(57)【要約】  流量センサが測定チャンバを有しており、この測定チャンバに流体が導入され、再び導出される。この流体の体積及び／又は流速が測定されることが望ましい。測定チャンバ内には、自由に回転可能に支承された測定機構エレメントが配置されている。さらに測定チャンバ及びこの測定チャンバの近辺に磁場を形成するための磁石が設けられている。少なくとも１つのセンサ装置が、磁場及び／又は磁場の変化を測定するために働く。磁場を測定するためのセンサ装置が、巨大磁気抵抗を利用する少なくとも１つのセンサを有している。
2008501939.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流量センサであって、測定チャンバ（２０）が設けられており、該測定チャンバ（２０）内へ媒体（流体Ｆ）が導入可能であり、再び導出可能であり、該媒体（流体Ｆ）の体積及び／又は流速が測定されることが望ましく、
測定チャンバ（２０）内に配置された、自由に回転可能に支承された測定機構エレメント（３０，４０）が設けられており、
測定チャンバ（２０）及び該測定チャンバ（２０）の近辺に磁場（５６）を形成するための磁石（５５）が設けられており、
磁場（５６）及び／又は磁場（５６）の変化を測定するための少なくとも１つのセンサ装置（５０）が設けられており、
センサ装置（５０）が、自由に回転可能に支承された測定機構エレメント（３０，４０）に対して軸線方向にずらして配置されており、
磁場（５６）を測定するためのセンサ装置（５０）が、少なくとも１つのセンサ（５２）を有しており、該センサ（５２）が、巨大磁気的抵抗を利用することを特徴とする、流量センサ。
【請求項２】
センサ装置（５０）が、プリント配線板（６０）を有しており、該プリント配線板（６０）が、押圧プレートとして形成されており、センサ（５２）を支持する、請求項１記載の流量センサ。
【請求項３】
プリント配線板（６０）が、磁石（５５）を有している、請求項２記載の流量センサ。
【請求項４】
センサ（５２）が、フラットケーブル（６２）によって回路装置（７２）に電気的に接続されており、
フラットケーブル（６２）が、センサ（５２）から流量センサのハウジング（１０）内の穿孔部を介して回路装置（７２）へ案内されている、請求項１から３までのいずれか１項記載の流量センサ。
【請求項５】
プリント配線板（６０）が、測定チャンバ（２０）に直接に隣接して配置されており、鋳込み材料（６６）によってのみ測定チャンバ（２０）から分離されている、請求項２から４までのいずれか１項記載の流量センサ。
【請求項６】
磁石（５５）が、サマリウムコバルト磁石である、請求項１から５までのいずれか１項記載の流量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流量センサであって、測定チャンバが設けられており、この測定チャンバ内には、体積及び／又は流速が測定されるべき流体が導入可能であり、再び導出可能であり、測定チャンバ内に配置された自由に回転可能に支承された測定機構エレメントが設けられており、測定チャンバ及びこの測定チャンバの近辺に磁場を形成するための磁石が設けられており、磁場及び／又は磁場の変化を測定するための少なくとも１つのセンサ装置が設けられている形式のものに関する。
【０００２】
流量センサは体積センサとも呼ばれる。流量センサは通常は容量式メータの形で構成されている。例えばこのためには歯車センサ、ねじスピンドル式メータ、オーバルホイール式メータ、リング状ピストン式メータ又は測定タービン又は歯車調量ポンプがある。これらは体積、流量、又は媒体、つまりここでは流体が測定器を通過する速度を測定するために役立つ。流体は、液体、ペースト又はガスであってもよい。
【０００３】
流量センサは、実際には頻繁に狭義の測定器のことではない。なぜならば、評価電子機構は機器の一部ではなく、外部に位置しているからである。それにもかかわらず流量測定機器の概念が頻繁に用いられ、測定チャンバ及び測定機構エレメントなどのことをも指す。流量センサは多様に体積センサ、流量センサ、流量測定機器及び別の形でも呼ばれる。
【０００４】
体積センサ又は流量センサは、単に流量又は貫流した体積を測定し、信号を評価ユニット又は評価電子機構へ送出し、ここからはじめてこの評価電子機構は測定値を形成する。概念「流量センサ」が以下で用いられる。機器内の特定の構成エレメント、狭義の測定器又はセンサとの混同が、完全な呼称を用いることにより回避される。
【０００５】
歯車センサの形の流量センサ又は体積センサが、例えばヨーロッパ特許庁特許第００５３５７５号明細書、ヨーロッパ特許庁特許公開第０３９３２９４号明細書又はドイツ連邦共和国特許第４０４２３９７号明細書並びにヨーロッパ特許庁特許第０７４１２７９号明細書により公知である。これらは、２つの半部より成るハウジングを有している。一方のハウジング半部内には、測定チャンバ内の不動の軸に玉軸受を介して壁接触なしに一対の円形歯車が自由に回転可能に支承されている。両方の歯車は互いに噛み合う。搬送された体積又は流速が測定されるべき媒体が、第１の孔を通過して両方の歯車に供給され、しかもこれらの歯車が噛み合う領域内へ供給される。これにより、前記媒体は、両方の歯車の歯空隙内に交互に形成されるチャンバ内へ到達する。あとから流れる媒体が、歯車のチャンバ内に位置する量が流入側から流出側へ搬送され、次いで歯の運動を介して歯車を回転させることをもたらす。この場合に両方の歯車は逆向きに回転する。歯車の別の側では流れ方向で見て噛み合う領域の後方で前記媒体は第２の孔を通過して再び導出される。
【０００６】
別のハウジング半部は、両方の歯車とそこに流れる媒体とを有する測定チャンバの領域を上方向にカバーする。すなわち、このハウジング半部は測定チャンバを密に閉鎖し、流体流が歯車の噛み合う領域の外部で測定チャンバを通過することができることを阻止する。両方のハウジング半部は互いに面状に位置しており、これらのハウジング半部の間には仮想分離平面が位置している。
【０００７】
例えばドイツ連邦共和国特許第４０４２３９７号明細書に記載のような永久磁石又はヨーロッパ特許庁特許第０７４１２７９号明細書に記載のようなキャリア式周波数センサは、ハウジング内に歯車の噛み合う領域内に隣接して設けられており、電磁場を構成する。この電磁場は、歯車の歯若しくは歯車の運動により変化する。
【０００８】
さらに上に述べた公知の装置の第２のハウジング半部は、磁気抵抗性ディファレンシャルセンサ(Feldplattendifferenzialfueler)を有している。この磁気抵抗性ディファレンシャルセンサは、回転する歯車の歯の運動により引き起こされる磁場の変化を感知する。
【０００９】
この公知の機器では、センサは測定したい媒体若しくは流体から非磁気的なインサートによって分離される。このインサートはセンサを特に媒体による物理的及び化学的な負荷から保護する。媒体は著しく異なった温度又はコンシステンシーを有しているだけでなく、化学的に攻撃的な場合もある。
【００１０】
不利なことには、この保護は、回転する歯車の歯とセンサとの間隔をもたらし、この間隔は測定を困難にし、測定の精度及び信頼性を制限する。対応した極ピン又は別の手段により、いま所属の歯車の回転の間のそれぞれの歯側面の運動が、磁気抵抗性ディファレンシャルセンサに対して相対的に突き止められ、外方向へ、対応した評価ユニットに伝達される。
【００１１】
特に大きい個数の流量センサの場合には経済的な側面に意義がある。しかし大きい個数の場合にも精度と精密さには依然として意義がある。多くの場合には制御回路内でも測定に関係して流体の流速が調整される。
【００１２】
それ故、できるだけわずかな手間をかけて流量センサにより流体の量及び／又は流体の流れの速度のできるだけ正確な測定を行うことが望ましいであろう。
【００１３】
そこで本発明の課題は、特に経済的な着想を、しかも正確な測定結果に結びつける流量センサを提供することである。
【００１４】
この課題は、測定チャンバを有する流量センサにより解決される。この測定チャンバ内へは、体積及び／又は流速が測定されるべき媒体（流体Ｆ）が導入可能であり、再び導出可能である。この流量センサには、測定チャンバ内に配置された自由に回転可能に支承された測定機構エレメントと、測定チャンバ及びこの測定チャンバの近辺に電磁場を形成するための磁石と、磁場及び／又は磁場の変化を測定するための少なくとも１つのセンサ装置とが設けられており、この場合にセンサ装置は、自由に回転可能に支承された測定機構エレメントに対して軸線方向にずらして配置されており、磁場を測定するためのセンサ装置は、巨大磁気抵抗を利用する少なくとも１つのセンサを有している。
【００１５】
たいていはＧＭＲ効果と呼ばれる巨大磁気抵抗は、磁場及び磁場の変化を磁気抵抗式に検出する高感度な可能性である。しかしながら、流量センサとの関連では巨大磁気抵抗はこれまでは使用されてこなかった。
【００１６】
歯車を走査する場合のＧＭＲセンサの使用は別の関連で、例えばドイツ連邦共和国実用新案第２９６１２９４６号明細書により公知である。この公知の装置のＧＭＲセンサは回転する歯車の歯、択一的には同じ軸に配置された歯車対の互いにずらされた歯を半径方向に走査する。このような装置はもちろん体積センサのためには不適切である。なぜならば、体積センサには狭い許容差を有する狭いハウジング内で支承された互いに噛み合う２つの歯車が常に提供されている必要があるからである。ＧＭＲセンサの装置では、提案されるように歯先端のみが走査される。このことは、不正確な、非対称的な電気的信号、ひいては流量及び流速の、対応して不正確な測定をもたらす。さらに歯車に隣接した側方にはスペースがなく、場合によっては設備内へシステム全体をあとから組み込むことが著しく妨げられる。
【００１７】
ドイツ連邦共和国特許公開第１０００２３３１号明細書による回転角度センサでは、ＧＭＲセンサ及び多段式の伝動装置により、回転する部分のできるだけ正確な角度測定を行うことが提案される。伝動装置だけでも既に流量センサ及び体積センサにおいてこれらのアイディアを採用することを妨げる。
【００１８】
ＧＭＲセンサを組み込むための提案は全て通常の周辺条件、すなわち、主に室温及び標準の圧力比に関連している。NVE Corporation, Eden Prairie, Minnesota, USA im April 2003により出版された"GMR-Sensors Data Book" の包括的な使用例が、同様に標準の周辺条件、いずれも高められた温度を有する周辺条件に関係している。
【００１９】
それ故、体積センサにおいてＧＭＲセンサを使用することは、これまではまだ考慮されてこなかった。なぜならば、ここでは６０ＭＰａ〜８０ＭＰａまで（６００〜８００Ｂａｒまで）の圧力及び圧力ピークが生じる場合があり、これらの極度な負荷時に尚かつ高精度の作業形式も確保されてなければならないからである。さらに測定したい流体が導電性であり、攻撃的な液体である場合があり、このことが流量センサ全体の機能性を損なってはならないからである。
【００２０】
驚いたことには本発明による着想により従来の流量センサを根本的に改良することが可能になる。これらの流量センサに適宜な形式のＧＭＲセンサが使用される。これらのＧＭＲセンサは、例えばドイツ連邦共和国実用新案第２９６１２９６４号明細書の場合のように半径方向に歯車の外部に挿入されるのではなく、歯車若しくは比較可能なエレメントに軸線方向に直接に隣接して挿入される。しかしながら、流量センサの従来技術の場合とは異なり、ＧＭＲセンサはそこで歯に隣接した測定チャンバの内室に一層密に近づけて配置することができる。
【００２１】
センサの信号は従来の機器の場合よりも著しく強く、大きいので、後置された装置、例えば前置増幅器又は評価装置内でさらに良好に障害なしに処理することができる。
【００２２】
特に有利には、これらのＧＭＲセンサは集積回路（ＩＣ）の形で構成されてよい。有利には、電子機構プリント配線板にはんだ付けされたＧＭＲセンサの集積回路が使用される。この場合にプリント配線板はセンサと評価ユニットとの電気的な接続を形成し、同時に機器若しくは測定チャンバを、内部に位置する圧力下にある流体に対して、すなわち、液体又はガスに対して機械的にシールする。
【００２３】
このようにしてセンサは実際に測定チャンバの内部若しくは測定チャンバに直接に隣接して配置することができるので、従来技術の場合とは異なり、所要スペースを拡大する付加的な非磁気的な遮蔽はもはや不要であり、センサはこのようにして走査したい歯車、測定スピンドル又はこれに類するものの領域内に一層密に挿入することができる。鋳込み材料の厚さだけが、センサを測定したい測定機構エレメントから分離する。この鋳込み材料の厚さは極めてわずかであり、外部の周辺条件に関連して極めて小さく保持することができる。
【００２４】
同時にプリント配線板は１つ又は複数の磁石を固定及び位置決めするために働く。１つ又は複数の磁石は従来技術においても磁場を構成するためにもちろん必要であった。それぞれの磁場の変化は既に説明したように磁場を横切る歯車の歯の運動により誘発された。従来ではこれらの変化は次いで磁気抵抗性ディファレンシャルセンサにより測定され、評価された。
【００２５】
磁場は本発明でも必要とされる。本発明の場合にも磁場は１つ又は複数の磁石により構成される。しかしながらこれまではこの磁石は別個に同様に保護されて一緒にハウジング内に配置される必要があったが、本発明によれば、集積回路をも支持するプリント配線板が同様に１つ又は複数の磁石を収容し、固定し、かつ／又は位置決めすることができる。１つ又は複数の磁石により構成された磁場は、ここでも歯車の歯により、若しくは流量センサの別の形式では別の測定機構エレメントにより変化せしめられる。いまＧＭＲセンサはもちろん別の効果、すなわち、変化する磁場により巨大磁気抵抗の影響を突き止める。
【００２６】
しかしながら、同時に１つ又は複数の磁石を固定及び位置決めするためにプリント配線板を使用することにより付加的な構成部分を省略することができ、流量センサをさらに簡単に構成することができる。
【００２７】
さらにプリント配線板はＯリングを介してシールすることができる。
【００２８】
プリント配線板自体はめっきスルーホールを有しており、この場合にはこれらのめっきスルーホール内へは必要なケーブルをはんだ付けすることができる。
【００２９】
これにより、従来技術では、例えばドイツ連邦共和国特許第４０４２３９７号明細書によればまだ使用されるべき全ての構成エレメント、すなわち、接続ピン、又はピンを収容するための保持プレート、並びにもはや必要とされない非磁気的なインサートが実際に不要になる。実際に圧力室内における、プリント配線板を有する集積回路（ＩＣ）の使用及び組込時の前記手順は極めて経済的である。磁石及びプリント配線板の集積回路のほかには実際には別の構成部分はもはや不要になる。
【００３０】
別の利点が、評価のために適宜に使用されるホイートストーンブリッジをいまや完全に機器内に配置することができ、しかもホイートストーンブリッジの両方の分岐部をユニット式に配置することができる。さらに両方の分岐部は実際に同じ温度レベルに位置しており、これにより、両方の分岐部内の異なった温度のために測定値の修正を計算により行う必要はない。
【００３１】
磁石のためには、有利にはサマリウムコバルト磁石が使用される。なぜならば、サマリウムコバルト磁石は温度とは無関係に働き、ひいてはネオジムベースに構成された磁石に比べて利点を有しているからである。
【００３２】
本発明は、歯車センサのみではなく、別の流量センサ若しくは体積センサ、例えばねじスピンドル式メータ、オーバルホイール式メータ、リング状ピストン式メータ又は測定タービン又は歯車式調量ポンプにおいても使用することができる。これらでは歯車の歯の代わりに別の測定機構エレメントで測定が行われる。これらの測定機構エレメントは等しい形式で、たいては回転式にふるまう。
【００３３】
巨大磁気抵抗は、それぞれ数ナノメータの厚さしかない強磁性及び非強磁性の層から成る多層の電気抵抗の変化により生じる特定の効果である。電気抵抗のこの変化は、磁場に接近した場合に生じる。これにより、ここではこの変化が測定機構エレメントの運動に基づいた、すなわち、例えば歯車の歯の運動に基づいた磁場の変化に関係して測定されることにより、この場合には巨大磁気抵抗は実際に役立つ。
【００３４】
本発明によるコンセプトは高感度及び大きい測定領域をもたらす。
【００３５】
特に本発明により極めて一様な正弦波信号を出発信号として形成することができることも大きな利点である。一様な正弦波信号は特に正弦波信号の個々の部分領域の信頼性良い評価、さらに詳細な分析をも可能にし、このことはさらなる使用可能性を提供する。
【００３６】
本発明による流量センサのための対応したセンサが極めて実際的かつ経済的に作製できることも利点である。この場合にプリント配線板は効率よく作製され、自動的に実装される。
【００３７】
測定チャンバの領域から、すなわち圧力室からの電気的な接続は、プリント配線板のめっきスルーホール内においてはんだ付けを介して行うことができる。このような接続は最も確実であり、測定チャンバ内の流体の領域内の極めて高い圧力及び温度にも耐える。
【００３８】
この場合に、センサがフラットケーブルにより回路装置に電気的に接続されており、フラットケーブルがセンサから流量センサのハウジング内の穿孔部を介して回路装置へ案内されている場合には有利である。
【００３９】
この場合、回路装置は有利には前置増幅器である。この場合にフラットケーブルはセンサから前置増幅器への接続を形成する。前置増幅器は、本発明による機器の構成部分であり、この前置増幅器により処理されたデータを外部で評価ユニットに伝送する。
【００４０】
次に本発明の実施の形態を図面に基づきさらに詳しく説明する。
【００４１】
図１は、本発明による流量装置の断面図を概略的に示している。この断面図は１つの厳密な１平面で断面したのではなく、流量装置の詳細部をより良く示すために何度も前後に飛躍している。前後飛躍しているより正確な断面を図２に見ることができる。
【００４２】
特に流量センサのハウジング１０を見ることができる。このハウジング１０は特に互いに上下に載設されたプレート状の３つのエレメント、すなわち、ベースプレート１１，中間部材１２及びカバー１３を有している。この場合にドイツ連邦共和国特許第４０４２３９７号明細書に記載されているように、ベースプレート１１と中間部材１２とを合わせてほぼ第１のハウジング半部になる。
【００４３】
ベースプレート１１、中間部材１２及びカバー１３は嵌合ねじ１６並びに固定ねじ１７によって互いに結合される。この結合は極めて正確かつ極めて堅固である必要がある。なぜならば、中間部材１２の内側領域内には測定チャンバ２０が位置しているからである。
【００４４】
図２は、図１を上方から見た装置を示している。右側には嵌合ねじ１６及び固定ねじ１７のヘッドを見ることができる。図面から判るように、カバー１３の上側には環状に取り囲む嵌合ねじ１６の８つのヘッド及び固定ねじ１７の４つのヘッドを見ることができ、これにより、これらのねじの一様な、堅固で密な締付けが可能になる。
【００４５】
さらに図１から判るように、固定ねじ１７も嵌合ねじ１６もベースプレート１１、中間部材１２及びカバー１３を有するハウジング１０を完全に貫通する。
【００４６】
測定チャンバ２０は中間部材１２内にのみ形成されている。すなわち、中間部材１２は下方ではベースプレート１１により閉じられており、上方ではカバー１３により閉じられている。これにより、これらのベースプレート１１とカバー１３とは測定チャンバ２０の端壁を形成している。
【００４７】
測定室２０内へはベースプレート１１の接続孔２１が通じている。この接続孔２１を介して、流体Ｆ、すなわちここで関係する媒体を導入することができる。ベースプレート１１内の第２の接続孔は図１及び図２には見ることができない。この場合にこの第２の接続孔を通過して前記流体Ｆは測定チャンバ２０を通過した後に再び導出される。
【００４８】
破線で図２の左側の半分にも示したように、測定チャンバ２０は、上に述べたようにベースプレート１１とカバー１３とにより形成された端壁のほかに中間部材１２の壁により周囲を取り囲まれている。さらにＯリング２２が設けられており（再び図１を参照のこと）、これにより、一方の中間部材１２の下側及び上側と、他方のカバー１３の下側及びベースプレート１１の上側との間のギャップがシールされる。
【００４９】
測定チャンバ２０内には２つの測定機構エレメント３０及び４０が位置している。本実施例ではこれらはそれぞれ歯車である。
【００５０】
この場合に図２の左側には、上方から第１の歯車若しくは第１の測定機構エレメント３０をよく見ることができる。この第１の歯車若しくは第１の測定機構エレメント３０の中央には軸３１が位置しており、これにより、歯車若しくは第１の測定エレメント３０は自由に回転することができるようになっており、測定機構エレメント３０の軸３１からは一列の歯３２が外側方向に突出している。
【００５１】
図１の左側には、第１の測定機構エレメント３０を概略的にのみ見ることができる。なぜならば、断面図を規定する線Ａは第１の測定エレメント３０の縁部領域内のみを通過しているからである。
【００５２】
その代わりに第２の測定機構エレメント４０、すなわち、ここでは第２の歯車が、図１では完全に断面して示されている。この断面図にはさらに軸４１及び歯４２の２つの側面が見られる。さらに軸受け４３の種々異なったエレメントを見ることができる。この軸受け４３は第２の測定機構エレメント４０の自由な回転可能性をも確保する。
【００５３】
両方の測定機構エレメント３０，４０は強磁性の材料より成っており、この強磁性の材料により、測定機構エレメント３０，４０が軸３１，４１を中心として回転した場合には磁場が著しく影響され得る。
【００５４】
両方の測定機構エレメント３０，４０が互いに噛み合った場合には、接続孔２１を通過して導入された流体Ｆが両方の測定機構エレメント３０，４０の逆向きの回転のために働く。
【００５５】
図１には、センサ装置５０が比較的小さく示されている。図２から判るように、具体的な実施例では、同様の構成の２つのセンサ装置５０が設けられている。両方のセンサ装置５０は測定チャンバ２０の上方の領域内に位置しており、この領域の下方では第１の測定機構エレメント３０の歯３２が前記領域を横切って回動する。第１の測定機構エレメント３０の強磁性の特性が、センサ装置５０の下方に位置する磁場５６が影響され、変化することをもたらす。詳細についてはさらに以下に説明する。
【００５６】
両方のセンサ装置５０の一方が図３には幾らか拡大して示されている。すなわち図３は、測定チャンバ２０の上方のカバー１３の部分領域を示している。カバー１３内には通路が切り取られており、この通路内にはセンサ装置５０が嵌め込まれている。
【００５７】
センサ装置５０の中央のエレメントは磁石５５、ここでは円形磁石である。この磁石５５は磁場５６を構成しており、この磁場５６は測定機構エレメント３０の強磁性の特性により変化せしめられる。
【００５８】
磁場の変化はセンサ５２により感知され、検出される。このセンサ５２は巨大磁気抵抗の物理的な作用を基盤にして働く。このセンサ５２はカバー１３の下縁の上方にほぼ直接に配置されており、これにより、測定チャンバ２０及びこの測定チャンバ内で回転する第１の測定機構エレメント３０の上方にほとんど間隔をおくことなしに位置している。磁場５６の変化は、実質的に直接にセンサ５２に隣接して起こり、極めて精密かつ正確に感知することができる。
【００５９】
センサ５２及び磁石５５は、両方ともプリント配線板６０に配置されており、このプリント配線板６０に結合されている。このプリント配線板６０には集積回路（図示していない）も位置している。プリント配線板６０は同時に押圧プレートである。このプリント配線板６０はＯリング６１により全ての側でカバー１３の内部でシールされている。なぜならば、センサ５２の直接の下方に位置する測定室２０内には既に述べたように流体が位置しており、この流体は極めて高い温度を有している場合があるからである。そこには高い圧力が形成されている場合もあり、流体Ｆは化学的又は物理的に攻撃的な場合もある。プリント配線板６０の押圧プレート特性はＯリング６１によるシールと一緒に、流体がプリント配線板６０の後方へ、図３又は図１で見て上方へ、カバー１３内へ進入することを阻止する。
【００６０】
プリント配線板６０、磁石５５及び巨大磁気抵抗測定特性を有するセンサ５２の電気的な接続がフラットケーブル６２（ここには概略的に示す）によって得られる。
【００６１】
このフラットケーブル６２の周囲の領域が鋳込み材料６５により充填され、これにより、ケーブルは完全に安定的に保持され、ハウジングの外部からこの領域内への異物の進入が阻止される。
【００６２】
第２の鋳込み材料６６が、押圧プレート特性を有するプリント配線板６０と測定チャンバ２０の間の領域を完全に充填し、これにより、センサ５２をすっかり埋め込む。ここでは、測定を妨害する恐れのある流体Ｆの流体特性が得られないようにするために平滑な表面が望ましい。
【００６３】
図１から判るように、接続部がフラットケーブル６２を介して中間プレート７１内に通じており、この中間プレート７１により、前置増幅器７２との接続及びそこから流量センサから外側へ出て評価ユニット７３との接続が付与されている。これらの前置増幅器７２及び評価ユニット７３はここでは概略的にのみ示す。前置増幅器７２及び評価ユニット７３は必要に応じて交換し、流量センサの具体的な外部条件に適合させることができる。
【００６４】
磁石５５、有利な構成ではサマリウムコバルト磁石が磁場５６を形成する。この磁場５６は測定チャンバ２０及びこの測定チャンバ２０に隣接した周辺領域内へ延びている。磁場５６は特にセンサ５２を通り抜ける。このセンサ５２はここでは本発明によればＧＭＲセンサである。磁場５６は、磁石５５及びセンサ５２のちょうど下方を通過する隣接した歯３２及び歯車３０の所属の歯空隙により妨害される。この変化する磁場５６はＧＭＲセンサ５２内に電気的な信号を形成し、この信号は切換装置、ここではすなわち前置増幅器７２で増幅され、デジタル化される。次いでこのデジタル信号は別のケーブル（図示していない）を介して流量センサの外部の評価電子機構へ伝達され、そこで評価される。
【００６５】
図４には、図３の一部が同様の形でもう一度繰り返し示されている。説明のためにここでは前記図は実際に逆さまになっており、従ってハウジング１０内の流量センサの測定チャンバ２０は上方に位置している。この図面でもこの領域には磁場５６が位置しており、この磁場５６が第１の測定機構エレメント３０の歯列３２（図示していない）の運動により規則的に変化することが示唆されている。ここではさらに測定機構エレメントが歯車ではない場合には歯列の代わりに別のエレメントも可能であることを考慮に入れるべきである。
【００６６】
拡大された図面には、再び磁石５５及び巨大磁気抵抗の効果を利用するセンサ５２が見られる。
【００６７】
磁石５５及び別のエレメントが図４では下方へ案内されるフラットケーブル６２を介して、中間プレート７１及び図３との関連でさらに示したエレメントに電気的に接続されている。
【００６８】
図５が図４の図面をもう一度示しており、ここでは上方から見ている。従って鋳込み材料６６を上方から見ている。さらに測定エレメント３０の歯３２が示されている。この歯３２はセンサ装置５０のちょうど下方に位置しており、すなわち例えば運動しており、この運動時に歯３２はこの領域を横切る。
【００６９】
この図面では、鋳込み部材６６は透明であると想定されているが、実際にはもちろんそうでなくてもよい。それ故、鋳込み材料６６を介してこの場合にはセンサ５２、さらにセンサに通じる接続部をも見ることができ、これにより、プリント配線板６０を部分的に見ることができる。
【００７０】
図６には、ホイートストーンブリッジの構造が概略的に示されている。このホイートストーンブリッジはプリント配線板６０上の集積回路の部分としてＧＭＲセンサ５２を有している。
【００７１】
４つの抵抗器を有するホイートストーンブリッジの汎用の回路を見ることができ、これらの抵抗器のうちの３つは公知であり、第４の抵抗器は磁場５６により対応して制御される。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明による流量センサの図２のＡ−Ａ線案内に沿った垂直方向の断面図である。
【図２】図１による流量センサを部分的に破断した平面図である。
【図３】図１の詳細Ｘの拡大図である。
【図４】本発明による流量センサの部分領域の断面図である。
【図５】図１の部分領域の平面図である。
【図６】本発明により使用されるホイートストーンブリッジの概略図である。
【符号の説明】
【００７３】
１０  ハウジング、  １１  ベースプレート、  １２  中間部材、  １３  カバー、  １４  嵌合ねじ、  １７  固定ねじ、  ２０  測定チャンバ、  ２１  接続孔、  ２２  測定チャンバのためのＯリング、  ３０  第１の測定機構エレメント、特に第１の歯車、  ３１  第１の測定機構エレメント３０の軸、  ３２  第１の測定機構エレメント３０の歯、  ４０  第２の測定機構エレメント、特に第２の歯車、  ４１  第２の測定機構エレメントの軸、  ４２  第２の測定機構エレメント４０の歯、  ４３  第２の測定機構エレメント４０の軸受け、  ５０  センサ装置、  ５２  センサ、  ５５  磁石、  ５６  磁場、  ６０  プリント配線板、  ６１  Ｏリング、  ６２  フラットケーブル、  ６５  第１の鋳込み材料、  ６６  第２の鋳込み材料、  ７１  中間プレート、  ７２  前置増幅器、  ７３  評価ユニット、  Ｆ  流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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