(57)【要約】  外周領域を有している光学要素（１８，２１）、特にレンズまたはミラーを、光学要素（１８，２１）の外周領域に配置されている少なくとも３つの被支持部位（１７）を介して担持体（６）に対し相対的に支持するための装置。光学要素（１８，２１）は被支持部位（１７）を介して少なくとも１つの方向で伸縮性弾性要素（１４，１５，１６）により非確動的に保持されている。各被支持部位（１７）ごとに伸縮性弾性要素が担持体本体（２）を備えた支持装置（１）内にある。支持装置（１）は光学要素を担持体（６）で静力学的に保持している。
2008545152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周領域を有している光学要素（１８，２１）を、特にレンズまたはミラーを、光学要素（１８，２１）の外周領域に配置されている少なくとも３つの被支持部位（１７）を介して担持体（６）に対し相対的に支持するための装置において、光学要素（１８，２１）が被支持部位（１７）を介して少なくとも１つの方向で伸縮性弾性要素（１４，１５，１６）により非確動的に保持され、各被支持部位（１７）ごとに伸縮性弾性要素が担持体本体（２）を備えた支持装置（１）内にあり、支持装置（１）が光学要素を担持体（６）で静力学的に保持していることを特徴とする装置。
【請求項２】
光学要素（１８，２１）が伸縮性弾性要素（１４，１５，１６）によってもたらされる最小力により非確動的保持方向において保持されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
光学要素（１８，２１）が軸線方向および／または接線方向において非確動的に保持されることを特徴とする、上記請求項のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４】
光学要素（１８，２１）に、被支持部位（１７）を形成する突起（１７）が配置されていることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
被支持部位（１７）が光学要素（１８，２１）自身により形成されていることを特徴とする上記請求項のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
被支持部位（１７）にそれぞれ少なくとも２つのカップリング部位が設けられ、そのカップリング部位に対し、担持体本体（２）で光学要素（１８，２１）を保持するためのそれぞれ２つの保持力が作用することを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
カップリング部位を介してそれぞれ１つのスラスト力（Ｆ1，Ｆ3，Ｆ5）と１つの接線方向の力（Ｆ2，Ｆ4，Ｆ6）の双方が光学要素（１８，２１）に作用することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
カップリング部位において、それぞれ１つのスラスト力と、光学要素（１８，２１）の光軸に対し垂直な方向に指向するそれぞれ１つの力とが前記光学要素（１８，２１）に作用し、任意の方向に指向する前記力はただ１つの点で交わらない作用線を持っていることを特徴とする請求項６から７までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
被支持部位（１７）がもっぱら非確動的に保持されることを特徴とする請求項１から８までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
弾性要素が担持体本体（２）により少なくとも部分的に取り囲まれていることを特徴とする請求項１から９までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
弾性要素が予め緊張せしめられる圧縮ばね（２４，２５，２６；３１，３３，３４；３５，３６）によって形成されることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
圧縮ばね（２４，２５，２６；３１，３３，３４；３５，３６）が突起（１７）を軸線方向と接線方向において保持していることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
接線方向に１つまたは２つの圧縮ばね（２４，２５；３３，３４；３６）が配置されていること、軸線方向に１つまたは２つの圧縮ばね（２６；３１；３５）が配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
圧縮ばね（２４，２５，２６；３１，３３，３４；３５，３６）が光学要素（１８，２１）の搬送時に生じるショック荷重を吸収することができる限りにおいてのみ予め緊張せしめられていることを特徴とする請求項１１から１３までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項１５】
圧縮ばね（２４，２５，２６；３１，３３，３４；３５，３６）が支持装置（１）の担持体本体（２）内に配置され、担持体本体（２）がモノリシックソリッドリンク（７）によって保持されることを特徴とする請求項１１から１４までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項１６】
前記ソリッドリンクが２つのロッドまたは足部（４，５）を用いたバイポッドとして構成されていることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
被支持部位（１７）に、または、光学要素（１８，２１）自身に、特にそのエッジ領域に、軸線方向および／または接線方向および／または半径方向の切欠きまたは溝が支持装置（１）の伸縮性弾性要素との結合のために形成されていることを特徴とする請求項１から１６までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
圧縮ばねが前記切欠きまたは溝によって受容されることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
被支持部位（１７）が弾性要素を介して、特に圧縮ばねを介して、支持装置に属するクランプ（５１）で保持されることを特徴とする請求項１７または１８に記載の装置。
【請求項２０】
光学要素（１８，２１）が圧電型または電磁型駆動手段により、特にローレンツアクチュエータにより、少なくとも１つの自由度で位置調整可能であり、前記駆動手段は支持装置（１）の内部および／または支持装置（１）と担持体（６）との間および／または光学要素（１８，２１）と支持装置（１）との間に配置されていることを特徴とする請求項１から１９までのいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
請求項１から２０までのいずれか１項に記載の２つの装置から成る設備において、前記２つの装置の光学要素（１８，２１）が、複数個の支持装置（１）を交互に吊り下げ配置および立設配置することにより、ただ１つの担持体（６）に、特に支持リングに配置されていることを特徴とする設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外周領域を有している光学要素を、特にレンズまたはミラーを、光学要素（１８，２１）の外周領域に配置されている少なくとも３つの被支持部位（１７）を介して担持体（６）に対し相対的に支持するための装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
非特許文献１からは、光学要素をホールダに取り付けるための基準が知られている。これによれば、光学表面のひずみを最小限に抑えるため、ホールダは最低の力のみを光学要素に作用させねばならない。光学要素の嵌め込みを保証するため、且つ特に固有振動数を高めるため、ホールダは高強度を持っている必要がある。ホールダは不透熱でなければならない。すなわち温度変化が光学表面の形状を変化させてはならず、或いは、光学要素の位置に影響してはならない。材料の安定性とクリープ効果を考慮して、光学要素の位置を経時的に安定にすべきである。
【０００３】
特許文献１からは、光学要素とマウントとを備えたアッセンブリが知られている。光学要素はマウント内で多数の連結板を介して堅牢な中間リングと連結されている。中間リングは、アクチュエータまたはパッシブなデカップラーを介して、ケースおよび／または他のマウントに接続させるためのマウントと結合されている。この場合、光学要素の非常に高度なデカップリングが得られる。
【０００４】
特許文献２には、光学要素のための支持装置が記載されている。光学要素は、その光学要素を取り囲んでいるリングであって光学要素を光学系内部の所望の位置に固定させている前記リングからデカップリングされる。このため、リングの内部のスリットを通じてリングから成形されたフレキシブルフィンガーが用いられる。
【０００５】
特許文献３から知られている、光学要素用取り付け部材の取り付け面を方向調整する方法、特にマイクロリソグラフィー投影露光装置における前記方法では、取り付け部材および／またはその取り付け部材と結合される光学要素用支持部材を、レーザーによって発生させたレーザービームにより、取り付け面が少なくともほぼ共通の取り付け面へ指向するように成形する。
【０００６】
特許文献４に記載されているレンズ取り付け方法によれば、柔軟な取り付け構造を備えた装置が使用される。この装置は多数のシートを有しており、これらのシートは可撓性の口金、柔軟な柔らかい口金の装置、或いは可撓性の半径方向口金と柔らかい口金との組み合わせに取り付けられている。弾性要素は温度変化に応じてレンズを半径方向へ拡張、収縮させる。
【０００７】
特許文献５は、光学要素、特にミラーまたはレンズを、光学装置、特に投影露光装置内部で支持するための装置に関わり、光学要素の周部に配置される３つの被支持部位を備えている。これらの被支持部位にはそれぞれ支持装置が係合し、支持装置は被支持部位とは逆の側で外側の本体構造部と結合されている。支持装置は、光学要素に対し接線方向に配置される少なくとも１つの板ばね状の撓み部材と、光学要素に対し半径方向に配置される少なくとも１つの撓み部材とを有している。
【０００８】
特許文献６によれば、光学要素は、少なくとも３つのホールダがほぼ１２０゜の間隔で光学要素に取り付けられていることにより、ケース内部に固定されている。各ホールダは、リングまたはスリーブの内側に配置されている球面のディスクを有している。各ディスクは光学要素に境を接してこれを担持している。ケースに作用するいかなる荷重もディスクをホールダに対し滑動または回転運動させ、この種の荷重が光学要素に伝達されないようになっている。軸線方向および接線方向において確動的な結合が提供される。
【０００９】
特許文献７には、光学要素、たとえばレンズを支持するための支持装置が記載されている。この支持装置の場合、レンズのための位置固定の取り付け面が担持体本体の内面に配置されているとともに、片側を担持体本体で支持される弾性板片がレンズの重量の一部を吸収して、重力のためにレンズが大きく変形したり締め付け過負荷にならないようになっている。したがって、光学要素とマウントとの間に、弾性力を利用する、非確動的な結合機構が使用される。しかしながら、この結合機構には、強制自由度を阻害し、コントロールが困難な不十分な数量のカップリング部位が設けられている。特に、球状の表面とその球状の表面を受容している円錐状の支持部との間で接触を実現させる場合にコントロールが困難である。またクランプ装置も設けられており、前記表面を支持部で保持し、運動学的支持、すなわち静力学的支持を実現するようになっている。前記カップリング部位には取り付け時に滑り摩擦が発生するが、この滑り摩擦は支持部で光学要素を新たに位置調整する際の再現性を悪化させる。
【００１０】
特許文献８には、光学要素のフランジ領域を保持するためのリング状の保持部分を備えた保持装置が記載されている。保持装置の保持領域はブロックを含んでおり、これらブロック上に前記フランジ領域が載置される。ブロックは担持体機構を介して光学要素の接線方向軸線のまわりに回転可能に支持されている。
【００１１】
特許文献９は、クランプ力を減少させた運動学的（静力学的）レンズホールダに関わる。このホールダはホールダ機構と３つのクランプユニットとを有し、３つのクランプユニットはそれぞれ、ホールダ機構に装着された柔軟なベースと、弾性要素を備えた弾性装置とを含んでいる。光学要素は軸線方向でのみエッジをクランプされる。接線方向においては摩擦により保持される。
【００１２】
特許文献１０からは、取り付け部を周部に配分したレンズを保持するための運動学的装置が知られている。この装置では、硬い取り付け要素と弾性的な取り付け点との組み合わせが設けられている。弾性的な取り付け点は、レンズをその周部において取り囲んでいる担持体本体を介して好ましくは回転対称に分配され、軸線方向においてのみ、すなわち光の放射方向においてのみわずかな剛性を持っている。これは、レンズを高締め付け力に曝して変形させずに、レンズの重量荷重を均等にワッシャーに分配させるためである。弾性的な取り付け要素のそれぞれは予め荷重されているので、レンズに作用する力は硬い取り付け要素と弾性的な取り付け要素のすべてを介して均等に配分される。
【００１３】
このように、結合技術および支持技術の例として多数の解決手段が知られている。支持技術としては、たとえば前記特許文献２に開示されているような運動学的（静力学的）解決手段、或いは、たとえば特許文献１１に開示されているような準運動学的解決手段が知られている。
【００１４】
光学要素のための結合技術としては、確動的な解決手段、非確動的な解決手段、摩擦による解決手段、素材間結合による解決手段が知られている。確動的な解決手段は前記特許文献６に開示されている。部分的な摩擦による解決手段は前記特許文献５に記載されている。光学要素をねじ力またはくさび力により保持させる、摩擦による解決手段には、ショック荷重を吸収させるため、摩擦係数が必要なねじ力、すなわち法線方向の力を静止摩擦係数の逆数ぶんだけ上昇させる欠点がある。さらに、緊張状態にある装置部材のクリープ効果と弛緩効果は経時的に変形、ずれを生じさせる。前記特許文献１１と特許文献１２には、素材間結合による解決手段が記載されている。これらの原理を組み合わせると、多数の解決手段の可能性が生じる。運動学的解決手段と準運動学的解決手段の利点および欠点は文献に記載されており、たとえば冒頭で引用した前記非特許文献に記載されている。
【００１５】
【特許文献１】独国特許出願公開第１９８２５７１６Ａ１号明細書
【特許文献２】米国特許第５４２８４８２号明細書
【特許文献３】独国特許出願公開第１９９５７３９８Ａ１号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第１０８１５２１Ａ１号明細書
【特許文献５】欧州特許出願公開第１２４５９８２Ａ２号明細書
【特許文献６】米国特許第４２６８１２３号明細書
【特許文献７】米国特許第６４００５１６Ｂ１号明細書
【特許文献８】米国特許出願公開第２００２／０１６３７４１Ａ１号明細書
【特許文献９】国際公開第２００４／００１４７８Ａ１号パンフレット
【特許文献１０】米国特許第６２３９９２４Ｂ１号明細書
【特許文献１１】米国特許第６２２９６５７Ｂ１号明細書
【特許文献１２】米国特許第６３６６４１２Ｂ１号明細書
【非特許文献１】D. Vukobratovich著の論文"Flexure mounts for high-resolution optical elements"、Proc. of SPIE第０９５９巻、R. J. Bieringer, K. G. Harding編（１９８８年１月）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の課題は、光学要素、特にレンズの公知の支持装置を改善することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この課題は、本発明によれば、冒頭で述べた種類の装置において、光学要素が被支持部位を介して少なくとも１つの方向で伸縮性弾性要素により非確動的に保持され、各被支持部位ごとに伸縮性弾性要素が担持体本体を備えた支持装置内にあり、支持装置が光学要素を担持体で静力学的に保持していることによって解決される。
【００１８】
ミラーまたはレンズのような光学要素はその形状が変形しやすいものであるが、本発明はこのような光学要素のために、ガラスまたは同種の材料から成っている光学要素とその光学要素を少なくとも３箇所で保持するマウントとの間の結合技術を提示するものである。運動学的支持技術に関して言えば、これら３箇所に、有利にはそれぞれ２つの保持力を持った２つのカップリング部位が適用される。この場合、接線力との関連でスラスト力が適用されるか、或いは、光軸に対し垂直な面内における任意の方向の力との関連でスラスト力が適用されるかのいずれかである。なお、これらの力の作用線は原理的に１点で交わってはならない。「軸線方向」、「半径方向」、「接線方向」という概念は光学要素の光軸に関するものであり、光軸に垂直な面に投影した光学要素の外側輪郭に関するものである。
【００１９】
本発明によれば、カップリング部位でのクリープ効果、緊張状態にある部材の締め付け力の弛緩を十分に回避できる。それ故、接触部位の数量も最小限に制限される。光学要素を保持するためにもっぱら非確動的結合のみが実現され、摩擦による結合は必要ない。緊張力は最小の弾性力を使用することにより最小限に抑えられる。
【００２０】
本発明の思想によれば、摩擦による結合の代わりに非確動的結合が適用される。この種の結合の利点を以下に詳細に説明する。
【００２１】
質量Ｍの光学要素が１つの方向ｘに（たとえば接線方向に）たとえばショックが付加された結果運動したとすると、換言すれば加速度Ａを受けたとすると、接線方向に（一般的には加速度の方向に）光学要素に対し力ＦT＝Ｍ・Ａの変化が作用する。この力の変化に対しては、光学要素を摩擦で保持する場合（たとえばばね板または皿ばねを用いて保持する場合）、少なくともＦRS＝Ｍ・Ａ／μの大きさの保持力が必要である。柔軟なばね、好ましくは平坦な弾性特性曲線を持ったばねを用いて非確動的に保持する場合、光学要素の位置を保持するには、力はΔＦKS＝Ｍ・Ａだけ変化すればよい。この例の場合、力ＦRSは光学要素の取り付け面に対し垂直に作用し、すなわち光学要素が接線方向に加速度を受けたとすると、この力はほぼ軸線方向に作用する（Ｆaxial）。なお、μは静止摩擦係数であり、取り付け面を精密に加工する必要がある場合、ほぼ０．１ないし０．２の範囲にある。静止摩擦係数が小さいため、光学要素を保持するには、光学要素を非確動的に保持して加速度力を直接たとえば弾性要素により吸収する場合よりもかなり大きなスラスト力Ｆaxialを適用しなければならない。上記の例が示すように、光学要素を非確動的に保持する場合のΔＦKSの値はＦRS（光学要素を摩擦で保持する場合）の値よりも非常に小さい。これは、総じて光学要素が曝される機械的締め付け力がより小さいからである。弾性手段を用いた非確動的結合の場合、弾性力は、或いは、弾性手段の変形によって生じる、加速度に反作用する力は、光学要素を再びホームポジションへ戻し、他方摩擦による結合の場合には、たとえば静止摩擦による光学要素の固定が短時間保証されていなければ、光学要素はあいまいな振舞いをすることがある。さらに、光学要素を摩擦で保持する場合、摩擦結合を生じさせる大きな力を光学要素に対し常時作用させねばならず、他方光学要素を非確動的に保持する場合には、光学要素が上記加速度Ａを受けた場合にのみ、或いは、光学要素がショックを受けた場合にのみ、光学要素は、非確動的結合を提供している弾性要素の弾性特性に依存する、摩擦による結合に比べて著しく小さな力に曝される（以下の図１に対する説明を参照）。それ故、光学要素を非確動的に保持することは、光学要素を摩擦で保持する場合よりも締め付け力が極めて小さな保持態様である。
【００２２】
図１は、光学要素を非確動的に保持するケースにおいて、保持力に関し予め緊張せしめられていない弾性要素を用いて光学要素を保持する場合に、位置ｘ（たとえばｘ軸上の２つの点のうちの一方の点によって特定される位置で、ｘは一般的には空間座標である）において光学要素に作用する力ＦT（たとえば接線方向の力）を示している。力積が作用している間、或いは、光学要素を加速させることにより、力ΔＦKSが発生すると、この力は光学要素を変位量Δｘだけ変位させる。この変位量Δｘは光学要素を保持している弾性要素によって決定される。力ΔＦKSの作用が終了すると、光学要素は再びそのホームポジションへ戻る。同様の挙動は、弾性要素が所定の力で予め緊張せしめられるケースにおいて、力ΔＦKSが所定の予緊張力を上回った場合に生じる。弾性要素が予め緊張せしめられるケースにおいて、力ΔＦKSが所定の予緊張力よりも小さければ、光学要素はその本来の位置に留まり、すなわち変位量はゼロである（Δｘ＝０）。ＦKSは、光学要素を適当な位置ｘで保持するために光学要素にもたらされるべき、光学要素に作用する力である。すなわちＦKSは、光学要素を前記位置で保持するために弾性（伸縮性）要素によってもたらされる、光学要素を非確動的に保持する方向での最小力である。
【００２３】
摩擦による結合の場合には、光学要素がその本来の位置に留まるよう保証されねばならない。この場合、力積によって光学要素に作用する力が静止摩擦力を越えてはならない。すなわち、力積の範囲内で、前述の非確動的結合の場合と同じ力ΔＦKSが作用した場合、もし光学要素と保持要素との間に力ＦRSが静止摩擦を提供している面に対し垂直に作用すれば、光学要素はその位置を変化させない。すなわち光学要素は確実に保持される。前記力ＦRSと静止摩擦係数μとの積は、力積によって生じる前記力ΔＦKSよりも大きく、すなわちＦRSμ＞ΔＦKSである。なお、この場合、力積の力は静止摩擦を提供している面の方向に指向しているものと仮定した。このようなケースでない場合には、前記ΔＦSの代わりに、この方向に指向する力成分を使用する。この力成分はレゾルバーによって検出できる。前記条件ＦRSμ＞ΔＦKSが損なわれると、光学要素がその本来の位置から離間して新たな位置を占める恐れがある。力の作用が終了した後、すなわち力積が終了した後、光学要素はこの新たな位置に留まる。
【００２４】
上述したように、光学要素を摩擦により保持する場合の静止摩擦係数が小さな値であるため、保持力は、力積により光学要素に作用すると予想される最大力または光学要素の加速度により予想される最大力のほぼ５倍ないし１０倍の大きさでなければならない。この点を図１においてＦRSで示した。これにより光学要素は非確動的に保持する場合よりも強い締め付けに曝される。しかしながら、非確動的保持で（光学要素を摩擦で保持する場合と同様の）この強い締め付けが許容されると、光学要素の許容変位量Δｘ（図１を参照）が同じである場合、一般的には、可能な力積に対しより大きな力ΔＦRSを保持システムにより吸収することができる。なお、図１では、簡単にするため、光学要素用保持装置用の、予め緊張せしめられない弾性要素は、位置ｘにおいて力ＦRSを生じさせるものと仮定した。
【００２５】
本発明の他の有利な構成は従属項、以下の説明、図面から明らかである。
【００２６】
有利な実施態様では、光学要素に複数個の突起が形成されている。突起は光学要素自身によって形成されるのが有利である。これとは択一的に、光学要素にたとえば押し込みばめ、接着により取り付けられる口金、ブラケット、またはブロックにより形成してもよい。
【００２７】
さらに、突起にそれぞれ２つのカップリング部位が設けられ、そのカップリング部位に対し、担持体本体内で光学要素を保持するためのそれぞれ２つの保持力が作用するのが有利であることが判明した。
【００２８】
この種の配置構成では、カップリング位置においてそれぞれスラスト力と接線力の双方が光学要素に作用するのが有利である。
【００２９】
これとは択一的に、カップリング部位において、それぞれ１つのスラスト力と、光学要素の光軸に対し垂直な任意の方向に指向するそれぞれ１つの力とが作用し、任意の方向に指向する前記力はただ１つの点で交わらない作用線を持っているのも有利である。
【００３０】
突起をもっぱら非確動的に保持する装置が有利である。
【００３１】
本発明によれば、光学要素を保持するために最小弾性力を投入することにより光学要素の締め付けを最小限に抑えるので有利である。
【００３２】
有利には、弾性要素を少なくとも部分的に取り囲む保持装置内に弾性要素が配置されることである。
【００３３】
弾性要素を、予め緊張せしめられる圧縮ばねにより形成するのが有利である。
【００３４】
他の有利な装置では、圧縮ばねは軸線方向と接線方向において突起を保持する。この場合、接線方向に１つまたは２つの圧縮ばねが配置され、軸線方向に１つまたは２つの圧縮ばねが配置されるように装置が構成されているのがよい。
【００３５】
有利には、圧縮ばねを、光学要素の搬送時に生じるショック荷重を吸収することができる限りにおいてのみ予め緊張させることである。
【００３６】
装置の他の有利な構成では、圧縮ばねが担持体本体を受容しているクランプユニット内に配置され、そのクランプユニットは担持体本体をモノリシックソリッドリンクにより保持する。
【００３７】
これに加えて、有利には、前記ソリッドリンクを２つのロッドを用いたバイポッドとして構成することである。
【００３８】
同様に、光学要素の突起に、または、光学要素自身に、特にそのエッジ領域に、軸線方向の、好ましくは接線方向および／または半径方向の切欠きまたは溝が支持装置の伸縮性弾性要素との結合のために延びているのが有利である。
【００３９】
有利には、圧縮ばねが前記切欠きまたは溝で受容されるように構成するのがよい。圧縮ばねとたとえばＶ字状の溝との間には、中間設置されるスペーサを設けてもよい。
【００４０】
本発明の他の構成では、光学要素の突起が弾性要素を介して、特に圧縮ばねを介して、支持装置に属するクランプで保持される。
【００４１】
力を減少させた圧縮ばねを使用することにより（光学要素を摩擦で締め付け固定する装置とは異なる）、圧縮ばねのばね定数を適宜小さく選定すれば、締め付け力と弛緩効果またはクリープ効果によるカップリング部位のずれ、変形が少なくなる（図１を参照）。
【００４２】
ソリッドリンクを介しての運動学的デカップリングは接触部位を減少させ、公知の方法を用いて静力学的に且つ動力学的に最適化可能な支持を生じさせる。３つのバイポッドを外側の支持リングに固定することにより、或いは、バイポッド自身のなかに一体的に組み込むことにより、圧電型または電磁型駆動手段を介してのアクティブな位置調整を実現させることができる。
【００４３】
本発明は、それぞれ１つの光学要素を備えた２つの装置を含み、光学要素が上述のように構成されている設備にも関する。この設備では、光学要素は、複数個のクランプ要素または支持装置を交互に吊り下げ配置および立設配置することにより、ただ１つの支持リングに配置されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
次に、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
【００４５】
バイポッドとも呼ばれるクランプ要素１（図２；以下では支持装置とも記す）は本体すなわち担持体本体２を有している。本体すなわち担持体本体２は、中央の繰り抜き部３と、たとえばリング６（図３）として形成された担持体（６）で支持されている２つの側方の足部４，５とを備えている。足部４，５は、その構成原理に関してはたとえば欧州特許出願公開第１２４５９８２Ａ２号明細書（特許文献５）から知られており、その構成に関しては当該公開明細書の内容を指摘しておく。足部４，５は、前記欧州特許出願公開第１２４５９８２Ａ２号明細書に記載の支持装置から知られているように、板ばね状の撓み部材７および／またはソリッドリンクを有している。
【００４６】
繰り抜き部３には、保持板８，９，１０（図２）とねじ１１，１２とを介して本体２と結合されている担持体１３が挿着されている。担持体１３は３つの圧縮ばね１４，１５，１６を受容しており、これらの圧縮ばねは光学要素、たとえばレンズ１８の突起１７を保持している。光学要素は接線方向においては２つの圧縮ばね１４，１５を介して固持され、軸線方向においては圧縮ばね１６を介して固持されている。
【００４７】
レンズ１８は、クランプ要素（支持装置）１以外にも他の２つの支持装置（クランプ要素）１９，２０によって保持され、この場合、予め緊張せしめられた圧縮ばね１４，１５，１６はレンズ１８をこれら圧縮ばねの間に挿入された突起１７により固持する。
【００４８】
概略図（図４）は、突起２２を備えた光学要素２１において任意の力が当該光学要素２１に対しいかに作用するかを示している。突起２２に作用する力Ｆ1とＦ2は、光学要素２１によって張られる面の内側において軸線方向または任意の方向に作用する。この面は、通常は、光軸ｚに対し垂直である。力Ｆ3とＦ4は軸線方向または光学要素２１の円形周部に対し接線方向に作用する。この場合、軸線方向の力Ｆ1とＦ3は図１、図３の支持装置により圧縮ばね１６を通じて吸収される。圧縮ばね１６は、一般的には、軸線方向に弾性があるように形成された固定要素である。接線方向の力Ｆ4は図３の配置構成の図１の支持装置内部で圧縮ばね１４と１５を通じて吸収される。同様に、これらのばねの代わりに、一般的には、接線方向に弾性があるように形成された固定要素を使用してもよい。
【００４９】
光学要素に設けた突起２３（図５）には、軸線方向に作用する力Ｆ5のためのカップリング部位と接線方向に作用する力Ｆ6のためのカップリング部位とが用意されている。この場合、これらカップリング部位は、それぞれ上記力に対し垂直な面であるのが有利である。これは、これらの面が上記力に対し垂直でない場合のように、上記力の成分を軸線方向または接線方向とは異なる方向へ転向させないようにするためである。このようにすると、軸線方向の力と接線方向の力を、保持装置１内に軸線方向または接線方向に取り付けられ且つこれらの方向にそれぞれ伸縮性があるように形成される固定要素（たとえば図２に図示した圧縮ばね１４，１５，１６）によって直接吸収することができるという利点がある。
【００５０】
図２の光学要素を支持するために使用できるような、クランプ要素１（支持装置１）の内部で突起１７を保持するための実施形態（図６）では、突起１７の下面と垂直面に伸縮要素２４，２５，２６が装着されている。これらの伸縮要素２４，２５，２６はたとえば緊張せしめたコイルばねまたは皿ばねとして形成されている。下面とは反対側の上面には剛体要素２７，２８が配置されている。突起１７は前記垂直面とは反対側の垂直面に膨隆部２９を備えており、膨隆部２９はシリンダピン３０に面し、すなわちシリンダピンに当接する。したがって、突起１７は特定の機械的負荷または荷重に対し非確動的に保持される。このように非確動的に保持されるのは、光学要素の機械的負荷が下方に作用する力積の場合である。このような力積は、たとえば光学要素を取り囲んでいるユニット（たとえばリソグラフィー装置の光学部材）の搬送または組み立ての場合に発生するような衝撃（またはショック）から生じる。物理学では通常、力積とは作用力を時間で積分したものである。力積は、一般に、インパルスの変化によって表わすことができ、或いは別の表現をすれば、時間的に制限された加速度によって発生させることができ、或いは簡単には、時間的に制限された力によって発生させることができる。力積によって生じる、光学要素の下向きの加速度は、伸縮要素２４と２５によって吸収され、或いは、ばねを予め適当に緊張させておけばこの加速度は阻止される。なお、ばね２４と２５を予め緊張させる場合には、この予緊張力はたとえば予想される力積で発生する最大力に対応するように選定される。このようにして、突起１７が剛体要素２７と２８の当接面から解離または離間するのが阻止される。予緊張力をこれよりも小さく選定すると、予想される力積が最大である場合、光学要素の突起１７は短時間で剛体要素２７と２８から離間する。しかしこのとき、ばね２４と２５により力が減衰するに伴ってこれらばねによって突起１７は再び剛体要素２７と２８に当接する。したがって、（衝撃またはショックによる）下向きの力積が作用した後、光学要素は剛体要素２７と２８によって設定される所望の位置を再び占める。
【００５１】
ばね２４と２５および剛体要素２７と２８に対応して、ばね２６は接線方向に力積が作用したときに（力積の力成分はシリンダピン３０からばね２６のほうへ指向している）、シリンダピン３０と協働する。ばね２６も同様に予め緊張させられていてよく、この場合の予緊張力は、予想される力積で生じる最大力にほぼ対応しているのが好ましい。このようにして、突起１７がシリンダピン３０の当接面から解離すること、或いは、この当接面から離間することが阻止される。ばね２４と２５の場合と同様に、ばね２６の予緊張力は力積で予想される最大力よりも小さく選定してもよい。この場合には、光学要素の突起１７は短時間でシリンダピン３０の当接面から離間する。その後、力が減衰するにしたがって突起１７はばね２６により再びシリンダピン３０に当接する。これにより、光学要素は接線方向の力成分をもった力積（たとえば衝撃またはショックにより発生する）が作用した後に、シリンダピン３０により予め設定された所望の位置を占める。一般的には、図６に図示したばねの代わりに弾性手段を使用してもよい。完全を期すために述べておくと、図６に図示した支持装置の実施形態を用いて光学要素を保持する場合、剛体要素２７，２８の方向に力成分を持った力積の場合および／またはシリンダピン３０の方向に力成分を持った力積が作用する場合、光学要素は摩擦でも保持される。この場合、ホールダのサイズが適宜なサイズであれば、摩擦による保持力は非確動的保持力も小さい。これに対して、力積の力作用が正確に剛体要素２７，２８の方向またはシリンダピン３０の方向に指向していれば、光学要素は突起１７により図６の支持装置で確動的に保持される。
【００５２】
他の構成（図７）では、光学要素２１を保持するために、突起１７の下面にも両垂直面にも伸縮性弾性要素３１，３２，３３，３４が配置されている。一般的に伸縮要素が予緊張力をも有することのできる弾性要素であってもよいこの種の支持装置の実施形態が選定されるのは、下向きの任意の方向の力積が予想される場合、および、その際に光学要素を非確動的に保持すべき場合である。一般的に言って、上向きの任意の方向の力積が予想される場合には、図７に図示した、突起１７に上から作用する剛体要素の代わりに、場合によっては予め緊張せしめられる伸縮要素または弾性要素を使用してよい。
【００５３】
他の実施形態（図８）では、突起１７はそれぞれ２面で弾性要素３５，３６によって保持され、他の２面で剛体要素３７，３８によって保持される。各方向に対し、剛体要素３７，３８の間隔または伸縮要素３７，３８の長手方向の拡がりを変化させるための少なくとも１つの位置調整手段３９，４０，４１が設けられ、その結果総じて弾性力（要素３５，３６を突起１７に対し押圧させる）、すなわち伸縮要素または弾性要素の予緊張力或いは光学要素の位置を調整可能であり、且つ変更可能であり、しかも突起１７の位置を調整可能である。したがって、突起１７の位置を少なくとも１つの自由度で弾性要素３５，３６の予緊張力とは独立に調整することができる。一般的には、剛体要素３７と３８の代わりに弾性要素を使用してもよいが、その弾性要素（これら弾性要素の少なくとも１つ）にも位置調整手段４１を備えさせて、その位置を変化させる。これにより突起１７をその位置に関し２つの自由度で（少なくとも１つの自由度で）調整することができ、この場合さらに、突起１７の位置とは関係なく弾性要素の予緊張力を調整することができるので、弾性要素は所望の予緊張力で光学要素またはその突起に作用する。光学要素をたとえば３つの突起１７を用いて、すなわち、３つの被支持部位１７を用いて保持し、その際それぞれの被支持部位１７をその位置に関し２つの自由度で調整可能であるようにすると、光学要素は全部で６つの自由度まで調整可能であり、この場合には各被支持部位において（少なくとも１つの被支持部位において）、前記要素３５，３６を突起１７に対し押圧させるためのその被支持部位１７の予緊張力を当該被支持部位１７の位置に関係なく設定でき、よって光学要素の位置に関係なく設定できる。
【００５４】
本発明の他の構成（図９）では、光学要素に１つの突起４２が設けられている。突起４２は、圧縮ばね４３によって取り囲まれているねじ４４を介して、絶縁性の（静力学的な）支持要素４６のヘッド要素４５と結合されている。支持要素は２つの足部４７，４８によって形成されるバイポッドを介して担持要素に対し支持されており、且つ固定されている。突起４２は、接線方向において、圧縮ばね４９によって取り囲まれているねじ５０を介して弾性支持されている。支持要素４６はその上面にクランプ５１を有しており、クランプ５１は板ばね５２を有している。板ばね５２はヘッド要素４５とクランプ５１との間の領域に突起４２を差し込むのを容易にさせる。板ばね５２に装着されている接続部材５３にはソリッドリンク５４が一体に組み込まれており、その結果ねじ５０による接線方向での突起４２の弾性支持が支援される。接続部材５３は位置調整要素６０を用いて接線方向に位置調整でき、これにより突起４２をこの方向で位置調整できる。ねじ５０を後調整することにより、突起５２を再び所望の予緊張力で、または予緊張力なしで保持することができる。したがって、光学要素をその位置に関し１つの自由度で調整することが可能であり、且つ突起４２を備えた光学要素の位置に関係なく、突起４２に作用する予緊張力を場合によっては調整することが可能である。一般的に、光学要素１８，２１の被支持部位１７，４２はその被支持部位の位置に関し少なくとも１つの自由度で調整でき、この場合補助的に、光学要素１８，２１は被支持部位１７、４２を介して少なくとも１つの方向で少なくとも１つの弾性要素または少なくとも１つの伸縮性弾性要素１４、１５、１６、４９により非確動的に保持され、且つ場合によっては、伸縮性弾性要素または弾性要素により生じる保持力を、操作位置とは独立に、よって光学要素の位置とは独立に調整できる。他の実施形態では、たとえば位置調整要素６０の代わりに、ねじ５０と同等の装置を用いてもよく、或いは、この種のねじを用いてもよい。この種のねじも圧縮ばね４９によって取り囲まれているのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】非確動的結合の場合の力を示す図である。
【図２】支持装置とともに示したクランプ要素の平面図である。
【図３】クランプ要素を備えた３つの支持装置を介して担持体本体で支持されている光学要素とともに図示した装置の斜視図である。
【図４】装置内での光学要素の保持態様を図示した概略図である。
【図５】装置内での光学要素の保持態様を図示した概略図である。
【図６】装置内での光学要素の保持態様を図示した概略図である。
【図７】装置内での光学要素の保持態様を図示した概略図である。
【図８】装置内での光学要素の保持態様を図示した概略図である。
【図９】光学要素をクランプを用いて保持するための固定装置の図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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