(57)【要約】  本発明は、グリッパユニットにおいて、ジェット真空ポンプ（１）が設けられており、該ジェット真空ポンプ（１）が、圧縮空気接続部と、真空接続部と、排空気接続部とを有しており、グリッパ（２）が設けられており、該グリッパ（２）が、吸着開口を有しており、該吸着開口が、真空接続部にニューマチック的に接続されており、制御可能な弁（５）が設けられており、該弁（５）が、圧縮空気接続部と圧縮空気供給部（４）との間に設けられており、捕集容器（３）が設けられており、該捕集容器（３）が、排空気接続部にニューマチック的に接続されており、制御可能な弁（５）が、第１の位置で圧縮空気供給部（４）をジェット真空ポンプ（１）の圧縮空気接続部にニューマチック的に接続しており、これによって、圧縮空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介して捕集容器（３）内に流れるようになっていると共にグリッパ（２）の吸着開口に真空が加えられるようになっており、制御可能な弁（５）が、第２の位置でジェット真空ポンプ（１）を圧縮空気供給部（４）から分離しており、これによって、ジェット真空ポンプ（１）の、捕集容器（３）内に蓄えられた排空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介してグリッパ（２）の吸着開口に流れるようになっている。これによって、圧縮空気消費量を著しく減少させることができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に基板に電気的な構成素子を装着するための自動装着装置に用いられるグリッパユニットにおいて、
−ジェット真空ポンプ（１）が設けられており、該ジェット真空ポンプ（１）が、圧縮空気接続部と、真空接続部と、排空気接続部とを有しており、
−グリッパ（２）が設けられており、該グリッパ（２）が、特に電気的な構成素子を取り上げるための吸着開口を有しており、該吸着開口が、真空接続部にニューマチック的に接続されており、
−制御可能な弁（５）が設けられており、該弁（５）が、圧縮空気接続部と圧縮空気供給部（４）との間に設けられており、
−捕集容器（３）が設けられており、該捕集容器（３）が、排空気接続部にニューマチック的に接続されており、
制御可能な弁（５）が、
第１の位置で圧縮空気供給部（４）をジェット真空ポンプ（１）の圧縮空気接続部にニューマチック的に接続しており、これによって、圧縮空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介して捕集容器（３）内に流れるようになっていると共にグリッパ（２）の吸着開口に真空が加えられるようになっており、
第２の位置でジェット真空ポンプ（１）を圧縮空気供給部（４）から分離しており、これによって、ジェット真空ポンプ（１）の、捕集容器（３）内に蓄えられた排空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介してグリッパ（２）の吸着開口に流れるようになっていることを特徴とする、グリッパユニット。
【請求項２】
制御可能な弁（５）とジェット真空ポンプ（１）の圧縮空気接続部とが、流れ通路（６）を介してニューマチック的に接続されている、請求項１記載のグリッパユニット。
【請求項３】
制御可能な弁（５）が、空気抜き開口を有しており、制御可能な弁（５）が、第２の位置に調整されている場合に、空気抜き開口を介して、弁（５）と流れ通路（６）とが空気抜きされるようになっている、請求項２記載のグリッパユニット。
【請求項４】
弁（５）の空気抜き開口と、グリッパの吸着開口とが、ニューマチック的に接続されている、請求項３記載のグリッパユニット。
【請求項５】
制御可能な弁（５）が、直接ジェット真空ポンプ（１）に設けられている、請求項１記載のグリッパユニット。
【請求項６】
請求項１から５までのいずれか１項記載のグリッパユニットを少なくとも２つ備えた、自動装着装置に用いられる装着ヘッドにおいて、少なくともそれぞれ２つのグリッパユニットの捕集容器（３）が、共通の１つの捕集容器（８）として形成されており、該捕集容器（８）内にジェット真空ポンプ（１）の排空気が流れるようになっていることを特徴とする、装着ヘッド。
【請求項７】
共通の捕集容器（８）に圧力調整弁（９）が設けられている、請求項６記載の装着ヘッド。
【請求項８】
当該装着ヘッドが、圧縮空気供給部（４）に接続された圧縮空気アキュムレータを有しており、該圧縮空気アキュムレータが、グリッパユニットに圧縮空気を供給するようになっている、請求項６または７記載の装着ヘッド。
【請求項９】
自動装着装置に用いられる走行可能な装着ヘッドによって電気的な構成素子を基板に装着するための方法において、装着ヘッドが、少なくとも２つのグリッパユニットを有しており、該グリッパユニットが、それぞれ
−１つのジェット真空ポンプ（１）を有しており、該ジェット真空ポンプ（１）が、圧縮空気接続部と、真空接続部と、排空気接続部とを有しており、
−１つのグリッパ（２）を有しており、該グリッパ（２）が、特に電気的な構成素子を取り上げるための吸着開口を有しており、該吸着開口が、真空接続部にニューマチック的に接続されており、
−１つの制御可能な弁（５）を有しており、該弁（５）が、圧縮空気接続部と圧縮空気供給部（４）との間に設けられており、
少なくとも１つの共通の捕集容器（８）が設けられており、該捕集容器（８）が、少なくとも２つの排空気接続部にニューマチック的に接続されており、制御可能な弁（５）が、
第１の位置で圧縮空気供給部（４）をジェット真空ポンプ（１）の圧縮空気接続部にニューマチック的に接続しており、これによって、圧縮空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介して共通の捕集容器（８）内に流れるようになっていると共にグリッパ（２）の吸着開口に真空が加えられるようになっており、
第２の位置でジェット真空ポンプ（１）を圧縮空気供給部（４）から分離しており、これによって、ジェット真空ポンプ（１）の、共通の捕集容器（８）内に蓄えられた排空気が、ジェット真空ポンプ（１）を介してグリッパ（２）の吸着開口に流れるようになっており、この場合、当該方法が、以下のステップ：すなわち、
−制御可能な弁（５）を第２の位置に切り換え、
−装着ヘッドを電気的な構成素子の受取り平面に運動させ、
−それぞれ取り上げるグリッパ（２）の制御可能な弁（５）を第１の位置に切り換えかつ電気的な構成素子を吸着開口に吸着することによって、電気的な構成素子をグリッパ（２）によって取り上げ、
−装着ヘッドを装着平面に運動させ、
−それぞれ装着するグリッパ（２）の制御可能な弁（５）を、少なくとも電気的な構成素子を吹き離すまで、第２の位置に調整することによって、基板に電気的な構成素子を装着する
を有していることを特徴とする、自動装着装置に用いられる走行可能な装着ヘッドによって電気的な構成素子を基板に装着するための方法。
【請求項１０】
電気的な構成素子の取上げ前に、共通の捕集容器（８）内の圧力を、該捕集容器（８）に設けられた圧力調整弁（９）によって減少させる、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
基板への装着前に、共通の捕集容器（８）内の圧力を圧力調整弁（９）によって、周辺圧よりも大きい吹離し圧に増加させる、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
圧力調整弁（９）が、電気的な構成素子の物理的な特性に適合された吹離し圧を生ぜしめる、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
一方のグリッパユニットの最後の電気的な構成素子の吹離し前に、少なくとも１つの他方のグリッパユニットの制御可能な弁（５）を、少なくとも最後の電気的な構成素子が吹き離されるまで、第１の位置に調整する、請求項９から１２までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリッパユニット、装着ヘッドおよび基板に電気的な構成素子を装着するための方法に関する。
【０００２】
欧州特許出願公開第０７６８０２０号明細書に基づき、電気的な構成素子をハンドリングするための装置であって、サクションピペットと、該サクションピペットに吸込み側で接続された、構成素子の取上げ時にかつ保持時に負圧を発生させるためのジェット真空ポンプと、圧力容器とが設けられており、該圧力容器から弁を介して構成素子の放出時に圧縮空気が、ジェット真空ポンプとサクションピペットとの間の負圧領域に導入されるようになっている形式のものが公知である。
【０００３】
上述した装置では、ジェット真空ポンプが常に運転されている。構成素子を放出するためには、ジェット真空ポンプによってサクションピペットに発生させられた負圧が、弁を介した圧力容器の切換によって簡単にオーバブローされる。ジェット真空ポンプの永続的な運転によって、高い圧縮空気消費量が生ぜしめられる。このことは、装置の高い運転コストを生ぜしめる。
【０００４】
したがって、本発明の課題は、基板に電気的な構成素子を装着するためのグリッパユニット、自動装着装置に用いられる装着ヘッドおよび基板に電気的な構成素子を装着するための方法を改良して、圧縮空気消費量が減少させられるようにすることである。
【０００５】
この課題は、独立請求項１記載のグリッパユニット、独立請求項６記載の装着ヘッドおよび独立請求項９記載の方法によって解決される。
【０００６】
請求項１記載のグリッパユニットは、ジェット真空ポンプの圧縮空気接続部と、圧縮空気供給部との間に設けられた制御可能な弁と、ジェット真空ポンプの排空気接続部にニューマチック的に接続された捕集容器とを有している。制御可能な弁は、部品、たとえば電気的な構成素子の取上げおよび搬送のために第１の位置に調整されるように制御することができる。この第１の位置では、圧縮空気供給部がジェット真空ポンプの圧縮空気接続部にニューマチック的に接続されている。第１の位置では、圧縮空気がジェット真空ポンプを介して流れ、これによって、このジェット真空ポンプの真空接続部に接続されたグリッパの吸着開口に負圧が加えられる。この場合、ジェット真空ポンプからの排空気は、この排空気が蓄えられる捕集容器内に流れる。部品を放出するためにかつ部品をグリッパによって吸着したくないかまたは搬送したくない期間には、制御可能な弁が第２の位置に切り換えられる。この第２の位置では、ジェット真空ポンプが圧縮空気供給部から分離されていて、これによって、停止されている。この場合、ジェット真空ポンプの、捕集容器内に圧力下で蓄えられた排空気が、ジェット真空ポンプを介してグリッパの吸着開口に逆流し、部品が吹き離される。
【０００７】
上述したグリッパユニットでは、制御可能な弁は、ジェット真空ポンプへの圧縮空気供給部（駆動媒体供給部）が、必要な場合、たとえば構成素子の受取りおよび搬送の場合にしかスイッチオンされないように切り換えられ得る。グリッパに部品が接触していない期間には、圧縮空気供給部がスイッチオフされ得る。さらに、ジェット真空ポンプの、捕集容器内に圧力下で蓄えられた排空気は、この排空気が圧縮空気供給部のスイッチオフ時にジェット真空ポンプを介してグリッパの吸着開口に流れ、そこで、部品の吹離し圧空気として働く限り再び使用される。したがって、グリッパからの部品の吹離しのためにも、付加的な圧縮空気が不要になる。したがって、本発明によるグリッパユニットによって、圧縮空気供給部に対するコストを著しく削減することができる。
【０００８】
請求項２記載のグリッパユニットの構成では、制御可能な弁と、ジェット真空ポンプの圧縮空気接続部とが、圧縮空気管路を介して互いに接続されている。これによって、制御可能な弁とジェット真空ポンプとを局所的に互いに分離して設けることができる。このことは、組付け時のより高いフレキシビリティを生ぜしめる。
【０００９】
請求項３記載のグリッパユニットの構成では、制御可能な弁が空気抜き開口を有している。制御可能な弁が第２の位置に位置している場合には、空気抜き開口を介して、弁自体と、この弁とジェット真空ポンプの圧縮空気接続部とを接続する圧縮空気管路とが空気抜きされる。これによって、弁内の圧力と圧縮空気管路内の圧力とが、弁の第２の位置への切換時に極めて迅速に減少し、これによって、グリッパの吸着開口における真空とブロー圧との間の切換時間が著しく短縮される。
【００１０】
請求項４記載のグリッパユニットの別の構成では、弁と圧縮空気管路とがグリッパの吸着開口を介して空気抜きされる。これによって、第２の位置への弁の切換時に短い圧力衝撃がジェット真空ポンプの真空接続部に導入される。このことは、グリッパの吸着開口における真空とブロー圧との間の切換時間を一層減少させる。
【００１１】
請求項５記載のグリッパユニットの構成によれば、制御可能な弁を直接ジェット真空ポンプに設けることも可能である。この事例では、制御可能な弁とジェット真空ポンプとの間に付加的な容積、たとえば圧縮空気管路が設けられていないことによって、弁の空気抜きなしでも、グリッパの吸着開口における真空とブロー圧との間の迅速な切換時間を得ることができる。
【００１２】
自動装着装置に用いられる請求項６記載の装着ヘッドは、上述したグリッパユニットの少なくとも２つを有している。ただし、例外として、各グリッパユニットがジェット真空ポンプの排空気のための固有の捕集容器を有しておらず、少なくとも２つのジェット真空ポンプの排空気のためのそれぞれ１つの共通の捕集容器が設けられている。この共通の捕集容器によって、装着ヘッドの構造が簡単になる。さらに、この装着ヘッドには、グリッパユニットに対して上述した利点が当てはまる。
【００１３】
請求項７記載の構成によれば、共通の捕集容器に圧力調整弁が設けられていてよい。この圧力調整弁によって、捕集容器内の圧力を調整することができる。
【００１４】
請求項８記載の装着ヘッドの構成では、個々のグリッパユニットに、外部の圧縮空気供給部に接続された、装着ヘッドに設けられた圧縮空気アキュムレータから圧縮空気が供給される。この圧縮空気アキュムレータは、あらゆる時点で全てのグリッパユニットのために十分に圧縮空気が提供されるという利点をもたらす。さらに、外部の圧縮空気供給部とグリッパユニットとの間に介在された圧縮空気アキュムレータによって、切換時間が短縮される。
【００１５】
基板に電気的な構成素子を装着するための請求項９記載の方法によれば、ジェット真空ポンプが、最良事例では、電気的な構成素子の取上げおよび搬送のためにしか作動させられない。この場合に生ぜしめられる、ジェット真空ポンプの排空気は、共通の捕集容器内に捕集される。本来の装着過程の間、制御可能な弁は個別に第２の位置に調整される。これによって、電気的な構成素子が、捕集容器内に圧力下で蓄えられた排空気によってグリッパから吹き離される。全ての構成素子が吹き離された後、制御可能な弁は、電気的な構成素子が提供される受取り平面への装着ヘッドの運動前にまだ第２の位置に切り換えられる。すなわち、ジェット真空ポンプが停止される。この方法は、少なくとも受取り平面への装着ヘッドの走行過程の間、圧縮空気が消費されないという利点をもたらす。これによって、圧縮空気コストを最小限に抑えることができる。
【００１６】
請求項１０記載の実施態様では、構成素子の取上げ前に、共通の捕集容器内の圧力が、この捕集容器に設けられた圧力調整弁によって可能な限り十分に、理想的には周辺圧にまで減少させられる。これによって、構成素子の取上げ前にブロー圧がグリッパの吸着開口に加えられ、構成素子が吹き飛ばされることが阻止される。
【００１７】
当該方法は、請求項１１によれば、基板への装着前に、共通の捕集容器内の圧力が圧力調整弁によって、周辺圧を上回る排空気ブロー圧に増加させられるように実施されてもよい。これによって、装着時にすでに十分に高い圧力が共通の捕集容器内に形成されていることが保証される。これによって、電気的な構成素子の吹離しを加速させることができる。
【００１８】
請求項１２によれば、当該方法は、圧力調整弁が吹離し圧を電気的な構成素子の物理的な特性、たとえばサイズおよび重量に相応して調整するように実施されてもよい。このことは、装着過程の確実性を高める。
【００１９】
請求項１３記載の方法の別の実施態様によれば、最後の電気的な構成素子の吹離し前に、少なくともこの最後の電気的な構成素子が吹き離されるまで、別のグリッパユニットのジェット真空ポンプが作動させられる。これによって、最後の構成素子の吹離し過程前にまたは吹離し過程の間に、共通の捕集容器内に圧力減少が生ぜしめられることが阻止され、これによって、最後の電気的な構成素子も確実に吹き離すことができる。
【００２０】
以下に、本発明による装着ヘッドの本発明によるグリッパユニットの有利な構成および本発明による方法を添付の図面につき詳しく説明する。
【００２１】
図１〜図７には、圧縮空気の流れ方向が矢印によって示してある。
【００２２】
図１および図２に示した実施例から、本発明によるグリッパユニットの基本的な構造が明確になる。このグリッパユニットはジェット真空ポンプ（１）、たとえばベンチュリノズルを有している。このジェット真空ポンプ（１）は、圧縮空気接続部と、真空接続部と、排空気接続部とを有している。さらに、グリッパユニットには、グリッパ（２）（たとえばサクションピペット）が所属している。このグリッパ（２）はその下面に吸着開口を有している。この吸着開口によって、部品、たとえば電気的な構成素子を吸着することができる。吸着開口はジェット真空ポンプ（１）の真空接続部にニューマチック的に接続されており、これによって、ジェット真空ポンプ（１）の作動時に負圧が吸着開口に加えられる。この状態で部品をグリッパ（２）によって吸着することができる。さらに、グリッパユニットは捕集容器（３）を有している。この捕集容器（３）はジェット真空ポンプ（１）の排空気接続部に、たとえばチューブを介してニューマチック的に接続されている。圧縮空気供給部（４）とジェット真空ポンプ（１）の圧力接続部との間には、制御可能な弁（５）が設けられている。この制御可能な弁（５）は、互いに異なる２つの位置に調整することができる。第１の位置（図１参照）では、弁（５）が圧縮空気供給部（４）をジェット真空ポンプ（１）に接続している。この状態で圧縮空気が圧縮空気供給部（４）から、制御可能な弁（５）を介してジェット真空ポンプ（１）を通って捕集容器（３）内に流れる。この捕集容器（３）内には、圧縮空気が蓄えられる。排空気が高い圧力下で捕集容器（３）内に流れることによって、捕集容器（３）内にも、周辺圧（たとえば１５０ｍｂａｒ）よりも大きい圧力が形成される。制御可能な弁（５）が第２の位置（図２参照）に切り換えられると、圧縮空気供給部（４）とジェット真空ポンプ（１）との間の接続部が分離される。この場合、ジェット真空ポンプ（１）が停止される。このジェット真空ポンプ（１）の圧縮空気接続部における圧力減少によって、捕集容器（３）内に圧力下で蓄えられた排空気がジェット真空ポンプ（１）内に逆流し、グリッパ（２）の吸着開口を介して外部に流れる。この状態でグリッパ（２）の吸着開口に正圧が加えられることによって、取り上げられた部品が吹き離される。特にグリッパユニットの、図１および図２に示した制御可能な弁（５）は、空気抜き開口を有している。この空気抜き開口を介して、制御可能な弁（５）が第２の位置に位置している場合（図２参照）に、弁（５）と、この弁（５）とジェット真空ポンプ（１）との間の場合による流れ通路（６）とが空気抜きされる。図１および図２に示した実施例では、弁（５）と流れ通路（６）とが自由な周辺に向かって空気抜きされる。制御可能な弁（５）と流れ通路（６）との空気抜きの可能性は、特に弁（５）とジェット真空ポンプ（１）とが互いに分離されて組み付けられていると共に流れ通路（６）が比較的長く形成されている場合に有利である。これによって、弁（５）内の正圧と、流れ通路（６）内の正圧とが、第１の位置から第２の位置への弁（５）の切換時により迅速に減少させられる。このことは、捕集容器（３）からグリッパ（２）の吸着開口への排空気の逆流を加速させる。したがって、真空と吹離しとの間の切換時間が一層短縮される。
【００２３】
本発明によるグリッパユニットの別の有利な実施例を図３および図４につき説明する。この図３および図４に示したグリッパユニットは、図１および図２の実施例と同一の原理的な構造を有している。しかし、制御可能な弁（５）の空気抜き開口が、付加的に接続管路を介してグリッパ（２）の吸着開口にニューマチック的に接続されている。制御可能な弁（５）が第２の位置に切り換えられる（図４参照）と、弁（５）と、この弁（５）とジェット真空ポンプ（１）との間に設けられた流れ通路（６）とが、グリッパ（２）の吸着開口を介して空気抜きされる。これによって、ジェット真空ポンプ（１）の吸込み側に短い圧力衝撃が生ぜしめられる。この圧力衝撃は、グリッパ（２）の吸着開口への、捕集容器（３）内に蓄えられた排空気の逆流を加速させる。したがって、グリッパ（２）の吸着開口での負圧と吹離し圧との間の切換時間を付加的に短縮することができる。この実施例も、特に制御可能な弁（５）とジェット真空ポンプ（１）とが分離されて配置されていて、より長い接続チューブを介して互いに接続されているグリッパユニットのために適している。
【００２４】
本発明によるグリッパユニットの第３の有利な実施例を図５および図６につき説明する。ここに図示したグリッパユニットも、図１〜図４の構成と同一の原理的な構造を有している。図１〜図４の構成と異なり、制御可能な弁（５）は、空気抜きすることができない弁（５）として形成されている。すなわち、弁（５）が空気抜き開口を有していない。２ポート２位置切換弁と呼ばれるこのような形式の弁（５）によって、ジェット真空ポンプ（１）が第１の位置（図１参照）で圧縮空気接続部（４）に接続され、第２の位置（図２参照）で圧縮空気接続部（４）から分離される。弁（５）の空気抜きは行われない。しかし、このような形式の弁（５）は、この弁（５）が構造において簡単であると共に極めて高い信頼性を備えているという利点を有している。欠落した空気抜きに基づき、弁（５）とジェット真空ポンプ（１）との間の容積を可能な限り小さく保つことができ、これによって、圧力の増減が可能な限り短く保たれる。このような形式の制御可能な弁（５）は直接ジェット真空ポンプ（１）に取り付けられるかまたはジェット真空ポンプ（１）に対して極めて僅かな間隔を置いて取り付けられることが望ましい。
【００２５】
基本的には、制御可能な弁（５）は電磁弁または極めて短い切換時間を有するピエゾ弁として形成することができる。グリッパ（２）の吸着開口に真空と周辺圧との間の任意の圧力を生ぜしめることができる比例弁の使用も可能である。これによって、グリッパ（２）の吸着開口における吸着圧を電気的な構成素子の物理的な特性、たとえばサイズまたは重量に相応して調整することができる。
【００２６】
図７には、本発明による装着ヘッドの構成が示してある。この装着ヘッドは、図５および図６に示したような多数のグリッパユニットを有している。しかし、図１〜図４のグリッパユニットが使用されてもよい。装着ヘッドは蓄圧器（７）を有している。この蓄圧器（７）は、装着ヘッドにまたは自動装着装置に設けられた圧縮空気供給部（４）にニューマチック的に接続されている。蓄圧器（７）には、圧縮空気供給部（４）から圧縮空気が供給される。個々のグリッパユニットには、蓄圧器（７）から中央で圧縮空気が供給される。このような形式の蓄圧器（７）の使用は２つの主要な利点を生ぜしめる。１つには、ジェット真空ポンプ（１）の運転のために、均一な圧力を備えた圧縮空気があらゆる時点で十分に存在していることが保証され、もう１つには、グリッパユニットへの供給管路を著しく短縮することができる。これによって、切換時間もしくはむだ時間が著しく減少させられる。
【００２７】
個々の各グリッパユニットに個別の捕集容器（３）を対応配置する代わりに、図７に示した装着ヘッドは、全てのグリッパユニットに対して共通の１つの捕集容器（８）を有している。これによって、全てのジェット真空ポンプ（１）の排空気が１つの捕集容器（８）内に流れる。この捕集容器（８）には、圧力調整弁（９）が取り付けられている。この圧力調整弁（９）によって、捕集容器（８）内の圧力を要求に相応して調整することができる。
【００２８】
たとえば図７に示した装着ヘッドのために使用可能であるような、基板に構成素子を装着するための本発明による方法を以下に例示的に説明する。
【００２９】
出発位置では、グリッパユニットの制御可能な弁（５）が第２の位置に切り換えられている。すなわち、ジェット真空ポンプ（１）が停止されている。自動装着装置の走行可能な装着ヘッドが、まず、受取り平面に運動させられる。この受取り平面には、電気的な構成素子が適宜な供給装置によって自動装着装置に対して提供される。装着ヘッドは、いわゆる「マトリックス装着ヘッド」であってよい。このマトリックス装着ヘッドでは、グリッパユニットが１つのレベルにマトリックスの形で配置されている。まだ走行過程の間には、捕集容器（８）内の圧力が圧力調整弁（９）によって周辺圧に減少させられてよい。電気的な構成素子を取り上げるためには、相応のグリッパユニットの制御可能な弁（５）が個別に第１の位置に切り換えられ（ジェット真空ポンプ（１）が作動させられ）、これによって、構成素子がグリッパ（２）の吸着開口に吸着される。電気的な構成素子の取上げの間、共通の捕集容器（８）に設けられた圧力調整弁（９）は完全に開放されたままであり、これによって、共通の捕集容器（８）内の背圧が最小限に抑えられる。これによって、負圧をグリッパ（２）の吸着開口に一層迅速に形成することができる。取上げ過程の終了後、少なくとも共通の捕集容器（８）内に正圧が生ぜしめられるまで、圧力調整弁（９）が閉鎖される。装着ヘッドが、いま、自動装着装置の装着平面に走行させられる。この装着平面には、部品を装着したい基板が提供される。装着ヘッドの走行過程の間、１つの電気的な構成素子を取り上げたグリッパユニット全てのジェットポンプの排空気が共通の捕集容器（８）内に流れる。本来の装着過程前には、共通の捕集容器（８）に設けられた圧力制御弁が制御され、これによって、共通の捕集容器（８）内に、物理的な特性（サイズ、重量）に適合された吹離し圧が生ぜしめられる。その後、各グリッパユニットの制御可能な弁（５）が個別に第２の位置に切り換えられ、これによって、グリッパ（２）の吸着開口に吸着された電気的な構成素子が、予見された位置で基板に吹き離されるように、本来の装着過程が実行される。この場合、制御可能な弁（５）は、少なくとも電気的な構成素子が確実に吹き離され得るまで、第２の位置にとどまっている。特に小さくて軽い構成素子の場合には、基板からの構成素子の吹飛びを阻止するために、制御可能な弁（５）を吹離し直後に再び第１の位置に切り換えることが有利であり得る。これによって、装着過程がより確実になる。特にグリッパユニットのブロー空気によって基板から吹き飛ばされ得ない大きくて重い構成素子の場合には、切換可能な弁（５）が、吹離し後でも第２の位置にとどまっていてよい。ジェット真空ポンプ（１）はこの第２の位置で停止されているので、付加的に圧縮空気を節約することができる。装着過程の間、共通の捕集容器（８）に設けられた圧力調整弁（９）が制御され、これによって、個々のジェット真空ポンプ（１）の停止後でも、必要となる吹離し圧が捕集容器（８）内に生ぜしめられたままとなる。最後の構成素子の吹離し前の捕集容器（８）内の圧力減少を阻止するためには、電気的な構成素子をすでに吹き離したグリッパユニットの切換可能な弁（５）が第１の位置に調整されたままとなり得るかまたは再び第１の位置に切り換えられ得る。これによって、共通の捕集容器（８）内の圧力が所要の最小吹離し圧を下回らず、全ての電気的な構成素子を確実に吹き離すことができることが確保される。装着過程の完了後、グリッパユニットの制御可能な弁（５）が再び第２の位置に調整される。すなわち、全てのジェット真空ポンプ（１）が停止される。次いで、装着ヘッドが再び受取り平面に走行させられ、新たな装着サイクルが開始される。
【００３０】
上述した方法によって明確になるように、個々のグリッパユニットのジェット真空ポンプ（１）は、最良の事例では、まさに構成素子が取り上げられなければならないかまたは搬送されなければならない場合にしか常に作動させられていない。このことは、ジェット真空ポンプ（１）が少なくとも部分的に装着過程の間ならびに装着平面から受取り平面への全運動過程の間に停止されていることを意味している。このことは、圧縮空気における著しい節約ひいては圧縮空気コストの低下を生ぜしめる。
【００３１】
念のために付言しておくと、上述したグリッパユニットと、装着ヘッドと、装着のための相応の方法とは、自動装着装置に限定されるものではなく、搬送したい部品が負圧による吸着によって取り上げられ、搬送されるあらゆるシステムに使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】グリッパユニットの１つの構成を示す図であり、この場合、切換可能な弁が第１の位置に調整されている。
【図２】図１に示したグリッパユニットの構成を示す図であり、この場合、制御可能な弁が第２の位置に調整されている。
【図３】グリッパユニットの別の構成を示す図であり、この場合、制御可能な弁が第１の位置に調整されている。
【図４】図３に示したグリッパユニットの有利な構成を示す図であり、この場合、制御可能な弁が第２の位置に調整されている。
【図５】本発明によるグリッパユニットの別の有利な構成を示す図であり、この場合、切換可能な弁が第１の位置に切り換えられている。
【図６】図５に示したグリッパユニットの構成を示す図であり、この場合、制御可能な弁が第２の位置に調整されている。
【図７】図５および図６に示したような複数のグリッパユニットを備えた装着ヘッドの概略的な構造を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  ジェット真空ポンプ、  ２  グリッパ、  ３  捕集容器、  ４  圧縮空気供給部、  ５  弁、  ６  流れ通路、  ７  蓄圧器、  ８  捕集容器、  ９  圧力調整弁
【図１】
2008508740.tif 000003
【図２】
2008508740.tif 000004
【図３】
2008508740.tif 000005
【図４】
2008508740.tif 000006
【図５】
2008508740.tif 000007
【図６】
2008508740.tif 000008
【図７】
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【国際調査報告】
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