【事件の表示】
　特許第３０００８１９号「三次元測定用プローブ及び形状測定方法」の請求項１ないし３に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０００８１９号の請求項１ないし３に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許３０００８１９号の出願は、平成５年３月１５日に出願したものであって、平成１１年１１月１２日に設定登録され、その後、特許異議申立人キヤノン株式会社及び特許異議申立人株式会社ニコンより、請求項１ないし３に係る特許について特許異議の申し立てがなされた。そして平成１２年１１月１７日付けで取消理由通知がなされたところ、平成１３年１月２６日付けで特許異議意見書及び訂正請求書が提出された。その後、平成１３年２月２７日付けで再度取消理由通知が手交によりなされたところ、平成１３年１月２６日付け訂正請求書が取り下げられるとともに、平成１３年２月２７日付けで訂正請求書が提出された。
　
２．訂正の適否についての判断
２−１．訂正事項
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲請求項１の「可動部Ａと移動可能な」を「可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な」に、「可動部Ａの位置測定手段」を「可動部ＡのＺ座標方向の位置測定手段」に、「移動方向に動く時」を「Ｚ座標方向に動く時」に、請求項３の「可動部Ａの位置」を「可動部ＡのＺ座標方向の位置」に、「可動部Ａと移動可能な」を「可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な」に、「移動方向に動く時」を「Ｚ座標方向に動く時」に、「前記可動部Ａの位置」を「前記可動部ＡのＺ座標方向の位置」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲請求項１の「光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し」を「前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するため、光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」に、「前記可動部Ａと前記可動部Ｂとの相対位置」を「前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置」に、請求項３の「光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し」を「光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」に、「可動部Ｂと前記可動部Ａとの相対位置を測定」を「可動部Ｂと前記可動部ＡとのＺ座標方向の相対位置を、前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射して測定」に訂正する。
　
２−２．訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）上記訂正事項ａは、可動部Ａと可動部Ｂの移動の方向を明確にすることにより、可動部Ａの位置測定手段及び可動部Ａと可動部Ｂの相対位置測定手段の測定の方向を明りょうにしたものであり、上記事項は、特許明細書の段落番号【００１０】【００１５】【００１７】及び図１に記載されている事項である。よって、上記訂正は、明りょうでない記載の釈明を目的とした明細書の訂正に該当し、願書に添付した明細書の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
（２）上記訂正事項ｂは、本件発明の可動部Ａの位置測定用の光源と、可動部Ａと可動部Ｂとの相対位置測定用の光源とを別なものとし、該２つの光源からの光を、異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介してミラーに照射することを限定することにより、可動部Ａの位置測定手段、可動部Ａと可動部Ｂの相対位置測定手段及びミラー面に関する技術的事項の関係を限縮するものであって、上記事項は、訂正前の特許明細書の【００１０】【００１５】【００１７】及び図１に記載されている事項である。よって、上記訂正は特許請求の範囲を減縮を目的とした明細書の訂正に該当し、願書に添付した明細書の範囲内の訂正であり、実質上特許請求の範囲を拡張し又は変更するものではない。
　
２−３．むすび
　以上のとおりであるから、上記訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定により「なお従前の例による」とされる、特許法第１２０条の４第３項で準用する平成６年法律第１１６号による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書ないし第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
　
３．本件発明
　請求項１ないし３に係る発明は、訂正された特許明細書及び図面の記載からみて、その特許請求の範囲の請求項１ないし３により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Ａと、エアー軸受けにより前記可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な状態で連結された可動部Ｂと、前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するため、光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記ミラー面の移動方向の位置を前記ミラー面による反射光から測定する前記可動部ＡのＺ座標方向の位置測定手段と、前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置を測定する相対位置測定手段と、前記スタイラスが被測定面を走査し、被測定面の前記移動方向の変化に伴ってＺ座標方向に動く時、前記相対位置測定手段から得られた前記可動部Ａと前記可動部Ｂの相対位置が一定になるように前記可動部Ｂを前記移動方向に駆動する駆動手段を備えた三次元測定用プローブ。
【請求項２】前記可動部Ａと前記可動部Ｂを連結するばねを設けたことを特徴とする請求項１記載の三次元測定用プローブ。
【請求項３】一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部ＡのＺ座標方向の位置を、光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記ミラー面による反射光から測定する工程と、エアー軸受けにより前記可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な状態で連結された可動部Ｂと前記可動部ＡとのＺ座標方向の相対位置を、前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射して測定する工程とを有し、前記スタイラスが被測定面を走査し、被測定面の前記移動方向の変化に伴ってＺ座標方向に動く時、前記可動部Ａと前記可動部Ｂの相対位置が一定になるように前記可動部Ｂを前記移動方向に駆動し、前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定する形状測定方法。」（以下、それぞれ「本件発明１」ないし「本件発明３」という。）
　
４．取消理由通知
４−１．平成１２年１１月１７日付け取消理由通知の概要は以下のとおりである。
　訂正前の請求項１ないし３に係る発明は、刊行物１である特開平５−６０５４２号公報に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるから、訂正前の請求項１ないし３に係る特許は、特許法第２９条第２項の規定に違反してされたものである。
４−２．平成１３年２月１５日付け取消理由通知の概要は以下のとおりである。
　本件出願は、明細書及び図面の記載が、「請求項１ないし３における記載では、可動部Ａの位置測定手段、可動部Ａと可動部Ｂの相対位置測定手段及びミラー面に関する技術的事項が、発明の詳細な説明に記載された事項とどのように対応するかが明確でない。（なお、再度の訂正請求を行う場合には、他の訂正請求を取り下げた上で行う必要がある。）」との点で不備のため、特許法第３６条第５項に規定する要件を満たしていない。
　
５．刊行物
　刊行物１には、下記７−２．の特許異議申立人株式会社ニコンの提出した甲第２号証で示した記載事項が記載されている。（刊行物１は甲第２号証に対応している。）
　
６．対比・判断
６−１．上記刊行物１に対する対比・判断は、下記７−３．【本件発明１について】、【本件発明２について】及び【本件発明３について】に示すとおりである。
　よって、本件発明は刊行物１に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
６−２．平成１３年２月２７日付け訂正請求により、「光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」「前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」との事項が加入されたことにより、「可動部Ａの位置測定手段、可動部Ａと可動部Ｂの相対位置測定手段及びミラー面に関する技術的事項が、発明の詳細な説明に記載された事項とどのように対応するかが明確でない。」との記載不備は解消された。
　
７．特許異議の申立について
７−１．特許異議の申立の概要
　特許異議申立人キヤノン株式会社は下記甲第１〜３号証を、また特許異議申立人株式会社ニコンは下記甲第１〜４号証を提出し、両者とも、請求項１ないし３に係る特許は、下記甲各号証に記載の発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定に違反してなされたものであって、訂正前の請求項１ないし３に係る特許は取り消すべきであると主張している。
　　　　　　記
特許異議申立人キヤノン株式会社：
甲第１号証：「１９９２年度精密工学会春季大会　学術講演会講演論文集　第２分冊」６９７〜６９８頁（社団法人精密工学会発行）（以下、「刊行物２」という。）
甲第２号証：特開平５−５７６０６号公報（以下、「刊行物３」という。）
甲第３号証：特開昭４−９８１０１号公報（以下、「刊行物４」という。）
　
特許異議申立人株式会社ニコン：
甲第１号証：「１９９２年度精密工学会春季大会　学術講演会講演論文集　第２分冊」第６９７〜６９８頁（社団法人精密工学会発行）（以下、「刊行物２」という。）
甲第２号証：特開平５−６０５４２号公報（上記刊行物１）
甲第３号証：「１９９１年度精密工学会秋季大会　学術講演会講演論文集　第２分冊」６８５〜６８６頁（社団法人精密工学会発行）（以下、「刊行物５」という。）
甲第４号証：ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ ＥＮＧＮＥＥＲＩＮＧ ＶＯＬ１１ Ｎｏ４（以下、「刊行物６」という。）
　
７−２．甲号証に記載された発明
　特許異議申立人株式会社キヤノンの提出した甲第１号証（刊行物２）には、次のことが記載されている。
「非球面レンズの形状評価に使用可能な接触式の円筒座標系３次元座標測定機を開発した。本測定機の構成は接触プローブの位置および姿勢をレーザ干渉測長計によって測定し・・・特徴を持たせた。」（６９７頁１〜４行）、
「定盤上に固定された支柱の上部にはりが渡され、・・・ＸステージにはＺ軸駆動部が組み込まれ、接触プローブが取付けられたＺステージを駆動する。また、プローブのＸ，Ｚ座標の測定にはへテロダイン方式レーザ干渉測長計が使用されている。プローブのＸ，Ｚ座標は各々、定盤上の支柱に設置されたＸ基準平面鏡及びＸＺ駆動部とは異なる別のはりに設置されたＺ基準平面鏡からの反射光と、接触プローブからの反射光の干渉によって測定される。・・・被測定物の形状測定は、プローブをＸ，Ｚ方向に移動させて被測定物に接触を繰返し（断面形状測定）、その後θテーブルを所定の角度回転させて再び断面形状測定を行ない、これを繰返すことによって行われる。」（６９７頁１９行〜３１行）、
「図２に接触プローブの断面を示す。ばねによって低熱膨張ガラスセラミックス製のプローブが吊り下げられている。測定の際には、スタイラスが被測定面に接触した後もＺステージを降下させる。接触後のＺステージの降下にともなってばねは縮むが、ばねの縮み量と測定荷重には相関がある。測定荷重の制御は、ばねの縮み量が所定の荷重に対応する量となるようＺステージの位置を制御して行なう。・・・またプローブの側面をエアスライドとすることにより、摩擦抵抗が低減されている。プローブの位置及び姿勢は、プローブ側面の２点Ｘ，Ｘ２ および上面Ｚと、Ｘ，Ｚそれぞれの基準平面鏡との距離の測定によって得られ、その値からスタイラス中心の座標を計算している。」（６９７頁３２行〜６９８頁３行）
　
　同甲第２号証（刊行物３）には、次のことが記載されている。
「【請求項３】研磨液あるいは研磨剤中で研磨工具を被加工物に押しあてながら前記被加工物に対して前記研磨工具を相対運動させる研磨ヘッドを被加工物面上で走査させさながら加工する研磨装置において、研磨加工部と形状計測部を同一定盤上に有し、定盤面上において、両者の間を行き来し、位置決め可能に設けられた第１の移動軸を有し、前記第１の移動軸に直行する方向で位置決め可能な第２の移動軸を前記第１の移動軸上に有し、垂直軸回りに回転移動し、回転位置決め可能に設けられた前記被加工物が固定される回転移動軸を前記第２の移動軸上に有し、前記形状計測部では、垂直方向に位置決め可能な移動軸である計測用Ｚ軸アームを有し、前記計測用Ｚ軸アームの先端に計測ヘッドを有し、前記計測ヘッドに装着されたプローブと前記被加工物間の押し付け方を一定に保つように前記計測用Ｚ軸アームを上下する制御装置を有し、前記制御装置は、前記第１、第２の移動軸を移動させることにより、前記プローブで被加工物表面をなぞり、前記被加工物表面の点の前記第１、第２の移動軸の各座標を１点づつ測定することによって求めた被加工物形状と設計形状との差から次段の研磨に用いる前記研磨ヘッドの走査速度分布を計算し、前記研磨加工部では、前記第１、第２の移動軸および回転移動軸に加えて上下方向と傾き２方向に位置決め可能な３本の直動機構からなるＺチルティング機構を前記第１、第２の移動軸および回転移動軸の上方に有し、前記Ｚチルティング機構の下端に前記研磨ヘッドを固定して有し、この運動機構を同時に同期的に移動させることによって、研磨中は前記研磨ヘッドが前記被加工物の法線方向を追従しながら前記被加工物表面をあらかじめ定められた走査速度分布に従って走査し、研磨加工と形状測定を交互に繰り返すことを特徴とする研磨装置。」（特許請求の範囲請求項３）、
「【請求項６】計測ヘッドは、計測用Ｚ軸アームに固定されるハウジングと真球の先端を持つプローブと、そのプローブをハウジングに対して上下方向に移動可能支持するガイドと、そのプローブの自重をバランスさせるバネと、前記プローブと前記ハウジングの相対距離を測定する変位センサからなり、前記計測用Ｚ軸アームは、定盤に対して上下方向に移動し、位置決め可能にガイド、位置測定手段、駆動手段、位置決め制御手段を有し、前記計測用Ｚ軸アームの自重を支えるように、定盤に対して固定された滑車に、両端が前記計測用Ｚ軸アームとおもりに接続された吊りベルトを有し、形状計測時、前記プローブと前記ハウジングの相対距離を測定する変位センサの出力が一定になるように前記計測用Ｚ軸アームを駆動する制御手段を有する請求項３、４または５記載の研磨装置。」（特許請求の範囲請求項６）、
「また、本発明の研磨装置は、計測ヘッドは、計測用Ｚ軸アームに固定されるハウジングと真球の先端を持つプローブと、そのプローブをハウジングに対して上下方向に移動可能支持するガイドと、そのプローブの自重をバランスさせるバネと、前記プローブと前記ハウジングの相対距離を測定する変位センサからなり、前記計測用Ｚ軸アームは、定盤に対して上下方向に移動し、位置決め可能にガイド、位置測定手段、駆動手段、位置決め制御手段を有し、前記計測用Ｚ軸アームの自重を支えるように、定盤に対して固定された滑車に、両端が前記計測用Ｚ軸アームとおもりに接続された吊りベルトを有し、形状計測時、前記プローブと前記ハウジングの相対距離を測定する変位センサの出力が一定になるように前記計測用Ｚ軸アームを駆動する制御手段を有する。」（【００１８】）、
「次に、本実施例の研磨装置３０の形状計測部Ｍの構成について図１を参照して説明する。
【００６７】前記被加工物３６の上方には、定盤３１に設けられた３個の計測フレーム６０ａ，６０ｂ，６０ｃの各先端が位置しており、各先端に計測用Ｚアーム７０（ＭＺ軸と呼ぶ）を装着するためのＺアーム取付板６０が固定されている。各計測フレーム６０ａ，６０ｂ，６０ｃは低熱膨張材製である。
【００６８】前記形状計測部Ｍの定盤３１上の部分には、樹脂製の板でカバーリング１００を施し（図７参照）、被加工物の形状計測を行っている最中は外部と遮断する構成としている。なお、図７に示すシャッター１００ａは、脱着可能とし、Ｘテーブル３３、Ｙテーブル３２およびθテーブル３４が研磨加工部Ｐと形状計測部Ｍとを行き来できるようにする。
【００６９】図１に示す計測用Ｚアーム７０について図９を参照して説明する。
【００７０】ベース７５は前記Ｚアーム取付板６０（図１参照）に固定されている。エアベアリング７２はハウジング７２ｂが該ベース７５に固定され、該ハウジング７２ｂ内には複数の多孔質のエアパッド７２ｃが配設され、垂直軸部材であるセラミックス製のスライドバー７２ａのｘｙ方向を非接触に支持する。前記スライドバー７２ａの下方には計測ヘッド８０が装着され、また、他端はブロック７３が固設されている。該ブロック７３にはリニアモータ７４の２つのリニアモータコイル７４ａおよび７４ｈを装着するためのコイル取付ブロック７４ｅおよび７４ｆが固定され、さらにスチールベルト７７が装着されている。前記リニアモータコイル７４ａおよび７４ｈの中央空間部には互いに平行なマグネット７４ｂ，７４ｇが非接触に貫通し、取付治具７４ｃおよび７４ｄによりベース７５に固定され、該計測ヘッド８０およびスライドバー７２ａは矢印Ａ方向に往復自在である。
【００７１】図１０において、前記スチールベルト７７は、Ｚアーム取付板６０上の治具６０ｄ，６０ｅ上に設けられた滑車７８ａ，７８ｂに支持され、一端をブロック７３に他端をバランシングウェイト７９に固定されている。バランシングウェイト７９の質量は、計測ヘッド８０、スライドバー７２ａ、ブロック７３とリニアモータ７４の質量の総和と等しく、リニアモータ７４で発生する力を最小限にする。
【００７２】図１１を参照して図１０に示す計測ヘッド８０を説明する。
【００７３】スライドバー７２ａに固定されたプレート８１は、ベースプレート８２と連結バー８８ａ，８８ｂ，８８ｃ（不図示）、８８ｄ（不図示）によりビス止めされている。これらは低熱膨張材製である。十字状もしくは円板状の２枚の板バネ８４ａ，８４ｂが外端をバネホルダー８５に、バネホルダー８５はプローブハウジング８３に各々固定され、さらに、プローブハウジング８３はベースプレート８２に固設されている。バネ８４ａ，８４ｂの中央部にはプローブ８７が固定され、先端にプローブ球８６を持っている。プローブハウジング８３、バネホルダー８５、プローブ８７はそれぞれ低熱膨張材製、プローブ球８６は被加工物３６の被加工面３６ａに傷を生じず、かつ耐摩耗性に優れた材料、例えばタングステンカーバイドで構成される。
【００７４】図１２を参照して計測用Ｚアームの測長システムを説明する。
【００７５】この測長システムは、４個のレーザー測長系、すなわち、計測ヘッド８０のＺ方向変位を測定するレーザー測長系であるＺ方向測長系９１と、プローブ８７の変位、計測ヘッドのＸ方向変位、Ｙ方向変位をそれぞれ測定する３個のレーザー測長系（不図示）とからなる。例えば、Ｚ方向測長系９１では、ベースプレート８２上に固定された参照ミラー９１ｃの変位を計測し、計測ヘッド８０のＺ方向変位とする。」（【００６６】〜【００７５】）、
「【００７７】・・・次に、リニアモータ７４を駆動し、計測用Ｚアーム７０をＺ下方におろしてプローブ球８６を被加工物３６に接触させる。さらに、押し込み平行板バネ８４ａ，８４ｂにより印加される任意の押し付け力に到達させる。この押付力を一定に保つ、すなわちプローブ８７の変位（Ｌ０）を一定にするようにリニアモータ７４の出力を制御する。加えて、被加工物３６を走査するように、あらかじめ作成された後述する形状計測フローに基づいてＸテーブル３３、Ｙテーブル３２を駆動する。」（【００７７】）
　
　同甲第３号証（刊行物４）には、次のことが記載されている。
「（２）筒状のハウジングと、このハウジングの内部に設けられた静圧軸受と、この静圧軸受により軸方向に移動自在に非接触軸支された円柱状のプローブ軸と、このプローブ軸の一端に設けられ被測定物に当接するスタイラスとを具備し・・・変位測定装置。」（特許請求の範囲請求項２）、
「第１図は、この実施例の変位測定装置（Ｐ）を示している。この変位測定装置（Ｐ）は、円筒状のハウジング（１）と、このハウジング（１）の内部に設けられた空気軸受（２）と、この空気軸受（２）により軸方向に移動自在に非接触軸支され且つ非磁性材料からなる円柱状のプローブ軸（３）と、このブロープ軸（３）の前端に同軸に設けられ変位量が測定される被測定物に直接当接するスタイラス（４）と、プローブ軸（３）とスタイラス（４）の間に介設されブロープ軸（３）の軸方向の移動を規制するストッパ（５）と，プローブ軸（３）の後端部に設けられこのブロープ軸（３）の移動量を検出するためのコーナキューブ（６ａ）を有する測長部（６）と、プローブ軸（３）及びハウジング（１）の内部の後端部に設けられた接触圧調整部（７）とからなっている。」（３頁右上欄２〜１６行）
　
　また特許異議申立人株式会社ニコンの提出した甲第２号証（刊行物１）には、次の事項が図面とともに記載されている。
「本発明は触針子２の真球の取り付け位置（一端）と反対側の位置（他端）に横方向（１軸方向と直交方向）の変位を測定する変位センサーを設けることにより、触針子２が横荷重を受けて真球が横方向にずれた場合であっても、そのずれ量を計測し、補正することにより被測定面の形状を高精度に測定することができる触針プローブの提供を目的とする。」（【００１０】）、
「この他、本発明の触針プローブとしては触針子を１軸方向に移動可能となるようにした直動ガイドを介してハウジングに設け、該触針子の一端を被測定物面に接触させ該触針子と該被測定物面とを該１軸方向とは異なる方向へ相対移動させ、該触針子の１軸方向の変位を該ハウジングに設けた変位センサーで検出し、該変位センサーからの値が予め設定した値となるように該ハウジングを該１軸方向に移動させることにより該被測定物面の形状を測定する触針プローブにおいて、該触針子の他端に参照ミラーを固設し、該参照ミラーに対向させて該１軸方向と直交方向の距離情報を測定する為の光干渉計を該ハウジング内に設けると共に該光干渉計に対向させて該ハウジング外に外部基準ミラーを設け、該光干渉計から該参照ミラーまでの距離と該光干渉計から該外部基準ミラーまでの距離との差を測定し、該測定結果を利用して該被測定物面に接触する該一端の位置ずれ量を求めた結果によって前記形状測定の補正を行ったことを特徴としている。」（【００１２】）、
「図４は本発明の触針プローブ１０１を用いて構成した形状測定装置の一実施例の要部斜視図である。
【００１９】ベース２２の上に被測定物１８とｙ方向に移動し、位置決め可能に設けられた門型のｙ軸スライド２１を有し、ｙ軸スライド２１の軸に嵌入し、ｘ方向に移動し、位置決め可能に設けられたｘ軸スライド２０を有し、ｘ軸スライド２０の穴部を介してｚ方向に移動し位置決め可能に設けられたｚ軸スライド１９を有し、その先端に本発明に係る図１で示した触針プローブ１０１を取り付けている。
【００２０】図５はこの構成において被測定物１８の形状測定を行うフローチャートである。本実施例ではこのような構成で形状測定を行うことにより先端の真球１の横位置ずれが発生してもその量を補正した真球１の位置を求め、これにより被測定物１８の形状を高精度に求めることができるようにしている。」（【００１８】〜【００２０】）、
「図７は本発明の実施例３の要部断面図である。本実施例では触針子２は断面が正方形の角柱部分を有し、そのそれぞれの４つの面は隙間１２を介してハウジング３に固定した多孔質材１３に対向している。ハウジング３に固定されている多孔質材１３の背面は圧縮空気を導く溝４がハウジング３に設けてあり、チューブ１４を通じて圧縮空気供給源（不図示）から圧縮空気が供給される。この圧縮空気は多孔質材１３を介して隙間１２に吹き出し、静圧空気軸受を構成する。
【００２５】又、触針子２の上部に直方体形状の参照ミラー２３が取り付けてあり、ハウジング３に固定された光ヘテロダイン干渉を利用した干渉測長計２４ａ及び２５ｂとの間の距離が測定できるようになっている。
【００２６】図８は本実施例の２周波光ヘテロダイン干渉測長計の光学系の要部概略図である。
【００２７】同図において、入力光３０は紙面に対して水平方向に偏光面をもつ周波数ｆ１の水平偏光成分（ｆ１成分）と、紙面に対して直角方向に偏光面をもつ周波数ｆ２の垂直偏光成分（ｆ２成分）の２つの光を有している。」（【００２４】〜【００２７】）、
「図９は本発明の実施例４の要部断面図である。本実施例では触針子２は断面が正方形の角柱部分を有し、そのそれぞれの４つの面は隙間１２を介してハウジング３に固定した多孔質材１３に対向している。
【００３３】ハウジング３に固定されている多孔質材１３の背面は圧縮空気を導く溝４がハウジング３に設けてあり、チューブ１４を通じて圧縮空気供給源（不図示）から圧縮空気が供給される。この圧縮空気は多孔質材１３を介して隙間１２に吹き出し、静圧空気軸受を構成する。又触針子２の上部に直方体形状の参照ミラー２３が取り付けてあり、ハウジング３に固定された干渉測長計２４ａとの間の距離が測定できるようになっている。
【００３４】ここで、横方向の測長光軸から静圧空気軸受中心までの距離ｄと、静圧空気軸受中心から真球先端までの距離ｄをほぼ同じ長さに設定することにより、図３に示した様な横方向の変位が生じた時の変位ｘ１と変位ｘ２とがほぼ一致する様にしている。又横方向には参照ミラー２３と対向して４分の１波長板２７が設けられ、４分の１波長板２７は直角プリズム２８に接着され、直角プリズム２８の上方には偏光ビームスプリッタ２５が配置されている。この偏光ビームスプリッタ２５はハウジング３に固定され、左側の側面にはコーナーキューブ２６が配置され、右側の側面には４分の１波長板２７が配置され、更にその右方にはベース２９ａに固定された参照ミラー２９が配置されている。又ベース２９ａ上には被測定物（不図示）１８が固定されている。
【００３５】上記構成にて干渉測長計２４ｂは距離Ｌ１−Ｌ２の長さを出力する。従ってこの干渉測長計２４ｂの出力値は触針プローブ１０１全体の横方向変位に触針子２の傾き誤差ｘ２を差し引いたものとなるので自動的に補正された真球１の横方向の位置を表すことになる。つまり、この干渉計の出力する測定値は触針子２の姿勢変動と、ハウジング３自身の横方向の変動とを同時に補正した真球１の横方向の位置を外部参照ミラー２９を基準に測ったものとなる。」（【００３２】〜【００３５】）
　図５のフローチャートには、「触針子２の変位が一定になる様にｚ軸スライドを動かす」ことが記載されている。
　
　同甲第３号証（刊行物５）には、「超平滑研磨技術の開発（第２報）オンマシン形状計測部の開発」と題して、プローブを用いたオンマシン形状計測機に関し、次のことが記載されている。
「短波長用大型非球面光学素子・・・の製造装置として開発中のオンマシン形状計測部を備えた研磨装置である。・・・開発した測定ヘッドは・・・針圧２ｍＮで誤差０．２７ｍＮに制御される。座標測定はレーザー干渉計で行い・・・５ｎｍＲＭＳであった。」（６８５頁１行〜４行）、
「走査速度１ｍｍ／ｓ」（６８５頁左欄下から１７行）、
「図４に測定ヘッドの構成を示す。図中、ベースはスーパーインバーで作られており、このベースを基準にプローブの変位、測定ヘッドの上下３カ所、及び横２方向を分解能１．２５ｎｍのレーザー干渉測長機で測定する。」（６８５頁左欄下から９〜下から４行）、
「針圧の制御はプローブの変位が一定になる様Ｚアームを制御して行う。」（６８５頁左欄最下行〜同頁右欄１行）
　図３，４には、プローブ姿勢測定用参照ミラーを用いて、プローブ変位測定用干渉計によりプローブとベースとのＺ方向の相対変位を測定するものが、Ｘ方向測定用干渉計によりプローブとベースとのＸ方向の相対変位を測定するものが、またＺ方向測定用参照ミラーを用いてベースのＺ方向の変位を測定するものがみてとれる。
　
　同甲第４号証（刊行物６）には、「A unique machine for grinding large,off-axis optical components:the OAGM 2500 」と題して、プローブを用いた形状測定装置に関するものが記載されており、図１３には、プローブの他端がレーザ測長用の反射面となっており、該プローブは空気ベアリングによりＺ方向に移動に支持体に連結され、支持体には変位計（ＬＶＤＴ）が設けられていることがみてとれる。
　
７−３．対比・判断
【本件発明１について】
　本件発明１と刊行物１を対比する。
（１）刊行物１の「真球１、触針子２、参照ミラー２３」「隙間１２、多孔質材１３、チューブ１４、圧縮空気供給源」「ハウジング３」「干渉測長計２４ａ」「触針プローブ」が、それぞれ本件発明１の「一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Ａ」「エアー軸受け」「前記可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な状態で連結された可動部Ｂ」「前記可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置を測定する相対位置測定手段」「三次元測定用プローブ」に対応することは明らかである。
（２）刊行物１には、「横方向には参照ミラー２３と対向して４分の１波長板２７が設けられ、・・・偏光ビームスプリッタ２５はハウジング３に固定され・・・更にその右方にはベース２９ａに固定された参照ミラー２９が配置されている。又ベース２９ａ上には被測定物（不図示）１８が固定されている。」（【００３４】）、「上記構成にて干渉測長計２４ｂは距離Ｌ１−Ｌ２の長さを出力する。従ってこの干渉測長計２４ｂの出力値は触針プローブ１０１全体の横方向変位に触針子２の傾き誤差ｘ２を差し引いたものとなるので自動的に補正された真球１の横方向の位置を表すことになる。つまり、この干渉計の出力する測定値は触針子２の姿勢変動と、ハウジング３自身の横方向の変動とを同時に補正した真球１の横方向の位置を外部参照ミラー２９を基準に測ったものとなる。」（【００３５】）と記載されており、これから刊行物１のものは横方向の変位を測定するものとはいえ、本件発明１の「ミラー面の移動方向の位置をミラー面による反射光から測定する前記可動部Ａの」「位置測定手段」に相当する事項を有するものである。
（３）刊行物１には、「本発明の触針プローブとしては触針子を１軸方向に移動可能となるようにした直動ガイドを介してハウジングに設け、該触針子の一端を被測定物面に接触させ該触針子と該被測定物面とを該１軸方向とは異なる方向へ相対移動させ、該触針子の１軸方向の変位を該ハウジングに設けた変位センサーで検出し、該変位センサーからの値が予め設定した値となるように該ハウジングを該１軸方向に移動させることにより該被測定物面の形状を測定する触針プローブ」（【００１２】）、「触針子２の変位が一定になる様にｚ軸スライドを動かす」（図５）と記載されており、ｚ軸スライドを動かすにあたり駆動手段を用いることは自明のことにすぎないから、該記載から刊行物１のものも、本願発明の「前記可動部Ａと前記可動部Ｂの相対位置が一定になるように前記可動部Ｂを前記移動方向に駆動する駆動手段」を有するものであることが把握できる。
　
　上記（１）〜（３）の考察から、両者は、「一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Ａと、エアー軸受けにより前記可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な状態で連結された可動部Ｂと、光源からの光をミラー面に向けて照射し、ミラー面の移動方向の位置をミラー面による反射光から測定する前記可動部Ａの位置測定手段と、前記光源とは別の光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し、前記可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置を測定する相対位置測定手段と、前記スタイラスが被測定面を走査し、被測定面の前記移動方向の変化に伴ってＺ座標方向に動く時、前記相対位置測定手段から得られた前記可動部Ａと前記可動部Ｂの相対位置が一定になるように前記可動部Ｂを前記移動方向に駆動する駆動手段を備えた三次元測定用プローブ」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　本件発明１のものは、光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射し、光源からの光によって、前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するのに対し、刊行物１のものは、光源からの光はＺ座標方向の位置を測定するミラー面とは別のミラー面に照射されるものであり、またプローブのＺ座標方向の位置を測定するものではなく、Ｚ方向と直交する横方向の座標位置を測定するものである点。
相違点２：
　本件発明１のものは、「異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して」光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射しているのに対し、刊行物１のものは、光源からの光はＺ座標方向の位置を測定するミラー面とは別のミラー面に照射されるものであり、したがって異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を用いるものではない点。
　
　上記相違点について検討する。
　刊行物２には、本件発明１と同様の技術分野に属しエアー軸受けを有する三次元測定用プローブ（３次元座標測定機）が記載されており、該プローブの後端のミラーにより直接Ｚ方向レーザ測長を行うものではあるが、刊行物２の「接触後のＺステージの降下にともなってばねは縮むが、ばねの縮み量と測定荷重には相関がある。測定荷重の制御は、ばねの縮み量が所定の荷重に対応する量となるようＺステージの位置を制御して行なう。」との記載に見られるように、Ｚステージの位置の制御は光学的に行うものではなく、したがってそのための別の光源を有するものでも、また「異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して」光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射するものでもないから、結局刊行物２には、上記相違点１，２は記載されていない。
　刊行物３及び刊行物５には、本件発明１と同様の技術分野に属しエアー軸受けを有する三次元測定用プローブ（研磨装置）が記載されているが、該装置はプローブの後端のミラーによりプローブ（可動部Ａ）のＺ方向の位置を直接測定するものではなく、可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置を光学的に測定するとともに、可動部Ｂの位置を直接光学的に測定するものであり、したがって「異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射」するものではないから、結局刊行物２には、上記相違点１，２は記載されていない。
　刊行物４及び刊行物６には、後端にミラーを有しエアー軸受けにより移動可能であるプローブは記載されているが、上記相違点１，２は記載されていない。
　
　そして本件発明１は、上記技術的事項により明細書記載の作用効果を奏するものである。
　
　よって、本件発明１は、刊行物１ないし６に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
【本件発明２について】
　本件発明２は、本件発明１の技術的事項を、さらに技術的に限定するものであるから、本件発明１と同様の理由で刊行物１ないし６に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。
　
【本件発明３について】
　本件発明３と刊行物１を対比すると、両者は、「一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部ＡのＺ座標方向の位置を、光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し、前記ミラー面による反射光から測定する工程と、エアー軸受けにより前記可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な状態で連結された可動部Ｂと前記可動部ＡとのＺ座標方向の相対位置を、前記光源とは別の光源からの光をミラー面に向けて照射して測定する工程とを有し、前記スタイラスが被測定面を走査し、被測定面の前記移動方向の変化に伴ってＺ座標方向に動く時、前記可動部Ａと前記可動部Ｂの相対位置が一定になるように前記可動部Ｂを前記移動方向に駆動し、前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定する形状測定方法」である点で一致し、次の点で相違する。
　
相違点１：
　本件発明３のものは、光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射し、光源からの光によって、前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するのに対し、刊行物１のものは、光源からの光はＺ座標方向の位置を測定するミラー面とは別のミラー面に照射されるものであり、また別のミラー面に照射することによりプローブのＺ座標方向の位置を測定するものではなく、Ｚ方向と直交する横方向の座標位置を測定するものである点。
相違点２：
　本件発明３のものは、「異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して」光源からの光を照射するミラー面に、別の光源からの光も照射しているのに対し、刊行物１のものは、光源からの光はＺ座標方向の位置を測定するミラー面とは別のミラー面に照射されるものであり、したがって異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を用いるものではない点。
　
　上記相違点について検討するに、本件発明１と本件発明３とでは、カテゴリーの相違を除き実質上同じであるから、上記相違点の判断は、本件発明１と同様である。（７−３．【本件発明１について】『上記相違点について検討する。・・・刊行物１ないし６に記載された発明に基づき当業者が容易に発明をすることができたものであるということはできない。』との記載参照。）
　
８．むすび
　したがって、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、請求項１ないし３に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に請求項１ないし３に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月１４日（２００１．３．１４）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
（１）訂正事項ａ
　特許請求の範囲請求項１の「可動部Ａと移動可能な」を「可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な」に、「可動部Ａの位置測定手段」を「可動部ＡのＺ座標方向の位置測定手段」に、「移動方向に動く時」を「Ｚ座標方向に動く時」に、請求項３の「可動部Ａの位置」を「可動部ＡのＺ座標方向の位置」に、「可動部Ａと移動可能な」を「可動部ＡとＺ座標方向に移動可能な」に、「移動方向に動く時」を「Ｚ座標方向に動く時」に、「前記可動部Ａの位置」を「前記可動部ＡのＺ座標方向の位置」に訂正する。
（２）訂正事項ｂ
　特許請求の範囲請求項１の「光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し」を「前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するため、光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」に、「前記可動部Ａと前記可動部Ｂとの相対位置」を「前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記可動部Ａと前記可動部ＢとのＺ座標方向の相対位置」に、請求項３の「光源からの光を前記ミラー面に向けて照射し」を「光源からの光を異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し」に、「可動部Ｂと前記可動部Ａとの相対位置を測定」を「可動部Ｂと前記可動部ＡとのＺ座標方向の相対位置を、前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射して測定」に訂正する。
（５４）【発明の名称】
三次元測定用プローブ及び形状測定方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Ａと、エアー軸受けにより前記可動部Ａと
Ｚ座標方向に移動可能な
前記可動部ＡのＺ座標方向の位置を測定することにより被測定面の形状を測定するため、光源
異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して
Ｚ座標方向の位置
前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射し、前記
Ｚ座標方向
　【請求項２】　前記可動部Ａと前記可動部Ｂを連結するばねを設けたことを特徴とする請求項１記載の三次元測定用プローブ。
　【請求項３】　一端にスタイラス、他端にミラー面を設けた可動部Ａの
Ｚ座標方向の位置
異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して
Ｚ座標方向に移動可能な
Ｚ座標方向の相対位置を、前記光源とは別の光源からの光を前記異なる波長の光を分岐・合波可能な光学素子を介して前記ミラー面に向けて照射して
Ｚ座標方向
Ｚ座標方向の位置
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は表面形状測定、非球面レンズ等の自由曲面の形状測定、面粗さや段差の形状測定等を超高精度に低測定圧で測定する２次元ないし、３次元の形状測定装置用プローブ及び形状測定方法に関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　表面形状測定、非球面レンズ等の自由曲面形状測定や表面粗さ測定において、サブミクロンｎｍ程度の測定精度が必要となってきており、従来の三次元測定機では測定できない状態にあった。そこで、測定精度が十分高く、非球面、自由曲面も測定できる装置として考えられたものが特願昭５７−１８９７６１号や特願昭６０−１４８７１５号に記されている被測定面上に光を集光し、反射光から面形状を測定する光プローブを利用した測定機である。
　【０００３】
　この測定機では測定面からの反射光から測定する為、無反射コートした面形状は測定できない。また、直交座標測定だけでは測定面の傾き角度が３０°を越えた面の測定ができないという問題点がある。
　【０００４】
　従来の三次元測定機用接触プローブはプローブの横方向の剛性が十分大きくなく、接触圧が大きい為、例えば４５°だけ傾いた面を測定する場合、接触圧がｚ方向とｘｙ方向と同じだけかかるのでプローブ先端が横ずれし、１μｍ以上の測定誤差になり、０．１μｍ以下の測定精度が得られなかった。
　【０００５】
　従来の表面粗さ測定機もスタイラス先端の曲率半径が小さいのに測定圧が高いため測定面にキズが付く点と測定面の傾きが大きい時、同様なスタイラスの横ずれによる測定誤差が発生した。
　【０００６】
　【発明が解決しようとする課題】
　上記の測定面の傾きが大きい場合、測定圧によってプローブ先端がずれて測定誤差になる問題、測定圧によって測定面にキズが付く問題を解決し、５５°程度まで大きく傾いた面まで、超高精度に測定できるプローブを提供することが本発明の課題である。
　【０００７】
　【課題を解決するための手段】
　第一にエアー軸受けで構成されたＺ座標方向に移動可能なしゅう動部を有する可動部Ａの−Ｚ方向端部に付けられたスタイラスとこの可動部のＺ座標を測定する測定手段を備えている。
　【０００８】
　第二に可動部ＡのＺ方向の移動量を規制するばねをつけても良い。第三に可動部ＡのＺ座標の測定手段として、可動部Ａの他端をミラー面とし、このミラー面に光を照射し、反射光からミラー面の位置を測定しても良い。
　【０００９】
　第四に可動部Ａと前記エアー軸受けで連結された可動部Ｂを設け、可動部Ａと可動部Ｂとの相対位置を測定する相対位置測定手段と、相対位置測定手段から得られた可動部Ａと可動部Ｂの相対位置がほぼ一定になるように前記可動部ＢをＺ方向に駆動する駆動手段を備えても良い。
　【００１０】
　【作用】
　第一にエアー軸受けのしゅう動部を有する可動部Ａの端部に付けられたスタイラスはＺ方向には自由に動くが、ｘｙ方向には極めて剛性が高く（千対一程度）また、構造が簡単な為、可動部Ａは軽量にできる為、傾きの大きな測定面に対して測定圧による横ずれが極めて小さく（１０ｎｍ以下）でき、測定圧も小さく（０．０１Ｎ程度）にできる為、自由曲面を高精度にキズを付けずに測定できる。
　【００１１】
　第二に可動部ＡのＺ方向の移動量を規制するばねを有することにより、可動部Ａの重量の大部分をばねで保持することにより、測定圧をさらに小さく（１０−４Ｎ）でき、１ｎｍ以下の横ずれとスタイラス先端を２μｍ程度に尖らせてもキズを付けずに測定できる。
　【００１２】
　第三に可動部Ａの他端をミラー面とし、このミラー面に光を照射し、反射光からミラー面の位置を測定する構造は可動部Ａの重量を極力小さくし、精度良く、測定面のＺ座標を測定できる。
　【００１３】
　第四に可動部Ａと前記エアー軸受けで連結された可動部Ｂを設け、可動部Ａと可動部Ｂとの相対位置を測定する相対位置測定手段と、相対位置測定手段から得られた可動部Ａと可動部Ｂの相対位置がほぼ一定になるように前記可動部ＢをＺ方向に駆動する駆動手段を備える事により、一定の測定圧で可動部Ａより広い可動部ＢのＺ方向の駆動範囲に渡って測定できる。
　【００１４】
　本出願人が提案した特願平０２−０５５３３０号に光ヘテロダイン法を利用した超高精度の三次元測定機に接触プローブを搭載した形状測定装置がある。本発明の実施例としてこの装置に本発明の三次元測定プローブを搭載した例について説明する。
　【００１５】
　【実施例】
　図１は上記装置の光プローブに本発明の三次元測定プローブを搭載した所である。Ｚ方向に移動可能な光プローブ１５において半導体レーザ１から発したレーザ光Ｇはコリメートレンズ２、偏光ビームスプリッタ３、λ／４波長板４を透過した後、ダイクロイックミラー５を反射し、対物レンズ６によってスタイラス７の上面に取付けられたミラー２３上に集光する。対物レンズ６に戻ったレーザ光Ｇの反射光はダイクロイックミラー５及び偏光ビームスプリッタ３を全反射し、レンズ８で集光されてハーフミラー９で２つに分離され、ピンホール１０を通過し、２つの光検出器１１で受光される。２つの光検出器１１の出力は誤差信号発生部１２によりフォーカス誤差信号となり、サーボ回路１３によってこのフォーカス誤差信号がゼロとなるようにリニアモータ１４を制御し、光プローブ１５を含むＺ移動部の自重分は渦巻きバネ１６により支持される。スタイラス７は円筒状のスライド部２２を有し、スライド部２２はエアー供給部１８から供給されるエアーの吹き出し穴を有するガイド１９の内壁をエアースライドとしてＺ方向に可動である。スライド部２２の上部にはミラー２３が固定され、スライド部２２、スタイラス７、ミラー２３からなる可動部の重量はバネ２０によって支えられる。
　【００１６】
　スタイラス７の下端には各種の曲率半径を持つ針がついており、被測定面２１上を１０〜１００ｍｇという弱い測定圧で走査され、被測定面の形状に沿って上下するが、スタイラス７が上下するとフォーカスサーボが働いて光プローブ全体が上下するのでミラー２３上に常に対物レンズ６の焦点が合っている。
　【００１７】
　Ｆｚは発振周波数安定化ヘリウムネオンゼーマンレーザの光でミラー２３に当たって反射しレーザ測長器によってＺ座標を測定する為のものである。
　【００１８】
　本発明のポイントはエアースライドによってＺ方向には自由に動くがＸＹ方向には極めて剛性が高く、動きにくい構造のプローブが得られ、図に示すように５５°と傾きの大きなレンズ面の測定でも測定圧によってプローブ先端が横方向に動かず、０．０５μｍという超高精度の測定ができる点にある。
　【００１９】
　また、バネ２０によってスライド部の重量を支えるので、測定圧を１０〜５０ｍｇと極めて小さくでき、測定針の先端曲率半径が２μｍ以上であれば被測定面にキズつけることがない。これは、原子間斥力を検知して測定していることになるので、われわれは原子間力プローブと命名した。
　【００２０】
　また誤動作によってプローブが測定面に衝突してもスライド部は上方に逃げられるので、プローブや被測定物を壊すことがないという特長がある。
　【００２１】
　なお、精度や低測定圧をさほど要求しない用途では、図１の構成でバネ２０を省く事も可能である。また、ミラーを省いてスライド部の変位をリニアスケールや静電容量センサで読むことも可能である。また、フォーカスサーボを掛けなくても、スライド部２２の可動範囲内でリニアスケールを付ければ測定が可能である。
　【００２２】
　【発明の効果】
　本発明は上記構成、作用を有するので、従来よりはるかに高精度でより微細な形状、より傾きの大きな面形状を非常に広範囲に測定できる。また、光測定では測定できない表面を無反射膜で覆われた面や、ＳＴＭや電子顕微鏡では測定できない電気的な絶縁体表面も測定可能である。従って、従来できなかったレベルの形状測定が可能となり、産業上、科学技術上の効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のプローブを含む測定機の構成図
　【符号の説明】
　１　半導体レーザ
　２　コリメートレンズ
　３　偏光ビームスプリッタ