(57)【要約】  本発明は、電圧源と可変キャパシタンスセンサと前記センサによって供給される情報の処理回路とを具備する、可変キャパシタンス測定システムに対する試験方法に関する。前記方法は、可変キャパシタンスセンサと置換して電気制御された電子シミュレーション装置を接続するステップと、前記センサの電子物理的な応答をモデル化するステップと、前記システムを試験するステップと、を具備することを特徴とする。
2008506100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定電圧源と、可変キャパシタンスセンサ（Ｃ１）と、前記センサによって出力される情報を処理する回路と、を具備した可変キャパシタンス測定システムを試験する方法であって、
可変キャパシタンスセンサを置換して電気制御可能な電子エミュレーション装置を接続するステップと、
前記センサの電子物理的な応答をモデル化するステップと、
前記システムを試験するステップと、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記接続するステップは、
固定キャパシタ（Ｃ２）を、前記電圧源と前記情報処理回路との間に接続するステップと、
前記キャパシタに印加する電圧を変化させることにより前記センサのキャパシタンスの変化をエミュレートする電圧源として可変電圧源を接続するステップと、
を具備することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記固定キャパシタ（Ｃ２）の値は、休止中の前記センサのキャパシタンス（Ｃ１）と略等しいことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可変キャパシタンス測定システムの試験方法に関する。
【０００２】
本発明の技術分野は、キャパシティブセンサ(capacitive sensor)と前記センサによって出力された情報を処理する回路とを具備するマイクロシステムである。
【背景技術】
【０００３】
この種のキャパシティブセンサを有するマイクロシステムは、公知技術においては部分的な試験がなされるのみである。なぜならば、それらの動作は十分に高精度でシミュレート（simulate）することができないからである。それらの試験方法においては次のようなことから考慮されていない。
第１に、純粋な電気試験が、動作チェックのための前記センサを考慮することなく実行される。
そしてその後、組立体、換言すれば、前記センサによって出力された情報を処理する回路と結合した前記センサ部分が試験される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の方法の欠点は、組立体の試験が、第１に前記センサの電気機械特性について、そして第２に前記測定された信号についての正確な知識が足りないために引き起こされるエラーによって歪められるということである。
【０００５】
本発明の目的は、上記のようなことが考慮されていないことを改善する試験方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、固定電圧源と可変キャパシタンスセンサ(variable capacitance sensor)と前記センサによって出力される情報を処理する回路とを具備した可変キャパシタンス測定システムを試験する方法に関するものであって、
可変キャパシタンスセンサを置換し、かつ測定可能な値を前記処理回路に提供する電気制御可能な電子エミュレーション装置を接続するステップと、
前記センサの電子物理的な応答をモデル化するステップと、
前記システムを試験するステップと、
を具備することを特徴とする。
【０００７】
好ましくは、本発明の方法は、前記接続ステップにおいて、
固定キャパシタ(fixed capacitor)を、前記電圧源と前記処理回路との間に接続するステップと、
前記キャパシタに印加する電圧を変化させることにより前記センサのキャパシタンスの変化をエミュレートする電圧源として可変電圧源を接続するステップと、
を具備する。
【０００８】
好ましくは、固定キャパシタの値は、休止中の前記センサのキャパシタンスにほぼ等しい。
【０００９】
本発明による方法は、前記センサ（正確な電気機械特性又は均一な利便性）と測定される現象（振幅と周波数）とに関連した不確かさを改善し、かつ前記マイクロシステムのセッティングや製造後の構成要素の均一で純粋な電気的ソートのような機能検証段階の間に前記現象を生成する装置の較正を改善する。
【００１０】
例えば、従来技術（例えば振動ブリッジ(vibrating bridge））による試験装置の精度は１２ビット（２．５×１０−２％）を上回らないのに対して、本発明による方法は１６ビット（〜１．５×１０−３％）より良い精度でキャパシティブ加速度計の場合に適用できる。１６ビット加速度計の性能（完全なスケールのキャパシタンスの変化は１ｐＦ）の実証は、１５アトファラッド(atoFarad）（１５×１０−１８ファラッド）オーダーの精度でキャパシタンスの変化を創出する。しかし、１２ビットの精度を有する振動ブリッジは、２５０アトファラッドオーダーの精度を提供するのみである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明による方法は、可変的なキャパシタンスを測定するマイクロシステムのための試験方法である。従来は、この種のマイクロシステムは、固定電圧源と可変キャパシタンスセンサと前記センサによって出力された情報を処理するための回路を具備していた。
【００１２】
図１は、キャパシティブセンサ１０と、固定励磁電流ＶＣと物理加速度ＡＰを有するノーマル動作モードで前記センサのキャパシタンスの値を計測するために用いる処理回路１１とを具備する加速度測定マイクロシステムを、例示する。
【００１３】
本発明による方法において、固定キャパシタは電圧源と処理回路との間で接続され、前記電圧源は可変電圧源である。
【００１４】
図２は、テストモードにおいて、図１で例示されたマイクロシステムの変型を例示する。キャパシティブセンサ１０は、前記回路の内部又は外部に組み込まれる固定キャパシタ１２に置き換えられる。固定励磁電圧ＶＣと物理加速度ＡＰは、可変励磁電圧ＶＶに置き換えられる。前記励磁電圧ＶＶは、テストモードで処理回路１１に与えられた電荷が、所定の固定励磁電圧ＶＣと物理加速度ＡＰ用のノーマルモードでの電荷と等しくなるように算出される。
【００１５】
本発明による方法は、それが利用不能なため又はその限界により動作不能であるために用いることができないセンサをシミュレーションすることができる。
【００１６】
電圧又は電流の変化をシミュレーションすることは容易であるが、キャパシタンスの変化をシミュレーションすることは困難である。その理由は、特に、それがその初期状態においてテストされなければならないので、前記処理回路は変更されてはならないためである。このように、キャパシティブセンサ１０は、キャパシティブな応答を維持するために、休止中のキャパシティブセンサの値とほぼ等しい値を有する固定キャパシタ１２によって置換される。そして、キャパシタンスの変更は、本発明による装置が純粋にキャパシティブな応答を生ずることを確実にするため、このキャパシタに印加した電圧変化によってその後エミュレートされる。
【００１７】
これらの特徴の結果として、前記精度は、キャパシタンス領域から電圧領域へ移行され、非常に高いレベルを問題なく達成できる。
【００１８】
さらに一般的にいえば、本発明の目的は、より単純に得やすくかつ益々正確な電圧又は電流変化上の高感度要素（キャパシタ、抵抗、インダクタンス）の物理パラメータにおける変化を遅延させることである。
【００１９】
図２で例示される実施形態において、処理回路１１は、固定電荷電圧での電荷の測定を通してセンサのキャパシタンス値を計測するために用いることができる。ついで、加速度の変化に関連したキャパシタンスの変化は、電荷を変化させる。センサは固定キャパシタンスからなるエミュレーション装置と置換することができる。この場合において、電荷電圧は、最初の加速度変化に対応する電荷Ｑ（Ｑ＝ＣＶ）の変化を生成するように変化する。電荷電圧とで構成される。エミュレーション装置は、その後、適切な電圧制御によって、所定の加速度が印加された現実のセンサとして処理回路１１から認識されるのと同じ効果を生じうる。
【００２０】
図３は、本発明による方法の例示的な一実施形態を示す。２つの動作モード（ノーマルモードとテストモード）は、スイッチ２０，２１，２４−２７を使用して選択される。Ｖ１は固定電圧でありＶ２は可変電圧である。演算増幅器３０は出力側に配置され、キャパシタＣ１はそのマイナス入力と出力の間に接続される。スイッチ２１，２４，２６を制御するテスト信号が有効なときにノーマルモードが起動し、かつスイッチ２０，２５，２７を制御するテスト信号が有効なときにテストモードが起動する。Ｃ１は、図１においてキャパシティブセンサ１０である。Ｃ２は、図２において固定キャパシタンス１２である。演算増幅器からの出力は、スイッチ２０，２１，２４−２７の状態の関数として、Ｃ１又はＣ２により格納される電荷の（Ｃｉ上の集積による）イメージである。
【００２１】
ノーマルモード（換言すると、テストモードではない）の処理回路の動作は、図４において例示される。センサのキャパシタンスＣ１は可変的であり、かつ定電圧Ｖ１がそれに印加されるときにそれに含まれる電荷を集積することにより評価される。２つの連続した重複しないクロックの段階Ｐｈｉ１とｐｈｉ２を考慮する。段階ｐｈｉ１で有効とされたスイッチ２２，２９が閉じるときに、キャパシタＣ１は定電圧Ｖ１で荷電される。その後、段階ｐｈｉ２で有効とされたスイッチ２３，２８が閉じるときに、Ｃ１に含まれる電荷は集積キャパシタＣｉへ転送され、ΔＶｏｕｔ=Ｃ１／Ｃｉ．Ｖｃ．に等しい出力電圧ＶＳの変化を生じる。
【００２２】
図５おいて例示されるテストモードの動作の間、キャパシタＣ２の値は、ノーマルモードでの回路の応答の再現を最適化するために、休止状態（加速度０）のキャパシタＣ１の値と同等に選択される。Ｖ２は、その後センサキャパシタンスΔＣ１ｍａｘ（及び特に対応する電荷）における変化をエミュレートするために以下の通り選択される：
【００２３】
Ｖ２ＤＣ＝Ｖ１ＤＣ
及び
Ｃ２．ΔＶ２ｍａｘ＝ΔＣ１ｍａｘ．Ｖ１
【００２４】
図６に示される例示的な一実施形態において、キャパシティブセンサは２つのキャパシタ（モジュール３５）を具備し、その各々は自分自身を制御する回路と試験用回路を有する。これらの２つのキャパシタは、加速度に依存して反対方向に変化する。処理回路は、固定電荷電圧で電荷を測定することによって、センサのキャパシタンスの違いを評価する。加速度の変化に関連したキャパシタンスにおける変化は、その後電荷の変化を引き起こす。電圧３６は、固定された測定電圧である。全ての＜＜ｐｈｉ＞＞値は、異なる瞬間でスイッチに印加されるコマンドである。
【００２５】
図７は、このキャパシティブセンサ（図６のモジュール符号３５を置き換える）の電気エミュレーション装置についての例示的な一実施形態を示す。集積されたキャパシタ３７は固定され、かつ電荷電圧３８は可変である。＜＜ｔｅｓｔ＞＞と＜＜ｔｅｓｔｂ＞＞信号は、処理回路へのセンサの接続（信号＜＜ｔｏｐａｄｃｃｐ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｃｐ＞＞に接続、＜＜ｔｏｐａｄｃｃｎ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｃｎ＞＞に接続、＜＜ｔｏｐａｄｃｏｍ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｏｍ＞＞に接続）と、これと同じ回路からの電気エミュレーション装置の非接続、又は、その逆、即ちセンサの非接続と電気エミュレーション装置の接続を制御する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】ノーマルモードにおけるキャパシティブ測定システムのブロック図を示す。
【図２】本発明による方法を用いたテストモードにおけるこの種の測定マイクロシステムのブロック図を示す。
【図３】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図４】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図５】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図６】ノーマルモードにおける本発明の試験方法の他の例示的な一実施形態を示す。
【図７】キャパシティブセンサのエミュレーション装置と図示しない処理回路との例示的な一実施形態を示す。
【符号の説明】
【００２７】
Ｖ１  固定電圧
Ｖ２  可変電圧
Ｃ１  可変キャパシタンスセンサ
Ｃ２  固定キャパシタ
Ｃｉ  集積キャパシタ
ＶＳ  出力電圧
２０−２９  スイッチ
３０  演算増幅器
【図１】
2008506100.tif 000003
【図２】
2008506100.tif 000004
【図３】
2008506100.tif 000005
【図４】
2008506100.tif 000006
【図５】
2008506100.tif 000007
【図６】
2008506100.tif 000008
【図７】
2008506100.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成18年2月6日(2006.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定電圧源と、可変キャパシタンスセンサ（Ｃ１）と、前記センサによって出力される情報を処理する回路と、を具備した可変キャパシタンス測定システムを試験する方法であって、
可変キャパシタンスセンサを置換して電気制御可能な電子シミュレーション装置を接続するステップと、
前記センサの電子物理的な応答をモデル化するステップと、
前記システムを試験するステップと、
を具備することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記接続するステップは、
固定キャパシタ（Ｃ２）を、前記電圧源と前記情報処理回路との間に接続するステップと、
前記キャパシタに印加する電圧を変化させることにより前記センサのキャパシタンスの変化をシミュレートする電圧源として可変電圧源を接続するステップと、
を具備することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記固定キャパシタ（Ｃ２）の値は、休止中の前記センサのキャパシタンス（Ｃ１）と略等しいことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可変キャパシタンス測定システムの試験方法に関する。
【０００２】
本発明の技術分野は、キャパシティブセンサ(capacitive sensor)と前記センサによって出力された情報を処理する回路とを具備するマイクロシステムである。
【背景技術】
【０００３】
この種のキャパシティブセンサを有するマイクロシステムは、公知技術においては部分的な試験がなされるのみである。なぜならば、それらの動作は十分に高精度でシミュレート（simulate）することができないからである。それらの試験方法においては次のようなことから考慮されていない。
第１に、純粋な電気試験が、動作チェックのための前記センサを考慮することなく実行される。
そしてその後、組立体、換言すれば、前記センサによって出力された情報を処理する回路と結合した前記センサ部分が試験される。
公知技術による３つの文献は以下ように分析される。
特許文献１には、出力を評価し、かつテストモード及び測定モードを選択するために用いられる２つのスイッチを具備する静電容量センサを試験するための回路が記載されている。測定モードにおいて、２つの測定静電容量は中央電極から成り、かつ２つの測定電極のうち１つは容量ブリッジに接続される。テストモードでは、測定静電容量の１つは基準静電容量によって置換され、置換された測定静電容量は電圧源に接続される。
特許文献２には、圧電効果変換器ための信号処理回路に関する。このような変換器と処理回路の動作条件は、変換器又は回路を何も改良すること無しに予め決められた動作範囲外で測定されるように変換器の中にテスト信号を印加するための静電容量を用いて試験される。
特許文献３には、筐体と、印加された力に応答して動きを検出するための振動板と、振動板上の質量と、筐体に取り付けられかつ容量プレートと質量との間の電位差が質量の動きを発生するように配列された少なくとも１つの容量プレートと、質量と容量プレートとの間の電位差を印加する電極と、筐体に取り付けられかつ質量の動きを検出する振動板に取り付けられた圧電素子と、を具備する自己診断可能な加速度計装置とその動作方法が記載されている。
【特許文献１】米国特許第５，３５１，５１９号明細書
【特許文献２】英国特許出願公開第２，２３９，０９６号明細書
【特許文献３】米国特許第５，１０３，６６７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の方法の欠点は、組立体の試験が、第１に前記センサの電気機械特性について、そして第２に前記測定された信号についての正確な知識が足りないために引き起こされるエラーによって歪められるということである。
【０００５】
本発明の目的は、上記のようなことが考慮されていないことを改善する試験方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、固定電圧源と可変キャパシタンスセンサ(variable capacitance sensor)と前記センサによって出力される情報を処理する回路とを具備した可変キャパシタンス測定システムを試験する方法に関するものであって、
可変キャパシタンスセンサを置換し、かつ測定可能な値を前記処理回路に提供する電気制御可能な電子シミュレーション装置を接続するステップと、
前記センサの電子物理的な応答をモデル化するステップと、
前記システムを試験するステップと、
を具備することを特徴とする。
【０００７】
好ましくは、本発明の方法は、前記接続ステップにおいて、
固定キャパシタ(fixed capacitor)を、前記電圧源と前記処理回路との間に接続するステップと、
前記キャパシタに印加する電圧を変化させることにより前記センサのキャパシタンスの変化をシミュレートする電圧源として可変電圧源を接続するステップと、
を具備する。
【０００８】
好ましくは、固定キャパシタの値は、休止中の前記センサのキャパシタンスにほぼ等しい。
【０００９】
本発明による方法は、前記センサ（正確な電気機械特性又は均一な利便性）と測定される現象（振幅と周波数）とに関連した不確かさを改善し、かつ前記マイクロシステムのセッティングや製造後の構成要素の均一で純粋な電気的ソートのような機能検証段階の間に前記現象を生成する装置の較正を改善する。
【００１０】
例えば、従来技術（例えば振動ブリッジ(vibrating bridge））による試験装置の精度は１２ビット（２．５×１０−２％）を上回らないのに対して、本発明による方法は１６ビット（〜１．５×１０−３％）より良い精度でキャパシティブ加速度計の場合に適用できる。１６ビット加速度計の性能（完全なスケールのキャパシタンスの変化は１ｐＦ）の実証は、１５アトファラッド(atoFarad）（１５×１０−１８ファラッド）オーダーの精度でキャパシタンスの変化を創出する。しかし、１２ビットの精度を有する振動ブリッジは、２５０アトファラッドオーダーの精度を提供するのみである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明による方法は、可変的なキャパシタンスを測定するマイクロシステムのための試験方法である。従来は、この種のマイクロシステムは、固定電圧源と可変キャパシタンスセンサと前記センサによって出力された情報を処理するための回路を具備していた。
【００１２】
図１は、キャパシティブセンサ１０と、固定励磁電流ＶＣと物理加速度ＡＰを有するノーマル動作モードで前記センサのキャパシタンスの値を計測するために用いる処理回路１１とを具備する加速度測定マイクロシステムを、例示する。
【００１３】
本発明による方法において、固定キャパシタは電圧源と処理回路との間で接続され、前記電圧源は可変電圧源である。
【００１４】
図２は、テストモードにおいて、図１で例示されたマイクロシステムの変型を例示する。キャパシティブセンサ１０は、前記回路の内部又は外部に組み込まれる固定キャパシタ１２に置き換えられる。固定励磁電圧ＶＣと物理加速度ＡＰは、可変励磁電圧ＶＶに置き換えられる。前記励磁電圧ＶＶは、テストモードで処理回路１１に与えられた電荷が、所定の固定励磁電圧ＶＣと物理加速度ＡＰ用のノーマルモードでの電荷と等しくなるように算出される。
【００１５】
本発明による方法は、それが利用不能なため又はその限界により動作不能であるために用いることができないセンサをシミュレーションすることができる。
【００１６】
電圧又は電流の変化をシミュレーションすることは容易であるが、キャパシタンスの変化をシミュレーションすることは困難である。その理由は、特に、それがその初期状態においてテストされなければならないので、前記処理回路は変更されてはならないためである。このように、キャパシティブセンサ１０は、キャパシティブな応答を維持するために、休止中のキャパシティブセンサの値とほぼ等しい値を有する固定キャパシタ１２によって置換される。そして、キャパシタンスの変更は、本発明による装置が純粋にキャパシティブな応答を生ずることを確実にするため、このキャパシタに印加した電圧変化によってその後シミュレートされる。
【００１７】
これらの特徴の結果として、前記精度は、キャパシタンス領域から電圧領域へ移行され、非常に高いレベルを問題なく達成できる。
【００１８】
さらに一般的にいえば、本発明の目的は、より単純に得やすくかつ益々正確な電圧又は電流変化上の高感度要素（キャパシタ、抵抗、インダクタンス）の物理パラメータにおける変化を遅延させることである。
【００１９】
図２で例示される実施形態において、処理回路１１は、固定電荷電圧での電荷の測定を通してセンサのキャパシタンス値を計測するために用いることができる。ついで、加速度の変化に関連したキャパシタンスの変化は、電荷を変化させる。センサは固定キャパシタンスからなるシミュレーション装置と置換することができる。この場合において、電荷電圧は、最初の加速度変化に対応する電荷Ｑ（Ｑ＝ＣＶ）の変化を生成するように変化する。電荷電圧とで構成される。シミュレーション装置は、その後、適切な電圧制御によって、所定の加速度が印加された現実のセンサとして処理回路１１から認識されるのと同じ効果を生じうる。
【００２０】
図３は、本発明による方法の例示的な一実施形態を示す。２つの動作モード（ノーマルモードとテストモード）は、スイッチ２０，２１，２４−２７を使用して選択される。Ｖ１は固定電圧でありＶ２は可変電圧である。演算増幅器３０は出力側に配置され、キャパシタＣ１はそのマイナス入力と出力の間に接続される。スイッチ２１，２４，２６を制御するテスト信号が有効なときにノーマルモードが起動し、かつスイッチ２０，２５，２７を制御するテスト信号が有効なときにテストモードが起動する。Ｃ１は、図１においてキャパシティブセンサ１０である。Ｃ２は、図２において固定キャパシタンス１２である。演算増幅器からの出力は、スイッチ２０，２１，２４−２７の状態の関数として、Ｃ１又はＣ２により格納される電荷の（Ｃｉ上の集積による）イメージである。
【００２１】
ノーマルモード（換言すると、テストモードではない）の処理回路の動作は、図４において例示される。センサのキャパシタンスＣ１は可変的であり、かつ定電圧Ｖ１がそれに印加されるときにそれに含まれる電荷を集積することにより評価される。２つの連続した重複しないクロックの段階Ｐｈｉ１とｐｈｉ２を考慮する。段階ｐｈｉ１で有効とされたスイッチ２２，２９が閉じるときに、キャパシタＣ１は定電圧Ｖ１で荷電される。その後、段階ｐｈｉ２で有効とされたスイッチ２３，２８が閉じるときに、Ｃ１に含まれる電荷は集積キャパシタＣｉへ転送され、ΔＶｏｕｔ=Ｃ１／Ｃｉ．Ｖｃ．に等しい出力電圧ＶＳの変化を生じる。
【００２２】
図５おいて例示されるテストモードの動作の間、キャパシタＣ２の値は、ノーマルモードでの回路の応答の再現を最適化するために、休止状態（加速度０）のキャパシタＣ１の値と同等に選択される。Ｖ２は、その後センサキャパシタンスΔＣ１ｍａｘ（及び特に対応する電荷）における変化をシミュレートするために以下の通り選択される：
【００２３】
Ｖ２ＤＣ＝Ｖ１ＤＣ
及び
Ｃ２．ΔＶ２ｍａｘ＝ΔＣ１ｍａｘ．Ｖ１
【００２４】
図６に示される例示的な一実施形態において、キャパシティブセンサは２つのキャパシタ（モジュール３５）を具備し、その各々は自分自身を制御する回路と試験用回路を有する。これらの２つのキャパシタは、加速度に依存して反対方向に変化する。処理回路は、固定電荷電圧で電荷を測定することによって、センサのキャパシタンスの違いを評価する。加速度の変化に関連したキャパシタンスにおける変化は、その後電荷の変化を引き起こす。電圧３６は、固定された測定電圧である。全ての＜＜ｐｈｉ＞＞値は、異なる瞬間でスイッチに印加されるコマンドである。
【００２５】
図７は、このキャパシティブセンサ（図６のモジュール符号３５を置き換える）の電気シミュレーション装置についての例示的な一実施形態を示す。集積されたキャパシタ３７は固定され、かつ電荷電圧３８は可変である。＜＜ｔｅｓｔ＞＞と＜＜ｔｅｓｔｂ＞＞信号は、処理回路へのセンサの接続（信号＜＜ｔｏｐａｄｃｃｐ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｃｐ＞＞に接続、＜＜ｔｏｐａｄｃｃｎ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｃｎ＞＞に接続、＜＜ｔｏｐａｄｃｏｍ＞＞を＜＜ｔｏｍｏｄｃｏｍ＞＞に接続）と、これと同じ回路からの電気シミュレーション装置の非接続、又は、その逆、即ちセンサの非接続と電気シミュレーション装置の接続を制御する。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】ノーマルモードにおけるキャパシティブ測定システムのブロック図を示す。
【図２】本発明による方法を用いたテストモードにおけるこの種の測定マイクロシステムのブロック図を示す。
【図３】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図４】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図５】本発明の試験方法の例示的な一実施形態を示す。
【図６】ノーマルモードにおける本発明の試験方法の他の例示的な一実施形態を示す。
【図７】キャパシティブセンサのシミュレーション装置と図示しない処理回路との例示的な一実施形態を示す。
【符号の説明】
【００２７】
Ｖ１  固定電圧
Ｖ２  可変電圧
Ｃ１  可変キャパシタンスセンサ
Ｃ２  固定キャパシタ
Ｃｉ  集積キャパシタ
ＶＳ  出力電圧
２０−２９  スイッチ
３０  演算増幅器
【国際調査報告】
2008506100.tif 000010
2008506100.tif 000011
2008506100.tif 000012
2008506100.tif 000013