(57)【要約】【課題】気体流量計を不要にし気密性測定装置の簡素化を図る。【解決手段】本願の気密性測定装置は、対象物の内部の第１の圧力と設置環境気圧との第１の差圧が設定差圧と等しいときの対象物の気密性測定装置で、第２の圧力の気体を封入するタンクと、第１の差圧と設定差圧との偏差に応じてタンクと対象物間の気体流量を調整する流量調整弁と、タンク内の圧力が、第１の圧力と第２の圧力との間の、第３の圧力設定値のとき第１の信号を出力し、第３の圧力よりも第１の圧力に近い第４の圧力設定値のとき、第２の信号を出力する圧力計と、第１の信号と第２の信号の発生時間間の経過時間を計測するタイマカウンタと、経過時間、第３の圧力、第４の圧力及びタンク容積から気密性を算定する評価部と、を備え、第２の圧力は、第２の圧力と設置環境気圧との差圧が、第１の差圧と同じ符号で、絶対値がより大きくなる圧力である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の内部の気圧である第１の圧力から前記対象物の設置環境の気圧を差し引いて得られる第１の差圧が、あらかじめ設定された設定差圧と等しいときの前記対象物の気密性を測定する気密性測定装置であって、
第２の圧力の気体を封入するタンクと、
前記第１の差圧を計測する差圧計と、
前記第１の差圧と前記設定差圧との偏差に応じて、前記タンクと前記対象物との間の前記気体の流量を調整する流量調整弁と、
前記タンク内の圧力を計測し、その計測値が、前記第１の圧力と前記第２の圧力との間の、第３の圧力の設定値になったとき第１の信号を出力し、前記第３の圧力の値よりも前記第１の圧力の値に近い第４の圧力の設定値になったとき、第２の信号を出力する圧力計と、
前記第１の信号と前記第２の信号との間の経過時間を計測するタイマカウンタと、
前記経過時間、前記第３の圧力の設定値、前記第４の圧力の設定値及び前記タンクの容積から、前記対象物内部の気密性を評価する評価部と、を備え、
前記第２の圧力は、前記第２の圧力から前記設置環境の気圧を差し引いて得られる第２の差圧が、前記第１の差圧と同じ符号で、その絶対値が前記第１の差圧の絶対値より大きくなるように設定された圧力である、
ことを特徴とする気密性測定装置。
【請求項２】
前記気体流路を開閉する第１の開閉弁と、
前記タンク内への前記気体の注入及び前記タンクからの前記気体の排気のいずれかの機能を備え、前記第１の開閉弁が閉の状態で、前記第２の圧力で前記気体が前記タンク内に封入された状態を形成するように構成された圧力差発生部と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の気密性測定装置。
【請求項３】
前記圧力差発生部及び前記気体流路のそれぞれと接続された既知の容量の第１のタンク及び第２のタンクと、
前記第１のタンクと前記圧力差発生部及び前記気体流路とのそれぞれの接続部位に設置された一対の第１の選択用開閉弁と、
前記第２のタンクと前記圧力差発生部及び前記気体流路とのそれぞれの接続部位に設置された一対の第２の選択用開閉弁と、を備え、
前記タンクは、前記第１の選択用開閉弁と前記第２の選択用開閉弁の開閉により選択された前記第１のタンク及び前記第２のタンクのいずれか一方である、
ことを特徴とする請求項２に記載の気密性測定装置。
【請求項４】
前記気体流路を開閉する第１の開閉弁と、
第５の圧力の前記気体を封入する補助用のタンクと、
前記補助用のタンクと前記気体流路との間をつなぐ前記気体の流路である補助流路と、
前記補助流路を開閉する第２の開閉弁と、
を備え、
前記第１の開閉弁は、前記流量制御弁と前記タンクとの間に設置され、
前記補助流路は、前記第１の開閉弁と前記タンクとの間で前記気体流路と接続され、
前記第５の圧力は、前記第５の圧力から前記設置環境の気圧を差し引いて得られる第３の差圧が、前記第２の差圧と同じ符号であり、その絶対値が前記第２の差圧の絶対値より大きくなるように設定された圧力であり、
前記タンクの前記第２の圧力は、前記第１の開閉弁と前記第２の開閉弁の開閉により、前記タンクと前記補助用のタンクとの間で前記気体が流れることによって形成されたものであることを含む、
ことを特徴とする請求項１に記載の気密性測定装置。
【請求項５】
前記補助用のタンク内への前記気体の注入及び前記タンクからの前記気体の排気のいずれかの機能を備え、前記第１の開閉弁が閉の状態で、前記第５の圧力で前記気体が前記タンク内に封入された状態を形成するように構成された圧力差発生部、
を備えることを特徴とする請求項４に記載の気密性測定装置。
【請求項６】
対象物の内部の気圧である第１の圧力から前記対象物の設置環境の気圧を差し引いて得られる第１の差圧が、あらかじめ設定された設定差圧と等しいときの前記対象物の内部の気密性を測定する気密性測定方法であって、
第２の圧力の気体を封入するタンクと前記対象物の内部との間に前記気体を流す気体流通工程と、
前記第１の差圧を計測する差圧計測工程と、
前記第１の差圧の計測結果と前記設定差圧との偏差に応じて、前記気体流通工程における前記気体の流量を制御する流量調整工程と、
前記タンク内の圧力を計測し、その計測値が、前記第１の圧力と前記第２の圧力との間の、第３の圧力の設定値になったとき第１の信号を出力し、前記第３の圧力よりも前記第１の圧力に近い第４の圧力の設定値になったとき、第２の信号を出力する圧力計測工程と、
前記第１の信号と前記第２の信号との間の経過時間を計測する経過時間計測工程と、
前記経過時間、前記第３の圧力の設定値、前記第４の圧力の設定値及び前記タンクの容積から、前記対象物の気密性を評価する工程と、を備え、
前記第２の圧力は、前記第２の圧力から前記設置環境の気圧を差し引いて得られる第２の差圧が、前記第１の差圧と同じ符号で、その絶対値が前記第１の差圧の絶対値より大きくなるように設定された圧力である、
ことを特徴とする気密性測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の内部の気密性を測定する気密性測定装置及び気密性測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム、家屋、エレベータ、各種施設における処理装置や機械の制御・監視のために設置される自立閉鎖型盤等では、それぞれに応じた気密性が要求される。
【０００３】
特許文献１には、クリーンルーム及びこれに接続した給排気用ダクトの気密度を測定する装置と方法が開示されている。特許文献１によれば、クリーンルームを密閉状態にし、差圧検出手段が設置値を指示するように、ブロワによる外気送り込み量もしくは内部気体排出量を制御し、ブロワを流れる気体流量と基準値との偏差量からクリーンルームの気密度を測定する。
【０００４】
特許文献２には、遮煙機能を有するエレベータ乗降口の閉鎖時の気密性を測定する閉鎖気密性測定装置及び測定方法が開示されている。特許文献２の気密性測定装置は、ほぼ密閉された空間内を加圧もしくは減圧する気圧差発生手段と、その空間内の気圧を測定する気圧測定手段と、ほぼ密閉された空間と気圧差発生手段との間を流れる気体の流量を測定する気体流量測定手段とを備える。気密性は気体流量の測定結果から評価される。
【０００５】
いずれの場合も、気密性の測定には、対象物の内外に気圧差を発生させる気圧差発生手段、対象物内の気圧もしくは内外の気圧差を検出する差圧計、及び空気の漏れ量を計測するための気体流量計が使用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０４−１５７３３５号公報
【特許文献２】特開２００４−２２４５３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このように、従来の気密性測定装置及び方法には、差圧又は圧力の測定と気体流量の測定が必須であった。そのため、気密性測定装置の簡素化が難しいという問題があった。特に気体流量計は高価ということもあり、これを不要とすることにより気密性測定装置の簡素化を図るという要請がある。
【０００８】
本発明は、上記の事情の下になされたもので、気体流量計を不要とすることにより気密性測定装置の簡素化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る気密性測定装置は、対象物の内部の気圧である第１の圧力から前記対象物の設置環境の気圧を差し引いて得られる第１の差圧が、あらかじめ設定された設定差圧と等しいときの前記対象物の気密性を測定する気密性測定装置であって、第２の圧力の気体を封入するタンクと、前記第１の差圧を計測する差圧計と、前記第１の差圧と前記設定差圧との偏差に応じて、前記タンクと前記対象物との間の前記気体の流量を調整する流量調整弁と、前記タンク内の圧力を計測し、その計測値が、前記第１の圧力と前記第２の圧力との間の、第３の圧力の設定値になったとき第１の信号を出力し、前記第３の圧力の値よりも前記第１の圧力の値に近い第４の圧力の設定値になったとき、第２の信号を出力する圧力計と、前記第１の信号と前記第２の信号との間の経過時間を計測するタイマカウンタと、前記経過時間、前記第３の圧力の設定値、前記第４の圧力の設定値及び前記タンクの容積から、前記対象物内部の気密性を評価する評価部と、を備え、前記第２の圧力は、前記第２の圧力から前記設置環境の気圧を差し引いて得られる第２の差圧が、前記第１の差圧と同じ符号で、その絶対値が前記第１の差圧の絶対値より大きくなるように設定された圧力である、ことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る気密性測定方法は、対象物の内部の気圧である第１の圧力から前記対象物の設置環境の気圧を差し引いて得られる第１の差圧が、あらかじめ設定された設定差圧と等しいときの前記対象物の内部の気密性を測定する気密性測定方法であって、第２の圧力の気体を封入するタンクと前記対象物の内部との間に前記気体を流す気体流通工程と、前記第１の差圧を計測する差圧計測工程と、前記第１の差圧の計測結果と前記設定差圧との偏差に応じて、前記気体流通工程における前記気体の流量を制御する流量調整工程と、前記タンク内の圧力を計測し、その計測値が、前記第１の圧力と前記第２の圧力との間の、第３の圧力の設定値になったとき第１の信号を出力し、前記第３の圧力よりも前記第１の圧力に近い第４の圧力の設定値になったとき、第２の信号を出力する圧力計測工程と、前記第１の信号と前記第２の信号との間の経過時間を計測する経過時間計測工程と、前記経過時間、前記第３の圧力の設定値、前記第４の圧力の設定値及び前記タンクの容積から、前記対象物の気密性を評価する工程と、を備え、前記第２の圧力は、前記第２の圧力から前記設置環境の気圧を差し引いて得られる第２の差圧が、前記第１の差圧と同じ符号で、その絶対値が前記第１の差圧の絶対値より大きくなるように設定された圧力である、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る気密性測定装置及び気密性測定方法によれば、気体流量計が不要となり、気密性測定装置の簡素化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本願の実施形態１に係る気密性測定装置の構成例を示すブロック図である。
【図２】実施形態１に係る気密性測定装置の制御部の構成を示すブロック図である。
【図３】実施形態１に係る気密性測定装置のタンク内圧力の時間変化を示す模式図である。
【図４】実施形態１に係る気密性測定装置の測定準備の内容を示すフローチャートである。
【図５】実施形態１に係る気密性測定装置の気密性測定の内容を示すフローチャートである。
【図６】本願の実施形態２に係る気密性測定装置の構成例を示すブロック図である。
【図７】実施形態２に係る気密性測定装置のタンク内圧力の時間変化を示す模式図である。
【図８】実施形態２に係る気密性測定装置の第１回目の測定準備の内容を示すフローチャートである。
【図９】実施形態２に係る気密性測定装置の第２回目以降の測定準備の内容を示すフローチャートである。
【図１０】本願の実施形態３に係る気密性測定装置の構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（実施形態１）
図１を参照して、気密性の測定対象が自立閉鎖型盤１である場合を例に、本願の実施形態１に係る気密性測定装置５０を説明する。ここでは、自立閉鎖型盤１内の気圧が、自立閉鎖型盤１の設置されている環境よりもあらかじめ設定されている圧力分高い場合、すなわち自立閉鎖型盤内から外部に空気が漏れる場合について説明する。
【００１４】
この気密性測定装置５０は、気体流量計に代えて所定圧の空気が封入されたタンクを備え、このタンクから自立閉鎖型盤１からの空気の漏れ量に相当する空気を自立閉鎖型盤１に補充することを特徴とする。空気の補充は、自立閉鎖型盤１の内外の差圧が、あらかじめ定められた差圧値となるように制御された条件下で実行される。この機能を達成するために、実施形態１に係る気密性測定装置５０は、図１に示す構成を有する。
【００１５】
気密性測定装置５０は、図１に示すように、タンク２と、タンク２に圧縮空気を注入するコンプレッサで構成される気圧差発生部３と、自立閉鎖型盤１の内外の差圧を測定する差圧計４と、タンク２から自立閉鎖型盤１内に注入される空気の流量を制御する流量制御弁５と、タンク２内の圧力を計測する２接点付の圧力計６と、圧力計６からの２つの接点信号によりそれぞれ時間計測の開始と停止とを行うタイマカウンタ７とを備える。また、気密性測定装置５０は、自立閉鎖盤１内とタンク２内との間を結ぶ空気の通路である気体流路８と、タンク２内と気圧差発生部３との間を結ぶ圧縮空気の通路である気体流路９とを備え、気体流路８には、流量制御弁５を配置するとともに、開閉弁１０と、減圧弁１３と、減圧弁１３のバイパス用の開閉弁１９とを備え、また、気体流路９には開閉弁１１を備える。更に、タンク２設置された圧力スイッチ１２を備える。また、気密性測定装置５０は、気密性測定装置５０全体の動作を制御する制御部１４を備える。なお、減圧弁１３のバイパス用の開閉弁１９は、後述する変形例で使用するものであり、ここでは閉止状態にする。
【００１６】
タンク２は、自立閉鎖型盤１からの空気の漏れを補うために、気体流路８を介して自立閉鎖型盤１に空気を供給する、容量Ｖ１のタンクである。気密性測定開始時には、タンク２には、自立閉鎖型盤１内の気圧Ｐ１よりも十分に高い圧力Ｐ２の圧縮空気が封入されている。気密性測定開始時には、開閉弁１０と減圧弁１３と流量制御弁５とを介して自立閉鎖型盤１からの空気の漏れ量に相当する空気がタンク２から自立閉鎖型盤１内に供給される。従って、気密性測定期間中タンク２内の圧力はＰ２から、圧力Ｐ３まで減少する。なお、圧力Ｐ３は自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１よりも高い値に設定される。
【００１７】
気圧差発生部３は、モータと圧縮機で構成されるコンプレッサであり、気体流路９を介してタンク２に圧縮空気を供給する。タンク２への圧縮空気の供給時には、図１の矢印破線で示すように、制御部１４からの制御信号を受けて、開閉弁１１が開状態、開閉弁１０は閉状態となり、気圧差発生部３の運転が開始される。開閉弁１９は先に言及したように閉状態である。気圧差発生部３は、タンク２に設置されている圧力スイッチ１２からの制御信号により運転を停止する。
【００１８】
タンク２に設置された圧力スイッチ１２は、タンク２内の圧力を監視し、圧力がＰ２になると制御信号を気圧差発生部３と、開閉弁１１とに出力する。この制御信号は気圧差発生部３に対しては運転停止信号、開閉弁１１に対しては弁の閉信号となる。これにより、タンク２内の空気は圧力Ｐ２に維持される。
【００１９】
差圧計４は、自立閉鎖型盤１に取り付けられ、自立閉鎖型盤１の内外の差圧ΔＰ１を計測する。さらに、図１に矢印破線で示すように、計測結果とあらかじめ定められた差圧ΔＰ０との偏差を制御信号として流量制御弁５に出力する。自立閉鎖型盤１の設置環境の気圧をＰ０、自立閉鎖型盤１内の気圧（以下では圧力と呼ぶ）をＰ１とすると、自立閉鎖型盤１の内外の差圧ΔＰ１は、ΔＰ１＝Ｐ１−Ｐ０である。偏差の制御信号は、この差圧ΔＰ１を、あらかじめ定められた規定値ΔＰ０に保つために利用される。なお、自立閉鎖型盤１の場合は、気密性測定の際の自立閉鎖型盤１内外の気圧差は小さいので、差圧計として微差圧計が通常使用される。
【００２０】
流量制御弁５は、図１に矢印破線で示すように、差圧計４から出力される偏差の制御信号により、気体流路８を流れる空気の流量を制御する。これにより自立閉鎖型盤１の内外の差圧ΔＰ１をΔＰ０に維持する。ここでは、自立閉鎖型盤１内から外部に向かって空気が漏れる場合を想定しているので、気体流路８内ではタンク２から自立閉鎖型盤１内に向かって空気が流れる。このとき、流量制御弁５は、気圧差ΔＰ１が規定値ΔＰ０以上であれば気体流路８を流れる空気の流量を絞り、小さければ流量を大きくする。これにより自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１は、ΔＰ１とΔＰ０との偏差があらかじめ設定された誤差ε以下になるように制御される。
【００２１】
圧力スイッチ１２は、タンク２内の圧力がＰ２になると作動し、図１に矢印破線で示すように、気圧差発生部３と開閉弁１１と制御部１４とに制御信号を出力する。この制御信号を受けて、気圧差発生部３の動作が停止するとともに、開閉弁１１が閉じる。また、制御部１４は、この制御信号を受けて、タンク２に圧力Ｐ２の空気が封入され、気密性測定が開始できる状態になったことを認識する。
【００２２】
圧力計６は、２接点付圧力計であり、タンク２内の圧力を測定する。２接点は、自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１よりも高く、圧力Ｐ２以下の圧力Ｐ４と、圧力Ｐ４より低く圧力Ｐ３以上の圧力Ｐ５とに設定される。圧力計６の測定値が、設定圧Ｐ４及びＰ５になったそれぞれの時点で、それぞれの接点信号をタイマカウンタ７に出力する。
【００２３】
タイマカウンタ７は、経過時間を計測する。タイマカウンタ７は、圧力計６から出力される設定圧Ｐ４に対応した接点信号により時間の計測を開始し、設定圧Ｐ５に対応した接点信号により時間の計測を停止する。更に、タイマカウンタ７は、表示部を備え、設定圧Ｐ５に対応した接点信号により時間の計測を停止したときに、その時点の時間計測結果である経過時間Δｔを表示部に表示するとともに、図１に矢印破線で示すように、制御部１４に出力する。
【００２４】
制御部１４は、気密性測定の開始信号を受け、自立閉鎖型盤１の気密性測定の準備作業であるタンク２への圧縮空気の封入の制御と、自立閉鎖型盤１の気密性測定の実行制御とを行う。
【００２５】
制御部１４は、図２に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１４０、内部メモリ１４１、外部メモリ１４２、入力装置１４３、出力装置１４４及び相互間を接続するバスライン１４５で構成される。ＣＰＵ１４０は、外部メモリ１４２に格納されているプログラムをバスライン１４５を介して読み出し、内部メモリ１４１、入力装置１４３、出力装置１４４を使って、読み出したプログラムを実行することにより次の機能を実現する。
【００２６】
制御部１４は、図示を省略した外部入力装置と制御部１４の入力装置１４３とを経由して入力された測定開始信号を受けて、入力装置１４３、および出力装置１４４を介して図１に矢印破線で示す制御信号の入出力や、測定結果の入力を行う制御とともに、入力した測定結果に基づき気密性の評価を実行する。気密性の評価を実行する部位を評価部と呼んでもよい。制御装置の制御内容の詳細は、以下で説明する。
【００２７】
実施形態１に係る気密性測定装置５０の動作原理について詳しく説明する。
この気密性測定装置５０では、自立閉鎖型盤１内外の差圧ΔＰ１をあらかじめ定められたΔＰ０に維持しながら、自立閉鎖型盤１内から外部に漏れる空気を容積Ｖ１のタンク２に封入した圧力Ｐ２の圧縮空気で補充する。
【００２８】
差圧ΔＰ１は、差圧計４で測定され、ΔＰ０との偏差を制御信号として流量制御弁５に送り、この偏差があらかじめ設定された誤差の範囲内になるように、タンク２から減圧弁１３と開閉弁１０と流量制御弁５とを介して自立閉鎖型盤１内に注入される空気の流量を制御する。
【００２９】
この補充により、タンク２内の圧力は時間の経過とともに減少していく。タンク２内の圧力がＰ２以下の、あらかじめ設定された設定圧Ｐ４になり、更に低下してあらかじめ設定された設定圧Ｐ５になるとき、タンク２内の圧力がＰ４からＰ５まで低下するのに要する時間Δｔを計測する。このΔｔの時間内にタンク２から自立閉鎖型盤１に補充された空気の量は（Ｐ４−Ｐ５）・Ｖ１に比例する。このときの比例係数をｋとすると、単位時間あたりの空気の補充量、換言すれば自立閉鎖型盤１内から外部に漏れる空気の漏れ率Ｑは下記の（１）式のようになる。（１）式では（Ｐ４−Ｐ５）は｜Ｐ４−Ｐ５｜と記載した。気密性とはこの空気の漏れ率Ｑを意味する。
Ｑ＝ｋ・｜Ｐ４−Ｐ５｜・Ｖ１／Δｔ              （１）
ｋ；単位変換の係数、Ｐ４、Ｐ５；圧力計６の設定圧、Ｖ１；タンク２の容積
Δｔ；経過時間
制御部１４の評価部は、あらかじめ外部メモリ１４２に記憶されたｋの値、Ｐ４及びＰ５の値、タイマカウンタ７から制御部１４に入力された経過時間であるΔｔから、（１）式に基づき空気の漏れ率Ｑを算定する。
【００３０】
上記の空気の補充量に関する説明は、よく知られたＰＶ＝ｎＲＴという式に基づく。この式でＰは気体の圧力、Ｖはその気体の容積、ｎはその気体のモル数、Ｒはアボガドロ数、Ｔはその気体の温度（気温）である。空気の量をモル数で表すとｎ＝ＰＶ／Ｔとなる。温度Ｔのとき、容積Ｖ１のタンク２内の圧力がＰ４からＰ５に減少したときのタンク２内で減少した空気のモル数Δｎは（Ｐ４−Ｐ５）・Ｖ１／Ｔとなる。上記（１）式は、空気のモル数を、例えば気温Ｔ＝２５℃での１気圧での空気の容積に換算する係数をｋとしたときの空気の補充量、すなわち空気の漏れ量である。
【００３１】
このように、本実施形態１に係る気密性測定装置５０では、気密性測定に先だってタンク２内に圧力Ｐ２の圧縮空気を封入する測定準備の工程が必要である。気密性測定は、タンク２内に圧力Ｐ２の圧縮空気が封入された後実行される。その内容は、タンク２内から自立閉鎖型盤１に空気を補充する過程でタンク２内の圧力が設定圧Ｐ４からＰ５に変化する経過時間Δｔを計測し、このΔｔと（１）式によりＱを算定することである。
【００３２】
図３に気密性試験を複数回実行するときのタンク２内の圧力の時間変化を示す。横軸は時間軸であり、縦軸はタンク２内の空気の圧力である。図３では圧力の時間変化は模式的に、直線的な変化として単純化して描かれている。横軸の「測定準備」と記載した時間範囲が気密性の測定準備の期間である。また、同じく横軸の「気密性測定」と記載した時間範囲が気密性測定の期間である。図３では、タンク２内は当初自立閉鎖型盤１の設置環境の気圧（圧力）Ｐ０と同じであると仮定している。気密性測定では。その期間に、タンク２内の圧縮空気の圧力はＰ２からＰ４、Ｐ５を経由してＰ３にまで減少する。従って、図３で第１回目測定と記載した箇所での測定準備ではタンク２内に圧縮空気を注入して空気圧を圧力Ｐ０からＰ２にする。これに対して、第２回目測定以降の測定準備ではタンク２内の空気圧を圧力Ｐ３からＰ２にする。
【００３３】
以上の気密性測定装置５０の動作原理に基づいて、まず、図４のフローチャートに従って、気密性測定装置５０の動作が開始されたあとの気密性の測定準備の内容を具体的に説明する。
【００３４】
制御部１４はタンク２の出口弁、すなわち、タンク２からの圧縮空気の出口に位置する気体流路８の開閉弁１０を閉じ、タンク２の入口弁、すなわち、タンク２への圧縮空気の入り口に位置する気体流路９の開閉弁１１を開放する（ステップＳ１）制御を行う。
【００３５】
次に、制御部１４は気圧差発生部３の運転を開始する制御を行う（ステップＳ２）。この後、タンク２内には気圧差発生部３により圧縮空気が注入され、時間とともにタンク２内の圧力が上昇する。図３の「測定準備」と記載した期間のタンク内圧力の上昇がこれに対応する。
【００３６】
タンク２内の圧力がＰ２になると圧力スイッチ１２が動作する。この動作信号を制御信号として、気圧差発生装置３は運転を停止し、同時にタンク２の入口弁である開閉弁１１が閉じられる（ステップＳ３）。さらに、圧力スイッチ１２の動作信号は制御部１４に送られ（ステップＳ３）、測定準備が完了する。
【００３７】
圧力Ｐ２は、自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１（例えば０．２ＭＰａ）よりも十分に高い値、例えば０．６ＭＰａに設定される。
【００３８】
次に、図５に示すフローチャートに従って、測定準備が完了した後の気密性測定について説明する。
制御部１４は、圧力スイッチ１２の動作信号を受けて、タイマカウンタ７の電源をＯＮにする（ステップＳ１０）。
【００３９】
その後、制御部１４は、タンク２の出口弁である開閉弁１０を開放する（ステップＳ１１）制御を行う。これにより気密性測定が実質的に開始される。開閉弁１０が開放されると、自立閉鎖型盤１にタンク２から空気が流れうる状態になる。この時のタンク２内の圧力が圧力計６で連続して計測される（ステップＳ１２）。タンク２から自立閉鎖型盤１に流れる空気の流量は、差圧計４での計測結果ΔＰ１とΔＰ０との偏差が所定の誤差範囲内になるように流量制御弁５により制御される。自立閉鎖型盤１で空気の漏れがあると、このような差圧条件すなわちΔＰ１がΔＰ０の誤差範囲内にあることを維持した状態で、漏れた空気量に相当する空気量がタンク２から自立閉鎖型盤１内に補充される。その結果タンク２内の圧力は時間とともに低下し、気密性測定の終了条件として設定された圧力Ｐ３になる。Ｐ３はＰ１以上の値である、図３の横軸に「気密性測定」と記載した部分が気密性の測定期間に対応する。
【００４０】
タンク２内の圧力が、Ｐ２以下でＰ３よりも大きい値の範囲内に設定された設定圧Ｐ４になると、圧力計６は、接点信号をタイマカウンタ７に出力する。この信号を受けてタイマカウンタ７は、信号の受信時を０として時間計測を開始する（ステップＳ１３）。
【００４１】
タンク２内の圧力がさらに低下し、設定圧Ｐ４よりも小さくＰ３以上の範囲内に設定された設定圧Ｐ５になると、圧力計６は、接点信号をタイマカウンタ７に再度出力する。この信号を受けてタイマカウンタ７は、時間計測を停止し、計測結果を経過時間として表示部に表示するとともに、制御部１４に出力する（ステップＳ１４）。
【００４２】
制御部１４は、タイマカウンタ７から出力された経過時間の計測結果を入力し、（１）式に従って漏れ率Ｑを算定する。この値が、差圧ΔＰ０での気密性の評価結果となる（ステップＳ１５）。
【００４３】
以上説明した通り、実施形態１に係る気密性測定装置５０によれば気体流量計を使用することなく、気密性の測定を行うことができる。そのため、従来に比べて、気密性を測定する装置の簡素化を図ることができる。また、高価な気体流量計が不要となるため、装置費用を低減することができる。
【００４４】
なお、気圧差発生装置３、すなわちコンプレッサーによりタンク２内に充填される空気は自立閉鎖型盤１の設置環境とは異なる環境から得られた空気にしてもよい。自立閉鎖型盤１の設置環境が腐食性のガス等を含むような環境である場合は、腐食性ガス等を含む空気を自立閉鎖型盤１内に補充すると自立閉鎖型盤１内に収納されている機器が損傷を受ける恐れがある。このような事態を避けるためにより清浄な環境からの空気を充填用に使用する。具体的には、例えば、コンプレッサーの吸気側にホース等を接続しそのホース等を介して清浄な環境からの空気を吸気する。
【００４５】
（実施形態１の第１の変形例）
図１では、タンク２は１台のみであったが、実施形態１の第１の変形例に係る気密性測定装置５０は、タンク２を並列に２台備える。具体的には、タンク２、圧力計６、圧力スイッチ１２、開閉弁１１及び開閉弁１０を1セットとして、これを２セット備え、気圧差発生部３と減圧弁１３との間に、２セットのタンク２を並列に接続する。各セットを構成する機器と制御部１４との制御信号の接続はセット毎に図1の場合と同じである。更に、タンク２毎に装備される圧力計６からの接点信号は、それぞれ同一のタイマカウンタ７に接続される。
【００４６】
この気密性測定装置５０では、制御部１４の制御により、図４に示す手順で２台のタンク２の圧力をＰ２にした後、一方のタンク２を使用して、図５に示す手順で気密性測定を実行する。第２回目測定は他方のタンク２を使用して気密性測定を実行する。このとき、一方のタンク２は、気密性測定の間に、図４に示す測定準備の手順に従って、圧力をＰ２にする。このように、測定準備に使用するタンク２と気密性測定に使用するタンク２とを測定終了ごとに切り替えることにより、測定準備にかかる別途の時間を不要とし、実施形態１の場合と同様に気体流量計なしで、気密性測定を連続して実行することが可能になる。なお、タンク２のセットは２セットに限定される必要はない。
【００４７】
（実施形態１の第２の変形例）
これまでは、気密性測定装置５０は、自立閉鎖型盤１内の気圧（圧力）が、設置環境の気圧（圧力）よりも高い場合、すなわち自立閉鎖型盤１内から外部に空気が漏れる場合について使用されるとしてその構成、動作を説明したが、実施形態１の第２の変形例に係る気密性測定装置５０は、自立閉鎖型盤１内の気圧（圧力）が、設置環境の気圧（圧力）よりも低い場合であっても、気体流量計なしで気密性測定に使用できる。
【００４８】
第２の変形例に係る気密性測定装置５０は図１に示す構成と同じである。ただし、図１に示す気圧差発生部３はコンプレッサではなく、排気装置又は真空排気装置である。更に、開閉弁１９が開放され、気体流路８において、減圧弁１３はバイパスされる。タンク２内の圧力Ｐ２は、自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１よりも低い圧力に設定される。そのため、空気は自立閉鎖型盤１からタンク２に向かって流れる。従って、第２の変形例に係る気密性測定装置５０のタンク２内の圧力の時間変化は、図３において、タンク２の圧力の時間変化のグラフを縦軸Ｐ０の値に対して線対称に折り返したものになる。すなわち、気密性測定はタンク２内の圧力がＰ０より低いＰ２から増加してＰ３になるまでの範囲で行われる。なお、圧力Ｐ３は自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１よりも低く設定される。
【００４９】
図３の「測定準備」において、タンク２内の圧力は、排気装置である気圧差発生部３の運転により、当初の圧力Ｐ０よりも低い圧力Ｐ２となる。この「測定準備」の内容は、タンク内の圧力Ｐ２が自立閉鎖型盤１の内圧Ｐ１よりも低いという点を除き、図４に示すフローチャートの内容と同じである。
【００５０】
先に説明したように、気密性測定の際に開閉弁１０を開けると気体流路８には自立閉鎖型盤内１からタンク２に向かって、開閉弁１９を通って空気が流れる。このとき自立制御型盤１内の圧力Ｐ１が低下して、差圧計４の測定結果である差圧ΔＰ１が小さくなる。この差圧ΔＰ１のΔＰ０（ただし、実施形態１の場合とは符号が逆になる）からの偏差を制御信号として流量制御弁５に出力する。流量制御弁５は、この偏差が所定の誤差εを超えないように、偏差に基づき気体流路８の空気の流量を制御する。この点は実施形態１の場合と変わらない。
【００５１】
気密性測定中、タンク２内の圧力は当初のＰ２から時間とともに増加して、Ｐ２よりも自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１に近く、Ｐ１よりも低いＰ３になる。圧力計６の設定圧Ｐ４はＰ２以上でＰ１より低い範囲に設定され、設定圧Ｐ５はＰ４よりも高く、Ｐ３以下の範囲に設定される。圧力Ｐ２と圧力Ｐ３の大小関係及び設定圧Ｐ４と設定圧Ｐ５の大小関係がこれまでと逆になる点を除けば、図３に示す「気密性測定」の内容も、図５に示すフローチャートの内容と同じである。このときの気密性は自立閉鎖型盤１の外から内への空気の漏れ率Ｑとなり、このＱは（１）式で算定できる。Ｐ４＜Ｐ５なので、Ｐ４−Ｐ５は負となる。そのため、（１）式においては、その絶対値をとり｜Ｐ４−Ｐ５｜とする。
【００５２】
このように、気圧差発生装置３を排気装置にした実施形態１の第２の変形例に係る気密性測定装置５０によれば、自立閉鎖型盤１内の気圧を設置環境の気圧より低くした場合においても、実施形態１の場合と同様に、気体流量計なしで、気密性の測定が可能である。
【００５３】
第１の変形例を、自立閉鎖型盤１内の圧力を設置環境の圧力より低くする場合に適用した場合も、第２の変形例での説明と同様に、気体流量計なしで、気密性の測定が可能である。
【００５４】
なお、実施形態1とその第２の変形例で説明したタンク２内の圧力Ｐ２の設定は、次のように表現することにより、実施形態1とその第２の変形例のいずれの場合にも、すなわち自立閉鎖型盤１の内外の差圧の符号によらず、適用できる。すなわち、第1の差圧を自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１から、その設置環境の気圧Ｐ０を差し引いて得られる差圧とし、タンク内の圧力Ｐ２から気圧Ｐ０を差し引いて得られる第２の差圧としたとき、圧力Ｐ２は、第２の差圧が第１の差圧と同じ符号を有し、第２の差圧の絶対値が第１の差圧の絶対値よりも大きくなるように設定される。
【００５５】
（実施形態１の第３の変形例）
第３の変形例に係る気密性測定装置５０は、気圧差発生部３としてコンプレッサと排気装置の両方を備え、タンク２に接続するとともに、コンプレッサとタンク２との間、及び排気装置とタンク２との間にそれぞれ設けられた開閉弁を備える。制御部１４は、この開閉弁の一方を開、他方を閉にして、開にした方のコンプレッサ又は排気装置のみを動作させる制御を行う。このとき、コンプレッサを動作させるときは制御部１４は開閉弁１９を閉止し、排気系を動作させるときは開閉弁１９を開放する。このように構成された気密性測定装置５０によれば、自立閉鎖型盤１の内外差圧が正の場合と負の場合のいずれの場合においても気密性測定を実施することができる。更に、この第３の変形例は第１の変形例と組み合わせることも可能であり、第１の変形例と同様な効果を奏することができる。
【００５６】
（実施形態２）
実施形態２に係る気密性測定装置は、自立閉鎖型盤１内の気圧Ｐ１がその設置環境の圧力Ｐ０よりも高い場合に、実施形態１で説明したタンク２に加えて、タンク２よりも高い圧力の圧縮空気を封入した補助用のタンクを備える。この気密性測定装置は、気密性測定が終了する毎に、この補助用のタンクから、圧力が低下したタンク２に圧縮空気を注入して、気密性測定開始時の圧力に戻すことを特徴とする。
【００５７】
図６に実施形態２に係る気密性測定装置の構成例を示す。図６に示す気密性測定装置６０は、図１に示す気密性測定装置５０と次の点で異なっている。気密性測定装置６０は、補助用のタンク１５と、補助用のタンク１５と気体流路８と接続する気体流路１６と、気体流路１６に接続される開閉弁１７とを備える。気体流路１６は、タンク２と開閉弁１０との間で気体流路８に接続する。更に、タンク２に設置された背圧弁２２と、タンク２と背圧弁２２との間に設置された開閉弁２１とを備える。また、気体流路１６に接続された減圧弁１８と、減圧弁１８に並列に配置された開閉弁２０とを備える。開閉弁２０は減圧弁１８のバイパス用に用いられる。制御部１４は、実施形態１の場合の制御の内容に加えて、更に、開閉弁１７、１９、２０及び２１の開閉制御を行う。
【００５８】
補助用のタンク１５は、タンク２の気密性測定開始時の圧力Ｐ２よりも高い圧力Ｐ６の空気を封入する容積Ｖ２のタンクである。
【００５９】
圧力スイッチ１２は、実施形態１のときとは異なり、設定圧はＰ６である。タンク２内の圧力（このときは補助用のタンク１５内の圧力も同じ）がＰ６になると、圧力スイッチ１２が作動し、制御信号を気圧差発生部３と開閉弁１１と制御部１４とに送信する。これにより気圧差発生部３は運転を停止し、開閉弁１１は閉じ、制御部１４はタンク２と補助用のタンク１５内の圧力がＰ６になったことを認識する。
【００６０】
背圧弁２２は、開閉弁２１が開の状態のとき、タンク２内の圧力がＰ２よりも大きくなると開放され、タンク２内の圧縮空気は、圧力がＰ２になるまでタンク２の外部に放出される。背圧弁２２は、タンク２内の圧力がＰ２以下になると閉じる。従って、タンク２内の圧力はＰ２に維持される。背圧弁２２の開閉時には開閉信号が制御信号として制御部１４に送信される。
【００６１】
気密性測定装置６０の動作原理を、図７を使って説明する。図７は、気密性測定を複数回実施するときの補助用のタンク１５の内圧の時間変化とタンク２の内圧の時間変化とを示す。図７では圧力の時間変化は、模式的に、直線的な変化として単純化して描かれている。気密性測定装置６０において気密性測定を実行するときは、実施形態１の気密性測定装置５０の場合と同様、図７に示すように、測定準備を行う期間と実際に気密性の測定を実行する期間とが交互に配置される。
【００６２】
図６に示すように、補助用のタンク１５はタンク２を介して気圧差発生部３に接続されている。従って、気圧差発生部３は、タンク２と補助用のタンク１５の両者に圧縮空気を注入する。図７の「第1の空気充填」と記載した時間範囲は、タンク２と補助用のタンク１５の両者に圧縮空気を注入する期間である。この期間の終わりに対応する時間ｔ１には、補助用のタンク１５とタンク２とに圧力Ｐ６の空気が封入された状態となる。この状態で補助用のタンク１５は開閉弁１７が閉となり気体流路８から切り離される。そのため補助用のタンク１５内の圧力はＰ６に維持される。
【００６３】
時間ｔ２からｔ３までの期間は、「圧力一定調整」の期間である。ここでは、タンク２内の圧力をＰ６からＰ２に調整する。この調整には弁開放の設定圧をＰ２とした背圧弁２２が利用される。
【００６４】
タンク２内の圧力がＰ２になると、気密性測定装置６０は、このタンク２を使って実施形態１と同様に気密性測定を実行する（図７の時刻ｔ３からｔ４の期間）。そのため、タンク２内の圧力はＰ２からＰ３まで減少する。
【００６５】
第２回目の気密性測定を実行する場合は、実施形態１の場合と同様に、タンク２内の圧力をＰ２に戻す必要がある。実施形態２では、タンク２の圧力をＰ２に戻すために、補助用のタンク１５に封入された圧力Ｐ６の圧縮空気を利用する（図７の時刻ｔ５からｔ６の期間）。そのため、実施形態１の場合に比べると短時間で、タンク２の圧力をＰ３からＰ２に戻すことができる。なお、補助用のタンク１５内の空気はタンク２への補充により圧力が減少してＰ７になる。タンク２内の圧力は、第３回目以降の気密性測定を実行する場合も同様に変化し、補助用のタンク１５内の圧力は、図７に示す第２の空気充填のたびにＰ６からＰ７、Ｐ８、Ｐ９のように減少する。補助用のタンク１５内の圧力が圧力Ｐ２に近づくと、補充用のタンク１５からタンク２への圧縮空気の補充は終了する。
【００６６】
図８、９を参照して、気密性測定装置６０の動作をより具体的に説明する。図８は第１回目の測定準備の内容を示す。
【００６７】
ここでは、気圧差発生部３は実施形態１の場合と同様にコンプレッサであるとする。補助用のタンク１５に圧縮空気を最初に注入するための準備として、制御部１４は、開閉弁１０、２１を閉止し、次に、開閉弁１１、１７、２０を開放する（ステップＳ２０）。開閉弁２０を開放するのは，対応する減圧弁１８をバイパスするためである。これにより、気圧差発生部３から注入される圧縮空気が、タンク２だけでなく、補助用のタンク１５にも効率よく注入されるとともに、タンク２と補助用のタンク１５内の空気の圧力が同じになる。なお、開閉弁１９は実施形態１の場合と同じ理由でここでは閉止されている。変形例では開放される。
【００６８】
次に、制御部１４は気圧差発生装置３を起動する（ステップＳ２１）。これによりタンク２と補助用のタンク１５には圧縮空気が注入される。タンク２と補助用のタンク１５内の気圧はタンク２に設置された圧力計６と圧力スイッチ１２で自動的に連続計測される。タンク２内の気圧が圧力Ｐ２に達したとき、圧力スイッチ１２から制御信号が出力され、この制御信号により気圧差発生部３の運転が停止するとともに、開閉弁１１が閉止する（ステップＳ２２）。以上が図７の「第１の空気充填」に該当する。
【００６９】
制御部１４は、圧力スイッチ１２から出力された制御信号により補助用のタンク１５内の圧力がＰ６になったことを認識する。そして開閉弁１７と２０とを閉止して、補助用のタンク１５を、その空気圧Ｐ６を維持したまま気体流路８から切り離す（ステップＳ２３）。
【００７０】
次に、制御部１４は、開閉弁２１を開放する（ステップＳ２４）。この開放は図７の時間ｔ２のタイミングで実行される。これにより背圧弁２２が機能する状態になる。背圧弁２２は圧力Ｐ２で開放するように設定されている。タンク２の圧力は、当初、Ｐ２よりも高いＰ６であるから、背圧弁２２により、タンク２内の圧力はＰ２になるまで低下する。図７の「圧力一定制御」と記載した箇所がこれに該当する。
【００７１】
タンク２内の圧力がＰ２になると背圧弁２２は閉止し、閉止信号を出力する。制御部１４はこの閉止信号によりタンク２内の圧力がＰ２になり「圧力一定調整」が完了したことを認識する（ステップＳ２５）。以上が第１回目の測定準備の内容である。
【００７２】
制御部１４は、この後、図５に示すフローチャートと同様に、タンク２を利用して気密性測定を実行する。
【００７３】
図９に、第２回目以降の気密性測定を実施する場合の測定準備の内容を示す。図７の「第２の空気充填」と記載されている部分がこの測定準備に該当する。
【００７４】
制御部１４は、気密性測定が終了すると、開閉弁１０を閉止し、開閉弁１７、２１を開放する（ステップＳ３０）。これにより、補助用のタンク内の圧力Ｐ６の圧縮空気が、減圧弁１８を介して、より低圧の圧力Ｐ３のタンク２内に流れる。その結果タンク２内の圧力は上昇する（図７の「第２の空気充填」に該当）。タンク２内の圧力がＰ２を超えると背圧弁２２が開放され、タンク２内の圧力はＰ２に維持される（図７のｔ６〜ｔ７の範囲に該当）。背圧弁２２は開放信号を制御信号として出力する。
【００７５】
制御部１４は、背圧弁２２からの制御信号を受けて、開閉弁１７、２１を閉止する（ステップＳ３１）。これにより、補助用のタンク１５は気体流路８から切り離され、タンク２内は圧力Ｐ２の状態で減圧弁１３が機能する状況になる。なお、ステップＳ３１の開閉弁２１の閉止は省いてもよい。省いた場合は第３回目以降の密性測定を実施する場合の測定準備において、ステップＳ３０の開放弁２１の開放は不要となる。以上が第２回目以降の気密性測定を実施する場合の測定準備の内容である。
【００７６】
気密性測定の内容は第２回目以降も図５のフローチャートに示す内容と同じである。
【００７７】
以上説明した通り、実施形態２に係る気密性測定装置６０によれば気体流量計を使用することなく、気密性の測定を行うことができる。そのため、従来に比べて、気密性を測定する装置の簡素化を図ることができる。また、高価な気体流量計が不要となるため、装置費用の低減化も可能となる。更に、補助用のタンク１５を備え、補助用のタンク１５からタンク２へ圧縮空気を注入することを可能にしたので、その際のタンク２への圧縮空気の封入に要する時間を短縮できる。
【００７８】
（実施形態２の変形例）
実施形態２のこれまでの説明では、気密性測定装置６０は、自立閉鎖型盤１内の圧力が、設置環境の圧力よりも高い場合、すなわち自立閉鎖型盤１内から外部に空気が漏れる場合に使用されるとしてその構成、動作を説明したが、実施形態２の変形例に係る気密性測定装置６０は、自立閉鎖型盤１内の気圧が、設置環境の気圧よりも低い場合であっても、気密性測定に使用することができる。
【００７９】
変形例に係る気密性測定装置６０では、図６に示す気圧差発生部３はコンプレッサではなく、排気装置又は真空排気装置とする。また、開閉弁１９は開放し、減圧弁１３はバイパス状態にする。これらは実施形態１の第２の変形例の場合と同じである。この変形例では、更に、タンク２の背圧弁２２は、タンク２に対してこれまでとは反対の向きに取り付けられる。
【００８０】
変形例に係る気密性測定装置６０では、実施形態１の第２の変形例での説明と同様に、空気の流れる方向が実施形態２に係る気密性測定装置６０の場合とは逆になる。そのため、変形例に係る気密性測定装置６０の補助用のタンク１５内の圧力の時間変化及びタンク２内の圧力の時間変化は、図７に示すそれぞれの圧力の時間変化のグラフを、圧力Ｐ０の横線に対して、線対称に配置したものとなる。
【００８１】
実施形態２に係る気密性測定装置６０は、図７の「圧力一定調整」において、タンク２内の圧力を、タンク２から背圧弁２２を介して外部に空気を排出することによりＰ２になるように調整する。しかし、この変形例に係る気密性測定装置６０は、図７の「圧力一定調整」に対応する部分で、外部からタンク２に空気を流入させることによりタンク２内の圧力をＰ２に調整する。従って、背圧弁２２は実施形態２の場合とは逆向きに設置される。圧力範囲が異なることとそれに伴う圧力に関する設定値が変わること、及び上記背圧弁２２の設置方向を変更することを前提とし、空気の流れが逆転すると読み替えれば、図８、９に示す測定準備の内容はそのままこの変形例に係る気密性測定装置６０に適用できる。また、図５に示す気密性測定の内容がこの変形例に係る気密性測定装置６０に適用できることは、実施形態１の第２の変形例で説明したとおりである。
【００８２】
このように、気圧差発生装置３を排気装置にし、背圧弁２２の設置方向を逆転した実施形態２の変形例に係る気密性測定装置６０によれば、自立閉鎖型盤１内の圧力を設置環境の圧力より低くした場合においても、実施形態２の場合と同様に、気体流量計なしで、気密性の測定が可能となる。更に、補助用のタンク１５を備え、補助用のタンク１５とタンク２との間で空気の通過を可能にしたので、タンク２内を設定された圧力にする時間を短縮できる。
【００８３】
なお、実施形態２とその変形例で説明したタンク２内の圧力Ｐ２の設定及び補助用のタンクＰ６の設定は、次のように表現することにより、実施形態２とその変形例のいずれの場合にも共通して適用できる。すなわち、第1の差圧を自立閉鎖型盤１内の圧力Ｐ１から、その設置環境の気圧Ｐ０を差し引いて得られる差圧とし、タンク内の圧力Ｐ２から気圧Ｐ０を差し引いて得られる第２の差圧としたとき、圧力Ｐ２は、第２の差圧が第１の差圧と同じ符号を有し、第２の差圧の絶対値が第１の差圧の絶対値よりも大きくなるように設定される。また、補助用のタンク内の圧力Ｐ６から気圧Ｐ０を差し引いて得られる第３の差圧としたとき、圧力Ｐ６は、第３の差圧が第２の差圧と同じ符号を有し、第３の差圧の絶対値が第２の差圧の絶対値よりも大きくなるように設定される。
【００８４】
（実施形態２の他の変形例）
実施形態２及びその変形例に係る気密性測定装置６０は、図７の「圧力一定調整」を、
背圧弁２２を利用して実施している。しかし、他の変形例に係る気密性測定装置６０は、背圧弁２２を利用しない。従って、開閉弁２１も不要である。
【００８５】
タンク２内の圧力は自立閉鎖型盤１の漏れにより変化する。他の変形例に係る気密性測定装置６０は、この漏れを利用してタンク２内の圧力がＰ２になるのを待つ。
【００８６】
他の変形例に係る気密性測定装置６０によれば、圧力一定制御にかかる時間は長くなるが開閉弁２１と背圧弁２２が不要となり、更に自立閉鎖型盤１と設置環境との間の差圧の符号により背圧弁２２の設置方向を変える必要もないため、より簡略化された装置構成で、気体流量計を使用せずに自立閉鎖型盤１の気密性測定を実施することが可能となる。
【００８７】
（実施形態３）
実施形態３に係る気密性測定装置は、実施形態２と同様に、タンク２に加えて、タンク２よりも高い圧力の圧縮空気を封入した補助用のタンクを備える。実施形態２と異なるのは、タンク２と補助用のタンク１５の配置である。
【００８８】
図１０に実施形態３に係る気密性測定装置７０の構成例を示す。図６に示す実施形態２との相違点は次の通りである。
【００８９】
気圧差発生部３は、タンク２ではなく、補助用のタンク１５に、開閉弁１１を介して直接接続されている。圧力スイッチ１２はタンク２には設置されておらず補助用のタンク１５に設置されている。その他については図６に示す構成と同じである。
【００９０】
このように構成された気密性測定装置７０では、タンク２と補助用のタンク１５とは、気体流路１６と８とで接続されているので、それぞれの圧力を実施形態２の図７と同様に時間変化させることができる。すなわち、補助用のタンク１５からタンク２へ圧縮空気を注入することを可能にしたので、その際のタンク２への圧縮空気の充填に要する時間を短縮できる。この場合の測定準備の内容は実施形態２の図８及び９で示すフローチャートと同じである。また、気密性測定の内容も、実施形態１、従って実施形態２の図５に示すフローチャートと同じである。
【００９１】
実施形態２と異なる点は、補助用のタンク１５が、タンク２を経由することなく圧力差発生部３に接続されているため、タンク２を使って気密性測定を実行している間に、気圧差発生装置３を運転して補助用のタンク１５の圧力を元のＰ６に戻すことができるということである。
【００９２】
実施形態２に係る気密性測定装置６０では、図７に示す例において、補助用タンク１５の圧力がＰ９に下がった時点で、気密性測定を休止して補充用のタンク１５の圧力を最初のＰ６に戻すための処理（例えば図７の第１の空気の充填）が実行される。しかし、実施形態３に係る気密性測定装置７０によれば、気密性測定と並行して、補助用タンク１５内の圧力を元のＰ６に戻すことができるため、気密性測定を多数回実施する場合は、測定に要するトータル時間を更に削減することが可能となる。なお、実施形態２の場合と同様に、補助用のタンク１５を利用してタンク２内の圧力を最初のＰ６に戻すため、そのための時間も短縮できる。もちろん、気体流量計を使用せずに自立閉鎖型盤１の気密性測定を実施することも可能となる。
【００９３】
実施形態１から３の説明では、気密性測定の対象を自立閉鎖型盤１としたが、測定の対象物はこれに限定されない。気密性測定のニーズのあるものであれば、例えばクリーンルーム、エレベータ、建物など、何でもよい。
【００９４】
また、それぞれの気密性測定装置は制御部１４を備え、各種の開閉弁の開閉は制御部１４が制御するとした。しかし、開閉弁は必ずしも制御部１４により開閉制御される必要はない。人により開閉されてもよい。その場合、人は、圧力計６で測定される圧力値の指示を目視して、制御部１４が実行するとして説明した開閉弁の開閉を行う。このように人が開閉弁の開閉を行う場合であっても、これまで説明した各実施形態に係る気密性測定装置の構成は、制御部１４を除きそのまま成り立ち、各気密性測定装置は、同様の効果を奏することができる。更に、差圧計４の計測結果による流量制御弁５の制御は人により操作されてもよい。更に、背圧弁２２を省略することもできる。背圧弁２２は、すでに説明したように、自立閉鎖型盤１内の圧力が、設置環境の圧力よりも高い場合、及び低い場合のそれぞれにおいて、設置方向を逆転させる必要がある。しかし、背圧弁２２の設置が不要となれば、そのような配置の変更は不要となる。従って、装置の簡略化及び測定準備の簡略化が可能となる。
【００９５】
タンク２及び補助用のタンク１５に圧縮空気を充填して利用する場合には、減圧弁を使用したが、必ずしも使用しなくてもよい。
【００９６】
これまで、気密性測定に使用する気体は空気であるとしたが、これに限定されない。気体であれば何でもよい。
【符号の説明】
【００９７】
１  自立閉鎖型盤（対象物）
２  タンク
３  圧力差発生部
４  差圧計
５  流量制御弁
６  圧力計
７  タイマカウンタ
８、９  気体流路
１０、１１、１７、１９、２０、２１  開閉弁
１２  圧力スイッチ
１３、１８  減圧弁
１４  制御部
１５  補助用のタンク
１６  補助流路
２２  背圧弁
５０、６０、７０  気密性測定装置
【図１】
2015215216.tif 000003
【図２】
2015215216.tif 000004
【図３】
2015215216.tif 000005
【図４】
2015215216.tif 000006
【図５】
2015215216.tif 000007
【図６】
2015215216.tif 000008
【図７】
2015215216.tif 000009
【図８】
2015215216.tif 000010
【図９】
2015215216.tif 000011
【図１０】
2015215216.tif 000012