【事件の表示】
　特許第２８６７０５１号「ウエーハの剥離方法」の請求項１及び３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２８６７０５１号の請求項１、３に係る特許を取り消す。
【理　由】
１　手続の経緯
　特許第２８６７０５１号に係る発明についての出願は、平成１年１２月２８日に特許出願され、平成１０年１２月２５日にその特許権の設定登録がなされ、その後特許異議申立人石神慶司より、請求項１及び３に係る特許について特許異議の申立てがなされ、取消しの理由が通知され、その指定期間内である平成１２年３月７日に訂正請求書が提出され、訂正拒絶の理由が通知されたものである。
　
２　訂正の適否についての判断
（１）訂正明細書の請求項１、３に係る発明
　訂正明細書の請求項１及び３に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び３に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、前記ウエーハ添着部に別部材を介在させることなくウェーハを添着し、このウェーハの添着状態において、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込み、プレートに添着されているウェーハを、流体圧によりプレートから剥離することを特徴とするウェーハの剥離方法。」
「【請求項３】プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、前記ウェーハ添着部に別部材を介在させることなくウェーハを添着し、このウェーハの添着状態において、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込むとともに、ウェーハの上面に流体を吹き付けつつ、プレートに添着されているウェーハを前記微小孔からの流体の流体圧によりプレートから剥離することを特徴とするウェーハの剥離方法。」
　
（２）刊行物の記載内容
　訂正明細書の請求項１及び３に係る発明に対し、当審が訂正拒絶理由通知書において示した刊行物１（実願昭５８−１４８１３６号（実開昭６０−５６４６１号）のマイクロフィルム）及び刊行物２（特開平　１−９３１２６号公報）には、次の事項が記載されている。
（ア）刊行物１
　リファレンス・プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する小孔を形成しておき、リファレンス・プレートの裏側から前記小孔へ圧縮空気を流し込み、リファレンス・プレートに添着されているウェーハを、圧縮空気によりリファレンス・プレートから剥離すること。（第３頁第３行〜１８行、第４頁第１３行〜１７行、第５頁第７行〜１４行及び第１、２図）
　小孔を介しての排気にともない、ウエーハはリファレンス・プレートに吸引され、シートは弾性変形し、ウエーハの下面全面がシートに密着して保持され、剥離することなく研磨治具に強固に装着されること。（第４頁第１３行〜第５頁第６行）
（イ）刊行物２
　プレートから半導体ウエハの剥がし方法において、温度制御された液噴流を半導体ウエハに浴びせながらプレートから剥がすこと。（特許請求の範囲）
　噴流を浴びせて、傾斜したプレート面から半導体ウエハを、自重及び噴流の力で滑らせて搬送機構へ落とすこと。（第１頁右下欄第１０行〜１４行）
　噴流を浴びせた状態で剥がすため、広いウエハ面と非水平な方向の運動に液体が抵抗となり、剥がした瞬間の飛び跳ねを防止すること。（第２頁左上欄第１行〜５行）
　
（３）対比
（ア）訂正明細書の請求項１に係る発明について
　訂正明細書の請求項１に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１に記載された発明の、「リファレンス・プレート」、「小孔」及び「圧縮空気」は、それぞれ訂正明細書の請求項１に係る発明の「プレート」、「微小孔」及び「圧力流体」に相当し、また、刊行物１に記載の発明では、圧縮空気の圧力、すなわち流体圧によりシートに密着しているウエーハを剥離させている。
　したがって、訂正明細書の請求項１に係る発明と刊行物１に記載された発明とは、
「プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込み、プレートに添着されているウェーハを、流体圧によりプレートから剥離するウェーハの剥離方法。」
である点で共通しており、次の点で相違している。
相違点１：プレートのウエーハ添着部が、訂正発明１では、「別部材を介在させることなくウェーハを添着し」、「このウェーハの添着状態において」、ウエーハをプレートから剥離させているのに対して、刊行物１に記載された発明では、リファレンス・プレートとウエーハとの間に弾性部材からなるシートを介在させており、その状態においてウエーハをプレートから剥離させている点。
（イ）訂正明細書の請求項３に係る発明について
　訂正明細書の請求項３に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者は、
「プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込むとともに、プレートに添着されているウェーハを前記微小孔からの流体の流体圧によりプレートから剥離するウェーハの剥離方法。」
である点で共通しており、一方、両者は、前記相違点１に加えて、次の相違点がある。
相違点２：訂正明細書の請求項３に係る発明では、ウエーハを剥離するに際して、「ウェーハの上面に流体を吹き付けつつ」行うのに対して、刊行物１に記載された発明では、そのような構成を備えていない点。
　
（４）判断
（ア）訂正明細書の請求項１に係る発明１について
　刊行物１に記載された発明において、リファレンス・プレートとウエーハとの間に弾性部材からなるシートを介在させたのは、ウエーハの下面全面をシートに密着させて、剥離することなく強固に装着するためであるから、そのような要求を考慮しなければ、刊行物１に記載されたものにおいて、弾性部材からなるシートを取り外すことは、適宜行う程度の設計事項にすぎない。
　また、このようにシートを取り外した場合、すなわち、別部材を介在させることなくウェーハを添着した場合には、「このウェーハの添着状態において」、ウエーハをプレートから剥離させることとなることは自明である。
　上記のことから、刊行物１に記載された発明において、弾性部材からなるシートを取り外すことにより、上記相違点１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　よって、訂正明細書の請求項１に係る発明は、本件に係る出願前において頒布された刊行物１に記載された発明に基づき、容易に発明をすることができたものである。
　
（イ）訂正明細書の請求項３に係る発明について
　相違点１については、前述したとおり、刊行物１に記載された発明において、弾性部材からなるシートを取り外すことにより、上記相違点１の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　次に、相違点２について検討する。
　訂正明細書の請求項３に係る発明は、上記相違点２の構成である、ウェーハの上面に流体を吹き付けるようにしたことにより、剥離した瞬間の飛び跳ねを防止及び流体の圧力で滑り移送する構成としている。
　ところで、刊行物２には、液噴流の力で滑らせること、及び、液噴流をウエハに浴びさせながらプレートから剥がし、これにより、剥がした瞬間の飛び跳ねを防止することが記載されている。そして、刊行物１及び２は、プレートからウエハを剥がすという点において、共通の技術分野に属するものである。
　したがって、刊行物１に記載された発明において、刊行物２に記載された液噴流をウエハに浴びさせながらプレートから剥がす構成を適用し、上記相違点２の構成とすることは、当業者が容易に想到し得たものと認められる。
　よって、訂正明細書の請求項３に係る発明は、本件に係る出願前において頒布された刊行物１及び２に記載された発明に基づき、容易に発明をすることができたものである。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、訂正明細書の請求項１及び３に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許出願の際に独立して特許を受けることができないものであるから、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１２６条第４項の規定に適合しないので、当該訂正は認められない。
　
３　特許異議の申立てについての判断
（１）本件の請求項１、３に係る発明
　本件の請求項１及び３に係る発明は、登録時の明細書の特許請求の範囲の請求項１及び３に記載された次のとおりのものと認める。
「【請求項１】プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込み、プレートに添着されているウェーハを、流体圧によりプレートから剥離することを特徴とするウェーハの剥離方法。」
「【請求項３】プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込むとともに、ウェーハの上面に流体を吹き付けつつ、プレートに添着されているウェーハを前記微小孔からの流体の流体圧によりプレートから剥離することを特徴とするウェーハの剥離方法。」
　
（２）刊行物の記載内容
　当審が通知した取消しの理由に引用した刊行物は、上記２（２）で示した刊行物１及び２であり、それぞれ２（２）で示した内容が記載されている。
　
（３）対比判断
（ア）請求項１に係る発明について
　本件の請求項１に係る発明と上記刊行物１に記載された発明とを対比する。
　刊行物１に記載された発明の、「リファレンス・プレート」、「小孔」及び「圧縮空気」は、それぞれ登録明細書の請求項１に係る発明の「プレート」、「微小孔」及び「圧力流体」に相当し、また、刊行物１に記載の発明では、圧縮空気の圧力、すなわち流体圧によりシートに密着しているウエーハを剥離させている。
　したがって、本件の請求項１に係る発明の構成のすべては、刊行物１に記載されており、本件の請求項１に係る発明は、刊行物１に記載された発明と同一である。
（イ）請求項３に係る発明について
　本件の請求項３に係る発明と刊行物１に記載された発明とを対比すると、両者は、
「プレートのウェーハ添着部に、予め表裏に貫通する微小孔を形成しておき、プレートの裏側から前記微小孔へ圧力流体を流し込むとともに、プレートに添着されているウェーハを前記微小孔からの流体の流体圧によりプレートから剥離するウェーハの剥離方法。」
である点で共通しており、本件の請求項３に係る発明では、ウエーハを剥離するに際して、「ウェーハの上面に流体を吹き付けつつ」行うのに対して、刊行物１に記載された発明では、そのような構成を備えていない点で相違する。
　しかし、この点は、上記２（４）（イ）で示したように、刊行物２に記載された事項であって、刊行物１及び２は共通の技術分野に属するものであるから、刊行物１に記載された発明に刊行物２に記載された発明を適用して、本件の請求項３に係る発明のように構成することは、当業者が容易になし得たことである。
　
（５）むすび
　以上のとおりであるから、本件の請求項１及び３に係る発明は、それぞれ特許法第２９条第１項及び同第２項の規定に違反してされたものである。
　したがって、本件の請求項１及び３に係る特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１４日（２０００．８．１４）