【事件の表示】
　特許第２９４７３８０号「プラズマ処理装置」の請求項１，２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９４７３８０号の請求項１、２に係る特許を取り消す。
【理　由】
１．手続の経緯
　特許第２９４７３８０号の請求項１、２に係る発明についての出願は、平成４年１月２２日に出願され、平成１１年７月２日に、それら発明について特許の設定登録がなされ、その後、安藤純男よりその請求項１、２に係る発明の特許に関して特許異議の申立がなされ、そして、平成１２年５月２２日付で取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年７月２７日に訂正請求がなされたものである。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１　　訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　特許権者が求める訂正は、特許明細書の請求項１に記載された構成である「カセット」を、同段落番号【０００４】に記載された、「・・上記のカセットは・・その構造は図５に示すように、底板１００上に平行な２枚の側板１０１，１０１を立設し、これら側板１０１の内側面にウェハＷの周縁部が入り込む溝１０２・・・を形成している。」より明らかな構成である「ウエハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備え」という技術的事項により限定し、同じく特許明細書の請求項１に記載された構成である「前記反応チャンバーと前記載置台は搬送ラインに対して同じ側にそれぞれ少なくとも２つ配置され、」を、同段落番号【００１０】に記載の「・・プラズマ処理装置は本体１に沿ってベルトコンベア等からなる搬送ライン２が設けられ、また本体１は搬送ライン２に沿って配置された２つのカセット載置台３，３、これらカセット載置台３，３に対応して配置された２つの反応チャンバー４，４及びこれらカセット載置台３，３と反応チャンバー４，４の中間位置に設けられる移載ロボット５からなる。」、及び、第１図の記載から明らかな、「前記反応チャンバーと前記載置台は搬送ラインに対して同じ側にしかも搬送ラインに近い側に載置台が遠い側に反応チャンバーとなるように配置され、これら載置台と反応チャンバーの中心に前記ロボットの回転中心を位置せしめ、」なる技術的事項により限定するとともに、同じく請求項１の「少なくとも２つ」を「２つ」に限定すると共に、それらの数が載置台と反応チャンバーのそれぞれに係る数であることを明瞭とするために「づつ」なる語を付加し、更に、特許明細書の請求項１に記載された構成である「前記載置台は搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で水平回動可能」を、同段落番号【００１８】に記載の「・・移載ロボット５を中心として対向する反応チャンバー４に向くまで回動させる。この操作により、カセット６の側板の延長線上に反応チャンバー４が位置することとなり、ロボット５のアーム９が伸縮動する際にカセット６の側板に干渉することがない。」より明らかな、「ウエハの受け渡しの際にロボットのアームとカセットの側板とが干渉しないように、」なる技術的事項により限定するものであるから、特許明細書に記載された事項の範囲内で特許請求の範囲に記載された構成を限定することにより、特許請求の範囲を減縮するとともに、不明瞭な記載を釈明するものであり、新規事項を追加せず、しかも、実質上特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではない。
　
２−２　むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項の規定及び同条第３項で準用する特許法第１２６条第２項から第４項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．　特許異議申立に対する判断
３−１　本件各発明
　本件特許２９４７３８０号の請求項１，２に係る発明は、上記訂正のなされた明細書の特許請求の範囲に記載されたとおりの以下の事項により、それぞれ特定されるものである。
【請求項１】 搬送ラインとの間でウェハを収納したカセットの授受を行なうカセット載置台と、プラズマ雰囲気でウェハに各種処理を施す反応チャンバーと、反応チャンバーとカセットとの間でのウェハの移載を伸縮動するアームで行なうロボットを備えたプラズマ処理装置において、前記カセットはウェハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備え、前記反応チャンバーと前記載置台は搬送ラインに対して同じ側にしかも搬送ラインに近い側に載置台が遠い側に反応チャンバーとなるようにそれぞれ２つづつ配置され、これら載置台と反応チャンバーの中心に前記ロボットの回転中心を位置せしめ、更にウェハの受け渡しの際にロボットのアームとカセットの側板とが干渉しないように、前記載置台は搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で水平回動可能とされていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】 前記載置台は間欠的に昇降動可能とされていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。　
　
３−２　当審で通知した取消理由通知に引用した文献及びその記載事項
３−２−１　引用文献　
引用文献１　特開平１−２１７９３８号公報（甲第３号証の刊行物）
引用文献２  特開平１−１６６５３４号公報（甲第１号証の刊行物）
　
３−２−２　各引用文献の記載事項
　引用文献１には、第２頁左下欄第１６行〜同頁右下欄第１４行に、「又、上記各処理部３，８の各処理装置１ ，２及び４〜７は、環状の工程間搬送路９と連接されている。・・上記工程間搬送路９は、リニアモー夕式の搬送車１３等によってウエハキャリアＷＣを搬送させるものである。
・・上記工程間搬送路９上の搬送車１３と、各処理装置１ ，２，４〜７及び自動倉庫１０間のウエハキャリアＷＣの移載は、図示しない移載装置によって自動的に行われる。」
と記載されている。
　これら記載と図面の記載とを併せみれば、引用文献１には、
工程間搬送路と各種理装置の間でウエハキャリアを移載する移載装置を有し、工程間搬送路の片側に処理装置を配置したウエハの処理を行う装置
の発明が実質的に記載されているものと認める。
　
　また引用文献２の第１頁左下欄第５〜７行には、「処理室と被処理物収納部とを同一円周上又は同心円周上に配置し、その中心に設置した搬送機の回転運動を含む動きにより、・・」と記載されており、「中心に設置した搬送機」が、配置の中心に搬送機の中心軸を設置した搬送機を意味することは、「回転運動」と「円周上に配置」等の構成及び搬送機が中心軸の回りに回転することから当業者にとって明らかな事項であり、しかも、第１頁右下欄第２０行〜第２頁右上欄第７行には、「（１）通常ロボットによりウエーハカセットを処理装置前面に平行に供給する。
　（２）しかる後に、ウエーハカセット支持機構を回転させ、搬送機中心にウエーハカセットを向ける。
　・・・・ウエーハの入ったウエーハカセット１を第１図のごとくロポットによりウエーハカセット支持機構２に供給する。又、空のウエーハカセット１′をウエーハカセット支持機構２ ′に供給する。３は搬送機、４，４ ′は処理室、５は処理装置を示す。
　その後、ウエーハカセット支持機構２を回転させ、第２図のごとく、搬送機３の中心に向ける。
　搬送機３はその中心軸のまわりに回転し、さらに上下、前進後退運動をする機構を備えており、ウエーハをウエーハカセット１から処理室３，３′へロードしたり、アンロードしたりすることができる。
　・・・・又、ウエーハカセット支持機構２，２ ′が上下運動をし、搬送機３が上下運動をしないものでも良い。」
と記載されている。
　これら記載と図面の記載とを併せみると、引用文献２には、
 処理装置の前面にウエーハを収納したウエハカセットをロボットにより前面に平行に供給し、処理装置の前面に対して同じ側にあり、処理装置の前面に近い側にウエーハカセット支持機構を、遠い側にウエーハに各種処理を施す処理室をそれぞれ２つずつ配置し、これらウエーハカセット支持機構と処理室の中心に搬送機の中心軸を位置せしめ、前記ウエーハカセット支持機構が、処理装置の前面に平行となる方向と搬送機の中心を向く方向との間で回転可能とされ、中心軸の回りに回転し前進後退する機構を有する搬送機により、ウエーハをウエーハカセットから処理室へロードしたり、アンロードすることを可能とし且つ、ウエハカセット支持機構は昇降動可能とされている処理装置
の発明が記載されているものと認める。
　
３−３　対比判断
　ここで、本件請求項１に係る発明と引用文献２のものとを比較すると、引用文献２の「ウエーハ」、「ウエーハカセット」、「ウエーハカセット支持機構」及び「搬送機」は、本件請求項１に係る発明の「ウェハ」、「カセット」、「カセット載置台」及び「ロボット」にそれぞれ相当し、引用文献２の、搬送機が有する「前進後退する機構」は、中心軸に対して前進後退する機構、即ち進縮するものを意味することは明らかであるので、本件請求項１に係る発明の「進縮するアーム」に相当するものであり、かつ、引用文献２の「処理室」は、ウエハに関する処理を行う室であるから、本件請求項１に係る発明の「反応チャンバー」に相当するものと認められる。
　また、引用文献２の「処理室」と対比すると、本件請求項１に係る発明の「プラズマ処理装置」の本体が「搬送ライン」に面する面は、プラズマ処理装置の本体の「前方」の面であり、引用文献２の「ウエハカセット支持機構が、処理装置の前面に平行となる方向」の「方向」と、本件請求項１に係る発明の「搬送ラインと直交する方向」とは、基準とするカセットの方向を異にするのみであって、意図する方向に差異はなく、かつ、ウエーハカセット支持機構が搬送機の中心を向くことにより、同文献の図面の記載からも明らかに、その延長線上の処理室を向くものであるから、「載置台は搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向」に回動する点で両発明間に差異はない。
　
　したがって、両発明は、
ウェハを収納したカセットの授受を行なうカセット載置台と、ウェハに各種処理を施す反応チャンバーと、反応チャンバーとカセットとの間でのウェハの移載を伸縮動するアームで行なうロボットを備えた処理装置において、
前記カセットはウェハを収納するものであり、前記反応チャンバーと前記載置台は、装置の本体の前面に対して同じ側にしかも前記前面に近い側に載置台が遠い側に反応チャンバーとなるようにそれぞれ２つづつ配置され、これら載置台と反応チャンバーの中心に前記ロボットの回転中心を位置せしめ、前記載置台は前記前面と直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で水平回動可能とされている処理装置
の発明である点で一致し、以下の点で相違している。
相違点１
　本件請求項１に係る発明は、反応チャンバーがプラズマ雰囲気で処理を施すプラズマ処理装置であるのに対して、引用文献２のものでは、ウエーハに処理を施すものの、プラズマ雰囲気下であることは記載されていない点。
相違点２
　本件請求項１に係る発明では、プラズマ処理装置の一面に搬送ラインを設け搬送ラインとカセット設置台の間でカセットを授受するものであるのに対して、引用文献２のものは、ロボットにより、処理装置の前面のウエーハカセット支持機構にウエーハカセットを供給するものの、前面に搬送ラインを設けることは示されていない点
相違点３
　本件請求項１に係る発明のカセットはウエハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備え、ウエハの受け渡しの際にロボットのアームとカセットの側板とが干渉しないように載置台は水平回動可能とされるものであるのに対して、引用文献２のものは、ウエーハカセットにウエーハを収納し、ウエーハカセット支持機構が回転するものの、カセットの側板及びそれとの干渉に関して特段の記載はない点。
　
　以下相違点について検討する。
　相違点１について検討すると、当該技術分野において、プラズマ雰囲気でウェハに各種処理を施す反応チャンバーを有するプラズマ処理装置自体は、例示するまでもなく、従来周知のウエハを処理する装置の一形式にすぎないものであるから、相違点１は格別の事項とは認められない。
　
　相違点２について検討すると、引用文献２においても、ロボットにより、処理装置の前面のウエーハカセット支持機構にウエーハカセットを供給しており、供給のために搬送ラインを用いることは引用文献１に示されているように常套の技術手段であって、引用文献１のものに示される技術を引用文献２のものに適用する点に格別の困難性は認められず、しかも、引用文献１の技術を引用文献２のものに適用するに当たり、設計者は搬送ラインを設ける面として何れかの面を特定することが必要であるところ、引用文献２のものは、ウエーハカセットの処理装置と外部との授受をウエーハカセット支持機構を介して行われることを勘案すれば、同支持機構に近接した前面に搬送ラインを設けることは、当業者にとって何等の困難性を伴わずに決定し得る設計上の事項に属するものと認める。
　よって、相違点２で指摘した本件請求項１に係る発明の構成は、各引用文献に示された事項に基づいて、当業者が容易になし得た事項であって、格別の事項とは認められない。
　
　相違点３について検討すると、ウエハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備えることは、ウエハを収納するカセットにおいては、例示するまでもない周知の構成であり、しかも、引用文献２のウエーハカセット支持機構が搬送機の中心を向く方向に回転させることは、搬送機の方向にカセットの開口部即ち側板ではない部分を搬送機に向けることにより、搬送機の有する前進後退の機構により、ウエハのロード、アンロードを容易に行うものであり、引用文献２のものも、その直接的な記載はないものの、側板との干渉をなくす意図を有することは明らかである。
　よって、相違点３も格別の事項とは認められない。
　
　また、本件請求項１に係る発明の全体的構成において奏する効果は、各引用文献及び周知の技術から予測される以上の格別のものとは認められず、同発明は、引用文献２のものに引用文献１の発明及び従来周知の技術を適用して、当業者が容易に発明をすることができたものと認める。
　
　ついで、本件請求項２に係る発明と、引用文献２のものとを比較すると、上記格別の事項とは認められない相違点１，２，３に加えて更に、以下の点で相違し、残余の点で両発明は一致するものと認められる。
　
相違点４　
　本件請求項２に係る発明は、載置台は間欠的に昇降動可能とされているのに対して、引用文献２のものウエーハカセット支持機構は昇降を行うものの間欠的である旨の記載はない点
　しかしながら、昇降動作を間欠的とする点は当業者が必要に応じて適宜なし得る設計上の事項にすぎないものと認められるから、相違点４における本件請求項２に係る発明の構成は、引用文献２に基づいて、当業者が容易になし得たものと認める。
　
　そして、本件請求項２に係る発明の奏する効果は、各引用文献のもの及び周知の技術が奏する効果から予測される以上の格別のものとは認められない。
  よって、本件請求項２に係る発明は、各引用文献のもの及び周知の技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものと認める。
　
３−４　むすび
　以上説示のとおり、本件請求項１，２に係る発明は、その出願前に頒布された刊行物に記載された発明、及び周知の技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、それら発明に係る特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものであり、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、特許法第１１４条第２項に規定する決定をなすべきものであるから、上記のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１１月１３日（２０００．１１．１３）
【訂正の要旨】
訂正事項１
　特許請求の範囲の記載を以下のとおり訂正する
　【請求項１】搬送ラインとの間でウェハを収納したカセットの授受を行なうカセット載置台と、プラズマ雰囲気でウェハに各種処理を施す反応チャンバーと、反応チャンバーとカセットとの間でのウェハの移載を伸縮動ずるアームで行なうロボットを備えたプラズマ処理装置において、前記カセットはウエハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備え、前記反応チャンバーと前記蔵置台は搬送ラインに対して同じ側にしかも搬送ラインに近い側に載置台が遠い側に反応チャンバーとなるようにそれぞれ２つづつ配置され、これら載置台と反応チャンバーの中心に前記ロボットの回転中心を位置せしめ、更にウエハの受け渡しの際にロボットのアームとカセットの側板とが干渉しないように、前記載置台は搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で水平回動可能とされていることを特徴とするプラズマ処理装置。
　【請求項２】前記載置台は間欠的に昇降動可能とされていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
（５４）【発明の名称】
プラズマ処理装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　搬送ラインとの間でウェハを収納したカセットの授受を行なうカセット載置台と、プラズマ雰囲気でウェハに各種処理を施す反応チャンバーと、反応チャンバーとカセットとの間でのウェハの移載を伸縮動するアームで行なうロボットを備えたプラズマ処理装置において、
前記カセットはウェハ保持溝を形成した２枚の対向する側板を備え、前記反応チャンバーと前記載置台は搬送ラインに対して同じ側にしかも搬送ラインに近い側に載置台が遠い側に反応チャンバーとなるようにそれぞれ２つづつ配置され、これら載置台と反応チャンバーの中心に前記ロボットの回転中心を位置せしめ、更にウェハの受け渡しの際にロボットのアームとカセットの側板とが干渉しないように、
　【請求項２】前記載置台は間欠的に昇降動可能とされていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
詳細な説明
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明はロボットによってカセットと反応チャンバー（ウェハ保持具）との間でウェハの受け渡しを行なうプラズマ処理装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　シリコンウェハ表面にエッチングやアッシング等の処理を自動的に行なうプラズマ処理装置として、未処理のウェハを上下方向に離間して多数枚収納したカセットを待機位置から搬送ラインに沿って移載位置まで搬送し、次いでカセットごと載置台に移し、この載置台上に固定されたカセットからロボットによってウェハを１枚づつ或いは複数枚づつウェハ保持具に移し換え、このウェハ保持具ごとウェハを反応チャンバー内に入れて所定の処理を行なうようにしたものがある。
　【０００３】
　そして、上記のウェハの移し換えはカセットは固定したまま、ロボットのアームの動きのみによって行なっている。即ち、ロボットのアームが伸びてカセット内の最下段のウェハをロボットのハンド上に載せ、アームを縮めて所定角度（１８０°）水平回転し、再びアームを伸してウェハ保持体内にハンドを差し入れてウェハを保持体に受け渡し、この後アームが縮んで所定角度水平回転するとともに一段分アームが上昇して同様な動きを繰り返すことで全部のウェハを移し換えるようにしている。
　【０００４】
　また、上記のカセットはプラスチックの一体成形品で、その構造は図５に示すように、底板１００上に平行な２枚の側板１０１，１０１を立設し、これら側板１０１の内側面にウェハＷの周縁部が入り込む溝１０２…を形成している。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　上述した従来のプラズマ処理装置においては、載置台に固定したカセットの側板の延長線上に反応チャンバーが位置していない場合が多く、特に反応チャンバーを２つ設けたプラズマ処理装置にあっては、側板の延長線と反応チャンバーとの位置はズレることになる。
　【０００６】
　一方、ロボットのハンドがカセット内に進入する際には、側板とハンドとが干渉しないような動きとしなければならない。その結果、ロボットとカセットとの間でのウェハ授受の動きと、ロボットとウェハ保持具との間でのウェハ授受の動きとが対象的な動きとならず、このためロボットの構造が極めて複雑なものとなり、受け渡しの時間も短縮できない。
　【０００７】
　また、搬送ラインの向きを換えたり或いは搬送ラインにカセットをセットする際にカセットの向きを反応チャンバーに向けるようにすれば、上記の不利は解消できるが、反応チャンバーが２つ以上ある場合にはこのような手段は採れない。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段】
　上記課題を解決すべく本発明は、搬送ラインからウェハカセットを受け取る載置台を固定せず、搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で回動可能とした。
　【０００９】
　【作用】
　搬送ラインを走行してきたカセットは移載位置において載置台上に移されて固定される。次いで載置台が水平面内で反応チャンバーに向く方向まで回動し、その結果カセットの側板の延長線上に反応チャンバーが位置することとなる。
　【００１０】
　【実施例】
　以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るプラズマ処理装置の全体平面図であり、プラズマ処理装置は本体１に沿ってベルトコンベア等からなる搬送ライン２が設けられ、また本体１は搬送ライン２に沿って配置された２つのカセット載置台３，３、これらカセット載置台３，３に対応して配置された２つの反応チャンバー４，４及びこれらカセット載置台３，３と反応チャンバー４，４の中間位置に設けられる移載ロボット５からなる。
　【００１１】
　搬送ライン２は待機ステーションＳ１から未処理のウェハＷを収納したカセット６を移載位置Ｓ２，Ｓ２まで搬送し、この移載位置Ｓ２においてカセット６を前記載置台３との間で授受する。
　【００１２】
　反応チャンバー４は合成石英にて形成され、下方にはウェハ保持具７が設けられている。このウェハ保持具は合成石英からなる４本の支柱の内側部にウェハＷの周縁部が嵌り込む溝が多数形成されるとともに、昇降動自在とされ、上昇限の位置で反応チャンバー４内に入り込んで反応チャンバー４の下面開口を閉塞する。
　【００１３】
　移載ロボット５は垂直軸８を中心として多関節アーム９が水平面内で回動可能とされ、アーム９の先端にはウェハＷを載せるハンド１０が設けられている。
　【００１４】
　次に図２乃至図４に基づき載置台３の詳細につき説明する。ここで図２は載置台の平面図、図３は図２のＡ−Ａ線断面図、図４は図３のＢ方向矢視図であり、カセット載置台３はベース１１に中空の支柱１２を立設し、この支柱１２内にモータ１３にて回転せしめられるスクリューシャフト１４を配置し、また支柱１２の側壁に設けたレール１５に昇降部材１６を係合せしめるとともに、昇降部材１６に取り付けたナット１７を前記スクリューシャフト１４に螺合し、スクリューシャフト１４の回転により昇降部材１６が昇降動ずるようにしている。
　【００１５】
　昇降部材１６の下面にはギヤボックス１８を取り付け、このギヤボックス１８外側に固着したモータ１９の回転を駆動プーリ２０、タイミングベルト２１及び被動プーリ２２を介してギヤボックス１８内のウォーム２３に伝達し、更にウォーム２３の回転をこれと噛合するウォームギヤ２４に伝達し、ウォームギヤ２４の軸２５を回転せしめるようにしている。
　【００１６】
　軸２５の上端は昇降部材１５に形成した開口２６から突出し、この上端にプレート２７がネジ止めされ、このプレート２７の下面にはストッパ２８が取り付けられ、モータ１９の駆動によりギヤ列を介してプレート２７が所定角度水平回転した時にストッパ２８が昇降部材１５に取り付けたりミットスイッチ２９に当接してモータ１９への通電を遮断してプレート２７の回動を停止する。そして本発明にあってはこの停止した位置においてプレート２７が反応チャンバー４の方向を向くように設定している。
　【００１７】
　また、プレート２７には開口３０が形成され、この開口３０からプレート２７上に載置されたカセット６内にウェハＷが残っているか否かを検知するセンサ３１を臨ませている。
　【００１８】
　以上において、ウェハＷにプラズマ処理を施すには、カセット６を待機位置Ｓ１から搬送ライン２に沿って移載位置Ｓ２まで搬送し、移載位置Ｓ２においてカセット６ごと載置台３のプレート２７上に移し、次いでモータ１９を駆動してプレート２７を移載ロボット５を中心として対向する反応チャンバー４に向くまで回動させる。この操作により、カセット６の側板の延長線上に反応チャンバー４が位置することとなり、ロボット５のアーム９が伸縮動ずる際にカセット６の側板に干渉することがない。
　【００１９】
　次いで、プレート２７上に固定されたカセット６内にロボット５のアーム９が伸びてカセット内の最下段のウェハＷをロボットのハンド１０上に載せ、アームを縮めて１８０°水平回転し、再びアーム９を伸してウェハ保持具７内にハンド１０を差し入れてウェハＷを保持具７に受け渡し、この後アーム９が縮んで１８０°水平回転するとともに一段分アームが上昇し、前記と同様の動きを繰り返すことで全部のウェハＷを保持具７に移し換え、保持具７が上昇して反応チャンバー４内に保持具７ごとウェハＷを入れ、真空引きしてプラズマを発生せしめて所定の処理を行ない、処理が終了したならば前記と逆の動作によりカセット６内にウェハＷを戻し、更にカセット６を搬送ライン２に戻して次工程に送る。
　【００２０】
　尚、図示例にあっては載置台３と反応チャンバー４をそれぞれ２台づつ設けている。そこで、例えば右側の載置台３から右側の反応チャンバー４にウェハＷを移載する時のプレート２７の回動角が問題となるが、この場合も左側の反応チャンバー４にウェハＷを移載する時と同じだけプレート２７を回動させる。このようにすればロボット５のアームの伸縮動は全く同じとなり、アーム９の水平面での回動角のみを変えれば済むので制御が簡単になる。
　【００２１】
　【発明の効果】
　以上に説明したように本発明によれば、搬送ラインからウェハカセットを受け取る載置台を、搬送ラインと直交する方向と反応チャンバーを向く方向との間で回動可能としたので、カセットの側板の延長線上に反応チャンバーが位置することとなり、その結果、ロボットとカセットとの間でのウェハ授受の動きと、ロボットとウェハ保持具との間でのウェハ授受の動きとが対象的な動きとなり、このためロボットの動きと構造を単純なものにすることができ、コストダウンと受け渡し時間の短縮が図れる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明に係るプラズマ処理装置の全体平面図
　【図２】
　載置台の平面図
　【図３】
　図２のＡ−Ａ線断面図
　【図４】
　図３のＢ方向矢視図
　【図５】
　ウェハカセットの斜視図
　【符号の説明】
２…搬送ライン、３…載置台、４…反応チャンバー、５…移載ロボット、６…カセット、７…ウェハ保持具、１１…ベース、１６…昇降部材、２７…プレート、Ｗ…ウェハ。