(57)【要約】  改善されたピッキング評価を有する電子アセンブリ機械（１０、２０１）が提供される。本装置（１０、２０１）は、部品（３０４）を着脱可能にピックアップして保持するための少なくとも一つのノズル（２０８、２１０、２１２）を有する取り付けヘッド（２０６）を含む。ロボットシステムが備えられて、取り付けヘッド（２０６）と、工作物（２０３）、たとえば回路基板との間の相対運動を生成する。画像取得システム（３００）が配設されて、部品ピックアップ位置（１６）の少なくとも一つのピッキング前画像と、部品ピックアップ位置（１６）の少なくとも一つのピッキング後画像とを得る。ピッキング前画像は複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置の視界を各画像部にとらえさせる一方で、ピッキング後画像は複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置の視界を各画像部にとらえさせる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工作物を組み立てるためのピックアンドプレース機械であって、
部品を着脱可能にピックアップして保持するための少なくとも一つのノズルを有する取り付けヘッドと、
取り付けヘッドと工作物との間の相対運動を生成するためのロボットシステムと、
部品ピックアップ位置の少なくとも一つのピッキング前画像と、部品ピックアップ位置の少なくとも一つのピッキング後画像とを得るために配設された画像取得システムとを含み、
ピッキング前画像が複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置を各画像部にとらえさせ、
ピッキング後画像が複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置を各画像部にとらえさせる、ピックアンドプレース機械。
【請求項２】
ピッキング前画像が、画像取得システムの単一の撮像動作で得られる、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項３】
ピッキング前画像の第一の画像部がピックアップ位置の第一の視点を有し、ピッキング前画像の第二の画像部がピックアップ位置の第二の視点を有し、第一及び第二の視点が異なる、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項４】
第一及び第二の視点が、およそ９０度離れている、請求項３記載のピックアンドプレース機械。
【請求項５】
ピッキング後画像が、画像取得システムの単一の撮像動作で得られる、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項６】
ピッキング後画像の第一の画像部がピックアップ位置の第一の視点を有し、ピッキング後画像の第二の画像部がピックアップ位置の第二の視点を有し、第一及び第二の視点が異なる、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項７】
第一及び第二の視点が、およそ９０度離れている、請求項６記載のピックアンドプレース機械。
【請求項８】
画像取得システムに対して、部品を背後から照らすように配設された照明器をさらに含む、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項９】
照明器からの照明を受け、照明の方向を部品の直近に変えるように配設された照明光学系をさらに含む、請求項８記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１０】
部品の逆光の画像を、画像取得システム上に合焦させるように配設された結像光学系をさらに含む、請求項９記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１１】
部品の逆光の画像を、画像取得システム上に合焦させるように配設された結像光学系をさらに含む、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１２】
機械が、複数のピッキング後画像部の分析に少なくとも部分的に基づいて、ピッキング指示を提供するように構成される、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１３】
機械が、複数のピッキング前画像部の分析に少なくとも部分的に基づいて、ピッキング指示を提供するように構成される、請求項１２記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１４】
機械が、部分的なツームストーン、完全なツームストーン、部分的なビルボード、完全なビルボード、角、及びなしからなる群から選択されたピッキング指示を提供するように構成される、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１５】
画像取得システムがさらに、部品取り付け画像を取得して、工作物上の部品の取り付けを検証するように配設される、請求項１記載のピックアンドプレース機械。
【請求項１６】
電子アセンブリ機械の部品ピッキング動作を評価する方法であって、
ピッキング前画像がノズルの異なる視点に各々が対応する複数の画像部を含む、ノズルのピッキング前画像を得ることと、
ピッキング後画像がノズルの異なる視点に各々が対応する複数の画像部を含む、ノズルのピッキング後画像を得ることとを含み、
ピッキング後画像の各画像部が、ピッキング前画像の画像部の視点と一致する視点を有し、
画像部の分析がピッキング指示を提供する方法。
【請求項１７】
機械が、部分的なツームストーン、完全なツームストーン、部分的なビルボード、完全なビルボード、角、及びなしからなる群から選択されたピッキング指示を提供するように構成される、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
複数の画像部が少なくとも三つの画像部を含み、少なくとも一つの画像部が、その他の画像部とは異なる大きさを有する、請求項１６記載の方法。
【請求項１９】
ピッキング後画像の複数の画像部それぞれが異なる視点からのノズルを示し、少なくとも二つの視点が約９０度離れている、請求項１６記載の方法。
【請求項２０】
工作物上に部品を取り付けるための取り付けヘッドと、
取り付けヘッドと工作物との間の相対運動を生成するためのロボットシステムと、
機械のピッキング動作を評価するための方法と、
を含む、電子アセンブリ機械。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
著作権保留
本特許文献の開示の一部は、著作権保護の対象となる材料を含む。著作権所有者は、あらゆる者による特許文献又は特許の開示のファクシミリ再生に対して異議を唱えず、これは特許商標庁の特許ファイル又は記録に記されたとおりであるが、一切の無断転載を禁ずる。
【０００２】
発明の背景
ピックアンドプレース機械は、一般的に電子回路基板を製造するために用いられる。通常、未加工のプリント回路基板がピックアンドプレース機械に供給され、次にこの機械は部品供給部から電子部品をピッキングし、その部品を基板上に取り付ける。部品は、半田ペーストが溶けるかまたは接着剤が完全に硬化するその後のステップまで、半田ペーストまたは接着剤により、基板上に一時的に保持される。
【０００３】
ピックアンドプレース機械の動作は興味深い。機械速度がスループットに対応するため、ピックアンドプレース機械が高速で動くほど、製造された基板はより安価になる。加えて、取り付け精度はきわめて重要である。多くの電気部品、たとえばチップコンデンサ及びチップ抵抗器は比較的小さく、一様に小さな取り付け位置上に正確に取り付けなければならない。その他の部品は、より大きめのものでも、互いに比較的ファインピッチで間隔を置いた相当数のリード線または導体を有する。このような部品もまた、各リード線が適切なパッド上に取り付けられることを確実にするために、正確に取り付けなければならない。このように、機械がきわめて高速で動作しなければならないだけでなく、部品もきわめて正確に取り付けなければならない。
【０００４】
基板製造の質を向上させるために、一般的に、完全にまたは部分的に実装された基板は、取り付け動作後、半田リフローの前後両方で検査され、不適切に取り付けられた、欠落している、または起こり得るさまざまなエラーのいずれかである部品を特定する。このような動作を行う自動システムは、半田リフローの前に部品取り付けの問題を特定する助けとなるという点で、非常に有用であり、再加工の対象となるリフロー後の欠陥のある基板の再加工または特定を、実質的により簡単に行うことが可能となる。このようなシステムの一例は、ミネソタ州ゴールデンバレーのCyberOptics Corporationより入手可能である、商標名Model KS Flexのもとに市販されている。このシステムを用いて、アライメントおよび回転エラー、欠落したまたははじかれた部品、部品が長辺の縁に不適切に置かれた場合のビルボード、部品が短辺の縁に不適切に置かれた場合のツームストーン、部品がその垂直の向きとビルボード又はツームストーンの向きとの間に向けられた場合の部分的なビルボード及びツームストーン、部品不良、不適切な極性、および誤った部品といった問題を特定することができる。リフロー前のエラーの特定は、多くの利点を提供する。再加工がより簡単になり、閉ループ製造制御を容易にし、エラー発生と対処との間にある工程中の作業がより少なくなる。このようなシステムは大いに有用な検査を提供する一方で、プラントのフロアスペースの他、プログラミング時間、メンテナンスの手間等を費やす。
【０００５】
ピックアンドプレース機械自体の内部に位置付けられた取り付け後の検査という利点を備えるための、一つの比較的最近の試みが、Asaiらの米国特許第6,317,972号に開示されている。この参考文献は、電気部品を装着するための方法を報告しており、ここでは部品取り付け前に装着位置の画像が得られ、部品取り付け後の装着位置の画像と比較して、部品レベルで取り付け動作を検査する。Asaiらの開示は、機械内部の部品レベルの検査を使用して部品取り付け動作を検査するという一つの試みを明らかにしているものの、部品をピックアップするプロセスで、部品の向きのエラーもまた発生する可能性がある。このプロセスには、ピックアンドプレース機械の全体の動作の質に対する課題および大きな要因が残されている。
【０００６】
部品のピックアップは、目的の部品のピックアップポイント上に位置付けられる取り付けヘッドを必要とする。ノズルは一度位置付けられると、部品の真上のポイントまで下げられ、一般的には、ノズルを通して減圧して部品を吸い上げ、ノズルの先端に一時的に付着させる。それぞれの部品は、部品供給機構により、各ピッキングポイントに位置付けられる。一般的な供給機構は、テープ供給部、振動供給部およびトレイ供給部を含む。新しい工作物を組み立てるためにピックアンドプレース機械を構成する必要がある場合、オペレータは、ピックアンドプレース機械のプログラムにより決定された命令手順に従って、部品供給部をそれらの位置に挿入する。加えて、識別マーク、たとえばバーコードを供給機構に位置付けて、ピックアンドプレース機械内の適切な位置およびシーケンスに適切な供給部が位置付けられることを確実にすることができる。部品が一度ノズルによりピックアップされると、供給機構は他の部品をピッキング位置に移動させなければならない。
【０００７】
部品のピッキング動作がうまくいかない場合、欠陥のある工作物が生産される。不正なピッキング動作により生じるものとして知られる工作物の欠陥は、ツームストーンが生じた部品、欠落した部品、誤った部品、誤った部品極性、および誤配置された部品である。不正なピッキング状態は、オペレータが供給部を正しくない位置にローディングしたり、または供給部が部品切れの状態で放置されたりすることや、欠陥のあるまたは壊れた供給部、部品テープ及びノズル、不適切なプログラミングをされたノズルのピッキング高、通常のピッキングプロセス中での不一致によって生じる可能性があり、結果として部品がノズルにピッキングされて、ツームストーンの向き、ビルボードの向き、又は部品がその一つの角でノズルに接触する角向きに保持される。これらのいずれもが、部品の正しくない配置につながる。
【０００８】
発明の概要
改善されたピッキング評価を有する電子アセンブリ機械が提供される。本機械は、部品を着脱可能にピックアップして保持するための少なくとも一つのノズルを有する取り付けヘッドを含む。ロボットシステムが備えられて、取り付けヘッドと、工作物、たとえば回路基板との間の相対運動を生成する。画像取得システムが配設されて、部品ピックアップ位置の少なくとも一つのピッキング前画像と、部品ピックアップ位置の少なくとも一つのピッキング後画像とを得る。ピッキング前画像は複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置の視界を各画像部にとらえさせる一方で、ピッキング後画像は複数の画像部を含み、異なる視点からのピックアップ位置の視界を各画像部にとらえさせる。
【０００９】
詳細な説明
図１は、本発明の実施形態が適用可能である代表的なカーテシアンピックアンドプレース機械２０１の線図である。ピックアンドプレース機械２０１は、搬送システムまたはコンベア２０２を介して工作物、たとえば回路基板２０３を受け取る。その後、取り付けヘッド２０６は部品供給部（図示せず）から、工作物２０３上に装着される一個以上の電気部品を得て、ｘ、ｙおよびｚの方向へ移動し、工作物２０３上の適切な向きの適切な位置に部品を取り付ける。取り付けヘッド２０６は、複数のノズル２０８、２１０、２１２を含み、複数の部品をピッキングすることができる。いくつかのピックアンドプレース機械は、各ノズル上の部品位置及び向きを確認するために、部品を撮像するための固定カメラの上を移動する取り付けヘッドを使用することができる。また、取り付けヘッド２０６は、下向きのカメラ２０９を含むことができ、これを用いて一般的には工作物２０３上に基準マークを位置付け、工作物２０３に対する取り付けヘッド２０６の相対位置を容易に算出することができるようにされている。
【００１０】
図２は、本発明の実施形態がさらに適用可能である代表的な回転タレットピックアンドプレース機械１０の線図である。機械１０は、機械２０１と類似したいくつかの部品を含み、同様の部品には同じように番号が振られている。タレットピックアンドプレース機械１０では、工作物２０３がコンベアを介してｘ−ｙステージ（図示せず）上にローディングされる。ノズル２１０はメインタレット２０に取り付けられ、回転タレットの周囲に一定の角度間隔で配設される。各ピックアンドプレースサイクルの間、タレット２０は、隣接する取り付けノズル２１０の間の角度間隔と等しい角度間隔を割り出しする。タレット２０が所定位置へ回転し、工作物２０３がｘ−ｙステージによって位置付けられた後、取り付けノズル２１０は画定されたピックポイント１６において、部品供給部１４から部品３０４（図３に示す）を得る。この同じ間隔の間、もう一つのノズル２１０はプログラムされた取り付け位置１０６で、工作物２０３上に部品３０４を取り付ける。加えて、タレット２０がピックアンドプレース動作を中断する間、上向きのカメラ３０はもうひとつの部品３０４の画像を取得し、これによりその部品のためのアライメント情報が提供される。このアライメント情報を用いて、ピックアンドプレース機械１０は、取り付けノズル２１０が数ステップ後に部品１０４を取り付けるように位置付けられたとき、工作物２０３を位置付ける。ピックアンドプレースサイクル完了後、タレット２０は次の角度位置を割り出し、工作物２０３がｘ−ｙ方向に再度位置付けられて、取り付け位置を取り付け位置１０６に対応する位置へ移動させる。
【００１１】
図３は、本発明の実施形態の取り付けヘッドの線図である。図３は、部品３０４がノズル２１０により供給部１４の位置１６からピックアップされる前後の、ピックアップ位置１６における部品３０４の画像を取得するために配設された、画像取得システム３００を図示している。デバイス３００は、部品３０４のピックアップ前およびその直後に、供給部１４上のピックアップ位置１６の画像を得る。これら前後の画像を比較することにより、部品レベルのピックアップの検査および検証が容易になる。加えて、部品ピックアップ位置１６に取り囲まれた領域がさらに撮像される。一般的には、ノズル２１０がピックアップ位置１６の上に位置付けられているときにピックアップ位置１６の画像の取得が行われるため、ピックアップ位置１６を撮像すると同時に、部品３０４自体または取り付けノズル２１０のパーツからの干渉を最小限にするかまたは減少させることができることは重要である。このように、システム３００が、ノズル２１０の軸に対して角度θをなして傾斜されて視認できる光軸を使用することは好ましい。システム３００を角度θをなして傾斜させることのさらなる利点は、部品３０４の垂直運動、供給部、および部品保持テープ／トレイを、画像取得の間にこれらのものの並進運動を判断することにより検出して測定することができることである。画像取得間隔の時間を厳密に計って、ピックアップ位置１６および取り付けヘッド２１０が互いに相対的に並べられ、部品３０４が供給部１４の中にあって、カメラのアングルからみることができるようにすることはさらに有効である。部品３０４がピックアップされた後、第二の画像は、ピックアップサイクル中の予め選定された時間になるように時間を計ることが望ましい。これら二つの画像の取得の時間を厳密に計るための方法は、同時継続出願番号第１０／９７０，３５５号に記載されている。
【００１２】
本発明の実施形態では一般的に、対象とするピックアップ位置の二つ以上の連続した（すなわちピックアップ前後の）画像セットが得られる。ピックアップは比較的迅速に行われ、また機械のスループットの低下はきわめて望ましくないため、取り付けヘッドとピックアップ位置との間の相対運動の停止が一瞬であるということから、時々、二つの連続した画像を非常に迅速に取得する必要がある。たとえば、およそ１０ミリ秒間以内に二つの画像を取得する必要がある場合がある。
【００１３】
図４は、本発明の実施形態の、ピッキング動作に関連する一つ以上の画像を取得するために配設された、画像取得システム３００の線図である。好ましくは、画像取得システム３００は、ノズル２１０によって部品３０４が保持されているとき、部品３０４をとらえるように配設された電子カメラ（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ他）を含む。好ましくは、画像取得システム３００は光軸を有するように配設されて、水平に対して非ゼロ角度から部品３０４をとらえる。システム３００はまた、好ましくは、照明３１２を発生させる照明器３１０を含み、照明３１２は、照明光学系３１４によって方向を変えられる。方向を変えられた照明３１６は、部品３０４がノズル２１０上に維持されているときに、部品３０４に直近の領域を通過する。結像光学系３１８は、照明の方向を変えて、画像取得システム３００上に合焦させるように配設される。照明光学系３１４および結像光学系３１８を用いることにより、部品３０４が画像取得システム３００の結像光軸とは異なる角度で維持されていても、画像取得システム３００が部品３０４の逆光側の正面図を得ることが可能になる。好ましくは、画像取得システム３００は、ノズル２１０が部品供給部１４から部品３０４をピッキングする前に、ノズル２１０の画像を得る。そして、部品３０４がノズル２１０によってピッキングされた後、画像取得システム３００は、第二のピッキング後の画像を得る。ピッキング前後の画像を比較することにより、ピッキング動作の有効性に関連する重要な情報が提供される。
【００１４】
図５は、図４に図示されたシステムの正面平面図であり、図示を簡略化するためにノズル２１０が取り除かれている。図５は、一対の照明ビーム３１２Ａ、３１２Ｂを発生させている画像取得システム３００を図示し、このビーム３１２Ａ、３１２Ｂは、照明光学系３１４Ａ、３１４Ｂにそれぞれ当たる。照明光学系３１４Ａ、３１４Ｂは照明の方向を変え、結像光学系３１８Ａ、３１８Ｂは、二つの異なる視点からの部品３０４の逆光の視界を提供する。視点の角度間隔は、好ましくは９０度である。しかし、本発明の実施形態に従って任意の好適な角度間隔を用いることができ、かつ二つ以上の視点を用いることができることが明確に意図されている。好ましくは、画像取得システム３００は、システム３００の単一の結像動作で、複数の視点を有する単一の画像を取得する。加えて、光学系３１４Ａ、３１４Ｂ、及び／又は３１８Ａ、３１８Ｂの構成は、光パワーを有するかまたは有していないエレメント、及び伝送又は反射に用いられるエレメントを含むことができる。好ましくは、これらの光学系は、システム３００の一つ以上の照明源から発せられる照明の方向を変えて調整する。しかし、本発明の実施形態はまた、システム３００上又は内部に配設しなくてもよい照明源も含む。
【００１５】
図６は、本発明の実施形態で取得された、代表的な３視点のピッキング前の画像の線図である。画像３５０は、左画像部３５２、中央画像部３５４、及び右画像部３５６を含む。それぞれの画像部３５２、３５４、及び３５６は、異なる角度からのノズル２１０を示す。加えて、図６は中央画像部３５４を図示し、左及び右画像部３５２、３５６と比較して大きくした拡大率を有する。
【００１６】
図７は、図６に図示された３視野の実施形態の代表例の線図であるが、部品３０４のピッキング動作後である。図７に図示するように、左画像部３５２は、一方向にある部品３０４を示し、一方、右画像部３５６は異なる視点からの部品３０４を図示する。さらに、中央画像部３５４は、離れた、中間の視点からの部品３５４を示す。異なる視点から得られたさまざまな画像を比較及び／又は対比することにより、重要な部品ピッキング情報を判断することができる。さらに、それぞれのピッキング後の画像部を、それぞれのピッキング後の画像部と比較及び／又は対比して、異なる画像を形成することで、無関係な特徴を除去しながら、部品の画像が容易に分離される。そして、三つの異なる画像を比較又は対比することにより、ピッキングの有効性の情報を発するための比較的簡単な手法が提供される。
【００１７】
図８は、電子アセンブリ機械のピッキング動作に関する複数の画像セットを取得するための方法４００のフロー図である。方法４００はステップ４０２で始まり、ここでピッキング前のトリガが生成されるか又は受け取られる。ピッキング前のトリガは、各ピッキング動作前の厳密な時点で確実に信号を送ることができる任意の好適な手法又は装置によって、任意の好適な方法で、提供されることができる。トリガは、電子アセンブリ機械の一つ以上のエンコーダによって提供されるＸ、Ｙ座標４０４を監視することによって生成することができる。これに代えて、又は加えて、ピッキング前のトリガを、取り付けヘッド又はノズル２１０の特定のＺ運動４０６によって生成することができる。またさらには、ピッキング前のトリガは、少なくとも部分的にタイミング機能４０８に基づいて生成することができる。装着部又は電子アセンブリ装置からのノズル２１０及び部品３０４の位置を、デコーダ信号又はその他の好適な信号を介して通信することで、ステップ４０２からのピッキング前のトリガにより、ブロック４１０に示すように、画像取得システム３００に、異なる視点からのノズルを示す複数の画像部を有する、少なくとも一つのピッキング前画像を取得させる。上述のように、好ましくは、ピッキング前の画像は、画像取得システム３００の単一の撮像動作の間に得られる。複数のピッキング前画像部が並べられて、好ましくは９０度離されて、異なる視点からのノズルを示す。次に、ブロック４１２で、アセンブリ機械は部品供給部１６０から部品３０４をピッキングする。ブロック４１４で、ピッキング後のトリガが生成されるか又は得られる。ピッキング後のトリガは、Ｚ運動、たとえば４１６の所定距離の上方向へのノズル運動に応じて生成することができるか、又はピッキング後のトリガをタイミング４１８と関連させることができる。たとえば、ピッキング後のトリガは、部品３０４がピッキングされた後の厳密な時間を生じさせるように設定することができる。いったんピッキング後のトリガが生成されると、画像取得システム３００は、ブロック４２０に示すように、異なる視点からのノズルを示す複数の画像部を有するピッキング後の画像を取得する。ピッキング後の画像部は、実質的にピッキング前の画像部と同じ視点である。さらに、ピッキング後の画像部は、ピッキング後の画像と同じ結像光学系を介して、及び同じ画像取得システムによって得られる。したがって、所定のピッキング前画像部と、それぞれのピッキング後画像部との間の異なる画像の生成は、選択された視点でピッキングされた部品が容易に分離される。ブロック４２２では、さまざまな画像、好ましくは異なる画像が、対比されて比較される。ブロック４２２で画像分析が行われ、結果として、ブロック４２４でピッキング指示が提供される。好適なピッキング指示の例は、誤差や欠陥が生じていないこと、ピッキングされた部品が完全にツームストーンであること、ピッキングされた部品が部分的にツームストーンであること、ピッキングされた部品がビルボード状態であること、部品が一つの角でピッキングされていること、又はピッキングされた部品がないことの指示とすることができる。
【００１８】
本発明の実施形態は、従来の技術を越える多くの利点を提供する。特に、好ましくは９０度離れた、少なくとも二つの異なる観点から撮像が行われ、部品の不都合な方向付けを、より効果的に分析することができる。さらに、各ピッキング動作の直後にデータが取得され、分析された結果はピッキングされた部品の取り付けの必要が生じる十分前に利用可能となる。またさらには、前述のとおり、ピッキング評価及び取り付け評価に、同じカメラ及び照明システムを用いることができる。
【００１９】
好ましい実施形態を参照して本発明を説明してきたが、当業者においては、本発明の本質及び範囲から逸脱することなく、形状及び詳細に改変を加えてもよいことが理解されよう。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態を実施することができる、カーテシアンピックアンドプレース機械の線図である。
【図２】本発明の実施形態を実施することができる、タレットピックアンドプレース機械の平面線図である。
【図３】部品取り付け機械のピックアップポイントとともに並べられた、画像取得システムの簡略化された線図である。
【図４】本発明の実施形態のピッキング動作に関する一つ以上の画像を取得するために配設された、画像取得システムの線図である。
【図５】図を簡略化するためにノズルが取り除かれた、図４に図示されたシステムの正面平面図である。
【図６】本発明の実施形態によって取得されたピッキング前画像の、代表的な３視点の線図である。
【図７】ピッキング動作後に取得された、図６に図示された３視点の実施形態の代表的な線図である。
【図８】電子アセンブリ機械のピッキング動作に関する複数の画像セットを取得するための方法のフロー図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
2008541489.tif 000011
2008541489.tif 000012
2008541489.tif 000013