(57)【要約】【課題】実行可能な程度にできるだけボンドフィンガーピッチを減ずることができるワイヤボンド相互接続を提供する。【解決手段】ダイパッドとボンドフィンガーとの間のワイヤボンド相互接続は、リードフィンガーのボンドサイトにサポート台座と、ダイパッド上のボールボンドと、前記サポート台座上のスティッチボンドとを備える。ボンドサイトでのリードフィンガーの幅はサポート台座の径より小さい。リードフィンガーは、概ね台形状、又はおおよそ（先端を断ち切った）三角形状、又はおおよそ（曲線的な頂点を具備する）三角形状の断面を有することが可能である。【選択図】図３（Ａ）
2008520111.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイパッドとボンドフィンガーとの間のワイヤボンド相互接続であって、リードフィンガーのボンドサイトにサポート台座と、ダイパッド上のボールボンドと、前記サポート台座上のスティッチボンドとを備えることを特徴とするワイヤボンド相互接続。
【請求項２】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、サポート台座の径より狭くなっていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項３】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、サポート台座の径より狭い平坦部を備えることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項４】
前記平坦部は、略平面であることを特徴とする請求項３に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項５】
前記平坦部は、曲線的であることを特徴とする請求項３に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項６】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、頂点を備えることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項７】
前記頂点は、丸められていることを特徴とする請求項６に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項８】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーの断面は、ベースと平坦部との間に傾斜した側面を備える略台形状の外観を有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項９】
前記平坦部は、略平面であることを特徴とする請求項８に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１０】
前記平坦部は、丸められていることを特徴とする請求項８に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１１】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーの断面は、ベースと切断された先端部との間に傾斜した側面を備える略三角形状の外観を有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１２】
前記切断された先端部は平面であることを特徴とする請求項１１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１３】
前記切断された先端部は丸められていることを特徴とする請求項１１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１４】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーの断面は、頂点で交わる傾斜した側面を備える略三角形状の外観を有することを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１５】
前記頂点は丸められていることを特徴とする請求項１４に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１６】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、高所より相対的に幅広となっていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１７】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、高所より相対的に幅狭となっていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１８】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、約40μmより小さい幅を有する平坦部を備えることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項１９】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、ベースと、平坦部または頂点へ向けて集束する傾斜した側面を備え、サポート台座は、傾斜した側面の少なくとも1つについての少なくとも上部に一致するように変形することを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項２０】
サポート台座は、該台座の一部がリードフィンガーと共に基板の誘電体に接触するように、傾斜した側面の少なくとも1つの全高さに一致することを特徴とする請求項１９に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項２１】
ボンドフィンガーはメッキされていることを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項２２】
ボンドフィンガーはメッキされていないことを特徴とする請求項１に記載のワイヤボンド相互接続。
【請求項２３】
複数のワイヤボンドによって基板にマウントされると共に電気的に接続されるダイを備える半導体パッケージであって、各ワイヤボンドは、ダイ上のパッドへボンドされるワイヤボールと、リードフィンガー上のボンドサイトの上のサポート台座へボンドされるスティッチとを備えることを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項２４】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーの幅は、サポート台座の径より小さいことを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項２５】
リードフィンガーボンドピッチは、約100μmより小さいことを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項２６】
リードフィンガーボンドピッチは、約95μmより小さいことを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項２７】
リードフィンガーボンドピッチは、約90μmより小さいことを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項２８】
リードフィンガーボンドピッチは、約80μmから約100μmの範囲内であることを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項２９】
リードフィンガーボンドピッチは、ダイパッドピッチとほぼ同じであることを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項３０】
パッケージ基板は、2段の基板であり、各段は、複数のリードフィンガーを備え、第１段及び第２段のリードフィンガーは、前記２段の基板についての効果的なリードフィンガーピッチが基板の各段についてのリードフィンガーピッチの半分となるように交互に配列されていることを特徴とする請求項２３に記載の半導体パッケージ。
【請求項３１】
基板の各段のリードフィンガーは、２段の基板についての効果的なリードフィンガーピッチがダイパッドピッチとほぼ同じとなるように、ダイパッドピッチの約２倍のリードフィンガーボンドピッチを有することを特徴とする請求項３０に記載の半導体パッケージ。
【請求項３２】
半導体ダイと基板との間のワイヤボンド相互接続を形成する方法であって、パターン付けされた配線を有する基板が該基板の第１面にリードフィンガーを備え、当該基板の第１面のダイマウント部に取付けられ、アクティブ面を基板から離れた方向へ向けられるダイを供給することと；リードフィンガーのボンドサイト上にサポート台座を形成することと；ダイパッド上に第１ボンドを形成することと；サポート台座上に第２ボンドを成形することとを備えることを特徴とする方法。
【請求項３３】
第１ボンドは、ボールボンドを備えることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
第２ボンドは、スティッチボンドであることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３５】
サポート台座を形成することには、スタッドバンプの形成におけるようなワイヤボンディングツールを使用することが具備されていることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３６】
サポート台座は、金属的にリードフィンガーへボンドされることを特徴とする請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
サポート台座は、スタッドバンピング操作にて形成されることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３８】
サポート台座は金であることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３９】
リードフィンガーは銅からなることを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体パッケージングに関し、特にワイヤボンド相互接続に関する。
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】
【０００２】
本出願は、「ボール接触集積回路システム」と題された2005年11月12日にファイルされた米国仮出願No.60/627,650の利点を主張する。該出願は、ここに参照されることによって組み込まれる。
【０００３】
ワイヤボンディングは、デバイスが使用される電気回路に半導体デバイスを相互接続するための広く認められた手段をもたらす。例えば、特に、ワイヤボンドは、ダイのアクティブ面のパッドと基板のリードフレームまたはリードフィンガー上のボンドサイトとの間の接続を形成するために用いられる。
【０００４】
半導体処理における開発は、半導体ダイの要素の数と密度との増大をもたらし、従って、それが使用される環境と共に、ダイの相互接続のためのより大量の、より小さくそしてより綿密に配列されたパッドがもたらされた。例えば、典型的なダイパッドピッチは、約45〜50μmである。
【０００５】
実際には、一つには処理制限のために、典型的な基板上のリードフィンガーの密度は著しく高く、従来の基板のリードフィンガーピッチは、ダイパッドピッチより約3倍大きくなっている。結果として、ワイヤは、ダイパッドからリードフィンガー上のボンドサイトまで「散開し」なければならない。
【０００６】
配線とボンドフィンガーとを具備する基板上の金属層における電気回路は、通常、基板の誘電体上の金属層(例えば銅など)を、マスキングし、パターン付けし、そしてエッチングすることによって形成される。通常、パターン付けされたエッチは、例えばその上にスティッチボンドが形成されるボンドフィンガー上の「フラット」または「パッド」が基板に隣接するベースより狭くなるように、概ね台形状の横断面を備える配線を結果として生じている。一般に、従来のリードフィンガー上のフラットは、その上に形成されるスティッチボンドより相当幅広であり、また、従来のリードフィンガー上のフラットは、ワイヤ径の約2〜3倍幅広である場合もある。典型的なフラット幅は、例えば約40μmであり、リードフィンガーの横断面が概ね台形状(ベースより狭いフラット)であるので、それを伝達する基板の誘電体でのリードフィンガーの幅は、多少大きくなっている。さらに、例えば電気回路が銅である場合、通常、パターン付けされたボンドフィンガーは、 (約5〜10 μmの厚さに)ニッケルと(約0.5μmの厚さに)金とでメッキされ、ボンドフィンガーの全幅が更に追加される。デブリをメッキすることは、メッキされたリードフィンガーを隣接する誘電体に残してしまうことがあり、電気的なショートを回避するため、隣接したリードフィンガー間の更なる分離を必要とする。これら及び他の様々な処理制限のため、隣接した配線またはボンドフィンガー間の設計距離(それは一般に約45μmである)は、現実的な制限の下では減ずることができない。
【０００７】
これらの要件及び制限の結果として、メッキした銅の配線を有する従来の基板において、リードフィンガーピッチは、例えば約130μmとなる場合もある。ダイパッドピッチが約50μmである場合、例えば、ダイの1つの端縁に沿うパッドの列からのワイヤボンドは、ダイパッドの列のほぼ3倍の幅となり得るリードフィンガーの列にまで散開しなければならない。これは、基板がダイよりずっと大きく、そしてワイヤが非常に長くなっていることを必要とする。より大きな基板の大きさとより長いワイヤとは、より大きな素材と加工費とを結果として生じている。さらに、無線周波数(rf)シグナルがダイと基板との間で伝えられる場合には、rfシグナルを伝える長いワイヤが近くのワイヤまたは電気回路との電磁的干渉の原因となり得るので、より長いワイヤは不適当である。
【０００８】
従って、実行可能な程度にできるだけボンドフィンガーピッチを減ずることが望ましい。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００９】
1つの一般的な側面において、本発明は、ダイパッドとボンドフィンガーとの間のワイヤボンド相互接続であって、リードフィンガーのボンドサイトにサポート台座と、ダイパッド上のボールボンドと、前記サポート台座上のスティッチボンドとを備えることを特徴とする。いくつかの形態において、リードフィンガーは、ボンドサイトにおいてリードフィンガーのフラットがサポート台座の直径より狭くなるように、ボンドサイトにて狭くなっている；そして、他の形態において、ボンドサイトにおいてリードフィンガーのフラットは、とても狭くなっているため、該フラットは平面というよりも頂点の形状を有する。
【００１０】
ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、基板の誘電体にベース面を備えており、平坦部、平面、または頂点は、基板の誘電体から離れる方向に向いている。ボンドサイトにおいてリードフィンガーの断面は、ベースと平坦部との間に傾斜した側面を備える概ね台形状の外観を有し、前記平坦部は、平面または丸められていてもよい；或いは、前記断面は、ベースと切断された先端部との間に傾斜した側面を備える概ね三角形状の外観を有してもよく、前記切断された先端部は平面または丸められていてもよい；或いは、前記断面は、尖ったまたは曲げられた頂点で交わる傾斜した側面を備える概ね三角形状の外観を有してもよい。即ち、実施形態においては、ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、高所より相対的に幅広となっており、断面形状は、概ね台形状であり、多少丸められた平坦部を有してもよい；そして、他の実施形態においては、ボンドサイトにおいてリードフィンガーは、高所より相対的に幅狭となっており、断面形状は、より三角形状に近く、多少丸められた頂点を有してもよい。
【００１１】
いくつかの形態において、リードフィンガーのボンドサイトでの平坦部は、約40μmより小さい幅を有する；即ち、前記平坦部は、実質的に0(頂点を形成する)から約40μmの範囲の幅を有している。前記サポート台座は、その上で後に形成されるスティッチボンドのためのランディングエリアを広げるという作用があり、さもなければ狭いボンドサイトへのスティッチボンドの位置合わせミスに起因し得るボンドの失敗を減らす。
【００１２】
いくつかの形態において、サポート台座は、それが傾斜した側面の少なくとも1つの少なくとも上部に一致するように、平坦部または頂点を覆うよう変形する。いくつかのそのような形態において、サポート台座は、該台座の一部がリードフィンガーと共に基板の誘電体に接触するように、傾斜した側面の少なくとも1つの全高さに一致する。
【００１３】
リードフィンガーは、パターン付けされた金属層として基板上に形成される。金属層は、銅または別の導電性金属から構成されてもよく、リードフィンガーが銅からなる場合には、金属層は、例えば、銅を覆うニッケルのフィルムとニッケルフィルムを覆う金のフィルムとでボンドサイトにてメッキされてもよい。
【００１４】
他の側面において、本発明は、複数のワイヤボンドによって基板にマウントされると共に電気的に接続されるダイを備える半導体パッケージであって、各ワイヤボンドは、ダイ上のパッドへボンドされるワイヤボールと、リードフィンガー上のボンドサイトの上のサポート台座へボンドされるスティッチとを備え、ボンドサイトのリードフィンガーの幅がサポート台座の径より小さいことを特徴とする。
【００１５】
いくつかの形態において、リードフィンガーボンドピッチは、約100μmより小さい、または約95μmより小さい、または約90μmより小さくなっている；いくつかの形態において、リードフィンガーボンドピッチは、約80μmから約100μmの範囲にある。いくつかの形態において、リードフィンガーボンドピッチは、ダイパッドピッチとほぼ同じである。
【００１６】
いくつかの形態において、パッケージ基板は、2段の基板であり、各段は、ダイパッドピッチの2倍のリードフィンガーボンドピッチを有する複数のリードフィンガーを備え、第１段と第２段とのリードフィンガーは、前記２段の基板についての効果的なリードフィンガーピッチがダイパッドピッチとほぼ同じとなるように交互に配列されている。
【００１７】
いくつかの形態において、サポート台座は、スタッドバンプの形成におけるようなワイヤボンディングツールを用いて形成され、かかる形態において、サポート台座は金属的にリードフィンガーへボンドされる。サポート台座がスタッドバンピング操作にて形成される金であり、リードフィンガーが銅である場合、例えば、リードフィンガー上のボンドサイトは、メッキされる必要がなく、サポート台座は、直接リードフィンガー上に形成され得る。
【００１８】
他の側面において、本発明は、基板に取付けられるダイを備える半導体パッケージにおいて、ダイは、ダイパッド上で形成されるボールボンドと基板上のリードフィンガーの上のボンドサイトでマウントされたサポート台座の上で形成されるスティッチボンドとをそれぞれ有するワイヤボンドによって、基板に電気的に接続されることを特徴とする。ボンドサイトにおいてリードフィンガーの幅は、サポート台座の径より小さくなっている。
【００１９】
他の側面において、本発明は、半導体ダイと基板との間のワイヤボンド相互接続を形成する方法であって、パターン付けされた配線を有する基板が該基板の第１面にリードフィンガーを備え、当該基板の第１面のダイマウント部に取付けられ、アクティブ面を基板から離れた方向へ向けられるダイを供給することと、；リードフィンガーのボンドサイト上にサポート台座を形成することと；ダイパッド上に第１ボンドを形成することと；サポート台座上に第２ボンドを成形することとのステップを備えることを特徴とする。第１ボンドは、ボールボンドであり、第２ボンドはスティッチボンドである。
【００２０】
リードフィンガーボンドピッチを減少させること(基板上のボンド密度を増大させること)は、より小さな面積を有する基板とより短いワイヤとをもたらす。このことは、素材及び処理についての抑制されたコストを結果として生じる。更に、ワイヤが無線周波数シグナルを伝達する場合、より短いワイヤが、電磁干渉を最小化するために望ましく、高性能rfデバイスにおいてワイヤボンド相互接続の使用を可能にすることができる。
【００２１】
特に、リードフィンガーボンドピッチがダイパッドピッチとほぼ同じ場合には、ワイヤボンド相互接続は直交させてもよい、即ち、ワイヤは、パッドからリードフィンガーに散開する必要がなく、従って、ワイヤボンドは、機器をバインドしている入手可能なワイヤを用いて実行可能な程度に短くされることができる。
【００２２】
本発明にかかるパッケージは、コンピュータ、テレコミュニケーション機器、及び消費者と産業エレクトロニクスとのデバイスを形成するために利用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明は、本発明の代わりの形態を示す図面を参照することによってここにさらに詳しく説明される。図は、本発明の構成とそれらの他の構成及び構造との関係を示す概略図であり、一定の比率ではない。説明をより明確にするために、本発明の形態を示す図において、他の図面において示される要素と一致する要素は、それらすべてがすべての図においてすぐに同一視可能であるけれども、特に番号を付け直されているわけではない。
【００２４】
ここで図1には、従来のワイヤボンド相互接続が示されている。半導体ダイ14は、基板12のダイ取付面上に、アクティブ面を上にしてマウントされ、そしてダイ取付接着剤13を用いてそこに貼付けられる。ダイ14のアクティブ面は、相互接続パッド22を形成する；ダイの他の構成は図においては示されない。基板は、誘電性の素材からなる少なくとも1つの層と、パターン付けされた少なくとも1つの金属層とを備える。基板12のダイ取付面の金属層は、適切な回路配線を形成すべくパターン付けされ、ボンドフィンガー32を備える。ダイ14は、ダイパッド22とボンドフィンガ32との間で形成されるワイヤ26によって基板上の回路と電気的に相互接続される。
【００２５】
ワイヤボンドプロセスはよく知られている。実例となる従来のワイヤボンドプロセスの以下のアウトラインは、例としてのみ提供される。ワイヤボンドは、毛管ボンディングツールと、ワイヤボンドされるデバイスの支持部と、熱源と、前記毛管ボンディングツールに超音波振動を伝えるためのソースおよびトランスデューサとを備え、これらの機械要素の動きおよびそれらの機能のインプリメンテーションを調整する方法、即ち、一般に少なくとも部分的に自動化されており、少なくとも部分的にプログラム化可能なコンピュータ制御に基づく方法を具備する機械装置を用いて形成される。一般にアルミニウムまたは金からなるワイヤは、前記毛管の径内において運ばれ、機械は、前記毛管の先端を通るワイヤの動きを制御する手段を具備する。図1にて例示されるようなワイヤボンドを形成するために、前記ダイは基板に貼付けられ、そして、ダイと基板とはサポートステージに設置される。前記サポートは、基板とダイとを制御可能な程度に熱するヒーターを備えてなる。前記毛管は、ダイと基板との上に平衡にて保持され、ワイヤは、それが前記毛管の先端から選択された範囲まで突出するように、前記毛管の径内を通して供給される。第１ボンドは、以下のように形成される：電気的なアークが、ワイヤの突出端に融解ボールを形成するためにスタックされる。前記毛管は、前記先端がX-Y平面の第１目標とするボンディングサイト(この例におけるダイパッド)の上に位置合わせされるように、ダイと基板との上に移動させられる。前記毛管が第１目標とするボンディングサイトとボールを接触させるべく下降させられると、毛管の先端の面にボールを引き戻すためにワイヤに張力が与えられる。前記毛管は、ボンディングサイトにボールを押圧するためにZ方向に移動し、前記トランスデューサは、毛管に超音波の振動を与えるために作動する。毛管の先端(特に、この段階でボールを引き付ける面)は、ボールが前記目標に対して押圧される際に、ボールに振動を与える。金属ボンドは、ボールと目標との間で形成され、第１ボンド(「ボール」ボンド)が完成される。そして、ワイヤ「ループ」は以下のように形成される：ワイヤは、前記毛管が第１目標から離れて上昇させられる際に毛管を通して供給され、そして、ダイと基板とに関連する(完成されたワイヤボンドの最終形状を制御するための)制御パスにおいて、それが第２目標とするボンディングサイト(この例における基板の配線上のパッド又はボンドフィンガー)上のX-Y平面に位置合わせされるポジションへ移動させられる。そして、第２ボンドは、以下のように形成される：前記毛管は、第２目標とするボンディングサイトにワイヤを押圧するために下降し、そして再び、トランスデューサは、それがワイヤと前記目標との間で金属ボンドを形成して前記目標に押込まれるようにワイヤに振動を与えるよう作動する。そして、前記毛管は、ボンドサイトに沿って動かされ、その際上昇させられ、そして、前記毛管の先端から突出しているワイヤの「末部」を形成する。最後に、ワイヤは、前記毛管がさらに上昇するとつかまれ、第２ボンドの近くでワイヤを切断すると共に前記毛管の先端から突出しているワイヤの「末部」を残して、ワイヤ端での電気的なアークによるその後のボールを形成する状態となる。
【００２６】
第１(「ボール」)ボンドの外観は、図2(A)及び2(B)の2つの図にて図示されており、第２(「スティッチ」)ボンドの外観は、図3(A)及び3(B)の2つの図にて図示される。完成したボールボンドは、ダイパッド22に金属的にボンドされた圧縮ボール24を備える。完成したスティッチボンドは、ボンドフィンガー32上の「フラット」または「パッド」に金属的にボンドされた押しつぶされたワイヤ端34を備える。ワイヤの残りは、35で示されるように、パッドの上の適所に残り得る。高く評価されるべきことは、毛管の先端(特に面)の形状と大きさとに関する他の事項と、様々な他の処理パラメータとに依存すれば、第１及び第２ボンドの形状のいくつかのバリエーションが予期されことである。特に、第２ボンドの外観についてのいくつかのバリエーションは、ワイヤがボンドを完成するために切断されるという事実のため、与えられた機械と処理パラメータとの使用に起因し得る。
【００２７】
特に図3(A)に示されるように、ボンドフィンガー又はボンドパッドは、上述したように、通常、一般に平らな「ランディング」面、時々「フラット」と称される面をボンドサイトに備えている。この面は、その上でボンドが形成され、その上で形成される完成されたスティッチボンドより相当広い。
【００２８】
上述の処理は、「後」ワイヤボンディングプロセスと対比して、「前」ワイヤボンディングプロセスとよく称される。後ワイヤボンディングプロセスにおいては、第１(「ボール」)ボンドは、リードフィンガーフラットまたはパッド上で形成され、第２(「スティッチ」)ボンドは、ダイパッド上で形成される。後ワイヤボンディングプロセスが、ダイのアクティブ面とのワイヤの接触を避けるために、ワイヤの第２端を持ち上げて、第２ボンドの近くで基板をダイと接続することが望ましい。従って、後ワイヤボンディングプロセスにおいては、その上で第２(「スティッチ」)ボンドが形成されるボールがダイパッド上に形成されてもよい。そのような手順は、米国特許No.6,561,411リーにおいて例示される。
【００２９】
そのような後ワイヤボンド相互接続についての説明に役立つ実例は、図4に例示される。図1の前ワイヤボンドについての例において、半導体ダイ14は、基板12のダイ取付面上にアクティブ面を上にしてマウントされ、ダイ取付接着剤13を用いてそこに貼り付けられる。ダイ14のアクティブ面には、相互接続パッド22が形成されている；ダイの他の構成は図示しない。基板は、誘電性の素材と少なくとも1つのパターン付けされた金属層との少なくとも1つの層を具備する。基板12のダイ取付面の金属層は、ボンドフィンガー32を含む適切な回路配線を形成するためにパターン付けされる。ダイ14は、ダイパッド22とボンドフィンガー32との間で形成されるワイヤ26によって基板上の電気回路と電気的に相互接続される。後ワイヤボンド構造において、第１(「ボール」)ボンド24は、ボンドフィンガー32の「フラット」又は「パッド」上に形成され、第２(「スティッチ」)ボンド54は、ダイパッド22上に予め蒸着されたボールとして形成される台座56上に形成される。
【００３０】
ダイパッド22上のボール56上の第２(「スティッチ」)ボンド54についての概略図は、図5に例示される。
【００３１】
前ワイヤボンディングが採用されると、基板上の相互接続間のピッチをボンディングサイトの幅を減ずることによってより少なくすることが原則として可能となり得る。このことは、少なくとも、パターン付けのプロセスでの不確実性、及び、結果的により狭いボンドフィンガー上のスティッチボンドの位置合わせにおけるワイヤボンディングプロセスでの不確実性のため；そして、第２ボンドの結果として生じている粗末な整合性または信頼性またはロバスト性のために、一般に受け入れられていない。正確な位置合わせと、より狭いボンドフィンガーへのスティッチボンドの位置ずれの結果とは、図6(A)及び6(B)に示されている。ここで、ボンドフィンガーは、スティッチボンド(同じ毛管を用いて形成されたボールボンドの圧縮されたボールの径と比較し得るように)より狭い。
【００３２】
理想的な場合を例示する図6(A)に示すように、位置合わせが十分に正確であると、スティッチボンドは、容認できるほど強固であることもある。ここで、破線65にて示される扁平なワイヤの扁平な残部(その形状は信頼できない)がよい伝導性の相互接続を形成することに役立ち得る範囲に依存するかもしれないが、第２ワイヤ端66の部分64と狭いボンドフィンガー62との間の十分によい金属のボンドあってもよい。
【００３３】
図6(B)にて例示するように、位置合わせが完全であるとは言えない場合には、第２ボンディングプロセスは、ボンドフィンガー62とのよい接続を形成することに失敗し得る。ワイヤ端66の結果的な部分64と、第２ボンディングプロセスの残部65との構成が何であるかということは不確かであるが、しかし、何れにしても、一貫する又は信頼できる又は強固なボンドが適切に保証されるはずはない。従って、リードフィンガー上の平面幅を狭めることによってリードフィンガーのピッチを減らそうとすることは一般的に容認できない。
【００３４】
本発明によれば、ボンドフィンガーは第２ボンドサイトで狭く、台座は狭いボンドサイト上で形成され、第２(「スティッチ」)ボンドは台座上で形成される。前記台座は、スタッドバンプを形成する方法にて、例えばボールとして形成され得る。即ち、第１(「ボール」)ボンド相互接続を形成するように、ワイヤボンディング装置は狭いボンドフィンガー上のボールを形成すべく使用されるが、しかし、ループを形成するためにワイヤを引く代わりに、毛管が上方に移動すると、ワイヤは、ボールの上でちょうど切断されるように、「末部」を残して固定される。ワイヤ末部を具備するボールの頂点は、第２(「スティッチ」)ボンドがその上に形成される前に一般的に扁平とされた表面を形成するため、例えば「鋳造」によって扁平とされることもある。スティッチボンドは、一般的に、図3(A)及び3(B)を参照して上述したように形成される。ここで、スティッチボンドは、ボンドフィンガー32の平らなランディング面上というよりも、台座72の(通常扁平である)表面上に形成されることを除く。本発明によると、完成されたスティッチボンドは、台座72に金属的にボンドされる押しつぶされたワイヤ端74を備え、ワイヤの残部は、符号75で示すように、パッド上の所定箇所のままであってもよい。第１及び第２ボンドの形状についてのいくつかのバリエーションは、毛管の先端(特に面)の形状及び大きさについての他の事項と、様々な他のプロセスパラメータとに依存すれば予期されるであろう。特に、第２ボンドの外観についてのいくつかのバリエーションは、ワイヤがボンドを完成するために切断されるという事実のために、与えられた機械と処理パラメータとの使用に起因し得る。
【００３５】
本発明にかかる結果として生じている第２ボンドは、図7(A)、7(B)に例示される。リードフィンガーの狭いボンドサイト62は、略台形状、又はおおよそ（先端を断ち切った）三角形状、又はおおよそ（曲線的な頂点を具備する）三角形状の断面を有する（図7(C)-7(E)参照)。リードフィンガーのボンドサイト部62がおおよそ平らな表面を具備する略台形状の断面を有していると、ボンドサイトでのボンドフィンガーのフラット・トップ71の幅WPは、サポート台座72の幅（おおよそ直径）WBより小さい。通常、フラット・トップ71の幅WPより多少大きいボンドサイトでのボンドフィンガーのベース73の幅WFは、また、サポート台座72の幅(直径)WBより小さい。一般に、ボンドフィンガーのボンドサイト部の前記トップ71は、完全に平坦でなく、そのエッジは、図に示すほど鋭く規定されていない。図7(D)に示されるように、ボンドフィンガーのボンドサイト部のトップ77は、曲線的であることもある。本発明によると、上述のように、ボンドフィンガーのボンドサイト部のトップは、台座の直径よりも狭くなっており、ボンドフィンガーのボンドサイト部上のサポート台座72を形成するプロセスは、ボンドサイトでのリードフィンガーの周囲でボールを変形させる。従って、本発明によると、ボンドフィンガーは、台座の直径WBよりも比例してずっと狭くすることができ、そして、図7(E)で示すように、ボンドサイトでのボンドフィンガーは、例えば図7(E)で示すように、断面形状が平坦ではないが曲線状とすることができる頂点79を具備するほぼ三角形状であるように狭くすることができる。図7(C)-7(E)の断面図に示すように、ボンドサイトのリードフィンガーが略平らな(図7(A))または丸められた(図7(B))平坦部を具備しているか、或いは、尖ったまたは丸められた頂点(FIG. 7(C))を具備しているかどうかにかかわらず、サポート台座72は、平坦部または頂点の形状に適合している；即ち、サポート台座が形成される際には、それはリードフィンガーの側面の少なくとも1つについての少なくとも上部に適合している。図で例示されるように、サポート台座は、それがリードフィンガー上で対称的に設置され、それに応じて、台座の一部がリードフィンガーの１つ又は２つの側面に等しく変形するように、その形成中にボンドサイトへ正確に位置合わせされる。サポート台座が完全に位置合わせされることは必要でなく、実際には、前記変形は、ある程度非対称であってもよい。さらに、例えばリードフィンガーがＺ方向に十分薄い図8に示すように、サポート台座82の一部は、リードフィンガー63のベースと共に基板12の表面に接触してもよい。図7(C)-7(E)と8とに示されるように、強固な電気的接続がボールとリードフィンガーの比較的狭いボンドサイト部との間で形成され得、第２(「スティッチ」)ボンド75がそのように形成されるサポート台座72、82上で確実に形成され得ることが分かる。
【００３６】
ワイヤ長さ(及び基板面積)がリードフィンガーボンドピッチに依存するので、本発明にかかるボンドピッチの縮小は、飛躍的なワイヤ長さの短縮と基板面積の縮小とを結果として生じる。
【００３７】
高く評価されることとしては、機構の幅が基板上の様々なリード間およびリードフィンガー間で異なり、与えられたリードまたはリードフィンガーの長さに従って異なる。本発明によれば、リードフィンガー(リードフィンガーの少なくとも平坦部)は、ボンドサイト、即ち、サポート台座が形成されるリードの長さに沿う部分でのサポート台座の直径より小さい；配線は、要求されたリードフィンガー密度(および、リードフィンガーボンドピッチ)が得られる限り、他のポイントにてより狭くまたはより広くしてもよい。
【００３８】
図9(A)及び9(B)は、本発明にかかる2つのリードフィンガーの配列の平面図を示し、リードフィンガーボンドピッチがダイパッドピッチより大きくなければならない場合に、ワイヤが散開するというよりも平行して形成されるように、ダイパッドピッチPDPは、リードフィンガーボンドピッチPLFと同じである。そのような配列は、時々「直角」と称され、それは最小のワイヤ長さと基板面積となる。ダイパッド22は、ダイ14の端縁15に沿って配列される。ボンドサイトで狭められたリードフィンガー62は、対応するダイパッドにボンドフィンガーを概ね位置合わせした状態で、基板12のダイ取付面で連続して配列される。サポート台座(図9(A)の72と図9(B)の72’)は、各リードフィンガーの上のリードフィンガーボンドサイトにて形成される；図9(B)では、サポート台座は2つの位置ずれした列にて配列される一方で、図9(A)では、サポート台座は、単一の線にて配列される。図9(B)の配列は、同じピッチ(ダイパッドピッチPDP’；リードフィンガーボンドピッチPLF’)を維持する一方で、最も近いサポート台座間のより大きな距離をもたらす。図9(A)及び9(B)を参照すると、ワイヤボンドは、図7(A)-7(E)及び8に例示するように、ダイパッド22上で第１(「ボール」)ボンド24を形成し、個々のリードフィンガー62(62')ボンドサイトへワイヤ66(66')を引き、サポート台座72(72')上に第２(「スティッチ」)ボンド74(74')を形成することによって、ダイパッドと個々のボンドフィンガーとの間で形成される。
【００３９】
実際には、ボンドサイトでのリードフィンガーの幅が本発明に従って最小化されている場合(例えば図7(E)及び8参照)でも、実用的な(処理技術)制限は、隣接したリードフィンガー間の分離が最小化され得る範囲を抑制する。例えば、標準処理を用いると、約40μmの分離が実用的な最小値である。ダイパッドピッチが50μm以下など非常に良好である場合、図9(A)または9(B)において例示されるような配列においてボンディングしている直角なワイヤを得ることは可能でないかもしれない。ダイパッドピッチが非常に素晴らしい場合にボンディングしている直角なワイヤを得るために、本発明は、図10(A)及び10(B)において例示されるように、段になった(2段階など)基板を用いることを採用し得る。ここで、図9(A)及び9(B)のように、ダイパッドは、ダイ14の端縁に沿って連続して配列される。狭いボンドサイト162を具備するリードフィンガーは、該リードフィンガーがダイパッドの対応する交互のボンドサイト(1番目、3番目、5番目など)に概ね位置合わせされた状態で、第１(下側の)基板12のダイ取付面に第一列にて配列される；狭いボンドサイト162’を具備するリードフィンガーは、該リードフィンガーが第１基板のリードフィンガーとは一致しないダイパッドの交互のボンドサイト（2番目、4番目、6番目など）に概ね位置合わせされた状態で、第２（上側の）基板112の表面に第二列にて配列される。上側の基板の端縁は、下側の基板上のリードフィンガーのボンドサイトが露出されるように後退させられている。
【００４０】
サポート台座72の第一列は、下側の基板12上のリードフィンガー71の露出したリードフィンガーボンドサイトにて形成され、サポート台座172の第２列は、上側の基板112上のリードフィンガー171のリードフィンガーボンドサイトにて形成される。ワイヤボンドは、図7(A)-7(E)及び8に例示するように、ダイパッド22上に第１(「ボール」)ボンド24を形成し、個々のリードフィンガー71,171ボンドサイトへワイヤ66,166を引き、サポート台座72,172上に第２(「スティッチ」)ボンド74,174を形成することによって、ダイパッドと個々のボンドフィンガー、交互の71,171、との間で形成される。この例において、リードフィンガーの下側及び上側の列の両方のリードフィンガーボンドピッチPLF''は、ダイパッドピッチPDP’の倍の大きさである。本発明によると、よいリードフィンガーボンドピッチ（例えば、約80μm〜約100μmの間の範囲）は、リードフィンガーの各々の列にて得られ、そして、2つの列のリードフィンガーが交互となっているので、結合された効果的なリードフィンガーボンドピッチは、各列の半分の大きさ（即ち、例えば上述の場合、約40μm〜約50μmの間）である。これは、約40μmと約50μmと同じくらい小さい範囲内にパッドピッチを有するダイの直角なワイヤボンド相互接続を形成することができ、1mmと同じくらい短い、或いは、より短いワイヤ長さが可能となる。
【００４１】
本発明にかかるワイヤボンド相互接続を形成するための一般的なプロセスでの段階は、図11(A)-11(D)にて示されている。図11(A)は、ダイ14がダイ取付接着剤13を用いて基板12のダイ取付面にマウントされる段階を示す。電気的相互接続パッド22は、ダイのアクティブ面に位置される。狭いボンドサイト62を有するリードフィンガーは、基板の金属層においてパターン付けされる。図11(B)に例示するように、ワイヤボンド装置を用いて、ボール272は、リードフィンガー62のボンドサイトにスタッドバンピング手段を衝突させるスタッドによって形成される。その後、ボールは、図11(C)に例示するように、リードフィンガー上のボンドサイトにてサポート台座72を形成するために、例えば鋳造することによって平らにされる。その後、ボールボンド24は、ダイパッド22上で形成され、ワイヤ26は、リードフィンガー62上のボンドサイトに引かれ、そして、スティッチボンド74は、サポート台座72上で形成される。他のステップは、技術分野にてよく知られているステップを含めて、間に差し挟まれる、または、追加される。例えば、すべての対応するリードフィンガーとのすべての適合するダイパッドのワイヤボンディングに続いて、ダイとワイヤとがモールドされる、又は、カプセル化される。
【００４２】
他の形態はクレームに含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】ダイと基板との間の従来の前ワイヤボンド相互接続を形成している、基板に取付けられた半導体ダイを示す正面概略図。
【図２】(A)は、ダイ上のパッドへのワイヤの従来の第１ボンドを示す、図1のような従来の前ワイヤボンド相互接続の一部についての平面概略図であり、(B)は、(A)に示す従来の第１ボンドを示す正面概略図。
【図３】(A)は、基板上のボンドフィンガへのワイヤの従来の第２ボンドを示す、図1のような従来の前ワイヤボンド相互接続の一部についての平面概略図であり、(B)は、(A)に示す従来の第２ボンドを示す正面概略図。
【図４】ダイと基板との間の従来の後ワイヤボンド相互接続を形成している、基板に取付けられた半導体ダイを示す正面概略図。
【図５】ダイパッド上のボールに接するワイヤの従来の第２ボンドを示す正面概略図。
【図６】(A)は、基板上の狭いボンドフィンガへのワイヤの正確に位置決めされた第２ボンドを示している、図1に示す従来の前ワイヤボンド相互接続の一部についての平面概略図であり、(B)は、基板上の狭いボンドフィンガへのワイヤの位置決め不良の第２ボンドを示している、図1に示す従来の前ワイヤボンド相互接続の一部についての平面概略図。
【図７】(A)は、基板上の狭いボンドフィンガ上の台座へのワイヤの第２ボンドを示している、本発明の形態にかかる狭いボンドフィンガへの前ワイヤボンド相互接続の一部についての平面概略図であり、(B)は、(A)に示す、本発明の形態にかかる第２ボンドを示す正面概略図であり、(C)は、(A)および(B)に示す7C線での第２ボンドを示す断面概略図であり、(D)および(E)は、様々な狭いボンドフィンガ構造を示している、(C)のような断面概略図。
【図８】本発明の形態にかかる第２ボンドを示す断面概略図。
【図９】(A)および(B)は、本発明の形態にかかる基板の一部とダイの一部との高密度相互接続を示す平面概略図。
【図１０】本発明の形態にかかる階段状の基板の一部とダイの一部との高密度相互接続を示す断面概略図。
【図１１】(A)乃至(D)は、本発明の形態にかかるダイと基板との第１(図の右側)及び第２(図の左側)の相互接続の形成に関するステップを示す断面概略図。
【符号の説明】
【００４４】
26…ワイヤ、32…ボンドフィンガー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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