(57)【要約】  本発明は、入射光を反射し回折するためのライトバルブ（４０）に関し、このライトバルブは、反射面（６０）が設けられた静電気的に動作可能な薄膜（４２）と、薄膜（４２）の一方の側に設けられた反射性格子構造体（５２）と、薄膜が格子構造体（５２）から離れてライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が反射性格子構造体（５２）により回折させられることになる第１の位置と、薄膜が格子構造体（５２）との接触に持ち込まれライトバルブ（４０）が受けた入射光（６４）が薄膜電極（６０）により略鏡面反射することになる第２の位置との間で薄膜を切り換えるために薄膜（４２）に静電気力を誘導する手段（４８，５６，６０）と、を有する。これにより、移動可能な部分のない格子構造体を用いることができ、ライトバルブを製造し易くする。本発明はまた、このようなライトバルブを少なくとも１つ有する画像形成システムに関する。
2008502021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を反射し回折するための少なくとも２つの状態を有するライトバルブであって、
・反射面が設けられた静電気的に動作可能な薄膜と、
・前記薄膜の一方の側に設けられた反射性格子構造体と、
・前記薄膜が前記格子構造体から離れて当該ライトバルブが受けた入射光が前記反射性格子構造体により回折させられる第１の位置と、前記薄膜が前記格子構造体に接触して当該ライトバルブが受けた入射光が当該薄膜電極により略鏡面反射する第２の位置との間で前記薄膜を切り換えるために前記薄膜に静電気力を誘導する手段と、
を有するライトバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載のライトバルブであって、前記反射面は、薄膜電極層により形成される、ライトバルブ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のライトバルブであって、前記薄膜に静電気力を誘導する手段は、前記薄膜に対して前記格子構造体の他方の側に配された第１の電極を有する、ライトバルブ。
【請求項４】
請求項３に記載のライトバルブであって、前記反射性格子構造体は、導電性であり、前記第１の電極を構成する、ライトバルブ。
【請求項５】
請求項１に記載のライトバルブであって、当該ライトバルブは、長手形状を有し、前記反射性格子構造体は、当該ライトバルブの長手方向に直角又は平行に配される、ライトバルブ。
【請求項６】
請求項１に記載のライトバルブであって、前記格子構造体は、前方プレートに設けられる、ライトバルブ。
【請求項７】
請求項１に記載のライトバルブであって、前記格子構造体に対して前記薄膜の他方の側に配された後方プレートをさらに有するライトバルブ。
【請求項８】
請求項７に記載のライトバルブであって、前記薄膜に静電気力を誘導する手段は、前記後方プレートに配された第２の電極をさらに有する、ライトバルブ。
【請求項９】
請求項６ないし８のうちいずれか１つに記載のライトバルブであって、前記薄膜は、スペーサにより前記前方プレート及び前記後方プレートのうちの少なくとも一方から分離されている、ライトバルブ。
【請求項１０】
請求項８に記載のライトバルブであって、前記スペーサは、前記薄膜と前記第２の電極との間に配される、ライトバルブ。
【請求項１１】
画像形成システムであって、
・請求項１ないし１０のうちいずれか１つに記載の少なくとも１つのライトバルブと、
・前記少なくとも１つのライトバルブに照射するように構成された光源と、
・前記少なくとも１つのライトバルブからの回折光の少なくとも一部を選択する手段と、
を有するシステム。
【請求項１２】
請求項１１に記載の画像形成システムであって、前記選択手段は、前記少なくとも１つのライトバルブから鏡面反射した光を遮断するように構成されたビーム阻止部を有する、システム。
【請求項１３】
請求項１１又は１２に記載の画像形成システムであって、単一の画素画像を形成するように構成された単一のライトバルブを有し、２次元画像を形成するように前記画素画像をスキャンするためのスキャナをさらに有するシステム。
【請求項１４】
請求項１１又は１２に記載の画像形成システムであって、線画像を形成するように構成された１次元アレイを形成する複数のライトバルブを有し、２次元画像を形成するように連続的な前記線画像をスキャンするためのスキャナをさらに有するシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライトバルブ及びこのようなライトバルブを少なくとも１つ有する光学画像形成システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
反射型ライトバルブには、例えば、色々な投射システムに用いられている。反射型ライトバルブの例として、回折格子ライトバルブ（ＧＬＶ；grating light valve）及び回折格子電気機械システム（ＧＥＭＳ；grating electromechanical system）がある。ＧＬＶ及びＧＥＭＳはどちらも、暗状態又は明状態の画素を選択するためのスイッチング格子の原理を用いている。
【０００３】
図１ａないし１ｂに示されるように、画素１２の回折格子メカニズム１０は、大抵は、基板１６上に設けられた移動可能な複数の棒状体１４からなる。全ての棒状体が１つの平面に位置づけられると（図１ａ）、画素１２は、平坦な鏡として振る舞い、当該格子への入射光１７は、鏡面反射する。一方、当該格子の奇数又は偶数番目の棒状体は、静電気力によって下方へ引き下げられるときに（図１ｂ）、画素は、回折格子として振る舞い、入射光１７が１組の規定の角度の下で、いわゆる高次モードで構造的に干渉する。したがって当該格子への入射光は回折させられる。
【０００４】
鏡面反射光１８（０次モード）は、遮断され、高次モード２０は、投射レンズにより集光され、スクリーンに投射される。したがって、画素が平坦な鏡として振る舞うとき、全ての反射光が遮断され、画素はＯＦＦ状態すなわち暗状態となる。画素が格子として振る舞うときは、回折光の殆どがレンズにより集光され、画素はＯＮ状態すなわち明状態となる。
【０００５】
ＧＬＶ及びＧＥＭＳの双方は、シリコン基板上に集積される移動可能な要素を用いる。しかしながら、これら要素の形成については、アンダーエッチングのリフトオフの犠牲層といった困難で処理上際どいリソグラフィ技術が必要である。これにより、本質的に、歩留まりの問題に敏感な処理となり、当該構造の空間的解像度を制限する可能性がある。
【０００６】
他のタイプのディスプレイは、薄膜ディスプレイである。従来の薄膜ディスプレイは、例えば国際特許出願に係る文献のＷＯ００／３８１６３に記述されている。このようなディスプレイは、図２に示されており、導光板２２と非照射板２４とをそれらの間にクランプされた拡散薄膜２６とともに有する。両方のプレートの上には、互いに直角に配置された平行電極２８，３０のそれぞれの組がある。導光板上の電極は列方向に配列され、非照射板上の電極は、行方向に配列されている。また、当該薄膜には、電極層３２が設けられている。これら電極は、上記表面の各々の上に形成されたＩＴＯ層により形成される。各組の電極の交差点は、当該ディスプレイの画素を規定する。
【０００７】
導光体２２、非照射板２４及び薄膜２６上の適正な電極への電圧の印加により、当該薄膜は、導光体に引き付けられることができる。当該薄膜が導光体と接触するときには、光源３１から発せられた光は、導光体から抽出される。
【０００８】
しかしながら、この薄膜ディスプレイは、導光体から出る光の結合に基づいているので、反射型ライトバルブとして使用するのには全く適していない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、入射光を反射し回折する改善されたライトバルブであって頑強で製造し易いものを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による第１の態様によれば、この目的及びその他の目的は次のようにして達成される。すなわち、反射面が設けられた静電気的に動作可能な薄膜と、
【００１１】
・前記薄膜の一方の側に設けられた反射性格子構造体と、前記薄膜が前記格子構造体から離れて当該ライトバルブが受けた入射光が前記反射性格子構造体により回折させられる第１の位置と、前記薄膜が前記格子構造体に接触して当該ライトバルブが受けた入射光が当該薄膜電極により略鏡面反射する第２の位置との間で前記薄膜を切り換えるために前記薄膜に静電気力を誘導する手段と、を有するライトバルブである。
【００１２】
本発明は、反射性薄膜を、固定された格子構造体と相互作用して当該薄膜が格子の上方にあるときは入射光が鏡面反射され当該薄膜が格子から離れているときは回折されるように構成することにより格子構造体自体が動作中に移動する必要がない、という認識に基づいている。したがって、移動可能な部分のない格子構造体を用いることができる。この格子構造体は、例えば固定され薄く構成された高反射性の金属被膜とすることができ、これは、簡単なリソグラフィを用いた１つの堆積ステップにより形成可能であり、これにより、犠牲層を伴う難しいリフトオフ技術の必要性をなくすこととなる。これにより、確実にライトバルブを容易に製造することができる。
【００１３】
本発明のライトバルブによる他の利点は、ライトバルブが非常に低い暗レベルを呈するので、高いコントラスト比で画像の投射が可能となることである。
【００１４】
好ましくは、当該薄膜の反射面は、薄膜電極により構成され、すなわち、当該薄膜電極は、金属層などの反射電極とされる。これの利点は、当該薄膜に分離した電極及び分離した反射面の双方を設ける必要がなく、ライトバルブの製造を容易にする点である。
【００１５】
薄膜に静電気力を誘導するための手段は、当該薄膜に対して格子構造体の他の側に配される電極とすることができる。したがってこの薄膜は、当該薄膜を前方プレートに動かすよう、この電極及び薄膜電極に適正な電圧を印加することによりアドレス指定されることが可能である。前方プレートから離れた薄膜の誘引は、静電気力又は機械的力により、例えば当該薄膜の弾性による弾力によって達成可能である。
【００１６】
本発明の他の実施例では、反射性格子構造体は導電性でこの第１の電極を構成するものとされる。したがって、当該格子構造体は、回折格子及び電極の双方の機能を果たす。これによる利点は、ライトバルブの製造が容易になることである。
【００１７】
好ましくは、ライトバルブは、長手状を呈し、これにより薄膜のスイッチングが容易になる。また、反射性格子構造体は、ライトバルブの長手方向に直角に配置されるのが好ましい。換言すれば、当該格子の棒状体は、ライトバルブの長い側に直角に配される。この直角構成の利点は、特に微小化される画素に対して、多くの棒状体が照射可能となり、これにより格子の品質を向上させることである。或いは、反射性格子構造体をライトバルブの長手方向に平行に配置することができる。すなわち、格子の棒状体は、ライトバルブの長い側に平行に配される。
【００１８】
格子構造体は、前方プレート上に設けられ、（入射光に向かって）ライトバルブの外面として機能するようにすることができる。また、当該第１の電極が前方プレートに配されるのが好ましい。
【００１９】
このライトバルブはさらに、前方プレートに対して当該薄膜の他方の側に配された後方プレートを有するものとすることができ、これにより当該薄膜は、前方プレートと後方プレートとの間に置かれることができる。好ましくは、当該薄膜は、スペーサにより後方プレートから離されているのがよい。この場合、当該薄膜がその安静位置にあるときに前方プレートの格子構造体の上方に位置するように、当該薄膜に静電気力を誘導する手段が配置される。或いは、前方プレートと薄膜との間に、又は薄膜の両側にスペーサを位置づけてもよい。
【００２０】
薄膜に静電気力を誘導する手段はさらに、後方プレートに配置された第２の電極を有するものとすることができる。この（薄膜電極も含め）２つの電極を使用することにより、例えばライトバルブが同様のライトバルブの２次元アレイに配置されたときに良好なアドレス指定能力が実現可能となる。この場合、所定のライトバルブ又は画素をアドレス指定するために適正な電極に電圧をかけるために駆動電圧アドレス指定方法が用いられるのが好ましい。
【００２１】
本発明の他の態様によれば、画像形成システムが提供され、この画像形成システムは、前述による少なくとも１つのライトバルブを有する。この画像形成システムはさらに、当該少なくとも１つのライトバルブに照射する光源と、当該少なくとも１つのライトバルブからの回折光の少なくとも一部分を選択する手段とを有する。好ましくは、当該選択手段は、ビーム絞り（ビーム阻止部）を有するのがよく、かかる絞りは、当該少なくとも１つのライトバルブから鏡面反射した光を遮断するように構成される。
【００２２】
この画像形成システムは、単一の画素画像を形成するように構成された単一のライトバルブを有することができ、これにより画像形成システムは、２次元画像を形成するために当該画素画像をスキャンするスキャナをさらに有する。
【００２３】
或いは、当該画像形成システムは、線画像すなわち「１次元の」画像を形成するように構成された１次元アレイを形成する複数のライトバルブを有することができ、これにより、当該画像形成システムは、２次元画像を形成するために連続的な線画像をスキャンするためのスキャナをさらに有する。
【００２４】
また、複数のライトバルブは、２次元アレイを形成することができる。この場合、完全な画像が形成され、当該スキャナを不要とすることができる。
【００２５】
以下、本発明の上記態様及びその他の態様を、現時点で好適な実施例を示す添付図面に基づいて詳しく説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図３ａないし図３ｂには、本発明による単一のライトバルブ又は画素が概略的に示されている。同一の参照符号は、本ライトバルブの対応の部分に対して用いられている。
【００２７】
図３ａないし図３ｂにおけるライトバルブ４０は、電気機械的に動かされる薄膜４２を有し、これが前方プレート４４と後方プレート４６との間に締め付けられる。前方プレート４４は、ガラスにより作られるのが好ましく、少なくとも前方プレートは、光源（図示せず）からの光に対して透明とされる。後方プレート４６は、どんな材料でもよい。
【００２８】
前方プレート４４には、薄膜４２に面する前方プレートの側に透明電極４８が設けられる。電極４８は、ＩＴＯ層により形成可能である。電極４８は、誘電層５０により被覆され、かかる誘電層は例えばＳｉＯ２により作ることができる。当該誘電層の上部には、薄く構成された高い反射率の金属被膜５２が設けられる。この金属被膜は、回折格子として機能する多数の長手状の矩形棒状体からなり、当該被膜は、入射光を反射するのに十分な厚さとされる。代表的なものとして、この被膜の厚さは約５０ｎｍである。この金属被膜すなわち格子は、基本的なリソグラフィにより当該誘電層上に堆積させられるようにしてもよい。
【００２９】
図４ａないし図４ｂには、反射性格子構造体５２の種々のレイアウトがさらに詳しく示されている。図４ａ及び図４ｂは、各々、長手矩形形状を有するライトバルブ４０の上面図を示している。ライトバルブ４０のサイズすなわち画素のサイズは、例えば、１００×６００μｍである。他に示されているのは、格子５２であり、これは複数の長手状矩形金属棒状体５４からなる。棒状体の一方と他方との距離すなわち格子のピッチはｄで示される。図４ａにおいて、格子構造体５２は、ライトバルブ４０の長手方向に直角に配置される。換言すれば、格子構造体５２の棒状体５４は、ライトバルブの長い側に直角に配される。或いは、図４ｂにおいて、格子構造体５２は、ライトバルブ４０の長手方向に平行に配置される。すなわち、当該格子の棒状体５４は、ライトバルブの長い側に平行に配される。
【００３０】
図３ａないし図３ｂに戻ると、後方プレート４６には、薄膜４２に面する後方プレートの側に電極５６がさらに設けられる。電極５６は、不透明電極とすることができる。電極５６は、オプションとして誘電層５８により被覆される。
【００３１】
前方プレート４４と後方プレート４６との間に位置づけられる薄膜４２には、前方プレートの格子５２に面する薄膜の側において金属層６０が設けられる。薄膜上の金属層は、電極及び光反射体の双方として機能する。薄膜４２は、適正な電圧を電極４８，５６及び６０に印加することにより作動可能である。
【００３２】
図３ａないし図３ｂにおいて、薄膜４２は、スペーサ６２により後方プレート４６から分離されている。この場合、薄膜４２は、当該薄膜がその安静位置にあるときに前方プレート４４に対して押圧される。好ましくは、スペーサ６２の高さは、入射光の波長の４分の１に対応するのがよい。このスペーサの高さは、概して約１００ｎｍから２μｍの範囲にある。図３ａないし図３ｂに示されるスペーサ６２の位置に対する代替例として、スペーサを、前方プレートと薄膜との間に、又は当該薄膜の両側に位置づけてもよい。
【００３３】
次にライトバルブ４０の動作を図３ａ及び図３ｂのそれぞれに示される異なる２つの状態につき説明する。
【００３４】
ライトバルブ４０が第１の状態（図３ａ）にあるとき、薄膜４２は、適正な電圧を電極４８，５６及び６０にかけることによって後方プレート４６の方へ引き込まされる。この状態で、前方プレートに向かって直角に入る光ビーム６４は、ピッチｄを有する反射性格子すなわち格子５２を「見る」ことになる。格子５２は、
【００３５】
ｎ・ｄ・sinθ＝ｍ・λ                      （１）
によって与えられる規定の角度で入射光を回折する。ここで、ｎは屈折率であり、ｄは格子ピッチ、θは次数の角度、ｍは次数、λは入射光の波長である。
【００３６】
反射格子５２により回折され反射された光、いわゆる高次モードは、図３ａにおいて「６６」で示されており、回折／反射の後にフォーカシングレンズ（図示せず）により受けられるようにしてもよい。この点については後に説明する。この第１の状態は、「ＯＮ」状態すなわち画素の明状態と規定される。
【００３７】
ライトバルブ４０が第２の状態（図３ｂ）にあるとき、薄膜４２は、当該薄膜が格子５２を覆うように前方プレート４４に向かって引きつけられる。これは、適正な電圧を電極４８，５６及び６０に印加することにより達成される。この状態において、薄膜４２の反射性金属層６０は、前方プレートの格子５２に押されるので、前方プレートに向かって直角に入る光ビーム６４は、実質的に平坦な鏡を見ることになり、当該光は鏡面反射されることになる。この鏡面反射した光すなわち０次モードは、図３ｂにおいて６８で示されており、反射の後にビーム絞り（図示せず）により受けられるようにしてもよい。この点については後述する。この第２の状態は、「ＯＦＦ」状態すなわち画素の暗状態として規定される。
【００３８】
但し、格子５２及び薄膜の反射性金属層の適合は完全ではないので、ピッチ０．５ｄの回折構造体がこの状態でも設けられる。
【００３９】
また、ガラスプレート４４，４６の間のスペースを排気してライトバルブの薄膜のスイッチング測度を改善するようにすることもできる。
【００４０】
図５ａ及び図５ｂに示される他の実施例によれば、前方プレート４４の透明電極が除去されている。代わりに、格子５２は電極として振る舞うことになる。但し、この場合、格子／電極５２は、薄膜電極６０から絶縁されなければならない。図５ａないし図５ｂにおいて、これは、格子５２を誘電層７０で被覆して薄膜電極６０から格子／電極５２を絶縁することにより達成される。この層は、用いられる光の波長の０．５倍の光路長に等しい厚さを有する。代替の方策（図示せず）において、格子／電極は、薄膜の他方の側、すなわち後方プレートに面する薄膜の側に薄膜電極を置くことにより薄膜電極から絶縁される。この場合、薄膜は、ＯＦＦ状態において鏡として振る舞うことができるように金属性でなければならない。また、後方プレートは、誘電層で被覆されなければならない。
【００４１】
図６は、画像をスクリーンに投射するために用いられる光学画像形成システム７６の概略図を示している。システム７６は、少なくとも１つのライトバルブのアレイ７２を有する。以下では、当該アレイが複数のライトバルブを有し、これらライトバルブ又は画素が上述したいずれかのタイプのものとしうることを前提としている。ライトバルブのアレイ７２に加えて、光学システム７６は、或る方向に偏光された光を発生するための手段（図示せず）が設けられるレーザ又はＬＥＤ光源の如き光源７８を有する。光の偏光方向に位置合わせされた偏光ビームスプリッタ８１と、四分の一λ板７９（すなわち、入射光の波長の１／４に等しい厚さを有するプレート）は、当該光路内に配される。ビームスプリッタ８１及びプレート７９を通過した後、光源からの光は、アレイ７２を照射する。このシステムはさらに、投射レンズ８２と、投射レンズ８２の焦点面９０における焦点に位置づけられるレンズ８２（シュリーレン絞り（Schlieren stop））の焦点に配されるビーム絞り８０と、ミラースキャナ８４とを有する。
【００４２】
光学システム７６の動作により、光源７８からの偏光された光はビームスプリッタ８１及び四分の一λ板７９を透過する。四分の一λ板７９は、光源からの偏光された光を円偏光に変換するため、到来する光の偏光方向に対して４５度に方向付けられる。この光は、アレイ７２のライトバルブにより選択的に鏡面反射又は回折され、その後再び四分の一λ板７９を通過する。今回この四分の一λ板は、この円偏光の光を、到来する光の偏光方向に直角な方向に偏光された光に変換する。したがって、この反射（又は回折）された光は、ビームスプリッタ８１により反射される。
【００４３】
ＯＦＦ状態にあるライトバルブから鏡面反射した光８８（０次モード）は、投射レンズ８２の光軸に平行な方向に投射レンズ８２に向かって反射する。したがって、異なるライトバルブからの鏡面反射光は、投射レンズ８２の焦点面９０における焦点に焦点合わせされ、ビーム阻止部８０により吸収される。
【００４４】
ＯＮ状態にあるライトバルブにより回折された光（例えば正及び負の１次回折９２及び９３）は、投射レンズ８２の光軸に非平行な方向をもって投射レンズ８２に向かって反射され、これにより焦点（当該ビーム阻止部があるところ）に差し向けられないことになる。対応の回折ビーム例えば正の１次モード９２は、投射レンズ８２に向かう共通の入射角を共有し、これにより焦点面において互い交差することになる。アレイ７２の同一のライトバルブから発せられた正及び負の１次モード９２及び９３は、今度はフォーカシングレンズ８２の焦点面９０を越えた面に焦点合わせされることになり、ここで画像を形成することになる。図示の例では、これらビームは、最初にミラースキャナ８４によって反射され、その後に画像平面９４において焦点合わせされる。
【００４５】
なお、上述したライトバルブのアレイを、「ゼロ次元」（すなわち単一ライトバルブ）としたり、１次元としたり、又は２次元としたりすることができる。単一のライトバルブ又は画素の場合、当該スキャンニングミラーは、２次元とされ、１次元アレイの場合は、当該スキャンニングミラーは、投射スクリーンに投射されうる２次元画像を形成するために１次元とされる。２次元アレイの場合、ライトバルブアレイ７２は、画像全体を作り、スキャンニングミラーは皆全て不要とすることができる。当該アレイのライトバルブは、電極４８及び５６により何らかのタイプのマトリクスアドレス指定方法を用いてアドレス指定可能である。
【００４６】
また、四分の一λ板７９及び偏光ビームスプリッタ８１に代えて、非偏光ビームスプリッタを用いることもできる。但し、非偏光ビームスプリッタの使用は、光の７５％が損失することになるので効率性は低い。
【００４７】
また、図６における光学システムは、代替的に、光源からの光がライトバルブのアレイに向かって斜めに、すなわち図６に示されるような略直角ではない形で入るように構成してもよい。この場合、投射レンズは、当該アレイからの鏡面反射光が投射レンズの光軸に実質的に平行な方向に投射レンズに向かって入るように構成される。この場合、四分の一λ板７９及び偏光ビームスプリッタ８１を不要とすることができる。
【００４８】
効率性の面で、上述したような１次モードだけでなく、より高次のモードを画像化することも有益である。但し、２次モードは、画素のＯＦＦ状態に作られる格子構造体の１次モードとして同じ角度の下で回折させられる。同じことが格子の偶数次のモードに皆当てはまる。したがって、これら次数は、シュリーレン絞りにより遮断されなければならない。
【００４９】
但し、実際には、１次モードを画像形成することが十分であり、それでも画像形成システムの高い効率を呈する。より高い効率性を望む場合には、特に格子が当該薄膜の曲がりにより好適な矩形ではないときに、３次モードをとることもできる。これらモードは、好ましくは２以上の開口（Ｆ／＃）を有する投射レンズにより集光されなければならない。これは、以前としてとられることの可能な最大角が１４度であることを意味する。式１を用いることによって、格子のピッチは、３次モードとるために、用いられている光の波長の少なくとも１３倍とすべきことを推論することができる。緑色光に対して、これは、７μｍの最小格子ピッチｄ及び３．５μｍの金属製棒状体の最小幅を意味する。１次モードだけがとられる必要がある場合、２．５μｍの最小格子ピッチｄは許容可能である。
【００５０】
最小ピッチは、画像形成システムのコントラストを最終的に制限する重要なパラメータである。所望の画素サイズのため、格子ピッチは、画素に適合する金属製棒状体の数を決める。最後のこの数は、格子の品質、かくして画像形成システムの識別レベル（＝コントラスト）を決める。
【００５１】
本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、添付の請求項に記載された本発明の範囲から逸脱することなく変形及び変更が可能であることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１ａ】従来技術によるライトバルブの一形態を示す図。
【図１ｂ】従来技術によるライトバルブの他の形態を示す図。
【図２】従来技術による薄膜表示装置を示す図。
【図３ａ】ＯＮ状態にある本発明による単一のライトバルブの概略的側面図。
【図３ｂ】ＯＦＦ状態にある図３ａのライトバルブの概略的側面図。
【図４ａ】格子構造体の一構成例を示す概略的上面図。
【図４ｂ】格子構造体の他の構成例を示す概略的上面図。
【図５ａ】本発明の他の実施例によるライトバルブの概略的側面図。
【図５ｂ】本発明の他の実施例によるライトバルブの他の概略的側面図。
【図６】少なくとも１つのライトバルブを有する光学システムの概略図。
【図１ａ】
2008502021.tif 000003
【図１ｂ】
2008502021.tif 000004
【図２】
2008502021.tif 000005
【図３ａ】
2008502021.tif 000006
【図３ｂ】
2008502021.tif 000007
【図４ａ】
2008502021.tif 000008
【図４ｂ】
2008502021.tif 000009
【図５ａ】
2008502021.tif 000010
【図５ｂ】
2008502021.tif 000011
【図６】
2008502021.tif 000012
【国際調査報告】
2008502021.tif 000013
2008502021.tif 000014
2008502021.tif 000015