(57)【要約】  汚染の可能性があるガス源から、再使用可能なグレードの六弗化硫黄（ＳＦ６）を回収するためのシステム及び方法が提供される。このシステムは、汚染の可能性があるガス源に接続された抽出容器（１０）を有している。第一の極低温冷却手段（１５）が、前記抽出容器の温度を、ＳＦ６の相転移温度よりも低い温度に下げ、それによって圧力差を生じさせ、この圧力差により、汚染の可能性があるガスが前記抽出容器（１０）の中に導入される。ＳＦ６は、前記抽出容器（１０）の中で液体および／または固体の形態に変わる。凝縮されないコンタミナント・ガスは前記抽出容器（１０）から排気される。回収容器（２２）が、前記抽出容器に接続されている。第二の極低温冷却手段（２５）が前記回収容器（２２）の温度を下げるために使用される。前記抽出容器（１０）の温度を上げることにより圧力差が作り出され、この圧力差により、再使用可能なグレードのＳＦ６が前記回収容器（２２）の中に導入される。
2008501602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
六弗化硫黄を含む汚染の可能性があるガス源から再使用可能なグレードの六弗化硫黄を回収するためのシステムであって、前記システムは、下記構成を有している：
少なくとも一つの抽出容器、この抽出容器は、ガス入口及びガス出口を有し、前記ガス入口は、前記汚染の可能性があるガス源に接続されるように構成されている；
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度まで下げるための第一の極低温冷却手段、ここで、前記極低温まで下げられた温度で、前記少なくとも一つの抽出容器中の圧力が、前記汚染の可能性があるガス源の圧力よりも低くなり、それにより、前記汚染の可能性があるガスが、前記ガス入口を介して前記少なくとも一つの容器の中に導入され、前記汚染の可能性があるガスに含まれている六弗化硫黄が、前記少なくとも一つの抽出容器中で、液体および／または固体の形態に変わる；
前記少なくとも一つの抽出容器が前記極低温まで下げられた温度にあるときに、非凝縮コンタミナント・ガスを、前記少なくとも一つの抽出容器から前記ガス出口を介して排出するための排出手段；
前記非凝縮ガスを排出した後に、前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、前記極低温まで下げられた温度から実質的に露点温度まで上昇させるための手段、ここで、前記露点温度で、再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの抽出容器中に存在し、且つ、凝縮性のコンタミナントは液体および／または固体の形態であり、且つ、温度を実質的に露点温度まで上げることにより、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力を上昇させる；
少なくとも一つの回収容器、この回収容器は、ガス入口を有し、前記少なくとも一つの抽出容器の前記ガス出口に接続されるように構成されている； 
前記少なくとも一つの回収容器の温度を、六弗化硫黄の相転移温度よりも低い温度まで下げるための第二の極低温冷却手段、ここで、前記極低温まで下げられた温度で、前記少なくとも一つの回収容器中の圧力は、実施的に前記露点温度にあるときの前記少なくとも一つの抽出容器中の圧力よりも低く、また、前記少なくとも一つの回収容器のガス入口を前記少なくとも一つの抽出容器のガス出口に接続することにより、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄が前記少なくとも一つの回収容器の中に導入される。
【請求項２】
下記特徴を有する請求項１に記載のシステム：
前記第一の極低温冷却手段は、液体窒素バスであって、その中に前記少なくとも一つの抽出容器が、浸漬される。
【請求項３】
下記特徴を有する請求項１または２に記載のシステム：
前記第二の極低温冷却手段は、液体窒素バスであって、その中に前記少なくとも一つの回収容器が浸漬される。
【請求項４】
下記特徴を有する、請求項２に従属する時の請求項３に記載のシステム：
前記第一及び第二の極低温冷却手段は、単一の液体窒素バスの一部である。
【請求項５】
下記特徴を有する請求項１から４のいずれか１項に記載のシステム：
前記排出手段は、真空ポンプを有している。
【請求項６】
下記特徴を有する請求項１から５のいずれか１項に記載のシステム：
前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスを捕集するための貯蔵容器を、更に有している。
【請求項７】
下記特徴を有する請求項１から６のいずれか１項に記載のシステム：
前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスは、四弗化炭素（ＣＦ４）を含み、
前記システムは、前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスから、前記ＣＦ４を抽出するための手段を、更に有している。
【請求項８】
下記特徴を有する請求項７に記載のシステム：
前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスから、前記ＣＦ４を抽出するための前記手段は、部分蒸留の技術を用いる。
【請求項９】
下記特徴を有する請求項１から８のいずれか１項に記載のシステム：
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を上げるための前記手段は、加熱手段を有している。
【請求項１０】
下記特徴を有する、請求項２、または請求項２従属する時の請求項３から９のいずれ１項に記載のシステム：
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を上げるための前記手段は、前記少なくとも一つの抽出容器を前記液体窒素バスからを取り除くための手段を有している。
【請求項１１】
下記特徴を有する請求項１から１０のいずれか１項に記載のシステム：
サンプリング手段を更に有し、このサンプリング手段は、前記汚染の可能性があるガス源と、前記少なくとも一つの抽出容器のガス入口の間に配置され、前記汚染の可能性があるガスが前記少なくとも一つの抽出容器に入るときに、前記汚染の可能性があるガスのサンプルを選択的に収集するために用いられる。
【請求項１２】
下記特徴を有する請求項１から１１のいずれか１項に記載のシステム：
化学的濾過手段を更に有し、この化学的濾過手段は、前記少なくとも一つの抽出容器のガス入口と、前記少なくとも一つの回収容器のガス入口の間に配置され、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄が前記少なくとも一つの抽出容器から前記少なくとも一つの回収容器に入るときに、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄から更なる不純物を選択的に取り除くために用いられる。
【請求項１３】
下記特徴を有する請求項１から１２のいずれか１項に記載のシステム：
前記極低温まで下げられた温度での、圧力前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力は、実質的に、０．１ｋＰａである。
【請求項１４】
下記特徴を有する請求項１から１３のいずれか１項に記載のシステム：
前記露点温度は、約−４０℃であり、
前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力は、実施的に前記露点温度で、約３５０ｋＰａである。
【請求項１５】
六弗化硫黄を有する汚染の可能性があるガス源から、再使用可能なグレードの六弗化硫黄を回収するための方法であって、前記方法は、下記のステップを含んでいる：
少なくとも一つの抽出容器を極低温の温度に下げ、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度にする、このとき、前記極低温まで下げられた温度で、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力は、前記汚染の可能性があるガス源の圧力よりも低い；
前記少なくとも一つの抽出容器を汚染の可能性があるガス源と流路でつなげ、少なくとも一つの抽出容器と汚染の可能性があるガス源の間の圧力差のために、前記汚染の可能性があるガスを前記少なくとも一つの抽出容器の中に導入する、このとき、前記汚染の可能性があるガスの中に含まれている六弗化硫黄が、前記少なくとも一つの抽出容器の中で液体および／または固体の形態に変わる；
前記少なくとも一つの抽出容器が前記極低温まで下げられた温度にあるときに、非凝縮コンタミナント・ガスを前記少なくとも一つの抽出容器から排出する；
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、前記極低温まで下げられた温度から、実質的に露点温度まで上げる、このとき、前記露点温度で、再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの抽出容器の中に存在し、そして、凝縮性のコンタミナントは液体および／または固体の形態であり、且つこのとき、温度を実質的に露点温度まで上げることによって、前記少なくとも一つの抽出容器の圧力を上昇させる；
少なくとも一つの回収容器の温度を極低温まで下げて、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度する、ここで、前記極低温まで下げられた温度で、前記少なくとも一つの回収容器の中の圧力は、実施的に前記露点温度の時の前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力よりも低い； 
前記少なくとも一つの回収容器を、前記少なくとも一つの抽出容器と流路でつなげ、少なくとも一つの回収容器と少なくとも一つの抽出容器の間の圧力差のために、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスを前記少なくとも一つの回収容器に導入する。
【請求項１６】
下記特徴を有する請求項１５に記載の方法：
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を極低温まで下げる前記ステップは、前記少なくとも一つの抽出容器を液体窒素バスの中に浸漬することを含んでいる。
【請求項１７】
下記特徴を有する請求項１５または１６に記載の方法：
前記少なくとも一つの回収容器の温度を極低温まで下げる前記ステップは、前記少なくとも一つの回収容器を液体窒素バスの中に浸漬することを含んでいる。
【請求項１８】
下記特徴を有する、請求項１６に従属する時の請求項１７に記載の方法：
同一の液体窒素バスが、前記少なくとも一つの抽出容器及び前記少なくとも一つの回収容器の双方のために使用される。
【請求項１９】
下記特徴を有する請求項１５から１８のいずれか１項に記載の方法：
前記排出ステップは、非凝縮コンタミナント・ガスを、前記少なくとも一つの抽出容器から真空で吸引することを含んでいる。
【請求項２０】
下記特徴を有する請求項１５から１９のいずれか１項に記載の方法：
排出された非凝縮コンタミナント・ガスを、貯蔵のために、捕集することを更に含んでいる。
【請求項２１】
下記特徴を有する請求項１５から２０のいずれか１項に記載の方法：
前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスは、四弗化炭素（ＣＦ４）を含有し、
前記方法は、前記ＣＦ４を前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスから抽出することを、更に含んでいる。
【請求項２２】
下記特徴を有する請求項２１に記載の方法：
前記ＣＦ４を前記排出された非凝縮コンタミナント・ガスから抽出する前記ステップは、部分蒸留の技術を用いて実施される。
【請求項２３】
下記特徴を有する請求項１５から２２のいずれか１項に記載の方法：
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を上げる前記ステップは、加熱手段を使用することを含んでいる。
【請求項２４】
下記特徴を有する、請求項１６、または請求項１６に従属する時の請求項１７から２３のいずれか１項に記載の方法：
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を上げる前記ステップは、前記少なくとも一つの抽出容器を、前記液体窒素バスから、取り出すことを含んでいる。
【請求項２５】
下記特徴を有する請求項１５から２４のいずれか１項に記載の方法：
前記汚染の可能性があるガスが前記少なくとも一つの抽出容器の中に入るときに、前記汚染の可能性があるガスのサンプルを収集するステップを更に含んでいる
【請求項２６】
下記特徴を有する請求項１５から２５のいずれか１項に記載の方法：
前記六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの回収容器の中に入るときに、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスを化学的に濾過するステップを、更に含んでいる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、再使用可能なグレードの六弗化硫黄を汚染の可能性があるガス源からを回収するためのシステム及び方法に係る。
【背景技術】
【０００２】
多くの産業において、六弗化硫黄（ＳＦ６）ガスの雰囲気中で運転されることが要求される設備が使用されている。一つの特定の産業は、電力供給産業である。ＳＦ６は、電気伝導度が非常に低いと言う特徴を有しており、このことにより、高電圧設備、例えば、電気的サーキット・ブレーカやトランスのための、非常に適切な絶縁ガスとして用いられている。多くの設備生産者は、設備が新しいＳＦ６を用いて運転されなければならないと規定している。産業標準は、使用可能なＳＦ６の規定を満足するために、ＳＦ６とともに存在することが可能な不純物のレベル及びタイプについて規定している。
【０００３】
新しいＳＦ６は、かなり高価である。更に、ＳＦ６は、温室効果に対するその潜在的寄与に関して、深刻な環境問題を抱えている。これらの環境問題が、ＳＦ６のハンドリング及び雰囲気へのＳＦ６の放出を最小にするためのコストを増大させている。
【０００４】
ＳＦ６の通常のハンドリングは、高電圧設備のライフサイクルの中で、周期的に発生する。ＳＦ６ガスは、設備がサービスされ、修理されまたは撤去される前に、設備から取り除かれなければならない。そのようなハンドリングの際に、更なるコンタミナント、例えば、空気、油及び水などが、ＳＦ６の中に混入する可能性がある。
【０００５】
従って、取り除かれたＳＦ６が、使用可能なＳＦ６の基準から外れることがあり、そのために、しばしば、再使用が困難になる。上記の他のコンタミナントも、設備の中での通常の使用によって、取り除かれたＳＦ６の中に存在し得る。その例は、アークにより生成されるＣＦ４である。国際電子委員会（The International Electrotechnical Commission）のＩＥＣ６０４８０：“Guide to the checking and treatment of sulphur hexafluoride（ＳＦ６） taken from electrical quipment”，２００４年１０月発行，は、様々なタイプの不純物の可能性がある起源に関する情報を、以下のように提供している：
【表１】
2008501602.tif 000003
【０００６】
ＩＥＣ６０４８０は、更に、再使用可能なＳＦ６の中に存在可能な汚染レベルの推奨される最大値を、以下のように提供している：
【表２】
2008501602.tif 000004
【０００７】
ガスの漏洩の状況において、環境問題のために、漏洩ガスは、その量が増大しながら閉じ込められ、それは、密閉空間から取り除かれるまで続く。しかしながら、閉じ込められている間にも、ＳＦ６は、かなりの汚染に曝される。従って、密閉空間から取り除かれたＳＦ６は、使用可能なＳＦ６のための基準から外れることもあり得る。
【０００８】
既存のＳＦ６ガス回収設備は、通常、高圧力ポンプ及び大きな貯蔵容器を使用する。密閉容器の中へ新しく送り込まれたガスの体積は、比較的大きい。効率を確保するために、ポンプは、大きな容量を有していなければならない。
【０００９】
しかしながら、ＳＦ６のハンドリングに適したこの種の大容量ポンプは、取り扱いが面倒で且つ高価な設備である。そのようなポンプは、ＳＦ６の分解生成物の内の幾つかによる、化学的アタックから保護しなければならず、また、ガスの流れは、ガスがポンプの中に入る前に、濾過され、精製されなければならない。更に、ＳＦ６ガス回収には、相当な時間がかかり、そのことは、特にガスの漏洩の状況においては、好ましくない。
【００１０】
米国特許第ＵＳ４，２７４，８５１号明細書（本願の発明者による）には、極低温ポンピングを用いて、高電圧設備からガスを回収するための装置が開示されている。この極低温ポンピングは、大容量のポンプ設備の有効な代替案であることが見出された。しかしながら、この開示の中に、再使用可能な十分に純粋な形態のＳＦ６をどのように作り出すかについては示されていない。
【特許文献１】米国特許第ＵＳ４，２７４，８５１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、再使用可能なグレードのＳＦ６を回収するためのシステム及び方法を提供することにあり、ここで、前記再使用可能なグレードのＳＦ６とは、ＩＥＣ−６０４８０による純度の標準を満足するものである。本発明の更なる目的は、電気的な設備からＳＦ６を迅速に抽出する手段を提供することにあり、この手段は、例えば、ＳＦ６の分解生成物による化学的アタックに対して感受性を示さない設備を使用し、且つ、その後に別の場所で、その後に続く精製を可能にするものである。
【００１２】
本発明の更なる目的は、大容量ポンプ設備を使用する必要がない、ＳＦ６の回収方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第一のアスペクトによれば、六弗化硫黄を含む汚染の可能性があるガス源から再使用可能なグレードの六弗化硫黄を回収するためのシステムが提供される。
【００１４】
このシステムは、下記構成を有している：
ガス入口及びガス出口を有する少なくとも一つの抽出容器、ここで、前記ガス入口は、前記汚染の可能性があるガス源に接続されるように構成されている；
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度に下げるための第一の極低温冷却手段、ここで、前記極低温まで下げられた温度で、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力は、汚染の可能性があるガス源の圧力よりも低く、それによって、前記汚染の可能性があるガスを、前記ガス入口を介して、前記少なくとも一つの容器の中に導入し、前記汚染の可能性があるガスの中に含まれている六弗化硫黄が、前記少なくとも一つの抽出容器の中で、液体および／または固体の形態に変わる；
前記少なくとも一つの抽出容器が前記極低温まで下げられた温度にあるときに、非凝縮コンタミナント・ガスを、前記少なくとも一つの抽出容器から前記ガス出口を介して排出するための排出手段；
前記非凝縮ガスを排出した後に、前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、前記極低温まで下げられた温度から、実質的に露点温度まで上昇させるための手段、ここで、前記露点温度において、再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの抽出容器の中に存在し、凝縮性のコンタミナントは液体および／または固体の形態であり、且つ、温度を実質的に露点温度まで上げることにより、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力を上昇させる；
前記少なくとも一つの抽出容器の前記ガス出口に接続されるように構成されたガス入口を有する少なくとも一つの回収容器；
前記少なくとも一つの回収容器の温度を、六弗化硫黄の相転移温度よりも低い温度まで下げるための第二の極低温冷却手段、ここで、前記極低温まで下げられた温度において、前記少なくとも一つの回収容器の中の圧力は、実施的に前記露点温度のときの前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力よりも低く、且つ、前記少なくとも一つの回収容器のガス入口を前記少なくとも一つの抽出容器のガス出口を接続することにより、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄が前記少なくとも一つの回収容器の中に流入することが可能になる。
【００１５】
本発明の第二のアスペクトによれば、六弗化硫黄を含む汚染の可能性があるガス源から再使用可能なグレードの六弗化硫黄を回収するための方法が提供される。
【００１６】
この方法は、下記のステップを含んでいる：
少なくとも一つの抽出容器の温度を極低温まで下げて、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度にする、ここで、前記極低温まで下げられた温度において、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力は、汚染の可能性があるガス源の圧力よりも低い；
前記少なくとも一つの抽出容器を、汚染の可能性があるガス源と流路でつなげ、少なくとも一つの抽出容器と汚染の可能性があるガス源の間の圧力差のために、前記汚染の可能性があるガスが前記少なくとも一つの抽出容器の中に流入することを可能にし、前記汚染の可能性があるガスの中に含まれている六弗化硫黄が、前記少なくとも一つの抽出容器の中で液体および／または固体の形態に変わる；
前記少なくとも一つの抽出容器が前記極低温まで下げられた温度にあるときに、非凝縮コンタミナント・ガスを前記少なくとも一つの抽出容器から排出する；
前記少なくとも一つの抽出容器の温度を、前記極低温まで下げられた温度から、実質的に露点温度まで上げる、ここで、前記露点温度において、再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの抽出容器の中に存在し、凝縮性のコンタミナントは液体および／または固体の形態であり、且つ、温度を実質的に露点温度までを上げることによって、少なくとも一つの抽出容器の中の圧力を上昇させる；
少なくとも一つの回収容器の温度を極低温まで下げて、六弗化硫黄ガスの相転移温度よりも低い温度にする、ここで、前記極低温まで下げられた温度において、前記少なくとも一つの回収容器の中の圧力は、実施的に前記露点温度であるときの、前記少なくとも一つの抽出容器の中の圧力よりも低い；
前記少なくとも一つの回収容器を、少なくとも一つの抽出容器と流路でつなげ、少なくとも一つの回収容器と少なくとも一つの抽出容器の間の圧力差のために、前記再使用可能なグレードの六弗化硫黄ガスが前記少なくとも一つの回収容器の中に流入することを可能にする。
【００１７】
本発明は、好ましくも、再使用可能なグレードでの、ＳＦ６の効率良い回収を提供する。本発明は、現場で組み立て可能なモジュラー構成の設備を用いて、都合良く実現されることが可能である。回収されたＳＦ６は、後の使用のために、都合良く保管されることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の更なる特徴及びアスペクトは、添付図面を参照しながら示される好ましい実施形態についての以下の説明から明らかになるであろう。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態によれば、汚染の可能性があるガス源から再使用可能なグレードのＳＦ６を回収するためのシステムが提供される。  
このシステムは、二つの極低温ポンピング・ステップを用いる。第一の極低温ポンピング・ステップでは、汚染の可能性があるガスをその源から抽出する。上記の源は、ＳＦ６の雰囲気の中で運転される設備の一部であっても良い。そのような設備は、例えば、高電圧サーキット・ブレーカまたはトランスであり、または、上記の源は、漏洩したＳＦ６が閉じ込められる体積であっても良い。第二の極低温ポンピング・ステップは、再使用可能なグレードのＳＦ６を回収するために使用される。
【００２０】
図１に、回収システムの好ましい実施形態を示す。このシステムは、複数のモジュラー・コンポーネントからなり、それらのコンポーネントは、当該システムが必要なったときに容易に組み立てられ、また、当該システムが必要とされなくなったときに分解される。システムを複数のモジュラー・コンポーネントで構成することによって、当該システムが必要とされないときに保管が容易になり、このことは、そのようなシステムが現場に容易に保管されることを意味している。しかしながら、固定的な設備も同様に可能であることも理解されるであろう。
【００２１】
システム・ガス入口１は、ＳＦ６が収容される電気的な設備のガス出口への接続のために適した継手を備えた状態で示されている。入口１は、分離の目的のための調整バルブ２を有し、フレキシブル・ホース３に接続されている。
【００２２】
ホース３は、サンプリング・モジュール６に接続された状態で示されている、このサンプリング・モジュールは、バルブ及びサンプル・ボンベを有している。第一の極低温ポンピング・ステップの間に、抽出されたガスのサンプルが、サンプル・ボンベのバルブを開け、バルブ２を除く全ての他のバルブを閉じることにより、採取される。サンプルが採取された後、サンプル・ボンベのバルブが閉じられる、そして、汚染の可能性があるガスが、直接、抽出モジュール９へ流れることが可能になる。シールされたサンプル・ボンベ６は、一旦ガスの抽出が完了すれば、後の段階で取り外されることが可能である。
【００２３】
もし、システムへの入口でのサンプリングが必要とされるステップではない場合には、システムが、サンプリング・モジュール６無しで組み立てられることも可能である。ホース３は、抽出モジュール９に直接接続されることも可能である。
【００２４】
図１において、抽出モジュール９は、対応する圧力計１１を有する単一のボンベ（ベッセル）１０を有するものとして示されている。共通のボンベのサイズは、１０，２５及び５０ｋｇの容量のボンベを含んでおり、それらは、収容可能なガスの質量とほぼ同等の質量を、それら自身で有している。しかしながら、大きい量のガスが抽出される場合には、抽出モジュール９に対してより大きい容量が要求される。
【００２５】
図２ａ及び２ｂに、抽出モジュール９のための代替案となる構成を示す。ここでは、複数のシリンダ１０が、ヨーク２６によって一つにまとめられている。この代替案の構成において、各ボンベ１０のバルブは、同一のセッティングに回転される。この代替案の構成おけるモジュラー構造により、必要に応じて、様々な形態に組み立てられることが可能になることが、理解できるであろう。テストの結果によれば、４００ｋｇまでの抽出モジュール（８つの５０ｋｇシリンダがまとめられている）は、多くの適用対象に対して十分な実用的容量を有しており、機能的な要求を満足した。
【００２６】
汚染の可能性があるガスの抽出を開始するために、即ち第一の極低温ポンピング・ステップを開始するために、抽出モジュール９のボンベ１０が、液体窒素バス１５の中に浸漬される。液体窒素は、抽出ボンベ１０の温度を非常に低い温度に下げ、その温度で、ＳＦ６が抽出ボンベ１０の中で凝縮される。抽出ボンベ１０の中の圧力が低下し、それによって、非常に強いポンピング効果を、抽出モジュールと汚染の可能性があるガス源の間で作り出し、汚染の可能性があるガスを、その源から抽出モジュール９の中へ流入させる。
【００２７】
一旦、抽出プロセスが完了すると、各ボンベ１０の中の圧力は、約０．１ｋＰａ（約１Ｔｏｒｒ）よりも低くなり、その値は、抽出のための許容される時間の長さ、及び、不純物として存在する非凝縮性のガス（例えば空気）の量に依存する。
【００２８】
もし、汚染の可能性があるガスの抽出に続いて、ＳＦ６の回収が直ちに要求されていない場合には、プロセスをこの時点で休止させることが可能である。この抽出モジュール９は、シールされることが可能であり、または、各ボンベ１０は、シールされてシステムから取り外されることが可能であり、後に回収処理が必要になるときまで保管されることが可能である。漏洩の状況において、高電圧装置についての他のメインテナンス作業は、実際の回収プロセスよりも高い優先度を持つことがあり得る。
【００２９】
好ましくは、一旦、抽出プロセスが完了した後に、システムは、再使用可能なＳＦ６の後続の回収のために使用される。回収プロセスの第一のステップは、非凝縮コンタミナント（例えば、空気及びＣＦ４）の抽出モジュール９及びボンベ１０からの除去である。
【００３０】
図１に戻って、バルブ１６，１７、及びサンプリング・ボンベ６のバルブが閉じられる。バルブ１８，１９及び２４が開けられ、真空ポンプ２０がバルブ２４に接続される。非凝縮コンタミナントは、そのとき、抽出モジュール９及びボンベ１０から抜き出され、凝縮されたＳＦ６及び凝縮されたコンタミナントがボンベ１０の中に残される。
【００３１】
寒冷地に設置される高電圧設備に対しては、高電圧設備への適用の際の要求に合致させるために、大量のＣＦ４をＳＦ６に混入することが効果的なやり方であることが知られている。上記のようにして取り除かれたＣＦ４を個別に回収することも可能である。その場合、再使用のために、部分蒸留の技術を用いて、ＣＦ４の飽和状態の蒸気の性質が利用される。
【００３２】
一旦、非凝縮コンタミナントが取り除かれた後に、第二の極低温ポンピング・ステップが、再使用可能なグレードのＳＦ６を回収モジュール２１の中に回収するために、開始される。図１において、回収モジュール２１は、対応する圧力計２３を有する単一のボンベ（ベッセル）２２を有するものとして示されている。しかしながら、抽出モジュール９と同様に、この回収モジュール２１は、複数のシリンダを一つにまとめたものであっても良い。
【００３３】
第二の極低温ポンピング・ステップを開始するため、抽出ボンベ１０がその液体窒素バス１５から取り除かれ、回収モジュール・ボンベ２２がその液体窒素バス２５の中に浸漬される。実施の際には、使い勝手は悪いが、液体窒素バスを一つのみ使用することも可能である。
【００３４】
抽出ボンベ１０がその液体窒素バス１５から取り除かれたとき、周囲の温度による加熱により温度が上がるために、抽出ボンベ１０の中の圧力が上昇する。ここに示されていない他の加熱手段も、加熱の速度を加速するために使用されることが可能である。
【００３５】
凝縮性の蒸気のみが抽出モジュール９の中に存在する場合には、抽出ボンベ１０の中の圧力が、その温度のための指標として使用されることが可能である。抽出ボンベ１０の中の圧力が約８３０ｋＰａに到達したとき、抽出ボンベ１０の内容物は、約−１６℃の露点温度を有することになる。この露点温度において、移送されたＳＦ６はガス状の形態であり、そして、僅かな量の凝縮したコンタミナント（例えば水及び油）のみが蒸気の形態である。これは、ＩＥＣ−６０４８０の露点についての要求に照らして、再使用可能なグレードのＳＦ６ガスであることが見出された。極低温冷却技術を用いて最低の実用的な露点は約−７０℃であろう。この値は、新しいガスのために規定された値を超えており、容易に実現可能である。
【００３６】
ボンベ２２がその液体窒素バス２５の中に浸漬された状態で、抽出ボンベ１０の中でこの圧力を維持し、且つ、回収モジュール２１を接続することにより、抽出ボンベ１０と回収モジュール・ボンベ２２の間にポンピング効果が作り出され、再使用可能なグレードのＳＦ６ガスを回収モジュール２１の中へ流入させる。
【００３７】
図１に戻って、この流れは、システムの中の全てのバルブを、バルブ１８を除いて閉じることにより、形成されることが可能である。しかしながら、オプションとして、この流れが化学的濾過モジュール２７を介して形成されることも可能であり、それにより、バルブ１８の代わりにバルブ１６及び１７を開けることにより、付加的な化学的に活性なコンタミナントがガスの流れから取り除かれることになる。化学的濾過モジュール２７は、好ましくは、ＩＥＣ−６０４８０の中で推奨されているような既知の化学的濾過手段を使用する。
【００３８】
もし、アウトプットのサンプリングが要求される場合には、即ち回収されたＳＦ６の純度をテストするためには、サンプリング・モジュール６が、回収モジュール２１と化学的濾過モジュール２７の間に接続されることが可能である。
【００３９】
上述のシステムの形態に、添付したクレームの範囲内において、多くの変形を加えることが可能であることが理解できるであろう。例えば、適切な極低温温度を作り出すために、液体窒素の代替となる冷媒を使用することが可能である。同様に、適切な極低温温度を作り出すための他の冷却手段として、冷却剤のバス以外の形態を使用することも可能である。与えられた状況の中に存在しているまたは存在すると予想されるコンタミナントの量及びタイプに応じて、更なる濾過モジュールまたは代替案の濾過モジュールが、システムの中に取り込まれることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施形態による、システムの概略図である。
【図２】（ａ）は、本発明の好ましい実施形態による、大きい抽出モジュールのための代替となる構成の概略図、（ｂ）は、本発明の好ましい実施形態による、大きい抽出モジュールのための代替となる構成の概略図である。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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