【事件の表示】
　特許第２９１１２８３号「非接触段差測定方法及びその装置」の請求項１ないし３、５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９１１２８３号の請求項１ないし３、５に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許２９１１２８３号の請求項１ないし６に係る発明についての出願は、平成３年１２月４日に特許出願され、平成１１年４月９日に設定登録がなされ、特許異議申立人五島香里より請求項１ないし３、５に係る特許につき特許異議の申立てがなされた。そして、請求項１ないし３、５に係る発明について平成１２年７月２４日付けで取消理由通知を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　
２．特許異議の申立てについての判断
ア．本件発明
　本件特許第２９１１２８３号の請求項１ないし３、５に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１ないし３、５に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】測定対象物に直接接触することなく測定対象物表面上の第１の領域と第２の領域の段差の大きさを測定する段差測定方法において、
測定対象物表面に照射される第１の光束、及び該測定対象物表面が所定位置に配置された際に上記第１の光束の上記測定対象物表面からの反射光との干渉により干渉縞を発生する第２の光束を作成する光束作成手段を用い、上記第１の領域において干渉縞が発生したときの上記測定対象物表面の位置と、上記第２の領域において干渉縞が発生したときの上記測定対象物表面の位置とを認識することにより上記測定対象物表面の段差の大きさを測定することを特徴とする非接触段差測定方法。
【請求項２】測定対象物に直接接触することなく測定対象物表面の第１の領域と第２の領域の段差の大きさを測定する非接触段差測定装置において、
測定対象物表面に照射される第１の光束、及び該測定対象物表面が所定位置に配置された際に上記第１の光束の上記測定対象物表面からの反射光との干渉により干渉縞を発生する第２の光束を作成する光束作成手段を備え、上記測定対象物表面の上記第１の領域を上記所定位置に配置したときの上記測定対象物の位置から、上記第２の領域を上記所定位置に配置したときの上記測定対象物の位置までの、上記測定対象物表面に対して垂直方向の変位量から上記測定対象物の段差を測定することを特徴とする非接触段差測定装置。
【請求項３】請求項２記載の非接触段差測定装置において、
上記光束作成手段の光源は白色光源であることを特徴とする非接触段差測定装置。
【請求項５】請求項３記載の非接触段差測定装置において、
上記測定対象物表面の各観側領域における上記所定位置の変位量を検知し、該変位量から上記測定対象物表面の段差の大きさを算出する段差算出手段を備えたことを特徴とする非接触段差測定装置。」
　
イ．申立ての理由の概要
　特許異議申立人五島香里は、請求項１ないし３、５に係る発明は、下記甲第１号証に記載の発明と同一であるか、またはこれから容易に発明をすることができたものであるので、特許法第２９条第１項第３号または同条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許を受けることができない旨主張している。
　　　　記
甲第１号証：
Gordon S.Kino et al.,APPLIED OPTICS,Vo1 29,No 26,pp.3775‐3783,10 September l990
（甲第１号証は、取消理由通知において引用した刊行物１に対応する）
　
ウ．甲号証記載の発明
　上記甲第１号証には、おおよそ次の事項が図面とともに記載されている。
「この情報は、装置に関係するコンピューターで利用できるので、縦方向と横方向の顕微鏡の空間周波数応答を修正するためにフーリエ変換技術を使うことは、比較的に容易である。」（３７７５頁左欄１３〜１７行）、
「Ｌｉｎｎｉｋ顕微鏡では、フィラメントランプまたはキセノンアークランプからの空間的にも時間的にも非干渉性の光源から出た光は、集光レンズと対物レンズを通り、サンプルに向かう。」（３７７５頁左欄３０行〜同頁右欄２行）、
「マイケルソン干渉計の代わりに、ビームスプリッタからなるミラウ干渉計では、参照ミラーがサンプルと対物レンズの間に配置される。」（３７７５頁右欄３２〜３５行）、
「リファレンスミラーは、サンプルの垂直方向の位置を決めるコンピューター制御されたピエゾ素子推進器によって、垂直な軸（ｚ軸）に沿ってサンプルが走査される間、いつも対物レンズの焦点面ｚ＝ｚｏに置いておかれる。２つのフィルムの位置の初めの調整は、電子的に制御されたピエゾ素子の推進器によるバーニアシステムによってされる。ＣＣＤカメラは、それ以後の処理のために、コンピューターへ信号を入力するために使用される。
　参照光とサンプル光線は、ほとんど同じ長さ渡って共通の経路を有するように分けられる。それ故このシステムは、振動に対しＬｉｎｎｉｋ装置（マイケルソン干渉計）より敏感でない。」（３７７６頁左欄下から８行〜同頁右欄６行）、
「それで、帯域幅の広い光を使用した場合には、レンズの開口数が小さかったとしても、信号強度が半分になる間の測定分解能は、式１２に示すように帯域幅によって制限される。」（３７７８頁左欄下から１３行〜１０行）、
「Ｃ．位相測定
　相関顕微鏡の重要な特徴は、参照光が存在するので、位相を直接測定することができることである。対象物がＺ方向に動かされて、一連の干渉縞または、最大値と最小値の出現が顕微鏡の直接出力となることは式６と図３（ａ）から導き出される。ＩｂＡＢ（Ｚ）のエンベローブのピークまたは信号ＡＢの最大振幅は、参照光の光路とサンプルへの光路が等しくなるｚ＝ｚｏ平面で現れる。図４では、我々は、高さ０．１μｍの段差について、検出された強度をサンプル座標（ｘＳ，ｙＳ，ｚＳ）中における位置ｚＳの関数としてプロットした。この座標系はサンプルに対して固定されており、従って、ｚ軸方向にサンプルが走査されるにつれて顕微鏡に対して移動する。ここで、ｚ軸は顕微鏡のフレームに基づく座標である。サンプルをｚ軸方向に走査した場合、焦点面ｚ＝ｚｏを通るとき、異なる高さｈのエリア（ｘＳ，ｙＳ）が独立して映像化される。このグラフには２つの異なる曲線がプロットされている。点線が段の頂部についての Ｉ（ｚＳ）曲線であり、実線が段の底部のＩ（ｚＳ）曲線である。図４では、ピークの位置が対象物の形状を規定する。
　段の高さは、ｚＳに関して図４をフーリエ変換したデータとｚＳから正確に測定することができる。・・・あるいは、形状の測定はサンプルの形状をビームで走査し検知素子で受光された信号の、最大または最小でのずれを測定することよりなされる。」（３７７８頁右欄２１行〜３７７９頁左欄３０行）、
「IV．結論
　我々は、干渉顕微鏡においてミラウ干渉計配置を用いることの利点を示した。
このような顕微鏡は、振幅と位相の両方を測定することができる。ただ１つの顕微鏡対物レンズが用いられ、信号及び参照光線の両者が同一のレンズを通過する。
これにより、複雑さ、長い光路による振動への敏感さ、対物レンズを２つ使用することによるシステムのコスト増大を、取り除くことができる。さらに、異なるレンズを用いることによるミスマッチの問題がなく、縦方向の収差が除去される。」（３７８３頁左欄２７〜３７行）
　また、ミラウ顕微鏡を示す第２図において、非干渉性の光源から出た光は、集光レンズと対物レンズを通り、サンプルに向かうこと、対物レンズとサンプルの間にはビームスプリッタが配置され、対物レンズのすぐ下にはリファレンスミラーが配置されていること、対物レンズからサンプルに向かう光の一部はビームスプリッターを通ってサンプルに到達し、サンプルに反射された光はビームスプリッタに向かうこと、一方、対物レンズからサンプルに向かう光の一部はビームスプリッタにより反射され、さらにリファレンスミラーに反射されてさらにビームスプリッタに反射されること、そして、リファレンスミラーからの反射光とサンプルに反射されてきた光とにより干渉が生じ、該干渉光は対物レンズを通過してビームスプリッタで反射されてＣＣＤカメラで撮像されること、ＣＣＤカメラで撮像された信号はコンピューター処理してＴＶモニター上に映像化させること、サンプルは、該コンピューターと連絡したピエゾ素子推進器により上下される台の上に載置されることがみてとれる。
　
エ．判断
＜請求項１ないし３、５に係る発明について＞
　請求項１ないし３、５に係る発明に対して、特許異議申立と同様の理由により、平成１２年７月２４日付けで取消理由通知を通知し、期間を指定して意見書を提出する機会を与えたが、特許権者からは何らの応答もない。
　そして、上記取消理由は妥当なものと認められるので、請求項１ないし３、５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一、または該甲号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
３．むすび
　以上のとおり、請求項１ないし３、５に係る発明は、甲第１号証に記載された発明に記載された発明と同一、または該甲号証に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるので、請求項１ないし３、５に係る特許は、特許法第２９条第１項第３号または特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものであるから、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月２５日（２０００．１０．２５）