(57)【要約】【課題】  ウェハスキャナに使用するのに適するとともに、「像フリップ」のない屈折投影対物レンズ又は反射屈折投影対物レンズで使用することもできるマスクを使用することを可能にするＲ−Ｃ−Ｒ型の反射屈折投影対物レンズを提供する。【解決手段】  投影対物レンズの物体面上に配置されたマスクのパターンを投影対物レンズの像面上に配置された像側視野上に縮小結像スケールで結像するための、少なくとも１つの凹面鏡及び少なくとも１つの中間像を有する反射屈折投影対物レンズであって、物体面及び像面は、互いに平行な向きにあり、光線束を投影対物レンズの１つの部分から投影対物レンズの別の部分へ偏向する偏向系が、物体面及び像面間に配置され、偏向系は、互いに対して角度をなして位置する平面的な反射面での多重反射によって１８０°にわたって像回転を行うように構成された像回転反射装置を含み、それにより、結像スケールは、光軸に対して垂直、且つ互いに垂直である２つの平面で同一符号を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
投影対物レンズの物体面上に配置されたマスクのパターンを投影対物レンズの像面上に配置された像側視野上に縮小結像スケールで結像するための、少なくとも１つの凹面鏡及び少なくとも１つの中間像を有する反射屈折投影対物レンズであって、
物体面及び像面は、互いに平行な向きにあり、
光線束を投影対物レンズの１つの部分から投影対物レンズの別の部分へ偏向する偏向系が、物体面及び像面間に配置され、
偏向系は、互いに対して角度をなして位置する平面的な反射面での多重反射によって１８０°にわたって像回転を行うように構成された像回転反射装置を含み、
それにより、結像スケールは、光軸に対して垂直、且つ互いに垂直である２つの平面で同一符号を有する、反射屈折投影対物レンズ。
【請求項２】
像回転反射装置は、反射プリズムを有する、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項３】
反射プリズムは、屋根型プリズムとして構成される、請求項２に記載の投影対物レンズ。
【請求項４】
像回転反射装置は、山形鏡を有する、請求項１に記載の投影対物レンズ。
【請求項５】
山形鏡は、位置を互いに対して調節することができる２枚の平面鏡を含む、請求項４に記載の投影対物レンズ。
【請求項６】
物体側視野から第１中間像を結像する第１部分系と、ひとみの近くに凹面鏡を有して、第１中間像から第２中間像を形成する第２部分系と、第２中間像を像面上に結像する第３部分系とから形成される、請求項１〜５のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項７】
像回転反射装置は、像回転反射装置の反射面を形成する平面的なビームスプリッタ面を備えた物理的ビームスプリッタを有する、請求項１〜６のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【請求項８】
物理的ビームスプリッタは、少なくとも１つの偏光選択型ビームスプリッタ面（偏光ビームスプリッタ）を有する、請求項７に記載の投影対物レンズ。
【請求項９】
少なくとも２つの光軸を有するリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、奇数の平面鏡と、奇数の凹面鏡と、少なくとも１つの中間像とを有する、反射屈折投影対物レンズ。
【請求項１０】
少なくとも２つの光軸を有するリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、偶数の平面鏡と、偶数の凹面鏡と、少なくとも１つの中間像とを有する、反射屈折投影対物レンズ。
【請求項１１】
第１中間像を形成する第１部分系と、ひとみの近くに凹面鏡を有して第２中間像を形成する第２部分系と、第２中間像を像面上に結像する第３部分系とから形成される、リソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、偶数の鏡が、物体面と凹面鏡との間に配置され、奇数の鏡が、凹面鏡と像面との間に配置される、反射屈折投影対物レンズ。
【請求項１２】
第１中間像を形成する第１部分系と、ひとみの近くに凹面鏡を有して第２中間像を形成する第２部分系と、第２中間像を像面上に結像する第３部分系とから形成される、リソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、奇数の鏡が、物体面と凹面鏡との間に配置され、偶数の鏡が、凹面鏡と像面との間に配置される、反射屈折投影対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つの凹面鏡及び少なくとも１つの中間像を有する反射屈折投影対物レンズに関する。好適な適用分野は、投影対物レンズの物体面上に配置されたマスクのパターンを投影対物レンズの像面上に配置された像側視野上に縮小結像スケールで結像するように機能する、マイクロリソグラフィ用の投影対物レンズである。
【背景技術】
【０００２】
Ｒ−Ｃ−Ｒ型の反射屈折投影対物レンズが長年にわたって既知である。そのような結像系は、３つのカスケード式（又は連結）結像部分系を有する、すなわち２つの中間像を有する。第１屈折部分系（「Ｒ」と省略）が、物体の第１実中間像を生成する。凹面鏡を備えた第２反射屈折又はカトプトリック部分系（「Ｃ」と省略）が、第１中間像から第２実中間像を生成する。第３屈折部分系が、第２中間像を像面上に結像する。これらの３つの部分系間のビーム路の偏向は一般的に、互いに直角の向きにした２枚の平面鏡を有する偏向系によって確実に行われる。それにより、投影対物レンズの物体面及び像面を互いに平行な向きにすることができる。
【０００３】
この型の光学系は、専門家の文献に多くの態様で記載されてきた。これに関して、特に特許出願、ＵＳ２００３／０２３４９１２、ＵＳ２００３／０１９７９４６、ＥＰ１１９１３７８とともに、本出願人による米国特許仮出願である、出願日が２００３年１２月１９日の第６０／５３０，６２２号、又は出願日が２００４年５月１７日の第６０／５７１，５３３号を参照されたい。これらの仮出願の開示内容は、本明細書の一部として援用される。
【０００４】
これらの光学系及び変更形光学系のすべてに欠点があり、光学系の結像スケールは、互いに垂直である２つの好適な平面において同一値を有するが、そうであっても異なった符号を有する。この問題は「像フリップ」としても知られる。
【０００５】
屈折投影対物レンズは、他の型の多くの従来型反射屈折投影対物レンズとともに、「像フリップ」を有していない。したがって、従来型Ｒ−Ｃ−Ｒ光学系は、「像フリップ」のない屈折投影対物レンズ用又は従来型反射屈折投影対物レンズ用に構成された投影露光装置に容易に使用されることができない。むしろ、従来型Ｒ−Ｃ−Ｒ光学系は、マスク（レチクル）に対応の適応を加えただけのそのような「旧式」機械に使用されることができる。しかしながら、顧客は、基本的に古いマスクと同じ情報を搬送する新しいマスクを調達しなければならないので、これは高コストな作業である。
【０００６】
「像フリップ」のないＲ−Ｃ−Ｒ型の光学系も知られている。しかしながら、これらの光学系の場合、物体面及び像面が互いに垂直である。それにより、スキャナ動作が相当に困難になる。この型の光学系が、たとえば米国特許第５，８６１，９９７号に記載されている。
【０００７】
米国特許第５，１５９，１７２号及び米国特許第４，１７１，８７０号は、「像フリップ」を有していないダイソン型の中間像なし投影光学系を記載している。この場合、投影光学系内に屋根型プリズムが使用される。
【特許文献１】ＵＳ２００３／０２３４９１２
【特許文献２】ＵＳ２００３／０１９７９４６
【特許文献３】ＥＰ１１９１３７８
【特許文献４】米国特許第５，８６１，９９７号
【特許文献５】米国特許第５，１５９，１７２号
【特許文献６】米国特許第４，１７１，８７０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の１つの目的は、ウェハスキャナに使用するのに適するとともに、「像フリップ」のない屈折投影対物レンズ又は反射屈折投影対物レンズで使用することもできるマスクを使用することを可能にするＲ−Ｃ−Ｒ型の反射屈折投影対物レンズを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記及び他の目的は、本発明の一態様により、奇数の平面鏡と、奇数の凹面鏡と、少なくとも１つの中間像とを有するリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズによって達成される。
【００１０】
本発明の別の形態によれば、本目的は、偶数の平面鏡と、偶数の凹面鏡と、少なくとも１つの中間像とを有するリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズによって達成される。
【００１１】
本発明のさらなる形態によれば、本目的は、第１中間像を形成する第１部分系と、ひとみの近くに凹面鏡を有して第２中間像を形成する第２部分系と、第２中間像を像面上に結像する第３部分系とから形成されるリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、偶数の鏡が、物体面と凹面鏡との間に配置され、奇数の鏡が、凹面鏡と像面との間に配置される、反射屈折投影対物レンズによって達成される。
【００１２】
本発明のさらなる形態によれば、本目的は、第１中間像を形成する第１部分系と、ひとみの近くに凹面鏡を有して第２中間像を形成する第２部分系と、第２中間像を像面上に結像する第３部分系とから形成されるリソグラフィ用の反射屈折投影対物レンズであって、奇数の鏡が、物体面と凹面鏡との間に配置され、偶数の鏡が、凹面鏡と像面との間に配置される、反射屈折投影対物レンズによって達成される。
【００１３】
好適な発展が、従属請求項に明記されている。すべての請求項の表現は、参照によって本明細書の内容の一部となる。
【００１４】
投影対物レンズ内に凹面鏡を使用するとき、くもりや口径食がない結像を達成しようとする場合、ビーム偏向装置を使用する必要がある。たとえば、１つ又は複数の完全反射折り曲げ鏡（偏向鏡）による幾何学的ビームスプリッティングを行う光学系が、物理的ビームスプリッティングを行う光学系とともに既知である。さらに、ビーム路を折り曲げるために平面鏡を使用することが可能である。これらは一般的に、特定の構造空間要件を満たすために、又は物体面及び像面を互いに平行な向きにするために使用される。
【００１５】
光線束を投影対物レンズの１つの部分から別の部分へ偏向する反射面の配置構成を以下の説明では「偏向系」と呼ぶ。
【００１６】
好適な実施形態では、偏向系は、互いに対して角度をなして位置する平面的な反射面での多重反射によって１８０°にわたって像回転を行う、すなわち像を完全に正立させるように構成された像回転反射装置を有する。これは、反射面の屋根型構造によってコンパクトに実現されることができる。一例では、反射プリズム（反射するプリズム）がこの目的のために使用される。反射するプリズムは、屋根型プリズムとして構成されて、平坦な反射面の屋根型配置構成を含むであろう。五角プリズムのような反射プリズムも使用することができる。他の実施形態では、像回転反射装置は、山形鏡のように純粋鏡光学系として具現される。
【００１７】
上記及びさらなる特徴は、特許請求の範囲だけでなく、明細書及び図面からも明らかになり、その場合、個々の特徴が実現されることができ、また、有利である実施形態であって、それぞれの場合に本発明の実施形態及び他の領域において単独で、又は複数の小組み合わせの形で本来的に特許性がある実施形態を表すであろう。
【実施例】
【００１８】
好適な実施形態の以下の説明において、「光軸」という用語は、光学要素の曲率中心を通る直線又は一連の直線状線分を表す。光軸は、折り曲げ鏡（偏向鏡）又は他の反射面によって折り曲げられる。例として、物体は、集積回路のパターンを有するマスク（レチクル）であり、異なったパターン、たとえば、格子パターンを含むこともできる。例として、像は、フォトレジスト層を設けた、基板として機能するウェハ上に投影される。他の基板、たとえば液晶ディスプレイ用の部品又は光学格子用の基板なども可能である。
【００１９】
本発明に関係ないが、「像フリップ」を有する基準系ＲＥＦに基づいて、Ｒ−Ｃ−Ｒ型の光学系の従来構造が、図１に示されている。この場合、結像スケールは、光軸ＯＡに対して垂直、且つ互いに垂直である２つの平面で逆の符号を有する。光学系は、投影対物レンズの物体面ＯＳ上に配置されたパターンを投影対物レンズの像面ＩＳ上に結像するように機能する。それは、３つのカスケード式結像部分系を備える、すなわち正確に２つの実中間像を有する。それは、第１レンズ群ＬＧ１及び第２レンズ群ＬＧ２から形成された第１屈折部分系と、凹面鏡ＣＭ、視野に近いレンズ群ＬＧ２１及び第２レンズ群ＬＧ２２から形成された第２反射屈折部分系と、２つのレンズ群ＬＧ３１及びＬＧ３２から形成された第３屈折部分系とを有する。レンズ群ＬＧ１１とＬＧ１２との間、及びレンズ群ＬＧ３１とＬＧ３２との間に、それぞれひとみ面（ＰＳ）が位置し、そこに開口絞りを使用してもよい。
【００２０】
第２部分系は、視野に近い第１群ＬＧ２１を有して、又は有さないで具現されるであろう。（これに関し、視野に近いレンズ群を有しない光学系については、たとえば第ＷＯ２００４／０１９１２８号を、又は視野に近いレンズ群を有する光学系については、出願日が２００４年５月１７日の本出願人の米国特許仮出願第６０／５７１，５３３号を参照されたい。この仮出願の開示内容は、参照によって本明細書の内容に援用される。）
これらの３つの部分系の間のビーム路の偏向は、偏向系（ＤＳ）によって確実に行われる。偏向系は、図１のプリズムＤＳによって実現され、このプリズムの外側にミラーコーティングを施されたカセトス面は、互いに直角をなす向きにあって、反射面として機能する。
【００２１】
以下の例示的な実施形態では、対応する要素及び他の機構に対して同一の参照識別子が使用される。
【００２２】
本実施形態で実現される解決策は、実質的に偏向系に関する。本発明の意味において、「偏向系」とは、光線束を光学系の１つの部分から光学系の後続部分へ案内するとともに、部分系の光軸を互いにつなぐ、正確に言うと、特に対物レンズの像面ＩＳ及び物体面ＯＳが互いに平行に延びるようにする反射面の構成配置を意味すると理解されたい。
【００２３】
偏向系に対する、また存在する群ＬＧ１２、ＬＧ２１及びＬＧ３１に対する中間像の位置を変更することができる。偏向系の近傍に中間像を位置付けることが好都合である。
【００２４】
実施形態において目的を達成する方法は実質的に、従来の光学系と比較して、追加の反射面を組み込むことに基づく。上記表面をどこにどの配置構成で組み込むかにより、解決策に違いが出る。
【００２５】
第１解決策は、「屋根縁」を投影対物レンズに組み込むことに関する。屋根型構造の反射面を有する屋根縁は、像を１８０°にわたって回転させることを目的とし、好ましくは互いに直角に配置された２枚の平坦な反射面を有する。
【００２６】
上記「屋根縁」は、半割立方プリズム、及び２つの結合反射面の両方によって実現されるであろう。実施形態の２つの好都合なタイプが、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示されている。（ａ）の一体型の屋根縁偏向プリズムの場合、反射面の相対配置が安定している。反射面の相対位置は重要な役割を果たすので、これは有利であろう。しかしながら、屋根縁を有する半割立方プリズムの製造には高精度が必要であり、高コストが掛かる。このタイプの偏向プリズムの詳細な説明は、米国特許第５，１５９，１７２号及び米国特許第４，１７１，８７０号に見られる。２つの分離した平面鏡を用いた構造（ｂ）の利点は、両方の鏡を別々に（個別に）調節できることである。
【００２７】
屋根型プリズムの例を使用して屋根縁を以下に説明するが、（ａ）及び（ｂ）の両方をこれによって理解できるであろう。
【００２８】
第１の好都合な位置が、第１部分系内にある。図３は、屋根縁が第１部分系のひとみ空間内に配置されるそのような配置を示す。
【００２９】
屋根縁用の第２の好都合な位置が、第１中間像の近傍である。第１中間像は、第１部分系の下流側に、すなわち、群ＬＧ１２の下流側に生じる。屋根縁は、第１及び第２部分系の間、又は第２及び第３部分系の間に挿入されてもよい。図４は、そのような配置構成を示す。
【００３０】
さらなる好都合な位置が、第２中間像の近傍、すなわち、第２及び第３部分系の間にある。図５は、この配置構成を示す。
【００３１】
反射面をプリズムによって表すことも、好都合である。偏向系のさまざまな実施形態を図６に示す。
【００３２】
図７は、さらなる実施形態を示す。ここでは、偏向系用のより広い設置空間が特に好都合である。
【００３３】
図８に従った配置構成も可能である。この場合、反射面は、第２中間像から遠く離れている。
【００３４】
第２解決策は、法線が平行である偶数の連続反射面から形成された９０°偏向系を組み込むことにある。ここでは、正確に２枚の平面鏡を有する山形鏡の実施形態が適当である。拡散ビーム路に使用することにより、これらの配置構成は、主に小さい開口で口径食（又はシェーディング）をなくして良好に使用されることができる。
【００３５】
図９（ａ）〜（ｄ）は、交差又は交差しないビーム路を有する偏向系の実施形態を示す。プリズムを使用することにより、ある程度のビーム案内も可能である。たとえば、（ａ）に従ったビーム案内は、五角プリズムを使用して達成されることができる。
【００３６】
第３解決策は、ビーム路を９０°偏向させるために、ビームスプリッタ面（ＢＳＳ）を鏡と組み合わせた立方ビームスプリッタの使用に基づく。
【００３７】
例示的な構造が、図１０に示されており、一方は平面鏡ＰＭを、他方は曲面鏡ＣＭを備えている。物理的ビームスプリッタは、平面的な偏光選択型ビームスプリッタ面ＢＳＳを有する。四分の一波長板が、ビームスプリッタと鏡ＰＭ又はＣＭとの間に挿入されている。鏡の反射面は、非球面、平面又は球面状湾曲でよい。
【００３８】
上記偏向系を組み込むのに好適な第１位置は、第１部分系のひとみ空間内である。その構造が、図１１に示されている。
【００３９】
さらなる好適な組み込み位置は、中間像の近傍である。２つのさらなる変更形を、すなわち軸対称視野及び軸対称でない視野で区別してもよい。
【００４０】
第１変更形の第１実施形態では、立方ビームスプリッタは、対物レンズの視野を、光軸に関して中心を合わせるように位置付けることができるようにして組み込まれる。図１２は好適な配置を示す。
【００４１】
第１中間像をビームスプリッタの上流側に位置付け、第２中間像をビームスプリッタ及び平面鏡の間に位置付けることが好都合である。図１６は、例示的な実施形態を示す。
【００４２】
図１６に示した構造用の規格値が、表１に表形式でまとめられている。この場合、第１欄は、屈折面、反射面又は他の何らかの方法で区別された表面の番号を表し、第２欄は、その表面の曲率半径ｒ［ｍｍ単位］を表し、第３欄は、その表面と次の表面との間の距離ｄ［ｍｍ単位］を表し、第４欄は、その光学要素の材料を表し、第５欄は、最大使用可能半径をｍｍ単位で表す。反射面は、第６欄に示されている。
【００４３】
本実施形態において、１３の表面が、すなわち表面２、７、１４、１９、２５、２９、３７、４１、５５、５６、５８、６８及び７３が非球面である。表１Ａは、対応の非球面データを表し、非球面のサジッタは、次の明細：
【数１】
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【００４４】
に従って計算される。
【００４５】
この場合、曲率半径の逆数（１／ｒ）は、表面頂点での表面曲率を表し、ｈは表面点と光軸との間の距離を表す。したがって、ｐ（ｈ）は、上記サジッタを、すなわちその表面点と表面頂点との間の、ｚ方向の、すなわち光軸の方向の距離を表す。定数Ｋ、Ｃ１、Ｃ２などが、表１Ａに転載されている。
【００４６】
図１６に示された液浸対物レンズは、約１９３ｎｍの作動波長用に構成され、この波長において、（像に最も近い２枚のＣａＦ2を除いた）ほとんどのレンズに使用されている合成石英ガラス（ＳｉＯ2）は、屈折率がｎ＝１．５６０２である。それは液浸媒体として超純水（１９３ｎｍでｎｉ＝１．４３６７）に適応し、像側作動距離が４ｍｍである。像側開口数ＮＡは１．２であり、結像スケールは４：１である。本光学系は、２６×５ｍｍ２の大きさの像側視野用に設計されている。
【００４７】
第２実施形態は、スプリアス光を第２偏光選択型ビームスプリッタ面ＢＳＳによって減少させることができるという利点を有する。上記スプリアス光は実質的に、反射されるのではなく、ビームスプリッタ面ＢＳＳを透過する光を有する。対応の解決策が、本出願人の第ＷＯ２００４／０９２８０１号にも異なった文脈で提案されている。図１３は、例示的な構造を示す。
【００４８】
第２変更形の好適な実施形態が、図１４に示されている。ここでは、物体面と凹面鏡との間のビーム路が、平面鏡によって折り曲げられ、図１０に従って隣接平面鏡を有するビームスプリッタが、凹面鏡及び像面間での折り曲げ用に使用されている。
【００４９】
逆の順序も可能である。
【００５０】
図１４は、この配置構成を示す。光軸ＯＡの折り曲げを行う偏向系のさまざまな他の構造が、図１５に示されている。
【００５１】
別の好適な配置構成では、鏡は非球面を有する。したがって、この鏡は、視野のすぐ近くに位置するので、視野依存収差に作用することができる。
【００５２】
鏡のすぐ近くの中間像は、ビーム伝播方向において鏡の上流側又は鏡の下流側に位置付けられてもよい。したがって、その鏡がどの部分系に属するかを決定することができる。
【００５３】
この原理は、本発明のこの開示の構造変更形のすべてに適用されることができ、したがって、本発明の一部である２つの中間像を有する種類の光学系も生じる。
【００５４】
さらなる変更形は、光学系を三次元的に折り曲げるものである。この配置構成の概略図が、図１７に示されている。ここでは、物体側視野又は物体面ＯＳと像側視野又は像面ＩＳとが、互いに対して垂直である。複数の折り曲げ鏡ＦＭが設けられており、折り曲げ鏡ＦＭ１及びＦＭ２の折り曲げ平面が、また折り曲げ鏡ＦＭ２及びＦＭ３の折り曲げ平面が、それぞれ互いに対して垂直である。図面を簡単にするために、レンズ群の図示がこの概略図では省かれている。レンズ群を備えるそのような光学系の概略的な斜視図が、図１８に示されている。
【表１】
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【表１Ａ】
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【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】像フリップ付きのＲ−Ｃ−Ｒ型の基準系を概略的に示す。
【図２】像回転反射装置の異なった実施形態を示し、（ａ）に屋根型プリズムを図示し、（ｂ）に山形鏡を図示している。
【図３】第１屈折部分系のひとみ空間内に屋根型プリズムを有するＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図４】第１中間像の近傍に屋根型プリズムを有するＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図５】第２及び第３部分系の間に屋根型プリズムを有するＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図６】平坦な反射面が、プリズムの反射内面によって形成されている、屈折系の異なった実施形態を示す。
【図７】凹面鏡に通じるビーム路と凹面鏡から出るビーム路とが、屈折系の領域内で交差する、Ｒ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図８】屈折系の反射面が、第２中間像からさらに離れている、図７の光学系の変更形を示す。
【図９】交差及び交差しないビーム路を有する変更系の異なった変更形を示す。
【図１０】平面鏡（ａ）及び凹面鏡（ｂ）と組み合わせた平面偏光選択型反射層を有する物理的ビームスプリッタを備えた偏向系の例示的な実施形態を示す。
【図１１】第１部分系のひとみ空間内に物理的ビームスプリッタを有する偏向系を備えたＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図１２】偏向系が物理的ビームスプリッタを有する、物体側視野を中心に置いたＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図１３】互いに平行にずれた２つの偏光選択型ビームスプリッタ層を有する物理的ビームスプリッタを偏向系が備えるＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図１４】偏向系が、物理的ビームスプリッタと、ビームスプリッタの上流側でビーム路内に配置された平面鏡とを有するＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態を示す。
【図１５】（ａ）〜（ｄ）は、物理的ビームスプリッタと、ビームスプリッタの上流側及び下流側の光路上の偏向プリズムとを有する偏向系の異なった変更形を示す。
【図１６】物理的ビームスプリッタを有するＲ−Ｃ−Ｒ系の実施形態のレンズ断面を示し、第１中間像がビームスプリッタの上流側に配置され、第２中間像がビームスプリッタ及び平面鏡間に配置されている。
【図１７】投影対物レンズの光軸を互いに直交する平面上で（三次元で）折り曲げる偏向系の鏡の概略図を示す。
【図１８】図１７に示された型の投影対物レンズのレンズ断面を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
2008529094.tif 000024
2008529094.tif 000025
2008529094.tif 000026