(57)【要約】  本発明は、ネットワーク・アナライザとテストコントローラとを用いて、複数の状態を取ることが可能であって、且つ、１つの状態から別の状態に非常に高速に切り替えることが可能なデバイスの少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するための方法を提供する。テストコントローラはアナライザにトリガを送り、アナライザはテストコントローラからこのトリガを受信すると、周波数スイープを開始する。実質的に同じ開始及び終了周波数を有するこの周波数スイープは、デバイスに供給される。そして、アナライザは、デバイスの少なくとも１つのＳ−パラメータの測定を実行し、測定で得られたデータを格納し、テストコントローラにトリガを供給する。テストコントローラは、前記アナライザからトリガを受信すると、予め決められた状態の順番でデバイスを次の状態に更新する。これらの工程は、予め決められた状態の順番ですべての状態が測定されるまで、繰り返される。更に、本発明は、マイクロ波デバイスの少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するための、テストコントローラ、ネットワーク・アナライザ、及びマイクロ波デバイス自身を有するシステムを提供する。
2008523361.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワーク・アナライザ（２０）とテストコントローラ（１０、３０）とを用いて、複数の状態を取ることが可能であって、且つ、１つの状態から別の状態に非常に高速に切り替えることが可能なデバイス（４０）の少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するための方法であって、
前記テストコントローラ（１０、３０）が前記アナライザ（２０）にトリガを送る工程を行い、
前記アナライザ（２０）が、
−テストコントローラ（１０、３０）からトリガを受信したときに、周波数スイープを開始する工程であって、実質的に同じ開始及び終了周波数を有する前記周波数スイープが前記デバイス（４０）に供給され、
−前記Ｓ−パラメータの測定を実行する工程と、
−前記測定で得られたデータを格納する工程と、
−前記テストコントローラ（１０、３０）にトリガを供給する工程とを行い、
前記テストコントローラ（１０、３０）は、前記アナライザ（２０）からトリガを受信したときに、予め決められた状態の順番で前記デバイス（４０）を次の状態に更新し、
前記予め決められた状態の順番ですべての状態が測定されるまで、上記工程を繰り返す
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記アナライザ（２０）が前記Ｓ−パラメータのベクトル測定を実行する工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記予め決められた順番ですべての状態を測定し終えたときに、前記測定手順中に前記アナライザ（２０）により取得したＳ−パラメータデータを前記テストコントローラ（１０、３０）に転送する工程を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記Ｓ−パラメータデータを高速ＬＡＮにより転送する工程を行うことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
ネットワーク・アナライザ（２０）とテストコントローラ（１０、３０）とを有し、複数の状態を取ることが可能であって、且つ、１つの状態から別の状態に非常に高速に切り替えることが可能なデバイス（４０）の少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するシステム（１００）であって、
前記テストコントローラ（１０、３０）が前記アナライザ（２０）にトリガを送るように構成され、
前記アナライザ（２０）が、
−テストコントローラ（１０、３０）からトリガを受信したときに、実質的に同じ開始及び終了周波数を有する周波数スイープを開始し、
−前記周波数スイープを前記デバイス（４０）に供給し、
−前記Ｓ−パラメータの測定を実行し、
−前記測定で得られたデータを格納し、
−前記テストコントローラ（１０、３０）にトリガを供給するように構成され、
前記テストコントローラ（１０、３０）が、アナライザ（２０）からトリガを受信したときに、予め決められた状態の順番で前記デバイス（４０）を次の状態に更新するように構成されたことを特徴とするシステム。
【請求項６】
前記アナライザ（２０）が前記Ｓ−パラメータのベクトル測定を実行するように構成されたことを特徴とする請求項５に記載のシステム（１００）。
【請求項７】
前記アナライザ（２０）は、前記予め決められた順番ですべての状態を測定し終えたときに、前記測定手順中に前記アナライザ（２０）により取得したＳ−パラメータデータを前記テストコントローラ（１０、３０）に転送するように構成されたことを特徴とする請求項５または６に記載のシステム（１００）。
【請求項８】
前記テストコントローラ（１０、３０）に前記Ｓ−パラメータデータを転送できるように、前記アナライザ（２０）と前記テストコントローラ（１０、３０）が高速ＬＡＮを介して接続されていることを特徴とする請求項７に記載のシステム（１００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線周波数ネットワーク・アナライザに関する。さらに詳しくは、本発明はマイクロ波ベクトル・ネットワーク・アナライザ及び、マイクロ波機器などのパラメータ、特に２ポートまたはマルチポートデバイスの散乱パラメータを効率的に測定するための方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアネットワーク、または、ネットワークにリニア的に応答させるような、十分に小さい信号で動作するノンリニアネットワークは、ネットワークのコンテンツに関係無く、ネットワーク端末（ポート）で測定されるパラメータにより完全に特徴づけることができる。一旦ネットワークのパラメータが決定すると、やはりネットワークのコンテンツに関係無く、どのような外部環境においてもその動作を予測することが可能である。
【０００３】
ネットワークのポート数は決まっていないが、ネットワークパラメータは、図１に示すネットワークのような、入力ポートと出力ポートの２つのポートのみを有するネットワークを想定すると、最も簡単に説明することができる。
【０００４】
そのようなネットワークの性能を特徴づけるために、それぞれが一定の利点を有するいくつかのパラメータセットのいずれかを用いる。各パラメータセットは、２ポートモデルに関わる４つの変数のセットに関連している。それらの変数のうちの２つは、ネットワークの励磁を表し（独立変数）、残りの２つは、励磁に対するネットワークの応答を表す（従属変数）。図１に示すネットワークが電圧源Ｖ１及びＶ２により励磁されると、ネットワークの電流Ｉ１及びＩ２は、以下の式のいずれかにより関連づけられる。
Ｈ−パラメータ Ｙ−パラメータ Ｚ−パラメータ
V1＝h11I1＋h12V2      I1＝y11V1＋y12V2      V1＝z11I1＋z12I2
I2＝h21I1＋h22V2      I2＝y21V1＋y22V2      V2＝z21I1＋z22I2
【０００５】
パラメータセットにおける唯一の違いは、独立変数及び従属変数の選択である。パラメータは、これらの変数を関連づけるために用いられる定数である。
【０００６】
上記Ｈ−パラメータは、どのようにこのタイプのパラメータセットを測定により決定することができるかを明瞭にするための説明的な一例として用いることができる。パラメータh11は、例えば、ネットワークの出力ポートをショートさせることにより、V2を０に設定することによって決めることができる。パラメータh11は、V1とI1との比、すなわち、結果として得られるネットワークの入力インピーダンスである。また、パラメータh12は、入力ポートをオープンにしたときのV1とV2との比（すなわち、リバース電圧ゲイン）を測定することにより決めることができる。オープン回路及びショート回路は共に、上述したＨ−パラメータ、Ｙ−パラメータ、Ｚ−パラメータを得るために必須である。
【０００７】
しかしながら、ショート回路は誘電子のようであり、また、オープン回路はいくらかの漏れ容量を有するため、特にマイクロ波ドメインの高周波と共にＨ−、Ｙ−、Ｚ−パラメータを使うと、問題が生じる。トランジスタやトンネルダイオードなどのアクティブデバイスは、回路がショートまたはオープンされると、しばしば不安定になる。さらに、通常望まれる広い周波数帯域に亘って回路をショート及びオープンすることは難しい。その上、Ｈ−、Ｙ−、Ｚ−パラメータを用いたときに必要な、電流の合計または電圧の合計を測定するのは難しい。
【０００８】
高周波数、特にマイクロ波周波数でこれらのデバイスを特徴づけるために、別の方法を用いるべきであることは明らかである。
【０００９】
図１の２ポートデバイス例を送信線に埋め込み、その特性インピーダンスＺLで送信線を終端した場合、図２に示すように、デバイスに入射した進行波である、前記特性インピーダンスに一致するインピーダンスＺsを有するジェネレータにより供給される刺激信号及び、デバイスから反射された波またはデバイスを通過した波である、応答信号を考えることができる。
【００１０】
そして、これらの入力波、及び「散乱」波に関連する、新しい式のセットを設定することができる。
E1r＝S11E1i＋S12E2i  ［１］
E2r＝S21E1i＋S22E2i  ［２］
【００１１】
ここで、E1rとE2rは、第１及び第２ポートからそれぞれ反射される従属電圧であり、E1iとE2iは、第１及び第２ポートにそれぞれ入力する独立電圧である。
新しい式のセットをZ0で割ると（Z0は送信線の特性インピーダンス）、これらの式をより馴染みのある形に変化させることができる。
b1＝S11a1＋S12a2  ［３］
b2＝S21a1＋S22a2  ［４］
【００１２】
なお、
bn＝Enr／√Z0  ［５］
an＝Eni／√Z0  ［６］
であり、また、
S11は、a2＝0、すなわち、２ポートの出力をZ0に等しいインピーダンスで終端することにより達成することができる、入力波E2iが無いときのb1／a1に等しい入力反射係数である。
S22は、a1＝０、すなわち、２ポートの入力をZ0に等しいインピーダンスで終端することにより達成することができる、入力波E1iが無いときのb2／a2に等しい出力反射係数である。
S21は、a2＝0、すなわち、２ポートの出力をZ0に等しいインピーダンスで終端することにより達成することができる、入力波E2iが無いときのb2／a1に等しい順方向の通過（挿入）ゲインである。
S12は、a1＝０、すなわち、２ポートの入力をZ0に等しいインピーダンスで終端することにより達成することができる、入力波E1iが無いときのb1／a2に等しい逆方向の通過（挿入）ゲインである。
なお、例えば、
｜b1｜2＝第１ポートから反射された電力
｜a1｜2＝第１ポートに入力する電力
である。
上述した散乱パラメータ、つまり、Ｓ−パラメータは抵抗終端により決定され、これにより、Ｈ−、Ｙ−、及びＺ−パラメータに求められる広帯域に亘って回路をオープン及びショートするという条件を満たす困難を排除している。加えて、アクティブデバイスにおける寄生振動は、デバイスが抵抗負荷により終端されたときに最小となる。入力波Eni及び反射電圧を測定すれば良いだけであるため、Ｓ−パラメータを決めることができる標準装置がある。
【００１３】
Ｓ−パラメータは、例えば、アメリカ合衆国カリフォルニア州パロアルトに本社があるAgilent Technologies社のAgilent E8362Bベクトル・ネットワーク・アナライザなどの、現代のプロフェッショナルマイクロ波ネットワーク・アナライザにより、手軽に測定することができる。Ｓ−パラメータは、現代のマイクロ波ネットワーク・アナライザにより、上述したものとほぼ同様の方法、すなわち、十分に定義された入力波E1i及びE2iをテスト対象デバイスに供給し、この入力波E1i及びE2iにより引き起こされる可能な反射波E1r及びE2rを測定することにより、測定することができる。これを行う従来の方法は、テスト対象デバイスの特定の状態において興味のあるすべての周波数をカバーする周波数スイープを用いて入力波E1i及びE2iを供給し、さらに、テスト対象デバイスの状態を変更して、新しい周波数スイープを供給する方法である。
【発明の開示】
【００１４】
しかしながら、測定する必要のある状態の数は、数千もの異なる状態を取り得るデバイスを測定する場合に、非常に大きくなる傾向がある。そのようなデバイスの一例は、レーダー機器における送信−受信モジュール（Ｔ／Ｒモジュール）である。そのようなＴ／Ｒモジュールは、位相及び大きさに関して、数千の異なる状態を取ることができる。そのような各状態は、Ｔ／Ｒモジュールにより送信される信号または受信される信号の大きさ及び／または位相に影響を与える。
【００１５】
Ｔ／Ｒモジュールまたは類似のデバイスにおける状態は、周波数スイープを達成するためにネットワーク・アナライザにおいて周波数を変えるのに比べて、非常に速く変えることができる。通常、ネットワーク・アナライザにおいて周波数を変えるには数ミリ秒かかるが、今日一般的に測定されるＴ／Ｒモジュールにおいて状態を変更するのには２０〜３０μ秒しかかからない。
【００１６】
その上、マイクロ波ネットワーク・アナライザから、評価部を有するセットアップにおける外部評価部に測定データを抽出するまでに時間がかかる。通信が確立される度に、ある程度のオーバーヘッドも生じる。装置の種類及び使用するプロトコルに応じて、データを抽出するのにかかる合計時間が異なる。Agilent E8362Bでは通常３０〜１００msかかる。
【００１７】
周波数変更（各周波数毎に１０〜２０ms）及びマイクロ波ネットワーク・アナライザによりデータを取得するのにかかる時間（３０〜１００ms）は、測定する状態数により倍増する。多くの状態を測定する場合、例えば、600,000以上の状態を取り得るＴ／Ｒモジュールを特徴づける場合では、簡単に数時間を要する。特に、多数のＴ／Ｒモジュールまたは同様なデバイスを特徴づける場合、例えば、そのようなモジュールを開発、製造するような場合に、このような遅延は、明らかに不都合である。
【００１８】
従って、より高速に測定を行うことのできる方法が求められている。
【００１９】
本発明の要旨
本発明は、複数の状態を取ることができ、また、１つの状態から別の状態へ非常に高速に切り替えることができる、マイクロ波デバイスなどの機器の少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するための、マイクロ波ベクトル・アナライザ及びテストコントローラを用いる方法を提供する。
【００２０】
測定は、複数の工程により達成することができ、以下のように表すことができる。テストコントローラがアナライザにトリガを送る。アナライザは、テストコントローラからトリガを受信すると、実質的に同じ開始及び終了周波数を有する周波数スイープを開始する。この技術において、実質的に同じ開始及び終了周波数を有する周波数スイープは、しばしばゼロ周波数スイープ又はゼロスパンスイープと呼ばれる。周波数スイープは、テスト対象デバイスに供給される。そして、アナライザは、テスト対象デバイスの少なくとも１つのＳ−パラメータの測定を実行し、測定で得られたデータを格納し、テストコントローラにトリガを供給する。テストコントローラは、アナライザからトリガを受信したときに、予め決められた状態の順番でテスト対象デバイスを次の状態に更新する。これらの工程は、予め決められた状態の順番ですべての状態が測定されるまで繰り返される。
【００２１】
アナライザがゼロ周波数スイープなどを行うように構成することで、周波数スイープを実際に用いることなく、つまり、デバイスに供給された信号の周波数を変更することなく、例えば、アナライザにおいて、周波数スイープ機能に関連するトリガ機能を用いることができる。これにより、上述した工程により行われる測定を自動化することができる。上述した工程による一連の状態における状態の測定が、アナライザにおける周波数の変更により遅延することが無い。従って、測定が非常に高速になる。
【００２２】
好ましくは、予め決められた順番ですべての状態を測定し終えたときに、測定手順中にアナライザにより取得したＳ−パラメータデータをテストコントローラに転送する。
【００２３】
また好ましくは、高速ＬＡＮを介してＳ−パラメータデータをテストコントローラに転送する。
【００２４】
また、本発明は、マイクロ波デバイスなどの少なくとも１つのＳ−パラメータを測定するための、テストコントローラ、ネットワーク・アナライザ、及びマイクロ波デバイス自身を含むシステムを提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の様々な実施の形態により保護されるシステムを参照して、本発明を詳細に説明する。
【００２６】
図３は、本発明の好適な実施形態における、無線周波数（ＲＦ）デバイスのＳ−パラメータを測定するための測定システム１００の一例を示す。このシステム１００は、評価部１０、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０、電力・論理部３０、テスト対象デバイス４０を含む。
【００２７】
測定システムの各構成
図３の評価部１０は、好ましくは、一般に市場で入手することができる通常のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）であり、できれば、周辺機器などとの通信を容易にするためのＩ／Ｏカードを追加するなど、多少のハードウェアの変更を行うことができるとよい。また、ＰＣに測定及び評価のためのソフトウェアが供給されていることが好ましい。その他の評価部などは、カスタマイズされた、または専用の評価部により明らかに可能である。
【００２８】
評価部１０は、測定中にテスト対象デバイス４０が取り得る所定状態の、予めプログラムされた定義を含むことが好ましい。加えて、評価部１０は測定中に行われる測定手順の予めプログラムされた構成を有することが好ましい。この測定手順の構成は、例えば、テスト対象デバイス４０が取り得る定義された状態の順番を定義する。
【００２９】
また、評価部１０は、測定中に用いられるマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の予めプログラムされた構成を含むことが好ましい。マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の典型的な構成は、測定するＳ−パラメータと、入力波E1i及びE2iの周波数、入力波E1i及びE2iの電力レベル、測定中に用いられるトリガ、実行する測定回数などのパラメータを含む。マイクロ波ネットワーク・アナライザの構成は、様々なアナライザによって異なると共に、構成は様々な測定セットアップによっても異なる。従って、特定のマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０を構成するために、さらに多くのパラメータ及び別のパラメータが必要である。
【００３０】
次に、図３のマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に目を向けると、アナライザはAgilent E8362マイクロ波ベクトル・ネットワーク・アナライザなどであることが好ましい。しかしながら、本発明はAgilent E8362に制限されるものではない。逆に、同様の特性または少なくとも適した特性を有する別のアナライザを用いることもできる。アナライザは、マイクロ波スペクルに加えて、無線周波数スペクトルの別の一部をカバーしてもよい。
【００３１】
図３の電力・論理部３０は、評価部１０とテスト対象デバイス４０間のインターフェースと見なすことができる。電力・論理部３０は、評価部１０から受信した指示に応じて、テスト対象デバイス４０を制御することが好ましい。しかしながら、本発明の別の実施の形態では、電力・論理部３０は多少なりとも自動的に、つまり、部分的または全体的に評価部１０からの指示無しに、テスト対象デバイス４０を制御してもよい。さらに、電力・論理部３０はテスト対象デバイス４０に、テスト対象デバイス４０の固有機能のために必要な電力などを供給することが好ましい。電力・論理部３０は、独立した構成であっても、またはその一部が評価部１０内にあっても、または全部が評価部１０内にあってもよい。評価部１０及び電力・論理部３０は、１つの機能として参照される時にはテストコントローラ１０、３０として識別されるが、複数の物理的構成により実現してもよい。
【００３２】
図３のマイクロ波テスト対象デバイス４０は、入力ポートと出力ポートを有する２ポートマイクロ波デバイスである。しかしながら、マルチポートデバイスなどの他のデバイスであってももちろん構わない。マイクロ波テスト対象デバイス４０は、多数の異なる状態をとることができ、ある状態から別の状態へのシフトは、非常に高速に、例えば１０〜２０μs間で行うことができる。テスト対象デバイス４０は、例えば、数千の異なる位相と大きさの状態をとることができるレーダーＴ／Ｒモジュールであり、状態は、Ｔ／Ｒモジュールにより送信される信号または受信される信号の大きさ及び／または位相に影響を与える。
【００３３】
ユニットの接続
図３の評価部１０は、各部１０、３０間でデータ及び制御信号の送受信ができるように電力・論理部３０に接続されている。接続は、例えば、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）を外部デバイスに接続するために一般的に用いられる適切な種類であれば、どのようなものであってもよい。
【００３４】
図３の電力・論理部３０は、さらに、データ、制御信号、電力などを交換することを可能にするためにテスト対象デバイス４０に接続されている。接続は典型的には、テスト対象デバイス４０の単純かつ効率的な制御を可能にする、例えば、電力・論理部３０が、テスト対象デバイス４０にその状態を変更するように単純かつ迅速に命令できるようにするための、カスタマイズされた接続か、専用接続である。問題の接続は、必要に応じて必要な電力をテスト対象デバイス４０に供給することが好ましい。
【００３５】
図３の評価部１０は、各部１０、４０間で情報及び制御信号を交換できるように、さらに、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に接続されている。情報は、典型的には、テスト対象デバイス４０の測定中にマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０により取得されたデータである。制御信号は、典型的には、各部１０、４０間の各通信セッションを確立するために必要なものである。マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０から評価部１０へ転送されるデータパッケージなどのヘッダなども、制御信号と見なされる。転送されるデータ量は通常大きく、転送には時間がかかる。制御信号はこの時間を長引かせる。マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の種類及び使用するプロトコルにより、アナライザ２０からデータを抽出するのにかかる合計時間が異なる。Agilent E8362Bの場合、評価部１０に測定したデータセットを転送するのにかかる時間は、通常、３０〜１００msである。マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０から評価部１０へデータを転送する時間を最短にするために、Ethernetなどを用いたネットワークなどの、ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）などの高速チャンネルを介して、評価部１０をマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に接続することが好ましい。また、他のデバイスが接続されると、チャンネルの混雑による遅延が起きることがあるため、接続が、ピア−ツー−ピア接続であること、すなわち、他のデバイスが高速接続を用いないことがさらに好ましい。また、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０のデータストレージから評価部１０へは、データができる限り直接転送されることが好ましい。これは、ネットワーク・アナライザ２０のハードウェアメモリ回路への直接アクセスにより実現することができる。Agilent E8362Bの場合、ＤＣＯＭ通信プロトコルを用いることにより達成することができる。
【００３６】
図３のマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０は、さらに、２つのマイクロ波ケーブル、例えば２つの同軸ケーブルを介して、テスト対象デバイス４０に接続される。一方のケーブルは、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０をテスト対象デバイス４０の入力ポートに接続し、もう一方のケーブルは、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０をテスト対象デバイス４０の出力ポートに接続する。明らかに他の接続であってもよく、例えば、１つのポートのみ測定する場合や、テスト対象デバイス４０がマルチポートデバイスである場合などである。
【００３７】
マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０及び電力・論理部３０は、２つのトリガチャネルを介して互いに接続される。第１のトリガチャネルは、テスト対象デバイス４０の設定がある状態から別の状態に変わる度、例えば、電力・論理部３０がテスト対象デバイス４０に対して位相及び大きさに関して新しい状態をとるように命令をする度に、電力・論理部３０がマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０にトリガを送ることができるようにする。このトリガは、図３において、電力・論理部３０からマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に延びる矢印により概略が示されている。第２のトリガチャンネルは、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０が測定を行う度に、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０が電力・論理部３０にトリガを送信できるようにする。このトリガは、図３において、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０から電力・論理部３０に延びる矢印により概略が示されている。
【００３８】
システムの動作
図４は、本発明の好適な実施の形態において行われる測定工程のフローチャートの一例を示す。
【００３９】
第１ステップ（Ａ）は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０をキャリブレーションする工程である。キャリブレーションは、２つのマイクロ波ケーブルの影響及び、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０をテスト対象デバイス４０に接続する他の可能な構成の影響を取り除くために行われる。キャリブレーションは、さらに、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の内部キャリブレーションと、測定システム１００の他のユニットの可能なキャリブレーションを含んでも良い。
【００４０】
第２ステップ（Ｂ）は、電力・論理部３０をロードする工程である。この工程では、評価部１０が電力・論理部３０に、テスト対象デバイス４０が測定中にとることができる予めプログラムされたいくつかの状態を提供することが好ましい。また、評価部１０が電力・論理部３０に予めプログラムされた測定手順の構成を供給することが好ましい。測定手順の構成は、例えば、電力・論理部３０がテスト対象デバイス４０に対して予めプログラムされた状態をとらせる命令を定義しても良い。測定手順の構成は、さらに測定手順を何回行うか、などを定義しても良い。
【００４１】
第３ステップ（Ｃ）は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０を構成する工程である。この工程では、評価部１０がマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に予めプログラムされた構成を提供することが好ましい。しかしながら、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０を、例えば、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０のキーパッドを介して、または、何らかの適する方法でマニュアルにより構成しても良い。
【００４２】
第４ステップ（Ｄ）は、ステップ（Ｂ）で定義されるような測定手順を開始する工程である。好ましくは、電力・論理部３０に開始信号などを供給することにより手順を開始する。開始信号は、例えば、マニュアルにより、または評価部１０、または、何らかの適する方法により供給することができる。電力・論理部３０が開始信号を受信すると、テスト対象デバイス４０に測定手順の第１の状態をとるように命令する。
【００４３】
第５ステップ（Ｅ）は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０を開始する工程を示す。この工程では、好ましくは、テスト対象デバイス４０が、前の工程において電力・論理部３０により命令された状態をとったときに、電力・論理部３０は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に「次の状態準備」トリガを供給する。
【００４４】
第６ステップ（Ｆ）は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に１つの測定ポイントを測定させ、測定したＳ−パラメータデータを格納させ、電力・論理部３０に「測定準備」トリガを送信させる工程である。トリガは、上述したように第２トリガチャネルなどを介して供給される。測定は、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に、予め定義されたゼロ周波数スイープの入力波E1i及びE2iをテスト対象デバイス４０に供給させ、測定が終了した時に電力・論理部３０にトリガを送信させることにより行われる。ゼロ周波数スイープは、実質的に同じスタート及びストップ周波数を有する。すなわち、入力波E1i及びE2iが実質的に１つの同じ周波数を有する。言い換えれば、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０は、いずれの周波数インターバルをカバーするためにも、入力波E1i及びE2iを変えない。Agilent E8362Bベクトル・ネットワーク・アナライザでは、これは「ステップスイープモード」を用いることにより達成することができる。
【００４５】
結果として、次の測定ステップ（つまり、ステップ（Ｇ））が実行できるより前に、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０における周波数変更に伴う遅延はない。同様に、テスト対象デバイス４０が次の状態をとることができるより前（すなわち、ステップ（Ｇ）からステップ（Ｈ）への流れ）に、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０における周波数変更に伴う遅延はない。
【００４６】
また、１つの測定点は結局、入力波E1i及びE2iに対する１つの周波数におけるテスト対象デバイス４０の１つの状態のＳ−パラメータの測定に対応することを付け加えておく。測定手順は、複数のそのような測定点を含む。
【００４７】
測定すべき状態数は、テスト対象デバイス４０が取り得る予めプログラムされた特定の状態の定義において定義されていることが好ましく、その定義は評価部１０により構成され、上述したステップ（Ｂ）により電力・論理部３０に供給される。マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０により測定される測定点の数は、好ましくは、上記ステップ（Ｃ）においてマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に供給される予めプログラムされた構成において定義される。状態数は、測定点の数と等しくなければならない。
【００４８】
第７ステップ（Ｇ）は、テスト対象デバイス４０が測定手順における最終工程であるかどうかを判定する工程である。電力・論理部３０がこの判定を行う。
【００４９】
測定手順における最終工程に達していなければ、測定工程は第８ステップ（Ｈ）に進む。第８ステップでは、好ましくは、電力・論理部３０がテスト対象デバイス４０が測定手順における次の工程となるようにテスト対象デバイス４０を更新する。そして、測定工程は、第５ステップ（Ｅ）以降の処理に進む。
【００５０】
しかしながら、測定手順において最終工程に達した場合、測定工程は第９ステップ（Ｉ）に進む。第９ステップでは、好ましくは、評価部１０が、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０に格納された測定手順で得たデータを取得するか、または、データの供給を受ける。言い換えると、測定手順中にマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０により取得したＳ−パラメータデータは、測定手順が終了したときに評価部１０に転送される。つまり、個別の測定点の後や測定手順の実行中には、データは転送されない。これにより、評価部１０とマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０との間で通信を確立しなければならない機会の数を減らすことができるため、時間を節約することができる。測定手順における最終測定点が測定されたときに、評価部１０にＳ−パラメータデータを供給するようにマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０を構成することが好ましい。
【００５１】
第１０ステップ（Ｊ）は、最終測定手順が完了したかどうかを判定する工程である。上述したように、測定手順の構成は、例えば、測定手順が何回も行われるように定義することができる。電力・論理部３０がこの確認を行うことが好ましい。
【００５２】
測定工程は、最終測定手順が完了していなければ、ステップ（Ｂ）またはステップ（Ｃ）以降の処理に進む。測定工程がステップ（Ｂ）から実行される場合、次の測定が始まる前に、測定手順の構成およびそれに含まれる状態を変更することが可能である。また、測定工程においてステップ（Ｃ）をスキップするようにマイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の構成を変更することも可能である。しかしながら、測定工程がステップ（Ｃ）から実行される場合、次の測定が始まる前に、マイクロ波ネットワーク・アナライザ２０の構成を変更することだけが可能である。
【００５３】
しかしながら、測定工程は、最終測定手順が完了すると終了する。
【００５４】
なお、上述したステップＡからＪは、本発明の好適な実施の形態である。他の実施形態では、これらのステップをすべて用いなかったり、及び／またはステップを追加したり、及び／またはステップＡからＪを変更することができる。また、本発明の異なる実施の形態では、測定工程（例えば、ステップＡからＪ）を異なる順番で実行する、すなわち、本発明から乖離することなく、ステップを実行する順番を変更することができる。
【００５５】
上記記載は、本発明の例示的な実施の形態を構成するが、本発明が、添付の請求項の適切な範囲及び公平な解釈から離脱することなく、変形、変化、変更できることは、理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】図１は、１つの入力ポートと、１つの出力ポートとを有する公知の２ポートネットワークを示す概略図である。
【図２】図２は、図１に示す２ポートデバイスの一例を、１端を特性インピーダンスＺLで終端し、もう１端を前記特性インピーダンスに一致するインピーダンスＺGのジェネレータに接続した送信線に埋め込んだ様子を示す図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態において、Ｓ−パラメータを測定するための測定システム１００の例を示す図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態において、実行することのできる測定手順を示すフローチャートの一例である。
【符号の説明】
【００５７】
１００  測定システム
１０  評価部（ＶＣＵ）
２０  プロフェッショナルマイクロ波ネットワーク・アナライザ（ＰＮＡ）
３０  電力・論理部（ＰＬＵ）
４０  テスト対象デバイス（ＤＵＴ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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