(57)【要約】      （修正有）【課題】滑らかな表面を具備して真空ピックアップが容易な伝導性弾性部材の提供。【解決手段】シート状のオープンセル構造のポリマー発泡体１４０と、ポリマー発泡体１４０の上面と下面及び気孔１４２の内面に伝導性粒子が混合された液状の弾性ゴムが硬化により接着されて形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５０と、ポリマー発泡体１４０の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５０の上面に伝導性粒子が混合された液状のポリマーががポリマーの硬化によって接着されて形成された伝導性ポリマーカバー層１１０と、ポリマー発泡体の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５４の下面に弾性ゴムの硬化によって接着された伝導性基材１３０と、を含み、ポリマー発泡体１４０の上面と下面及び気孔１４２の内面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層を介して伝導性ポリマーカバー層と伝導性基材が電気的又は熱的に連結される弾性部材。【選択図】図２
2015136940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱伝導性又は電気伝導性のうち少なくともいずれか一つの伝導性を有する伝導性弾性部材において、
上面と下面にスキン層がなく上下に多数の気孔が連結されたシート状のオープンセル構造の弾性を有するポリマー発泡体と、
前記ポリマー発泡体の上面と下面及び前記気孔の内面に伝導性粒子が混合された液状の弾性ゴムが硬化によって接着されて形成された伝導性弾性ゴムコーティング層と、
前記ポリマー発泡体の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層の上面に伝導性粒子が混合された液状の弾性を有するポリマーが前記ポリマーの硬化によって接着されて形成された伝導性ポリマーカバー層と、
前記ポリマー発泡体の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層の下面に前記液状の弾性ゴムの硬化によって接着された伝導性基材と、を含み、
前記ポリマー発泡体の上面と下面及び気孔の内面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層を介して前記伝導性ポリマーカバー層と前記伝導性基材が電気的又は熱的に連結されることを特徴とする伝導性弾性部材。
【請求項２】
前記ポリマー発泡体はポリウレタンゴム、ネオプレンゴム又はシリコーンゴムを含むことを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項３】
前記伝導性弾性ゴムコーティング層の弾性ゴムはウレタンゴム又はシリコーンゴムであり、前記伝導性粒子は銅、ニッケル、銀、伝導性カーボン、伝導性グラファイト、アルミナ又はボロンのうち少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項４】
前記伝導性弾性ゴムコーティング層の耐熱温度は前記ポリマー発泡体の耐熱温度と同じであるかそれより高いことを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項５】
前記伝導性基材は金属箔又は外面に金属がめっきされた伝導性布や伝導性メッシュであることを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項６】
前記伝導性基材の下面に伝導性粘着剤層が追加に形成されることを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項７】
前記伝導性基材は伝導性粘着テープであることを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項８】
前記伝導性基材ははんだ付けか可能な金属箔であり、前記ポリマー発泡体は前記伝導性弾性ゴムコーティング層によってリフローはんだ付けの温度条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項９】
前記伝導性弾性部材はリールテープに包装されて真空ピックアップによってリフローはんだ付けが可能であることを特徴とする請求項８に記載の伝導性弾性部材。
【請求項１０】
前記伝導性弾性部材の最大の押し率は最初の高さの８０％以内であり、押す力を除去すれば前記最初の高さと類似した高さに復元されることを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項１１】
前記ポリマー発泡体の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層はスキン層（ｓｋｉｎ  ｌｙａｅｒ）を形成することを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項１２】
前記伝導性ポリマーカバー層はスキン層を形成することを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【請求項１３】
前記伝導性弾性ゴムコーティング層が形成されたポリマー発泡体の側面は前記ポリマー発泡体によってオープンセル構造を有することを特徴とする請求項１に記載の伝導性弾性部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は伝導性弾性部材に関するものであり、特に滑らかな表面を具備するため真空ピックアップが容易で伝導性を向上させ接着力が強い弾性を有するカバー層を具備した伝導性弾性部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器と情報通信機器に使用する高周波用電子部品又はモジュールから発生した電磁波を外部に送らないか、外部で発生した電磁波から内部の高周波用部品又はモジュールを保護するために押す力が少なくかかり復元力と弾性がよく電気伝導性が優秀な電磁波遮蔽用ガスケット又は電気伝導性粘着テープが使用される。
【０００３】
これらの電気伝導性ガスケットや電気伝導性粘着テープは電気伝導性がよく電気抵抗が低いほど好ましく、また繰り返し印加される力によく復元されるように弾性がよいべきである。
【０００４】
このような電気伝導性を製造する従来技術として、本出願人によって出願されて公開された特許文献１によると、上面と下面にスキン層がなく上下に多数の気孔が連結されたオープンセル構造のポリマー発泡体と、前記ポリマー発泡体の上面と下面、前記気孔に伝導性パウダが混合された液状の伝導性ポリマーが硬化によって接着形成されて互いに連結された伝導性ポリマー弾性コーティング層と、前記ポリマー発泡体の上面又は下面のうちいずれか一面に前記硬化によって前記伝導性ポリマー弾性コーティング層に接着されたはんだ付け可能な金属箔と、上面又は下面のうち他の一面に前記硬化によって前記伝導性ポリマー弾性コーティング層に接着された伝導性弾性部材と、を含み、前記非発泡伝導性ポリマー弾性コーティング層に関係なく内部に位置した前記ポリマー発泡体のオープンセル構造によって前記伝導性ポリマー発泡弾性体はオープンセル構造を有し、前記伝導性ポリマー発泡弾性体を上下方向に加圧する際、前記気孔の容積率が減少して前記気孔間の接触増加によって前記伝導性ポリマー発泡弾性体の伝導性が増加することを特徴とする伝導性ポリマー発泡弾性体が開示される。
【０００５】
しかし、このような従来技術によると、ポリマーの上面に接着される金属箔や伝導性弾性部材が非発泡伝導性ポリマー弾性コーティング層の硬化によって接着されるため、非発泡伝導性ポリマー弾性コーティング層に沿って金属箔や伝導性弾性部材の表面が屈曲するか表面が粗くなって真空ピックアップが難しい問題点がある。
【０００６】
また、ポリマー発泡体の上面に形成される非発泡伝導性ポリマー弾性コーティング層の厚さが薄ければ十分は接着力を得ることができず、接着された金属箔や伝導性弾性部材と信頼性のある接着を提供することが難しい短所がある。
【０００７】
また、重力によってポリマー発泡体の上面に形成される非発泡伝導性ポリマー弾性コーティング層の厚さを厚く提供することが難しいため、結果的に上面の表面はオープンセル構造を有するポリマー発泡体のようにオープンセル構造のように気孔が形成されて摩擦の際に金属パウダーが剥離しやすく、また電気伝導度が悪い短所がある。
【０００８】
前記では電気伝導性を有する弾性体を例に挙げて説明したが、熱をよく伝達する熱伝導性弾性体の場合にも前記のような方法などで製造可能であるため、前記と類似した短所を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】大韓民国特許公開第２０１３−０１０６７４９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
よって、本発明の目的は滑らかな表面を具備して真空ピックアップが容易な伝導性弾性部材を提供することである。
【００１１】
本発明の目的は、表面を摩擦する際に伝導性パウダーが少なく離脱する伝導性弾性部材を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、ポリマー発泡体の上面に堅く接着されるカバー層を具備した伝導性弾性部材を提供することである。
【００１３】
本発明の他の目的は、表面方向の電動度がよい伝導性弾性部材を提供することである。
【００１４】
本発明の他の目的は、真空ピックアップによる表面実装とはんだクリームによるリフローはんだ付けが可能な伝導性弾性部材を提供することである。
【００１５】
本発明の他の目的は、使用が便利な弾性を有する伝導性粘着テープを含む伝導性弾性部材を提供することである。
【００１６】
本発明の他の目的は、製造が容易で信頼性のある伝導性弾性部材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的は、熱伝導性又は電気伝導性のうち少なくともいずれか一つの伝導性を有し、上面と下面にスキン層がなく上下に多数の気孔が連結されたシート状のオープンセル構造の弾性を有するポリマー発泡体と、前記ポリマー発泡体の上面と下面及び前記気孔の内面に伝導性粒子が混合された液状の弾性ゴムが硬化によって接着されて形成された伝導性弾性ゴムコーティング層と、前記ポリマー発泡体の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層の上面に伝導性粒子が混合された液状の弾性を有するポリマーが前記ポリマーの硬化によって接着されて形成された伝導性ポリマーカバー層と、前記ポリマー発泡体の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層の下面に前記弾性ゴムの硬化によって接着された伝導性基材と、を含み、前記ポリマー発泡体の上面と下面及び気孔の内面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層を介して前記伝導性ポリマーカバー層と前記伝導性基材が電気的又は熱的に連結されることを特徴とする伝導性弾性部材と、によって達成される。
【００１８】
好ましくは、前記ポリマー発泡体はポリウレタンゴム、ネオプレンゴム又はシリコーンゴムを含む。
【００１９】
好ましくは、前記伝導性弾性ゴムコーティング層の弾性ゴムはウレタンゴム又はシリコーンゴムであり、前記伝導性粒子は銅、ニッケル、銀、伝導性カーボン、伝導性グラファイト、アルミナ又はボロンのうち少なくともいずれか一つを含む。
【００２０】
好ましくは、前記伝導性弾性ゴムコーティング層の耐熱温度は前記ポリマー発泡体の耐熱温度と同じであるかそれより高い。
【００２１】
好ましくは、前記伝導性基材は金属箔又は外面に金属がめっきされた伝導性布や伝導性メッシュである。
【００２２】
好ましくは、前記伝導性基材の下面に伝導性粘着剤層が追加に形成されてもよく、前記伝導性粘着剤層の露出面に離型シートが追加に付着されてもよい。
【００２３】
好ましくは、前記伝導性基材は伝導性粘着テープである。好ましくは、前記伝導性基材ははんだ付けか可能な金属箔であり、前記ポリマー発泡体は前記伝導性弾性ゴムコーティング層によってリフローはんだ付けの温度条件を満足する。
【００２４】
好ましくは、前記伝導性弾性部材はリールテープに包装されて真空ピックアップによってリフローはんだ付けが可能である。
【００２５】
好ましくは、前記伝導性弾性部材の最大の押し率は最初の高さの８０％以内であり、押す力を除去すれば前記最初の高さと類似した高さに復元される。
【００２６】
好ましくは、前記ポリマー発泡体の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層はスキン層（ｓｋｉｎ  ｌａｙｅｒ）を形成し、より好ましくは、前記伝導性ポリマーカバー層はスキン層を形成する。
【００２７】
好ましくは、前記伝導性弾性ゴムコーティング層が形成されたポリマー発泡体の側面は前記ポリマー発泡体によってオープンセル構造を有する。
【発明の効果】
【００２８】
前記構造によると、液状の伝導性シリコーンゴムを保護フィルムの上に一定厚さで塗布した状態でポリマー発泡体の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層が液状の伝導性シリコーンゴムに接触するように積層した後、上から加圧して付着し、液状のシリコーンゴムを硬化して伝導性ポリマーカバー層を形成して硬化によって接着されるため、支持された保護フィルムによって伝導性ポリマーカバー層の表面が滑らかになって真空ピックアップが容易になる利点がある。即ち、一定厚さを有し上面が平面である伝導性ポリマーカバー層を提供するため、全体的に伝導性弾性部材の表面はスキン層が形成された滑らかな表面を有する。
【００２９】
このように、伝導性ポリマーカバー層によって滑らかで優麗な概観を具備し真空ピックアップが容易で表面がポリマー発泡体のオープンセル構造を有する気孔が形成されないため、摩擦の際に伝導性弾性ゴムコーティング層に分散された伝導性粒子の離脱を容易に防止することができる。
【００３０】
また、伝導性ポリマーカバー層を構成する液状の伝導性シリコーンゴムの硬化を利用して接着するため、十分な量の液状の伝導性シリコーンゴムを一定な厚さを有するように形成することで伝導性ポリマーカバー層がポリマー発泡体の上に堅く接着され、ポリマー発泡体の上面に形成される伝導性弾性ゴムコーティング層の厚さや容積について全く考慮する必要がない。
【００３１】
また、伝導性ポリマーカバー層を具備することで水平電動度が大きく増加する利点がある。即ち、伝導性ポリマーカバー層の電気伝導度と熱伝導度が伝導性弾性ゴムコーティング層全体の電気伝導度と熱伝導度よりよく、例えば伝導性弾性部材が電気伝導性素材として使用される場合、上下方向の電気伝導度より上面の水平方向の電気伝導度がよいため対向する対象物と電気接触抵抗が低くなり電磁波遮蔽効果がよい利点がある。
【００３２】
また、オープンセル構造に形成された気孔の内面と上下に形成された伝導性弾性ゴムのコーティング層によって外部から力を加えて押す際に伝導性が増加する。
【００３３】
また、耐熱温度が高く表面が水平で裏面に金属箔が形成されるため、真空ピックアップによる表面実装とはんだ付けクリームによる離フリーはんだ付けが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施例による伝導性弾性部材を示す図である。
【図２】図１の伝導性弾性部材の一部を切断した断面図である。
【図３】伝導性弾性部材の側面を示す写真である。
【図４】本発明の他の実施例による伝導性弾性部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、添付した図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。以下の説明において、「伝導性（ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ）」は熱伝導性又は電気伝導性であるか両者を具備すると解析する。
【００３６】
図１は本発明の一実施例による伝導性弾性部材を示す図であり、図２は伝導性弾性部材の一部を切断した断面図である。
【００３７】
伝導性弾性部材１００は、内部に多数の気孔１４２が形成されたオープンセル（ｏｐｅｎ  ｃｅｌｌ）構造のポリマー発泡体１４０、ポリマー発泡体１４０の上面と下面、そして気孔１４２の内面に伝導性粒子が普く混合された液状の伝導性ポリマーが硬化によって接着形成されて電気的又は熱的に互いに連結された伝導性弾性ゴムコーティング層１５０、ポリマー発泡体１４０の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５２の上面に伝導性粒子が混合された液状のポリマーがポリマーの硬化によって接着されて形成された伝導性ポリマーカバー層１１０及びポリマー発泡体１４０の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５４の下面に弾性ゴムの硬化によって接着された伝導性基材１３０を含む。
【００３８】
このような構造によると、ポリマー発泡体１４０の上面及び下面と気孔の内面にそれぞれ形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５２，１５３，１５４を介して伝導性ポリマーカバー層１１０と伝導性基材１３０が電気的又は熱的に連結される。
【００３９】
気孔１４２は公知のように化学発泡剤などによって形成されるが、洞窟状に形成されてオープンセル構造では水平や垂直方向に互いに連通されて上面と下面に開放される。オープンセル構造を有するポリマー発泡体１４０は、開かれた気孔１４２によって通常押す力が少なくかかり弾性及び弾性復元力がよい。
【００４０】
上述したように、伝導性は熱伝導性又は電気伝導性のうちいずれか一つであるか又は両者を全て含む。言い換えると、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０に熱伝導性又は電気伝導性粒子のうちいずれか一つが含まれるか両者が全て含まれる。
【００４１】
伝導性弾性ゴムコーティング層１５０に混合される伝導性粒子が電気伝導性粒子であれば上下電気抵抗が１０オーム（Ω）以下で低いほどよいが、本発明はそれに限らずに静電気を容易に除去するためにポリマー発泡体１４０の電気抵抗より低くてもよい。また、伝導性粒子が熱伝導性粒子であれば熱伝導率が０．８Ｗ／ｍ．ｋ以上で大きいほどよいが、それに限らずにポリマー発泡体１４０の熱伝導性よりよくてもよい。
【００４２】
本発明によると、伝導性弾性部材１００は２ｍｍ以下の厚さを有し、例えば最大押し率は最初の高さ（押されていない正常状態の高さ）の８０％以内が好ましいがそれに限らず、押す力を除去すると最初の高さと類似した高さに復元される。
【００４３】
ポリマー発泡体１４０はオープンセル構造に製造するのに容易な材料を使用して製造されるが、好ましくはポリマー発泡体１４０を構成する材料の耐熱温度は伝導性弾性ゴムコーティング層１５０を構成する材料の耐熱温度と同じであるかそれより低くてもよく、例えばポリウレタンゴム、ネオプレンゴム又はシリコーンゴムであってもよい。
【００４４】
ポリマー発泡体１４０は上下面にスキン層が形成されずに上下に気孔１４２が連続に形成されたオープンセル構造であり、厚さが均一で薄いシート状であって、例えばポリマー発泡体１４０の厚さは１．５ｍｍ以下であってもよいがそれに限らない。
【００４５】
ポリマー発泡体１４０の上面には別途の伝導性ポリマーカバー層が接着されてもよいが、それについては後述する。
【００４６】
このように、オープンセル構造に製造が容易なポリマー発泡体１４０が内部コア（ｃｏｒｅ）として提供されるため、全体的に伝導性弾性部材１００は押す力が少なく復元力及び弾性が優秀で製造が容易で生産性がよい。
【００４７】
伝導性弾性ゴムコーティング層１５０は銅、ニッケル、銀、伝導性カーボン又は伝導性グラファイトのうち少なくともいずれか一つの電気伝導性粒子が普く混合された液状の電気伝導性弾性ゴム又はアルミナ又はボロンのうち少なくともいずれか一つのセラミック熱伝導性粒子が普く混合された液状の熱伝導性弾性ゴムが硬化によって形成されるが、液状の弾性ゴムとしてはウレタンゴム又はシリコーンゴムなどが使用される。ここで、電気伝導性粒子と熱伝導性粒子が同時に混合可能であることはもちろんである。
【００４８】
電気伝導性又は熱伝導性弾性ゴムは熱硬化性であってもよいがそれに限らず、液状の電気伝導性又は熱伝導性弾性ゴムは硬化しながらポリマー発泡体１４０又は伝導性基材１３０と硬化によって磁気接着された伝導性弾性ゴムコーティング層１５０を形成する。即ち、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０はそれに対応する液状の伝導性弾性ゴム接着剤が硬化によって発泡体１４０及び伝導性基材１３０と接着されて形成される。
【００４９】
好ましくは、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０は弾性と機械的強度がよいように非発泡弾性ゴムコーティング層であってもよい。
【００５０】
ポリマー発泡体１４０と伝導性弾性ゴムコーティング層１５０は同じ材料で構成されるか他の材料で構成されてもよいが、他の材料で構成される場合には伝導性弾性ゴムコーティング層１５０の耐熱温度は発泡体１４０の耐熱温度と同じであるかそれより高いため全体的に伝導性弾性部材１００の耐熱温度が高い。例えば、ポリマー発泡体１４０のポリマーは耐熱性が低いポリウレタンゴムであり、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０の弾性ゴムは耐熱性が高く弾性がよいシリコーンゴムであってもよい。
【００５１】
このような構造によると、高温のリフローはんだ付け条件や高温で使用する際に比較的耐熱温度が低いポリマー発泡体１４０を伝導性弾性ゴムコーティング層１５０が保護することができる。
【００５２】
よって、ポリマー発泡体１４０だけではリフローはんだ付け条件を満足することができないが、ポリマー発泡体１４０の上に伝導性弾性ゴムコーティング層１５０が接着されて一体に形成される場合、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０によってリフローはんだ付け条件を満足することができる。
【００５３】
また、このような構造によると、価格が比較的安価でありながらも製造が容易で上下にスキン層が形成されないオープンセル構造のポリマー発泡体１４０材料を使用して耐熱温度を上げることができるため、全体的に適切な品質を適切な価格で提供することができる利点がある。
【００５４】
更に、伝導性弾性ゴムコーティング層１５０に関係なく価格が比較的安価でありながらも製造が容易なポリマー発泡体１４０のオープンセル構造を利用して伝導性弾性部材１００自体がオープンセル構造を有するようにしてもよい。
【００５５】
また、ポリマー発泡体１４０のオープンセル構造によって外部から液状の伝導性弾性ゴムを発泡体１４０の上下面と気孔内部に提供することが容易である。
【００５６】
また、ポリマー発泡体１４０のオープンセル構造によって伝導性弾性部材１００を上下方向に加圧する際に伝導性弾性部材１００の上下方向の伝導性が増加する。これは、加圧によってポリマー発泡体１４０の厚さが減少する場合、気孔１４２から空気が画部に排出されて気孔１５２が占める容積率が減少し、それによって気孔１４２の内面の接触が増加するか伝導性粒子の密度が増加することで気孔１４２の内面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５３の伝導性が増加するためである。
【００５７】
ここで、気孔１４２の内面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５３の厚さは理想的に均一に形成されることが好ましいが、そのためにはナノ（ｎａｎｏ）サイズの伝導性粒子が使用されるべきであるためナノサイズの粒子のみ液状の弾性ゴム接着剤に混ずる場合には電気的及び熱的性能が不均一であるか減少する恐れがある。よって、ナノとミクロン（ｍｉｃｒｏｎ）サイズの多様な形状と大きさの伝導性粒子が使用されて伝導性粒子が伝導性弾性ゴムコーティング層１５３から突出されるなどで伝導性弾性ゴムコーティング層１５３の厚さが不均一であっても伝導性弾性ゴムコーティング層１５３の電気的又は熱的伝導性がよいことが好ましい。
【００５８】
伝導性粒子の大きさは特に限定されないが気孔１４２を塞ぐ程度の大きさは好ましくなく、それより小さい方が好ましい。
【００５９】
ポリマー発泡体１４０の下面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５４は伝導性基材１３０によってスキン層を形成し、伝導性弾性ゴムコーティング層１５４を形成する液状の弾性ゴムが自重によって流れて伝導性粒子の密度が増加するため、ポリマー発泡体１４０の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５２より熱伝導性と電気伝導性がよい。
【００６０】
結果的に、ポリマー発泡体１４０の上面と下面はそれぞれ伝導性ポリマーカバー層１１０と伝導性弾性ゴムコーティング層１５４によってスキン層を形成し、ポリマー発泡体１４０の側面がオープンセル構造を有する。
【００６１】
伝導性ポリマーカバー層１１０は、例えば液状のシリコーンゴムに伝導性粒子を普く分散して構成し、０．０１ｍｍ程度の薄い厚さで形成する。
【００６２】
伝導性ポリマーカバー層１１０は伝導性ポリマーカバー層１１０を構成する液状のシリコーンゴムの硬化によって伝導性弾性ゴムコーティング層１５２に接着される。
【００６３】
このような構造によると、液状のシリコーンゴムを保護フィルムの上に塗布した状態でポリマー発泡体１４０の上面に形成された伝導性弾性ゴムコーティング層１５２が液状のシリコーンゴムに接触するように積層した後、上から加圧して付着し、液状のシリコーンゴムを硬化して伝導性ポリマーカバー層１１０を形成するため、下に支持された保護フィルムによって伝導性ポリマーカバー層１１０の表面が滑らかになって真空ピックアップが容易になる利点がある。
【００６４】
このように、伝導性ポリマーカバー層１１０によって滑らかで優麗な概観を具備し、真空ピックアップが容易で伝導性弾性ゴムコーティング層１５２に分散された伝導性粒子の離脱を防止することができる。
【００６５】
また、伝導性ポリマーカバー層１１０を構成する液状のシリコーンゴムの硬化を利用して接着するため、十分な量の液状の伝導性シリコーンゴムを塗布することで伝導性ポリマーカバー層１１０がポリマー発泡体１４０の上に堅く接着され、ポリマー発泡体１４０の上面に形成される伝導性弾性ゴムコーティング層１５２の厚さや容積について全く考慮する必要がない。
【００６６】
また、伝導性ポリマーカバー層１１０を具備することで水平電動度が大きく増加する利点がある。即ち、伝導性ポリマーカバー層１１０の電気伝導度と熱伝導度が伝導性弾性ゴムコーティング層１５０全体の電気伝導度と熱伝導度よりよく、例えば伝導性弾性部材１００が放熱素材として使用される場合、熱ソースより大きいサイズで設置されると水平方向を介した熱伝導が放熱の主な要因として作用する。
【００６７】
伝導性基材１３０としては外面に金属箔がめっきされた伝導性布や伝導性メッシュ（ｍｅｓｈ）、銅箔やアルミニウム箔を含む金属箔が使用される。錫がめっきされた銅箔を使用すればはんだ付けが容易で、伝導性布やメッシュを使用すれば柔軟性がある長所がある。但し、伝導性弾性部材１１０が熱伝導性であれば伝導性布やメッシュの用途は熱伝導性を考慮して極めて制限されて使用される。
【００６８】
この実施例の伝導性弾性部材１００をはんだ付け可能な電気接触端子や電気伝導性ガスケット又は熱接触端子として使用する場合、伝導性基材１３０としてははんだ付け可能な金属箔が使用される。この場合、伝導性弾性部材１００はリールテープに包装されて真空ピックアップによってリフローはんだ付けが可能である。
【００６９】
伝導性弾性部材１００がはんだ付け可能な電気接触端子や電気伝導性ガスケット又は熱接触端子として使用されるのか否かに関係なく、伝導性基材１３０を具備することで水平伝導度が大きく増加する利点がある。即ち、伝導性基材１３０全体の電気伝導度と熱伝導度は伝導性弾性ゴムコーティング層１５０の全体の電気伝導度と熱伝導度よりよい。
【００７０】
図３は伝導性弾性部材の側面を示す写真であり、伝導性基材の上のオープンセル構造を有するシート状のウレタンゴム発泡体の上面と下面及び気孔の一部に伝導性シリコーンゴムコーティング層が硬化によって接着されて形成された実際の製品を３０倍拡大した伝導性弾性部材の側面図である。
【００７１】
図４は、本発明の他の実施例による伝導性弾性部材２００を示す図である。
【００７２】
伝導性機材１３０の下面には伝導性粘着剤層１２０が更に積層されて伝導性基材１３０が伝導性粘着テープを構成する。
【００７３】
この場合、伝導性粘着剤１２０の下面には離型シート１６０が粘着されるが、離型シート１６０としては伝導性粘着剤層１２０と接着力が弱い離型紙や離型フィルムが使用される。
【００７４】
伝導性粘着剤層１２０はアクリルやウレタンのように自己粘着性を有するポリマー接着剤に銅、ニッケル又はカーボン粒子が混合されて構成される。好ましくは、伝導性粘着剤層１２０は自己粘着力（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ａｄｈｅｓｉｖｅ）を有する。
【００７５】
伝導性弾性部材２００は図１の伝導性弾性部材１００の伝導性基材１３０の下面に伝導性粘着剤１２０を介在して離型シート１６０を付着して製造するか、離型シート１６０が付着された伝導性粘着剤層１２０が既に形成されている伝導性部材１３０を使用して製造してもよい。
【００７６】
前記では本発明の実施例を中心に説明したが、当業者の水準で多様な変更を加えることができることはもちろんである。よって、本発明の権利範囲は上述した実施例に限って解析されず、以下に記載される特許請求の範囲によって解析されるべきである。
【図１】
2015136940.tif 000003
【図２】
2015136940.tif 000004
【図４】
2015136940.tif 000005
【図３】
2015136940.tif 000006