(57)【要約】  フュージョン法を実施するガラス製造装置で板ガラスを製造中に、板ガラスの平行移動（撓み）および／または回転移動を低減できる非接触型板ガラス安定化装置が記載される。本非接触型板ガラス安定化装置の複数の異なる実施形態も記載される。
2008511535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フュージョン法に従って板ガラスを製造中に、該板ガラスと物理的に接触せずに該板ガラスの移動を低減する非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項２】
ガス供給部と、
空気力学装置であって、前記ガス供給部からのガスが前記空気力学装置を通って流れて前記板ガラスの片面側にガス膜を生じ、前記板ガラスが前記空気力学装置の前面から離れすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じるベルヌーイ吸引力が前記板ガラスを前記空気力学装置に引き寄せ、前記板ガラスが前記空気力学装置に近づきすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じる斥力が前記板ガラスを前記空気力学装置から押し離すものである空気力学装置と、
を備えることを特徴とする請求項１記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項３】
前記空気力学装置に連結された適応型マウントであって、前記空気力学装置が前記板ガラスと自己整合可能なように、前記空気力学装置が２通りのチルト移動および１通りの平行移動を含む３自由度の移動を有することを可能にする適応型マウントを更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項４】
前記空気力学装置に連結されたばねおよびダンパーを含むマウントを更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項５】
前記空気力学装置に連結された可撓性結合部を含むマウントを更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項６】
前記空気力学装置に連結された球面ジョイントを含むマウントを更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項７】
前記空気力学装置の回転および／または平行移動を可能にする前記空気力学装置と一体の空気ベアリングボールジョイントを含むマウントを更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項８】
熱コントローラと、
前記熱コントローラによって制御され、前記ガス供給部から前記空気力学装置に放出される前記ガスの温度を調整するガス加熱器と、
を更に備えることを特徴とする請求項２記載の非接触型板ガラス安定化装置。
【請求項９】
１回分の材料を溶融させて溶融ガラスを形成し、該溶融ガラスを処理して板ガラスを形成する工程と、
フュージョンドロー装置を用いて前記板ガラスを引伸ばす工程と、
前記板ガラスと物理的に接触せずに前記板ガラスの移動を低減する非接触型板ガラス安定化装置を用いて前記板ガラスを安定させる工程と、
移動アンビル装置を用いて前記板ガラスを切断する工程と、
を有してなる板ガラス製造方法。
【請求項１０】
前記非接触型板ガラス安定化装置が、
ガス供給部と、
空気力学装置であって、前記ガス供給部からのガスが前記空気力学装置を通って流れて前記板ガラスの片面側にガス膜を生じ、前記板ガラスが前記空気力学装置の前面から離れすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じるベルヌーイ吸引力が前記板ガラスを前記空気力学装置に引き寄せ、前記板ガラスが前記空気力学装置に近づきすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じる斥力が前記板ガラスを前記空気力学装置から押し離すものである空気力学装置と、
を備えることを特徴とする請求項９記載の板ガラス製造方法。
【請求項１１】
１回分の材料を溶融させて溶融ガラスを形成するための少なくとも１つの容器と、
前記溶融ガラスを受け取って板ガラスを形成するためのアイソパイプと、
前記板ガラスを引伸ばすためのフュージョンドロー装置と、
前記板ガラスと物理的に接触せずに前記板ガラスの移動を低減することによって前記板ガラスを安定させるための非接触型板ガラス安定化装置と、
前記板ガラスを切断するための移動アンビル装置と、
を備えるガラス製造装置。
【請求項１２】
前記非接触型板ガラス安定化装置が、
ガス供給部と、
空気力学装置であって、前記ガス供給部からのガスが前記空気力学装置を通って流れて前記板ガラスの片面側にガス膜を生じ、前記板ガラスが前記空気力学装置の前面から離れすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じるベルヌーイ吸引力が前記板ガラスを前記空気力学装置に引き寄せ、前記板ガラスが前記空気力学装置に近づきすぎた場合には、前記空気力学装置から放出されたガスによって生じる斥力が前記板ガラスを前記空気力学装置から押し離すものである空気力学装置と、
を備えることを特徴とする請求項１１記載のガラス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、その内容をここに引用する、２００４年８月２７日に出願された米国特許出願第１０／９２８，０３２号からの優先権の恩恵を主張するものである。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、ガラス製造装置でフュージョン法に従って板ガラスを製造中に、板ガラスと物理的に接触せずに、板ガラスの平行（撓み）移動、回転移動、または平行移動および回転移動の両方を低減する非接触型板ガラス安定化装置に関する。尚、この非接触型板ガラス安定化装置は、測定装置や検査装置等の他の用途でも使用可能である。
【背景技術】
【０００３】
コーニング社（Corning Incorporated）は、フラットパネルディスプレイ等の様々な装置に使用可能な、高品質の薄い板ガラスを形成するための、フュージョン法として知られるプロセス（例えば、ダウンドロープロセス）を開発してきた。フュージョン法によって製造される板ガラスは、他の方法で製造された板ガラスと比較して、表面の平坦性および平滑性が優れているので、フュージョン法は、フラットパネルディスプレイに用いられる板ガラスを製造するための好ましい技術である。フュージョン法については、特許文献１および２に記載されており、その内容を参照することによって本願明細書に組み込む。
【０００４】
フュージョン法では、フュージョンドロー装置（ＦＤＭ）を用いて、板ガラスを形成し、この板ガラスを２つのロール間で引き伸ばし、板ガラスを所望の厚さに延伸する。次に、移動アンビル装置（ＴＡＭ）を用いて、板ガラスを、顧客に送られる、より小さい板ガラスに切断する。ＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動により、板ガラスに応力（歪み）が生じることがわかった。また、ＴＡＭによって切断される際の板ガラスの移動により、板ガラスに更に応力が加わることがわかった。板ガラスに応力が加わると、複数の問題が生じ得る。例えば、応力が加わった板ガラスは２ミクロン以上変形することがあり、これは顧客にとって望ましい状況ではない。別の例として、大きい板ガラスに応力が加わって、その時点ではまだ変形していないものが、より小さい板ガラスに切断されると変形することがある。
【０００５】
従って、コーニング社等の板ガラスの製造業者は、ＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動の最小化を補助できる装置を開発して、板ガラスに厄介な応力が生じるのを低減するために、大いに力を注いできた。板ガラスに物理的に接触すると板ガラスを損傷し得るので、板ガラスの無傷の表面に接触する機械的装置を使用できないことは周知である。
【特許文献１】米国特許第３，３３８，６９６号明細書
【特許文献２】米国特許第３，６８２，６０９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、板ガラスの無傷の表面に接触せずに、板ガラスの移動の防止を補助する装置が必要である。本発明の非接触型板ガラス安定化装置によって、上記およびその他の必要性が満たされる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、板ガラスの移動の最小化を補助する非接触型板ガラス安定化装置および方法を含む。好ましい実施形態において、非接触型板ガラス安定化装置は、板ガラスと物理的に接触せずに、板ガラスの平行移動および／または回転移動を低減できる。非接触型板ガラス安定化装置の１つの好ましい用途は、フュージョンドロープロセスを実施するガラス製造装置で板ガラスを製造中の用途である。本願明細書では、非接触型板ガラス安定化装置の複数の異なる実施形態を説明する。
【０００８】
添付の図面と共に以下の詳細な説明を参照することにより、本発明がより完全に理解されよう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１〜図１１を参照すると、本発明による非接触型板ガラス安定化装置１０２、および非接触型板ガラス安定化装置１０２を用いて板ガラス１０５を製造する方法１１００の複数の実施形態が開示されている。以下、非接触型板ガラス安定化装置１０２（以下、安定化装置１０２と称する）を、フュージョン法を用いて板ガラス１０５を製造するガラス製造装置１００で用いられるものとして説明するが、安定化装置１０２は、溶融ガラスを引伸ばして板ガラス１０５を製造する任意のタイプのガラス製造装置で用いられ得ることを理解されたい。また、非接触型板ガラス安定化装置は、測定装置や検査装置等の他の用途でも用いられる得ることを理解されたい。従って、本発明の安定化装置１０２および方法１１００は、限定的に解釈されるべきではない。
【００１０】
図１を参照すると、フュージョン法を用いて板ガラス１０５を製造する例示的なガラス製造装置１００の模式図が示されている。ガラス製造装置１００は、溶融容器１１０と、清澄容器１１５と、混合容器１２０（例えば、攪拌室１２０）と、送出容器１２５（例えば、ボウル１２５）と、フュージョンドロー装置（ＦＤＭ）１４０ａと、安定化装置１０２と、移動アンビル装置（ＴＡＭ）１５０とを含む。溶融容器１１０では、矢印１１２で示されるように１回分のガラス材料が導入され、溶融されて、溶融ガラス１２６が形成される。清澄容器１１５（例えば、清澄管１１５）は、溶融容器１１０から溶融ガラス１２６（この地点には図示せず）を受け取る高温処理領域を有し、高温処理領域では、溶融ガラス１２６から気泡が除去される。清澄容器１１５は、清澄器−攪拌室接続管１２２によって、混合容器１２０（例えば攪拌室１２０）に接続される。混合容器１２０は、攪拌室−ボウル接続管１２７によって、送出容器１２５に接続される。送出容器１２５は下降管１３０を介してＦＤＭ１４０ａに溶融ガラス１２６を送出する。ＦＤＭ１４０ａは、導入口１３２と、形成容器１３５（例えば、アイソパイプ１３５）と、プルロールアセンブリ１４０とを有する。図示されるように、溶融ガラス１２６は下降管１３０から導入口１３２に流れ込み、形成容器１３５（例えば、アイソパイプ１３５）へと導かれる。形成容器１３５は溶融ガラス１２６を受け取る開口部１３６を含む。溶融ガラス１２６はトラフ１３７に流れ込み、そこから溢れ、２つの側面１３８ａおよび１３８ｂを流れ下り、底１３９として知られる部分で一体に融合する。底１３９は、２つの側面１３８ａおよび１３８ｂが合わさり、溢れた溶融ガラス１２６の２つの壁が再結合（例えば、再融合）する場所であり、その後、溶融ガラス１２６はプルロールアセンブリ１４０によって下に引伸ばされ、板ガラス１０５が形成される。安定化装置１０２は、ＦＤＭ１４０ａの内部および下方に位置する板ガラス１０５が、ＦＤＭ１４０ａの引伸ばし動作によって移動するのを防止することを補助するものである。次に、ＴＡＭ１５０は、引伸ばされた板ガラス１０５を個々の板ガラス１５５に切断する。安定化装置１０２は、ＴＡＭ１５０の上方に位置する板ガラス１０５がＴＡＭ１５０の切断動作によって移動するのを防止することも補助する。以下、安定化装置１０２の複数の異なる実施形態を、図２〜図１０に関して詳細に説明する。
【００１１】
図２Ａ〜図２Ｑを参照すると、第１の実施形態の安定化装置１０２ａに関する複数の図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、フロートチャック２０２（空気力学装置２０２）を用いる。図２Ａに示されるように、安定化装置１０２ａは、ガス供給部２０４と、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の片面側に配置されたフロートチャック（Ｆ．Ｃ．）２０２とを含む。図示されているフロートチャック２０２は、静止マウント２０３に取り付けられている。フロートチャック２０２は、ガス供給部２０４からのガスがフロートチャック２０２を通って流れ、板ガラス１０５の片面側にガス膜を生じるよう構成される。これにより、板ガラス１０５がフロートチャック２０２の前面から離れすぎると、フロートチャック２０２から放出されるガスによって生じる吸引力（ベルヌーイ吸引力）が、板ガラス１０５をフロートチャック２０２に向かって引き寄せる。板ガラス１０５がフロートチャック２０２の前面に近づきすぎると、フロートチャック２０２から放出されるガスによって生じる斥力が、板ガラス１０５をフロートチャック２０２から押し離す。この吸引力と斥力とのバランスにより、フロートチャック２０２は板ガラス１０５に接触せずとも、板ガラス１０５を所与の位置に保持することができる。図２Ｂは、図２Ａに示されている安定化装置１０２ａが、安定化装置１０２ａを用いていないガラス製造装置と比較して、ＦＤＭ１４０ａ内での板ガラス１０５の移動をどれだけ抑えたかを示す実験で得られたグラフを示す。ＴＡＭの周期は、ＴＡＭ１５０のスコアリング（切れ目をつける）ホイールと板ガラス１０５との接触を表す。この周期は、板ガラス１５５を１枚切断するごとに１回生じる。この実験では、フロートチャック２０２から放出されるガスの温度を担当者が制御した。以下、フロートチャック２０２の形状および機能を、図２Ｃ〜図２Ｅに関してより詳細に説明する。
【００１２】
図２Ｃ〜図２Ｄには、フロートチャック２０２の前面の斜視図と、フロートチャック２０２の側断面図とがそれぞれ示されている。フロートチャック２０２は、ガスが供給される孔２０８と、ガスを排気する２つの孔２１０ａおよび２１０ｂとを有する。更に、フロートチャック２０２は、陸部２１２と、中心部２１２ｂと、キャビティ部２１４とを有する。本質的に、フロートチャック２０２は、ガスが、板ガラス１０５とフロートチャック２０２の前面の陸部２１２との間の小さい間隙を通って流れると、ガスがより速く流れ、動的圧力ρＵ２が増加する（ρはガス濃度であり、Ｕはガス速度である）よう構成される。Ｐ＋ρＵ２＝０というベルヌーイ式によれば、動的圧力ρＵ２の増加は、静的圧力Ｐの減少を意味する。この静的圧力Ｐの減少により、陰圧または真空が生じ、これによって、フロートチャック２０２が実際に板ガラス１０５を把持して保持することができる。中心部２１２ｂは、孔２０８を介して導入された大量の加圧ガスを保持する。この中心部は、板ガラスを押し返す加圧パッドとして作用する。陸部２１２によって生じる吸引力と中心部２１２ｂによって生じる斥力とのバランスが、板ガラス１０５にかかる真の力を生じる。図２Ｅは、フロートチャック２０２の性能曲線を示す。＋Ｙ軸は斥力であり、−Ｙ軸は吸引力であり、Ｘ軸はフロートチャック２０２と目標物（例えば、板ガラス１０５）との間の距離である。尚、フロートチャック２０２は、図２Ｃ〜図２Ｄに示される構成以外の構成を有することも可能である。フロートチャック２０２がとり得る異なる構成の幾つかについての詳細な説明は、米国特許第５，０６７，７６２号明細書を参照する。この特許の内容を参照することにより、本願明細書に組み込む。
【００１３】
図２Ｆには、安定化装置１０２ａの一実施形態が示されている。この実施形態では、フロートチャック２０２はガス加熱器２０６に取り付けられており、ガス加熱器２０６は、ガス供給部２０４（図示せず）、ガス加熱器コントローラ２０６ｂ（図２Ｇ参照）、および適応型マウント２０９に取り付けられている。適応型マウント２０９は、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６が、２通りのチルト移動および１通りの平行移動を含む３自由度の移動を有することを可能にするよう設計されている。これにより、フロートチャック２０２は板ガラス１０５（図示せず）と自己整合して、板ガラス１０５と平行な位置を保つことができる。適応型マウント２０９は、矩形の枠２１１で形成されたジンバルを含む。ジンバルは、互いに関して回転可能な２つの八角形の枠２１３ａおよび２１３ｂに取り付けられており、フロートチャック２０２は２つの軸回りにチルト可能になっている。これを可能にするために、外側の八角形の枠２１３ａは、矩形の枠２１１の２つの側面２１４ａおよび２１４ｂに回動可能に取り付けられる。そして、内側の八角形の枠２１３ｂは、外側の八角形の枠２１３ａの２つの側面２１６ａおよび２１６ｂに回動可能に取り付けられる。更に、適応型マウント２０９は空気シリンダ２１８（空気ダンパー２１８）を含む。空気シリンダ２１８はリニアスライダ２２０に接続されており、これにより、矩形の枠２１１、２つの八角形の枠２１３ａおよび２１３ｂ、ガス加熱器２０６並びにフロートチャック２０２が、１つの平行移動方向に移動できる。ダンパー２１８は、この１つ平行移動方向の移動を制限する。動作においては、適応型マウント２０９は、フロートチャック２０２が板ガラス１０５に接触する機会が最小化されるように、フロートチャック２０２が板ガラス１０５と自己整合するのを可能にする。尚、ここで説明する概念は、多くの異なる実施形態で実施され得る。適応型マウント２０９の複数の異なる可能な動作モードおよび／または実施形態を、以下に記載する。
【００１４】
・フロートチャック２０２は、３自由度（２通りのチルト、１通りの平行移動）の全てを用いて板ガラス１０５と自己整合でき、これにより、フロートチャック２０２が板ガラス１０５に接触する危険を最小化しつつ、フロートチャック２０２によって板ガラス１０５に加えられる力が最大化される。これにより、板ガラスは、最もエネルギーが低い位置、即ち、板ガラス１０５が自然に保持される位置に移動する。低摩擦移動に関わらず、この構成は、板ガラス１０５の大きな慣性に起因する板ガラス１０５の撓みを低減する。板ガラス１０５の移動は周期的であり、移動の多くは瞬間的な外乱に起因するものであるので、板ガラス１０５を保持するフロートチャック２０２および適応型マウント２０９の慣性により、板ガラス１０５の移動の全範囲が減少する。空気シリンダ２１８もこの一助となる。
【００１５】
・２自由度のチルトのみで、平行移動方向は固定しても、フロートチャック２０２は板ガラス１０５と平行な位置を保って板ガラス１０５を保持できる。形成領域では板ガラス１０５の移動は遥かに少ないので、このモードは板ガラス１０５の応力の低減に有用である。
【００１６】
・複数のフロートチャック２０２の係合中に３自由度の全てを用いて、各フロートチャック２０２が板ガラス１０５の片面に対するそれぞれ独立したサスペンションを有することができる。このモードでは、１つのフロートチャック２０２を板ガラス１０５と係合させ、次に別の１つのフロートチャック２０２を板ガラス１０５と係合させ、という手順が一般的であろう。尚、板ガラス１０５の他方の側に１つ以上のフロートチャック２０２を配置することも可能である。このことは、本願明細書に記載する安定化装置１０２ａの他の実施形態にも当てあまる。これにより、板ガラス１０５に初期係合する際の、板ガラス１０５に対する外乱を最小化することができる。所望の数のフロートチャック２０２を係合させたら、各種移動軸を適切な位置に制動またはロックして制限し、定常動作中の板ガラスの移動の低減を達成できる。
【００１７】
・全ての自由度を用いて初期係合を行った後、各フロートチャック２０２を所望の位置に移動して、平行移動軸を固定位置にロックすることにより、板ガラス１０５の形状を定めることができる。チルト軸もロックすることにより、板ガラス１０５の位置の更なる決定を達成することができる。
【００１８】
図２Ｇは、図２Ｆに示されるガス加熱器／ガスコントローラ２０６の好ましい実施形態に関連する様々な構成要素を示している。尚、ガス加熱器のコントローラは、ガス加熱器とは別の場所に収容されてもよく、配線、無線周波数無線接続、赤外線（ＩＲ）無線通信を含む様々な手段を解して接続されてよい。図示されるように、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６は、フロートチャック２０２から板ガラス１０５に向かって放出される加熱ガス（ラベル「ａ」および「ｂ」を参照）が板ガラス１０５と略同じ温度を有するよう、ガス供給部２０４から放出されるガスを加熱するよう動作する。これを達成するために、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６は、複数のセンサ２２２ａ、２２２ｂ、２２２ｃ、２２２ｄおよび２２２ｅの一部または全てを用いて、ガス加熱器２０６ａ、左排気ガス「ａ」、右排気ガス「ｂ」、フロートチャック２０２および板ガラス１０５の温度をそれぞれ測定して監視することができる。加熱器コントローラ２０６ｂは、これらの温度の一部または全てを解析して、ガス加熱器２０６ａでガスの加熱に用いられる動力（電力）を供給する加熱器動力装置２２４を制御する。尚、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６または類似の装置を、図２Ａ〜図２Ｑに示される安定化装置１０２ａの任意のものに組み込んで使用可能である。図２Ｈ〜図２Ｊには、図２Ｆ〜図２Ｇに示されているものと同様の安定化装置１０２ａが、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動をどのように抑え得るかを示す実験で得られた３つのグラフが示されている。尚、図２Ｈのグラフは、安定化装置１０２ａを用いない実験で得られたものである。図２Ｊのグラフは、板ガラス１０５（図示せず）の同じ側に板ガラスの幅のｌ／３および２／３の距離で配置された２つのフロートチャック２０２を用いた安定化装置１０２ａを用いて得られたものである。
【００１９】
図２Ｋには、安定化装置１０２ａの別の実施形態が示されている。この実施形態では、フロートチャック２０２は、静止マウント２０３（図２Ａ参照）や適応型マウント２０９（図２Ｆ参照）ではなく、ばね／ダンパー装置２２６によって支持される。ばね／ダンパー装置２２６は、一端部がフロートチャック２０２に取り付けられ他端部が静止マウント２２８に取り付けられたばね２２６ａを含む。更に、ばね／ダンパー装置２２６はダンパー２２６ｂ（ダッシュポット２２６ｂ）を含み、ダンパー２２６ｂは、静止マウント２２８に取り付けられた固定部２３０ａとフロートチャック２０２に取り付けられた可動部２３０ｂとを有する。動作においては、ばね／ダンパー装置２２６は、図２Ａに示されている実施形態のように板ガラス１０５の移動を「制限する」のではなく、板ガラス１０５の移動を「制動する」のに有用である。尚、この安定化装置１０２ａには、図２Ｇに示されているガス加熱器／ガスコントローラ２０６を組み込むことができ、これも、ばね／ダンパー装置２２６とフロートチャック２０２との間に接続されることになる。或いは、ガス加熱器２０６を静止マウント２２８に直接取り付け、可撓性結合部を介してフロートチャック２０２に接続しても、その機能は変わらない。尚、繰り返しを避けるために、安定化装置１０２ａと関連付けられたＦＤＭ１４０、ＴＡＭ１５０およびガス供給部２０４のような各種構成要素については、図１および図２Ａに関して既に説明したので、ここでは説明しない。
【００２０】
図２Ｌには、安定化装置１０２ａの更に別の実施形態が示されている。この実施形態では、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６は、可撓性結合部２３０によって支持される。可撓性結合部２３０は、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６が２つの移動軸を有することを可能にする。フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６は、空気シリンダ／ダンパー２１８と、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６を１つの平行移動方向（図２Ｈ参照）に移動させるリニアスライダ２２０とに接続されてもよい。可撓性結合部２３０は、ガス供給部２０４（図２Ａ参照）に接続される孔２３２ａを更に有することもできる。或いは、ガス供給部２０４は、結合部／孔２３２ｂに接続されてもよい。
【００２１】
図２Ｍには、安定化装置１０２ａの更に別の実施形態が示されている。この実施形態では、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６は、球面ジョイント２３４によって支持される。球面ジョイント２３４は、２つの部分からなるハウジング２３６内に支持される（ハウジング２３６の半分のみが図示されている）。ハウジング２３６は１つ以上の真空／空気ポート２３８（２つが図示されている）を有する。真空／空気ポート２３８は空気供給部（図示せず）に接続されている。空気供給部は、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６が２つの移動軸を有するのを可能にする球面ジョイント２３４のボール部２４０に対する、空気ベアリングを提供可能である。空気供給部（図示せず）がハウジング２３６内に真空を与えれば、球面ジョイント２３４を適切な位置にロックすることもできる。球面ジョイントハウジング２３６は、空気シリンダ／ダンパー２１８と、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６を１つの平行移動方向に移動させるリニアスライダ２２０とに接続されてもよい（図２Ｆ参照）。これにより、フロートチャック２０２およびガス加熱器２０６の移動に１つの平行移動軸が追加される。
【００２２】
図２Ｎには、安定化装置１０２ａの更に別の実施形態が示されている。この実施形態では、フロートチャック２０２ａは空気ベアリングボールジョイント２４２によって支持される。空気ベアリングボールジョイント２４２は、フロートチャック２０２ａ内に支持される丸い部分２４４と、スライドベアリング２４８内に支持される細長い部分２４６とを有する。空気ベアリングボールジョイント２４２は、空気ベアリングボールジョイント２４２を通って空気／ガスが流れることができるよう設計され、これにより、フロートチャック２０２ａが２つの移動軸を有することが可能になる。ボール部２４４は、フロートチャック２０２ａの質量中心に配置される。スライドベアリング２４８は、フロートチャック２０２ａおよび空気ベアリングボールジョイント２４２の平行移動を可能にするよう設計される。尚、空気ベアリングボールジョイント２４２は、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６に接続されて、フロートチャック２０２ａにガスを運んでもよい。
【００２３】
図２Ｏ〜図２Ｐには、安定化装置１０２ａの更に別の実施形態の上面図および側面図をそれぞれ示す。この実施形態では、フロートチャック２０２はガス加熱器／ガスコントローラ２０６に取り付けられており、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６はガス供給部２０４（図示せず）および可動マウント２５０に取り付けられている。可動マウント２５０は、フロートチャック２０２およびガス加熱器／ガスコントローラ２０６が２通りのチルト移動および１通りの平行移動を含む３自由度の移動を有することを可能にするよう設計される。このようにして、フロートチャック２０２は板ガラス１０５（図示せず）と自己整合して板ガラス１０５と平行な位置を保つことができる。図示されるように、可動マウント２５０は、ガス加熱器／ガスコントローラ２０６の２つの側面の周囲を包むジンバルアーム２５４に取り付けられたジンバルリング２５２を有する。ジンバルアーム２５４自体は、４つの支持アーム２５６によって支持される。各支持アーム２５６はハンガーリンク２５８に取り付けられている。ジンバルアーム２５４の一端部はダッシュポット／位置微調節器２６０（例えば、ばね制限器２６０）に接続される。可動マウント２５０は、空気／ガス供給ライン２６２も有する。尚、ハウジング２６４（何らかの断熱部２６６を有する）を含む可動マウント２５０全体をレールに搭載して、板ガラス１０５（図示せず）と係合する位置への入出のために全体移動させることができる。
【００２４】
図２Ｑには、安定化装置１０２ａの更に別の実施形態が示されている。この実施形態では、能動制御装置２６８を用いて、ガス供給部２０４からのガスの流れを制御する。能動制御装置２６８は制御部２７０を含む。制御部２７０は、板ガラス移動センサ（ＳＭＳ）２７２と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、ガス供給部２０４の動作を制御して、フロートチャック２０２から放出されるガスの流れを制御する。具体的には、制御部２７０は、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するのに必要な、フロートチャック２０２から放出されるガスの流量を決定する。尚、図示されているフロートチャック２０２は静止マウント２０３（図２Ａ参照）に取り付けられているが、フロートチャック２０２は先に示された複数のマウント（例えば、可動マウント２５０、適応型マウント２０９、ばね／ダンパーマウント２２６）の任意のものに取り付けることができる。また、能動制御装置２６８は、図２Ａ〜図２Ｑに示されている安定化装置１０２ａの任意のものに組み込むことができる。更に、任意の実施形態の安定化装置１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄをＦＤＭ１４０ａ内に配置することができる。
【００２５】
図３Ａ〜図３Ｃを参照すると、第２の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｂに関する複数の図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、複数の空気ジェット３０２を用いる。図３Ａに示されるように、安定化装置１０２ｂは、２つの空気ジェット３０２と、ガス供給部３０４と、板ガラス移動センサ３０６と、制御部３０８とを含む。動作においては、制御部３０８は、板ガラス移動センサ３０６と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、空気ジェット３０２から適切な量のガスが放出されるようにガス供給部３０４の動作を制御する。具体的には、制御部３０８は板ガラス移動センサ３０６と情報をやりとりし、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するのに必要な、空気ジェット３０２から放出されるガスの流量を決定する。空気ジェット３０２は、板ガラス１０５に対して付勢されたガスの運動エネルギーを介して、板ガラス１０５の移動に影響を及ぼす。このガスの運動エネルギーはρＵ２に比例する（ρはガス濃度であり、Ｕはガス速度である）。１／２ρＵ２の量を「動的圧力」と呼ぶことがある。尚、図面では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の各側面近傍に１つの空気ジェット３０２配置されているが、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の各側面近傍には、複数の空気ジェット３０２を配置することもできる。また、安定化装置１０２ｂに、図２Ｇに示されているものと同様の目的のガス加熱器／ガスコントローラを組み込むこともできる。
【００２６】
図３Ｂには、安定化装置１０２ｂの別の実施形態が示されている。この実施形態では、制御部３０８は、ガス供給および加熱部３１０と情報をやりとりして、複数の空気ジェット３０２（４つのみが図示されている）から流れるガスの流量および／または温度を制御する。上述のように、制御部３０８は板ガラス移動センサ３０６と情報をやりとりして、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するのに必要な、空気ジェット３０２から放出されるガスの流量を決定する。尚、図３Ｂに示されている、板ガラス１０５の片側のみに複数の空気ジェット３０２がある構成では、制御部３０８は、板ガラス１０５が空気ジェット３０２に向かって移動した場合にのみ空気流を要求してもよい。更に、制御部３０８は温度センサ３０５と情報をやりとりして、空気ジェット３０２から放出されるガスの温度を制御する。空気ジェット３０２から流れるガスの温度を制御することにより、板ガラス１０５の形状を制御することができる。板ガラス１０５の温度が均一ではないと、板ガラス１０５が歪むことがあるので、このタイプの温度制御は重要であり得る。具体的には、ＦＤＭ１４０ａ内にある板ガラス１０５が、焼きなまし点まで冷却される前に歪んだ場合には、一般的に、板ガラス１０５が室温になると、歪んで応力を生じ、板ガラス１０５を各ピースにトリミングまたは切断した際に、望ましくない形状の変化が生じる。従って、空気ジェット３０２から流れるガスの温度を用いて板ガラス１０５の温度を制御して、ＦＤＭ１４０ａ内の硬化ゾーン（ここで板ガラス１０５の形状が「凍結」される）を通過する際の板ガラス１０５を平面状にできれば、その後の曲がりや歪みは一時的なものになる。尚、図示されている空気ジェット３０２は、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の片面側に配置されているが、空気ジェット３０２はＦＤＭ１４０ａ内に配置されてもよい。また、安定化装置１０２ｂは、板ガラス１０５の片側または両側に配置された１つ以上の空気ジェット３０２を用いることもできる。更に、図３Ａ〜図３Ｃに示されている任意の板ガラス安定化装置１０２ｂに、板ガラス１０５の温度を制御するための、温度センサ３０５、制御部３０８およびガス供給および加熱部３１０からなるサブ装置を組み込むことができる。
【００２７】
図３Ｃには、安定化装置１０２ｂの更に別の実施形態が示されている。この実施形態では、空気ジェット３０２は、ばね／ダンパー装置３１２によって支持される。上述のように、安定化装置１０２ｂは、複数の空気ジェット３０２（板ガラス１０５の同じ側に５つのみが図示されている）と、ガス供給部３０４と、板ガラス移動センサ３０６と、制御部３０８とを含む。ばね／ダンパー装置３１２は、一端部が空気ジェット３０２に取り付けられ他端部が静止マウント３１６に取り付けられたばね３１４ａを含む。更に、ばね／ダンパー装置３１２は、静止マウントに取り付けられた３１６固定部３１８ａと空気ジェット３０２に取り付けられた可動部３１８ｂとを有するダンパー３１４ｂ（ダッシュポット３１４ｂ）を含む。動作においては、ばね／ダンパー装置３１２は、板ガラス１０５の移動を「制限する」のではなく、板ガラス１０５の移動を「制動する」。この構成では、制御部３０８は、板ガラス１０５の位置および移動に基づき、ガスの力が板ガラスの移動の位相からずれて、板ガラス１０５の移動を制動するように、空気ジェット３０２から流れるガスの速度を静的または動的に制御できる。ばね／ダンパー装置３１２は、必要に応じて、板ガラス１０５の更なる制動を可能にする。尚、この安定化装置１０２ｂには、図２Ｇに示されているものと同様のガス加熱器／ガスコントローラを組み込むこともできる。また、各空気ジェット３０２をそれぞれ独立したばね／ダンパー装置３１２に取り付け、複数のばね／ダンパー装置３１２に取り付けられた複数の空気ジェット３０２を、板ガラス１０５の両側に配置してもよい。
【００２８】
図４を参照すると、第３の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｃの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、複数の空気ベアリング４０２を用いる。図４に示されるように、安定化装置１０２ｃは、２つの空気ベアリング４０２と、ガス供給部４０４と、板ガラス移動センサ４０６と、制御部４０８とを含む。動作においては、制御部４０８は、板ガラス移動センサ４０６と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、空気ベアリング４０２から適切な量のガスが放出されるようにガス供給部４０４の動作を制御する。具体的には、制御部４０８は、板ガラス移動センサ４０６と情報をやりとりし、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するのに必要な、空気ベアリング４０２から放出されるガスの流量を決定する。空気ベアリング４０２は、板ガラス１０５と各空気ベアリング４０２との間の小さい間隙ｈ内に「潤滑圧」を生じることによって作用する。この実施形態では、板ガラス１０５にかかる圧力は、ガスの粘度μおよび間隙ｈのサイズ、並びにμＵ／ｈに比例して生じる潤滑圧によって異なる。尚、図面では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の各側面の近傍に１つの空気ベアリング４０２が配置されているが、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の各側面の近傍には、複数の空気ベアリング４０２を配置することもできる。また、安定化装置１０２ｃには、図２Ｉに示されているものと同様のガス加熱器／ガスコントローラを組み込むこともできる。尚、ガス供給部４０４がガスの正しい流量および圧力を提供するよう調節されていれば、板ガラス安定化装置１０２ｃは、板ガラス移動センサ４０６および制御部４０８を有さずに、受動モードで作動してもよい。
【００２９】
図５Ａ〜図５Ｉを参照すると、第４の実施形態の安定化装置１０２ｄに関する複数の図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、複数のエアクッション／パッド５０２を用いる。図５Ａに示されるように、安定化装置１０２ｄは、２つのエアクッション／パッド５０２と、ガス供給部５０４と、板ガラス移動センサ５０６と、制御部５０８とを含む。動作においては、制御部５０８は、板ガラス移動センサ５０６と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、エアクッション／パッド５０２から適切な量のガスが放出されるようにガス供給部５０４の動作を制御する。具体的には、制御部５０８は板ガラス移動センサ５０６と情報をやりとりして、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するのに必要な、各エアクッション／パッド５０２から放出されるガスの流量を決定する。エアクッション／パッド５０２は、キャビティ内に、板ガラス１０５を押す「静的圧力」を生じることによって作用する。板ガラス１０５にかかる力は、キャビティ５０３に入る衝突ガスや板ガラス１０５のエッジ周辺の潤滑力から及ぼされるものではなく、キャビティ５０３内の静的圧力から及ぼされるものである。合計の力は、「静的圧力Ｐ」×「板ガラス１０５と接するキャビティ５０３の面積」である。尚、図面では、ＦＤＭ１４０とＴＡＭ１５０との間の板ガラス１０５の各側面近傍に１つのエアクッション／パッド５０２が配置されているが、板ガラス１０５１つ以上の側面近傍に１つ以上のエアクッション／パッド５０２を配置することもできる。また、安定化装置１０２ｄに、図２Ｉに示されているものと同様のガス加熱器／ガスコントローラを組み込むこともできる。
【００３０】
図５Ｂ〜図５Ｉは、安定化装置１０２ｄで用いられ得るエアクッション／パッド５０２の複数の例示的な構成を示す。向かい合ったエアクッション／パッド５０２は、板ガラス１０５をガス膜上でエアクッション／パッド５０２間の中心に保持可能な設計を有する。図５Ｉには、板ガラス１０５の両側に複数のエアクッション／パッド５０２を配置した３つの模式図「ａ」〜「ｃ」が示されている。板ガラス１０５からの力が、板ガラス１０５がエアクッション／パッド５０２上でこするようにして進むのに必要な力を超えた場合には、各エアクッション／パッド５０２が板ガラス１０５から離れる方向に移動し得るように、各エアクッション／パッド５０２は、ストッパ（図示せず）に接した固定位置で、板ガラス１０５に対して保持され得る。図５Ｉの模式図「ｂ」に示されるように、板ガラスが中心から外れた場合には、最も近いエアクッション／パッド５０２（右）からの空気圧が増加し、反対側のエアクッション／パッド５０２（左）からの空気圧が減少して、板ガラス１０５を図５１の模式図「ａ」に示される中心位置に戻す傾向がある不均衡な力を生じる。図５Ｉの模式図「ａ」に示されるように、板ガラス１０５が中心に位置する場合には、板ガラス１０５からエアクッション／パッド５０２の縁部までの間隙は一定である。両面に対する空気供給圧が一定なら、この流量制限を介した空気圧の降下は同じである。従って、複数のカップ５０３内の空気圧は等しくなり、これにより、板ガラス１０５の両面にかかる力が等しくなる。図５Ｉの模式図「ｃ」に示されるように、ＰｌがＰ２よりも大きくなり、Ｐ８がＰ７よりも大きくなることにより、板ガラス１０５を中心位置に戻すように回転させる傾向があるモーメントが生じれば、板ガラス１０５の回転移動に抵抗できることがわかる。尚、エアクッション／パッド５０２はカップ状の設計であるが、他の設計でも同様に機能する。尚、図５Ｄに示されているエアクッション／パッド５０２は、米国特許第３，３３２，７５９号明細書でより詳細に説明されている。図５Ｅ〜図５Ｈに示されているエアクッション／パッド５０２は、米国特許第３，２９３，０１５号明細書でより詳細に説明されている。これらの２つの特許の内容を参照することにより、本願明細書に組み込む。
【００３１】
図６を参照すると、第５の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｅの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、１つ以上のコロナ荷電装置６０２および帯電可能プレート６０４を用いる。図６に示されるように、安定化装置１０２ｅは、２つのコロナ荷電装置６０２と、２つの帯電可能プレート６０４と、板ガラス移動センサ６０６と、制御部６０８とを含む。動作においては、制御部６０８は、板ガラス移動センサ６０６と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいてコロナ荷電装置６０２および／または帯電可能プレート６０４の動作を制御する。具体的には、制御部６０８は板ガラス移動センサ６０６と情報をやりとりして、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するために、コロナ荷電装置６０２から放出されて板ガラス１０５にたまる電荷、および／または帯電可能プレート６０４上の電荷、および／または帯電可能プレート６０４の位置を制御する。具体的には、コロナ荷電装置６０２は板ガラス１０５に静電荷を直接印加する。板ガラス１０５が帯電したら、制御部６０８によって電荷およびまたは位置が制御される帯電可能プレート６０４（例えば、金属プレート６０４）によって、板ガラス１０５を誘導できる。例えば、板ガラス１０５を負に帯電させて、負に帯電したプレート６０４間で、プレート６０４のいずれか一方に近づきすぎた板ガラス１０５を押し返すことで、板ガラス１０５を誘導できる。尚、図面では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間で板ガラス１０５の両側に２つのコロナ荷電装置６０２および２つの帯電可能プレート６０４が配置されているが、コロナ荷電装置６０２および帯電可能プレート６０４はＦＤＭ１４０ａ内に配置されてもよい。また、安定化装置１０２ｅは、板ガラス１０５の片面側または両面側に配置された１つ以上のコロナ荷電装置６０２および１つ以上の帯電可能プレート６０４を用いることもできる。
【００３２】
図７を参照すると、第６の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｆの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、誘導静電安定器（ＩＥＳ）７０２を用いる。図７に示されるように、安定化装置１０２ｆは、ＩＥＳ７０２と、板ガラス移動センサ７０６と、制御部７０８とを含む。ＩＥＳ７０２は、異なる強さおよび極性で帯電可能な１つ以上の領域を有する帯電可能プレート７０４を含む。動作においては、制御部７０８は、板ガラス移動センサ７０６と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、ＩＥＳ７０２を制御する。具体的には、制御部７０８は板ガラス移動センサ７０６と情報をやりとりし、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するために、ＩＥＳ７０２によって板ガラス１０５で誘導される静電荷の大きさを制御する。具体的には、帯電したプレート７０４が板ガラス１０５に近づくと、板ガラス１０５における電子の移動が誘導され、板ガラス１０５がその表面に電荷を有する。板ガラス１０５は誘電体あり、導電性は非常に低いが、帯電プレート７０４がその表面に近づくと、影響を受ける。交互になった正電荷領域と負電荷領域とを有する帯電プレート７０４を用いることにより、板ガラス１０５において静電荷を誘導でき、板ガラス１０５を安定させるための力を加えることができる。誘導静電安定器のより詳細な説明については、以下の文献を参照されたい。
【００３３】
・Ｊｕ  ＪｉｎおよびＴｏｓｈｉｒｏ  Ｈｉｇｕｃｈｉ，“Ｄｉｒｅｃｔ  Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｌｅｖｉｔａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｐｒｏｐｕｌｓｉｏｎ”，ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．２，１９９７年４月，ｐｐ．２３４−２３９。
【００３４】
・Ｊｏｎｇ  Ｕｐ  ＪｅｏｎおよびＴｏｓｈｉｒｏ  Ｈｉｇｕｃｈｉ，“Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ  Ｓｕｓｐｅｎｓｉｏｎ  ｏｆ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃｓ”，ＩＥＥＥ  Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ  ｏｎ  Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．６，１９９８年１２月，ｐｐ．９３８−９４６。
【００３５】
これらの文献の内容を参照することにより本願明細書に組み込む。
【００３６】
図８を参照すると、第７の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２gの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、空気取入弁８０３を有する少なくとも１つの壁８０２（２つが図示されている）を用いる。図８に示されるように、安定化装置１０２gは、２つの壁８０２と、２つの空気取入弁８０３と、板ガラス移動センサ８０４と、制御部８０６とを含む。動作においては、制御部８０６は、板ガラス移動センサ８０４と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するために、空気取入弁８０３を制御する。具体的には、制御部８０６は板ガラス移動センサ８０４と情報をやりとりし、壁８０２（例えば、低透過性の壁８０２）の底部に配置された空気取入弁８０３を制御して、板ガラス１０５と空気取入弁８０３との間の隙間のサイズを増減する。これらの隙間のサイズは、煙突効果によってＦＤＭ１４０ａに引き込まれる空気の量に影響し、これは板ガラス１０５の両側の相対圧力に影響するので、これを制御すれば板ガラス１０５の移動の安定／防止を補助できる。尚、図示されている各壁８０２はそれぞれの空気取入弁８０２を有するが、一方の壁８０２のみが空気取入弁８０３を必要としてもよい。また、制御部８０６は、板ガラス１０５の移動の安定化／防止を補助するために、板ガラス１０５に対する各プレート８０２の相対位置を制御することもでき、必要に応じてプレート８０２を傾けることもできる。
【００３７】
図９を参照すると、第８の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｈの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、１つ以上の可動プレート９０２（２つが図示されている）を用いる。図９に示されるように、安定化装置１０２ｈは、２つの可動プレート９０２と、板ガラス移動センサ９０４と、制御部９０６とを含む。動作においては、制御部９０６は、板ガラス移動センサ９０４と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、板ガラス１０５の移動の安定化／最小化を補助するために、板ガラス１０５の移動に対して可動プレート９０２の移動を制御する。具体的には、制御部９０６は板ガラス移動センサ９０４と情報をやりとりし、可動プレート９０２によって板ガラス１０５に及ぼされる力が板ガラス１０５の移動の位相とずれて板ガラス１０５の移動を制動するように、可動プレート９０２の位置および移動を動的に制御する。各可動プレート９０２と板ガラス１０５との間の間隙は小さく、可動プレート９０２が移動するとそこに真空または圧力を生じ、それによって板ガラス１０５の移動を低減できるので、このことが可能になる。尚、図面では、板ガラス１０５の各側面側に１つの可動プレート９０２が示されているが、板ガラス１０５の片面側に１つのみの可動プレート９０２が必要であってもよい。また、可動プレート９０２はＦＤＭ１４０ａ内に配置されてもよい。
【００３８】
図１０を参照すると、第９の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置１０２ｉの図が示されている。この実施形態では、ＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間での板ガラス１０５の移動を最小化するために、１つ以上の熱的に制御されたプレート１００２を用いる。図１０に示されるように、安定化装置１０２ｉは、２つの熱的に制御されたプレート１００２と、板ガラス移動センサ１００４と、制御部１００６とを含む。動作においては、制御部１００６は、板ガラス移動センサ１００４と情報をやりとりしてそこからの信号を受け取り、その信号に基づいて、板ガラス１０５の位置の安定化を補助するために、熱的に制御されたプレート１００２の温度Ｔ（ｘ，ｙ）を制御する。尚、安定化装置１０２ｉを、板ガラス１０５の形状または曲がりに影響を及ぼすように用いることもできる。
【００３９】
図１１を参照すると、上述のいずれかの非接触型板ガラス安定化装置１０２を用いて板ガラスを製造するための好ましい方法１１００の基本的なステップを示すフローチャートが示されている。ステップ１１０２で開始し、ガラス製造装置１１００を用いて、１回分の材料を溶融させ、溶融した１回分の材料を処理して板ガラス１０５を形成し、この板ガラス１０５をＦＤＭ１４０（図１参照）に送る。ステップ１１０４では、板ガラス１０５は、ＦＤＭ１４０ａのプルロールアセンブリ１４０の２つのロール間で引伸ばされる（図１参照）。ステップ１１０６では、安定化装置１０２を用いて、板ガラス１０５と物理的に接触せずに板ガラス１０５の平行移動および／または回転移動を低減することにより、ＦＤＭ１４０ａから出力される板ガラス１０５を安定させる。次に、ステップ１１０８で、安定させた板ガラス１０５をＴＡＭ１５０（図１参照）で切断する。尚、安定化装置１０２は、ＴＡＭ１５０が板ガラス１０５を切断するために動作する際も、板ガラス１０５の移動の防止を補助するよう機能する。また、ステップ１１０６で用いられる任意の安定化装置は、部分的または全体的に、ＦＤＭ１４０ａ内やＦＤＭ１４０ａの下方に配置されてもよい。
【００４０】
上記から、安定化装置１０２が、より一定した製造プロセスを維持するように引伸ばし中の板ガラス１０５を安定させるよう機能することが、当業者には容易に認識されよう。また、この理想的な非接触型板ガラス安定化手法は安定した受動的なものであり、板ガラス１０５の位置がずれると、それを目標の位置に戻す復元力を自然に生じることが、当業者には認識されよう。しかし、板ガラス１０５の位置を監視して、その測定に基づき安定化装置１０２の設定点を調節する能動的な制御手法を用いることも必要になり得る。これらの手法では、１つ以上の板ガラス移動センサを用いることも必要になり得るが、本願明細書では、これらのセンサの１つのみを図示して説明した。
【００４１】
尚、本発明の非接触型安定化装置の長所の１つは、ＦＤＭの中間および上部レベルでの板ガラスの移動を低減することであり、これにより、切断した板ガラスのより一貫性の高い形状およびより低く且つより安定した応力レベルが得られる。更に、本発明の非接触型安定化装置の別の長所は、板ガラスに切れ目をつけて除去する際の板ガラスの移動を低減することである。この移動の低減によって、スコアラインの一貫性の向上、スナップオフ処理における亀裂伝播の一貫性の向上、および板ガラスの破損の低減が可能になり、板ガラス切り離し処理のスコアリング工程およびそれに続く工程の性能を向上できる。
【００４２】
尚、上述の例示的なケースでは、非接触型安定化装置１０２はＦＤＭ１４０ａとＴＡＭ１５０との間に配置されていたが、非接触型安定化装置１０２は、板ガラス１０５が既に材料特性の弾性域に入っている限りにおいて、ＦＤＭ１４０ａ内のプルロールアセンブリ１４０の上方または下方に配置されてもよい。また、非接触型安定化装置１０２は、シート材料の移動を最小化すること（およびシート材料の位置範囲を最小化すること）が必要な任意の用途で用いられ得ることを留意されたい。更に、例えば、ＴＡＭ１５０における板ガラス１０５の横方向の曲がりを低減するために、板ガラス１０５の幅にわたって複数のフロートチャック２０２を配置することにより、非接触型安定化装置１０２を板ガラス１０５の形状を変えるために用いることができる。複数のフロートチャック２０２の各々は、それぞれ独立したサスペンションを有することができる。
【００４３】
本発明の複数の実施形態を添付の図面に示すと共に上述の詳細説明で説明したが、本発明は、開示された実施形態に限定されず、添付の特許請求の範囲に記載され定義された本発明の精神から逸脱することなく、多くの再構成、変形および置き換えが可能であることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に従って構成された非接触型板ガラス安定化装置を組み込んだ例示的なガラス製造装置を示すブロック図。
【図２Ａ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｂ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｃ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｄ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｅ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｆ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｇ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｈ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｉ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｊ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｋ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｌ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｍ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｎ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｏ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｐ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図２Ｑ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するためにフロートチャックを用いる第１の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図３Ａ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上の空気ジェットを用いる第２の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図３Ｂ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上の空気ジェットを用いる第２の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図３Ｃ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上の空気ジェットを用いる第２の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図４】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上の空気ベアリングを用いる第３の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関するブロック図。
【図５Ａ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｂ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｃ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｄ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｅ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｆ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｇ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｈ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図５Ｉ】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のエアクッション／パッドを用いる第４の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置に関する図。
【図６】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上のコロナ荷電装置を用いる第５の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置のブロック図。
【図７】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために誘導静電安定器を用いる第６の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置のブロック図。
【図８】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために少なくとも１つのプレート／空気取入弁を用いる第７の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置のブロック図。
【図９】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために１つ以上の可動プレートを用いる第８の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置のブロック図。
【図１０】図１に示されているＦＤＭとＴＡＭとの間での板ガラスの移動を最小化するために熱的に制御されたプレートを用いる第９の実施形態の非接触型板ガラス安定化装置のブロック図。
【図１１】本発明による図１に示されている非接触型板ガラス安定化装置を用いて板ガラスを製造する好ましい方法の基本的なステップを示すフローチャート。
【図１】
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【図２Ａ】
2008511535.tif 000004
【図２Ｂ】
2008511535.tif 000005
【図２Ｃ】
2008511535.tif 000006
【図２Ｄ】
2008511535.tif 000007
【図２Ｅ】
2008511535.tif 000008
【図２Ｆ】
2008511535.tif 000009
【図２Ｇ】
2008511535.tif 000010
【図２Ｈ】
2008511535.tif 000011
【図２Ｉ】
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【図２Ｊ】
2008511535.tif 000013
【図２Ｋ】
2008511535.tif 000014
【図２Ｌ】
2008511535.tif 000015
【図２Ｍ】
2008511535.tif 000016
【図２Ｎ】
2008511535.tif 000017
【図２Ｏ】
2008511535.tif 000018
【図２Ｐ】
2008511535.tif 000019
【図２Ｑ】
2008511535.tif 000020
【図３Ａ】
2008511535.tif 000021
【図３Ｂ】
2008511535.tif 000022
【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
2008511535.tif 000026
【図５Ｃ】
2008511535.tif 000027
【図５Ｄ】
2008511535.tif 000028
【図５Ｅ】
2008511535.tif 000029
【図５Ｆ】
2008511535.tif 000030
【図５Ｇ】
2008511535.tif 000031
【図５Ｈ】
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【図５Ｉ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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