(57)【要約】  チャンバ壁に構成され、チャンバの内外を連通する貫通通路を備えたチャンバの換気装置。該通路は、チャンバの内部から延びてチャンバの外部につながる排気ダクト（８）と連通する換気ダクト（２２）を含む。換気ダクト（２２）が、チャンバ壁に設けられたキャビティ（７）への開口を有し、該キャビティ（７）がチャンバの外部への開口を有する。本装置は更に、キャビティ（７）にブロッキング本体（６）が装着され、該ブロッキング本体（６）は、キャビティ（７）と接続される保持開口においてブロッキング本体（６）の一部が受けられることによりキャビティ（７）内に固定されることを特徴とする。排気ダクト（８）は、装置の構成要素が動作位置に配置されるときに排気ダクトの出口がチャンバの外部へのキャビティ開口よりも下側に位置付けられるようにチャンバ壁に位置付けられる。【選択図】図１
2008505303.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ壁に構成され、チャンバの内外を連通する貫通通路を備えたチャンバの換気装置であって、前記通路が前記チャンバの内部から延びて前記チャンバの外部につながる排気ダクトと連通する換気ダクトを含み、前記換気ダクトが前記チャンバ壁に設けられたキャビティへの開口を有し、前記キャビティが前記チャンバの外部への開口を有する換気装置において、
前記キャビティにブロッキング本体が装着され、該ブロッキング本体は、前記キャビティと接続される保持開口において前記ブロッキング本体の一部が受けられることにより前記キャビティ内に固定され、
前記排気ダクトは、前記装置の構成要素が動作位置に配置されるときに前記排気ダクトの出口が前記チャンバの外部へのキャビティ開口よりも下側に位置付けられるように前記チャンバ壁に位置付けられることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記キャビティがボアからなり、前記排気ダクトが追加ボアからなり、前記ボアと前記追加ボアとの間の移行部において前記２つのボアが長手方向で互いに向けて開いており、前記２つのボア間の移行部の一部が保持開口を形成し、前記ブロッキング本体が前記保持開口で受けられたときに前記ブロッキング本体の一部が前記追加ボアに突出することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記キャビティ内の位置によって、前記ブロッキング本体は、あらゆる汚染物が前記換気ダクトに入るのを防ぐことを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記ブロッキング本体が前記キャビティ内に配置されることによって、前記ブロッキング本体と前記換気ダクトとの間の前記キャビティ内に集合ポケットが形成されることを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【請求項５】
前記換気ダクトが補助ダクトを介して前記排出ダクトと連通することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記保持開口が、前記キャビティと前記換気ダクトと前記補助ダクトとの間、又は前記キャビティと前記換気ダクトとの間、或いは前記キャビティと前記補助ダクトとの間に開口が生成されるように設計されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記補助ダクトが前記チャンバ外部への開口を有し、該開口が好ましくは球体とすることができるプラグを用いてシールされることを特徴とする請求項５又は６に記載の装置。
【請求項８】
前記ブロッキング本体が球体であることを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【請求項９】
前記ブロッキング本体、前記キャビティ、及び前記保持開口は、前記ブロッキング本体の一部が前記保持開口に受けられるときに圧入接続を達成可能な許容誤差で設計されることを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記ブロッキング本体が、前記キャビティ内で更に支持されるように前記キャビティの壁部分の少なくとも１つに当接することを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、独立請求項に記載のチャンバの換気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
１つ又はそれ以上のシリンダが利用される流体又は気圧システムにおいて、個々のシリンダの部品又は部分は動作中には加圧されず、同じ部品又は部分は外気にも直接配置されない。非加圧部品が閉鎖チャンバである場合、チャンバを通過する部品の移動によりチャンバが加圧されるのを防ぐために、大気への換気通路を形成することが必要となる。加えて、換気通路は、汚染物がチャンバに入ることができないような方法で設けなければならない。
【０００３】
本発明による装置は、好ましくは、本明細書で説明されるようなチャンバの換気用に利用されるが、当業者であれば理解されるように、換気の必要性がある他のタイプのチャンバ又は区画用にも利用することができる。従って本装置は、自由な通気を得ることが望ましいと同時に、汚染が関連するチャンバに浸入するのを防ぐことが望ましい用途にも利用されることになる。
【０００４】
従来技術によれば、換気装置は、換気ダクトを有する排出ニップルと、大気へのダクトを考慮して設計された排出ニップルスリーブとを備えたニップル装置によって提供される。
ニップル装置はチャンバ壁に装着され、換気ダクト及び大気ダクトは、チャンバの内外を接続するように配列される。換気ダクト及び大気ダクトは相対的に変位し、外部から水が飛散する場合には、入り組んだ複雑な通路を通ってチャンバに浸入することができるようにする必要がある。更に、排出ニップルスリーブには、大気ダクトに飛散した水が該大気ダクトを通って再度流出する前にこれを集める集合区画が設けられる。ニップル装置は図１に示されており、本発明の詳細な説明で更に明らかにされる。
【０００５】
この公知のニップル装置には幾つかの欠点がある。集合ポケットの設計に起因して、該装置は、集合ポケットを正確な位置に配置するために、位置が変動することに関して正確な位置に装着する必要がある。ニップル装置のような構成部品を含む装置は、機械的に脆弱であり、従って、不適切な取扱いによって該ニップル装置が損傷を受けて外れる可能性がある。この装置の別の欠点は、設置部品が多いことである。生産及び組立に伴うコストが高く、該装置は比較的大きなスペース量を必要とする。また、組立中に放出される切り屑の可能性もある。更に、この公知のバルブ又はニップル装置は、圧力差の発生を助長する。ニップル装置の代替手段として多孔性本体を用いることは、従来技術で公知である点にも言及すべきであろう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、本発明の目的は、簡単で少数の構成部品からなり、製造が安価で、占有スペースが小さく、更に組立エラーの可能性が最小になる装置を提供することである。
【０００７】
本発明による装置は、ニップル装置を排除し、代わりにチャンバ内に直接設けられた換気通路とブロッキング本体とを利用する解決策を提供することを目標とする。チャンバ壁に装着することによる装置の実装方法について、２つの代替の実施形態が更に示される。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
独立請求項による装置は、チャンバ壁に構成され、チャンバの内外を連通する貫通通路を備えている。通路は、チャンバの内部から延びてチャンバの外部につながる排気ダクトと連通する換気ダクトを含む。換気ダクトは、チャンバ壁に設けられたキャビティへの開口を有し、キャビティがチャンバの外部への開口を有する。装置は、キャビティに装着されたブロッキング本体を備えることを特徴とする。ブロッキング本体は、キャビティと接続される保持開口においてブロッキング本体の一部が受けられることによりキャビティ内に固定される。更に、排気ダクトは、装置の構成要素が動作位置に配置されるときに排気ダクトの出口がチャンバの外部へのキャビティ開口よりも下側に位置付けられるようにチャンバ壁に位置付けられる。本明細書では用語「動作位置」とは、チャンバが使用中に装置によって導入される位置を意味する。
【０００９】
ブロッキング本体、キャビティ、及び保持開口は、ブロッキング本体の一部が保持開口に受けられるときに圧入接続を達成可能な許容誤差で設計されるのが好ましい。また好ましくは、キャビティ内にブロッキング本体を固定するために追加の支持が提供され、ブロッキング本体はキャビティの壁部分の少なくとも１つに当接する。
【００１０】
ブロッキング本体が固定されるダクト及びキャビティを形成する最も簡単な方法は、チャンバ壁にボアを設けることである。
【００１１】
本発明の第１の実施形態において、キャビティ及び排気ダクトは２つの部分のボアからからなる。キャビティを形成するボアと排気ダクトを形成する追加ボアとは、２つのボア間の移行部において互いに平行に位置付けられ、互いに向かって開いており、共通の開口が両ボアの長手方向で延びている。２つのボア間のこの移行部の一部が保持開口を形成する。ブロッキング本体が保持開口で受けられると、ブロッキング本体の一部は排気ダクトを形成する追加ボアに突出し、その結果、ブロッキング本体と追加ボアの壁部分との間に通気用の十分な間隙が得られるようになる。
【００１２】
この第１の実施形態の別の形態によれば、ブロッキング本体は、チャンバの内部に直接つながる下記ダクトへの汚染物の侵入からの保護を提供する方法でキャビティ／ボア内に配置される。
【００１３】
ブロッキング本体の同様の位置決めを用いることにより、ブロッキング本体と換気ダクトとの間のキャビティ内で集合ポケットを形成する目的も達成される。水及び他の汚染物が排気ダクト／追加ボアを通って浸入する場合には、汚染物がこれ以上換気ダクト内に運ばれないように設計され位置付けられた集合ポケットよりも深く到達しないようになる。集合ポケットに集められた後、汚染物は、チャンバ壁内の装置の傾斜位置によって排気ダクトを通り流出する。
【００１４】
本発明の第２の実施形態によれば、換気ダクトと排気ダクトとの間に位置する補助ダクトが装置内に設けられる。この第２の実施形態によれば、ブロッキング本体が固定される排気ダクト及びキャビティは、互いに近接して位置していないが、補助ダクトを設けることにより、間に空間があるように配置されるようになる。ブロッキング本体の一部を受けるための保持開口は、前記キャビティと前記換気ダクトと前記補助ダクトとの間、又は前記キャビティと前記換気ダクトとの間、或いは前記キャビティと前記補助ダクトとの間に設けられる。
【００１５】
補助ダクトは、好ましくは、チャンバの外部への開口を備え、該開口は好ましくは球体とすることができるプラグを用いてシールされる。
【００１６】
ブロッキング本体は球体であるのが好ましいが、他の形状もまた好適とすることができる。保持開口の形状、圧入での十分な保持を得るのに必要な許容誤差、その他などの要因に応じてどの形状が最も有利であるかを判断することは、当業者に委ねられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
ここで、本発明の２つの代替の実施形態を各図を参照しながら説明する。
【００１８】
図１は、従来技術によるニップル装置を示している。図１から、排出ニップル１がチャンバ壁２０に設けられた凹部に固定されていることが分かる。ダクト３は、チャンバと凹部２１との間を連通するように配置される。排出ニップル１は、貫通換気ダクト２を備えている。排出ニップル１に取付られた排出ニップルスリーブ２３は、集合区画５と大気へのダクト４とを備えている。従って、ニップル装置を用いることにより、チャンバからの排気を行うための通路が、チャンバと該チャンバ外部との間に形成される。換気ダクト２と相対的に大気へのダクト４が変位することによる、例えば水の飛散などの汚染物に対してチャンバが保護されることは、図１から理解することができる。次いで、外部から大気ダクトに飛散する水は、チャンバに到達するためには大気へのダクト４と換気ダクト２との間のある種の複雑な通路を通る必要がある。この構成を用いることにより、水が換気ダクト２に直接飛散せずに集合区画５に集められるこの目的が達成される。ニップル装置はチャンバ壁にある角度で装着されるので、に集合区画によって傾斜も得られ、ここで集められる水は大気へのダクト４を通って再度流出することになる。
【００１９】
図２ａ、図２ｂ、及び図３で示された本発明は、より簡単で、図１に示す公知の装置よりも少ない部品からなる装置から構成されることが分かる。
【００２０】
図２ａは、本発明の第１の実施形態を示している。ボア７の形態のキャビティがチャンバの外側への開口と共にチャンバ壁に設けられる。ボア７に平行に位置する追加のボア８の形態の排気開口が更に図示されている。追加ボア８は、ボア７、８の長手方向でボア７に向けて開いており、この開口領域の一部は、ブロッキング本体用の保持開口として機能する。ブロッキング本体は、ここでは球体６として描かれ、押圧されて保持開口及びボア７に嵌合することができるように設計されている。次いで、球体６の一部がボア８に突出し、ボア７の壁部分が更に球体６を支持する。球体は、底部の肩と金型周囲の材料とに接して支持される必要が無いように所定位置に保持される。
【００２１】
固定位置にある球体６は、球体６とボア８の壁部分との間に間隙が得られるように配置される。換気ダクト２２からある距離を置いたボア７における球体６の位置により、追加ボア８を通って導入される汚染物に対する集合ポケット５として使用することができる区画が形成される。
【００２２】
通気は、空気がチャンバから換気ダクト２２を通って追加ボア８を通って流れ、チャンバの外部に出ることにより行うことができる。外部から追加ボア８の開口に向かう水の飛散などの飛散事象において、球体６によって、換気ダクト２２が直接の水浸透から確実に保護されるようになる。しかしながら、水が追加ボア８に浸透し、続いて集合ポケット５に進む可能性がある。図２ａに示す装置が使用中である場合、すなわち装置の構成要素が動作位置にあるときには、追加ボア８のチャンバ外部への出口は、チャンバ外部へのキャビティ開口よりも下側に位置することになる。これにより、集合ポケット５に入る水が追加ボア８を通って再度流出する。
【００２３】
図２ｂは、ボア７及び追加ボア８が相対的にどのように位置付けられるかを示している。この事例では、球体６はボア７内には配置されていない。
【００２４】
図３は、本発明の第２の実施形態を示している。図３では、補助ダクト１１が換気ダクト２２と、ここでは追加ボア１０として設けられている排気ダクトとの間を連通するように配置されていることが分かる。チャンバ外部への補助ダクト１１の開口は、例えば圧入球体であるプラグ１２によってシールされて示されている。球体６を固定するキャビティは、ボア７の形態で図示されている。ボア７及び追加ボア１０は、互いからある距離を置いて配置されている。この位置決めは、補助ダクト１１が提供されることで可能となる。従って、各ボアは、図２ａ及び図２ｂに示す実施形態と同様に、２部品ボアの形態は取らない。代わりに、ボア７は、換気ダクト２２及び補助ダクトに向けた球体６用の保持開口を備える。球体６の一部は、この保持開口で受けられ、ボア７の残りの壁部分が球体６を更に支持する。この実施形態ではまた、入り組んだ複雑な通路機能も維持される。ここではまた、追加ボア１１の外部への出口は、装置の構成要素が動作位置にあるときには、チャンバ外部へのキャビティの出口よりも下側に配置されることも重要である。
【００２５】
図２ａ、図２ｂ、及び図３で示された全ダクトは、ボアの形態であるのが好ましい。更に、チャンバ壁は、アルミニウム製であり、ブロッキング本体は、例えばステンレス鋼のような更に硬質の材料からなるのが好ましい。本明細書で説明された本発明により、全ての機能を満たす目的が達成される。更に、部品数が低減され、装置を粗雑に扱うことにより排出システムに損傷を与える可能性もない。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】従来技術による装置の側断面図である。
【図２ａ】本発明の第１の実施形態の側断面図である。
【図２ｂ】ブロッキング本体の無い本発明の第１の実施形態の平面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の側断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
６  ブロッキング本体
７  キャビティ
８  排気ダクト
２０  チャンバ壁
２２  換気ダクト
【図１】
2008505303.tif 000003
【図２ａ】
2008505303.tif 000004
【図２ｂ】
2008505303.tif 000005
【図３】
2008505303.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月10日(2007.1.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ壁（２０）に構成されたチャンバ（３１）の内部（３０）と外部とを連通する貫通通路を備えたチャンバの換気装置であって、前記通路が前記チャンバの内部から延びて前記チャンバの外部につながる排気ダクトと連通する換気ダクト（２２）を含み、前記換気ダクト（２２）が前記チャンバ壁に設けられたキャビティへの開口を有し、前記キャビティが前記チャンバ（３１）の外部への開口を有し、前記キャビティにブロッキング本体が装着され、該ブロッキング本体は、前記キャビティと接続される保持開口において前記ブロッキング本体の一部が受けられることにより前記キャビティ内に固定される換気装置において、
前記ブロッキング本体（６）、前記キャビティ、及び前記保持開口は、前記ブロッキング本体の一部が前記保持開口に受けられるときに圧入接続を達成可能な許容誤差で設計されることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記キャビティがボアからなり、前記排気ダクトが追加ボアからなり、前記ボアと前記追加ボアとの間の移行部において前記２つのボアが長手方向で互いに向けて開いており、前記２つのボア間の移行部の一部が保持開口を形成し、前記ブロッキング本体が前記保持開口で受けられたときに前記ブロッキング本体の一部が前記追加ボアに突出することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記キャビティ内の位置によって、前記ブロッキング本体は、あらゆる汚染物が前記換気ダクトに入るのを防ぐことを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記ブロッキング本体が前記キャビティ内に配置されることによって、前記ブロッキング本体と前記換気ダクトとの間の前記キャビティ内に集合ポケットが形成されることを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【請求項５】
前記換気ダクトが補助ダクトを介して前記排出ダクトと連通することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記保持開口が、前記キャビティと前記換気ダクトと前記補助ダクトとの間、又は前記キャビティと前記換気ダクトとの間、或いは前記キャビティと前記補助ダクトとの間に開口が生成されるように設計されることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記補助ダクトが前記チャンバ外部への開口を有し、該開口が好ましくは球体とすることができるプラグを用いてシールされることを特徴とする請求項５又は６に記載の装置。
【請求項８】
前記ブロッキング本体が球体であることを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【請求項９】
前記ブロッキング本体が、前記キャビティ内で更に支持されるように前記キャビティの壁部分の少なくとも１つに当接することを特徴とする前記請求項のうちの１項に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008505303.tif 000007
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２ａ】
2008505303.tif 000008
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2008505303.tif 000009
【国際調査報告】
2008505303.tif 000010
2008505303.tif 000011