(57)【要約】【技術課題】【解決手段】光学的スイッチは、光線をスイッチ内に導く一つ以上の入力ポートと；前記光線を受けるように構成され且つ光線をアクチュエータへの経路設定される個別の波長成分に空間的に分離する分散手段とを有しており、アクチュエータが、個別の波長成分と選択的に干渉する細長い移動可能なフィンガーのアレイの形と成っており、また光線を選択された一つ以上の出力ポートに向ける手段が設けられている。【選択図】図１
2008501132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光線をスイッチ内に導く一つ以上の入力ポートと；前記光線を受けるように構成され且つアクチュエータへ経路設定される個別の波長成分に光線を空間的に分離する分散手段とを有した光学的スイッチであって、前記アクチュエータが、個別の波長成分と選択的に干渉する細長い移動可能なフィンガーのアレイの形と成っており、光線を選択された一つ以上の出力ポートに向ける手段が設けられていることを特徴とする光学的スイッチ。
【請求項２】
一本以上のフィンガーは、光学エレメントを担持してはいないが選択された波長を阻止するために個別の波長成分へと変位できるピエゾ電気ベンダーと成っている請求項１記載の光学的スイッチ。
【請求項３】
前記フィンガーは、コーム・アレイの一部分と成っている前記請求項のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項４】
一本以上のフィンガーは、光学エレメントを変位させる前記請求項のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項５】
前記又は各光学エレメントは、選択された波長構成要素と干渉するために変位可能な反射エレメントと成っている請求項４記載の光学的スイッチ。
【請求項６】
前記又は各光学エレメントは、プリズムと成っている請求項５記載の光学的スイッチ。
【請求項７】
前記又は各プリズムは、前記又は各フィンガーの自由に動く末端と係合する面を形成するように切頭されている請求項６記載の光学的スイッチ。
【請求項８】
前記又は各プリズムは、その縁の一つによって前記又は各フィンガーの自由に動く末端に取り付けられている請求項６記載の光学的スイッチ。
【請求項９】
前記又は各反射エレメントは、撓み手段によって前記フィンガーに取り付けられている請求項５、６、７及び８のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項１０】
前記反射エレメントは、ミラーと成っている請求項５記載の光学的スイッチ。
【請求項１１】
前記又は各ミラーは、対応した前記フィンガーの軸線に沿って搭載されている請求項１０記載の光学的スイッチ。
【請求項１２】
前記又は各ミラーは、前記フィンガーの長手軸線からほぼ直交して延びている請求項１０記載の光学的スイッチ。
【請求項１３】
前記フィンガーはコームの一部分を形成しており；前記フィンガーは一次元で変位し；前記コームの第一組のフィンガーは光学エレメントを担持しており；前記コームの第二組のフィンガーは一本以上のリンク・アームによって前記第一組のフィンガーにリンクされており；それによって前記第一組のフィンガーは、選択された光学エレメントを第一次元で変位駆動し、前記第二組のフィンガーは、フィンガーを担持した選択された光学エレメントを第二次元で変位駆動する前記請求項のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項１４】
前記フィンガーは、光学エレメントへの第一接続手段と前記光学エレメントと支持構造体との間の第二接続手段と共に二次元で変位可能な一体のピエゾ電気アクチュエータと成っており、；それによって前記第一接続手段と前記第二接続手段とは前記光学エレメントの増幅された移動を達成するために隔設されている前記請求項のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項１５】
前記フィンガーは光学エレメントを変位し、ロッドが該エレメントからハウジング内の前記ロッドの位置を検知する手段が設けられている前記ハウジング内に延びている請求項１記載の光学的スイッチ。
【請求項１６】
前記スイッチは、光学エレメントの無いアクチュエータ・フィンガーの第一アレイと、波長成分を導く光学エレメントを備えたアクチュエータ・フィンガーの第二アレイとを有している請求項１記載の光学的スイッチ。
【請求項１７】
前記フィンガーは、該フィンガーの自由移動可能な末端の前に配置されたミラーを組み込んでいる請求項１記載の光学的スイッチ。
【請求項１８】
電気検知手段が、前記フィンガーの位置を検知するために設けられている前記請求項のいずれかに記載の光学的スイッチ。
【請求項１９】
電気検知手段が、前記接続手段の位置を検知するために設けられている請求項１４記載の光学的スイッチ。
【請求項２０】
幾本かの個別に移動可能な細長いフィンガーを有しており、それらの移動可能な末端に反射エレメントを担持していることを特徴とするアクチュエータ・コーム。
【請求項２１】
前記反射エレメントはプリズムである請求項２０記載のアクチュエータ・コーム。
【請求項２２】
前記反射エレメントはミラーである請求項２０記載のアクチュエータ・コーム。
【請求項２３】
幾本かの個別に移動可能な細長いフィンガーを有しており、第一組のフィンガーは、一次元で変位すると共に光学エレメントを担持しており；第二組のフィンガーは、一次元で変位するが必ずしも光学エレメントを担持しておらず；前記第一組のフィンガーは、一つ以上のリンク・アームによって前記第二組のフィンガーにリンクされており；それによって前記第一組のフィンガーは、前記光学エレメントを第一次元で変位駆動し、前記第二組のフィンガーは、前記光学エレメントを第二次元で変位駆動することを特徴とするアクチュエータ・コーム。
【請求項２４】
個別に移動可能な細長いフィンガーの第一コームと、個別に移動可能な細長いフィンガーの第二コームとを有しており、前記又は各フィンガーは反射エレメントを有し、前記コームはそれぞれ、光が前記コームの対応した反射エレメントの間で連続して反射されるように相対的に配置されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２５】
実質的に、添付の明細書及び／又は図面のあらゆる適切な組み合わせを参照してこれまでに記載されたような、及び／又は図示されたようなアクチュエータ。
【請求項２６】
第一ピッチで一方が他方に相対して配置されている光線入力用の幾つかの入力部と、出力された光線が第一ピッチよりも小さい第二ピッチとなるように前記入力部から光を受けると共に受け取られた光を導く光学エレメントのスロット形アレイとを有していることを特徴とする光学構成。
【請求項２７】
前記第二ピッチは前記第一ピッチの半分と成っている請求項２６記載の構成。
【請求項２８】
前記第二ピッチは約１ｍｍと成っており、前記第一ピッチは約２ｍｍと成っている請求項２７記載の構成。
【請求項２９】
前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット入りミラーと成っている請求項２６から２８のいずれかに記載の構成。
【請求項３０】
前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット入りプリズムと成っている請求項２６から２８のいずれかに記載の構成。
【請求項３１】
前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット入りガラス・ブロックと成っている請求項２６から２８のいずれかに記載の構成。
【請求項３２】
実質的に、添付の明細書及び／又は図面のあらゆる適切な組み合わせを参照してこれまでに記載されたような、及び／又は図示されたような光学構成。
【請求項３３】
実質的に、添付の明細書及び／又は図面のあらゆる適切な組み合わせを参照してこれまでに記載されたような、及び／又は図示されたような光学スイッチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学スイッチとアクチュエータに関する。本発明は、特に光学的な波長選択スイッチに関する。
【背景技術】
【０００２】
本願出願人自身の事前に公開されたＷＯ０１／５０１７６，ＷＯ０２／４６８２５，ＷＯ０２／１０３８１６  及びＷＯ０３／１０４８７２  などの特許文献は、従来技術文献の有用な出典を構築している。これらは、例えば、直接的なコリメーターからコリメーターへの光学的切り替えに際してコリメーターを変位駆動するのに使用されるピエゾ電気のアクチュエータ・フィンガーを示している。ＷＯ０２／１０３８１６  は、特に一体型のピエゾ電気のアクチュエータの詳細な構成を示している。ＷＯ０３／１０４８７２  は、どのように可撓体構成がコリメーターなどの光学エレメントの撓みを増幅するのに使用されるかを詳細に示している。
【０００３】
他の従来技術の文献は、回折格子を介してファイバーからの光を異なった周波数の成分に分散する装置を示しており、該装置は、回折格子からのスペクトルを別のファイバーへと直接再作像する液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）のアレイか、傾動ミラー・エレメントのリニア・アレイのいずれかを使用した各成分の強さの調整を主眼にしている。米国特許第６，６６１，９４８号（カペラ  ホトニックス社（Ｃａｐｅｌｌａ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｉｎｃ．））は、個別に且つ連続して制御可能な回折格子とマイクロ・ミラーのアレイとを使用している。そのような装置は、所謂マイクロ・エレクトロ・メカニカル（ＭＥＭｓ）装置に依存している。Ｕ６，６９５，４５７号，米国特許第６，６８７，４３１号，米国特許第６，６２５，３４６号，米国特許第６，５４９，６９９号，米国特許第６，５０７，６８５号，米国特許第６，５０４，９７６号及び米国特許出願公開第２００２／０１３１６９８号など他に同様な公報が存在している。同様に、米国特許第６，５３５，３１１号（コーニング社（Ｃｏｒｎｉｎｇ  Ｉｎｃ．））も、この公報においてシャッター・アレイの形を取っているＭＥＭｓ装置を主眼にしている。更に、米国特許第６，７１１，３１６号（ＪＤＳ  ユニフェィズ社（ＪＤＳ  Ｕｎｉｐｈａｓｅ  Ｉｎｃ．）も、ディフレクター・アレイと、液晶フェィズ・アレイか反射ＭＥＭｓアレイのいずれかの使用を主眼にしている。これは、更にＭＥＭＳの使用を主眼にしている特許文献の米国特許第６，７１１，３１６号（ＪＤＳ  ユニフェィズ社（ＪＤＳ  Ｕｎｉｐｈａｓｅ  Ｉｎｃ．）に対応した場合である。米国特許第６，２０４，９４６号（ルーセント・テクノロジイ社（Ｌｕｃｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ  Ｉｎｃ．））も、多数の波長信号を受信すると共に、伝送モードと反射モードとの間で選択的に切り替えを行うためにＭＥＭｓの使用を必要としている。
【０００４】
従来技術の別の内容は、米国特許第６，６６１，９５３号（アヴァネックス社（Ａｖａｎｅｘ  Ｃｏ．））に開示されている。この文献は、少なくとも一本の入力ファイバーと；少なくとも一本の入力ファイバーに光学的に接続されたレンズと、少なくとも一本の入力ファイバーの反対側で該レンズに選択的に接続される回折格子と；前記回折格子の反対側で前記レンズに光学的に接続された少なくとも一本のファイバーと；前記回折格子と反対に成る前記レンズの側に存在している複数の移動可能なロッドとを示しており、該複数の移動可能なロッドは、レンズを通過する光の可変部分を遮断することができる。この文献は、それら移動可能なロッド・アレイがマイクロ・エレクトロ・メカニカル装置として製造されることを記載しているが、それは、更に一組の湾曲可能なピエゾ電気ロッドとしても製造される。しかし、図示されている装置は、光ファイバーからの入力／出力のみを考えているに過ぎず；何ら反射エレメントを持たない簡単なピエゾ電気コームの使用を示していて、主として波長チャンネルの光学的検出又は減衰に関心を示している。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
第一の広い独立した形態では、本発明は、光線をスイッチ内に導く一つ以上の入力ポートと；前記光線を受けるように構成され且つ光線をアクチュエータへ経路設定される個別の波長成分に空間的に分離する分散手段とを有した光学的スイッチであって、アクチュエータが、個別の波長成分と選択的に干渉する細長い移動可能なフィンガーのアレイの形と成っており、また光線を選択された一つ以上の出力ポートに向ける手段が設けられていることを特徴とする光学的スイッチを提供する。
【０００６】
この構成は、それが、必然的にＭＥＭｓエレメントを組み込んだスイッチに匹敵できる精度レベルを達成するために、レンズ、コリメーター、プリズム及び大型ミラーなどの大きな光学構成要素から光学スイッチが構成されるようにしているので特に有利である。このことは、更に必要とされる公差レベルを下げ；かなりのコスト利得を有し、製造・サービスの必要条件を簡略化する。
【０００７】
本発明の第一の広い形態に係る第一の従属的な形態では、一つ以上のフィンガーは、光学エレメントを担持はしていないが選択された波長を阻止するために個別の波長成分へ変位可能なピエゾ電気ベンダーと成っている。
【０００８】
別の従属的な形態では、フィンガーは、コーム・アレイの一部分と成っている。
【０００９】
別の従属的な形態では、一つ以上のフィンガーは、光学エレメントを変位させる。
【００１０】
別の従属的な形態では、前記又は各光学エレメントは、選択された波長成分と干渉するために変位可能な反射エレメントと成っている。
【００１１】
別の従属的な形態では、前記又は各光学エレメントは、プリズムと成っている。そのような構成に対してプリズムを使用する効果の一つは、それが光の変位を許す点であるが、ところがあらゆる傾斜、捩れ、又は小さな上下変位又は小さな出入り変位は、シフトされた光線に第一級の作用を及ばさない。
【００１２】
別の従属的な形態では、前記又は各プリズムは、前記又は各フィンガーの自由に動く末端と係合する面を形成するように切頭されている。これによって、プリズムはしっかりとフィンガー上に保持される。
【００１３】
別の従属的な形態では、前記又は各光学エレメントは、撓み手段によってフィンガーに取り付けられている。これによって、フィンガーの末端におけるあらゆる撓みを反復可能に増幅するために使用される可撓な取り付けが達成されよう。
【００１４】
別の従属的な形態では、反射エレメントは、ミラーと成っている。ミラーの微細に機械加工されたアレイよりもむしろミラーを使用することでも、これらの構成要素が無くても高レベル精度での本装置の作動を許す作動構造を最小限必要とするに過ぎないと言う長所を有する。
【００１５】
別の従属的な形態では、前記又は各ミラーは、フィンガーの長手軸線からほぼ直交して延びている。
【００１６】
別の従属的な形態では、前記又は各ミラーは、対応したフィンガーの軸線に沿って搭載されている。
【００１７】
別の従属的な形態では、前記フィンガーはコームの一部分を形成し；前記フィンガーは一次元で変位し；前記コームの第一組のフィンガーは光学エレメントを担持し；また前記コームの第二組のフィンガーは一つ以上のリンク・アームによって前記第一組のフィンガーにリンクされており；それによって前記第一組のフィンガーは、選択された光学エレメントを第一次元で変位駆動し、また前記第二組のフィンガーは、フィンガーを担持した選択された光学エレメントを第二次元で変位駆動する。この構成の長所の一つは、一次元のアクチュエータのアレイが光学エレメントの二次元移動を達成できるように点である。
【００１８】
別の従属的な形態では、前記フィンガーは、光学エレメントへの第一接続手段と前記光学エレメントと支持構造体との間の第二接続手段と共に二次元で変位可能な一体のピエゾ電気アクチュエータと成っており；それによって前記第一接続手段と前記第二接続手段とは前記光学エレメントの増幅された移動を達成するために隔設されている。
【００１９】
別の従属的な形態では、前記フィンガーは光学エレメントを変位し、ロッドが該エレメントからハウジング内の前記ロッドの位置を検知する手段が設けられている。これによって、高い／調節可能な精度レベルを達成するために調節を行わせる位置フィードバックが得られる。
【００２０】
別の従属的な形態では、前記スイッチは、光学エレメントの無いアクチュエータ・フィンガーの第一アレイと、波長成分を導く光学エレメントを備えたアクチュエータ・フィンガーの第二アレイとを有している。この構成によって多くのチャンネル切り替えも阻止機能もできることになる。
【００２１】
別の従属的な形態では、前記フィンガーは、該フィンガーの自由移動可能な末端の前にミラーを組み込んでいる。
【００２２】
別の従属的な形態では、前記フィンガーの位置を検知するために電気検知手段が設けられている。これによって、光学エレメントのより正確な位置決めができる。
【００２３】
別の従属的な形態では、前記接続手段の位置を検知するために電気検知手段が設けられている。このような代わりの電気検知を行うことでも電気検知手段の全体精度に寄与することになる。
【００２４】
第二の広い独立した形態において、本発明は、幾本かの個別に移動可能な細長いフィンガーを有していて、それらの移動可能な末端に反射エレメントを担持していることを特徴とするアクチュエータ・コームを提供する。
【００２５】
本発明の第二の最も広い形態に係る別の従属的な形態では、前記反射エレメントはプリズムと成っている。
【００２６】
別の従属的な形態では、前記反射エレメントはミラーと成っている。
【００２７】
第三の広い独立した形態において、本発明は、幾本かの個別に移動可能な細長いフィンガーを有しており、第一組のフィンガーは、一次元で変位すると共に光学エレメントを担持しており；第二組のフィンガーは、一次元で変位するが必ずしも光学エレメントを担持しておらず；また前記第一組のフィンガーは、一つ以上のリンク・アームによって前記第二組のフィンガーにリンクされており；それによって前記第一組のフィンガーは、前記光学エレメントを第一次元で変位駆動し、また前記第二組のフィンガーは、前記光学エレメントを第二次元で変位駆動することを特徴とするアクチュエータ・コームを提供する。
【００２８】
第四の広い独立した形態において、本発明は、個別に移動可能な細長いフィンガーの第一コームと、個別に移動可能な細長いフィンガーの第二コームとを有しており、前記又は各フィンガーは反射エレメントを有し、前記コームはそれぞれ、光が前記コームの対応した反射エレメントの間で連続して反射されるように相対的に配置されていることを特徴とするアクチュエータを提供する。
【００２９】
第五の広い独立した形態において、本発明は、第一ピッチで一方が他方に対して配置されている光線入力用の幾つかの入力部と、出力される光線が第一ピッチよりも小さい第二ピッチとなるように前記入力部から光を受けると共に受け取られた光を導く光学エレメントのスロット形アレイとを有していることを特徴とする光学構成を提供する。
【００３０】
本発明の第五の形態に係る別の従属的な形態では、前記第二ピッチは前記第一ピッチの半分と成っている。
【００３１】
別の従属的な形態では、前記第二ピッチは約１ｍｍと成っており、また前記第一ピッチは約２ｍｍと成っている。
【００３２】
別の従属的な形態では、前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット形ミラーと成っている。
【００３３】
別の従属的な形態では、前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット形プリズムと成っている。
【００３４】
別の従属的な形態では、前記光学エレメントのスロット形アレイは、スロット形ガラス・ブロックと成っている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１ａ、ｂ、ｃ、ｄ及びｅは、１０本の個別に移動可能なフィンガー２を備えたピエゾ電気アクチュエータ・コーム１の異なった側からの図を示している。２で参照されている各フィンガーは、それらの末端３において実質的にＹ方向に（図１ｅの直交座標系を参照）変位される。このアクチュエータが使用に際して水平面に搭載される場合、個々のフィンガー２は上方向及び／又は下方向に移動することになる。ピエゾ・フィンガーの自由端の変位は、主としてプリズム４の傾動を行うことを目的としている。この意味で、傾動が主目的であるのに対して、変位は副次的な作用である。変位に対する回転の適切な割合を得るために、ピエゾ・フィンガーは、それらピエゾ・フィンガーの自由長の中心におけるＸ軸線周りであたかもそれらが回転するアームの如く作動する。以下図２から図５の実施例もこの傾動モードを起こす。これとは対照的に、図６及び７の実施例は、それら撓み構成を介して増幅された角度を発生するためにピエゾ・フィンガーの変位を利用している。
【００３６】
コーム１の各フィンガーは、末端３で４で参照されているプリズムを担持している。プリズムは、当業者に公知のあらゆる適当な手段によってこの末端に取り付けられている。この実施例では、図１ｂの図で最も良く見受けられるように、プリズム４は、その下の末端５が切り取られている。他の状態では、プリズムは横断面が実質的に三角形と成っている。末端５での切頭線は、プリズムの三角形の斜辺に直交して延びている。
【００３７】
上述のように各フィンガーは、図示の実施例では単に一次元で変位可能に成っている。しかし、この実施例で一次元で変位するにすぎないフィンガーは、二次元又は三次元で変位させられることも考えられる。二次元で変位可能なフィンガーは、本出願人の前の公報の一つであるＷＯ０２／１０３８１６で説明されている種類のアクチュエータを採用することで得られる。この公報は参考までに採用されている。
【００３８】
図２ａ、ｂ、ｃ及びｄは、ピエゾ電気コーム・アクチュエータの形で全体的に６で参照されている色々な側からの図を示している。コームは、７で参照されている幾本かのフィンガーを有しており、各々がその末端にプリズム９を担持している。ピエゾ電気コームは、図１との関連で説明したピエゾ電気コーム・アクチュエータと同じような方式で作動する。各個別のフィンガーをＹ方向へ一次元で変位させることがこの実施例の具体的な目的である。各フィンガーの末端８がプリズム９の直角部に結合されているので、末端８のあらゆる変位がプリズムの変位を起こすことになる。図１及び２の両実施例では、プリズムはピエゾ電気コーム・フィンガーにただ取り付けられるか、更に別体の支持構造に撓み部又はあらゆる他の結合手段を介して取り付けられるかのいずれかである。
【００３９】
図３は、全体的に１０で参照されているアクチュエータの色々な側からの図ａ、ｂ、ｃ、ｄを示している。アクチュエータ１０は、末端１２で反射エレメント又はミラー１３に取り付けられている幾本かのフィンガー１１を備えたピエゾ電気コーム・アクチュエータの形を取っている。図示のようにミラーは、その対応したフィンガーから直交して延びている。ミラー１３は、そのミラーのあらゆる面で反射を行い得るものであるが、しかし、反射面は、面１４か又は面１５のいずれかになるように考えられている。反射エレメントとその対応したフィンガーに対するその位置の選択は、このアクチュエータに対して考えられている用途に左右される。
【００４０】
この実施例では、フィンガーはＸ及びＹの両方向で変位するように設計されている。ピエゾ・アクチュエータに沿った二本の線は、Ｘ方向に変位を行うフィンガーの領域を限定しているのに対して、これら線の上下の領域はＹ方向での変位を受け持つ。フィンガーは、代わりに上の図１及び２の実施例におけるように一次元アクチュエータとすることができる。そのアクチュエータは、更に、共通の支持構造上に支持されるとコームを形成する各ミラー変位用の全く分離した一体物構造とすることができる。
【００４１】
図４は、この実施例でミラーと成っている反射エレメント１９が末端１８に固定されている幾本かのフィンガー１７を組み込んだ別のアクチュエータ１６の色々な側からの図を示している。アクチュエータ１６は、図１、２及び３のアクチュエータと同じ方式で作動し、且つ構成されている。図示の実施例は、フィンガー１７の末端１８のＹ方向への一次元変位を達成するものであるが、フィンガー又は分離アクチュエータの他の構成もミラー１９の二次元又は三次元の変位を達成でき得るものである。
【００４２】
次の二つの図の図５ａ及びｂは、各々アクチュエータ２０の平面図と側面図を示している。このアクチュエータは、作動に際して別々に変位可能な幾本かのフィンガーを備えたピエゾ電気コーム・アクチュエータの形を取っている。フィンガー２１は、図４ａのフィンガー１７と同じ構成に成っている。それは、その末端２３に反射エレメント２２を支持している。フィンガー２１は、この実施例では、そのフィンガー２１のＹ方向での変位が結果的に同方向でのミラー２２の変位に成るようにＹ方向での一次元変位の可能なビームと成っている。フィンガー２１は、コームの交互のフィンガー上に設けられているにすぎない。この構成では、ビーム２２、２３、２４及び２５は余分であり、実は事実上必要ならば除去することもできる。左から右にかけてのビーム２６と他の全ての一つ置きのビームも、ミラーを担持はしていないが、斜めのリンク・アーム２７を変位させるように構成されており、そのリンク・アーム２７は、（フィンガー２６の長さに対して）ほぼ中央に配置された取り付け点からフィンガー２１の末端２３に近接した取り付け点２９まで延びている。斜めのリンク・アーム２７は、フィンガー２６がＹ方向に変位されるとミラー２２をＸ方向に変位させる。この実施例は、一次元のピエゾ・アクチュエータ・コームを介して光学エレメントの二次元変位を達成する。フィンガー３０、３１、３２及び３３も光学エレメントの作動に寄与しておらず、従って実務上除去することができる。
【００４３】
図５ｂは、理解を容易にするために図５ａを参照して使用されているものと同じ数字の参照符号を使用している。この図では、取り付け点２８は光学エレメント２２と同じ高さの可撓ロッド２８の形を取っている。
【００４４】
図６ａ及び６ｂは、上で参照した本願の出願人自身の前の公報に詳細に説明された種類の幾つかの二次元一体型のピエゾ電気アクチュエータ３１を有したアクチュエータ３０の別々の図を示している。これらは、ビーム３１を駆動すると共にそれらの位置を検知するようになっているプリント回路基板３３上にブロック３２によって支持されている。ビーム３１の末端３４は可橈体又は接続手段３５に取り付けられており、その接続手段３５は末端３４を反射エレメント又はミラー３６に結合する。第２の接続手段又は可橈体３７は、ビーム３１の全アレイを横切って延びている間隔ブロック３８にミラー３６を取り付けている。間隔ブロック３８上に積み重ねられた間隔ブロック３９は、ビーム３１のアレイを横切って延びている下部プリント回路基板を支持しており、ビーム３１のアレイは、プリント回路基板４１と垂直板４２と共に容量検知アレイを形成しており、この容量検知アレイは、ミラー３６の後ろに取り付けられたロッド４３が二枚の垂直板４２とプリント回路基板４０、４１の部分とによって形成されたハウジング内部で変位されたときの容量の変化を検知する。間隔ブロック３８は、図６ｂに示されているように段４４を形成するために間隔ブロック３９を越えて延びており、これによって可橈体３７の橈みが起きる十分な空間が取れるようにしている。
【００４５】
この構成では、ビーム３１がＸ方向に変位するとミラー３６をＸ／Ｙ面で傾動させることになり、またビーム３１がＹ方向に変位するとミラーをＹ／Ｚ面で傾動させることになる。
【００４６】
図７ｃは、アド・ドロップ・スイッチの一部分に設置されたアクチュエータ４４の実施例を示している。そのアクチュエータは、後部間隔片４７を介して支持構造体４６に取り付けられた２Ｄピエゾ電気ビーム４５を有している。ビーム４５の末端４８にはビーム４５から直角方向に延びた可橈体４９が設けられている。それは、その末端５１にプリズム５２を保持しているリンク・アーム５０に接続している。第二可橈体５３は、リンク・アーム５０を支持構造体４６に取り付けている。可橈体４９と５３との間の距離は、リンク・アーム５０の長さの約１／６にすぎないのでビーム４５のあらゆる変位は結果的に末端５１の変位を増幅することになる。結果的にプリズム５２は、わずかなビームの橈みによって比較的大きな距離に渡って変位される。この構成ではプリズム５２は、反射エレメント１の前で、この実施例ではミラーの前で変位されることになる。図７ａは、プリズム５２が光線に影響を与えない状態でミラー１から反射してくる光線を示している。図７ｂでは、アクチュエータ４４は、光線潜望鏡ファクションに変わる光線内へプリズム５２を変位させている。光を変位させるのにプリズムを使用する主なメリットは、傾動、捩れ又は僅かな変位の上／下又は出／入りのいずれもシフトされた光線に何ら第一級の作用も及ぼさない点である。これによって、コストと堅牢性が最適化されると言う作動構造についての要求が下がることになる。図７のアクチュエータの一つの用途は、図８ａと図８ｂに示されている分光計構造である。
【００４７】
各々５５と５６で参照されているような幾つかの入力と出力のコリメーターが、分光計のポートとして使用されている。これらは、格子５９の焦点距離に配置された作像ミラー５８上に光線を反射して戻すコリメーター・ミラー５７上の一点に向かって焦点設定されている。格子５９は、分光計の長手軸線から４５度に配置されている。格子は、光をその成分に分離してもう一度作像ミラー５８上へ向かわせ、その作像ミラー５８は次に光を周波数面反射エレメント５４に向かって反射する。幾つかのプリズム６０、６１、６２が、ミラー５４の前に設けられており、光を入出力ポートから一対のアド・ドロップ・ポートに切り替える。その光は、１コリメーター・ピッチだけシフト・アップ又はシフト／ダウンされて、異なった対のコリメーター、例えば５５と５６の上下に垂直に積み重ねられたアド１／ドロップ１（７１、７２）、アド２／ドロップ２（７３、７４）、アド３／ドロップ３（７５、７６）又はアド４／ドロップ４（７７、７８）と結合する。
【００４８】
各プリズムに二次元変位のアクチュエータを使用する代わりに、アクチュエータは図１から図５に示された種類の一次元アクチュエータ・アレイの形を取ることができる。それは、更に各波長で可変量だけ光線内に挿入される光学エレメントを何ら備えていないアクチュエータ・アレイの形を取ることもできる。これによって、一つの入力部と一つの出力部とを備えると共に各波長に対して可変減衰を行う簡単なブロッカー構造が達成されよう。このようなバージョンでは、反射エレメント５４は簡単な平面ミラー５９によって代替される。そのような構成は図９ａと９ｂに示されている。この構成には、個々の周波数の光線の経路内に又は経路から変位できる二つの入力／出力ポート８０、８１、コリメーター・ミラー８２、作像ミラー８３、格子８４及び一次元アクチュエータ・アレイ８５が設けられている。
【００４９】
これらの最後の二つの実施例の内の一方の可能な実施の際に、到来光線に対して４５度の角度を成すと共に８×１２ｍｍの全体寸法を有した９００ライン／ｍｍの格子が使用されよう。１００ｍｍの作業距離で作動する１ｍｍ直径のコリメーターを使用することが考えられる。１，５５０ｎｍに中心を置いた５００ＧＨｚの帯域間隔を取った８帯域をＣ帯域を横切って使用することも考えられる。格子５９、ミラー５４と集束レンズ又は作像ミラー５８との間の距離は２００ｍｍとし、２００ｍｍの焦点距離とすることができる。ミラー５４上の周波数帯域のピッチを１ｍｍにして８ｍｍの全幅を有することが考えられる。作像ミラー上に同じスポット寸法を有すると共に約３５０μｍの直径のコリメーターの光線ウエストを有することも考えられる。出入りするコリメーター光線間の分離角度は１５ｍラジアンであると考えられ、他方でコリメーター中心線間の間隔は１．５ｍｍとなろう。
【００５０】
フィンガーが２０ｍｍの長さで、１ｍｍのピッチで、フィンガー間が０．１ｍｍのスロットのピエゾ・アクチュエータ・コームを使用することも考えられる。各フィンガーは、各々０．５ｍｍ厚さの二層の柔軟なピエゾ電気セラミックから造られている。これは、３００Ｖの駆動電圧スイングによって平行モードで駆動されて、ピエゾ電気アクチュエータの終端で０．７ｍｍの橈みを与える。ピエゾ電気アクチュエータの終端部は、水平に対して１５度の角度で搭載されたミラーの好ましくは１ｍｍ以内に入っている。作動中には、ピエゾ・アクチュエータの終端部は、光線の中心の下０．２５ｍｍ（ゼロの減衰状態）から０．４５ｍｍ上方（完全にブロックされた状態）に移動する。本発明は、更に、１／４波長板を水平に対して４５度で並べられた軸線を持ったミラーの正面に付加することも考えている。これによって、光が波長板を二回貫通するので、偏光軸線は減衰フィンガーに渡る二回の通過の間に９０度だけ回転が許される。これで、半ブロック状態でフィンガーによって造られる第一級の偏光依存損失が相殺され、他方で格子によってもたらされる第一級の偏光依存損失（ＰＤＬ）も相殺する。図７から図８ｂ並びに図９ａ及び図９ｂに各々示されている機能（可撓なアド・ドロップと可変な減衰）は、全てのプリズム変位を同じ方向にすると共に減衰しているフィンガーを前に置くことで図１０ａ及びｂに示されているものと同じユニットに結合される。この図には、周波数面反射エレメント８６、ブロッカー・レイ８９、プリズム・アクチュエータ９０及びプリズム９１、９２、９３及び９４が設けられている。
【００５１】
図１１は、前の実施例で説明した幾つかのアクチュエータを使用した波長選択スイッチを三次元図で示している。幾本かの光ファイバー９５は、全てのレンズからの光線がアレイ面における単一点上に収束するように設計された収束リニアｎ路コリメーター・アレイ９６に光を結合している。各レンズは、更に、同じ点におけるガウス光線ウエストを貫通して行くように焦点が合わされている。アレイは、一つのポート、例えば入力ポートが他のｎ−１のポート（出力ポート）とは異なったピッチと成るように設定されている。例えば、９つの出力ポートは１ｍｍピッチであり、１／１０の入力ポートは、入力ポートが他の９つと調和しないように１．５ｍｍだけずれている。これによって、入力ポートが第三／第五／第七等の出力ポートに接続されたときに出力ポート間の擬似結合が防止される。
【００５２】
コリメーターからの光線は、第一折り畳みミラー９７上で収束し、次いで円筒ミラー９８上で収束し、ミラー９８はコリメーターからの光線ウエストを一方の軸線（Ｙ）で第二折り畳みミラー９９上に再作像し、その間光線が他方の軸線（Ｘ）で拡散し続けられるようにしている。その光線は、次に第二折り畳みミラー９９から反射されて円筒ミラー９８上に戻り、該円筒ミラー９８は再び光線をウエストへと絞りｙで第三折り畳みミラー１００上で再作像する。引き続いて、その光線は第三折り畳みミラー１００上で反射され、次いで円筒レンズ１０１を通る。その円筒レンズ１０１は、１０本の分離した近平行光線に分離して格子・球面格子レンズ１０２に向かって送り、そのレンズ１０２は平行光線を格子内に与え、次いで光をアレイ１０５上で鋭い焦点を結ばせるためにＸ面で必要とされる収束を行う。その光線は、次に低偏光依存損失・高効率回折格子１０３上に導かれ、その格子１０３は光を異なった波長でアングル−ポジション・レンズ１０４内に扇形に広げ、そのレンズ１０４は異なった波長の光線を平行方向においてミラー１０５の一次元アレイに向かって導く。このアレイは、上の図４に示されたピエゾ電気アクチュエータ１６の形を取っている。アクチュエータの各フィンガーに対する電気駆動を変化させることで、フィンガーに取り付けられたミラーの角度を変え、かくして対応した波長で光の通り道を変える。容量性位置センサー１０６は、アクチュエータにおいて各フィンガーの位置からの電気フィードバックを行う。このコームは、更に、確実にリニアな安定したヒステリス無しの挙動を確保するために容量性位置センサー（図示されていない）を有している。
【００５３】
アレイ１０５を反射した光は、次に本装置を通って該アレイ１０５の各ミラー・エレメントの角度で設定される高さでコリメーター・アレイ９６に到達するその光経路を再追跡する。このことによって、入力部上の個々の波長は出力部１〜９に導かれる。
【００５４】
何ら光学エレメントを備えていない一次元ピエゾ電気コーム１０７は、アクチュエータ１０５に近接して配置されており、適切なレベルで駆動されると各フィンガーが持ち上げられて光を対応波長でことごとくブロックするように構成されている。代わりに、もしフィンガーがブロック位置になければ、光が適切な切り替えエレメント１０５に当るようにする。これによって、入力ポートからの適合波長の光がブロックされるようになり、他方で切り替えミラーが位置を変え、かくしてミラーが以前の行き先ポートと新しい行き先ポートとの間の中間ポートを通ってスイングすると望ましくない動的混信を防ぐ。
【００５５】
図４に示されている種類のアレイは、そのフィンガーの下に、アクチュエータ・フィンガーが撓んでいないときにコーム・フィンガーに平行な金属トラック１０９のアレイで覆われた絶縁基板１０８を組み込むことができる。トラックの電気接続部は、同じ周波数を持つが０度、９０度、１８０度及び２７０度の相対位相のＡＣ刺激波形を一つ置きのトラックに印加する。残りのトラックは、対を成して低ノイズの演算増幅器に接続されている。演算増幅器は、その出力がその入力部に接続されたトラックと隣接した刺激トラックとの間の容量性結合の和に比例するように構成されている。ピエゾ・コームのフィンガーから地面に低インピーダンス（刺激周波数で）接続が行われている。フィンガーが上下動すると、刺激トラックと演算増幅器の入力部との間の結合量は変動する。これによって、演算増幅器の出力をグラフに示されている具合に変動させる。いずれか一つの演算増幅器に組み合わされた二本のフィンガーの各々の位置を変動することで、その演算増幅器の出力に直交変動を発生させ、それで二本の歯の位置が独立して決められることが分かる。
【００５６】
図１３に示めされているように、収束リニアｎ路コリメーター・アレイ９６を使用する代わりに、非収束コリメーター・アレイ１１０が、該アレイの前に設置された付加レンズ１１１上に光を導くために使用され、光線を一点に収束させる。レンズの焦点距離を適切に選択すると共にレンズとコリメーター・アレイとを分離することで、全ての光線はそれら全てが相交じわる同じ点でガウス光線ウエストを確実に通過することができる。収束コリメーター・アレイ９６と平行コリメーター・アレイの比較は、図１３に示されている。
【００５７】
本発明は、本装置において光が手前で焦点を結んだり／先で焦点を結ぶのを補償するためにコリメーター・アレイからのガウス光線ウエストの位置が全ての光線が合い交わる点の前又は後ろになるように調節されることも考えている。
【００５８】
本発明は、コームへの直接接着の代わりにミラーをコームに取り付けるのに可撓体を使用することも考えている。この例は、図１４ａに見ることができる。ピエゾ電気セラミック・ビーム１１２は、間隔片１１４を介して支持構造物１１３に一端で取り付けられている。ビーム１１２は、そのビーム１１２の自由末端から直角に延びた可撓体１１５を組み込むと共にガラス・ブロック１１６を取り付けている。ブロック１１６を支持構造物１１３に取り付けるために第２の可撓体１１７をブロック１１６の一番前方の面に使用している。全組立体が幾本かのフィンガーに切断する前に、単一のピエゾ・セラミックを二つの単一可撓体に一つの単一ブロックとして接着することで上述のように組立体が造られる。代替例として、事前に造られたピエゾ電気コームの各歯に取り付けるために幾つかの個別のタブと共に後部可撓体１１５を予め形成することができる。ミラーと可撓体は、次に接着されて、ピエゾ電気コームへの取り付け前に切断される。全ての場合、一軸線におけるピエゾ電気コームのフィンガーの移動（例えば上下動）が、他の軸線における迷い運動（例えば紙面に対する出入りが結合されていない）の間にミラーに伝達されるように可撓体は設定されている。ガラス・ブロックは、光線経路１１９に示されているようにピエゾ・フィンガーに直交し且つ光線経路１１８によって示されているようにそれらフィンガーに平行に光を反射するためにミラー化されている。経路１１８に対応したブロック側面は、一次元のブロック運動モードで使用されるのに対し、経路１１９に対応したブロック側面は、二次元ブロック運動モードと、また実務上必要であれば一次元ブロック運動モードとで使用される。
【００５９】
上述のように図１１を参照すると、回折格子から到来する光は波長だけ拡張されている。しかし、異なった波長が分離される量は波長の帯域に渡って完全に一様ではない。これに対して補償するために、ピエゾ／ミラー組立体は一様でないピッチで切り離される。代替例として、ピエゾ電気コームは一定のピッチで切り離され、またミラー組立体は一様でないピッチで切り離される。これらは、次に互いに取り付けられる。
【００６０】
検知トラックのアレイをピエゾ・コーム・フィンガーの上方に、またそれらの下方に設置することも可能である。図１４ｂに示されているように、差動センサーは実装される。そのような構成を使用するメリットは、上で説明した元の検知計画を凌ぐ改良された信号−対−ノイズ性能を獲得する点である。
【００６１】
図１４ａに戻ると、本発明は、更にブロック１１６の正面から前方に隔設された個所及びセンサー１２１用にブロック１１６の下の位置における個所１２０、１２１にセンサーを使用することも考えている。代替例として、センサーはこれら両位置に搭載され、また上述した差動方式を使用できる。ボード部分１３９とピエゾ・アクチュエータ部分１３８との間に位置検知構成も考えられる。
【００６２】
更に別の代替例として、図１５ｂに示されているように、可撓体１２２の一つをガラス・ブロック１２３を越えて延ばすこともでき、またこの可撓体の位置を検知し、それでガラス・ブロック１２３の位置を推測するために差動センサー構造１２４を使用することもできる。図１５ｂの構成は、２次元ピエゾ・フィンガーを採用すると特に適している。
【００６３】
図１５ｃは、可撓体１２２’がガラス・ブロック１２３’から差動位置センサー構造１２４’内へと前方に延びている別の実施例を示している。このデザインは、１次元ピエゾ・フィンガーを採用すると特に適している。これらは、図１４ａに示されているように、また１３８と１３９で参照されているようにフィンガーの下に配置された検知構成の代わりに使用される。
【００６４】
各ピエゾ電気フィンガーは、二次元で：即ちコームの面に対して上下とコーム内での左右の両次元で移動できるようにされる。この実施例では、処理に際し入力ポートからの光を出力ポートの中間に渡って操縦せずに、入力ポートが接続される出力ポートをどちらにするか変更することができる。ブロッカー・コームの必要性はその際回避されよう。図１５ａは、二軸移動の監視に適した位置検知構想を示している。
【００６５】
図１６ａ及びｂは、本発明の別の実施例に係る別の波長選択スイッチを示している。そのスイッチは、光線を円筒レンズ１２６を通して球面ミラー１２７上に送る入力コリメーター１２５を有している。光は次に格子１２８上に反射され、球面ミラー１２７上に戻される。その光は、次にこの出願で説明した実施例のいずれかのミラー・アレイ１３０に入る前に円筒レンズ１２９を通過する。その光は、次に本装置を通るその経路に沿って個々のミラー・アレイ１３０の角度に応じて９つの出力コリメーター１２５ａ、・・・１２５ｉの一つまで再度辿って行く。この実施例では、その距離は：ａ）約１．５−１０．５ｍｍ；ｂ）１１５ｍｍ；ｃ）６５ｍｍ；ｄ）約１−２ｍｍ；ｅ）１．３ｍｍ；ｆ）６６ｍｍ；ｇ）約１．５−１０．５ｍｍ；及びｈ）約１０００ｍｍと成る。これらの距離は、限定する意図は無く、適切な距離の例として使用される。
【００６６】
図１７ａ及びｂは、二つの向かい合って設置されたアクチュエータ１３２と１３３を有した複数のピエゾ電気・レーザ・スキャナ１３１を示している。各アクチュエータは、各フィンガー１３４が反射エレメント又はミラー１３５で終結しているピエゾ電気コームの形に成っており、これらアクチュエータのピエゾ電気コームの好ましくは構成は、コームの分離フィンガーを造るダイアモンド鋸引きに先立ってミラー１３５をピエゾ電気材のブロックに最初に取り付けるようにしている。コームの各フィンガーは、ミラーの二次元変位を達成する適切な電気手段によって駆動される。図１８ａ及びｂは、撓んだモードのフィンガーと電子駆動回路とを備えたピエゾ電気レーザ・スキャナを示している。
【００６７】
図１７ｂも、１３６で参照されている導体層とアクチュエータ・アレイが搭載されているベース・プレート１３７とを示している。図１９も個々のフィンガーの（Ｕ）下（Ｄ）左（Ｌ）右（Ｒ）の変位を行うのに必要なピエゾ電気セラミック材で交互に織り成したアクチュエータ・アレイ内導体層を示している。
【００６８】
フィンガーが０．９ｍｍの厚さで３ｍｍの長さと成っていて１ｍｍピッチの５本フィンガーの一対のアクチュエータ・コムを使用して、約１５ｋＨｚの帯域幅を有した両軸線において０．１ラジアンの合計走査角度の性能を有したスキャナが造られる。
【００６９】
図２０Ｃは、スロット入りプリズム（この実施例では、スロット入り右プリズム）のスロットの前に２ｍｍのピッチで設置されたコリメーター１５１としての光学エレメントから成るバンク１５０を示している。光が面１５４と１５５にぶつかるようにプリズムのスロット間に光を導くために２ｍｍのピッチで設置されたコリメーター１５３としての光学エレメントのバンク１５２も設けられている。この構成の結果としての出力光線のアレイは、結果的にただ１ｍｍのピッチの光線アレイと成る。別の表現では、出力光線のアレイは、入力コリメーターのピッチの半分のピッチを有することに成る。
【００７０】
図２１は、交互に織り成した構成を示しており、その構成では、アクチュエータ１５６は、スロット入りミラー１６０のフィンガー１５８上に光を導く反射器１５７を有しており、他方でアクチュエータ１５９は、スロット入りミラーのフィンガー間に光を導くか、又は後部ミラー１６２によって反射されるためにミラーのスロットを通して光を導く反射器１６１を有している。それらアクチュエータは、２ｍｍのピッチで隔設されており、この構成によって１ｍｍのピッチで光線の出力を行う。
【００７１】
図２２は、別の織り成し構成を示しており、その構成では、アクチュエータ１６３は、光をそのフィンガー１６６の一つを通して導き出すスロット入りガラス・ブロック１６５上に光を導く反射器１６４を使用している。この構成は、アクチュエータのピッチが２ｍｍに成っているときに出力光線のピッチがただの１ｍｍになるように光をフィンガー間に導いてスロット１６８を通す第二アクチュエータ１６７を使用している。
【００７２】
前記の交互に織り成した構成は、コリメーター又は反射器などの色々な入力部と、又は公知の代替品から当業者によって選択されるあらゆる他の適当な入力手段と共に使用される。
【００７３】
図２３は、コリメーターの前後に各々取り付けられ且つ上方に延びてクランプ・ブロック１７２によって保持される１７０と１７１で参照された可撓体によって所定位置に保持されるコリメーター１６９を示している。そのブロックは、幾つかのクランプ１７３を組み込んでいてボルト１７４を調節することで可撓体を把持する。この構成は、ｘ及びｙの指向角度とｘ及びｙ位置（即ち、合計で４軸線）での精密な調節を製造の際にできるようにするために採用される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】（ａ）コームの各フィンガー上に切頭プリズムを備えたアクチュエータ・コームの平面図。（ｂ）コームの各フィンガー上に切頭プリズムを備えたアクチュエータ・コームの側面図。（ｃ）コームの各フィンガー上に切頭プリズムを備えたアクチュエータ・コームの正面図。（ｄ）コームの各フィンガー上に切頭プリズムを備えたアクチュエータ・コームの後面図。（ｅ）コームの各フィンガー上に切頭プリズムを備えたアクチュエータ・コームの斜視図。
【図２】（ａ）各フィンガーがプリズムを担持しているアクチュエータ・コームの平面図。（ｂ）各フィンガーがプリズムを担持しているアクチュエータ・コームの側面図。（ｃ）各フィンガーがプリズムを担持しているアクチュエータ・コームの正面図。（ｄ）各フィンガーがプリズムを担持しているアクチュエータ・コームの斜視図。
【図３】（ａ）各フィンガーが直交して配置されたミラーを担持しているアクチュエータ・コームの平面図。（ｂ）各フィンガーが直交して配置されたミラーを担持しているアクチュエータ・コームの正面図。（ｃ）各フィンガーが直交して配置されたミラーを担持しているアクチュエータ・コームの側面図。（ｄ）各フィンガーが直交して配置されたミラーを担持しているアクチュエータ・コームの斜視図。
【図４】（ａ）アクチュエータの平面図。（ｂ）アクチュエータの側面図。（ｃ）アクチュエータの正面図。（ｄ）アクチュエータの斜視図。
【図５】（ａ）光学エレメントの２次元変位を行うためにフィンガーが個々に１次元で変位できるリンク・アームを備えたアクチュエータ・コームの平面図。（ｂ）図５ａのアクチュエータの側面図。
【図６】（ａ）ミラー・アレイを備えたアクチュエータの斜視図。（ｂ）図６ｂのアクチュエータの後部の斜視図。
【図７】（ａ）プリズムを使用したスイッチ・エレメントの概略側面図。（ｂ）プリズムを使用したスイッチ・エレメントの概略側面図。（ｃ）プリズムを使用したスイッチ・エレメントの概略側面図。
【図８】（ａ）作動されたプリズムを使用した周波数選択スイッチの平面図。（ｂ）図８ａの実施例の側面図。
【図９】（ａ）光周波数の選択ブロッカー・スイッチの平面図。（ｂ）図９ａの実施例の側面図。
【図１０】（ａ）ブロッカーとしてプリズムとピエゾ電気コームを使用した光周波数の選択ブロッカー・スイッチ部分の頂面図。（ｂ）ブロッカーとしてプリズムとピエゾ電気コームを使用した光周波数の選択ブロッカー・スイッチ部分の側面図。
【図１１】本発明の別の実施例に係る周波数選択スイッチを示している。
【図１２】アクチュエータ・コームのフィンガーの位置検知構成を示しており、図面のフィンガーが横断面で示されている。
【図１３】収束モードと平行モードの両方でｎ路のコリメーター・アレイの使用を示している。
【図１４】（ａ）ミラー・ブロックを変位するフィンガーの概略横断面図。（ｂ）図１４ａの実施例の色々なエレメントの位置を検知する可能な回路を示している。
【図１５】（ａ）２次元変位可能なフィンガー・アレイの検知構成を示している。（ｂ）ブロックの位置を検知する別の検知構成の側面図。
【図１６】（ａ）本発明の別の実施例に係る傾動ミラーを使用した周波数選択スイッチの平面図。（ｂ）本発明の別の実施例に係る傾動ミラーを使用した周波数選択スイッチの側面図。
【図１７】（ａ）スキャナを形成する二つのピエゾ電気コームの構成の平面図。（ｂ）スキャナを形成する二つのピエゾ電気コームの構成の側部横断面図。
【図１８】（ａ）ピエゾ電気コーム・アクチュエータのフィンガーが固定されている図１７の実施例を示している。（ｂ）ピエゾ電気コーム・アクチュエータのフィンガーが固定されている図１７の実施例を示している。
【図１９】図１７と図１８の５本フィンガーのコーム・アクチュエータの電極板とピエゾ電気層を概略表示した横断面図。
【図２０】（ａ）スロット型プリズムを使用した光学入力部・アレイの概略側面図。（ｂ）スロット型プリズムを使用した光学入力部・アレイの側面図。（ｃ）スロット型プリズムを使用した光学入力部・アレイの斜視図。
【図２１】（ａ）スロット型ミラーを使用した光学入力部・アレイの概略側部／横断面図。（ｂ）スロット型エレメントを使用した光学入力部・アレイの斜視図。
【図２２】（ａ）スロット型ガラス・ブロックを使用した光学入力部・アレイの側部／横断面図。（ｂ）スロット型エレメントを使用した光学入力部・アレイの正面図。
【図２３】（ａ）コリメーターと搭載ブロックのアレイの斜視図。（ｂ）コリメーターと搭載ブロックのアレイの斜視図。（ｃ）コリメーターと搭載ブロックのアレイの側部／横断面図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【国際調査報告】
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2008501132.tif 000028
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