(57)【要約】【解決手段】  顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ（１００、１０２）は、サンプルエンクロージャと、該サンプルエンクロージャ（１０８）を該サンプルエンクロージャ（１０８）の外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜（１１０）と、前記サンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部の体積との間を連通させる圧力コントローラアッセンブリ（１３０）と、を備える。【選択図】  図１
2008510988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリであって、
サンプルエンクロージャと、
前記サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、
前記サンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部の体積との間を連通させる圧力コントローラアッセンブリと、
を備える、サンプルコンテナアッセンブリ。  
【請求項２】
前記圧力コントローラアッセンブリは、選択された長さ方向距離を超えた前記膜の長さ方向変位を防止するように作動する、請求項１に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項３】
前記圧力コントローラアッセンブリは、前記膜を横断する圧力差が、前記膜の過度の撓みが発生する閾値レベルを超えない圧力で前記サンプルエンクロージャの体積を維持するように作動する、請求項１又は２に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項４】
前記圧力コントローラアッセンブリは、可撓性管要素を備える、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項５】
前記圧力コントローラアッセンブリは、前記可撓性管要素と連通する流体通路を備える、請求項４に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項６】
前記圧力コントローラアッセンブリは、ピストンアッセンブリを備える、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項７】
サンプル支持アッセンブリを備える、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項８】
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記サンプルコンテナアッセンブリを内部に着座するように構成されている、請求項７に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項９】
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記顕微鏡に配置されるように構成されている、請求項７又は８に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項１０】
サンプル検査システムであって、
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の、顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリと、
顕微鏡と、
を備える、サンプル検査システム。
【請求項１１】
前記サンプルエンクロージャ内のサンプルからＸ線を受け取るように配置されたＸ線検出器と、
前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから紫外線から赤外線までの範囲の光を受け取るように配置された光検出器と、
前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから後方散乱電子を受け取るように配置された後方散乱電子検出器と、
前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから２次電子を受け取るように配置された２次電子検出器と、
を備える、請求項１０に記載のサンプル検査システム。
【請求項１２】
ピストンアッセンブリを備える圧力コントローラアッセンブリと、
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリ内にサンプルコンテナを配置するためのアパーチャと、
前記圧力コントローラアッセンブリと前記アパーチャとを接続する流体通路と、
を備える、サンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１３】
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記顕微鏡内に配置されるように構成されている、請求項１２に記載のサンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１４】
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリの外部の体積から前記流体通路を密封するためのシーラントを備える、請求項１２又は１３に記載のサンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１５】
導電性要素を備える、請求項１２乃至１４のいずれか１項に記載のサンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１６】
前記ピストンアッセンブリは、前記サンプルコンテナ内のサンプルを取り囲む体積を拡大するように作動し、これによって、前記サンプルコンテナ内の圧力を減少させる、請求項１２乃至１５のいずれか１項に記載のサンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１７】
前記サンプルコンテナは、
サンプルエンクロージャと、
前記サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、
を備える、請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載のサンプルコンテナ支持アッセンブリ。
【請求項１８】
顕微鏡の作動方法であって、
サンプルを収容するサンプルコンテナのサンプルエンクロージャから流体が流出することを可能にし、
前記サンプルコンテナを顕微鏡の真空引き環境内に配置し、前記サンプルエンクロージャを電子ビーム透過性で流体不透過性の膜により密封し、
前記サンプルコンテナ内の前記サンプルと電子ビームとの相互作用の結果を画像形成する、各工程を備える、顕微鏡の作動方法。
【請求項１９】
前記流体流出を可能にする工程では、選択された長さ方向距離を超えた前記膜の長さ方向変位を防止する、請求項１８に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２０】
前記流体流出を可能にする工程では、前記膜を横断する圧力差が、前記膜の過度の撓みが発生する閾値レベルを超えない圧力で前記サンプルエンクロージャの体積を維持する、請求項１８又は１９に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２１】
前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプルエンクロージャから可撓性管要素を介して流体を解放する工程を備える、請求項１８乃至２０のいずれか１項に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２２】
前記解放工程は、前記サンプルエンクロージャから流体通路を介して前記可撓性管要素へと前記流体を流出する工程を備える、請求項２１に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２３】
前記流体流出を可能にする工程は、ピストンアッセンブリを移動させる工程を備える、請求項１８乃至２２のいずれか１項に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２４】
前記ピストンアッセンブリのピストンの長さ方向の運動は、前記サンプルコンテナ内の前記サンプルを取り囲む体積を拡大し、これによって前記サンプルコンテナ内の圧力を減少させる、請求項２３に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２５】
前記流体流出を可能にする工程は、サンプル支持アッセンブリを提供する工程を備える、請求項１８乃至２４のいずれか１項に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２６】
前記サンプル支持アッセンブリ内に前記サンプルコンテナを着座させる工程を備える、請求項２５に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２７】
前記サンプルコンテナ支持アッセンブリを顕微鏡内に着座させる工程を備える、請求項２５又は２６に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２８】
前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプルコンテナから流出した前記流体を受け取るようにサンプル支持アッセンブリを提供する工程を備える、請求項１８乃至２７のいずれか１項に記載の顕微鏡の作動方法。
【請求項２９】
顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリであって、
サンプルエンクロージャと、
前記サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、
前記膜の近傍にサンプルを位置決めするためアコーディオン式の要素を備える、ポジショナーと、
を備える、サンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項３０】
前記サンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部の体積との間を連通させる圧力コントローラアッセンブリを備える、請求項２９に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【請求項３１】
前記圧力コントローラアッセンブリは、可撓性管を備える、請求項３０に記載の顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概してサンプルの検査に係り、より詳しくは、例えば、走査型電子顕微鏡並びにその利用方法で使用するための、サンプルコンテナ及び検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
サンプルコンテナの使用によって、例えば走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等の顕微鏡内のサンプルの画像形成を可能にすることができる。サンプルの画像形成の間、サンプルコンテナの膜は、サンプルコンテナ内の圧力差及び顕微鏡の真空引き環境に起因して、撓んだり又は一般には変形し得る。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明の実施態様は、サンプルの検査を可能にするための、装置、システム及び方法を提供する。
従って、本発明の一実施態様によれば、顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリが提供され、該サンプルコンテナアッセンブリは、サンプルエンクロージャと、該サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、前記サンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部の体積との間を連通させる圧力コントローラアッセンブリと、を備える。更には、前記圧力コントローラアッセンブリは、選択された長さ方向距離を超えた前記膜の長さ方向変位を防止するように作動する。好ましくは、前記圧力コントローラアッセンブリは、前記膜を横断する圧力差が、前記膜の過度の撓みが発生する閾値レベルを超えない圧力で前記サンプルエンクロージャの体積を維持するように作動する。
【０００４】
本発明の一実施態様によれば、前記圧力コントローラアッセンブリは、可撓性管要素を備える。更には、前記圧力コントローラアッセンブリは、前記可撓性管要素と連通する流体通路を備える。代替例として、前記圧力コントローラアッセンブリは、ピストンアッセンブリを備える。
【０００５】
本発明の一実施態様によれば、顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリは、サンプル支持アッセンブリを備える。更には、前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記サンプルコンテナアッセンブリを内部に着座するように構成されている。好ましくは、前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記顕微鏡に配置されるように構成されている。
【０００６】
本発明の一実施態様によれば、サンプル検査システムが提供され、該サンプル検査システムは、顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリと、顕微鏡と、を備える。好ましくは、サンプル検査システムは、前記サンプルエンクロージャ内のサンプルからＸ線を受け取るように配置されたＸ線検出器と、前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから紫外線から赤外線までの範囲の光を受け取るように配置された光検出器と、前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから後方散乱電子を受け取るように配置された後方散乱電子検出器と、前記サンプルエンクロージャ内のサンプルから２次電子を受け取るように配置された２次電子検出器と、を備える。
【０００７】
本発明の一実施態様によれば、サンプルコンテナ支持アッセンブリが提供され、該サンプルコンテナ支持アッセンブリは、ピストンアッセンブリを備える圧力コントローラアッセンブリと、前記サンプルコンテナ支持アッセンブリ内にサンプルコンテナを配置するためのアパーチャと、前記圧力コントローラアッセンブリと前記アパーチャとを接続する流体通路と、を備える。更には、前記サンプルコンテナ支持アッセンブリは、前記顕微鏡内に配置されるように構成されている。好ましくは、サンプルコンテナ支持アッセンブリは、  前記サンプルコンテナ支持アッセンブリの外部の体積から前記流体通路を密封するためのシーラントを備える。
【０００８】
本発明の一実施態様によれば、サンプルコンテナ支持アッセンブリは、導電性要素を備える。更には、前記ピストンアッセンブリは、前記サンプルコンテナ内のサンプルを取り囲む体積を拡大するように作動し、これによって、前記サンプルコンテナ内の圧力を減少させる。好ましくは、前記サンプルコンテナは、サンプルエンクロージャと、前記サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、を備える。
【０００９】
本発明の一実施態様によれば、顕微鏡の作動方法が提供され、該方法は、サンプルを収容するサンプルコンテナのサンプルエンクロージャから流体が流出することを可能にし、前記サンプルコンテナを顕微鏡の真空引き環境内に配置し、前記サンプルエンクロージャを電子ビーム透過性で流体不透過性の膜により密封し、前記サンプルコンテナ内の前記サンプルと電子ビームとの相互作用の結果を画像形成する、各工程を備える。更には、前記流体流出を可能にする工程では、選択された長さ方向距離を超えた前記膜の長さ方向変位を防止する。好ましくは、前記流体流出を可能にする工程では、前記膜を横断する圧力差が、前記膜の過度の撓みが発生する閾値レベルを超えない圧力で前記サンプルエンクロージャの体積を維持する。
【００１０】
本発明の一実施態様によれば、前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプルエンクロージャから可撓性管要素を介して流体を解放する工程を備える。更には、前記解放工程は、前記サンプルエンクロージャから流体通路を介して前記可撓性管要素へと前記流体を流出する工程を備える。代替例として、前記流体流出を可能にする工程は、ピストンアッセンブリを移動させる工程を備える。好ましくは、前記ピストンアッセンブリのピストンの長さ方向の運動は、前記サンプルコンテナ内の前記サンプルを取り囲む体積を拡大し、これによって前記サンプルコンテナ内の圧力を減少させる。
【００１１】
本発明の一実施態様によれば、前記流体流出を可能にする工程は、サンプル支持アッセンブリを提供する工程を備える。好ましくは、前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプル支持アッセンブリ内に前記サンプルコンテナを着座させる工程を備える。更には、前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプルコンテナ支持アッセンブリを顕微鏡内に着座させる工程を備える。好ましくは、前記流体流出を可能にする工程は、前記サンプルコンテナから流出した前記流体を受け取るようにサンプル支持アッセンブリを提供する工程を備える。
【００１２】
本発明の一実施態様によれば、顕微鏡で使用するためのサンプルコンテナアッセンブリが提供され、該サンプルコンテナアッセンブリは、サンプルエンクロージャと、前記サンプルエンクロージャを該サンプルエンクロージャの外部の体積から密封する電子ビーム透過性で流体不透過性の膜と、前記膜の近傍にサンプルを位置決めするためアコーディオン式の要素を備える、ポジショナーと、を備える。好ましくは、サンプルコンテナアッセンブリは、前記サンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部の体積との間を連通させる圧力コントローラアッセンブリを備える。更には、前記圧力コントローラアッセンブリは、可撓性管を備える。
【００１３】
本発明は、図面と関連付けられた、次の詳細な説明からより完全に理解され、認められよう。
【実施例】
【００１４】
次の詳細な説明では、多数の特定の詳細構成が、本発明の実施例の徹底した理解を提供するため記載されている。しかし、本発明の実施例は、これらの特定の詳細構成無しに実施することができることは当業者により理解されよう。他の例では、周知された方法、手続き、及び、構成部品は、本発明の実施例を不明瞭にしないように、詳細には説明されていないことが理解されよう。
【００１５】
ここで、図１Ａないし図３Ｂを参照する。これらの図は、例えば、ＰＣＴ特許出願公開ＷＯ／２００４／０７５２０９号、ＰＣＴ特許出願公開ＷＯ０３／１０４８４８号、ＰＣＴ特許出願公開ＷＯ０３／１０４８４６号に記載された実施例で開示されたもののような、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）互換性サンプルコンテナ等のサンプルコンテナを備えるサンプルコンテナアッセンブリの、互いに反対方向に向いた簡単な描画図であり、これらの特許文献の全体的な内容は、ここで参照したことにより本願に組み込まれる。他のサンプルコンテナは、本発明の実施例で使用することができる。図１Ａ及び図１Ｂに示されるように、サンプルコンテナは、参照番号１００及び１０２により各々示された、第１及び第２の互いに係合するエンクロージャ要素を備えていてもよい。
【００１６】
第１のエンクロージャ要素１００は、例えば、略中央開口部又はアパーチャ１０６を有するベース表面１０４を持っていてもよい。代替例として、アパーチャ１０６は、必ずしも中央に配置される必要はない。例えば、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜サブアッセンブリ１０８等のカバー若しくは膜アッセンブリは、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、アパーチャ１０６に接して該アパーチャを覆っているエンクロージャ要素１００の内部に着座されていてもよい。アパーチャ１０６は、他の任意の適切な構成で構成されていてもよい。更には、多数のアパーチャが、サンプルコンテナ内で形成されていてもよい。なお、他のカバー又は膜も使用することができる。
【００１７】
ここで、膜サブアッセンブリ１０８を参照すると、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜１１０を、例えば接着剤等の任意の適切な態様で、例えば格子支持要素１１２に取り付けることができることが示されている。該格子支持要素は、その中央部で機械的支持格子１１４を画定することができる。他の適切な取り付け方法を使用することができる。代替の適切な機構を、膜１１０を機械的に支持するため用いることができることが理解されよう。
【００１８】
内部にアパーチャを形成するリング１１６を画定する例えばサンプル配置体積部等のサンプルエンクロージャは、例えば、接着剤等により任意の適切な態様で、膜１１０に接続されるか又は接着することができ、サンプルエンクロージャを、該サンプルエンクロージャの外部の体積部分から密封することができる。リング１１６は、例えば傾斜壁を有するサンプル配置体積部分１１８を画定するように構成されてもよい。
【００１９】
図１Ａ、図１Ｂ、図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、Ｏリング１２０を、リング１１６と、第２のエンクロージャ要素１０２の内側表面１２２との間に配置することができる。Ｏリング１２０は、要素１００及び１０２の係合が密封係合である必要性を無くすように、エンクロージャ要素１００及び１０２が緊密な係合であるときに作動することができる。ダイヤフラム（図示せず）等の任意の適切な密封機構を、Ｏリング１２０の代わりに使用することができることが認められる。代替の実施例では、Ｏリング１２０を使用する必要はなく、Ｏリング１２０若しくは他の密封機構を備えているか又は備えていないエンクロージャ要素１００及び１０２を使用してもよい。
【００２０】
第２のエンクロージャ要素１０２は、末端部１２６を備えた略中央スタブ１２４が形成されていてもよい。中央スタブ１２４は、例えば顕微鏡のサンプルステージの適切な凹部（図示せず）内に着座されるように配列されていてもよい。図１Ａないし図５に示されるサンプルコンテナが、従来の顕微鏡内の従来のスタブ凹部を備えてサイズが定められ、作動し、修正を必要とないことが、本発明の一実施例の特別の特徴である。スタブの様々な構成及びサイズは、様々な顕微鏡又は他の任意の適切な検査システムと適合するように提供されてもよいことが認められる。
【００２１】
本発明の一実施例では、サンプルコンテナには、例えば、リング１１６等のサンプルエンクロージャと該サンプルエンクロージャの外部体積との間を連通する、バルブアッセンブリ又はリリーフアッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ１３０等の圧力制御機能が備え付けられる。バルブアッセンブリ若しくはリリーフアッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ１３０は、顕微鏡検査の間に、サンプル配置体積部１１８を、膜１１０を横切る圧力差が、膜１１０の過度の変位又は撓みが生じる閾値レベルを超えない圧力に維持するように作動することができる。膜１１０の過度の撓みは、サンプル配置体積部１１８内に配置されたサンプルが膜１１０に接して退避することを妨げ、かくして、ＳＥＭ又は他の任意の適切な検査システムにおけるサンプルコンテナ内のサンプルの画像形成を損なう。典型的には、閾値レベルは、撓みに起因した膜１１０の長さ方向変位が、例えば、約１０〜約１０００ｎｍの範囲における長さ方向距離となるような圧力差である。
【００２２】
更には、圧力コントローラアッセンブリ１３０は、選択された長さ方向距離を超える膜１１０の長さ方向変位を防止することができ、該選択された長さ方向距離は、顕微鏡におけるサンプルコンテナ内のサンプルの画像形成が、後述されるように、損なわれるような有効な作動可能な又は作動的な長さ方向距離であってもよい。
【００２３】
バルブアッセンブリ又はリリーフアッセンブリ又は圧力コントローラは、本明細書で示されたものとは異なる構成及び作用を持っていてもよい。一つより多いアッセンブリ又はバルブ又はリリーフ要素を使用することもできる。  
【００２４】
閾値レベルは、膜の厚さ等の他のパラメータ、画像形成されたサンプル特徴がサンプル内に配置される深さ等のサンプル特性、衝突電子ビームの合焦の鋭さ等の衝突電子ビームの特性に従って変えることができることが理解されるべきである。例えば、サンプル特徴の画像形成は、約１００ｎｍの膜厚で、電子ビームが顕微鏡の電子ビーム源からサンプルへと約３００ｎｍ以下の距離だけ移動することを可能にすることによって維持される電子ビームの合焦の鋭さを達成可能とすることができる状況、並びに、画像形成されたサンプル特徴がサンプル内に約５０ｎｍの深さで配置される状況では、好ましくは、膜の長さ方向の変位は、１５０ｎｍを超えないようにするべきである。他の厚さ及び距離も使用することができる。
【００２５】
図３Ａ及び図３Ｂに示されるように、圧力コントローラアッセンブリ１３０は、第２のエンクロージャ要素１０２内に形成された、中央管、チャンネル又はボア１３４を備えていてもよい。中央ボア１３４は、内部表面１２２から、中央スタブ１２４の一部分１２６内に形成されて該一部分と連通する垂直貫通チャンネル又はボア１３６へと延在してもよい。例えば可撓性管要素１３８等の圧力解法装置は、貫通ボア１３６により形成されたオロイフィス１４０と密封係合することができる。管要素１３８は、任意の適切な材料、典型的には例えばラテックス又はシリコン等の可撓性材料から形成することができる。一例は、イスラエル、ハイファ、カビリムＳｔ、４のゴールドモールドテクノロジーから市販されているシリコン管である。ボア１３６は、必ずしも垂直である必要はなく、多数の開口部を有する必要もない。
【００２６】
圧力コントローラアッセンブリは、様々な形態で構成することができることが理解されるべきである。代替実施例の一例では、単一のダイヤフラム又は多数のダイヤフラム（図示せず）を、可撓性管要素の代わりに使用することができる。加えて、圧力コントローラアッセンブリは、第１のエンクロージャ要素１００内で、例えば、圧力解放チャンネルを形成し、適切な圧力制御バルブを提供する等、サンプルコンテナの任意の適切な部分内に配置することができる。
【００２７】
本発明の幾つかの実施例で理解することができるように、サンプルコンテナは、流体含有サンプルを備えるように作動することができ、例えば、顕微鏡等の検査システム内でサンプルを画像形成することができる。サンプルコンテナ内の圧力は、真空引きされた顕微鏡環境内の真空引き圧力よりも高くなり得る流体圧力であってもよい。その結果生成されるサンプルコンテナの膜を横断する圧力差は、膜を変位させ又は撓ませ得る。膜の撓み又は変位は、膜と流体含有サンプルとの間にギャップを形成し得る。かくして、サンプルの画像形成は、サンプルからの情報の損失に起因した欠陥等のように、損なわれ得る。情報の損失に関する一例は、画像分解能の低下に起因した情報の損失であり得る。画像分解能の低下は、顕微鏡により発生された電子ビームの合唱の鋭さの低下によって引き起こされ得る。合焦の鋭さの低下は、ギャップに起因し得る。該ギャップは電子ビームを、サンプルまでのより長い距離を移動させ得る。
【００２８】
例えばバルブ又は可撓性管要素等の圧力解放装置を含む、バルブアッセンブリ又はリリーフアッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリは、流体をサンプルコンテナから解放することを可能にすることによって圧力解放を提供することができる。かくして、膜を横断する圧力差を減少することができ、サンプルと膜との間のギャップを減少させる。
【００２９】
かくして、典型的には、流体含有サンプルを備えたサンプルコンテナが顕微鏡内に配置された後、顕微鏡が真空引きされる。顕微鏡の真空引きの間、典型的には、例えば数分の時間範囲内、又は、サンプルコンテナが顕微鏡の真空引き圧力内にある間、圧力がサンプルコンテナ内で増加し、膜を横断する例えば１気圧等の圧力差は、例えば、約５００ｎｍのギャップを引き起こし得る。サンプルコンテナ内の圧力の増大は、可撓性管の要素を撓ませ、サンプルコンテナから流体を解放することを可能にするように流体出口のための開口部を形成させ得る。サンプルコンテナからの流体の解放は、サンプルコンテナ内で圧力減少を形成させ、圧力差を例えば１５０ミリバール等まで減少させ、ギャップを例えば１５０ｎｍに減少させる。一旦、サンプルコンテナ内の圧力形成が減少したならば、可撓性管要素は弛緩して、撓む前に実質的にその適位置へと回復する。膜を横断する他の圧力差及びサンプルコンテナ内の他の度合いの圧力減少も本発明の実施例において生じ得る。
【００３０】
ここで作動の３つの段階におけるサンプルコンテナの実施例の作動的配置を示す３つの断面図である図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃを参照する。図４Ａは、例えば、液体サンプル１５０等の流体含有サンプルを収容し、エンクロージャ要素１００及び１０２の閉鎖前に、図１Ｂに示される配置で配列されたサンプルコンテナを示している。膜１１０は、図４Ａでは略平坦であるように示され、管要素１３８は、オリフィス１４０と密封係合するように示されている。
【００３１】
図４Ｂは、エンクロージャ要素１００及び１０２の間の完全な係合及びＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システム内への配置が引き続いて実行された、図４Ａのコンテナの一実施例を示している。真空引きに続いて生じるＳＥＭの環境は、典型的には、１０−２から１０−６ミリバールの真空であり得る。格子１１４及び膜１１０が、概略配置され、又は、外側に撓むことが理解され、更には、膜１１０は、サンプル配置体積部１１８内の圧力形成に起因して並びにサンプルコンテナ内の圧力とＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システム内の真空引き圧力との間の圧力差に起因して、格子１１４の間隙を通して該間隙内に押しやられようとすることが理解されよう。管要素１３８は、サンプル配置体積部１１８内の圧力形成に起因して僅かに変位され又は撓み得る。
【００３２】
図４Ｃは、ＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システム内の真空引き環境内へと配置されて所定時間経過した後の図４Ｂのコンテナを示している。サンプル配置体積部１１８内に取り込まれた、典型的には例えば空気等の流体は、中央ボア１３４を介して、垂直貫通ボア１３６へと外側に流れ得る。他の流体を使用することもできる。中央ボア１３４及び垂直貫通ボア１３６は、管要素１３８と連通する流体通路を形成することができる。管要素１３８は、次に外側に撓み、矢印１５２により線図的に示されるように、流体が環境内に解放されることを可能にする。膜１１０は、サンプル配置体積部１１８内の圧力形成に起因して僅かに外側に変位し又は撓むが、バルブアッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ１３０の作用に起因して、相当より小さい程度に変位又は撓んでいることが理解されよう。これは、図４Ｃを図４Ｂと比較することによって理解することができる。支持格子１１４は、略平坦であるように示されている。
【００３３】
ここで、サンプルコンテナを使用した、例えばＳＥＭ等のサンプル検査システム内におけるサンプル５０の検査の一実施例の簡単な描画図及び断面図である、図５を参照する。図５に示されるように、参照番号１６０で指し示された、サンプルコンテナが、ＳＥＭ１６４の段階１６２上に配置された状態で示されており、該ＳＥＭ１６４では、電子ビームのサンプル１５０との相互作用の結果の分析のために、電子ビームによる画像形成を実施することができる。
【００３４】
サンプル１５０から後方散乱された電子は、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜１１０を通過することができ、ＳＥＭ１６４の一部を形成する検出器１６６により検出されることができる。例えば、２次電子検出器１６８等の１つ以上の追加の検出器を提供することもできる。Ｘ線検出器（図示せず）を、その電子ビーム励起に起因してサンプル１５０により放射されるＸ線放射を検出するため提供することができ、例えば、陰極ルミネセンス検出器（図示せず）等の光検出器を、その電子ビーム励起に起因してサンプル１５０により放射される放射を検出するため提供することもできる。さらには、他の任意の適切な検出気を用いてもよい。
【００３５】
代替実施例では、光案内手段（図示せず）を、サンプルコンテナ内、例えばスタブ１２４当の中央ボア１３４内に挿入することができ、例えば接着剤等による任意の適切な方法によって、該ボアに取り付けることができる。光案内手段は、サンプルコンテナ内のサンプルから放射された光を収集するため用いることができる。光案内手段を、サンプルコンテナないのサンプルから放射された光を収集するため用いることができる。光案内手段を備えたそのようなサンプルコンテナの一例が、ＰＣＴ特許出願ＷＯ０３／１０４８４８号およびＰＣＴ特許出願ＷＯ０３／１０４８４６号に開示されており、これらの公報の内容は、ここで参照したことにより本願に組み込まれる。
【００３６】
ここで、例えばＳＥＭ互換性サンプルコンテナ等のサンプルエンクロージャアッセンブリ又はサンプルコンテナの代替実施例の互いに反対方向に向いた状態の簡単な分解図である図６Ａ乃至図８Ｂを参照する。ＳＥＭ互換性サンプルコンテナは、例えば個体含有サンプル、例えば生理学的組織等の実質的に非液体サンプル、セラミック材料、ペーパー、ファブリック、例えばアスベスト等の毒性材料、生体膜、セメント等のペースト、及び、粉末等に対して使用するように構成され作動することができる。他の材料に関しても画像形成することができる。図６Ａ及び図６Ｂに示されるように、サンプルコンテナは、図１Ａ乃至図５を参照して記載されたものに対応する幾つかの要素を含んでいてもよい。
【００３７】
アコーディオン式のスリーブ要素又は可撓性位置決め要素２００を、第２のエンクロージャ要素１０２の内部表面１２２内に着座させることができる。可撓性位置決め要素２００は、略円柱ベース部２０４から延在する略細長い円柱部２０２を備えていてもよい。円柱部２０２から延在する中間部２０６は、例えば、アコーディオン式又は他の可撓性スリーブ構成を備えていてもよく、該構成は、例えば、複数の切頭されたテーパー部２０８を備えていてもよく、該テーパー部の各々は、ベース区分２１０及び頂区分２１２を形成する。図６Ａ、６Ｂ、８Ａ及び８Ｂに示されるように、一対のテーパー部２０８は、テーパー部２０８の各々の頂区分２１２及びテーパー部２０８の各々の底区分２１０に交互に連結されていてもよく、これによって、アコーディオン式構成を形成する。頂部２１４は、中間部２０６から延在してもよい。
【００３８】
可撓性位置決め要素２００は、例えば、シリコン又はニトリル等のエラストマー材料等の任意の適切な材料から形成されていてもよい。
可撓性位置決め要素２００は、エンクロージャ要素１００及び１０２が、以下、図９Ｂ及び図９Ｃに示されるように緊密に係合するとき、実質的に個体含有サンプルを上方へと膜に対して移動させ即ち押しつけることができる。
【００３９】
実質的に個体含有サンプルを膜１１０に近接した位置に移動させ又は保持するための、スプリング要素又はプランジャーアッセンブリ等の、任意の適切な要素を使用することができることが理解されよう。
【００４０】
内側表面１２２は、中央ボア１３４と連通することができる、単一の凹部又は複数の凹部２２０を形成してもよい。図９Ａ乃至図９Ｃを参照して後述されるように、エンクロージャ要素１００及び１０２を完全に緊密に係合するとき、凹部２２０がサンプル配置体積部１１８からの流体出口のために設けられてもよい。代替例として、凹部２２０は、サンプルコンテナ内の他の任意の適切な位置に形成することができる。
【００４１】
ここで、サンプルコンテナの実施例の作動的な配置を３つの作動段階で示す３つの断面図である、図９Ａ、９Ｂ及び９Ｃを参照する。図９Ａは、エンクロージャ要素１００及び１０２の閉鎖前に、例えば、組織サンプル２５０等の実質的に個体収容サンプルを収容し、図６Ｂに示された配置に配列されたサンプルコンテナを示している。図９Ａでは、膜１１０は、略平坦に示されており、管要素１３８は、密封係合オリフィス１４０であるように示されている。
【００４２】
図９Ｂは、次にエンクロージャ要素１００及び１０２の間の完全な係合及びＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システムへの配置を行った、図９Ａのコンテナの一実施例を示している。真空引きを行ったＳＥＭの環境は、典型的には、１０−２から１０−６ミリバールの真空であってもよい。格子１１４及び膜１１０は、変位又は外側に撓むことが理解されよう。更には、サンプル配置体積１１８内に形成された圧力に起因して、並びに、サンプルコンテナ内の圧力とＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システム内の真空引き圧力との間の圧力差に起因して、膜１１０は、格子１１４の隙間を介して隙間内に押し込められることが理解されよう。管要素１３８は、サンプル配置体積部１１８内に形成された圧力に起因して変位され又は僅かに外側に撓む。
【００４３】
図９Ｃは、ＳＥＭ又は他の任意の適切なサンプル検査システム内への配置を行った後の、図９Ｂのコンテナを示している。サンプル配置体積部１１８内に閉じこめられた流体、典型的には空気は、凹部２２０及び中央ボア１３４を介して垂直貫通ボア１３６へと外側に流れることができる。管要素１３８は、次いで外側に撓むことができ、矢印２５２で示されるように、流体が周囲へと解放されることを可能にされる。膜１１０は、サンプル配置体積部１１８内に形成された圧力に起因して変位され又は僅かに外側に撓むが、バルブアッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ１３０の作用に起因して、かなり小さい程度で撓む。これは、図９Ｃを図９Ｂと比較することによって理解することができる。支持格子１１４は、略平坦であることが示されている。
【００４４】
ここで、サンプルコンテナを使用した、ＳＥＭ等の検査システム内のサンプル２５０のサンプル検査の一実施例の簡単な描画及び断面図である、図１０を参照する。図１０に示されるように、参照番号２６０により指し示されたサンプルコンテナは、ＳＥＭ１６４の段階１６２に配置された状態で示され、電子ビームによる画像形成を、電子ビームのサンプル２５０との相互作用の結果の分析のために実行することができる。サンプル２５０からの後方散乱電子は、電子ビーム透過性で流体不透過性の膜１１０を通過し、ＳＥＭ１６２の一部分を形成する検出器１６６により検出することができる。２次電子検出器１６８等の１つ以上の追加の検出器も提供することができる。Ｘ線検出器（図示せず）を、その電子ビーム励起に起因してサンプル２５０により放射されたＸ線放射を検出するため提供することができ、例えば陰極ルミネセンス検出器（図示せず）等の光検出器も、その電子ビーム励起に起因してサンプル２５０により放射された放射を検出するため提供することができる。更には、他の任意の適切な検出器を用いることができる。
【００４５】
ここで、本発明の更に別の実施例に従って構成され、作動する、サンプルコンテナ支持アッセンブリ等のサンプルステージの、各々簡単な頂面図及び底面図、断面図及び分解図である、図１１Ａ乃至図１３を参照する。図１１Ａ乃至図１３に示されるように、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００は、ベース３０４に取り付けられた主要サブアッセンブリ３０２を備え、ネジ３０６又は他の任意の適切な態様により取り付けられてもよい。主要サブアッセンブリ３０２は、第２の部分３１０と係合した第１の部分３０８を備えていてもよい。頂部プレート３１２は、ネジ３１４又は他の任意の適切な態様により主要サブアッセンブリ３０２に取り付けられてもよい。
【００４６】
代替例として、ベース３０４、主要サブアッセンブリ３０２及び頂部プレート３１２は、一部品として一体成形されてもよい。
図１２及び図１３に示されるように、主要サブアッセンブリ３０２は、図１４Ａ乃至図１６Ｂを参照して後述されるように、サンプルエンクロージャと、サンプルエンクロージャ外部の体積部との間を連通する、リリーフアッセンブリ又はピストン作動式アッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ３２０等の圧力コントローラ機能を備えることができる。リリーフアッセンブリ又は又はピストン作動式アッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ３２０は、選択された長さ方向距離を超えたサンプルコンテナ（図１４Ａ乃至図１６Ｂ）の膜の長さ方向変位を防止することができる。当該長さ方向距離は、顕微鏡内でのサンプルコンテナ内のサンプルの画像形成を損傷し得る、有効で、作動可能な又は作動長さ方向距離である。更には、ピストン作動式アッセンブリ又は圧力コントローラアッセンブリ３２０は、膜に亘る圧力差が膜の過度の撓みが生じる閾値レベルを超えない圧力でサンプルコンテナの体積部を維持することができる。
【００４７】
圧力コントローラアッセンブリ３２０のハウジング３２２は、テーパー形成され且つ頂部３２８へと延在し得る略円柱部分３２６を備えていてもよい。円柱部分３２６は、主要サブアッセンブリ３０２の第１の部分３０８内に形成された第１の凹部３３０と、主要サブアッセンブリ３０２の第２の部分３１０内に形成された第２の凹部３３２と、内に密封して取り付けられている。頂部３２８は第１の部分３０８内に形成された凹部３３３内に密封して取り付けられている。ピストン又は他の可動装置３３４を備えるピストンアッセンブリ等の、変位する要素アッセンブリ又は圧力コントローラサブアッセンブリ又はリリーフサブアッセンブリは、例えば、溝付き案内要素３３６内に着座していてもよい。該案内要素は、ハウジング３２２の円柱部分３２６の内側壁３３８に沿って長さ方向にしゅう動するように作動することができる。他の着座機構も使用することができる。ピストンアッセンブリのピストン３３４は、サンプルコンテナ内のサンプルを取り囲む体積部を拡大するため提供されてもよく（図１４Ａ乃至図１６Ｂ）、これによって、サンプルコンテナ内の圧力を減少させる。
【００４８】
圧力コントローラアッセンブリ３２０は、サンプルコンテナ支持サブアッセンブリ３００及びサンプルコンテナ（図１４Ａ乃至図１６Ｂ）内の圧力を制御するため任意の適切な方法を備えることができることが理解されよう。
【００４９】
Ｏリングハウジング３４０は、前記サンプル支持アッセンブリの外側の体積部から流体通路３４６の密封状態を向上させるため内部に取り付けられた、単一のＯリング又は複数のＯリング３４２を備えていてもよい。流体通路３４６がＯリングハウジング３４０内に形成された中央ボア３４８内に形成されてもよく、内部体積３５０がハウジング３２２の頂部３２８に形成されてもよい。Ｏリング３４２を使用せず、他の任意の適切なシーラント又は密封機構を用いることができることが理解されよう。
【００５０】
一対の伝導性スプリング３５２が、Ｏリングハウジング３４０内に形成された互いに平行な溝３５３内に着座されてもよい。伝導性スプリング３５２は、図１４Ａ乃至図１６Ｂを参照して後述されるように、電子ビームの励起に起因したサンプルコンテナ内の電荷の蓄積を防止するように作動することができる。伝導性スプリング３５２は、ステンレス鋼材料から形成されてもよく、任意の適切な材料を使用することができることが理解されよう。更には、単一のスプリング又は複数のスプリングを使用することができ、任意の適切な伝導性要素をスプリング３５２の代わりに使用することができる。
【００５１】
頂部プレート３１２には、複数のアパーチャ３５４が形成され、該アパーチャを、中央のアパーチャ３５６の周りに周囲方向に配置することができる。各々のアパーチャ３５４は、Ｏリングハウジング３４０の中央ボア３４８に重なり合ってもよい。中央アパーチャ３５６は、第１の部分３０８に形成された第１の貫通ボア３５８と、第２の部分３１０内に形成された第２の貫通ボア３６０と、ベース３０４から突出する中央突起部３６４内に形成された凹部３６２とに重なり合っている。
【００５２】
ベース３０４は、圧力コントローラアッセンブリ３２０のハウジング３２２内に形成された内部体積部３７２の下側にある複数の周囲突起部３７０を形成することができる。凹部３７４は、各突起部３７０内に形成されてもよく、該突起部を通ってベース３０４の底部表面３７８へと延在する。例えば、ボルト３８０等の接続要素は、第１の貫通ボア３５８と、第２の貫通ボア３６０と、凹部３６２とに取り付けられてもよく、ベース３０４の底部表面３７８から外側に延在する。代替例として、ボルト３８０を不要にしてもよく、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００を検査システム（図１４Ａ乃至図１６Ｂ）に係合するための任意の適切な方法を用いることができる。
【００５３】
一実施例では、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００はサイズ調整されてもよく、従来の顕微鏡（図１４Ａから図１６Ｂ）の従来のステージを用いて作動可能となる。サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００の様々な構成及びサイズを、様々な顕微鏡と嵌合するように提供することもできることが理解されよう。
【００５４】
サンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置をサンプルコンテナが作動の初期段階にある状態で示した、図１４ＡにおけるラインＸＩＶＢ−ＸＩＶＢに沿って取られた、簡単化された画像及び簡単化された断面図、サンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置をサンプルコンテナが作動の中間段階にある状態で示した、図１５ＡにおけるラインＸＶＢ−ＸＶＢに沿って取られた、簡単化された画像及び簡単化された断面図、並びに、サンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置をサンプルコンテナが作動の進行した段階にある状態で示した、図１６ＡにおけるラインＸＶＩＢ−ＸＶＩＢに沿って取られた、簡単化された画像及び簡単化された断面図である、図１４Ａ乃至図１６Ｂを参照する。
【００５５】
図１４Ａ及び図１４Ｂに示されるように、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００は、例えば、ＵＫ、ケンブリッジ、コウレイロード、ケンブリッジビジネスパーク、フィリップスハウスのＦＥＩＵＫ社から市販されているカタログＮｏ．ＸＬ１３０等の、典型的にはＳＥＭ４０２である検査システムの床部４００にねじ込んで取り付けられてもよい。サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００は、任意の適切な方法を用いて、顕微鏡等の検査システム内に配置されてもよい。
【００５６】
サンプルコンテナ４１２のスタブ４１０は、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００の、アパーチャ３５４及び中央ボア３４８に着座され即ち取り付けられている。サンプルコンテナ４１２は、例えば、図１Ａ乃至図１を参照して上述されたサンプルコンテナの要素を備えるサンプルコンテナであってもよい。サンプルコンテナ４１２は、ＰＣＴ出願ＷＯ／２００４／０７５２０９号、ＷＯ０３／１０４４８号及びＷＯ０３／１０４８４６号に記載された実施例で開示されたサンプルコンテナであってもよく、これらの出願の内容全体は参照により本願に組み込まれる。他のサンプルコンテナも、本発明の実施例で使用することもできる。サンプルコンテナ４１２は、例えば、流体含有サンプル４２０等のサンプルを収容するように作動することができ、ＳＥＭ４０２内で検査することもできる。サンプル４２０は、サンプルコンテナ４１２のサンプルエンクロージャ４２２内に配置されてもよい。サンプルエンクロージャ４２２は、図１Ａ乃至図１０のリング１１６に実質的に類似していてもよい。ＳＥＭ４０２により発生された電子ビーム（図示せず）は、サンプルコンテナ４１２の電子ビーム透過性の流体不透過性の膜４２４等の膜を通過し、サンプル４２０上に衝突する。格子４２６は、膜４２４を機械的に支持することができる。膜４２４は、図１Ａ乃至図１０の膜１１０に実質的に類似していてもよく、格子４２６は、図１Ａ乃至図１０の格子１１４に実質的に類似していてもよい。
【００５７】
図１４Ｂに示されるように、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００は、ＳＥＭ４０２により形成された内部ＳＥＭ体積４２８の真空引きの前の状態で示されている。この作動段階では、内部ＳＥＭ体積４２８の圧力は、ＳＥＭ４０２の外部体積の圧力に実質的に類似し、サンプルコンテナ４１２の内部体積部４３０の圧力は、内部ＳＥＭ体積４２８の圧力に実質的に類似していてもよい。この作動段階でサンプル４２０を取り囲む体積である有効サンプルコンテナ体積は、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０と、ハウジング３２２の頂部３２８の内部体積３５０とを含んでいる。
【００５８】
圧力コントローラアッセンブリ３２０のピストン３３４及び案内要素３３６は、ハウジング３２２の円柱部分３２６の上側部分内に着座されていてもよいことが示されている。膜４２４及び格子４２６は、略平坦であるように図１４Ｂには示されている。
【００５９】
ここで図１５Ｂを参照すると、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００が、サンプル４２０の検査のため電子ビーム（図示せず）の発生を可能とするように典型的には１０−２〜１０−６ミリバールの真空で、内部ＳＥＭ体積４２８の真空引きの直後の状態で示されている。この作動段階では、内部ＳＥＭ体積４２８の圧力は、おおよそ真空圧力であり、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０の圧力は、ＳＥＭ４０２の外部の体積の圧力と実質的に類似したままであり得る。
【００６０】
図１５Ｂでは、膜４２４及び格子４２６が、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０における圧力形成に起因して、変位し又は外側に撓んでいることが示されている。
図１６Ｂに示されるように、サンプルコンテナ支持アッセンブリ３００は、内部のＳＥＭ体積４２８の真空引きの後の状態で示されている。この作動段階では、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０内の圧力と内部ＳＥＭ体積４２８内の圧力との差により引き起こされた、膜４２４を横断する圧力差は、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０内で圧力形成を引き起こし得る。内部体積４３０内の圧力形成は、ピストン３３４及び案内要素３３６を、ハウジング３２２の内部壁３３８に沿って下方に進ませる。ピストン３３４及び案内要素３３６の長さ方向の運動は、例えば、ベース３０４の突起部３７０により停止されてもよい。
【００６１】
ピストン３３４及び案内要素３３６の変位は、この作動段階において、サンプルコンテナ４１２の内部体積４３０と、ハウジング３２２の、内部体積３５０と内部体積３７２の一部分とを含むように、有効サンプルコンテナ体積を拡大し得る。有効サンプルコンテナ体積は、例えば、５の因子で拡大することができ、かくして、膜４２４に亘る圧力差を減少させる。有効サンプルコンテナ体積を、任意の適切な度合いにまで拡大することができることが理解されよう。更には、ピストン３３４は、流体がサンプルコンテナ４１２からサンプルコンテナ支持アッセンブリ３００の内部体積３５０へと流出することを可能にし、かくして、膜４２４に亘る圧力差を減少させる。
【００６２】
図１６Ｂでは、膜４２４が、有効サンプルコンテナ体積の拡大に起因して、図１５Ｂよりもかなり小さい程度に変位され又は外側に撓み得ることが示されている。
なお、ＳＥＭ４０２におけるサンプルコンテナ４１２のサンプル４２０の画像形成は、上記した図５及び図１０を参照して説明されたサンプルの画像形成に類似している。
【００６３】
なお、サンプル４２０は、膜４２４の表面張力に起因してサンプルコンテナ４１２の外部へは流れ出ない。
例えば、固体含有サンプル等、様々な種類のサンプルを収容するように構成され、作動する様々な種類のサンプルコンテナを、コンテナ支持アッセンブリ３００に挿入することができることが理解されよう。そのようなサンプルコンテナは、図６Ａ乃至図１０を参照して上述されたサンプルコンテナの要素を備えるサンプルコンテナであってもよい。サンプルコンテナ４１２は、例えば、ＰＣＴ特許出願ＷＯ／２００４／０７５２０９号、ＰＣＴ特許出願ＷＯ０３／１０４８４８号及びＰＣＴ特許出願ＷＯ０３／１０４８４６号に記載された実施例で開示されたサンプルコンテナ等のサンプルコンテナであってもよい。これらの特許文献の全体的な内容は、ここで参照したことにより本願に組み込まれる。他のサンプルコンテナを本発明の実施例で使用することができる。
【００６４】
本発明は、上記のように特定に示され説明されたものによっては制限されないことが当業者により認められよう。本発明の範囲は、上記した様々な特徴、並びに、本明細書を読むとき当業者により想到される、従来技術ではない様々な変更及び変形の組み合わせ並びに下位の組み合わせの両方を含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】図１Ａ及び図１Ｂは、本発明の一実施例に従って、構成され、作用する分解されたサンプルコンテナの、各々反対方向に向いた状態での簡単な分解図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、本発明の一実施例に係る、完全に組み立てられた状態におけるサンプルコンテナの各々反対方向に向いた状態での簡単な分解図である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の実施例に係る、部分的に組み立てられた状態で、図２Ａ及び図２ＢのラインＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ及びＩＩＩＢ−ＩＩＩＢに沿って各々表された、互いに反対方向に向いた簡単な部分断面図である。
【図４】図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃは、本発明の一実施例に係る、３つの作動段階でサンプルコンテナの作動的な配置を示した３つの断面図である。
【図５】図５は、本発明の一実施例に係るサンプルコンテナを使用したサンプルの顕微鏡検査の簡単な描画図及び断面図である。
【図６】図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の一実施例に従って構成され、作動する、分解されたサンプルコンテナの、互いに反対方向に向いた状態の簡単な分解図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の一実施例に係る、サンプルコンテナの、互いに反対方向に向いた状態の簡単な分解図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、本発明の実施例に係る、部分的に組み立てられた状態で、図７Ａ及び図７ＢのラインＩＩＩＡ−ＩＩＩＡ及びＩＩＩＢ−ＩＩＩＢに沿って各々表された、互いに反対方向に向いた簡単な部分断面図である。
【図９】図９Ａ、図９Ｂ及び図９Ｃは、本発明の一実施例に係る、３つの作動段階でサンプルコンテナの作動的な配置を示した３つの断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施例に係る、サンプルコンテナを使用するサンプルの顕微鏡検査の簡単な描画図及び断面図である。
【図１１】図１１Ａ及び図１１Ｂは、本発明の一実施例に従って構成され、作動する、分解されたサンプルコンテナ支持アッセンブリの、各々簡単な頂面図及び底面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施例に係る、図１１ＡのラインＸＩＩ−ＸＩＩに沿って表されたサンプルコンテナ支持アッセンブリの簡単な断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施例に係る、サンプルコンテナ支持アッセンブリの簡単な分解図である。
【図１４】図１４Ａ及び図１４Ｂは、本発明の実施例に従って構成され、作動する、初期の作動段階におけるサンプルコンテナを備えたサンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置を示した、図１４ＡのラインＸＩＶＢ−ＸＩＶＢに沿って表された、簡単な描画図及び簡単な断面図である。
【図１５】図１５Ａ及び図１５Ｂは、本発明の実施例に従って構成され、作動する、中間の作動段階におけるサンプルコンテナを備えたサンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置を示した、図１５ＡのラインＸＶＢ−ＸＶＢに沿って表された、簡単な描画図及び簡単な断面図である。
【図１６】図１６Ａ及び図１６Ｂは、本発明の実施例に従って構成され、作動する、作動が進んだ段階におけるサンプルコンテナを備えたサンプルコンテナ支持アッセンブリの作動的配置を示した、図１６ＡのラインＸＶＩＢ−ＸＶＩＢに沿って表された、簡単な描画図及び簡単な断面図である。
【図１Ａ】
2008510988.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
2008510988.tif 000009
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
2008510988.tif 000011
【図５】
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【図６Ａ】
2008510988.tif 000013
【図６Ｂ】
2008510988.tif 000014
【図７Ａ】
2008510988.tif 000015
【図７Ｂ】
2008510988.tif 000016
【図８Ａ】
2008510988.tif 000017
【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
2008510988.tif 000019
【図９Ｂ】
2008510988.tif 000020
【図９Ｃ】
2008510988.tif 000021
【図１０】
2008510988.tif 000022
【図１１Ａ】
2008510988.tif 000023
【図１１Ｂ】
2008510988.tif 000024
【図１２】
2008510988.tif 000025
【図１３】
2008510988.tif 000026
【図１４Ａ】
2008510988.tif 000027
【図１４Ｂ】
2008510988.tif 000028
【図１５Ａ】
2008510988.tif 000029
【図１５Ｂ】
2008510988.tif 000030
【図１６Ａ】
2008510988.tif 000031
【図１６Ｂ】
2008510988.tif 000032
【国際調査報告】
2008510988.tif 000033
2008510988.tif 000034