【事件の表示】
　特許第２９５２９９５号「インクジェット式印字ヘッド」の請求項１、２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９５２９９５号の請求項１ないし２に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２９５２９９５号の請求項１及び請求項２に係る発明は、平成２年８月２０日に特許出願され、平成１１年７月１６日にその特許の設定登録がなされ、その後、請求項１及び請求項２に係る発明の特許について広井和彦より特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年１１月２１日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
　ア．特許権者が求めている訂正の内容は、次のとおりである。
　訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１における、「複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設したインクジェット式印字ヘッド。」を、
「複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設
するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持した
　訂正事項ｂ：明細書第４頁第１８行〜第５頁第１３行（特許掲載公報第３欄第３６〜４６行）「本発明のインクジェット式印字ヘッドは、・・・特徴とする。」をつぎのとおり訂正する。
　「本発明のインクジェット式印字ヘッドは、複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持するように構成されている。」。
　訂正事項ｃ：平成１１年４月５日付手続補正書の第１頁第２３〜２５行（特許掲載公報第６欄第２２〜２５行）「また、・・・防ぐことができる。」を次のとおり訂正する。
　「また、圧電素子間に仕切り部材が配設され、弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、圧電素子の振動の際に各圧電素子間に発生する動圧の伝搬をより確実に防ぐことができる。」。
　訂正事項ｄ：平成１１年４月５日付手続補正書の第１頁末行より第２頁第１行（公報第６欄第３０行乃至同欄第３１行目）「支持部材と・・・いるため」を次のとおり訂正する。
　「支持部材と仕切部材が当接し、さらに弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、」。
　
　イ．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　訂正事項ａは、願書に添付した明細書の、「電気絶縁材料2及び仕切部材10を各圧電素子と長手方向の長さが等しくなるまで研磨する(第5図(b))」（特許掲載公報第５欄第４５〜４７行）との記載及び第1図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）における符号2で示された略四角形状の電気絶縁材料が図示されている点に基づいて、弾性部材の支持形態を、支持部材のみならず、その周囲をも電気絶縁性材料で支持されていることに技術的に限定しようとするものであり、特許請求の範囲の減縮に相当する。
　また、上記訂正事項ｂ乃至訂正事項ｄは、訂正事項ａによる特許請求の範囲の訂正に基づいて発明の詳細な説明の記載との整合を図るための訂正であって、明りょうでない記載の釈明に相当する。
　そして、上記訂正は、いずれも新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　
　ウ．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、平成６年改正前特許法第１２６条第１項乃至第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．特許異議の申立てについての判断
　ア．申立ての理由の概要
　特許異議申立人、広井和彦は、訂正前の請求項１及び請求項２に係る発明は、特願平１−１４７０８９号の出願当初の明細書及び図面（特開平３−１０８４５号公報＝甲第１号証参照）に記載された発明と同一であるから、特許法第２９条の２第１項の規定により、特許を受けることができないものであるとし、周知例として、甲第２号証（特開昭５６−１２０３６５号公報）、甲第３号証（特開平２−５５１４０号公報）、甲第４号証（特開昭５６−５７２２号公報）、 甲第５号証（特開昭６３−８１０５１号公報）を提示している。
　
　イ．本件の請求項１及び請求項２に係る発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１及び請求項２に係る発明（以下、それぞれ「本件発明１」、「本件発明２」という。）は、上記訂正請求に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１及び請求項２に記載された次のとおりのものである。
　「【請求項１】複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持したインクジェット式印字ヘッド。
　【請求項２】前記圧電素子は、圧電材料と導電材料の積層方向と同一方向に伸長する特許請求の範囲第１項記載のインクジェット式印字ヘッド。」
　
　ウ．先願明細書等
　当審が通知した取消理由に引用した特願平１−１４７０８９号の出願当初の明細書及び図面（特開平３−１０８４５号公報＝甲第１号証参照）（以下、「先願明細書」という。）、周知例１：特開昭５６−１２０３６５号公報（甲第２号証）、周知例２：特開平２−５５１４０号公報（甲第３号証）、周知例３：特開昭５６−５７２２号公報（甲第４号証）、周知例４：特開昭６３−８１０５１号公報（甲第５号証）には、それぞれ下記の事項が記載されている。
　［先願明細書］
　ａ．「インク室を形成する振動板を圧電素子で押圧することにより、前記振動板を撓ませて、前記インク室と連通したノズルからインク滴を射出し、情報の記録を行なう、インクジェットプリンタにおいて、前記圧電素子の厚みを規定する側面を前記振動板に接触し得るように配置し、電圧印加による横効果または縦効果によって前記圧電素子を伸長させた際に、前記側面で前記振動板を押圧するようにしたことを特徴とする、インクジェットプリンタ。」（特許請求の範囲）。
　ｂ．「第１図はこの発明に係るインクジェットプリンタの一実施例のヘッド部を示す斜視図である。第２図はこの発明に係るインクジェットプリンタの一実施例のヘッド部の分解斜視図である。第２図を用いてこの発明に係るインクジェットプリンタの一実施例の説明を行なう。このインクジェットプリンタはベースブロック２１とインク室壁２２とカバープレート２３とを備えている。ベースブロック２１はチタン酸ジルコン酸鉛からできている。ベースブロック２１には圧電素子２４ａと圧電素子２４ｂとが設けられている。この圧電素子は圧電横効果を示すものである。・・・ベースブロック２１と圧電素子２４ａ、２４ｂとは１枚のチタン酸ジルコン酸鉛の板を溝加工することにより一体的に成形されている。圧電素子２４ａの両側面には電極２５ａが設けられている。圧電素子２４ｂの両側面にも電極２５ｂが設けられている。インク室壁２２は振動板２６に取付けられている。・・・インク室壁２２によってインク室２７ａと２７ｂとが形成されている。インク室２７ａにはノズル２８ａが連通しており、インク室２７ｂにはノズル２８ｂが連通している。圧電素子２４ａの側面２９ａと振動板２６とは固着されており、圧電素子２４ｂの側面２９ｂと振動板２６とは固着されている。カバープレート２３にはインク供給口３０が設けられている。」（第２頁右下欄第５行〜第３頁左上欄第１６行）。
　ｃ．「次に、この発明に係るインクジェットプリンタの他の実施例を説明する。第３図はこの発明に係るインクジェットプリンタの他の実施例のヘッド部の正面図である。このヘッド部はベースブロック３１とカバーブロック３２とを備えている。ベースブロック３１はチタン酸ジルコン酸鉛からできている。ベースブロック３１には、圧電素子３３ａ、圧電素子３３ｂが形成されている。圧電素子３３ａ、３３ｂは縦効果を示すものである。圧電素子３３ａはニッケルからなるグランド電極３４ａで挟まれている。・・・圧電素子３３ａの間には、ニッケルからなる信号電極３５ａが形成されている。圧電素子３３ｂもニッケルからなるグランド電極３４ｂで挟まれている。圧電素子３３ｂの間には、ニッケルからなる信号電極３５ｂが形成されている。ベースブロック３１の作製方法を以下説明する。まず厚さ２００μｍのチタン酸ジルコン酸鉛を含むグリーンシートの上に、グランド電極となるニッケルをスパッタリングによって堆積する。このニッケルの上に再びチタン酸ジルコン酸鉛を含むグリーンシートを載せる。そしてこのグリーンシートの上に信号電極となるニッケルをスパッタリングによって堆積する。このニッケルの上にチタン酸ジルコン酸鉛を含むグリーンシートを再び載せる。このグリーンシートの上にグランド電極となるニッケルをスパッタリングによって堆積する。そしてこのようなものを焼成し、これをダイシング加工することにより圧電素子３３ａ、３３ｂを形成する。・・・カバーブロック３２には、エッチング加工によって形成されたインク室３６ａ、３６ｂがある。インク室３６ａはノズル３７ａと連通し、インク室３６ｂはノズル３７ｂと連通している。インク室３６ａ、３６ｂはガラスからできている振動板３８によって密閉される。」（第３頁右上欄第９行〜右下欄第５行）。
　［周知例１］
　ｄ．「ピエゾ素子に電圧を印加することによって生ずる撓みを利用して圧力室を加圧してインク滴を噴射するオンデマンド型インクジェットヘッドにおいて、前記ピエゾ素子は積層型ピエゾ素子であることを特徴とするインクジェットヘッド。」（特許請求の範囲）。
　ｅ．「第４図は一応用例で、高速応答型のインクジェットヘッドに適用したものであり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図を示す。ヘッド体３１には圧力室３４、インク供給室３５、ノズル３６などが設けられ振動板３２、ピエゾ素子３３が接着されている。ピエゾ素子３３に電圧パルスを印加して振動板３２を撓ませ圧力室３４を加圧しノズル３６からインクを噴射する。・・・ピエゾ素子３３に積層形を用いたために低電圧化のみならず低電圧化にともなって高速化、波形の理想化に対してもより適応力が高まった。」（第３頁左上欄第１１行〜右上欄第６行）。
　ｆ．「第５図は第２の応用例であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図を示す。ヘッド４１とインクタンク４２を一体化し、しかも超小型化、低コスト化をはかったインクジェットヘッドであり、ヘッド４１、インクタンク４２などはプラスチックの射出成形でヘッドの圧力室４３、ノズル４４，インク室４７などを形成し、振動板４５、ピエゾ素子４６を接着したもので・・・たとえば電卓用のプリンターなどに利用される。」（第３頁右上欄第７〜１８行）。
　［周知例２］
　ｇ．「第１図には、印刷媒体上に相変化インク成分にて印刷を行うための本発明のインクジェットヘッドの断面図が示されている。インクジェットヘッド（１０）は、単一コンパートメントのインク室（１４）が中に設けられた本体部分（１２）を含んでいる。インク室（１４）は、インク室の壁となっている板（１６）によって閉じられている。ノズル板（１６）の外側部分は、放出面（１８）となっている。ノズル板（１６）によっ形成されるインク滴を放出するノズル（２０）の外側は、ノズル（２０）を囲む領域を形成し、ノズルはインク室（１４）からインクジェットヘッド（１０）の外側まで通っている。ノズル板（１６）に単一のノズル（２０）を設けることが可能であっても、複数のノズル及び関連のインク室を適宜設けてもよい。・・・溶けた状態の相変化インクは、インクを受ける入口（３２）から導入され、インク通路（３４）を通って流れ、インクジェットヘッド（１０）内のインク室（１４）に満たされる。外側のノズル（２０）と反対側のインク室の端部は、ステンレス鋼のような柔軟性のある膜（３８）によって閉じられている。圧電セラミック円盤（３６）は、その両面が金属で被覆され、膜（３８）に被着していて、圧力パルス発生素子としての一形態をなしている。・・・圧電円盤にかける電気パルスに応じて、インク室（１４）に圧力パルスが発生する。これによって、ノズル（２０）からインク滴がでる。インク滴は、印刷媒体に向かって進み、ここで所望の印刷画像をつくる。」（第４頁右上欄第６行〜右下欄第７行）。
　［周知例３］
　ｈ．「従来、この種の装置は第１図に示したように構成されている。第１図において、１は背面に電歪振動子２を接着した振動板３によって内部空洞を前後に区切り、前壁に設けた複数個のノズル孔４と連通する前部空洞を液室１ａとし、電歪振動子２及びこの電歪振動子２と後壁に設けた端子板５とを接続するリード線６を収容する後部空洞を振動室１ｂとしたマルチノズルヘッド、７はマルチノズルヘッド１の液室１ａに加圧した印写インクを供給するためのポンプ、８はマルチノズルヘッド１の側壁に設けたインク供給口９を介して液室１ａに連通するインク供給管１０と、ポンプ８に連通するインク供給管１１とを下部に連結し、マルチノズルヘッド１の振動室１ｂに連通する空気管１２を上部に連結したアキュムレータである。」（第１頁左下欄第１５行〜右下欄第１０行）。
　［周知例４］
　ｉ．「第１図は、第１発明が適用される市販のインクオンデマンド型のインクジェット記録装置の一例であって、圧電素子１に加えられた電気信号が振動板２によって圧力波に変換され、その圧力波によってインク室４に供給されているインクをノズル部３から噴射する構成となっている。本発明においては、ノズル部３は黒鉛で形成されたものを用いて改造を施している。」（第３頁左下欄第１９行〜右下欄第６行）。
　
　エ．対比・判断
　（１）本件発明１と上記先願明細書に記載された発明とを対比する。
　上記ｂの記載及び第１図、第２図によると、ベースブロック２１上には、一端がベースブロック２１に固定され他端が自由端とされた圧電素子２４ａ、２４ｂが一定間隔で列設されており、圧電素子２４ａと圧電素子２４ｂとの間及び外側には、これら圧電素子よりもやや幅広の圧電素子２４ａ、２４ｂと同一材料からなる矩形部材Ｋ（先願明細書には参照符号Ｋは付されていない）が設けられている。これらの部材Ｋは、圧電素子２４ａ、２４ｂと同一高さで、一端がベースブロック２１に固定され他端が振動板２６を介してインク室壁２２と当接している。そして、第２図に示されるように、これらの部材Ｋには駆動電圧が印加されていないため、圧電素子２４ａ、２４ｂを駆動した時でも、その形状は変化しない。してみると、部材Ｋは、仕切部材若しくは振動板２６を支持する部材といえる。
　これと同様なことが、上記ｃの記載及び第３図の実施例についてもいえることは、明らかである。
　さらに、チタン酸ジルコン酸鉛が圧電材料であり、ニッケルが導電材料であることは明らかである。
　また、カバーブロック３２には、インク室３６ａ、３６ｂ並びにノズル３７ａ、３７ｂを形成すべく、振動板３８との間に一定の間隔をもつ空所を形成するよう間隔保持部が形成されているといえる。
　そうすると、上記ａ乃至ｃの記載からみて、先願明細書には、次のような発明が記載されている。
　「複数のノズル３７ａ、３７ｂを有するカバーブロック３２と、一端がベースブロック３１に固定され他端が自由端として前記ノズル３７ａ、３７ｂそれぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子３３ａ、３３ｂと、前記圧電素子３３ａ、３３ｂの自由端と当接する振動板３８とを備え、前記カバーブロック３２には前記振動板３８との間に一定の間隔をもつ空所を形成するよう間隔保持部が形成されており、前記圧電素子３３ａ、３３ｂは前記ベースブロック３１に一定の間隔で列設され、この圧電素子３３ａ、３３ｂ間に一端が前記ベースブロック３１に固定され他端が前記間隔保持部と振動板３８を介して当接した仕切部材を配設するとともに、前記振動板３８の圧電素子列と平行な両側端部領域を圧電素子と同一材料により支持したインクジェット式印字ヘッド。」（以下、「先願発明」という。）
　
　そこで、本件発明１と先願発明とを対比する。
　先願発明の「ベースブロック３１」、「圧電素子３３ａ、３３ｂ」、「振動板３８」は、それぞれ本件発明１の「基板」、「圧電素子」、「弾性部材」に相当する。
　また、先願発明の「複数のノズル３７ａ、３７ｂを有するカバーブロック３２」と、本件発明１の「複数のノズル開口を有するノズルプレート」とは、「複数のノズル開口を有するノズル保有部材」である点で共通する。
　さらに、先願発明の「前記カバーブロック３２には前記振動板３８との間に一定の間隔をもつ空所を形成するよう間隔保持部が形成されており」と、本件発明１の「前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え」とは、「ノズル保有部材と弾性部材との間に一定の間隔をもつ空所が形成されており」という点で共通する。
　そして、先願発明の「前記振動板３８の圧電素子列と平行な両側端部領域を圧電素子と同一材料により支持した」と、本件発明１の「前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持した」とは、「前記弾性部材の少なくとも圧電素子列と平行な両側端部領域を支持した」点で共通する。
　そうすると、両者は、
　「複数のノズル開口を有するノズル保有部材と、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズル保有部材と前記弾性部材の間に一定の間隔をもつ空所が形成されており、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設するとともに、前記弾性部材の少なくとも圧電素子列と平行な両側端部領域を支持したインクジェット式印字ヘッド。」である点で一致し、次の点で相違する。
　相違点１：ノズル保有部材について、本件発明１では、ノズルプレートであるのに対して、先願発明では、カバーブロック３２である点。
　相違点２：ノズル保有部材と弾性部材の間に一定の間隔をもつ空所が形成されている態様について、本件発明１では、ノズルプレートと弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材を備えているのに対して、先願発明では、カバーブロック３２には振動板３８との間に一定の間隔をもつ空所を形成するよう間隔保持部が形成されている点。
　相違点３：弾性部材の少なくとも圧電素子列と平行な両側端部領域を支持する態様について、本件発明１では、弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持したのに対して、先願発明では、振動板３８の圧電素子列と平行な両側端部領域を圧電素子と同一材料により支持した点。
　
　上記相違点について検討する。
　まず、相違点１について。
　インクジェット式印字ヘッドにおいて、周知例１には、所謂フェイスシューター型及びエッジシューター型のインクジェットヘッドが記載されている。また、周知例２、周知例３、周知例４には、所謂フェイスシューター型のインクジェットヘッドが記載されている。
　ここにもみるように、インクジェット式印字ヘッドにおいて、本件発明１のような所謂フェイスシューター型のインクジェットヘッドも、先願発明のようなエッジシューター型のインクジェットヘッドも、いずれの形式のインクジェットヘッドも周知慣用のものである。
　したがって、相違点１は、単なる慣用手段の転換にすぎない。
　次に、相違点２について。
　ノズル保有部材と弾性部材の間に一定の間隔をもつ空所を形成するのは、ノズル開口からインクを噴出させるためのインクを収容しておくためであり、先願発明のように、ノズル保有部材それ自体に間隔保持部を備えるようにするか、本件発明１のように、ノズル保有部材とは別部材として支持部材を備えるようにするかは、当業者が適宜なし得る単なる設計上の問題にすぎない。
　次に、相違点３について。
　弾性部材を圧電素子列側から支持する部位を、弾性部材の圧電素子列と平行な両側端部領域だけでなく、弾性部材の外周領域とし、電気絶縁性材料により支持することは、課題解決のための具体化手段における微差であるとはいえず、この点により、本件発明１は、「圧電素子間に仕切り部材が配設され、弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持されているため、圧電素子の振動の際に各圧電素子間に発生する動圧の伝搬をより確実に防ぐことができる。」（訂正明細書第８頁第２２行〜第９頁第３行）、「弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持されているため、より安定した構造とすることができる。」（訂正明細書第９頁第８〜９行）という、先願明細書に記載のものからは期待できない格別の効果を奏するものである。
　したがって、本件発明１は、先願明細書に記載された発明と同一であるとはいえない。
　
　（２）次に、本件発明２は本件発明１を引用し、かつ、その構成要件をすべて具備するものであり、上記のように本件発明１は、先願明細書に記載された発明と同一であるとはいえないものであるから、同様に、本件発明２も先願明細書に記載された発明と同一であるとはいえない。
　
　オ．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議の申立の理由によっては本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１及び請求項２に係る発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　したがって、本件請求項１及び請求項２に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものと認めない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
　
【異議決定日】
平成１３年６月５日（２００１．６．５）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
　特許権者が求める特許明細書の訂正は、次の訂正からなる。
　訂正事項ａ：特許請求の範囲の請求項１における、「複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設したインクジェット式印字ヘッド。」を、
「複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設
するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持した
　訂正事項ｂ：明細書第４頁第１８行〜第５頁第１３行（特許掲載公報第３欄第３６〜４６行）「本発明のインクジェット式印字ヘッドは、・・・特徴とする。」をつぎのとおり訂正する。
　「本発明のインクジェット式印字ヘッドは、複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持するように構成されている。」。
　訂正事項ｃ：平成１１年４月５日付手続補正書の第１頁第２３〜２５行（特許掲載公報第６欄第２２〜２５行）「また、・・・防ぐことができる。」を次のとおり訂正する。
　「また、圧電素子間に仕切り部材が配設され、弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、圧電素子の振動の際に各圧電素子間に発生する動圧の伝搬をより確実に防ぐことができる。」。
　訂正事項ｄ：平成１１年４月５日付手続補正書の第１頁末行より第２頁第１行（公報第６欄第３０行乃至同欄第３１行目）「支持部材と・・・いるため」を次のとおり訂正する。
　「支持部材と仕切部材が当接し、さらに弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、」。
（５４）【発明の名称】
インクジェット式印字ヘッド
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設
するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持した
　【請求項２】　前記圧電素子は、圧電材料と導電材料の積層方向と同一方向に伸長する特許請求の範囲第１項記載のインクジェット式印字ヘッド。
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
　本発明は、印字データの入力を受けた時点で、インクタンクのインクを液滴として飛翔させ、このインク滴により記録用紙にドットを形成するオンデマンド型のインクジェット式印字ヘッドに関する。
［従来の技術］
　オンデマンド型インクジェット式印字ヘッドは、大きく分けて３種類のものがある。第１のものはノズルの先端にインクを瞬間的に気化させるヒータを設け、気化時の膨張圧力によりインク滴を生成、飛翔させる、いわゆるバブルジェット型である。第２のものはインク溜部を形成する容器に、信号により変形する圧電素子を設け、変形時に生じる圧力によりインクを液滴として飛翔させるものである。第３のものは、インク溜部内にノズルに対向させて圧電素子を配設し、この圧電素子の伸縮によりノズル領域に動圧を生じさせてインク滴を飛翔させるものである。
　上記第３の形式のオンデマンド型インクジェット式印字ヘッドは、日本特許公報　特公昭６０−８９５３号公報に示されたように、インクタンクを構成する容器の壁面に複数のノズル開口を形成するとともに、各ノズル開口とを対向するように伸縮方向を一致させて圧電素子を配設して構成されている。
　この印字ヘッドは、印字信号を圧電素子に印加して圧電素子を伸長させ、このときに発生するインクの動圧によりノズルからインク滴を飛出させて印刷用紙にドットを形成するものである。
このような形式の印字ヘッドにおいては、液滴の形成効率や飛翔力が大きいことが望ましい。しかしながら、圧電素子の単位長さ、及び単位電圧当りの伸縮率は極めて小さいため、印字に要求される飛翔力を得るには高い電圧を印加することが必要となり、駆動回路や電気絶縁対策が複雑化するという問題がある。
　このような問題を解消するため、日本特許公報特開昭６３−２９５２６９号公報に示されているように、電極と圧電材料を交互にサンドイッチ状に積層したインクジェット印字ヘッド用の圧電素子が提案されている。この圧電素子によれば電極間距離を可及的に小さくすることができるため、駆動信号の電圧を下げることができるという効果がある。
［発明が解決しようとする課題］
　しかしながら、前記公報に記載された圧電素子は小型に形成することが困難であるため印字ヘッドを小型化することが困難であるという問題を有している。
　本発明は、可及的に低い電圧で十分な飛翔力を備えたインク滴を安定的に発生することができる小型のインクジェット式印字ヘッドを提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
　本発明のインクジェット式印字ヘッドは、複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設
するとともに、前記弾性部材の外周領域を電気絶縁性材料により支持するように構成されている。
［実施例］
　第１図は、本発明の一実施例を示すものであり、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ−ｂ視図、（ｃ）は（ａ）図におけるｃ−ｃ視図である。図中符号２は、セラミックス等の電気絶縁性材料により形成された角筒状体であるり、基板１４とともにインクタンクを構成している。１０，１０，１０・・・・は、圧電素子列を構成している圧電素子１２，１２・・・・間に形成された仕切部材である。仕切部材１０の一端は圧電素子列を固定している基板１４に固定され、他端は、圧電素子の自由端１２ａとともに弾性部材１６で覆われている。弾性部材１６とノズルプレート１８との間には、支持部材１１が設けられている。この支持部材１１によって、ノズルプレート１８と弾性部材１６との間隔が一定に保たれている。ノズルプレート１８には、ノズル開口４が２列設けられている。独立のケーブル７６、及び共通のリード部材を介して電気信号が圧電素子１２に印加されると、圧電素子１２は積層方向（図示ｘ方向）に伸長するから、圧電素子１２の自由端１２ａは前面のインクをノズル開口４に向けて押出すことになる。これにより、インクは、動圧を受けてノズル開口４に突入し、インク滴となって外部空間を飛翔し、印刷用紙にドットを形成する。電気信号の印加がなくなると、圧電素子１２は元の状態に縮小し、ノズルプレート１８と圧電素子１２のと間の間隙にインクが流入して次のインク滴発生に備えることになる。
　次に本実施例の圧電素子列の製造法について第２図、第３図を用いて説明する。
　第２図は、前述の圧電素子列を示すものであって、図中符号３０，３０，３０‥‥は、それぞれ一方の電極を構成する内部導電層である。また３２，３２，３２‥‥は、他方の電極を構成する内部導電層である。これらの内部導電層３０，３２は互いに平行となるように交互に圧電材料３４，３４，３４‥‥、例えばチタン酸・ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイトセラミックス内にサンドイッチ状に配設されている。また一方の電極３０，３０，３０‥‥となる導電層は一方の側面３１に露出され、また他方の電極３２，３２，３２‥‥となる内部導電層は他方の側面３３に露出するように構成されている。これら電極の露出している面３１，３３は、外部導電層が形成されていて、各極となる内部導電層が導電的に並列に接続されている。各圧電素子１２はスリット４０，４０，４０により分離されている。
　このような層構造は、第３図に示すように定板５０の上に、ペースト状に調製したチタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブスカイトセラミック材料層５２を形成し（同図ａ）、これの表面に蒸着や導電性塗料により一方の極となる第１の内部導電層５４を形成し（ｂ）、更にこの導電層５４、及び第１の圧電材料層５２の表面に圧電材料を薄く塗布して第２の圧電材料層５６を形成し（ｃ）、これの表面に他方の電極となる第２の内部導電層５８を上述の方法で形成する（ｄ）。このような作業を必要とする積層数だけ繰り返す。
　このようにして、所定の層数を形成した段階で、乾燥させ、これに圧力を加えた状態で温度１０００乃至１２００℃で１時間程度焼成することにより直方体状のセラミックに仕上がる（ｅ）。この直方体状のものの内部導電層５４、及び内部導電層５８が露出している面３３，３１にそれぞれ導電塗料を塗布して外部導電層６２，６０を形成することにより圧電素子ブロック６３ができあがる（ｆ）。この圧電素子ブロック６３を一点鎖線により示したように導電層を結ぶように所定幅で、定板５０の表面までダイヤモンドカッタ等によりカットすると、切削により生じたスリット４０，４０，４０‥‥（第２図）により相互が分離された圧電素子１２，１２，１２‥‥が複数個形成されて第２図に示したような圧電素子列が形成されることになる。
　なお、セラミックスは、一般的に脆弱であるから、同図（ｇ）に示すように、圧電素子ブロック６３の周囲を剥離可能なモールド剤６４により覆い、この状態で切断すると、切断時に生じやすい折損を確実に防止することができる。
　このように構成した各圧電素子１２の一方の電極を接続している外部導電層６０には、それぞれ独立のケーブル７６を接続し、また他方の電極を接続している外部導電層６２には共通のリード部材を接続する（第１図参照）。これにより、独立のケーブル７６と共通のリード部材との間に電気信号を印加すると、独立のケーブル７６により選択的に信号が印加された圧電素子１２は、外部導電層６０，６２を介して電極３０，３２間に同一の電圧が同時に印加されることになるから、電極間の圧電材料３４，３４，３４‥‥が同時に伸長し、各層の圧電材料３４，３４，３４‥‥の変位が足し合わされて自由端１２ａ側が第１図ｘ方向へ変位する。各圧電材料３４，３４，３４‥‥が形成する層厚は、極めて薄いから、最大限の伸長を行わせるために電極３０，３２間に印加する電圧は極めて小さな値で済むことになる。
　次に、第１図に示したヘッドの第１の製造方法を第４図（ａ）、（ｂ）に示す。第３図（ＶＩ）に示したような圧電ブロック６３を基板１４に接着し（第４図（ａ））、第４図（ｂ）に示すように、圧電素子１２になる部分と、仕切部材１０になる部分とが分離するように、基板１４表面までダイヤモンドカッタ等によりカットする。これに、弾性部材１６を形成した後、弾性部材１６上に仕切部材１０と対向して支持部材１１を接着し、圧電素子１２にノズル開口４が対向するように、ノズルプレート１８を設け、第１図（ａ）のヘッドを得る。
　第１図に示したヘッドの第２の製造方法を第５図（ａ）、（ｂ）に示す。第５図（ａ）に示すように、基板１４に圧電素子１２を接着した後に、仕切部材１０を基板１４に接着する。このときの仕切部材は、例えば積水ファインケミカル社製フォトレックＲ等の比較的弾性の少ない紫外線硬化樹脂等を用いる。その後、電気絶縁材料２及び仕切部材１０を各圧電素子１２と長手方向の長さが等しくなるまで研磨する（第５図（ｂ））。その後、第１の製造方法と同様に、弾性部材１６、支持部材１１、及びノズルプレート１８を設け、第１図のヘッドを得る。
　以上のような本実施例のヘッドによれば、ノズルプレート１８と圧電素子１２，１２，１２・・・・の自由端との間隔を支持部材１１，１１，１１・・・・及び弾性部材１６により管理することができるばかりでなく、仕切部材１０と、弾性部材１０が相互に固定されているため、隣接する圧電素子１２，１２間での動圧の伝播を仕切部材１０，１０，１０・・・・及び弾性部材１６により遮断することができる。また、弾性部材１６と支持部材１１により、１つの空間が形成できるため、インク漏れを防ぐことができる。
［発明の効果］
　本発明のインクジェット式印字ヘッドによれば、複数のノズル開口を有するノズルプレートと、一端が基板に固定され他端が自由端として前記ノズル開口それぞれに対応するよう配置された圧電材料と導電材料とを層状に交互に複数積層した複数の圧電素子と、前記圧電素子の自由端と当接する弾性部材と、前記ノズルプレートと前記弾性部材の間に一定の間隔を形成するよう配置された支持部材とを備え、前記圧電素子は前記基板に一定の間隔で列設され、この圧電素子間に一端が前記基板に固定され他端が前記支持部材と弾性部材を介して当接した仕切部材を配設したことにより、インク滴を形成するのに必要な駆動電圧を可及的に小さくすることができる圧電素子を高密度に配置することができるとともに、また、圧電素子間に仕切り部材が配設され、
弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、
　さらに、ノズルプレートが支持部材により弾性部材と一定の間隔を持って配設されている、更に言えば振動子の自由端方向にノズルプレート（ノズル開口）を配置しているため、インク流路が安定しインク飛翔特性が安定化するとともに、支持部材と仕切部材が当接
し、さらに弾性部材の外周領域が電気絶縁性材料により支持されているため、
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）は、本発明のオンデマンド型インクジェット式印字ヘッドの一実施例を示す側面図であり、第１図（ｂ）（ｃ）は、（ａ）図におけるｂ−ｂ視図とｃ−ｃ視図である。
第２図は、圧電素子列を示す斜視図である。
第３図（ａ）乃至（ｇ）は、圧電素子列の製造方法を示す説明図である。
第４図（ａ）、（ｂ）は、第１図における、インクジェット式印字ヘッドの製造方法の第１の例を示す図である。
第５図（ａ）、（ｂ）は、第１図における、インクジェット式印字ヘッドの製造方法の第２の例を示す図である。
２……電気絶縁性材料
１０……仕切部材
１１……支持部材
１２……圧電素子
１６……弾性部材
１８……ノズルプレート
３４……圧電材料
４０……スリット
５０……定板
５６……圧電材料層
５８……導電層