(57)【要約】集積回路（１０）は、ミキサ回路（１４，５４ａ）および局部発振器回路（１８，５８）を有する。検査中、集積回路（１０）における分周回路（３２，６０）は、局部発振器信号を、局部発振器（１８，５８）の通常動作帯域における周波数域よりも低い周波数に分周する。集積回路は、検査中には局部発振器信号の代わりに、分周した局部発振器信号をミキサ回路（１４，５４ａ）に供給する。分周した局部発振器信号をミキサ回路（１４，５４ａ）に供給している間に、ミキサ回路（１４，５４ａ）から得られる信号の信号特性を測定する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通常動作モードと検査モードとの間で切り替え可能な検査態勢を装備した集積回路において、
‐集積回路を通常動作モードまたは検査モードのいずれで動作すべきか指示する検査制御信号を供給する検査制御入力と、
‐局部発振器出力を有する局部発振器回路と、
‐ミキサ回路と、
‐前記局部発振器出力に接続した入力および分周器出力を有する分周回路と、
‐前記局部発振器出力および前記分周器出力にそれぞれ接続した信号入力、ならびにミキサ回路に接続した出力を有するマルチプレクサ回路であって、前記検査制御入力に接続した制御入力を有し、通常動作モードにおいては前記局部発振器出力をミキサ回路に接続し、また検査モードにおいては前記局部発振器出力の代わりに前記分周器出力をミキサ回路に接続するよう構成した該マルチプレクサ回路と、
を備えたことを特徴とする集積回路。
【請求項２】
請求項１に記載の検査態勢を装備した集積回路において、局部発振器回路は、前記局部発振器出力に加えて直交出力を有し、集積回路は、他のミキサ回路を有し、この他のミキサ回路は、直交出力に接続した他の入力および前記ミキサ回路に接続した他の出力を有し、前記マルチプレクサ回路は、通常動作モードにおいて前記直交出力を前記他のミキサ回路に接続し、検査モードにおいて分周回路からの分周した出力信号を前記他のミキサ回路に供給するように構成した集積回路。
【請求項３】
請求項２に記載の検査態勢を装備した集積回路において、分周回路は、分周出力に加えて直交分周出力を有しており、前記分周回路は、共通の局部発振器信号から、分周出力および直交分周出力において直交関係にある分周信号を生成する構成とし、マルチプレクサ回路は、直交分周出力に接続した他の第２入力を有し、マルチプレクサ回路は、直交分周出力から前記他のミキサ回路に出力信号を導出するよう構成した集積回路。
【請求項４】
請求項２に記載の検査態勢を装備した集積回路において、前記ミキサ回路および前記他のミキサ回路の双方で置換される分周出力信号を、前記分周出力から導出するようにした集積回路。
【請求項５】
請求項２に記載の検査態勢を装備した集積回路において、
‐端子を有する負荷回路と、
‐局部発振器出力および直交出力に接続した第１端子群、前記分周回路の入力、前記負荷回路の前記端子、前記マルチプレクサ回路の信号入力、ならびに前記検査制御入力に接続した制御入力に接続した第２端子群を有するスイッチ回路と
を備え、
、スイッチ回路は、通常動作モードにおいては前記局部発振器出力および前記直交出力を前記マルチプレクサ回路の前記信号入力に接続し、また検査モードにおいては前記局部発振器出力および前記直交出力を前記分周回路の入力および前記負荷回路の前記端子にそれぞれ接続するように構成した集積回路。
【請求項６】
請求項１に記載に検査態勢を装備した集積回路において、前記分周回路は、検査制御入力に接続した無効化入力を有し、また前記分周回路は、通常動作モードにおいて前記局部発振器信号の分周を抑制するように構成した集積回路。
【請求項７】
ミキサ回路および局部発振器回路を備えた集積回路を検査する方法において、
‐前記集積回路を検査装置に取り付けるステップと、
‐前記集積回路を検査形態に切り換えるステップであって、この検査形態では、前記集積回路における分周回路により、局部発振器信号を前記集積回路における前記局部発振器の通常動作の周波数帯域よりも小さい周波数に分周し、分周した局部発振器信号を局部発振器信号の代わりに前記ミキサ回路に供給するようにした切り換えステップと、
‐前記分周した局部発振器信号を前記ミキサ回路に供給する間に、ミキサ回路から導出される信号の特性を測定するステップと
を備えたことを特徴とする集積回路の検査方法。
【請求項８】
請求項７に記載の検査方法において、前記ミキサ回路から導出される信号を、低周波数に変換されたＩＦ信号とする検査方法。
【請求項９】
請求項７に記載の検査方法において、前記ミキサ回路から導出される信号が、高周波数に変換されたＲＦ信号とした検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査態勢を装備した集積回路に関し、とくに、マイクロ波信号などの高周波信号を処理するよう局部発振器回路およびミキサ回路などのコンポーネントを有する集積回路に関する。本発明は、さらに、このような集積回路を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＲＦ回路および論理回路を混在させた集積回路の検査は、非特許文献１（２００２年１月４日付けで出版されたTest and Measurement worldにおけるＲ．ネルソン (R. Nelson) 氏による「ＳＯＣ ＡＴＥを伴うＲＦ検査 (RF test join SOC ATE)」と題する論文）に記載されている。これまでの半導体集積回路製造技術状況によれば、さらに集積化したＲＦ信号の処理能力をもった集積回路の製造が可能となっている。本明細書で使用する「ＲＦ」は、大まかに無線送信で用いる周波数、例えば１０ＧＨｚ以上のマイクロ波帯域の信号を意味するものであるが、これよりも低い周波数帯域も含むものとする。
【０００３】
ＲＦ回路の主な検査としては、回路の通常動作時に使用する周波数で回路にＲＦ信号を供給すること、または回路が生成したこれらの信号を測定することが含まれる。他方で、集積回路の論理関数は一般に、論理テストパターンを供給し、またより低い周波数における検査応答を観測することによって検査する。後者タイプの検査に用いる検査機器は、ほとんどの集積回路製造設備において標準的なものであり、ほぼ全ての一層複雑なデジタル集積回路に適用されている。他方で、ＲＦ検査用の機器は、普及しておらず、ＲＦ回路を有する集積回路を製造し検査する場合には追加の投資が必要となる。
【非特許文献１】２００２年１月４日付けで出版されたTest and Measurement worldにおけるＲ．ネルソン (R. Nelson) 氏による「ＳＯＣ ＡＴＥを伴うＲＦ検査 (RF test join SOC ATE)」と題する論文
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
とりわけ、本発明の目的は、ＲＦ回路コンポーネントの検査を容易にし、特別なＲＦ検査機器を必要としない、検査態勢を装備した集積回路を得るにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、特許請求の範囲の請求項１による検査態勢を装備した集積回路を提供する。この集積回路は、検査中に局部発振器信号を低周波数に変換した信号で置換することを制御するのに、検査制御入力を使用する。好ましくは、集積回路は、この目的のため、分周回路を有する検査関数ブロックを設ける。好ましくは、この分周回路は、通常動作時には無効にする。検査制御入力は、置換を実施する検査制御ブロックに接続する集積回路の専用のピンとすることができる。代案として、検査制御入力は、集積回路内の検査制御回路からの内部ラインとし、例えば置換を制御する制御信号を生成するスキャン検査インタフェースの一部とし、または検査制御入力は、集積回路の他のコマンドインタフェース回路からくるものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の一実施形態において、集積回路は、直交ミキサ回路を有するものとする。この実施形態において、分周回路の出力信号を、ミキサ回路において、局部発振器のＩ入力およびＱ入力において置換することができる。他の実施形態においては、局部発振器の直交出力信号の位相関係による障害を低減するために、スイッチ回路を設ける。
【０００７】
本発明はまた、分周した局部発振器信号を、通常動作時（非検査時）にミキサ回路に供給される周波数よりも小さい周波数で、局部発振器信号の代わりに、ミキサ回路に供給する検査方法を提供する。
以下に、本発明のこれらおよび他の目的および好適な実施態様を、添付図面で図示した実施例により説明する。
【実施例１】
【０００８】
図１は、検査態勢を装備した集積回路１０の概略図である。集積回路１０は、ＲＦ増幅回路１２、ミキサ回路１４、ＩＦ増幅回路１６、局部発振器回路１８、および検査関数ブロック１００を有する。集積回路１０の入力端子１１は、ＲＦ増幅回路１２の入力に接続する。ＲＦ増幅回路１２の出力は、ミキサ回路１４の第１入力に接続する。ミキサ回路１４の出力は、ＩＦ増幅回路１６の入力に接続し、ＩＦ増幅回路１６は、集積回路１０の出力端子１９に接続した出力を有する。代替的実施例において、集積回路１０はＲＦ生成回路とすることができ、このとき増幅回路１２はＩＦ増幅回路であり、増幅回路１６はＲＦ増幅回路である。局部発振器回路１８は、検査関数ブロック１００の信号入力側に接続した出力を有し、この検査関数ブロック１００は、ミキサ回路１４の第２入力に接続した出力を有する。局部発振器回路１８は、集積回路１０の入力端子１７に接続した制御入力を有する。検査関数ブロック１００は、集積回路１０の検査端子１０２に接続した制御入力を有する。
【０００９】
図２は、検査関数ブロック１００を示す。検査関数ブロック１００は、分周回路３２およびマルチプレクサ回路３０を有する。局部発振器回路（図示せず）に接続した検査関数ブロック１００の入力３４は、分周回路３２の入力およびマルチプレクサ回路３０の第１入力に接続する。分周回路３２の出力は、マルチプレクサ回路３０の第２入力に接続する。マルチプレクサ回路３０の出力は、ミキサ回路の第２入力（図示せず）に接続する。集積回路の検査端子１０２は、マルチプレクサ回路３０の制御入力および分周回路３２のイネーブル入力に接続する。
【００１０】
図３は、検査制御装置４０、検査信号発生器４２、受信回路４４および検査対象の集積回路１０を備えた検査環境を示している。検査制御装置４０は、検査信号発生器４２、検査対象の集積回路１０および受信回路４４に接続する出力を有する。検査信号発生器４２は、検査対象の集積回路１０の入力端子１１に接続する。検査対象の集積回路１０の出力端子１９は、受信回路４４に接続する。
【００１１】
本明細書に使用する用語「ＲＦ（radio frequency：無線周波数）」および「ＩＦ(intermediate frequency：中間周波数)」は、特定の周波数帯域に限定するものではないことに留意されたい。とくにＲＦは、無線（ワイヤレス）伝送に使用する、もしくは集積回路１０を含む装置を形成するのに使用する周波数を意味し、またＩＦは、装置内においてＲＦ信号を受信もしくは生成する際に使用する補助的な低周波数を意味する（ＩＦは一般に論理信号よりも高い周波数を有するが、直接変換回路においては、ＩＦ帯域はゼロに近似する周波数とすることができる）。
【００１２】
通常動作において、検査関数ブロック１００は、局部発振器回路１８からの信号をミキサ回路１４に通過させる。またこのとき、分周回路３２は無効状態にし、マルチプレクサ回路３０は第１入力、すなわち局部発振器回路１８からの信号を直接通過させるようにする。このことは、集積回路１０を「ｎｏ‐ｔｅｓｔ」の信号に対応する電圧を検査端子１０２に供給するようにした導体トラックを有する集積回路基板に実装する、または集積回路１０におけるこの検査端子１０２に 「ｎｏ‐ｔｅｓｔ」信号を供給するよう結合することによって、確実に行うことができる。
【００１３】
検査中、集積回路は一時的に、図３に示したように、検査制御装置４０、検査信号発生器４２、受信回路４４に接続する。このとき、検査制御装置４０は、制御信号を検査端子１０２に供給し、検査関数ブロック１００を制御して、ミキサ回路１４の第２入力において局部発振器信号の分割バージョンに置換する。分周回路３２は、局部発振器１８からの信号を所定の係数によって分周する。
【００１４】
この係数は、受信側（レシーバ）の集積回路１０である場合、通常の周波数よりも低い入力信号がＲＦ増幅回路１２に供給されるときに、ミキサ回路１４がＩＦ増幅回路１６の通常の周波数帯域におけるＩＦ信号を生成するように選択する。好ましくは、この係数は、検査中に必要とされる入力信号の周波数が、半導体製造業界で利用可能な通常の検査信号発生器４２の周波数帯域内となるようにする。
【００１５】
現在は、例えば約３．５ＧＨｚの周波数を有する信号を生成する発生器が利用可能であるため、４分周係数を、Ｋｕバンド衛星受信回路（入力周波数が１０．７〜１２．７５ＧＨｚの範囲にあり、ＩＦ周波数が約ＧＨｚである）用の約９．７５ＧＨｚの局部発振器周波数と連動することを意図する集積回路に使用することができる。約２４ＧＨｚの周波数の入力信号を受信する集積回路１０用に、８分周係数もしくは１６分周係数さえ検査中に局部発振器信号に使用して、検査中に約１．５〜３ＧＨｚの帯域における周波数を有する入力信号を使用できる。この場合、ミキサ回路１４に直接供給することによる問題を回避するための、例えば検査機器にこれらの周波数に対するフィルタ回路を設けるなどの措置をとる必要があることがある。しかしながら、利用可能な検査信号発生器および局部発振器回路１８の通常動作周波数に基づいて、他の分周係数を使用することができることは明らかである。
【００１６】
同様に、ＲＦ出力を有する集積回路１０の場合、ミキサ回路１４は、半導体製造業界において利用可能な受信回路４４の通常の周波数帯域にあるＲＦ信号を生成する。このとき、受信用の集積回路のものと同様の分周係数を使用することができる。
【実施例２】
【００１７】
図４は、他の実施例の集積回路５０を示し、この場合、ミキサ回路５４ａ，５４ｂは、入力増幅器５２からの信号を局部発振器回路５８からの２つの直交出力信号と混合することによって直交信号を生成する。一般的に、集積回路５０は受信回路であるため、入力増幅器５２はＲＦ増幅器であり、ミキサ５４ａ，５４ｂの出力側にある出力増幅器５６ａ，５６ｂはＩＦ増幅器である。しかしこれに代えて、入力増幅器５２をＩＦ増幅器とし、出力増幅器５６ａ，５６ｂをＲＦ増幅器とすることもできる。いずれの場合においても、集積回路５０の局部発振器回路５８からの局部発振器信号は、集積回路５０の検査関数ブロック５００を通過する。
【００１８】
図５は、図４の集積回路で使用する検査関数ブロック５００の第１の実施形態を示している。検査関数ブロック５００は、それぞれ局部発振器信号のための第１入力６１ａおよび第２入力６１ｂと、これらはそれぞれ各ミキサ回路（図示せず）に信号を供給するための２個の第１出力６６ａおよび第２出力６６ｂとを有する。検査関数ブロック５００は、分周回路６０および第１マルチプレクサ回路６２ａおよび第２マルチプレクサ回路６２ｂを有する。入力６１ａ，６１ｂは、それぞれ、第１および第２のマルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂの第１入力に接続する。第１入力６１ａは、分周回路６０の入力に接続し、分周回路６０の出力は第１および第２のマルチプレクサ回路６２ａ６２ｂの第２入力に接続する。検査制御入力１０２は、第１および第２のマルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂの制御入力および分周回路６０のイネーブル入力に接続する。
【００１９】
通常動作において、検査制御信号を検査制御入力に供給し、この検査制御入力は、局部発振器回路５８からの信号を第１および第２のマルチプレクサ回路６２ａ６２ｂに直接通過させ、分周回路６０を無効にする。検査動作中は、分周回路６０を有効にする検査制御信号を供給し、分周回路６０からの分周信号が第１および第２マルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂ経てミキサ回路５４ａ５４ｂに通過できるようにする。
【００２０】
この実施形態によれば、直交回路の検査中、より低い周波数のＲＦ信号の利点が得られることは理解できるであろう。
【００２１】
図６は、図４の集積回路で使用する検査関数ブロック５００の第２の実施形態を示す。この場合、追加した入力スイッチ７０ａ，７０ｂを、集積回路５０において、一方では局部発振器回路（図示せず）からの信号を受信する入力６１ａ，６１ｂと、他方では分周回路６０およびマルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂとの間に挿入する。第１入力スイッチ７０ａは、第１マルチプレクサ６２ａの第１入力に接続した第１出力、および分周回路６０の入力に接続した第２出力を有する。第２入力スイッチ７０ｂは、第２マルチプレクサ６２ｂの第１入力に接続した第１出力を有する。検査関数ブロック５００は、第２入力スイッチ７０ｂの第２出力に接続した負荷回路７２を有する。負荷回路７２は、無効時には、分周回路６０のインピーダンスに似たインピーダンスを発生するよう構成する。入力スイッチ７０ａ，７０ｂは、検査制御入力１０２に接続した制御入力を有する。
【００２２】
動作にあたり、入力スイッチ７０ａ，７０ｂは、検査制御信号が通常動作の信号を送っているときには、入力６１ａ，６１ｂをマルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂの第１入力に接続し、検査制御信号が検査動作の信号を送っているときには、入力６１ａ，６１ｂをそれぞれ分周回路６０および負荷回路７２に接続する。図６の実施形態は、局部発振器回路５８の出力における信号の直交関係に対する外乱を最小化するために、検査関数ブロック５００によって局部発振器回路５８にもたらされる負荷を均一化する。
【００２３】
検査関数ブロック５００の双方の実施形態はともに、検査中に、局部発振器信号を同位相信号としてミキサ回路５４ａ，５４ｂに供給することに留意されたい。一般的に、このことは、検査中に出力増幅器５６ａ，５６ｂの出力を個別にモニタすることができる場合には問題とならない。検査目的のために単独の付加的な分周回路６０だけが必要であるから、最低限の回路オーバヘッドが必要となる。
【００２４】
図７は、分周回路が直交出力信号を生成し、これら直交出力信号をそれぞれ第１および第２のマルチプレクサ回路６２ａ，６２ｂの第２入力に供給するような、検査関数ブロック５００の代替実施形態を示している。このようにして、集積回路は直交信号を用いて検査することができる。これは、集積回路が、他の回路（図示せず）、すなわち、これら他の回路の検査を行うために出力増幅器５６ａ，５６ｂの出力を結合する他の回路を有する場合、または検査すべきミキサ回路５４ａ，５４ｂの出力信号間における交差効果(cross-effect)で発現する障害を検査しなければならない場合に、有利である。
【００２５】
他の実施形態においては、直交回路用の検査関数ブロック５００は図２に示したような検査関数ブロックを対にして設け、これらはそれぞれ局部発振器回路５８の出力とミキサ回路５４ａ，５４ｂの入力の間に接続する。これはさらに大きなオーバヘッドを必要とするが、局部発振器回路５８の両方の出力を検査することができるようになる。代案として、検査中に他の検査制御信号による制御の下に、局部発振器回路５８の出力のいずれか一方を分周回路６２の入力に接続するのに、入力マルチプレクサ回路（図示せず）を使用することができる。
【００２６】
分周回路３０，６０として、任意の既知である分周回路を使用することができる。好ましくは、例えば２個の回路によって連鎖的な分周を行うものとして実施できる。好ましくは、分周係数は２の累乗とするが、これは、分周係数は回路オーバヘッド（また分周回路の障害の危険）を最小限にして最大周波数で実施できるため、である。直交出力を有する分周回路は、それ自体が既知である。例えば２個の回路による分周連鎖の最終段階として、相互に反対の信号遷移に反応する２個の回路による分周を使用することができる。
【００２７】
マルチプレクサ回路３０，６２ａ，６２ｂは、好ましくは、選択した入力を選択したマルチプレクサ回路３０，６２ａ，６２ｂの出力に接続する制御可能スイッチを使用して実現し、選択した入力から選択した出力に電流が流れるようにする。代案として、選択的に有効化したバッファ回路を、例えばマルチプレクサ回路３０，６２ａ，６２ｂに使用することができる。
【００２８】
局部発振器回路１８，２８，５８は、任意の既知タイプとすることができる。例えば、局部発振器信号の周波数がプログラム可能な係数によって分周され、分周した信号が参照信号に固定されるような位相ロックループを有する回路などの、周波数合成器回路を使用することができる。ある実施形態において、検査目的に使用する分周回路３２は、このような周波数合成器回路の一部、好ましくは位相検出器に送るために発振器周波数を分周する分周器のフロント部分とする。この場合、マルチプレクサ回路３０は、周波数合成器回路内のノードとミキサ回路１４との間に付加的な接続を行い、この付加的な接続は検査制御信号の制御の下に有効となる。他の実施形態においては、通常動作中に、検査制御信号に応答して分周回路からの結合を有効化する検査制御入力を使用してミキサ回路１４に信号を送る分周回路を使用することができる。
【００２９】
ある実施形態においては、検査制御信号は、専用の検査制御ピン、または貼り付けた集積回路を検査関数ブロックに直接に結合するパッドを介して供給する（すなわち、検査関数ブロック１００に検査制御信号を通すかどうかを決定するための他の回路を通過させることなく）。代案として、検査制御信号を、集積回路のコマンドバスを介して供給することもできる。
【実施例３】
【００３０】
図８は、検査制御回路８０および信号処理回路８２を備えた集積回路の実施例を示す。検査制御回路８０は、集積回路（例えば、検査データ入力ピンＴＤＩ、検査データ出力ピンＴＤＯ、検査クロックピンＴＣＫ、検査モード選択ピンＴＤＳ、およびリセットピンＴＲＳＴを有する検査データを有するスキャン検査インタフェース）の検査インタフェースピンに接続する。検査制御回路８０は、それ自体が既知であり、また、検査データピンから受信したデータに応答して、または検査モード選択信号によって制御されて切り替わる状態に応答して制御信号を出力する回路の設計は既知である。ある実施形態においては、このような制御信号を使用して、検査関数ブロック１００、または直交回路用の検査関数ブロックを制御する。したがって、検査関数ブロック１００によって検査を制御するのに専用のピンは不要である。代案として、既知の１２Ｃインタフェースのような集積回路における何らかのコマンドインタフェースを使用して、検査制御信号を供給する、または集積回路が検査モードに切り替わったときに通常時に何らかの機能目的に使用する集積回路の任意の端子を集積回路の制御入力として使用するように集積回路を構成することができる。
【００３１】
信号処理回路８２を、例えばデータをさらに混合および／または検知することによって、ミキサ回路１４の出力信号を処理する集積回路に設けることができる。この場合、ミキサ回路１４からの直接出力１９を、好ましくは、検査中の混合した信号のスペクトル解析を行えるように、検査用の集積回路の結合フラップまたはピンに設ける。さらに付加的に（または、代案として）、信号処理回路８２から取得した検査データを、検査中に検査インタフェースを介して、検査制御回路８０に供給することができる。
【００３２】
ＲＦジェネレータ集積回路において、信号処理回路は、ミキサ回路１４の前段に設けてもよく、同様に検査制御回路８０に接続して、検査用に異なるＩＦ信号の生成を制御することもできる。
【００３３】
好ましくは、検査制御装置４０は、種々の制御信号を局部発振器回路１８，２８，５８の制御入力に供給して、検査制御信号を検査関数ブロック１００，５００に供給するのに加えて、例えば、異なる局部発振器出力周波数を選択するように設計する。このようにして、局部発振器回路１８，２８，５８のこれら制御信号に対する応答は、ミキサ回路１４，２４，５４から得られる出力信号をモニタすることによって検査することができる。
【００３４】
受信回路４４は、例えば、集積回路の出力信号の周波数スペクトル特性を測定するスペクトルアナライザにより構成する。検査制御装置４０は、この測定結果を受け取り、測定結果が所定範囲内にある場合は肯定的な検査結果信号を、そうでない場合は否定的な検査結果信号を生成する。
【００３５】
単に１個の入力信号（ＲＦもしくはＩＦ）のみを受信する集積回路における実施例のみを説明してきたが、本発明は、より多くの信号を受信する集積回路に適用することができ、例えば、できれば共通の局部発振器回路を有してレシーバ（ＲＦインＩＦアウト）およびジェネレータ（ＩＦインＲＦアウト）の双方を実装した集積回路、データ信号のみを入力および／または出力するようにＩＦ信号を処理する回路に適用できると理解されたい。この場合、本発明は、集積回路が検査モードに切り替わったときに、上述したように全てのミキサ回路を検査するように構成することができる。代案として、ミキサ回路を、逐一に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】検査態勢を装備した集積回路の概略図である。
【図２】検査関数ブロックの実施例を示す説明図である。
【図３】検査環境を示す説明図である。
【図４】検査態勢を装備した他の集積回路の概略図である。
【図５】検査関数ブロックの他の実施例を示す説明図である。
【図６】検査関数ブロックのさらに他の実施例を示す説明図である。
【図７】検査関数ブロックのさらに別の実施例を示す説明図である。
【図８】検査態勢を装備した別の集積回路の概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
2008534952.tif 000011
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