(57)【要約】  【課題】      化学式１、化学式２、または化学式３から選ばれる一つ以上のアンモニウム化合物と酸化剤を含む銀または銀合金用エッチング液組成物を提供する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記化学式１、化学式２または化学式３から選ばれる一つ以上のアンモニウム化合物と酸化剤とを含む銀または銀合金用エッチング液組成物。
【化１】
2008534789.tif 000005
＜化学式１＞
【化２】
2008534789.tif 000006
＜化学式２＞
【化３】
2008534789.tif 000007
＜化学式３＞
（式中、R1、R2、R3、R4、R5、及びR6は互いに独立に水素；置換または無置換の炭素数１乃至３０の脂肪族アルキル基、脂環族アルキル基、アリール基またはアラルキル基；高分子化合物基；複素環化合物基；及びそれらの誘導体から選ばれ、前記R1とR2或いはR4とR5は互いに連結されて環を形成してもよい。）
【請求項２】
R1、R2、R3、R4、R5、及びR6は互いに独立に水素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、アミル、ヘキシル、エチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、ノニル、デシル、ドデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、ドコデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、アリル、ヒドロキシ、メトキシ、メトキシエチル、メトキシプロピル、シアノエチル、エトキシ、ブトキシ、ヘキシルオキシ、メトキシエトキシエチル、メトキシエトキシエトキシエチル、ヘキサメチレンイミン、モルホリン、ピペリジン、ピペラジン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、トリエチレンジアミン、ピロル、イミダゾル、ピリジン、カルボキシメチル、トリメトキシシリルプロピル、トリエトキシシリルプロピル、フェニル、メトキシフェニル、シアノフェニル、フェノキシ、トリル、ベンジル、ポリアリルアミン及びポリエチレンアミンから選ばれることを特徴とする請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項３】
化学式１のアンモニウムカルバメート系化合物は、アンモニウムカルバメート、エチルアンモニウムエチルカルバメート、イソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメート、ｎ−ブチルアンモニウムｎ−ブチルカルバメート、イソブチルアンモニウムイソブチルカルバメート、ｔ−ブチルアンモニウムｔ−ブチルカルバメート、２−エチルヘキシルアンモニウム２−エチルヘキシルカルバメート、オクタデシルアンモニウムオクタデシルカルバメート、２−メトキシエチルアンモニウム２−メトキシエチルカルバメート、２−シアノエチルアンモニウム２−シアノエチルカルバメート、ジブチルアンモニウムジブチルカルバメート、ジオクタデシルアンモニウムジオクタデシルカルバメート、メチルデシルアンモニウムメチルデシルカルバメート、ヘキサメチレンイミニウムヘキサメチレンイミンカルバメート、モルホリニウムモルホリンカバメート、ピリジニウムエチルヘキシルカルバメート、トリエチレンジアミニウムイソプロピルカルバメート、ベンジルアンモニウムベンジルカルバメート、及びトリエトキシシリルプロピルアンモニウムトリエトキシシリルプロピルカルバメートから選ばれる請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項４】
化学式２のアンモニウムカーボネート系化合物は、アンモニウムカーボネート、エチルアンモニウムエチルカーボネート、イソプロピルアンモニウムイソプロピルカーボネート、ｎ−ブチルアンモニウムｎ−ブチルカーボネート、イソブチルアンモニウムイソブチルカーボネート、ｔ−ブチルアンモニウムｔ−ブチルカーボネート、２−エチルヘキシルアンモニウム２−エチルヘキシルカーボネート、２−メトキシエチルアンモニウム２−メトキシエチルカーボネート、２−シアノエチルアンモニウム２−シアノエチルカーボネート、オクタデシルアンモニウムオクタデシルカーボネート、ジブチルアンモニウムジブチルカーボネート、ジオクタデシルアンモニウムジオクタデシルカーボネート、メチルデシルアンモニウムメチルデシルカーボネート、ヘキサメチレンイミニウムヘキサメチレンイミンカーボネート、モルホリニウムモルホリンカーボネート、ベンジルアンモニウムベンジルカーボネート、トリエトキシシリルプロピルアンモニウムトリエトキシシリルプロピルカーボネート及びトリエチレンジアミニウムイソプロピルカーボネートから選ばれる請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項５】
化学式３のアンモニウムバイカーボネート系化合物は、アンモニウムバイカーボネート、イソプロピルアンモニウムバイカーボネート、ｔ−ブチルアンモニウムバイカーボネート、２−エチルヘキシルアンモニウムバイカーボネート、２−メトキシエチルアンモニウムバイカーボネート、２−シアノエチルアンモニウムバイカーボネート、ジオクタデシルアンモニウムバイカーボネート、ピリジニウムバイカーボネート及びトリエチレンジアミニウムバイカーボネートから選ばれる請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項６】
酸化剤は、酸化性気体、過酸化物、過酸素酸、酸化性無機酸、酸化性金属化合物、酸化性非金属化合物の群から選ばれる少なくとも１種以上の成分を含むことを特徴とする請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項７】
酸化剤は、空気、酸素、オゾン、過酸化水素、Na2O2、KO2、NaBO3、K2S2O8、(NH4)2S2O8、Na2S2O8、H2SO5、KHSO5、(CH3)3CO2H、(C6H5CO2)2、HCO3H、CH3CO3H、CF3CO3H、C6H5CO3H、m-ClC6H5CO3H、硝酸、硫酸、I2、FeCl3、Fe(NO3)3、Fe2(SO4)3、K3Fe(CN)6、(NH4)2Fe(SO4)2、Ce(NH4)4(SO4)4、NaIO4、KMnO4及びK2CrO4から選ばれる１種以上の成分を含むことを特徴とする請求項６に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項８】
銀合金は、Au、Cu、Ni、Co、Pd、Pt、Ti、V、Mn、Fe、Cr、Zr、Nb、Mo、W、Ru、Cd、Ta、Re、Os、Ir、Al、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb、Bi、Si、As、Hg、Sm、Eu、Th、Mg、Ca、Sr及びBaから選ばれる１種以上の金属成分を含む合金であることを特徴とする請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項９】
前記エッチング液組成物は、溶媒または添加剤をさらに含むことを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項１０】
前記溶媒は、水、アルコール、グリコール、アセテート、エーテル、ケトン、芳香族化合物及びハロゲン化炭化水素の群から選ばれる１種以上の成分を含むことを特徴とする請求項９に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項１１】
前記溶媒は、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、１−メトキシプロパノール、ブタノール、エチルヘキシルアルコール、テルピネオール、エチレングリコール、グリセリン、エチルアセテート、ブチルアセテート、メトキシプロピルアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサン、メチルエチルケトン、アセトン、ジメチルホルムアミド、１−メチル−２−ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ヘキサン、ヘプタン、ドデカン、パラフィンオイル、ミネラルスピリット、ベンゼン、トルエン、キシレン、クロロホルム、メチレンクロライド、カーボンテトラクロライド及びアセトニトリルから選ばれる一つ以上であることを特徴とする請求項１０に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項１２】
前記添加剤は、スルファミン酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、硫酸水素アンモニウム及び亜硫酸アンモニウムから選ばれる１種以上の成分を含むことを特徴とする請求項９に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項１３】
化学式１、化学式２、または化学式３から選ばれるいずれか一つの化合物の製造時、二酸化炭素と共に二酸化窒素、二酸化硫黄、二硫化炭素、ホウ酸及びボロン酸から選ばれる１種以上の成分を付加して製造した複合アンモニウム化合物を使用することを特徴とする請求項１に記載の銀または銀合金用エッチング液組成物。
【請求項１４】
請求項１乃至請求項１３から製造された組成物に銀または銀合金を投入した後、加熱、超音波、マイクロ波、高周波、プラズマ、赤外線または紫外線から選ばれる一つ以上の処理方法を使用することを特徴とする銀または銀合金のエッチング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は銀またはこれを主成分とする銀合金用エッチング液組成物を提供するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ullmann's Encyclopedia of Ind. Chem., Vol. A24, 107(1993)においては、銀（silver）は貴金属であって容易に酸化されず電気及び熱伝導度に優れて触媒及び抗菌作用などを有しているから銀及び銀化合物は合金、鍍金、医薬、写真、電気電子、繊維、洗剤、家電など産業全般に広く使用されると記述している。なお、銀化合物は有機物及び高分子合成に触媒で使用でき、特に最近電気電子部品回路において鉛使用の規制及び低抵抗金属配線、印刷回路基板（PCB）、軟性回路基板（FPC）、無線認識（RFID）タグ（tag）用アンテナ、電子波遮蔽、そしてプラズマディスプレー（PDP）、液晶ディスプレー（TFT-LCD）、有機発光ダイオード（OLED）、フレキシブルディスプレー及び有機薄膜トランジスター（OTFT）などのような新しい分野で金属パターンを必要としたり電極で使用するなど銀に対する関心が増加している。
【０００３】
特に、日本特許公開公報第2002-129259号（2002.5.9）、日本特許公開公報第2004-176115号（2004.6.24）及び日本特許公開公報第2004-231982号（2004.8.19）に示したように最近に反射形または半透過形LCD用反射膜で使用されているアルミニウムの代わりに反射特性及び伝導度特性がより優秀な銀を使用しようとする研究が進めているが、この場合においてこれをエッチングすることのできる銀エッチング溶液の開発が要求されている。今まで金属配線や薄膜をエッチングする方法として最も普遍的に使用される方法はプラズマで処理したりエッチング溶液を用いる方法で分けられるが、エッチング溶液を使用する場合、一般にリン酸、硝酸、酢酸及び水で構成された既存のアルミニウムエッチング溶液をそのまま銀エッチング溶液として使用するとき、銀のみならず他の金属または金属酸化物をエッチングさせたり、優秀なパターンを得ることができなかったり刺激性のある匂いによる作業環境が劣悪であるという短所があった。
【０００４】
一方、金属のエッチングメカニズムは一般に先ず酸化剤が金属表面を酸化させて金属酸化物になり、これを溶解させる化合物で溶解させる過程を繰り返してなるが、例えば日本特許公開公報第2004-238656号（2004.8.26）に示したように一般に銀を溶解させる場合、今まで酸化剤及び酸化物溶解剤として硝酸のような酸化性が大きな酸を使用したり、硫酸第2鉄のような鉄化合物の酸化剤にリン酸、硫酸、酢酸のような無機酸を混合して使用している。その他にも韓国特許公開公報第2004-48374号（2004.6.9）ではエッチング液組成物として有機酸でシュウ酸やコハク酸のような多価のカルボン酸と無機酸でリン酸、硝酸で構成して使用したり、韓国特許公開公報第2004-440343号（2004.7.5）及び韓国特許公開公報第2004-440344号（2004.7.5）のように過酸化水素に有機酸とｐＨ調節剤を使用したり、酸化剤として３価の鉄化合物に硝酸、酢酸及びアミン化合物を使用するエッチング液組成物を提供しているが、大部分強い無機酸を使用することによって腐食問題を引き起こしたり染みが生じたりしてエッチング液の安定性が落ちるという短所がある。また、米国特許第3,860,423号（1975.1.14）ではアンモニア水と過酸化水素からなる銀エッチング溶液を提示しているが、場合によってエッチング速度が落ちるという問題点がある。従って、銀薄膜をエッチングしたりこれを用いて精密度の良い優秀なパターンを形成させるためには新しいエッチング液組成物を開発する必要がある。
【０００５】
本発明者らはこのような問題点を解決するために、絶え間なく努力した結果、化学式１、化学式２または化学式３で表される一つ以上のアンモニウム塩化合物に酸化剤が含まれると銀または銀合金を溶解する現象を発見して本発明に至るようになった。即ち、本発明は絶え間ない実験を通じて腐食性のなく、安定でありながらエッチング性能に優れ、使用後の再活用ができる銀または銀合金用エッチング液組成物を提供する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、化学式１、化学式２、または化学式３から選ばれる一つ以上のアンモニウム化合物と酸化剤を含む銀または銀合金用エッチング液組成物を提供することである。
【０００７】
本発明のもう一つの目的は、腐食性がなく、安定性とエッチング性能に優れ、使用後の再活用性に優れた銀またはこれを主成分とする銀合金用エッチング液組成物を提供することである。
【０００８】
本発明はなお、前記銀または銀合金エッチング液組成物を製造する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明者らは絶え間ない研究をした結果、下記化学式１、化学式２、または化学式３から選ばれる一つ以上のアンモニウム化合物と酸化剤とを含む銀または銀合金用エッチング液組成物を提供するようになった。 
【化１】
2008534789.tif 000002
＜化学式１＞      
【化２】
2008534789.tif 000003
＜化学式２＞              
【化３】
2008534789.tif 000004
＜化学式３＞            
（式中、R1、R2、R3、R4、R5、及びR6は互いに独立に水素；置換または無置換の炭素数１乃至３０の脂肪族アルキル基、脂環族アルキル基、アリール基またはアラルキル基；高分子化合物基；複素環化合物基；及びそれらの誘導体から選ばれ、前記R1とR2或いはR4とR5は互いに連結されて環を形成してもよい。しかし、本発明が特別にこれに限られるものではない。）
【００１０】
前記化学式１、化学式２、または化学式３のR1乃至R6を具体的に例を挙げると、水素、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、アミル、ヘキシル、エチルヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、ノニル、デシル、ドデシル、ヘキサデシル、オクタデシル、ドコデシル、シクロプロピル、シクロペンチル、シクロヘキシル、アリル、ヒドロキシ、メトキシ、ヒドロキシエチル、メトキシエチル、２−ヒドロキシプロピル、メトキシプロピル、シアノエチル、エトキシ、ブトキシ、ヘキシルオキシ、メトキシエトキシエチル、メトキシエトキシエトキシエチル、ヘキサメチレンイミン、モルホリン、ピペリジン、ピペラジン、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、トリエチレンジアミン、ピロル、イミダゾル、ピリジン、カルボキシメチル、トリメトキシシリルプロピル、トリエトキシシリルプロピル、フェニル、メトキシフェニル、シアノフェニル、フェノキシ、トリル、ベンジル及びその誘導体、そしてポリアリルアミンやポリエチレンイミンのような高分子化合物及びその誘導体などが挙げられるが、特別にこれに限られるものではない。
【００１１】
化合物として具体的に例を挙げると、化学式１のアンモニウムカルバメート系化合物は、アンモニウムカルバメート、エチルアンモニウムエチルカルバメート、イソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメート、ｎ−ブチルアンモニウムｎ−ブチルカルバメート、イソブチルアンモニウムイソブチルカルバメート、ｔ−ブチルアンモニウムｔ−ブチルカルバメート、２−エチルヘキシルアンモニウム２−エチルヘキシルカルバメート、オクタデシルアンモニウムオクタデシルカルバメート、２−メトキシエチルアンモニウム２−メトキシエチルカルバメート、２−シアノエチルアンモニウム２−シアノエチルカルバメート、ジブチルアンモニウムジブチルカルバメート、ジオクタデシルアンモニウムジオクタデシルカルバメート、メチルデシルアンモニウムメチルデシルカルバメート、ヘキサメチレンイミニウムヘキサメチレンイミンカルバメート、モルホリニウムモルホリンカバメート、ピリジニウムエチルヘキシルカルバメート、トリエチレンジアミニウムイソプロピルカルバメート、ベンジルアンモニウムベンジルカルバメート、トリエトキシシリルプロピルアンモニウムトリエトキシシリルプロピルカルバメートなどが挙げられ、前記化学式２のアンモニウムカーボネート系化合物は、アンモニウムカーボネート、エチルアンモニウムエチルカーボネート、イソプロピルアンモニウムイソプロピルカーボネート、ｎ−ブチルアンモニウムｎ−ブチルカーボネート、イソブチルアンモニウムイソブチルカーボネート、ｔ−ブチルアンモニウムｔ−ブチルカーボネート、２−エチルヘキシルアンモニウム２−エチルヘキシルカーボネート、２−メトキシエチルアンモニウム２−メトキシエチルカーボネート、２−シアノエチルアンモニウム２−シアノエチルカーボネート、オクタデシルアンモニウムオクタデシルカーボネート、ジブチルアンモニウムジブチルカーボネート、ジオクタデシルアンモニウムジオクタデシルカーボネート、メチルデシルアンモニウムメチルデシルカーボネート、ヘキサメチレンイミニウムヘキサメチレンイミンカーボネート、モルホリニウムモルホリンカーボネート、ベンジルアンモニウムベンジルカーボネート、トリエトキシシリルプロピルアンモニウムトリエトキシシリルプロピルカーボネート、トリエチレンジアミニウムイソプロピルカーボネートなどがあり、前記化学式３のアンモニウムバイカーボネート系化合物は、アンモニウムバイカーボネート、イソプロピルアンモニウムバイカーボネート、ｔ−ブチルアンモニウムバイカーボネート、２−エチルヘキシルアンモニウムバイカーボネート、２−メトキシエチルアンモニウムバイカーボネート、２−シアノエチルアンモニウムバイカーボネート、ジオクタデシルアンモニウムバイカーボネート、ピリジニウムバイカーボネート、トリエチレンジアミニウムバイカーボネートなどがある。
【００１２】
一方、前記化学式１乃至化学式３のアンモニウム化合物の種類及び製造方法は特別に限られる必要はない。例えば、米国特許第4,542,214号(1985.9.17)、J. Am. Chem. Soc., 123, p10393(2001), Langmuir, 18,  p71247(2002)でのように１級アミン、２級アミン、３級アミン、または最小限１つ以上のこれらの混合物と二酸化炭素からアンモニウムカルバメート系化合物を、そして水を添加して反応するようになるとアンモニウムカーボネート系化合物、アンモニウムバイカーボネート系化合物、またはこれらの混合物を得ることができる。この際、常圧または加圧状態において特別な溶媒なく直接製造したり溶媒を使用する場合、溶媒は水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エタノールアミンのようなアルコール類、エチレングリコール、グリセリンのようなグリコール類、エチルアセテート、ブチルアセテート、カルビトールアセテートのようなアセテート類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンのようなエーテル類、メチルエチルケトン、アセトンのようなケトン類、ヘキサン、ヘプタンのような炭化水素系、ベンゼン、トルエンのような芳香族、そしてクロロホルムやメチレンクロライド、カーボンテトラクロライドのようなハロゲン置換溶媒またはこれらの混合溶媒などが挙げられ、二酸化炭素は気相状態においてバブリング（bubbling）したり固体相ドライアイスを使用することができ、超臨界（supercritical）状態においても反応できる。本発明で使用されるアンモニウムカルバメート、アンモニウムカーボネート、またはアンモニウムバイカーボネート及びその誘導体の製造には前記の方法以外にも、最終物質の構造が同じであれば公知の如何なる方法を使用しても良い。即ち、製造のための溶媒、反応温度、濃度または触媒などを特別に限られる必要はなく、製造収率も構わない。
【００１３】
一方、前記の二酸化炭素の以外の他の三原子分子（triatomic molecule）を共に使用してアミン化合物と反応させた複合アンモニウム化合物を使用することができるが、例えば、Langmuir, 19, p1017(2003), Langmuir, 19, p8168(2003)でのように二酸化窒素、二酸化硫黄、または二硫化炭素などとプロピルアミンやデシルアミンまたはオクタデシルアミンなどのようなアミン化合物と反応して得られる生成物（adducts）を本発明のアンモニウム化合物と混合して使用したりアミンとの反応時に前記三原子分子と二酸化炭素を共に使用して複合アンモニウムカルバメート、カーボネート系化合物を直接製造して使用することができる。その他にも前記のアミン化合物にホウ酸、ボロン酸のようなボロン化合物などを反応させて得られる化合物を共に使用したりアンモニウム化合物としてスルファミン酸アンモニウム、硫酸アンモニウム、硫酸水素アンモニウム、亜硫酸アンモニウム、またはこれらの混合物などのような化合物とも共に使用することができる。また、過量のアミン化合物や界面活性剤、湿潤剤などの添加剤などをエッチング液組成物の構成源として使用することができる。
【００１４】
上述したように、製造されたアンモニウムカルバメート、アンモニウムカーボネート系、またはアンモニウムバイカーボネート系化合物に酸化剤を反応させてエッチング液組成物を製造する。例えば、酸化剤と化学式１、化学式２、または化学式３から選ばれる一つ以上のアンモニウム化合物及びこれらの混合物を常圧または加圧状態において溶媒なく直接反応したり溶媒を使用する場合、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、エタノールアミンのようなアルコール類、エチレングリコール、グリセリンのようなグリコール類、エチルアセテート、ブチルアセテート、カルビトールアセテートのようなアセテート類、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、ジオキサンのようなエーテル類、メチルエチルケトン、アセトンのようなケトン類、ヘキサンヘプタンのような炭化水素系、ベンゼン、トルエンのような芳香族、そしてクロロホルムやメチレンクロライド、カーボンテトラクロライドのようなハロゲン置換溶媒またはこれらの混合溶媒などが使用できる。
【００１５】
なお、エッチング液組成物を製造することにおいて、前記の方法以外に酸化剤と１つ以上のアミン化合物が混合された溶液を製造した後、ここに二酸化炭素を反応させて得られるエッチング溶液を本発明に使用することができる。この際にも、前記でのように常圧または加圧状態において溶媒なく直接反応したり溶媒を使用して反応させることができる。しかし、本発明のエッチング組成物の製造方法を特別に限られる必要はない。即ち、本発明の目的に符合されると、公知の如何なる方法を使用しても構わない。例えば、製造のための溶媒、反応温度、濃度、または添加剤の使用有無などを特別に限られる必要はなく、製造収率にも構わない。
【００１６】
本発明による銀または銀合金用エッチング組成物の主要成分の一つである酸化剤は、例えば、空気、酸素、オゾンなどのような酸化性気体、過酸化水素（H2O2）、Na2O2、KO2、NaBO3、K2S2O8、(NH4)2S2O8、Na2S2O8、H2SO5、KHSO5、(CH3)3CO2H、(C6H5CO2)2などのような過酸化物（peroxides）、HCO3H、CH3CO3H、CF3CO3H、C6H5CO3H、m-ClC6H5CO3Hなどのような過酸素酸（peroxy acid）、硝酸、硫酸、I2、FeCl3、Fe(NO3)3、Fe2(SO4)3、K3Fe(CN)6、(NH4)2Fe(SO4)2、Ce(NH4)4(SO4)4、NaIO4、KMnO4及びK2CrO4などのように一般的に良く知られた酸化性無機酸または金属、非金属化合物などがここに含まれる。このような酸化剤を使用するときには単独または最小限一つ以上の酸化剤を混合して使用しても構わない。以上のように製造された本発明のエッチング液組成物は無機酸が主成分として構成されて強い酸性を示す既存のエッチング液組成物とは異なって大部分中性乃至は弱塩基性であって腐食性の危険が非常に少なく、光や温度に安定である。
【００１７】
銀を主成分とする合金に用いられる金属として例えば、Au、Cu、Ni、Co、Pd、Pt、Ti、V、Mn、Fe、Cr、Zr、Nb、Mo、W、Ru、Cd、Ta、Re、Os、Irのような遷移金属群から選ばれ、またはAl、Ga、Ge、In、Sn、Sb、Pb、Bi、Si、As、Hgのような金属または非金属群、またはSm、Euのようなランタナイド（Lanthanides）やAc、Thのようなアクチナイド（Actinides）系金属群、Mg、Ca、Sr、Baのようなアルカリ土類金属群から選ばれる１種以上の金属が含まれるが、代表的にはパラジウム、銅、金、ルテニウム、錫、ネオジム、ビスマス、シリコン、ゲルマニウム、マグネシウム、バナジウム及び１種以上のこれらの混合物合金で表される。このように共に使用する合金用金属や酸化剤の量は本発明に符合する限り特別に制限する必要はない。そして、前記銀またはその合金をエッチングするときにその状態は薄膜、ホイル、線（wire）、粒子など如何なる形態でも構わない。
【００１８】
前記のエッチング液組成物を使用して銀または銀を主成分とする銀合金をエッチングさせるときの方法として加熱、電気分解、超音波、マイクロ波、高周波、プラズマ、赤外線、紫外線処理などを使用することができる。そして、銀または銀合金をエッチングした後、収集したエッチング液を再活用することができるが、例えば、韓国特許出願番号第2005-11475号、韓国特許出願番号第2005-11478号、韓国特許出願番号第2005-18364号、及び韓国特許出願番号第2005-23013号に示したようにエッチング溶液は金属配線またはパターン用導電性インクやペースト製造に用いられ、還元処理や熱処理工程を通じて高純度の銀、銀化合物、または多様な合金を製造することに使用することができる。
【００１９】
本発明のエッチング組成物は前記のようにアンモニウム化合物と酸化剤とを使用することで本発明の目的とする効果を達成することができ、エッチング速度とエッチングの量に応じて全てが異なるため、使用範囲において制限を受けられず、なお必要に応じて溶媒を混合して性能を調節して使用し、溶媒の量は通常的に選択して使用すればよく限定されない。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によって化学式１、化学式２、または化学式３で表される一つ以上のアンモニウムカルバメートまたはアンモニウムカーボネート系化合物と酸化剤を含む銀またはこれを主成分とする合金用エッチング液組成物が提供された。
【００２１】
本発明のエッチング液組成物は腐食がなく、安定でありながらエッチング性能に優れ、使用後の再活用が可能であるため、電子波遮蔽材料、導電性接着剤、低抵抗金属配線、印刷回路基板（PCB）、軟性回路基板（FPC）、無線認識（RFID）タグ（tag）用アンテナ、太陽電池、２次電池または燃料電池、そしてプラズマディスプレー（PDP）、液晶ディスプレー（TFT-LCD）、有機発光ダイオード（OLED）、フレキシブルディスプレー及び有機薄膜トランジスター（OTFT）などのような分野で銀または銀を主成分とする銀合金の電極や配線、反射膜、半透過膜などに対するエッチング液で多様に使用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明は、下記の実施例を通してさらに詳細に説明するが、下記実施例は本発明の例示に過ぎないものであって、本発明の範囲が下記の実施例に限られるものではない。
【００２３】
＜実施例１＞
撹拌機付きの５０.００ミリリットルのフラスコにイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメート２.２６グラム（１３.９３ミリモル）を１０.００ミリリットルのメタノールに溶解させた後、５０.００重量％の過酸化水素水溶液１.５８グラム（２３.２３ミリモル）を徐々に添加して無色透明な溶液を製造した。ここに、銀金属をそれ以上溶け込まないまで常温において徐々に投入しながら反応させた。反応が進むことによって初めに灰色のスラリーから再び無色の透明な溶液で得られた。最終的に消耗された銀含量を計った結果、０.５０グラム（４.６４ミリモル）であった。
【００２４】
＜比較例１＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりに２８.００重量％のアンモニア水溶液１.７４グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが消耗された銀含量は０.１１グラム（１.０２ミリモル）であった。
【００２５】
＜比較例２＞
撹拌機付きの５０.００ミリリットルのフラスコに８５.００重量％のリン酸８.５５グラム（総重量対比８５.５０重量％）と６０.００重量％の硝酸０.５３グラム（総重量対比５.３０重量％）、９９.００重量％の酢酸０.６５グラム（総重量対比６.５０重量％）、そして水０.２７グラム（総重量対比２.７０重量％）を添加して無色透明な溶液を製造した。ここに、銀金属をそれ以上溶け込まないまで常温において徐々に投入しながら反応させた。反応が進むことによって初めに灰色のスラリーから黄緑色を経て最終的に白色の半透明な溶液で得られた。最終的に消耗された銀含量を計った結果、０.２３グラム（２.１３ミリモル）であった。
【００２６】
＜実施例２＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートを４.５２グラム（２７.８６ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.５７グラム（５.２８ミリモル）であった。
【００２７】
＜実施例３＞
実施例１の５０.００重量％の過酸化水素水溶液を３.１６グラム（４６.４６ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.５８グラム（５.３８ミリモル）であった。
【００２８】
＜実施例４＞
実施例１の１０.００ミリリットルのメタノールの代わりに５.００ミリリットルのメタノールと５.００ミリリットルの水を混合して使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.３８グラム（３.５２ミリモル）であった。
【００２９】
＜実施例５＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりにイソプロピルアンモニウムイソプロピルカーボネート２.５１グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.３１グラム（２.８３ミリモル）であった。
【００３０】
＜実施例６＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりにイソプロピルアンモニウムバイカーボネート１.６９グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.３２グラム（２.９７ミリモル）であった。
【００３１】
＜実施例７＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりに２−エチルヘキシルアンモニウム２−エチルヘキシルカルバメート４.２１グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.１５グラム（１.３９ミリモル）であった。
【００３２】
＜実施例８＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりに２−メトキシエチルアンモニウム２−メトキシエチルカルバメート２.７１グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.２８グラム（２.６０ミリモル）であった。
【００３３】
＜実施例９＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりに２−メトキシエチルアンモニウムバイカーボネート１.９１グラム（１３.９３ミリモル）を、メタノールの代わりに同量の水を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.０５グラム（０.４６ミリモル）であった。
【００３４】
＜実施例１０＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりにアンモニウムカルバメート１.０９グラム（１３.９３ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.２２グラム（２.０４ミリモル）であった。
【００３５】
＜実施例１１＞
実施例１のイソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメートの代わりにイソプロピルアンモニウムイソプロピルカーボネート１.２６グラム（６.９７ミリモル）とアンモニウムスルファメート０.８０グラム（６.９７ミリモル）を、メタノールの代わりに同量の水を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.０９グラム（０.８４ミリモル）であった。
【００３６】
＜実施例１２＞
実施例１の５０.００重量％の過酸化水素水溶液１.５８グラムの代わりに５０.００重量％の過酸化水素水溶液１.２６グラム（１８.５６ミリモル）と６０.００重量％の硝酸０.４９グラム（４.６４ミリモル）を使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.１９グラム（１.７２ミリモル）であった。
【００３７】
＜実施例１３＞
実施例１のメタノールの代わりに水１０.００ミリリットルを使用し、同じ方法で反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀含量は０.０８グラム（０.７６ミリモル）であった。
【００３８】
＜実施例１４＞
実施例１と同一な方法で製造した無色透明な溶液に銀金属の代わりに銀−パラジウム合金（パラジウム含量：１.００％）をそれ以上溶け込まないまで常温において徐々に投入しながら反応させた結果、無色の透明な溶液が得られたが、消耗された銀−パラジウム合金含量は０.４８グラムであった。
【００３９】
＜実施例１５＞
撹拌機付きの５０.００ミリリットルのフラスコにモル比で２：１のイソプロピルアミンとボロン酸１.６５グラム（９.２８ミリモル）を１１.６５ミリリットルのメタノールに溶解させた後、イソプロピルアンモニウムイソプロピルカルバメート０.６４グラム（３.９８ミリモル）を添加して溶解させ、５０.００重量％の過酸化水素水溶液１.５８グラム（２３.２３ミリモル）を徐々に添加して無色透明な溶液を製造した。ここに、銀金属をそれ以上溶け込まないまで常温において徐々に投入しながら反応させた。反応が進むことによって初めに灰色のスラリーから再び無色の透明な溶液で得られた。最終的に消耗された銀含量を計った結果、０.２２グラム（２.０４ミリモル）であった。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明のエッチング液組成物は腐食がなく、安定でありながらエッチング性能に優れ、使用後の再活用が可能であるため、電子波遮蔽材料、導電性接着剤、低抵抗金属配線、印刷回路基板（PCB）、軟性回路基板（FPC）、無線認識（RFID）タグ（tag）用アンテナ、太陽電池、２次電池または燃料電池、そしてプラズマディスプレー（PDP）、液晶ディスプレー（TFT-LCD）、有機発光ダイオード（OLED）、フレキシブルディスプレー及び有機薄膜トランジスター（OTFT）などのような分野で銀または銀を主成分とする銀合金の電極や配線、反射膜、半透過膜などに対するエッチング液で多様に使用できる。
【国際調査報告】
2008534789.tif 000008
2008534789.tif 000009