(57)【要約】【課題】インターフェロメトリック変調器の欠陥を視覚的に検査する方法【解決手段】様々な駆動状態における、インターフェロメトリック変調器のアレイ６０の視覚的検査のための方法が提供される。この方法は、検査パッド７２等の単一の検査パッド又は検査リードを介して、インターフェロメトリック変調器の多数の列又は行を駆動することと、その後に、アレイ６０の予想した光出力と実際の光出力の相違についてアレイ６０を観察することとを含むことができる。この方法は、特に、例えば、列６２等の隣接しない行又は列からなるセットを、列６４等の間にある行又は列とは異なる状態に駆動することと、その後に、アレイ６０の光出力を観察することとを含むことができる。【選択図】      図８
2008515004.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
第１の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列に印加して、前記第１の複数の隣接しない列におけるインターフェロメトリック変調器を作動状態にすることと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、前記アレイにおける欠陥を識別することであって、前記検査が、前記第１の信号の印加後に実行されることと、
を備える方法。
【請求項２】
第２の信号を少なくとも部分的に同時に、前記第１の複数の隣接しない列に印加して、前記第２の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることと、
第３の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列に印加して、前記第１の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることであって、前記第１の信号が、前記第２及び第３の信号の後に印加されることと、
を追加的に備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第４の信号を少なくとも部分的に同時に、前記インターフェロメトリック変調器の第３の複数の隣接しない列に印加して、前記第３の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることであって、前記第３の複数の列における前記変調装置の各々が、前記変調装置が非作動状態にあるときに、実質的に同様の色の光を反射するように構成されており、前記第４の信号が、前記第１の信号よりも前に印加されることと、
第５の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の前記第２の複数の隣接しない列に印加して、前記第２の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を作動状態にすることであって、前記第５の信号が、前記第２、第３及び第４の信号の後に印加されることと、
を追加的に備える、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
第２の信号を少なくとも部分的に同時に、前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の第２の複数の列に印加して、前記列の第２のアレイにおける前記変調装置を非作動状態にすることであって、前記第２の複数の列が、前記第１の複数の列を除いて、前記インターフェロメトリック変調器のアレイ内に、それぞれ列を備えることを追加的に備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の信号は、前記第２の信号と実質的に同一である、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
第３の信号を少なくとも部分的に同時に、前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の全ての列に印加して、前記アレイ内の全ての変調装置を非作動状態にすることであって、前記第３の信号は、前記第１及び第２の信号の前に印加されることを追加的に備える、請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する前に、ディフューザ層が、観察者と、前記アレイとの間に配置される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査することは、少なくとも１つの可視的な欠陥の少なくとも１つの位置を識別することを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
第１の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない行の各々に印加することと、
第２の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない行の各々に印加することと、
第３の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列の各々に印加することと、
第４の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列の各々に印加することと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、前記アレイにおける欠陥を検査することと、
を備える方法。
【請求項１０】
前記第１及び第２の複数の隣接しない列は、前記アレイ内にそれぞれ列を備え、前記第１及び第２の複数の隣接しない行は、前記アレイ内にそれぞれ行を備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器は、前記第２の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器よりも大きいインターフェロメトリック変調器を備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器は、前記第２の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器素子よりも大きい視認可能な領域を有するインターフェロメトリック変調器を備える、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第３の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の各変調装置を第１の状態にする第１の信号を備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記第４の波形は、前記第２の複数の隣接しない列内の各変調装置を前記第１の状態にする第１の信号を備える、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の第１の複数の隣接しない変調装置を第１の状態にする第１の信号を備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の第２の複数の隣接しない変調装置を前記第１の状態にする第２の信号を備える、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２の波形は、前記第２の複数の隣接しない列内の第１の複数の隣接しない変調装置を前記第１の状態にする第２の信号を備える、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
第５の波形を少なくとも部分的に同時に、第３の複数の隣接しないインターフェロメトリック変調器の各々に印加することを追加的に備える、請求項９に記載の方法。
【請求項１９】
前記インターフェロメトリック変調器の第３の複数の列の各々は、ほぼ同じ色の光を反射するように構成されている、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１、第２及び第３の複数の隣接しない列は、前記アレイ内にそれぞれ列を備え、前記第１及び第２の複数の隣接しない行は、前記アレイ内にそれぞれ行を備える、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイに隣接してディフューザを配置することを追加的に備える、請求項９に記載の方法。
【請求項２２】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイにおける各変調装置を、既知の第１の状態に駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列のサブセットを、前記既知の第１の状態から第２の状態に駆動することであって、前記第２の状態が、前記第１の状態と逆の状態であることと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、前記アレイにおける欠陥を識別することと、
を備える方法。
【請求項２３】
前記既知の第１の状態は明状態であり、前記第２の状態は暗状態である、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記アレイ内の各変調装置を、前記既知の第１の状態に戻して駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列からなる第２のサブセットを、前記既知の第１の状態から前記第２の状態に駆動することと、
を追加的に備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
前記アレイ内の各変調装置を、前記既知の第１の状態に戻して駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列の第３のサブセットを前記第１の状態から前記第２の状態に駆動することと、
を追加的に備える、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記アレイ内の各変調装置を既知の第３の状態に駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の行からなるサブセットを第４の状態に駆動することであって、前記第４の状態が、前記第３の状態の逆であることと、
を追加的に備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項２７】
前記既知の第３の状態は明状態であり、前記第４の状態は暗状態である、請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記アレイ内の各変調装置を前記既知の第３の状態に戻して駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の行からなる第２のサブセットを前記既知の第４の状態に駆動することと、
を追加的に備える、請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記アレイ内の変調装置の各々を既知の第５の状態に駆動することと、
前記アレイ内の変調装置の各々を第６の状態に駆動することであって、前記第６の状態が、前記既知の第５の状態の逆であることと、
を追加的に備える、請求項２２に記載の方法。
【請求項３０】
前記既知の第５の状態は明状態であり、前記第６の状態は暗状態である、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記アレイは、検査者面と処理面とを有する基板上に形成され、前記アレイは、前記基板の前記プロセス面上に形成される、請求項２２に記載の方法。
【請求項３２】
ディフューザ層を、前記基板の検査者面に隣接して配置することを追加的に備える、請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記アレイを駆動する前に、前記基板をプローブ内に配置することを追加的に備える、請求項３１に記載の方法。
【請求項３４】
請求項２２に記載の方法によって検査される、インターフェロメトリック変調器のアレイを備えるデバイス。
【請求項３５】
前記アレイに電気的に接続されており、イメージデータを処理するように構成されているプロセッサと、
前記プロセッサと電気的に接続されている記憶装置と、
をさらに備える、請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３６】
少なくとも１つの信号を前記アレイへ送るように構成された駆動回路をさらに備える、請求項３５に記載のデバイス。
【請求項３７】
前記イメージデータの少なくとも一部を前記駆動回路へ送るように構成されたコントローラをさらに備える、請求項３６に記載のデバイス。
【請求項３８】
前記イメージデータを前記プロセッサへ送るように構成されたイメージソースモジュールをさらに備える、請求項３５に記載のデバイス。
【請求項３９】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える、請求項３８に記載のデバイス。
【請求項４０】
入力データを受け取り、及び前記入力データを前記プロセッサへ伝達するように構成された入力装置をさらに備える、請求項３５に記載のデバイス。
【請求項４１】
基板と、
前記基板によって支持された第１の複数の隣接しない行電極と、
前記基板によって支持された第２の複数の隣接しない行電極と、
前記第１の複数の行電極と電気的に接続された第１のバスバーと、
前記第２の複数の行電極と電気的に接続された第２のバスバーと、
前記基板から離間された第１の複数の隣接しない列電極と、
前記基板から離間された第２の複数の隣接しない列電極と、
前記第１の複数の列電極と電気的に接続された第３のバスバーと、
前記第１の複数の列電極と電気的に接続された第４のバスバーと、
を備えるデバイス。
【請求項４２】
少なくとも１つの前記バスバーと電気的に接続されている少なくとも１つの検査パッドを追加的に備え、前記検査パッドが、前記バスバーよりも幅が広い、導電性材料からなる層を備える、請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４３】
前記第１の複数の行電極は、それぞれ第２の行電極を備える、請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４４】
前記基板から離間された第３の複数の隣接しない列と、
前記第５の複数の列電極と電気的に接続されている第５のバスバーと、
を追加的に備える、請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４５】
第１の複数の信号を送る第１の手段と、
前記第１の送る手段を支持する手段と、
第２の複数の信号を送る第２の手段と、
前記第１の送る手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第１の手段と、
前記第１の送る手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第２の手段と、
前記第２の送る手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第３の手段と、
前記第２の送る手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第４の手段と、
を備え、
前記第１、第２、第３及び第４の送る手段の各々が、前記第１又は第２の送る手段の少なくとも一方によって運ばれた前記信号がテストパターンを生成するように配列されている、デバイス。
【請求項４６】
前記支持手段は、基板を備え、
前記第１の送る手段は、第１の複数の行電極を備え、
前記第２の送る手段は、第２の複数の列電極を備える、請求項４５に記載のデバイス。
【請求項４７】
前記第１の送る手段の第１の部分は、第１の複数の隣接しない行電極を備え、
前記第１の選択的供給手段は、前記第１の複数の隣接しない行電極と電気的に接続されている第１のバスバーを備え、
前記第１の送る手段の第２の部分は、第２の複数の隣接しない行電極を備え、
前記第２の選択的供給手段は、第２、第１の複数の隣接しない行電極と電気的に接続されている第２のバスバーを備え、
前記第２の送る手段の第１の部分は、第１の複数の隣接しない列電極を備え、
前記第３の選択的供給手段は、前記第１の複数の隣接しない列電極と電気的に接続されている第３のバスバーを備え、
前記第２の送る手段の第２の部分は、第２の複数の隣接しない列電極を備え、
前記第４の選択的供給手段は、前記第２の複数の隣接しない列電極と電気的に接続されている第４のバスバーを備える、請求項４５又は４６に記載のデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小電気機械デバイスの検査に関し、特に、インターフェロメトリック変調器ベースのディスプレイの検査に関する。
【背景技術】
【０００２】
微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）は、微少機械要素、アクチュエータ及び電子機器を含む。微少機械要素は、蒸着、エッチング、及び又は、基板及び／又は堆積材料層の部分をエッチング除去し、あるいは、層を加えて電気素子及び電気機械素子を形成する他のミクロ機械加工プロセスを用いて形成することができる。ＭＥＭＳデバイスの１つのタイプは、インターフェロメトリック変調器（Interferometric modulator）と称される。本明細書中で用いる場合、インターフェロメトリック変調器又は干渉光変調装置とは、光学的干渉の原理を用いて光を選択的に吸収し及び／又は反射するデバイスを指す。ある実施形態において、インターフェロメトリック変調器は、一方又は両方が、この全体又は一部が透過性及び／又は反射性であってもよく、かつ適当な電気信号を印加したときに相対運動が可能な、１組の導電性プレートを備えてもよい。特定の実施形態において、一方のプレートは、基板上に堆積された固定層を備えてもよく、また他方のプレートは、この固定層からエアギャップだけ離れている金属膜を備えてもよい。本明細書に詳細に記載されているように、一方のプレートの他方に対する位置は、このインターフェロメトリック変調器に入射する光の光学的干渉を変えることができる。このようなデバイスは、広範囲の用途を有しており、これらのタイプのデバイスの特徴を利用し及び／又は変更することが当分野において有益であるため、現在ある製品を改良する際、及びまだ開発されていない新しい製品を考案する際に、これらの特徴を活かすことができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
インターフェロメトリック変調器のアレイの欠陥を視覚的に検査する有効な方法を提供することが望ましい。具体的には、このアレイにおける様々な潜在的欠陥を検知することが可能な、インターフェロメトリック変調器を視覚的に検査する方法を提供することが望ましい。また、検査のためにこのアレイを準備する時間及び複雑さを最小限にする、インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一実施形態において、インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法が提供され、この方法は、第１の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列に印加して、これらの第１の複数の隣接しない列におけるインターフェロメトリック変調器を作動状態にすることと、これらのインターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、このアレイにおける欠陥を識別することとを含み、この検査は、この第１の信号の印加後に実行される。
【０００５】
別の実施形態においては、第１の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない行の各々に印加することと、第２の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない行の各々に印加することと、第３の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列の各々に印加することと、第４の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列の各々に印加することと、これらのインターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、このアレイにおける欠陥を検査することと、を含む、インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法が提供される。
【０００６】
他の実施形態においては、上記インターフェロメトリック変調器のアレイにおける各変調装置を、既知の第１の状態に駆動することと、このアレイ内の干渉変調の列のサブセットを、この既知の第１の状態から第２の状態に駆動することであって、この第２の状態が、この第１の状態と逆の状態であることと、このインターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、このアレイにおける欠陥を識別することとを含む、インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法が提供される。
【０００７】
別の実施形態においては、基板と、この基板によって支持された第１の複数の隣接しない行電極と、この基板によって支持された第２の複数の隣接しない行電極と、この第１の複数の行電極と電気的に接続された第１のバスバー（bus bar）と、この第２の複数の行電極と電気的に接続された第２のバスバー（bus bar）と、この基板から離間された第１の複数の隣接しない列電極と、この基板から離間された第２の複数の隣接しない列電極と、この第１の複数の列電極と電気的に接続された第３のバスバー（bus bar）と、この第１の複数の列電極と電気的に接続された第４のバスバー（bus bar）とを含むデバイスが提供される。
【０００８】
また別の実施形態においては、第１の複数の信号を送る第１の手段と、この複数の信号を送る第１の手段を支持する手段と、第２の複数の信号を送る第２の手段と、この第１の送る手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第１の手段と、この第１の送る手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第２の手段と、この第２の送る手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第３の手段と、この第２の送る手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第４の手段とを備え、これら第１、第２、第３及び第４の送る手段の各々が、これらの送る手段によって運ばれた信号がテストパターンを生成するように配列されている、デバイスが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下の詳細な説明は、本発明のある特定の実施形態に関する。しかし、本発明は、多くの異なる方法で実施することができる。この説明においては、図面に関して説明し、同様の部分は、全体を通して、同様の数字を用いて表わすことにする。以下の説明から容易に理解できるように、本実施形態は、動いていようと（例えば、ビデオ）、静止していようと（例えば、静止イメージ）、及びテキストであろうと写真であろうと、イメージを表示するように構成されているいかなるデバイスでも実施することができる。より具体的には、本実施形態を、限定するものではないが、移動電話、無線装置、ＰＤＡ（ｐｅｒｓｏｎａｌ  ｄａｔａ  ａｓｓｉｓｔａｎｔｓ）、ハンドヘルドコンピュータ又はポータブルコンピュータ、ＧＰＳレシーバ／ナビゲータ、カメラ、ＭＰ３プレーヤ、カムコーダー、ゲームコンソール、腕時計、時計、計算機、テレビモニタ、フラットパネルディスプレイ、コンピュータモニタ、オートディスプレイ（例えば、走行距離計等）、コックピット制御部及び／又はディスプレイ、カメラビューのディスプレイ（例えば、自動車のリアビューカメラのディスプレイ）、電子写真、電子掲示板又は電子サイン、プロジェクタ、建築構造物、パッケージング及び審美的構造（例えば、宝石に関するイメージの表示）等の様々な電子デバイスで、又は該様々な電子デバイスに付随して実施することができることが意図されている。また、本明細書中で説明したのと同様の構造のＭＥＭＳデバイスは、電子スイッチングデバイスにおける等の非表示用途で用いることもできる。
【００１０】
視覚的検査は、インターフェロメトリック変調器のアレイを欠陥について検査する特に有効な方法である。特に、表示パターンを連続的に示すことができ、また、出力を、検査者が、又はＣＣＤカメラを含むような自動化システムによって解析することができる。具体的には、隣接しない行又は列の選択的作動は、このような欠陥のオープン行又は行間短絡としての識別を有利に容易にする。検査されているこのアレイの上に配置された一時的なディフューザの使用は、このアレイの検査を有利に容易にすると共に、後に識別され、廃棄される可能性があるアレイにディフューザを加えることに関する追加的なコスト及び余計な作業を回避する。
【００１１】
干渉ＭＥＭＳディスプレイ要素を備える１つの干渉変調ディスプレイの実施形態を図１に示す。これらのデバイスにおいて、画素は、明るい状態又は暗い状態のいずれかにある。この明るい（「オン」又は「オープン」）状態において、このディスプレイ要素は、入射可視光の大部分をユーザに対して反射させる。この暗い（「オフ」又は「クローズド」）状態の場合、このディスプレイ要素は、わずかな入射可視光を該ユーザに対して反射させる。実施形態によっては、これらの「オン」及び「オフ」状態の光反射特性は、逆にしてもよい。ＭＥＭＳ画素は、選択された色で主に反射するように構成することができ、黒及び白に加えてカラー表示を可能にする。
【００１２】
図１は、ビジュアルディスプレイの一連の画素における隣接する２つの画素を示す等角図であり、各画素は、ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器を備える。いくつかの実施形態においては、干渉変調ディスプレイは、これらのインターフェロメトリック変調器の行／列アレイを備える。各インターフェロメトリック変調器は、互いに可変かつ制御可能な距離をおいて配置され、少なくとも１つの可変寸法を有する光空洞共振器を形成する１対の反射層を含む。一実施形態において、これらの反射層の一方は、２つの位置の間で移動することができる。本明細書において弛緩位置と称する第１の位置においては、この移動可能な反射層は、固定された部分的反射層から比較的大きな距離をおいて配置されている。本明細書において作動位置と称する第２の位置においては、この移動可能な反射層は、この部分的反射層により近接して配置されている。これらの２つの層から反射する入射光は、この移動可能な反射層の位置により、建設的に又は破壊的に干渉し、各画素に対して全体的反射状態又は非反射状態のいずれかをもたらす。
【００１３】
図１の画素アレイの図示した部分は、隣接する２つのインターフェロメトリック変調器１２ａ及び１２ｂを含む。左側のインターフェロメトリック変調器１２ａにおいては、移動可能な高反射層１４ａが、部分的反射層を含む光学的スタック１６ａから所定の距離の弛緩位置に示されている。右側のインターフェロメトリック変調器１２ｂにおいては、移動可能な反射層１４ｂが、光学的スタック１６ｂに隣接する作動位置に示されている。
【００１４】
本明細書で言及されているような光学的スタック１６ａ、１６ｂ（まとめて光学的スタック１６と称する）は、典型的には、インジウムスズ酸化物（ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ；ＩＴＯ）等の電子層、クロム等の部分的反射層、及び透明誘電体を含むことができるいくつかの融合層から構成される。このため、光学的スタック１６は導電性であり、部分的に透明であり、かつ部分的に反射性であり、例えば、これらの層の１つ以上を透明基板２０上に堆積させることにより製造することができる。いくつかの実施形態において、これらの層は、平行なストリップにパターン化され、また、以下にさらに説明するように、ディスプレイ装置に行電極を形成することができる。移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、ポスト１８の上部に堆積させた（行電極１６ａ、１６ｂと直交する）堆積した１枚の金属層及び複数の金属層と、ポスト１８の間に堆積させた介在犠牲材料とからなる一連の平行なストリップとして形成することができる。この犠牲材料がエッチング除去されると、移動可能な反射層１４ａ、１４ｂは、画定されたエアギャップ１９だけ、光学的スタック１６ａ、１６ｂから分離される。アルミニウム等の高導電性及び反射性の材料は、反射層１４に用いることができ、また、これらのストリップは、ディスプレイ装置内に列電極を形成してもよい。
【００１５】
電圧を印加しない場合、空洞１９は、図１における画素１２ａによって示すように、移動可能な反射層１４ａが物理的に弛緩した状態で、移動可能な反射層１４ａと光学的スタック１６ａとの間に存続する。しかし、選択した行及び列に対して電位差を加えると、対応する画素におけるこの行及び列電極の交差部に形成されたキャパシタが充電されて、静電力がこれらの電極を一緒に引っ張る。この電圧が充分高い場合、移動可能な反射層１４は変形し、かつ光学的スタック１６に向かって押し込まれる。光学的スタック１６内の（この図面には示されていない）誘電体層は、短絡を防止することができ、また、図１の右側の画素１２ｂに示すように、層１４と層１６との間の隔離距離を制御することができる。この作用は、印加された電位差の極性に関係なく同じである。このように、反射性対非反射性の画素状態を制御することができる行／列動作は、従来のＬＣＤ及び他の表示技術で用いられるものと多くの点で似ている。
【００１６】
図２〜図５Ｂは、表示用途において、インターフェロメトリック変調器のアレイを用いる１つの例示的なプロセス及びシステムを示す。
【００１７】
図２は、本発明の態様を組み込んでもよい電子装置の一実施形態を示すシステムブロック図である。例示的な実施形態において、この電子装置は、ＡＲＭ、Ｐｅｎｔｉｕｍ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ  ＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ  ＩＩＩ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ    ＩＶ（登録商標）、Ｐｅｎｔｉｕｍ  Ｐｒｏ（登録商標）、８０５１、ＭＩＰＳ（登録商標）、Ｐｏｗｅｒ  ＰＣ（登録商標）、ＡＬＰＨＡ（登録商標）等のどのような汎用の単一又はマルチチップマイクロプロセッサ、あるいは、ディジタル信号プロセッサ、マイクロコントローラ又はプログラマブルゲートアレイ等のどのような専用マイクロプロセッサであってもよいプロセッサ２１を含む。従来技術と同様に、プロセッサ２１は、１つ以上のソフトウェアモジュールを実行するように構成することができる。このプロセッサは、オペレーティングシステムを実行するのに加えて、ウェブブラウザ、電話アプリケーション、電子メールプログラム、又は他のソフトウェアアプリケーションを含む１つ以上のソフトウェアアプリケーションを実行するように構成することができる。
【００１８】
一実施形態においては、プロセッサ２１も、アレイドライバ２２と通信するように構成されている。一実施形態において、アレイドライバ２２は、信号を表示アレイ又はパネル３０へ供給する行ドライバ回路２４及び列ドライバ回路２６を含む。図１に示すこのアレイの断面は、図２の線１−１によって示されている。ＭＥＭＳインターフェロメトリック変調器の場合、この行／列作動プロトコルは、図３に示すそれらのデバイスのヒステリシス特性を利用してもよい。例えば、移動可能な層を、上記弛緩状態から作動状態に変形させるために、１０ボルトの電位差を要求してもよい。しかし、この電圧がこの値から低下した場合、この移動可能な層は、この電圧が１０ボルト以下に低下したときにその状態を維持する。図３の例示的な実施形態において、この移動可能な層は、この電圧が２ボルト以下に低下するまで、完全に弛緩しない。それに伴って、図３に示した実施例には、約３〜７Ｖの電圧範囲があり、この場合、その範囲内でこのデバイスが、この弛緩状態又は作動状態のいずれかで安定している印加電圧のウィンドウが存在する。本明細書では、これを「ヒステリシスウィンドウ」又は「安定ウィンドウ」と称する。図３のヒステリシス特性を有するディスプレイアレイの場合、上記行／列作動プロトコルは、行ストロービングの間、作動されるべきこのストローブされた行の画素が、約１０ボルトの電圧差にさらされ、かつ弛緩されるべき画素が、０ボルトに近い電圧差にさらされるように設計することができる。このストローブの後、これらの画素は、どのような状態においても、行ストローブのままであるように、約５ボルトの定常電圧差にさらされる。書き込まれた後、各画素は、この実施例において３〜７Ｖの「安定ウィンドウ」内の電位差を参照する。この特徴は、図１に示す画素デザインを、作動又は弛緩先在状態のいずれかにおける同じ印加電圧条件の下で安定させる。上記インターフェロメトリック変調器の各画素は、作動状態であろうと弛緩状態であろうと、本質的に、固定された反射層と移動可能な層とによって形成されたキャパシタであるため、この安定状態は、ほとんど電力消失を伴わずに、このヒステリシスウィンドウ内の電圧で保持することができる。印加電位が固定されている場合、本質的に、電流はこの画素へは流れない。
【００１９】
典型的な用途において、ディスプレイフレームは、第１の行における作動画素の所望のセットに従って、列電極のセットをアサートすることによって生成することができる。そして、行パルスは、行１電極に印加され、このアサートされた列ラインに対応する画素が作動される。次に、列電極のこのアサートされたセットは、第２の行の作動画素の所望のセットに対応させるため変化する。次いで、パルスが行２電極に印加され、このアサートされた列電極に従って、行２の適当な画素が作動される。行１画素は、行２パルスによる影響を受けず、行１パルスの間に設定された状態のままである。これは、フレームを生成するために、一連の行に対して繰り返すことができる。一般に、これらのフレームは、毎秒所望数のフレームにおいて、このプロセスを連続的に繰り返すことにより、新たな表示データに伴ってリフレッシュ及び／又は更新される。画素アレイの行及び列電極を駆動して表示フレームを生成する幅広いプロトコルもまた周知であり、本発明と共に用いることができる。
【００２０】
図４、図５Ａ及び図５Ｂは、図２の３×３アレイに表示フレームを生成する１つの可能な作動プロトコルを示す。図４は、図３のヒステリシス曲線を示す画素に用いることができる列及び行電圧レベルの可能なセットを示す。図４の実施形態において、画素を作動させることは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、適当な列を＋ΔＶに設定することを含み、これらはそれぞれ、−５Ｖ及び＋５Ｖに相当する。画素を弛緩させることは、適当な行を＋Ｖｂｉａｓに、適当な列を同じく＋ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じることにより実現される。行電圧が０Ｖに保持される行においては、これらの画素は、この列が＋Ｖｂｉａｓ又は−Ｖｂｉａｓであることに関係なく、これらの画素が元々どのような状態にあろうとも安定している。図４にも示されているように、上述したもの以外の反対極性の電圧を用いることができること、例えば、画素を作動させることが、適当な列を＋Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を−ΔＶに設定することを含むことができることは、正しく理解される。この実施形態において、画素を解放することは、適当な行を−Ｖｂｉａｓに、及び適当な行を同じく−ΔＶに設定して、この画素の両端に０Ｖの電位差を生じさせることによって実現される。
【００２１】
図５Ｂは、作動画素が非反射性である、図５Ａに示す表示構成を生じる、図２の３×３アレイに印加される一連の行及び列信号を示すタイミング図である。図５Ａに示すフレームに書き込む前に、画素は、どのような状態も可能であり、この実施例においては、全ての行が０Ｖであり、全ての列が＋５Ｖである。これらの印加電圧によって、全ての画素は、これらの現在の作動又は弛緩状態において安定している。
【００２２】
図５Ａのフレームにおいては、画素（１，１）、（１，２）、（２，２）、（３，２）及び（３，３）が作動している。これを実現するため、行１のための「ラインタイム」の間には、列１及び列２が−５Ｖに設定され、かつ列３が＋５Ｖに設定される。このことは、全ての画素が３〜７Ｖの安定ウィンドウに入ったままであるため、どの画素の状態も変えない。そして、行１は、０から５Ｖに上昇した後０に戻るパルスによってストローブされる。このことは、（１，１）及び（１，２）画素を作動させ、（１，３）画素を弛緩させる。このアレイ内の他の画素は影響を受けない。行２を要望通りに設定するため、列２は−５Ｖに設定され、列１及び列３は＋５Ｖに設定される。次いで、行２に印加される同じストローブが画素（２，２）を作動させ、かつ画素（２，１）及び（２，３）を弛緩させる。ここでも、このアレイの他の画素は影響を受けない。行３は、列２及び列３を−５Ｖに、及び列１を＋５Ｖに設定することにより、同様に設定される。行３のストローブは、行３の画素を図５Ａに示すように設定する。このフレームを書き込んだ後、この行電位は０であり、この列電位は、＋５又は−５Ｖのいずれかのままとすることができ、上記ディスプレイは、図５Ａの構成において安定している。数十又は数百の行及び列のアレイに対して同じ処理手順を用いることができることは正しく認識される。また、行及び列の作動を実行するのに用いる電圧のタイミング、シーケンス及びレベルを、上述した包括的な原理の範囲内で大きく変化させることができること、及び上記の実施例が単に例示であり、どのような作動電圧方法も本明細書に記載したシステム及び方法と共に用いることができることは正しく認識される。
【００２３】
図６Ａ及び図６Ｂは、ディスプレイ装置４０の実施形態を示すシステムブロック図である。ディスプレイ装置４０は、例えば、携帯電話又は移動電話とすることができる。しかし、ディスプレイ装置４０又は、そのわずかな変形例の同じ構成要素も、テレビ及びポータブルメディアプレーヤ等の様々なタイプのディスプレイ装置の例証である。
【００２４】
ディスプレイ装置４０は、ハウジング４１と、ディスプレイ３０と、アンテナ４３と、スピーカ４４と、入力装置４８と、マイクロフォン４６とを含む。ハウジング４１は、一般に、射出成形及び真空成形を含む、当業者には周知の種々の製造プロセスのうちのいずれかによって形成されている。また、ハウジング４１は、限定するものではないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム及びセラミック又はこれらの組み合わせを含む様々な材料のうちのいずれかから形成することができる。一実施形態において、ハウジング４１は、異なる色の、又は、異なるロゴ、写真又はシンボルからなる他の取外し可能な部分と交換することができる取外し可能な部分（図示せず）を含む。
【００２５】
例示的なディスプレイ装置４０のディスプレイ３０は、本明細書で説明したようなバイステイブルディスプレイを含む様々なディスプレイのうちのいずれかとすることができる。他の実施形態においては、ディスプレイ３０は、上述したように、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ  ＬＣＤ及びＴＦＴ  ＬＣＤ等のフラットパネルディスプレイ、あるいは、当業者には周知のＣＲＴ又は他のブラウン管装置等の非フラットパネルディスプレイを含む。しかし、本実施形態を説明するため、ディスプレイ３０は、本明細書に記載したように、干渉変調ディスプレイを含む。
【００２６】
例示的なディスプレイ装置４０の一実施形態の構成要素を図６Ｂに概略的に示す。図示した例示的なディスプレイ装置４０は、ハウジング４１を含み、またこのハウジングの中に少なくとも部分的に閉じ込められた追加的な構成要素を含むことができる。例えば、一実施形態において、例示的なディスプレイ装置４０は、トランシーバ４７に結合されているアンテナ４３を含むネットワークインタフェース２７を含む。トランシーバ４７はプロセッサ２１に接続されており、このプロセッサは、調整ハードウェア５２に接続されている。調整ハードウェア５２は、信号を調整する（例えば、信号をフィルタリングする）ように構成してもよい。調整ハードウェア５２は、スピーカ４５及びマイクロフォン４６に接続されている。また、プロセッサ２１は、入力装置４８及びドライバコントローラ２９にも接続されている。ドライバコントローラ２９は、フレームバッファ２８及びアレイドライバ２２に結合されており、このアレイドライバは、ディスプレイアレイ３０にも結合されている。電源５０は、特定の例示的なディスプレイ装置４０デザインに要求される全ての構成要素に電力を供給する。
【００２７】
ネットワークインタフェース２７は、例示的なディスプレイ装置４０が、ネットワークを介して１つ以上のデバイスと通信することができるように、アンテナ４３及びトランシーバ４７を含む。一実施形態において、ネットワークインタフェース２７は、プロセッサ２１の要求を軽減するためのいくつかの処理能力も有してもよい。アンテナ４３は、当業者は既知である、信号を送受信する何らかのアンテナである。一実施形態において、このアンテナは、ＩＥＥＥ８０２．１１（ａ）、（ｂ）又は（ｇ）を含むＩＥＥＥ８０２．１１規格に従ってＲＦ信号を送受信する。別の実施形態においては、このアンテナは、ブルートゥース規格に従ってＲＦ信号を送受信する。携帯電話の場合、このアンテナは、ＣＤＭＡ、ＧＳＭ、ＡＭＰＳ、又は、無線セル電話ネットワーク内で通信するのに用いられる他の公知の信号を受信するように設計されている。トランシーバ４７は、アンテナ４３から受け取った信号をプロセッサ２１によって受け取り、かつこのプロセッサによってさらに処理できるようにこの信号を前処理する。また、トランシーバ４７は、プロセッサ２１から受け取った信号を、アンテナ４３を介して例示的なディスプレイ装置４０から送信できるように、この信号を処理する。
【００２８】
代替の実施形態においては、トランシーバ４７は、レシーバと置き換えることができる。また別の代替の実施形態においては、ネットワークインタフェース２７は、イメージソースと置き換えることができ、このイメージソースは、プロセッサ２１へ送るべきイメージデータを格納又は生成することができる。例えば、このイメージソースは、イメージデータを含むＤＶＤ（ｄｉｇｉｔａｌ  ｖｉｄｅｏ  ｄｉｓｃ）又はハードディスクドライブ、あるいは、イメージデータを生成するソフトウェアモジュールとすることができる。
【００２９】
プロセッサ２１は、一般に、例示的なディスプレイ装置４０の全体の動作を制御する。プロセッサ２１は、ネットワークインタフェース２７又はイメージソースからの圧縮されたイメージデータ等のデータを受け取り、このデータを処理して生イメージデータに、又は生イメージデータに容易に処理されるフォーマットにする。そして、プロセッサ２１は、この処理されたデータをドライバコントローラ２９に、又は格納のためにフレームバッファ２８へ送る。生データとは、典型的には、イメージ内の各位置におけるイメージ特性を識別する情報を指す。例えば、このようなイメージ特性は、色、飽和及びグレースケールレベルを含むことができる。
【００３０】
一実施形態において、プロセッサ２１は、マイクロコントローラ、ＣＰＵ、又は、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御する論理ユニットを含む。調整ハードウェア５２は、一般に、信号をスピーカ４５へ転送し、かつマイクロフォン４６から信号を受け取る増幅器及びフィルタを含む。調整ハードウェア５２は、例示的なディスプレイ装置４０内の個別の構成要素であってもよく、あるいは、プロセッサ２１又は他の構成要素に組み込んでもよい。
【００３１】
ドライバコントローラ２９は、プロセッサ２１によって生成された生イメージデータを、プロセッサ２１から直接、又はフレームバッファ２８から取得して、アレイドライバ２２への高速転送に適した生イメージデータに再フォーマット化する。具体的には、ドライバコントローラ２９は、表示アレイ３０の全域を走査するのに適した時間順序を有するように、この生イメージデータを、ラスタ状フォーマットを有するデータフローに再フォーマット化する。そして、ドライバコントローラ２９は、このフォーマット化した情報をアレイドライバ２２へ送る。ＬＣＤコントローラ等のドライバコントローラ２９は、スタンドアロン集積回路（ＩＣ）としてシステムプロセッサ２１と関連付けられる場合があるが、このようなコントローラは、多くの方法で実施することができる。このコントローラは、ハードウェアとしてプロセッサ２１に、ソフトウェアとしてプロセッサ２１に埋め込んでもよく、又は、ハードウェア内で、アレイドライバ２２と完全に一体化してもよい。
【００３２】
典型的には、アレイドライバ２２は、ドライバコントローラ２９から上記フォーマット化された情報を受け取って、このビデオデータを、上記ディスプレイの画素のｘ−ｙマトリックスからくる何百及び時には何千ものリードに毎秒多数回印加される波形の並行セットに再フォーマット化する。
【００３３】
一実施形態において、ドライバコントローラ２９、アレイドライバ２２及び表示アレイ３０は、本明細書に記載したいずれかの種類のディスプレイに適している。例えば、一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、従来のディスプレイコントローラ又はバイステイブルディスプレイコントローラ（例えば、干渉変調コントローラ）である。別の実施形態においては、アレイドライバ２２は、従来のドライバ又はバイステイブルディスプレイドライバ（例えば、干渉変調ディスプレイ）である。一実施形態において、ドライバコントローラ２９は、アレイドライバ２２と一体化されている。このような実施形態は、携帯電話、時計及び他の小面積ディスプレイ等の高度に一体化されたシステムにおいては共通である。また別の実施形態においては、表示アレイ３０は、典型的な表示アレイ又はバイステイブルディスプレイアレイ（例えば、インターフェロメトリック変調器のアレイを含むディスプレイ）である。
【００３４】
入力装置４８は、ユーザが例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御できるようにする。一実施形態において、入力装置４８は、ＱＷＥＲＴＹキーボード又は電話キーパッド、ボタン、スイッチ、タッチスクリーン、圧力又は熱センシティブ膜等のキーパッドを含む。一実施形態において、マイクロフォン４６は、例示的なディスプレイ装置４０のための入力装置である。マイクロフォン４６を、この装置にデータを入力するのに使用する場合、例示的なディスプレイ装置４０の動作を制御するために、ユーザがボイスコマンドを与えてもよい。
【００３５】
電源５０は、公知の様々なエネルギストレージデバイスを含むことができる。例えば、一実施形態において、電源５０は、ニッケル−カドミウム電池又はリチウムイオン電池等の充電可能な電池である。別の実施形態において、電源５０は、回復可能なエネルギ源、コンデンサ、又は、プラスチックソーラーセル及びソーラーセルペイントを含む太陽電池である。別の実施形態において、電源５０は、壁コンセントから電力を受け取るように構成される。
【００３６】
いくつかの実施においては、制御プログラム性は、上述したように、電子表示システムのいくつかの箇所に配置することができるドライバコントローラに存する。制御プログラム性は、アレイドライバ２２に存する場合もある。当業者は、上述した最適化を、多数のハードウェア及び／又はソフトウェア構成要素のどれでも、及び様々な構成で実施することができることを正しく認識する。
【００３７】
上述した原理に従って作動するインターフェロメトリック変調器の構成の細部は、大幅に変更してもよい。例えば、図７Ａ〜図７Ｅは、移動可能な反射層１４及びこれの支持構造の５つの異なる実施形態を示す。図７Ａは、図１の実施形態の断面であり、金属材料からなるストリップ１４が、直交して伸びる支持体１８の上に堆積されている。図７Ｂにおいては、移動可能な反射層１４が、その隅においてのみテザー３２上で支持体に取付けられている。図７Ｃにおいては、移動可能な反射層１４が、柔軟な材料を備えてもよい変形可能な層３４から吊り下げられている。変形可能な層３４は、変形可能な層３４の周辺部で基板２０に直接的又は間接的に接続する。これらの接続は、本明細書においては、支持ポストと称する。図７Ｄに示す実施形態は、変形可能な層３４がその上に載る支持ポストプラグ４２を有する。移動可能な反射層１４は、図７Ａ〜図７Ｃと同様に、この空間上に吊り下げられたままであるが、変形可能な層３４は、変形可能な層３４と光学的スタック１６との間の穴を充填することにより、この支持ポストを形成しない。正確に言えば、この支持ポストは、支持ポストプラグ４２を形成するのに使われる平坦化材料で形成される。図７Ｅに示す実施形態は、図７Ｄに示す実施形態に基づいているが、図７Ａ〜図７Ｃに示す実施形態のうちのいずれかならびに図示していない追加的な実施形態と共に機能するように適合させることもできる。図７Ｅに示す実施形態においては、金属からなる追加の層又は他の導電性材料が、バス構造４４を形成するのに用いられている。このことは、このインターフェロメトリック変調器の裏に沿った信号ルーティングを可能にし、別の方法で基板２０上に形成されなければならない可能性がある多数の電極を排除できる。
【００３８】
図７に示すような実施形態において、上記インターフェロメトリック変調器は、イメージが、透明基板２０の前面、すなわち、この変調装置が配置されている面と反対側の面から見られる直視型デバイスとして機能する。これらの実施形態において、反射層１４は、変形可能な層３４を含む、基板２０と反対側の反射層の側のインターフェロメトリック変調器の部分を光学的に遮蔽する。このことは、この遮断された領域を、イメージ品質に悪い影響を与えることなく構成し、かつ作動できるようにする。このような遮蔽は、図７Ｅにおける構造４４を可能にし、このことは、取扱い及びこの取扱いから生じる動き等の、この変調装置の電気機械的特性からこの変調装置の光学的特性を切り離す能力をもたらす。この切り離し可能な変調装置構造は、この変調装置の電気機械的態様及び光学的態様に用いられる構造デザイン及び材料を選択できるようにし、かつ互いに無関係に機能できるようにする。また、図７Ｃ〜図７Ｅに示す実施形態は、反射層１４の光学的特性の、該反射層の機械的特性からの分離から得られる追加的な利益を有し、この分離は、変形可能な層３４によって行われる。このことは、反射層１４に用いられる構造デザイン及び材料を、その光学的特性に対して最適化できるようにし、また、変形可能な層３４に用いられる構造デザイン及び材料を所望の機械的特性に対して最適化できるようにする。
【００３９】
図２のアレイ等のインターフェロメトリック変調器のアレイには、いくつかの種類の欠陥が存在する可能性がある。これらのアレイは、多くの異なる方法を用いて検査することができるが、インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する１つの方法は、特定の波形を、このアレイの特定の部分に印加することと、このアレイの光出力を検査することとを含む。この検査は、視覚的に行うことができ、又は、例えば、ＣＣＤカメラからのイメージを解析するように構成されたプロセッサに接続されたこのＣＣＤカメラを使用によって自動化することもできる。本明細書で用いる場合、視覚的検査とは、技術者による検査、又は、この光出力のイメージを捉えて解析するように構成されたシステムによる、アレイのこの光出力の自動化した検査のいずれかを指すことを意図している。
【００４０】
図８は、検査のために構成された、（図１及び図７Ａ〜７５に示したもの等の）インターフェロメトリック変調器のアレイ６０を概略的に示す。アレイ６０は、複数の行電極６２、６４及び複数の列電極６６、６８を備えることが図を見て分かる。第１の行の検査パッド７２は、バスバー７０を介して、行電極の第１のセット６２に接続しており、また、第２の行の検査パッド７４は、別のバスバー７０を介して、行電極の第２のセットに接続している。行検査パッド７２、７４及びバスバー７０は、単一の信号を、単一のリードを介して、行電極のセットの各々に印加できるようにする。有利には、図面に示すように、所定の検査パッドに接続されたこの行電極のセットは、互いに隣接しておらず、そのため、行電極６２は、それぞれの第２の行電極を含む電極のセットを備え、また同様に、行電極６４は、残りの電極を備える。同様に、列検査パッド７６は、バスバー７０を介して、列電極６６の群に接続されており、第２の列検査パッド７８は、列電極６８の第２の群に接続されている。一実施形態において、これらの行電極は、（例えば、図７Ａの光学スタック内の構成要素として）下にある基板に堆積された電極を備え、また、これらの列電極は、（例えば、図７Ａの可動反射層１４内の構成要素として）干渉空洞によりこの基板から離間された電極を備える。従って、列電極６６、６８は行電極６２、６４に重なっているが、これらの電極は、互いに電気的に接続されてはいない。また、様々な層を行電極６２、６４の間に堆積させることができ、その結果、これらの行電極は、この基板上に直接堆積されていないが、その代わりに、この基板によって支持されており、実際には、１つ以上の介在層と接触していることは理解される。
【００４１】
図示した実施形態において、上記検査パッドは、上記基板上に堆積され、かつバスバー７０と接続された導電性材料からなる層を備える。有利には、これらの検査パッドは、同時に、かつ同じ材料から、これらのバスバー及び上記行及び列電極として形成されるが、これらの構成要素は、異なるセットで形成してもよい。これらの検査パッドは、これらの検査パッドと、他の検査装置、特に、信号発生器との間の接続を容易にするために、これらのバスバー及びこれらの行及び列電極よりもかなり大きくしてもよい。しかし、代替の実施形態においては、これらの検査パッドは、これらの電極の残りと同じ厚さであってもよい。さらに別の実施形態においては、検査パッドは全く形成されず、接続部は、直接、例えば、これらのバスバーに形成してもよい。代替の実施形態においては、各列及び行は、個別に調べてもよく、何らかの所望のバス形成を外部から行ってもよい。
【００４２】
特定の実施形態においては、別の電極のセットに接続された追加的な検査パッドがあってもよいことは、理解される。具体的には、以下で詳細に論じる一実施形態において、列電極の第３のセットと電気的に接続されている第３の列検査パッドが設けられることは、理解される。一実施形態において、各列のセットは、それぞれの第３の列電極を備える。第３の列電極のセットは、有利には、赤、緑及び青の列等の異なる色を反射するように構成されたインターフェロメトリック変調器の列に対応させることができる。また、行電極という用語は、本明細書において主に、光学スタック１６内に配設された電極を指すのに用いられ、列電極という用語は、本明細書において主に、可動反射層１４（例えば、図７Ａ参照）内に配設されているような電極を指すのに用いられることは、理解される。
【００４３】
特定の実施形態においては、図９を見て分かるように、インターフェロメトリック変調器の多数のアレイ６０を単一の基板８４上に形成することができる。これらのアレイは、欠陥があるアレイを識別するためにアレイ６０を分離する該基板のスクライビングの前に、視覚的に検査することができる。さらに、図９に示すように、所望の信号を、これらのアレイの各々に印加するのに必要なプローブの数を減らすために、特定の検査パッドの間に追加的な接続部を形成してもよい。例えば、各アレイ６０の行検査パッドが同じ信号を受け取る実施形態においては、これらのアレイの各々におけるこの検査パッドに接続されている２つの共用検査パッド８６、８８（例えば、検査パッド７２に接続されている一方の検査パッド８６と、検査パッド７４に接続されている他方の検査パッド８８）を設けてもよい。各アレイに印加される信号間のどのような所望量の共通性も、このような共用検査パッドを介して実現することができる。
【００４４】
一実施形態においては、上記信号発生器と上記アレイとの間の接続を容易にするために、プローブマウント９０（図１０）が設けられる。図１０は、プローブマウント９０の断面を概略的に示す図である。インターフェロメトリック変調器の１つ以上のアレイ６０が基板の上に作製されている基板８４は、プローブマウント９０内に配置されて、クランプ９２によって固定される。基板８４は、アレイ６０、及び検査パッド７２、７４等の検査パッドがプロセス側の上に配設されるプロセス側９４が下方に向き、検査者側を介してアレイ６０を視ることが可能な検査者側９６が上方を向くように配置される。所望の品質の接続を確実にするために、この基板上のパッド７２、７４等の検査パッドへの接続部を、基板８４に対して付勢されている（ポゴピンとも称する）スプリングピン９８を介して形成することができる。ピン９８と信号発生器（図示せず）との間の接続は、このプローブマウントの他の箇所に形成することができる。
【００４５】
図１１は、インターフェロメトリック変調器のアレイの視覚的検査のためのシステムを概略的に示す。図１０に関して説明したように、インターフェロメトリック変調器の１つ以上のアレイを含む基板が、プローブマウント９０内に配置され、このプローブマウントは、支持面１０２の上に載せることができる。特定の実施形態において、連続スペクトル光を放射する光源１０４は、プローブマウント９０内のこのアレイを照明する。技術者又は（例えば、ＣＣＤカメラを含む）自動化したシステムとすることができるオペレータ１０６は、このアレイにおける欠陥を識別するために、このアレイの光出力を解析する。別の実施例においては、ディフューザ層１０８を基板８４の検査者側９６に配置してもよい。ディフューザ層１０８の使用は、光源１０４又は他の光源からのこの透明基板の直接反射が、このアレイにおける小さな欠陥の検知に干渉するため、これらのインターフェロメトリック変調器の視覚的検査を容易にする。有利には、ディフューザ層１０２の恒久的な適用が製造コストに加わり、また、アレイ６０に欠陥があることが見つかった場合には、このアレイを処分することができるため、ディフューザ層１０８は、下にあるアレイ６０の検査が終了するまで、基板８４に固着されない。ディフューザ層１０８は、基板８４と接触しているように描かれているが、このディフューザ層は、このアレイに隣接し、かつ所望の光学的効果を生むのに十分に近くにある限り、この基板から多少離れていてもよい。
【００４６】
また、図１１に関して、様々な検査パッドに印加される信号は、この実施形態において、制御コンピュータ１１０である信号発生器によって生成される。制御コンピュータ１１０及びプローブマウント９０と繋がっているスイッチボックス１１２は、必要に応じて、一方の検査パッドから他方の検査パッドへの印加信号の切替えを可能にする。
【００４７】
アレイ６０を検査する１つの方法は、作動状態と非作動状態の間の、個別の干渉変調素子の各々連続切替えの間にアレイ６０を観測することを含む。このような一実施形態は、図８のアレイ６０に関して記載されている。この実施形態において、このことは、行検査パッド７２、７４を接地することによって実現することができる。その結果、これらの干渉変調素子の各々を交互に作動させ及び非作動にする信号が、列検査パッド７６、７８に印加される。図１２Ａは、所望の表示パターンを実現するために、列検査パッド７６、７８の両方に印加することができる例示的な波形１２０を示す。列検査パッド７６に印加される波形と、列検査パッド７８に印加される波形は、等しくかつ同期しているため、各変調素子は、作動状態と非作動状態の間を同時に動くことになる。
【００４８】
また、図１２Ａに関しては、波形１２０がいくつかの特徴パラメータを有することが見て分かる。ピーク１２２及び谷１２４の前、及びこれらの間に印加される初期の電圧は、保持時間と称する時間１２６の間に、上記インターフェロメトリック変調器の状態の変化を生じないように、作動されるこれらの干渉変調素子のヒステリシスウィンドウ内とすることができる。具体的には、この初期電圧は、解放電圧１２１よりも高いが、作動電圧１２３よりは低い。この実施形態において、ピーク及び谷の形態をとるパルス１２２及び１２４は、本明細書においては、まとめて信号と称するが、これらの信号の形状が、例示的な波形に描かれているようなものである必要はないことは理解される。この保持時間１２６は、ディスプレイが、暗状態と明状態の間で点滅する速度を決める。このピークの高さ１３０は、この変調素子のヒステリシスウィンドウから外れる印加電圧を生じて、この素子を作動状態に駆動するのに十分なものである。同様に、この谷の高さ１３２は、このヒステリシスウィンドウ以下の電圧を印加して、これらの干渉変調素子を弛緩させるのに十分なものである。パルス１２４及び１２２の長さ１２８は、これらの干渉変調素子の状態の変化を生じさせるのに十分なものとするために、これらのインターフェロメトリック変調器の応答時間よりも長くすることができる。従って、状態１３６において、印加電圧は、アレイ６０内のこれらの素子に対して何も影響を及ぼさない。状態１３８においては、第１のパルス１２４の後に、全ての変調装置が非作動状態にされている。状態１４０においては、第２のパルスの後に、全ての変調装置が作動状態にされている。
【００４９】
上記例示的な干渉変調素子は、それらの表示状態を維持するため、パルス１２２及び１２４等の信号を、これらの変調素子を所望の状態にするように、上記行電極と列電極の間に印加することができる。しかし、これらの信号は、図１４Ａ及び図１４Ｂの波形を見て分かるように、この検査プロセスの間、維持する必要はない。パルス信号１２２及び１２４の長さ１２８を制御するこれらの変調素子の応答時間は、１００μｓ程度とすることができるが、この応答時間は、これらの変調素子のデザインによってかなり変化させてもよいことは理解される。しかし、保持時間１２６は、このアレイを検査するのに必要な長さにすることができる。特定の実施形態において、これらの波形内への次の信号の印加は、一旦、現在の状態が検査されると、（例えば、上記制御コンピュータ上のボタンを押すことにより）このアレイを次の状態へ進めることができるオペレータによって制御することができる。また、保持時間１２６の可変長さは、このアレイのイメージは、ＬＣＤ等の他のディスプレイの検査に必要とされた場合に、この信号の印加中に記録する必要はないため、このアレイの自動検査を容易にする。そうではない場合、このイメージは、このアレイを所望の状態にする信号のセットの印加後のどの時点でも記録することができる。
【００５０】
図１２Ｂは、同じ表示パターンを生成するのに用いることができる代替の波形を示す。図を見て分かるように、印加した電圧は、正と負の間で交番するが、その絶対値は、パルス１２４及び１２２を除くヒステリシスウィンドウ内にあり、ここで電圧はこれらの変調装置の作動時間よりも長い間、ヒステリシスウィンドウの外部にあり、これらの変調装置の状態の変化を生じる。他の様々な波形を、所望の電圧（例えば、作動電圧又は解放電圧）を特定の変調素子に生成するのに用いることができる。本明細書で論じた実施形態のために、所望の電圧を特定の変調素子に生成するどのような信号も、等価であり、かつ本明細書で論じた実施形態の範囲内にあると見なすべきであることは、理解される。さらに、本明細書に示した例示的な波形は、正確な縮尺ではないことは理解される。例えば、保持時間１２６は、信号長１２８よりもかなり長くしてもよい。この長い保持時間の実施形態において、パルス１２４とパルス１２２の間の波形１２０’（図１２Ｂ）内の方形波パルスの数は、図１２Ｂに示した数よりもかなり多くてもよい。
【００５１】
特定の実施形態において、特に、上記インターフェロメトリック変調器の多色アレイにおいては、全てのインターフェロメトリック変調器が同じ作動電圧を有することになるわけではない。このような一実施形態において、上記列の３分の１は、赤色のインターフェロメトリック変調器を含み、３分の１は緑色を含み、残りの３分の１は青色を含むことができる。それぞれ、全ての赤色の列、全ての緑色の列及び全ての青色の列に接続する３つの検査パッドを設けることができる。変調素子により反射される色は、干渉空洞１９（図１参照）の高さに依存し、また、インターフェロメトリック変調器の作動電圧も、空洞１９の高さに依存するため、異なる色を反射する変調装置は、典型的には、異なる作動電圧を有することになる。
【００５２】
このような実施形態において、３つ全ての素子のヒステリシスウィンドウの間に重なる部分がある場合には、３種類全ての干渉変調素子を同時に作動させ、及び弛緩させる単一の波形を、上記３つの列検査パッドの各々に供給することができる。しかし、これら３つの列検査パッドの各々には、相異なる波形を印加することが望ましい。このような波形は、このパルスの初期電圧及び高さだけが異なる、同一の保持時間１２６、同一のパルス時間１２８を有することができる。代替の実施形態においては、これらの信号は、特に、パルス間の時間１２６が、このパルス時間に対して長い場合には、わずかに互い違いにすることができる。
【００５３】
図１３Ａ〜図１３Ｆは、それぞれ、図１２Ａの状態１３８及び１４０に相当する非作動状態及び作動状態における３つの異なるアレイを示す。
【００５４】
図１３Ａは、図１２Ａの状態１３８に相当する明（この場合、非作動）状態における１つの例示的なアレイ６０を示す。図１３Ｂは、状態１４０に相当する暗（この場合、作動）状態における同じアレイ６０を示す。これら２つの図を見て分かるように、アレイ６０は、いずれの状態においても、可視的な欠陥はない。
【００５５】
図１３Ｃは、状態１３８に相当する明状態における第２のアレイ１４４を示す。図１３Ｄは、状態１４０に相当する暗状態における同じアレイ１４４を示す。これら２つの図を見て分かるように、行１４６及び列１４８の部分は、周りの画素とは異なる陰影であり、これは、行１４６及び列１４８における変調素子が周りの画素と一緒に作動／非作動の状態になっていないことを示す。行１４６及び列１４８等の欠陥は、行内又は列内オープンを示唆し、このことは、導電性経路が行又は列全体に対して連続していないことを意味する。これら２つの図を見て分かるように、行１５０全体は、周りの画素とは異なる陰影である。このような全行欠陥は、行又は列全体を故障させる可能性がある行列間短絡を示す。
【００５６】
図１３Ｅは、状態１３８に相当する明状態の第３のアレイ１５４を示す。図１３Ｆは、状態１４０に相当する暗状態におけるアレイ１５４を示す。これら２つの図を見て分かるように、周りの画素とは異なる明るさを有するスポット１５６は視認可能であり、このことは、このアレイにおける「ムラ」欠陥の存在（例えば、コントラスト光出力の図示した不定形領域）を示唆する。行又は列の欠陥１４６、１５８、１５０又はムラ欠陥１５６等の何らかの欠陥がアレイ内に視えた場合、このアレイは、欠陥があると識別することができ、廃棄又は他の方法で処理することができる。
【００５７】
上記インターフェロメトリック変調器アレイの光出力は、この方法で、及び以下に論じる代替の方法で解析されるため、このような欠陥を有するアレイを容易に識別することが可能なだけではなく、これらの欠陥の位置を識別することも可能であることは理解される。この欠陥の位置及び形に関する情報は、特定の欠陥が、このアレイ内の同じ位置で頻繁に発生した場合に、例えば、製造プロセスに関連する問題に関する有益な情報をもたらす可能性がある。
【００５８】
検査する別の方法は、１つのアレイ内の行又は列の一部のみを選択的に作動させ、又は非作動にすることと、このアレイの光出力を観察することとを含む。一実施形態において、このことは、１つの変調装置アレイ内の全ての素子を既知の状態（例えば、明状態又は暗状態のどちらか）にすることと、その後、この変調装置のある部分を逆の状態にすることとを含む。そして、これらの変調装置は、全て元の既知の状態にされ、これらの変調装置の別の部分が逆の状態にされる。
【００５９】
図１４Ａ及び図１４Ｂは、図８のアレイ６０に所望の表示パターンを生成するのに用いることができる例示的な波形を示す。一実施形態において、行検査パッド７２、７４を接地することができ、第１の波形１６０（図１４Ａ）が列検査パッド７６に印加され、また、第２の波形１６２（図１４Ｂ）が列検査パッド７８に印加される。波形１６０、１６２は共に、全ての変調装置を非作動状態、この場合、１００％の明状態にするために、この波形の初期にパルス１６４を含む。次に、波形１６０は、列６６の群を作動状態又は暗状態にするパルス１６８を含む。第２の波形１６２を介しては、対応するパルスは印加されず、このため、列６８は明状態のままである。この結果、このアレイは、部分的な暗状態１６３にされる。次いで、これらの両波形は、これらのインターフェロメトリック変調器を全明状態１６５に戻すパルス１６４を含む。そして、波形１６２は、列６８を暗状態にし、その間、列６６を明状態のままにするパルス１６８を含む。この結果、このアレイは、部分的な暗状態１６７にされる。
【００６０】
この結果、一実施形態において、アレイ全体を明状態に駆動し、このアレイのある部分を暗状態に駆動し、このアレイ全体を明状態に駆動し、そして、ある第２の部分を暗状態に駆動する方法が提供される。特定の実施形態において、この暗状態に駆動されるアレイの第１の部分は、各他の列を備え、第２の部分は、残りの列を備える。代替の実施形態においては、このアレイは、暗状態に駆動することができ、一部を選択的に明状態に駆動することができる。上記の波形は、列の選択的作動に関して論じたが、列検査パッド７６、７８を接地し、波形１６０、１６２をそれぞれ行検査パッド７２及び７４に印加することにより、列を１つおきにする方法を提供することができることは理解される。
【００６１】
図１５Ａ〜図１５Ｆは、様々な作動の状態にあるインターフェロメトリック変調器のアレイを示す。図１５Ａにおいて、アレイ６０は、状態１６１又は状態１６５等の全明状態で示されている。図１５Ｂにおいて、アレイ６０は、行又は列のある部分が、状態１６３又は状態１６７等の暗状態に駆動されている状態で示されている。図１５Ａ及び図１５Ｂを見て分かるように、どちらの状態においても、欠陥は見られない。
【００６２】
図１５Ｃは、（列６２等の）特定の列が暗に駆動されている半暗状態１６３のアレイ１７２を示す。図１５Ｄは、これまでの暗い列が明に駆動され、（列６４等の）残りの列が暗に駆動される半暗状態１６７の同じアレイ１７２を示す。これらの両状態を見て分かるように、列領域１７４は、周りの列と明るさが異なる。１つおきの列が駆動される実施形態においては、領域１７４内の欠陥は、列間短絡を示唆している可能性がある。図１５Ｅは、半暗状態１６３のアレイ１７６を示し、この場合、（行６６等の）特定の行が暗に駆動され、図１５Ｆは、半暗状態１６７の同じアレイ１７６を示し、この場合、（行６８等の）他の行が暗に駆動されている。図を見て分かるように、行領域１７８は、周りの画素と明るさが異なり、このことは、行間短絡等の欠陥を示唆している。
【００６３】
また別の実施形態においては、この方法は、列又は行の２つ以上のセットを個別に駆動するように適合させることができる。例えば、別の実施形態においては、列の３つの群が存在してもよく、各セットは、特定の色の光を反射するインターフェロメトリック変調器の隣接しない列を含む。このアレイ全体は、まず、既知の状態（この場合、明状態）に駆動することができる。次に、これら３つのセットのうちの１つが逆の状態に駆動され、その後、このアレイ全体は、既知の状態に戻される。このことは、残りの２つのセットに対して繰り返される。
【００６４】
図１６は、インターフェロメトリック変調器ディスプレイの列の３つのセットを選択的に駆動するために用いることができる例示的な波形を示す。特定の実施形態において、１つのセットは、青の列に相当し、第２のセットは、緑の列に相当し、第３のセットは、赤の列に相当する。各セットは、対応する検査パッドを備える。この実施形態において、上記行検査パッドは接地され、波形１８２がこの青の検査パッドに印加され、波形１８４は、緑の検査パッドに印加され、波形１８６は、赤の検査パッドに印加される。これらの波形の各々が、このアレイ全体を明位置にするパルス１６４を備え、このパルスは、白状態１６１とすることができる。次に、波形１８２及び１８４は、青及び緑の列を暗状態に駆動するパルス１６８を備え、この結果、赤の列のみが明るく、このアレイを赤状態１８１にする。図１５のアレイに関して論じたように、ここで、このアレイは、列間短絡等の欠陥の存在及び位置を判断するために検査することができる。次いで、全ての波形は、パルス１６４を含み、このパルスは、このアレイ全体を明状態１６１にリセットし、青の波形１８２及び赤の波形１８６におけるパルス１６８が続いて、緑の列のみが明るく、このアレイを緑状態１８３にするように、これらの列を暗状態に駆動する。後に続くパルス１６４は、このアレイを明状態１６１にリセットし、緑の波形１８４及び赤の波形１８６内のパルス１６８は、これらの列を暗に駆動し、この結果、青の列は明るくなり、このアレイを青状態１８５にする。
【００６５】
代替として、多色アレイを、多数の色の列が明るい状態に連続的に駆動することができる。例えば、上述したＲＧＢアレイに関して、このアレイを赤色状態、緑色状態及び青色状態に駆動するのではなく、このアレイは、例えば、シアンブルー状態、黄色状態及びマゼンタ状態に駆動することができる。一実施形態において、このことは、このアレイを明状態にした後、１つの色の列のみを暗状態に選択的に駆動することによって実現することができる。このプロセスは、その後、他の色に対して繰り返される。このような表示パターンは、特定の欠陥の位置を識別するのに有用である可能性がある。また、全ての色を、上述したように、黒状態に駆動することができる。
【００６６】
また別の実施形態において、図８のアレイ６０等のインターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法１９０は、アレイ６０の綿密な検査を可能にするために、上述した方法の両方を備える。この方法１９０を説明する例示的なフローチャートを図１７に示す。しかし、実施形態によっては、追加的な段階を付加することができ、他を取り除くことができ、及びこれらのステップの順番を配列しなおすことができることは理解される。段階１９２において、アレイ６０と１つ以上の信号発生器との間の接続が形成される。これらの接続は、例えば、アレイ６０を、図１０のプローブマウント９０等のプローブマウント内に配置することにより、形成することができる。そして、プローブマウント９０は、図１１に示すように、スイッチボックス１１２及び制御コンピュータ１１０に接続することができる。段階１９４において、ディフューザ層１０８を、検査者（又は、特定の実施形態においては、ＣＣＤカメラ）と、アレイ６０がその上に配置される基板８４との間に配置することができる。（このフローチャートには示されていない）このアレイの検査の前のある時点で、このアレイを照明するための光源を設けてもよい。
【００６７】
段階１９６において、上記アレイは、この実施形態において、全明状態である既知の状態に駆動される。このアレイは、このとき、欠陥について観測することができる。この検査は、上記インターフェロメトリック変調器の状態の変化の各々の後に行うことができるが、検査は、各段階の後に、特に、このアレイが、全明状態に他数回、駆動された後に行う必要はないことは理解される。段階１９８において、このアレイは、全暗状態に駆動される。この結果、段階１９６及び１９８は、図１２Ａ及び図１２Ｂの波形によって生成された表示パターンの一部を備える。このアレイの検査は、好ましくは、この時点で行う。
【００６８】
次いで、段階２００において、上記アレイは、全明状態に戻されて駆動される。次に、段階２０２において、上記行が接地され、上記列の第１のサブセット（例えば、１つおきの列のセット）が暗状態に駆動され、このアレイは、好ましくは、ここでも検査される。段階２０４において、このアレイは、全明状態に戻されて駆動され、段階２０６において、この列の第２のサブセット（例えば、段階２０２において、暗に駆動されなかった１つおきの列）が暗に駆動され、このアレイは、好ましくは検査される。
【００６９】
段階２０８において、上記アレイは、再度、全明状態に戻されて駆動される。次いで、段階２１０において、上記列が接地され、上記行の第１のサブセット（例えば、１つおきの行のセット）が全暗状態に駆動されて、このアレイが検査される。段階２１２において、このアレイは、全明状態に戻されて駆動され、段階２１４において、行の第２のサブセット（例えば、段階２０２において、暗に駆動されなかった１つおきの行）が暗に駆動され、このアレイは、好ましくは、再び検査される。
【００７０】
段階２１６において、プロセス１９０の間に、何らかの欠陥が識別されたか否かに関して判断がなされる。欠陥が識別された場合、このプロセスは、アレイ６０が、欠陥があり、廃棄し、又は他の方法で処理する（例えば、さらなる検査のためにとっておく）ものと識別される状態２１８に移る。欠陥が識別されなかった場合には、このプロセスは、アレイ６０が良品と認められる状態２２０に移る。
【００７１】
このプロセスの特定の部分は、どのような順序で行ってもよく、また、上記のこのプロセスの全てのステップが必要ではないことは理解される。一実施形態において、アレイは、このプロセスの早い段階（例えば、状態１９６又は１９８）で、欠陥があるものと識別することができる。このような実施形態において、このプロセスは、このアレイが、欠陥があると識別される状態２１８に直ちに移ることができる。別の実施形態においては、プロセス１９０の段階１９６〜２１６は、どのような欠陥が存在するか否かに関しての判断を行う前に、１回以上、繰り返すことができる。プロセス１９０のより小さな部分は、いつでも繰り返すことができる。基板８４上に配設された多数のアレイ６０が同時に検査される実施形態においては、このことは、他のアレイがこの表示パターンを循環している間に、１つのアレイの検査を有利に可能にする。１度での多数のアレイの検査は、比較を容易に行うことができるので、これらのアレイにおける欠陥の識別を容易にすることができる。
【００７２】
上述したように、図１７の方法１９０を暗状態及び明状態に関して論じたが、代替の実施形態においては、この明状態及び暗状態は、このアレイが、一般に、検査の間に暗に駆動され、特定の行又は列が明状態に選択的に作動されるように、逆にしてもよい。このアレイが、まず、既知の状態にされ、その後、連続的に逆の状態（例えば、明から暗に、又は、その逆に）選択的に作動される限り、方法１９０は、欠陥の識別を容易にする。インターフェロメトリック変調器の特定の実施形態においては、作動状態も非作動状態も暗状態である。例えば、この作動状態は、暗状態ではなく、実質的に白い光を反射することができる。このような実施形態においても、方法１９０は、周りの画素との相違が識別可能であるため、欠陥の識別を容易にする。同様に、図１２Ａ、図１２Ｂ、図１４及び図１６の波形は、暗状態に一部を選択的に作動させる前に、まず、このアレイを明状態にするが、これらのことは、このディスプレイの一部を選択的に作動させる前に、このアレイを代替の既知の状態（例えば、暗状態）にするように変更してもよいことは理解される。
【００７３】
本出願において論じた他の検査方法もプロセス１９０に組み込むことができ、また、どのステップに対しても変更を行うことができる。具体的には、色アレイを検査する際には、第３の色に相当する、列又は行からなる第３のセットを選択的に作動させること、及びこの時点でこのアレイを検査することが望ましい。
【００７４】
また別の実施形態においては、アレイが明に駆動され、列及び行の両方からなる一部のサブセットが暗に駆動される。図８のアレイ６０に適用することができる一つの特定の実施形態において、上記素子は、まず、明状態に駆動され、その後、これらの素子のうちの半分は、チェッカー盤パターンで暗状態に駆動される。そして、これらの素子は、明状態に戻されて駆動され、このアレイ内の他の素子（例えば、他が暗に駆動されたときに、明のままであった素子）は、ここで、これまでのチェッカー盤パターンと逆で暗に駆動される。予想されるチェッカー盤パターンのどのような変形も、このアレイにおける欠陥、特に、隣接する素子間、又は隣接するライン間の漏れによって引き起こされる可能性がある欠陥を示唆する。このアレイが、このチェッカー盤パターン及びその逆の両方に駆動されたときに、この欠陥が存続する場合には、この欠陥は、隣接するラインの欠陥を示す可能性がある。
【００７５】
図１８Ａは、例えば、図８のアレイ６０の小区分とすることができる、インターフェロメトリック変調器の様式化された４×４のアレイ２３０を示す。図を見て分かるように、検査パッド２３２が列２３４からなる第１のセットに接続されており、また、検査パッド２３６が列２３８からなる第２のセットに接続されている。検査パッド２４２は、行２４４からなる第１のセットに接続されており、検査パッド２４６は、行２４８からなる第２のセットに接続されている。これらの検査パッドを介して波形を印加した場合、このアレイ内の変調装置が、単一の２×２パターンがこのアレイの全体にわたって繰り返される状態に駆動されることは、理解される。この２×２パターンは、例示的な干渉変調素子２５２、２５４、２５６及び２５８の状態に相当することになる。
【００７６】
図１８Ｂは、チェッカー盤パターンをアレイ２３０内に生成するために、アレイ２３０の検査パッド２３２、２３６、２４２及び２４６に印加することができる一連の波形を示す。一実施形態において、波形２６２は検査パッド２３２に印加され、波形２６４は検査パッド２３６に印加され、波形２６６は検査パッド２４２に印加され、波形２６８は検査パッド２４６に印加される。これらの波形の印加は、個々の干渉変調素子に印加される特定の電圧を生じる。一実施形態において、プロット２７２は、例示的な素子２５２における電圧を示し、プロット２７４は、素子２５４における電圧を示し、プロット２７６は、例示的な素子２５６における電圧を示し、プロット２７８は、例示的な素子２５８における電圧を示す。
【００７７】
図１８Ｂにおいては、波形２６２が、値＋Ｖｂｉａｓと−Ｖｂｉａｓの間で切り替わり、ただし、Ｖｂｉａｓは、変調素子の作動電圧１２３と解放電圧１２１の間のある電圧であることが図を見て分かる。同様に、波形２６４は、−Ｖｂｉａｓと＋Ｖｂｉａｓの間で切り替わった。ほとんどの波形の場合に０Ｖである波形２６６は、電圧が＋Ｖｂｉａｓまで増加するパルス２６７を含む。同様に、波形２６８はパルス２６９を含む。
【００７８】
例示的な素子２５２に印加される電圧２７２は、対応する電極列に印加される波形２６２と、行電極に印加される波形２６６との差である。最初、画素電圧２７２は、上述したように、この素子の解放電圧１２１と作動電圧１２３の間の−Ｖｂｉａｓである。パルス信号２６７が波形２６６内に生じたとき、電圧差（例えば、−２Ｖｂｉａｓ）は、この変調素子の作動電圧１２３を超えて、素子２５２を作動状態にするのに十分なものであることが、図を見て分かる。そして、この電圧は、−Ｖｂｉａｓの値に戻った後、＋Ｖｂｉａｓの値に切り替わるが、この変調素子は、この極性切替え中の有意な期間に解放電圧が印加されなかったため、この電圧が切り替わる際に、その状態を変化させない。同様に、電圧プロット２７８は波形２６２と波形２６８の差を表し、この波形の休止中には、素子２５８は、この電圧の影響を受けない状態のままであり、この画素電圧は、上記ヒステリシスウィンドウ内の＋Ｖｂｉａｓ又は−Ｖｂｉａｓのどちらかであるため、生の波形２６８内のパルス信号２６９の間、画素電圧は、素子２５８を作動状態にするのに十分に低いことを示している。
【００７９】
同様に、波形２６２と波形２６８の電圧差を示す電圧プロット２７４は、波形２６８のパルス２６９において、波形２６２、２６８間の電圧差が、解放電圧１２１以下のレベルに低下し、素子２５４を非作動状態又は解放状態に駆動することを示している。同様に、電圧プロット２７６を見て分かるように、波形２６４、２６６間の電圧差は、パルス信号２６７が波形２６６に現れたときに、素子２７６の解放電圧１２１以下のレベルに低下して、素子２５６を解放状態にする。
【００８０】
この結果、波形２６６のパルス２６７の後の状態２８０において、素子２５２は、作動状態にされており、また、素子２５６は、非作動状態にされている。素子２５４及び１５８は、このパルスの影響を受けておらず、また、画素電圧は、上記ヒステリシスウィンドウ内にある状態のままであるため、パルス２６７以前の未知の状態のままである。そして、波形２６８のパルス２６９の後の状態２８２において、素子２５４は、非作動状態にされており、また、素子２５８は、作動状態にされている。素子２５２及び２５６における画素電圧は、このヒステリシスウィンドウ内にあるため、これらの素子は、それぞれ、作動状態及び非作動状態のままである。
【００８１】
この一連の波形は、チェッカー盤状表示パターンのバリエーションを生成するように、変更することができることは理解される。例えば、生の波形２６６及び２６８を切替えることにより、上述した表示パターンの逆を得ることができる。所望の表示パターンを生成する代替の波形においては、波形２６６及び２６８のパルス２６７、２６９は、波形２６２及び２６４における幅広い期間の一定の電圧と同じ長さにすることができ、又は、電圧が作動電圧を超えるか、又は、この素子の応答時間よりも長い期間、解放電圧以下に低下すると仮定した場合、他の様々なバリエーションを用いることができる。上述したように、特定の素子に所望の電圧を生成する他の波形を、上述した波形に対する等価物として用いてもよい。
【００８２】
別の実施形態においては、特定のインターフェロメトリック変調器アレイは、グレースケールを出力するように構成することができる。特定の実施形態において、グレースケールを出力することは、１つの画素内での、多数の個別に作動可能な素子使用を備える。例えば、１つのグレースケール画素は、１つの大きな素子と、１つの小さな素子とを備え、この場合、小さいほうの素子の出力は、大きい素子の出力よりも小さい（例えば、いくつかの実施形態において、５０％）。このような画素を備える白黒ディスプレイは、この変調素子の選択的作動が、全明画素、全暗画素、又は２つの中間の陰影の表示を可能にするため、２ビットのグレースケールを出力することが可能である。
【００８３】
白黒アレイに関してこれまでに論じた検査方法は、２ビットのグレースケール白黒アレイに著しい変更を必要とすることなく、用いることができることは理解される。一実施形態において、他のそれぞれの行の第１のセットは、小さいほうの変調素子のみを取り扱い、他のそれぞれの行の第２のセットは、大きい方の変調素子のみを取り扱うこととなる。従って、この第１のセットが暗状態に選択的に駆動されると、このアレイは、明るいグレーになり、この第２のセットが暗状態に駆動されると、このアレイは、暗いグレーになる。様々な欠陥を、以下に論じる種々の表示パターンの使用によって識別することができる。
【００８４】
別の実施形態においては、追加的なレベルのグレースケールを生成することができる。一実施形態において、白黒ディスプレイは、３ビットのグレースケールが可能である。この実施形態において、単一の画素は、ここでも、異なる明るさ（例えば、異なる量の可視領域を有する）の多数の干渉変調素子を含む。単一の画素内の構成要素は、２つの行電極及び２つの列電極によって処理することができる。しかし、既に述べたように、上述した表示パターンを用いて、インターフェロメトリック変調器の列及び行を選択的に作動させることが可能である。しかし、これらの列は、異なるサイズの干渉変調素子を備えることができるため、単一の行又は列内のこれらの素子の作動電圧は、異なる可能性がある。すなわち、これらの列及び行内の同じインターフェロメトリック変調器のセットを選択的に作動させる必要がある可能性がある。
【００８５】
一実施形態において、第１の列は、２つの異なるサイズの干渉変調素子を備えるが、これらの異なる干渉変調素子は、行電極によって互いに接続されない。その結果、１つおきの行からなる１つのセットを、第１の列電極と共に用いて、この列内の所定のサイズの変調装置を処理することができ、また、１つおきの行からなる第２のセットを、第２の列電極と共に用いて、この列内の他のサイズの変調装置を処理することができる。同様に、第２の隣接する列は、２つの異なるサイズの干渉変調素子を備えることができる。この実施形態において、単一の列は、まず、適切な波形をこの列及び行電極の第１のセットに印加することにより、この列内の素子の第１のセットを既知の状態に駆動した後、適切な波形をこの列及び電極の第２のセットに印加することにより、この列内の素子の第２のセットを既知の状態に駆動することにより、既知の状態に駆動することができる。１つのアレイ内の１つおきの列を既知の状態に駆動しようとする場合、１つのアレイに関して、同じ波形をこれらの列の各々に印加することができる。このことは、例えば、１つおきの列からなるセットの各々に電気的に接続するバスバーを介して接続された検査パッドを介して行うことができる。
【００８６】
より濃いグレースケール能力を有するアレイは、上述した方法及び波形をさらに変更することにより、又は、特定の素子に所望の電圧を生成する等価的な波形を与えることにより、検査することができる。例えば、特定の色を反射するように構成された素子の各列が、交互に配列された２つの異なる画素サイズを備える、グレースケールが可能な多色デバイスを設けてもよい。これらの列は、３ビットのグレースケールアレイ内の列に関して説明したような方法で、選択的に駆動することができる。すなわち、例えば、赤色の列は、第１の波形を、これらの列の各々に印加し、大きなほうの画素を作動させる、１つおきの行からなる第１のセットに信号を印加し、小さなほうの画素を作動させる、１つおきの行からなる第２のセットに信号を印加することにより、暗状態に駆動することができる。
【００８７】
追加的な実施形態においては、特定のサイズ又は明るさの素子のみを既知の状態に駆動することにより、グレースケールアレイを検査することが望ましい。このような表示パターンは、上述した方法の変更によって、例えば、第１の波形を列の第１のセットに印加し、第２の波形を行の第１のセットに印加することにより、容易に実現することができ、この場合、この第２の波形は、上記チェッカー盤パターンの生成をもたらす図１６Ｂの波形と同様の、これらの行内の特定の素子を作動させる信号を備える。
【００８８】
実施形態によっては、具体的かつ明確な断りのない限り、本明細書に記載したいずれかの方法のステップや事象を、他の順序で実行することができること、追加し、１つにまとめ、又は省略してもよい(例えば、この方法の実施に全てのステップ又は事象が必要なわけではない)ことを認識すべきである。
【００８９】
上記の詳細な説明は、様々な実施形態に適用される本発明の新規な特徴を示し、説明し、かつ指摘してきたが、当業者には、本発明の趣旨から逸脱することなく、例示した上記デバイス又はプロセスの構成及び詳細の様々な省略、置換及び変更が可能であることが理解される。正しく認識できるように、本発明は、いくつかの特徴を、他の特徴とは別に用い、又は実施することができるので、本明細書に記載した全ての特徴及び利益を提供しない形態に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】第１のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が弛緩位置にあり、かつ第２のインターフェロメトリック変調器の可動反射層が作動位置にある、干渉変調ディスプレイの一実施形態の一部を示す等角図である。
【図２】３×３干渉変調ディスプレイを組み入れた電子デバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図３】図１のインターフェロメトリック変調器の例示的な一実施形態の場合の可動ミラー位置対印加電圧の図である。
【図４】干渉変調ディスプレイを駆動するのに用いることができる、行及び列電圧のセットの図である。
【図５Ａ】図２の３×３干渉変調ディスプレイにおける表示データの１つの例示的なフレームを示す。
【図５Ｂ】図５Ａのフレームを書き込むのに用いることができる、行及び列信号のための１つの例示的なタイミング図を示す。
【図６Ａ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図６Ｂ】複数のインターフェロメトリック変調器を備えるビジュアルディスプレイデバイスの一実施形態を示すシステムブロック図である。
【図７Ａ】図１のデバイスの断面図である。
【図７Ｂ】インターフェロメトリック変調器の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｃ】インターフェロメトリック変調器の別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｄ】インターフェロメトリック変調器のまた別の代替の実施形態の断面図である。
【図７Ｅ】インターフェロメトリック変調器の追加的な代替の実施形態の断面図である。
【図８】検査用に構成されたインターフェロメトリック変調器のアレイを概略的に示す図である。
【図９】インターフェロメトリック変調器の多数のアレイがその上に検査用に構成されている基板を概略的に示す図である。
【図１０】検査中に、インターフェロメトリック変調器のアレイに対する電気的接続を形成するのに用いることができるプローブマウントの実施形態の断面を概略的に示す図である。
【図１１】インターフェロメトリック変調器のアレイを検査するシステムを概略的に示す図である。
【図１２Ａ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に、所望のディスプレイパターンを生成することができる例示的な波形を示す図である。
【図１２Ｂ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に、所望のディスプレイパターンを生成することができる例示的な波形を示す図である。
【図１３Ａ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１３Ｂ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１３Ｃ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１３Ｄ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１３Ｅ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１３Ｆ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１４Ａ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に所望のディスプレイパターンを生成することができる代替的な例示的波形を示す図である。
【図１４Ｂ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に所望のディスプレイパターンを生成することができる代替的な例示的波形を示す図である。
【図１５Ａ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１５Ｂ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１５Ｃ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１５Ｄ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１５Ｅ】潜在的欠陥を説明する、明状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１５Ｆ】潜在的欠陥を説明する、暗状態で示すインターフェロメトリック変調器の例示的アレイを示す図である。
【図１６Ａ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に所望のディスプレイパターンを生成することができる代替的な例示的波形を示す図である。
【図１６Ｂ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に所望のディスプレイパターンを生成することができる代替的な例示的波形を示す図である。
【図１６Ｃ】インターフェロメトリック変調器のアレイの部分に印加して、検査中に所望のディスプレイパターンを生成することができる代替的な例示的波形を示す図である。
【図１７】インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する例示的な方法を示すフローチャートである。
【図１８Ａ】特定の変調装置素子がチェッカー盤パターンで暗に駆動されているインターフェロメトリック変調器の４×４アレイを示す図である。
【図１８Ｂ】図１８Ａのチェッカー盤パターンを生成するために、図１８Ａのアレイに印加することができる一連の波形、ならびに４つの例示的な画素の各々において結果として生じる画素電圧を示す。
【図１】
2008515004.tif 000003
【図２】
2008515004.tif 000004
【図３】
2008515004.tif 000005
【図４】
2008515004.tif 000006
【図５Ａ】
2008515004.tif 000007
【図５Ｂ】
2008515004.tif 000008
【図６Ａ】
2008515004.tif 000009
【図６Ｂ】
2008515004.tif 000010
【図７Ａ】
2008515004.tif 000011
【図７Ｂ】
2008515004.tif 000012
【図７Ｃ】
2008515004.tif 000013
【図７Ｄ】
2008515004.tif 000014
【図７Ｅ】
2008515004.tif 000015
【図８】
2008515004.tif 000016
【図９】
2008515004.tif 000017
【図１０】
2008515004.tif 000018
【図１１】
2008515004.tif 000019
【図１２Ａ】
2008515004.tif 000020
【図１２Ｂ】
2008515004.tif 000021
【図１３Ａ】
2008515004.tif 000022
【図１３Ｂ】
2008515004.tif 000023
【図１３Ｃ】
2008515004.tif 000024
【図１３Ｄ】
2008515004.tif 000025
【図１３Ｅ】
2008515004.tif 000026
【図１３Ｆ】
2008515004.tif 000027
【図１４Ａ】
2008515004.tif 000028
【図１４Ｂ】
2008515004.tif 000029
【図１５Ａ】
2008515004.tif 000030
【図１５Ｂ】
2008515004.tif 000031
【図１５Ｃ】
2008515004.tif 000032
【図１５Ｄ】
2008515004.tif 000033
【図１５Ｅ】
2008515004.tif 000034
【図１５Ｆ】
2008515004.tif 000035
【図１６Ａ】
2008515004.tif 000036
【図１６Ｂ】
2008515004.tif 000037
【図１６Ｃ】
2008515004.tif 000038
【図１７】
2008515004.tif 000039
【図１８Ａ】
2008515004.tif 000040
【図１８Ｂ】
2008515004.tif 000041
【手続補正書】
【提出日】平成20年2月20日(2008.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
第１の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列に印加して、前記第１の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を作動状態にすることと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して前記アレイにおける欠陥を識別することであって、前記検査することは、前記第１の信号の印加後に実行されることと、を備える、方法。
【請求項２】
第２の信号を少なくとも部分的に同時に、前記第１の複数の隣接しない列に第２の信号を印加して、前記第２の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることと、
第３の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列に印加して、前記第１の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることであって、前記第１の信号は、前記第２及び第３の信号の後に印加されることと、をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項３】
第４の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第３の複数の隣接しない列に印加して、前記第３の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を非作動状態にすることであって、前記第３の複数の列における前記変調装置の各々は、前記変調装置が非作動状態にあるときには実質的に同様の色の光を反射するように構成され、前記第４の信号は、前記第１の信号よりも前に印加されることと、
第５の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の前記第２の複数の隣接しない列に印加して、前記第２の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を作動状態にすることであって、前記第５の信号は、前記第２、第３及び第４の信号の後に印加されること、とをさらに備える請求項２に記載の方法。
【請求項４】
第２の信号を少なくとも部分的に同時に、前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の第２の複数の列に印加して、前記第２のアレイにおける前記変調装置を作動状態にすることであって、前記第２の複数の列は、前記第１の複数の列を除く前記インターフェロメトリック変調器のアレイ内のすべての列を備えることと、をさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の信号は、前記第２の信号と実質的に同一である請求項４に記載の方法。
【請求項６】
第３の信号を少なくとも部分的に同時に、前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の全ての列に印加して、前記アレイ内の全ての変調装置を非作動状態にすることであって、前記第３の信号は、前記第１及び第２の信号の前に印加されることをさらに備える請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する前に、観察者と前記アレイとの間にディフューザ層が配置される請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査することは、少なくとも１つの可視的な欠陥の少なくとも１つの位置を識別することを備える請求項１に記載の方法。
【請求項９】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
第１の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない行の各々に印加することと、
第２の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない行の各々に印加することと、
第３の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列の各々に印加することと、
第４の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列の各々に印加することと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、前記アレイにおける欠陥を検査することと、を備える、方法。
【請求項１０】
前記第１及び第２の複数の隣接しない列は、前記アレイ内のすべての列を備え、前記第１及び第２の複数の隣接しない行は、前記アレイ内のすべての行を備える請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器は、前記第２の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器よりも大きいインターフェロメトリック変調器を備える請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１の複数の隣接しない列内の前記インターフェロメトリック変調器は、前記第２の複数の隣接しない列内のインターフェロメトリック変調器素子よりも大きい視認可能な領域を有するインターフェロメトリック変調器を備える請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記第３の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の各変調装置を第１の状態にする第１の信号を備える請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記第４の波形は、前記第２の複数の隣接しない列内の各変調装置を前記第１の状態にする第１の信号を備える請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の第１の複数の隣接しない変調装置を第１の状態にする第１の信号を備える請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記第２の波形は、前記第１の複数の隣接しない列内の第２の複数の隣接しない変調装置を前記第１の状態にする第２の信号を備える請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記第２の波形は、前記第２の複数の隣接しない列内の第１の複数の隣接しない変調装置を前記第１の状態にする第２の信号を備える請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
第５の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第３の複数の隣接しない列の各々に印加することをさらに備える請求項９に記載の方法。
【請求項１９】
インターフェロメトリック変調器の前記第３の複数の列内の前記変調装置の各々は、ほぼ同じ色の光を反射するように構成される請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記第１、第２、及び第３の複数の隣接しない列は、前記アレイ内のすべての列を備え、前記第１及び第２の複数の隣接しない行は、前記アレイ内のすべての行を備える請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイに隣接してディフューザを配置することをさらに備える請求項９に記載の方法。
【請求項２２】
インターフェロメトリック変調器のアレイを検査する方法であって、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイにおける各変調装置を既知の第１の状態に駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列のサブセットを、前記既知の第１の状態から第２の状態に駆動することであって、前記第２の状態は、前記第１の状態と逆であることと、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して、前記アレイにおける欠陥を識別することと、を備える、方法。
【請求項２３】
前記既知の第１の状態は明状態であり、前記第２の状態は暗状態である請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記アレイ内の各変調装置を駆動して前記既知の第１の状態に戻すことと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列から成る第２のサブセットを、前記既知の第１の状態から前記第２の状態に駆動することと、追加的に備える請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
前記アレイ内の各変調装置を駆動して前記既知の第１の状態に戻すことと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の列の第３のサブセットを前記既知の第１の状態から前記第２の状態に駆動することと、をさらに備える請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記アレイ内の各変調装置を既知の第３の状態に駆動することと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の行から成るサブセットを第４の状態に駆動することであって、前記第４の状態は、前記第３の状態の逆であることと、をさらに備える請求項２２に記載の方法。
【請求項２７】
前記既知の第３の状態は明状態であり、前記第４の状態は暗状態である請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記アレイ内の各変調器を駆動して前記既知の第３の状態に戻すことと、
前記アレイ内のインターフェロメトリック変調器の行から成る第２のサブセットを前記既知の第４の状態に駆動することと、をさらに備える請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記アレイ内の前記変調装置の各々を既知の第５の状態に駆動することと、
前記アレイ内の前記変調装置の各々を第６の状態に駆動することであって、前記第６の状態は、前記既知の第５の状態の逆であることと、をさらに備える請求項２２に記載の方法。
【請求項３０】
前記既知の第５の状態は明状態であり、前記第６の状態は暗状態である請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記アレイは、検査者面と処理面を有する基板上に形成され、前記アレイは、前記基板の前記処理面上に形成される請求項２２に記載の方法。
【請求項３２】
ディフューザ層を、前記基板の前記検査者面に隣接して配置することをさらに備える請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記アレイを駆動する前に、前記基板をプローブマウント内に配置することをさらに備える請求項３１に記載の方法。
【請求項３４】
請求項２２に記載の方法によって検査されるインターフェロメトリック変調器のアレイを備えるデバイス。
【請求項３５】
前記アレイと電気的通信状態にあるプロセッサであって、イメージデータを処理するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサと電気的通信状態にある記憶装置と、をさらに備える請求項３４に記載のデバイス。
【請求項３６】
少なくとも１つの信号を前記アレイへ送るように構成された駆動回路をさらに備える請求項３５に記載のデバイス。
【請求項３７】
前記イメージデータの少なくとも一部を前記駆動回路に送るように構成されたコントローラをさらに備える請求項３６に記載のデバイス。
【請求項３８】
前記イメージデータを前記プロセッサに送るように構成されたイメージソースモジュールをさらに備える請求項３５に記載のデバイス。
【請求項３９】
前記イメージソースモジュールは、レシーバ、トランシーバ、及びトランスミッタのうちの少なくとも１つを備える請求項３８に記載のデバイス。
【請求項４０】
入力データを受け取り、及び前記入力データを前記プロセッサに伝達するように構成された入力装置をさらに備える請求項３５に記載のデバイス。
【請求項４１】
基板と、
前記基板によって支持され及び前記基板によって支持される複数のインターフェロメトリック変調器に結合された第１の複数の隣接しない行電極と、
前記基板によって支持され及び前記基板によって支持される複数のインターフェロメトリック変調器に結合された第２の複数の隣接しない行電極と、
前記第１の複数の行電極と電気的に接続された第１のバスバーと、
前記第２の複数の行電極と電気的に接続された第２のバスバーと、
前記基板から離間され及び前記基板によって支持される複数のインターフェロメトリック変調器に結合された第１の複数の隣接しない列電極と、
前記基板から離間され及び前記基板によって支持される複数のインターフェロメトリック変調器に結合された第２の複数の隣接しない列電極と、
前記第１の複数の列電極と電気的に接続された第３のバスバーと、
前記第１の複数の列電極と電気的に接続された第４のバスバーと、を備えるデバイス。
【請求項４２】
前記バスバーのうちの少なくとも１つと電気的通信状態にある少なくとも１つの検査パッドをさらに備え、前記検査パッドは、前記バスバーよりも幅広い伝導材料から成る層を備える請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４３】
前記第１の複数の行電極は、すべての第２の行電極を備える請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４４】
前記基板から離間され及び前記基板によって支持される複数のインターフェロメトリック変調器に結合された第３の複数の隣接しない列電極と、
前記第５の複数の列電極と電気的接続状態にある第５のバスバーと、をさらに備える請求項４１に記載のデバイス。
【請求項４５】
第１の複数の信号を複数のインターフェロメトリック変調器に伝える第１の手段と、
前記第１の伝える手段を支持する手段と、
第２の複数の信号を複数のインターフェロメトリック変調器に伝える第２の手段と、
前記第１の伝える手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第１の手段と、
前記第１の伝える手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第２の手段と、
前記第２の伝える手段の第１の部分の各々に、波形を選択的に供給する第３の手段と、
前記第２の伝える手段の第２の部分の各々に、波形を選択的に供給する第４の手段と、を備え、
前記第１、第２、第３及び第４の供給する手段は、前記第１又は第２の伝える手段のうちの少なくとも１つによって搬送される前記信号がテストパターンを生成するように配列されている、デバイス。
【請求項４６】
前記支持する手段は、基板を備え、
前記第１の伝える手段は、第１の複数の行電極を備え、
前記第２の伝える手段は、第２の複数の列電極を備える請求項４５に記載のデバイス。
【請求項４７】
前記第１の伝える手段の前記第１の部分は、第１の複数の隣接しない行電極を備え、
前記第１の選択的供給手段は、前記第１の複数の隣接しない行電極と電気的に接続されている第１のバスバーを備え、
前記第１の伝える手段の前記第２の部分は、第２の複数の隣接しない行電極を備え、
前記第２の選択的供給手段は、第２、第１の複数の隣接しない行電極と電気的に接続されている第２のバスバーを備え、
前記第２の伝える手段の前記第１の部分は、第１の複数の隣接しない行電極を備え、
前記第３の選択的供給手段は、前記第１の複数の隣接しない列電極と電気的に接続されている第３のバスバーを備え、
前記第２の伝える手段の前記第２の部分は、第２の複数の隣接しない列電極を備え、
前記第４の選択的供給手段は、前記第２の複数の隣接しない列電極と電気的に接続されている第４のバスバーを備える請求項４５又は４６に記載のデバイス。
【請求項４８】
第１の信号を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列に印加して、前記第１の複数の隣接しない列における前記インターフェロメトリック変調器を作動状態にすることをコンピュータに行わせるための手段と、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して前記アレイおける欠陥を識別することをコンピュータに行わせるための手段と、を備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項４９】
第１の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない行の各々に印加することをコンピュータに行わせるための手段と、
第２の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない行の各々に印加することをコンピュータに行わせるための手段と、
第３の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第１の複数の隣接しない列の各々に印加することをコンピュータに行わせるための手段と、
第４の波形を少なくとも部分的に同時に、インターフェロメトリック変調器の第２の複数の隣接しない列の各々に印加することをコンピュータに行わせるための手段と、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して前記アレイにおける欠陥を識別することをコンピュータに行わせるための手段と、を備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
【請求項５０】
前記インターフェロメトリック変調器のアレイ内の各変調装置を既知の第１の状態に駆動することをコンピュータに行わせるための手段と、
前記アレイにおけるインターフェロメトリック変調器の列から成るサブセットを前記既知の第１の状態から第２の状態にすることをコンピュータに行わせるための手段であって、前記第２の状態は、前記第１の状態の逆である手段と、
前記インターフェロメトリック変調器のアレイを検査して前記アレイにおける欠陥を識別することをコンピュータに行わせるための手段と、を備えるコンピュータ読み取り可能媒体。
【国際調査報告】
2008515004.tif 000042
2008515004.tif 000043
2008515004.tif 000044