(57)【要約】      （修正有）【課題】太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ発光させる検査装置であって、ラミネート処理前の被測定物である太陽電池の構成部材を積み重ねた状態で上記検査装置に搬送する際に被測定物である太陽電池の構成部材の位置ずれが発生しない搬送装置を提供する。【解決手段】平らな上面１１１を備えた暗室１１０と、該暗室１１０の前記上面に設けられ、被測定物となる太陽電池を載せる透明板１１２と、被測定物の像を写すカメラ１２０とを有する太陽電池の検査装置１００において、太陽電池の構成部材をラミネート処理する前に積層した状態で前記検査装置に搬送する搬送装置を、搬送する太陽電池の前記構成部材である透明基板等をその厚さ寸法よりも低い壁部を有する複数個の搬送部材をエンドレス状に接続し、搬送方向に対して対称に１対（２列）設けて搬送ガイドすることにより搬送中に太陽電池の構成部材がずれないようにした。【選択図】図３
0003142922.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
平らな上面を備えた暗室と、該暗室の前記上面に設けられ、被測定物となる太陽電池を載せる透明板と、被測定物の像を写すカメラとを有することを特徴とする太陽電池の検査装置において、太陽電池の構成部材をラミネート処理する前に積層した状態で前記検査装置に搬送する搬送装置であって、
搬送する太陽電池の前記構成部材である透明基板等をその厚さ寸法よりも低い壁部を有する複数個の搬送部材をエンドレス状に接続した搬送ガイド部を、搬送方向に対して対称に１対（２列）設け、前記壁部で前記透明基板等をガイドして搬送することを特徴とする太陽電池の検査装置用搬送装置。
【請求項２】
搬送する太陽電池の前記構成部材である透明基板等をその厚さ寸法よりも低い壁部を有するエンドレス状の帯状部材を有する搬送ガイド部を搬送方向に対して対称に１対（２列）設け、前記壁部で前記透明基板等をガイドして搬送することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池の検査装置用搬送装置。
【請求項３】
搬送する太陽電池の構成部材である前記透明基板等の幅寸法に応じて前記搬送装置の搬送ガイド部の前記壁部の位置を変更可能にしたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の太陽電池の検査装置用搬送装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は太陽電池セル、太陽電池セルを直列に接続したストリング、ストリングを平行に複数配置した太陽電池パネルなど、太陽電池一般の性能を検査する装置に使用する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽エネルギーの利用方法として、シリコン型の太陽電池が知られている。太陽電池の製造においては、太陽電池が目的の発電能力を有しているかどうかの性能評価が重要である。性能評価には、通常、出力特性の測定がされる。
【０００３】
出力特性は、光照射下において、太陽電池の電流電圧特性を測定する光電変換特性として行われる。光源としては、太陽光が望ましいのであるが、天候により照射強度が変化することから、ソーラシミュレータが使用されている。ソーラシミュレータでは、太陽光に代えてキセノンランプやメタルハライドランプ等を使用している。また、これらの光源を長時間点灯していると、温度上昇などにより光量が変化する。そこで、これらのランプのフラッシュ光を用い、横軸を電圧、縦軸を電流として、収集したデータをプロットすることにより太陽電池の出力特性曲線を得ている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ソーラシミュレータと異なる方法として、特許文献２では、シリコンの多結晶型の太陽電池素子に対して順方向に電圧を印加することで、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）を生じさせる方法を提案している。太陽電池素子から発光されるＥＬを観察することによって、電流密度分布が分かり、電流密度分布の不均一から太陽電池素子の欠陥を知ることができる。すなわち、発光しない部分が欠陥部分と判断でき、この欠陥部分の面積が予め決められた量より少なければ、所定の発電能力を有するものと判断できることになる。
【０００５】
図８は、特許文献２に記載された検査装置の構成を模式的に示す図である。検査装置１０は、暗室１１と、この暗室１１の上部に設けられたＣＣＤカメラ１２と、暗室１１の床面に載置された太陽電池セル１３に電流を流す電源１４と、ＣＣＤカメラ１２からの画像信号を処理する画像処理装置１５とから構成されている。
【０００６】
暗室１１には窓１１ａがあり、ここにＣＣＤカメラ１２のファインダー１２ａがあって、ここから肉眼で覗くことで、ＣＣＤカメラ１２の撮影画像を確認することができる。画像処理装置１５としては、パソコンを使用している。
【特許文献１】特開２００７−８８４１９
【特許文献２】ＷＯ／２００６／０５９６１５
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００７】
図８に示す検査装置１０は、太陽電池セル１３を下に置いて、上からカメラで撮影するのであるが、太陽電池セル１３から発光されるＥＬは、１，０００ｎｍから１，３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室１１でなければ検知できない。被測定物が１枚の太陽電池セルであれば、１００ｍｍ平方程度なので、暗室１１も小さいものでよい。
【０００８】
しかし、太陽電池になると、２ｍ×１ｍ程度の大きさとなり、暗室１１もこれを収容できる大きさが必要となる。また、被測定物となる太陽電池は、暗室内に入れなければカメラ１２で撮影できないので、暗室に太陽電池の出し入れができる扉を設けなければならない。検査装置をこのような暗室内に搬入する構成とすると、設置した扉が閉じた場合の遮光性も確保しなければならない。また検査装置に搬入された太陽電池の位置決め部材や搬送ガイド部材も暗室内に設ける必要がある。さらに、太陽電池に電流を通すための通電手段も暗室内に設ける必要がある。という具合に構造的に複雑になり、高価なものとなる。
またこのような検査装置を太陽電池の製造ラインの一装置として組み込む場合に以下のような要求がある。被測定物である太陽電池を構成する部材である透明基板・太陽電池セル（以下太陽電池セルという記載は、太陽電池セルを直列に接続したストリング、更にストリングを複数列接続したパネルも含む。）・充填材・裏面材を積み重ねラミネート処理する前に上記検査装置に搬送し検査したいという要求である。太陽電池は、大型化する傾向にあり２ｍ×１ｍ以上の大きさとなる。後述するがラミネート処理する前の被測定物は最上面の裏面材が最下面の透明基板・太陽電池セル・充填材を覆い透明基板よりも外側にはみ出して積み重ねられている。従って上記検査装置に搬送する際に裏面材が装置の構成部材に接触すると、積み重ねられた太陽電池の構成部材が相互に位置がずれることになる。またこのような搬送中のトラブルによりストリングや太陽電池パネルを構成するセルの相互の位置もずれてしまうことになり、太陽電池セルの正確な欠陥検査ができないことになり、後工程のラミネート処理にも支障をきたすことになる。
【０００９】
本考案は、斯かる実情に鑑みてなされたもので、太陽電池に順方向の電流を流してＥＬ発光させる検査装置であって、ラミネート処理前の被測定物である太陽電池の構成部材を積み重ねた状態で上記検査装置に搬送する際に被測定物である太陽電池の構成部材の位置ずれが発生しない搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記問題を解決するための本考案の太陽電池の検査装置用搬送装置は、平らな上面を備えた暗室と、該暗室の前記上面に設けられ、被測定物となる太陽電池を載せる透明板と、被測定物の像を写すカメラとを有することを特徴とする太陽電池の検査装置において、太陽電池の構成部材をラミネート処理する前に積層した状態で前記検査装置に搬送する搬送装置であって、搬送する太陽電池の前記構成部材である透明基板等をその厚さ寸法よりも低い壁部を有する複数個の搬送部材をエンドレス状に接続した搬送ガイド部を、搬送方向に対して対称に１対（２列）設け、前記壁部で前記透明基板等をガイドして搬送することを特徴としている。
【００１１】
また搬送する太陽電池の前記構成部材である透明基板等をその厚さ寸法よりも低い壁部を有するエンドレス状の帯状部材を有する搬送ガイド部を搬送方向に対して対称に１対（２列）設け、前記壁部で前記透明基板等をガイドして搬送する構成とすることもできる。  またさらに搬送する太陽電池の構成部材である前記透明基板等の幅寸法に応じて前記搬送装置の搬送ガイド部の搬送部材または帯状部材の壁部の位置を変更可能とした構成とすることもできる。
【考案の効果】
【００１２】
本考案の太陽電池の検査装置用搬送装置によれば、ラミネート処理する前の太陽電池の構成部材を積み重ねた状態で上記検査装置に搬送する際に、構成部材が搬送装置の他の部材に接触して相互の位置がずれることはない。
【００１３】
したがってラミネート処理前でも太陽電池セルの欠陥を正常に検査することができるとともに、後工程のラミネート処理に支障をきたすことがない。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本考案の実施例を添付の図面を参照して説明する。
【００１５】
＜１＞被測定物（太陽電池の構成部材を積み重ねた状態のもの）
まず本検査装置が扱う対象である被測定物２００の例について説明する。図７は、本検査装置にて測定する太陽電池の構成の説明図で、（ａ）は、太陽電池の内部の太陽電池セルが分かるように記載した平面図で、（ｂ）は（ａ）の断面図（搬送方向から見た）である。
【００１６】
図７（ａ）の平面図に示す様に、被測定物２００である太陽電池は角型の太陽電池セル２８がリード線２９により複数個直列に接続されたストリング２５を形成し、さらにそのストリングを複数列リード線２９により接続した構成となっている。
【００１７】
被測定物２００である太陽電池セルとしては、太陽電池セル２８が１枚のみのものでもよく、太陽電池セル２８を複数個直列につないだストリング２５の状態でもよく、ストリング２５を平行に複数列並べ、太陽電池セル２８がマトリックス状に配置された太陽電池パネル３０でもよい。
【００１８】
また被測定物の断面構造は、図７（ｂ）に示す様に、上側に配置された裏面材２２と下側に配置された透明基板２１の間に、充填材２３、２４を介して複数列のストリング２５を積み重ねた状態を示している。本検査装置では、このようにラミネート処理前の太陽電池を構成する部材を積み重ねた状態で太陽電池セルの欠陥を測定する。図７（ｂ）に示したとおり、ラミネート処理前なので透明基板・太陽電池セル・充填材を覆う裏面材がそれらよりも外部に大きくはみ出した状態となっている。また本例の他に透明基板２１、充填材２３と太陽電池セル２８（２５または３０）を積み重ねた状態で本検査装置にて検査を行い、その後裏面材２２と充填材２４を積層してもかまわない。
【００１９】
裏面材２２は例えばＰＥＴあるいは、フッ素系樹脂などの材料が使用される。したがって透明基板から外部にはみ出した部分は垂れ下がった状態となる。充填材２３、２４には例えばＥＶＡ樹脂（エチレンビニルアセテート樹脂）などが使用される。ストリング２５は、上記のように電極２６、２７の間に、太陽電池セル２８をリード線２９を介して接続した構成である。
【００２０】
また被測定物２００としては、一般に薄膜式と呼ばれる太陽電池を対象とすることができる。
【００２１】
この薄膜式の代表的な構造例では、下側に配置された透明基板には、予め透明電極、半導体、裏面電極からなる発電素子が蒸着してある。そして、このような薄膜型太陽電池の透明基板を下向きに配置し、基板上の太陽電池素子の上に充填材を被せ、更に、充填材の上に裏面材を積み重ねた状態となっている。
【００２２】
このように被測定物２００としての薄膜式の太陽電池は、結晶系セルが蒸着された発電素子に変わるだけで、封止部材や裏面材は前記した結晶系セルの場合と同じである。
【００２３】
＜２＞検査装置の全体構造
図１は検査装置の構成を示す平面図、図２は正面図、図３は左側面図である。これらの図に示す太陽電池の検査装置１００は、四角の箱形の暗室１１０およびその平らな上面１１１に、アクリル樹脂などの合成樹脂製又はガラス製の透明板１１２が取り付けられている。暗室内には、被測定物２００である太陽電池セル、ストリング、太陽電池パネルを検査測定するカメラ１２０が設けられている。図示していないが、カメラ１２０を移動させて使用する場合もあり、その場合は移動機構を設けることもできる。
【００２４】
暗室１１０は、上面１１１の透明板１１２以外は、暗室１１０内に光を入れないような遮光性の素材からなる構成にしている。もっとも、上面１１１に被測定物２００として太陽電池の構成部品を載せた後、被測定物２００を含む上面１１１の全体を、遮光手段にて覆うことにすれば、上面１１１全体を透明板にしてもよい。また、上面以外の４つの側面と底面は全て遮光性の部材としている。
【００２５】
＜３＞撮影用カメラ
被測定物２００から発するＥＬ発光は、１，０００ｎｍから１，３００ｎｍの波長の微弱な光であり、暗室内で発光させ、撮影用カメラ１２０でこの微弱な光を撮影する。このため、撮影用カメラ１２０としては微弱な光に対する感度の良いＣＣＤカメラを用いる必要がある。
【００２６】
＜４＞被測定物の搬送および位置決め
上面１１１の上部には、被測定物２００を本検査装置への搬入、前工程および後工程に受け渡しするために本考案の搬送装置２２０が設けられている。本搬送措置は、電気モータ起動のチェーンコンベアまたはベルトコンベアである。被測定物の太陽電池セルに順方向の電流を流し太陽電池セルからの微弱な発光をカメラで測定するため、搬送用のチェーンやベルトは被測定物の透明基板の両側の端を支持してガイドし搬送する構成となっている。
後述するが搬送装置には被測定物２００の透明基板を搬送ガイドする機能を有する搬送部２２１Ｒ／Ｌが搬送方向に対称に１対（２列）設けられている。搬送部２２１Ｒ、２２１Ｌ間の距離は、被測定物２００の透明基板等の幅寸法に合わせて変更可能な構成となっている。
【００２７】
検査装置の前工程から被測定物である太陽電池の構成部材が積み重ねられた状態で搬送されてくると、本検査装置の搬入コンベア２１０により図１の黒塗りの矢印方向に搬送され本検査装置の搬送部２２１Ｒ／Ｌに移載される。被測定物２００は、搬送装置２２０により本検査装置に移動搬送される。したがって被測定物２００を搬送中および測定中に下面の透明基板２１が検査装置１００の上面の透明板１１２に接触することはない。被測定物２００は、本検査装置内を搬送され、以下のような方法により測定位置に位置決めされる。
【００２８】
搬送装置２２０の側面には、アクチュエーター等により出し入れ可能な位置決め金具があり、搬送された被測定物２００は、この位置決め金具を突出させることにより搬送方向の位置決めがされる。位置決め金具は、搬送装置の側面から出し入れする構成ではなく、搬送装置の上方から上下させる方法または搬送装置の上方から旋回下降させるなどの構成とすることも可能である。
位置決めが完了し搬送装置が停止し検査が開始される。検査方法は、後述する。検査が完了すると、搬送装置２２０が作動し被測定物２００は搬出コンベア２３０に移載され（図１の黒塗り矢印方向に）次工程に搬送される。
【００２９】
＜５＞本考案の搬送装置の実施例１
上記の機能を有する太陽電池の検査装置の搬送装置の第１の実施例を、図４及び図５により説明する。図４は搬送方向から見た正面図であり、図５は側面図である。搬送部２２１Ｒ／Ｌは、チェーン２２２、上部チェーンガイド２２３、下部チェーンガイド２２４、搬送ガイド２２５、搬送ガイド取り付け用のアタッチメント２２６から構成されている。搬送ガイドは、チェーンにアタッチメントを用いて複数個設けられていてチェーンを介してエンドレスに接続されている。それらチェーンは、搬送方向に設けられた上部チェーンガイドと下部チェーンガイドにより支持されている。このような搬送部が搬送方向に対して対称に１対（２列）けられている。図４に示すように搬送ガイド２２５に被測定物２００が載置され搬送される。
【００３０】
すでに述べたように搬送される被測定物は、ラミネート処理前なので、透明基板、太陽電池セル、充填材、裏面材が積み重ねられた状態である。したがって裏面材が、透明基板よりも大きく外側にはみ出している。そしてその裏面材がはみ出した部分が下方に垂れ下がる。この垂れ下り部分２０が搬送装置の部材に接触することがないように搬送ガイド２２５には以下のような工夫をしている。搬送ガイド２２５の搬送方向から見た形状は、略Ｌ型をなしている。その壁部２２７にて透明基板２１の端をガイドしている。その壁部の高さ寸法は、透明基板の厚み寸法よりも極力低くしている。また壁部の寸法を極力低くしても、裏面材が搬送装置の部材に接触することを防止できない場合は、搬送ガイドの厚み部２２８の寸法を調整することにより裏面材の垂れ下がり部が搬送装置の部材に接触することを防止することができる。
尚搬送ガイド２２５の透明基板の支持部２２９は、透明基板に対して端部の太陽電池セルの距離Ｓ（図７（ａ）参照）に応じて決定される。
【００３１】
さらに搬送部２２１Ｒ／Ｌは、その位置を太陽電池の透明基体の幅寸方に応じて位置変更が可能な構成となっている。方法は、搬送部２２１Ｒ／Ｌをそれぞれ単独に位置変更しても良いし、ねじ機構によりそれぞれ同時に均等に接近させたり離反させたりすることでもよい。
【００３２】
＜６＞本考案の搬送装置の実施例２
太陽電池の検査装置の搬送装置の第２の実施例は、図４及び図５におけるチェーンに設けた複数の搬送ガイドに代わり図６に示すように搬送ガイドを搬送ガイド２２５と同様な断面形状を有するエンドレスの帯状体３２２を使用している。
搬送部３２１Ｒ／Ｌは、エンドレスの帯状体３２２、上部ベルトサポート３２３、下部ベルトサポート３２４から構成されている。このような搬送部が搬送方向に対して対称に１対（２列）設けられている。帯状体３２２に、図６に示すように被測定物２００が載置され搬送される。
【００３３】
実施例１と同様に搬送される被測定物は、ラミネート処理前なので、透明基板、太陽電池セル、充填材、裏面材が積み重ねられた状態である。したがって裏面材が、透明基板よりも大きく外側にはみ出している。そしてその裏面材がはみ出した部分が下方に垂れ下がる。この垂れ下り部分２０が搬送装置の部材に接触することがないように帯状体には以下のような工夫をしている。帯状体３２２を搬送方向から見た形状は、略Ｌ型をなしている。その壁部３２７にて透明基板２１の端をガイドしている。その壁部の高さ寸法は、透明基板の厚み寸法よりも極力低くしている。また壁部の寸法を極力低くしても、裏面材が搬送装置の部材に接触することを防止できない場合は、帯状体の厚み部３２８の寸法を調整することにより裏面材の垂れ下がり部が搬送装置の部材に接触することを防止することができる。
尚帯状体の透明基板の支持部３２９は、透明基板に対して端部の太陽電池セルの距離Ｓ（図７（ａ）参照）に応じて決定される。
【００３４】
さらに搬送部３２１Ｒ／Ｌは、その位置を太陽電池の透明基体の幅寸方に応じて位置変更が可能な構成となっている。方法は、搬送部３２１Ｒ／Ｌをそれぞれ単独に位置変更しても良いし、ねじ機構によりそれぞれ同時に均等に接近させたり離反させたりすることでもよい。
【００３５】
＜７＞その他機器
上記の他に、図示を省略するが、図８の従来例で示した電源１４やパソコンを利用した画像処理装置１５が設けられている。これらは、図２の制御装置４００に収納されている。さらに、パソコンを利用して、カメラ１２０の移動機構を制御し、被測定物２００としての太陽電池パネル全体を１枚の写真に撮影したり、太陽電池セル２８毎に撮影したりすることができる。
【００３６】
＜８＞本検査装置および本考案の搬送装置の使用方法
被測定物２００として太陽電池の構成部材を積み重ねた状態を例にして、太陽電池の検査装置用の搬送装置の使用方法を説明する。
【００３７】
被測定物２００は、太陽電池の構成部材である透明基体、太陽電池セル、充填材および裏面材であり、ラミネート処理前に積み重ねられた状態である。被測定物は、搬入コンベア２１０により太陽電池の検査装置の前まで搬送される。搬送されてきた被測定物は、１対の搬送ガイド２２５、２２５の間または帯状体３２２、３２２の間で搬送ガイドされ暗室１１０の上に達する。その後搬送装置の側面にアクチュエーター等により出し入れ可能に設けられた位置決め金具を突出させることにより搬送方向の位置決めがされる。
尚搬送ガイドおよび帯状体を上述の通り工夫しているので、搬送中に被測定物の裏面材の垂れ下がり部２０が搬送装置の構成部材に接触することが無いので、被測定物の各構成部材は相互の位置がずのない状態で本検査装置に搬送される。
【００３８】
この後、遮光カバーなどによって、透明板１１２と被測定物２００との間の隙間等から、光が暗室１１０内に入らないように遮光する。遮光カバーについては、後述する。
【００３９】
暗室１１０の所定の位置に到達した被測定物２００は、透明基体を下に向けて暗室１１０の透明板１１２の上で停止し（図５の状態）、図示しない電源との間で接続がされる。被測定物２００は、透明板１１２より小さいので、周囲から暗室内に光が入るから被測定物２００の上から暗室１１０の上面全体を後述する遮光カバーなどで覆う。次に被測定物２００の太陽電池セルに電源から順方向の電流を流す。これにより被測定物２００がＥＬ発光するので、カメラ１２０で撮影する。
【００４０】
本検査装置１００により被測定物２００の全体を撮影し、その画像により検査する場合は、カメラの移動機構を設けることなく、または移動機構を使用することなくカメラ１２０を暗室１１０の底部のほぼ中央の位置に固定して撮影することができる。この場合の被測定物２００としては、太陽電池セル２８、太陽電池セルを複数個リード線で接続したストリング２５、さらにストリング２５を複数列リード線で接続したマトリックス状の太陽電池パネル３０のいずれでもよい。
【００４１】
本検査装置１００により太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置された太陽電池セルを１枚ずつ撮影してその画像により検査する場合は、暗室内でカメラを移動できるように移動機構を設ける。
【００４２】
パソコンを利用した制御装置４００によって、カメラ移動機構を駆動し、カメラ１２０は、太陽電池パネル３０にマトリックス状に配置されている太陽電池セル２８を１枚ずつ撮影し、パソコンなどからなる画像処理装置に画像データを送る。画像処理装置は、各太陽電池セルの画像から発光しない部分を取り出して分析し、太陽電池セル２８ごとの合否を判断し、全ての太陽電池セルについての合否の結果から太陽電池パネル３０全体としての合否を判断する。
【００４３】
なお、カメラ１２０による撮影も、カメラを移動し太陽電池セル１枚ごとでもよいし、数枚ずつでもよく、カメラの移動をせずに固定し太陽電池パネル３０全体としてもよい。
【００４４】
上記遮光カバーは、暗室の上面１１１の上部全てを覆うものである。しかし太陽電池の場合、樹脂製の裏面材２２は、不透明であり、遮光性が十分である。また、暗室１１０の上面１１１も、透明板１１２以外は遮光性の部材で構成されている。したがって暗室１１０と被測定物２００との間の隙間部分のみを遮光部材でカバーすれば十分である。被測定物２００が透明板１１２に密着し、かつ、透明板１１２より大きくて、透明板１１２の全体が被測定物２００で覆われる場合には、遮光手段は不要である。
本実施例の場合は、図１、図２、図３に示す様に、暗室上面１１１と搬送部２２１Ｒ／Ｌさらに被測定物２００を遮光性のあるカバー２４０により覆う構成としている。本検査装置の搬入コンベア２１０側と搬出コンベア２３０側に開閉式の扉２４１が設けられている。扉２４１の開閉は、エアーシリンダーなどにより自動開閉する構成でも良いし、また作業者が手動操作にて開閉するものでも良い。前工程から被測定物が搬送され、搬入コンベア上を移動し本検査装置の直前までくると、この入り口側の扉が開き被測定物が本検査装置内に搬送装置２２０により搬入完了し、またこの扉が閉じる構成となっている。また検査が完了すると出口側の扉が開き被測定物２００が搬出される。このように検査中は、被測定物を搬出入する扉は閉じており被測定物が載置されている部分へは外部からの光が入ることは無い。
【００４５】
本検査装置１００では、被測定物２００としての太陽電池を暗室の外側に載置すればよいので、暗室には被測定物２００を出し入れするためのドアは不要となる。また、太陽電池に電流を流す電源や配線も暗室１１０の外でよく、暗室内には一切不要である。そのため、暗室１１０の構造を簡単にすることができる。
【００４６】
本検査装置１００および本考案の搬送装置の使用方法は、上記のとおりである。したがって被測定物である太陽電池の構成部材である透明基体、太陽電池セル、充填材、裏面材をラミネート処理する前に積み重ねた状態のものであり、本検査装置に本考案の搬送装置を使用することにより、太陽電池の構成部材が相互に位置ずれすることなく検査装置に搬送されるので、上記の検査方法により欠陥検査を正常に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本考案の搬送装置を使用した太陽電池の検査装置を示す平面図である。
【図２】本考案の搬送装置を使用した太陽電池の検査装置を示す正面図である。
【図３】本考案の搬送装置を使用した太陽電池の検査装置を示す左側面図である。
【図４】本考案の搬送装置の第１の実施例の搬送方向から見た説明図である。
【図５】本考案の搬送装置の第１の実施例の搬送方向と直角な方向から見た説明図である。
【図６】本考案の搬送装置の第２の実施例の搬送方向から見た説明図である。
【図７】本考案の検査装置にて測定する太陽電池の構成の説明図で、（ａ）は、太陽電池の内部の太陽電池セルが分かるように記載した平面図で、（ｂ）はその搬送方向から見た断面図である。
【図８】従来の太陽電池の検査装置の構成を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
２８      太陽電池セル
３０      太陽電池パネル
１００    太陽電池の検査装置
１１０    暗室
１１１    上面
１１２    透明板
１２０    カメラ
２００    被測定物
２１０    搬入コンベア
２２０    搬送装置
２２１、３２１    搬送部
２２２    チェーン
２２３    上部チェーンガイド
２２４    下部チェーンガイド
２２５    搬送ガイド
２２６    アタッチメント
２２７、３２７    壁部
２２８、３２８    厚み部
２２９、３２９    支持部
３２２    帯状体
３２３    上部ベルトサポート
３２４    下部ベルトサポート
２３０    搬出コンベア
２４０    遮光カバー
２４１    扉
４００    制御装置
【図１】
0003142922.tif 000003
【図２】
0003142922.tif 000004
【図３】
0003142922.tif 000005
【図４】
0003142922.tif 000006
【図５】
0003142922.tif 000007
【図６】
0003142922.tif 000008
【図７】
0003142922.tif 000009
【図８】
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