【事件の表示】
　特許第３０１３５５２号「塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法」の請求項１に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第３０１３５５２号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
  （１）手続の経緯
　特許３０１３５５２号の請求項１に係る発明は、平成３年９月３０日に特許出願され、平成１１年１２月１７日に特許の設定登録がなされ、その後、特許異議の申立てがなされ、取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年１２月２６日に訂正請求がなされたものである。
（２）訂正の適否についての判断
ア.訂正の内容
訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１中の「多孔質である鉄粉」を、「多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事頂ｂ
　明細書第２頁第２１行及び同頁第２６行の「多孔質である鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」にそれぞれ訂正する。
訂正事項ｃ
　明細書第３頁第３〜４行の「多孔質の鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事項ｄ
　明細書第３頁第１１行の「鉄粉が多孔質」を「鉄粉が多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事項ｅ
　明細書第３頁第１４〜１５行の「多孔質鉄粉量」を「多孔質還元鉄粉量」に訂正する。
訂正事項ｆ
　明細書第４頁第１６行、第２２行及び第２５行、第５頁第１行及び第４行の「多孔質鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」にそれぞれ訂正する。
　　イ.訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項ａは、請求項１の「多孔質である鉄粉」を、下位概念である「多孔質還元鉄粉」と限定しようとするものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする訂正に該当する。この点については、特許明細書の段落番号【０００７】に記載されており、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
　訂正事項ｂ〜ｆは上記訂正事項ａに伴って、発明の詳細な説明の記載を該訂正に整合させるための訂正であるから、明りょうでない記載の釈明を目的とする訂正であって、新規事項の追加に該当せず、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　ウ．むすび　
　以上のとおり、上記訂正は、平成６年改正法附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされる、特許法第１２０の４第３項において準用する平成６年改正法による改正前の特許法第１２６条第１項ただし書および第２項の規定に適合するので、当該訂正を認める。  
 （３）特許異議申立についての判断
ア.特許異議申立の理由の概要
特許異議申立人は、甲第１号証「特開平３−２５３５８４号公報」、参考資料１「特開昭６２−１９２５８８号公報」参考資料２「特開平１−１６７２３５号公報」、参考資料３「化学便覧基礎編II、４７３〜４７６頁、丸善（株）、昭和５９年６月２５日」及び参考資料４「電子材料第２３巻第１４号、第７６〜７９頁、１９８１年」を提出し、請求項１に係る発明は、甲第１号証に記載された発明と同一であり、特許法第２９条の２の規定により特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべき旨主張する。
イ.甲第１号証に記載された発明
甲第１号証には、以下の事項が記載されている。
「ニッケルを含有する塩化第一鉄水溶液に比表面積が１ｍ２/ｇ以上の鉄粉を該ニッケルに対して１倍モル以上添加し反応させることを特徴とする塩化第一鉄水溶液中のニッケルの除去方法」（特許請求の範囲）
「原料にもよるが電子顕微鏡写真によれば、１ｍ２/ｇ以上の比表面積を有する鉄粉の表面は、一般に網目状でポーラスな構造を有している。」（第２頁右欄）
「反応時間は８０℃では１時間以上、好ましくは２〜８時間である。」（第３頁左欄）
　また、表１には、比表面積１．６６〜６．６１ｍ２/ｇの鉄粉を用いた実施例１〜５での反応時間は８０℃で４〜６時間必要であることが示されている。
ウ．対比・判断
  （ａ）請求項１に係る発明について
　請求項１に係る発明は、訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
　「【請求項１】温度５０℃以上のニッケルイオンを含む塩化第二鉄エッチング廃液に、多孔質還元鉄粉を、該塩化第二鉄エッチング廃液中のニッケル重量対して１．５倍以上添加して、該ニッケルイオンを還元析出させた後、該塩化第二鉄エッチング廃液中の固形物を分離し、次いで該塩化第二鉄エッチング廃液を酸化、濃縮することを特徴とする塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法。」
　請求項１に係る発明（以下、本件発明という）と甲第１号証に記載された発明とを対比すると、両者は、鉄粉を添加することによる塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法で一致し、次の点で相違する。
相違点：本件発明では、鉄粉として、多孔質還元鉄粉を用いるのに対し、甲第１号証に記載の発明では、比表面積が１ｍ２/ｇ以上の網目状であって多孔質の性質を呈するようになった鉄粉を用いる点。
　この相違点により、本件発明では、反応温度５０℃で、約３０分の反応時間でＮｉ除去率ほぼ１００％を達成しているのに対し（図１及び図３参照）、甲第１号証の発明では、反応温度８０℃で、４〜６時間の反応時間を要するものであって（実施例１〜５参照）、本件発明は、顕著な効果を奏するものであり、本件発明は、甲第１号証に記載された発明と同一とすることはできない。
　 （４）むすび
　以上のとおりであるから、請求項１に係る発明の特許は、特許異議申立の理由によっては、取り消すことができない。 
　また、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
  したがって、請求項１に係る発明についての特許は拒絶の査定をしなければならない特許出願に対してされたものではない。
　よって、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第１４条の規定に基づく、特許法等の一部を改正する法律の施行に伴う経過措置を定める政令（平成７年政令第２０５号）第４条第２項の規定により、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１３年３月１５日（２００１．３．１５）
【訂正の要旨】
訂正事項ａ
特許請求の範囲の減縮を目的として、　特許請求の範囲の請求項１中の「多孔質である鉄粉」を、「多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事頂ｂ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書第２頁第２１行及び同頁第２６行の「多孔質である鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」にそれぞれ訂正する。
訂正事項ｃ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書第３頁第３〜４行の「多孔質の鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事項ｄ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書第３頁第１１行の「鉄粉が多孔質」を「鉄粉が多孔質還元鉄粉」に訂正する。
訂正事項ｅ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書第３頁第１４〜１５行の「多孔質鉄粉量」を「多孔質還元鉄粉量」に訂正する。
訂正事項ｆ
　明瞭でない記載の釈明を目的として、明細書第４頁第１６行、第２２行及ひ第２５行、第５頁第１行及び第４行の「多孔質鉄粉」を「多孔質還元鉄粉」にそれぞれ訂正する。
（５４）【発明の名称】
塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　温度度５０℃以上のニッケルイオンを含む塩化第二鉄エッチング廃液に、多孔質還元鉄粉を、該塩化第二鉄エッチング廃液中のニッケル重量対して１．５倍以上添加して、該ニッケルイオンを還元析出させた後、該塩化第二鉄エッチング廃液中の同形物を分離し、次いで該塩化第二鉄エッチング廃液を酸化、濃縮することを特徴とする塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【産業上の利用分野】
　本発明は、電子部品として使用されるリードフレームをエッチングする工程で発生する塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法に関する。
　【０００２】
　【従来の技術】
　電子部品として使用されるリードフレームの製造方法は、スタンピングによる打ち抜き法又はエッチングによる加工方法が採られている。
　エッチング法では通常、塩化第二鉄溶液で、鉄、ニッケル、銅などの合金材を溶解してパターン加工するが、最近の半導体の高集積化１によりリードフレームのピン数は増大し、しかもリード間のピッチ幅の狭いものが要求されるようになり、微細で精度の良い加工が要求されている。このエッチング液は繰り返し用いられるので、加工精度を常に一定に保つ為にはエッチング液の管理が重要な要素の一つとなっている。
　【０００３】
　エッチング能力の管理項目としては、溶液の比重、酸化還元電位などがあり、このため溶液を希釈したり、塩素ガスによりＦｅ２＋を酸化したりして液管理を行っている。しかしながら、このような方法でエッチング液の管理を行っていても、リードフレーム材に使用される重金属が溶液中に溶け込んで行き、ついにはエッチングによる加工が行えなくなる。このような溶液は、規正アルカリで中和処理して水酸化物のスラッジとして処分しているが、廃棄物として新たな公害を生じている。このためエッチング液中の鉄以外の重金属のみを分離することでエッチング液を再生してリサイクル化することが望まれている。
　【０００４】
　塩化第二鉄エッチング廃液の再生方法としては、例えば鉄１３．９重量％、ニッケル１７．２ｇ／ｌ、その他クロム、銅等を含む強酸性エッチング廃液に、表面積の多い突起を有する２ｃｍ角程度の塊状金属鉄を加え、温度５０〜８０℃に加温し、１時間以上撹拌することによりニッケルを除き、この後処理液に塩素ガスを吹き込む方法がある（特公昭６１−４４８１４号公報）。しかし、この方法はエッチング廃液中の鉄以外のニッケル等を除くために大量の金属鉄を必要とし、更にニッケル等の除去率を高めるために反応時間が１時間以上かかり、このため装置が大型になるという問題があった。
　【０００５】
　【発明が解決しようとする課題】
　本発明は、塩化第二鉄エッチング廃液中に含まれるニッケルイオンを、少量の鉄源を用い、短時間で除去しエッチング液を簡便、安価に再生することを目的とするものである。
　【０００６】
　【課題を解決するための手段】
　本発明は、温度５０℃以上のニッケルイオンを含む塩化第二鉄エッチング廃液に、多孔頃還元鉄粉を、該塩化第二鉄エッチング廃液中のニッケル重量に対して１．５倍以上添加して該ニッケルイオンを還元析出させた後、該塩化第ニ鉄エッチング廃液中の固形物を分離し、次いで該塩化第二鉄エッチング廃液を酸化、濃縮することを特徴とする。
　【０００７】
　多孔質還元鉄粉としては、鋼材の熱間圧延時に生ずるミルスケールあるいは純度の高い鉄鉱石を原料とし、コークスで還元し、出来た海綿鉄を粉砕後、分解アンモニアガス中で仕上げ還元して得られる、ミルスケール還元鉄粉、鉱石還元鉄粉等がある。
　【０００８】
　【作用】
　本発明の方法は、塩化第二鉄エッチング廃液中に含まれるニッケルイオンを多孔質還元鉄粉を用いて、酸化還元反応せしめることにより、鉄粉上にメタルとして容易に析出させることを見いだしたことにある。
　【０００９】
　エッチング廃液中に鉄粉を添加する前にエッチング廃液を５０℃以上しに加温するのは、温度が５０℃未満では酸化還元反応が遅く、このため図１に示すようにニッケルイオンの除去率が低くなるからである。
　【００１０】
　又、エッチング廃液中に添加する鉄粉が多孔質還元鉄粉である必要があるのは、図２に示すようにニッケルイオンを析出せしめるに必要な鉄粉量が多孔質でない電解鉄粉に比べ少量であり、又図３に示すようにニッケルイオンの析出が短時間に終了するからである。ニッケルイオンを還元しメタルとして析出せしめるに必要な多孔質還元鉄粉量は、エッチング廃液中に含まれるニッケル量の１．５倍以上、好ましくは２．５倍以上である。エッチング廃液中に銅イオン等が含まれる場合、銅イオン等を還元析出せしめるに必要な鉄粉量を増やして添加することにより銅イオン等を除去することが出来る。
　【００１１】
　【実施例】
　実施例１
　鉄１０重量％、ニッケル７７ｇ／ｌ、比重１．４８、酸化還元電位（以下ＯＲＰ）という）６２９ｍＶである塩化第ニ鉄エッチング廃液１００ｍｌを５００ｍｌのトールビーカーに採取し、温度２０℃及び５０℃に加温した。この加温したエッチング廃液を２００ｒｐｍで撹拌しながら、比表面積０．１７ｍ２／ｇの多孔質鉄鉱石還元鉄粉（ヘネガス祉製）を２０ｇ添加した。鉄粉添加後５、１０、２０、３０、４０分経過毎にエッチング廃液よりマイクロペピットで分析試料を固形物が混入しないように採取し、これを１０００倍に希釈して、誘道結合プラズマ発光分光分析法（ＩＣＰ）でニッケルイオンの濃度を測定した。
　【００１２】
　経過時間とニッケルイオン除去率との関係を求め、その結果を図１に示す。
　図１よりエッチング廃液の鉄粉添加前温度は５０℃以上でニッケルイオン除去率が良いことが判る。
　【００１３】
　温度５０℃のエッチング廃液に、２０ｇの多孔質鉄粉を添加し、４０分間反応せしめた後速やかに濾過した。この濾夜に塩素ガスを１１／ｍｉｎで５分間流し込みエッチング溶液を再生した。再生したエッチング溶液は鉄１４．５重量％、ニッケル０．３ｇ／ｌ、比重１．４７、ＯＲＰ）７３４ｍＶであった。このエッチング溶液を比重が１．５２となるまで濃縮し、エッチング液としてリードフレーム材（Ｆｅ５８重量％、Ｎｉ４２重量％）に対して再使用した結果、新液と同等のエッチング速度であった。
　【００１４】
　実施例２
　実施例１と同じ組成のエッチング廃液１００ｍｌを５０℃に加温した後、実施例１と同じ多孔質還元鉄粉をＦｅ／Ｎｉ比が１．３、１．６、１．８、２．１、２．６となるように１０、１２、１４、１６、２０ｇ添加した。鉄粉添加後４０分経過したエッチング廃液中のニッケルイオン濃度を実施例１と同じ方法で測定し、添加鉄粉量とニッケルイオン除去率との関係を求め、図２に示す。
　【００１５】
　比較例
　実施例２において多孔質還元鉄粉を比表価積０．１５ｍ２／ｇの電解鉄粉（東邦亜鉛社製）に替え、Ｆｅ／Ｎｉ比が１．３、２．６、３．９、５．２、６．５となるように１０、２０、３０、４０、５０ｇ添加した以外は全く同様に実施し、その結果を図２に示す。図２より多孔質還元鉄粉はＦｅ／Ｎｉ比が１．５以上の電解鉄粉より少ない量でニッケルイオンを除去出来ることが判る。
　【００１６】
　実施例３
　実施例１と同じ組成のエッチング廃液１００ｍｌを５０℃に加温した後、実施例１と同じ多孔質還元鉄粉２０ｇ、比較例と同じ電解鉄粉２０ｇ、及び３０ｇを添加した。鉄粉添加後、実施例１と同じ経過時間毎にエッチング廃液中のニッケルイオン濃度を実施例１と同じ方法で測定し、経過時間とニッケルイオン除去率との関係を求めた。その結果を図３に示す。図３より、多孔質還元鉄粉はニッケルイオンを電解鉄粉より早く除去出来ることが判る。
　【００１７】
　【発明の効果】
　本発明によれば、塩化第二鉄エッチング廃液中のニッケルイオンを短時間で効率良く除去することができ、ニッケル除去後、塩素ガスを吹き込むことで簡便で安価に、又鉄粉を使刑するので不純物混入の少ない塩化第二鉄エッチング廃液の再生が可能となる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明方法における、鉄粉添加後の経過時間とニッケルイオン除去率との関係を示すグラフである。
　【図２】
　本発明方法及び比較例における、鉄粉添加量とニッケルイオン除去率との関係を示すグラフである。
　【図３】
　本発明方法及び比較例における、鉄粉添加後の経過時間とニッケルイオン除去率との関係を示すグラフである。