(57)【要約】振動チップ（１００）は、振動を生じさせる外科用ハンドピース（１０１）に強固に機械的に連結されるように適合した第１端部（１１１）と、ハンドピースによって伝達される振動を再現するためのツールホルダー（１１２）が固定される第２端部とを有するボディ（１１０）を備える。チップは、作業領域（１２１）を有するツール（１２０）をさらに備える。本発明によれば、ツール（１２０）は、歯との接触状態を保ち、かつ、１つのチップで歯の全周縁上に作業領域を位置させるためにツールが自動的に自身を調整することを許容するツールホルダーに自由に回転できるように取り付けられる。ツールは、当該ツールを治療対象の歯の表面上に保持し導くことを改良するための２つの作業領域を有することが好ましい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を生じさせる外科用ハンドピース（１０１）に強固に機械的に連結されるように適合した第１端部と、前記ハンドピースによって伝達される振動を再現するためのツールホルダー（１１２）が固定される第２端部とを有するボディを備えるとともに、前記ツールホルダー（１１２）に自由に回転できるように取り付けられたツール（３２０；４２０）をさらに備える振動チップ（３００；４００）であって、
前記ツール（３２０；４２０）は、当該ツールを治療対象の歯４３０の表面に接触する状態に導きかつその状態に保持するための２つの作業領域（３２１ａ，３２１ｂ；４２１ａ，４２１ｂ）を備えたことを特徴とするチップ。
【請求項２】
請求項１に記載のチップにおいて、前記ツール（１２０）は、その下部に、当該ツール（１２０）の侵入の深さを制限するためのガイドピン（１２５）を少なくとも１つ備えたことを特徴とするチップ。
【請求項３】
請求項２に記載のチップにおいて、各ガイドピン（２２６）自体が作業領域を備えたことを特徴とするチップ。
【請求項４】
請求項２または３に記載のチップにおいて、前記ガイドピン（２２６）は、ツール（２２０）内に設けられた窪み（２２２）の底を貫通するツールホルダー（２１２）の端末部（２２５）で形成されていることを特徴とするチップ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のチップにおいて、前記ツール（１２０）の回転を所定の角度範囲に制限するための手段を備えることを特徴とするチップ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載のチップにおいて、前記ツール（１２０）は、取り外し可能かつ交換可能であることを特徴とするチップ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のチップにおいて、前記ツール（１２０）は、前記ツールホルダー（１１２）回りの当該ツール（１２０）の自由な回転を許容する取付手段によって前記チップボディ（１１０）に接続されていることを特徴とするチップ。
【請求項８】
請求項７に記載のチップにおいて、前記取付手段は、その端部がチップ（１００）のツールホルダー（１１２）に設けられた保持手段（１１５）と協同するロッド（１２３）を少なくとも１つ備えたことを特徴とするチップ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載のチップにおいて、前記ツール（１２０）は、前記ツールホルダー（１１２）の端部のためのハウジングを形成する窪み（１２２）を備えたことを特徴とするチップ。
【請求項１０】
請求項９に記載のチップにおいて、柔軟な材料からなる円盤（１２６）が前記窪み（１２２）の底に配置されていることを特徴とするチップ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のチップにおいて、各作業領域（１２１）は、研磨材で覆われていることを特徴とするチップ。
【請求項１２】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のチップにおいて、各作業領域は、機械的、化学的、または熱的に処理されていることを特徴とするチップ。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載のチップにおいて、各作業領域（１２１）は、実行されるべき治療に対応する形状を有することを特徴とするチップ。
【請求項１４】
振動を生じさせる外科用ハンドピース（１０１）に強固に機械的に連結されるように適合した第１端部（１１１）と、前記ハンドピースによって伝達される振動を再現するためのツールホルダー（１１２）が固定される第２端部とを有するボディ（１１０）を備えるとともに、前記ツールホルダー（１１２）に自由に回転できるように取り付けられたツール（１２０）をさらに備える振動チップ（１００）であって、
前記ツール（１２０）は、その下部に、当該作業部（１２０）の侵入の深さを制限するためのガイドピン（１２５）を少なくとも１つ備えたことを特徴とするチップ。
【請求項１５】
超音波発生器に接続される外科用ハンドピースを少なくとも１つ備える超音波歯科治療機器であって、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のチップ（１００；２００；３００）を少なくとも１つさらに備えることを特徴とする超音波歯科治療機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歯科治療機器に関し、特に歯石除去機器のような、可聴または超音波の周波数で振動する器具を有する振動機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
このタイプの機器は、図１Ａに示され、チップと呼ばれる振動器具１０に強固に機械的に連結される振動子を有し、振動発生器（不図示）に接続されるハンドピース１から実質的になる。そのようなチップの例は、特に米国特許第６３１２２５６号公報および米国特許第４２８３１７５号公報に記載されている。
【０００３】
チップは、使用目的（例えば、歯石除去：固形堆積物の除去、研磨：バイオフィルムの除去、研削：虫歯もしくは義歯の前処理）に応じて種々さまざまな形状を有する交換可能な部品である。
【０００４】
図１Ａに示すように、既存の装置は、ボディ１１を有し、ボディはほとんどの場合金属製であって、その一端はハンドピース１の振動子に強固に組み付けられ、他端はツールホルダーを介して延び、このホルダーはボディ１１に固定されたツール１２によりさらに延びている。このツールは、鋭いエッジ、滑らかなエッジもしくは研磨用サスペンションと結合できる滑らかな表面、またはダイヤモンドが担持された表面であってよい作業領域を有する。それ故に、振動子によって生み出される振動は、ツールの作業領域に直接的に伝達される。
【０００５】
歯の全表面上での使用を可能にするために、チップはたいてい直線、左向き、右向きの３つの形状で提供される。歯の研削作業の間は、特に周縁部を前処理する目的で、医師は、少なくとも２つの異なるモデルのチップ、右向きと左向きを使わなければならない。
【０００６】
これは、患者の開口に限度があり、この空洞は頬によって側部が閉じられて図１Ａ中の線Ｏで示すように区切られるために、チップが斜めに動かされなければならず、研削対象の歯の回りのチップの動きが比較的に制限されるからである。図１Ａ中の両矢印Ｃは、医師がハンドピース１を動かすことができる行程のうちで最大のものを示している。
【０００７】
従って、例えば義歯（例えば、歯冠）の装着のために周縁部を前処理することを狙った例えば歯２０の周縁研削のような、歯の周縁全体について作業する間は、医師は少なくとも２つのチップ、１つは歯の表側部分上にツールの作業領域を位置させることに適合したチップ、もう１つは歯の裏側部分上に作業領域を位置させるためのチップ、を使う必要がある。
【０００８】
より正確には、図１Ｂおよび図１Ｃに示すように、医師は、肘形に曲がったボディ１１ａであってツール１２ａの作業領域１３ａで歯２０の裏側部分を研削できるように内側に向けられたツールの作業領域１３ａを持つボディ１１ａを有する第１のチップ１０ａと、肘形に曲がったボディ１１ｂであって外側に向けられたツール１２ｂの作業領域１３ｂで歯の表側部分を研削可能にしているボディ１１ｂを有する第２のチップ１０ｂを使う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
歯の周縁研削の間に２つのチップを使わなければならないことを避けるために、軸対称の作業領域を持つ１つのチップを使うという他の解決策がある。そのようなチップの例は、異なる大きさの２つのチップ３０ａ，３０ｂを示す図２Ａおよび図２Ｂに示される。チップ３０ａ，３０ｂのボディ３１ａ，３１ｂは、それぞれツールホルダーおよびツール３２ａ，３２ｂを介して延長され、ツール３２ａ，３２ｂは、全外周上にダイヤモンドが担持された表面をそれぞれ有する作業領域３３ａ，３３ｂをそれぞれ有している。従って、医師が１つの同じチップで歯４０の周縁研削を実行することが可能である。
【００１０】
この解決策は、チップボディの軸の角度移動においてあまり大きな行程を必要とすることなく周縁研削を可能とするが、大きな欠点がある。これは、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、チップの作業領域３２ａの軸対称の性質のために、およびそれが所望の前処理形状を複製する部分を持つ回転形状を有しなければならないために、器具が研削の深さの２倍に等しい、すなわち非対称のツールの幅の２倍程度の直径を持たなければならないからである。この場合、チップは使用できないものとなり、そうでないとしても隣接する歯４１，４２を部分的に傷める大きなリスクが生じる。
【００１１】
直径を減じたツール２３ｂを使用する解決策もある。しかし、そのようなチップの使用は、歯４１，４２を損傷させるリスクを全くなくすことなく実行可能な研削の深さをかなり減少させる。
【００１２】
さらには、使用されるチップのタイプにかかわりなく、作業領域の先端位置で衝撃を引き起こす軸方向の振動が存在する。これらの衝撃によって、作業された部分の表面状態が粗悪になることがある。
【００１３】
従って、振動チップの使用は、非対称であろうと軸対称であろうと、特に周縁研削の作業にとっては、比較的困難であり、この分野では通常の回転器具類の技法に比べて利点が少ししかない。
【００１４】
本発明の目的は、１つの同じチップで、隣接する歯を損傷させるリスクなく、歯冠であろうと歯根であろうと、歯の全周縁部上にツールの作業領域を位置させることを可能にする構想を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この目的は、本発明に係る振動チップの恩恵によって達成される。この振動チップは、チップボディに固定されるツールホルダーであってチップボディが連結されるハンドピースによって伝達される振動を再現するツールホルダーの端部に自由に回転できるように取り付けられるツールを備える。
【００１６】
このように、本発明に係るチップは、ハンドピースに連結されるチップボディの残りからツールを分離することを可能にする構想を有する。チップボディ回りに自由に回転することが可能になっているので、１つのチップで歯の全周縁上に作業領域を位置させることが可能となるように歯との接触状態を保つためにツールは自身を自動的に調整する（すなわち、向きを変える）。
【００１７】
ツールは、当該ツールを治療対象の歯の表面に接触する状態に導きかつその状態に保持するための２つの作業領域をさらに有する。これは、自由に回転することが可能なツール上の２つの作業領域を有するという事実は歯の表面において２つの異なる支持点で作業することを可能にするからである。従って、歯の上でツールを動かす間は、医師によってハンドピースにかけられる圧力が２つの作業領域の間で分配されるので、２つの作業領域はツールが非常に安定した状態で歯と接触した状態にとどまることを助ける。その結果、ツールが動く間でさえもツールがしっかりと歯上に保持されるようになる。
【００１８】
ツールの他の部分は、隣接する歯を保護するために滑らかであることが好ましい。作業領域は、処理されていてもよいし、ダイヤモンドのような研削材で覆われていてもよい。作業領域は、予想される治療（研削、歯石除去、研磨など）に対応する形状を有することが好ましい。
【００１９】
本発明の一実施形態によれば、ツールは、その下部に、当該ツールの侵入を制限するためのガイドピンを少なくとも１つ有する。ガイドピンは、ツール上に固定されたピースによって、またはツールの窪みの底を貫通するツールホルダーの端部によって形成されていてもよい。
【００２０】
ツールは、取り外し可能かつ交換可能な要素であって、ツールホルダーと協同する窪みを形成する穴、ツールを自由に回転できるように置いておくツールホルダーへの取り付けの手段、または、鋭いエッジ、滑らかなエッジ、滑らかな表面、研削面、もしくは機械的や化学的や熱的に処理された表面であってよい１つもしくは複数の作業部分、を有する要素であることが好ましい。
【００２１】
本発明の一実施形態によれば、ツールをツールホルダーに取り付ける手段は、その端部がツールホルダー上に設けられた保持手段と協同するロッドを少なくとも１つ有する。
【００２２】
ツールは、異なるツールで１つの同じチップボディが使用されることができる結果、交換可能となっていてもよい。
【００２３】
本発明の一側面によれば、ツールは、ツールホルダーのためのハウジングを形成する窪みを有する。ツールホルダーの端部とツールとの間の衝突の衝撃や影響を和らげるために、柔軟な材料からなる円盤が窪みの底に配置されていてもよい。
【００２４】
本発明の別の物は、振動発生器に接続される外科用ハンドピースを少なくとも１つ備える音響振動歯科治療機器であって、上述したようなチップを少なくとも１つさらに備えることを特徴とする音響振動歯科治療機器である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に図面を参照しながら本発明の特別な実施形態について説明して本発明の特徴および効果を明らかにするが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２６】
図３は、本発明の最初の実施形態に係るチップ１００を示す。チップ１００は、１つのピースで作り上げられたボディ１１０であって、例えば金属からなり、ハンドピース１０１に固定されるように適合された第１端部１１１を有するボディ１１０を備えている。周知のように、ハンドピース１０１は、例えば圧電材料から形成される振動子（不図示）であって振動波をチップに伝達するようにチップに強固に機械的に連結される振動子を備えていてもよい音波もしくは超音波振動発生器である。ボディ１１０の第２端部は、ハンドピースによって伝達された振動を再現することを目的とするツールホルダー１１２を形成する。ツールホルダー１１２は、チップボディ１１０に強固に組み付けられる（ナットボルトシステム、溶接、もしくは単なるチップの延長）。
【００２７】
本発明によれば、ツール１２０は、ツールホルダー１１２に配置されている。ツール１２０は、ツールホルダー１１２の端部に対してハウジングの役割を果たす窪み１２２を有している。ツール１２０は、リング１２４に固定されたロッド１２３によってツールホルダー１１２に接続されており、リングは、段部１１３上に支持されることにより、ツールホルダー上でのツールの並進運動を規制することを可能にしている。図３に示される実施形態では、ツールホルダー１１２は、段部１１３と共に環状溝１１５を形成する第２の段部１１４を有し、この溝にリング１２４が収容されることとなる。しかしながら、リング１２４の保持は、ツールホルダーの端部からツールが抜けることを防止するツールホルダー１１２の段部１１３に単純なカラーを配置することによって行ってもよい。そうすると、窪み１２２の底は、ツールホルダー上でのツールの上昇を規制するためのストッパーの役割を果たすようになる。
【００２８】
後述するように、ツールホルダー上にツールを取り付ける手段の他の形が考えられる。すなわち、ツールを自由に回転できるようにツールホルダーに取り付けることを可能にする任意のタイプの手段が本発明に適用可能である。
【００２９】
状況に応じて、ツールのツールホルダー回りの回転は、全体であってもよく、あるいはストッパーの位置によって規定される角度範囲に制限されてもよい。
【００３０】
ここで、本発明によれば、通常はツールに対応するチップ１００のツールホルダー１１２は、ツール１２０の窪み１２２内に格納される。この取り付けによって、ツールホルダー１１２の端部で再現される振動は、ツール１２０に、より詳しくはツールの作業領域１２１に伝達される。従って、作業領域がチップボディに完全に固定されている従来技術のチップとは異なり、本発明のチップは、ツールホルダー１１２の端部の振動によって駆動される回転運動可能な要素を備える。
【００３１】
随意的に、柔軟な材料（例えば、軟質金属やエラストマー）からなる円盤１２６が、ツールホルダー１２２の端部とツール１２０との間の衝突の衝撃や動きを和らげるために窪み１２２の底に配置されていてもよい。
【００３２】
ツール１２０は、研削または処理（歯石除去や研磨など）対象の歯の壁面に接触するための作業領域１２１を有している。そのために、作業領域１２１は、ダイヤモンドのような研磨材で覆われていてもよいし、あるいは滑らかで場合によっては研磨粒子を含む溶液とともに使われてもよい。ツール１２０の形状、より詳しくは作業領域１２１の形状は、研削輪郭もしくは歯上で実行されることが望まれる処理に依存する。
【００３３】
ツール１２０の他の部分は、未処理の滑らかな部分となっており、その部分は、ヘッドの通過を容易にし、隣接する歯との接触を避けるために減じた大きさを有することが好ましい。実際、図４に示すように、ツール１２０の最大部分は、研削対象の歯の壁面に接触した状態に保たれる作業領域１２１を含む部分であることが分かる。ロッド１２３および保持リング１２４を含むツール１２０の残りは、非常に減じた大きさを有していて、隣接する歯１４０への接触のリスクが抑えられている。
【００３４】
チップボディおよびツールは、亜音速域から超音波域までに広がる周波数帯での振動動作を復元しかつ耐えることを可能にする材料で構成されることが好ましい。そのような材料としては、例えば金属がある。
【００３５】
作業ホルダー１１２回りをツール１２０が自由に回転するために、１つのモデルのチップで歯の全周縁上で歯を研削することが可能になる。このことは、歯１３０の周縁研削の間にツール１２０によって取られる異なる位置を示す図５に示されている。さらに、ツール１２０の自由な回転は、チップボディ１１０をひいてはチップボディが接続されるハンドピースを同じ姿勢に保つことを可能にすることが分かる。これにより、医師は、もはや研削対象の歯の位置によることなく、例えばその医師が右利きか左利きかによって定まるようなその医師にとって最も快適な作業位置に応じて、作業位置を選ぶことができる。
【００３６】
本発明の一実施形態によれば、ツールの端部にガイドピン１２５が装備されていてもよい。図４に示すように、ガイドピン１２５は、作業領域１２１が歯茎１６０に接触することを回避する。従って、もはやツールの端部と歯茎との間の距離を絶えずコントロールする必要がなくなるために、医師にとって研削作業が容易になる。しかも、図４に示すように、ガイドピンは歯茎１６０を退けることも可能にする。
【００３７】
さらに、ツール上のピン１２５の位置およびその高さは、作業領域の歯への侵入の深さを制御することを可能にする。より正確には、ガイドピン１２５は、歯の横方向へのツールの侵入を制御することを可能にする。これは、図４に示すように、いったんガイドピン１２５が歯１３０の表面１３０ｂ上で支えられると、もはや材料を取り除くことは不可能だからである。従って、ガイドピン１２５は、ガイドピンによってツールの侵入が前もって制限されるので、医師がツールの侵入の深さについて特別な警戒をすることなく歯を研削することを可能にするストッパーとして機能する。
【００３８】
異なる実施形態では、歯石除去、歯の表面１３０ｂの清掃、および角度１３０ｃの調整を行うために、ガイドピンも作業領域を有する。
【００３９】
ツールは、歯の研削を行うダイヤモンドが担持された領域と歯壁面の研磨を行う滑らかな領域の２つの作業領域を持っていてもよい。
【００４０】
ガイドピンの形状は変更可能である。それは、歯上でのツールのガイドを容易にするように円筒状であることが好ましい。さらには、状況に応じて、ツール上に２つのガイドピンを配置することも可能である。
【００４１】
図６Ａ〜図６Ｃは、本発明の他の実施形態を示している。図６Ａおよび図６Ｂに示されるチップ４００は、歯石除去／研磨を目的とするものである。そのために、それは、丸みを帯びたエッジを形成する、場合によっては歯形に応じて処理され輪郭をとられる２つの作業領域４２１ａ，４２１ｂを有するツール４２０を備える。図６Ｃは、ツールを治療対象の歯４３０の表面に接触した状態に導きかつその状態に保持する２つの作業領域の利点を明らかにしている。これは、本発明によれば、ツールがツールホルダーに自由に回転できるように取り付けられているからである。１つの作業領域を有するツールでは、湾曲した表面を持つ歯にツールを接触した状態で保持するために医師がハンドピースに圧力をかけたとき、歯の表面上にツールを保つことが困難であることがある（歯上でツールが滑ってツール自身に望んでいない回転がもたらされるとともに歯の表面に対する作業領域の接触のロスが生じる）。図６Ｃに示すように離間する２つの作業領域では、圧力が２つの作業領域（２つの接触点）に分配され、たとえツールが動かされても歯上でのツールの支持の良好な安定性を得ることが可能になる。このようにして、作業領域の歯への良好な接触が確保される。
【００４２】
図７Ａ〜図７Ｃは、本発明に係るチップの他の実施形態を示している。まず第１に、これらの図に示されるチップ２００が図３および図４のものと異なる点は、チップボディ２１０に固定されるツールホルダーの端部の部分がツールを完全に貫通している点である。より正確には、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、ツールホルダー２１２は、ツールホルダー２１２の端部を受けるために窪み２２２が内部に設けられたツール２２０を支持している。この端部は、窪み２２２の底を貫通する端末部２２５を有している。この実施形態では、端末部２２５のツール２２０から突き出る部分が、ツール１２０のガイドピン１２５に関して上述したのと同じ方法で侵入の深さを制限することを可能にするガイドピン２２６を形成する。
【００４３】
図３および図４に示される実施形態との他の顕著な相違は、ツールをツールホルダーに取り付けるために使用される手段に関するものである。これは、ここで示される実施形態では、ツールホルダー２１２に設けられた溝２１５に嵌り込む取付金具２２４ａ，２２４ｂを各々がその端部に有する２つのロッド２２３ａ，２２３ｂにツール２２０が接続されているからである。ロッド２２３ａ，２２３ｂは、ツールのツールホルダーへの取り付けおよび／またはツールホルダーからの取り外しを容易にできるように弾性変形可能である。
【００４４】
上述したチップと同様に、ツール２２０は、ダイヤモンドのような研磨材で覆われるか、または滑らかなもしくは処理された、場合によっては研磨粒子を含む溶液とともに使われる作業領域２２１を有している。また、ツールは、当業者が獲得しようと思う研削輪郭に応じて容易に考えられる多くの他のタイプの形状を有していてもよいことは明らかである。
【００４５】
図８Ａ〜図８Ｃは、本発明に係るチップの他の異なる実施形態を示している。これらの図に示されるチップが図７Ａ〜図７Ｃのものと異なる点は、ツール３２０が谷間によって離間する２つの作業領域３２１ａ，３２１ｂを有している点である。このタイプのツールの形状は、作業領域を歯の外周上に良好に支持することを可能にする。この実施形態では、ツール３２０は、２つのガイドピン３２５ａ，３２５ｂをさらに備える。
【００４６】
上述した実施形態では、ツールはツールホルダー回りに自由に回転できるように取り付けられている。ただし、本発明はこの取付態様に限定されるものではなく、ツールホルダーの内部に取り付けられることも可能である。後者の場合、ツールはツールホルダー内に自由に回転できるように取り付けられる。すなわち、本発明では、ツールは、ツールホルダーに自由に回転できるように取り付けられる必要がある。
【００４７】
本発明のチップは、人間工学および機能性を経て完成品を構成する音波または超音波振動治療機器のような歯科用途用の周辺機器に使用することができる。このタイプの機器の例は、特にフランス特許第０４０６６３０号公報に記載されている。また、これらのチップは、歯科外科ワークステーションのような専用品で他のモジュールと統合されることを目的とする（ＯＥＭ技術）モジュールの形式で提供される機器にも使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１Ａ】従来技術の非対称のチップを用いたときの動きの限界を示す斜視図である。
【図１Ｂ】従来技術による歯の周縁研削の間に、少なくとも２つの異なるチップを使う必要性を示す部分的な断面図である。
【図１Ｃ】従来技術による歯の周縁研削の間に、少なくとも２つの異なるチップを使う必要性を示す図１Ｂの上面図である。
【図２Ａ】従来技術の軸対称のチップで実行される研削作業の部分的な断面図である。
【図２Ｂ】従来技術の軸対称のチップで実行される研削作業の上面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るチップの斜視図である。
【図４】研削作業をする間の図３のチップを示す部分的な断面図である。
【図５】研削作業をする間の図３のチップの作業ヘッドによって取られる異なる位置を示す上面図である。
【図６Ａ】歯石除去または歯もしくは根表面の研磨を意図した本発明の一実施形態に係るチップの斜視図である。
【図６Ｂ】歯石除去または歯もしくは根表面の研磨を意図した本発明の一実施形態に係るチップの断面図である。
【図６Ｃ】図６ＡのVIＣ断面での歯およびツールを示す上面図である。
【図７Ａ】本発明の他の実施形態に係るチップの斜視図である。
【図７Ｂ】本発明の他の実施形態に係るチップの断面図である。
【図７Ｃ】本発明の他の実施形態に係るチップの断面図である。
【図８Ａ】本発明の他の実施形態に係るチップの斜視図である。
【図８Ｂ】本発明の他の実施形態に係るチップの断面図である。
【図８Ｃ】本発明の他の実施形態に係るチップの断面図である。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
2008516718.tif 000009
【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
2008516718.tif 000013
【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
2008516718.tif 000015
【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【国際調査報告】
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