(57)【要約】      （修正有）【課題】高強度と高付着力を具備する貼付繊維層を有する積層研磨パッドを提供する。【解決手段】貼付繊維層を有する積層研磨パッドは、研磨網層１０と貼付繊維層２０とからなり、前記研磨網層１０が、外表面１１と、内表面１２と、前記外表面１１と前記内表面１２を連通する通路１３を具備する金属網であり、前記外表面１１に複数の耐研磨用粒子と固結部とからなる耐研磨メッキ層が被覆され、前記耐研磨用粒子が少なくとも炭化ケイ素及び酸化ジルコニウムを含んでおり、前記貼付繊維層２０が、複数の不規則排列を有する繊維糸により構成されると共に貼着面を備え、前記繊維糸間に所定空隙が配設され、前記所定空隙に針状物を挿入させると共に、前記貼着面を介して前記研磨網層の表面に貼付されることを特徴とするものである。【選択図】図１
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【実用新案登録請求の範囲】
【請求項１】
研磨網層と貼付繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドであって、
前記研磨網層が、外表面と、内表面と、前記外表面と前記内表面を連通する通路を具備する金属網であり、前記外表面に複数の耐研磨用粒子と固結部とからなる耐研磨メッキ層が被覆され、前記耐研磨用粒子が少なくとも炭化ケイ素及び酸化ジルコニウムを含んでおり、
前記貼付繊維層が、複数の不規則排列を有する繊維糸により構成されると共に貼着面を備え、前記繊維糸間に所定空隙が配設され、前記所定空隙に針状物を挿入させると共に、前記貼着面を介して前記研磨網層に貼付されることを特徴とする、貼付繊維層を有する積層研磨パッド。
【請求項２】
前記貼付繊維層が、複数の通孔を具備することを特徴とする、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッド。
【請求項３】
前記研磨網層と前記貼付繊維層が結合して円板状のシート片を形成することを特徴とする、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッド。
【請求項４】
前記研磨網層と前記貼付繊維層が結合してシート状のエンドレスベルトを形成することを特徴とする、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッド。
【考案の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本考案は、積層研磨パッドに係り、特に高強度を有する金属研磨網層と、この金属研磨網層に貼付され、研磨くずを排出できると共に、高付着力を有する繊維糸により構成された貼付繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の研磨パッドとしては、例えば、布紙の表面上に研磨用砂粒子を塗布して形成した砂布紙又はサンドペーパー（研磨布紙）がある。この砂布紙を研磨輪上に固着した後に、研磨輪を起動し、前記砂粒子からなる研磨粒子を介して所定の被研磨物に対して研磨作業を行うようなっている。
【０００３】
しかし、上記従来の研磨布紙は、以下のような欠点がある。
（１）布紙は構造強度が極めて低い。従来の研磨布紙は布紙をベース又は基材とし、研磨作業時の摩擦力が大きいため、布紙の破損を引き起こしやすく、研磨パッドとしての構造強度は極めて低い。
【０００４】
（２）布紙は付着力が低い。従来の研磨布紙は接着剤で研磨輪上に固着されており、接着剤の接着力が十分でも、布紙の強度が弱いため、研磨過程中において脱落が起こりやすく、布紙の付着力も低い。
【考案の開示】
【考案が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本考案の主な目的は、高強度を有する金属研磨網層と、この金属研磨網層に貼付される繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドを提供することにある。
【０００６】
また、本考案のもう一つの目的は、高付着力を有する繊維糸により構成された貼付繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドを提供することにある。
【０００７】
さらに、本考案のもう一つの目的は、研磨くずを排出できる繊維糸により構成された貼付繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本考案の請求項１は、研磨網層と貼付繊維層とからなる貼付繊維層を有する積層研磨パッドであって、前記研磨網層が、外表面と、内表面と、前記外表面と前記内表面を連通する通路を具備する金属網であり、前記外表面に複数の耐研磨用粒子と固結部とからなる耐研磨メッキ層が被覆され、前記耐研磨用粒子が少なくとも炭化ケイ素及び酸化ジルコニウムを含んでおり、前記貼付繊維層が、複数の不規則排列を有する繊維糸により構成されると共に貼着面を備え、前記繊維糸間に所定空隙が配設され、前記所定空隙に針状物を挿入させると共に、前記貼着面を介して前記研磨網層に貼付されることを特徴とするものである。
【０００９】
本考案の請求項２は、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッドにおいて、前記貼付繊維層が、複数の通孔を具備する。
【００１０】
本考案の請求項３は、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッドにおいて、前記研磨網層と前記貼付繊維層が結合して円板状のシート片を形成する。
【００１１】
本考案の請求項４は、請求項１に記載の貼付繊維層を有する積層研磨パッドにおいて、前記研磨網層と前記貼付繊維層が結合してシート状のエンドレスベルトを形成する。
【考案の効果】
【００１２】
本考案の貼付繊維層を有する積層研磨パッドによれば、次のような効果がある。
（１）研磨網層は高強度を有する金属網である。これにより、円板状のシート片、又はシート状のエンドレスベルトを形成し、研磨・艶出し作業に使用された場合、相当の構造強度を具備し、研磨・艶出し作業の効率を倍増することができる。
【００１３】
（２）貼付繊維層の繊維糸は付着力を高めるものである。前記貼付繊維層は、複数の不規則排列を有する繊維糸により構成され、前記繊維糸間に所定空隙が配設され、前記所定空隙に針状物を挿入させることができる。そして、研磨機の研磨輪（台座）の表面に配設された針状物を前記所定空隙に挿入させることにより、前記研磨網層と前記研磨輪の間の付着力を高めることができる。
【００１４】
（３）貼付繊維層は研磨くずを排出できる通孔を具備するものである。このため、研磨作業中に発生される研磨くずは前記通孔を介して排出される。また、前記通孔を介して、前記研磨輪の外縁側より被研磨物へ研磨液を注入することにより、研磨効果を高めることができる。さらに、研磨過程において、噴射流を被研磨物に同期的に供給しつつ、ジェット加工もできる。
【考案を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して本考案の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】
図１乃至図３を参照されたい。本考案の『貼付繊維層を有する積層研磨パッド』は研磨網層１０と貼付繊維層２０を含む。
前記研磨網層１０は、外表面１１と、内表面１２と、前記外表面１１と前記内表面１２を連通する通路１３を具備する金属網構造であり、前記外表面１１には耐研磨メッキ層１４（図７と図９を参照されたい）が被覆されている。前記耐研磨メッキ層１４は、複数の耐研磨用粒子１４１と固結部１４２とにより構成される。前記耐研磨用粒子１４１が少なくとも炭化ケイ素（Silicon  Carbide， SiC）及び酸化ジルコニウム（Zirconia，ZrO2）を含んでいる。
【００１７】
前記貼付繊維層２０は、複数の不規則排列を有する繊維糸２１により構成され、前記各繊維糸２１間には所定空隙２２が配設されている。これにより、前記前記所定空隙２２に少なくとも針状物９１（図６と図８を参照されたい）を挿入させる。また、前記貼付繊維層２０は、貼着面２３を介して前記研磨網層１０の内表面１２に貼付される。
【００１８】
実際に、前記貼付繊維層２０は、複数の通孔２４を具備する。前記通孔４を介して、研磨作業中において発生される研磨くずが、前記研磨網層１０から排出されることにより、研磨網層１０の間隙を塞ぐことを防ぐ。これにより、研磨作業の効率を向上させると共に、使用寿命を延ばすことができる。
【実施例１】
【００１９】
図２と図３に示すように、前記研磨網層１０と前記貼付繊維層２０は結合して円板状のシート片を形成してもよい。この実施例は、図４乃至図６に示すように、前記円板状のシート片を手持ち式仕上げ研磨機の研磨輪９０（台座）上に直接設置した構成である。前記研磨輪９０の表面には、複数の微細な針状物９１を配設している。前記複数の微細な針状物９１は、前記貼付繊維層２０の複数の繊維糸２１における複数の空隙又は隙間に挿入することができる（図７と図８を参照されたい）。これにより、貼り付けによる固定作用を達成することができる。
【実施例２】
【００２０】
図１０に示すように、前記研磨網層１０と前記貼付繊維層２０は結合してシート状のエンドレスベルトを形成してもよい。この実施例は、前記シート状のエンドレスベルトを砥石研磨機の起動ホイールに被覆し得るよう套設して構成したコンベヤ式研磨装置である。これにより、研磨作業の効能を向上することができる。
【００２１】
なお、上記実施例は、本考案の好適な実施の形態を示したものにすぎず、これらは決して本考案を限定するものではない。本考案の主旨と領域を脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本考案の実用新案登録請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本考案の貼付繊維層を有する積層研磨パッドの分解斜視図
【図２】本考案の貼付繊維層を有する積層研磨パッドの一部（裏面）の説明図
【図３】本考案の貼付繊維層を有する積層研磨パッドの一部（表面）の説明図
【図４】本考案の実施例１の組立前の説明図
【図５】本考案の実施例１の組立後の説明図
【図６】図４の一部構造の拡大図
【図７】図５の一部構造の拡大図
【図８】図７の一部構造の拡大図
【図９】本考案に係る研磨網層の一部構造の拡大図
【図１０】本考案の実施例２（コンベヤ式研磨装置）の説明図
【符号の説明】
【００２３】
１０    研磨網層
１１    外表面
１２    内表面
１３    通路
１４    耐研磨メッキ層
１４１  耐研磨用粒子
１４２  固結部
２０    貼付繊維層
２１    繊維糸
２２    空隙又は隙間
２３    貼着面
２４    通孔
９０    研磨輪
９１    針状物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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