(57)【要約】  本発明は、式（Ｉ）によって表される有機アルミニウム前駆体化合物に関する。式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。本発明は、有機アルミニウム前駆体化合物を製造する方法、及びこの有機アルミニウム前駆体化合物から被膜又はコーティングを製造する方法にも関する。2008532932.tif 000016
2008532932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の式で表される有機アルミニウム前駆体化合物であって、
【化１】
2008532932.tif 000012
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す上記有機アルミニウム前駆体化合物。
【請求項２】
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル又はイソプロピルを表し、Ｒ５はメチル、エチル、ｎ−プロピル又はイソプロピルを表す、請求項１に記載の有機アルミニウム前駆体化合物。
【請求項３】
２０℃で液体である、請求項１に記載の有機アルミニウム前駆体化合物。
【請求項４】
ジメチルエチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジメチルエチルエチレンジアミンメチルアルミニウム、トリメチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、トリエチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジエチルメチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジメチルプロピルエチレンジアミンジメチルアルミニウム及びジメチルエチルエチレンジアミンジイソプロピルアルミニウムから選択される、請求項１に記載の有機アルミニウム前駆体化合物。
【請求項５】
下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法であって、
【化２】
2008532932.tif 000013
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、（ｉ）溶媒の存在下で、また前記有機アルミニウム前駆体化合物を含む反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、アルミニウム源化合物を有機ジアミン化合物と反応させること、及び（ｉｉ）前記有機アルミニウム前駆体化合物を前記反応混合物から分離することを含む上記方法。
【請求項６】
前記有機アルミニウム前駆体化合物の収率が６０％以上である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記アルミニウム源化合物が、Ｍｅ３Ａｌ、Ｍｅ２ＡｌＨ、Ｅｔ３Ａｌ、Ｅｔ２ＭｅＡｌ、Ｅｔ２ＡｌＨ及びｉＰｒ３Ａｌから選択される、請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記有機ジアミン化合物が、ジメチルエチルエチレンジアミン、トリメチルエチレンジアミン、トリエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン及びジメチルプロピルエチレンジアミンから選択される、請求項５に記載の方法。
【請求項９】
下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法であって、
【化３】
2008532932.tif 000014
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、（ｉ）溶媒の存在下で、また有機ジアミン塩化合物を含む第１の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で有機ジアミン化合物を塩基物質と反応させること、（ｉｉ）前記第１の反応混合物にアルミニウム源化合物を添加すること、（ｉｉｉ）前記有機アルミニウム化合物を含む第２の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、前記有機ジアミン塩化合物を前記アルミニウム源化合物と反応させること、及び（ｉｖ）前記有機アルミニウム化合物を前記第２の反応混合物から分離することを含む上記方法。
【請求項１０】
前記有機アルミニウム前駆体化合物の収率が６０％以上である、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記有機ジアミン化合物が、ジメチルエチルエチレンジアミン、トリメチルエチレンジアミン、トリエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン及びジメチルプロピルエチレンジアミンから選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記塩基物質が、ｎ−ＢｕＬｉ、ｔ−ＢｕＬｉ、ＭｅＬｉ、ＮａＨ及びＣａＨから選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記有機ジアミン塩化合物が、リチオ化されたジメチルエチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリメチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリエチルエチレンジアミン、リチオ化されたジエチルメチルエチレンジアミン及びリチオ化されたジメチルプロピルエチレンジアミンから選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記アルミニウム源化合物が、Ｍｅ２ＡｌＣｌ、Ｍｅ２ＡｌＢｒ、Ｍｅ２ＡｌＦ、Ｅｔ２ＡｌＣｌ、ＥｔＭｅＡｌＣｌ及びｉＰｒ２ＡｌＣｌから選択される、請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物を分解することによって被膜、コーティング又は粉末を製造する方法であって、
【化４】
2008532932.tif 000015
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、それにより被膜、コーティング又は粉末が製造される上記方法。
【請求項１６】
前記有機アルミニウム前駆体化合物の分解は、熱的、化学的、光化学的又はプラズマ活性化によるものである、請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機アルミニウム前駆体化合物、有機アルミニウム前駆体化合物を製造する方法、並びに有機アルミニウム前駆体化合物からアルミニウム若しくは酸化アルミニウム膜又はコーティングを製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の作製又は加工中、ウエハなどの基板又は他の表面上に物質膜を形成するために、化学気相成長法が使用される。化学気相成長では、化学気相成長化合物としても知られている化学気相成長前駆体を熱分解、化学分解、光化学分解又はプラズマ活性化によって分解して、所望の組成を有する薄膜を形成する。例えば、気相の化学気相成長前駆体を、この前駆体の分解温度よりも高い温度に加熱した基板に接触させて、基板上に金属膜又は金属酸化物膜を形成することができる。好ましくは、化学気相成長前駆体は揮発性であり、熱分解可能で、化学気相成長条件下で均一な被膜を生成することができる。
【０００３】
半導体産業では現在、様々な用途向けに様々な金属の薄膜の使用が検討されている。多くの有機金属錯体が、これらの薄膜を形成するための潜在的な前駆体として評価されてきた。この産業では、新たな化合物を開発し、膜堆積用の化学気相成長前駆体としてのそれら化合物の潜在性を探求する必要性が存在する。化学気相成長用の現在のアルミニウム前駆体は、高粘度、低安定性、自然発火性、低蒸気圧及び高コストを含む多くの欠点に悩まされている。
【０００４】
米国特許第５８８０３０３号は、式Ｈ２Ａｌ｛（Ｒ１）（Ｒ２）ＮＣ２Ｈ４ＮＲ３｝の揮発性で分子内配位したアミド／アミンアラン錯体を開示している。この式中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３はそれぞれ独立に水素又は炭素原子１〜３個を有するアルキルである。これらのアルミニウム錯体は高い熱安定性を示し、低温で高品質アルミニウム膜を堆積させると述べられている。また、これらのアルミニウム錯体は、金属基板又は他の導電性基板上に選択的にアルミニウム膜を堆積させることができるとも述べられている。しかしながら、これらのアルミニウム錯体は、室温で固体又は高粘度の液体のいずれかである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体産業では、化学的不活性、高熱伝導率及び放射抵抗を必要とする用途向けに、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３又は酸化アルミニウム）薄膜が利用される。これらの薄膜は、液晶ディスプレイ、電界発光（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）ディスプレイ、太陽電池、バイポーラデバイス及びシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）デバイスの作製において使用される。加えて、アルミナは、工具作製産業において使用される耐摩耗性で耐食性のコーティングである。大部分のアルミニウム化学気相成長前駆体が自然発火性であり、これによりそれら前駆体の取扱いが困難となる。アミン−アラン類など自然発火性でない前駆体は、短い貯蔵寿命、高粘度及び低蒸気圧に悩まされている。粘度が低く、蒸気圧が高く、且つ貯蔵寿命が長い非自然発火性のアルミナ前駆体を開発することが望ましいはずである。
【０００６】
化学気相成長法又は原子層成長法によって薄膜を形成するための方法の開発では、好ましくは室温で液体であり、十分な蒸気圧を有し、適切な熱安定性を有し（すなわち、化学気相成長では、加熱した基板上で分解することになるが出荷中には分解することがなく、また原子層成長では、熱分解することはないが共反応物（ｃｏ−ｒｅａｃｔａｎｔ）にさらされると反応することになる）、均一な被膜を形成することができ、望ましくない不純物（例えば、ハロゲン化物、炭素等）を残すとしてもほんの少ししか残さない前駆体の必要性が存在し続けている。したがって、新たな化合物を開発し、膜堆積用の化学気相成長前駆体又は原子層成長前駆体としてのそれら化合物の潜在性を探求する必要性が存在し続けている。したがって、上記特性の一部、又は好ましくはすべてを有する前駆体を提供することが、当技術分野では望ましいはずである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、下記の式で表される有機アルミニウム前駆体化合物に関する。
【化１】
2008532932.tif 000003
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。これらの有機アルミニウム前駆体化合物では、前駆体化合物を非自然発火性にするアルミニウム原子を保護するために、キレートアミンを使用する。
【０００８】
本発明はまた、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法にも関する。
【化２】
2008532932.tif 000004
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。この方法は、（ｉ）溶媒の存在下で、また前記有機アルミニウム前駆体化合物を含む反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、アルミニウム源化合物を有機ジアミン化合物と反応させること、及び（ｉｉ）前記有機アルミニウム前駆体化合物を前記反応混合物から分離することを含む。本発明の方法によりもたらされる有機アルミニウム前駆体化合物の収率は、６０％以上でよく、好ましくは７５％以上、より好ましくは９０％以上である。
【０００９】
或いは、本発明は、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法に関する。
【化３】
2008532932.tif 000005
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。この方法は、（ｉ）溶媒の存在下で、また有機ジアミン塩化合物を含む第１の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、有機ジアミン化合物を塩基物質と反応させること、（ｉｉ）前記第１の反応混合物にアルミニウム源化合物を添加すること、（ｉｉｉ）前記有機アルミニウム化合物を含む第２の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、前記有機ジアミン塩化合物を前記アルミニウム源化合物と反応させること、及び（ｉｖ）前記有機アルミニウム化合物を前記第２の反応混合物から分離することを含む。上記方法と同様に、本発明の方法によりもたらされる有機アルミニウム化合物の収率は、６０％以上でよく、好ましくは７５％以上、より好ましくは９０％以上である。
【００１０】
本発明はさらに、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物を分解することによって被膜、コーティング又は粉末を製造する方法に関する。
【化４】
2008532932.tif 000006
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、それにより被膜、コーティング又は粉末が製造される。通常、前記有機アルミニウム前駆体化合物の分解は、熱的、化学的、光化学的又はプラズマ活性化によるものである。
【００１１】
本発明はまた、（ｉ）下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物と、（ｉｉ）１種又は複数種の異なる有機金属前駆体化合物（例えば、ハフニウム含有、タンタル含有又はモリブデン含有有機金属前駆体化合物）とを含む有機金属前駆体混合物にも関する。
【化５】
2008532932.tif 000007
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。
【００１２】
本発明は部分的に、アルミニウム前駆体を含む堆積物に関する。半導体産業では、化学的不活性、高熱伝導率及び放射抵抗を必要とする様々な用途向けに本発明のアルミナ（Ａｌ２Ｏ３又は酸化アルミニウム）薄膜を利用することができる。これらのアルミナ膜は、液晶ディスプレイ、電界発光ディスプレイ、太陽電池、バイポーラデバイス及びシリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）デバイスの作製に有用である。加えて、このアルミナは、工具作製産業において有用な、耐摩耗性で耐食性のコーティングである。
【００１３】
本発明の有機アルミニウム前駆体化合物は、低粘度を示す自由流動液体である。これにより、有機アルミニウム前駆体を既存のバブラー式薬液供給システムにおいて使用することが容易になる。また、本発明の有機アルミニウム前駆体化合物は、貯蔵寿命が長く、これらの化合物を化学気相成長及び原子層成長に適したものにする優れた熱安定性を有し、また非自然発火性であることによりこれらの化合物の取扱い、発送及び保存がより容易に且つより安全になる。
【００１４】
本発明の有機アルミニウム前駆体は室温、すなわち２０℃で液体であり、低粘度を示す。これらの前駆体は、化学気相成長用の既存のバブラー及び直接液体注入システムに容易に分配することができる。このような前駆体は、流体の流れを容易にするための追加の加熱を必要としない。これらの有機アルミニウム前駆体が示す長い貯蔵寿命により、これらの前駆体は経済的なものとなって大きなバッチサイズに生産が拡大され、顧客は、分解について心配する必要なしに現場で大量に保存することができる。大部分のアルミニウム含有前駆体が自然発火性である。自然発火性薬品の危険な性質には、特別な取扱い、適切な訓練及び保護具が必要とされる。本発明の有機アルミニウム前駆体は非自然発火性であり、このことは、特別な装置及び訓練を最小限に抑えてこれらの前駆体を安全に取り扱うことができ、またこれらの前駆体を航空便で発送することができることを意味する。
【００１５】
本発明は、いくつかの他の利点を有する。例えば、本発明の方法は、様々な化学構造及び物理特性を有する有機アルミニウム化合物前駆体を生成する際に有用である。これらの有機アルミニウム化合物前駆体から生成される被膜（すなわち、アルミニウム膜も酸化アルミニウム膜も）は、短いインキュベーション時間で堆積させることができ、これらの有機アルミニウム化合物前駆体からの堆積膜は、優れた平滑性（ｓｍｏｏｔｈｎｅｓｓ）を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
前述のとおり、本発明は、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物に関する。
【化６】
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式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５に使用することができる例示的なアルキル基には、例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル及びイソプリピルが含まれる。
【００１７】
本発明の例示的な有機アルミニウム前駆体には、例えば、ジメチルエチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジメチルエチルエチレンジアミンメチルアルミニウム、トリメチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、トリエチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジエチルメチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジメチルプロピルエチレンジアミンジメチルアルミニウム、ジメチルエチルエチレンジアミンジイソプロピルアルミニウム等が含まれる。
【００１８】
やはり前述のとおり、本発明はまた、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法（本明細書中では「方法Ａ」と称する）にも関する。
【化７】
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式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。この方法は、（ｉ）溶媒の存在下で、また前記有機アルミニウム前駆体化合物を含む反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、アルミニウム源化合物を有機ジアミン化合物と反応させること、及び（ｉｉ）前記有機アルミニウム前駆体化合物を前記反応混合物から分離することを含む。本発明の方法によりもたらされる有機アルミニウム前駆体化合物の収率は、６０％以上でよく、好ましくは７５％以上、より好ましくは９０％以上である。
【００１９】
この方法Ａは、大量生産に特に適しており、なぜなら、同じ装置、幅広い製品を作製するために容易に適合させることができる同じ試薬及びプロセスパラメータの一部を用いて実施することができるからである。この方法により、すべての操作を単一の容器内で行うことができる方法を用いる有機アルミニウム前駆体化合物の合成が提供され、これらの有機アルミニウム前駆体化合物へのこのような経路は中間複合体の分離を必要としない。
【００２０】
方法Ａにおいて使用するアルミニウム源化合物出発物質は、当技術分野で公知の幅広い種類の化合物から選択することができる。このようなアルミニウム源化合物の例には、例えば、Ｍｅ３Ａｌ、Ｍｅ２ＡｌＨ、Ｅｔ３Ａｌ、Ｅｔ２ＭｅＡｌ、Ｅｔ２ＡｌＨ、ｉＰｒ３Ａｌ等が含まれる。
【００２１】
方法Ａにおいて使用するアルミニウム源化合物出発物質の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、有機ジアミン化合物と反応させるために、また使用したい所与のアルミニウム濃度を提供するために必要な最小限の量でありさえすればよく、その最小限の量により、少なくとも本発明の有機アルミニウム化合物に必要なアルミニウム量の基礎が提供されることになる。一般に、反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲のアルミニウム源化合物出発物質濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００２２】
方法Ａにおいて使用する有機ジアミン化合物出発物質は、当技術分野で公知の幅広い種類の化合物から選択することができる。例示的な有機ジアミン化合物には、例えば、ジメチルエチルエチレンジアミン、トリメチルエチレンジアミン、トリエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン、ジメチルプロピルエチレンジアミン等が含まれる。好ましい有機ジアミン化合物出発物質には、ジメチルエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン等が含まれる。
【００２３】
方法Ａにおいて使用する有機ジアミン化合物出発物質の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、塩基出発物質と反応させるために必要な最小限の量でありさえすればよい。一般に、反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲の有機ジアミン化合物出発物質濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００２４】
方法Ａで使用する溶媒は、任意の飽和及び不飽和炭化水素類、芳香族炭化水素類、芳香族複素環類、ハロゲン化アルキル類、シリル化炭化水素類、エーテル類、ポリエーテル類、チオエーテル類、エステル類、チオエステル類、ラクトン類、アミド類、アミン類、ポリアミン類、ニトリル類、シリコーンオイル類、他の非プロトン性溶媒、又は上記のうち１種又は複数種の混合物でよく、より好ましくは、ジエチルエーテル、ペンタン類又はジメトキシエタン類、最も好ましくはヘキサン類又はトルエンである。意図する反応を過度に不利に妨げることのない任意の適切な溶媒を使用することができる。必要に応じて、１種又は複数種の異なる溶媒の混合物を使用することもできる。使用する溶媒の量は、本発明にとってさほど重要ではなく、反応混合物中の反応成分を可溶化させるのに十分な量でありさえすればよい。一般に、溶媒の量は、反応混合物出発物質の総重量に基づき約５重量パーセントから約９９重量パーセント以上にまで及ぶことができる。
【００２５】
温度、圧力、接触時間など、方法Ａにおいて有機ジアミン化合物をアルミニウム源化合物と反応させるための反応条件もまた、大きく変化することがあり、ここではこのような条件の任意の適切な組合せを使用することができる。反応温度は、上記溶媒のいずれかの反射温度でよく、より好ましくは約−８０℃から約１５０℃、最も好ましくは約２０℃から約８０℃である。通常、反応は周囲圧力下で行われ、接触時間はものの数秒又は数分から数時間以上にまで変化することができる。これらの反応物は、反応混合物に添加する又は任意の順序で組み合わせることができる。使用する撹拌時間は、すべてのステップについて約０．１時間から約４００時間に及ぶことができ、好ましくは約１〜７５時間、より好ましくは約４〜１６時間である。
【００２６】
やはり前述のとおり、本発明は、下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物の製造方法（本明細書中では「方法Ｂ」と称する）に関する。
【化８】
2008532932.tif 000010
式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。この方法は、（ｉ）溶媒の存在下で、また有機ジアミン塩化合物を含む第１の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、有機ジアミン化合物を塩基物質と反応させること、（ｉｉ）前記第１の反応混合物にアルミニウム源化合物を添加すること、（ｉｉｉ）前記有機アルミニウム化合物を含む第２の反応混合物を生成するのに十分な反応条件下で、前記有機ジアミン塩化合物を前記アルミニウム源化合物と反応させること、及び（ｉｖ）前記有機アルミニウム化合物を前記第２の反応混合物から分離することを含む。
【００２７】
本発明の方法によりもたらされる有機アルミニウム化合物の収率は、６０％以上でよく、好ましくは７５％以上、より好ましくは９０％以上である。この方法Ｂは、大量生産に特に適しており、なぜなら、同じ装置、幅広い製品を作製するために容易に適合させることができる同じ試薬及びプロセスパラメータの一部を用いて実施することができるからである。この方法により、すべての操作を単一の容器内で行うことができる方法を用いる有機アルミニウム化合物の合成が提供され、これらの有機アルミニウム化合物へのこのような経路は中間複合体の分離を必要としない。
【００２８】
方法Ｂにおいて使用する有機ジアミン化合物出発物質は、当技術分野で公知の幅広い種類の化合物から選択することができる。例示的な有機ジアミン化合物には、例えば、ジメチルエチルエチレンジアミン、トリメチルエチレンジアミン、トリエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン、ジメチルプロピルエチレンジアミン等が含まれる。好ましい有機ジアミン化合物出発物質には、ジメチルエチルエチレンジアミン、ジエチルメチルエチレンジアミン等が含まれる。
【００２９】
方法Ｂにおいて使用する有機ジアミン化合物出発物質の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、塩基出発物質と反応させるために必要な最小限の量でありさえすればよい。一般に、反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲の有機ジアミン化合物出発物質濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００３０】
方法Ｂにおいて使用する塩基出発物質は、当技術分野で公知の幅広い種類の化合物から選択することができる。例示的な塩基には、ｐＫａが約１０を超える、好ましくは約２０を超える、より好ましくは約２５を超える任意の塩基が含まれる。この塩基物質は、好ましくはｎ−ＢｕＬｉ、ｔ−ＢｕＬｉ、ＭｅＬｉ、ＮａＨ、ＣａＨ等である。
【００３１】
方法Ｂにおいて使用する塩基出発物質の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、有機ジアミン化合物出発物質と反応させるために必要な最小限の量でありさえすればよい。一般に、第１の反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲の塩基出発物質濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００３２】
方法Ｂの一実施形態では、有機ジアミン塩化合物、例えば、リチオ化されたジメチルエチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリメチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリエチルエチレンジアミン、リチオ化されたジエチルメチルエチレンジアミン、リチオ化されたジメチルプロピルエチレンジアミンなどのリチオ化された有機ジアミン類をその場で生成することができる。アルミニウム源化合物との反応直前に反応槽内のその場で有機ジアミン塩化合物を生成することは、任意の反応性固体を分離し処理する必要性をなくすことによって、純度の観点から有益となる。これもまたより安価である。
【００３３】
その場で生成された有機ジアミン塩化合物は定位置で、アルミニウム源化合物、例えばＭｅ２ＡｌＣｌの添加を、固体の添加により、又は一部の場合では、より便利に溶媒溶液若しくはスラリとして行うことができる。一定のアルミニウム源化合物は感湿性であり、窒素などの不活性雰囲気下で使用されるが、その感湿性は一般に、有機ジアミン塩化合物、例えばリチオ化されたジメチルエチルエチレンジアミン等よりもはるかに低い。さらに、多くのアルミニウム源化合物がより緻密で、より移動させやすい。
【００３４】
有機ジアミン化合物出発物質と塩基出発物質との反応により調製される方法Ｂの有機ジアミン塩化合物は、幅広い種類の化合物から選択することができる。例示的な有機ジアミン塩化合物には、例えば、リチオ化されたジメチルエチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリメチルエチレンジアミン、リチオ化されたトリエチルエチレンジアミン、リチオ化されたジエチルメチルエチレンジアミン、リチオ化されたジメチルプロピルエチレンジアミン等が含まれる。
【００３５】
方法Ｂにおいて使用する有機ジアミン塩化合物の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、アルミニウム源化合物と反応させて本発明の有機アルミニウム化合物を提供するために必要な最小限の量でありさえすればよい。一般に、反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲の有機ジアミン塩化合物濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００３６】
方法Ｂにおいて使用するアルミニウム源化合物出発物質は、当技術分野で公知の幅広い種類の化合物から選択することができる。このようなアルミニウム源化合物の例には、例えば、Ｍｅ２ＡｌＣｌ、Ｍｅ２ＡｌＢｒ、Ｍｅ２ＡｌＦ、Ｅｔ２ＡｌＣｌ、ＥｔＭｅＡｌＣｌ、ｉＰｒ２ＡｌＣｌ等が含まれる。
【００３７】
方法Ｂにおいて使用するアルミニウム源化合物出発物質の濃度は、広い範囲にわたって変化することができ、有機ジアミン塩化合物と反応させるために、また使用したい所与のアルミニウム濃度を提供するために必要な最小限の量でありさえすればよく、その最小限の量により、少なくとも本発明の有機アルミニウム化合物に必要なアルミニウム量の基礎が提供されることになる。一般に、反応混合物の量にもよるが、約１ミリモル以下から約１０，０００ミリモル以上の範囲のアルミニウム源化合物出発物質の濃度で、大部分のプロセスには十分なはずである。
【００３８】
方法Ｂで使用する溶媒は、任意の飽和及び不飽和炭化水素類、芳香族炭化水素類、芳香族複素環類、ハロゲン化アルキル類、シリル化炭化水素類、エーテル類、ポリエーテル類、チオエーテル類、エステル類、チオエステル類、ラクトン類、アミド類、アミン類、ポリアミン類、ニトリル類、シリコーンオイル類、他の非プロトン性溶媒、又は上記のうち１種又は複数種の混合物でよく、より好ましくは、ジエチルエーテル、ペンタン類又はジメトキシエタン類、最も好ましくはヘキサン類又はトルエンである。意図する反応を過度に不利に妨げることのない任意の適切な溶媒を使用することができる。必要に応じて、１種又は複数種の異なる溶媒の混合物を使用することもできる。使用する溶媒の量は、本発明にとってさほど重要ではなく、反応混合物中の反応成分を可溶化させるのに十分な量でありさえすればよい。一般に、溶媒の量は、反応混合物出発物質の総重量に基づき約５重量パーセントから約９９重量パーセント以上にまで及ぶことができる。
【００３９】
温度、圧力、接触時間など、方法Ｂにおいて塩基出発物質を有機ジアミン化合物と反応させるための反応条件もまた、大きく変化することがあり、ここではこのような条件の任意の適切な組合せを使用することができる。反応温度は、上記溶媒のいずれかの反射温度でよく、より好ましくは約−８０℃から約１５０℃、最も好ましくは約２０℃から約８０℃である。通常、反応は周囲圧力下で行われ、接触時間はものの数秒又は数分から数時間以上にまで変化することができる。これらの反応物は、反応混合物に添加する又は任意の順序で組み合わせることができる。使用する撹拌時間は、すべてのステップについて約０．１時間から約４００時間に及ぶことができ、好ましくは約１〜７５時間、より好ましくは約４〜１６時間である。
【００４０】
温度、圧力、接触時間など、方法Ｂにおいて有機ジアミン塩化合物をアルミニウム源化合物と反応させるための反応条件もまた、大きく変化することがあり、ここではこのような条件の任意の適切な組合せを使用することができる。反応温度は、上記溶媒のいずれかの反射温度でよく、より好ましくは約−８０℃から約１５０℃、最も好ましくは約２０℃から約８０℃である。通常、反応は周囲圧力下で行われ、接触時間はものの数秒又は数分から数時間以上にまで変化することができる。これらの反応物は、反応混合物に添加する又は任意の順序で組み合わせることができる。使用する撹拌時間は、すべてのステップについて約０．１時間から約４００時間に及ぶことができ、好ましくは約１〜７５時間、より好ましくは約４〜１６時間である。単一のポット内で行う本発明の実施形態では、アルミニウム源化合物と反応させる前に有機ジアミン塩化合物を第１の反応混合物から分離することはない。好ましい一実施形態では、アルミニウム源化合物を周囲温度で、又は周囲温度よりも高い温度で第１の反応混合物に添加する。
【００４１】
本発明の方法は、好ましくは様々な化学構造及び物理特性を有する有機アルミニウム化合物前駆体を生成する際に有用である。本発明の方法では、幅広い種類の反応物質を使用することができる。
【００４２】
本発明の方法によって調製される有機アルミニウム前駆体化合物では、再結晶化により、より好ましくは反応残留物（例えばヘキサン）の抽出及びクロマトグラフィにより、最も好ましくは昇華及び蒸留により精製を行うことができる。
【００４３】
添付の特許請求の範囲においてより詳細に定義されている本発明の範囲又は精神から逸脱することなく、本明細書中に詳細に記載されている方法に多くの変更を加えることができることが、当業者には理解されよう。
【００４４】
上述の合成方法によって形成される有機アルミニウム前駆体化合物を特徴付けるために使用することができる技法の例には、分析ガスクロマトグラフィ、核磁気共鳴、熱重量分析、誘導結合プラズマ質量分析法、示差走査熱量測定、蒸気圧測定及び粘度測定が含まれるが、これらに限定されない。
【００４５】
上述の有機アルミニウム化合物前駆体の相対蒸気圧、すなわち相対揮発度は、当技術分野で公知の熱重量分析技法によって測定することができる。例えば、密封容器からすべてのガスを排出し、その後この容器に化合物の蒸気を導入し、当技術分野で公知のように圧力を測定することによって、平衡蒸気圧も測定することができる。
【００４６】
本明細書中に記載の有機アルミニウム化合物前駆体は、室温、すなわち２０℃で好ましくは液体であり、粉末及びコーティングのその場調製によく適している。例えば、液体の有機アルミニウム化合物前駆体を基板に塗布し、次いでこの前駆体を分解するのに十分な温度まで加熱し、それにより基板上にアルミニウム又は酸化アルミニウムコーティングを形成することができる。液体前駆体の基板への塗布は、塗装、溶射、浸漬又は当技術分野で公知の他の技法によって行うことができる。加熱は、当技術分野で公知のように、オーブンの中で、ヒートガンを用いて、基板を電気的に加熱することによって、又は他の手段によって実施することができる。有機アルミニウム化合物前駆体を塗布し、加熱分解し、それにより第１の層を形成し、その後同一又は異なる前駆体によって少なくとも１つの他のコーティングをし、加熱することによって、層状コーティングを得ることもできる。
【００４７】
上述のような液体の有機アルミニウム化合物前駆体を霧化し、基板上に噴霧することもできる。ノズル、噴霧器等など、使用することができる霧化及び噴霧手段は、当技術分野で公知である。
【００４８】
本発明の好ましい諸実施形態では、上述のような有機アルミニウム化合物を、粉末、被膜又はコーティングを形成するための気相成長法において使用する。この化合物は、単一源前駆体として使用することも、或いは他の１種又は複数種の前駆体と共に、例えば他の有機金属化合物若しくは金属錯体を少なくとも１種加熱することによって生成された蒸気と共に使用することもできる。上述のような有機金属化合物前駆体を、所与のプロセスにおいて２種以上使用することもできる。
【００４９】
前述のとおり、本発明は、（ｉ）下記の式によって表される有機アルミニウム前駆体化合物と、（ｉｉ）１種又は複数種の異なる有機金属前駆体化合物（例えば、ハフニウム含有、タンタル含有又はモリブデン含有有機金属前駆体化合物）を含む有機金属前駆体混合物に関する。
【化９】
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式中、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３及びＲ４は同一又は異なり、それぞれ水素又は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表し、Ｒ５は炭素原子１〜約３個を有するアルキル基を表す。
【００５０】
堆積は、他の気相成分の存在下で実施することができる。本発明の一実施形態では、少なくとも１種の非反応性キャリアガスの存在下で膜堆積を実施する。非反応性ガスの例には、不活性ガス、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウム、並びにプロセス条件下で有機アルミニウム化合物前駆体と反応しない他のガスが含まれる。他の諸実施形態では、少なくとも１種の反応性ガスの存在下で膜堆積を実施する。使用することができる反応性ガスの一部には、ヒドラジン、酸素、水素、空気、酸素リッチな空気、オゾン（Ｏ３）、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）、水蒸気、有機蒸気、アンモニア等のガスが含まれるが、これらに限定されない。当技術分野で公知のように、例えば、空気、酸素、酸素リッチな空気、Ｏ３、Ｎ２Ｏ、酸化性有機化合物の蒸気などの酸化性ガスの存在は、金属酸化物膜の形成に有利に働く。
【００５１】
前述のとおり、本発明は部分的に、被膜、コーティング又は粉末を製造する方法にも関する。この方法は、以下でさらに説明するように、少なくとも１種の有機アルミニウム化合物を分解し、それにより被膜、コーティング又は粉末が製造されるステップを含む。
【００５２】
本明細書中に記載の堆積法は、単一金属を含む被膜、粉末若しくはコーティング、又は単金属酸化物を含む被膜、粉末若しくはコーティングを形成するために実施することができる。混合膜、混合粉末又は混合コーティング、例えば混合金属酸化物膜を堆積させることもできる。混合金属酸化物膜は、例えば、少なくとも１種が上述の有機アルミニウム化合物から選択される数種類の有機金属前駆体を使用することによって形成することができる。
【００５３】
気相膜成長は、所望の厚さ、例えば、約１ｎｍから１ｍｍを超える範囲の厚さの被膜層を形成するために実施することができる。本明細書中に記載の前駆体は、薄膜、例えば、約１０ｎｍから約１００ｎｍの範囲の厚さを有する被膜の製造に特に有用である。本発明の被膜には、例えば金属電極の作製、特にロジックにおけるｎチャネル金属電極として、ＤＲＡＭ用途向けのコンデンサ電極としてまた誘電体物質としての金属電極の作製が考慮することができる。
【００５４】
この方法は、少なくとも２つの層の相又は組成が異なる層状膜の作製にも適している。層状膜の例には、金属−絶縁体−半導体、及び金属−半導体−金属が含まれる。
【００５５】
一実施形態では、本発明は、上述の有機アルミニウム化合物前駆体の蒸気を熱分解、化学分解、光化学分解又はプラズマ活性化によって分解し、それにより基板上に被膜が形成されるステップを含む方法を対象とする。例えば、この化合物から生成された蒸気を、有機アルミニウム化合物を分解し基板上に被膜を形成するのに十分な温度を有する基板と接触させる。
【００５６】
化学気相成長において、又はより具体的には、当技術分野で公知の有機金属化学気相成長法において、これらの有機アルミニウム化合物前駆体を使用することができる。例えば、上述の有機アルミニウム化合物前駆体を、常圧化学気相成長法において、また同様に減圧化学気相成長法においても使用することができる。これらの化合物は、ホットウォール化学気相成長、反応チャンバ全体を加熱する方法において、また同様にコールドウォール又はウォームウォール型化学気相成長、基板のみを加熱している技法においても使用することができる。
【００５７】
上述の有機アルミニウム化合物前駆体は、プラズマからのエネルギー又は電磁エネルギーをそれぞれ使用して化学気相成長前駆体を活性化するプラズマ化学気相成長法又は光アシスト化学気相成長法において使用することもできる。これらの化合物は、イオンビーム又は電子ビームをそれぞれ基板に向けて化学気相成長前駆体を分解するためのエネルギーを供給するイオンビームアシスト、電子ビームアシスト化学気相成長法において使用することもできる。レーザ光を基板に向けて化学気相成長前駆体の光分解反応に作用するレーザアシスト化学気相成長プロセスを使用することもできる。
【００５８】
本発明の方法は、当技術分野で公知のように、例えば、ホットウォール又はコールドウォール反応器、プラズマアシスト、ビームアシスト又はレーザアシスト反応器など、様々な化学気相成長反応器内で実施することができる。
【００５９】
本発明の方法を使用してコーティングすることができる基板の例には、金属基板、例えば、Ａｌ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｃｏ、Ｐｔ、Ｔａ、金属シリサイド、例えば、ＴｉＳｉ２、ＣｏＳｉ２、ＮｉＳｉ２、半導体物質、例えば、Ｓｉ、ＳｉＧｅ、ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ダイアモンド、ＧａＮ、ＳｉＣ、絶縁体、例えば、ＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４、ＨｆＯ２、Ｔａ２Ｏ５、Ａｌ２Ｏ３、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、バリア物質、例えば、ＴｉＮ、ＴａＮなどの固体基板、或いは物質の組合せを含む基板が含まれる。加えて、被膜又はコーティングを、ガラス、セラミック、プラスチック、熱硬化性高分子物質上に、また他のコーティング又は被膜層上に形成することができる。好ましい諸実施形態では、電子部品の作製又は加工において使用する基板上で膜堆積を行う。他の諸実施形態では、酸化剤の存在下高温で安定である低抵抗率導体堆積物、又は光透過性膜を支持するための基板を使用する。
【００６０】
本発明の方法は、平滑で平坦な表面を有する基板上に被膜を堆積させるために実施することができる。一実施形態では、ウエハの生成又は加工において使用される基板上に被膜を堆積させるためにこの方法実施する。例えば、トレンチ、ホール、ビアなどのフィーチャ（ｆｅａｔｕｒｅ）を含むパターン化基板上に被膜を堆積させるためにこの方法を実施することができる。さらに、本発明の方法を、ウエハの生成又は加工における他のステップ、例えば、マスキング、エッシング等と一体化することもできる。
【００６１】
化学気相成長膜は、所望の厚さに堆積させることができる。例えば、形成される被膜は厚さ１ミクロン未満でよく、好ましくは厚さ５００ナノメートル未満、より好ましくは厚さ２００ナノメートル未満である。厚さ５０ナノメートル未満の被膜、例えば、約０．１ナノメートルから約２０ナノメートルの厚さを有する被膜を生成することもできる。
【００６２】
上述の有機アルミニウム化合物前駆体は、原子層成長（ＡＬＤ）又は原子層核形成（ＡＬＮ）技法によって被膜を形成するために本発明の方法において使用することもでき、この技法中、基板は前駆体、酸化剤及び不活性ガス蒸気の交互パルスにさらされる。逐次層堆積技法は、例えば、米国特許第６２８７９６５号に、また米国特許第６３４２２７７号に記載されている。
【００６３】
例えば、１つのＡＬＤサイクルでは、ａ）不活性ガス、ｂ）前駆体蒸気を運ぶ不活性ガス、ｃ）不活性ガス並びにｄ）酸化剤のみ又は不活性ガスを伴う酸化剤に基板を段階的にさらす。一般に、各ステップは、装置が許す限り短くてよく（例えば、数ミリ秒）、またプロセスが必要とする限り長くてよい（例えば、数秒又は数分）。１サイクルの継続時間は、数ミリ秒と短くても、数分と長くてもよい。このサイクルを、数分から数時間に及ぶことができる期間にわたって繰り返す。生成される被膜は、数ナノメートルと薄くても、より厚く、例えば１ミリメートル（ｍｍ）でもよい。
【００６４】
本発明の方法を、超臨界流体を用いて実施することもできる。当技術分野で現在は公知である、超臨界流体を使用する膜堆積方法の例には、流体化学堆積、超臨界流体輸送−化学堆積、超臨界流体化学堆積及び超臨界浸漬堆積が含まれる。
【００６５】
流体化学堆積法は、例えば、高純度被膜を生成するために、また複雑な表面を覆い、高アスペクト比のフィーチャを充填するために適している。流体化学堆積は、例えば米国特許第５７８９０２７号に記載されている。被膜形成のための超臨界流体の使用は、米国特許第６５４１２７８号Ｂ２にも記載されている。これら２つの特許の開示は、参照によりそれら全体が本明細書中に組み込まれる。
【００６６】
本発明の一実施形態では、臨界点近傍流体や超臨界流体、例えば臨界点近傍ＣＯ２又は超臨界ＣＯ２などの溶媒の存在下で、加熱したパターン化基板を１種又は複数種の有機アルミニウム化合物前駆体にさらす。ＣＯ２の場合、約１０００ｐｓｉｇを上回る圧力で、また少なくとも約３０℃の温度で溶媒流体を提供する。
【００６７】
前駆体を分解して、基板上にアルミニウム又は酸化アルミニウム膜を形成する。この反応により、前駆体から有機物質も生成される。この有機物質は、溶媒流体によって可溶化し、基板から容易に取り除かれる。例えば酸化性ガスを用いることによって、酸化アルミニウム膜も形成することができる。
【００６８】
一例では、この堆積法を、１枚又は複数枚の基板を収容する反応チャンバ内で実施する。このチャンバ全体を加熱することによって、例えば、炉を用いて基板を所望の温度まで加熱する。有機アルミニウム化合物の蒸気は、例えばチャンバに真空を印加することによって生成することができる。低沸点化合物では、化合物を気化させるのに十分なほどチャンバが熱くてよい。この蒸気が加熱された基板表面に接触するので、蒸気は分解し、アルミニウム又は酸化アルミニウム膜を形成する。上述のように、有機アルミニウム化合物前駆体は、単独で使用することも、例えば他の有機金属前駆体、不活性キャリアガス、反応性ガスなど１種又は複数種の成分と組み合わせて使用することもできる。
【００６９】
本発明の方法によって被膜を生成する際に使用することができるシステムでは、原材料をガス混合マニホルドに向けて、堆積反応器に供給されるプロセスガスを生成することができ、この堆積反応器で膜成長を実施する。原材料には、キャリアガス、反応性ガス、パージガス、前駆体、エッチング／クリーンガス等が含まれるが、これらに限定されない。プロセスガス組成物の精密制御は、当技術分野で公知のように、マスフローコントローラ、バルブ、圧力変換器及び他の手段を用いて実現される。排気マニホルドは、堆積反応器から出るガス、並びにバイパス蒸気を真空ポンプに搬送することができる。真空ポンプ下流の軽減システムを使用して、排気ガスから任意の危険物質を取り除くことができる。この堆積システムに、残留ガス分析器を含むその場分析システムを装備することができ、この分析システムはプロセスガス組成物の測定を可能にする。制御及びデータ取得システムは、様々なプロセスパラメータ（例えば、温度、圧力、流量等）をモニタすることができる。
【００７０】
上述の有機アルミニウム化合物前駆体は、アルミニウム単体を含む被膜又は単一の酸化アルミニウムを含む被膜を生成するために使用することができる。混合膜、例えば、混合金属酸化物膜を堆積させることもできる。このような被膜は、例えば、数種類の有機金属前駆体を使用することによって生成する。例えば、キャリアガスも、蒸気も、他の酸素源も使用しないことによって、金属膜を形成することもできる。
【００７１】
本明細書に記載の方法によって形成される被膜は、当技術分野で公知の技法、例えば、Ｘ線回折、オージェ分光法、Ｘ線光電子放出分光法、原子間力顕微鏡法、走査型電子顕微鏡法及び当技術分野で公知の他の技法によって特徴付けることができる。これらの被膜の抵抗率及び熱安定性も、当技術分野で公知の方法によって測定することができる。
【００７２】
本発明の様々な変更及び変形が当業者には明らかであろう。また、このような変更及び変形は、本願の範囲並びに特許請求の範囲の精神及び範囲内に含まれるべきものであることを理解されたい。
【実施例１】
【００７３】
ジメチルエチルエチレンジアミンジメチルアルミニウム（ＤＭＥＥＤＤＭＡ）の合成
窒素の不活性雰囲気下で、３０ミリリットルの無水トルエン中の５ミリリットルのトリメチルアルミニウムを、０℃まで冷却した。この溶液に、８．５ミリリットルのジメチルエチルエチレンジアミンを滴下添加した。この反応物を２時間加熱還流し、室温でさらに１２時間撹拌した。溶媒を減圧下で取り除き、残存生成物を減圧下で蒸留した。この蒸留による軽質留分を廃棄し、それにより純粋なＤＭＥＥＤＤＭＡだけが残された。
【実施例２】
【００７４】
ＤＭＥＥＤＤＭＡの代替合成
窒素の不活性雰囲気下で、２５０ミリリットルのヘキサン中の２２ミリリットルのジメチルエチルエチレンジアミンを、０℃まで冷却した。この溶液に、５１ミリリットルのｎ−ブチルリチウムを滴下添加した。溶液を室温まで温めることが可能となり、１２時間撹拌し、それにより黄色の液体及び無色の固体がもたらされた。この溶液を再び０℃まで冷却し、９ミリリットルのＭｅ２ＡｌＣｌを滴下添加した。溶液を室温まで温めることが可能となり、１６時間撹拌した。この溶液から固体をろ過により取り除き、減圧下で溶媒を取り除いた。この溶液のＮＭＲにより、不純物を伴うＤＭＥＥＤＤＭＡが示された。
【実施例３】
【００７５】
ＤＭＥＥＤＤＭＡ熱安定性
アルゴンと約３３０℃のＤＭＥＥＤＤＭＡ蒸気とだけを含有する混合物にシリコンウエハをさらすことによって、ＤＭＥＥＤＤＭＡの熱安定性を評価した。このＤＭＥＥＤＤＭＡは、１００標準立方センチメートルのアルゴンを用いて４０℃で蒸発させた。ＤＭＥＥＤＤＭＡ気化器は、この気化器と堆積反応器との間のニードルバルブを用いて５０Ｔｏｒｒで維持した。この実験で使用した装置は、Ｊ．Ａｔｗｏｏｄ，Ｄ．Ｃ．Ｈｏｔｈ，Ｄ．Ａ，Ｍｏｒｅｎｏ，Ｃ．Ａ．Ｈｏｏｖｅｒ，Ｓ．Ｈ．Ｍｅｉｅｒｅ，Ｄ．Ｍ．Ｔｈｏｍｐｓｏｎ，Ｇ．Ｂ．Ｐｉｏｔｒｏｗｓｋｉ，Ｍ．Ｍ．Ｌｉｔｗｉｎ，Ｊ．Ｐｅｃｋ，Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ２００３−０８，（２００３）８４７に記載されている。堆積反応器は、５Ｔｏｒｒで維持した。ＤＭＥＥＤＤＭＡ気化器から出た物質を、ウエハをさらす前に追加の３６０立方センチメートルのアルゴン（すなわち、混合物の総流量は４６０標準立方センチメートルであった）と組み合わせた。ウエハをこの混合物に１５分間さらした後は、物質は堆積されなかった。このことは、３３０℃のＤＭＥＥＤＤＭＡの熱安定性が原子層成長法においての使用に十分なものであり、自己制限的であるはずであることを表している。
【実施例４】
【００７６】
ＤＭＥＥＤＤＭＡからのアルミナの原子層成長
原子層成長法において使用しようとするＤＭＥＥＤＤＭＡの能力を決定するために、アルゴンパージによって分離されたＤＭＥＥＤＤＭＡとＨ２Ｏとの交互パルスにウエハをさらした。酸化アルミニウム膜を、約３３０℃で堆積させた。この原子層成長サイクルは、４つのステップ、（１）ＤＭＥＥＤＤＭＡ及びアルゴン、（２）アルゴンパージ、（３）Ｈ２Ｏ及びアルゴン、並びに（４）アルゴンパージから構成されていた。これら４つのステップの継続時間は、それぞれ１０／２０／１０／２０秒であった。
【００７７】
膜成長を、二波長高温計を用いてその場でモニタした。高温計は、温度を決定するために放射された放射線を使用する。薄膜成長により、この放射線に建設的干渉及び破壊的干渉が導入され、見かけのウエハ温度を追跡すると振動のパターンがもたらされる。これらの温度の振動（上昇又は低下）は、膜成長をその場で検出するために使用することができる。高温計によって測定された温度の振動を、上述のＤＭＥＥＤＤＭＡ及びＨ２Ｏを用いる４ステップ原子層成長法中に検証した。第３のステップ中のＨ２Ｏを排除することによって（アルゴンのみ）、振動は停止した（すなわち、温度がもはや上昇も低下もしなくなった）。これにより、この方法が自己制限的であることが示された。
【００７８】
これらの結果は、ＤＭＥＥＤＤＭが原子層成長によって酸化アルミニウム膜を堆積させるための適切な候補であることを表している。これらの結果はまた、化学気相成長法によって酸化アルミニウムを堆積させるためにＤＭＥＥＤＤＭを使用することもできることも示唆している。化学気相成長法又は原子層成長法のいずれかにおけるＤＭＥＥＤＤＭを用いた酸化アルミニウムの堆積に適切な酸素含有共反応物には、Ｈ２Ｏ、酸素、オゾン及びアルコール類が含まれる。
【国際調査報告】
2008532932.tif 000017