【事件の表示】
　特許第３００４６７１号「精密除振台」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第３００４６７１号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第３００４６７１号の請求項１に係る発明についての出願は、平成２年１月１８日に特許出願されたものであって、平成１１年１１月１９日にその発明について特許権の設定登録がされ、その後、その特許について、異議申立人・桑田勉（以下、「申立人」という。）により特許異議の申立てがされ、取消理由通知がされ、その指定期間内に意見書が提出されたものである。
　
２．本件発明
　本件特許の請求項１に係る発明（以下、「本件発明」という。）は、その特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
【請求項１】
　空気ばねに支持された第１の定盤と、前記第１の定盤の上に設けられて除振対象物を載置する第２の定盤と、前記第１の定盤の変位に応じて前記空気ばねを駆動させる自動圧力調整器と、前記第２の定盤の変位を検出する非接触変位センサと、前記第１の定盤と前記第２の定盤の間に設置され前記非接触変位センサが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤の変位を復元するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えたことを特徴とする精密除振台。
　
３．異議申立ての理由の概要
　申立人は、証拠方法として、甲第１乃至６号証及び参考資料として実願昭55−48103号（実開昭56−148715号）のマイクロフィルムを提示し、本件発明は甲第１及び２に記載された発明又は甲第２及び３号証記載の発明に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、同法第２９条第２項の規定に該当すること（以下、「申立理由１」という。）、及び本件発明は甲第６号証の願書に最初に添付した明細書又は図面に記載された発明（以下、「先願発明」という。）と同一であって、本件発明の発明者が先願発明の発明者と同一の者であるとも、また、本件発明に係る出願の出願時に、その出願人と当該先願発明に係る出願の出願人とが同一の者であるとも認められないから、本件発明は特許法第２９条の２第１項の規定に該当すること（以下、「申立理由２」という。）より、本件発明についての特許は取り消すべき旨主張している。
　
４．甲号各証等に記載された発明
(1)．甲第１号証（特開昭６２−２２９８５２号公報）
　半導体等の焼付け装置におけるウエハステッパ等として使用される高精度移動装置に関し、
(a)．「第３図は、このような従来のＸＹステージを使用した半導体の露光装置を示すもので、……４はＳｉウエハ、５はＳｉウエハを平面上で移動するＸＹステージである。ＸＹステージ５はＳｉウエハ４を位置決めされた状態で搭載するテーブル５ａと、このテーブル５ａをＸ方向およびＹ方向（図では紙面に対して垂直方向（Ｙ方向）のものだけを示す）に移動させるリニアモータ５ｂと、リニアモータ５ｂの移動量を制御する移動量制御装置５ｃと、テーブル５ａを支持する複数個の空気軸受５ｄとから構成されている。なお、６ａは基盤、６ｂは空気ばねである。移動量制御装置５ｃはテーブル５ａの移動方向に沿って同一ピッチの微細な平行線を形成してなるスケール５１ｃと、このスケール５１ｃのパターンを光学的に検出する光学的検出装置５２ｃと、この光学的検出装置５２ｃがパターンを検出して発生する電気信号に基づいてリニアモー夕５ｂをフィードバック制御する制御部（図示せず）とから構成されている。」（第１頁右欄第１６行〜第２頁左上欄第１７行）、
(b)．「第４図に示すように、ＸＹステージ５のテーブル５ａの側面に反射板１０を設け、この反射板１０と対向させてレーザ干渉計１１を配置してＸＹステージの位置を高精度で検出し、この位置データによりリニアモータ５ｂをフィードバック制御することが検討されている。」（第２頁左下欄第１８行〜右下欄第３行）、との記載が認められる。
　これらの記載事項並びに明細書及び図面の全記載からみて、甲第１号証の刊行物には、以下の発明が開示されているものと認めることができる。
「空気ばね６ｂに支持された基盤６ａと、前記基盤６ａの上に設けられてウエハ４を載置するテーブル５ａと、前記テーブル５ａの位置を検出する光学的検出装置５２ｃ又はレーザ干渉計１１と、前記基盤６ａと前記テーブル５ａとの間に設置され前記光学的検出装置５２ｃ又はレーザ干渉計１１が検出した位置信号に基づき前記テーブル５ａを移動するリニアーモータ５ｂと、前記リニアモータ５ｂをフィードバック制御する制御部とを備えた高精度移動装置。」
　
(2)．甲第２号証（特開昭６３−１９８３２６号公報）
　Ｘ線露光装置に関し、
(c)．「その第１図に示す実施例のＸ線露光装置は、床１に固定された架台２と、これに固定されたＸ線源３と、マスク６とウエハ７の位置合せを行なうマスク・ウエハ位置合せ装置９と、これのマスク・ウエハ位置合せ用架台（定盤）１０と、弁１２を有する空気ばね等から構成された防振台１１と、Ｘ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置の検出手段としての位置センサ１５ａ ，１５ｂ，１５ｃと、Ｘ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置ずれ量を演算するとともに位置ずれを修正するコントローラ１６とを備えて構成されている。」（第３頁右上欄第５〜１６行）、
(d)．「前記マスク・ウエハ位置合せ装置９は、マスク支持台９ａと、Ｕ．Ｓ．Ｐ．Ｎｏ．４４７５２２３又はＵ．Ｓ．Ｐ．Ｎｏ．４５０４０４５に記載されているようにマスクとの間隙を一定に保持できるような機構を有するウエハ載置台９ｂと、このウエハ載置台９ｂを取付けたＸ，Ｙ，θ（回転）ステージ９ｃとを有している。前記マスク支持台９ａには、ウエハ７に転写するパターンを有するマスク６が固定されている。前記ウエハ載置台９ｂには、試料としてのウエハ７が載置されている。さらに、マスク・ウエハ位置合せ装置９は前記マスク・ウエハ位置合せ用架台１０と防振台１１により支持されていて、このマスク・ウエハ位置合せ装置９に床１からの振動が伝わらないように、またＸ線源３から発生する振動によってマスク・ウエハ位置合せ装置９に位置ずれが生じないようになっている。」（第３頁右下欄第８行〜第４頁左上欄第３行）、
(e)．「次に上記防振台１１について具体的に説明する。即ち第２図に示すように架台２または１０に固定されたレバー１２ｂにセンサバー１２ａが接触しており、センサバー１２ａはエア供給バルブ１２ｃと排出バルブ１２ｄに接続している。架台２または１０があらかじめ決められた位置より上がると、センサバー１２ａが上昇し、排気バルブ１２ｄが開き、エアタンク１１ａ内のエアーが抜けて架台２または１０は下降する。又架台２または１０が下がりすぎると、……架台２または１０は上昇する。」（第３頁左下欄第６〜１７行）、
(f)．「更に上記マスク・ウエハ位置合せ装置９は、マスクとウエハ間のＸ，Ｙ，θ方向の位置合せを行なうもので、アライメント光学系１３ａを用いてマスク６とウエハ７上とにあるアライメントパターンを光学的に検出し、Ｘ，Ｙ，θステージ９ｃをＸ軸方向、Ｙ軸方向、びθ（回転）方向に微動させ、マスクアライメントパターンにウエハアライメントパターンとを合わせ、位置合せする。…………前記コントローラ１６は、前記位置センサ１５ａ，１５ｂ，１５ｃからＸ線源３とマスク・ウエハ位置合せ装置９との相対的位置の検出結果を取り込み、………この実施例ではマスク・ウエハ位置合せ用架台１０に搭載されたＸ，Ｙ，θステージ９ｃを第１図に符号１７で示すように、転写誤差Ｇを消去する方向に移動させ、前記転写誤差Ｇを修正する機能とを有している。」（第４頁左上欄第１７行〜左下欄第１０行）、との記載が認められる。
　これらの記載事項並びに明細書及び図面の全記載からみて、甲第２号証の刊行物には、以下の発明が開示されているものと認めることができる。
「防振台11に支持された定盤10と、前記定盤10の上に設けられてウエハ7を載置するウエハ載置台9bと、前記定盤10の変位に応じて前記防振台11は制御可能であり、アライメント光学系13aが検出した信号に基づき前記ウエハ載置台9bを取付けたステージ9cを微動するように構成したＸ線露光装置。」
　
(3)．甲第３号証（特開平１−１６１８３２号公報）
　投影露光装置に関し、
(g)．「さてウェハＷは真空吸着によりウェハホルダーＷＨ上に固定され、所望の平面性が保たれるように平坦化矯正される。ウェハホルダーＷＨは水平方向のずれを最小にする条件で任意の方向に傾斜可能なレべリングステージＬＳに保持される。レベリングステージＬＳは光軸ＡＸ１の方向に上下動するＺステージＺＳ上に設けられ、ＺステージＺＳに固定された最低２ヶ所のレべリング駆動部１０ａ、１０ｂと１ケ所の固定点とによって任意方向に傾斜する。」（第３頁右下欄第５〜１４行）
(h)．「さて、投影レンズＰＬのウェハＷ上の視野領域内には、オートフォーカス及びオートレベリング用の送光系２２からの照明光（非露光波長）が斜めに照射され、その反射光は受光系２４に入射する。……送光系２２からのオートレベリング用の照明光はウェハＷ上の１ショット分の露光領域を含む大きさで、ウェハＷに平行光束を斜めに照射し、受光系２４は、その露光領域表面の平均的な面と、投影レンズＰＬの最良結像面との相対的な傾き方向と量とに関するレべリング信号Ｌｓｇｉを出力する。」（第４頁右上欄第１行〜左下欄第２行）、との記載が認められる。
　
(4)．甲第４号証（特開昭６２−２４５９４９号公報）
　半導体ウエーハ走査装置に関し
(i)．「第３図を参照すると、テーブル（６１）があってその上に４本のピストン−シリンダ型空気バネ（６２）を介して四隅が支えられた大理石の定盤（６０）がのっている。ウェーハ駆動装置と光学系の全体はこの大理石定盤の上に装着される。定盤（６０）の上には枠構造（６４）が立っていて、光学モジュール（２０）と焦点制御メカニズム（２８）を支持している。」（第８頁右上欄第１〜８行）、との記載が認められる。
　
(5)．甲第５号証（米国特許第３６０６２３３号明細書）
　防振システムに関し、
(j)．「振動源１２と質量体１４との間に２つの異なる防振系（バッシブ防振系とアクティブ防振系）を直列に接続して、質量体１４を防振すること」（第５欄第３２〜４８行参照）、
(k)．「バッシブ防振系では防振できない周波数帯域の振動をアクティブ防振系と組み合わせることにより防振できること」（第６欄第１９〜３７行参照）、
(l)．「アクティブ防振系は、質量体１４に接続されるシリンダ３８と、振動源１２に接続されるピストン３６で仕切られる２つの流体室４０，４２と、質量体１４に設けた加速度メータ６０の出力に基づいて、両流体室の流体圧を制御するサーボバルブ４４等からなること」（第６欄第７０行〜第７欄５０行参照）、が開示されている。
　
(6)．甲第６号証（特開平１−１７６９０号（特開平２−１９９８１３号））
　露光装置に関し、
(m)．「９はＸステージ１０上に取付けられＺ方向、θ方向、αおよびβ方向に移動および回転する機能を有するトップステージである。１０はＸ方向に移動可能なＸステージ、１１はＹ方向に移動可能なＹステージ、１２はＸステージ１０およびＹステージ１１を支持するステージベース、１３はＸＹステージ９〜１２を支持するＸＹステージ用定盤、１４はステージの移動により生じるステージ用定盤１３の振動を防振させかつ床からの振動を絶縁するＸＹステージ用マウントである。このマウント１４は一般的にアクティブマウントと呼ばれる。……１６ａは投影レンズ３の焦点位置とウエハ上面間の距離を計測するフォーカス検出部の投光部、１６ｂは同じくフォーカス検出部の受光部である。これらの投光部１６ａと受光部１６ｂは、それぞれ投影レンズ３に固定されている。」（第３頁右上欄第６行〜左下欄第５行）、
(n)．「第３図は、本実施例の露光装置のＸＹステージ用マウントいわゆるアクィブマウント（第１図の付番１４）の詳細図である。……３３は固定体に固定されたＸＹ方向に剛性が高くＺ方向に剛性が低いエアマウント、３６はエアマウント３３の内圧をコントロールするサーボバルブ、３７は固定体、 ３８はＸＹステージ用定盤１３の傾きを検知する非接触タイプの変位計である。」（第３頁左下欄第２０行〜右下欄第１３行）、
(o)．「次に、フォーカス検出部５３およびステージの位置および姿勢を表わすレーザ測定システム４４からのデータと制御用コンピュータ４１内に記憶してある所定レイアウトとの差分であるθ（ヨーイング）、α（ローリング）およびβ（ピッチング）を算出する。
そして、ＸＹ成分に関してはＸＹステージ用サーボドライバ４５に、θ，αおよびβ成分に関してはトップステージ駆動用ドライバに指令を出し、ＤＣサーボモー夕４６およびトップステージ４７を所定レイアウト（位置・姿勢）と一致するように駆動する。」（第４頁左下欄第１１行〜右下欄第１行）、との記載が認められる。
　これらの記載事項並びに明細書及び図面の全記載からみて、甲第６号証に係る明細書には、以下の発明が開示されているものと認めることができる。
【先願発明】
　エアーマウント33に支持された定盤13と、前記定盤13の上に設けられてウエハを載置するトップステージ9と、前記定盤13の変位に応じて前記エアーマウント13を駆動させるサーボバルブ36と、前記トップステージ9の状態を検出する受光部16bと、前記受光部16bが検出した信号に基づき前記トップステージ9を駆動するようトップステージ9を駆動制御する制御用コンピュータ41とを備えた露光装置。
　
(7)．参考資料（実願昭55−48103号（実開昭56−148715号）のマイクロフィルム）
　空気ばね使用の高精度レベリング機構等に使用する空気ばねの圧力を調整する圧力調整弁が記載されている。
　　
５．対比・判断
(1)．申立理由１について
　本件発明と上記甲第１号証に記載された発明を対比すると甲第１号証に記載された発明の「空気ばね６ｂ」は、本件発明の「空気ばね」に相当し、以下同様に、「基板６ａ」は「第１の定盤」に、「ウエハ４」は「除振対象物」に、「テーブル５ａ」は「第２の定盤」に、「リニアモータ５ｂ」は「アクチュエータ」に、「フィードバック制御する制御部」は「駆動制御する制御部」に、それぞれ相当するものと認められる。
　また、甲第１号証に記載された発明における高精度移動装置は、空気ばねで基盤を支持しており、空気ばねが除振機能を有すること、及び高精度を求められる装置であることは明らかであるから、甲第１号証に記載された発明は、精密除振台に相当する構成を備えているものと認められる。
　そうすると、本件発明と甲第１号証に記載された発明との一致点及び相違点は以下のとおりと認める。
＜一致点＞
　空気ばねに支持された第１の定盤と、前記第１の定盤の上に設けられて除振対象物を載置する第２の定盤と、非接触センサと、前記第１の定盤と前記第２の定盤との間に設置され前記非接触センサが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えた精密除振台。
＜相違点イ＞
　空気ばねが、本件発明では、自動圧力調整器によって第１の定盤の変位に応じて駆動させるように構成されているのに対し、甲第１号証に記載された発明では、そのように構成されているか否か不明な点。
＜相違点ロ＞
　非接触センサ及びアクチェータが、本件発明では、「第２の定盤の変位を検出する非接触変位センサ」及び「非接触変位センサが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤の変位を復元するアクチュエータ」から構成されているのに対し、甲第１号証に記載された発明では、「第２の定盤の位置を検出する非接触センサ」及び「非接触センサが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤を移動するアクチュエータ」から構成されている点。
　そこで、上記相違点イ及びロについて検討する。
・相違点イについて
　自動圧力調整器によって空気ばねを第１の定盤の変位に応じて駆動するように構成することは、周知技術（例えば、刊行物２参照）であるから、甲第１号証に記載された発明において、自動圧力調整器によって空気ばねを第１の定盤の変位に応じて駆動するように構成することは、当業者が適宜なし得たものにすぎない。
・相違点ロについて
　まず、本件発明における非接触変位センサが検出する定盤の「変位」、及びその変位の「復元」についての技術的意味を検討する。
　本件発明に係る明細書の［発明が解決すべき課題］及び［発明の目的］の欄には「ところで従来の除振台に使用されている自動圧力調整器60は応答が遅いため、短時間にほぼ元の位置にもどるという高速復元は望めず、また、ハンティング防止のため不感帯が大きく、復元精度も悪かった（第５図）。このため、搭載される精密機器の高性能、高精度化に伴い、除振台自体の機能向上が要求されていた。」、「本発明は上記の点を解決するためになされたもので、機器が搭載された定盤の傾斜及び上下方向のレベル変動を、速かに、かつ、高精度に復元可能な精密除振台を提供することを目的とする。」と記載されており、［実施例］の欄には「非接触変位センサ１が検出した第２の定盤４Ａの位置信号は、制御部３に伝達され、制御部３はアクチュエータ２を駆動制御する。第２の定盤４Ａの変位とは逆方向に駆動するアクチュエータ２の働きで、第２の定盤４Ａは素速く一定状態に復元される（第３図）。本発明による精密除振台においては、第１の定盤４の大きな振動は、従来と同様に制御される。即ち、第１の定盤４の振動が感知レバー６１に伝達されると、感知レバー６１の上下動に応じて自動圧力調整器６の弁が開閉し、空気ばね５に付加タンク５１から空気が供給されるか、または、空気ばね５から空気が放出されて、上下動した第１の定盤４の復元が計られる。一方、搭載される精密機器にとって影響の大きい微小変位および第１の定盤４の振動による第２の定盤４Ａの振動の復元は、非接触変位センサ１が検出した位置信号に基づき制御部３にコントロールされているアクチュエータ２の駆動により、能動的に第２の定盤４Ａに対してなされる。」（特許公報第４欄第４〜２０行参照）と記載されている。そして、これらの記載事項及び本件発明の全趣旨に照らして考えると、本件発明における上記「変位」は、除振対象物に不定時あるいは自然発生的に生じる振動により引き起こされる「変位」を意味し、「復元」は、振動発生前の位置に振動により変位した除振対象物が載置された定盤を戻すこと、即ち端的に言えば、前記振動を除振することを意味すると解することができる。
　そうすると、本件発明に係る「非接触変位センサ」及び「変位を復元するアクチュエータ」は、除振対象物に不定時あるいは自然発生的に生じる振動を除振するために設置される変位センサ及びアクチュエータのことを意味すると解される。そして、本件発明は、このような「非接触変位センサ」を第２の定盤の変位を検出するために設置するとともに、「変位を復元するアクチュエータ」を、除振機能を有し、自動圧力調整装置により駆動され、第１の定盤を支持する空気ばねに加えて、第１及び第２の定盤間に設置する構成を備えたものである。
　これに対し、甲第１号証に記載された発明における「光学的検出装置52ｃ」及び「リニアモータ5ｂ」は、上記「４．(1)」に摘示した事項からみて、ウエハの位置合わせのための位置センサ及びアクチュエータと解されるから、前示の如き本件発明に係る非接触変位センサ及びアクチュエータとは、技術的意味が相違するものと認められる。そして、前示の如き非接触変位センサ及びアクチュエータに係る構成については、甲第２号証に記載乃至示唆されていないばかりか、甲第３及び４号証、参考資料にも記載乃至示唆されていない。さらに、周知・慣用技術と認めるに足りる証拠も示されていない。
　つまるところ、甲第１乃至４号証及び参考資料には、空気ばね等の単一の防振系からなる防振機構が開示されているにすぎないものと認められる。
　してみると、上記相違点ロに係る本件発明の構成は、甲第１乃至４号証及び参考資料に記載された発明から、当業者が容易に想到できたものとすることはできない。
　ところで、甲第５号証には、上記「４．(5)」において示したように、パッシブ防振系とアクティブ防振系を直列に接続した防振機構が開示されている。この防振機構において、アクティブ防振系は本件発明における「アクチュエータ」の構成と機能的に類似しており、また、２つの防振系を備えている点においても本件発明の空気ばね及びアクチュエータに係る構成と類似しているものと一応認められる。
　しかしながら、本件発明においては、空気ばね及びアクチュエータは定盤等の変位に対して能動的に作動するもの、すなわちアクティブ防振系を構成するものと解されるから、これらの防振機構は、パッシブ防振系とアクティブ防振系を組合せた甲第５号証に記載された防振機構と異なるものと解される。また、アクティブ防振系であるアクチュエータを精密除振台を構成する第１及び第２の定盤間に設置するという具体的な構成について、甲第５号証には記載もなければ、示唆もない。
　してみると、甲第５号証に記載された防振機構に係る発明を甲第１乃至４号証及び参考資料に記載された発明に適用することにより、本件発明の相違点ロの構成とすることは、当業者といえども困難であると云わざるを得ない。
　そして、本件発明は、上記相違点ロに係る本件発明の構成に基いて、「精密機器が搭載された定盤の傾斜や微小なレベル変動も、速やかに、かつ、高精度に復元可能であり、搭載される精密機器の高性能、高精度化によく対応する。」という、甲第１乃至５号証及び参考資料から予測できない作用効果を奏するものである。
　したがって、上記ロは格別のものであるから、結局、本件発明は、甲第１乃至５号証及び参考資料に記載された発明の基いて、当業者が容易になし得たものとすることはできない。
　
(2)．申立理由２について
　本件発明と先願発明を対比すると先願発明の「エアーマウント３３」は、本件発明の「空気ばね」に相当し、以下同様に、「定盤１３」は「第１の定盤」に、「ウエハ」は「除振対象物」に、「トップステージ９」は「第２の定盤」に、「サーボバルブ３６」は「自動圧力調整器」に、「制御用コンピュータ４１」は「制御部」に、それぞれ相当するものと認められる。
　また、先願発明の露光装置は、除振機能を有し、かつ、高精度を求められる装置であるから、本件発明の「精密除振台」に相当する構成を備えているものと認められる。
　さらに、トップステージ9は、駆動制御されるものであるから、定盤13との間に何らかのアクチュエータがあることは明らかである。
　してみると、本件発明と先願発明の一致点及び相違点は以下のとおりである。
＜一致点＞
　空気ばねに支持された第１の定盤と、前記第１の定盤の上に設けられて除振対象物を載置する第２の定盤と、前記第１の定盤の変位に応じて前記空気ばねを駆動させる自動圧力調整器と、前記第２の定盤の状態を検出する非接触センサと、前記第１の定盤と前記第２の定盤の間に設置され前記非接触センサが検出した信号に基づき前記第２の定盤を駆動するアクチュエータと、前記アクチュエータを駆動制御する制御部とを備えた精密除振台。
＜相違点＞
　非接触センサ及びアクチェータが、本件発明では、「第２の定盤の変位を検出する非接触変位センサ」及び「非接触変位センサが検出した位置信号に基づき前記第２の定盤の変位を復元するアクチュエータ」から構成されているのに対し、先願発明では、「第２の定盤の状態を検出する非接触センサ」及び「非接触センサが検出した信号に基づき前記第２の定盤を駆動するアクチュエータ」から構成されている点。
　そこで、上記相違点について検討する。
　上記相違点に係る本件発明の構成が、周知・慣用技術であると認めるに足りる証拠は何ら示されていないことは、上記「５．(1)」において示したとおりである。
　してみると、上記相違点は、課題解決のための具体化手段の微差、即ち、周知・慣用技術の付加、削除、転換等であって、新たな効果を奏するものではないものと認めることはできないから、結局、本件発明１は先願発明と同一であるとすることはできない。
　
６．むすび
　以上のとおりであるから、異議申立ての理由及び証拠によっては、本件発明に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月２７日（２００１．３．２７）