【事件の表示】
　特許第２６５９３０６号「基板端縁洗浄装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２６５９３０６号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。
【理　由】
 I. 手続の経緯
 本件特許第２６５９３０６号に係る主な手続の経緯は、以下のとおりである。
  特許出願　　　　　　平成３年１２月２４日
　特許権設定登録　　　平成９年６月６日
　特許公報発行日    　平成９年９月３０日
　特許異議の申立て    平成１０年３月３０日
　取消理由通知        平成１０年６月１１日
　特許異議意見書      平成１０年８月２８日
　取消理由通知        平成１０年９月８日
　特許異議意見書      平成１０年１１月２４日　
　訂正請求書          平成１０年１１月２４日
　取消理由通知        平成１０年１２月３日  
　訂正請求取下書      平成１１年２月９日   
　特許異議意見書      平成１１年２月９日
　訂正請求書          平成１１年２月９日
　訂正拒絶理由通知書  平成１１年３月５日
　特許異議意見書      平成１１年５月１１日
　手続補正書          平成１１年５月１１日
　取消理由通知        平成１１年６月４日
　特許異議意見書      平成１１年８月２３日
II.訂正の適否
II−１．訂正請求に対する補正の適否について
１．補正の内容
　訂正請求についての平成１１年５月１１日付手続補正は、平成１１年２月９日付訂正請求書に添付した訂正明細書について、次の補正を行うものである。
（１）請求項１について
　訂正明細書の請求項１中の「角型基板を載置保持する」を「角型基板を水平姿勢で載置保持する」と、「前記角型基板の端縁に臨んで開口し、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」を「前記角型基板の端縁に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」とそれぞれ補正する。
（２）発明の詳細な説明について
（２−1）訂正明細書の段落番号【００１０】中の、「角型基板を載置保持する」を「角型基板を水平姿勢で載置保持する」と、また、「前記角型基板の端縁に臨んで開口し、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」を「前記角型基板の端縁に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」とそれぞれ補正する。
（２−２）訂正明細書の段落番号【００１２】中の、「角型基板を基板保持手段に載置保持し、」を「角型基板を水平姿勢で載置保持し、」と、また、「角型基板の端縁に臨んで開口し、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」を「角型基板の端縁に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え」とそれぞれ補正する。
２．補正内容についての検討
　基板保持手段が角型基板を「水平姿勢」で載置保持することは訂正明細書の【００１４】、【００１５】及び図１，２から読みとれる。
　また、「排気口」が「角型基板の端縁に臨んで開口し」ていることは、図２中において、排気路形成部材４８の排気口４９が角型基板１の端縁に臨んでいることが示されていることによって開示されている。
　上記のとおりであるから、これらの補正は、特許請求の範囲の減縮及び明りょうでない記載の釈明を目的とするものであって、訂正請求書の要旨を変更するものではないから、特許法第１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合するものである。
II−２．訂正請求の適否について
１．訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に係る発明
　訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１、２に係る発明は請求項１、２に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板を水平姿勢で載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、ガスを吐出して溶解物を前記角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルと、前記角型基板の端縁に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え、前記ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物を前記排気口を介して吸引排出する排気路形成部材と、前記溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを一体に支持し、かつ前記ガスノズルから吐出したガスが前記排気路形成部材の排気口に向かうように前記ガスノズルを前記排気路形成部材の排気口に対向して配置支持するとともに、前記溶剤ノズルが前記排気路形成部材の排気口と前記ガスノズルとの間に位置するように前記溶剤ノズルを配置支持する支持枠と、前記支持枠を介して一体化された前記溶剤ノズルと前記ガスノズルと前記排気路形成部材とを有し、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い洗浄具本体と、前記溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを有する洗浄具本体を、前記角型基板の端縁に沿わせて当該端縁の全幅にわたって直線移動する移動手段と、を備えた基板端縁洗浄装置。
　【請求項２】前記溶剤ノズルが、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解するものである請求項１に記載の基板端縁洗浄装置。」
（以下、訂正後の請求項１、２に係る発明をそれぞれ「訂正発明１」及び「訂正発明２」という。）              
２．当審が平成１１年６月４日付で通知した取消理由の概要
　請求項１、２に係る発明は、下記の刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、請求項１、２に係る発明の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきである。
　１．特開昭６４−６１９１７号公報（以下、「刊行物１」という。）
　２．特開昭６３−５８８３１号公報（以下、「刊行物２」という。）
　３．実願平２−２１７３６号（実開平３−１１２９２８号（平成３年１１月１９日公開））のマイクロフィルム（以下、「刊行物３」という。）
３．引用例の記載事項
（１）刊行物１について
（１−１）「従来基板端部に形成された塗布膜を除去する方法および装置が種々知られており、第４図および第５図に基づいてその一例を説明する。シリコン１の表面には回転塗布法によりポジ型フォトレジスト２が約１μｍの厚さに塗布されているものとする。…（中略）…従来の除去方法では円形以外の基板の場合には端部のレジスト膜を除去することは実質的に不可能であった。」（第２頁左上欄第１９行〜同頁右下欄第１行） 
（１−２）「（発明が解決しようとする問題点）このように従来の基板端部の塗布膜除去装置では溶剤や溶解したレジストによる塗布膜の品質劣化が多く、また除去部分をできるだけ少なくすることが不可能であった。本発明は上述した問題点を解消するためになされたもので、溶剤の飛散や溶解物のはね返りが生ずることなく、かつ円形以外の基板であっても端部の塗布膜を有効に除去することのできる基板端部の塗布膜除去装置を提供することを目的とする。」（第２頁右下欄第２行〜同頁同欄第１１行）
（１−３）「本発明にかかる塗布膜除去装置は、膜が塗布された基板の周縁部の上面および下面に対向して設置された第１および第２の管と、これらの２つの管の間の間隙部でかつ基板端部の延長上に設置された第３の管を備え、第１および第２の管から溶剤を供給し、第３の管から溶剤を排出するようにしたものである。
 （作　用）本発明では、溶剤や溶解物を排出するための第３の管が設けられているため溶剤はすべて基板端部を通って第３の管に排出されてしまう。また基板の移動速度を遅くしても溶剤が基板内部に侵入していくことはない。」（第２頁右下欄第１４行〜第３頁左上欄第６行）    
（１−４）「以下本発明の実施例を図に基づいて詳細に説明する。第１図は本発明にかかる塗布膜除去装置の要部の構成を示した斜視図である。上下に端部が対向するように第１、第２の管２１および２２を間隙２３を持たせて配置し、この間隙２３の一部を塞ぐように第１、第２の管２１、２２に直交して第３の管２４を接続している。…（中略）…第２図は第１図（第２図は第１図の誤記であると認める）に示す装置を用いて基板端部の塗布膜を除去する方法を示した図である。第３の管２４の軸方向から対向するように間隙２３内にレジスト２６が塗布された基板２７の周縁部を挿入し、この基板２７を１０〜２０ｒｐｍの低速で回転させる。挿入深さは移動機構（図示せず）により管２４を水平方向に移動させることにより調整可能となっている。」（第３頁左上欄第８行〜同頁右上欄第５行）  
（１−５）「次に基板端部のレジスト除去について説明すると、第１、第２の管２１、２２からレジト溶剤２８を供給し、第３の管２４は排気装置またはダクトに連結する。まず基板２７の周縁部を２mmほど間隙２３内に挿入し、第１第２の管２１、２２より溶剤２８を供給し、基板２７端部のレジスト２６を溶解させ、第３の管２４より溶剤と溶解物とを排出させるようにする。このようにして基板端部のレジスト膜を除去しながら基板２７を回転移動させていくことにより基板端部全周のレジスト膜を除去した。…（中略）…これによって第３図に示すように除去幅３１を常に基板全周にわたって２mmとすることができた。」（第３頁右上欄第６行〜同頁左下欄第２行）
（１−６）「第１の管および第２の管を基板面に垂直に設けるだけでなく開口部が基板外周方向に向かうように傾斜をさせてもよい。また間隙や距離は基板の厚みや溶剤の供給圧、排気圧によって最適値が選ばれる。」（第３頁左下欄第１０〜１４行）
（１−７）「上述した実施例においては、第１、第２の管２１、２２を上下に配置しているが、水平方向に配置し基板を垂直方向に回転させるようにしてもよい。」（第３頁左下欄第１５〜１８行）
（１−８）「本発明では第３の管を設けて溶剤や溶解物の排出を行なうようにしているため飛散やはね返りが全く生じない。また基板の移動速度（回転速度）が遅くても溶剤が基板内部に侵入していかないため挿入深さを調整することが可能となり、オリエンテ−ションフラット等の異形部があっても除去幅を一定にすることができる。さらに矩形等の円形以外の基板であっても同様にして全周にわたって端部の塗布膜の除去が可能である。」（第３頁左下欄末行〜同頁右下欄第１０行）    
（１−９）水平に保持された基板２７と、基板２７の周縁部の上面及び下面に垂直に対向して配置された第１の管２１、第２の管２２と、第１、第２の管の開口部に接続して水平に配置された第３の管２４とからなる塗布膜除去装置において、第１，第２の管によって供給された溶剤が第３の管の開口部を通って排出される様子を示す図（第１、２図参照）
（２）刊行物２について
（２−１）「本発明は…（中略）…角形等の非円形の基板にスピンコ−タなどでレジストを塗布した場合に、この基板周縁に付着するレジストを能率良く正確に剥離することができる異形基板のレジスト剥離方法を提供することを第１の目的とする。」（第２頁左上欄第８〜１３行）
（２−２）「本発明によれば第１の目的は、起立させた異形基板の下縁付近の両側から斜め下方を指向して両下縁に剥離液を噴射する一方、この剥離液の上方にＮ２ガスを噴射し、前記剥離液が基板上を上昇するのを防止しつつレジストを剥離することを特徴とする異形基板のレジスト剥離方法をにより達成される。        
  また第２の目的は、上面に基板挿入用スリットが形成された処理容器と、このスリットの下方に位置しスリット中心線上で下方へ向って合流するようにＮ２ガスを噴射する一対のガス噴出手段と、このガス噴出手段の下方に位置し前記スリット中心線上で下方に向って合流するように剥離液を噴射する一対の剥離液噴出手段と、前記処理容器に設けた排気ダクトと、前記処理容器の底部に設けた排液管とを備えることを特徴とする異形基板のレジスト剥離装置により達成される。」（第２頁左上欄第１７行−第２頁右上欄第１３行） 
（２−３）「第１図は本発明の方法を示す図であり、この図において符号１０は基板であり、この基板１０の一方の面には予めスピンコ−タによってレジスト１２が塗布されている。…（中略）…この基板１０はほぼ垂直に起立した状態に保持されている。１４、１４は左右一対の剥離液噴出手段であって、基板１０の下縁とほぼ平行に配設された送液管１６、１６と、各送液管１６、１６に設けた多数のノズル１８とを備える。各ノズル１８は基板１０の下縁付近の両側から斜め下方を指向し、レジスト縁部１２Ａに剥離液を噴射する。この剥離液は…（中略）…一般にはフェノ−ルとハロゲン系有機溶剤とを主成分とするもの…（中略）…などが用いられている。」（第２頁右上欄第１５行〜同頁左下欄第１１行） 
（２−４）「２０、２０は左右一対のガス噴出手段であって剥離液噴出手段１４、１４の上方からレジスト縁部１２Ａ方向に向かって斜め下方にＮ２（窒素）ガスを噴出する。このように剥離液を斜め下向きに縁部１２Ａに向かって噴射すると共に、その上方から斜め下向きにＮ２ガスを噴射することにより、剥離液が基板１０に沿って上昇したり、剥離液の蒸気が上昇したりして他のレジスト１２を浸（「侵」は「浸」の誤記と認める。）蝕して悪影響を及ぼすのを防止している。」（第２頁左下欄第１２〜末行）            
（２−５）基板の端縁側に剥離液噴出手段14が、基板の中央側にガス噴出手段２０がそれぞれ配置されたレジスト剥離装置を示す図（第１図）           
（３）刊行物３について
（３−１）「モ−タ（２）により回転するウエハ（１）の中心部にレジストを滴下するレジスト滴下ノズル（４）と、回転するウエハ（１）の外周部に位置し、レジスト除去液を供給する第１のレジスト除去液供給ノズル（５）と、該ノズル（５）と連動してレジスト除去液の中心方向への流れ込みを防ぐエアを供給する第１のエア吹き出しノズル（７）と、所定位置に停止したウエハのオリエンテ−ションフラット（「オリエンタルフラット」は「オリエンテ−ションフラット」の誤記と認められる。）（６）に沿って連動して直線運動する第２のレジスト除去液供給ノズル（「レジスト供給ノズル」は「レジスト除去液供給ノズル」の誤記と認められる。）（９）および 第２のエア吹き出しノズル（１０）と、を少なくとも備えて構成されていることを特徴とするレジスト塗布装置 。」（実用新案登録請求の範囲）                     
（３−２）「本考案の特徴は、（１）レジスト除去液の中心方向への流れ込みを防ぐためにレジスト除去液供給ノズルと連動するエア吹き出しノズルと、（２）オリエンテ−ションフラット部のレジストを除去するためのレジスト除去液供給ノズルとエア吹き出しノズルと、を設けた点にある。」（第７頁第１５行〜第８頁第３行、但し、丸数字はカッコ書きにした）  
（３−３）「本考案になるレジスト塗布装置においては、レジスト除去液供給ノズルに隣接してエア吹き出しノズルを設け、除去液の滴下に同期させてエアを吹き出させながら回転することによりウエハの中心方向へのレジスト除去液の侵入を防止しながら、剥離したレジストを除去する。」 （第８頁第１２〜１７行）
（３−４）「次に、オリエンテ−ションフラット部のレジスト除去としては、連動して直線運動するレジスト除去液供給ノズルとエア吹き出しノズルとを設け、レジスト塗布が終わったウエハのオリエンテ−ションフラット部を、レジスト除去液供給ノズルとエア吹き出しノズルが設けてある位置に正しく止めた後、レジスト除去液供給ノズルから溶剤を、またエア吹き出しノズルからはエアを吹き出させてウエハのフラット部に沿って直線運動させることによりレジストを溶解除去するもので、直線運動の終って液及びエアの吹き出しが終わると共にウエハは回転して剥離したレジストを除去するものである。」（第８頁第１８行〜第９頁第１０行）                    
（３−５）「第１図は本考案にかゝるレジスト塗布装置の平面図Ａと側面図Ｂである。同図において、ウエハ１は従来のようにモータ２の回転軸上に設けてある真空チャック３により固定されており、」（第９頁第１２〜１６行）
（３−６）基板１がチャック３により水平に保持され、エア供給ノズルが基板の中央側に、レジスト除去液供給ノズルが基板の端縁側にそれぞれは位置している様子を示す図（平面図Ｂ）、移動機構によりエア供給ノズル及びレジスト除去液供給ノズルが移動することを示す図（平面図Ａ）
４．対比判断
４−１．訂正発明１について
（１）刊行物１記載の発明
　刊行物１には、その先端部が開口部を有し、基板の周縁部の上面及び下面に対向して配置され、基板上に溶剤を供給する第１及び第２の管と、これらの２つの管の間の間隙部で基板端部の延長上に上記第１、第２の管に接続配置された溶剤を排出するための第３の管とから構成された、レジストを塗布された基板の端部の塗布膜を除去するための「基板端部の塗布膜除去装置」が記載されている。
　そして、刊行物１記載の装置は上記の構成を備えることにより、溶剤の飛散や溶解したレジストのはね返りを生ずることなく塗布膜を除去することができるという効果を奏するものである。
（２）訂正発明１と刊行物１記載の発明との対比
（２−１）一致点
　刊行物１の「基板端部の塗布膜除去装置」は、基板端縁のレジストを溶剤によって洗浄除去するものであるから、訂正発明１の「基板端縁洗浄装置」に相当する。
　刊行物１には、基板に関して、「矩形等の円形以外の基板であっても同様にして全周にわたって端部の塗布膜の除去が可能である。」（前記「II−２．３(1)(１−８）」）との記載があり、「矩形」は「角型」を意味するから、刊行物１記載の発明における「矩形基板」は訂正発明１の「角型基板」に相当する。
　刊行物１記載の発明における「第１の管」又は「第２の管」は、溶剤を吐出するものと認められるから、これは訂正発明１の「溶剤ノズル」に相当する。
　刊行物１記載のものにおける第３の管及びそれに連結された排気装置又はダクトは、角型基板の端縁に臨んで開口した排気口を備え、しかも、この排気口は、角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短く、第２の管に連結された排気装置又はダクトによって溶解物を排気するというものであるから、この第３の管は溶解物を排気口を介して吸引排出する「排気路形成部」ということができる。
　上述した点及び前記「II−２．３．(１)」での摘記事項を勘案すると、訂正発明と刊行物１記載の発明とは次の点で一致するものと認められる。
「回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、前記角型基板の端縁に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え、溶解物を前記排気口を介して吸引排出する排気路形成部材とを備えた基板端縁洗浄装置」
（２−２）相違点
　訂正発明１と刊行物１記載の発明とは次の点で相違する。
〈相違点Ａ〉
　訂正発明１が、「角型基板を水平姿勢で載置保持する基板保持手段」を備えているのに対し、刊行物１にはこの構成の点についての記載がない点。
〈相違点Ｂ〉
　訂正発明１が、「ガスを吐出して溶解物を前記角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズル」を備えているのに対し、刊行物１には、このような構成の点については記載がない点。
〈相違点Ｃ〉
  訂正発明１が、「溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを一体に支持し、かつ前記ガスノズルから吐出したガスが前記排気路形成部材の排気口に向かうように前記ガスノズルを前記排気路形成部材の排気口に対向して配置支持するとともに、前記溶剤ノズルが前記排気路形成部材の排気口と前記ガスノズルとの間に位置するように前記溶剤ノズルを配置支持する支持枠」を備えているのに対し、刊行物１にはこの構成の点については記載がない点。
〈相違点Ｄ〉
  訂正発明１が、「支持枠を介して一体化された前記溶剤ノズルと前記ガスノズルと前記排気路形成部材とを有し、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い洗浄具本体」を備えているのに対し、刊行物１にはこのような移動手段を設ける点については記載がない点。
〈相違点Ｅ〉
　訂正発明１が「洗浄具本体を、前記角型基板の端縁に沿わせて当該端縁の全幅にわたって直線移動する移動手段」を備えているのに対し、刊行物１にはこのような移動手段を設ける点については記載がない点。
（３）相違点についての検討
（３−１）相違点Ａについて
　刊行物１には基板を水平に保持して洗浄を行なうことが記載されている（前記「II−２．３．(１)（１−９）」参照）。
　そして、基板を水平に保持するために「水平姿勢で載置保持する基板保持手段」を使用することは刊行物３に記載されているように当業者が普通に行うことに過ぎない。
　従って、相違点Ａは格別のものではない。
（３−２）相違点Ｂについて
  刊行物１記載のものは、溶剤が基板の中心方向へ侵入することを防ぐことを目的としている（前記「II−２．３．（１）(１−３)、（１−８）」参照）。
  一方、刊行物３には、基板外周部に塗布されているのレジスト（これは本件訂正発明１における「薄膜」に相当する）をレジスト除去液供給ノズルから供給される溶剤によって除去する装置において、レジスト除去液供給ノズルに隣接してエア吹き出しノズルを設け、このエア吹き出しノズルからエアを吹き出させることによって、溶剤がウエハの中心方向へ侵入するのを防ぐことが記載されている。
  また、刊行物２には、基板の周縁部に塗布されているレジストを除去するための装置において、剥離液噴出手段とガス噴出手段とを設けて、ガス噴出手段からガスを基板の縁部方向に向かって噴出させることによって剥離液を基板の外方へ吹き飛ばして、剥離液が基板の中心方向へ侵入するのを防ぐことが記載されている。
  してみれば、刊行物１記載のものにおいても、溶剤が基板の中心方向へ侵入することを防ぐために、ガスを吐出して溶解物を基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルを備えることは刊行物３又は２の記載に基づいて当業者が容易に想到し得ることである。
　従って、相違点Ｂは格別のものではない。
（３−３）相違点Ｃについて
　刊行物１記載のものにおいては第３の管（排気路形成部）は、溶解物をその排気口から排出するために設けられているのであるから、ガスノズルを設ける場合には、溶解物が第３の管（排気路形成部材）の排気口に向かうようにすることは当業者が当然に志向するところであって、このために、ガスノズルを排気路形成部材の排気口に対向して配置することは当業者が当然なすべき設計的事項に過ぎない。
　また、刊行物３には、ガスノズルをレジスト除去液供給ノズルよりも基板の中心側に配置して、溶剤がウエハの中心方向へ侵入するのを防ぐことが、また、刊行物２には、ガス噴出手段を剥離液噴出手段よりも基板の中心側に配置して剥離液がウエハの中心方向へ侵入するのを防ぐことがそれぞれ記載されている。
　してみれば、刊行物１記載のものにおいても、ガスノズルを設けるに際しては、溶剤がウエハの中心方向へ侵入するのを防ぐためには、溶剤ノズルが排気路形成部材の排気口と前記ガスノズルとの間に位置するようにすることは刊行物３又は2の記載に基づいて当業者が容易に想到し得たことに過ぎない。
　更に、装置を構成する個々の部材を別体として設けるか一体化して設けるかは単なる設計的事項であって、刊行物１記載のものにおいてガスノズルを設ける場合においても、支持枠を備えて溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを一体化することも当業者が適宜なし得たことに過ぎない。
　従って、相違点Ｃは格別のものではない。
（３−４）相違点Ｄについて
  溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを一体化する点については上記「II−２．４−１．(３)．(３−３)」で述べた。
　また、刊行物１記載のものにおいても、第１、第２の管及び第３の管から構成されるものは「洗浄具本体」ということができ、これ自体が角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短いものであるから、これにガスノズルを設ける場合においても、ガスノズルは溶剤を排気路形成部材に向かって吹き飛ばせばよいのであるから，角型基板の端縁より短くて良いことは明らかであり、「ガスノズルを含んだ洗浄具本体」の長さを角型基板の端縁に沿った長さよりも短いものとすることは当然のことである。
　従って、相違点Ｄは格別のものではない。
（３−５）相違点Ｅについて
  刊行物３には、レジスト除去液供給ノズルとエア供給ノズルとを設けた移動機構を設け、移動機構が直線運動することによって、基板のオリエンテーションフラット部の端縁のレジストを除去することが記載されている。
　してみれば、刊行物１記載のものにおいても、矩形基板の端縁を洗浄するために、溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを角型基板の端縁に沿わせて当該端縁の全幅にわたって直線移動する直線移動させるための備えて有する洗浄具本体を、角型基板の端縁に沿わせて当該端縁の全幅にわたって直線移動する移動手段を設けることは格別のことではない。
　従って、相違点Ｅは格別のものではない。
　そして、訂正発明１が相違点Ａ〜Ｅに係る構成を備えることによって奏される効果も当業者が予測し得る範囲内のものである。
（４）まとめ
　従って、訂正発明１は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願に際して独立して特許を受けることができないものである。
４−２．訂正発明２について
　訂正発明２は、訂正発明１の構成において、「前記溶剤ノズルが、前記角型基板の端縁の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解するものである」点を限定したものであるが、溶剤ノズルを角型基板の端縁の表裏両面に配置する点は刊行物１に記載されており、この構成の点は刊行物１記載の発明との対比においては相違点とはならない。
　そうすると、訂正発明２と刊行物１記載の発明とを対比すると、その相違点は訂正発明１について述べたと同一のものであり、これらの相違点が格別のものでないことは既に述べたところであって、訂正発明２も、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許出願に際して独立して特許を受けることができないものである。
５．特許権者の主張について
（１）平成１１年８月２３日付特許異議意見書における特許権者の主張
（1−1）刊行物１に関して、溶解されたレジストを「外方に吹き飛ばす」という作用は、第１、第２の管と第３の管との協同によっては得られない。刊行物１は、溶解されたレジストを第３の管により単に吸引排出しているに過ぎない。その結果、基板に供給された溶剤が内側に侵入するのを防止するために、処理中に基板を回転させなければならない。                  
（1−2)本件訂正発明１、２の「支持枠」は、「溶剤ノズル」「ガスノズル」「排気路形成部材」の３部材を一体に、かつ特定の位置関係で配置支持するものであり、かかる「支持枠」を刊行物１は開示していない。          （1−3）本件訂正発明１、２にいう「排気路形成部材の排気口」は、「排気路形成部材」によって形成された排気路の開口端である。したがって、本件訂正発明１、２にいう「排気路形成部材の排気口」に相当するのは、刊行物２における「スリット１０２」である。してみれば、刊行物２は、角型基板の内側から「スリット１０２」「ガスノズル(ガス噴出手段２０)」「溶剤ノズル(剥離液噴出手段１４」の順に配置されており、本件訂正発明１、２におけるノズル配置とは異なる。また、刊行物２の「スリット１０２」およびこれに連なる排気路は角型基板の端縁よりも大きいので、本件訂正発明１、２のように、角型基板の端縁部分に「極めて高速で乱れのないスムースな気流」を生成するのは困難である。            
（1−4）刊行物３のものは、エアと溶剤を吹き出してレジストを溶解するだけで　あるので、溶解されたレジストの除去が不十分であり、その結果、レジストの溶解の後に基板を回転させてレジストを除去しなければならない。  
（1−5）刊行物1〜刊行物３には、本件訂正発明１、２の主たる特徴、すなわち「角型基板の端縁に望んで開口した排気路形成部材の短い長さの排気口にガスノズルを対向配置して、ガスノズルから排気口に向けてガスを噴出することにより、角型基板の端縁部分に極めて高速で乱れのないスムースな気流を生成し、この気流に溶剤を乗せて角型基板の端縁部分に作用させて角型基板の端縁のレジストを溶解除去しかつ溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材の３部材を支持枠に一体化した洗浄具本体を角型基板の端縁の全幅にわたって直線移動する」という技術思想も、具体的に本件訂正発明1,2の特許請求の範囲に記載した「角型基板の端緑に臨んで開口した排気口であって、かつ前記角型基板の端縁に沿った長さが当該端縁の長さよりも短い排気口を備え、前記ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物を前記排気口を介して吸引排出する排気路形成部材」、「前記溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを一体に支持し、かつ前記ガスノズルから吐出したガスが前記排気路形成部材の排気口に向かうように前記ガスノズルを前記排気路形成部材の排気口に対向して配置支持するとともに前記溶剤ノズルが前記排気路形成部材の排気口と前記ガスノズルとの間に位置するように前記溶剤ノズルを配置支持する支持枠」、「前記溶剤ノズルとガスノズルと排気路形成部材とを有する洗浄具本体を、前記角型基板の端緑に沿わせて当該端緑の全幅にわたって直線移動する移動手段」という構成要件も何ら開示も示唆もされていない。しかも、本件訂正発明１、２によれば、刊行物1のように処理中に角型基板を回転させる必要がなく、また、刊行物２のように装置が大型化することなく、レジストを円滑に溶解除去することができ、さらに、刊行物3のようにレジスト溶解後に基板を回転させてレジストを除去する必要もない。
（２）上記特許権者の主張についての判断
（２−１）前記（１−１）の主張について
  この点については、前記「II−２．４−１．(３)(３−２)」で述べたとおりである。
（２−２）前記（１−２）の主張について
  この点については、前記「II−２．４−１．(３)(３−３)」で述べたとおりである。
（２−３）前記（１−３）の主張について
　この点については、前記「II−２．４−１．(３)(３−３)」で述べたとおりである。
  付言するに、特許権者は、刊行物２に記載のものが、角型基板の内側から「スリット１０２」「ガスノズル(ガス噴出手段２０)」「溶剤ノズル(剥離液噴出手段１４」の順に配置されており、この「スリット１０２」は訂正発明１における「排気口」に相当するのであるから、それらの配置は訂正発明１における配置とは異なる旨主張している。
　しかるに、訂正発明１と刊行物１との対比においては、第１，第２の管（溶剤ノズル）は基板の中央側に、第３の管（排気路形成部）は基板の端縁側に配置されているのであり、溶剤ノズルと排気路形成部との配置関係については相違点とはならない。
  そして、刊行物１記載のものは、溶剤が基板の中央方向へ侵入することを防ぐことを目的としている（前記「II−２．３．(１)（１−３）、（１−８）」参照）のであり、他方、刊行物３には、ガスノズルをレジスト除去液供給ノズルよりも基板の中央側に配置して、溶剤がウエハの中央方向へ侵入するのを防ぐことが、また、刊行物２には、ガス噴出手段を剥離液噴出手段よりも基板の中央側に配置して剥離液がウエハの中央方向へ侵入するのを防ぐことがそれぞれ記載されていることを勘案すれば、刊行物１記載のものにおいても、ガスノズルを設けるに際しては、溶剤がウエハの中央方向へ侵入するのを防ぐためには、溶剤ノズルが排気路形成部材の排気口と前記ガスノズルとの間に位置するようにすることは刊行物３の記載に基づいて当業者が容易に想到し得たことに過ぎないとせざるを得ない。
（２−４）前記（１−４）の主張について
  この点については、前記「II−２．４−１．（３）(３−２)」で述べたとおりである。
（２−５）前記（１−５）の主張について
  刊行物１〜３のそれぞれには、本件訂正発明１、２が備える構成を全て備えたものは記載されてはいない。
　しかるに、訂正発明１と刊行物１記載の発明と対比して前記「II−２．４−１．(２)(２−２)」で抽出した相違点Ａ〜Ｅはいずれも格別のものではなく、刊行物２、３に記載された事項に基づいて当業者が容易に想到し得たものであり、訂正発明１、２がこれらの相違点に係る構成を備えることによって奏される効果も当業者が容易に予測し得るものであることは既述したとおりである。
６．訂正の認否
　以上の通りであるから、本件訂正は特許法第１２０条の４第３項で準用する同第１２６条第４項の規定に適合しないので、当該訂正は認められない。
III．特許異議の申立てについて
１．本件発明
　訂正が認められないことより、本件特許の請求項１、２に係る発明は、願書に添付した明細書の特許請求の範囲に記載された次のとおりのものである。
「【請求項１】 回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板を載置保持する基板保持手段と、その基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面の少なくともいずれか一方に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、ガスを吐出して溶解物を前記角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズルと、前記ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物を吸引排出する吸引手段と、前記溶剤ノズルとガスノズルと吸引手段を、前記角型基板の端縁に沿わせて相対的に直線移動する移動手段と、を備えた基板端縁洗浄装置。
【請求項２】 前記溶剤ノズルが、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解するものである請求項１に記載の基板端縁洗浄装置。」（以下、請求項１、２に係る発明を「本件発明１」及び「本件発明２」という。）
２．取消理由（平成１0年６月11日付取消理由通知）の概要
　本件発明１、２は、本件特許に係る出願前に国内で頒布された下記の刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１、２の特許は特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであり、取り消されるべきである。
（１）特開昭６４−６１９１７号公報（以下、「刊行物１」という。）
（２）特開昭６３−５８８３１号公報（以下、「刊行物２」という。）
（３）実願平２−２１７３６号（実開平３−１１２９２８号）のマイクロフィルム（以下、「刊行物３」という。）
３．引用例の記載事項
  上記刊行物１〜３には、前記「II−２．３」で摘記したとおりの事項が記載されている。
４．対比・判断
４−１．本件発明１について
（１）刊行物１記載の発明との対比
（１−１）一致点
　上記「II−２．４−１．.(２)(２−１)」での認定事項及び刊行物１記載のものにおける第３の管は「溶解物を吸引排出する吸引手段」であるといえることをそれぞれ勘案すると、刊行物１には次の発明が記載されているとすることができる。
「回転塗布によって表面に薄膜が形成された角型基板の端縁の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解する溶剤ノズルと、溶解物を吸引排出する吸引手段とを備えた基板端縁洗浄装置」
（１−２）相違点
　本件発明１と刊行物１記載の発明とは次の点で相違する。
〈相違点ａ〉
　本件発明１が、「角型基板を載置保持する基板保持手段」を備えているのに対し、刊行物１にはこの構成の点についての記載がない点。
〈相違点ｂ〉
　本件発明１が、「ガスを吐出して溶解物を前記角型基板の端縁よりも外方に吹き飛ばすガスノズル」を備えているのに対し、刊行物１には、このような構成の点については記載がない点。
〈相違点ｃ〉
  本件発明１が、「ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物を吸引排出する吸引手段」を備えているのに対し、刊行物１には、このような構成の点については記載がない点。
〈相違点ｄ〉
  本件発明１が、「溶剤ノズルとガスノズルと吸引手段を、前記角型基板の端縁に沿わせて相対的に直線移動する移動手段」を備えているのに対し、刊行物１にはこのような移動手段を設ける点については記載がない点。
（２）相違点についての検討
（２−１）相違点ａについて
　この点については前記「II−２．４−１．(３)(３−１)」で述べたとおりであり、相違点ａは格別のものではない。
（２−２）相違点ｂについて
　この点については前記「II−２．４−１．(３)(３−２)」で述べたとおりであり、相違点ｂは格別のものではない。
（２−３）相違点ｃついて
　刊行物１記載のものは、ガス吸引手段（第2の管及びそれに連結された排気装置又はダクト）を備えているが、刊行物１記載のもの自体はガスノズルを備えていないため、このガス吸引手段は「ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物を吸引排出する」という作用を有するものとしては開示されているものではない。
　しかしながら、上記相違点ｂについて述べたとおり、刊行物１記載のものにおいてガスノズルを更に設ける点は格別のことではなく、また、ガスノズルを設けた場合には、刊行物１記載のものにおける吸引手段はその目的からして、溶剤や溶解物のみならず当然に「ガスノズルから吐出されたガス」も吸引排出することになるか、吸引手段を「ガスノズルから吐出されたガス及びそのガスによって吹き飛ばされた溶解物」を吸引排出するように配置することは当業者が当然に志向するところに過ぎない。
　従って、相違点ｃは格別のものではない。
（２−４）相違点ｄについて
  この点については、上記「II−２．４−１．(３)(３−５)」で述べたとおりである。
（４）まとめ
　上記のとおりであるから、本件発明１は、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
４−２．本件発明２について
　本件発明２は、本件発明１の構成において、「前記「溶剤」ノズルが、前記基板保持手段によって保持された前記角型基板の端縁の表裏両面に溶剤を吐出して不要薄膜を溶解するものである」点を限定したものであるが、この構成の点が刊行物１記載の発明との対比においては相違点とはならないことは、前記「II−２．４−２」で述べた。
　そうすると、本件発明２と刊行物１記載の発明とを対比すると、その相違点は本件発明１について述べたと同一のものであり、これらの相違点が格別のものでないことは既に述べたところであって、本件発明２も、刊行物１〜３に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本件発明１についての特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
５．むすび
　上記のとおりであるから、本件発明１、２についての特許は、特許法第１１３条第２号に該当し、取り消されるべきものである。
　　　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年３月６日（２０００．３．６）