【事件の表示】
　特許第２８３６０４０号「物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置」の請求項１ないし５に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８３６０４０号の請求項１ないし５に係る特許を維持する。
【理　由】
（１）手続きの経緯
　本件特許第２８３６０４０号に係る出願は、１９９４年７月１３日（パリ条約による優先権主張１９９３年７月１６日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成１０年１０月９日に設定登録がされた後、平成１１年６月１４日付けで特許異議申立人・高橋友之輔より全請求項である請求項１〜５に係る特許に対して異議申立がなされ、その後、平成１１年１１月２９日付けで取消理由が通知され、平成１２年５月３１日付けで訂正請求がなされたものである。
　
（２）訂正の適否についての判断
イ、本件特許に係る補正後の訂正は、願書に添付した明細書又は図面（以下、「特許明細書」という。）の特許請求の範囲の請求項３について、以下のとおり訂正しようとするものである。
「【請求項３】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。」
を、
「【請求項３】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から
前記取付部材に衝突することなく
と訂正する。
　
ロ、訂正の目的の適否及び拡張・変更の存否
　上記訂正により請求項３に加入された、
「メガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から
前記取付部材に衝突することなく
は、特許明細書の第６頁第８〜１１頁に記載されていた事項であるから、特許明細書に記載されている範囲内においてした訂正であると認められる。
　そして、この訂正は、上記の点を請求項３に追加して技術的な限定をしたものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的としたものであり、メガソニックエネルギーの集束ビームを洗浄エネルギーとして有効に用いるという技術的課題に変更が生じるものでないから、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
ハ、独立特許要件の判断
［訂正発明］
　訂正明細書及び図面の記載からみて、訂正後の発明（以下、「訂正発明」という。）は、次のとおりのものである。
【請求項１】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギ一の集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列されていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
【請求項２】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、複数種類の異なる流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列されていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
【請求項３】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から前記取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
【請求項４】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から該容器の壁にも前記取付部材にも衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
【請求項５】主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）第１端と、第２端と、該第１端と第２端の間に延長し相互に連結された４つの壁を有し、前記複数個の物体を受容し、洗浄流体を受容するための該４つの壁の内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
（ｂ）前記物体に係合してそれらの物体を前記キャビテイ内に支持するために前記壁のうちの１つの壁の内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した第１取付部材と、
（ｃ）前記物体に係合し前記第１取付部材と協同してそれらの物体を前記キャビテイ内に支持するために前記壁のうちの他の１つの壁の内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した第２取付部材と、
（ｄ）前記１つの壁の内表面の外側で該壁に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記物体の主平面にほぼ平行に前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの第１配列体と、
（ｅ）前記他の１つの壁の内表面の外側で該壁に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記物体の主平面にほぼ平行に前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの第２配列体と、
から成り、前記第１配列体のトランスジューサは、それらから発出されたビームが前記１つの壁の内表面から前記第１取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該１つの壁に取り付けられており、前記第２配列体のトランスジューサは、それらから発出されたビームが前記他の１つの壁の内表面から前記第２取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該他の１つの壁に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
　
［刊行物記載の発明］
　これに対して、本件特許に係る出願の出願日前に頒布された以下の刊行物イ、ロ、ハ、ニ、ホには、それぞれ以下のとおりの事項が記載してある。
・刊行物イ（特開平５−１３３９７号公報。特許異議申立人の提示した甲第１号証及び取消理由通知で引用した刊行物１に同じ。）；
「外表面及び主平面を有する複数個の半導体ウエハ６を洗浄するための超音波洗浄装置であって、
　前記複数個の半導体ウエハＵを受容し、流体を受容するための内表面によって画定された洗浄室４を有するカセット無し洗浄容器１と、
　半導体ウエハＵに係合して洗浄室４内に支持するための洗浄容器１の内表面から内方に突出した二つの互いに隔離した取り付け部材６と、
　該洗浄容器１の内表面の外側で該洗浄容器１に取り付けられた、各々超音波エネルギ一の集束ビームを前記洗浄室４内へ発出する複数の超音波発振器１６の配列体とから成り、該複数の超音波発振器１６は、それらから発出されたビームが、前記半導体ウエハ６の主平面にほぼ平行に延長して配列されている点と、
　各超音波発振器１６は、それから発出された超音波の集束ビームが、洗浄室４の内表面から直接半導体ウエハＵに向けられるように該洗浄室４に取り付けられている、
超音波洗浄装置。」
・刊行物ロ（特開昭６４−１８２２９号公報。特許異議申立人の提示した甲第２号証及び取消理由通知で引用した刊行物２に同じ。）；
「外表面及び主平面を有する複数個の半導体ウエハ６を洗浄するための極超音波洗浄装置であって、
　前記複数個の半導体ウエハ６を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された洗浄室を有する洗浄槽１１と、
　該洗浄槽１１の内表面の外側で該洗浄槽１１に取り付けられた、極超音波エネルギ一の集束ビームを前記洗浄室４内へ発出する極超音波発振器５を有する極超音波洗浄装置。」（第１頁右下欄、第５図参照。）
・刊行物ハ（半導体製造装置用語辞典［第２版］日刊工業新聞社発行、日本半導体製造装置協会編、１９９１年９月２８日発行、第１９９，３８２〜３８３頁。特許異議申立人の提示した甲第３号証に同じ。）；
「８５０ｋＨｚから１ＭＨｚの超音波を液槽中に照射し、大きな振動加速度による洗浄作用を得るメガヘルツ超音波洗浄装置。」
・刊行物ニ（特開昭６１−２９５６２２号公報。特許異議申立人の提示した甲第５号証及び取消理由通知で引用した刊行物３に同じ。）；
「ウエハを高温硫酸、超純粋水、弗化水素酸エッチ液、超純粋すすぎ水、および乾燥剤に順次接触させることが出来る半導体ウエハを流体流で処理するための処理装置。」
・刊行物ホ（特開平５−１０２１１９号公報。特許異議申立人の提示した甲第６号証に同じ。）；
「外表面及び主平面を有する複数個の被洗浄基板４を洗浄するための超音波洗浄装置であって、
　前記複数個の被洗浄基板４を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された洗浄室を有する内槽２と、
　該内槽２の内表面の外側で超音波伝達媒体８を介して外槽９に取り付けられた、各々超音波エネルギ一の集束ビームを前記内槽２内へ発出する複数の超音波発振器７の配列体とから成り、該複数の超音波発振器７は、それらから発出されたビームが、前記被洗浄基板４の主平面にほぼ平行に延長して配列されている超音波洗浄装置。」
　
［訂正発明と刊行物記載の発明との対比・判断］
ａ）請求項１に係る発明について、
　請求項１に係る発明と刊行物イ記載の発明とを、当業者において対応が明らかな構成要件を本件発明に係る構成要件の名称で読み替えて対比してみると、両者は、
「外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々超音波エネルギ一の集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数の超音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長するように配列されている洗浄装置。」
である点で一致し、
Ａ，請求項１に係る発明が、「メガソニック洗浄装置」であって、特許明細書の記載によれば洗浄のための振動周波数が６２５ｋＨｚのものであるのに対し、
刊行物イ記載のものは「超音波洗浄装置」であって、通常は振動周波数が２０ｋＨｚ程度のものである点。（以下、「相違点Ａ」という。）
Ｂ，請求項１に係る発明が、
「複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列されている」
ものであるのに対し、
刊行物イ記載のものは、
「複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長するように配列されている」
ものである点。（以下、「相違点Ｂ」という。）
で相違している。
　そこで、これらの相違点について検討すると、相違点Ａについては、上記刊行物ロに０．８ＭＨｚから１ＭＨｚの振動周波数をもつ極超音波を用いた洗浄装置が記載され、また、刊行物ハに８５０ｋＨｚから１ＭＨｚの振動周波数をもつ超音波を用いたメガヘルツ超音波洗浄装置と称する極超音波を用いた洗浄装置が記載されている。
　そして、これらは、振動周波数に差違はあるものの実質的に本件発明に係るメガソニック洗浄装置と等価のものであり、刊行物イ記載の超音波洗浄装置に、同一の目的（洗浄）のために刊行物ロ、ハ記載のメガソニック領域の振動周波数のトランスジューサを適用することには困難はなく、結局、相違点Ａは格別の相違ではない。
　相違点Ｂについては、請求項１に係る発明は、「ビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように」複数のトランスジューサを配列しており、この配列により一つのトランスジューサーから発したビームは、メガソニック領域の振動周波数のために通常の超音波より高い直進性をもって直進し洗浄作用を行うとともに、上記一つのビームに隣り合う部分は上記一つのトランスジューサーに隣り合う他のトランスジューサーから発するビームが洗浄作用を行うものである。
　そして、複数のトランスジューサーから発出されたビームが集合して物体の全表面を包むようにされているものであって、隣り合うビームは、意図的に、互いに重なり合わさることがないよう構成されているものである。
　これに対して、刊行物イに記載された発明においては、トランスジューサー（高周波発振器１６。上述のとおり、当業者において対応が明らかな構成要件は本件発明に係る構成要件の名称で読み替える。以下同じ。）から発したビームは物体の主平面にほぼ平行に延長しているが、それらのビームが集合してはじめて各物体の全外表面を包むように構成されたものではない。
　すなわち、刊行物イに記載された発明におけるビームは集合してはじめて各物体の全外表面を包むものではなく、その図１からみるとビームはかなりの部分で対向面のトランスジューサーから発せられるビームと重なり合うものであって、重畳して物体の全外表面を包むようにされているものである。
　ここで、超音波はその振動周波数が大きいほど水中の洗浄対象に対する効果は高いものの水中伝播の直進性が高くなり、対向するビームの相互の干渉による影響が予想されるところ、請求項１に係る発明においては、メガソニック領域でのビームに対して相互の干渉が可及的に少なくなる構成とされているのに対し、刊行物イに記載された発明は、超音波のビームは重なり合うものであって、トランスジューサーの請求項１に係る発明のような配置については記載も示唆するところもない。
　また、トランスジューサーの上記の配置については、刊行物ロないしホにも何ら記載ないし示唆するところがない。
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明は、刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ｂ）請求項２に係る発明について、
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明と対比すると、請求項１に係る発明が構成要件として、
「複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティ」
を有しているのに対して、請求項２に係る発明は構成要件として、
「複数個の物体を受容し、複数種類の異なる流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティ」
を有している点で相違し、その余に相違はない。
　そして、請求項２に係る発明が、
「複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長するように配列されている」
点を構成要件としている点においては請求項１に係る発明と同じであり、この点（トランスジューサーの配列）に関しては、キャビティに複数種類の異なる流体を受容するという限定が発明に格別の差違を生じさせるものでもないと認められるから、上記ａ）に述べた理由と同じ理由により、請求項２に係る発明は、刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ｃ）請求項３に係る発明について、
　請求項３に係る発明と刊行物イ記載の発明とを対比してみると、両者は、
「外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々超音波の集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数の超音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出された超音波エネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられている洗浄装置。」
である点で一致し、
Ｃ，請求項３に係る発明が、「メガソニック洗浄装置」であって、特許明細書の記載によれば洗浄のための振動周波数が６２５ｋＨｚのものであるのに対し、
刊行物イ記載のものは「超音波洗浄装置」であって、通常は振動周波数が２０ｋＨｚ程度のものと考えられるものである点。（以下、「相違点Ｃ」という。）
Ｄ，請求項３に係る発明が、
「各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から前記取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられている」
のに対し、
刊行物イ記載のものは、
「各トランスジューサは、それから発出された超音波エネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられている」
ものである点。（以下、「相違点Ｄ」という。）
で相違している。
　そこで、これらの相違点について検討すると、相違点Ｃについては、上記ａ）において検討した請求項１に係る発明と刊行物イとの相違点Ａと実質的に相違がなく、したがって、相違点Ａの場合と同じ理由で相違点Ｃは格別の相違とは認められない。
　相違点Ｄについては、請求項３に係る発明にあっては、トランスジューサー３０，３２と取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃとは集束ビームの進行方向に関して互いに位置がずらされ干渉しないように、すなわち、「集束ビームが、該容器の内表面から取付部材に衝突することなく直接物体に向けられるように」各トランスジューサーが容器に取り付けられている。
　そして、超音波はその振動周波数が大きいほど水中の洗浄対象に対する効果は高いものの水中伝播の直進性が高く、かつ、障害となるものの陰の部分に回り込む回折現象が起こりにくいものであるから、取付部材の陰となる部分では洗浄効果が十分でなくなると認められるところ、請求項３に係る発明は取付部材の陰となる部分をなくしているのに対し、刊行物イ記載の発明においては、その図１，２からみて、２つの取付部材６，６とトランスジューサー１６との間に係る配慮はされておらず、その他に記載にも係る配慮について示唆するところはない。（なお、請求項３に係る発明を図示するものと認められる本件明細書の第１図においては、取付部材２６ｂはトランスジューサー３２から発するビームが衝突する位置にあるかのようにみえるが、明細書（請求項３）の記載からみてこれは単に第１図の記載が正確でないだけにすぎない。）
　また、超音波のビームに陰となる部分が生じないようにすることは一見単なる設計事項とも考えられるが、メガソニック領域ではない通常の超音波領域では、刊行物イに示されるような構造でも、回折現象により事実上洗浄に支障がないと認められるから、超音波のビームに陰となる部分が生じないようにするという課題自体が容易に想到できるものとする根拠もない。
　さらに、刊行物ロ、ハ、ニには、明らかに請求項３に係る発明の、
「集束ビームが、該容器の内表面から取付部材に衝突することなく直接物体に向けられるように」各トランスジューサーが容器に取り付けられている点については何ら記載がない。
　刊行物ホには、その図７からみて一応集束ビームに陰となる部分が生じないように取付部材を配置する点が記載されているが、集束ビームは取付部材に距離を置いてではあるが衝突してしまう配置とされており、集束ビームの通過する幅の範囲外に取付部材を配置するようなことは記載がない。
　しかも、刊行物ホ記載の発明は超音波伝達媒体８を介して外槽９に超音波発振器７ａ，７ｂを高さ方向で同じ位置に配置しており、容器に直接トランスジューサーを取り付けた請求項３に係る発明とは基本的構成が異なり、さらに、取付部材も容器の内表面に直接設けられたものでもない。
　したがって、刊行物ホ記載の発明は、回折現象による超音波の回り込みが期待できないメガソニック洗浄装置である請求項３に係る発明の、
「各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から前記取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられている」
点について示唆を与えるものとすることは出来ない。
　以上のとおりであるから、請求項３に係る発明は、刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ｄ）請求項４に係る発明について、
　請求項４に係る発明は、請求項３に係る発明と対比すると、請求項３に係る発明が構成要件として、
「各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から前記取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられている」
点を有しているのに対して、請求項４に係る発明は構成要件として、
「各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から該容器の壁にも前記取付部材にも衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていること」
を有している点で相違し、その余に相違はない。
　したがって、請求項３に係る発明と、請求項４に係る発明とは、集束ビームが、「容器の壁にも」衝突することなく照射される点でのみ相違しているもので、この限定が有ることで、「集束ビームが、該容器の内表面から取付部材に衝突することなく直接物体に向けられるように」各トランスジューサーが容器に取り付けられている点に基づく作用効果に格別の別異の技術的意義が生じるものではないから、上記ｃ）で検討した理由と同じ理由により、請求項４に係る発明は、刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ｅ）請求項５に係る発明について、
　請求項５に係る発明は、上記［訂正発明］の項で認定したとおりのものであって、実質的に、（ａ）においてキャビティの構造を、（ｂ）において取付部材の一つの取付位置を、（ｃ）において他の取付部材の取付位置を、（ｄ）においてキャビティの一つの面のトランスジューサーの配置を、（ｅ）においてキャビティの対向する他の面のトランスジューサーの配置を、それぞれ限定するとともに、トランスジューサーと取付部材との相互関係を限定したものであって、請求項３に係る発明をより具体的な構造に限定したものである。
　そして、請求項３に係る発明が、上記ｃ）で検討したように刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない以上、さらに技術的限定を加えた請求項５に係る発明を、刊行物イないしホに記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものと認めることはできない。
　
ニ、訂正の適否についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件に係る訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書き各号に掲げる事項を目的とするものであり、同法同条第３項で準用する平成６年改正前の特許法第１２６条第２〜３項の規定に適合するので、当該訂正請求を認める。
　
（３）特許異議申立についての判断
イ、申立の理由の概要
　特許異議申立人・高橋友之輔は、本件特許に係る出願の日前に頒布された刊行物である甲第１〜３、５、６号証（上記刊行物イ〜ホに同じ。）及び甲第３号証の記載を説明するための本件特許に係る出願の日の後に頒布された刊行物である甲第４号証を提示し、請求項１〜５に係る特許は、甲第１号証記載の発明に甲第２，３，５，６号証に記載の発明を適用することにより当業者が容易に発明をすることができたものであるから、当該特許は取り消されるべき旨主張している。
ロ、判断
　しかしながら、特許明細書に係る発明は、上記（２）のとおりの理由で訂正が認められ、当該訂正発明は上記（２）ハで検討したように、甲第１〜３、５、６号証（上記刊行物イ〜ホに同じ。）記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとは認められない。
　さらに、他に訂正発明に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月３１日（２０００．８．３１）
【訂正の要旨】
特許請求の範囲の請求項３について、以下のとおり訂正する。
「【請求項３】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。」
を、
「【請求項３】外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビテイを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビテイ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から
前記取付部材に衝突することなく
と訂正。
（５４）【発明の名称】
物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置
【発明の詳細な説明】
技術分野
　本発明は、高度の清浄度を要する物体を浄化するため装置に関し、特に、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」とも称する）等を洗浄するために洗浄液に高周波エネルギーをかける静止型メガソニック（高周波音波又は超音波による）洗浄装置に関する。
技術背景
　半導体ウエハ等を洗浄するためのメガソニック洗浄装置は、高周波音波発生トランスジューサからのメガソニックエネルギーを用いてある種の洗浄薬剤液（以下、「洗浄溶液」又は単に「洗浄液」とも称する）中へ振動エネルギービーム（以下、「振動ビーム」、「エネルギービーム」、又は単に「ビーム」とも称する）を伝播させる。メガソニックトランスジューサ（高周波音波発生トランスジューサ）は、ウエハのすべての処理工程中、集束された（焦点合わせされた）ビームを発生してウエハの表面に高剪断力を創生し、半導体ウエハの表面から異物粒子を除去するのを助成する。このエネルギーのビームは、又、有機表面膜、イオン不純物及びその他の多くの汚染物をも除去する。
　半導体ウエハのための従来の洗浄装置としては、洗浄液を入れた洗浄容器の底部にメガソニックトランスジューサを設置するタイプのものがある。このタイプの洗浄装置では、洗浄容器内に複数の基板ウエハ（回路基板を構成するウエハ）を互いに平行に間隔を置いてセットホルダーに載せて保持する。メガソニックトランスジューサのビームはウエハに作用するにはカセットホルダーを透過しなければならないので、伝送されたエネルギーがホルダーによって散逸される。従って、ウエハの表面に伝送されるエネルギーの量がカセットホルダーによって減少される。しかも、このトランスジューサビームは、ウエハの全表面をカバーせず、ある区域ではウエハ同志を部分的にオーバーラップした状態でビームを投射するので、異物粒子が完全には除去されない。
　この種の従来の洗浄装置に類似した装置として、各ウエハの表面のメガソニックエネルギーへの露出を増大するためにカセットホルダーを洗浄容器内で移動させるようにした装置がある。その場合、ホルダーを洗浄容器内で移動させるための移動装置と共に、ホルダーの移動速度及び継続時間を制御するための制御器も必要とされる。移動装置も、制御器も、洗浄装置のコストを相当に増大させることはいうまでもない。更に、洗浄容器は、ホルダーの移動を受け入れるのに十分な大きさとしなければならないので、容器のコストが嵩むばかりでなく、より重要なことは、容器内に入れなければならない洗浄液の量が増えることである。
　更に別の従来技術のメガソニック洗浄装置として、単一の基板ウエハ（以下、単に「ウエハ」又は「基板」とも称する）を処理するために特別に設計されたモジュールを用いるタイプのものがある。このモジュールは、基板ウエハを洗浄溶液に浸漬した状態に維持するために基板の寸法に合わせたサイズの基板収容チャンバーを有する。高周波音波発生トランスジューサが、洗浄液を超音波周波数で振動させるために基板収容チャンバーの外部に設置されている。基板収容チャンバーは、使用される洗浄液に対して不活性のＦＥＰテフロンのような素材で形成されたメンブレンを備えている。単一のウエハがその周縁を支持部材によってチャンバー内に支持され、支持部材とウエハとの表面接触を最小限にし、ウエハの表面を洗浄液及び音波に露出させるようにする。
　しかしながら、このタイプのメガソニック洗浄装置の第１の欠点は、１回に１つだけの基板ウエハを処理するためにモジュールを特別に設計しなければならないことである。複数個の基板ウエハを同時に処理するには、複数の個別モジュールを単一の処理装置内に組み込まなければならないが、そうすると、装置が複雑になり、コスト高となるばかりでなく、処理工程の数も消費時間も増大する。第２の欠点は、トランスジューサが上記支持部材を透過させてエネルギービームを伝送しなければならないことである。その結果、伝送されたエネルギーが散逸され、従って、エネルギービームの洗浄効率を低下させる。
　本発明は、複数個の基板ウエハを同時に処理することができるメガソニック洗浄装置を提供することによって上述した従来の各洗浄装置に随伴する欠点の多くを克服する。本発明のメガソニック洗浄装置は、カセットを用いることなく、複数個の基板ウエハと１種類又は複数種類の標準洗浄溶液を収容するための内部キャビティを画定する容器を用いる。それらのウエハは、表面接触を最小限にし、ウエハのすべての表面を洗浄液及び音波にする露出させるような態様に取付部材によって容器内に支持する。幾つかのメガソニック（高周波）音波発生トランスジューサを容器の外部の周りに設置する。これらのトランスジューサは、トランスジューサビームが取付部材を透過して伝送されることがないように容器の両側に互い違いに配置し、それによって、トランスジューサからのエネルギーが間に介入する構造物により散逸されることなく、複数のトランスジューサからの伝送ビームが集合して各ウエハの全表面を包む（カバーする）ようにする。
発明の概要
　本発明は、外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置に関する。（被洗浄物体が例えば円板状であるとすれば、円板の円の全面を画定する表面を「大表面」と称し、円周側面を「小表面」と称することができる。ここでいう物体の「主平面」とは、「大表面」によって画定される平面のことである。）
　基本的には、本発明のメガソニック洗浄装置は、前記複数個の物体を受容し、洗浄流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビーム（焦点合わせされた集中ビーム）を前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とで構成し、複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列する。
　本発明のメガソニック洗浄装置は、又、複数個の物体と複数種類の異なる流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とで構成することができ、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列する。
　あるいは又、本発明のメガソニック洗浄装置は、複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とで構成することができ、各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から前記取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付ける。
　
図面の簡単な説明
　本発明の上記及びその他の目的並びに特徴、及びそれらを達成する態様は、以下に添付図を参照して述べる本発明の実施形態の説明から一層明かになろう。
　図１は、本発明による静止型メガソニック洗浄装置の一部断面による側面図である。
　図２は、図１の線２−２に沿ってみた静止型メガソニック洗浄装置の断面図である。
　図３は、図１の静止型メガソニック洗浄装置の正面図である。
　図４は、図１の静止型メガソニック洗浄装置の背面図である。
好ましい実施形態の説明
　添付図１〜４を参照すると、本発明による静止型メガソニック洗浄装置１０が示されている。図１を参照して説明すると、静止型メガソニック洗浄装置１０は、慣用の取付フレーム部材１３によって所定位置に支持された洗浄容器１２を有する。取付フレーム部材１３の詳細は、本発明には関係がなく、当業者には明らかなものであるから、これ以上説明する必要はない。
　容器１２は、全流れタイプであり、米国特許第４，５７７，６５０号、４，６３３，９８３号、４，７７８，５３２号、４，９１１，７６１号４，９１７，１２３号及び４，９８４，５９７号に開示されているタイプの湿式処理洗浄装置に流体連通した入口１２ａと出口１２ｂ（部分的に示されている）を有する。
　図１及び２に示されるように、この実施形態では、容器１２は、カセット無し（ウエハ等の被洗浄物体を保持するカセットホルダーを備えていない）とし、複数個の被洗浄物体２４（仮想線で示されている）と、流体（図示せず）を受容するための内部キャビティ２２を有するものとすることが好ましい。より具体的にいえば、容器１２は、第１端１５と、第２端１６と、それらの間に延長した４つの連結壁１８を有し、第１端１５と第２端１６の間で４つの連結壁１８に囲まれた空間の中心を通る長手軸線１７を有する。各壁１８は、内部キャビティ２２を画定する内表面２０を有する。この実施形態では、壁１８は、ほぼ平面状であり、キャビティ２２は、ほぼ平行六面体である。壁１８及びキャビティ２２は、洗浄すべき物体２４のタイプ及び数に適合するように任意の幾何学的形状にすることができることは当業者には明らかであろう。
　この実施形態では、容器１２の壁１８は、アルミニウムのような高強度軽量材で形成するのが好ましいが、メガソニックエネルギーを透過することができ、かつ、剛性の容器構造を作ることができるスチールや鉄等の他の材料を用いることもできる。又、各壁１８は、個別に製造し、標準金具を用いて結合することが好ましいが、容器１２全体を一体ユニットとして鋳造又はその他の方法で製造してもよい。
　図１及び２を参照して説明すると、この実施形態では、被洗浄物体２４は、半導体ウエハのように、中実でほぼ平面状であることが好ましいが、本発明は、特定の物体を洗浄することに限定されるものではないことは当業者には明らかであろう。例えば、物体２４は、ガラス基板又はガラスプレートであってもよい。
　この実施形態では、容器１２は、その中に入れられたタイプの物体２４を洗浄するのに特に適する複数の異なる種類の洗浄流体又は溶液を受容するようにすることが好ましい。被洗浄物体２４が半導体ウエハである場合は、洗浄液は、上述した各米国特許に列挙されているような溶液とすることが好ましいが、使用すべき流体は洗浄すべき物体のタイプに応じて決められるので、本発明はいかなる特定の洗浄又はリンス流体にも限定されるものではないことは当業者には明らかであろう。
　図１及び２に明示されるように、内表面２０は、壁１８に実質的に面係合させたライナー２５で形成されている。ライナー２５は、内部キャビティ２２内に用いられるあらゆる洗浄液に対して化学的に不活性の材料で製造することが好ましい。この実施形態では、ライナー２５は、回転成形法で形成されたテフゼル（登録商標名）のようなテフロン系材料で形成することが好ましいが、ポリクロロテトラフルオロエチレン（ＫＥＴ−Ｆ）のような他の化学的に不活性な材料を用いることもできることは、当業者には明らかであろう。
　この実施形態では、ライナー２５は、当業者には周知の態様で容器１２の壁１８に接着剤によって結合するのが好ましい。従って、その結合態様のこれ以上の説明は便宜上省略する。
　図１及び２に示されるように、容器１２は、物体２４に係合しそれを支持するために壁１８の内表面２０から内方へ突出した第１、第２及び第３取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃを有している。図１に明示されているように、各取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、長手軸線１７に対してほぼ垂直なキャビティ２２の幅方向に延長した細長い部材である。取付部材２６ａと２６ｂと２６ｃとは、キャビティ２２の長手軸線１７の方向に互いに離隔している。第１取付部材２６ａと第３取付部材２６ｃとは、互いに対面するように容器１２の対向した２つの壁１８，１８に沿って延長している。第２取付部材２６ｂは、第１及び第３取付部材２６ａ，２６ｃより下に配置されており、物体２４の体部を支持するように容器１２の対向した他の２つの壁１８と１８の間に延長している。
　図２に示されるように、各取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、その長手に沿って対応する複数の物体２４を受容するための複数の溝２８を有している。取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃの溝２８は、物体２４をそれらの周縁で３つの異なる接触点で支持するように配置されている。取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃと物体２４との接触面積を最小限にし、容器１２内の流体及びメガソニックエネルギーに対する露出度を増大するために物体２４は溝２８内に弛く嵌められる。キャビティ２２内に配置された取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、カセットホルダー（図示せず）を用いる必要なしに物体２４をキャビティ２２内に装填することを可能にするので、容器１２をカセット無しとすることができる。
　この実施形態では、第１、第２及び第３取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、キャビティ２２内に用いられるあらゆる流体に対して化学的に不活性の素材で形成することが好ましく、例えば、テフゼル（登録商標名）のようなテフロン系材料で形成することが好ましい。第２取付部材２６ｂは、それに剛性を付与するためにそのほぼ中心に配設された支持ロッド２７を有する。支持ロッド２７は、スチールのような高強度軽量材で形成するのが好ましいが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、アルミニウム等の他の材料で形成することもできる。
　この実施形態では、第１、第２及び第３取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、当業者に周知の溶接法によって壁１８に固定することが好ましいが、取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃを容器１２内に固定するのに、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、例えば標準金具又は接着剤を用いることもできる。
　取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃは、使用される流体を汚染することがなく、かつ、該流体の苛酷な作用に耐えることができる限り、上述した材料及び形状以外の材料及び形状で形成することができることは、当業者には明らかであろう。又、カセットホルダーを用いる必要なしに物体２４を容器１２内に支持することができる限り、取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃの個数を変更することができることも、当業者には明らかであろう。
　図１、３及び４を参照して説明すると、第１配列体のメガソニック音波発生トランスジューサ３０と第２配列体のメガソニック音波発生トランスジューサ３２が、容器１２にその内表面２０の外側に取り付けられている。各トランスジューサ３０，３２は、メガソニックエネルギーの集束ビームを容器のキャビティ２２内へ発出するようになされている。これらのトランスジューサ３０，３２は、それらから発出されたビームが、集合して各物体２４の全外表面を包むように、対向した壁１８，１８に対向して配列される。
　この実施形態では、各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが容器１２の内表面２０から取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃに衝突することなく直接物体２４へ通されるように容器１２に取り付けることが好ましい。即ち、第１配列体のメガソニック音波発生トランスジューサ３０は、そのエネルギーの集束ビームが容器の内表面２０から第１取付部材２６ａに衝突することなく直接物体２４へ通されるように容器１２に取り付けられ、同様にして、第２配列体のメガソニック音波発生トランスジューサ３２は、そのエネルギーの集束ビームが容器の内表面２０から第３取付部材２６ｃに衝突することなく直接物体２４へ通されるように容器１２に取り付けられる。
　図１に明示されているように、各トランスジューサから発出されるビームが互いに平行になるように、第１配列体のトランスジューサ３０は、第２配列体のトランスジューサ３２に対して互い違いに配置されている。このようにトランスジューサ３０と３２を互い違いに配置することにより、それらのトランスジューサから発出されたビームは、取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃを避け、介在する取付構造体によって散逸されることなく、集合して物体２４を包む。
　各トランスジューサ３０，３２は、２００ワットの出力を有する。この実施形態では、容器１２の壁１８は、ほぼ０．２５ｉｎ（６．３５ｍｍ）の厚さを有する。これによって、後述するように、ライナー２５の一体性を危うくすることなく最大限の洗浄作用を達成するのに理想的な６２５ｋＨｚの周波数を創生する。当業者には明らかなように、トランスジューサの出力は、壁１８の厚さに応じて、好ましい周波数を得るように変更することができる。本発明のメガソニック音波発生トランスジューサ３０，３２は、当業者には周知の既成製品であるから、便宜上これ以上の説明は省略する。
　メガソニックトランスジューサ３０，３２は、適当な接着剤で壁１８に結合するのが好ましいが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、標準金具を用いるなどの任意の態様で壁１８に固定することができる。図３に明示されているように、当業者に周知の態様で第１及び第２配列体のトランスジューサ３０，３２を付勢するために適当なエネルギー源に接続するための慣用のプラグ３４が容器１２に固定されている。
　作動において、洗浄すべき物体２４の周縁を取付部材２６ａ，２６ｂ，２６ｃの溝２８内に挿入することによって物体２４を容器１２の内部キャビティ２０に充填する。適当な流体（図示せず）をキャビティ２２を通してポンプ送りし、上述した各米国特許に記載された態様で物体２４を流体に浸漬させる。物体２４の洗浄は、トランスジューサ３０，３２を付勢して高周波エネルギーのビームを壁１８、ライナー２５及び流体を通して伝送することによって達成される。即ち、流体と物体２４が高周波数で振動せしめられ、物体２４の表面上の不純物及びその他の汚染物が表面から除去される。
　ライナー２５が融解することがないように、パルスによるトランスジューサ３０，３２のオン時間とオフ時間の長さを変える。例えば、各トランスジューサ３０，３２を２〜３秒間オンにし、ライナー２５に冷却時間を与えるために１０秒間オフにする。各トランスジューサのパルス付勢を食い違わせる（オーバーラップさせずにずらせる）ために第１配列体と第２配列体から各々１つのトランスジューサ３０と３２を同時にパルス付勢するさせることが好ましい。被洗浄物体２４は、それらから粒子及び不純物が剥離されて所望の洗浄が行われるのに十分なメガソニックエネルギーに露呈されるまでキャビティ２２内に保持される。
　叙上のように、この好ましい実施形態は、被洗浄物体２４の表面の、メガソニックエネルギーへの露呈度を増大させるために物体２４を容器１２内で移動させる必要なしに、１種類以上の流体を有するカセット無し容器１２内で複数個の物体２４を処理するメガソニック洗浄装置を提供する。
　以上の説明から分かるように、本発明は、改良されたメガソニック洗浄装置を提供する。ここに説明した実施形態には、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、いろいろな変更及び改変を加えることができることは当業者には明らかであろう。従って、本発明は、ここに例示した特定の実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲に規定された本発明の精神及び範囲に入るあらゆる変型を包含することを理解されたい。
（５７）【特許請求の範囲】
　　１．外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
　　　　（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
　　　　（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列されていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
　　２．外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
　　　　（ａ）前記複数個の物体を受容し、複数種類の異なる流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
　　　　（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該複数のトランスジューサは、それらから発出されたビームが、前記物体の主平面にほぼ平行に延長し、集合して各物体の全外表面を包むように配列されていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
　　３．外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
　　　　（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
　　　　（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から
前記取付部材に衝突することなく
　　４．外表面及び主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
　　　　（ａ）前記複数個の物体を受容し、流体を受容するための内表面によって画定された内部キャビティを有し、該物体に係合してそれらの物体をキャビティ内に支持するために該内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した少くとも２つの互いに離隔した取付部材を有するカセット無し容器と、
　　　　（ｂ）該容器の内表面の外側で該容器に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記キャビティ内へ前記物体の主平面にほぼ平行に発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの配列体とから成り、該各トランスジューサは、それから発出されたメガソニックエネルギーの集束ビームが、該容器の内表面から該容器の壁にも前記取付部材にも衝突することなく直接前記物体に向けられるように該容器に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。
　　５．主平面を有する複数個の物体を洗浄するための静止型メガソニック洗浄装置であって、
　　　　（ａ）第１端と、第２端と、該第１端と第２端の間に延長し相互に連結された４つの壁を有し、前記複数個の物体を受容し、洗浄流体を受容するための該４つの壁の内表面によって画定された内部キャビティを有するカセット無し容器と、
　　　　（ｂ）前記物体に係合してそれらの物体を前記キャビティ内に支持するために前記壁のうちの１つの壁の内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した第１取付部材と、
　　　　（ｃ）前記物体に係合し前記第１取付部材と協同してそれらの物体を前記キャビティ内に支持するために前記壁のうちの他の１つの壁の内表面に直接取り付けられ該内表面から内方へ突出した第２取付部材と、
　　　　（ｄ）前記１つの壁の内表面の外側で該壁に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記物体の主平面にほぼ平行に前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの第１配列体と、
　　　　（ｅ）前記他の１つの壁の内表面の外側で該壁に取り付けられた、各々メガソニックエネルギーの集束ビームを前記物体の主平面にほぼ平行に前記キャビティ内へ発出する複数のメガソニック音波発生トランスジューサの第２配列体と、
から成り、前記第１配列体のトランスジューサは、それらから発出されたビームが前記１つの壁の内表面から前記第１取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該１つの壁に取り付けられており、前記第２配列体のトランスジューサは、それらから発出されたビームが前記他の１つの壁の内表面から前記第２取付部材に衝突することなく直接前記物体に向けられるように該他の１つの壁に取り付けられていることを特徴とする静止型メガソニック洗浄装置。