(57)【要約】【課題】ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを調製する方法及び該フィードストックを用いた焼結体を製造する方法の提供。【解決手段】開示されるのは、ナノ寸法の金属粉末フィードストックを製造する方法である。該方法は、ナノ寸法の金属粉末を用意する段階、前記金属粉末を溶媒中の有機バインダの溶液と混合する段階、及び前記金属粉末の凝集体が均一に形成されるまで前記混合物を湿式ミリングする段階からなる。さらに開示されるのは、上記フィードストックを用いた焼結体を製造する方法である。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノ寸法の金属粉末を用意する段階；
前記金属粉末を溶媒中の有機バインダの溶液と混合する段階；及び
前記金属粉末の凝集体が均一に形成されるまで混合物を湿式ミリングする段階；
からなる、ナノ寸法の金属粉末フィードストックを調製する方法。
【請求項２】
前記混合する段階及び湿式ミリングする段階は同時に行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属粉末は、１種又は２種の有機バインダと混合される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記有機バインダは水溶性バインダであり、及び前記溶媒は蒸留水又はアルコールである、請求項１又は３に記載の方法。
【請求項５】
前記水溶性有機バインダは、ステアリン酸である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記バインダ溶液は、１００ないし２００℃にて２Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ナノ寸法の金属粉末は、Ｆｅ−ベースの合金粉末であり、及びＮｉ、Ｃｕ、Ｍｏ及びＷからなる群より選択される少なくとも１種の金属を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ナノ寸法の金属粉末は、Ｎｉ含量が２ないし８０質量％であるＦｅ−Ｎｉ粉末である、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記混合する段階は、前記混合物に界面活性剤を添加するサブ段階をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記界面活性剤は、２質量％を超えない量で添加される、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記混合する段階及び湿式ミリングする段階は、大気が遮断された状態で行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記混合する段階及び湿式ミリングする段階は、不活性ガス又は保護性ガス雰囲気中で行われる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１２のうちいずれか１項に記載の方法により調製されたナノ寸法の金属粉末のフィードストックを用意する段階；
前記ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを所定の形状へと成形する段階；
成形体を脱脂（ｄｅｂｉｎｄｉｎｇ）する段階；及び
脱脂体を焼結する段階；
からなる、ナノ寸法の金属粉末を用いた焼結体を製造する方法。
【請求項１４】
前記成形する段階は、射出成形又は押出成形により行われる、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記脱脂する段階は、前記成形体を、３ないし１０℃／分の速度にておよそ３００℃ないしおよそ５００℃まで加熱することにより行われる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記焼結する段階は、前記脱脂した成形体を５００ないし１０００℃にて焼結することにより行われる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記焼結体は、２００ｎｍ以下の結晶粒径及び９５％以上の緻密度を有する、請求項１６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
技術分野
本発明は、ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを調製する方法に関する。より特に、本発明は、歪み及び亀裂のような変形なしに完全に緻密化され得る、ナノ寸法の金属粉末の焼結体の製造に適するフィードストックを調製する方法、並びに、該フィードストックを用いた焼結体を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
背景技術
マイクロメーター寸法の金属粉末を用いた焼結体を製造する従来の方法は、粉末射出成形により一般的に行われている。有機バインダの除去後に形成される金属粉末の成形体は、およそ５０％程度の緻密度しか有しておらず、及びこのため、焼結体の完全な緻密化及び均一な収縮が達成され得ない。
【０００３】
高温焼結のような、焼結のための大きな駆動力を与えるプロセスが、焼結体の完全な緻密化に必要とされる。該プロセスに伴う問題は、大きな粒子が生じ、従って材料特性に対する望ましくない変形を伴い、焼結体の物理的特性を損なわせる低下されることである。上述の問題を解決するために、さらなるプロセス段階、例えば、少量の合金元素の添加、焼結中の加圧、及び再成形が使用されてきた。
【０００４】
粉末冶金製品のための材料として最も普及している焼結体である、Ｆｅ−Ｎｉベースの粉体の焼結体の機械的特性を改良するために、焼結後の浸炭及び後アニールが主として使用される。しかしながら、そのような付加的なプロセスは、手順全体を複雑なものとし、かなりの製造コストを必要とし、及び浸炭アニール中に添加された炭素の存在により耐食性を低下させる。結果的に、マイクロメーター寸法の金属粉末を用いた焼結体を製造する従来の方法は、成形体が低密度であり、製造手順が付加的なプロセスにより複雑となり、及び焼結体の物理的特性が低下してしまうという問題を有している。
【０００５】
従来の方法の問題を基本的に解決するべく、１００ｎｍ以下の寸法を有するナノ寸法の金属粉末を用いた焼結体を製造する方法が活発に研究されている。ナノ寸法の金属粉末は優れた焼結性を有しているため、低温／大気圧での焼結技術により均一に収縮し、及び完全に緻密化され得る。さらには、ナノ寸法の金属粉末は高い均一性及び微細な結晶構造を有するので、製品特性が改良される。これら事情の下で、金属射出成形技術へのナノ寸法の金属粉末の適用が活発に研究されている。
【０００６】
しかしながら、ナノ寸法の金属粉末の優れた利用性にもかかわらず、製造及び焼結充填技術は確立されておらず、及びそのため、略網目状焼結体の製造への適用はいまだに不十分である。
【０００７】
特許文献１（発明の名称：金属射出成形用のナノ寸法の金属粉末のフィードストックを製造する方法，特許権者：ハンヤン教育機関（Ｈａｎｙａｎｇ  Ｅｄｕｃａｔｉｏｎａｌ
Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ））は、製造中の製品の形状を維持しつつ、ナノ寸法の金属粉末の爆発的な酸化が制御され得、及び製品の完全な緻密化が達成され得る金属射出成形のためのフィードストックを製造する方法を提案している。該方法によると、ナノ寸法の金属粉末へのバインダの被覆が、ナノ寸法の金属粉末の爆発的な酸化を抑制し、及び製品の完全な緻密化改良する。
【０００８】
しかしながら、該方法は、ナノ寸法の金属粉末のフィードストックの製造に限定され、略網目状製品への適用性を十分に考慮していない。特に、ナノ寸法の粉末は大きな界面エネルギーを有するため、脱脂（ｄｅｂｉｎｄｉｎｇ）後に不均一な気孔分布が成形体内に生じ得る。さらには、低温／大気圧での焼結後であっても気孔が残留し、このため焼結体の機械的特性を低下させる。従って、ナノ寸法の粉末は、１０００℃以上にて高温焼結工程を受けるべきである。しかしながら、高温焼結は焼結体の物理的特性の低下を引き起こし、及び低温／大気圧での焼結の利点、即ち粒子の完全な緻密化及び粒子の成長を利用することを不可能とさせる。さらには該方法によると、脱脂中に、全容量の４０ないし６０％を占めるバインダの急速な除去により生じる成形体の変形を防ぐために、異なる脱脂温度を有する５又は６種の熱可塑性バインダが使用される。従って該方法は、複雑な手順及び高い製造コストの問題を有する。さらには、脱脂温度の上昇は十分に遅くあるべきであるため、全体の工程時間が長くなる。
【０００９】
このように、従来、略網目状焼結体の製造に実際に適用可能であり且つ低温／大気圧での焼結に適したナノ寸法の金属粉末フィードストックを調整する方法、及び該フィードストックを用いた焼結体を製造する方法が必要とされている。
【特許文献１】大韓民国登録特許第０３６６７７３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
発明の開示
技術的問題
それゆえ本発明は、上記の従来技術の問題に鑑みてなされ、本発明の目的は、ナノ寸法の金属粉末の構造的な制御により、その後の脱脂中での粗気孔の発生を抑制することにより完全に緻密化され得る焼結体の製造に適するナノ寸法の金属粉末フィードストックを調製する方法を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、該フィードストックを用いた、より短期間の脱脂により、完全に緻密化され且つ均一な結晶粒径を有する焼結体を製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
技術的解決
上記の目的を達成するための本発明の１つの局面によると、ナノ寸法の金属粉末を用意する段階、前記金属粉末を溶媒中の有機バインダの溶液と混合する段階、及び前記金属粉末の凝集体が均一に形成されるように前記混合物を湿式ミリングする段階からなる、ナノ寸法の金属粉末フィードストックを調製する方法が提供される。
【００１３】
好ましくは、上記混合する段階及び湿式ミリングする段階が同時に行われて、該方法の手順をより簡素化させることができる。
【００１４】
本発明の方法によると、気孔は、その後の成形体の形成中に均一に分布され得るため、有機バインダを１種又は２種のみを金属粉末と混合したとしても、望ましい脱脂は成形体の変形なく行われ得る。
【００１５】
上記の有機バインダは水溶性バインダであり、及び上記溶媒は蒸留水又はアルコールであることが好ましい。上記水溶性有機バインダは、ステアリン酸であり得る。
【００１６】
改良された被覆効果のためには、上記バインダ溶液の粘度は、１００ないし２００℃にて好ましくは２Ｐａ・ｓ以下であり、及びより好ましくは２Ｐａ・ｓ以下である。十分な
被覆効果のためには、０．００２Ｐａ・ｓの粘度を有するバインダ溶液が使用されることが好ましい。
【００１７】
上記ナノ寸法の金属粉末はＦｅ−ベースの合金粉末であり、及びＮｉ、Ｃｕ、Ｍｏ及びＷからなる群より選択される少なくとも１種を含む。代表的なナノ寸法の金属粉末は、Ｎｉ含量が２ないし８０質量％であるＦｅ−Ｎｉ粉末である。
【００１８】
上記混合する段階は、上記混合物に界面活性剤を添加するサブ段階をさらに含み得る。この段階において、界面活性剤は好ましくは、２質量％を超えない量で添加される。
【００１９】
上記混合する段階及び上記湿式ミリングする段階は好ましくは、大気が遮断された状態で行われる。とりわけ該段階は、不活性ガス又は保護性ガス雰囲気中で行われ得る。
【００２０】
本発明の他の局面によると、ナノ寸法の金属粉末を用いた焼結体を製造する方法が提供される。該方法は、ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを用意する段階、前記ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを所定の形状へと成形する段階、成形体を脱脂する段階、及び脱脂体を焼結する段階からなる。
【００２１】
具体的な態様において、上記成形する段階は、射出成形又は押出成形により行われ得る。上記脱脂する段階は、成形体を、３ないし１０℃／分の速度にておよそ３００℃ないしおよそ５００℃まで加熱することにより行われ、これにより脱脂時間がおよそ２時間に短縮される。
【００２２】
上記焼結する段階は、上記脱脂された成形体を３００℃／分以上の速度にて５００ないし１０００℃まで急速に加熱することにより行われ得る。上記焼結する段階は、上記脱脂する段階後に続いて行われることが好ましい。
【００２３】
こうして製造された焼結体は、２００ｎｍ以下の結晶粒径及び９５％以上の緻密度を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明において使用され得るナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末の走査型電子顕微鏡写真（ＳＥＭ写真）である。
【図２】図２は、レーザー粒径分析器を用いた本発明の実施例１において調製されたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末のフィードストックの粒径分析の結果を示したグラフである。
【図３】図３は、本発明の実施例２において得られたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末の脱脂体の破断面の走査型電子顕微鏡写真（２００倍）である。
【図４】図４は、本発明の実施例２において得られたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末の脱脂体の破断面の走査型電子顕微鏡写真（２００００倍）である。
【図５】図５は、本発明の実施例２において製造されたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末の成形体及び焼結体の写真を示す。
【図６】図６は、本発明の２において製造されたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末の焼結体の光学顕微鏡写真（２００倍）である。
【図７】図７は、図６に示される焼結体の過エッチングした表面の走査型電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の様々な特徴及びそれによる効果をさらに詳細に説明する。
【００２６】
本発明は、凝集体が低温／大気圧での焼結に適用され得るように、ナノ寸法の金属粉末の凝集体の寸法が均一に制御されることを特徴とする。特に、本発明によりナノ寸法の金属粉末のフィードストックを調製する方法において、金属粉末は溶液状態にある有機バインダと混合され、そして湿式ミリングされ、それにより凝集体の寸法を均一な水準に維持する。
【００２７】
バインダ溶液の使用は、バインダがより効果的に粉末粒子の表面に塗布されることを可能にするため、粒子の酸化が防止され得る。従って、少量のバインダが成形中に添加された場合であっても、バインダ溶液の粘度が十分な被覆のために低められ、それにより酸化汚染なしに長期間にわたり大気中において貯蔵され得るナノ寸法の金属粉末フィードストックを提供することができる。
【００２８】
バインダは一般的に、およそ２％ないしおよそ５０％の量で混合される。バインダが例えば２方向圧縮成形において比較的少量で添加される場合には、特許文献１に開示された方法では、十分な被覆効果が達成され得ない。対照的に、本発明においてはバインダ溶液及び湿式ミリングプロセスの使用が、凝集体の均一な分布及びバインダのより効果的な被覆を確実にさせる。
【００２９】
バインダ溶液を形成するために使用される溶媒は、蒸留水又はアルコールに特に限られない。十分低い粘度を有するバインダ溶液を形成する限りいずれの溶媒も使用され得る。バインダの種類に応じて様々な既知の溶媒が使用され得る。この場合、バインダ溶液は好ましくは、およそ１００℃ないし２００℃にておよそ２Ｐａ・ｓ以下の粘度を有する。
【００３０】
本発明のフィードストックを製造する方法において、ナノ寸法の金属粉末とバインダ溶液を混合する段階、及び凝集体の均一な寸法の制御のために湿式ミリングする段階は同時に行われて、該方法の手順をより簡素化させることが出来る。例えば、バインダ溶液及びナノ寸法の金属粉末をミリング機に投入し、そして混合物をミリングする。ミリング機内での混合及び粉砕が、バインダ溶液の被覆及び凝集体の寸法の制御の両方を可能にする。これらプロセス段階は好ましくは、大気が遮断された状態で行われる。より具体的には、該プロセス段階は不活性ガス又は保護性ガスにより充填された清浄な装置内で行われることが好ましい。
【００３１】
より均一な分布のためには、少量の界面活性剤が分散剤として所望により使用され得る。上記界面活性剤は好ましくは、焼結体の特性を低下させないように上記混合物の質量に基づき２質量％を超えない量で添加される。界面活性剤の十分な効果のためには、０．５質量％以上の量で界面活性剤を添加することが好ましい。
【００３２】
ナノ寸法の金属フィードストックが焼結体を製造するのに用いられる場合において、凝集体は上記フィードストック中に均一に分布され、これにより粗気孔の発生が抑制される。従って、その後の脱脂中のバインダの分離から生じる変形が最小にされる。従って、従来方法（５種以上のバインダが温度段階こう配に応じて使用される場合）とは異なり、１種又は２種のバインダが本発明において使用され、これにより方法手順を簡素化させることが出来る。さらには、脱脂が、成形体を３ないし１０℃／分の速度にて３００℃ないし５００℃まで加熱することにより行われ、これにより脱脂時間をおよそ２時間に短縮することが出来る。
【００３３】
さらには、脱脂体は、粗気孔の発生なく均一な粒径を有するため、５００ないし１０００℃の温度範囲での低温／大気圧での焼結を該脱脂体に適用して、２００ｎｍ以下の結晶粒径及び９５％以上の緻密度を有するナノ寸法の金属製品を製造することができる。
【実施例】
【００３４】
本発明の態様
本発明の好ましい態様は、添付の図面と併せてより詳細に記載する。本発明の利点及び効果は実施態様によりより良好に理解される。
【００３５】
（実施例１）
先ず、以下の手順に従い、ナノ寸法の金属粉末としてＦｅ−Ｎｉ合金粉末を用意した。即ち、１μｍの平均粒径を各々有するＦｅ酸化物及びＮｉ酸化物を、９２：８の質量比を有するように混合し、そしてその後スチール製の磨砕機内で高エネルギーボールミリングを１０時間行って、混合物を１０ないし２０ｎｍの寸法まで微粉砕した。
【００３６】
その後、微粉砕した混合物を乾燥し、そして水素雰囲気下で４５０℃にて４０分間還元して、ナノ寸法のＦｅ−８質量％Ｎｉ合金粉末を調製した。図１に示された通り、およそ７０ｎｍの寸法を有する粒子が集まっておよそ５ないし数十μｍの寸法を有する凝集体を形成した。
【００３７】
次に、バインダ溶液及び界面活性剤をナノ寸法のＦｅ−８質量％Ｎｉ合金粉末に添加した。バインダ溶液はステアリン酸（ＣＨ3（ＣＨ2）ＣＯＯＨ）５ｇ及び溶媒としてエタノール３５ｍｌを混合することにより調製した。界面活性剤としてオクタノール（Ｃ8Ｈ18
Ｏ）０．５ｍｏｌを使用した。
【００３８】
本実施例においては、上記混合を三次元混合器を用いて湿式ミリングと一緒に行った。具体的には、上記ミリングは、スチール製のボール４０ｇを用いて６０ｒｐｍにて９時間行った。ミリングした混合物を、ナノ寸法のＦｅ−８質量％Ｎｉ合金粉末のローディング率が５０％に達するまで乾燥させて、ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを調製した。
【００３９】
図２は、レーザー粒径分析器（ＬＰＡ）を用いたナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末のフィードストックの粒径分析の結果を示したグラフである。上述したように、ナノ寸法のＦｅ−Ｎｉ合金粉末のフィードストックは、エチルアルコール３５ｍＬ中のＦｅ−８質量％Ｎｉナノ寸法の金属粉末に、界面活性剤としてオクタノール０．５ｍｏｌを添加し、そして混合物をスチール製ボール４０ｇを用いて９時間湿式ミリングすることにより調製した。レーザー粒径分析は、数十μｍの寸法を有する粉末粒子が湿式ミリングにより効率的に粉砕及び分散されて、７００ｎｍの平均寸法を有する凝集体を形成したことを示した。
【００４０】
（実施例２）
本実施例においては、ナノ寸法の金属粉末のフィードストックを用いて円筒形焼結体を製造した。
先ず、上記実施例１において調製したナノ寸法の金属粉末のフィードストックを、１００℃にて１００ＭＰａの圧力下、円筒形の型に射出して、円筒形成形体を製造した。こうして製造した円筒形成形体をおよそ５２％まで緻密化した（図５の左側を参照のこと。）。
【００４１】
その後、射出成形されたＦｅ−８質量％Ｎｉ合金粉末を、酸化による亀裂の発生に対して防止するために、該成形体を５℃／分の速度にて４００℃まで加熱することにより脱脂を行った。
【００４２】
図３は、脱脂後に得られた試料の破断面の走査型電子顕微鏡写真（２００倍）であり、そして図４は、脱脂体の破断面の走査型電子顕微鏡写真（２００００倍）である。図３及び図４に示されるように、その後の焼結プロセスに悪影響を及ぼす粗気孔（マイクロメー
ター寸法の気孔）は観察されず、そして代わりに、１００ｎｍを超えない寸法を有する均一な粒子からなる微細構造が観察された。このことは、実施例１において湿式ミリングされた凝集体が、微粉砕されていない凝集体の間の気孔を均一に充填されるためである。
【００４３】
凝集体の均一な分布に基づき、バインダの分離から生じる粗気孔の発生を抑制するために１種のバインダのみを使用することができた。５種以上のバインダが使用される従来の方法と異なり、脱脂時間が２時間に短縮させることが出来た。
【００４４】
脱脂工程に続いて、脱脂体を３００℃／分の速度にて７００℃まで加熱し、そして３０分ないし４時間焼結させて、９５％の緻密度を有する円筒形焼結体を製造した（図５の右側参照。）。
【００４５】
図５に示した５２％の緻密度を有する円筒形成形体と比較して、上述の脱脂及び焼結後であっても歪みや亀裂のような変形が観察されず、及び円筒形焼結体の形状は成形中に変化しなかった。本実施例から明らかなように、７００℃そこそこの焼結温度においてさえも、９５％以上の緻密度を有する焼結体が、５２％の緻密度（脱脂後）を有する脱脂体から製造され得た。それゆえ焼結体は、複雑な略網目状に焼結された製品の製造において有益であり得る。
【００４６】
図６は、円筒形Ｆｅ−８質量％Ｎｉ焼結体の微細構造を示す光学顕微鏡写真（２００倍）である。図６に示されるように、上記焼結体は、完全に緻密化された構造（緻密度：９５％以上）を有していた。図７は、過エッチング後の円筒形Ｆｅ−８質量％Ｎｉ焼結体の粒子を示す走査型電子顕微鏡写真（５０００倍）である。図７に示されるように、上記焼結体がおよそ３００ｎｍの粒径を有する粒子が均一に分布された微細構造を有していた。
【００４７】
Ｆｅ−８質量％Ｎｉ焼結体の機械的特性を評価するために、マイクロヴィッカース（ｍｉｃｒｏ  Ｖｉｃｋｅｒｓ）硬度計により、２００ｇの荷重で該焼結体の１０箇所以上の微小硬度を測定し、そして平均値化した。得られた平均値は、市販の射出成形焼結体の標準硬度値と比較した。結果を下記の表１に示した。
【表１】
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【００４８】
金属粉末工業連盟（Ｍｅｔａｌ  Ｐｏｗｄｅｒ  Ｉｎｄｕｓｔｒｙ  Ｆｅｄｅｒａｔｉｏｎ）（ＭＰＩＦ）により採用されている標準規格に従う焼結体（ＭＩＭ−２２００、２７００、４６０５）は、８５ないし１３０のヴィッカース硬度値を有する。さらに、日本の標準規格に従う射出成形金属粉末の焼結体は、射出成形されたＦｅ−Ｎｉ粉末の機械的特性を改良するために浸炭及びアニールを受けるので、３００（２質量％Ｎｉの場合）及び３４０（８質量％Ｎｉの場合）の高いヴィッカース硬度値を有する。本発明において製造されたＦｅ−８質量％Ｎｉ焼結体は、米国標準規格で定められた値の２倍以上である２９８のヴィッカース硬度値を有していた。さらには、本発明において製造されたＦｅ−８質量％Ｎｉ焼結体のヴィッカース硬度は、焼結体の機械的特性を改良するためのさらなる
浸炭及びアニールを含まなくても日本の標準規格に規定された値に匹敵していた。
【００４９】
本発明は、上述の実施態様及び添付の図面に関して記載されたが、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲により定義される。従って当業者は、添付の特許請求の範囲に開示された本発明の技術的思想を外れない範囲内で様々な形態の置換、改良及び変更が可能であり、そしてそのような置換、改良及び変更もまた本発明の範囲内であることを認識するであろう。
【００５０】
産業上の利用可能性
上述で明らかな通り、本発明の方法によると、バインダ溶液の存在下での湿式ミリングの適用により、バインダが粉末粒子の表面により効率的に被覆され得、及び凝集体の寸法の均一な制御を可能にする。本発明の方法により調製されたナノ寸法の金属粉末フィードストックは、成形体の内部構造を均一及び微細に維持することが出来るため、ナノ寸法の金属粉末フィードストックを用いた焼結後であっても、歪み及び亀裂のような変形なく、完全に緻密化された略網目状ナノ構造製品が製造され得る。それゆえ、本発明の方法に従うと、製造手順の簡素化及び製造コストの低減が期待され得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2008507623.tif 000007
【図５】
2008507623.tif 000008
【図６】
2008507623.tif 000009
【図７】
2008507623.tif 000010
【国際調査報告】
2008507623.tif 000011
2008507623.tif 000012
2008507623.tif 000013
2008507623.tif 000014