【事件の表示】
　特許第２９２５０８９号「セラミックス複合焼結体およびその製造方法」の請求項１ないし６に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９２５０８９号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続きの経緯
　本件特許２９２５０８９号は、平成１年９月１８日に特許出願され、平成１１年５月７日にその特許の設定登録がなされたものである。
　これに対し、吉田喜一郎より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内の平成１２年７月１０日に訂正請求がなされたが、その後新たな取消理由が発見されたので平成１３年３月２日付けで再度取消理由通知がなされたところ、平成１２年７月１０日付け訂正請求書が取り下げられ、平成１３年３月９日付けで再度訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
　平成１３年３月９日付けの訂正請求は、特許請求の範囲の減縮、この減縮に伴う明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、本件特許明細書を次のとおり訂正するものである。　
（ｉ）「特許請求の範囲」の欄
訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１乃至３を削除し、請求項５を請求項４の記載事項を含めた独立記載形式の請求項１とすると共に請求項６を繰り上げて請求項２とすることにより、「特許請求の範囲」を次のとおり訂正する。
「【請求項１】焼結助剤としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素を母材とし、強化材として、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含むことを特徴とするセラミックス複合焼結体。
【請求項２】最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含み、残部が実質的にＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素からなる混合粉体を形成し、前記混合粉体から得られた成形体を１５００〜２０００℃の範囲の温度で焼結することを特徴とするセラミックス複合焼結体の製造方法。」
（ｉｉ）「発明の詳細な説明」の欄
訂正事項ｂ：本件特許明細書の第７頁第８行〜第９行（本件特許公報第４欄第２４行〜第２５行）の「窒化珪素母材の所定の形状の炭化珪素粒子を」を、「窒化珪素母材に所定の形状の炭化珪素粒子を」と訂正する。
訂正事項ｃ：本件特許明細書の第７頁第１７行〜第１９行（本件特許公報の第４欄第３２行〜第３４行）の「強化材として、大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を含むことを特徴とする。」を、「強化材として、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含むことを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項ｄ：本件特許明細書の第８頁第１行〜第２行（本件特許公報第４欄第３５及び３６行）の「また、本発明は大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を母材に対して」を、「また、本発明は、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を」と訂正する。
訂正事項ｅ：本件特許明細書の第８頁第９行〜第９頁第２行（本件特許公報第４欄第４２行〜第５欄第３行）までを削除する。
訂正事項ｆ：本件特許明細書の第９頁第７行〜第１０行（本件特許公報第５欄第７行〜第１０行）の「強化材として大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％、好ましくは１０〜３０％加えて混合粉体を形成し、または、最大径が５〜５０μｍ、」を、「強化材として最大径が５〜５０μｍ、」と訂正する
訂正事項ｇ：本件特許明細書の第１２頁第１６行〜第１７行（本件特許公報第６欄第１９行〜第２０行）の「第２図は本発明における炭化珪素粒子の定義を示す説明図である。」を、「第２図は、参考例として使用される炭化珪素粒子および本発明に使用される板状炭化珪素粒子の定義を示す説明図である。」と訂正する。
訂正事項ｈ：本件特許明細書の第１２頁第１７行（本件特許公報第６欄第２０行）の「炭化粒子珪素は、」を、「炭化珪素粒子は、」と訂正する。
訂正事項ｉ：本件特許明細書の第１２頁第２０行〜第１３頁第２行（本件特許公報第６欄第２２行〜第２４行）の「また、板状炭化珪素粒子は、本発明において好ましいものであり、第２図（ｂ）に定義を示す。」を、「また、板状炭化珪素粒子の定義を第２図（ｂ）に示す。」と訂正する。
訂正事項ｊ：本件特許明細書に記載した表１（本件特許公報第４頁に掲載された表１）における実施例１〜１７および比較例１８〜２４を次のとおり訂正する。すなわち、訂正前の実施例７〜１２、１４を、それぞれ訂正後の表１において実施例１〜６、７とする。また、訂正前の比較例１８、２３、２４を、それぞれ訂正後の表１において比較例１０、９、８とする。さらに、訂正前の実施例１〜６、１３、１５〜１７、比較例１９〜２２を、それぞれ訂正後の表１において参考例１１〜１６、１７、１８〜２０、２１〜２４とする。そして、訂正後の表１では、上から実施例１〜７、比較例８〜１０、参考例１１〜２４の順序で表記する。
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１乃至３の削除と請求項５の記載を独立記載形式とするものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当する。また訂正事項ｂ乃至訂正事項ｊは、特許請求の範囲の減縮に伴う明りょうでない記載の釈明と誤記の訂正に該当するものであり、しかも、特許明細書に記載した事項の範囲内でなされたものであるから新規事項の追加に該当せず、また当該訂正によって実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものでもない。
２−３．むすび
　以上のとおり、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書、第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立てについて
（１）本件訂正発明
　特許権者が請求した上記訂正は、上述したとおり、認容することができるから、本件請求項１及び２に係る発明（以下、それぞれ「訂正発明１及び２」という）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び２に記載された事項により特定されるとおりのものである（上記２−１．（ｉ）訂正事項ａ参照）。
（２）特許異議申立ての理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として、甲第１号証乃至甲第３号証を提出して、本件発明に係る特許は、次の（ｉ）及び（ｉｉ）の理由により取り消されるべきであると主張している。
（ｉ）訂正前の本件請求項１乃至６に係る各発明は、甲第１号証に記載された発明であるか、又は甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件各発明の特許は、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項に違反してなされたものである。
（ｉｉ）本件発明は、炭化珪素を容積比で３〜５０％含むことで所望の効果が得られるものであるが、請求項１及び請求項４には、この構成が記載されていないから、本件特許明細書は、特許法第３６条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない。
（３）当審の取消理由の概要と証拠の記載内容
　当審の取消理由の概要は、次の（ｉ）及び（ｉｉ）のとおりであり、また特許異議申立人が提出し、そして当審が平成１２年４月１０日に通知した取消理由において引用した刊行物１乃至４には、それぞれ次の事項が記載されている。
（取消理由の概要）
（ｉ）本件請求項１乃至３に係る発明は、下記引用刊行物１に記載された発明であり、また本件請求項１乃至６に係る発明は、下記引用刊行物１乃至４に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定により特許を受けることができない。
（ｉｉ）本件請求項１及び４に係る発明は、炭化珪素粒子の容積比を構成としていないが、特許明細書には、この条件が満足されなければ所望の効果が得られないと明記されているから、この条件は本件発明の必須の構成であると云える。
　また、請求項１乃至３に記載の「大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子」について、特許明細書では「炭化珪素粒子の短軸径」だけしか定義されていないから、本件発明の「粒子」がどのようなものか不明確である。
　したがって、本件特許明細書は、特許法第３６条第３項又は同条第４項及び第５項に規定する要件を満たしていない。
（証拠の記載内容）
引用刊行物１（甲第１号証）：特開平１−１０００６５号公報
（イ）「１）平均長さ５〜３０μｍのＳｉＣウィスカー５〜４０重量％と、希土類元素酸化物の１種以上５〜３０重量％と、残部が窒化珪素とからなる配合組成物を成形し焼結された窒化珪素質焼結体であって、焼結体中のＳｉ３Ｎ４のα率が４０重量％以下であることを特徴とする炭化珪素ウィスカー強化窒化珪素質焼結体。」（第１頁左欄特許請求の範囲の欄）
（ロ）「本発明で用いられる出発原料としてのＳｉＣウィスカーとしては平均直径０．２〜５μｍ、平均長さ５〜３０μｍでアスペクト比２〜１５０のものが望ましい。」（第３頁下段左欄第１８行乃至右欄第１行）
（ハ）「実施例１
平均粒径０．６μｍα率９０重量％のＳｉ３Ｎ４粉末６４重量％と、平均粒径１．２μｍのＹ２Ｏ３粉末６．４重量％と、平均粒径２μｍのＬａ２Ｏ３粉末９．６重量％に、平均直径０．５μｍで平均長さの異なる市販のＳｉＣウィスカー２０重量％加え、・・・素地粉末を得た。次にこの素地粉末を黒鉛型中で焼結温度１８００℃、圧力２００ｋｇ／ｃｍ３、１時間ホットプレスし焼結体を得た。」（第４頁上段右欄第５行乃至第１６行）
引用刊行物２：特公昭６３−６２４７４号公報
（イ）「１．窒化珪素を主成分とし、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれる金属の珪化物および／または炭化物の板状粒子の１種以上とから成り、板状粒子の厚さが該粒子の短径の５分の１以下であることを特徴とする高靭性窒化珪素焼結体。
２．特許請求の範囲第１項において、上記短径が焼結体中の他の粒子の粒径よりも大きく１００μｍより小さく、かつ、焼結体体積の２〜１３体積％が上記板状粒子から成ることを特徴とする高靭性窒化珪素焼結体。」（第１頁左欄特許請求の範囲の欄）
（ロ）「すなわち本発明の特徴は窒化珪素中の板状粒子（主面の長径をｄ１、短径をｄ２とした場合、ｄ１／ｄ２＜１０の関係にあり、厚さがｄ２の５分の１以下である粒子）を分散させることにある。」（第２頁第３欄第３４行乃至第３８行）
（ハ）「本発明に用いる添加物としては、融解、粉砕などによって板状粒子が得やすいこと、Ｓｉ３Ｎ４ の焼結後も添加した粒子の板状形状が保たれていることが必要である。・・・これらの要求から、添加物としてはＴｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗの珪化物または炭化物が望ましく、これらのうちでも特にＶ、Ｎｂ、Ｔａの珪化物及び炭化物、及びＭｏ、Ｗの炭化物が窒化珪素中で安定で、初期の粒子形状を保ち易い点から特に望ましい。」（第２頁第４欄第２７行乃至第３８行）
引用刊行物３（甲第２号証）：特開昭６２−２４６８６５号公報
「１．Ｓｉ３Ｎ４を主成分とし少なくとも希土類酸化物、ＺｒＯ２を含む焼結体で、粒界相にＪ相固溶体が存在することを特徴とする窒化珪素焼結体。
２．希土類酸化物がＹ２Ｏ３であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の窒化珪素焼結体。」（第１頁左欄特許請求の範囲の項）
引用刊行物４（甲第３号証）：特開昭６３−１０００６７号公報
「Ｙ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３の希土類酸化物のうちの２種以上と窒化珪素原料粉末との混合粉末であって、選ばれた希土類酸化物のうちのどの１種も希土類酸化物総添加量の９０モル％以下であるとともに、選ばれた希土類酸化物の総添加モル量が焼結後焼結体に含まれる酸素（希土類酸化物から導入され酸素を除く）をＳｉＯ２に換算したＳｉＯ２のモル量に対する比で０．４〜１．３である混合粉末を成形し、常圧あるいは加圧Ｎ２雰囲気中で１７００〜２１００℃で焼成することを特徴とする窒化珪素焼結体の製造法。」（第１頁特許請求の範囲の項）
（４）当審の判断
（イ）取消理由ｉについて
（ｉ）本件訂正発明１について
　引用刊行物１には、炭化珪素ウィスカーによる「窒化珪素焼結体」の強化について記載されているが、この強化手段として使用される「ウィスカー」は、本件訂正発明１の「板状炭化珪素粒子」とはその形状が別異のものである。
　また、引用刊行物２には、板状粒子によって「窒化珪素焼結体」を強化することができるとの記載はあるが、この証拠に記載の板状粒子は、「Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗから選ばれる金属の珪化物および／または炭化物」であり、この中には「炭化珪素」は存在しない。　そして、この証拠の上記（ハ）の記載によれば、その板状粒子の材料については、保形性等の観点から適・不適のものがあることは明らかであるから、そこに列挙されていない材料であるならば、強化材としてむしろ適当でない材料とされているとみるのが相当である。
　そうすると、引用刊行物２は、上述のとおり、炭化珪素の板状粒子については何ら示唆するものではなく、これに対し、本件訂正発明１は、引用刊行物２の対象外とされた「炭化珪素」について、強化材の板状粒子としての効能を見出し、その形状や含有量を「最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含有」と規制し、焼結助剤とも相俟って所望の効果を達成することができたものと認められるから、上記引用刊行物１及び引用刊行物２の記載に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、上記引用刊行物３及び引用刊行物４についても検討すると、これら証拠には、窒化珪素焼結体に強化材を添加すること自体について何ら記載がないから、これら証拠も上記結論に影響を及ぼすものではない。
　したがって、本件訂正発明１は、上記引用刊行物１乃至引用刊行物４に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
（ｉｉ）本件訂正発明２について
　この発明は、「セラミックス複合焼結体の製造方法」に係り、「セラミックス複合焼結体」に係る本件訂正発明１と同様の構成を含有するものであるから、本件訂正発明１と同様、上記引用刊行物１乃至４に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたとすることはできない。
（ロ）取消理由ｉｉについて
　この理由については、上記訂正により解消されたと云える。
４．むすび
　以上のとおり、特許異議申立ての理由及び証拠方法によっては、本件訂正発明についての特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件訂正発明についての特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、上記のとおり決定する。  
【異議決定日】
平成１３年３月１５日（２００１．３．１５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
本件訂正の要旨は、本件特許第２９２５０８９号発明の明細書を平成１３年３月９日付け訂正請求書に添付された全文訂正明細書のとおり、すなわち、特許請求の範囲の減縮、明りょうでない記載の釈明及び誤記の訂正を目的として、次の訂正事項ａ乃至ｊのとおり訂正するものである。
（１）「特許請求の範囲」の欄
訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１乃至３を削除し、請求項５を請求項４の記載事項を含めた独立記載形式の請求項１とすると共に請求項６を繰り上げて請求項２とすることにより、「特許請求の範囲」を次のとおり訂正する。
「【請求項１】焼結助剤としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素を母材とし、強化材として、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含むことを特徴とするセラミックス複合焼結体。
　【請求項２】最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含み、残部が実質的にＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素からなる混合粉体を形成し、前記混合粉体から得られた成形体を１５００〜２０００℃の範囲の温度で焼結することを特徴とするセラミックス複合焼結体の製造方法。」
（２）「発明の詳細な説明」の欄
訂正事項ｂ：本件特許明細書の第７頁第８行〜第９行（本件特許公報第４欄第２４行〜第２５行）の「窒化珪素母材の所定の形状の炭化珪素粒子を」を、「窒化珪素母材に所定の形状の炭化珪素粒子を」と訂正する。
訂正事項ｃ：本件特許明細書の第７頁第１７行〜第１９行（本件特許公報の第４欄第３２行〜第３４行）の「強化材として、大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を含むことを特徴とする。」を、「強化材として、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含むことを特徴とする。」と訂正する。
訂正事項ｄ：本件特許明細書の第８頁第１行〜第２行（本件特許公報第４欄第３５行及び第３６行）の「また、本発明は大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を母材に対して」を、「また、本発明は、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を」と訂正する。
訂正事項ｅ：本件特許明細書の第８頁第９行〜第９頁第２行（本件特許公報第４欄第４２行〜第５欄第３行）までを削除する。
訂正事項ｆ：本件特許明細書の第９頁第７行〜第１０行（本件特許公報第５欄第７行〜第１０行）の「強化材として大きさが５〜２０μｍの炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％、好ましくは１０〜３０％加えて混合粉体を形成し、または、最大径が５〜５０μｍ、」を、「強化材として最大径が５〜５０μｍ、」と訂正する
訂正事項ｇ：本件特許明細書の第１２頁第１６行〜第１７行（本件特許公報第６欄第１９行〜第２０行）の「第２図は本発明における炭化珪素粒子の定義を示す説明図である。」を、「第２図は、参考例として使用される炭化珪素粒子および本発明に使用される板状炭化珪素粒子の定義を示す説明図である。」と訂正する。
訂正事項ｈ：本件特許明細書の第１２頁第１７行（本件特許公報第６欄第２０行）の「炭化粒子珪素は、」を、「炭化珪素粒子は、」と訂正する。
訂正事項ｉ：本件特許明細書の第１２頁第２０行〜第１３頁第２行（本件特許公報第６欄第２２行〜第２４行）の「また、板状炭化珪素粒子は、本発明において好ましいものであり、第２図（ｂ）に定義を示す。」を、「また、板状炭化珪素粒子の定義を第２図（ｂ）に示す。」と訂正する。
訂正事項ｊ：本件特許明細書に記載した表１（本件特許公報第４頁に掲載された表１）における実施例１〜１７および比較例１８〜２４を次のとおり訂正する。すなわち、訂正前の実施例７〜１２、１４を、それぞれ訂正後の表１において実施例１〜６、７とする。また、訂正前の比較例１８、２３、２４を、それぞれ訂正後の表１において比較例１０、９、８とする。さらに、訂正前の実施例１〜６、１３、１５〜１７、比較例１９〜２２を、それぞれ訂正後の表１において参考例１１〜１６、１７、１８〜２０、２１〜２４とする。そして、訂正後の表１では、上から実施例１〜７、比較例８〜１０、参考例１１〜２４の順序で表記する。
（５４）【発明の名称】
セラミックス複合焼結体およびその製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
（１）焼結助剤としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、
あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素を母材とし、強化材として、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を
容積比で３〜５０％
（２）最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％含み、残部が実質的にＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素からなる混合粉体を形成し、前記混合粉体から得られた成形体を１５００〜２０００℃の範囲の温度で焼結することを特徴とするセラミックス複合焼結体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、靱性を改良したセラミックス複合焼結体およびその製造方法に関する。
［従来の技術］
　セラミックスは耐熱性、耐食性に優れるとともに硬度が大きい点から耐火物や化学材料として古くから使用されてきている。また、最近の化学技術の発展により高純度の原料の精製、合成技術が進み、プロセス制御技術の進歩とともにセラミックスの特性も大きく変化し、多くの期待が寄せられるようになってきている。特に、ガスタービンブレード等におけるように、高温あるいは悪環境に晒されるような用途では耐熱合金が従来より用いられてきたが、近年の高性能化を目指す市場動向から高温構造材料としてより優秀な材料が求められるようになってきており、セラミックスがこれらの要件を満たす重要な材料として注目され始めている。これはセラミックス材が他の材料に比べて耐熱性、耐酸化性、耐食性に著しく優れていることによる。
　然しながら、窒化珪素、アルミナ、炭化珪素等のセラミックスは一般に脆く、例えば、破壊靱性値で５ＭＮｍ−３／２以下のものが多い。このためセラミックスの靱性を改善する種々の方法が提案され、実施されている。
　例えば、セラミックスを強靱化するものとして特開昭５９−３０７７０号に開示されるように、ウィスカやファイバ等の針状形態を有するものを強化材として添加する方法が知られている。この場合、セラミックス中に分散されたウィスカ等によりセラミックス中に生じたクラックが曲げられるクラック偏向効果、ウィスカの引き抜き効果等によって靭性の向上が達成されていると考えられる。
　然しながら、セラミックス中に針状の強化材を均一に分散させることは困難である。これは、ファイバ等の場合、セラミックス中でファイバ同士が互いに絡み合い、塊状になり易いことによる。
　一方、アルミナセラミックスを強靱化する方法として、特公昭５９−２５７４８号に示されるように、強化材としてジルコニアを添加する方法も提案されている。この方法は、アルミナ中にジルコニアの準安定正方晶を室温まで残留させ、発生したクラックの先端での応力により誘起される正方晶系から単斜晶系への結晶変態の約４％の体積膨張に起因する残留圧縮応力により室温での機械的性質を著しく改善するようにしている。
　然しながら、この方法においても、上記の変態温度である約９００℃以上の大気中で長時間保持されると、酸化ジルコニウムと非酸化物である母材との間で反応が進行し、母材特性が維持されなくなるため上記の強靱化効果は期待出来なかった。
　さらに、特公昭６３−６２４７４号公報には、窒化珪素を主体とするセラミックスの靭性を改善するものとして、珪化物あるいは炭化物の板状微粒子を適当な割合で分散させるものが示されている。
　また、特開昭６２−２４６８６５号公報には焼結助剤として希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を添加した窒化珪素焼結体、特開昭６３−１０００６７号公報には、Ｙ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上を含む窒化珪素焼結体が開示されているが、強化材である炭化珪素は含まれていない。
［発明が解決しようとする課題］
　然しながら、上記セラミックスにウィスカやファイバ等を分散させることによる高靱化の場合、ウィスカやファイバ等を均一に分散させることが困難である。また、これらを比較的均一に分散させ得たとしても、製造プロセスにおいて特殊な処理を施さない限り良好な特性のセラミックス複合焼結体を得ることが出来ず、また、強化材としてウィスカやファイバ等を使用すると高価になる等の問題点があった。また、上記酸化ジルコニウム粒子を分散させることにより高靱化を図る場合、変態が進行しない高温ではその高靱化効果が消失してしまう。さらに、高温で長時間保持すると酸化ジルコニウムと母材である非酸化物との間で反応が進行し、母材特性の維持が出来なくなる等の問題点があった。
　本発明の目的は、窒化珪素母材に所定の形状の炭化珪素粒子を強化材として付加することにより高靭化されたセラミックス複合焼結体およびその製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
　上記の目的を達成するために、本発明に係るセラミックス複合焼結体は、焼結助剤としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素を母材とし、強化材として、
最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を容積比で３〜５０％
　また、本発明は
、最大径が５〜５０μｍ、厚さが最大径の１／３以下の板状炭化珪素粒子を
［作用］
　本発明では、焼結助剤としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素を母材とし、強化材とし
て最
［実施例］
　次に、本発明に係るセラミックス複合焼結体およびその製造方法について好適な実施例を挙げ、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
　本発明による焼結体は、母材としてＹ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、Ｔｍ２Ｏ３、Ｙｂ２Ｏ３、Ｌｕ２Ｏ３のうち、いずれか２種以上、あるいは希土類、ＭｇＯ、ＺｒＯ２を含む窒化珪素と、強化材としての炭化珪素粒子とを成分として構成される。この場合、原料中に不純物として含まれる少量の他の成分が存在しても構わない。成形方法としては、プレス成形、泥漿鋳込み成形、射出成形、押出成形等の通常の全ての成形方法が適用出来る。焼結は、ホットプレス（ＨＰ）を使用し、真空または非酸化性雰囲気中で行ったが、常圧焼結、予備焼成ＨＩＰ（ｓｉｎｔｅｒ−ＨＩＰ）やカプセルＨＩＰ（カプセル中に封入）でも同様の効果が得られる。
　焼結温度は、１５００〜２０００℃の範囲とした。窒化珪素の場合、焼結温度が１７００℃以上になると当該窒化珪素の分解が激しくなるので、窒素雰囲気の圧力を高くし、通常は９〜９．９ｋｇ・ｆ／ｃｍ２で行った。焼結温度が上記範囲より低温になると、得られる焼結体の密度が低くなり、逆にそれより高温になると上記のように母材の分解等が生じるため、緻密な焼結体が得られなかった。
この場合の最適焼結温度は、常圧焼結、ホットプレス、シンターＨＩＰ、カプセルＨＩＰの条件、および強化材の炭化珪素粒子の大きさと量に依存して変化した。また、炭化珪素の添加量が容積比で３％より少ないと破壊靱性向上の効果が認められず、５０％より多いと、得られたセラミックス複合焼結体の密度が低く、緻密化は達成されなかった。さらに、炭化珪素粒子の大きさが５μｍより小さいと破壊靱性の効果が認められず、２０μｍより大きいと得られたセラミックス複合焼結体の密度は低く緻密化は達成されなかった。破壊靱性は、ＳＥＰＢ法（Ｓｉｎｇｌｅ　Ｅｄｇｅ　Ｐｒｅ−ｃｒａｃｋｅｄ　Ｂｅａｍ法）により測定した。すなわち、ＪＩＳ　Ｒ１６０１に準拠した試料を用意し、ビッカース圧子圧入により圧痕をつけた後、予亀裂を入れるため荷重を加え、イヤホンでポップ・イン（Ｐｏｐ−Ｉｎ）を検知した。続いて、予亀裂長さを測定するため着色を行い、曲げ試験を行った後、破断荷重を測定した。破断試料の予亀裂長さを測定した後、破壊靱性の算出式により破壊靱性値を求めた。
　次に、具体的実施例について説明する。
　第１図は本発明の方法を示す説明図である。先ず、母材および強化材をポットミルに入れ、水またはエタノール中で２４時間混合し混合物を形成する。強化材は、既に説明したように、容積比で３〜５０％含まれ、粒径が５〜２０μｍのもの、または最大径が５〜５０μｍで、厚さが最大径の１／３以下の板状をなすものとを使用した。
　第２図は
、参考例として使用される炭化珪素粒子および本発明に使用される板状炭化珪素粒子の
珪素粒子
の定義を第２図（ｂ）に
　次に、得られた混合物を１２０℃で２４時間乾燥させ、メッシュが１４９μｍの大きさの舗にかけ、成形用粉体とした。次に圧力２００ｋｇ／ｃｍ２でプレス成形、場合によっては圧力７ｔｏｎ／ｃｍ２でラバーブレス成形後、焼成する。この場合、加圧焼成が施されるが、ＨＰ温度は１ａｔｍのＮ２雰囲気で１５００〜２０００℃とした。また、ＨＰ圧力は３００ｋｇ／ｃｍ２であった。なお、非酸化物セラミックスの場合は１７００℃以上の温度では既に説明した理由から、Ｎ２圧は９．５ａｔｍとした。
　表１は、このようにして得られた高靱化の結果を示したものである。
［発明の効果］
　本発明に係るセラミックス複合焼結体は、窒化珪素の母材に適切な大きさと形態の炭化珪素粒子を適切な容積比で分散付加することにより、高靱性を呈するセラミックスを得ることが出来る効果がある。また、特殊な設備は特に必要とせず、通常のセラミックス製造設備を使用するだけで済むので、製造原価を低減出来る効果がある。
【図面の簡単な説明】
　第１図は本発明によるセラミックス複合焼結体を製造する方法の一実施例を示す説明図、
　第２図は強化材の炭化珪素粒子の寸法を定義する説明図である。
　【表１】