(57)【要約】【課題】  作動中のエネルギ消費を低減した小型弁を提供する。【解決手段】  双安定小型弁は、可動部品と、開及び閉状態の間で可動部品を制御可能に切り替えるために静電気的、磁気的、機械的に可動部品に結合するアクチュエータと、構造的な支持を与えるケーシングとを含む。可動部品は、弁の管内に可動自在に設置された駆動表面３００と、可動部品の開及び閉状態に機械的な安定性を与える駆動表面に取り付けられた双安定要素とを含む。双安定要素は駆動表面の対辺の中間点に取り付けられた１組の弾力性座屈梁３０２，３０４として実現される。任意に、その端点で駆動表面に取り付けられ、その中間点で駆動表面に取り付けられる弾力性支持梁３０６，３０８を含んでも良い。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を運ぶための管と、
流体が前記管を通って流れることを許容する開状態及び流体が前記管を通って流れることを阻止する閉状態にする可動部品と、
前記可動部品を前記開状態及び前記閉状態の間で制御可能に切り替えるために前記可動部品に結合されたアクチュエータと、
前記管と、前記可動部品と、前記アクチュエータとに構造的な支持を与えるケーシングとを含み、
前記可動部品は、
前記管内に可動自在に配置された駆動表面と、
前記可動部品の前記開状態及び前記閉状態に機械的な安定性を与えるために前記駆動表面に取り付けられた双安定要素を含むことを特徴とする双安定小型弁。
【請求項２】
前記可動部品は前記駆動表面に取り付けられたシール要素を含むことを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項３】
前記管は流体シール要素を有する弁出口オリフィスを含むことを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項４】
前記駆動表面は厚さが１００マイクロメータ以下の膜であることを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項５】
前記アクチュエータは前記開状態及び前記閉状態の間で変化を生じさせるべく前記可動部品に磁気的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項６】
前記駆動表面及び前記アクチュエータは磁気要素であることを特徴とする請求項５に記載の双安定小型弁。
【請求項７】
前記磁気要素は磁性材料を含むことを特徴とする請求項６に記載の双安定小型弁。
【請求項８】
前記磁気要素は電磁石を含むことを特徴とする請求項６に記載の双安定小型弁。
【請求項９】
前記電磁石は平面コイルを含むことを特徴とする請求項８に記載の双安定小型弁。
【請求項１０】
前記アクチュエータは前記開状態及び前記閉状態の間で変化を生じさせるべく前記可動部品に静電気的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項１１】
前記駆動表面及び前記アクチュエータは導電性要素を含むことを特徴とする請求項１０に記載の双安定小型弁。
【請求項１２】
前記アクチュエータは単一の平面電極を含むことを特徴とする請求項１０に記載の双安定小型弁。
【請求項１３】
前記アクチュエータは２つの平面電極を含むことを特徴とする請求項１０に記載の双安定小型弁。
【請求項１４】
前記アクチュエータは前記開状態及び前記閉状態の間で変化を生じさせるべく前記可動部品に機械的に結合されることを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項１５】
前記双安定要素は弾力性座屈梁を含むことを特徴とする請求項１に記載の双安定小型弁。
【請求項１６】
前記弾力性座屈梁は前記駆動表面の対辺に前記弾力性座屈梁の中間点で取り付けられることを特徴とする請求項１５に記載の双安定小型弁。
【請求項１７】
前記駆動部品は弾力性支持梁を含み、
前記弾力性支持梁は、前記弾力性支持梁の端点で前記駆動表面に取り付けられ、前記弾力性支持梁の中間点で前記弾力性座屈梁に取り付けられることを特徴とする請求項１５に記載の双安定小型弁。
【請求項１８】
前記双安定要素は前記座屈梁を座屈させるべく圧縮されたＣ型クランプを含むことを特徴とする請求項１５に記載の双安定小型弁。
【請求項１９】
前記座屈梁のそれぞれは、せん断応力により座屈を生じさせる２つの物質層を含むことを特徴とする請求項１５に記載の双安定小型弁。
【請求項２０】
前記座屈梁のそれぞれは、座屈を生じさせるべく基板に端点付近で結合されることを特徴とする請求項１５に記載の双安定小型弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して小型のスイッチング装置に関し、特に流量制御のための双安定小型弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体弁は、液体及び固体の流速及び圧力を制御するための様々な装置に用いられている。小型装置の発展は、小型かつエネルギ効率の高い流体弁に対する需要を創出してきた。ヒーテッドダイアフラム弁（heated diaphragm valve）や形状記憶合金（ＳＭＡ）弁のような弁構造のいくつかは、開又は閉状態を維持するために継続的なエネルギ入力を必要とする。これに対して双安定弁の構造は、開及び閉状態においてエネルギ的に安定であり、両状態の切替に対してのみエネルギ入力を必要とする。知られている双安定弁の構造には、例えば電気化学的に作動されるマイクロバルブや座屈梁マイクロバルブ（buckled beam microvalves）がある。電気化学的に作動されるマイクロバルブは切替速度が遅いことに悩まされる。座屈梁マイクロバルブの構造は、座屈構造が駆動表面であるため極小規模に限定される。その結果として、座屈梁マイクロバルブは流速がかなり小さい時のみの使用にしか適さない。リニア又はロータリモータをアクチュエータとして使用する従来の機械弁は大きな流速を取り扱うことができるが、小型化することが難しく、またスイッチング速度も制限されており、製造も複雑である。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明は作動中のエネルギ消費を低減した小型弁を提供する。これは、開及び閉状態の両方で安定であり、一方の状態から他方の状態へとスイッチングする時にのみ電力を消費する双安定小型弁によって実現できる。この装置は静電又は電磁アクチュエータを使用して作動される。作動中のエネルギ消費が低いため、本発明は例えばマイクロ燃料電池といった流量制御を必要とするモバイル装置の操作に対して特に使い道があり、利点がある。
【０００４】
一形態において、本発明は、流体を搬送する管と、管を通って流体が流れることを許可する開状態及び管を通って流体が流れることを阻止する閉状態にする可動部品と、開状態及び閉状態の間で可動部品を切り替えるために可動部品に連結したアクチュエータと、管及び可動部品、アクチュエータを支持する構造を有するケーシングとを含む双安定小型弁を提供する。可動部品は管内に可動自在に配置された駆動表面と可動部品の開及び閉状態に対して機械的安定性を与える駆動表面に取り付けられた双安定要素とを有する。ある実施形態では、シール要素が駆動表面、又は管の弁出口オリフィス付近のケーシングに取り付けられ得る。駆動表面は厚みが１００マイクロメータ以下の膜として形成され得る。アクチュエータは静電気的、磁気的、機械的に可動部品に連結し、開状態及び閉状態の間で変化を与える。磁気的に結合した場合は、駆動表面及びアクチュエータは電磁石又は磁性材料ような磁気要素を有する。静電気的に結合した場合は、駆動表面及びアクチュエータは平板電極のような導電性要素を有する。好適な実施形態では、双安定要素は一組の弾力性の座屈梁におけるそれらの中間点で駆動表面の対辺に取り付けられる。任意に、駆動表面の端部及び弾力性の座屈梁の中央部に弾力性の支持梁が取り付けられ得る。座屈梁の座屈は、座屈梁を曲げたり圧縮したりする圧縮Ｃ型クランプ（Ｃ型部材）の使用や、層間のせん断応力によって座屈を生じさせる２つの材料層を用いての座屈梁の形成や、座屈梁それぞれの端部付近の基板への結合といった様々な技術によって生じさせられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
図１は本発明の第１実施形態に係る双安定小型弁の側断面図である。上部電磁石１００及び下部電磁石１０２からなる電磁アクチュエータは、入口オリフィス１１０と、弁室１１２と、出口オリフィス１０８からなる流体管内で閉状態位置１０４及び開状態位置１０６の両方の位置をとるように可動自在に設けられた駆動表面を含む可動部品に磁気的に結合する。ケーシング１１４は流体管及び可動部品、アクチュエータを構造的に支持する。稼動状態では、アクチュエータが駆動表面を開状態位置１０６に位置させた時、流体は入口オリフィス１１０を通って弁内へ、かつ出口オリフィス１０８を通って弁外へと自由に流れる。アクチュエータが駆動表面を閉状態位置１０４に位置させた時、出口オリフィス１０８は遮断され、流体管を通過する流体の流れは遮断される。このように、駆動表面は装置の流量制御要素して働く。
【０００６】
上記した可動部品を図２の平面断面図により詳細に示す。駆動表面２００は、開及び閉状態に機械的安定性を与える弾力性の座屈梁２０２，２０４からなる双安定要素に取り付けられる。双安定要素は、装置の双安定挙動に関与する。装置の可動部品は駆動表面２００と同じく座屈梁２０２，２０４を含む。２本の弾力性の座屈梁２０２，２０４はそれらの中間点２０６，２０８で駆動表面２００の対辺に取り付けられる。図３に示す可動部品の代替の実施形態では、可動部品は可動表面３００と、２本の座屈梁３０２，３０４と、2本の弾力性の支持梁３０６，３０８とを含む。弾力性の支持梁３０６はその端点３１０及び３１２で駆動表面３００に取り付けられ、中間点３１４で弾力性の座屈梁３０２に取り付けられる。同様に弾力性の支持梁３０８はその端点３１６及び３１８で駆動表面３００に取り付けられ、中間点３２０で弾力性の座屈梁３０４に取り付けられる。弾力性の支持梁３０６，３０８は任意的なものであり、駆動表面３００を機械的に支持するために役に立つ。可動要素は、例えば厚さが１００マイクロメータ以下の薄膜である。2本の座屈梁及び任意の支持梁は幅が狭い長方形であることが好ましい。
【０００７】
双安定要素によって与えられた機械的な安定性のために、装置は双安定であり、この説明の文章中で開状態又は閉状態の装置を維持するためにエネルギ又は力を必要としないことが明らかとなる。しかしながら、エネルギ又は力は２つの機械的に安定な状態の間で装置を切り替えるために使用される。この双安定特性は、例えば装置の組み立ての間に座屈梁を機械的に座屈させることによって与えられ得る。図４は、膜４０８の対辺に取り付けられた４つのＣ型クランプ４００，４０２，４０４，４０６を有する双安定小型弁の可動要素を示す等角図であり、各辺のクランプの１組とそのクランプの組の間に挟まれた膜の端部を表す。組み立て時に、座屈梁４１０，４１２の座屈は、図５Ａ−Ｂ及び図６−Ｂに示されるようにＣ型クランプに与えられる圧縮力によって生じさせられる。図５Ａ−ＢはＣクランプ５００及び５０２とそれらによって挟まれた膜５０４の組の断面図である。図５Ａは圧縮力が加わっていない最初の状態を示す。組み立ての間に圧縮力が加わると、図５Ｂに示されるように、Ｃ型クランプはこの圧縮された形態で固定され、膜を横方向に動かさせ、膜は座屈され、その結果として双安定挙動が生じる。仮にＣ型クランプが図６Ａ−Ｂに示すように、反対の方向を向いて配置されると、Ｃ型クランプ６０２，６０４，６０６，６０８への圧縮力は横方向への動きのよりもむしろ膜６００の曲げを生じさせる。この曲げは座屈及び双安定挙動を生じさせるための他の手法である。更に他の実施形態では、図７に示すように、座屈梁の端部７００，７０２を支持基板７０４に結合させること（例えば微細溶接）によって双安定性を生じさせるため、膜は座屈される。座屈梁７００，７０２の端部は、それらが平らな状態のときの長さよりも短い距離で結合されるため、座屈が生じる。生じさせられた座屈は小型弁の２つの状態に応じて２様が発生する。図７に示すように、座屈が上方向である場合には駆動表面７０６は位置が上昇する。好ましくは、４以上の溶接個所を設け、各座屈梁に一つの溶接個所を設ける。他の実施形態では、座屈梁の座屈は座屈梁の一部又は全長に渡っての不均一なせん断応力によって生じ、その表面に沿った張力が生じる。例えば、梁に座屈を生じさせるために、第２部材の層を座屈梁の第１部材の上に析出させることができる。上の例を踏まえて、当業者ならば様々な他の手法が座屈及び所望の双安定挙動を発生させるために使用することができることを認識することができるであろう。
【０００８】
様々なアクチュエータ構造やメカニズムが開及び閉状態を切り替えるために使用され得る。一般的には、アクチュエータは可動要素の全部又は一部に力を加えるにより切替を実施する。力は駆動表面、又は双安定要素、又はそれらの両方に加えられる。力は機械的、静電気的、磁気的、電磁気的又は他の形式による力である。例えば、図８は２個の電磁石からなる磁気アクチュエータの第１実施形態を示す断面図である。第１電磁石はアーマチュア８００と導電性コイル８０４からなり、第２電磁石はアーマチュア８０２と導電性コイル８０６からなる。2個の電磁石は可動要素膜８０８の上部及び下部に位置する。膜８０８はフェリ磁性又は強磁性の物質であるか、又はそれらを含み、又はそれらが取り付けられており、第１又は第２の電磁石の活性化により膜（すなわち、座屈梁、又は駆動表面、又は両方）へ磁力が作用する。第１の電磁石が活性化された時、第１の力（例えば、上方向）により可動部品が第１状態から第２状態へと切り替わり、第２の電磁石が活性化された時、第２の力（例えば、下方向）が生じ可動部品が第２状態から第１状態へと切り替わる。各状態は安定であるため、電磁石は切替のための駆動のみが必要となる。仮に強磁性物質を使用した場合には、図９に示すように、アクチュエータとして電磁石は一つで十分である。この例では、膜９０４は強磁性部位９０６を含む。導電性コイル９０２とアーマチュア９００は、磁化された部位９０６に十分に近い位置に設置されるため、電磁石の活性化により膜に力が作用する。コイル９０２を通過する電流の向き（すなわち、極性）を逆にすることによって、力は第１方向（例えば、引力で上向き）又は第２方向（例えば、反発力で下向き）となる。上記の実施形態の代替として、適した磁気特性を持たない物質から膜を作成することが望ましい場合には、磁気特性を持つ層を膜に付加する（例えば、フェリ磁性又は強磁性の物質を膜状に蒸着することによって）。例えば、図１２に示すように、機械的な双安定性のために適した弾力性のある特性を持つ第１物質からなる膜の第１層１２００と、所望のフェリ磁性又は強磁性の特性を持つ第２物質からなる第２蒸着層１２０２とから膜は形成される。更に他の実施形態では、図１０に示すように、膜１０００は、アーマチュア１００４及びアーマチュアコイル１００６からなる電磁石と磁気的に作用する導電性の膜コイル１００２が取り付けられる。例えば、膜コイル１００２は駆動表面の中央付近に配置される。第１電流がアーマチュアコイル１００６を通って流れ、第２電流が膜コイル１００２を通って流れた時、二つのコイルから生じた磁場の相互作用により膜と電磁石の間に力が生じる。力の向きは２つのそれぞれの電流の向きに依存する。このように、二つの電流の内の一方の向きを逆にすることによって力の向きは逆になり、２つの状態の間での切替が可能となる。この実施形態の変形として、アクチュエータの電磁石を永久磁石に取り替えることができ、切替は膜コイルの電流によって制御される。他の実施形態では、上記した電磁石のいくつかを例えばプリント回路基板技術を用いて１以上の平板コイルとすることができる。上記した磁気アクチュエータの実施形態において電流の大きさ��、双安定要素の機械的安定性に打ち勝ち、一方の状態から他方の状態へと切り替えることができるような十分な力が供給されることを確実にするよう適切に選択される。
【０００９】
他の実施形態では、静電気力が２つの状態を切り替えるために使用される。静電気力は好ましくは膜及び１以上の電極に帯電させることによって発生させられる。例えば、図１１は導電性膜１１００と、表面が膜と平行な電極１１０２と、電圧源１１０４を示す概略図である。電圧源が膜１１００及び電極１１０２に同じ極性の電荷を生じさせた時に、反発（下方向の）の静電気力が生じる。電圧源が反対の極性の電荷を生じさせた時に、引力（上方向の）の力が生じる。従って、膜１１００及び電極１１０２に供給される電圧の大きさ及び極性を制御することによって、２つの状態間の切替が実施される。他の実施形態として、図１１Ｂに示されるように、膜１１１０の上方及び下方に設置された２つの平行な電極１１０６及び１１０８を使用して、２つの異なる方向への静電気力を膜に発生ことが可能である。２つの電圧源１１１２，１１１４は電極の帯電を制御する。２つの電極は時間を分けて（すなわち、開状態に切り替えるために一方を単独で使用し、閉状態に切り替えるために他方を単独で使用する）、又はそれらを反対の極性で一緒に作動させる（すなわち、一方は膜を引き付け、同時に他方は膜を押し出す）。後者の場合には、電圧の極性は切替の方向を逆にするために逆にされる。上記した静電気力アクチュエータの実施形態では、膜１１００は全体又は一部が導電性物質から形成される、或いは導電性物質が取り付けられる（例えば、膜に導電性物質を蒸着することによって）。電圧の大きさは双安定要素の機械的な安定性に打ち勝つために十分な静電気力を生じるように選択される。エネルギは切替時に供給される分のみ必要であることを再び強調しておく。一旦、開状態又は閉状態になると、エネルギの供給は必要ない。
【００１０】
当業者であれば、磁気的及び静電気的な力以外の他形式の力によっても可動部品の状態を変化させることができることを認識できるであろう。例えば、アクチュエータは状態を変化させるために可動部品への直接の機械的な接触によって機械的な力を与えることができる。
【００１１】
本発明のいくつかの実施形態において、可動部品の膜及び／又は弁出口オリフィスは、装置の閉状態における流体管のシールを強化するため形状及び／又はシール要素が付加される。例えば、図１３Ａは弁ケーシング１３０２の穴として形成された流体管の出口オリフィス１３００を表す断面図である。膜駆動表面１３０６に取り付けられた柔軟層１３０４はシール要素として作用する。図１３Ａは可動部品の開状態を示す。閉状態では、駆動表面１３０６及び取り付けられたシール要素１３０４は上方に位置し、シール要素１３０４は出口オリフィス１３００を塞ぐ。代替として、図１３Ｂに示すように、Ｏリング１３０８のようなシール要素が出口オリフィス１３１４の周りのケーシング部材１３１０に取り付けられると、膜１３１２が上方に移動して閉状態となった時にＯリング１３０８は出口オリフィス１３１４を通って流体が流れるのを防止するためのシールとなる。図１３Ｃは類似の実施形態であり、シール要素１３１６はケーシング部材１３１８に取り付けられたオリフィスを有する柔軟層として形成され、そのオリフィスは出口オリフィス１３２０と一直線となる。膜がシール要素１３１６に対して上方に移動し閉状態となったとき、シール要素１３１６は膜１３２２とシールを形成する。更に他の実施形態では、シール要素は可動膜１３２６及びケーシング１３２４の両方上の部品からなる。この例では、シール要素は膜１３２６に取り付けられた円錐形の栓状部品１３３０と、オリフィス１３３２に一致したオリフィス部品１３２８とからなる。２つの部品１３２８及び１３３０は、膜１３２６が閉状態に位置した時に流体シールを形成するように互いが一致するように設計される。シール要素に関する上記の全ての実施形態では、シール要素の目的は、弁が閉状態となった時の出口オリフィスを通っての流体の漏れを減少又は最小化することである。
【００１２】
上記の様々な実施形態の小型弁は、溶接、キュアリング、結合、電気メッキ、化学メッキ、スパッタリング、エッチング、切断、レーザ切断、掘削等を含む半導体及びプリント回路基板（ＰＣＢ）技術のような周知の膜製造（ＬＭ）プロセスによって形成される。可動部品は、好ましくは金属又は高分子化合物、複合材料からなる。磁性駆動の場合には、可動部品は好ましくは高透磁性及び高飽和磁化、低固有保磁力の特徴を持つ軟磁性材料からなる。例えば、適した材料はＨｙ−Ｍｕ８０のようなＮｉ−Ｆｅ合金である。ケーシングは一般的に磁気回路の一部であるが、それを通過する磁束の量は小さいオーダーである。従って高い構造特性を有する一般的な軟磁性材料、すなわちＦｅ−Ｓｉ合金のような高ヤング率及び高降伏点を有する材料で作成されることが好ましい。電気駆動の場合には、可動部分は、例えば銅、ニッケル、アルミニウム、ドープされたシリコン等の導電性材料で作成され得る。ケーシングは、好ましくは電気的破壊を避けるため十分な絶縁耐力を有する非導電性の材料、例えば繊維強化エポキシ、カプトン、ポリアクリル、ＰＶＣで作成される。シール部材は、好ましくは低磨耗で、高耐食性、広範囲な硬さを有するエラストマから作成される。膜上のシール層は閉状態でのシールをぴったりとさせることを容易にする。このようなシール能力は安定稼動に対して重要な特性であり、特に流体が低分子量の気体であればなおさらである。例えば紫外線（ＵＶ）硬化性シリコンゴムによって作成される非常に薄いシール層は、膜上にスピンコートされ得る。これは上記したＬＭプロセスの一部である。
【００１３】
上記した小型弁の構造は、駆動表面から区別され、またケーシングからも区別された双安定要素（例えば座屈梁）を有することについて言及する。当業者によって認識されるように、双安定構造は機械的に平衡である２つの安定状態を有する。小型弁において、これらの状態は開状態及び閉状態に一致する。アクチュエータは開状態又は閉状態の間は駆動される必要はないため、弁はエネルギ効率が良い。更に、本発明の小型バルブは他の公知の弁に比べて切替速度が速い。
【００１４】
多くの実施可能な実用的な装置の内、本発明は特に小型の燃料電池に適している。半導体及びプリント回路基板（ＰＣＢ）技術のような膜製造（ＬＭ）プロセスは、ミリメータ以下の範囲での２Ｄパターニングの能力が確立されているため、燃料電池の製造にとって魅力的である。ここで開示した双安定小型弁もまたＬＭプロセスによって製造され得る。結果として、ＬＭプロセスはコスト効率が高く、小型燃料電池に対して同じ製造プロセスの一部として容易に組み入れることができる。
【００１５】
更に、電磁アクチュエータに対して、ＰＣＢ技術は磁気励起のための平坦かつ薄いコイルの作成にも役立つ。ソレノイド型の磁気アクチュエータと比較して、本システムは簡潔かつ小型にパッケージ化することができ、より小さな電流でより高い力を達成することができる。
【００１６】
当業者によって認識されるように、本発明の本質から逸脱することなく様々な変更、付加、修飾、代替を行うことが可能である。例えば、本発明は駆動力のタイプ、流体のタイプ、弾性部分の物質組成、膜の上に一体化されるシール構造の物質及び形状、流体部分や機械的及び電気的接続を含むパッケージングの物質及び形状によって制限されない。
【００１７】
従って、本発明はここに示され、又は記載されたものによって制限され、定められると解釈すべきではない。更に、本発明の本質が不明りょうとなるのを避けるため、公知の方法、手順、システム、要素、部品は詳細について説明していない。当業者によって理解されるように、以下に開示する図面は本発明の最適な実施形態を示しており、本発明を制限するものと解釈すべきではない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】電磁アクチュエータを有する小型弁の形態を示す側断面図である。
【図２】第１実施形態に係る駆動表面及び座屈梁を有する小型弁の膜を示す平面図である。
【図３】第２実施形態に係る、駆動表面と、座屈梁と、膜を支持する弾力性梁とを有する小型弁の膜を示す平面図である。
【図４】曲げによって座屈を生じさせるべくＣ型クランプを使用した双安定弁の構造を示す斜視図である。
【図５Ａ】圧縮によって膜に座屈を生じさせるべくクランプ構造を使用した双安定挙動を示す側断面図である。
【図５Ｂ】圧縮によって膜に座屈を生じさせるべくクランプ構造を使用した双安定挙動を示す側断面図である。
【図６Ａ】圧縮によって曲げ力を生じさせるべくＣ型クランプ構造を使用した双安定挙動を示す側断面図である。
【図６Ｂ】圧縮によって曲げ力を生じさせるべくＣ型クランプ構造を使用した双安定挙動を示す側断面図である。
【図７】座屈を生じさせるべく基板に微細溶接を施した、組み立て前の座屈した膜を示す斜視図である。
【図８】２つのコイルを使用した膜駆動のための磁気回路の配置を示す概略図である。
【図９】１つのコイルと残留磁気を使用した膜駆動のための磁気回路の配置を示す概略図である。
【図１０】膜コイルを使用した膜駆動のための磁気回路の配置を示す概略図である。
【図１１Ａ】単一平板による静電気駆動の配置を示す概略図である。
【図１１Ｂ】2枚平板による静電気駆動の配置を示す概略図である。
【図１２】座屈梁作動を行う支持層及び磁気特性を有する付加層を有する複合膜を示す斜視図である。
【図１３Ａ】膜上に柔軟層を有するシール形態を示す概略図である。
【図１３Ｂ】アーマチュアにＯリングを有するシール形態を示す概略図である。
【図１３Ｃ】出口オリフィス周辺に柔軟物質を有するシール形態を示す概略図である。
【図１３Ｄ】膜上に円錐要素を有するシール形態を示す概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【国際調査報告】
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2008503876.tif 000023
2008503876.tif 000024