(57)【要約】  ウエブ製造プロセスで使用される誘導加熱システムであって、このシステムは、それぞれ対応するパワーモジュール備えた一つまたはそれ以上のワークコイルを有している。このパワーモジュールは、水を用いて冷却される。一つの実施形態において、パワーモジュール及びワークコイルは、全幅の、水冷されるサポート・ビームと物理的に接触している。他の実施形態においてパワーモジュールの主要な熱発生要素は、熱伝導性を有するパワーモジュール・フレームに接して取り付けられ、更にこのフレームは、孔穿けされていないウォーター・ヘッダーの熱伝導性を有する壁に接して取り付けられる。
2008502819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パワーモジュールを冷却するための装置であって：
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルを有し；
前記パワーモジュールの内の一つまたはそれ以上は、それぞれ、前記一つまたはそれ以上のワークコイルの内の対応するものに電力を供給するために設けられており；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームを有し；
前記サポート・ビームは、その中を通って冷却流体が流れることが可能なチャネルを有し、
前記一つまたはそれ以上のワークコイルのそれぞれは、前記サポート・ビーム・チャネルの、前記カレンダ・ロールに隣接して取り付けられる側に取り付けられ、且つ、前記対応するパワーモジュールのそれぞれは、前記サポート・ビーム・チャネルの、前記一つまたはそれ以上のワークコイルが取り付けられる前記側の反対側に取り付けられていること、を特徴とする装置。
【請求項２】
パワーモジュールを冷却するための装置であって：
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルを有し；
前記パワーモジュールの内の一つまたはそれ以上は、それぞれ、前記一つまたはそれ以上のワークコイルの内の対応するものに電力を供給するために設けられており；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームを有し；
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールのそれぞれは、前記サポート・ビームの内側に取り付けられ、それによって、各前記パワーモジュールの主要な熱発生要素が、その中を通って冷却流体が流れることが可能な前記サポート・ビームの中のチャネルに接するように構成されていることを特徴とする装置。
【請求項３】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記一つまたはそれ以上のワークコイルのそれぞれは、前記ビームの外側の、カレンダ・ロールに隣接して取り付けられる部分に取り付けられている。
【請求項４】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記一つまたはそれ以上のワークコイルはまた、冷却流体によっても冷却される。
【請求項５】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記サポート・ビームは、前記チャネルから離れ且つ別個の、一つまたはそれ以上のチャネルを更に有し、このチャネルに接して、前記パワーモジュールが、前記離れ且つ別個のチャネルを通る流体の流れにより、前記一つまたはそれ以上のワークコイルを冷却するために、取り付けられている、
【請求項６】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記サポート・ビームは、エンド・プレート、及びこのエンド・プレートの外側にある前記冷却流体のための接続部を有している。
【請求項７】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記流体は、前記サポート・ビームの中を一方向のみに流れる。
【請求項８】
下記特徴を有する請求項７に記載の装置：
前記サポート・ビームは、エンド・プレート、及びこのエンド・プレートの外側にある前記冷却流体のための接続部を有している。
【請求項９】
下記特徴を有する請求項２に記載の装置：
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールの主要な熱発生要素の全てが、熱伝導性を有するフレームに接して取り付けられ、且つ、前記フレームは、前記チャネルの熱伝導性を有する壁に接して取り付けられている。
【請求項１０】
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルの内の、対応するワークコイルに電力を供給するモジュールを冷却するための装置であって：
前記パワーモジュールの内の一つまたはそれ以上と；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームと；を有し、
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールのそれぞれは、前記サポート・ビームの内側に取り付けられ、それによって、各前記パワーモジュールの主要な熱発生要素が、その中を通って冷却流体が流れることが可能な前記サポート・ビームの中のチャネルに接するように構成されていることを特徴とする装置。
【請求項１１】
下記特徴を有する請求項１０に記載の装置：
前記チャネルは、エンド／プレート、及びこのエンド／プレートの外側にある前記冷却流体のための接続部を有している。
【請求項１２】
下記特徴を有する請求項１０に記載の装置：
前記流体は、前記チャネルの中を一方向のみに流れる。
【請求項１３】
下記特徴を有する請求項１２に記載の装置：
前記チャネルは、エンド／プレート、及びこのエンド／プレートの外側にある前記冷却流体のための接続部を有している。
【請求項１４】
下記特徴を有する請求項１０に記載の装置：
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールの主要な熱発生要素の全ては、熱伝導性を有するフレームに接して取り付けられ、且つ、前記フレームは、前記チャネルの熱伝導性を有する壁に接して取り付けられている。
【請求項１５】
ウエブ製造マシンであって：
少なくとも一つのカレンダ・ロールと；
一つまたはそれ以上のワークコイルを支持するビームと；
ワークコイルの内の一つにそれぞれ対応する、一つまたはそれ以上のパワーモジュールと；
前記ビームの中に設けられ、その中を通って冷却流体が流れることが可能なチャネルと；を有し、
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールが、前記チャネルに接して取り付けられていることを特徴とするウエブ製造マシン。
【請求項１６】
下記特徴を有する請求項１５に記載のウエブ製造マシン：
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールは、それぞれ、主要な熱発生要素を有し、前記主要な熱発生要素は、前記サポート・チャネルに接して取り付けられている。
【請求項１７】
下記特徴を有する請求項１５に記載のウエブ製造マシン：
前記サポート・ビームは、前記チャネルから離れ且つ別個の、一つまたはそれ以上のチャネルを更に有し、これらチャネルに接して、前記パワーモジュールが、前記離れ且つ別個のチャネルを通る流体の流れにより前記一つまたはそれ以上のワークコイルを冷却するために、取り付けられている。
【請求項１８】
下記特徴を有する請求項１５に記載のウエブ製造マシン：
前記チャネルは、エンド／プレート、及びこのエンド／プレートの外側にある前記冷却流体のための接続部を有している。
【請求項１９】
下記特徴を有する請求項１５に記載のウエブ製造マシン：
前記流体は、前記チャネルの中を一方向のみに流れる。
【請求項２０】
下記特徴を有する請求項１５に記載のウエブ製造マシン：
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールは、それぞれ、主要な熱発生要素を有し、且つ、
前記主要な熱発生要素は、熱伝導性を有するフレームに接して取り付けられ、且つ、
前記フレームは、前記チャネルの熱伝導性を有する壁に接して取り付けられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願は、米国仮特許出願第６０／５７８，７４０号（出願日：２００４年６月１０日；名称：“Method And Apparatus For Water-Cooling Power Modules In An Induction Caliper Control Actuator System  Used On Web Manufacturing Processes”）による優先権を主張する。その内容は、その全体として、依拠され、且つリファレンスとしてここに組み入れられ、且つ、米国特許法３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．１１９（ｅ）の下における優先権の利益がここに請求される。
【０００２】
この発明は、ウエブ製造プロセスにおいて使用される誘導加熱システムのパワーモジュールに係り、特に、それらのモジュールの冷却に係る。
【背景技術】
【０００３】
製紙マシンまたは同様なウエブ製造プロセスにおいて、分割型の誘導式カレンダリング・コントロール・アクチュエータは、カレンダ・ロールを局部的に加熱して、加熱されたカレンダ・ロールの径プロファイルを、その幅に渡って変化させる。このローカルな加熱は、加熱されたカレンダ・ロールと、隣接し接触するカレンダ・ロールとの間の、接触圧力のプロファイルを変え、それによって、その間を通るウエブの厚さプロファイル（キャリパー・プロファイル）を調整する。
【０００４】
誘導式カレンダリング・システムは、ワークコイルとも呼ばれる誘導要素のアレイにより構成され、それらは、影響が与えられるカレンダ・ロールに隣接して配置される。調整可能な、二次、高電圧（例えば、４００ボルト）、高周波数（例えば、３０ｋＨｚ）の交流電流が、ワークコイルの中を通過するとき、その交流電流は、調整可能な局部的な渦電流をロールの内部に誘導し、それにより、ロールの局部的なオーミック加熱を生じさせる。この二次、高電圧、高周波数電流は、先ず、パワーモジュール（一つのワークコイル当り）とも呼ばれる電気的な要素によって発生され、この要素は、標準の一次供給電力（例えば、２０８Ｖ・ＡＣ及び６０Ｈｚ，または２２０Ｖ・ＡＣ及び５０Ｈｚ）を、特化された二次電力（例えば、４００ＶＡＣ及び３０ｋＨｚ）に変換する。
【０００５】
これらのワークコイルは、ウエブ製造プロセスにまたがるワークコイルの支持構造に取り付けられなければならず、この構造は、ワークコイル・ビームとも呼ばれる。パワーモジュールは、典型的には、ワークコイルに隣接して、一対一の関係で配置され、ワークコイル・ビーム、または、離れているが通常隣接している構造（パワーモジュール・キャビネットとも呼ばれる）のいずれかの中に収容される。
【０００６】
代表的な商業的に入手可能なワークコイル及びパワーモジュールは、カレンダ・ロールに、ワークコイル当り４から６ＫＷを、全体的なアクチュエータ効率９０％から９５％で、移送し、それによって、それ自身の中で（それらの回路の中でのオーミック損失のために）、凡そ２００ワットと６００ワットの間の熱を放散する。その半分は、典型的には、パワーモジュールの内側に放散され（それぞれ、１００から３００ワット）、そしてその半分は、典型的には、ワークコイルの中に放散される（それぞれ、１００から３００ワット）。
【０００７】
ワークコイルは、少なくとも部分的にワークコイル・ビームの外側に配置されており、典型的には、巻線を備えた磁性材料のコアを一つのみ有し、典型的には、例えば強制対流空気または水などによる、いかなる種類の補助冷却を行う必要なく、この熱をそれらの周囲に放散することができる。非常に熱い、周囲の大気（例えば、＞１３０ｏＣ）、および／または、非常に熱い、熱を放射する隣接するロール表面（例えば、＞１３０ｏＣ）などの、極限的な環境においてのみ、ワークコイルが、水または同等の流体の流れにより冷却されることが必要になる。そのような流れは、ワークコイルのマグネチック・コア及び導電性巻線の周囲を取り囲む導管の中を流れる。
【０００８】
他方、パワーモジュールは、典型的には、比較的感受性が高い内蔵型の回路を有しており、保護構造の中に常時収容されていなければならない。その結果、パワーモジュールは、それらを過熱から保護するために、いつも、何らかの補助手段により冷却されていなければならない。
【０００９】
図１及び２に示されているように、パワーモジュール１０が、図１に示されているように、マシン上にある離れたパワーモジュールのキャビネットの中に収容されているか（図１の“１２”）、あるいは、スーパーカレンダのための通常要求されるように、マシンの外にあるか、あるいは、ワークコイル・ビームそれ自身の中に（図２の“４０”）あるか、のいずれの場合においても、従来のソリューションは、空気の強制的な対流を用いてそれらを冷却している。
【００１０】
図１は、ノズル１６及びブロワ１８を備えた空気冷却プレナム１４を示し、図２は、ノズル４４を備えたエア・プレナム４２を示している。図１は、個別のワークコイル２０を示し、図２には、複数のワークコイル２０を集合したものを示している。図１は、ワークコイル２０により加熱されたカレンダ・ロール２２、及び隣接するカレンダ・ロール２４を示している。これに対して、図２は、ワークコイル２０により加熱されたカレンダ・ロール２２のみを示している。
【００１１】
パワーモジュール１０の空冷は、有効ではあるが、空気温度の上昇を容認可能な水準にとどめるために、代表的には、パワーモジュール当り４０から５０ＳＣＦＭの空気体積流量を必要とする（４５ｓｃｆｍは、吸収された熱の１００ワット当り、約４ｏＣの温度上昇を生じさせるであろう）。
【００１２】
上記のことを前提にして、６０ｍｍ幅のゾーンの６メーターの幅のウエブ製造プロセスは、従って１００個のパワーモジュールを有しており、少なくとも４０００ＳＣＦＭの流量のファンを必要とする。このファンは、パワーモジュール１０を収容する構造の中に組み込まれたかなり大きい空気分配プレナム１４または４２を有している（その構造が、ワークコイル・ビーム４０または離れたパワーモジュール・キャビネット１２のいずれかの場合）。このプレナム１４または４２は、このため、十分に低い内部空気速度を確保するために、十分に大きい断面積を必要とする。それは、冷却空気がパワーモジュール１０のアレイに均一に分配されるように、プレナムの長さに渡って十分に小さい圧力低下を確保することが必要であるからである。
【００１３】
各現場おいて要求されるプレナムのサイズの最小値は、もちろん、数多くファクターに依存する。それにはゾーンの数、ゾーンの間隔（従って、プレナムの長さ、及びプレナムの単位長さ当りのパワーモジュール１０により放散される熱量）、パワーモジュール１０のそれぞれにより放散される熱量（この値は、パワーモジュールの最大電力アウトプットに比例する）、及び、ファンの利用可能なトータル圧力（この値は、様々な空気システムの圧力損失を克服しなければならならず、そのような圧力損失には、プレナムの長さに渡って及びその出口ノズルに渡って生ずる静的圧力損失を含んでいる。）。現実には、要求されるプレナムの断面積は、しばしば、１平方フィート以上を超え、および／または、複数のプレナム入口の接続部が必要となり、および／または、複雑なテーパ−付きのプレナムのデザインが要求される。
【００１４】
この要求されるプレナム・サイズの最小値及び複雑さは、パワーモジュールを、図２中の“４０”のような、多くのウエブ・カレンダリング・プロセス、特に、オフラインのスーパーカレンダに取り付けられるように十分に小さい、ワークコイル・ビームの中に組み込むことを困難にする。スーパーカレンダの大半は、メインテナンスの目的で、カレンダ・ロールへのアクセスを得るために使用される、隣接する、縦方向のエレベータを有している。
【００１５】
発展する紙の製造要求に適合するため、カレンダ・ロールに移送され、従ってパワーモジュール１０により変換されなければならない電力の量も増大している。１９８０年代の及び１９９０年代初頭において、カレンダ・ロールの幅１ｍ当りに移送される誘導電力の最大量（しばしば、電力密度（ｋＷ／ｍ）と呼ばれている）は、約２０ｋＷ／ｍであった。今日及び近い将来において、より平滑で、光沢が高い紙の表面を形成すべく、より高いカレンダ・ロールの温度を作り出すために、そして、より反応性に優れたキャリパー コントロールを提供するために、実現される電力密度は、１００ｋＷ／ｍに到達し、更にそれを超えるであろう。この増大した電力密度は、プレナム幅の１メートル当りより高いパワーモジュールの熱発散速度を発生させ、更に増大する空気流量を要求し、それは、次に、更により大きなプレナム１４または４２を要求することになる。
【００１６】
その結果として生ずるスペースの制約は、離れたパワーモジュール・キャビネット１２を必要とし、そのことは、製品及び組み込みの手間に、大きなコストを付け加える。離れたパワーモジュール・キャビネット１２は、キャビネット１２のため、及び介在する大電流、高電圧、大径の電力ケーブル２６（典型的には、リッツ・ケーブル（Litz cables）と呼ばれている）のため材料コストを増大させる。また、それは、離れたキャビネット１２及びそのマシンへの取り付け部設計するための、エンジニアリングのコストを増大させ、更に、離れたキャビネット１２に取り付け、且つ介在するリッツ・ケーブル２６をそれからワークコイル・ビーム２８まで延ばすための、組み込みの労働コストを増大させる。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１７】
パワーモジュールを冷却するための装置であって：
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルを有し；
前記パワーモジュールの内の一つまたはそれ以上は、それぞれ、前記一つまたはそれ以上のワークコイルの内の対応するものに、電力を供給するために設けられており；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームを有し；
前記サポート・ビームは、その中を通って冷却流体が流れることが可能なチャネルを有し、
前記一つまたはそれ以上のワークコイルのそれぞれは、前記サポート・ビーム・チャネルの、前記カレンダ・ロールに隣接して取り付けられる側に、取り付けられ、
前記対応するパワーモジュールのそれぞれは、前記サポート・ビーム・チャネルの、前記一つまたはそれ以上のワークコイルが取り付けられる側の反対側に取り付けられていること、を特徴とする装置。
【００１８】
パワーモジュールを冷却するための装置であって:
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルを有し；
前記パワーモジュールの一つまたはそれ以上は、それぞれ、前記一つまたはそれ以上のワークコイルの対応する一つに電力を供給するために設けられており；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームを有し；
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールのそれぞれは、前記サポート・ビームの内側に取り付けられ、それによって、前記各パワーモジュールの主要な熱発生要素が、その中を通って冷却流体が流れることが可能な前記サポート・ビームの中のチャネルに接するように構成されていることを特徴とする装置。
【００１９】
所定の幅を有するカレンダ・ロールとともに使用される一つまたはそれ以上のワークコイルの内の、対応するワークコイルに電力を供給するモジュールを冷却するための装置であって：
前記パワーモジュールの内の一つまたはそれ以上と；
前記カレンダ・ロールの所定の幅を有するサポート・ビームと；を有し、
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールのそれぞれが、前記サポート・ビームの内側に取り付けられ、それによって、前記各パワーモジュールの主要な熱発生要素が、その中を通って冷却流体が流れることが可能な前記サポート・ビームの中のチャネルに接するように構成されていることを特徴とする装置。
【００２０】
ウエブ製造マシンであって：
少なくとも一つのカレンダ・ロールと；
一つまたはそれ以上のワークコイルを支持するビームと；
それぞれワークコイルの一つに対応する、一つまたはそれ以上のパワーモジュールと； 
前記ビームの中の、その中を通って冷却流体が流れることが可能なチャネルと；を有し、
前記一つまたはそれ以上のパワーモジュールが、前記チャネルに接して取り付けられていること、を特徴とするウエブ製造マシン。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
空冷される形態に固有の上記の問題を解決するため、モジュール１０は、図１及び２に示された先行技術による空気の強制的な対流冷却と比べて、スペース、ハードウエアのコスト及び労働コストがより少ない、より効率の良い方法で冷却されなければならならない。このましいアプローチによれば、広く入手可能であって、且つ空気と比べてより高い熱容量及び質量密度を有する水を用いて、直接的にパワーモジュール１０を冷却することになるであろう。
【００２２】
しかしながら、以下に示す従来の構造のような、従来の水冷構造を用いて、パワーモジュール１０を冷却することは、現実的ではない：
ａ．  先ず、冷却水を、マシンの幅に渡って、共通の供給マニフォールドを介して、分配する；
ｂ．  その冷却水を、個別の供給ラインを介して、パワーモジュール１０の中に組み込まれた水冷されるヒートシンクに分配する；
ｃ．  それから、ヒートシンクのこのアレイを通過した後の温まった水を、個別の帰還ラインで集め、それを、共通の、マシン幅の、帰還マニフォールドに戻す、更に、共通の、マシン外の（off-machine）冷却システムへ戻す。（例えば、空却される蒸発式チラー、または、離れた、並列の、冷却水を供給することにより冷却されるシェルアンドチューブ型熱交換器など）。
【００２３】
この従来の、クローズド・ループの冷却水構造の基本的な問題は、パワーモジュール１０への及びそれからの個別の供給及び帰還ラインが、パワーモジュールのヒートシンク及び供給及び帰還マニフォールドの両方に、個別の接続部を必要とし、これらの全てに漏洩の可能性があることである。パワーモジュールの高電圧（典型的には、２０８ｔｏ４００Ｖ・ＡＣ）の存在の下では、いかなる水の漏洩も非常に危険であり、且つ全く容認できない。
【００２４】
例えば鉱物油または冷却剤などの、大気圧力で非導電性ガス状態にすぐに変わる、電気的に非導電性の熱移送流体を、水の代わりに使用することも可能である。しかし、そのような代替えとして使用される流体には欠点もある。これらの異種の流体は、必ずしも、製紙ミルになじまず、それらは、水と比べて高価であり、それらの密度及び熱容量は、水の密度及び熱容量ほど大きくなく、それらは、漏洩が生じた場合に、ハウスキーピングの負荷をもたらし、且つ、マーケティングの観点から、それらは、漏洩に関連する想定される電気的な安全性に対するリスクを完全に克服することができるものではない。
【００２５】
次に、図３には、本発明の第一の実施形態が示されている。ここで、パワーモジュール１０とワークコイル２０の両方は、全幅の、水冷される、サポート・ビーム５０と物理的に接触している。この第一の実施形態は、孔穿けされていない、全幅の、水冷されるヒートシンク５０を備えたパワーモジュール１０の熱的な接触の主要な要求に対処するものである。本発明のこの実施形態において、もし、パワーモジュール１０により放散された熱の全てを、水を収容するビームまたはヘッダー５０の中に導くことができない場合には、パワーモジュールより放散されて残された熱は、少ない流量のパージ・エアによって吸収されることが可能であり、このパージ・エアのために、加圧されたエンクロージャーを追加することが必要になる。このようなエンクロージャーは、図３には示されていないが、水冷されたビーム５０の周りを取り囲む。
【００２６】
以上において説明したように、ワークコイル２０は、必ずしも、能動的な手段で冷却される必要はない。しかしながら、ワークコイル２０が、能動的な手段で冷却される必要があるとき、その冷却流体（即ち、水）は、ワークコイルの金属製のコア及び導電性巻線の極めて近くに運ばれる必要がある。それには、図３に示されているように、単にワークコイルの一つの側の周囲での、隣接する、水冷されるビームまたはヘッダー５０への接触のみではなく、ワークコイルのケーシングの中に形成されたチャネルまたはチューブが用いられる。
【００２７】
次に、図４に、本発明のための他の実施形態が示されている。図４を参照された実施形態は、上述の従来の水冷構造における、容認できない漏洩の危険性を取り除き、且つ、大量の水を使用する。それは、パワーモジュール１０を、孔穿けされていないウォーター・ヘッダー５２に対して密着するように取り付け、それにより、モジュール１０により放散された熱を、ヘッダー５２の中に接触伝導によって伝達し、それと同時に、必要な場合には、少量のパージ・エア流れをパワーモジュール１０の周りに形成して、ヘッダー５２により吸収できない放散熱を吸収する。
【００２８】
図４に示されているように、この熱伝導は、各パワーモジュール１０の主要な熱発生要素５４（例えば、チョーク、ＩＧＢＴ及びキャパシタなど）を、熱伝導性のあるパワーモジュール・フレーム（これは、アルミニウムまたは他の熱伝導性のある材料で作られることが可能である）に接するように取り付けることによって、促進される。パワーモジュールの熱伝導性を有するフレームは、次いで、一つまたはそれ以上の、マシン幅のウォーター・ヘッダー５２（これも、アルミニウムで作られることが可能である）の熱伝導性のある壁に、密着するように固定される。熱伝導性を有するパワーモジュール・フレームがウォーター・ヘッダー５２に固定されるときに、介在する、熱伝導性のあるガスケットまたはペーストが、使用されても良い。
【００２９】
図４に示された実施形態において、パワーモジュールのコンポーネント５４によって発生される熱は、このようにして、パワーモジュールのフレームを介して、ウォーター・ヘッダーの壁の中に伝達され、次いで、水それ自体の中に伝えられる。その結果得られる、暖められた共通の水の流れは、次いで、ウォーター・ヘッダー５２の図５の出口５６から、図５のマシンの外の冷却デバイス６０（例えば、空却されまたは水冷される蒸発式チラー、または、離れた並列の冷却水の供給により冷却されるシェルアンドチューブ型熱交換器）へ、伝達され、次いで、再び、ウォーター・ヘッダー５２の図５の入口５８に戻されて、プロセスが繰り返される。
【００３０】
ウォーター・ヘッダーの単一の入口及び出口接続部は、ワークコイル・ビーム６２のエンド・プレートの外側に配置されることが可能であり、それによって、ワークコイル・ビームの取り囲まれたスペースの内側での漏洩の危険性が完全に取り除かれる。漏洩の危険が取り除かれることに加えて、本発明では、従来の水冷構造において必要とされた、離れた供給及び戻りヘッダーに代わって、単一の、一方向性のウォーター・ヘッダー５２のみが、必要になる。
【００３１】
もし、本発明のこの実施形態によって、パワーモジュール１０により放散された熱の全てをウォーター・ヘッダー５２に移送することが困難であるならば、その場合には、残っている熱は、少量の冷却空気流れにより吸収されることが可能である。この冷却空気流れはまた、エンクロージャーを加圧して、液体及び固体コンタミネントの侵入を防ぐためにも、使用される。
【００３２】
例えば、もし、モジュール１０により放散された熱の約８０％がヘッダー５２へ移送されるならば、その場合には、６ｋＷの出力のパワーモジュール１０は、４％の損失で約２５０ワットまでの熱を放散し、そのとき、約２００ワットがウォーター・ヘッダー５２に放散され、５０ワットがパージ・エアに放散されることになる。これは、従来のシステムにおいて必要とされる４０−５０ｓｃｆｍ／ゾーンの代わりに、高々約１０ｓｃｆｍ／ゾーン程度のパージ・エアの流速しか要求せず、それによって、アウトプット電力の１ｋＷ／ゾーン当り、パージ・エアの温度上昇を約１．５ｏＣに抑えられる。この空気流量は、十分に小さいので、離れたエア・プレナムが不要になり、パワーモジュールとビームの内側の間のスペースの中のマシンに渡って、パージ・エアを流すことが可能になる。
【００３３】
必要とされる場合の少流量の冷却空気、及び局所的なホット・スポット及び過大な温度条件が防止されることに加えて、パワーモジュール１０は、個別に容器に収容され、図４及び５に示されているように、内蔵型の小さい“パンケーキ・スタイル”のブロワ６４（典型的には、１０−２０ｓｃｆｍ程度の容量）を有することが可能である。このパンケーキ・スタイルのブロワ６４は、換気用空気を、インテイク・グリル６６を介して吸い込み、次いで、パワーモジュールの内部コンポーネントを横切り、次いで、パワーモジュール１０吸収された熱を、周囲のパージ・エアの流れ（ワークコイル・ビームの一方の端から他方の端へ流れている）により容易に取り出せる場所に運び、その後で外部に放出する。
【００３４】
図４に示された実施形態はまた、オプションの、離れた、水供給及び帰還ヘッダー６８を含むことが可能であり、このヘッダーは、冷却水を、オプションの水冷されるワークコイル２０へ及びこのワークコイルから運ぶ。これらのオプションのワークコイルの冷却ヘッダー６８は、パワーモジュールの周りを取り囲む内部の共通のスペースへの水の漏洩を防ぐようなやり方で、構造の中に溶接され、あるいはその外側に取り付けられる。
【００３５】
図５に示されているように、本発明は：
ａ．  内蔵型の、並列のエア・プレナムを不要にする；
ｂ．  パワーモジュール１０を、単一の、よりコンパクトで、よりコスト効率が良いビーム断面積の中に、収容し、このビーム断面積に、ワークコイル２０も取り付けられる；
ｃ．  先行技術によるソリューションと比較して、サプライに対して、よりシンプルで、よりコスト効率が良い範囲しか要求しない（即ち、大きいパワーモジュール・キャビネットの冷却用ブロワ及びそれに関係する導管が不要になることに関連する、材料及び労働コストの節約がもたらされる）。
【００３６】
上記の好ましい実施形態の説明は、例を示すことのみが意図されており、本発明を限定するものではないことを理解すべきである。当業者であれば、添付されたクレームにより規定される本発明の精神及びその範囲から離れることなく、開示された主題の実施形態に、何らかの追加、削除、および／または変形を行うことが可能であろう。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、先行技術に基づく、離れたキャビネットの中に取り付けられた空冷されるパワーモジュールを示す。
【図２】図２は、先行技術に基づく、ワークコイル・ビームの中に取り付けられた空冷されるパワーモジュールを示す。
【図３】図３は、本発明のための一つの実施形態を示し、その中において、パワーモジュールとワークコイルの両方が、水を収容するサポート・ビームとの接触により冷却される。
【図４】図４は、本発明のための他の実施形態を示し、その中において、パワーモジュールは、主として水で冷却され、且つ部分的に空気で冷却される。
【図５】図５は、ウエブ製造マシンにおける、本発明に基づく水冷されるパワーモジュールを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2008502819.tif 000009