(57)【要約】本発明は、流体を取り扱うための、折り畳み式流体容器である。この折り畳み式流体容器は、液体を貯蔵するための内部容量（４６）を有し、この内部容量は、主チャンバ（５０）、および主チャンバ（５０）に接続された補助チャンバ（５２）を規定する。補助チャンバ（５２）は、物質を受容するように位置決めされる。取付具（４８）が、折り畳み式流体容器（１４）に封着される。この取付具は、流体容器（１４）の内部容量（４６）と連絡するポートを規定する。
2008503399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を取り扱うための折り畳み式流体容器であって、該流体容器は、液体送達システムの流路への接続のためのものであり、該流体容器は、
該液体を貯蔵するための内部容量であって、該内部容量は、主チャンバおよび補助チャンバを規定し、該主チャンバは、液体を該流路に分配するためのものであり、そして該補助チャンバは、物質を受容するためのものであり、該内部容量は、該主チャンバからの該補助チャンバの密封を可能にするように適合されている、内部容量；ならびに
該流体容器に封着された取付具であって、該取付具は、該流体容器の該内部容量と連絡するポートを規定する、取付具、
を備える、折り畳み式流体容器。
【請求項２】
前記物質が、上部空間の気体である、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項３】
前記物質が、前記流路からの液体である、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項４】
前記主チャンバおよび前記補助チャンバが、接続されている、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項５】
前記補助チャンバが、上部空間の気体を捕捉するように、前記主チャンバに対して位置決めされている、請求項４に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項６】
前記主チャンバが、前記補助チャンバに向かってテーパ状である、請求項５に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項７】
前記補助チャンバが、前記主チャンバに向かってテーパ状である、請求項４に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項８】
封止可能な通路が、前記主チャンバと前記補助チャンバとを接続している、請求項４に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項９】
前記内部容量が、可撓性ライナーによって規定されている、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項１０】
前記可撓性ライナーが、気体に対して不透過性の材料から形成されている、請求項９に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項１１】
出口取付具が、前記流体容器に封着されて、前記内部容量の前記主チャンバと連絡するポートを規定しており、そして入口取付具が、該流体容器に封着されて、該内部容量の前記補助チャンバと連絡するポートを規定している、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項１２】
前記流体容器が、微小構造体を加工する際に使用されるための液体を取り扱うためのものである、請求項１に記載の折り畳み式流体容器。
【請求項１３】
上部空間を最小にするように、液体で流体容器を満たすための方法であって、該方法は、
該液体を内部容量内に保持するための流体容器を提供する工程であって、該内部容量は、主チャンバおよび補助チャンバを有し、該補助チャンバは、該主チャンバに接続されている、工程；
該主チャンバが該液体を収容し、そして該補助チャンバが上部空間の気体を収容するように、該流体容器の該内部容量を、ある量の液体で満たす工程；ならびに
該上部空間の気体が該補助チャンバ内に捕捉されるように、該主チャンバから該補助チャンバを密封する工程、
を包含する、方法。
【請求項１４】
前記内部容量が、可撓性ライナーによって規定されている、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記可撓性ライナーが、気体に対して不透過性である、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記主チャンバが、前記補助チャンバに向かってテーパ状である、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
液体送達システムの流路から物質を収集するための方法であって、該方法は、
分配チャンバおよび収集チャンバを有する流体容器を提供する工程であって、該分配チャンバは、液体を保持している、工程；
該分配チャンバを該流路の入口端部に接続する工程；
該収集チャンバを該流路の出口端部に接続する工程；
該収集チャンバを該分配チャンバから密封する工程；ならびに
物質を、該流路から該収集チャンバ内に収集する工程、
を包含する、方法。
【請求項１８】
前記流体容器が、通路を有し、該通路は、前記分配チャンバと前記収集チャンバとを接続している、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記収集チャンバを前記分配チャンバから密封する工程が、該分配チャンバと該収集チャンバとの間の通路を封止して、該収集チャンバ内に収集された前記物質が該分配チャンバに入ることを防止する工程を包含する、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記通路の封止を外して、前記収集チャンバ内に収集された前記物質のうちの少なくともいくらかが、前記分配チャンバに入ることを可能にする工程、
をさらに包含する、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記物質が、前記流路からの液体である、請求項１７に記載の方法。
【請求項２２】
前記分配チャンバから、前記液体送達システムの前記流路内へと、前記液体を供給する工程、
をさらに包含する、請求項１７に記載の方法。
【請求項２３】
前記収集チャンバを前記分配チャンバから密封する工程が、
前記液体を前記流路内に供給する前に、前記流体容器の前記分配チャンバから、上部空間の気体を除去する工程であって、該上部空間の気体は、該分配チャンバと前記収集チャンバとの間の通路を封止し、該上部空間の気体が該収集チャンバ内に捕捉されるようにすることによって、該分配チャンバから除去される、工程、
を包含する、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
半導体デバイスを製造する方法であって、半導体製造プロセスの一部として、請求項１に記載の折り畳み式流体容器を使用して、材料を分配する、方法。
【請求項２５】
前記材料が、フォトレジスト溶液である、請求項２４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の背景）
本発明は、一般に、産業用液体送達システムにおいて使用するための流体容器の分野に関する。より特定すると、本発明は、液体化学ストリーム中の気体の微小気泡の形成を最小にすることを補助する、流体容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの産業プロセス用途において、流体容器は、液体送達システムのプロセス液体の供給源として使用される。しばしば、流体容器は、最終使用設備から離れた位置で製造および充填される。このような状況において、最小使用設備は、次いで、流体容器を液体送達システムに直接組み込むか、または流体容器からの液体を全て、液体送達システムに接続されたレザバに入れる。
【０００３】
特定の産業プロセス用途において、液体送達システムを通って移動する液体中の、気体微小気泡の存在は、有害な影響を有し得る。例えば、液体が基材上に堆積されて層を形成する場合、この堆積される液体中の微小気泡の存在は、堆積された層または引き続いて堆積される層に欠陥を引き起こし得る。流体容器および液体送達システムの圧力条件に依存して、流体容器および／または液体送達システム中の上部空間の気体の存在は、液体ストリーム中での微小気泡の形成に寄与し得る。
【０００４】
半導体産業（例えば、集積回路を製造する際の通常の製造工程）は、フォトレジスト溶液をシリコンウエハ上に堆積させる工程を包含する。フォトレジスト溶液中の微小気泡の存在は、代表的に、引き続くプロセス工程において、ウエハの表面に欠陥部位を生じる。集積回路上のフィーチャーは、小さくなり続けているので、微小気泡の存在は、集積回路の質に対する危険を次第に増加させている。さらに、微小気泡が産業用液体送達システム中で観察される場合、そのシステムはしばしば、これらの微小気泡が排除されるまでパージされる。このことは、高価な化学的液体の浪費を生じ得る。従って、液体送達システム中の微小気泡の存在を排除するかまたは少なくとも最小にすることが有利である。
【０００５】
微小気泡の形成に関連するこれらの問題を考慮して、上部空間の気体を除去し、そして液体送達システムを通って移動する液体中での微小気泡の形成を減少させることを補助する、流体容器が必要とされている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（発明の簡単な要旨）
本発明は、流体を取り扱うための折り畳み式流体容器であり、この容器は、この液体を貯蔵するための内部容量を備える。この内部容量は、主チャンバおよび補助チャンバを規定する。この主チャンバは、液体送達システムの流路に液体を分配するためのものであり、そしてこの補助チャンバは、物質を受容するためのものである。取付具が、この流体容器に封着され、そしてこの流体容器の内部容量と連絡するポートを規定する。
【０００７】
以下で同定される図面は、本発明の数個の実施形態を記載するが、議論において留意されるように、他の実施形態もまた企図される。全ての場合において、本開示は、本発明を例示として提供するのであり、限定として提示するのではない。本発明の原理の範囲および精神に入る、多数の他の改変および実施形態が、当業者によって考案され得ることが、理解されるべきである。図は、同一縮尺で描かれていないかもしれない。同じ番号は、全ての図にわたって、同じ部品を表すために使用されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（詳細な説明）
上部空間の気体を、流体容器および液体送達システムの流路から排除することは、この流路を通って移動している液体中での微小気泡の形成を阻止するために重要である。従って、本発明は、流体容器の内部容量および／または液体送達システムの流路から、上部空間の気体を排除し得る流体容器に関する。本発明はさらに、液体および／または上部空間の気体を、液体送達システムの流路から排除して、別個に配管される配水管に対する必要性を排除し得、そして液体が後の使用のために貯蔵されることを可能にし得る、流体容器に関する。
【０００９】
気体は、物理的様式で、化学反応も化学的相互作用もなしに液体に溶解し得ることが、周知である。化学反応も化学的相互作用も起こさずに液体に溶解した気体は、この液体中でのこの気体の溶解度が低下すると、溶液に溶けなくなり得、そして微小気泡を形成し得る。平衡状態下で液体中に溶解する気体の全体積は、液体の組成、気体の組成、気体の分圧、および温度に依存する。液体と気体との組成が一定であり、そして温度が一定のままである場合、この液体中への気体の溶解度は、この液体の表面より上にある気体の圧力に正比例する。他に詳述されない限り、用語「気体」は、本明細書中で、大気圧の空気、および他の任意の気体または気体の組み合わせを包含することが、意図される。
【００１０】
図１〜図３Ｃは、流体容器から下流プロセスへと液体を送達するための、液体送達システムのブロック図による表現を示す。図１および図２は、微小気泡の形成に寄与する液体送達システムの状態を説明するために、包含される。図３Ａ〜図３Ｃは、微小気泡の形成を阻止する液体送達システムを説明するために、包含される。用語「微小気泡」とは、本明細書中で、（１）拡大なしで人の目に見える気体の泡と、（２）小さすぎて拡大または他の検出手段なしでは見えない気体の泡との、両方を包含することが意図される。
【００１１】
図１に示されるように、液体送達システムは、流体容器１４を備え、この流体容器は、流路１８を介して、下流プロセス１６と連絡している。液体は、流体容器１４から、流路１８の入口端部２０へと供給され、そして流路１８に沿って、流路１８の出口端部２２へと送達され、この出口端部は、下流プロセス１６と連絡している。流体容器１４内の液体には、ある体積の気体が内部に溶解しており、この気体は、平衡化した圧力Ｐｅｑに比例する。平衡化した圧力とは、気体が液体に曝露され、そしてこの液体とほぼ平衡化する圧力である。この液体が、充分な時間にわたって、Ｐｅｑの気体に曝露されると仮定すると、この液体は、溶解した気体でほぼ飽和される。多くの産業プロセス用途において、Ｐｅｑは、大気圧に等しい。
【００１２】
図１に示されるように、流体容器１４中の液体は、流体容器１４の内側の初期圧力Ｐｉに曝露される。この液体が入口端部２０に入り、そして流路１８を通って出口端部２２まで流れるにつれて、この液体は、流れ圧力Ｐｆに曝露される。この流れ圧力は、流路内の所定の地点における流れ圧力を表す。Ｐｆは、入口端部２０と出口端部２２との間の流路１８に沿って変動して、圧力勾配を生じ、この圧力勾配は、液体を、入口端部２０から出口端部２２へと流す。
【００１３】
液体送達システムを通って流れる飽和液体の圧力が低下すると、この液体中に、気体に微小気泡が形成する。図１の液体送達システムにおいて、微小気泡の形成は、一般に、ＰｆがＰｅｑ未満に低下すると、流路１８において起こる。Ｐｅｑ未満までの圧力の低下は、この液体中での気体の溶解度を低下させ、この液体を過飽和にし、これによって、溶解した気体が溶液に溶けられなくなり、そして微小気泡を形成する。従って、微小気泡の形成は、流路内の液体の圧力を、少なくとも液体が気体と平衡化される圧力程度まで高いレベルに維持することによって、阻止され得る。すなわち、微小気泡の形成は、Ｐｆを、Ｐｅｑ以上のレベルに維持することによって、阻止され得る。多くの産業プロセス用途において、このことは、液体の圧力が、大気圧未満に低下することを防止することを意味する。
【００１４】
液体送達システムは、流路内にポンプを備えて、この流路を通る液体を計量し得、そして／またはこの液体の流れを補助し得る。図２は、図１の液体送達システムのブロック図による表現であり、ここで、流路１４は、ポンプ２４を備える。液体送達システムの特定の構成において、ポンプ２４は、一般に、流路２８の吸引側２６に、Ｐｉより低いＰｆを確立する。例えば、流体容器１４がポンプ２４より低い位置に位置する場合、または流路１８内に充分な摩擦が存在する場合、液体を流体容器１４からポンプ２４へと流路に沿って流すために、Ｐｉより低いＰｆが確立されなければならない。このようにする際に、ＰｆがＰｅｑ未満に低下すると、流路１８内の液体中に微小気泡が形成し得る。従って、このような微小気泡の形成は、ＰｆがＰｅｑ未満に低下することを防ぐことによって、阻止され得る。液体送達システムの微小気泡の形成のさらなる議論については、同時係属中の出願（発明の名称「Ｌｉｑｕｉｄ  Ｄｅｌｉｖｅｒｙ  Ｓｙｓｔｅｍ」、これは、本明細書中に参考として援用される）を参照のこと。
【００１５】
図３Ａ〜図３Ｃは、ＰｆがＰｅｑ未満に低下することを防ぐ、図１の液体送達システムの異なる実施例を示す。図３Ａにおいて、流体容器１４は、流路１８に対して距離２８だけ上昇しており、ＰｆがＰｅｑ未満に低下することを防ぐ。例えば、Ｐｅｑが大気圧に等しい産業プロセス用途において、流体容器１４を距離２８だけ上昇させることによって、Ｐｆが一般に、大気圧未満に低下することが防がれる。流体容器を液体送達システムの他の部分に対して上昇させることによって、正の水頭が作製され、これは、圧力を大気圧未満のレベルに達せさせることなく、圧力の低下を吸収するバッファとして働く。従って、微小気泡の形成は、流体容器を、液体送達システムの他の部分に対して上昇させることによって、阻止され得る。
【００１６】
多くの産業プロセス用途において、流体容器を液体送達システムの流路に対して上昇させることは、実用的ではないかもしれない。しかし、正の水頭の効果は、流体容器を実際に上昇させることなく、流体容器内の液体に圧力を付与して、この液体の圧力を上昇させることによって、模倣され得る。図３Ｂおよび図３Ｃの各々は、流体容器内の液体に圧力を付与して、ＰｉをＰｅｑより高く上昇させ、ＰｆがＰｅｑ未満に低下することを防ぐためのシステムを図示する。
【００１７】
図３Ｂは、機械的力アプリケータ３２によって流体容器１４に付与され、流体容器１４を上昇させる効果をシミュレートするようにＰｉを上昇させる、機械的力３０を示す。適切な機械的力アプリケータの例としては、ピストンまたはプランジャーが挙げられる。図３Ｃは、流体圧力アプリケータ３６によって流体容器１４に付与され、流体容器１４を上昇させる効果をシミュレートするようにＰｉを上昇させる、流体圧力３４を示す。
【００１８】
上部空間の気体が、流体容器の内部に存在する場合、ＰｉがＰｅｑより高くされると、この上昇した圧力は、さらなる気体を溶液中に駆動し、そして微小気泡の形成は、液体の圧力が引き続いてＰｉ未満に低下すると生じ得る。従って、ＰｉがＰｅｑより大きい場合、流体容器１４は、微小気泡の形成を阻止するために、上部空間の気体を実質的に含まないべきである。本発明の流体の容器の主要な特徴は、上部空間の気体を流体容器の内部容量から除去して、引き続く微小気泡の形成を阻止する能力である。
【００１９】
図４Ａ〜図４Ｃは、本発明の折り畳み式ライナーを示し、図４Ａは、折り畳み式ライナー４０の正面図を示し、図４Ｂは、折り畳み式ライナー４０が液体で満たされた後であって気体捕捉用補助チャンバが封止される前の、図４Ａの線４−４に沿って見た断面を示し、そして図４Ｃは、折り畳み式ライナー４０が液体で満たされて気体捕捉用補助チャンバが封止された後の、図４Ａの線４−４に沿って見た断面を示す。折り畳み式ライナー４０は、液体送達システムにおいて、流体容器として、または流体容器の構成要素として、使用され得る。
【００２０】
折り畳み式ライナー４０は、上部フィルム４２および底部フィルム４４を有し、これらのフィルムは、一緒に封着されて、液体を保持するための内部容量４６を規定する。図４Ａに示されるように、フィルム４２およびフィルム４４の、一緒に封着された部分は、斜線によって示されている。内部容量４６は、主チャンバ５０、および主チャンバ５０に接続された気体捕捉用補助チャンバ５２を有する。主チャンバ５０は、テーパ状の壁５４および５６を有し、これらの壁は、補助チャンバ５２の方へとテーパ状である。
【００２１】
取付具４８が、折り畳み式ライナー４０に封着されて、内部容量４６と連絡するポートを規定する。このようなポートは、液体を内部容量４６に供給するために使用され得る。さらに、取付具４８は、液体を、内部容量４６から流路内へと分配するために使用され得るか、またはさらなる取付具が、このような目的で備えられ得る。さらに、取付具４８は、複数のポートを規定し得、そして流体容器内の、内部容量４６と連絡し得る任意の位置に位置し得る。本発明の他の実施形態において、複数の取付具が、流体容器の内部容量と連絡する。取付具は、当該分野において公知である任意の設計のものであり得、そして流体容器上の任意の位置で、任意の組み合わせで位置し得る。
【００２２】
折り畳み式ライナー４０は、材料の可撓性シートを折り畳んで、上部フィルム４２および底部フィルム４４を形成することにより、形成され得る。１つの実施形態において、シートの材料は、気体に対して不透過性である。適切な材料の例としては、フッ素化ポリマー（例えば、ポリテトラフルオロエチレン（「ＰＴＦＥ」）およびパーフルオロアルコキシ（「ＰＦＡ」））、ポリエチレン、ナイロンバリア層を有するポリエチレン、ならびにこれらの組み合わせが挙げられる。フィルム４２および４４の買収部は、一緒に封着されて、内部容量４６を形成する。内部容量４６の形状は、フィルム４２および４４の、一緒に封着される部分によって決定される。フィルム４２および４４は、これらの２つのフィルムが合わさる外周部全体の周りで封着され得るか、あるいは、この外周部の１つ以上の領域が封着されずに残されて、任意の数の取付具を受け入れ得る。さらに、当該分野において公知である他の任意の適切な製造方法が、折り畳み式ライナー４０を形成するために使用され得る。１つの実施形態において、折り畳み式ライナー４０のフィルム４２および４４は、一緒に固く粘着する傾向がある材料から構成され、これは、空気が内部容量４６内に捕捉されることを妨げる。フィルム４２および４４の、互いに対する引力は、これらのフィルムに静電荷を付与してこれらのフィルム間の引力を改善することによって達成されるか、または増強され、上部空間の気体を内部容量４６から押し出すことを補助し得る。
【００２３】
上部空間がほぼ０である条件が、折り畳み式ライナー４０の内部で望ましい場合には、内部容量４６は、最初に、主チャンバ５０を液体で完全に満たすために充分な量の液体で、満たされる。主チャンバ５０からの上部空間の最適な除去を達成するために、折り畳み式ライナー４０は、補助チャンバ５２が最高の高さを有し、そして主チャンバ５０が最低の高さを有するように、垂直に配向されるべきである。この配向は、上部空間の気体が、補助チャンバ５２の内部に集まり、気体／液体界面５８が、補助チャンバ５２の内部に位置することを促進する。主チャンバ５０のテーパ状の壁５４および５６は、上部空間の気体が補助チャンバ５２の方へと移動することを、さらに促進する。図４Ｂおよび図４Ｃに示されるように、界面５８が気体空洞５２の内部に位置し、そして主チャンバ５０が上部空間の気体をほぼ有さなくなった後に、補助チャンバ５２は、主チャンバ５０から密封され、これによって、上部空間の気体を、補助チャンバ５２内に捕捉する。主チャンバ５０からの上部空間の気体の最大の除去を達成するために、補助チャンバ５２は、界面５８より下の位置で密封される。
【００２４】
補助チャンバ５２は、当該分野において公知である任意の適切な方法を使用して、密封され得る。図４Ｃは、ピンチ機構５９の例を示し、この機構は、補助チャンバ５２を主チャンバ５０から密封するために使用され得る。
【００２５】
図５Ａ〜図５Ｃは、本発明の流体容器の別の実施形態を示し、この実施形態は、液体および／または上部空間の気体が、液体送達システムの流路の出口から収集されることを可能にする。図５Ａは、折り畳み式ライナー６０の側面図を示す；図５Ｂは、分配チャンバを液体で満たした後であって、収集チャンバを密封する前の、図５Ａの線５−５に沿って見た、折り畳み式ライナー６０の断面を示す；そして図５Ｃは、収集チャンバを密封し、液体を収集チャンバから分配し、そして液体を収集チャンバ内に収集した後の、図５Ａの線５−５に沿って見た、折り畳み式ライナー６０の断面を示す。折り畳み式ライナー４０と同様に、折り畳み式ライナー６０は、液体送達システムのための流体容器として使用され得るか、またはこのような流体容器の構成要素として使用され得る。
【００２６】
折り畳み式ライナー６０は、上部フィルム６４および底部フィルム６６によって規定される内部容量６２を有し、これらのフィルムは、図５Ａにおいて斜線によって表されるように、一緒に封着される。内部容量６２は、分配チャンバ６８、収集チャンバ７０、および分配チャンバ６８と収集チャンバ７０とを接続する通路７２を備える。１つの実施形態において、分配チャンバ６８および収集チャンバ７０の壁は、通路７２に向かってテーパ状である。吊り下げ穴７３が、フィルム６４および６６に形成されて、支持体を受容し得、折り畳み式ライナー６０が垂直に吊下されることを可能にする。
【００２７】
折り畳み式ライナー６０は、折り畳み式ライナー４０について上に記載された方法に従って、形成され得る。フィルム６４および６６の一部は、一緒に封着されて、内部容量６２を形成し得、図５Ａにおける斜線が、フィルム６４および６６の一緒に封着された部分を表す。これらの２つのフィルムは、これらの２つのフィルムが合わさる外周全体の周りで封着され得るか、あるいは、この外周の１つ以上の領域が封着されずに残されて、任意の数の取付具を受け入れ得る。
【００２８】
折り畳み式ライナー４０と同様に、折り畳み式ライナー６０は、上部空間が０である状態を達成するように構成され得る。通路７２は、分配チャンバ６８と収集チャンバ７０との間の連絡を遮断するように封止され得、そして収集チャンバ７０内の上部空間の気体を隔離し得る。上部空間が０である状態は、折り畳み式ライナー４０について上に記載された方法を使用して、分配チャンバ６８の内部に与えられ得る。例えば、図５Ｂに示されるように、折り畳み式ライナー６０が満たされ、そして液体と上部空間の気体との間の界面５８が通路７２の内部に位置するように配向される。次いで、通路７２は、図４Ｃにおける折り畳み式ライナー４０と同様に、界面５８より下でピンチされる。従って、収集チャンバ７０は、折り畳み式ライナー４０の補助チャンバ５２と同様に、気体捕捉用チャンバとして使用され得る。１つの実施形態において、クランプデバイスを挿入して通路７２を密封するための、クランプ穴７４がフィルム６４および６６に提供される。
【００２９】
取付具７６および７８は、折り畳み式ライナー６０に封着されて、内部容量６２と連絡するポートを規定する。取付具７６は、分配チャンバ６８の、収集チャンバ７０と反対側の端部に位置し、そして取付具７８は、収集チャンバ７０の、分配チャンバ６８と反対側の端部に位置する。他の実施形態において、任意の数のポートを有する任意の数の取付具が、折り畳み式ライナー４０に、内部容量６２へのアクセスを提供する任意の位置で封着され得る。
【００３０】
取付具７６および７８は、それぞれ、流路の入口端部および流路の出口端部と嵌合し得、これによって、各取付具を、この流路と連絡させて配置する。この構成において、分配チャンバ６８内の液体は、この流路内に分配され得、そしてこの流路からの液体は、収集チャンバ７０内に収集され得る。図５Ｃは、液体が分配チャンバ６８から流路内へと分配された後に、密封された収集チャンバ７０内に液体が収集されている、折り畳み式ライナー６０を示す。図５Ｃの破線は、液体を流路に分配する前の、分配チャンバ６８の断面を表す。この収集チャンバ内に収集された液体は、後の使用のためにとっておかれても、処分されてもよい。従って、収集チャンバは、貯蔵レザバまたは廃液レザバとして機能し得る。特に、収集チャンバは、上部空間の気体または他の夾雑物を流路からパージするために使用される液体を受容するために、使用され得る。
【００３１】
収集チャンバ７０内に収集された液体は、通路７２の封止を外すことによって、分配チャンバ６８内に廃液され得る。さらに、この液体は、収集チャンバ７０内で平衡化され得、その後、分配チャンバ６８内に戻るように廃液され、これによって、液体中の溶存気体の量を減少させ、そして微小気泡の形成を防止する。
【００３２】
本発明を使用して、上部空間の気体のいずれをも周囲環境に排気することなく、上部空間の気体は、流体容器内の液体から除去され得る。本発明のこの特徴は、高価な液体の浪費（これは、上部空間の気体を流体容器の内部から排気する場合に起こり得る）を減少させ、そして毒性の液体または腐食性の液体を保持している流体チャンバから、上部空間の気体を除去するための、安全な手段を提供する。
【００３３】
本発明は、好ましい実施形態を参照して記載されたが、当業者は、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、形式および細部において変更がなされ得ることを認識する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、液体送達システムのブロック図による表現である。
【図２】図２は、ポンプを備える、図１の液体送達システムのブロック図による表現である。
【図３Ａ】図３Ａは、上昇した流体容器を備える、図１の液体送達システムのブロック図による表現である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、機械的力アプリケータを備える、図１の液体送達システムのブロック図による表現である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、流体圧力アプリケータを備える、図１の液体送達システムのブロック図による表現である。
【図４Ａ】図４Ａは、気体捕捉用補助チャンバを備える、折り畳み式ライナーの正面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、気体捕捉用補助チャンバの封止前の、図４Ａの線４−４に沿って見た断面である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、気体捕捉用補助チャンバの封止後の、図４Ａの線４−４に沿って見た断面である。
【図５Ａ】図５Ａは、分配チャンバおよび収集チャンバを有する、折り畳み式ライナーの正面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、収集チャンバの封止前の、図５Ａの線５−５に沿って見た断面である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、収集チャンバの封止後の、図５Ａの線５−５に沿って見た断面である。
【図１】
2008503399.tif 000003
【図２】
2008503399.tif 000004
【図３Ａ】
2008503399.tif 000005
【図３Ｂ】
2008503399.tif 000006
【図３Ｃ】
2008503399.tif 000007
【図４Ａ】
2008503399.tif 000008
【図４Ｂ】
2008503399.tif 000009
【図４Ｃ】
2008503399.tif 000010
【図５Ａ】
2008503399.tif 000011
【図５Ｂ】
2008503399.tif 000012
【図５Ｃ】
2008503399.tif 000013
【国際調査報告】
2008503399.tif 000014