(57)【要約】【課題】素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出可能な振動特性検出方法、漏れ出力をより正確に相殺し得るよう調整可能な振動特性調整方法、および、素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出可能な振動素子を提供すること。【解決手段】本発明の振動特性検出方法は、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とを同一ウエハー９に形成するウエハー加工工程と、付加用振動片５９の駆動用電極に電圧を印加して駆動モードの振動を励振し、検出用電極において、この駆動モードの振動方向に交差する方向の検出モードの振動を検出する漏れ出力検出工程と、を有する。また、付加用振動片５９の延伸方向は、センシング用振動片５８の駆動用振動腕の延伸方向と同じであることが好ましい。【選択図】図１１
2015087207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センシング用振動片を有する振動素子の振動特性を検出する方法であって、
前記センシング用振動片と、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動により発生する電荷を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、を同一のウエハーに形成する工程と、
前記付加用振動片の前記駆動用電極に電圧を印加して振動を励振し、前記振動の方向に交差する方向の振動を前記検出用電極により検出する工程と、
を有することを特徴とする振動特性検出方法。
【請求項２】
前記センシング用振動片は、駆動振動する駆動用振動腕を備えており、
前記付加用振動片の延伸方向は、前記駆動用振動腕の延伸方向と同じである請求項１に記載の振動特性検出方法。
【請求項３】
前記付加用振動片の前記駆動用電極に対し、前記センシング用振動片の定格電圧より高い電圧を印加する請求項１または２に記載の振動特性検出方法。
【請求項４】
前記付加用振動片は、第１面、前記第１面の反対の面である第２面と、前記第１面と前記第２面とを連結する側面と、を有し、
前記第１面、前記第２面および前記側面にそれぞれ前記駆動用電極が設けられ、前記第１面および前記側面にそれぞれ検出用電極が設けられている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動特性検出方法。
【請求項５】
複数の前記センシング用振動片と少なくとも１つの前記付加用振動片とを前記ウエハーに形成する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動特性検出方法。
【請求項６】
前記付加用振動片の周波数は、前記センシング用振動片の周波数と異なる請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振盪特性検出方法。
【請求項７】
センシング用振動片を有する振動素子の振動特性を調整する方法であって、
前記センシング用振動片と、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動により発生する電荷を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、を同一のウエハーに形成する工程と、
前記付加用振動片の前記駆動用電極に電圧を印加して振動を励振し、前記振動の方向に交差する方向の振動を前記検出用電極により検出する工程と、
検出された前記振動に基づき、前記センシング用振動片の振動特性を調整する工程と、
を有することを特徴とする振動特性調整方法。
【請求項８】
前記センシング用振動片は、駆動振動する駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕に伴って振動する調整用振動腕と、を備えており、
前記調整用振動腕から発生する電荷量を変化させ、前記駆動用振動腕の漏れ出力を減少させることにより、前記センシング用振動片の振動特性を調整する請求項７に記載の振動特性調整方法。
【請求項９】
センシング用振動片と、
前記センシング用振動片と一体で形成されている振動片であって、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動の方向に交差する方向の振動を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、
を有することを特徴とする振動素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動特性検出方法、振動特性調整方法および振動素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動素子としては、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正（いわゆる手ぶれ補正）等に用いられ、角速度、加速度等の物理量を検出するセンサーが知られている。センサーとして、例えば、角速度センサー（振動ジャイロセンサー）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の振動ジャイロセンサーは、基部と、基部から延出された連結アームと、連結アームの先端部から延出された駆動アームと、基部から延出された検出アームとを備える。このような振動ジャイロセンサーは、駆動アームを屈曲振動させた状態で、所定方向の角速度を受けると、駆動アームにコリオリ力が作用し、それに伴って、検出アームが屈曲振動する。このような検出アームの屈曲振動を検出することにより、角速度を検出することができる。
このような振動ジャイロセンサーの基部や駆動アームは、例えば圧電体材料により形成される。そして、フォトリソグラフィー技術やエッチング技術を用いて圧電体材料を加工することにより、基部や駆動アームを形成する。
【０００４】
ところが、圧電体材料のエッチング異方性や加工プロセスのバラツキ等により、基部や駆動アームの断面形状が矩形状にならず、平行四辺形や菱形、あるいはその他の異形状になってしまうことがある。このような意図しない形状変化が生じると、駆動アームの振動方向が設計値からずれることとなり、いわゆる漏れ出力（振動漏れ）が発生する。この漏れ出力は、角速度を受けていない状態で発生する、駆動アームの駆動モードの振動方向と直交する成分の振動であり、このような漏れ出力は、振動ジャイロセンサーの検出感度を低下させる原因となる。
【０００５】
特許文献２には、エッチングの際に、ウエハ（圧電体材料）の表面上に載置されるマスクと裏面上に載置されるマスクとのアライメントずれが、上述した形状変化の原因であることが示唆されている。その上で、特許文献２には、基部と、一対の駆動振動系と、一対の検出振動系とを備える振動子であって、基部上に設けられた、駆動側信号パッド、駆動側接地パッド、検出側信号パッド、および検出側接地パッドを備える振動子が開示されている。この振動子では、基部上に設けられた駆動側信号パッドと検出側接地パッドに電圧信号を印加して駆動振動系を励振するとともに、検出側信号パッドおよび検出側接地パッドに対する各電位を出力信号として取り出す。そして、取り出した検出周波数と駆動周波数との大小関係に基づいて、漏れ出力を検出することが開示されている。
また、検出した漏れ出力に基づいて、駆動振動片の質量を調整し、駆動振動のアンバランスを低減することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１０５６１４号公報
【特許文献２】特開２００５−３７２３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献２に記載の振動子において、検出側信号パッドおよび検出側接地パッドに対する各電位を出力信号として取り出すものの、その信号は極めて微弱である。このため、漏れ出力を正確に検出することができず、このため、駆動振動のアンバランスについても十分に低減させることが困難である。
また、出力信号を強くするべく、駆動側信号パッドと検出側接地パッドに印加する電圧信号を大きくした場合、振動片に劣化を生じさせ、振動ジャイロセンサーの機能や性能が低下する懸念がある。
本発明の目的は、素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出可能な振動特性検出方法、漏れ出力をより正確に相殺し得るよう調整可能な振動特性調整方法、および、素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出可能な振動素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動特性検出方法は、センシング用振動片を有する振動素子の振動特性を検出する方法であって、
前記センシング用振動片と、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動により発生する電荷を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、を同一のウエハーに形成する工程と、
前記付加用振動片の前記駆動用電極に電圧を印加して振動を励振し、前記振動の方向に交差する方向の振動を前記検出用電極により検出する工程と、
を有することを特徴とする。
これにより、センシング用振動片とは別の付加用振動片を用いて漏れ出力を検出することができるので、センシング用振動片の素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出することができる。
【０００９】
［適用例２］
本発明の振動特性検出方法では、前記センシング用振動片は、駆動振動する駆動用振動腕を備えており、
前記付加用振動片の延伸方向は、前記駆動用振動腕の延伸方向と同じであることが好ましい。
これにより、駆動用振動腕の製造履歴と、付加用振動片の製造履歴とが、より近くなる。その結果、付加用振動片を励振することにより推定されるセンシング用振動片の漏れ出力の推定確度がより高くなり、駆動用振動腕の漏れ出力をより正確に推定することができる。
【００１０】
［適用例３］
本発明の振動特性検出方法では、前記付加用振動片の前記駆動用電極に対し、前記センシング用振動片の定格電圧より高い電圧を印加することが好ましい。
これにより、駆動モードで振動する付加用振動片の振幅を大きくすることができ、漏れ出力に伴って発生する電荷量も多くなる。その結果、電荷量の絶対値を大きくすることができ、微小な漏れ出力であっても高い感度で正確に検出することができる。
【００１１】
［適用例４］
本発明の振動特性検出方法では、前記付加用振動片は、第１面、前記第１面の反対の面である第２面と、前記第１面と前記第２面とを連結する側面と、を有し、
前記第１面、前記第２面および前記側面にそれぞれ前記駆動用電極が設けられ、前記第１面および前記側面にそれぞれ検出用電極が設けられていることが好ましい。
これにより、付加用振動片の小型化が図られるため、センシング用振動片の製造容易性が高くなる。
【００１２】
［適用例５］
本発明の振動特性検出方法では、複数の前記センシング用振動片と少なくとも１つの前記付加用振動片とを前記ウエハーに形成することが好ましい。
これにより、付加用振動片が占める面積は最小限に抑えられるため、ウエハーにおけるセンシング用振動片の取り数を最大限に確保することができる。
【００１３】
［適用例６］
本発明の振動特性検出方法では、前記付加用振動片の周波数は、前記センシング用振動片の周波数と異なることが好ましい。
これにより、付加用振動片を振動させたとき、センシング用振動片も励振され、それによって漏れ出力の検出結果にずれが生じてしまうのを防止することができる。
【００１４】
［適用例７］
本発明の振動特性調整方法では、センシング用振動片を有する振動素子の振動特性を調整する方法であって、
前記センシング用振動片と、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動により発生する電荷を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、を同一のウエハーに形成する工程と、
前記付加用振動片の前記駆動用電極に電圧を印加して振動を励振し、前記振動の方向に交差する方向の振動を前記検出用電極により検出する工程と、
検出された前記振動に基づき、前記センシング用振動片の振動特性を調整する工程と、
を有することを特徴とする。
これにより、付加用振動片を用いることで、センシング用振動片の素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出することができるので、センシング振動片の漏れ出力をより正確に相殺し得るよう振動素子を調整することができる。
【００１５】
［適用例８］
本発明の振動特性調整方法では、前記センシング用振動片は、駆動振動する駆動用振動腕と、前記駆動用振動腕に伴って振動する調整用振動腕と、を備えており、
前記調整用振動腕から発生する電荷量を変化させ、前記駆動用振動腕の漏れ出力を減少させることにより、前記センシング用振動片の振動特性を調整することが好ましい。
これにより、振動素子のゼロ点出力をゼロに近づけることができ、より感度の高い振動素子を得ることができる。
【００１６】
［適用例９］
本発明の振動素子は、センシング用振動片と、
前記センシング用振動片と一体で形成されている振動片であって、駆動電圧が印加される駆動用電極と前記駆動電圧の印加に伴う振動の方向に交差する方向の振動を検出する検出用電極とを備える付加用振動片と、
を有することを特徴とする。
これにより、素子の劣化を抑えつつ、漏れ出力をより正確に検出可能な振動素子が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の振動素子の実施形態を備えるセンサーデバイスの概略構成を示す模式的断面図である。
【図２】図１に示すセンサーデバイスの平面図である。
【図３】図１に示すセンサーデバイスに備えられた振動素子を示す平面図である。
【図４】図４（ａ）は、図３に示す振動素子の駆動用振動腕の拡大平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す駆動用振動腕の断面図である。
【図５】図５（ａ）は、図３に示す振動素子の検出用振動腕の拡大平面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す検出用振動腕の断面図である。
【図６】図６（ａ）は、図３に示す振動素子の調整用振動腕の拡大平面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す調整用振動腕の断面図である。
【図７】図３に示す振動素子における検出用電極および調整用電極の接続状態を示す図である。
【図８】図３に示す振動素子の動作を説明するための図である。
【図９】図９（ａ）は、図５に示す検出用電極の漏れ出力を示す図、図９（ｂ）は、図６および図７に示す調整用電極の出力を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）は、図３に示す振動素子の付加用振動片の拡大平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す付加用振動片の断面図である。
【図１１】本発明の振動特性検出方法の実施形態を説明するための図である。
【図１２】本発明の振動特性検出方法の実施形態を説明するための他の図である。
【図１３】本発明の振動素子を備えるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１４】本発明の振動素子を備える携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１５】本発明の振動素子を備えるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の振動特性検出方法、振動特性調整方法および振動素子について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜センサーデバイス＞
次に、本発明の振動素子の実施形態を備えるセンサーデバイスについて説明する。
図１は、本発明の振動素子の実施形態を備えるセンサーデバイスの概略構成を示す模式的断面図、図２は、図１に示すセンサーデバイスの平面図、図３は、図１に示すセンサーデバイスに備えられた振動素子を示す平面図、図４（ａ）は、図３に示す振動素子の駆動用振動腕の拡大平面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す駆動用振動腕の断面図、図５（ａ）は、図３に示す振動素子の検出用振動腕の拡大平面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す検出用振動腕の断面図、図６（ａ）は、図３に示す振動素子の調整用振動腕の拡大平面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す調整用振動腕の断面図、図７は、図３に示す振動素子における検出用電極および調整用電極の接続状態を示す図、図８は、図３に示す振動素子の動作を説明するための図、図９（ａ）は、図５に示す検出用電極の漏れ出力を示す図、図９（ｂ）は、図６および図７に示す調整用電極の出力を示す図、図１０（ａ）は、図３に示す振動素子の付加用振動片の拡大平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示す付加用振動片の断面図である。
【００１９】
なお、以下では、説明の便宜上、図１〜６、８、１０において、互いに直交する３つの軸として、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を図示しており、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」という。また、＋ｚ軸側を「上」、−ｚ軸側を「下」ともいう。
図１および図２に示すセンサーデバイス１は、物理量として角速度を検出するジャイロセンサーである。
【００２０】
このようなセンサーデバイス１は、例えば、撮像機器の手ぶれ補正や、ＧＰＳ（Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）衛星信号を用いた移動体ナビケーションシステムにおける車両などの姿勢検出、姿勢制御等に用いることができる。
このセンサーデバイス１は、図１および図２に示すように、振動素子２と、ＩＣチップ３と、振動素子２およびＩＣチップ３を収納するパッケージ４と、を有する。
【００２１】
以下、センサーデバイス１を構成する各部を順次説明する。
［振動素子］
振動素子２は、１つの軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサー素子である。
この振動素子２は、図３に示すように、基部２１と、１対の駆動用振動腕２２１、２２２と、１対の検出用振動腕２３１、２３２と、１対の調整用振動腕（振動腕）２４１、２４２と、支持部（枠体）２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４と、駆動用電極群５１、５２と、検出用電極群５３、５４と、調整用電極群５５、５６とを備えるセンシング用振動片５８と、支持部２５に設けられた付加用振動片５９と、を有している。
本実施形態では、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とが、圧電体材料で一体的に形成されている。このような圧電体材料としては、特に限定されないが、水晶を用いるのが好ましい。これにより、振動素子２の特性を優れたものとすることができる。
【００２２】
水晶は、互いに直交するＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光学軸）を有する。基部２１、１対の駆動用振動腕２２１、２２２、１対の検出用振動腕２３１、２３２、１対の調整用振動腕２４１、２４２、支持部２５および４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４は、例えば、Ｚ軸が厚さ方向に存在するとともにＸ軸およびＹ軸に平行な板面を有する水晶で構成された基板をエッチング加工することにより形成することができる。かかる基板の厚さは、振動素子２の発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性等に応じて適宜設定される。なお、以下では、基部２１、１対の駆動用振動腕２２１、２２２、１対の検出用振動腕２３１、２３２、１対の調整用振動腕２４１、２４２、支持部２５および４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４が水晶で一体的に構成されている場合を例に説明する。
【００２３】
（（センシング用振動片））
センシング用振動片５８は、上述したように、基部２１と、１対の駆動用振動腕２２１、２２２と、１対の検出用振動腕２３１、２３２と、１対の調整用振動腕（振動腕）２４１、２４２と、支持部（枠体）２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４と、駆動用電極群５１、５２と、検出用電極群５３、５４と、調整用電極群５５、５６とを備えている。
【００２４】
このうち基部２１は、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４を介して支持部２５に支持されている。４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４は、それぞれ、長尺形状をなし、一端が基部２１に連結され、他端が支持部２５に連結されている。
駆動用振動腕２２１、２２２は、それぞれ、基部２１からｙ軸方向（＋ｙ方向）に延出している。また、駆動用振動腕２２１、２２２は、それぞれ、水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、駆動用振動腕２２１、２２２の横断面は、それぞれ、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。
そして、駆動用振動腕２２１には、駆動用電極群５１が設けられ、同様に、駆動用振動腕２２２には、駆動用電極群５２が設けられている。
【００２５】
以下、駆動用電極群５１について代表的に説明する。なお、駆動用電極群５２については、駆動用電極群５１と同様であるため、その説明を省略する。
駆動用電極群５１は、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、駆動用振動腕２２１の上面に設けられた駆動用電極５１１と、駆動用振動腕２２１の下面に設けられた駆動用電極５１２と、駆動用振動腕２２１の一方（図４中の左側）の側面に設けられた駆動用電極５１３と、駆動用振動腕２２１の他方（図４中の右側）の側面に設けられた駆動用電極５１４とで構成されている。
【００２６】
駆動用電極５１１および駆動用電極５１２は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。また、駆動用電極５１３および駆動用電極５１４は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。このような駆動用電極５１１、５１２は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ａに電気的に接続されている。また、駆動用電極５１３、５１４は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｂに電気的に接続されている。
【００２７】
検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、基部２１からｙ軸方向（−ｙ方向）に延出している。また、検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、検出用振動腕２３１、２３２の横断面は、それぞれ、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。
このような検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて振動するものである。
【００２８】
そして、検出用振動腕２３１には、検出用電極群５３が設けられ、同様に、検出用振動腕２３２には、検出用電極群５４が設けられている。このように駆動用振動腕２２１、２２２とは別体として設けられた検出用振動腕２３１、２３２に検出用電極群５３、５４を設けることにより、検出用電極群５３、５４の検出用電極の電極面積（電極として機能する部分の面積）を大きくすることができる。そのため、振動素子２の検出感度を向上させることができる。ここで、検出用振動腕２３１および検出用電極群５３は、検出部を構成する。同様に、検出用振動腕２３２および検出用電極群５４は、検出部を構成する。
【００２９】
以下、検出用電極群５３について代表的に説明する。なお、検出用電極群５４については、検出用電極群５３と同様であるため、その説明を省略する。
検出用電極群５３は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、検出用振動腕２３１の上面に設けられた検出用電極５３１、５３２と、検出用振動腕２３１の下面に設けられた検出用電極５３３、５３４とで構成されている。ここで、検出用電極５３１、５３３は、それぞれ、検出用振動腕２３１の幅方向での一方側（図５中の左側）に設けられ、また、検出用電極５３２、５３４は、それぞれ、検出用振動腕２３１の幅方向での他方側（図５中の右側）に設けられている。
【００３０】
検出用電極５３１および検出用電極５３４は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。また、検出用電極５３２および検出用電極５３３は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。ここで、検出用電極５３１、５３４および検出用電極５３２、５３３は、対をなす。
【００３１】
このような検出用電極５３１、５３４は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｃに電気的に接続されている。また、検出用電極５３２、５３３は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｅに電気的に接続されている。なお、検出用電極群５４は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｄ、５７ｆに電気的に接続されている。
【００３２】
調整用振動腕２４１、２４２は、それぞれ、基部２１からｙ軸方向に延出している。また、調整用振動腕２４１、２４２は、それぞれ、水晶のＹ軸に沿って延在している。さらに、調整用振動腕２４１、２４２の横断面は、それぞれ、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。調整用振動腕２４１、２４２はそれぞれ矩形であり、表面（第１面）、裏面（第２面）、および表面と裏面を連結する側面を有する。
【００３３】
このような調整用振動腕２４１、２４２は、前述した駆動用振動腕２２１、２２２に対して平行となるように設けられている。すなわち、駆動用振動腕２２１、２２２および調整用振動腕２４１、２４２は、互いに平行な方向に延在している。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２および調整用振動腕２４１、２４２等を水晶で構成した場合、駆動用振動腕２２１、２２２および調整用振動腕２４１、２４２をそれぞれ水晶のＹ軸に沿って延在するように構成し、駆動用振動腕２２１、２２２を効率的に振動させるとともに、簡単な構成で後述する調整用電極５５１〜５５４に電荷を生じさせることができる。
そして、調整用振動腕２４１には、調整用電極群５５が設けられ、同様に、調整用振動腕２４２には、調整用電極群５６が設けられている。
【００３４】
以下、調整用電極群５５について代表的に説明する。なお、調整用電極群５６については、調整用電極群５５と同様であるため、その説明を省略する。
調整用電極群５５は、図６（ａ）、（ｂ）に示すように、調整用振動腕２４１の上面に設けられた調整用電極５５１と、調整用振動腕２４１の下面に設けられた調整用電極５５２と、調整用振動腕２４１の一方（図６中の左側）の側面に設けられた調整用電極（側面電極）５５３と、調整用振動腕２４１の他方（図６中の右側）の側面に設けられた調整用電極（側面電極）５５４とで構成されている。
【００３５】
調整用電極５５１および調整用電極５５２は、平面視したときに、互いに重なるように形成されている。すなわち、調整用電極５５１および調整用電極５５２は、平面視したときに、互いの外形が一致するように形成されている。
調整用電極５５１および調整用電極５５２は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。また、調整用電極５５３および調整用電極５５４は、互いに同電位となるように電気的に接続されている。ここで、調整用電極５５１、５５２および調整用電極５５３、５５４は、対をなす。
【００３６】
このような調整用電極５５１、５５２は、図示しない配線を介して、前述した検出用電極５３２、５３３とともに、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｅに電気的に接続されている。また、調整用電極５５３、５５４は、図示しない配線を介して、前述した検出用電極５３１、５３４とともに、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｃに電気的に接続されている。なお、調整用電極群５６は、図示しない配線を介して、検出用電極群５４とともに、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｄ、５７ｆに電気的に接続されている。
【００３７】
このような調整用電極５５１〜５５４を有する振動素子２では、図７に示すように、検出用電極５３１、５３４および検出用電極５３２、５３３に発生する電荷量に、調整用電極５５１、５５２および調整用電極５５３、５５４に発生する電荷量を加算したものをセンサー出力（以下、単に「センサー出力」ともいう）として端子５７ｃ、５７ｅから出力することができる。
【００３８】
ここで、調整用電極５５１、５５２および調整用電極５５３、５５４に発生する電荷は、検出用電極５３１、５３４および検出用電極５３２、５３３に発生する電荷とは逆極性であるため、検出用電極５３１、５３４および検出用電極５３２、５３３に発生する電荷の少なくとも一部を相殺する。
このような調整用電極５５１、５５２では、その一部を除去することにより、センサー出力の調整を行うことが可能である。すなわち、調整用電極５５１、５５２の一部を除去することにより、調整用電極５５１、５５２と調整用電極５５３、５５４との間の電荷量を少なくし、センサー出力を調整することができる。例えば、振動素子２に物理量が加えられていない状態でのセンサー出力（以下、「ゼロ点出力」ともいう）がゼロとなるように、センサー出力を調整（補正）することができる。これにより、感度の高い振動素子２が得られる。
【００３９】
このように構成された振動素子２では、端子５７ａと端子５７ｂとの間に駆動信号が印加されることにより、図８に示すように、駆動用振動腕２２１と駆動用振動腕２２２とが互いに接近・離間するように屈曲振動（駆動振動）する。すなわち、駆動用振動腕２２１が図８に示す矢印Ａ１の方向に屈曲するとともに駆動用振動腕２２２が図８に示す矢印Ａ２の方向に屈曲する状態と、駆動用振動腕２２１が図８に示す矢印Ｂ１の方向に屈曲するとともに駆動用振動腕２２２が図８に示す矢印Ｂ２の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
【００４０】
このように駆動用振動腕２２１、２２２を駆動振動させた状態で、振動素子２にｙ軸まわりの角速度ωが加わると、駆動用振動腕２２１、２２２は、コリオリ力により、ｚ軸方向に互いに反対側に屈曲振動する。これに伴い、検出用振動腕２３１、２３２は、ｚ軸方向に互いに反対側に屈曲振動（検出振動）する。すなわち、検出用振動腕２３１が図８に示す矢印Ｃ１の方向に屈曲するとともに検出用振動腕２３２が図８に示す矢印Ｃ２の方向に屈曲する状態と、検出用振動腕２３１が図８に示す矢印Ｄ１の方向に屈曲するとともに検出用振動腕２３２が図８に示す矢印Ｄ２の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
このような検出用振動腕２３１、２３２の検出振動により検出用電極群５３、５４に生じた電荷を検出することにより、振動素子２に加わった角速度ωを求めることができる。
【００４１】
このとき、調整用振動腕２４１、２４２も駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って互いに接近・離間する方向に屈曲振動するよう励振される。これにより、調整用電極５５１、５５２および調整用電極５５３、５５４に電荷が発生するので、この電荷量を調整することにより、検出用電極５３１、５３４および検出用電極５３２、５３３に発生する電荷の少なくとも一部を相殺することができる。
【００４２】
かかる振動素子２では、仮に、製造時のバラツキによって駆動用振動腕２２１、２２２の横断面形状が設計通りにならなかった場合、振動素子２に物理量を加えていないにもかかわらず、駆動用振動腕２２１、２２２を通電により振動させると、図９（ａ）に示すように、検出用電極５３１、５３４と検出用電極５３２、５３３との間に漏れ出力Ｓとなる電荷が生じてしまう。
【００４３】
また、振動素子２では、振動素子２に物理量が加えられているか否かにかかわらず駆動用振動腕２２１、２２２を通電により振動させた状態において、図９（ｂ）に示すように、調整用電極５５１、５５２と調整用電極５５３、５５４との間に調整用出力Ｔとなる電荷が生じる。
漏れ出力Ｓおよび調整用出力Ｔは互いに逆極性であるため、調整用出力Ｔの絶対値を漏れ出力Ｓの絶対値と等しくすることにより、振動素子２のゼロ点出力をゼロにすることができる。
【００４４】
これに対し、前述したように、調整用電極５５１、５５２の一部を除去することにより、センサー出力を調整することができるが、このとき、漏れ出力Ｓの絶対値を正確に見積もることができなければ、当然、振動素子２のゼロ点出力をゼロにすることができない。そこで、本発明では、後述する付加用振動片５９を備えることにより、この漏れ出力Ｓを正確に見積もることを可能にしている。
【００４５】
（（付加用振動片））
支持部２５の内側には、付加用振動片５９が設けられている。
付加用振動片５９は、支持部２５からｙ軸方向の（−ｙ方向）に延出している。また、付加用振動片５９の横断面は、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な一対の辺とで構成された矩形をなしている。すなわち、表面（第１面）と、裏面（第２面）と、表面と裏面とを連結する側面と、を有する。
そして、付加用振動片５９には、駆動用電極５９１、５９２、５９３と、検出用電極５９４、５９５とが設けられている。
【００４６】
より具体的には、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、付加用振動片５９の表面には駆動用電極５９１および検出用電極５９４が設けられており、付加用振動片５９の裏面には駆動用電極５９２が設けられており、付加用振動片５９の一方（図９中の左側）の側面には駆動用電極５９３が設けられており、付加用振動片５９の他方（図９中の右側）の側面には検出用電極５９５が設けられている。このような構成の付加用振動片５９によれば、小型化が図られるため、振動素子２の小型化に寄与することができる。付加用振動片５９が占める面積を最小限に抑え、振動素子２（センシング用振動片５８）の製造容易性が高くなる。
【００４７】
駆動用電極５９１は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｇに電気的に接続されている。また、駆動用電極５９２は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｈに電気的に接続されている。
また、駆動用電極５９３および検出用電極５９４は、図示しない配線を介して電気的に接地されている。
さらに、検出用電極５９５は、図示しない配線を介して、図３に示す支持部２５に設けられた端子５７ｉに電気的に接続されている。
【００４８】
このような付加用振動片５９は、前述したように、センシング用振動片５８とともに一体的に形成されている。また、前述したように、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とは、例えば水晶で構成された基板をエッチング加工することにより形成される。したがって、付加用振動片５９は、センシング用振動片５８と同じ製造履歴を有しているといえる。このため、前述したように、例えば製造時のバラツキにより駆動用振動腕２２１、２２２の横断面形状が設計通りになっていない場合、同じ製造履歴を有する付加用振動片５９についても、駆動用振動腕２２１、２２２と同様、やはり、横断面形状が設計から外れる可能性が高い。そして、駆動用振動腕２２１、２２２の横断面形状と付加用振動片５９の横断面形状とは、設計形状に対して同じ傾向の外れ方を示すと考えられる。このため、駆動用振動腕２２１、２２２を通電により振動させた状態において、漏れ出力に伴って検出用電極５３１、５３４と検出用電極５３２、５３３との間に生じる電荷と、付加用振動片５９を通電により振動させた状態において、漏れ出力に伴って検出される電荷とは、比例等の相関関係を有する。したがって、この相関関係を利用すれば、駆動用振動腕２２１、２２２ではなく、付加用振動片５９を励振し漏れ出力を検出することにより、駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力（振動特性）を推定することができる。
【００４９】
また、このような付加用振動片５９は、センシング用振動片５８の駆動用振動腕２２１、２２２に比べて、定格を超えるような大きな振幅で励振することが許容される。すなわち、仮にセンシング用振動片５８を定格の振幅より大きな振幅で励振した場合、センシング用振動片５８に大きな歪みが生じて圧電体が劣化するおそれがあるのに対し、付加用振動片５９は、センシング用振動片５８と物理的に離れた位置に設けられているため、付加用振動片５９を大きな振幅で励振したとしても、センシング用振動片５８にはその影響がほとんど及ばないと考えられる。そして、この付加用振動片５９は、センシング用振動片５８の動作には影響を及ぼさないため、仮に付加用振動片５９の圧電体が劣化したとしても、製品化後の振動素子２には影響がない。したがって、付加用振動片５９を大きな振幅で励振し、漏れ出力に伴って検出される電荷量を大きくすることにより、検出電流のＳ／Ｎ比が向上し、センシング用振動片５８の漏れ出力をより正確に推定することができる。
【００５０】
このようにして推定されたセンシング用振動片５８の漏れ出力Ｓは、従来に比べて高い確度を有していると考えられる。このため、このようにして推定した漏れ出力Ｓに応じて、調整用出力Ｔを調整するようにすれば、振動素子２のゼロ点出力をより正確にゼロに近づけることができる。その結果、より検出感度の高い振動素子２およびセンサーデバイス１を得ることができる。
【００５１】
なお、上記の観点からすれば、付加用振動片５９の形状、大きさ等は、駆動用振動腕２２１、２２２の形状、大きさ等に近い方が好ましい。例えば、付加用振動片５９の幅は、駆動用振動腕２２１、２２２の幅に等しいのが好ましい。これにより、両者の横断面形状をより近づけることができる。
また、支持部２５から延出する付加用振動片５９の延伸方向は、特に限定されないが、駆動用振動腕２２１、２２２の延伸方向と同じにすることが好ましい。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２の製造履歴と、付加用振動片５９の製造履歴とが、より近くなる。その結果、付加用振動片５９を励振することにより推定されるセンシング用振動片５８の漏れ出力の推定確度がより高くなり、駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力をより正確に推定することができる。
【００５２】
なお、互いの延伸方向が異なっている場合であっても、延伸方向の違いによる推定結果の相違には一定の傾向があるため、この傾向をあらかじめ把握しておくことにより、漏れ出力の補正を行うことができる。
また、推定確度をさらに高めるという観点からいえば、付加用振動片５９が延出する向きと、駆動用振動腕２２１、２２２が延出する向きとが同じであることが好ましい。すなわち、付加用振動片５９を支持部２５から＋ｙ方向に延出させることが好ましい。
【００５３】
また、付加用振動片５９の振動の周波数は、センシング用振動片５８の振動の周波数と異なっているのが好ましい。これにより、センシング用振動片５８の駆動用振動腕２２１、２２２や検出用振動腕２３１、２３２が振動したとき、意図せず付加用振動片５９も励振されてしまい、センシング用振動片５８の動作が不安定になる等の悪影響が及ぶことが防止される。
【００５４】
また、反対に、後述する振動特性検出方法において付加用振動片５９を振動させたとき、センシング用振動片５８も励振され、それによって漏れ出力の検出結果にずれが生じてしまうのを防止することができる。
なお、センシング用振動片５８の振動とは、駆動用振動腕２２１、２２２の振動、検出用振動腕２３１、２３２の振動および調整用振動腕２４１、２４２の振動のことである。
【００５５】
以上、センサーデバイス１および振動素子２について説明したが、上述した振動素子２のセンシング用振動片５８の形態は、いわゆるＨ型音叉の形態に限定されず、例えば、ダブルＴ型、二脚音叉、三脚音叉、くし歯型、直交型、角柱型等の種々の形態であってもよい。
また、駆動用振動腕、検出用振動腕および調整用振動腕の数は、それぞれ、１つまたは３つ以上であってもよい。また、駆動用振動腕は、検出用振動腕を兼ねていてもよい。
【００５６】
また、駆動用電極の数、位置、形状、大きさ等は、駆動用振動腕を通電により振動させることができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。
また、検出用電極の数、位置、形状、大きさ等は、物理量が加えられることによる駆動用振動腕の振動を電気的に検出することができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。
また、調整用電極の数、位置、形状、大きさ等は、調整用振動腕の駆動振動に伴って生じる電荷を出力することができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。
【００５７】
＜振動特性検出方法＞
次に、本発明の振動特性検出方法の実施形態について説明する。
図１１、１２は、それぞれ本発明の振動特性検出方法の実施形態を説明するための図である。
本実施形態に係る振動特性検出方法は、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とを同一ウエハー９に形成するウエハー加工工程と、付加用振動片５９の駆動用電極５９１、５９２、５９３に電圧を印加して駆動モードの振動を励振し、検出用電極５９４、５９５において、この駆動モードの振動方向に交差する方向の検出モードの振動を検出する漏れ出力検出工程と、を有する。以下、各工程について順次説明する。
なお、以下の説明では、本発明の振動特性検出方法を適用する振動片として、図３に示すセンシング用振動片５８の基部２１と４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４との接続部を切断して切り出される振動片を例に説明する。
【００５８】
［１］まず、圧電体材料のウエハーを用意する。このウエハーとしては、前述した圧電体材料で構成された基板等が挙げられ、水晶ウエハー等が代表的である。
次いで、このようなウエハーに対し、既知のフォトリソグラフィー技術等を用いて、ウエハーを加工する。
続いて、駆動用電極群５１、５２、検出用電極群５３、５４、および調整用電極群５５、５６を形成する。同様に、駆動用電極５９１、５９２、５９３および検出用電極５９４、５９５を形成する。これにより、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とが形成されたウエハー９が得られる（ウエハー加工工程）。
【００５９】
なお、図１１に示すウエハー９には、センシング用振動片５８と付加用振動片５９とが１つの区画６０内に１つずつ形成されている。そして、図１１に示すウエハー９は、この区画６０が６個形成された多数個取りのウエハーの例である。また、ウエハー９には、これらの区画６０を取り囲むように余白６１が設けられており、余白６１とセンシング用振動片５８とが、接続部６２を介して接続されている。
また、各電極の形成には、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法のような物理成膜法、ＣＶＤ法のような化学成膜法、めっき法等が挙げられる。
【００６０】
［２］次に、付加用振動片５９の駆動用電極５９１、５９２に電圧を印加し、付加用振動片５９を駆動モードで振動させる。これにより、付加用振動片５９には、図１０（ｂ）のＸ方向に往復する振動が励振される。
次いで、検出用電極５９４、５９５により、振動モードに交差する方向の検出モードの振動（漏れ出力）を検出する（漏れ出力検出工程）。検出用電極５９５には、漏れ出力に伴う電荷を含む電荷が発生し、この電荷量を測ることにより、漏れ出力の大きさを特定することができる。そして、付加用振動片５９について求めた漏れ出力に基づき、駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力をより正確に推定することができる。
【００６１】
なお、検出用電極５９５から出力される電荷量は、漏れ出力に伴う電荷と、駆動モードの振動に伴う電荷とが重畳されたものである。したがって、測定した電荷量から駆動モードの振動に伴う電荷を差し引くことにより、漏れ出力に伴う電荷を算出することができる。
このとき、駆動用電極５９１、５９２、５９３には、センシング用振動片５８の駆動用振動腕２２１、２２２に印加する定格電圧と同等の電圧を印加するようにしてもよいが、好ましくは定格電圧よりも高い電圧を印加する。これにより、駆動モードで振動する付加用振動片５９の振幅を大きくすることができ、漏れ出力に伴って発生する電荷量も多くなる。その結果、電荷量の絶対値を大きくすることができ、微小な漏れ出力であっても高い感度で正確に検出することができる。
【００６２】
なお、ウエハー９において、各区画６０に設ける付加用振動片５９の配置は、図１１に示す位置に限定されない。
図１２は、本発明の振動特性検出方法の実施形態を説明するための他の図である。
図１２に示すウエハー９には、センシング用振動片５８が１つ形成された区画６０が３つ形成されている。また、区画６０に隣り合うように、区画６３が形成されている。そして、区画６３には、付加用振動片５９が１つ形成されている。なお、図１２では、１つの区画６０に対して１つの区画６３が１対１で対応するよう形成されている。
このような図１２に示すウエハー９においても、付加用振動片５９について求めた漏れ出力に基づき、駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力を推定することができる。
【００６３】
なお、図１１、１２に示すウエハー９において、付加用振動片５９の配置や数については、特に限定されない。すなわち、ウエハー９には、複数のセンシング用振動片５８に対して少なくとも１つの付加用振動片５９が形成されていればよい。これにより、付加用振動片５９が占める面積は最小限に抑えられるため、ウエハー９におけるセンシング用振動片５８の取り数を最大限に確保することができる。また、１つのセンシング用振動片５８に対して複数の付加用振動片５９が形成されていてもよい。
【００６４】
また、フォトリソグラフィー工程やエッチング工程によっては、ウエハー９上においてプロセス進度にムラが生じる。そこで、このプロセス進度のムラに応じて、付加用振動片５９の配置や数を設定するようにしてもよい。
また、図１１、１２に示すウエハー９では、前述したように、１つのセンシング用振動片５８に対して１つの付加用振動片５９が１対１で対応するように形成されているので、漏れ出力検出工程では、漏れ出力を検出しようとするセンシング用振動片５８に対応する付加用振動片５９を励振し、漏れ出力を検出するようにするのが好ましい。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力をより正確に推定することができる。これは、図１１、１２に示すウエハー９では、センシング用振動片５８に対して付加用振動片５９が１対１で近接配置されているため、この配置における付加用振動片５９の横断面形状は、これに近接配置されたセンシング用振動片５８の駆動用振動腕２２１、２２２の横断面形状と特に近くなり、それに伴って漏れ出力の推定確度も高くなるからである。
【００６５】
＜振動特性調整方法＞
次に、本発明の振動特性調整方法の実施形態について説明する。
本実施形態に係る振動特性調整方法は、センシング用振動片５８の駆動用振動腕２２１、２２２の漏れ出力を検出した後、この漏れ出力に基づいて調整用電極５５１、５５２の一部を除去することにより、調整用電極５５１、５５２に発生する電荷を調整する工程（電荷調整工程）を有する。
【００６６】
調整用電極５５１、５５２の一部を除去する方法としては、例えば、レーザーによるトリミング等が挙げられる。このようにして調整用電極５５１、５５２の一部を除去することにより、調整用電極５５１、５５２から出力される電荷量（調整用出力Ｔの絶対値）を調整し、振動素子２のゼロ点出力をゼロに近づけることができる。
このようにして振動素子２の振動特性を調整した後、ウエハー９の接続部６２を切断する。これにより、センシング用振動片５８が個片化される。その後、必要に応じてセンシング用振動片５８をパッケージ内にマウントすることにより、センサーデバイス１を得ることができる。
なお、調整用出力Ｔの絶対値を調整するには、調整用電極５５１、５５２の一部を除去する以外に、その他の調整用電極の一部を除去するようにしてもよい。また、調整用電極群５５、５６の面積を増やすようにしてもよく、調整用振動腕２４１、２４２の質量を変化させるようにしてもよい。
【００６７】
［ＩＣチップ］
図１および図２に示すＩＣチップ３は、前述した振動素子２を駆動する機能と、振動素子２からの出力（センサー出力）を検出する機能とを有する電子部品である。
このようなＩＣチップ３は、図示しないが、振動素子２を駆動する駆動回路と、振動素子２からの出力を検出する検出回路とを備える。
また、ＩＣチップ３には、複数の接続端子３１が設けられている。
【００６８】
（パッケージ）
図１および図２に示すように、パッケージ４は、上方に開放する凹部を有するベース部材４１（ベース）と、このベース部材４１の凹部を覆うように設けられた蓋部材４２（リッド）とを備える。これにより、ベース部材４１と蓋部材４２との間には、振動素子２およびＩＣチップ３が収納される内部空間が形成されている。
【００６９】
ベース部材４１は、平板状の板体４１１（板部）と、板体４１１の上面の外周部に接合された枠体４１２（枠部）とで構成されている。
このようなベース部材４１は、例えば、酸化アルニウム質焼結体、水晶、ガラス等で構成されている。
図１に示すように、ベース部材４１の上面（蓋部材４２に覆われる側の面）には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含んで構成された接着剤のような接合部材８１により、前述した振動素子２の支持部２５が接合されている。これにより、振動素子２がベース部材４１に対して支持・固定されている。
【００７０】
また、ベース部材４１の上面には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含んで構成された接着剤のような接合部材８２により、前述したＩＣチップ３が接合されている。これにより、ＩＣチップ３がベース部材４１に対して支持・固定されている。
さらに、図１および図２に示すように、ベース部材４１の上面には、複数の内部端子７１および複数の内部端子７２が設けられている。
【００７１】
複数の内部端子７１には、例えばボンディングワイヤーで構成された配線を介して、前述した振動素子２の端子５７ａ〜５７ｉが電気的に接続されている。
この複数の内部端子７１は、図示しない配線を介して、複数の内部端子７２に電気的に接続されている。
また、複数の内部端子７２には、例えばボンディングワイヤーで構成された配線を介して、前述したＩＣチップ３の複数の接続端子３１が電気的に接続されている。
【００７２】
一方、図１に示すように、ベース部材４１の下面（パッケージ４の底面）には、センサーデバイス１が組み込まれる機器（外部機器）に実装される際に用いられる複数の外部端子７３が設けられている。
この複数の外部端子７３は、図示しない内部配線を介して、前述した内部端子７２に電気的に接続されている。これにより、ＩＣチップ３と複数の外部端子７３とが電気的に接続されている。
【００７３】
このような各内部端子７１、７２および各外部端子７３は、それぞれ、例えば、タングステン（Ｗ）等のメタライズ層にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等の被膜をメッキ等により積層した金属被膜からなる。
このようなベース部材４１には、蓋部材４２が気密的に接合されている。これにより、パッケージ４内が気密封止されている。
【００７４】
この蓋部材４２は、例えば、ベース部材４１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
ベース部材４１と蓋部材４２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、ろう材、硬化性樹脂等で構成された接着剤による接合方法、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。
かかる接合は、減圧下または不活性ガス雰囲気下で行うことにより、パッケージ４内を減圧状態または不活性ガス封入状態に保持することができる。
【００７５】
以上説明したような実施形態に係るセンサーデバイス１に備えられた振動素子２によれば、簡単かつ確実に、優れた検出感度を発揮することができる。
また、前述したような振動素子２を備えるセンサーデバイス１によれば、優れた検出感度を有する。
以上説明したようなセンサーデバイス１（振動素子２）は、各種の電子機器に組み込んで使用することができる。
このような電子機器によれば、信頼性を優れたものとすることができる。
【００７６】
＜電子機器＞
ここで、本発明の振動素子を備える電子機器の一例について、図１３〜図１５に基づき、詳細に説明する。
図１３は、本発明の振動素子を備えるモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００７７】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。
【００７８】
図１４は、本発明の振動素子を備える携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。
【００７９】
図１５は、本発明の振動素子を備えるディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００８０】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【００８１】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する前述したセンサーデバイス１が内蔵されている。
【００８２】
なお、本発明の電子機器は、図１３のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１４の携帯電話機、図１５のディジタルスチルカメラの他にも、電子デバイスの種類に応じて、例えば、車体姿勢検出装置、ポインティングデバイス、ヘッドマウントディスプレイ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲームコントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等に適用することができる。
以上、本発明のセンサー素子、センサー素子の特性調整方法、センサーデバイスおよび電子機器について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００８３】
また、本発明のセンサー素子、センサーデバイスおよび電子機器では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
また、本発明のセンサー素子、センサーデバイスおよび電子機器は、前述した各実施形態の任意の構成同士を組み合わせるようにしてもよい。
また、本発明のセンサー素子の特性調整方法では、任意の工程を追加することができる。
【符号の説明】
【００８４】
１‥‥センサーデバイス  ２‥‥振動素子  ３‥‥ＩＣチップ  ４‥‥パッケージ  ９‥‥ウエハー  ２１‥‥基部  ２５‥‥支持部  ３１‥‥接続端子  ４１‥‥ベース部材  ４２‥‥蓋部材  ５１‥‥駆動用電極群  ５２‥‥駆動用電極群  ５３‥‥検出用電極群  ５４‥‥検出用電極群  ５５‥‥調整用電極群  ５６‥‥調整用電極群  ５７ａ‥‥端子  ５７ｂ‥‥端子  ５７ｃ‥‥端子  ５７ｄ‥‥端子  ５７ｅ‥‥端子  ５７ｆ‥‥端子  ５７ｇ‥‥端子  ５７ｈ‥‥端子  ５７ｉ‥‥端子  ５８‥‥センシング用振動片  ５９‥‥付加用振動片  ６０‥‥区画  ６１‥‥余白  ６２‥‥接続部  ６３‥‥区画  ７１‥‥内部端子  ７２‥‥内部端子  ７３‥‥外部端子  ８１‥‥接合部材  ８２‥‥接合部材  １００‥‥表示部  ２２１‥‥駆動用振動腕  ２２２‥‥駆動用振動腕  ２３１‥‥検出用振動腕  ２３２‥‥検出用振動腕  ２４１‥‥調整用振動腕  ２４２‥‥調整用振動腕  ２６１、２６２、２６３、２６４‥‥連結部  ４１１‥‥板体  ４１２‥‥枠体  ５１１‥‥駆動用電極  ５１２‥‥駆動用電極  ５１３‥‥駆動用電極  ５１４‥‥駆動用電極  ５３１‥‥検出用電極  ５３２‥‥検出用電極  ５３３‥‥検出用電極  ５３４‥‥検出用電極  ５５１‥‥調整用電極  ５５２‥‥調整用電極  ５５３‥‥調整用電極  ５５４‥‥調整用電極  ５９１‥‥駆動用電極  ５９２‥‥駆動用電極  ５９３‥‥駆動用電極  ５９４‥‥検出用電極  ５９５‥‥検出用電極  １１００‥‥パーソナルコンピューター  １１０２‥‥キーボード  １１０４‥‥本体部  １１０６‥‥表示ユニット  １２００‥‥携帯電話機  １２０２‥‥操作ボタン  １２０４‥‥受話口  １２０６‥‥送話口  １３００‥‥ディジタルスチルカメラ  １３０２‥‥ケース  １３０４‥‥受光ユニット  １３０６‥‥シャッターボタン  １３０８‥‥メモリー  １３１２‥‥ビデオ信号出力端子  １３１４‥‥入出力端子  １４３０‥‥テレビモニター  １４４０‥‥パーソナルコンピューター  Ａ１‥‥矢印  Ａ２‥‥矢印  Ｂ１‥‥矢印  Ｂ２‥‥矢印  Ｃ１‥‥矢印  Ｃ２‥‥矢印  Ｄ１‥‥矢印  Ｄ２‥‥矢印  Ｓ‥‥漏れ出力  Ｔ‥‥調整用出力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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