(57)【要約】  本発明は、冷却液ディフレクタを有するバッキングプレートを含み、各ディフレクタの少なくとも一部は、非線形である。バッキングプレートから突出する突起は、スパッタリングターゲット内の開口に挿入するように構成されている。本発明は、少なくとも１つの開口を有するターゲットを含み、開口は、ターゲットの背面からターゲット中に延在するファスナーを受ける。本発明は、バッキングプレートから突出し、ターゲット内の開口内に挿入可能な突起を有するターゲットアセンブリを含む。本発明は、ターゲットとバッキングプレートとの間に配置された複数の冷却液ディフレクタを有するターゲットアセンブリを含む。各ディフレクタの部分は、非線形である。本発明は、ターゲットを冷却する方法を含む。冷却液ディフレクタは、ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に配置され、冷却液ディフレクタは、それらの長さの少なくとも一部に沿って非線形である。
2008540830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された第１の面と、
第１の面に対向する第２の面と、
第１の面上に配置された複数のディフレクタと、を有し、
各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である、ターゲットバッキングプレート。
【請求項２】
複数のディフレクタが、第１のセットのディフレクタと、第２のセットのディフレクタと、を含み、
第１のセットのディフレクタおよび第２のセットのディフレクタが、線対称の軸をはさむ互いの鏡像である、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項３】
複数のディフレクタのうちのいくつかのディフレクタが、弧状の部分を含み、
ディフレクタのうちの少なくともいくつかのディフレクタの弧状の部分が、同心である、
請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項４】
冷却液注入口と、冷却液出口とをさらに含み、
複数のディフレクタが、複数の冷却液チャネルを形成し、
冷却液が、冷却液注入口と冷却液出口との距離の少なくとも一部上の線形流路から偏向される、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項５】
複数のディフレクタに含まれたディフレクタのうちの少なくともいくつかが、
第１の方向に弧状に曲げられた、第１の弧状の部分と、
第１の方向に対向する第２の方向に弧状に曲げられた第２の弧状の部分と、を含む、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項６】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された前面と、
前面の外側部に配置された周辺領域と、
前面上の周辺領域の内側に半径方向に配置されたくぼみと、
くぼみ内の冷却液ディフレクタと、
冷却液ディフレクタから突出し、スパッタリングターゲットの開口に挿入するように構成された突起と、
を含む、ターゲットバッキングプレート。
【請求項７】
冷却液ディフレクタが、バッキングプレートに含まれた複数の冷却液ディフレクタの１つであり、各ディフレクタが、くぼみ内に配置されている、請求項６に記載のバッキングプレート。
【請求項８】
ディフレクタの少なくとも２つが、スパッタリングターゲットの開口に挿入するように構成された突起を含む、請求項７に記載のバッキングプレート。
【請求項９】
バッキングプレートと接触するように構成され、表面を有する背面と、
背面に対向するスパッタリング表面と、
表面からターゲット中に延在し、ファスナーを受けるように構成された少なくとも１つの開口と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項１０】
ファスナーが、バッキングプレートの中央を通るボルトである、請求項９に記載のターゲット。
【請求項１１】
ファスナーが、バッキングプレートと一体である、請求項９に記載のターゲット。
【請求項１２】
ターゲットが、表層チャネルを含み、
表層チャネルが、開口と結合し、開口から半径方向に延在し、
ファスナーが、チャネル内で摺動可能である、請求項１１に記載のターゲット。
【請求項１３】
バッキングプレートと接触するように構成された背面と、
背面に配置された冷却液ディフレクタと、
バッキングプレートの開口に挿入するように構成された冷却液ディフレクタから突出する突起と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項１４】
冷却液ディフレクタが、ターゲットに含まれた複数の冷却液ディフレクタの１つである、請求項１３に記載のターゲット。
【請求項１５】
冷却液ディフレクタの少なくとも２つが、バッキングプレートの開口に挿入するように構成された突起を含む、請求項１４に記載のターゲット。
【請求項１６】
裏面を有し、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する開口を含むスパッタリングターゲットと、
スパッタリングターゲットの裏面と接触するように構成された前面を有するターゲットバッキングプレートと、
バッキングプレートの前面から突出し、ターゲットの開口内に挿入可能な突起と、
を含む、ターゲットアセンブリ。
【請求項１７】
開口が、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する複数の開口に含まれ、
バッキングプレートが、複数の突起を含み、
複数の突起が、複数の開口に挿入可能である、請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項１８】
ターゲットが、複数の開口に結合された表層チャネルを含み、
突起が、バッキングプレートに対してターゲットを回転することによって、表層チャネル内で摺動可能である、請求項１７に記載のアセンブリ。
【請求項１９】
ターゲットが、開口に突起を挿入し、次いで、ターゲットをバッキングプレートに対して回転することによって、バッキングプレートに結合されている、請求項１８に記載のアセンブリ。
【請求項２０】
アセンブリが、ターゲットの周辺領域に隣接するファスナーをさらに含み、
ファスナーが、バッキングプレートに対してターゲットを回転した後に固定される、請求項１９に記載のアセンブリ。
【請求項２１】
突起が、バッキングプレート上の径方向の中心にある、請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項２２】
バッキングプレートの径方向の中心を通る、およびターゲットの径方向の中心を少なくとも部分的に通る中心ボルトをさらに含む、請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項２３】
スパッタリングターゲットと、
バッキングプレートと、
ターゲットとバッキングプレートとの間に配置された複数の冷却液ディフレクタと、を含み、
各ディフレクタの少なくとも１つの部分は非線形である、スパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２４】
複数のディフレクタが、第１のセットのディフレクタと、第２のセットのディフレクタと、を含み、
第１のセットのディフレクタおよび第２のセットのディフレクタが、線対称の軸をはさんで配置されている、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２５】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、弧状の部分を含む、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２６】
ディフレクタが、ターゲットと一体である、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２７】
ディフレクタが、バッキングプレートと一体である、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２８】
中心ボルトが、ターゲットの中心およびバッキングプレートの中心を通って延在する、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２９】
ターゲットとバッキングプレートのうちの少なくとも１つが、ＥＣＡＥ法を利用して処理された材料を含む、請求項２３に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項３０】
ターゲットを提供するステップと、
ターゲットに結合されたバッキングプレートを提供するステップと、
ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に冷却液ディフレクタを提供し、冷却液ディフレクタは、それらの長さの少なくとも一部に沿って非線形であるステップと、
ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に冷却液を流すステップと、を含む、ターゲットを冷却する方法。
【請求項３１】
ディフレクタが、同心のアーチ状に曲げられた部分を含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
アセンブリが、アセンブリの第１の半径側の冷却液注入口と、半径方向に配置され、注入口に対向する冷却液出口と、を含み、
ディフレクタが、注入口から出口にギャップを通る非線形流路内の冷却液の少なくとも一部を偏向する、請求項３０に記載の方法。
【請求項３３】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、ギャップの深さにわたる、請求項３０に記載の方法。
【請求項３４】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、バッキングプレートと一体である、請求項３０に記載の方法。
【請求項３５】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、スパッタリングターゲットと一体である、請求項３０に記載の方法。
【請求項３６】
ターゲットが、少なくとも１つの突起を利用してバッキングプレートに結合されており、
突起が、バッキングプレートから突出し、ターゲット内の開口に挿入されており、
開口が、ターゲットを通って部分的にだけ延在する、請求項３０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターゲットバッキングプレート、スパッタリングターゲット、ターゲットアセンブリ、およびスパッタリングターゲットを冷却する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な基板上に材料の薄膜を形成するために、物理蒸着方法が広く使用される。そのような蒸着技術のために極めて重要な１つの分野は、半導体製造である。典型的な物理蒸着装置１０の一部の概略図が図１に示されている。装置１０はターゲットアセンブリ１２を含み、ターゲットアセンブリ１２はバッキングプレート１４を含み、バッキングプレート１４には、スパッタリングターゲット１６が取り付けられ、バッキングプレートの対向側に冷却プレート１５が取り付けられている。あるいは、いくつかの従来技術のアセンブリの構成は、冷却プレート（図示せず）を欠いている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
典型的には、装置１０は、蒸着中に基板を支持するための基板ホルダー１８を含む。半導体材料のウェハなどの基板２０は、ターゲット１６から間隔をあけるように設けられている。ターゲット１６の表面１７は、スパッタリング表面と称することができる。操作では、スパッターされた材料２４は、ターゲット表面１７から移動され、基板を含むスパッタリングチャンバの表面上に薄膜として堆積して、薄膜２２の形成をもたらす。
【０００４】
システム１０内でのスパッタリングは、例えば、ＤＣマグネトロンスパッタリングまたは無線周波数（ＲＦ）スパッタリングによって、真空チャンバ内で最も一般的に達成される。スパッタリング中に、表面１７上での粒子の衝突は、その表面から材料を取り除くだけでなく、付加的にターゲットの加熱をもたらす。したがって、ターゲットを冷却することは、ターゲットおよびターゲットアセンブリの完全性を維持し、均一で高品質の薄膜の製造を維持するために重要になる。
【０００５】
金属、合金およびセラミックスを含めて、様々な材料が物理蒸着を利用して堆積される。一般的なターゲット材料としては、例えば、アルミニウム、チタン、銅、タンタル、ニッケル、モリブデン、金、銀、プラチナおよびそれらの合金が挙げられる。スパッタリングターゲットは、典型的には、高純度材料から作られる。多くの高純度材料は、強度が低いので、特に、ターゲットが冷却システムによってかけられた圧力下にある用途のために、支持を付与するためにバッキングプレートがターゲットに取り付けられ得る。
【０００６】
従来のバッキングプレートは、典型的には、銅、銅合金（例えば、ＣｕＣｒ、ＣｕＺｎ）またはアルミニウム合金（例えば、Ａｌ６０６１、Ａｌ２０２４）から形成される。これらの材料は、典型的には、それらの熱、電気的および／または磁気的特性により選択される。アルミニウム合金は、銅合金より３倍まで低い密度を有することができ、より弱いヤング率を有することができる。
【０００７】
ターゲットの冷却を提供するために、従来のシステムは、典型的には、水が、バッキングプレートの後ろ、バッキングプレート１４と冷却プレート１５との間、またはバッキングプレートとターゲットとの間に位置されたリザーバ内に設けられる水冷式を使用する。しかし、従来の冷却システムは、しばしば、有効性が制限され、問題になり得る。
【０００８】
バッキングプレートの裏面が水にさらされるアセンブリの構成では、冷却効率は、水とターゲットとの距離により制限される可能性がある。代わりの従来のターゲットの構成では、ターゲットの裏面に沿って（ターゲットとバッキングプレートとの間）、またはターゲットとバッキングプレートとの間に配置された挿入物（図示せず）内にチャネルを設けることによって、冷却は、水チャネルを利用する。チャネル冷却ターゲットアセンブリのための例示的な従来のバッキングプレート１４が、図２に示される。
【０００９】
従来のバッキングプレート１４は、バッキングプレートの前面３２にわたって複数の狭いチャネルまたは開口３６を有するように構成されており、ここで、前面は、ターゲットアセンブリ内でターゲットと接触するバッキングプレートの面を称する。バッキングプレート１４は、周辺領域３０を有し、ターゲットにバッキングプレートを取り付けるために利用することができる複数のボルト穴３１を含むことが示されている。図２に示されたバッキングプレートは、典型的な構成であり、はんだ付けまたは拡散接合などのターゲットをバッキングプレートに取り付ける代わりの方法が利用することができることが理解される。しかし、結合技術および／またははんだ付け技術は、ターゲットとバッキングプレートとの間の熱膨張差により問題である可能性があり、それは、冷却プレートとターゲットとの間の結合不具合および／またはそれらの間からの水の漏出をもたらす可能性がある。
【００１０】
図２に示される従来のバッキングプレートの複数の狭い平行チャネルは、チャネルを通って水の流れを生成するための高圧によりさらに問題である可能性がある。図３を参照して、それは、バッキングプレート１４の断面図を示し、周辺において、バッキングプレート１４の裏面３４に至る水注入口３８を説明する。狭いチャネル３６の１つは、水が通る前面３２にわたって示されており、裏面３４を介して出口４０を通ってバッキングプレートから抜け出る。図２および図３に示されたバッキングプレートの構成は、スパッタリングの間の制限される水の流れおよび高圧により、水の漏出、ターゲットの破損、および／またはターゲットの変形をもたらす可能性がある。
【００１１】
溝が形成されたバッキングプレートの構成の代わりとして、いくつかの従来のターゲットアセンブリは、バッキングプレートに接続された挿入物または膜に取り付けられたターゲットを含めて３つ以上方の構成要素を利用する。低容量の水の流れを有することに加えて、これらの多部品設計は、複雑にされ、スパッタリングの間のミスアライメントをもたらし、水の漏出をもたらす可能性もある。さらに、ターゲットとバッキングプレートを結合する従来の方法は、ターゲットの反りおよび漏出の問題の原因となる可能性がある。
【００１２】
代わりのターゲットアセンブリの構成およびスパッタリング蒸着ための代わりの冷却方法を開発することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
１つの態様では、本発明は、ターゲットバッキングプレートを含む。バッキングプレートは、スパッタリングターゲットと接触するように構成された第１の面と、対向する第２の面と、を含む。複数のディフレクタは、第１の面に配置されており、各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である。本発明は、さらに、第１の面の外側部に配置された周辺領域と、周辺領域に対して内側に半径方向に配置されたくぼみと、を有するターゲットバッキングプレートを有する。冷却液ディフレクタは、くぼみおよびディフレクタから突出する突起内に存在し、スパッタリングターゲット内の開口に挿入するように構成されている。
【００１４】
１つの態様では、本発明は、バッキングプレートと接触するように構成された背面を有するスパッタリングターゲットを含む。背面は、ターゲットスパッタリング表面に対向する表面を有する。少なくとも１つの開口は、開口がファスナーを受けるように構成されている表面を通ってターゲット中に延在する。
【００１５】
１つの態様では、本発明は、裏面を有し、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する開口を有するスパッタリングターゲットを含む、ターゲットアセンブリを含む。アセンブリは、さらに、スパッタリングターゲットの裏面と接触するように構成された前面を有するターゲットバッキングプレートを含む。突起は、バッキングプレートの前面から突出し、ターゲットの開口内に挿入可能である。
【００１６】
１つの態様では、本発明は、裏面を有するスパッタリングターゲットを含むターゲットアセンブリを含む。アセンブリは、さらに、スパッタリングターゲットの裏面と接触するように構成され、バッキングプレートを通って完全にではなく前面から延在する開口を有する前面を有するターゲットバッキングプレートを含む。突起は、ターゲットの裏面から突出し、バッキングプレートの開口内に挿入可能である。
【００１７】
１つの態様では、本発明は、スパッタリングターゲットとバッキングプレートとを含み、ターゲットとバッキングプレートとの間に配置された複数の冷却液ディフレクタを有するスパッタリングターゲットアセンブリを含み、各ディフレクタの少なくともいくつかの部分は非線形である。
【００１８】
１つの態様では、本発明は、ターゲットを冷却する方法を含む。ターゲットが提供され、バッキングプレートがターゲットと結合して提供される。冷却液ディフレクタは、ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に配置され、冷却液ディフレクタは、それらの長さの少なくとも一部に沿って非線形である。冷却液は、ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に流される。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態は、次の添付図面を参照して以下に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の１つの態様は、ターゲットを冷却するための方法論およびターゲット冷却特性が向上したターゲットアセンブリおよびその構成要素の製造を含む。概して、本発明のターゲットの構成は、代わりの構成に対して冷却効率を向上し、冷却液の漏出を低減する。本発明による方法論およびアセンブリの構成は、図４から図１４を参照して概して記載される。
【００２１】
まず、図４を参照すると、それは、前面３２を有するバッキングプレート１４を示し、ここで、前面は、ターゲットアセンブリ内でターゲットと接触するバッキングプレートの面を称する。説明されるように、バッキングプレート１４は、複数の取付穴３１が通るバッキングプレートを包囲する周辺領域３０を有する。説明される取付穴の数は、例示的な目的のためだけであり、バッキングプレートは、示されるものよりも少ないまたは多くの数の穴を含むことができる。あるいは、ターゲットにバッキングプレート１４を取り付けるために代わりの技術が利用されるある実施形態では、周辺領域３０は、取付穴３１を有さなくてもよい。
【００２２】
本発明の１つの態様によれば、バッキングプレート１４は、複数の冷却液の流れのディフレクタ４２を有することができる。ディフレクタの構造は、互いに一定間隔で配置されて、複数のディフレクタ間冷却液チャネル４４を形成している。従来技術の構成と対比して、バッキングプレート１４は、ディフレクタ４２が非線形でありおよび／またはそれらの長さの少なくとも一部に沿って互いに平行でないように構成されている。ディフレクタ４２は、それらの長さの少なくとも一部に沿って曲げられ得るまたは弧状とされ得ることが好ましい。場合によっては、ディフレクタ４２は、図４に説明されるように、それらの長さの全体に沿って曲げられ得る。
【００２３】
付与されたバッキングプレート上に存在するディフレクタの数は、特定の値に限定されず、バッキングプレートのサイズおよびディフレクタの厚さなどの要因によって決まることができる。流れディフレクタの構造の数は、冷却が必要とされる場所に、接触するターゲットの背部にわたって水または代わりの冷却液の流れを案内するのに十分な最少数に限定される。ディフレクタの最少数を利用することによって、冷却液と直接接触するターゲットの領域は、最大限にされ得る。言い換えると、これは、冷却液が、従来の構成よりもはるかに低い圧力で流れることを可能にする。
【００２４】
ターゲットアセンブリにバッキングプレート１４を組み込む場合、水（または代わりの冷却液）が、バッキングプレートの注入口側４６に配置された注入口を通って導入され得る。典型的には、注入口は、前面３２に対向するターゲットの裏面上のフランジ（周辺）領域を通って設けられることとなる。水の流れは、ターゲットにわたって、バッキングプレート１４のチャネル４４を通って、ディフレクタによって導かれる。熱ビルドアップが最もありそうなターゲットの領域に、および／またはターゲットの冷却が最も必要な場所に冷却液が導かれるように、ディフレクタは構成され得る。出口（図示せず）は、バッキングプレートの対向する出口側４８に設けられている。代わりの構成が意図されるが、特定の場合では、注入口と出口とは、バッキングプレートにわたって、直接、横方向に対向されることとなる。
【００２５】
図４で説明されるように、ディフレクタの２つの鏡像セットが設けられることが、特定の実施形態において好ましくすることができ、ここで、線対称の軸は、図４で破線４９によって表わされるように、２つのセット間に存在する。しかし、そのような構成に限定されない。線対称の軸は、注入口および対向する出口によって画定されることが好ましい。線対称の軸の対向側のディフレクタは、第１および第２の対向セットと称することができ、各セットは、対向するセットの鏡像である。
【００２６】
図４は、均一に弧状とされ、同心として各ディフレクタ４２を示すが、その１つまたは複数のディフレクタまたは一部が、他の一部に対して不均一とすることができることが理解される。
【００２７】
本発明のターゲットアセンブリにおいて、低減された冷却液の圧力を利用する能力により、アセンブリは、高圧漏出の問題を回避しながら、ボルトおよびｏ−リングを利用して製造され得る。これは、より低い不具合率をもたらし、安価なターゲットを可能とする。さらに、本発明によるアセンブリは、挿入物または他の中間構造を利用することなく、２つの部分（取付装置以外）であるバッキングプレートおよびターゲットから製造され得る。さらに、本発明のバッキングプレートは，再使用可能である。
【００２８】
図４は、バッキングプレートと一体とされているディフレクタ４２を示すが、本発明はまた、ターゲットの裏面と一体とされるディフレクタを有する、またはターゲットとバッキングプレートとの各々上にディフレクタを有するアセンブリを意図することが理解される。例示的なターゲット１６は、ターゲットの裏面５８に沿った本発明による冷却液ディフレクタ４２’を有し、図５で説明される。ターゲットに結合されたディフレクタ４２’は、図４に示されたバッキングプレートについて、上記検討されたものに類似するように、チャネル４４’を通って直接冷却液を導くことができる。示されるように、ターゲットは、線対称の軸６９をはさむディフレクタの鏡像セットを有することができる。本発明によるターゲットは、図５に対しての代わりのディフレクタの構成を有することができ、バッキングプレートについて以下に検討する様々な構成が挙げられるが、それらに限定されないことが理解される。
【００２９】
代わりの構成では、ディフレクタは、ターゲットおよびバッキングプレート（図示せず）とは独立に設けられ得、ターゲットとバッキングプレートとの取り付け、または代わりの接合により、ターゲットとバッキングプレートとの間の空間内に保持され得る。例えば、スロットまたは溝は、ディフレクタの挿入のために、バッキングプレート、ターゲットまたは両方の表面内に設けることができる。スロットへの挿入時に、ディフレクタが２つの構成要素間の空間にわたることができるように、独立したディフレクタは、ターゲットとバッキングプレートとの間の空間の高さをわずかに超える高さを有するように構成され得る。スロットは、アセンブリ内でディフレクタの位置を決めて安定させるために役立つことができる。例えば、本明細書で検討された取付技術または代わりの取付方法によるバッキングプレートへのターゲットの取り付けは、さらに、適所にディフレクタを保持する機能を有することができる。しかし、再使用されることが可能なバッキングプレートの一体部としてディフレクタを設けることは、特定の用途において好ましく、それによって、ターゲットの製造のコストおよび全体のターゲットアセンブリのコストを最小限にすることができる。
【００３０】
流れ変更装置／ディフレクタによって占められた領域は、ターゲット（つまり、スパッタリング表面）の露出領域の５０％未満とすることができることが好ましい。ディフレクタによって占められた領域は、そのようなスパッタリング領域の１０％未満であることがより好ましい。特定用途については、ディフレクタによって占められた領域は、スパッタリング領域の３％未満であり、特定の場合には、そのような領域の１％未満とすることができる。
【００３１】
次に、図６Ａを参照して、それは、本発明による例示的な代わりの流れディフレクタの構成を説明する。ディフレクタの構成は、バッキングプレート上に配置されることとして説明、検討されるが、ターゲットの裏面上に代替的にまたは追加的に存在することができる。説明されるように、バッキングプレート１４は、ディフレクタ４２ａのセット間の線対称の軸を画定する注入口側４６および出口側４８を有する。示された構成では、ディフレクタの各セットは、チャネル４４によって分離された、３つの輪郭が示されたディフレクタを含む。各セット中の２つの半径方向の最も外側のディフレクタは、弧状の部分５０ａを含み、少なくとも１つの細長い端部５０ｂを有することができる。第２の弧状の部分５０ｃは、部分５０ａの弧方向に対して対向する方向に弧状とされることができる。説明される実施形態では、対向して弧状の部分５０ｃは、細長い部分５０ｂに含まれるが、弧状の部分および弧状湾曲の代わりの相対位置が意図される。
【００３２】
好ましくは、あるとすれば、細長い部分５０は、注入口側４６に隣接するディフレクタの端部に存在する。細長い部分はまた、出口端部４８に隣接するディフレクタの端部に存在することができるが、あるとすれば、そのような細長い領域は、注入口に隣接して存在するものよりも短くすることができることが好ましい。
【００３３】
ディフレクタ４２ａの横方向の幅は、特定の値に限定されない。さらに、与えられたセット内の異なるディフレクタは、互いに異なる幅を有することができる。図６Ａに示されるように、各セットのディフレクタの１つは、１つまたは複数のボルト開口５１を有するように設けることができ、ボルト開口５１は、ディフレクタに延在し、さらにバッキングプレート１４に延在する。そのようなディフレクタは、本発明によるターゲットアセンブリの構成において、ターゲットにバッキングプレート１４を固定するために、半径方向中間ボルトを設けるために利用され得る。本記載のために、用語「半径方向中間」または「中間」は、バッキングプレートまたはターゲットの中心と周辺領域との間に半径方向に配置された特徴を称することができる。図６Ａに特に示されないが、セット内のさらなるまたは代わりのディフレクタはまた、十分な幅とし、それを通るボルト穴を組み込むことを可能とする。
【００３４】
本発明は、さらに、アセンブリ内にターゲットおよびバッキングプレートを固定するために、バッキングプレート上の中心点に、またはその近くに、バッキングプレート１４を通る１つまたは複数のボルト開口５３を設けることを意図する。図６Ｂを参照すると、それは、バッキングプレート１４の中心を通る中心ボルト８０を説明する。また、バッキングプレートおよび最も外側のディフレクタ４２ａに延在する半径方向中間ボルト８２が説明されている。中心ボルトが使用される場合、それは、中心取り付けと称することができ、開口５１および／または周辺の開口３１を通る周辺ボルトを介して、個々に、または中間半径方向の取り付けと関連して使用され得ることが理解される。
【００３５】
ターゲットアセンブリにバッキングプレート１４を組み込む場合、ボルト８０および／または８２は、例えば、対応するボルトを受けるように構成されたターゲットにネジ込み開口を設けることにより、結合されるターゲットを通して完全にではなく通ることができる。示されたボルト取り付けは、例示的であり、バッキングプレートを通り、ターゲット内に入るピンまたは他の構造などの代わりのファスナーになり得る。代わりの実施形態では、ファスナーは、ターゲットを通ることができる。
【００３６】
ディフレクタ４２ａは、特定の高さに限定されず、バッキングプレート１４と、接触するターゲットの裏面との距離の全体を延在するように設けられ得ることが好ましい。しかし、本発明は、１つまたは複数のディフレクタ４２ａまたはその一部が、接触するターゲット面までの距離の全体未満を延在する実施形態を意図する。
【００３７】
本発明によるターゲットアセンブリについて、従来技術の取り付け技術（ボンディングなど）と比較して、相対的に数ポイントの取り付けで、バッキングプレートに機械的にターゲットが取り付けられ得るので、強いターゲット材料を設けることができることが好ましい。高強度ターゲット材料を使用すると、ターゲットおよびバッキングプレートに対してアセンブリ構成要素を最小化することができる。対照的に、比較的低強度の材料を利用する従来のアセンブリは、ターゲットに取り付けられた第１のバッキングプレートおよび第１のバッキングプレートに取り付けられた第２のバッキングプレートとをしばしば利用し、冷却チャネルは、第１のバッキングプレートと第２のバッキングプレートとの間に配置されている。本発明のアセンブリにおいて、中間バッキングプレートがないと、ターゲットをより厚くすることができ、それにより、スパッタリングに利用可能なより多量の材料およびより長いターゲット寿命を提供する。
【００３８】
本発明の１つの態様によるアセンブリで使用される高強度ターゲットを達成するために、剪断押出法（ＥＣＡＥ法）または他の厳しい塑性変形技術などの方法は、材料強度を向上するまたは最大限にするために、特にアルミニウムやアルミニウム合金などの比較的軟質材料のために利用され得る。高強度材料が利用される場合、中心や端でなど、最小の取り付けのためにアセンブリを構成して、ディフレクタの構造を通してなど、中間の半径方向の取り付けによって水の流れの混乱の任意の潜在的損失を最小限にすることのみができることが好ましい。
【００３９】
次に、図７を参照して、それは、図６に示されたものと同様の輪郭の複数の輪郭が示されたディフレクタ４２ｂを有するバッキングプレート１４を示す。ディフレクタ４２ｂは、上記のものより薄くすることが説明され、ボルトがディフレクタを通るように設けられない代わりの実施形態で利用され得る。特定の場合では、突起５２ａから５２ｅは、ディフレクタ４２ｂ上に延在する特定の位置に設けられ得、突起は、図８に示される断面図においてよりはっきり見える。突起部５２ａから５２ｅは、「キー」と称することができ、接触するターゲット面上に存在する開口のパターンの鏡像である特定パターンで設けることができる（図９参照）。中間キー５２の数は変えることができ、様々なディフレクタに沿って、そのような内部半径方向キーの配置は、さらに、変えることができる。
【００４０】
図７および図８に示されるように、バッキングプレート１４は、ディフレクタ４２ｂの高さの上に延在する頭部５７を有する中心キー５４を任意に含むことができる。本発明は、さらに、互いに独立に中心キー５４および半径方向キー５２ａから５２ｅの利用を意図することが理解される。
【００４１】
図８を参照して、それは、図７の線８−８の断面図においてバッキングプレート１４を示す。説明されるように、周辺領域３０は、バッキングプレートの前面３２内のくぼみまたは空隙３３を囲む。ディフレクタ４２ｂは、空隙３３の床と前面３２の最上の高台との距離にわたるとして示されている。中間キー５２ｂは、最上面上に延在するように示されている。中心キー５４は、空隙床からバッキングプレートの最上面まで延在する脚部５５を含むことができる。中心キー５４は、さらに、脚の幅を越えて横方向に延在して頭部５７を形成する１つまたは複数の延在部を含むことができる。図７を再び参照すると、これらの延在部は、説明されるように、横方向に対向され得る。しかし、本発明は、図に示されたものに対して代わりのキー形状の利用を意図する。図面は、関連するディフレクタから半径方向内側に延在するように中間キー５２を示すが、キー５２は、ディフレクタから外側に延在することができ、代わりの形状を含むことができ、および／またはディフレクタから半径方向内側におよび／または半径方向外側に延在することができる。
【００４２】
図９を参照して、それは、図７に示されたバッキングプレート１４と結合して利用され得る本発明によるターゲット１６を示す。説明されるように、ターゲット１６は、周辺領域６０を有することができ、周辺領域６０は、それを通る複数のボルト開口６１を有することができる。そのようなボルト開口は、バッキングプレート１４上の対応する開口３１と並べるように設けられ得る（図７）。
【００４３】
ターゲット１６は、スパッタリング表面５９（図１０においてよりはっきり見える）に対向する表面５８を有する。図９および図１０に示されるように、表面５８は、図７に示されるバッキングプレート１４上のキー５２ａのパターンの鏡像を描く中間開口６２ａから６２ｅのパターンを有するように構成され得る。ターゲット１６は、さらに、ターゲット１６の内部半径を包囲するチャネル６４、および相互接続開口６２ａから６２ｅを含むことができる。図１０を参照して、それは、さらに、チャネル６４を説明し、表面５８の真下に延在部６３を示し、延在部６３は、チャネル６４の表面開口部に対して、半径方向内側に延在する。
【００４４】
ターゲット１６は、バッキングプレート１４上に中心キー５４の形状を映す形状を有する中央開口６６を有する（図７）。ターゲット１６は、図７に示されるバッキングプレート１４に対して９０°回転されていることに図９を参照して留意されたい。図１０を参照して、それは、表面５８の真下に開口６６の中央部から双方向で横方向に延在する開口６６の延在部６７を示す。
【００４５】
図９に説明されるように、チャネル６４および開口６６の延在部６７は、ターゲットの一部を完全に包囲することができる。あるいは、チャネル６４またはその一部は、開口６２から次の隣接した開口に部分的にだけ延在することができる。同様に、中央開口６６の延在部６７は、示されるようなターゲット上の中心点のまわりに円形路を形成することができ、あるいは、表面５８の真下の中心円形領域の全体未満を二者択一で延在することができる。
【００４６】
代わりの構成では、バッキングプレートよりむしろターゲットは、本発明による突起を有するディフレクタを有することができる。例えば、図７および図８に説明されるようなバッキングプレートに結合されたディフレクタおよびキーは、図５に示されるターゲットのディフレクタを交換することができる。そのようなターゲットと接触するように構成されたバッキングプレートは、図９のターゲットと結合して示される開口の対応するパターンを有することができる。本発明は、さらに、本明細書で検討される代わりのキーパターンのうちのいずれかを有するターゲット、およびキーを受けるように構成された開口の対応するパターンを有するバッキングプレートを意図する。
【００４７】
図１１から図１５は、本発明によるターゲットアセンブリのためのキー取り付け構成の種々の態様を説明する。図１１に示されるように、中心キー５４は、２つの対向する横方向延在部５７を有することができる。これらの延在部の形状は変わることができ、そのような延在部は、直接横方向に対向される必要がないことが理解される。キー５４は、ターゲットの開口を映す形状を有するように設けられて、そのようなバッキングプレートに結合されることが好ましい。ターゲット内の例示的な鏡像開口は、図１３に示されている。図１２を参照して、それは、脚部５５上に横方向外側に、高く突出する延在部５７を示す。前面３２がターゲット（図１３）と接触するように、バッキングプレート１４が反転される場合、キー部５４は、ターゲット内の開口６６に並べられ、適合され得る。ターゲットとバッキングプレートとを一致させ、次いで、突起部５７がチャネル延在領域５５内で回転するように互いにターゲットおよびバッキングプレートを回転して、表面５８の真下で摺動することができ、それによって、ターゲットとバッキングプレートとを機械的に係合することができる。
【００４８】
図１４に示されるように、開口６６は、１つの方向に構成されて、一致キーを受け、図１５に示されるように、開口内でキーを回転すると、キーを保持して、ターゲット上にバッキングプレートをロックすることができる。
【００４９】
図７から図１０を再び参照すると、中間キー５２ａから５２ｅのパターンは、中心キー５４の挿入時、各中間キー５２は、ターゲットの対応する開口６２内に挿入されるように、ターゲットの開口６２ａから６２ｅのパターンを映す。バッキングプレートに対してターゲットを回転すると、ターゲットとバッキングプレートとの間のさらなるロック強度のために、ターゲットの表面５８の真下で突起５２ａが摺動される。
【００５０】
中間キーの数、サイズおよび位置は、図７から図１０に示されるバッキングプレートおよびターゲット上に示されるパターンに限定されない。例示的な代わりのキーパターンは、図１６から図１７に説明される。図１６を参照して、それは、中間キー５２ｆから５２ｋを有するバッキングプレート１４を説明する。存在するキーは、すべてが等しいサイズであるとは限らないことに留意されたい。相補的なターゲットは、図１７に示されており、それは、バッキングプレートのキーを受けるための開口６２ｆから６２ｋの適切なパターンを有する。特定の配置でのみ、ターゲットの開口にバッキングプレートのキーが挿入され得るように、キーパターンを設けることができることが好ましい。そのようなパターニングによって、ターゲットとバッキングプレートとの間での適切な配置を容易とすることができる。
【００５１】
本発明は、示された５個のキーおよび６個のキーパターンに対して中間キーのより少ないまたは多い数を利用するキーパターンを意図することが理解される。付与されたディフレクタに沿ったキーの配置は、さらに、変わることができ、キーは、図面に示された２つのキー付きディフレクタを有するパターンより少ないまたは多いディフレクタ上に設けることができる。
【００５２】
図７から図１７に示されるターゲットとバッキングプレートの構造が示され、中心キーおよび半径内（ｉｎｔｅｒ−ｒａｄｉａｌ）キーの両方を有すると記載されているが、これらの特徴は、互いに独立に使用され得ることが理解される。さらに、これらの特徴の１つまたは複数は、上述されるようなボルト取付構成によって取り替えることができる。さらに、周辺ボルトは、表されるように、利用されることが可能、または二者択一で省略されることができ、または周辺領域でターゲットとバッキングプレートとの間での挿入物または他の取り付けまたはボンディング技術によって交換され得る。本発明によるキー構成を利用すると、ターゲット、バッキングプレート、または両方を通るボルト開口または他の開口を有するアセンブリを利用する真空用途に起因することができる水の漏出を最小限にする、または防ぐことができる。本発明によるアセンブリは、比較的低い冷却液の圧力下、さらなる部品（つまり、溝が形成された挿入物）を使用することなく、ターゲットとバッキングプレートとの間を水または他の冷却液が流れるができる。
【００５３】
キー突起が利用される本発明の構成も、ターゲットおよびバッキングプレートが、配置の調節のために、互いに回転することができる。したがって、これらの構成を含むアセンブリは、従来のアセンブリより容易に並べられ、組み立てられ得る。
【００５４】
背景技術の欄で検討されるものなどの従来のターゲットアセンブリで利用可能で使用されるターゲット材料およびバッキングプレート材料は、開発されるものと同様に、本発明のアセンブリで利用され得る。特定用途では、アルミニウム合金バッキングプレートは、材料強度を提供することができることが好ましい。
【００５５】
本発明によるアセンブリにおいて、ターゲットとバッキングプレートとの間で制限されたまたは最小限とされた機械的取り付け位置により、ＥＣＡＥ処理材料などの強いターゲット材料を使用することできることが好ましい。ＥＣＡＥ材料はまた、本発明によるバッキングプレートのために利用され得る。特定の場合では、水の流れの混乱の潜在的な損失を最小限にするために使用される半径方向キーの数を最小限にすることが好ましい。しかし、中心キーの使用は、有効に中央の反りを限定することができ、さらなる中間キーは、さらなる安定および減少したターゲットの反りを提供することができる。
【００５６】
本発明によるターゲットの冷却方法は、ターゲットのいずれか、および／または上述されたバッキングプレートを利用することができる。ターゲットおよびバッキングプレートが設けられ得、ターゲットアセンブリに組み込まれることができる。特定の態様では、ターゲットおよびバッキングプレートの１つまたは両方が、冷却液ディフレクタを有し、ディフレクタは、アセンブリの結合されたターゲットとバッキングプレートとの間に形成されたギャップ内に存在する。冷却液は、ターゲットを冷却するために、ギャップ内に流される。上述されるように、本発明によるディフレクタは、ギャップを通って冷却液注入口と出口との間の非線形路内の冷却液の少なくとも一部を偏向することができる。
【００５７】
本発明によるターゲットアセンブリは、圧力試験および冷却研究に委ねられた。圧力試験は、２つのタイプの圧力試験を利用して行なわれた。オープンシステム試験が、利用可能な最大流量を利用して行なわれ、水は、全体システムを通して自由に流れた。偏向を試験するオープンシステムについては、システムの出口での圧力（圧力計の）、漏出および流量がモニターされた。
【００５８】
中心および中間半径キーの両方を有するターゲットアセンブリを利用するオープンシステム試験の結果が、表１に示される。オープンシステムでは、漏出が生じなかったということを結果は示した。ターゲット偏向もバッキングプレート偏向も検知されなかった。
【表１】
2008540830.tif 000003
【００５９】
クローズドシステム試験も、同じターゲットアセンブリ上で行なわれた（中心および中心半径キーで）。クローズドシステム試験は、水を流し始めて特定の所定の圧力に徐々に調整装置を開くことにより、制御された圧力を利用した。特定の圧力を達成する場合、流れは、一定の圧力を維持するために調節された。クローズドシステム試験中に、偏向、圧力計の圧力、漏出、およびシステムの出口での流量は、モニターされた。中心と、中間半径キーアセンブリ上で行なわれたクローズドシステム研究の結果は、表２に示される。結果は、検知可能なターゲット偏向の不足を示し、線Ａおよび線Ｂ（線Ａは、バッキングプレートにわたって注入口と出口との間に延在する直線を称し、線Ｂは、線Ａに垂直なバッキングプレート表面にわたって中心に延在する）に沿った最小のターゲットバッキングプレート偏向に対して０を示す。漏れは、試験された圧力のうちのいずれかに関して生じなかった。
【表２】
2008540830.tif 000004
【００６０】
類似するクローズドシステムおよびオープンシステム試験は、中心ボルト（アルミニウム合金Ａｌ２０２４  Ｔ３５１を利用する）を有するターゲットアセンブリまたは中心キー（アルミニウム合金６０６１  Ｔ４のバッキングプレートを利用する）のために導かれた。そのような研究の結果は、中心と中間半径ボルトを有するバッキングプレートを有するアセンブリのオープンおよびクローズドシステム試験と共に、図１８に示される。運転圧および水の流れ（モデリングおよび実験に基づいて）の評価された好ましい範囲の領域は、図１８のグラフ上で包囲される。
【００６１】
図１８で示された結果は、中心および中間半径ボルトを有するバッキングプレートを利用するアセンブリが、運転圧および水の流れの囲まれた好ましい範囲の全体にわたって、およびその範囲を超えてバッキングプレートの偏向を示さなかったことを明らかにする。図１８で示されたオープンシステム試験のための条件は、１０ｐｓｉ〜１５ｐｓｉの圧力で８ガロン／分〜９ガロン／分の流量を含んでいた。クローズドシステム条件は、３５ｐｓｉまでの圧力で行なわれた。クローズドシステム下で、偏向は、ボルト支持の最小量を有する線Ａに沿って１ｍｍ未満で残った。漏出は、７２時間、３５ｐｓｉの圧力で、いくつかの厳しい圧力試験後でさえ、中心および中間半径ボルトを有するアセンブリのために観察されなかった。
【００６２】
従来の高圧冷却に対する本発明のアセンブリについて、ターゲット冷却効率の比較が行なわれた。図１９は、高圧（８０ｐｓｉ〜１００ｐｓｉ）を利用して冷却された従来のターゲット（上）についての冷却プロフィール、および低圧（およそ１０ｐｓｉ）を利用して冷却された本発明（下）のターゲットアセンブリについてのターゲット冷却プロフィールを示す。研究は、本発明のアセンブリが、十分な冷却効率を提供して、低圧が利用され得ることを示す。より高い圧力が意図されるが、概して、本発明のアセンブリは、典型的には、１０ｐｓｉ〜２０ｐｓｉの圧力で十分な冷却が可能である。この低圧操作範囲は、従来利用されたより高圧に対して、減少したターゲット反りを可能とする。
【００６３】
製造コストが低減されるので、低圧冷却を使用して作動する能力を有する本発明のターゲットアセンブリ構成は、ターゲットアセンブリを従来のアセンブリより高いコスト効率とすることができる。したがって、本発明のアセンブリは、所望の冷却効果を達成するために、より少ない部品（冷却プレートの欠如）を利用し、したがって、同様に製造することがより容易である。従来のアセンブリのために典型的に利用される２つの接合ステップを取り除くことができる機械的ファスナーの使用による従来のアセンブリに対して、本発明のターゲットおよびバッキングプレートの接合および配置も単純化され、回転（上記検討された）による配置を可能とする。この機械的取り付けは、さらに、従来のボンディング方法論より強い取り付けを提供することができる。さらに、ＥＣＡＥ材料などの高強度材料を使用すると、さらに、反りを低減することができ、ターゲットが、ターゲット材料中により深くスパッターされることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来技術の物理蒸着装置の一部の概略図である。
【図２】従来技術のバッキングプレートの一部の概略底面図である。
【図３】図２の従来技術のバッキングプレートの線３−３の概略断面図である。
【図４】本発明の１つの態様を説明するバッキングプレートの概略底面図である。
【図５】本発明の他の態様を説明するターゲットの概略上面図である。
【図６Ａ】本発明の１つの態様によるバッキングプレートの概略底面図である。
【図６Ｂ】図６Ａに示されるバッキングプレートの線６Ｂ−６Ｂの概略断面図である。
【図７】本発明の１つの態様によるバッキングプレートの概略底面図である。
【図８】図７に示されるバッキングプレートの線８−８の概略断面図である。
【図９】本発明の１つの態様によるスパッタリングターゲットの概略上面図である。
【図１０】図９に示されたターゲットの線１０−１０の概略断面図である。
【図１１】図７に示されたバッキングプレートの一部の部分拡大図である。
【図１２】図８に示されたバッキングプレートの一部の、図１１の線１２−１２の部分拡大断面図である。
【図１３】図９に示されるターゲットの一部の部分拡大上面図である。
【図１４】図１３の線１４−１４の概略断面図である。
【図１５】図１３の線１５−１５の概略断面図である。
【図１６】図７に示されるバッキングプレートに対する代わりのバッキングプレートの構成の概略上面図である。
【図１７】図９に示されるスパッタリングターゲットに対する代わりのスパッタリングターゲットの構成の概略上面図である。
【図１８】本発明の１つの態様によるアセンブリについて、圧力の関数としての測定されたバッキングプレートの偏向を示す。
【図１９】高圧冷却を使用する従来のアセンブリ（上）と、本発明によるアセンブリ（下）とのターゲット冷却プロフィールの比較である。
【図１】
2008540830.tif 000005
【図２】
2008540830.tif 000006
【図３】
2008540830.tif 000007
【図４】
2008540830.tif 000008
【図５】
2008540830.tif 000009
【図６Ａ】
2008540830.tif 000010
【図６Ｂ】
2008540830.tif 000011
【図７】
2008540830.tif 000012
【図８】
2008540830.tif 000013
【図９】
2008540830.tif 000014
【図１０】
2008540830.tif 000015
【図１１】
2008540830.tif 000016
【図１２】
2008540830.tif 000017
【図１３】
2008540830.tif 000018
【図１４】
2008540830.tif 000019
【図１５】
2008540830.tif 000020
【図１６】
2008540830.tif 000021
【図１７】
2008540830.tif 000022
【図１８】
2008540830.tif 000023
【図１９】
2008540830.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月24日(2007.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された第１の面と、
第１の面に対向する第２の面と、
第１の面上に配置され、第１の面と一体の複数のディフレクタと、を含み、
各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である、ターゲットバッキングプレート。
【請求項２】
複数のディフレクタが、第１のセットのディフレクタと、第２のセットのディフレクタと、を含み、
第１のセットのディフレクタおよび第２のセットのディフレクタが、線対称の軸をはさむ互いの鏡像である、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項３】
複数のディフレクタに含まれたディフレクタのうちのいくつかが、弧状の部分を含み、
ディフレクタのうちの少なくともいくつかから弧状の部分が、同心である、
請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項４】
冷却液注入口と、冷却液出口とをさらに含み、
複数のディフレクタが、複数の冷却液チャネルを形成し、
冷却液が、冷却液注入口と冷却液出口との距離の少なくとも一部上の線形流路から偏向される、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項５】
複数のディフレクタに含まれたディフレクタのうちの少なくともいくつかが、
第１の方向にアーチ状に曲げられた、第１の弧状の部分と、
第１の方向に対向する第２の方向にアーチ状に曲げられた第２の弧状の部分と、を含む、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項６】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された前面と、
前面の外側部に配置された周辺領域と、
前面上の周辺領域の内側に半径方向に配置されたくぼみと、
くぼみ内にあり、バッキングプレートと一体の冷却液ディフレクタと、
冷却液ディフレクタから突出し、スパッタリングターゲットの開口に挿入するように構成された突起と、
を含む、ターゲットバッキングプレート。
【請求項７】
冷却液ディフレクタが、バッキングプレートに含まれた複数の冷却液ディフレクタの１つであり、各ディフレクタが、くぼみ内に配置されている、請求項６に記載のバッキングプレート。
【請求項８】
ディフレクタの少なくとも２つが、スパッタリングターゲットの開口に挿入するように構成された突起を含む、請求項７に記載のバッキングプレート。
【請求項９】
バッキングプレートと接触するように構成され、表面を含む背面と、
背面に対向するスパッタリング表面と、
表面からターゲット中に延在し、バッキングプレートと一体のファスナーを受けるように構成された少なくとも１つの開口と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項１０】
ターゲットが、表層チャネルを含み、
表層チャネルが、開口と結合し、開口から半径方向に延在し、
ファスナーが、チャネル内で摺動可能である、請求項１１に記載のターゲット。
【請求項１１】
バッキングプレートと接触するように構成された背面と、
背面に配置され、背面と一体の冷却液ディフレクタと、
バッキングプレートの開口に挿入するように構成された冷却液ディフレクタから突出する突起と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項１２】
冷却液ディフレクタが、ターゲットに含まれた複数の冷却液ディフレクタの１つである、請求項１１に記載のターゲット。
【請求項１３】
冷却液ディフレクタの少なくとも２つが、バッキングプレートの開口に挿入するように構成された突起を含む、請求項１２に記載のターゲット。
【請求項１４】
裏面を有し、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する開口を有するスパッタリングターゲットと、
スパッタリングターゲットの裏面と接触するように構成された前面を含むターゲットバッキングプレートと、
ターゲットとバッキングプレートとの間に配置された複数のディフレクタであり、各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である複数のディフレクタと、
バッキングプレートの前面から突出し、ターゲットの開口内に挿入可能な突起と、
を含む、ターゲットアセンブリ。
【請求項１５】
開口が、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する複数の開口に含まれ、
バッキングプレートが、複数の突起を含み、
複数の突起が、複数の開口に挿入可能である、請求項１４に記載のアセンブリ。
【請求項１６】
ターゲットが、複数の開口に結合された表層チャネルを含み、
突起が、バッキングプレートに対してターゲットを回転することによって、表層チャネル内で摺動可能である、請求項１５に記載のアセンブリ。
【請求項１７】
ターゲットが、開口に突起を挿入し、次いで、ターゲットをバッキングプレートに対して回転することによって、バッキングプレートに結合されている、請求項１６に記載のアセンブリ。
【請求項１８】
アセンブリが、ターゲットの周辺領域に隣接するファスナーをさらに含み、
ファスナーが、バッキングプレートに対してターゲットを回転した後に固定される、請求項１７に記載のアセンブリ。
【請求項１９】
突起が、バッキングプレート上の径方向の中心にある、請求項１４に記載のアセンブリ。
【請求項２０】
バッキングプレートの径方向の中心を通る、およびターゲットの径方向の中心を少なくとも部分的に通る中心ボルトをさらに含む、請求項１４に記載のアセンブリ。
【請求項２１】
スパッタリングターゲットと、
バッキングプレートと、
ターゲットとバッキングプレートとの間に配置され、ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップにわたる複数の冷却液ディフレクタと、を含み、
各ディフレクタの少なくとも１つの部分は非線形である、スパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２２】
複数のディフレクタが、第１のセットのディフレクタと、第２のセットのディフレクタと、を含み、
第１のセットのディフレクタおよび第２のセットのディフレクタが、線対称の軸をはさんで配置されている、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２３】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、弧状の部分を含む、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２４】
ディフレクタが、ターゲットと一体である、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２５】
ディフレクタが、バッキングプレートと一体である、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２６】
中心ボルトが、ターゲットの中心およびバッキングプレートの中心を通って延在する、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２７】
ターゲットとバッキングプレートのうちの少なくとも１つが、剪断押出法を利用して処理された材料を含む、請求項２１に記載のスパッタリングターゲットアセンブリ。
【請求項２８】
ターゲットを提供するステップと、
ターゲットに結合されたバッキングプレートを提供するステップと、
ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップにわたる冷却液ディフレクタを提供し、冷却液ディフレクタは、それらの長さの少なくとも一部に沿って非線形であるステップと、
ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップ内に冷却液を流すステップと、を含む、ターゲットを冷却する方法。
【請求項２９】
ディフレクタが、同心のアーチ状に曲げられた部分を含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
アセンブリが、アセンブリの第１の半径側の冷却液注入口と、半径方向に配置され、注入口に対向する冷却液出口と、を含み、
ディフレクタが、注入口から出口にギャップを通る非線形流路内の冷却液の少なくとも一部を偏向する、請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、ギャップの深さにわたる、請求項２８に記載の方法。
【請求項３２】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、バッキングプレートと一体である、請求項２８に記載の方法。
【請求項３３】
ディフレクタのうちの少なくともいくつかが、スパッタリングターゲットと一体である、請求項２８に記載の方法。
【請求項３４】
ターゲットが、少なくとも１つの突起を利用してバッキングプレートに結合されており、
突起が、バッキングプレートから突出し、ターゲット内の開口に挿入されており、
開口が、ターゲットを通って部分的にだけ延在する、請求項２８に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成20年1月7日(2008.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された第１の面と、
第１の面に対向する第２の面と、
第１の面上に配置され、第１の面と一体の複数のディフレクタと、を含み、
各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である、ターゲットバッキングプレート。
【請求項２】
冷却液注入口と、冷却液出口とをさらに含み、
複数のディフレクタが、複数の冷却液チャネルを形成し、
冷却液が、冷却液注入口と冷却液出口との距離の少なくとも一部上の線形流路から偏向される、請求項１に記載のターゲットバッキングプレート。
【請求項３】
スパッタリングターゲットと接触するように構成された前面と、
前面の外側部に配置された周辺領域と、
前面上の周辺領域の内側に半径方向に配置されたくぼみと、
くぼみ内にあり、バッキングプレートと一体の冷却液ディフレクタと、
冷却液ディフレクタから突出し、スパッタリングターゲットの開口に挿入するように構成された突起と、
を含む、ターゲットバッキングプレート。
【請求項４】
冷却液ディフレクタが、バッキングプレートに含まれた複数の冷却液ディフレクタの１つであり、各ディフレクタが、くぼみ内に配置されている、請求項３に記載のバッキングプレート。
【請求項５】
バッキングプレートと接触するように構成され、表面を含む背面と、
背面に対向するスパッタリング表面と、
表面からターゲット中に延在し、バッキングプレートと一体のファスナーを受けるように構成された少なくとも１つの開口と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項６】
バッキングプレートと接触するように構成された背面と、
背面に配置され、背面と一体の冷却液ディフレクタと、
バッキングプレートの開口に挿入するように構成された冷却液ディフレクタから突出する突起と、
を含む、スパッタリングターゲット。
【請求項７】
裏面を有し、ターゲットを通って完全にではなく裏面から延在する開口を有するスパッタリングターゲットと、
スパッタリングターゲットの裏面と接触するように構成された前面を含むターゲットバッキングプレートと、
ターゲットとバッキングプレートとの間に配置された複数のディフレクタであり、各ディフレクタの少なくとも一部は非線形である複数のディフレクタと、
バッキングプレートの前面から突出し、ターゲットの開口内に挿入可能な突起と、
を含む、ターゲットアセンブリ。
【請求項８】
スパッタリングターゲットと、
バッキングプレートと、
ターゲットとバッキングプレートとの間に配置され、ターゲットとバッキングプレートとの間のギャップにわたる複数の冷却液ディフレクタと、を含み、
各ディフレクタの少なくとも１つの部分は非線形である、スパッタリングターゲットアセンブリ。
【国際調査報告】
2008540830.tif 000025
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