(57)【要約】【課題】カラーフィルタ１０における着色層１１，１２，１３のムラを確実且つ容易に検出して、表示品位の向上を図る。【解決手段】カラーフィルタの検査方法は、カラーフィルタ１０を光源３０に対向配置させる第１の工程と、カラーフィルタ１０における着色層１１，１２，１３の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、光源３０から出射して複数の着色層１１，１２，１３に入射させる第２の工程と、着色層１１，１２，１３を透過した光により、着色層１１，１２，１３におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを検査する検査方法であって、
上記カラーフィルタを光源に対向配置させる第１の工程と、
上記カラーフィルタにおける着色層の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、上記光源から出射して上記複数の着色層に入射させる第２の工程と、
上記着色層を透過した光により、該着色層におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項２】
請求項１において、
上記複数の着色層に入射させる単色光を、着色層の各色と同じ色に順次変更する
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項３】
請求項１において、
検査対象である着色層を透過した上記光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した上記光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ３０％未満である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項４】
請求項３において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５９０ｎｍ以上且つ７８０ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項５】
請求項３において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５１５ｎｍ以上且つ５８５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項６】
請求項１において、
上記光源から出射された単色光は、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となる波長域の光である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項７】
請求項６において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５８０ｎｍ以上且つ６８５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項８】
請求項６において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、４７５ｎｍ以上且つ６０５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項９】
請求項６において、
上検査対象である着色層を透過した光の波長域は、３８５ｎｍ以上且つ５３５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１０】
透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを検査する検査方法であって、
白色光を発生させる発生部と、該発生部で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみを透過させる単色フィルタとを有する光源に対し、上記カラーフィルタを対向配置させる第１の工程と、
上記カラーフィルタにおける着色層の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、上記光源の単色フィルタから出射して上記複数の着色層に入射させる第２の工程と、
上記着色層を透過した光により、該着色層におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１１】
請求項１０において、
上記光源の単色フィルタを変更することにより、上記複数の着色層に入射させる単色光を、着色層の各色と同じ色に順次変更する
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１２】
請求項１０において、
検査対象である着色層を透過した上記光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した上記光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ３０％未満である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１３】
請求項１２において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５９０ｎｍ以上且つ７８０ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１４】
請求項１２において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５１５ｎｍ以上且つ５８５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１５】
請求項１０において、
上記光源から出射された単色光は、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となる波長域の光である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１６】
請求項１５において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５８０ｎｍ以上且つ６８５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１７】
請求項１５において、
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、４７５ｎｍ以上且つ６０５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１８】
請求項１５において、
上検査対象である着色層を透過した光の波長域は、３８５ｎｍ以上且つ５３５ｎｍ以下である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査方法。
【請求項１９】
透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを支持する支持部と、
上記着色層と同じ色の単色光を、色毎に出射する光源とを備え、
上記光源から出射された単色光を上記着色層に入射させることにより、該着色層におけるムラの有無を検査するように構成されている
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２０】
請求項１９において、
検査対象である着色層を透過した上記光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した上記光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ１０％未満である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２１】
請求項１９において、
上記光源から出射された単色光は、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となる波長域の光である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２２】
透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを支持する支持部と、
白色光を発生させる発生部と、該発生部で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみを透過させる単色フィルタとを有し、上記着色層と同じ色の単色光を色毎に出射する光源とを備え、
上記光源から出射された単色光を上記着色層に入射させることにより、該着色層におけるムラの有無を検査するように構成されている
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２３】
請求項２２において、
検査対象である着色層を透過した上記光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した上記光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ１０％未満である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【請求項２４】
請求項２２において、
上記光源から出射された単色光は、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となる波長域の光である
ことを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの検査方法、及びカラーフィルタの検査装置に関し、特に、カラーフィルタの着色層におけるムラの検査に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えばカラー液晶表示装置等のカラー表示を行う薄型表示装置は、需要が飛躍的に高まっており、それに伴って表示の高品位化が強く望まれている。上記表示装置は、三原色である赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、及び青（Ｂ）の各色の着色層が所定のパターンで配置されたカラーフィルタを備えている。したがって、表示を高品位化するためには、カラーフィルタを高精度に製造することが不可欠となっている。
【０００３】
上記カラーフィルタを製造する方法としては、染色法、インクジェット法、印刷法、及びフォトリソ法等が一般に知られているが、その中でも、工程数が比較的少なく、制御性や解像度が高いという理由で、フォトリソ法が現在の主流となっている。
【０００４】
フォトリソ法では、カラーレジストを基板上に塗布して着色層を形成した後、その着色層をフォトマスクを介して露光する。その後、露光されたカラーレジストを現像することにより、所定のパターンの着色層を形成し、カラーフィルタを製造する。
【０００５】
ところで、上記カラーフィルタに異物が混入していると、その異物自体が表示光を遮断したり、異物が液晶層等の表示媒体層へ突出して表示品位に悪影響を与えるという問題が生じる。したがって、上記カラーフィルタの製造工程は、極めて清浄な環境の中で行われ、着色層への異物の混入を防止するように注意が払われているが、完全に異物の混入を防止することはできない。
【０００６】
また、製造過程において着色層の一部が剥離してしまい、欠損部が生じる虞れもある。この場合、欠損部を透過する光は、光源の光が着色されずにそのまま出射されるため、光の抜けとして観察されてしまう。
【０００７】
そこで、従来より、製造されたカラーフィルタに対し、異物混入や欠損部の有無を検査する検査工程を行うことが知られている。例えば、図５に示すように、カラーフィルタに白色光を入射させ、その透過光を検査員が観察することにより検査する方法が知られている。
【０００８】
すなわち、この検査方法では、検査員１０１と、白色光を出射する光源１０２との間にカラーフィルタ１０３を配置させる。カラーフィルタ１０３には、Ｒの着色層１０３ｒと、Ｇの着色層１０３ｇと、Ｂの着色層１０３ｂとが形成されている。上記着色層１０３ｒは、入射した白色光のうち所定の波長域の赤色の光のみを透過させ、検査員１０１側へ出射する。同様に、着色層１０３ｇは緑色の光のみを透過させ、着色層１０３ｂは青色の光のみを透過させる。そして、上記各着色層１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂに異物混入や欠損部等がある場合には、出射光の異常として検査員１０１により観察される。
【０００９】
しかし、上記検査方法では、例えばＲの着色層１０３ｒの１つに欠損部が生じている場合、その着色層１０３ｒの出射光が変化していても、複数色の着色層１０３ｒ，１０３ｇ，１０３ｂから同時に光が出射しているため、特定の着色層における出射光の変化を正確に且つ迅速に判別することが難しい。その結果、確実な検査のために莫大な時間を要し、生産コストが嵩むという問題が生じてしまう。
【００１０】
そこで、図６に示すように、上記検査方法においてカラーフィルタ１０３と検査員１０１との間に検査用フィルタ１０５を配置することが知られている（例えば、特許文献１参照）。検査用フィルタ１０５は、所定の波長域の光を透過させるように構成され、赤、緑、青の着色層の正常部を透過した光を大幅にカットする。一方、欠損部１０６を透過した光は、全波長域を有しているものであり、検査用フィルタ１０５によりカットされる割合を小さくできる。このことにより、正常部を透過した光と、欠損部１０６を透過した光とのコントラストを大きくして欠損部１０６を容易に検査できるようにしている。
【特許文献１】特開平５−９９７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記フォトリソ法には、カラーレジストを基板上に設けるために、液状のカラーレジストを塗布する方法以外に、フィルム状のカラーレジストを基板上に貼り付ける方法（ドライフィルムラミネーション法：以下、ＤＦＬ法とも称する）が知られている。ＤＦＬ法によると、カラーレジストを塗布する方法のようにレジストを焼成する工程が不要となるため、工数を低減できるという利点が得られる。
【００１２】
しかし、上記ＤＦＬ法によると、レジストフィルム自体のうねりや、貼り付け時にレジストフィルムに加えられるテンションの不均一等により、着色層にムラが生じる虞れがある。上記ムラは、着色層の微小な膜厚変化により生じたり、着色層の開口率の変化によって生じる。
【００１３】
また、着色層のムラは、上記ＤＦＬ法以外に、上記液状のカラーレジストを塗布する方法によって形成した場合にも生じる。これらに共通して生じるムラには、現像工程における現像不良により生じるムラや、着色層のパターンにおけるエッジ部分の変形により生じるムラや、着色層のパターンピッチやパターン幅が不均一になって生じるムラがある。
【００１４】
上記ムラによる表示不良は、表示品位の向上のために確実に検出することが不可欠であるが、上述の異物混入や欠損による表示不良に比べて軽微であるため、その検出が困難である。
【００１５】
これに対し、上記特許文献１のように検査用フィルタを検査員とカラーフィルタとの間に配置することが考えられるが、上記ムラは欠損部のように、入射した白色光をそのまま透過させるものではないため、ムラが生じている部分と正常部とのコントラストを大きくすることはできない。つまり、ムラを確実に検出することは困難である。
【００１６】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、カラーフィルタにおける着色層のムラを確実且つ容易に検出して、表示品位の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の目的を達成するために、この発明では、カラーフィルタの着色層に単色光を入射させることにより、着色層におけるムラの有無を検査するようにした。
【００１８】
具体的に、本発明に係るカラーフィルタの検査方法は、透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを検査する検査方法であって、上記カラーフィルタを光源に対向配置させる第１の工程と、上記カラーフィルタにおける着色層の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、上記光源から出射して上記複数の着色層に入射させる第２の工程と、上記着色層を透過した光により、該着色層におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている。
【００１９】
上記複数の着色層に入射させる単色光を、着色層の各色と同じ色に順次変更することが好ましい。
【００２０】
また、本発明に係るカラーフィルタの検査方法は、透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを検査する検査方法であって、白色光を発生させる発生部と、該発生部で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみを透過させる単色フィルタとを有する光源に対し、上記カラーフィルタを対向配置させる第１の工程と、上記カラーフィルタにおける着色層の複数の色の何れか１つと同じ色の単色光を、上記光源の単色フィルタから出射して上記複数の着色層に入射させる第２の工程と、上記着色層を透過した光により、該着色層におけるムラの有無を検査する第３の工程とを備えている。
【００２１】
上記光源の単色フィルタを変更することにより、上記複数の着色層に入射させる単色光を、着色層の各色と同じ色に順次変更することが好ましい。
【００２２】
検査対象である着色層を透過した上記光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した上記光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ３０％未満であることが好ましい。
【００２３】
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５９０ｎｍ以上且つ７８０ｎｍ以下であってもよい。また、上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５１５ｎｍ以上且つ５８５ｎｍ以下であってもよい。
【００２４】
上記光源から出射された単色光は、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となる波長域の光であることが好ましい。
【００２５】
上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、５８０ｎｍ以上且つ６８５ｎｍ以下であってもよい。また、上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、４７５ｎｍ以上且つ６０５ｎｍ以下であってもよい。また、上記検査対象である着色層を透過した光の波長域は、３８５ｎｍ以上且つ５３５ｎｍ以下であってもよい。
【００２６】
また、本発明に係るカラーフィルタの製造装置は、透明基板の上に複数の色毎に設けられた複数の着色層を有するカラーフィルタを支持する支持部と、上記着色層と同じ色の単色光を、色毎に出射する光源とを備え、上記光源から出射された単色光を上記着色層に入射させることにより、該着色層におけるムラの有無を検査するように構成されている。
【００２７】
−作用−
すなわち、本発明に係るカラーフィルタの検査方法によると、ムラの有無を検査する場合には、まず、第１の工程において、カラーフィルタを光源に対向して配置させる。続いて、第２の工程において、上記光源から単色光を出射させて、カラーフィルタの複数の着色層に入射させる。着色層は、透明基板の上に複数配置され、複数の色（例えば赤、緑、青等）毎に設けられている。そして、光源から出射される単色光は、着色層の各色の何れか１つと同じ色になっている。
【００２８】
その後、第３の工程では、複数の各着色層に入射した単色光は、単色光と同じ色の着色層のみを透過する。その結果、上記単色光と同じ色の着色層は、上記透過光によってムラの有無が検査される。このとき、カラーフィルタの透過光が単色であるため、異物の混入や欠損に比べて検出しにくい着色層のムラを容易且つ確実に検出することが可能となる。
【００２９】
そして、上記単色光の色を、他の着色層の色に順次変更することにより、カラーフィルタにおける全ての着色層を、色毎に検査することが可能となる。
【００３０】
また、光源が、白色光を発生させる発生部と単色フィルタとを有する場合には、第２の工程において、発生部で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみが、単色フィルタを透過し、全体として光源から出射する。そして、光源から出射された単色光は、複数色の何れか１色の着色層を透過し、その透過した色の着色層におけるムラの有無が検査される。
【００３１】
また、仮に、検査対象である着色層を透過した光源の光が、検査対象以外の着色層を透過した光源の光により干渉される割合が３０％以上であると、上記検査対象の着色層の透過光が他の着色層の透過光により多大に干渉されて視認し難くなってしまう。したがって、上記干渉される割合が、０％以上且つ３０％未満とすることにより、上記検査対象である着色層の透過光が視認しやすくなるため、ムラの有無を確実に検査することが可能となる。
【００３２】
特に、検査対象である着色層を透過した光の波長域が、５９０ｎｍ以上且つ７８０ｎｍ以下である赤色光とし、又は検査対象である着色層を透過した光の波長域が、５１５ｎｍ以上且つ５８５ｎｍ以下である緑色光とすることにより、上記干渉される割合を０％以上且つ３０％未満とすることが可能となる。
【００３３】
また、仮に、検査対象である着色層に対する上記光源から出射された単色光の透過率が１０％未満である場合には、その検査対象である着色層の透過光を十分に視認することが難しくなる。したがって、検査対象である着色層の透過率が１０％以上となるように、上記光源から出射される単色光の波長域を規定することにより、確実な検査を行うことできる。
【００３４】
特に、検査対象である着色層を透過した光の波長域が、５８０ｎｍ以上且つ６８５ｎｍ以下である赤色光とし、又は検査対象である着色層を透過した光の波長域が、４７５ｎｍ以上且つ６０５ｎｍ以下である緑色光とし、又は検査対象である着色層を透過した光の波長域が、３８５ｎｍ以上且つ５３５ｎｍ以下である青色光とすることにより、上記検査対象の着色層における透過率を１０％以下とすることが可能となる。
【００３５】
また、本発明に係るカラーフィルタの検査装置によると、ムラの有無を検査する場合には、支持部にカラーフィルタを装着して支持させる。そして、光源から色毎に出射された単色光を、上記カラーフィルタの着色層に入射させる。このことにより、着色層の色毎に、各着色層におけるムラの有無を検査する。
【００３６】
また、光源が、白色光を発生させる発生部と単色フィルタとを有する場合には、発生部で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみが、単色フィルタを透過し、全体として光源から出射する。そして、光源から出射された単色光は、複数色の何れか１色の着色層を透過してムラの有無が検査される。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、カラーフィルタの着色層に単色光を入射させることにより、検査対象以外の色の透過光を抑制して、検査する光を単色にすることができるため、異物の混入や欠損に比べて検出しにくい着色層のムラを容易且つ確実に検出することができ、表示品位の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００３９】
《発明の実施形態１》
図１〜図３は、本発明に係るカラーフィルタの検査方法、及びカラーフィルタの検査装置の実施形態１を示している。図１は、検査装置を模式的に示す斜視図である。
【００４０】
図１に示すように、検査装置１は、カラーフィルタ１０を支持する支持部２０と、カラーフィルタ１０に検査のための光を入射させる光源３０とを備えている。
【００４１】
上記カラーフィルタ１０は、例えば液晶表示装置に適用される。すなわち、図示は省略するが、液晶表示装置は、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が複数配置されたＴＦＴ基板と、このＴＦＴ基板に液晶層を介して対向配置された対向基板とにより構成されている。上記カラーフィルタ１０は上記対向基板に設けられている。そして、ＴＦＴ基板のＴＦＴによって液晶層を駆動し、カラーフィルタを透過して出射される光によりカラー表示を行うようになっている。
【００４２】
カラーフィルタ１０は、ガラス基板等の透明基板１５の上に、複数の色毎に設けられた複数の着色層１１，１２，１３を有している。上記着色層１１，１２，１３は、赤色（Ｒ）を表示するための着色層１１と、緑色（Ｇ）を表示するための着色層１２と、青色（Ｂ）を表示するための着色層１３とにより構成され、規則的に順に並んで配置されている。そして、各着色層１１，１２，１３は、それぞれカラーレジストにより構成され、フォトリソグラフィにより透明基板１５の上にパターン形成されている。
【００４３】
上記着色層は、ＤＦＬ法（ドライフィルムラミネーション法）により形成されている。すなわち、例えば赤色のフィルム状のカラーレジストを、均一な張力を付加しながら透明基板１５の上に貼り付ける。その後、フォトマスク（図示省略）を介して所定のパターンに露光し、現像することによって、複数の着色層１１を形成する。その後、緑色及び青色の着色層１２，１３についても同様にパターニングすることにより、３色の着色層１１，１２，１３がパターン形成されたカラーフィルタ１０を作製する。
【００４４】
本実施形態の各着色層１１，１２，１３は、例えば、図２及び図３に示すような分光透過率特性を有している。また、図２及び図３において、実線のグラフは赤色（Ｒ）の着色層１１の透過率を示し、破線のグラフは緑色（Ｇ）の着色層１２の透過率を示し、一点鎖線のグラフは青色（Ｂ）の着色層１３の透過率を示している。
【００４５】
図２は、ノートパソコン等の表示パネルに用いられる着色層の特性（以降、ノート色と称する）を示している。ノート色は、表示品位を維持しつつ消費電力を低減できるような特性になっている。一方、図３は、デスクトップパソコン等の表示パネルに用いられる着色層の特性（以降、モニタ色と称する）を示している。モニタ色は、ノート色よりに比べて表示色の再現性を重視した特性になっている。
【００４６】
上記支持部２０は、中央に開口部（図示省略）を有する板部材により形成されている。そして、支持部２０にカラーフィルタ１０を装着することにより、上記カラーフィルタ１０の着色層１１，１２，１３が支持部２０の開口部に対応して配置すると共に、カラーフィルタ１０の周縁領域（額縁領域）が支持部２０の開口部周りの支持面に当接するようになっている。
【００４７】
上記光源３０は、上記着色層１１，１２，１３と同じ色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の単色光を、色毎に出射して、上記カラーフィルタ１０の着色層１１，１２，１３へ入射させるように構成されている。すなわち、光源３０は、単色光源である発光ダイオード（ＬＥＤ）を備え、赤色ＬＥＤと緑色ＬＥＤと青色ＬＥＤとをそれぞれ複数有している。そして、各ＬＥＤのうち赤色ＬＥＤのみを点灯させることにより、赤色の単色光を出射させるようになっている。同様に、緑色ＬＥＤのみを点灯させることにより緑色の単色光を出射させる一方、青色ＬＥＤのみを点灯させることにより青色の単色光を出射させるようになっている。そして、上記複数の着色層１１，１２，１３に入射させる単色光を、着色層１１，１２，１３の各色と同じ色に順次変更するようになっている。本実施形態では、光源３０が３色のＬＥＤを予め備えているので、ＬＥＤを点灯させる回路をスイッチングすることにより、光源３０から出射する単色光の色を容易に変更することができる。
【００４８】
そして、検査員４０が、カラーフィルタ１０を介して光源３０の反対側の位置から、カラーフィルタ１０の透過光を各色毎に視認することによって、各色毎に、着色層１１，１２，１３のムラの有無を検査するようになっている。
【００４９】
ここで、例えば、赤色ＬＥＤの発光特性は、発光ピークが６３８ｎｍであり、半値幅が１８ｎｍであることが好ましい。また、緑色ＬＥＤの発光特性は、発光ピークが５６０ｎｍであり、半値幅が１５ｎｍであることが好ましい。さらに、青色ＬＥＤの発光特性は、発光ピークが３８５ｎｍ以上且つ４６５ｎｍ以下であることが好ましいが、現在の汎用光源としては発光ピークが４６８ｎｍであり、半値幅が２６ｎｍであることが好ましい。
【００５０】
また、検査対象である着色層１１，１２，１３を透過した光源３０の光が、検査対象以外の着色層１１，１２，１３を透過した光源の光により干渉される割合は、０％以上且つ３０％未満であることが望ましい。仮に、検査対象である着色層１１，１２，１３を透過した光源３０の光が、検査対象以外の着色層１１，１２，１３を透過した光源の光により干渉される割合が３０％以上であると、検査対象の着色層１１，１２，１３の透過光が他の着色層１１，１２，１３の透過光により多大に干渉されて視認し難くなってしまうためである。
【００５１】
すなわち、表１に示すように、上記図２及び図３に示した特性（ノート色及びモニタ色）を有する着色層１１，１２，１３に対し、検査対象である赤色（Ｒ）の着色層１１を透過した光の波長域は、５９０ｎｍ以上且つ７８０ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である緑色（Ｇ）の着色層１２を透過した光の波長域は、５１５ｎｍ以上且つ５８５ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である青色（Ｂ）の着色層１３を透過した光の波長域は、３８０ｎｍ以上且つ４８０ｎｍ以下であることが好ましい。このことにより、検査対象以外の着色層を透過した光により干渉される割合を０％以上且つ３０％未満とすることが可能となる。
【００５２】
【表１】
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【００５３】
さらに、表１に示すように、上記干渉される割合は、０％以上且つ１０％未満であることが好ましい。すなわち、上記図２及び図３に示した特性を有する着色層１１，１２，１３に対し、検査対象である赤色（Ｒ）の着色層１１を透過した光の波長域は、６２０ｎｍ以上且つ６３５ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である緑色（Ｇ）の着色層１２を透過した光の波長域は、５４５ｎｍ以上且つ５７５ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である青色（Ｂ）の着色層１３を透過した光の波長域は、３８５ｎｍ以上且つ４６５ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５４】
さらに、表１に示すように、上記干渉される割合は、０％以上且つ５％未満であることがより好ましい。すなわち、上記図２及び図３に示した特性を有する着色層１１，１２，１３に対し、検査対象である赤色（Ｒ）の着色層１１を透過した光の波長域は、６４０ｎｍ以上且つ６７０ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である緑色（Ｇ）の着色層１２を透過した光の波長域は、５５５ｎｍ以上且つ５７０ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である青色（Ｂ）の着色層１３を透過した光の波長域は、４４５ｎｍ以上且つ４６５ｎｍ以下であることが好ましい。このことにより、検査対象以外の着色層を透過した光により干渉される割合を０％以上且つ５％未満とすることができる。
【００５５】
また、光源３０から出射された単色光は、検査対象である着色層１１，１２，１３の透過率が１０％以上となる波長域の光であることが望ましい。仮に、検査対象である着色層１１，１２，１３に対する光源３０から出射された単色光の透過率が１０％未満である場合には、その検査対象である着色層１１，１２，１３の透過光を十分に視認することが難しくなるためである。
【００５６】
すなわち、表２に示すように、上記図２及び図３に示した特性（ノート色及びモニタ色）を有する着色層１１，１２，１３に対し、検査対象である赤色（Ｒ）の着色層１１を透過した光の波長域は、５８０ｎｍ以上且つ６８５ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である緑色（Ｇ）の着色層１２を透過した光の波長域は、４７５ｎｍ以上且つ６０５ｎｍ以下であることが好ましい。また、検査対象である青色（Ｂ）の着色層１３を透過した光の波長域は、３８５ｎｍ以上且つ５３５ｎｍ以下であることが好ましい。このことにより、検査対象である着色層１１，１２，１３の透過率を１０％以上とすることができる。
【００５７】
【表２】
2008504553.tif 000004
【００５８】
−検査方法−
次に、本発明に係るカラーフィルタの検査方法について説明する。
【００５９】
本実施形態の検査方法は、第１の工程と、第２の工程と、第３の工程とを備えている。まず、第１の工程では、図１に示すように、カラーフィルタ１０を支持部２０に装着することにより、光源３０に対向配置させる。このとき、カラーフィルタ１０の着色層１１，１２，１３を、支持部２０の開口部に対応するように配置する。
【００６０】
その後、第２の工程では、カラーフィルタ１０における着色層１１，１２，１３の複数の色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の何れか１つと同じ色の単色光を、光源３０から出射して上記複数の着色層１１，１２，１３に入射させる。例えば、まず、光源３０の赤色ＬＥＤのみを点灯させることにより、赤色（Ｒ）の単色光を光源３０から出射させる。光源３０から出射された赤色の単色光は、各色の着色層１１，１２，１３に入射して赤色（Ｒ）の着色層１１から出射する。
【００６１】
続いて、第３の工程において、上記着色層１１を透過した光により、この着色層１１におけるムラの有無が検査員４０により検査される。すなわち、着色層１１にムラが生じている場合には、赤色の透過光の濃淡として視認される。
【００６２】
ここで、着色層１１，１２，１３に生じるムラについて説明する。
【００６３】
本実施形態でいうムラは、着色層における中央の一部が欠損した欠損部ではなく、着色層の内部に混入した異物でもない。すなわち、上記ムラは、カラーレジストの微小な膜厚変化や、カラーレジストのパターンの面積のばらつきに起因する開口率の変化である。
【００６４】
上記カラーレジストの膜厚変化によるムラは、レジストフィルム自体のうねりや、貼り付け時にレジストフィルムに加えられるテンションの不均一や、レジストフィルムを誤って２重に貼り付けてしまうこと等により生じる。また、上記開口率変化によるムラは、現像不良により生じたり、着色層のパターンにおけるエッジ部分の変形により生じたり、着色層のパターンピッチやパターン幅が不均一になって生じる。
【００６５】
そして、上記赤色の着色層１１の検査を行った後に、再び第２の工程を行い、光源から例えば緑色ＬＥＤのみを点灯させて緑色（Ｇ）の単色光を出射させる。続いて、第３の工程を行い、緑色（Ｇ）の着色層１２の透過光を検査員４０が視認することにより、ムラの有無を検査する。その後、青色（Ｂ）の着色層１３についても、上記赤色及び緑色の着色層１１，１２と同様にして検査を行う。以上のようにして、着色層１１，１２，１３の各色毎に検査を行う。
【００６６】
−実施形態１の効果−
したがって、この実施形態１によると、カラーフィルタ１０の着色層１１，１２，１３に単色光を入射させることにより、検査対象以外の色の透過光を排除して、検査する光を単色にすることができるため、異物の混入や欠損に比べて検出しにくい着色層１１，１２，１３のムラを容易且つ確実に検出することができる。その結果、表示品位を向上させることができる。
【００６７】
また、検査対象である着色層１１，１２，１３を透過した光源３０の光が検査対象以外の着色層１１，１２，１３を透過した光源の光により干渉される割合を、０％以上且つ３０％未満とすることにより、検査対象である着色層１１，１２，１３の透過光を正確に視認できるため、検査を高精度に行うことができる。
【００６８】
また、光源３０から出射された単色光を、検査対象である着色層１１，１２，１３の透過率が１０％以上となる波長域の光とすることにより、所望の色の光を高い輝度で視認できるため、検査の精度を高めることができる。
【００６９】
《発明の実施形態２》
図４は、本発明に係るカラーフィルタの検査方法、及びカラーフィルタの検査装置の実施形態２を示している。尚、以下の各実施形態では、上記実施形態１と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００７０】
本実施形態では、図４に示すように、光源３０は、白色光を発生させる発生部３１と、この発生部３１で発生した白色光のうち所定の波長域の単色光のみを透過させる単色フィルタ３２とを有している。そして、光源３０の全体として、単色光を出射するようになっている。
【００７１】
上記発生部３１は、例えば蛍光ランプ等により構成されている。一方、上記単色フィルタ３２は、赤色(Ｒ)はＴＳ-Ｒ-６２又はＴＳ-Ｒ-６４（TOKIWA OPTICAL CORPORATION 製）、緑色（Ｇ）はＴＳ-Ｇ-５４５（TOKIWA OPTICAL CORPORATION 製）、青色(Ｂ)はＴＳ-Ｂ-３９０又はＴＳ-Ｂ−４４０（TOKIWA OPTICAL CORPORATION 製）により構成されている。そして、光源３０は、着色層１１，１２，１３の各色と同じ３種類の単色フィルタ３２を備えている。そして、単色フィルタ３２を交換してフィルム色を変更することにより、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の単色光を出射させるようになっている。
【００７２】
こうして、上記実施形態１と同様に、第１の工程と、第２の工程と、第３の工程とをそれぞれ行うことにより、着色層１１におけるムラの有無を検査する。
【００７３】
−実施形態２の効果−
したがって、この実施形態２のようにしても、上記実施形態１と同様の効果を得ることができる。また、装置側にフィルタ３２を設けるようにしたので、検査員が繰り返してフィルタを装着する必要がないため、簡便に検査を行うことができる。
【００７４】
《その他の実施形態》
上記実施形態１では、光源３０として、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のＬＥＤを複数備える構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ＬＥＤの代わりに、蛍光灯等に用いられる３波長管を改良して適用してもよい。すなわち、図示を省略するが、３波長管は、一対の放電電極と、その放電電極の間に生じた放電に反応して紫外線を発生させるガスと、紫外線が照射されることにより発光する発光体とを備えている。通常の３波長管は白色光を出射するが、上記発光体の性質を改変して所定の波長域の光のみを発光させることにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの何れか一色の単色光を出射する発光灯を構成することができる。こうして、上記実施形態１における各色のＬＥＤの代わりに、上記各色の発光灯を複数設けることにより、単色光をＲ，Ｇ，Ｂの各色毎に出射する光源を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
以上説明したように、本発明は、カラーフィルタにおける着色層のムラの有無を検査する検査方法及び検査装置について有用であり、特に、ムラを確実且つ容易に検出して表示品位を向上させる場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】実施形態１の検査方法及び検査装置を模式的に示す斜視図である。
【図２】ノート色の着色層の分光透過率特性を示すグラフ図である。
【図３】モニタ色の着色層の分光透過率特性を示すグラフ図である。
【図４】実施形態２の検査方法及び検査装置を模式的に示す斜視図である。
【図５】従来の異物混入部又は欠損部を検出する検査方法を模式的に示す説明図である。
【図６】従来の欠損部を検出する検査方法を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００７７】
１  検査装置 
１０  カラーフィルタ 
１１，１２，１３  着色層 
１５  透明基板 
２０  支持部 
３０  光源 
３１  発生部 
３２  単色フィルタ
【図１】
2008504553.tif 000005
【図２】
2008504553.tif 000006
【図３】
2008504553.tif 000007
【図４】
2008504553.tif 000008
【図５】
2008504553.tif 000009
【図６】
2008504553.tif 000010
【国際調査報告】
2008504553.tif 000011