(57)【要約】  方法及び媒体から分離された絶対圧力センサ装置は、第一センサ（１０１）を含み、分離された媒体（Ｐ１）と第二媒体（ＰＡ）との間の圧力差を測定する。第二センサ（１０３）は、第二媒体（ＰＡ）の絶対圧力（真空に対する圧力）を測定する。各センサ（１０１，１０３）は、固有のオフセットと傾斜応答を有する。イコライザ（２１７，２１９）がセンサ（１０１，１０３）の傾斜を合致させ、加算回路（２２５）が実質的に同じ傾斜出力を加算して、分離した媒体（Ｐ１）の絶対圧力測定を示す出力信号（２２７）を提供する。各センサのオフセット及び温度補償も提供される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体から分離された絶対圧力センサ装置であって、
第一圧力センサであって、前記第一圧力センサは、前記第一圧力センサに印加される第一圧力と第二圧力との間の第一圧力差を測定するように動作可能であり、且つ前記第一圧力差に対する第一傾斜応答を有する第一出力を提供することにより前記第一圧力差に応答する、前記第一圧力センサと、
第二圧力センサであって、前記第二圧力センサは、前記第二圧力センサに印加される前記第二圧力と実質的な真空との間の第二圧力差を測定するように動作可能であり、且つ前記第二圧力差に対する第二傾斜応答を有する第二出力を提供することにより前記第二圧力差に応答する、前記第二圧力センサと、
前記第一傾斜が実質的に前記第二傾斜に等しくなるように、前記第一及び第二センサのうちの少なくとも一つの一つの前記傾斜応答を調整し、且つ前記第一及び第二センサの対応する少なくとも一つの調整後の出力を提供する、少なくとも一つのイコライザと、
前記第一及び第二センサに関連付けられる実質的に等しい傾斜出力を加算して、前記第一圧力の絶対圧力測定を示す出力信号を提供する加算回路と
を備える装置。
【請求項２】
前記第一及び第二センサ出力に対応する第一及び第二オフセット信号のうち少なくとも一つを提供するオフセット回路を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第一及び第二圧力センサに結合されて、前記第一及び第二圧力センサから導出されるオフセット−スパン温度補償信号を提供するオフセット−温度及びスパン−温度補償回路を更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記イコライザは前記第一及び第二センサの各々用に一つづつ、合計二つのイコライザを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第一圧力センサは圧電抵抗デバイスである、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
媒体から分離された絶対圧力センサ装置であって、
第一圧力センサであって、前記第一圧力センサは、前記第一圧力センサに印加される分離した媒体の第一圧力と第二圧力との間の第一圧力差を測定するように動作可能であり、且つ前記第一圧力差に対する第一傾斜応答を有する第一出力を提供することにより前記第一圧力差に応答する、前記第一圧力センサと、
第二圧力センサであって、前記第二圧力センサは、前記第二圧力センサに印加される前記第二圧力と実質的な真空との間の第二圧力差を測定するように動作可能であり、且つ前記第二圧力差に対する第二傾斜応答を有する第二出力を提供することにより前記第二圧力差に応答する、前記第二圧力センサと、
前記第一傾斜が実質的に前記第二傾斜に等しくなるように、前記第一及び第二センサのそれぞれの前記傾斜応答とオフセットとを調整し、且つ前記第一及び第二センサのそれぞれの調整後の出力を提供する前記第一及び第二イコライザと、
前記第一及び第二出力を加算して、前記分離した媒体の第一圧力の絶対圧力測定を示す出力信号を提供する加算回路と
を備える装置。
【請求項７】
前記第一及び第二圧力センサに結合されて、前記第一及び第二圧力センサから導出されるオフセット−スパン温度補償信号を提供するオフセット−温度−スパン−温度補償回路を更に備える、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第一及び第二圧力センサは圧電抵抗デバイスである、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
分離した媒体の絶対圧力測定を提供する方法であって、
第一圧力センサと第二圧力センサとを提供する工程であって、前記第一圧力センサは、前記第一圧力センサに印加される第一圧力と第二圧力との間の第一圧力差を測定するように動作可能であり、前記第一圧力差に対する第一傾斜応答を有する第一出力を提供することにより前記第一圧力差に応答し前記第二圧力センサは、前記第二圧力センサに印加される前記第二圧力と実質的な真空との間の第二圧力差を測定するように動作可能であり、前記第二圧力差に対する第二傾斜応答を有する第二出力を提供することにより前記第二圧力差に応答する、第一圧力センサと第二圧力センサとを提供する工程と、
前記第一傾斜が実質的に前記第二傾斜に等しくなるように、前記第一及び第二センサのうちの少なくとも一つの傾斜応答を調整する工程と、
前記第一及び第二センサの対応する少なくとも一つの調整後の出力を提供する工程と、
前記第一及び第二センサに関連付けられる実質的に等しい傾斜出力を加算して、前記第一圧力の絶対圧力測定を示す出力信号を提供する工程と
を備える方法。
【請求項１０】
第一及び第二オフセットを対応する前記第一及び第二センサ出力から減算する工程を更に備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第一及び第二圧力センサ出力から導出される、オフセット−温度及びスパン−温度補償を適用して、前記第一及び第二センサのオフセット−スパン温度−補償を提供する工程を更に備える、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記調整する工程は、前記第一信号と前記第二信号との両者の傾斜応答を調整する、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記提供する工程は、前記センサを第一及び第二圧電デバイスとして提供することを含む、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に、圧力センサの分野向けのものであり、より詳細には、媒体から分離された絶対圧力センサ向けのものである。
【背景技術】
【０００２】
最新の自動車システムにおいて、ある場所の絶対圧力を測定することが頻繁に所望される。例えば、流量を判定するためにＥＧＲ（排気ガス還流）システムにおける鋭角のオリフィスの圧力を測定することが望ましい。しばしばこの場合のように、媒体は非常に過酷である。このような不都合な環境のため、本明細書では排気ガスである媒体から分離することが所望されており、典型的には半導体ベースのセンサが長期間にわたって存続し且つ固有の機能を果たすことを達成する。
【０００３】
絶対圧力センサは通常、センサの空洞内に真空と共に構築され、上面に印加された圧力を検出する機能を有する。上面は、相互接続用の物質（金属線ボンディング・パッド、ワイヤ・ボンド等）を含む面として識別される。想像されるように上面は、センサの動作に不利益に影響する化学的／物理的汚染に敏感であり、センサの精度をひどく低減させたり、壊滅的な故障さえも引き起こす。
【０００４】
センサの上面を保護する従来技術の一つの解決法は、特別な半導体薄膜（例えば窒化不動態化）及び外側の薄膜又はゲルを利用することである。この種の保護には限界がある。例えば、車両の排気ガスのような強力な媒体は、保護されているにもかかわらず、検出要素に危害を加え得る。
【０００５】
媒体をセンサから分離するための他の従来技術のアプローチは、圧力を検出するために、オイルにより従来の半導体ベースの圧力センサに結合されるステインレス鋼隔膜を利用することである。ステインレス鋼隔膜は、過酷な媒体と圧力センサとの間の必要な分離を提供し、オイルは圧力を圧力センサに伝達する機能を提供する。製造工程において、すべてのエア・ポケットを消去することは、例え非現実的で無いとしても困難であるため、このアプローチで利用されるオイル媒体は、圧力測定に誤差を加える。これらのエア・ポケットは、過酷な圧力の媒体を検知するステインレス鋼隔壁と実際の圧力センサとの間の圧力伝達に誤差を加える。同様に、オイルの粘性の変化とオイルの漏出のために、オイルの圧力伝達性能は、温度及び時間の増大に伴って低減する。更に、オイルが、ステインレス鋼隔壁と圧力センサとの間に密閉される必要があるために、オイルを満たしたアプローチを利用することは、製造業者にとって困難である。
【０００６】
媒体を分離する他の従来技術のアプローチは、密閉された真空缶内に差分圧力センサを包含することにより分離される。この方法では、基準圧力を零に維持して、第二圧力をセンサの背後から印加する。密閉されたシリコンから成る検知要素の背後は、検知される媒体により影響されない。しかし、この種の解決法は高価であり、漏れが生じやすく、且つ大量生産には向かない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
より正確で、より製造しやすく、より安価で、且つ時間及び温度変化の屋外性能が改善される、改良された、媒体から分離された圧力センサが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、差分及び絶対の二つの検知要素を利用する方法及び装置を記載する。絶対検知は固有の信号調整により実現される。検知された絶対圧力が差分センサの背後に印加され、故に媒体の分離が実現され、過酷な媒体がそれに印加される。その結果、本発明は、より正確で、製造がより容易で、より低価格で、且つ時間及び温度変化の屋外性能が改善される、絶対圧力センサを提供する。
【０００９】
媒体から分離された絶対圧力センサ装置と対応する方法とは、第一圧力センサに印加される第一圧力と第二圧力との間の差分を示す第一圧力センサにより提供される第一信号と、第二圧力センサに印加される第二圧力と実質的な真空との間の差分を示す第二圧力センサにより提供される第二信号とを組み合わせる。第一及び第二信号が組み合わされて、絶対圧力センサを形成する。圧力スパン又は圧力の範囲に応答して、第一信号は、第二の傾斜応答とは異なる傾斜応答を有する。類似するタイプの差分センサが利用される従来技術とは異なり、片方のセンサが差分センサであり且つ他のセンサが絶対センサである場合、このことは特に明白である。イコライザ（傾斜調整）回路は、第二信号の傾斜応答に対応する第一信号の傾斜応答の調整を可能にし、且つ調整後の傾斜応答に依存して第一信号を調整した傾斜を提供する。加算回路は、傾斜調整後の第一信号の傾斜と第二信号とに依存する出力信号を提供し、出力信号は、第一圧力センサと第二圧力センサとの間で検知された絶対圧力を示し、真空との比較であり、これによりシステムを絶対圧力センサにする。
【００１０】
本発明の特徴は、二つの圧力センサを組み合わせて、過酷な媒体から分離された非常に重要な要素を有する絶対圧力センサを形成することを可能にする構造を提供することを含む。更に構造は、各センサに関連付けられるスパンとオフセットとの誤差の補償を可能にする。この教示により理解されるように、この構造は、二つ以上のセンサを含むように容易に拡張され得る。本発明のこれら及び他の利便性は、添付された図面を熟読することにより、より明白に成るであろう。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
新規性を有することが確信される本発明の特徴は、添付され特許請求の範囲に詳細に説明される。更なる目的及びその利点と共に本発明は、同じ参照番号は同じ要素を同定する幾つかの図を含む、添付された図面と協調して以下の記載を参照することにより最大限理解される。
【００１２】
図１は本発明に従う、共通のアセンブリに両者が搭載される第一及び第二圧力センサの断面図である。第一圧力センサ１０１と第二圧力センサ１０３とが、両者共に共通のセンサ・アセンブリ１００に搭載されている。好適にはこれらのセンサ１０１と１０３とはシリコンから構成されており、圧電抵抗型である。第一圧力センサはポート１０９を覆うように筐体１０５に装着されている。このことは、接着剤１０７（例えばＲＴＶ接着剤）の薄層又は他の手段を利用して実現され、接着剤の薄層は、プラスチック、セラミック又は金属筐体のような筐体に配置され、センサ１０１が次に接着剤に印加される。別例でセンサは、筐体上に配置されるガラス台に静電的に接着され、ガラス台は１０５に半田付けを利用して接着されるか又は別例で、接着剤１０７を利用して接着される。ボンド・ワイヤ１１１は、センサ１０１を信号処理回路１１３に電気的に接続し、信号処理回路１１３は筐体にも接着されている。実際には複数のボンド・ワイヤが存在するが、明確性のために一本が示されていることに留意されたい。
【００１３】
第二圧力センサ１０３は、真空の下にガラス又はシリコン台１０４を陽極（静電）接合されて、実質的な真空１２１をその中に密閉する。台１０４は次に、本明細書に記載される様々な技術又は当該技術分野において公知である技術の任意の一つを利用して、筐体１０５に固着される。例えば、台１０４は筐体１０５に接着剤の薄層を利用して固着される。利用される接着剤又は接着技術のタイプは、筐体１０５の材料に利用されるいかなるものにも永続的に接着しているように選択されるべきである。ボンド・ワイヤ１１１は、第二センサ１０３を信号処理回路１１３に電気的に接続し、信号処理回路１１３も筐体に接着されている。実際には複数のボンド・ワイヤが存在するが、明確性のために一本が示されていることに留意されたい。
【００１４】
上記構造は筐体１０５内に包含されている。筐体１０５は密閉型の筐体であり得る。しかし、本発明は、筐体が大気（ＰＡ）に対して開いているものに最も経済的に応用され、従って筐体は低価格の熱硬化樹脂又は熱可塑性物質で作成される。実際に、筐体全体はベース部から成ることのみを必要とする。参照番号１１０はセンサ・アセンブリ１００の非保護面を示し、参照番号１２０はセンサ・アセンブリ１００の保護面又は媒体から分離された面を示す。保護面１２０に存在する過酷な媒体がボンド・ワイヤ１１１に露出された場合、過酷な媒体がボンド・ワイヤ１１１を化学的に侵食し、ボンド・ワイヤが急速に劣化して機能しなくなるので、非保護面１１０は保護されないと考えられる。ポートが密閉されて、測定されるべき過酷な媒体が分離されるので、センサ・アセンブリの保護される面１２０は保護されると考えられる。両圧力センサの保護されない面１１０は、過酷な媒体にさらされない。
【００１５】
第一圧力Ｐ１１１７が、第一圧力センサ１０１の保護面１２０の圧力ポート１０９に印加される。典型的には周囲の圧力である第二圧力ＰＡ１１９が、センサ・アセンブリの非保護面１１０に提供され、第二圧力ＰＡ１１９は第一及び第二圧力センサ１０１及び１０３の両者に共通である。実質的な真空１２１が第二センサ内に含まれている。図２及び図３に詳細に記載されているように、信号処理回路１１３が利用されて、二つの圧力センサ１０１及び１０３からの出力を組み合わせ且つ処理する。回路１１３はパッケージの外部への接続も有して（図示せず）、必要に応じて絶対圧力信号を他の回路に出力する。
【００１６】
図２及び図３は、図１に示される圧力センサ１０１及び１０３により提供される信号を変換して、応答が第一センサの圧力（Ｐ１−ＰＡ）と第二センサの圧力（ＰＡ−０）との和に依存する出力信号２２７を提供する絶対圧力センサを形成するために利用される別の関係を示す、システムブロック図である。和が真空を基準とするものになるので、和が絶対圧力Ｐ１を与える。図２及び図３に示される構造を表す回路が図１の信号処理回路１１３で物理的に組み合わせられ得ることに留意されたい。
【００１７】
圧力Ｐ１１１７とＰＡ１１９とがセンサ・アセンブリ１００に印加されると、第一圧力センサ１０１の圧電抵抗デバイスが、第一圧力センサ１０１に印加される第一圧力Ｐ１１１７と第二圧力ＰＡとの差分を示す、第一信号２０７，２０９を出力する。第二圧力センサ１０３の圧電抵抗デバイスは、第二圧力ＰＡ１１９と真空との間の差分測定を示す第二信号２１３及び２１５を提供し、ＰＡの絶対測定をもたらす。当該技術分野の現在の状態では、製造工程により完全に同一の傾斜を有するセンサを製造することが不可能であるので、これら二つの信号２０７，２０９及び２１３，２１５は圧力の範囲にわたって、元来異なる傾斜を有する。加えて、差分センサ１０１は、絶対圧力センサ１０３とは異なる圧力スパンを有する。故にある圧力範囲にわたって、第一信号２０７，２０９はある傾斜に応答し、異なる圧力の範囲にわたって、第二圧力センサ１０３により提供される第二信号２１３，２１５は、第一圧力センサ１０１により提供される傾きと異なる傾きに応答する（図４を参照）。出力信号２２７を合成する重要なステップは、二つの圧力センサ１０１，１０３により提供される二つの信号２０７，２０９及び２１３，２１５の傾斜応答を合致させることである。
【００１８】
イコライザ回路（傾斜調整回路）２１７は、第一圧力センサの信号２０７，２０９を調整し、傾斜調整後の第一信号２２１を提供する。他のイコライザ（傾斜調整）回路２１９は、第二圧力センサ信号２１３，２１５を調整し、傾斜調整後の第二信号２２３を提供する。最小限の実施において、第一圧力センサの信号２０７，２０９の傾斜のみが第二圧力センサ信号２１３，２１５の傾斜に合致するように調整される必要があるので、第一傾斜調整回路のみが必要とされ、故に第二圧力センサ信号２１３，２１５の傾斜は固定される。この場合、傾斜調整後の第一信号２２１の傾斜応答は、第二圧力センサ信号２１３，２１５の傾斜応答に対応するように調整される。好適な実施形態において、第二圧力センサ信号２１３，２１５の傾斜も調整されて、傾斜調整後の第二信号２２３は傾斜調整回路２１９から提供されて、センサ１００の製造における他の自由度を提供する。
【００１９】
次に、傾斜調整後の第一信号２２１が傾斜調整後の第二信号２２３に、加算回路２２５により加えられる。傾斜調整された第一信号２２１と傾斜調整された第二信号２２３とを組み合わせることの重要な態様を理解するために、組み合わせを決定する式が、図１及び図４に関連して以下に簡単に記載される。
【００２０】
傾斜調整後の第一信号の応答は、
Ｖｄ１＝ｏｆｆｓｅｔ１＋ｍ１（Ｐ１−ＰＡ）
と表され、Ｖｄ１は第一センサの出力信号（この場合はボルト単位）であり、ｏｆｆｓｅｔ１は第一圧力センサ１０１から導出される傾斜調整後の第一信号２２１の圧力に独立な（定数）項であり、且つｍ１は第一圧力センサ１０１から導出される傾斜調整後の第一信号２２１の圧力傾斜である。Ｐ１−ＰＡは、第一圧力センサ１０１に保護面１２０から印加されたＰ１１１７と非保護面１１０から印加されたＰＡ１１９との差分圧力である。
【００２１】
傾斜調整後の第二信号の応答は、
Ｖｄ２＝ｏｆｆｓｅｔ２＋ｍ２（ＰＡ−０）
と表され、Ｖｄ２は第二センサの出力信号（この場合も再びボルト単位）であり、ｏｆｆｓｅｔ２は第二圧力センサ１０３から導出される傾斜調整後の第二信号２２３の圧力に独立な（定数）項であり、且つｍ２は第一圧力センサ１０３から導出される傾斜調整後の第二信号２２３の圧力傾斜である。ＰＡ−０は、真空１２１に対して第二圧力センサ１０３に非保護面１１０から印加されたＰＡ１１９の差分圧力であり、絶対圧力の測定をもたらす。
【００２２】
ｍ１＝ｍ２＝ｍとなるように調整が成された場合、傾斜調整後の第一信号２２１と傾斜調整後の第二信号２２３の加算回路２２５により実行される加算は、最終的な信号Ｖ＝Ｖｄ１＋Ｖｄ２を生成し、Ｖは真空に対する第一圧力Ｐ１に依存する。加えて信号Ｖは、第一圧力センサ１０１と第二圧力センサ１０３とに共通である第二圧力ＰＡ１１９から完全に独立している。故に、保護面１２０の圧力のみに応答する絶対圧力センサが形成される。この決定論的な結果は、
Ｖ＝Ｖｄ１＋Ｖｄ２＝ｏｆｆｓｅｔ１＋ｏｆｆｓｅｔ２＋ｍ（Ｐ１−０）
という式で表される。
【００２３】
上記のように加算回路２２５は、傾斜調整後の第一信号２２１と傾斜調整後の第二信号２２３との必要な加算を提供する。加えて加算回路２２５は、圧力センサ１０１と１０３との両者のオフセット項を同時に温度補償することを可能にするオフセット温度補償回路２３７に結合され得る。更に加算回路２２５は、基準温度における全回路のゲインとオフセットとを調整する手段を有する。
【００２４】
図２及び図３に示されるブロック図の別の構成要素は、第一及び第二圧力センサ１０１，１０３に各々結合されるネットワーク２２９とネットワーク２３３とを備える電圧スパン温度補償回路である。これらは、図２に示されるように、電源信号２０３，２０５の間に結合される抵抗か又は、図３に示されるように他の温度補償ネットワークを含む。電圧スパンは、センサにより観測される最低圧力と最高圧力との間で挙動する電圧の範囲である。スパン温度補償回路２０３，２２９，２３３及び２２５は、第一及び第二圧力センサ１０１，１０３に対して同時にスパン温度を補償提供する。スパン温度補償回路２０３，２２９，２３３及び２０５から導出される参照番号２３１及び２３５に存在する信号は、オフセット補償回路２３７に提供されて、オフセット補償回路２３７は代わりに、組み合わされたオフセット温度補償信号２３９を提供する。
【００２５】
センサのオフセット、傾斜、スパン及び温度性能の全ては製造中に決定され、発送前に信号処理回路１１３にプログラムされて、正確な絶対圧力センサを提供するために必要な補償を提供する。信号処理回路はアナログか、又は好適にはデジタル技術を利用して均等化、オフセット、スパン、及び温度補償を提供する。実際に、センサ・アセンブリ１００の全体は二つの異なる温度に露出されて、センサのオフセット及び傾斜、温度性能及びドリフトを決定する。
【００２６】
図５を参照して、本発明は孤立した媒体の絶対圧力測定を実行するための方法も提供する。方法は、上で詳細に記載されたように、第一圧力センサに印加される第一圧力と第二圧力との第一圧力差を測定するように動作可能な圧電デバイスから成る第一圧力センサを提供する、第一ステップ４００を含む。第一圧力センサは、第一圧力差に対する第一傾斜応答を有する第一出力を提供することにより、第一圧力差に応答する。同様にして、圧電デバイスから成る第二圧力センサは、第二圧力センサに印加される第二圧力と実質的な真空との間の第二圧力差を測定するように動作可能である。第二圧力センサは、第二圧力差に対する第二傾斜応答を有する第二出力を提供することにより、第二圧力差に応答する。
【００２７】
次のステップ４０２は、スパン温度補償を適用して、第一傾斜が実質的に第二傾斜と同一になるように、第一及び第二センサの少なくとも一つの傾斜応答を調整することを含む。好適には、第一信号と第二信号との両者の傾斜応答が調整される。
【００２８】
次のステップ４０４は、第一及び第二センサの対応する少なくとも一つの調整後の出力を提供することを含む。
次のステップ４０６は、第一及び第二オフセットを対応する第一及び第二センサ出力から減算することを含む。
【００２９】
次のステップ４０８は、第一及び第二圧力センサから導出されるオフセット−温度を適用して、第一及び第二センサのオフセット−スパン温度補償を提供する。
次のステップ４１０は、第一及び第二センサに関連付けられる、実質的に同一な傾斜出力を加算して、第一圧力の絶対圧力測定を示す出力信号を提供する。
【００３０】
結論として、媒体から分離された絶対圧力センサが改良され、より正確になり、より製造しやすくなり、且つ時間及び温度変化の屋外性能が改良されたことが詳細に記載された。本発明は、密封孤立技術をより単純な差分／絶対センサ構成に置換することにより、従来技術のアプローチの欠陥を克服する。更に、複数のセンサを調整し、且つこれらセンサの出力を組み合わせて絶対信号を電気的に形成する、より単純化されたアプローチは、実質的に製造を容易にし、且つ屋外性能を有利にする。
【００３１】
本発明は、本発明の特定の実施形態を参照して特に示され且つ記載されてきたが、本発明の広範な範囲から乖離せずに様々な変形物が作成され、且つ均等物が本発明の要素に置換されてよいことが当業者には理解されるであろう。加えて、加えて、数多くの修正が、本発明の本質的な範囲から乖離せずに、本発明の教示の特定の状況または材料に採用されてもよい。従って、本発明は本明細書の特定の実施形態に制限されないことが意図されているが、本発明は添付した特許請求の範囲に入る全ての実施形態を含むことが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に従う、共通のアセンブリに両者が搭載される第一及び第二圧力センサの断面図。
【図２】図１に示される圧力センサにより提供される信号を変換して絶対圧力センサを形成するために利用される構造関係を示す、システムブロック図。
【図３】図１に示される圧力センサにより提供される信号を変換して絶対圧力センサを形成するために利用される構造関係の別の実施形態を示す、システムブロック図。
【図４】センサの応答傾斜のグラフ。
【図５】本発明の好適な実施形態に従う方法を示すフロー図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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