(57)【要約】  本発明は、マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有する記録キャリアであって、前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に、離散的なピットの深さを導く物理バリアが設けられることを特徴とする記録キャリアに関する。さらに、本発明は、マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するための２つの記録キャリア書き込み方法に関する。
2008504634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有する記録キャリアであって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に、離散的なピットの深さを導く物理バリアが設けられることを特徴とする記録キャリア。
【請求項２】
請求項１記載の記録キャリアであって、
前記物理バリアは、所定の破壊機構によって、特に光化学反応又は熱効果によって破壊されるインタフェースレイヤを有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項３】
請求項２記載の記録キャリアであって、
前記インタフェースレイヤは、ある量の光子によって漂白可能であり、
前記漂白された物質は、前記光化学反応において使用される現像剤に分解可能である、
ことを特徴とする記録キャリア。
【請求項４】
請求項２記載の記録キャリアであって、
前記インタフェースレイヤは、マスタリングに使用されるレーザの所定のレーザパワー以上に反応する抑制レイヤであることを特徴とする記録キャリア。
【請求項５】
請求項２記載の記録キャリアであって、
前記インタフェースレイヤは、ＰＭＭＡ、窒化珪素、窒化アルミニウムのグループから選択された物質から生成されることを特徴とする記録キャリア。
【請求項６】
請求項１記載の記録キャリアであって、
前記物理バリアは、前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとが本質的に異なる物質から生成されることにより形成されることを特徴とする記録キャリア。
【請求項７】
請求項６記載の記録キャリアであって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとは、異なる感光性化合物を有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項８】
請求項６記載の記録キャリアであって、
前記第１記録キャリアと前記第２記録キャリアとは、異なる構成を有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項９】
請求項６記載の記録キャリアであって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとは、レーザ光照射に関して異なる反応性を有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項１０】
請求項６記載の記録キャリアであって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとは、光化学的現像に関して異なる反応性を有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項１１】
請求項６記載の記録キャリアであって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとは、異なるエッチング剤に関して異なる反応性を有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項１２】
請求項１記載の記録キャリアであって、
当該記録キャリアは、２次元データ記録用に構成されることを特徴とする記録キャリア。
【請求項１３】
請求項１２記載の記録キャリアであって、
当該記録キャリアは、マトリックスレベルと異なる少なくとも２つの反射レベルを有する２次元データパターンを有することを特徴とする記録キャリア。
【請求項１４】
マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録キャリアと少なくとも第２記録キャリアとを有する記録キャリアの書き込み方法であって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアを提供するステップと、
変調されたレーザビームによって、複数のピットを前記記録キャリアに書き込むステップと、第１の深さを有するピットを書き込むため、前記第１記録レイヤが前記物理バリアを破壊することなく貫通するように、前記変調されたレーザビームのパワーが選択されるステップと、
前記第１の深さより大きな第２の深さを有するピットを書き込むため、前記第１記録レイヤが貫通し、前記物理バリアが破壊され、前記第２記録レイヤが貫通するように、前記変調されたレーザビームのパワーが選択されるステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法であって、
前記物理バリアは、インタフェースレイヤを有することを特徴とする方法。
【請求項１６】
マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有する記録キャリアの書き込み方法であって、
前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアを提供するステップと、
第１の深さによるピットが生成されるように、前記変調されたレーザビームは相対的に低い強さを有し、前記第１の深さより大きな第２の深さによるピットが生成されるように、前記変調されたレーザビームは、前記第１記録レイヤを完全に貫通するよう選択された相対的に高い強さを有するように、前記記録キャリアを変調されたレーザビームによりマスタリングするステップと、
前記第２の深さを有するピットが形成されるべきポジションにおいて前記第２記録レイヤが露光されるように、前記マスタリングされた領域を取り除くよう前記第１記録レイヤを現像するステップと、
前記露光されたポジションにおいて前記第２記録レイヤの少なくとも一部を取り除くよう第１エッチングステップを実行するステップと、
前記第１の深さを有するピットが形成されるべきポジションにおいて前記第１記録キャリアの少なくとも一部を取り除くよう第２エッチングステップを実行するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項１７】
請求項１６記載の方法であって、
前記第１記録レイヤは、フォトレジストであり、
前記第２記録レイヤは、ガラス基板である、
ことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有するマルチレベルＲＯＭ光媒体を生成する記録キャリアに関する。さらに、本発明は、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有するマルチレベルＲＯＭ光媒体を生成する記録キャリアへの２つの書き込み方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光データストレージの重要なトレンドは、より大きなデータ容量に対して向かっている。シングルレイヤＣＤ（６５０ＭＢ）からＤＶＤ（４．７ＧＢ）及び最近導入されたブルーレイディスク（ＢＤ，２５ＧＢ）に、データ容量は漸進的に増大してきた。容量は、デュアルレイヤデータ格納媒体を導入することによって２倍にすることが可能であり、また１つの記録媒体におけるデータ格納レイヤを増やすことが期待される。光磁気記録、リードアウト（ｒｅａｄｏｕｔ）、ニアフィールド記録（ｎｅａｒ  ｆｉｅｌｄ  ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ）など、データ容量を増大させる他の方法もまた予想される。また、Ｖｉｔｅｒｂｉ検出などの改良された信号処理は、データ格納媒体のデータ容量をさらに増大させるための方法である。ディスク平面上の２次元データ格納は、容量を増大させる新規な方法である。２次元データ格納の予想されるデータ容量は、少なくともファクタ２となることが予想される。既知の２次元データ格納は、ピット（書き込み）及びランド（非書き込み）エリアの２つの基本的な反射レベルに基づく。２次元データパターンの検出は、中心トラックをスキャンするとき、隣接するトラックから取得される追加的情報に基づく。２次元格納のコンセプトは、主としてＲＯＭ記憶媒体に対するものであるが、ライトワンス（ｗｒｉｔｅ−ｏｎｃｅ）及びリライタブル（ｒｅｗｒｉｔａｂｌｅ）な記憶媒体及び対応する記録方法もまた、知られており、開示されている。
【０００３】
図６ａは、従来技術による２次元データパターン３０’の一例を示す。マトリックスレベル２４’（バックグラウンド物質）に加えて、マトリックスレベルと異なる反射レベルを有するピット２６’のみが存在する。反射レベルの相違は、例えば、リードアウトレーザスポットの間接的及び破壊的干渉によるものであるが（周知の位相変調）、当該ピットはまた、周囲のマトリックス物質が有するものとは異なる絶対的な反射レベルを有するかもしれない。図６ａに示されるようなＲＯＭ媒体は、射出成形又は他の複製技術を介しいわゆるスタンパ（ｓｔａｍｐｅｒ）から複製可能である。スタンパは、典型的にはＲＯＭデータを表す突起バンプを有するニッケル物質である。スタンパは、いわゆる従来のレーザビームレコーダ（ＬＢＲ）システムによるマスタリングを介し生成される。ＬＢＲは、ガラス物質の上にスピンコーティングされた特定の厚さの感光性のポリマーレイヤを照射するのに使用される。フォトレジストレイヤと、任意的にレーザ光の吸収を改良するための他のレイヤを有するガラス基板は、マスタ基板と呼ばれる。集光されたレーザスポットがマスタ基板上でゆっくりとプル（ｐｕｌｌ）されながら、マスタ基板が回転される。このように、照射されたスポットのスパイラル又は同心円状のリングが取得される。中心トラックに書き込まれたデータが隣接するトラックのデータと同期されるように、レーザパルスパターンがデータ記録中にマスタ基板の回転と同期される場合、同期した２次元データパターンが取得される。露光又は照射されたエリアは、物理的ピット２６’がレジストレイヤに残るように、エッチングを介し化学的に取り除かれる。取得されたリリーフ構造には、スパッタ堆積した金属レイヤ、好ましくはニッケル（Ｎｉ）が設けられる。このＮｉレイヤは、電気化学的なメッキ処理を介し薄く処理しやすい基板に生成される。Ｎｉ基板は、最終的にスタンパとなるようマスタ基板から分離される。スタンパは、その後に光記憶媒体を複製するのに使用される。マルチレベルＲＯＭ媒体の生成は、ライトパルスのパワー変調によって可能となる。ハイパワーライトパルスは、低い反射性の幅が広く深いピットを書き込むためものであり、より低い書き込みパワーを有するパルスは、適度な反射性を有する浅めのピットに対するものである。このパワー変調のコンセプトの大きな問題点は、システムノイズに対する影響である。フォトレジストレイヤにデータを正確に書き込むため、深さ全体が典型的には利用される。レイヤの厚さは、ピットを成形し、再生可能なピットをもたらす自然な境界として機能する。深いレジストに異なるパワーレベルにより書き込むことは、ライトパワーの変動などに対して大変困難であり、影響があるということが証明されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、記録キャリアのデータ容量をさらに増大させるため、基本的には２より多い反射レベルを有するＲＯＭＫ媒体が正確に生成可能となるように、上述したタイプの記録キャリア及び方法をさらに開発することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題は、独立クレームの特徴によって解決される。本発明のさらなる進展及び好適な実施例は、従属クレームに記載される。
【０００６】
本発明の第１の特徴によると、マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有する記録キャリアは、前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に、離散的なピットの深さを導く物理バリアが設けられることを特徴とする。このような記録キャリアは、従来のレーザビームレコーダ（ＬＢＲ）によりマスタリング可能であり、１次元及び２次元データ格納のコンセプトのためのものである。記録レイヤは、好ましくは、フォトレジスト物質から構成される。本発明は、例えば、スモール・フォーム・ファクタ（ｓｍａｌｌ  ｆｏｒｍ  ｆａｃｔｏｒ）光ディスク（ポータブルブルー）に特に好適な高データ容量ＲＯＭディスクを提供する。例えば、３ｃｍのディスク上の１ＧＢから始まって、第２レイヤを追加することによって２ＧＢに移行し、２次元格納とデュアルレイヤ格納を組み合わせることによって４．５ＧＢに達するロードマップを想像することが可能である。本発明は、２つの異なる反射レベルを生成する他、得２つの記録レイヤしか使用しないことに限定されるものではなく、対応する個数の異なる反射レベルを提供するため２より多い記録レイヤを有する記録キャリアを含むことに留意されたい。さらに、データの構成は、データトラックのスパイラル形式又は同心円状の構成に限定されるものではない。例えば、矩形又は正方形の格子や三角形の格子などの他のタイプのデータパターンもまた可能である。
【０００７】
本発明による記録キャリアの一般的な第１実施例によると、当該物理バリアは、所定の破壊機構によって、特に光化学反応又は熱効果によって破壊されるインタフェースレイヤを有する。２より多い記録レイヤが適切なインタフェースレイヤに設けられるケースでは、適切なインタフェースレイヤは、好ましくは、すべての隣接する記録レイヤ間に構成されることが明らかにされるべきである。破壊機構が熱効果である場合、記録キャリアの光学特性は、例えば、融解、熱劣化又は他の熱変形機構により変化する。
【０００８】
第１実施例のさらなる展開は、インタフェースレイヤがある量の光子によって漂白可能であり、漂白された物質は、光化学反応において用いられる現像剤において分解可能であるということである。
【０００９】
第１実施例の他のさらなる展開によると、インタフェースレイヤは、マスタリングに用いられるレーザの所定のレーザパワー以上で反応する抑制レイヤである。例えば、第１フォトレジストレイヤは、スピンコーティングされ、ベーク処理され、現像前（ｐｒｅ−ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ）に処理される。その後、第２フォトレジストレイヤは、スピンコーティング及びベーク処理される。抑制レイヤは、初期的には第１フォトレジストレイヤの部分であるが、現像前処理中に現像剤による処理により異なる化学的（及び光学的）特性が取得される。
【００１０】
本発明による記録キャリアの第１実施例に関して、インタフェースレイヤは、好ましくは、ＰＭＭＡ、窒化珪素、窒化アルミニウムのグループから選択された物質から生成される。
【００１１】
本発明による記録キャリアの一般的な第２実施例によると、第１記録キャリアと第２記録キャリとが本質的に異なる物質から生成されるように、物理バリアが形成される。この場合、異なる記録レイヤは、例えば、互いの上でスピンコーティング又は堆積される。
【００１２】
本発明による記録キャリアの一般的な第２実施例のさらなる展開によると、第１記録レイヤと第２記録レイヤとは、異なる感光性化合物を有する。
【００１３】
さらに、第１記録レイヤと第２記録レイヤとは異なる構成を有することが可能である。
【００１４】
加えて、又はその代わりに、一般的な第２実施例において、第１記録レイヤと第２記録レイヤとは、レーザ（ＵＶ）照射に関して異なる反応性を有することが可能である。例えば、第２の記録レイヤを形成するため、より低い反応性を有するフォトレジストを基板上にスピンコーティングし、その後、第１記録レイヤを形成するため、より高い反応性を有するフォトレジストを第２記録レイヤ上にスピンコーティングすることが可能であり、この場合、第２記録レイヤのみが高いレーザパワーレベルに到達する。
【００１５】
他の可能性は、第１記録レイヤと第２記録レイヤとが、光化学現像に関して異なる反応性を有することである。
【００１６】
本発明による記録キャリアの一般的な第２実施例に関して、第１記録レイヤと第２記録レイヤとが異なるエッチング剤に関して異なる反応性を有することが可能である。例えば、第１記録レイヤはフォトレジストによって形成可能であり、第２記録レイヤはガラス基板によって形成可能である。
【００１７】
本発明はこれに限定されるものではないが、本発明による記録キャリアは、２次元データ記録用に構成されることが好ましい。
【００１８】
これに関して、記録キャリアは、マトリックスレベルと異なる少なくとも２つの反射レベルを有する２次元データパターンを有することが好ましい。当該手段によって、極めて高いデータ密度が実現されるが、本発明はまた、ＤＶＤ及びＢＤタイプのメディアなどの従来の光記録媒体に関して適用可能であることが再び指摘される。
【００１９】
本発明の第２の特徴によると、上記課題は、マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録キャリアと少なくとも第２記録キャリアとを有する記録キャリアの書き込み方法であって、
・前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアを提供するステップと、
・変調されたレーザビームによって、複数のピットを前記記録キャリアに書き込むステップと、第１の深さを有するピットを書き込むため、前記第１記録レイヤが前記物理バリアを破壊することなく貫通するように、前記変調されたレーザビームのパワーが選択されるステップと、
・前記第１の深さより大きな第２の深さを有するピットを書き込むため、前記第１記録レイヤが貫通し、前記物理バリアが破壊され、前記第２記録レイヤが貫通するように、前記変調されたレーザビームのパワーが選択されるステップと、
を有することを特徴とする方法によって解決される。
【００２０】
また、当該手段によって、離散的なピットの深さを有し、これにより、特性が向上したＲＯＭパターンが生成可能である。また、この場合、２より多い記録レイヤが提供可能であるということは当業者に明らかであり、対応する個数の適切な物理バリア及びレーザパワーレベルが選択される必要がある。
【００２１】
第２の特徴による方法の好適な実施例によると、物理バリアは、インタフェースレイヤを有する。この場合、本方法は、本発明による記録キャリアの一般的な第１実施例に関して効果的に利用可能である。
【００２２】
本発明の第３の特徴によると、上記課題は、マルチレベルＲＯＭ光媒体を生成するため、第１記録レイヤと少なくとも第２記録レイヤとを有する記録キャリアの書き込み方法であって、
・前記第１記録レイヤと前記第２記録レイヤとの間に離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアを提供するステップと、
・第１の深さによるピットが生成されるように、前記変調されたレーザビームは相対的に低い強さを有し、前記第１の深さより大きな第２の深さによるピットが生成されるように、前記変調されたレーザビームは、前記第１記録レイヤを完全に貫通するよう選択された相対的に高い強さを有するように、前記記録キャリアを変調されたレーザビームによりマスタリングするステップと、
・前記第２の深さを有するピットが形成されるべきポジションにおいて前記第２記録レイヤが露光されるように、前記マスタリングされた領域を取り除くよう前記第１記録レイヤを現像するステップと、
・前記露光されたポジションにおいて前記第２記録レイヤの少なくとも一部を取り除くよう第１エッチングステップを実行するステップと、
・前記第１の深さを有するピットが形成されるべきポジションにおいて前記第１記録キャリアの少なくとも一部を取り除くよう第２エッチングステップを実行するステップと、
を有することを特徴とする方法により解決される。
【００２３】
また当該手段によって、正確な離散的なピットの深さを有するピットパターンを生成することが可能である。これに限定されることなく、本発明による第２の方法は、本発明による記録キャリアの一般的な第２実施例に関して効果的に利用可能である。
【００２４】
本方法を実行するため、第１記録レイヤは、例えば、第２記録レイヤを形成するガラス基板上でスピンコーティングされるフォトレジストであってもよい。エッチングステップは、好ましくは、反応性鉄エッチング（ＲＩＥ）を有し、そこでは第１エッチングステップにおいて、ＣＦ４などが利用可能であり、第２エッチングステップでは、Ｏ２が利用可能である。
【００２５】
本発明の上記及び他の特徴は、以降に記載される実施例を参照して明らかとなるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１に示される方法は、ステップＳ１において開始される。ステップＳ２において、少なくとも第１記録レイヤ、第２記録レイヤ及び当該第１記録レイヤと第２記録レイヤとの間の離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアが提供される。ステップＳ３において、第１の深さより大きな第２の深さを有するピットが書き込まれるべきか判断される。そうでない場合、ステップＳ４において、第１の深さを有するピットが書き込まれ、第１記録レイヤが物理バリアを破壊することなく貫通するように、書き込みに使用された変調されたレーザビームのパワーが選択される。ステップＳ３において、第１の深さより大きな第２の深さを有するピットが書き込まれるべきであると判断される場合、本方法はステップＳ５に移行する。ステップＳ５において、第２の深さを有するピットが書き込まれ、第１記録レイヤが貫通し、物理バリアが破壊され、第２記録レイヤが貫通するように、書き込みに使用される変調されたレーザビームのパワーが選択される。ステップＳ４又はＳ５の後、ステップＳ６において、すべてのピットが書き込まれたか判断される。そうでない場合、本方法は再びステップＳ３に移行する。すべてのピットが書き込まれている場合、記録キャリアはステップＳ７において現像され、本方法はステップＳ８において終了する。
【００２７】
図２は、上述した第１の一般的な実施例による記録キャリアを示す。記録キャリア１０は、第２のフォトレジスト記録レイヤ１４がスピンコーティングされる基板８を有する。物理バリア１６を構成するインタフェースレイヤ２２が、第２記録レイヤ１４とフォトレジストによって形成される第１記録レイヤ１２との間に設けられる。記録キャリア１０により図１に示される方法を実行するため、異なるレーザパワーレベルＰが使用される。ポジションＸ１において第１の深さを有するピットを準備するため、レーザパワーがパワーレベルＰ１に調整される。第１記録レイヤ１２がインタフェースレイヤ２２を破壊することなく貫通するように、パワーレベルＰ１が選択される。ポジションＸ２において第１の深さより大きな第２の深さを有するピットを準備するため、第１記録レイヤ１２が貫通され、インタフェースレイヤ２２がパワーレベルＰ２が閾値ＰＴより高いため破壊され、第２記録レイヤ１４が貫通するように選択された値Ｐ２にレーザパワーが調整される。光子の採用は、化学的チェーンプロセスを介し酸の形成を導く。
【００２８】
図３は、現像後の図２の記録キャリア１０を示す。完成のため、記録キャリア１０は、記録レイヤ内に物理ホールを残す酸分子の分解を導く現像液（ＫＯＨ、ＮａＯＨ又は他のアルカリ液）により洗浄される。結果として得られる記録キャリア１０は、離散的なピットの深さ１８及び２０を有する。
【００２９】
図４は、本発明による方法の第２実施例を示すフローチャートであり、図５は、図４の方法による処理中の本発明による記録キャリアを示す。
【００３０】
図４に示される方法は、ステップＳ１において開始される。ステップＳ２において、少なくとも第１記録レイヤ、第２記録レイヤ及び当該第１記録レイヤと第２記録レイヤとの間の離散的なピットの深さを導く物理バリアを有する記録キャリアが提供される。図５ａにおいて、このような記録キャリア１００の一例が示される。このケースにおける記録キャリア１１０の物理バリア１１６は、第１記録キャリア１１２と第２記録キャリア１１４の本質的に異なる記録物質によって提供される。本例では、第１記録レイヤ１１２は、第２記録レイヤを形成するガラス基板上でスピンコーティングされるフォトレジストレイヤである。
【００３１】
図４に示されるフローチャートのステップＳ３において、記録キャリア１１０が変調されたレーザビームによりマスタリングされる。このマスタリングは、第１の深さ１１８によりピットが生成されるように（図５ｅ）、変調されたレーザビームが相対的に低い強さを有するように実行される。第１の深さ１１８より大きな第２の深さ１２０によりピットが生成されるため（図５ｅ）、変調されたレーザビームは比較的高い強さを有する。第１記録レイヤ１１２が図５ｂのエリアによって示されるように完全に貫通するように、比較的高い強さが選択される。変調されたレーザビームの相対的に低い強さは、図５ｂのエリア１２４によって示されるように、第１記録レイヤ１１２の約半分しか貫通しない。
【００３２】
図４のステップＳ４において、第１記録レイヤ１１２は、マスタリングされた領域１２４と１２６を取り除くよう現像される。これにより、第２記録レイヤ１１４は、第２の深さ１２０を有するピットが形成されるべきポジション１３２において露光される。図５ｃにおいて、現像ステップの結果が示される。深いＶ字状のグルーブ／ピット１３０は、第２の深さ１２０を有するピット（図５ｅ）が形成されるべきポジションにおいて、第２記録レイヤ１１４のポジション１３２を露光する。より小さな深さを有するＶ字状のグルーブ／ピット１２８が、第１の深さ１１８を有するピット（図５ｅ）が形成されるべきポジションに形成される。
【００３３】
図４のステップＳ５において、第１のエッチングステップが、露光されたポジション１３２における第２記録レイヤ１１４の少なくとも一部を取り除くため実行される。第１のエッチングステップに適したエッチング剤は、例えば、ＣＦ４である。図５ｄにおいて、第１エッチングステップの結果が示され、そこでは、第２記録レイヤ１１４の取り除かれた部分が１３４により示される。第１エッチングステップに用いられるエッチング剤は、第２記録レイヤ１１４の物質のみが取り除かれ、第１記録レイヤ１１２は実質的に変化しないように選択されることに留意すべきである。
【００３４】
図４のステップＳ６において、第１の深さ１１８を有するピット（図５ｅ）が形成されるべきポジションにおいて、第１記録レイヤ１１２の少なくとも一部を取り除くよう実行される。第２のエッチングステップに適したエッチング剤は、例えば、Ｏ２である。第２のエッチングステップにおいて使用されるエッチング剤は、第１記録レイヤ１１２の物質のみが取り除かれ、第２記録レイヤ１１４が実質的に変化しないように選択される。図示された例では、第１記録レイヤ１１２は、第１の深さ１１８を有するピット（図５ｅ）が形成されるべきポジションにおいて取り除かれるだけでなく、第２記録レイヤ１１４の表面が、図５ｅに示されるように、第１の深さ１１８を有するピットが生成されるポジションにおいて露光されるように、第１記録レイヤ１１２の約半分が一様に取り除かれる。この図５ｅは、本発明による方法の第２実施例の終了時（図４のステップＳ７）の記録キャリア１１０を示す。ピットの第１の深さ１１８と第２の深さ１２０が、反応性鉄エッチング（ＲＩＥ）プロセスを適切に制御することによって規定可能であるということは、当業者に明らかである。
【００３５】
図６ａは、従来技術による２次元データパターン３０’の一例を示す。このデータパターンは、ピット２６’がマトリックスレベル２４’と異なる反射レベルを有するハニカム構造を有する。
【００３６】
図６ｂにおいて、本発明により生成されうる２次元データパターン３０が示される。黒色のピット２８は、グレイのピット２６より深く、グレイのピット２６は、マトリックスレベル２４より深い。これにより、データパターンは、マトリックスレベルと異なる２つの反射レベルを有する。
【００３７】
最終的に、上述されない均等及び変更はまた、添付された請求項に規定される本発明の範囲から逸脱することなく利用可能であるということに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、本発明による方法の第１実施例を示すフローチャートである。
【図２】図２は、本発明による記録キャリアの一般的な第１実施例の断面図を概略的に示し、また２つの異なるレーザパワーレベルの適用を示す。
【図３】図３は、現像後の図２の記録キャリアの断面図を示す。
【図４】図４は、本発明による方法の第２実施例を示すフローチャートである。
【図５】図５は、図４の方法が実行されるとき、一般的な第２実施例による記録キャリアの異なる状態による断面図を示す。
【図６】図６ａは、従来技術による２次元データパターンを示し、図６ｂは、本発明による記録キャリア上に設けられたマトリックスレベルと異なる２つの反射レベルを有する２次元データパターンを示す。
【図１】
2008504634.tif 000003
【図２】
2008504634.tif 000004
【図３】
2008504634.tif 000005
【図４】
2008504634.tif 000006
【図５Ａ】
2008504634.tif 000007
【図５Ｂ】
2008504634.tif 000008
【図５Ｃ】
2008504634.tif 000009
【図５Ｄ】
2008504634.tif 000010
【図５Ｅ】
2008504634.tif 000011
【図６】
2008504634.tif 000012
【国際調査報告】
2008504634.tif 000013
2008504634.tif 000014
2008504634.tif 000015