(57)【要約】弁を通る流体流れを変調するために弁内の流れチャンネルの寸法を選択的に変更できる弁が提供される。弁は空洞内へ延びる入口（１０）及び出口（１２）を備えた、空洞（１４）を画定するハウジング（８）を有する。膜（３０）が空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部が流体経路（１５）の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極（２０）が膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極（２２）が、弁を通る流体流れを変調するために膜を静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定される。
2008527263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁であって、
空洞を画定するハウジングと；
空洞に流体連通する入口ポートと；
空洞に流体連通する出口ポートと；
空洞内に位置し、入口ポートと出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路と；
空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路の少なくとも一部を画定する膜と；
少なくとも３つの安定位置間で膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段と；
を有し、各安定位置が流体経路の異なる横断面積を生じさせ、異なる横断面積は、流体が少なくとも２つの安定位置において入口ポートと出口ポートとの間を流れることができるように、寸法決めされることを特徴とする弁。
【請求項２】
空洞が２つの対向する側部により少なくとも部分的に画定されることを特徴とする請求項１の弁。
【請求項３】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が膜に関して固定された１又はそれ以上の電極と、２つの対向する側部の１又はそれ以上に関して固定された１又はそれ以上の電極とを有することを特徴とする請求項２の弁。
【請求項４】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が膜に関して固定された２又はそれ以上の電極と、２つの対向する側部の１又はそれ以上に関して固定された１又はそれ以上の電極とを有することを特徴とする請求項３の弁。
【請求項５】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が膜に関して固定された１又はそれ以上の電極と、２つの対向する側部の少なくとも一方に関して固定された２又はそれ以上の電極とを有することを特徴とする請求項３の弁。
【請求項６】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が膜に関して固定された２又はそれ以上の電極と、２つの対向する側部の各々に関して固定された２又はそれ以上の電極とを有することを特徴とする請求項３の弁。
【請求項７】
２つの対向する側部の少なくとも一方が膜の一層近くへ下方に延びる部分を有することを特徴とする請求項２の弁。
【請求項８】
膜の一層近くへ下方に延びる部分が電極を有することを特徴とする請求項７の弁。
【請求項９】
２つの対向する側部の少なくとも一方の、膜の一層近くへ下方に延びる部分に隣接する膜の一部が電極を有することを特徴とする請求項８の弁。  
【請求項１０】
２つの対向する側部の少なくとも一方の少なくとも一部が交互する隆起部及び溝を有するように波形にされることを特徴とする請求項１の弁。
【請求項１１】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が波形の側（単数又は複数）に関して固定された１又はそれ以上の電極を有することを特徴とする請求項１０の弁。
【請求項１２】
膜の少なくとも一部を静電的に作動させる手段が膜に関して固定された１又はそれ以上の離間した電極を有し、少なくとも選択された離間した電極が波形の側（単数又は複数）の対応する溝に隣接して位置することを特徴とする請求項１１の弁。
【請求項１３】
２つの対向する側部の一方から離れるように膜を偏倚する偏倚素子を更に有することを特徴とする請求項３の弁。
【請求項１４】
偏倚素子がバネであることを特徴とする請求項１３の弁。
【請求項１５】
偏倚素子が２又はそれ以上のバネであることを特徴とする請求項１４の弁。
【請求項１６】
偏倚素子が流体経路を閉じるか又は実質上閉じる位置へ膜を偏倚することを特徴とする請求項１３の弁。
【請求項１７】
少なくとも３つの安定位置の１つが完全に閉じられた位置であることを特徴とする請求項１の弁。
【請求項１８】
少なくとも３つの安定位置の１つが完全に開いた位置であることを特徴とする請求項１７の弁。
【請求項１９】
少なくとも３つの安定位置の１つが部分的に開いた位置であることを特徴とする請求項１８の弁。
【請求項２０】
少なくとも３つの安定位置の１つが第１の部分的に開いた位置であり、少なくとも３つの安定位置の別の位置が第２の異なる部分的に開いた位置であることを特徴とする請求項１の弁。
【請求項２１】
弁であって、
空洞を画定するハウジングと；
空洞に流体連通する入口ポートと；
空洞に流体連通する出口ポートと；
空洞内に位置し、入口ポートと出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路と；
空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路の少なくとも一部を画定する膜と；
膜に関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極と；
ハウジングに関して固定された少なくとも１つのハウジング電極と；
を有し、
少なくとも２つの膜電極及び少なくとも１つのハウジング電極は、膜電極の一方と少なくとも１つのハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたときには、膜の少なくとも一部が流体経路の第１の横断面積を提供するように作動され、かつ、膜電極の他方と少なくとも１つのハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたときには、膜の少なくとも一部が流体経路の第２の横断面積を提供するように作動されるように、形状づけられることを特徴とする弁。
【請求項２２】
少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極が膜の少なくとも一部に沿った離間方向において並置して離間することを特徴とする請求項２１の弁。
【請求項２３】
流れ経路が離間方向に対して垂直又は実質上垂直に延びることを特徴とする請求項２２の弁。
【請求項２４】
少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極の各々が離間方向に沿った電極幅を有し、電極の少なくとも２つが異なる電極幅を有することを特徴とする請求項２２の弁。
【請求項２５】
一連の少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極が２Ｎの電極幅を有し、ここに、Ｎは一連の電極における特定の電極の連番を表すことを特徴とする請求項２４の弁。
【請求項２６】
少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極の各々が離間方向に沿った電極幅を有し、少なくとも２つの電極が同じ又は実質上同じ電極幅を有することを特徴とする請求項２２の弁。
【請求項２７】
少なくとも１つのハウジング電極から離れるように膜を偏倚するための偏倚素子を更に有することを特徴とする請求項２１の弁。
【請求項２８】
偏倚手段がバネであることを特徴とする請求項２７の弁。
【請求項２９】
偏倚手段が２又はそれ以上のバネであることを特徴とする請求項２８の弁。
【請求項３０】
偏倚手段が少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極の各々のためのバネであることを特徴とする請求項２８の弁。
【請求項３１】
弁であって、
２つの対向する側部により少なくとも部分的に画定される空洞を画定するハウジングと；
空洞に流体連通する入口ポートと；
空洞に流体連通する出口ポートと；
空洞内に位置し、入口ポートと出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路と；
空洞の２つの対向する側部間で空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路の少なくとも一部を画定する膜と；
空洞を画定する２つの対向する側部の一方に関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極と；
膜に関して固定された少なくとも１つの膜電極と；
を有し、
少なくとも１つの膜電極及び少なくとも２つのハウジング電極は、ハウジング電極の一方と少なくとも１つの膜電極との間に十分な電圧が適用されたときには、膜の少なくとも一部が流体経路の第１の横断面積を提供するように作動され、かつ、ハウジング電極の他方と少なくとも１つの膜電極との間に十分な電圧が適用されたときには、膜の少なくとも一部が流体経路の第２の横断面積を提供するように作動されるように、形状づけられることを特徴とする弁。
【請求項３２】
少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極がハウジングの少なくとも一部に沿った離間方向において並置して離間することを特徴とする請求項３１の弁。
【請求項３３】
流れ経路が離間方向に対して垂直又は実質上垂直に延びることを特徴とする請求項３２の弁。
【請求項３４】
少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極の各々が離間方向に沿った電極幅を有し、少なくとも２つの電極が異なる電極幅を有することを特徴とする請求項３２の弁。
【請求項３５】
一連の少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極が２Ｎの電極幅を有し、ここに、Ｎは一連の電極における特定の電極の連番を表すことを特徴とする請求項３４の弁。
【請求項３６】
少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極の各々が離間方向に沿った電極幅を有し、少なくとも２つの電極が同じ又は実質上同じ電極幅を有することを特徴とする請求項３２の弁。
【請求項３７】
少なくとも２つのハウジング電極から離れるように膜を偏倚するための偏倚素子を更に有することを特徴とする請求項３１の弁。
【請求項３８】
偏倚手段がバネであることを特徴とする請求項３７の弁。
【請求項３９】
偏倚手段が２又はそれ以上のバネであることを特徴とする請求項３８の弁。
【請求項４０】
偏倚手段が少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極の各々のためのバネであることを特徴とする請求項３８の弁。
【請求項４１】
弁であって、
２つの対向する側部により少なくとも部分的に画定される空洞を画定するハウジングと；
空洞に流体連通する入口ポートと；
空洞に流体連通する出口ポートと；
空洞内に位置し、入口ポートと出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路と；
空洞の２つの対向する側部間で空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路の少なくとも一部を画定する膜と；
２つの対向する側部の一方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極及び２つの対向する側部の他方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極と；
膜に関して固定された少なくとも２つの膜電極と；
を有し、
少なくとも２つの膜電極の少なくとも選択された膜電極の各々が２つの対向する側部の一方上の電極及び２つの対向する側部の他方上の電極に対応することを特徴とする弁。
【請求項４２】
膜が空洞内に位置し、空洞の２つの対向する側部の双方から離間することを特徴とする請求項４１の弁。
【請求項４３】
流体経路を通る流体の流れを変調させる方法であって、
３又はそれ以上の別個の横断面積値から流体経路のための横断面積を選択する工程と；
流体経路のための横断面積を３又はそれ以上の別個の横断面積値の選択された値に変更する工程と；
を有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に変調弁（modulating valves）に関し、特に、流れチャンネルの寸法を選択的に変調できるマイクロ流体的な（microfluidic）変調弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの近代の産業的、商業的、航空宇宙的、軍用的及び医療的な装置は流体を取り扱うために信頼性のある弁に依存する。流体取り扱い装置における傾向は器具及び制御における使用を増大させるために一層小型で、一層流通し易く、一層携帯的な装置の方に向かっている。例えば、マイクロ流体的な装置は分析試験のような応用において普及している。多くの場合、マイクロ流体的な装置は、各層が流体を流通させる微細な空隙又はチャンネル（channels）を形成するように積層材料で作られたチャンネル及び構造体を有するような多層構造体時には積層構造体として構成される。これらのチャンネルを通しての流体の制御及びポンピングはしばしば積層体内に押し込まれる外部の加圧流体により又はマイクロ流体的な装置内に位置する構造体により影響を受ける。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このようなマイクロ流体的な装置内で流体を制御する際に使用する多くの異なる形式の弁が開発されてきた。しかし、このような弁の多くは非オフ式の弁であり、流体の流れの変調を許容しない。それ故、望ましいものは、流体の流れを選択的に変調（modulate）できるように流れチャンネルの寸法を選択的に変調できるマイクロ流体的な変調弁である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の次の概要は本発明にとってユニークな革新的な特徴の理解を容易にするために提供され、これが全説明であることを意図するものではない。本発明の完全な認識は全体の明細書、特許請求の範囲、図面及び要約書を全体として参照することにより得ることができる。
【０００５】
本発明は一般に変調弁に関し、特に、弁を通る流体の流れを変調するために流れチャンネルの寸法を選択的に変更することのできる静電的に作動されるマイクロ流体的な変調弁に関する。１つの例示的な実施の形態においては、空洞を画定するハウジングを有し、空洞内へ延びる入口及び出口を備えた弁が提供される。膜は空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部は流体経路の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極は膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極は、膜が少なくとも３つの安定位置間で静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定され、この場合、各安定位置は流体経路の異なる横断面積を生じさせる。ある実施の形態においては、種々の安定位置は、少なくとも２つの安定位置において流体が入口ポートと出口ポートとの間を流れることができるように、横断面積を提供する。
【０００６】
ある例示的な実施の形態においては、弁は膜に関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極（diaphragm electrodes）と、ハウジングに関して固定された少なくとも１つのハウジング電極（housing electrode）とを有する。膜電極の一方と１又はそれ以上のハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部は流体経路に対して第１の横断面積（cross-sectional area）を提供するように作動される。膜電極の他方（又は膜電極の異なる組み合わせ）と１又はそれ以上のハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部は流体経路の第２の横断面積を提供するように作動され、この場合は、第１の横断面積は第２の横断面積とは異なる。
【０００７】
代わりに、又はこれに加えて、弁はハウジングに関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極と、膜に関して固定された少なくとも１つの膜電極を有することができる。ハウジング電極の一方と１又はそれ以上の膜電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部は流体経路の第１の横断面積を提供するように作動される。ハウジング電極の他方（又はハウジング電極の異なる組み合わせ）と１又はそれ以上の膜電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部は流体経路の第２の横断面積を提供するように作動される。ある実施の形態においては、ハウジング電極の少なくとも２つは膜の同じ側でハウジングに関して固定される。
【０００８】
ある実施の形態においては、弁は膜を含む空洞の２つの対向する側部の一方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極と、空洞の２つの対向する側部の他方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極とを有することができる。更に、膜は膜に関して固定された少なくとも２つの膜電極を有することができ、この場合、少なくとも選択された膜電極は２つの対応するハウジング電極に隣接してこれらとほぼ整合し；一方は空洞の第１の側にあり、他方は空洞の第２の側にある。１又はそれ以上の膜電極と１又はそれ以上の対応するハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部はハウジング電極の方へ引っ張られる。膜電極の別の１つと他方の対応するハウジング電極との間に十分な電圧が適用されたとき、膜の少なくとも一部は他方のハウジング電極の方へ引っ張られる。これは、流体経路の横断面積が活発に制御されるのを許容する。多数の膜電極／ハウジング電極がこのように制御されたとき、膜の形状従って流体経路の横断面積は比較的広範囲にわたって変調することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下の説明は図面を参照しながら読むべきであり、図面においては、いくつかの図を通して、同様の符号は同様の素子を示す。詳細な説明及び図面は本発明の例示的な意味としてのいくつかの実施の形態を示す。本発明は一般に変調弁に関し、特に、弁を通る流体流れの変調を補助するために流れチャンネルの寸法を選択的に変化させることのできる静電的に作動されるマイクロ流体的な変調弁に関する。ここで使用されるような「流体（fluid）」という用語は、所望に応じて、液体及び（又は）気体を含む。
【００１０】
第１の例示的な実施の形態を図１、図２、図３に示す。図１は本発明に係る例示的な常開弁の概略頂面図である。図２は図１の２−２線における前面図であり、図３は図１の３−３線における側面図である。図１−３に示す例示的な実施の形態は、空洞１４内へ延びる入口１０及び出口１２を備えた、空洞１４を画定するハウジング８を含む。流体経路１５のような流体経路は空洞１４を通して入口１０と出口１２との間で選択的に設けられる。膜３０は空洞１４内に位置し、この場合、膜３０の少なくとも一部は流体経路１５の少なくとも一部を画定する。図示の実施の形態においては、膜３０は空洞１４の２つの対向する側部１１、１３間に位置する。多数の膜電極２０は図示のように膜３０に関して固定される。膜電極２０は膜３０の少なくとも一部に沿って離間方向１７において並置して離間する。図示の実施の形態においては、流れ経路１５は、離間方向（spacing direction）１７に対して垂直に（例えば、図２の紙面に）又は実質上垂直に延びる。
【００１１】
特に図２の例示的な実施の形態を参照すると、ハウジング電極２２はハウジング８の反対側の側部１１に関して固定される。図２には単一のハウジング電極２２を示すが、必要なら、２以上のハウジング電極２２を設けることができることが考えられる。ハウジング電極２２と１又はそれ以上の選択された膜電極２０との間に電圧が適用されたとき、選択された膜電極２０に対応する膜の部分はハウジング電極の方へ静電的に引っ張られ、それによって、空洞１４を通る流れ経路１５の部分を締め付ける。すなわち、膜３０の部分を反対側１１の方へ静電的に引っ張ることにより、流れ経路１５の横断面積を減少させることができ、これにより、弁の入口１０から出口１２への流体の流れを変調させることができる。図示の実施の形態においては、膜３０は弾性復元力によりその不作動位置へ戻ることができる。
【００１２】
図示の実施の形態においては、９個の膜電極２０を示す。しかし、所望に応じて、任意の適当な数の膜電極２０を使用することができることが考えられる。いずれの膜電極２０もが静電的に作動されず、反対側１１の方へ引っ張られない場合は、弁の入口１０と出口１２との間で最大流体流れの横断面積を達成することができる。膜電極２０の１つが反対側１１の方へ静電的に引っ張られると、弁の入口１０と出口１２との間で減少した流体流れ横断面を達成することができる。２つの膜電極２０が反対側１１の方へ静電的に引っ張られた場合、弁の入口１０と出口１２との間で流体流れ横断面積の更なる減少さえ達成することができる、等々。分かるように、提供され作動させる膜電極２０の数に応じて、弁を通る変調される流体流れの所望の度合いを達成することできる。ある例示的な実施の形態においては、少なくとも３つの安定位置が設けられ、この場合、流体は安定位置の少なくとも２つにおいて入口１０から出口１２へ流れることができる。
【００１３】
任意の適当な方法で、膜電極２０は膜３０に固定することができ、ハウジング電極（単数又は複数）２２はハウジング８に固定することができる。例えば、膜電極２０は、蒸発蒸着又はスパッタ蒸着、ある区域で導電性となるような膜３０のドーピング、膜上での導電性材料のスクリーン印刷、膜３０への電極パターンの接着又は任意の他の適当な方法により、膜上に付着させることができる。１又はそれ以上のハウジング電極２２は所望に応じて異なった方法又は同様の方法で提供することができる。ある場合、所望なら、膜又はハウジングの一部又は全部は導電性材料から作ることができ、二重の機能（例えば、ハウジングとして及び電極として）遂行することができる。
【００１４】
ある場合、膜電極２０及び（又は）ハウジング電極（単数又は複数）２２上に誘電層を設けることができる。膜が作動中ハウジング電極の方へ引っ張られるときに、この層は膜電極と１又はそれ以上のハウジング電極との間の電気的短絡を阻止する補助を行うことができる。誘電層はまた膜電極及び１又はそれ以上のハウジング電極を環境から保護する補助を行うことができ、更に貼り付きを阻止する補助を行うことができる。弁の閉鎖を開始するのに必要となることのある電圧の減少を補助するために、図４を参照すると、区域４０のような１又はそれ以上の区域において反対側の壁１１を膜の方へ湾曲させることができることが考えられる。
【００１５】
一定の電圧で発生する静電力が電極間の距離に反比例するので、このような構成は、少なくとも区域４０において、膜３０を反対側の壁１１の方へ最初に引っ張るのに必要な電圧を減少させる補助を行うことができる。図４に示す弁の作動中、コントローラは膜電極２０ａとハウジング電極２３との間に電圧を最初に提供することができる。これは、膜の端部を反対側の壁１１の方へ引っ張ることができる。これはまた、隣接する膜電極をハウジング電極２３の一層近くへ移動させることができ、このことはまた、所望の場合、隣接する膜電極をハウジング電極２３の方へ引っ張るのに必要な電圧を減少させることができる。分かるように、これは、各連続する膜電極が順番に作動されるときに、膜３０の「転がり」作用を生じさせることができる。
【００１６】
別の例示的な実施の形態を図５、図６、図７に示す。図５は、二進パターン化された電極（binary patterned electrodes）を備えた例示的な常開弁の概略頂面図である。図６は図５の６−６線における前面図であり、図７は図５の７−７線における側面図である。先の例示的な実施の形態と同様、図５−８に示す例示的な実施の形態は、空洞１１４内へ延びる入口１１０及び出口１１２を備えた、空洞１１４を画定するハウジング１０８を含む。流体経路１１５のような流体経路は空洞１１４を通して入口１１０と出口１１２との間で選択的に設けられる。膜１３０は空洞１１４内に位置し、この場合、膜１３０の少なくとも一部は流体経路１１５の少なくとも一部を画定する。図示の実施の形態においては、膜１３０は空洞１１４の２つの対向する側部１１１、１１３間に位置する。多数の膜電極１２４は図示のように膜１３０に関して固定される。膜電極１２４は膜１３０の少なくとも一部に沿って離間方向１１７において並置して離間する。図示の実施の形態においては、流れ経路１１５は離間方向１１７に対して垂直（例えば、図６の紙面へ）又は実質上垂直に延びる。
【００１７】
膜電極１２４は各々離間方向１１７に沿った電極幅を有する。図示の実施の形態においては、膜電極１２４は２Ｎの幅を有し、ここに、Ｎは特定の一連の膜電極における左から右への電極位置を表す。異なる幅（例えば２Ｎ）の膜電極１２４を有する利点は、達成できる流れ面積の結果として得られる範囲の増大である。図示の実施の形態に示すように、５つの膜電極１２４が存在する。膜電極の異なる組合せを作動させることにより、５つの膜電極は異なる流体流れ面積の３２個の組合せを提供できる。しかし、所望なら、任意の適当な幅の膜電極１２４を使用することができ、または、任意の適当な数の膜電極１２４を使用することができることが考えられる。
【００１８】
上述と同様、１又はそれ以上のハウジング電極１２２はハウジング１０８の反対側１１１に関して固定することができる。ハウジング電極１２２と選択された膜電極１２４との間に電圧が適用されたとき、選択された膜電極１２４に対応する膜１３０の部分はハウジング電極１２２の方へ静電的に引っ張られることができ、空洞１１４を通る流れ経路１１５の部分を締め付ける。弁の閉鎖を開始するのに必要となることのある電圧の減少を補助するために、図８を参照すると、上述のように、区域１４０のような１又はそれ以上の区域において反対側の壁１１を膜１３０の方へ湾曲させることができることが考えられる。一定の電圧で発生する静電力が電極間の距離に反比例するので、このような構成は、少なくとも区域１４０において、膜１３０を反対側の壁１１１の方へ最初に引っ張るのに必要な電圧を減少させる補助を行うことができる。
【００１９】
第３の例示的な実施の形態を図９、図１０、図１１に示す。図９は本発明に係る例示的な常閉弁の概略頂面図である。図１０は図９の１０−１０線における前面図であり、図１１は図９の１１−１１線における側面図である。図９−１１に示す例示的な実施の形態は、空洞２１４内へ延びる入口２１０及び出口２１２を備えた、空洞２１４を画定するハウジング２０８を含む。流体経路２１５のような流体経路は空洞２１４を通して入口２１０と出口２１２との間で選択的に設けられる。膜２３０は空洞２１４内に位置し、この場合、膜２３０の少なくとも一部は流体経路２１５の少なくとも一部を画定する。
【００２０】
図示の実施の形態においては、膜２３０は空洞２１４の２つの対向する側部２１１、２１３間に位置する。多数の膜電極２２０は図示のように膜２３０に関して固定される。膜電極２２０は膜２３０の少なくとも一部に沿って離間方向２１７において並置して離間する。図示の実施の形態においては、流れ経路２１５は離間方向２１７に対して垂直（例えば、図１０の紙面へ）又は実質上垂直に延びる。
【００２１】
特に図１０を参照すると、ハウジング電極２２２はハウジング２０８の反対側２１３に関して固定することができる。単一のハウジング電極２２２を図１０に示すが、所望ならば、２以上のハウジング電極２２２を設けることができることが考えられる。図示の実施の形態においては、図示のように、少なくとも１つの偏倚素子２３５が各膜電極２２０とハウジング電極２２２との間に設けられる。１つの場合、各偏倚素子２３５はバネとすることができる。しかし、常閉弁形状においては、偏倚素子は空洞の反対側２１１の方へ膜２３０を偏倚できる任意の適当な偏倚手段とすることができる。ある場合は、偏倚手段は単にそれ自体膜２３０の弾性特性とすることができる。すなわち、膜２３０は空洞の反対側２１１に直接隣接して（可能なら引き伸ばした状態で）装着することができる。次いで、電極が作動されないときは、膜２３０は弾性復元力によりこの位置へ戻ることができる。
【００２２】
図１０に示すように、各々偏倚素子２３５を備えた９個の膜電極２２０が存在する。しかし、任意の数の膜電極２２０を設けることができることが考えられる。また、所望ならば、膜電極２２０とハウジング電極２２２との間に任意の数の偏倚素子２３５を設けることができることが考えられる。偏倚素子２３５は多数の膜電極２２０とハウジング電極２２２との間に力を作用させる。偏倚力はハウジング壁２１１の方へ膜２３０を押し、空洞２１４を通る流れ経路２１５を締め付けるのを補助する。ハウジング電極２２２と１又はそれ以上の膜電極２２０との間に電圧が適用されたとき、ハウジング電極２２２と作動された膜電極２２０との間に力が発生し、この力は対応する偏倚素子２３５により提供される偏倚力に打ち勝つ。
【００２３】
従って、選択された膜電極２２０に対応する膜の部分はハウジング電極２２２の方へ静電的に引っ張られることができ、それにより、空洞２１４を通る流れ経路２１５の部分を開く。すなわち、膜２３０の部分を反対側２１３の方へ静電的に引っ張ることにより、流れ経路２１５の横断面積を増大させることができ、これは、弁の入口２１０から出口２１２への流体流れを変調することができる。
【００２４】
いずれの膜電極２２０も反対側２１３の方へ静電的に引っ張られない場合は、弁の入口２１０と出口２１２との間で、最小の流体流れ（ある場合は、流体流れが無い状態）を達成することができる。対応する偏倚素子に打ち勝って膜電極２２０の１つが反対側２１３の方へ静電的に引っ張られた場合は、弁の入口２１０と出口２１２との間で、増大した流体流れを達成できる。膜電極２２０の２つが反対側２１３の方へ静電的に引っ張られた場合は、弁の入口２１０と出口２１２との間で、流体流れの更なる増大さえ達成することができる、等々。分かるように、設けられ作動される膜電極２２０の数に応じて、弁を通る変調された流体流れにおける所望の度合いを達成することができる。ある実施の形態においては、少なくとも３つの安定した膜位置が設けられ、この場合、流体は少なくとも２つの安定位置において入口２１０から出口２１２へ流れることができる。膜２３０の１つの安定位置は完全に閉じた位置とすることができ、１つは完全に開いた位置とすることができ、更に別の位置は部分的に開いた位置とすることができる。
【００２５】
弁の閉鎖を開始するのに必要となることのある電圧の減少を補助するために、図１２を参照すると、区域２４０のような１又はそれ以上の区域において反対側の壁２１３を膜２３０の方へ湾曲させることができることが考えられる。一定の電圧で発生する静電力が電極間の距離に反比例するので、このような構成は、少なくとも区域２４０において、膜２３０を反対側の壁２１３の方へ最初に引っ張るのに必要な電圧を減少させる補助を行うことができる。
【００２６】
図１２に示す弁の作動中、コントローラは膜電極２２０ａとハウジング電極２２３との間に電圧を最初に提供することができる。これは、対応する偏倚素子２３５に打ち勝って膜２３０の端部を反対側の壁２１３の方へ引っ張ることができる。これはまた、隣接する膜電極２２０をハウジング電極２２３の一層近くへ移動させることができ、これにより、所望なら、隣接する膜電極２２０をハウジング電極２２３の方へ引っ張るのに必要な電圧を減少させることができる。分かるように、これは、各連続する膜電極２２０が順番に作動されるときに、膜２３０の「転がり」作用を生じさせることができる。
【００２７】
第４の例示的な実施の形態を図１３、図１４、図１５に示す。図１３は二進パターン化された電極を備えた例示的な常閉弁の概略頂面図であり、図１４は図１３の１４−１４線における前面図であり、図１５は図１３の１５−１５線における側面図である。先の実施の形態と同様、図１３−１５に示す例示的な実施の形態は、空洞３１４内へ延びる入口３１０及び出口３１２を備えた、空洞３１４を画定するハウジング３０８を含む。流体経路３１５のような流体経路は空洞３１４を通して入口３１０と出口３１２との間で選択的に設けられる。膜３３０は空洞３１４内に位置し、この場合、膜３３０の少なくとも一部は流体経路３１５の少なくとも一部を画定する。図示の実施の形態では、膜３３０は空洞３１４の２つの対向する側部３１１、３１３間に位置する。多数の膜電極３２０は図示のように膜３３０に関して固定される。膜電極３２０は膜３３０の少なくとも一部に沿って離間方向３１７において並置して離間する。偏倚素子２２５は図示のように膜３３０とハウジング３０８との間で固定される。図示の実施の形態においては、流れ経路３１５は離間方向３１７に対して垂直（例えば、図１４の紙面へ）又は実質上垂直に延びる。
【００２８】
膜電極３２４は各々離間方向３１７に沿った電極幅を有する。図示の実施の形態においては、膜電極３２４は２Ｎの幅を有し、ここに、Ｎは特定の一連の膜電極における左から右への電極位置を表す。異なる幅（例えば２Ｎ）の膜電極３２４を有する利点は、達成できる流れ面積の結果として得られる範囲の増大である。図示の実施の形態に示すように、５つの膜電極３２４が存在する。膜電極３２４の異なる組合せを作動させることにより、５つの膜電極は異なる流体流れ面積の３２個の組合せを提供できる。しかし、所望なら、任意の適当な幅の膜電極３２４を使用することができ、または、任意の適当な数の膜電極３２４を使用することができることが考えられる。
【００２９】
特に図１４を参照すると、ハウジング電極３２２はハウジング３０８の反対側３１３に関して固定することができる。単一のハウジング電極３２２を図１４に示すが、所望ならば、２以上のハウジング電極３２２を設けることができることが考えられる。少なくとも１つの偏倚素子３３５が各膜電極３２０とハウジング電極３２２との間に設けられる。１つの場合、偏倚素子３３５はバネとすることができるが、所望なら、偏倚素子は任意の適当な偏倚手段とすることができる。図１４に示すように、各々１又はそれ以上の偏倚素子を備えた９個の膜電極３２０が存在する。しかし、任意の数の膜電極３２０を設けることができることが考えられる。また、所望ならば、膜電極３２０のために２以上の偏倚素子３３５を設けることができることが考えられる。
【００３０】
偏倚素子３３５は、対応する膜電極３２０とハウジング３０８との間に力を作用させる。偏倚力はハウジング壁３１１の方へ膜３３０を押し、空洞３１４を通る流れ経路３１５を締め付ける。ハウジング電極３２２と１又はそれ以上の選択された膜電極３２０との間に電圧が適用されたとき、ハウジング電極３２２と選択された膜電極３２０との間に力が発生し、偏倚力に打ち勝つ。選択された膜電極３２０に対応する膜の部分はハウジング電極３２２の方へ静電的に引っ張られ、それにより、空洞３１４を通る流れ経路３１５の部分を開く。すなわち、膜３３０の部分を反対側３１３の方へ静電的に引っ張ることにより、流れ経路３１５の横断面積を増大させることができ、これは、弁の入口３１０から出口３１２への流体流れを変調することができる。
【００３１】
いずれの膜電極３２０も反対側３１３の方へ静電的に引っ張られない場合は、弁の入口３１０と出口３１２との間で、最小の流体流れ（ある場合は、流体流れが無い状態）を達成することができる。偏倚素子に打ち勝って膜電極３２０の１つが反対側３１３の方へ静電的に引っ張られた場合は、弁の入口３１０と出口３１２との間で、増大した流体流れを達成できる。膜電極３２０の２つが反対側３１３の方へ静電的に引っ張られた場合は、弁の入口３１０と出口３１２との間で、流体流れの更なる増大さえ達成することができる、等々。分かるように、設けられ作動される膜電極３２０の数及び形式に応じて、弁を通る変調された流体流れにおける所望の度合いを達成することができる。ある実施の形態においては、少なくとも３つの安定した膜位置が設けられ、この場合、流体は少なくとも２つの安定位置において入口３１０から出口３１２へ流れることができる。
【００３２】
弁の閉鎖を開始するのに必要となることのある電圧の減少を補助するために、図１６を参照すると、区域３４０のような１又はそれ以上の区域において反対側の壁３１３を膜３３０の方へ湾曲させることができることが考えられる。一定の電圧で発生する静電力が電極間の距離に反比例するので、このような構成は、少なくとも区域３４０において、膜３３０を反対側の壁３１３の方へ最初に引っ張るのに必要な電圧を減少させる補助を行うことができる。
【００３３】
別の例示的な実施の形態を図１７に示す。図１７は流体流れ谷部を含む常開弁の概略断面図である。例示的な実施の形態は空洞４１４内へ延びる入口４１２及び出口４１２を備えたハウジング４０８を含む。膜４３０は空洞４１４内に位置し、この場合、膜４３０の少なくとも一部は流体経路の少なくとも一部を画定する。ハウジング壁４２９は交互する隆起部４３１及び溝４３２を備えた波形表面を有する。多数の膜電極４２０は図示のように膜４３０に関して固定される。膜電極４２０はハウジング壁４２９の波形表面に関して離間する。隆起部４３１及び溝４３２の幅は所望により任意の幅とすることができ、対応する１又はそれ以上の膜電極４２０は同様の幅を有することができることが考えられる。ハウジング電極（図示せず）はハウジング壁４２９の波形表面に固定することができる。膜電極４２０及び波形表面は流体「流れ谷部」を形成する。
【００３４】
ハウジング電極（図示せず）と１又はそれ以上の選択された膜電極４２０との間に電圧が適用されたとき、選択された膜電極４２０に対応する膜４３０の部分はハウジング電極の方へ静電的に引っ張られることができ、それによって、流れを変調するように空洞４１４を通る流れ谷部の少なくとも一部を締め付ける。各膜電極４２０に対して個々の流体流れ谷部を有する利点は、膜４３０がハウジング壁４２９の方へ引っ張られたときに、波形が空洞４１４の良好なシールを提供できることである。従って、弁の漏洩を減少させることができる。この実施の形態は弁の性能を改善するために任意の先の実施の形態に組み込むことができる。
【００３５】
別の例示的な実施の形態を図１８、図１９に示す。図１８は例示的な弁座の概略側面図である。図１９は図１８の実施の形態の前面図である。図１８、図１９に示す例示的な実施の形態は入口６１０及び出口６１２を備えた、空洞６１４を画定するハウジング６０８を含む。膜６４０は空洞６１４内に位置し、この場合、膜６３０の少なくとも一部は流体経路の一部を画定する。多数の膜電極６２０は膜６３０に関して固定される。膜電極は膜６３０の少なくとも一部に沿った離間方向６１７において並置して離間する。図示の実施の形態においては、偏倚素子は膜６３０とハウジング４０８との間で固定される。所望なら、偏倚素子６３５はバネ又は任意の他の適当な偏倚手段とすることができる。図示の実施の形態においては、出口６１２は空洞内へ延びる。少なくとも１つの膜電極６２５は「弁座」電極である。１又はそれ以上の弁座電極６２５が出口６１２上に位置する。１又はそれ以上の弁座電極６２５はシールを形成するために出口６１２上で膜６３０を押すように偏倚される。
【００３６】
図示の実施の形態における弁の作動においては、１又はそれ以上の弁座電極６２５は弁の開閉の制御を補助することができる。他の膜電極６２０は、弁が開いたときに、空洞６１４を通る流体の流れを変調するために使用することができる。１又はそれ以上の弁座電極６２５に電圧が適用されたとき、膜はハウジング電極４２２の方へ引っ張られ、出口６１２を開き、流体が流れるのを許容する。他の膜電極に電圧が適用されたとき、選択された膜電極６２０に対応する膜の部分はハウジング電極４２２の方へ引っ張られ、それによって、入口６１０から出口６１２への流体の流れを変調する。この実施の形態は任意の先の実施の形態に関連して使用することができる。
【００３７】
別の例示的な実施の形態を図２０、２１に示す。図２０は空洞５１４の寸法を増減できる常開弁の概略側面図である。図２１は、膜が部分的に開いた位置で作動する状態での、図２０の概略図である。図示の実施の形態は空洞５１４へ延びる入口５１０及び出口５１２を備えた、空洞５１４を画定するハウジング５０８を含む。膜５４０は空洞５１４内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部は流体経路の少なくとも一部を画定する。膜５３０は空洞の２つの対向する側部５１１、５１３間に位置する。多数の膜電極５２０は図示のように膜５３０に関して固定される。膜電極は膜５３０の５１７に沿って離間する。対向する空洞壁５１１、５１３は各々これに固定されたハウジング電極５２２、５２６を有する。
【００３８】
ハウジング電極５２２、５２６は膜電極と同様に５１７に沿って離間した状態で示される。所望なら、膜電極５２０及びハウジング電極５２２、５２６は任意の幅即ち間隔とすることができることが考えられる。また、ハウジング電極５２２、５２６は、離間した電極ではなく、点線５４０、５４２で示すように連続的な電極とすることができることが考えられる。代わりに、所望なら、ハウジング電極５２２、５２６は離間した電極とすることができ、膜電極５２０は連続的な電極とすることができる。
【００３９】
流れを変調するため、１又はそれ以上の選択された膜電極５２０と１又はそれ以上のハウジング電極５２２、５２６との間に電圧を適用できる。１又はそれ以上の選択された膜電極５２０と１又はそれ以上の選択されたハウジング電極５２２との間に電圧が適用されたとき、膜電極５２０に対応する膜５３０の部分はハウジング電極５２２の方へ静電的に引っ張られ、それによって、空洞５１４の流れ経路を増大させる。１又はそれ以上の選択された膜電極５２０と１又はそれ以上の選択されたハウジング電極５２６との間に電圧が適用されたとき、選択された膜電極５２０に対応する膜５３０の部分はハウジング電極５２６の方へ静電的に引っ張られ、それによって、流れ経路の寸法を減少させる。
【００４０】
１又はそれ以上のハウジング電極５２２及び１又はそれ以上のハウジング電極５２６は、図２１に示すように、膜５３０の一部を上方へ引っ張り、膜５３０の別の部分を下方へ引っ張るように同時に作動できることが考えられる。しかし、選択された膜電極５２０はハウジング電極５２２又は５２６のいずれかに対応して作動することができる。従って、流れは空洞５１４内の流体流れを増大又は減少させるように変調することができる。
【００４１】
ハウジング電極５２２、５２６が点線５４０、５４２で示すような連続的な電極である場合、１つの例示的な実施の形態においては、＋Ａボルトのような正電圧を上方のハウジング電極５２２に適用することができ、−Ａボルトのような負電圧を下方のハウジング電極５２６に適用することができる。最初は、膜電極５２０はゼロボルトとすることができる。流れを変調するため、下方のハウジング電極５２６の−Ａ電圧の方へ対応する膜電極５２０を移動させるように、＋Ａボルトのような正電圧を１又はそれ以上の選択された膜電極５２０に適用できる。同様に、上方のハウジング電極５２２の＋Ａ電圧の方へ対応する膜電極５２０を移動させるように、−Ａボルトのような負電圧を１又はそれ以上の選択された膜電極５２０に適用できる。
【００４２】
本発明の好ましい実施の形態をこのように説明したが、当業者なら、特許請求の範囲の要旨内で、更に他の実施の形態を作り使用できることを容易に認識できよう。この書面によりカバーされる本発明の種々の利点は上述の説明において述べた。しかし、多くの点に関して、この開示は単なる例示であることを理解されたい。本発明の要旨を越えることなく、詳細特に部品の形状、寸法及び配列に関して、変更を行うことができる。もちろん、本発明の要旨は特許請求の範囲を表現する用語により画定される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】等面積電極を備えた例示的な常開弁の概略頂面図である。
【図２】図１の例示的な実施の形態の概略前面図である。
【図３】図１の例示的な実施の形態の概略側面図である。
【図４】膜の方へ湾曲した第２の電極の縁部を有する、図２の例示的な実施の形態に対する変形例の概略図である。
【図５】二進パターン化された電極を備えた例示的な常開弁の概略頂面図である。
【図６】図５の例示的な実施の形態の概略前面図である。
【図７】図５の例示的な実施の形態の概略側面図である。
【図８】膜の方へ湾曲した第２の電極の縁部を有する、図６の例示的な実施の形態に対する変形例の概略図である。
【図９】等面積電極を備えた例示的な常閉弁の概略頂面図である。
【図１０】図９の例示的な実施の形態の概略前面図である。
【図１１】図９の例示的な実施の形態の概略側面図である。
【図１２】膜の方へ湾曲した第２の電極の縁部を有する、図１０の例示的な実施の形態に対する変形例の概略図である。
【図１３】二進パターン化された電極を備えた例示的な常閉弁の概略頂面図である。
【図１４】図１３の例示的な実施の形態の概略前面図である。
【図１５】図１３の例示的な実施の形態の概略側面図である。
【図１６】膜の方へ湾曲した第２の電極の縁部を有する、図１４の例示的な実施の形態に対する変形例の概略図である。
【図１７】流体流れ谷部を含む例示的な弁の概略前面図である。
【図１８】例示的な弁座の概略側面図である。
【図１９】図１８の例示的な実施の形態の概略前面図である。
【図２０】流れ室の寸法を増減させることのできる例示的な常開弁の概略前面図である。
【図２１】膜が部分的に開いた位置で作動する状態での、図２０の概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年7月9日(2007.7.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁であって、
空洞（１４、１１４、２１４、３１４、４１４、５１４、６１４）を画定するハウジング（８、１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８）と；
前記空洞に流体連通する入口ポート（１０、１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０）と；
前記空洞に流体連通する出口ポート（１２、１１２、２１２、３１２、４１２、５１２、６１２）と；
前記空洞内に位置し、前記入口ポートと前記出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）と；
前記空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）の少なくとも一部を画定する膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と；
少なくとも３つの安定位置間で前記膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）の少なくとも一部を静電的に作動させる手段と；
を有し、
各安定位置が前記流体経路の異なる横断面積を生じさせ、異なる横断面積は、流体が少なくとも２つの安定位置において前記入口ポートと前記出口ポートとの間を流れることができるように、寸法決めされることを特徴とする弁。
【請求項２】
弁であって、
空洞（１４、１１４、２１４、３１４、４１４、５１４、６１４）を画定するハウジング（８、１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８）と；
前記空洞に流体連通する入口ポート（１０、１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０）と；
前記空洞に流体連通する出口ポート（１２、１１２、２１２、３１２、４１２、５１２、６１２）と；
前記空洞内に位置し、前記入口ポートと前記出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）と；
前記空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）の少なくとも一部を画定する膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と；
前記膜に関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能な膜電極（２０、１２４、２２０、３２４、４２０、５２０、６２０）と；
前記ハウジングに関して固定された少なくとも１つのハウジング電極（２２、１２２、２２２、３２２、４３２、５２２、６２２）と；
を有し、
少なくとも２つの膜電極（２０、１２４、２２０、３２４、４２０、５２０、６２０）及び少なくとも１つのハウジング電極（２２、１２２、２２２、３２２、４３２、５２２、６２２）は、膜電極（２０、１２４、２２０、３２４、４２０、５２０、６２０）の一方と少なくとも１つのハウジング電極（２２、１２２、２２２、３２２、４３２、５２２、６２２）との間に十分な電圧が適用されたときには、膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）の少なくとも一部が流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）の第１の横断面積を提供するように作動され、かつ、膜電極（２０、１２４、２２０、３２４、４２０、５２０、６２０）の他方と少なくとも１つのハウジング電極（２２、１２２、２２２、３２２、４３２、５２２、６２２）との間に十分な電圧が適用されたときには、膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）の少なくとも一部が流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）の第２の横断面積を提供するように作動されるように、形状づけられることを特徴とする弁。
【請求項３】
弁であって、
２つの対向する側部（１１、１３、１１１、１１３、２１１、２１３、３１１、３１３、４１１、４１３、５１１、５１３、６１１、６１３）により少なくとも部分的に画定される空洞（１４、１１４、２１４、３１４、４１４、５１４、６１４）を画定するハウジング（８、１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８）と；
前記空洞に流体連通する入口ポート（１０、１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０）と；
前記空洞に流体連通する出口ポート（１２、１１２、２１２、３１２、４１２、５１２、６１２）と；
前記空洞内に位置し、前記入口ポートと前記出口ポートとの間を延び、横断面積を有する流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）と；
前記空洞内に位置し、その少なくとも一部が流体経路（１５、１１５、２１５、３１５）の少なくとも一部を画定する膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と；
前記空洞の２つの対向する側部（１１、１３、１１１、１１３、２１１、２１３、３１１、３１３、４１１、４１３、５１１、５１３、６１１、６１３）間で前記空洞内に位置し、その少なくとも一部が前記流体経路の少なくとも一部を画定する膜（３０、１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０）と；
前記空洞を画定する２つの対向する側部（１１、１３、１１１、１１３、２１１、２１３、３１１、３１３、４１１、４１３、５１１、５１３、６１１、６１３）の一方に関して固定された少なくとも２つの独立に制御可能なハウジング電極（２２、１２２、２２２、３２２、４３２、５２２、６２２）と；
前記膜に関して固定された少なくとも１つの膜電極（２０、１２４、２２０、３２４、４２０、５２０、６２０）と；
を有し、
前記少なくとも１つの膜電極及び前記少なくとも２つのハウジング電極は、該ハウジング電極の一方と前記少なくとも１つの膜電極との間に十分な電圧が適用されたときには、前記膜の少なくとも一部が前記流体経路の第１の横断面積を提供するように作動され、かつ、前記ハウジング電極の他方と前記少なくとも１つの膜電極との間に十分な電圧が適用されたときには、前記膜の少なくとも一部が前記流体経路の第２の横断面積を提供するように作動されるように、形状づけられることを特徴とする弁。
【請求項４】
弁であって、
２つの対向する側部（５１１、５１３）により少なくとも部分的に画定される空洞（５１４）を画定するハウジング（５０８）と；
空洞（５１４）に流体連通する入口ポート（５１０）と；
空洞（５１４）に流体連通する出口ポート（５１２）と；
空洞（５１４）内に位置し、入口ポート（５１０）と出口ポート（５１２）との間を延び、横断面積を有する流体経路（５１５）と；
空洞（５１４）の２つの対向する側部（５１１、５１３）間で空洞（５１４）内に位置し、その少なくとも一部が流体経路（５１５）の少なくとも一部を画定する膜（５３０）と；
２つの対向する側部（５１１、５１３）の一方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極（５２２）及び２つの対向する側部（５１１、５１３）の他方に関して固定された少なくとも２つのハウジング電極（５２２）と；
膜（５３０）に関して固定された少なくとも２つの膜電極（５２０）と；
を有し、
少なくとも２つの膜電極（５２０）の少なくとも選択された膜電極の各々が２つの対向する側部（５１１、５１３）の一方上の電極及び２つの対向する側部（５１１、５１３）の他方上の電極（５２０）に対応することを特徴とする弁。
【国際調査報告】
2008527263.tif 000024
2008527263.tif 000025
2008527263.tif 000026