【事件の表示】
　特許第２８６６５７０号「基板処理装置」の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２８６６５７０号の特許を維持する。
【理　由】
一．［手続の経緯］
　本件特許第２８６６５７０号（以下、「本件特許」という）は、平成５年１２月２８日に出願された特願平５−３５３３１２号の特許出願に係り、平成１０年１２月１８日に設定登録されたが、本件特許に対して、表記特許異議申立人より特許異議の申立があったので、当審において、当該申立の理由を検討の上、特許取消理由を通知したところ、その通知書で指定した期間内の平成１２年４月２７日に、特許権者より特許異議意見書の提出と共に訂正請求があったものである。
　
二．［訂正請求について］
　１．訂正の要旨
　上記訂正請求における訂正の要旨は、次のイ〜ニのとおりである。
　イ　特許明細書の特許請求の範囲（請求項１）における、「駆動時間記憶手段」に関して、
　「移動させるのに要する、前記異なる方向に対応した駆動機構ごとの所要駆動時間を記憶する」という記載を、
　「移動させるのに要する時間と移動量とを対比して求められた、前記異なる方向に対応した駆動機構ごとの単位移動量あたりの所要駆動時間を記憶する」と訂正する。
　ロ　同じく請求項１における「算出手段」に関して、
　「当該基板搬送に対応する前記駆動機構ごとの所要駆動時間を読みだして、」という記載を、
　「当該基板搬送のために必要な前記駆動機構ごとの所要駆動時間を計算し、」と訂正する。
　ハ　同じく「制御手段」に関して、
　「前記搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間が、前記算出手段により算出された所要移動時間と、前記移載手段による移載に要する時間との和となるように」という記載を、
　「前記搬送順序により規定された前記循環移動における所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間の総和が、前記算出手段により算出された所要移動時間と、前記移載手段による移載に要する時間との総和となるように」と訂正する。
　ニ　特許明細書の「発明の詳細な説明」中、上記イ〜ハの訂正事項に対応する箇所（【0008】、【0009】、【0035】）について、上記イ〜ハの訂正事項と同趣旨の訂正をする。
　２．訂正請求の適否
　（１）訂正の目的
　上記イ、ハの訂正は、本件特許発明の必須の構成をより限定するものであるから、特許請求の範囲の減縮とみることができる。
　また、上記ロの訂正は、特許明細書の【0025】欄中の「次に、ステップＳ３で、搬送順序に基づき、各行程間での搬送時間をコントローラ６０に内蔵された演算部で計算し、その結果をメモリに記憶する。具体的には、まずインデクサーＩＤの座標（０，０，１）と密着強化ユニットＡＨの座標（０，０，２）との差の絶対値をＹ，Ｚ，θ座標ごとに求め、時間Ｔ1 をかけて、Ｙ，Ｚ，θ方向の駆動時間を求める」という記載からみて、誤記の訂正であることが明らかである。
　更に、ニの訂正は、上記イ〜ハの訂正によって生じる明細書の前後の記載内容の齟齬を、訂正により整合させようとするものであるから、明瞭でない記載の釈明に該当する。
　（２）新規事項の有無
　本件特許に係る、願書に添付した明細書の記載からみて、上記訂正の内容は、当該明細書及び図面に記載された事項の範囲内のものといえる。
　（３）拡張、変更の有無
　上記訂正の内容は、訂正前の特許請求の範囲を実質的に拡張したり、変更したりするものとはいえない。
　（４）独立特許要件の適否
　上記訂正に係る特許請求の範囲に記載された発明について、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができるものか否かについて検討する。
　（４-1）＜訂正に係る発明＞
　上記訂正に係る発明は、平成１２年４月２７日付で提出された全文訂正明細書の特許請求の範囲（請求項１）に記載された事項によって特定される次のとおりのものと認める。
【請求項１】「基板を支持する支持具を備えた移動体を、回転式基板処理装置を含む複数の基板処理部間を所定の搬送順序で循環移動させることにより、基板を各基板処理部間で所定の搬送順序で搬送して処理する基板処理装置であって、
　互いに異なる方向に前記移動体を移動させる複数の駆動機構からなり、少なくとも１つ以上の駆動機構を駆動して、移動体を各基板処理部ごとの移動体停止位置の間で移動させる移動手段と、
　移動体に対して支持具を移動させることによって、前記移動体停止位置に停止の移動体における所定の支持具待機位置と基板処理部との間で、基板を相互に移載させる移載手段と、
　前記移動体を、前記移動手段により前記搬送順序にしたがって、前記基板処理部のうちの任意の基板処理部の移動体停止位置から次の基板処理部の移動体停止位置に移動させるのに要する時間と移動量とを対比して求められた、前記異なる方向に対応した駆動機構ごとの単位移動量あたりの所要駆動時間を記憶する駆動時間記憶手段と、
　前記搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板搬送の各々に対応して、前記駆動時間記憶手段に記憶された当該基板搬送のために必要な前記駆動機構ごとの所要駆動時間を計算し、当該基板搬送時に１つの駆動機構のみを駆動する場合にはその所要駆動時間を、２つ以上の駆動機構を同時に駆動する場合にはそれらの所要駆動時間のうちの最大の所要駆動時間を、当該基板搬送における移動体の所要移動時間として算出する算出手段と、
　前記搬送順序により規定された前記循環移動における所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間の総和が、前記算出手段により算出された所要移動時間と、前記移載手段による移載に要する時間との総和となるように前記移動手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする基板処理装置。」（以下、「本件発明」という）
　（４-2）＜引用例とその記載事項の概要＞
　これに対して、引用例となるものは、いずれも本件特許に係る出願日より前に頒布された次の刊行物である。
　第１引用例：特開平４−１１３６１２号公報（甲第１号証）
　第２引用例：特開昭６０−６１８０１号公報（甲第２号証）
　上記の第１引用例には、「半導体基板の搬送方法」に関して、次ａ〜ｄの記載がある。
　ａ　「これらの処理部等における処理の、又搬送ロボット５や移載ロボット１２の動作の諸元の入力、設定、記憶等は第２図に示すブロック図のようにキーボード１９、ディスプレイ１４等を入出力装置として、コントローラ１５が司どる。キーボード１９より入力されたデータ等に従い、コントローラ１５は後に詳述する処理を行い、ロボット５，１２を制御する。」（第４頁右下欄第１２〜１９行）
　ｂ　「第１図及び第３図によってウェハの搬送経路の概略を説明する。カセット２中で処理待ちの状態にあったウェハ３ｆ（第３図（ａ））は移載ロボット１２を介して、ロボット５の例えばアーム７１に乗せられる。ロボット５は移動機構８によって加熱処理部４１の前へ移動し、アーム７２が同処理部４１に既に入っていたウェハ３ｅを取り出す。これにより同処理部４１は空きとなり、アーム７１によってウェハ３ｆが同処理部４１に送り込まれる。
　同処理部４１に入っていたウェハ３ｅは、ロボット５の図示されていない上下機構により、アーム７２とともに冷却処理部４３の前に移動する。アーム７１が同処理部４３に既に入っていたウェハ３ｄを取り出した後、ウェハ３ｅにアーム７２によって同処理部４３へ送り込まれる。
　同処理部４３に既に入っていたウェハ３ｄは同様にしてコーティング処理部１３へ、同様にして同処理部１３に入っていたウェハ３ｃは加熱処理部４２へ、同処理部４２に入っていたウェハ３ｂは冷却処理部４４へ、そして同処理部４４に入っていたウェハ３ａはカセット２へと順次収納される。結局ロボット５は矢印８１の様に移動する。そしてロボット５のこのような搬送移動は循環的に繰返して行なわれ、新たなウェハが各処理部４１，４３，１３，４２，４４へと順次に送り込まれるととともに、処理済のウェハがカセット２へと順次収容される（第３図（ｂ））。
　以上のようにしてロボット５が循環的に移動しつつ搬送を行うので、あるウェハに着目すると、これも同図（ｂ）のようにカセット２を出発して処理部４１，４３，１３，４２，４４をこの順に搬送され、最後にカセット２へ戻る。」（第５頁左上欄第１行〜同右上欄第１３行）
　ｃ　「ここにおいて、ロボット５の搬送時間には各処理部における取り出し、投入に要する時間を含んでいる。これを第５図に示す。ＰｉはＩＮＤ，ＨＰ１，ＣＰ１，Ｃ，ＨＰ２ ，ＣＰ２ を一般化した処理であり、Ｐｉ−１はＰｉの１つ前の処理を、Ｐｉ＋１はＰｉの次の処理をそれぞれ示す。即ち処理ＰｉからＰｉ＋１への搬送時間とは、アーム７１または７２を用いて処理Ｐｉヘウェハを投入するのに要する時間Ｔｉｎと、移動機構８によるロボット５の移動時間Ｔｍｏｖｅと、アーム７１または７２を用いて処理Ｐｉ＋１からウェハを取り出すのに要する時間Ｔｏｕｔとの総和になる。」（第５頁左下欄第２０行〜同右下欄第１１行）
　ｄ　「各処理部の搬送時間はＴ′は、ロボット５の運動性能や処理部間の距離等から決定される時間であり、入力するようにしても良いし、予めデフォルト値としておいてもよい。」（第７頁左下欄第３〜６行）　
　次に、上記第２引用例には、「ロボットの作業時間推定方式」に関して、次のｅ〜ｇの記載がある。
　ｅ　「本発明に係るロボットの作業時間推定方式は、予め準備した、ロボットに実際の作業を行わせるための作業用制御データとロボットの各軸を単独に動作させうるようにしたテスト用制御データとを格納、記憶装置に格納し、そのテスト用制御データによりロボット制御装置を介してロボットの各軸を単独に動作させるとともに、前記ロボット制御装置に連動せしめた動作時間測定装置により前記ロボットの各軸の動作時間を測定し、この測定値と上記テスト用制御データとをもとに、関係式作成装置を用いてロボットの各軸毎に、その軸の移動時間と移動距離との関係式を作成して上記の格納、記憶装置に格納して準備しておき、その格納、記憶装置に格納された上記作業用制御データを、ロボットの各軸の移動距離の組の集合に分解し、その組の集合から、組の一つずつを取り出して、移動時間計算装置により、上記関係式を用い、当該組に含まれるロボットの各軸の移動距離から各軸の移動時間を計算せしめ、その移動時間の最大値を当該組に対するロボットの動作時間とし、同様の処理を全ての組に対して行い、その各組の上記最大値の和を求め、この和を作業用制御データに対するロボットの作業に要する推定時間とするようにしたものである。」（第２頁右上欄第１４行〜同左下欄第１８行）
　ｆ　「ロボットの制御データとは、基本的には、現在位置から他の位置へ移れ、という命令の集合である。
　その命令は、ロボット制御装置で、ロボットを構成する各軸の移動量に分解され、当該移動量だけ各軸を動かすものである。」（第２頁右下欄第３〜８行）
　ｇ　「次に、本発明に係るロボットの作業時間推定方式の一実施例を、第３図ないし第５図を参照して説明する。
　ここで、第３図は、本発明の一実施例に係るロボットの作業時間推定方式の実施に供されるロボットシステム構成図、第４，５図は、本発明の一実施例に係るものの処理フローチャート図である。
　すなわち、第３図に示すごとくロボットシステムは、ロボット１、ディスク２、ロボット制御装置３、動作時間測定装置に係る作業時間計測装置４、フーリエ変換装置５、誤差判定装置６、制御データ分解装置７、作業時間計算装置８、最大値判定装置９、積算装置１０および記憶装置１１とから構成されるものである。
　しかして、ディスク２ならびに記憶装置１１は、格納、記憶装置に係るものであり、フーリエ変換装置５、誤差判定装置６は、関係式作成装置に係るものである。また、制御データ分解装置７、作業時間計算装置８、最大値判定装置９及び積算装置１０は、移動時間計算装置に係るものである。
　しかして、本実施例で示したロボット１は、５軸の関節型ロボットであり、ディスク２には、ロボット１の軸を単独で動かすことができ、作業時間を推定するのに必要な軸の回転角と所要時間との関係式を求めるテスト用制御データと、実際にロボットに作業を行わせるための作業用制御データとが予め格納されているものである。
　第３図のロボットシステムが作業時間の推定を開始する前には、次のようにして、ロボットの軸の、移動距離に係る回転角と、所要時間との関係式の係数を記憶装置１１に格納する。
　すなわち、ロボット制御装置３は、ディスク２に格納されているテスト用制御データを読み出し、記憶装置１１に書き込んで記憶させ、そのテスト用制御データに従いロボット１を動作させる。」（第４頁左上欄第１行〜同右上欄第１８行）
　（４-3）＜発明の対比＞
　本件発明と第１引用例の記載とを対比すると、第１引用例記載の「コーティング処理部」を含む各処理部は、本件発明における「回転式基板処理装置を含む複数の基板処理部」に相当するし、以下同様に、「ロボット５」は「移動体」に、「アーム７１、７２」は「基板を支持する支持具」に、「移動機構８」は「移動手段」に、「移載ロボット」は「移載手段」に、「コントローラ」は「制御部」に、それぞれ相当する。そして、上記ｄにおいて、「各処理部の搬送時間」を「入力」あるいは「予めデフォルト値として」おくとされているところから、第１引用例記載のものも当然「駆動時間記憶手段」を備えているとみてよい。
　したがって、上記第１引用例の上記ａ〜ｄに記載されたところを総合すると、次の構成が記載されているといえ、この限りにおいて、本件発明と一致している。
　「基板を支持する支持具を備えた移動体を、回転式基板処理装置を含む複数の基板処理部間を所定の搬送順序で循環移動させることにより、基板を各基板処理部間で所定の搬送順序で搬送して処理する基板処理装置であって、
　互いに異なる方向に前記移動体を移動させる複数の駆動機構からなり、少なくとも１つ以上の駆動機構を駆動して、移動体を各基板処理部ごとの移動体停止位置の間で移動させる移動手段と、
　移動体に対して支持具を移動させることによって、前記移動体停止位置に停止の移動体における所定の支持具待機位置と基板処理部との間で、基板を相互に移載させる移載手段と、
　前記移動体を、前記移動手段により前記搬送順序にしたがって、前記基板処理部のうちの任意の基板処理部の移動体停止位置から次の基板処理部の移動体停止位置に移動させるのに要する時間を記憶する駆動時間記憶手段と、
　前記搬送順序により規定された前記循環移動における所定の基板処理部から次の基板処理部への基板の各搬送時間の総和が、所要移動時間と、前記移載手段による移載に要する時間との総和となるように前記移動手段を制御する制御手段と、を有する基板処理装置。」
　一方、本件発明と第１引用例記載の発明との間には、次の相違点がある。
　［相違点］　本件発明においては、「駆動時間記憶手段」が、「異なる方向に対応した駆動機構ごとの単位移動量あたりの所要駆動時間を記憶する」とされ、当該単位移動量あたりの所要駆動時間をもとに、算出手段によって、「前記搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板搬送の各々に対応」する「前記駆動機構ごとの所要駆動時間を計算」すると共に、「当該基板搬送における移動体の所要移動時間」を算出して、この「算出された所要移動時間」に基づいて、「循環移動における」「基板の各搬送時間の総和」を設定する構成としているのに対し、第１引用例には、このような所要移動時間の算出に基づく搬送時間の総和の設定に関する構成について全く言及がない点。
　（４-4）＜相違点の検討＞
　この相違点について検討すると、第２引用例の上記ｅ及びｆの記載は、「異なる方向に対応した駆動機構ごとの単位移動量あたりの所要駆動時間を記憶する」ことや、当該単位移動量あたりの所要駆動時間をもとに、所定の作業に必要な「移動体の所要移動時間」を算出することを示唆したものといえるし、同じくｇの記載は、当該記憶や算出のための具体的な構成を示している。
　しかし、これらの記載は、結局のところ、「ロボットの作業に要する推定時間」を求める手法を示すことに尽きるのであって、当該推定時間をもとに、具体的にどのような制御を行うことが望まれるのかを示すものがない以上、当該第２引用例の記載は、本件発明における「搬送順序により規定された所定の基板処理部から次の基板処理部への基板搬送の各々に対応」して「算出された所要移動時間」に基づいて、「循環移動における」「基板の各搬送時間の総和」を設定するという、上記相違点に係る構成を示唆するものとはいえない。
　そして、上記相違点に係る構成を備える本件発明では、「任意の基板処理部から次の基板処理部への移動時間が適切に設定され、各基板処理部への搬送インターバルを一定に保ちながら、スループットの向上を図ることができ」、しかも、「搬送に要する時間を短縮できるので、搬送時間中における基板の温度変化を抑制でき、温度変化に敏感な基板処理部、特にスピンコータ、スピンデベロッパなどを使用する場合にも、良好で均一な処理が可能である」という、独自の作用効果を奏するものである。
　したがって、本件発明は、上記第１及び第２引用例に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
（４-5）＜その他の理由について＞
　更に、本件発明については、本件特許に係る出願の際、独立して特許を受けることができないとする他の理由も発見しない。
  （５）訂正の認容
　上記（１）〜（４）で検討したところによれば、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項第１〜３号に掲げる事項を目的とするものであって、平成１１年法律第４１号附則第２条第１３項の規定により適用される、同法律第４１号による改正前の特許法第１２０条の４第３項で準用され、平成６年法律第１１６号附則第６条第１項の規定により適用される、同法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書き、同条第２項及び第３項の規定に適合しているといえるので、上記訂正の請求は認容される。
　
三．［特許異議申立について］
　１．特許異議申立の理由
　特許異議申立人は、甲第１及び第２号証（上記の「第１及び第２引用例」）を提出すると共に、本件特許に係る発明は、甲第１及び第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであって、本件特許は、特許法第２９条第２項の規定に基づいて拒絶査定をするべき出願に対してされたことになり、取り消すべきものである旨を主張している。
　２．当審の判断
　上記二．２．（５）に示されるように、上記訂正請求が認容されることにより、上記平成１２年４月２７日付で提出された訂正明細書を本件特許明細書として、本件特許発明は、当該特許明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載されたとおりのものと認める。
　そして、この本件特許発明について、甲第１及び第２号証に記載された発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとすることができないことは、上記二．２．（４-3）、（４-4）で指摘した、それぞれの発明の対比の検討結果から明らかである。
　
四．［むすび］
　以上のとおりであるから、本件特許は、特許異議申立人の主張する理由およびその提出した証拠によっては、取り消すことはできないし、また、他に取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月５日（２０００．６．５）