【事件の表示】
　特許第２９５１４９８号「インクジェットヘッドの製造方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９５１４９８号の請求項１に係る特許を取り消す。
【理　由】
［手続の経緯］
　本件特許第２９５１４９８号の請求項１に係る発明についての出願は、平成５年１月１２日に特許出願され、平成１１年７月９日にその特許の設定登録がなされ、その後、その特許について皆川一良より特許異議の申立がなされ、当審において取消理由通知がなされたところ、その指定期間内である平成１３年３月６日に訂正請求がなされたものである。
　　　　　　
　　　　　
［訂正の適否についての判断］
【１】訂正の内容
〔１〕訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を「振動板としてのウエハ上に、圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」と訂正する。
　　　　　　
〔２〕訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００９】を「【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、図１に示されるように、振動板としてのウエハ上に、圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成することを特徴とする。」と訂正する。
　　　　　　
【２】訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
〔１〕訂正事項ａについて
　この訂正は、特許明細書の段落【００１４】の「振動板１として、ここではシリコン単結晶ウエハが用いられており」の記載、及び、段落【００１９】の「一枚の振動板１は、多数のインクジェットヘッド１０をまとめて形成する大きさであり」の記載の範囲内において、振動板に関して「振動板としてのウエハ」と限定すると共に、製造方法に関して「１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成する」と限定するものであり、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　　　　　
〔２〕訂正事項ｂについて
　この訂正は、上記訂正事項ａの訂正に伴い、それとの整合を図るために特許明細書の発明の詳細な説明の記載を訂正するものであり、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　　　　　
【３】訂正の適否についてのまとめ
　以上のとおりであるから、特許明細書に対する本訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号、以下「平成６年改正法」という）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０条の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書及び第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　　　　　
　　　　　
［特許異議申立について］
【１】請求項１に係る発明
　訂正後の請求項１に係る発明（以下「本件訂正発明」という）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された以下のとおりのものである。
　「振動板としてのウエハ上に、圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」
　　　　　
【２】特許異議申立の理由の概要
　特許異議申立人は、証拠方法として甲第１号証〔特開平１一２０８１４６号公報＝取消理由の刊行物１〕，甲第２号証〔特開平３−１２８６８１号公報＝同刊行物２〕，甲第３号証〔「Ｈｙｂｒｉｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ」、ＲＯＹＤＮ　Ｄ．ＪＯＮＥＳ著、ＭＡＲＣＥＬ　ＤＥＫＫＥＲ，ＩＮＣ発行、１９８２年＝同刊行物３〕，甲第４号証〔「Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ：Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅ Ｄｅｓｉｇｎ」、ＲＯＹ　Ａ．ＣＯＬＣＬＡＳＥＲ著、ＪＯＨＮ　ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ発行、１９８０年＝同刊行物４〕，甲第５号証〔「Ｓｃｒｅｅｎ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｄｅｖｉｃｅｓ」、Ｈ．Ｂａｕｄｒｙ著、Ｈｙｂｒｉｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ　Ｎｏ．１４　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ１９８７年＝取消理由の刊行物５〕，甲第６号証〔英国公開特許公報第２１６１６４７Ａ号、１９８６年＝取消理由の刊行物６〕，甲第７号証〔「ＰｂＴｉ０３　Ｆｉｌｍｓ Ｆｒｏｍ Ｍｅｔａｌｌｏｏｒｇａｎｉｃ Ｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ」＝取消理由の刊行物７〕，甲第８号証〔窯業協会誌　１９７０年　７８［２］＝取消理由の刊行物８〕を提出して、本件請求項１に係る発明は甲第１〜８号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件請求項１に係る発明の特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであり、取り消されるべきものであると主張している。
（尚、当審の平成１２年１２月１９日付け取消理由通知書の取消理由は、特許異議申立人が提出した証拠方法と主張をそのまま採用したものである。）
　　　　　
【３】特許法第２９条第２項の規定違反について
〔１〕甲各号証に記載された発明
（１）甲第１号証〔特開平１一２０８１４６号公報〕
　刊行物１には、平面状に多数のインクノズルを形成したオン・デマンド型インクジェット記録ヘッドに関して、次の事項が図面とともに記載されている。
（ア）「インク加圧室４に対応する蓋板の外部に電気機械変換素子としての役割をもつ圧電素子７が接着され、蓋の一部にはインク供給孔８が設けられている。圧電素子７の上下面には電極・・・が形成されており、この電極に電圧を印加すると圧電素子に歪が生じ、蓋板は変位する。その結果、インク加圧室４の容積が減少し、これによってインクノズル２からインク滴が噴射されて記録が行われる。」（１頁右下欄１２〜２０行）
（イ）「この第１図にはインクノズル１個分が示されている。第１図の記録ヘッドは金属もしくはガラスからなるキャビティ板２０にエッチングなどの方法によってインク加圧室２１、インク通路２２およびインク供給路２３を形成し、その両面に振動板２４およびノズル板２５を接着，拡散接合などの手段で結合している。・・・そして、インク加圧室２１に対応した振動板２４の上には電気機械変換素子としての圧電素子２７が接着あるいは融着などの手法で貼着されている。かかる構造のインクジェット記録ヘッドにおいて、圧電素子２７にパルス状の直流電圧を印加すると圧電素子は厚さ方向に膨脹し、横方向に収縮するので、それによって振動板は変位し、その結果、インク加圧室２１の容積が減少し、容積減少分に相当するインクがインク滴となってインクノズル２６より噴射され、・・・記録媒体に印字可能となる。」（２頁左下欄１４行〜同頁右下欄１２行）
　上記（ア）（イ）の記載及び第１〜３図の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、以下のような構成を具えた発明が記載されているものと認められる。
　「インク加圧室２１内に収容されたインクに吐出圧力を与えるために上記インク加圧室２１に面して設けられる振動板２４の表面に、上下面に電極が形成されてなる電気機械変換素子としての圧電素子２７を、接着あるいは融着などの手法で貼着することで形成され、圧電素子２７がパルス状の直流電圧を印加することで厚さ方向に膨張するとともに横方向に収縮し、振動板２４が変位し、インク加圧室２１の容積が減少して、その容積減少分に相当するインクがインク滴となってノズルより噴射され記録媒体に印字可能となることを特徴とするオン・デマンド型インクジェット記録ヘッドの製造方法。」
（２）甲第２号証〔特開平３−１２８６８１号公報〕
　刊行物２には、インクジェットヘッド、プリントヘッド等に用いられる圧電／電歪膜型アクチュエータに関する発明に関して、次の事項が図面とともに記載されている。
（ア）「従来の・・・アクチュエータにおいては、何れも、圧電／電歪板等の板状の構成部材を接着剤を用いて張り付けてなる構造を採用するものであるために、アクチュエータとしての作動の信頼性にも問題があるものであった。」（２頁右上欄１０〜１５行）
（イ）「本発明・・・の課題とするところは、接着剤等で張り付けた構造ではなく、相対的に低駆動電圧で大変位が得られ、応答速度が速く、且つ発生力が大きく、また高集積化が可能である構造の圧電／電歪膜型アクチュエータを提供しようとするものである。」（２頁左下欄１〜７行）
（ウ）「本発明にあっては、・・・セラミック基板の少なくとも一方の面上に、第一の電極膜と圧電／電歪膜と第二の電極膜との組合せからなる圧電／電歪駆動部の少なくとも一つが、それら膜が順次層状に積層せしめられて、形成されてなる構造を有する圧電／電歪膜型アクチュエータを、その特徴とするものである。」（２頁左下欄９〜１６行）
（エ）「第１図は、セラミック基板の片面に圧電／電歪駆動部が設けられてなる、本発明に従う圧電／電歪膜型アクチュエータの一例を示すものであって、セラミック基板２の一方の面上に、下側電極膜４、圧電／電歪膜６及び上側電極膜８が順次積層され、多層に形成された一体構造とされている。なお、下側及び上側の電極膜４，８は、それぞれ、圧電／電歪膜６の端部より延び出させられ、リード部４ａ，８ａを形成しており、それらリード部４ａ，８ａを通じて、それぞれの電極膜４，８に通電が行なわれるようになっている。」（３頁左上欄１５行〜同頁右上欄５行）
（オ）「本発明に従う圧電／電歪膜型アクチュエータは、・・・振動板の如き作動板となるセラミック基板２上に、電極材料、圧電若しくは電歪材料及び電極材料にて、それぞれの膜４，６，８が多層に形成された構造を有するものであって、熱処理によって、基板２と圧電／電歪駆動部（下側電極膜４＋圧電／電歪膜６＋上側電極膜８）とが一体構造を形成し、接着剤は何等用いられていない特徴を有するものである」（４頁左上欄３〜１１行）
（カ）「先ず、各材料からなる膜４，６，８をセラミック基板２上に形成するには、公知の各種の膜形成手法が適宜に利用され、例えば、スクリーン印刷の如き厚膜手法・・・等が利用され、・・・圧電／電歪膜６を形成する時には、スクリーン印刷・・・等による手法が好適に採用される。」（４頁左上欄１４行〜同頁右上欄２行）
（キ）「また、セラミック基板２上に上記の方法で形成されたそれぞれの膜４，６，８は、その膜の形成の都度熱処理されて、基板と一体構造となるようにされても良く、・・・なお、かかる形成された膜を基板と一体化するための熱処理温度としては、一般に、８００℃〜１４００℃程度の温度が採用され、好ましくは１１００℃〜１４００℃の範囲の温度が有利に作用される。また、圧電／電歪膜を熱処理する場合には、高温時に圧電／電歪膜の組成が不安定とならないように、そのような圧電／電歪材料の蒸発源と共に、雰囲気制御を行ないながら、熱処理することが好ましい。」（４頁左下欄１６行〜同頁右下欄９行）
　上記（ア）〜（キ）の記載及び第１，３〜５，７図の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、以下のような構成を具えた発明が記載されているものと認められる。
　「振動板の如き作動板となるセラミック基板２の表面に、まず下側電極膜４を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下側電極膜４の表面に圧電／電歪膜６を印刷した後、加熱、焼成し、さらに上記圧電／電歪膜６の表面に、上側電極膜８を印刷した後、加熱、焼成し、加熱、焼成する際の温度は、一般に、８００℃〜１４００℃程度の温度、好ましくは１１００℃〜１４００℃の範囲の温度が有利であり、しかも、高温時に圧電／電歪膜の組成が不安定とならないように雰囲気制御を行ないながら熱処理するものであり、高応答速度と発生力大の特徴を併せ有し、高集積化が可能となることを特徴とするインクジェットヘッド、プリントヘッド等に用いられる圧電／電歪膜型アクチュエータの製造方法。」
（３）甲第３号証〔「Ｈｙｂｒｉｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｄｅｓｉｇｎ ａｎｄ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ」、ＲＯＹＤＮ　Ｄ．ＪＯＮＥＳ著、ＭＡＲＣＥＬ　ＤＥＫＫＥＲ，ＩＮＣ発行、１９８２年〕
　刊行物３には、その２２頁１〜５行（翻訳文１頁６〜１０行）、３３頁３０〜３８行（翻訳文１３頁２８行〜１４頁６行）、３５頁１４〜２５行（翻訳文１５頁２４行〜１６頁４行）、及び、３５頁２６行〜３６頁１４行（翻訳文１６頁５行〜１７頁１行）の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、厚膜フィルム材料によりハイブリット回路を構成する技術において、基板上に複数層の膜を積層するに際し、最も高い焼成温度の材料が最初にスクリーンイングされて最初に焼成され、次いで、他の材料のスクリーンイングが後に続いて、さらに、低い温度で焼成されることにより、材料間の相互の影響が最小化され、かつ最初に焼成された材料の特質が変性することが極小化されること、等の技術事項が記載されている。
（４）甲第４号証〔「Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ：Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ ａｎｄ Ｄｅｖｉｃｅ Ｄｅｓｉｇｎ」、ＲＯＹ　Ａ．ＣＯＬＣＬＡＳＥＲ著、ＪＯＨＮ　ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ発行、１９８０年〕
　刊行物４には、その２８８頁１２〜２８行（翻訳文８頁８〜２２行）の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、ハイブリット回路技術において、交差形式で素子を積層するに際し、下部の層が印刷、乾燥された後、その層に対して許容される高温で焼成され、次いで、その上部の層が印刷、乾燥された後、下部の層の焼成温度よりも約５０℃低い温度で焼成され、以下同様にして、その上部の層が印刷、乾燥された後、その下部の層の焼成温度よりも約５０℃低い温度で順次焼成されることにより、導電体が“移動する”（ｓｗｉｍ）傾向を減少させる（特性変化の防止）こと、等の技術事項が記載されている。
（５）甲第５号証〔「Ｓｃｒｅｅｎ Ｐｒｉｎｔｉｎｇ Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ Ｄｅｖｉｃｅｓ」、Ｈ．Ｂａｕｄｒｙ著、Ｈｙｂｒｉｄ Ｃｉｒｃｕｉｔｓ　Ｎｏ．１４　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ１９８７年〕
  刊行物５には、その７１頁左欄下から１２行〜同頁右欄１０行（翻訳文２頁１５〜２７行）の「Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　Ｒｅａｌｉｓａｔｉｏｎｓ」（技術的実施）の項の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、スクリーン印刷圧電体デバイス技術において、標準的なアルミナ基板上に印刷されたＡｇ／Ｐｄの導電体からなる第１層、圧電インクからなる二つの層、及び、Ａｇ／Ｐｄの導電体からなる上部層を、個別に、それぞれ、大気中８５０℃で焼成すること、等の技術事項が記載されている。
（６）甲第６号証〔英国公開特許公報第２１６１６４７Ａ号、１９８６年〕
　刊行物６には、その２頁７〜９行（翻訳文３頁２５〜２６行）、３頁１９〜２２行（翻訳文６頁９〜１１行）、３頁１２５行〜４頁９行（翻訳文８頁１〜８行）、４頁１８〜２９行（翻訳文８頁１３〜１７行）、４頁４６〜６１行（翻訳文８頁下から２行〜９頁４行）、４頁１２８行〜５頁２８行（翻訳文１０頁９〜２６行）の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、基板上に圧電セラミック材料の薄層を装着して形成される圧電装置に関し、電気エネルギーを機械エネルギーにもしくはこの逆に変換するトランスジューサーが、電極となる第１層、圧電層となる第２層、第２電極となる第３層のサンドイッチ構造を有し、第１層のペースト材料がスクリーン印刷塗布された後、乾燥され、８５０℃で焼成されて形成され、次に、第１層の上にこれと同様のやり方で、第２層及び第３層が形成されるものであること、等の技術事項が記載されている。
（７）甲第７号証〔「ＰｂＴｉ０３　Ｆｉｌｍｓ Ｆｒｏｍ Ｍｅｔａｌｌｏｏｒｇａｎｉｃ Ｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ」〕
  刊行物７には、その７１２頁左欄下から１２行〜同頁右欄１０行（翻訳文４頁下から３行〜５頁１０行）の「Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ」（電極）の項、７１３頁左欄下から３２行〜同頁右欄下から２４行（翻訳文６頁下から５行〜７頁１８行）の「Ｍｅｔａｓｔａｂｌｅ　Ｐｈａｓｅ　ｉｎ　ＰｂＯ−ＴｉＯ２　Ｓｙｓｔｅｍ」（ＰｂＯ−ＴｉＯ２　系の準安定相）の項、及び、Ｆｉｇ．３．の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、シリコンウエハ上にＰｂＴｉＯ３薄膜を形成する際に、予め、シリコンウエハ上に４相白金薄膜が作成されて５５０℃で焼成され、次に、白金薄膜上にＰｂＴｉＯ３薄膜が作成されて５５０℃よりも低い温度で焼成され、この焼成温度に関して、４９４℃かそれ以下で焼成した薄膜では４面体構造が形成された結晶構造が得られること、等の技術事項が記載されている。
（８）甲第８号証〔窯業協会誌　１９７０年　７８［２］〕
  刊行物８には、その５８頁右欄下から９行〜６０頁右欄下から１４行（翻訳文１頁下から３行〜２頁２８行）の「２．１．２　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｇｌａｓｓ　Ｐｏｗｄｅｒｓ　ａｎｄ　ｔｈｅｉｒ　Ｆｉｒｉｎｇ」（ガラス粉末の塗布と焼成）の項、「２．２　Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　Ｔｈｉｃｋ−Ｆｉｌｍ　Ｃａｐａｃｉｔｏｒｓ」（厚膜キャパシタの誘電体特性）の項、Ｆｉｇ．２〜７、及び、６１頁の「Ｔａｂｌｅ２　Ｒｅｓｕｌｔｓ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｘ−ｒａｙ　ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ　ａｎａｌｙｓｉｓ．」の表の記載を含む刊行物全体の記載を参照すると、厚膜キャパシタを製造する際に、下部電極層、誘電体層、及び、上部電極層の各層の焼成温度を、既に焼成済みの層の焼成温度よりも次に焼成する層の焼成温度を低くし、これにより、各層間の物質移動が抑えられること、等の技術事項が記載されている。
　　　　　
〔２〕本件訂正発明と甲各号証に記載された発明との対比・判断
（１）本件訂正発明と甲第１号証に記載された発明との対比
１．甲第１号証に記載された発明の「インク加圧室２１」，「インク」，「振動板２４」，下面の「電極」，上面の「電極」，「電気機械変換素子としての圧電素子２７」，「オン・デマンド型インクジェット記録ヘッド」が、本件訂正発明の「圧力室」，「インク液」，「振動板」，「下部電極層」，「上部電極層」，「圧電体層」，「インクジェットヘッド」にそれぞれ対応しているから、両者は、
　「圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、下部電極層、圧電体層及び上部電極層を形成することを特徴とするインクジェッヘッドの製造方法。」との概略的な構成の点で一致し、以下の点で構成が相違している。
〈相違点１〉
　下部電極層、圧電体層及び上部電極層を形成するに際して、本件訂正発明が、「まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成する」のに対して、甲第１号証に記載された発明は、振動板の表面に下部電極層、圧電体層及び上部電極層を接着あるいは融着などの手法で貼着することのみを開示し、各層毎に印刷、加熱、焼成を繰り返して形成すること、及び、焼成済み層の焼成温度以下の温度で次の層を加熱焼成することを開示していない点。
〈相違点２〉
　振動板に関して、本件訂正発明が、「振動板としてのウエハ」を採用し、「１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成する」のに対して、甲第１号証に記載された発明は、その点について定かでない点。
（２）構成の相違点についての検討
〈相違点１について〉
　当該相違点を検討するにあたり、甲第２号証に記載された発明について検討すると、甲第２号証に記載された発明の「振動板の如き作動板となるセラミック基板２」，「下側電極膜４」，「圧電／電歪膜６」，「上側電極膜８」が、本件訂正発明の「振動板」，「下部電極層」，「圧電体層」，「上部電極層」にそれぞれ対応しているから、甲第２号証に記載された発明には、「振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、加熱、焼成する」という、本件訂正発明の振動板部分の製造方法と同様の製造工程が開示されているものと認められる。
　ところで、甲第２号証には、各層の焼成温度の高低について言及していないものの、上記したように（カの記載参照）、各層の形成の都度、熱処理するための加熱焼成温度について、一般に８００℃〜１４００℃程度の温度、好ましくは１１００℃〜１４００℃の範囲の温度が有利であることが開示され、また、層（圧電／電歪膜）を熱処理する場合、高温時に組成が不安定にならないように雰囲気制御を行ないながら熱処理することが好ましいという熱処理温度について考慮することが開示されており、しかも、焼成済み層の焼成温度以下の温度、或いは同一の焼成温度で次の層を加熱焼成することは、例えば、甲第３〜８号証に記載されているように、本件訂正発明のようなインクジェットヘッドも技術概念上ほぼ同一の技術と認められる複数の層を有する回路装置等の焼成の技術分野において、各層間の物質移動を抑えるために、従来から当然に考慮されている周知の技術事項であるので、甲第２号証に記載された発明における熱処理において、層の組成が不安定にならないように、焼成温度の高低については当然に考慮し得ることであると推認できる。
　従って、当該相違点１に係る本件訂正発明の構成は、甲第２号証に記載された発明及び甲第３〜８号証に記載された周知の技術事項から当業者が容易に想到し得たことである。
　（尚、出願人は、平成１３年３月６日付け意見書中で、「刊行物２の記載では、セラミック基板上に電極材料、圧電／電歪材料および電極材料を多層に形成し、全層を形成した後、熱処理を施し、一体的に結合するとしている。・・・すなわち、・・・電極層と圧電体層をウエア上に一体で形成することしか記載されていない。」（３頁１８〜２６行）と認識し、これを前提にして、刊行物１，２に記載された発明からは製造方法が規定できない旨主張しているが、刊行物２に記載された発明は、熱処理によって基板と圧電／電歪駆動部とを一体構造とする際に、圧電／電歪駆動部はそれを構成する膜のスクリーン印刷等による形成の都度、熱処理されて形成されることが開示され（カの記載参照）、当該技術事項は上記したように、本件訂正発明の振動板部分の製造方法と同様の製造工程であるから、上記認識に基づく出願人の主張は事実に基づかないものであり採用できない。）
〈相違点２について〉
  インクジェットヘッドの技術分野において、ウエハ上に複数のインクジェットヘッドの構成部品を形成することは、例えば、特開昭６１−２３０９５４号公報，特開昭６３−３４１５２号公報，特開平１−１６６９６５号公報，特開平２−９９３３４号公報（多くの別個のプリントヘッドに切り分けられる旨の記載参照）等に記載されているように、インク吐出方式が相違するヘッドではあるが、従来から慣用されている周知の技術にすぎないものであり、しかも、当該相違点２に係る構成とすることによる本件訂正発明の効果が上記周知技術の持つ効果以上のものであるとは認められないから、当該相違点２は、当該技術分野において通常的に行われている技術を単に構成要件として摘示することにより生じた程度のことと認められ、当該相違点２によって本件訂正発明が格別のものであると云うことができない。
　　　　　
〔３〕まとめ
　そして、甲第１号証に記載された発明における振動板部分の製造方法に、甲第２号証に記載された発明及び甲第３〜８号証等に記載された周知の技術事項を適用することを阻害する格別の理由もないことから、本件訂正発明は、甲第１，２号証に記載された発明及び甲第３〜８号証等に記載された周知の技術事項から当業者が容易に想到しえたものと云わざるをえず、しかも、本件訂正発明の奏する効果も、甲第１，２号証に記載された発明及び甲第３〜８号証等に記載された周知の技術事項から予測しうる範囲を超えるものではない。
　　　　
　　　　　
［むすび］
　以上のとおりであるから、本件訂正発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本件訂正発明についての特許は、拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認める。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年４月１８日（２００１．４．１８）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
〔１〕訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を「振動板としてのウエハ上に、圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。」と訂正する。
〔２〕訂正事項ｂ
　特許明細書の段落【０００９】を「【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、図１に示されるように、振動板としてのウエハ上に、圧力室内に収容されたインク液に吐出圧力を与えるために上記圧力室に面して設けられる振動板の表面に、まず下部電極層を印刷した後、加熱、焼成し、次に、上記下部電極層の表面に圧電体層を印刷した後、上記下部電極層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、さらに上記圧電体層の表面に、上部電極層を印刷した後、上記圧電体層の加熱焼成温度以下の温度で加熱、焼成し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成することを特徴とする。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
インクジェットヘッドの製造方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】
振動板としてのウエハ上に、
し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】この発明は、インク滴を吐出させて記録を行うためのインクジェットヘッドの製造方法に関する。
　【０００２】インクジェット記録方式は、構造が簡単でカラー化がし易く、騒音も無いなどの特長があり、今後の記録方式の主流として期待されている。
　【０００３】
　【従来の技術】インクジェットヘッドからインク滴を吐出させるには、圧力室に面して設けられた振動板を振動させて、圧力室内のインクに吐出圧力を与えるようにしている。
　【０００４】振動板を振動させるのは一般に圧電素子であり、圧力室の位置に対応して振動板の表面に密着して設けられている。
そのような圧電素子は、従来は、圧電体を電極でサンドイッチ状に挟んで圧力室に対応する大きさに形成され、一つ一つ振動板の表面に接着されていた。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】しかし、インクジェットヘッドにはインク吐出ノズルの数と同数の圧電素子を取り付ける必要があるので、圧電素子を一つ一つ振動板に接着するのは大変手間がかかり、ヘッドの製造コストを押し上げてしまう。
　【０００６】そこで、振動板の表面に、下部電極層、圧電体層及び上部電極層を順に印刷成形した後、加熱焼成することによって、振動板上に圧電素子を直接形成することも考えられる。
　【０００７】しかし、そのように、圧電体層と電極層とを同時に加熱焼成すると、圧電体層と電極層との間で物質移動が生じ、各層に不純物が混入して各々の特性が損なわれてしまう。
　【０００８】そこで本発明は、ヘッドの製造コストを大幅に低減することができ、しかも電極層及び圧電体層に不純物混入の発生しないインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
　【０００９】
　【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するため、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、図１に示されるように、
振動板としてのウエハ上に、
し、１枚のウエハ上に複数のインクジェットヘッドを形成
　【００１０】なお、上記上部電極層５の加熱焼成温度が上記圧電体層４の加熱焼成温度以下であり、さらに上記圧電体層４の加熱焼成温度が上記下部電極層２の加熱焼成温度以下であるとよい。
　【００１１】
　【作用】振動板１の表面にまず下部電極層２が印刷、焼成された後に、その表面に圧電体層４が印刷、焼成され、焼成後の圧電体層４の表面に、上部電極層５が印刷、焼成される。
　【００１２】このように、各層について、印刷及び焼成後に次の層の印刷と焼成が行われるので、各層間の物質移動が抑えられる。
そして、後に印刷、焼成される層の加熱焼成温度を先に印刷、焼成された層の加熱焼成温度以下にすることにより、各層間の物質移動がより完全に抑えられる。
　【００１３】
　【実施例】図面を参照して実施例を説明する。
図２は、振動板１上に電極層と圧電体層をスクリーン印刷するための装置を略示しており、５１は、印刷パターンが形成されたスクリーン、５２はスキージである。
　【００１４】振動板１として、ここではシリコン単結晶ウェハが用いられており、１２００℃程度までの高温の熱処理によって溶解されず、歪みも発生しない。
なお、振動板として酸化アルミニウム板等を用いてもよい。
　【００１５】ここでは、まず振動板１の表面の広い範囲に、下部電極層２を一様にスクリーン印刷する。
図３はその状態を示しており、例えば銀及びパラジウムの粉末とそれらを結合させるためのバインダと有機溶媒とを混合した導電ペーストを、スクリーン５１上に塗り、スキージ５２を押さえつけながら移動させる。これによって、下部電極層２が振動板１の表面に印刷される。
　【００１６】続いて、これを乾燥させた後、電気炉によって、大気中１０００℃にて２時間加熱焼成する。
表面観察の結果では、１０００〜１１００℃の温度で１時間以上加熱することによって、電極層２中のポア（気泡）が減少し、物質移動が抑制される。
　【００１７】なお、導電ペーストとしては白金ペーストを用いてもよく、その場合には銀及びパラジウムより高い白金の融点に合わせて、焼成温度は１２００〜１４００℃にするとよい。
　【００１８】次に、図４に示されるように、後述する圧力室３の位置、形状に合致する印刷パターンが形成されたスクリーン５４を用いて、下部電極層２の表面に圧電体層４をスクリーン印刷する。
　【００１９】図５に示されるように、一枚の振動板１は、多数のインクジェットヘッド１０をまとめて形成する大きさであり、その一つのインクジェットヘッド１０の一部分Ａを示す図６に示されるように、各インクジェットヘッド１０に多数の（例えば６４個の）圧電体層４が印刷される。
　【００２０】圧電体ペーストとしては、例えば０．５ＰＮＮ−０．３５ＰＴ−０．１５ＰＺの圧電微粉末とそれら粉末どうしを結合させるためのバインダとしてのエチルセルロースと有機溶媒であるテレピネオールとを、重量比で例えば１００対１対２０で混合したものを用いる。
ただし、ＰＺＴ系及びその他第三成分の入ったものを用いてもよい。
　【００２１】そして、圧電体層４を印刷して乾燥させた後、電気炉によって、大気中１０００℃で２時間加熱、焼成する。
この場合、９００℃以上の高温にすれば圧電体層４が緻密になって脆くならず、２時間の焼成時間によってその緻密化が促進される。
　【００２２】次に、図７に示されるように、下部電極層２と同じ導電ペーストを用いて、各圧電体層４の表面に上部電極層５をスクリーン印刷し、乾燥後、電気炉によって大気中、１０００℃で２時間加熱、焼成する。
ただし上部電極層５には、金その他低い温度での焼成が可能な導電ペーストを用いてもよい。
　【００２３】Ｘ線回折（ＸＲＤ）によって検討したところ、電極層と圧電体層の一体焼成では、図９に示されるように、各層間の物質移動によって、圧電性のないパイクロア相が生成されていたのに対して、本実施例の試料では、図１０に示されるように、各層間物質移動が抑えられて、圧電性のあるペロブスカイト相が生成していることが認められた。
　【００２４】図８は、このようにして電極層２，５と圧電体層４が直接印刷、焼成された振動板１を、インク流路６に連通して圧力室３が形成された基板７に接合した状態を示している。
８はノズル孔である。
　【００２５】ただし、振動板１と基板７の接合を、電極層２，５と圧電体層４の焼成より先に行ってもよいし、圧力室３とインク流路６を振動板１と一体的に形成してもよい。
　【００２６】このようにして形成されたインクジェットヘッドにおいては、インク液をインク流路６から圧力室３内に満たし、上下両電極２，５間に電圧を印加することによって、圧電体層４が変形し、それによって振動板１が振動して圧力室３内のインク液に吐出圧力が加わり、圧力室３内のインクがノズル孔８からインク滴となって吐出して記録が行われる。
　【００２７】なお、上述の実施例においては、各層２，４，５の焼成温度を各々１０００℃に設定したが、例えば、下部電極層２の焼成温度を１１００℃、圧電体層４の焼成温度を１０００℃、上部電極層５の焼成温度を８５０℃とするように、後で加熱焼成する部分の焼成温度を既に焼成済の部分の焼成温度より低くすることによって、各層間の物質移動をより完全に抑えることができ、図１１に示されるようにペロブスカイト相がより多く生成される。
　【００２８】
　【発明の効果】本発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、振動板の表面に圧電体層が印刷、焼成によって直接形成されるので、組み立て工数が削減されて大幅なコストダウンが達成され、しかも、電極層と圧電体層の各層について、印刷及び焼成後に次の層の印刷と焼成を行うので、各層間の物質移動が抑えられて、各層に不純物が混入せず、各層の特性が損なわれない優れた効果を有する。
　【００２９】そして、後で加熱焼成する部分の焼成温度を既に焼成済の部分の焼成温度以下にすれば、各層間の物質移動をより完全に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】本発明の原理図である。
　【図２】実施例の製造工程を示す斜視図である。
　【図３】実施例の製造工程を示す側面図である。
　【図４】実施例の製造工程を示す側面図である。
　【図５】実施例の振動板の平面図である。
　【図６】実施例の振動板の部分拡大平面図である。
　【図７】実施例の製造工程を示す側面図である。
　【図８】実施例のインクジェットヘッドの部分側面断面図である。
　【図９】電極層と圧電体層とを一体焼成した場合のＸ線回折特性線図である。
　【図１０】実施例によるＸ線回折特性線図である。
　【図１１】実施例によるＸ線回折特性線図である。
　【符号の説明】
１　振動板
２　下部電極層
３　圧力室
４　圧電体層
５　上部電極層