(57)【要約】【課題】  本発明はガラス質材料のシート上に形成された多層太陽遮蔽積層体を提供する。【解決手段】  ガラス質材料のシート上に形成された多層太陽遮蔽積層構造であって、それが赤外線を反射する銀系物質から構成された少なくとも一つの機能層と少なくとも二つの誘電被膜を含み、それらの誘電被膜の一つがガラス質材料のシートの上に直接付着された第一誘電被膜でありかつ他方が機能層（単数または複数）に関してその外側に位置しており、各機能層が誘電被膜により取り囲まれており、更に前記積層構造が、通常の透明ソーダ石灰フロートガラスシート６ｍｍ厚上に付着されたとき、４５％未満のソーラファクターＳＦと７０％未満の光透過率ＬＴを持つものにおいて、積層構造が機能層の直ぐ近くに配置されるかまたはこの機能層内に含まれた次の元素の少なくとも一つ：Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｗ，Ｓｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｍｎ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｈｆ，Ｔａ及びそれらの合金に基づく本質的に金属の吸収性物質から構成されることを特徴とする積層構造。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス質材料のシート上に形成された多層太陽遮蔽積層構造であって、それが赤外線を反射する銀系物質から構成された少なくとも一つの機能層と少なくとも二つの誘電被膜を含み、それらの誘電被膜の一つがガラス質材料のシートの上に直接付着された第一誘電被膜でありかつ他方が機能層（単数または複数）に関してその外側に位置しており、各機能層が誘電被膜により取り囲まれており、更に前記積層構造が、通常の透明ソーダ石灰フロートガラスシート６ｍｍ厚上に付着されたとき、４５％未満のソーラファクターＳＦと７０％未満の光透過率ＬＴを持つものにおいて、積層構造が、機能層の直ぐ近くに配置されるかまたはこの機能層内に含まれた次の元素の少なくとも一つ：Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｗ，Ｓｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｍｎ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｈｆ，Ｔａ及びそれらの合金に基づく本質的に金属の吸収性物質から構成されることを特徴とする積層構造。
【請求項２】
積層構造の外側の誘電被膜が少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層及び／または次の物質：ＡｌＮ，ＡｌＮｘＯｙ，Ｓｉ３Ｎ４，ＳｉＯｘＮｙ，ＳｉＯ２，ＺｒＮ，ＳｉＣ，ＳｉＯｘＣｙ，ＴａＣ，ＴｉＮ，ＴｉＮｘＯｙ，ＴｉＣ，ＣｒＣ，ＤＬＣ及びそれらの合金、及びＳｉＡｌＯｘＮｙまたはＳｉＴｉｘＮｙのような合金の窒化物または酸窒化物の中から選ばれた５ｎｍを越える厚さを持つ酸素拡散に対する遮断層を含むことを特徴とする請求項１に記載の積層構造。
【請求項３】
吸収性物質が機能層中に含まれることを特徴とする請求項１または２の一つに記載の積層構造。
【請求項４】
機能層が、赤外線を反射する銀系物質との合金として、またはそれをドープされた合金として、１〜３０原子％、好ましくは５〜２０％の吸収性物質を含むことを特徴とする請求項３に記載の積層構造。
【請求項５】
機能層が５〜１０％の吸収性物質を含むことを特徴とする請求項４に記載の積層構造。
【請求項６】
機能層に含まれる吸収性物質が次の物質：Ｎｉ，Ｃｒ，ＮｉＣｒ，ＣｏＣｒ，Ｗ，Ｓｉ及びＮｉＶの中から選ばれることを特徴とする請求項４または５の一つに記載の積層構造。
【請求項７】
機能層に含まれる吸収性物質が次の物質：Ｏｓ，Ｃｏ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｉｒ，Ｒｕ及びＲｈの中から選ばれることを特徴とする請求項４または５の一つに記載の積層構造。
【請求項８】
吸収性物質が、機能層の下または上に付着されかつこれと直接接触した機能層とは別個の層の一部を少なくとも部分的に形成することを特徴とする請求項１または２の一つに記載の積層構造。
【請求項９】
吸収性物質が機能層の保護のためを意図された犠牲金属層との合金を形成することを特徴とする請求項８に記載の積層構造。
【請求項１０】
吸収性物質が、機能層の下または上に付着されかつ機能層と直接接触した前記別個の層の主要部を構成することを特徴とする請求項８に記載の積層構造。
【請求項１１】
吸収性物質のこの別個の層が０．３〜１０ｎｍ、好ましくは０．４〜５ｎｍの範囲内の物理的厚さを持つことを特徴とする請求項１０に記載の積層構造。
【請求項１２】
吸収性物質のこの別個の層が０．８〜３ｎｍの範囲内の物理的厚さを持つことを特徴とする請求項１１に記載の積層構造。
【請求項１３】
吸収性物質が次の元素の少なくとも一つ：Ｐｔ，Ｐｄ，Ｃｏ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｏｓ，ＣｏＣｒ，Ｔｉ及びＮｉＣｒ及びそれらの合金から選ばれることを特徴とする請求項１から１２の一つに記載の積層構造。
【請求項１４】
吸収性物質がパラジウムであることを特徴とする請求項１３に記載の積層構造。
【請求項１５】
積層構造の光吸収の４〜３５％、好ましくは８〜２２％が吸収性物質に帰因することを特徴とする請求項１から１４の一つに記載の積層構造。
【請求項１６】
第一誘電被膜及び外部誘電被膜が少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含むことを特徴とする請求項１から１５の一つに記載の積層構造。
【請求項１７】
積層構造がガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含むことを特徴とする請求項１から１６の一つに記載の積層構造：
ａ）第一誘電被膜、
ｂ）銀系機能層、
ｃ）吸収層
ｄ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｅ）外部誘電層。
【請求項１８】
積層構造が、少なくとも一つの中間誘電被膜により分離された少なくとも二つの機能層を含むことを特徴とする請求項１から１７の一つに記載の積層構造。
【請求項１９】
吸収性物質が、ガラス質材料のシートから最も遠くに離れた機能層の直ぐ近くに配置されるか、またはその機能層に含まれること、及び一つの吸収性物質が同じ吸収レベルを提供する別の吸収性物質により置き換えられるときにその色相が有意な変化をしないことを特徴とする請求項１８に記載の積層構造。
【請求項２０】
積層構造がガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含むことを特徴とする請求項１８または１９の一つに記載の積層構造：
ａ）第一誘電被膜、
ｂ）第一銀系機能層、
ｃ）次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｄ）中間誘電被膜
ｅ）第二銀系機能層、
ｆ）吸収層、
ｇ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｈ）外部誘電層。
【請求項２１】
積層構造がガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含むことを特徴とする請求項１８から２０の一つに記載の積層構造：
ａ）少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含む第一誘電被膜、
ｂ）第一銀系機能層、
ｃ）次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｄ）中間誘電被膜
ｅ）第二銀系機能層、
ｆ）パラジウム系吸収層、
ｇ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｈ）少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含む外部誘電層。
【請求項２２】
全ての誘電被膜が略５０％の錫と亜鉛を持つ亜鉛−錫混合酸化物系層、及び約１０％以下の錫と少なくとも約９０％の亜鉛を持つ亜鉛−錫混合酸化物系層を含み、この後者の層が略５０％の錫を持つ混合酸化物層に続く機能層に接近していつも配置されていることを特徴とする請求項２１に記載の積層構造。
【請求項２３】
積層構造が１．５〜１０ｎｍの厚さを持つ薄い炭素系保護層により仕上げられることを特徴とする請求項１から２２の一つに記載の積層構造。
【請求項２４】
請求項１から２３の一つに記載の積層構造を保持しているガラスシート。
【請求項２５】
ガラスシートが、３０〜５５、好ましくは４０〜５０の範囲内のＬ＊、−４〜＋３、好ましくは−２．５〜＋１．５の範囲内のａ＊、及び−４〜−１６、好ましくは−６〜−１３の範囲内のｂ＊により示されたガラス側の反射で試験された色相を持つことを特徴とする請求項２４に記載のガラスシート。
【請求項２６】
ガラスシートが多層積層構造の付着後に強化及び／または曲げ熱処理を受けさせられたことを特徴とする請求項２４または２５の一つに記載のガラスシート。
【請求項２７】
熱処理後の積層構造の光吸収の４〜３５％、好ましくは８〜２２％が吸収性物質に帰因することを特徴とする請求項２６に記載のガラスシート。
【請求項２８】
請求項２６または２７の一つに記載の少なくとも一つのガラスシートを含む第一群と熱処理を受けさせていない請求項２４または２５の一つに記載の少なくとも一つのガラスシートを含む第二群から形成された組立て品において、二つの群がガラス側の反射で同じ見え方を持ち、従ってそれらが有意な視覚変化なしに一緒に置かれることができることを特徴とする組立て品。
【請求項２９】
請求項２４から２７の一つに記載のガラスシートを含むことを特徴とする多層板ガラス。
【請求項３０】
１５〜４０％の範囲のソーラファクターＳＦ、少なくとも３０％の光透過率、及び透過で比較的無彩色でありかつ積層構造を支持するガラスシートの側の反射で無彩色からわずかに青味を帯びた色を持つことを特徴とする請求項２９に記載の多層板ガラス。
【請求項３１】
少なくとも４５％、好ましくは少なくとも５０％、有利には少なくとも５５％の光透過率、及び２０〜３５％、好ましくは２５〜３５％の範囲のソーラファクターＳＦを持つことを特徴とする請求項３０に記載の多層板ガラス。
【請求項３２】
多層板ガラスが積層構造を支持するガラスシートの側の反射で、４０〜５５、好ましくは４５〜５２の範囲のＬ＊、１．５〜−６、好ましくは０．５〜−４の範囲のａ＊、及び−３〜−１５、好ましくは−５〜−１２の範囲のｂ＊により表された色相を持ち、更に積層構造が多層板ガラスの内部空間に向けて配置されていることを特徴とする請求項２９から３１の一つに記載の多層板ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス質材料のシート上に形成された多層太陽遮蔽積層構造、前記積層構造を支持しているガラスシート、並びにかかるガラスシートを組込まれている多層板ガラスに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明が関係する太陽遮蔽積層構造は赤外線を反射する物質に基づいた少なくとも一つの機能層と少なくとも二つの誘電被膜を含み、これらの誘電被膜の一つはガラス質材料のシートの上に直接付着された第一誘電被膜であり、他方は機能層（単数または複数）に関して外側に位置しており、各機能層は誘電被膜により取り囲まれている。これらの種々の層は例えば周知のマグネトロンタイプの装置において磁場により補助された減圧陰極スパッターにより付着される。
【０００３】
これらの太陽遮蔽積層は、例えば日射の結果として大きなガラス窓表面を持つ密閉空間内の過剰温度上昇の危険を減らすために太陽保護板ガラスを形成するために、そしてこのようにして夏の空気調節を考慮に入れて電力負荷を減らすために使用される。この場合、板ガラスは全太陽エネルギー線の最少可能量を通過させなければならない。すなわち、それは最低の可能なソーラファクター（ｓｏｌａｒ  ｆａｃｔｏｒ）（ＳＦまたはｇ）を持たなければならない。しかし、それは建物内の十分なレベルの照明を提供するためにあるレベルの光透過率（ＬＴ）を保証することが大いに望ましい。これらの幾らか矛盾する要求は、光透過率のソーラファクターに対する比により規定される高い選択率（Ｓ）を持つ板ガラスユニットを得る要求を表す。これらの太陽遮蔽積層はまた、低い輻射率を持ち、それは高波長赤外線を通しての熱損失の減少を可能とする。このようにして、それらは大きなガラス窓表面の断熱を改善し、エネルギー損失と寒い時期の加熱費用を減らす。
【０００４】
光透過率（ＬＴ）は板ガラスにより透過される光源Ｄ６５の入射光束の百分率である。ソーラファクター（ＳＦまたはｇ）は、一方では板ガラスにより直接透過されるものと、他方ではこれにより吸収され、次いで板ガラスに関してエネルギー源に対向する方向に放射されるものの入射エネルギー線の百分率である。
【０００５】
これらの太陽遮蔽板ガラス装置は一般的に二重板ガラス装置として組立てられ、そこでは積層構造を支持するガラスシートは被膜を持つまたは持たない、二つのガラスシート間の空間内に設けられた多層積層構造を持つ別のガラスシートに結合される。
【０００６】
ある場合には、板ガラスをその機械応力への抵抗性を改善するためにガラスシート（単数または複数）の熱強化のような機械強化操作を受けさせることが必要であることが多い。板ガラスユニットの製造工程及び形状付与工程において、既に処理された基板を被覆する代わりに既に被覆された基板上にこれらの強化操作を実行することに幾らかの利益がある。これらの操作は比較的高い温度、すなわち例えば銀系赤外反射層がその光学的性質及び赤外線に関してのその性質を劣化しかつ失う傾向がある温度で実行される。従って、被覆されたガラスシートが熱強化操作を受けなければならない場合において、被覆されたガラスシートが形成されている理由であるその光学的及び／またはエネルギー関係性質を失うことなく、熱強化または曲げ処理を受けることができる積層構造を形成するために全く特別の注意が取られなければならない。この熱強化または曲げ処理は以下において表現“強化可能”としばしば言及する。
【０００７】
また、板ガラスユニットが光反射（ＬＲ）、すなわち板ガラスにより反射された光源Ｄ６５の入射光束の百分率、及び反射かつ透過された色に関して、ある美的基準を満たすことが望ましい。市場要求は低い光反射を持つ板ガラスに対してある。高選択率と低光反射の組合せは反射において紫色相の形成をもたらし、それはほとんど美的魅力を持たない。
【０００８】
板ガラスを通してその場所中に侵入する熱の量を減らすために、目に見えない赤外熱放射線が板ガラスを反射することにより板ガラスを通過するのを防がれる。これは赤外線を反射する材料に基づいた機能層（単数または複数）の役目である。これは太陽遮蔽積層構造の必須の要素である。しかし、熱放射線の著しい部分はまた、可視光線により透過される。熱放射線のこの部分の透過を減らすためにかつ赤外線によるエネルギーの供給を排除することを克服するために、光透過のレベルを減らすことが必要である。
【０００９】
特許出願ＷＯ  ０２／４８０６５Ａ１により提案された解決策は、例えばＴｉＮの吸収層を積層構造中に挿入して透明誘電材料の二つの層間にこの層を封入することである。この方法では、この文献は、吸収層がガラスと接触せず、それが特にガラスが熱処理を受けなければならないときの熱の影響下のガラスから来る酸素及びアルカリ物質の拡散と関連する問題を制限するのみならず、銀と直接接触せず、それが特に熱の影響下の接触時の吸収層の酸化に起因する銀層の劣化の問題を制限することを説明する。
【００１０】
問題の一つは今まさに述べられたことに直接起因し、すなわち吸収層がある条件で、特に熱処理時に酸化し、より透明となり、かくしてそれが積層中に含まれている理由の一部を失うことである。更に、吸収層の酸化のレベルは熱処理の条件に依存するであろうし、それは強化後の積層の性質を保持することが困難となるであろうことを意味する。この影響を制限するために、上に引用した文献は吸収層を窒化ケイ素または窒化アルミニウムの二つの層間に封入することを提案する。
【００１１】
その結果は完全に満足されないという事実に加えて、この文献により提案された解決策は、実際に既に複雑である積層構造を幾らか更に複雑とする欠点を持つ。特に、この解決策は吸収層を付着するために所定の誘電体の中間に調整された雰囲気を持つ特別の付着領域の使用を必要とする。この文献ＷＯ  ’０６５により提案された解決策の別の欠点は誘電体の中間に挿入された吸収層により与えられる色相を無彩色化することの困難性にある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明はガラス質材料のシート上に形成された多層太陽遮蔽積層構造に関し、それは赤外線を反射する銀系物質から構成された少なくとも一つの機能層と少なくとも二つの誘電被膜を含み、それらの誘電被膜の一つがガラス質材料のシートの上に直接付着された第一誘電被膜でありかつ他方が機能層（単数または複数）に関してその外側に位置しており、各機能層が誘電被膜により取り囲まれており、更に前記積層構造が、通常の透明ソーダ石灰フロートガラスシート６ｍｍ厚上に付着されたとき、４５％未満のソーラファクターＳＦと７０％未満の光透過率ＬＴを持つものであって、積層構造が、機能層の直ぐ近くに配置されるかまたはこの機能層内に含まれた次の元素の少なくとも一つ：Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ，Ｗ，Ｓｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｍｎ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｈｆ，Ｔａ及びそれらの合金に基づく本質的に金属の吸収性物質から構成されることで特徴付けられる。
【００１３】
用語“吸収性物質”は、可視光線の一部を吸収し、かつそのスペクトル吸収係数ｋ（λ）が平均で１．９を越える物質を意味するものと理解され、前記平均値は３８０，５８０及び７８０ｎｍに位置する可視スペクトルの三点から計算される。スペクトル吸収係数値は“Ｈａｎｄｂｏｏｋ  ｏｆ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ  ａｎｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ”，７０ｔｈ  Ｅｄｉｔｉｏｎ，ＣＲＣ  Ｐｒｅｓｓ，１９８９−１９９０，Ｅ３８９−Ｅ４０４で与えられる。
【００１４】
本発明で使用される吸収性物質は本質的に金属の形である。それはまた、おそらく種々の理由のため、特にマグネトロン装置での付着の容易さまたは目標物を機械加工する容易さのため、例えばアルミニウムまたはホウ素のようなリストに含まれない元素でドープされることができる。
【００１５】
ケイ素は正確には半金属として分類されるべきことは知られているが、ケイ素は種々の点で特定の金属に似た挙動をし、本発明では事態を単純化するために用語“本質的に金属の吸収性物質”中に含まれている。
【００１６】
用語“直ぐ近くに”は、吸収性物質が機能層と直接接触して配置されるかまたはおそらくこれから酸素または金属亜酸化物を吸収する傾向を持つ犠牲金属の非常に薄い層により分離された層の一部を形成していることを示す。吸収性物質は機能層の直ぐ近くに位置しているかまたはこの機能層内に含まれており、従ってそれは赤外線の反射に好ましい影響を持ち、更に赤外線を反射する物質のために意図された酸化に対する保護方策の恩恵を被る。
【００１７】
本発明は特に積層構造に関し、それらは通常の透明ソーダ石灰フロートガラスシート６ｍｍ厚上に付着されたとき、４５％未満、特に２０〜４５％のソーラファクターＳＦ、及び７０％未満、特に３０〜７０％の光透過率ＬＴを持つ。これらの条件では、それらは好ましくは２５〜４０％の範囲内のソーラファクターＳＦ及び３５〜６８％の範囲内の光透過率ＬＴを持つ。
【００１８】
本発明による積層構造を形成するとき、積層構造の吸収レベルが容易に規定されることができること及びこのレベルが例えば積層構造の熱処理のような特に苛酷な条件でさえ容易に保持され、そしてこれが、希望の光学的及び美的外観、例えば反射において無彩色の外観を得ながら達成されることが驚くべきことに見出された。
【００１９】
選択された吸収性物質はこの結果を達成するのに本質的な役割を演ずる。これらの物質の少なくとも幾つか、特にパラジウムと白金は赤外反射層、特に銀との合金として、または銀上の犠牲金属層との合金としてのいずれかで、積層の湿気及び化学攻撃に対する抵抗性を改善するそれらの効果に対して例えば文献ＥＰ  ５４３０７７Ａ１から既知である。しかし、それは最高の可能な光透過率を持つ積層構造の形成に関係している。可視光線の熱吸収のレベルを調整するためのこれらの物質の使用は、完全に新規でありかつこれまで与えられた知識とは異なる。更に、これらは比較的高価な物質であり、一連の製造において吸収性物質としてこれらを使用することは驚くべきことである。本発明が単一板ガラスの場合に４５％未満の低いソーラファクター及び高い選択率を持つ板ガラスに対しソーラファクターの調整に関して真に著しい利益を驚くべきことに提供することを我々は発見した。更に、選択された吸収性物質は赤外線の反射にわずかに貢献する。
【００２０】
誘電被膜は陰極スパッターにより付着された層の分野では周知である。多数の好適な物質があり、それらをここで挙げることは役立たない。これらは一般的に金属酸化物、酸窒化物または窒化物である。例として、最も普通の幾つかとして次のものを挙げることができる：ＴｉＯ２，ＳｎＯ２，ＺｎＯ，Ｓｉ３Ｎ４，ＡｌＮ，Ａｌ２Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｎｂ２Ｏ５及びＢｉ２Ｏ３。外側被膜に関して、ＳｎＯ２は、もし積層構造が高温熱処理を受ける必要がないなら、特に良く適した誘電材料である。
【００２１】
積層構造の外側の誘電被膜は好ましくは、少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層及び／または次の物質：ＡｌＮ，ＡｌＮｘＯｙ，Ｓｉ３Ｎ４，ＳｉＯｘＮｙ，ＳｉＯ２，ＺｒＮ，ＳｉＣ，ＳｉＯｘＣｙ，ＴａＣ，ＴｉＮ，ＴｉＮｘＯｙ，ＴｉＣ，ＣｒＣ，ＤＬＣ及びそれらの合金、及びＳｉＡｌＯｘＮｙまたはＳｉＴｉｘＮｙのような合金の窒化物または酸窒化物の中から選ばれた５ｎｍを越える厚さを持つ酸素拡散に対する遮断層を含む。このように規定された外側誘電体は、特に積層構造が外側からの種々の化学的及び熱的攻撃を受けるとき、及び特に曲げ及び／または強化のような高温熱処理時に、吸収性物質の安定性の恩恵を被る。
【００２２】
“ＤＬＣ”は周知の用語“ダイヤモンド状炭素”の省略形であり、それはダイヤモンドと同様の四面体結合を持つ炭素系層に関する。
【００２３】
本発明の第一態様によれば、吸収性物質は好ましくは機能層中に含まれる。有利には、機能層は、赤外線を反射する銀系物質との合金として、またはそれをドープされた合金として１〜３０原子％、好ましくは５〜２０％の吸収性物質を含む。吸収性物質は赤外線を反射する物質との合金から作られた陰極を用いるスパッターにより付着されることができる。例えば、パラジウムまたは白金のような吸収性物質のある量、例えば１〜２０％、好ましくは５〜２０％をドープされるかまたはそれと合金化された銀の陰極が使用されることができる。また、例えばガラス質材料のシート上に共スパッターされた二つの陰極、例えば一つの銀陰極と一つのパラジウム陰極を使用することもできる。赤外線を反射する物質に基づいた機能層はこのようにして形成され、それは同時に吸収性物質を含む。
【００２４】
機能層は好ましくは５〜１０％の吸収性物質を含む。この割合は、吸収性物質による吸収レベルと機能層のベース物質の赤外反射性との間の良好な妥協を達成可能にすることが見出された。
【００２５】
例えば、機能層は次の元素の少なくとも一つ：Ｔｉ，Ｚｎ，Ｍｏ，Ｍｎ，Ｎｂ，ＶまたはＨｆを含むことができる。これらの元素は特に機能層内に吸収欠陥を発生させ、これがソーラファクターを減少させるために有益である。
【００２６】
好ましくは、本発明の第一態様の好適実施態様によれば、機能層に含まれる吸収性物質は次の物質：Ｎｉ，Ｃｒ，ＮｉＣｒ，ＣｏＣｒ，Ｗ，Ｓｉ及びＮｉＶ；の中から選ばれる。本発明のこの態様では、我々は、これらの物質が赤外線を反射する銀系物質との特に有利な組合せを形成することを実際に見出した。これらの組合せは特に反射及び透過において美的に満足な外観を持つ無彩色から青味がかった色の範囲の色相を持つ低ソーラファクターを持つ強化可能でない／曲げ可能でない太陽遮蔽積層構造を形成する。元素Ｎｉ，Ｃｒ，ＮｉＣｒ，ＣｏＣｒ，Ｗ，Ｓｉ及びＮｉＶ、特にＮｉＣｒとＣｏＣｒは高温熱処理を受ける必要のない、透過及び反射において青味がかった灰色である太陽遮蔽積層構造を形成するために有利に使用される。
【００２７】
好ましくは、本発明の第一態様の別の好適実施態様によれば、機能層に含まれる吸収性物質は次の物質：Ｏｓ，Ｃｏ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｉｒ，Ｒｕ及びＲｈ；の中から選ばれる。これらの物質は熱的に処理される太陽遮蔽積層構造を形成するために有利に使用される。それらはそれらの吸収特性を容易に保持し、板ガラスの熱処理後にそれらは透過及び反射において満足な色相を持つ積層構造を提供することが見出された。
【００２８】
特にニッケルとコバルトはマグネトロンスパッター装置での付着に幾つかの問題を生じる磁性元素である。しかし、それらはもし赤外反射物質をドープするために、例えば銀中で５％の割合で使用するなら、如何なる問題も生じない。
【００２９】
好ましくは、本発明のこの第一態様によれば、機能層はＰｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びそれらの合金の中から選ばれた１〜３０原子％、有利には５〜２０％の吸収性物質を含み、かつ外部誘電被膜は少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層及び／または次の物質：ＡｌＮ，ＡｌＮｘＯｙ，Ｓｉ３Ｎ４，ＳｉＯｘＮｙ，ＳｉＯ２，ＺｒＮ，ＳｉＣ，ＳｉＯｘＣｙ，ＴａＣ，ＴｉＮ，ＴｉＮｘＯｙ，ＴｉＣ，ＣｒＣ，ＤＬＣ及びそれらの合金、及びＳｉＡｌＯｘＮｙまたはＳｉＴｉｘＮｙのような合金の窒化物または酸窒化物の中から選ばれた５ｎｍを越える厚さを持つ酸素拡散に対する遮断層を含む。この特徴は、高温度熱処理を受けるために適しておりかつそれらの吸収特性を熱処理後も保持する太陽遮蔽積層構造を得ることを可能とする。
【００３０】
本発明のこの第二態様によれば、吸収性物質は、好ましくは機能層の下または上に付着されかつそれと直接接触した機能層とは別個の層の一部を少なくとも部分的に形成する。この配置により、特に高い割合の吸収性物質の場合に機能層の赤外線の反射のための性質の如何なる低下の危険も減らされる。
【００３１】
本発明のこの第二態様の第一の好適実施態様によれば、吸収性物質は化学的攻撃からの、特に酸化からの機能層の保護のために意図された犠牲金属層、例えば約５原子％パラジウムを含むチタンの層をドープされるかまたはそれと合金化することによって混合されることが好ましい。もう一度、この層は犠牲金属と吸収性物質の合金の陰極からまたは二つの別個の陰極からの共スパッターによるかのいずれかで形成されることができる。犠牲金属の層は好ましくは５〜２０％の吸収性物質を含む。
【００３２】
本発明の第二態様の第二の好適実施態様によれば、吸収性物質は好ましくは機能層の下または上にかつ機能層と直接接触して付着された別個の層の主要部を構成する。かくして、機能層は吸収層上に直接付着されることができ、または吸収層は機能層上に直接付着されることができる。この配置は積層構造に与えられた性質の観点から及び工業的使用の容易さの点の両者で有利であることが見出された。事実、金属の形で付着された吸収性物質は付着工程を複雑化することなしに機能層の本質的に金属付着領域中に容易に一体化される。他方で、本発明の枠内で引用された吸収性物質の場合、使用された赤外線を反射する銀系物質と相容性のある物質を見出すことは容易である。
【００３３】
例えば機能層上に付着された別個の吸収層の形の合金ＣｏＣｒにより、美的に許容可能な一般的外観、特に透過及び反射において青味がかった灰色であり、特に満足できかつ市場の要求に合致する外観を持つ低ソーラファクターを持つ強化可能でない太陽遮蔽積層構造を容易に得ることができることが見出された。
【００３４】
好ましくは、本発明の第二態様の第二の好適実施態様によれば、吸収性物質はＰｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｌａ，Ｐｒ，Ｎｄ及びそれらの合金の中から選ばれ、外部誘電被膜は少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層及び／または次の物質：ＡｌＮ，ＡｌＮｘＯｙ，Ｓｉ３Ｎ４，ＳｉＯｘＮｙ，ＳｉＯ２，ＺｒＮ，ＳｉＣ，ＳｉＯｘＣｙ，ＴａＣ，ＴｉＮ，ＴｉＮｘＯｙ，ＴｉＣ，ＣｒＣ，ＤＬＣ及びそれらの合金、及びＳｉＡｌＯｘＮｙまたはＳｉＴｉｘＮｙのような合金の窒化物または酸窒化物の中から選ばれた５ｎｍを越える厚さを持つ酸素拡散に対する遮断層を含む。このように規定された外部誘電被膜とこれらの吸収性物質の組合せは高温熱処理後の太陽遮蔽積層構造の希望の吸収レベルを規定可能とする。
【００３５】
好ましくは、吸収性物質のこの別個の層は０．３〜１０ｎｍの範囲、有利には０．４〜５ｎｍの範囲、理想的には０．８〜３ｎｍの範囲内の物理的厚さを持つ。これらの厚さ範囲は市場の要求に合致する満足な美的外観を持つ低ソーラファクターと高選択率を持つ太陽遮蔽板ガラスユニットの形成を可能とする。
【００３６】
有利には、吸収性物質は次の元素：Ｐｔ，Ｐｄ，Ｃｏ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｏｓ，ＣｏＣｒ，Ｔｉ及びＮｉＣｒの少なくとも一つ及びそれらの合金から選ばれる。これらの吸収性物質は、特にそれらが機能層の別個の層内に配置されているとき、要求に合致する満足な美的外観を持つ効率的な太陽遮蔽積層構造の形成を可能とする。引用された最後の三つの元素、すなわちＣｏＣｒ，Ｔｉ及びＮｉＣｒはとりわけ高温熱処理を受ける必要のない積層構造の形成のために意図されている。
【００３７】
本発明の二つの態様のいずれか及び本発明のこれらの態様の実施態様のいずれかによれば、吸収性物質は好ましくはパラジウムである。本発明の枠内で、この銀系機能層との組合せは、腐食に対する高い抵抗性を持ちかつその吸収性を容易に保持する選択的太陽遮蔽積層構造の形成を可能にする。
【００３８】
好ましくは、積層構造の光吸収の４〜３５％、有利には８〜２２％が吸収性物質に帰因することができる。このようにして市場の要求に合致する製品を形成するに十分なソーラファクターが得られる。
【００３９】
好ましくは、第一誘電被膜及び外部誘電被膜は少なくとも２０％の錫を含む少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含む。この構造は積層構造の熱処理に対する抵抗性を強化することが見出された。
【００４０】
有利には、積層構造はガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含む：
ａ）第一誘電被膜、
ｂ）銀系機能層、
ｃ）吸収層
ｄ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｅ）外部誘電層。
【００４１】
この特定の順序の層は特に熱処理時の積層構造の吸収性の保持に利益を与えることが見出された。
【００４２】
任意の犠牲金属層は例えばＮｉＣｒ／Ｔｉのような二重層から形成されることができる。かかる二重層は、本出願人の名で出願され２００３年１２月２４日に公開された特許出願ＷＯ  ０３／１０６３６３Ａ２の主題であり、その内容は参考までにここに組入れられる。
【００４３】
高性能選択的太陽遮蔽積層構造を得るために、それは有利には少なくとも一つの中間誘電被膜により分離された少なくとも二つの機能層を含む。
【００４４】
好ましくは、吸収性物質はガラス質材料のシートから最も遠くに離れた機能層の直ぐ近くに配置されるかまたはその機能層に含まれ、一つの吸収性物質が同じ吸収レベルを提供する別の吸収性物質により置き換えられるときその色相は有意な変化をしない。特に吸収層が第二機能層の上に設けられるかまたは機能層中に含まれるとき、誘電構造の堅実な選択と組合された吸収層の特定の配置は吸収性物質を形成する元素に依存しない積層構造の形成を可能にする。従って、陰極スパッターにより付着するのがより容易な物質または費用のかからない物質が、目視による色相の変化を知識のある観察者が容易に検出することができることなく、かつソーラファクターが１パーセントを越えて変更されることなく、より容易に選択されることができる。例えば、この場合、積層構造が熱処理を受ける必要がないとき、パラジウムは積層の色相に如何なる有意な変化なしにチタンまたはＮｉＣｒにより置き換えられることができる。しかし、吸収層の厚さまたは吸収性物質の合金中の吸収性物質の百分率を同じ吸収レベルを得るために吸収性物質の性質に従って機能層または犠牲層と適合させることがもちろん必要である。例えば費用、製造関係の理由または他の理由のため一つの吸収性物質の別の吸収性物質による置換は、厚さを吸収レベルに適合すれば十分であるので容易であり、かつ積層の正しい色相が直接達成されるであろう。
【００４５】
好ましくは、積層構造はガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含む：
ａ）第一誘電被膜、
ｂ）第一銀系機能層、
ｃ）次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｄ）中間誘電被膜
ｅ）第二銀系機能層、
ｆ）吸収層、
ｇ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｈ）外部誘電層。
【００４６】
例えば、パラジウム吸収層、ＮｉＣｒＯｘの形の下級酸化されたＮｉＣｒの犠牲金属層及びＳｉ３Ｎ４の外部誘電層を使用することにより、積層構造は容易に形成されることができ、そこでは光学的性質は強化及び／または曲げのような高温熱処理操作により損なわれない。即ち、被覆されかつ次いで強化されたガラスシートは、それが同じ美的外観を持つので、同じ積層構造を支持するが熱処理を受けていないガラスシートの次に置かれることができる。パラジウムからもたらされる積層構造の吸収能力は熱処理により損なわれない。
【００４７】
有利には、銀が赤外反射物質として使用されるとき、例えばおそらくアルミニウムをドープされた、酸化亜鉛系または亜鉛下級酸化物系層は各銀層の下にかつそれと直接接触して配置される。この組合せは特に銀の耐食性に関して有利である。
【００４８】
好ましくは、積層構造はガラス質材料のシートで始まる順序で少なくとも次の順序の層を含む：
ａ）少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含む第一誘電被膜、
ｂ）第一銀系機能層、
ｃ）次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｄ）中間誘電被膜
ｅ）第二銀系機能層、
ｆ）パラジウム系吸収層、
ｇ）所望により、次の物質の一つまたは幾つか：Ｔｉ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｎｂ，Ｚｎ，Ｚｒ，Ａｌ，Ｔａ及びそれらの合金から選ばれた、おそらく下級酸化された、一つまたは二つの犠牲金属層、
ｈ）少なくとも一つの亜鉛−錫混合酸化物系層を含む外部誘電層。
【００４９】
有利には、全ての誘電被膜が略５０％の錫と亜鉛を持つ亜鉛−錫混合酸化物系層、及び約１０％以下の錫と少なくとも約９０％の亜鉛を持つ亜鉛−錫混合酸化物系層を含み、この後者の層が略５０％の錫を持つ混合酸化物層に続く機能層に接近していつも配置されている。この配置は、優れた耐食性を持ちかつその吸収性を失うことなくまたはその赤外反射性を失うことなく高温熱処理に容易に耐える低ソーラファクター及び高選択率を持つ太陽遮蔽積層構造の形成を可能とすることが見出された。この構造はまた反射での無彩色色相を持つ積層構造が容易に得られることを可能とする。
【００５０】
積層構造は有利には１．５〜１０ｎｍの厚さを持つＳｉＯ２またはＳｉＣの最終薄膜を含む保護層により仕上げられる。高温熱処理を受けるために適した積層構造の場合、保護層は有利には、熱処理時に酸化してＴｉＯ２を形成するＴｉＮの薄膜、続いてＳｉＯ２またはＳｉＯの最終膜からなる。
【００５１】
好ましくは、積層構造は１．５〜１０ｎｍの厚さを持つ薄い炭素系保護層により仕上られる。中性雰囲気で炭素ターゲットから陰極スパッターにより付着されるこの保護層は熱処理前の取扱い、輸送及び貯蔵時の積層構造を保護するために極めて適している。炭素の使用に関して、この保護層は高温熱処理時に燃え、仕上げ製品から完全に消失する。
【００５２】
本発明は上に規定されたような積層構造を支持するガラスシートに拡張される。
【００５３】
好ましくは、このガラスシートは３０〜５５、有利には４０〜５０の範囲内のＬ＊、−４〜＋３、有利には−２．５〜＋１．５の範囲内のａ＊、及び−４〜−１６、有利には−６〜−１３の範囲内のｂ＊により示されたガラス側の反射で試験された色相を持つ。
【００５４】
好ましくは、このガラスシートは多相積層構造の付着後に強化及び／または曲げ熱処理を受けさせられる。
【００５５】
好ましくは、熱処理後の積層構造の光吸収の４〜３５％、好ましくは８〜２２％が吸収性物質に帰因する。本発明は特に、熱処理後に美的に楽しい外観を持つ比較的高い吸収レベルを持つ板ガラスの形成を可能にする。
【００５６】
本発明はまた、高温熱処理を受けさせた本発明による少なくとも一つのガラスシートを含む第一群と、熱処理を受けさせていない本発明による少なくとも一つのガラスシートを含む第二群から形成された組立て品にも及び、この組立て品は二つの群がガラス側の反射で同じ見え方（ｖｉｓｕａｌ  ａｐｐｅａｒａｎｃｅ）を持ち、従ってそれらが有意な視覚変化なしに一緒に置かれることができることにより特徴付けられる。
【００５７】
本発明はまた、多層板ガラス、特に、多層積層構造の付着後に強化及び／または曲げ熱処理を受けたまたは受けていない、上に規定されたような積層構造を支持するガラスシートを含む二層板ガラスにも及ぶ。
【００５８】
好ましくは、本発明による多層板ガラスは１５〜４０％の範囲のソーラファクターＳＦ、少なくとも３０％の光透過率、及び透過で比較的無彩色でありかつ積層構造を支持するガラスシートの側の反射で無彩色からわずかに青味を帯びた色を持つ。好ましくは、本発明による多層板ガラスは少なくとも４５％、有利には少なくとも５０％、理想的には少なくとも５５％の光透過率、及び２０〜３５％、有利には２５〜３５％の範囲のソーラファクターＳＦを持つ。この多層板ガラスは、それを建築物中に容易に一体化させられることができる美的外観を持ちながら、その比較的高い光透過率に関して特に有利な太陽遮蔽性を持つ。
【００５９】
好ましくは、多層板ガラスは、多層板ガラスの内部空間に向けて配置されている積層構造を支持するガラスシートの側の反射、４０〜５５、好ましくは４５〜５２の範囲のＬ＊、１．５〜−６、好ましくは０．５〜−４の範囲のａ＊、及び−３〜−１５、好ましくは−５〜−１２の範囲のｂ＊により表された色相を持つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６０】
本発明が今や以下の好適な例示的実施態様により非限定的態様でより詳細に述べられるであろう。
【実施例】
【００６１】
実施例１
標準透明ソーダ石灰フロートガラスの２ｍ×１ｍの６ｍｍ厚シートが減圧（約０．３Ｐａ）で磁場の助けで操作されるマグネトロンタイプのスパッター装置中に置かれる。多層太陽遮蔽積層構造がこのガラスシート上に付着され、それは次の順序の層を含む：
【００６２】
ａ）アルゴンと酸素の混合物から形成された反応性雰囲気内で異なる組成の亜鉛−錫合金陰極から付着された二つの酸化物層から形成された第一誘電被膜。約３０ｎｍの厚さを持つ第一亜鉛−錫混合酸化物が、錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成するように５２重量％の亜鉛と４８重量％の錫を持つ亜鉛−錫合金の陰極から形成される。約１０ｎｍの厚さを持つ第二亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘが、９０重量％の亜鉛と１０重量％の錫を持つ亜鉛−錫合金のターゲットから付着される。
【００６３】
ｂ）アルゴンの中性雰囲気中で実際に純粋な銀のターゲットからの約１１ｎｍの銀から形成された第一赤外反射機能層。
【００６４】
ｃ）８０％Ｎｉと２０％Ｃｒを持つ合金のターゲットから付着された１ｎｍの厚さを持つＮｉＣｒの第一層、及びチタンターゲットから付着された２．５ｎｍの厚さを持つＴｉの第二層から形成された第一の二重犠牲金属層。これらの層は両者とも隣接室からの酸素によりわずかに汚染されたアルゴンの流束内で付着される。以下に述べられる次の層の付着時のプラズマの酸化性雰囲気が、第二誘電体の付着工程の終りにチタンが実質的に完全に酸化されＴｉＯ２の緻密層を形成するようにチタンの層を完全に酸化することは注目されるべきである。変更例として、部分的に酸化されたＴｉＯｘの形の層を付着することもまた可能である。この層はまた、例えばそれを透明とするためにＴｉＯｘの十分な酸化レベルを維持することを意図された少ない割合の酸素を含むＡｒの雰囲気内でＴｉＯｘセラミックターゲットから付着されることができる。それはまた、次の層の付着のために使用されるプラズマにより酸化されることができる。
【００６５】
ｄ）酸素とアルゴンの混合物から形成された反応性雰囲気内で異なる組成の亜鉛−錫合金の陰極から付着された亜鉛−錫混合酸化物の二つの層から形成された第二誘電被膜。約７７ｎｍの厚さを持つ第一亜鉛−錫混合酸化物は５２重量％のＺｎと４８重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金の金属ターゲットから付着され、錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成する。約１３ｎｍの厚さを持つ第二亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘは９０重量％のＺｎと１０重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金のターゲットから付着される。
【００６６】
ｅ）アルゴンの中性雰囲気内で実際に純粋な銀のターゲットから約１８ｎｍの銀により形成された第二赤外反射機能層。
【００６７】
ｆ）層ｅ）と同じアルゴンの中性雰囲気内でパラジウムターゲットから約１ｎｍのパラジウムにより形成された吸収性物質の層。
【００６８】
ｇ）上述の第一の二重犠牲金属層と同じようにして２．５ｎｍのＴｉの第二層により覆われた１ｎｍのＮｉＣｒの第一層から形成された第二の二重犠牲金属層。
【００６９】
ｈ）酸素とアルゴンの混合物により形成された反応性雰囲気内で異なる組成の亜鉛−錫合金の陰極から付着された酸化物の二つの層から形成された第三誘電被膜、すなわち外部誘電被膜。約７ｎｍの厚さを持つ第一の亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘが、９０重量％のＺｎと１０重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金の金属ターゲットから付着される。約１７ｎｍの厚さを持つ第二の亜鉛−錫混合酸化物は５２重量％のＺｎと４８重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金のターゲットから付着され錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成する。
【００７０】
ｉ）積層構造は次いで窒素の雰囲気内でチタンターゲットから付着されたＴｉＮの５ｎｍ厚の上部保護層の付着により仕上げられる。
【００７１】
ＺｎＳｎＯｘの全ての層はできるだけ透明であるために十分に酸化されることは注目されるべきである。また、Ｔｉ，ＴｉＯｘ及びＴｉＮの厚さはＴｉＯ２の等価な厚さとして与えられ（すなわちＴｉ，ＴｉＯｘまたはＴｉＮの酸化の結果として）、ＴｉＯ２は熱処理後の仕上げられた製品中のそれらの状態であり、かつＴｉに関して熱処理のために適した中間板ガラス内でさえ既にその状態にある。
【００７２】
多層太陽遮蔽積層により新たに被覆されたガラスシートが層付着装置を離れるとき、それは次の性質を持つ：
ＬＴ＝５１．１％；ＳＦ＝３２．５％；ε（輻射率）＝０．０２５；吸収率＝３４．５％、その約１０％は吸収性物質のパラジウム層に帰因する；
透過における色相は次の値：
Ｌ＊＝７１．５；ａ＊＝−３．９；ｂ＊＝＋３．５により表され、ガラス側の反射での色相は次の値により表される：
ＬＲ＝１４．５％；Ｌ＊＝４５．５；ａ＊＝−１０．０；ｂ＊＝−１５．８；λｄ＝４７８ｎｍ；色純度＝３０．７％。
【００７３】
本発明では、測定されたまたは計算された値のために次の用語が使用される。光透過率（ＬＴ）、光反射率（ＬＲ）、光吸収率（ＬＡ）（光源Ｄ６５の板ガラスにより吸収された光束の百分率）及び透過における色相（１９７６ＣＩＥＬＡＢ値Ｌ＊ａ＊ｂ＊）は光源Ｄ６５／２°により測定される。反射における色相に関しては、１９７６ＣＩＥＬＡＢ値（Ｌ＊ａ＊ｂ＊）並びに主波長（λｄ）及び色純度（ｐ）が光源Ｄ６５／１０°により測定される。ソーラファクター（ＳＦまたはｇ）は標準規格ＥＮ４１０に従って計算される。値Ｕ（係数ｋ）及び輻射率（ε）は標準規格ＥＮ６７３及びＩＳＯ１０２９２に従って計算される。
【００７４】
ガラスシート上に形成された多層太陽遮蔽積層を持つ被覆板ガラスは次いで熱強化操作を受け、その間それは６９０℃の温度に６分間露出され、次いで冷たい空気のジェットにより急冷される。この熱処理中、バリヤー層のＮｉＣｒの薄膜は透明になるように十分に酸化され、一方銀層を保護するために効果的かつ安定な遮蔽も形成する。ＴｉＮの上部保護層はそれ自身酸化されてＴｉＯ２を形成する。
【００７５】
この処理後、被覆されかつ強化された板ガラスは次の性質を持つ：
ＬＴ＝６８．１％；ε（輻射率）＝０．０２３；Ｒｓ＝１．６Ω／平方．；吸収率＝２１．２％、その約１０％は吸収性物質のパラジウム層に帰因する；透過における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝８６．１％；ａ＊＝−２．０；ｂ＊＝＋１．２；曇り＝０．０９％；
ガラス側の反射における色相は次の値により表される：
ＬＲ＝１０．６％；Ｌ＊＝３９．３％；ａ＊＝−２．１；ｂ＊＝−１２．１；λＤ＝４７４ｎｍ；ｐ＝２２．１％。
【００７６】
曇り値は拡散光透過の全光透過に対する比を１００倍してａ％値を得るものとして規定される。この値は標準規格ＡＳＴＭ  Ｄ１００３に従って測定される。
【００７７】
吸収層による吸収値は高温熱処理後に減少していないことが見出された。
【００７８】
この被覆板ガラスは次いで別の６ｍｍ透明ガラスシートにより二重板ガラスとして組立てられ、そこでは被覆は二重板ガラスの内側空間側に配置される。二枚のシート間の空間は１５ｍｍであり、その中の空気はアルゴンにより置き換えられる。位置２に置かれた積層構造を持つ被覆板ガラスのガラス側で二重板ガラスを見るとき、すなわちガラス側から見たとき、積層構造を備えた板ガラスがまず見え、次いで層なしの透明ガラスシートが見え、次の性質が示される：
ＬＴ＝６１．７％；ＬＲ＝１４．４％；ＳＦ＝３６．５％；Ｓ＝１．７；Ｕ値＝１．０５ｗ／（ｍ２．Ｋ）；
透過における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝８２．８％；ａ＊＝−２．９；ｂ＊＝＋１．４
反射における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝４５．０；ａ＊＝−２．５；ｂ＊＝−９．９；λＤ＝４７５ｎｍ；ｐ＝１７．１％。
【００７９】
二重板ガラスの反射での目視試験は表面全体に渡る均一な色相と外観を示す。本発明は低いソーラファクターを持つ二重板ガラスの形成を可能にし、それは適切な光透過を保持しかつ非常に高い美的魅力を持つ。
【００８０】
実施例２
実施例２は実施例１と同じ方法で実施されるが、異なる積層構造を持つ。この実施例では次の順序が使用される：
【００８１】
ａ）アルゴンと酸素の混合物から形成された反応性雰囲気中で異なる組成の亜鉛−錫合金陰極から付着された二つの酸化物層から形成された第一誘電被膜。約２４ｎｍの厚さを持つ第一亜鉛−錫混合酸化物が、５２重量％の亜鉛と４８重量％の錫を持つ亜鉛−錫合金の陰極から形成され、錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成する。約８ｎｍの厚さを持つ第二亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘが９０重量％の亜鉛と１０重量％の錫を持つ亜鉛−錫合金のターゲットから付着される。
【００８２】
ｂ）アルゴンの中性雰囲気中で実際に純粋な銀のターゲットからの約９ｎｍの銀から形成された第一赤外反射機能層。
【００８３】
ｃ）チタンターゲットから付着された５ｎｍの厚さを持つＴｉ層から形成された第一犠牲金属層。この層は隣接室からの酸素により軽く汚染されたアルゴンの流束内で付着される。以下に述べられる次の層の付着時のプラズマの酸化雰囲気が、チタンのこの層を部分的にのみ酸化することは注目されるべきである。
【００８４】
ｄ）酸素とアルゴンの混合物から形成された反応性雰囲気中内で異なる組成の亜鉛−錫合金の陰極から付着された亜鉛−錫混合酸化物の二つの層から形成された第二誘電被膜。約６５ｎｍの厚さを持つ第一亜鉛−錫混合酸化物は５２重量％のＺｎと４８重量％の錫を持つ亜鉛−錫合金の金属ターゲットから付着され、錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成する。約１０ｎｍの厚さを持つ第二亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘは９０重量％のＺｎと１０重量％の錫を持つＺｎＳｎの合金のターゲットから付着される。
【００８５】
ｅ）アルゴンの中性雰囲気中での実際に純粋な銀のターゲットからの約１５ｎｍの銀により形成された第二赤外反射機能層。
【００８６】
ｆ）層ｅ）と同じアルゴンの中性雰囲気中でのパラジウムターゲットからの約１．８ｎｍのパラジウムにより形成された吸収性物質の層。
【００８７】
ｇ）上述の第一犠牲金属層に対するのと同じ方法で２．５ｎｍのＴｉの層から形成された第二犠牲金属層。それは次の誘電被膜層の付着のためのプラズマ雰囲気により酸化されるであろう。
【００８８】
ｈ）酸素とアルゴンの混合物により形成された反応性雰囲気内で異なる組成の亜鉛−錫合金の陰極から付着された二つの酸化物の層から形成された、第三誘電被膜、すなわち外部誘電被膜。約７ｍｍの厚さを持つ第一亜鉛−錫混合酸化物ＺｎＳｎＯｘは９０重量％のＺｎと１０重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金の金属ターゲットから付着される。約１５ｎｍの厚さを持つ第二亜鉛−錫混合酸化物は５２重量％のＺｎと４８重量％のＳｎを持つＺｎＳｎの合金のターゲットから付着され、錫酸亜鉛Ｚｎ２ＳｎＯ４のスピネル構造を形成する。
【００８９】
ｉ）積層構造は次いで窒素の雰囲気内でチタンターゲットから付着されたＴｉＮの５ｎｍ厚の上部保護層の付着により仕上げられる。
【００９０】
Ｔｉの厚さは熱処理後の仕上げられた製品内のそれらの状態であるＴｉＯ２（すなわちＴｉの酸化の結果として）の等価な厚さとして与えられることは注目されるべきである。更に、層ｇ）に対して、Ｔｉは熱処理を受けるのに適した中間板ガラス中でその酸化された状態に既にある。
【００９１】
多層太陽遮蔽積層により新しく被覆されたガラスシートが層付着装置を離れるとき、それは次の性質を持つ：
ＬＴ＝１９．７％；ＳＦ＝２６．４％；ε（輻射率）＝０．０３０；吸収率＝６７．４％、その約２０％は吸収性物質のパラジウム層に帰因する；透過における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝５１．４；ａ＊＝−６．１；ｂ＊＝−６．８
ガラス側の反射における色相は次の値により表される：
ＬＲ＝１２．９％；Ｌ＊＝４２．７；ａ＊＝−５．８；ｂ＊＝−３１．９；λｄ＝４８０ｎｍ；色純度＝４９．９％。
【００９２】
ガラスシート上に形成された多層太陽遮蔽積層を持つ被覆された板ガラスは次いで熱強化操作を受け、その間それは６９０℃の温度に６分間露出され、次いで冷たい空気のジェットにより急冷される。この熱処理時に、チタンは特に第一犠牲金属層ｃ）内で金属の形になおあり、それは透明となるように十分に酸化され、一方その下にある銀層を保護するために効果的かつ安定な遮蔽を形成する。Ｔｉの上部保護層はそれ自身酸化されＴｉＯ２の透明な上部保護層を形成する。
【００９３】
この処理後、被覆されかつ強化された板ガラスは次の性質を持つ:
ＬＴ＝５９．１％；ε（輻射率）＝０．０２６；Ｒｓ＝１．８Ω／平方；吸収率＝３１．０％、その約２０％は吸収性物質のパラジウム層に帰因する；
透過における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝８１．３；ａ＊＝−３．０；ｂ＊＝−５．０；曇り＝０．１２％
ガラス側の反射における色相は次の値により表される：
ＬＲ＝９．９％；Ｌ＊＝３７．６；ａ＊＝−０．１；ｂ＊＝−５．６；λＤ＝４７７ｎｍ；ｐ＝９．６％。
【００９４】
吸収層による吸収値は高温熱処理後に減少しなかったことが見出された。
【００９５】
この被覆板ガラスは次いで別の６ｍｍ透明ガラスシートにより二重板ガラスとして組立てられ、そこでは被覆は二重板ガラスの内側空間側に配置される。二枚のシート間の空間は１５ｍｍであり、その中の空気はアルゴンにより置き換えられる。位置２に置かれた積層構造を持つ被覆板ガラスのガラス側で二重板ガラスを見るとき、すなわちガラス側から見るとき、積層構造を備えた板ガラスがまず見え、次いで層なしの透明ガラスシートが見え、次の性質が示される：
ＬＴ＝５３．０％；ＬＲ＝１２．７％；ＳＦ＝２９．９％；Ｓ＝１．７８；Ｕ値＝１．１ｗ／（ｍ２．Ｋ）；
透過における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝７７．９；ａ＊＝−４．１；ｂ＊＝−４．０
反射における色相は次の値により表される：
Ｌ＊＝４２．３；ａ＊＝−０．９；ｂ＊＝−６．１；λＤ＝４８０ｎｍ；ｐ＝１５．６％。
【００９６】
二重板ガラスの反射での目視試験は表面全体に渡って均一な色相と外観を示す。本発明は非常に低いソーラファクターを持つ二重板ガラスの形成を可能とし、それは適切な光透過を保持し、かつ非常に高い美的魅力を持つ。
【００９７】
実施例３〜１５
特記しない限り、以下の実施例３〜１５は上の実施例１と同様な態様で実行されるが異なる構造を持つ。対応する積層の構造は使用される略語の次の説明を伴って以下の表１に与えられる：
【００９８】
・  Ｄ１＝二つまたは三つの酸化物または窒化物またはおそらく酸窒化物層から形成された第一誘電被膜。窒化物層は窒素とアルゴンの反応性混合物内で金属ターゲットから付着される。これは適用可能な場合、積層構造の他の誘電体に適用される。実施例で用いられるＳｉ３Ｎ４層はＳｉＯｘＮｙの形に軽く酸化されることができる。Ｓｉ３Ｎ４及びＺｎＯ層は周知の態様でアルミニウムでドープされることができることは注目されるべきである。
【００９９】
・  Ｄ２＝もし実施例中に存在するなら、Ｄ１のように酸化物または窒化物またはおそらく酸窒化物層から形成された中間誘電被膜。
【０１００】
・  Ｄ３＝Ｄ１のように一つまたは二つの酸化物または窒化物またはおそらく酸窒化物層から形成された外部誘電被膜。
【０１０１】
・  ＩＲ１及びＩＲ２＝第一及び第二赤外反射機能層。
【０１０２】
・  Ｐ１及びＰ２＝第一及び第二犠牲金属層。それぞれは金属またはおそらく下級酸化された形の金属または金属合金の一つまたは二つの層から形成されている。これらの層は銀のような赤外反射物質（ＩＲ１及びＩＲ２）をその場所での、特に続いての層の付着時またはもし実施されるなら層の熱処理時の酸化による酸化から保護することを意図される。最終製品ではそれらは好ましくは実質的に完全に酸化されるであろう。表１は層が熱処理前にスパッター装置を離れるときの、すなわちもし該当するなら、犠牲金属層が次の層の付着のためにプラズマにより既に酸化されたときの、層の状態を示す。この場合、それらはそれらの酸化された状態により示され、それらが付着された形ではない。例えば、実施例３〜７及び１１〜１５の欄Ｐ１及び／またはＰ２のＴｉＯ２，ＺＡｌＯ５及びＮｂ２Ｏ５は金属の形で付着され、次の酸化物の付着時に酸化されており、もはや続いての処理に対する酸化のための予備を構成しない。対照的に、実施例９，１０及び１３のＮｉＣｒＯｘ及びＴｉＯｘは下級酸化された形で付着され、付着工程の終りに下級酸化のままであり、従ってそれらは続いての処理に対する酸化のための予備を構成する。ＮｉＣｒＯｘ（実施例９と１３）は酸化状態の制御ループを持つ軽く酸化する反応性雰囲気中でＮｉＣｒの陰極から付着され、一方ＴｉＯｘ（実施例１０）は実質的にアルゴンから作られた雰囲気中でセラミックＴｉＯｘ陰極から付着される。また、本発明の枠内で、ＴｉＯｘをＮｉＣｒＯｘと同じ方法で付着することができるであろう。実施例１５では（Ｐ１内では）、ＴｉＯｘはまた、低い割合の酸素を持つ実質的にアルゴンから作られた雰囲気内でセラミックＴｉＯｘ陰極から付着され、かつ次の酸化物（ＺＳＯ５）の付着後に強く酸化された状態にある。
ＮｉＣｒ（Ｐ１、実施例４）は犠牲金属として使用される８０重量％のニッケルと２０重量％のクロムを持つ金属合金である。ＮｉＶ（Ｐ１及びＰ２、実施例６）は犠牲金属としても使用される９３重量％のニッケルと７重量％のバナジウムを持つ金属合金である。これらの実施例では、両者（ＮｉＣｒ及びＮｉＶ）は続く高温熱処理操作に対する酸化のための予備を形成する。熱処理後、それらは酸化される。実施例８のＴｉＲｕ１５の場合、Ｔｉは続く熱処理操作に対する酸化のための予備を形成し、一方Ｒｕは熱処理後に吸収性金属の形のままである吸収性物質である。
【０１０３】
・  ＣＳ＝おそらく二層から形成された上部保護層。
【０１０４】
・  ＡＢ＝もし吸収性物質が別個の層の形で付着されるなら吸収層である。
もしそうでないなら、吸収性物質は合金の形で、または赤外反射物質及び／または犠牲金属をドープされた形で存在する。表１には、吸収性物質に太い文字で示されている。吸収性物質の側に示された数は犠牲金属または機能層の物質との合金中のこの物質の原子百分率を示す。例えばＡｇ：Ｐｄ３は銀中に吸収性パラジウムの３原子％があることを意味し、同じことがＡｇ：Ｐｄ２，Ａｇ：Ｐｄ３０，Ａｇ：Ｃｏ５，Ａｇ：Ｏｓ１１及びＡｇ：Ａｕ８に対し適用される。更に、ＴｉＲｕ１５は犠牲金属Ｔｉとの合金中に吸収性ルテニウムの１５原子％があることを示す、等々である。
Ａｇ：ＮｉＣｒ１０は銀中に合金ＮｉＣｒ（８０重量％のＮｉと２０重量％のＣｒを持つ合金）の１０原子％があることを示す。吸収性物質を含むこの機能層は銀陰極及びＮｉＣｒ陰極から共スパッターにより付着されることができ、またはそれはＡｇＮｉＣｒ合金の単一陰極から得られることができる。
実施例１２の変更例として、銀中にＮｉＶ（９３重量％のＮｉと７重量％のバナジウムを持つ合金）の１０原子％を用いてＡｇ：ＮｉＶ１０が使用されており、上掲のものと同じ結果が得られた。ＣｏＣｒは８０重量％のＣｏと２０重量％のＣｒを持つ合金である。この合金は純Ｃｏ及び純Ｎｉとは対照的に、上述のＮｉＣｒまたはＮｉＶの場合のようにＣｏＣｒが強磁性でないという事実と関連した如何なる問題もなくマグネトロンにより付着されることができる。
【０１０５】
・  ＺＳＯ５＝酸化雰囲気中で５２％Ｚｎと４８％Ｓｎを持つＺｎＳｎの合金の金属ターゲットから陰極スパッターにより得られた亜鉛錫混合酸化物。
【０１０６】
・  ＺＳＯ９＝酸化雰囲気中で９０％Ｚｎと１０％Ｓｎを持つＺｎＳｎの合金の金属ターゲットから陰極スパッターにより得られた亜鉛錫混合酸化物。
【０１０７】
・  ＺＡｌＯ２またはＺＡｌＯ５＝それぞれアルミニウムＡｌの２または５原子％を含む亜鉛酸化物ＺｎＯ。
【０１０８】
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【０１０９】
実施例３〜１５のガラスシートは６ｍｍの厚さを持つ。
【０１１０】
実施例３〜１０及び１３〜１４による積層で被覆された板ガラスは次いで熱強化操作を受けさせられ、その間それらは６９０℃の温度に６分間露出され、次いで冷たい空気のジェットにより急冷された。
【０１１１】
もし実施されたなら、強化後（実施例３〜１０及び１３〜１４）の、またはもし熱処理されなかったなら、被覆後（実施例１１，１２及び１５）の被覆板ガラスの光及びエネルギー関連性質が表２に与えられている。
【０１１２】
実施例３〜８及び１３〜１４に対して与えられた値は熱処理後の値である。
【０１１３】
実施例９と１０に対しては、熱処理前の値もまたイタリックＢＴ（強化前）で示された行に与えられている（表２及び３）。これらの二つの実施例に対し、強化処理に続いて性質が有意に変化しないこと及び従って強化されたタイプはそれらの均一な非強化形式と一緒に置かれることができることが見出された。
【０１１４】
実施例３〜１０及び１３〜１４において、被覆された板ガラスが強化後も吸収性であること及び輻射率が低いことは注目される。
【０１１５】
実施例１１，１２及び１５は非強化積層であり、すなわちそれらは熱処理と受けることなくそれ自体で使用される。従って、実施例１１，１２及び１５に対し表２中に与えられた値は層付着装置を離れたときまたは熱処理なしの貯蔵後に測定された値である。
・ＬＲＶ＊，ａＲＶ＊，ｂＲＶ＊はガラス側の反射での色相の１９７６ＣＩＥＬＡＢ値を表す。
・λｄ（ＲＶ）及びｐ（ＲＶ）はガラス側の反射での色相の主波長及び色純度を表す。
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は熱処理時の色相の変動を表す。
【０１１６】
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【０１１７】
異なる実施例中の吸収性物質による光吸収量はそれぞれ実施例３に対しては約４％、実施例４に対しては約３０％、実施例５に対しては約１１％、実施例６に対しては約１０％、実施例７に対しては約３２％、実施例８に対しては約１８％、実施例９に対しては約２８％、実施例１０に対しては約２２％、実施例１１に対しては約４％、実施例１２に対しては約９％、実施例１３に対しては約２１％、実施例１４に対しては約２０％、実施例１５に対しては約１７％である。積層構造中の吸収性物質による光吸収のこの値は高温熱処理により修正されず、実施例３〜１０及び１３〜１４の積層構造は高温熱処理を受けさせている。
【０１１８】
実施例１２の変更例として、第二機能層の銀中に１０原子％のＮｉＣｒを持つ合金として存在する吸収性物質ＮｉＣｒは機能層（ＩＲ２）の厚さを変えることなく銀中の１０原子％のＴｉによりまたは銀中の４原子％のＰｄにより置き換えられ、実施例１２に対して表２中に与えられた値と同じ色相を含む光学性質が得られた。実施例１２及びその変更例は非強化積層構造に関する。強化可能な積層構造が関連するとき、置換吸収性物質は強化可能な積層構造の形成のために好適であるとして上に掲げられた吸収性物質、すなわち次の物質：Ｐｄ，Ｐｔ，Ａｕ，Ｉｒ，Ｒｈ，Ｒｕ，Ｏｓ，Ｃｏ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｄ及びそれらの合金から選ばれなければならない。
【０１１９】
６ｍｍの透明ガラスシートを持ちかつ１００％アルゴンで満たされた１５ｍｍの空間を持つ実施例１と同じ方法で二重板ガラスとして組立てられた被覆板ガラスの光及びエネルギー関連性質は表３に与えられている。二重板ガラスの内側の外部シート上の位置２に設けられた積層により板ガラスが観察されるとき、すなわちガラス側から見たとき、積層構造を備えた板ガラスがまず見え、次いで層を持たない透明ガラスシートが見える。強化された積層構造により組立てられた実施例９と１０の二重板ガラスは同じ非強化積層構造を持つそれらの均一組立体と一緒に美的に置かれることができる。なぜならΔＥ＊が非常に低いからである。
【０１２０】
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【国際調査報告】
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