(57)【要約】  指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文を含む。これら少なくとも１つのテンプレート又は注文は、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される。システムは、少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを含む。このルールセットは、ユーザが、指定された注文フォーマットによって要求されるように少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする命令を含む。テンプレート又は注文は、さらに、別個に記憶できるコンポーネント及び／又はサブコンポーネントから構成することができる。注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等のデータフィールドは、仕様グレードを参照することができる。仕様グレードは、１つ又は複数の注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等を同時に更新するために容易に修正することができる。グラフィカルユーザインターフェースが、少なくとも１つのテンプレート又は注文に関連付けられる。ユーザは、少なくとも１つのテンプレート又は注文にアクセスしてフォトマスク注文データを入力でき、指定されたフォーマットで注文を作成できる。少なくとも１つの実施の形態では、少なくとも１つのテンプレート又は注文は、仕様グレードを参照することによって更新される。或いは、コマンドラインジェネレータを使用して、テンプレート及び注文を生成し且つ／又は修正するコマンドの入力をユーザに可能にすることもできる。一実施形態では、既存のデータ又は情報を電子的情報の形でインポートでき、注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等のデータフィールドをポピュレートするように変換できる。データ処理メカニズムを使用して、外部媒体から少なくとも１つのテンプレート又は注文に電子的情報をインポートすることもできる。
2008504567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットであって、ユーザが、前記指定された注文フォーマットによって要求されるように前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする命令を含む、ルールセットと、
前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に関連するグラフィカルユーザインターフェースであって、前記ユーザは、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文にアクセスしてフォトマスク注文データを入力でき、且つ、指定されたフォーマットで注文を作成できる、グラフィカルユーザインターフェースと、
外部媒体から前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に電子的情報をインポートするためのデータ処理メカニズムと
を備える、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項２】
前記データ処理メカニズムは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するための前記システムに使用可能なフォーマットにマッピングする命令を備える、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項３】
前記外部媒体は、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４】
前記外部媒体は、前記グラフィカルユーザインターフェースと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５】
前記電子的情報は、次のもの、すなわち、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
の１つ又は複数に関する情報を含む、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６】
前記外部媒体からの前記電子的情報にアクセスするように前記システムに命令するためのコマンドラインを受信するためのカスタムモジュール
をさらに備える、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７】
生成されている注文のステータスに関して、前記システムのユーザに警告するためのメッセージジェネレータ
をさらに備える、請求項１に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項８】
メッセージが、次のもの、すなわち、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、及びログファイル
の１つ又は複数の形で前記メッセージジェネレータにより生成される、請求項７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９】
指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットであって、ユーザが、前記指定された注文フォーマットによって要求されるように前記テンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする命令を含む、ルールセットと、
電子的情報の１つ又は複数の外部情報源にアクセスするためのデータ処理メカニズムであって、前記電子的情報の１つ又は複数の情報源は、データサービスシステムを通じてアクセスされる、データ処理メカニズムと
を備える、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０】
前記データサービスシステムは、次のもの、すなわち、
インターネットウェブサイト、データベース、イントラネット、及び他の内部又は外部の資源
の１つ又は複数を備え、それら１つ又は複数にユーザが同時アクセスすることを可能にする、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１１】
前記データ処理メカニズムは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するための前記システムに使用可能なフォーマットにマッピングする命令を備える、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１２】
前記電子的情報の１つ又は複数の外部情報源は、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのテンプレート又は注文は、グラフィカルユーザインターフェースを通じて作成され、前記電子的情報の１つ又は複数の外部情報源は、前記グラフィカルユーザインターフェースと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１４】
前記電子的情報は、次のもの、すなわち、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
の１つ又は複数に関する情報を含む、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１５】
前記電子的情報の１つ又は複数の情報源にアクセスするように前記システムに命令するためのコマンドラインを受信するためのカスタムモジュール
をさらに備える、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１６】
生成されている注文のステータスに関して、前記システムのユーザに警告するためのメッセージジェネレータをさらに備える、請求項９に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１７】
メッセージが、次のもの、すなわち、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、及びログファイル
の１つ又は複数の形で前記メッセージジェネレータにより生成される、請求項１６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１８】
指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法であって、
フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成することであって、該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される１つ又は複数のテンプレートにデータを入力することによって作成される、少なくとも１つの注文を生成すること、及び
データ処理メカニズムによって外部データベースからの電子的情報にアクセスすることであって、それによって、該電子的情報を前記テンプレートに組み込む、外部データベースからの電子的情報にアクセスすること
を含む、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項１９】
前記データ処理メカニズムは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するための前記システムに使用可能なフォーマットにマッピングする命令を備える、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２０】
前記外部データベースは、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２１】
前記外部データベースは、前記グラフィカルユーザインターフェースと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２２】
前記電子的情報は、次のもの、すなわち、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
の１つ又は複数に関する情報を含む、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２３】
前記外部データベースからの前記電子的情報にアクセスするためのコマンドラインを受信することをさらに含む、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２４】
生成されている注文のステータスに関して、ユーザに警告するメッセージを生成することをさらに含む、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２５】
前記メッセージは、次のもの、すなわち、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、又はログファイル
の１つ又は複数の形にある、請求項１７に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２６】
指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法であって、
フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成することであって、該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される少なくとも１つのテンプレートにデータを入力することによって作成される、少なくとも１つの注文を生成すること、
データサービスからの電子的情報にアクセスすること、及び
前記電子的情報を前記注文に組み込むこと
を含む、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２７】
前記アクセスするステップは、次のもの、すなわち、
インターネットウェブサイト、データベース、イントラネット、及び他の内部又は外部の資源
の１つ又は複数に同時アクセスすることを含む、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２８】
前記組み込むステップは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するのに使用可能なフォーマットにマッピングすることを含む、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項２９】
前記電子的情報は、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３０】
前記少なくとも１つの注文は、グラフィカルユーザインターフェースを通じて作成され、前記電子的情報は、該グラフィカルユーザインターフェースと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３１】
前記電子的情報は、次のもの、すなわち、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
の１つ又は複数に関する情報を含む、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３２】
前記データサービスからの前記電子的情報にアクセスするためのコマンドラインを受信することをさらに含む、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３３】
生成されている注文のステータスに関して、ユーザに警告するメッセージを生成することをさらに含む、請求項２６に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３４】
前記メッセージは、次のもの、すなわち、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、及びログファイル
の１つ又は複数の形にある、請求項３３に記載の指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項３５】
命令を含むプロセッサ可読記憶媒体であって、該命令は、以下のステップ、すなわち、
フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成するステップであって、該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される少なくとも１つのテンプレートにデータを入力することによって作成される、少なくとも１つの注文を生成するステップと、
データサービスからの電子的情報にアクセスするステップと、
前記電子的情報を前記注文に組み込むステップと
を実行するために、プロセッサで実行可能である、プロセッサ可読記憶媒体。
【請求項３６】
前記アクセスするステップは、次のもの、すなわち、
インターネットウェブサイト、データベース、イントラネット、及び他の内部又は外部の資源
の１つ又は複数に同時アクセスすることを含む、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項３７】
前記組み込むステップは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するのに使用可能なフォーマットにマッピングすることを含む、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項３８】
前記電子的情報は、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項３９】
前記データは、グラフィカルユーザインターフェースを通じて前記少なくとも１つのテンプレートに入力され、前記電子的情報は、前記グラフィカルユーザインターフェースと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項４０】
前記電子的情報は、次のもの、すなわち、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
の１つ又は複数に関する情報を含む、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項４１】
前記方法は、前記データサービスからの前記電子的情報にアクセスするためのコマンドラインを受信することをさらに含む、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項４２】
前記方法は、生成されている注文のステータスに関して、ユーザに警告するメッセージを生成することをさらに含む、請求項３５に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項４３】
前記メッセージは、次のもの、すなわち、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、及びログファイル
の１つ又は複数の形にある、請求項４２に記載のプロセッサ可読記憶媒体。
【請求項４４】
フォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、該少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、前記指定されたフォトマスク注文フォーマットによって要求されるように前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータと、
１つ又は複数のスクリプトコマンドを受信して実行し、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に前記フォトマスク注文データを入力するか、又は、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文の前記フォトマスク注文データを修正するためのコマンドラインプロセッサと
を備える、フォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４５】
外部媒体から前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に電子的情報をインポートするためのデータ処理メカニズムをさらに備える、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４６】
前記データ処理メカニズムは、前記電子的情報に含まれる前記データを、フォトマスク注文を生成するための前記システムに使用可能なフォーマットにマッピングする命令を備える、請求項４５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４７】
前記外部媒体は、リモートコンピュータシステムに配置されている、請求項４５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４８】
前記外部媒体は、前記コマンドラインプロセッサと同じコンピュータシステムに配置されている、請求項４５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項４９】
前記電子的情報は、
ロジスティクス供給業者、機器供給業者、部品供給業者、フォトマスク製造業者、及び輸送サービス
から成る群から選択された情報を含む、請求項４５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５０】
生成されている注文のステータスに関して、前記システムのユーザに警告するためのメッセージジェネレータをさらに備える、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５１】
前記メッセージジェネレータは、
電子メール、通信ネットワークで配信されるテキストメッセージ、及びログファイル
から成る群から選択された形でメッセージを生成する、請求項５０に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５２】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、１つ又は複数の新たな注文を作成することができる、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５３】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文から１つ又は複数の注文を作成することができる、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５４】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文にコンポーネント又はサブコンポーネントを追加することができる、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５５】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文からＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルを作成することができる、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５６】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行うことができる、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５７】
前記１つ又は複数のスクリプトコマンドは、システムライブラリに記憶された１つ又は複数の関数の呼び出しを含む、請求項４４に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５８】
フォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成され、且つ、１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントに関連付けられ、該１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントは、該少なくとも１つのテンプレート又は注文とは別個に記憶することができる、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、該少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、前記指定されたフォトマスク注文フォーマットによって要求されるように前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータと
を備える、フォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項５９】
１つ又は複数のスクリプトコマンドを受信して実行し、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に前記フォトマスク注文データを入力するか、又は、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文の前記フォトマスク注文データを修正するためのコマンドラインプロセッサをさらに備える、請求項５８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６０】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、１つ又は複数の新たな注文を作成することができる、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６１】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文から１つ又は複数の注文を作成することができる、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６２】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に新たなコンポーネント又はサブコンポーネントを追加することができる、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６３】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文からＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルを作成することができる、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６４】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行うことができる、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６５】
前記１つ又は複数のスクリプトコマンドは、システムライブラリに記憶された１つ又は複数の関数の呼び出しを含む、請求項５９に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６６】
フォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、該少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、前記指定された注文フォーマットによって要求されるように前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータと、
前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に関連付けられる少なくとも１つの参照データを記憶するための少なくとも１つの仕様グレードファイルであって、該少なくとも１つのテンプレート又は注文は、該少なくとも１つの仕様グレードファイルへの参照を含む、少なくとも１つの仕様グレードファイルと
を備える、フォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６７】
前記少なくとも１つのテンプレート又は注文は、１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントに関連付けられ、該１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントは、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文とは別個に記憶することができる、請求項６６に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６８】
１つ又は複数のスクリプトコマンドを受信して実行し、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に前記フォトマスク注文データを入力するか、又は、該少なくとも１つのテンプレート又は注文の該フォトマスク注文データを修正するためのコマンドラインプロセッサをさらに備える、請求項６６に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項６９】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、１つ又は複数の新たな注文を作成することができる、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７０】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文から１つ又は複数の注文を作成することができる、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７１】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に新たなコンポーネント又はサブコンポーネントを追加することができる、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７２】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文からＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルを作成することができる、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７３】
前記コマンドラインプロセッサは、さらに、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行うことができる、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７４】
前記１つ又は複数のスクリプトコマンドは、システムライブラリに記憶された１つ又は複数の関数の呼び出しを含む、請求項６８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７５】
前記少なくとも１つの参照データは、前記１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントの少なくとも１つを含む、請求項６７に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項７６】
フォトマスク注文を生成するための方法であって、
前記フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、
該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップと、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に基づいて前記フォトマスク注文を生成するステップと
を含む、フォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項７７】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの部分的な注文を含む、請求項７６に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項７８】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの完全な注文を含む、請求項７６に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項７９】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの部分的なテンプレート又は注文を含む、請求項７６に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８０】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの完全なテンプレート又は注文を含む、請求項７６に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８１】
フォトマスク注文を生成するための方法であって、
少なくとも１つのスクリプトコマンドを受信するステップと、
該少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成又は修正する、実行するステップと、
該少なくとも１つの注文又はテンプレートに基づいて前記フォトマスク注文を生成するステップと
を含む、フォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８２】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、１つ又は複数の新たな注文を作成する、実行するステップをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８３】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文から１つ又は複数の注文を作成する、実行するステップをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８４】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に新たなコンポーネント又はサブコンポーネントを追加する、実行するステップをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８５】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文からＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルを作成する、実行するステップをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８６】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行う、実行するステップをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８７】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドは、システムライブラリに記憶された１つ又は複数の関数の呼び出しを含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８８】
前記フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップとをさらに含む、請求項８１に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項８９】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの部分的な注文を含む、請求項８８に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項９０】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの完全な注文を含む、請求項８８に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項９１】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの部分的なテンプレート又は注文を含む、請求項８８に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項９２】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの完全なテンプレート又は注文を含む、請求項８８に記載のフォトマスク注文を生成するための方法。
【請求項９３】
フォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
前記フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、
該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップと、
該少なくとも１つのテンプレート又は注文に基づいて前記フォトマスク注文を生成するステップと
を実行するための、プロセッサで実行可能な命令を含むコンピュータ可読媒体を備える、フォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９４】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの部分的な注文を含む、請求項９３に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９５】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの完全な注文を含む、請求項９３に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９６】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの部分的なテンプレート又は注文を含む、請求項９３に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９７】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの完全なテンプレート又は注文を含む、請求項９３に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９８】
フォトマスク注文を生成するためのシステムであって、
少なくとも１つのスクリプトコマンドを受信するステップと、
該少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成又は修正する、実行するステップと、
該少なくとも１つの注文又はテンプレートに基づいて前記フォトマスク注文を生成するステップと
を実行する、プロセッサで実行可能な命令を含むコンピュータ可読媒体を備える、フォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項９９】
前記コンピュータ可読媒体は、前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、１つ又は複数の新たな注文を作成する、実行するステップを実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１００】
前記コンピュータ可読媒体は、前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文から１つ又は複数の注文を作成する、実行するステップを実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０１】
前記コンピュータ可読媒体は、前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文に新たなコンポーネント又はサブコンポーネントを追加する、実行するステップを実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０２】
前記コンピュータ可読媒体は、前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文からＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルを作成する、実行するステップを実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０３】
前記コンピュータ可読媒体は、前記少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行う、実行するステップを実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０４】
前記少なくとも１つのスクリプトコマンドは、システムライブラリに記憶された１つ又は複数の関数の呼び出しを含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０５】
前記コンピュータ可読媒体は、
前記フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、
該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、前記少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップと
を実行する命令をさらに含む、請求項９８に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０６】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの部分的な注文を含む、請求項１０５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０７】
前記電子的情報は、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの完全な注文を含む、請求項１０５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０８】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの部分的なテンプレート又は注文を含む、請求項１０５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【請求項１０９】
前記電子的情報は、標準フォーマット又は独自フォーマットの完全なテンプレート又は注文を含む、請求項１０５に記載のフォトマスク注文を生成するためのシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［発明の分野］
本発明は、包括的には、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法に関する。より詳細には、本発明は、フォトマスク注文を自動的に生成するためのユーザフレンドリなルールベースのシステム及び方法に関する。より詳細には、本発明は、完全且つ正確な方法でフォトマスク注文を生成するプロセスにユーザを案内するテンプレート及びルールの使用を通じて、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を自動的に生成するソフトウェアベースのアプリケーションに関する。これらのルール及びテンプレートは、特定の標準フォトマスク注文フォーマット（たとえば、ＳＥＭＩ  Ｐ１０）又は独自フォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて確立され、現在知られているか又は後に開発される、修正されたフォトマスク注文フォーマット及び新たなフォトマスク注文フォーマットの双方の基準を満たすように適合できる方法で編成されて記憶される。加えて、本発明のシステム及び方法は、既存のフォトマスク注文データを使用して新たなフォトマスク注文を生成する能力も提供する。これら新たなフォトマスク注文は、ユーザによって容易に編集可能となる。
【０００２】
［発明の背景］
フォトマスクは、電子回路の微細画像を含む高精度プレートである。フォトマスクは、通常、一方の側にクロムの層を有する非常に平坦な石英片又はガラス片から作製されている。クロムには、電子回路設計の一部がエッチングされている。マスク上のこの回路設計は、「ジオメトリ」とも呼ばれる。
【０００３】
半導体デバイスの生産に使用される通常のフォトマスクは、「ブランク」のフォトマスク又は「未現像(undeveloped)」のフォトマスクから形成される。図１に示すように、通常のブランクフォトマスク１０は、３つ又は４つの層から構成される。第１の層１１は、一般に基板と呼ばれる石英又は実質的に透明な他の材料の層である。次の層は、通常、Ｃｒ等の不透明材料の層１２である。この層は、多くの場合、ＣｒＯ等の反射防止材料の第３の層１３を含む。この反射防止層は、あらゆる所与のフォトマスクに含めてもよいし、含めなくてもよい。最上層は、通常、感光性レジスト材料の層１４である。位相シフトマスク、組み込み減衰型位相シフトマスク（「ＥＡＰＳＭ」）、及び交互位相配置型位相シフトマスク（「ＡＡＰＳＭ」）を含む他のタイプのフォトマスクが既知であり、使用されているがこれらに限定されるものではない。
【０００４】
フォトマスクの製造プロセスは、多くのステップを伴い、多くの時間を要する可能性がある。この点に関して、フォトマスクを製造するために、フォトマスク１０上に作り出される不透明材料１２の所望のパターンは、通常、露光システム内にロードされる電子データファイルによって規定される。この露光システムは、通常、ブランクフォトマスクの全体にわたってラスタ形式又はベクトル形式で電子ビーム（Ｅビーム）又はレーザビームを走査する。ラスタ走査露光システムのこのような一例は、Collierの米国特許第３，９００，７３７号に記載されている。それぞれの独特の露光システムは、ブランクフォトマスクを露光する際に機器に命令するための、システム独自のデータ処理用のソフトウェア及びフォーマットを有する。Ｅビーム又はレーザビームが、ブランクフォトマスク１０の全体にわたって走査される時、露光システムは、Ｅビーム又はレーザビームを、電子データファイルによって規定されたフォトマスク上のアドレス指定可能ロケーションに向ける。Ｅビーム又はレーザビームに露光される感光性レジスト材料のエリアは可溶性になるのに対して、露光されていない部分は不溶性のまま維持される。ブランクフォトマスク１０のフォトレジスト１４の、Ｅビーム又はレーザによって露光すべき場所及び露光すべきでない場所を決定するために、ジョブデック（jobdeck）の形での適切な命令を処理機器に提供する必要がある。
【０００５】
露光システムが、図２に示すように、感光性レジスト材料１４上に所望の画像を走査した後、可溶性の感光性レジスト材料は、当該技術分野において既知の手段によって除去され、露光されていない不溶性の感光性レジスト材料１４’は、不透明材料１３及び１２に付着したままである。このように、フォトマスク１０上に形成されるパターンは、残っている感光性レジスト材料１４’によって形成される。
【０００６】
このパターンは、次に、既知のエッチングプロセスを介して、残っているフォトレジスト材料１４’からフォトマスク１０へ転写され、残っているフォトレジスト１４’によって覆われていない領域の反射防止材料１３及び不透明材料１２が除去される。当該技術分野では多種多様なエッチングプロセスが既知である。これらの多種多様なエッチングプロセスには、ドライエッチング及びウェットエッチングが含まれる。したがって、多種多様な機器を使用して、このようなエッチングが行われる。エッチングが完了した後、図３に示すように、残っているフォトレジスト材料１４’は剥離又は除去され、フォトマスクが完成する。完成したフォトマスクでは、残っている反射防止材料１３’及び不透明材料１２’によってこれまで反射されたようなパターンが配置されている。パターンが配置されている領域は、可溶性材料が前のステップで除去された後に、残っているフォトレジスト１４’が留まっている領域である。
【０００７】
何らかの許容できない欠陥が特定のフォトマスクに存在するかどうかを判断するために、フォトマスクを検査することが必要である。欠陥は、ジオメトリに影響を与える何らかの不具合である。これには、望ましくないクロムエリア（クロムスポット、クロム拡張部分、ジオメトリ間のクロムブリッジング）又は不要なクリアエリア（ピンホール、クリア拡張部分、クリアの切断）が含まれる。欠陥は、顧客の回路を機能させなくする可能性がある。顧客は、フォトマスクの欠陥仕様書に、フォトマスクのプロセスに影響を与える欠陥のサイズを示すであろう。そのサイズ以上のすべての欠陥を修復しなければならないか、又は、欠陥を修復できない場合には、マスクを不合格にして書き換えなければならない。
【０００８】
通常、KLA-Tencor又はApplied Materialsによって製造された検査システム等の自動化マスク検査システムを使用して、欠陥が検出される。このような自動化システムは、フォトマスクに照射ビームを向けて、フォトマスクを透過した光ビームの部分の強度及びフォトマスクから反射されて戻ってきた光ビームの部分の強度を検出する。検出された光強度は、次に、予測光強度と比較され、何らかの偏差があれば、欠陥として示される。一システムの詳細は、KLA-Tencorに譲渡された米国特許第５，５６３，７０２号に見ることができる。
【０００９】
検査に合格した後、完成したフォトマスクは洗浄されて、汚染物質が落とされる。次に、完成したフォトマスクに薄膜を塗布して、その重要なパターン領域を空気汚染から保護することができる。その後、徹底的な薄膜欠陥検査を行うことができる。場合によっては、薄膜を塗布する前又は塗布した後に、フォトマスクは切断される場合がある。
【００１０】
上述した製造ステップのそれぞれを実行するために、半導体製造業者（たとえば、顧客）は、最初に、製造されるフォトマスクに関する種々のタイプのデータをフォトマスク製造業者に提供しなければならない。この点に関して、顧客は、通常、フォトマスクの製造及び処理に必要とされるさまざまなタイプの情報及びデータを含むフォトマスク注文を提供する。これらの情報及びデータには、たとえば、フォトマスクの設計に関するデータ、使用される材料に関するデータ、納期に関するデータ、支払い情報に関するデータ、並びに注文の処理及びフォトマスクの製造に必要とされる他の情報が含まれる。
【００１１】
フォトマスクの製造における長年にわたる問題は、フォトマスク注文を顧客から受け取った時からフォトマスクを製造するのに要する時間である。この点に関して、フォトマスク注文を処理して、フォトマスクを製造するのに要する全体の時間は、長期にわたる可能性があり、したがって、フォトマスクの全体の生産量は最大にならない。この問題の一部は、フォトマスクを注文する多くの顧客が、多くの場合、自身の注文をさまざまな異なるフォーマットで行い、これらのさまざまな異なるフォーマットが、多くの場合、フォトマスク製造業者のコンピュータシステム及び／又は製造機器に適合していないことに帰される。したがって、フォトマスク製造業者は、多くの場合、注文データを再フォーマットして、その注文データを、製造業者のコンピュータシステム及び／又は製造機器に適合する異なるフォーマットに調節し、変換し、且つ／又は、補完することが必要とされる。これは、かなりの時間を要する可能性があり、したがって、フォトマスクを製造するのに要する時間を遅らせる可能性がある。
【００１２】
これらの問題に対処しようとして、フォトマスク業界は、フォトマスク注文を行うべきさまざまな標準フォトマスク注文フォーマットを開発してきた。たとえば、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準規格は、フォトマスクの製造に使用される１つの標準フォーマットである。加えて、半導体製造業者数社は、標準フォーマットを採用するのではなく、フォトマスク注文を行うそれらの製造業者独自のフォトマスク注文フォーマットを開発している。これらの標準フォトマスク注文フォーマット及び独自のフォトマスク注文フォーマットは、フォトマスク注文が顧客から同一のフォーマットで受け取られるように作成され、それによって、フォトマスクを製造するのに要する全体の時間が削減されていた。
【００１３】
このような標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自のフォトマスク注文フォーマットの使用は、フォトマスクを製造するのに要する時間を削減する際に役立つが、多くの半導体製造業者は、さまざまな理由から、このような標準フォーマット及び／又は独自フォーマットでフォトマスク注文を行いたがらなかった。たとえば、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準注文フォーマットは、かなり複雑であり、注文を行う顧客が、このような標準規格に関連する要件についての高度な実用的知識を有することを必要とする。多くの半導体製造業者はフォトマスクを製造しないので、このような製造業者は、このような標準フォーマットの複雑さを学ぶための資源も、時間も、能力も有しない場合がある。したがって、半導体製造業者は、多くの場合、体系的に編成されていない方法で、また、多くの場合は不完全な方法で、フォトマスク製造業者にフォトマスク注文データを提供する。その結果、フォトマスク製造業者は、このデータを解析して、このデータを使用できるフォーマット（たとえば、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０フォーマット）に編成することが必要とされる。加えて、不完全なフォトマスク注文データがフォトマスク製造業者に提供される場合、このような製造業者は、欠けている情報を顧客に要求することを必要とするであろう。その結果、多くの場合、完全且つ正確なフォトマスク注文を得る過程で、かなり多くの時間が浪費され、したがって、フォトマスクを製造するのに要する全体の時間は、大幅に遅れる可能性がある。フォトマスク製造の分野において、標準フォーマット及び／又は独自フォーマットにより完全且つ正確なフォトマスク注文を自動的に生成するための顧客側のシステム及び方法が、長い間、切実に必要とされている。
【００１４】
以前、AlignRite社（Photronics社の前身組織）は、インターネットベースの配信システムの使用を通じて、電子データの配信を促進することを試みた。しかしながら、AlignRiteシステムは、顧客からフォトマスク製造業者のコンピュータシステムへのフォトマスクデータの高速配信が可能であり、且つ、リアルタイムでこのデータの正確度を確認することができたが、この従来のシステムは、単一の標準フォーマット及び／又は独自フォーマットによるフォトマスク注文データの自動化生成を提供するものではなかった。この点に関して、データが顧客から受信されると、そのデータに対する標準的な修正をオペレータが手動で入力しなければならなかった。手動による変更の入力が必要とされる度に、ヒューマンエラーのリスクが増加し、ジョブの全体の長さが延長されていた。
【００１５】
他の業者は、製造データ及び支払いデータがインターネット上で自動的にダウンロードされてオンラインで自動的に検証されるシステムを開示した。１つのこのようなシステムは、２００２年１月１０日に公開されたDuPont Photomask社のＰＣＴ公開番号第０２／０３１４１号に記載されている。より詳細には、DuPontのＰＣＴ公開は、フォトマスク注文データが、顧客によってオンラインで入力され、処理のためにフォトマスク製造業者へ送信されるシステムを開示している。このシステムでは、顧客は、フォトマスク注文データを入力するように促される。このようなデータは、フォトマスク製造業者に送信される。フォトマスク製造業者は、次に、データの診断評価を実行する。いずれかのデータが不完全又は不正確である場合、システムは、顧客にメッセージを送信して、このようなエラーを顧客に通知する。その後、ユーザは、そのエラーを訂正しなければならない。データが製造業者によって確認された（且つ、必要に応じて訂正された）後、製造業者は、このデータを処理して、このデータを、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準フォーマット等の標準（又は独自の）フォーマットにする。
【００１６】
DuPontのＰＣＴ公開のシステムは、診断目的には役立つが、フォトマスク注文にエラーが入力されることを防止しない。この点に関して、このシステムは、フォトマスク注文が顧客によって入力され、フォトマスク製造業者へ送信された後に、そのフォトマスク注文のエラーを識別することしかできない。フォトマスク製造業者は、注文を受信すると、注文情報を確認し、エラーを検出すると、エラーメッセージを顧客へ送信して、このようなエラーを訂正するように顧客を促す。加えて、このシステムは、入力されたフォトマスク注文データがフォトマスク製造業者によって確認及び受信された後になるまで、入力されたフォトマスク注文データを標準フォーマットにしない。換言すれば、製造業者は、顧客によって入力されたデータを製造業者の標準フォーマットに調節することが必要とされる。その結果、顧客のデータ入力誤りを訂正し、このデータを標準フォーマットに変換するのにかなり多くの時間が浪費される。したがって、標準注文フォーマット及び／又は独自注文フォーマットでフォトマスク注文を生成し、且つ、データ入力中及びフォトマスク製造業者への送信前のエラーを防止するシステム及び方法が、長い間、切実に必要とされている。
【００１７】
さらに、DuPontのＰＣＴ公開のシステムは、非常に扱いにくく、フォトマスク注文を組み立てている際、又は前の注文に以前入力された情報を使用する際に、ユーザに柔軟性をほとんど提供しない。さらに、DuPontのＰＣＴ公開のシステムは、ユーザが所定のグラフィカルユーザインターフェース（「ＧＵＩ」）を通じて対話することを必要とする。この所定のＧＵＩは、特に扱いにくく、ユーザに対して制限的である。したがって、簡単且つ柔軟であり、前のフォトマスク注文で以前使用されたデータを再入力する必要性を回避する、フォトマスク注文を生成するシステム及び方法が、長い間、切実に必要とされている。
【００１８】
上述した製造ステップが完了した後、完成したフォトマスクは、半導体又は他の製品の製造に使用するために顧客へ送られる。詳細には、フォトマスクは、一般に、半導体業界で使用されて、半導体回路を画定する微小規模画像が、シリコン又はガリウム砒素の基板又はウェハへ転写される。画像をフォトマスクからシリコン基板又はシリコンウェハへ転写するためのプロセスは、一般に、リソグラフィ又はマイクロリソグラフィと呼ばれる。通常、図４に示すように、半導体製造プロセスは、堆積ステップ、フォトリソグラフィステップ、及びエッチングステップを含む。堆積中、電気的な絶縁材料又は（金属、ポリシリコン、又は酸化物のような）電気的な導電材料のいずれかの層が、シリコンウェハの表面に堆積される。この材料は、次に、感光性レジストでコーティングされる。フォトマスクは、次に、写真を作るのにネガ写真が使用されるのとほとんど同じ方法で使用される。フォトリソグラフィは、フォトマスク上の画像をウェハ上に投影することを伴う。フォトマスク上の画像が数回並んでウェハ上に投影される場合、これは、ステッピングとして知られており、このフォトマスクはレチクルと呼ばれる。
【００１９】
図５に示すように、半導体ウェハ２０上に画像２１を作成するために、フォトマスク１０は、半導体ウェハ２０と光学系２２との間に挿入される。半導体ウェハ２０は、感光性材料の層を含む。一般にステッパと呼ばれるエネルギー源２３によって生成されたエネルギーは、不透明材料が存在するフォトマスク１０のエリアを通過することを阻止される。ステッパ２３からのエネルギーは、不透明材料１２及び反射防止材料１３によって覆われていない石英基板１１の透明部分を通過する。光学系２２は、不透明材料１２及び１３のパターンの縮小画像２４を半導体ウェハ２０上に投影し、半導体ウェハ上の感光性材料に反応を引き起こす。感光性材料の溶解性は、エネルギーに晒されたエリアで変化する。ポジ型フォトリソグラフィプロセスの場合、露光された感光性材料は、可溶性になり、除去することができる。ネガ型フォトリソグラフィプロセスの場合、露光された感光性材料は、不溶性になり、露光されていない可溶性の感光性材料が除去される。
【００２０】
可溶性感光性材料が除去された後、不溶性感光性材料に形成された画像又はパターンは、一般にエッチングと呼ばれる、当該技術分野で既知のプロセスによって基板へ転写される。パターンが基板材料上に一旦エッチングされると、残りのレジストが除去されて、その結果、完成品となる。材料及びレジストの新たな層が、その後、ウェハ上に堆積され、次のフォトマスク上の画像がその上に投影される。再び、ウェハは、現像されてエッチングされる。このプロセスは、回路が完成するまで繰り返される。通常の半導体デバイスでは、多くの層が堆積される場合があるので、単一の半導体デバイスであっても、その製造には多くの異なるフォトマスクが必要な場合がある。実際に、２つ以上の機器が半導体製造業者により使用されて、半導体デバイスが製造される場合、各層ごとであっても、２つ以上のフォトマスクが必要とされ得る可能性がある。さらに、異なる生産ラインでフォトレジストを露光するのに、異なるタイプの機器が使用される場合もあるので、複数の同一のフォトマスクパターンであっても、半導体製造機器の相違を考慮するために、サイジング、向き、スケーリング、及び他の属性においてさらに変更することが必要とされる場合がある。同様の調整は、フォトマスク製造業者のリソグラフィ機器の相違を考慮することにも必要な場合がある。これらの相違は、フォトマスク製造処理で考慮する必要がある。
【００２１】
従来技術は興味深いが、従来技術の既知の方法及び装置は、本発明が克服しようとするいくつかの限界を提示している。
【００２２】
特に、フォトマスク注文を１つ又は複数の標準フォーマット及び／又は独自フォーマットで自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法を提供することが、本発明の目的であり、ルールは、現在既知であるか又は今後開発される任意の個数の異なる標準フォーマット及び／又は独自フォーマットを満たすように適合又は修正することができる。
【００２３】
フォトマスク注文を１つ又は複数の標準フォーマット及び／又は独自フォーマットで自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法を提供することが、本発明の別の目的であり、このシステム及び方法は、ユーザが、フォトマスク注文について、標準フォーマット及び／又は独自フォーマットに関連するルールセットに従うことを要求する。
【００２４】
１つ又は複数の標準フォーマット及び／又は独自フォーマットでフォトマスク注文を自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法を提供することが本発明の別の目的であり、注文は、フォトマスクデータを含む既存のフォトマスク注文（複数可）及び／又はテンプレートを単一の新たな注文に融合することによって生成される。
【００２５】
フォトマスク注文及びデータの入力時間を削減するためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００２６】
フォトマスク注文の手動による入力に関連する複写エラーを削減するためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００２７】
製造されているフォトマスクの全体の生産量を増加させるためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００２８】
ユーザフレンドリであり、且つ、同じ注文又は別の注文に以前入力されたデータを再入力する必要性を回避する、フォトマスク注文を自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００２９】
ユーザが所定のグラフィカルユーザインターフェースを通じて対話することを必要としない、フォトマスク注文を自動的に生成するためのルールベースのシステム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００３０】
フォトマスク注文及びデータの入力時間を削減するためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００３１】
フォトマスク注文の手動入力に関連する複写エラーを削減するためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００３２】
製造されるフォトマスクの全体の生産量を増加させるためのルールベースのフォトマスク注文システム及び方法を提供することが、本発明の別の目的である。
【００３３】
従来技術の欠点を解決することが、本発明の別の目的である。
【００３４】
他の目的は、上記説明から明らかになる。
【００３５】
［発明の概要］
本発明の例示的な一実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットであって、ユーザが、指定された注文フォーマットによって要求されるように少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする命令を含む、ルールセットと、少なくとも１つのテンプレート又は注文に関連するグラフィカルユーザインターフェースであって、ユーザは、少なくとも１つのテンプレート又は注文にアクセスしてフォトマスク注文データを入力でき、且つ、指定されたフォーマットで注文を作成できる、グラフィカルユーザインターフェースと、外部媒体から少なくとも１つのテンプレート又は注文に電子的情報をインポートするためのデータ処理メカニズムとを備える。
【００３６】
本発明の別の例示的な実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットであって、ユーザが、指定された注文フォーマットによって要求されるようにテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする命令を含む、ルールセットと、電子的情報の１つ又は複数の外部情報源にアクセスするためのデータ処理メカニズムであって、電子的情報の１つ又は複数の情報源は、データサービスシステムを通じてアクセスされる、データ処理メカニズムとを備える。
【００３７】
本発明の例示的な一実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法は、フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成することであって、当該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される１つ又は複数のテンプレートにデータを入力することによって作成される、少なくとも１つの注文を生成すること、及び、データ処理メカニズムによって外部データベースからの電子的情報にアクセスすることであって、それによって、当該電子的情報を１つ又は複数のテンプレートに組み込む、外部データベースからの電子的情報にアクセスすることを含む。
【００３８】
本発明の別の例示的な実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法は、フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成することであって、当該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される少なくとも１つのテンプレートにデータを入力することによって作成される、少なくとも１つの注文を生成すること、データサービスからの電子的情報にアクセスすること、及び、当該電子的情報を注文に組み込むことを含む。
【００３９】
本発明の例示的な一実施の形態によるプロセッサ可読記憶媒体は、フォトマスク注文データの記憶のための少なくとも１つの注文を生成するステップであって、当該少なくとも１つの注文は、少なくとも１つのルールセットによって管理される少なくとも１つのテンプレートにデータを入力することによって作成される、生成するステップと、データサービスからの電子的情報にアクセスするステップと、注文に当該電子的情報を組み込むステップとを含む方法を実行するようにプロセッサをプログラミングするためのプロセッサ可読コードを含む。
【００４０】
本発明の別の例示的な実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットとを含み、ユーザは、少なくとも１つのテンプレート又は注文にアクセスして、指定されたフォーマットでフォトマスク注文データを入力でき、且つ、注文を作成できる。フォトマスク注文データは、グラフィカルユーザインターフェースにより、又は、スクリプトコマンド若しくは他の等価な方法の使用によって促すことに基づき入力することができる。部分的なフォトマスク注文又は完全なフォトマスク注文は、たとえば、他のファイルフォーマットからの変換および／またはスキャンによって電子的にインポートすることもできる。フォトマスク注文は、一旦入力されると、さらに修正することもできるし、さらに修正することなく提出することもできる。フォトマスク注文が入力されると、その注文に関連する情報は、フォトマスク製造業者へ電子的に転送することができる。
【００４１】
本発明の別の例示的な実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットとを含み、テンプレート又は注文は、コンポーネント及びサブコンポーネントから構成され、当該サブコンポーネントは、テンプレート又は注文とは別個に記憶することができる。一実施の形態では、コンポーネント及びサブコンポーネントは、仕様グレードへの参照を含むことができる。このようにして、仕様グレードを更新することによって、多数のテンプレート及び／又は注文を簡単に更新することができる。仕様グレードには、いくつか例を挙げると、測定交差、許容可能な欠陥率、材料、会計情報、顧客サービス情報、顧客機器、リソグラフィパターン配置、データ送信情報、ベンダ特有の情報が含まれ得る。
【００４２】
本発明の別の例示的な実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法は、フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートすること、当該電子的情報を、テンプレート又は注文に関連する少なくともいくつかのフィールドをポピュレートするのに使用されるフォトマスク注文データに変換すること、及び、上記テンプレート又は注文を使用して上記フォトマスク注文を生成することを含む。
【００４３】
さらに別の実施の形態では、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するための方法は、注文又はテンプレートに関連する商用ラインジェネレータによる少なくとも１つのコマンドを受信すること、当該少なくとも１つのコマンドを上記注文又はテンプレートに適用すること、及び、当該注文又はテンプレートから上記フォトマスク注文を生成することを含む。
【００４４】
本発明の別の実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、当該電子的情報を、テンプレート又は注文に関連する少なくともいくつかのフィールドをポピュレートするのに使用されるフォトマスク注文データに変換するステップと、上記テンプレート注文を使用して上記フォトマスク注文を生成するステップとを実行できるコンピュータ可読媒体を備える。
【００４５】
本発明の別の実施の形態による、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を生成するためのシステムは、注文又はテンプレートに関連する商用ラインジェネレータによる少なくとも１つのコマンドを受信するステップと、当該少なくとも１つのコマンドを上記注文又はテンプレートに適用するステップと、当該注文又はテンプレートから上記フォトマスク注文を生成するステップとを実行できるコンピュータ可読媒体を備える。
【００４６】
フォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、上記指定されたフォトマスク注文フォーマットによって要求されるように少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータと、１つ又は複数のスクリプトコマンドを受信して実行し、少なくとも１つのテンプレート又は注文にフォトマスク注文データを入力するか、又は、少なくとも１つのテンプレート又は注文のフォトマスク注文データを修正するためのコマンドラインプロセッサとを備える。
【００４７】
フォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成され、且つ、１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントに関連付けられ、当該１つ又は複数のコンポーネント及びサブコンポーネントは、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文とは別個に記憶することができる、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、指定されたフォトマスク注文フォーマットによって要求されるように少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータとを備える。
【００４８】
フォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文データの入力及び記憶のための少なくとも１つのテンプレート又は注文であって、指定されたフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される、少なくとも１つのテンプレート又は注文と、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に対応する少なくとも１つのルールセットを作成するためのルールジェネレータであって、少なくとも１つのルールセットは、ユーザが、指定された注文フォーマットによって要求されるように少なくとも１つのテンプレート又は注文に完全な情報を確実に入力するようにする、ルールジェネレータと、少なくとも１つのテンプレート又は注文に関連付けられる少なくとも１つの参照データを記憶するための少なくとも１つの仕様グレードファイルであって、少なくとも１つのテンプレート又は注文は、当該少なくとも１つの仕様グレードファイルへの参照を含む、少なくとも１つの仕様グレードファイルとを備える。
【００４９】
フォトマスク注文を生成するための方法は、フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、当該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップと、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に基づいてフォトマスク注文を生成するステップとを含む。
【００５０】
フォトマスク注文を生成するための方法は、少なくとも１つのスクリプトコマンドを受信するステップと、当該少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成又は修正する、実行するステップと、当該少なくとも１つの注文又はテンプレートに基づいてフォトマスク注文を生成するステップとを含む。
【００５１】
フォトマスク注文を生成するためのシステムは、フォトマスク注文に関連する電子的情報をインポートするステップと、当該電子的情報をフォトマスク注文データに変換するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成する、変換するステップと、当該少なくとも１つのテンプレート又は注文に基づいて上記フォトマスク注文を生成するステップとを実行可能なコンピュータ可読媒体を備える。
【００５２】
フォトマスク注文を生成するためのシステムは、少なくとも１つのスクリプトコマンドを受信するステップと、当該少なくとも１つのスクリプトコマンドを実行するステップであって、それによって、少なくとも１つのテンプレート又は注文を作成又は修正する、実行するステップと、当該少なくとも１つの注文又はテンプレートに基づいてフォトマスク注文を生成するステップとを実行可能なコンピュータ可読媒体を備える。
【００５３】
本発明の例示的ではあるが好ましい実施の形態の以下の詳細な説明を添付の図面と共に取り入れる場合に、その詳細な説明を参照することによって、本発明の上記目的、機能、及び利点、並びに、関連する目的、機能、及び利点はより十分に理解される。
【００５４】
［好適な実施の形態（複数可）の詳細な説明］
本発明は、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を自動的に生成するためのコンピュータ化されたルールベースのシステム及び方法に関する。フォトマスクの注文を行いたいフォトマスクの顧客は、指定された注文フォーマットの要件に従って完全且つ正確な方法で注文を入力するプロセスの案内を受けることができる。これらの機能を実行するために、システム及び方法は、以下の５つのコンポーネントの１つ又は複数の組み合わせを利用して、所望のフォーマットにフォトマスク注文を生成する。５つのコンポーネントは、（１）データが入力されるテンプレート、（２）テンプレートに入力されたデータを、指定された標準フォーマット及び／又は独自フォーマットに変換するためのルール、（３）テンプレートを使用して、指定されたフォーマットでフォトマスク注文を作成するための方法、（４）指定された標準フォーマットと対比してフォトマスク注文を確認するための別個のルールセット、及び、（５）フォトマスクテンプレート又はフォトマスク注文に関連し、テンプレート又は注文が参照できる１つ又は複数の一意の属性オブジェクトである仕様グレードである。特定のテンプレートを特定のルールに関連付けて、顧客が完全且つ正確なフォトマスク注文情報を確実に入力するようにするソフトウェアが、このシステムで実施される。同様に、特定のフォトマスク注文を特定のルールに関連付けて、顧客が完全且つ正確なフォトマスク注文情報を確実に入力するようにするソフトウェアも、本発明のシステムで実施される。仕様グレードは、参照データとして取り扱うことができ、テンプレート、注文、又は注文を作成するのに使用されるテンプレートに適用することができる。テンプレート及び注文に仕様グレードを参照データとして含ませることによって、少数の仕様グレードのみを単に改訂するだけで、多数のテンプレート及び／又は注文を容易に更新することができる。
【００５５】
このソフトウェアを説明する前に、まず、テンプレート、注文、及びルールの記憶及び編成を行う方法を説明することが必要である。より詳細には、システムは、サーバと、当該サーバに格納される外部データ記憶媒体とを含む。フォトマスク注文データの入力を容易にし、且つ、注文を生成するためのルール及びテンプレートは、外部記憶媒体に記憶される。外部データ記憶媒体は、さまざまな異なるタイプの記憶媒体とすることができる。これらのさまざまな異なるタイプの記憶媒体には、リレーショナルデータベース、オブジェクト指向クラス、ＸＭＬファイル、及び、現在知られているか又は今後開発される他の同様の記憶媒体が含まれるが、これらに限定されるものではない。システムの外部に記憶媒体を保持し、且つ、本発明のシステム及び方法と共に使用できる記憶媒体のタイプに柔軟性を提供することによって、さまざまな異なるユーザ及び自動化システムは、さまざまな異なるプラットフォームにわたってシステムを動的に動作させることができる。
【００５６】
好ましい実施の形態では、一組のテンプレート及び注文が、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて作成される。この点に関して、これらのテンプレート及び注文は、コンポーネント及びサブコンポーネントの階層として編成される。この階層では、それぞれのコンポーネント及びサブコンポーネントは、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットの要件によって定義される。たとえば、特定のフォトマスク注文フォーマットは、マスクデータコンポーネントが、一定のサブコンポーネントを含むことを必要とする場合がある。これらの一定のサブコンポーネントは、いくつか例を挙げると、タイトル、バーコード、及びパターンデータ等である。これらのサブコンポーネントのそれぞれは、さらに詳細なサブコンポーネント（「子コンポーネント」）を有することができる。たとえば、パターンデータコンポーネントは、マスクデータコンポーネントのサブコンポーネントであるが、それに関連する一組の子コンポーネントを有することができる。標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットの要件に応じて、これらの子コンポーネントも、同様に、さらなるサブコンポーネントを有することができ、これらのさらなるサブコンポーネントも、それら自身のサブコンポーネントを有することができる。それ以降のサブコンポーネントも同様である。
【００５７】
コンポーネント及びそれらのコンポーネントに関連するサブコンポーネントのそれぞれは、一組の属性（たとえば、バイナリ、文字列、整数、実数、日付、ブール変数、リスト等）によって定義される。テンプレートは、フォトマスク注文を作成するのに使用されるので、あらゆる所与のテンプレートに関連するルール（以下でより詳細に解説）は、そのテンプレートから作成されるフォトマスク注文に関連するルールのサブセットである。本発明の下では、テンプレート、注文、コンポーネント、サブコンポーネント等は、それぞれ別個に記憶することができる。これによって、ユーザは、一定のコンポーネント又はサブコンポーネントをテンプレートから除外することが可能になり、仕様グレードとしてテンプレートにより参照される、これらの別個に記憶されたコンポーネント又はサブコンポーネントを有することが可能になる。所与のテンプレートから作成された新たな注文が、これらのコンポーネント又はサブコンポーネントの変更を必要とする場合、テンプレートに何ら変更を加える必要なく、別個に記憶された仕様グレードにしか変更を加える必要がない。
【００５８】
表１は、テンプレート及び注文のコンポーネント及びサブコンポーネントを標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットに従ってどのように編成できるかの一例を実例で示している。
【００５９】
【表１】
2008504567.tif 000003
【００６０】
表１において、第１（左端）列のエントリーは、第２列のエントリー（子）の親であり、第２列のエントリーは、第３列のエントリーの親である。以下、同様である。或いは、表１の任意の２つの隣接した列は、コンポーネント（左の列）及びサブコンポーネント（右の列）を定義することができる。表１に示すように、同じコンポーネントが、他のコンポーネントのサブコンポーネントとして現れる場合がある。たとえば、限界寸法データは、表１の列４及び列５においてパターンデータのサブコンポーネントとして現れている。各コンポーネント及びそれに関連するサブコンポーネントは、互いに別個に記憶することができ、且つ、注文又はテンプレートと別個に記憶することができるので、これらのいずれも、或る注文の或る部分から同じ注文の別の部分へコピーすることもできるし、異なる注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等へコピーすることもできる。コンポーネント及びサブコンポーネントのコピー及びペーストのこの柔軟性によって、ユーザは、同じ注文情報を再入力する必要なく、多くのフォトマスク注文を迅速に作成することが可能になる。
【００６１】
テンプレート及び注文は、グラフィカルユーザインターフェースを使用して手動で作成することができる。また、テンプレート及び注文は、他の外部媒体からの情報を使用して自動的に作成又は修正することもできる。これらの他の外部媒体には、フォーマットされていないテキストファイル、ＸＭＬファイル、又は或るタイプのデータ記憶デバイス若しくはデータ記憶メカニズムが含まれるが、これらに限定されるものではない。たとえば、顧客のコンピュータは、このようなファイル、データベース、又は、新たなテンプレート若しくは注文を作成する際、若しくは、既存のテンプレート若しくは注文に欠けている情報を提供する際に役立つ他の電子的情報を含むことができる。データ処理メカニズムを使用して、これらの外部媒体からの必要な情報を、新たなテンプレート若しくは注文又は既存のテンプレート若しくは注文にインポートすることができる。たとえば、変換ソフトウェア又はマッピングソフトウェアを使用して、顧客のファイル又はデータベースを、アプリケーションに必要とされるフォーマットに変換することができる。このようなソフトウェアの市販されているものの一例は、Ｄａｔａ  Ｊｕｎｃｔｉｏｎである。このＤａｔａ  Ｊｕｎｃｔｉｏｎは、数百のアプリケーション及び構造化されたデータフォーマットの間でデータを高速に統合して変換するためのビジュアル設計ツールである。一方、任意の適切な市販の変換ソフトウェア若しくはマッピングソフトウェア又は任意の適切な独自の変換ソフトウェア若しくはマッピングソフトウェアを使用して、このタスクを行うことができる。外部情報は、注文処理システムに対してローカルでテンプレート又は注文内へインポートすることもできるし、ワイドエリアネットワーク若しくはローカルエリアネットワーク又はインターネット等のような既存のネットワーク接続を介してインポートすることもできる。また、これらの外部情報は、他の既知の技法によっても受け取ることもできる。これらの他の既知の技法は、ＦＴＰプロトコル、電子メール、ＨＴＴＰ、独自プロトコル、又はそれらの情報を転送するのに利用可能となり得る他の任意の既知のプロトコル等である。ＧＵＩが使用される場合、ユーザは、ＧＵＩによって、具体的に列挙したデータを入力するように促される。図７は、フォトマスク注文生成システムが使用できる通常のＧＵＩである。この例では、図７に示すＧＵＩは、注文されるマスクに関する記述的情報を入力するようにユーザに促している。この例では、いくつか例を挙げると、マスク名、ステータス、製品タイプ等を含む情報が入力される。マスク名のようないくつかの場合には、情報は、直接タイプ入力される。それ以外の場合、製品タイプカテゴリーに関する場合等は、情報は、ドロップダウンメニューから選択することができる。
【００６２】
テンプレート及び注文は、他の外部媒体からの情報を使用して自動的に作成又は修正することもできる。これらの他の外部媒体には、フォーマットされていないテキストファイル、ＸＭＬファイル、又は或るタイプのデータ記憶デバイス若しくはデータ記憶メカニズムが含まれるが、これらに限定されるものではない。たとえば、顧客のコンピュータは、新たなテンプレート若しくは注文を作成する際、又は、既存のテンプレート若しくは注文に欠けている情報を提供する際に役立つこのようなファイル、データベース、又は他の電子的情報を含むことができる。同様に、フォトマスク注文生成システムによる使用のために、事前に存在する注文、テンプレート、コンポーネント、又はサブコンポーネントを変換及び再フォーマットできるように、注文テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等を、たとえば、スキャナ又は他のファイル変換技法によって電子的にインポートすることができる。たとえば、変換ソフトウェア又はマッピングソフトウェアを使用して、顧客のファイル又はデータベースを、アプリケーションに必要とされるフォーマットに変換することができる。このようなソフトウェアの市販されているものの一例は、Ｄａｔａ  Ｊｕｎｃｔｉｏｎである。Ｄａｔａ  Ｊｕｎｃｔｉｏｎは、数百のアプリケーション及び構造化されたデータフォーマットの間でデータを高速に統合して変換するためのビジュアル設計ツールである。一方、任意の適切な市販の変換ソフトウェア若しくはマッピングソフトウェア又は任意の適切な独自の変換ソフトウェア若しくはマッピングソフトウェアを使用して、このタスクを行うことができる。外部情報は、注文処理システムを通じてローカルでテンプレート又は注文内へインポートすることもできるし、ＦＴＰプロトコル、電子メール、ＨＴＴＰ、独自プロトコル、他の任意の既知のプロトコル等のさまざまなデータ転送技法により、ワイドエリアネットワーク若しくはローカルエリアネットワーク又はインターネット等の既存のネットワーク接続を介してインポートすることもできる。
【００６３】
グラフィカルユーザインターフェースを介して人により行われるすべてのオペレーションは、少なくとも部分的には、直接的な人間との対話なしに自動化された方法で実行することもできる。本発明の下では、これは、プレーンテキスト命令セット又はコマンドラインに基づくスクリプト技法によって達成することができる。プレーンテキスト命令セットは、アプリケーションプログラミングインターフェースに翻訳されてアプリケーションに一連のオペレーションを実行するように命令することができる高級プログラミング言語である。たとえば、「replace device name 'Device A' with device name 'Device B'」（デバイス名「デバイスＡ」をデバイス名「デバイスＢ」に置き換える）を示すコマンドラインは、顧客のネットワークのユーザがシステムへ送信することもできるし、本明細書で詳述するように自動的にシステムへ送信することもできる。システムは、このコマンドラインを受信すると、特定のテンプレート又は注文におけるデバイス名を新たなデバイス名に置き換える。もちろん、これは、命令セットをどのように使用できるかの単なる一例にすぎず、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。ＡＳＣＩＩファイル又はバイナリファイルを生成でき、且つ、オペレーティングシステムのコマンドを実行できる任意のプログラミング言語を使用して、この命令にアクセスするカスタムモジュールを、顧客のシステムで使用するために作成することができる。自動化された実施態様によって、許可されたユーザは、既存のネットワーク接続を介して任意の許可されたシステムにアクセスすることが可能になる。ファイアウォール、ログイン、パスワード等の通常のセキュリティ対策を使用して、データベース及びマスク注文システムの機密性及びデータセキュリティを保護することができる。
【００６４】
このように、注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等は、コマンドラインを介したスクリプト技法又は他の或る開発環境を使用することによって生成及び／又は修正することができる。好ましくは、スクリプト技法は、ユーザによって入力されたスクリプトの名前を引数とするコマンドラインプログラムを含む。このスクリプトは、注文、テンプレート、コンポーネント、及び／又はサブコンポーネント等を或る指定された方法で操作する多数のコマンドを含む。好ましくは、グラフィカルユーザインターフェースを介してユーザが利用可能な編集機能の一部又は全部も、スクリプトコマンドを介したスクリプト技法で利用可能にすることができる。
【００６５】
好ましい実施の形態では、いくつか例を挙げると、新たな注文の作成、既存の注文の編集、テンプレートからの注文の作成、注文、テンプレート、コンポーネント、又はサブコンポーネントへの新たなコンポーネント又はサブコンポーネントの追加、コンポーネント又はサブコンポーネントの修正、注文の保存、注文からのＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイル又は他の互換性のあるフォーマット若しくは規格のファイルの作成等の編集機能にスクリプトコマンドを使用することができる。加えて、スクリプト技法は、データを照会することもでき、複数の注文及びテンプレートに対するバッチ編集を同時に行うこともできる。
【００６６】
スクリプト技法で使用されるスクリプトファイルは、１つ又は複数のスクリプトコマンドを含むプレーンテキストファイルの形とすることができる。スクリプトコマンドは、いくつか例を挙げると、変数宣言、割り当て、関数コール、ｉｆ文、ｆｏｒ文又はｆｏｒ  ｅａｃｈ文、ｗｈｉｌｅ文、ｉｎｃｌｕｄｅ等の機能を含むことができる。変数宣言コマンドは、後に使用されるデータ値を格納するのに使用される変数をその使用前に宣言するのに使用される。変数宣言コマンドは、使用される変数のデータタイプの宣言を含むことができる。変数のデータタイプは、次のものの１つ、すなわち、文字列、数値、ブール変数、日付、リスト、ツリーアイテムの１つとすることができる。文字列は、０又は１つ以上の文字のシーケンスを表すことができる。数値は、任意の実際の数量の整数又は分数のいずれかを表すことができ、正の値、０、又は負の値のいずれかとすることができる。ブール変数は、真又は偽のいずれかを表すことができる。日付は、特定の日を表すことができ、また、その日の時刻も含むことができる。リストは、同じデータタイプの値のリストを表すことができる。ツリーアイテムは、フォトマスク注文システムのツリー階層からのオブジェクトを表すことができ、注文、フォトマスク、テンプレート、又はパターン等を表すことができる。
【００６７】
関数コールコマンドにより、システムライブラリの関数を呼び出すことができる。システムライブラリから呼び出すことができる関数には、注文、テンプレート、コンポーネント、及びサブコンポーネントの一般的管理のための関数、個々のツリーアイテムを取り扱うための関数、特定のツリーアイテムのフィールドを取り扱うための関数、日付の値を取り扱うための関数、値のリストを操作するための関数、及び他のあらゆる汎用関数又は専用関数が含まれ得る。
【００６８】
注文、テンプレート、コンポーネント、及びサブコンポーネントの一般的管理のための関数コールの例には、いくつか例を挙げると、注文の作成（新たな空の注文の作成）、テンプレートからの注文の作成（所与のテンプレートからの新たな注文の作成）、注文のオープン（既存の注文のオープン）、テンプレートの作成（新たなテンプレートの作成）、テンプレートのオープン（編集のための既存のテンプレートのオープン）、日付スケジュールの適用（所与の事前に存在する日付スケジュールの、指定された日付から開始する注文又はテンプレートへの適用）、保存（注文テンプレートに対する変更のデータベースへの保存）、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの作成（所与の注文からの「ＳＥＭＩ  Ｐ−１０」ファイルの作成）、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの作成及び送信（所与の注文からのＳＥＭＩ  Ｐ−１０ファイルの作成、及び、指定された転送方法、たとえばインターネット上のＦＴＰ、を介したそのファイルの指定されたロケーションへの送信）、注文の削除（指定された注文のデータベースからの削除）テンプレートの削除（指定されたテンプレートのデータベースからの削除）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。
【００６９】
個々のツリーアイテムを取り扱うための関数コールの例には、いくつか例を挙げると、ツリーアイテムの作成（指定されたタイプの新たなブランクのツリーアイテムの作成）、ツリーアイテムのコピー（ツリーアイテムに関連する子ツリーアイテムを含めて、そのツリーアイテムの正確なコピーの作成）、１つのツリーアイテムの発見（一定の所与の基準を満たす別のツリーアイテムの下のいずれかの場所で所与のタイプのツリーアイテムの位置を突き止めること）、複数のツリーアイテムの発見（一定の所与の基準を満たすすべてのツリーアイテムの発見）、親の取得（所与のツリーアイテムの親ツリーアイテムの取得）、ツリーにおける置換（replace in tree）（特定のオブジェクトから開始する特定のタイプのツリーアイテム内のすべてのテキストフィールドにおける所与の１つのテキストの置換）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。
【００７０】
ツリーアイテムのフィールドを取り扱うための関数コールの例には、いくつか例を挙げると、フィールドの取得（ツリーアイテムフィールドの値の取得）、フィールドの設定（ツリーアイテムフィールドの値の設定）、フィールドアイテムの追加（タイプリスト（type list）であるツリーアイテムフィールドへの新たな値の追加）、フィールドアイテムの削除（タイプリストのツリーアイテムフィールドからのアイテムの削除）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。
【００７１】
日付の値を取り扱うための関数コールの例には、いくつか例を挙げると、日付の作成（指定された値を有する新たな日付の作成）、日付の追加（指定された期間の日付への追加）、日付の削減（日付からの指定された期間の削減）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。
【００７２】
値のリストを操作するための関数コールの例には、いくつか例を挙げると、リストアイテムの追加（リストへの新たなアイテムの追加。ここで、新たなアイテムは、リストの他のアイテムと同じデータタイプである）、リストアイテムの削除（リストからのアイテムの削除）、リスト包含（list contains）（特定の値がリストに含まれるかどうかの判断）、リストサイズ（リストのアイテムの個数を求めること）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。
【００７３】
汎用関数又は専用関数の例には、いくつか例を挙げると、ヌルであるか（値がヌル値であるか否かの判断）、表示（print）（メッセージのスクリーンへの表示）等が含まれ得るが、これらに限定されるものではない。ユーザが望ましいと認めることができるどんなタイプ又は形の機能も、システムライブラリに関数として潜在的に含めることができる。システムライブラリの関数コールのリストは、いつでもアップグレード又は改訂することができる。
【００７４】
割り当てコマンドは、新たな値を有する変数を割り当てるものである。ｉｆ文コマンドは、スクリプトが或る基準に基づいて決定を行うことを可能にするものである。ｆｏｒ文コマンド又はｆｏｒ  ｅａｃｈ文コマンドは、或る指定されたリストにわたって繰り返しを可能にするものである。ｗｈｉｌｅコマンドは、一般的なループ構成体である。ｉｎｃｌｕｄｅコマンドは、別のスクリプトがそのポイントで実行されるべきであることを指定するものである。
【００７５】
潜在的には、コマンドラインは、任意の順序で出現することができる。しかしながら、コマンドは、通常、順に実行されるので、その順序は、一般に、論理に従う必要がある。コマンドラインは、システム設計者の好みに応じて、大文字と小文字を区別する場合もあるし、そうでない場合もある。
【００７６】
何が行われているのかについて分かりやすい英語で説明することによりスクリプトファイルの可読性を改善するように、コメントラインをスクリプトファイルにテキストとして含めることができる。通常、コメントラインがスクリプトファイルに含まれている場合、その情報は、スクリプトファイルが実行される時、無視される。さらに、ユーザが空白スペース又はブランクキャリッジリターンを含めることを可能にするようにスクリプトファイルをフォーマットして、スクリプトファイルの実行に影響を与えることなくファイルの可読性を促進することができる。
【００７７】
開示するシステムの一実施の形態では、注文、テンプレート、コンポーネント、及び／又はサブコンポーネントは、全体又は一部が生成されるとすぐに、本発明のそのシステム又は本発明の異なるシステムの異なるユーザへ転送したり、それらのユーザがアクセスしたりすることもできる。たとえば、顧客の或るユーザは、その顧客又は異なる顧客の異なるユーザへテンプレート又は注文を電子メールで送信したり、それ以外で転送したりすることもでき、それによって、転送されたテンプレート又は注文を使用して、新たなテンプレート若しくは注文又は修正されたテンプレート若しくは注文を作成できるようにする。もちろん、このような転送は、ＦＴＰプロトコル等の他の転送方法によって行うこともできるし、ディスク又は他の記憶媒体等で運ぶこともできる。セキュリティ対策として、アクセスコード又は他のアクセス制限技法を、注文、テンプレート、コンポーネント、及び／又はサブコンポーネント等に適用して、許可されていないアクセス及び／又は修正を防止することができる。
【００７８】
顧客は、フォトマスク注文を作成する時、注文を完成させるのに必要とされるすべての情報にアクセスできるとは限らない場合ある。すなわち、すべての情報を知っているとは限らない場合がある。従来、このような情報の欠如によって、注文完成プロセスは遅れ、このような情報を適切な情報源から手動で収集する必要があった。
【００７９】
本発明の一実施の形態の下では、このような情報は、他の情報源から少なくとも部分的に自動的に取り出される。他の情報源は、必要とされる情報を有し、且つ、顧客の側で入力をほとんど又は全く必要としない。たとえば、第１のルールセットによって管理される、注文に入力する必要がある情報が、顧客に利用可能でない場合、本発明のデータ処理メカニズムは、この必要な情報を検索する能力を提供するデータサービスにアクセスすることができる。このようなデータサービスの一例には、ＳｅｒｖｉｃｅＯｂｊｅｃｔｓが含まれる。このＳｅｒｖｉｃｅＯｂｊｅｃｔｓは、ユーザが、あたかもコンテンツが単一のロケーションに存在するかのように、インターネットサイト、データベース、イントラネット、並びに他の内部資源及び外部資源に同時アクセスすることを可能にし、且つ、他のプログラムによってアクセス可能なフォーマットで、情報の発送（shipping）等、情報をパッケージすることを可能にするものである。この例では、アプリケーションは、注文中のフォトマスクに利用可能とすることができる特定の発送選択肢を捜し出すデータ照会をデータサービスに送信する。データサービスは、次に、要求された情報をアプリケーションへ返信する。アプリケーションは、次に、このような情報を、そのアプリケーションを使用する顧客に提供する。他のタイプのデータサービスも、ロジスティクス、在庫表、供給特性、機器稼働率、実行時間、ツールアップ時間（tool up time）、レベルローディング（level loading）、容量情報等の情報、又は、顧客が特定のフォトマスク注文を準備するために所望する他のあらゆるこのような情報に適用することができる。データサービスを通じて又はそれ以外の方法でデータにアクセスするスクリプトコマンドを作成することもできる。
【００８０】
データサービスは、顧客のコンピュータ又はネットワークにローカルに配置することもできるし、顧客の注文処理システムから遠隔に配置することもでき、それ自体で、アプリケーションソフトウェア及びデータサービスの双方に既知のインターフェースを通じて、任意の個数又は任意のタイプのリモートコンピュータシステム（たとえば、ロジスティックベンダのコンピュータシステム、部品供給業者のコンピュータシステム、機器供給業者のコンピュータシステム、フォトマスク製造業者のコンピュータシステム等）からのデータにアクセスすることができ、任意の個数の受け付け可能なプロトコルを使用することができる。これらのプロトコルには、たとえば、ＳＯＡＰ、ＸＭＬ、ＸＭＬ−ＲＰＣ，ｅｂＸＭＬ、ＨＴＭＬ等が含まれる。データサービスは、顧客に利用可能でない情報を求めて、（たとえば、照会により）これらのリモートシステムを検索することができ、利用可能である場合、このようなデータを取り出す。オプションとして、データサービスは、必要に応じて、データを検証するように構成することができる。データサービスの検索メカニズムは、ユーザのシステムにより提供される任意の個数の可能なパラメータ（たとえば、コスト、時間、顧客名、マスクサイズ、使用されるステッパ機器（stepper equipment）等）に基づく、ユーザが所望する情報（たとえば、ロジスティクス、供給、処理時間等）に基づいて構成可能な場合がある。
【００８１】
グラフィカルユーザインターフェースを介して人により行われるすべてのオペレーションは、少なくとも部分的には、自動化された方法で実行することもできる。すなわち、人との対話なしに実行することができる。本発明は、プレーンテキスト命令セット又はコマンドラインを介してこの機能へのアクセスを提供することができる。プレーンテキスト命令セットは、アプリケーションプログラミングインターフェースに翻訳されて一連のオペレーションをアプリケーションに実行するように命令することができる高級プログラミング言語である。たとえば、「replace device name 'Device A' with device name 'Device B'」（デバイス名「デバイスＡ」をデバイス名「デバイスＢ」に置き換える）を示すコマンドラインは、顧客のネットワークのユーザがシステムへ送信することもできるし、本明細書で上述したように自動的にシステムへ送信することもできる。システムは、このコマンドラインを受信すると、特定のテンプレート又は注文におけるデバイス名を新たなデバイス名に置き換える。もちろん、これは、命令セットをどのように使用できるかの単なる一例にすぎず、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。ＡＳＣＩＩファイル又はバイナリファイルを生成でき、且つ、オペレーティングシステムのコマンドを実行できる任意のプログラミング言語を使用して、この命令にアクセスするカスタムモジュールを、顧客のシステムで使用するために作成することができる。自動化された実施態様によって、許可されたユーザは、既存のネットワーク接続を介して任意の許可されたシステムにアクセスすることが可能になる。ファイアウォール、ログイン、パスワード等の通常のセキュリティ対策を使用して、データベース及びマスク注文システムの機密性を保護することができる。
【００８２】
図６は、本発明の自動化された機能のさまざまな可能性のある実施の形態の一例を示している。図６に示すように、顧客１１０は、自身のコンピュータシステム又はネットワークに、本発明と一致した注文処理システム１００をインストールしている。このシステムのユーザは、上述した方法で、部分的な注文若しくはテンプレート又は完全な注文若しくはテンプレートを入力することができる。顧客のネットワークに配置されたファイル１３０は、テンプレート又は注文を作成又は修正するのに使用される。注文を完成させるのに必要なあらゆる情報が、顧客によって直接入力されない限り、このような情報は、他の処理システム１００が、顧客のシステムで利用可能なファイル、データベース、又は他の電子的情報から；リモートでアクセス可能な顧客の外部のシステムから；顧客の１つ又は複数の供給業者又はベンダから直接的に；且つ／又は、データサービスシステムを通じて、自動的に取り出すことができる。顧客は、注文を完成させるのに必要なすべての情報を直接入力することもできるし、注文を完成させるのに必要な情報の一部を直接入力して、残りをこれらの他の情報源から得ることもできるし、注文処理システムのグラフィカルユーザインターフェースにアクセスすることなく、外部プログラムを通じて、完成した注文を自動的に生成するプロセスを開始することもできる。図６に示す実施の形態では、注文を完成させるのに必要な情報は、データサービスシステム１２０から取り出される。データサービスシステム１２０は、データ供給業者Ａ及びＢ等の構成された資源に照会を行う。これらの資源は、たとえば、顧客の供給業者又はベンダとすることができる。また、データサービスシステム１２０は、顧客自体から情報を収集することもできる。すべての必要な情報が一旦取り出されて、適切なテンプレートに入力されると、注文文書１４０が生成され、フォトマスク供給業者１５０へ送信される。
【００８３】
自動化された方法によるどのタスクの実行も、いずれかのルールセットに基づいて、あらゆるシステム障害又はプロセス無効の警報通知を含むことができる。通知は、エンドユーザが構成することができ、電子メール、メッセージング、ログファイル、又はデータベースエントリーの形とすることができる。一実施形態では、通知機能は、フォトマスクの注文に関与する人々の名前の配布リストへ送信されるメッセージを自動的に生成する。この配布リストは、任意の所定の基準によって確立することができる。メッセージが生成されるとすぐに、配布リスト上の各人は、フォトマスクの注文が生成されたことの通知を自動的に受けることができる。このような通知には、電子メール、ポケットベル、携帯電話等が含まれ得る。この自動通知プロセスは、顧客のネットワークのどの場所でもセットアップすることができるし、製造業者のネットワークであってもどの場所でもセットアップすることができ、顧客が望む任意のステップによってトリガすることができる。この例は、本発明に対する限定として取り扱われるべきではなく、本発明と結合することができる通知システムのタイプの単なる例示にすぎない。
【００８４】
新たなフォトマスク注文又は修正されたフォトマスク注文の準備が通知されると、エラーが存在しない場合に、本発明は、その注文をフォトマスク製造業者へ自動的に転送することもできるし、顧客のシステムのユーザからの許可を待つこともできる。エラーが特定された場合、顧客は、注文を手動で編集して、このようなエラーを訂正することができ、通常の方法で注文の処理を続けることができる。
【００８５】
別の実施の形態では、設計情報を含む不完全なフォトマスク注文を或るフォーマットで生成することができる。この不完全なフォトマスク注文は、フォトマスク製造業者の処理システムへ転送されて、フォトマスク製造業者が、設計の有効性、実現可能性、及び／又は望ましさを検証することを可能にすることができる。たとえば、顧客は、フラクチャリング命令を含む部分的なフォトマスク注文を転送することができる。この部分的なフォトマスク注文は、その後、フォトマスク製造業者へ送信されて、提案された設計の有効性、実現可能性、及び／又は望ましさについて解析を受けることができる。これは、上述したように自動的に行うこともできるし、手動で行うこともできる。自動化されている場合、提案された部分的なフォトマスク注文に関する情報が受信されると、システムは、さらに解析及び評価を行うために、フォトマスク供給業者にフラクチャリング命令を提出するのに必要な情報を生成することができる。情報が提出されると、フォトマスク製造業者は、次に、製造業者の視点又は他の視点からより実現可能であり得るか又は望ましくあり得る代替的な設計を提案することもできる。フォトマスク製造業者の解析の結果は、その後、顧客のコンピュータシステムへ送信することができ、顧客は、注文を推し進めるのか、それとも提案した注文を修正するのかについてさらに検討することができる。
【００８６】
好ましくは、テンプレート、注文、コンポーネント、及びサブコンポーネント等のそれぞれは、データベースに記憶されるが、他のロケーションに記憶することもできる。ユーザがデータベース又は他のロケーションに記憶された特定のテンプレート、注文、コンポーネント、又はサブコンポーネント等を検索できる検索エンジンを設けることができる。ユーザは、この検索エンジンを使用して、特定の注文フォーマットでフォトマスクを生成するのに必要とされる適切なテンプレート、コンポーネント、又はサブコンポーネント等を突き止めることができる。このようなテンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等が一旦突き止められると、フォトマスク注文に関するデータが、ユーザ（通常はフォトマスクの注文を行いたいフォトマスクの顧客）によって入力される。また、ユーザは、後述するように、データ入力を完了する目的若しくはデータ入力を容易にする目的、又は、フォトマスク注文の内容を修正する目的で、検索エンジンを使用して既存のフォトマスク注文を突き止めることもできる。
【００８７】
上述したように、顧客は、特定のフォトマスク注文フォーマットの要件を十分に知らない場合があり、したがって、注文を完成させるために、このような標準規格によって要求される必要なすべての情報を入力するとは限らない場合がある。加えて、顧客は、データ入力エラーを起こしがちであり、したがって、不正確な情報を提供する場合がある。したがって、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットによって必要とされる通りに、顧客が完全且つ正確なデータをテンプレート及び注文に確実に入力するようにするための第１のルールセット及び第２のルールセットが確立され、システムに記憶される。
【００８８】
好ましい実施の形態では、第１のルールセットは、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットによって指定される通りに、ユーザが、完全なフォーマット注文を出力するのに必要なすべてのデータを確実に入力するように確立される。好ましくは、第１のルールセットは、選択されるフォトマスク注文フォーマットの要件に基づいて確立される。この点に関して、第１のルールセットは、指定されたフォトマスク注文フォーマットによって指示される通りに、テンプレート又は注文の各コンポーネント及び各サブコンポーネントにデータを入力し「なければならない」のか、入力することが「できる」のか、且つ／又は入力しては「ならない」のかを規定する。加えて、第１のルールセットは、フォトマスク注文を完成させるのに必要とされる（特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットで説明されている通りに）他のあらゆるコンポーネントにユーザが情報を入力することをそれらのルールが要求するように構成されるべきである。
【００８９】
したがって、たとえば、表１を参照して、特定の標準注文フォーマットは、「パターン」テンプレートに関して、すべてのＥＡＰＳＭ注文について：配置データ及び限界寸法データを提供しなければならない；ダイ対ダイ比較検査データを提供することができる；且つ、ダイ対データ比較を提供することができない、ということを要求することができる。したがって、（１）ユーザは配置データ及び限界寸法データを含め「なければならない」こと；（２）ユーザはダイ対ダイ比較検査データを含めることが「できる」こと；及び（３）ユーザはダイ対データ比較検査データを含めては「ならない」ことを要求するルールが確立されて、適切なテンプレート（並びにコンポーネント及びサブコンポーネント）に関連付けられる。したがって、この例では、ユーザが、本発明のシステム及び方法を使用して、ＥＡＰＳＭの注文を作成しようとしている場合、ルールは、（１）ユーザが配置データ及び限界寸法データを入力することを要求し；（２）ユーザが、ダイ対ダイ比較検査データを入力することを許可し（しかし、要求しない）；且つ（３）ユーザがダイ対データ比較検査を入力するのを妨げる。さらに、選択される注文フォーマットは、パターンデータに加えて、アレイ位置決め（Array Registration）データも、フォトマスク注文を完成させるために入力しなければならないことを要求することができる。したがって、第１のルールセットは、ユーザが、すべてのパターンデータの入力を一旦完了すると、「アレイ位置決め」テンプレートに案内されて、必要とされるすべてのデータ（及び、そのテンプレートの他のあらゆる対応するサブコンポーネント）を同様にそのテンプレートに入力することを促されるようにも構成される。同様に、標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットが、フォトマスク注文を完成させるために他のあらゆるテンプレートへのデータの入力を要求する場合、第１のルールセットは、ユーザがアレイ位置決めテンプレートにすべてのデータを入力した後に、このような他のテンプレートへユーザを案内し、このようなテンプレート（複数可）に必要とされるすべてのデータを入力するようにユーザを促す。ユーザは、必要とされるすべてのテンプレートにデータの一旦入力すると、（後述するような第２のルールセットに従ってデータを入力することを条件として）テンプレートの終了許可を受ける。
【００９０】
したがって、明らかであるように、本発明の第１のルールセットによって、ユーザは、フォトマスク注文を生成するために特定の標準フォーマット及び／又は独自フォーマットによって要求される通りに、必要な情報を適切なテンプレートに確実に入力するようになる。言い換えれば、ルールは、フォトマスク注文データを入力するプロセスを通してユーザを案内し、すべての必要な注文情報がテンプレートに確実に入力されるようにする。
【００９１】
加えて、システム及び方法は、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットによって指定される通りに、正確且つ適切なフォーマットでユーザがデータを確実に入力するようにする第２のルールセットも提供する。上述したように、テンプレートの各コンポーネント及び各サブコンポーネントは、一組の属性（たとえば、バイナリ、文字列、整数、実数、日付、ブール変数、リスト等）によって定義される。したがって、好ましい実施の形態では、特定のテンプレート又は注文に入力されるデータが、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットによって要求される通りに、特定の属性を有し「なければならない」のか、有することが「できる」のか、且つ／又は有しては「ならない」のかをユーザに指示する第２のルールセットが、各テンプレート及び各注文について確立される。
【００９２】
たとえば、表１を参照して、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットは、（１）配置テンプレートに入力されるデータは整数で「なければならない」こと；（２）タイトルテンプレートに入力されるデータは文字列とすることが「できる」こと；及び（３）限界寸法テンプレートに入力されるデータは文字列であっては「ならない」ことを要求することができる。したがって、（１）ユーザが配置テンプレートに整数を入力することを要求し；（２）ユーザがタイトルテンプレートに文字列を入力することを可能にし；且つ（３）ユーザが限界寸法テンプレートに文字列を入力することを妨げる、ルールが、配置テンプレートについて確立される。したがって、明らかであるように、本発明のルールによって、ユーザは、特定の標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットによって要求される通りに、適切なタイプの情報及びデータタイプを各テンプレートに確実に入力してフォトマスク注文を生成するようになる。換言すれば、第２のルールセットによって、ユーザは、一定のタイプのデータをテンプレートに入力することしか許可されず、したがって、フォトマスクの注文を行うプロセスで設計エラー及び／又はデータ入力エラーを有する可能性が削減される。
【００９３】
好ましい実施の形態では、本明細書で説明した第１のルールセット及び第２のルールセットは、別個に作成されて記憶される。上述したように、これらのルールは、（たとえば、データベース、オブジェクト指向クラス、ＸＭＬファイル等として）任意の異なる個数の動的フォーマットでシステムの内部又はシステムの外部のいずれかに記憶することができ、その結果、システムは、好み又はユーザ及び／若しくは自動化されたシステムに応じて、任意の個数のプラットフォームで実行するようにすることができる。一方、単一のルールセットが、ユーザ、（第１のルールセットに関して説明したような）完全なフォトマスク注文情報及び（第２のルールセットに関して説明したような）正確なフォトマスク注文情報の双方を保証することを条件として、このような単一のルールセットを作成して記憶できることに留意すべきである。さらに、第１のルールセット及び第２のルールセットは、同様の方法で単一のルールセットとして結合することもできる。
【００９４】
上述したように、本発明は、特定の第１のルールセット及び第２のルールセットを特定のテンプレートに関連付ける機能を含み、フォトマスク注文が、完全且つ正確な様式で確実に生成されるようにする。好ましい実施の形態では、この機能は、半導体製造業者等、フォトマスクの注文を行いたいエンティティのコンピュータにインストールされるソフトウェアベースのアプリケーションの形で提供される。従来技術と異なり、このソフトウェアは、所与のフォトマスク製造業者の製造プロセスに依存しない。逆に、本発明のソフトウェアは、スタンドアロンの安全なアプリケーション、ネットワーク分散アプリケーション、又はウェブベースの「シンクライアント」アプリケーションとして配備することができる。好ましくは、このソフトウェアは、クライアント・サーバシステムで利用され、グラフィカルユーザインターフェース（たとえば、クライアント）が、サーバのデータベースに接続して、そのデータベースからデータを取り出す。いかなる場合においても、本発明のソフトウェアを実行する顧客は、注文を行うのに、フォトマスク製造業者のどの外部ローカルエリアネットワークにもアクセス及び／又はログインを行う必要はない。
【００９５】
本発明のソフトウェアが特定のルールを特定のテンプレートに関連付ける方法を次に説明する。詳細には、テンプレートは、データの階層的な集まりであるので、テンプレートの各要素は、関連するソフトウェアオブジェクトによって解釈される。好ましい実施の形態では、ルールは、ソフトウェアオブジェクト内に組み込まれ、テンプレートに入力されたデータの組み立てを担当する。これらのルールは、アルゴリズム等の制約条件又は命令であり、通常、ソフトウェアオブジェクトの１つ又は複数の属性に関係する。したがって、この仕組みによると、ルール及びテンプレートが互いに適切に関連付けられているので、完全且つ正確なフォトマスク注文を入力することが可能である。
【００９６】
加えて、ルール及びテンプレートを別個に更新する必要がある場合、システムは、好ましくは、その更新を可能にするように構成される。この点に関して、現在の標準フォトマスク注文フォーマットは、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準フォーマットとして知られている。しかしながら、技術的進歩が行われるにつれて、新たな標準フォーマットが、これらの進歩をカバーするために開発される場合があり、したがって、現在のＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準フォーマットに取って代わる場合があることが予想される。加えて、現在、海外のフォトマスク製造業者によって使用される他の多くの国際標準注文フォーマットが存在する。ＳＥＭＩ  Ｐ−１０フォーマットと同様に、これらの国際フォーマットも、時間と共に変化するか、又は取って代わられることが予想される。したがって、本発明のシステムは、これらの変化に対応するようにルール及びテンプレートを更新する能力を提供する。より詳細には、第１のルールセット及び第２のルールセットは、好ましくは、テンプレートのそれぞれとは別個のファイルとして記憶される。テンプレートも、それぞれ別個のファイルとして記憶される。ルール及びテンプレートを別個にしておくことによって、一方に対するどのような修正も、他方に何ら影響を与えない。この点に関して、ルール又はテンプレートが修正される場合、直接の特徴修正（proximate feature modification）によって何も示されない場所の対応する要素に対する、相関関係にあるコードの変更の必要はない。加えて、ルール及びテンプレートを別個に記憶することによって、（たとえば、組み込み要素又は内部ネスト要素に対する予期しない変更が、予期しない障害を引き起こす場合がある）システムの故障の発生の可能性を回避することができる。この点に関して、ルール及びテンプレートが別個に記憶されていない場合、独立した修正が不可能となる。既存のテンプレートは少なくとも数千は存在する可能性があるが、それらのテンプレートのそれぞれは、この場合、新たなルールを含むように個々に修正しなければならない。したがって、容易に分かるように、本発明のシステム及び方法は、どの１つの特定の標準フォーマットに限定されるものではなく、逆に、現在のあらゆる標準フォトマスク注文フォーマット又は新たに開発されるあらゆる標準フォトマスク注文フォーマットの要件に合致するように容易に適合することができる。同様に、顧客は、新たに開発されたもの又は改良された技術に関連するどの変化にも対応するように、その独自の注文フォーマットを変更することができる。
【００９７】
ルールを修正するために、ソフトウェアオブジェクトは、当該ソフトウェアオブジェクトに含まれるルールが、当該ソフトウェアオブジェクトの属性、当該ソフトウェアオブジェクトの子、又はその子に含まれる他のルールの１つ又は複数に影響を与えることができるように確立される。この点に関して、ルールは、一定の指定された属性のみがルールによって影響を受けるように確立される。このように、テンプレートのようなソフトウェアオブジェクトは、実際は階層的であるので、その親及び子の双方を知っている。したがって、子オブジェクトが修正される時はいつでも、その子オブジェクトは、その変更によって影響を受けるエリア、ルール、又は属性をその親に通知する。その結果、ルールの階層内におけるあらゆる場所で行われるあらゆる変更が、ファミリー全体にわたって伝えられる。したがって、ルールは、親のあらゆる子要素の追加又は削除を実行する能力を有する。このように、アプリケーション内において、各オブジェクトは、ソフトウェアのその後のリリースを通じて、個々に更新可能又はアップグレード可能である。加えて、オブジェクトの親は、各タイプの子要素について標準的な集まりを保持する。各タイプの子要素は、テンプレートが構築されている間に追加又は削除することができる。
【００９８】
テンプレートは、注文及びテンプレートの階層への新たな属性及び／又はサブコンポーネントの追加を必要とする標準フォトマスク注文フォーマット及び／又は独自フォトマスク注文フォーマットの修正に応じて修正することもできる。このような場合、影響を受けたコンポーネント及び／又はサブコンポーネントについて、新たな関係が定義され、新たなルールが、既存のルールの図式に動的に追加される。
【００９９】
次に、本発明のこれらの特徴を示すために以下の例を説明する。現在のＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準規格は、フォトマスク注文が、特に、Mask Order[]、Mask Set[]、Mask Definition[]、及びPattern Definition[]を含むことを必要とする。したがって、この要件によれば、次のテンプレートが確立される。すなわち、SemiOrderテンプレート、SemiMaskSetテンプレート、SemiMaskテンプレート、及びSemiPatternテンプレートが確立される。加えて、これらのテンプレートのそれぞれについて、第１のルールセット及び第２のルールセットが確立される。これらのルールセットは、テンプレートのそれぞれにデータを入力しなければならないのか、及び、このようなテンプレートに入力できるデータのタイプを指示する。一方、後の時点において、ＳＥＭＩ  Ｐ−１０標準規格は、ＣＤコンポーネントを必要とする新たな標準規格によって取って代わられる場合がある。したがって、既存のテンプレート（たとえば、SemiPattern）は、たとえば、限界寸法（ＣＤ）コンポーネントを含むように修正を受けて、ＳＥＭＩ  Ｐ１０標準規格の度量衡の態様の修正に合致することができる。加えて、新たなＳＥＭＩ標準規格の新しく追加されたあらゆる態様（たとえば、位置決め）に合致するように、新たなテンプレートを作成することもできる。同様に、すでに存在する第１のルールセット及び第２のルールセットは、現在のＳＥＭＩ  Ｐ１０標準規格の修正されたＣＤコンポーネントの態様に関連する変化に対応するように適合することもできる。加えて、新たなＳＥＭＩ標準規格の新たな位置決め機能に合致するように、第１のルールセット及び第２のルールセットの新たなセットを作成することもできる。
【０１００】
多数のテンプレート、注文、コンポーネント、サブコンポーネント等に含まれる特定のデータエントリーを容易に更新するためのメカニズムとして仕様グレードを使用することもできる。詳細には、本発明の一実施の形態では、仕様グレードファイルは、多くの注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等における今後の更新に望ましいと考えられる特定のデータ又はオブジェクトを含むことができる。さまざまな注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等は、次に、特定のデータを記憶する代わりに、特定のデータの仕様グレードファイルへの参照をその内部に含む。この方法では、これらの参照される特定のデータ又はオブジェクトは、これらの特定のデータ又はオブジェクトを参照するすべての注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等を更新するのではなく、単に仕様グレードファイルを更新するだけで、多数の注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等における更新を行うことができる。
【０１０１】
たとえば、仕様グレードは、所与の時点において特定のフォトマスクの顧客にとって許容可能とみなされる標準的な限界寸法（ＣＤ）線幅を含むことができる。フォトマスク技術は発展し続けているので、許容可能なＣＤ線幅はおそらく変化を被る。仕様グレードを使用することによって、特定のＣＤを指定するそれぞれの注文、テンプレート、コンポーネント、サブコンポーネント等を個々に更新する必要はなく、１つの仕様グレードファイルのみを更新することが可能になり、その後、その仕様グレードファイルを参照するすべてのファイルが、自動的にアップグレードされることになる。フォトマスク注文との関連で仕様グレードとして提供される適切な変数の他の例には、マスクが顧客の仕様を確実に満たすためにフォトマスク製造業者が満たす必要があるマスク属性に関連する測定公差；マスクが顧客の仕様を確実に満たすためにフォトマスク製造業者が満たす必要があるマスク属性に関連する許容可能欠陥率；顧客に払われ、且つ、顧客によって予測される品質レベルを満たさなければならないフォトマスクの製造に関連する材料（基板、薄膜）；価格情報及び支払い／発送情報を含む会計情報；連絡先及び電話番号、マシンのクラス、又はフォトマスクの生産に必要な内部要件若しくは顧客の要件を満たすのに必要とされる特定のマシン等の、顧客サービス情報；データトーン（data tone）、ビーム露光、Ｘ／Ｙ配置情報を含むが、これらに限定されないリソグラフィパターン配置情報；電子メールアドレス、ＦＴＰアドレス、プロトコル、ログインＩＤ及びパスワード、ディレクトリ構造を含むが、これらに限定されないデータ送信情報；並びに、いくつか例を挙げると、基板、薄膜、成形体（compact）、レジスト、及び「Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ａｌｔａ  ３５００」又は「ＫＬＡ  Ｓｔａｒｌｉｇｈｔ」等の製造で使用される独自の機器を含むが、これらに限定されない、フォトマスクの製造に使用される原材料に関連するベンダ特有の情報、が含まれる。
【０１０２】
上述したように、テンプレート又は注文は、コンポーネント、サブコンポーネント、データ等の１つ又は複数の関連するオブジェクトから構成される。たとえば、フォトマスクは、位置決め、タイトル、バーコード等の１つ又は複数の関連する属性オブジェクトを有することができる。仕様グレードを使用する本発明の一実施の形態では、テンプレート又は注文に関連付けることができる１つ又は複数の一意のデータ又はオブジェクトを、エンドユーザが作成することを可能にするためのユーティリティを提供することができる。これらのオブジェクトは、関連付けられた注文及びテンプレートとは別個に記憶される。さらに、これらの別個に記憶されたオブジェクトは、それらの自身のルールセットを有することができる。テンプレート又は注文が作成されると、エンドユーザは、テンプレート又は注文を、ユーティリティで定義されたオブジェクトの一部又は全部に関連付ける許可を受けることができる。テンプレート、注文、又は記憶されたテンプレートから作成される注文が生成されると、そのテンプレート、注文、又は注文を作成するのに使用されたテンプレートに関連付けられているユーティリティに記憶されたすべてのオブジェクト情報は、参照データとみなすことができ、テンプレート、注文、又は注文を作成するのに使用されたテンプレートに適用することができる。参照オブジェクト情報は、アプリケーションのセキュリティモジュールにおいてエンドユーザに割り当てられた「役割及び担当」に基づいて更新することもできるし、削除することもできる。たとえば、経験の少ないエンドユーザがユーティリティに記憶された参照データを上書きすることを禁止することができる。他方、経験豊かなユーザは、参照データを修正する許可を受けることができる。
【０１０３】
本発明の別の態様は、当該態様が、（１）データが含まれる、すでに存在するテンプレートから新たな注文にデータを融合すること、（２）データが含まれる、すでに存在する注文から新たな注文にデータを融合すること、（３）すでに存在するテンプレート及び注文から、新たな注文にデータを融合すること、又は、（４）すでに存在する注文、テンプレート、コンポーネント、及び／若しくはサブコンポーネントから新たな注文にデータを融合すること、によって新たなフォトマスク注文を生成する能力を提供することである。この点に関して、ユーザが、テンプレート内にデータを入力する時又は注文を作成する時はいつでも、このようなテンプレート及び／又は注文は、本発明のシステムに保存される。さらに、上記で解説したように、コンポーネント及びサブコンポーネントは、本発明のシステムにおいて、注文又はテンプレートとは別個に記憶することができる。その後、ユーザは、すでに存在するテンプレート、注文、コンポーネント、及び／又はサブコンポーネントにアクセスすることができ、そこに保存されたデータを使用して新たな注文を生成することができる。本発明のシステムのユーザに、すでに存在する注文、テンプレート、コンポーネント、及び／又はサブコンポーネントからのデータを融合する能力を提供することによって、フォトマスク注文データを入力するためのプロセスは、大幅に削減され、それによって、フォトマスク注文を製造するのに要する全体の時間が削減される。データを注文に融合するための４つの方法のそれぞれを以下に説明する。
【０１０４】
一実施の形態では、既存のテンプレート（複数可）から新たな注文を作成するために、ユーザは、新たなブランクの注文を作成するように促される。次に、ユーザは、前のフォトマスク注文から作成されて保存されたテンプレート及び／又は注文を選択する選択肢を提供される。新たな注文から製造されるフォトマスクのタイプに応じて、ユーザは、リレーショナルデータベースに記憶された最適なテンプレート（複数可）を選択してロードする。選択されたテンプレートは、前に入力されたデータと共にユーザに表示される。テンプレート内のヌルでない各オブジェクト（たとえば、オブジェクトがデータを含む）について、ユーザは、前に入力されたデータを新たな注文内へ選択することもできるし、このデータを新たなデータで上書きすることもできる。加えて、テンプレート内の特定のオブジェクトがヌルである（たとえば、そのオブジェクトがすでに空である）限り、ユーザは、そのオブジェクト内に適切なデータを入力することができる。次に、この注文について確立されたルールが、上述したように機能して、データが正確且つ完全に入力されることを確実にする。その後、ソフトウェアは、この情報を処理し、この情報に基づいて新たな注文を生成する。
【０１０５】
すでに存在する注文から新たな注文を作成するためのプロセスは、すでに存在するテンプレートから新たな注文を作成するプロセスと同様である。この実施の形態では、既存の注文（複数可）から新たな注文を作成するために、ユーザは、新たなブランクの注文を作成するように促される。次に、ユーザは、前のフォトマスク注文から作成されて保存されたテンプレート及び／又は注文を選択する選択肢を提供される。新たな注文から製造されるフォトマスクのタイプに応じて、ユーザは、リレーショナルデータベースに記憶された関連する注文（複数可）を選択してロードする。選択された注文は、前に入力されたデータと共にユーザに表示される。注文内のヌルでない各オブジェクトについて、ユーザは、前に入力されたデータを新たな注文内へ選択することもできるし、このデータを新たなデータで上書きすることもできる。加えて、注文内の特定のオブジェクトがヌルである限り、ユーザは、そのオブジェクト内に適切なデータを入力することができる。次に、この注文について確立されたルールが、上述したように機能して、データが正確且つ完全に入力されることを確実にする。その後、ソフトウェアは、この情報を処理し、この情報に基づいて新たな注文を生成する。
【０１０６】
さらに別の実施の形態では、既存のテンプレート（複数可）及び注文（複数可）の双方から新たな注文を作成するために、ユーザは、新たなブランクの注文を作成するように促される。次に、ユーザは、前のフォトマスク注文から作成されて保存されたテンプレート及び／又は注文を選択する選択肢を提供される。新たな注文から製造されるフォトマスクのタイプに応じて、ユーザは、リレーショナルデータベースに記憶された関連するテンプレート（複数可）を選択してロードする。選択されたテンプレートは、前に入力されたデータと共にユーザに表示される。注文内のヌルでない各オブジェクトについて、ユーザは、前に入力されたデータを新たな注文内へ選択することもできるし、このデータを新たなデータで上書きすることもできる。加えて、テンプレート内の特定のオブジェクトがヌルである限り、ユーザは、そのオブジェクト内に適切なデータを入力することができる。次に、この注文について確立されたルールが、上述したように機能して、データが正確且つ完全に入力されることを確実にする。加えて、前に保存された注文を同じ注文に融合することもできる。この点に関して、ユーザは、リレーショナルデータベースに記憶された、前に行った注文（複数可）を選択してロードすることができる。選択された注文は、前に入力されたデータと共にユーザに表示される。注文内のヌルでない各オブジェクト（たとえば、オブジェクトがデータを含む）について、ユーザは、前に入力されたデータを新たな注文内へ選択することもできるし、このデータを新たなデータで上書きすることもできる。加えて、注文内の特定のオブジェクトがすでに空である限り、ユーザは、そのオブジェクト内に適切なデータを入力することができる。次に、この注文について確立されたルールが、上述したように機能して、データが正確且つ完全に入力されることを確実にする。適切なテンプレート及び注文のすべてが新たな注文に一旦融合されると、ソフトウェアは、この情報を処理し、この情報に基づいて新たな注文を生成する。
【０１０７】
また、前の注文又はテンプレートの既存のコンポーネント及び／又はサブコンポーネントを新たなフォトマスク注文又はテンプレート内にインポートすることもできる。たとえば、支払い及び／又は発送先住所に関係した既存のコンポーネント及び／又はサブコンポーネントを注文又はテンプレートに適用することができる。加えて、アプリケーション内で定義された１つ又は複数の一意の仕様グレードを新たな注文又はテンプレートに融合することもできる。
【０１０８】
今や本発明の好ましい実施の形態を詳細に図示して説明してきたので、これらの好ましい実施の形態に対するさまざまな修正及び改良は、当業者には直ちに明らかになる。したがって、本発明の精神及び範囲は、広く解釈されるべきであり、上記明細書ではなく添付の特許請求の範囲のみによって限定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】従来技術のブランクのフォトマスク又は未現像のフォトマスクを表す図である。
【図２】部分的に処理された後の図１のフォトマスクを表す図である。
【図３】完全に処理された後の図１及び図２のフォトマスクを表す図である。
【図４】処理されたフォトマスクを使用して半導体ウェハを作製又は処理する方法を示すフローチャートである。
【図５】ウェハステッパを使用して半導体を作製するプロセスを示す図である。
【図６】本発明の例示的な一実施の形態によるフォトマスク注文生成システムを示す図である。
【図７】本発明と共に使用されて、指定されたデータを入力するようにユーザを案内するグラフィカルユーザインターフェースの一例を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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