(57)【要約】  漏液検出方法およびシステム。このシステムは、２つの開放端子および２つの接続端子を有する漏液検出用の２本の別々の導線を有するセンサと、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号をセンサに供給するための単一の発生器と、２つの接続端子の負の端子（または正の端子）に電気的に接続されたコントローラと、を備える。２本の導線間で漏液が検出されれば、負の端子（または正の端子）でアナログ信号が発生される。コントローラは、アラームを作動するために、アナログ信号をディジタル信号に変換する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
漏液を検出するために、第２の導線とは別の第１の導線を備え、前記各導線が開放端子および接続端子を有するセンサを使用するステップと、
インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって前記第１および第２の導線の接続端子を介して前記センサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、
前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記２つの接続端子の１つにアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラを使用して、前記アナログ信号をディジタル信号に変換するステップと、
前記ディジタル信号でアラームを作動するステップと、を含む、漏液検出方法。
【請求項２】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備え、前記コントローラが、前記検出信号を前記センサに供給するための信号発生器を制御する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
第２の導線とは別の第１の導線を備え、前記各導線が開放端子および接続端子を有するセンサによって、漏れの有無を検出するステップと、
インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって前記第１および第２の導線の接続端子を介して前記センサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、
前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記２つの接続端子の１つにアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラを使用して、前記アナログ信号をディジタル信号に変換するステップと、
前記ディジタル信号を用いてアラームを作動するステップと、を実行するために、コンピュータによって実行されるプログラムを格納するためのコンピュータ読み取り可能記録媒体。
【請求項５】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備え、前記コントローラが、前記検出信号を前記センサに供給するための信号発生器を制御する、請求項４に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項６】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項４に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項７】
第２の導線とは別の第１の導線を備え、前記第１の導線が、第１の開放端子および第１の接続端子を有し、前記第２の導線が、第２の開放端子および第２の接続端子を有し、前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記第１の導線の前記第１の接続端子にアナログ信号が発生される、センサと、
インピーダンスが１００メガオーム以下の液体を検出するための検出信号を与え、前記第１および第２の導線の前記第１および第２の接続端子に接続された、信号発生器と、
アラームと、
前記信号発生器を制御し、前記アラームを作動するために使用されるディジタル信号に前記アナログ信号を変換し、前記第１の導線の前記第１の接続端子に接続された、コントローラと、を備える、漏液検出システム。
【請求項８】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備える、請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
漏れの有無を検出するために、第２の導線とは別の第１の導線を備え、各導線が端子レジスタに接続された端子および接続端子を有するセンサを使用するステップと、
インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって前記第１および第２の導線の接続端子を介して前記センサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、
前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記２つの接続端子の１つに第１のアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラを使用して、前記第１のアナログ信号を第１のディジタル信号に変換するステップと、
前記第１のディジタル信号で第１のアラームを作動するステップと、を含む、漏液検出方法。
【請求項１１】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備え、前記コントローラが、前記検出信号を前記センサに供給するための信号発生器を制御する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記センサが開回路であれば、前記センサによって前記２つの接続端子の１つに第２のアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラによって、前記第２のアナログ信号を第２のディジタル信号に変換するステップと、
前記第２のディジタル信号で第２のアラームを作動するステップと、をさらに含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
第２の導線とは別の第１の導線を備え、各導線が端子レジスタに接続された端子および接続端子を有するセンサによって、漏れの有無を検出するステップと、
インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって前記第１および第２の導線の接続端子を介して前記センサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、
前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記２つの接続端子の１つに第１のアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラを使用して、前記第１のアナログ信号を第１のディジタル信号に変換するステップと、
前記第１のディジタル信号で第１のアラームを作動するステップと、を実行するために、コンピュータによって実行されるプログラムを格納するためのコンピュータ読み取り可能記録媒体。
【請求項１５】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備え、前記コントローラが、前記検出信号を前記センサに供給するための信号発生器を制御する、請求項１４に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項１６】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項１４に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項１７】
前記センサが開回路であれば、前記センサによって前記２つの接続端子の１つに第２のアナログ信号を発生するステップと、
前記コントローラによって、前記第２のアナログ信号を第２のディジタル信号に変換するステップと、
前記第２のディジタル信号で第２のアラームを作動するステップと、をさらに含む、請求項１４に記載のコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項１８】
第２の導線とは別の第１の導線を備え、前記第１の導線が、端子レジスタに接続された第１の端子および第１の接続端子を有し、前記第２の導線が、端子レジスタに接続された第２の端子および第２の接続端子を有し、前記２本の導線間に漏れが検出されると、前記第１の導線の前記第１の接続端子に第１のアナログ信号が発生される、センサと、
インピーダンスが１００メガオーム以下の液体を検出するための検出信号を与え、前記第１および第２の導線の前記第１および第２の接続端子に接続された、信号発生器と、
第１のアラームと、
前記信号発生器を制御し、前記第１のアナログ信号を、前記第１のアラームを作動するために使用される第１のディジタル信号に変換し、前記第１の導線の前記第１の接続端子に接続された、コントローラと、を備える、漏液検出システム。
【請求項１９】
前記コントローラが、アナログ／ディジタル変換器と、論理回路と、をさらに備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記検出信号が、パルス信号である、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２１】
第２のアラームをさらに備え、前記センサが開回路であれば、前記第１および第２の接続端子の１つに第２のアナログ信号が発生され、前記第２のアナログ信号が、前記コントローラによって第２のディジタル信号に変換され、前記第２のアラームが、前記第２のディジタル信号によって作動される、請求項１８に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インピーダンスが１００メガオームより低い漏液を検出可能な漏液検出方法およびシステムであって、漏液検出の感度および正確性を高めるように、検出されたアナログ信号がディジタル信号に変換されることによって、漏液検出の精度を高め、外部環境の干渉によって生じる誤操作を防ぐ、漏液検出方法およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
製造設備では、通常、洗浄や冷却目的で水および化学薬液が使用される。漏水または漏液が生じれば、設備の異常動作が生じ、従業員に害を及ぼすことになりかねない。この問題を解決するための従来の試みに、例えば、特許文献１と同じ出願人によって出願された漏れ検出器がある。図１に、その構造を示す。同図に示す漏れ検出器は、設備に漏水の問題があるかを検出するために使用される。図１に示すように、漏水検出器は、センサ１０と、コントローラ１４と、アラーム１８と、を含む。コントローラ１４は、トランジスタ１５と、レジスタ１６と、電源１７とからなる。センサ１０は、２本の導線１１および覆い１２を含み、２本の別々の導線１１は、２つの開放端子および２つの接続端子を有する。トランジスタ１５のベースおよびエミッタ、２つの接続端子、レジスタ１６、および電源１７は、電気的に直列接続される。トランジスタ１５のコレクタおよびエミッタ、電源１７、およびアラーム１８は、電気的に直列接続される。覆い１２は、２本の別々の導線１１を覆うために使用され、複数の電極９を形成するために、２本の別々の導線１１のいくつかの部分が露出される。
【０００３】
電極９のいずれか１つで漏水２０が検出されると、センサ１０、レジスタ１６、およびトランジスタ１４のベースおよびエミッタを流れる電流が発生して、トランジスタ１４をオンにする。この時点で、漏水の発生をオペレータに警告するために、アラーム１８が作動される。
【特許文献１】中華民国特許出願第０９２１１６３９９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の漏水検出器は、漏水を検出できるが、高インピーダンスの化学薬液の漏れを検出するために最適化されていないこともある。しかしながら、工業用の化学薬品の中には有害なものもあるため、漏液の正確な検出が重要となる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明により、インピーダンスが１００メガオームより低い漏液を検出可能な漏液検出方法およびシステムが提供される。漏水および短絡およびセンサの開回路を検出する正確性を高めるように、検出されたアナログ信号がディジタル信号に変換されることによって、漏液検出の精度を高め、外部環境の干渉によって生じる誤操作を防ぐ。ＴＦＴ−ＬＣＤ、半導体、およびＰＤＰの製造プロセスにおいて使用される化学薬液を含むこのような液体を確実に検出可能であることが望ましい場合があり、すなわち、イソプロピルアルコール、アセトン、塩酸、エタノール、アンモニア、フォトレジスト、メチルスルフィニルメタン（ＤＳＭＣ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、特殊軟質共重合体（ＳＰＸ）、エッジビード除去剤（ＥＢＲ）、ＬＣ−８４１：液晶用洗浄剤（半水溶性タイプ）、ステレオリソグラフィ（ＳＬＡ）、シュウ酸、超純水（ＵＰＷ）、または水が、危険または有害であり得る。
【０００６】
１つの例示的な実施形態において、本発明の漏液検出方法が、漏れを検出するために、第２の導線とは別の第１の導線を備え、各導線が開放端子および接続端子を有するセンサを使用するステップと、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって第１および第２の導線の接続端子を介してセンサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、２本の導線間に漏れが検出されると、２つの接続端子の１つにアナログ信号を発生するステップと、コントローラを使用して、アナログ信号をディジタル信号に変換するステップと、ディジタル信号でアラームを作動するステップと、を含む。
【０００７】
別の例示的な実施形態において、本発明は、上述したようなステップを実行するために実行されるプログラムを格納するためのコンピュータ読み取り可能記録媒体を含む。
【０００８】
漏液検出システムの別の例示的な実施形態において、このシステムは、第２の導線とは別の第１の導線を備え、第１の導線が、第１の開放端子および第１の接続端子を有し、第２の導線が、第２の開放端子および第２の接続端子を有し、２本の導線間に漏れが検出されると、第１の導線の第１の接続端子にアナログ信号が発生される、センサと、インピーダンスが１００メガオーム以下の液体を検出するための検出信号を与え、第１および第２の導線の第１および第２の接続端子に接続された、信号発生器と、アラームと、信号発生器を制御し、アラームを作動するために使用されるディジタル信号にアナログ信号を変換し、第１の導線の第１の接続端子に接続された、コントローラと、を備える。
【０００９】
本発明の別の例示的な実施形態が、漏れを検出するために、第２の導線とは別の第１の導線を備え、各導線が端子レジスタに接続された端子および接続端子を有するセンサを使用するステップと、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出し、コントローラによって第１および第２の導線の接続端子を介してセンサに供給される検出信号を信号発生器から発生するステップと、２本の導線間に漏れが検出されると、２つの接続端子の１つに第１のアナログ信号を発生するステップと、コントローラを使用して、第１のアナログ信号を第１のディジタル信号に変換するステップと、第１のディジタル信号で第１のアラームを作動するステップと、を含む、漏液検出方法である。この方法は、センサが開回路であれば、センサによって２つの接続端子の１つに第２のアナログ信号を発生するステップと、コントローラによって、第２のアナログ信号を第２のディジタル信号に変換するステップと、第２のディジタル信号で第２のアラームを作動するステップと、をさらに含む。
【００１０】
本発明の別の例示的な実施形態は、上記ステップを実行するために実行されるプログラムを格納するためのコンピュータ読み取り可能記録媒体をさらに含む。
【００１１】
本発明の別の例示的な実施形態によれば、漏液検出システムが、第２の導線とは別の第１の導線を備え、第１の導線が、端子レジスタに接続された第１の端子および第１の接続端子を有し、第２の導線が、端子レジスタに接続された第２の端子および第２の接続端子を有し、２本の導線間に漏れが検出されると、第１の導線の第１の接続端子に第１のアナログ信号が発生される、センサと、インピーダンスが１００メガオーム以下の液体を検出するための検出信号を与え、第１および第２の導線の第１および第２の接続端子に接続された、信号発生器と、第１のアラームと、信号発生器を制御し、第１のアラームを作動するために使用される第１のディジタル信号に第１のアナログ信号を変換し、第１の導線の第１の接続端子に接続された、コントローラと、を備える。このシステムは、第２のアラームをさらに備え、センサが開回路であれば、第１および第２の接続端子の１つに第２のアナログ信号が発生され、第２のアナログ信号は、コントローラによって第２のディジタル信号に変換され、第２のアラームは、第２のディジタル信号によって作動される。
【発明の効果】
【００１２】
液漏れ検出方法およびシステムの効果は、本発明によって検出可能な漏液のインピーダンスが１００メガオームより低い点と、漏液を検出する正確性を高めるように、検出したアナログ信号がディジタル信号に変換されることによって、漏液検出の精度を高め、外部環境の干渉によって生じる誤操作を防ぐ点である。
【００１３】
添付の図面は一定の尺度で描かれているものではなく、説明する目的で意図されたものにすぎない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図３は、本発明の例示的な実施形態による漏液検出システムを示す。このシステムは、センサ３０と、信号発生器３５と、コントローラ３４と、アラーム３８と、を備える。１つの実施形態において、センサ３０の長さは、センサ本体の長さ（最長１００メートル）と、センサ３０に接続されたワイヤと、を含む、最長４５０メートルであり得る。センサ３０は、２本の別々の導線３１と、覆いまたはカバー３２と、を有する。２本の別々の導線３１は、２つの開放端子（３１ａおよび３１ｂとして略図的に示す）と、２つの接続端子（３１ｃおよび３１ｄとして略図的に示す）と、を有する。覆い３２は、２本の別々の導線３１を覆うために使用され、複数の電極２９を形成するために、２本の別々の導線３１のいくつかの部分が露出される。
【００１５】
１つの例示的な実施形態において、信号発生器３５は、２本の別々の導線３１の２つの接続端子に電気的に接続される。信号発生器は、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号（図２に示す、＋５Ｖ／１．７秒および−９Ｖ／０．８秒の電圧／周期を有する非対称のパルス信号など）をセンサ３０に与える。コントローラ３４は、アナログ／ディジタル変換器３６と、論理回路３７と、を備える。アナログ／ディジタル変換器３６の入力端子は、ノイズから信号を遮断するためのケーブルを使用することによって、２つの接続端子の負の端子（または正の端子）に電気的に接続される。アナログ／ディジタル変換器３６の出力端子は、論理回路３７の入力端子に電気的に接続される。アナログ／ディジタル変換器３６は、８ビットディジタル信号８を論理回路３７に出力する。さらに、論理回路３７の出力端子は、アラーム３８に電気的に接続される。
【００１６】
図３に示すように、設備にあるセンサ３０の電極２９で漏液が検出されると、２本の別々の導線３１の負の端子（または正の端子）でアナログ信号が発生される。アナログ信号の電圧は、＋５Ｖ〜−９Ｖの範囲のものである。アナログ信号の電圧は、漏液のインピーダンスに依存する。アナログ／ディジタル変換器３６は、アナログ信号（＋５Ｖ〜−９Ｖ）をディジタル信号（０〜２５５の範囲の値）に変換する。論理回路３７は、ディジタル信号を処理する。次いで、アラーム３８は、ディジタル信号によって作動されることによって、漏液の発生をオペレータに警告する。
【００１７】
図４は、本発明の別の例示的な実施形態による漏液検出システムを示す。図４に示す実施形態は、図３の実施形態に類似しているが、端子レジスタ５３をさらに含む。端子レジスタは、２つの端子（図示せず）を有し、各導線の開放端子に接続される。図３と同様に、図４のシステムは、センサ５０と、信号発生器５５と、コントローラ５４と、第１のアラーム５８と、第２のアラーム６０と、覆い５２と、を備える。覆いは、導線を覆うために使用される。導線が露出される場所に、複数の電極４９が形成される。
【００１８】
信号発生器５５は、５１ｃおよび５１ｄとして略図的に示す、導線の２つの接続端子に電気的に接続される。信号発生器は、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号（図２に示す、＋５Ｖ／１．７秒および−９Ｖ／０．８秒の電圧／周期を有する非対称のパルス信号など）をセンサ５０に与える。コントローラ５４は、アナログ／ディジタル変換器５６と、論理回路５７と、を備える。アナログ／ディジタル変換器５６の入力端子は、ノイズから信号を遮断するためのケーブルを使用することによって、接続端子の負の端子（または正の端子）に電気的に接続される。アナログ／ディジタル変換器５６の出力端子は、論理回路５７の入力端子に電気的に接続される。アナログ／ディジタル変換器５６は、８ビットディジタル信号８を論理回路５７に出力する。さらに、論理回路５７の出力端子は、第１のアラーム５８および第２のアラーム６０に電気的に接続される。
【００１９】
図４に示すように、設備にあるセンサ５０の電極４９で漏液が検出されると、２本の別々の導線５１の負の端子（または正の端子）で第１のアナログ信号が発生される。第１のアナログ信号の電圧は、＋５Ｖ〜−９Ｖの範囲のものである。第１のアナログ信号の電圧は、漏液のインピーダンスに依存する。アナログ／ディジタル変換器５６は、第１のアナログ信号（＋５Ｖ〜−９Ｖ）を第１のディジタル信号（０〜２５５の範囲の値）に変換する。論理回路５７は、第１のディジタル信号を処理し、次いで、第１のアラーム５８は、第１のディジタル信号によって作動されることで、漏液の発生をオペレータに警告する。センサ５０が開回路であれば、２本の別々の導線５１の負の端子（または正の端子）で第２のアナログ信号が発生される。アナログ／ディジタル変換器５６は、第２のアナログ信号（＋５Ｖ〜−９Ｖ）を第２のディジタル信号（０〜２５５の範囲の値）に変換する。論理回路５７は、第２のディジタル信号を処理し、次いで、第２のアラーム６０は、第２のディジタル信号によって作動されることで、センサ５０が開回路であることをオペレータに警告する。
【００２０】
図５は、本発明による１つの例示的な漏液検出方法を示す。最初に、ステップＳ６０において、最長４５０メートルの長さのセンサが準備され、このセンサは、２つの開放端子および２つの接続端子を有する２本の別々の導線を有し、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号（図２に示す、＋５Ｖ／１．７秒および−９Ｖ／０．８秒の電圧／周期を有する非対称のパルス信号など）が、信号発生器によって２つの接続端子を通ってセンサに与えられる。ステップＳ６１の実行時、２本の別々の導線間に漏液が検出されれば、２つの接続端子の負の端子（または正の端子）でアナログ信号が発生され、このアナログ信号の電圧は、＋５Ｖ〜−９Ｖの範囲のものである。次に、ステップＳ６２の実行時、アナログ信号は、コントローラによってディジタル信号に変換される。次いで、ステップＳ６３の実行時、アラームが、ディジタル信号によって作動されることで、漏液の発生をオペレータに警告する。
【００２１】
図６は、本発明による例示的な漏液検出方法を示す。最初に、ステップＳ７０において、２本の別々の導線および端子レジスタを有するセンサと、信号発生器が準備され、２つの別々の導線の２つの端子は、端子レジスタの２つの端子にそれぞれ電気的に接続され、信号発生器は、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号（図２に示す、＋５Ｖ／１．７秒および−９Ｖ／０．８秒の電圧／周期を有する非対称のパルス信号など）を、２本の別々の導線の接続端子を通してセンサに与える。ステップＳ７１の実行時、２本の別々の導線間に漏液が検出されれば、２本の別々の導線の接続端子の負の端子（または正の端子）で第１のアナログ信号が発生され、この第１のアナログ信号の電圧は、＋５Ｖ〜−９Ｖの範囲のものである。次に、ステップＳ７２の実行時、第１のアナログ信号は、コントローラによって第１のディジタル信号に変換される。次いで、ステップＳ７３の実行時、第１のアラームが、第１のディジタル信号によって作動されることで、漏液の発生をオペレータに警告する。
【００２２】
ステップＳ７４において、センサが開回路であれば、センサの負の端子（または正の端子）で第２のアナログ信号が発生され、第２のアナログ信号の電圧は、＋５Ｖ〜−９Ｖの範囲のものである。次に、ステップ７５において、第２のアナログ信号は、コントローラによって第２のディジタル信号に変換される。次いで、ステップＳ７６において、第２のディジタル信号によって第２のアラームが作動されることで、センサが開回路であることをオペレータに警告する。
【００２３】
漏液検出方法およびシステムの効果は、漏液を検出するために、インピーダンスが１００メガオームより低い液体を検出するための検出信号が使用される点と、漏液が検出されると、漏液を検出する感度および正確性を高めるように、アナログ信号が発生され、ディジタル信号（例えば、＋５Ｖ〜−９Ｖが２５６間隔に分割）に変換されることで、漏液検出の精度を高める点である。また、本発明により、外部環境の干渉により生じる誤操作が防止される。
【００２４】
例示として、好ましい実施形態の観点から本発明を記載してきたが、本発明は、開示した実施形態に限定されるものではないことを理解されたい。それとは逆に、当業者に明らかであるように、さまざまな変更例および類似の構成に範囲が及ぶことが意図されている。したがって、添付の特許請求の範囲は、このような変更例および類似の構成をすべて包含するように、最も広い範囲の解釈がなされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】既知の漏水検出器を示す回路ブロック図である。
【図２】本発明において使用可能な１つの可能な非対称パルス信号を示す略図である。
【図３】本発明による１つの例示的な漏液検出システムを示す回路ブロック図である。
【図４】本発明による別の例示的な漏液検出システムを示す回路ブロック図である。
【図５】本発明による１つの例示的な漏液検出方法を示すフローチャートである。
【図６】本発明による別の例示的な漏液検出方法を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２６】
２９…電極
３０…センサ
３１…導線
３１ａ，３１ｂ…開放端子
３１ｃ，３１ｄ…接続端子
３４…コントローラ
３５…信号発生器
３６…アナログ／ディジタル変換器
３７…論理回路
３８…アラーム
【図１】
2008510139.tif 000003
【図２】
2008510139.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008510139.tif 000008
【国際調査報告】
2008510139.tif 000009
2008510139.tif 000010
2008510139.tif 000011