(57)【要約】【課題】少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバから成り、発振チャンバの出力が増幅チャンバ、例えば、主発振器電力増幅器（ＭＯＰＡ）構成フッ素注入コントローラ及び方法において増幅されるマルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを提供する。【解決手段】フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するマルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステム及びその作動方法。本発明は、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量とを表す出力を生成するハロゲンガス消費推定器と、フッ素消費推定器からの推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラとを含むことができる。【選択図】図３
2008515231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と、前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量とを表す出力を生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項２】
前記フッ素消費推定器からの前記推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項７】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項８】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数１】
2008515231.tif 000026
に従って実行され、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数２】
2008515231.tif 000027
に従って実行される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数３】
2008515231.tif 000028
に従って実行され、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数４】
2008515231.tif 000029
に従って実行される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数５】
2008515231.tif 000030
に従って実行され、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数６】
2008515231.tif 000031
に従って実行される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数７】
2008515231.tif 000032
に従って実行され、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量の前記推定は、公式：
【数８】
2008515231.tif 000033
に従って実行される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１３】
前記コスト関数は、
【数９】
2008515231.tif 000034
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数１０】
2008515231.tif 000035
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１４】
前記コスト関数は、
【数１１】
2008515231.tif 000036
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数１２】
2008515231.tif 000037
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１５】
前記コスト関数は、
【数１３】
2008515231.tif 000038
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数１４】
2008515231.tif 000039
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１６】
前記コスト関数は、
【数１５】
2008515231.tif 000040
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数１６】
2008515231.tif 000041
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１８】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１９】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項２０】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６に記載の装置。
【請求項２１】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項２２】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２３】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２４】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２５】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２６】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項２７】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２３に記載の装置。
【請求項２８】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２４に記載の装置。
【請求項２９】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項３０】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項３１】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７に記載の装置。
【請求項３２】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８に記載の装置。
【請求項３３】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項３４】
前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項３３に記載の装置。
【請求項３５】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３３に記載の装置。
【請求項３６】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項３７】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３３に記載の装置。
【請求項３８】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項３９】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項４０】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項４１】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
ハロゲンガス消費推定器、
を含み、
前記ハロゲンガス消費推定器は、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方の作動パラメータに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項４２】
前記フッ素消費推定器からの前記推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４３】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４４】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項４５】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項４６】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項４７】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４３に記載の装置。
【請求項４８】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４４に記載の装置。
【請求項４９】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの各々において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータと該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータとに基づいて推定し、該少なくとも１つの発振チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力と該少なくとも１つの増幅チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力とを生成するハロゲンガス消費推定器、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項５０】
前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラ、
を更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
【請求項５１】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
【請求項５２】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項５３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
【請求項５４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項５５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５１に記載の装置。
【請求項５６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５２に記載の装置。
【請求項５７】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５３に記載の装置。
【請求項５８】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５４に記載の装置。
【請求項５９】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５５に記載の装置。
【請求項６０】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５６に記載の装置。
【請求項６１】
前記他の重み付け注入決定判断は、帯域幅が帯域幅の範囲内で高又は低で仕様外であるか否か、及び電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かの群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５７に記載の装置。
【請求項６２】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５８に記載の装置。
【請求項６３】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５９に記載の装置。
【請求項６４】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６０に記載の装置。
【請求項６５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６６】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項６７】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項６８】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６５に記載の装置。
【請求項７０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６６に記載の装置。
【請求項７１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６７に記載の装置。
【請求項７２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項６８に記載の装置。
【請求項７３】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３３に記載の装置。
【請求項７４】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項７５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３５に記載の装置。
【請求項７６】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項７７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７３に記載の装置。
【請求項７８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７４に記載の装置。
【請求項７９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７５に記載の装置。
【請求項８０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項７６に記載の装置。
【請求項８１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４１に記載の装置。
【請求項８２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項８３】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４３に記載の装置。
【請求項８４】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４４に記載の装置。
【請求項８５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８１に記載の装置。
【請求項８６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８２に記載の装置。
【請求項８７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８３に記載の装置。
【請求項８８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８４に記載の装置。
【請求項８９】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項４９に記載の装置。
【請求項９０】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項９１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５１に記載の装置。
【請求項９２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項５２に記載の装置。
【請求項９３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項８９に記載の装置。
【請求項９４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９０に記載の装置。
【請求項９５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９１に記載の装置。
【請求項９６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９２に記載の装置。
【請求項９７】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と、前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量とを表す出力を生成する、
ためのハロゲンガス消費推定手段、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項９８】
前記ハロゲンガス消費推定手段からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するためのハロゲンガス注入制御手段、
を更に含むことを特徴とする請求項９７に記載の装置。
【請求項９９】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９７に記載の装置。
【請求項１００】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９８に記載の装置。
【請求項１０１】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９７に記載の装置。
【請求項１０２】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９８に記載の装置。
【請求項１０３】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９９に記載の装置。
【請求項１０４】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１００に記載の装置。
【請求項１０５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数１７】
2008515231.tif 000042
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数１８】
2008515231.tif 000043
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０１に記載の装置。
【請求項１０６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数１９】
2008515231.tif 000044
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数２０】
2008515231.tif 000045
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０２に記載の装置。
【請求項１０７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数２１】
2008515231.tif 000046
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数２２】
2008515231.tif 000047
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０３に記載の装置。
【請求項１０８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数２３】
2008515231.tif 000048
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定するための前記手段は、公式：
【数２４】
2008515231.tif 000049
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０４に記載の装置。
【請求項１０９】
前記コスト関数は、
【数２５】
2008515231.tif 000050
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数２６】
2008515231.tif 000051
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０５に記載の装置。
【請求項１１０】
前記コスト関数は、
【数２７】
2008515231.tif 000052
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数２８】
2008515231.tif 000053
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０６に記載の装置。
【請求項１１１】
前記コスト関数は、
【数２９】
2008515231.tif 000054
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数３０】
2008515231.tif 000055
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０７に記載の装置。
【請求項１１２】
前記コスト関数は、
【数３１】
2008515231.tif 000056
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数３２】
2008515231.tif 000057
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０８に記載の装置。
【請求項１１３】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１０９に記載の装置。
【請求項１１４】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１０に記載の装置。
【請求項１１５】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１１に記載の装置。
【請求項１１６】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１２に記載の装置。
【請求項１１７】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１３に記載の装置。
【請求項１１８】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１４に記載の装置。
【請求項１１９】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１５に記載の装置。
【請求項１２０】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１１６に記載の装置。
【請求項１２１】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項１１７に記載の装置。
【請求項１２２】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項１１８に記載の装置。
【請求項１２３】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項１１９に記載の装置。
【請求項１２４】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項１２０に記載の装置。
【請求項１２５】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２１に記載の装置。
【請求項１２６】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２２に記載の装置。
【請求項１２７】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２３に記載の装置。
【請求項１２８】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２４に記載の装置。
【請求項１２９】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ためのハロゲンガス消費推定手段、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項１３０】
前記ハロゲンガス消費推定手段からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するためのハロゲンガス注入制御手段、
を更に含むことを特徴とする請求項１２９に記載の装置。
【請求項１３１】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２９に記載の装置。
【請求項１３２】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３０に記載の装置。
【請求項１３３】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２９に記載の装置。
【請求項１３４】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３０に記載の装置。
【請求項１３５】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３１に記載の装置。
【請求項１３６】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３２に記載の装置。
【請求項１３７】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方の作動パラメータに基づいて推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する、
ためのハロゲンガス消費推定手段、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項１３８】
前記ハロゲンガス消費推定手段からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するためのハロゲンガス注入制御手段、
を更に含むことを特徴とする請求項１３７に記載の装置。
【請求項１３９】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３７に記載の装置。
【請求項１４０】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３８に記載の装置。
【請求項１４１】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３７に記載の装置。
【請求項１４２】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３８に記載の装置。
【請求項１４３】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３９に記載の装置。
【請求項１４４】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４０に記載の装置。
【請求項１４５】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成する、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムであって、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの各々において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータと該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータとに基づいて推定し、該少なくとも１つの発振チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力と該少なくとも１つの増幅チャンバの該ハロゲンガス消費量を表す出力と生成するためのハロゲンガス消費推定手段、
を含むことを特徴とするシステム。
【請求項１４６】
前記ハロゲンガス消費推定手段からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するためのハロゲンガス注入制御手段、
を更に含むことを特徴とする請求項１４５に記載の装置。
【請求項１４７】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４５に記載の装置。
【請求項１４８】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４６に記載の装置。
【請求項１４９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４５に記載の装置。
【請求項１５０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４６に記載の装置。
【請求項１５１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４７に記載の装置。
【請求項１５２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４８に記載の装置。
【請求項１５３】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４９に記載の装置。
【請求項１５４】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５０に記載の装置。
【請求項１５５】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５１に記載の装置。
【請求項１５６】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５２に記載の装置。
【請求項１５７】
前記他の重み付け注入決定判断は、帯域幅が帯域幅の範囲内で高又は低で仕様外であるか否か、及び電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かの群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５３に記載の装置。
【請求項１５８】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５４に記載の装置。
【請求項１５９】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５５に記載の装置。
【請求項１６０】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１５６に記載の装置。
【請求項１６１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９７に記載の装置。
【請求項１６２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９８に記載の装置。
【請求項１６３】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項９９に記載の装置。
【請求項１６４】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１００に記載の装置。
【請求項１６５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６１に記載の装置。
【請求項１６６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６２に記載の装置。
【請求項１６７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６３に記載の装置。
【請求項１６８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６４に記載の装置。
【請求項１６９】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１２９に記載の装置。
【請求項１７０】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３０に記載の装置。
【請求項１７１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３１に記載の装置。
【請求項１７２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３２に記載の装置。
【請求項１７３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１６９に記載の装置。
【請求項１７４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７０に記載の装置。
【請求項１７５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７１に記載の装置。
【請求項１７６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７２に記載の装置。
【請求項１７７】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３７に記載の装置。
【請求項１７８】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３８に記載の装置。
【請求項１７９】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１３９に記載の装置。
【請求項１８０】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４０に記載の装置。
【請求項１８１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７７に記載の装置。
【請求項１８２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７８に記載の装置。
【請求項１８３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１７９に記載の装置。
【請求項１８４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８０に記載の装置。
【請求項１８５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４５に記載の装置。
【請求項１８６】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４６に記載の装置。
【請求項１８７】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４７に記載の装置。
【請求項１８８】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１４８に記載の装置。
【請求項１８９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８５に記載の装置。
【請求項１９０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８６に記載の装置。
【請求項１９１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８７に記載の装置。
【請求項１９２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１８８に記載の装置。
【請求項１９３】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのものである、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、
少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と、前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量とを表す出力を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１９４】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項１９３に記載の方法。
【請求項１９５】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９３に記載の方法。
【請求項１９６】
前記第１の作動パラメータは、前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記出力パルスの帯域幅であり、
前記第２の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射の時間を表し、
前記第３の作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバの前記出力パルスのエネルギである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９４に記載の方法。
【請求項１９７】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９３に記載の方法。
【請求項１９８】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９４に記載の方法。
【請求項１９９】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９５に記載の方法。
【請求項２００】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９６に記載の方法。
【請求項２０１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３３】
2008515231.tif 000058
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３４】
2008515231.tif 000059
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９７に記載の方法。
【請求項２０２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３５】
2008515231.tif 000060
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３６】
2008515231.tif 000061
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９８に記載の方法。
【請求項２０３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３７】
2008515231.tif 000062
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３８】
2008515231.tif 000063
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９９に記載の方法。
【請求項２０４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数３９】
2008515231.tif 000064
を実行し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記フッ素消費量を推定する前記段階は、公式：
【数４０】
2008515231.tif 000065
を実行する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２００に記載の方法。
【請求項２０５】
前記コスト関数は、
【数４１】
2008515231.tif 000066
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数４２】
2008515231.tif 000067
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０１に記載の方法。
【請求項２０６】
前記コスト関数は、
【数４３】
2008515231.tif 000068
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数４４】
2008515231.tif 000069
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０２に記載の方法。
【請求項２０７】
前記コスト関数は、
【数４５】
2008515231.tif 000070
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数４６】
2008515231.tif 000071
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０３に記載の方法。
【請求項２０８】
前記コスト関数は、
【数４７】
2008515231.tif 000072
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、かつ
【数４８】
2008515231.tif 000073
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０４に記載の方法。
【請求項２０９】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０５に記載の方法。
【請求項２１０】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０６に記載の方法。
【請求項２１１】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０７に記載の方法。
【請求項２１２】
前記コスト関数は、
帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、かつ
帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０８に記載の方法。
【請求項２１３】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２０９に記載の方法。
【請求項２１４】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１０に記載の方法。
【請求項２１５】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１１に記載の方法。
【請求項２１６】
前記コスト関数は、
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、かつ
前記少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択する、
ことを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１２に記載の方法。
【請求項２１７】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２１３に記載の方法。
【請求項２１８】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２１４に記載の方法。
【請求項２１９】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２１５に記載の方法。
【請求項２２０】
Ａ＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅ、
であることを更に含むことを特徴とする請求項２１６に記載の方法。
【請求項２２１】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１７に記載の方法。
【請求項２２２】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１８に記載の方法。
【請求項２２３】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２１９に記載の方法。
【請求項２２４】
前記フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する前記重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２０に記載の方法。
【請求項２２５】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのものである、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２２６】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項２２５に記載の方法。
【請求項２２７】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２６に記載の方法。
【請求項２２８】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２７に記載の方法。
【請求項２２９】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２５に記載の方法。
【請求項２３０】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２６に記載の方法。
【請求項２３１】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２７に記載の方法。
【請求項２３２】
前記作動パラメータは、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおける前記ガス放電のタイミングである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２８に記載の方法。
【請求項２３３】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのものである、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、
少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの他方の作動パラメータに基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける及び前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３４】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項２３３に記載の方法。
【請求項２３５】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３３に記載の方法。
【請求項２３６】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３４に記載の方法。
【請求項２３７】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３３に記載の方法。
【請求項２３８】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３４に記載の方法。
【請求項２３９】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３５に記載の方法。
【請求項２４０】
前記作動パラメータは、Ｅ９５である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３６に記載の方法。
【請求項２４１】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、該少なくとも１つの増幅チャンバが、この少なくとも１つの増幅チャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するためのものである、マルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステムを使用する方法であって、
ハロゲンガス消費推定器を使用して、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの各々において消費されたハロゲンガスの量を、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータと該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータとに基づいて推定する段階と、
前記少なくとも１つの発振チャンバの前記ハロゲンガス消費量を表す出力と前記少なくとも１つの増幅チャンバの前記ハロゲンガス消費量を表す出力とを生成する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２４２】
ハロゲンガス注入コントローラを使用して、前記ハロゲンガス消費推定器からの前記推定ハロゲンガス消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、前記少なくとも１つの発振チャンバ及び前記少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項２４１に記載の方法。
【請求項２４３】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４１に記載の方法。
【請求項２４４】
前記ハロゲンガスは、フッ素である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４２に記載の方法。
【請求項２４５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４１に記載の方法。
【請求項２４６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４２に記載の方法。
【請求項２４７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４３に記載の方法。
【請求項２４８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、その第１のものは、該少なくとも１つの発振チャンバ及び該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のものは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量を示す前記少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、そのうちの１つは、該少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４４に記載の方法。
【請求項２４９】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４５に記載の方法。
【請求項２５０】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４６に記載の方法。
【請求項２５１】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４７に記載の方法。
【請求項２５２】
前記コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値が前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値が該少なくとも１つの発振チャンバにおける該ハロゲンガス消費量の該推定値を超えた場合にハロゲンガスを該少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４８に記載の方法。
【請求項２５３】
前記他の重み付け注入決定判断は、帯域幅が帯域幅の範囲内で高又は低で仕様外であるか否か、及び電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かの群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４９に記載の方法。
【請求項２５４】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５０に記載の方法。
【請求項２５５】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５１に記載の方法。
【請求項２５６】
前記少なくとも１つの増幅チャンバ内へのフッ素注入に関連する前記他の重み付け注入決定判断は、電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かを含む群から選択される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５２に記載の方法。
【請求項２５７】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９３に記載の方法。
【請求項２５８】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９４に記載の方法。
【請求項２５９】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９５に記載の方法。
【請求項２６０】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項１９６に記載の方法。
【請求項２６１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５７に記載の方法。
【請求項２６２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５８に記載の方法。
【請求項２６３】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２５９に記載の方法。
【請求項２６４】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６０に記載の方法。
【請求項２６５】
前記ハロゲンガス消費量を推定する前記段階は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２５に記載の方法。
【請求項２６６】
前記ハロゲンガス消費量を推定する前記段階は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２６に記載の方法。
【請求項２６７】
前記ハロゲンガス消費量を推定する前記段階は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２７に記載の方法。
【請求項２６８】
前記ハロゲンガス消費量を推定する前記段階は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２２８に記載の方法。
【請求項２６９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６５に記載の方法。
【請求項２７０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６６に記載の方法。
【請求項２７１】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６７に記載の方法。
【請求項２７２】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２６８に記載の方法。
【請求項２７３】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３３に記載の方法。
【請求項２７４】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３４に記載の方法。
【請求項２７５】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３５に記載の方法。
【請求項２７６】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２３６に記載の方法。
【請求項２７７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７３に記載の方法。
【請求項２７８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７４に記載の方法。
【請求項２７９】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７５に記載の方法。
【請求項２８０】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２７６に記載の方法。
【請求項２８１】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４１に記載の方法。
【請求項２８２】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４２に記載の方法。
【請求項２８３】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４３に記載の方法。
【請求項２８４】
前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、前記発振チャンバ及び前記増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２４４に記載の方法。
【請求項２８５】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８１に記載の方法。
【請求項２８６】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８２に記載の方法。
【請求項２８７】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８３に記載の方法。
【請求項２８８】
前記少なくとも１つの発振チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、
前記少なくとも１つの増幅チャンバにおける前記ハロゲンガス消費量の前記推定は、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、該少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている、
ことを更に含むことを特徴とする請求項２８４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバから成り、発振チャンバの出力が増幅チャンバ、例えば、主発振器電力増幅器（ＭＯＰＡ）構成フッ素注入コントローラ及び方法において増幅されるマルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムに関する。
関連出願
本出願は、２００４年９月２９日出願の「マルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザフッ素注入制御」という名称の米国特許出願出願番号第１０／９５３，１００号に対する優先権を請求するものであり、これは、２００３年７月３０日出願の「２チャンバガス放電レーザのための制御システム」という名称の現在特許出願中の米国特許出願出願番号第１０／６３１，３４９号、及び２００３年１月３１日出願の「ガス放電レーザのための自動ガス制御システム」という名称の米国特許出願出願番号第１０／３５６，１６８号の一部継続出願であり、かつ２００３年１２月１８日出願の「ガス放電ＭＯＰＡレーザシステムの出力を制御する方法及び装置」という名称の米国特許出願出願番号第１０／７４０，６５９号と、２００４年２月２７日出願の「帯域幅推定改善を目指した平面モデル」という名称の米国特許出願出願番号第１０／７８９，３２８号と、「超小波長超狭帯域幅高電力レーザの光スペクトル出力の帯域幅を測定する方法及び装置」という名称の米国特許出願出願番号第１０／６０９，２２３号と、１９９９年３月２３日にＤａｓに付与された「狭帯域エキシマレーザのための作動範囲を選択する方法」という名称の米国特許第５，８８７，０１４号とに関連しており、これらの各々は、本発明と共通の出願人に譲渡されており、この各々の開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
【背景技術】
【０００２】
上記で参照した現在特許出願中の出願は、マルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムの別々のチャンバ内へのフッ素注入を各チャンバに対して別々に制御し、一方又は両方のチャンバに印加される電圧と、発振チャンバのエネルギ出力と、帯域幅とを表す信号を何らかの制御関数の一部として使用することを説明している。しかし、これらのシステムは有用であるが、このような制御を行うためのフッ素消費量に関連するレーザシステムパラメータをより良く利用するための改良が必要とされており、本出願は、これらの改良に関するものである。
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願出願番号第１０／９５３，１００号
【特許文献２】米国特許出願出願番号第１０／６３１，３４９号
【特許文献３】米国特許出願出願番号第１０／３５６，１６８号
【特許文献４】米国特許出願出願番号第１０／７４０，６５９号
【特許文献５】米国特許出願出願番号第１０／７８９，３２８号
【特許文献６】米国特許出願出願番号第１０／６０９，２２３号
【特許文献７】米国特許第５，８８７，０１４号
【発明の開示】
【０００４】
フッ素注入制御システムを有し、少なくとも１つの発振チャンバと少なくとも１つの増幅チャンバとを含み、増幅チャンバが、この少なくとも１つのパワーチャンバ内で増幅される発振器出力レーザ光パルスを生成するマルチチャンバエキシマ又は分子ハロゲンガス放電レーザシステム及びその作動方法を開示し、これは、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方の少なくとも第１の作動パラメータと少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの第２の作動パラメータの間の差とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方の少なくとも第３の作動パラメータに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ少なくとも１つの発振チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量と少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量とを表す出力を生成するハロゲンガス消費推定器と、フッ素消費推定器からの推定フッ素消費量出力と複数の重み付け注入決定判断を含むコスト関数とに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバに対するハロゲンガス注入の量を判断するハロゲンガス注入コントローラとを含むことができる。第１の作動パラメータは、少なくとも１つの増幅チャンバの出力パルスの帯域幅パルスエネルギとすることができ、第２の作動パラメータは、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバにおけるガス放電の発射時間を表すことができ、第３の作動パラメータは、少なくとも１つの発振チャンバの出力パルスのエネルギとすることができる。ハロゲンガスは、フッ素とすることができる。
【０００５】
少なくとも１つの発振チャンバにおけるフッ素消費量の推定は、公式：
【数１】
2008515231.tif 000003
に従って実行することができ、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるフッ素消費量の推定は、公式：
【数２】
2008515231.tif 000004
に従って実行することができる。ＭＯ及びＰＡのいずれか又は両方におけるＦ2の消費量のこれらの推定値は、何らかの基準値、例えば、それぞれのチャンバへのＦ2の最終注入の測定値、すなわち、何らかの期間又は何らかの数の発射又はその両方の組合せの後に設定された値、例えば、負荷サイクルを表す値、又はシステムの何らかの他の設計仕様によって課せられた値に比較することができる。
【０００６】
コスト関数は、
【数３】
2008515231.tif 000005
の場合には、発振器注入＝Ａの方を選択し、
【数４】
2008515231.tif 000006
の場合には、増幅器注入＝Ａ’の方を選択し、帯域幅＞選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｂの方を選択し、帯域幅＜選択限界値の場合には、発振器注入＝Ｃの方を選択し、少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＞選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｄの方を選択し、少なくとも１つの増幅チャンバに供給された電圧＜選択限界値の場合には、増幅器注入＝Ｅの方を選択することを含むことができる。Ａは、＝Ａ’＜Ｂ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｅとすることができる。フッ素注入コントローラは、最も高い得点を有する重み付け注入決定判断に基づいてフッ素注入を実施することができる。
【０００７】
本方法及び装置は、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの間の差に基づいて少なくとも１つの発振器及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成するハロゲンガス消費推定器を含むことができる。作動パラメータは、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバのそれぞれのものにおけるガス放電のタイミングとすることができる。本方法及び装置は、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの一方において消費されたハロゲンガスの量を少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの他方の作動パラメータに基づいて推定し、少なくとも１つの発振チャンバ及び増幅チャンバの他方において消費されたハロゲンガスの量を推定し、かつ少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバにおける推定ハロゲンガス消費量を表す出力を生成するハロゲンガス消費推定器を含むことができる。作動パラメータは、Ｅ９５とすることができる。本方法及び装置は、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータと少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費の量を示す少なくとも１つのパラメータとに基づいて、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの各々において消費されたハロゲンガスの量を推定し、少なくとも１つの発振チャンバのハロゲンガス消費量を表す出力と少なくとも１つの増幅チャンバのハロゲンガス消費量を表す出力とを生成するハロゲンガス消費推定器を含むことができる。少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量を示す少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータトすることができ、その第１のパラメータは、少なくとも１つの発振チャンバ及び少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータの差であり、その第２のパラメータは、少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータであり、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量を示す少なくとも１つの作動パラメータは、少なくとも２つの作動パラメータとすることができ、その１つは、少なくとも１つの発振チャンバの作動パラメータであり、その１つは、少なくとも１つの増幅チャンバの作動パラメータである。コスト関数は、より高い重み係数を有する別の重み付け注入決定判断が存在しない限り、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定値が少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合に、ハロゲンガスを少なくとも１つの発振チャンバに注入する第１の重み係数を有する決定と、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定値が少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定値を超えた場合に、ハロゲンガスを少なくとも１つの増幅チャンバに注入する第２の重み係数を有する決定とを含むことができる。他の重み付け注入決定判断は、帯域幅が帯域幅の範囲内で高又は低で仕様外であるか否か、及び電圧が電圧の範囲内で高又は低で仕様外であるか否かの群、又は他のパラメータから選択することができる。ハロゲンガス消費量の推定は、発振チャンバ及び増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づくことができる。少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づいており、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づいている。ハロゲンガス消費量の推定は、発振チャンバ及び増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づくことができる。少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づくことができ、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づくことができる。ハロゲンガス消費量の推定は、発振チャンバ及び増幅チャンバのそれぞれのものにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた作動パラメータの測定された変化に基づくことができる。少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第１の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの発振チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第２の作動パラメータの測定された変化とに基づくことができ、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス消費量の推定は、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量の実験的に判断された変化に相関付けられた第３の作動パラメータの測定された変化と、少なくとも１つの増幅チャンバにおけるハロゲンガス含有量に実験的に判断された変化に相関付けられた第４の作動パラメータの測定された変化とに基づくことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
ここで図１を参照すると、レーザガス利得媒体を形成するマルチチャンバエキシマ又は分子ガス放電レーザガスにおいてガス放電を引き起こす電極間の放電間のタイミングの変化、例えばｄｔＭＯＰＡと、チャンバにおけるＦ2の量の変化、すなわち、チャンバ、例えば、本発明の実施形態の態様に従って有用な発振チャンバ（ＭＯ）及び増幅チャンバ（ＰＡ）におけるフッ素の消費の量の指示とに関する代表的なプロットを示している。これはまた、ｄｔＭＯＰＡを何らかの基準値ｄｔＭＯＰＡREFに戻すために求められる注入の量（ΔＦ2）を表し、これは、負の注入（すなわち、注入は不要）ΔＦ2(1)又は正の注入ΔＦ2(2)とすることができる。このプロットでは、Ｆ2含有量は、任意の単位で横軸上にあり、ｄｔＭＯＰＡは、任意の単位で縦軸上にある。類似のプロットの作成は、他の作動パラメータの関係に対して、例えば、Ｅ９５％又は単にＥ９５としても公知である中心波長を中心とするスペクトルの中心波長の両側で含まれるエネルギのある一定のパーセント、例えば９５％の積分によって測定された時の帯域幅と、チャンバに印加される電圧、例えば、各チャンバに対する各半導体パルス電力システム（ＳＳＰＰＭ）の各圧縮ヘッドのピークコンデンサでの両方のチャンバに印加される共通電圧と、チャンバの１つ、例えば発振チャンバのエネルギ出力ＥMOとに対して行うことができる。
【０００９】
好ましい実施形態は、主発振器電力増幅器マルチチャンバエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステム（ＭＯＰＡ）であるが、システムはまた、他の発振器／増幅器構成、例えば、単なる第１ステージの出力の誘導放出増幅と対照的に、例えば、電力発振器第１ステージが線狭窄化されておらず、増幅器第２ステージが発振器ステージ、例えば、増幅器として作用する不安定な発振器ステージである、例えば、主発振器電力発振器（ＭＯＰＯ）、電力発振器電力増幅器（ＰＯＰＡ）、又は電力発振器電力発振器（ＰＯＰＯ）構成などを有するように構成することができることが当業者によって理解されるであろう。また、このような構成の各々においては、線狭窄化の有無を問わず、第１の発振器ステージの出力は、発振器であるか否かを問わず、第２のステージで何らかの方法で増幅されることが理解されるであろう。特に反対であることを別段示さない限り、本明細書又は特許請求の範囲における主発振器ステージ又はチャンバ（ＭＯ）、及び／又は本明細書又は特許請求の範囲における電力増幅器ステージ又はチャンバ（ＰＡ）への言及は、増幅のためにあらゆる増幅器の第２のステージ又はチャンバ内へ出力を給送するあらゆる発振器の第１のステージ又はチャンバを包含するほど十分に広義であると考えるものとし、発振チャンバ又は発振器ステージという用語は、あらゆるこのような発振器ステージを包含するほど十分に広義であり、増幅器ステージ又はチャンバという用語は、あらゆるこのような増幅器ステージを包含するほど十分に広義である。
【００１０】
あらゆるパラメータ又は作動パラメータの組合せを用いて、ρiで示す１つ又はそれよりも多くの調節可能な感度パラメータを通じていずれか又は両方のチャンバにおける消費フッ素を推定することができ、ここで、ｉは、組内のｉ番目の感度パラメータを示している。感度パラメータは、パラメータの１つ又はそれよりも多くの測定値のフィードバックを用いて調節することができる。感度ρiの初期値は、実験的に又は物理学に基づく原則を用いて決めることができる。図１は、本発明の実施形態の態様に従って有用である例えばＭＯチャンバとＰＡチャンバにおけるｄｔＭＯＰＡとＦ2濃度の一般的な感度プロットを示している。
【００１１】
ここで図３を参照すると、例えば、フッ素消費推定器を含むことができるフッ素（Ｆ2）注入制御システム２０を示すものであり、フッ素消費推定器は、例えば、パラメータの値と、同じ又は他のチャンバにおけるＦ2の消費量を示す及び／又はそれに相関付けられた例えば通常作動の何らかの望ましいレベルでの何らかの望ましい基準値との差を表すいくつかの入力信号、例えば帯域幅ＢＷ２６、例えばＥ９５、発振チャンバと増幅チャンバの間の放電タイミングｄｔＭＯＰＡ、印加高電圧Ｖ３０、及びチャンバ例えば発振チャンバのエネルギ出力Ｅmo３２を採用することができる。Δ値は、パラメータの実測値と何らかの望ましい基準値、例えばＢＷREFとの間の差を表すことが理解されるであろう。
【００１２】
フッ素消費推定器は、フッ素消費量（推定ΔＦ2）を表すこれらの入力を利用して、例えば、発振チャンバにおける推定フッ素消費量
【数５】
2008515231.tif 000007
４０、及び／又は増幅チャンバにおける推定フッ素消費量
【数６】
2008515231.tif 000008
４２を計算する。
【数７】
2008515231.tif 000009
４０及び
【数８】
2008515231.tif 000010
４２の値は、フッ素注入コントローラ２４に入力され、フッ素注入コントローラ２４は、コスト関数４０を使用して、発振チャンバに関するフッ素注入量Ｆ2ＩＮＪMOと、発振器セクション又はチャンバに関するＦ2ＩＮＪPAとを生成し、その注入値は、発振チャンバ又は増幅チャンバへの周期的フッ素注入に利用される。システムは、単に期間によってではなく、例えば、期間と発射回数又は負荷サイクルなどとの組合せ、又は例えば一方又は他方のチャンバにおけるＦ2の消費量が異常であるという何らかの他の指示、例えば推定フッ素消費値の一方又は両方、又は注入機会発生に対する他の周期的期間又は期間の周期的判断により、例えば２チャンバマルチチャンバレーザシステムでのチャンバの一方又は他方においてＦ2を注入する機会を定めることができることが理解されるであろう。
【００１３】
本発明の実施形態の態様によれば、システム２０は、何らかの期間にわたって、例えば３０秒毎に、例えば何らかの選択基準値と比較して、フッ素消費量指示パラメータ、例えば、Ｅ９５、ｄｔＭＯＰＡ、Ｖ、及びＥMOの１つの変化を蓄積することができる。プロットから、例えば図１に示すように、図１のこれらの値Ｅ９５、ｄｔＭＯＰＡ、Ｖ、及びＥMOの各々のいずれかの所定の値に対して、例えばフッ素消費量とＥ９５及びｄｔＭＯＰＡのプロットから取った値に対しては発振チャンバ、又は増幅チャンバのＶ及びＥMOの変化に関するフッ素消費量に関するプロットに対しては増幅チャンバにおいて消費されるフッ素量の推定値を判断することができる。これらの値を何らかの方法でＦ2消費推定器２２によって組み合わせて、発振チャンバ
【数９】
2008515231.tif 000011
４０及び増幅チャンバ
【数１０】
2008515231.tif 000012
４２における推定フッ素消費量の値を得ることができる。例えば、それぞれのチャンバに関するＥ９５、ｄｔＭＯＰＡ、Ｖ、及びＥMOの値を何らかの信用／信頼係数に従って組み合わせることができ、すなわち、例えば計器が測定しているものが何であってもそのＳＮ比（ＳＮＲ）と関連することができる重み付け比は、実際の消費量に関連する変数、例えば、Ｅ９５、ｄｔＭＯＰＡ、Ｖ、及び／又はＥMOを測定しており、ΔＥ９５、ΔｄｔＭＯＰＡ、ΔＶ、及びΔＥMOの値が定期的に得られる。信用／信頼係数の他の較正、例えば、実測値、例えば、測定スペクトルに対するピーク値の何らかのパーセント値での幅を使用して測定された帯域幅、例えば半値全幅（ＦＷＨＭ）が、Ｅ９５帯域幅に対する対応する値と実際に相関付けられ、次にフッ素消費量にも相関付けられる度合いも、同様に考慮に入れることができる。
【００１４】
２つの値がそれぞれのチャンバにおける推定フッ素消費量の計算に使用される場合、各このような変数に関する推定フッ素消費量は、それを何らかの信頼／重み付け係数αと関連付けることができ、等しくＳＮＲによって影響を受けた信号に対しては、αを０．５とすることができ、一方、他方の信頼／重み付け係数（１−α）も、次に０．５、すなわち、２つの等しい重み付けとすることができる。しかし、１つの信号が例えば関連の値の測定において優れたＳＮＲを有する時、より高いα、例えば、０．７５を有することができ、他方の値（１−α）は、０．２５になる。このようにして、２つ又はそれよりも多くのこのような信号を利用すると、各々が例えばＥ９５、ｄｔＭＯＰＡ、Ｖ、及び／又はＥMOに対する実際の値又はそれに対する値の変化に対するその感度において比較的ノイズを発生するものなどであったとしても、より信頼性の高い、例えばノイズが少ない信号（
【数１１】
2008515231.tif 000013
４０及び／又は
【数１２】
2008515231.tif 000014
４２）を組み合わされた複数の信号を使用して得ることができる。
【００１５】
従って、本発明の実施形態の態様によれば、
【数１３】
2008515231.tif 000015
４０及び
【数１４】
2008515231.tif 000016
に対する値は、例えば、以下のようにフッ素消費推定器２２において計算することができる。
【数１５】
2008515231.tif 000017
及び、
【数１６】
2008515231.tif 000018
ここで、
【数１７】
2008515231.tif 000019
は、測定期間中、例えば３０秒毎の発振チャンバにおけるＦ2の推定消費量であり、
【数１８】
2008515231.tif 000020
は、増幅チャンバに対する同じもの、すなわち、τ0から例えば３０秒に等しいτ1までのΔＦ2MOの推定値及びΔＦ2PAの推定値であり、消費Ｆ2の値は、ΔＥ９５、ΔｄｔＭＯＰＡ、ΔＶ、及びΔＥMOから得ることができる。例えば、Ｆ2の推定変化の電圧の変化の例えばＦ2プロットを見ると、実測の例えば電圧は、基準電圧と比較することができ、この基準値は、望ましい作動点になるように選択され、望ましい作動点は、例えば、システムが初期ガス充填／補充の後に落ち着く電圧とすることができ、曲線に基づくＶREFよりも小さい実測電圧は、電圧を実測値からＶREFに戻すことを期待して注入する推定Ｆ2量を与える。
【００１６】
次に、これをそれぞれのチャンバにおけるＦ2の消費量の１つ又はそれよりも多くの他の推定値と組み合わせて、信頼値αを掛け、上述のように例えば、
【数１９】
2008515231.tif 000021
の値を得る。しかし、図２に示すように、それぞれのチャンバにＦ2を注入しても、図２示す最初の２回の注入によって全体的に示すように、ＶREF値、図２の場合はｄｔＭＯＰＡREF値への戻りが達成されない場合がある。当業技術で公知であり、かつ上述の現在特許出願中の特許出願に説明されているように、システムは、所定のサイズの注入に対する実測された応答及びパラメータの観察された変化、例えば電圧又はｄｔＭＯＰＡの変化からプロットを適応的に修正することができる。従って、例えば図１のプロットの傾斜は、ΔＦ2注入サイズが、図２の右側に示すような種類の作動が発生している、すなわち、注入がパラメータを実質的に基準点に戻すような実測パラメータの所定の変化に対するサイズに落ち着くように適応的に変更することができる。
【００１７】
図２はまた、例えば、到達が望まれない何らかの厳しい限界値の数パーセント以内とすることができる柔軟な限界値の存在を示している。主要な決定判断の１つが、例えば電圧又はｄｔＭＯＰＡがその柔軟な限界値に到達したので注入を行うべきであることを示す状況があると考えられる。コスト関数による決定判断重み係数は、例えば、ΔＦ2が一方又は他方のチャンバにおいてより大きいという指示よりも大きい、例えば、「ｐｒｅｆＰＡ  ＩＮＪ」に対するコスト関数に関して本明細書で説明するように、決定重み係数Ｖ＞柔軟な限界値＝１０であろう。
【００１８】
コスト関数は、次に、例えば、最高の重み付け値を有するものが選択された判断とすることができる、例えば単に１組の重み付け決定判断とすることができる。例えば、この決定は、発振チャンバにおける推定消費量
【数２０】
2008515231.tif 000022
４０が増幅チャンバにおける推定消費量
【数２１】
2008515231.tif 000023
４２よりも大きい場合には、発振チャンバに注入すること、すなわち、「ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ＝５」とすることができる。これを使用して、各々が、他の制御決定のいずれかが真である場合に超えるような重量、例えば５を有する状態で、発振チャンバＭＯ又は増幅チャンバＰＡへの注入の間で選択することができる。すなわち、帯域幅の値、例えばＥ９５が、例えば本出願人の譲渡人によって販売されているある一定のモデルのレーザシステムにおいて柔軟な限界値を超える、例えば帯域幅の上の境界１．２ｐｍに対して何らかの所定の限界値の２０％に等しい場合、すなわち、２０％上限値が１．２ｐｍ−．２４ｐｍ＝０．９６ｐｍである場合には、発振チャンバへ注入する「ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ」制御決定もあると考えられる。真であるこの決定には、例えば７という重み付けを割り当てることができる。また、帯域幅の値、例えばＥ９５は、帯域幅の何らかの特定の下限値の５％以内、例えば８ｐｍであり、すなわち、下限値が決定境界であり、０．８ｐｍ＋．０４ｐｍ＝０．８４ｐｍであり、発振チャンバへ注入する「ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ」決定もあると考えられる。真であるこの決定に対する割り当てられた重み付けは、例えば９とすることができる。同様に、例えば電圧の値が、例えばチャンバにおける電極間で放電を開始するピークコンデンサに対するチャンバ電圧の特定の上限値の２０％以内、例えば１１５０Ｖであり、すなわち、意思決定境界の上限値が、例えば１３００Ｖ−２６０＝１１４０Ｖである場合、他の重み付け決定、例えば、増幅チャンバへの好ましい注入「ｐｒｅｆＰＡ  ＩＮＪ」があるであろう。この決定は、例えば８に重み付けすることができ、同様のより低い決定境界は、９００Ｖの５％、すなわち、９００Ｖ＋４５Ｖ＝９４０Ｖとすることができる。この決定に関する重み付けは、例えば１０とすることができる。
【００１９】
従って、フッ素注入コントローラ２４は、真であると共に最高の重み付けを有する決定判断に基づいて発振チャンバＦ2ＪＮＪMO５０又は増幅チャンバＦ2ＩＮＪPA６０に注入する決定をする。例えば、等しく重み付けされる推定消費量値は、一方が真である、すなわち、他のより高い重み付け決定のいずれも真、すなわち、ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ（Ｅ９５upper）＝７、ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ（Ｖupper）＝８、ｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ（Ｅ９５lower）＝９、及び／又はｐｒｅｆＭＯ  ＩＮＪ（Ｖlower）＝１０でない限り、
【数２２】
2008515231.tif 000024
又は
【数２３】
2008515231.tif 000025
のどちらが真であるかに基づいて選択されることになり、その場合、発振チャンバＦ2ＪＮＪMOへの注入又は増幅チャンバＦ2ＩＮＪPA６０への注入は、例えば、２つ又はそれよりも多くが真であったとしても、最高値を有するその後の判断の１つから選択される。コントローラ２４は、コスト関数において他の係数、例えば、何らかの柔軟な限界値又は最終注入からの何らかの選択時間に到達するか又はそれを超える一方又は両方のチャンバの又は組み合わされた消費率を有することができる。
【００２０】
簡単に言えば、フッ素注入制御アルゴリズムは、例えば、フッ素含有量感受性でもあるＭＯチャンバ及びＰＡチャンバにおけるフッ素消費量推定に基づく何らかの選択作動帯域からレーザシステムが出たために、何らかの他のシステムパラメータに二重チャンバのそれぞれへの注入が必要でない限り、少なくとも線形に近い状態が２つの変化の間に存在するある一定の領域内でフッ素消費量によって綿密に追跡され、すなわち、Δ曲線、例えばΔＥ９５／ΔＦ2曲線の傾きを使用して説明されることを本出願人が既に発見しているレーザ作動パラメータの値に基づくものである。消費量推定パラメータとしては、例えば、エネルギ（ＰＡチャンバ）、エネルギ（シャッター）、エネルギ（スキャナ）、エネルギ（ウェーハ）、例えば、ウィンドウサイズにわたって定められる負荷サイクル、発射繰返し数、時間、あらゆる実測されたガス（フッ素を含む）濃度（ＭＯチャンバ）、あらゆる実測されたガス（フッ素を含む）濃度（ＰＡチャンバ）、圧力（ＭＯチャンバ）、圧力（ＰＡチャンバ）、温度（ＭＯチャンバ）、及び温度（ＰＡチャンバ）などを含むことができる。
【００２１】
チャンバの一方又は他方において必要と判断される注入の注入サイズは、先に参照した消費量推定から判断することができる。プロットデータから示される注入量は、注入量を判断するためにその後にチャンバ総圧力に関連付けられる、例えば何らかのｋＰａ値に変化する必要があると考えられる単位、例えばフッ素含有量のパーセントとすることができる。
コントローラ２４は、図２に示すように、予め選択された周期的に発生する注入機会に従って作動することができ、注入機会でコスト関数の結果に従って一方のチャンバ又は他方のチャンバに注入を行うことができる。図２に示すように、注入機会を示す第２と第５番目の矢印の間では、コントローラ２４は、コスト関数の結果に従って注入が不要であると判断し、例えば消費量が基準レベル未満から基準レベルを超えるまで例えばｄｔＭＯＰＡを取ることを可能にし、次に、注入を開始することができる。時には、ＭＯ及びＰＡにおける推定消費量が等しくなる場合があり、また、他の決定判断が偽りである場合があり、その場合、各チャンバにおける消費量がそれぞれの注入機会の期間に先行する期間中に同じであるためにたとえ好ましい注入信号がないとしても、予め選択されたサイズか又は２つのチャンバにおける推定消費量の注入を２つのチャンバの各々に交互に行うようにコントローラをプログラムすることができる。
【００２２】
注入機会が発生した時にコントローラを起動させ、注入機会が、注入が発生する可能性はあるが例えばコスト関数に従って発生することはできない時期と定められた状態で、注入すべきか否か及び場所を判断することができる。注入機会の周期性及び／又は実際の発生は、例えば、負荷サイクル及び／又は最終注入から行われた発射回数、及び／又は最終注入からの時間期間、及び／又はフッ素消費量推定の一方又は両方などの要素に依存する場合がある。従って、注入機会の発生は、例えば、所定のガス補充又はチャンバ使用寿命にわたってコントローラ２４により選択的かつ適応的に変えることができる。
【００２３】
本出願人はまた、レーザシステムの使用状態にわたって発生する各ガス補充における望ましい最適運転圧力をより厳密に到達することによってマルチチャンバレーザシステム、例えば、ＭＯＰＡエキシマ又は分子フッ素ガス放電レーザシステムを改善することができると判断している。この目的のために、本出願人は、フッ素ガス補充量を判断するためのチャンバ圧力の判断は、チャンバができるだけ作動温度及び圧力に近い状態であり、かつ作動条件のできるだけ近くでガスを動的に循環させて行うべきであり、従って、全ては、ガス循環システム、例えば、本出願人の譲渡人によって販売されているレーザチャンバ、例えば、７ＸＸＸシリーズ及びＸＬＡシリーズレーザシステムにおけるかご形ファンで行うべきであると判断している。このようにして、補充を目的として、かつ例えばシステム作動中に使用されるのと同じセンサで測定されたレーザシステムガス温度及び圧力は、補充後かつシステムが作動中の時の圧力及び温度に酷似した何かを感知することになり、その結果、補充量がより適正なものになる。
【００２４】
本出願で開示する実施形態の態様の範囲から逸脱することなく、多くの変更及び変形を行うことができ、かつ、これらの態様は、１つ又はそれよりも多くの好ましい実施形態を示すものに過ぎないことが、当業者によって理解されるであろう。特許請求の範囲によって包含される発明は、好ましい実施形態に限定されると考えるべきではなく、当業者によって理解されるように、変更及び修正して好ましい実施形態の一部として開示する特徴の多くの均等物を含むことができる。例えば、複数のチャンバにおける電極間の放電の実施の間のタイミングとして厳密に定められるｄｔＭＯＰＡは、タイミングのこの差を反映するレーザ作動の多くの他のパラメータ、例えば、様々なチャンバ内の電極間の実際の放電の開始の検出、又は様々なチャンバの各々に関連したパルス電力システムに対するトリガ信号の発生、又は放電電極に対する電圧パルス又はゼロ交差を表す信号、又は例えば帯域幅、線量、又は電圧の制御の理由でＭＯチャンバとＰＡチャンバ内のレーザ発射間の時間の差を最適化しようとするＸＬＡシリーズＭＯＰＡレーザシステムにおいて本出願人の譲渡人によって販売されているような例えばコントローラによって使用されるか又は生成することができる様々な信号のいずれかによって反映されるか又は代用することができる。上記及び他のパラメータは、厳密には、ｄｔＭＯＰＡによって表されるタイミング差であり、例えば、２チャンバシステムにおいて、一方のチャンバにおける電極間の利得媒体におけるガス放電の発生と他方のチャンバにおける同じ発生との間、又はより多くのチャンバのうちの３つを有するマルチチャンバシステムにおけるチャンバの全ての又はある一定の組合せの間のタイミング差を判断する際に利用することができる。従って、ｄｔＭＯＰＡは、本出願及び特許請求の範囲では、例えば、パラメータｄｔＭＯＰＡに関連する例えば発振チャンバ及び増幅チャンバの作動間のタイミングの上記及び他の測定値の全てを包含するのに十分に広義であるように使用されると考えるべきであり、ｄｔＭＯＰＡと同様に、例えばフッ素消費量のためにマルチチャンバレーザシステムの様々なレーザチャンバの一方又は他方におけるフッ素含有量の変化を反映し、従って、フッ素消費量の推定に使用することができる。また、他のパラメータは、フッ素消費推定器内のフッ素消費量、増幅器レーザのエネルギ出力、別々に制御される場合の発振チャンバ又は増幅チャンバに対する電圧、及び別々に制御される場合の発振チャンバ又は増幅チャンバのＳＳＰＰＭに対する充電電圧入力と相関付けられることを示すことができる。
上述のように、ｄｔＭＯＰＡは、例えば、ＭＯＰＯ構成のシステム、ＰＯＰＡ構成のシステム、及びＰＯＰＯ構成のシステムを含む他の形式のマルチチャンバレーザシステムの間の放電タイミングの差を含むように意図されている。
【００２５】
本発明において利用される様々な作動パラメータは、実際のパラメータを測定するある一定の方法の計器の機能内で実際の作動パラメータの推定又は概算であるに過ぎないことも当業者によって注意されるであろう。例えば、Ｅ９５は、所定の中心波長でのスペクトル曲線に基づく実際の積分として様々な方法で測定することができ、その値の変化は、例えばＭＯチャンバにおけるＦ2の濃度の実際の変化に相関付けることができる。これは、例えば、本出願人の譲渡人の７０ＸＸシリーズ又はＸＬＡ−ＸＸＸシリーズ単一チャンバ及びマルチチャンバにおいて、又は例えば携帯式分光分析計器、例えばＬＴＢ回折格子と共に使用されるなどのいわゆる搭載型分光分析計器を使用して行うことができ、かつ本出願人の譲渡人に譲渡され、先に本明細書において引用により組み込まれている現在特許出願中の出願で説明するように、較正されてＥ９５の値と相関付けられたピーク最大値の数パーセントの関数としての帯域幅の実際の測定値、例えばＦＷＨＭにその後に依存すると同時に本発明のシステムにおいて使用される例えばΔＥ９５／ΔＦ2を判断するために実験的に記録される結果を有する。パラメータ値は、ガス放電制御フィードバック又は他のフィードバック及び制御の理由で上述のようなレーザフィードバック及び制御システムのためにかつそのシステムにおいて使用されるものとすることができ、そのように使用される値が正確ではない程度まで、概算又は実験的に判断された相関関係であり、又は実際に測定される望ましい値が何であるかを示し、又はノイズ及びドリフト及び他の信号エラーを受けやすくて既存のレーザシステムフィードバック及び制御においてそのようなものとして使用される他の信号又は値から導出され、本発明の実施形態の態様において使用されるレーザ作動パラメータの測定に同じ程度まで使用可能であることを当業者は認めるであろう。マルチチャンバレーザシステム、例えば、ＭＯ発振チャンバとＰＡ増幅チャンバを有するＭＯＰＡシステムにおける２つのチャンバの一方又は他方に関連するある一定のレーザ作動パラメータは、同じチャンバ又は他方のチャンバにおける例えばＦ2の濃度の変化に対する値の変化による良好な指示であると本出願人は判断しており、かつ測定誤差、信号ノイズのあらゆる範囲内で本発明の実施形態の態様に従ってそのようなものとして使用することができ、何らかの他の実測値に相関付けるか又は較正する必要性があり、本発明では、例えば、Ｅ９５が実際に測定され、又は測定するように試みられ、及び／又は正確に測定して実際のＥ９５を取得する必要はない。同じことは、他のパラメータ、例えばｄｔＭＯＰＡに対しても当て嵌まる場合がある。
【００２６】
同様に、本発明の態様に従って本出願で参照されるものなど及び同様の使用可能なパラメータのようなパラメータの測定値の精度を改善するために、例えば、レーザパルス繰返し数でのいくつかのレーザパルスにわたる所定の値を表す信号の積分、及び／又は何らかのウィンドウ、例えばレーザパルスのローリングウィンドウにわたるこのようなパラメータに対して判断された値の平均化、及び重み付け平均化の使用のような技術、及び計器測定信号処理の当業技術で公知の同様の技術を本発明の態様と共に使用することができ、このような詳細は、本発明の範囲ではなく、又は本発明の様々な態様を規定する特許請求の範囲で具体化される概念の理解に必要なものではない。本発明は、フッ素消費量との有効な相関関係がある限り、このようなものが本明細書で説明するシステムに利用可能であるならば、あらゆる形態、かつ実際の正確に判断された値と同じ方法で何らかの作動パラメータを表すあらゆる精度でこのような信号を使用することを考えている。
更に、他のハロゲンベースのマルチチャンバレーザシステムでは、本発明に開示する本発明の実施形態の態様、例えば、１つのステージが半導体レーザであるＸｅＣｌ、ＸｅＦ、及び多段レーザシステム、例えば、Ｎｄ：ＹＡＧ又はＮｄ：ＹＬＦシードレーザ及び同様のレーザシステムを利用することができる。
【００２７】
ΔＦ2実際（消費されたＦ2）、最大値、例えば半値全幅（ＦＷＨＭ）の何らかの百分率を測定した帯域幅、圧力、温度、ビーム品質の他の尺度、例えば、エネルギ安定性、波長安定性、ビーム指向、ビームプロフィール安定性などを得るために、いずれかのチャンバからの出力パルスエネルギ、シャッター、又はＢＤＵの終点、又は利用工具、例えばステッパ／スキャナ集積回路リソグラフィツールの何らかの位置でのパルスエネルギ、例えば、何らかの事前の時間ウィンドウにわたる何らかの重み付け平均化とすることができる負荷サイクル、同様に重み付け及び／又は平均化された経過時間とすることができるパルス繰返し数を含み、かつ例えばそれぞれのチャンバにおるＦ2含有量の実際の変化のフッ素検出器による何らかの実際の測定値を含むいずれかのチャンバの他のパラメータは、例えば、同じか又は他方のチャンバにおけるＦ2の消費量を示すものとして利用することができることが、当業者によって理解されるであろう。また、上述のパラメータ及び上述の他のパラメータは、一方の別のものに対する第１又はより高い次数の導関数又はその組合せの形、例えば、ｄＶ／ｄＥMO又はｄｖ／ｄＥPA又はΔｄＶ／ｄＥMO又はΔｄＶ／ｄＥPAで利用することができることが理解されるであろう。更に、パラメータは、例えば、α1、α2．．．αnの重み係数でのＦ2消費量の例えば推定を判断するために２つよりも多い組合せで使用することができ、ここで、α1＋α2．．．＋αn＝１である。これらの感度パラメータは、レーザシステムの使用寿命にわたって及び／又は別のパラメータではなく与えられたパラメータに対して調節可能とすることができる。
【００２８】
本出願人は、マルチチャンバレーザシステム、例えば、本出願人の譲渡人のＣｙｍｅｒによって販売されているＸＬＡシリーズレーザシステムにおいては、フッ素管理システムは、１つのチャンバ、例えばＭＯチャンバにおいてフッ素過多になるようなパターン及び量で注入することができることに注目した。また、本出願人は、この状態には、例えば、出力エネルギ効率を最大にするために必要とされるｄｔＭＯＰＡの極値（異常に短い）が伴う可能性があると判断した。これは、ＭＯＰＡレーザでのｄｔＭＯＰＡの最適値を、それ自体でＭＯチャンバにおけるフッ素濃度の指標として及びフッ素注入の頻度及びサイズに関する判断のためのガス放電管理アルゴリズムへの入力として使用することができることを本出願人に示したものである。また、本出願人は、マルチチャンバレーザ、例えば、ＭＯＰＡシステムの出力エネルギが、発振器の出力パルスの相対的タイミング及び増幅器の光学利得に強く依存することにも注目している。ＣｙｍｅｒのＭＯＰＡエキシマレーザにおいては、例えば、２つのチャンバの放電電圧（Ｖｃｐ）のゼロ交差間のタイミングが測定され、例えば、本出願人の譲渡人によって販売されているＸＬＡシリーズレーザシステムにおいて行われるように出力エネルギ効率を最適化するために、適応制御することができる。最適Ｖｃｐタイミングは、１つの成分として、ＭＯ放電Ｖｃｐゼロ交差とＭＯ出力光パルスの出現の間の時間を含むことができる。これは、発振器信号が例えば最大の増幅になるのに掛かる時間であり、ＭＯレーザ媒体の利得の非常に強い関数であり、ＭＯレーザ媒体の利得は、次に、ＭＯガス混合体におけるフッ素濃度の関数である。レーザ作動の一般的な状態では、フッ素濃度が大きいほど利得が増大し、Ｖｃｐゼロ交差（ポンプ電流の最大値とほぼ一致）からＭＯレーザパルスのピークの出現までの時間量が短くなる（これは、ある一定の限界値まで真であり、その理由は、過度に高いＦ２濃度では、放電自体が遅延して不安定になる可能性があり、これが、レーザ利得の減少をもたらす可能性があるからである）。フッ素制御のためのＭＯのＶｃｐ−ＭＯの光タイミングの使用は、先に参照した現在特許出願中の特許出願に説明されている。本出願人は、同じ目的のためにＭＯのＶｃｐ−ＰＡのＶｃｐ遅延の使用をここで提案する。それは、ＰＡチャンバにおる放電の発射の制御システムタイミングに対する成分（恐らく最大の寄与要因）としてＭＯのＶｃｐの時間−ＭＯの光時間を含む密接に関連する量である。例えば、ＭＯのＶｃｐ−ＰＡのＶｃｐを使用する利点は、この量がより容易に測定可能であり、かつ実際に例えばＸＬＡシステム上で容易に利用可能であるということである。それが同じく含むことができる別の成分は、ＰＡのＶｃｐゼロ交差とピークＰＡ利得との間の時間である。この量は、遥かに小さく、かついずれのチャンバのフッ素濃度からも比較的独立していると考えられている。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施形態の態様に従って利用される、レーザシステム作動のパラメータ、例えば、発振チャンバ及び増幅チャンバにおける放電間の差のタイミング（ｄｔＭＯＰＡ）と発振チャンバ及び増幅チャンバにおいて消費されるフッ素の変化とに対する代表的な関係を示す図である。
【図２】注入が本発明の実施形態の態様に従って起こる場合もあれば起こらない場合もある注入機会の時間と、本発明の実施形態の態様に従って注入に基づき、かつ注入後にＦ2が消費される時の得られる作動パラメータの変化とを表すグラフである。
【図３】本発明の実施形態の態様によるフッ素注入制御システムをブロック図形式で概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００３０】
２０  フッ素注入制御システム
２２  フッ素消費推定器
２４  フッ素注入コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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