【事件の表示】
　特許第２９７５１７０号「洗浄方法および洗浄装置」の請求項１ないし３、５、７、９ないし１３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９７５１７０号の請求項１ないし８に係る特許を維持する。
【理　由】
〔１〕手続きの経緯
１．本件特許２９７５１７０号（以下「本件」という。）は、平成３年６月２１日に特許出願されたものであって、平成１１年９月３日に設定登録がされ、同年１１月１０日に特許公報に掲載され、これに対して、特許異議申立人旭硝子株式会社より、平成１２年５月１０日付けで本件の請求項１〜３、請求項５、請求項７、請求項９〜１３に係る発明の特許に対して特許異議の申立てがされ、その後、当審の取消理由通知に対して、平成１２年１０月２日付け訂正請求書により訂正請求がされたものである。
〔２〕訂正事項と訂正の適否についての判断
１．本件訂正請求は、以下の事項について明細書の記載を訂正するものである。
(１)訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜３、５、７を削除し、これに伴い、請求項４、６、８〜１３の請求項番号を繰り上げるとともに、従属する請求項を訂正。
(２)訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の段落【０００８】中の「・・・被洗浄物の洗浄、すすぎ洗浄あるいは乾燥・・・」を、「・・・被洗浄物のすすぎ洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、バーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去する・・・」と訂正。
　
２．そこで、訂正事項について検討すると、訂正事項ａは請求項の一部を削除するものであり、訂正事項ｂは訂正された特許請求の範囲の記載と整合させたものであるから、これらの訂正は、特許法第１２０条の４第２項ただし書第１号にいう特許請求の範囲の減縮に該当し、また、本件訂正事項は、全体として願書に最初に添付した明細書及び図面の範囲においてされたものであると認められるので、同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定にも適合する。
  したがって、本件訂正はこれを認めることとする。
　　
〔３〕特許異議申立てについての判断
１．本件請求項１乃至請求項８係る発明は、訂正された明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１乃至請求項８に記載された以下のものにある。
「請求項１
  被洗浄物を洗浄剤を用いて洗浄するに際し、
　前記被洗浄物のすすき洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　請求項２
　被洗浄物を洗浄剤を用いて洗浄するに際し、
　前記被洗浄物の洗浄をシリコーン系洗浄剤、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤および、親水性溶剤から選ばれる洗浄剤を用いて行い、前記被洗浄物のすすぎ洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　請求項３
　被洗浄物を洗浄剤を用いて洗浄するに際し、
前記被洗浄物の洗浄を、
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・（１）
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｍは０〜５の整数を示す）で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび／または
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　・・・・・（２）
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｎは０〜５の整数を示す）で表される環状ポリジオルガノシロキサンを含有するシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　請求項４
　前記被洗浄物が金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品またはセラミックス部品であることを特徴とする請求項１または２記載の洗浄方法。
　請求項５
　被洗浄物の搬送機構が配設され、該搬送機構の出入口部を有する装置本体と、　前記装置本体内における前記搬送機構の入口部側に設けられた洗浄手段と、
　前記装置本体内における前記搬送機構の出口部側に設けられ、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気による乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　請求項６
　請求項５記載の洗浄装置において、
　前記装置本体を密閉構造とすると共に、該装置本体内を ２室に分離する仕切り手段を設け、該装置本体内が負圧となるように前記分離された ２室それぞれに排気手段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
　請求項７
　請求項６記載の洗浄装置において、
　前記排気手段による吸引気体から前記洗浄剤およびバーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤それぞれを回収する手段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
　請求項８
　前記被洗浄物が金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品またはセラミックス部品であることを特徴とする請求項５記載の洗浄装置。」
２．これに対して、異議申立ての理由は、「本件請求項１〜３、５、７、９（訂正前）に係る発明は、甲第１号証に記載の発明であり、また、甲第２号証に記載の発明であって、新規性が認められない。したがって、特許法第２９条第１項第３号の規定に違反して特許されたものと認められる。また、本件請求項１、７、９に係る発明は、甲第３号証に記載の発明と同一である。したがって、特許法第２９条の２第１項の規定に違反して特許されたものと認められる。さらに、本件請求項１０〜１３に係る発明は、甲第１〜２号証の記載および周知・慣用の技術手段に基づいて、当業者が容易になし得た発明であるので、特許法第２９条第２項の規定に違反して特許されたものと認められる。よって、本件特許発明（請求項１〜３、５、７、９、１０〜１３）は、特許法第１１３条第２号の規定により取り消されるべきである。」というにある。
（証拠方法）
甲第１号証：特開平２−１９１５８１号公報
甲第２号証：特開昭６４−６０６９４号公報
甲第３号証：特開平２−２４０１９８号公報
　
３．ところで、本件は、平成１２年１０月２日付け訂正請求書による訂正請求により請求項１〜３、５、７が削除され請求項４、６、８〜１３が繰り上げられているので、訂正後の請求項４〜８が異議申立てに係る請求項９〜１３に対応し、また、請求項４は、異議申立てのされなかった訂正前の請求項４、６を引用しているので、請求項１〜４に係る発明は、異議申立ての対象外と認められる。
  したがって、異議申立ての対象は請求項５〜８にあり、その理由は、請求項５〜８に係る発明は、甲第１〜２号証に記載された発明及び周知・慣用の技術手段に基づいて当業者が容易になし得た発明であるというにあるものと認められる。
４．そこで、甲第１〜２号証についてみてみると、甲第１号証には、「物品を洗浄し乾燥する方法および装置」が図１〜４とともに記載されており、また、甲第２号証には、「共沸溶剤組成物」について記載されている。
　しかしながら、洗浄装置において、「被洗浄物の搬送機構が配設され、該搬送機構の出入口部を有する装置本体と、前記装置本体内における前記搬送機構の入口部側に設けられた洗浄手段と、前記装置本体内における前記搬送機構の出口部側に設けられ、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気による乾燥手段とを具備する」点に関しては何ら記載がない。異議申立人は、かかる構成が新規であるとしたうえで、「課題」が公知で、「効果」も当業者が容易に予測できるとしているが、その論拠が不明であり、また、異議申立人のいう「周知・慣用の技術手段」に基づき当業者が容易に考えつく程度のものであるという論拠も明らかでない。
  そうすると、本件請求項５乃至請求項８に係る発明が甲第１〜２号証に記載された発明及び周知・慣用の技術手段に基づいて当業者が容易になし得るものであるとすることはできない。
　
〔４〕結び
　以上のとおりであるから、特許異議申立人の主張する申立ての理由及び提出した証拠方法によっては、本件特許を取り消すことはできない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１２月４日（２０００．１２．４）
【訂正の要旨】
　本件訂正請求は、以下の事項について明細書の記載を訂正するものである。
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１〜３、５、７を削除し、これに伴い、請求項４、６、８〜１３の請求項番号を繰り上げるとともに、従属する請求項を訂正。
（２）訂正事項ｂ
　発明の詳細な説明の段落【０００８】中の「・・・被洗浄物の洗浄、すすぎ洗浄あるいは乾燥・・・」を、「・・・被洗浄物のすすぎ洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、バーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去する・・・」と訂正。
（５４）【発明の名称】
洗浄方法および洗浄装置
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項
１
　前記被洗浄物の沸き洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
２
　前記被洗浄物の洗浄をシリコーン系洗浄剤、パフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤および、親水性溶剤から選ばれる洗浄剤を用いて行い、前記被洗浄物のすすぎ洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
３
　前記被洗浄物の洗浄を、
　【化１】
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｍは０〜５の整数を示す）で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンおよび／または
　【化２】
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｎは０〜５の整数を示す）で表される環状ポリジオルガノシロキサンを含有するシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤を、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤もしくはその蒸気で除去することを特徴とする洗浄方法。
　【請求項
４
　【請求項
５
　前記装置本体内における前記搬送機構の入口部側に設けられた洗浄手段と、
　前記装置本体内における前記搬送機構の出口部側に設けられ、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気による乾燥手段と
　を具備することを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
６
５
　前記装置本体を密閉構造とすると共に、該装置本体内を２室に分離する仕切り手段を設け、該装置本体内が負圧となるように前記分離された２室それぞれに排気手段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
７
６
　前記排気手段による吸引気体から前記洗浄剤およびパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤それぞれを回収する手段を設けたことを特徴とする洗浄装置。
　【請求項
８
５
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、環境破壊が少なく、かつ安全性の高い洗浄方法および洗浄装置に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子部品、半導体部品等の各種の部品には、その製造工程や組立て工程等において、機械油をはじめとして様々な汚れが付着する。このような汚れを有する各種部品は、フロン系溶剤や塩素系溶剤等によって洗浄することが一般的に行われている。一方、特殊な洗浄対象部品として、半導体ウエハやＬＣＤ用基板等、極端に水しみ（ウォーターマーク）を嫌う超精密洗浄部品がある。従来、このような分野では、フロン１１３等による蒸気洗浄（乾燥工程）が洗浄の最終工程として採用されてきた。
　【０００３】
　しかし、最近、上述したようなフロン系溶剤の人体や環境に対する影響が問題視されてきていることから、フロン系溶剤に匹敵するような超精密洗浄が可能で、かつ環境に対して悪影響を及ぼすことのない洗浄方法が強く求められている。そこで、フロン系溶剤に代り得る洗浄剤として、水系、非水系を問わず各種の洗浄剤が提案されている。例えば現状のフロン系溶剤よりオゾン破壊係数の低いフロン系物質の開発が進められており、また水系洗浄や塩素を含まない有機溶剤を用いた洗浄が検討されている。なかでも、水系洗浄は適切な水処理設備と組合せて使用すれば、無公害で環境に対する悪影響が極めて少ないことから有望しされている。また、フロン系の蒸気乾燥に代り得る方法としては、イソプロピルアルコール（以下、ＩＰＡと記す）による蒸気乾燥や温風乾燥が検討されている。
　【０００４】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかしながら、上述したような代替洗浄剤の多くは、洗浄それ自体は可能であっても、洗浄後に水によるすすぎ洗浄が必要であったり、また有機系の代替洗浄剤は人体に対する毒性が無視できない場合が多い等といった難点を有している。一方、新しいフロン系物質も、環境破壊が皆無ではないことから、好ましい代替洗浄剤や乾燥手段とは目されていない。
　【０００５】
　上記したような水によるすすぎ洗浄や、水系洗浄剤による洗浄を実施した後には、被洗浄物の表面に付着する水分を均一かつ迅速に乾燥させることが洗浄品質の点から必要であるが、現状の温風乾燥のように強制的に水分を蒸発させる方法では、ウォーターマーク等を防止することは非常に困難とされている。
　【０００６】
　また、ＩＰＡによる蒸気乾燥自体は、比較的良好な結果が得られているものの、前工程として水系の洗浄剤やすすぎ洗浄剤を用いると、水とＩＰＡとの沸点が近いために、ＩＰＡ中から水分を除去することが困難となり、この混入した水によりウォーターマーク等が発生し易くなるという難点がある。これは、上述した代替洗浄剤の多くが、洗浄後に水洗いが必要であるということと相侯って、実用化する上で問題となっている。また、ＩＰＡは引火点が１１．７℃と室温より低く、通常の使用条件下では常に火災の危険が伴うという欠点がある。さらに、イソプロピルアルコールは人体に対する毒性も高く、この面での使用規制が進行しているのが現状である。
　【０００７】
　本発明は、上述したような課題に対処するためになされたもので、例えば超精密洗浄を必要とする分野において、フロン系溶剤による洗浄や蒸気乾燥と同等の洗浄効果（耐水しみ性等）が得られ、かつ環境破壊を低減した洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とするものである。
　【０００８】
　【課題を解決するための手段と作用】
　すなわち、本発明の洗浄方法は、被洗浄物を洗浄剤を用いて洗浄するに際し、
前記被洗浄物のすすぎ洗浄をシリコーン系洗浄剤を用いて行った後、前記被洗浄物の表面に付着している洗浄剤あるいはすすぎ洗浄剤を、
　【０００９】
　また、本発明の洗浄装置は、被洗浄物の搬送機構が配設され、該搬送機構の出入口部を有する装置本体と、前記装置本体内における前記搬送機構の入口部側に設けられた洗浄手段と、前記装置本体内における前記搬送機構の出口部側に設けられ、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気による乾燥手段とを具備することを特徴としている。
　【００１０】
　本発明に用いられるパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤は、被洗浄物を効果的に乾燥することができると共に、被洗浄物の洗浄やすすぎ洗浄に使用することも可能な洗浄剤である。さらに、上記乾燥と一部重複するが、水系洗浄剤による洗浄や水等によるすすぎ洗浄を行った後に、被洗浄物の表面に付着している水分等を除去する際にも、有効に使用することができるものである。
　【００１１】
　上記パーフルオロカーボンは、分子構造中の炭素原子に結合し得る全ての置換基がフッ素原子である化合物であり、通常、常温では液状体である。ただし、工業的に得られるパーフルオロカーボンは、置換基の全てがフッ素原子であるとは限らず、一部不純物として水素、塩素あるいは臭素等が結合しているものも含まれる。これは、製造上避けることができない不純物であって、パーフルオロカーボンに０．５％〜５．０％程度含まれるものであり、このような不純物を含むパーフルオロカーボンで実用上の支障はない。よって、本発明におけるパーフルオロカーボンとは、上述したようなものを含むものとする。また、本発明におけるパーフルオロカーボンとは、主鎖が炭素であるものに限られるものでなく、一部エーテル結合のような酸素を含むものや、窒素、珪素等を含むものを用いることも可能である。
　【００１２】
　このようなパーフルオロカーボンは、不燃性、無毒、無臭で、非常に安全性の高いものであり、また実質的に塩素を含まないことから環境破壊を招くことがない。また、フロン系溶剤と同等の揮発性を有し、また水を含む各種溶剤と相互に溶解せず、さらに金属、プラスチック、ガラス等の各種材料を侵さないことから、各種材質からなる被洗浄物に対して有効かつ十分な洗浄性能および乾燥性能を発揮すると共に、乾燥工程に洗浄剤が持ち込まれた際にも、それぞれ分離して回収再使用が可能である。また、上記パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤を、例えば水切り洗浄剤として使用する場合には、パーフルオロカーボンと水との比重差が大きいことによって、有効に水切りおよび乾燥を行うことができる。このようなパーフルオロカーボンとしては、Ｃ３Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、Ｃ５Ｆ１０、Ｃ６Ｆ１２、Ｃ６Ｆ１２Ｏ、Ｃ６Ｆ１４、Ｃ７Ｆ１４、Ｃ７Ｆ１４Ｏ、Ｃ７Ｆ１６、Ｃ８Ｆ１６Ｏ、Ｃ８Ｆ１８、Ｃ９Ｆ１８Ｏ、Ｃ１０Ｆ２０Ｏ等の分子式で表されるものや、ＣＦ３−［（Ｏ−ＣＦ（ＣＦ３）−ＣＦ２）ｎ−（Ｏ−ＣＦ２）ｍ］Ｏ−ＣＦ３等の構造を有するもの等が例示され、これらは単独もしくは混合物として用いられる。また、市販品としては、フロリナートＦＣ−７２（商品名、住友スリーエム株式会社製；沸点＝５６℃）、同ＦＣ−８４（沸点＝８０℃）、同ＦＣ−７７（沸点＝９７℃）、同ＦＣ−７５　（沸点＝１０２℃）、同ＦＣ−４０（沸点＝１５５℃）、同ＦＣ４３（沸点＝１７４℃）、ガルデンＤ８０（商品名、日本モンテジソン株式会社製；沸点＝８４℃）同Ｄ１００（沸点＝１０２℃）、同Ｄ０１（沸点＝１１０℃）、アフルードＥ−８、（商品名、旭硝子株式会社製；沸点＝８２℃）、同Ｅ−１０（沸点＝１００℃）等を使用することができる。また、パーフルオロカーボンは、その化学構造によって各種の沸点のものが得られるが、乾燥工程で使用する際には、洗浄工程に用いる洗浄剤より沸点が２０℃以上低いものを使用することが好ましい。これにより、乾燥工程における洗浄剤の再付着が防止される。より好ましい沸点の差は、５０℃以上であり、さらには１００℃以上とすることが望ましい。
　【００１３】
　上述したようなパーフルオロカーボン液体は、それ単独で用いてもよいが、補助剤を併用することも可能である。ここで、上記補助剤とは、パーフルオロカーボン単独では被洗浄物に残留する汚れに対し、洗浄力が不足する場合に洗浄力向上を目的に加える溶剤、あるいはパーフルオロカーボン単独では被洗浄物に残留する水分に対し、水切り能力が不足する場合に水切り能力向上を目的に加える溶剤等であり、例えばフロン１１３のようなフロン系溶剤、１，１，１−トリクロロエタンのような塩素系有機溶剤、ＩＰＡのような親水性溶剤等である。これらは、環境破壊や安全性等の点から使用しないことが好ましいことは当然であるが、パーフルオロカーボンを主成分とすることによって、環境等に対する影響を大幅に低減することができる。これらを併用する際は、補助剤の配合量を７０％以下とすることが好ましく、さらに好ましく５０％以下であり、望ましくは３０％以下である。また、可燃性溶剤を使用する際には、パーフルオロカーボンより沸点が高いものを使用することが好ましい。
　【００１４】
　また、本発明における洗浄工程においては、各種の洗浄剤を用いることが可能であり、例えばシリコーン系洗浄剤、上述したようなパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤、親水性溶剤のような水系洗浄剤等を使用することが可能である。具体的な洗浄手段としては、浸漬槽やシャワー槽等が用いられ、また必要に応じて、超音波、揺動、機械的撹拌等を併用することも可能である。また、すすぎ洗浄工程においても、水をはじめとして、各種のすすぎ洗浄剤を用いることができる。
　【００１５】
　上述した洗浄剤のうちシリコーン系洗浄剤としては、例えば
　【００１６】
　【化１】
　【００１７】
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｍは０〜５の整数を示す）
　で表される直鎖状ポリジオルガノシロキサンや、
　【００１８】
　【化２】
　【００１９】
（式中、Ｒは同一または異なる置換または非置換の１価の炭化水素基、ｎは３〜７の整数を示す）
　で表される環状ポリジオルガノシロキサン等が例示される。
　【００２０】
　上記したような低分子量ポリオルガノシロキサンは、これら単独でも良好な洗浄性能を示すものであるが、上記シリコーン系洗浄剤に添加し、洗浄性能を付与、向上させ得る界面活性剤や親水性溶剤等を洗浄性能向上剤として併用してもよい。なお、洗浄性能向上剤を使用する際には、上記シリコーン系洗浄剤単独によるすすぎ洗浄を実施することが好ましい。上記した（１）式および（２）式中のＲは、置換または非置換の１価の炭化水素基であり、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等のアルキル基、フェニル基等の１価の非置換炭化水素基、トリフロロメチル基等の１価の置換炭化水素基等が例示されが、系の安定性、揮発性の維持等からメチル基が好ましい。
　【００２１】
　また、上記洗浄性能向上剤としての界面活性剤は、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性系およびこれらの複合系等、各種のものを使用することが可能である。また親水性溶剤としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル等の多価アルコールとその誘導体等が例示される。
　【００２２】
　また、本発明による洗浄装置は、上記した本発明の洗浄方法の一例を装置として具体化したものであり、本発明の洗浄装置においては、装置本体を密閉構造とすると共に、該装置本体内を２室に分離する仕切り手段を設け、該装置本体内が負圧となるように分離された２室それぞれに排気手段を設けることが好ましい。これにより、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤や洗浄剤の外部への漏洩が防止でき、かつ本発明で用いるパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤は各種溶剤と相溶性がないことから、それぞれ分離回収が可能であるため、これらの使用量の削減が図れる。
　【００２３】
　本発明の洗浄方法および洗浄装置の対象物となる被洗浄物としては、金属、セラミックス、プラスチック等であり、さらに具体的には金属部品、表面処理部品、電子部品、半導体部品、電気部品、精密機械部品、光学部品、ガラス部品、セラミックス部品等である。
　【００２４】
　【実施例】
　以下、本発明を実施例によって詳細に説明する。
　【００２５】
　図１は、本発明の一実施例の洗浄方法を適用した洗浄装置の構成を示す図である。同図に示す洗浄装置は、被洗浄物１の搬送手段１０として例えばベルトコンベアが内設された装置本体２０内に、シャワー洗浄工程３０、すすぎ洗浄工程４０およびパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気を用いた乾燥工程５０が、上記搬送手段１０の搬送順路に従って順に配設されて構成されている。
　【００２６】
　上記装置本体２０は、搬送手段１０の入口部２１および出口部２２を除いて密閉構造とされており、また装置本体２０内はすすぎ洗浄工程４０上に設けられた仕切り板２３によって、２室（２０ａ、２０ｂ）に分離されている。この仕切り板２３によって分離された前室２０ａおよび後室２０ｂには、それぞれ排気系２４、２５が接続されており、装置本体２０の開放部（入口部２１および出口部２２）それぞれから独立して外気を吸引することにより、前室２０ａおよび後室２０ｂそれぞれを負圧とし、装置本体２０からパーフルオロカーボン等の蒸気が漏洩することを防止していると共に、それらを回収、再使用することを可能としている。
　　【００２７】
　上記シャワー洗浄工程３０は、入口側コンベア１１に接続された洗浄工程用コンベア１２によって搬送される被洗浄物１に対して、その両側から洗浄剤を吹き付けるよう配設された複数のシャワーノズル３１を有するシャワー洗浄槽３２により構成されており、このシャワー洗浄によって被洗浄物１に付着している油系や水系等の汚れが除去される。上記洗浄剤としては、シリコーン系洗浄剤に洗浄性能向上剤として界面活性剤を添加した、例えばテクノケアＦＲＷ−１３（商品名、株式会社東芝製；沸点＝１７６℃）、シリコーン系洗浄剤に洗浄性能向上剤として多価アルコール類を添加した、例えばテクノケアＦＲＷ−１４（商品名、株式会社東芝製；沸点＝１７６℃）、同ＦＲＷ−１５（沸点＝１７８℃）等が用いられる。また、上記シャワー洗浄槽３２は、配管系３３を介してリザーブタンク３４に接続されており、このリザーブタンク３４からポンプ３５によって、洗浄剤は循環使用される。また、配管系３３にはフィルタ３６が介挿されており、このフィルタ３６によって洗浄液中に持ち込まれた固体物、未溶解物質等の汚れは除去される。
　【００２８】
　また、すすぎ洗浄工程４０は、シリコーン系洗浄剤が単独で収容された浸漬すすぎ槽４１を有しており、この浸漬すすぎ槽４１内を被洗浄物１が通過するように、すすぎ工程用コンベア１３が配設されている。シャワー洗浄工程３０が終了した被洗浄物１に付着している洗浄液やイオン性の汚れは、上記浸漬すすぎ槽４１内を被洗浄物１が通過することによりすすぎ落とされる。上記すすぎ洗浄剤としては、例えばシリコーン系洗浄剤単独のテクノケアＦＲＷ−１（商品名、株式会社東芝製；沸点＝１７６℃）等が使用される。上記浸漬すすぎ槽４１には、図示を省略した循環系が接続されており、水抽出による洗浄液浄化装置によってすすぎ洗浄液の浄化が行われている。すなわち、シリコーン系洗浄剤単独のすすぎ洗浄液中に混入した洗浄性能向上剤やイオン性の汚れは水によって抽出することが可能であるため、水抽出によってシリコーン系洗浄剤の浄化を行うことができる。これによりすすぎ洗浄液は、たえず清浄な状態が保たれる。
　【００２９】
　乾燥工程５０は、用いるパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の沸点に応じて、パーフルオロカーボン等を蒸気として維持する乾燥炉５１と、この乾燥炉５１内からパーフルオロカーボン等の蒸気が揮散することを防止するように、乾燥炉５１の上部に設けられた冷却パイプ５２とから構成されており、上記パーフルオロカーボン等の蒸気が充満された乾燥炉５１内を被洗浄物１が通過するように、乾燥工程用コンベア１４が配設されている。パーフルオロカーボン等の蒸気洗浄剤は、図２に示すように、加熱用ヒータ６１を有する気化器６０によって蒸気化され、蒸気注入口５３を介して乾燥炉５１内に供給される。また、上記パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤としては、上述したようなフロリナートＦＣ−７２、同ＦＣ−８４、同ＦＣ−７７、同ＦＣ−７５等が用いられる。
　【００３０】
　上記パーフルオロカーボン等の蒸気が充満している乾燥炉５１内に、乾燥工程用コンベア１４によって搬送される被処理物１は、パーフルオロカーボンの沸点に至るまではパーフルオロカーボンの蒸気が結露し、被処理物１の表面に付着し残留しているすすぎ洗浄剤が洗い落とされる。被処理物１がパーフルオロカーボンの沸点を超えると、被処理物１の表面にはもはや何ものも付着せず乾燥状態となって、装置外部に搬出される。上記蒸気洗浄によって除去されたすすぎ洗浄剤は、乾燥炉５１下部に設けられたドレン配管５４から排出され、水抽出によって汚れ成分等の除去した後、シリコーン系洗浄剤とパーフルオロカーボンとに分離され、それぞれ再使用される。シリコーン系洗浄剤とパーフルオロカーボンとの分離は、遠心分離や沈降分離により行われる。
　【００３１】
　なお、上述した装置本体２０に設置された排気系２４、２５は、図３に示すように、洗浄剤成分等を抽出するための水と吸引気体とを接触させるためのシャワー機構７１を有する洗浄剤回収装置７０にそれぞれ接続されている。前室２０ａ側の排気系２４に接続された洗浄剤回収装置７０では、吸引された気体Ｇに水Ｗを吹き付け、洗浄性能向上剤を水抽出することによって、水に不溶のシリコーン系洗浄剤のみを分離回収し、再使用することを可能としている。また、後室２０ｂ側の排気系２５に接続された洗浄剤回収装置７０では、同様に洗浄性能向上剤を水抽出することによって、水に不溶のシリコーン系洗浄剤および不燃性不活性液体を分離回収し、再使用することを可能としている。また、装置本体２０の入口部２１側には、洗浄剤等の回収効率を高めるために別途排気系２６が接続されている。
　【００３２】
　次に、上記構成の洗浄装置によるフラックス系汚れの洗浄評価結果について述べる。
　まず、シャワー洗浄工程３０において、多価アルコールを添加したシリコーン系洗浄剤としてテクノケアＦＲＷ−１４およびＦＲＷ−１５を、またすすぎ洗浄工程４０において、シリコーン系洗浄剤としてテクノケアＦＲＷ−１を用い、さらに乾燥工程において、パーフルオロカーボン系溶剤としてフロリナートＦＣ−７５を使用し、シャワー洗浄３分、すすぎ洗浄３分、乾燥工程６分の条件により各種フラックスが付着した回路基板を洗浄した。その洗浄結果をフラックスの種類と共に表１に示す。なお、洗浄結果は目視により行い、◎＝十分、○＝ほぼ良好、△＝甘いの評価により判定した。
　【００３３】
　また、上記評価例で用いたパーフルオロカーボン系溶剤の耐水しみ性を下記に示す方法にしたがって評価した。その結果を表２に示す。なお、表中の各比較例は、従来の蒸気洗浄剤としてフロン１１３、イソプロピルアルコールを用いたものである。
　【００３４】
（ａ）　耐水しみ性
　　各種基材（ステンレス板、セラミックス、ポリカーボネート、Ｎｉメッキ鋼板）を上記評価例と同様に洗浄した後、同様な条件で蒸気乾燥した。なお、比較例も同条件とした。その後、ウォーターマーク（水垢によるしみ）を目視および走査型電子顕微鏡により観察し、以下の基準にしたがって評価した。
　【００３５】
　××：水切り工程で基材が浸蝕され、評価に至らなかった場合。
　【００３６】
　×　：目視でウォーターマークが観察された場合。
　【００３７】
　　○　：目視でウォーターマークが観察されなかった場合。
　【００３８】
　　◎　：走査型電子顕微鏡により５０μｍ以上のウォーターマークが観察されなかった場合。
　【００３９】
（ｂ）　連続水しみ特性
　ステンレス板を基材として、５０回の乾燥テストを行った後の外観を上記（ａ）と同様に評価した。　
　【００４０】
　以上の評価結果からも明らかなように、上記パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気乾燥を用いた洗浄装置によれば、フラックス系汚れを非水系洗浄によって十分に洗浄することができると共に、耐水しみ特性も良好で、超精密洗浄が可能であることから、フロン系溶剤等の代替洗浄として十分に使用し得ることが分る。また、フロン系溶剤に代えて環境破壊を起こすことがない、実質的に塩素を含まない洗浄剤を使用していることから、環境に対する悪影響を大幅に低減することが可能となると共に、人体に対する悪影響もなく、高安全性の下で洗浄を実施することが可能となる。
　【００４１】
　また、上記構成の洗浄装置においては、装置本体内を排気して負圧状態とし、外部への洗浄剤やパーフルオロカーボン等の漏洩を防止していると共に、排気気体からそれらの成分を回収しているため、外部環境への影響を最小限にすることができ、かつ洗浄剤やパーフルオロカーボン等の無用な損失を防止している。
よって、安全性に優れると共に、洗浄剤等を効率よくかつ有効に使用することができることから、洗浄剤等の使用量の大幅な削減が可能となり、ランニングコストの低減にも寄与する。
　【００４２】
　なお、上記実施例においては、洗浄性能向上剤を含有するシリコーン系洗浄剤による洗浄工程と、シリコーン系洗浄剤単独によるすすぎ洗浄工程とを組み合せた洗浄工程を適用した例について説明したが、被処理物や汚れの種類によっては、シリコーン系洗浄剤単独、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤や親水性溶剤を使用した洗浄工程についても同様な効果が得られる。また、洗浄工程において、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤を使用する際には、乾燥工程用の蒸気洗浄剤として、フロン系溶剤や塩素系有機溶剤等を用いることも可能である。
　【００４３】
　次に、本発明の他の実施例について、図４を参照して説明する。図４は、本発明を水洗（もしくは水系洗浄剤による洗浄）後の水切り洗浄および乾燥に適用した洗浄装置の構成を示しており、被洗浄物の搬送手段として、例えばバスケット搬送機構８０が内設された装置本体９０内に、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤による浸漬水切り洗浄工程１００、同様な洗浄剤によるシャワー水切り洗浄工程１１０およびパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤の蒸気を用いた乾燥工程１２０が、上記バスケット搬送機構８０の搬送順路に従って順に配されて構成されている。
　【００４４】
　上記装置本体９０は、バスケット搬送機構８０の入口部９１および出口部９２を除いて密閉構造とされている。この密閉構造とされた装置本体９０には、排気系９３が接続されており、装置本体９０内部を負圧とすることによって、装置本体９０からパーフルオロカーボンの蒸気が漏洩することを防止していると共に、パーフルオロカーボンを回収、再使用することを可能としている。
　【００４５】
　上記浸漬水切り洗浄工程１００は、パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤が収容された浸漬槽１０１を有している。バスケット搬送機構８０によりバスケット８１に収納されて搬送される被洗浄物は、別途設置された水系洗浄剤等による洗浄装置によって洗浄されたもの、もしくは水によりすすぎ洗浄されたものであり、このような被洗浄物をパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤中に浸漬することによって、被洗浄物の表面に付着している水等が除去される。この水分の除去は、パーフルオロカーボンと水の比重が異なることよって、水がパーフルオロカーボン液表面に浮上すること等によって行われる。なお、上記した比重差による水分の除去だけでは不十分な場合には、浸漬槽１０１内に超音波振動子１０２を設置し、超音波による機械的なエネルギーで被洗浄物表面に付着した水等の除去を補助するようにしてもよい。
　【００４６】
　また、シャワー水切り洗浄工程１１０は、被洗浄物に対してパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤を吹き付けるよう配設された複数のシャワーノズル１１１を有するシャワー洗浄槽１１２により構成されており、このシャワー洗浄によって被洗浄物表面に残留している水等が除去され、水置換が完了する。また、上記浸漬洗浄によって汚れが再付着したような場合においても、このシャワー洗浄によって除去される。このシャワー洗浄による水分の除去は、パーフルオロカーボンと水との比重差に起因する運動エネルギーによって、被洗浄物表面に残留する水がばじき飛ばされること等によって行われる。
　【００４７】
　上記浸漬水切り洗浄工程１００およびシャワー水切り洗浄工程１１０に使用されるパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤としては、前述したような各種のパーフルオロカーボンを使用することができる。
　【００４８】　乾燥工程１２０は、パーフルオロカーボンを蒸気化するための蒸気発生部１２１を有する蒸気洗浄槽１２２と、この蒸気洗浄槽１２２内からパーフルオロカーボンの蒸気が揮散することを防止するように、蒸気洗浄槽１２２の上部に設けられた冷却パイプ１２３とから構成されている。パーフルオロカーボンの蒸気が充満する蒸気洗浄槽１２２内に搬送されてきた被処理物１の表面には、その温度が、パーフルオロカーボンの沸点に至るまではパーフルオロカーボンの蒸気が結露する。そして、被処理物１の温度がパーフルオロカーボンの沸点に至ると、パーフルオロカーボンの蒸発が起こり、被処理物１の表面にはもはや何ものも付着しない状態となって、装置外部に搬出される。また、被処理物１の表面に微量な水分が付着しているような場合においても、被処理物１の表面にパーフルオロカーボンの蒸気が結露し、被処理物１表面をつたわって落下する際に、その流れによって水が脱落するため、水を除去することができる。さらに、パーフルオロカーボン蒸気の潜熱により、水および被処理物１の温度が上昇し、水を気化させることによっても、水を除去することができる。
　【００４９】
　上記乾燥工程１２０に使用されるパーフルオロカーボンとしては、蒸気圧によっても異なるが、水の沸点を超えない沸点を有するパーフルオロカーボンを使用することが好ましい。
　【００５０】
　上記構成の水切り洗浄装置を用い、かつ浸漬水切り洗浄工程１００におけるパーフルオロカーボン系溶剤、シャワー水切り洗浄工程１１０におけるパーフルオロカーボン系溶剤および乾燥工程１２０におけるパーフルオロカーボン系溶剤としてテクノケアＦＲＶ−１（商品名、株式会社東芝製）をそれぞれ使用して、浸漬洗浄３分、シャワー洗浄３分、乾燥３分の条件により、水分が付着した各種基材の洗浄および乾燥を実施した。その洗浄結果を前述した耐水しみ性にしたがって評価した。その結果を表３に示す。
　【００５１】
　以上の評価結果からも明らかなように、上記パーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤を用いた水切り洗浄装置によれば、被洗浄物表面の水切りが十分に行えると共に、耐水しみ特性も良好で、超精密洗浄が可能であることから、フロン系溶剤等の代替洗浄法として十分に使用し得ることが分る。
　【００５２】
　また、上記構成の洗浄装置においては、外部へのパーフルオロカーボンの漏洩を防止していると共に、排気気体からパーフルオロカーボンを回収しているため、外部環境への影響を最小限にすることができ、かつパーフルオロカーボンの無用な損失を防止している。よって、安全性に優れると共に、洗浄剤を効率よくかつ有効に使用することができることから、洗浄剤の使用量の大幅な削減が可能となり、ランニングコストの低減にも寄与する。
　【００５３】
　なお、上記実施例においては、浸漬洗浄およびシャワー洗浄によって水置換を実施した後、パーフルオロカーボン蒸気による乾燥を行っているが、パーフルオロカーボンの蒸気洗浄のみによって、洗浄および乾燥を行うこともできる。この際には、被処理物１の表面にパーフルオロカーボンの蒸気が結露し、被処理物１の表面がパーフルオロカーボン液によって覆われる際に、被処理物１表面の水が伸ばされて、均一に乾燥を実施することができる。水分の除去は、水とパーフルオロカーボンとの比重差に基づく水の浮上や、パーフルオロカーボンの結露後の脱落等によって行われる。
　【００５４】
　【発明の効果】
　以上説明したように、本発明によれば、フロン系溶剤による洗浄や蒸気乾燥と同等の効果（耐水しみ性等）が得られ、また塩素を実質的に含まないパーフルオロカーボンを主成分とする洗浄剤を用いているため、環境破壊を大幅に低減することができる。したがって、環境に対する影響も含めて高安全性の下で、超精密洗浄等を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明の一実施例の洗浄装置の構成を示す図である。
　【図２】
　図１に示す洗浄装置で用いたフッ素系不活性液体の気化装置の概略構成を示す図である。
　【図３】
　図１に示す洗浄装置で用いた洗浄剤回収装置の概略構成を示す図である。
　【図４】
　本発明の他の実施例の洗浄装置の構成を示す図である。
　【符号の説明】
　１……被洗浄物
　１０、８０……搬送機構
　２０、９０……装置本体
　２０ａ…前室
　２０ｂ…後室
　２１、９１…入口部
　２２、９２……出口部
　２４、２５、９３……排気系
　３０……シャワー洗浄工程
　４０……すすぎ洗浄工程
　５０、１２０……乾燥工程
　１００……浸漬水切り洗浄工程
　１１０……シャワー水切り洗浄工程