(57)【要約】  真空テーブルに特に有用な磁気弁を開示する。提供される磁気弁は、分離低壁により第１のサブセルと第２のサブセルとに分離されたセルを含む。前記低壁が、セルの高部において第１および第２のサブセル間の移動を可能とし、かつ、セルの低部において第１および第２のサブセル間の移動を抑止する。磁気弁はまた、セルの上壁またはセルの側壁に位置する少なくとも１つの流入口と、第２のサブセルの底部に位置する流出口とを含む。セルの内部に位置し、かつ、セルの高部において第１のサブセルから第２のセルへ、また、その逆へと移動可能であって、第２のサブセルに位置する際に流出口を封止可能な鉄ボールを含む。そのうえ、磁気弁は、セルの上側を摺動可能な摺動体を含み、摺動体は、磁石からなり、かつ、第１のサブセル上を摺動して、鉄ボールを引き上げ、分離低壁の上方を通り第２のサブセル内へと鉄ボールを引きずりながら引き続き摺動し、セルの上方を引き続き摺動して、鉄ボールを第２のサブセル内へ落下させて流出口を封止し、逆向きに摺動して、流出口を反対に開放するために作用する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）分離低壁により第１のサブセルと第２のサブセルとに分離されたセルであって、前記低壁が、前記セルの高部において前記第１および第２のサブセル間の移動を可能とし、かつ、前記セルの低部において前記第１および第２のサブセル間の移動を抑止するセルと、
ｂ）前記セルの上壁または前記セルの側壁に位置する少なくとも１つの流入口と、
ｃ）前記第２のサブセルの底部に位置する流出口と、
ｄ）前記セルの内部に位置し、かつ、前記セルの高部において前記第１のサブセルから前記第２のセルへ、また、その逆へと移動可能であって、前記第２のサブセルに位置する際に前記流出口を封止可能な鉄ボールと、
ｅ）前記セルの上側を摺動可能な摺動体であって、前記摺動体は、磁石からなり、かつ、
ｉ）前記第１のサブセル上を摺動して、前記鉄ボールを引き上げ、
ｉｉ）前記分離低壁の上方を通り前記第２のサブセル内へと前記鉄ボールを引きずりながら引き続き摺動し、
ｉｉｉ）前記セルの上方を引き続き摺動して、前記鉄ボールを前記第２のサブセル内へ落下させて前記流出口を封止し、
ｉｖ）逆向きに摺動して、前記流出口を反対に開放する
ために作用する摺動体と、を含むことを特徴とする磁気弁。
【請求項２】
前記鉄ボールが磁石からなり、かつ、前記摺動体が鉄からなる請求項１に記載の磁気弁。
【請求項３】
前記鉄ボールと前記摺動体との両方が、磁石からなる請求項１に記載の磁気弁。
【請求項４】
前記磁気弁が、真空弁として用いられる請求項１に記載の磁気弁。
【請求項５】
前記鉄ボールもしくは前記摺動体またはこれらの両方が、何らかの磁性体または強磁性体材料からなる請求項１に記載の磁気弁。
【請求項６】
前記摺動体が、電磁石である請求項１に記載の磁気弁。
【請求項７】
請求項１に記載の磁気弁の縦横配列からなる真空板であって、前記摺動体が、前記真空板の表面を滑ることが可能な細長形状であり、かつ、前記摺動体が通過した磁気弁を封止し、またその逆も行うことを特徴とする真空板。
【請求項８】
前記摺動体が、複数の電磁石からなり、かつ、前記摺動体の通過の際の前記磁気弁の各々の開閉を制御することにより前記板の真空領域を制御するために前記電磁石を制御するコントローラをさらに含む請求項７に記載の真空板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁の分野に関する。具体的には、本発明は、磁力により操作される弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
公知の弁には多くの種類があるが、通常、封止方法や操作方法により異なっている。よく知られている弁のうちの１つにボール弁がある。そのような弁では、ボールが流出口に位置し、ボールにかかる圧力により、ボールが押圧されて流出口を封止し、反対の圧力により、ボールが上へ動かされて弁を開く。
【０００３】
本発明は、真空テーブルに有用である。真空テーブルは、孔の空いた真空箱を有する。「孔」が、その上方にある物体を真空圧力により引き下げており、かつ、物体にかかるこの圧力は、保持されている物体と接触している孔の表面積に基づいている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
物体がテーブル表面より小さいとき、覆われていない孔は開放されたままであり、真空エネルギーが無駄になっている。このエネルギーの無駄を省くために、真空テーブルの覆われていない孔の少なくとも一部の閉鎖を可能とする簡単な操作の簡単な弁が必要である。
【０００５】
したがって、簡単かつ安価で、磁石を摺動させることにより容易に操作される磁気弁を備えることが有利であろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、真空テーブルに特に有用な磁気弁である。
【０００７】
本発明の教示によると、
ａ）分離低壁により第１のサブセルと第２のサブセルとに分離されたセルであって、前記低壁が、前記セルの高部において前記第１および第２のサブセル間の移動を可能とし、かつ、前記セルの低部において前記第１および第２のサブセル間の移動を抑止するセルと、
ｂ）前記セルの上壁または前記セルの側壁に位置する少なくとも１つの流入口と、
ｃ）前記第２のサブセルの底部に位置する流出口と、
ｄ）前記セルの内部に位置し、かつ、前記セルの高部において前記第１のサブセルから前記第２のセルへ、また、その逆へと移動可能であって、前記第２のサブセルに位置する際に前記流出口を封止可能な鉄ボールと、
ｅ）前記セルの上側を摺動可能な摺動体であって、前記摺動体は、磁石からなり、かつ、
ｉ）前記第１のサブセル上を摺動して、前記鉄ボールを引き上げ、
ｉｉ）前記分離低壁の上方を通り前記第２のサブセル内へと前記鉄ボールを引きずりながら引き続き摺動し、
ｉｉｉ）前記セルの上方を引き続き摺動して、前記鉄ボールを前記第２のサブセル内へ落下させて前記流出口を封止し、
ｉｖ）逆向きに摺動して、前記流出口を反対に開放する
ために作用する摺動体と、を含むことを特徴とする磁気弁が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の簡単で、信頼性が高く、かつ、安価な磁気弁および真空板を提供することにより、本発明は、従来技術の欠点にうまく対処している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
説明されている本発明の好適な実施形態におけるさらなる特徴によると、前記鉄ボールが磁石からなり、かつ、前記摺動体が鉄からなる磁気弁が提供される。
【００１０】
本発明の別の好適な実施形態によると、前記鉄ボールと前記摺動体との両方が、磁石か、または、その他何らかの磁性体もしくは強磁性体材料からなる磁気弁が提供される。
【００１１】
本発明の別の好適な実施形態によると、前記磁気弁が、真空弁として用いられる磁気弁が提供される。
【００１２】
別の好適な実施形態において、前記摺動体が、電磁石である磁気弁が提供される。
【００１３】
本発明のさらに別の側面によると、本発明において規定されている磁気弁の縦横配列からなる真空板であって、前記摺動体が、前記真空板の表面を滑ることが可能な細長形状の摺動体であり、かつ、前記摺動体が通過した磁気弁を封止し、またその逆も行うことを特徴とする真空板が提供される。
【００１４】
本発明の別の好適な実施形態によると、前記摺動体が、複数の電磁石からなり、かつ、前記摺動体の通過の際の磁気弁の各々の開閉を制御することにより前記板の真空領域を制御するために前記電磁石を制御するコントローラをさらに含む真空板が提供される。
【００１５】
以下、本発明を、添付の図面を参照しながら単に例示のために説明する。詳細な図面を特定して参照しながら、示されている詳細事項は、単に例示のため、かつ、本発明の好適な実施形態を実例をあげて説明する目的のものであり、本発明の原理および概念的側面の有用かつ理解の容易な説明であると考えられているものを提供するために提示されていることを強調する。この点に関して、本発明の基本的理解に必要である以上に詳細には本発明の構造的詳細を示そうとはしていない。図面とともに考慮された説明により、本発明のいくつかの形態が実際にどのように具体化されうるのかが、当業者にとって明らかになっている。
【００１６】
本発明は、磁気弁、および、そのような弁を用いた真空板である。
【００１７】
本発明の磁気弁は、低壁により２つのサブセルに分離されているセルと、サブセルのうちの一方に位置し、かつ、引き上げられているときにのみ一方のサブセルから他方のサブセルへと動かすことができる鉄ボールとからなる。サブセルのうちの一方の底部には、流出口があり、流入口は、セルの上壁または側壁に位置していてもよい。鉄ボールは、流出口のあるサブセルに位置しているときに、流出口を封止するので、弁が閉じるが、鉄ボールが第２のサブセルに位置しているときは、弁が開く。ボールを引き上げて、分離壁の上方を動かす磁気摺動体により、一方のサブセルから第２のサブセルへとボールの移動が行われる。
【００１８】
本発明に係る磁気弁の原理および操作は、図面およびそれに伴う説明を参照してよりよく理解できる。
【００１９】
ここで、図面を参照して、図１は、本発明に係る磁気弁の断面、および、その動作方法を示す。図１の「Ａ」では、弁は開いており、セル１０は、２つのサブセル「ｘ」および「ｙ」を有し、これらサブセルは、低壁１１によって分離されている。セルは流入口１２および流出口１３を有し、かつ、弁を通って通過１４が可能である。鉄ボール１５が、第１のサブセル「ｘ」に位置しており、磁気摺動体１６が、ボールに影響を及ぼさない場所に位置している。
【００２０】
図１の「Ｂ」において、摺動体１６は、セル１０上を摺動している。摺動体１６がボール１５の上方を摺動するとき、摺動体１６は、ボール１５を引き上げて、第２のサブセル「ｙ」の上端まで低壁１１の上方を引きずって行く。
【００２１】
図１の「Ｃ」において、摺動体１６は引き続き摺動し、遠ざかっていく。ボール１５は、解放されて、第２のサブセル「ｙ」の底部へ落下し、ボール１５が流出口１３を封止する。これで、弁が閉じる。
【００２２】
図２は、本発明に係る真空板を示す。真空板は、複数の本発明に記載の磁気弁からなる。磁気弁の流入口１２ａおよび流入口１２ｂは、磁気弁の流出口１３を介して到来する真空の力で物体を保持する真空板の保持孔である。明らかに、真空板は、磁気弁が開いている領域において物体を保持する。磁気摺動体１６は、左から右１７へと動かされ、すでに左部分の流入口１２ａの上方を摺動している。真空板のこの部分において、ボール１５ａが第２のサブセルへと動かされ、流出口を封止しているので、左側の保持孔である流入口１２ａには真空は存在しない。右側では、ボール１５ｂが依然として第１のサブセルにあり、流出口１３は開放されており、右側の保持孔である右側流入口１２ｂには真空が存在する。
【００２３】
摺動体１６を右１７へ動かすと、摺動体が通過した磁気弁は閉じ、真空板の保持領域は小さくなる。摺動体１６を左へ動かすと、−ボール１５ａを他方のサブセルへと送ることにより−閉じていた磁気弁が開き、保持領域は大きくなる。
【００２４】
摺動体１６は、電磁石により、磁気弁の各列に対して１つ構築可能である。本実施形態において、コントローラは、電磁石を制御することにより各磁気弁を開閉することができ、真空板の真空領域のあらゆる組み合わせを可能とする。
【００２５】
本発明をその具体的な実施形態とともに説明したが、多くの代替、変更および変形が当業者にとって明らかであることは明白である。よって、添付の請求項の精神および広い範囲内のそのような代替、変更および変形はすべて本発明に含まれると意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】図１は、本発明に係る磁気弁の断面、および、その動作方法を示す。
【図２】図２は、本発明に係る真空板を示す。
【図１】
2008506079.tif 000002
【図２】
2008506079.tif 000003