(57)【要約】【課題】優れた圧電性、及び誘電性、及び機械的強度、及び高い信頼性、及び自由度の高い成形性を備えるとともに、工程コストが低く、生産性が高い圧電複合体センサーを提供する。【解決手段】本発明による圧電複合体センサーは、電極と、電極間に配置された圧電材料層とを備え、圧電材料層は、圧電複合体を有し、圧電複合体は、圧電体粉末と高分子とを有し、電極は、伝導性充填粒子と高分子マトリクスとを混合することによって形成された伝導性複合体又は伝導性高分子を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極と、前記一対の電極間に配置された圧電材料層とを備え、
前記圧電材料層は、圧電複合体を有し、
前記圧電複合体は、圧電体粉末と高分子とを有し、
前記一対の電極の少なくとも１つは、伝導性充填粒子と高分子マトリクスとを混合することによって形成された伝導性複合体又は伝導性高分子を有していることを特徴とする圧電複合体センサー。
【請求項２】
前記一対の電極は、それぞれ前記圧電材料層の両対向面に設けられることを特徴とする請求項１に記載の圧電複合体センサー。
【請求項３】
前記一対の電極は、内部電極と、外部電極とを有し、
前記内部電極は、所定の長さの金属の導線で形成され、
前記外部電極は、前記伝導性複合体、又は前記伝導性高分子を含み、
前記内部電極を取り囲むように前記圧電材料層が形成され、さらに前記圧電材料層を取り囲むように、前記外部電極が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の圧電複合体センサー。
【請求項４】
前記外部電極の内部には、前記外部電極の長手方向にのびる金属の細い導線が含まれていることを特徴とする請求項３に記載の圧電複合体センサー。
【請求項５】
前記一対の電極は、球状の内部電極と、外部電極と、導線とを有し、
前記内部電極は、金属から形成され、
前記外部電極は、前記伝導性複合体、又は前記伝導性高分子を有し、
前記内部電極は前記圧電材料層に取り囲まれ、さらに前記圧電材料層は前記外部電極に所定領域を除いて取り囲まれ、
前記導線は、一端が前記内部電極に接続され、他端が前記圧電材料層を貫通して前記所定領域にのびるように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電複合体センサー。
【請求項６】
前記伝導性充填粒子は、カーボン又は金属粉末を含むことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の圧電複合体センサー。
【請求項７】
前記高分子マトリクスは、シリコンゴム（silicon rubber）、及びポリウレタン（polyurethane）、及びポリエチレン（polyethylene）、及びポリプロピレン（polypropylene）、及びPEAA(Polyethylene-co-acrylic acid)、及びPVDF（polyvinylidene fluoride）、及びPTFE（Polytetrafluoroethylene）のうちの１つ又はそれらのうちの複数の組み合わせからなることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の圧電複合体センサー。
【請求項８】
前記圧電体粉末は、チタン酸バリウム（ＢaＴiＯ３）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３固溶体（PZT）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３-Ｐb（Ｍg１/３Ｎb２/３）固溶体（PZT-PMN）、及びＴiＯ２、及びＴiＯ３、及びＳiＯ２、及びＺnＯ、及びＳnＯ２Ｚrよりなる群から選択された１つのセラミック又はそれらのうちの２つ以上の混合物を含むことを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の圧電複合体センサー。
【請求項９】
前記圧電材料層、前記一対の電極、前記内部電極及び前記外部電極は、圧出及び射出成形により形成されることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の圧電複合体センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電センサーに関し、より詳細には、圧電複合体を利用した圧電センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
誘電性、圧電性などを有する機能性セラミックスは、例えば、各種アクチュエータ（actuator）、センサー（sensor）、共振器（resonator）などにおける圧電素子として、様々な電気・電子部品などに幅広く使用されている。このような機能性セラミックには、シリカ（ＳiＯ２）、アルミナ（Ａl２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡlＮ）、チタン酸バリウム（ＢaＴiＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）などがある。特に優れた圧電性を有するセラミックスとしては、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）などが挙げられる。
【０００３】
圧電素子に一定の方向から圧力を加えると、圧電素子の両面に外力に比例した誘電分極が発生して電気が生じる。逆に、圧電素子に電気的な方法で誘電分極を発生させると、応力が発生して歪みが生じる。これらの特性は圧電性、あるいはピエゾエレクトリック（Piezoelectric）と呼ばれる。
機能性セラミックスは、このような特性を利用して様々な分野に応用されている。例えば、力学エネルギーを電気エネルギーに変える特性は、ガスレンジの点火装置や加速度センサー、マイクロフォンなどの音波探知機を製造する際に利用される。又、電気エネルギーを力学エネルギーに変える特性は、クオーツ時計の発振装置、超音波洗浄機及び加湿器などを製造する際に利用される。
【０００４】
上記のような圧電性を有する水晶、電気石、ロッシェル塩などは、以前から圧電素子として利用されている。チタン酸バリウムのような圧電セラミックスは、機械的な振動エネルギーを電気エネルギーに、電気エネルギーを機械的な振動エネルギーに相互変換する点において、変換効率が非常に高い。特に、PZTと呼ばれる２成分系の圧電セラミックスが発見されて以来、PZTは加速度計などのセンサーに広く使用されている。このPZTセラミックスは、チタン酸鉛（ＰbＴiＯ３）とジルコニウム酸鉛（ＰbＺrＯ３）を一定の割合で混合したもので、優れた機械特性及び電気特性を有している。又、PZTは、使用用途に応じて不純物を添加することによって、圧電セラミックスとして様々な物理的性質を実現することができる。
【０００５】
一般的に、このようなセラミックスは、所望の形状に成形するために、燃焼工程と、燃焼工程後の機械加工工程とが必要になる。セラミックスは、可塑性（plasticity）がほとんどないため、成形の自由度が低く、複雑な形状の成形品を得ることは困難であるという欠点がある。このため、セラミックスは、成形工程が複雑で、生産性が低く、成形コストが高いという問題点がある。特に、セラミックスは、機械的強度が小さいため、外部衝撃により破損し易いという問題点もある。そこで、圧電特性に影響を与えることなく、成形が容易に行えるような生産性と、耐衝撃性とが優れた、セラミックスを提供する技術が要求されている。
【０００６】
一方、プラスチックのような高分子材料は、成形性に優れているため、どんな複雑な形状でも精密かつ安価に製造できる。しかし、プラスチックは強度が弱い上、電気伝導度及び熱伝導度が低いという問題があった。最近では、多くの研究の結果、電磁波遮蔽用薄膜、二次電池、センサーなどに多様に応用できる伝導性高分子が開発されている。例えば、伝導性高分子は、ポリパラフェニレン（polyparaphenylene）、ポリビニリデンフルオライド（polyvinylidene fluoride；以下、PVDF）、ポリピロール（polypyrrole）、ポリアセチレン（polyacetylene）などが、センサー、記憶素子、電極材料などに実用化されている。
【０００７】
特に、PVDFは、圧電性及び誘電性を有する代表的な伝導性高分子であり、二次電池の電極成形などに広く適用されている。
【０００８】
圧電複合体は、セラミックスと高分子を混合したものであり、圧電特性に優れたセラミックスの長所と成形性に優れた高分子の長所とを活かしたものである。このような圧電複合体の両対向面に電極を設けることで、圧電センサーとしての役割が果たされる。
【０００９】
従来は、圧電複合体の両面に電極を設ける際に、金属薄膜を用いる方法や、あるいは金属インキを塗布する方法が用いられていた。しかしながら、この場合は、圧電複合体を成形する工程とは異なる別の工程が必要になるので、工程がより複雑になり、コストが上昇するという問題点がある。さらに、このような電極は、金属薄膜で形成されているため、機械的強度が小さく、又衝撃に対しても弱く破損し易いという問題点がある。
【００１０】
又、圧電複合体は、電極材料との結合又は接着が難しいため、圧電素子そのものを実現できないか、あるいは、圧電素子を実現できても寿命が短いという課題がある。ここで、圧電素子の場合、繰り返される機械的な応力と電気的信号とによって、圧電素子の構成物が変形するので、繰り返し使用することにより電極が圧電材料の高分子から剥離され、適切な電気信号の伝達が難しくなる。したがって、電極の接着力は非常に重要となる。
【００１１】
よって、圧電複合体の電極材料として金属を使用する場合、圧電材料と電極材料との接着が容易でないことから、使用中に電極の剥離が起こり、あるいは電気的特性が劣化するという問題点がある。
【００１２】
又、従来技術において、電極が薄い金属で形成されているため、半田付けや機械的クリップによって、電極と外部回路とをリード線で接続することは容易でない。すなわち、電極の厚さの範囲が制限されるという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであって、優れた圧電性、及び誘電性、及び機械的強度を有し、衝撃に強く、高い信頼性を有した圧電複合体センサーを提供することを目的とする。
【００１４】
又、本発明の別の目的は、工程を単純化してコストを削減し、生産性の高い圧電複合体センサーを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明は、一対の電極と、前記一対の電極間に配置された圧電材料層とを備え、前記圧電材料層は、圧電複合体を有し、前記圧電複合体は、圧電体粉末と高分子とを有し、前記一対の電極の少なくとも１つは、伝導性充填粒子と高分子マトリクスとを混合することによって形成された伝導性複合体又は伝導性高分子を有していることを特徴とする圧電複合体センサーを提供したものである。
【００１６】
上記圧電複合体センサーにおいて、前記一対の電極は、それぞれ前記圧電材料層の両対向面に設けられる。
【００１７】
あるいは、上記圧電複合体センサーにおいて、前記一対の電極は、内部電極と、外部電極とを有し、前記内部電極は、所定の長さの金属の導線で形成され、前記外部電極は、前記伝導性複合体、又は前記伝導性高分子を含み、前記内部電極を取り囲むように前記圧電材料層が形成され、さらに前記圧電材料層を取り囲むように、前記外部電極が設けられている。前記外部電極の内部には、前記外部電極の長手方向にのびる金属の細い導線が含まれているのが好ましい。
【００１８】
さらに、あるいは、上記圧電複合体センサーにおいて、前記一対の電極は、球状の内部電極と、外部電極と、導線とを有し、前記内部電極は、金属から形成され、前記外部電極は、前記伝導性複合体、又は前記伝導性高分子を有し、前記内部電極は前記圧電材料層に取り囲まれ、さらに前記圧電材料層は前記外部電極に所定領域を除いて取り囲まれ、前記導線は、一端が前記内部電極に接続され、他端が前記圧電材料層を貫通して前記所定領域にのびるように形成される。
【００１９】
又、前記電極に含まれる前記伝導性充填粒子は、カーボン又は金属粉末を含むことを特徴とする。又、前記電極に含まれる前記高分子マトリクスは、シリコンゴム（silicon rubber）、及びポリウレタン（polyurethane）、及びポリエチレン（polyethylene）、及びポリプロピレン（polypropylene）、及びPEAA(Polyethylene-co-acrylic acid)、及びPVDF（polyvinylidene fluoride）、及びPTFE（Polytetrafluoroethylene）のうちの１つ又はそれらのうちの複数の組み合わせからなっている。
【００２０】
さらに、又、前記圧電体粉末は、チタン酸バリウム（ＢaＴiＯ３）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３固溶体（PZT）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３-Ｐb（Ｍg１/３Ｎb２/３）固溶体（PZT-PMN）、及びＴiＯ２、及びＴiＯ３、及びＳiＯ２、及びＺnＯ、及びＳnＯ２Ｚrよりなる群から選択された１つのセラミック又はそれらのうちの２つ以上の混合物を含んでいる。
【００２１】
本発明の圧電複合体センサーにおいて、前記圧電材料層、前記一対の電極、前記内部電極及び前記外部電極は、圧出及び射出成形により形成される。
【００２２】
圧電セラミックスは、圧電特性を有する材料を使用することにより、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する特性、あるいは、機械エネルギーを電気エネルギーに変換する特性を利用して幅広く活用されている。
【００２３】
本発明による圧電センサーにおいては、２つの電極の間に圧電材料層が配置される。
【００２４】
圧電特性に優れた圧電体粉末と、成形性に優れた高分子とを有した圧電複合体は、圧電材料層に使用される。圧電複合体は、高分子からなるマトリクスに圧電体粉末を分散させたもので、高分子に圧電体粉末を混合して圧出及び射出成形して製造されるので、成形が容易であり、その結果、低コストで製造することができる。
【００２５】
すなわち、セラミックスを圧電材料として使用する場合は、燃焼工程及び燃焼工程後の機械加工工程が不要になる。このため、機械加工により製造できなかった様々な形状の物品を、容易に成形することができ、生産性を高めることができる。
【００２６】
又、セラミックスは、機械的に弱くて衝撃により破壊し易いという問題があるが、本発明は、圧電複合体を圧電材料層に使用することで、強い衝撃にも機械的に安定であり、耐久性及び信頼性を高めることができる。
【００２７】
圧電複合体は、圧電体粉末と高分子の組成比を適切に調整することによって、圧電特性及び加工性が制御される。圧電体粉末の含有量が多いほど圧電特性は向上するが、成形時に流動性がなくなるため、圧電体複合体の成形が難しくなる。一方、高分子の含有量が多いほど加工性は向上するが、圧電体粉末の含有量が少ないため、圧電性が損なわれる。又、高分子の含有量を減少させると、圧電性は向上するが、加工性が低下する。よって、このような条件を考慮して、所望の圧電性及び物理的特性に応じて、最適な組成比で圧電体粉末と高分子とを混合する必要がある。
【００２８】
圧電体粉末と高分子と混合する際には、均一な混合が重要となる。混合が均一であれば圧電材料層の空隙が最小になり、圧電材料層の機械的特性が向上する。したがって、圧電体粉末と高分子との均一な混合によって空隙を最小にするためには、より微細な圧電体粉末を使用することが好ましい。圧電体粉末の粒子が大きい場合は、均一な混合が難しく、機械的強度及び分散性などが低下してしまう。一方、粒子が小さすぎると圧電特性の低下が予想されるので、粒子の大きさを適当な範囲に調節する必要がある。
【００２９】
上記の圧電体粉末は、チタン（Ｔi）、及び鉛（Ｐb）、及びバリウム（Ｂa）、及びけい素（Ｓi）、及びスズ（Ｓn）、及びマグネシウム（Ｍg）、及びニオビウム（Ｎb）、及びジルコニウム（Ｚr）などの金属酸化物を少なくとも１つ以上含むセラミック粉末である。好ましくは、チタン酸バリウム（ＢaＴiＯ３）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３固溶体（PZT）、及びＰbＺrＯ３-ＰbＴiＯ３-Ｐb（Ｍg１/３Ｎb２/３）固溶体（PZT-PMN）、及びＴiＯ２、及びＴiＯ３、及びＳiＯ２、及びＺnＯ、及びＳnＯ２Ｚrのうちの１つ又はそれらのうちの複数の混合物を、所望の圧電素子の特性に応じて使用することができる。
【００３０】
上記の高分子としては、ポリウレタン（polyurethane）、シリコンゴム（silicon rubber）、クロロプレンゴム（chloroprene rubber）、エコゲル（eccogel）、ポリビニリデンフルオライド（PVDF）など様々な種類が利用される。特に、PVDFは、代表的な伝導性高分子として圧電特性及び誘電特性を有するので、よく利用される。又、これらに限定されず、PVDF誘導体、HFPなどの添加物を入れた高分子混合物（blend）、VDF/TrFE（vinylidene fluoride/trifluoroethylene）などの圧電性高分子が使用されてもよい。
【００３１】
又、本発明による圧電複合体センサーの電極は、伝導性充填粒子と高分子マトリクスとを混合することによって形成された、伝導性複合体、又は伝導性高分子を含む。
【００３２】
伝導性複合体又は伝導性高分子の、伝導性充填粒子には、電気伝導度の高いカーボン及び/又は金属粉末が使用される。前記高分子マトリクスとしては、主に結晶性が優れ、リニアな鎖状構造を有するシリコンゴム（silicon rubber）、ポリウレタン（polyurethane）、ポリエチレン（polyethylene）、ポリプロピレン（polypropylene）、PEAA(Polyethylene-co-acrylic acid)、PVDF（Polyvinylidene fluoride）、PTFE（Polytetrafluoroethylene）などが使用される。
【００３３】
伝導性複合体又は伝導性高分子を含む電極は、圧電材料層の両対向面に設けられるので、圧電材料層を形成する時と同じ圧出及び射出成形装置を使用して製造できるという利点がある。その結果、工程コストが削減され、生産性が上がり、かつ、様々な形状の物品が容易に成形され得る。
【００３４】
又、従来技術においては、金属からなる電極と外部回路とをリード線で接続する際に、半田付けや機械的なクリップを用いる必要があるという不便さがあった。しかし、本発明の圧電複合体センサーは、圧出及び射出成形により、電極に導線を直接接続できるので、工程を削減することができる。さらに、本発明は、金属からなる電極のために外寸法を圧電材料の寸法のみでしか制御できなかった従来技術に比べて、伝導性複合体又は伝導性高分子からなる電極の厚さを広範囲に渡って制御することができる。
【００３５】
さらに、従来技術において、電極に形成される金属薄膜は、圧電複合体との接着が不安定であるので、使用中に金属薄膜が圧電複合体から剥離することがあった。電極が圧電複合体から剥離すると、適切な電気信号が伝達されないため、圧電素子そのものが実現できないか、あるいは圧電素子を実現できたとしてもその寿命が短くなる。このため、圧電材料層と電極との接着は非常に重要となる。
【００３６】
本発明の圧電複合体センサーは、圧電材料層と電極とがそれぞれ高分子成分を有しているため、高分子同士の極めて強い結合力によって、圧電材料層と電極とが最も強く結合される。高分子を有する、圧電複合体と電極との安定した結合によって、圧電特性の効率が上がり、センサーとしての寿命をのばすことができる。なお、圧電材料層と電極とに同一の高分子を使用することで、さらにその効果を高めることができる。
【００３７】
又、圧電複合体センサーは、高分子マトリクスを有しているので、熱や機械的衝撃に対して十分強く、機械的に安定している。セラミックスからなる従来の圧電センサーは、様々な形状の成形が困難で、機械的に弱く、壊れ易いという問題点があった。しかし、本発明の圧電複合体センサーは、高分子からなる材料を有しているので、様々な形状の成形を容易に行うことができ、又強い衝撃に対しても機械的に安定している。
【００３８】
図１は、本発明による圧電複合体センサーの圧電特性を示したグラフである。
【００３９】
図１に示すように、圧電複合体センサーは、圧力の変化に応じた電気特性を有する。一般的に、圧電体は、分極の向きを制御することによって、使用目的に応じて製造される。分極の向きが電界と同一方向に形成される場合、信号は、圧力の増加に従って電気信号が増加するような変化をする。一方、分極の向きが電界と反対方向に形成される場合、信号は、圧力の増加に従って電気信号が減少するような変化をする。このように、本発明による圧電複合体センサーは、圧電体粉末と高分子とを有した圧電複合体が、伝導性複合体又は伝導性高分子から形成された電極間に設けられる。また、圧電特性は分極の向きによって制御され、良好な圧電特性を有している。
【発明の効果】
【００４０】
本発明による圧電複合体センサーは、非常に優れた、圧電性、及び誘電性、及び機械的強度、及び信頼性を有するとともに、生産性を高めることができる。又、本発明は、成形が容易であるため、様々な形状のセンサーを製造することができる。
【００４１】
又、さらに、本発明は、製造工程を単純化して工程コストを削減することができ、生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
以下、本発明の好ましい実施例について図面を参照しながら説明する。
【００４３】
図２は、本発明の１実施例による圧電複合体センサーの断面図である。
【００４４】
図２に示すように、圧電複合体センサーは、圧電材料層１０と、この両対向面に設けられた電極２０とを有している。
【００４５】
図２に示す圧電複合体センサーは、信頼性が高く、耐久性に優れ、長寿命であるため、破損しやすい既存のセラミックス材料や電極を用いた製品に応用することができる。最適な実施例としては、自動車タイヤの圧力変化を感知して危険状況をあらかじめ知らせる役割をする自動車のタイヤ圧力制御システム（TPMS）への採用が挙げられる。
【００４６】
図２に示す圧電複合体センサーの製造方法は、次のとおりである。
【００４７】
まず、予め準備された圧電複合体と、伝導性複合体又は伝導性高分子とをそれぞれ混合する。
【００４８】
なお、圧電体粉末と高分子については、混合装置（mixer）に投入して、圧電体粉末を高分子に分散させて、混練する。このとき、圧電材料は、圧電性を向上させるために圧電体粉末の量を多く含むことが好ましい。しかしながら、その量が多すぎると、加工性が制限されるので、圧電体粉末の量を適切な範囲に制御する必要がある。ここで、圧電体粉末と高分子の混合が均一であれば空隙が最小になって、圧電体の機械的特性が向上するので、均一な混合は重要である。
【００４９】
又、伝導性複合体又は伝導性高分子については、混合装置（mixer）を利用して伝導性充填粒子と高分子マトリクスとを加熱混合して形成する。電極を形成する伝導性複合体又は伝導性高分子は、伝導度を上げるために、伝導性充填粒子の量を多く含有させることが好ましい。しかしながら、機械的特性を上げるために、その量を適切な範囲に調節する必要がある。
【００５０】
次に、混練した圧電複合体については、成形装置を利用して圧出及び射出成形を行う。
【００５１】
又、形成された伝導性複合体又は伝導性高分子については、圧電複合体の両対向面に位置するように成形して、圧電複合体センサーの電極を設ける。
【００５２】
図３は、本発明の別の好ましい実施例による圧電複合体センサーの斜視図である。
【００５３】
図３に示すように、圧電複合体センサーは、金属又は伝導性複合体又は伝導性高分子の導線で形成される内部電極３０と、この周囲を取り囲む圧電材料層１０と、さらにこの外部を取り囲む外部電極４０とを含むように構成される。本発明では、外部電極４０は上記の伝導性複合体又は伝導性高分子から形成されるので、圧電複合体を形成する時と同一の圧出及び射出成形装置を使用でき、工程を単純化することができる。又、電極は、高分子材料を中心として形成されるので、加工が容易で、強い衝撃に対しても機械的に安定している。
【００５４】
このように、圧電センサーは、導線を接続することによって、道路に設置される交通量センサーや加速感知センサーなどによく使用される。本実施例による圧電複合体センサーは、外部電極が伝導性複合体又は伝導性高分子を含んで形成されて、熱や機械的衝撃に対して強い。このため、道路上に設けられて、通過する車両の荷重を感知して数多くの乗り物の交通量を測定する交通量センサーに使用される。このように、圧電複合体センサーは、機械的衝撃に耐えられ機械的にも安定しており、信頼性が高く、長寿命である。
【００５５】
この圧電複合体センサーは、センサーの長さが長くなることによって、高分子による抵抗が若干増加するという問題があるが、図３に示すように、外部電極４０の内部に、外部電極の長手方向にのびる金属の細い導線４５を含ませるによって、その抵抗を減少させることができる。
【００５６】
図４は、本発明のさらに別の好ましい実施例による圧電複合体センサーの断面図である。
【００５７】
図４に示すように、圧電センサーは、球状に形成され、金属又は前記伝導性複合体又は伝導性高分子からなる内部電極５０と、この周囲を球状に取り囲む圧電材料層１０と、さらにこの外部を取り囲む外部電極６０とを含むように構成される。このとき、外部電極６０は、圧電材料層１０の外周の所定領域を除いて形成される。また、内部電極５０に接続された導線５５は、圧電材料層１０を貫通して、外部電極６０の形成されない圧電材料層１０の外周の所定領域に、外部へのびるように形成されている。このような形状の圧電センサーは、例えば、ゴルフボールシミュレータや情報機器における、位置情報を提供するセンサーに利用される。この圧電センサーは、多様な形状に応じて所望の用途に使用することができる。
【００５８】
このように、本発明によれば、伝導性複合体又は伝導性高分子を有する電極を、圧電材料層に設けているので、信頼性が高く、かつ、様々な形状のセンサーの製造が可能である。
【００５９】
以上、本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明の構成はこれに限定されるものではない。本願の特許請求の範囲に記載の構成の範囲内において、様々な変形例及びその改良例を創作することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明による圧電複合体センサーの圧電特性を示したグラフである。
【図２】本発明の１実施例による圧電複合体センサーの断面図である。
【図３】本発明の別の好ましい実施例による圧電複合体センサーの斜視図である。。
【図４】本発明のさらに別の好ましい実施例による圧電複合体センサーの断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１０  圧電材料層
２０  電極
３０  内部電極
４０  外部電極
４５  金属の導線
５０  内部電極
５５  内部電極に接続された導線
６０  外部電極
【図１】
2008544218.tif 000003
【図２】
2008544218.tif 000004
【図３】
2008544218.tif 000005
【図４】
2008544218.tif 000006
【国際調査報告】
2008544218.tif 000007
2008544218.tif 000008