【事件の表示】
　特許第２８７２８３８号「積層磁器コンデンサ及びその製造方法」の請求項３ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８７２８３８号の請求項３ないし４に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２８７２８３８号の請求項１ないし５に係る発明についての出願は、平成３年８月３０日に特許出願され、平成１１年１月８日にその特許の設定登録がなされ、その後、その特許について、異議申立人株式会社村田製作所より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年３月２７日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
ア．訂正明細書の請求項３，４に係る発明
　訂正明細書の請求項３，４に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項３，４に記載された次のとおりのものである。
「【請求項３】　未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第１の内部電極層を成形する工程と、
　前記第１の内部電極層の上に未焼結の第２の誘電体磁器層を形成する工程と、前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第２の内部電極層を形成する工程と、
　前記第２の内部電極層の上に、未焼結の第３の誘電体磁器層を形成する工程と、
　少なくとも前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る工程と
　を備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法。
【請求項４】　前記第１，第２及び第３の誘電体磁器層のそれぞれが、チタン酸バリウムとジルコン酸バリウムととと主成分とする誘電体磁器組成物から成り、前記成長を抑制させる作用を有する物質は酸化ジルコニウムの微粒子であることを特徴とする請求項３記載の積層磁器コンデンサの製造方法。」
イ．訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
ａ．特許請求の範囲請求項３の「未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に」を「未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して」と訂正する。
ｂ．特許請求の範囲請求項３の「前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に」を「前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して」と訂正する。
ｃ．特許請求の範囲請求項３の「積層体を焼成して焼結体を得る」を「積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る」と訂正する。
ｄ．願書に最初に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の【０００５】欄を次のとおり訂正する。
「【０００５】
【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための各請求項に係わる発明の実施例を示す図面の符号を参照して説明する。　本願の第１の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層２の上に第１の内部電極層３を形成する工程と、焼成した時に第１の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第２の誘電体磁器層４を前記第１の内部電極層３の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径よりも大きい第２の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第３の誘電体磁器層１ａを前記第２の誘電体磁器層４の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径と同一又は前記第２の粒径よりも小さい粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る末焼結の第４の誘電体磁器層２ａを前記第３の誘電体磁器層１ａの上に設ける工程と、前記第４の誘電体磁器層２ａの上に第２の内部電極層３ａを設ける工程と、前記内部電極層３ａの上に未焼結の第５の誘電体磁器層４ａを設ける工程と、少なくとも、前記第１、第２、第３、第４及び第５の誘電体磁器層２、４、１ａ、２ａ、４ａと前記第１及び第２の内部電極層３、３ａとを含む積層体を焼成して焼結体を得る工程とを備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法に係わるものである。
　なお、請求項２に示すように、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれをチタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、及び酸化ジルコニウムを主成分として含む磁器組成物とし、第３の誘電体磁器層１ａを、チタン酸バリウム及びジルコン酸バリウムを主成分として含む磁器組成物とし、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれにおけるジルコニウムの含有率を第３の誘電体磁器層１ａにおけるジルコニウムの含有率よりも大きく設定することが望ましい。
　本願の第２の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層１１の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第１の内部電極層１２を成形する工程と、前記第１の内部電極層１２の上に未焼結の第２の誘電体磁器層１１を形成する工程と、前記第２の誘電体磁器層１１の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第２の内部電極層１２を形成する工程と、前記第２の内部電極層１２の上に、未焼結の第３の誘電体磁器層１１を形成する工程と、少なくとも前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層１１と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層１１ａが配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの間に前記大粒子磁器層１１ａの粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層１１ｂ，１１ｃが配置された焼結体を得る工程とを備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法に係わるものである。
　なお、上記第２の方法の発明において、第１、第２及び第３の誘電体磁器層１１のそれぞれをチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器組成物とし、且つ粒径を小さくさせる作用を有する物質を酸化ジルコニウムの微粒子とすることが望ましい。
　本願の物の発明は、少なくとも第１の誘電体磁器層と第１の内部電極層と第２の誘電体磁器層と第３の誘電体磁器層と第４の誘電体磁器層と第２の内部電極層と第５の誘電体磁器層とがこの順番に積層されている積層体を有し、前記第３の誘電体磁器層はチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれはチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムと酸化ジルコニウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径は前記第３の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径よりも小さいことを特徴とする積層磁器コンデンサに係わるものである。」。
ウ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記ａ，ｂの訂正事項に関連する記載として、特許明細書の【００２０】欄に「この第２の実施例では図６の電極層１２の中のＺｒＯ２が焼成時に電極層１２の近傍の磁器の中に拡散する。この結果、電極層１２の近傍における結晶粒子の成長が抑制され、図７に模式的に示すように電極層１２’の近傍に粒径の小さい粒子から成る磁器層１１ｂ、１１ｃが生じ、第１の実施例と同様に特性が改善される。」と記載されているから、焼成時に誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用をする物質が「誘電体磁器中に拡散」することは特許明細書に記載されているものと認める。
　そうすると、上記訂正ａ，ｂは、焼成時に誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用をする物質が「誘電体磁器中に拡散」するものであるという限定を付加するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記ｃの訂正事項に関連する記載として、特許明細書の【００１８】欄に「次に、図６に示す積層体を大気中、１３２０℃で焼成することによって図７に示す焼結体１３を得た。焼結体１３は、対の電極層１２′間に平均粒径５〜６μｍ程度の大粒子の磁器層１１ａと平均粒径０．２〜０．４μｍ程度の微粒子の磁器層１１ｂ、１１ｃを有する。次に、外部電極１４、１５を形成して積層磁器コンデンサを完成させた。」と記載され、同じく【００２０】欄に「この第２の実施例では図６の電極層１２の中のＺｒＯ２が焼成時に電極層１２の近傍の磁器の中に拡散する。この結果、電極層１２の近傍における結晶粒子の成長が抑制され、図７に模式的に示すように電極層１２′の近傍に粒径の小さい粒子から成る磁器層１１ｂ、１１ｃが生じ、第１の実施例と同様に特性が改善される。」と記載されているから、「第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る」工程は特許明細書に記載されているものと認める。
　そうすると、上記訂正ｃは、焼結体の磁器層の粒子の大きさを限定する事項を付加するものであるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
　上記ｄの訂正事項は、上記ａ〜ｃの訂正により請求項３が訂正されたことに伴い、特許請求の範囲の記載との整合を図るために訂正される事項であるから、明りょうでない記載の釈明に該当するものであり、新規事項の追加に該当せず、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでもない。
エ．独立特許要件
ａ．引用刊行物
　訂正明細書の請求項３，４に係る発明の特許に対して、当審が平成１２年１月１３日付けで通知した取消理由で引用した刊行物１には、実施例１として積層磁器コンデンサの製造方法が記載され、「生シート状のＢａＴｉＯ３−２Ｂｉ２Ｏ３・３Ｓｎ２Ｏ３セラミックスに対して、電極塗料としてパラジウム６５％、エチルセルロース５％、テレピネオール２０％およびＺｒＯ２１０％を混練してペースト状として得た塗料を塗布、積層して１２７０℃で同時焼成してコンデンサを製造した。」（第２頁左下欄第８行〜同欄第１３行）と記載されており、また、実施例２として同様に積層磁器コンデンサの製造方法が記載され、「生シート状のＢａＴｉＯ３−ＣａＺｒＯ２セラミックスに対して、電極塗料としてパラジウム３０％、白金３０％、ニトロセルロース１０％、ブチルカルビトール２０％、ＺｒＯ２１０％を混練してペースト状として得た塗料を塗布、積層して１３５０℃で同時焼成してコンデンサを製造した。」（第２頁右下欄第１３行〜同欄第１８行）と記載されている。
ｂ．対比・判断
　訂正明細書の請求項３に係る発明（以下、「本件請求項３に係る発明」という。）と、刊行物１に記載された発明とを対比すると、刊行物１に記載された発明は、本件請求項３に係る発明の「第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第１の内部電極層を成形する工程」、「第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第２の内部電極層を形成する工程」、「第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る工程」を備えていない。そして、これらの工程を備えることより、本件請求項３に係る発明は、「比抵抗、破壊電圧、誘電体損失の悪化を伴なわないで、小型化及び大容量化を達成することができる。」という顕著な効果を奏するものであり、本件請求項３に係る発明は上記刊行物１記載のものから当業者が容易に発明をすることができたものではない。したがって、本件請求項３に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないものとはいえない。
　また、訂正明細書の請求項４は請求項３を引用しており、訂正明細書の請求項４に係る発明（以下、「本件請求項４に係る発明」という。）は本件請求項３に係る発明の構成を全て包含するものであるから、上記した理由と同じ理由により本件請求項４に係る発明が特許出願の際独立して特許を受けることができないものとはいえない。
オ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項において準用する第１２６条第２，３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議申立について
ア．本件発明
　平成１２年３月２７日付けで提出された訂正明細書の特許請求の範囲第３，４項に係る発明は、その特許請求の範囲第３，４項に記載された次のとおりのものである。
「【請求項３】　未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第１の内部電極層を成形する工程と、
　前記第１の内部電極層の上に未焼結の第２の誘電体磁器層を形成する工程と、前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第２の内部電極層を形成する工程と、
　前記第２の内部電極層の上に、未焼結の第３の誘電体磁器層を形成する工程と、
　少なくとも前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る工程と
　を備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法。
【請求項４】　前記第１，第２及び第３の誘電体磁器層のそれぞれが、チタン酸バリウムとジルコン酸バリウムととと主成分とする誘電体磁器組成物から成り、前記成長を抑制させる作用を有する物質は酸化ジルコニウムの微粒子であることを特徴とする請求項３記載の積層磁器コンデンサの製造方法。」
イ．申立ての理由の概要
　特許異議申立人株式会社村田製作所は、請求項３，４に係る発明は、甲第１号証刊行物（特開昭４９−８５２８号公報）をもとに当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきと主張している。
ウ．判断
　本件請求項３，４に係る発明は、上記２．エで示したように、取消理由通知で示した刊行物に記載された発明から容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年７月１２日（２０００．７．１２）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
ａ．特許請求の範囲請求項３の「未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して」と訂正する。
ｂ．特許請求の範囲請求項３の「前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して」と訂訂する。
ｃ．特許請求の範囲請求項３の「積層体を焼成して焼結体を得る」を、特許請求の範囲の減縮を目的として、「積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ，１１ｃ）が配置された焼結体を得る」と訂正する。
ｄ．願書に最初に添付した明細書（以下、「特許明細書」という。）の【０００５】欄を、明りょうでない記載の釈明を目的として、次のとおり訂正する。
「【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための各請求項に係わる発明の実施例を示す図面の符号を参照して説明する。
　本願の第１の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層２の上に第１の内部電極層３を形成する工程と、焼成した時に第１の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第２の誘電体磁器層４を前記第１の内部電極層３の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径よりも大きい第２の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第３の誘電体磁器層１ａを前記第２の誘電体磁器層４の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径と同一又は前記第２の粒径よりも小さい粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る末焼結の第４の誘電体磁器層２ａを前記第３の誘電体磁器層１ａの上に設ける工程と、前記第４の誘電体磁器層２ａの上に第２の内部電極層３ａを設ける工程と、前記内部電極層３ａの上に未焼結の第５の誘電体磁器層４ａを設ける工程と、少なくとも、前記第１、第２、第３、第４及び第５の誘電体磁器層２、４、１ａ、２ａ、４ａと前記第１及び第２の内部電極層３、３ａとを含む積層体を焼成して焼結体を得る工程とを備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法に係わるものである。
　なお、請求項２に示すように、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれをチタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、及び酸化ジルコニウムを主成分として含む磁器組成物とし、第３の誘電体磁器層１ａを、チタン酸バリウム及びジルコン酸バリウムを主成分として含む磁器組成物とし、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれにおけるジルコニウムの含有率を第３の誘電体磁器層１ａにおけるジルコニウムの含有率よりも大きく設定することが望ましい。
　本願の第２の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層１１の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第１の内部電極層１２を成形する工程と、前記第１の内部電極層１２の上に未焼結の第２の誘電体磁器層１１を形成する工程と、前記第２の誘電体磁器層１１の上に、焼成時に誘電体磁器中に拡散して誘電体磁器の結晶粒子の成長を抑制させる作用を有する物質が混入されたペースト状電極材料を塗布して第２の内部電極層１２を形成する工程と、前記第２の内部電極層１２の上に、未焼結の第３の誘電体磁器層１１を形成する工程と、少なくとも前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層１１と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成し、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層１１ａが配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの聞及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの間に前記大粒子磁器層１１ａの粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層１１ｂ，１１ｃが配置された焼結体を得る工程とを備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法に係わるものである。
　なお、上記第２の方法の発明において、第１、第２及び第３の誘電体磁器層１１のそれぞれをチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器組成物とし、且つ粒径を小さくさせる作用を有する物質を酸化ジルコニウムの微粒子とすることが望ましい。
　本願の物の発明は、少なくとも第１の誘電体磁器層と第１の内部電極層と第２の誘電体磁器層と第３の誘電体磁器層と第４の誘電体磁器層と第２の内部電極層と第５の誘電体磁器層とがこの順番に積層されている積層体を有し、前記第３の誘電体磁器層はチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれはチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムと酸化ジルコニウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径は前記第３の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径よりも小さいことを特徴とする積層磁器コンデンサに係わるものである。」。
（５４）【発明の名称】
積層磁器コンデンサ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　未焼結の第１の誘電体磁器層の上に第１の内部電極層を形成する工程と、
　焼成した時に第１の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第２の誘電体磁器層を前記第１の内部電極層の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径よりも大きい第２の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第３の誘電体磁器層を前記第２の誘電体磁器層の上に設ける工程と、
　焼成した時に前記第１の粒径と同一又は前記第２の粒径よりも小さい粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第４の誘電体磁器層を前記第３の誘電体磁器層の上に設ける工程と、
　前記第４の誘電体磁器層の上に第２の内部電極層を設ける工程と、
　前記内部電極層の上に未焼結の第５の誘電体磁器層を設ける工程と、
　少なくとも、前記第１、第２、第３、第４及び第５の誘電体磁器層と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成して焼結体を得る工程と
を備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法。
　【請求項２】　前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれは、チタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、及び酸化ジルコニウムを主成分として含む磁器組成物から成り、
　前記第３の誘電体磁器層はチタン酸バリウム及びジルコン酸バリウムを主成分として含む磁器組成物から成り、
　前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれにおけるジルコニウムの含有率が前記第３の誘電体磁器層におけるジルコニウムの含有率よりも大きく設定されていることを特徴とする請求項１記載の積層磁器コンデンサの製造方法。
　【請求項３】　未焼結の第１の誘電体磁器層の上に、焼成時に
誘電体磁器中に拡散して
　前記第１の内部電極層の上に未焼結の第２の誘電体磁器層を形成する工程と、前記第２の誘電体磁器層の上に、焼成時に
誘電体磁器中に拡散して
　前記第２の内部電極層の上に、未焼結の第３の誘電体磁器層を形成する工程と、
　少なくとも前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層と前記第１及び第２の内部電極層とを含む積層体を焼成し
、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層（１１ａ）が配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層（１１ａ）との間に前記大粒子磁器層（１１ａ）の粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層（１１ｂ、１１ｃ）が配置された
を備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法。
　【請求項４】　前記第１、第２及び第３の誘電体磁器層のそれぞれが、チタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器組成物から成り、前記成長を抑制させる作用を有する物質は酸化ジルコニウムの微粒子であることを特徴とする請求項３記載の積層磁器コンデンサの製造方法。
　【請求項５】　少なくとも第１の誘電体磁器層と第１の内部電極層と第２の誘電体磁器層と第３の誘電体磁器層と第４の誘電体磁器層と第２の内部電極層と第５の誘電体磁器層とがこの順番に積層されている積層体を有し、
　前記第３の誘電体磁器層はチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、
　前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれはチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムと酸化ジルコニウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、
　前記第２及び第４の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径は前記第３の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径よりも小さいことを特徴とする積層磁器コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は信頼性の高い積層磁器コンデンサに関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　複数の誘電体磁器層と各磁器層の相互間に配設した内部電極層とから成る積層磁器コンデンサは種々の分野で使用されている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　ところで、積層磁器コンデンサの小型化又は大容量化を図るためには誘電体磁器層の厚みを減少させ且つ結晶粒子の粒径をある程度大きくすることが必要になる。しかし、磁器コンデンサにおいて粒径を大きくすると、一対の電極間の厚み方向に配置される粒子の数が少なくなり、極端の場合には１個になる。この結果、比抵抗（抵抗率）の低下、信頼性の低下、ｔａｎ　δの低下を招く。
　【０００４】
　そこで、本発明の目的は、比抵抗及び信頼性を確保しつつ大容量化を図ることが可能な積層磁器コンデンサを提供することにある。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　上記目的を達成するための各請求項に係わる発明の実施例を示す図面の符号を参照して説明する。
　本願の第１の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層２の上に第１の内部電極層３を形成する工程と、焼成した時に第１の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第２の誘電体磁器層４を前記第１の内部電極層３の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径よりも大きい第２の粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第３の誘電体磁器層１ａを前記第２の誘電体磁器層４の上に設ける工程と、焼成した時に前記第１の粒径と同一又は前記第２の粒径よりも小さい粒径の結晶粒子を得ることができる誘電体磁器組成物から成る未焼結の第４の誘電体磁器層２ａを前記第３の誘電体磁器層１ａの上に設ける工程と、前記第４の誘電体磁器層２ａの上に第２の内部電極層３ａを設ける工程と、前記内部電極層３ａの上に未焼結の第５の誘電体磁器層４ａを設ける工程と、少なくとも、前記第１、第２、第３、第４及び第５の誘電体磁器層２、４、１ａ、２ａ、４ａと前記第１及び第２の内部電極層３、３ａとを含む積層体を焼成して焼結体を得る工程とを備えていることを特徴とする積層磁器コンデンサの製造方法に係わるものである。
　なお、請求項２に示すように、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれをチタン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、及び酸化ジルコニウムを主成分として含む磁器組成物とし、第３の誘電体磁器層１ａを、チタン酸バリウム及びジルコン酸バリウムを主成分として含む磁器組成物とし、第２及び第４の誘電体磁器層４、２ａのそれぞれにおけるジルコニウムの含有率を第３の誘電体磁器層１ａにおけるジルコニウムの含有率よりも大きく設定することが望ましい。
　本願の第２の方法の発明は、未焼結の第１の誘電体磁器層１１の上に、焼成時に
誘電体磁器中に拡散して
誘電体磁器中に拡散して
、前記第１及び第２の内部電極層の中間に大きな粒子からなる大粒子磁器層１１ａが配置され且つ前記第１の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの間及び前記第２の内部電極層と前記大粒子磁器層１１ａとの間に前記大粒子磁器層１１ａの粒子の平均粒径よりも小さな平均粒径を有する粒子からなる微粒子磁器層１１ｂ、１１ｃが配置された
　なお、上記第２の方法の発明において、第１、第２及び第３の誘電体磁器層１１のそれぞれをチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器組成物とし、且つ粒径を小さくさせる作用を有する物質を酸化ジルコニウムの微粒子とすることが望ましい。
　本願の物の発明は、少なくとも第１の誘電体磁器層と第１の内部電極層と第２の誘電体磁器層と第３の誘電体磁器層と第４の誘電体磁器層と第２の内部電極層と第５の誘電体磁器層とがこの順番に積層されている積層体を有し、前記第３の誘電体磁器層はチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層のそれぞれはチタン酸バリウムとジルコン酸バリウムと酸化ジルコニウムとを主成分とする誘電体磁器から成り、前記第２及び第４の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径は前記第３の誘電体磁器層の結晶粒子の平均粒径よりも小さいことを特徴とする積層磁器コンデンサに係わるものである。
　【０００６】
　【作用】
　請求項１〜４の方法によれば、第１及び第２の内部電極層の間に、結晶粒子の平均粒径の小さい領域と平均粒径の大きい領域と平均粒径の小さい領域との３層構造が得られ、平均粒径の小さい領域が第１及び第２の内部電極層間の比抵抗の向上及び耐圧向上に寄与する。なお、電極層近傍の粒径の小さい粒子は容量の増大に対しては不利に働くが、電極層近傍では、等価的に粒径の小さい結晶に基づく微小コンデンサの並列接続回路が構成されるので、小さい粒子に基づく容量の大幅の低下は生じない。
　【０００７】
　【第１の実施例】
　まず、ＢａＴｉＯ３　（チタン酸バリウム）７８モル％とＢａＺｒＯ３　（ジルコン酸バリウム）２２モル％から成る主成分にＮｄ２　Ｏ３　（酸化ネオジム）とＭｎＯ（酸化マンガン）を微量添加した第１の磁器材料を用意した。なお、この第１の磁器材料は仮焼したものであって平均粒径０．３〜０．６μｍを有する粉末である。また、ＢａＴｉＯ３　７８モル％とＢａＺｒＯ３　２２モル％とＺｒＯ２　（酸化ジルコニウム）１．５モル％とから成る主成分にＮｄ２　Ｏ３　とＭｎＯを微量添加した第２の磁器材料を用意した。この第２の磁器材料は仮焼したものであって平均粒径０．１〜０．２μｍを有する粉末である。
　【０００８】
　次に、第１の磁器材料を使用してスラリーを作製し、このスラリーによって図１に示す厚さ約８μｍの誘電体磁器生シート（グリーンシート）１を作った。
　【０００９】
　次に、上述の第２の磁器材料を使用してスラリー又はペーストを作成し、これを印刷法によって磁器生シート１上に塗布して図１に示す厚さ１〜２μｍの微粒子磁器層２を形成した。
　【００１０】
　次に、図１に示すものを乾燥させた後に、微粒子磁器層２の上にＰｄ（パラジウム）ペーストを所定パターンに塗布して乾燥して図２に示す電極層３を１〜３μｍの厚みに形成した。
　【００１１】
　次に、電極層３の上に第２の磁器材料のペーストを印刷法で塗布して乾燥して図３に示す微粒子磁器層４を１〜２μｍの厚みに形成した。
　【００１２】
　次に、図３の最も下の磁器生シート１と同一の磁器生シートを微粒子磁器層４の上に配置してこれ等を軽く圧着して相互間の密着性を良くした。
　次に、第１の磁器材料から成る大粒子磁器層１ａの上に図４に示すように、微粒子磁器層２、電極層３、微粒子磁器層４と実質的に同一の微粒子磁器層２ａ、電極層３ａ、微粒子磁器層４ａを順次に形成し、更に大粒子磁器層１ｂ、微粒子磁器層２ｂ、電極層３ｂ、微粒子磁器層４ｂを繰返して形成し、最後に上下に第１の磁器材料から成る厚み約１５０μｍのカバーシート５、６を重ね、圧着した。
　【００１３】
　次に、積層体を大気中、１３２０℃で焼成して焼結体を得た。図５は焼結体を説明的に示すものであり、図４の各原料磁器層１、１ａ、１ｂ、２、２ａ、２ｂ、４、４ａ、４ｂ、５、６に対応して焼結後の磁器層１′、１ａ′、１ｂ′、２′、２ａ′、２ｂ′、４′、４ａ′、４ｂ′、５′、６′が生じている。また、電極層３、３ａ、３ｂに対応して内部電極層３′、３ａ′、３ｂ′が生じている。図５では説明の都合上、焼結体を各磁器層に分離して示したが実際には一体化されている。電極層３′、３ａ′、３ｂ′の相互間の中央の磁器層１ａ′、１ｂ′の結晶粒子の平均粒径は５〜６μｍであり、この両側の磁器層４′、２ａ′、４ａ′、２ｂ′の結晶粒子の平均粒径は０．２〜０．４μｍである。図４の微粒子磁器層２、４、２ａ、４ａ、２ｂ、４ｂはＺｒＯ２　を過剰に含むので、焼成時に大粒径の結晶が生じにくい。なお、焼結後の内部電極層３′、３ａ′、３ｂ′の相互間の磁器層の厚みは約７μｍである。
　【００１４】
　次に、図５の焼結体の側面にＡｇペーストを塗布して焼付けて一対の外部電極７、８を形成する。
　【００１５】
　図５の積層磁器コンデンサの電気的特性を測定したところ、２０℃におけるみかけの比誘電率εは１８６００、２０℃における誘電体損失ｔａｎδは４．２％、１５０℃における比抵抗は７．１×１０１２Ωｃｍ、破壊電圧ＶＢＤは６８０Ｖであった。比較のために、図４の磁器層２、４、２ａ、４ａ、２ｂ、４ｂを磁器層１、１ａ、１ｂと同一の第１の磁器材料とした他は実施例と同一の積層磁器コンデンサを作り、電気的特性を同様に測定したところ、εは１９３００、ｔａｎδは６．３％、比抵抗は５．２×１０１１Ωｃｍ、ＶＢＤは４１０Ｖであった。
　【００１６】
　上記の比較から明らかなように、本実施例のように構成することによってみかけの比誘電率は僅かに低下するが、ｔａｎδ、比抵抗、ＶＢＤは改善される。これは、内部電極層３′、３ａ′、３ｂ′の近くに粒径の小さい磁器層４′、２ａ′、４ａ′、２ｂ′が存在し、絶縁性が向上するためである。
　【００１７】
　【第２の実施例】
　第１図の実施例における磁器生シート１と同一の組成の磁器生シート１１に平均粒径０．１〜０．２μｍ程度のＺｒＯ２　（酸化ジルコニウム）の微粒子を含有するＰｄ（パラジウム）ペーストを塗布して電極層１２を形成し、これ等を図６のように積層した。
　【００１８】
　次に、図６に示す積層体を大気中、１３２０℃で焼成することによって図７に示す焼結体１３を得た。焼結体１３は、対の電極層１２′間に平均粒径５〜６μｍ程度の大粒子の磁器層１１ａと平均粒径０．２〜０．４μｍ程度の微粒子の磁器層１１ｂ、１１ｃを有する。次に、外部電極１４、１５を形成して積層磁器コンデンサを完成させた。
　【００１９】
　この積層磁器コンデンサの電気的特性を測定したところ、２０℃のみかけの比誘電率εは１８０００、２０℃の誘電体損失ｔａｎδは４．１％、１５０℃の比抵抗は４．１×１０１２　Ωｃｍ、破壊電圧ＶＢＤは７１０Ｖであった。
　【００２０】
　この第２の実施例では図６の電極層１２の中のＺｒＯ２　が焼成時に電極層１２の近傍の磁器の中に拡散する。この結果、電極層１２の近傍における結晶粒子の成長が抑制され、図７に模式的に示すように電極層１２′の近傍に粒径の小さい粒子から成る磁器層１１ｂ、１１ｃが生じ、第１の実施例と同様に特性が改善される。
　【００２１】
　【変形例】
　本発明は上述の実施例に限定されるものでなく、例えば次の変形が可能なものである。
　（１）　磁器の組成は実施例に限定されるものでなく、別の種々の磁器組成にすることができる。
　（２）　図４の磁器層２、４ｂを省くことができる。
　【００２２】
　【発明の効果】
　上述から明らかなように本願の各請求項の発明によれば、比抵抗、破壊電圧、誘電体損失の悪化を伴なわないで、積層磁器コンデンサの小型化及び大容量化を容易に達成することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　第１の実施例の積層磁器コンデンサの製造方法を説明するための磁器生シートと微粒子磁器層を示す断面図である。
　【図２】
　図１の磁器層上に電極層を形成した状態を示す断面図である。
　【図３】
　図２の電極層の上に微粒子磁器層を形成した状態を示す断面図である。
　【図４】
　積層体を示す断面図である。
　【図５】
　積層磁器コンデンサを模式的に示す断面図である。
　【図６】
　第２の実施例の積層体を示す断面図である。
　【図７】
　第２の実施例の積層磁器コンデンサの一部を模式的に示す断面図である。
　【符号の説明】
　１ａ′、１ｂ′　大粒子磁器層
　４′、２ａ′、４ａ′、２ｂ′　小粒子磁器層
　３′、３ａ′、３ｂ′　内部電極層