(57)【要約】  ジッターを除き、ねじれヒンジ型デバイスのフィードバック・システムを安定化させるための装置及び方法が提供される。ビーム１６から感光性媒体２０上への光源は、回転ミラー１０の反射性表面に対して向けられる。センサー２２ａ、２２ｂは、駆動メカニズム１２を制御する監視及び制御回路２６へ動き感知信号を提供する。回転の動きに加えて軽微な横方向の動きを導入するため、振動デバイス１０に、又はこのデバイスに印加される駆動トルク１８に非対称を提供することによって、安定化が達成される。
2008505367.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじれヒンジ型走査システムであって、
旋回軸に沿って配置される一対のねじれヒンジによって支持される旋回デバイスと、選択された速度プロファイルに従って前記旋回軸の周りで前記旋回デバイスを振動させるための駆動信号に応答する駆動メカニズムとを含む振動アッセンブリであって、前記走査システムが、デバイスの主要な振動に起因する横方向の動きを生成する非対称の特徴を含む、振動アッセンブリ、
前記旋回デバイスの位置を感知し、前記感知した位置を表す信号を生成する感知デバイス、及び
前記感知した位置を表す前記信号を受信するように接続され、前記速度プロファイルを維持するために必要な前記駆動信号のパラメータを決定するための制御回路
を含むシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記旋回デバイスの質量中心が前記旋回軸に対してずらされるシステム。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のシステムであって、前記駆動メカニズムが、前記横方向の動きを生じさせるため、前記旋回デバイスに不均衡な回転のトルクを生成する、システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のシステムであって、前記駆動メカニズムが、前記振動アッセンブリに搭載される永久磁石と、前記振動アッセンブリに回転トルクを生成するため前記永久磁石と相互作用する電磁コイルとを含み、前記駆動信号が、前記電磁コイルに供給される選択された期間の電圧パルスである、システム。
【請求項５】
請求項４に記載のシステムであって、前記永久磁石の質量中心が前記旋回軸に対してずらされるシステム。
【請求項６】
請求項４に記載のシステムであって、前記電磁コイルによって生成される磁束線を前記振動デバイス上に搭載された前記永久磁石に向けて導くための一対のアームを有する磁気コアを更に含み、前記磁気コア・アームが前記永久磁石に対して非対称に配置される、システム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、前記横方向の動きが、主要な回転の動きの各角度に対し約±１ミクロンよりも大きくない、システム。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のシステムであって、前記振動アッセンブリがねじれヒンジ型ミラーであるシステム。
【請求項９】
ねじれヒンジ型デバイスの回転の動きを安定化させる方法であって、
旋回軸に沿って配置されるねじれヒンジによって支持される旋回デバイスを提供し、
駆動信号に応答して選択された速度プロファイルに従って前記旋回軸の周りで前記旋回デバイスを振動させ、
前記振動するデバイスに横方向の動きを導入し、
前記振動するデバイスの位置を感知し、前記位置を表す信号を生成し、
前記生成された信号を受信して、前記速度プロファイルを維持するために必要とされる駆動信号を計算し、
前記駆動信号を生成する
工程を含む方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の方法であって、横方向の動きをする導入する前記工程が、前記旋回軸の周りで前記旋回するデバイスの均衡に非対称を提供する工程を含む、方法。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載の方法であって、横方向の動きを導入する前記工程が、振動を生じさせる前記旋回デバイスに印加される駆動トルクに非対称を提供する工程を含む、方法。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれかに記載の方法であって、前記デバイスの前記振動が、前記振動デバイス上に搭載される少なくとも１つの永久磁石と駆動信号を受信する電磁コイルとの相互作用に起因し、前記ねじれヒンジ型デバイス上に前記旋回軸に対して非対称に前記永久磁石を搭載する工程を更に含む、方法。
【請求項１３】
請求項９に記載の方法であって、前記導入される横方向の動きが、主要な回転の動きの各角度に対し約±１ミクロンよりも大きくない、方法。
【請求項１４】
請求項９〜１３のいずれかに記載の方法であって、ねじれヒンジ型デバイスがミラーである方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全般的に、走査装置に、及び印刷及び表示デバイスに用いられる掃引光ビームの速度プロファイルなど、このような走査装置の速度プロファイルを安定化させる方法及び装置に関連する。
【背景技術】
【０００２】
ねじれヒンジ型（ｔｏｒｓｉｏｎａｌ  ｈｉｎｇｅｄ）又はガルバノメーター・タイプのミラーは、画像ディスプレイや高速プリンタと共に用いるのに適する掃引光ビームを生成する回転多角形ミラーの廉価な代替メカニズムを提供する。当業者には理解されるように、レーザープリンタで高品質の画像を印刷するためには、感光媒体（回転ドラムなど）にわたって光ビームを走査又は掃引するミラーは、各走査又は掃引に対して同じ速度及び同じ期間に同じ経路をスクライブ（ｓｃｒｉｂｅ）又は追従（ｆｏｌｌｏｗ）する必要がある。各走査又は掃引の位置及び時間を細密に反復できないことは、ジッターと呼ばれる。ねじれヒンジ型又はガルバノメーター・ミラーは、音速の１０倍以内のミラー端速度を有する高Ｑ共振走査発振器である。このような速度では、空気抵抗が、ミラー上の主なエネルギー放散メカニズム（ドラッグ）である。回転ミラーの付近の気流又は空気密度揺らぎ（ｆｌｕｃｔｕａｔｉｏｎｓ）は、回転振幅の低周波数変動を生む。これらの振幅変動は、走査ビーム内に低周波数ジッターを生成し、これはその後、高品質の印刷画像にアーティファクトを生む。ビーム・ジッター及び／又は所望の速度プロファイルからのずれの大きさに比例するエラー信号を生成するために、ビーム位置センサーを用いることができる。これらのエラー信号は、一般のＰＩ（比例及び積分）又は同様の制御装置と関連して、駆動メカニズムへの電力を定め、振幅変動を抑制し、ビーム掃引の変動を低減させる。困ったことに、ガルバノメーター又はねじれヒンジ型ミラーには、走査されたビームを生成する振動又は回転モード以外の振動モードがある。従って、制御又はフィードバック・ループが、ミラーの非回転モードを励起する駆動メカニズムの周波数成分に変動を生じさせる場合、望ましくない振動モードが励起される可能性がある。いくつかの振動モードの励起は、ビームの動きを生成し得、これはその後、更に大きなエラー信号を生成し得る。その後、フィードバック・ループは、駆動補正を更に増加させることによってこの一層大きな信号を抑制しようとし得、これがこのエラーを更に悪化させる。この不安定なプロセスは、望ましくないモードを増幅又は励起（ｐｕｍｐ）し、制御されたシステムは振動するか又は発散する（ｄｉｖｅｒｇｅ）ことすらある。実際には、この問題は、高い比例ループ利得設定でのエラー信号の振動及びミラー・ジッターとして観測されている。
【０００３】
従って、回転の振幅安定化を備えた廉価なねじれヒンジ型走査システムは利点となり得る。このようなシステムは、オペレーティング・システムの既存の構造に最小限の変更で組み込まれ得る場合、更に一層利点となり得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のジッター及び安定化の問題に対する解決策は、ミラー質量バランスに非対称を又はトルク生成駆動フィールドに非対称を生成することによって、本発明によって対処される。このような非対称は、主要な（ｐｒｉｍａｒｙ）回転又は振動に加えて、位置センサーによって生成されるエラー信号を変えるために充分な、軽微な横方向のミラー動きを導入し、これにより、コントローラ・システムによる望ましくないモードの増幅又は励起を実質的に低減させる。その結果、ミラーの動きが安定化し、望ましくない振動モードの増幅が防止される。更に具体的には、この軽微な横方向の動きは、走査ビーム速度プロファイルには無視し得る影響しか与えずに、低ジッターで高い比例利得値の閉ループ制御を可能にする。このため、「軽微な」横方向の動きは、実際のシステム及び環境の変動（ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔａｌ  ｄｉｓｔｕｒｂａｎｃｅｓ）を制御するために充分な余地を残している。
【０００５】
これを達成するため、本発明は、ねじれヒンジ型ミラーなどのねじれヒンジ型デバイスの回転の動きを安定化させる方法及び装置を含む。振動アッセンブリの方法及び装置は、例えばミラーなど、旋回軸に沿って伸びるねじれヒンジによって支持される旋回デバイスを含む。駆動信号に応答する駆動メカニズムが、選択された速度及び振幅で旋回軸の周りを旋回するデバイスの振動を引き起こし、これにより速度プロファイルが決まる。
【０００６】
しかし、本発明に従って、振動アッセンブリは、およそ数ミクロンの横方向の動きを意図的に生成する、選択された非対称の特徴を含む。そして、旋回デバイスの位置を周期的に監視し、監視された位置を表す信号を生成するようにセンサーが配置される。制御又はフィードバック回路がセンサーに接続されて、位置信号を受信し、旋回デバイスの振動を選択された速度プロファイルの速度及び振幅に維持する駆動信号のパラメータを決定する。制御回路は、電源に駆動信号パラメータを提供し、電源は、決定されたパラメータを有する駆動信号を生成する。
【０００７】
一実施例によれば、横方向の動きを生成する、選択された非対称の特徴は、デバイスの質量中心が旋回軸からずれるように、旋回デバイスを非対称に製造することである。
【０００８】
第２の実施例に従って、駆動メカニズムは、横方向の動きを起こす構成要素を有する旋回デバイスに、非対称の又は不均衡なトルクを生成するように構成される。一例として、１つのタイプの駆動メカニズムは、例えば、ミラーなどのねじれヒンジ型旋回デバイス上に搭載される１つ又はそれ以上の永久磁石と相互作用する１つ又はそれ以上の電磁コイルを用いることである。通常、これらの磁石は、前後の振動を起こす磁力によって生成される印加トルクの均衡がとられるように搭載されることを保証するように配慮されている。しかし、本発明のこの実施例に従って、永久磁石は、トルクが不均衡（即ち、非対称）となるように、また軽微な横方向の動きも生成されるように、意図的に配置される。
【０００９】
これまで、本発明の特徴および技術的な利点を大まかに概説してきたが、それは以下に示す本発明の詳細な説明を理解しやすくするためである。本発明の特許請求の範囲の主題を形成する本発明の更なる特徴および利点を以下で説明する。開示された概念および具体的な実施例は、本発明の目的と同じものを実行するために別の構造またはプロセスを修正または設計する基盤として、容易に利用可能であることは当業者には認められてしかるべきである。さらに、当業者であれば、このような等価の構成は、本明細書に記述した本発明の範囲から逸脱しないことを理解されたい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明及びその利点を更によく理解するため、添付の図面に関連させて以下の説明を参照する。
現在好ましい実施例の構成ならびに使用について以下に詳細に説明する。しかしながら、本発明は多くの応用可能な発明的概念を提供しており、これらは様々な特定の状況において具体化され得ることを認識すべきである。説明されている特定の実施例は、本発明を構成し使用する特定の方法を単に例示しているに過ぎず、本発明の範囲を制限するものではない。
【００１１】
ここで図１を参照すると、本発明の教示から恩恵を受ける、ねじれヒンジ型旋回デバイスの簡略化したシステム図が図示されている。図示したシステムは、共振ねじれヒンジ型ミラーをプリンタ「駆動エンジン」として用いるレーザープリンタである。図示するように、プリンタ・システムは、例示用の実施例ではミラーである共振走査デバイス１０を含む。走査デバイス１０は、走査デバイス又はミラー１０などの旋回デバイスに駆動トルクを印加することによって駆動される。駆動トルクを生成するために種々の手法又は駆動メカニズム１２が用いられ得るが、以下に詳細に説明する、特に適切な駆動方式の１つは、図６Ａ及び６Ｂに詳細に示すように、ミラー１０の動作の裏側に搭載される永久磁石の、隣接する電磁コイル（１２ｂ）との相互作用である。
【００１２】
当業者には理解されるように、レーザープリンタは、ソース１６から、回転ミラー１０の反射性表面に向けられる光ビーム１４を含む。回転ミラー１０は、１４ａ、１４ｂ、及び１４ｎで示す光の掃引ビームを感光性ドラムなどの感光性媒体２０上に生成するため、両端矢印１８で示すように前後に振動又は回転する。更に含まれているのは、１つの光学ビーム・センサー及び好ましくは一対の光学ビーム・センサー２２ａ及び２２ｂであり、光学ビーム・センサーは、反射された光ビーム１４ａ〜１４ｎが、既知の位置に固定された光学ビーム・センサーの上を通過するたびにワイヤ対２４ａ及び２４ｂを介して信号パルスを生成する。ワイヤ対２４ａ及び２４ｂの信号パルスは監視及び制御回路２６に供給され、監視及び制御回路２６は、ミラー回転の回転振幅を安定化及び維持するため、駆動パルスの必要なパラメータ（例えば、開始時間及び期間）を決定するためにこの信号を用いる。駆動メカニズム１２が磁性によるものである場合、図示した例では、電力源が監視されており、接続ワイヤ２８を介して磁気コイルに供給される決定されたパラメータに応答して、制御回路２６が駆動パルスを生成する。しかし、本発明に従って、ねじれヒンジ型デバイス又は駆動トルクの印加に関連して非対称の特徴が導入される。この非対称は、所望の前後の回転又は振動の動きに加え、ねじれヒンジ型デバイスに軽微な横方向の動きを意図的に導入する。この横方向の動きは、主要な回転の動きの各角度に対し約±１ミクロンより大きくなく、好ましくは主要な回転の動きの各角度に対し約±０．５ミクロンより大きくなくするべきである。当業者には理解されるように、この横方向の動きは、当然、感光性ドラム２０にわたる光ビーム１４ａ〜１４ｎの動きに影響を与え得、又は動きを変化させ得る。この動きは、回転の動きの上に軽微なハンモック状の揺れ（ｓｗｉｎｇ）を生成し、光学ビーム速度プロファイルに軽微な変化を生じさせ得る。これらの変化は、走査毎に再現可能であり、ジッターを生成しない。ジッターは、速度プロファイルが時間と共に変化する場合にのみ生じる。本発明の目的のため、振動ミラーの速度プロファイルは、導入される横方向の動きに起因して約±０．０６％、好ましくは約±０．０３％よりも大きく変更されるべきではない。
【００１３】
上述したように、監視及び制御回路２６は、センサー２２ａ及び２２ｂから信号パルスを受信し、これらのパルスを用いて、振動するデバイスを正しい回転振幅に維持する。ここで図２を参照すると、このような安定化されたフィードバック又は監視及び制御回路の機能的閉ループ回路図のブロック図が示されている。図示するように、入力３０で、所望の振動周波数及び振幅を維持するベース駆動コマンド又は信号が周期的に供給される。入力３０のベース駆動信号は、既知の周波数及び既知の検出器位置に対する初期値である。ベース信号は、ノード３２で線３４のエラー信号入力と組み合わされ、このエラー信号入力は、ビーム検出器２２ａ及び２２ｂからのパルスの予期されたタイミングからの時間のずれを表している。その結果の線３６の信号は、比例補正（Ｋｐ）回路３８及び積分補正（ＫＩ）回路４０に供給される。その後、Ｋｐ及びＫＩ回路の出力は、ノード４２で組み合わされ、デューティ・サイクル回路４４に送信され、デューティ・サイクル回路４４は補正された信号を受信し、振動デバイス（例えば、ミラー）の速度プロファイルを補正するために必要とされるだけデューティ・サイクルを変更する。振動デバイスの速度プロファイルを補正するために他のパラメータも変更され得るが、アッセンブリにトルクを印加するために永久磁石−磁気コイル駆動配列が用いられる場合、一定の振幅駆動パルスのデューティ・サイクル又は期間を変更することが特に有効であることが分かっている。このため、図示するように、振動デバイスの速度プロファイルの変動に応答する、既知の開始時間及びデューティ・サイクルを有する駆動パルスが駆動メカニズム１２に供給される。駆動メカニズム１２は、一実施例に従って電磁石コイルである。このため理想的には、及びボックス４６で示す共振ねじれヒンジ型デバイスのダイナミクスの結果、線３０のベース駆動パルスが電磁石コイルに供給される限り、この共振デバイスは、既知の共振周波数で及び反復可能な速度又は速度プロファイルで動作し続ける。残念なことに、上述のように、気流及び振動など他の要因が、望ましくない力をねじれヒンジ型デバイスに印加し、これがねじれヒンジ型デバイスの動き又は速度プロファイルの走査方向変動或いはジッターを引き起こす。この走査速度変動は、「不良」ダイナミクスと名づけたボックス４８で表されている。このため、ノード５０で示すような、ボックス４６で表したデバイスダイナミクスと「不良」ダイナミクス４８との組合せが、速度プロファイル、又はパルスがセンサー２２ａ及び２２ｂによって生成されるべき時間の変化となる。しかし、「不良」ダイナミクスに起因するこれらの走査速度変動は、そのフィードバック・ループが設計されているものとは異なる周波数の周波数成分を有するエラー信号ともなり得る。従って、フィードバック・ループは通常は変化を正しく補償するが、反射された又は誤認された（ａｌｉａｓｅｄ）データ信号も、フィードバック・ループの制御帯域幅の領域に入り得る。この誤認されたデータ信号は、その後、駆動信号の変動を引き起こし得、これは、ジッターの問題を軽減又は小さくするどころか、逆に悪化させる。
【００１４】
図３Ａ、３Ｂ、及び３Ｃはこの問題を説明するのに役立つ。図３Ａ〜３Ｃはそれぞれ、グラフの横軸５２として時間を示す。図３Ａの縦軸５４は振動デバイスの回転角度を表す。従って、図示するように、図３Ａの曲線５６は、共振ねじれヒンジ型デバイスの角度位置が時間と共にどのように変化するかを示す。図３Ａの縦軸５４は、センサー２２ａ及びセンサー２２ｂがそれに対してパルスを生成する、光ビームの角度位置も示す。このため、振動デバイスの角度位置を表す正弦曲線５６の各ピーク（最大及び最小）に対し、それぞれ参照番号（５８ａ〜５８ｂ）及び（６０ａ〜６０ｂ）で示すように、センサー２０ａ及び２０ｂで生成される一対のパルスがある。図３Ｂはセンサー２０ａで生成されるパルスを示し、図３Ｃはセンサー２０ｂで生成されるパルスを示す。
【００１５】
上述のように、本発明は、振動デバイスを意図的に非対称に設計することにより、共振振動デバイスの動きに横方向の動きを意図的に導入することによって、これらの問題を解決する。従って、図４Ａ、４Ｂ、及び４Ｃに示す第１の実施例に従って、電磁コイルと相互作用する単一の永久磁石によって駆動されるねじれヒンジ型ミラーの質量中心をずらす技術が開示されている。図４Ａを参照すると、対称的に均衡がとられたねじれヒンジ型ミラー・デバイス６０の側面及び背面図が図示されている。図示するように、ミラー・デバイス６０は、反射部６２、支持部６４、及びヒンジ層６６を含む。ヒンジ層６６は、旋回軸７０の周りの回転を提供する一対のねじれヒンジ６８ａ及び６８ｂを画定する。さらに図示するように、旋回軸７０を中心とする永久磁石７２がある。このため、反射部６２、支持部６４、及びヒンジ層６６は対称的であることが分かるであろう。また、永久磁石７２が旋回軸７０を中心としているため、この組合せ構造の質量中心は回転の旋回軸を中心とする。
【００１６】
一方、図４Ｂを参照すると、永久磁石７２ａが、２つの矢印７６で示すように、法線又は軸７４から選択された距離に配置される又は選択された距離だけずらされること除けば、組合せミラー構造６０ａは、図４Ａの組合せ構造６０と同一であることが分かる。
【００１７】
理解されるであろうが、永久磁石７２ａをずらすことにより、組合せ構造６０ａの質量中心もずらされる。このずらされた質量中心は、その後、共振振動デバイスの主要な回転の動きに、意図的な横方向の動きを付加することとなる。この横方向の動きは、ねじれヒンジ型デバイスの選択される速度プロファイルの変化であり、選択される速度プロファイルの約±０．０６％の変化よりも大きくなく、好ましくは、±０．０３％の変化よりも大きくなく制限されるべきである。
【００１８】
図４Ｃの組合せ構造６０ｂも、反射部６２及び支持部６４がヒンジ層６６に対してずらされることを除けば、図４Ａの構造６０に類似している。この実施例では、永久磁石７２は旋回軸７０の上に中心が置かれているが、この場合も、組合せ構造全体の質量中心は旋回軸からずらされることになる。
【００１９】
図５の構造６０ｃも、質量中心が軸又は法線７４に沿って旋回軸７０から離れてずらされることを除けば、図４Ａの構造６０に類似している。これは、永久磁石７２ｂの厚みを変化させることによって達成され得る。例えば、磁石の厚みを厚くすると、質量中心が矢印７８ａの方向に旋回軸７０から移動する。反対に、磁石の厚みを薄くすると、質量中心は矢印７８ｂに沿って回転軸から移動する。このような非対称性は、ねじれヒンジ型デバイスの任意の他の構成部品の厚み又は密度を変えることによっても達成され得ることも理解されたい。
【００２０】
図６Ａ及び６Ｂは、振動ミラーの非対称を生成するための更に別の実施例を図示する。図６Ａ及び６Ｂは、図４Ａの対称構造６０を用いて図示されている。また、図４Ａの構造６０は、構造６０に回転トルクを生じさせるために永久磁石７２と相互作用する磁気的駆動メカニズム８０と共に示されている。更に図６Ａには、ミラー構造６０が、その垂直軸（又は法線）７４が磁気コア・アーム８２ａと８２ｂの間に等しく空間をあけて配置されるように配置されることが示されている。このため、コア・アーム８２ａ及び８２ｂが、Ｎ極及びＳ極の提供間で交互に継続的に切替えられると、永久磁石７２との磁気的相互作用が、旋回軸７０の周りでミラー構造を振動させるような磁力を提供する。しかし、本発明の別の実施例に従って、図６Ｂに示すように、ねじれヒンジ構造６０ｃが、法線又は軸７４が、コア・アーム８２ａに近づき、磁気コアコア・アーム８２ｂから離れるように配置される。コア・アームの相対的な位置をこのようにずらした結果、構造６０ｃに非対称な磁力を印加することになり、このことが意図的な横方向の動きを引き起こす。
【００２１】
本発明およびその利点を詳細に説明してきたが、添付の特許請求の範囲に規定した本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく、以上の説明に種々の修正、置換および変更が可能であることは理解されてしかるべきである。
【００２２】
さらに、本出願の範囲は、本明細書に記載されたプロセス、機械、生産物、組成物、手段、方法およびステップに関する特定の実施例に限定することを意図したものではない。当業者は、本発明の開示内容から直ちに認めるであろうが、本願に記述された実施例の対応物とほぼ同じ機能を果たす、またはほぼ同じ結果を実現するプロセス、機械、生産物、組成物、手段、方法またはステップは、現在存在する又は後日開発されるものであれ、本発明に従って利用可能である。従って、添付の特許請求の範囲は、このようなプロセス、機械、生産物、組成物、手段、方法またはステップの範囲内に含まれることを意図している。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の教示から恩恵を受け得る走査ミラーなど、ねじれヒンジ型走査システムの簡略化した図である。
【図２】図２は、図１のシステムに用いるのに適した駆動及びフィードバック回路のブロック図を図示する。
【図３】図３Ａ、３Ｂ、及び３Ｃは、振動するねじれヒンジ型デバイスの角度又は位置、及び図１のシステムのフィードバックに用いられる一対のセンサーによって生成される信号を示すグラフである。
【図４Ａ】図４Ａは、デバイスの表面に垂直な軸に対して、かつ回転軸に対して、垂直な方向にデバイス質量中心をずらすことにより、横方向の動きが生じる、本発明の第１の実施例を図示する。
【図４Ｂ】図４Ｂは、デバイスの表面に垂直な軸に対して、かつ回転軸に対して、垂直な方向にデバイス質量中心をずらすことにより、横方向の動きが生じる、本発明の第１の実施例を図示する。
【図４Ｃ】図４Ｃは、デバイスの表面に垂直な軸に対して、かつ回転軸に対して、垂直な方向にデバイス質量中心をずらすことにより、横方向の動きが生じる、本発明の第１の実施例を図示する。
【図５】図５は、デバイスの表面に垂直で、かつ回転軸に垂直な軸に沿って、デバイス質量中心がずらされる、第２の実施例を図示する。
【図６Ａ】図６Ａは、デバイスの駆動中心が回転のデバイス中心に対してずらされる、第３の実施例を図示する。
【図６Ｂ】図６Ｂは、デバイスの駆動中心が回転のデバイス中心に対してずらされる、第３の実施例を図示する。
【図１】
2008505367.tif 000003
【図２】
2008505367.tif 000004
【図３】
2008505367.tif 000005
【図４Ａ】
2008505367.tif 000006
【図４Ｂ】
2008505367.tif 000007
【図４Ｃ】
2008505367.tif 000008
【図５】
2008505367.tif 000009
【図６Ａ】
2008505367.tif 000010
【図６Ｂ】
2008505367.tif 000011
【国際調査報告】
2008505367.tif 000012