(57)【要約】マイクロミラー制御システムは、第１の端でボトムレイヤーに結合し軸の周りに回転するように構成されたストッパープレートを備えたマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えている。マイクロミラー制御システムは、また、底面で前記ストッパープレートに通信可能に結合され、光を反射するように構成された反射上面を有するマイクロミラーを備えている。マイクロミラーに接触するストッパープレートの軸の周りの回転は、前記マイクロミラーの方向を調整するように構成されている。１つの局面において、マイクロミラー制御システムは、前記ストッパープレートに通信可能に結合されて前記ストッパープレートの軸の周りの回転を制御するように構成された駆動デバイスを備えている。本発明の効果は、分散的に制御されるマイクロミラーの並進運動及び回転運動を精密に制御する能力を含んでいる。
2008533515.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、
前記ボトムレイヤーに通信可能に結合され、軸の周りに回転するように構成されたストッパープレートと、
上面と底面とを有し、前記底面上で前記ストッパープレートと通信可能に結合され、光を反射するように構成された反射面を前記上面に有するマイクロミラーとを備え、
前記マイクロミラーに接触する前記軸の周りの前記ストッパープレートの回転が、前記マイクロミラーの方向を調整するように構成されているマイクロミラー制御システム。
【請求項２】
前記ストッパープレートと通信可能に結合され、前記軸の周りの前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された駆動デバイスをさらに備える請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を含んでいる請求項２記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項４】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを含んでいる請求項２記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項５】
前記ストッパープレートは、上面と底面と支持部材とを有し、前記支持部材は、第１の端と第２の端とを有し、前記第１の端は前記マイクロミラー制御システムボトムレイヤーに結合され、前記第２の端は前記ストッパープレート底面に結合されている請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項６】
前記マイクロミラー底面に設けられた複数のマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレートに通信可能に接触して、前記マイクロミラーの前記方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項７】
前記ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に通信可能に接触して、前記マイクロミラーの前記方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項８】
マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、
第１の端と第２の端とを有し、前記第１の端が前記ボトムレイヤーに結合された支持部材と、
前記支持部材第２の端の周りの回転軸を提供する前記支持部材第２の端に回転可能に結合されたストッパープレートと、
マイクロミラーに通信可能に結合され、前記ストッパープレートに通信可能に結合された複数のマイクロミラーポストと、
前記ストッパープレートに通信可能に結合されて前記ストッパープレートの回転を制御する駆動デバイスとを備え、
前記ストッパープレートは、前記軸の周りに回転して前記マイクロミラーに接触し、前記マイクロミラーの方向を制御するマイクロミラー制御システム。
【請求項９】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を有する請求項８記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１０】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを有する請求項８記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１１】
前記マイクロミラーは、底面と上面とを有し、前記上面は光を反射するように構成された反射面を有する請求項８記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１２】
前記ストッパープレートは、上面と底面と、前記ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストとを有し、前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１３】
前記ストッパープレートは、上面と底面と、前記ストッパープレート底面に設けられたマイクロミラーポストとを有し、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレート上面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１４】
前記ストッパープレートは、前記ストッパープレート底面に設けられて前記マイクロミラーの方向を調整するストッパープレートポストをさらに有する請求項１２記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１５】
前記ストッパープレートは、前記マイクロミラー制御システムボトムレイヤーに設けられて前記マイクロミラーの方向を調整するストッパープレートポストをさらに有する請求項１３記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１６】
マイクロミラー、少なくとも１つのストッパープレート、及びマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法であって、
前記少なくとも１つのストッパープレートを回転させて前記マイクロミラーの方向を調整し、
前記回転させたストッパーの上に前記マイクロミラーを静止させ、
前記調整された方向に従って、前記マイクロミラーからの光を反射させる方法。
【請求項１７】
前記ストッパープレートに通信可能に結合された駆動デバイスが、前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されている請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記マイクロミラー制御システムは、マイクロミラー底面に設けられた複数のマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレートに通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１６記載の方法。
【請求項１９】
前記マイクロミラー制御システムは、ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、マイクロミラー底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１６記載の方法。
【請求項２０】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極である請求項１７記載の方法。
【請求項２１】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブである請求項１７記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
[技術分野]
本発明は、一般的にマイクロミラーに関し、より具体的にはマイクロミラー制御に関する。
【０００２】
[発明の背景]
マイクロミラーは、従来の光電装置の替わりに、またはこれに追加して、様々な光学的応用に使用されている。マイクロミラーは、極めて精密な制御を伴う回転運動及び並進運動によって動かすことが好ましい。インサートメソッドは、分散的に制御されるマイクロミラー（ＤＣＭ）方法の一例である。
【０００３】
位相オンリーピストンスタイルマイクロミラーが、位相適用光学応用に使用され、回転マイクロミラーが、光をそらせることに使用されてきた。これらのマイクロミラーは、たいてい、静電力と弾性力との間の釣り合いによって定められる連続的な変位を有するように制御された。アナログ制御は、デジタル制御または分散制御よりも複雑であり、ＭＯＳ、ＣＭＯＳのような公知の半導体電子技術と互換性がない。また、静電力によって駆動されて連続的な変位を有するマイクロミラーは、電気力が機械構造の弾性力を超えると、古典的なスナップダウン現象を生じる。このスナップダウン現象は、マイクロミラーの並進運動及び回転運動の範囲を制限する。
【０００４】
駆動電圧が高いことは、静電力によって駆動されて連続的な変位を有するマイクロミラーを使用するにあたっての他の問題点である。ＩＣ要素と互換性を有するためには、マイクロミラーは、回路動作または制御電圧と互換性を有する低電圧で動作することが好ましい。
【０００５】
例えば、米国特許第４，５６６，９３９号、第５，０８３，８５７号、及び第６，２３２，９３６号におけるデジタルマイクロミラー装置のような従来のマイクロミラーアレイにおいては、各マイクロミラーは、電圧のデジタル制御によって駆動される。これは、大きな回転運動、低い駆動電圧を有し、公知の半導体電子技術と互換性を有している。しかしながら、自由度が一次元しかなく、即ち、１つの軸の周りにしか回転せず、２つのレベルの位置しか有していない。従って、マイクロミラーアレイは、単なる光学スイッチのアレイでしかない。
【０００６】
このため、マイクロミラーの回転運動及び並進運動の極めて精密な制御のためのシステム及び方法が必要とされている。
【０００７】
[発明の要約]
本発明は、従来技術の問題を解決し、分散的に制御されるマイクロミラーの回転運動及び並進運動の精密な制御を提供する。２００４年５月２７日出願の出願人の米国特許出願第１０／８５５，７１５号「２次元の回転運動自由度を有するマイクロミラーを備えた可変焦点距離レンズ」、出願人の米国特許第６，９３４，０７２号「２次元の回転運動自由度と１次元の並進運動自由度とを有するマイクロミラーを備えた可変焦点距離レンズ」、２００４年５月２８日出願の出願人の米国特許出願第１０／８５７，７１４号「マイクロミラーアレイレンズのアレイ」、及び、２００４年６月１８日出願の出願人の米国特許出願第１０／８７２，２４１号「マルチレベルポジションを有する分散的に制御されたマイクロミラー」に記載されているように、これらの開示は、あたかもここで完璧に記載されているかのように、参照として組み入れられ、独立して制御される２次元の回転運動自由度、または２次元の回転運動自由度及び１次元の並進運動自由度を有するマイクロミラーを備えたマイクロミラーアレイは、入射光を任意に変調する。これを実行するため、入射光は２次元の回転運動自由度、または２次元の回転運動自由度及び１次元の並進運動自由度の制御によって好ましい任意の方向に反射される必要がある。各マイクロミラーの独立した並進運動は、位相条件を満足する必要がある。ＤＣＭは多くの利点を有し、２次元の回転運動自由度及び／または１次元の並進運動自由度を有するので、ＤＣＭを備えたマイクロミラーアレイは、従来のマイクロミラーアレイよりもよりよいパフォーマンスを有する。
【０００８】
本発明のある実施形態では、マイクロミラー制御システムは、マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、支持部材の第１の端で前記ボトムレイヤーに通信可能に結合され、支持部材の第２の端で軸の周りに回転するように構成されたストッパープレートとを備えている。マイクロミラー制御システムは、上面及び底面を有し、前記ストッパープレートと底面で通信可能に結合されたマイクロミラープレートまたはマイクロミラーを備え、及び、上面で光を反射するように構成された反射面を備えている。マイクロミラーに接触するストッパープレートの軸の周りの回転は、マイクロミラーの方向を調整するように構成されている。
【０００９】
本発明の他の実施形態では、マイクロミラー制御システムは、ストッパープレートに通信可能に結合され、ストッパープレートの軸の周りの回転を制御するように構成された駆動デバイスを備えている。１つの側面では、駆動デバイスは、静電力によってストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を備えている。他の側面では、駆動デバイスは、機械力によってストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを備えている。
【００１０】
本発明の他の実施形態では、マイクロミラー制御システムは、マイクロミラー制御システム要素を支持するように構成されたボトムレイヤーと、支持部材とを備えている。支持部材は、マイクロミラー制御システムボトムレイヤーと第１の端で結合され、ストッパープレートと第２の端で回転可能に結合されている。支持部材は、ストッパープレートのための回転軸を支持して提供するように構成されている。ストッパープレートは、支持部材に回転可能に結合され、支持部材の周りに回転し、マイクロミラーポストを支持するように構成されている。マイクロミラーポストは、ストッパープレートとマイクロミラー底面とに選択的に結合されており、マイクロミラーポストは、ストッパープレートの上に置かれるように構成されている。マイクロミラーは、マイクロミラーポストに結合された底面と、光を反射するように構成された反射面を含む上面とを有している。駆動デバイスは、ストッパープレートに通信可能に結合され、ストッパープレートの回転を制御するように構成されている。マイクロミラーに接触するストッパープレートの軸の周りの回転は、マイクロミラーの方向を調整するように構成されている。
【００１１】
本発明の他の実施形態では、マイクロミラーと、少なくとも１つのストッパープレートと、マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーとを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法は、ストッパープレートを回転させてマイクロミラーの方向を調整し、回転したストッパーの上にマイクロミラーを置き、そして、調整された方向に従ってマイクロミラーからの光を反射するステップを包含する。ストッパープレートに通信可能に結合された駆動デバイスは、ストッパープレートの方向を制御するように構成されている。
【００１２】
本発明の利点は、分散的に制御されるマイクロミラーの並進運動及び回転運動を精密に制御する能力を含む。
【００１３】
本発明の種々の特徴は、添付の図面とともに以下の本発明の詳細な説明においてより詳細に記載されるであろう。
【００１４】
[図面の簡単な説明]
本発明は、類似の要素は類似の参照符号で示した添付の図面により、限定のためではなく、例示のために図示される。
【００１５】
図１Ａ〜１Ｅは、本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【００１６】
図２Ａ〜２Ｂは、本発明の他の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【００１７】
図３Ａ〜３Ｃは、本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムのストッパープレートの動作を示す模式図である。
【００１８】
図４は、本発明の実施の形態に係るマイクロミラー、少なくとも１つのストッパープレート、及びマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法のフローチャートである。
【００１９】
[実施形態の詳細な説明]
本発明は、添付の図面に示された実施の形態を参照して詳細に記載されるであろう。以下の記載では、多数の特定的な詳細が、本発明を完全に理解するために述べられる。しかしながら、これらの特定的な詳細のすべてまたはいくつかが無くても、本発明を実施できることは、当業者に明らかであろう。他の例では、良く知られたプロセスステップ及び／または構成は、本発明を不明瞭にしないために、詳細には説明されない。
【００２０】
図１Ａ〜１Ｅは、本発明の実施の形態に係る分散的に制御されるマイクロミラー（ＤＣＭ）１３０のためのマイクロミラー制御システム１００を示す。このマイクロミラー制御システム１００は、ストッパープレート１２０のような他のマイクロミラー制御システム構成要素を支持するように構成されたボトムレイヤー１０５と、支持部材１１０と、マイクロミラープレート、即ちマイクロミラー１３０とを備えている。支持部材１１０は、第１の端においてボトムレイヤー１０５に結合され、第２の端においてストッパープレート１２０と回転可能に結合されている。支持部材１１０は、ストッパープレート１２０のための回転軸を支持し、提供するように構成されている。ストッパープレート１２０は、支持部材１１０と回転可能に結合され、支持部材１１０の周りに回転してマイクロミラーポスト１２５を支持するように構成されている。マイクロミラーポスト１２５は、マイクロミラー１３０の底面１３５に結合されている。また、マイクロミラーポスト１２５は、ストッパープレート１２０に結合されている。マイクロミラーポスト１２５は、図１Ｂ〜１Ｄに示すように、ストッパープレート１２０の上に接して位置するように構成されている。マイクロミラー１３０は、マイクロミラーポスト１２５と結合された底面１３５と、光を反射するように構成された反射面を有する上面１４０とを有している。駆動デバイス１１５は、ストッパープレート１２０と通信可能に結合され、ストッパープレート１２０の回転を制御するように構成されている。軸の周りにマイクロミラー１３０と接触するストッパープレート１２０の回転は、マイクロミラー１３０の方向を調整するように構成されている。駆動デバイス１１５は、図１Ａ〜３Ｂに示されるように、ボトムレイヤー１０５と機械的に結合されている。駆動デバイス１１５は、電極１１６によって形成された静電力によって制御され得る。
【００２１】
マイクロミラー制御システム１００の動作において、ストッパープレート１２０が回転し、マイクロミラー１３０が、回転したストッパープレート１２０に接触して、マイクロミラー１３０の位置が調整される。ストッパープレート１２０の傾斜は、マイクロミラーポスト１２５が動いてストッパープレート１２０に接触することを許容して、マイクロミラー１３０の回転運動及び並進運動の量を少なくとも部分的に決定する。即ち、ストッパープレート１２０の傾斜が変化すると、マイクロミラー１３０は、マイクロミラーポスト１２５が下降してストッパープレート１２０に接触するように動く。マイクロミラーは、電極１１６の引力によって下降してストッパープレートに接触する。この実施形態では、マイクロミラー１３０の動きは、電極１１６によって引き起こされ、駆動デバイス１１５によってストッパープレート１２０にアクションが引き起こされる。例えば、駆動デバイスは、図３Ａ〜３Ｂを参照してさらに説明されるように、静電力を引き起こしてストッパープレート１２０を動かす電極を含んでいる。
【００２２】
他の実施形態では、マイクロミラー１３０の底面１３５に対するマイクロミラーポスト１２５の位置は、変化しない。むしろ、ストッパープレート１２０のマイクロミラー１３０に対する接触が、マイクロミラーの変位を決定する。例えば、一対のストッパープレート１２０による接触が、マイクロミラー１３０の１つの変位を決定する。マイクロミラー１３０のマルチ変位を得るために、マイクロミラー１３０の下に複数対のストッパープレート１２０が配置される。さらに、マイクロミラー１３０の変位は、対応するマイクロミラーポスト１２５とストッパーポスト１２４との位置及び高さによって影響を受ける。対応するマイクロミラーポスト１２５の位置は固定されていても、マイクロミラー１３０の底面１３５に対するマイクロミラーポスト１２５の位置は、異なるストッパーポスト１２４の中で変化し、対応するストッパーポスト１２４の位置が固定されていても、ストッパープレート１２０の底面１３５に対するストッパーポスト１２４の配置は、異なるストッパーポスト１２４の中で変化する。また、ストッパープレート１２０の位置及び寸法、及び、ボトムレイヤー１０５からストッパープレート１２０までの距離は、また、マイクロミラー１３０の回転運動及び並進運動の量に影響を与えるファクターである。
【００２３】
例示によれば、図１Ａ〜１Ｄに示すように、マイクロミラーポスト１２５は、マイクロミラー１３０の底面に接続している。また、図１Ｅに示すように、マイクロミラーポスト１２７は、ストッパープレートの上面に設けられ得る。さらに、ストッパープレートポスト１２６が、図１Ａ〜１Ｄに示すように、ストッパープレートの底面に設けられてもよい。また、ストッパーポスト１２６は、図１Ｅに示すように、マイクロミラー制御システム底面１０５に設けられ得る。
【００２４】
当業者であれば、マイクロミラーの分散的な変位を決定するために、マイクロミラーポスト及びストッパープレートポスト配置の多数の組み合わせが可能であることを認識できるであろう。例えば、マイクロミラーの底面に設けられたマイクロミラーポストを有し、ボトムレイヤーの上面に設けられたストッパーポストを有し、ストッパープレートの上面に設けられたマイクロミラーポストを有し、ストッパープレートの底面に設けられたストッパーポストを有し、及びストッパープレートの底面にマイクロミラーポスト及びストッパーポストを有しないマイクロミラー制御システムである。
【００２５】
図２Ａ〜２Ｂは、本発明の他の実施形態に係るマイクロミラー制御システムを示す。マイクロミラー制御システム２００の動作においては、ストッパープレート２２０は、回転して、マイクロミラー２３０と通信可能に接触し、これにより、図２Ｂに示すように、マイクロミラー２３０を調整された方向の位置に押す。即ち、マイクロミラー２３０は、ストッパープレート２２０により押されて動く。ストッパープレート底面に設けられたストッパープレートポスト２２４は、マイクロミラー２３０の回転運動及び並進運動の量を決定する。
【００２６】
図３Ａ〜３Ｃは、本発明の他の実施形態に係るマイクロミラー制御システム３００のストッパープレートの動きを示す。図３Ｂは、電極３１６を備えた駆動デバイスを示し、ストッパープレート３２０の動きは、電極３１６によって励起される静電力によって駆動される。即ち、電極３１６は、静電力によってストッパープレート３２０の回転運動を制御するように構成されている。
【００２７】
図３Ｃは、ストッパープレート３２０と、ストッパープレート３２０に結合された支持部材３１０と、支持部材３１０に結合されたくしドライブ３１７とを備えた駆動デバイスを示す。ストッパープレート３２０は、くしドライブ３１７によって生成された力によって駆動される。くしドライブ変位は、ストップ部材３５０の位置によって決定される。即ち、くしドライブ３１７は、機械力によってストッパープレート３２０の回転を制御するように構成されている。
【００２８】
図３Ｂを参照すると、ストッパープレート３２０は、支持部材３１０の第２の端３１２において軸の周りに回転し、図３Ｃに示される実施形態では、ストッパープレート３２０及び支持部材３１０が、支持部材３１０の第１の端において軸の周りに回転する。
【００２９】
図４は、本発明の他の実施の形態に係るマイクロミラー、少なくとも１つのストッパープレート、及びマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法のフローチャートを示す。ステップ４１０において、ストッパープレートが回転してマイクロミラーの方向を調整する。ステップ４２０において、回転したストッパーの上にマイクロミラープレートを置く。ステップ４３０において、マイクロミラーは、調整された方向に従って、光を反射する。ストッパープレートと通信可能に結合された駆動デバイスは、ストッパープレートの回転を制御するように構成されている。
【００３０】
ここに現れた技術は、マイクロミラーの動き、及び／または、回転運動及び／または並進運動による方向の極めて精密な、及び／または、デリケートな制御を提供する。マイクロミラーは、他のマイクロミラーと独立してまたは同時に動く。
【００３１】
本発明の効果は、分散的に制御されるマイクロミラーの回転運動及び並進運動を精密に制御する能力を含んでいる。
【００３２】
本発明は、その異なる実施形態を参照しながら示され記載されてきたが、添付のクレームによって規定される発明の精神及び範囲から逸脱することなく、形式、詳細、組成、及び動作のバリエーションがなされ得ることは当業者に認識されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１Ａ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図１Ｂ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図１Ｃ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図１Ｄ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図１Ｅ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図２Ａ】本発明の他の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図２Ｂ】本発明の他の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムを示す模式図である。
【図３Ａ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムのストッパープレートの動作を示す模式図である。
【図３Ｂ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムのストッパープレートの動作を示す模式図である。
【図３Ｃ】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー制御システムのストッパープレートの動作を示す模式図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るマイクロミラー、少なくとも１つのストッパープレート、及びマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法のフローチャートである。
【図１Ａ】
2008533515.tif 000003
【図１Ｂ】
2008533515.tif 000004
【図１Ｃ】
2008533515.tif 000005
【図１Ｄ】
2008533515.tif 000006
【図１Ｅ】
2008533515.tif 000007
【図２Ａ】
2008533515.tif 000008
【図２Ｂ】
2008533515.tif 000009
【図３Ａ】
2008533515.tif 000010
【図３Ｂ】
2008533515.tif 000011
【図３Ｃ】
2008533515.tif 000012
【図４】
2008533515.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成19年1月3日(2007.1.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、
軸の周りに回転するように構成され、上面及び底面を有する少なくとも１つのストッパープレートと、
上面と底面とを有し、前記底面上で前記ストッパープレートと通信可能に結合され、光を反射するように構成された反射面を前記上面に有するマイクロミラーと、
前記ストッパープレートと通信可能に結合され、前記ボトムレイヤーと通信可能に結合された少なくとも１つのストッパープレートポストとを備え、
前記マイクロミラーに接触する前記軸の周りの前記ストッパープレートの回転が、前記マイクロミラーの方向を調整するように構成されているマイクロミラー制御システム。
【請求項２】
前記ストッパープレートと通信可能に結合され、前記軸の周りの前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された駆動デバイスをさらに備える請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を含んでいる請求項２記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項４】
前記駆動デバイスは、前記マイクロミラーを引きおろして前記ストッパープレートの上に前記マイクロミラーを載せる請求項３記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項５】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを含んでいる請求項２記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項６】
前記ストッパープレートは、上面と底面と支持部材とを有し、前記支持部材は、第１の端と第２の端とを有し、前記第１の端は前記マイクロミラー制御システムボトムレイヤーに結合され、前記第２の端は前記ストッパープレート底面に結合されている請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項７】
前記ストッパープレート底面に設けられた複数のマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記ボトムレイヤーに通信可能に接触して、前記マイクロミラーの前記方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項８】
前記ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に通信可能に接触して、前記マイクロミラーの前記方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項９】
マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、
第１の端と第２の端とを有し、前記第１の端が前記ボトムレイヤーに結合された少なくとも１つの支持部材と、
前記支持部材第２の端の周りの回転軸を提供する前記支持部材第２の端に回転可能に結合された少なくとも１つのストッパープレートと、
マイクロミラーに通信可能に結合され、前記ストッパープレートに通信可能に結合された複数のマイクロミラーポストと、
前記ストッパープレートに通信可能に結合されて前記ストッパープレートの回転を制御する駆動デバイスとを備え、
前記ストッパープレートは、前記軸の周りに回転して前記マイクロミラーに接触し、前記マイクロミラーの方向を制御するマイクロミラー制御システム。
【請求項１０】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を有する請求項９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１１】
前記駆動デバイスは、前記マイクロミラーを引き落として前記ストッパープレートの上に前記マイクロミラーを置くように構成されたマイクロミラー電極を有する請求項９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１２】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを有する請求項９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１３】
前記マイクロミラーは、底面と上面とを有し、前記上面は光を反射するように構成された反射面を有する請求項９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１４】
前記ストッパープレートは、上面と底面と、前記ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストとを有し、前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１３記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１５】
前記ストッパープレートは、上面と底面と、前記ストッパープレート底面に設けられたマイクロミラーポストとを有し、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレート上面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１３記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１６】
前記ストッパープレートは、前記ストッパープレート底面に設けられて前記マイクロミラーの方向を調整するストッパープレートポストをさらに有する請求項１４記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１７】
前記ストッパープレートは、前記マイクロミラー制御システムボトムレイヤーに設けられて前記マイクロミラーの方向を調整するストッパープレートポストをさらに有する請求項１５記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項１８】
マイクロミラー、少なくとも１つのストッパープレート、及びマイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーを備えて分散的に制御されるマイクロミラー制御システムの回転運動及び並進運動を制御する方法であって、
前記少なくとも１つのストッパープレートを回転させて前記マイクロミラーの方向を調整し、
前記回転させたストッパーの上に前記マイクロミラーを静止させ、
前記調整された方向に従って、前記マイクロミラーからの光を反射させる方法。
【請求項１９】
前記ストッパープレートに通信可能に結合された駆動デバイスが、前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されている請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
前記マイクロミラー制御システムは、マイクロミラー底面に設けられた複数のマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレートに通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１８記載の方法。
【請求項２１】
前記マイクロミラー制御システムは、ストッパープレート上面に設けられたマイクロミラーポストをさらに備え、前記マイクロミラーポストは、マイクロミラー底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１８記載の方法。
【請求項２２】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極である請求項１９記載の方法。
【請求項２３】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブである請求項１９記載の方法。
【請求項２４】
前記ストッパープレートポストは、前記ストッパープレート底面に設けられ、前記ストッパープレートポストは、前記ボトムレイヤーに通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項２５】
前記ストッパープレートポストは、前記ボトムレイヤーに設けられ、前記ストッパープレートポストは、前記ストッパープレートの底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項２６】
前記マイクロミラーは、２次元の回転運動自由度及び／または１次元の並進運動自由度を有している請求項１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項２７】
前記マイクロミラーは、２次元の回転運動自由度及び／または１次元の並進運動自由度を有している請求項９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項２８】
前記マイクロミラーは、２次元の回転運動自由度及び／または１次元の並進運動自由度を有している請求項１９記載の方法。
【請求項２９】
マイクロミラー制御システムを支持するように構成されたボトムレイヤーと、
軸の周りに回転するように構成され、上面及び底面を有する少なくとも１つのストッパープレートと、
上面と底面とを有し、前記底面上で前記ストッパープレートと通信可能に結合され、光を反射するように構成された反射面を前記上面に有するマイクロミラーと、
前記マイクロミラーと通信可能に結合され、前記ストッパープレートと通信可能に結合された少なくとも１つのマイクロミラーポストとを備え、
前記マイクロミラーに接触する前記軸の周りの前記ストッパープレートの回転が、前記マイクロミラーの方向を調整するように構成されているマイクロミラー制御システム。
【請求項３０】
前記ストッパープレートに通信可能に結合され、前記ストッパープレートの前記軸の周りの回転を制御するように構成された駆動デバイスをさらに備えた請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３１】
前記駆動デバイスは、静電力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成された電極を有している請求項３０記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３２】
前記駆動デバイスは、前記マイクロミラーを引き落として前記ストッパープレートの上に前記マイクロミラーを置くように構成されたマイクロミラー電極を有している請求項３１記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３３】
前記駆動デバイスは、機械力によって前記ストッパープレートの回転を制御するように構成されたくしドライブを有している請求項３０記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３４】
前記ストッパープレートは、支持部材を備え、前記支持部材は、第１の端と第２の端とを有し、前記第１の端は、前記マイクロミラー制御システムボトムレイヤーに結合され、前記第２の端は、前記ストッパープレート底面に結合されている請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３５】
前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に設けられており、前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレートに通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３６】
前記マイクロミラーポストは、前記ストッパープレート上面に設けられ、前記マイクロミラーポストは、前記マイクロミラー底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３７】
前記ストッパープレート底面に設けられ、前記ボトムレイヤーに通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する複数のストッパープレートポストをさらに備える請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３８】
前記ボトムレイヤーに設けられ、前記ストッパープレートの底面に通信可能に接触して前記マイクロミラーの方向を調整する複数のストッパープレートをさらに備える請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【請求項３９】
前記マイクロミラーは、２次元の回転運動自由度及び／または１次元の並進運動自由度を有している請求項２９記載のマイクロミラー制御システム。
【国際調査報告】
2008533515.tif 000014
2008533515.tif 000015
2008533515.tif 000016