(57)【要約】本願発明は、非鉄金属材料（２）、特にシリコンを溶融及び／または結晶化するための装置（１）に関している。本願発明の目的は結晶化された、ブロック形状の非鉄金属材料（２）の品質を向上することである。この目的の為、少なくとも１つの制御可能な冷却エレメントが非鉄金属材料（２）を収容する為の容器（３）の周りに、非鉄金属材料（２）からの能動的な熱の排出の為に配設される。
2008534414.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非鉄金属材料、特にシリコンの溶融及び／または結晶化の為の装置にして、
‐非鉄金属材料（２）を収容する為の容器（３）、
‐非鉄金属材料（２）への熱の能動的な供給の為の、少なくとも１つの制御可能な加熱エレメント（９）、及び
‐非鉄金属材料（２）からの熱の能動的な排出の為の、少なくとも１つの制御可能な冷却エレメント（１０）
を有する装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、容器（３）が本質的に６つの外側面（５、６、７、８）を持つ直方体形状を有することを特徴とする装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置において、少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が本質的に平面に且つ少なくとも１つの外側面（５、６、７、８）に対して平行に配設されることを特徴とする装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の装置において、少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が、少なくとも、少なくとも１つの外側面（８）に配設され、上記外側面に対し容器（３）が開いていることを特徴とする装置。
【請求項５】
請求項２から４のいずれか１項に記載の装置において、２つの冷却エレメント（１０）がそれぞれ、互いに向かい合う外側面（５、６、７、８）に配設されることを特徴とする装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の装置において、少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が、容器（３）と少なくとも１つの加熱エレメント（９）の間に配設されることを特徴とする装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の装置において、少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が、冷却ガス（１２）を貫流する為、少なくとも１つの冷却パイプ（１１）を有することを特徴とする装置。
【請求項８】
請求項２に記載の装置において、少なくとも１つの加熱エレメント（９）及び／または少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が、少なくとも１つの外側面（５、６、７、８）に沿って移動可能であることを特徴とする装置。
【請求項９】
非鉄金属材料、特にシリコンの溶融及び／または結晶化の為の方法にして、
‐固体及び／または液状の非鉄金属材料（２）を収容する為の容器（３）を準備する、
‐容器（３）内で非鉄金属材料（２）を溶融する、又は既に溶融された液状の非鉄金属材料（２）を容器（３）へ注入する、
‐少なくとも１つの制御可能な冷却エレメント（１０）によって、液状の非鉄金属材料（２）から熱を能動的に排出する、そして
‐熱の排出を制御することで、容器（３）内で液状の非鉄金属材料（２）を制御して結晶化する、
という工程を有することを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の方法において、少なくとも１つの冷却エレメント（１０）が少なくとも部分的に冷却流体（１２）によって貫流されることを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法において、能動的な熱の排出が、冷却流体（１２）の圧及び／または冷却流体（１２）の貫流量によって制御されることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項９から１１のいずれか１項に記載の方法によって結晶化された非鉄金属材料（２）、特にシリコンの光起電力技術における使用法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、非鉄金属材料、特にシリコンを溶融及び／または結晶化するための装置に関している。更に、本願発明は、非鉄金属材料、特にシリコンを溶融及び／または結晶化するための方法に関している。加えて、本願発明は、本願発明に従う方法の後で結晶化された非鉄金属材料、特にシリコンの光起電力技術での使用法に関している。
【背景技術】
【０００２】
光起電力技術での更なる処理の為の多結晶シリコンブロックを製造する為に、シリコンをクォーツモールド内で溶融及び結晶化させることが以前から知られている。シリコンを結晶化及び冷却する間に、モールドの外壁及びシリコンの表面での熱の放射によって、熱の移動が生じる。シリコンが頻繁に不均一に冷却されることにより、強い熱応力が発生し、上記熱応力が、転移の発生及び転移の増加を促進し、また、凝固したブロック形状のシリコン内でのクラックの原因となることが、この方法の短所である。更に、不均一な冷却は、縁領域からのブロック形状のシリコン内部への異物の、特に金属の、逆拡散を促進する。転移と同様に、逆拡散された異物も、再結合中心として作用し、そしてソーラーセルの光起電力効率を低減させる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
非鉄金属材料の品質を向上させるように、そしてその結果もたらされる非鉄金属材料から製造されるソーラーセルの光起電力の効率を向上させるように、非鉄金属材料、特にシリコンの溶融及び／または結晶化の為の装置及び方法を改良するという課題に、本願発明は基づいている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題は、独立請求項１及び９に記載の特徴によって解決される。本願発明の本質は、非鉄金属材料の結晶化を制御することである。本願発明において制御とは、狭い意味では結晶化を特徴付ける実測された変量のフィードバックなしの制御を意味する、しかしまた結晶化を特徴付ける実測された変量のフィードバックを用いた調整も意味する。結晶化プロセスの制御の為に、少なくとも１つの制御可能な冷却エレメントが設けられる。上記冷却エレメントは、非鉄金属材料からの能動的な熱の排出の為に用いられる。液状の非鉄金属材料の制御された結晶化によって、熱応力が避けられる。それは、転移、及びブロック形状の非鉄金属材料の内部へ逆拡散される異物、の減少を導く。それにより、より僅かの再結合中心が発生するので、凝固した非鉄金属材料の品質、及び、上記非鉄金属材料から製造されたソーラーセルの光起電力の効率が向上される。同時に、非鉄金属材料を結晶化する場合の、そして続いて凝固したブロック形状の非鉄金属材料を冷却する場合の、サイクル時間を減少することが可能である。
【０００５】
更なる有利な実施例は、従属請求項によって与えられる。
【０００６】
本願発明の追加的な特徴及び詳細は、図を用いて具体的な実施例についての記述から明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
全体が符号１で表される非鉄金属、特にシリコンを溶融及び／または結晶化する為の装置は、容器３として形成されたモールドを有する。上記モールドは基本的に、上部が開放された本質的に直方体形状に形成されており、又、本質的に直方体形状の内部空間４を５つの面で境界付ける。モールド３は単一部材でクォーツから形成され、モールド‐ベース５、互いに向かい合う２つのモールド側壁６、そして、互いに向かい合う２つのモールド端壁７を有する。モールド‐ベース５に向かい合って、モールド３を満たす為のモールド口８が設けられる。モールド３の内部空間４は、おおよそモールド口８までシリコン２で満たされる。
【０００８】
モールド‐ベース５、モールド側壁６、モールド端壁７、及びモールド口８のそれぞれの外壁は以下、外側面としても表現され、その際、これらは基本的に内部空間４の内部で、シリコン２の対応する外側面に対して平行である。
【０００９】
外側面に対して平行にそしてそれらから距離を置いて、それぞれ電気的に加熱可能な加熱エレメント９が配設される。上記加熱エレメントはシリコン２への能動的且つ方向付けられた熱の供給の為に制御可能である。その代わりに、少なくとも１つの、特に少なくとも２つの、とりわけ少なくとも４つの加熱エレメント９を、外側面の対応する数に対して距離を置いて配設することも出来る。それぞれの加熱エレメント９は、基本的に関係する外側面全体に渡って広がる。加熱エレメント９は、モールド口８と向かい合う加熱エレメント９を除いて、モールド３に対して固定される。その代わりに、それぞれの加熱エレメント９が手動で又は自動で、非図示のドライブによって、外側面に沿って移動可能であり、それにより不活性状態では、加熱エレメント９が関係する外側面と向かい合わないように、設計することも出来る。
【００１０】
それぞれの加熱エレメント９と関係する外側面の間には、シリコン２から熱を能動的に排出する為に、制御可能な冷却エレメント１０が配設される。それぞれの冷却エレメント１０は基本的に関係する外側面に対して平行にそして距離を置いて配設され、その際、冷却エレメント１０は外側面全体に渡って広がる。冷却エレメント１０は、モールド口８と向かい合う冷却エレメント１０を除いて、モールド３に対して固定される。その代わりに、それぞれの冷却エレメント１０は手動で又は自動で、非図示のドライブによって、外側面に沿って移動可能であり、それにより不活性状態では、冷却エレメント９が関係する外側面と向かい合わないように、設計することも出来る。
【００１１】
冷却エレメント１０を加熱エレメント９と関係する外側面の間に配設する代わりに、外側面の向かいに加熱エレメント９又は冷却エレメント１０を配設するように、設計することも出来る。例えば、２つの加熱エレメント９をモールド側壁６に向かい合わせて配設し、そして２つの冷却エレメント１０をモールドベース５及びモールド口８に向かい合わせて配設することも出来る。
【００１２】
それぞれの冷却エレメント１０は蛇行形状に形成された冷却パイプ１１を有し、上記冷却パイプ１１は、熱の排出の為、冷却流体特に冷却ガス１２によって貫流される。冷却パイプ１１は、高温耐性の非鉄金属材料、特にグラファイト、又は高温耐性の金属材料によって構成される。本願発明における意味での高温耐性の材料は、１６００℃より高い、特に２０００℃より高い、とりわけ２４００℃より高い融点を有する。
【００１３】
それぞれの冷却エレメント１０は更に、冷却ガス１２の貫流量を制御する為の、制御可能なバルブ形状をした貫流制御エレメント１３を有する。更に、冷却ガス１２の圧を制御する為に、制御可能なポンプ形状の圧制御エレメント１４が設けられる。それぞれの冷却エレメント１０は冷却パイプ１１によって非図示の熱変換機に接続され、また、冷却ガス１２の為の閉じた循環を形成する。その際、熱変換機内では、冷却ガス１２によって吸収された熱が排出される。その代わりに、冷却エレメント１０は冷却ガス１２の為に開放された循環を形成することも出来る、それにより、冷却ガス１２は常に交換される。
【００１４】
以下に、本願発明に従う装置１の実施例を示す。先ずモールド３は粉状又は粒状のシリコン２によって満たされる。その為に、モールド口８に向かい合う加熱エレメント９及び冷却エレメント１０は、モールド口８が充填のために自由に接近可能なように位置される。充填後、モールド口８に向かい合う加熱エレメント９及び冷却エレメント１０は、シリコン２の加熱及び冷却の為に、平行に、そしてモールド口８に向かい合って配設される。ここで、シリコン２に能動的に熱が供給され、シリコンが完全に溶融するように、加熱エレメント９は電気的に加熱される。その際、熱は蛇行形状の冷却エレメント１０の冷却パイプ１１の間を貫流する。その為に代わりに、既に完全に溶融した液状のシリコン２をモールド３に満たしてもよい。
【００１５】
シリコン２を完全に溶融させた後、シリコンは液体状態でモールド３に存在する。シリコン２の方向付けられたそして制御された結晶化及び凝固が続く。本願発明において、方向付けられた、とは下から上へ、つまり重力に反していることを意味する。液状のシリコン２の制御された結晶化の為に、制御可能な冷却エレメント１０を用いて、液状のシリコン２から能動的に熱が排出される。冷却パイプ１１を通って流れる冷却ガス１２は、シリコン２の放射熱を吸収し、送り出す。冷却ガス１２としては、原則的には、任意のガス又は混合ガスが使用可能であり、それは例えばアルゴンである。
【００１６】
熱の排出を制御する為に、冷却ガス１２の貫流量がバルブ１３によって、及び／または、冷却ガス１２の圧がポンプ１４によって、制御される。冷却エレメント１０は、冷却ガス１２の圧が、１０ｍｂａｒから１０ｂａｒで、特に５００ｍｂａｒから８ｂａｒで、とりわけ１ｂａｒから５ｂａｒで稼動される。更に冷却エレメント１０は、冷却ガス１２の貫流量が、１ｍ３／ｈから１００００ｍ３／ｈで、特には５０ｍ３／ｈから５０００ｍ３／ｈで、とりわけ１００ｍ３／ｈから１０００ｍ３／ｈで稼動される。
【００１７】
冷却エレメント１０は結晶化の際、結晶化が方向付けられて行われるように制御される。特にモールド‐ベース５に向かい合う冷却エレメント１０は、その他の冷却エレメント１０に比してより高い冷却作用を有するように制御される。液状のシリコン２の制御された結晶化によって、早すぎる又は不均一な冷却に基づく熱応力が避けられる。それにより、凝固したシリコン２における転移及びクラックが減少される。モールド口８に向かい合う、また露出された状態にある、シリコン２の外側表面での、制御された熱の排出は、それに加えて冷却の間の、ブロック形状のシリコン２の縁領域から内部への異物の、特に金属の異物の、逆拡散の減少を導く。より僅かな転移及び異物の数は可能な再結合中心を減少し、そして、ブロック形状のシリコン２から製造されるソーラーセルの光発電効率を向上させる。更に、シリコン２からの能動的で制御可能な熱の排出によって、ブロック形状で固体のシリコン２を製造する場合、特に既に凝固したシリコン２の冷却段階において、サイクル時間は減少される。加えて、シリコン２の順応性があり速い制御可能な冷却によって、凝固したシリコン２の品質を、目的を定めて調整及び適応することが冷却の割合に依存して可能となる。
【００１８】
上記の実施例の代わりに、シリコン２の溶融及び結晶化は別々の装置で行われてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】非鉄金属材料の溶融及び／または結晶化の為の装置の概略図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  装置
２  非鉄金属材料
３  容器（モールド）
４  内部空間
５  外側面（モールド‐ベース）
６  外側面（モールド側壁）
７  外側面（モールド端壁）
８  外側面（モールド口）
９  加熱エレメント
１０  冷却エレメント
１１  冷却パイプ
１２  冷却流体（冷却ガス）
１３  バルブ
１４  ポンプ
【図１】
2008534414.tif 000003
【国際調査報告】
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2008534414.tif 000005
2008534414.tif 000006
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