(57)【要約】  投射表示を生成するための装置、システム、および方法が開示される。光源が、拡張キャビティ面発光半導体レーザアレイを使用して、赤色、緑色、および青色光を発生する。個々のレーザのビームは、オーバーラップしており、表示面上のスペックルを低減させるように選択された光学的属性の分布を有する。【選択図】  図１
2008508559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
投射型ディスプレイシステム用装置であって、
複数のオーバーラップしている赤色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第１のアレイと、
複数のオーバーラップしている緑色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第２のアレイと、
複数のオーバーラップしている青色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第３のアレイとを含む光源を備えており、
前記光源が、前記投射型ディスプレイシステムの空間変調器を、前記投射型ディスプレイシステムによって投射スクリーン上に生成された画像に実質的にスペックルが無いように選択された個々の半導体レーザのビームの光学的属性の分布を有する赤色、緑色、および青色光で照射するように構成された、装置。
【請求項２】
前記光源の各前記アレイの光出力を、前記空間変調器の入力光照射要件に合致するように同期させるように構成されたレーザコントローラを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
複数の前記アレイのうち少なくとも１つが、非線形周波数変換によって特定の色で光を発生する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
各前記アレイが、前記空間変調器の素子の最小オン時間よりも短い期間であって、前記最小オン時間の間、前記素子によって最小数のレーザパルスが遮られるように選択された期間を有する繰返しレートでパルスが与えられるように構成される、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記空間変調器が、デジタルミラーライトバルブおよび液晶ライトバルブからなる群から選択される、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
各前記アレイ内の各レーザが、モード同期レーザとして動作する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
各前記アレイ内の各レーザが、連続波レーザとして動作する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記光源の各レーザビームを投射して、前記空間変調器に整合する均一なトップハット空間強度分布にするように構成された光学素子のアレイを更に備える、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
各前記アレイが、サブアレイに分割され、それらが、各色に必要なグレースケールを実現するために、何分の一かの時間の間オンであるように時間系列バーストモードにおいて互いにパルス変調され、また前記ライトバルブに同期される、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記光源が、各前記アレイと前記ライトバルブの間に、光を結合するための光導波路を更に備え、前記光導波路が、各アレイの個々のレーザからのビームをスクランブルするようにされた、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
前記アレイのうち少なくとも１つが、レーザキャビティ内に収容された非線形光学結晶を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
赤色波長、青色波長、および緑色波長が、レーザキャビティの外側の非線形光学結晶を用いた周波数２倍化によって実現される、請求項１に記載の装置。
【請求項１３】
安定した空間モード共振器を形成するために、キャビティ内レンズのアレイが設けられる、請求項１に記載の装置。
【請求項１４】
前記キャビティ内レンズが、基板の表面上にエッチングされる、または、前記基板の前記表面上に接着される、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記キャビティ内レンズが、半導体チップ内の温度勾配から形成される、請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
前記アレイのそれぞれが、直列に、または直列／並列の組合せで接続された、複数の面発光レーザ素子を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項１７】
複数の前記アレイのうち少なくとも１つの各拡張キャビティ半導体レーザが、キャビティ内表面格子、体積格子、ソリッドエタロン、薄膜被覆エタロン、およびリオフィルタからなる群から選択される波長制御素子によって制御される基本波波長を有する、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前記波長制御素子が、各前記拡張キャビティ半導体レーザ内で、少なくとも１つの他の光学的機能を実施する、請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
各前記拡張キャビティ半導体レーザ内で、可視高調波放射が、直交する高調波光がほぼ直角に反射され基本波波長が低損失で透過される、ダイクロイックフィルタまたは偏光選択性プリズムによって、前記キャビティの外で結合される、請求項１に記載の装置。
【請求項２０】
各拡張キャビティ半導体レーザの波長が、利得領域の両側に成長させて、基本波レーザ波長の動作波長を定義するためのファブリーペロー共振器を形成する、キャビティ内の１対のブラッグミラーによって制御される、請求項１に記載の装置。
【請求項２１】
非線形光学材料が、周期分極ニオブ酸リチウム、周期分極タンタル酸リチウム、および周期分極ＫＴＰからなる群から選択される、請求項１に記載の装置。
【請求項２２】
前記色のうち１色のための２つ以上のアレイが、特定の色の合計の光出力パワーを増大させるために、一緒にタイル状に並べられる、請求項１に記載の装置。
【請求項２３】
複数のアレイが、周波数変換され、一緒にタイル状に並べられて異なる色のビームアレイが製作される、請求項１に記載の装置。
【請求項２４】
各アレイのレーザ素子が、個々にアドレス可能である、請求項１に記載の装置。
【請求項２５】
アレイの部分群が、個々にアドレス可能である、請求項１に記載の装置。
【請求項２６】
複数の前記アレイのうち少なくとも１つにおける幾つかの個々のレーザが、後に故障したレーザの置き換えに使用するのにそれらを予備に取っておくために、ある初期期間中に作動されない、請求項１に記載の装置。
【請求項２７】
複数の前記アレイのうちの１つにおける各レーザが、多重空間モードまたは多重軸モードレーザである、請求項１に記載の装置。
【請求項２８】
前記アレイの前記ビームが、回折光学素子または回折限界ビームを投射するように設計された他の光学素子からなるアレイ光学システムを透過する、請求項１に記載の装置。
【請求項２９】
投射型ディスプレイライトシステムであって、
投射スクリーン上に画素を生成するための素子のアレイを有する空間変調器と、
前記空間変調器を照射するように構成された光源であって、
複数のオーバーラップしている赤色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第１のアレイであり、前記複数の赤色光ビームの光学的属性の分布が、前記投射スクリーン上に表示される赤色光に関して、実質的にスペックルが発生されないように選択される第１のアレイと、
複数のオーバーラップしている緑色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第２のアレイであり、前記複数のビームの光学的属性の分布が、前記投射スクリーン上に表示される緑色光に関して、実質的にスペックルが発生されないように選択される第２のアレイと、
複数のオーバーラップしている青色光ビーム発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第３のアレイであり、前記複数のビームの光学的属性の分布が、前記投射スクリーン上に表示される青色光に関して、実質的にスペックルが発生されないように選択される第３のアレイと
を含む光源と、
前記光源の各前記アレイの各レーザの光出力を、前記空間変調器の入力光照射要件に合致するように同期させるように構成されたレーザコントローラと
を備える、投射型ディスプレイライトシステム。
【請求項３０】
カラー画像を生成する投射型ディスプレイシステム用装置であって、
拡張キャビティ面発光半導体レーザの複数の異なるタイプのアレイを含み、各タイプのアレイが、前記投射型ディスプレイシステムで使用される選択された色の光を発生するようにされ、これによって少なくとも２つの異なる色の光を発生する光源を備えており、
前記光源が、前記投射型ディスプレイシステムの空間変調器を、前記投射型ディスプレイシステムによって投射スクリーン上に生成された画像に、実質的にスペックルが無いように選択された、個々の半導体レーザのビームの光学的属性の分布を有する光で照射するように構成される、装置。
【請求項３１】
各前記拡張キャビティ面発光レーザが、非線形周波数変換器を含むアレイを含み、各前記タイプのアレイが、キャビティ内周波数変換によって特定の色で光を発生する、請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
投射型ディスプレイシステム用装置であって、
赤色光を発生するようにされたキャビティ内周波数変換器を有する拡張キャビティ面発光半導体レーザの第１の組であり、拡張キャビティ面発光レーザの前記第１の組のそれぞれが、前記第１の組の他のメンバに対してインコヒーレントに動作する第１の組と、
緑色光を発生するようにされたキャビティ内周波数変換器を有する拡張キャビティ面発光半導体レーザの第２の組であり、拡張キャビティ面発光レーザの前記第２の組のそれぞれが、前記第２の組の他のメンバに対してインコヒーレントに動作する第２の組と、
青色光を発生するようにされたキャビティ内周波数変換器を有する拡張キャビティ面発光半導体レーザの第３の組であり、拡張キャビティ面発光レーザの前記第３の組のそれぞれが、前記第３の組の他のメンバに対してインコヒーレントに動作する第３の組とを含む光源を備えており、
前記光源が、前記投射型ディスプレイシステムの空間変調器を、前記投射型ディスプレイシステムによって投射スクリーン上に生成された画像に、実質的にスペックルが無いように選択された光学的属性の分布を有する赤色、緑色、および青色光で照射するように構成される、装置。
【請求項３３】
投射型ディスプレイ用の光源を生成する方法であって、
赤色、緑色、および青色光を異なるアレイから発生するための、拡張キャビティ面発光半導体レーザの個々のアレイを備える光源を設けるステップと、
空間変調器の赤色、緑色、および青色光についての照射要件に合致するものが選択された順序で、異なる時間間隔で各レーザアレイを駆動し、それによって、ライトプロセッシングが回転カラーホイールを必要とせずに実現されるステップと
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
[0001]本発明は一般に、デジタルライトプロセッシングシステムで使用する光源に関する。より詳細には、本発明は、拡張キャビティ面発光半導体レーザの少なくとも１つのアレイから形成される、デジタルライトプロセッシングシステム用の光源を対象とする。
【発明の背景】
【０００２】
[0002]デジタルライトプロセッシング（ＤＬＰ）は、会議室内で映像を投影するような投射型ディスプレイシステム、家庭用テレビジョンシステム、広告表示装置、自動車のダッシュボード表示装置およびヘッドアップ表示装置、ならびに他の適用分野において重要である。ＤＬＰシステムでは、投影面に強度が制御された画素を生成するために、空間光変調器が光源を変調する。ライトバルブが、素子のアレイ全体にわたって光を変調する空間光変調器の一種である。ライトバルブは一般に、アレイ全体にわたって、光学的透過または反射特性を変調する。例えば、反射型液晶ライトバルブでは、液晶素子のアレイを利用して、反射光の強度をアレイ全体にわたって変調する。別の一般的なタイプのライトバルブは、２つの位置の間で個々に傾動して表示面上に反射される画素あたりの光量を変えることができる可動マイクロミラーのアレイを有する、デジタルマイクロミラーデバイスチップ（しばしば「デジタルライトバルブ」として知られる）である。
【０００３】
[0003]コストを考慮すると、一般に、ＤＬＰシステム内に単一の空間光変調器を使用することが求められる。従来は、光源として明るい白色光が使用されている。白色光源から赤色、緑色、および青色光を分離するために、回転カラーホイールが使用される。したがって、カラーホイールの赤色フィルタが、白色光源に対して一直線に並んだとき、赤色光が画素の赤色として空間変調器上に合焦され、カラーホイールの緑色フィルタおよび青色フィルタに関しても同様である。
【０００４】
[0004]従来型のＤＬＰシステムにはいくつかの欠点がある。第１に、画像が所望するほど明るくないことがある。従来型の白色光源は、限られた光のルーメン数しか発生しない。更に、従来型のＤＬＰシステムは、かなりの量の光エネルギーを浪費する。第２に、カラーホイールによって、彩度など、表示画像のいくつかの属性が有害に影響され、そのことが表示画像に偽信号をもたらす恐れがある。第３に、ＤＬＰシステムは、高価な光学素子を含む。
【発明の概要】
【０００５】
[0005]投射型ディスプレイシステムは、いくつかの異なる色で光を発生する半導体レーザアレイを有する光源を含む。この半導体レーザは、互いにほぼインコヒーレントに動作し、スペックルを低減するものが選択された光学的属性の分布を有する。
【０００６】
[0006]方法の一実施形態では、アレイ内の各レーザが、空間変調器の赤色、緑色、および青色光についての照射要件に合致する順序で、異なる時間間隔で駆動され、したがって、デジタルライトプロセッシングシステムにカラーホイールが必要とされない。
【０００７】
[0007]投射型ディスプレイシステム用装置の一実施形態は、複数のオーバーラップしている赤色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第１のアレイと、複数のオーバーラップしている緑色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第２のアレイと、複数のオーバーラップしている青色光ビームを発生するようにされた、拡張キャビティ面発光半導体レーザの第３のアレイとを有する光源を備えており、この光源が、投射型ディスプレイシステムの空間変調器を、投射型ディスプレイシステムによって投射スクリーン上に生成された画像に実質的にスペックルが無いように選択された個々の半導体レーザのビームの光学的属性の分布を有する赤色、緑色、および青色光で照射するように構成される。一実施形態では、それらの色のうち２つ以上の色の光が、キャビティ内周波数２倍化を使用して発生される。
【０００８】
[0008]本発明は、以下の詳細な説明に関して添付の図面と合わせてより完全に理解される。
【０００９】
[0014]同じ参照番号は、これらの図面のいくつかの図を通して対応する部分を表す。
【発明の詳細な説明】
【００１０】
[0015]図１は、ライトプロセッシング（ＬＰ）システムで必要とされるいくつかの異なる色で光を発生するための光源１００を示す側面図である。赤色―緑色―青色（ＲＧＢ）ＬＰシステムでは、光源が赤色、緑色、および青色光を発生する。半導体レーザの第１のアレイ１０５が、２つ以上の個々のレーザから複数の青色光ビーム１０７を発生するために使用される。半導体レーザの第２のアレイ１１０が、２つ以上の個々のレーザから複数の赤色光ビーム１１３を発生するために使用される。半導体レーザの第３のアレイ１１５が、２つ以上の個々のレーザから複数の緑色光ビーム１１８を発生するために使用される。したがって、光源１００は、異なる数組のレーザを含む。２つ以上のレーザからなる個々の組が、ＬＰシステム内で使用される光の特定の色を発生する。しかし、以下により詳細に説明するように、好ましい一実施形態では、１組中の個々のレーザが、スペックルを低減させるために、同じ組内の他のレーザに対してほぼインコヒーレントである（例えば、位相がずれている）ように設計される。図１では、各レーザアレイ１０５、１１０、および１１５が、４つの個々のレーザエミッタ（図示せず）から４つのビームを発生しているように示されている。しかし、より一般には、各レーザアレイ１０５、１１０、１１５は、任意数の個々のレーザを有することができる。
【００１１】
[0016]一実施形態では、光源１００内の個々のレーザおよび光学素子（図示せず）が、好ましくは、アレイ１０５、１１０、および１１５の個々のビーム１０７、１１３、および１１８が少なくとも部分的にオーバーラップし、したがって、光源１００によって、空間光変調器（図示せず）が均一に照射されるように構成されることに注目すべきである。空間光変調器は、マイクロミラーを有する、デジタルミラーライトバルブ（時に「デジタルライトバルブ」として知られる）などのライトバルブでも、液晶素子のアレイから形成されるライトバルブでも、ｌｉｑｕｉｄ  ｃｒｙｓｔａｌ  ｏｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ（ＬＣＯＳ）空間変調器でもよい。個々のビーム１０７、１１３、および１１８の初期のオーバーラップを例えば僅か一部分とし、追加の光学素子（図示せず）によって増加させることができる。
【００１２】
[0017]光源の発光周波数を異なる周波数の出力色に変換するために、アレイ１０５、１１０、および１１５のうち１つまたは複数で、非線形周波数変換器１２０、１２５、または１３０を利用することができる。非線形周波数変換により、ある光源周波数で発光された光を、別の周波数に変換することが可能になる。例えば、一実施形態では、赤色波長、青色波長、および緑色波長が、個々のレーザ内の半導体利得素子によって発生された光源のレーザ周波数を周波数２倍化することによって発生される。別の実施形態では、赤色レーザが、赤色波長範囲内で直接作動するが、緑色および青色が、周波数２倍化によって発生される。あるいは、赤色レーザを、非線形光学過程によってパラメータ的に下方変換された緑色レーザアレイで構成することもできる。非線形周波数変換器１２０は、個々のレーザそれぞれのレーザ共振器内に配設してもよく、共振器の外側に配設してもよい。非線形周波数変換器として使用することができる非線形結晶の例には、周期分極ニオブ酸リチウム、周期分極タンタル酸リチウム、および周期分極ＫＴＰがある。これらの非線形結晶には、それらの信頼性および／または分極の質を向上させるために、酸化マグネシウムなどの適当なドーパントを使用することができる。
【００１３】
[0018]光を結合し、更なる周波数安定性をもたらすために、出力カプラ１２０、１２５、および１３０を含むことができる。例えば、出力カプラ１２０、１２５、および１３０は、光を結合し、個々のサブアレイの周波数制御をもたらすための、体積ブラッグ格子（ｖｏｌｕｍｅ  Ｂｒａｇｇ  ｇｒａｔｉｎｇ）を含むことができる。例えば、一実施形態では、出力カプラ１２０、１２５、および１３０のうち１つまたは複数が、体積ブラッグ格子を備える。更に、各レーザの波長を制御するために、１つまたは複数の波長制御素子（図示せず）を含むこともできる。波長制御素子の例には、キャビティ内表面格子、体積格子、ソリッドエタロン、薄膜被覆エタロン、およびリオフィルタがある。これらの波長制御素子は、別々でもよく、小型化およびコスト低減上の理由で、他のキャビティ内素子とモノリシックに結合されてもよい。
【００１４】
[0019]本発明の一側面は、合計の光パワーが、光源１００内のレーザの合計数にほぼ比例することである。説明のための一例として、光源１００は、それぞれが少なくとも１つのレーザの列を有する、３つの異なる半導体のダイから形成することができる。更に、追加のダイを、アレイ１０５、１１０、または１１５のうち少なくとも１つに２つ以上のダイといった、タイル構成で含むことによって、パワー出力を更に増大させることができる。パッケージングされた光源１００は、例えば、１平方ｃｍ程度の合計面積を有するエミッタのアレイを形成することができる。一実施形態（図示せず）では、２つ以上の光源１００からの出力が、光学的に結合される。更に、光学技術を使用して、個々のアレイ１０５、１１０、および１１５の出力を、同色を発光しているアレイと結合することもできる。２つ以上のアレイ１０５、１１０、および１１５の、または２つ以上の光源１００の光出力を光学的に結合する技術の例には、ダイクロイック光学系または偏光ビーム結合光学系がある。
【００１５】
[0020]本発明の別の側面では、赤色アレイ１０５、緑色アレイ１１０、または青色アレイ１１５のうち１つまたは複数を、拡張キャビティ面発光半導体レーザから形成する。図２は、従来技術の拡張キャビティ面発光レーザ２００の例を示す。拡張キャビティ面発光半導体レーザは、端面発光半導体レーザまたは従来型の面発光レーザに勝るいくつかの利点を有する半導体レーザの部類である。拡張キャビティ面発光レーザは一般に、半導体利得素子内に配設された少なくとも１つの反射器を含む。例えば、量子井戸利得領域２１０の両側に成長させた、キャビティ内の１対のブラッグミラー２０５が、基本波レーザ波長の動作波長を定義するためのファブリーペロー共振器を形成する。半導体利得素子から離隔された追加の外部反射器２１５が、光共振器の拡張キャビティを画定し、更なる波長制御をもたらす。量子井戸利得領域２１０、ブラッグミラー２０５、および外部反射器２１５を適当に選択することによって、基本波波長を広い波長範囲内で選択することができる。次いで、所望の色で光を発生するために、基本波波長を、周波数２倍化光学結晶（ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  ｄｏｕｂｌｉｎｇ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｃｒｙｓｔａｌ）２２０によって周波数２倍化することができる。
【００１６】
[0021]光周波数２倍化光学結晶２２０、または他の周波数変換デバイスを含む、追加の光学素子を、キャビティ内周波数変換用に、拡張キャビティの光共振器内に含むことができる。別の例として、モード同期レーザを形成するために、拡張キャビティ内（または半導体利得素子内）に、飽和性吸収体（図示せず）を含むことができる。効率的なモード同期拡張キャビティ半導体レーザが、本願と同日出願の同時係属中の出願、代理人整理番号ＮＯＶＸ―００４／０２、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ、Ｓｙｓｔｅｍ、ａｎｄ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ  ｏｆ  Ｍｏｄｅ−Ｌｏｃｋｅｄ  Ｅｘｔｅｎｄｅｄ  Ｃａｖｉｔｙ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｌａｓｅｒｓ」に記載されている。その内容をここに、参照により組み込む。
【００１７】
[0022]カリフォルニア州サニーベールのＮｏｖａｌｕｘ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎによって開発された拡張キャビティ面発光半導体レーザは、光パワー出力が高いこと、動作寿命が長いこと、レーザ波長を正確に制御できること、空間光学モード（ｓｐａｔｉａｌ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｍｏｄｅ）を制御できることを実証し、製造およびテストを都合良くできるようにする、面発光の利点をもたらし、光を赤色、緑色、および青色で発生するために、第二高調波周波数２倍器などの光周波数変換素子を含むようにできる。更に、高パワー拡張キャビティ面発光レーザアレイを、単一のダイ上に製作することができ、したがって光源１００を、少数の異なる半導体のダイ、周波数変換器、および周波数制御素子だけを利用する高度に製造可能なプロセスにおいて製作することができる。その結果、従来型の白色光ＬＰシステムよりも大きな、赤色、緑色、および青色での有用なパワー出力を有し、また高い製造可能性により妥当な価格で製造し得る拡張キャビティ面発光アレイを利用する光源１００を製造することができる。Ｎｏｖａｌｕｘ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎによって開発された、個々の拡張キャビティ面発光半導体レーザおよび周波数２倍化面発光レーザについて記載した背景情報が、米国特許第６２４３４０７号、第６４０４７９７号、第６６１４８２７号、第６７７８５８２号、および第６８９８２２５号に記載されている。これらのそれぞれの内容を本明細書に参照により取り込む。拡張キャビティ面発光レーザの他の詳細が、米国特許出願１０／７４５３４２および１０／７３４５５３に記載されている。これらの内容をここに、参照により組み込む。更に、拡張キャビティ面発光半導体レーザの例に関する詳細を、以下により詳しく説明する。
【００１８】
[0023]一実施形態では、光源１００内のレーザが、パルスモードで動作するように設計される。アレイ１０５、１１０、および１１５それぞれの、個々のレーザをそれぞれ駆動するために、電気コネクタ（図示せず）が設けられる。各レーザアレイ１０５、１１０、および１１５の駆動電流および／または電圧を調節するのに、レーザコントローラ１８０が使用される。レーザコントローラ１８０は、好ましくは、個々のレーザアレイ１０５、１１０、１１５が、パルスモードで動作することを可能にする。一実施形態では、レーザコントローラ１８０は、個々のレーザアレイ１０５、１１０、および１１５が、順次動作し、すなわち、ある時間間隔中に赤色光を、別の時間間隔中に緑色光を、別の時間間隔中に青色光を発生し、それによって、ＬＰシステム内での、光をフィルタリングするためのカラーホイールの必要性がなくなることを可能にする。一実施形態では、個々のレーザおよびレーザの部分群が、レーザコントローラ１８０によって独立にアドレス可能である。レーザコントローラ１８０には、駆動電流／電圧を調整して選択された出力特性を維持するために、光学モニタ（図示せず）からのフィードバックを使用することもできる。例えば、レーザコントローラ１８０は、ＬＰシステム内に所望のグレースケールを維持するために、駆動電流またはパルス幅を調整することができる。一実施形態では、製造後のレーザアレイ１０５、１１０、および１１５が、少なくとも１つのバックアップ用のレーザを含む。この実施形態では、レーザコントローラ１８０が、各アレイ内で使用される動作可能なレーザの初期の組を決定する。次いで、予備に取ってあるバックアップ用のレーザが、故障したレーザを置き換えることが必要なときにオンにされ、それによって光源１００の有用な寿命が増大される。
【００１９】
[0024]一実施形態では、レーザアレイ１０５、１１０、および１１５がそれぞれ、パルスモードで駆動される。パルスモード動作は、熱放散の低減を含む、いくつかの利点をもたらす。更に、パルスモードの動作は、パルスパラメータに応じて、有益なスペクトル広がりをもたらすこともできる。ライトバルブは一般に、それが反射または透過状態を変更するのに必要な特性時間、および関連する最小オン時間を有する。パルスモードの動作では、光源１００は、ライトバルブの最小オン時間に比べて光パルスと光パルスの間の期間が短いように、繰返しレートの高いパルスを発生することが好ましい。したがって、繰返しレートが高いことによって、予め選択された最小数のレーザパルスがデジタルライトバルブのマイクロミラーに、その可能な最短のオン周期中にぶつかることが可能になり、グレースケール解像度が向上する。繰返しレートの一例は１ＭＨｚほども速く、これはテレビジョン、ビデオおよびコンピュータグラフィックスに使用される、従来のフレーム繰返しレートよりもかなり速い。より一般には、繰返しレートを、特定のＬＰシステムの特性に基づいて選択することができる。例えば、レーザ繰返しレートは、会議室用プロジェクタおよび家庭用テレビジョンで使用される市販のデジタルミラーライトバルブまたは液晶ライトバルブで、フルグレースケールを実現するのと変わらないほど十分に高いことが好ましい。
【００２０】
[0025]光源１００は、好ましくは、ＬＰシステム内のスペックルを許容可能なレベルまで実質的に低減させるように、すなわち、ＬＰシステム内の画像を見ている人々に、許容可能な視体験をもたらすレベルまでスペックルを低減させるように設計される。光学分野で公知のように、スペックルは、コヒーレント光が散乱中心から反射されるときに生じる。その結果として生じる干渉により、外見がまだらな明るい斑点および暗い斑点が発生する。スペックルは、スペックルパターンの山から谷（ｐｅａｋ−ｔｏ−ｖａｌｌｅｙ）の強度変調、すなわち、明るい斑点と暗い斑点の間の山から谷の強度百分率変化によって数値的に特徴付けることができる。ＬＰの技術分野で時々使用される１つのルールは、許容可能な視体験を実現するには、約４％未満のスペックル変調がＬＰシステム内に求められるというものである。
【００２１】
[0026]レーザによって照射されるＬＰシステムの文脈では、スペックルは、コヒーレント光が、ライトバルブ内またはＬＰシステムの他の光学素子内の散乱中心から反射するときに生じる。スペックルは、投射画像の光学的な質を低下させる光学的不均一性を生じる。スペックルは、単一のレーザ光源から高度にコヒーレントな光を受け取るＬＰシステムにおいて特に深刻な問題である。光学分野で公知のように、コヒーレンスは、光波が建設的に、また有害に干渉する能力に関連する。光周波数、位相、および空間属性の分布が狭い単一のレーザ光源は、高度にコヒーレントであり、したがってスペックルを発生しやすい。
【００２２】
[0027]本発明の一実施形態によれば、単独で使用しても、組み合わせて使用してもよい、光源１００の光学的属性（例えば、位相、スペクトル幅）の分布を増大させることによって光源１００内のコヒーレンスを低減させるいくつかの異なる技術によって、光源１００を使用するＬＰシステム内でスペックルが低減される。第１に、互いにほぼインコヒーレントな光源１００内の同色のレーザの数を増加することにより、スペックルが低減される傾向がある。単一のアレイ１０５、１１０、または１１５内の各レーザはコヒーレントなレーザ光を同色で発光するが、異なる位相を有する同色の位相がずれたレーザは、スペックルを生じさせる光学的干渉効果に関して互いにインコヒーレントである。結果として、位相がずれた各レーザのためのスペックルにより誘起された強度のばらつきが、他のレーザのそれとは無関係であり、したがって、位相がずれたレーザアレイ１０５、１１０、または１１５の結合された照射均一性が、位相がずれたレーザの数が増大するにつれて向上する。具体的には、スペックルは、等しい振幅を有する同色の位相がずれたレーザの数の平方根に反比例して減少する傾向がある。したがって、各アレイ内のレーザは、好ましくは互いに位相がずれて動作するように設計される。すなわち個々のアレイ１０５、１１０、または１１５は、アレイ内の２つ以上のレーザの周波数および位相を互いに著しくロックさせる重大なレーザ内フィードバックを設けないように設計される。第２に、スペクトル広がりによりスペックルが低減されるので、スペクトルを広げるどのような動作モードも、スペックルを低減させる傾向にある。半導体レーザのスペクトルを広げる技術の例には、レーザを、スペクトル広がりを発生するように選択されたパルスパラメータ（例えばオン時間）と共にパルスモードで動作させること、スペクトル広がりを発生するように選択されたレーザの高周波数変調、スペクトル広がりを発生するモード同期レーザ、および、例えばモード同期レーザをパルスモードで動作させるようにこれらの部分的組合せがある。第３に、アレイ１０５、１１０、および１１５内の個々のレーザを、各レーザの周波数、位相、および方向（角度）分布を増大させるために、複数の周波数、軸または空間モードで動作するように設計することができる。第４に、コヒーレンスを低減させるために、光学素子を使用して、ビーム１０７、１１３、および１１８の方向、位相および偏光情報をスクランブルすることができる。
【００２３】
[0028]レーザアレイ１０５、１１０、および１１５内で使用される拡張キャビティレーザは、安定した光学特性を有することが望ましい。更に、周波数２倍化が使用される場合、第二高調波変換プロセスの効率を低減させるディフェージング（ｄｅｐｈａｓｉｎｇ）効果を最小限に抑えることが望ましい。図３は、光学モードを安定させ、周波数２倍化プロセス中に有害なディフェージングを低減するためのレンズ３１０を有する拡張キャビティ面発光レーザ３００を示す。各レーザ利得素子３０５が、光学利得領域を含み、１つまたは複数の分布ブラッグ反射器（図示せず）を含んでもよい。一実施形態では、エッチングされたレンズ３１０が半導体基板３１５上に形成される。一代替実施形態では、エッチングされたレンズ３１０の代わりに外部レンズ（図示せず）が使用され、外部レンズは、光学ガラスなど従来の光学材料を使用して形成される。製作後のエッチングされたレンズ３１０の例の輪郭を、詳細挿入図３５０内に示す。非線形光学材料３２０が、レーザ共振器内に収容される。共振ミラー３２５が、非線形材料上に直接堆積され、またはそれは格子デバイスでもよく、その両方とも、非線形光学材料３２０の位相整合波長に整合するように、出力波長を制御するように設計される。しかし、アレイの個々の素子を製作するのに、他の技術を使用することができることが理解されよう。
【００２４】
[0029]キャビティ内レンズ３１０は、半共焦点構成で、安定した横モード（好ましくはＴＥＭ００モード）をもたらすために使用される。この構成では、赤外光（すなわち、半導体によって発生された周波数２倍化される基本波周波数光）が、非線形光学材料３２０内に合焦されると共に、前方に向かっている高調波光がフラット出力カプラ（図示せず）を透過し、逆向きの高調波光が、基本波波長に高度に透過で且つ高調波波長において高度に反射するように被覆されたレンズ３１０の表面から反射される。このレンズ素子は、高調波光には凸面鏡として働き、基本波波長レーザビームをオーバーラップさせるため、非線形材料内に低減された強度をもたらす。
【００２５】
[0030]オーバーラップ領域内の強度が、非線形光学材料３２０内の基本波レーザビームで低減されると、全体の非線形変換効率を低減させる如何なるディフェージング効果も低減されるという利点がある。前進波および後進波のビーム広がりは、ほぼ同じである。高調波光の前進波のモードウエスト（ｍｏｄｅ  ｗａｉｓｔ）位置が、出力ミラーの位置に近く、後進波のモードウエスト位置が、反射ミラーの虚像のところである。これらの２つのビームは、ビーム角が幾分異なるが、同じ方向に伝播する。
【００２６】
[0031]キャビティ内の集光レンズ３１０は、半導体の表面をエッチングすることによって、あるいはガラスまたはバイナリ光学レンズを導入することによって製作することができ、その全てをアレイ形式で製作することができる。そのようなレンズをキャビティ内に導入すると、ｄｎ／ｄｔ（温度に伴う屈折率の変化）が正の材料を有する大部分のレーザシステムに通常存在する熱レンズの可変効果が低減されることになる。しかし、キャビティの空間モードを安定化するだけのために熱レンズに依存する実施形態も、本発明の範囲内である。この場合、後方に伝播している第二高調波ビームを取り出すためのより従来的な方法、例えば４５°ビームスプリッタを介するものを使用することができる。
【００２７】
[0032]非線形結晶３２０は、出力ミラー（図示せず）のところ、またはその近くに配置され、あるいは、非線形結晶３２０に直接堆積された、高調波において高度に透過し基本波波長において高度に反射するミラー３２５を有することができる。独立した出力ミラーが使用される場合、それは、波長を選択するための体積ホログラフィック格子から構成されてもよく、レプリカ格子または共振エタロン反射器（ｒｅｓｏｎａｎｔ  ｅｔａｌｏｎ  ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ）など、他の任意の波長共振反射器から構成されてもよい。あるいは、ミラーは、広帯域コーティングで被覆された従来型のガラス素子でもよく、ソリッドエタロンまたは薄膜が堆積されたエタロンなどの波長選択器を、キャビティ内にある傾斜角で配置することもできる。そうした素子（格子またはエタロン）は、別々でもよく、（小型化およびコスト低減のために）他の素子と一体化されてもよい。例えば、従来型の格子または薄膜干渉フィルタを、非線形結晶のウェッジ面（ｗｅｄｇｅｄ  ｓｕｒｆａｃｅ）上、または出力ミラーの第２の（キャビティ内に向いている）面上に堆積させることができる。出力ミラーは、非線形光学材料３２０が配置されるキャビティ内に中間の焦点をもたらし、それにより、非線形結晶内の有効経路長が２倍になるように設計された凸面反射器（ｃｏｎｖｅｘ  ｒｅｆｌｅｃｔｏｒ）でもよい。
【００２８】
[0033]光源１００を、ライトバルブの他に異なるタイプの空間変調器と共に使用できることが理解される。一実施形態では、光源１００は、走査光学システムで使用する単一のビームを発生するように設計された光学レンズシステムを有することもできる。走査光学システムでは、空間変調器が、レーザビームをＸ−Ｙラスター動作で走査するのに使用されるミラーを備える。走査光学システムの場合、アレイ内の各ビームが、好ましくはほぼ回折限界であるべきである。
【００２９】
[0034]図４は、光源１００から投射スクリーン４０５への光路の概略レイアウトを示す、本発明の一実施形態によるＬＰシステム４００の構成図である。光源１００からのビームを、多くの場合矩形である光導波路４１０内に合焦させることができ、次いで、ビームが光導波路４１０から出てきた後に、ライトバルブ４２０（例えばデジタルライトバルブ）上に合焦させることができる。光源１００によって発生されたビームは、いくらかの初期のオーバーラップを有する。しかし、光導波路は、ビームのオーバーラップを増大させるように選択することができる。具体的には、内部の反射、回折、モード変換、または導波路の他の電磁的性質を使用して、光導波路４１０内でビームをスクランブルすることができる。この場合、全てのビームが、各ビーム内に別々に存在する可能性のある低減されたスペックルがある程度の均一性を伴ってオーバーラップする。モード同期レーザアレイの場合、モード同期パルスのスペクトル広がりから、スペックルが更に低減される。チャーピングあるいはいくつかの空間またはスペクトルモードでの動作によるスペクトル広がりを有するパルスデバイス（ｐｕｌｓｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ）でも、スペックルがある程度低減される。
【００３０】
[0035]システム４００内の個々のレーザは、位相をずらすことができる。パルス動作により、個々のレーザのスペクトルが広がる傾向があり、したがって、それらのコヒーレンスの程度が低減され、スペックルが低減される。単一のレンズ４３０が、互いに平行に移動している全てのレーザビームを、各ビームの直径およびレンズ４３０の焦点距離によって決まるスポットサイズで、１つの焦点に合焦させる。各サブアパーチャ（ｓｕｂ−ａｐｅｒｔｕｒｅ）を、レーザビームをアレイのピッチまで拡大することによって埋め、次いでその後、単一のレンズ４３０で合焦させて、全てのビームに最小のスポットサイズをもたらすことができる。入力レーザビームは、光導波路４１０内で、ビームをスクランブルさせる傾向がある複数のバウンドを受け、したがって出力光が、デジタルライトバルブに整合するように均一に埋められた矩形パターンを伴って光導波路４１０を出る。
【００３１】
[0036]一実施形態では、システム４００は、レーザアレイを制御するためのレーザコントローラ１８０、およびライトバルブを制御するためのライトバルブコントローラ４８０を含む。２つのコントローラは、好ましくは、互いに通信するためのリンク４９０を有する。一実施形態では、レーザコントローラ１８０は、繰返しレートなど、光源１００の動作属性を制御する。レーザコントローラ１８０は、レーザ出力を監視して、出力パワーを制御することができるように、センサ（図示せず）を含むことができる。モード同期レーザの場合、レーザコントローラ１８０は、レーザのモード同期に使用される飽和性吸収体の動作を制御することもできる。
【００３２】
[0037]レーザコントローラ１８０は、光源１００の赤色、緑色、または青色レーザが、フレーム中の特定部分の時間中に光を発光するか否かも決定する。一実施形態では、ＬＰシステム４００には、カラーフィルタホイールが無い。その代わりに、フレームの赤色、緑色、および青色部分が、光源１００の赤色、緑色、および青色レーザを同期させて、フレームの異なる時間中にバーストモードで動作させることによって生成される。バーストモードでは、光パルス列を発生させるために、１組のレーザ（例えば、赤色、緑色、または青色）のみが使用される。したがって、表示される各フレームでは、赤色レーザのみをオンにするのを、画素の赤色部分がライトバルブ４２０によって投射されるべきであるときに、緑色レーザのみをオンにするのを、画素の緑色部分がライトバルブ４２０によって投射されるべきであるときに、および青色レーザのみをオンにするのを、画素の青色部分がライトバルブ４２０によって投射されるべきであるときに同期させるために、レーザコントローラとライトバルブコントローラ４８０とが互いに通信する。このように調整することにより、単一のデジタルライトバルブチップを有するシステムで、カラーホイールフィルタを不要にすることが可能になり、信頼性および効率が向上し、表示画像の質が向上する。
【００３３】
[0038]更に、いくつかの実施形態では、デジタルライトバルブ内の個々のミラーなど、ライトバルブ４２０内の個々の素子の応答時間を補償するために、レーザコントローラ１８０によってレーザ繰返しレートが調整される。デジタルライトバルブは、マイクロミラーのオン／オフ応答をパルス幅変調することによって、グレースケールを制御する。デジタルライトバルブの個々のマイクロミラーは、オフ状態とオン状態の間でマイクロミラーを回転させることに関連する、立上り／立下り時間を有する。特定の色（例えば赤色）のレーザ光のバーストは、一続きのパルスである。前述のように、比較的高い基準の（ｎｏｍｉｎａｌ）パルスレートを選択すると、グレースケールの制御が容易になる。パルスレートが高いと、比較的短い最小ミラーオン時間を使用することが可能になる（バースト中のいくつかの光パルスが、投射スクリーンに偏向され得るため）。
【００３４】
[0039]一実施形態では、光源１００内の各レーザのパルス繰返しレートが、デジタルライトバルブのマイクロミラーの、最も決定的に重要な立上り／立下り部分での光学的応答を最適化するように調整される。例えば、デジタルライトバルブのミラーは、１０〜１５°など、有限な運動範囲内で傾動する。しかし、最後の１〜２°の傾きが、グレースケールの制御に大きな影響を及ぼす。マイクロミラーのターンオン／オフ応答に基づいて繰返しレートを調整することによって、デジタルライトバルブの光学的応答を最適化することができる。デジタルライトバルブと、各レーザアレイ１０５、１１０、および１１５とを十分に同期させることによって、マイクロミラーのターンオンまたはターンオフ段階に対して、パルス列を正確な時間に開始または停止させるように、各レーザアレイバーストのターンオンおよびターンオフを有利に時間調整することができることも理解されよう。更に、レーザアレイ１０５、１１０、および１１５の繰返しレートを、バースト中に動的に変化させることができることも理解されよう。
【００３５】
[0040]一実施形態では、各アレイ１０５、１１０、１１５を、有効パルスレートを増大させるために異なる位相で駆動される別々の小区分（「サブアレイ」）に電気的に分割することによって、有効パルスレートが増大される。この実施形態では、単一色の異なるサブアレイがそれぞれ、互いに位相が遅れた別々のドライバによってパルスが与えられる。位相差は、例えば、各色のパルスの合計のパルス繰返しレートを増大させるために、パルス繰返しレートをサブアレイの数で割ったものを選択することができる。こうすることにより、任意の適当なグレースケールを実現するべく、またマイクロミラーのデジタルミラーパルス幅ならびに立上り時間および立下り時間に適合するべく、アレイの個々の素子に関するどんなパルス繰返しレートの制限も克服されることになる。
【００３６】
[0041]図５は、光源５００内の各レーザからの光出力を、ライトバルブ５４０のプロファイルに整合するプロファイルに変換するように設計された光学レンズシステム５０５（格子縞パターンで示す）を含む投射システムの一実施形態を示す。例えば、個々のレーザ素子５１０が、その出力を、ライトバルブ５４０の光出力に整合する光出力に変換する光学素子を有する。同様に、別の個々のレーザ素子５２０が、その出力を、ライトバルブの光出力に整合する光出力に変換する光学素子を有する。この構成の利点は、ライトバルブ５４０の表面上の光学的均一性が、光源５００内のどの個々のレーザ素子が動作可能であるかということとは無関係であることである。すなわち、光学レンズシステム５０５の成果は、各レーザからの出力が、ライトバルブ５４０のところで、同じプロファイルでオーバーラップすることである。したがって、個々のレーザ素子５１０または５２０のうち１つまたは複数が故障しても、ライトバルブ５４０全体にわたる照射均一性に影響を及ぼさない。したがって、個々のレーザ素子が故障した場合には、照射均一性を変化させずにパワーの損失を補償するために、他のレーザ素子のパワー出力を増大させることができる。更に、この構成にすると、パワー出力を維持するために必要に応じてオンにされるバックアップ用レーザの使用が容易になる。
【００３７】
[0042]一実施形態では、光学レンズシステム５０５が、光源５００内のアレイの各レーザビームを投射して、矩形のトップハット強度プロファイル５１０にし、それがデジタルライトバルブ５２０上に結像される。回折光学素子などの光学素子を使用して、光源５００内の各素子からの円形のガウスレーザビームを、矩形のトップハット光学的分布に変換し、それがその後、ライトバルブの全面積を効率的に覆うように誘導され、次いでその後、前面または背面投射型スクリーン上に結像される。このレンズシステムは、例えば、反射型でも、回折型でも、透過型でもよく、ガラスレンズアレイから製作しても、デジタル光学レンズシステムから製作してもよい。デジタル光学レンズシステムは、プラスチックなどのさまざまな材料から製作することができる。デジタル光学レンズシステムは、アラバマ州ハンツビルのＭＥＭＳ  Ｏｐｔｉｃａｌ，Ｉｎｃなどのさまざまなベンダから入手することができる。一例として、光学レンズシステム５０５は、それぞれが円形のガウスレーザビームを発生するレーザのアレイに対して、トップハット強度分布を発生するように設計された非対称バイナリ光学レンズ構成を備えることができる。より一般的には、光学レンズシステムを、ライトバルブ５４０上に結像されるべき所望の強度プロファイル、光源５００内のレーザの構成の選択、および光源５００内の各レーザのビーム特性を考慮に入れた光学モデリング技術を使用して、設計することができる。
【００３８】
[0043]光学レンズシステム５０５により、アレイ内の各レーザが、デジタルライトバルブのプロファイルにほぼ整合した光ビームプロファイルを有することが可能になる。光学レンズシステムは、好ましくは、アレイ内の各レーザによって、ほぼ同一の矩形のトップハット強度プロファイルがデジタルライトバルブ上に投射されるように設計される。これにより、各レーザが、デジタルライトバルブにほぼ完全に整合することが可能になる。更に、光学レンズシステム５０５を追加したにも関わらず、ＬＰシステムの全光学システムがより安価になり得る。この理由は、従来型の３プリズムダイクロイックレンズシステムを、ＬＰシステム内に不要にすることができるためである。更に、個々のレーザの故障を、他のレーザのパワーを調整することによって、補償することができる。図５のシステムは、投射システムが均一な光の強度を有し、アレイからの合計の光パワーを制御できることからその強度をシステムの寿命全体に渡って維持することを可能とする。これは、アレイへの駆動電流を増大させることによって、または、後にオンすることができる、追加の（バックアップ用の）レーザ素子をアレイ内に有することによって、達成することができる。
【００３９】
[0044]面発光レーザアレイ１０５、１１０、および１１５のそれぞれを、全ての素子が直列動作、または、直列および並列の何らかの組合せの動作となるように、配線することができる。これにより、低減された電流及び低減された抵抗加熱によって、効率が向上した電力供給が可能になる。更に、直列配線されたアレイが、熱暴走を回避するために１つの電流で駆動される。更に、各色のサブアレイを３分の１の時間だけ順番に駆動することができる。これは、常時オンであってカラーフィルタホイールを使用して唯一の色を選択すると同時にランプからの他の波長を除去するランプとは対照的である。
【００４０】
[0045]以上、本発明を、３つの主要な色を発生する光源に関して説明してきたが、所望の出力色を有するビームを実現するために、光源１００および５００を、レーザアレイの特性および数を選択することによって、異なる色の順序、または３色以上の色を発生するようにできることも理解されよう。したがって、本発明は、赤色、緑色、および青色（ＲＧＢ）光源に基づく光投射システムでの使用に限定されないことが理解されよう。例えば、光投射システムが、ＲＧＢとは異なる組の色を必要とする場合、現在の光源１００および５００を、光投射システムで必要とされる異なる色のそれぞれを発生するレーザアレイを含むようにできる。非線形周波数変換を、周波数３倍化または４倍化に拡張することができることも理解される。
【００４１】
[0046]いくつかのタイプの空間変調器は、偏光光で最も効率的に作動する。一例として、いくつかのタイプの液晶変調器は、偏光光を変調する。いくつかの実施形態では、光源１００および５００が、偏光光を変調する空間変調器による変調を容易にするように選択された偏光を伴った設計になることが理解されよう。
【００４２】
[0047]先の記述では、説明のため、本発明の完全な理解が可能になるように、特定の用語を使用した。しかし、本発明を実施するために特定の詳細は必要でないことが、当業者には明らかであろう。したがって、本発明の特定の諸実施形態についての先の記述は、例示および説明のために提示されるものである。それらは、網羅的なもの、または本発明を開示された厳密な形式に限定するものではなく、上記の教示に鑑みて、多くの変更形態および変形形態が明らかに可能である。これらの実施形態は、本発明の原理およびその実際的な用途を最も良く説明するために選択され、説明されたものであり、企図される特定の使用に適したものではあるが、それによって当分野の他の技術者が本発明およびさまざまな変更形態を伴うさまざまな実施形態を最良に利用することが可能になる。特許請求の範囲およびそれらに相当するものが、本発明の範囲を規定するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態による、投射型ディスプレイで使用する光源を示す斜視図である。
【図２】従来技術の拡張キャビティ面発光レーザの例を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による光源で使用する、個々の面発光ダイオードレーザ利得素子を示す図である。
【図４】赤色、青色、および緑色、または更に多くの色のアレイが、光導波路内に合焦され、その後それがマイクロディスプレイライトバルブ上に結像され、次いで、前面または背面投射型ディスプレイシステム内のスクリーン上に再結像される投射型ディスプレイシステムを示す図である。
【図５】回折光学素子を使用して、光源内の各レーザ素子からの円形のガウスレーザビームを矩形のトップハット分布に変換し、それがその後、ライトバルブの全面積を効率的に覆うように誘導され、次いでその後、前面または背面投射型スクリーン上に結像される投射型ディスプレイシステムを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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