(57)【要約】電子銃(1)は、エミッタ(2)、管状の支持体(3)、および、エミッタを収容するためのアダプタ(4)を含んでいる。アダプタは、先細り状の差込み表面(7)を含んでおり、また、管状の支持体は、差込み表面の収容のために、対応して先細り状とされた着座面(9)を含んでいる。差込み表面と着座面は、支持体により同心的にアダプタの位置を決めるのを支援する円錐形の側面形状を有している。【選択図】図１
2008502100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子銃であって、以下を含む:
エミッタ;
前記エミッタを収容するためのアダプタ、前記アダプタは円錐台形の形状とされた差込み表面を有しており;
および支持体、前記支持体は、対応する円錐台形の形状にされた着座面を有しており;
ここで、前記アダプタは、前記エミッタを収容し、そして、前記支持体が前記アダプタを収容するとき、前記差込み表面は、前記着座面と組み合わせられる。
【請求項２】
請求項1による銃であって、ここで、前記エミッタは、前記アダプタに挿入されている。
【請求項３】
請求項1あるいは2による銃であって、ここで、前記エミッタは、前記アダプタの開口端から突出している。
【請求項４】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記支持体が前記アダプタを収容するときには、前記アダプタの内部表面は前記エミッタの外部表面をつかんでいる。
【請求項５】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記差込み表面は、前記アダプタの外部表面であり、前記着座面は、前記支持体の内部表面である。
【請求項６】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記エミッタは、前記支持体における空洞の領域内に位置する。
【請求項７】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記支持体は管状となっている。
【請求項８】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記アダプタの、円錐台形の形状とされた差込み表面には、指部分を提供するためにスロットが入れられている。
【請求項９】
請求項8による銃であって、ここでは、前記指部分が、それぞれに弱い継ぎ目を含んでおり、それは、指部分が弾力的に内へあるいは外に移動することを可能にする。
【請求項１０】
前記したいずれかの請求項による銃において、電極を含んでいる銃。
【請求項１１】
前記したいずれかの請求項による銃において、開口を有する電極を含んでおり、ここで、前記開口および前記支持体は同心となっている。
【請求項１２】
前記したいずれかの請求項による銃であって、前記支持体に収容された電極を含む銃。
【請求項１３】
前記したいずれかの請求項による銃であって、以下を含む:
電極;
および、前記電極を収容するための他のアダプタ
ここで、前記電極は、円錐台形の形状にされた差込み表面を有しており、前記アダプタは、対応する円錐台形の形状とされた着座面と、円錐台形の形状とされた差込み表面とを有しており、
そして、前記支持体は、他の、円錐台形の形状とされた着座面を有しており、
そして、前記他のアダプタが前記電極を収容するときには、前記差込み表面は、前記着座面と組み合わされ、そして、前記支持体が前記電極を収容するときには、前記差込み表面は、前記他の着座面と組み合わされる。
【請求項１４】
請求項13による銃であって、ここで、前記電極の前記差込み表面は、前記電極の外部表面であり、そして、前記他のアダプタの前記着座面は、前記他のアダプタの内部表面である。
【請求項１５】
請求項13あるいは14による銃であって、ここで、前記他のアダプタの前記差込み表面は、前記他のアダプタの外部表面であり、そして、前記支持体の前記着座面は、前記支持体の内部表面である。
【請求項１６】
請求項13,14あるいは15のうちの任意の1つによる銃であって、ここで、前記電極は、前記支持体における空洞の領域内に位置している。
【請求項１７】
請求項13〜16のうちの任意の1つによる銃であって、ここで、前記支持体における1つの円錐台形に形成された着座面は、他方に対して反転されている。
【請求項１８】
請求項1〜17のうちの任意の1つによる銃であって、ここで、前記支持体における、前記円錐台形の形状にされた複数の着座面は、同心となっている。
【請求項１９】
前記したいずれかの請求項による銃であって、ここで、前記アダプタは、支持体および/またはエミッタよりも大きな熱膨張率を有する材料から形成されている。
【請求項２０】
荷電粒子銃であって、以下を含む:
エミッタ;
前記エミッタを収容するためのアダプタ、前記アダプタは、第1の組み合わせ表面を有しており;
および支持体、前記支持体は、対応する組み合わせ表面を有しており;
ここで、前記アダプタは、前記エミッタを収容しており、そして、前記支持体が前記アダプタを収容するときには、複数の前記表面が組み合わされる。
【請求項２１】
請求項20による銃であって、ここで、複数の前記表面は先細り状となっている。
【請求項２２】
請求項20あるいは21による銃であって、ここで、複数の前記表面は、円錐台形の形状とされている。
【発明の詳細な説明】
【本発明の技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子銃、特にしかし排他的でなく、電子ビーム露光装置で使用するための電子銃に関係している。
【背景技術】
【０００２】
冷陰極電界放出型電子銃（cold field emission electron gun）または熱陰極電界放出型電子銃（thermal field emission electron gun）は、典型的には、約1μmあるいはそれ以下の半径を有するチップ、および、約300-700μmの直径を有する開口を備えた電極を含む。十分に高いバイアスがチップと電極との間に印加される場合、十分に高い電界がチップで生成され、そこから電子が抽出され、電子ビームが生成される。
【０００３】
チップと開口は、注意深く、横方向において位置あわせされ、かつ、垂直方向に間隔を置いて配置される必要がある。それらが適切に位置あわせされない場合、生じる電子ビームの収差が悪化し、光学軸（optical axis）が誤って調整されることがある。それらが適切な間隔で配置されない場合、電子の抽出は、使用可能な電圧では生じないことになる。
【０００４】
そのチップは、エミッタと呼ばれるユニットで提供されており、それは、商業上得ることができるか、組織内で作られる。FEIカンパニー(TM)アメリカ、およびDenka(TM)日本からのもののような商業上利用可能なエミッタは、円筒状のハウジング、およびチップ(ハウジングの端面の中心にある開口を通って突出する)を備えている。
【０００５】
電子銃はエミッタと電極から構成される。エミッタと電極とは、それらが電子ビームシステムへ組み立てられるか、あるいは、組み立てられた電子ビームシステムで本来の場所に位置あわせされる前に、位置あわせされることができる。
【０００６】
エミッタと電極とが、それらが電子ビームシステムへ組み立てられる前に位置あわせされる場合は、エミッタは、電極の上方における移動可能なステージに据え付けられる。熟練した専門家は、顕微鏡による支援を用いて、開口を備えたエミッタを位置あわせする。一旦エミッタのチップおよび開口が位置合わせされたことに専門家が納得すれば、彼または彼女は、支持体におけるエミッタおよび電極を固定する。その後、ステージを削除することができる。
【０００７】
エミッタと電極とが、電子ビームシステムにおける本来の場所に位置あわせされる場合、エミッタは、移動可能なステージに据え付けられる。エミッタと開口とは、エミッタを移動させてビームを監視することにより、位置あわせされる。
【０００８】
両方のタイプの銃は、位置あわせのために、かなりの量の時間および技術を要する。さらに、エミッタと電極とが本来の場所に位置あわせされる場合、移動可能なステージは、銃システムの一部を成形し、それにより、その複雑さを増加させる。
【０００９】
本発明は、荷電粒子銃を提供しようとするものである。
【発明の要約】
【００１０】
本発明によれば、エミッタと、前記エミッタを収容するためのアダプタ（ここで前記アダプタは円錐台形の形状とされた差込み表面を有している）と、支持体（ここで前記支持体は、対応する円錐台形の形状にされた着座面を有している）とを含む荷電粒子銃が提供される。ここで、前記アダプタは、前記エミッタを収容し、そして、前記支持体が前記アダプタを収容するとき、前記差込み表面は、前記着座面と組み合わせられる。
【００１１】
前記エミッタは、前記アダプタに挿入されることができる。また、前記エミッタは、前記アダプタの開口端から突出することができる。前記支持体が前記アダプタを収容するときには、前記アダプタの内部表面は前記エミッタの外部表面をつかむ（grip）ようにすることができる。前記差込み表面は、前記アダプタの外部表面であることができる。また、前記着座面は、前記支持体の内部表面であることができる。前記エミッタは、前記支持体における空洞の領域内に位置することができる。前記支持体は管状であることができる。前記アダプタにはスロットを入れることができる。
【００１２】
銃は電極を含むことができる。銃は抽出器（extractor）かもしれない。銃は開口を有する電極を含むことができ、ここで、前記開口及び前記支持体は同心である。電極は支持体に収容されうる。
【００１３】
銃は電極および前記電極を収容するための他のアダプタを含むことができる。ここで、前記電極は、円錐台形の形状にされた差込み表面を有しており、前記アダプタは、対応する円錐台形の形状とされた着座面と、円錐台形の形状とされた差込み表面とを有しており、そして、前記支持体は、他の、円錐台形の形状とされた着座面を有しており、そして、前記他のアダプタが前記電極を収容するときには、前記差込み表面は、前記着座面と組み合わされ、そして、前記支持体が前記電極を収容するときには、前記差込み表面は、前記他の着座面と組み合わされる。
【００１４】
前記電極の前記差込み表面は、前記電極の外部表面であることができる。そして、前記他のアダプタの前記着座面は、前記他のアダプタの内部表面であることができる。前記他のアダプタの前記差込み表面は、前記他のアダプタの外部表面であることができる。そして、前記支持体の前記着座面は、前記支持体の内部表面であることができる。前記電極は、前記支持体における空洞の領域内に位置していることができる。前記支持体における1つの円錐台形に形成された着座面は、他方に対して反転されていることができる。前記支持体における、前記円錐台形の形状にされた複数の着座面は、同心であることができる。前記アダプタは、支持体および/またはエミッタよりも大きな熱膨張率を有する材料から形成されることができる。
【００１５】
円錐台形の形状とされた、前記アダプタの差込み表面は、スロットが形成されて、指部分を提供することができる。前記指部分は、それぞれに弱い継ぎ目を含むことができる。それは、指部分が弾力的に内へあるいは外に移動することを可能にする。
【００１６】
本発明によれば、エミッタと、エミッタを収容するためのアダプタと、ここで前記アダプタは、第1の組み合わせ表面を有している、支持体と、ここで前記支持体は、対応する組み合わせ表面を有している、を含む荷電粒子銃がさらに提供される。ここで、前記アダプタは、前記エミッタを収容しており、そして、前記支持体が前記アダプタを収容するときには、複数の前記表面が組み合わされる。
【００１７】
複数の前記表面は先細り状であってもよく、また、円錐台形の形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
本発明の一実施形態を、添付の図面を用いて、例示として以下に説明する。ここにおいては：
【図１】図1は、本発明による電子銃の一実施形態における分解斜視図である;
【図２】図2は、図1に示される、組み立てられた電子銃の、長さ方向に沿う断面図である;
【図３】図3は、図1に示される、支持体、アダプタ及び電極の下側部分における断面図である;
【図４】図4は、図1に示される、支持体、アダプタおよびエミッタの上側部分における断面図である;
【図５】図5は、エミッタと電極との間の間隔を決定するために得られる測定を例示するものである;
【図６】そして、図6aおよび6bは、エミッタの幅における変化に伴う、着座の高さの変化を例示するものである。
【発明の詳細な説明】
【００１９】
電子銃1
図1および2を参照して、本発明による電子銃1の一実施形態が示される。電子銃1は、熱陰極電界放出型電子銃であって、エミッタ2、支持体3、第1のアダプタ4、電子を抽出するための電極5および第2のアダプタ6を含む。
【００２０】
第1及び第2アダプタ4、6は、各々差込み（plug）として役立ち、それぞれの差込み表面7、8を有している。支持体3は一般に管状であり、第1と第2アダプタ4、6をそれぞれ収容するために、第1と第2着座面9、10の形態で、1組の座席を提供する。
【００２１】
エミッタ2は、外部の表面11があるインサートとして役立つ。また、第1のアダプタ4はエミッタ2を収容するために、内部表面12の形態で、スロットを提供する。
【００２２】
電極5は差込みとして役立ち、差込み表面13を有する。第2のアダプタ6は、電極5を収容するために、着座面14の形態で座席を提供する。
【００２３】
エミッタ2の第1の端15は、アダプタ4の第1の開口端16(この場合下端)経由で第1のアダプタ4に挿入される。内側方向に放射するフランジ17は、アダプタ4の第2の開口端18に備えられている。エミッタ2は、アダプタ4の第1の開口端16から突出する。以降においてより詳細に説明されるであろうが、エミッタ2は、アダプタ4の内部表面12によってつかまれ、それは、1本以上のねじ(示されない)によってさらに固定されるかもしれない。
【００２４】
端子19は、アダプタ4の第2の開口端17を通って、エミッタ2の第1の端15から伸びる。エミッタ2の第2の端20は、円錐台形状（frusto-conically）の形状とされており、中央の開口21(チップ22はそれを通って突出する)を有している。チップ22は電子ビーム(示されない)のための源である。
【００２５】
差込み表面7が第1の着座面9に組み合わせられる（mates with）まで、第1のアダプタ4は、エミッタ2と一緒に、支持体3の第1の開口端23(この場合上部の端)を介して支持体3に挿入される。
【００２６】
第1のアダプタ4の差込み表面7は、円錐台形の形状とされている。また、支持体3の第1の着座面9は、同様に円錐台形の形状とされている。したがって、支持体3に挿入された時、第1のアダプタ4は、支持体3の第1の空洞の領域24に位置する。
【００２７】
差込みおよび着座の面7、9は、支持体3によって同心的に第1のアダプタ4の位置を決めることを支援する円錐形の側面形状を持っている。
【００２８】
さらに、エミッタ2は、電極5に対する所定の位置(この場合与えられた高さ)となるように配置されることができる。電極5からエミッタ2までの間隔をとる過程は、以降においてより詳細に説明される。
【００２９】
電極5の差込み表面13が、アダプタ6の着座面14に組み合うまで、電極5の第1の端25(この場合エミッタから離れた下流に面する下端)は、第2のアダプタ6の第1の端26(つまりエミッタに面する、上部の端)経由で、第2のアダプタ6に挿入される。差込み表面8が、支持体3の第2の着座面10に組み付けられるまで、アダプタ6の第1の端26は、支持体3の第2の開口端27(この場合は下あるいは下流の端)を介して支持体3に挿入される。
【００３０】
第2のアダプタ6の差込み表面8は、円錐台形の形状にされている。また、支持体3の第2の着座面10は、同様に円錐台形にされており、支持体3の第1の着座面9に対して逆さまの形状にされている。したがって、挿入された時、第2のアダプタ6は支持体3の第２の空洞の領域28にとどまる。
【００３１】
第1および第2の着座面9、10は、支持体3内において同心的に配置される。したがって、アダプタ4、6を使用して、支持体3で組み立てられた時、エミッタ2および開口5も同心的に配置される。さらに、銃1は、第2のアダプタ6に電極5を置き支持体に第2のアダプタ6を挿入することにより部分的に組み立てることができる。部分的に組み立てられた銃のディメンションが測定される場合は、エミッタ2および開口5が、与えられた間隔によって分離されるように、第1のアダプタ4を配列することができる。
【００３２】
この例においては、表面が、容易かつ正確に、最小の横断面偏心率および一定の縦のテーパーにおいて（with minimal transverse section eccentricity and uniform longitudinal taper）機械加工されうるので、円錐形の側面形状が使用される。しかしながら、他の環状対称な側面形状（circularly symmetric profiles）も、放物線又は半球の側面のように、使用されることができる。代わりに、他の回転対称な側面（rotationally symmetric profiles）も、多角形に基づいたピラミッド形の側面のように、使用されることができる。さらに、側面形状は段のあるもの（stepped）かもしれない。
【００３３】
エミッタ2では、チップ22は、1μm未満の半径を有している。チップ22はタングステンを含み、タングステン・ヘアピン（tungsten hairpin）を含むフィラメント29に溶接される。フィラメント29は、電気的に絶縁性のベース31内に保持された1組の電気的に伝導性のポスト30に据え付けられており、ベース31は、ハウジング32に取り付けられている。ハウジング32は、円筒状の外部表面(すなわち表面11)を有している。ハウジング32は、モリブデンのような固い、電気的に伝導性の材料から作られる。前記したように、エミッタの第2の端20は円錐台形に形状にされており、抑圧キャップ（suppressor cap）として役立つ。第2の端20は、約300-700μmの直径を有する中央の開口21を備えており、これは、円筒状の整列表面（aligning surface）11と同心となっており、それを通ってチップ22が突出している。エミッタは、19mmの長さおよび17mmの直径を持っている。エミッタ2は熱電界放出エミッタであり、FEI会社(TM)アメリカあるいはデンカ(TM)日本から商業上得ることができる。しかしながら、エミッタ2は冷間の電界放出エミッタを提供するかもしれない。
【００３４】
支持体3は、アルミナのような電気的に絶縁する材料から形成される。しかしながら、他のセラミックスが使用されてもよい。代わりに、その支持体は電気的に導電性の材料、例えばモリブデンから形成されるかもしれない。支持体3は、長さ35mmであり、そして幅およそ31mmである。
【００３５】
第1のアダプタ4は、第1の端16から第2の端18に向けて、縦にスロットが入れられており、これにより、縦方向の指部分33が確定されており、これは、輪部分34から垂れ下がって（depend from）いる。指部分33には、各々、弱い継ぎ目35が供給される。それは、指部分33が、内へあるいは外に移動するか蝶番で弾力的に動くことを可能にする。内部表面12の直径は、エミッタ2のハウジング32の測定された直径に相当し、ハウジング32の直径とこの場合等しい。第1のアダプタ4は、固く、電気的に伝導する材料、例えばモリブデンから形成される。しかしながら、それは、固く、電気的に絶縁する材料、例えばセラミックにより成形されるかもしれない。第1のアダプタ4は長さ14mmである。
【００３６】
代わりに、エミッタ2およびアダプタ4のハウジング32が、異なる材質から形成される場合には、異なる熱膨張率を許容するために、表面12の直径は、第1の相対的な低温(例えば室温)におけるハウジング32の直径より大きいものに調整されてもよいが、第２の相対的な高温（例えば、期待され、モデル化され、あるいは測定された動作温度）における場合は実質的に等しくなるように設定される。
【００３７】
電極5は、中央の開口37を持つ閉じた端面36、および、空胴38を含んでいる。開口37は、約10μmの直径を持っており、差込み表面12と同心である。電極5は電気的に伝導する材料、例えばモリブデンから形成される。電極5は、10mmの長さおよび8mmの直径を有している。
【００３８】
アラインメントの目標は、共通の「光学の」軸38に沿って、チップ22と開口36の中心とを並べることである。したがって、使用においては、電子ビーム(示されない)は、開口37を通って空胴38の中へ向けて、および、電極5の端25を通って電子ビームシステムの残部(示されない)へ向けて、光学軸39に沿って進む。
【００３９】
第2のアダプタ6は、モリブデンまたはチタンのような、電気的に伝導する材料から形成される。しかしながら、それは、固く、電気的に絶縁する材料から形成されるかもしれない。アダプタは、7mmの長さを有している。
【００４０】
前記したように、第2のアダプタ6は、電極5を収容するものであり、そして、さらには、支持体3に収容されるためのプラグ（差し込み）として役立つ。しかしながら、電極5および支持体3は、「第2のアダプタ6を用いずに、電極5が支持体3により収容される」という構成であってもよい。
【００４１】
組立て
電子銃1は、3つの段階で組み立てられる。第1に、電子銃1は、第2のアダプタ6の中に電極5を挿入し、さらに支持体3の中に第2のアダプタ6を挿入することにより、部分的に組み立てられる。第2に、エミッタの表面20と電極35の表面の間の正確な間隔を提供するために、部分的に組み立てられた銃は、既知の寸法のテスト・エミッタを任意に使用して、測定され、あるいは較正される。第3に、エミッタ2は、第1のアダプタ4に挿入され、そして、第1のアダプタ4は、支持体3に挿入される。
【００４２】
較正は、間隔をあける作業を簡易化する。たとえ、エミッタ2が、異なる径の別のエミッタと取り替えられるとしても、直径における変動は、較正ファクターを使用して適応されうる。
【００４３】
部分的な組立て
図3を参照して、電極5および第2アダプタ6の差込みおよび着座の面13、14における傾斜θ1、θ2は、実質的に同一となるように調整される。同様に、第2のアダプタ6および支持体3の差込みおよび着座の面8、10における傾斜θ3、θ4は、実質的に同一となるように調整される。
【００４４】
電極5の閉じた端面35が、与えられた位置(この場合与えられた高さ)で、あるいは位置(高さ)の与えられた範囲内に位置するように、着座面14の最大の直径φa、および第2のアダプタ6の差込み表面8の最小の直径φbが調整される。同じ結果に到達するために、第1の電極の差込み表面13の最小の直径および(または)支持体3の着座面10の最大の直径が調整されるかもしれない。
【００４５】
電子銃1は、第2のアダプタ6内に電極5を挿入し支持体3内に第2のアダプタ6を挿入することにより部分的に組み立てられる。
【００４６】
部分的に組み立てられた銃の測定/較正
図4を参照して、第1のアダプタ4および支持体3における、差込み及び着座の面7、9の傾斜θ5、θ6は、実質的に同一となるように調整される。
【００４７】
図5を参照して、テスト・エミッタ2'を使用する較正のプロセスを実行することができる。
【００４８】
テスト・エミッタ2'の長さaおよび直径φが測定される。電極5の表面36と支持体3の開口端23との間の長さbが測定される。
【００４９】
テスト・エミッタ2'は第1のアダプタ4に挿入され、さらに、第1のアダプタ4は支持体3に入れられる。
【００５０】
エミッタ2'の第1の端15'とアダプタ4の端18との間の長さcが測定される。アダプタ4の端18と支持体3の開口端23との間の長さdが測定される。
【００５１】
したがって、電極5の表面36とエミッタ2'の第2の端との間の長さeは、以下の関係を利用して決定することができる:
【００５２】
e = b - (a + c + d) (1)
【００５３】
上記の方程式(1)はcを与えるために整理し直すことができる:
【００５４】
c = b - (a + d + e) (1')
【００５５】
長さeは、目標値L(例えば600μm)に設定することができ、したがって、cに対する値を導き出す。つまりc=Mである。したがって、テスト・エミッタ2'がc=Mとなるように調整される場合には、e=L=600μmである。
【００５６】
図6aおよび6bを参照して、エミッタ2は、テスト・エミッタ2'の直径φとは異なる直径φ'を有しているかもしれない。しかしながら、アダプタ4は、異なる直径を有するエミッタ2を提供することができる。アダプタ4の指部分33が内へあるいは外に移動することができる場合は、これを達成することができる。アダプタの指部分33が、例えば内へ移動する場合には、より小さな直径φ' < φを有するエミッタ2を保持するために、アダプタ4は異なる直径を有する。したがって、アダプタ4は、異なる高さで（この例では支持体3に関してより低く）位置する。補償するために、エミッタ2の第1の端15とアダプタ4の端18との間の長さ c'を変更することができる。
【００５７】
直径における変動を補うために、較正ファクターkも、eの任意の値(例えばe=M=600μm)のために決定されるかもしれない。これは、差込みと着座の面7, 9の傾斜θの機能として理論上決定されるか(つまりθ=θ5=θ6)、あるいは、少なくとも2つのエミッタ(各々異なる直径φを持つ)のために長さa, b および dを測定することにより経験的に決定される。
【００５８】
したがって、e=Mを与えるc*の値は次のものを使用して決定することができる:
【００５９】
c* = kφ' (2)
【００６０】
したがって、一旦、較正ファクターkが見つかると、エミッタ2は、その長さa'およびその直径φ'の測定ならびにc'の調節（たとえばc' = c*となるように）により提供されるかもしれない。これにより、組み立てられたときには、エミッタ2および電極5は、e' = e = M = 600 μmの間隔を置いて配置される。
【００６１】
寸法a', b', d'が較正ファクターkを決定せずに、エミッタ2のために測定されるかもしれないし、与えられた間隔e' = M(例えばM=600μm)によってエミッタ2および電極5が分離されることを保証するために、上記の方程式１’を（a = a', b = b', c = c', d = d' および e = e'として使用して）、c'に対する値を直接導き出すかもしれないことが認識されるだろう。
【００６２】
組立ての完了
電子銃1の組立ては、前記された方法のうちのいずれかによって、所望のギャップ・サイズe' = Mを達成するように、第1のアダプタ4にエミッタ2を挿入し、決定されたc'を調節することにより、そして、支持体3に第1のアダプタ4を挿入することにより、完了する。c'が固定することを保証するために、エミッタ2およびアダプタ4は、1本以上のねじを使用して据え付けられるか、あるいは、支持体3へアダプタ4を挿入する間に配置状態を保持される。
【００６３】
高さ調整が要求されない場合、固定したアダプタが使用されてもよいことが認識されるだろう。
【００６４】
上に記述された実施例に対して多くの変更がなされるかもしれないことは認識されるだろう。例えば、電極はアノードかもしれない。荷電粒子銃は熱電子放出電子銃かもしれない。荷電粒子銃はイオン銃かもしれない。
【図１】
2008502100.tif 000003
【図２】
2008502100.tif 000004
【図３】
2008502100.tif 000005
【図４】
2008502100.tif 000006
【図５】
2008502100.tif 000007
【図６】
2008502100.tif 000008
【国際調査報告】
2008502100.tif 000009
2008502100.tif 000010