(57)【要約】【課題】本発明は、板状素材の搬送検査を安定に行うようにする。【解決手段】一対の摺動案内用ガイドレール１３Ａ、１３Ｂ上に載置した板状素材４を一対の側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂによって案内させながら検査位置決め領域Ｌ１３を通って搬送して行く板状素材検査装置１において、板状素材４の側面に、部分的に当接する当接面部Ｇ１を形成するようにしたことにより、板状素材４に生じた折り割れ突起ｈ１〜ｈ４によって側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの内側面に傷を付けたり磨耗させたりさせない状態で板状素材４を搬送するようにし、これにより高硬度材料を使用しないで済むようにできる。【選択図】図２
2015215265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の摺動案内用ガイドレール上に、載置した検査対象である板状素材を搬送部の一対の側部案内用ガイドレール間において、押し子部材による移動動作を利用して、検査位置決め領域に搬送すると共に、当該検査位置決め領域で検査した検査済み板状素材を上記一対の側部案内用ガイドレール間において上記押し子部材による移動動作を利用して貯留部に搬送する板状素材検査装置において、
上記検査位置決め領域へ上記板状素材を搬入する搬送領域及び上記検査位置決め領域から検査済みの上記板状素材を搬出する第１及び第２の搬送領域の上記一対の側部案内用ガイドレールの内側面に、上記板状素材の側面に部分的に当接する当接面部を形成し、当該当接面部によって、上記板状素材に生じた折り割れ突起によって上記一対の側部案内用ガイドレールの内側面に傷を付けたり磨耗させたりさせない状態で上記板状素材を搬送する
ことを特徴とする板状素材検査装置。
【請求項２】
上記一対の側部案内用ガイドレールの内側面は、上記当接面部の上側部に連接するように、上記板状素材の上側端縁に発生された折り割れ突起を当接しないように逃す上側凹面部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の板状素材検査装置。
【請求項３】
上記一対の側部案内用ガイドレールの内側面は、上記当接面部の下側部に連接するように、上記板状素材の下側端縁に発生された折り割れ突起を当接しないように逃す下側凹面部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の板状素材検査装置。
【請求項４】
上記一対の側部案内用ガイドレールは、高硬度材料以外の非高硬度材料によって構成されている
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の板状素材検査装置。
【請求項５】
上記一対の側部案内用ガイドレールは、上記検査位置決め領域において、上記板状素材の側面を対応する上記一対の摺動案内用ガイドレールの案内用摺動面に向って抑えこむ方向に傾斜する傾斜面を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の板状素材検査装置。
【請求項６】
上記検査位置決め領域の上記一対の側部案内用ガイドレールは、高硬度材料によって構成されている
ことを特徴とする請求項５に記載の板状素材検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は板状素材検査装置に関し、特に板状素材を搬送路に設けられた検査部を通って貯留部に貯留させる際に適用して好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、搬送路上を方形形状の板状素材を搬送することにより、電子機器の製造に供する手法として、板状素材であるプリント基板を検査装置に搬送して実装された部品の検査をするもの（特許文献１参照）や、プリント基板の製造工程においてガイドレールを使用して当該プリント基板に対する汚れを少なくして搬送するもの（特許文献２参照）や、電子部品をプリント基板に実装するためにガイドレールの強化を図ったもの（特許文献３参照）など、多様な搬送手段を利用することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１１８０１４号公報
【特許文献２】特開２０００−２０８９９３公報
【特許文献３】特開２００３−６９２８６公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、方形形状の板状素材を、搬送路を構成するガイドレールを介して、投入部から投入して搬送部に位置決めすると共に、所定の検査事項についての検査を行った後当該検査部から検査済みの板状素材を貯留部にまで搬送するような場合に、板状素材が搬送路に損傷を与えることなく上記所定の検査事項の検査を行い得るようにすることが板状素材検査装置を維持するために望ましい。
【０００５】
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、板状素材が搬送路に損傷を与えることなく検査結果を得ることができるようにした板状素材検査装置を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
かかる課題を解決するため本発明においては、一対の摺動案内用ガイドレール１３Ａ、１３Ｂ上に、載置した検査対象である板状素材４を搬送部３の一対の側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂ間において、押し子部材１５による移動動作を利用して、検査位置決め領域Ｌ１３に搬送すると共に、当該検査位置決め領域Ｌ１３で検査した検査済み板状素材４を一対の側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂ間において押し子部材１５による移動動作を利用して貯留部６に搬送する板状素材検査装置１において、検査位置決め領域Ｌ１３へ板状素材４を搬入する搬送領域Ｌ１１、Ｌ１２及び検査位置決め領域Ｌ１３から検査済みの板状素材４を搬出する搬送領域Ｌ１４の一対の側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの内側面に、板状素材４の側面に部分的に当接する当接面部Ｇ１を形成し、当該当接面部Ｇ１によって、板状素材４に生じた折り割れ突起ｈ１〜ｈ４によって一対の側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの内側面に傷を付けたり磨耗させたりさせない状態で板状素材４を搬送するようにする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明においては、一対の摺動案内用ガイドレール上に載置した板状素材を一対の側部案内用ガイドレールによって案内させながら検査位置決め領域を通って搬送して行く板状素材検査装置において、板状素材の側面に、部分的に当接する当接面部を形成するようにしたことにより、板状素材に生じた折り割れ突起によって側部案内用ガイドレールの内側面に傷を付けたり磨耗させたりさせない状態で板状素材を搬送するようにし、これにより高硬度材料を使用しないで済むようにできる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態による板状素材検査装置を示す斜視図である。
【図２】押し子部材による移送動作の説明に供する断面図である。
【図３】板状素材の構成を示す斜視図である。
【図４】搬送動作部材の説明に供する略線的断面図である。
【図５】板状素材の投入部分を示す斜視図である。
【図６】板状素材の貯留部を示す斜視図である。
【図７】検査位置決め領域Ｌ１３に設けられた挟み込み係止装置の説明に供する平面図である。
【図８】検査位置決め領域Ｌ１３における板状素材の挟み込み動作の説明に供する断面図である。
【図９−１】（Ａ）、（Ｂ）は折り割れ突起ｈ１、ｈ２の説明に供する略線的平面図である。
【図９−２】（Ｃ）、（Ｄ）は折り割れ突起ｈ３、ｈ４の説明に供する略線的平面図である。
【図１０】（Ａ）及び（Ｂ）は折り割れ突起の発生位置の説明に供する断面図である。
【図１１】他の実施の形態を示す略線的断面図である。
【図１２】さらに他の実施の形態を示す略線的断面図である。
【図１３】押し子部材の他の実施の形態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下図面について、本発明の一実施の形態を詳述する。
【００１０】
（１）全体構成
図１において、１は全体として板状素材検査装置を示し、投入部２から搬送部３に投入された検査対象である板状素材４を、搬送部３の途中に設けられた検査部５に位置決めすることにより所定の検査を実行した後、検査済みの板状素材４を搬送部３を介して貯留部６に搬送して貯留するようになされている。
【００１１】
搬送部３はベース部材１１上にその一端側に設けられた投入部２と他端側に設けられた貯留部６との間を貫通するように、図２に示すような搬送部３を挟むように一対の摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂが設けられていると共に、当該一対の摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの上面に側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂが設けられている。
【００１２】
かくしてユーザによって摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１４Ｂの上面に載置された板状素材４が押し子部材１５によって、矢印ａで示すように投入部２から貯留部６の搬送方向に押されたとき、板状素材４が摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの面上に支持されると共に、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂによって案内されながら搬送方向ａの方向に搬送されて行く。
【００１３】
この実施の形態の場合、押し子部材１５は、搬送部３において搬送方向ａの方向に延長すると共に当該搬送方向に搬送動作する搬送動作部材１６上に、板状素材４と交差するように上方に突出するように設けられている。
【００１４】
板状素材４は、図３に示すように、セラミック（例えば窒化アルミニウム）製の方形基板４Ａの表面中央位置に半導体（例えばＬＥＤ）でなる板状円形の検査資料４Ｂが付着された構成を有し、当該検査資料４Ｂの光学的及び電気的特性を、板状素材４を搬送部３によって１枚ずつ検査位置Ｐ１に位置決めして検査部５によって検査をする。
【００１５】
この実施の形態の場合、検査部５は、図４に示すように、光学的特性を検出するための積分球２１と、板状素材４に対して検査針を突き刺すことにより電気的特性を検査する検査治具２２とが設けられている。
【００１６】
この実施の形態の場合、搬送部３には搬送方向ａの方向に４枚の板状素材４の後端縁を４本の押し子部材１５（１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃ、１５Ｄ）によってそれぞれ押しながら搬送できるように、搬送動作部材１６上の搬送基準距離Ｌ１だけ離れた位置に、４本の押し子部材１５が立設されている。
【００１７】
かくして搬送動作部材１６は４本の押し子部材１５がそれぞれ板状素材４の前端縁に当接している状態において、ユーザが中央制御手段の操作スイッチを操作することにより、ベース部材１１内に設けられている搬送駆動機構２３を駆動させることができることによって搬送基準距離Ｌ１だけ搬送方向ａの方向に移動されたとき、当該４枚の板状素材４を搬送基準距離Ｌ１だけ移送する。
【００１８】
搬送駆動機構２３は搬送動作部材１６を搬送基準距離Ｌ１だけ移送動作させる際に、搬送動作部材１６を下方に降下させることにより押し子部材１５に当接した状態から一旦離れた後、板状素材４の下方位置を通って搬送動作部材１６を搬送方向ａとは逆方向に搬送基準距離Ｌ１だけ戻した後、板状素材４に当接できる位置にまで上昇させるような処理を行う。
【００１９】
これにより搬送動作部材１６は一度に４枚の板状素材４を搬送方向ａの方向に歩進させて行くことができ、これにより板状素材４を１枚ずつ順次検査部５の位置に位置決めして行くことができるようになされている。
【００２０】
この実施の形態の場合、投入部２は、図５に示すように、ベース部材１１の上面から後方に突出するように設けられた板状の支持部材３０を有すると共に、当該支持部材３０に対して搬送方向ａの方向に傾斜する板状の供給部材３１が保持されており、これにより供給部材３１上に検査前の板状素材４をユーザが載せて配列部材３２に沿って手動で板状素材４を１枚ずつ搬送部３の摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの方向に１枚ずつ投入操作することにより、図４に示すように板状素材４を最初の押し子部材１５Ａに当接させた状態を得るようになされている。
【００２１】
この結果検査部５によって検査処理が終わった検査済みの板状素材４は、図６に示すように、最後の押し子部材１５Ｄによって貯留部６に押し込まれる。
【００２２】
貯留部６は板状素材４を順次受け入れる複数列の貯留棚５０を有し、搬送部３から押し子部材１５Ｄによって押し出されて来る板状素材４を押し子部材１５が押し子溝４１に押し込んだとき当該押し込み力を利用して貯留棚５０に並べるように貯留する。
【００２３】
供給部材３１において配列部材３２を介して搬送部３に投入された板状素材４は、図５に示すように、搬送部３の投入部２との接合部分において側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂ上に導入部材３５Ａ及び３５Ｂを利用して搬送部３の導入位置にある押し子部材１５Ａの内側に位置決めすることにより、以後搬送動作部材１６の搬送動作によって搬送方向ａの方向に１枚ずつ導入されて行く。
【００２４】
この実施の形態の場合は、左側の側部案内用ガイドレール１４Ａは、右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂに対して搬送部３の幅方向に進退できる調整機構９が設けられ、手動操作子９Ｘによって幅調整をすることにより、横幅が異なる板状素材４の検査ができるようになされている。
【００２５】
（２）搬送部の搬送処理動作
以上の構成の板状素材検査装置１において、搬送部３は投入部２から投入される板状素材４は、半導体製造装置によって多数枚が１枚の半導体基板として製造されたものを、図３に示す形状に、折り割られ、又は切り取られることにより製品加工されたもので、当該加工の際に、周縁部に、完全に方形形状に加工できずに、突起が残ることが多い（これを図３において折り割れ突起４Ｄ１として示す）。
【００２６】
この実施の形態においては、当該折り割れ突起４Ｄ１の影響によって、板状素材４の方形基板４Ａが搬送部３を形成する側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂを傷付けたり、磨耗させたりすることなく投入部２から貯留部６まで板状素材４を搬送できるようにする。
【００２７】
当該板状素材４は、図４に示すように、搬送動作部材１６が搬送駆動機構２３によって搬送基準距離Ｌ１だけ搬送往復動作をすることにより、板状素材４を検査素材投入領域Ｌ１１に投入した後、搬送姿勢調整領域Ｌ１２に移送させた後、検査位置決め領域Ｌ１３において検査部５に対して位置決めした後、検査素材送出領域Ｌ１４を通って貯留部６に送り出すような動作をする。
【００２８】
かくして板状素材４は投入部２から投入された一枚の板状素材を、搬送動作部材１６が４回搬送往復動作をすることにより、まず検査素材投入領域Ｌ１１において板状素材４を搬送部３上に受け入れる。
【００２９】
続いて搬送姿勢調整領域Ｌ１２において、板状素材４を検査治具２２を介して正しく検査部５に位置決めさせるための姿勢を整える準備をした後、検査位置決め領域Ｌ１３に送り込む。
【００３０】
検査位置決め領域Ｌ１３には、図７に示すように、挟み込み係止装置４０が設けられ、板状素材４が検査位置Ｐ１に来たとき当該板状素材４を係止位置決めする。
【００３１】
挟み込み係止装置４０は、一方の側部案内用ガイドレール１４Aの一部を形成する可動ガイドレール４１を上面に取り付けてなる係止具４２を有し、当該係止具４２が柔らかい弾性力を有する弦巻ばねでなる押えばね４３によって搬送方向ａとは直行する方向ｄ１に押え付けるようになされている。
【００３２】
可動ガイドレール４１と対向する位置には、側部案内用ガイドレール１４Ｂの一部を構成する板状の受け具４４が設けられており、これにより板状素材４が可動ガイドレール４１の中心位置でなる検査位置Ｐ１に位置決めされたとき、可動ガイドレール４１が押えばね４３の弾性力によって受け具４４の方向に押さえ力を与えることにより、矢印ｄ１で示す押さえ力を板状素材４の側部に与えることにより、板状素材４の検査資料４Ｂを所定の検査位置Ｐ１に位置決めする。
【００３３】
この実施の形態の場合、可動ガイドレール４１の内側側面には内方に突出する突出面４５が形成されており、板状素材４が検査位置決め領域Ｌ１３に送り込まれて来たとき、突出面４５が板状素材４の側面に当接することにより、押えばね４３の弾性力を押さえ方向ｄ１の方向に付与し、これにより板状素材４を突出面４５と受け具４４の内側面４４Ａとの間に挟み込み係止できるようになされている。
【００３４】
可動ガイドレール４１の突出面４５及び受け具４４の内側面４４Ａは、図８に示すように、内側の表面がそれぞれ摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの摺動面に向かう方向に傾斜するような傾斜面を有し、これにより板状素材４の方形基板４Ａが突出面４５及び内側面４４Ａ間に挟み込まれたとき、その傾斜によって方形基板４Ａが摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの摺動面に押し付けるような力が作用し、これにより方形基板４Ａ、従って検査資料４Ｂが検査位置Ｐ１に係止位置決めされる。
【００３５】
このように側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの内、検査位置決め領域Ｌ１３に設けられた挟み込み係止装置４０においては、板状素材４が傾斜面によって摺動表面に押え付けられるような力を受けるのに対して、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの他の部分、すなわち検査素材投入領域Ｌ１１、搬送姿勢調整領域Ｌ１２及び検査素材送出領域Ｌ１４を形成する側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの内側面は、図２に示すように、板状素材４の方形基板４Ａの側面に当接する当接面部Ｇ１だけが内方に突出するのに対して、その下側及び上側位置に外方にくぼむように下側凹面部Ｇ２及び上側凹面部Ｇ３を形成し、これにより板状素材４に対して当接面部Ｇ１が点の部分として板状素材４に当接して案内するようになされている。
【００３６】
これに加えて側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの当接面部Ｇ１間の間隔は、板状素材４の方形基板４Ａの基準の寸法に対して長めの寸法に選定され、これにより板状素材４が検査素材投入領域Ｌ１１、搬送姿勢調整領域Ｌ１２及び検査資料送出領域Ｌ１４を搬送される際に、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂとの間に距離的な余裕をもたせたような隙間を形成させる。
【００３７】
以上の構成において、板状素材４が図４の検査位置決め領域Ｌ１３の検査位置Ｐ１に位置決めされたとき、板状素材４は、図７に示す挟み込み係止装置４０の突出面４５と対向する内側面４４Ａとの間に側面摺接させながら搬送方向ａの方向に搬送されることにより、可動ガイドレール４１を押えばね４３の弾発力に抗して押し狭めながら検査位置Ｐ１の位置まで押し子部材１５によって押し込まれる。
【００３８】
このとき板状素材４の側面部が当接する突出面４５及び内側面４４を形成する可動ガイドレール４１及び受け具４４は高硬度材料である超硬合金によって構成されていることにより、押し子部材１５が板状素材４の方形基板４Ａの後側縁に当接しながら、搬送動作部材１６の移送動作によって方形基板４Ａの側面と突出面４５及び内側面４４との間に大きな摩擦が生じたとしても、その摩擦力に負けない押し込み強さで板状素材４を検査位置Ｐ１に位置決めする。
【００３９】
このときの板状素材４の方形基板４Ａの両側面と突出面４５及び内側面４４との間の摩擦抵抗は、板状素材４が規定の形状に折り割られているときは、小さいので、突出面４５を押えばね４３の弾発力を利用しながら検査位置Ｐ１まで予定通り押し込んで行く。
【００４０】
ところが実際には、板状素材４が半導体基板から折り割られる際に、規定通りの方形形状に折り割られない場合があり、例えば図９（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、板状素材４の周辺に折り割れ突起ｈ１〜ｈ４が残る場合が少なくなく、これが板状素材４を押し子部材１５が側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂ間を搬送する際に、板状素材４を予定の搬送態様とは異なるように回転させるような動作を生ずることが多い。
【００４１】
例えば図９（Ａ）に示すように、板状素材４の内、押し子部材１５が押し込み方向ｄ１１の方向に押し込むとき、当該押し子部材１５が当接する当接面に折り割れ突起ｈ１が生じていた場合には、板状素材４は押し子部材１５と折り割れ突起ｈ１との当接位置の関係によって、時計方向の回動方向ｄ１２（又はその反対方向）に板状素材４を回転させるような移送動作を生じさせることがある。
【００４２】
ここで板状素材４が時計方向に回動するような回動動作力が与えられたとき、板状素材４の前端面の右側角部４Ｘ１が矢印ｄ１３によって示すように右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂの方向に突き進むような回動力が生ずる。
【００４３】
このような回動力が生ずれば、板状素材４の反対側の後端角部４Ｘ２が矢印ｄ１４で示すように、左側の側部案内用ガイドレール１４Ａに向かって突き進むような方向に回動する。
【００４４】
このような状態においては、板状素材４は押し子部材１５の押し込み力によって前端角部４Ｘ１及び後端角部４Ｘ２がそれぞれ側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに対して大きい摩擦力で摩擦する状態になる。
【００４５】
また図９（Ｂ）に示すように、板状素材４の右側縁部４Ｅ３の後端部に折り割れ突起ｈ２が生成されているときには、押し子部材１５が押し込み方向ｄ１１に押し込んだとき、折り割れ突起ｈ２が右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂに向かって突き進むような状態になることにより、板状素材４は回動方向ｄ１３に示すように、反時計方向に回動するような回動力が与えられる。
【００４６】
このとき板状素材４は矢印ｄ２１によって示すように、後端角部４Ｘ３を側部案内用ガイドレール１４Ｂに向かって突き進ませると共に、前端角部４Ｘ４を矢印ｄ２２によって示すように、側部案内用ガイドレール１４Ａに向かって突き進むような回動力が与えられる。
【００４７】
さらに図９（Ｃ）に示すように、板状素材４の右側端縁４Ｅ３の前端縁に折り割れ突起ｈ３が生じている場合は、折り割れ突起ｈ３と右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂとの摩擦力が大きいために、押し子部材１５によって押し込み方向ｄ１１の方向に押し込まれたとき、矢印ｄ１４に示すように時計方向に回動するような回動力が与えられる。
【００４８】
このとき板状素材４の前端角部４Ｘ１が矢印ｄ３１に示す方向に向かって右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂに突き進むと共に、反対側の後端角部４Ｘ２が矢印ｄ３２によって示す方向に左側の側部案内用ガイドレール１４Ａに向かって突き進む方向に矢印ｄ１４の方向に回動される。
【００４９】
これにより前端角部４Ｘ１及び後端角部４Ｘ２がそれぞれ側部案内用ガイドレール１４Ｂ及び１４Ａに対して強い摩擦力をもって摺接する状態になる。
【００５０】
さらに図９（Ｄ）に示すように、板状素材４の右側端縁４Ｅ３に折り割れ突起ｈ４が生じた場合には、当該折り割れ突起ｈ４が右側の側部案内用ガイドレール１４Ｂに対して強い摩擦力を生ずるような状態になることにより、矢印ｄ１５に示すように、板状素材４を時計方向に回動させるような回動力を生起させる。
【００５１】
このとき板状素材４の後端角部４Ｘ２は矢印ｄ４１で示すように、反対側の側部案内用ガイドレール１４Ａに向かって突き進むような回動力が与えられる。
【００５２】
このとき板状素材４の後端角部４Ｘ２と側部案内用ガイドレール１４Ａとの間の摩擦力が大きくなる。
【００５３】
これ以外にも、板状素材４の周縁部に折り割れ突起が残っていると、当該折り割れ突起と、押し子部材１５や、側部案内用ガイドレール１４Ａ又は１４Ｂとの間の当接の仕方によって、板状素材４が時計方向又は反時計方向に回動することにより、折り割れ突起それ自体や板状素材４の角部が側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに対して大きい摩擦力で摩擦するような現象が生ずる。
【００５４】
（３）折り割れ突起の発生位置
製造された大きな基板から小さい板状素材４を作るために折り割り処理をする際に、図１０（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、方形基板４Ａの折り割れ面４Ｄの上端縁又は下端縁に折り割れ突起４Ｄ１又は４Ｄ２が残っている場合があり、これが図９について上述したように、板状素材４が押し子部材１５によって搬送される際に回動する原因になる。
【００５５】
そこでこの実施の形態においては、当該折り割れ突起４Ｄ１又は４Ｄ２の側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに対する悪影響を回避するような構成をもつ。
【００５６】
ここで折り割れ突起４Ｄ１は板状素材４が摺動案内用ガイドレール１３Ａ（１３Ｂ）上にあるとき、方形基板４Ａの上端縁に発生している場合であり、また折り割れ突起４Ｄ２は摺動案内用ガイドレール側の下端縁に発生している場合である。
【００５７】
折り割り処理の際に生ずる折り割れ突起は、方形基板４Ａの上端縁又は下端縁に生ずることが多いことは確認できており、板状素材４の検査の際にその影響を回避できれば、実用性が大きい。
【００５８】
（４）折り割れ突起の影響の回避
（４−１）検査位置決め領域について
搬送部３のうち、検査位置決め領域Ｌ１３は検査治具２２によって板状素材４を検査位置Ｐ１に正しく位置決めする必要がある（図４）。
【００５９】
そのため、図７及び図８について上述したように、挟み込み係止装置４０として側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの一部として、可動ガイドレール４１及び受け具４４を設け、その方形基板４Ａの側面に当接する突出面４５及び内側面４４Ａを摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂに対向するような傾斜面を形成することにより、方形基板４Ａを摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂ上に押し付けることにより位置決めする。
【００６０】
この位置決めは板状素材検査装置１として必要不可欠な要件であるので、可動ガイドレール４１及び受け具４４として高硬度材料（例えば超硬合金）でなるによって構成することにより、たとえ方形基板４Ａの側面に折り割れ突起４Ｄ１又は４Ｄ２（図１０（Ａ）又は（Ｂ））が当接しても磨耗したり傷がついたりしないようにする。
【００６１】
これにより挟み込み係止装置４０は検査処理を繰り返しても可動ガイドレール４１及び受け具４４によって板状素材４を検査位置Ｐ１に常に位置決めできる。
【００６２】
このように挟み込み係止装置４０としては、検査位置Ｐ１に対する位置決め精度を高める観点から、可動ガイドレール４１及び受け具４４として、例え高価であっても、高硬度材料を使用することにより位置決め精度の劣化が生じないようにする。
【００６３】
（４−２）その他の搬送領域について
これに対して、検査位置決め領域Ｌ１３以外の搬送領域、すなわち検査素材投入領域Ｌ１１、搬送姿勢調整領域Ｌ１２及び検査素材送出領域Ｌ１４については、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂとして、図２に示すように、方形基板４Ａの側面と対向する面部分に、方形基板４Ａの厚味に対して上下幅が狭い当接面Ｇ１を形成し、当該方形基板４Ａに当接する当接面部Ｇ１を挟んだ上側及び下側位置に、当接面部Ｇ１から外側方向に退避するように傾斜させた上側凹面部Ｇ３及び下側凹面部Ｇ２を形成する。
【００６４】
これにより、例え方形基板４Ａの折り割れ面４Ｄ（図１０）の上端縁又は下端縁に折り割れ突起４Ｄ１又は４Ｄ２が残っていたとしても、これが当接面部Ｇ１に対して強い力で当接しないように回避できる。
【００６５】
実際上搬送部３のうち検査位置決め領域Ｌ１３を除く他の領域、すなわち検査素材投入領域Ｌ１１、搬送姿勢調整領域Ｌ１２及び検査素材送出領域Ｌ１４は、板状素材４を円滑に搬送方向ａの方向に搬送させて行ければ良く、位置決め領域Ｌ１３における挟み込み係止装置４０のように板状素材４を挟み込む必要がないので、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの当接面部Ｇ１間の幅方向の間隔を方形基板４Ａの幅に対して余裕をもたせた大きさに選定してもよい。
【００６６】
因みにそのような余裕を与えた場合に、図９（Ａ）〜（Ｄ）について上述したように、折り割れ突起が側部案内用ガイドレール１４Ａ又は１４Ｂに当接した際に、押し子部材１５によって搬送方向ａの方向に強く押し込まれたとしても、折り割れ突起が強く側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに食い込むように挟まるような状態になる前に、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの内面から離れるような動作をする余裕があるので、結局折り割れ突起が側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに傷を付けたり磨耗させたりするおそれを有効に回避できる。
【００６７】
かくするにつき、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの材料としては、高価な高硬度材料を選定する必要はないので、その分板状素材検査装置１の搬送部３を簡易に組み立てることができる。
【００６８】
因みに板状素材４の方形基板４Ａの大きさは、１０〜３５［ｍｍ］（平均的には１２〜１５［ｍｍ］）で、厚みが０．７〜２［ｍｍ］程度であり、また折り割れ突起の突出量は０．３［ｍｍ］程度であり、従ってこれを側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに当接させないような逃げを作ることは容易である。
【００６９】
（５）他の実施の形態
（５−１）図１１は側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの他の実施の形態を示すもので、この場合は、図２との対応部分に同一符号を付して示すように、側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの当接面部Ｇ１は、摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの摺動面まで続くように形成され、これにより方形基板４Ａの上端縁に発生した折り割れ突起４Ｄ１が上側凹面部Ｇ３に当接しないように退避された位置に形成されている。
【００７０】
この実施の形態の場合、方形基板４Ａの折り割れ突起４Ｄ１は上端縁だけに発生しているので、方形基板４Ａの下方の折り割れ面４Ｄのうち折り割れ突起４Ｄ１が生じていない部分は側部案内用ガイドレール１４Ａ、１４Ｂの当接面部Ｇ１に対向しながら搬送されて行くことになる。
【００７１】
図１１の構成によれば、搬送部３のうち、検査位置決め領域Ｌ１３以外の領域、すなわち検査素材投入領域Ｌ１１、搬送姿勢調整領域Ｌ１２及び検査素材送出領域Ｌ１４については特別に高硬度材料を用いなくとも折り割れ突起４Ｄ１によって傷つけられたり磨耗させられたりするおそれを有効に回避できる。
【００７２】
（５−２）図１２はさらに他の実施の形態を示すもので、図１１との対応部分に同一符号を付して示すように、当接面部Ｇ１と摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂの表面との間に逃がし溝Ｇ４を形成した構成を有する。
【００７３】
図１２の構成によれば、方形基板４Ａの摺動案内用ガイドレール１３Ａ及び１３Ｂ側に折り割れ突起４Ｄ１以外に折り割れ残りが発生した場合にもこれを逃がし溝Ｇ４に逃がすことができることにより、側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂに傷を付けたり磨耗させたりするようなおそれを有効に回避できる。
【００７４】
（５−３）図１３はさらに他の実施の形態を示すもので、図４との対応部分に同一符号を付して示すように、押し子部材１５Ｘとして断面円形のものを適用した。
【００７５】
このようにすれば、方形基板４Ａの後方端面を形成する割れ面が多少粗くなっていたとしても、押し子部材１５Ｘは一点接触することにより、搬送方向に押すことができることにより、板状素材４と側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂとの間に不要な摩擦力を生じさせないようにできる。
【００７６】
（５−４）上述の実施の形態においては、搬送部３の搬送姿勢調整領域Ｌ１２（図４）において、側部案内用ガイドレール１４Ａの部分と対向する側部案内用ガイドレール１４Ｂの部分が平行になるように構成されているが、これに代え、側部案内用ガイドレール１４Ｂの部分を側部案内用ガイドレール１４Ａに対して進退することにより搬送部３の幅を変更できるようにしても良い。
【００７７】
ここで、検査位置決め領域Ｌ１３の挟み込み係止装置４０に板状素材４を正しい姿勢で導入するためには、検査位置決め領域Ｌ１３と搬送姿勢調整領域Ｌ１２の側部案内用ガイドレール１４Ａ及び１４Ｂの位置関係が適正でなければならない。
【００７８】
ところが、板状素材４の厚みが検査素材の型番によって数種類が存在する場合には、挟み込み係止装置４０の側面に傾斜があるため、板状素材４の厚みが異なると、検査位置決め領域Ｌ１３に板状素材４が導入される際に位置決めすべき適性な位置が変わる。
【００７９】
これに適用するためこの他の実施の形態においては、搬送姿勢調整領域Ｌ１２を構成する側部案内用ガイドレール１４Ｂの部分に、ガイドレール全体の幅調整機構とは別に、個別に幅を調整する機構として、当該側部案内用ガイドレール１４Ｂの部分を幅方向に進退させる機構が設けられている。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は半導体チップのような板状素材の検査を行う際に適用できる。
【符号の説明】
【００８１】
１……板状素材検査装置、２……投入部、３……搬送部、４……板状素材、４Ａ……方形基板、４Ｂ……検査資料、４Ｄ……折り割れ面、４Ｄ１、４Ｄ２……折り割れ突起、５……検査部、６……貯留部、１１……ベース部材、１３Ａ、１３Ｂ……摺動案内用ガイドレール、１４Ａ、１４Ｂ……側部案内用ガイドレール、１５、１５Ａ〜１５Ｄ、１５Ｘ……押し子部材、１６……搬送動作部材、２３……搬送駆動機構、４０……挟み込み係止装置、４１……可動ガイドレール、４２……係止具、４４……受け具、４４Ａ……内側面、４５……突出面、Ｇ１……当接面部、Ｇ２……下側凹面部、Ｇ３……上側凹面部、Ｇ４……逃がし溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９−１】
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【図９−２】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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