(57)【要約】      （修正有）【課題】静電気測定器に測定条件を、人手で入力しさらに、測定結果を人手で記録する機能に加えて、一定の測定条件等を入力すれば、測定結果を静電気測定器の中の記録装置に格納し、必要に応じて、ＰＣ等に転送でき、静電気の測定に要する労力を軽減し得る静電気測定器を提供する。【解決手段】静電気測定装置に静電気測定条件入力部と、静電気測定条件にしたがって静電気を測定する静電気測定部と、測定された結果を表示する表示部と、測定された結果を格納する格納部と格納された測定された結果をＰＣに送る送信部と、を備え、測定された結果を人手で記録する機能に加えて、測定結果をＰＣ等に転送できる機能を加える。【選択図】図１
0003146761.tif 000002
【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
静電気測定条件入力部と、
前記静電気測定条件にしたがって静電気除去装置の性能を測定する静電気測定部と、
測定された結果を表示する表示部と、
前記測定された結果を格納する格納部と、
前記格納された測定された結果をＰＣに送る送信部と、を有し
前記測定された結果を人手で記録する労力を軽減できることを特徴とする静電気測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の静電気測定装置において、格納スイッチを押した場合にのみ前記測定された結果を格納することを特徴とする静電気測定装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の静電気測定装置において、前記静電気測定条件をパターン化し、所定のパターンを選択することにより個々に測定条件を入力する必要のないことを特徴とする静電気測定装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の静電気測定装置において、格納の格納される測定データはＣＳＶ形式であることを特徴とする静電気測定装置。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、静電気除去装置の測定器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示装置等、各種の微細な電子素子を部品とする電子機器が製造されている。このような微細な電子素子を部品とする電子機器の製造現場では静電気が発生すると、その放電により各種の微細な電子素子が破壊されてしまうということが問題となる。そのため、このような製造現場では、静電気除去装置が使用されている。この静電気除去装置の性能を静電気測定器によりモニターしている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１５７７８１
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来の静電気測定器では、測定条件を、人手で入力しさらに、測定結果を人手で記録する必要があり、作業効率の悪いものであった。
【０００５】
そこで、本考案は、静電気測定器に測定条件を、人手で入力しさらに、測定結果を人手で記録する機能に加えて、一定の測定条件等を入力すれば、測定結果を静電気測定器の中の記録装置に格納し、必要に応じて、ＰＣ等に転送でき、静電気の測定に要する労力を軽減しえる静電気測定器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の考案は、静電気測定装置であって、
静電気測定条件入力部と、
前記静電気測定条件にしたがって静電気除去装置の性能を測定する静電気測定部と、
測定された結果を表示する表示部と、
前記測定された結果を格納する格納部と、
前記格納された測定された結果をＰＣに送る送信部と、を有し
前記測定された結果を人手で記録する労力を軽減できることを特徴とする。
【０００７】
請求項２に記載の考案は、請求項１に記載の静電気測定装置に係り、
格納スイッチを押した場合にのみ前記測定された結果を格納することを特徴とする。
【０００８】
請求項３に記載の考案は
請求項１または２に記載の静電気測定装置に係り、
前記静電気測定条件をパターン化し、所定のパターンを選択することにより個々に測定条件を入力する必要のないことを特徴とする。
【０００９】
請求項４記載の考案は、請求項１ないし３のいずれかに記載の静電気測定装置に係り、
格納される測定データはＣＳＶ形式であることを特徴とする。
【考案の効果】
【００１０】
本考案によれば、静電気測定装置に測定条件を、人手で入力し測定した後で、測定結果を人手で記録する使用方法と、測定結果をＰＣ等に転送し、人手をかいさないで測定結果をＰＣの記憶装置に格納する方法を選択できる。また測定条件についても一定の測定条件を格納して、格納された条件を選択することにより、測定に熟練していない者でも測定することが可能となる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は本考案に係る静電気測定装置の概要を示すブロック図である。
【００１２】
図１において、１０１は静電気の測定条件入力部であり、１０３は静電気測定部であり、１０４は測定された結果を表示する表示部であり、１０２は、静電測定部１０３により測定された結果を格納する格納部であり、１０５は格納部１０２に格納された測定結果をＰＣ等に送る送信部である。１０６は熟練者によりパターン化された測定条件が格納された測定条件格納部である。
【００１３】
測定入力部１０１、静電気測定部１０３には特に特徴は無く公知のものであるので、説明は省略する。
【００１４】
図５は図１の表示部１０４の詳細な形状の例示である。
【００１５】
図１の表示部１０４は図５に示されているように、画面が３つに分割され、下段はデジタル表示であり、上段はバーグラフにより表示されているので、直感的に測定結果を把握できる。
【００１６】
図２は測定結果を人手で記録するのではなく静電気測定装置の格納部に格納する機能（以下「オートモード」ともいう）の概略を示す説明図である。
【００１７】
オートモードでは、測定条件は手動（マニュアルモード）で設定したモードで行い、再設定はマニュアルモードにもどって設定する（Ｓ２００）。
【００１８】
次に、静電気の測定を行い（Ｓ２０１）、測定結果が妥当であり、格納する価値があるか否かを判断し（Ｓ２０２）、測定結果が妥当であり、格納する価値があると判断された場合にはSAVEＳＷ（図３  参照）を押すことによる測定結果が図１の格納部１０２に格納される（Ｓ２０３）。測定結果が妥当でなく、格納する価値がないと判断された場合には測定結果を消去する。
【００１９】
オートモードでは、以上の動作を繰り返す。
【００２０】
図３は本考案に係る静電気測定装置の具体的な形状の例を示す説明図である。
【００２１】
図３において、１０４は表示部であり、３０１はSAVEＳＷ（測定結果が妥当であり、格納する価値があると判断された場合に押すＳＷ）であり、３０３は電源ＳＷである。
また、３０５は格納部に格納された測定データの転送等に使用する端子である。また、３０４は標準プレートセンサーである。
【００２２】
図４も本考案に係る静電気測定装置の具体的な形状の例を示す説明図であり、図３に示された標準プレートセンサーの変わりに小型のセンサーを取り付けたものである。４０５は
小型化されたプレート部である。
【００２３】
なお、図３と図４の形状、表示部と各種ＳＷの配置は単なる例示である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本考案に係る静電気測定装置の概要を示すブロック図である。
【図２】測定結果を人手で記録するのではなく静電気測定装置の格納部に格納する機能（以下「オートモード」ともいう）の概略を示す説明図である。
【図３】本考案に係る静電気測定装置の具体的な形状の例を示す説明図である
【図４】本考案に係る静電気測定装置の具体的な形状の例を示す説明図であり、図３に示された標準プレートセンサーの変わりに小型のセンサーを取り付けたものである。
【図５】図１の表示部１０４の詳細な形状の例示である。
【符号の説明】
【００２５】
１０１    測定条件入力部
１０２    格納部
１０３    静電気測定部
１０４    表示部
１０５    送信部
１０６    測定条件格納部
【図１】
0003146761.tif 000003
【図２】
0003146761.tif 000004
【図３】
0003146761.tif 000005
【図４】
0003146761.tif 000006
【図５】
0003146761.tif 000007