【事件の表示】
　特許第２９１００７９号「ビームスキャニング装置」の請求項１及び２に係る発明の特許に対する特許異議の申立てについて、次のとおり決定する。
【結　論】
　訂正を認める。
　特許第２９１００７９号の請求項１に係る発明の特許を維持する。
【理　由】
１、手続の経緯　
　本件特許第２９１００７９号の請求項１ないし３に係る発明は、平成１年８月１７日に特許出願され、平成１１年４月９日にその特許の設定登録がなされ、その後、富岡康之より特許異議の申立てがなされ、平成１２年３月７日付けで取消理由通知がなされ、その指定期間内である平成１２年５月２２日付けで訂正請求がなされたものである。
２、訂正の適否についての判断
（2-1）訂正事項
（ａ）特許請求の範囲の請求項１を削除し、請求項２及び請求項３を新たな請求項１及び請求項２として、下記のとおりに訂正する。
「（１）発光素子と、発光素子から出射される光ビームを平行化または集束化するレンズと、レンズから導かれる光ビームを所要方向に反射させてスキャニングする走査手段とを含み、
　前記走査手段が、基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、
　前記傾動誘発手段が、前記基体および反射鏡の各対向面に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からなり、　前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有する、ことを特徴とするビームスキャニング装置。
（２）発光素子と、発光素子から出射される光ビームを平行化または集束化するレンズと、レンズから導かれる光ビームを所要方向に反射させてスキャニングする走査手段とを含み、　
　前記走査手段が、矩形平板状の基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、
　前記反射鏡が、矩形平板状の鏡体と、この鏡体の外周を囲む矩形環状のミラーベースと、ミラーベースの４つの内隅部と鏡体の四隅とを一体に連結するトーションバーとからなり、
　前記傾動誘発手段が、前記基体および鏡体の各対向面の各四隅に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からなる、ことを特徴とするビームスキャニング装置。」
（ｂ）上記特許請求の範囲の訂正に伴って、それとの整合を図るため、発明の詳細な説明の［問題を解決するための手段］、［作用］、［発明の効果］の欄を訂正請求書第３頁８行〜第５頁１１行（訂正事項ｂないし訂正事項ｄ）のとおりに訂正する。
（2-2）訂正の目的の適否、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
　上記訂正事項（ａ）の請求項１の削除、及び、請求項２の「静電電極」をさらに具体的に限定し、新たな請求項１に訂正することは、特許請求の範囲の減縮に該当し、訂正事項（ｂ）は、特許請求の範囲の減縮に伴い、それと整合するための明りょうでない記載の釈明に該当する。そして、上記訂正事項（ａ）ないし（ｂ）は願書に添付した明細書の第２図、第４図及び第５図並びに明細書の第７頁９行〜２３行、第８頁９行〜第１２頁１３行に記載された事項の範囲内であり、実質的に特許請求の範囲を拡張又は変更するものではない。
（2-3）独立特許要件の判断
（2-3-1）訂正明細書の請求項１及び２に係る発明は、その特許請求の範囲の請求項１及び２により特定されるとおりのものである。（上記訂正事項（ａ）参照）
（2-3-2）刊行物記載の発明
　当審における取消理由で引用した刊行物１：特開昭６０−１０７０１７号公報には、レーザビームプリンタ等に応用される光偏向素子に関し、
「Ｓｉ単結晶からなる基板１を・・・ジンバルバネ状に加工する。ジンバルバネ２はＸ方向軸５及びＹ方向軸６を中心として、それぞれ、独立に回転振動する。ジンバルバネ２で支持された基板１の可動部面上には金属蒸着やメッキ等によりガルバノミラー３と薄膜コイル４が形成されている。・・・素子は電磁力によって軸５及び６を中心軸としてそれぞれ独立に回転振動する。従って、素子に形成したガルバノミラー３に一定方向から光ビームを入射しておけば、ミラー３からの反射光を被検出量に応じて二次元に偏向できる。即ち、Ｘ、Ｙの二変数をもつ信号量Ｆ（Ｘ、Ｙ）の変化を一つの素子で検出し、その出力に応じた光の偏向走査ができる。」（２頁右上欄７行〜左下欄３行）、
「第５図は本発明のガルバ素子を静電力で駆動する場合の実施例である。同図において、基体１０は・・・中央に設けた凹部の各辺に沿って電極が少くとも四箇所１１１〜１１４に形成される。又、基体１０の凹部中心にはガルバ素子可動部１’を支持する突起１２が形成される。電極１１は、例えば、蒸着等で容易に形成できる。・・・可動部１’と電極１１１，１１３との間の静電力による回転振動、及び可動部１’と電極１１２，１１４との間の静電力による回転振動をそれぞれ突起１２を中心として独立に発生させ、この二次元回転振動を行う可動部１’上にミラー３を形成することにより、二次元の光偏向走査が可能となる。」（４頁右上欄５行〜末行）と記載されている。又、第５図には、基体１０の凹部内側上方に、中央にミラー３を形成した可動部１’を配置し、この基体１０に対しミラー３を平行に配設したものが図示されている。
　上記によれば、刊行物１には、
「光ビームを入射し、反射光を二次元に偏向できる、光偏向走査用の光偏向素子において、
　光偏向素子が、基体１０と、この基体１０に対し平行に配設されたミラー３と、基体１０の中央に設けた凹部内側上方に配置された基板１の可動部１’及び前記凹部の各辺に沿って形成された少くとも四箇所１１１〜１１４の電極とで構成され、
　基板１の可動部面上中央に形成されたミラー３を支持するジンバルバネはＸ方向軸５及びＹ方向軸６を中心として、ミラー３をそれぞれ独立に回転振動するものであり、
　上記回転振動は、可動部１’と基体１０の中央に設けた凹部の各辺に沿って形成された上記電極との間の静電力により発生させた光偏向素子」の発明が記載されている。
（2-3-3）対比・判断
［請求項１について］
　本件の訂正された請求項１に係る発明（以下「訂正発明１」という。）と刊行物１記載の発明とを対比する。
　刊行物１記載の発明の「光偏向走査用の光偏向素子」、「Ｘ方向軸５及びＹ方向軸６を中心として、それぞれ、独立に回転振動する」、「電極」及び「ミラー３」は、訂正発明１の「スキャニングする走査手段」、「少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能」、「静電電極」及び「反射鏡」にそれぞれ相当する。又、刊行物１記載の発明の光ビームは発光素子から出射されることは自明であるから、両者は、
「発光素子と、発光素子から出射される光ビームを所要方向に反射させてスキャニングする走査手段とを含み、前記走査手段が、基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、前記傾動誘発手段が、電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からなるビームスキャニング装置。」で一致し、下記の点で相違する。
　相違点１：訂正発明１は、発光素子から出射される光ビームを平行化または集束化するレンズを有するのに対し、刊行物１記載の発明は、この構成を有しない点。
  相違点２：傾動誘発手段が、訂正発明１は、基体および反射鏡の各対向面に振り分けて形成され、前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有するのに対し、刊行物１記載の発明は、可動部１’及び基体１０の中央に設けた凹部の各辺に沿って形成された少くとも四箇所１１１〜１１４の電極とで構成した点。
　上記相違点について検討する。
（ア）相違点１について、
　ビームスキャニング装置において、発光素子から出射される光ビームを平行化または集束化するレンズを用いることは、周知慣用手段であるから、この点は単なる周知手段の付加にすぎない。
（イ）相違点２について、
　刊行物１記載の発明において、中央にミラー３を形成した可動部１’に設けた電極は、基体１０の中央に設けた凹部の各辺に沿って形成された少くとも四箇所１１１〜１１４の電極に対向配置されていると解されるから、各対の電極はミラーより外側の可動部１’部分に形成されていると認められる。してみると、刊行物１には、訂正発明１の「基体および反射鏡の各対向面に振り分けて形成され、前記各対の静電電極は、反射鏡より小さい」という構成が記載されておらず示唆もされていなしい。しかも、上記相違点２の構成が当該技術分野において周知であるとも認められない。
　したがって、訂正発明１は、刊行物１に記載された発明であるとも、記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともすることができない。
［請求項２について］
　本件の訂正された請求項２に係る発明（以下「訂正発明２」という。）と刊行物１記載の発明とを対比する。
　刊行物１記載の発明には、訂正発明２の構成要件である「反射鏡が、矩形平板状の鏡体と、この鏡体の外周を囲む矩形環状のミラーベースと、ミラーベースの４つの内隅部と鏡体の四隅とを一体に連結するトーションバーとからなり、前記傾動誘発手段が、前記基体および鏡体の各対向面の各四隅に振り分けて形成され」る点は何も備わっていない。そして、訂正発明２は、上記構成要件を有することにより、明細書記載の格別の効果を奏するものである。
　したがって、訂正発明２は、刊行物１に記載された発明であるとも、刊行物１に記載された発明に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるともいうことはできない。
  よって、請求項１及び２に係る各発明は、特許出願の際独立して特許を受けることができるものである。
（2-4）むすび
　以上のとおり、上記訂正請求は、特許法第１２０条の４第２項及び同条第３項で準用する同法第１２６条第２〜４項の規定、ただし、平成７年７月１日より前の特許出願の特許に係る明細書又は図面についての訂正は、特許法等の一部を改正する法律（平成６年法律第１１６号）附則第６条第１項の規定によりなお従前の例によるとされるので、本件においては、同法律により改正される前の特許法第１２６条第１項ただし書き〜第３項の規定に適合するので、当該訂正を認める。
３、特許異議の申立てについての判断
　特許異議申立人は、甲第１号証（上記刊行物１）を提出し、請求項１及び２に係る各発明は、特許法第２９条第１項第３号又は同条第２項の規定に違反して特許されたものであるから、その特許は取り消されるべきである旨主張している。
  しかし、請求項１は削除され、訂正された請求項２に係る発明（以下「本件発明」という）は、上記（2-3）独立特許要件の判断［請求項１について］で述べたとおりであり、特許異議申立人の提出した証拠によっては、本件発明の特許を取り消すことはできない。
　又、他に本件発明の特許を取り消すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり決定する。
【異議決定日】
平成１２年６月１９日（２０００．６．１９）
【訂正の要旨】
訂正の要旨
▲１▼訂正事項ａ
　特許請求の範囲の請求項１を削除し、請求項２および請求項３を、新たな請求項１および請求項２として、下記のように訂正する。
『（
１
　前記走査手段が、基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、　前記傾動誘発手段が、前記基体および反射鏡の各対向面に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からな
り、
　
前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有する、
ことを特徴とするビームスキャニング装置。
（
２
　前記走査手段が、矩形平板状の基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、
　前記反射鏡が、矩形平板状の鏡体と、この鏡体の外周を囲む矩形環状のミラーベースと、ミラーベースの４つの内隅部と鏡体の四隅とを一体に連結するトーションバーとからなり、
　前記傾動誘発手段が、前記基体および鏡体の各対向面の各四隅に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からなる、ことを特徴とするビームスキャニング装置。』
　▲２▼訂正事項ｂ
　平成１０年４月１０日提出の手続補正書よって補正した明細書第３頁１２行目から同頁１６行目までの「本発明請求項１のビームスキャニング装置は、………からなることに特徴を有する」を、下記のように訂正する。
『本発明請求項
１
り、前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有する
　本発明請求項
２
　▲３▼訂正事項ｃ
　平成１０年４月１０日提出の手続補正書よって補正した明細書第３頁２０行目から第５頁３行目までの「本発明では、要するに、………小さく構成できるようになる。」を、下記のように訂正する。
『　本発明では、要するに、走査手段の反射鏡の姿勢を少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持して、発光素子からの光ビームを少なくとも４方位に任意に反射させて走査できるようになっている。これにより、光ビームをそれの照射対象面の広域に対して例えば縦横方向など任意の形態でスキャニングできるようになる。
　また、本発明では、走査手段として常に同じ面で光ビームを反射させる反射鏡を用いているから、従来一般的なビームスキャニング装置であるポリゴンミラーなどに比べて遥かに小さく簡単な構成となるとともに、加工性でも遥かに容易となる。
　
さらに、本発明の
　▲４▼訂正事項ｄ
　平成１０年４月１０日提出の手続補正書よって補正した明細書第１５頁の下より６行目から第１６頁第１９行目に、「本発明のビームスキャニング装置では、………貢献できるようになる。」とあるのを、下記のように訂正する。
　『本発明のビームスキャニング装置では、走査手段の反射鏡の姿勢を少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持して、発光素子からの光ビームを少なくとも４方位に任意に反射させて走査することができる。これにより、光ビームをそれの照射対象面の広域に対して例えば縦横方向など任意の形態でスキャニングできるようになるなど、光走査の自由度を大幅に拡大することができて、多様な用途の使用が可能になる。
　また、本発明のビームスキャニング装置は、走査手段としての反射鏡が常に同じ面で光ビームを反射させるものであるから、従来一般的なビームスキャニング装置であるポリゴンミラーなどに比べて遥かに小さく簡単な構成であるとともに、加工性でも遥かに容易であるので、大幅な小型化ならびに低コスト化が可能である。
　
さらに、本発明の
　このように、本発明のビームスキャニング装置を、光走査が必要な情報機器に対して用いれば、情報機器の構成簡素化ならびに低コスト化に貢献できるようになる。』
（５４）【発明の名称】
ビームスキャニング装置
（５７）【特許請求の範囲】
（
１
　前記走査手段が、基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、　前記傾動誘発手段が、前記基体および反射鏡の各対向面に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からな
り、
　
前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有する、
ことを特徴とするビームスキャニング装置。
（
２
　前記走査手段が、矩形平板状の基体と、この基体に対し平行に離れて配設されかつ姿勢が少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持される反射鏡と、この反射鏡の姿勢を任意に傾動させて光ビームの反射方向を可変する傾動誘発手段とを含み、
　前記反射鏡が、矩形平板状の鏡体と、この鏡体の外周を囲む矩形環状のミラーベースと、ミラーベースの４つの内隅部と鏡体の四隅とを一体に連結するトーションバーとからなり、
　前記傾動誘発手段が、前記基体および鏡体の各対向面の各四隅に振り分けて形成されかつ電圧が印加されることでクーロン力を発生する静電電極からなる、ことを特徴とするビームスキャニング装置。
【発明の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
　本発明は、レーザプリンタ、バーコードリーダなどに用いられるビームスキャニング装置に関する。
＜従来の技術＞
　従来のビームスキャニング装置を第６図に示す。この装置は、光源から出射された光ビームｌ３をポリゴンミラー（多面鏡）２１に入射し、モータ２２でポリゴンミラー２１を回転させることによって、ポリゴンミラー２１で反射される光ビームｌ４の方向を変化させ、光ビームｌ４のスキャンを行うものである。２３，２４はシリンドリカルレンズ、２５は集光走査レンズである。
＜発明が解決しようとする課題＞
　上記構成の従来例のビームスキャニング装置には、次のような問題点がある。
　（ａ）　個々の部品が比較的大きく、ことに、ポリゴンミラー２１とモータ２２の存在のために全体が大型化していて、小型化するにも一定の限界がある。
　（ｂ）　ポリゴンミラー２１は、複数の反射面２１ａが順次切り換えられるものであるが、どの反射面２１ａでも全く同じように光ビームｌ４を反射させなければならない関係上、すべての反射面２１ａが厳密に等価的に加工されていなければならず、そのようなポリゴンミラー２１の製作または入手に要する費用が高くつく。
　（ｃ）　ポリゴンミラー２１の１つの反射面２１ａについての中心角によって光ビームｌ４のスキャン角度がある角度に固定的に決まってしまい、スキャン角度を制御することができない。
　（ｄ）　ポリゴンミラー２１が常時同一方向に回転するから、光ビームｌ４のスキャン方向が右→左あるいは左→右のいずれか一方向に限定されている。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、充分に小型でロウコストであり、スキャン角度の制御が可能であるとともに、スキャン方向を往復二方向とできるビームスキャニング装置を提供することを目的とする。
＜課題を解決するための手段＞
　本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
　本発明請求項
１
り、前記各対の静電電極は、反射鏡より小さく、かつ、他の電極対に対してクーロン力を発生させない大きさを有する
　本発明請求項
２
＜作用＞
　本発明の上記構成による作用は、次のとおりである。
　本発明では、要するに、走査手段の反射鏡の姿勢を少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持して、発光素子からの光ビームを少なくとも４方位に任意に反射させて走査できるようになっている。これにより、光ビームをそれの照射対象面の広域に対して例えば縦横方向など任意の形態でスキャニングできるようになる。
　また、本発明では、走査手段として常に同じ面で光ビームを反射させる反射鏡を用いているから、従来一般的なビームスキャニング装置であるポリゴンミラーなどに比べて遥かに小さく簡単な構成となるとともに、加工性でも遥かに容易となる。
　
さらに、本発明の
＜実施例＞
　以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
　第１図に示すように、絶縁性のステム１に３つの台座１ａ，１ｂ，１ｃが一体的に形成され、台座１ａに発光素子２が、台座１ｂにレンズ３が、台座１ｃに反射鏡４がそれぞれ実装されている。発光素子２としては半導体レーザや発光ダイオードなどが使用される。レンズ３としては発光素子２からの光ビームｌ１を平行化または集束するグレーティングレンズ（フレネルレンズ）や非球面レンズなどが使用される。レンズ３の光軸は発光素子２の光軸と一致しており、レンズ３の焦点は発光素子２の出射点に位置している。
　反射鏡４を実装している台座１ｃの実装面は、発光素子２，レンズ３の光軸に対して４５°傾いた傾斜面となっている。反射鏡４の構造を第２図に基づいて説明する。この第２図は、分解した状態を上下逆さまにして眺めたものである。
　台座１ｃにおける前記の傾斜面に絶縁性（誘電性）の電極ベース５が形成され、この電極ベース５上の中央寄りの箇所に４つの静電電極６ａ〜６ｄが四角形の４つの角部に配置された状態で蒸着等によって形成されている。電極ベース５に対向して矩形環状のミラーべース７が配置され、このミラーべース７の４つの内隅部から中心側に向けて延出された４本のトーションバー８の各内端に四角形の平板状の鏡体９の四隅が一体的に連結されている。これらミラーべース７，トーションバー８および鏡体９は、シリコンウエハの加工によって作られている。鏡体９の表面にはＡｇ等の蒸着によって鏡面が形成され、裏面には電極ベース５上の静電電極６ａ〜６ｄのそれぞれに対向して４つの静電電極１０ａ〜１０ｄが蒸着等によって形成されている。
　電極ベース５の四隅から立設されたピン１１を介して電極ベース５とミラーべース７とが固定され、電圧無印加の状態で鏡体９が電極ベース５と平行になっている。
　このように、ステム１上に発光素子２，レンズ３および反射鏡４を実装しているから、全体が充分に小型かつ軽量となっている。
　トーションバー８は、軸を中心とする放射方向に弾性変形可能であるとともに、捻じりに対しても弾性変形可能である。したがって、相対向する静電電極６ａ〜６ｄと静電電極１０ａ〜１０ｄのうちいずれかの対向電極間に電圧を印加すると、その電圧が印加された対向電極どうしが互いに引き寄せられ、トーションバー８を弾性変形させながら鏡体９が傾く。電圧の印加の仕方によって、鏡体９は二次元方向であらゆる方向に傾斜可能である。
　次に、静電電極６ａ〜６ｄ，１０ａ〜１０ｄに係る電気的構成を第３図に基づいて説明する。
　鏡体９に形成された静電電極１０ａ〜１０ｄは共通にアースされており、電極ベース５に形成された静電電極６ａ〜６ｄは、それぞれ別個のアナログスイッチ１２ａ〜１２ｄを介して、直流電源１３の出力電圧を制御する電圧制御部１４に接続され、個々のアナログスイッチ１２ａ〜１２ｄは、スイッチング制御部１５によってＯＮ／ＯＦＦ制御されるように構成されている。そして、電圧制御部１４およびスイッチング制御部１５は、スキャン方向とスキャン角度とを入力設定するスキャン条件設定部１６によって制御されるように構成されている。
　次に、この実施例のビームスキャニング装置の動作を説明する。
　第４図に示すように、一対の静電電極１０ａ，１０ｂを結ぶ方向で鏡体９が傾斜するスキャン方向をα、一対の静電電極１０ａ，１０ｃを結ぶ方向で鏡体９が傾斜するスキャン方向をβとする。スキャン方向をα，βのいずれにするか、また、スキャン角度θをどの程度にするかはスキャン条件設定部１６において入力設定される。
（ｉ）スキャン方向αでのスキャニング動作
　スキャン条件設定部１６において、スキャン方向αとスキャン角度θとを設定する。電圧制御部１４はスキャン角度θに応じた電圧を出力する。スイッチング制御部１５は、スキャン方向αに対応して、一対のアナログスイッチ１２ａ，１２ｃと、一対のアナログスイッチ１２ｂ，１２ｄとを交互にＯＮ／ＯＦＦ制御する。
　発光素子２に電流を供給して発光素子２から光ビームｌ１を出射させると、発光素子２の出射点にレンズ３の焦点が位置しているので、レンズ３を透過した光ビームｌ１は平行光となる。
　スイッチング制御部１５は、まず、アナログスイッチ１２ａ，１２ｃをＯＮ、アナログスイッチ１２ｂ，１２ｄをＯＦＦの状態とする。スキャン角度θに応じて調整された電圧が電圧制御部１４からアナログスイッチ１２ａ，１２ｃを介して静電電極６ａ，６ｃに供給され、対向する静電電極６ａ，１０ａ間および静電電極６ｃ，１０ｃ間に静電誘導によるクーロン力が働き、４つのトーションバー８の弾性に抗して静電電極１０ａ，１０ｃが第５図（ａ）のように静電電極６ａ，６ｃに引き寄せられ、鏡体９がスキャン方向αにおいて正方向にθ／４だけ傾斜する。スキャン方向βには傾斜しない。鏡体９のスキャン方向αでの傾斜に伴って、発光素子２からレンズ３を介して鏡体９に入射した光ビームｌ１は、その反射方向を正方向にシフトする。反射された光ビームｌ２は、基準の方向からスキャン角度θの２分の１のθ／２だけシフトする。
　次いで、スイッチング制御部１５は、アナログスイッチ１２ａ，１２ｃをＯＦＦにし、アナログスイッチ１２ｂ，１２ｄをＯＮにする。これによって、静電電極６ａ，１０ａ間および静電電極６ｃ，１０ｃ間に働いていたクーロン力が解除されるとともに、トーションバー８の弾性復元力が働き、しかも、アナログスイッチ１２ｂ，１２ｄを介して電圧制御部１４から静電電極６ｂ，６ｄに電圧が供給され、対向する静電電極６ｂ，１０ｂ間および静電電極６ｄ，１０ｄ問にクーロン力が働くため、静電電極１０ｂ，１０ｄが静電電極６ｂ，６ｄに引き寄せられる。その結果、鏡体９がスキャン方向αにおいて第５図（ａ）とは逆方向で負方向にθ／４だけ傾斜し、反射された光ビームｌ２が負方向にθ／２だけシフトされる。
　以上のアナログスイッチ１２ａ，１２ｃとアナログスイッチ１２ｂ，１２ｄとの交互のＯＮ／ＯＦＦにより、鏡体９がスキャン方向αに沿って傾斜角度を連続的に変化させながら正方向と負方向とにシーソー状に揺動する。したがって、鏡体９で反射される光ビームｌ２は、スキャン方向αに沿ってスキャン角度を連続的に変化させながら正方向と負方向との間で往復シフトする。この場合の光ビームｌ２のスキャンは、ポリゴンミラーの一方向スキャンとは違って往復スキャンとなり、その往復のスキャン角度は、正方向でのθ／２と負方向でのθ／２とを合わせたθとなる。
（ｉｉ）スキャン方向βでのスキャニング動作
　スキャン条件設定部１６において、スキャン角度θとともにスキャン方向βを設定する。スイッチング制御部１５は、スキャン方向βに対応して、一対のアナログスイッチ１２ａ，１２ｂと、一対のアナログスイッチ１２ｃ，１２ｄとを交互にＯＮ／ＯＦＦ制御する。その結果、対向する静電電極６ａ，１０ａ間および静電電極６ｂ，１０ｂ間にクーロン力が働く状態と、静電電極６ｃ，１０ｃ間および静電電極６ｄ，１０ｄ間にクーロン力が働く状態とが交互に切り換えられ、鏡体９がスキャン方向βに沿って傾斜角度を連続的に変化させながら正方向と負方向とにシーソー状に傾動する。第５図（ｂ）は、アナログスイッチ１２ｃ，１２ｄがＯＮされ、対向する静電電極６ｃ，１０ｃ間と静電電極６ｄ，１０ｄ間とにクーロン力が働いた状態を示し、鏡体９はスキャン方向βで負方向にθ／４だけ傾斜し、光ビームｌ２は、基準方向から負方向にθ／２だけシフトしている。電圧が逆になったときは、光ビームｌ２は正方向にθ／２だけ傾斜する。
　このように、鏡体９で反射される光ビームｌ２は、スキャン方向βに沿ってスキャン角度を連続的に変化させながら正方向と負方向との間で往復シフトし、その往復のスキャン角度は、正方向のθ／２と負方向のθ／２とを合わせたθとなる。
　なお、レンズ３の焦点が発光素子２の出射点に位置しているので、鏡体９の傾動方向および傾動角度の変化にかかわらず、光ビームｌ２は平行光の状態を保つ。
　以上のように、本実施例によれば、光ビームｌ２をスキャン方向αでも、これと直交するスキャン方向βでもシフトでき、二次元のスキャニングが可能となっている。なお、スキャン条件設定部１６とスイッチング制御部１５および電圧制御部１４のプログラムを工夫することにより、鏡体９をα，βの両方向で同時に傾動させることが可能であり、光ビームｌ２を二次元方向においてα方向とβ方向とを合成した任意の方向にスキャンすることができる。このようなビームスキャニング装置は、例えばレーザプリンタやバーコードリーダなどの情報機器に用いられる。この場合、光ビームのスキャン方向を４方位あるいは全方位で任意に調整できるから、光ビームの照射対象部位に対するスキャン形態が多様化できるようになる。
　参考までに、対向する一対の静電電極６ａ，１０ａおよび静電電極６ｃ，１０ｄ間に電圧を印加したときの鏡体９の最大のスキャン角度θを計算しておく。
　各対向電極の面積の和をＳ、電極間距離をｄ、印加電圧をＶ、空気の誘電率をε０とすると、両対向電極の合成静電容量Ｃは、
である。両対向電極に蓄積される静電エネルギーＷは、
である。このエネルギーＷとクーロン力Ｆとの関係は、
　Ｗ＝Ｆ・ｄ　…………………………………▲３▼
であるから、▲１▼〜▲３▼式からクーロン力Ｆを求めると、
となる。一方、鏡体９に働く曲げモーメントをＭ、トーションバー８全体の曲げ剛性値をＧ、曲げ中心とクーロン力Ｆの作用点との距離をしとすると、
　Ｍ＝Ｇ・θ＝Ｆ・Ｌ　………………………▲５▼
　したがって、鏡体９の傾動角度φ（＝θ／４）は、▲４▼，▲５▼式から、
となり、スキャン角度θは、
となる。すなわち、スキャン角度θは、印加電圧Ｖの二乗に比例する。
　なお、対向する静電電極の数は４組に限定されるものではなく、任意の数で実施できる。トーションバー８の弾性復元力を考慮に入れると、対向電極は１組であってもよい。
＜発明の効果＞
　本発明のビームスキャニング装置では、走査手段の反射鏡の姿勢を少なくとも直交２軸周りにそれぞれ傾動可能に支持して、発光素子からの光ビームを少なくとも４方位に任意に反射させて走査することができる。これにより、光ビームをそれの照射対象面の広域に対して例えば縦横方向など任意の形態でスキャニングできるようになるなど、光走査の自由度を大幅に拡大することができて、多様な用途の使用が可能になる。
　また、本発明のビームスキャニング装置は、走査手段としての反射鏡が常に同じ面で光ビームを反射させるものであるから、従来一般的なビームスキャニング装置であるポリゴンミラーなどに比べて遥かに小さく簡単な構成であるとともに、加工性でも遥かに容易であるので、大幅な小型化ならびに低コスト化が可能である。
　
さらに、本発明の
　このように、本発明のビームスキャニング装置を、光走査が必要な情報機器に対して用いれば、情報機器の構成簡素化ならびに低コスト化に貢献できるようになる。
【図面の簡単な説明】
　第１図ないし第５図は本発明の一実施例に係り、第１図はビームスキャニング装置を示す正面図、第２図は反射鏡を分解してそれを上下逆さまにして眺めた斜視図、第３図は電気的構成を示す回路図、第４図は二次元スキャン方向の説明図、第５図は動作説明図である。第６図は従来例の構成図である。
　１…ステム、２…発光素子、３…レンズ、４…反射鏡、５…電極ベース、６ａ〜６ｄ…静電電極、７…ミラーベース、８…トーションバー、９…鏡体、１０ａ〜１０ｄ…静電電極、１２ａ〜１２ｄ…アナログスイッチ、１３…直流電源、１４…電圧制御部、１５…スイッチング制御部、１６…スキャン条件設定部