【事件の表示】
　特許第２７６３４１０号「インクジェット記録ヘッド及びそれを用いた記録装置」の請求項１ないし４に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結論】
　訂正を認める。
　特許第２７６３４１０号の請求項１ないし４に係る特許を維持する。
【理由】
Ｉ．手続の経緯
　本件特許第２７６３４１０号の発明は、平成３年３月８日に出願され、平成１０年３月２７日にその特許権の設定の登録がなされ、神尾誠及びコニカ株式会社より特許異議の申し立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１１年７月１３日に特許請求の範囲及び発明の詳細な説明について訂正請求がなされた後、訂正拒絶理由が通知され、その指定期間内である平成１１年１１月１８日に訂正請求書について手続補正書が提出されたものである。
ＩＩ．訂正の適否についての判断
（１）訂正請求に対する補正の適否について
　特許権者は、訂正明細書中の特許請求の範囲の「【請求項１】　吐出口形成部材の吐出口形成面に撥水膜を形成した後、吐出口を紫外線レーザーで形成するインクジェット記録ヘッドであって、
前記吐出口形成部材は樹脂であり、かつ前記撥水膜は主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する膜であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。」を
　「【請求項１】　インクジェット記録ヘッドにおいて、
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。」と補正（訂正事項ａの補正）すると共に、これに伴い、特許請求の範囲の記載との整合を図るために、訂正明細書の発明の詳細な説明を補正（訂正事項ｂの補正）しようとするものである。
　そこで、上記補正について検討すると、
　訂正事項ａの補正は、吐出口の形成されるオリフィスプレートが樹脂製であることを明確にすると共に、撥水膜の形成されたオリフィスプレートを貫通する手段を限定するものであって、明りょうでない記載の釈明に相当するとともに特許請求の範囲の減縮に相当する。
　また、訂正事項ｂの補正は、上記訂正事項ａの特許請求の範囲の補正と整合させるものであるから、明りょうでない記載の釈明に相当する。
　従って、当該訂正請求に対する補正は、訂正請求書の要旨を変更するものでなく、特許法１２０条の４第３項において準用する同法第１３１条第２項の規定に適合する。
（２）訂正の内容
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである（訂正個所にアンダーラインを付した。）。
▲１▼訂正事項ａ
特許請求の範囲の
「【請求項１】　インクジェット記録ヘッドにおいて、
少なくとも吐出口の周緑部が、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する膜を具備することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
　【請求項２】　前記吐出口周縁部の膜の厚さが０．１〜２μｍの膜厚であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項３】　インクの小滴を吐出、飛翔させるための吐出エネルギー発生手段は、記録装置から電気信号の供給によってインク内に膜沸騰を生じさせる熱エネルギー発生手段である請求項１ないし２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】　前記請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載した記録装置。」
を、
「【請求項１】　インクジェット記録ヘッドにおいて、
　
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
　【請求項２】　前記
撥水膜
　【請求項３】　インクの小満を吐出、飛翔させるための吐出エネルギー発生手段は、記録装置から電気信号の供給によってインク内に膜沸騰を生じさせる熱エネルギー発生手段である請求項１ないし２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】　前記請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載した記録装置。」に訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の「【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を解決せんと提案されたものであり、インクジェット記録ヘッドにおいて、少なくとも吐出口の周縁部が主鎖に含有フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する膜を具備することを特徴とするインクジエット記録ヘッド及びこのヘッドを用いたインクジェット記録装置である。」（特許公報第３頁第５欄第５〜１１行、段落【００１６】）を、
「【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を解決せんと提案されたものであり、インクジェット記録ヘッドにおいて、
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
▲３▼訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の
「（実施例２）
図７のように、実施例１−１〜１−３と異なり吐出オリフィスが先に形成されているものに撥液する場合について以下説明する。」（特許公報第９頁第１８欄第２１〜２４行、段落【００７７】）を、
「（
参考例１
図７のように、実施例１−１〜１−３と異なり吐出オリフィスが先に形成されているものに撥液する場合について参考例として以下説明する。」と訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の
「（実施例３）
実施例４と同様、図７の如きマルチノズルヘッドをまず作成した。次に吐出オリフィスの外壁面を蒸留水でよく洗浄し、つづいて有機溶剤で洗浄した。」（特許公報第９頁第１８欄第４６〜４９行、段落【００８３】）を、
「（
参考例２
参考例１
▲５▼訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の
「以上、実施例１−１、１−２に関し、比較例１と比較した場合の結果を示したが、実地例１−３及び２、３についても、実施例１−１と同レベルの性能を示している。」（特許公報第１１頁第２１欄第６〜９行、段落【０１００】）を
　「以上、実施例１−１、１−２に関し、比較例１と比較した場合の結果を示したが、
実地例１−３
▲６▼訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の
「（実施例４）
ここで、図１７の記録ヘッド（これは、図２にも採用できる）をまとめると、以下の構成を備えている。」（特許公報第１１頁第２１欄第２１〜２２行、段落【０１０２】）を、
「（
実施例２
ここで、図１７の記録ヘッド（これは、図２にも採用できる）をまとめると、以下の構成を備えている。」と訂正する。
（３）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａに関連する記載として、願書に添付した明細書には、「図１は本発明の実施例である、液室、流路、オリフィス面を一体成形により作りあげた溝付天板３のオリフィス面に撥水処理剤を塗布した後、熱硬化させると、撥液膜１が形成される。その後エキシマレーザー等による穴あけによって形成された吐出オリフィスを有する溝付天板と記録液を吐出オリフィスより吐出させるための手段である発熱体とを有する基板５を接着して作られている。」（特許公報第５頁第９欄第３〜９行、段落【００４１】）及び「各インク流路に対応した吐出口を複数有するオリフィスプレート４００を一体成形したものである。」（特許公報第５頁第９欄第４９行〜第１０欄第１行、段落【００４６】）と記載されている。
　そうすると、上記訂正事項ａは、願書に添付した明細書に記載された事項の範囲内において特許請求の範囲の「インクジェット記録ヘッドの吐出口」の構成をさらに限定したものといえるから、特許請求の範囲の減縮に該当するものであって、新規事項の追加に該当せず、また、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでない。
　また、上記訂正事項ｂ乃至ｆは、これに伴い、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載との整合を図るため、発明の詳細な説明の記載を訂正したもので、いずれも、明りょうでない記載の釈明を目的とするものであり、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでない。
（４）独立特許要件の判断
▲１▼訂正発明
　訂正明細書の請求項１に係る発明（以下、「訂正発明」という。）は、上記ＩＩ（２）▲１▼の訂正事項により訂正された事項により特定されるとおりのものである。
▲２▼引用刊行物
　当審が通知した取消理由で引用した刊行物１（特開平１−２９０４３８号公報）には、「支持体上に設けられた実質的に水不溶性で有機溶剤可溶性の平均分子量２，０００以上のフッ素系重合体及び重合硬化性のモノマー及び／又はオリゴマーを主体とする重合硬化性被覆膜形成組成物を含有する表面処理剤を、前記支持体からインクジェット記録ヘッドのインク吐出口面に転写する工程を有することを特徴とするインクジェット記録装置」（特許請求の範囲第１項）と記載されている。
　また、同じく、引用した刊行物２（特開平２−１２９２５４号公報）には、「繰り返し単位中に脂肪族環構造を有し、かつ環構成原子のうち少なくとも２原子が重合体主鎖に含まれ、かつフッ素含量が４０重量パーセント以上である含フツ素重合体（Ａ）、およびパーフルオロアルカン、パーフルオロ環状エーテノパーフルオロアルケン、パーフルオロアルキルアミンから選ばれる少なくとも一種のパーフルオロ溶媒（Ｂ）を含んでなるコーティング用含フッ素重合体組成物」（特許請求の範囲第１項）および「本発明のコーティング用含フッ素重合体組成物は、光ファイバー、レンズ、太陽電池、光ディスク、タッチパネル、ハイブリッドＩＣ、液晶セル、プリント基板、感光ドラム、フィルムコンデンサー、ガラス窓、各種フィルムなどの光学分野、電気分野における保護コート、注射器、ピペット、体温計、ビーカー類、シャーレ、メスシリンダーなどの医療分野、化学分野、その他ソルダーマスク、ソルダーレジスト、ゴム、プラスチックの保護、耐候、防染コート、ＩＣ封止防錆塗料、樹脂付着防止剤、インキ付着防止剤等の用途への応用が可能である。」（第５頁左上欄第２〜１５行）と記載されている。
▲３▼対比・判断
　訂正発明と上記刊行物１乃至２に記載された発明とを対比すると、上記刊行物１乃至２には、本件発明を特定する事項である「吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する」点が記載されておらず、また、その示唆もない。
　そして、本件発明は、この点を備えることにより、明細書に記載された作用効果を奏するものと認められるから、本件発明が上記刊行物１乃至２に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　また、訂正明細書の請求項２乃至４に係る発明のそれぞれを特定する事項は、いずれも、請求項１に係る発明を特定する事項を全て備えるものであるから、訂正明細書の請求項２乃至４に係る発明も、上記刊行物１乃至２に記載された発明から当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　しがって、訂正明細書に記載された請求項１乃至４項に係る発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができない発明とすることができない。
▲４▼むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正請求は、特許法１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２乃至４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
ＩＩＩ．特許異議申し立てについての判断
（１）申立の理由の概要
▲１▼異議申立人神尾誠は、証拠として、甲第１号証（特開平１−２９０４３８号公報＝上記刊行物１）、甲第２号証（特開平２−１２９２５４号公報＝上記刊行物２）および参考資料１として右上に［ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｕｐｕｎｅｔ．ｏｒ．ｊｐ／ＵＰＵ／ＲＯＮＢＵＮ／ＡＳＡＨＩＧＬＡＳＳ／１６２．ｈｔｍｌ」の記載のある、「アモルファスフッ素樹脂「サイトップ」の開発」と題する文献をを提出し、本件請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証及び甲第２号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである旨主張している。
▲２▼異議申立人コニカ株式会社は、証拠として、甲第１号証（特開平２−１５３７４４号公報）、甲第２号証（特開平２−１２９２５４号公報）及び甲第３号証（「プラスチックエージ」１９９０年２月号、１８４〜１８６頁）を提出し、本件請求項１乃至４に係る発明は、甲第１号証乃至甲第３号証に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものである旨主張している。
（２）判断
▲１▼申立人神尾誠の主張について、
　甲第１乃至２号証は、上記ＩＩ．（４）▲２▼「引用刊行物」で示した刊行物１乃至２であり、甲第１乃至２号証には、上記ＩＩ．（４）▲３▼「対比・判断」で示した「特定する事項」については記載も示唆もなく、この主張についての判断は該「対比・判断」で示したとおりである。
▲２▼申立人コニカ株式会社の主張について、
　甲第２号証は、上記ＩＩ（４）▲２▼の刊行物２である。また、甲第１号証には、「少なくともオリフィス周縁部に撥水処理がなされたインクジェット記録ヘッドにおいて、前記撥水処理部が、シランカップリング剤を介して、水不溶性で有機溶剤可溶性の平均分子量２，０００以上のフッ素系重合体および分子中に２個以上の（メタ）アクリロイル基を有する多官能性オリゴマーおよび／または多官能性オリゴマーを含む組成物を重合硬化させたものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。」（特許請求の範囲）と記載され、甲第３号証には、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する膜について記載されているものの、この甲第１号証および甲第３号証にも、上記ＩＩ．（４）▲３▼「対比・判断」で示した「特定する事項」について記載も示唆もなく、この主張についての判断も該「対比・判断」で示したとおりである。
　したがって、いずれの特許異議申立人の主張も採用できない。
ＩＶ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申し立ての理由及び証拠方法によっては、本件請求項１乃至４に係る発明の特許を取り消すことができない。
　また、他に本件請求項１乃至４に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１１年１２月１０日（１９９９．１２．１０）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許権者が求めている訂正の内容は、以下のとおりである。
▲１▼訂正事項ａ
特許請求の範囲を、「【請求項１】　インクジェット記録ヘッドにおいて、
　
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
　【請求項２】　前記
撥水膜
　【請求項３】　インクの小満を吐出、飛翔させるための吐出エネルギー発生手段は、記録装置から電気信号の供給によってインク内に膜沸騰を生じさせる熱エネルギー発生手段である請求項１ないし２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】　前記請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載した記録装置。」に訂正する。
▲２▼訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の段落【００１６】（特許公報第３頁第５〜１１行）を、「【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を解決せんと提案されたものであり、インクジェット記録ヘッドにおいて、
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートを工キシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
▲３▼訂正事項ｃ
　発明の詳細な説明の段落【００７７】（特許公報第９頁第２１〜２４行）を、
「（
参考例１
図７のように、実施例１−１〜１−３と異なり吐出オリフイスが先に形成されているものに撥液する場合について参考例として以下説明する。」と訂正する。
▲４▼訂正事項ｄ
　発明の詳細な説明の段落【００８３】（特許公報第９頁第４６〜４９行）を、
「（
参考例２
参考例１
▲５▼訂正事項ｅ
　発明の詳細な説明の段落【０１００】（特許公報第１１頁第６〜９行）を
　「以上、実施例１−１、１−２に関し、比較例１と比較した場合の結果を示したが、
実地例１−３
▲６▼訂正事項ｆ
　発明の詳細な説明の
段落【０１０２】（特許公報第１１頁第２１〜２２行）を、
「（
実施例２
ここで、図１７の記録ヘッド（これは、図２にも採用できる）をまとめると、以下の構成を備えている。」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
インクジェット記録ヘッド及びそれを用いた記録装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　インクジェット記録ヘッドにおいて、
　
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された、前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
　【請求項２】　前記
撥水膜
　【請求項３】　インクの小滴を吐出、飛翔させるための吐出エネルギー発生手段は、記録装置から電気信号の供給によってインク内に膜沸騰を生じさせる熱エネルギー発生手段である請求項１ないし２のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
　【請求項４】　前記請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載した記録装置。
【発明の詳細な説明】
　　　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、一般にインクと呼ばれる記録液を微細口（吐出口）から小滴として吐出、飛翔させる記録ヘッド及びこの小滴の被記録面への付着を以て記録を行なうと共にキャップや清掃機構を備えたインクジェット記録装置に関する。
　　　【０００２】
　【従来の技術】
　現在知られている各種記録方式の中でも、記録時に騒音の発生がほとんどないノンインパクト記録方式であって、且つ、高速記録が可能であり、しかも普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の行なえる所謂インクジェット記録法は、極めて有用な記録方式であると認められている。
　　　【０００３】
　図８は、通常のインクジェット記録ヘッドの構成を例示する展開斜視図である。
　　　【０００４】
　この記録ヘッドにおいては、ガラスやセラミックスなどで形成された基板１１の上に、エネルギー発生素子１２が設置され、感光性樹脂硬化膜１３をフォトリソグラフィー法でパターニングすることにより、エネルギー発生素子１２に対応する液路１５および吐出口１４、更には流路１５にインクを供給する液室１６が形成されている。その感光性樹脂硬化膜１３の上には、例えばガラス、セラミックス、金属などで形成された天板１７が、接着剤１９により積層固着されている。また、その天板１７には記録液（インク）供給口１８が形成されている。
　　　【０００５】
　このような構成の記録ヘッドにおいて、吐出口１４を囲む基板１１、感光性樹脂硬化膜１３および天板１７の表面の物理的性質（物理特性）は、吐出口１４から記録液を常時安定して吐出させる上で極めて重要である。すなわち、吐出口１４の外廻り表面部（吐出口周縁部）に記録液が廻り込んだり、付着するなどして、その一部にでも液溜りが生じると、液路１５の記録液が吐出口１４から吐出される際に、その飛翔方向が正規の所定方向から離脱するようになり、更には、液溜りの状態の不安定さから、吐出される毎にその飛翔方向が乱れるという不都合が生じ、そのため安定した液吐出が行なえずに良好な記録が行なえなくなる。
　　　【０００６】
　また、更に、吐出口１４の外廻り表面部全体が記録液の膜で覆われると、いわゆるスプラシュ現象が生じて記録液の散乱が起り、安定した記録が行なえなくなる。また、オリフィスの外廻り表面部を覆う液溜りが大きくなると、記録ヘッドの液吐出が不能状態に陥ることすらある。
　　　【０００７】
　また、図８に示したような通常の記録ヘッドでは、吐出口をとり囲む部材として、例えば、シリコン（基板１）、ガラス（天板１７）、樹脂（感光性樹脂硬化膜１３）のように異なる材料が使用される場合が多い。そして記録液は、吐出口周縁部において、それら三種の中で最も漏れ易い材質の部分から漏れる。通常のインク（記録液）に対しては、上述の三種の材料のうちガラスが一番漏れ易いため、その部分からインクは漏れる場合がある。そのガラス部分は、ヘッドの製造上や性能上好ましいので通常使用されている材料であり、インクが漏れを防ぐ目的で別の材料を使用することは製造上、性能上、コスト上望ましくない。
　　　【０００８】
　以上説明したように、従来の記録ヘッドにおいては、オリフィスの周縁部に記録液の液溜りが生じると、安定な吐出が行なえなくなるという問題を解決するため、図７に示すように、少なくとも吐出口１４の周縁部に、いわゆる撥水処理を施した撥水処理層２０を形成し、上述の問題を解決せんとする提案が例えば、特開昭５６−８９５６９号、特開昭６２−５５１５４号、特開平２−１５３７４４号等、従来より数く開示されている。この撥水処理に用いる犠水処理剤としては、例えばシリコン系ポリマーやオリゴマー、さらにフッ素系ポリマーやオリゴマーなど種々のものか挙げられている。
　　　【０００９】
　【発明が解決しようとする課題】
　インクジェット記録ヘッドに形成する撥水処理層２０は、単に撥水性のみが良好であるだけでなく、通常のインクジェット記録を行なう際における撥水処理層の耐久性の点についても十分でなければ実用的ではない。以下、その耐久性について述べる。
　　　【００１０】
　インクジェット記録法を実施する場合には、たとえオリフィス周縁部に撥水処理が施されていても、オリフィス周縁部は常に記録液と接しているので、ポリウレタンフォーム等の吸収体でオリフィス面を拭き、付着したインクを吸い取るという回復操作が為されるのが通常である。したがって、撥水処理層は吸収体によりこすられても剥離しない程度の密着性や層が破壊しない程度の耐摩耗性等が必要とされる。これらの耐久性が不十分であると、初期はともかく、ヘットを使用しているうちに撥水処理層が徐々に剥離したり、抜け落ちたりして撥水効果を示さなくなり、安定な吐出印字ができなくなってしまう。
　　　【００１１】
　このようなインクジェット記録ヘッドに必要とされる耐久性において、従来の撥水処理剤にて形成した撥水処理層では十分ではない場合が有った。
　　　【００１２】
　具体的には、図９のようにゴムブレード等による拭きの際、従来の撥液処理剤の場合、フッ素系化合物の中でも硬度的にやわらかいものを使用したときは、ゴムブレード等によりかきとられた撥液処理剤が吐出口の中まで侵入してしまうという問題があった。こうなればインクのメニスカス位置がズレるため、インクの吐出方向がずれてしまい、ヨレが発生し、印字品位を悪化させてしまう。このためゴムブレード等による、ふき耐久に強く硬度の硬い撥液処理膜が求められるようになった。
　　　【００１３】
　また、図１０のように、吐出口の周辺部から剥離が発生する場合もあった。
　　　【００１４】
　更には、図２に示したインクジェットヘッドのように、オリフィスをとり囲む部材が複数の異なる材質から成っている場合には、そのどの材質とも密着が良い撥液処理層を形成しなければならない。従来の撥液処理剤にて形成した撥水処理層は、特に、この点において不十分である場合が有った。
　　　【００１５】
　一方、液室、液路、吐出口形成面を一体成形する溝付天板を用いたインクジェットヘッドの場合、その溝付天板は成形により作られるため、１つの材質より成っている。このように、１つの材質より成っている場合でも、その材質は成形性及びインクの接液性等の制約より限られた材質の中から選ばなければならない場合が多い。一般的にはポリサルフォン、ポリエーテルサルフォンポリエステル、ポリアセタール等の材質が使用されるが、これら成形材は撥液処理剤との密着性が不十分な場合があり、剥離する等問題があった。
　　　【００１６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、前述の課題を解決せんと提案されたものであり、インクジェット記録ヘッドにおいて、
吐出口が形成される樹脂製オリフィスプレートの表面に、主鎖に含フッ素ヘテロ環状構造を有するポリマーを含有する撥水膜を形成した後、前記撥水膜とともに前記オリフィスプレートをエキシマレーザー等によって貫通することで形成された前記吐出口の周縁部に前記撥水膜を備えた前記吐出口を具備する
　　　【００１７】
　本発明においては、吐出口付近に問題の解決が絞られるものであるから以後に於ては記録ヘッドの吐出口を含む部分のみを抽出して詳述するが、本発明の主旨に沿うものであれば、例えば図１に示した如き記録ヘッドに限定されることはなく、如なるタイプの記録ヘッドでも、吐出口よりインクを吐出させるものであれば本発明に適用されるものである。
　　　【００１８】
　また、図７に示すように液路の終端部が吐出口を形成するタイプだけでなく、流路の端部に所定径の穴の設けられた流路とは別のオリフィス板を付設して吐出口を形成したタイプの場合も本発明に包含される。
　　　【００１９】
　本発明は、吐出口を囲むインクジェット記録ヘッド外表面を本発明に特有の化合物で処理して撥液性にすることにより安定なインクジェット記録をいつまでも行なう事ができる。
　　　【００２０】
　本発明において、含フッ素ヘテロ環状構造とは、化学構造式てヘテロ原子を１〜２個含む５〜８員環の有機物である。
　　　【００２１】
　ヘテロ原子とは、炭素（Ｃ）以外の原子であり、具体的には、酸素（Ｏ）、チッ素（Ｎ）、イオウ（Ｓ）、リン（Ｐ）等が用いられ、特に酸素（Ｏ）が化学的安定性、安全性の面から好適に用いられる。
　　　【００２２】
　本発明において、ヘテロ環構造を有する含フッ素ポリマーは、撥インク（接触角）の面からフッ素の含有率が、１０重量％以上、より好適には２５重量％以上、さらに好適には５０重量％以上のものが良い。
　　　【００２３】
　また、主鎖における環構造の割合は、目的とする被膜の強さや溶剤への溶解性、あるいは基材との密着性等の面から１０％以上より好適には２０％以上、さらに好適には３０％以上が良い。
　　　【００２４】
　本発明において、ヘテロ環構造を有する含フッ素ポリマーのうち特に、非晶質なポリマーを用いることが好ましい。非晶質なポリマーは、膜強度、基材への密着性、膜の均一性等が優れているため本発明の効果をより一層発揮することがてきる。
　　　【００２５】
　本発明において、主鎖にヘテロ環構造を有する含フッソ素ポリマーとしては例えば、米国特許第３，４１８，３０２号、米国特許第３，９７８，０３０号、特開昭６３−２３８１１１号公報、特開昭６３−２３８１１５号公報、特開平１−１３１２１４号公報、特開平１−１３１２１５号公報等に記載されているポリマーが好適に用いられる。
　　　【００２６】
　これらのうち、次の如きヘテロ環構造を有するポリマーが代表的である。ただし、本発明の内容はこれらのみに限定されるものではない。
　　　【００２７】
　【外１】
　　　【００２８】
　【外２】
　　　【００２９】
　【外３】
　　　【００３０】
　【外４】
　　　【００３１】
　更に、基材との密着性の向上やＴｇ、溶剤への溶解性をコントロールするためには主鎖中に
　　　【００３２】
　【外５】
（Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５はそれぞれＨ、Ｆ、Ｃｌ、Ｒｆ（フッ素含有アルキル）である。Ｘは、Ｈ、Ｆ、Ｃｌ、Ｒｆ３、Ｒｆ４である。ただし、Ｒｆ３は酸、エステル、アルコール、アミン、アミト等の官能機を末端に有する含フッ素有機置換基、Ｒｆ４は含フッ素アルキル、含フッ素エーテルである。）の構造を導入してもよく、これらの構造は以下のコモノマーと共重合することにより得られる。
　　　【００３３】
ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２ＳＯ２Ｆ、
ＣＦ２＝ＣＦ−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２ＣＯＯＣＨ３、
ＣＦ２＝ＣＦ−ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）−Ｏ−ＣＦ２ＣＦ２ＳＯ２Ｆ
　　　【００３４】
　以上示したような特定な化学構造をもち、撥液処理剤として適しているものとして、サイトップＣＴＸ−１０５（商品名　旭硝子製）またはサイトップＣＴＸ−８０５（商品名　旭硝子製）またはテフロンＡＦ（商品名　デュポン）があげられる。
　　　【００３５】
　本発明において、特定の環構造を有するポリマーによる撥液膜形成方法は、ヘッド作成工程の違いにより大きく２つに分けられる。
　　　【００３６】
　すなわち、図１に示されるような、撥液膜を形成した後、吐出オリフィスを形成するタイプと図７に示されるような、吐出オリフィスが形成されている後に、撥液膜を形成するタイプの２つである。前者の場合は、本発明における特定の環構造を有するポリマーの原液または希釈液中に浸漬するか、吸収体等による転写、またはスプレー塗布あるいはスピンコートなど一般的なコーティング法により作成することができる。後者の場合は、前記のような方法では、吐出口からインク路の内壁面に撥液剤がまわり込んでしまうため、それを防止するための工夫が必要である。たとえば、シリコンゴム等による転写方法や、あらかじめ液路内に撥液剤と混和しない液体とか固体を充填したり、気体をノズルから噴出させながら撥液処理を行なう等の工夫が必要であり、例えば、特開昭６３−１２２５５７号公報、特開昭６３−２３９０６３号公報、特開平２−４８９５３号公報の技術が開示されている。
　　　【００３７】
　用いられる溶媒としては、本発明のポリマーを溶解するものであれば限定はないがパーフルオロベンゼン、“アフルード（商品名：旭硝子製のフッ素系溶剤）、“フロリナートＦＣ−７５”（商品名：３Ｍ社製のパーフルオロ（２−ブチルテトラヒトロフラン）を含んだ液体）等の含フッ素溶剤が好適である。当然のことであるが、適宜の２種類以上を併用して溶媒として用いることができる。特に混合溶媒の場合、炭化水素系、塩化炭化水素、弗塩化炭化水素、アルコール、その他の有機溶剤も併用できる。溶液濃度は０．０ｌｗｔ％〜５０ｗｔ％で、好ましくは０．０１ｗｔ％〜２０ｗｔ％である。本発明において、本発明に特有の化合物からなる撥液膜の厚みは０．１μｍ以上であれば前記目的を十分達成し得るが、０．１〜２μｍの範囲で使用するのが好ましい。
　　　【００３８】
　本発明において、特定のヘテロ環構造を有する含フッ素ポリマーの熱処理条件（温度）は、溶媒の沸点及びこのポリマーのガラス転移点及び基材の耐熱温度によって決定される。すなわち、溶媒の沸点及びこのポリマーのガラス転移点より高く、基材の耐熱温度より低い温度を選べばよい。
　　　【００３９】
　このポリマーのガラス転移点は、その構造によって異なる。たとえば、前記−般式▲６▼〜▲８▼の構造のものは、５０〜ｌ１０℃ぐらいのものが多いため、熱処理条件は、温度は１２０〜１７０℃、時間は３０分〜２時間くらいが好ましい。また、主鎖中に▲２▼の構造と
　　　【００４０】
　【外６】
−（ＣＦ２−ＣＦ２）
の構造を有するコポリマーは“テフロンＡＦ”という商標名でデュポン社より出されているものである。このテフロンＡＦは、その共重合比を変える事によりさまざまなガラス転移温度を有する事ができる。すなわちＰＤＤ［パーフルオロ（２，２−ジメチルー１，３−ジオキソール）］成分の比率が高くなるにつれて、ガラス転移点は上昇する。その成分比により８０℃〜３３０℃ぐらいまで存在し、市販されているのは１６０℃（ＡＦ１６００）と２４０℃（ＡＦ２４００）のものである。たとえば１６０℃のものの熱処理温度は、基材の耐熱温度も考え１６５℃〜１８０℃ぐらいか好ましい。
　　　【００４１】
　【実施例】
　図１は本発明の実施例である、液室、流路、オリフィス面を一体成形により作りあげた溝付天板３のオリフィス面に撥水処理剤を塗布した後、熱硬化させると、撥液膜１が形成される。その後エキシマレーザー等による穴あけによって形成された吐出オリフィスを有する溝付天板と記録液を吐出オリフィスより吐出させるための手段である発熱体とを有する基板５を接着してつくられている。
　　　【００４２】
　図２乃至図６は、本発明が実施もしくは適用される好適なインクジェットユニットＩＪＵ，インクジェットヘッドＩＪＨ，インクタンクＩＴ，インクジェットカートリッジＩＪＣ，インクジェット記録装置本体ＩＪＲＡ，キャリッジＨＣの夫々及び夫々の関係を説明するための説明図である。以下これらの図面を用いて各部構成の説明を行う。
　　　【００４３】
　本例でのインクジェットカートリッジＩＪＣは、図３の斜視図でわかるように、インクの収納割合か大きくなっているもので、インクタンクＩＴの前方面よりもわずかにインクジェットユニットＩＪＵの先端部が突出した形状である。このインクジェットカートリッジＩＪＣは、インクジェット記録装置本体ＩＪＲＡに載置されているキャリッジＨＣ（図５）の後述する位置決め手段及ぴ電気的接点とによって固定支持されると共に、該キャリッシＨＣに対して着脱可能なディスポーザブルタイプである。本例図２乃至図６には、本発明の成立段階において成された数々の新規な技術が適用された構成となっているので、これらの構成を簡単に説明しながら、全体を説明することにする。
　　　【００４４】
　（ｉ）インクジェットユニットＩＪＵ構成説明
　インクジェットユニットＩＪＵは、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット方式のユニットである。
　　　【００４５】
　図２において、１００はＳｉ基板上に複数の列状に配された電気熱変換体（吐出ヒータ）と、これに電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により形成されて成るヒータボードである。２００はヒータボード１００に対する配線基板であり、ヒータボード１００の配線に対応する配線（例えばワイヤボンディングにより接続される）と、この配線の端部に位置し本体装置からの電気信号を受けるパッド２０１とを有している。
　　　【００４６】
　１３００は複数のインク流路を夫々区分するための隔壁や各インク流路ヘインクを与えるためにインクを収納するための共通液室等を設けた溝付天板で、インクタンクＩＴから供給されるインクを受けて上述の共通液室へ導入するインク受け口１５００と、各インク流路に対応した吐出口を複数有するオリフィスプレート４００を一体成型したものである。これらの一体成型材料としてはポリサルフォンが好ましいが、他の成型用樹脂材料でも良い。
　　　【００４７】
　３００は配線基板２００の裏面を平面で支持する例えば金属製の支持体で、インクジェットユニットの底板となる。５００は押えばねであり、Ｍ字形状でそのＭ字の中央で共通液室を軽圧で押圧すると共に前だれ部５０１で液路の一部、好ましくは吐出口近傍の領域を線圧で集中押圧する。ヒータボード１００および天板１３００を押えばねの足部が支持体３００の穴３１２１を通って支持体３００の裏面側に係合することでこれらを挟み込んだ状態で両者を係合させることにより、押えばね５００とその前だれ部５０１の集中付勢力によってヒータボード１００と天板１３００とを圧着固定する。又支持体３００は、インクタンクＩＴの２つの位置決め凸起１０１２及び位置決め且つ熱融着保持用凸起１８００，１８０１に係合する位置決め用穴３１２，１９００，２０００を有する他、装置本体ＩＪＲＡのキャリッジＨＣに対する位置決め用の突起２５００，２６００を裏面側に有している。加えて支持体３００はインクタンクからのインク供給を可能とするインク供給管２２００（後述）を貫通可能にする穴３２０をも有している。支持体３００に対する配線基板２００の取付は、接着剤等で貼着して行われる。尚、支持体３００の凹部２４００，２４００は、それぞれ位置決め用突起２５００，２６００の近傍（裏面側）に設けられている。そして、組立てられたインクジェットカートリッジＩＪＣ（図３）のヘッド部先端領域の周囲３辺に形成された平行溝３０００，３００１の複数の延長線上にある。このため平行溝３０００，３００１に沿って移動したゴミやインク等の不要物が突起２５００，２６００に至ることがないようになっている。この平行溝３０００が形成されている。蓋部材８００は、図５でわかるように、インクジェットカートリッジＩＪＣの外壁を形成すると共に、インクタンクとでインクジェットユニットＩＪＵを収納する空間部を形成している。又、この平行溝３００１が形成されているインク供給部材６００は、前述したインク供給管２２００に連続するインク導管１６００を供給管２２００側が固定の片持ちばりとして形成し、インク導管の固定側とインク供給管２２００との毛管現象を確保するための封止ピン６０２が挿入されている。尚、６０１はインクタンクＩＴと供給管２２００との結合シールを行うパッキン、７００は供給管のタンク側端部に設けられたフィルターである。
　　　【００４８】
　このインク供給部材６００は、モールド成型されているので、安価で位置精度が高く形成製造上の精度低下を無くしているだけでなく、インクの供給用導管１６００の構造を片持ちばり構造としているため、導管１６００の上述インク受け口１５００に対する圧接状態が安定化できるので大量生産にも適した構造となっている。本例では、この圧接状態下で封止用接着剤をインク供給部材側から流し込むだけで、より完全な連通状態を確実に得ることができている。尚、インク供給部材６００の支持体３００に対する固定は、支持体３００の穴１９０１，１９０２に対するインク供給部材６００の裏面側ピン（不図示）を支持体３００の穴１９０１，１９０２を介して貫通突出せしめ、支持体３００の裏面側に突出した部分を熱融着することで簡単に行われる。尚、この熱融着された裏面部のわずかな突出領域は、インクタンクＩＴのインクジェットユニットＩＪＵ取付面側壁面のくぼみ（不図示）内に収められるのでユニットＩＪＵの位置決め面は正確に得られる。
　　　【００４９】
　（ｉｉ）インクタンクＩＴ構成説明
　インクタンクは、カートリッジ本体１０００と、インク吸収体９００とインク吸収体９００をカートリッジ本体１０００の上記ユニットＩＪＵ取付面とは反対側の側面から挿入した後、これを封止する蓋部材１１００とで構成されている。
　　　【００５０】
　９００はインクを含浸させるための吸収体であり、カートリッジ本体１０００内に配置される。１２００は上記各部１００〜６００からなるユニットＩＪＵに対してインクを供給するための供給口であると共に、当該ユニットをカートリッジ本体１０００の部分１０１０に配置する前の工程で供給口１２００よりインクを注入することにより吸収体９００のインク含浸を行うための注入口でもある。
　　　【００５１】
　この本例では、インクを供給可能な部分は、大気連通口とこの供給口とになるが、インク吸収体からのインク供給性を良好に行うための本体１０００内リブ２３００と蓋部材１１００の部分リブ２３０２，２３０１とによって形成されたタンク内空気存在領域を、大気連通口１４０１側から連続させてインク供給口１２００から最も遠い角部域にわたって形成している構成をとっているので、相対的に良好かつ均一な吸収体へのインク供給は、この供給口１２００側から行われることが重要である。この方法は実用上極めて有効である。このリブ２３００は、インクタンクの本体１０００の後方面において、キャリッジ移動方向に平行なリブを４本有し、吸収体が後方面に密着することを防止している。又、部分リブ２４００，２５００は、同様にリブ２３００に対して対応する延長上にある蓋部材１１００の内面に設けられているが、リブ２３００とは異なり分割された状態となっていて空気の存在空間を前者より増加させている。尚、部分リブ２３０２，２３０１は蓋部材１１００の全面積の半分以下の面に分散された形となっている。これらのリブによってインク吸収体のタンク供給口１２００から最も遠い角部の領域のインクをより安定させつつも確実に供給口１２００側へ毛管力で導びくことができた。１４０１はカートリッジ内部を大気に連通するために蓋部材に設けた大気連通口である。１４００は大気連通口１４０１の内方に配置される犠液材であり、これにより大気連通口１４００からのインク漏洩が防止される。
　　　【００５２】
　前述したインクタンクＩＴのインク収容空間は長方体形状であり、その長辺を側面にもつ場合であるので上述したリブの配置構成は特に有効であるが、キャリッジの移動方向に長辺を持つ場合又は立方体の場合は、蓋部材１１００の全体にリブを設けるようにすることでインク吸収体９００からのインク供給を安定化できる。限られた空間内にインクを出来るだけ収納するためには直方体形状が適しているが、この収納されたインクを無駄なく記録に使用するためには、上述したように、角部の領域に対して近接する２面領域に上記作用を行えるリブを設けることが重要である。更に本実施例におけるインクタンクＩＴの内面リブは、直方体形状のインク吸収体の厚み方向に対してほぼ均一な分布で配置されている。この構成は、吸収体全体のインク消費に対して、大気圧分布を均一化しつつインク残量をほとんど無ならしめることが出来るため重要な構成である。更に、このリブの配置上の技術思想を詳述すれば、直方体の４角形上面においてインクタンクのインク供給口１２００を投影した位置を中心として、長辺を半径とする円弧を描いたときに、その円弧よりも外側に位置する吸収体に対して、大気圧状態が早期に与えられるようにその円弧よりも外側の面に上記リブを配設することが重要となる。この場合、タンクの大気連通口は、このリブ配設領域に大気を導入できる位置であれば、本例に限られることではない。
　　　【００５３】
　加えて、本実施例では、インクジェットカートリッジＩＪＣのヘッドに対する後方面を平面化して、装置に組み込まれたときの必要スペースを最小化ならしめるとともに、インクの収容量を最大化している構成をとっているために、装置の小型化を達成できるだけではなく、カートリッジの交換頻度を減少できる優れた構成をとっている。そして、インクジェットユニットＩＪＵを一体化するための空間の後方部を利用して、そこに、大気連通口１４０１用の突出部分を形成し、この突出部分の内部を空洞化して、ここに前述した吸収体９００厚み全体に対する大気圧供給空間１４０２を形成してある。このように構成することで、従来には見られない優れたカートリッジを提供できた。尚、この大気圧供給空間１４０２は、従来よりもはるかに大きい空間であり、上記大気連通口１４０１が上方に位置しているので、何らかの異常で、インクが吸収体から離脱しても、この大気圧供給空間１４０２は、そのインクを一時的に保持でき、確実に吸収体に回収せしめることができるので無駄のない優れたカートリッジを提供できる。
　　　【００５４】
　又インクタンクＩＴの上記ユニットＩＪＵの取付面の構成は図４によって示されている。オリフィスプレート４００の突出口のほぼ中心を通って、タンクＩＴの底面もしくはキャリッジの表面の載置基準面に平行な直線をＬ１とすると、支持体３００の穴３１２に係合する２つの位置決め凸起１０１２はこの直線Ｌ１上にある。この凸起１０１２の高さは支持体３００の厚みよりわずかに低く、支持体３００の位置決めを行う。この図面上て直線Ｌ１の延長上にはキャリッジの位置決め用フック４００１の９０度角の係合面４００２が係合する爪２１００が位置しており、キャリッジに対する位置決めの作用力がこの直線Ｌ１を含む上記基準面に平行な面領域で作用するように構成されている。図５で後述するが、これらの関係は、インクタンクのみの位置決めの精度がヘッドの吐出口の位置決め精度と同等となるので有効な構成となる。
　　　【００５５】
　又、支持体３００のインクタンク側面への固定用穴１９００，２０００に夫々対応するインクタンクの突起１８００，１８０１は前述の凸起１０１２よりも長く、支持体３００を貫通して突出した部分を熱融着して支持体３００をその側面に固定するためのものである。上述の線Ｌ１に垂直でこの突起１８００を通る直線をＬ３、突起１８０１を通る直線をＬ２としたとき、直線Ｌ３上には上記供給口１２００のほぼ中心が位置するので、供給部の口１２００と供給管２２００との結合状態を安定化する作用をし、落下や衝撃によってもこれらの結合状態への負荷を軽減できるので好ましい構成である。又、直線Ｌ２，Ｌ３は一致していず、ヘッドＩＪＨの吐出口側の凸起１０１２周辺に突起１８００，１８０１が存在しているので、さらにヘッドＩＪＨのタンクに対する位置決めの補強効果を生んでいる。尚、Ｌ４で示される曲線は、インク供給部材６００の装着時の外壁位置である。突起１８００，１８０１はその曲線Ｌ４に沿っているので、ヘッドＩＪＨの先端側構成の重量に対しても充分な強度と位置精度を与えている。尚、２７００はインクタンクＩＴの先端ツバで、キャリッジの前板４０００の穴に挿入されて、インクタンクの変位が極端に悪くなるような異変時に対して設けられている。２１０１は、キャリッジに対する抜け止めで、キャリッジＨＣの不図示のバーに対して設けられ、カートリッジＩＪＣが後述のように旋回装着された位置でこのバーの下方に侵入して、不要に位置決め位置から離脱させる上方方向へ力が作用しても装着状態を維持するための保護用部材である。インクタンクＩＴは、ユニットＩＪＵを装着された後に蓋８００で覆うことで、ユニットＩＪＵを下方開口を除いて包囲する形状となるが、インクジェットカートリッジＩＪＣとしては、キャリッジＨＣに載置するための下方開口はキャリッジＨＣと近接するため、実質的な４方包囲空間を形成してしまう。従って、この包囲空間内にあるヘッドＩＪＨからの発熱はこの空間内の保温空間として有効となるものの長期連続使用としては、わずかな昇温となる。このため本例では、支持体の自然放熱を助けるためにカートリッジＩＪＣの上方面に、この空間よりは小さい幅のスリット１７００を設けて、昇温を防止しつつもユニットＩＪＵ全体の温度分布の均一化を環境に左右されないようにすることができた。
　　　【００５６】
　インクジェットカートリッジＩＪＣとして組立てられると、インクはカートリッジ内部より供給口１２００、支持体３００に設けた穴３２０および供給タンク６００の中裏面側に設けた導入口を介して供給タンク６００内に供給され、その内部を通った後、導出口より適宜の供給管および天板１３００のインク導入口１５００を介して共通液室内へと流入する。以上におけるインク連通用の接続部には、例えばシリコンゴムやフチルゴム等のパッキンが配設され、これによって封止が行われてインク供給路が確保される。
　　　【００５７】
　尚本実施例においては天板１３００は耐インク性に優れたポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリプロピレンなどの樹脂を用い、オリフィスプレート部４００と共に金型内で一体に同時成型してある。
　　　【００５８】
　上述のように一体成型部品は、インク供給部材６００、天板１３００・オリフィスプレート４００一体部材、インクタンク本体１０００としたので組立て精度が高水準になるばかりでなく、大量生産の品質向上に極めて有効である。又部品点数の個数は従来に比較して減少できているので、優れた所望特性を確実に発揮できる。
　　　【００５９】
　また、本発明実施例では、上記組立後の形状において、図２乃至図４で示されるように、インク供給部材６００は、その上面部６０３がインクタンクＩＴのスリット１７００を備えた屋根部の端部４００８との間に図３に示したようにスリットＳを形成し、下面部６０４がインクタンクＩＴの下方の蓋８００が接着される薄板部材のヘッド側端部４０１１との間に上記スリットＳと同様のスリット（不図示）を形成している。これらのインクタンクＩＴとインク供給部材６００との間のスリットは、上記スリット１７００の放熱を一層促進させる作用を実質的に行うとともに、タンクＩＴへ加わる不要な圧力があってもこれを直接供給部材、強いては、インクジェットユニットＩＪＴへ及ぼすことを防止している。
　　　【００６０】
　いずれにしても、本実施例の上記構成は、従来には無い構成であって、それぞれが単独で有効な効果をもたらすと共に、複合的にも各構成要件があることで有機的な構成をもたらしている。
　　　【００６１】
　（ｉｉｉ）キャリッジＨＣに対するインクジェットカートリッジＩＪＣの取付説明
　図５において、５０００はプラテンローラで、記録媒体Ｐを紙面下方から上方へ案内する。キャリッジＨＣは、プラテンローラ５０００に沿って移動するもので、キャリッジの前方プラテン側にインクジェットカートリッジＩＪＣの前面側に位置する前板４０００（厚さ２ｍｍ）と、カートリッジＩＪＣの配線基板２００のパッド２０１に対応するパッド２０１１を具備したフレキシブルシート４００５及びこれを裏面側から各パッド２０１１に対して押圧する弾性力を発生するためのゴムパッドシート４００７を保持する電気接続部用支持板４００３と、インクジェットカートリッジＩＪＣを記録位置へ固定するための位置決め用フック４００１とが設けられている。前板４０００は位置決め用突出面４０１０をカートリッジの支持体３００の前述した位置決め突起２５００，２６００に夫々対応して２個有し、カートリッジの装着後はこの突出面４０１０に向う垂直な力を受ける。このため、補強用のリブが前板のプラテンローラ側に、その垂直な力の方向に向っているリブ（不図示）を複数有している。このリブは、カートリッジＩＪＣ装着時の前面位置Ｌ５よりもわずかに（約０．１ｍｍ程度）プラテンローラ側に突出しているヘッド保護用突出部をも形成している。電気接続部用支持板４００３は、補強用リブ４００４を前記リブの方向ではなく垂直方向に複数有し、プラテン側からフック４００１側に向って側方への突出割合が減じられている。これは、カートリッジ装着時の位置を図のように傾斜させるための機能も果している。又、支持板４００３は電気的接触状態を安定化するため、上記２つの位置決め用突出面４０１０がカートリッジに及ぼす作用方向と逆方向に、カートリッジヘの作用力を及ぼすためのフック側の位置決め面４００６を突出面４０１０に対応して２個有し、これらの２個の位置決め面の間にパッドコンタクト域を形成すると共にパッド２０１１対応のボッチ付ゴムシート４００７のボッチの変形量を一義的に規定する。これらの位置決め面は、カートリッジＩＪＣが記録可能な位置に固定されると、配線基板２００の表面に当接した状態となる。本例では、さらに配線基板２００のパッド２０１を前述した線Ｌ１に関して対称となるように分布させているので、ゴムシート４００７の各ボッチの変形量を均一化してパッド２０１１の当接圧をより安定化している。本例のパッド２０１の分布は、上方，下方２列、縦２列である。
　　　【００６２】
　フック４００１は、固定軸４００９に係合する長穴を有し、この長穴の移動空間を利用して図の位置から反時計方向に回動した後、プラテンローラ５０００に沿って左方側へ移動することでキャリッジＨＣに対するインクジェットカートリッジＩＪＣの位置決めを行う。このフック４００１の移動はどのようなものでも良いが、レバー等で行える構成が好ましい。いずれにしてもこのフック４００１の回動時にカートリッジＩＪＣはプラテンローラ側へ移動しつつ位置決め突起２５００，２６００が前板の位置決め面４０１０に当接可能な位置へ移動し、フック４００１の左方側移動によって９０度のフック面４００２がカートリッジＩＪＣの爪２１００の９０度面に密着しつつカートリッジＩＪＣを位置決め面２５００，４０１０同志の接触域を中心に水平面内で旋回して最終的にパッド２０１，２０１１同志の接触が始まる。そしてフック４００１が所定位置、即ち固定位置に保持されると、パッド２０１，２０１１同志の完全接触状態と、位置決め面２５００，４０１０同志の完全面接触と、９０度面４００２と爪の９０度面の２面接触と、配線基板３００と位置決め面４００６との面接触とが同時に形成されてキャリッジに対するカートリッジＩＪＣの保持が完了する。
　　　【００６３】
（ｉＶ）装置本体の概略説明
　図６は本発明が適用されるインクジェット記録装置ＩＪＲＡの概観図で、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５０１１，５００９を介して回転するリードスクリュー５００５から線溝５００４に対して係合するキャリッジＨＣはピン（不図示）を有し、矢印ａ，ｂ方向に往復移動される。５００２は紙押え板であり、キャリッジ移動方向にわたって紙をプラテン５０００に対して押圧する。５００７，５００８はフォトカプラでキャリッジのレバー５００６のこの域での存在を確認してモータ５０１３の回転方向切換等を行うためのホームポジション検知手段である。５０１６は記録ヘッドの前面をキャップするキャップ部材５０２２を支持する部材で、５０１５はこのキャップ内を吸引する吸引手段でキャップ内開口５０２３を介して記録ヘッドの吸引回復を行う。５０１７はクリーニングブレードで、５０１９はこのブレードを前後方向に移動可能にする部材であり、本体支持板５０１８にこれらは支持されている。ブレードは、この形態でなく周知のクリーニングブレードが本例に適用できることはいうまでもない。又、５０２１は、吸引回復の吸引を開始するためのレバーで、キャリッジと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切換等の公知の伝達手段で移動制御される。
　　　【００６４】
　これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復は、キャリッジがホームポジション側領域にきたときにリードスクリュー５００５の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されているが、周知のタイミングで所望の作動を行うようにすれば、本例には何れも適用できる。上述における各構成は単独でも複合的に見ても優れた発明であり、本発明にとって好ましい構成例を示している。
　　　【００６５】
　上述した図２から図６に対して技術的に関係する構成について詳述するため、以下、図１及び図７以降を用いながら説明する。
　　　【００６６】
　（実施例１−１）
　成形した溝付天板に付着している離型剤を落すためフロン１１３（ダイフロンＳ３ダイキン工業製）で５分間、超音波洗浄槽中で洗浄した。塗布は吸収体のベルイータ・Ｆメッシュ（カネボウ製）を所定の大きさにカットし、その吸収体を撥液処理剤に浸漬し、引き上げたものを洗浄した溝付天板の吐出口形成面に押しつけながら移動させることにより塗布を行った。撥液処理剤としては、サイトップＣＴＸ−１０５（旭硝子製）の５％溶液をＣＴ−ｓｏｌｖ．１００（沸点１００℃、旭硝子製）で０．５ｗｔ％まで稀釈したものを使用した。
　　　【００６７】
　撥液剤の塗布範囲（図１１×ｍ）は吸収体の幅と移動距離で決定される。このとき吸収体の幅は必要な撥液処理剤の幅（図１１）よりも０．２ｍｍ短い寸法で切断した。これは、塗布時に撥液処理剤自身の広がり（両方向約０．１ｍｍづつ）が存在するためである。移動距離は吸収体により塗布しない部分（図１ｃ）を残した寸法（図１ｍ）となる。
　　　【００６８】
　ここで、塗布範囲が吐出口形成面全面でなく、ある塗布範囲を指定したのは塗布時、及び熱処理時にうらまわりするのを防ぐためである。今回は図１Ａ，Ｂ，Ｃとも０．５ｍｍで行った。しかし、うらまわりの心配がなければＡ，Ｂ，Ｃとも０であってもよい。
　　　【００６９】
　塗布が完了した溝付天板をトレイに入れ、１５０℃のオーブン中に２時間半投入し、熱処理した。このとき投入後３０分間は溝付天板及びトレイの温度が所定の１５０℃に上昇するのに使われるので、実際の熱処理時間は２時間である。
　　　【００７０】
　２時間半後除冷し、８０℃以下になった所でオーブンよりとり出した。撥液処理が終了した溝付天板に対し、エキシマレーザー等により、吐出オリフィスを形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合わせを行った。
　　　【００７１】
　（実施例１−２）
　実施例１−１と同様、溝付天板の離型剤を洗浄した後、同じ吸収体を使用し、同じ方法で塗布を行なった。撥液処理剤としては、サイトップＣＴＸ−８０５（旭硝子製）の５ｗｔ％溶液をＣＴ−ｓｏｌｖ．１８０（沸点１８０℃旭硝子製）で０．５ｗｔ％まで希釈したものを使用した。
　　　【００７２】
　この溶媒は沸点１８０℃であるが、溝付天板の材料であるポリサルフォン等は耐熱温度が１７３℃付近のため熱処理温度は１５０℃に、時間は２時間半に設定した。
　　　【００７３】
　２時間半後、除冷し、８０℃以下になった所でオーブンよりとり出した。撥液処理が終了した溝付天板に対し、エキシマレーザー等により吐出オリフィスを形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合わせを行なった。
　　　【００７４】
　（実施例１−３）
　実施例１−１と同様、溝付天板の離型剤を洗浄した後、回し吸収体を使用し、同じ方法で塗布を行なった。撥液処理剤としては、ＡＦ１６００（テフロンＡＦ、商品名　デュポン社）をフロリナートＦＣ−７５（商品名　３Ｍ社）で０．５ｗｔ％まで希釈したものを使用した。ＡＦ１６００のガラス転移点は１６０℃なので熱処理条件は、１６５℃、２時間半の設定で行なった。
　　　【００７５】
　２時間半後、除冷し、８０℃以下になった所でオーブンよりとり出した。撥液処理が終了した溝付天板に対し、エキシマレーザー等により吐出オリフィスを形成し、吐出圧発生素子を有する基板と貼り合わせを行なった。
　　　【００７６】
　撥液処理剤として上記ＡＦ１６００のかわりに、ガラス転移点のさらに高いＡＦ２４００（テフロンＡＦ、商品名　デュポン社）をフロリナートＦＣ−７５（商品名　３Ｍ社）で０．５ｗｔ％で希釈したものを使用しても同じ性能を得ることができる。熱処理条件も上記と同様である。ただし、基材の耐熱温度が高ければ、さらに熱処理温度を上げた方がより性能が上がりよくなる。
　　　【００７７】
　（
参考例１
　図７のように、実施例１−１〜１−３と異なり吐出オリフィスが先に形成されているものに撥液する場合について以下説明する。
　　　【００７８】
　図７の如き、マルチノズルヘッドをまず作成した。次に吐出オリフィスの外壁面を蒸留水でよく洗浄し、つづいて有機溶剤で洗浄した。
　　　【００７９】
　撥液処理剤としては、サイトップＣＴＸ−１０５（商品名　旭硝子製）を、ＣＴ−ｓｏｌｖ．１００（旭硝子製）とＣＴ−ｓｏｌｖ．１８０とを比率１．１で混合した液で０．２ｗｔ％に希釈した液を使用した。
　　　【００８０】
　スピンナー上にシリコンゴムをのせ、この液を２ｃｃシリコンゴム上に滴下する。滴下後スピンナー上で回転させ均一な膜を作る。回転数はｌｓｔ：１０００ｒｐｍ，５秒、２ｎｄ：３０００ｒｐｍ，２０秒に設定した。
　　　【００８１】
　このシリコンゴム上に上記マルチノズルヘッドのオリフィス面を押しつけ転写を行なった。回数は３回、押しつけ圧は２ｋｇ／ヘッドで行なった。
　　　【００８２】
　転写終了後ヘッドごと、１５０℃のオーブン中に２時間半投入し熱処理させた。撥液処理剤としてサイトップＣＴＸ−８０５（商品名　旭硝子製）を使用する場合も同様な条件で転写可能である。
　　　【００８３】
　（
参考例２
　
参考例１
　　　【００８４】
　撥液処理剤としては、ＡＦ１６００（テフロンＡＦ、商品名　デュポン社）をフロリナートＦＣ−７５（商品名　３Ｍ社）で０．５ｗｔ％に希釈した液を使用した。
　　　【００８５】
　実施例２と同様、スピンナー上にシリコンゴムをのせ、この液を２ｃｃシリコンゴム上に滴下する。滴下後スピンナー上で回転させ均一な膜を作る。回転数はｌｓｔ：１０００ｒｐｍ，５秒、２ｎｄ：３０００ｒｐｍ，２０秒に設定した。
　　　【００８６】
　このシリコンゴム上に上記マルチノズルヘッドのオリフィス面を押しつけ転写を行なった。回数は３回、押しつけ圧は２ｋｇ／ヘッドで行なった。
　　　【００８７】
　転写終了後ヘッドごと、１６５℃のオーブン中に２時間半投入し熱処理させた。撥液処理剤としてＡＦ２４００（テフロンＡＦ、商品名　デュポン社）を使用する場合も同様な条件で転写可能である。
　　　【００８８】
　（比較例１）
　実施例１と同様溝付天板の離型剤を洗浄した後、同じ吸収体を使用し、同じ方法で塗布を行なった。撥液処理剤としては、ＫＰ８０１（商品名　信越化学工業（株））の３ｗｔ％溶液をフロン１１３（ダイフロンＳ３、ダイキン工業）で１ｗｔ％まで希釈したものを使用した。
　　　【００８９】
　熱処理条件は同様に、１５０℃、２時間半に設定した。２時間半後除冷し、８０℃以下になった所でオーブンよりとり出した。撥液処理が終了した溝付天板に対し、エキシマレーザー等により吐出オリフィスを形成し吐出圧発生素子を有する基板を貼り合わせを行なった。
　　　【００９０】
　次に本発明の特定のポリマーで処理したインクジェット記録ヘッドの撥液性の性能を調べるために、基材への塗布性、初期特性、接触角持続性等の評価を行なった。その内容を以下に示す。
　　　【００９１】
　〔評価内容〕
（１）基材への塗布性
▲１▼塗布性→塗布ムラの有無
（吸収体ベルイータを使用）
（２）初期特性
▲１▼初期接触角→接触角（前進及び後退）
▲２▼密着性→ピールテストでのはがれの有無
（キャッピングテープ使用）
（３）接触角持続性
▲１▼耐摩耗性→前後接触角の変化
（こすり耐久試験機を使用、２０００回）
▲２▼インク浸漬テスト→前後接触角の変化（６０℃）
▲３▼ＰＣＴ（プレッシャー、クラッカー、テスト）→前後接触角の変化
（インク侵漬のまま１２０℃、２ａｔｍ、１０時間後チェック）
（４）印字評価
３０℃８０％ＲＨの環境中で、アルファベットの“Ｈ”の文字を連続的に印字し、目視でドットのヨレが発生する確率を比較した。
　　　【００９２】
　印字ヨレはＡ４判中に１ヶ所でもヨレが発生した場合は印字ヨレ有りとし、１００枚当たりに何枚ヨレが発生したかを調べた。
　　　【００９３】
　評価結果をつぎの表１に示す。
　　　【００９４】
　【表１】
　　　【００９５】
　上表のように、実施例１−２では、塗布時にムラがでるという問題があるが、耐久性に関しては問題がない。また、実施例１−１では、比較例１と比べてすぐれた結果がでている。
　　　【００９６】
　上記項目を評価するとき、ポイントとなる接触角の測定法に関し以下に述べる。通常カタログ等に記されている接触角は前進接触角と言われているものである。測定は図１１の▲１▼のようにインクを滴下させた後、ステージを下げ、離れた液滴の角度を読む。
　　　【００９７】
　これに対し、インクジェットの撥水性評価では、後退接触角をもちいた。これは図１１の▲２▼、▲３▼のように１度インクを滴下し、ぬらした後にインクを吸い取り、その時残った液滴の角度を測定するものである。ここで、初めに出すインクの範囲（量）により後退接触角をθＲ１とθＲ２に分けて測定を行った。従来の後退接触角はθＲ１て示すものである。θＲ１とθＲ２を比較した場合、当然θＲ２の方がきびしい条件となるため、撥水性の差も出やすくなり、評価には有効である。
　　　【００９８】
　以上述べたような後退接触角の測定方法で比較した結果を図１２〜図１６で示す。
　　　【００９９】
　図１２、図１３のようにゴムプレートによるこすり耐久テストでは、従来測定法では差が見られないがＱＲ２のデータでは大きな差が見られた。また、インク浸漬試験では比較例１ではＱＲ２同様、ＱＡ（前進接触角）でも接触角の低下が見られた。さらに、インク浸漬のままＰＣＴかけた場合、接触角の測定方法によらず大きな差が見られた。
　　　【０１００】
　以上、実施例１−１、１−２に関し、比較例１と比較した場合の結果を示したが、
実地例１−３についても
　　　【０１０１】
　以上のように、すぐれた性能をもつ、本発明の撥液処理を施したインクジェット記録ヘッドの吐出観察、印字試験を行ったところ、処理をしないヘッドまたは従来品で処理したヘッドでは、飛翔方向不安定や、不吐出が発生することがある条件、すなわち吐出信号印加周波数４ＫＨｚ全ノズル（６４本ｏｒ１２８本）同時駆動でも常に所定の方向に安定した吐出が行えた。又、印字物も縦線のヨレやベタ印字の白ヌケ等の問題も発生することなく良好であった。
　　　【０１０２】
　（
実施例２
　ここで、図１７の記録ヘッド（これは、図２にも採用できる）をまとめると、以下の構成を備えている。
　　　【０１０３】
　基体とインクを吐出する吐出口に連通するインク路を形成するための凹部が設けられた天部材とを前記凹部を内側にして接合することで前記インク路が形成されており、前記吐出口は前記天部材の端部から上下両方向に延びる様に該天部材と一体的に形成された板状部材に設けられており、該板状部材の、前記吐出口が設けられた側の面は勾配の緩やかな段状の側断面形状を有する。
　　　【０１０４】
　また前記吐出口は前記板状部材の、前記天部材の端部に対応する個所に複数設けられている。
　　　【０１０５】
　そして前記基体の、前記インク路に対応する部分には、前記吐出口からインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する熱エネルギー発生手段として電気熱変換体が設けられている。
　　　【０１０６】
　さらに基体とインクを吐出する吐出口に連通するインク路を形成するための凹部が設けられた天部材とを前記凹部を内側にして接合することで前記インク路が形成されており、前記吐出口は前記天部材の端部から上下両方向に延びる様に該天部材と一体的に形成された板状部材に設けられており、該板状部材の、前記吐出口が設けられた側の面は勾配の緩やかな段状の側断面形状を有するインクジェットヘットと、前記インク路にインクを供給するためのインク供給部材と、を有する。
　　　【０１０７】
　さらにまた基体とインクを吐出する吐出口に連通するインク路を形成するための凹部が設けられた天部材とを前記凹部を内側にして接合することで前記インク路が形成されており、前記吐出口は前記天部材の端部から上下両方向に延びる様に該天部材と一体的に形成された板状部材に設けられており、該板状部材の、前記吐出口が設けられた側の面は勾配の緩やかな段状の側断面形状を有するインクジェットヘッドと、前記インク路にインクを供給するためのインク供給部材とを有するインクジェットユニットと、前記インク供給部材によって前記インク路に供給されるインクを貯溜するためのインクタンクとを備える。
　　　【０１０８】
　また基体とインクを吐出する吐出口に連通するインク路を形成するための凹部が設けられた天部材とを前記凹部を内側にして接合することで前記インク路が形成されており、前記吐出口は前記天部材の端部から上下両方向に延びる様に該天部材と一体的に形成された板状部材に設けられており、該板状部材の、前記吐出口が設けられた側の面は勾配の緩やかな段状の側断面形状を有するインクジェットヘッドと、前記インク路にインクを供給するためのインク供給部材とを有するインクジェットユニットと、前記インク供給部材によって前記インク路に供給されるインクを貯溜するためのインクタンクとを備えたインクジェットカートリッジと、該インクジェットカートリッジを載置するためのキャリッジと、を具備する。
　　　【０１０９】
　これらの構成によれば、ワイピングやキャッピングに不都合が生じないインクジェットヘッドを容易に得ることができる。即ち、オリフィスプレート上の残留インクを確実且つ容易に拭き取る（ワイピング）ことが可能となり、またキャッピングの際の気密性も十分なものとすることができる。更に、板状部材の、吐出口が設けられた側の面が勾配の緩やかな段状の側断面形状を有するので、キャッピングに不都合が生じないことは勿論、オリフィスプレート上の残留インクをオリフィス列に関して垂直な方向からも、また場合によっては平行な方向からも一層確実且つ容易に拭き取ることが可能になる。これにより、ヘッドの装置本体への取付けの自由度も高まる。
　　　【０１１０】
　図１７は、前記実施例中で示された構成、即ち、図１、２に示されたオリフィスプレート（板状部材）４００と溝付天板（凹部付天部材）１３００との一体成型部材とヒータボート（基体）１００との模式的分解斜視図である。４１は最厚部２００μｍ厚のオリフィスプレートにエキシマレーザーを使用することで貫通処理されてなるオリフィス４の形成部分を示してある。
　　　【０１１１】
　９１はインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する熱エネルギー発生素子としての電気熱変換体の発熱部（ヒーター）であり、入力データに応じたパルス信号を各ヒーター９１に入力することにより、ヒーター上のインクが発泡し、このエネルギーを利用することにより吐出口４１からインクが液滴として吐出する。この液滴はオリフィス４１から０．５〜１．０ｍｍ程度離れた紙面上に着弾し、入力情報に応じた記録が実現する。
　　　【０１１２】
　ここで本実施例においては、溝付天板１３００と天板の端部から上下両方向に延びる様に配されるオリフィスプレート４００とを圧型等で一体成型すると共に、オリフィスプレート４００本体の最厚部の厚みを２００μｍとして強度を確保した状態で、前述した本発明の撥水剤をその撥水剤の溶剤に溶解した状態で塗布する工程を踏まえた上で、撥水剤の膜を形成する。この後、このエキシマレーザーを用いて吐出口４の形成部分４１に吐出側面とは反対側の裏面側から角度θが５〜１０度の範囲内の所定角度で照射して吐出口４の形成部分４１に吐出口４を形成するが、図中では吐出口４が形成されていない状態を示している。
　　　【０１１３】
　この構成では、オリフィスプレートの強度及びワイピングの際の清浄化の確実性を考慮して、オリフィスプレートの吐出口が設けられた側の面が勾配の緩やかな段状の側断面形状を有する様に３つの平面からなる様に構成されている。
　　　【０１１４】
　溝付天板１３００とオリフィスプレート４００との一体成型部材の素材としては、材料のコスト及び耐インク性を考慮して熱可塑性樹脂、例えば、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリサルフォンなどが好ましいものとして挙げられる。本実施例では高温においても熱変形量の小さいポリサルフォンを用いた。
　　　【０１１５】
　上記インクジェットヘッドの上記撥水剤の表面膜を形成する前の状態のものでは、吸引回復操作を行ったところ、吐出口面がほぼ滑らかなため密閉性が非常に優れ十分な吸引を行えることがわかった。また、インク拭き取り（ワイピング）操作においても、拭き方向（吐出口列に対して直角な方向）がほぼ滑らかなためブレードのばたつきや特定部分へのインク溜りも生じず十分な残留インクの除去が行えた。更に、強度不足によりオリフィスプレート４００にしわが生じたり破損が生したりすることもなかった。
　　　【０１１６】
　ところが、寸法ａが薄すぎたり、角度θが小さすぎたり、寸法ｂが小さすぎると成形の際に樹脂の流れが不十分で予定の形状が得られないこと、オリフィス形成についてエキシマレーザーを用いてオリフィスを形成したが、レーザーをあててレーザーを貫通させるまでの寸法、すなわち寸法ａが厚すぎるとレーザーパワーの限界があるため、所望のオリフィスサイズが得られないあるいはオリフィス形状が汚くなるなどのデメリット、更には形状によってはインクが取りきれないことなとが発生するために、検討した結果、本出願人により先の出願に、寸法ａは０．０２以上、角度θ１は５度以上、寸法ｂ，ｃ，ｄ，ｅはそれぞれ０．０５以上、０．１５以上、２．５以下、０．１２以上であることが極めて好ましい。また、フキの特性を得る為には、角度θ１は１５度以下、角度θ２は０度以上６度以下、寸法ｂ，ｄ，ｅはそれぞれ１．０以下、１．０以上、１．０以下であることが極めて好ましい。
　　　【０１１７】
　整理すると
▲１▼０．０２≦ａ≦０．０５
▲２▼５°≦θ１≦１５°
▲３▼　０．０５≦ｂ≦０．８
▲４▼　０．１５≦ｃ
▲５▼　１．５≦ｄ≦２．５
▲６▼　０．１２≦ｅ≦０．５
▲７▼　０≦θ２≦６
の条件を満たすようにすれば、特に良好な印字を示すインクジェットヘッドを得ることができることを提案してある。
　　　【０１１８】
　なお、図中Ｓは、記録媒体を示しており、オリフィス中心の延長が記録媒体表面に対して垂直となるようにして記録を行う。
　　　【０１１９】
　本実施例では、本発明の撥水剤をオリフィスプレートのオリフィス形成前に固体膜として形成してあるので、塗布された撥水剤がオリフィス内に入り込んで吐出特性を乱すことがなく、更にその撥水剤を溶剤に溶解した状態で塗布してあるので、上記微小段差構成の段差部に対して適正な曲面を形成でき、クリーニング性、或はキャッピング性を向上でき上記数値構成の許容範囲を拡大できる。しかも、その撥水面は、本発明の含フッ素ヘテロ環構造を有する非晶質ポリマーを用いているので均一で滑らかなものとなり、従来の記録ヘッドよりも優れた効果を発揮した。
　　　【０１２０】
　更に、オリフィスプレートの吐出口が設けられた側の面が勾配のより緩やかな段状の側断面形状を有するので、ワイピングの際の清浄化の確実性が一層向上した。
　　　【０１２１】
　以上の記録ヘッドでは、溝付天板とオリフィスプレートとを一体成型し、オリフィス形成前に上記撥水剤の塗布を行っている（これに加えて上述の如くオリフィスプレート裏面側から穴開けを行うと撥水剤の吐出口内への侵入を防止できる）ので、キャッピングの際の密閉性が向上し、故に十分な吸引が行えるようになる上、ワイピングの際にも拭き残しがなく確実性が向上した。更に加えて部品点数の削減によるコストダウンも可能となる。加えて、板状部材の、吐出口が設けられた側の面が勾配の緩やかな段状の側断面形状を有するので、キャップ内外に特別な部品をとりつけることなくワイピングの際の清浄化の確実性が一層向上する上、キャッピングの際の吐出口におけるインクのメニスカスの後退を防ぐ効果も向上し、故にインクの吐出不良とそれから派生する種々の問題を簡易な構成のまま一層良好に解決することができる。
　　　【０１２２】
　図１８、図１９は、吸収体や、フレードとしての部材５０１７によるオリフィスプレートとの相対移動方向を示すものであり、前者は、上記複数段差方向に関して相対移動を行うもの、後者は、上記複数段差方向に対して垂直な方向に相対移動するもので、上記実施例としては、いずれもが可能であるが、比較すると、前者を利用する方が好ましい。
　　　【０１２３】
　尚、本発明は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行なわせるために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体やレーザー光等）を備え、その熱エネルギーよりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッド、記録装置に於いて、優れた効果をもたらすものである。つまり、上述した撥水剤を１００℃以上の温度で熱処理することはオリフィスプレートが熱エネルギーによって温度上昇することが起こったとしても、撥水剤が熱的に安定状態になっているためこの方式に取って好ましいものとなるからである。また、上記実施例中にあるように、撥水剤を溶液状態でオリフィスプレートに塗布することは、オリフィスプレートの形状を損なうことなく、その撥水剤の特性を最大に利用できるものであるため好ましい発明である。この場合、オリフィスプレートは、その吐出用熱エネルギーに対して十分な耐久性を備えたものが使用されているため、長期使用に対して利点がある。
　　　【０１２４】
　これ等に加えて、又は、単独で、上述の如く撥水剤固体膜を形成したオリフィスプレート裏面側から穴開けを行うと撥水剤の吐出口内への侵入を防止できることも、本発明にとっては好ましい実施態様ある。
　　　【０１２５】
　その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オンデマント型の場合には、液体（インク）が保持されているシートや液路に対応して配置されてい電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰させて、結果的にこの駆動信号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を形成出来るのて有効である。この気泡の成長，収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。
　　　【０１２６】
　記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体の組み合わせ構成（直線状液流路又は直角液流路）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応せる構成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた構成としても本発明は有効である。
　　　【０１２７】
　更に、記録装置が記録できる最大記録媒体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組み合わせによって、その長さを満たす構成や一体的に形成された一個の記録ヘッドとしての構成のいずれでも良いが、本発明は、上述した効果を一層有効に発揮することができる。
　　　【０１２８】
　加えて、装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効である。
　　　【０１２９】
　又、本発明の記録装置の構成として設けられる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対しての、キャピング手段、クリーニング手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の加熱素子或はこれらの組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なうことも安定した記録を行なうために有効である。
　　　【０１３０】
　更に、記録装置の記録モードとしては黒色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってでもよいが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極めて有効である。
　　　【０１３１】
　以上説明した本発明実施例においては、インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固化するインクであって、室温で軟化もしくは液体或いは、上述のインクジェットではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温をインクの固形状態から液体状態への態変化のエネルギーとして使用せしめることで防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状態で固化するインクを用いるかして、いずれにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってインクが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のような、熱エネルギーによって初めて液化する性質のインク使用も本発明には適用可能である。このような場合インクは特開昭５４−５６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多孔質シート凹部又は貫通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような形態としても良い。本発明においては、上述した各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。
　　　【０１３２】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明の化合物は常時所定の方向に実質的に均一液体量を以て安定した吐出が行え、高速記録に充分適用され得る記録ヘッドを提供する。
　　　【０１３３】
　さらに、本発明に用いるフッ素ポリマーは、最近オゾン層破壊等の環境問題の一因と言われる、フロン１１３等の（塩素系）特定フロン以外のフッ素系溶剤で溶解、使用できるためフロン対策上も効果は絶大である。
【図面の簡単な説明】
　　【図１】
　（ａ）、（ｂ）は本発明による撥液処理された記録ヘッドを示した図である。
　　【図２】
　図１のインクジェットカートリッジの分解斜視図である。
　　【図３】
　図１の組立斜視図である。
　　【図４】
　図１のインクジェットカートリッジのうちのインクタンクを、インクジェットユニットが装着される側から見た斜視図である。
　　【図５】
　図１のインクジェットカートリッジがキャリッジに装着される個所を示す上面図である。
　　【図６】
　図１のインクジェットカートリッジが装着されたインクジェット記録装置の要部を示す斜視図である。
　　【図７】
　本発明によるマルチ型式の記録ヘッドの外観斜視図である。
　　【図８】
　（ａ）、（ｂ）は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの典型的な例を示す模式的説明図である。
　　【図９】
　（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は本発明の撥液処理膜がゴムにより吐出オリフィス内に入り込んだときの影響を示した図である。
　　【図１０】
　（ａ）、（ｂ）は本発明の擾液処理膜がハガレた現象を示した図である。
　　【図１１】
▲１▼、▲２▼、▲３▼は接触角の測定法を説明する工程図である。
　　【図１２】
こすり耐久テストの特性を示す図である。
　　【図１３】
後退接触角の測定の結果を示す図である。
　　【図１４】
インク浸漬テストの結果を示す図である。
　　【図１５】
インク浸漬テストの結果を示す図である。
　　【図１６】
ＰＴＣの特性を示す図である。
　　【図１７】
　本発明の更に好ましい発明を説明するための記録ヘッドの構成の主要部を示す模式的拡大断面図である。
　　【図１８】
　インクジェットヘッドに対して上下方向のワイピングを行う状態を示す模式的側面図である。
　　【図１９】
　インクジェットヘッドに対して横方向のワイピングを行う状態を示す模式的側面図である。