(57)【要約】  マイクロ流体反応装置１０は、熱緩衝流体通路［７０］と、全てが拡張本体内に画成された、混合［４０］および滞留時間［５０］副通路を持つ反応体通路［２２］を備え、滞留時間副通路［５０］は少なくとも１ｍｌの容積を有し、混合副通路［４０］は、良好な混合を提供するために流動の正確な分割を必要としない単一ミキサの形態にある。この装置は、ガラスまたはガラスセラミック内に形成されることが望ましい。単一ミキサ［４０］は、反応体流体内の二次流動を生成するように構成されており、１つ以上の共通壁を共有することによって、緩衝流体通路［７０］に熱的に密接に連結されていることが好ましい。
2008526493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
広幅本体、
該広幅本体に画成された反応体流体通路であって、該反応体流体通路が、該反応体流体通路中に流体を受け入れるための１つ以上の入口ポート、混合副通路、および滞留時間副通路を有し、該混合副通路が、所定の流体および所定の流量について、前記滞留時間副通路の圧力降下対体積比よりも大きい、圧力降下対体積比を有するものである反応体流体通路、および
前記広幅本体に画成された１つ以上の熱緩衝流体通路、
を備えたマイクロ流体装置であって、
前記反応体流体通路およびその前記混合副通路が、前記１つ以上の入口ポートの内の少なくとも１つを通過する全ての流体が前記混合副通路を通過するように位置し配置されており、前記滞留時間副通路が少なくとも１ミリリットルの容積を有することを特徴とするマイクロ流体装置。
【請求項２】
前記滞留時間副通路が少なくとも２ミリリットルの容積を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロ流体装置。
【請求項３】
前記滞留時間副通路が少なくとも５ミリリットルの容積を有することを特徴とする請求項１記載のマイクロ流体装置。
【請求項４】
前記広幅本体が、ガラス、ガラスセラミック、またはセラミック材料から構成されることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項５】
前記広幅本体が、ガラスまたはガラスセラミックから構成されることを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項６】
前記混合副通路が、その中を通って流動する流体中に二次流動を誘発するように配置されていることを特徴とする請求項１から５いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項７】
前記混合副通路が、その中にベンドを有する通路を含み、該ベンドが複数の面にあることを特徴とする請求項１から６いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項８】
前記反応体通路が、２バールの圧力降下で少なくとも１００ｍｌ／分の水を流動させるのに十分な流動能力を有し、前記１つ以上の熱緩衝通路の内の少なくとも１つが、前記反応体通路の少なくとも２倍大きい流動能力を有し、該少なくとも１つの熱緩衝通路が、１つ以上の共通の壁を共有することによって、前記混合副通路と密接に熱的に連結されていることを特徴とする請求項１から７いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項９】
前記反応体通路が、１バールの圧力降下で少なくとも１００ｍｌ／分の水を流動させるのに十分な流動能力を有することを特徴とする請求項１から８いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項１０】
前記１つ以上の熱緩衝通路の内の１つが、前記反応体通路の少なくとも５倍大きい流動能力を有することを特徴とする請求項１から９いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【請求項１１】
前記１つ以上の熱緩衝通路が、２つ以上の共通の壁を共有することによって、前記混合副通路と密接に熱的に連結されていることを特徴とする請求項１から１０いずれか１項記載のマイクロ流体装置。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、２００５年１月７日に出願された欧州特許出願第０５２９００４６．１号の優先権の恩恵を主張するものである。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、広く、混合と化学反応を行うための、ミリメートルからミリメートル未満の寸法を持つ内部チャンネルまたはチャンバを有する装置としてここに定義される、マイクロ反応装置に関し、より詳しくは、比較的高速大量処理で発熱反応の良好に制御された連続動作を行うために特に最適化されたそのような装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
マイクロ反応技術は、ミリメートル、または一般にミリメートル未満またはマイクロメートルの規模の寸法を１つ以上持つ、流体通路などの意図的に構築された特徴構造を有する化学および生体反応装置を伴うことが広く理解されている。
【０００４】
そのような技術に関する現在の焦点の１つが、高速大量処理化学または生体スクリーニングのために多くの反応を同時に実施するための手段を提供することに当てられている。一般的にそれに伴う非常に小さな寸法および容積のために、数百あるいは数千のテストが同時に行われる、比較的安価で迅速なテストが可能になる。
【０００５】
マイクロ反応技術の別の焦点は、化学研究所の作業、処理および生産における利点を提供するために、典型的なバッチリアクタよりも数桁大きい、小さなチャンネル内で可能な高い表面積対体積比を利用することに当てられている。表面積対体積比が非常に高い装置には、非常に小さな容積内で非常に高い伝熱率および物質移動速度を提供する潜在能力がある。十分に認められた潜在的な利点としては、（１）より高い収率および純度による、より高い生産性および効率、（２）プロセス体積が劇的に減少したことによる、改善された安全性、（３）新規のプロセス、新規の反応、またはそうしなければ到達できなかったかもしれない新規の反応形態（これにより、転じて、さらに大きな収率または安全性の利益がもたらされるかもしれない）が挙げられる。研究所から商業生産に「拡大する」よりもむしろ、「数を増やす」潜在能力にも利点が見出されている。単一のマイクロ反応装置内の「内部」または多数の装置を並列に配置することにより「外部」であろうとなかろうと、増加しているマイクロ反応構造体を並列に配置することにより増加している容量という意味の「数の増加」は、反応およびプロセスを典型的な生産プラントサイズの反応設備に拡大することの相当なコスト、時間および他の資源を必要とせずに、研究所で実証された反応を実質的に直接生産へと移す可能性を提供する。
【０００６】
多くのタイプのマイクロ混合装置が報告されたり、提案されたりしている。「指状嵌入(interdigitating)」または「積層(laminating)」ミキサと称されることもあるタイプのものは、一般に超並列アレイで混合すべき反応体の流れを微細に分割しそれらを混ぜ入れることに依存し、しばしばその後、その流れの放射状または直線状の「集束(focusing)」（すなわち、すぼめ）が行われ、それによって、非常に迅速な拡散駆動混合が可能になる。比較的最近の実例は、Institute fuer Mikrotechnik Mains(IMM)と共にMikroglas Chemtech GmbHにより開発され、非特許文献１に論じられた「ＳｕｐｅｒＦｏｃｕｓ」ミキサである。ここでは、混合すべき流れが、実質的に平面配置で指状嵌入されている。IMMはまた、「スター・ラミネータ(star laminators)」として知られる非常に高速大量処理の積重プレートマイクロミキサも開発した。ここでは、流体は、積み重ねられた、パターンの付いたスチール板の間を通して、典型的に、積層流を三次元形状で「指状嵌入」する効果を持つプレート積重体を通る中央通路に流される。同様に、三次元形状を持つ超並列指状嵌入ミキサにおける高速大量処理が、Institute fuer Microverfahrenstechnik at Forschungszentrum Karlsruhe(FZK)により報告されている。
【０００７】
第２のタイプのマイクロ混合装置では、１つ以上の単純な混合「ティー(tees)」が利用されている。ここでは、２つの直線チャンネルが、例えば、非特許文献２に報告されているような、Mikroglas Chemtech GmbH（Fraunhofer ICTと共に）からの別の「マイクロリアクタ」内における多数のミキサ構造体のように、１つに合併される。
【０００８】
第３のタイプのマイクロミキサは、例えば、非特許文献３におけるように、小さな衝突ジェットを利用する。
【０００９】
第４のタイプは、磁気作動マイクロスターラ、圧電駆動混合、他の音響エネルギー駆動混合、または混合すべき流体の任意の他の能動操作などの能動混合を使用する。
【００１０】
第５のタイプのマイクロ混合装置では、流れの分割と再結合を用いて、流れの（超並列というよりもむしろ）直列の多層を生成する。ある実例は、例えば、非特許文献４に示されている「キャタピラ（登録商標）」タイプのミキサである。
【００１１】
第６のタイプでは、混合すべき流体内に二次流動または「無秩序移流(chaotic advection)」を誘発するための様々なチャンネル表面特徴構造が使用される。このタイプのミキサの例としては、非特許文献５に報告された構造体（無秩序移流を誘発する表面特徴構造）が挙げられる。
【００１２】
第７のタイプのマイクロ混合装置は、混合すべき流体内に二次流動、乱流状効果、または「無秩序移流」を誘発するために、チャンネルの様々な形状、様々な曲率半径または方向などの様々なチャンネル形状を使用する。このタイプの例としては、非特許文献６および７（「無秩序」混合を誘発するための、それぞれ、平面すなわち二次元および非平面すなわち三次元の蛇行チャンネルを示す）に報告された構造体が挙げられる。
【００１３】
様々なタイプのマイクロリアクタが、報告されたり、提案されたりしている。マイクロリアクタ（この用語が最も一般に用いられる）は、一種類以上の反応体を反応させる（一般に、２種類以上の反応体の混合を含む）こと、および加熱または冷却もしくは熱緩衝によりある程度反応を制御することの両方を提供するマイクロ反応装置である。説明に役立つ実例としては、並列に配置された多数の「ティー」ミキサを利用したガラスデバイスである、前出のMarioth等に報告されたMikroglasマイクロリアクタ；様々なミキサ配列を用いた、非特許文献８にその実例が報告されている、Fraunhoferからの「ＦＡＭＯＳ」システムマイクロ反応ユニット；熱交換流体のための通路を含む積重板構造を用いた、特許文献１の図１０〜１２に示されたような、Cellular Process Chemistry(CPC)からの「Ｃｙｔｏｓ」マイクロリアクタ；および非特許文献９に記載されているような、IMMからの別のタイプの積重板構造が挙げられる。上述したIMMおよびFZKからのものなどの、超並列の高速大量処理の三次元指状嵌入ミキサは、高速大量処理マイクロ反応システムを形成するために、直ちに続く超並列の高速大量処理の熱交換器に連結することもできる。
【００１４】
ミキサまたは完全なマイクロリアクタ装置について、さらには用語自体の現在提案されている定義についてであろうと、「マイクロ反応技術」における現在の努力の多くは、より広くより旧来の定義に合致するより大きな寸法の連続流リアクタを除外して、「マイクロフロー規模での調整された処理設備」を提供するために、「ユニットセル内の［プロセス設計］に基づいて」設計または選択された装置であって、「そのようなセルを数多く」用いた装置内のマイクロフローから得られる予測された利点に焦点を当てている。例えば、非特許文献１０を参照のこと。
【００１５】
この焦点は、予測可能で規則的なマイクロフローの使用により流体プロセスを制御する要望、および単一装置内で増加した処理量を達成する要望の両方に由来する。前出の非特許文献１０に述べられているように、「通常、ジグザグ混合チャンネルまたは無秩序ミキサによってさえ、液体のマイクロ混合は、中程度の体積の流れでしか完了できない。化学プロセス技術において、処理量はしばしば重要な課題であり、この理由のために、１つのチャンネル内で合併する２つの流れの概念を凌ぐマイクロミキサの設計が必要とされている。混合すべき流体流が１つの層だけを通って案内され、多層構造に向かうミキサの構造を放棄したときに、多層の原理に到達できる・・・」。
【００１６】
そのような努力の課題である微細に分割された高並列構造体により、内部の「数の増加」により増加した処理量を効果的に提供する、ミキサ中の圧力降下が非常に低い、非常に早い混合の可能性、および熱交換器内の非常に速い非常に高い熱交換率の可能性などの潜在的な利点が提供される。それでも、そのような非常に微細な構造体は、微粒子または膜形成材料の存在下で詰まったり汚れたりする傾向が特にあり、一旦、詰まったり汚れたりしたら、そのような構造体は、修理不可能であったり、骨の折れる分解と洗浄を必要とするかもしれない。さらに、そのような装置の性能は、分割流チャンネル内の流動のバランスに極めて敏感であり、よって、設計または製造の難点のために、混合品質または収率が、予測されるよりも低くまたは所望なよりも低くなり得る。装置が老化するにつれ、混合品質は維持するのが非常に難しくなり得る。何故ならば、流動におけるどのような不均衡も、最高処理量のチャンネルの腐食に差がつくことにより、長年に亘り拡大する傾向にある。さらに、高速大量処理の非常に速いミキサ（三次元多層を用いた）は、速い高速大量処理の熱交換器にしっかりと連結された場合でさえも、しばしば、より旧来のプロセスよりも、収率または生産性が期待されたレベルほど増加しないことがある。
【特許文献１】米国特許出願公開第２００３／０２２３９０９Ａ１号明細書
【非特許文献１】Hessel, et al, "Laminar Mixing in Different Interdigital Micromixers" AIChE J. 49, 3 (2003) 566-577, 578-84
【非特許文献２】Marioth et al., "Investigation of Microfluidics and Heat Transferability Inside a Microreactor Array Made of Glass," in IMRET 5: Proceedings of the Fifth International Conference on Microreaction Technology (Matlosz Ehrfeld Baselt Eds., Springer 2001)
【非特許文献３】Yang et al., "A rapid Micro-Mixer/Reactor Based on Ajrrays of Spatially Impinging Microjets," J. Micromech. Microeng. 14 (2004) 1345-13 51
【非特許文献４】Schoenfeld et al, "An Optimized Split-and- Recombine Micro-Mixer with Uniform 'Chaotic' Mixing," Lab Chip 2004, 4, 69
【非特許文献５】Strook et al., "Chaotic Mixer for Microchannels," Science 295 1 (2002) 647-651
【非特許文献６】Jiang, et al., "Helical Flows and Chaotic Mixing in Curved Micro Channels," AIChE J. 50, 9 (2004) 2297-2305
【非特許文献７】Liu, et al., "Passive Mixing in a Three- Dimensional Serpentine MicroChannel," J. Microelectromech. Syst. 9, 2 (2000) 190-197
【非特許文献８】Keoschkerjan et al., "Novel Multifunction Microreaction Unit for Chemical Engineering," Chem. Eng. J 101 (2004) 469-475
【非特許文献９】Richeter, et al., "A Flexible Multi-Component Microreaction System for Liquid Phase Reactions," Proceedings of IMRET 3, 636-634 (Springer Verlag 2000)
【非特許文献１０】Hessel, Hardt and Lowe, Chemical Micro Process Engineering (Wiley VCH, 2004), pp. 5-6; 18-19
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
したがって、これらの欠点を避けると同時に、比較的低い圧力降下で、比較的良好な混合を提供する、良好な熱交換容量および高速大量処理能力を持つ装置を製造することが望ましいであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、１種類以上の流体または流体により搬送される反応体の混合および反応のためのマイクロ反応装置に関する。その装置は、１つ以上の高速流動緩衝流体通路または層の形態にある集積熱管理能力を有する。この装置は、単体ミキサ、すなわち、その中を通って、混合すべき少なくとも１種類の反応体の全てが通過させられる混合通路を備え、この混合通路は、混合を促進するために、二次流動または乱流状作用を生じるように構築されている。混合通路は、それ自体、三次元の蛇行形状のものであることが望ましく、周期的または非周期的な障害物、制限物、または同様の特徴構造を備えていてもよい。この装置はまた、混合通路内での最初の混合後であって、装置を出る前に、流体がそこを通って流れる集積滞留時間通路も備えている。この滞留時間通路は、混合通路よりも著しく低い、望ましくは少なくとも約５倍低い、圧力降下対体積比を有することが好ましい。この滞留時間通路は、少なくとも１ｍｌの容積を有することが好ましく、２，５またはさらには１０ｍｌなどさらに多いことが望ましく、プロセスにおける反応が、流体結合または接続により装置から出る反応流体の通過が不当に反応収率または生産性を減少させないほど十分に安定化または完了しているように、装置内に十分な時間に亘り留まるために、所望の流量で流体が混合通路から流出できるほど十分な容積を有することが望ましい。滞留時間通路および単体混合通路は、過剰の熱を迅速に除去できるように、１つ以上の緩衝流体通路に密接に熱的に連結されている。混合通路内で生成された二次流動は、関連して密接に連結された高速流動緩衝流体通路と協働して、特に混合中および混合直後、ホットスポットが混合通路内に形成されるのを防ぎ、装置の伝熱能力を増加させて、改善された反応制御および選択性が得られる。この反応体通路は、非常に小さな容積内に収容されていることが望ましく、薄い方向における寸法対次に小さな寸法の比は、約１：１００であり、緩衝流体層または通路がこの薄い容積の両側に設けられている。この装置はさらに、混合および滞留時間通路内に化学的不活性または高抵抗性の表面を有することが望ましい。この目的のために、この装置は、ガラス、セラミック、ガラスセラミック、耐薬品性高分子、耐薬品性金属などの、化学的不活性または高抵抗性材料内に直接形成されることが望ましい。
【００１９】
これらと他の特徴の結果、本発明の装置は、２０ｍｌ／分で流れる反応体流から少なくとも２０ワット、より好ましくは少なくとも４０ワットの熱交換能力、およびその２０ｍｌ／分の流量で少なくとも６〜１０秒の総滞留時間（２から約３．３３ｍｌの滞留時間通路の容積に相当する）を提供でき、提供することが好ましく、少なくとも２０ｍｌ／分からの流量で少なくとも９０％の迅速な混合性能が得られる。さらに、本発明の装置は、約１００ｍｌ／分またはそれより多い流量で、約２バール未満、望ましくはさらには約１バール未満の低い圧力降下を提供でき、提供することが好ましい。意外なことに、少なくとも１ｍｌの容積の集積滞留時間通路および熱緩衝能力を有する、本発明の装置の実施の形態は、いずれも有さない既存の平面形状指状嵌入ミキサと等しいまたはそれより良好な、迅速な混合および低い圧力降下を提供する。
【００２０】
ここに開示した装置の群のテストにより、ユーザが、自触反応により一般に、急騰する熱の蓄積が起こり、未制御の反応となる反応である、活性化された芳香族の、高収率の良好に制御された連続自触反応ニトロ化を行うことができる。そのようなテストは、望ましい生成物の相対的な収率に著しい程度で熱的に影響を与える、本発明の装置により提供される能力も示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
同じまたは同様の部品を指すために、できる限り、同じ参照番号が図面に亘り用いられる。
【００２２】
図１は、本発明によるマイクロ反応装置１０の実施の形態の一部の断面平面図である。この断面平面図に示された構造体は、外壁１８、流体通路壁２０、並びに様々な補強または支持構造体２４および製造に有用な層特定マーク２６を含む。流体通路壁は、反応体流体通路２２を画成し、流体通路２２の隣接部分の壁の間に間隙２３を提供する。この断面平面図に示された壁および他の構造体は、図の平面に平行であるがその面にはない、略平面の構造体上に支持されている。図示された壁および他の構造体は、適切な加算または減算プロセスにより平面支持構造体上に形成されても、または所望であれば、平面支持構造体と一体に形成されてもよい。位置１２，１４および１６で、平面支持構造体を通って孔が設けられている。位置１２の孔は、流体通路２２に進入する反応体流のアクセスを提供し、一方で、位置１４の孔は、装置を出る流体の出口ポートを提供する。位置１６の孔は、熱緩衝流体のためのスルー通路を提供する。
【００２３】
図２は、説明を明白にするために、断面構造体が実線により示され、流体通路２２の領域に陰影が付けられた、図１と同じ断面平面図である。流体通路２２は、それぞれ、図３，４および５に示されるような、予備混合副通路３０、混合副通路４０、および滞留時間副通路５０を含む、機能的副通路に再分割されてよい。これらの図面に示されたように、異なる機能的副通路の間の境界は重複していてよく、実際に、異なるタイプの副通路の正確な境界は、はっきりとは描かれる必要はない。しかしながら、混合副通路４０は、他の副通路からは、特に滞留時間副通路５０からは、高い表面積対体積比により、所定の流量に関する高い圧力降下対体積比により、および一般に著しく小さい総容積により、または使用されるときに、混合副通路内の二次流動または乱流状効果の、滞留時間副通路内でのそのような効果に対する一般に大きな発生によって、一般に区別できる。
【００２４】
図１の実施の形態のマイクロ反応装置において、流体通路２２は、図６の一般の代表的な構造体の立面断面図において示されるような、流体通路の壁２０を支持する２つの略平面の構造体６０の間に制限されることが望ましい。反応体通路は、壁構造体６２および６４の２つの相補組の並列により形成されてよく、各組は、平面構造体６０の内の１つに元々支持されている。流体通路２２を画成する壁構造体は、図６における位置６６でなどのような、特定の位置に直接一致していてよい。流体通路２２を画成する壁構造体は、図６における位置６８でなどのような特定の他の位置で一致しておらず、構造体が隣接して配置され、接合されて、マイクロ反応装置を形成したときに、流体通路２２を、図面の垂直な方向に積重された２つのレベルに分割する。
【００２５】
本発明の装置を製造するある望ましい実施の形態および方法において、この装置は、ガラスまたはガラスセラミックからなる。ガラスの装置に関しては、平面構造体６０はガラス基板から構成され、壁および他の類似の構造体は、焼結されたガラスフリットから構成されていてよい。そのような適切なプロセスの１つは、例えば、本願出願人に譲渡された米国特許第６７６９４４４号明細書に記載されたものである。
【００２６】
本発明の装置は、他の材料内に、例えば、金属、セラミック、およびプラスチック内に、ミクロ機械加工、リソグラフィー法の有無にかかわらないエッチングなどを含む他の方法によって形成してもよい。ある場合には、壁構造体は、図６に示すような略平面の構造体の間に挟まれた壁および関連する構造体としてよりもむしろ、図７に示すような、略平面支持構造体から構成された、同じ単体材料から直接形成されていてもよい。いずれの場合においても、全体としての装置の最終的に組み立てられた構造体は、気密および液密の最終装置が製造されるように、適切な焼結または他の適切な手段などによって、ワンピースに固結されることが望ましい。
【００２７】
本発明の装置において、マイクロ反応装置内の反応体の流体通路は、熱緩衝流体層または通路と密接に関連付けられている。流体通路２２を取り囲む略平面の構造体６０は、それら自体、図６および７に示されているように、追加の略平面の構造体９０により境界が示された、２つの略平面の緩衝流体層または通路７０間に挟まれていることが望ましい。流体通路７０は、一般に、１．５バールの圧力降下で少なくとも２００ｍｌ／分で緩衝流体の高流量を可能にし、望ましくは、反応体流体通路中におけるよりも、所定の圧力で少なくとも２倍大きい流動、最も望ましくは、少なくとも５倍大きい流動を可能にする低い圧力降下を有することが望ましい。
【００２８】
図８は、図１に示した第１の構造体に相補的な、壁および関連する構造体の第２の構造体の断面平面図である。図８に示された壁および関連する構造体に結合されそれを支持する平面構造体において、平面構造体を通る孔が、所望のように、様々な位置で用いられてよいが、緩衝流体スルーホールのための位置１６でのみ、図示した実施の形態においては用いられる。この特定の実施の形態において、図８に示された壁構造体は、以下にさらに詳しく記載されるように、主に混合副通路の区域のみにおいて、図１に示された構造体とは異なる。
【００２９】
図９は、図１および８に示された相補的構造体の組立てを示している。先の図１に示された構造体に相当する図９Ａの第１の構造体７２は、図９Ｂに示されるように、反転される（図面の左から右に）。図８の構造体に相当する第２の構造体７４が図９Ｃに示されており、その上に、図９Ｂの反転された構造体７２が、図９Ｄに示されるように、配置される。図９Ｄのその結果得られた重複構造体７６は、他方との重複にかかわらず、完全に濃い線で両方の層が示された状態で図示されている。それゆえ、混合副通路４０の区域において、不一致の相補的構造体の存在が明らかに見え、他の区域にはほとんどまたは全く不一致がない。
【００３０】
混合副通路４０の流体通路壁２０の断面構造が、図１０に大きく拡大された図で示されている。図１０Ａは、図８および９Ｃに示された相補的構造体７４に相当する壁２０の構造を示しており、一方で、図１０Ｂは、図１および９Ｂに示された第１の構造体７２に相当する壁２０を示している。
【００３１】
流体が混合副通路中に矢印７８の概略の方向に流れ込むときに、構造体７２および７４によって、流体が強制的に、小さな矢印８０により示されるように、周期的な方向変化を経る。これらの矢印から分かるであろうように、特に、図９に関して説明された組立工程後の図９に示された一番下の構造体となる相補的構造体７４において、流体の流動方向が強烈に振動する。さらに、構造体７２から構造体７４へと、そして構造体７２に戻るなどの移動において、流体の動きも、図１０の平面に対して垂直な「ｚ」方向にも振動する。それゆえ、混合副通路は、複数の平面において振動またはうねりを持つ三次元の蛇行として描写することができる。もしくは、言い換えれば、混合副通路は、複数の平面に亘り位置するベンドまたはカーブを含む。流体に強制的に方向を頻繁かつ複数の平面において変化させることによって、本発明の混合副通路は、二次流動および乱流状効果を効率的に生じさせ、その副通路内の流体界面を著しく折り返したり広げたりする。支柱８２の形態にある周期的な障害物も、二次流動または乱流状効果の発生を補助する。
【００３２】
例えば、第１の構造体７２に関する別の実施の形態を示している図１１に示されているように、混合副通路構造体の変更例も可能である。（相補的構造体７４も同様に変更できる。）支柱はないが、チャンネル幅が周期的に減少したチャンネルの「ウエスト」８４を用いて、同様の機能を果たすのに役立ててもよい。
【００３３】
図１２および１３は、図６および７の断面に見られる緩衝流体層７０の支持構造体９４のための有用な構造を示している。構造体９４は、小さく、比較的な大きな略平面の容積内に均一に分散しており、非常に低い圧力降下およびそれに対応する高流量が可能になる。向上した熱交換領域９６が、混合副通路４０のすぐ上と下にある。これらの領域９６には支持構造体がなく、混合副通路内の流体と緩衝流体との間で最大の熱交換が行われる。図示した実施の形態において、緩衝流体は、緩衝流体入口および出口ポート９３を通って、上側と下側の緩衝流体通路７０の両方の中に流れ込む。緩衝流体は、反応流体通路を含む中央層を全体に通過することによって、下側の通路７０に到達する。反応体は、孔またはポート９２を通過することによって、この装置に入出する。
【００３４】
本発明の装置の主な特徴は、単体ミキサまたは混合副通路、すなわち、１種類以上の反応体流の内の少なくとも１つが副通路を完全に通過しなければならないように構成された混合副通路の使用である。そのような設計により、反応体の流れが多くの別個のチャンネルに分割されるのが防がれる。これにより、詰まりに対する大きな抵抗、および流体流中の微粒子に関する動作の良好な潜在性が与えられる。
【００３５】
本発明の装置の別の主な特徴は、いわゆる「キャタピラ」ミキサにおけるような予測可能な実質的に規則的な層流形態の維持に依存するよりも、またほとんどの非単体ミキサにおけるような流動の微細な分割に主にまたは排他的に依存するよりもむしろ、その中を移動する流体中に二次流動または乱流状効果を誘発する傾向があるように構成された混合副通路の使用にある。特に、本発明の装置は、混合副通路として三次元蛇行チャンネルを利用することが望ましいであろう。混合のために、本発明の装置は主に、混合を実施するために通路の上流の正確な流動分割および接触に依存するよりもむしろ、混合副通路自体により誘発される物理的混合に依存する。実際に、接触地点は、三次元的に蛇行した混合副通路にできるだけ近いことが好ましい。
【００３６】
三次元的に蛇行した混合副通路に依存することにより、内部通路が、長い時間使用されて、いくぶん腐食した場合でさえ、その寿命に亘り、本発明の装置に良好な性能を与える。このタイプのミキサを使用すると、平行チャンネルにおける良好な流動のバランスに必要なきつい寸法許容範囲を避けることによって、製造が比較的容易になる。このタイプのミキサを使用することは、装置の反応制御性能において助けになる。任意の期間に亘り混合副通路の中央にどの流体流も効果的に留まらせないことによって、本発明の単体ミキサが混合副通路内の有用な強制対流を提供する。
【００３７】
本発明の二次流動生成ミキサは、本発明の別の主な特徴である、混合副通路と密接して接触するように配置された１つ以上の比較的大きな高速流動緩衝流体通路の存在と協働する。混合副通路内の相当な程度の強制対流は、高速流動の密接に連結された緩衝流体通路と組み合わされて、例えば、望ましくない二次反応または副反応の改善された抑制の形態で、反応の制御を改善する。先に記載した実施の形態において、緩衝流体通路の一部分は、混合副通路の直接上と直接下にあり、よって、混合副通路の主表面区域または壁の２つが全体として、緩衝流体通路と共有される。これにより、混合副通路と緩衝流体副通路の密接な熱結合が提供され、高速反応体流動および単体ミキサまたは混合通路によってさえ、良好な熱交換性能が可能となる。
【００３８】
本発明の別の重要な特徴は、所定の流量について、マイクロミキサにおけるよりも、また一般的なマイクロリアクタにおけるよりも著しく長い時間に亘り、１つのマイクロ反応装置の熱的に良好な制御された環境内に反応体が留まっていられるように、比較的大容積の滞留時間副通路の提供である。
【００３９】
ある非常に速い大量処理マイクロミキサは、予測されるまたは所望の収率または他の性能向上を実現できない。これは、一部には、不適切な熱制御のために生じ得る。特に速い発熱反応の場合、集積熱制御のない非常に速い混合では、反応体を、直接連結された熱交換器中に流し込むのに要する比較的短い時間でさえも、望ましくない副反応または追加の反応が生じ得る。マイクロリアクタは、マイクロミキサとは対照的に、定義によれば、ある程度熱制御を提供するが、熱制御が維持される容積が小さすぎる場合、反応体は、マイクロリアクタの熱調節された環境内の適切な滞留時間を持たず、反応収率および／または選択性が損なわれる。したがって、本発明の装置は、望ましくは少なくとも１ｍｌの容積の滞留時間副通路、特定の所望の反応がより長い滞留時間から恩恵を受ける場合には、望ましくは２，５または１０ｍｌ以上ほど大きい容積の滞留時間副通路を提供する。
【００４０】
滞留時間副通路は、装置全体に亘る圧力降下に著しい影響を与えずに、必要な滞留時間が提供されるように、著しく低い圧力降下対体積比、好ましくは混合副通路のものの少なくとも２倍以上、より好ましくは５倍以上低い圧力降下対体積比を有することが望ましい。
【００４１】
そのような大容積の滞留時間通路から恩恵を受けるであろう反応の一例は、ＮａＯＨ水溶液の存在下でのエステル（酢酸エチル）の鹸化である：酢酸エチル＋ＮａＯＨ→エチルアルコール＋ＡｃＯＮａ（酢酸ナトリウム）。酢酸エチルおよびＮａＯＨ水溶液は、同じ流量で供給され、酢酸エチルの濃度は０．８モル／ｌであり、ＮａＯＨ水溶液の濃度は１．０モル／ｌである。酢酸エチルを完全に転化するには、ある時間が必要であるが、要求される時間は、温度が上昇するにつれて減少する。本発明による装置は、この反応については、滞留時間副通路において、望ましくは５ｍｌ以上、より望ましくはさらには１０ｍｌ以上の容積を有し、よって、１０または２０ｍｌ／分の流量でさえ、装置の熱的に制御された環境内で反応を９０％以上完了できるであろう。（温度は一般に、ガスの形成および他の問題を避けるために、反応体または溶媒の内の１つの大気圧での沸点を超えるべきではない。）例えば、１０ｍｌの滞留容積および８０℃の温度で、進入する酢酸エチルは、ここに記載したテストされた実施例において良好な混合を確実にするのに十分な流量である、約２０ｍｌ／分までの流量で、装置内において９０％転化できる。
【００４２】
本発明の装置は、予備混合副通路３０の各々において、適当な量の容積、望ましくは少なくとも０．１〜０．５ｍｌを提供し、前記緩衝流体通路または別の緩衝流体通路に密接に連結されたそのような通路を有する。多くの理由のために、上述した酢酸エチルの鹸化のように、反応体が、一般的な反応体貯蔵温度より高いか低い温度で反応を開始し、予備混合副通路を、関連する緩衝流体通路と共に用いて、反応体を、それらの接触または混合前に、所望の温度にすることができるのが望ましい。
【００４３】
本発明の装置に含んでもよいさらに別の望ましい特徴が、反応体流体通路２２の隣接部分の間の、図１の流体通路壁２０の形状に示されており、そのような通路の各々は、流体通路２２の別の部分と共有していない独自の別個の壁を有している。流体通路２２の隣接部分の壁は、間隙２３、望ましくは空気の間隙により隔てられている。この特徴は、使用されているときに全体としての装置内の異方性熱伝導率を生じる傾向にあり、熱エネルギーは、図１の平面の水平方向におけるよりも、図６および７における垂直方向において、より容易に移動する。装置の構造体を形成するためのガラスまたはガラスセラミック材料などの中程度に熱伝導性の材料の望ましい使用と組み合わせて、この特徴は、流体通路２２内に発生するかもしれない任意のホットまたはコールドスポットが、流体通路２２の他の部分に影響を与えるのを防ぐのに役立ち、熱流が主に、略平面の構造体６０の形態で流体通路２２と共通の壁を共有する緩衝流体通路７０中（またはそこから出る）方向にあることを確実にするのに役立つ。壁２０の任意の破損は装置の外部に対してであり、したがって、容易に検出可能であり、反応体または生成物の流れの二次汚染が生じないので、安全性も改善されるであろう。
【００４４】
所望であれば、例えば、図１４に示されているように、緩衝流体通路７０を区画化し、略平面の容積を隣接する略同平面の容積に分割してもよい。この図は、１つの代わりに２つの緩衝流体通路を有する、図１３に示された構造体の代わりのバージョンを示している。そのような分割された緩衝流体通路へのアクセスは、位置９３でなどの、略平面のマイクロ反応装置の反対の両側から提供して差し支えない。そのような構造体は、予備混合反応体をより完全に予熱する一方で、例えば、混合および／または後混合反応体流をより完全に冷却するのに使用できる。
【００４５】
本発明の別の望ましい特徴は、反応体流体通路２２全体の一般に低いアスペクト比である。図１の実施の形態において、通路２２が、図の平面の寸法においておおよそ一定の比率で拡大して示されており、混合副通路の図の平面の寸法は、ほぼ０．５から１ｍｍの範囲にあり、滞留時間副通路においては、３〜５ｍｍの範囲にある。図の平面に対して垂直な方向において、通路２２は、非混合副部分において０．５から１ｍｍの範囲にある寸法を有することが好ましい。通路２２の総容積は約５．３ｍｌであるが、一般に、たった約０．５から１ｍｍの高さであり、約１２０×１５０ｍｍ2の図１の平面内の面積を持つ平面構造体６０の間のより大きな囲い容積内に設けられる。それゆえ、この容積の一般的な最高高さ、１ｍｍと次の最小の寸法との比は、約１：１００から１：１２０である。全体としての通路２２の低いアスペクト比、すなわち通路２２がその中に制限されているこの容積の低いアスペクト比は、両側の緩衝流体通路と共に、装置の良好な熱制御を確実にするのに役立つ。
【実施例】
【００４６】
２つの混和可能液の混合品質を定量化するために用いられるテスト法がVillermaux J., et al. "Use of Parallel Competing Reactions to Characterize Micro Mixing Efficiency," AlChE Symp. Ser. 88 (1991) 6, p. 286に記載されている。一般にここに記載されたテストに関して、プロセスは、室温で、酸塩化物の溶液およびＫＩ（ヨウ化カリウム）と混ぜられた酢酸カリウムの溶液を調製することであった。次いで、これらの流体または反応体の両方を、シリンジポンプまたは蠕動ポンプによって、テストすべきマイクロミキサまたはマイクロリアクタ中に連続的に注入した。
【００４７】
その結果生じた反応は異なる速度の２つの競合反応となる。一方は紫外線吸収性の最終生成物を生成する「高速」反応であり、他方は超高速混合条件下で優勢であり、透明な溶液を生成する「超高速」反応である。それゆえ、混合性能は、紫外線透過率に相関関係があり、理論的に完全または１００％の高速混合は、その結果得られた生成物において１００％の紫外線透過を示す。
【００４８】
テスト用装置から流出した流体を、フロースルーセルまたはキュベット（１００μｌ）に通過させ、ここで、３５０ｎｍでの透過率測定によって、定量化を行った。
【００４９】
ここに論じた圧力降下データは、２２℃の水および蠕動ポンプを用いて得た。総流量は、ミキサまたはリアクタの出口で測定される。圧力変換器を用いて上流の絶対圧力値を測定し、一方で、マイクロミキサまたはマイクロリアクタの出口は大気圧に開放していた。
【００５０】
性能の実施例Ｉ：  混合性能、圧力降下および滞留時間
先に記載したように実施した混合テストを、先の図１〜５，８〜１０，１２および１３に示した本発明の実施の形態の９個の異なるサンプルに行った。流量の関数としての平均の高速混合性能が図１５のグラフにプロットされたデータ１００により示されており、流量の関数としての平均の圧力降下が、図１６のグラフにプロットされたデータ２００により示されている。９０％以上の測定混合性能が得られる高速混合は、９０ミリバールよりわずかに低い最小の圧力降下に相当する、２０ｍｌ／分の直ぐ下で始まり、それ以上の流量範囲で存在する。流量の関数としての滞在時間すなわち「滞留時間」が図１７にデータ３００としてプロットされている。
【００５１】
比較例Ａ
ガラス中に形成され、先に引用したAIChE J. 49, 3 (2003) 566-584に報告された装置と実質的に同様の、流体力学的集束を有する、最適化された略平面形状の多層ミキサを上述したようにテストした。高速混合性能が、図１５のグラフに表されたデータ１０２により示されており、同じ装置に関する圧力降下性能が、図１６のグラフに表されたデータ２０２により示されている。ここに用いられているとおりの「ミキサ」のみであり、マイクロリアクタではない、この例の装置を区別するために、点線が用いられている。
【００５２】
意外なことに、混和可能液に関する本発明のマイクロ反応装置の高速混合性能は、本発明の装置のような温度制御または滞留時間機能を提供せずに、高速混合のみのために設計された装置である、比較例Ａの装置のものを上回っている。本発明のテストした実施の形態は、任意の所定の流量で、比較例Ａの装置よりも良好な混合性能を提供する。さらに、本発明の装置により達成される良好な混合は、増加した圧力降下によって相殺されない。代わりに、本発明の装置の圧力降下性能は、比較例Ａの指状嵌入ミキサと比較して改善されている（すなわち、低下している）。本発明の装置における達成可能な処理能力も、より低い圧力降下を考えると、良好である。９０％より良好な混合は、上述した本発明の実施の形態における同じ混合性能に関する最小の圧力降下の２倍より大きい、２００ミリバールを超える最小圧力降下に相当する、約３０ｍｌ／分以上の流量範囲で、比較例Ａにおいて達成される。
【００５３】
比較例Ｂ
前出のMarioth et al.,に記載されたような、平行な多数の混合「ティー」を用いた、ガラス中に形成されたマイクロ反応装置も上述したようにテストした。混合性能の結果が、図１５のデータ１０４に示されており、一方で、圧力降下性能の結果が、図１６にデータ２０４として示されている。
【００５４】
本発明の装置がすでに９０％の混合を達成した圧力降下よりわずかに大きい、約９２ミリバールの圧力降下に相当する、４０ｍｌ／分の流量で、約８９％の高速混合が比較例Ｂの装置において達成される。本発明とは著しく異なるのは、図１７にデータ３０４により示された、比較例Ｂの装置により提供される滞留時間である。比較例Ｂの装置の滞留時間は、上述した本発明の実施の形態の滞留時間のたった約１／８である。比較例Ｂにおいて９０％の混合を達成するのに必要とされる４０ｍｌ／分の流量により、装置の熱的に緩衝される部分内はともかく、装置の領域内で多くの反応の完了にさえ到達できないほど、滞留時間が短く（＜１秒）なり、反応体が、熱的に緩衝されていない収集通路を通り、流体継手を通って流出するときに、熱制御の潜在的損失を引き起こす。
【００５５】
比較例Ｃ
Richter, et al., "Metallic Microreactors: Components and Integrated Systems," Proceedings of IMRET 2, 146-151 AlChe Meeting, New Orleans, USA, 1998に記載された装置に似た、高耐食性ステンレス鋼内に形成されたマイクロ反応装置も上述したようにテストした。混合性能の結果が、図１５のデータ１０６により示されており、圧力降下性能の結果が、図１６のデータ２０６により示されている。比較例Ｃの装置に関する滞留時間が、図１７のデータ３０６により表されており、偶然に一致して、比較例Ｂに関する滞留時間と同じである。
【００５６】
図から分かるであろうように、９０％より良好な高速混合が、上述した方の実施の形態におけるのと同じ高速混合性能に関する最小の圧力降下の８倍より大きい、約７３０ミリバールの最小の圧力降下に相当する、約７．５ｍｌ／分以上の流量範囲で、比較例Ｃの装置において達成される。
【００５７】
性能の実施例II：  混合の再現性および持続性
上述したように行った高速混合テストを、図１〜１０，１２および１３に示した本発明の実施の形態の９つの異なるサンプルについて、２０ｍｌ／分の流量で実施し、値の範囲を比較した。透過率の百分率の結果が、２０ｍｌ／分の流れで、９３から９５％に及んだ。同じ装置における再現性も、±１％で非常に良好であった。
【００５８】
上述したプロセスに従ってガラス中に形成した、本発明による装置のサンプルを、１Ｎ（１Ｍ）のＮａＯＨ溶液を９５℃で反応体通路に２０ｍｌ／分で流すことによって、アルカリ腐食にさらした。流量の関数としての圧力降下、総内部容積、および混合性能を、そのような腐食の０，１００，２００および３００時間後にテストした。３００時間の腐食後、内部容積は約３０％増加し、圧力降下は半減した。しかしながら、混合性能は、図１８のグラフに示されているように、腐食テストの期間中ずっと実質的に安定なままであった。このグラフは、腐食の０，１００，２００および３００時間での流量の関数としてのテストされた高速混合性能を示している。
【００５９】
混合性能のこの持続性または安定性は、混合中に所望の化学量論を局所的に維持するために、反応体流を多数の流れに分割し、そのような分割とその均一なバランスに依存するミキサである、非単体ミキサを有する一般的なマイクロリアクタに対する改善である。そのような装置に関する混合性能のある程度の不安定性または変動性が、テストをすることによって本発明の発明者等により観察された。この変動性は、特により少ない流量で生じるであろう、多数のチャンネルの中での流れの分割における変動性によりものであると考えられる。そのような変動性は、腐食または他の浸食性の老化作用によって悪化する傾向しかない。何故ならば、流れをより多く経験するチャンネルは、浸食をより多く経験し、流動の不均衡がさらに大きくなり、混合性能の劣化が加速するからである。
【００６０】
本発明の装置の著しい腐食後の良好な混合性能は、本発明の装置の内部特徴構造によって、実質的に等しい混合品質を維持しながら、より高い処理能力およびより低い圧力降下を持ちつつ、マイクロ反応装置に関する現在比較的大きな寸法を超えてさえ、より大きな容積へのある程度の拡張性が提供されることを示している。
【００６１】
性能の実施例III：  微粒子の取扱い
不活性粒子を搬送する能力のテストとして、炭化ケイ素の粒子を水中に分散させ、ここに開示したタイプの反応体通路に通して流した。３種類の異なる平均サイズの粒子を試験した：１３，３７および１０５μｍ。これらは全て、２：１から３：１の一般的な長さ対幅のアスペクト比を有した。１８ｍｌ／分の流量で、３００ｇ／ｌまでの粒子負荷で、１３および３７μｍの粒子については、詰まりも、圧力降下の変化も観察されなかった。１０５μｍの粒子は、２５および５０ｇの濃度でテストし、２５ｇ／ｌでは詰まらなかった。５０ｇ／ｌでは、数分後に詰まりが観察された。
【００６２】
反応体通路が形成されている材料であるガラスに親和性を持つ沈殿物（ＭｎＯ2）を搬送する能力のテストとして、ここに開示したタイプの反応体通路において、過マンガン酸カリウムを還元した。得られた有効粒径は、得られた沈殿粒子がほぼ分離したままのときには８〜１０μｍであり、４４ｇ／ｌの濃度で凝集が観察されたときには１０〜１００μｍであった。いずれの場合にも、実験の１５分間には、詰まりは観察されなかった。
【００６３】
比較例Ｄ
先の比較例Ｂの装置を、５，１０および１５ｇ／ｌの粒子負荷で１０５μｍの炭化ケイ素粒子についてテストした。５および５０ｇ／ｌの流体を１８ｍｌ／分の流量で供給し、一方で、１０ｇ／ｌの流体を２７ｍｌ／分の５０％速い流量で供給した。比較例Ｂの装置における多数の平行な混合通路の各々は、テストした本発明の装置における単体混合通路と同じ一般断面サイズのものであるが、比較例Ｂの装置において、３つのテスト条件下の全てで詰まりが生じた。この装置の多数の平行な混合通路のすぐ上流のチャンバまたは通路において、最も頻繁に詰まりが生じた。比較例ＡおよびＣの装置には微粒子テストを行わなかったが、両方の装置は、比較例Ｂの詰まりやすい装置のものよりも、著しく小さい断面の平行な多数の通路を有している。同じテスト条件下で、比較例ＡおよびＣの装置の詰まりが予測されるであろう。
【００６４】
性能の実施例IV：  測定した熱交換
６０℃の温度差で、水−水実験を行った（熱緩衝流体通路または層においては高温の流体を流し、反応体通路においては低温の流体を流した）。反応体通路を通過する流体の温度上昇から、熱交換パワーを計算した。緩衝通路における２つの異なる流量について、図１９にデータが示されている：下側の曲線３０８については２７０ｍｌ／分であり、上側の曲線３１０については６１０ｍｌ／分である。図に示されているように、１００ｍｌ／分の反応体流量をちょうど超えたところで、反応体通路の流体に、１５０Ｗのパワーが伝達された。緩衝流体層における１ｌ／分の流量および反応体通路における１００ｍｌ／分の流量で、１６５Ｗのパワーが伝達された。
【００６５】
性能の実施例Ｖ：  反応制御
テストにより、本発明によるタイプの装置は、関心のある発熱反応を制御できることが示された。例えば、７０．４質量％の水中の２３．５質量％のフェノールおよび６．１質量％のフェノール溶液を１５．７６ｇ／分（１３．１３ｍｌ／分）で本発明による装置の１つのポート中に流し入れ、一方で、６５質量％の硝酸の硝酸溶液を、２２．５３ｇ／分（または１９．７５ｍｌ／分）の総入力量にするために、６．７６ｇ／分（６．６３ｍｌ／分）で他のポート中に流し入れた。このとき、両方の反応体は、実質的に室温である。水を、１５０または２００ｍｌ／分の流量で６０℃で緩衝流体通路に流し入れた。それらの結果は、流入した両方の反応体が緩衝流体から十分なエネルギーを受けて、それら反応体が接触して実質的に直ちにフェノールの自触ニトロ化を開始すること、および反応生成物の、反応の開始後の温度上昇が１０℃未満に維持されたことである。約７０％以上の良好な収率も観察された。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明によるマイクロ反応装置に用いられるタイプのマイクロ流体装置を示す断面正面図
【図２】反応流体通路が強調表示された、説明を明白にするために視覚的に単純化した形態の図１の実施の形態の断面平面図
【図３】予備混合通路が強調表示された図２の断面平面図
【図４】混合通路が強調表示された図２の断面平面図
【図５】滞留時間通路が強調表示された図２の断面平面図
【図６】本発明による装置を形成するために用いられるタイプの構造体の立面断面図
【図７】本発明による装置を形成するために用いられる別のタイプの構造体の立面断面図
【図８】図１の実施の形態の別の部分の断面平面図
【図９】図１および７において表された構造体の積重組立体により形成された断面構造の関係を示す、図１および７の断面平面図を示す説明図
【図１０】ＡおよびＢは、それぞれ、図７および１の構造体の一部の拡大された断面平面図
【図１１】図１０Ｂの構造体の別の実施の形態を示す断面平面図
【図１２】図１の実施の形態の装置に用いられる緩衝流体通路またはチャンバの断面平面図
【図１３】図１の実施の形態の装置に用いられる緩衝流体通路またはチャンバの断面平面図
【図１４】図１３の構造体の別の実施の形態の断面平面図
【図１５】２つの比較装置と共に、図１の実施の形態の装置の流量の関数としてのテストした混合品質のグラフ
【図１６】３つの比較装置と共に、図１の実施の形態の装置の流量の関数としてのテストした圧力降下のグラフ
【図１７】２つの比較装置と共に、図１の実施の形態の装置の流量の関数としての反応流体に関する総滞留時間のグラフ
【図１８】様々な時間に亘りアルカリ性腐食にさらされた装置に関する流量の関数としてのテストした混合品質のグラフ
【図１９】反応通路の流体流量の関数としての、緩衝流体通路と反応流体通路との間で移動されたパワーのグラフ
【符号の説明】
【００６７】
１０    マイクロ反応装置
１８    外壁
２０    流体通路壁
２２    流体通路
２４    支持構造体
２６    層特定マーク
３０    予備混合副通路
４０    混合副通路
５０    滞留時間副通路
７０    緩衝流体通路
９６    熱交換領域
【図１】
2008526493.tif 000003
【図２】
2008526493.tif 000004
【図３】
2008526493.tif 000005
【図４】
2008526493.tif 000006
【図５】
2008526493.tif 000007
【図６】
2008526493.tif 000008
【図７】
2008526493.tif 000009
【図８】
2008526493.tif 000010
【図９】
2008526493.tif 000011
【図１０】
2008526493.tif 000012
【図１１】
2008526493.tif 000013
【図１２】
2008526493.tif 000014
【図１３】
2008526493.tif 000015
【図１４】
2008526493.tif 000016
【図１５】
2008526493.tif 000017
【図１６】
2008526493.tif 000018
【図１７】
2008526493.tif 000019
【図１８】
2008526493.tif 000020
【図１９】
2008526493.tif 000021
【国際調査報告】
2008526493.tif 000022
2008526493.tif 000023
2008526493.tif 000024