(57)【要約】  本発明は、内部圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプをクリーニングするための方法に関する。このクリーニング方法は、以下の方法ステップから成る。即ち：‐定格回転数でスクリュポンプ（１２）を作動させ、‐洗浄液と洗浄ガスとを少なくとも１：１０の体積比で混合してクリーニングフルードを生成し、‐該クリーニングフルードをスクリュポンプ（１２）のガス流入部（１６）に導入する。  このクリーニング方法により、内部圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプを簡単に定期的にクリーニングすることができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
‐定格回転数でスクリュポンプ（１２）を作動させ、
‐洗浄液と洗浄ガスとを少なくとも１：１０の体積比で混合してクリーニングフルードを生成し、
‐該クリーニングフルードをスクリュポンプ（１２）のガス流入部（１６）に導入することを特徴とする、内部圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプをクリーニングするための方法。
【請求項２】
洗浄ガスを、真空ガスとは別の供給源から供給する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
クリーニングフルードの混合を、少なくとも１：１００、有利には少なくとも１：１０００の体積比で行う、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
クリーニングフルードを、洗浄液としての水と混合する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
クリーニングフルードを、洗浄ガスとしての空気と混合する、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
洗浄ガスが少なくとも５００ｍｂａｒの圧力を有している、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
洗浄ガスがほぼ大気圧を有している、請求項６記載の方法。
【請求項８】
洗浄ガスが窒素及び／又はアルゴンである、請求項１から４、６又は７のいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
クリーニング中にスクリュポンプ（１２）のガスバラスト弁を開放する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
クリーニングフルードの導入前に、真空ポンプ（１２）のガス流入部（１６）に通じる真空導管（２４）を閉じ、クリーニングフルードの導入終了後に前記真空導管（２４）を開放する、請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプをクリーニングするための方法に関する。
【０００２】
内部圧縮、つまり非等容式の圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプは、潤滑・シール・クリーニング液無しで作動する。例えば焼結又はろう接等の、著しく負荷される、復水の多い特定の真空プロセスでは、ポンプロータ及び／又は圧縮室ケーシングに堆積物の生じる恐れがある。これにより、ポンプロータと圧縮室ケーシングとの間の摩擦が高まり、その結果、スクリュポンプは最終的に始動し難くなるか、又は最早始動しなくなり、作動中に著しい振動が発生する恐れがある若しくはスクリュポンプの全体的な損傷を惹起する恐れがある。従って、圧縮ドライ真空スクリュポンプは定期的にクリーニングされる。
【０００３】
マニュアル式のクリーニングは、圧縮室ケーシングを開ける必要があるために時間がかかり且つ作業手間もかかる。
【０００４】
本発明の課題は、内部圧縮による圧縮ドライ真空スクリュポンプをクリーニングするための簡単な方法を提供することにある。
【０００５】
この課題は本発明に基づき請求項１の特徴部に記載の方法により解決される。
【０００６】
本発明に基づく方法は、以下の方法ステップから成る。即ち；
‐定格回転数でスクリュポンプを作動させ、
‐洗浄液と洗浄ガスとを少なくとも１：１０の体積比で混合してクリーニングフルードを生成し、
‐該クリーニングフルードをスクリュポンプのガス流入部に導入する。
【０００７】
クリーニングフルードの導入は、排気用にも使用されるスクリュポンプの主ガス流入部を介して行われる。クリーニングフルードを導入するための別個の流入部は必要無い。スクリュポンプは、クリーニングするために定格回転数で運転される。クリーニングのための回転数低下は必要無い。このようにして、電動駆動モータの種類に応じて多大である可能性のある、回転数低下にかかる技術的な手間が省かれる。
【０００８】
洗浄ガスの大気圧に関して、洗浄液の１部分体積当たり少なくとも１０部分体積の洗浄ガスになる。クリーニングフルードにおいて著しい量の洗浄ガスを規定することにより、内部圧縮によるスクリュポンプは如何なる回転数低下も無しで、定格回転数で洗浄され得る。クリーニングフルード中の洗浄ガスは、スクリュポンプの圧縮室における圧力増大が適当な速度で生じるために働く。
【０００９】
洗浄ガスは、真空ガスとは別の供給源から供給される。洗浄ガスは、真空を形成するために真空容器から吸い出されるガスではない。クリーニング中は排気は行われない。
【００１０】
当該のクリーニング法により、スクリュポンプの定期的なクリーニングを如何なる分解も無しで迅速且つ廉価に行うことができる。
【００１１】
有利には、クリーニングフルードは少なくとも１：１００、殊に少なくとも１：１０００の洗浄液／洗浄ガスの体積比で混合される。
【００１２】
別の有利な手段では、クリーニングフルードは洗浄液としての水と混合される。蒸留水が使用されてよいが、用途に応じて水道水が使用されてもよい。いずれにしろ、洗浄液としての水は廉価であり、ほとんどどこでも入手可能である。
【００１３】
有利には、クリーニングフルードは洗浄ガスとしての空気と混合される。このためには大抵の場合、周辺空気を使用することができる。つまり、洗浄ガスは簡単且つ廉価に事実上どこでも供与可能である。
【００１４】
更に別の有利な手段では、洗浄ガスが少なくとも５００ｍｂａｒの圧力を有しており且つほぼ大気圧を有していてよい。従って、周辺空気は僅かに絞られるか又は絞られずに、クリーニングフルードの混合用に利用することができる。
【００１５】
有利には、洗浄ガスとして窒素及び／又はアルゴンを使用することができる。窒素及びアルゴンは、あまりアグレッシブではないので、特にセンシブルな用途若しくは環境における洗浄ガスとして適している。
【００１６】
有利には、クリーニング中にスクリュポンプのガスバラスト弁が開放される。これにより、スクリュポンプのクリーニングされた部分、特に軸シールをより迅速に乾燥させることができる。
【００１７】
更に別の有利な手段では、クリーニングフルードを導入する前に、真空ポンプのガス流入部に通じる真空導管を閉じ且つクリーニングフルードの導入終了後に真空導管を再び開放する。このようにして、クリーニングフルードの真空導管若しくは接続された真空容器への侵入が確実に防止される。
【００１８】
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００１９】
図示の真空装置１０は、真空容器１４を排気するために役立つ。この真空容器１４は、スクリュポンプ１２によって抜き取られるガスがスクリュポンプ１２内に堆積する恐れのある成分を含有している可能性のある焼結装置、プラズマＣＶＤ装置又は別の装置の構成部分であってよい。
【００２０】
スクリュポンプ１２はガス流入部１６を有しており、このガス流入部１６は弁１８，２０，２２を介して真空容器１４と、洗浄液容器２６と、必要な場合は洗浄ガス容器２８とに接続されている。
【００２１】
ポンプ作動中、スクリュポンプ１２は例えば８０００ｒｐｍの回転数で回転する。ポンプ作動中に真空弁１８は開かれているのに対して、他の２つの弁２０，２２は閉じられている。このようにして、ポンプ作動中に真空容器１４が排気される。
【００２２】
スクリュポンプ１２は規定された作動時間の経過後に、定期的にクリーニング若しくは洗浄される。
【００２３】
スクリュポンプ１２を洗浄するためには、まず最初に真空弁１８が閉じられ、これにより排気運転が中断されている。次いで、洗浄ガス弁２２が開かれ、これにより、例えば周辺空気等の洗浄ガスがスクリュポンプ１２により吸い込まれる。洗浄ガスとしては、適当な洗浄ガス容器２８に貯蔵された窒素又はアルゴンも使用可能である。
【００２４】
次いで、洗浄液弁２０が開かれ、これにより洗浄液がスクリュポンプ１２により吸い込まれる。洗浄液としては水道水が使用されるが、別の液体も適している。洗浄ガスと洗浄液とは、スクリュポンプ１２のガス流入部１６の手前でクリーニングフルードを成すように混ざり合い、このクリーニングフルードは約０．２〜３．０ｌ／ｍｉｎ．の洗浄液と、約４０００〜８０００標準リットル／ｍｉｎ．の洗浄ガスとから成っている。本実施例では約１．０ｌ／ｍｉｎ．の洗浄液が洗浄ガスと混ぜられる。
【００２５】
洗浄ガス弁２２を介して、洗浄ガスはおよそ大気圧で、但し少なくとも約５００ｍｂａｒでスクリュポンプ１２に流入する。
【００２６】
クリーニングフルードの総使用量及びクリーニング時間は、スクリュポンプ１２の汚染度に関連する。スクリュポンプ１２から流出する洗浄液の色が澄んで、最早濁ってはいないと、クリーニングを終了してよい。経験上、クリーニングには３．０〜８．０リットルの洗浄液が必要なので、クリーニングには数分がかかる。スクリュポンプ１２の内部のできるだけ迅速な乾燥を保証するためには、本来のクリーニング過程の後、洗浄ガス弁２２が更に数分開放され続ける。
【００２７】
２０〜３０秒洗浄液弁２０を開放した後、蒸気噴流が２〜３秒、スクリュポンプ１２の流出部において流出するということがテストで判った。このことは、スクリュロータ間若しくはスクリュロータとケーシングとの間の、スクリュポンプ１２内のギャップが流入する液体によりシールされ、これにより、吸込み能力が飛躍的に向上するということによって説明することができる。洗浄ガスを著しく圧縮することにより、迅速且つ強力な加熱が行われ、その結果、洗浄液は圧縮室内で気化する。水蒸気はスクリュポンプ１２のガス流出部を介して吐き出され、前記ギャップは再び比較的不完全にシールされている。そこで、説明した前記サイクルが改めて開始される。
【００２８】
スクリュポンプ１２の内室の乾燥を促進するためには、本来のクリーニングの後、洗浄ガス弁２２が更に５〜１０分開放され続ける。クリーニング中及び／又はクリーニング後にスクリュポンプ１２のガスバラスト弁が（設けられている場合は）開かれる。これにより、本来のクリーニング過程の後の乾燥が促進される。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明によるクリーニング法を作動させるための真空スクリュポンプを備えた装置の概略的な構成図である。
【図１】
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【国際調査報告】
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