【事件の表示】
　特許第２９６４８９３号「酸化物薄膜の作製方法」の請求項１，３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９６４８９３号の請求項１、３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．本件の経緯
　本件特許第２９６４８９３号は、平成５年１２月２１日に出願した特願平５−３４４６６３号に基づいて国内優先権主張をして平成６年１１月１８日に出願し、平成１１年８月１３日に設定登録され、同年１０月１８日に特許公報に掲載されたところ、平成１２年４月１８日に株式会社村田製作所から特許異議の申立を受けたものである。
２．特許異議申立人の主張
　特許異議申立人は、甲第１号証（特開平２−１６７３６９号公報）及び甲第２号証（特開平２−８３２１４号公報）を提出して、本件請求項１および３に係る発明は、本件特許の出願前に頒布された刊行物である甲第１号証および甲第２号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである、と主張をしている。
３．本件請求項１および３に係る発明
　本件請求項１および３に係る発明は、本件明細書の特許請求の範囲に記載されたとおりの次のものである。
［請求項１］一般式（ＢａｘＳｒ１−ｘ）ＴｉＯ３（０＜ｘ≦１）で表される酸化物薄膜の作製方法において、下記一般式（I−Ａ）で示される溶媒に、
Ｒ１ＯＲ２ＯＨ　　　　　（I−Ａ）
（式中、Ｒ１は炭素数２以上の脂肪族炭化水素基を表し、Ｒ２はエーテル結合を有していてもよい２価の脂肪族炭化水素基を表す。）下記一般式（II）および（III）で示される２種の金属アルコキシド化合物または一般式（II）ないし（IV）で示される３種の金属アルコキシド化合物を、
Ｂａ（ＯＲ３）２　　　　　（II）
Ｔｉ（ＯＲ４）４　　　　　（III）
Ｓｒ（ＯＲ５）２　　　　　（IV）
（式中、Ｒ３、Ｒ４およびＲ５は、それぞれ脂肪族炭化水素基を表す。）同時または任意の順序で添加して混合した後、加熱反応させ、得られた混合溶液を基板上に塗布して薄膜を形成し、次いで熱処理することを特徴とする酸化物薄膜の作製方法。
［請求項３］ＳｒＴｉＯ３で示される酸化物薄膜の作製方法において、下記一般式（I）で示される溶媒に、
Ｒ１ＯＲ２ＯＨ　　　　　（I）
（式中、Ｒ１は脂肪族炭化水素基を表し、Ｒ２はエーテル結合を有していてもよい２価の脂肪族炭化水素基を表す。）下記一般式（III）及び（IV）で示される２種の金属アルコキシド化合物を同時または任意の順序で添加して混合した後、加熱反応させ、
Ｔｉ（ＯＲ４）４　　　　　（III）
Ｓｒ（ＯＲ５）２　　　　　　（IV）
（式中、Ｒ４およびＲ５は、それぞれ脂肪族炭化水素基を表す。）得られた混合溶液を基板上に塗布して薄膜を形成し、次いで熱処理することを特徴とする酸化物薄膜の作製方法。
４．特許異議申立人の主張についての検討
（１）請求項１について
　甲第１号証には、「一般式：Ｍ（ＯＲ）ｎ（Ｍは繊維金属元素のうちの１種又は２種以上、Ｒは飽和又は不飽和の炭化水素基、ｎは遷移金属元素の価数によって定まる整数を示す）で表される１種又は２種以上の金属アルコキシド類を、構造式：
で表される骨格をもつオキシアルコール類からなる溶媒に溶解させてなる金属酸化物皮膜形成用コーテイング液。」（特許請求の範囲第１項）に関する発明が記載されており、その、第４頁右下欄６〜１０行には、上記の骨格を持つオキシアルコール類の例として、「エチレングルコールモノメチルエーテル」および「エチレングルコールモノエチルエーテル」等が例示されており、さらに、その第４頁左下欄１〜６行には、「金属アルコキシド類は、単一の金属元素であってもよいし、複数の金属アルコキシドを混合したものであってもよい。この場合、各金属アルコキシドのアルコキシル基は互いに異なっていてもよい。また、アルコキシド１分子内に２種以上の金属元素を含む、複合アルコキシドであってもよい。」と記載され、また、同頁左上欄下８〜下２行に、「この発明の金属アルコキシド類は、一般式：Ｍ（ＯＲ）ｎで表される任意の組成のものが使用できる。ここでＭは、遷移金属元素のうちの１種又は２種以上を表し、代表例としてＴｉ、Ｚｒ，Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｅ、Ｗ、Ｆｅについてこの明細書では述べるが、それ以外の遷移金属元素も適合するのは言うまでもない。」と記載されている。
　そこで、本件請求項１に係る発明と甲第１号証記載の発明とを対比すると、甲第１号証には「エチレングルコールモノエチルエーテル」等のエチレングリコールアルキルエーテル類からなる溶媒中で、チタンテトラブトキシドに対して、ニオブペンタブトキシド、セリウムトリブトキシド等の遷移金属アルコキシド化合物を混合し、その混合液を基板上に塗布して薄膜を形成し、次いで熱処理して金属酸化皮膜を得ることが示されているから、両者は、チタン酸金属の酸化物薄膜の作製方法において、「エチレングルコールモノエチルエーテル」等のＲ１ＯＲ２ＯＨ（式中、Ｒ１は炭素数２以上の脂肪族炭化水素基を表し、Ｒ２はエーテル結合を有していてもよい２価の脂肪族炭化水素基を表す。）で示される溶媒に、Ｔｉ（ＯＲ４）４（式中、Ｒ４は、脂肪族炭化水素基を表す。）及び他の金属アルコキシド化合物を、同時または任意の順序で添加して混合した後、加熱反応させ、得られた混合溶液を基板上に塗布して薄膜を形成し、次いで熱処理する点で一致するが、上記チタンアルコキシド化合物と併用する金属アルコキシド化合物は、本件特許発明では、上記バリウムアルコキシド化合物、又は該バリウムアルコキシド化合物と上記ストロンチウムアルコキシド化合物との混合物に特定されているのに対して、甲第１号証においてはＴｉ、Ｚｒ，Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｅ、Ｗ、Ｆｅ等の遷移金属のアルコキシド化合物である点で相違している。
　以下、上記相違点について検討する。
　甲第１号証には、使用する金属アルコキシドに関して「複数の金属アルコキシドを混合したもの」や「複合アルコキシド」を使用し得るものとして一般的な記載はあるが、使用し得るものとして具体的に記載されているのはＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｅ、Ｗ、Ｆｅ等の遷移金属のみであって、これらの複数の金属のアルコキシドの場合は示されているといえるが、上記「複数の金属アルコキシドを混合したもの」等の記載が具体的に示されていないＢａやＳｒのようなアルカリ土類金属まで含む場合を意図するものとはいえない。
　また、甲第１号証の第２頁右上欄２〜３行には、「チタン酸バリウム」の記載はあるが、該記載では圧電体膜の従来の研究例について紹介しているにすぎず、遷移金属であるＴｉにＢａやＳｒ等のアルカリ土類金属のアルコキシドを併用することを示唆するものではない。
　また、甲第２号証には、「分子内にアルコール性の水酸基と、この水酸基以外にエーテル基、カルボキシル基、カルボニル基、アミノ基、Ｎ−アルキルアミノ基よりなる群より選ばれた１種または２種以上とを含む、沸点が１００℃以上の有機物質に、酸化鉛（II）または水酸化鉛（II）を溶解して溶液とし、該溶液に鉛以外の金属元素の有機酸塩あるいはアルコキシドを混合して混合液を作成し、該混合液を水あるいは水を含有する有機溶媒と反応させ、鉛を含有する水酸化物を生成させ、該水酸化物を熱分解することを特徴とする鉛を含有する酸化物の製造方法。」（特許請求の範囲第１項）に関する発明が記載されており、その第４頁左下欄１２行から同頁右下欄１６行には、使用し得る金属元素の例として、ストロンチウムやバリウム等のアルカリ土類金属も挙げられ、また、それらのエトキシド、イソプロポキシド、ｎブトキシド等のアルコキシドなどが用いられる旨が記載されている。
　しかしながら、甲第２号証では、鉛を含有する複合酸化物として、鉛と併用し得る金属としてストロンチウムやバリウム等のアルカリ土類金属が挙げられているに過ぎず、該バリウム、ストロンチウムをチタン酸金属において使用することを示唆するものではない。
　これに対して、請求項１に係る発明は、チタン酸バリウム・ストロンチウム酸化物又はチタン酸バリウムの薄膜を作製する場合の問題点である金属アルコキシドの析出物の生成を回避するために、上記アルキルグリコールエーテル類を溶媒として用いて本件明細書に記載の優れた効果を奏したものである。
　なお、本件特許明細書に「また、近年、例えばＪ．Ａｍ，Ｃｅｒａｍ．ｃ．、７１，（５），ｃ−２８０（１９８８）等には、チタン酸鉛などの強誘電体薄膜の作製においてエチレングリコールモノメチルエーテルを用いることが示されているが、これを一般式（ＢａｘＳｒ１−ｘ）ＴｉＯ３（０≦ｘ≦１）で表される酸化物薄膜の合成のための溶媒として用いた場合、Ｂａの有機金属化合物とＴｉの有機金属化合物が選択的に反応し、沈殿が生ずるという問題点があった。」（本件特許公報第４欄７〜１５行）と記載されているが、これは、チタン酸鉛についての作製が公知であることを示すものであって、チタン酸バリウム・ストロンチウムの作製上の上記解決すべき問題点が公知であったことを示すものではない。
　してみると、ストロンチウムアルコキシド又はバリウムアルコキシドを、チタンアルコキシド化合物に対して併用することが記載されていない甲第２号証を組み合わせてみても、甲第１号証における上記チタンアルコキシド化合物に対してストロンチウムアルコキシド又はバリウムアルコキシドを併用することは、当業者とって容易に想到し得るものではない。
（２）請求項３について
本件請求項３に係る発明は、上記チタンアルコキシド化合物とストロンチウムアルコキシド化合物とを使用してチタン酸ストロンチウムの酸化物薄膜を作製するものであり、上記４（１）で述べたように、チタンアルコキシド化合物と共に使用する金属アルコキシドとして、バリウムアルコキシド又はストロンチウムアルコキシドを選択使用することが当業者とって容易に想到し得るとはいえないのであるから、同様の理由により、本件請求項３に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
４．結び
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由および証拠によっては、本件請求項１および３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に、本件請求項１および３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月２４日（２０００．８．２４）