(57)【要約】  基板移送システムの実施例が提供される。該システムはガイドウエイ及び少なくとも１つの移送車両を有している。該移送車両は少なくとも１つの基板を保持し、ガイドウエイに支持されてそこに沿って移動することが可能である。該ガイドウエイは車両用の少なくとも１つの移動レーンと移動レーンからオフセットした少なくとも１つのアクセスレーンとを有し、よって該車両は選択自在に移動レーンにアクセスしたり移動レーンから離れたりすることが可能となる。
2008510673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板移送システムであって、
ガイドウエイと、
少なくとも１つの基板を保持し、前記ガイドウエイにサポートされて該ガイドウエイに沿って移動することが可能な少なくとも１つの移送車両と、からなり、
前記ガイドウエイは前記少なくとも１つの車両用の少なくとも１つの移動レーンと前記移動レーンからオフセットしている少なくとも１つのアクセスレーンとからなり、よって前記車両は選択自在に移動レーンにアクセスしたり移動レーンから離れたりすることが可能となる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
半導体製造施設内にある低収容力のウエハキャリアを移送するシステム及び方法が開示されている。
【背景技術】
【０００２】
半導体産業においては、現在、工場においてウエハの安全性を向上すると同時にウエハサイクル時間を削減し、作成中のワークの数（Work In Progress）を削減する傾向にある。将来、単一ウエハ用キャリアを採用することによって、ウエハサイクル時間及びWIPが著しく減少することが研究で報告されている。加えて、次世代ウエハサイズ（450mm）においては、ITRSロードマップは単一の基板キャリアを提唱している。単一のウエハ若しくは低収容力のキャリアを使用する利点には、WIPの削減、プロセス切替時間の低減、及び製品立ち上げ時間（ramp time）の改善が挙げられる。工場では高いペースを効率的に維持しなければならないため、従来の単一の基板キャリアが採用される場所では、プロセスツール及びマテリアル搬送システムの両方の能力に関して問題が生じる。すなわち、13又は25枚のウエハ用キャリアに比べて数多くのキャリアが搬送の際に移動されなければならない。かかる問題の一例には、スロットが１つのみしかないことが含まれる。プロセスツール内のロボットには、キャリア内のウエハを迅速に交換する（fast swap）能力が望まれる。これによって、キャリアは未処理のウエハを有する他のキャリアと交換されることが可能となり、よってツールの多忙な活動が維持される。数多くのツールは、従来の単一ブレード（blade）３軸ロボットの場合と同様であり、迅速に交換する能力を有していない。かかる問題の他の例には、スロットが１つのみしかないことが含まれる。IC工場内においてキャリアをツールに搬送するマテリアル搬送システムは、高速にキャリアを供給してプロセスツールのロードポートにおいて迅速にキャリアを交換する能力を有していることが望まれる。これによってツールにおける１つのキャリアは未処理のウエハを有する他のキャリアと交換されることが可能となり、ツールの多忙な活動が維持される。数多くのかかるマテリアル搬送システムは、従来の300mm工場に採用されている従来のオーバーヘッド搬送（OHT）ベースのマテリアル搬送システムの場合と同様であり、高速でキャリアを供給する能力や迅速に交換したりする能力を有していない。従来のマテリアル移送システムは、キャリアが移送される移送スキーム若しくは移動スキームが極めて硬直化しており、ワークピースの収容力が低いキャリア（例えば従来の13若しくは25枚のワークピースポッドよりも低い）にとって望ましい移送における十分な柔軟性を提供していない。例えば、連続移動サポートベースのもの（例えばコンベアベルト若しくはローラシステム）若しくは車両ベースのもの（例えばレールや軌道上を移動する個別の車両）の何れかのような従来の移送システムは、異なる経路間での移送を切り替える交差点や分岐点を伴った、実質的にリニアな移動経路を採用している。該移動経路は一般的に一方向であり、各々経路上を移動する車両若しくは他の場合は搬送マテリアル（例えばワークピースキャリア）が経路の所与の方向に沿って順々に連続的に移動することが可能となる。従って、車両若しくは搬送マテリアルは通過することなく経路に沿って前進して移動する。双方向の移動用に、対向する経路が提供される（例えば前進経路及び帰還経路）。工場のツールやツールステーションに流通するサービス経路に加えて（すなわちサービス経路は経路に沿って移動する搬送マテリアル若しくは車両が工場ツールにインターフェースするために停止する位置を有している）、従来の移送システムは両経路分岐点の間に専用のバイパス若しくは高速（停止している搬送物を追い越すことが不可能であることによって制限されるサービス経路上で使用されている搬送速度と比較して）経路を有しても良い。それにもかかわらず、高速経路はサービス経路上で停止している搬送物や減速している搬送物をサービス経路上の搬送物が通過することは出来ない。更に、従来の搬送システムの高速経路に沿った搬送はリニア（連続的な順序に従う）のままであり、依然として通過させることは出来ない。従って、何らかの理由（例えば故障）によって高速経路上で搬送物が停止した場合は、該経路上の他の搬送物はそこを回避して、停止している搬送物を通り越して、経路上での移動を継続することが出来なくなる。従来のマテリアル移送システムの硬直した搬送計画は、工場のツールの使用可能性を最大限活用してワークピースを管理する能力を低下させており、工場において達成可能な処理能力を同様に悪化させていることが判る。実施例は従来のシステムのかかる問題を以下に詳細に説明するように克服した。
【０００３】
移送システム、キャリア及びオープナの例が米国特許公報第6,047,812号、第RE38,221E号、第6,461,094号、第6,520,338号、第6,726,429号、第5,980,183号、第6,265,851、米国特許公開公報第2004／0062633号、第2004／0081546号、第2004／0081545号、第2004／0076496号、並びに係属中のブルックス・オートメーション社（Brooks Automation）の出願番号第10／682,808号に記載されており、これらは本願の開示に組み入れられる。
【発明の開示】
【０００４】
実施例においては、基板移送システムが提供される。該システムはガイドウエイと少なくとも１つの移送車両とを有している。該移送車両は少なくとも１つの基板を保持し、ガイドウエイにサポートされつつそれに沿って移動することが可能である。該ガイドウエイは車両用の少なくとも１つの移動レーンと、該移動レーンからオフセットした少なくとも１つのアクセスレーンとを有し、よって該車両は選択自在に移動レーンにアクセスしたり離れたりすることが可能となる。
【実施例】
【０００５】
本発明の前述のアスペクト及び他の特徴が、添付図面と共に以下の説明に記載されている。
【０００６】
図1を参照すると、製造施設すなわち工場（FAB）に配置された開示された実施例の特徴部分を備えた基板処理システムの略平面図が示されている。開示された実施例は図面にて示された実施例を参照して説明されるが、開示された実施例は数多くの他の変形例によっても実施可能であることを理解すべきである。更に、構成要素や材料には任意の好適なサイズ、形状又はタイプを使用しても良い。
【０００７】
図1に示す実施例の基板処理システム10は任意の好適な処理システムの代表例であり、一般的に処理ツールS（例示目的で２つが示されている）、搬送システム10及びシステムコントローラ300を有している。搬送システム10は一般的にガイドウエイ12及び移送車両14を有している。図示する実施例においては、ガイドウエイ12は受動的（passive）ガイドウエイであって、移送車両14用に複数の搬送レーンTL、ALを提供している。少なくとも１つの移動レーンTL及び少なくとも１つのアクセスレーンALが存在している。移送車両14は、ガイドウエイ12によって形成されるレーンTL／ALに沿った経路上で自立走行が可能である（以下に説明するように）。移送車両14（例示目的で図1には後述する２つの車両14及びリカバリ車両14Rが示されている）は、各々１以上の基板キャリアCを保持しつつそれをガイドウエイに沿ってガイドウエイ12に接続されている所望の処理ツールすなわち処理ツールステーションSに向けて搬送することが可能である。車両14はガイドウエイ12の上部に載置されるか若しくはそれから吊り下げられている。車両はアクセスレーンALから処理ツールSにアクセスしても良い。移動レーンTLはアクセスレーンALにおいて停止している車両若しくは減速している車両を、バイパスするために車両が使用する。車両は移動レーンからアクセスレーン及びその逆方向に自在に移動可能である。
【０００８】
図1はガイドウエイ12の一部分の単なる代表を示しており、ガイドウエイは所望に応じて伸長しても良く、任意の好適な形状を有しても良い。よって、車両14用に提供された搬送経路はツールステーションと車両との間でキャリアCを移送すべく、任意の所望の位置における任意の所望の数のツールステーションSに車両がアクセス可能となる。所与のツールステーションSにおける基板処理ツールは任意の好適なタイプであっても良く、これには例えば、製造ツール（例えばブルックス・オートメーション社（Brooks Automation Inc.）のGXシリーズツール）、ストッカ若しくはソータがある。該ツールは内部空間を画定するケーシングすなわちエンクロージャを有しても良く、その中に基板（キャリアから独立している）若しくはキャリア自身がロード／アンロードされる。ツールの好適な例が２００５年８月２３日出願の「エレベータベースのツールローディング及びバファリングシステム（ELEVATOR-BASED TOOL LOADING AND BUFFERING SYSTEM）」と題する米国特許代理人整理番号第390P011937-US（PAR）号に開示されており、これは本願の開示に組み入れられる。キャリアCは、基板（例えば200、300、450mm（任意の他の直径／サイズの半導体ウエハ）、レチクル若しくはフラットパネルディスプレイ用のフラットパネルなどのワークピースを保持することが可能な任意の好適なタイプのキャリアであっても良い。キャリアは、管理された環境下において基板を保持することが可能なケーシングを有しても良い。キャリアCは低収容力のキャリアであっても良い。低収容力のキャリアは従来の13若しくは25枚のウエハよりも収容力が少なく、SEMI347に準拠したFOUPと同様の方法によって構成されても良いが、高さ及び重量が減じられていることを特徴としている。基板キャリアの好適な例が２００５年８月１９日出願の「低収容力のキャリア及びその使用方法（REDUCED CAPACITY CARRIER AND METHOD OF USE）」と題する米国特許代理人整理番号第390P011935-US（PAR）号に開示されており、これは本願の開示に組み入れられる。キャリアは前面（側面）開口方式か若しくは底部開口方式であっても良い。代替例においては、開示されている実施例の特徴部分が任意の種類のワークピースキャリア用の搬送システムに同様に適用であれば、キャリアは任意の他の好適なタイプのキャリアでも良い。ガイドウエイ12は任意の好適な構造物によって任意の形状で形成されてもよく（すなわち車両14がライドする好適なライド表面12S及び適切な幅を有しても良い）、本実施例においては、移動レーンTL及びアクセスレーンALと称されている両方が提供されている（以下に詳細に説明する）。ガイドウエイ12は工場内において任意の所望の高さに位置しても良い。例えば、ガイドウエイは工場のフロアレベルであっても良いが（かかる場合の図1に示すガイドウエイの端部すなわち境界部は実質的には存在していないが（すなわち構造体によっては形成されない））、レーンTL、ALに沿って移動する車両の移動経路によって仮想的に画定される（すなわちレーン上を移動する車両の空間エンベロープ）。ガイドウエイ12は持ち上げられても良く、例えば床より高い位置において上方から吊り下げられたり下方から支持されたりしても良い。図1から判るように、ガイドウエイ12はツールステーションSの所望のイン���ーフェース側部に沿って配置されても良い（若しくは代替案としてツールステーションがガイドウエイの側部に沿って配置されても良い）。ガイドウエイ12はツールステーションSの位置に対応するインターフェースステーションIを有し、ここにおいて車両が停止してキャリアCを車両14とツールステーションSとの間で移送する。ツールステーションはアクセスレーンAL内に配置されても良い。本実施例においては、インターフェースステーションIにおけるツールステーションと車両との間のキャリアの移送は、ガイドウエイ12に対して横方向である（インターフェースステーションIの端部正面図である図１Bをも参照）。図2をも参照すると、他の実施例の搬送システムガイドウエイ10'の略平面図が示されている。図2に示す実施例においては、図1に示す実施例のガイドウエイ12と全体的に同様なガイドウエイ12'は、ツールステーションSのオーバーヘッドに位置している。本実施例においては、ガイドウエイのインターフェースステーションI（これは図2から判るようにアクセスレーンAL'内にある）は、ガイドウエイ構造体の開口部Oによって画定される。該開口部はキャリアがガイドウエイに対して垂直（すなわち下方）な向きで車両14'に向けて移動したり車両から移動したりするのが可能なサイズを有している。かかる貫通孔（pass-through）Oはアクセスレーンをロードポートの直接上部に設置することを可能とし、よって高い位置にあるガイドウエイの収納に使用する通路の幅を狭めることが可能となる。キャリアを車両に向けて移送したり車両から移送したりする能動的な要素が車両若しくは係合装置の上に搭載されても良く、若しくは移送ポイントにおいて床面に設置されても良い。代替案においては、オーバーヘッドガイドウエイからの移送方向は横方向（外向き）及び下方の組合せであっても良く、移送の際にキャリアが通過するスルーホールがガイドウエイに無くても良い（例えばキャリアの移送は側部を超えて行なわれる）。車両は開口部を横切ることが可能なように構成されている。図1-2から判るように、本実施例においては、ガイドウエイの移動レーン及びアクセスレーンTL、ALは、ガイドウエイ12の長さ方向に沿って、実質的に同一面上にあって実質的に制限されることなく互いに流通している。レーンを移動レーンとして指定するか若しくはアクセスレーンとして指定するかは任意であって（図示されているレーンの指定は例示目的である）、レーンがアクセスレーンの役割を担うのか若しくは移動レーンの役割を担うのか（若しくは両方）は、インターフェースステーションI（すなわちツールステーションの位置）の配置に関係していることが判る。更に、アクセス移動レーンの指定は一時的であっても良い。例えば、ツールステーションS、従ってインターフェースステーションIはガイドウエイ12''の両レーンに位置しても良い（図1A参照）。図1Aに示す実施例においては、車両14''はインターフェースステーションI''において停止し、少なくとも車両14''が停止する間はアクセスレーンAL''と称される。隣接するレーンは車両14A''が通過する移動レーンの役割を担い、よって移動レーンと称される。図1Aから判るように、インターフェースステーションIA''はそのレーン内に同様に位置しても良い。しかしながら、イン��ーフェースステーションIA''は車両によって占有されておらず、よって該レーンは移動レーンとして操作される。占有されているインターフェースステーションI''、IA''の位置が逆になったとき、移動レーン及びアクセスレーンの指定は各々逆になる。代替例においては、異なるレーンにおけるインターフェースステーションI''、IA''はガイドウエイに沿って充分に離間され、よって車両は反対レーンの占有されているインターフェースステーションの周りを通り抜けても良い。この場合は、各レーンはインターフェースステーションに全体的に相応したアクセスレーン部分、及び反対レーンのインターフェースステーションの実質的に真向かいに位置する移動レーン部分を有している。移送車両はレーン同士の間を自在に移送／横断し、よって１以上の移動レーンに沿った妨害されない移動が継続する。
【０００９】
ガイドウエイ12はコントローラ300に接続された案内システム16を有しても良く、よってガイドウエイ12の移動レーンTL、ALに沿った移送経路Tl、ALE、Al上の車両の案内が可能となる（図1参照）。図1に示す移動レーン上の移動経路は単なる代表例であり、車両は任意の所望の移送経路に沿って移動しても良い。図1に示す実施例においては、案内システム16は位置決め装置16Aを含んでおり、ガイドウエイレーン上を移動する車両14の位置決定が可能となる。位置決め装置は任意の好適なタイプであっても良く、例えば連続式若しくは分散型装置16Tであり、例えば光学的、磁気的、バーコード、基準ストリップが挙げられ、これはガイドウエイに沿って延在し、ガイドウエイを横切っている（ストリップ16A）。分散型装置16P、16Aは車両14上の好適な読取デバイスによって読み取り若しくはインターロゲートされ、よってコントローラ30は、ガイドウエイのトラベルレーン及びアクセスレーンTL、AL上の車両の長手方向位置及び／又は横方向の位置、並びに車両のキネマティック状態の一方若しくは両方を確立することが可能となる。代替例として、該装置LGPは車両のセンサに関する項目を検知又はインタロゲートして位置／キネマティック状態を同定する。位置決め装置16Pは単独で若しくは分散型装置16T、16Aと組み合わせて、移動する車両の位置を検知することが可能な個別の位置決め装置（例えばレーザ距離測定デバイス、超音波距離測定デバイス、内部GPSに類似した内部位置決めシステム、若しくは内部逆GPS）を有しても良い。コントローラ300は案内システム16からの情報を車両からの位置フィードバック情報と組み合わせても良く、これは以下においてより詳細に説明され、よってガイドウエイの移動レーン及びアクセスレーンTL、ALに沿った及びそれらの間の車両の１以上の移送経路が確立されて維持される。
【００１０】
ガイドウエイ表面12Sが更に形成されて車両の物理的ガイドS16T、S16Aを画定し、これは所望であれば案内システム16の一部分を形成する。代替例においては、ガイドウエイは物理的ガイドのない案内システムを具備している。本発明の他の代替例においては、案内システムは遠隔センサを有していない。ガイドウエイ表面は溝部、レール、トラック若しくは車両14の機械的案内特徴部分と協働する構造上のすなわち機械的な案内表面を形成する任意の他の好適な構造体を有しても良い。ガイドウエイ表面12Sは更に電線を含んでも良く、これには例えば印刷ストリップ、若しくは車両に電子的案内を提供する導体（例えば車両14の好適な案内システムによって検知される好適な電磁信号を送信する電線）が挙げられる。ガイドウエイ12は更にそこに車両への電源供給用の電源システム18を有しても良い。電源システム18は連続的電源システム18P、18T、18Aを有しても良く、これには例えば導体若しくは印刷ストリップがあり、これはガイドウエイ構造体に配置されて移動する車両14に向けて電源（例えば交流）を供給することが可能である。本実施例においては、連続する電源ライン18P、18T、18Aが案内システム16、16T、16Aから分離して示されているが、代替例においては電源ラインは案内手段に組み入れられても良い（例えば電源ラインは車両に電子的／電気的案内を提供するために使用される）。電源システム18は更に例えば個別の電源ステーション18PDを有しても良く、ここにおいて車両14が充電される。電源ステーション18PD（例示目的で１つのみが示されている）は要望に応じて配置され、例えば車両14の停止が予想される場所に配置され、これには例えば図13に示されるようにキャリアの移送が行なわれるインターフェースステーションIがある。本実施例においては、案内システム16のガイド表面S16T、S16Aは、レーンTL、AL上の経路Tl、ALl、ALiを画定し、その上を車両14が移動し（車両14がガイドウエイ12上でレーンTL、ALの経路から外れて移動することも可能である）。ただ１つのレーンTL、及び付随するアクセスレーンALが例えば図1に示されているが、ガイドウエイ12は任意の所望の数の移動及びアクセスレーンを包含しても良く、レーンTL及びALと同様の対応する移動及びアクセスライン上に任意の所望の数の移動及びアクセス経路を包含しても良い。他のレーンはレーンTL、ALに平行であっても良く、若しくは任意の他の向きに配置されても良い。移動レーンTL内の移動経路は分岐部20（物理的ガイドの場合は構造体であり、物理的ガイドが使用されないときは仮想である）を有しても良く、ここにおいてアクセスレーンAL、ALl-AIi上の経路は移動レーンTL経路に結合／分岐している。図1Aから判るように、アクセス経路ALl（図1Aには２つのみが示されているが、ガイドウエイ12のアクセスレーンALは、経路TLに沿って連続的に及び／又は各分岐部20において平行に配置されている経路ALl、AIiと同様の任意の所望の数のアクセス経路を有しても良い）は移動経路TLIをインターフェースIに結合し、ここにおいてキャリアの移送が車両14と対応するステーションSにサービスする中間搬送部（図示せず）との間で生じる。アクセスレーンAL上のアクセス経路が案内システム16によって画定され、再び物理的ガイドが存在してない場合の仮想であるか、若しくは部分S16A（及び電源手段18PA）によって画定される構造体であり、本実施例においては図1に示されるようにアクセス経路の対向する端部に２つの入口／出口部分を有している。図1-2から判るように、アクセス経路ALl-AIiはアクセスウエイ及びサイド経路すなわち移動経路TLl（インターフェースにおいて車両14はコンテナを車両から若しくは車両に移送する必要なくアクセスレーンAL上を移動する）ステーションへの側線を提供している。従って、アクセスレーン上で所望であれば車両は停止される。また、操作不可能な車両は、例えば他の車両を用いて、若しくは手動によってアクセスレーン上に動かされる。更に、アクセスレーンは車両を待機させるためのバッファを有する。
【００１１】
前述したように、少なくとも１つの自立的な車輪で動く車両14が受動的ガイドウエイ12上に採用されている。車両14は、例えばオンボード電動モータ14Mによって摩擦駆動を介して推進される。摩擦エネルギや他に使用するエネルギは、ウルトラ蓄電器及び／又はバッテリ、若しくは機械的エネルギ（例えば、フライホイールを使用して）として車両に蓄えられる。蓄えられたエネルギの再充電は個別の位置18PDにおいて若しくは連続的にガイドウエイ18P、18PT、18PAに沿って、接触若しくは非接触手段を介して行なわれる。
【００１２】
実施例においては、本質的に再充電が素早いのでウルトラ蓄電器14Cが主エネルギ貯蔵装置の役割を担っている。充電の際は、エネルギは交流の形態でガイドウエイ12から車両14に係合接触部（図示せず）を通して送られる。交流での移送が直流に比べて望ましい。なぜなら、これは直流接触充電における一般的な故障モードであるアーク放電に比べて本質的に自己消去だからである。更に、接地された直流供給の削除及び分配効率の改善に関して、著しく材料コスト及び所有するコストが削減できる。代替例においては、しかしながら、直流電流を使用しても良い。
【００１３】
前述したように、実施例の車両軌道コントロール用の位置フィードバックは、車両の車輪におけるエンコーダ及び／又はレゾルバを使用する、連続的な走行距離計測法によって実施され、これはガイドウエイ案内システム16の外部参照（例えば、光学的若しくは磁気的エンコーディング、バーコード、基準、レーザ若しくは超音波測距、等）を使用して定期的に更新される。図15は２つの位置（POS1、POS2）の間でガイドされる車両14の略平面図である。本実施例においては、POS2はガイドウエイの例示としてのインターフェースステーションIにおける車両の位置を表わしており、最終位置であり得る。図15において、POS1として表わされている車両の初期位置はガイドウエイ上のいずれの位置にあっても良い。例えば、POS1はアクセスレーン上か、若しくは移動レーン上にあっても良い。車両の初期位置と最終位置との間の経路PTは本実施例においては代表的なものであり、任意の好適な経路がコントローラ300によって選択され得る。コントローラは車両14の初期位置POS1を車両エンコーダ情報、若しくは案内システム16又は両方から確認する。コントローラは車両位置を連続的にモニタするか、若しくは選択的モニタリングを採用し、これには例えば、車両の位置POS1（車両走行距離計測法情報によってコントローラに認識されるか、若しくは案内システム16によって検知される）における到着があり、コントローラによって車両位置が認識される。コントローラは好適にプログラムされて車両の目的地（例えばPOS2若しくはPOS2を通過した何らかの他の位置であり、それに関してPOS2はウエイポイント（waypoint）である）を認識し、車両に操縦指令を送り、車両を経路PTに沿ってPOS2に向けて移動させる。車両が経路PTに沿って移動している場合の位置フィードバックが前述したように提供される。
【００１４】
図14A-14Dは他の実施例の自立的に操縦することが可能な車両を示しており、種々の移動レーン及びアクセスレーンの間で結合及び分岐が行われている。図14A-14Dに示されている車両14A-14Dは、既述されている以外は、全体的に互いに同様であり、更に図1-2に示す車両14に同様である。図14A-14Dの実施例による車両14A-14Dは、実質的に若しくはホロノミックに近く、更に実質的に非スカフ・ステアリング（no-scuff steering）システム14AS、14BS、14CS、14DSである。図14Aに示す実施例においては、車両操縦システム14ASは４つの独立して電源供給されて操縦自在な車輪14AWを有しており、スカフィング（scuffing）することなくホロノミックに近い動作を提供する。図14Bに示す実施例は、車両に独立して駆動する車輪（反対側側面に）及びフリーキャスタが具備されている。図14Cに示す実施例は、車両14Cの一方の側部に２つの操縦自在な車輪14CSWと、車両の他方の側部に１つの中心駆動車輪14CDWとを有している。図14Dに示す実施例は２つの操縦自在な車輪14DSW及び差動駆動軸14DA上の２つの車輪を有している。代替例においては、車両は任意の他の所望の操縦システムを有しても良い。自立的な操縦は、ガイドウエイの移動レーン及びアクセスレーンの間で車両が実質的に自在に移動することを可能にする（TL、AL、図1-2参照）。移動レーンとアクセスレーンとの間の分岐点の位置は、構造基盤に対して最小の影響若しくは全く影響を及ぼすことなく所望の位置に配置して良く（ツールの移動を促進するため、例えば）、若しくは動的に配置しても良い（使用不可能車両等の予期しない妨害を回避するため）。各車両は設備「マップ（map）」を貯蔵する好適なメモリを備えたオンボードプロセッサ（図示せず）を有しており、よって、所望の目的地へ向かう自律的な経路設定が促進される。封鎖された経路に遭遇した場合は、車両は軌道を調整する能力を有しており、かかる障害の周りにガイドウエイに沿ってナビゲートするか、若しくは代替経路若しくはガイドウエイを選択する。車両には更にワイヤレス通信デバイス（図示せず）が具備されても良く、よって他の車両及び／又はベースステーションとワイヤレスで通信し、よって発送調整、位置確認、エラー報告、及び経路のアクセス可能性状態等を目的とした情報の共有が可能となる。前述したように、例示した車両は１以上の平坦な、実質的に平板の表面を横断し、これは理想的には、設備のフロアであって、よってガイドウエイの資本投資が最小化され既存の工場の改装が容易になる。かかる車両は従来の（自立的なガイドされる車両s）AGVと対照的であり、これが半導体のマテリアルハンドリングに採用されてきた。典型的には、従来のAGVはオペレータのインターフェースポイント（例えば、300mmウエハ処理施設内の900mm高さにおいて）においてフロアに沿ってナビゲートされる際にペイロードをロード及びアンロードする。動的ロードに対応するため、従来のAGVは高く、特に地震のときにひっくり返り（tip-over）を回避するため、それらは重心が低く設計されており、更にペイロードよりもはるかに重い重量部を保有している。その結果、頑強なオペレータ・インテグリティシステム及び性能上の制限（例えば速度が抑えられている）が採用され、よってそれらは人的オペレータと適切に共存すること���可能となる。本実施例の車両14はポイント・ツー・ポイントの移送のみに使用されることが企図されており、これはフロア上か若しくは専用のガイドウエイデッキ上であり、従ってそれらの（サイズ及び重量）スケールは運搬されるペイロードのものと近似しており、オペレータに対して劇的によりユーザーフレンドリな状態が提供される。小さなサイズの車両は、据え付け及び／又は保全作業員によって容易に操作されることを可能とする。図14Eを参照すると、車両14Eには収容部分が追加されてマニュアルでの取り扱いが支援され（例えば、回収用）、これには例えば人間工学に妥協することなく車両の操作を可能にするポール収納特徴部分がある。
【００１５】
前述したように、処理ツールの近傍においては、又は、より一般的には、ソース及び目的地Sにおいては、アクセスレーン（若しくは側線）ALが提供され、ここにおいて車両14が減速され、停止され、及び所望であればキャリアを移送する（図1）。車両14は高速移動レーンからアクセスレーン内に移動し、減速して停止し、その後車両はキャリアを処理ツール、ツールバッファ、若しくは貯蔵棚にインターフェースIを介して届ける。キャリアの移送が完了すると、車両14はアクセスレーンALにおいて加速し、移動レーンTLに合流して戻る。移動レーンTLにおいては、車両14は新たな目的地に関連する移動レーンAL上の側線ALl、AIiに直接向けて比較的一定の速度で移動する。従って、アクセスレーンALは移動経路TL用の側線を提供し、逆に、アクセス経路ALに隣接する移動経路TLの一部分TLTは側線ALのバイパスを提供する。
【００１６】
ここで図3A-3Cを参照すると、車両14上に配置されているアクティブな切替要素14SW、14STによって、２成分の（合流-分岐）経路選択スキームによる経路設定が行なわれる。図3Aは実施例を示しており、ここにおいて車両はアクティブな切替要素14SW、14STを有している。本実施例においては、車両は移動方向T、A（１つの要素14SWが示されているが、車両は両端部に切替要素を有しても良い）に対向する車両の端部において、案内すなわち切替要素14SWを有している。切替要素14SWは機械的若しくは電子的であっても良い。例えば、機械的切替部はカム表面を有しても良く、これは例えば車両のシャーシに揺動自在に搭載されたカムプレート若しくはカムローラによって形成される。カム表面は駆動せしめられて、すなわち受動的であって、ガイドウエイ12において案内システム16の案内表面S16T、S16Aと協働して（図1参照）カム表面を所望の経路Tl、ALl、AIiの方向に位置決めする（図1参照）。カム表面は好適な伝達機構若しくは伝達システムによって（図示せず）操縦システム14ST（例えば図14A-14Dに示すステアリング車輪／ローラ、車両が磁気浮上システムによって支持される場合はステアリング磁石）に結合される。カム表面からの入力は機械的若しくは電子的に可動ギア14ST伝達され、車両の所望の経路TL、AL上の動きを操縦する。切替要素14SWが電子的な場合は、好適なセンサすなわち検出器が含まれて電子的案内手段16からの所望の特性（例えば磁界、光学的若しくはRF信号）が検知され、サーボ若しくは任意の他の好適なステアリングモータコントローラによって処理されるステアリング信号を生成し、よってステアリングギア14STからの操縦が行なわれる。車両14上のアクティブな切替要素14SW、14STは、アクティブトラック要素に依存するのではなく、車両が切替を行なうことを可能にする。これによってネットワークの一部分の機能を無効にする潜在的な単一点障害が回避される。これは更に最小の通信オーバーヘッドを伴った分散若しくは中央制御を収容する柔軟性を有している。
【００１７】
図3Bは他の実施例を示しており、可動スイッチ16Wが例えばトラックに組み込まれており、よって車両の複雑さが最小化されている。図3Bから判るように、本実施例においては、案内システム16は分岐部20において移動経路TLに沿って位置している切替要素16SWを有している。切替要素16SWは本実施例においては機械的要素として示されているが、切替要素は電子的なもの（可動部分がない）であっても良い。例えば、機械的要素はスイッチプレート若しくはスイッチ部材40を有し、これは好適なモータすなわちアクチュエータ42によって作動する。スイッチプレート40はアクチュエータ42によって第１部分Oと第２部分Pとの間で作動せしめられ、第１部分Oにおいてはスイッチプレートは車両14を移動経路TL上で継続すべく指令／ガイドし、第２部分Pにおいてはスイッチプレートは車両を経路TLから離間（若しくは方向に応じて）させてアクセス経路ALに乗せるように指令する。電子的スイッチ（図示せず）を本実施例に使用しても良く、ここにおいて車両は、磁気浮上若しくは空気ベアリングなどの非接触手段を用いて支持されてガイドウエイ12内を縦走する（図1A参照）。電子的スイッチは電子的なものであって図3Bに示す機械的スイッチ16SWと類似しているが、可動スイッチプレートの代わりに、車両が長い移動経路TLで継続するか若しくはアクセス経路ALに移動することを指示すべく操作する例えば磁力を生成する。実行可能な混成アプローチは、図3Cに示すようにカム表面に追随することによって選択的に対応するトラックセクションにそれる車両を使用することを含む。本実施例においては、ガイド手段16は経路TL、ALに合流／分岐する分岐部20に位置する受動的に選択可能なスイッチ要素16SWを含んでいる。スイッチ要素16SWは位置O（実質的に経路TLに並んでいる）と位置P（経路ALへの移動用）との間で旋回自在若しくは移動自在である。ガイド手段16は更に図示されているように地面に置かれたカム表面16Gを有しても良い。車両14は図1の実施例と同様のスイッチ要素14SWを有しているが、本実施例においては、車両上の切替要素14SWが操作してガイドウエイ上のスイッチ16SWの動きを生じ、車両14の所望の操縦が行なわれる。ここで車両の切替要素はガイドウエイ上の地面に置かれたカム表面16Gに従うカムフォロワ14C、及び好適な伝達システム14Tによってカムフォロワ14Cに結合されている駆動メンバ14Sを含んでいる。駆動メンバ14Sはカムフォロワ14Cからの入力（機械的若しくはその他）に基づいて位置し、ガイドウエイ12の移動自在なスイッチ要素16SWに順に作用し、それを位置0若しくは位置Pの何れかに位置する。
【００１８】
アクセスレーンへの合流に加えて、車両は集合する移動レーンと分岐する移動レーンとの間で切り替わり、よってソースから目的地までのそれらの経路が最適化される。図4A-4B及び5A-5Bに示されるように、局所的な、若しくは全工場に亘る、垂直にスタックされた平行な更なるガイドウエイ12D、12Lを採用することによって搬送能力が増加することに留意されたい。種々の移動「デッキ」12U、12Lがスタックされ、同様の若しくは反対の所望の移動方向を有している。図4A-4B、5A-5Bに示す実施例においては、例示目的で２つのデッキのみが示されているが、代替例においては、任意の所望の数のデッキを使用しても良い。デッキ12U、12Lは各々実質的に前述したガイドウエイ12と同様である。両デッキは図示されているように互いに隣接しているか、若しくは例えば１つが高位置にあるガイドウエイにあって１つがフロア高さのガイドウエイにあるような、異なる高さに配置されても良い。図5A-5Bに示す実施例においては、キャリア移送開口部が図5Bから判るようにデッキ12V、12Lに位置しており、本実施例においては、キャリア開口部OPは互いに並んでいる。これによって上方のデッキの車両が下方のデッキを介してキャリアを移送することが可能となる。代替例においては、下方のデッキのみがキャリア開口部を有しても良い。
【００１９】
前述した実施例における移動レーンとアクセスレーンとの間の水平移動は、移送経路（ここでは車両は実質的に一定速度でソースと目的地との間で移動可能である）とアクセス経路（ここでは車両は、例えばロードを移送するため及び／又は再充電のために加速／減速及び停止する）との間の所望の分離を行なう一方法である。代替例は垂直に変位された複数のトラックの間での合流及び分岐を含み、よって、いくつかの若しくは全ての車両ストラクチャを所望のように変位することによって、同一のトラックで停止している他の車両を車両が通過することが可能となる。図9A-9Eは異なる実施例による統合された昇降機構を備えた移送システムの移送車両114A-114Eの略正面図である。記載している以外は、複数の車両は全体的に互いに類似しており、少なくとも１つのキャリアをサポートすることが可能なキャリアサポート部114ACS、及びキャリアサポート部の昇降を行なう昇降機構を各々有している。図9Aに示す実施例においては、昇降機構114AEは実質的に剛体のリール部材からなり、これは巻き付けられたり巻き戻されたりしてサポートが昇降する。図9Bに示す実施例においては、昇降機構114BEははさみ状部材を有し、これは一端部において車両フレームに対して摺動自在である。高さ調節が所望により該部材をはさみのように動かすことによって行なわれ、これはモータ及びリードスクリュを介して行なわれる。図9Cに示す実施例においては、エレベータ114CEは３点つ若しくは４点の連結システムを有しており、これはモータ及びリードスクリュによって駆動せしめられて折りたたまれたり伸びたりする。図9Dに示す実施例においては、エレベータ114DEは望遠鏡のように伸縮自在なレール若しくはカラムアレンジメントを有しており、図9Eに示す実施例においては、エレベータは連結したチェイン連結部を有しており、巻き付けられたり巻き戻されたりすることが可能である。代替例においては、任意の好適な昇降システム（流体及び／又は磁力を含む）を使用しても良いことが判る。図16A-16C及び17A-17Cに示されるように、車両は更に頂部と底部との両方に昇降機構を具備しても良い。図16A-16C及び17A-17Cを参照すると、車両214は低部トラック12Lから上部トラック12Uに移行している。本実施例においては車両214は全体的に図9A-9Eに示される車両114A-114Eと同様であり、例外的に本実施例においては、車両214は図示されているように頂部昇降機構と底部昇降機構とを有している。図16B及び17Bから判るように、１つの機構は底部車輪から途中まで上方に上げられ、一方上方機構は上方車輪を進路の残り分だけ上方トラックに向けて上げる。代替例においては、車両は充分な到達距離を有する単一のエレベータを有しても良い。上方の車輪が上方トラックに到着した後、下方の車輪は退避せしめられて結果的に図16C及び17Cに示す構成となる。頂部ガイドウエイから底部ガイドウエイへの車両の移行は逆の方法によって行なわれる。この場合は、車両は上方トラック若しくは下方トラックの何れかにある干渉している車両を乗り越えるか若しくはくぐりぬける。本実施例においては、車両は上方トラック12Uに沿って乗っているときは、上方トラックから吊り下げられている。車両の上方車輪は上方トラック上に任意の好適な手段によって保持されている。���えば、図18Aに示す実施例においては、車両214'は上方トラックに磁力によって付着している。本実施例においては、図12Dに示すように、上方トラックは磁性材料を含んでおり、車両は磁石214M'（永久若しくは電気／磁気）若しくは永久／電磁チャックを有しており、これは駆動されて車両を上方トラックに保持する。該チャックは安全モードを有しており、よって停電時に車両をトラック上に維持する。代替例においては、車両はトラック上の好適な磁石に引き付けられる磁性材料を含んでいる。図18には車輪の下方でサポート表面12USによってサポートされている上方トラック上の車両214''が示されている。図18は本実施例の機械構造を有する下方トラックから上方トラックに移行する車両214''を示す側面図である。上方サポートトラック12USは開口部を有しても良く、ここを上方車輪が通過し、その後それらは上方サポートトラックと係合し、続いて下方車輪が退避する。上方トラックから下方トラックに下げるために、上方サポートトラックの開口部が上方車輪を開放する前に下方車輪は下げられて下方トラックに接触する。
【００２０】
図19A-19Cは他の実施例による車両214''を示しており、同一トラック上の他の車両214A'''を通過している。図19Aは第１走行位置の車両214'''を示している。図19Bはそのペイロードを上げつつある車両214'''を示している。ペイロードが上げられるのと同時に、車輪214W'''は矢印X'''の方向に外側に動かされる。これは車両が前方に移動する際に車輪214W'''（これは横方向に移動可能な連結部に取り付けられている（図示せず））を操縦することによって行なわれる。図19Cは上昇位置にある車両214'''を示しており、車輪は外側位置にある。この状態においては、車両214A'''は図示されているように車両214'''の下のその車輪の間を通過する。上方トラックの上を走行する車両はこれとは逆（すなわち反転する位置）を実施することが可能である。
【００２１】
代替例においては、垂直に位置がずらされた両トラックの間の移行は所望であれば、図3A-3Cのそれらと同様の水平車両ステアリングすなわち水平スイッチと共に傾斜路（ramp）（図1に示すアクセスレーンALと類似しているが、移動経路TLからは水平方向及び垂直方向の両方にオフセットしている）を導入することによって行なわれる。この場合は、車両は傾斜路に合流し、所望の高さに向けて傾斜路に従い、その後適切な移動デッキに合流する。アクセスレーンにおける車両のかかる垂直移動が望ましい場合は、図6に示すような垂直トラックスイッチが採用される。この場合は、垂直移動は車両14を垂直にオフセットしたレーン12U、12L間で車両を移動させるエレベータ12Eに向けて駆動することによって行なわれる。かかるエレベータは図6に示すように追加のガイドウエイデッキ12E1-12E3を有しており、車両の移動に使用する部分を交換し、よって以降の車両用の移動経路を回復する。
【００２２】
前述したように、ガイドウエイ12に図1の矢印Tl、Alで示されるデフォルト移動方向を提供するのが望ましく、車両14は双方向移動が可能となって柔軟な経路指定及び変則性（例えば、遮断された経路）の取り扱いに順応する。双方向移動は車両駆動モータ14Mを順方向及び逆方向に制御することによって行なわれる。車両14が使用不可能になった場合は、駆動モータをニュートラルにして車両は他の車両によって好適な側線まで押されるか引っ張られる。「けん引」する車両は他の基準の車両若しくは専用の回収車両14R（図1A参照）であっても良い。いずれの場合においても、けん引車両は使用不可能の車両の切替要素14SW（図3A-3C参照）若しくはステアリング（図14A-14D参照）をオーバーライドすることが可能であり、アクセスレーンに向けてその移行を強制的に行なう。実施例においては、これは任意の好適なカップリング（図示せず）を使用した機械的係合部によって実施されても良い。代替例としては、他の車両は代替経路を選択することによって単純に使用不可能な車両を避けてその目的地に向かい（オペレータによって使用不可能な車両が回復するまで）及び／又は局所的障害物検出検知及び衝突回避アルゴリズムを使用して使用不可能な車両の周りで操縦される。
【００２３】
ここで図10を参照すると、他の実施例によるガイドウエイ12のインターフェースステーションIにおける車両314の略正面図が示されている。記載されている以外は、車両314は実質的に前述した車両14、114、214に類似している。本実施例においては、車両314は２以上のキャリアC1、C2を同時に保持する容量を有している。２つのキャリアCが例示目的で図10に示されているが、車両の容量は任意の所望の数のキャリアを収納するものでも良い。本実施例においては、車両314は一般的に最大容量より少ない１つのキャリアCを移送して開放位置314Sl、324S2のままにしておき、よって「迅速な交換」（すなわち、他のキャリアの取り出しの直前若しくは同時に１つのキャリアを導入する）を可能にする。車両はツールステーションSに位置している取り扱いシステムにインターフェースし、よって車両314と取り扱いシステムとの間のキャリアの迅速な交換を行なう。本実施例においては、取り扱いシステムはキャリアをツールステーションにおける所望のバッファ及び／又はロードポートステーションに向けて移送する。キャリア314のサポート314Sl、314S2（前述したように２つのサポートが示されているが、車両は任意の所望の数のキャリア保管スペースを有しても良い）は垂直にスタックされ、よって側部アクセス若しくは頂部アクセス（例えば、オーバーヘッドホイストによって）のための並列に対応する。いずれの場合においても、キャリアは下方（例えば、水平に配置されたキネマティックカップリングにネスティングする）から若しくはキャリアの頂部若しくは側部の特徴部を使用してサポートされる。例えば、図10に示す実施例においては、車両上のキャリアサポート部は側部カップリングを採用するように構成されており、これは所望であれば好適なキャリア（例えば、前述した減少したロットキャリア）と協働して単独で使用される。図11は車両314の代表的なサポート314S'を示しており（図10参照）、キャリアCの正面／側部にカップリングされている。サポート部314S'とキャリアとの間のカップリングはキャリアがツールステーションロードポートに整合するときに使用されるキネマティック整合／キャリアのカップリング面にある。本実施例においては、キャリアは正面開口式キャリアであり、整合特徴部が開口部と共に正面に位置している。これによってツールステーション、移送車両等のいずれにおいても全キャリアドッキングに共通して用いられているキャリアに単一セットの整合が提供される。代替例においては、車両上のキャリアサポートストラクチャとキャリアとの間のカップリングは任意の所望の正面／キャリアの表面であっても良い。サポートストラクチャ314Slとキャリアとの間のカップリング314SCは任意の好適なタイプであっても良い。例えば、受動的カップリング若しくは能動的カップリングシステムが使用されても良く、これは「エレベータベースのツールローディング及びバッファリングシステム（ELEVATOR BASED TOOL LOADING AND BUFFERING SYSTEM）」と題する前述した本願の開示に組み入れられている米国特許に開示されている整合システムと同様である。例えば、カップリング314SCは図12Dに示す永久電磁チャックを有しており、これはキャリアCの磁性材料と相互作用する。図12A-12Cは、数多くの異なる実施例のキャリアの��合面に若しくはその近傍に位置する磁性材料CAM、CBM、CCMを有するキャリアCA、CB、CCを示している。永久電磁チャックが車両サポートストラクチャ314Slに位置しており、キャリアの磁性材料の位置に適するように配置されている。チャックの作動によって車両にキャリアが捉えられ、非作動によってキャリアと車両のカップリングが解除される。いかなる場合においても、前述したようにサポートの構成はツールインターフェース装置（バッファ、ロードポート等）に関連する車両のネスティング位置及びキャリアのネスティング位置の間では共通であり、よって全体的な自動化のハードウエアの複雑さが最小化される。かかるパススルー部Dはロードポートの上方に直接アクセスレーンを設置することを可能にし、よって高い位置に設置されたガイドウエイの収容に必要な通路の幅が減少する。キャリアを車両に向けて若しくは車両から移送する能動的要素が車両若しくは係合装置に具備されるか、又は移送ポイントにおいて床に設置されている。
【００２４】
図8A-8Cに示す実施例においては、車両はツールロードポートに向けて直接走行し、キャリアを車両からロードポートドッキングステーションに向けて移送する別個のキャリアローディング機構が削除される。図示されている実施例においては、上方及び下方ガイドウエイ12U、12Lはツールローディング高さより上方及び下方の高さに位置している。上方及び下方ガイドウエイ12U、12L並びに車両は前述したものと同様である。図8Aは工場の通路での断面図を示しており、ここにおいてガイドウエイ12U、12LはツールステーションSがガイドウエイの両側面となるように位置している。この配置は例示であって、任意の他の好適な配置であっても良い。ロードポートは所望の高さ（例えば上方900mm）においてツールステーションの正面に取り付けられている。車両214は図示されているようにガイドウエイに位置している。本実施例のガイドウエイは垂直に離間しており、よって下方ガイドウエイ及び上方ガイドウエイの両車両はいかなる場合も互いに干渉されることはない。図1-2と同様に、上方及び下方ガイドウエイは各々移動すなわち「高速」レーンを有しており、これは図1のレーンTLと同様である。本実施例においては、移動／高速レーンは中央の下に位置しており、車両214は高速で自在に走行し、一方ロードポートの隣にある側線（図1のアクセスレーンALと同様）は車両214の「路肩寄せ（pull off）」に使用される。車両214Lが図8Bのようにロードポートにおいて路肩に寄せられているときは、車両は上げられることが可能であるか、若しくは反対に下げられ、所望のペイロードCが任意の数のポート位置の高さにされて任意の所望のポート位置にアクセスすることが可能となる。ペイロードが適切なレベルにあるときは、ロードポートに位置する機構が使用されてペイロードが車両から若しくは車両に向けて移送される。ペイロードが車両から下げられることを除いた類似する方法によって、ペイロードが上方トラック上の車両に向けて若しくは車両から移送される。本実施例においては、車両の走行は通常ペイロードを退避した状態で行なわれる。唯１つのキャリアペイロードが示されているが、車両は前述したように一度に１個以上のペイロードを収容しても良い（例えば１つが他の上）。両ペイロード位置は同時に移動しても良い。図8Cは２つのロードポートを伴うEFEMの正面図を示しており、各々例えば収容力が３つに低減されたキャリアの位置を有している。下方トラック12L上の車両214Llが示されており、そのペイロードは第２レベルに上げられている。車両の移動が矢印Yの方向の場合は、下方若しくは上方トラック12L、12U上の他の車両 214L2、214Vが残りのロードポートにアクセスしてペイロードを預けるか若しくはペイロードを拾い上げることが判る。上方トラック12U上の車両214Vもまた下方トラック上の車両214Llの上方で路肩寄せを行い、上方車両がこの位置において上方からポートへのアクセスを開始前に下方車両がそのペイロードを退避するまで待機する。完了したペイロードが取り除かれて車両が取り替えられると、処理ツールは所望により他の位置の任意の１つにアクセスする。
【００２５】
前述したように、ガイドウエイ12は工場内で任意の所望の高さに位置されても良い。これは、例えば工場のフロア（これは構造基盤の追加が最小となり車両へのオペレータのアクセスが容易となる）、及びオーバーヘッド搬送用のSEMI E15に確保される高い位置の通行形態（right-of-way）がある。代替例としては、ガイドウエイは他の便利な高さ（例えば、高く上げられた金属フロアの下、若しくはロードポート高さの近く）に設置されても良い。車両は一例としては任意の若しくはいくつかの高さのガイドウエイ上で柔軟に配置自在である。このようにして、追加の搬送ネットワーク能力及び範囲が変更可能となって特定の設備の要望に適合される。
【００２６】
移送システムとツールローディング／バッファリングステーションとの間のキャリア「ハンドオフ（hand-off）」の安全は、SEMI標準E23及びE84と同様の時間最適パラレルI／Oスキームによって管理される。代替例としては、搬送及びツールローディングハードウエアは統合システムとして取り扱われ、安全な移送の保証に必要な全ての検知及び演算は局所的に配置される。
【００２７】
ここで図7を参照すると、望ましくは、キャリアCは１以上のアクセスレーンALの隣の位置に移行され、よって処理ツールにおけるキャリアの保管すなわちバッファリング及び工場全体のバッファリングを提供している。
【００２８】
前述した記載内容は本発明の単なる一例であることを理解すべきである。当業者であれば本発明から逸脱することなく種々の変形例や変更例を考案することが可能である。従って、本発明はかかる変形例、変更例及び添付するクレームの範囲内の差異を全て包含することを企図している。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施例の特徴部分が組み入れられた基板処理システムの略平面図である。
【図１Ａ−１Ｂ】図1の基板処理システムの各々他の略平面図及び略正面図である。
【図２】他の実施例の基板処理システムの略平面図である。
【図３Ａ】他の実施例の基板処理システムの搬送システムガイドウエイ及び移送車両の略平面図である。
【図３Ｂ】他の実施例の搬送システムガイドウエイのガイド部分の略平面図である。
【図３Ｃ】他の実施例の搬送システムガイドウエイ及び移送車両の一部の略平面図である。
【図４Ａ−４Ｂ】他の実施例の搬送システムガイドウエイ及び移送車両の各々略平面図及び正面図である。
【図５Ａ−５Ｂ】他の実施例の搬送システムガイドウエイ及び移送車両の各々略平面図及び正面図である。
【図６】他の実施例の搬送システムガイドウエイ及び移送車両の略正面図であり、車両はガイドウエイ上の異なる位置で示されている。
【図７】他の実施例の搬送システムガイドウエイ、移送車両及びキャリアの略平面図である。
【図８Ａ−８Ｃ】他の実施例の搬送システムガイドウエイ、移送車両及び処理装置の正面図であり、図8A-8Bは端部正面図であり、図8Cは側面図であり、各々異なる位置における移送車両が示されている。
【図９Ａ−９Ｅ】各々異なる実施例の移送車両の略正面図が示されている。
【図１０】移送車両、他の実施例の車両上のキャリアC、バッファ及び処理ツールのロードポートステーションの略正面図である。
【図１１】移送車両の一部及び該車両に整合したキャリアCの正面図である。
【図１２Ａ−１２Ｃ】他の実施例による各々整合特徴部を有するキャリアの斜視図である。
【図１２Ｄ】従来技術のチャックの略断面図である。
【図１３】他の実施例の搬送システムガイドウエイ、移送車両及び基板処理ステーションの略正面図である。
【図１４Ａ−１４Ｄ】各々異なる実施例による移送車両の駆動システムを示す略平面図である。
【図１４Ｅ】移送車両の略正面図である。
【図１５】移送車両コントロールシステムの概略図である。
【図１６Ａ−１６Ｃ】搬送システムガイドウエイの部分及び移送車両の側面図であり、３つの異なる位置での移送車両を各々示している。
【図１７Ａ−１７Ｃ】図16A-16Cの側面図に対応する端部正面図である。
【図１８】他の実施例の搬送システムガイドウエイ及び移送車両の略側面図であり、異なる位置での車両が示されている。
【図１８Ａ−１８Ｂ】図18の線A-A及び線B-Bに沿って各々切り取られた断面図である。
【図１９Ａ−１９Ｃ】他の実施例の搬送システムの移送車両の端部正面図であり、異なる構造の車両を各々示している。
【図１】
2008510673.tif 000003
【図１Ａ−１Ｂ】
2008510673.tif 000004
【図２】
2008510673.tif 000005
【図３】
2008510673.tif 000006
【図４Ａ−４Ｂ】
2008510673.tif 000007
【図５Ａ−５Ｂ】
2008510673.tif 000008
【図６】
2008510673.tif 000009
【図７】
2008510673.tif 000010
【図８Ａ−８Ｃ】
2008510673.tif 000011
【図９Ａ】
2008510673.tif 000012
【図９Ｂ】
2008510673.tif 000013
【図９Ｃ】
2008510673.tif 000014
【図９Ｄ】
2008510673.tif 000015
【図９Ｅ】
2008510673.tif 000016
【図１０】
2008510673.tif 000017
【図１１】
2008510673.tif 000018
【図１２Ａ−１２Ｃ】
2008510673.tif 000019
【図１２Ｄ】
2008510673.tif 000020
【図１３】
2008510673.tif 000021
【図１４Ａ】
2008510673.tif 000022
【図１４Ｂ】
2008510673.tif 000023
【図１４Ｃ】
2008510673.tif 000024
【図１４Ｄ】
2008510673.tif 000025
【図１４Ｅ】
2008510673.tif 000026
【図１５】
2008510673.tif 000027
【図１６Ａ】
2008510673.tif 000028
【図１６Ｂ】
2008510673.tif 000029
【図１６Ｃ】
2008510673.tif 000030
【図１７Ａ】
2008510673.tif 000031
【図１７Ｂ】
2008510673.tif 000032
【図１７Ｃ】
2008510673.tif 000033
【図１８】
2008510673.tif 000034
【図１８Ａ】
2008510673.tif 000035
【図１８Ｂ】
2008510673.tif 000036
【図１９Ａ】
2008510673.tif 000037
【図１９Ｂ】
2008510673.tif 000038
【図１９Ｃ】
2008510673.tif 000039
【手続補正書】
【提出日】平成19年8月2日(2007.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板移送システムであって、
ガイドウエイと、
少なくとも１つの基板を保持し、前記ガイドウエイにサポートされて該ガイドウエイに沿って移動することが可能な少なくとも１つの移送車両と、からなり、
前記ガイドウエイは前記少なくとも１つの車両用の少なくとも１つの移動レーンと前記移動レーンからオフセットしている少なくとも１つのアクセスレーンとからなり、よって前記車両は選択自在に前記移動レーンにアクセスしたり前記移動レーンから離れたりすることが可能となり、よって前記車両は前記ガイドウエイに沿った実質的に無制限に選択自在な可変移動速度を有することを特徴とする基板移送システム。
【請求項２】
前記移動レーンと前記アクセスレーンとの間で前記少なくとも１つの車両が実質的に拘束されずにアクセスしたり離れたりすることが可能となるように、前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項３】
前記基板移送システムは、前記ガイドウエイ及び前記少なくとも１つの車両に連絡自在に接続して前記移動速度を選択するコントローラを更に有していることを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項４】
前記少なくとも１つのアクセスレーンに沿った前記少なくとも１つの車両の前記移動速度は、前記少なくとも１つの車両と共通する方向に移動し且つ前記ガイドウエイに沿って前記少なくとも１つの車両に連続的に隣接している少なくとも他の移送車両のガイドウエイ移動速度から分離されていることを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項５】
前記ガイドウエイ移動速度は前記ガイドウエイに沿って実質的に一定であり、前記少なくとも１つの車両及び前記少なくとも他の移送車両が前記実質的に一定のガイドウエイ移動速度で前記移動レーンに沿って移動するように前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されていることを特徴とする請求項４に記載の基板移送システム。
【請求項６】
前記少なくとも１つの移送車両及び連続的に隣接して前記少なくとも１つの移動レーンに沿って共通する方向に連続的な順序で移動する他の移送車両が互いの相対的位置を変更し得るように前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されており、よって前記連続的な順序を変更することを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項７】
前記少なくとも１つの移送車両若しくは前記他の移送車両のうちの１つは、前記連続的な順序を変更すべく前記移送車両の前記相対的位置を変更するとき、前記少なくとも１つの移動レーンに沿って前記ガイドウエイ沿った実質的に一定のガイドウエイ移動速度で移動することを特徴とする請求項６に記載の基板移送システム。
【請求項８】
前記少なくとも１つの移送車両は、前記ガイドウエイ沿って前記少なくとも１つの車両に共通する方向に移動している直接隣接した移送車両の移動速度に影響を及ぼすことなく、前記少なくとも１つのアクセスレーンにおいて停止せしめられることが可能であることを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項９】
前記少なくとも１つの移動レーン若しくは前記少なくとも１つのアクセスレーンは互いに関連するバイパスレーンを画定することを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの移送車両は、前記ガイドウエイ上の前記車両を実質的にホロノミックに移動せしめる駆動部を有していることを特徴とする請求項１に記載の基板移送システム。
【請求項１１】
ガイドウエイと、
各々が少なくとも１つの基板を保持し且つ前記ガイドウエイにサポートされて該ガイドウエイに沿って移動することが可能な複数の移送車両と、からなる基板移送システムであって、
前記移送車両の前記ガイドウエイ上の所定の移動方向を画定する前記ガイドウエイの一部は、前記所定の移動方向にある前記移送車両用の少なくとも１つの移動レーンと、実質的に前記所定の移動方向に延在し且つ前記移動レーンからオフセットして前記車両が選択自在に前記移動レーンにアクセスしたり前記移動レーンから離れたりすることが可能な少なくとも１つのアクセスレーンとからなり、
前記移動レーン上で連続的に位置していて異なる移動速度で前記所定の方向に移動している複数の移送車両が前記アクセスレーンに互いにアクセスするのを回避することが可能となるように前記移動レーン及び前記アクセスレーンが配置されていることを特徴とする基板移送システム。
【請求項１２】
前記移動レーンと前記アクセスレーンとの間で前記複数の移送車両が実質的に拘束されずにアクセスしたり離れたりすることが可能となるように、前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項１３】
前記基板移送システムは、前記ガイドウエイ及び前記複数の移送車両に連絡自在に接続して前記移動速度を選択するコントローラを更に有していることを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項１４】
前記少なくとも１つのアクセスレーンに沿った前記少なくとも１つの移送車両の前記移動速度は、前記少なくとも１つの移送車両と共通する方向に移動し且つ前記ガイドウエイに沿って前記少なくとも１つの移送車両に連続的に隣接している少なくとも他の移送車両のガイドウエイ移動速度から分離されていることを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項１５】
前記ガイドウエイ移動速度は前記ガイドウエイに沿って実質的に一定であり、前記少なくとも１つの移送車両及び前記少なくとも他の移送車両が前記実質的に一定のガイドウエイ移動速度で前記移動レーンに沿って移動するように前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されていることを特徴とする請求項１４に記載の基板移送システム。
【請求項１６】
少なくとも１つの移送車両及び連続的に隣接して前記少なくとも１つの移動レーンに沿って共通する方向に連続的な順序で移動する他の移送車両が互いの相対的位置を変更し得るように前記少なくとも１つの移動レーン及び前記少なくとも１つのアクセスレーンが配置されており、よって前記連続的な順序を変更することを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項１７】
前記少なくとも１つの移送車両若しくは前記他の移送車両のうちの１つは、前記連続的な順序を変更すべく前記少なくとも１つの移送車両及び前記他の移送車両の前記相対的位置を変更するとき、前記少なくとも１つの移動レーンに沿って前記ガイドウエイ沿った実質的に一定のガイドウエイ移動速度で移動することを特徴とする請求項１６に記載の基板移送システム。
【請求項１８】
少なくとも１つの移送車両は、前記ガイドウエイ沿って前記少なくとも１つの車両に共通する方向に移動している直接隣接した移送車両の移動速度に影響を及ぼすことなく、前記少なくとも１つのアクセスレーンにおいて停止せしめられることが可能であることを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項１９】
少なくとも１つの移動レーン若しくは前記少なくとも１つのアクセスレーンは互いに関連するバイパスレーンを画定することを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項２０】
少なくとも１つの移送車両は、前記ガイドウエイ上の前記車両を実質的にホロノミックに移動せしめる駆動部を有していることを特徴とする請求項１１に記載の基板移送システム。
【請求項２１】
ガイドウエイと、
少なくとも１つの基板を保持し、前記ガイドウエイにサポートされて選択自在な可変移動速度で該ガイドウエイに沿って移動することが可能な少なくとも１つの移送車両と、からなる基板移送システムであって、
前記ガイドウエイは、前記少なくとも１つの車両用の少なくとも１つの移動レーンと、前記移動レーンからオフセットして前記車両が選択自在に前記移動レーンにアクセスしたり前記移動レーンから離れたりすることが可能な少なくとも１つのアクセスレーンとからなり、よって前記車両の前記ガイドウエイに沿った前記選択自在な可変移動速度が実質的に制限されることなく選択自在であることを特徴とする基板移送システム。
【請求項２２】
ガイドウエイと、
少なくとも１つの基板を保持し、前記ガイドウエイにサポートされて該ガイドウエイに沿って移動することが可能な少なくとも１つの移送車両と、からなる基板移送システムであって、
前記少なくとも１つの車両の前記ガイドウエイ上の所定の移動方向を画定する前記ガイドウエイの一部は、前記所定の移動方向にある前記少なくとも１つの車両用の少なくとも１つの移動レーンと、実質的に前記所定の移動方向に前記移動レーンに沿って延在している少なくとも１つのアクセスレーンとからなり、よって前記少なくとも１つの車両は選択自在に前記移動レーンにアクセスしたり前記移動レーンから離れたりすることが可能であり、よって前記ガイドウエイに沿って前記所定の移動方向に移動している前記少なくとも１つの車両は前記移動レーン上の他の移動車両から実質的に独立した所定の移動速度を有していることを特徴とする基板移送システム。
【国際調査報告】
2008510673.tif 000040