(57)【特許請求の範囲】
【請求項１】
再生用気体を通過させる再生域と、パージ用気体を通過させるパージ域と、除湿対象空気を通過させる処理域とを、その順に吸着ロータ回転方向の上手側から並べた状態で吸着ロータの回転域に区画形成した吸着ロータ式除湿機を備え、
前記処理域から送出される除湿空気をサブドライエリアのエリア内で仕切壁により囲って形成した局所ドライエリアに供給して、その局所ドライエリアを低湿度状態に調整する除湿局所除湿システムであって、
前記処理域の出口における除湿空気の吸着ロータ回転方向での湿度分布に従って、前記処理域の出口を、除湿度の高い第１除湿空気が送出される第１出口と、除湿度の低い第２除湿空気が送出される第２出口とに区分し、
前記第１出口から送出される第１除湿空気を前記局所ドライエリアに供給する第１給気路と、前記第２出口から送出される第２除湿空気を前記サブドライエリアに供給する第２給気路とを設け、
前記第１給気路を通じた第１除湿空気の供給に伴い前記局所ドライエリアから排出される第１排出空気の一部又は全量を連通路を通じて前記サブドライエリアに受け入れる構成にしてある局所除湿システム。
【請求項２】
前記処理域の出口を、吸着ロータ回転方向の上手側に位置する上手側出口と、吸着ロータ回転方向の下手側に位置する下手側出口とに、吸着ロータ回転方向に２分割し、
前記上手側出口を前記第１出口にするとともに、前記下手側出口を前記第２出口にしてある請求項１記載の局所除湿システム。
【請求項３】
前記処理域の出口を、吸着ロータ回転方向の上手側に位置する上手側出口と、吸着ロータ回転方向の下手側に位置する下手側出口と、それら上手側出口と下手側出口との間に位置する中央出口とに、吸着ロータ回転方向において３分割し、
前記中央出口を前記第１出口にするとともに、前記上手側出口及び前記下手側出口を前記第２出口にしてある請求項１記載の局所除湿システム。
【請求項４】
外気を通過させる外気処理域を、吸着ロータ回転方向で前記処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
前記第２給気路を通じた第２除湿空気の供給、及び、前記連通路を通じた第１排出空気の受け入れに伴い前記サブドライエリアから還気路に排出される第２排出空気と、前記外気処理域から送出される除湿外気とを混合して、この混合空気を除湿対象空気として前記処理域に送給する構成にしてある請求項１〜３のいずれか１項に記載の局所除湿システム。
【請求項５】
前記第１給気路を通じた第１除湿空気の供給に伴い前記局所ドライエリアから排出される第１排出空気を前記連通路及び補助室を通じて前記サブドライエリアに受け入れる構成にするとともに、
前記サブドライエリアから第２還気路に排出される第２排出空気を通過させる第２処理域を、吸着ロータ回転方向で前記処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
前記補助室から第１還気路へ排出される補助室排出空気と、前記第２処理域から送出される除湿第２排出空気とを混合して、その混合空気を除湿対象空気として前記処理域に送給する構成にしてある請求項１〜３のいずれか１項に記載した局所除湿システム。
【請求項６】
外気を通過させる外気処理域を、吸着ロータ回転方向で前記第２処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
この外気処理域から送出される除湿外気と、前記補助室から前記第１還気路へ排出される補助室排出空気と、前記第２処理域から送出される除湿第２排出空気とを混合して、その混合空気を除湿対象空気として前記処理域に供給する構成にしてある請求項５記載の局 所除湿システム。
【請求項７】
前記第２給気路を通じて前記サブドライエリアに供給する第２除湿空気の一部又は全部を前記局所ドライエリアに供給する状態に切り換える給気切換手段を設けてある請求項１〜６のいずれか１項に記載の局所除湿システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばリチウム電池生産ラインなど、各種ワークの処理などに要求される高度の低湿度環境を局所的に形成する局所除湿システムに関し、
詳しくは、再生用気体を通過させる再生域と、パージ用気体を通過させるパージ域と、除湿対象空気を通過させる処理域とを、その順に吸着ロータ回転方向の上手側から並べた状態で吸着ロータの回転域に区画形成した吸着ロータ式除湿機を備え、前記処理域から送出される除湿空気をサブドライエリアのエリア内で仕切壁により囲って形成した局所ドライエリアに供給して、その局所ドライエリアを低湿度状態に調整する局所除湿システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の局所除湿システムでは、図５に示すように、吸着ロータ式除湿機８の処理域１１から送出される除湿空気ＳＡ（即ち、処理域１１に位置する吸着ロータ部分に通風することで吸着剤Ｘにより水分吸着して除湿した空気）を給気路１９を通じて局所ドライエリア３に供給し、この除湿空気ＳＡの供給に伴い局所ドライエリア３から連通路としてのワーク搬出入口４，５を通じて排出されるドライエリア排出空気ＲＡ１をサブドライエリアとしての作業室１に受け入れるとともに、このドライエリア排出空気ＲＡ１の受け入れに伴い作業室１から還気路２２Ａへ排出される作業室排出空気ＲＡ２と、外気導入路２３を通じて導入した外気ＯＡとを混合し、この混合空気ＭＡを除湿対象空気として吸着ロータ式除湿機８の処理域１１に送給するようにしていた（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４２３９４３７号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した従来システムでは、局所ドライエリア３のみを局所的にワーク処理に必要な高度の低湿度状態に調整するから、作業室１の全体をワーク処理に必要な高度の低湿度状態に調整するのに比べ、省エネルギ化及び低コスト化を効果的に達成し得るものの、吸着ロータ式除湿機８の機器特性や空気の処理形態などに対する配慮が未だ不十分であり、省エネルギ化や低コスト化を一層効果的に達成する上で、あるいはまた、局所ドライエリア３を一層高度な低湿度状態に調整する上で未だ改善の余地があった。
【０００５】
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、合理的なシステム構成を採ることで、省エネルギ化や低コスト化を一層効果的に達成し得る、あるいはまた、局所ドライエリアを一層高度な低湿度状態に調整し得る局所除湿システムを提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１特徴構成は、
再生用気体を通過させる再生域と、パージ用気体を通過させるパージ域と、除湿対象空気を通過させる処理域とを、その順に吸着ロータ回転方向の上手側から並べた状態で吸着ロータの回転域に区画形成した吸着ロータ式除湿機を備え、
前記処理域から送出される除湿空気をサブドライエリアのエリア内で仕切壁により囲って形成した局所ドライエリアに供給して、その局所ドライエリアを低湿度状態に調整する局所除湿システムであって、
前記処理域の出口における除湿空気の吸着ロータ回転方向での湿度分布に従って、前記処理域の出口を、除湿度の高い第１除湿空気が送出される第１出口と、除湿度の低い第２除湿空気が送出される第２出口とに区分し、
前記第１出口から送出される第１除湿空気を前記局所ドライエリアに供給する第１給気路と、前記第２出口から送出される第２除湿空気を前記サブドライエリアに供給する第２給気路とを設け、
前記第１給気路を通じた第１除湿空気の供給に伴い前記局所ドライエリアから排出される第１排出空気の一部又は全量を連通路を通じて前記サブドライエリアに受け入れる構成にしてある点にある。
【０００７】
つまり（図１参照）、吸着ロータ式除湿機８では、その機器特性として、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが存在し、相対的に除湿度が高くして湿度の低い除湿空気ＳＡ１と、相対的に除湿度が低くて湿度の高い除湿空気ＳＡ２とが処理域１１の出口から並列的に送出される。
【０００８】
したがって、処理域１１から送出される除湿空気ＳＡを単に局所ドライエリア３に供給する先述の従来システム（図５参照）では、処理域１１の出口から並列的に送出される除湿度の高い除湿空気ＳＡ１と除湿度の低い除湿空気ＳＡ２とが混合状態で局所ドライエリア３に供給されるため、除湿度の高い除湿空気ＳＡ１に比べ平均的に湿度が高い除湿空気ＳＡが局所ドライルーム３に供給される。
【０００９】
これに対し、上記構成によれば（図１参照）、第１出口１１Ｘから送出される除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１のみを局所ドライエリア３に供給するから、従来システムに比べ、一層低湿度な除湿空気を吸着ロータ式除湿機８から局所ドライエリア３に供給することができ、これにより、従来システムに比べ、局所ドライエリア３を一層効率的かつ効果的に低湿化することができて、その分、省エネルギ化及び低コスト化を一層効果的に達成する、ないしは、局所ドライエリア３を一層高度な低湿度状態に調整することができる。
【００１０】
また、局所ドライエリア３をエリア内に形成するサブドライエリア１については、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２を供給することで、従来システムにおける作業室１と同等ないし同等以上の低湿度状態にすることができて、局所ドライエリア３の低湿化に寄与させることができ、その意味で第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２を無駄にすることもない。
【００１１】
本発明の第２特徴構成は、
前記処理域の出口を、吸着ロータ回転方向の上手側に位置する上手側出口と、吸着ロータ回転方向の下手側に位置する下手側出口とに、吸着ロータ回転方向において２分割し、
前記上手側出口を前記第１出口にするとともに、前記下手側出口を前記第２出口にしてある点にある。
【００１２】
つまり、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布については、一般的に図２のグラフＢに示す如く、吸着ロータ回転方向Ｒにおける処理域１１の中央よりも少し吸着ロータ回転方向Ｒの上手側の部分（即ち、パージ域１０寄りの部分）が最も低湿度の底部となる湿度分布が形成される。特にパージ域１０での吸着ロータ部分の冷却が十分な場合に、この傾向が大きくなる。
【００１３】
したがって、処理域１１の出口を上手側出口と下手側出口とに２分割して、上手側出口を第１出口１１Ｘとする上記構成によれば、第２出口１１Ｙとする下手側出口から送出される第２除湿空気ＳＡ２よりも除湿度が高くて低湿度の第１除湿空気ＳＡ１を、第１出口１１Ｘとしての上手側出口から安定的に送出させて局所ドライエリア３に供給することができる。
【００１４】
また、処理域１１の出口を吸着ロータ回転方向Ｒにおいて２分割するだけであるから、吸着ロータ式除湿機８の機器構造も簡素にすることができて、装置の製作面及びコスト面でも有利にし得る。
【００１５】
なお、この構成の実施において処理域１１の出口を上手側出口と下手側出口とに区分するのに、その区分は２等分に限られるものではなく、例えば、上記湿度分布の最底部及びそれに続く深底部が適切に上手側出口の開口範囲内に対応位置するように、上手側出口の吸着ロータ回転方向における開口範囲を下手側出口の吸着ロータ回転方向における開口範囲より小さくするなど、２つの分割出口の吸着ロータ回転方向における開口範囲を互いに異ならせてもよい。
【００１６】
本発明の第３特徴構成は、
前記処理域の出口を、吸着ロータ回転方向の上手側に位置する上手側出口と、吸着ロータ回転方向の下手側に位置する下手側出口と、それら上手側出口と下手側出口との間に位置する中央出口とに、吸着ロータ回転方向において３分割し、
前記中央出口を前記第１出口にするとともに、前記上手側出口及び前記下手側出口を前記第２出口にしてある点にある。
【００１７】
上記の如く、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布については、一般的に図２のグラフＢに示す如く、吸着ロータ回転方向Ｒにおける処理域１１の中央よりも少し吸着ロータ回転方向Ｒの上手側の部分（即ち、パージ域１０寄りの部分）が最も低湿度の底部となる湿度分布が形成される。
【００１８】
したがって（図１参照）、処理域１１の出口を上手側出口１１ａと中央出口１１ｃと下手側出口１１ｂとに３分割して、中央出口１１ｃを第１出口１１Ｘとする上記構成によれば、第２出口１１Ｙとする上手側出口１１ａ及び下手側出口１１ｂから送出される第２除湿空気ＳＡ２よりも除湿度が高くて低湿度の第１除湿空気ＳＡ１を、第１出口１１Ｘとしての中央出口１１ｃから安定的に送出させて局所ドライエリア３に供給することができる。
【００１９】
また、処理域１１の出口を上手側出口と下手側出口とに２分割する場合に比べ、上記湿度分布における底部近くの除湿度の高い除湿空気のみを一層限定的に第１出口１１Ｘとしての中央出口１１ｃから送出させることができ、これにより、局所ドライエリア３を一層効率的かつ効果的に低湿化することができる。
【００２０】
なお、この構成の実施において処理域１１の出口を上手側出口１１ａと中央出口１１ｃと下手側出口１１ｂとに区分するのに、その区分は３等分に限られるものではなく、例えば、上記湿度分布の最底部及びそれに続く深底部が適切に中央出口１１ｃの開口範囲内に対応位置するように、中央出口１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を上手側出口１１ａや下手側出口１１ｂの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲より小さくするなど、３つの分割出口の吸着ロータ回転方向における開口範囲を互いに異ならせてもよい。
【００２１】
本発明の第４特徴構成は、
外気を通過させる外気処理域を、吸着ロータ回転方向で前記処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
前記第２給気路を通じた第２除湿空気の供給、及び、前記連通路を通じた第１排出空気の受け入れに伴い前記サブドライエリアから還気路に排出される第２排出空気と、前記外気処理域から送出される除湿外気とを混合して、この混合空気を除湿対象空気として前記処理域に送給する構成にしてある点にある。
【００２２】
つまり、図５に示す如く、サブドライエリア１から排出される第２排出空気ＲＡ２（サブドライエリア排出空気）に未除湿の外気ＯＡを混合して、その混合空気を除湿対象空気として処理域１１に送給する方式（即ち、先述した従来システムと同様の外気混合方式）では、未除湿の外気ＯＡに含まれる多量の水分がサブドライエリア１から排出される低湿の第２排出空気ＲＡ２中に拡散することで、いわゆる湿度面での混合損失として、処理域１１に送給する除湿対象空気の湿度が高くなり、処理域１１での除湿負荷が増大する。
【００２３】
これに対し、上記構成によれば（図３参照）、処理域１１よりも除湿効率の低い外気処理域１３を利用して外気ＯＡを予め除湿し、その除湿外気ＯＡ′とサブドライエリア１から排出される第２排出空気ＲＡ２とを混合して、その混合空気ＭＡを除湿対象空気として処理域１１に送給するから、上記の如き外気混合による湿度面での混合損失を効果的に低減することができ、そのことで処理域１１での除湿負荷を効果的に低減することができる。
【００２４】
そして、このことにより、前記第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分とによる前述の如き局所ドライエリア３の低湿化促進と相俟って、局所ドライエリア３を一層効率的かつ効果的に低湿化することができ、その分、省エネルギ化及び低コスト化を一層効果的に達成する、ないしは、局所ドライエリア３を一層高度な低湿度状態に調整することができる。
【００２５】
本発明の第５特徴構成は、
前記第１給気路を通じた第１除湿空気の供給に伴い前記局所ドライエリアから排出される第１排出空気を前記連通路及び補助室を通じて前記サブドライエリアに受け入れる構成にするとともに、
前記サブドライエリアから第２還気路に排出される第２排出空気を通過させる第２処理域を、吸着ロータ回転方向で前記処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
前記補助室から第１還気路へ排出される補助室排出空気と、前記第２処理域から送出される除湿第２排出空気とを混合して、その混合空気を除湿対象空気として前記処理域に送給する構成にしてある点にある。
【００２６】
つまり、図５に示す如く、局所ドライエリア３から排出される第１排出空気ＲＡ１（局所ドライエリア排出空気）をサブドライエリア１に受け入れ、その受け入れに伴いサブドライエリア１から排出される第２排出空気ＲＡ２（換言すれば、局所ドライエリア排出空気ＲＡ１を含んだサブドライエリア排出空気）を、除湿対象空気として処理域１１に送給する方式（即ち、先述した従来システムと同様の還気方式）では、サブドライエリア１での発生水分（例えば、作業者からの放出水分など）が局所ドライエリア３からの低湿の第１排出空気ＲＡ１中に拡散することで、排気混合に伴う湿度面での混合損失として、処理域１１に送給する除湿対象空気の湿度が高くなり、やはり処理域１１での除湿負荷が増大する。
【００２７】
これに対し、上記構成によれば（図１参照）、局所ドライエリア３から排出される第１排出空気ＲＡ１を連通路４，５及び補助室６，７を通じてサブドライエリア１に受け入れるのに併行して、サブドライエリア１から排出される第２排出空気ＲＡ２を処理域１１よりも除湿効率の低い第２処理域１２を利用して予め除湿し、この除湿第２排出空気ＲＡ２′と補助室６，７からの補助室排出空気ＲＡ１（即ち、補助室６，７に受け入れられた局所ドライエリア３からの低湿の第１排出空気ＲＡ１）とを混合して、その混合空気ＭＡを除湿対象空気として処理域１１に送給するから、上記の如き排気混合に伴う湿度面での混合損失を効果的に低減することができ、そのことで処理域１１での除湿負荷を効果的に低減することができる。
【００２８】
そして、このことにより、前記第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分による前述の如き局所ドライエリア３の低湿化促進と相俟って、局所ドライエリア３を一層効率的かつ効果的に低湿化することができ、その分、省エネルギ化及び低コスト化を一層効果的に達成する、ないしは、局所ドライエリア３を一層高度な低湿度状態に調整することができる。
【００２９】
なお、この構成の実施においては、局所ドライエリア３から補助室６，７に受け入れた第１排出空気ＲＡ１の一部をサブドライエリア１に受け入れる構成にする。
【００３０】
本発明の第６特徴構成は、
外気を通過させる外気処理域を、吸着ロータ回転方向で前記第２処理域の下手側に配置して前記吸着ロータの回転域に区画形成し、
この外気処理域から送出される除湿外気と、前記補助室から前記第１還気路へ排出される補助室排出空気と、前記第２処理域から送出される除湿第２排出空気とを混合して、その混合空気を除湿対象空気として前記処理域に供給する構成にしてある点にある。
【００３１】
この構成によれば（図１参照）、サブドライエリア１から排出される第２排出空気ＲＡ２を、処理域１１よりも除湿効率の低い第２処理域１２を利用して予め除湿するとともに、外気ＯＡを第２処理域１２よりさらに除湿効率の低い外気処理域１３を利用して予め除湿し、これら除湿第２排出空気ＲＡ２′と除湿外気ＯＡ′と補助室６，７からの補助室排出空気ＲＡ１（即ち、補助室６，７に受け入れた局所ドライエリア３からの低湿の第１排出空気ＲＡ１）とを混合して、その混合空気ＭＡを除湿対象空気として処理域１１に送給するから、前記の如き排気混合に伴う湿度面での混合損失、及び、前記の如き外気混合に伴う湿度面での混合損失の両方を効果的に低減することができ、そのことで処理域１１での除湿負荷を一層効果的に低減することができる。
【００３２】
そして、このことにより、前記第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分による前述の如き局所ドライエリア３の低湿化促進と相俟って、局所ドライエリア３をさらに効率的かつ効果的に低湿化することができ、その分、省エネルギ化及び低コスト化をさらに効果的に達成する、ないしは、局所ドライエリア３をさらに高度な低湿度状態に調整することができる。
【００３３】
なお、第５又は第６特徴構成に実施においては、局所ドライエリア３からエリア排気口３ｂへ直接に排出する一部の第１排出空気ＲＡ１を上記の補助室排出空気ＲＡ１とともに第１還気路２０を通じて処理域１１に導くようにしてもよい。
【００３４】
本発明の第７特徴構成は、
前記第２給気路を通じて前記サブドライエリアに供給する第２除湿空気の一部又は全部を前記局所ドライエリアに供給する状態に切り換える給気切換手段を設けてある点にある。
【００３５】
この構成よれば（図１又は図３参照）、例えば局所ドライエリア３の仕切壁２に設けられた非常用ドア２８が開かれる、あるいは、開かれる予告があるなどして、サブドライエリア１のエリア内空気などの外部空気が局所ドライエリア３に侵入する状態あるいは侵入が予測される状態になったとき、第２給気路１９ｂを通じてサブドライエリア１へ供給する第２除湿空気ＳＡ２の一部又は全部を上記給気切換手段２６，２７により局所ドライエリア３に供給する状態に切り換えることで、局所ドライエリア３のエリア内圧力を上昇させて局所ドライエリア３への外部空気の侵入を防止することができる。
【００３６】
即ち、このことにより、上記非常用ドア２８の開扉等に原因する局所ドライエリア３の
高湿化を効果的かつ確実に防止することができる。
【００３７】
ちなみに、局所ドライエリア３に外部空気が侵入する状態になったとき、その外部空気の侵入を防止するには、第１除湿空気ＳＡ１を局所ドライエリア３に供給するファンの出力を増大させるなどのことも考えられるが、この場合、ファン出力の増大による風量増大に対し処理域１１での空気除湿に遅れが生じて、処理域１１から局所ドライエリア３に供給する第１除湿空気ＳＡの湿度が一時的に上昇するとともに、その第１除湿空気ＳＡ１の湿度が所要の低湿度まで復帰するのに長い時間を要し、この為、局所ドライエリア３への外部空気の侵入は防止できたとしても、局所ドライエリア３の高湿化を十分に防止できない虞がある。
【００３８】
これに対し、上記構成によれば、サブドライエリア１に供給する第２除湿空気ＳＡ２を局所ドライエリア３に供給する状態に切り換えるだけであるから、上記の如き空気除湿の遅れを生じることがなく、これにより、局所ドライエリア３への外部空気の侵入を迅速に防止するとともに、局所ドライエリア３の高湿化を一層確実かつ効果的に防止することができる。
【００３９】
なお、処理域１１から送出される除湿空気ＳＡの全量を、前記の如き第１，第２除湿空気ＳＡ１，ＳＡ２の区別なく、単に局所ドライゾーン３とサブドライゾーン１とに分配供給する方式で、非常用ドア２８の開放時などにおいてサブドライエリア１への供給除湿空気を局所ドライエリア３に供給する状態に切り換えるのでは、局所ドライエリア３への外部空気の侵入は防止できても、通常時において局所ドライゾーン３に供給する除湿空気の湿度が前述の如く処理域１１の出口における平均的な湿度になるが、この構成では、通常時は第１出口１１Ｘから送出される除湿度の高い除湿空気ＳＡ１のみを供給するから、通常時において局所ドライゾーン３を一層効率的かつ効果的に低湿化し得ることは前述の通りである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態を示すシステム構成図
【図２】処理域出口の湿度分布を示すグラフ
【図３】第２実施形態を示すシステム構成図
【図４】別実施形態を示すシステム構成図
【図５】従来の局所除湿システムの構成図
【発明を実施するための形態】
【００４１】
〔第１実施形態〕
図１は局所除湿システムを示し、１はリチウム電池の製造などを行なう作業室であり、この作業室１の室内には、仕切壁２により囲ったトンネル状の局所ドライエリア３を形成してある。
【００４２】
局所ドライエリア３の一端にはワーク搬入口４を形成し、局所ドライエリア３の他端にはワーク搬出口５を形成し、これらワーク搬出入口４，５の開口面積は、局所ドライエリア３の内部横断面積より小さく制限してある。
【００４３】
局所ドライエリア３の内部は、ワーク搬出入口４，５を通じてワークＷを搬送する一連のワーク搬送ラインＬにしてあり、ワーク搬入口４を通じて局所ドライエリア３に搬入したワークＷを、局所ドライエリア３の内部において所要の低湿度雰囲気下で処理し、処理済のワークＷをワーク搬出口５を通じて局所ドライエリア３から搬出する。
【００４４】
局所ドライエリア３の一端側には、ワーク搬入口４の通過に先立ちワークＷを通過させ る入口側の補助室６を形成し、局所ドライエリア３の他端側には、ワーク搬出口５を通過したワークＷを通過させる出口側の補助室７を形成してあり、入口側補助室６のワーク入口６ａ、及び、出口側補助室７のワーク出口７ａの開口面積も、各補助室６，７の内部横断面積より小さく制限してある。
【００４５】
局所ドライエリア３にはエリア内空気を排出する排気口３ｂを設けてあり、また同様に、各補助室６，７にも室内空気を排出する補助室排気口６ｂ，７ｂを設けてある。
【００４６】
８は局所ドライエリア３を低湿化する吸着ロータ式除湿機であり、この除湿機８は、吸着剤Ｘを保持させた通気性の吸着ロータ８ａを備え、再生域９とパージ域１０と処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との５域を、その順に吸着ロータ回転方向Ｒの上手側から並べた状態で吸着ロータ８ａの回転域に区画形成した構造にしてある。
【００４７】
つまり、処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３の夫々では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、それら各域１１〜１３に空気通過させて、それら通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを各域１１〜１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで、それら吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘによる水分吸着により各通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡを除湿し、それら除湿した空気を各域１１〜１３の出口から送出する。
【００４８】
また、再生域９では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、高温の再生用気体ＨＡを再生域９に通過させて、その高温再生用気体ＨＡを再生域９に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分における保持吸着剤Ｘの吸着水分（即ち、先の処理域１１、第２処理域１２、外気処理域１３での吸着水分）を高温再生用気体ＨＡに脱着させ、これにより、その吸着ロータ部分の保持吸着剤Ｘを再生する。
【００４９】
そしてまた、パージ域１０では、吸着ロータ８ａの回転に伴い、パージ用気体ＰＡをパージ域１０に通過させて、そのパージ用気体ＰＡをパージ域１０に位置する吸着ロータ部分に通風することで、その吸着ロータ部分（即ち、先の再生域通過で昇温した吸着ロータ部分）を次の処理域１１への移行に先立ち冷却するとともに、その吸着ロータ部分に残存する再生用空気ＨＡを掃気する。
【００５０】
なお、この除湿機８では、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″を循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くとともに、パージ域１０から排出される使用済パージ用気体ＰＡ′をパージ域出口路１７を通じて同じく再生用加熱器１６に導き、これら使用済再生用気体ＨＡ′の一部ＨＡ″と使用済パージ用気体ＰＡ′との混合気体を再生用加熱器１６で加熱して、その混合加熱気体を高温再生用気体ＨＡとして再生域入口路１８を通じ再生域９に送給する。
【００５１】
また、再生域９から再生域出口路１４へ排出される使用済再生用気体ＨＡ′のうち、循環路１５を通じて再生用加熱器１６に導くもの以外は再生域出口路１４を通じて外部へ排出する。
【００５２】
処理域１１と第２処理域１２と外気処理域１３との３域夫々での通過空気ＭＡ，ＲＡ２，ＯＡに対する除湿効果を比較すると、再生域９及びパージ域１０を通過した再生処理直後の吸着ロータ部分が通過する処理域１１での除湿効果が最も高いが、処理域１１だけを見た場合、吸着ロータ式除湿機８では一般に、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に図２のグラフＢに示す如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じ、極言すれば、相対的に除湿度の高くて低湿の除湿空気ＳＡ１と、相対的に除湿度が低くて高湿の除湿空気ＳＡ２とが処理域１１の出口から並列的に送出される状態になる。
【００５３】
このことに着目して本例の除湿機８では、上記湿度分布に従って処理域１１の出口を、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１が送出される第１出口１１Ｘと、除湿度の低い第２除湿空気ＳＡ２が送出される第２出口１１Ｙとに吸着ロータ回転方向Ｒで区分し、第１出口１１Ｘから送出される第１除湿空気ＳＡ１（例えば露点温度−８０℃の除湿空気）を第１給気路１９ａを通じ局所ドライエリア３に供給することで、局所ドライエリア３をワーク処理に必要な低湿度状態（例えば露点温度−７０℃以下）に調整するようにしてある。
【００５４】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２（例えば露点温度−６０℃の除湿空気）を、サブドライエリアとしての作業室１の室内（局所ドライエリア３を除く室内）に第２給気路１９ｂを通じて供給することで、サブドライエリアとしての作業室１を局所ドライエリア３に準じた低湿度状態（例えば露点温度−３０℃以下）に調整する。
【００５５】
具体的には、本例の除湿機８では、処理域１１の出口における上記湿度分布が、同図２のグラフＢに示す如く、吸着ロータ回転方向Ｒにおける処理域１１の中央よりも少し吸着ロータ回転方向Ｒの上手側の部分に最も低湿度となる底部が形成される湿度分布になることに従って、処理域１１の出口を、吸着ロータ回転方向Ｒの上手側に位置する上手側出口１１ａと、吸着ロータ回転方向Ｒの下手側に位置する下手側出口１１ｂと、それら上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの間に位置する中央出口１１ｃとに３分割し、これら区分出口のうち上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とに対応位置する中央出口１１ｃを上記第１出口１１Ｘとし、上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂとの夫々を上記第２出口１１Ｙとしてある。
【００５６】
厳密に言えば、上記湿度分布の最底部と、それに続く深底部とが中央出口１１ｃの開口範囲内に対応位置するように、上記３つの分割出口１１ａ〜１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を互いに異ならせてあり、特に、中央出口１１ｃの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲を、下手側出口１１ｂの吸着ロータ回転方向Ｒにおける開口範囲より小さくしてある。
【００５７】
つまり、このように処理域１１から送出される除湿空気ＳＡのうち相対的に除湿度が高くて低湿な第１除湿空気ＳＡ１のみを局所ドライエリア３に供給することで、処理域１１から送出される除湿空気ＳＡの全量を局所ドライエリア３に供給するのに比べ、局所ドライエリア３を一層効果的かつ効率的に低湿化し得るようにしてある。
【００５８】
また、第２出口１１Ｙから送出される第２除湿空気ＳＡ２をサブドライエリアとしての作業室１内に供給して、作業室１も局所ドライエリア３に準じた低湿度状態にすることで、局所ドライエリア３における低湿度状態をより安定的に保持し得るようにしてある。
【００５９】
なお、処理域１１の出口における除湿空気ＳＡの湿度分布に上記の如き吸着ロータ回転方向Ｒでの偏りが生じるのは、処理域１１に位置する吸着ロータ部分に進入した除湿対象空気ＭＡが吸着ロータ８ａの回転により吸着ロータ回転方向Ｒの下手側へ若干位置ズレした状態で処理域１１の出口から除湿空気ＳＡとして送出されることと、処理域１１内でも吸着ロータ回転方向Ｒの下手側ほど保持吸着剤Ｘの吸着水分量が多くなって除湿効果が徐々に低下することとの相互関係や、パージ域１０から処理域１１に移行した直後の吸着ロータ部分が未だ十分に冷却されていないことなどが一因になっていると推察される。
【００６０】
局所ドライエリア３は開口面積を制限したワーク搬出入口４，５の通気抵抗、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７の存在により、除湿度の高い第１除湿空気ＳＡ１の充満状態に保持されるが、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴い局所ドライエリア３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、一部を排気口３ｂを通じて第１還気 路２０へ排出し、残部はワーク搬出入口４，５（連通路の一例）を通じて入口側及び出口側の補助室６，７に受け入れる。
【００６１】
そして、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れた局所ドライエリア３からの第１排出空気ＲＡ１の一部は、入口側補助室６のワーク入口６ａ及び出口側補助室７のワーク出口７ａを通じてサブドライエリアとしての作業室１に受け入れ、他方、ワーク搬出入口４，５を通じて各補助室６，７に受け入れた局所ドライエリア３からの第１排出空気ＲＡ１の残部は、補助室排出空気として各補助室６，７の補助室排気口６ｂ，７ｂを通じて第１還気路２０へ排出し、これら補助室排出空気ＲＡ１は局所ドライエリア３の排気口３ｂを通じて排出された第１排出空気Ｒ１とともに第１還気路２０を通じて処理域１１に還送する。
【００６２】
これに対し、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部を第２還気路２２を通じ第２処理域１２に送給して第２処理域１２に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００６３】
また、外気路２３を通じて導く外気ＯＡを外気処理域１３に送給して外気処理域１３に位置する吸着ロータ部分に通風することで除湿する。
【００６４】
そして、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′を第２処理域出口路２４を通じて、第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させるとともに、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′を外気処理域出口路２５を通じて、同じく第１還気路２０が導く第１排出空気ＲＡ１に合流させ、これにより、局所ドライエリア３の排気口３ｂから排出される低湿の第１排出空気ＲＡ１と、補助室排気口６ｂ，７ｂから排出される補助室排出空気ＲＡ１（実質的には局所ドライエリア３から排出される低湿の第１排出空気）と、第２処理域１２から送出される除湿第２排出空気ＲＡ２′と、外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気（即ち、局所ドライエリア３及び作業室１に供給する除湿空気ＳＡの原空気）として処理域１１に送給する。
【００６５】
つまり、処理域１１よりも除湿効果の低い第２処理域１２で予め除湿した除湿第２排出空気ＲＡ２′及び、第２処理域１２よりもさらに除湿効果の低い外気処理域１３で予め除湿した除湿外気ＯＡ′を低湿の第１排出空気ＲＡ１に混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給することで、外気混合による湿度面での混合損失、及び、排気混合による湿度面での混合損失を回避して、処理域１１の除湿負荷を軽減し、これにより、前述した第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの区分による局所ドライエリア３の低湿化促進と相俟って、局所ドライエリア３を一層効率的かつ効果的に低湿化し得るようにしてある。
【００６６】
なお、パージ域１０に通過させるパージ用気体ＰＡについては、外気処理域１３から外気処理域出口路２５へ送出される除湿外気ＯＡ′の一部を外気処理域出口路２５からパージ域入口路２５Ｂへ分流させて、その分流除湿外気ＯＡ′をパージ用気体としてパージ域１０に通過させるようにしてある。
【００６７】
サブドライエリアとしての作業室１に第２除湿空気ＳＡ２を供給する第２給気路１９ｂには、給気切換手段として、第２給気路１９ｂから分岐して局所ドライエリア３に接続した分岐給気路２６を設けるとともに、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂを通じて作業室１に供給する通常給気状態と、第２除湿空気ＳＡ２を第２給気路１９ｂから分岐給気 路２６を通じて局所ドライエリア３に供給する非常給気状態とに、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を切り換える給気切換ダンパ２７を設けてある。
【００６８】
即ち、局所ドライエリア３の仕切壁２に設けられた非常用ドア２８が開かれるなどして、作業室１の室内空気などの外部空気が局所ドライエリア３に侵入する状態になったとき、上記給気切換ダンパ２７により第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を上記の通常給気状態から非常給気状態に切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の一部又は全部を第１除湿空気ＳＡ１とともに局所ドライエリア３に供給することで、局所ドライエリア３のエリア内圧力を上昇させて局所ドライエリア３への外部空気の侵入を防止するとともに、その侵入防止状態での第１及び第２除湿空気ＳＡ１，ＳＡ２の供給により局所ドライエリア３の低湿状態を確実かつ安定的に保持し得るようにしてある。
【００６９】
なお、非常用ドア２８が開かれたとき給気切換ダンパ２７を切り換えて、第２除湿空気ＳＡ２の給気状態を通常給気状態から非常給気状態に切り換える場合、ドアセンサにより非常用ドア２８の開扉を検知したり、局所ドライエリア３のエリア内圧力を圧力センサにより検出して、その圧力検出に基づき非常用ドア２８の開扉を検知し、これら開扉検知に基づいて給気切換ダンパ２７を自動的に切り換え動作させるようにするのが望ましい。
【００７０】
図１においてＦはファンを示し、また、Ｖは風量調整用のダンパを示す。
【００７１】
〔第２実施形態〕
図３は、局所ドライエリア３に要求される低湿度条件が比較的緩くて高湿で、局所ドライエリア３とサブドライエリアとしての作業室１との湿度差条件が比較的小さい場合に好適な簡易式の局所除湿システムを示す。
【００７２】
この簡易式の局所除湿システムでは、第１実施形態の局所除湿システムとの主な相違点として、第２処理域１２、第２還気路２２、局所ドライエリア３の排気口３ｂ、補助室排気口６ｂ，７ｂを省略してある。
【００７３】
そして、第１給気路１９ａを通じた第１除湿空気ＳＡ１の供給に伴い局所ドライエリア３から排出される第１排出空気ＲＡ１は、その全量をワーク搬出入口４，５から入口側及び出口側の補助室６，７を通じてサブドライエリアとしての作業室１内に受け入れる。
【００７４】
また、第２給気路１９ｂを通じた第２除湿空気ＳＡ２の供給、並びに、入口側及び出口側の補助室６，７を通じた第１排出空気ＲＡ１の受け入れに伴いサブドライエリアとしての作業室１から排出される第２排出空気ＲＡ２は、その一部を排気路２１を通じて系外に排出し、残部は還気路２２Ａを通じて処理域１１に送給する。
【００７５】
外気処理域１３から送出される除湿外気ＯＡ′は、外気処理域出口路２５Ａを通じて還気路２２Ａにおける第２排出空気ＲＡ２に合流させ、これにより、サブドライエリアとしての作業室１からの第２排出空気ＲＡ２と除湿外気ＯＡ′とを混合して、その混合空気ＭＡを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給するようにしてある。
【００７６】
なお、第１実施形態の局所除湿システムと同等の構成部分については、第１実施形態で用いた符号と同一の符号を付してある。
【００７７】
〔別実施形態〕
次に別実施形態を列記する。
【００７８】
前述の各実施形態では、処理域１１の出口を上手側出口１１ａと中央出口１１ｃと下手 側出口１１ｂとに３分割して、中央出口１１ｃを第１出口１１Ｘとし、上手側出口１１ａと下手側出口１１ｂを第２出口１１Ｙとするようにしたが、これに代え、処理域１１の出口を吸着ロータ回転方向Ｒで上手側出口と下手側出口とに２分割して、前記湿度分布の底部に対応位置する上手側出口を第１出口１１Ｘとし、下手側出口を第２出口１１Ｙとするようにしてもよい。
【００７９】
２分割又は３分割した出口夫々の吸着ロータ回転方向における開口範囲を調整可能にするなどして、第１出口１１Ｘと第２出口１１Ｙとの吸着ロータ回転方向における開口範囲比を条件変化などに応じて調整できるようにしてもよい。
【００８０】
図１に示した第１実施形態の局所除湿システムにおいて、外気処理域１３を省略し、第１還気路２０により導く第１排出空気ＲＡ１（即ち、局所ドライエリア３からの低湿の排出空気）と、第２処理域１２で除湿した除湿第２排出空気ＲＡ２′との混合空気を主たる除湿対象空気として処理域１１に送給する、ないしは、第１還気路２０により導く第１排出空気ＲＡ１と、第２処理域１２で除湿した除湿第２排出空気ＲＡ２′と、未除湿外気ＯＡとの混合空気を主たる除湿対象空気として処理域１１に送給するようにしてもよい。
【００８１】
また同様に、図３に示した第２実施形態の局所除湿システムにおいて、外気処理域１３を省略し、還気路２２Ａにより導く第２排出空気ＲＡ２のみを主たる除湿対象空気として処理域１１に送給する、ないしは、還気路２２Ａにより導く第２排出空気ＲＡ２と、未除湿外気ＯＡとの混合空気を主たる除湿対象空気として処理域１１に送給するようにしてもよい。
【００８２】
図３に示した第２実施形態の局所除湿システムにおいて、入口側や出口側の補助室６，７を省略し、局所ドライエリア３からの第１排出空気ＲＡ１を局所ドライエリア３のワーク搬入口４やワーク搬出口５を通じて直接にサブドライエリアとしての作業室１に受け入れるようにしてもよい。
【００８３】
第２除湿空気ＳＡ２を供給するサブドライエリアは、前述の作業室１の如き局所ドライエリア３の設置室であれば、どのような仕切り構成のエリアであってもよい。
【００８４】
また、局所ドライエリア３から排出される第１排出空気ＲＡ１の一部ないし全量を連通路を通じてサブドライエリア１に受け入れるのに、その連通路はワークＷの搬出入口４，５に限られるものではなく、どのような用途・構造の連通路であってもよい。
【００８５】
図４に示す如く、図１に示した第１実施形態の局所除湿システムや図３に示した第２実施形態の局所除湿システムにおいて、局所ドライエリア１のワーク搬出入口４，５や補助室６，７のワーク入出口６ａ，７ａを、局所ドライエリア３の内部側に向かって漸次的に拡径するベルマウス構造の通気路２９により形成し、これにより、局所ドライエリア３や補助室６，７での気流の乱れを抑止して、局所ドライエリア３を一層均一な低湿度状態に安定的に保持し得るようにしてもよい。
【００８６】
また、同図４に示すように、通常給気状態における第１除湿空気ＳＡ１の供給や非常給気状態における第１及び第２除湿空気ＳＡ１，ＳＡ２の供給に対し、局所ドライエリア３と隣接エリアとの差圧により開閉動作して局所ドライエリア３内の過剰空気ＲＡ１を隣接エリアに排出することで、局所ドライエリア３のエリア内圧力を所定圧力に保つ差圧ダンパ３０を、局所ドライエリア３とその隣接エリアである補助室６，７との間の仕切部、又は、局所ドライエリア３とその隣接エリアであるサブドライエリアとしての作業室１との間の仕切部に装備したり、同様に通常給気状態や非常給気状態における局所ドライエリア３からの第１排出空気ＲＡ１の受け入れに対し、補助室６，７とサブドライエリアとしての作業室１との差圧により開閉動作して補助室６，７内の過剰空気を作業室１に排出することで、補助室６，７の室内圧力を所定圧力に保つ差圧ダンパ３１を、補助室６，７と作業室１との間の仕切部に装備するようにしてもよい。
【００８７】
局所ドライエリア３の用途は、リチウム電池の製造に限らず、低湿度環境を必要とする用途であれば、どのような用途であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明による局所除湿システムは、局所的な低湿度環境を要する各種分野において、その局所的低湿度環境の形成に適用することができる。
【符号の説明】
【００８９】
ＨＡ          再生用気体
９            再生域
ＰＡ          パージ用気体
１０          パージ域
ＭＡ          除湿対象空気
１１          処理域
Ｒ            吸着ロータ回転方向
８ａ          吸着ロータ
８            吸着ロータ式除湿機
ＳＡ          除湿空気
２            仕切壁
３            局所ドライエリア
ＳＡ１        第１除湿空気
１１Ｘ        第１出口
ＳＡ２        第２除湿空気
１１Ｙ        第２出口
１９ａ        第１給気路
１            サブドライエリア
１９ｂ        第２給気路
１１ａ        上手側出口
１１ｂ        下手側出口
１１ｃ        中央出口
ＲＡ１        第１排出空気
４，５        連通路
ＯＡ          外気
１３          外気処理域
２２Ａ        還気路
ＲＡ２        第２排出空気
ＯＡ′        除湿外気
６，７        補助室
２２          第２還気路
１２          第２処理域
２０          第１還気路
ＲＡ１        補助室排出空気
ＲＡ２′      除湿第２排出空気
２６，２７    給気切換手段
【図１】
0005717000.tif 000002
【図２】
0005717000.tif 000003
【図３】
0005717000.tif 000004
【図４】
0005717000.tif 000005
【図５】
0005717000.tif 000006