【事件の表示】
　特許第２８９２４７６号「帯状液体ノズル及び液処理装置及び液処理方法」の請求項１ないし８に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８９２４７６号の請求項１ないし８に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯      
　本件特許第２８９２４７６号発明は、平成２年９月１４日に出願され、平成１１年２月２６日にその発明の特許がなされ、その後、吉成　迪夫より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年５月１６日に訂正請求（後日、取り下げ）がなされ、訂正拒絶理由通知がなされ、これに対して、意見書が提出され、再度の取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年９月２２日に訂正請求がなされたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア．訂正の内容
ａ、明細書の特許請求の範囲第１項に係る発明を
「（１）流体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、上記液体の流路に設けられた液溜部と、この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と、前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、を具備したことを特徴とする帯状液体ノズル。」と訂正する。
ｂ、明細書の特許請求の範囲第３項に係る発明を
「（３）液体供給源と、前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段とを具備したことを特徴とする液処理装置。」と訂正する。
ｃ、明細書の特許請求の範囲第７項に係る発明を
「（７）被処理体を回転載置台上に載置する工程と、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法。」と訂正する。
ｄ、明細書の特許請求の範囲第８項に係る発明を
「（８）請求項７の液処理方法において、前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法。」と訂正する。
ｅ、明細書第３頁第９〜１６行（特許掲載公報第４欄第１５行〜第５欄第２２行）の「（課題を解決するための手段）・・・（作用）」を、「（課題を解決するための手段）
この発明は、流体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、上記液体の流路に設けられた液溜部と、この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と、前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、を具備したことを特徴とするものである。
請求項２の発明は、請求項１の帯状ノズルにおいて、前記流出部が、流出方向に向けて幅が狭くなるようテーパーを設けられたスリット状に形成されたことを特徴とする。
請求項３の発明は、液体供給源と、前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段とを具備したことを特徴とするものである。
請求項４の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液溜部の内径より前記細管の内径が細く形成されていることを特徴とするものである。
請求項５の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液体が前記液溜部に流入する供給口が、複数設けられたことを特徴とするものである。
請求項６の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液体ノズルは、前記液溜部に前記液体を供給する流路と、前記細管とが、直線上に位置しないように所定角度をもって配設されていることを特徴とするものである。
請求項７の発明は、被処理体を回転載置台上に載置する工程と、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、を具備したことを特徴とするものである。
請求項８の発明は、請求項７の液処理方法において、前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、を具備したことを特徴とするものである。
（作用）」と訂正する。
ｆ、明細書第９頁第１８〜１９行（特許掲載公報第８欄第４〜５行）の「第６図の如くノズル３０に現像液供給口３１、純水供給口３２、窒素ガス供給口を設け、」を、「第７図の如くノズル３０に現像液供給口３１、純水供給口３２、窒素ガス供給口３３を設け、」と訂正する。
ウ.訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否等
　上記訂正ａ、〜ｄ、は、特許請求の範囲の減縮に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではなく、新規事項の追加もない。また、上記訂正ｅ、ｆは、特許請求の範囲の訂正に対応して、発明の詳細な説明の記載を訂正したものであるから、不明瞭な記載の釈明に該当し、願書に添付した明細書又は図面に記載された事項の範囲内のものであり、新規事項の追加もない。
エ．独立特許要件の判断
　そこで、上記訂正に係る請求項１、３、７、８の発明が本件出願の際独立して特許を受けることができるかどうか検討する。
〈引用例について〉
　当審が平成１２年３月１日付け取消理由通知において引用した刊行物１（特開昭５６−１０９２７３号公報、以下「引用例１」という。）には、塗布液５を帯状に流出するノズル６において、上記塗布液５の流路に設けられた横穴１１と、上記横穴の一端に設けられ、圧送された前記塗布液５を当該横穴１１に流入させるための供給穴１０と、前記横穴１１に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の小穴１２であって各々の断面積が順次大きいものと、この複数の小穴１２に接続され上記塗布液５を横方に向けて帯状に流出する溝部１３とを具備したことを特徴とする回転塗布装置用ノズル、ノズル６であって、横穴１１の一端に設けられた供給穴１０から当該横穴１１に供給された塗布液５を直線状に配列され断面積が順次大きい複数の小穴１２を介して溝部１３から横方に向けてワーク４に直線状に供給するノズル６と、前記ノズル６と前記ワーク４とを近接させた状態で、前記ノズル６と前記ワーク４とを略平行に相対的に移動させて、前記ワーク４の表面に前記ノズル６からの前記塗布液５を塗布できるように構成された回転駆動手段とを具備したことを特徴とする回転塗布装置用ノズル、前記横穴１１の内径より前記小穴１２の内径が細く形成されていることを特徴とする回転塗布装置用ノズル、前記ノズル６は、前記横穴１１に前記塗布液５を供給する流路と、前記小穴１２とが、直線上に位置しないように所定角度をもって配設されていることを特徴とする回転塗布装置用ノズル、横穴１１一端に設けられた供給穴１０から当該横穴１１に供給された塗布液５を直線状に配設され各々の断面積が順位大きい複数の小穴１２を介して溝部１３から横方に向けて直線状に吐出するノズル６を、前記ワーク４に略水平に近接対向させる工程と、前記ノズル６から前記塗布液５を直線状に吐出させながら、前記ノズル６と前記ワーク４とを略水平に相対移動させて前記ワーク４表面に前記塗布液５の液膜を形成する工程とを具備したことを特徴とする塗布方法、前記ノズル６から塗布液５を直線状に吐出させながら、前記ノズル６と前記ワーク４とを略水平に相対移動させて前記ワーク４表面に前記塗布液５の液膜を形成する工程を特徴とする塗布方法が記載されている。
　同じく引用した刊行物２（特開平２−４９８６号公報、以下「引用例２」という。）には、「その処理液供給手段１２のスリット状吐出口１４から処理液がカーテン状に基板Ｗの表面へ供給される。」（第３頁左下欄第１７〜１９行）及び「処理液供給手段１２には、ポンプＰを介装して表面処理液受槽Ｔ１が流路接続しており、表面処理液受槽Ｔ１内の処理液をポンプＰによって処理液供給手段１２へ送液するようになっている。」（第３頁左上欄第１０〜１３行）との記載がある。
　同じく引用した刊行物３（実願昭６１−１４４６８９号＜実開昭６３−５０１２５号＞のマイクロフイルム、以下「引用例３」という。）には、「スピンチャック２は、第３図に示すようにその回転軸３を介して回転可能に枢支され、昇降手段５によって昇降可能に支持されている。・・・スピンチャック２が基板１を受け渡しする移載位置と基板１に処理液を供給する処理位置とに昇降切換可能に構成されている。・・・このノズル１０は支持腕１４に固定され、支軸１５を介して水平揺動可能に支持され、ノズル掃引手段である駆動モータ１６によって矢印Ａ方向へ掃引されながら基板１の上面に現像液を供給するようになっている。」（第５頁第２０行〜第６頁第１７行）、「基板１を受け取ったスピンチャック２は仮想線で示す位置まで下降する。」（第８頁第１８〜２０行）、「Ｎ２ガスノズル１７よりＮ２ガスを吹き付け、基板１に付着しているダストと吹き飛ばす。」（第９頁第４〜６行）及び「その後、前記現像液供給ノズル１０を水平揺動させながら現像液を基板１上に供給する。所要の現像時間が経過した後、・・・スピンチャック２を回転させながら、前記リンス液供給ノズル１８Ｂよりリンス液（純水）を基板１上に供給して現像液をすっかり洗い出す。・・・基板１を高速回転させ、その遠心力にて残存リンス液を飛散させることにより基板１を乾燥する。」（第９頁第８行〜第１０頁第１０行）との記載がある。
　同じく引用した刊行物４（特開昭５６−１５９６４６号公報、以下「引用例４」という。）には、「マニホールド１４はダクト１９を経て入口１５から供給され、そしてダクト１９は供給マニホールド２１の出口へ接続されている。」（第５頁右下欄第１２〜１４行）及び「この供給器は１本または複数本のフレキシブルホース２６を経て供給して水頭を槽２１中の実質的に均一な高さに維持できる」（第６頁左上欄第１０〜１２行）との記載があり、第２図及び第３図からダクト１９が各々の断面積が略等しい細管であることが窺え、刊行物５（特開昭５７−１９２９５５号公報）には、「これに対して、前述した如くスリット状の流出口（４）を有する現像液供給装置の先端部（５）が左側より被加工板（１）に向って前進し、第２図に示すようにレジスト膜（２）の右端より右方へ寄った地点で停止するとともにその流出口（４）より現像液をカーテン状に流下しながら図の左方へ移動する。」（第２頁右上欄第９〜１５行）との記載がある。
〈対比・判断について〉
〔請求項１に係る発明に対して〕
　請求項１に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、請求項１に係る発明の「液体」、「液体ノズル」、「液溜部」、「流出部」は、夫々刊行物１記載の発明の「塗布液５」、「ノズル６」、「横穴１１」、「溝部１３」に相当するから、両者は、流体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、上記液体の流路に設けられた液溜部と、この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の流路と、この複数の流路に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と、を具備したことを特徴とする帯状液体ノズルで一致し、
Ａ流路が、請求項１に係る発明は、細管であるのに対して、刊行物１記載の発明は、小穴１２である点、
Ｂ請求項１に係る発明は、前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、これを具備しない点で相違する。
　そこで、これらの相違点Ａ、Ｂが、刊行物２〜５に開示されているか否かを検討すると、相違点Ａについては、刊行物４に「ダクト１９」として細管が開示されているが、相違点Ｂについては、いずれの刊行物にも開示されていない。
してみると、上記引用例１〜５には本件請求項１に係る発明の構成の一部である上記相違点Ｂが記載されていない。
　本件請求項１に係る発明は、このＢの構成を有することによって、明細書記載の作用効果を奏するものであるから、訂正後の本件請求項１に係る発明が、上記引用例１〜５のいずれかであるとも、また、上記引用例１〜５に基づいて当業者が容易に推考できたものとも言えない。
〔請求項３に係る発明に対して〕
　請求項３に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、請求項３に係る発明の「液体」、「液体ノズル」、「液溜部」、「被処理体」は、夫々刊行物１記載の発明の「塗布液５」、「ノズル６」、「横穴１１」、「ワーク４」に相当するから、両者は、液体供給源と、前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の流路を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段とを具備したことを特徴とする液処理装置で一致し、
Ａ流路が、請求項３に係る発明は、細管であるのに対して、刊行物１記載の発明は、小穴１２である点、
Ｂ’請求項３に係る発明は、窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、これを具備しない点、
Ｃ請求項３に係る発明は、前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、これを具備しない点で相違する。
　そこで、これらの相違点Ａ、Ｂ’、Ｃが、刊行物２〜５に開示されているか否かを検討すると、相違点Ａについては、刊行物４に「ダクト１９」として細管が開示され、相違点Ｃについては、刊行物３に「昇降手段５」として駆動手段が開示されているが、相違点Ｂ’については、いずれの刊行物にも開示されていない。
してみると、上記引用例１〜５には本件請求項３に係る発明の構成の一部である上記相違点Ｂ’が記載されていない。
　本件請求項３に係る発明は、このＢ’の構成を有することによって、明細書記載の作用効果を奏するものであるから、訂正後の本件請求項３に係る発明が、上記引用例１〜５のいずれかであるとも、また、上記引用例１〜５に基づいて当業者が容易に推考できたものとも言えない。
〔請求項７に係る発明に対して〕
　請求項７に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、請求項７に係る発明の「液体」、「液体ノズル」、「液溜部」、「被処理体」は、夫々刊行物１記載の発明の「塗布液５」、「ノズル６」、「横穴１１」、「ワーク４」に相当するから、両者は、被処理体を回転載置台上に載置する工程と、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の流路を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法で一致し、
Ａ流路が、請求項７に係る発明は、細管であるのに対して、刊行物１記載の発明は、小穴１２である点、
Ｂ”請求項７に係る発明は、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、これを具備しない点で相違する。
　そこで、これらの相違点Ａ、Ｂ”が、刊行物２〜５に開示されているか否かを検討すると、相違点Ａについては、刊行物４に「ダクト１９」として細管が開示されているが、相違点Ｂ”については、いずれの刊行物にも開示されていない。
してみると、上記引用例１〜５には本件請求項７に係る発明の構成の一部である上記相違点Ｂ”が記載されていない。
　本件請求項７に係る発明は、このＢ”の構成を有することによって、明細書記載の作用効果を奏するものであるから、訂正後の本件請求項７に係る発明が、上記引用例１〜５のいずれかであるとも、また、上記引用例１〜５に基づいて当業者が容易に推考できたものとも言えない。
〔請求項８に係る発明に対して〕
　請求項８に係る発明と刊行物１記載の発明とを対比すると、請求項８に係る発明の「液体」、「液体ノズル」、「液溜部」、「被処理体」は、夫々刊行物１記載の発明の「塗布液５」、「ノズル６」、「横穴１１」、「ワーク４」に相当するから、両者は、請求項７の液処理方法において、前記液体ノズルから液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液の液膜を形成する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法で一致し、
Ｄ液体が、請求項８に係る発明は、現像液であるのに対して、刊行物１記載の発明は、そのような記載が無い点、
Ｅ請求項８に係る発明は、前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、そのような工程を具備しない点、
Ｆ請求項８に係る発明は、前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、そのような工程を具備しない点、
Ｇ請求項８に係る発明は、この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程を具備するのに対して、刊行物１記載の発明は、そのような工程を具備しない点、
Ｂ
　そこで、これらの相違点
Ｂ
Ｂ
してみると、上記引用例１〜５には本件請求項８に係る発明の構成の一部である上記相違点
Ｂ
　本件請求項８に係る発明は、この
Ｂ
オ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び第３項で準用する第１２６条第２−４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
（３）特許異議の申立てについての判断
ア．申立ての理由の概要
　申立人吉成　迪夫は、証拠として甲第１号証（特開昭５９−１０９２７３号公報、上記引用例１）、甲第２号証（特開平２−４９８６号公報、上記引用例２）、甲第３号証（実願昭６１−１４４６８９号＜実開昭６３−５０１２５号＞のマイクロフイルム、上記引用例３）、甲第４号証（特開昭５６−１５９６４６号公報、上記引用例４）、甲第５号証（特開昭５７−１９２９５５号公報、上記引用例５）を提出し、訂正前請求項１〜８に係る発明は、特許法第２９条第１項第３号ないし
特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであるから、特許を取り消すべき旨主張している。
イ．判断
〔本件請求項１、３、７、８に係る発明〕
  申立人吉成　迪夫の主張については、上記（２）エ．で示したとおりである。
〔本件請求項２、４〜６に係る発明〕
  本件請求項２、４〜６に係る発明は、夫々本件請求項１、３に係る発明の構成の一部をさらに限定したものであるから、本件請求項１、３に係る発明と同様の判断である。
ウ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立の理由及び証拠によっては、本件請求項１〜８に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜８に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月６日（２０００．１１．６）
【訂正の要旨】
　　　　訂正の要旨
特許請求の範囲の減縮を目的として、下記（１）〜（４）のように特許請求の範囲を訂正する。また、特許請求の範囲の訂正に応じて、発明の詳細な説明についても、適合性を持たせるために下記（５）、（６）のように訂正する。
（１）特許請求の範囲第１項を次のとおり訂正する。
「（１）流体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、上記液体の流路に設けられた液溜部と、この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と、前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、を具備したことを特徴とする帯状液体ノズル。」
（２）特許請求の範囲第３項を次のとおり訂正する。
「（３）液体供給源と、前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段とを具備したことを特徴とする液処理装置。」
（３）特許請求の範囲第７項を次のとおり訂正する。
「（７）被処理体を回転載置台上に載置する工程と、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法。」
（４）特許請求の範囲第８項を次のとおり訂正する。
「（８）請求項７の液処理方法において、前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、を具備したことを特徴とする液処理方法。」と訂正する。
（５）明細書第３頁第９〜１６行（特許掲載公報第４欄第１５行〜第５欄第２２行）の「（課題を解決するための手段）・・・（作用）」を、「（課題を解決するための手段）
この発明は、流体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、上記液体の流路に設けられた液溜部と、この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と、前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、を具備したことを特徴とするものである。請求項２の発明は、請求項１の帯状ノズルにおいて、前記流出部が、流出方向に向けて幅が狭くなるようテーパーを設けられたスリット状に形成されたことを特徴とする。
請求項３の発明は、液体供給源と、前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段とを具備したことを特徴とするものである。
請求項４の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液溜部の内径より前記細管の内径が細く形成されていることを特徴とするものである。
請求項５の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液体が前記液溜部に流入する供給口が、複数設けられたことを特徴とするものである。
請求項６の発明は、請求項３の液処理装置において、前記液体ノズルは、前記液溜部に前記液体を供給する流路と、前記細管とが、直線上に位置しないように所定角度をもって配設されていることを特徴とするものである。
請求項７の発明は、被処理体を回転載置台上に載置する工程と、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、を具備したことを特徴とするものである。請求項８の発明は、請求項７の液処理方法において、前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と、前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、を具備したことを特徴とするものである。
（作用）」と訂正する。
（６）明細書第９頁第１８〜１９行（特許掲載公報第８欄第４〜５行）の「第６図の如くノズル３０に現像液供給口３１、純水供給口３２、窒素ガス供給口を設け、」を、「第７図の如くノズル３０に現像液供給口３１、純水供給口３２、窒素ガス供給口３３を設け、」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
帯状液体ノズル及び液処理装置及び液処理方法
（５７）【特許請求の範囲】
（１）　液体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、
　上記
液
　この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、
　この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と
、
　
前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、
　を具備したことを特徴とする帯状液体ノズル。
（２）請求項１の帯状液体ノズルにおいて、
　前記流出部が、流出方向に向けて幅が狭くなるようテーパーを設けられたスリット状に形成されたことを特徴とする帯状液体ノズル。
（３）液体供給源と、
　前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、
　
窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、
　前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、
　前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段と
　を具備したことを特徴とする液処理装置。
（４）請求項３の液処理装置において、前記液溜部の内径より前記細管の内径が細く形成されていることを特徴とする液処理装置。
（５）請求項３の液処理装置において、前記液体が前記液溜部に流入する供給口が、複数設けられたことを特徴とする液処理装置。
（６）請求項３の液処理装置において、前記液体ノズルは、前記液溜部に前記液体を供給する流路と、前記細管とが、直線上に位置しないように所定角度をもって配設されていることを特徴とする液処理装置。
（７）被処理体を回転載置台上に載置する工程と、
　液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、
　前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と
、
　
前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、
　を具備したことを特徴とする液処理方法。
（８）請求項７の液処理方法において、
　前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、
　前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、
　前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、
　この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と
、
　
前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、
　を具備したことを特徴とする液処理方法。
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
　（産業上の利用分野）
　本発明は帯状液体ノズル及び液処理装置及び液処理方法に関する。
　（従来の技術）
　半導体ウエハの露光処理されたレジスト膜を現像処理する際、複数の吐出口が設けられた現像液吐出ノズルからシャワー状に現像液を吐出するものとして特開昭５７−５２１３２号公報がある。
　また、レジスト膜を現像処理する際、被加工板上のレジスト膜に対してスリット状の流出口より現像液を上からカーテン状に流下するものとして特開昭５７−１９２９５５号公報がある。
　（発明が解決しようとする課題）
　レジスト膜の現像は一般に最初の現像状態で現像均一性が決定されると言われており、最初に現像液が被処理体の表面全体に均一に供給されないと現像ムラが発生する。
　従って、現像液を半導体ウエハに塗布する際、現像液をシャワー状に吐出する前者文献の技術では、半導体ウエハ上に気泡が発生することがあり、この場合気泡部分でレジスト膜と現像液が接触しなくなり、この気泡は数秒間持続する場合があり、現像均一性が劣化するという改善点を有する。
　また、後者文献の技術ではスリット状の流出口よりカーテン状に現像液を流出しているが、一般に筒状液溜部にスリットを設けたノズルはスリット部から液体が流出されるため、上記液溜部内の場所による圧力が均一にならず、上記液溜部に液体を供給する給液管に近い部分のスリット部からの吐出量が多くなる傾向があり、均一に液体を吐出することができないという改善点を有する。
　この発明は上記点に鑑みなされたもので、帯状の流出部から液体を流出するとき、気泡の発生を抑制して液体を均一に流出することができ、もって均一な例えば処理を行うことのできる帯状液体ノズル及び液処理装置及び液処理方法を提供することにある。
［発明の構成］
　（課題を解決するための手段）
　この発明は、液体を帯状に流出する液体ノズルにおいて、
　上記
液
　この液溜部に接続され液体流に対しコンダクタンスを低くする複数の細管と、
　この複数の細管に接続された上記液体を帯状に流出する流出部と
、
　
前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、
　を具備したことを特徴とするものである。
　請求項２の発明は、請求項１の帯状液体ノズルにおいて、
　前記流出部が、流出方向に向けて幅が狭くなるようテーパーを設けられたスリット状に形成されたことを特徴とする。
　請求項３の発明は、液体供給源と、
　前記液体供給源に接続された液体ノズルであって、液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して被処理体に直線状に供給する液体ノズルと、
　
窒素ガス供給部から前記液体ノズル内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給口と、
　前記液体ノズルと前記被処理体を近接および離間させる駆動手段と、
　前記液体ノズルと前記被処理体とを近接させた状態で、前記液体ノズルと前記被処理体とを略平行に相対的に移動させて、前記被処理体の表面に前記液体を塗布する回転駆動手段と
　を具備したことを特徴とするものである。
　請求項４の発明は、請求項３の液処理装置において、
　前記液溜部の内径より前記細管の内径が細く形成されていることを特徴とするものである。
　請求項５の発明は、請求項３の液処理装置において、
　前記液体が前記液溜部に流入する供給口が、複数設けられたことを特徴とするものである。
　請求項６の発明は、請求項３の液処理装置において、
　前記液体ノズルは、前記液溜部に前記液体を供給する流路と、前記細管とが、直線上に位置しないように所定角度をもって配設されていることを特徴とするものである。
　請求項７の発明は、被処理体を回転載置台上に載置する工程と、
　液溜部に供給された液体を直線状に配列された複数の細管を介して直線状に吐出する液体ノズルを、前記被処理体に略水平に近接対向させる工程と、
　前記液体ノズルから前記液体を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記液体の液膜を形成する工程と
、
　
前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記液体を除去する工程と、
　を具備したことを特徴とするものである。
　請求項８の発明は、請求項７の液処理方法において、
　前記液体ノズルから現像液を直線状に吐出させながら、前記液体ノズルと前記被処理体とを略水平に相対移動させて前記被処理体表面に前記現像液の液膜を形成する工程と、
　前記被処理体表面に前記現像液の液膜が形成された状態で所定時間現像を行う工程と、
　前記被処理体を回転させつつリンス液を供給する工程と、
　この後、前記被処理体の回転数を上げて前記リンス液を振り切る工程と
、
　
前記液体ノズルに窒素ガス供給口を介して窒素ガスを流し、前記液体ノズル内の前記現像液、前記リンス液を除去する工程と、
　を具備したことを特徴とするものである。
　（作用）
　本発明は液体ノズル内に設けられた液溜部から複数の細管を介して帯状の吐出部に液体を供給し、上記帯状の吐出部から帯状の液体が流出されるように構成している。
　上記細管は液溜部と比べ断面積が小さく、また所定の長さ設けられているため、液溜部と比べ細管部の液体に対するコンダクタンスは小さいため上記液溜部は密閉容器に近い状態となり、上記液溜部内の各部における液体の圧力はほぼ均一になる。従って、複数の細管にはほぼ均一な圧力で液体が供給され帯状の吐出部へ液体が供給され、上記吐出部内で液体は均一に広がり吐出部から均一な帯状液体が流出される。
（実施例）
　以下本発明の帯状液体ノズル及び液処理装置及び液処理方法を現像液塗布装置に用いた一実施例について図面を参照して具体的に説明する。
　第１図において、フォトレジストが塗布され露光処理された例えば半導体ウエハ１は、樹脂例えばデルリン（商品名）からなる円板状チャック２に裏面を真空吸着され、このチャック２は回転駆動機構３例えばＡＣサーボモータに連結されており、このモータは上記半導体ウエハ１を所定の加速度と回転数で回転制御が可能の如く構成されている。
　また、上記半導体ウエハ１の表面に液体例えば現像液を供給し回転処理する際、上記半導体ウエハ１の円周方向周辺に飛散する現像液を捕獲する有底円筒形のカップ４が上記半導体ウエハ１を囲繞する如く設けられ処理室５が構成されている。
　上記カップ４の底部には処理済み現像液である排液を排出する排液管６が設けられ、この排液管６に排液が集められるように上記カップ４の底部は水平方向に対して若干の傾斜がつけられている。
　また、上記処理室５内で発生する飛散した現像液のミストを排気するために、上記カップ４には排気管７が設けられ、図示しない排気装置に接続され所定の排気が行なわれるように構成されている。
　また、図示しない移動機構により上記半導体ウエハ１の上部を水平方向、垂直方向に移動可能にノズル８が設けられている。
　このノズル８には複数本の供給管９、この供給管に接続された切換えバルブ１０、１１、１２、現像液供給部１３、純水供給部１４、窒素ガス供給部１５が接続されている。
　上記ノズル８の詳細は第２図、第３図、第４図を用いて説明する。
　上記ノズル８は樹脂例えば硬質ＰＶＣよりなり、流入口２０が２ケ所に設けられている。これらの流入口２０の先端部に直径例えば４ｍｍで長さ例えば１６０ｍｍの円筒状の液溜部２１と接続されており、この液溜部２１の流出口には幅例えば２ｍｍ、厚さ例えば０．１〜０．５ｍｍ好ましくは０．３ｍｍで長さ例えば１０ｍｍの細管２２列が接続され、この細管２２列は間隔例えば２ｍｍで複数例えば８０個設けられている。
　また、上記細管２２は、幅例えば１６０ｍｍ、厚さ例えば０．５ｍｍ、長さ例えば５ｍｍの吐出部２３に所定の角度Ｘ例えば３０度で接続され、この吐出部２３の吐出口２４は厚さ例えば０．３ｍｍであり、上記吐出口２４側で厚さが薄くなる如くテーパー状に形成されている。
　以上の如く、ノズル８は構成されている。
　次に上記実施例装置において、フォトレジストが塗布され露光処理された半導体ウエハ１を現像処理する方法について以下説明を行う。
　第５図に示すように半導体ウエハ１はチャック２に裏面を真空吸着されて水平状態に保たれている。
　バルブ１０を開、その他のバルブ１１、１２を閉として現像液供給部１３を作動させると、ノズル８から帯状に現像液が流出され、上記ノズル８は図示しない移動機構により半導体ウエハ１の左端から右端へと予め定められた速度で移動され、上記半導体ウエハ１上に均一に現像液の液膜が形成され現像処理が開始され、バルブ１０を閉として現像液供給部１３を停止する。この状態を６０秒間保つと全てのフォトレジストの現像が終了する。
　次に、図示しない移動機構により第６図の如くノズル８を半導体ウエハ１の中央に移動し、バルブ１１を開、バルブ１０、１２を閉として、純水供給部１４を作動させるとノズル８から帯状に純水が流出され、駆動機構３を３００ｒｐｍで回転させ、半導体ウエハ１上の現像処理後の現像排液を純水でリンス洗浄１０秒間行う。
　次に、バルブ１０、１１を閉として純水供給部１４を停止させバルブ１２を開として窒素ガス供給部１５を作動させ、所定の窒素ガスを供給管９、ノズル８に流し、上記供給管９、ノズル８内の水分を除去する。
　そして、駆動機構３を３０００ｒｐｍで回転させ、半導体ウエハ１上の純水を振り切るスピン乾燥を行い、半導体ウエハ１の現像処理行程を終了する。
　次に上記実施例に用いたノズル８から液体が均一な帯状で吐出される作用について説明を行う。
　第３図に示す液溜部２１は直径４ｍｍ（半円形や角形でもよい）で長さ１６０ｍｍであり、一方細管２２は幅２ｍｍ、厚さ０．３ｍｍ、長さ１０ｍｍでありこの細管２２が８０個設けられている。
　一般に配管のコンダクタンスはおおよそ直径の４乗に比例し配管の長さに逆比例する。
　上記細管２２は断面積の等しい直径０．８７ｍｍの配管とコンダクタンスが等価と仮定すると、液溜部２１と細管２２のコンダクタンス比は４３９倍となる。
　このように、液溜部２１と細管２２のコンダクタンス比を例えば１００倍以上と大きくすると、全ての細管２２列にほぼ同一の圧力で液体が供給され、吐出部２３へ均一に液体が供給される。
　また、細管２２と吐出部２３とは所定の角度Ｘ例えば３０度で接続されているため、上記細管２２から供給された液体は吐出部２３の壁に衝突され吐出部２３内に均一に広がる。
　また、吐出部２３は吐出口２４側で厚さが薄くなるテーパー状に形成されているため、さらに吐出口２４から均一に液体が流出される。
　尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変形実施が可能である。液溜部２１の形状は円筒形に限らず半円筒形、角柱形その他どのような形状でもよく、また細管２２の形状も角柱形に限らず円筒形や半円筒形等どのような形状でもよい。
　第
７
３３
　さらに上記帯状液体ノズルは現像装置に限らず塗布装置や洗浄装置等液体を流出する特に半導体製造装置の各行程において有効に活用できる。
　［発明の効果］
　以上説明したように、本発明によれば帯状液体ノズルから液体を流出するとき、帯状で均一に液体を流出することができ、もって均一な塗布処理を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る帯状液体ノズルを半導体ウエハの現像処理装置に適用した一実施例説明図、第２図、第３図、第４図は第１図のノズル部分説明図、第５図、第６図は第１図を用いた現像方法説明図、第７図は第１図のノズルの他の実施例説明図である。
　１……ウエハ、　　　　　　　２……チャック
　３……駆動機構、　　　　　　４……カップ
　８……ノズル、　　　　　　　９……供給管
１０、１１、１２……バルブ、１３……現像液供給部
１４……純水供給部、　　　　１５……窒素ガス供給部