(57)【要約】アンテナ１０は、基板６８と、基板上のダイポールアンテナ素子７０のアレイを含む。それぞれのダイポールアンテナ素子７０は、中間の給電部分７２と、そこから外側の延出する足７４のペアを含む。隣接するダイポールアンテナ素子７０の隣接する足は、その間でインピーダンス結合をもつ、それぞれ離れて配置される端部分７６を含む。インピーダンスマッチングレイヤ２４は、基板６８に反対側にあるダイポールアンテナ素子７０のアレイのサイドに隣接する。インピーダンスマッチングレイヤ２４は、離れて配置される導体素子３０のアレイを含む。
2008541499.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
それぞれのダイポールアンテナ素子が中間の給電部分と該給電部分から外側に延出する足のペアとを有する、前記基板上のダイポールアンテナ素子のアレイと、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足は、その間にインピーダンス結合をもつそれぞれ離れて配置される端部分を含み、
前記基板の反対側にあるダイポールアンテナ素子の前記アレイのサイドに隣接し、離れて配置される導電素子のアレイを有する少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤと、
を有するアンテナ。
【請求項２】
前記導電素子は、互いに離れて周期的に配置される、
請求項１記載のアンテナ。
【請求項３】
それぞれの導電素子は、導電ループを有する、
請求項１記載のアンテナ。
【請求項４】
それぞれの導電素子は、六角形の形状を有する、
請求項３記載のアンテナ。
【請求項５】
前記隣接する足における前記離れて配置される端部分は、かみ合った櫛型の部分を有する、
請求項１記載のアンテナ。
【請求項６】
基板と、
それぞれのダイポールアンテナ素子が中間の給電部分と該給電部分から外側に延出する足のペアとを有する、前記基板上のダイポールアンテナ素子のアレイと、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足は、その間に容量性結合をもつそれぞれ離れて配置される端部分を含み、
前記基板の反対側にあるダイポールアンテナ素子の前記アレイのサイドに隣接し、離れて配置される導電性ループのアレイを有する少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤと、
前記ダイポールアンテナ素子のアレイに接続されるコントローラと、
を有するフェーズドアレイアンテナ。
【請求項７】
前記導電性ループは、互いに離れて周期的に配置される、
請求項６記載のフェーズドアレイアンテナ。
【請求項８】
それぞれの導電性ループは、六角形の形状を有する、
請求項６記載のフェーズドアレイアンテナ。
【請求項９】
前記少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、前記離れて配置される導電素子のアレイを支持する誘電層を有する、
請求項６記載のフェーズドアレイアンテナ。
【請求項１０】
前記隣接する足における前記離れて配置される端部分は、かみ合った櫛型の部分を有する、
請求項６記載のフェーズドアレイアンテナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インピーダンスマッチングレイヤを持つフェーズドアレイアンテナ及び関連する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
既存のフェーズドアレイアンテナは、通信システムを含めて様々な用途の多様なコンフィギュレーションを含む。例となる通信システムは、パーソナルコミュニケーションサービス（ＰＣＳ）システム、サテライトコミュニケーションシステム及び航空宇宙通信システムを含み、低コスト、軽量、低いプロファイル及び低いサイドローブのような特性を必要とする。
【０００３】
これら望まれる特性は、プリント回路アンテナにより一般に提供される。プリント回路アンテナの最も簡単な形式は、マイクロストリップアンテナであり、ダイポールアンテナエレメントのような平坦な導電性エレメントは、一様な厚さの絶縁性シートにより、単一の本質的に連続なグランドプレーンから離れて配置される。
【０００４】
一般に、フェーズドアレイアンテナの放射パターンは、振幅及び位相の両者においてアンテナ素子の電流を規定することで決定される。係るアレイにおけるアンテナ素子間の配置は、通常、２分の１波長よりも短く、素子間の結合（inter-element performance）は、パフォーマンスを制限する可能性がある。アンテナ素子の電流は、この素子間の結合と共に、個々のアンテナ素子の通常のインピーダンスとは異なるそれぞれのアンテナ素子に対する入力インピーダンスを生成する。
【０００５】
ダイポールアンテナ素子のアレイを有する例となるフェーズドアレイアンテナは、Ｔａｙｌｏｒ等による米国特許第６，５１２，４８７号に開示されており、その完全な形で引用により本明細書に盛り込まれ、本発明の現在の譲受人に割り当てられる。フェーズドアレイアンテナは、広い帯域幅（約９：１）を示すが、帯域の多くにわたり良好に適度に整合される。個々のダイポールアンテナ素子とのインピーダンス整合は、帯域幅が増加するにつれて品質が低下する傾向にある。アンテナのゲインはこのインピーダンス整合の品質に関連するので、アンテナのパフォーマンスは、インピーダンス整合が低下するにつれて典型的に減少する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述された背景に鑑みて、本発明の目的は、フェーズドアレイアンテナのインピーダンスマッチングを改善することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る上記目的、特徴及び利点、並びに他の目的、特徴及び利点は、基板と、前記基板上のダイポールアンテナ素子のアレイを有するアンテナにより提供される。それぞれのダイポールアンテナ素子は、中間の給電部分と、そこから外側に延びる足のペアを有し、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足は、その間にインピーダンス結合をもつそれぞれ離れて配置される端部分を含む。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、基板の反対側にあるダイポールアンテナ素子のアレイのサイドに隣接する。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、離れて配置される導電性素子のアレイを有する。
【０００８】
少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、フェーズドアレイアンテナの帯域幅にわたり個々のダイポールアンテナ素子のインピーダンス整合を改善する。これは、主に、ダイポールアンテナ素子との少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤの近接場の結合によるものであり、フェーズドアレイアンテナの素子間の結合を増加させる。改善されたインピーダンス整合は、アンテナのＶＳＷＲを低下させ、アンテナゲインを増加させる。
【０００９】
インピーダンスマッチングレイヤの導電性素子は、互いに周期的に離れて配置される。それぞれの導電性素子は、導電性ループを有し、それぞれの導電性ループは、たとえば六角形の形状を有する。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、離れて配置される導電性素子のアレイを支持する絶縁レイヤを有する。さらに、少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、複数のインピーダンスマッチングレイヤを有する。
【００１０】
隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足のそれぞれ離れて配置される端部分間の容量結合は、隣接する足の予め決定された形状及び相対的なポジショニングにより提供される。１実施の形態では、それぞれの足は、長く延びたボディ部分、及び長く延びたボディ部分の端に接続された拡大された幅の端部分を有する。別の実施の形態では、隣接する足における離れて配置された端部分は、かみ合った櫛型（interdigitated）の部分を有する。更に別の実施の形態では、それぞれのインピーダンス素子は、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足の、離れて配置される端部分に関連される。
【００１１】
アンテナは、所望の周波数レンジを有し、隣接する足の端部分間の間隔は、最も高い所望の周波数の約半波長よりも短い。ダイポールアンテナ素子のアレイは、二面偏波を提供するため、直交するダイポールアンテナ素子の第一及び第二のセットを有する。
【００１２】
アンテナは、ダイポールアンテナ素子のアレイの反対側にある基板のサイドに隣接するグランドプレーンを更に有する。アンテナは、所望の周波数レンジを有し、グランドプレーンは、最も高い所望の周波数の約半波長よりも短いダイポールアンテナ素子のアレイから離れて配置される。ダイポールアンテナ素子のアレイは、大きさを合わせて作られ（sized）、アンテナが約９：１の周波数の帯域幅にわたり動作可能であるように、相対的に位置合わせされる。例となる周波数レンジは、たとえば２〜１８ＧＨｚである場合がある。それぞれのダイポールアンテナ素子は、プリントされた導電層を有する。
【００１３】
本発明の別の態様は、基板、基板上のダイポールアンテナ素子のアレイを有するフェーズドアレイアンテナに向けられる。それぞれのダイポールアンテナ素子は、中間の給電部分と、そこから外側に延出する足のペアとを有し、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足は、その間で容量性結合をもつそれぞれ離れて配置される端部分を含む。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、基板の反対側にあるダイポールアンテナ素子のアレイのサイドに隣接する。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤは、離れて配置される導電性ループのアレイを有する。コントローラは、ダイポールアンテナ素子のアレイに接続される場合がある。  
更に別の本発明の態様は、先に定義されたアンテナを製作するする方法に向けられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明は、本発明の好適な実施の形態が示される添付図面を参照して以下に更に十分に記載される。しかし、本発明は、多くの異なる形式で実施され、本明細書で述べた実施の形態に限定されるとして解釈されるべきではない。むしろ、これらの実施の形態は、この開示が全体的かつ完全であり、当業者にとって本発明の範囲を完全に伝達するように提供される。同じ符号は、全体を通して同じエレメントを示し、プライム、ダブルプライム、トリプルプライムの表記は、代替的な実施の形態で類似のエレメントを示すために使用される。
【００１５】
はじめに図１及び図２を参照して、本発明に係るフェーズドアレイアンテナ１０が記載される。アンテナ１０は、航空機又は宇宙船のノーズコーン１２又は他の厳重な搭載部材に搭載される。送信及び受信コントローラ１４は、当業者により容易に想定されるように、アンテナ１０に接続される。
【００１６】
フェーズドアレイアンテナ１０は、図２に示されるように複数のレイヤから形成されることが好ましい。これらのレイヤは、フレキシブル（flexible）であり、グランドプレーン２２と少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤ２４との間で挟まれる、ダイポールレイヤ２０又はカレントシートを含む。絶縁層２６は、グランドプレーン２２とダイポールレイヤ２０の間にあり、絶縁層２８は、ダイポールレイヤとインピーダンスマッチングレイヤ２４の間にある。例示されていないが、それぞれの接着層は、フレキシブルかつコンフォーマルなアンテナ１０を形成するため、ダイポールレイヤ２０、グランドプレーン２２、インピーダンスマッチングレイヤ２４及び絶縁層２６，２８を全体で固定する。勿論、レイヤを固定する他のやり方も使用される。
【００１７】
少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤ２４は、アパーチャエリア又はアクティブコンポーネントを追加することなしにアンテナ１０の帯域幅にわたりダイポールレイヤ２０に個々のダイポールアンテナ素子のインピーダンス整合を改善する。本発明者は、これは、主に、ダイポールアンテナ素子とのインピーダンスマッチングレイヤ２４の近接場の結合によるであり、これがアンテナ１０の素子間の結合を増加するものと理論付けている。これにより、アンテナのＶＳＷＲを低下させ、代わりにアンテナゲインを増加させる改善されたインピーダンス整合が得られる。本発明者は、これに結合するのを望むことなしに、インピーダンスマッチングレイヤ２４がダイポールアンテナ素子のインピーダンス整合を改善するためであると理論付けている。
【００１８】
図３に例示されるように、インピーダンスマッチングレイヤ２４は、離れて配置された導電素子３０のアレイを有する。導電素子３０は、非周期的に離れて配置される場合があるが、周期的に互いに離れて配置される。それぞれの導電素子３０は、導電性ループを有し、それぞれの導電ループは、たとえば六角形の形状を有する。導電ループは、卵型、四角形、三角形、五角形、八角形等を含む他の形状を有する場合がある。これら特定の形状は、閉ループであり、当業者により容易に理解されるように、導電ループが必ずしも閉じている必要はない。さらに、導電素子３０は、フローティング、すなわちグランドに結合されていない。
【００１９】
導電素子３０は、周波数選択性の表面（ＦＳＳ）に類似の構成を有する。Ｋｉｌｌｅｎ等による米国特許第６，８０６，８４３号を参照されたい。これは、その完全な形で引用により本明細書に盛り込まれ、本発明の現在の譲受人に譲渡される。導電素子３０は、アンテナ１０の所望の動作周波数の外で共振するようにサイズに設計される。
【００２０】
例示されるアンテナ１０は、たとえば９：１の帯域幅である、２〜１８ＧＨｚにわたり動作する。勿論、本発明に係るアンテナは、この周波数帯域に限定されない。実際に、インピーダンスマッチングレイヤ２４を持つアンテナは、無線周波スペクトル内の他の周波数帯域にわたり動作するようにスケーリングされる。インピーダンスマッチングレイヤの導電素子３０の以下の寸法は、２〜１８ＧＨｚの周波数帯域に関する。それぞれの六角形の形状は、たとえば、０．４５〜０．６５ｃｍのレンジにあるｘ次元３２と、０．５０〜０．７０ｃｍのレンジにあるｙ次元３４を有する。それぞれの六角形の形状の対応する外周は、約１．７〜２．１０ｃｍのレンジにある。それぞれの導電素子３０のライン幅は、典型的に０．０１７ｃｍであり、導電素子３０間のギャップは、約０．０２５〜０．１５ｃｍのレンジで変化する。勿論、これらの部材は、当業者により容易に理解されるように、実際の周波数及び意図される用途に依存して変動する。マッチングレイヤ２４の厚さは、約５〜１０ｍｉｌｓのレンジにある。
【００２１】
導電素子３０は、誘電層２８により支持され、そこにプリントさてる導電性の表面により形成される。誘電層２８は、アンテナ１０の最高動作周波数の２分の１波長よりも短いか、又は２分の１波長に等しい厚さを有する。
【００２２】
低い誘電フィルタ材料は、導電素子３０の間にあり、エアギャップ、粘着フィルム又は他の充填する絶縁材料により形成される。さらに、インピーダンスマッチングレイヤ２４は、図４で例示されるように複数の導電素子のレイヤを有する。別の誘電層３６は、第二の導電素子３０のセットを支持する。例示されていないが、別の誘電層は、第二のインピーダンスマッチングレイヤに関連する導電素子３０の間に位置され、該導電素子３０上に配置される。
【００２３】
インピーダンスマッチングレイヤ２４の有無によるアンテナパフォーマンスは、図５及び図６に例示されている。図５におけるライン５０は、インピーダンスマッチングレイヤ２４を持つ場合、０．５〜２．１ＧＨｚの周波数レンジにわたる測定されたアンテナゲインを表す。ライン５２は、インピーダンスマッチングレイヤ２４を持たない場合、同じ周波数レンジにわたる測定されたアンテナゲインを表す。アンテナ１０のゲインは、インピーダンスマッチングレイヤ２４により約０．５〜１．８ｄＢｉだけ増加される。
【００２４】
図６におけるライン６０は、インピーダンスマッチングレイヤ２４を持つ場合、０．５〜２．１ＧＨｚの周波数レンジにわたり測定されたＶＳＷＲを表す。ライン６２は、インピーダンスマッチングレイヤ２４を持たない場合、同じ周波数レンジにわたるアンテナＶＳＷＲを表す。アンテナ１０のＶＳＷＲは、インピーダンスマッチングレイヤ２４により約２．５：１〜約１．５：１に低減される。
【００２５】
ここで図７及び図８を参照して、ダイポールレイヤ２０のダイポールアンテナエレメント７０のアレイは、より詳細に説明される。ダイポールアンテナエレメント７０の例示されるアレイは、二重偏波を提供するため、直交するダイポールアンテナの第一及び第二のセットを有する。代替的に、インピーダンスマッチングレイヤ２４は、唯一のダイポールアンテナエレメント７０のセットが使用されて単一の偏波が提供されるときに有効である。
【００２６】
ダイポールレイヤ２０は、ダイポールアンテナ素子７０のアレイを定義する、そこにプリントされた導電層を有する基板６８を含む。それぞれのダイポールアンテナエレメント７０は、中間の給電部分７２と、そこから外側に延出する足７４のペアを有する。それぞれの給電線は、基板６８の反対側からそれぞれの給電部分７２に接続される。
【００２７】
隣接するダイポールアンテナ素子７０の隣接する足７４は、隣接するダイポールアンテナ素子の間にインピーダンス結合（すなわち容量性結合）を提供するため、それぞれ離れて配置される端部分７６を有する。隣接するダイポールアンテナ素子７０は、容量性結合を提供するため、予め決定された形状及び相対的なポジショニングを有する。たとえば、隣接するダイポールアンテナ素子７０間のキャパシタンスは、約０．０１６と０．６３６ピコファラッド（ｐＦ）の間にある。勿論、これらの値は、当業者により容易に理解されるように、同じ所望の帯域幅を達成するために実際の用途に依存して、必要に応じて変化する。
【００２８】
図８に示されるように、隣接する足７４における離れて配置される端部分７６は、かみ合った櫛型の部分７７を有し、及びそれぞれの足７４は、長く延びたボディ部分７９、長く延びたボディ部分の端に接続される拡大された幅の端部分８１、及び、たとえば４つである、拡大された幅の端部分から外側に延びる複数のフィンガー８３を有する。
【００２９】
隣接する足７４及びそれぞれ離れて配置された端部分７６は、以下の寸法を有する。拡大された幅の端部分８１の長さＥは０．０６１インチに等しい。長く延びたボディ部分７９の幅Ｆは、０．０３４インチに等しく、隣接する拡大された幅の端部分８１の結合された幅Ｇは、０．０４４インチに等しく、隣接する足７４の結合された長さＨは、０．２７６インチに等しく、複数のフィンガー８３のそれぞれの幅Ｉは、０．００５インチに等しく、隣接するフィンガー８３間の間隔Ｊは０．００３インチに等しい。
【００３０】
フェーズドアレイアンテナ１０は、たとえば２ＧＨｚ〜１８ＧＨｚといった所望の周波数レンジを有し、隣接する足７４の端部分７６間の間隔は、最高の所望の周波数の約２分の１波長よりも短い。実際の用途に依存して、所望の周波数は、このレンジの一部である場合がある。
【００３１】
代替的に、図９に示されるように、隣接するダイポールアンテナ素子７０の隣接する足７４’は、隣接するダイポールアンテナ素子間の容量結合を提供するため、それぞれ離れて配置される端部分７６’を有する。この実施の形態では、隣接する足７４’における離れて配置される端部分７６’は、隣接するダイポールアンテナ素子７０間に容量結合を提供するため、長く延びたボディ部分７９’の端に接続された拡大された幅の端部分８１’を有する。ここで、たとえば、離れて配置される端部分７６’間の距離Ｋは、約０．００３インチである。
【００３２】
隣接するダイポールアンテナ素子７０間に容量結合を更に供給又は増加するため、それぞれのディスクリート又はバルクインピーダンス素子１００’’は、図１０に例示されるように、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足７４’’の、離れて配置される端部分７６’’にわたり電気的に接続される。
【００３３】
例示される実施の形態では、離れて配置される端部分７６’’は、長く延びたボディ部分７９’’と同じ幅を有する。ディスクリートなインピーダンスエレメント１００’’は、隣接するダイポールアンテナエレメント７０のそれぞれ隣接する足７４’’を重ねるように、ダイポールアンテナ素子７０が形成された後に適所に半田付けされることが好ましい。これにより、同じキャパシタンスが小さなエリアに提供されるのを可能となり、フェーズドアレイアンテナ１０の動作周波数を低下させる助けとなる。
【００３４】
例示されるディスクリートインピーダンス素子１００’’は、互いに直列に接続されるキャパシタ１０２’’及びインダクタ１０４’’を含む。しかし、当業者により容易に理解されるように、他のキャパシタ１０２’’及びインダクタ１０４’’のコンフィギュレーションが可能である。たとえば、キャパシタ１０２’’及びインダクタ１０４’’は、互いに並列に接続されるか、ディスクリートなインピーダンス素子１００’’がインダクタなしでキャパシタを含むか、キャパシタなしにインダクタを含む。意図される用途に依存して、ディスクリートなインピーダンス素子１００’’は、抵抗を含む場合がある。
【００３５】
ディスクリートなインピーダンス１００’’は、図７及び８で例示される、かみ合った櫛型の部分７７と隣接する足７４の間に接続される場合がある。このコンフィギュレーションでは、ディスクリートなインピーダンスエレメント１００’’は、かみ合った櫛型のキャパシタ部分７７に流れる非対称な電流を除去することで、アンテナパターンにおいて低い交差偏波（cross polarization）を有効に提供する。同様に、ディスクリートなインピーダンス素子１００’’は、図９に例示されるように拡大された幅の端部分８１’と隣接する足７４’の間に接続される場合がある。
【００３６】
それぞれのディスクリートなインピーダンス素子１００’’の別の利点は、当業者により容易に理解されるように、フェーズドアレイアンテナ１０の帯域幅が異なる用途について調整することができるように、異なるインピーダンス値を有することである。さらに、インピーダンスは、隣接する誘電層２６、２８のインピーダンス特性に依存しない。ディスクリートなインピーダンス素子１００’’は誘電層２６、２８により影響されないので、このアプローチは、誘電層２６、２８の間のインピーダンス、及びディスクリートなインピーダンス素子１００’’のインピーダンスが互いに減結合される（decoupled）のを可能にする。
【００３７】
隣接するダイポールアンテナ素子７０間の容量結合を更に増加する更に別のアプローチは、図１１に例示されるように、隣接するダイポールアンテナエレメント７０の隣接する足７４’’の、離れて配置された端部分７６’’に隣接してそれぞれのプリントされたインピーダンス素子’’’を配置することを含む。
【００３８】
それぞれプリントされたインピーダンス素子１００’’’は、隣接するダイポールアンテナ素子７０の隣接する足７４’’’の下にあるように、誘電層により隣接する足７４’’’から分離され、ダイポールアンテナレイヤ２０が形成される前に形成されることが好ましい。代替的に、それぞれプリントされたインピーダンス素子１１０’’’は、ダイポールアンテナレイヤ２０が形成された後に形成される場合がある。
【００３９】
本発明の別の態様は、基板６８にダイポールアンテナ素子７０のアレイを形成するステップを含む、アンテナ１０を作製する方法に向けられ、それぞれのダイポールアンテナ素子は、中間の給電部分７２と、そこから外側に延出する足７４のペアを有する。隣接するダイポールアンテナ素子７０の隣接する足７４は、その間でインピーダンス結合をもつ、それぞれ離れて配置される端部分７６を含む。本方法は、基板６８の反対側にあるダイポールアンテナ素子７０のアレイのサイドに隣接する少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤ２４をポジショニングするステップを更に含む。少なくとも１つのインピーダンスマッチングレイヤ２４は、離れて配置される導電素子３１のアレイを有する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】飛行機のノーズコーンに搭載される、本発明に係るフェーズドアレイアンテナを説明する概念図である。
【図２】インピーダンスマッチングレイヤを含む図１のフェーズドアレイアンテナの分解された図である。
【図３】図２のフェーズドアレイアンテナで使用される、インピーダンスマッチングレイヤの一部の拡大された図である。
【図４】本発明に係る複数のインピーダンスマッチングレイヤの断面図である。
【図５】本発明に係るフェーズドアレイアンテナのアンテナゲイン対周波数のプロットである。
【図６】本発明に係るフェーズドアレイアンテナのＶＳＷＲ対周波数のプロットである。
【図７】図１のフェーズドアレイアンテナで使用される、ダイポールアンテナ素子のアレイの一部の拡大された概念図である。
【図８】図７に示される隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足の、離れて配置される端部分の拡大された概念図である。
【図９】図１のフェーズドアレイアンテナで使用される、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足の、離れて配置される端部分の別の実施の形態の拡大された概念図である。
【図１０】図１のフェーズドアレイアンテナで使用される、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足の、離れて配置される端部分に関連するインピーダンス素子の拡大された概念図である。
【図１１】図１のフェーズドアレイアンテナで使用される、隣接するダイポールアンテナ素子の隣接する足の、離れて配置される端部分に関連するインピーダンス素子の別の実施の形態に拡大された概念図である。
【図１】
2008541499.tif 000003
【図２】
2008541499.tif 000004
【図３】
2008541499.tif 000005
【図４】
2008541499.tif 000006
【図５】
2008541499.tif 000007
【図６】
2008541499.tif 000008
【図７】
2008541499.tif 000009
【図８】
2008541499.tif 000010
【図９】
2008541499.tif 000011
【図１０】
2008541499.tif 000012
【図１１】
2008541499.tif 000013
【国際調査報告】
2008541499.tif 000014