【事件の表示】
　特許第２５３８７９６号「真空排気装置および真空排気方法」の請求項１ないし２に係る特許について、次のとおり決定する。
【結論】
　特許第２５３８７９６号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理由】
１．手続きの経緯
　特許第２５３８７９６号の請求項１及び請求項２に係る発明は、平成１年５月９日に出願され、平成８年１０月２日に設定登録され、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成９年１１月２５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否
（１）訂正明細書の請求項１及び請求項２に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び請求項２記載された次の事項により特定されるとおりのものである。
「請求項１
　複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮した排気口から排出するターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、ヘリウム冷凍機により−１００℃〜−２００℃の温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する熱交換器とから構成され、該熱交換器の吸気口側と真空容器とを締切弁が設けられた吸気系配管で接続し、該締切弁を開閉することにより、前記熱交換器を真空容器に対し分離あるいは接続可能に構成し、かつ、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、該熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することによって熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有することを特徴とする真空排気装置。
　請求項２
　真空容器とターボ分子ポンプの吸気口との間に、ヘリウム冷凍機により−１００℃〜−２００℃の温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する熱交換器を配備し、かつ、真空容器と該熱交換器との間の吸気系配管に締切弁を配備した真空容器の真空排気方法であって、該締切弁を開け、ターボ分子ポンプとヘリウム冷凍機とを運転する排気工程と、該締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、該熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程とを含むことを特徴とする真空容器の真空排気方法。」
（２）刊行物１乃至刊行物４記載の発明
　訂正明細書の請求項１に係る発明に対し、当審で訂正拒絶理由通知において引用した実願昭６２−７３９３８号（実開昭６３−１８２５２５号）のマイクロフィルム（以下「刊行物１」という。）には、以下の記載がある。
　「（実施例１）…（中略）…
　第１図において、スパッタチャンバー３にロータリーポンプ１を接続し該チャンバー３の排気系３ａにメインバルブ５及び排気トラップ部８を介してターボポンプ２を接続する。またロータリーポンプ１とターボポンプ２とを接続させてある。前記排気トラップ部８は、ＬＮ２の効率の良いトラップ効果と、ポリコールドガス閉サイクルの使い良さ、経済性に着目し、クライオポンプ１０の低温特性を利用し８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとにより構成される。バッフル９ｂはクライオポンプ１０の低温部からの熱伝導を受けてトラップ効果を作用する。…（中略）…該チャンバー３内をロータリーポンプ１で荒引き排気した後、メインバルブ５を開き、高真空に排気する。そのとき、クライオポンプ１０によりバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａによりＨ２Ｏと輻射熱の大部分は吸着される。」（明細書第３頁第３行〜第４頁第５行）
　同じく引用した「日本真空協会創立２５周年記念　第２０回真空に関する連合講演会「１４ａ−２　ＪＦＴ２用べーカブルクライオポンプ」昭和５４年１１月１４日」（以下「刊行物２」という。）には下記の記載がある。
　「２．排気系の構成　Ｆｉｇ１に排気系の構成を示す。排気系は、上流部より▲１▼マニホールド、▲２▼クライオポンプ、▲３▼ターボモレキュラポンプ、▲４▼液体窒素冷却のフォアライントラップ、▲５▼メカニカルブースタポンプ、▲６▼油回転ポンプから主として構成されている。
　３．クライオポンプ　Ｆｉｇ２にクライオポンプの内部構造を示す。…（中略）…▲３▼ヘリウム冷凍機、▲４▼ポンプハウジングより構成されている。ヘリウム冷凍機は、クライオパネルベークアウト時に取りはずし可能な構造としてある。」（第２６頁及び第２７頁）
　同じく引用した「Ａ　Ｕｓｅｒ’ｓ　Ｇｕｉｄｅ　ｔｏ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ」ＪＯＨＮ　ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ，ＩＮＣ．１９８０年発行（以下「刊行物３」という。）には下記の記載がある。
　「１０．１．１システムオペレイション」（第２５５頁〜第２５７頁）
　「１０．２ターボ分子ポンプシステム及びシステム図、Ｆｉｇ１０．５」（第２６４頁及び第２６５頁）
　「セクション１０．１．１に記載されているとおり使用する場合、システムのシャットダウンは高真空バルブを閉じ、液体窒素トラップを暖めることによって開始される。トラップが平衡状態になったとき、フォアラインバルブが閉じられ、ターボ分子ポンプのモータヘの動力が除去される。」（第２６８頁第１６行〜第２０行）
　上記記載事項を、本件発明に倣って表現すると、「ターボ分子システムにおいて、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程。」が開示されている。
　同じく引用した米国特許第４６７９４０２号明細書（以下「刊行物４」という。）には、下記の記載がある。
　「時々、コールドトラップは、コールド表面に集積される汚染物を除去し、清掃しなければならない。時間を減少させるために、外部温度にコールドトラップ１０を暖めるために、ヒートテープ３２のストリップがスリーブ２６の周りに巻かれる。ヒートテープは、スリーブに巻かれテープされたワイヤから熱を伝達する電気装置である。コールドとラップ１０が外部温度に暖められると、トラップは迅速に除去でき掃除することができる。」（第３欄第５０行〜第５９行、ＦＩＧ２）
（３）対比・判断
　イ．訂正明細書の請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明との対比
　刊行物１記載のものにおける、「排気トラップ部」、「スパッタチャンバー」及び「メインバルブ」は、それぞれ、請求項１に係る発明の「熱交換器」、「真空容器」及び「締切弁」に相当する。また、刊行物１にはターボ分子ポンプの具体的構造が記載されていないが、複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するようにしたターボ分子ポンプは本願出願前周知のものである。したがって、両者は、
「複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、水分子を凍結捕集する熱交換器とから構成され、該熱交換器の吸気口側と真空容器とを締切弁が設けられた吸気系配管で接続し、該締切弁を開閉することにより、前記熱交換器を真空容器に対し分離あるいは接続可能に構成した真空排気装置。」である点で一致し、下記の点で相違する。
　相違点１：
　請求項１に係る発明は、ヘリウム冷凍器により熱交換器が−１００℃〜−２００℃に冷却され水分子を選択的に凍結捕集するのに対し、刊行物１記載のものは、熱交換器は、水分子の大部分を凍結吸着するが冷却手段及び冷却温度については明らかでない点。
　相違点２：
　請求項１に係る発明は、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、該熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することによって熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有するのに対し、刊行物１記載のものは、再生手段については明らかでない点。
　次にこれら相違点について検討すると、
　相違点１について
　刊行物１のものは、冷却されたバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａ（熱交換器）によりＨ２Ｏと熱輻射の大部分を吸着するものであり、特に他のガスの凍結吸着について記載が無い以上、該熱交換器は、水分子を選択的に吸着しているものと解される。そうである以上、冷却温度は水分子が冷凍吸着する温度範囲でクライオポンプが運転されているものと解するのが自然である。ちなみに、熱交換器の８０Ｋアレー９ａの８０Ｋは−１９３℃に相当する。したがって、請求項１に係る発明が、ヘリウム冷凍機により熱交換器の温度を−１００℃〜−２００℃とした点は、冷凍吸着すべき水分子の飽和蒸気曲線から当業者が容易に採用し得る設計上の事項である。
　相違点２について
　締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱交換器を再生することは、前記刊行物３に記載されており、熱交換器に再生手段として加熱ヒータを設けることも前記刊行物４に記載されている。
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項１に係る発明は、刊行物１乃至刊行物４に記載されたものから当業者が容易に発明できたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
　ロ．訂正明細書の請求項２に係る発明と刊行物１記載の発明との対比
　刊行物１に記載された「スパッタチャンバー」、「排気トラップ部」及び「メインバルブ」は、それぞれ、請求項２に係る発明の「真空容器」、「熱交換器」及び「締切弁」に相当するから、両者は下記の点で相違し、その余の点で一致する。
　相違点１：
　請求項２に係る発明は、ヘリウム冷凍機により熱交換器が−１００℃〜−２００℃の温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集するのに対し、刊行物１記載のものは、熱交換器は、冷却された水分子の大部分を凍結捕集するが、冷却手段及び冷却温度については明らかでない点。
　相違点２：
　請求項２に係る発明は、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程を含むのに対し、刊行物１記載のものは、再生工程については明らかでない点。
　これら相違点について検討すると、
　相違点１について
　刊行物１のものは、冷却されたバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａ（熱交換器）によりＨ２Ｏと熱輻射の大部分を吸着するものであり、特に他のガスの凍結吸着について記載が無い以上、該熱交換器は、水分子を選択的に吸着しているものと解される。そして、そうである以上、冷却温度は水分子が冷凍吸着する温度範囲でクライオポンプが運転されているものと解するのが自然である。ちなみに、熱交換器の８０Ｋアレー９ａの８０Ｋは−１９３℃に相当する。したがって、請求項２に係る発明が、熱交換器の温度を−１００℃〜−２００℃とした点は、冷凍吸着すべき水分子の飽和蒸気曲線から当業者が容易に採用し得る設計上の事項である。また、熱交換器をヘリウム冷凍機により冷却することは刊行物２に記載されているから、冷却手段としてヘリウム冷凍機を採用することに格別の困難性はない。
　相違点２について
　締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱交換器を加熱する再生工程について、前記刊行物３に記載されているから、相違点２は、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項２に係る発明は、刊行物１乃至刊行物３に記載されたものから当業者が容易に発明できたものと認められ、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際独立して特許を受けることができない。
（４）むすび
　したがって、上記各訂正は、特許法第１２０条の４第３項で準用する同第１２６条第４項の規定に適合しないので、当該訂正は認められない。
３．特許異議申立てについての判断
（１）請求項１及び請求項２に係る発明
　請求項１に係る発明及び請求項２に係る発明は、特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次の事項によって特定されるとおりのものである。
「（請求項１）複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、ヘリウム冷凍機により冷却され気体分子を凍結捕集する熱交換器とから構成され、該熱交換器の吸気口側と真空容器とを締切弁が設けられた吸気系配管で接続し、該締切弁を開閉することにより、前記熱交換器を真空容器に対し分離あるいは接続可能に構成し、かつ、該熱交換器にはヒータを設けるか又はヘリウム冷凍機を休止することによって凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有することを特徴とする真空排気装置。
　（請求項２）真空容器とターボ分子ポンプの吸気口との間に、ヘリウム冷凍機により冷却し気体分子を凍結捕集する熱交換器を配備し、かつ、真空容器と熱交換器との間の吸気系配管に締切弁を配備した真空容器の真空排気方法において、該締切弁を開け、ターボ分子ポンプとヘリウム冷凍機とを運転する排気工程と、該締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程を含むことを特徴とする真空容器の真空排気方法。」
（２）刊行物１及び刊行物３
　当審が通知した取消理由に引用した前記刊行物１及び刊行物３には、前記２．（２）に摘記した事項が記載されている。
（３）対比・判断
　イ．請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明との対比
　刊行物１記載のものにおける「排気トラップ部」、「スパッタチャンバー」及び「メインバルブ」は、それぞれ請求項１に係る発明の「熱交換器」、「真空容器」及び「締切弁」に相当する。
　また、刊行物１にはターボ分子ポンプの具体的構造が記載されていないが、複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するターボ分子ポンプは本願出願前周知である。したがって、両者は、
　「複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気口から気体分子を取り込み、圧縮した排気口から排出するターボ分子ポンプと、該ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、冷凍装置により冷却された気体分子を凍結捕集する熱交換器から構成され、該締切弁を開閉することにより、前記熱交換器を真空容器に対し分離あるいは接続可能に構成した真空排気装置。」の点で一致し、下記の点で相違する。
　相違点１：
　請求項１に係る発明は、冷凍装置がヘリウム冷凍機であるのに対し、刊行物１記載のものは、冷凍機が何であるか明らかでない点。
　相違点２：
　請求項１に係る発明は、熱交換器にはヒータを設けるか又はヘリウム冷凍機を休止することによって凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有するのに対し、刊行物１記載のものは、熱交換器が再生手段を有するかどうか明らかでない点。
　これら相違点について検討すると、
　相違点１について
　気体分子の冷却手段としてヘリウム冷凍機は従来周知のものであるから、請求項１に係る発明が気体分子の冷却手段としてヘリウム冷凍機を採用した点は、気体分子の冷却温度を考慮して適宜採用し得たことにすぎない。
　相違点２について
　真空排気装置の一種であるクライオポンプは、ヒータ等の再生手段を有するものが本願出願前周知であるから、請求項１に係る発明が上記相違点２の構成を採用することは、上記周知事項から当業者が容易に想到し得たことである。
　ロ．請求項２に係る発明と刊行物１記載の発明との対比
　刊行物１記載のものにおける、「排気トラップ」、「スパッタチャンバー」及び「メインバルブ」は、それぞれ、請求項１に係る発明の「熱交換器」、「真空容器」及び「締切弁」に相当するから、両者は、
　「真空容器とターボ分子ポンプの吸気口との間に、冷却装置により冷却した気体分子を凍結捕集する熱交換器を配備し、かつ、真空容器と熱交換器との間の吸気系配管に締切弁を配備した真空容器の真空排気方法において、該締切弁を開け、ターボ分子ポンプと冷却装置とを運転する排気工程を含む真空容器の真空排気方法。」の点で一致し、下記の点で相違する。
　相違点１：
　請求項２に係る発明は、水分子の冷却にヘリウム冷凍機を用いたのに対し、刊行物１記載のものは、冷却手段が明らかでない点。
　相違点２：
　請求項２に係る発明は、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換器を凍結捕集した分子を気化させる再生工程を含むのに対し、刊行物１記載のものは再生工程が具体的に明らかでない点。
　これら相違点について検討すると、
　相違点１について
　気体分子の冷却にヘリウム冷凍機を用いることは、本願出願前周知の事項であるから、前記相違点１は格別なものではない。
　相違点２について
　ターボ分子ポンプを備えた真空容器の真空排気方法において、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程が前記刊行物３に記載されているから、請求項２に係る発明が前記相違点２の再生工程を採用することは、当業者が容易に想到し得たことである。
（むすび）
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明及び請求項２に係る発明は、それぞれ刊行物１、刊行物３及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明できたものと認められ、請求項１に係る発明及び請求項２に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものである。
　したがって、本件請求項１に係る発明及び請求項２に係る発明の特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１０年１０月１３日（１９９８．１０．１３）