(57)【要約】  段のついた管の形態の一体型導管（４０７）は、眼（２６６）の前房（２８４）からの少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流量を可能とする排液流路（４０８／４０８’）の少なくとも一部を画定する。この排液流路（４０８／０４８’）の中に、１つまたは複数の流れモジュール（４１５）を配置することができ、この１つまたは複数の流れモジュール（４１５）は眼（２６６）の外側に配置される。流れモジュール（４１５）はそれぞれ、濾過器または圧力調節器の形態をとることができる。一実施形態では、濾過器の形態の１つの流れモジュール（４１５）が、圧力調節器の形態のもう１つの流れモジュール（４１５）と組み合わせて使用される。
2008528235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
眼の眼内圧に取り組む方法であって、
眼の前房から第１の排液位置への排液流路を提供するステップであって、前記排液流路が、前記排液流路を通過する少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にするステップ
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１の排液位置は前記眼の外側にあることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記提供ステップは、導管の第１の導管セクションを、前記眼の中を通して前記前房の中まで導入することを含み、前記導管の第２の導管セクションはその全体が前記眼の外側に配置され、前記第１の導管セクションは、前記第２の導管セクションの長さ寸法に垂直にとられた前記第２の導管セクションの第２の断面プロファイルよりも小さい、前記第１の導管セクションの長さ寸法に垂直にとられた第１の断面プロファイルを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第２の導管セクションの中に流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記流れモジュールは、濾過器、圧力調節器、および濾過セクションと圧力調節セクションとを含む装置からなるグループから選択されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記流れモジュールを取り替えるステップをさらに含み、前記取替えステップは、前記第２の導管セクションの少なくとも一部分を拡張することを含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記第２の導管セクションの中に第１および第２の流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項８】
前記第１の流れモジュールは濾過器であり、前記第２の流れモジュールは圧力調節器であることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の流れモジュールは、前記第１の流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記第１の流れモジュールを通過する流れの少なくとも実質的に直線的な増大を可能にし、前記第２の流れモジュールは、前記第２の流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記第２の流れモジュールを通過する流れの、直線的な増大よりも大きな増大を可能にすることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１および第２の流れモジュールは、前記第２の導管セクションの中に直列に配置されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記第２の導管セクションは、その全体が結膜円蓋の中に配置されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の導管セクションと前記第２の導管セクションは一体に形成されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項１３】
前記第２の導管セクションの中に流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記流れモジュールを取り替えるステップをさらに含み、前記取替えステップは、前記第２の導管セクションの少なくとも一部分を拡張することを含むことを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
カップリングによって前記第２の導管セクションに第３の導管セクションが相互接続され、前記第３の導管セクションの中に流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記カップリングの外壁は第１および第２の突起を含み、前記第２の導管セクションは前記第１の突起の上に配置され、前記第３の導管セクションは前記第２の突起の上に配置されることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記流れモジュールを取り替えるステップをさらに含み、前記取替えステップは、前記カップリングの少なくとも１つを前記第２の導管セクションから分離し、前記第３の導管セクションを前記カップリングから分離することを含み、前記流れモジュールは、前記取替えステップの間、前記第３の導管セクションの中にとどまることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
カップリングによって前記第２の導管セクションに第３の導管セクションが相互接続され、前記第３の導管セクションの中に流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項１９】
前記流れモジュールを取り替える前記ステップをさらに含み、前記取替えステップは、前記カップリングの少なくとも１つを前記第２の導管セクションから分離し、前記第３の導管セクションを前記カップリングから分離することを含み、前記流れモジュールは、前記取替えステップの間、前記第３の導管セクションの中にとどまることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１および第２の導管セクションはそれぞれ円筒形の外壁を含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項２１】
前記提供ステップは、前記眼の中を通して前記前房の中まで導管を導入することを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
前記導入ステップの前に前記眼に抗菌物質をつけるステップをさらに含むことを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記導管の外面の少なくとも一部分は、近接する生物組織との付着を促進することを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記生物組織は、前記眼の結膜および強膜からなるグループから選択されることを特徴とする請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記導管の第１の端部は前記前房の中に配置され、前記導管の第２の端部は結膜円蓋の中に配置されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２６】
前記導管の中に流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２７】
前記流れモジュールは、濾過器、圧力調節器、および濾過セクションと圧力調節セクションとを含む装置からなるグループから選択されることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記流れモジュールは少なくとも１つの親水性表面を含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記流れモジュールは、前記流れモジュールに付着する生体物質の能力を低下させる手段を含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３０】
前記排液流路内の流体にさらされる前記流れモジュールの少なくとも１つの表面は、自己集合単層コーティングを含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３１】
前記流れモジュールは、前記流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記流れモジュールを通過する流れの、直線的な増大よりも大きな増大を可能にすることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３２】
前記流れモジュールは、前記流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記流れモジュールを通過する流れの少なくとも実質的に直線的な増大を可能にすることを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３３】
前記流れモジュール内のそれぞれの流路は、少なくとも実質的に固定された寸法を有することを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３４】
前記流れモジュールは、差圧の変化にさらされたことに応答して動く少なくとも１つの要素を含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３５】
前記導管を少なくとも実質的を閉塞させ、その後に前記流れモジュールを取り替えるステップをさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３６】
前記導入ステップの前に前記眼に抗菌物質をつけるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記導管の第１の部分は前記眼の中に配置され、前記導管の第２の部分は前記眼の外側に配置され、前記流れモジュールは、前記導管の前記第２の部分の中に配置され、前記取替えステップは、前記導管の前記第１の部分を前記眼から取り出すことなく実行されることを特徴とする請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記導管の第１の部分は前記眼の中に配置され、前記導管の第２の部分は前記眼の外側に配置され、前記流れモジュールは、前記導管の前記第２の部分の中に配置され、前記方法はさらに、前記導管の前記第１の部分を前記眼から取り出すことなく前記流れモジュールを取り替えるステップを含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３９】
前記取替えステップの前に、前記導管を少なくとも実質的に閉塞させるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記取替えステップの前に前記眼に抗菌物質をつけるステップをさらに含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４１】
前記導管の中に第１および第２の流れモジュールが配置されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項４２】
前記第１の流れモジュールは濾過器であり、前記第２の流れモジュールは圧力調節器であることを特徴とする請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
前記第１の流れモジュールは、前記第１の流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記第１の流れモジュールを通過する流れの少なくとも実質的に直線的な増大を可能にし、前記第２の流れモジュールは、前記第２の流れモジュールの前後の差圧の増大に応答した、前記第２の流れモジュールを通過する流れの、直線的な増大よりも大きな増大を可能にすることを特徴とする請求項４１に記載の方法。
【請求項４４】
前記第１および第２の流れモジュールは、前記導管の中に直列に配置されることを特徴とする請求項４１に記載の方法。
【請求項４５】
前記排液流路は、前記排液流路を通過する少なくとも約０．３０マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にすることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４６】
前記排液流路は、前記排液流路を通過する少なくとも約０．６マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にすることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４７】
前記排液流路は、前記排液流路を通過する少なくとも約１．２マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にすることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４８】
前記排液流路は、前記排液流路を通過する約１．５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にすることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４９】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は前記眼の前記前房の外側に位置し、前記第１の領域は、少なくとも約０．４ミクロンの最小寸法を有する粒子を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５０】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は前記眼の前記前房の外側に位置し、前記第１の領域は、少なくとも約０．３ミクロンの最小寸法を有する粒子を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５１】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は前記眼の前記前房の外側に位置し、前記第１の領域は、少なくとも約０．２ミクロンの最小寸法を有する粒子を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５２】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は前記眼の前記前房の外側に位置し、前記第１の領域は、少なくとも約０．１ミクロンの最小寸法を有する粒子を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５３】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は、緑膿菌を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５４】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は、黄色ブドウ球菌を保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５５】
前記排液流路は第１の領域を含み、前記第１の領域は、ブレバンディモナスディミニュータを保持するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５６】
眼の眼内圧に取り組む方法であって、
眼の前房から第１の排液位置まで延びる導管の一部分を閉塞させるステップと、
前記閉塞ステップの後に、前記導管の中に配置された流れモジュールを取り替えるステップと
を含むことを特徴とする方法。
【請求項５７】
眼の眼内圧に取り組むシステムであって、
排液流路を含む導管であって、前記システムが取り付けられたときに、前記導管の第１の端部が、前記眼の前記前房と流体インタフェースするように前記眼の中を通して導かれ、前記システムが取り付けられたときに、前記導管の第２の端部が前記前房の外側に配置される導管と、
前記排液流路を通過する前記前房からの少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にする手段と
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項５８】
眼の眼内圧に取り組むシステムであって、
排液流路を含む導管と、
前記排液流路の中に配置された第１の流れモジュールと、
前記排液流路の中に配置された第２の流れモジュールと
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項５９】
眼の眼内圧に取り組むシステムであって、
排液流路を含む一体の第１の導管を含み、前記第１の導管は、第１および第２の導管セクションを含み、前記第１の導管セクションは、前記第２の導管セクションの長さ寸法に垂直にとられた前記第２の導管セクションの第２の断面プロファイルよりも小さい、前記第１の導管セクションの長さ寸法に垂直にとられた第１の断面プロファイルを含み、前記第１の導管セクションの端部は、前記システムが取り付けられたときに、前記眼の中を通して導かれ、前記第２の導管は、その全体が、前記システムが取り付けられたときに、前記眼の外側に配置される
ことを特徴とするシステム。
【請求項６０】
眼の眼内圧に取り組むシステムであって、
排液流路を含む導管であって、前記システムが取り付けられたときに、前記導管の第１の端部が、前記眼の前記前房と流体インタフェースするように前記眼の中を通して導かれ、前記システムが取り付けられたときに、前記導管の第２の端部が前記前房の外側に配置される導管と、
前記導管の中に配置されたＭＥＭＳ流れモジュールであって、そこを通して流れが前進することができる複数のギャップを含み、前記複数のギャップの最も大きなギャップのサイズが、前記複数のギャップの最も小さなギャップのサイズの約１０５％以下であるＭＥＭＳ流れモジュールと
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項６１】
眼の眼内圧を低減させる方法であって、前房から外部位置への排液経路を提供することを含み、前記排液経路は、１０ｍｍＨｇ以上の眼圧に応答した、少なくとも１．５マイクロリットル／分の流量の水性流体の流出を可能にし、その一方で、０．３５マイクロメートル以上の寸法を有する実質的に全ての細菌の侵入を防ぐことを特徴とする方法。
【請求項６２】
前記排液経路の断面積は１ｍｍ2以下であることを特徴とする請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
前記排液経路の中に濾過器が配置されることを特徴とする請求項６１に記載の方法。
【請求項６４】
緑内障を治療する方法であって、眼内圧が１０ｍｍＨｇを超えたときにはいつでも少なくとも１．５マイクロリットル／分の流量で水性流体を排出することを含み、その一方で、緑膿菌およびより大きな細菌の侵入をほぼ完全に排除することを特徴とする方法。
【請求項６５】
眼の眼内圧を低減させるシステムであって、
眼の前房から前記眼の外部の位置まで埋め込まれるように適合された導管構造と、
前記導管構造内にあって、１０ｍｍＨｇ以上の眼圧に応答した、少なくとも１．５マイクロリットル／分の流量の水性流体の流出を可能にし、その一方で、０．３５マイクロメートル以上の寸法を有する実質的に全ての細菌の侵入を防ぐ濾過構造と
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項６６】
前記導管構造の中の流路の断面積が１ｍｍ2以下であることを特徴とする請求項６５に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本特許出願は、２００５年３月３１日に出願された「MEMS FILTER MODULE WITH CONCENTRIC FILTERING WALLS」という名称の米国特許出願第１１／０９５９９５号の一部継続出願であり、米国特許法１２０条の下で同出願の優先権を主張するものである。本特許出願はさらに、２００５年２月２４日に出願された「GLAUCOMA IMPLANT HAVING MEMS FILTER MODULE」という名称の米国特許出願第１１／０６５１８３号の一部継続出願であり、米国特許法１２０条の下で同出願の優先権を主張するものであり、米国特許出願第１１／０６５１８３号は、２００４年８月４日に出願された「MEMS FILTER MODULE」という名称の米国特許出願第１０／９１１４２４号の一部継続出願であり、米国特許法１２０条の下で同出願の優先権を主張しており、米国特許出願第１１／０６５１８３号はさらに、米国特許法１１９条の下で、２００４年２月２４日に出願された「MEMS FILTER MODULE」という名称の米国特許仮出願第６０／５４７２５２号の優先権を主張している。本特許出願はさらに、２００４年１２月２４日に出願された「IMPLANT HAVING MEMS FLOW MODULE WITH MOVABLE,FLOW-CONTROLLING BAFFLE」という名称の米国特許出願第１１／０２３２８９号の一部継続出願であり、米国特許出願第１１／０２３２８９号は、２００４年３月２日に出願された「MEMS FLOW MODULE WITH FILTRATION AND PRESSURE REGULATION CAPABILITIES」という名称の米国特許出願第１０／７９１３９６号、および２００４年６月１日に出願された「FILTER ASSEMBLY WITH MICROFABRICATED FILTER ELEMENT」という名称の米国特許出願第１０／８５８１５３号の一部継続出願である。本特許出願はさらに、以下のそれぞれの出願の一部継続出願であり、米国特許法１２０条の下でそれらの出願の優先権を主張するものである：２００５年２月１日に出願された「MEMS FLOW MODULE WITH PIVOTING-TYPE BAFFLE」という名称の米国特許出願第１１／０４８１９５号、２００５年３月１４日に出願された「MEMS FLOW MODULE WITH PISTON-TYPE PRESSURE REGULATING STRUCTURE」という名称の米国特許出願第１１／０８００７５号、および２００５年６月２１日に出願された「GLAUCOMA IMPLANT HAVING MEMS FLOW MODULE WITH FLEXING DIAPHRAGM FOR PRESSURE REGULATION」という名称の米国特許出願第１１／１５８１４４号。これらのそれぞれの関連特許出願の開示は、その全体が、参照によって本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は一般に、眼の眼内圧（ｉｎｔｒａｏｃｕｌａｒ  ｐｒｅｓｓｕｒｅ）に取り組む分野に関し、より詳細には、眼の前房（ａｎｔｅｒｉｏｒ  ｃｈａｍｂｅｒ）からの排液流路（ｄｒａｉｎａｇｅ  ｆｌｏｗ  ｐａｔｈ）であって、比較的に小さな空間を通した望ましい高い流量を可能にする排液流路を提供することに関する。
【背景技術】
【０００３】
高い眼内圧は視神経を傷つけ、失明に至る可能性がある。眼には、主要な２つの房、前房および硝子体があり、これらは一般に水晶体によって分離されている。前房内には房水があり、硝子体内には硝子体液がある。眼の内圧の増大は一般に、眼から排出される流体よりも眼の中で生成される流体の方が多いことによって引き起こされる。眼の前房内の過剰な流体が、眼内圧上昇に寄与する主因であることは広く一致した意見である。
【０００４】
眼の高い内圧に取り組む提案された１つの解決策は、インプラント（ｉｍｐｌａｎｔ）を取り付ける方法である。インプラントは一般に、患者の眼の壁を通して、前房を眼の表面の外側位置に流体接続するように導かれる。このタイプのインプラントにはいくつかの問題がある。１つは、視神経を傷つける可能性を低減させる方法で眼内圧の変化に応答するインプラントの能力である。もう１つは、細菌などがインプラントを通して患者の眼の内部、例えば前房に入る可能性を低減させるインプラントの能力である。
【０００５】
【特許文献１】米国特許出願公開第２００３／０２１２３８３号明細書
【特許文献２】米国特許第３７８８３２７号明細書
【特許文献３】米国特許第５７４３８６８号明細書
【特許文献４】米国特許第５８０７３０２号明細書
【特許文献５】米国特許第６６２６８５８号明細書
【特許文献６】米国特許第６６３８２３９号明細書
【特許文献７】米国特許第６５３３７６８号明細書
【特許文献８】米国特許第６５９５９４５号明細書
【特許文献９】米国特許第６６６６８４１号明細書
【特許文献１０】米国特許第６７３６７９１号明細書
【特許文献１１】米国特許第６０８２２０８号明細書（「Method For Fabricating Five-Level Microelectromechanical Structures and Microelectromechanical Transmission Formed」、２０００年７月４日発行）
【特許文献１２】米国特許出願第１１／０４８１９５号明細書
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の第１の態様は一般に、眼の眼内圧に取り組むことを対象とする。眼の前房から第１の排液位置まで排液流路が延びる。この排液流路の中を、少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れが前進することができる。
【０００７】
本発明のこの第１の態様に関して記載された諸特徴のさまざまな改良が存在する。本発明のこの第１の態様にさらに追加の特徴を組み込むこともできる。これらの改良および追加の特徴は個別に、または組み合わせて存在することができる。第１の態様は一般に、比較的に小さな流路を通過する望ましい高い流量を提供することを対象とする。このことはもちろん、いくつかの点で緑内障の治療に有利である。排液流路の長さに沿った任意の位置の、排液流路の周囲によって画定される排液流路の最大断面積は、一実施形態では約１ｍｍ2、他の実施形態では約０．５ｍｍ2、他の実施形態では約０．２ｍｍ2である。第１の態様に関してある種のベースライン流量が提示されるが、下記の別個の実施形態によればよりいっそう高い流量が可能になる：少なくとも約０．３マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、少なくとも約０．６マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、少なくとも約１．２マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、および約１．５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ。
【０００８】
流れはやはり、眼の前房から第１の排液位置まで排液流路を通して導かれる。第１の排液位置は、限定はされないが、眼の外側（例えば結膜円蓋。すなわち眼瞼（上または下）と強膜上の結膜との間の領域）、眼の角膜の外側、眼の強膜の外側、眼内の他の位置（例えばシュレム管）、または身体の他の部分を含む、適当な任意の排液先とすることができる。排液流路は、約１〜５マイクロリットル／分の範囲の流量を可能にし、その一方で、眼の前房の内圧を約５〜２０ｍｍＨｇの範囲に維持することが好ましい。
【０００９】
排液流路は、細菌保持領域として特徴づけることができるものを含むことが好ましい。眼の前房に到達する前に、少なくともある種の細菌および他の望ましくない微粒子を、この細菌保持領域内に保持することができる。これは濾過機能と考えることができる。好ましくは、前房と第１の排液位置との間の全ての流れがこの細菌保持領域を通過しなければならない。この細菌保持領域は適当な任意の方法で画定することができる。一実施形態では、あるサイズよりも大きな粒子が細菌保持領域を通り抜け、眼の前房に到達することがないよう、細菌保持領域が、それらの粒子を機械的に遮断するように（例えば濾過器（ｆｉｌｔｅｒ）の形態に）構成される。例えば、一実施形態では約０．４ミクロン、他の実施形態では約０．３ミクロン、他の実施形態では約０．２ミクロン、他の実施形態では約０．１ミクロンよりも大きな粒子の少なくともかなりの部分が、細菌保持領域内に保持される。緑膿菌（ｐｓｅｕｄｏｍｏｎａｓ  ａｅｒｕｇｉｎｏｓａ）（最小寸法０．５ミクロン）などの細菌、および黄色ブドウ球菌（ｓｔａｐｈｙｌｏｃｏｃｃｕｓ  ａｕｒｅｕｓ）（最小寸法１ミクロン）などのより大きな細菌は、これによって細菌保持領域に、好ましくは望ましい高い効率で保持されるはずである。しかし、関心の最も小さな粒子が排液流路を通って眼の前房に到達する可能性を低減させるために、細菌保持領域を、関心の最も小さな粒子を保持するように構成することもできる。例えば、ブレバンディモナスディミニュータ（ブレバンディモナスディミニュータ）（最小寸法０．３５ミクロン）などの細菌を保持するように細菌保持領域を構成することができる。
【００１０】
排液流路はさらに、流れ制限領域として特徴づけることができるものを含むことができる。このような流れ制限領域は、眼の前房の内圧が望ましくないレベルまで低下する可能性を低減させるために望ましい。一実施形態では、排液流路が、前房からの約１〜５マイクロリットル／分の範囲の流量を可能にし、その一方で、前房の内圧を約５〜２０ｍｍＨｇの範囲に維持する。これは、圧力調節機能と考えることができる。前述の細菌保持領域と流れ制限領域は、排液流路内の同じ位置に配置することができ、または、排液流路に沿って間隔を置いて配置することができる。細菌保持領域と流れ制限領域は、共通の構造によって画定することができる（例えば、少なくとも自体の前後に差圧がないとき、またはこの差圧がある量よりも小さいときに、濾過機能も提供する圧力調節器、別個の濾過セクションおよび圧力調節セクションを含むＭＥＭＳ装置）。細菌保持領域と流れ制限領域は、間隔を置いて配置された異なる構造によって画定することもできる（例えば濾過器と別個の圧力調節器）。
【００１１】
排液流路は、眼の前房にさらされた（例えば眼の前房内に延びる）導管によって画定することができる。このような導管の取付けの際には、抗菌物質を使用することができる。一実施形態では、導管が、前房の中に配置され、角膜を貫いて延び、次いで強膜と結膜の間に沿って延び、次いで結膜を貫いて結膜円蓋の中へ延びる。したがって、導管の一端を前房の中に配置することができ、導管の他端を結膜円蓋の中に配置することができる。導管の外面と隣接する強膜および結膜組織との間の付着および組織統合を促進することが望ましいことがある。この「付着促進」は、適当な任意の方法で（例えばｐＨＥＭＡヒドロゲルのような組織統合を促すコーティングによって）達成することができる。
【００１２】
排液流路の少なくとも一部分を画定する導管の中に、少なくとも１つの流れモジュール（ｆｌｏｗ  ｍｏｄｕｌｅ）（例えばＭＥＭＳ装置）を配置することができる。この流れモジュールに関する用語「流れ」は単に、流れモジュールがその中を流れる流れを可能にすることを意味する。このような流れモジュールは、このような導管の中に直接に配置することができるが、１つまたは複数のハウジングを使用して、このような流れモジュールを導管と一体化することもできる。
【００１３】
前述の流れモジュールに関していくつかの全般的な特徴づけを実施することができる。好ましくは、排液流路を通る全ての流れが、少なくとも１つの流れモジュールを通過しなければならない。さらに、このような流れモジュールはそれぞれ、流れモジュールを通過する流れを開始させるために大きな差圧が必要ないように、少なくとも１つの親水性表面を含むことができる（例えば、流れモジュールの前後の約５０ｍｍＨｇ以下の差圧（より好ましくは、流れモジュールの前後の約５〜１０ｍｍＨｇ以下の差圧）が、モジュールを通過する流れを開始させなければならない）。流れモジュールを通過するそれぞれの流路は、その全体が、このような親水性表面によって画定されることが好ましい。さらに、導管の中に配置されたときに流体にさらされる流れモジュールおよびその関連ハウジング（１つまたは複数）の全ての表面を、それに付着する生体物質の能力を低減させるように構成することができる。一実施形態では、このようなそれぞれの表面に、自己集合単層コーティングを付着させる。
【００１４】
流れモジュールは濾過器の形態をとることができる。濾過器の形態の流れモジュールを特徴づける１つの方法は、流れモジュールが、それぞれが固定サイズを有する（例えば固定された細孔径を有する）少なくとも１つの流路または複数の流路を含むことである。濾過器の形態の流れモジュールを特徴づける他の方法は、流れモジュールが、流れモジュールの前後の差圧の増大に応答して、流れモジュールを通過する流れの少なくとも実質的に直線的な増大を提供することである。この濾過器は、一実施形態では約０．４ミクロン超、他の実施形態では約０．３ミクロン超、他の実施形態では約０．２ミクロン超、他の実施形態では約０．１ミクロン超の少なくとも実質的に全ての粒子を濾過によって除去するように製作することができる。この濾過器は、複数の濾過トラップギャップ（ｆｉｌｔｅｒ  ｔｒａｐ  ｇａｐ）を有すると特徴づけることができ、この濾過器は、これらのそれぞれの濾過トラップギャップが同じサイズを有するように製作され、最も大きな濾過トラップギャップのサイズは最も小さな濾過トラップギャップのサイズの約１０５％以下である。
【００１５】
流れモジュールは圧力調節器の形態をとることもできる。圧力調節器の形態の流れモジュールを特徴づける１つの方法は、流れモジュールが、流れモジュールの前後の差圧の増大に応答して、流れモジュールを通過する流れの、直線的な増大よりも大きな増大を提供することである。圧力調節器の形態の流れモジュールを特徴づける他の方法は、流れモジュールが、流れモジュールの前後の差圧の変化に応答して動く少なくとも１つの要素を含むことである。この圧力調節器は、流れモジュールの前後に差圧がないとき、または流れモジュールの前後の差圧がある量よりも小さいときに上記に従った濾過機能を提供するように構成することができる。任意の順序で直列に配置された濾過セクションと圧力調節セクションとを有する単一のＭＥＭＳ装置を製作することも可能である（例えば２つ以上の構造層によって画定された濾過セクションおよび２つ以上の構造層によって画定された圧力調節セクション）。
【００１６】
排液流路の少なくとも一部分を画定する導管の中に２つ以上の流れモジュールを配置することができる。これらの流れモジュールの１つは、前述の濾過器の形態をとることができ、これらの流れモジュールの他の１つは、前述の圧力調節器の形態をとることができる。一実施形態では、導管の中に配置されたときに、複数の流れモジュールが直列に配置される（すなわち、流れはこのような流れモジュールを順番に通過する）。
【００１７】
排液流路の少なくとも一部分を画定する導管の中に配置された流れモジュールを取替え可能とすることができ、好ましくは、前房から導管を引き抜く必要なしに（例えば外科的な手技によって流れモジュールを取り替える必要なしに）これを実施することができる。流れモジュールの交換に備えていくつかの処置を実施することができる。交換に備えて、眼および他の関連表面に抗菌物質をつけることが望ましいことがある。流れモジュールの交換を容易にするために、導管を少なくとも実質的に閉塞させることもできる。流れモジュールを引き抜こうとする前に、取り替えられる流れモジュールの「上流」（前房の方向）の１つの位置で、導管を少なくとも実質的に閉塞させることができ、または、流れモジュールが導管から引き抜かれた後で導管の開端を少なくとも実質的に閉塞させることができ、あるいはその両方を実施することができる。当然ながら望まれるのは、低張（例えば約５ｍｍＨｇ未満の眼内圧を経験する）の可能性を低減させ、さらに、排液流路の中を細菌が前進し、眼の前房に達する可能性を低減させるために、流れモジュールの交換の間、排液流路が外部から制限されまたは遮断されることである。
【００１８】
流れモジュールの交換を提供するために使用することができるいくつかの選択肢がある。導管の開端を通した流れモジュールの除去を可能にするために、導管の一部分を適当な任意の方法で拡張することができる。例えば、流れモジュールの「周囲」の導管を拡張するために、導管の開端に装置を導入し、その後にこの装置を拡げることができる。次いで、適当な任意の方法で（例えば機械的に、または吸引によって）、この導管から流れモジュールを引き抜くことができる。他の選択肢は、眼の外側に配置された導管のセクション全体を取り替えることによって流れモジュールを取り替えることであろう。いずれにせよ、眼の前房から導管を取り出すことなく、流れモジュールを取り替えることができる（例えば、流れモジュールを取り替えるために外科的な手技は必要ない）。
【００１９】
導管は適当な任意の構成をとる（例えば一定の外径および内径を有する）ことができるが、一実施形態では、導管が、第１および第２の導管セクションを含み、第１の導管セクションが眼の中を通して、前房にさらされ（例えば前房の中に延び）、第２の導管セクションはその全体が眼の外側に配置され、第１の導管セクション内の排液流路が、第２の導管セクション内の排液流路よりも小さな断面プロファイル（ｃｒｏｓｓ−ｓｅｃｔｉｏｎａｌ  ｐｒｏｆｉｌｅ）を有する。「断面プロファイル」は、関連する導管セクションの長さ寸法に垂直にとられる。断面プロファイルは、排液流路の少なくとも一部を画定する導管の内面の周囲によって取り囲まれた断面積である。第１および第２の導管セクションがそれぞれ円筒構造である場合、前述のより小さな断面プロファイルを提供するために、第１の導管セクションは、第２の導管セクションよりも小さな内径を有するであろう。いずれにせよ、導管は、第１の導管セクションと第２の導管セクションの間にいかなる種類の継目もない一体構造（例えば段のある直径またはテーパ管）であることが好ましい。すなわち、前述の第１および第２の導管セクションを有する導管はワンピース構造であることが好ましい。
【００２０】
第１および第２の導管セクションを有する前述の導管に関していくつかの特徴づけを実施することができる。１つは、第１の導管セクションの前房から延びる部分が、その後に強膜と結膜の間を進み、次いで眼瞼の「下」の結膜を貫通して延びることである。それによって第２の導管セクション全体を、前述の結膜円蓋の中に配置することができる。第２の導管セクションの中に、前述のタイプの１つまたは複数の流れモジュールを配置することができる。第２の導管セクションは、上記に基づく少なくとも１つの流れモジュールを収容する第３の導管セクションとの間に相互接続を確立するために使用することもできる。適当なカップリング（ｃｏｕｐｌｉｎｇ）によって、第２の導管セクションと第３の導管セクションの間に相互接続を確立することができる。このカップリングは、平滑な外面（例えば円筒形の外面）を利用することができるが、第２および第３のそれぞれの導管セクションとの機械的パーチェス（ｐｕｒｃｈａｓｅ）を強化するために、このカップリングは、その外面に少なくとも２つの突起（例えば鉤）を含むことが好ましい。流れモジュールの交換は次いで、（例えばカップリングを第２の導管セクションから分離することによって、または第３の導管セクションをカップリングから分離することによって、あるいはその両方によって）単純に第３の導管セクションを第２の導管セクションから分離することを伴う。次いで、その中に流れモジュール（１つまたは複数）を有する第３の導管セクションを、単一のユニットとして適正に廃棄することができる。あるいは、分離された第３の導管セクションの中の流れモジュール（１つまたは複数）を、同じ第３の導管セクションの中で単純に取り替えることもできる。いずれにせよ、その後、その中に新しい流れモジュール（１つまたは複数）を有する第３の導管セクション（当初のものまたは新しいもの）を、カップリングによって第２の導管セクションと再接合させることができる。
【００２１】
本発明の第２の態様は一般に、眼の眼内圧に取り組むことを対象とする。導管が排液流路を画定し、この導管は、眼の前房から適当な排液位置まで延びるように構成される。この導管の中に第１および第２の流れモジュールが配置される。この第２の態様は、第１の態様に関して先に論じられたさまざまな特徴を、個別に、および任意の組合せで使用することができる。
【００２２】
本発明の第３の態様は一般に、眼の眼内圧に取り組むことを対象とする。導管が排液流路を画定し、この導管は、眼の前房から適当な排液位置まで延びるように構成される。この導管は、第１および第２の導管セクションを含み、第１の導管セクションが眼の中を通して、前房にさらされ（例えば前房の中に延び）、第２の導管セクションはその全体が眼の外側に配置され、第１の導管セクション内の排液流路が、第２の導管セクション内の排液流路よりも小さな断面プロファイルを有する。「断面プロファイル」は、関連する導管セクションの長さ寸法に垂直にとられる。第１および第２の導管セクションがそれぞれ円筒構造である場合、前述のより小さな断面プロファイルを提供するために、第１の導管セクションは、第２の導管セクションよりも小さな内径を有するであろう。この第３の態様は、第１の態様に関して先に論じられたさまざまな特徴を、個別に、および任意の組合せで使用することができる。
【００２３】
本発明の第４の態様は一般に、眼の眼内圧に取り組むことを対象とする。導管が排液流路を画定し、この導管は、眼の前房から適当な排液位置まで延びるように構成される。この導管の中にＭＥＭＳ装置が配置され、このＭＥＭＳ装置は、その中に流れを導くことができる少なくとも１つ、より好ましくは複数のギャップを含む。これらのギャップはそれぞれ、同じサイズであることが意図される。これらのギャップのサイズの変動は、最も大きなギャップのサイズが最も小さなギャップのサイズの約１０５％以下であるような変動である。
【００２４】
本発明のこの第４の態様に関して記載された諸特徴のさまざまな改良が存在する。本発明のこの第４の態様にさらに追加の特徴を組み込むこともできる。これらの改良および追加の特徴は個別に、または組み合わせて存在することができる。この第４の態様は、第１の態様に関して先に論じられたさまざまな特徴を、個別に、および任意の組合せで使用することができる。この第４の態様の場合、ギャップのサイズは固定寸法とすることができる。これらのギャップのサイズを調節可能とすることもできる。例えば、ＭＥＭＳ装置が差圧にさらされたときに、ＭＥＭＳ装置を通過する流れの増大を可能にするために、ギャップのサイズが増大する。前述のギャップのサイズの変動は、ＭＥＭＳ装置の前後に差圧がないときにも適用可能であろう。ＭＥＭＳ装置は、第４の態様に基づく複数のギャップ群を含むことができる。所与のギャップ群内のそれぞれのギャップは、前述のサイズ変動下でも、同じサイズであろう。ギャップのサイズは群ごとに異なることができる。すなわち、１つのギャップ群は指定された１つのサイズとすることができ、別のギャップ群は指定された他のサイズとすることができる。
【００２５】
本発明の第５の態様は、導管の中から流れモジュールを引き出すことを対象とする。この導管は、（例えば、次いで適当な排液位置へ導かれる眼の前房からの房水の流れを可能にするための）生物流体の排液流路の少なくとも一部を画定する。導管の開端に抜取り装置が導入され、その後、抜取り装置は、（例えば導管に対して流れモジュールを移動させるのに必要な力を低減させるために）拡げられて、導管の内部から流れモジュールを解放する。抜取り装置が導管から引き出されるときに、流れモジュールを導管から引き出すことができる。
【００２６】
本発明のこの第５の態様に関して記載された諸特徴のさまざまな改良が存在する。本発明のこの第５の態様にさらに追加の特徴を組み込むこともできる。これらの改良および追加の特徴は個別に、または組み合わせて存在することができる。この第５の態様は、第１の態様に関して先に論じられたさまざまな特徴を、個別に、および任意の組合せで使用することができる。この抜取り装置は、第１および第２の部材を有する第１のアセンブリの形態をとることができる。第２の部材は、第１の部材の中へ延びる通路の少なくとも一部分の断面プロファイルよりも大きな頭部を含む。導管の中に第１のアセンブリを導入することができ、その後に、第２の部材の頭部を、第１の部材の通路に対して移動させることができる。これによって第１の部材が拡張し、それによって、流れモジュールの取外しを可能にする十分な量だけ導管が拡張する。一実施形態では、第１および第２の部材がそれぞれ中空管の形態をとり、第１の部材は、第１の部材の一端から延びる複数のみぞ穴を含み、これらの複数のみぞ穴は、第２の部材を第１の部材の通路に対して前進させたときに第２の部材の頭部と係合し拡張することができる複数のセグメントを画定する。
【００２７】
上記に従って導管を拡張した後に、導管から流れモジュールを実際に引き出すことができるいくつかの方法がある。拡げられた第１の部材の中に流れモジュールを捕捉するため、または第１のアセンブリに対して流れモジュールを保持するため、あるいは（第１の部材をその拡げられた状態に維持したまま、または第１の部材をすぼめて）第１のアセンブリを導管から引き出すときに流れモジュールを導管に対して移動させるのに十分な力を流れモジュールに加えるために、第１のアセンブリを通して吸引力を加えることができる。他の選択肢は、第１のアセンブリの中に第２のアセンブリを導入することであろう。一実施形態では、第２のアセンブリが、第１のアセンブリと同じ全体構成を有する。いずれにせよ、この第２のアセンブリは、第３および第４の部材を有することができる。第４の部材は、第３の部材の中へ延びる通路の少なくとも一部分の断面プロファイルよりも大きな頭部を含む。第２のアセンブリは、第１のアセンブリの端部を越えて、流れモジュールに関連づけられたハウジングの開端の中に導入することができる。その後、第４の部材の頭部は、第３の部材の通路に対して前進させることができる。これによって、第３の部材が拡張して、前述の流れモジュールハウジングの内面と係合し、この係合は、導管の中から流れモジュールを取り出すために第１および第２のアセンブリを導管から引き出すことを可能にする十分な機械的係合力を提供しなければならない。
【００２８】
本発明の第６の態様は、眼の眼内圧に取り組むことを対象とする。前房から適当な排液位置まで導管が延びる。この導管の中の眼の外側の位置に、流れモジュールが配置される。眼の前房と流れモジュールの間の導管の少なくとも一部分が少なくとも実質的に閉塞される。その後に、流れモジュールが取り替えられる。
【００２９】
本発明のこの第６の態様に関して記載された諸特徴のさまざまな改良が存在する。本発明のこの第６の態様にさらに追加の特徴を組み込むこともできる。これらの改良および追加の特徴は個別に、または組み合わせて存在することができる。最初に、この第６の態様は、第１の態様に関して先に論じられたさまざまな特徴を、個別に、および任意の組合せで使用することができる。
【００３０】
この導管は、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができる。例えば、導管は、一体構造ないしワンピース構造とすることができ、適当に相互接続された複数の別個の導管セクションによって導管を画定することができ、導管は、その中を通る均一サイズの流路を含むことができ、または導管は、異なるサイズの少なくとも２つの異なるセクションを有する流路を含むことができる。
【００３１】
流れモジュールは、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができ、所望の／必要な任意の機能または機能の組合せを提供することができる。第１の態様に関して先に論じられた流れモジュール（１つまたは複数）の諸特徴は、この第６の態様にも適用可能であり、個別に、または任意の組合せで使用することができる。この第６の態様に基づく流れモジュールの交換に関しても、第５の態様を使用することができる。同様に、第１の態様に関して先に論じられた方法で、流れモジュールを取り替えることもできる。流れモジュールは、眼の前房から導管を取り出すことなく取り替えられることが好ましい。
【００３２】
前房と取り替えられている流れモジュールとの間の１つまたは複数の位置で、導管を少なくとも実質的に閉塞させることができる。導管を閉塞させる適当な任意の方法を利用することができる。
【００３３】
次に、少なくとも本発明のさまざまな関連特徴を例示するのを助ける添付図面に関して、本発明を説明する。本発明は一般に、眼の眼内圧に取り組むことに関する。より具体的には、前房からの房水の所望の流れを可能にするために、インプラント、シャント（ｓｈｕｎｔ）または排液装置として特徴づけることができるものが、眼の中を通して、眼の前房に対して露出するように導かれ、前房から、適当な排液位置または排液先まで延びる。本明細書で使用される用語「インプラント」は、適当な生体塊の中に少なくとも部分的に配置された装置を意味する。インプラント全体を生体塊の中に配置することができる。他の選択肢は、インプラントの一部が生体塊の内部に配置され、インプラントの他の部分が生体塊の外部に配置され、または、インプラントの他の部分が、少なくとも（例えば環境とインタフェース（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）することによって）生体塊の外部との流体連通を提供することであろう。
【００３４】
図１には、角膜２６８、結膜２７０、虹彩２７２、瞳孔２７４、水晶体２７６、前房２８４、硝子体２８６および眼瞼２６７を含む、眼２６６のさまざまな部分が識別されている。結膜２７０の、強膜の上に位置し、眼瞼２６７の内面に沿って延びる部分は、結膜円蓋２７３として特徴づけることができるものを画定する。図１にはさらに、緑内障排液装置、緑内障インプラントまたは緑内障シャント４０１（「ＧＤＤ４０１」）が、その２つの代表的な取付け位置に概略的に示されている。図１に示されているように、同じ眼２６６に一対のＧＤＤ４０１を取り付けることもできるが、所与の眼２６６を治療する目的には一般に単一のＧＤＤ４０１が使用されるであろう。
【００３５】
ＧＤＤ４０１には特に望ましいいくつかの特性がある。ＧＤＤ４０１は一般に、望ましい高い流量を可能にし、（その長さに垂直な）比較的に小さな断面プロファイルを有する内部排液流路を含む。ＧＤＤ４０１の内面の周囲によって画定されるＧＤＤ４０１の排液流路の最大断面積は、一実施形態では約１ｍｍ2、他の実施形態では約０．５ｍｍ2、他の実施形態では約０．２ｍｍ2である。ＧＤＤ４０１は、眼２６６の前房２８４からの約１〜５マイクロリットル／分の範囲の流量を可能にし、前房２８４の内圧を約５〜２０ｍｍＨｇの範囲に維持することが好ましい。ＧＤＤ４０１はさらに、前房２８４からの少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流れを可能にする。下記の別個の実施形態によれば、ＧＤＤ４０１を通るよりいっそう高い流量を可能にすることもできる：少なくとも約０．３マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、少なくとも約０．６マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、少なくとも約１．２マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ、および約１．５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇ。
【００３６】
ＧＤＤ４０１内の排液流路は、細菌保持領域として特徴づけることができるものを含むことが好ましい。眼２６６の前房２８４に到達する前に、少なくともある種の細菌および他の望ましくない微粒子を、この細菌保持領域内に保持することができる。これは濾過機能と考えることができる。好ましくは、前房２８４と所望の排液位置との間の全ての流れがこの細菌保持領域を通過しなければならない。この細菌保持領域は適当な任意の方法で画定することができる。一実施形態では、あるサイズよりも大きな粒子が細菌保持領域を通り抜け、眼２６６の前房２８４に到達することがないよう、細菌保持領域が、それらの粒子を機械的に遮断するように（例えば濾過器の形態に）構成される。例えば、一実施形態では約０．４ミクロン、他の実施形態では約０．３ミクロン、他の実施形態では約０．２ミクロン、他の実施形態では約０．１ミクロンよりも大きな粒子の少なくともかなりの部分が、ＧＤＤ４０１の細菌保持領域内に保持される。緑膿菌（最小寸法０．５ミクロン）などの細菌、および黄色ブドウ球菌（最小寸法１ミクロン）などのより大きな細菌は、これによってＧＤＤ４０１の細菌保持領域に、好ましくは望ましい高い効率で保持されるはずである。しかし、関心の最も小さな粒子が眼２６６の前房２８４に到達する可能性を低減させるために、細菌保持領域を、関心の最も小さな粒子を保持するように構成することもできる。例えば、ブレバンディモナスディミニュータ（最小寸法０．３５ミクロン）を保持するように細菌保持領域を構成することができる。
【００３７】
ＧＤＤ４０１内の排液流路はさらに、流れ制限領域として特徴づけることができるものを含むことができる。このような流れ制限領域は、眼２６６の前房２８４の内圧が望ましくないレベルまで低下する可能性を低減させるために望ましい。一実施形態では、排液流路が、前述の通りに、前房２８４からの約１〜５マイクロリットル／分の範囲の流量を可能にし、その一方で、前房２８４の内圧を約５〜２０ｍｍＨｇの範囲に維持する。これは、圧力調節機能と考えることができる。前述の細菌保持領域と流れ制限領域は、排液流路内の同じ位置に配置することができ、または、排液流路に沿って間隔を置いて配置することができる。細菌保持領域と流れ制限領域は、共通の構造によって画定することができる（例えば、少なくとも自体の前後に差圧がないとき、またはこの差圧がある量よりも小さいときに、濾過機能も提供する圧力調節器、別個の濾過セクションおよび圧力調節セクションを含むＭＥＭＳ装置）。細菌保持領域と流れ制限領域は、間隔を置いて配置された異なる構造によって画定することもできる（例えば濾過器と別個の圧力調節器）。
【００３８】
ＧＤＤ４０１は、ＧＤＤ４０１の第１のセクション４０２と第２のセクション４０４の両方の中を延びる内部排液流路（図示せず）を含む。第１のセクション４０２は、眼２６６の前房２８４の中に配置された第１の開端４０３を含む。第１のセクション４０２は、この第１の開端４０３から、角膜２６８を貫いて延びる。第１のセクション４０２はその後、角膜２６８と結膜２７０の間を通して導かれ、最終的に結膜２７０を貫通し、結膜円蓋２７３に達する。ＧＤＤ４０１の第２のセクション４０４は、その全体がこの結膜円蓋２７３の中に配置され、このことは患者の美容上の外観をよくする。図２、４および５の実施形態に関して後により詳細に論じられる通り、第１のセクション４０２は、第２のセクション４０４よりも小さな外径を有する。これは、眼２６６の刺激を低減させ、患者の快適性を高め、ＧＤＤ４０１を他人から分かりにくくする。
【００３９】
緑内障排液装置、緑内障インプラントまたは緑内障シャント（「ＧＤＤ」）の一実施形態が図２に示されており、これは参照符号４０６によって識別される。図２のＧＤＤ４０６は、図１のＧＤＤ４０１の具体的な一設計である。ＧＤＤ４０６は一般に導管４０７の形態をとり、導管４０７は、本明細書に記載された方法で取り付けるのに十分なしなやかさないし柔軟さを有し、適当な材料（例えばシリコーン、ポリウレタン）から形成することができる。取り付けられるとき（例えば導管４０７が、関連する結膜円蓋２７３内で結膜２７０を貫通する場合）に、導管４０７の少なくとも一部が、眼２６６のインタフェース部分に少なくともいくぶんか付着することが望ましいことがある。導管４０７の外面に適当なコーティングなどを付着させるなど、所望の位置（１つまたは複数）での眼２６６と導管４０７の付着を促進する任意の方法を利用することができる。
【００４０】
導管４０７は、第１の開端４１０と第２の開端４１３との間に延びる内部排液流路４０８を有する。排液流路４０８は、第１の導管セクション４０９（図１のＧＤＤ４０１の第１のセクション４０２に対応する）、移行セクション４１１、および第２の導管セクション４１２（図１のＧＤＤ４０１の第２のセクション４０４に対応する）の中を延びる。第１の導管セクション４０９の自由端は、（例えばＧＤＤ４０６の取付けを容易にする）適当な任意の方法で構成することができる。ＧＤＤ４０６が取り付けられたとき、第２の導管セクション４１２は横向きに配置される（例えば、図１では、第２の開端４１３の中を見ることができる）。第１の導管セクション４０９の上に縫合クロスバー（ｓｕｔｕｒｅ  ｃｒｏｓｓｂａｒ）４１４を配置し、第１の導管セクション４０９に適当に（例えば接着剤によって）固定することができ、縫合クロスバーを、適当な方法で眼２６６に縫合することができる。縫合クロスバー４１４は、適当な任意のサイズ、形状および／または構成を有することができ、適当な任意の材料（例えばシリコーン）から形成することができる。
【００４１】
第２の導管セクション４１２の中には流れモジュール４１５が配置され、流れモジュール４１５は、少なくとも概ね固定された位置にある。ＧＤＤ４０６が取り付けられたとき、第２の導管セクション４１２はその全体が眼２６６の外側に位置するため、流れモジュール４１５もまた眼２６６の外側に位置する。このことは、これに限定されないが、後により詳細に論じられる方法での流れモジュール４１５の交換を可能にすることを含む、１つまたは複数の利点を提供することができる。すなわち、第２の導管セクション４１２が結膜円蓋２７３の中にある間に、ＧＤＤ４０６の第２の開端４１３を通して流れモジュール４１５にアクセスすることができる。流れモジュール４１５は、図示されているように、導管４０７の中に直接に配置することができ、あるいは、１つまたは複数のハウジングを使用して、流れモジュール４１５を導管４０７と一体化することができる（流れモジュール４１５と一体化ハウジングは合わさって、流れアセンブリを画定する）。
【００４２】
図２には流れモジュール４１５が概略的にしか示されていないが、流れモジュール４１５は、ＧＤＤ４０６が、図１のＧＤＤ４０１に関して先に論じられた特性／パラメータのうちの１つまたは複数の特性／パラメータを実現することを可能にする流れモジュールとすることができる。流れモジュール４１５は一般に、排液流路４０８の中に配置されたときに、流れモジュール４１５を通過する流れを可能にする。好ましくは、排液流路４０８を通る全ての流れが、流れモジュール４１５を通過しなければならない。流れモジュール４１５は、この流れに関して所望の／必要な機能を提供することができ、適当な任意のサイズ、形状および／または構成をとることができる。例えば、流れモジュール４１５は濾過器の形態をとることができる。この点に関する１つの特徴づけは、流れモジュール４１５が、それぞれが固定サイズを有する（例えば固定された細孔径を有する）少なくとも１つ、より好ましくは複数の流路を含むことである。この点に関する他の特徴づけは、流れモジュール４１５が、（例えば前房２８４の内圧の増大に起因する）流れモジュール４１５の前後の差圧の発生または変化に応答して、流れモジュール４１５を通過する流れの少なくとも実質的に直線的な増大を提供することである。流れモジュール４１５は、一実施形態では約０．４ミクロン超、他の実施形態では約０．３ミクロン超、他の実施形態では約０．２ミクロン超、他の実施形態では約０．１ミクロン超の粒子を濾過によって除去するように製作することができる。しかし、関心の最も小さな粒子が眼２６６の前房２８４に到達する可能性を低減させるために、流れモジュール４１５を、関心の最も小さな粒子を保持するように構成することもできる。流れモジュール４１５は、複数の濾過トラップギャップを有すると特徴づけることができ、流れモジュール４１５は、これらのそれぞれの濾過トラップギャップが同じサイズを有するように製作され、最も大きなギャップのサイズは最も小さなギャップのサイズの約１０５％以下である。
【００４３】
流れモジュール４１５は、特定の生物の少なくともかなりの部分を保持するように構成することができる。例えば、流れモジュール４１５は、緑膿菌（最小寸法０．５ミクロン）、黄色ブドウ球菌（最小寸法１ミクロン）などを濾過によって除去するように（例えば、このような生物が流れモジュール４１５の中に保持されることによって、このような生物がＧＤＤ４０６を通過して眼の前房に到達する可能性が低減するように）構成することができる。より小さな生物、例えばブレバンディモナスディミニュータ（最小寸法０．３５ミクロン）を、これらの生物の少なくともかなりの部分が濾過器モジュール４１５の中に保持されるように、流れモジュール４１５による除去の対象とすることもできる。
【００４４】
流れモジュール４１５は圧力調節器の形態をとることもできる。この点に関する１つの特徴づけは、流れモジュール４１５が、（例えば前房２８４の内圧の増大に起因する）流れモジュール４１５の前後の差圧の発生または変化に応答して、流れモジュール４１５を通過する流れの、直線的な増大よりも大きな増大を提供することである。この点に関する他の特徴づけは、流れモジュール４１５が、流れモジュール４１５を通過する流れの増大を可能にするために、流れモジュール４１５の前後の差圧の発生または変化に応答して動く少なくとも１つの要素を含むことである。流れモジュール４１５は、流れモジュール４１５の前後に差圧がないとき、または流れモジュール４１５の前後の差圧がある量よりも小さいときに前述の粒径に従った濾過機能を提供するように構成することができる（例えば、上記の濾過機能は、約１５ｍｍＨｇ以下の差圧に対して有効とすることができる）。他の選択肢は、流れモジュール４１５が、任意の順序で直列に配置された濾過セクションと圧力調節セクションとを有することであろう。
【００４５】
流れモジュール４１５はこの他にも、望ましいいくつかの特徴を含むことができる。１つの特徴は、流れモジュール４１５を、流れモジュール４１５を通過する流れを開始させるのに大きな差圧を必要としない自己濡れ性（ｓｅｌｆ  ｗｅｔｔｉｎｇ）とすることができることである。一実施形態では、流れモジュール４１５の前後の約５０ｍｍＨｇ以下の差圧（より好ましくは流れモジュール４１５の前後の約５〜１０ｍｍＨｇ以下の差圧）が、流れモジュール４１５を通過する流れを開始させなければならない。これを達成することができる１つの方法は、流れモジュール４１５内のそれぞれの流路の全ての表面を親水性にする方法である。流れモジュール４１５が利用することができる他の望ましい特徴は、バイオファウリング（ｂｉｏ−ｆｏｕｌｉｎｇ）（例えばそれへの生物細胞の付着）の可能性を適当な方法で低減させることができることである。一実施形態では、排液流路４０８を通る流れにさらされる流れモジュール４１５の全ての表面を、流れモジュール４１５に付着する生体物質の能力を低減させるように構成することができる。一実施形態では、排液流路４０８を通る流れにさらされる可能性がある流れモジュール４１５の全ての表面に、自己集合単層コーティングが付着される。
【００４６】
ＧＤＤ４０６の導管４０７に関する重要な特徴もいくつかある。導管４０７は、一体構造ないしワンピース構造であることが好ましい。すなわち、第１の導管セクション４０９と移行セクション４１１の間に継目がなく、移行セクション４１１と第２の導管セクション４１２の間に継目がないことが好ましい。さらに、導管４０７は、緑内障排液装置４０６として使用されるようにサイズ／構成が決定される。一般に、第１の導管セクション４０９の周囲は、第２の導管セクション４１２の周囲よりも小さい。第１の導管セクション４０９および第２の導管セクション４１２が、（内円筒面および外円筒面を有する）好ましい円筒構造の形態にある場合には、第１の導管セクション４０９の外径は第２の導管セクション４１２の外径よりも小さいであろう。第１の導管セクション４０９および第２の導管セクション４１２のサイズを特徴づける他の方法は、それらのそれぞれの長さ寸法に対して垂直にとられたそれぞれの断面プロファイルに関係する。第１の導管セクション４０９の（例えば図２の線Ａ−Ａに沿ってとられた）断面プロファイルは、第２の導管セクション４１２の（例えば図２の線Ｂ−Ｂに沿ってとられた）断面プロファイルよりも小さい。図示された実施形態では、第１の導管セクション４０９の断面プロファイルが、その全長にわたって一定であり、第２の導管セクション４１２の断面プロファイルが、その全長にわたって一定である。ただし、そうである必要は必ずしもない。自体の周囲によって画定される、第２の導管セクション４１２内の排液流路４０８の最大断面積は、一実施形態では約１ｍｍ2、他の実施形態では約０．５ｍｍ2、他の実施形態では約０．２ｍｍ2である。
【００４７】
第１の導管セクション４０９および第２の導管セクション４１２の寸法は適当な任意の値とすることができ、ＧＤＤ４０６が取り付けられる眼２６６に適合させることができる。一実施形態では、第１の導管セクション４０９の外径が約０．６４ｍｍ、第１の導管セクション４０９の内径が約０．３ｍｍであり、第１の導管セクション４０９の長さは外科医によって確立され、移行セクション４１１の長さは約２ｍｍ未満であることが好ましく、第２の導管セクション４１２の外径は約０．９ｍｍ、第２の導管セクション４１２の内径は約０．４６ｍｍ、第２の導管セクション４１２の長さは約１ｍｍである。
【００４８】
第２の導管セクション４１２の関連部分を拡張し、その後に第２の開端４１３を通して流れモジュール４１５を適当な方法（例えば機械的に、吸引を使用して）で引き抜くことによって、流れモジュール４１５を取り替えることができる。図３Ａ〜Ｂに抜取り具４２３が示されており、流れモジュール４１５の取外しを容易にするために、抜取り具４２３を使用して、第２の導管セクション４１２を拡張することができる。抜取り具４２３は、その長さの一部分に沿って延び、複数のセグメント（ｓｅｇｍｅｎｔ）４２６を画定する複数のみぞ穴４２５を有する外管４２４を含む。外管４２４の中には、頭部ないしラッパ状に拡げられた端部４２８を有する内管４２７が配置可能である。内管４２７の頭部４２８の外径は、外管４２４の少なくとも一部分の内径よりも大きいが、内管４２７の頭部４２８の外径は、第２の導管セクション４１２の内径と同じにし、または第２の導管セクション４１２の内径よりもわずかに小さくすることができる。抜取り具４２３は、導管４０７の第２の開端４１３を通して配置される。外管４２４が一定の内径を有する場合、内管４２７の頭部４２８は、外管４２４の端部よりも先に延びることができる。外管４２４の内径の関連部分がテーパを有し、または段がつけられている場合、あるいは、外管４２４の内部の関連部分の断面プロファイルを他の方法で低減させるために、実際には頭部４２８は外管４２４の内部から始まることができる。いずれにせよ、抜取り具４２３の端部は、少なくとも、第２の導管セクション４１２の中の流れモジュール４１５の近くに配置されることが好ましい。その後、内管４２７を外管４２４に対して適当な方法で軸方向に前進させることによって、内管４２７の頭部４２８を外管４２４に対して前進させる。これによって、外管４２４のセグメント４２６が（頭部４２８が外管４２４の「より小さな内径の」部分と係合することによって）拡張し、これによって第２の導管セクション４１２の対応する部分が拡張する。これらは全て図３Ｂに示されている。これによって、導管４０７の第２の導管セクション４１２に対して流れモジュール４１５を軸方向に移動させることを可能にする十分な空間が提供されるはずである。
【００４９】
第２の導管セクション４１２から解放された後に、流れモジュール４１５を実際に第２の導管セクション４１２の外に移動させるために、いくつかの選択肢を利用することができる。流れモジュール４１５を（例えば外管４２４または内管４２７の中で）抜取り具４２３と係合させるために、あるいは、いずれにせよ、第２の導管セクション４１２に対して流れモジュール４１５を第２の開端４１３の方向に軸方向に移動させるために、抜取り具４２３の内管４２７に吸引力を加えることができる。外管４２４に対する内管４２７の相対位置を維持することによってその拡張した状態を維持している間に、第２の導管セクション４１２から外管４２４を引き出すことができる。ただし、全ての場合にそのようにする必要は必ずしもない。いずれにせよ、第２の導管セクション４１２から流れモジュール４１５を外に引き出すために、抜取り具４２３を引き出す間、吸引を続けることができる。
【００５０】
他の選択肢は、抜取り具４２３が第２の導管セクション４１２を拡張した（図３Ｂ）後に、第２の導管セクション４１２から流れモジュール４１５を解放するために流れモジュール４１５と機械的に係合することであろう。流れモジュール４１５がハウジングの中に配置されており、ハウジングの開端が抜取り具４２３に面し、流れモジュール４１５が、この特定の開端から間隔を置いて奥に引っ込んでいる場合を考える。第１の抜取り具４２３が、前記の方法（図３Ｂ）で第２の導管セクション４１２をすでに拡張したときに、第１の抜取り具４２３を通して前述のハウジングの開端の中に第２の抜取り具４２３を導入することができる。第２の抜取り具４２３の内管４２７を第２の抜取り具４２３の外管４２４に対して移動させて、第２の抜取り具４２３の外管４２４を拡張し、前記ハウジングの内面と係合させることができる。これによって、その中に流れモジュール４１５が配置されたハウジングと第２の抜取り具４２３との機械的係合が提供される。次いで、第１の抜取り具４２３と第２の抜取り具４２３を第２の導管セクション４１２から同時に引き出すことができる（第１の抜取り具４２３の外管４２４が、第２の導管セクション４１２を、少なくともある程度まで拡張し続けることが好ましい。ただしそのようにする必要は必ずしもない）。記載の手順を逆にして、導管４０７の第２の導管セクション４１２の中に流れモジュール４１５を取り付けることができる。
【００５１】
緑内障排液装置、緑内障インプラントまたは緑内障シャント（「ＧＤＤ」）の他の実施形態が図４に示されており、これは参照符号４０６’によって識別される。図４のＧＤＤ４０６’は、図１のＧＤＤ４０１の具体的な他の設計である。図２の実施形態と図４の実施形態の間の対応する構成要素は同じ参照符号によって識別される。ＧＤＤ４０６’の縫合クロスバー４１４は図示されていないが、前述の方法で実装することができる。図４のＧＤＤ４０６’と図２のＧＤＤ４０６の主たる違いは、導管４０７の第２の導管セクション４１２に第３の導管セクション４１６が相互接続されており、この第３の導管セクション４１６が流れモジュール４１５を収容することである。この場合も、流れモジュール４１５は、第３の導管セクション４１６の中に直接に配置することができ、あるいは、１つまたは複数のハウジングを使用して、これらの２つの構造を一体化することができる。それによって排液流路４０８’は、導管４０７の中だけでなく、第３の導管セクション４１６の中（第３の導管セクション４１６の第１の開端４１７と第２の開端４１８の間）にも延びる。
【００５２】
第２の導管セクション４１２と第３の導管セクション４１６を相互接続するために、カップリング４１９が使用される。それにより、カップリング４１９の第１の開端４２０と第２の開端４２１の間に排液流路４０８’の一部が延びる。カップリング４１９の第１の開端４２０は、第２の導管セクション４１２の中に、その第２の開端４１３を通して導入される。カップリング４１９の外面の１つまたは複数の突起４２２は、第２の導管セクション４１２とカップリング４１９の間に、少なくともいくぶんかのプレスばめないし締りばめ（機械的パーチェス）を提供する。カップリング４１９の第２の開端４２１も、第３の導管セクション４１６の中に、その第１の開端４１７を通して導入される。カップリング４１９の外面の１つまたは複数の突起４２２も、第３の導管セクション１６とカップリング４１９の間に、少なくともいくぶんかのプレスばめないし締りばめ（機械的パーチェス）を提供することができる。
【００５３】
第３の導管セクション４１６内の排液流路４０８’の断面プロファイルは、第２の導管セクション４１２内の排液流路４０８’の断面プロファイルと同じとすることができる。ただし、そのようにする必要は必ずしもない。第３の導管セクション４１６は、適当な任意の長さとすることができ、適当な任意のサイズ、形状および／または構成をとることができ、適当な任意の材料（例えば導管４０７に関して先に記載されたものと同じ材料）から形成することができる。図示された実施形態では、第３の導管セクション４１６が円筒形であり、第２の導管セクション４１２とほぼ同じ内径および外径を有し、約５ｍｍの長さを有する。
【００５４】
カップリング４１９は、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができ、適当な任意の材料（例えばステンレス鋼）から形成することができる。カップリング４１９は、第２の導管セクション４１２および第３の導管セクション４１６とそれぞれ十分に係合するように十分に長くなければならない（例えば一実施形態では約２ｍｍの長さ）。図示された実施形態では、カップリング４１９が円筒形の構造物である。突起４２２も同様に、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができる。図４Ａはカップリング４１９の拡大図である。図４Ｂ〜４Ｄは、カップリング４１９の代わりに使用することができる、さまざまな他の突起構成を使用する、カップリングの他の実施形態である。カップリング４１９の外面が、第２の導管セクション４１２および第３の導管セクション４１６とインタフェースするための突起を全く必要としない実施形態も可能である。この変形形態は図４Ｅに示されている。
【００５５】
流れモジュール４１５は、第３の導管セクション４１６の中、その第１の開端４１７とその第２の開端４１８の間に配置され、それによって排液流路４０８’の中に配置される。これによって、流れモジュール４１５の交換を容易にすることができる。１つの選択肢は、第３の導管セクション４１６をカップリング４１９から分離することであろう。他の選択肢は、カップリング４１９を第２の導管セクション４１２から分離することであろう。いずれにせよ、次いで、流れモジュール４１５をその中に含む第３の導管セクション４１６を結膜円蓋２７３から取り出すことができる。この第３の導管セクション４１６を単純に廃棄し、流れモジュール４１５をその中に含む新しい第３の導管セクション４１６に取り替えることができる（すなわち、この場合には、実際の排液流路４０８’の一部分が交換される）。あるいは、流れモジュール４１５だけを取り替え、同じ第３の導管セクション４１６を使用することもできる。記載の手順を逆にして、交換用の流れモジュール４１５をその中に含む第３の導管セクション４１６を取り付けることができる。
【００５６】
緑内障排液装置、緑内障インプラントまたは緑内障シャント（「ＧＤＤ」）の他の実施形態が図５に示されており、これは参照符号４０６”によって識別される。図５のＧＤＤ４０６”は、図１のＧＤＤ４０１の具体的な他の設計である。図５のＧＤＤ４０６”は、図４のＧＤＤ４０６’の一変形形態であり、この場合もやはり縫合クロスバー４１４を含むことができる。図４の実施形態と図５の実施形態の間の対応する構成要素は同じ参照符号によって識別される。図５のＧＤＤ４０６”と図４のＧＤＤ４０６’の主たる違いは、第３の導管セクション４１６の中に複数の流れモジュール４１５が配置されることである。それぞれの流れモジュール４１５は、第３の導管セクション４１６の中に直接に配置することができ、あるいは、１つまたは複数のハウジングを使用して、これらの構造を一体化することができる。図２のＧＤＤ４０６の第２の導管セクション４１２の中に複数の流れモジュール４１５を配置することもできる。
【００５７】
流れモジュール４１５は一般に、図５のＧＤＤ４０６”の第３の導管セクション４１６の中に直列に配置される。すなわち、排液流路４０８’を通る流れは、複数の流れモジュール４１５を順番に通過する。それぞれの流れモジュール４１５は、前述の議論に基づくものとすることができる。典型的には、一方の流れモジュール４１５が濾過器の形態をとり、もう一方の流れモジュール４１５が圧力調節器の形態をとるであろう。濾過器流れモジュール４１５は、圧力調節器濾過器モジュール４１５の上流側に配置し、またはその逆に、下流側に配置することができる。第３の導管セクション４１６の中に３つ以上の流れモジュール４１５を含めることもできる。
【００５８】
流れモジュール４１５を物理的に取り替えることができる方法を、図２、４および５の実施形態に関して説明した。これらのそれぞれの実施形態に当てはまる、流れモジュール４１５の交換に関して述べておかなければならないいくつかの点がある。１つは、流れモジュール４１５を取り替えるために第１の導管セクション４０９を前房２８４から引き抜く必要がないことである。すなわち、流れモジュール４１５を取り替えるために外科的な手技が必要ない。さらに、流れモジュール４１５を取り出そうする前に、一般に、眼２６６および他の関連表面に適当な抗菌物質がつけられる。最後に、流れモジュール４１５を取り出そうとする前に、第１の導管セクション４０９を少なくとも実質的に閉塞させることができ、所望／必要ならば、（流れモジュール（１つまたは複数）４１５が取り出された後に）残りの開端に適当な任意の方法で栓をすることができる（例えば、第２の導管セクション４１２を、その第２の開端４１３のところで少なくとも実質的に閉塞させることができる）。
【００５９】
緑内障を治療するためのシステムの他の例が図６に概略的に示されている。ここでは、患者の眼の前房２４２（またはそれに関する他の身体領域、すなわち第１の身体領域）が、インプラント、シャントまたは排液装置２４６（この具体的に記載されたケースでは「緑内障排液装置」）によって、適当な排液域２４４に流体相互接続される。排液域２４４は、眼の外側（例えば角膜の外面）、眼の内側（例えばシュレム管）、または一般的に患者の体内（第２の身体領域）など、適当な任意の位置とすることができる。
【００６０】
排液装置２４６は一般に、一対の端部２５８ａ、２５８ｂを有し、これらの端部間に流路２５４が延びる導管２５０を含む。特定の排液域２４４を使用することを可能にすることを含め、希望／必要に応じて、導管２５０のサイズ、形状および構成を適合させることができる。導管２５０の代表的な構成は、それらの開示の全体が参照によって本明細書に組み込まれる特許文献１から１０に開示されている。
【００６１】
導管２５０の流路２５４の中に流れモジュール２６２が配置される。これにより、インプラント２４６を通って前房２４２を出る全ての流れは、流れモジュール２６２の中に導かれる。同様に、排液域２４４から排液装置２４６へ入る流れは全て、流れモジュール２６２を通過しなければならない。流れモジュール２６２は、導管２５０内の適当な位置に、適当な方法で保持することができる（例えば流れモジュール２６２はどちらか一方の端部２５８ａ、２５８ｂに配置し、またはこれらの端部間の任意の中間位置に配置することができる）。流れモジュール２６２は、１つまたは複数のハウジングを使用して（例えば流れアセンブリ２１０、２２６または２４３（図８Ａ〜１０Ｂ）の方法で）一体化することができる。あるいは、濾過機能と圧力調節機能のうちの少なくとも一方を提供するために、流れモジュール２６２は図示されているように、導管２５０の中に直接に配置することもできる。少なくとも生体物質／流体にさらされるであろう排液装置２４６の表面に、限定はされないが、生体適合性を向上させ、このような表面をより親水性にし、かつ／またはバイオファウリングの可能性を低減させるコーティングを含む適当なコーティングを付着させることができる。一実施形態では、前述の表面に、自己集合単層コーティング（例えばポリエチレングリコール）を、適当な任意の方法（例えば液相または蒸気相法。蒸気相法が好ましい技法である）で付着させる。
【００６２】
図７は、図６に基づく代表的な実施形態を示す。図７Ｂには、角膜２６８、虹彩２７２、瞳孔２７４、水晶体２７６、前房２８４、硝子体２８６、シュレム管２７８、小柱網２８０および房水静脈２８２を含む、眼２６６のさまざまな部分が識別されている。ここでは、適当な形状の導管２９２を有する排液装置、インプラントまたはシャント２９０が、角膜２６８を貫いて導かれる。導管２９２は適当な任意の形態をとることができるが、導管２９２は一般に、少なくとも、一対の端部２９４ａ、２９４ｂと、それらの端部間に延びる流路２９６とを含む。端部２９４ａは角膜２６８の外面に配置され、端部２９４ｂは眼２６６の前房２８４内に配置される。
【００６３】
導管２９２の流路２９６の中に流れモジュール２９８が配置される。これにより、排液装置２９０を通って前房２８４を出る全ての流れは、流れモジュール２９８の中に導かれる。同様に、環境から排液装置２９０へ戻る流れは全て、流れモジュール２９８を通過しなければならない。排液装置２９０を使用しているときに眼内において感染が発生する可能性を低減させるために、流れモジュール２９８は細菌濾過機能を提供することが好ましい。流れモジュール２９８は、導管２９２内の適当な位置に、適当な方法で保持することができる（例えば流れモジュール２９８はどちらか一方の端部２９４ａ、２９４ｂに配置し、またはこれらの端部間の任意の中間位置に配置することができる）。流れモジュール２９８は、１つまたは複数のハウジングを使用して（例えば流れアセンブリ２１０、２２６または２４３（図８Ａ〜１０Ｂ）の方法で）一体化することができる。あるいは、濾過機能と圧力調節機能のうちの少なくとも一方を提供するために、流れモジュール２９８は導管２９２の中に直接に配置することもできる。少なくとも生体物質／流体にさらされるであろう排液装置２９０の表面に、限定はされないが、生体適合性を向上させ、このような表面をより親水性にし、かつ／またはバイオファウリングの可能性を低減させるコーティングを含む適当なコーティングを付着させることができる。一実施形態では、前述の表面に、自己集合単層コーティング（例えばポリエチレングリコール）を、適当な任意の方法（例えば液相または蒸気相法。蒸気相法が好ましい技法である）で付着させる。
【００６４】
図８Ａ〜Ｂは、適当な任意の応用に対して使用することができる流れアセンブリ２１０の一実施形態を概略的に示す（例えば、流れアセンブリ２１０は、任意のタイプの流れの中に配置することができ、任意のタイプの流体の流れを濾過し、かつ／または制御するために使用することができ、適当な任意のタイプの複数の源（例えば、人工レザバー（ｒｅｓｅｒｖｏｉｒ）、生物レザバー、環境または他の任意の適当な源などの複数の流体源または圧力源（一方が環境である場合を含む）間）を流体相互接続する導管の中に配置することができ、あるいはこれらの任意の組合せを実施することができる）。一例は、眼の前房とその眼の角膜の外側の１つの位置との間に延びる導管の中に流れアセンブリ２１０を配置することであろう。他の例は、眼の前房とその眼の強膜の外側の他の位置との間に延びる導管の中に流れアセンブリ２１０を配置することであろう。他の例は、眼の前房と、その眼の内部の他の位置（例えばシュレム管）または体内の他の位置との間に延びる導管の中に流れアセンブリ２１０を配置することであろう。これらのそれぞれの例では、この導管が、緑内障患者に取り付けられたときに房水の出口経路を提供するであろう。すなわち、これらのそれぞれの例を、緑内障を治療する方法、または眼内圧を少なくともある程度まで制御する方法として見ることができる。
【００６５】
流れアセンブリ２１０の構成要素には、外ハウジング２１４、内ハウジング２１８およびＭＥＭＳ流れモジュール２２２が含まれる。図８Ｂにおいて、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２および内ハウジング２１８の位置が、外ハウジング２１４の中に少なくとも全体的に示されているのは、組み立てられた状態におけるこれらの構成要素の相対的な位置を示すためであって、外ハウジング２１４が透明な構造体の形態である必要があることを伝えるためではない。図８Ｂには、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２および内ハウジング２１８の全ての詳細が示されているわけでは必ずしもない。
【００６６】
図８Ａ〜ＢにはＭＥＭＳ流れモジュール２２２が概略的にしか示されておらず、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、濾過機能と圧力調節機能または流れ調節機能のうちの少なくとも一方を提供する。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、適当な任意の設計、サイズ、形状および構成とすることができ、使用に適した任意の材料または材料の組合せから、関連マイクロファブリケーション（ｍｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ）技術によって形成することができる。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の露出した表面に、適当なコーティングまたはコーティングの組合せを付着させることもできる。例えば、コーティングを付着させて、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の生体適合性を向上させ、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の露出した表面をより親水性にし、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２がバイオファウリングを引き起こす可能性を低減させ、またはこれらの任意の組合せを達成することができる。一実施形態では、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の全ての露出した表面に、自己集合単層コーティング（例えばポリエチレングリコール）を、適当な任意の方法（例えば液相または蒸気相法。蒸気相法が好ましい技法である）で付着させる。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の主たる要件は、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２がＭＥＭＳ装置であることである。
【００６７】
外ハウジング２１４および内ハウジング２１８の主な機能は、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２に構造的完全性を提供し、またはＭＥＭＳ流れモジュール２２２を支持し、さらにＭＥＭＳ流れモジュール２２２を保護することである。この点に関して、外ハウジング２１４および内ハウジング２１８はそれぞれ一般に、アセンブリ２１０の組立て中、ならびにアセンブリ２１０がそのために設計された応用における流れアセンブリ２１０の使用中に流れアセンブリ２１０上に加えられることが合理的に予想される力によってＭＥＭＳ流れモジュール２２２が損傷することを防ぐ、十分に堅い構造物の形態をとる。
【００６８】
内ハウジング２１８は、内ハウジング２１８を貫いて（図示された実施形態ではその反対端間に）延びる中空の内部ないし流路２２０を含む。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、内ハウジング２１８を貫く流路２２０内の適当な位置（例えば、内ハウジング２１８がＭＥＭＳ流れモジュール２２２のまわりに配置されるような任意の位置）に、適当な方法で配置することができる。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、内ハウジング２１８に対して固定された位置に維持されることが好ましい。例えば、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、内ハウジング２１８の内壁またはこの内壁に形成されたフランジ（ｆｌａｎｇｅ）に取り付け、または接合することができ、内ハウジング２１８とＭＥＭＳ流れモジュール２２２の間にプレスばめを提供することができ、あるいはこれらの組合せを使用することができる。ＭＥＭＳ流れモジュール２２２はまた、後により詳細に論じられる図１０Ａ〜Ｂの実施形態の方法で、内ハウジング２１８の端部に取り付けることもできる。
【００６９】
内ハウジング２１８は、外ハウジング２１４の中に少なくとも部分的に配置される（それにより、内ハウジング２１８の全長に沿って、または内ハウジング２１８の全長の一部分のみに沿って、外ハウジング２１４を内ハウジング２１８のまわりに配置することを含む）。この点に関して、外ハウジング２１４は、内ハウジング２１８を受け取り、場合によっては他の適当な機能（例えば内ハウジング２１８を貫く流路２２０と流体接続された流路）を提供するための中空の内部２１６を含む。外ハウジング２１４の外壁および内壁は円筒形または他の適当な形状とすることができ、内ハウジング２１８の外壁および内壁も同様とすることができる。内ハウジング２１８は、外ハウジング２１４に対して適当な任意の方法で保持することができる。例えば、内ハウジング２１８は、外ハウジング２１４の内壁に取り付け、または接合することができ、内ハウジング２１８と外ハウジング２１４の間にプレスばめを提供することができ、外ハウジング２１４と内ハウジング２１８の間に焼ばめを提供することができ、あるいはこれらの組合せを使用することができる。
【００７０】
同様に、図８Ａ〜Ｂには内ハウジング２１８が概略的にしか示されておらず、内ハウジング２１８は、適当な任意の形状／構成とし、適当な任意のサイズとし、任意の材料または材料の組合せ（例えば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、セラミック、シリコン、チタン、および他の埋込み可能な金属およびプラスチック）から形成することができる。一般に、内ハウジング２１８の外側輪郭は、その中に内ハウジング２１８が少なくとも部分的に配置される外ハウジング２１４の内側輪郭と整合するように適合される。一実施形態では、内ハウジング２１８の図示された円筒形の構成が、皮下針ストック（ｓｔｏｃｋ）を適当な長さに切断することによって達成される。内ハウジング２１８は、マイクロファブリケーションによって（例えばＬＩＧＡプロセスの少なくとも一部を使用して）所望の／必要な形状に製作することもできる。しかし、内ハウジング２１８を製作する任意の方法を利用することができる。希望／必要に応じて、内ハウジング２１８が、１つまたは複数のコーティング（例えば、電気めっきされた金属、あるいは、内ハウジング２１８の生体適合性を向上させ、内ハウジング２１８の露出した表面をより親水性にし、内ハウジング２１８がバイオファウリングを引き起こす可能性を低減させ、またはこれらの任意の組合せを達成することができるコーティング）を含むことができることも理解されたい。一実施形態では、内ハウジング２１８の全ての露出した表面に、自己集合単層コーティング（例えばポリエチレングリコール）を、適当な任意の方法（例えば液相または蒸気相法。蒸気相法が好ましい技法である）で付着させる。
【００７１】
同様に、図８Ａ〜Ｂには外ハウジング２１４が概略的にしか示されておらず、外ハウジング２１４は、適当な任意の形状／構成とし、適当な任意のサイズとし、任意の材料または材料の組合せ（例えば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、セラミック、シリコン、チタン、および他の埋込み可能な金属およびプラスチック）から形成することができる。一般に、外ハウジング２１４の外側輪郭は、その中に外ハウジング２１４が少なくとも部分的に配置され、または他の方法で取り付けられたハウジングまたは導管の内側輪郭と整合するように適合される。外ハウジング２１４は、マイクロファブリケーションによって（例えばＬＩＧＡプロセスの少なくとも一部を使用して）所望の／必要な形状に製作することもできる。しかし、外ハウジング２１４を製作する任意の方法を利用することができる。希望／必要に応じて、外ハウジング２１４が、１つまたは複数のコーティング（例えば、電気めっきされた金属、あるいは、外ハウジング２１４の生体適合性を向上させ、外ハウジング２１４の露出した表面をより親水性にし、外ハウジング２１４がバイオファウリングを引き起こす可能性を低減させ、またはこれらの任意の組合せを達成することができるコーティング）を含むことができることも理解されたい。一実施形態では、外ハウジング２１４の全ての露出した表面に、自己集合単層コーティング（例えばポリエチレングリコール）を、適当な任意の方法（例えば液相または蒸気相法。蒸気相法が好ましい技法である）で付着させる。
【００７２】
流れアセンブリの他の実施形態が図９Ａ〜Ｂ（概略図）に示されており、これは参照符号２２６によって識別される。流れアセンブリ２２６は、適当な任意の応用に対して使用することができる（例えば、流れアセンブリ２２６は、任意のタイプの流れの中に配置されることができ、任意のタイプの流体の流れを濾過し、かつ／または制御するために使用することができ、適当な任意のタイプの複数の源（例えば、人工レザバー、生物レザバー、環境または他の任意の適当な源などの複数の流体源または圧力源（一方が環境である場合を含む））を流体相互接続する導管の中に配置することができ、あるいはこれらの任意の組合せを実施することができる）。流れアセンブリ２１０に対する前述の応用は、流れアセンブリ２２６に対しても等しく適用可能である。流れアセンブリ２１０に関して先に論じられたタイプのコーティングを、流れアセンブリ２２６に対しても使用することができる。
【００７３】
流れアセンブリ２２６の構成要素には、外ハウジング２３０、第１の内ハウジング２３４、第２の内ハウジング２３８およびＭＥＭＳ流れモジュール２２２が含まれる。図９Ｂにおいて、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２および内ハウジング２３４、２３８が、外ハウジング２３０の中に少なくとも全体的に示されているのは、組み立てられた状態におけるこれらの構成要素の相対的な位置を示すためであって、外ハウジング２３０が透明な構造体の形態である必要があることを伝えるためではない。図９Ｂには、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２および内ハウジング２３４、２３８の全ての詳細が示されているわけでは必ずしもない。
【００７４】
外ハウジング２３０、第１の内ハウジング２３４および第２の内ハウジング２３８の主な機能は、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２に構造的完全性を提供し、またはＭＥＭＳ流れモジュール２２２を支持し、さらにＭＥＭＳ流れモジュール２２２を保護することである。この点に関して、外ハウジング２３０、第１の内ハウジング２３４および第２の内ハウジング２３８はそれぞれ一般に、アセンブリ２２６の組立て中、ならびにアセンブリ２２６がそのために設計された応用における流れアセンブリ２２６の使用中に流れアセンブリ２２６上に加えられることが合理的に予想される力によってＭＥＭＳ流れモジュール２２２が損傷することを防ぐ、十分に堅い構造物の形態をとる。
【００７５】
第１の内ハウジング２３４は、第１の内ハウジング２３４を貫いて延びる中空の内部または流路２３６を含む。同様に、第２の内ハウジング２３８は、第２の内ハウジング２３８を貫いて延びる中空の内部または流路２４０を含む。第１の内ハウジング２３４と第２の内ハウジング２３８は、端と端を合わせて配置され、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、隣接する第１の内ハウジング２３４の端部と第２の内ハウジング２３８の端部の間に配置される。そのため、第１の流路２３６を通って第２の流路２４０へ進む流れ、または第２の流路２４０を通って第１の流路２３６へ進む流れは、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２を通過する。
【００７６】
ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、それぞれの内ハウジング２３４、２３８に対して固定された位置に維持されることが好ましく、組み立てられ接合された状態において、その周囲が、内ハウジング２３４、２３８の隣接する側壁を越えて突き出ないことが好ましい。例えば、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２に構造的完全性を提供するために、第１の内ハウジング２３４（より具体的にはその一端）と第２の内ハウジング２３８（より具体的にはその一端）のうちの少なくとも一方、より好ましくはこれらの両方に、（例えばシアノアクリル酸エステル、熱接合、ＵＶ硬化性エポキシまたは他のエポキシを使用して）接合される。他の選択肢は、少なくとも主として内ハウジング２３４、２３８の位置を外ハウジング２３０に対してそれぞれ固定することによって、流れアセンブリ２２６内のＭＥＭＳ流れモジュール２２２の位置を固定することであろう（すなわち、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２をいずれかのハウジング２３４、２３８に接合する必要は必ずしもない）。一実施形態では、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２がその上に配置された第１の内ハウジング２３４を外ハウジング２３０の中に押し込むことを可能にするために、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２と第１の内ハウジング２３４の間にエラストマー材料を配置することができる（例えば、このエラストマー材料は、外ハウジング２３０の中に取り付けられている間、第１の内ハウジング２３４に対してＭＥＭＳ流れモジュール２２２を少なくとも一時的にそのままの位置に保持する十分な「粘着性」を有する）。（第１の内ハウジング２３４が外ハウジング２３０の中に配置される前に、あるいはむしろその後に）第２の内ハウジング２３８も外ハウジング２３０の中に押し込んで、外ハウジング２３０内のある位置の内ハウジング２３４と内ハウジング２３８の間にＭＥＭＳ流れモジュール２２２を「挟み込む」（すなわち、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２のまわりに外ハウジング２３０が配置されるようにする）ことができる。外ハウジング２３０の中に配置されたときに、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は一般に、第１の内ハウジング２３４と第２の内ハウジング２３８の両方によって接触されるであろう。外ハウジング２３０に対する第１の内ハウジング２３４および第２の内ハウジング２３８の位置をそれぞれ固定することによって、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２の位置が外ハウジング２３０に対して実質的に固定される。第１の内ハウジング２３４および第２の内ハウジング２３８はともに、外ハウジング２３０の中に少なくとも部分的に配置され（それにより、内ハウジングの全長に沿って、または内ハウジングの全長の一部のみに沿って、外ハウジング２３０を、一方または両方のハウジング２３４、２３８のまわりに配置されることを含む）、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２はやはり、隣接する第１の内ハウジング２３４の端部と第２の内ハウジング２３８の端部の間に配置される。この点に関して、外ハウジング２３０は、第１の内ハウジング２３４の少なくとも一部、第２の内ハウジング２３８の少なくとも一部、およびそれらの間に配置されたＭＥＭＳ流れモジュール２２２を受け取り、場合によっては他の適当な機能（例えば第１および第２の内ハウジング２３４、２３８をそれぞれ貫く流路２３６、２４０と流体接続された流路）を提供するための中空の内部２３２を含む。外ハウジング２３０の外壁および内壁は円筒形または他の適当な形状とすることができ、内ハウジング２３４、２３８の外壁および内壁も同様とすることができる。第１の内ハウジング２３４および第２の内ハウジング２３８はともに、図８Ａ〜Ｂの実施形態の内ハウジング２１８および外ハウジング２１４に関して先に論じられた方法を含む適当な任意の方法で、外ハウジング２３０に固定することができる。
【００７７】
同様に、図９Ａ〜Ｂにはそれぞれの内ハウジング２３４、２３８が概略的にしか示されておらず、内ハウジング２３４、２３８はそれぞれ適当な任意の形状／構成とし、適当な任意のサイズとし、任意の材料または材料の組合せから、図８Ａ〜Ｂの実施形態の内ハウジング２１８と同じ方法で形成することができる。一般に、両ハウジング２３４、２３８の外側輪郭は、その中にそれらが少なくとも部分的に配置される外ハウジング２３０の内側輪郭と整合するように適合される。一実施形態では、内ハウジング２３４、２３８の図示された円筒形の構成が、皮下針ストックを適当な長さを切断することによって達成される。内ハウジング２３４、２３８はそれぞれ、マイクロファブリケーションによって（例えばＬＩＧＡプロセスの少なくとも一部を使用して）所望の／必要な形状に製作することもできる。しかし、内ハウジング２３４、２３８を製作する任意の方法を利用することができる。希望／必要に応じて、内ハウジング２３４、２３８が、上記に従って、１つまたは複数のコーティングを含むことができることも理解されたい。
【００７８】
同様に、図９Ａ〜Ｂには外ハウジング２３０が概略的にしか示されておらず、外ハウジング２３０は適当な任意の形状／構成とし、適当な任意のサイズとし、任意の材料または材料の組合せから、図８Ａ〜Ｂの実施形態の外ハウジング２１４と同じ方法で形成することができる。一般に、外ハウジング２３０の外側輪郭は、その中に外ハウジング２３０が少なくとも部分的に配置され、または他の方法で取り付けられたハウジングまたは導管の内側輪郭と整合するように適合される。外ハウジング２３０は、マイクロファブリケーションによって（例えばＬＩＧＡプロセスの少なくとも一部を使用して）所望の／必要な形状に製作することができる。しかし、外ハウジング２３０を製作する任意の方法を利用することができる。希望／必要に応じて、外ハウジング２３０が、上記に従って、１つまたは複数のコーティングを含むことができることも理解されたい。
【００７９】
流れアセンブリの他の実施形態が図１０Ａ〜Ｂ（概略図）に示されており、これは参照符号２４３によって識別される。流れアセンブリ２４３は、適当な任意の応用に対して使用することができる（例えば、流れアセンブリ２４３は、任意のタイプの流れの中に配置されることができ、任意のタイプの流体の流れを濾過し、かつ／または制御するために使用することができ、適当な任意のタイプの複数の源（例えば、人工レザバー、生物レザバー、環境または他の任意の適当な源などの複数の流体源または圧力源間）を流体相互接続する導管の中に配置することができ、あるいはこれらの任意の組合せを実施することができる）。流れアセンブリ２４３の構成要素には、図９Ａ〜Ｂの実施形態の前述のハウジング２３４およびＭＥＭＳ流れモジュール２２２が含まれる。流れアセンブリ２４３の場合、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２は、ハウジング２３４の一端に取り付けられ、または（例えばシアノアクリル酸エステル、熱接合、ＵＶ硬化性エポキシまたは他のエポキシを使用して）接合される。流れアセンブリ２４３は、図８Ａ〜９Ｂの実施形態の方法で外ハウジングの中に配置することができ、または「そのままで」使用することができる。流れアセンブリ２１０に対する前述の応用は、流れアセンブリ２４３に対しても等しく適用可能である。流れアセンブリ２１０に関して先に論じられたタイプのコーティングを、流れアセンブリ２４３に対しても使用することができる。
【００８０】
濾過機能と圧力調節機能のうちの少なくとも一方を提供するさまざまなＭＥＭＳ装置が、本特許出願の「関連出願の相互参照」の項に記載された特許出願に開示されている。これらのそれぞれのＭＥＭＳ装置を、図２、４および５のＧＤＤ６、６’および６”において（流れモジュール４１５として）使用して、図１のＧＤＤ１に関して先に記載された特性／パラメータを実現することができる。すなわち、これらのＭＥＭＳ装置はそれぞれ、比較的に小さな断面積を通した高い流量（少なくとも約０．１５マイクロリットル／分／ｍｍ2／ｍｍＨｇの流量、および前述のより高い他の流量）を可能にする。これらのＭＥＭＳ装置はそれぞれ、少なくともある大きさの最小寸法を有する粒子を濾過によって除去するように製作することができ、特定の生物（例えば緑膿菌、黄色ブドウ球菌、ブレバンディモナスディミニュータ）を濾過の標的として除去するように製作することができ、またはこれらの両方を達成するように製作することができる。図８Ａ〜１０Ｂの流れアセンブリ２１０、２２６および２４３の場合、これらのそれぞれのＭＥＭＳ装置を、ＭＥＭＳ流れモジュール２２２として使用することもできる。最後に、これらのそれぞれのＭＥＭＳ装置を、図６の排液装置２４６の流れモジュール２６２として使用することができ、あるいは、これらのそれぞれのＭＥＭＳ装置を、図７の排液装置２９０の流れモジュール２９８によって、または図７の排液装置２９０の流れモジュール２９８として使用することができる。本明細書では、これらのＭＥＭＳ装置のうち主として濾過機能を提供する１つの装置が説明され（図１２〜１５のＭＥＭＳ流れモジュール４０）、さらに、これらのＭＥＭＳ装置のうち少なくとも圧力調節機能を提供する１つの装置が説明される（図１６Ａ〜ＣのＭＥＭＳ流れモジュール３４０）。
【００８１】
前述の特許出願のＭＥＭＳ装置は一般に、マイクロファブリケーションによって製作される。これらに限定はされないが、ＬＩＧＡ（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖｏｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）、ＳＬＩＧＡ（犠牲ＬＩＧＡ）、バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、マイクロ放電マシニング（ＥＤＭ）、レーザマイクロマシニング、３−Ｄステレオリソグラフィおよび他の技法を含め、「マイクロマシニング（ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）」として共通に特徴づけられるいくつかのマイクロファブリケーション技術がある。以後、「ＭＥＭＳ装置」、「マイクロファブリケーションによって製作された装置」などの用語は、１０ミクロン以下のフィーチャサイズの実現を可能にする技術を使用して製作された任意の装置を意味する。適当な任意のマイクロファブリケーション技術またはマイクロファブリケーション技術の組合せを使用して、前述のさまざまなＭＥＭＳ装置を製作することができる。
【００８２】
現在、表面マイクロマシニングは、前述の特許出願によって開示されたさまざまなＭＥＭＳ装置の好ましい製作技法である。特に望ましい１つの表面マイクロマシニング技法が、その開示の全体が参照によって本明細書に組み込まれる特許文献１１に記載されている。表面マイクロマシニングは一般に、結果として生じる微細構造の土台として機能する適当な基板（例えばシリコンウェーハ）を使用して、構造材料と犠牲材料の互層を付着させることを伴う。次の層を付着させる前に、これらの層のうちの１つまたは複数の層に、所望の微細構造を画定するために（集合的にマスキング、エッチングおよびマスク除去操作を含む）さまざまなパターン形成操作を実行することができる。この一般的な方法で微細構造が画定された後、その微細構造およびさまざまな犠牲層を１種または数種のエッチング剤に暴露することによって、これらのさまざまな犠牲層の全部または一部が除去される。これは一般に、微細構造を「リリース（ｒｅｌｅａｓｅ）」すると呼ばれる。
【００８３】
本明細書で使用される用語「犠牲層」は、表面マイクロマシニングによって製作された微細構造の層または層の部分であって、その微細構造の製作には使用されるが、最終的な構成には一般に存在しない層または層の部分を意味する（例えば、犠牲材料は、１つまたは複数の位置で、１つまたは複数の目的のために構造材料によって包み込まれることがあり、その結果、この包み込まれた犠牲材料はリリースによって除去されない）。本明細書に記載された犠牲層の例示的な材料は、ドープされていない二酸化シリコンまたは酸化シリコン、およびドープされた二酸化シリコンまたは酸化シリコンを含む（「ドープされた」は、付着中または付着後に膜に追加の元素物質が加えられたことを指示する）。本明細書で使用される用語「構造層」は、表面マイクロマシニングによって製作された微細構造の層または層の部分であって、犠牲層およびその微細構造が製作されている基板を除く層または層の部分を意味する。本明細書に記載された構造層の例示的な材料は、ドープされたまたはドープされていないポリシリコン、およびドープされたまたはドープされていないシリコンを含む。本明細書に記載された基板の例示的な材料はシリコンを含む。本明細書に記載されたさまざまな層は、例えば低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、プラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）を含む化学蒸着（ＣＶＤ）、熱酸化プロセス、ならびに蒸発ＰＶＤおよびスパッタリングＰＶＤを含む物理蒸着（ＰＶＤ）などの技法によって形成し／付着させることができる。
【００８４】
より一般的に言えば、表面マイクロマシニングは、基板、犠牲膜（１つまたは複数）または層（１つまたは複数）および構造膜（１つまたは複数）または層（１つまたは複数）からなる適当な系を用いて実行することができる。表面マイクロマシニング操作では多くの基板材料を使用することができるが、いたる所に存在し、入手しやすいため、シリコンウェーハの使用が趨勢となっている。基板は本質的に、その上に微細構造が製作される土台である。この土台材料は、微細構造（１つまたは複数）を画定するために使用されているプロセスに対して安定でなければならず、微細構造（１つまたは複数）を画定するために使用されている犠牲／構造膜の処理に不利な影響を与えてはならない。犠牲膜および構造膜に関して、これらを区別する主要な因子は、所望の／必要なリリースエッチング剤（１種または数種）に対する犠牲膜と構造膜との選択性の差である。この選択性比は約１０：１程度とすることができ、数百対１またはそれ以上であることがより好ましく、選択性比が無限大であることが最も好ましい。このような犠牲膜／構造膜系の例には、各種酸化シリコン／各種形態のシリコン、ポリゲルマニウム／ポリゲルマニウム−シリコン、各種ポリマー膜／各種金属膜（例えばフォトレジスト／アルミニウム）、各種金属／各種金属（例えばアルミニウム／ニッケル）、ポリシリコン／炭化シリコン、シリコーン二酸化物／ポリシリコン（すなわち例えば水酸化カリウムのような異なるリリースエッチング剤を使用する）が含まれる。二酸化シリコン犠牲材料および酸化シリコン犠牲材料のリリースエッチング剤の例は一般に、フッ化水素（ＨＦ）酸ベースのエッチング剤（例えば実際にはＨＦ酸４９重量％、水５１重量％である濃ＨＦ酸、水でさらに希釈した濃ＨＦ酸、緩衝ＨＦ酸（ＨＦ酸およびフッ化アンモニウム）である。
【００８５】
前掲の特許文献１１に記載されたマイクロファブリケーション技術は、構造層（例えばポリシリコン、したがって本明細書では「Ｐ」層と呼ばれる）と犠牲層（例えば二酸化シリコン、したがって本明細書では「Ｓ」層と呼ばれる）の複数の互層を使用する。本明細書では、前掲の特許文献１１に記載されたマイクロファブリケーション技術のさまざまな層を記述するために一般に使用される命名法も使用される。
【００８６】
図１１は、表面マイクロマシニングに適した、特許文献１１に一般的に関連した命名法に基づく、基板１０上の層の一実施形態を概略的に示す。これらの層はそれぞれ一般に、約１０ミクロン以下の厚さを有し、より一般的には、約１ミクロンから約３ミクロンの範囲の厚さを有する。基板１０に近い方から並べると、これらのさまざまな層は次の通りである：誘電層１２（誘電層１２と基板１０の間に図示されていない中間酸化層を配置してもよい）、Ｐ0層１４（第１の製作レベル）、Ｓ1層１６、Ｐ1層１８（第２の製作レベル）、Ｓ2層２０、Ｐ2層２２（第３の製作レベル）、Ｓ3層２４、Ｐ3層２６（第４の製作レベル）、Ｓ4層２８およびＰ4層３０（第５の製作レベル）。いくつかのケースでは、Ｐ1層１８上にＰ2層２２が直接に付着されるように、リリースの前にＳ2層２０が除去され、このような層は以後Ｐ1／Ｐ2層と呼ばれる。Ｓ1層１６、Ｓ2層２０、Ｓ3層２４およびＳ4層２８の全体が除去される場合（ただし、リリースエッチング剤から保護されるように適正に包み込まれる場合、これらのうちの１つまたは複数の層の部分を、１つまたは複数の目的のために保持することができる）、Ｐ4層３０の形成の後、リリースの前に、Ｐ4層３０上に１つまたは複数の他の層を付着させることができることも理解されたい。さらに、次の構造層を付着させる前に特定の犠牲層の厚さ全体を貫通する切れ目または開口を形成することによって、隣接する構造層を構造的に相互接続することができることを理解されたい。この場合、構造材料は、特定の犠牲層の上面に付着させるだけでなく、これらの切れ目または開口の中にも付着させる（それによって間隔を置いて配置された隣接する一対の構造層を相互接続する）。
【００８７】
ＭＥＭＳ流れモジュールの一実施形態が図１２〜１５に示されており、これは参照符号４０によって識別され、少なくとも濾過機能を提供する。ＭＥＭＳ流れモジュール４０の構成要素には、第１のプレート４４（これは例えば、少なくともＰ2層２２に製作され、またはＰ1層１８とその上に直接に配置されたＰ2層２２の組合せに製作される）、第２のプレート５２（例えばＰ3層２６に製作される）、および複数の濾過壁６０（例えばＰ3層２６に製作される）が含まれる。第１のプレート４４は、第１のプレート４４を貫通して延びる複数の第１の流れポート４８を含み、第２のプレート５２は、第２のプレート５２を貫通して延びる複数の第２の流れポート５６を含む。第１の流れポート４８および第２の流れポート５６はともに、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができる。
【００８８】
ＭＥＭＳ流れモジュール４０の第１のプレート４４と第２のプレート５２は、互いに対して少なくとも実質的に固定された位置に維持することができる。この点に関して、第１のプレート４４と第２のプレート５２の間に複数の構造相互接続７６が延び、複数の構造相互接続７６は、第１のプレート４４と第２のプレート５２が離隔したまま維持されるように、第１のプレート４４と第２のプレート５２を構造的に相互接続する。構造相互接続７６はそれぞれ、適当な任意のサイズ、形状および／または構成（例えば図示されているような柱ないし支柱の形態）とすることができ、複数の構造相互接続７６を適当な任意の配置に配置することができる。
【００８９】
さらに、第１のプレート４４の周囲部分と第２のプレート５２の周囲部分を、１つまたは複数の環状構造相互接続８２によって構造的に相互接続することができる。「環状」は単に、構造相互接続８２が、共通の点のまわりを３６０°にわたって完全に一周することを意味し、円形構成を有することに環状構造相互接続８２を限定しない。環状構造相互接続８２の代表的な環状構成には、円形、正方形、長方形、楕円形などが含まれる。それぞれの環状構造相互接続８２はさらに、第１のプレート４４と第２のプレート５２の間の空間から流れがＭＥＭＳ流れモジュール４０を出る可能性を低減させることによって、横方向または半径方向のシール機能を提供する。横方向または半径方向に間隔を置いて配置された複数の環状構造相互接続８２を利用することは、それによって、横方向または半径方向の冗長シールを提供する。
【００９０】
ＭＥＭＳ流れモジュール４０は、２方向流れの濾過、すなわちＭＥＭＳ流れモジュール４０を通過する一般的な２つの両方の方向の流れの濾過を可能にする。すなわち、第１のプレート４４の１つまたは複数の第１の流れポート４８を通してＭＥＭＳ流れモジュール４０の中へ流れを導くことができ、この流れは、第２のプレート５２の１つまたは複数の第２の流れポート５６を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出ることができる。さらに、第２のプレート５２の１つまたは複数の第２の流れポート５６を通してＭＥＭＳ流れモジュール４０の中へ流れを導くことができ、この流れは、第１のプレート４４の１つまたは複数の第１の流れポート４８を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出ることができる。ＭＥＭＳ流れモジュール４０を通過する流れの方向の如何にかかわらず、この流れは、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の複数の濾過壁６０と協力した第１のプレート４４によって濾過される。
【００９１】
濾過壁６０はそれぞれ、第２のプレート５２から第１のプレート４４に向かって延びるが、第１のプレート４４には達しない（図１３の断面は、第１のプレート４４とそれぞれの濾過壁６０の端部との間の空間を通って広がる基準面に沿って第１のプレート４４と第２のプレート５２の間でとられたものである）。すなわち、それぞれの濾過壁６０は、第１のプレート４４に到達する前に終端する。ＭＥＭＳ流れモジュール４０は適当な任意の数の濾過壁６０を利用することができる。
【００９２】
それぞれの濾過壁６０の端部と第１のプレート４４の間の空間は、濾過トラップ６４として識別され（図１４）、この空間の寸法は、あるサイズ以上の物体を濾し取るように決められる。それぞれの濾過トラップ６４の高さ（それぞれの濾過壁６０の端部と第１のプレート４４の間の距離）は、一実施形態では約０．４ミクロン以下、一実施形態では約０．２から約０．３ミクロン、他の実施形態では約０．１ミクロン以下である。それぞれの濾過トラップ６４のサイズは適当な任意の値に確立することができる。それぞれの濾過トラップ６４は少なくとも実質的に同じサイズとすることができるが、そのようにする必要は必ずしもない。
【００９３】
それぞれの濾過壁６０は環状であり、すなわち、それぞれの濾過壁６０が基準点のまわりを３６０°にわたって完全に一周する。濾過壁６０には円形の環状構成が好ましいが、他の環状構成（例えば正方形、長方形、楕円形）を利用することもできる。さらに、適当に間隔を置いて配置された複数の濾過壁セグメント（図示せず）によって、１つまたは複数の濾過壁６０を置き換えることができる。いずれにせよ、濾過壁６０は、ＭＥＭＳ流れモジュール４０を通過する望ましい高い流量を可能にすると考えられる所望の配置に配置される。この点に関して、これらのさまざまな濾過壁６０は、共通の中心または点のまわりに少なくとも概ね同心に配置される（すなわち、濾過壁６０はそれぞれ、共通の中心または点から異なる半径のところに配置される）。この同心配置では濾過壁６０が等間隔に配置されることが好ましいが、そのようにする必要は必ずしもない。
【００９４】
さまざまな第１の流れポート４８、さまざまな第２の流れポート５６およびさまざまな濾過壁６０は、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の濾過領域８６として特徴づけることができるものの中に配置される。濾過領域８６は、第１のプレート４４と第２のプレート５２の間の最も内側の環状構造相互接続８２の内側に位置する。第１のプレート４４を貫通する第１の流れポート４８および第２のプレート５２を貫通する第２の流れポート５６は一般に、１）任意の第１の流れポート４８を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０に入った任意の流れが、任意の第２の流れポート５６を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出る前に濾過トラップ６４を通過し、２）任意の第２の流れポート５６を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０に入った任意の流れが、任意の第１の流れポート４８を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出る前に濾過トラップ６４を通過するように配置される。
【００９５】
ＭＥＭＳ流れモジュール４０の場合には、流れが少なくとも１つの濾過トラップ６４を通過するようにするために、隣接する一対の濾過壁６０間の空間はそれぞれ、１つまたは複数の第１の流れポート４８あるいは１つまたは複数の第２の流れポート５６によってアクセスされる。言い換えると、ＭＥＭＳ流れモジュール４０は、複数の第１の流れポートチャンバ（ｃｈａｍｂｅｒ）６８および複数の第２の流れポートチャンバ（ｃｈａｍｂｅｒ）７２（例えば図１４）を含むと特徴づけることができる。第１の流れポートチャンバ６８および第２の流れポートチャンバ７２はそれぞれ、第１の寸法が、第１のプレート４４と第２のプレート５２の間の間隔によって画定され、第１の寸法に対して直角な第２の寸法が、隣接する濾過壁６０間の間隔によって画定される。それぞれの第１の流れポートチャンバ６８には第１の流れポート４８だけが直接に流体連通し、第２の流れポート５６は、最初に濾過トラップ６４を通過してからでないと第１の流れポートチャンバ６８にアクセスすることができない。同様に、それぞれの第２の流れポートチャンバ７２には第２の流れポート５６だけが直接に流体連通し、第１の流れポート４８は、最初に濾過トラップ６４を通過してからでないと第２の流れポートチャンバ７２にアクセスすることができない。
【００９６】
全ての流れが少なくとも１つの濾過トラップ６４を通過するようにするために、前述の第１の流れポートチャンバ６８と第２の流れポートチャンバ７２は交互に配置される。例えば、特定の第１の流れポートチャンバ６８の１つまたは複数の第１の流れポート４８を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０に入った流れは、任意の第２の流れポートチャンバ７２に入る前に、少なくとも１つの濾過トラップ６４を通過する必要があり、その流れは次いで、その特定の第２の流れポートチャンバ７２に関連した１つまたは複数の第２の流れポート５６を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出ることができるであろう。同様に、特定の第２の流れポートチャンバ７２の１つまたは複数の第２の流れポート５６を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０に入った流れは、任意の第１の流れポートチャンバ６８に入る前に、少なくとも１つの濾過トラップ６４を通過する必要があり、その流れは次いで、その特定の第１の流れポートチャンバ６８に関連した１つまたは複数の第１の流れポート４８を通ってＭＥＭＳ流れモジュール４０を出ることができるであろう。
【００９７】
ＭＥＭＳ流れモジュール４０は単純に、前述の第１のプレート４４、第２のプレート５２および濾過壁６０の形態をとることができる。しかし、１つまたは複数の目的のために、１つまたは複数の追加の構造を含むことが望ましいことがある。この点に関して、ＭＥＭＳ流れモジュール４０はさらに、１つまたは複数の環状構造相互接続９８によって第２のプレート５２の周囲部分から間隔を置いて配置され、その１つまたは複数の環状構造相互接続９８によって第２のプレート５２の周囲部分に相互接続された（例えばＰ4層３０に製作された）環状支持体９０を含むことができる（図１２および１５）。任意の適当な数の環状構造相互接続９８を利用することができる。それによって第２のプレート５２は、第１のプレート４４と環状支持体９０の間に「挟まれる」。この構成は、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の剛性を高めることができ、または、少なくとも、ＭＥＭＳ流れモジュール４０と、特定の応用のためにＭＥＭＳ流れモジュール４０を含み／支持するために利用することができる１つまたは複数のハウジングとの間のインタフェースを強化することができる。環状支持体９０は、第２のプレート５２上に直接に付着させることもできる。
【００９８】
ＭＥＭＳ流れモジュール４０はさらに、第２のプレート５２とインタフェースする表面とは反対側の環状支持体９０の表面に固定されて配置されたリング（ｒｉｎｇ）９４（図１２）を含むことができる。このリング９４は、ＭＥＭＳ流れモジュール４０が製作された後に、環状支持体９０に取り付けられまたは環状支持体９０上に形成された適当な金属とすることができ、あるいは、実際に、表面マイクロマシニングによって（例えば他の構造レベルから）形成することもできる。リング９４は一般に、ＭＥＭＳ流れモジュール４０を含むハウジングまたは他の構造との所望のインタフェースを提供することができる。所望の任意の目的のために、貫通した流れポートを有する１つまたは複数の追加のプレートを、第１のプレート４４または第２のプレート５２に相互接続し、あるいは第１のプレート４４または第２のプレート５２上に直接に形成することができることを理解されたい。
【００９９】
適当な任意の応用に対してＭＥＭＳ流れモジュール４０を使用することができる。特に望ましい１つの応用は、病気にかかった患者の眼の前房の内圧に取り組むインプラントにおいてＭＥＭＳ流れモジュール４０を使用することである。濾過トラップ６４のサイズは、シュレム管を通した患者の眼の前房からの房水の流れを少なくとも概ねまねたい（例えば十分な「背圧」を提供したい）という希望と、眼の前房からの房水の流れの増大を可能にしたいという希望との釣合いをとり、それによって眼内圧の少なくともある程度の増大を所望の方法で軽減するように選択することができる。
【０１００】
表面マイクロマシニングは、前述のＭＥＭＳ流れモジュール４０を製作する好ましい技術である。この点に関して、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の周囲に配置され、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の適当な部分と係合し、基板１０に固定された１つまたは複数の懸架タブ（ｔａｂ）によって、リリース後に、前述のＭＥＭＳ流れモジュール４０を基板１０の上方に懸架することができる。これらの懸架タブは、ＭＥＭＳ流れモジュール４０を基板１０から構造的に分離するために、（例えば、機械力を加えることによって、または懸架タブに適当な電流を流すなどによって電気的に）破砕または破断することができる。ＭＥＭＳ流れモジュール４０が横方向または半径方向に移動する量を制限するため、懸架タブを破断した後、分離されたＭＥＭＳ流れモジュール４０を取り出す前に、１つまたは複数のモーション制限装置を製作し、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の周囲に配置することもできる。代表的な懸架タブおよびモーション制限装置が、本発明と同一所有権者の特許文献１２に開示されている。
【０１０１】
本明細書に記載されたＭＥＭＳ流れモジュール４０は、互いに間隔を置いて配置された少なくとも２つの異なるレベル（以後、第１および第２の製作レベル）に製作することができる。一般に、そのＭＥＭＳ流れモジュール４０はやはり、間隔を置いて配置された第１のプレート４４および第２のプレート５２を含み、第２のプレート５２から少なくとも第１のプレート４４に向かって複数の濾過壁６０が延びる。第１のプレート４４およびそのさまざまな第１の流れポート４８は第１の製作レベルに製作することができ、第２のプレート５２およびそのさまざまな第２の流れポート５６ならびに濾過壁６０は、第２の製作レベルに製作することができる。第１のプレート４４が「第１の製作レベル」にあり、第２のプレート５２および濾過壁６０が「第２の製作レベル」ではあるという特徴づけは、第１の製作レベルが「最初に」付着させた製作レベルであり、第２の製作レベルが「２番目に」付着させた製作レベルであることを決して要求しないことを理解されたい。さらに、この特徴づけは、第１の製作レベルと第２の製作レベルがじかに隣接していることを要求しない。
【０１０２】
第１のプレート４４と第２のプレート５２の一方または両方はそれぞれ、単一の製作レベルに存在することができ、または複数の製作レベルにまたがって存在することができる。「製作レベル」は、（例えば構造層または構造膜の単一の付着によって）犠牲材料層をその上に形成しなければならない前に、構造材料の付着によって形成することができるものに対応する。上記の第１の事例では、単一の製作レベルにおける構造材料の付着によって、少なくとも概ね平らな層を画定することができる。この第１の例に関する他の選択肢は、単一の製作レベルにおける構造材料の付着によって、少なくとも概ね平らな部分、および、その下の製作レベルにあるその下の構造層に向かって下方に延びるが、この構造層までは達しない１つまたは複数の構造（例えば、自体から下方へ延びるさまざまな濾過壁６０を有する第２のプレート５２。その製作については後により詳細に論じられる）を画定することであろう。いずれの状況でも、少なくともいくつかのケースでは、リリースの前に、隣接する製作レベルの構造全体間に配置された少なくともある厚さの犠牲材料がある（例えば、濾過壁６０の遠位端と第１のプレート４４の間、または第１のプレート４４と第２のプレート５２の間）。
【０１０３】
上記の第２の事例では、隣接する製作レベルの２つ以上の構造層または構造膜を、直接にインタフェースするように配置することができる（例えば一方が他方の上に直接にある）。一対のプレートを画定する領域において、このことは、次の製作レベルに構造材料を付着させる前に、１つの製作レベルの構造材料上に付着させた犠牲材料の少なくとも一部分を除去することを要求するであろう（例えば、前述の通り、第２のプレート５２の周囲部分上に環状支持体９０を直接に付着させることができる）。上記の第２の事例に関する他の選択肢は、一対のプレートに対応する異なる製作レベルの構造層または構造膜間の分離を維持し、それらの間に適当な構造相互接続（例えば、間隔を置いて配置された異なる製作レベルの隣接する構造層または構造膜間に延びる複数の柱、支柱など）を提供することであろう。例えば、前述の通り、第１のプレート４４と第２のプレート５２は間隔を置いて配置されるが、それらの周囲部分は、環状構造相互接続８２によって相互接続される。第１のプレート４４と第２のプレート５２はさらに、濾過領域８６内に配置された構造相互接続７６によって、間隔を置いて配置された関係に維持される。構造相互接続７６、環状構造相互接続８２、第２のプレート５２および濾過壁６０は、共通の製作レベルに製作することができる。
【０１０４】
さらに、少なくとも部分的に表面マイクロマシニングによってＭＥＭＳ流れモジュール４０を製作することに関して、（限定はされないが、第１のプレート４４および／または第２のプレート５２を含む）ＭＥＭＳ流れモジュール４０のそれぞれの構成要素は、単一の製作レベル（例えばＰ1層１８、Ｐ2層２２、Ｐ3層２６、Ｐ4層３０（先に論じられた図１１））の構造層または構造膜に製作することができる。表面マイクロマシニングによってＭＥＭＳ流れモジュール４０を製作する一例は、少なくともＰ2層２２に（Ｐ2層２２がＰ1層１８の少なくとも一部分上に直接に付着される場合にはことによるとＰ1層１８にも）、第１のプレート４４を製作することであろう。第１のプレート４４の周囲および第１のプレート４４を貫通して延びるさまざまな第１の流れポート４８を画定するために少なくともＰ2層２２にパターンを形成した後、第１のプレート４４の上面および第１の流れポート４８の内部にＳ3層２４を付着させることができる。次いで、Ｓ3層２４に、Ｐ2層２２まで完全に延びる第１の環状溝のパターンを、濾過壁６０の位置と一致するように形成することができる。これらの第１の環状溝の底に犠牲材料を付着させることができる（この犠牲材料の厚さは、濾過壁６０の端部と第１のプレート４４の間の間隔、すなわち言い換えると濾過トラップ６４の高さを画定する）。この付着の厚さは、所望の高さの濾過トラップ６４を画定するために、合理的な精度で制御することができ、または小さな寸法で画定することができる。この点に関して、最も大きな濾過トラップギャップ６４のサイズは、最も小さな濾過トラップギャップ６４のサイズの約１０５％以下でなければならない。一実施形態ではこの付着の厚さが約０．４ミクロン以下である。他の実施形態ではこの付着の厚さが約０．２から約０．３ミクロンである。他の実施形態ではこの付着の厚さが約０．１ミクロン以下である。
【０１０５】
さらに、前述のＳ3層２４に、やはりＰ2層２２まで完全に延びる第２の環状溝のパターンを、環状構造相互接続８２の位置と一致するように形成することができる。同様に、Ｓ3層２４に、やはりＰ2層２２まで完全に延びる開口のパターンを、構造相互接続７６の位置と一致するように形成することができる。次いで、第２のプレート５２を画定するためにＳ3層２４の上面にＰ3層２６を付着させることができ、さらに、Ｓ3層２４の「部分的に充填された」（濾過壁６０に関係する）第１の環状溝の内部、Ｓ3層２４の（環状構造相互接続８２に関係する）第２の環状溝の内部、およびＳ3層２４の（構造相互接続７６に関係する）開口の内部に、Ｐ3層２６を付着させることができる。Ｓ3層２４の「部分的に充填された」第１の環状溝内への構造材料の付着は、濾過壁６０を画定するものであり、Ｓ3層２４の第２の環状溝内への構造材料の付着は、環状構造相互接続８２を画定するものであり、開口内への構造材料の付着は、構造相互接続７６を画定するものである。第２のプレート５２、濾過壁６０、環状構造相互接続８２および構造相互接続７６は全て、（例えば構造層または構造膜の単一の付着によって）その上の犠牲材料層を形成しなければならない前に構造材料の付着によって画定されたため、これらは、単一の製作レベル（前述の例ではＰ3層２６）に存在すると特徴づけることができる。（リリースの前の）濾過壁６０の端部と第１のプレート４４の間には、Ｓ3層２４の少なくとも一部が残っていることに留意されたい。
【０１０６】
ＭＥＭＳ濾過器モジュール４０の第１のプレート４４および／または第２のプレート５２は、前述の通り、複数の製作レベルの複数の構造層または構造膜にまたがって製作することもできる。例えば、Ｐ2層２２とＰ1層１８の両方に第１のプレート４４を製作することができ、少なくともＰ1層１８の第１のプレート４４を画定する部分の上にＰ2層２２が直接に付着され（例えば、適当な任意の目的のために、Ｐ2層２２およびＰ1層１８の第１のプレート４４を画定する部分間の１つまたは複数の位置に、Ｓ2層２０の一部の材料を包み込むことができ）、Ｐ3層２６とＰ2層２２の両方に第１のプレート４４を製作することができ、少なくともＰ2層２２の第１のプレート４４を画定する部分の上にＰ3層２６が直接に付着され、（例えば、適当な任意の目的のために、Ｐ3層２６およびＰ2層２２の第１のプレート４４を画定する部分間の１つまたは複数の位置に、Ｓ3層２４の一部の材料を包み込むことができ）、かつ／または、Ｐ4層３０とＰ3層２６の両方に第２のプレート５２を製作することができ、少なくともＰ3層２６の第２のプレート５２を画定する部分の上にＰ4層３０が直接に付着される（例えば、適当な任意の目的のために、Ｐ4層３０およびＰ3層２６の第２のプレート５２を画定する部分間の１つまたは複数の位置に、Ｓ4層２８の一部の材料を包み込むことができる）。他の選択肢は、適当な方法で（例えばそれらの間に延びる１つまたは複数の支柱、柱などによって）構造的に相互接続された異なる製作レベルの複数の構造層または構造膜に、ＭＥＭＳ流れモジュール４０の特定の構成要素を形成することであろう。例えば、Ｐ3層２６とＰ2層２２の両方に第１のプレート４４を形成することができ、それらの間に（Ｓ3層２４を貫通するであろう）１つまたは複数の構造相互接続が延び、Ｐ4層３０とＰ3層２６の両方に第２のプレート５２を形成することができ、それらの間に（Ｓ4層２８を貫通するであろう）１つまたは複数の構造相互接続が延びる。これは一般に、その上の構造層を付着させる前に、中間犠牲層を貫通して下方に延びる、（その下の構造層を露出させ、中間犠牲層の上面と中間犠牲層の前述の切れ目または開口部の両方にその上の構造層を付着させた後にこのような構造相互接続を画定する）適当な切れ目または開口部を形成することによって実行することができる。いずれにせよ、第１のプレート４４と第２のプレート５２は、異なる製作レベルに製作されるが、環状構造相互接続８２および構造相互接続７６によって構造的に相互接続される。
【０１０７】
以上のことにもかかわらず、本明細書に記載されたものとは異なるＭＥＭＳ構造の層に、ＭＥＭＳ流れモジュール４０のさまざまな構成要素を形成することができる。さらに、ＭＥＭＳ流れモジュール４０のさまざまな補体は、本明細書に記載された順序とは逆の順序で形成することができることを理解されたい。
【０１０８】
ＭＥＭＳ流れモジュール（ＭＥＭＳ装置）の一実施形態の全体構造が図１６Ａ〜Ｃに示されており、これは参照符号３４０によって識別され、圧力もしくは流れ調節機能、または濾過機能、あるいはその両方を提供する。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、平面図において円形の構成を有するように示されているが、適当な任意の構成を適当な任意のサイズで利用することができる。
【０１０９】
図１６Ａ〜１６Ｂに示されているように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、複数の流れポート３５２を有する（例えばＰ3層２６に製作された）流れプレート３５０を含み、複数の流れポート３５２は、流れプレート３５０を貫通して延び、図示の実施形態では共通の中心点を中心に等間隔に配置されている。任意の数の流れポート３５２を利用することができ、流れポート３５２は、適当な任意のサイズおよび／または構成とすることができる。流れポート３５２は、他の適当な配置に配置することもできる。標的差圧を達成するための標的流量を可能にするようにＭＥＭＳ流れモジュール３４０を構成することが一般的であろう。その他の差圧におけるＭＥＭＳ流れモジュール３４０内の流量は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０のさまざまな特性に左右されるであろう。
【０１１０】
ＭＥＭＳ流れモジュール３４０はさらに、（例えばＰ2層２２または結合されたＰ2層２２／Ｐ1層１８に製作された）流れ制御または流れ調節構造３６２、および（例えばＰ2層２２または結合されたＰ2層２２／Ｐ1層１８に製作された）外側支持リング３６８を含む。すなわち、調節構造３６２が変形していない状態にあるとき（例えば差圧がない場合）には、外側支持リング３６８と調節構造３６２を、少なくとも概ね共面関係に配置することができる。外側支持リング３６８は、適当な任意のサイズ、形状および／または構成とすることができる。図示された実施形態では、外側支持リング３６８が環状であり、すなわち外側支持リング３６８は、共通の点のまわりを３６０度にわたって完全に一周する。「環状」は、外側支持リング３６８が円形であることを要求しない。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、それぞれが１つまたは複数の流れポートを有する１つまたは複数の追加の流れプレートを含むことができる。例えば、このような追加の流れプレートは、この追加の流れプレートと流れプレート３５０の間に調節構造３６２が「挟まれる」ように提供することができる。１つまたは複数の追加の流れプレートを、他の流れプレートから間隔を置いて配置し（例えば適当な任意のタイプの１つまたは複数の構造相互接続によってそれに固定されて相互接続されることを含む）、または他の流れプレートとインタフェース関係に配置することができる（例えば、Ｐ3層２６に製作された流れプレート３５０上に直接に付着させたＰ4層３０に流れプレートを製作することができる）。
【０１１１】
調節構造３６２は、中心部分ないし中心支持体３６４と、支持体３６４から半径方向外側へ（例えばスポーク（ｓｐｏｋｅ）のように）延びると特徴づけることができる複数の片持ち梁構造物またはバッフル（ｂａｆｆｌｅ）３６６とを含む。バッフル３６６は、外側支持リング３６８などの共通の支持体から、半径方向内側へ延びることもできることを理解されたい（図示せず）。すなわち、支持体３６４は、支持体３６４から片持ち梁式に延びるバッフル３６６の支持機能を提供する（例えば、それぞれのバッフル３６６の一端３７６が支持体３６４に取り付けられ、反対端３７８が「自由」端であり、すなわち支持されない）。一般に、支持体３６４およびバッフル３６６はともに、バッフル３６６と流れプレート３５０の間の間隔を変化させるためにそれぞれのバッフル３６６が撓曲することを可能にする適当な任意のサイズ／形状／構成を有することができる。図示された実施形態では、それぞれのバッフル３６６が、（特定のバッフル３６０が支持体３６４に接続するところから自由端３７８までの距離に対応する）その長さ寸法に垂直な軸を中心に少なくとも全体的に撓曲する。流れ調節構造３６２の支持体３６４の中心部分（例えば図１６Ｂの破線によって識別される領域などの領域）を除去することによって、流れプレート３５０の剛性を低減させることができ、このことは、少なくとも１つまたは複数の応用にとって望ましいことである。すなわち、支持体３６４の前述の部分を除去することによって、流れプレート３５０が、図１６Ｂに示された構成よりも大きく撓曲するようにすることができる。
【０１１２】
任意の数のバッフル３６６を使用することができるが、それぞれのバッフル３６６は、流れプレート３５０を貫通する少なくとも１つの流れポート３５２に関連づけられ、バッフル３６６は適当な任意の配置に配置することができる。図示された実施形態では、バッフル３６６が、支持体３６４のまわりに等間隔に配置され、共通の位置から少なくとも全体的に延びる（例えば、それぞれのバッフル３６６の長さ寸法が共通の点を発する半径に沿って配置される）。図示されているように、それぞれのバッフル３６６は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後の少なくともある程度の圧力差の発生に関して、流れプレート３５０に対して動くように動作可能な自由端３７８を有する。さらに、それぞれのバッフル３６６は、バッフル３６６が流れプレート３５０と隣接関係にあるときに、対応する流れポート３５２の上に覆いかぶさる（例えば、対応する流れポート３５２の上に配置され、または対応する流れポート３５２の上に覆いかぶさるように配置される）ようにサイズが決められる。バッフル３６６を撓曲させるために必要な差圧の量は、適当な任意の大きさとすることができるが、バッフル３６６は、差圧が０よりも大きいときにはいつでも、または差圧の変化があるときにいつでも、少なくともある程度は動くことが好ましい。したがって、流れプレート３５０に対するバッフル３６６の動きは、対応する流れポート３５２を通過する流れを調節する。バッフル３６６の機能は後に本明細書においてより完全に論じられる。
【０１１３】
図示された実施形態では、流れプレート３５０が少なくとも１つの製作レベルに存在し、調節構造３６２が、少なくとも１つの別の製作レベルに存在する（例えば、流れプレート３５０と調節構造３６２を、ＭＥＭＳ装置の隣接する構造層に製作されることができる）。具体的には、流れプレート５０をＰ3層２６に製作することができ、調節構造６２を、少なくともＰ2層２２に製作することができる（図１１参照）。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、流れプレート３５０の上面の外周に固定して相互接続された、または外側支持リング３６８の反対側にあるリング３４８を含むことができる。すなわち、リング３４８と外側支持リング３６８の間に流れプレート３５０の環状部分を「挟み込む」ことができる。このリング３４８は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０が製作された後に、流れプレート３５０に取り付けられまたは流れプレート３５０上に形成された金属リングとすることができ、あるいは、別の製作レベル（例えばＰ4層３０）から製作することもできる。リング３４８は一般に、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を含むハウジングまたは他の構造との所望のインタフェースを提供することができる。
【０１１４】
理解されるように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０のさまざまな構成要素を、ＭＥＭＳ構造の異なる層に形成することができる。さらに、特に明記しない限り、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０のさまざまな構成要素を、逆の順番でＭＥＭＳ構造に形成することもできることを理解されたい。しかし、図示された実施形態では、調節構造３６２が、少なくともＰ2層２２に（Ｐ2層２２とＰ1層１８がインタフェース関係に配置される場合にはことによるとＰ1層１８にも）形成され、流れプレート３５０がＰ3層２６に形成される。したがって、この場合には、リリースによるＳ3層２４の除去の後に、流れプレート３５０の下面と調節構造３６２の上面および外側支持リング３６８の上面のそれぞれとの間に例えば約２ミクロンの間隔が存在する。
【０１１５】
図１６Ｂは、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の分解透視図を示す。具体的には、図１６Ｂは、複数の流れ制限リング３５４（後に論じられる）と調節構造３６２の間の空間にある流れプレート３５０と調節構造３６２の間の位置で流れプレート３５０に平行な平面に沿って切られたＭＥＭＳ流れモジュール３４０の断面図であり、流れプレート３５０は回転されて、調節構造３６２および外側支持リング３６８から離されている。図示されているように、調節構造３６２を流れプレート３５０に相互接続するため、ならびに外側支持リング３６８を流れプレートの下面の周囲に相互接続するために、マイクロファブリケーションプロセス中にさまざまな構造が形成される。より具体的には、調節構造３６２の支持体３６４と流れプレート３５０の下面の中心部分との間に、複数の相互接続またはアンカ（ａｎｃｈｏｒ）３７０が形成される。任意の数のアンカ３７０を利用することができ、アンカ３７０は、適当な任意のサイズ、形状および構成とすることができ、アンカ３７０は適当な任意の配置に配置することができる。同様に、外側支持リング３６８と流れプレート３５０の下面との間の、全ての流れポート３５２を包含するような位置に、「半径方向に間隔を置いて配置された」複数の環状コネクタ３７２が形成される。この場合も「環状」は、コネクタ３７２が共通の基準点のまわりを３６０度にわたって完全に一周することだけを意味し、それによって、円形構成を有することにコネクタ３７２を制限しない。任意の数のコネクタ３７２を利用することができる。図示されているように、半径方向に間隔を置いて配置された複数のコネクタ３７２を使用することは、半径方向の冗長シールを提供し、このことは、１つまたは複数の応用にとって望ましい。
【０１１６】
調節構造３６２および外側支持リング３６８が少なくともＰ2層２２に製作される場合を考える（この場合も、Ｐ2層２２とＰ1層１８は一般にインタフェース関係に配置される）。この場合、アンカ３７０および環状コネクタ３７２は、少なくともＰ2層２２から調節構造３６２および外側支持リング３６８のパターンが形成された後に製作することができる。これらの構造３６２、３６８が製作された後、調節構造３６２と外側支持リング３６８の両方の上面、ならびに、個々のバッフル３６６間の空間および調節構造３６２と外側支持リング３６８の間の空間に、Ｓ3層２４を付着させることができる。次いで、アンカ３７０の所望の断面構成および位置に対応するＰ2層２２まで下方に延びる複数の穴をＳ3層２４に画定するために、Ｓ3層２４にパターンを形成することができる。さらに、環状コネクタ３７２の所望の断面構成および位置に対応するＰ2層２２まで下方に延びる複数の環状トレンチ（ｔｒｅｎｃｈ）を画定するために、Ｓ3層２４にパターンを形成することができる。これらの穴およびトレンチは、Ｓ3層２４を貫通してＰ2層２２まで完全に延びる。次いで、Ｓ3層２４の上面ならびにＳ3層２４の穴およびトレンチの中にＰ3層２６を付着させることができる。次いで、流れプレート３５０の周囲および流れプレート３５０を貫通して延びるさまざまな流れポート３５２を画定するために、このＰ3層２６にパターンを形成することができる。これにより、アンカ３７０、環状コネクタ３７２および流れプレート３５０はＰ3層２６に製作され、共通の製作レベルに存在する。したがって、アンカ３７０は、調節構造３６２の支持体３６４を流れプレート３５０の下面に、固定された状態に相互接続し、環状コネクタ３７２は、外側支持リング３６８を流れプレート３５０の下面に、固定された状態に相互接続する。
【０１１７】
図１６Ｃは、代表的な流れポート３５２および対応するバッフル３６６の全般的な動作を示す。図１６Ｃに示されているように、流れプレート３５０およびバッフル３６６は、ホームポジション（ｈｏｍｅ  ｐｏｓｉｔｉｏｎ）または第１の位置に示されており、あるいは、言い換えると、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後の圧力差は、流れプレート３５０からバッフル３６６を偏向させるのにはまだ十分でない（この位置が、バッフル３６６の前後に差圧がないときの位置であることが好ましい）。後半部分に関して、流れプレート３５０の上方の第１の圧力ＰHは、バッフル３６６の下方の第２の圧力ＰLに比べて、バッフル３６６が流れプレート３５０から偏向するほどには大きくない。このホームポジションでは、隣接する構造／製作ＭＥＭＳ層間の一般的な間隔に従って、流れプレート３５０とバッフル３６６を、約２ミクロンの間隔で配置することができる。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後の圧力差は、バッフル３６６を相当に偏向させるのには十分でないかもしれないが、それでも圧力差が存在する可能性はある。したがって、バッフル３６６と流れプレート３５０の間の２ミクロンの間隔が維持される場合、第１の圧力ＰHの側から第２の圧力ＰLの側にＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過して、望まれていない流れが生じる可能性がある。このような望まれていない流れは、所望の大きさ／量の流れ制限を生み出す適当な構造をそれぞれの流れポート３５２に提供することによって対処することができる。図示された実施形態では、流れ制限環状壁またはリング３５４の形態の流れ制限構造がそれぞれの流れポート３５２に提供される。「環状」は、流れ制限リング３５４が共通の点のまわりを３６０度にわたって完全に一周することを意味し、流れ制限リング３５４を円形構成に限定しない。他のタイプの流れ制限構造を利用することもできる。例えば、それぞれの流れ制限リング３５４を、適当な任意のサイズ／形状／構成の複数の流れ制限セグメントによって置き換えることができ、この場合、流れ制限セグメントの隣接する対は、互いに適当な間隔を置いて配置されるであろう。このような流れ制限セグメントと対応するバッフル３６６との間のギャップ、ならびに隣接する流れ制限セグメント対間のギャップは、所望の程度の流れ制限を提供するであろう。また、共通の流れ制限構造を複数の第１の流れポート３５２に関連づけることもできる（例えば、流れ制限リング３５４または複数の流れ制限セグメントを、一群の第１の流れポート３５２のまわりに集合的に配置することができる）。
【０１１８】
調節構造３６２よりも基板１０から遠いレベルに流れプレート３５０が製作される場合には、それぞれの環状流れ制限リング３５４を、流れプレート３５０の下面、すなわち流れプレート３５０の調節構造３６２に面する面に配置することができる。調節構造３６２よりも基板１０に近いレベルに流れプレート３５０が製作される場合には、それぞれの環状流れ制限リング３５４を、バッフル３６６の上面、すなわちバッフル３６６の流れプレート３５０に面する面に配置することができる。いずれにせよ、それぞれの流れ制限リング３５４の機能は、関連バッフル３６６と流れポート３５２の間の流れチャネルのサイズを低減させることである。一実施形態では、バッフル３６６が、偏向していない状態ないし図１６Ｃの「ホーム」ポジションにある場合、図示された実施形態の流れ制限リング３５４の下面とその対応するバッフル３６６の間のギャップ３５８が、約０．４ミクロン程度またはそれ以下である。例えばＭＥＭＳ流れモジュール３４０が使用されている応用によっては、他の間隔が適当なこともある。一実施形態では、図１６Ｃの構成のギャップ３５８の高さが約０．３ミクロン以下であるが、少なくともある種の事例では約０．１ミクロン以下の高さが望ましい。環状流れ制限リング３５４が前述の方法でバッフル３６６から延びるときにも、これらと同じ間隔を実現し／利用することができる。さらに、特定の流れ制限リング３５４が、互いに適当な間隔を置いて配置された複数の流れ制限セグメントによって置き換えられたときにも、これらの同じ間隔を実現し／利用することができる。
【０１１９】
環状流れ制限リング３５４は、アンカ３７０および環状コネクタ３７２と一緒に形成することができる。具体的には、Ｓ3層２４を貫通して、Ｐ2層２２のそれぞれのバッフル３６６の上面まで延びる環状溝を形成することができる。環状流れ制限リング３５４をバッフル３６６から分離するため、Ｓ3層２４の上面およびこれらの環状溝の底に、非常に薄い犠牲材料層（例えば約０．３ミクロン以下。ギャップ３５８の所望のサイズに対応する）を付着させることができる。この層の厚さは小さな寸法で画定可能である。理解されるように、環状流れ制限リング３５４に対応する環状溝の形成および薄い犠牲材料層の付着は、アンカ３７０および環状コネクタ３７２に対応する穴および環状溝の形成の前に実行することができる。この薄い犠牲材料層の付着の結果、リリースの後に、バッフル３６６の上面と環状流れ制限リング３５４の下面との間に、幅の狭いギャップ３５８が残る。バッフル３６６がホームポジションから偏向しておらず、流れプレート３５０から離れていないときに、結果として生じる（環状流れ制限リング３５４の下面とバッフル３６６の上面との間の）ギャップ３５８が、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流れを実質的に制限するように、この付着の厚さを制御することができる。この点に関して、最も大きなギャップ３５８のサイズは、最も小さなギャップ３５８のサイズの約１０５％以下でなければならない。それぞれのギャップ３５８はさらに、バッフル３６６と流れプレート３５０の間を進もうとする流れに対するある種の濾過トラップギャップを画定することができる。一実施形態では、バッフル３６６が図１６Ｃに示された位置にあるときに、それぞれのギャップ３５８が、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流れを濾過し、さらに、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流れの所望の流れ制限を提供する。少なくともある程度の差圧の発生に応答して、その対応する流れポート３５２から離れるバッフル３６６の動きは、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０がより大きな流れを可能にする圧力調節機能を提供する。この圧力調節機能を提供しているとき、流れ制限リング３５４は濾過機能をあまり提供しないことがある。少なくともある種の応用に関して、流れ制限リング３５４の主な機能は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流量を制限することであり、濾過機能を提供することではない。しかしこの場合も、流れ制限リング３５４は、希望／必要に応じて濾過機能を提供することができる。
【０１２０】
バッフル３６６の偏向を必要とせずに、少なくともある程度の流れがＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過することを可能にするために、環状流れ制限リング３５４とその対応するバッフル３６６とが間隔を置いて配置されるように、ギャップ３５８を設計することができる。すなわち、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する少なくともある程度の制限された流れを常に可能にする常に開いた流路を提供するように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を設計することができる。常に開いたこのような流路は、少なくともいくつかの点で有利であることができる。１つは、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０が、（例えば眼内インプラントに組み込まれることによって）眼内圧を軽減するために使用されるケースに関係する。この場合、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の流れプレート３５０を、「前房」の側に置くことができる（例えば、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０に入った患者の眼の前房からの房水の流れは、１つまたは複数の流れポート３５２を通過し、次いでバッフル３６６と流れプレート３５０の間の空間を通過し、最終的にＭＥＭＳ流れモジュール３４０から流出するであろう）。開いた流路を（それが常にゼロよりも大きな体積を有するように）常に存在させることは、シュレム管を通した患者の眼の前房からの房水の流れを少なくとも概ねまねることであると考えられる。しかし、少なくともある程度の差圧（例えば差圧「設定点」。これは実際には前述の通りゼロとすることができる）が存在するまでは、バッフル３６６が実際にそれらの対応する環状流れ制限リング３５４上に直接に配置され、少なくともある程度の差圧が生じた後は、バッフル３６６が、対応する環状流れ制限リング３５４から間隔をあけた配置に移行して流路を開くように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を設計することもできる。
【０１２１】
それぞれのバッフル３６６は、その基部ないし固定端３７６で、調節構造３６２の支持体３６４に相互接続される。図１６Ｂおよび１６Ｃを参照されたい。固定された基部３７６の反対側にはバッフル３６６の自由端３７８がある。バッフル３６６の自由端３７８は、バッフル３６６が少なくともある程度の差圧を受けたのに応答して、少なくとも概ねアーチ形の経路に沿って動くように動作可能である。より具体的には、バッフル３６６は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後に存在する少なくともある程度の圧力差に応答して撓曲する。特定のバッフル３６６のその対応する流れポート３５２に面する側に作用する圧力が、このバッフル３６６の反対側に作用する圧力よりも、少なくともある量だけ大きい場合、この圧力差は、図１６Ｃでは下向きにバッフル３６６を撓曲させるように作用可能な力をバッフル３６６に加える。すなわち、その対応する流れポート３５２および環状流れ制限リング３５４から離れる方向にバッフル３６６は撓曲して、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０内の流路セグメントをさらに開く。この撓曲はさらに、圧力差の大きさが低減したときに図１６Ｃに示された位置に向かって、または図１６Ｃに示された位置までバッフル３６６を戻すために使用することができる力をそれぞれのバッフル３６６に蓄積し、またはそのような応力をそれぞれのバッフル３６６に生み出す。すなわち、バッフル３６６は、圧力差がある量よりも増大したときに弾性変形することが好ましく、バッフル３６６の弾性は、圧力差の低減の大きさに応じて、それらのそれぞれのホームポジション（例えば図１６Ｃ）に向かって、またはそれらのそれぞれのホームポジションまで移動するバッフル３６６の動きに少なくとも寄与する復原力を提供することができる。
【０１２２】
流路セグメントの体積は、バッフル３６６の撓曲に少なくても部分的に依存する。バッフル３６６が撓曲してその対応する流れポート３５２から離れるほど、流路セグメントの体積は（例えばある最大値まで）大きくなる。重要には、このバッフル３６６の動きは、流れポート３５２を通過する流量が、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後の圧力差の増大に比例した流量よりも増大することを可能にする。バッフル３６６が流れプレート３５０から離れることができる最大距離は、適当な動程制限装置（例えば機械的「キャッチ（ｃａｔｃｈ）」）などを使用するなどによって制御することができる。
【０１２３】
ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は一般に、高圧力源ＰH（例えば患者の前眼房）が、流れプレート３５０の上面、すなわち調節構造３６２とは逆の方向に突き出しまたは調節構造３６２とは逆の方向を向いた流れプレート３５０の表面に作用し、一般により低い圧力源ＰL（例えば環境）が、流れプレート３５０の下面、すなわち調節構造３６２に向かって突き出しまたは調節構造３６２に面した流れプレート３５０の表面に作用する応用で使用される。高圧力源ＰHからの圧力の変化によって、１つまたは複数のバッフル３６６が流れプレート３５０から離れる方向に動き、それによって、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流量が増大する。高圧力源ＰHからの圧力の非常に小さな変化が、流れポート３５２を通過し、バッフル３６６を通り過ぎてＭＥＭＳ流れモジュール３４０から出る流量の、直線的な変化よりも大きな変化を可能にすることが好ましい。例えば、高圧力源ＰHの圧力の小さな増大は、バッフル３６６の偏向を増大させて（すなわち、バッフル３６６が、環状流れ制限リング３５４からさらに離れるようにして）、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流量の、直線的な増大よりも大きな増大を提供することができる。すなわち、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流量と、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０が受けている差圧の変化との間に、非直線的な関係があることが好ましい。バッフル３６６と環状流れ制限リング３５４の間の空間によって画定された流路セグメントを通過する流量は、この流路セグメントの高さ、すなわちバッフル３６６とそれらの対応する環状流れ制限リング３５４との間のギャップ３５８の３乗の関数でなければならない（少なくとも層流の場合。層流は、これらの寸法および流量で一般に遭遇する）。言い換えると、特定のバッフル６６の前後の差圧の少なくともある程度の変化の発生は、流れ制限リング３５４とその対応するバッフル３６６との間の流れチャネルセグメントの体積の、直線的な増大よりも大きな増大を提供する。
【０１２４】
病気にかかった患者の眼の前房の内圧を調節するためのインプラントにおいてＭＥＭＳ流れモジュール３４０が使用され、この眼の前房の内圧を約５ｍｍＨｇに維持したい場合を考える。患者の眼の前房の最大内圧が（ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の設計範囲全体を通じて）約７〜８ｍｍＨｇ以下であるように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する前房からの流量をバッフル３６６が調節するように、バッフル３６６の剛性を構成することができる。言い換えると、バッフル３６６の剛性は、少なくとも合理的に予想される患者の眼の前房の内圧の範囲について、患者の眼の前房（この事例では高圧力源ＰH）の内圧を少なくとも実質的に一定に維持することを可能にする。
【０１２５】
ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の前後の圧力差および／またはＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する流れを調節するため、流れポート３５２および／またはバッフル３６６の１つまたは複数の特性を調節することができる。理解されるように、差圧によってそれぞれのバッフル３６６に加えられる力は、対応する流れポート３５２の面積に比例する。したがって、流れポート３５２のサイズ（例えば直径）を調節することによって、所与の圧力差においてバッフル３６６に加えられる力を増大および／または低減させることができる。同様に、バッフル３６６の剛性は、特定の応用に向けて設計することができる。この点に関して、バッフル３６６を、固定された基部３７６および自由端３７８を有する梁になぞらえることができる。このような梁の幅、高さ、断面形状および／または長さを調節することによって、バッフル３６６の剛性を調節することができる。バッフル３６６の剛性はもちろん、バッフル３６６の撓曲を開始させるために存在しなければならない差圧の大きさに影響する。
【０１２６】
ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の圧力または流れ調節機能に寄与し、要約を必要とするいくつかの特徴および／または関係がある。第１は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０が、自律的なまたは自己内蔵型の装置であることである。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の動作のために外部電源は必要ない。言い換えると、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は受動装置であり、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０がその圧力または流れ調節機能を提供するため、バッフル３６６を流れプレート３５０に対して動かすのに、いかなるタイプの外部電気信号の使用も必要ない。その代わりに、流れプレート３５０に対するバッフル３６６の位置は、バッフル３６６が受けている差圧に依存し、（隣接するバッフル３６６間の空間および／またはバッフル３６６と外側支持リング３６８との間の空間を通過して）ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を出る流量は、流れプレート３５０に対するバッフル３６６の位置（それらの間の間隔（例えばギャップ３５８）、およびそれによるこの流路セグメントのサイズ）に依存する。最後に、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、それを通過する層流に対して設計することができるが、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０は、それを通過する乱流に対しても適用可能であることができることに留意されたい。
【０１２７】
理解されるように、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０のリリースの前に、流れプレート３５０と調節構造３６２の間に、少なくとも１つの犠牲層（例えばＳ3層２４）が配置され、流れプレート３５０に面した側とは反対側の調節構造３６２の側に、少なくとも１つの犠牲層（例えばＳ1層１６）が配置される。これらの犠牲層を除去するため、これらの犠牲層を除去するために必要な時間を短縮するために、流れプレート３５０および調節構造３６２を貫通する複数のエッチングリリース穴を形成することができる。これらのエッチングリリース穴は一般に約１ミクロン以下の直径を有する。約１ミクロン程度の直径を有するエッチングリリース穴の形成を可能にするのは、少なくともある種のリソグラフィ技法だけである。理解されるように、このようなエッチングリリース穴は、結果として生じるＭＥＭＳ流れモジュール３４０の中に残る。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０のこのサイズのエッチングリリース穴には、関連したいくつかの潜在的な欠点がある。１つの欠点は、このサイズのいくつかのエッチングリリース穴の存在が、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する望ましくない高い最小流量を提供する可能性があることである。すなわち、このサイズのエッチングリリース穴は、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の流れまたは圧力調節機能に対して望まれていない効果を有する可能性がある。他の欠点は、約１ミクロン以下のサイズを有する潜在的に望ましくない汚染物質が、このようなエッチングリリース穴を通過することによって、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０を通過する可能性があることである。
【０１２８】
エッチングリリース穴の直径を十分に小さく（例えば直径約０．２または０．３ミクロン以下に）することができず、エッチングリリース穴の直径が、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の特定のエッチングリリース穴の位置に依存する場合には、１つまたは複数のこれらのエッチングリリース穴に関して、流れ制限構造ないし流れリストリクタ（ｒｅｓｔｒｉｃｔｏｒ）を提供することができる。所与の製作レベルの単一のエッチングリリース穴に単一の流れリストリクタを関連づけることができ、または所与の製作レベルの複数のエッチングリリース穴に単一の流れリストリクタを関連づけることができる。ＭＥＭＳ流れモジュール３４０の場合には、流れプレート３５０を貫通するエッチングリリース穴ごとに、流れリストリクタを提供することができる。しかし、流れリストリクタは、流れプレート３５０の対応する流れポート３５２と整列し、または流れプレート３５０の対応する流れポート３５２によって取り囲まれたバッフル３６６を貫通するエッチングリリース穴に対してだけ、必要であることがある。流れリストリクタは、ＭＥＭＳ流れモジュール３４０によって利用されるそれぞれのエッチングリリース穴に対して、またはＭＥＭＳ流れモジュール３４０によって利用される任意の数のエッチングリリース穴に対して提供することができる。例えば、流れプレート３５０を貫通するあるパーセンテージのエッチングリリース穴に対して流れリストリクタを使用することができ、この場合も、流れリストリクタは、流れプレート３５０の対応する流れポート３５２と整列し、または流れプレート３５０の対応する流れポート３５２によって取り囲まれたバッフル３６６を通過するエッチングリリース穴に対してだけ使用することができる。しかし、流れリストリクタは、特定のバッフル３６６を貫通する任意の数のエッチングリリース穴に関して使用することができる。
【０１２９】
本発明の以上の説明は、例示および説明を目的に提示されたものである。また、以上の説明は、本明細書に開示された形態に本発明を限定することを意図したものではない。したがって、以上の教示ならびに関連技術の技能および知識に相応する変形および変更は、本発明の範囲に含まれる。また、本明細書に記載された実施形態は、本発明を実現する分かっている最良の形態を説明し、他の当業者が、このような実施形態または他の実施形態において、本発明の特定の応用（１つまたは複数）または用途（１つまたは複数）が必要とするさまざまな変更を加えて、本発明を利用することを可能にすることを意図したものである。添付の請求項は、従来技術によって可能となる程度の代替実施形態を含むものと解釈されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】眼に取り付けられた緑内障排液装置の概略断面図である。
【図２】図１の緑内障排液装置の一実施形態の断面図である。
【図３Ａ】導管から流れモジュールを取り外すための抜取り具の透視図である。
【図３Ｂ】流れモジュールを取り外すために導管を拡張する目的に使用されている図３Ａの抜取り具の透視図である。
【図４】図１の緑内障排液装置の他の実施形態の断面図である。
【図４Ａ】図４の緑内障排液装置が使用するカップリングの側面図である。
【図４Ｂ】図４の緑内障排液装置が使用することができるカップリングの代替設計の側面図である。
【図４Ｃ】図４の緑内障排液装置が使用することができるカップリングの代替設計の側面図である。
【図４Ｄ】図４の緑内障排液装置が使用することができるカップリングの代替設計の側面図である。
【図４Ｅ】図４の緑内障排液装置が使用することができるカップリングの代替設計の側面図である。
【図５】図１の緑内障排液装置の他の実施形態の断面図である。
【図６】緑内障排液装置の他の実施形態の概略図である。
【図７】緑内障排液装置の他の実施形態の断面図である。
【図８Ａ】流れモジュールを使用する流れアセンブリの一実施形態の分解透視図である。
【図８Ｂ】組み立てられた状態の図８Ａの流れアセンブリの透視図である。
【図９Ａ】流れモジュールを使用する流れアセンブリの他の実施形態の分解透視図である。
【図９Ｂ】組み立てられた状態の図９Ａの流れアセンブリの透視図である。
【図１０Ａ】流れモジュールを使用する流れアセンブリの他の実施形態の分解透視図である。
【図１０Ｂ】組み立てられた状態の図１０Ａの流れアセンブリの透視図である。
【図１１】表面マイクロマシニング製作技法の一実施形態において使用することができる複数の層の側面図である。
【図１２】同心に配置された複数の環状濾過壁を利用して少なくとも濾過機能を提供する、ＭＥＭＳ流れモジュールの一実施形態の透視図である。
【図１３】第２のプレートから第１のプレートに向かって延びているが、第１のプレートには達しないさまざまな環状濾過壁と交わらない、第１のプレートと第２のプレートの間の一平面に沿って切られた、図１２のＭＥＭＳ流れモジュールの断面分解透視図であり、第２のプレートは回転されて、第１のプレートから離されている。
【図１４】図１２のＭＥＭＳ流れモジュールの場合の、第１のプレートと第２のプレートの環状濾過壁との間の間隔を示す断面図である。
【図１５】第２のプレートと環状支持体またはリングとの間に広がる一平面に沿って切られた、図１２のＭＥＭＳ流れモジュールの断面分解透視図であり、この環状支持体またはリングは、環状支持体と第１のプレートの間に第２のプレートを挟み、この環状支持体は回転されて、第２のプレートから離されている。
【図１６Ａ】少なくとも圧力調節機能を提供するＭＥＭＳ流れモジュールの一実施形態の透視図である。
【図１６Ｂ】図１６ＡのＭＥＭＳ流れモジュールの断面分解透視図である。
【図１６Ｃ】図１６ＡのＭＥＭＳ流れモジュールの１つのバッフルの断面図である。
【図１】
2008528235.tif 000003
【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【国際調査報告】
2008528235.tif 000030