【事件の表示】
　特許第２９２０９８５号「マスクの自動位置決め方法及び装置」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９２０９８５号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２９２０９８５号（以下、「本件特許」という）は、平成２年１月２４日に出願された特願平２−１２４８６号の特許出願に係り、平成１１年４月３０日に設定登録（請求項の数２）されたものであるが、全請求項に係る本件特許に関して、森脇大樹より特許異議の申立てがあったので、当審において、当該申立ての理由を検討の上、特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１２年１１月２８日に特許異議意見書と共に訂正請求書が提出されたものである。
　
２．訂正請求の可否
（１）訂正の要旨
　特許権者の求める訂正は、平成１２年１１月２８日付の訂正請求書に記載されたとおりのものであり、その訂正の要旨は、次のア〜ウのとおりである。
　ア．特許請求の範囲の請求項１の「前記マスク位置を補正することを特徴とするマスクの自動位置決め方法。」を「前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うことを特徴とするマスクの自動位置決め方法。」と訂正する。
　イ．特許請求の範囲の請求項２の「検出器とを備えたことを特徴とするマスクの自動位置決め装置。」を「検出器とを備え、前記ターゲットと前記検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルチーフの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテーフに対するそれ以後の露光を行うようになっていることを特徴とするマスクの自動位置決め装置。」と訂正する。
　ウ．上記ア及びイにより訂正された特許請求の範囲の請求項１及び請求項２の記載内容と詳細な説明の記載内容を整合させるように、詳細な説明における「課題を解決するための手段」、「実施例」、「発明の効果」の欄を訂正する。
（２）訂正の目的、新規事項の有無及び特許請求の範囲の実質的拡張・変更の存否
　上記訂正事項アについては、請求項１に記載された自動位置決め方法が、１本のフレキシブルテープの最初の露光部分についてのみ行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うようにした点を限定したものといえ、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、上記訂正事項アは、特許明細書第１１頁第９行〜第１２行（特許掲載公報第６欄第１１行〜第１３行）に記載の「上記のようなマスクの自動位置決めは、１本のフレキシブルテープ（１）の露光工程の最初に行ない、その位置で固定して以後の露光を行なってもよく、あるいは途中で再補正を行なってもよい。」の記載において、１本のフレキシブルテープの最初の部分についてのみ自動位置決めを行うことが記載されていると認定することができ、願書に添付した明細書及び図面の記載の範囲内における訂正といえ、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
  訂正事項イによる訂正は、請求項２に記載された自動位置決め装置が、１本のフレキシブルテープの最初の露光部分についてのみ行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うようにした自動位置決め装置であることを限定したものといえ、特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
　そして、訂正事項イも上記アにおいて検討したとおりの理由で、願書に添付した明細書及び図面の記載の範囲内における訂正といえ、また、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
　訂正事項ウは、訂正事項ア及びイによる訂正後の特許請求の範囲の内容と、発明の詳細な説明の内容との整合を図り、願書に添付した明細書及び図面に記載した事項の範囲内において、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、新規事項の追加にも該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（３）訂正請求の認容について
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項に掲げる事項を目的とするものであり、同第１２０条の４第３項において準用する特許法第１２６条第１項ただし書き、第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正の請求を認容する。
（４）訂正発明の認定
　上記のとおり、平成１２年１１月２８日付の訂正請求は認容されるので、本件特許発明は、訂正請求書に添付された全文訂正明細書の特許請求の範囲に記載された下記の請求項１及び２のとおりのものと認める。
【請求項１】　
　表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造工程において、
　前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所にターゲットを設定し、該ターゲットに対応して前記マスクに設けた検出用パターンを前記フレキシブルテープのターゲット上にレジストが反応しない波長の光で投影し、前記ターゲットと検出用パターンの反射光を検出して該ターゲットと検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うことを特徴とするマスクの自動位置決め方法。
【請求項２】
　表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造設備において、
　露光用のパターンと、前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所に設定したターゲットに対応した位置に設けられた検出用パターンとが形成され、前記フレキシブルテープ上にＸ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクと、
　該マスクと前記フレキシブルテープとの間に配設されたレンズと、
　前記フレキシブルテープの上方に配設され、前記マスクの検出用パターンの映像及びフレキシブルテープのターゲットの反射光を受光する光学素子と、
　該光学素子からの反射光を検出する検出器とを備え、
　前記ターゲットと前記検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うようになっていることを特徴とするマスクの自動位置決め装置。　
　　
３．引用例との対比判断
（１）引用刊行物とその記載事項
　異議申立人が提出した刊行物である甲第１号証〜甲第３号証には、以下の事項が記載されている。
刊行物１：特開平１−２９８３６２号公報（異議申立人が提出した甲第１号証）
　上記刊行物１には「露光装置におけるフイルムの位置決め方法及びその装置」に関し、以下の記載がある。
　ア．「〔産業上の利用分野〕この発明は、露光装置特に感光性レジストを塗布した長尺のフイルムに配線パターンを投影して露光する露光装置におけるフイルムの位置決め方法及びその装置に関する。」（２頁左上欄４〜８行）
　イ．「上記のようにすることにより、アパーチヤ面に給送されたフイルムの基準パーフオレーシヨンは常にパターンマスクの基準マークと完全に一致するので、フイルム面上に形成される配線パターンとフイルムの基準パーフオレーシヨンとの関係位置は極めて高精度に保持される。」（３頁左上欄１８〜右上欄３行）
　ウ．「以下、添付図面を参照してこの発明の実施例を説明するが、・・・柔軟なプラスチツクフイルムイ上に極めて薄い銅箔を均一に接着し、その上に感光性レジストを塗布した長尺のフイルム１は幅方向の両側に給送用のパーフオレーシヨン1a′,1b′を有している。・・・中央の上部には、図示しないランプ，インテグレータ，コンデンサレンズ等からなる露光用光源部９と投影レンズ10とからなる露光装置を有している。
　光源部９と投影レンズ10との間に挿入されるパターンマスク11は、第２図に示すように中央部に配線パターン11cを形成したガラス乾板からなり、フイルム１の基準パーフオレーシヨン1a,1b（第３図参照）と共役の位置に２個の基準マーク11a,11bを形成し、それ自体図示しないマスク枠の所定の位置に固設され、露光装置の所定の位置に装着される。
　また、中央の下部には第５図にその詳細を示すように、ステツピングモータ13により装置固定部に対して左右方向に移動し得るＸテーブル14、ステツピングモータ15によりＸテーブル14に対して紙面に直交する方向に移動し得るＹテーブル16、ステツピングモータ17によりタイミングベルト18を介してＹテーブル16に対して所定角度回動し得るθテーブル19をそれぞれ設けている。」（３頁左下欄２行〜４頁左上欄１１行）
　エ．「ここで、このようなフイルム供給及び供給装置を備えた露光装置のフイルム位置決め方法の原理を第１図を参照して説明する。
　アパーチヤ枠20にフイルムを給送しない状態で、ミラー31a,31bを投影光路外に退避させて投影しようとするパターンマスク11を所定の位置に装着し、露光用光源部９からの紫外光源によりパターンマスク11をアパーチヤ面20dに投影すると、基準マーク11a,11bの像は第６図に下面図を示すアパーチヤ20cの切欠部20a,20b内に投影されるので、それぞれ基準マーク11a,11bの像の重心の位置をアパーチヤ面20dに合焦させた撮像装置33a,33bにより検出して記憶させる。
　次いで、ミラー31a,31bを図示の位置に復帰させ、フイルム１をアパーチヤ面20dに給送して所定の位置で停止させると、フイルム１の基準パーフオレーシヨン1a,1bはアパーチヤ枠切欠部20a,20b内に位置する。
　この状態で、光源32a,32bを点灯し、ミラー31a,31bを介してフイルムに感光しない波長の光によりフイルムの基準パーフオレーシヨン1a,1bを照明し、再び撮像装置33a,33bによつてその重心の位置を検出して記憶させ、先に記憶させた基準マーク11a,11bの像の重心の位置とのずれ量を算出し、その算出結果に応じてθテーブル19,Xテーブル14,Yテーブル16をそれぞれ所要量移動させて基準パーフオレーシヨン1a,1bの重心の位置を基準マーク11a,11bの像の重心の位置に一致させた後、露光用光源部９により配線パターン11cをフイルム１上に投影して露光する。」（５頁左上欄７行〜右上欄１７行）
　オ．「したがつて、第９図の演算回路35でこれらの値を算出し、ステツピングモータ13,15により第５図に示すＸテーブル14をΔx,Yテーブル16をΔｙ所要方向に移動させて第８図に示すように点P0′を点P0に一致させた後、ステツピングモータ17によりθテーブル19を所要方向に∠θ回動させれば点P1′は点P1に、点P2′は点P2にそれぞれ一致してフイルム１の位置決めが完了する。」（５頁右下欄２〜１０行）
　カ．「これらの作動は説明の都合上二段階に分けて述べたが、実際には同時に行うことができる。・・・なお、上記実施例においては、パターンマスク11の基準マーク11a,11bの位置を検出する場合に、光源32a,32bからの光をフイルムの基準パーフオレーシヨン1a,1bの方向に反射させるミラー31a,31bを投影光路から退避させるようにしたが、ミラー31a,31bを固定のハーフミラーとすることも可能であり、この場合には各ハーフミラーを通過する投影光線のずれ量を考慮してパターンマスク11の基準マークの位置をその量だけ内側へ偏倚して設ければよい。」（５頁右下欄１１行〜６頁左上欄８行）
　刊行物２：特開昭６０−２２３１２２号公報（異議申立人が提出した甲第２号証）
　上記刊行物２には、「投影露光装置」に関し、以下の記載がある。
　キ．「本発明は原盤の像を記録体上に投影する光学装置に関し、特にフォトマスクやレチクル（以下、両者を総称してマスクと云う）の集積回路パターンをフォトレジスト層に具えたウエハ上に投影露光するに先立って、マスクとウエハを高精度でアライメントするに適した光学装置に関する。」（１頁右欄１６行〜２頁左上欄１行）
　ク．「以下、本発明の実施例を・・・４は集積回路作成の為のパターンが形成されまたアライメントマークを具えたマスク・・・フォトレジストが塗布されたウエハ７・・・ウエハ７にはマスク４のアライメントマークと組み合うマークが設けられており、・・・アライメント用光源１０及びアライメント用光学系９により、マスク４上にアライメントマークとウエハ７上にアライメントマークが投影光学系５及び光学部材６を通して同時に観察又は計測され、・・・マスク４又はステージ８の移動により両者の位置合わせが行われる。・・・マスク面とウエハ面とは、投影光学系５及び光学部材６より成る光学系について完全に共役な位置関係になるように配置されている。」（２頁右下欄１２行〜３頁右上欄７行）
　刊行物３：特開平１−１９１１５１号公報（異議申立人が提出した甲第３号証）
　上記刊行物３には、「露光装置」に関し、以下の記載がある。
　ケ．「本発明は、例えば、電子部品の実装等で用いられるプリント基板製作のための露光装置に関するものである。
［従来の技術］
一般にプリント基板と呼ばれているものには、・・フレキシブルプリンティッドサーキィット（以下、FPCという）等が知られている。・・・FPCは基板素材としてポリエステルフィルム，ポリイミドフィルム等を使用し厚さが25から125μｍ程度である。
　これらプリント基板の製作には、基板に液状レジスト，ドライフィルムレジスト等の薄いフォトレジスト層を設け、プリントすべきパターンが描かれたフォトマスクを通して該フォトレジストの感光波長で露光する工程を経て、所望のパターンを該フォトレジスト層に設ける。」（１頁左欄１９行〜右欄１９行）
　コ．「［実施例］・・・２はプリントしようとする原画・・・５は露光面に配置される被露光物（以下ワークという）・・・第１図の露光装置において、まず露光処理を開始する前に使用する原画２を原画設定機構2aによって設定する。
　次に、超高圧水銀灯11からの光を照明系1,原画2,投影レンズ３を介して露光面に配置されたワーク５に照射する。ワーク５に照射された光は散乱し、この散乱した光の一部は半透過性薄膜４に反射し顕微鏡６に入射し、この顕微鏡６によって露光像を直接モニタすることができる。モニタの結果、露光像のピストずれ，位置ずれがあれば照明系，ワークの位置、または原画の位置の調整を行う。モニタの結果、ピントずれ，位置ずれがなければ半透過性薄膜４を光路中から除去して露光を開始する。
　尚、露光に支障のない位置であれば、半透過性薄膜４をそのままの位置で露光を開始しても良く、この場合は、原画２及びワーク５にアライメントマークを設ける等して、常時モニタすると好適である。
　また、露光面結像モニタとして顕微鏡を用いたが、顕微鏡に代えてCCD等の半導体素子を用いた撮像装置を用いてもよい。」（３頁左上欄１２行〜左下欄１１行）
（２）対比・判断
［請求項１に係る発明について］
　本件の請求項１に係る発明と刊行物１に記載の発明を対比すれば、刊行物１における「長尺のフィルム（１）」、「パターンマスク（１１）」、「配線パターン（１１ｃ）」、「基準パーフオレーシヨン（１ａ，１ｂ）」、「基準マーク（１１ａ，１１ｂ）」は、本件の請求項１に係る発明のそれぞれ「フレキシブルテープ」、「マスク」、「パターン」、「ターゲット」、「検出用パターン」に相当し、上記オ．の記載から、刊行物１のものにおいても自動で位置決めを行うものといえるので、両者は、
「表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造工程において、前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所にターゲットを設定し、該ターゲットに対応して前記マスクに設けた検出用パターンを投影し、前記ターゲットを検出して該ターゲットと検出用パターンの映像が一致するように位置を補正するマスクとフレキシブルテープとの自動位置決め方法」である点で一致し、以下の点で相違している。
＜相違点１＞
　フレキシブルテープ上のターゲットと検出用パターンの検出手段が、本件請求項１の発明では、「検出用パターンを」「ターゲット上にレジストが反応しない波長の光で」投影して、両者の反射光を同時に検出するものであるのに対し、刊行物１記載の発明では、検出用パターンの投影位置を予め記憶させておくと共に、その後、ターゲットの位置を、別途、レジストに反応しない光による透過光で検出している点。
＜相違点２＞
　ターゲットと検出用パターンの映像を一致させるために、本件の請求項１に係る発明は、「マスク位置」を補正するのに対し、刊行物１に記載された発明は、「フィルム位置」を補正している点。
＜相違点３＞
　自動位置決めを、本件の請求項１に係る発明においては、「１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行う」ものであるのに対して、刊行物１に記載された発明においては、位置決めをいつ行うものであるか明確な言及はない点。
　以下相違点を検討する。
　相違点１について
　刊行物２及び３に記載されているように、回路パターン露光時におけるアライメント（位置合わせ）に際して、マスク上の検出用パターンを、レジストに反応しない光でターゲットに投影して、反射光により両者の位置を同時に検出する手法は周知のものであり、かかる周知の手法が刊行物１記載の検出手段と置換可能なものであることは、目的や手段の共通性からみて、当業者であれば容易に想到しうるところといえる。
　相違点２について
　刊行物２には、位置補正を、マスクを移動させて行う点が記載されており、相違点２で指摘した請求項１に係る発明の構成は、上記刊行物２に記載された発明から当業者が容易に推考し得たことということができる。
　相違点３について
　刊行物３において「常時モニタすると好適である。」との記載があることから、刊行物３のものにおいても最初に１度だけモニタを行って位置調整を行うものが記載されているといえるので、相違点３で指摘した請求項１に係る発明の構成は、刊行物３にも示唆されているといえる。
　さらに、刊行物１記載のものにおいてもテープ装着時には最初の撮影前に露光工程を行うものであることは明らかであって、その後に再度露光工程を行うか行わないかは、送り装置の精度や必要とされる組付精度等によって適宜選択されることといえるので、自動位置決めを、「１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行う」ようにすることは、刊行物１の記載から当業者が容易になしえたことといえる。
　そして、本件の請求項１に係る発明の作用効果も上記刊行物１ないし３に記載された発明から予測しうる範囲内のものである。
　したがって、本件の請求項１に係る発明は、上記刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得たことといえる。
　よって、本件の請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定すべき出願に対してされたことになる。
［請求項２に係る発明について］
　本件の請求項２に係る発明と刊行物１に記載の発明を対比すれば、刊行物１における「長尺のフィルム（１）」、「投影レンズ（１０）」、「パターンマスク（１１）」、「配線パターン（１１ｃ）」、「基準パーフオレーシヨン（１ａ，１ｂ）」、「基準マーク（１１ａ，１１ｂ）」、「撮像装置（３３ａ，３３ｂ）」は、本件の請求項２に係る発明のそれぞれ「フレキシブルテープ」、「レンズ」、「マスク」、「パターン」、「ターゲット」、「検出用パターン」、「検出器」に相当し、上記オ．の記載から、刊行物１の装置においても自動で位置決めを行う装置といえるので、両者は、
「表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造設備において、露光用のパターンと、フレキシブルテープ上の少なくとも１か所に設定したターゲットに対応した位置に設けられた検出用パターンとが形成され、フレキシブルテープ上に配設されたマスクと、該マスクとフレキシブルテープとの間に配設されたレンズと、マスク検出用のパターンの映像及びフレキシブルテープのターゲットの映像を検出する検出器を備え、前記ターゲットと検出用パターンの映像が一致するように位置を補正するマスクとフレキシブルテープとの自動位置決め装置」である点で一致し、下記の点で相違している。
＜相違点４＞
　ターゲットと検出用パターンを一致させるために、本件の請求項２に係る発明は、「Ｘ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に」マスクを「配設」するのに対し、刊行物１に記載された発明は、Ｘ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に前記「長尺のフィルム」を配設している点。
＜相違点５＞
　ターゲットと検出用パターンの位置を検出するための検出器として、請求項２に係る発明は、「フレキシブルテープの上方に配設され、検出用パターンとターゲットとの反射光を受光する光学素子と、該光学素子からの反射光を検出する」ものであるのに対し、刊行物１に記載された発明は、フレキシブルテープの下方に配設され、検出用パターンとターゲットの透過光を撮像する検出器である点。
＜相違点６＞
　本件の請求項２に係る発明においては、自動位置決めを、１本の前記フレキシブルチーフの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテーフに対するそれ以後の露光を行うようになっているのに対して、刊行物１に記載された発明においては、位置決めをいつ行うものであるか明確な言及はない点。
　以下相違点について検討する。
　相違点４について
　ターゲットと検出用パターンの投影位置を一致させるために、後者の位置を変えるようにしたものも、刊行物２に示されるように当該技術分野において公知であり、前者または後者のいずれの位置を変えるかは、刊行物３に「ワークの位置、または原画の位置の調整を行う」（第３頁右上欄〜左下欄）とあるように、当業者が適宜選択すべき設計事項である。
　相違点５について
　相違点１についての検討で指摘したように、ターゲットや検出用パターンの位置を反射光により検出する手法を採用することは容易にできるし、その場合、刊行物２及び３にも示されるように、当該反射光を受光する光学素子と、該光学素子からの反射光を検出する検出器を、光の反射方向、即ち、フレキシブルテープの上方に配置するのは当然の設計事項である。
　相違点６について
  相違点６は、相違点３と同様な理由によって、刊行物１から容易になしえたことといえる。
　そして、本件の請求項２に係る発明の作用効果も上記刊行物１ないし３に記載された発明から予測しうる範囲内のものである。
　したがって、本件の請求項２に係る発明は、上記刊行物１ないし３に記載された発明に基づいて当業者が容易になし得たことと言える。
　よって、本件の請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定すべき出願に対してされたことになる。
　
４．むすび
　以上のとおりであるから、本件特許明細書の請求項１〜２に係る発明の特許は、いづれも拒絶査定をしなければならない特許出願に対してなされたものであるから、平成６年法律第１１６号附則第１４条の規定によって適用される、平成７年政令第２０５号第４条第２項の規定によって、特許法第１１４条第２項を適用し、取り消すべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年１月５日（２００１．１．５）
【訂正の要旨】
　本件特許異議申立に係る訂正請求における訂正の要旨は、次のア〜ウのとおりである。
　ア．特許請求の範囲の請求項１の「前記マスク位置を補正することを特徴とするマスクの自動位置決め方法。」を「前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以後の露光を行うことを特徴とするマスクの自動位置決め方法。」と訂正する。
　イ．特許請求の範囲の請求項２の「検出器とを備えたことを特徴とするマスクの自動位置決め装置。」を「検出器とを備え、前記ターゲットと前記検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルチーフの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルチーフに対するそれ以後の露光を行うようになっていることを特徴とするマスクの自動位置決め装置。」と訂正する。
　ウ．上記ア及びイにより訂正された特許請求の範囲の請求項１及び請求項２の記載内容と詳細な説明の記載内容を整合させるように、詳細な説明における「課題を解決するための手段」、「実施例」、「発明の効果」の欄を訂正する
（５４）【発明の名称】
マスクの自動位置決め方法及び装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造工程において、
　前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所にターゲットを設定し、該ターゲットに対応して前記マスクに設けた検出用パターンを前記フレキシブルテープのターゲット上にレジストが反応しない波長の光で投影し、前記ターゲットと検出用パターンの反射光を検出して該ターゲットと検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する
自動位置決きめを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以降の露光を行う
　【請求項２】　表面にレジストが塗布され、間欠的に搬送されるフレキシブルテープ上にマスクに設けたパターンを投影して露光させるフレキシブルテープの製造設備において、
　露光用のパターンと、前記フレキシブルテープ上の少なくとも１か所に設定したターゲットに対応した位置に設けられた検出用パターンとが形成され、前記フレキシブルテープ上にＸ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクと、
　該マスクと前記フレキシブルテープとの間に配設されたレンズと、
　前記フレキシブルテープの上方に配設され、前記マスクの検出用パターンの映像及びフレキシブルテープのターゲットの反射光を受光する光学素子と、
　該光学素子からの反射光を検出する検出器とを備え
、
　
前記ターゲットと前記検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自働位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以降の露光を行うようになっている
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、半導体素子を実装するフレキシブルテープの製造設備において、フレキシブルテープ上に導電パターンを投影して露光するマスクの自動位置決め方法及び装置に関するものである。
［従来の技術］
　半導体装置は、一般にリードフレームに設けたダイパッドに半導体素子を取付け、半導体素子の外部電極とリードフレームの端子とをそれぞれワイヤで接続し、これをエポキシ樹脂の如き熱硬化性樹脂でパッケージしたのち各端子を切断し、製造している。
　ところで、最近では電子機器の小形化、薄形化に伴ない、これに使用する半導体装置も高密度実装するため、薄くかつ小形の半導体装置の出現が望まれている。このような要請に応えるべく、ポリイミドフィルムの如きフレキシブルテープのデバイスホールに半導体素子を配設し、この半導体素子の電極とフレキシブルテープのインナーリードに設けた端子とを直接接続し、これに液状の樹脂（例えばエポキシ樹脂）からなる封止材を印刷あるいはボッティングしてパッケージした方式の半導体装置が使用されるようになった。
　第３図はフレキシブルテープの一例を説明するための平面図である。図において、（１）は長さ方向に等間隔に、実装する半導体素子（５），（５ａ）…（５ｎ），…の表面積より大きい面積のデバイスホール（２），（２ａ）…（２ｎ），…が設けられた、厚さ７５〜１００μｍ程度の例えばポリイミドフィルムからなるフレキシブルテープである。（３）はフレキシブルテープ（１）に設けられた銅の如き導電率の高い厚さ３０〜４０μｍ、幅５０〜３００μｍ程度の金属箔からなる多数の導電パターンで、その一部はデバイスホール（２）内に突出してインナーリード（３ａ）を形成しており、その先端部には半導体素子（５）〜（５ｎ）の電極と接続する端子が設けられている。（４）はフレキシブルテープ（１）を搬送するため両縁部の対向位置に等間隔で設けられたスプロケット穴である。
　ところで、上記のようなフレキシブルテープは、通常次のような工程で製造される。
　▲１▼コイル状に巻かれた加工のしてないフレキシブルテープ（１）を用意する。
　▲２▼フレキシブルテープ（１）を巻戻して両縁部に等間隔にスプロケット穴（４）をパンチングする。
　▲３▼スプロケット穴（４）を利用してフレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、パンチングによりデバイスホール（２）〜（２ｎ）を形成する。
　▲４▼フレキシブルテープ（１）の表面全面に銅箔をラミネートする。
　▲５▼銅箔の上にレジストを塗布する。
　▲６▼フレキシブルテープ（１）を間欠的に搬送し、デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周りに導電パターン（３）を露光する。
　▲７▼現像する。
　▲８▼導電パターン（３）以外のレジストをエッチングにより除去する。
　上記の工程中、レジストを塗布したフレキシブルテープ（１）を露光する工程においては、フレキシブルテープ（１）の搬送の最初において、第４図に示すように作業者がフレキシブルテープ（１）のスプロケット穴（４）を基準にしてパターンが形成されたマスク（６）の位置決めを行ない、その位置でマスク（６ａ）を固定してフレキシブルテープ（１）を全長にわたって間欠的に搬送し、マスクを介してフレキシブルテープ（１）上にパターンを投影して、各デバイスホール（２）〜（２ｎ）の周囲にそれぞれ導電パターン（３）を形成するための露光を行なっている。なお、（７）はレンズである。
［発明が解決しようとする課題］
　従来のフレキシブルテープ（１）の露光工程においては、上記のようにしてマスク（６）の位置決めを行なっており、導電パターン（３）の位置精度はスプロケット穴（４）の位置精度のみによって決定される。このためスプロケット穴（４）の精度の異なるフレキシブルテープ（１）にそのまま露光を行なうと、導電パターン（３）の位置が異なって使用できなくなるので、マスク（６ａ）の位置決めをやり直さなければならず、このため多くの工数を必要とする。また、同じフレキシブルテープ（１）においても第５図に示すように対向するスプロケット穴（４），（４ａ）の位置のずれΔａや、隣接するスプロケット穴（４），（４ｂ）間の間隔（ａ）と（４ａ），（４ｃ）間の間隔（ａ１）にばらつきがあるため、高精度で安定した導電パターン（３）が得られなかった。さらに、マスク（６ａ）の位置決めは、これを行なう作業者によって個人差があるなど種々問題があり、結果として、半導体素子（５）〜（５ｎ）の実装時に大きな影響が出ていた。
　本発明は、上記の課題を解決すべくなされたもので、スプロケット穴等の位置精度に関係なく、マスクを自動的かつ正確に位置決めすることのできるマスクの位置決め方法及び装置を得ることを目的としたものである。
［課題を解決するための手段］
　本発明に係るマスクの自動位置決め方法は、フレキシブルテープ上の少なくとも１か所にターゲットを設定し、このターゲットに対応してマスクに設けた検出用パターンをフレキシブルテープのターゲット上にレジストが反応しない波長の光で投影し、ターゲットと検出用パターンの反射光を検出してターゲットと検出用パターンの映像が一致するように前記マスクの位置を補正する
自動位置決を、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以降の露光を行う
　また、上記方法を実施するための装置は、露光用のパターンとフレキシブルテープ上の少なくとも１か所に設定したターゲットに対応した位置に設けられた検出用パターンとが形成され、フレキシブルテープ上にＸ，Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクと、このマスクとフレキシブルテープとの間に配設されたレンズと、フレキシブルテープの上方に配設され、マスクの検出用パターンの映像及びフレキシブルテープのターゲットの反射光を受光する光学素子と、この光学素子からの反射光を検出する検出器とを備え
、前記ターゲットと前記検出用パターンの映像が一致するように前記マスク位置を補正する自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに対するそれ以降の露光を行うようになっている
［作用］
　レジストが反応しない波長の光によりマスクに設けた検出用パターンをフレキシブルテープ上に投影し、フレキシブルテープから反射した検出用パターンの映像とターゲットの反射光とを光学素子を介して検出器で検出する。検出用パターンとターゲットが不一致の場合は、マスクを前後左右に移動しあるいは回転させて検出用パターンとターゲットを一致させ、マスクを自動的に位置決めする。
［実施例］
　第１図は本発明を説明するための位置決め装置の模式図、第２図はその作用説明図である。なお、第３図、第４図の従来技術と同じ部分には同じ符号を付し、説明を省略する。両図において、（６）はＸ、Ｙ方向に移動及び水平方向に回転可能に配設されたマスクで、導電パターン（３）を露光するためのパターン（６１）が形成されていることは従来通りであるが、本発明においては、例えばフレキシブルテープ（１）のスプロケット穴（例えば（４ｘ）で、以下基準スプロケット穴という）に対応した位置に、スプロケット穴（４ｘ）と同じ大きさの検出用パターン（６２）を設けたものである。
　（８）はフレキシブルテープ（１）とレンズ（７）との間において、フレキシブルテープ（１）の基準スプロケット穴（４ｘ）の上方に配置したプリズム、（９）はプリズム（８）の上方に配置されたカメラの如き検出器である。
　次に本発明の作用を説明する。なお、本実施例においては、フレキシブルテープ（１）は矢印方向に間欠的に搬送されるものとする。いま、フレキシブルテープ（１）が露光のためレンズ（７）の下に停止すると、光源（図示せず）からレジストが反応しない波長の光をマスク（６）に照射する。これにより、マスク（６）に設けた露光用のパターン（６１）及び検出用パターン（６２）がレンズ（７）を介してフレキシブルテープ（１）上に投影される。このとき、フレキシブルテープ（１）から反射した検出用パターン（６２）の映像及び基準スプロケット穴（４ｘ）からの反射光は、プリズム（８）を経て検出器（９）に加えられるので、検出器（９）により基準スプロケット穴（４ｘ）とマスク（６）の検出用パターン（６２）とが一致しているかどうかを検出する。両者が一致しているときは、光源からレジストが反応する波長の光を照射して、フレキシブルテープ（１）上に導電パターン（３）を露光する。
　若し、基準パターン（４ｘ）と検出用パターン（６２）とが一致していない場合は、例えば画像処理装置によりマスク（６）をＸ、Ｙ方向に移動し、あるいは回転して両者が一致するように補正し、一致したときは上記と同様にフレキシブルテープ（１）上に導電パターンを露光する。そして、これらの動作はすべて制御器（図示せず）により自動的に行なわれる。
　上記のようなマスクの自動位置決めは、１本のフレキシブルテープ（１）の露光工程の最初
のみに行い、その位置でマスク位置を固定してフレキシブルテープ（１）に対するそれ以降の露光を行う。
　上記の説明では、１個の基準スプロケット穴（４ｘ）に対応してマスク（６）に１個の検出用パターン（６２）を設けた場合を示したが、例えば上記基準スプロケット穴（４ｘ）と対角線上にあるスプロケット穴（第２図の（４ｙ））に対応して第２の検出用パターンを設け、両検出用パターンを利用して補正を行なってもよい。また、フレキシブルテープ（１）上の基準となる形状もスプロケット穴に限定するものではなく、他の特長的な形状を利用してもよい。この場合は、マスク（６）上の当該形状と対応した位置に検出用パターンを設けることは言う迄もない。
［発明の効果］
　以上の説明から明らかなように、本発明はフレキシブルテープ上の少なくとも１か所にターゲットを設定し、これに対応してマスクに設けた検出用パターンをターゲット上に投影して、両者が一致するようにマスクの位置を調整し、これによりマスクを自動的に位置決めする
自動位置決めを、１本の前記フレキシブルテープの露光工程の最初のみに行い、その位置で前記マスク位置を固定して当該フレキシブルテープに対するそれ以降の露光を行う
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明を説明するための模式図、第２図はその作用説明図、第３図はフレシブルテープの一例を説明するための平面図、第４図は従来の露光工程を説明するための模式図、第５図はフレキシブルテープのスプロケット穴の状態を示す説明図である。
　（１）：フレキシブルテープ、（２）：デバイスホール、（３）：導電パターン、（４）：スプロケット穴、（４ｘ）：基準スプロケット穴、（６）：マスク、（６１）パターン、（６２）：検出用パターン、（７）：レンズ、（８）：プリズム、（９）：検出器。