(57)【要約】【課題】製造時間の短縮が可能な蛍光体層形成装置を提供する。【解決手段】基板(10)上に実装された複数の発光素子(11)のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペースト(21)を吐出する蛍光体層形成装置(1)であって、それぞれの発光素子(11)上にペースト(21)を液滴として吐出する吐出部(12)と、それぞれの発光素子(11)を覆って形成されたペースト(21)からなる蛍光体層の厚みを測定する測定部(13)と、測定部(13)により測定されたそれぞれの蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの蛍光体層に対するペースト(21)の再吐出量を制御する吐出量制御部(14)とを含むことを特徴とする蛍光体層形成装置(1)とする。【選択図】図１Ａ
2008541412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成装置であって、
それぞれの前記発光素子上に前記ペーストを液滴として吐出する吐出部と、
それぞれの前記発光素子を覆って形成された前記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する測定部と、
前記測定部により測定されたそれぞれの前記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの前記蛍光体層に対する前記ペーストの再吐出量を制御する吐出量制御部とを含むことを特徴とする蛍光体層形成装置。
【請求項２】
前記測定部により測定されたそれぞれの前記蛍光体層の厚みに応じて、前記ペーストの再吐出時におけるそれぞれの前記蛍光体層の表面と前記吐出部との間隔を制御する間隔制御部を更に含む請求項１に記載の蛍光体層形成装置。
【請求項３】
前記吐出量制御部は、前記蛍光体層の所定位置に対する前記ペーストの再吐出量を制御する請求項１に記載の蛍光体層形成装置。
【請求項４】
前記所定位置は、前記蛍光体層の縁部である請求項３に記載の蛍光体層形成装置。
【請求項５】
吐出される前記液滴の径を前記発光素子の最小幅で除した値が、０．４以下である請求項１に記載の蛍光体層形成装置。
【請求項６】
基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成方法であって、
それぞれの前記発光素子上に前記ペーストを液滴として吐出する工程と、
それぞれの前記発光素子を覆って形成された前記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する工程と、
前記測定する工程において測定されたそれぞれの前記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの前記蛍光体層に対する前記ペーストの再吐出量を制御しながら前記蛍光体層上に前記ペーストを再吐出する工程とを含むことを特徴とする蛍光体層形成方法。
【請求項７】
前記再吐出する工程において、前記蛍光体層の所定位置に対する前記ペーストの再吐出量を制御しながら前記ペーストを再吐出する請求項６に記載の蛍光体層形成方法。
【請求項８】
前記所定位置は、前記蛍光体層の縁部である請求項７に記載の蛍光体層形成方法。
【請求項９】
吐出される前記液滴の径を前記発光素子の最小幅で除した値が、０．４以下である請求項６に記載の蛍光体層形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成装置及びこれを用いた蛍光体層形成方法に関し、特に、基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うようにペーストを吐出する蛍光体層形成装置及びこれを用いた蛍光体層形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体多層膜を含む発光素子として、発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ、以下「ＬＥＤ」と称する。）が知られている。このうち、ＧａＮ系ＬＥＤ等の青色光を発するＬＥＤは、青色光により励起して黄色光や赤色光を発する蛍光体と組み合わせることによって、白色光を発する発光装置に適用することができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図４Ａ〜Ｄ及び図５Ａ〜Ｃは、上記発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。図４Ａに示すように、基板１０１上に実装された複数のＬＥＤチップ１０２の上面を回転研磨機１０３により研磨して、それぞれのＬＥＤチップ１０２の高さを一定にする。次に、図４Ｂに示すように、それぞれのＬＥＤチップ１０２上に蛍光体を含むペーストを、例えばスクリーン印刷法により塗布して蛍光体層１０４を形成する。そして、図４Ｃに示すように、蛍光体層１０４の上面を回転研磨機１０３により研磨して、図４Ｄに示すように、それぞれの蛍光体層１０４の高さを一定にする。その後、蛍光体層１０４で覆われたＬＥＤチップ１０２を個片化する。そして、図５Ａに示すように、個片化したＬＥＤチップ１０２を実装基板１０６に実装する。続いて、図５Ｂに示すように、蛍光体層１０４を封止樹脂１０７で封止した後、図５Ｃに示すように、封止樹脂１０７上にレンズ１０８を形成して発光装置１００が得られる。
【特許文献１】特開２００１−１５８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述したような製造方法では、図４Ａ及び図４Ｃの研磨工程が長時間を要するため、製造時間の短縮が困難であった。例えば、図４Ｃに示す蛍光体層１０４の研磨工程では、発光装置１００（図５Ｃ参照）から発せられる光の色度のバラツキを抑制するため、蛍光体層１０４の高さを数μｍオーダーで制御する必要があった。よって、図４Ｃの研磨工程には、通常１時間程度の処理時間を要していた。そのため、発光装置１００の生産性が低下するおそれがあった。
【０００５】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、製造時間の短縮が可能な蛍光体層形成装置及びこれを用いた蛍光体層形成方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の蛍光体層形成装置は、基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成装置であって、
それぞれの前記発光素子上に前記ペーストを液滴として吐出する吐出部と、
それぞれの前記発光素子を覆って形成された前記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する測定部と、
前記測定部により測定されたそれぞれの前記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの前記蛍光体層に対する前記ペーストの再吐出量を制御する吐出量制御部とを含むことを特徴とする。
【０００７】
本発明の蛍光体層形成方法は、基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成方法であって、
それぞれの前記発光素子上に前記ペーストを液滴として吐出する工程と、
それぞれの前記発光素子を覆って形成された前記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する工程と、
前記測定する工程において測定されたそれぞれの前記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの前記蛍光体層に対する前記ペーストの再吐出量を制御しながら前記蛍光体層上に前記ペーストを再吐出する工程とを含むことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明の蛍光体層形成装置は、基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成装置として使用される。発光素子が実装される基板は特に限定されず、例えばシリコン基板等の慣用の基板を使用することができる。基板上に実装される発光素子の数についても、複数である限り特に限定されない。なお、隣り合う発光素子同士の間隔は、例えば０．０３〜２．５ｍｍ程度である。
【０００９】
発光素子としては、後述する蛍光体と組み合わせることによって白色光が得られる発光素子が好ましい。例えば、ＧａＮ系ＬＥＤやＺｎＳ系ＬＥＤ等の青色光を発する発光素子が挙げられる。なお、上記発光素子の厚みは、通常７０〜１００μｍ程度であり、上記発光素子の面積は、通常０．０４〜９ｍｍ2程度である。
【００１０】
吐出されるペーストとしては、例えばシリコーン樹脂等からなる液状の樹脂に蛍光体を分散させたものが使用できる。その粘度は、通常５０〜５０００Ｐａ・ｓ程度であり、好ましくは１００〜２０００Ｐａ・ｓ程度である。蛍光体としては、例えば青色光を発する発光素子を用いる場合、ガーネット構造系Ｙ3（Ａｌ，Ｇａ）5Ｏ12:Ｃｅ3+、シリケート系（Ｂａ，Ｓｒ）2ＳｉＯ4:Ｅｕ2+等の緑色光を発する蛍光体や、サイアロン系Ｃａ-Ａｌ-Ｓｉ-Ｏ-Ｎ:Ｅｕ2+、シリケート系（Ｓｒ，Ｃａ）2ＳｉＯ4:Ｅｕ2+、ガーネット構造系（Ｙ，Ｇｄ）3Ａｌ5Ｏ12:Ｃｅ3+等の黄色光を発する蛍光体や、ニトリドシリケート系Ｓｒ2Ｓｉ5Ｎ8:Ｅｕ2+、ニトリドアルミノシリケート系ＣａＡｌＳｉＮ3:Ｅｕ2+、オクソニトリドアルミノシリケート系Ｓｒ2Ｓｉ4ＡｌＯＮ7:Ｅｕ2+、硫化物系ＣａＳ:Ｅｕ2+等の赤色光を発する蛍光体等が使用できる。
【００１１】
そして、本発明の蛍光体層形成装置は、それぞれの上記発光素子上に上記ペーストを液滴として吐出する吐出部と、それぞれの上記発光素子を覆って形成された上記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する測定部と、この測定部により測定されたそれぞれの上記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの上記蛍光体層に対する上記ペーストの再吐出量を制御する吐出量制御部とを含む。本発明の蛍光体層形成装置の吐出部は、ペーストを液滴として吐出するため、吐出量の調整が容易となる。また、上記測定部と上記吐出量制御部とを含むため、形成された蛍光体層の厚みについてバラツキが生じた場合に、それぞれの蛍光体層の厚みに応じてペーストを再吐出することによって、上記バラツキを修正しながら蛍光体層を形成することができる。これにより、研磨を行わなくても形成される蛍光体層の厚みを均一化できるため、発光装置の製造時間の短縮が可能となる。また、ペーストの無駄な吐出を防止できるため、製造コストの低減が可能となる。なお、上記「蛍光体層の厚み」とは、発光素子の主面上に位置する蛍光体層の厚みをいう。
【００１２】
吐出部としては、例えばインクジェット印刷機用のヘッドや、ディスペンサー等を含むものが使用できる。特に、圧電素子（ピエゾ素子）を含む場合は、吐出される液滴の径を小さくすることができるため、ペーストの吐出量の制御が容易となる。
【００１３】
測定部としては、蛍光体層の厚みを測定することができる限り特に限定されないが、例えば、測定箇所を認識する認識カメラ部と、レーザ等によって測長する測長部とを含むものが挙げられる。
【００１４】
吐出量制御部は、測定部により測定されたそれぞれの蛍光体層の厚みに応じて、蛍光体層の厚みが均一化されるように、それぞれの蛍光体層に対するペーストの再吐出量を演算し、その再吐出量に基づいて吐出部からペーストを再吐出させる。このような吐出量制御部としては、例えばコンピュータに使用される中央処理装置（ＣＰＵ）等を含むものが挙げられる。
【００１５】
また、本発明の蛍光体層形成装置は、上記測定部により測定されたそれぞれの上記蛍光体層の厚みに応じて、上記ペーストの再吐出時におけるそれぞれの上記蛍光体層の表面と上記吐出部との間隔を制御する間隔制御部を更に含んでいてもよい。蛍光体層の厚みの均一化がより容易となるからである。例えば、上記間隔を大きくすると、再吐出されたペースト（液滴）が蛍光体層上で拡がりやすくなるため、再吐出されたペーストからなる蛍光体層の厚みは薄くなる。逆に、上記間隔を小さくすると、再吐出されたペースト（液滴）が蛍光体層上で拡がりにくくなるため、再吐出されたペーストからなる蛍光体層の厚みは厚くなる。
【００１６】
また、本発明において、上記吐出量制御部は、上述した機能以外に、上記蛍光体層の所定位置に対する上記ペーストの再吐出量を制御する機能を有していてもよい。従来のスクリーン印刷法で蛍光体層を形成した場合、一般に蛍光体層表面から発光素子表面までの最短距離が蛍光体層表面の部位により異なるため、例えば発光色の色ムラ等の弊害が生じていた。特に、蛍光体層の縁部から発光素子表面までの最短距離は、蛍光体層表面の他の部位から発光素子表面までの最短距離に比べ長くなるため、蛍光体層の縁部から発せられる光の黄色光成分が多くなり、発光色の色ムラの原因となっていた。上述のように、上記吐出量制御部が、上記蛍光体層の所定位置に対する上記ペーストの再吐出量を制御する機能を有している場合、上述した色ムラを解消することができる。特に、色ムラの原因となりやすい蛍光体層の縁部からの光の発光色を制御するためには、上記所定位置が上記蛍光体層の縁部であることが好ましい。なお、蛍光体層の所定位置に対するペーストの再吐出量を制御する方法としては、例えば、上記測定部により上記所定位置の基板からの高さを測定し、その測定値に応じて、上記吐出量制御部により上記所定位置に対するペーストの再吐出量を演算し、その再吐出量に基づいて吐出部からペーストを再吐出させる方法が例示できる。
【００１７】
また、本発明の蛍光体層形成装置は、吐出される上記液滴の径を上記発光素子の最小幅で除した値が、０．４以下であることが好ましい。ペーストの吐出量の制御が容易となるからである。特に、上記液滴の径が、１〜５０μｍ（１フェムトリットル〜８ピコリットル程度の滴量）である場合は、ペーストの吐出量の制御がより一層容易となるため好ましい。
【００１８】
次に、本発明の蛍光体層形成方法について説明する。なお、以下の記述において、上述と重複する内容については、その説明を省略する場合がある。
【００１９】
本発明の蛍光体層形成方法は、基板上に実装された複数の発光素子のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペーストを吐出する蛍光体層形成方法であって、それぞれの上記発光素子上に上記ペーストを液滴として吐出する工程と、それぞれの上記発光素子を覆って形成された上記ペーストからなる蛍光体層の厚みを測定する工程と、測定されたそれぞれの上記蛍光体層の厚みに応じて、それぞれの上記蛍光体層に対する上記ペーストの再吐出量を制御しながら上記蛍光体層上に上記ペーストを再吐出する工程とを含む。本発明の蛍光体層形成方法は、ペーストを液滴として吐出するため、吐出量の調整が容易となる。また、上記測定する工程と上記再吐出する工程とを含むため、形成された蛍光体層の厚みについてバラツキが生じた場合に、それぞれの蛍光体層の厚みに応じてペーストを再吐出することによって、上記バラツキを修正しながら蛍光体層を形成することができる。これにより、研磨を行わなくても形成される蛍光体層の厚みを均一化できるため、発光装置の製造時間の短縮が可能となる。また、ペーストの無駄な吐出を防止できるため、製造コストの低減が可能となる。
【００２０】
また、上記再吐出する工程においては、上記蛍光体層の所定位置に対する上記ペーストの再吐出量を制御しながら上記ペーストを再吐出してもよい。上述したように、発光色の色ムラを解消することができるからである。また、色ムラの原因となりやすい蛍光体層の縁部からの光の発光色を制御するためには、上記所定位置が上記蛍光体層の縁部であることが好ましい。
【００２１】
また、本発明の蛍光体層形成方法においては、吐出される上記液滴の径を上記発光素子の最小幅で除した値が、０．４以下であることが好ましい。ペーストの吐出量の制御が容易となるからである。特に、上記液滴の径が、１〜５０μｍ（１フェムトリットル〜８ピコリットル程度の滴量）である場合は、ペーストの吐出量の制御がより一層容易となるため好ましい。以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００２２】
［第１実施形態］
まず、本発明の第１実施形態に係る蛍光体層形成装置について図面を参照して説明する。参照する図１Ａは、第１実施形態に係る蛍光体層形成装置の概略斜視図である。また、参照する図１Ｂは、図１Ａに示す吐出部に含まれるヘッドの概略斜視図である。
【００２３】
図１Ａに示すように、第１実施形態に係る蛍光体層形成装置１は、基板１０上に実装された複数の発光素子１１のそれぞれを覆うように蛍光体を含むペースト２１（図１Ｂ参照）を液滴として吐出する吐出部１２と、それぞれの発光素子１１を覆って形成されたペースト２１からなる蛍光体層３０（図２Ｂ参照）の厚みを測定する測定部１３と、測定部１３により測定されたそれぞれの蛍光体層３０の厚みに応じて、それぞれの蛍光体層３０に対するペースト２１の再吐出量を制御する吐出量制御部１４と、基板１０が載置される加熱ステージ１５と、ペースト２１が充填されるペーストタンク１６と、吐出工程時以外にペースト２１が吐出部１２から漏れるのを防ぐためにペーストタンク１６内を負圧にする負圧ポンプ１７と、図１Ａ中のＸ軸方向に吐出部１２の位置を制御するＸ軸方向制御部１８と、図１Ａ中のＹ軸方向に加熱ステージ１５の位置を制御するＹ軸方向制御部１９と、図１Ａ中のＺ軸方向に吐出部１２の位置を制御するＺ軸方向制御部２０とを含む。測定部１３は、測定箇所を認識する認識カメラ部１３ａと、レーザ測長部１３ｂとを含む。また、Ｚ軸方向制御部２０は、測定部１３により測定されたそれぞれの蛍光体層３０の厚みに応じて、ペースト２１の再吐出時におけるそれぞれの蛍光体層３０の表面と吐出部１２との間隔を制御する。なお、Ｘ軸方向制御部１８、Ｙ軸方向制御部１９及びＺ軸方向制御部２０としては、例えばモーターと、このモーターに取り付けられたボールねじと、上記モーターを駆動するモーター駆動部とを含むものが使用できる。また、Ｚ軸方向制御部２０は、上記「間隔制御部」に相当する。
【００２４】
吐出部１２内には、図１Ｂに示すようにヘッド２２が配置されており、このヘッド２２は、複数のピエゾ素子２３を含む。ヘッド２２によってペースト２１を吐出する際は、ピエゾ素子２３に電流を流すことによって、ピエゾ素子２３の形状を図１Ｂの破線で示すように変形させる。この際、ピエゾ素子２３の変形によって圧力差が生じるため、吐出口２４からペースト２１が液滴として吐出される。なお、ペースト２１の吐出量の制御を容易に行うためには、吐出口２４から吐出されるペースト２１からなる液滴の径を発光素子１１の最小幅Ｗ（図１Ａ参照）で除した値が、０．４以下であることが好ましい。
【００２５】
上記構成を有する蛍光体層形成装置１によれば、測定部１３と吐出量制御部１４とを含むため、形成された蛍光体層３０の厚みについてバラツキが生じた場合に、それぞれの蛍光体層３０の厚みに応じてペースト２１を再吐出することによって、上記バラツキを修正しながら蛍光体層３０を形成することができる。これにより、研磨を行わなくても形成される蛍光体層３０の厚みを均一化できるため、発光装置の製造時間の短縮が可能となる。
【００２６】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態に係る蛍光体層形成方法について図面を参照して説明する。参照する図２Ａ〜Ｄは、第２実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。なお、第２実施形態に係る蛍光体層形成方法は、上述した第１実施形態に係る蛍光体層形成装置１を用いた蛍光体層形成方法である。また、図２Ａ〜Ｄにおいて、図１Ａ，Ｂと同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００２７】
まず、図２Ａに示すように、レーザ測長部１３ｂにより、それぞれの発光素子１１の基板１０からの高さを測長する。この際、図示はしないが、Ｘ軸方向制御部１８（図１Ａ参照）及びＹ軸方向制御部１９（図１Ａ参照）によって認識カメラ部１３ａ（図１Ａ参照）を測定箇所まで移動させた後、レーザ測長部１３ｂにより測長すればよい。
【００２８】
次に、図２Ｂに示すように、ヘッド２２により、それぞれの発光素子１１上にペースト２１を液滴として吐出する。これにより、それぞれの発光素子１１を覆うようにしてペースト２１からなる蛍光体層３０を形成することができる。なお、ペースト２１に含まれる溶媒を蒸発させるため、加熱ステージ１５（図１Ａ参照）によって基板１０の温度を例えば６０〜８０℃の範囲に維持するのが好ましい。
【００２９】
この図２Ｂに示す工程を１回又は複数回行った後、図２Ｃに示すように、レーザ測長部１３ｂにより、それぞれの蛍光体層３０の基板１０からの高さを測長する。この際、測定部１３は、図２Ａの工程で測長した発光素子１１の高さと、図２Ｃの工程で測長した蛍光体層３０の高さとから蛍光体層３０の厚みＴ（図２Ｃ参照）を算出する。なお、本発明における蛍光体層３０の厚みＴの測定方法は、これに限定されず、例えば、蛍光体層３０のみを透過するレーザを利用して、蛍光体層３０の厚みＴを直に測定してもよい。また、厚みＴの算出は、測定部１３以外の部位（例えば吐出量制御部１４等）が行ってもよい。
【００３０】
そして、吐出量制御部１４（図１Ａ参照）により、測定部１３によって測定されたそれぞれの蛍光体層３０の厚みＴに応じて、それぞれの蛍光体層３０に対するペースト２１の再吐出量を演算し、その再吐出量に基づいて、図２Ｄに示すようにヘッド２２からペースト２１を再吐出させる。
【００３１】
この図２Ｃ〜Ｄの工程を１回又は複数回行うことにより、厚みが均一化された蛍光体層３０が得られる。本方法によれば、従来法のように研磨を行わなくても形成される蛍光体層３０の厚みを均一化できるため、発光装置の製造時間の短縮が可能となる。なお、図２Ｄの工程においては、ヘッド２２から再吐出されるペースト２１の吐出圧を制御したり、Ｚ軸方向制御部２０（図１Ａ参照）を用いて、蛍光体層３０の厚みに応じてそれぞれの蛍光体層３０の表面と吐出部１２との間隔を制御したりすることによって、蛍光体層３０の厚みの均一化がより容易となる。
【００３２】
［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態に係る蛍光体層形成方法について図面を参照して説明する。参照する図３Ａ〜Ｃは、第３実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。第３実施形態に係る蛍光体層形成方法において、それぞれの蛍光体層３０間の厚みのバラツキを制御する方法については、上述した第２実施形態に係る蛍光体層形成方法と同様であるため、以下の説明では、第２実施形態に係る蛍光体層形成方法と異なる部分のみ説明する。なお、図３Ａ〜Ｃにおいて、図２Ａ〜Ｄと同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３３】
まず、図３Ａに示すように、発光素子１１上にペースト２１を液滴として吐出して蛍光体層３０を形成する。
【００３４】
次に、図３Ｂに示すように、レーザ測長部１３ｂにより、蛍光体層３０の基板１０からの高さを測長する。この際、蛍光体層３０の表面の複数箇所で、基板１０からの高さを測長する。例えば、蛍光体層３０の縁部３０ａの高さと、蛍光体層３０の主面の中央部３０ｂの高さとを測長すればよい。
【００３５】
そして、吐出量制御部１４（図１Ａ参照）により、上記測長値に応じて蛍光体層３０の所定位置に対するペーストの再吐出量を演算し、その再吐出量に基づいて図３Ｃに示すように蛍光体層３０上にペースト２１を再吐出する。この際、例えば、蛍光体層３０の縁部３０ａの高さの上限値を予め吐出量制御部１４にインプットしておき、この上限値を超えないように、吐出量制御部１４により蛍光体層３０の縁部３０ａに対するペースト２１の再吐出量を制御すればよい。これにより、図３Ｃに示すように、蛍光体層３０の縁部３０ａから発光素子１１の表面までの最短距離Ｌ1と、蛍光体層３０の表面の他の部位から発光素子１１の表面までの最短距離Ｌ2とを同程度にすることができるため、発光色の色ムラを解消することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の蛍光体層形成装置及び蛍光体層形成方法は、製造時間の短縮化が要求される発光装置の製造方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の第１実施形態に係る蛍光体層形成装置の概略斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、図１Ａに示す吐出部に含まれるヘッドの概略斜視図である。
【図２Ａ】図２Ａは、本発明の第２実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、本発明の第２実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、本発明の第２実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図２Ｄ】図２Ｄは、本発明の第２実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の第３実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の第３実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本発明の第３実施形態に係る蛍光体層形成方法を説明するための断面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、発光装置の従来の製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１      蛍光体層形成装置
１０    基板
１１    発光素子
１２    吐出部
１３    測定部
１３ａ  認識カメラ部
１３ｂ  レーザ測長部
１４    吐出量制御部
１５    加熱ステージ
１６    ペーストタンク
１７    負圧ポンプ
１８    Ｘ軸方向制御部
１９    Ｙ軸方向制御部
２０    Ｚ軸方向制御部（間隔制御部）
２１    ペースト
２２    ヘッド
２３    ピエゾ素子
２４    吐出口
３０    蛍光体層
３０ａ  縁部
３０ｂ  中央部
Ｔ      厚み
Ｗ      最小幅
【図１Ａ】
2008541412.tif 000003
【図１Ｂ】
2008541412.tif 000004
【図２Ａ】
2008541412.tif 000005
【図２Ｂ】
2008541412.tif 000006
【図２Ｃ】
2008541412.tif 000007
【図２Ｄ】
2008541412.tif 000008
【図３Ａ】
2008541412.tif 000009
【図３Ｂ】
2008541412.tif 000010
【図３Ｃ】
2008541412.tif 000011
【図４Ａ】
2008541412.tif 000012
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【国際調査報告】
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