(57)【要約】  本発明は、ポンプハウジングおよびモータを含むポンプユニットと、気体を排出するためのシステムと、モータに関する機能パラメータを測定する第１の手段と、排出システムに関する機能パラメータを測定する第２の手段と、真空ラインの使用期間を予測する手段とを少なくとも有する、プロセスチャンバ中の気体を圧送するための真空ラインに関する。この予測手段は、第１の手段によって供給されるモータに関する機能パラメータの測定値に基づいて、および第２の手段によって供給される排出システムに関する機能パラメータの測定値に基づいてポンプユニットの故障前の真空ラインの使用期間を計算する。別の実施形態では、真空ラインは、ポンプハウジングに関する機能パラメータを測定する第３の手段をさらに有し、予測手段は、前記パラメータの測定を考慮に入れた使用期間を計算する。
2008545088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体およびモータを有するポンプユニットと、
気体排気システムと、
モータに関連する機能パラメータを測定する第１の測定手段と、
排気システムに関連する機能パラメータを測定する第２の測定手段と、
真空ラインの使用期間についての予測手段とを少なくとも有する、気体をプロセスチャンバから圧送するための真空ラインであって、予測手段が、第１の手段によって与えられるモータに関連する機能パラメータの測定値および第２の手段によって与えられる排気システムに関連する機能パラメータの測定値に基づいてポンプユニットの故障前の真空ラインの使用期間を計算することを特徴とする、真空ライン。
【請求項２】
モータに関連する機能パラメータを測定する第１の測定手段が、モータによって消費される電力、モータによって消費される電流、モータの回転トルクおよびモータの振動から選択される少なくとも１つの特性を測定する手段を有する、請求項１に記載の真空ライン。
【請求項３】
モータに関連する機能パラメータを測定する第１の測定手段が、モータによって消費される電力を測定する手段を有する、請求項２に記載の真空ライン。
【請求項４】
排気システムに関連する機能パラメータを測定する第２の手段が、排気システム中の気体圧力を測定する手段を有する、請求項１から３のいずれかに記載の真空ライン。
【請求項５】
モータによって消費される電力を測定する第１の測定手段、排気システム中の気体圧力を測定する第２の測定手段、ならびにモータによって消費される電力の測定値からおよび排気システム中の気体圧力の測定値から真空ラインの利用期間を予測する予測手段を含む、請求項１から４のいずれかに記載の真空ライン。
【請求項６】
ポンプ本体に関連する機能パラメータを測定する第３の測定手段をさらに有する、請求項１から５のいずれかに記載の真空ライン。
【請求項７】
ポンプ本体に関連する機能パラメータを測定する手段が、ポンプ本体のトリートメント、ポンプ本体の振動、窒素パージ流量およびトリートメント調整弁の位置から選択される少なくとも１つの特性を測定する手段を有する、請求項６に記載の真空ライン。
【請求項８】
予測手段が、第１の手段によって与えられるモータに関連する機能パラメータの測定値、第２の手段によって与えられる排気システムに関連する機能パラメータの測定値、および第３の手段によって与えられるポンプ本体に関連する機能パラメータの測定値に基づいてポンプユニットの故障前の真空ラインの利用期間を計算する、請求項６または請求項７に記載の真空ライン。
【請求項９】
モータに関連する機能パラメータを測定するステップと、
気体排気システムに関連する機能パラメータを測定するステップと、
測定されるモータに関連する機能パラメータの時間変動と測定される排気システムに関連する機能パラメータの時間変動を相関させるステップと、
その相関関係から故障前の真空ラインの予測可能な利用期間を推定するステップと
を含む、請求項１から８のいずれかに記載の真空ラインをモニタリングする方法。
【請求項１０】
予測可能な利用期間が、測定されるパラメータの振幅の経時変動に基づく統計的処理によって得られる、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
測定されるモータに関連する機能パラメータが、モータによって消費される電力、モータによって消費される電流、モータの回転トルクおよびモータの振動から選択される少なくとも１つの特性によって構成される、請求項９または請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
測定される気体排気システムに関連する機能パラメータが、排気システム中の気体圧力である、請求項９から１１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
測定されるモータに関連する機能パラメータがモータによって消費される電力であり、測定される気体排気システムに関連する機能パラメータが排気システム中の気体圧力であり、および真空ラインの利用期間がモータによって消費される電力および排気システム中の気体圧力の相関した経時変動から計算される、請求項９から１２のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
ポンプ本体に関連する機能パラメータも測定される、請求項９から１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
ポンプ本体に関連する機能パラメータが、ポンプ本体の温度、ポンプ本体の振動、窒素パージ流量および温度調整弁の位置から選択される少なくとも１つの特性によって構成される、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロセスチャンバに関連した真空ラインの予知および予防保全の分野に関する。本発明は、より詳細には、（詰まり、溶着などの）真空ラインが固体で汚染される現象の進行の追跡に関する。本発明は、診断を確立し予防保全措置を計画可能にするためにこの現象をモニタリングする方法にも及ぶ。
【背景技術】
【０００２】
少なくとも１つのポンプユニットを含む真空ラインは、気体を利用し大気圧より低い圧力を必要とする多数の工程で用いられる。あいにく、そのような工程に使用される気体は、固体の副産物に変質が進む可能性がある。それらの副産物は、真空ラインの内面上に、特にパイプ、弁および他の付属品の表面上に、ならびにポンプの可動部分および固定部分の上にも層の形で堆積される可能性があり、またはさらに言えば固体の副産物は、真空ラインの死容積の中に蓄積する可能性がある。その現象は、真空ラインの、特にポンプユニットの性能の低下、またはさらに言えば真空ラインの故障をもたらす可能性がある。そのときに関連したチャンバ中で進行中の工程が、真空ライン、特にポンプユニットの問題の部品の洗浄または交換に取り掛かるために中断されることになるのは避けられない。そのような計画にない生産の中断によって生じる費用は、相当なものである。
【０００３】
現在のところ、真空ラインの保全は、是正措置と予防措置の両方に基づいている。
【０００４】
事後保全は、信号、特にポンプユニットに組み込まれたセンサによって発せられる信号に応じて行われる。２つの閾値、すなわち警告閾値およびアラーム閾値は、アナログ測定ごとに定められる。警告閾値は、ポンプユニットの公称容量に対するポンプユニットの使用状態のずれを示す、異常に高いアナログ値に対応する。アラーム閾値を超えることは、ポンプユニットの使用状態がユニットの公称容量を超過したこと、およびポンプユニットが自動的に止まることを意味する。とられる措置の大きさを最小にするために、最良の状態は、警告レベルを超過したらすぐに是正措置に取り掛かることができなければならない。
【０００５】
部分的または全体的な予防保全作業は、真空ラインが使用される用途に応じて定められた期間でも行われる。そのような周期性は、当初は理論的に見積もられ、次いで経験によって調節される。それにも関わらず、周期性は、ポンプユニット中の構成部品の実際の磨耗状態または真空ライン中の実際の汚染状態に必ずしもよく適合されているとは限らず、それにより遅過ぎあるいは早過ぎで行われる作業につながる可能性がある。
【０００６】
事後保全を行うときに、困難は、ポンプユニットからのアナログ信号の警告閾値およびアラーム閾値を追跡することにあり、その追跡により故障原因の詳細な診断を得ることが可能にならない。別の問題は、ポンプユニットの異常な挙動が経時的に変動する点にあり、これによりそのユニットが警告閾値からアラーム閾値まであっという間に通過することを招く可能性がある。そのような状況下では、アラーム閾値に達する前に措置をとることはほとんど不可能となり、それにより製造されている途中の製品（例えば半導体ウエハ）に対して、およびポンプユニットに対しても、回復不可能な損傷をもたらす可能性がある。
【０００７】
欧州特許第０  ８２８  ３３２号明細書は、保全作業と保全作業の間の真空ポンプが使用可能である期間の見積もりに関する。真空ポンプの回転子上に堆積した望ましくない物質の量は、回転トルクおよび／または回転子を駆動するモ―タによって得られる電流を測定することによって概算される。
【０００８】
その文献に記載された方法は、モータに関連するパラメータだけに留意しているという欠点を示している。第１に、その測定は、圧送される気体流の変動によって汚染されており、その流れは必ずしも知られているとは限らないものである。したがって、測定を行う際に、流れの変動によるものであるトルクまたは電流の変動と、ポンプの汚染によるものである変動とを区別することができない。したがって、その方法の使用は、モータのトルクに対する流れの影響がポンプ汚染の影響と比較して無視してよいように、小さな流れに制限される。さらに、その方法は、ポンプの回転部品の動的挙動だけを見積もる。その方法は、その挙動が閉塞の進んでいる気体排気システムなどのポンプユニットの外側の不具合のある部品に関連する場合には、異常な挙動の原因を診断することを可能にしない。
【０００９】
米国特許公開第２００４／１４３４１８号明細書は、ドライポンプで故障が発生する時期の算出に関する。そのようなポンプの寿命は、製造工程の特性（気体流、圧力、基板温度など）と組み合わせてポンプのデータ特性（電流、温度、振動など）の統計処理によって概算される。その文献は、工程の動作条件を考慮せずにポンプの寿命を予測することは、極めて困難であると明示する。
【００１０】
モニタされるパラメータの個数が大きいときは、それによりパラメータの活用を複雑にさせる可能性がある。加えて、予測解析システムは内蔵式ではなく、すなわち予測解析システムは、生産機器によって供給される情報に依存し、ポンプを管理するためにその機器とサーバーの間で敷設される通信回線を必要とする。その通信回線は、（機器製造業者または顧客に属するデータに関する機密保持、技術的困難性などで）設置が困難であり、その通信回線の正しい動作は保証されない。
【００１１】
国際公開第２００４／０１１８１０号パンフレットは、予め決められた条件の下でポンプが試験される試験段階の後に、ポンプを含むシステムの状態をモニタリングする方法に関する。試験期間中、システムの正しい動作を表す信号が記録される。ポンプは、試験段階中に、すなわち生産段階ではない間に、モータのトルクまたは電流消費を測定することによって診断される。試験条件、特に圧送される気体流は、測定結果と同じ気体流の条件の下で記録された参照を比較可能にするために予め決められている。
【００１２】
その方法は、組織の理由によりポンプユニットの試験に取り掛かるために生産を中断することがとても困難であるので、連続生産の期間中は実施できない。加えて、その方法は、ポンプ排気システムの詰まりが予測されることを可能にはしない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
したがって、課題は、圧送される流れの大きさに関わらず、真空ラインに由来するパラメータ以外のパラメータの条件を考慮に入れることなく、および生産を中断することなく、予防保全作業を最も適切なときに計画すると共にポンプユニットの故障を予想するために、少なくとも１つのポンプユニットを含む真空ライン中の固体状態の汚染（詰まり、溶着など）を診断することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、
ポンプ本体およびモータを有するポンプユニットと、
気体排気システムと、
モータに関連する機能パラメータを測定する第１の測定手段と、
排気システムに関連する機能パラメータを測定する第２の測定手段と、
真空ラインの使用期間を計算する予測手段とを少なくとも有する、気体をプロセスチャンバから圧送するための真空ラインを提供する。
【００１５】
本発明によれば、予測手段は、第１の手段によって与えられるモータに関連する機能パラメータの測定値および第２の手段によって与えられる排気システムに関連する機能パラメータの測定値に基づいてポンプユニットの故障前の真空ラインの使用期間を計算する。
【００１６】
モータに関連する機能パラメータを測定する手段は、好ましくはモータによって消費される電力または電流、モータの回転トルクおよび振動から選択される少なくとも１つの特性を測定する手段である。さらに好ましくは、モータに関連する機能パラメータを測定する手段は、モータによって消費される電力を測定する手段である。
【００１７】
排気システムに関連する機能パラメータを測定する手段は、排気システム中の気体の圧力を測定する手段である。
【００１８】
好ましくは、本発明の真空ラインは、モータによって消費される電力を測定する第１の手段、排気システム中の気体の圧力を測定する第２の手段、ならびにモータによって消費される電力の測定値および排気システム中の気体圧力の測定値に基づいて真空ラインの使用期間を予測する手段を含む。
【００１９】
本発明の変形例では、真空ラインは、ポンプ本体に関連する機能パラメータを測定する第３の手段をさらに含んでよい。ポンプ本体に関連する機能パラメータを測定する手段は、ポンプ本体の温度、ポンプ本体の機械的振動および／または音響的振動、窒素パージ流量、ならびに温度調整弁の位置から好ましくは選択される少なくとも１つの特性を測定する手段である。
【００２０】
好ましくは、真空ラインは、ポンプ本体に関連する機能パラメータの測定値を利用することによって真空ラインの使用期間を予測する手段をさらに含む。
【００２１】
この目的のために、例えば振動センサ、音響センサまたは加速度計の他のセンサが、ポンプユニットに組み込まれてもよい。
【００２２】
好都合には、予測手段は、第１の手段によって供給されるようなモータに関連する機能パラメータの測定値、第２の手段によって与えられるような排気システムに関連する機能パラメータの測定値、および第３の手段によって与えられるようなポンプ本体に関連する機能パラメータの測定値に基づいてポンプユニットの故障前の真空ラインの使用期間を計算する。
【００２３】
したがって、本発明の真空ラインは、自己診断、すなわち真空ラインの外部の信号との相関関係なしに行われる診断を行うことができる。
【００２４】
診断を行うのに適したシステムを含む本発明の真空ラインを使用することにより、真空ラインを含む設備が生産段階で稼働している間に重大な故障を回避することが可能になり、および本発明の真空ラインは、そのような故障を予測することによって重大な故障の回避を行う。そのような状況下のあらゆる故障は、製造されている製品の品質に害を及ぼす可能性があり、製品が破壊されることにつながる可能性さえあり、したがってこれにより顧客に重大な財政上の損失をもたらす。
【００２５】
本発明は、前記請求項のいずれかに記載の真空ラインをモニタリングする方法であって、
モータに関連する機能パラメータを測定するステップと、
気体排気システムに関連する機能パラメータを測定するステップと、
測定されるモータに関連する機能パラメータの時間変動と測定される排気システムに関連する機能パラメータの時間変動を相関させるステップと、
その相関関係から故障前の真空ラインの予測可能な利用期間を推定するステップとを有する、方法も提供する。
【００２６】
本発明の方法は、真空ライン内の汚染現象の進行を特定および追跡することにある。汚染は、真空ラインに関連するプロセスチャンバ中で実施される工程のためのプロセスガスの変質に由来する固体の副産物によるものである。この現象は、排気システム上およびポンプを駆動するモータ上に配置されるセンサなどの測定手段に由来するある信号の特徴的な経時変動を利用することによってモニタされる。
【００２７】
予測される利用期間は、閉塞が進んでいる真空ラインについての危険を見積もるために、具体的には測定されるパラメータの振幅の経時変動に基づく統計処理によって得られる。
【００２８】
好ましくは本発明の状況によるパラメータは、第１にモータに関連する少なくとも１つの機能パラメータと、第２に排気システムに関連する少なくとも１つの機能パラメータである。
【００２９】
測定されるモータに関連する機能パラメータは、好ましくはモータによって消費される電力または電流、モータの回転トルクおよび振動から選択される少なくとも１つの特性である。さらに好ましくは、測定されるモータに関連する機能パラメータは、消費される電力である。
【００３０】
好ましくは、測定される排気システムに関連する機能パラメータは、排気システム中の気体圧力である。
【００３１】
相関関係の追跡に特に有利なパラメータは、モータによって消費される電力および排気システム中の気体圧力である。本発明の有利な実施形態では、測定されるモータに関連する機能パラメータはモータによって消費される電力であり、測定される気体排気システムに関連する機能パラメータは排気システム中の気体圧力であり、真空ラインの利用期間はモータによって消費される電力および排気システム中の気体圧力の相関した経時変動から計算される。
【００３２】
ポンプ本体に関連する機能パラメータを測定することも可能である。ポンプ本体に関連する機能パラメータは、好ましくはポンプ本体のトリートメント、ポンプ本体の振動、窒素パージ流量、およびトリートメント調整弁の位置から選択される少なくとも１つの特性である。一例としては、トリートメント調整水弁の開閉状態に関する情報は、ポンプ本体の温度を読取ることによって直接見ることができない冷却ネットワークの故障を明らかにすることができる。
【００３３】
ポンプが接続される管理ネットワーク中のデータを記録することでポンプユニットのパラメータの経時変動を直接観察することによってポンプの機能状態および保全の組織の診断を完全なものにすることも可能である。
【００３４】
選択される各パラメータの経時変動の相関関係を追跡することは、測定されるパラメータを真空ラインの外部のパラメータ、例えば真空ラインが接続される機器のパラメータ特性と相関させることを適宜含んでもよい。
【発明の効果】
【００３５】
本発明は、多数の利点を与える。本発明の方法は、アナログ信号が警告閾値およびアラーム閾値を超過してしまう前にポンプユニットの異常な挙動を特定すると共に問題の早期予想の目的で診断を行うために、真空ラインに関連した測定手段によって与えられるデータを使用および活用するものであり、そのデータは記録されることができる。
【００３６】
本発明の方法は、気体排気システム中の洗浄度の状態に対する汚染の影響を特定することを可能にする。したがって、本発明の方法は、圧送される気体を排気するためのパイプ、直列の弁または前記パイプ中のトラップ、あるいはさらに言えば前記パイプと気体処理システムの間の接続などのポンプユニットの外部の部品の汚染を検出する。
【００３７】
診断システムに使用される場合、本発明の方法は、本当に必要があるときにだけ予知保全を特別に許可すること、すなわち真空ラインの保全を行うことを可能にさせる。これは、費用のかかる、理にかなっていないことがある予防保全作業を回避するのに役立つ。診断は早く、したがってそれにより構成部品の磨耗に関連した損傷を最小化することを可能にし、およびしたがってそれにより保全の費用をさらに削減することを可能にする。
【００３８】
本発明は、ポンプユニットのｉｎ  ｓｉｔｕ管理ネットワークの中に、ポンプユニット自体の中に、またはさらに言えば遠隔システムの中に組み込まれることができる診断ソフトウェアアプリケーションに使用できるものである。本発明は、このソフトウェアアプリケーションが、真空ラインの自己診断、すなわちポンプユニットの外部にある信号との相関関係なしの診断を行うことを可能にすることができる。
【００３９】
本発明は、自動診断監視システムに関連した場合、真空ラインの定期モニタリングを減らし、したがって保全に対して責任のある人員の稼働率を高めることを可能にすることができる。
【００４０】
本発明の他の目的、特徴および利点は、制限するものではない例示によって与えられる詳細な実施形態の以下の説明から、および添付図面から明らかである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
図１に示される設備は、基板処理用のプロセスチャンバ１を有する。一例としては、プロセスチャンバ１は、シリコンウエハ上でのマイクロ電子デバイスの製造に使用される、蒸着工程、エッチング工程またはイオン注入工程に、あるいは熱処理にさらされることができる。この処理は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）または微小光電気機械システム（ＭＯＭＥＳ：ｍｉｃｒｏ−ｏｐｔｉｃａｌ  ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｓｙｓｔｅｍｓ）を製作するための半導体基板の微細加工であってもよい。プロセスチャンバ１は、弁３ａ、３ｂおよび３ｃが装着されたパイプ２によって、モータ５で駆動されるポンプ本体４に接続される。ポンプ本体４は、消音器７を介して排気パイプ６に接続される。パイプ６には、固体の反応副産物をトラップするためのトラップ８が装着されてよい。実施される工程の気体状副産物が一般の排気部９における排気に不適当なときは、気体は、弁１１ａおよび１１ｂを用いて処理設備１０を介して排気される。プロセスガスは、プロセスチャンバ１の中に、チャンバ１をポンプ本体４に接続するパイプ２の中に、ポンプ本体４の中に、消音器７の中に、気体処理設備１０に通じるパイプ６の中に、トラップ８の中に、および弁１１ａ、１１ｂの中に蓄積する可能性がある、固体の副産物に変質が進んでいる可能性がある。ポンプユニットから上流で形成される副産物は、ポンプ本体４の中に圧送され、または重力によって移送され、したがってポンプ本体４、消音器７、圧送された気体を排気するためのパイプ６、トラップ８、ならびに弁１１ａおよび１１ｂを汚染する現象の一因となることもしばしばある。
【００４２】
通常動作に関連したポンプユニットの機能パラメータの値の変動は、例えば、以下のように、
経時的に繰返しおよび再現可能であってよく、例えば図２は、排気システムにおける気体圧力Ｇの変動（曲線２０）、および生産作業が進行している間のポンプユニットに到達する気体流の変動によるものであるモータによって消費される電力Ｍの変動（曲線２１）を示しており、または、
過渡現象であってよく、例えば図３は、大気圧で気体の体積を圧送することによる、気体圧力Ｇ（曲線３０）およびモータによって消費される電力Ｍ（曲線３１）に同時に発生する急増を示しており、またはさらに言えば、
時間的に連続的であってよく、例えば図４は、起動後のユニットの一次ポンプについてのモータによって消費される電力Ｍ’の漸進的減少（曲線４１）を示しており、この漸進的減少は、ポンプユニットが熱くなること、および一次ポンプが停止されていた間にポンプ本体中に蓄積された固体残渣の漸進的除去によるものである。曲線４０は、ユニットの二次ポンプのモータによって消費される電力Ｍを示す。
【００４３】
異常動作に関連したパラメータの値の変動は、例えば、以下のように、
時間的に連続的であってよく、例えば図５は、モータによって消費される電力Ｍの漸進的増加（曲線５０）および排気システム中の気体圧力Ｇの漸進的増加（曲線５１）を示しており、圧送される気体が送り出されるパイプの閉塞を明らかにしており、またはさらに言えば、
不規則であってよく、例えば、モータによって消費される電力Ｍの連続ピークを示す図６中の曲線６０であり、この連続のピークは、可動部分の閉鎖が差し迫っている徴候である。
【００４４】
本発明は、具体的には、それらがポンプユニットの取り返しのつかない故障をもたらす前に、以下の現象、具体的には気体排気システム中の消音器の閉塞、トラップの閉塞、パイプの閉塞または弁の閉塞、あるいはある条件の下では、圧送される気体の変質に由来する固体の副産物によるポンプユニットの内部閉塞を検出することを可能にする。
【００４５】
閉塞は、モータによって消費される電力Ｍおよび気体圧力Ｇの時間変動を追跡することによって特定される。数学アルゴリズムは、この変動を測定するために、および予め定められた臨界アナログ閾値に達する前の残っている時間を計算するために決定されている。
【００４６】
当然であるが、本発明は、記載された実施形態に限定されず、本発明は、本発明の精神から逸脱することなく当業者によって多数のやり方で変形可能である。具体的には、動作状態についてのより良い情報を得るために、本発明の範囲を逸脱することなく、真空ラインの内部または外部にある他のパラメータを同様にモニタすることを決定できる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の真空ラインの図である。
【図２】モータによって消費される電力の繰返し変動、および処理中にポンプユニットの中に通される気体の流れの変動に関連している排気システム中の気体圧力の繰返し変動の図である（この図では、モータによって消費されるワット（Ｗ）単位の電力Ｍおよびミリバール（ｍｂａｒ）単位の気体圧力Ｇは、縦座標を上向きにプロットされると共に、時間Ｔは、横座標に沿って単位なしでプロットされている）。
【図３】モータによって消費される電力の過渡的変動、および大気圧で気体を圧送することによって引き起こされる気体圧力の過渡的変動を示す図である（この図では、単位ワットの電力Ｍは、左側の縦座標を上向きにプロットされ、単位ミリバールの圧力Ｇは、右側の縦座標を上向きにプロットされると共に、時間Ｔは、横座標に沿って単位なしでプロットされている）。
【図４】起動後のモータによって消費される電力の漸進的減少を示す図である（この図では、ワット単位の電力Ｍおよびミリバール単位の圧力Ｇは、縦座標を上向きにプロットされると共に、時間Ｔは、横座標に沿って単位なしでプロットされている）。
【図５】モータによって消費される電力の漸進的増加、および閉塞が進んでいる排気パイプによって引き起こされる気体圧力の漸進的増加を示す図である（ワット単位の電力Ｍおよびミリバール単位の圧力Ｇは、縦座標を上向きにプロットされ、一方で時間Ｔは、横座標に沿って単位なしでプロットされている）。
【図６】ポンプユニットの可動部分についての差し迫った封鎖の徴候であるモータによって消費される電力の不規則変動を示す図である（ワット単位の電力Ｍは、縦座標を上向きにプロットされ、時間Ｔは、横座標に沿って単位なしでプロットされている）。
【図１】
2008545088.tif 000003
【図２】
2008545088.tif 000004
【図３】
2008545088.tif 000005
【図４】
2008545088.tif 000006
【図５】
2008545088.tif 000007
【図６】
2008545088.tif 000008
【国際調査報告】
2008545088.tif 000009
2008545088.tif 000010
2008545088.tif 000011
2008545088.tif 000012
2008545088.tif 000013
2008545088.tif 000014