(57)【要約】【課題】被試験デバイスの試験を改良すること。【解決手段】自動半導体試験装置は、被試験デバイスに対する複数のテスタチャネルを含む。この装置は自動スイッチモジュールを含み、誤動作していることが判明した任意のチャネルを未使用の動作可能なテスタチャネルに切り替える。またこの装置は、テスタチャネルの誤動作に関係なく試験動作を継続する。【選択図】図２
2008545126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動試験装置であって、
第１テスタチャネル及び第２テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが利用可能かどうかを示すモデルファイルと、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが使用されているかどうかを示すピン構成ファイルと、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記モデルファイルと前記ピン構成ファイルをスキャンして、前記第２テスタチャネルが前記第１テスタチャネルの代用として利用できるチャネルであると識別するスクリプトと、
を含むことを特徴とする自動試験装置。
【請求項２】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記第１テスタチャネルを識別するログファイルを生成する誤動作検出モジュールをさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記スクリプトが前記ログファイルをスキャンして前記第１テスタチャネルを識別すること、を特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記スクリプトがパール（ＰＥＲＬ：Practical Extraction and Reporting Language）スクリプトであること、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えるスイッチをさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第３テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネル又は前記第３テスタチャネルのいずれかに切り替えるよう制御できるスイッチマトリックスと、をさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記スイッチが、前記第１テスタチャネルの代わりに前記第２テスタチャネルを起動させるリレー手段を含むこと、を特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項８】
第１テスタチャネル及び第２テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネルの誤動作を検出する検出モジュールと、
前記検出モジュールが前記第１テスタチャネルの前記誤動作を検出した場合に、前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えるスイッチと、を含むこと、
を特徴とする自動試験装置。
【請求項９】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記検出モジュールが前記第１テスタチャネルを識別するログファイルを生成すること、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
第３テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネル又は前記第３テスタチャネルのいずれかに切り替えるよう制御できるスイッチマトリックスと、を含み、
前記スイッチが前記スイッチマトリックスの一要素であること、
を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記スイッチが、前記第１テスタチャネルの代わりに前記第２テスタチャネルを起動させるリレー手段を含むこと、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルの動作を停止させるモジュールをさらに含み、
前記検出モジュールが前記動作の停止と同時に起動すること、
を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１３】
前記装置がテスタチャネルの誤動作とは関係なく試験動作を継続すること、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１４】
第１テスタチャネルと第２テスタチャネルを含む自動試験装置の動作方法であって、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが利用可能かどうかを示すモデルファイルを提供し、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが使用されているかどうかを示すピン構成ファイルを提供し、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記モデルファイルと前記ピン構成ファイルをスキャンして、前記第２テスタチャネルが前記第１テスタチャネルの代用として利用できるチャネルであると識別し、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに置き換えることを含むこと、
を特徴とする方法。
【請求項１５】
前記第１テスタチャネルが誤動作していることを検出することをさらに含み、
前記置き換えが、前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えることを含むこと、
を特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１テスタチャネルと前記第２テスタチャネルの動作を停止させることをさらに含み、
前記動作の停止と同時に前記検出を実行すること、
を特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記置き換えを実行する一方で、テスタチャネルの誤動作に関係なく前記装置が試験動作を継続すること、を特徴とする請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被試験デバイスの試験に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路（ＩＣ）は、その正確な動作を保証する試験を行う必要がある。被試験デバイス（ＤＵＴ）としてのＩＣを試験する際には、自動試験装置（ＡＴＥ）の刺激データ信号にＩＣを露呈する。ＩＣは、ＡＴＥに対して対応する応答データを送り返す。ＡＴＥは、この応答データを測定及び処理し、予期応答と比較するのが通常である。ＡＴＥは通常、デバイス特有の試験プログラムによって、かかる作業を行なう。パーピン構造に基づいてリソースを分散させたＡＴＥが知られているが、かかるＡＴＥでは試験の際、ＤＵＴの複数のピンの各々を１つのＡＴＥピン電子回路に接続させる。一般にパーピン構造は、高い性能と高い拡張性を可能とする。
【０００３】
パーピン構造を備えたＡＴＥの例としては、アジレントテクノロジーズ（Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）の半導体試験システムであるＡｇｉｌｅｎｔ８３０００ファミリと９３０００ファミリがある。それらファミリの詳細については、例えば欧州特許第０８５９３１８号、欧州特許第０８６４９７７号、欧州特許第０８８６２１４号、及び欧州特許第０８８２９９１号、並びに米国特許第５４９９２４８号、及び米国特許第５４５３９９５号に開示されている。
【０００４】
基本的に、前述のような種類の試験装置は一連のテスタチャネルで構成されているが、その各々は独立した試験器として動作する。例えばＡｇｉｌｅｎｔ９３０００（９３Ｋ）試験装置では、テスタチャネルはそれぞれが１６個のチャネルを含む複数のボードにグループ化されている。よって標準的な９３Ｋの構成では、対象とするＡｇｉｌｅｎｔ社の試験器で１０２４個に及ぶテスタチャネルを含むことになる。
【０００５】
テスタチャネルが１つでも誤動作すれば、試験器全体が「停止」することになる。よって、いずれかのチャネルが誤動作することで、試験器全体に休止時間が生じることとなる。よって、試験器に休止時間が生じるのは主に、かかるチャネルのいずれかが誤動作するためである。試験器の休止時間は、試験の実行に関わる処理量とコストに大きく影響する。いずれにせよ、かかる「停止」事象は機械の信頼性に悪影響を与える。
【０００６】
チャネルが誤動作した場合、以下のステップを行う可能性がある：
ａ）試験の実行を停止する、即ち試験器が停止する；
ｂ）診断ソフトウェアを実行して、誤動作しているチャネルを検索する；
ｃ）故障したチャネルを含むチャネルボードを新たなボードと取り替える；これはスペア部品として扱われるものであるが、取り替えを行うにはスペア部品を出荷元に発注する必要があり、一般に２４時間から４８時間の配送時間がかかる；
ｄ）新たなボードを受け取ると、熟練者がそれを設置する；
ｅ）診断ソフトウェアを再度実行する（これには平均して１時間かかる）；
ｆ）一般的には自己較正（平均３時間）を行う。
【０００７】
この時点でようやくＡＴＥ試験器は「作動」し、再び稼動する。
【０００８】
試験器の休止時間、即ち試験器が動作しない時間は、上記ａ）からｆ）の操作全てにかかる時間を合計したものとなる。
【０００９】
【特許文献１】欧州特許第０８５９３１８号明細書
【特許文献２】欧州特許第０８６４９７７号明細書
【特許文献３】欧州特許第０８８６２１４号明細書
【特許文献４】欧州特許第０８８２９９１号明細書
【特許文献５】米国特許第５４９９２４８号明細書
【特許文献６】米国特許第５４５３９９５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、被試験デバイスの試験を改良することである。これらの目的及び他の目的は、以下の特許請求の範囲に定義する発明によって達成される。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の好適な実施形態の基礎をなす基本的な考えは、誤動作を起こしているテスタチャネルを、利用可能な「良好な」別のチャネル、即ち正確に動作する別のチャネルと自動的に「交換する」ことである。
【００１２】
好ましくは、この交換又は切り替え作業は、ソフトウェア（Ｓ／Ｗ）による切り替えとハードウェア（Ｈ／Ｗ）による切り替えを介して行なう。このようなＨ／Ｗによる切り替え機能の実行については、多くの方法を採用することができる。それらの方法の中には、ＡＴＥ内部での切り替え（例えば隣接するチャネル同士での切り替え）、ＤＵＴボードの設計（即ちＤＵＴボード上でのリレー操作）、又は再構成可能なスキャンチェーンを用いること等がある。
【００１３】
よって、欠陥チャネルを含むボードと新たなテスタボードの取り替えを待機する間、試験器自体が試験の実行を停止することはない。このことにより、自動試験装置、即ちＡＴＥのような半導体試験装置の休止時間が短縮される。
【００１４】
好ましくは、試験器のソフトウェアはテスタプログラムディレクトリに格納した所定のファイルに基づいて動作する。前記所定のファイルとは即ち、以下のものである：
ａ）モデルファイル：このファイルは、試験器自体において利用できるテスタチャネル全てに関する情報を含む。
ｂ）pinconfig（ピン構成）ファイル：これは、試験プログラムが使用するテスタチャネル全てに関する情報を含むピン構成ファイルである。
ｃ）診断ログファイル：このファイルは、試験器における欠陥チャネルに関する情報を含む。
【００１５】
テスタチャネルの診断ソフトウェアが誤動作を検出すると、パール（ＰＥＲＬ：Practical Extraction and Reporting Language）等のスクリプトは、誤動作しているテスタチャネルを試験器内で利用できる別のチャネルと自動的に取り替える。
【００１６】
一実施形態では自己検出と自己修復を行い、実質的に機械の休止時間のない形態で半導体試験装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
添付の図面を参照しつつ、発明の非制限的な例を用いて本発明の実施形態を記載する。
【００１８】
以下の記載では、本発明の実施形態が理解されるように、多くの具体的なものを提示する。ただし当業者であれば、本明細書に示す具体的なものが１つ以上なくとも、又は他の方法、要素、材料等を用いても本発明を実施できることを理解できよう。
【００１９】
また、発明の態様が不明瞭にならないよう、周知の構造、材料、あるいは操作については詳細に示さないか、又は記載しないものとする。
【００２０】
本明細書を通して「ある実施形態」若しくは「一実施形態」といった言い方をするが、このような場合には、その実施形態と共に記載する特定の特徴、構造、若しくは特性が、本発明の少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味している。本明細書の中の種々の箇所で「ある実施形態では」若しくは「一実施形態では」と記載しているが、実施形態は同一である必要はなく、また同一の実施形態を指しているものでもない。さらに、特定の特徴、構造、あるいは特性を１つ以上の実施形態において適切に組み合わせて使用してもよい。
【００２１】
図１は、集積回路（ＩＣ）の正確な動作を保証するべくＩＣの試験を行う際に使用する装置１の概略斜視図である。試験を行う間、被試験デバイス（ＤＵＴ）であるＩＣは、自動試験装置（ＡＴＥ）１の生成する刺激データ信号にさらされる。ＩＣは、対応する応答データをＡＴＥに送り返す。ＡＴＥはこの応答データを評価、処理し、通常は予測される応答と比較する。ＡＴＥは通常、デバイス特有の試験プログラムによってこれらの作業を行なう。
【００２２】
典型的な例の構成では、装置（ＡＴＥ）１はベンチ構造２を含み、その上に被試験デバイス（ＤＵＴ）を配置する。
【００２３】
詳細には、図１には半導体集積回路Ｃの形態の１つ以上のＤＵＴがＤＵＴボード３上に搭載された状態で示されている。ＤＵＴボード３は基本的に、デバイスＣが配置される中央部分を含む大きな（例えば６０×４０ｃｍの）プリント基板（ＰＣ）の形態である。ＤＵＴボード３は複数の大きなライン４を含むが、このラインの各々は被試験デバイスの１つのピン若しくは接点（接触玉）を、ボードの周囲に配置された少なくとも１つの接続パッドに接続する−なお、被試験デバイスはパッケージ化されたデバイスであっても、「むきだしの」チップであってもよい。これらの接続パッドは、一般的にはボード３の下側（下面）のアレイ５に配置する。
【００２４】
図２により良く示すように、各アレイ５は通常、行列状の接触パッドを含む。ＤＵＴボードの各アレイ５は、ＡＴＥ１の台部分２の上面における、対応する接触ピンアレイ６を鏡映したものである。（ここでは「ポゴピン」と称する）これらの接触ピンが接触パッド５への電気的接続を確立することで、被試験デバイスＣのピン又は「玉」への電気的接続が確立される。
【００２５】
試験プロセス中に、ライン４を介して接続が確立され、アレイ５の接触パッドと「ポゴピン」６を使用して「刺激」の形態の信号が回路Ｃに供与され、回路から対応する「反応」又は「応答」が収集される。これらの反応／応答がない場合、又はこれらの反応／応答が期待したものと違う場合に、試験中の回路Ｃに欠陥若しくは誤動作の箇所がある証拠と解釈するのが一般的である。
【００２６】
前述のことは全て当分野で周知の動作原理であるため、さらに詳細に記載する必要はない。
【００２７】
図２においてより詳細に示すように、ポゴピン６の各アレイは、対応するテスタチャネル７の「遠位」端を示す。かかるチャネルの各々は、以下により詳細に示すスイッチマトリックス８を介してテスタボード９に接続される。一般的に、Ａｇｉｌｅｎｔ９３ｋシリーズのＡＴＥには６４個のボードにグループ化された１，０２４個のチャネルが含まれており、各ボードは１６個のチャネルを有している。一般的に、テスタボード９はＡＴＥのベンチ構造２に配置されており、ユーザインタフェース（ＧＵＩ等）を配置した集中シェルフ１１に収められた主試験器ユニット１０まで達している。
【００２８】
テスタチャネル７のいずれが誤動作を起こすことは非常に望ましくない事象であるため、ユニット１０は誤動作しているチャネルを検出する自動化ソフトウェアを含んでいる。
【００２９】
本明細書中に記載する構成の好適な実施形態では、例えばＡｇｉｌｅｎｔ９３ｋ試験器を備えたソフトウェアモジュール指定のＨＰＳｍａｒｔｅｓｔ（登録商標）において既に利用されている診断ルーチンを介して、周知の手段によって欠陥チャネルの検出を実行する。
【００３０】
試験ソフトウェアはユニット１０の関連するメモリに格納された所定のファイルをベースに動作する。詳細には、試験プログラムディレクトリに含まれるこれらのファイルには以下のようなものがある：
ａ）モデルファイル：このファイルは試験器自体において利用できるテスタチャネル全てに関する情報を含むものである；
ｂ）pinconfigファイル：これは、試験プログラムによって使用されるテスタチャネル全てに関する情報を含むピン構成ファイルである；
ｃ）診断ログファイル：このファイルは試験器における欠陥チャネルに関する情報を含むものである。
【００３１】
ここに記載する構成の基礎をなす基本概念は、チャネル７のうちの１つに欠陥があることが判明した場合、pinconfigファイルにおける別の良好な未使用のチャネル７を欠陥チャネルと取り替えることである。
【００３２】
詳細には、パールスクリプト等のスクリプトにより、pinconfigファイルにおける良好なチャネルと欠陥チャネルを取り替える。その後、良好であるが未使用であるチャネルを、ＤＵＴボード上の欠陥チャネルと物理的に取り替える。
【００３３】
ここで検討している構成の一例の動作モードについて、図３のフローチャートを参照しつつ記載する。
【００３４】
待機状態１００から始まるが、これは試験装置の通常動作の一例である。ステップ１０２は、テスタチャネルの誤動作が検出されたことを示している（前述のようにこの機能は周知の手段によって実行されるため、ここでは詳述しない）。
【００３５】
その結果、ステップ１０４において試験操作が中断する。試験装置１が停止する。
【００３６】
その後、ステップ１０６において診断ソフトウェアが実行され（これはＡｇｉｌｅｎｔ９３ｋ試験ソフトウェアの一部としてすでに利用可能である）、誤動作しているチャネル７が識別される。
【００３７】
ステップ１０８では、例えばパール（ＰＥＲＬ：Practical Extraction and Reporting Language）スクリプト等のスクリプトが前述のログファイルをスキャンし、誤動作しているチャネルを見出す。詳細には、スクリプトはユニット１０に格納した試験ソフトウェアディレクトリに含まれるファイルのうちの２つをスキャンする。その２つとは以下のものである；
ｉ）試験器自体において利用可能なテスタチャネル全てに関する情報（即ち“tester_channels”）を含むモデルファイル、及び
ii）試験プログラムが使用するテスタチャネル全てに関する情報（すなわち“used_channels”）を含むピン構成ファイル（“pinconfigファイル”）。
【００３８】
スクリプトは、モデルファイルとpinconfigファイルのスキャンと比較を行い、利用できる未使用のテスタチャネルを見出す。スクリプトは、“tester_channels”グループと“used_channels”グループを比較することにより、この結果を得る。
【００３９】
パールスクリプトは“spare_channels”グループを見出す。“spare_channels”グループに属する任意のチャネルを使用して、“used_channels”グループに属する誤動作チャネルと置き換えることができる。
【００４０】
スクリプトは、誤動作していることが判明したチャネル７を“spare_channels”グループからの動作可能なチャネルと取り替えることにより、pinconfigファイルを修正する。このように、誤動作チャネルを利用可能で「良好な」チャネルと置き換えることにより、切り替え動作を行う。
【００４１】
その後、ステップ１１０において物理的な切り替えを行い、利用できる「良好な」別のテスタチャネル、即ち確実に正確な試験動作ができるようにしたテスタチャネルを使用して、誤動作していることが判明したテスタチャネル７と置き換える。
【００４２】
ここで示す「物理的な」置き換え動作の実行においては、多くの方法を利用することができる。
【００４３】
まず、ここで好適とする方法は、図２に示すスイッチマトリックス８に依るものである。好適な実施形態では、対象とするマトリックスはソリッドステートのリレー式スイッチマトリックスである。かかるスイッチマトリックスは一般に、電話回線網における私設及び公的な交換のように、多様な電子機器において使用されている。そのようなマトリックスを使用することが、ＡＴＥにおいても提起されてきた。それは、例えばそれぞれにピン層若しくは「玉」層を有する複数の重なり合ったデバイスを含む、いわゆる「スタック」を試験することに対してである。このような場合には、スタックにおける種々のデバイスを試験するために様々な接続構成が必要となる。
【００４４】
要するに、所与のチャネル７が誤動作していることが判明すると、（ユニット１０の制御下で動作する）マトリックス８は、誤動作チャネルを介して接続されている「ポゴピン」６とテスタボード９のアレイが、「良好な」チャネルを介して再接続されることを保証し、試験プロセスの継続の可能性が保証される。
【００４５】
代替的には、ＤＵＴボード３に含まれるリレー手段１２（図２で細線で概略的に示す）を通して全てのチャネルに対して専用のボード設計を用いることにより、対応する動作モードを保証することができる。このようにして、動作可能であって現在は使用されていないチャネルと任意の欠陥チャネルを置き換えることを請け負う各リレー手段１２に対して、全てのチャネル７を接続することができる。ＤＵＴボード３の使用面積がある程度増すという可能性はあるものの、この代替的な構成には、ＤＵＴボード３において現在既に利用されている所謂「ユーティリティ」ライン１３を介してユニット１０がスイッチリレー手段１２を制御できるという点で、固有の利点がある。
【００４６】
また、デバイスCのいわゆる「スキャンチェーン」における対応する変更により、前述のラインに沿った「仮想的」切り替えを達成する、さらなる代替案もある（図には明示していない）。
【００４７】
チャネルのＨ／Ｗの切り替えにいかなる特定の方法を採用したとしても、かかるチャネルの切り替えが達成されれば、ステップ１１２において診断ソフトウェアを実行する。かかる診断ルーチンにより肯定的結果（ステップ１１４）が出れば試験器がＯＮにセットされて試験が再開され（ステップ１１６）、一方、システムは待機状態に戻る（ステップ１１８）。ステップ１１４において否定的結果が出た場合には、システムの動作はステップ１０６に戻る。
【００４８】
誤動作チャネルが検出されると診断ルーチン自体がパールスクリプトを呼び出すという点で、好適には前述のステップは単一ステップソフトウェアプロセスに統合される。これは、誤動作の検出による試験器の停止の後で自動的に実行される診断ルーチンに、実際には上記ステップが統合されるということを意味している。
【００４９】
上記の動作タイプは、試験器の正確な自己検出／修復を行うという概念を具現化することが理解されよう。さらに当業者は、試験装置が既に全ての利用可能なテスタチャネルを使用している場合には、上記構成が試験器に余剰のスペアチャネルを導入するのに役立つことを理解するであろう。
【００５０】
ここに記載した構成の骨組みでの使用に適応したパールスクリプトを表す擬似コードについて、詳細に記載する。
【００５１】
スクリプトのメインプログラムは次の機能を実行する：
＆scan_diag ( )；＃診断ファイルから欠陥テスタチャネルを見出す
＆scan_model ( )；＃モデルファイルから利用可能なテスタチャネルを見出す
＆scan_config ( )；＃pinconfigファイルから使用されるテスタチャネルを見出す
＆scan_free ( )；＃使用されていないテスタチャネルを見出す
＆backup_config ( )；＃pinconfigファイルのバックアップを作成する
＆modify_config( )；＃pinconfigファイルにおいてfailing_channelsをavailable_channelsに置き換える
【００５２】
モデルファイルのこの部分をスキャンすることによって、＆scan_model ( )はテスタにおいて利用可能なチャネル（即ち“tester_channels”）を見出す：
IOCHANNEL
10101-10216：sram = 2M, sdram =112M
10301-11416：sram = 2M, sdram =14M
11501-11616：sram = 2M, sdram =112M
11701-13216：sram = 2M, sdram =14M
20101-20516：sram = 2M, sdram =14M
【００５３】
pinconfigファイルのこの部分をスキャンすることによって、＆scan_config（ ）が試験プログラムの使用するテスタチャネル（即ち“used_channels”）を見出す：
hp93000, config, 0.1
DFPN 10702, “3”,（cari_pwm）
DFPN 10703, “4”,（paper_pwm）
DFPN 10704, “5”,（serv_pwm_b）
DFPN 10705, “8”,（rom_adrl8）
DFPN 10706, “9”,（serv_pwm_a）
DFPN 10707, “10”,（aload）
DFPN 10708, “11”,（obs_busl3）
【００５４】
その後、＆scan_free ( )が使用されていないテスタチャネルを見つけて、＆modify_config ( )がpinconfigファイルにおいてfailing_channelをavailable_channelsと置き換える。
【００５５】
この時点で試験器のディスプレイに警告が発せられる：
print "＼ｎ＼ｎ＼ｎ＼ｎ"；
print "                !!!!!ATTENTION!!!!!        THIS CHANNEL IS FAILING: $failing_channels [$t] ＼ｎ"；
print "              REPLACE IT ON THE BOARD WITH THIS UNUSED CHANNEL: $free_channels [$t] ＼ｎ"；
print "＼ｎ＼ｎ"；
print "                  PIN CONFIGURATION HAS BEEN ALREADY UPDATED BY THIS SCRIPT”；
【００５６】
試験器においてエラーが発生した後に技術者が手作業で診断ソフトウェア（ステップ１０６）を実行することができる。ただし、機械が停止しているものの故障しているわけではない場合に、本文中に記載した構成がこのソフトウェアを定期的に実行できるようにする、即ち、実質的にＰＣにおいて実行されるスキャンディスクプログラムのように、このソフトウェアプログラムを実行させることが好ましい。欠陥チャネルを検出した場合には、上記のチャネルの切り替え／交換手順が自動的に始動する。
【００５７】
本明細書に記載する構成によれば、平均故障時間（ＭＴＢＦ）に関する性能を改良することによって、上述の試験装置の稼働時間が相当程度増大することが理解されよう。このことは、費用を重視するマルチサイト環境において使用することを意図した高度のピンカウントデジタルシステムにとって、特に重要なことである。
【００５８】
本明細書に記載する構成は、ＤＵＴボードにおけるリレー手段（リレーユニット２０）の使用を伴う。アプリケーションによっては、このような構成はスペースと信頼性の面から特には実用的でないことが判明する場合もありうる。しかし、例えば隣接するチャネル同士での切り替えを手配することによって、自動試験装置（ＡＴＥ）内の他の場所で、又は例えば再構成可能なスキャンチェーンを用いることによって被試験デバイス（ＤＵＴ）内で、上記切り替えプロセスを実行することもできる。
【００５９】
例示した発明の実施形態に関する上述の記載は要約書の記載も含めて、本発明を網羅するものでもなければ、開示した形態そのものに本発明を制限するものではない。本発明を説明する目的で発明の特定の実施形態と実施例を記載しているが、本発明の範囲内で、また本発明の主旨及び範囲から逸脱することなく、種々の同等の変更が可能である。
【００６０】
上述の詳細な説明を考慮し、上記及びその他の変更を本発明において行うことができる。特許請求の範囲で使用する用語については、本発明を、明細書及び特許請求の範囲で開示する特定の実施形態に限定するものと解釈すべきではない。むしろ、本発明の範囲は全て特許請求の範囲により決まるものであり、特許請求の範囲の解釈に関して確立された教示によって解釈されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本明細書で示す構成を含むように適応させた試験装置の概略部分分解斜視図である。
【図２】図１に示す装置の機能ブロック図である。
【図３】本明細書に示す半導体試験装置の可能な動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００６２】
Ｃ  半導体集積回路（ＤＵＴ）
１  装置（ＡＴＥ）
２  ベンチ構造
３  ＤＵＴボード
５  アレイ
６  ポゴピン
１０  主試験器ユニット
【図１】
2008545126.tif 000003
【図２】
2008545126.tif 000004
【図３】
2008545126.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成19年4月12日(2007.4.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動試験装置であって、
第１テスタチャネル及び第２テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが利用可能かどうかを示すモデルファイルと、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが使用されているかどうかを示すピン構成ファイルと、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記モデルファイルと前記ピン構成ファイルをスキャンして、前記第２テスタチャネルが前記第１テスタチャネルの代用として利用できるチャネルであるか否かを識別する試験ソフトウェアであって、前記第１テスタチャネルが誤動作している場合において前記第２テスタチャネルが利用できると識別された場合には、前記ピン構成ファイルにおける前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに置き換える試験ソフトウェアと、
を含むことを特徴とする自動試験装置。
【請求項２】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記第１テスタチャネルを識別するログファイルを生成する誤動作検出モジュールをさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記スクリプトが前記ログファイルをスキャンして前記第１テスタチャネルを識別すること、を特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記スクリプトがパール（ＰＥＲＬ：Practical Extraction and Reporting Language）スクリプトであること、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えるスイッチをさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
第３テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネル又は前記第３テスタチャネルのいずれかに切り替えるよう制御できるスイッチマトリックスと、をさらに含むこと、を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記スイッチが、前記第１テスタチャネルの代わりに前記第２テスタチャネルを起動させるリレー手段を含むこと、を特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項８】
前記検出モジュールが前記第１テスタチャネルの前記誤動作を検出した場合に、前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えるスイッチと、を含むこと、
を特徴とする請求項１に記載の自動試験装置。
【請求項９】
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記検出モジュールが前記第１テスタチャネルを識別するログファイルを生成すること、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
第３テスタチャネルと、
前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネル又は前記第３テスタチャネルのいずれかに切り替えるよう制御できるスイッチマトリックスと、を含み、
前記スイッチが前記スイッチマトリックスの一要素であること、
を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記スイッチが、前記第１テスタチャネルの代わりに前記第２テスタチャネルを起動させるリレー手段を含むこと、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１２】
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルの動作を停止させるモジュールをさらに含み、
前記検出モジュールが前記動作の停止と同時に起動すること、
を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１３】
前記装置がテスタチャネルの誤動作とは関係なく試験動作を継続すること、を特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１４】
第１テスタチャネルと第２テスタチャネルを含む自動試験装置の動作方法であって、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが利用可能かどうかを示すモデルファイルを提供し、
前記第１テスタチャネル及び前記第２テスタチャネルが使用されているかどうかを示すピン構成ファイルを提供し、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合に、前記モデルファイルと前記ピン構成ファイルをスキャンして、前記第２テスタチャネルが前記第１テスタチャネルの代用として利用できるチャネルであると識別し、
前記第１テスタチャネルが誤動作している場合において前記第２テスタチャネルが利用できると識別された場合には、前記ピン構成ファイルにおける前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに置き換えることを含むこと、
を特徴とする方法。
【請求項１５】
前記第１テスタチャネルが誤動作していることを検出することをさらに含み、
前記置き換えが、前記第１テスタチャネルを前記第２テスタチャネルに切り替えることを含むこと、
を特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１テスタチャネルと前記第２テスタチャネルの動作を停止させることをさらに含み、
前記動作の停止と同時に前記検出を実行すること、
を特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記置き換えを実行する一方で、テスタチャネルの誤動作に関係なく前記装置が試験動作を継続すること、を特徴とする請求項１４に記載の方法。
【国際調査報告】
2008545126.tif 000006
2008545126.tif 000007