(57)【要約】  本発明の実施形態は、たとえば１つのファクトリーまたはロットから他へマテリアルを輸送中にダイ・ユニットを追跡する（および、たとえばロット輸送プロセス中にダイ・データと個々のダイの対応を効率的に維持する）新規な方法、システム、およびコンピュータ・プログラムを提供する。本発明の１つまたは複数の実施形態は、たとえば各ロットにおいて、個々のダイＩＤを各ダイに割り当て、ある範囲のダイＩＤを対応するインデックス・ストリングに関連付けることとによって、ダイ・レベル追跡遂行機構を改良することを意図する。たとえば、いくつかのダイが、たとえば第１ロットから第２ロットに輸送されるとき、第１ロットに関連付けられたダイ情報全体は、第２ロットにコピーされ、異なるインデックス・ストリングが、輸送された実際のダイまたはダイの範囲を示すために、第２ロットに割り当てられる。次いで、第１ロットのインデックス・ストリングは、輸送後に残存するダイを示すために調整される。
2008517465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法であって、
複数のダイ・ユニットに１対１対応である複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てるステップであって、前記複数のダイ・ユニットが、ソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別するステップと、
前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーするステップと、
前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てるステップと、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整するステップとを含む、方法。
【請求項２】
複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するステップをさらに含み、前記記憶されたインデックス・ストリングとダイ・ストリングが、前記ダイ・ユニットの履歴を追跡する請求項１に記載の方法。
【請求項５】
ダイ・ユニット追跡情報を備えるレポートを生成するステップをさらに含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ダイ・ストリングが、ウエハＩＤとダイ座標を含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
各ダイ座標が、Ｘ座標とＹ座標を含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ダイ・ストリングが、ウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ソース・オブジェクトが複数のウエハであり、前記受け取りオブジェクトが複数のリード・フレームである請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ソース・オブジェクトが第１の複数のリード・フレームであり、前記受け取りオブジェクトが第２の複数のマガジンである請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ダイ・ストリングが前記ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法であって、
複数のダイ・ストリングとユーザ定義ストリングを複数のダイ・ユニットに１対１対応で一意に割り当てるステップであって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられるステップと、
第１のインデックス・ストリングを前記複数のダイ・ストリングとユーザ定義ストリングに割り当てるステップであって、前記第１インデック・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングとユーザ定義ストリングの１つを識別するステップと、
前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングとユーザ定義ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーするステップと、
前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングとユーザ定義ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てるステップと、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整するステップとを含む、方法。
【請求項１３】
ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるステップをさらに含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するステップをさらに含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとダイ座標を含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
各ダイ座標がＸ座標とＹ座標を含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
前記ソース・オブジェクトが複数のウエハであり、前記受け取りオブジェクトが複数のリード・フレームである請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記ソース・オブジェクトが複数のリード・フレームであり、前記受け取りオブジェクトが複数のマガジンである請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
前記ダイ・ストリングが前記ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するシステムであって、
複数のダイ・ユニットと１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てるプロセッサであって、前記複数のダイ・ユニットが、ソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリング内の各インデックスが、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別するプロセッサと、
前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送された少なくともいくつかのダイ・ユニットを追跡する追跡機構とを備え、前記追跡機構が、
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた少なくともいくつかのダイ・ストリングをコピーし、
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当て、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整する、システム。
【請求項２２】
前記ソース・オブジェクトのダイ・マップからダイ・ストリングを生成するダイ・ボンディング装置をさらに備える請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられたインデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するためのダイ履歴表をさらに備える請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するシステムであって、
複数のダイ・ユニットに１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てる手段であって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する手段と、
前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーする手段と、
前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てる手段と、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整する手段とを備える、システム。
【請求項２５】
複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶する手段をさらに備える請求項２４に記載のシステム。
【請求項２８】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとダイ座標を含む請求項２４に記載のシステム。
【請求項２９】
前記ダイ座標がＸ座標とＹ座標を含む請求項２８に記載のシステム。
【請求項３０】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む請求項２４に記載のシステム。
【請求項３１】
前記ソース・オブジェクトが複数のウエハであり、前記受け取りオブジェクトが複数のリード・フレームである請求項２４に記載のシステム。
【請求項３２】
前記ソース・オブジェクトが複数のリード・フレームであり、前記受け取りオブジェクトが複数のマガジンである請求項２４に記載のシステム。
【請求項３３】
前記ダイ・ストリングが前記ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される請求項２４に記載のシステム。
【請求項３４】
コンピュータ可読媒体にあるコンピュータ・プログラム製品であり、
コンピュータに、複数のダイ・ユニットに１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てさせる命令であって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する、命令と、
コンピュータに、前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーさせる命令と、
コンピュータに、前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングに割り当てさせる命令と、
コンピュータに、前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整させる命令とを備える、コンピュータ・プログラム製品。
【請求項３５】
コンピュータに、複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える請求項３４に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【請求項３６】
コンピュータに、ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える請求項３４に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【請求項３７】
コンピュータに、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶させる命令をさらに備える請求項３４に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、参照によって本明細書に完全に組み込まれている２００４年１０月１５日に出願され、アプライド・マテリアル社に譲渡された「Ｄｉｅ−Ｌｅｖｅｌ  Ｔｒａｃｅａｂｉｌｉｔｙ  Ｍｅｃｈａｎｉｓｍ  ｆｏｒ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ａｓｓｅｍｂｌｙ  ａｎｄ  Ｔｅｓｔ  Ｆａｃｉｌｉｔｙ」という名称の米国仮特許出願第６０／６１８８０５号に対する米国特許法第１１９条の下での優先権を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明の実施態様は、一般的には、例えば、半導体組立ての１つのファクトリーまたはロットおよび試験設備から他へマテリアルを輸送する間のダイ・ユニットを追跡するシステムと方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体チップ製造プロセスにおいて、複数のダイ（ダイ・ユニットとしても知られる）が、単一ウエハの上に製作される。これらのダイは後に分離され、個々のチップにパッケージされる。各ウエハからのチップの歩留まりは、製造プロセス中の欠陥のために１００％ではない。ウエハから得られる良好なダイの数により、歩留まりが決まる。ダイ・ユニットは、様々な製造や品質管理オペレーションのために、通常、１つの設備から他へまたはロットからロットへ輸送される。
【０００４】
ダイを追跡し続けるために、ウエハ上の各ダイ・ユニットは、固有識別子（ダイＩＤ）を割り当てられ、各ウエハは、ロットなどのウエハのグループに割り当てられる。ロットのウエハは、ロットのマテリアルとして追跡されることがある。製造実行システム（ＭＥＳ）におけるロットとマテリアルのオブジェクトは、ファクトリーにおける物理的品目の表現である。ダイＩＤは、任意のフォーマットとすることができ、識別子（またはダイの識別子の一部）として、ウエハ上におけるダイの座標位置を使用し、その場合、１つの慣例では、ダイＩＤが、ＩＤが存在するロットに関する情報を含むことができる（しかし必ずしもそうである必要はない）。ダイに対応する任意の追加の情報が、組み合わされたダイＩＤと共にロットまたは他のマテリアルのダイ情報を構成する追加ストリングに割り当てられる。たとえば、ユーザが、製品、グレードなどの情報をロットの各ダイに追加することを望む可能性がある。そのような情報は、追加ストリングにおいて搬送することができる。ダイＩＤの対応する要素が追加ストリングと整合するとき、個々のダイの情報、すなわちそのＩＤとたとえば製品を得ることができる。
【０００５】
ダイ・ユニットの少なくともいくつかを１つのロットから他へ輸送するとき、対応するダイ情報は、そのウエハとロットの情報と共に、新しいロットに渡されることが必要である。このダイ情報は、なされたオペレーション、輸送に使用されるキャリア、ダイ・ユニットが様々な時間において属するロット、他の履歴情報に関して、ダイ・ユニット・レベルにおいて個々のダイの履歴を追跡するのに有用である。
【０００６】
従来の組立てオペレーションでは、ダイ・ユニットは、たとえば第１ロット内の第１ウエハから処理のために引き出される。代替として、ダイ・ユニットは、複数の位置から引き出されることもある。単一ウエハの様々な位置から、様々なウエハから、および様々なウエハ・ロットから良好なダイを一緒に混ぜることが、組立てオペレーション中に通常行われる。残念ながら、複数のウエハと複数のロットの内からダイ・ユニットを一緒に混ぜるときはいつでも、特定のダイ・ユニットに関する追跡遂行が失われる。ダイが後に現場において信頼性がないと判明した場合、製造業者の観点から、ダイ・ユニットのソースを識別することが有益である。また、ダイ・ユニットがどのようにいつ製造されたかを決定することも望ましい。そのようなしるしは、ダイ・ユニットが出荷された後だけでなく、可能であれば出荷前のダイ・ユニットの試験中にも、製造プロセスの改良について製造業者を補助することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ダイ・ユニットを追跡するために使用される従来の技法は、ダイ・ユニットが１つのロットから他へ輸送されるときにダイＩＤを操作することに、主に限定される。関与する情報がしばしば大量であり、かつこのタスクが複雑であるために、この操作は、時間がかかり厄介なプロセスになることがある。したがって、受け取りオブジェクト内の輸送されたダイ・ユニットのダイＩＤを調整し、かつソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットのダイＩＤを調整する両方の厄介なプロセスを回避することが望ましい。したがって、本発明は、これらならびに他の重要な目的を対象とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、たとえば１つのファクトリーまたはロットから他へマテリアルを輸送する間のダイ・ユニットを追跡し、たとえばロット輸送プロセス中にダイ・データと個々のダイとの対応を効率的に維持する新規な方法、システム、コンピュータ・プログラム製品を提供する。本発明の１つまたは複数の実施態様は、個々のダイＩＤを各ダイ・ユニット、たとえば各ロットに割り当てることと、ある範囲のダイＩＤを対応するインデックス・ストリングに関連付けることとによって、ダイ・レベルの追跡遂行機構を改良することを意図する。ダイＩＤは、ウエハＩＤ、Ｘ座標、Ｙ座標を含むことが可能であり、他のダイに関係する情報を含むことができる。ロットまたはマテリアルのオブジェクトのダイ情報は、ダイＩＤおよび追加ストリングを備える。たとえばいくつかのダイが、たとえば第１ロットから第２ロットに輸送されるとき、第１ロットに関連付けられたダイ情報全体は、第２ロットにコピーされ、異なるインデックス・ストリングが、輸送された実際のダイまたはダイの範囲を示すために第２ロットに割り当てられる。次いで第１ロットのインデックス・ストリングは、輸送後に第１ロットに残存するダイを示すために調整される。インデックス・ストリングを使用することによって、特定のロットのダイは、たとえば第１ロットから選択されたダイを第２ロットに輸送する過程において、個々のダイＩＤを操作すること、および／または個々のダイＩＤを異なるロット（および内部のダイ）に選択的に関連付けることを必要とせずに、より効率的に追跡し続けることができる。
【０００９】
したがって、本発明は、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法に関し、この方法は、複数のダイ・ユニットに１対１対応である複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てるオペレーション・ステップであって、複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別するオペレーション・ステップと、ダイ・ユニットの少なくともいくつかをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、複数のダイ・ユニットに関連付けられた複数のダイ・ストリングをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーするオペレーション・ステップと、受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられたダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てるオペレーション・ステップと、ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトの第１インデックス・ストリングを調整するオペレーション・ステップとを含む。より具体的には、ダイ・ストリングは、ウエハＩＤとダイ座標を含み、各ダイ座標は、Ｘ座標とＹ座標を含み、ダイ・ストリングは、ウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含み、この方法のダイ・ストリングは、ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される。一例では、ソース・オブジェクトは複数のウエハであり、受け取りオブジェクトは複数のリード・フレームである。他の例では、ソース・オブジェクトは第１の複数のリード・フレームであり、受け取りオブジェクトは第２の複数のマガジンである。
【００１０】
本発明の一例では、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法は、複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるオペレーション・ステップをさらに含む。
【００１１】
本発明の他の例では、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法は、ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるオペレーション・ステップをさらに含む。
【００１２】
本発明の他の例では、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法は、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するオペレーション・ステップであって、記憶されたインデックス・ストリングとダイ・ストリングが、ダイ・ユニットの履歴を追跡するオペレーション・ステップと、ダイ・ユニット追跡情報を備えるレポートを生成するオペレーション・ステップとをさらに含む。
【００１３】
１つまたは複数の実施態様において、本発明は、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するシステムに関する。このシステムは、複数のダイ・ユニットと１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てるプロセッサであって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、第１インデックス・ストリング内の各インデックスが、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別するプロセッサと、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送された少なくともいくつかのダイ・ユニットを追跡する追跡機構とを含み、前記追跡機構は、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられた少なくともいくつかのダイ・ストリングをコピーし、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられたダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当て、ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトの第１インデックス・ストリングを調整する。
【００１４】
一例では、本発明によるシステムは、ソース・オブジェクトのダイ・マップからダイ・ストリングを生成するダイ・ボンディング装置をさらに備える。
【００１５】
他の例では、本発明によるシステムは、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられたインデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するためのダイ履歴表をさらに備える。
【００１６】
他の実施態様では、本発明は、製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するシステムに関し、このシステムは、複数のダイ・ユニットと１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てる手段であって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する手段と、ダイ・ユニットの少なくともいくつかをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、複数のダイ・ユニットに関連付けられた複数のダイ・ストリングをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーする手段と、受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられたダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てる手段と、ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトの第１インデックス・ストリングを調整する手段とを含む。より具体的には、ダイ・ストリングは、ウエハＩＤおよびダイ座標を含み、ダイ・ストリングは、ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成され、ダイ座標は、Ｘ座標とＹ座標を含む。一例では、ダイ・ストリングは、ウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む。本発明によるシステムの一例では、ソース・オブジェクトは複数のウエハであり、受け取りオブジェクトは複数のリード・フレームである。他の例では、ソース・オブジェクトは複数のリード・フレームであり、受け取りオブジェクトは複数のマガジンである。
【００１７】
一例では、本発明によるシステムは、複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える。
【００１８】
他の例では、本発明によるシステムは、ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える。
【００１９】
他の例では、本発明によるシステムは、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶する手段をさらに備える。
【００２０】
本発明の一例はまた、コンピュータ可読媒体にあるコンピュータ・プログラム製品も対象とし、コンピュータ・プログラム製品は、コンピュータに、複数のダイ・ユニットと１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てさせる命令であって、前記複数のダイ・ユニットが、ソース・オブジェクトに関連付けられ、第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する命令と、コンピュータに、ダイ・ユニットの少なくともいくつかをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、複数のダイ・ユニットに関連付けられた複数のダイ・ストリングをソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーさせる命令と、コンピュータに、受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられたダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てさせる命令と、コンピュータに、ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、ソース・オブジェクトの第１インデックス・ストリングを調整させる命令とを備える。
【００２１】
一例では、本発明によるコンピュータ・プログラム製品は、コンピュータに、複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える。
【００２２】
他の例では、本発明によるコンピュータ・プログラム製品は、コンピュータに、ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える。
【００２３】
他の例では、本発明によるコンピュータ・プログラム製品は、コンピュータに、ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶させる命令をさらに備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施形態は、たとえば１つのロットの一部が他のロットに輸送される製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するのを容易にするダイ・レベルの追跡遂行システム、方法、製品を提供する。ここで図面、より具体的には図１を参照すると、たとえば１つのファクトリーまたはロットから他にマテリアルを輸送する間のダイ・ユニットを追跡するのを容易にし、かつたとえばロット輸送プロセス中にダイ・データと個々のダイの対応を効率的に維持する、全体が１００で示されたダイ・レベル追跡遂行システムが示されている。システム１００は、１つまたは複数の製造システム１０２、試験、組立て、パッケージング・システム１０４（たとえば、ＦＬＥＸ（商標）試験システム、Ｔｅｒａｄｙｎｅ，Ｉｎｃ．、マサチューセッツ州ボストン）、ホスト・ネットワーク１０６、ユーザ・インタフェース１０８、アプリケーション・サーバ１１０（たとえば、ＩＢＭ  ＷｅｂＳｐｈｅｒｅ（登録商標）アプリケーション・サーバ、ＩＢＭ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ、ニューヨーク州アーモンク）、データベース１１２（たとえば、Ｏｒａｃｌｅ、Ｏｒａｃｌｅ  Ｃｏｐｏｒａｔｉｏｎ、カリフォルニア州レッドウッド・ショアーズ）を含む。試験、組立て、およびパッケージング・システム１０４は、たとえば、ウエハ試験１０４ａ（たとえば、ＡＰＴシステム、Ｋｅｉｔｈｌｅｙ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃ．、オハイオ州クリーブランド）、ダイシング１０４ｂ（たとえば、Ｄｙｎａｔｅｘ  Ｗａｆｅｒ  Ｄｉｃｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ、Ｄｙｎａｔｏｅｘ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ、カリフォルニア州サンタ・ローザ）、１つのワイヤ・ボンディング１０４ｃ（たとえば、Ｋｕｌｉｃｋｅ＆Ｓｏｆｆａ、ペンシルバニア州ウィロー・グローブ）、封止１０４ｄ、試験とバーン・イン１０４ｅに関するオペレーションを実施する装置を含む。当業者には容易に認識されるように、任意の数の異なる装置とプロセスを、上記のシステム１００と共に使用することが考えられる。
【００２５】
本発明の１つまたは複数の実施形態では、アプリケーション・サーバ１１０は、ユーザからの各ダイ・ユニットに対して固有ダイＩＤを生成する。アプリケーション・サーバ１１０は、ダイＩＤをダイ・ユニットに１対１の対応で割り当てる。本発明の他の実施形態では、ダイＩＤは、製造システム１０２によって生成される。ダイＩＤは、ユーザ定義される、あるいはアプリケーションまたはツールによって外部から生成される自由形式ストリング（ダイ・ストリング）とすることができる。生成されたダイＩＤは、データベース１１２に記憶される。ロットまたはマテリアルにおけるダイ・ユニットのダイＩＤは、ロットまたはマテリアルのオブジェクト（ＷＩＰオブジェクト）に割り当てられる連結ストリングとして記憶することができる。一例では、ダイ情報は、キャリア・オブジェクトに関連付けられる最大ＷＩＰオブジェクト（たとえば、マテリアルではなくロット）に割り当てることができる。
【００２６】
個々のダイの追跡の履歴や、個々のダイが製造システム１０２を経て進行し、異なるＷＩＰオブジェクトの中を進む際の履歴に関して、本発明の１つまたは複数の実施形態は、アプリケーション・サーバ１１０が、製造システム１０２においてソースＷＩＰオブジェクトからのダイ情報にインデックス・ストリングを割り当てている。このインデックス・ストリングは、たとえば、所与のＷＩＰオブジェクトにおける実際のダイ・ユニットを表す１つまたは複数の数値範囲である。製造システム１０２は、試験、組立て、パッケージング・システム１０４において、各装置によって実施されたダイ・ユニットの輸送オペレーションに関するデータをアプリケーション・サーバ１１０に送信する。１つの特定の例では、ダイ・ボンディング・ツール１０４ｃは、ウエハからのどの一連のダイが個々のリード・フレームまたはマガジンに配置されるかに関する情報を提供する。アプリケーション・サーバ１１０は、ネットワーク１０６を介してこのデータを受信し、受信ＷＩＰオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに対応するダイ情報に他のインデックス・ストリングを割り当てる。本発明の実施形態では、ソースＷＩＰオブジェクトからのすべてのダイ情報が、受信ＷＩＰオブジェクトにコピーされる。アプリケーション・サーバ１１０は、ソースＷＩＰオブジェクトから輸送されたダイ・ユニットに対応するインデックス・ストリングを受信ＷＩＰオブジェクトのダイ情報と連結し、結果として得られるストリングをデータベース１１２に記憶する。さらに、アプリケーション・サーバ１１０は、ソースＷＩＰオブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、ソースＷＩＰオブジェクトにおいてダイ・ユニットに対応するインデックス・ストリングを調整し、結果として得られるストリングをデータベース１１２に記憶する。このようにして、システム１００は、特定のダイが１つのＷＩＰオブジェクトから他へ進む際に特定のダイの履歴を追跡し、通常はより大量であるダイ情報を調整するのではなく、インデックス・ストリングを調整することによってＷＩＰオブジェクトの中のダイを輸送する。
【００２７】
２００で全体的に示される図２は、本発明のダイ・レベル追跡遂行機構の例示的な実施形態による例示的な方法を示す。ステップ２０２において、アプリケーション・サーバ１１０は、個々のダイＩＤの固有ストリングをロットまたはマテリアルのオブジェクトのダイ・ユニットに割り当てる。一実施形態では、アプリケーション・サーバ１１０は、ダイＩＤの連続範囲をロットまたはマテリアルのオブジェクトに割り当てる。アプリケーション・サーバ１１０によってＷＩＰオブジェクトに割り当てられたダイＩＤ（および関連して、一般的にはダイ情報）は、フロントエンド設備からなど、ダイ・マップからの入力の結果とすることができ、または、個々のツールによって提供され、一意に識別可能な形態である。１つの特定の例では、ダイ・ボンディング・ツール１０４ｃは、個々のリード・フレームまたはマガジンに配置されたウエハにおけるダイ・ユニットの座標の形態でダイ情報を提供することができる。このダイ情報は、絶対固有座標を含むことができる（たとえば、＜固有ウエハＩＤ＞＿＜Ｘm＞＿＜Ｙn＞、＜固有ウエハＩＤ＞＿＜Ｘv＞＿＜Ｙw）。
【００２８】
本発明の１つまたは複数の代替（および／または重複）実施形態では、システムは、ダイＩＤに付加することができるダイ情報の５つの追加の整合ストリングをサポートする。一例では、各ストリングにおいて記述される項目の数は、ダイＩＤストリングの個別のダイＩＤの数と一致する。ダイＩＤに割り当てられたインデックス・ストリングはまた、ダイＩＤに付加されたすべての追加ストリングに適用される。これらの追加ストリングにより、ユーザは、データを個別のダイＩＤに付加することを必要とせずに、追加のダイ情報を定義することが可能になる。実際上、各ダイＩＤごとに５つの属性フィールドを有するのと等しくなる。これらのストリングは、インデックス・ストリングと共に、１セットのダイ・データを形成する。ロットまたはマテリアルのダイ・データは、対応するインデックス・ストリングと共に、個々のダイＩＤの連結ストリングに記憶される。インデックスは、ロットまたはマテリアルのオブジェクトによって保持される実際のダイまたはダイの範囲を示す。
【００２９】
本発明の一実施形態では、ダイ情報は、ウエハが長方形ではないとき、たとえばダイ・ボンディング・ツールによるピッキング順序データを有するダイ・マップを含む。図３は、ウエハの例示的なダイ・ピッキング・パターンを示す。ダイ・ボンディング機器のダイ・ピッキング・パターンは、リード・フレーム・マガジンに渡されるダイＩＤリストを決定する。図４は、ダイ・ボンディング・ツールによるウエハのダイ・ピッキング順序の例を示す。ダイ・マップを含むこのダイ情報は、ダイ情報フォーマットが範囲内にある場合、使用され、そのことは、ＷＩＰオブジェクトに割り当てられたダイ情報がデータベース１１２から直接取出し可能な個別のダイＩＤを有さないことを意味する。一例では、ピッキング・パターン情報は、製品のタイプごとに記憶され、他の（または重複する）例では、ピッキング・パターン情報は、ウエハのサイズごとに記憶される。
【００３０】
本発明の１つまたは複数の実施形態は、製品タイプのウエハのダイ座標パターンを記憶するダイ・ピッキング順序表（およびその使用法）を含む。一例では、ダイ・ピッキング順序表は、ウエハの座標範囲とシーケンス番号範囲との間のルックアップ表として使用することができる。一例では、ルックアップ表は、ダイ範囲情報が番号付き範囲として提供される場合、実際の座標の探索を容易にする。表１は、図４に示すウエハのダイ・ピッキング順序の例を示す。この表がルックアップとして使用されるときはいつでも、システムは、既知の名称付けの特定に基づいて、ダイＩＤストリングの一部を取り除く。一例では、「ウエハ２３４１５＿ｘ２４＿ｙ２」を探索する間、システムは、ダイＩＤの「ｘ２４＿ｙ２」部分を使用する。たとえば、ダイ・ボンディング機器が、ウエハ「ウエハＸＹＺ」からリード・フレーム・マガジン「マガジン１０１」へのダイ・ユニット１から４８０の輸送を示す場合、システムは、ウエハの製品タイプに基づいて、適切なピッキング・パターンを検索する。範囲１から４８０について、システムは、ウエハＩＤを各シーケンスの座標と連結することによって、個々のダイＩＤを生成することができる（たとえば、第１ダイについて「ウエハＸＹＺ＿ｘ２１＿ｙ１」、第２ダイについて「ウエハＸＹＺ＿ｘ２２＿ｙ１」など）。したがって、「マガジン１０１」のダイ・データは、「ウエハＸＹＺ＿ｘ２１＿ｙ１、ウエハＸＹＺ＿ｘ２２＿ｙ１、・・・、ウエハＸＹＺ＿ｘｎ＿ｙｍ」であり、インデックス・ストリングは「１：４８０」である。
【００３１】
【表１】
2008517465.tif 000003
【００３２】
一例では、表１の各座標のシーケンス番号は、分割トランザクション後、個々のダイＩＤを識別するために使用することができる。表１に示すように、システムは、３つの部分、すなわち未処理座標範囲データ、シーケンス番号範囲データ、ダイ・マップ名にダイ情報を記憶することができる。一例では、ダイ情報は、ダイ・ストリング（たとえば、「ウエハ１＿ｘ１＿ｙ１：ウエハ１＿ｘ３＿ｙ４２」）、範囲データ（たとえば、１：４８０）、ダイ・マップ名（たとえば、製品Ａ＿ウエハ＿パターン）を含む。
【００３３】
引き続き図２を参照すると、ステップ２０４において、アプリケーション・サーバ１１０は、インデックス・ストリングをＷＩＰオブジェクトのダイ・ユニットに割り当てる。本発明の一実施形態では、インデックス・ストリングは、ＷＩＰオブジェクトのダイ・ユニットの範囲を表す。決定ステップ２０６において、システムは、ダイ・ユニットが１つのＷＩＰオブジェクトから他へ物理的に輸送されるかを判定する。ダイ・ユニットが１つのＷＩＰオブジェクトから他へ輸送される例示的なオペレーションには、損失の記録、ロットの分割と併合、マテリアルの輸送、同じロット内におけるマテリアルの再グループ化、ロットからのマテリアルの除去、ロットの終端、ロットの調整などがある。１つのＷＩＰオブジェクトから他へダイ・ユニットが物理的に輸送される場合、ステップ２０８において、システムは、ダイ情報を受信ＷＩＰオブジェクトにコピーする。
【００３４】
本発明の１つまたは複数の実施形態では、ダイ・ユニットの物理的な輸送は、分割ロット・トランザクションを含むオペレーション中に行われる。本発明の他の実施形態では、ダイ・ユニットの物理的な輸送は、ロット併合オペレーションを含むオペレーション中に行われる。分割ロット・トランザクションに関する本発明の一実施形態では、システムは、ステップ２０８において、親ロットのダイ情報全体を子ロットにコピーする。併合オペレーションに関する本発明の一実施形態では、システムは、対象ロットに併合されるすべてのロットのダイ情報を併合する。以下の例は、分割ロット・トランザクションを示す。
分割前の親ロットのダイ・データ：
「ロット３４４５６−１．１＿ｘ３４＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ３５＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ１＿ｙ４８、・・・、ロット３４４５６−１．２＿ｘ１＿ｙ１」
範囲データ（インデックス・ストリング）＝１：５０００
ユーザが子ロットに輸送されたダイの範囲を特定する：
子ロット＃１が受信する：
ダイＩＤストリング＝「ロット３４４５６−１．１＿ｘ３４＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ３５＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ１＿ｙ４８、・・・、ロット３４４５６−１．２＿ｘ１＿ｙ１」←変更なし
範囲データ＝１：２５００←インデックス・ストリングにおけるダイの有効範囲
子ロット＃２が受信する：
ダイＩＤストリング＝「ロット３４４５６−１．１＿ｘ３４＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ３５＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ１＿ｙ４８、・・・、ロット３４４５６−１．２＿ｘ１＿ｙ１」←変更なし
範囲データ＝２５０１：５０００←インデックス・ストリングにおけるダイの有効範囲
分割後の親ロットのダイ・データ：
「ロット３４４５６−１．１＿ｘ３４＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ３５＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ１＿ｙ４８、・・・、ロット３４４５６−１．２＿ｘ１＿ｙ１」←変更なし
範囲データ＝０：０←ストリングにおけるダイの有効範囲がゼロに調整される。
したがって、すべてのダイＩＤストリングは同じままであり、インデックス・ストリングのみが変化する（以下で詳述される）。
【００３５】
再び図２を参照すると、ステップ２１０において、システムは、受信ＷＩＰオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットに他のインデックス・ストリングを割り当てる。本発明の一実施形態では、インデックス・ストリングは、ソースＷＩＰオブジェクトから受信ＷＩＰオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示す。ステップ２１２において、システムは、ソースＷＩＰオブジェクトに残存するダイ・ユニットに割り当てられたインデックス・ストリングを調整する。一実施形態において、インデックス・ストリングは、輸送後、ソースＷＩＰオブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために調整される。図５、６は、１つのＷＩＰオブジェクトから他へのダイ・ユニットの輸送前と輸送後のロットにおける例示的なダイ・データを示す（たとえば、ロット１からロット２のロット分割トランザクション、ロット３とロット４の間のロット併合トランザクション）。
【００３６】
本発明の１つまたは複数の実施形態（および／またはその環境）では、ダイ・ユニットの物理的な輸送は、製造システム１０２においてダイ・ボンディング１０４ｃとワイヤ・ボンディング１０４ｄを経てウエハ・カセットを含むロットを移動させることと、ダイをリード・フレームの上に配置することと、リード・フレームをリード・フレーム・マガジンに配置することとを含むオペレーション中に行われる。一例では、マテリアルが、リード・フレームの１つのマガジンを表すために作られる。マガジンのダイＩＤは、そのマテリアルに割り当てることができる。一例では、ダイ情報は、以下を含む。
ダイＩＤストリング：＜ユーザ定義自由形式ダイＩＤストリング＞
追加ストリング１：＜ユーザ定義自由形式追加ダイ情報ストリング＞
追加ストリング２：＜ユーザ定義自由形式追加ダイ情報ストリング＞
追加ストリング３：＜ユーザ定義自由形式追加ダイ情報ストリング＞
追加ストリング４：＜ユーザ定義自由形式追加ダイ情報ストリング＞
追加ストリング５：＜ユーザ定義自由形式追加ダイ情報ストリング＞
範囲データ：＜ダイＩＤストリングに関する範囲データ＞
ダイ・マップ名：［随意選択］＜ダイ・マップ名＞←ダイ・ピッキング順序
例：
個別のダイＩＤの場合：
ダイＩＤストリング＝「ロット３４４５６−１．１＿ｘ３４＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ３５＿ｙ４７、ロット３４４５６−１．１＿ｘ１＿ｙ４８、・・・、ロット３４４５６−１．２＿ｘ１＿ｙ１」
追加ストリング１：「リード・フレーム１、リード・フレーム１、・・・、リード・フレーム４０」
追加ストリング２：「位置−１、位置−１、・・・、位置−３」
追加ストリング３：「ウエハ−４、ウエハ−４、・・・、ウエハ−５」
追加ストリング４：
追加ストリング５：
範囲データ＝１：４８０
ダイ・マップ名：
範囲座標の場合：
ダイＩＤストリング：「ウエハ１＿ｘ１＿ｙ１：ウエハ１＿ｘ３＿ｙ４２」
追加ストリング１：「リード・フレーム１、リード・フレーム１、・・・、リード・フレーム４０」
追加ストリング２：「位置−１、位置−１、・・・、位置−３」
追加ストリング３：「ウエハ−４、ウエハ−４、・・・、ウエハ−５」
追加ストリング４：
追加ストリング５：
範囲データ：１：４８０
ダイ・マップ名：「製品Ａ＿ウエハ＿パターン」←ダイ・ピッキング順序
【００３７】
これらのダイＩＤデータは、ロットまたはマテリアルのオブジェクトに割り当てられる。
【００３８】
本発明の１つまたは複数の実施形態では、１つのＷＩＰオブジェクトから他へのダイ・ユニットの輸送による変化は、ダイ履歴表に記録される。他の実施形態では、ＷＩＰオブジェクトの履歴を含むダイ・ユニットを搬送するＷＩＰオブジェクトの痕跡により、システムがダイ・ユニットの履歴を追跡するのが容易になる。
【００３９】
図７は、ロットまたはマテリアルのオペレーションについてダイＩＤを特定するために使用される例示的な特定ダイ情報ＵＩを示す。損失の記録、ロットの分割、マテリアルの輸送など、あるロットまたはマテリアルのオペレーション中、選択されたロットまたはマテリアルが、割り当てられたダイＩＤを有する場合、システムは、範囲の観点から、または図７に示すような個々のダイＩＤリストの形式において、ダイＩＤ情報を特定するためにユーザ・インタフェースを提供する。一例では、図７に示すように「ダイ範囲を特定する」選択肢が選択されるとき、システムは、ユーザに、そのダイＩＤについてインデックス範囲を特定させる（たとえば、ダイ１から４８は、マテリアル輸送オペレーションにマガジン＿１に行く）。他の例では、図８に示すように、「ダイＩＤリストを特定する」選択肢が選択されると、ＵＩの下方部分が有効化され、ダイＩＤの既存リストが、「利用可能ダイ」リストに表示される。他の例では、ユーザは、リストから個々のダイを選択することができ、またはこのリスト・ボックスから範囲を選択し、それを「割当てダイ」リスト・ボックスに追加することができる。また以前に指摘したように、ダイＩＤは、ある基準および／または規則に基づいてシステムによって自動的に生成することができる。
【００４０】
本発明の１つまたは複数の実施形態では、システムは、個別のフォーマットでダイＩＤを含むダイ・データを有するダイ・ユニットの履歴を生成するために使用される。一例では、システムは、
１．探索ダイ履歴ＵＩを起動して、ダイＩＤとロットＩＤ（利用可能である場合）を提供することと、
２．ａ）利用可能なロットＩＤについて、対象ロット・オブジェクトに基づいてダイＩＤストリングを取り出し、ダイＩＤストリングにおける特定のダイ・ユニットのインデックス位置を決定し、ダイＩＤストリングを含むすべてのＷＩＰオブジェクトを検索する探索基準としてダイＩＤストリングを使用し、検索された各ＷＩＰオブジェクトについて、ＷＩＰオブジェクトのインデックス範囲がダイ・ユニットのインデックスを含むかどうかを確認することと、
ｂ）利用不可能なロットＩＤについて、すべてのＷＩＰオブジェクトについて走査して、ダイＩＤに対する整合についてダイＩＤストリングを検査し、ダイＩＤストリングにおける特定のダイのインデックス位置を決定し、ダイＩＤストリングを含むすべてのＷＩＰオブジェクトを検索する探索基準としてダイＩＤストリングを使用し、検索された各ＷＩＰオブジェクトについて、ＷＩＰオブジェクトのインデックス範囲がダイ・ユニットのインデックスを含むかどうかを確認することと、
３．特定のＷＩＰオブジェクトに関連付けられたキャリアと機器を示すために、ＷＩＰオブジェクトの履歴を含むリストからそのオブジェクトの履歴を表示することとによって、ダイ・ユニットの履歴を表示するために、図９に示すＵＩを使用する。
【００４１】
図９は、ダイ追跡情報を検索するための例示的な探索ダイ履歴ＵＩを示す。ＵＩにより追跡情報を検索するために、特定のダイＩＤとロットＩＤを入力することによって、ダイの追跡遂行情報を探索することが可能になる。入力には、（探索される）ダイＩＤ：ウエハ１＿ｘ１＿ｙ１と、ロットＩＤ：チップの現ロットＩＤがある。ユーザは行を選択し、右クリックして、そのオブジェクトの履歴ＵＩを起動することができる。
【００４２】
本発明の一部および対応する詳細な記述は、ソフトウエア、コンピュータ・プログラム、またはアルゴリズムに関して提示される。ソフトウエアは、コンピュータ・メモリ内のデータ・ビットの形態で記憶されているオペレーションまたはステップの記号表示を含む。アルゴリズムは、所望の結果をもたらすステップのシーケンスである。ステップは、物理量の物理的な操作を必要とするものである。必ずしもそうである必要はないが、通常、これらの量は、記憶する、転送する、組み合わせる、比較する、それ以外の方法で操作することができる光信号、電気信号、または磁気信号の形態をとる。特に断りがない限り、または議論から明らかであるように、「処理する」や「決定する」などの用語は、コンピュータ・システム内において物理的な電子量として表されるデータを操作し、それをコンピュータ・システムのメモリまたはレジスタ、あるいは他のそのような情報記憶装置、情報送信装置、または情報表示装置内において物理量として同様に表される他のデータに変換するコンピュータ・システム、または同様の電子計算装置のアクションおよびプロセスを指す。
【００４３】
上記の詳細な記述は、上記で議論された様々な実施形態に適用される本発明の基本的な新規な特徴を図示、記述、および指摘しているが、示された装置の形態および詳細について様々な省略および代用および変更が、本発明の精神および範囲から逸脱せずに当業者によって実施されることが可能であることが理解されるであろう。記述された実施形態は、すべての観点において単に例示であり、制約ではないとみなされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明による例示的なダイ・レベル追跡遂行システムの実施形態を示す図である。
【図２】本発明のダイ・レベル追跡遂行機構の例示的な実施形態による流れ図である。
【図３】ウエハの例示的なダイ・ピッキング・パターンを示す図である。
【図４】ウエハのダイ・ピッキング順序の例を示す図である。
【図５】分割ロット・トランザクションにおいて、１つのロットから他のロットへの輸送前および輸送後のロットにおける例示的なダイ・データを示す図である。
【図６】併合ロット・トランザクションにおいて、１つのロットから他のロットへの輸送前および輸送後のロットにおける例示的なダイ・データを示す図である。
【図７】ロットまたはマテリアルのオペレーションについてダイＩＤを特定するために使用される、本発明の例示的なグラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＵＩ）を示す図である。
【図８】ロットまたはマテリアルのオペレーションについてダイＩＤを特定するために使用される、本発明の他の例示的なグラフィカル・ユーザ・インタフェースを示す図である。
【図９】ダイ追跡情報を検索するために使用される本発明の例示的なグラフィカル・ユーザ・インタフェースを示す図である。
【図１】
2008517465.tif 000004
【図２】
2008517465.tif 000005
【図３】
2008517465.tif 000006
【図４】
2008517465.tif 000007
【図５】
2008517465.tif 000008
【図６】
2008517465.tif 000009
【図７】
2008517465.tif 000010
【図８】
2008517465.tif 000011
【図９】
2008517465.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成19年6月18日(2007.6.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡する方法であって、
複数のダイ・ユニットに１対１対応である複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てるステップであって、前記複数のダイ・ユニットが、ソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別するステップと、
前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーするステップと、
前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てるステップと、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整するステップとを含む、方法。
【請求項２】
複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てるステップをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶するステップをさらに含み、前記記憶されたインデックス・ストリングとダイ・ストリングが、前記ダイ・ユニットの履歴を追跡する請求項１に記載の方法。
【請求項５】
ダイ・ユニット追跡情報を備えるレポートを生成するステップをさらに含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ダイ・ストリングが、ウエハＩＤとダイ座標を含む請求項１に記載の方法。
【請求項７】
各ダイ座標が、Ｘ座標とＹ座標を含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ダイ・ストリングが、ウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ソース・オブジェクトが複数のウエハであり、前記受け取りオブジェクトが複数のリード・フレームである請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ソース・オブジェクトが第１の複数のリード・フレームであり、前記受け取りオブジェクトが第２の複数のマガジンである請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ダイ・ストリングが前記ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
製造オペレーション中にダイ・ユニットを追跡するシステムであって、
複数のダイ・ユニットに１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てる手段であって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が、前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する手段と、
前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーする手段と、
前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングを割り当てる手段と、
前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整する手段とを備える、システム。
【請求項１３】
複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てる手段をさらに備える請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶する手段をさらに備える請求項１２に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとダイ座標を含む請求項１２に記載のシステム。
【請求項１７】
前記ダイ座標がＸ座標とＹ座標を含む請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記ダイ・ストリングがウエハＩＤとある範囲の番号シーケンスを含む請求項１２に記載のシステム。
【請求項１９】
前記ソース・オブジェクトが複数のウエハであり、前記受け取りオブジェクトが複数のリード・フレームである請求項１２に記載のシステム。
【請求項２０】
前記ソース・オブジェクトが複数のリード・フレームであり、前記受け取りオブジェクトが複数のマガジンである請求項１２に記載のシステム。
【請求項２１】
前記ダイ・ストリングが前記ソース・オブジェクトのダイ・マップから生成される請求項１２に記載のシステム。
【請求項２２】
コンピュータ可読媒体にあるコンピュータ・プログラム製品であり、
コンピュータに、複数のダイ・ユニットに１対１対応で一意に割り当てられた複数のダイ・ストリングに第１インデックス・ストリングを割り当てさせる命令であって、前記複数のダイ・ユニットがソース・オブジェクトに関連付けられ、前記第１インデックス・ストリングによって包含されるインデックスの各範囲が前記複数のダイ・ストリングの１つを識別する、命令と、
コンピュータに、前記ダイ・ユニットの少なくともいくつかを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトに輸送した後、前記複数のダイ・ユニットに関連付けられた前記複数のダイ・ストリングを前記ソース・オブジェクトから受け取りオブジェクトにコピーさせる命令と、
コンピュータに、前記受け取りオブジェクトに輸送されたダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記ダイ・ストリングに第２インデックス・ストリングに割り当てさせる命令と、
コンピュータに、前記ソース・オブジェクトに残存するダイ・ユニットを示すために、前記ソース・オブジェクトの前記第１インデックス・ストリングを調整させる命令とを備える、コンピュータ・プログラム製品。
【請求項２３】
コンピュータに、複数のユーザ定義ストリングを前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える請求項２２に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【請求項２４】
コンピュータに、ダイ・ピッキング順序を前記複数のダイ・ストリングに１対１対応で割り当てさせる命令をさらに備える請求項２２に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【請求項２５】
コンピュータに、前記ソース・オブジェクトから前記受け取りオブジェクトに輸送された前記ダイ・ユニットに関連付けられた前記インデックス・ストリングとダイ・ストリングを記憶させる命令をさらに備える請求項２２に記載のコンピュータ・プログラム製品。
【国際調査報告】
2008517465.tif 000013
2008517465.tif 000014