【事件の表示】
　特許第２９７６３１７号「板状体の処理装置及び板状体の搬送方法」の請求項１ないし７に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　特許第２９７６３１７号の請求項１ないし７に係る特許を維持する。
【理　由】
【１】手続の経緯・本件発明
　本件特許第２９７６３１７号は、平成３年１１月５日に特許出願され、平成１１年９月１０日に設定登録されたものであり、その後、請求項１〜７に係る発明について加藤清子より特許異議の申立てがなされたものであり、請求項１〜７に係る発明は、特許明細書及び図面の記載からみて、それぞれその特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された次のとおりのものと認める。
［請求項１］
「処理前の複数の板状体を上下に重ねて収納した容器を載置するための容器載置台と、
前記容器内の板状体を順次保持して取り出すように進退自在、かつ前記容器載置台に対して相対的に昇降自在な板状体保持部材を備えた受け渡し用搬送機構と、
前記板状体保持部材の後退時に、当該保持部材に保持されている板状体の周縁に当接してその板状体を位置決めする位置決め機構と、
この位置決め機構により位置決めされた板状体を前記搬送機構から受け取って処理部に搬送する処理部用搬送機構と、
を有してなることを特徴とする板状体の処理装置。」
［請求項２］
「容器載置台を、複数の容器を横に並べて載置するように構成すると共に、
受け渡し用搬送機構を容器の並びに沿って移動自在に構成した請求項１記載の板状体の処理装置。」
［請求項３］
「受け渡し用搬送機構を昇降自在に構成し、前記容器載置台と受け渡し用搬送機構とを、共通の基枠に設けた請求項１または請求項２記載の板状体の処理装置。」
［請求項４］
「受け渡し用搬送機構は板状体の底面を保持するように構成された保持部材と、この保持部材の厚さ方向に形成された透孔部と、この透孔部内を昇降し、処理部用搬送機構との間で板状体の受け渡しを行うときには上方側へ突き抜けて板状体を保持部材から押し上げる押し上げ部材とを備えている請求項１、２または３記載の板状体の処理装置。」
［請求項５］
「受け渡し用搬送機構は、容器内の各段の板状体の有無を検出するためのマッピングセンサーを備えている請求項１、２、３または４記載の処理装置。」
［請求項６］
「受け渡し用搬送機構の駆動軸は、容器載置部よりも下方側に設けられている請求項１、２、３、４または５記載の処理装置。」
［請求項７］
「処理前の複数の板状体を上下に重ねて収納した容器を容器載置部に載置する工程と、
次いで前記板状体の受け渡しを行うための受け渡し用搬送機構を前記容器に臨む位置において相対的に昇降させて、この受け渡し用搬送機構に設けられているマッピングセンサにより、容器の各段の板状体の有無を検出する工程と、
この工程にて板状体が有ると判断された段について前記受け渡し用搬送機構の保持部材を容器内に進入させて板状体を受け取る工程と、
その後前記板状体を前記受け渡し用搬送機構の保持部材により保持した状態で位置決めを行う工程と、
続いて前記受け渡し用搬送機構から板状体を処理部用搬送機構に受け渡し、この処理部用搬送機構により当該板状体を処理部に搬送する工程と、を備えたことを特徴とする板状体の搬送方法。」
【２】特許異議申立ての理由及び証拠方法
　特許異議申立人は、甲第１〜４号証を提出し、次の特許異議申立ての理由を主張する。
　１）本件特許の請求項１、請求項２、請求項３及び請求項６に係る発明は、その出願日前に頒布された甲第１号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　２）本件特許の請求項４に係る発明は、その出願日前に頒布された甲第１号証及び甲第３号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、
　３）本件特許の請求項５及び請求項７に記載された発明は、その出願日前に頒布された甲第１号証及び甲第４号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　４）したがって、本件特許の請求項１乃至請求項７に係る発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであり、その特許は、拒絶されるべき出願についてなされたものであるから、取り消されるべきものである。
　甲第１号証：特開平２−１３２８４０号公報
　甲第２号証：実公平３−　１８４３５号公報
　甲第３号証：特開平２−２７１６４３号公報
　甲第４号証：特開平２−３０２０５７号公報
【３】甲各号証に記載された事項
１．甲第１号証
　甲第１号証には、
　イ．「基台101の左側には、ウエハー搬入搬出機構120が設けられている。この搬入搬出機構120には、処理前の半導体ウエハーWB を収容したウエハーカセット122及び処理後のウエハーWF を収容するウエハーカセット123が設けられている。また、搬入搬出機構120はウエハーWの裏面を吸着保持するためのピンセット121を具備している。このピンセット121は、前記のピンセット112，113と同様の構成によりＸ，Ｙ方向に平行移動が可能になっている。このピンセット121は、処理前のウエハーWB をカセット122から取出し、また処理済みのウエハーWFをウエハーカセット123に収納する。搬入搬出機構120のピンセット121は、処理前のウエハーWB を搬送装置110のピンセット112，113に渡し、また処理後のウエハーWFをピンセット112，113から受け取る。この受渡しを可能とするインターフェースが、通路102と搬入搬出機構120との境界に設けられている。また、搬送装置110のピンセット112，113は、各処理ステーション103〜108との間でウエハーWの受渡しを行う。」（第３頁右上欄第６行〜左下欄第６行）、
　ロ．「ウエハーWのアラインメントのために、ウエハーWの周縁に対応した円弧状のガイド部材25と、ストッパ部材26とが設けられている。半導体ウエハーWは、まず第３図Ａに示す状態でピンセット上に載置される。この状態では、ウエハーWはアラインメントされておらず、真空吸着もされていない。ついで、第３図Ｂに示すように、ピンセットをストッパ部材26に向けて水平に移動させ、ウエハーWのオリエンテーションフラットWaがストツパ部材26に当接させる。その後、更に水平移動を続けることにより、半導体ウエハーWはピンセットの支点22〜24上をスライドし、最終的にはガイド部材25に当接して停止する。従って、もし第３図Ａの状態でウエハーＷの位置がピンセットの中央部からズレていたとしても、ガイド部材25に案内されることによって、ピンセット中央の所定位置にアラインメントすることができる。」（第３頁右下欄第４行〜第４頁左上欄第１行）
等の記載があり、また図面第３図を参照すると、前記ストッパ部材26はピンセット本体21の前進方向に位置するものと認められるので、前記記載及び図面等を参照すると、甲第１号証には、
“処理前の半導体ウエハーWBを上下に重ねて収納したウエハーカセット122を載置する搬入搬出機構120に設けた容器載置台と、前記ウエハーカセット122内の半導体ウエハーWBを順次保持して取り出すように進退自在、かつ前記容器載置台に対して相対的に昇降自在な半導体ウエハー保持部材を備えたピンセット121と、前記半導体ウエハー保持部材の前進時に、当該保持部材に保持されている半導体ウエハーWBの周縁に当接してその半導体ウエハーWBを位置決めする円弧状のガイド部材25及びストッパ部材26から成る位置決め機構と、半導体ウエハーWBを処理部に搬送する搬送装置110と、前記位置決め機構により位置決めされた半導体ウエハーWBを前記ピンセット121から受け取って、ウエハーWB を搬送装置110のピンセット112，113に渡すことを可能にするためのインターフェース機構30と、を有してなるウエハーの処理装置”
が記載されているものと認める。
２．甲第２号証
　甲第２号証には、
　イ．「この保持装置１は、一対の固定的なグリッパー２、および移動可能なグリッパー３を備えており、これらのうち一対のグリツパー２は、グリッパー部４の上面に着脱自在に固定されており、また他のグリッパー３は、それらの間でプッシュロッド５によって進退自在に設けられている。」（第２頁左欄第13〜19行）、
　ロ．「上記保持装置１は作業用ロボットのヘッド30の上部等に取り付けられており、その運動により、ウエハー31の下側に移動する。この状態で、光センサー10がウエハー31の有無を光電的に確認した後、グリッパー２は少しだけ上昇する。ウエハー31は、たな状の部分に収められており、これらのグリッパー２，３によって取り出せる状態となっている。グリツパー２，３の上昇後、ロボットのヘッド30が２つの第１の押え部７で、ウエハー31を手前に引き出してから、シリンダ22がそのピストンロッド23を引き込むため、第２の押え部９は、スプリング21に押され、前進しながらウエハー３１の外周面に接触する。」（第２頁右欄第26行〜39行）、
　ハ．「固定的は２つの第１の押え部７に対し、１つの第２の押え部９を移動可能な状態としているが、これらの配置の関係は、実施例のものと逆の関係にあってもよい。」（第３頁左欄第７〜10行）
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、甲第２号証には、
“たな状の部分に納められたウエハー31を取り出すための昇降自在な保持装置１を備え、ウエハー31を手前に引き出してから、保持装置１上において、固定的なグリッパー２及び移動可能なグリッパー３の押え部７，９をウエハー31の周縁に当接して、ウエハー31の位置決めを行う点”
が記載されているものと認める。
３．甲第３号証
　甲第３号証には、
　イ．「ウエハステージ２３を貫通して固定配備した複数本からなるウエハ支持ピン２４などが装備されている。」（第３頁右下欄第１〜３行）、
　ロ．「続いてウエハホルダ６をウエハ受け取り位置に位置決めした後に上昇操作し、ウエハ５をすくい上げてウエハホルダ６の受取用凹溝部63に受容させる。」（第４頁左下欄第３〜６行）、
　ハ．「次にハンド駆動機構７の前進操作により、ウエハホルダ６は真空仕切弁３を通じてプロセス反応室２内に搬入され、続く下降操作でウエハ５を室内に配備したウエハ支持ピン24の上に移載した後に室外に退避移動される。」（第４頁右下欄第１９行〜第５頁左上欄第３行）
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、甲第３号証には、
“ウエハ５を保持するウエハステージ23を貫通して昇降する支持ピン24（押し上げ部材）を利用してウエハ５の受け渡しを実行する点”
が記載されているものと認める。
４．甲第４号証
　甲第４号証には、
　イ．「ウエハプロセス工程管理、およびロボット３の操作制御等のためにキャリア２内でのウエハ収納枚数の確認、およびその収納位置を検出することが必要であり、この計数手段としてロボット３は次記のウエハ計数装置を装備している。」（第２頁左上欄第14〜19行）、
　ロ．「光電センサ４をキャリア２に向けた状態でロボット３を上下方向（Ｚ）に昇降操作することにより、光電センサ４の走査信号からキャリア内のウエハ収納枚数、並びにその収納位置が検出できる。」（第２頁右上欄第２〜６行）、
　ハ．「互いに対向し合う一対の発光素子41と受光素子42とからなる透過形光電センサの発光素子41がキャリア２を凹形内に挟むように配備した凹形上下可動式センサホルダ７の前部に、発光素子41と対向する受光素子42がキャリア２の背面側の前記センサホルダ７の後部に装着されており、かつ該センサホルダ７が連結機構８を介してロボット３側の昇降、旋回移動モジュール32に設けたフック35へ係脱可能に連結されている。」（第３頁右下欄第14行〜左下欄第３行）、
　ニ．「ロボット３を昇降操作することにより、センサホルダ７がロボット３の上下移動に従動し、発光素子41と受光素子42とが対向し合う相対位置を保ったまま上下移動する。ここで光電センサを作動させることにより、キャリア２の内部を光学的に読取走査してウエハ１の収納枚数、およびその収納位置を検出することができる。」（第３頁左下欄第17行〜右下欄第４行）、
等の記載があり、これらの記載及び図面等を参照すると、甲第４号証には、
“発光素子41と受光素子42を上下移動して、キャリア２の内部を光学的に読取走査してウエハ１の収納枚数、およびその収納位置を検出する点”
が記載されているものと認める。
【４】対比・判断
１．本件請求項１〜６に係る発明について
　（１）本件請求項１に係る発明と上記甲第１号証に記載されたものとを対比すると、後者の「半導体ウエハーWB」、「ウエハーカセット122」、「搬送装置110」が、それぞれ前者の「板状体」、「容器」、「処理部用搬送機構」に相当し、後者においては、半導体ウエハーWBは、インターフェース機構30を介して、ピンセット121と搬送装置110のピンセット112，113との間で受け渡しが行われるので、
　両者は、
  処理前の複数の板状体を上下に重ねて収納した容器を載置するための容器載置台と、前記容器内の板状体を順次保持して取り出すように進退自在、かつ前記容器載置台に対して相対的に昇降自在な板状体保持部材を備えた受け渡し用搬送機構と、当該保持部材に保持されている板状体の周縁に当接してその板状体を位置決めする位置決め機構と、この位置決め機構により位置決めされた後の板状体を処理部に搬送する処理部用搬送機構と、を有してなる板状体の処理装置．
である点において一致し、次の２つの相違点で相違する。
［相違点１］
　本件請求項１に係る発明は、位置決め機構が、「板状体保持部材の後退時に」位置決めするものであるのに対して、甲第１号証に記載されたものは、保持部材の前進時に位置決めする点
［相違点２］
　本件請求項１に係る発明は、処理部用搬送機構が、位置決め機構により位置決めされた板状体を「前記搬送機構から受け取って」処理部に搬送するのに対して、甲第１号証に記載されたものは、処理部用搬送機構が、板状体をインターフェース機構30から受け取って処理部に搬送する点  
　（２）先ず相違点１について検討する。
　本件特許明細書には、「受け渡し用搬送機構が一の容器に対向する位置まで移動し、保持部材が当該容器内に進入してその中の板状体を保持した後後退し、例えば所定の位置まで後退したときに同時に板状体の位置決めを行う。」（段落【0013】）、「ウエハのセンタリングを行うための位置決めのタイミングは、キャリアＣからウエハＷを取り出したと同時でなくとも、メイン搬送アーム７に受け渡す直前までであってもよい。」（段落【0026】）等の記載があり、特許明細書の記載を参酌すると、請求項１に係る発明の「板状体保持部材の後退時」なる構成は、板状体保持部材が後退した状態の時を意味するものと認められる。
　そこで、上記甲第２号証を検討すると、保持装置１がウエハー31を手前に引き出してから、ウエハー31の位置決めを行う点が記載されているから、上記甲第２号証に記載されたものは、保持装置１が後退した状態、即ち保持装置１の後退時にウエハー31の位置決めを行うものと認められるので、甲第２号証には、本件請求項１に係る発明の「板状体保持部材の後退時に、当該保持部材に保持されている板状体の周縁に当接してその板状体を位置決めする位置決め機構」に相当する構成が記載されているものと認められる。
　そして、甲第２号証に記載されたものは、甲第１号証に記載されたものと同じ半導体ウエハ等板状体の処理装置に係るものであり、また、甲第１号証に記載されたものにおける位置決め機構を、甲第２号証に記載された位置決め機構に置き換えることを阻害する特段の事情もないから、相違点１における本件請求項１に係る発明の、位置決め機構が「板状体保持部材の後退時に」位置決めする構成は、甲第２号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に想到し得たものとするのが相当である。
　（３）次に相違点２について検討する。
　特許異議申立人が、提出した甲２〜４号証を検討しても、いずれにも、「処理部用搬送機構」が、板状体を「受け渡し用搬送機構」から直接受け取る点は記載されておらず、したがって、本件請求項１に係る発明の構成要件「位置決め機構により位置決めされた板状体を前記搬送機構から受け取って処理部に搬送する処理部用搬送機構」は、甲第１〜４号証のいずれにも記載されていない。また、この点が本件特許の出願前周知の事項とも認めることはできない。
　そして、本件請求項１に係る発明は、この構成により、「容器内から処理部までの板状体の搬送を高速に行うことができる」等の特許明細書に記載された作用効果を期待できるものと認められる。
　したがって、この相違点２における本件請求項１に係る発明の前記「位置決め機構により位置決めされた板状体を前記搬送機構から受け取って処理部に搬送する処理部用搬送機構」を、当業者が容易に想到し得たものとすることはできない。
　（４）以上のとおりであるから、本件請求項１に係る発明は、甲第１〜４号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
　また、請求項１に係る発明の構成をすべて備える請求項２〜６に係る発明も、同様の理由により、甲第１〜４号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
２．請求項７に係る発明について
　請求項７に係る発明は、「受け渡し用搬送機構から板状体を処理部用搬送機構に受け渡し、この処理部用搬送機構により当該板状体を処理部に搬送する工程」を構成要件に含むものであり、前記「１．本件請求項１〜６に係る発明について」に記載したとおり、甲第１〜４号証には、いずれにも、「処理部用搬送機構」に「受け渡し用搬送機構から」板状体を直接受け渡す点は記載されておらず、請求項７に係る発明の構成「受け渡し用搬送機構から板状体を処理部用搬送機構に受け渡し、この処理部用搬送機構により当該板状体を処理部に搬送する工程」は、甲第１〜４号証のいずれにも記載されていない。また、この点が本件特許の出願前周知の事項とも認めることはできない。
　そして、本件請求項７に係る発明は、この構成により、「容器内から処理部までの板状体の搬送を高速に行うことができる」等の特許明細書に記載された作用効果を期待できるものと認められる。
　したがって、本件請求項７に係る発明は、甲第１〜４号証に記載されたものに基づいて当業者が容易に発明をすることができたものとすることはできない。
【５】むすび
　以上のとおりであるから、本件請求項１〜７に係る特許は、特許異議申立人が主張する理由及び提出した証拠によっては取り消すことはできない。
　また、他に本件請求項１〜７に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年８月１６日（２０００．８．１６）