(57)【要約】【課題】基板に設けられた柱状スペーサ等の凸状構造部の高さを測定装置により自動測定することが可能な構造を有する液晶表示パネル用基板、及び、それを用いてなる液晶表示パネル、液晶表示装置、並びに、液晶表示パネル用基板の検査方法、及び、それを用いた液晶表示パネルの製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも１種の凸状構造部を備え、更に他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部を備える液晶表示パネル用基板であって、上記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の一部分又は近傍に特異構造が設けられたものであり、上記特異構造は、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、並びに、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積のうち少なくとも一方を有する液晶表示パネル用基板である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１種の凸状構造部を備え、更に他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部を備える液晶表示パネル用基板であって、
該液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の一部分又は近傍に特異構造が設けられたものであり、
該特異構造は、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、並びに、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積のうち少なくとも一方を有する
ことを特徴とする液晶表示パネル用基板。
【請求項２】
前記液晶表示パネル用基板は、凸状構造部として柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含み、かつ柱状スペーサの一部分又は近傍に特異構造が設けられたものであることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３】
前記柱状スペーサは、積層構造を有することを特徴とする請求項２記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項４】
前記柱状スペーサは、下地としてブラックマトリクスが配置されていないものであることを特徴とする請求項２記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項５】
前記ドット状配向制御用突起の平面形状は、略円形であることを特徴とする請求項２記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項６】
前記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の近傍にブラックマトリクスで形成された特異構造が設けられたものであることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項７】
前記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の近傍に色層で形成された特異構造が設けられたものであることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項８】
前記特異構造は、非表示領域に設けられることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項９】
前記非表示領域は、液晶表示パネル用基板に形成されたブラックマトリクスと平面視したときに重複する領域であることを特徴とする請求項８記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１０】
前記非表示領域は、特異構造が設けられる液晶表示パネル用基板と対向する基板に形成された配線と平面視したときに重複する領域であることを特徴とする請求項８記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１１】
前記特異構造は、１つのセル領域に対して１つ以上設けられることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１２】
前記特異構造は、基板面内に略均一に設けられることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１３】
前記液晶表示パネル用基板は、カラーフィルタ基板であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１４】
請求項１記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示パネル。
【請求項１５】
請求項１記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示装置。
【請求項１６】
少なくとも１種の凸状構造部を備え、更に他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部を備える液晶表示パネル用基板であって、
該凸状構造部の１種は、単層構造を有し、かつ全体形状が特異構造からなり、
該特異構造は、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、並びに、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積のうち少なくとも一方を有する
ことを特徴とする液晶表示パネル用基板。
【請求項１７】
前記液晶表示パネル用基板は、凸状構造部として単層構造の柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含み、かつ柱状スペーサの全体形状が特異構造からなることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１８】
前記ドット状配向制御用突起の平面形状は、略円形であることを特徴とする請求項１７記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項１９】
前記特異構造は、非表示領域に設けられることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２０】
前記非表示領域は、液晶表示パネル用基板に形成されたブラックマトリクスと平面視したときに重複する領域であることを特徴とする請求項１９記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２１】
前記非表示領域は、特異構造が設けられる液晶表示パネル用基板と対向する基板に形成された配線と平面視したときに重複する領域であることを特徴とする請求項１９記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２２】
前記特異構造は、１つのセル領域に対して１つ以上設けられることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２３】
前記特異構造は、基板面内に略均一に設けられることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２４】
前記液晶表示パネル用基板は、カラーフィルタ基板であることを特徴とする請求項１６記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２５】
請求項１６記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示パネル。
【請求項２６】
請求項１６記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示装置。
【請求項２７】
凸状構造部及びブラックマトリクスを備える液晶表示パネル用基板であって、
該凸状構造部の少なくとも１つは、単層構造を有し、かつブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する
ことを特徴とする液晶表示パネル用基板。
【請求項２８】
前記凸状構造部は、柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含むものであり、
該ドット状配向制御用突起は、単層構造を有し、かつブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する
ことを特徴とする請求項２７記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項２９】
前記交差部は、１つのセル領域に対して１つ以上設けられることを特徴とする請求項２７記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３０】
前記交差部は、基板面内に略均一に設けられることを特徴とする請求項２７記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３１】
前記液晶表示パネル用基板は、カラーフィルタ基板であることを特徴とする請求項２７記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３２】
請求項２７記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示パネル。
【請求項３３】
請求項２７記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示装置。
【請求項３４】
凸状構造部、凹状構造部及びブラックマトリクスを備える液晶表示パネル用基板であって、
該凹状構造部の少なくとも１つは、ブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する
ことを特徴とする液晶表示パネル用基板。
【請求項３５】
前記凸状構造部は、柱状スペーサを含むものであり、
前記凹状構造部は、配向制御用スリット及び／又は配向制御用ホールを含むものであり、
該配向制御用スリット及び／又は配向制御用ホールは、ブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する
ことを特徴とする請求項３４記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３６】
前記交差部は、１つのセル領域に対して１つ以上設けられることを特徴とする請求項３４記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３７】
前記交差部は、基板面内に略均一に設けられることを特徴とする請求項３４記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３８】
前記液晶表示パネル用基板は、カラーフィルタ基板であることを特徴とする請求項３４記載の液晶表示パネル用基板。
【請求項３９】
請求項３４記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示パネル。
【請求項４０】
請求項３４記載の液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示装置。
【請求項４１】
柱状スペーサを備え、更に位置特定用構造部が少なくとも１つ設けられた液晶表示パネル用基板を検査する方法であって、
該液晶表示パネル用基板の検査方法は、少なくとも、位置特定用構造部の位置を特定する処理と、予め設定された位置特定用構造部からの距離データに基づき、基準点及びスペーサ頂点の位置を決定する処理と、決定された基準点の位置及びスペーサ頂点の位置間での高さの差を測定する処理とを含む
ことを特徴とする液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４２】
前記位置特定用構造部は、請求項１記載の液晶表示パネル用基板における特異構造であることを特徴とする請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４３】
前記位置特定用構造部は、請求項１６記載の液晶表示パネル用基板における特異構造であることを特徴とする請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４４】
前記位置特定用構造部は、請求項２７記載の液晶表示パネル用基板における交差部であることを特徴とする請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４５】
前記位置特定用構造部は、請求項３４記載の液晶表示パネル用基板における交差部であることを特徴とする請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４６】
前記位置特定用構造部は、線状に形成された配向制御用突起及び／又は配向制御用スリットの輪郭とブラックマトリクスの輪郭との交差部であることを特徴とする請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法。
【請求項４７】
請求項４１記載の液晶表示パネル用基板の検査方法を用いた液晶表示パネルの製造方法であって、
該液晶表示パネルの製造方法は、基準点の位置及びスペーサ頂点の位置間での高さの差に応じて基板に滴下する液晶量を決定する
ことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置のカラーフィルタ基板として好適に用いられる液晶表示パネル用基板に関する。より詳しくは、マルチドメイン垂直配向（ＭＶＡ）モード等の液晶表示装置におけるカラーフィルタ基板として好適に用いられる液晶表示パネル用基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、液晶表示パネル内に充填された液晶層等を利用して光源からの出射光の光学特性を制御することにより表示を行うものであり、薄型・軽量・低消費電力といった特長を活かし、様々な分野で用いられている。
このような液晶表示装置の主要部材である液晶表示パネルは、一般的に、スイッチング素子アレイ基板とカラーフィルタ（ＣＦ）基板との間に液晶層を狭持した構造を有し、基板間に配置されたスペーサにより、液晶層の厚さ（セルギャップ）が保持される。スペーサとしては、プラスチックや無機材料等からなる球状スペーサ、樹脂材料等からなる柱状スペーサが知られている。スペーサは、液晶表示装置の表示品位を低下させないように、ブラックマトリクス上等の遮光領域（表示領域外）に選択的に配置されることが好ましく、この点に関し、球状スペーサは、通常、基板上に散布されて配置されることから、所望の位置に配置するために、高度な制御技術が必要となる。一方、柱状スペーサは、例えば、感光性樹脂等を利用してフォトリソグラフィ法等により基板上に直接形成することができ、高精度の配置が可能な点で優れている。なお、このようなフォトリソグラフィ法により形成された柱状スペーサは、フォトスペーサ（ＰＳ）とも呼ばれる。
【０００３】
従来では、液晶表示パネルは、スイッチング素子アレイ基板及びＣＦ基板をそれぞれ製造した後、配向処理工程、両基板の貼り合わせ工程、液晶の充填工程等を経て完成していた。この場合、液晶の充填方式としては、真空注入法が用いられる。真空注入法とは、スイッチング素子アレイ基板及びＣＦ基板の両基板を貼り合わせた後、それを液晶槽に浸し、真空吸引することにより、液晶を基板間に充填する方式である。
しかしながら、近年、液晶表示パネルの大型化が進んでおり、液晶の充填方式は、液晶の充填時間を短縮するため、真空注入法から液晶滴下（Ｏｎｅ  Ｄｒｏｐ  Ｆｉｌｌｉｎｇ）法へ移行し始めている。液晶滴下法とは、一方の基板（通常では、ＣＦ基板）に液晶を滴下した後、スイッチング素子アレイ基板とＣＦ基板とを貼り合わせる方式であり、大型の液晶表示パネルの場合でも、数分間で液晶の充填が可能となる。一方で、このような液晶滴下法を用いる場合には、液晶層の気泡等を防止するために、滴下する液晶量を厳密に管理する必要があり、ＰＳ等の凸状構造部を有する液晶表示パネルに液晶を充填する場合には、基板上の凸状構造部の高さ等を正確に測定してセル毎に液晶の滴下量を予め決定することが求められていた。
【０００４】
なお、ＰＳ等の凸状構造部の高さを被測定面と接触することなく測定可能な方法としては、例えば、光干渉（白色干渉）を利用した計測技術が知られている。白色干渉を利用した計測技術により凸状構造部の高さを自動的に測定させる場合には、画像認識装置の視野範囲（測定エリア）において、最も特徴的なパターン（位置決め部）、並びに、その位置決め部から基準点（ベースポイント）及び凸状構造部の頂点位置までの各距離データを事前に設定しておく。そして、測定の際には、粗い原点出し（粗アライメント）にて、測定エリアに測定ヘッドを移動させた後、位置決め部をサーチし、精密な原点出しを行う。次に、事前設定された距離データに基づいて、基準点及び凸状構造部の頂点位置（座標）を特定する。最後に、傾角を一定にした状態で凸状構造部の近傍に白色光源からの照明光を照射して、干渉縞を形成させ、干渉縞の間隔を計測することにより、基準点と凸状構造部の頂点位置との高さの差を測定することができる。
【０００５】
このような測定装置を用いて自動的にＰＳ高さを測定させる場合には、測定装置による原点出しを可能とするための位置決め部が基板上に存在しなければならない。しかしながら、液晶表示パネル用基板では、位置決め部として基板上の凸状構造部を用いると、基板上に柱状スペーサ、配向制御用突起等の凸状構造部が多数設けられることから、位置決め部と他のパターンとを混同してしまうおそれがあった。また、位置決め部は、基板上の一定の位置に精度よく配置される必要があり、例えば、積層構造を有するＰＳ（積層ＰＳ）自体を位置決め部として用いた場合には、各層のアライメントずれの影響を受けるため、測定毎に積層ＰＳの白色干渉により形成される干渉縞の形状が変わってしまい、高さ測定装置が誤動作を起こしてしまう。このように、ＰＳ高さを測定する際に、測定装置による原点出しに好適に用いることができる位置決め部を備える液晶表示パネル用基板が求められていた。
【０００６】
なお、柱状スペーサの構成に関しては、既に多くの文献に開示されており、例えば、ブラックマトリクス上に積層ＰＳが形成されたＣＦ基板等について開示されているが、柱状スペーサの高さを測定する際に用いる位置決め部を設けることについて記載されたものはない。（例えば、特許文献１〜８参照。）
また、液晶表示パネル用基板に位置決め部を設けることに関しては、基板の貼り合わせ工程で基板同士の位置合わせに用いる位置決め部や、金属膜パターン形成時のマスクの位置合わせに用いる位置決め部を基板の外周領域に配置することが開示されているが、ＰＳ高さの測定に用いる位置決め部については、形成方法及び配置の点で工夫の余地があった。（例えば、特許文献９〜１１参照。）
【特許文献１】特開平９−１２００６３号公報
【特許文献２】特開平１０−２３２３１０号公報
【特許文献３】特開平１１−６４６１８号公報
【特許文献４】特開平１１−２４８９２１号公報
【特許文献５】特開２０００−１４７２３４号公報
【特許文献６】特開２０００−２５８６１７号公報
【特許文献７】特開２００１−５１２６６号公報
【特許文献８】特開２００２−１６２６２９号公報
【特許文献９】特開平９−１２７５４６号公報
【特許文献１０】特開平９−１９７４３４号公報
【特許文献１１】特開平１０−１２３５４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、基板に設けられた柱状スペーサ等の凸状構造部の高さを測定装置により自動測定することが可能な構造を有する液晶表示パネル用基板、及び、それを用いてなる液晶表示パネル、液晶表示装置、並びに、液晶表示パネル用基板の検査方法、及び、それを用いた液晶表示パネルの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、液晶表示パネル用基板に設けた柱状スペーサ等の凸状構造部の高さの測定方法について種々検討したところ、白色干渉を利用した計測技術が基板の損傷を防止しつつ、簡便に凸状構造部の高さを自動測定するのに有効であることに着目した。そして、測定対象となる凸状構造部の一部分又は近傍に位置決め部として、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、及び、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積の少なくとも一方を有する特異構造を設けることにより、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部が基板上に存在する場合であっても、測定装置により測定対象である少なくとも１種の凸状構造部を特定して、高い精度で高さを測定することができることを見いだし、上記課題をみごとに解決することができることに想到し、本発明に到達したものである。なお、本願明細書における「以上」及び「以下」は、当該数値を含むものである。
【０００９】
すなわち、本発明は、少なくとも１種の凸状構造部を備え、更に他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部を備える液晶表示パネル用基板であって、上記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の一部分又は近傍に特異構造が設けられたものであり、上記特異構造は、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、及び、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積の少なくとも一方を有する液晶表示パネル用基板である。なお、凸状構造部とは、突起構造物を備えることにより、基準点に対して高さを有する基板上の部位のことであり、凹状構造部とは、スリット（溝）、穴等を備えることにより、基準点に対して深さを有する基板上の部位のことである。特異構造は、測定対象となる特定種類の凸状構造部の一部分又は近傍に設けられ、基板面法線方向から平面視したときに、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の一部分又は全体と形状が異なっているか、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部よりも２／３倍以下、１．５倍以上の面積を有していればよい。中でも、本発明においては、画像処理能力に起因するタクト（処理速度）の遅延をより効果的に防止する観点から、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の一部分又は全体と形状が異なっている形態が好適である。
測定対象となる凸状構造部が基板上に２種以上存在する場合には、凸状構造部の種類毎に対応させて２種以上の特異構造が設けられてもよい。本発明においては、このような特異構造を高さ測定装置に位置決め部として認識させることにより、測定対象となる凸状構造部の位置や、高さの基準レベルを決定するための基準点の位置を高精度に特定することができ、凸状構造部の高さを正確に自動測定することが可能となる。
平面形状が他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる構造の場合、画像認識装置の解像限界から、特異構造の平面形状は、４μｍ以上の直線部を少なくとも１つ有するものであることが好ましい。また、特異構造により正確な位置決めを行うために、画像認識装置の視野範囲（測定エリア）内に特異構造が複数設けられないように視野範囲と特異構造の配置間隔とを調整することが好ましい。
【００１０】
上記液晶表示パネル用基板は、凸状構造部として柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含み、かつ柱状スペーサの一部分又は近傍に特異構造が設けられたものであることが好ましい。ドット状配向制御用突起は、リブ状配向制御用突起のように、ブラックマトリクスと交差する構成になり難く、ブラックマトリクスとの交点を位置決め部として用いることが困難であり、また、通常ではリブ状配向制御用突起に比べ、柱状スペーサと混同しやすい形状を有しているが、この形態によれば、特異構造により柱状スペーサとドット状配向制御用突起とが混同されることを効果的に防止して柱状スペーサの高さを測定することができる。
なお、ドット状配向制御用突起が設けられた本発明の液晶表示パネル用基板は、マルチドメイン垂直配向（ＭＶＡ）型液晶表示装置に適用することが可能である。
【００１１】
上記柱状スペーサは、積層構造を有することが好ましい。この形態によれば、柱状スペーサを構成する各層を色層と同一工程にて順次形成することができるため、液晶表示パネル用基板の製造コストを低減することができる。また、積層構造を有する柱状スペーサの場合、スペーサ形成過程において各層のアライメントのずれが生じる可能性があるため、通常では、積層構造からなる柱状スペーサの本体部分を位置決め部として用いることは測定精度上好ましくないが、この形態によれば、積層構造を有する柱状スペーサの一部分又は近傍に特異構造を設けて位置決め部として用いることにより、高精度の位置決めを実現することができる。特異構造としては、単層で形成されたものが好適に用いられる。また、上記柱状スペーサの形状としては、円柱状、角柱状のみならず、円錐状、角錐状等であってもよい。同様に、上記ドット状配向制御用突起の形状としては、円柱状、角柱状、円錐状、角錐状等が挙げられる。
【００１２】
また、上記柱状スペーサの好ましい形態の一つとしては、下地としてブラックマトリクスが配置されていない形態が挙げられる。この形態は、セル厚（液晶層の厚み）を薄くするのに有利な形態である。
【００１３】
上記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の近傍にブラックマトリクスで形成された特異構造が設けられたものであることが好ましい。この形態によれば、特異構造として設けたブラックマトリクスの輪郭の特徴部分を位置決め部として認識させることにより、高精度の位置決めを実現することができる。なお、ブラックマトリクスで特異構造を形成する場合、上記凸状構造部は、平面視したときに特異構造と重複する領域外に形成される。ブラックマトリクスで形成された特異構造が上記凸状構造部の近傍ではなく、上記凸状構造部と重複する領域内に設けられると、充分な精度の位置決めができなくなる場合がある。ブラックマトリクスは、色層よりも液晶層側（基板の上層）に設けられてもよく、色層よりも支持基板側（下層）に設けられてもよいが、下層に設けられる場合には、ブラックマトリクスと他の色層（例えば、赤色層）との干渉による測定精度の低下を防止するために、より高感度の画像認識装置を用いて特異構造を認識させる。また、ブラックマトリクスとしては、黒色顔料を含有する樹脂膜のほか、赤・青・緑の３色等の色層が積層されて形成される色重ねブラックマトリクスを用いてもよい。
【００１４】
上記液晶表示パネル用基板は、少なくとも１種の凸状構造部の近傍に色層で形成された特異構造が設けられたものであることが好ましい。この形態によれば、特異構造として設けた色層の輪郭の特徴部分を位置決め部として認識させることにより、高精度の位置決めを実現することができる。なお、色層で特異構造を形成する場合、上記凸状構造部は、平面視したときに特異構造と重複する領域外に形成される。色層で形成された特異構造が上記凸状構造部の近傍ではなく、上記凸状構造部と重複する領域内に設けられると、充分な精度の位置決めができなくなる場合がある。色層は、ブラックマトリクスよりも液晶層側（基板の上層）に設けられてもよく、ブラックマトリクスよりも支持基板側（下層）に設けられてもよいが、下層に設けられる場合には、色層とブラックマトリクスとの干渉による測定精度の低下を防止するために、より高感度の画像認識装置を用いて特異構造を認識させる。
【００１５】
本発明はまた、少なくとも１種の凸状構造部を備え、更に他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部を備える液晶表示パネル用基板であって、上記凸状構造部の１種は、単層構造を有し、かつ全体形状が特異構造からなり、上記特異構造は、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部と異なる平面形状、及び、他の種類の凸状構造部及び／又は凹状構造部の２／３倍以下、１．５倍以上の平面積のうち少なくとも一方を有する液晶表示パネル用基板でもある。このように、本発明においては、単層構造を有する凸状構造部の全体形状として特異構造が設けられてもよく、上述の形態と同様に、本発明の作用効果を得ることができる。この場合、液晶表示パネル用基板は、凸状構造部として単層構造の柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含み、かつ柱状スペーサの全体形状が特異構造からなることが好ましい。
【００１６】
本発明では、上記ドット状配向制御用突起の平面形状は、略円形であることが好ましい。これにより、液晶の配向を効果的に制御することができるため、表示品位を向上させることができる。
また、上記特異構造は、非表示領域に設けられることが好ましく、例えば、液晶表示パネル用基板に形成されたブラックマトリクスと平面視したときに重複する領域や、特異構造が設けられる液晶表示パネル用基板と対向する基板に形成された配線と平面視したときに重複する領域に設けられることが好ましい。これらの形態では、特異構造が表示に用いられない非表示領域（遮光領域）に設けられることから、特異構造に起因する液晶の配向の乱れ等が表示品位に与える影響を低減することができる。
【００１７】
本発明はまた、凸状構造部及びブラックマトリクスを備える液晶表示パネル用基板であって、上記凸状構造部の少なくとも１つは、単層構造を有し、かつブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する液晶表示パネル用基板でもある。このように、本発明においては、単層構造を有する凸状構造部の輪郭とブラックマトリクスの輪郭との交点を高さ測定装置に位置決め部として認識させることによっても、上述の特異構造が設けられた形態と同様に、測定対象となる凸状構造部の位置や、高さの基準レベルを決定するための基準点の位置を高精度に特定することができ、凸状構造部の高さを正確に測定することが可能となる。この場合、上記凸状構造部は、柱状スペーサ及びドット状配向制御用突起を含むものであり、上記ドット状配向制御用突起は、単層構造を有し、かつブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する形態であることが好ましい。
【００１８】
本発明はまた、凸状構造部、凹状構造部及びブラックマトリクスを備える液晶表示パネル用基板であって、上記凹状構造部の少なくとも１つは、ブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する液晶表示パネル用基板でもある。このように、本発明においては、凹状構造部の輪郭とブラックマトリクスの輪郭との交点を高さ測定装置に位置決め部として認識させることによっても、上述の特異構造が設けられた形態と同様に、測定対象となる凸状構造部の位置や、高さの基準レベルを決定するための基準点の位置を高精度に特定することができ、凸状構造部の高さを正確に測定することが可能となる。この場合、上記凸状構造部は、柱状スペーサを含むものであり、上記凹状構造部は、配向制御用スリット及び／又は配向制御用ホールを含むものであり、上記配向制御用スリット及び／又は配向制御用ホールは、ブラックマトリクスと輪郭が平面視で重複する交差部を１つ以上有する形態であることが好ましい。
【００１９】
本発明では、上記特異構造又は交差部は、１つのセル領域に対して１つ以上設けられることが好ましい。なお、１つのセル領域とは、多面取りの液晶表示パネル用基板において、液晶表示パネルを構成する基板１枚あたりに用いられる領域のことである。この場合、多面取りの液晶表示パネル用基板を複数枚に分断した後の基板それぞれについて最適な液晶滴下量を求めることができる。
また、本発明では、上記特異構造又は交差部は、基板面内に略均一に設けられることが好ましい。この場合、最適な液晶滴下量をより高精度に求めることができる。また、特異構造による液晶の配向の乱れが表示品位に与える影響を基板面内で略均一にすることができる。
【００２０】
上記液晶表示パネル用基板は、カラーフィルタ基板であることが好ましい。液晶表示パネルでは、カラーフィルタ基板側に柱状スペーサ等の高さ測定対象となる凸状構造部が設けられる場合が多いことから、本発明においては、カラーフィルタ基板側に特異構造を設ける形態が好適である。
【００２１】
本発明はまた、上記液晶表示パネル用基板を用いてなる液晶表示パネル及び液晶表示装置でもある。本発明の液晶表示パネル及び液晶表示装置によれば、特異構造を利用した柱状スペーサの高さ測定により、液晶滴下量が最適化されるので、高表示品位の液晶表示パネル及び液晶表示装置を提供することができる。
【００２２】
本発明はまた、柱状スペーサを備え、更に位置特定用構造部が少なくとも１つ設けられた液晶表示パネル用基板を検査する方法であって、上記液晶表示パネル用基板の検査方法は、少なくとも、位置特定用構造部の位置を特定する処理と、予め設定された位置特定用構造部からの距離データに基づき、基準点及びスペーサ頂点の位置を決定する処理と、決定された基準点の位置及びスペーサ頂点の位置間での高さの差を測定する処理とを含む液晶表示パネル用基板の検査方法でもある。この場合、上記位置特定用構造部としては、本発明の液晶表示パネル用基板における特異構造又は交差部や、線状に形成された配向制御用突起及び／又は配向制御用スリットの輪郭とブラックマトリクスの輪郭との交差部が好適に用いられる。基準点としては、柱状スペーサの高さを測定する際の基準（高さ０）として用いることができる部位であれば特に限定されるものではない。このような本発明の液晶表示パネル用基板の検査方法によれば、柱状スペーサの構成や近傍に配置された部材の影響を最小限に抑えて、高さ測定を高精度に行うことが可能である。また、これらの処理を実行するためのプログラムが書き込まれた測定装置を用いることにより、高さ測定を自動で行うことが可能である。
【００２３】
本発明はまた、上記液晶表示パネル用基板の検査方法を用いた液晶表示パネルの製造方法であって、上記液晶表示パネルの製造方法は、基準点の位置及びスペーサ頂点の位置間での高さの差に応じて基板に滴下する液晶量を決定する液晶表示パネルの製造方法でもある。このような液晶表示パネルの製造方法によれば、柱状スペーサの高さの測定結果に基づいて液晶滴下法にて滴下する液晶の量を決定することから、高表示品位の液晶表示パネルを安定的に製造することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の液晶表示パネル用基板によれば、高さ測定装置により位置決め部として認識され得る特異構造が設けられていることから、測定対象となる凸状構造部の位置や、高さの基準レベルを決定するための基準点の位置を高精度に特定することができ、凸状構造部の高さを正確に自動測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に実施例を掲げ、本発明について図面を参照して更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【００２６】
〔実施例１〕
図１（ａ）は、本発明の実施例１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例１の液晶表示パネルは、図１（ｂ）に示すように、カラーフィルタ（ＣＦ）基板１００とスイッチング素子アレイ基板２００との間に液晶層５０が狭持された構造を有する。
【００２７】
ＣＦ基板１００は、絶縁性の透明支持基板１０と、透明支持基板１０上の表示領域に形成された第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃからなる色層と、透明支持基板１０上の非表示領域に形成されたブラックマトリクス（ＢＭ）層１１ｄと、色層及びＢＭ層１１ｄ上に形成されたＩＴＯ透明対向電極１３と、ＩＴＯ透明対向電極１３上の表示領域に複数形成された円錐形状のドット状（リベット状）配向制御用突起１４と、基板表面全体を覆うように形成されたポリイミド配向膜１５とが積層形成された構造を有する。一方、スイッチング素子アレイ基板２００は、絶縁性の透明支持基板２０上に、スイッチング素子回路層や層間絶縁膜等からなるアレイ側パターン２１と、島状に形成された画素電極２３と、基板表面全体を覆うように形成されたポリイミド配向膜２５とが順に積層形成された構造を有する。なお、ＣＦ基板１００及びスイッチング素子アレイ基板２００におけるポリイミド配向膜１５及び２５は、一連の基板製造プロセスの後、別途形成されるものである。また、スイッチング素子としては特に限定されず、例えば、アモルファスシリコンを用いた薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、ポリシリコンを用いたＴＦＴ、連続粒界結晶シリコン（ＣＧＳ）を用いたＴＦＴ、ＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ  Ｍｅｔａｌ）等の薄膜ダイオード（ＴＦＤ）等が挙げられる。
実施例１の液晶表示装置では、ＣＦ基板１００上に形成された積層ＰＳ（柱状スペーサ）１２により、液晶層５０の厚さ（セルギャップ）が保持されている。
【００２８】
実施例１において、積層ＰＳ１２は、ＢＭ層１１ｄ上に、第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ及びドット状配向制御用突起１４と同一材料からなる層（以下、「突起材料層」ともいう。）１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造を有している。第１色層１１ａは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが一体的に形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分がＢＭ層１１ｄ上に乗り上げた構造を有している。第２色層１１ｂは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが分離して形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分は、平面形状が円形状であり、第１色層１１ａ上の一部に形成されている。第３色層１１ｃは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが分離して形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分は、第２色層１１ｂ上の中央に第２色層１１ｂと同心円状で形成されている。最上層である突起材料層１４’は、下端が第１色層１１ａ上に位置し、第２色層１１ｂ及び第３色層１１ｃの全体を覆い、頂上部が平坦であるとともに、主要部（特異構造８を除いたスペーサとして機能する積層部分）の平面形状が円形状に形成されている。また、突起材料層１４’には、図中に点線で囲んで示すように、矩形状の特異構造８が設けられており、その一部がＢＭ層１１ｄからはみ出している。
このように、本実施例の積層ＰＳ１２は、頂上部が平坦面となった略円錐形状を有するとともに、その裾部に矩形状の特異構造８を有する。
【００２９】
以下、実施例１の液晶表示装置を製造する方法の一例について説明するが、本発明の液晶表示装置の製造方法は、これに限定されるものではない。
図８５−１〜８５−６における（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【００３０】
まず、絶縁性の透明支持基板１０を用意する。絶縁性の透明支持基板１０としては特に限定されないが、ガラス基板が好ましい。次に、図８５−１に示すように、透明支持基板１０上に、ブラックマトリクス（ＢＭ）層１１ｄをパターン形成する。次に、図８５−２〜４に示すように、第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ等の色層を順にパターン形成する。このとき、積層ＰＳ１２の配置場所においては、色層のパターンの一部を順次積層する。次に、図８５−５に示すように、対向電極１３を形成する。対向電極１３は、通常では、透明導電材料により形成され、中でも、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）等が好適に用いられる。対向電極１３の形成方法としては特に限定されず、例えば、スパッタ法等が挙げられる。次に、図８５−６に示すように、ドット状配向制御用突起１４及び積層ＰＳの最上層である突起材料層１４’を同時に形成する。配向制御用突起１４及び突起材料層１４’の材質としては、感光性樹脂が好ましく、中でもポジ型感光性樹脂がより好ましく、例えば、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ノボラック樹脂等が挙げられる。なお、ＢＭ層１１ｄ、色層、配向制御用突起１４及び突起材料層１４’の形成方法としては特に限定されず、例えば、液状の材料をスリットアンドスピンやスロットコート等で塗布した後、露光、現像及びベーク（焼成）を行うフォトリソグラフィ法や、ドライフィルムラミネート（転写）法や、インクジェット法等が挙げられる。このようにして、カラーフィルタ（ＣＦ）基板１００が完成する。そして、図１に示すように、スイッチング素子アレイ基板２００と貼り合わせる前に、基板表面全面に配向膜１５が形成される。配向膜１５としては垂直配向膜が好ましく、垂直配向膜の材質としては、例えば、ポリイミド樹脂が好適に用いられる。なお、通常では、配向膜１５形成後に、配向膜１５に対してラビング処理を行うが、垂直配向膜を形成する場合には、ラビング処理を行わなくてもよい。また、場合によっては、配向膜１５の形成自体を省略することも可能である。
【００３１】
次に、図８６に示すような白色干渉を利用した高さ測定装置によりＣＦ基板１００上に形成された積層ＰＳ１２の高さを測定する。具体的には、まず、画像認識装置の視野範囲において、特異構造をサーチして精密な位置決めが自動的に行われる。画像認識装置は、高さ測定装置と一体型であってもよく、高さ測定装置と接続される独立型であってもよい。次に、事前設定された特異構造からの基準点及び柱状スペーサ頂点位置までの距離データに基づいて、該基準点及び柱状スペーサの頂点位置が自動的に特定される。そして、基準点と柱状スペーサ頂点との間の高さの差、すなわち柱状スペーサの高さが白色干渉を利用した高さ測定装置により自動的に計測される。
【００３２】
こうして得られた測定結果に基づき、液晶の滴下量を決定し、液晶滴下ディスペンサ装置等により、ＣＦ基板１００上に適量の液晶を滴下する。滴下・充填する液晶材料としては特に限定されないが、負の誘電率（Δε＜０）を有するものが好ましい。
最後に、シール材（図示せず）等を介して、従来公知の方法で別途作製し、基板表面に配向膜２５を形成したスイッチング素子アレイ基板２００と貼り合わせることにより、液晶表示装置が完成する。
【００３３】
上述したような実施例１のＣＦ基板１００によれば、特異構造８の全体、特異構造８の直線部、角部、特異構造８の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部等を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。その結果、ＣＦ基板１００とスイッチング素子アレイ基板２００との貼り合わせ工程において、ＣＦ基板１００上に滴下すべき液晶量を精度よく算出することができるため、液晶滴下法を用いて液晶の充填を行い、適量の液晶が充填された高信頼性の液晶表示パネルを提供することができる。なお、ＣＦ基板１００とスイッチング素子アレイ基板２００との貼り合わせ工程における基板同士の位置合わせについても、特異構造８を利用して行うことが可能である。
【００３４】
なお、実施例１のＣＦ基板１００では、特異構造８は、ＢＭ層１１ｄからはみ出すように設けられているが、スイッチング素子アレイ基板２００のアレイ側パターン２１の遮光領域と平面視で重複する領域に設けられているため、特異構造８による液晶の配向の乱れが表示品位に与える影響は少ない。また、特異構造８を有する突起材料層１４’からの延長部分は、ドット状配向制御用突起１４と繋がるように形成されていてもよい。
【００３５】
実施例１のＣＦ基板１００では、ＢＭ層１１ｄにも９０°の角部が形成されている。しかしながら、９０°の角部が形成されたＢＭ層１１ｄの輪郭部分（突出部）は、平面視したときに積層ＰＳ１２と重複するものであることから、画像認識装置によりパターンとして認識させることが困難である。また、ＢＭ層１１ｄには、１３５°の角部も形成されているが、角度が大きく、略円形とみなされるため、略円形の平面形状を有するドット状配向制御用突起１４と混同され、画像認識装置に特異パターンとして認識させることができない。同様に、ドット状配向制御用突起１４が略円形の平面形状を有する場合、円形だけでなく、例えば、楕円形や、正八角形、正十二角形等といった多角形状も混同される可能性が高い。
【００３６】
また、実施例１において、色層（第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ）の色の組み合わせとしては特に限定されず、例えば、赤色層（Ｒ）、緑色層（Ｇ）、青色層（Ｂ）からなる組み合わせ、シアン層（Ｃ）、イエロー層（Ｙ）、マゼンタ層（Ｍ）からなる組み合わせ等が適用可能であり、それ以外の３色からなる組み合わせであってもよい。更に、本発明においては、色層は、４色以上からなる組み合わせであってもよく、例えば、白色層（Ｗ）等が追加して設けられてもよい。
実施例１のＣＦ基板１００では、積層ＰＳ１２は、絵素領域の色層と同一材料の第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ及び突起材料層１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造を有しているが、本発明において、積層ＰＳ１２を構成する色層の種類、積層順、積層数等は、特に限定されるものではない。すなわち、積層ＰＳ１２は、例えば、第１色層等の代りに絵素領域に形成されない第４色層を含む構造であってもよいし、第２色層１１ｂが最下層である構造であってもよいし、積層数が４層以上であってもよい。同様に、実施例１のＣＦ基板１００では、第２色層１１ｂ及び第３色層１１ｃが積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とで分離して形成されているが、本発明において、積層ＰＳ１２を構成する色層の構造は特に限定されず、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが一体的に設けられていてもよい。
また、実施例１のＣＦ基板１００では、積層ＰＳ１２は、ＢＭ層１１ｄ上に積層形成されているが、積層ＰＳは、下地としてＢＭ層が配置されない形態であってもよい。つまりＢＭ層が配置されないので、例えば、第１色層を下地とし、その上に第２色層及び第３色層をドット形状で配置した形態等であってもよい。
【００３７】
〔実施例２〕
図２（ａ）は、本発明の実施例２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例２の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２中の第３色層１１ｃが、第２色層１１ｂを覆うように設けられていること以外は、実施例１の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例２の液晶表示パネルによっても実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【００３８】
〔実施例３〕
図３（ａ）は、本発明の実施例３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例３の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２が、第２色層１１ｂを含まないこと以外は、実施例１の液晶表示パネルと同様の構成である。すなわち、実施例３において、積層ＰＳ１２は、ＢＭ層１１ｄ上に、第１色層１１ａ、第３色層１１ｃ及び突起材料層１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造を有している。
このような実施例３の液晶表示パネルによっても実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
なお、積層ＰＳ１２を、ＢＭ層１１ｄ上に、第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ及び突起材料層１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造にした場合も実施例１と同様の作用効果を得ることが可能である。
【００３９】
〔実施例４〕
図４（ａ）は、本発明の実施例４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４において、積層ＰＳ１２は、第１色層１１ａ及び突起材料層１４’’が透明支持基板１０側から順に積層され構造を有している。第１色層１１ａは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが一体的に形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分がＢＭ層１１ｄ上に乗り上げた構造を有している。突起材料層１４’’は、第１色層１１ａ上の一部に円柱状で形成されている。また、図中に点線で囲んで示すように、積層ＰＳ１２の近傍には、突起材料層１４’’と同一材料からなる矩形状の特異構造８がＢＭ層１１ｄからはみ出すように設けられている。
その他の構成について、実施例４の液晶表示パネルは、実施例１の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例４の液晶表示パネルによっても実施例１と同様の作用効果を得ることができる。
【００４０】
〔実施例５〜８〕
図５〜８における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例５〜８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例５〜８の液晶表示パネルは、特異構造８（図中の丸で囲んだ部分）がＢＭ層１１ｄからはみ出さないように形成されていること以外は、実施例１〜４の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
このような実施例５〜８の液晶表示パネルによれば、特異構造８の全体、特異構造８の直線部、角部等を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができることから、実施例１〜４と同様の作用効果を得ることができる。なお、実施例５〜８の液晶表示パネルでは、特異構造８（図中の点線で囲んだ部分）がＢＭ層１１ｄからはみ出さないように形成されていることから、特異構造８はスイッチング素子アレイ基板２００の遮光領域と重複している必要はなく、設計の自由度を向上させることができる。
【００４１】
〔実施例９〜１２〕
図９〜１２における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例９〜１２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例９〜１２の液晶表示パネルは、特異構造８（図中の点線で囲んだ部分）が遮光領域内に形成されず、積層ＰＳ１２付近のドッド状配向制御用突起１４に形成されていること以外は、実施例１〜４の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
このような実施例９〜１２の液晶表示パネルによれば、特異構造８の全体、特異構造８の直線部、角部等を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができることから、実施例１〜４と同様の作用効果を得ることができる。
【００４２】
〔実施例１３〜１７〕
図１３〜１７における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例１３〜１７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例１３〜１７の液晶表示パネルは、図中に点線で囲んで示すように、積層ＰＳ１２の近傍に、突起材料層１４’と同一材料からなる一対の三角形又は四角形の特異構造８がＢＭ層１１ｄ上に設けられている。
その他の構成について、実施例１３〜１７の液晶表示パネルは、実施例５〜８の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
このような実施例１３〜１７の液晶表示パネルによっても実施例５〜８と同様の作用効果を得ることができる。
なお、これらの実施例における特異構造８の平面形状としては、三角形や四角形に特に限定されず、どのような形状であってもよい。
【００４３】
〔実施例１８〜２０〕
図１８〜２０における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例１８〜２０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例１８〜２０の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２の突起材料層１４’、１４’’の一部に直線部及び角部を含む平面形状の特異構造８が形成されていること以外は、実施例５〜７の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
このような実施例１８〜２０の液晶表示パネルによっても実施例５〜８と同様の作用効果を得ることができる。
【００４４】
〔実施例２１〜３５〕
図２１〜３５における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例２１〜３５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例２１〜３５の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２の突起材料層１４’の主要部（特異構造８を除いたスペーサとして機能する積層部分）の平面形状が八角形に形成されていること以外は、実施例１〜３、５〜７、９〜１１、１３〜１５、１８〜２０の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。なお、八角形は、画像認識装置により略円形状として認識されるため、特異パターンとして好ましくない。
このような実施例２１〜３５の液晶表示パネルによっても実施例１〜３、５〜７、９〜１１、１３〜１５、１８〜２０とそれぞれ同様の作用効果を得ることができる。
【００４５】
〔実施例３６〜３８〕   
図３６〜３８における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例３６〜３８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例３６〜３８の液晶表示パネルは、ＢＭ層１１ｄを有さないこと以外は、実施例１〜３の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
このような実施例３６〜３８の液晶表示パネルによっても実施例１〜３とそれぞれ同様の作用効果を得ることができる。
【００４６】
〔実施例３９〕
図３９（ａ）は、本発明の実施例３９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例３９の液晶表示パネルは、ＢＭ層１１ｄ上に形成された単層フォトスペーサ２の平面形状が四角形であるため、単層フォトスペーサ２自体が特異構造８を有している。
このような実施例３９の液晶表示パネルによっても実施例１等と同様の作用効果を得ることができる。
なお、単層フォトスペーサ２としては、下地層であるＢＭ層１１ｄと輪郭が平面視したときに重複する形態であってもよい。また、単層フォトスペーサ２の平面形状としては、四角形に特に限定されず、どのような形状であってもよい。
【００４７】
〔実施例４０〕
図４０（ａ）は、本発明の実施例４０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４０の液晶表示パネルは、特異構造８を有する単層フォトスペーサ２がＢＭ層１１ｄ上に形成されないこと以外は、実施例３９の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例３９の液晶表示パネルによっても実施例１等と同様の作用効果を得ることができる。
【００４８】
〔実施例４１及び４２〕
図４１及び４２における（ａ）はそれぞれ、本発明の実施例４１及び４２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４１及び４２の液晶表示パネルは、単層フォトスペーサ２の平面積が配向制御用突起１４の平面積の１．５倍以上であること以外は、実施例３９及び４０の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例４１及び４２の液晶表示パネルによっても実施例１等と同様の作用効果を得ることができる。
【００４９】
〔実施例４３〜４５〕
図４３〜４５における（ａ）はそれぞれ、実施例４３〜４５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４３〜４５の液晶表示パネルは、配向制御用突起６４がリブ（直線）状であり、積層ＰＳ１２の最上層である円形の突起材料層１４’とリブ状配向制御用突起６４とが一体的に形成されていること以外は、実施例１〜３の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例４３〜４５の液晶表示パネルによれば、リブ状配向制御用突起６４の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。
【００５０】
〔実施例４６〜４８〕
図４６〜４８における（ａ）はそれぞれ、実施例４６〜４８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４６〜４８の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２の最上層である円形の突起材料層１４’とリブ状配向制御用突起６４とが繋がっていないこと以外は、実施例４３〜４５の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
従って、実施例４６〜４８の液晶表示パネルによれば、画像認識装置により特異パターンとして認識される配向制御用突起６４の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部が存在することから、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。
【００５１】
〔実施例４９〜５４〕
図４９〜５４における（ａ）はそれぞれ、実施例４９〜５４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例４９〜５４の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２の最上層である突起材料層１４’の平面形状が八角形であること以外は、実施例４３〜４８の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。
従って、実施例４９〜５４の液晶表示パネルによれば、高さ測定装置により特異パターンとして認識される配向制御用突起６４の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部が存在することから、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。なお、突起材料層１４’の平面形状（八角形）は、画像認識装置により略円形状として認識されるため、特異パターンとして好ましくない。
【００５２】
〔実施例５５〜５７〕
図５５〜５７における（ａ）はそれぞれ、実施例５５〜５７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例５５〜５７の液晶表示パネルは、ＢＭ層１１ｄに矩形の突出部が特異構造８として設けられたこと以外は、実施例５２〜５４の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例５５〜５７の液晶表示パネルによれば、ＢＭ層１１ｄに設けた特異構造８を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。また、リブ状配向制御用突起６４の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることも可能である。
【００５３】
〔実施例５８〕
図５８における（ａ）は、実施例５８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例５８の液晶表示パネルは、積層ＰＳ１２が実施例４と同様の構成であること以外は、実施例５５〜５７の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例５８の液晶表示パネルによっても実施例５５と同様の作用効果を得ることができる。
実施例５５〜５８に示すように、ＢＭ層１１ｄに特異構造８を設ける場合には、積層ＰＳ１２の構造は特に限定されない。積層ＰＳ１２の平面形状についても、実施例５５〜５８に示す八角形に限定されず、円形、楕円形、四角形等であってもよい。
【００５４】
〔実施例５９〜６６〕
実施例５９〜６６は、ＢＭ層１１ｄを用いて形成される特異構造８の各種形態を示している。
図５９〜６６における（ａ）は、実施例５９〜６６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例５９の液晶表示パネルは、特異構造８がＢＭ層１１ｄに設けられた台形の突出部であること以外は、実施例５５の液晶表示パネルと同様の構成である。実施例６０及び６１の液晶表示パネルは、特異構造８がＢＭ層１１ｄに設けられた三角形又は矩形の切り込み部であること以外は、実施例５５の液晶表示パネルと同様の構成である。実施例６２の液晶表示パネルは、特異構造８が積層ＰＳ１２側に設けられたこと以外は、実施例５５の液晶表示パネルと同様の構成である。実施例６３の液晶表示パネルは、ＢＭ層１１ｄが色層１１ａ〜ｃの上層（液晶層５０側）に設けられたこと以外は、実施例５５の液晶表示パネルと同様の構成である。また、実施例６４〜６６の液晶表示パネルは、特異構造８が色層１１ａ内に設けられた矩形、八角形、又は、切り込み部を有する五角形の島部であること、配向制御用突起１４が円錐形状のドット状（リベット状）であること、及び、積層ＰＳ１２の平面形状が円形であること以外は、実施例５５の液晶表示パネルと同様の構成である。
これらの実施例５９〜６６の液晶表示パネルによっても実施例５５と同様の作用効果を得ることができる。
【００５５】
〔実施例６７〜７８〕
実施例６７〜７８は、色層１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを用いて形成される特異構造８の各種形態を示している。
図６７〜７８における（ａ）は、実施例６７〜７８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例６７〜７８の液晶表示パネルは、ＢＭ層１１ｄを用いる代りに、色層１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを用いて特異構造８が設けられたこと以外は、実施例５５〜６６の液晶表示パネルと同様の構成である。このように本発明においては、ＢＭ層１１ｄを用いる代りに、色層１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを用いて同様の構成を有する特異構造８を形成してもよい。なお、図６７〜７３（実施例６７〜７３）及び図７５〜７８（実施例７５〜７８）では、色層１１ｃを用いて特異構造８が形成されているが、図７４（実施例７４）では、特異構造８を積層ＰＳ１２側に設けるため、色層１１ａを用いて特異構造８が形成されている。
このような実施例６７〜７８の液晶表示パネルによれば、色層１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを用いて形成された特異構造８を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。また、リブ状配向制御用突起６４の輪郭とＢＭ層１１ｄの輪郭との交差部を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることも可能である。
【００５６】
〔実施例７９〕
実施例７９は、積層ＰＳの下地としてＢＭ層が配置されず、かつ矩形状の特異構造がＢＭ層で形成された形態を示している。
図７９（ａ）は、本発明の実施例７９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例７９の液晶表示パネルは、図７９（ｂ）に示すように、カラーフィルタ（ＣＦ）基板１００とスイッチング素子アレイ基板２００との間に液晶層５０が狭持された構造を有する。
【００５７】
ＣＦ基板１００は、絶縁性の透明支持基板１０と、透明支持基板１０上の表示領域に形成された第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃからなる色層と、透明支持基板１０上の非表示領域に形成されたブラックマトリクス（ＢＭ）層１１ｄと、色層及びＢＭ層１１ｄ上に形成されたＩＴＯ透明対向電極１３と、ＩＴＯ透明対向電極１３上の表示領域に複数形成された円錐形状のドット状（リベット状）配向制御用突起１４と、基板表面全体を覆うように形成されたポリイミド配向膜１５とが積層形成された構造を有する。一方、スイッチング素子アレイ基板２００は、絶縁性の透明支持基板２０上に、スイッチング素子回路層や層間絶縁膜等からなるアレイ側パターン２１と、島状に形成された画素電極２３と、基板表面全体を覆うように形成されたポリイミド配向膜２５とが順に積層形成された構造を有する。なお、ＣＦ基板１００及びスイッチング素子アレイ基板２００におけるポリイミド配向膜１５及び２５は、一連の基板製造プロセスの後、別途形成されるものである。また、スイッチング素子としては特に限定されず、例えば、アモルファスシリコンを用いた薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、ポリシリコンを用いたＴＦＴ、連続粒界結晶シリコン（ＣＧＳ）を用いたＴＦＴ、ＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ  Ｍｅｔａｌ）等の薄膜ダイオード（ＴＦＤ）等が挙げられる。
実施例７９の液晶表示装置では、ＣＦ基板１００上に形成された積層ＰＳ（柱状スペーサ）１２により、液晶層５０の厚さ（セルギャップ）が保持されている。
【００５８】
実施例７９において、積層ＰＳ１２は、第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ及びドット状配向制御用突起１４と同一材料からなる突起材料層１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造を有している。第１色層１１ａは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが一体的に形成されている。第２色層１１ｂは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが分離して形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分は、平面形状が円形状であり、第１色層１１ａ上の一部に形成されている。第３色層１１ｃは、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが分離して形成されており、積層ＰＳ１２を構成する部分は、第２色層１１ｂ上の中央に第２色層１１ｂと同心円状で形成されている。最上層である突起材料層１４’は、下端が第１色層１１ａ上に位置し、第２色層１１ｂ及び第３色層１１ｃの全体を覆い、頂上部が平坦な切頭円錐形状（先端を切り落とした円錐形状）に形成されており、その平面形状は円形状である。また、ブラックマトリクス（ＢＭ）層１１ｄには、図中に点線で囲んで示すように、矩形状の特異構造８が積層ＰＳ１２の反対側に設けられている。
【００５９】
上述したような実施例７９のＣＦ基板１００によれば、ＢＭ層１１ｄに設けた特異構造８の全体、特異構造８の直線部、角部等を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。
なお、実施例７９のＣＦ基板１００では、特異構造８は、スイッチング素子アレイ基板２００のアレイ側パターン２１の遮光領域と平面視で重複する領域に設けられているため、特異構造８による液晶の配向の乱れが表示品位に与える影響は少なく、また、特異構造８を設けることによる開口率の低下もない。
更に、実施例７９のＣＦ基板１００は、（１）積層ＰＳ（柱状スペーサ）１２の下地としてＢＭ層１１ｄが配置されていないので、セル厚（液晶層５０の厚み）を薄くするうえで有利な形態である、（２）特異構造８が積層ＰＳ（柱状スペーサ）１２の反対側にＢＭ層１１ｄを用いて形成されているので、特異構造８が画像認識装置の視野範囲（測定エリア）内に収まっており、また、他の色層１１ａ、１１ｂ、１１ｃで形成する場合よりも構造の単純化が図られている、といった特徴を有している。
【００６０】
また、実施例７９において、色層（第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ）の色の組み合わせとしては特に限定されず、例えば、赤色層（Ｒ）、緑色層（Ｇ）、青色層（Ｂ）からなる組み合わせ、シアン層（Ｃ）、イエロー層（Ｙ）、マゼンタ層（Ｍ）からなる組み合わせ等が適用可能であり、それ以外の３色からなる組み合わせであってもよい。更に、本発明においては、色層は、４色以上からなる組み合わせであってもよく、例えば、白色層（Ｗ）等が追加して設けられてもよい。
実施例７９のＣＦ基板１００では、積層ＰＳ１２は、絵素領域の色層と同一材料の第１色層１１ａ、第２色層１１ｂ、第３色層１１ｃ及び突起材料層１４’が透明支持基板１０側から順に積層された構造を有しているが、本発明において、積層ＰＳ１２を構成する色層の種類、積層順、積層数等は、特に限定されるものではない。すなわち、積層ＰＳ１２は、例えば、第１色層等の代りに絵素領域に形成されない第４色層を含む構造であってもよいし、第２色層１１ｂが最下層である構造であってもよいし、積層数が４層以上であってもよい。
同様に、実施例７９のＣＦ基板１００では、第２色層１１ｂ及び第３色層１１ｃが積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とで分離して形成されているが、本発明において、積層ＰＳ１２を構成する色層の構造は特に限定されず、積層ＰＳ１２を構成する部分と表示領域を構成する部分とが一体的に設けられていてもよい。
また、実施例７９のＣＦ基板１００では、積層ＰＳ１２における色層の積層構造が変更されてもよく、例えば、図２〜４に示すような構造の積層ＰＳ１２に変更することが可能である。
更に、実施例７９のＣＦ基板１００では、位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができる範囲内であれば、特異構造８の形状が変更されてもよく、例えば、図５９に示すような、ＢＭ層１１ｄに設けられた台形状の特異構造８に変更することが可能である。
その他、実施例７９のＣＦ基板１００では、ＢＭ層１１ｄが色層１１ａ〜ｃの上層（液晶層５０側）に設けられる構成に変更することも可能である。
【００６１】
〔実施例８０〕
図８０（ａ）は、実施例８０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
実施例８０の液晶表示パネルは、配向制御用突起６４がリブ（直線）状であり、積層ＰＳ１２の最上層である円形の突起材料層１４’とリブ状配向制御用突起６４とが一体的に形成されていること以外は、実施例７９の液晶表示パネルと同様の構成である。
このような実施例８０のＣＦ基板１００によっても、ＢＭ層１１ｄに設けた特異構造８の全体、特異構造８の直線部、角部等を位置決め用のパターンとして画像認識装置に認識させることができるため、高さ測定装置を用いて積層ＰＳ１２の高さを自動測定することができる。
また、本発明は、積層ＰＳ１２の最上層である突起材料層１４’とリブ状配向制御用突起６４とが一体的に形成されている構成に限定されず、積層ＰＳ１２の最上層である突起材料層１４’とリブ状配向制御用突起６４とが繋がっていない構成としてもよい。
【００６２】
〔比較例１〜４〕
図８１〜８４における（ａ）はそれぞれ、比較例１〜４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の構成を示す平面模式図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
比較例１〜４の液晶表示パネルは、画像認識装置にパターンとして認識させることができる特異構造８を有さないこと以外は、実施例２１〜２３及び４の液晶表示パネルとそれぞれ同様の構成である。比較例１〜４では、積層ＰＳ１２の麓部分のＢＭ層６１ｄに突出部が形成されているが、このＢＭ層６１ｄの突出部は、平面視したときに積層ＰＳ１２と重複することから、画像認識装置にパターンとして認識させることが困難である。従って、比較例１〜４の液晶表示パネルによれば、基板上に画像認識装置により特異パターンとして認識される構造が存在しないことから、ＰＳ高さ測定装置を用いて、積層ＰＳ１２の高さの自動測定を行うことができない。
【００６３】
なお、本願は、２００４年９月９日に出願された日本国特許出願第２００４−２６３０９１号、２００５年４月２１日に出願された日本国特許出願第２００５−１２４３３０号、及び、２００５年７月２５日に出願された日本国特許出願第２００５−２１５０４４号を基礎として、（合衆国法典３５巻第１１９条に基づく）優先権を主張するものである。該出願の内容は、その全体が本願中に参照として組み込まれている。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施例１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２】図２（ａ）は、本発明の実施例２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３】図３（ａ）は、本発明の実施例３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４】図４（ａ）は、本発明の実施例４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５】図５（ａ）は、本発明の実施例５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６】図６（ａ）は、本発明の実施例６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７】図７（ａ）は、本発明の実施例７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８】図８（ａ）は、本発明の実施例８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図９】図９（ａ）は、本発明の実施例９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１０】図１０（ａ）は、本発明の実施例１０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１１】図１１（ａ）は、本発明の実施例１１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１２】図１２（ａ）は、本発明の実施例１２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１３】図１３（ａ）は、本発明の実施例１３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１４】図１４（ａ）は、本発明の実施例１４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１５】図１５（ａ）は、本発明の実施例１５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１６】図１６（ａ）は、本発明の実施例１６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１６（ｂ）は、図１６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１７】図１７（ａ）は、本発明の実施例１７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１７（ｂ）は、図１７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１８】図１８（ａ）は、本発明の実施例１８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図１９】図１９（ａ）は、本発明の実施例１９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２０】図２０（ａ）は、本発明の実施例２０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２０（ｂ）は、図２０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２１】図２１（ａ）は、本発明の実施例２１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２１（ｂ）は、図２１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２２】図２２（ａ）は、本発明の実施例２２の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２２（ｂ）は、図２２（ａ）に示す液晶表示装置を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２３】図２３（ａ）は、本発明の実施例２３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２３（ｂ）は、図２３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２４】図２４（ａ）は、本発明の実施例２４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２４（ｂ）は、図２４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２５】図２５（ａ）は、本発明の実施例２５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２５（ｂ）は、図２５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２６】図２６（ａ）は、本発明の実施例２６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２６（ｂ）は、図２６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２７】図２７（ａ）は、本発明の実施例２７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２７（ｂ）は、図２７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２８】図２８（ａ）は、本発明の実施例２８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２８（ｂ）は、図２８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図２９】図２９（ａ）は、本発明の実施例２９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図２９（ｂ）は、図２９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３０】図３０（ａ）は、本発明の実施例３０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３０（ｂ）は、図３０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３１】図３１（ａ）は、本発明の実施例３１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３１（ｂ）は、図３１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３２】図３２（ａ）は、本発明の実施例３２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３２（ｂ）は、図３２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３３】図３３（ａ）は、本発明の実施例３３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３３（ｂ）は、図３３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３４】図３４（ａ）は、本発明の実施例３４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３４（ｂ）は、図３４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３５】図３５（ａ）は、本発明の実施例３５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３５（ｂ）は、図３５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３６】図３６（ａ）は、本発明の実施例３６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３６（ｂ）は、図３６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３７】図３７（ａ）は、本発明の実施例３７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３７（ｂ）は、図３７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３８】図３８（ａ）は、本発明の実施例３８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３８（ｂ）は、図３８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図３９】図３９（ａ）は、本発明の実施例３９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図３９（ｂ）は、図３９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４０】図４０（ａ）は、本発明の実施例４０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４０（ｂ）は、図４０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４１】図４１（ａ）は、本発明の実施例４１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４１（ｂ）は、図４１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４２】図４２（ａ）は、本発明の実施例４２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４２（ｂ）は、図４２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４３】図４３（ａ）は、本発明の実施例４３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４３（ｂ）は、図４３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４４】図４４（ａ）は、本発明の実施例４４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４４（ｂ）は、図４４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４５】図４５（ａ）は、本発明の実施例４５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４５（ｂ）は、図４５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４６】図４６（ａ）は、本発明の実施例４６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４６（ｂ）は、図４６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４７】図４７（ａ）は、本発明の実施例４７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４７（ｂ）は、図４７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４８】図４８（ａ）は、本発明の実施例４８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４８（ｂ）は、図４８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図４９】図４９（ａ）は、本発明の実施例４９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図４９（ｂ）は、図４９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５０】図５０（ａ）は、本発明の実施例５０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５０（ｂ）は、図５０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５１】図５１（ａ）は、本発明の実施例５１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５１（ｂ）は、図５１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５２】図５２（ａ）は、本発明の実施例５２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５２（ｂ）は、図５２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５３】図５３（ａ）は、本発明の実施例５３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５３（ｂ）は、図５３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５４】図５４（ａ）は、本発明の実施例５４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５４（ｂ）は、図５４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５５】図５５（ａ）は、本発明の実施例５５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５５（ｂ）は、図５５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５６】図５６（ａ）は、本発明の実施例５６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５６（ｂ）は、図５６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５７】図５７（ａ）は、本発明の実施例５７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５７（ｂ）は、図５７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５８】図５８（ａ）は、本発明の実施例５８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５８（ｂ）は、図５８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図５９】図５９（ａ）は、本発明の実施例５９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図５９（ｂ）は、図５９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６０】図６０（ａ）は、本発明の実施例６０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６０（ｂ）は、図６０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６１】図６１（ａ）は、本発明の実施例６１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６１（ｂ）は、図６１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６２】図６２（ａ）は、本発明の実施例６２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６２（ｂ）は、図６２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６３】図６３（ａ）は、本発明の実施例６３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６３（ｂ）は、図６３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６４】図６４（ａ）は、本発明の実施例６４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６４（ｂ）は、図６４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６５】図６５（ａ）は、本発明の実施例６５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６５（ｂ）は、図６５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６６】図６６（ａ）は、本発明の実施例６６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６６（ｂ）は、図６６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６７】図６７（ａ）は、本発明の実施例６７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６７（ｂ）は、図６７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６８】図６８（ａ）は、本発明の実施例６８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６８（ｂ）は、図６８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図６９】図６９（ａ）は、本発明の実施例６９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図６９（ｂ）は、図６９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７０】図７０（ａ）は、本発明の実施例７０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７０（ｂ）は、図７０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７１】図７１（ａ）は、本発明の実施例７１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７１（ｂ）は、図７１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７２】図７２（ａ）は、本発明の実施例７２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７２（ｂ）は、図７２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７３】図７３（ａ）は、本発明の実施例７３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７３（ｂ）は、図７３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７４】図７４（ａ）は、本発明の実施例７４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７４（ｂ）は、図７４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７５】図７５（ａ）は、本発明の実施例７５の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７５（ｂ）は、図７５（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７６】図７６（ａ）は、本発明の実施例７６の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７６（ｂ）は、図７６（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７７】図７７（ａ）は、本発明の実施例７７の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７７（ｂ）は、図７７（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７８】図７８（ａ）は、本発明の実施例７８の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７８（ｂ）は、図７８（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図７９】図７９（ａ）は、本発明の実施例７９の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図７９（ｂ）は、図７９（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８０】図８０（ａ）は、本発明の実施例８０の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８０（ｂ）は、図８０（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８１】図８１（ａ）は、比較例１の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８１（ｂ）は、図８１（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８２】図８２（ａ）は、比較例２の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８２（ｂ）は、図８２（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８３】図８３（ａ）は、比較例３の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８３（ｂ）は、図８３（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８４】図８４（ａ）は、比較例４の液晶表示パネルに搭載されたカラーフィルタ基板の構成を示す平面模式図であり、図８４（ｂ）は、図８４（ａ）に示す液晶表示パネルを線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。
【図８５−１】図８５−１（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−１（ｂ）は、図８５−１（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である（ＢＭ層形成後）。
【図８５−２】図８５−２（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−２（ｂ）は、図８５−２（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である（第１色層形成後）。
【図８５−３】図８５−３（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−３（ｂ）は、図８５−３（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である（第２色層形成後）。
【図８５−４】図８５−４（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−４（ｂ）は、図８５−４（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である（第３色層形成後）。
【図８５−５】図８５−５（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−５（ｂ）は、図８５−５（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である（対向電極形成後）。
【図８５−６】図８５−６（ａ）は、実施例１の液晶表示装置に搭載されたカラーフィルタ（ＣＦ）基板の製造工程を示す平面模式図であり、図８５−６（ｂ）は、図８５−６（ａ）に示すＣＦ基板を線分Ａ−Ａ’にて切断したときの断面模式図である。（ドット状配向制御用突起及び突起材料層形成後）
【図８６−１】図８６−１は、白色干渉を利用した高さ測定装置の全体構成（光学系）を示す模式図である。
【図８６−２】図８６−２は、図８６−１に示す高さ測定装置における干渉計型対物レンズ（ミラウ干渉計）の構成を拡大して示す模式図である。
【符号の説明】
【００６５】
２：単層フォトスペーサ（柱状スペーサ）
８：特異構造
１０：絶縁性の透明支持基板（カラーフィルタ基板側）
１１ａ：第１色層
１１ｂ：第２色層
１１ｃ：第３色層
１１ｄ：ブラックマトリクス（ＢＭ）層
１２：積層フォトスペーサ（柱状スペーサ）
１３：ＩＴＯ透明対向電極
１４：ドット（リベット）状配向制御用突起
１４’、１４’’：突起材料層
１５：ポリイミド配向膜（カラーフィルタ基板側）
２０：絶縁性の透明支持基板（薄膜トランジスタアレイ基板側）
２１：アレイ側パターン（非導電膜を含む）
２３：画素電極
２５：ポリイミド配向膜（薄膜トランジスタアレイ基板側）
５０：液晶層
６４：直線（リブ）状配向制御用突起
８１：白色光源（ハロゲンランプ）
８２：ビームスプリッター
８３：干渉計型対物レンズ
８３ａ：集光レンズ
８３ｂ：内部参照鏡
８３ｃ：ハーフミラー
８４：受光素子（ＣＣＤカメラ）
８５：垂直走査駆動部（ピエゾ圧電素子）
８６：被検面（被測定面）
１００：カラーフィルタ（ＣＦ）基板
２００：スイッチング素子アレイ基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
2008511014.tif 000005
【図４】
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【図５】
2008511014.tif 000007
【図６】
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【図７】
2008511014.tif 000009
【図８】
2008511014.tif 000010
【図９】
2008511014.tif 000011
【図１０】
2008511014.tif 000012
【図１１】
2008511014.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
2008511014.tif 000020
【図１９】
2008511014.tif 000021
【図２０】
2008511014.tif 000022
【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
2008511014.tif 000026
【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2008511014.tif 000029
【図２８】
2008511014.tif 000030
【図２９】
2008511014.tif 000031
【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2008511014.tif 000034
【図３３】
2008511014.tif 000035
【図３４】
2008511014.tif 000036
【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
2008511014.tif 000039
【図３８】
2008511014.tif 000040
【図３９】
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【図４０】
2008511014.tif 000042
【図４１】
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【図４２】
2008511014.tif 000044
【図４３】
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【図４４】
2008511014.tif 000046
【図４５】
2008511014.tif 000047
【図４６】
2008511014.tif 000048
【図４７】
2008511014.tif 000049
【図４８】
2008511014.tif 000050
【図４９】
2008511014.tif 000051
【図５０】
2008511014.tif 000052
【図５１】
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【図５２】
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【図５３】
2008511014.tif 000055
【図５４】
2008511014.tif 000056
【図５５】
2008511014.tif 000057
【図５６】
2008511014.tif 000058
【図５７】
2008511014.tif 000059
【図５８】
2008511014.tif 000060
【図５９】
2008511014.tif 000061
【図６０】
2008511014.tif 000062
【図６１】
2008511014.tif 000063
【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
2008511014.tif 000066
【図６５】
2008511014.tif 000067
【図６６】
2008511014.tif 000068
【図６７】
2008511014.tif 000069
【図６８】
2008511014.tif 000070
【図６９】
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【図７０】
2008511014.tif 000072
【図７１】
2008511014.tif 000073
【図７２】
2008511014.tif 000074
【図７３】
2008511014.tif 000075
【図７４】
2008511014.tif 000076
【図７５】
2008511014.tif 000077
【図７６】
2008511014.tif 000078
【図７７】
2008511014.tif 000079
【図７８】
2008511014.tif 000080
【図７９】
2008511014.tif 000081
【図８０】
2008511014.tif 000082
【図８１】
2008511014.tif 000083
【図８２】
2008511014.tif 000084
【図８３】
2008511014.tif 000085
【図８４】
2008511014.tif 000086
【図８５−１】
2008511014.tif 000087
【図８５−２】
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【図８５−３】
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【図８５−４】
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【図８５−５】
2008511014.tif 000091
【図８５−６】
2008511014.tif 000092
【図８６−１】
2008511014.tif 000093
【図８６−２】
2008511014.tif 000094
【国際調査報告】
2008511014.tif 000095