【事件の表示】
　特許第２９３５８４３号「ラッピングキャリヤ」の請求項１ないし２に係る特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９３５８４３号の請求項１に係る特許を維持する。
【理　由】
１．手続の経緯
　本件特許第２９３５８４３号発明は、平成１０年９月１７日の出願であって、平成１１年６月４日に特許の設定登録がなされ、その後、中田　修より特許異議の申立てがなされ、当審において取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年８月２５日に訂正請求がなされたものである。
２．訂正の適否についての判断
（１）訂正請求の内容
　訂正請求は、願書に添付した明細書（以下「特許明細書」という。）を訂正請求書に添付した訂正明細書（以下「訂正明細書」という。）のとおり訂正することを求めるものであり、その訂正の内容は次のとおりのものである。
　ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載「前記抜き孔が前記メッシュの目（２７）であることを特徴とする」を、
「前記抜き孔が前記メッシュの目（２７）であり、前記メッシュの目（２７）の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、前記メッシュの目（２７）の形状が角形又は円形であり、前記メッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍであることを特徴とする」と訂正する。
　イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を削除する。
　ウ．訂正事項ｃ
　特許明細書の段落番号【０００５】の第９〜１０行目に記載された「抜き孔がメッシュの目２７である点にある。」を、「抜き孔がメッシュの目２７であり、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０ｍｍである点にある。」と訂正する。
　エ．訂正事項ｄ　
　特許明細書の段落番号【０００６】の第１〜５行目に記載された「請求項２に係る記載は、請求項１に係る発明であって、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０ｍｍであるラッピングキャリヤである。
　請求項２に係る発明では、」を、
「特に、メッシュの目２７の間隔ｔを０．３〜１．５ｍｍにし、メッシュの目２７の大きさｄを０．５〜４．０ｍｍとするので、」と訂正する。　
　オ．訂正事項ｅ
　特許明細書の段落番号【０００９】の第１１行目に記載された「１。０ｍｍ」を、
「１．０ｍｍ」と訂正する。　
（２）訂正の目的の適否、新規事項の有無および拡張・変更の存否
　ア．訂正事項ａについては、
　特許明細書の請求項１において、「メッシュの目の間隔（ｔ）、メッシュの目（２７）の形状、及びメッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）」を、「メッシュの目（２７）の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目（２７）の形状が角形又は円形であり、メッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍ」に限定するものであり、特許請求の範囲の減縮、及び明瞭でない記載の釈明を目的とするものに該当する。
　イ．訂正事項ｂについては、
　特許請求の範囲の請求項２を削除するものであるから、特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　ウ．訂正事項ｃ、及びｄについては、特許請求の範囲の請求項１ないし２の訂正に伴い、発明の詳細な説明の記載をこれに整合するように訂正するもので、明りょうでない記載の釈明を目的とするものに該当し、それぞれ特許明細書の段落番号【０００５】、及び【０００６】の記載に基づくものであり、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
　エ．訂正事項ｅついては、
　誤記の訂正を目的とするものに該当し、新規事項の追加に該当せず、かつ、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものでもない。
(3)むすび
　したがって、上記訂正は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する第１２６条第２項及び第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３．特許異議の申立てについての判断
（１）申立ての理由の概要
　本件特許に対し、特許異議申立人中田　修は、甲第１号証（特開平１１−９０８１７号公報）、甲第２号証（実願平２−７７９２１号（実開平４−３５８６７号）のマイクロフィルム）、甲第３号証（実願昭６２−８８８７２号（実開昭６３−１９７０４９号）のマイクロフィルム）、甲第４号証（特開平１０−１８０６２３号公報）、甲第５号証（特開平９−２０７０６４号公報）、甲第６号証（理工学事典　１９９６年３月２８日株式会社日刊工業新聞社発行、第１３９７頁：甲第１号証に記載の「ホトリソグラフィ」についての説明）、及び甲第７号証（甲第１号証に示された格子構造を図示した図面）を提出し、請求項１および２に係る発明は、その出願の日前の出願であって、その出願後に出願公開された甲第１号証（特開平１１−９０８１７号公報）の願書に最初に添付された明細書又は図面（以下「先願明細書」という。）に記載された発明と同一であって、しかも、請求項１および２に係る発明の発明者が上記先願明細書に記載された発明の発明者と同一であるとも、この出願の時において、その出願人が上記他の出願の出願人と同一であるとも認められないので、本件請求項１および２に係る発明の特許は特許法第２９条の２第１項の規定に違反してなされたものであり、また、本件請求項１および２に係る発明は、甲第２号証ないし甲第５号証に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができないものであるから、特許を取り消すべきものである旨主張している。
（２）本件発明
　上記２．で示したように上記訂正が認められるから、本件の請求項１に係る発明（以下「本件発明」という。）は、上記訂正に係る訂正明細書の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される次のとおりのものである。
「【請求項１】　定盤（１１）の中央に設けられた太陽ギヤ（１２）と前記太陽ギア（１２）と同心状に前記定盤（１１）の周面に設けられたインターナルギヤ（１３）とに噛合する歯車（２１）がキャリヤ本体（２２）の外周面に形成され、前記キャリヤ本体（２２）に被研磨物を挿入可能な支持孔（２３）と研磨剤を通過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキャリヤにおいて、
　前記歯車（２１）及びその周縁と前記支持孔（２３）及びその周縁以外のキャリヤ本体（２２）の残部がメッシュ（２６）に形成され、前記抜き孔が前記メッシュの目（２７）であり、前記メッシュの目（２７）の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、前記メッシュの目（２７）の形状が角形又は円形であり、前記メッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍである
　ことを特徴とするラッピングキャリヤ。」
　なお、請求項２に係る記載は訂正事項ｂにより削除された。
（３）特許法第２９条の２違反について
　先願明細書には、「このラッピングキャリヤ１は、貫通孔から成る研磨部２と支持部３と固定部４と歯車部５からなり支持部３の構造が従来の板（無空）とは異なり中空の部分の構造を持つ点が特徴である。支持部３の部分に例えば格子の如き形状の中空部を設けた構造のラッピングキャリヤの場合、ラッピング作業が極めて再現性よく行われることを見つけた。」（段落番号【０００６】の第３〜９行目）と記載され、「支持部２３は細かい格子形状を持つ構造である。例えばラッピングキャリヤの厚さが２０μｍでは格子寸法は格子幅：５μｍおよび格子窓：２０μｍと微細であり、厚いラッピングキャリヤにはこれよりも粗い格子ピッチでよい。」（段落番号【０００８】の第６〜１０行目）と記載されていることから、先願明細書には、「歯車部５が支持部３の外周面に形成され、前記支持部３に被研磨物を挿入可能な研磨部２とが形成された厚さが２０μｍのラッピングキャリヤにおいて、
　前記歯車部５及びその周縁と前記研磨部２及びその周縁以外の支持部３が格子の如き形状の中空部に形成され、前記中空部が前記格子窓であり、前記格子幅が５μｍであり、前記格子窓の形状が角形又は円形であり、前記格子窓の大きさが２０μｍであるラッピングキャリヤ。」の発明が記載されていると認められる。
　本件発明と先願明細書に記載された発明（以下「先願発明」という。）とを比較すると、先願発明の「歯車部５」、「研磨部２」、「支持部３」、「格子」、「格子窓」、及び「格子幅」は、それぞれ、本件発明の「歯車（２１）」、「支持孔（２３）」、「キャリヤ本体（２２）の残部」、「メッシュ（２６）」、「メッシュの目」、及び「メッシュの目の間隔」に対応するので、両者は、外周面に歯車が形成され、被研磨物を挿入可能な支持孔が形成されたラッピングキャリアにおいて、前記歯車及び支持孔以外の部分がメッシュに形成された点で共通しているが、
　本件発明では、メッシュの目の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍであるのに対して、先願発明では、支持部における格子形状の格子巾（「メッシュの目の間隔」に対応する）が５μｍであり、格子窓（同「メッシュの目の大きさ」）が２０μｍであり、厚いラッピングキャリアにはこれよりも粗い格子ピッチでよい点で相違している。
　そこで、上記相違点に関する作用効果について検討すると、先願発明の格子の作用効果については、「本発明の構造がラッピング装置の研磨板の動きに追従しやすくなり、また、この中空部分に研磨剤や異物を含有できるためと推定している。」（先願明細書の段落番号【０００６】の第１０〜１２行目）、「格子構造は機械的強度が強い上、反りなどの変形が少なく、またこれを均一圧力で加圧すると従来の板構造よりも追随性がよく平坦になりやすい特徴がある。」（同段落番号【０００８】の第１１〜１３行目）、及び「異物が混入しても支持部２３の格子窓にこれが取り込まれるため仕上げ面が傷つく不良は極端に少なくなったためと推定される。」（同段落番号【０００８】の第２０〜２２行目）と記載されていることから、機械的強度の低下を抑制するということについては、本件発明のものと同一であるとすることができるとしても、格子巾（本件発明の「メッシュの目の間隔」に対応する）、及び、格子窓（同「メッシュの目の大きさ」）の具体的数値を本件発明のものと照らせば、先願発明のものは、研磨剤を積極的に透過させようとするものでなく、研磨剤や異物を含有又は取り込んで格子窓の中空部分に留めておき、これら研磨剤や異物が研磨に影響を与えないようにするためのものにすぎないと認められる。
　なお、「厚いラッピングキャリヤにはこれよりも粗い格子ピッチでよい。」（先願明細書の段落番号【０００８】の第９〜１０行目）との記載から、ラッピングキャリヤの厚さに応じて格子ピッチの大きさを大きくしてもよい旨記載されているが、格子窓や格子巾の大きさが具体的にどのような大きさであるかは記載されてなく、「本発明は、水晶振動子用等の極薄板を研磨によって均一な厚みの板に形成する工程に用いられるラッピングキャリヤに関する。」（同段落番号【０００１】の第１〜３行目）、及び「水晶振動子の厚さがどんどん薄くなってきている。現在では厚さ２０〜３０μｍのものが生産されており、さらに薄い板厚のものが開発中である。」（同段落番号【０００２】の第６〜８行目）と記載されていることから、ラッピングキャリヤの厚さは前記の水晶振動子用等の極薄板の厚さにほぼ相応して増加する程度のものと解されるから、先願発明の格子形状の格子巾の５μｍ（０．００５ｍｍ）、及び格子窓の２０μｍ（０．０２ｍｍ）が、それぞれ、本件発明の、メッシュの目の間隔（ｔ）の０．３〜１．５ｍｍ、メッシュの目の大きさ（ｄ）の０．５〜４．０ｍｍのように著しく大きなものまでも意図しているものと解することはできない。
　したがって、本件訂正後の発明と先願発明とは同一のものとすることはできない。
（４）特許法第２９条第２項違反について
　特許異議申立人が証拠として提示した刊行物には、それぞれ、以下のような事項が記載されている。
　刊行物２（甲第２号証）：
　「半導体両面研磨用キャリア２には、径２２８．６ｍｍ、厚さ５５０μｍのキャリアを使用し、第１図に示すように、φ７７ｍｍの基板保事項８の他に、φ１５ｍｍの研磨剤通過孔１０を２８個設けた」（第６頁第７〜１１行）
　刊行物３（甲第３号証）：
　「ワーク保持穴１２と重複しない位置に、該キャリヤ１０に残留する内部応力を分散または吸収させて除去させるための複数の細孔１３が一定間隔で円周上に配設されており、キャリヤの外周にはギヤ１４が形成されている。」（第５頁第１１〜１５行目）、及び「多数の円形の細孔４３を上記第３実施例の場合と同様の位置に配設したものである。この場合にも、細孔の直径は０．５ｍｍ以下とするのが望ましい。」（第７頁第１１〜１４行目）
　刊行物４（甲第４号証）：
　キャリア１３には、研磨剤を通過させる貫通孔１９が複数個形成され、その全開口面積がキャリアの全表面積に対して０．８％〜２０％となるように均一に分散して形成されている。また、貫通孔１個の開口面積は例えば６０ｃｍ２　以下であることが好適であること。（段落番号【００１３】の第２〜１６行目参照）
　刊行物５（甲第５号証）：
　キャリアには、研磨液を通すための中径の研磨液孔５、・・・と、多数の小孔６、・・・が設けられていること。（段落番号【００１３】、【００１４】及び図３参照）、及び「小孔６、・・・については内部に樹脂を充填して盲孔状態にする。」（段落番号【００１５】の第４〜６行目）
　本件発明と刊行物２ないし５に記載のものとを比較すると、
　刊行物２、４及び５に記載のものは、ラッピングキャリヤに研磨剤を透過させる貫通孔を設けた点で本件発明と共通しているが、刊行物５に記載の、（研磨剤を透過させる中径の孔５とは別の）多数の小孔６は樹脂を充填して盲孔状態にされ、研磨剤を通すことはできない。また、刊行物３に記載のラッピングキャリヤの細孔は、内部応力を除去するためのものにすぎない。そして、刊行物２ないし５に記載された発明は、いずれも、本件発明を特定する事項である、「歯車及びその周縁と支持孔及びその周縁以外のキャリヤ本体の残部がメッシュに形成され、研磨剤を通過させる抜き孔が前記メッシュの目であり、前記メッシュの目の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、前記メッシュの目の形状が角形又は円形であり、前記メッシュの目の大きさが０．５〜４．０ｍｍであること」を備えておらず、当該事項により本件発明は、「機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の投下面積を拡大し、ラッピング装置による被研磨物の研磨時に波打ち変形を起こさない」という顕著な効果を奏するものであり、
　したがって、本件発明が、上記刊行物２〜５に記載のものから容易に発明をすることができたものとすることはできない。
４．むすび
　以上のとおりであるから、特許異議申立ての理由及び証拠によっては、本件の請求項１に係る特許を取り消すことはできない。
　また、他に本件の請求項１に係る特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年１０月４日（２０００．１０．４）
【訂正の要旨】
　訂正の要旨
　特許第２９３５８４３号発明の明細書（以下「明細書」という。）を、訂正請求書に添付した訂正明細書のとおり、すなわち、次の各訂正事項ア〜オのとおり訂正する。
　ア．訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１に係る記載を、特許請求の範囲の減縮、及び明瞭でない記載の釈明を目的として、「【請求項１】　定盤（１１）の中央に設けられた太陽ギヤ（１２）と前記太陽ギア（１２）と同心状に前記定盤（１１）の周面に設けられたインターナルギヤ（１３）とに噛合する歯車（２１）がキャリヤ本体（２２）の外周面に形成され、前記キャリヤ本体（２２）に被研磨物を挿入可能な支持孔（２３）と研磨剤を通過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキャリヤにおいて、
　前記歯車（２１）及びその周縁と前記支持孔（２３）及びその周縁以外のキャリヤ本体（２２）の残部がメッシュ（２６）に形成され、前記抜き孔が前記メッシュの目（２７）であり、前記メッシュの目（２７）の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、前記メッシュの目（２７）の形状が角形又は円形であり、前記メッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍである
　ことを特徴とするラッピングキャリヤ。」と訂正する。
　イ．訂正事項ｂ
　特許請求の範囲の請求項２を、特許請求の範囲の減縮を目的として削除する。
　ウ．訂正事項ｃ
　特許明細書の段落番号【０００５】の第９〜１０行目に記載された「抜き孔がメッシュの目２７である点にある。」を、明瞭でない記載の釈明を目的として、「抜き孔がメッシュの目２７であり、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０ｍｍである点にある。」と訂正する。
　エ．訂正事項ｄ
　特許明細書の段落番号【０００６】の第１〜５行目に記載された「請求項２に係る記載は、請求項１に係る発明であって、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０ｍｍであるラッピングキャリヤである。
　請求項２に係る発明では、」を明りょうでない記載の釈明を目的として、
「特に、メッシュの目２７の間隔ｔを０．３〜１．５ｍｍにし、メッシュの目２７の大きさｄを０．５〜４．０ｍｍとするので、」と訂正する。
　オ．訂正事項ｅ
　特許明細書の段落番号【０００９】の第１１行目に記載された「１。０ｍｍ」を、誤記の訂正を目的として、
「１．０ｍｍ」と訂正する。
（５４）【発明の名称】
ラッピングキャリヤ
（５７）【特許請求の範囲】
　【請求項１】　定盤（１１）の中央に設けられた太陽ギヤ（１２）と前記太陽ギア（１２）と同心状に前記定盤（１１）の周面に設けられたインターナルギヤ（１３）とに噛合する歯車（２１）がキャリヤ本体（２２）の外周面に形成され、前記キャリヤ本体（２２）に被研磨物を挿入可能な支持孔（２３）と研磨剤を透過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキャリヤにおいて、
　前記歯車（２１）及びその周縁と前記支持孔（２３）及びその周縁以外のキャリヤ本体（２２）の残部がメッシュ（２６）に形成され、前記抜き孔が前記メッシュの目（２７）であ
り、前記メッシュの目（２７）の間隔（ｔ）が０．３〜１．５ｍｍであり、前記メッシュの目（２７）の形状が角形又は円形であり、前記メッシュの目（２７）の大きさ（ｄ）が０．５〜４．０ｍｍである
　ことを特徴とするラッピングキャリヤ。
【発明の詳細な説明】
　【０００１】
　【発明の属する技術分野】
　本発明は、水晶、ガラス、セラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するラッピング装置に用いられるキャリヤに関する。更に詳しくは、歯車が外周面に形成され、被加工物を挿入可能な支持孔が形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキャリヤに関するものである。
　【０００２】
　【従来の技術】
　水晶、ガラス、セラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨する装置としてラッピング装置が知られており、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピング装置では上下一対の定盤が設けられる。下側定盤の中央には外歯車である太陽ギヤが設けられ、下側定盤の周面にはその太陽ギアと同心状に内歯車であるインターナルギヤが設けられる。図３に示すように、ラッピングキャリヤ１はこの下側定盤の上に配置されるものであって、太陽ギアとインターナルギヤの双方に噛合する歯車２が外周面に形成され、被研磨物はキャリヤ１に形成された支持孔３に挿入される。図示しないが、ラッピング装置の上側定盤はキャリヤ１の支持孔３に挿入された被研磨物を下側定盤とともに挟んで被研磨物に所定の圧力を加えるように構成される。被研磨物を挟んだ状態で研磨剤を下側定盤と上側定盤の間に供給しながら、定盤及び太陽ギヤをそれぞれ同心状に回転させると、キャリヤ１は被研磨物とともに太陽ギヤの周囲を自転しながら公転し、それぞれの定盤は被研磨物の上面及び下面を同時に研磨するようになっている。
　【０００３】
　【発明が解決しようとする課題】
　しかし、キャリヤ１の支持孔３に挿入された被研磨物の研磨は、研磨剤を下側定盤と上側定盤の間に供給しながら行われるため、研磨剤が支持孔３を除くキャリヤ１の表面と定盤との間に残存する場合があり、定盤が被研磨物に加える圧力の一部がキャリヤ１の表面に残存した研磨剤により支持され、被研磨物に均等な圧力が加わらない不具合がある。この点を解消するために、従来研磨剤を透過させる抜き孔４を支持孔３を除く部分に形成することが行われているが、厚さが比較的薄い１０００μｍ以下のラッピングキャリヤにあっては、この抜き孔４を大きくするとキャリヤ１の機械的強度が低下し、機械的強度の低下を防止するために抜き孔４を小さくすると研磨剤を十分に透過できずに均一に被研磨物を研磨できない問題点がある。
　【０００４】
　また、このように厚さが比較的薄いラッピングキャリヤにあっては、キャリヤが被研磨物とともに太陽ギヤの周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面と定盤との間に摺動抵抗が生じ、被研磨物を支持するキャリヤ自体が変形して支持孔を除く部分が波を打つように変形する不具合もある。キャリヤが波打ち変形するとキャリヤ自体の厚さが被研磨物の厚さを越えるようになり、キャリヤ自体が上下の定盤にそれぞれ接触して被研磨物に均等な圧力が加わらないことに起因して被研磨物を均等に研磨できない問題点がある。
　本発明の目的は、機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面積を拡大し得るラッピングキャリヤを提供することにある。
　本発明の別の目的は、ラッピング装置による被研磨物の研磨時に波打ち変形を起さないラッピングキャリヤを提供することにある。
　【０００５】
　【課題を解決するための手段】
　請求項１に係る発明は、図１及び図２に示すように、定盤１１の中央に設けられた太陽ギヤ１２と太陽ギア１２と同心状に定盤１１の周面に設けられたインターナルギヤ１３とに噛合する歯車２１がキャリヤ本体２２の外周面に形成され、キャリヤ本体２２に被研磨物を挿入可能な支持孔２３と研磨剤を透過させる抜き孔とが形成された厚さが２０〜１０００μｍのラッピングキャリヤの改良である。
　その特徴ある構成は、歯車２１及びその周縁と支持孔２３及びその周縁以外のキャリヤ本体２２の残部がメッシュ２６に形成され、抜き孔がメッシュの目２７であ
り、メッシュの目２７の間隔ｔが０．３〜１．５ｍｍであり、メッシュの目２７の形状が角形又は円形であり、メッシュの目２７の大きさｄが０．５〜４．０ｍｍである点にある。
　請求項１に係る発明では、メッシュの目２７が抜き孔を構成するため、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の抜き孔を形成する図３に示す従来品に比較して研磨剤の透過面積を拡大することができる。一方、抜き孔がメッシュの目２７であるので、メッシュの面積に相当する大きな抜き孔を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ自体の機械的強度の低下を抑制することができる。
　【０００６】
　
特に、メッシュの目２７の間隔ｔを０．３〜１．５ｍｍにし、メッシュの目２７の大きさｄを０．５〜４．０ｍｍとするので、
　【０００７】
　なお、本明細書におけるメッシュの目の間隔とは、図１の拡大図のｔで示すように、メッシュの目の間に残存するキャリヤ本体の寸法をいい、この目の間隔が０．３ｍｍ未満であるとキャリヤ自体の機械的強度が低下し、１．５ｍｍを越えると研磨剤の透過能力が低減する。好ましくは０．５〜１．２ｍｍである。
　また、角形のメッシュの目２７の形状には４角形、５角形又は６角形からなる形状が挙げられ、６角形の目の形状であればハニカム形状を構成するメッシュが挙げられる。一方、円形のメッシュの目２７の形状には真円及び楕円の双方が含まれる。
　更に、メッシュの目２７の大きさは、メッシュの目２７の形状が円形であればその直径を、楕円である場合には長径を意味し、メッシュの目２７の形状が角形であれば一辺の長さを意味する。このメッシュの目２７の大きさの更に好ましい値は１〜３ｍｍである。
　【０００８】
　【発明の実施の形態】
　次に本発明の実施の形態を図面に基づいて詳しく説明する。
　図２に示すように、本発明のラッピングキャリヤ２０はラッピング装置１０に使用されるものである。ラッピング装置１０は水晶、ガラス、セラミックス等の硬質脆性材料の表面を研磨するものであり、被研磨物の上下面を同時に研磨するラッピング装置１０では上下一対の定盤１１（図には下側の定盤のみ示す）が設けられる。下側定盤１１の中央には外歯車である太陽ギヤ１２が設けられ、下側定盤１１の周面にはその太陽ギヤ１２と同心状に内歯車であるインターナルギヤ１３が設けられる。下側定盤１１には研磨剤を有効に排出するための複数の凹溝１１ａが格子状に形成され、下側定盤１１及び太陽ギヤ１２は基台１４に対してそれぞれ同心状に回転可能に構成される。図示しない上側定盤は下側定盤１１の上方に上下動可能に設けられ、上側定盤は下降することにより、被研磨物を下側定盤１１とともに挟んで被研磨物に所定の圧力を加えるように構成される。
　【０００９】
　図１に示すように、ラッピングキャリヤ２０は太陽ギヤ１２とインターナルギヤ１３とに噛合する歯車２１が外周面に形成されたキャリヤ本体２２と、このキャリヤ本体２２に形成された被研磨物を挿入可能な支持孔２３を備える。このラッピングキャリヤ２０はＳＵＳ４２０Ｊ２、ＳＵＳ４３１、ＳＵＳ４４０Ｃ等のマルチンサイト系ステンレス又はＳＫ材若しくは銅材からなる厚さが２０〜１０００μｍの板材をエッチング加工することにより作られる。支持孔２３は被研磨物の外径形状に相応して形成され、この実施の形態では角部に丸みが形成された４角形状の板材である被研磨物のための支持孔２３が３つ形成される。
　歯車２１の周縁と支持孔２３の周縁を除くキャリヤ本体２２はメッシュ２６に形成される。この実施の形態におけるメッシュ２６は、図１の拡大図に示すように、直径ｄが１ｍｍの円孔２７を孔の間隔ｔが１
．
　【００１０】
　このように構成されたラッピングキャリヤを使用してラッピング装置により被研磨物を研磨するには、先ず、歯車２１を太陽ギヤ１２とインターナルギヤ１３の双方に噛合させて下側定盤１１の上にラッピングキャリヤ２０を配置し、被研磨物を支持孔２３に挿入することなく上側定盤を下降させてラッピングキャリヤ２０を下側定盤１１とともに挟み、この状態で下側定盤１１及び太陽ギヤ１２を所定時間回転させる。この回転により、ラッピングキャリヤ２０は太陽ギヤ１２の周囲を自転しながら公転し、反り又はゆがみのあるラッピングキャリヤ２０は定盤との接触部分に応力が集中して変形する。所定時間の回転の後上側定盤を上昇させラッピングキャリヤ２０の変形を目視により確認し、この確認により変形あるラッピングキャリヤ２０を排除する。これにより、ラッピングキャリヤ２０の平滑度を予め確認でき、変形を生じないラッピングキャリヤ２０の支持孔２３に被研磨物を挿入する。
　【００１１】
　被研磨物を支持孔２３に挿入した後、図示しない上側定盤を再び下降させて被研磨物をラッピングキャリヤ２０とともに上側定盤と下側定盤１１の間に挟んで被研磨物に所定の圧力を加える。この状態で図示しない研磨剤供給手段により研磨剤を下側定盤１１と上側定盤の間に供給しながら、下側定盤１１及び太陽ギヤ１２をそれぞれ回転させる。太陽ギヤ１２の回転によりラッピングキャリヤ２０は被研磨物とともに太陽ギヤ１２の周囲を自転しながら公転して、被研磨物の上面及び下面は上側定盤及び下側定盤１１に接触して研磨される。この時、下側定盤１１と上側定盤の間に供給された研磨剤は、被研磨物の上面又は下面及び上側定盤又は下側定盤１１との間に侵入して被研磨物を研磨した後メッシュ２６の目である円孔２７に侵入し、円孔２７に侵入した研磨剤は下側定盤１１に形成された凹溝１１ａに侵入した後排出される。このため、研磨剤が支持孔２３を除くキャリヤ本体２２の表面とそれぞれの定盤１１との間に残存することはなく、被研磨物に常に均等な圧力を加えることができる。
　【００１２】
　また、キャリヤが被研磨物とともに太陽ギヤ１２の周囲を自転及び公転する際に、被研磨物の表面と定盤１１との間に摺動抵抗が生じても、その応力はキャリヤ本体２２に形成されたメッシュ２６の目、即ち本実施の形態では複数の円孔２７自体が楕円形状に弾性変形することにより吸収し、支持孔２３を除く部分が波を打つように変形することを防止する。
　【００１３】
　【発明の効果】
　以上述べたように、本発明によれば、歯車の周縁と支持孔の周縁を除くキャリヤ本体をメッシュに形成し、このメッシュの目を従来の抜き孔として機能させたので、メッシュの目よりも大きな単一又は複数の抜き孔を形成する従来品に比較して研磨剤の透過面積を拡大することができる。その一方、抜き孔がメッシュの目であるので、メッシュの面積に相当する大きな抜き孔を形成する場合に比較してラッピングキャリヤ自体の機械的強度の低下を抑制することができる。この結果、従来のラッピングキャリヤに比較して機械的強度の低下を抑制しつつ研磨剤の透過面積を拡大することができる。
　また、キャリヤ本体にメッシュを形成したので、被研磨物の表面を研磨する際に生じる摺動抵抗をそのメッシュの目が弾性変形することにより吸収し、ラッピングキャリヤの支持孔を除く部分が波を打つように変形することを防止することができる。この結果、支持孔に挿入された被研磨物の表面を均一に研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
　【図１】
　本発明のラッピングキャリヤを示す平面図。
　【図２】
　そのラッピングキャリヤの使用状態を示すラッピング装置の部分斜視図。
　【図３】
　従来のラッピングキャリヤを示す図１に対応する平面図。
　【符号の説明】
　１１　定盤
　１２　太陽ギヤ
　１３　インターナルギヤ
　２０　ラッピングキャリヤ
　２１　歯車
　２２　キャリヤ本体
　２３　支持孔
　２６　メッシュ
　２７　円孔（メッシュの目）
　ｔ　メッシュの目の間隔
　ｄ　メッシュの目の大きさ