(57)【要約】  スケール（２）用の保持具は、担持体（４）と、スケール（２）に沿ってスケール（２）の両側に配置された複数の固定要素（１０）とから成る。担持体（４）と固定要素（１０）の間に、それぞれ撓み継手（２０）が配置されており、この撓み継手が、固定要素（１０）を、したがってスケール（２）を、測定方向Ｘに変位可能に担持体（４）に連結する。
2008545978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
担持体（４，４．１，４．２）と、
スケール（２，２．１）を測定方向Ｘに変位可能に担持体（４，４．１，４．２）に支承可能な、スケール（２，２．１）の第１の長手側面（Ｌ１）と担持体（４，４．１，４．２）の間の結合部としての撓み継手（２０，２０．１，２０．２）とを備えたスケール（２，２．１）用の保持具において、
スケール（２，２．１）を測定方向Ｘに変位可能に担持体（４，４．１，４．２）に支承可能な、スケール（２，２．１）の第２の長手側面（Ｌ２）と担持体（４，４．１，４．２）の間の結合部としてのさらなる撓み継手（２０，２０．１，２０．２）を備え、第２の長手側面（Ｌ２）と第１の長手側面（Ｌ１）が、互いに向かい合って配置されていることを特徴とする保持具。
【請求項２】
撓み継手（２０，２０．１，２０．２）が各々、測定方向Ｘに垂直に延びる少なくとも１つの桁材（２１，２２，２１．１，２２．１）から成ることを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項３】
撓み継手（２０，２０．１，２０．２）が、担持体(４.１)に接して一体的に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の保持具。
【請求項４】
撓み継手（２０，２０．２）がスケール（２）の平面内でスケール（２）の横に配置されている、スケール（２）を備えた記請求項１〜３のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項５】
撓み継手（２０．１）がスケール（２，２．１）の下の平面内に配置されている、スケール（２）を備えた請求項１から３のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項６】
撓み継手（２０，２０．１，２０．２）が各々、１つの固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）を有しており、前記固定要素を介して各々スケール（２，２．１）との結合が作成可能であり、その際、固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）のうちの２つが、各々スケール（２，２．１）の両方の長手側面（Ｌ１，Ｌ２）に互いに向かい合って配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項７】
固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）が、スケール（２，２．１）を力結合によって保持するために形成されていることを特徴とする請求項６に記載の保持具。
【請求項８】
固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）が、スケール（２，２．１）のための支持台（１１，１１．１）と、スケール（２，２．１）を前記支持台（１１，１１．１）に押し付けるための対向要素（１２，１２．１，１５）とを有することを特徴とする請求項７に記載の保持具。
【請求項９】
対向要素が湾曲ばね(１２、１２.１)であることを特徴とする請求項８に記載の保持具。
【請求項１０】
互いに向かい合って配置された固定要素（１０）の少なくとも１つがストッパ（１３）を有しており、スケール（２）が、測定方向Ｘに延びるその第１の長手側面（Ｌ１）で、前記ストッパに接触可能であることを特徴とする請求項６〜９のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項１１】
互いに向かい合う固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）が、測定方向Xを横切る力の成分Ｙによってスケール（２，２．１）を挟持することを特徴とする請求項７〜１０のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項１２】
互いに向かい合って配置された固定要素（１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）の少なくとも１つが、対向する固定要素（１０，１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）の方向に向いた締付け力をスケール（２，２．１）にかけるように形成されていることを特徴とする請求項１１に記載の保持具。
【請求項１３】
湾曲ばね（１２．１）が、スケール（２）を支持台（１１）に押付け可能な少なくとも１つのアーム（１５，１６）を有し、かつスケール（２）を対向する固定要素（１０）の方向に押付け可能なさらなるアーム（１７）を有することを特徴とする請求項９または１２に記載の保持具。
【請求項１４】
スケール（２，２．１）の第１の長手側面（Ｌ１）側の固定要素（１０）が、スケール（２，２．１）の第１の長手側面（Ｌ１）用の、支持台（１１）および測定方向Ｘを横切る方向に働くストッパ（１３）を形成しており、対向する固定要素（１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）が、スケール（２，２．１）を前記ストッパ（１３）のＹ方向に押し付けるように形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の保持具。
【請求項１５】
さらなる固定要素（１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）のストッパ面（１９）が、更に撓み継手（１８，１８．１，１８．２）を介して、測定方向Ｘを横切る方向に移動可能であることを特徴とする請求項１２に記載の保持具。
【請求項１６】
さらなる固定要素（１０．１，１０．２，１０．３，１０．４）のストッパ面（１９）が、取付け装置（３０）を用いて、両方の向かい合う固定要素（１０，１０．３）の間にスケール（２．１）を挿入するためにさらなる撓み継手(１８)が引っ張られて変位される位置に移動可能であり、取付け装置（３０）を取り外すと、ストッパ面（１９）が第２の位置に跳ね返って、この位置でスケール（２，２．１）を締め付けて保持することを特徴とする請求項１５に記載の保持具。
【請求項１７】
スケール（２）の測定目盛（３）が、担持体(４)の中立面(Ｎ)に配置されていることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一つに記載の保持具。
【請求項１８】
測定目盛（３）が、スケール（２．１）の中立面(Ｎ１)に配置されていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一つに記載の保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念によるスケール用の保持具に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の長さ測定装置のスケール用の保持具は、特許文献１に記載されている。この保持具は担持体から成り、その担持体には、測定方向に弾性的に変位可能な複数の支持部材区間が設けられている。この支持部材区間に、スケールがその長手側面の１つで固定されている。固定は、接着、パテ止め、またはねじ止めによって行われる。
【０００３】
この措置は、温度変化によって生じる線膨張が担持体とスケールとで異なる場合に、長手方向の力がスケールの１つの面にかかり、スケールの歪みを引き起こすという欠点を有している。
【特許文献１】独国特許公開第３６０６７５４号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって本発明の課題は、スケールの歪みが回避される、スケール用の保持具を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１の特徴によって解決される。
【０００６】
本発明による保持具は、非対称の長手方向の力が回避されるという利点を有している。スケールとその担持体の線熱膨張の差ならびにその固定の種類および方法から生じる横方向の力によるスケールの変形は、少なくともほぼ回避される。撓み継手を使用することにより、摩擦の影響が回避され、かつ温度補償後に、スケールが再現可能に最初の状態に戻ることも保証される。容易に作製可能な撓み継手により、スケールに対する担持体の線膨張が実現可能になり、撓み継手の変位によってスケールに作用する力が、スケールの歪みをもたらさなくなる。
【０００７】
撓み継手(ＦＬｅｘｕｒｅ)は静止摩擦および滑り摩擦のない要素であり、撓み部の弾性的変形または湾曲に基づくもので、転がるまたは摺動する部分が全く要らない。撓み継手の利点は、磨耗しないこと、衝撃負荷および振動の影響を受けないことである。撓み継手は、静止摩擦、転がり摩擦、および滑り摩擦がなく、そのため潤滑剤を必要としない。
【０００８】
撓み継手をスケールの中央に対して対称的に配置することによって、かつ桁材の長さ、桁材の断面、および材料を同じに選択することにより、各々向かい合う撓み継手の湾曲特性を等しく実施することによって、スケールに横方向の力がかかることが回避される。
【０００９】
撓み継手として板ばねの平行四辺形を使用する場合、非常に良い結果が得られる。
【００１０】
スケールがＹ方向に移動するのを、または(撓み継手の変位によって生じる)許容できない力がＹ方向にスケールにかかるのを防止する措置が設けられている。したがって、マルチリンク撓み誘導システム（Ｍｕｌｔｉｌｉｎｋ-ＦＬｅｘｕｒｅｆｕｈｒｕｎｇｓｓｙｓｔｅｍ）とも呼ばれる二重ばねの平行四辺形を用いる場合、撓み継手の変位によって生じるばね桁材の短縮を、したがって横方向の力を、あるいは固定要素およびそれに固定されたスケールのＹ方向の運動を、完全に補償することができる。この二重ばねの平行四辺形の場合、各々１つの板ばねの短縮が、別の板ばねと平行接続されていることによって補償される。
【００１１】
その代わりにまたはそれに加えて、担持体とスケールの間に補償要素が配置され、この補償要素は、固定要素を、または少なくともスケールの長手側面と協働するそのストッパ面を、測定方向Ｘに垂直なＹ方向に可動に収容する。この補償要素は、特に弾性的に形成されており、測定方向Ｘに垂直な力の成分Ｙによって、スケールをその長手側面で挟持する。さらに補償要素は、撓み継手の変位によって生じる測定方向Ｘに垂直なＹ方向の移動を補償するので、撓み継手がＸ方向に変位する際に発生する撓み継手の桁材の短縮によって、スケールがＹ方向に移動することはない。この補償要素は、特にＹ方向に有効な撓み継手として形成されており、この撓み継手により、固定要素の少なくともスケールと協働するストッパ面は、測定方向Ｘに働く撓み継手に弾性的に変位可能に支承する。Ｙ方向へのこの変位の際に、再びストッパ面のＸ方向への移動を発生させないために、補償要素は、例えば対称的に構成された伸長要素として形成される。
【００１２】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項に示されている。
【００１３】
図面に基づき本発明を詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１から図３には、保持具の第１の実施形態と、固定要素の第１の実施形態と、撓み継手の第１の構成とを含む本発明の第１の例示的実施形態が詳細に示されている。保持具１に保持されたスケール２は、膨張係数が非常に僅かでほぼゼロの材料、特にガラス・セラミックス、ケイ素、または炭化ケイ素から成る。断面が長方形のスケール２は、その上面に増分式の測定目盛３を備えており、この測定目盛は、光学的に検出可能な目盛線から成り、目盛間隔はサブマイクロメートルの範囲、例えば５１２Ｎｍである。測定目盛３は、反射性の回折格子から、または測定方向Ｘに交互に配置された反射性および非反射性の領域から成り、これらの領域は、位置に依存する電気的検出信号を発生させるために、既知でありしたがって図示されていない光電式検出ユニットによって、スケール２の長手方向Ｘに走査される。その代わりにまたはそれに加えて、測定目盛は絶対コーディングを備えることもできる。
【００１５】
保持具１は、機械の位置を測定すべき部分にスケール２を固定するための担持体４から成る。この固定は、例えばねじ止めによって行われるので、担持体４には孔５が設けられている。さらに保持具１は、スケール２を担持体４と連結する固定要素１０から成る。さらに保持具１は、固定要素１０を測定方向Ｘで担持体４に可動に支承するための、撓み継手２０を備えている。
【００１６】
担持体４は、金属、特にアルミニウムから成り、したがって温度変化の際の膨張挙動がスケール２とは異なる。温度変化の際に発生する担持体４とスケール２の間の相対運動により、スケール２が、その片面に束縛力がかからないよう、それによって伸長しないよう、かつそれから生じる歪みが起こらないように、スケール２を測定方向Ｘに変位可能に担持体４に保持する。そのために、スケール２の両方の長手側面Ｌ１、Ｌ２に、固定要素１０付きの撓み継手２０が配置されている。スケール２の長手側面Ｌ１およびＬ２側の、固定要素１０付きの撓み継手２０が、測定方向Ｘに互いに間隔をあけて配置されており、スケール２の長手側面Ｌ１側の固定要素１０付き撓み継手２０は、各々スケール２のもう一方の長手側面Ｌ２側の固定要素１０付き撓み継手２０と向かい合って配置されている。スケール２の長手側面Ｌ１側の固定要素１０付き撓み継手２０は、スケール２のこれと向かい合う長手側面Ｌ２側の固定要素付き撓み継手２０に対して対称的に配置されている。
【００１７】
各々の固定要素１０と担持体４の間に撓み継手２０が配置されており、固定要素１０は、この撓み継手を介して測定方向Ｘに変位可能に担持体４に保持されている。撓み継手２０および固定要素１０を図３に基づき詳細に説明する。
【００１８】
各固定要素１０は、スケール２を力結合によって保持するための締付け要素として形成されている。この固定要素は、スケール２のための支持台１１と、この支持台１１にスケール２を弾性的に押圧するための湾曲ばね１２の形の対向要素とを有する。さらに固定要素１０は、支持台１１に垂直で、測定方向Ｘに延びるストッパ１３を有する。このストッパ１３は、スケール２の測定方向Ｘに延びる長手側面の１つＬ１を、長手側面Ｌ１側に配置されたストッパ１３に当てることによって、スケール２を測定方向Ｘに平行に容易に位置合わせするのに役立つ。図２の断面図から明らかなように、スケール２はその左の長手側面Ｌ１で、左側に配置された固定要素１０のストッパ１３と接触している。大きすぎる値が出るのを避けるために、この例では、スケール２の対向する長手側面Ｌ２が、長手側面Ｌ２に割り当てられた右の固定要素１０のストッパ１３から、僅かな遊びをとって間隔をあけて配置されるのが有利である。
【００１９】
支持台１１およびストッパ１３は、一体的に形成される、つまり同じ部材を形成するのが有利である。スケール２を取り付けるには、スケール２の両側に配置された固定要素１０の支持台１１にスケールを載せる。長手側面Ｌ１を、この長手側面Ｌ１側の固定要素１０のストッパ１３に接触させることによって、スケールを測定方向Ｘに平行に向ける。固定要素１０でスケール２を締付け固定するために、各々湾曲ばね１２をスケール２に載せ、各々ストッパ１３および支持台１１を形成する部分と、ねじ１４によってねじ止めする。スケール２を、その互いに平行に向かい合う平らな下面および上面の縁部領域で挟持することにより、湾曲ばね１２によってスケール２に加えられる圧力が、支持台１１からスケール２に作用する同等の反作用力を引き起こすので、スケール２は、その高さの中央で有効に固定される。スケール２を締め付けるために湾曲ばね１２によって加えられる力は、測定方向Ｘに垂直で、スケール２の下面および上面にも垂直に、つまりＺ方向に作用する。
【００２０】
スケール２と担持体４の膨張の差を補償するために、各々撓み継手２０を介して、固定要素１０は測定方向Ｘで担持体４に変位可能に支承している。この支承は無摩擦での支承なので、歪みを生じさせる束縛力がスケール２に伝達されるのが、少なくとも大幅に回避される。撓み継手２０は、少なくとも１つの桁状で弾性的な湾曲継手であり、この場合、少なくとも１つの桁材が測定方向Ｘに垂直に延びて配置されている。撓み継手２０は、測定方向Ｘに比較的容易に(大きな復元力をかけずに)変位可能であるが、測定方向に垂直な方向には可能な限り剛直である。製造技術的には、撓み継手２０は、支持台１１およびストッパ１３に接して一体的に成形することが好ましい。
【００２１】
撓み継手２０は、互いに平行に配置された曲げ弾性的な２つの桁材２１、２２から成るのが有利である。この両方の桁材２１、２２は、固定要素１０に、したがってスケール２に対する平行四辺形の誘導部として働く。この両方の桁材２１、２２は各々、一方の端部で、ストッパ１３および支持台１１を形成している部分と結合され、もう一方の端部で担持体４と結合されている。担持体４とのこの結合は、図１から図３に示されているように担持体４とのねじ止めによって、あるいは図４に示した変形態様に従って、撓み継手２０、つまり桁材２１、２２を、レール状の担持体４．１に接して一体的に成形することによって行うことができる。
【００２２】
両方の桁材２１、２２およびストッパ１３は、ねじ１４を省スペースで配置するための空間を取り囲んでいる。
【００２３】
撓み継手２０、つまり桁材２１、２２は、スケール２の高さ(Ｚ方向)の中央の線(スケール２の中立面Ｎ１)に配置されるか、または中央の線に対して対称的に配置され、つまりスケール２の各長手側面Ｌ１またはＬ２のすぐ隣に、スケール２の高さで配置されるのが有利である。これは、撓み継手２０が変位する際に、スケール２にかかる力がスケール２の中立面Ｎ１にかかるので、スケールが歪まないという利点を有している。その上、非対称の曲げモーメントがスケール２に作用しないので、邪魔な横方向の力が発生し得ない。
【００２４】
上に説明したどちらの例示的実施形態の場合も、スケール２の測定目盛３は、担持体４の中立面Ｎに配置されている。図２に断面図で示されるこの中立面Ｎ(中立軸とも言う)は、担持体が歪んだときに長さが変化しない領域(平面)である。これを実現するために、担持体４はＨ字形またはＵ字形に形成される。
【００２５】
図５には、固定要素の第２の実施形態１０．１示してある。図１、図２および図４において、スケール２の右の長手側面Ｌ２側に示された固定要素１０を、ここで図５に示した固定要素１０．１で置き換えるのが有利である。
【００２６】
基本構造は図３に示した固定要素１０に対応しており、したがって同じ要素には同じ符号を使用し、上に説明した例とは異なる特徴だけを以下に補足して説明する。本質的な違いは、スケール２を力結合によって保持するための固定要素１０．１の構造である。固定要素１０．１も、スケール２のための支持台１１と、この支持台１１にスケール２を押し付けるための対向要素とを有する。この対向要素は、スケール２を支持台１１に押付け可能な２つのアーム１５、１６と、スケール２を向かい側に配置されている固定要素１０のストッパ１３に押し付けるための折り曲げられたさらなるアーム１７とを備える、湾曲ばね１２．１である。これにより、スケール２が、支持台１１に接し、かつ向かい側に配置されている固定要素１０のストッパ１３に長手側面Ｌ１で接して、測定方向Ｘに向けられ、湾曲ばね１２．１のアーム１５、１６、および１７の僅かな初期張力により、この位置に保持されることが保証される。スケール２と担持体４のＸ方向の熱膨張の差は、撓み継手２０によって補償され、Ｙ方向は、曲げ弾性アーム１７によって補償される。固定要素１０．１は、例えば板金部品である。
【００２７】
図６は、固定要素１０．２の第３の実施形態を示している。この場合も、図１、図２、および図４でスケール２の右の長手側面Ｌ２側に示された固定要素１０を、ここで図６に示した以下に説明する固定要素１０．２で置き換えることができる。
【００２８】
基本構造は図３に示した固定要素１０に対応しているので、この場合も同じ要素には同じ符号を使用し、異なる要素だけを補足して説明する。固定要素１０．２もまた、スケール２のための支持台１１と湾曲ばね１２の形の対向要素とを有する。固定要素１０の構造に対する本質的な違いは、この場合は、撓み継手１８を介してＹ方向に弾性的に変位可能なストッパ面１９の構成である。固定要素１０．２は、図３に基づく固定要素１０がスケール２を間に挟んで向かい側に配置されたものであり、スケール２の長手側面Ｌ１を固定要素１０のストッパ１３に押し付ける。これによりスケール２は、測定方向Ｘを横切る、つまりＹ方向の力の成分によって挟持され、締め付けて保持されている。この締付け力を最適にかけるために、固定要素１０．２のストッパ面１９は盛り上がった凸面１９であり、この面がスケール２の長手側面Ｌ２と接触する。
【００２９】
固定要素の第４の実施形態１０．３が、図７から図１０に示されている。固定要素１０．３もまた、撓み継手１８を介してＹ方向に変位可能である。固定要素１０．３の向かい側には、支持台１１およびストッパ１３を備えた図３に基づく固定要素１０が配置されている。前述の例示的実施形態とは異なり、撓み継手２０．１は、スケール２．１の下の担持体４．２内に、省スペースに配置されている。これは、桁材２１、２２の長さを長くすることができ、それにより曲げ剛性が低減するという利点を有しており、これは特定の応用例で有利であり得る。担持体４．２と、固定要素１０と１０．３の間に挟持されたスケール２．１との熱膨張挙動が異なることにより、固定要素１０および１０．３がＸ方向に変位する際に、ストッパ面１３と１９の間隔(Ｙ方向)が縮小する。この縮小は、固定要素１０．３のＹ方向での柔軟性によって補償され、許容できない力がスケール２．１に作用することはない。
【００３０】
桁材２１、２２がスケール２．１の中立面Ｎ１からＺ方向に間をあけて配置されていることにより、スケール２．１に曲げモーメントが伝達される可能性があるという、これに関連する欠点は、Ｈ字形またはＵ字形のスケール２．１を使用すること、ならびに測定目盛３をスケール２．１の中立面Ｎ１に配置することによって補償可能である。このＨ字形またはＵ字形のスケール２．１は、単一構造で実施してもよく、あるいはスケール２．１の作製を簡単にするために、側部２．１１を、測定目盛３が設置された基体２．１２にリンギング結合させてもよく、その場合は、測定目盛３を、側部２．１１と結合する前に、基体２．１２に取り付ける。
【００３１】
図９および図１０には、どのようにしてスケール２．１の取付けを容易にすることができるかの可能性が示されている。各々向かい合う２つの固定要素１０と１０．３の間の余地を広げるために、取付け装置３０が設けられている。この取付け装置３０を用いて、固定要素１０．３のストッパ面１９が、撓み継手１８が引っ張られて変位し、スケール２と凸状のストッパ面１９の間に間隔があく位置に移動し、それにより両方の向かい合う固定要素１０と１０．３の間にスケール２．１が挿入可能になる。取付け装置３０を取り外すと、図１０に示されているように、固定要素１０．３の凸状のストッパ面１９が第２の位置に跳ね返り、スケール２．１を締め付けて保持する。このために取付け装置３０は突出部３１、３２を有しており、この突出部によって形状結合されることにより、取付け装置と固定要素１０．３が協働する。
【００３２】
図７から図１０に基づく実施形態では、図示していないやり方で、図３または図６に基づく対向要素として湾曲ばね１２を追加的に設けることもできる。
【００３３】
長手側面Ｌ１側に固定要素１０、長手側面Ｌ２側に対向する固定要素１０．１または１０．２または１０．３という上述の組合せの代わりに、他の組合せを使用することもできる。例えば両方の長手側面Ｌ１およびＬ２に、固定要素１０．１または１０．２または１０．３を使用することもできる。
【００３４】
上述の特に有利な実施形態では、スケールは保持具に締め付けて固定されている。これは、機械(工作機械または測定機械)に保持具を取り付けた後に初めて、利用者がスケールを保持具と組み合わせることができ、かつスケールが交換可能であるという利点を有する。それが必要ない場合は、この力結合による固定を、接着または他の物質結合によって代替または補足することができる。
【００３５】
各々向かい合って配置された２つのストッパ面１３および１７または１３および１９の少なくとも１つが変位可能であることは、上に説明した例によれば、ストッパ面１７、１９が、支持台１１に対してＹ方向に可動に、撓み継手２０、２０．１上に配置されることによって保証される。その代わりに、付属のストッパ面１３、１７、１９と支持台１１と対向要素(湾曲ばね１２、アーム１５、１６)とを含む固定要素１０、１０．１、１０．２、１０．３の全体をＹ方向に変位可能に、撓み継手２０、２０．１に保持してもよい。その例は図１１に示されている。図７に示した例とは違って、ここでは、撓み継手２０．１の端部に配置され、ストッパ１９および支持台１１．１を備えた固定要素１０．４が、Ｙ方向に変位可能である。この変位は、Ｙ方向移動の際に、支持台１１．１およびストッパ１９が、Ｘ方向には移動しないように形成されているので、測定方向Ｘの束縛力がスケール２にかかることはない。そのために、支持台１１．１およびストッパ１９は、対称的に配置された伸長要素１８．１および１８．２を介して、撓み継手２０．１に固定されている。支持台１１．１およびストッパ１９の両側に配置された伸長要素１８．１、１８．２は、Ｘ方向に延びる薄い桁材である。
【００３６】
これまでに説明した撓み継手２０、２０．１は各々、平行に配置された２つの桁材２１および２２から成っている。桁材２１、２２のＸ方向の変位から生じる桁材２１、２２の短縮に基づくストッパ１３、１７、１９のＹ方向の移動は、二重ばね構成、特に二重ばねの平行四辺形を用いることにより完全に補償できる。このような構成は図１２に示されている。基本構造は図４に基づく構成に対応しており、したがってここでも、それとの違いだけを詳細に説明する。図には湾曲ばね１２は示されていない。担持体４．１内で、測定方向Ｘに垂直に互いに向かい合う撓み継手２０．２が、一体的に形成されるのが有利である。これまでに説明した実施形態の各桁材２１、２２に、さらなる桁材２１．１、２２．１が補足され、その際、両方の桁材２１および２１．１ならびに２２および２２．１が、各々が互いに、Ｙ方向に自由に移動可能な連結部４０を介して互いに結合されている。変位の際に引き起こされる桁材２１、２１．１、２２、２２．１の短縮は、連結部４０によって補償され、固定要素１０に影響を及ぼすことはない。撓み継手２０．２の両方の連結部４０を、各々互いに剛的に結合することもできる。
【００３７】
熱的固定点を形成するため、特にスケール２または２．１を担持体４、４．１または４．２に振動しないように固定するために、スケール２または２．１を、測定方向Ｘの１箇所で、担持体４、４．１、または４．２に移動不能に固定することができる。スケール２または２．１の目盛全長の真ん中で固定すると、それによって温度変化または加速の際の線膨張を最小限に抑えることができるので、特に有利である。
【００３８】
このような固定点の実施形態は、図１３において、担持体４の１つおよびスケール２の１つに、概略的に示してある。その際、スケール２は、目盛全長(Ｘ方向)の真ん中で、支持台５０(支持台１１に匹敵)上に両側に載っている。スケール２は、長手側面Ｌ１およびＬ２の向かい合う領域で、剛的な接着５１を介して担持体４と剛的に結合されている。スケール２と担持体４の間のこの剛的な結合５１も、スケール２の中立面Ｎ１にあるか、または中立面Ｎ１に対して対称的であることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】固定要素の第１の実施形態および撓み継手の第１の構成を含むスケールを備えた保持具の透視図である。
【図２】図１に基づく保持具の断面図である。
【図３】図１に基づく保持具の固定要素の拡大図である。
【図４】固定要素の第１の実施形態および撓み継手の第１の構成を含むスケールを備えた保持具の第２の変形実施形態の透視図である。
【図５】固定要素の第２の実施形態および撓み継手の第１の構成を示す図である。
【図６】固定要素の第３の実施形態および撓み継手の第１の構成を示す図である。
【図７】固定要素の第４の実施形態および撓み継手の代替的な第２の構成を示す図である。
【図８】スケールを備えた、図７に基づく固定要素の作動方式の原理を示す図である。
【図９】第１の取付け位置にある取付け装置を備えた、図７に基づく固定要素を示す図である。
【図１０】第２の取付け位置にある図９に基づく取付け装置を備えた固定要素を示す図である。
【図１１】撓み継手の第２の構成を備えた固定要素の第５の実施形態を示す図である。
【図１２】撓み継手の代替的な第３の構成を示す図である。
【図１３】固定点の一実施形態を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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