度に調整して配置しなければならない問題を効果的に解決し、配置上、制限を受けない。上述の実施例中、画像感知素子は、上述のCCD以外に、相補型MOS（CMOS）画像センサーでも、或いは、その他の画像センサー功能を有する素子でもよい。
【００１２】
本考案では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本考案に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本考案の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本考案の保護範囲は、実用新案請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】公知のパネルの光学検査モジュールを示す図である。
【図２】公知のもう一つのパネルの光学検査モジュールを示す図である。
【図３】本考案の第一実施例による光学検査モジュールの構造を示す図である。
【図４】本考案の第二実施例による光学検査モジュールの構造を示す図である。
【符号の説明】
【００１４】
10  光学検査モジュール
12  光源
121  光線
14  半透過型素子
16  CCD
18  パネル
20  画像経路
30  光学検査モジュール
32  パネル
34  光源
341  光線
36  半透過型素子
38  全反射素子
40  CCD
42  第一直線
44  第二直線
46  レンズ
48  画像経路
50  集光レンズ
52  固定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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