(57)【要約】      （修正有）【課題】部品点数が少なく、小型で、高信頼性化及び長寿命化を同時に達成できる抵コストの磁気コイルポンプ及び該磁気コイルポンプを用いた冷却システムを提供する。【解決手段】磁気ポンプ１は、シリンダー２と、シャトル４と、一つの弁６と、永久磁石５若しくは可動鉄心と、磁気コイル３とを有する磁気コイルポンプであって、シャトルは一端部に凹部が設けられ、且つ、一つの弁はシリンダーの内部に配置されており、シリンダーの外部に配置した磁気コイルに電気を流して磁化し、シャトル内に内蔵した永久磁石若しくは可動鉄心を動かすことでシャトルを動かし、ポンプとして動作させる。冷却システムは、一つの弁を有する磁気コイルポンプ１と、冷媒タンクと、冷却ファンと、冷媒流路とを有し、磁気コイルポンプの２個以上を直列に配置することによってスペース効率を高め、小型化を図る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、永久磁石若しくは可動鉄心と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記シャトルは一端部に、前記シリンダー内の液室から液を吐出させるときに前記シャトルと前記シリンダーの内壁との隙間に液が入り込まないようにするための凹部が設けられ、且つ、前記一つの弁は前記シリンダーの内部に配置されており、前記シリンダーの外部に配置した前記磁気コイルに電気を流して磁化し、前記シャトル内に内蔵した永久磁石若しくは可動鉄心を動かすことで前記シャトルを動かし、ポンプとして動作させることを特徴とする磁気コイルポンプ。
【請求項２】
前記シャトルの内部に配置される一つの弁が球状のボール弁であることを特徴とする請求項１に記載の磁気コイルポンプ。
【請求項３】
シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、永久磁石と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記磁気コイルを２個以上有するシリンダーを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気コイルポンプ。
【請求項４】
シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、可動鉄心と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記磁気コイルは、前記可動鉄心を内蔵する前記シャトルを引き寄せるための磁気コイルと前記可動鉄心を内蔵する前記シャトルを押し出すための磁気コイルとをセットにして前記シリンダーに備えられることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気コイルポンプ。
【請求項５】
請求項１〜４に何れかに記載の磁気コイルポンプと、冷媒タンクと、冷却ファンと、冷媒流路とを有する冷却システム。
【請求項６】
前記磁気コイルポンプの２個以上を用いることを特徴とする請求項５に記載の冷却システム。
【請求項７】
前記磁気コイルポンプの２個以上を直列に配置することを特徴とする請求項６に記載の冷却システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気コイルポンプ及び該磁気コイルポンプを用いた冷却システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子計算機及びパソコン等は半導体装置の高集積化と高速化が進展しており、半導体装置の発熱による温度上昇を抑えることが信頼性を向上させるために必要である。また、これらの分野では、装置そのものの小型化と薄型化に対する要求が非常に強く、そのような要求に対応するためのキーテクノロジーとして冷却技術が益々重要になっている。これらの機器の冷却方法としては従来から空冷式のものが使用されている。しかしながら、半導体ＩＣの高集積と高速化に伴う発熱量の大幅な増大に対しては空冷式では性能が足りず、近年では水冷式を始めとする冷媒による冷却方式が採用されるようになった。
【０００３】
水冷式等の冷媒を用いる冷却方式においては、冷媒を循環させるための装置としてポンプが必要不可欠である。このポンプは、小型で、信頼性が高く、摩耗などで部品の劣化を抑えたものが求められている。特に、消耗部品の無いポンプは、このような要求に十分に応えられるものであり、大きな期待が寄せられている。
【０００４】
従来ポンプとしては、チューブ式ポンプ、ギアポンプ、超音波振動ポンプ、ダイヤフラムを用いたポンプ等があるが、これらのポンプは小型化といっても、その駆動方式やモータ等が期待されたよりも大型なものになる傾向がある。加えて、摩耗する部分があること、駆動回路が複雑で高価なこと、部品点数が多いこと、及び寿命が短いこと等の様々な欠点を有する。
【０００５】
このような従来のポンプが有する技術課題を解決するものとして、従来とは異なる駆動方式で動作する電磁ポンプ又は磁力駆動往復式ポンプ等が提案されている（例えば、特許文献１〜３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−１５１８４１号公報
【特許文献２】特開２００１−４１１４７号公報
【特許文献３】特開２００７−４０３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記の特許文献１〜３に記載のポンプは、洩れ防止機能を向上させ、流体搬送機能を向上させることができるものの、部品点数がまだ多く、安価なものを製造することが難しい。また、これらのポンプは、パッキン材やシール材等の摩耗する部品を備えるため使用中の摩耗が避けられず、長寿命化という点で改良が必要である。さらに、前記の特許文献１及び３に記載のポンプは、入口逆止弁及び出口逆止弁の少なくとも２つの弁を備えており、ポンプの構造がやや複雑となっている。同様に、前記特許文献２に記載のポンプは、２つのポンプ室を備えるため小型のものを得ることが難しく、加えて、高信頼性化及び低コスト化の点である程度の制約を受ける。
【０００８】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであって、部品点数が少なく、小型で、高信頼性化及び長寿命化を同時に達成できる抵コストの磁気コイルポンプ及びそれを用いた冷却システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、磁気コイルと永久磁石若しくは可動鉄心を使用して、永久磁石若しくは可動鉄心が組み込まれたシャトルを、シリンダー内に配置した磁気コイルによる反発及び吸着の作用を利用して可動させる磁気コイルポンプにおいて、液の流れを制御する弁の構造とその配置の最適化及びポンプ構成の簡略化を行うことによって、部品点数を削減しながらも、ポンプの高信頼性化及び長寿命化を達成できることを見出して本発明に到った。
【００１０】
すなわち、本発明の構成は以下の通りである。
［１］本発明は、シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、永久磁石若しくは可動鉄心と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記シャトルは一端部に、前記シリンダー内の液室から液を吐出させるときに前記シャトルと前記シリンダーの内壁との隙間に液が入り込まないようにするための凹部が設けられ、且つ、前記一つの弁は前記シリンダーの内部に配置されており、前記シリンダーの外部に配置した前記磁気コイルに電気を流して磁化し、前記シャトル内に内蔵した永久磁石若しくは可動鉄心を動かすことで前記シャトルを動かし、ポンプとして動作させることを特徴とする磁気コイルポンプを提供する。
［２］本発明は、前記シャトルの内部に配置される一つの弁が球状のボール弁であることを特徴とする前記［１］に記載の磁気コイルポンプを提供する。
［３］本発明は、シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、永久磁石と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記磁気コイルを２個以上有するシリンダーを備えることを特徴とする前記［１］又は［２］に記載の磁気コイルポンプを提供する。
［４］本発明は、シリンダーと、磁気コイルと、シャトルと、可動鉄心と、一つの弁とを有する磁気コイルポンプであって、前記磁気コイルが、前記可動鉄心を内蔵する前記シャトルを引き寄せるための磁気コイルと前記可動鉄心を内蔵する前記シャトルを押し出すための磁気コイルとをセットにして前記シリンダーに備えられることを特徴とする前記［１］又は［２］に記載の磁気コイルポンプを提供する。
［５］本発明は、前記［１］〜［４］の何れかに記載の磁気コイルポンプと、冷媒タンクと、冷却ファンと、冷媒流路とを有する冷却システムを提供する。
［６］本発明は、前記磁気コイルポンプの２個以上を用いることを特徴とする前記［５］に記載の冷却システムを提供する。
［７］本発明は、前記磁気コイルポンプの２個以上を直列に配置することを特徴とする前記［６］に記載の冷却システムを提供する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の磁気コイルポンプは、部品点数が少なく、駆動回路が簡単で、且つ、摩耗する部品や箇所がなく、高信頼性を有し、長寿命に耐えることができる。また、ポンプ構造が簡略化できるため、低コストのポンプを得ることができる。
【００１２】
本発明の冷却システムは、水等の冷媒の移送効率に優れ、高信頼性を有する磁気コイルポンプを備えることから、従来のポンプを使用する場合よりも冷却性能とその効率を向上することができる。また、冷却用の磁気コイルポンプの１個が万一故障したときにバックアップ用のポンプを準備するシステムとすることができる。さらに、磁気コイルポンプを直列に配置することによって、故障時のバックアップ機能を十分に果たしながら、冷却用ポンプの配置面積を少なくしてスペース効率を高めることができるため、冷却機器システムそのものの小型化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の磁気コイルポンプにおいて、液室に液が満たされて吐出を開始するときの状態を示す図である。
【図２】本発明の磁気コイルポンプにおいて、液室に液を満たそうとする吸引の動きに入るときの状態を示す図である。
【図３】本発明の磁気コイルポンプにおいて、別の形状を有する弁を内部に設けたシャトル構造を示す図である。
【図４】本発明の別の構造を有する磁気コイルポンプにおいて、液室に液が満たされて吐出を開始するときの状態を示す図である。
【図５】本発明の別の構造を有する磁気コイルポンプにおいて、液室に液を満たそうとする吸引の動きに入るときの状態を示す図である。
【図６】本発明の磁気コイルポンプの１個を配置した冷却システムを示す図である。
【図７】本発明の磁気コイルポンプの複数を並列に配置した冷却システムを示す概略図である。
【図８】本発明の磁気コイルポンプの複数を直列に配置した冷却システムを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例】
【００１５】
＜実施例１＞
図１は、循環に使用する本発明の磁気コイルポンプ１の断面図及び正面図であり、液室７に液が満たされて吐出を開始するときの状態を示している。図１に示すように、本発明の磁気コイルポンプ１は、シリンダー２と、シリンダー２の外部に配置された磁気コイル３と、シャトル４と、シャトル４に内蔵された永久磁石５と、シャトル内部に配置されたボール弁６とを有する。ここで、シリンダー２は、液流路用の筒状容器として機能するだけでなく、外部に磁気コイル３を支持固定するための容器として備えるものである。シリンダー２の内径、厚さ及び大きさは、他の構成部品の形状と大きさに応じて、適宜決めることができる。また、ボール弁６は、シャトル４の内部に配置する必要がある。仮に、ボール弁６をシャトル４の外部の液室７側に設けるような構造を採用すると、シャトル４を液の吐出側に移動させたときに、ボール弁６がシリンダー２の左測面内壁に衝突して液の吐出が出来なくなるためである。
【００１６】
本発明においては、さらに、図１に示すシャトル４が吐出側に向かって動作するときにシール効果を得るために、一端部にU字状の凹部４１を設ける。このようにして、シリンダー内の液室から液を吐出させるときにシャトル４とシリンダー２の内壁との隙間に液が入り込まないようにすることができる。仮に、凹部４１を設けないでシャトル２を吐出側に向かって移動させると、シリンダー２とシャトル４との隙間を液が自由に往来することになって、ポンプの液吐出能力を低下させる。一方、シャトル４が戻る方向に動作するときには、このシール効果が無くなる。従来の磁気コイルポンプでは、シール効果を得るために摩耗性のゴムパッキンやシールを使用する必要があったが、本発明はそのような部品を使用する必要がないため、高信頼性で長寿命を有する磁気コイルポンプを得ることが可能になる。
【００１７】
図２は、本発明の磁気コイルポンプにおいて、図１に示す液室７に液を満たそうとする吸引の動きに入るときの状態を示す断面図である。磁気コイル３に図１の場合と逆方向の電流を流して、図１に示す状態から図２に示す状態になることで流体を押し出すポンプとする。
【００１８】
図２に示すように、ポンプのシャトル４が磁気コイル３の磁界変化で動作し、矢印方向に流体を押し出す。その場合、シャトル４は戻る方向に動くため、上記で述べたように、シャトル１の一端部に設けた凹部４１はシール機能を示さない。
【００１９】
図１及び図２において、９及び１０がそれぞれ吸引側及び吐出側のポンプ配管であり、８で示す磁気シールドキャップで磁気が外部に漏れるのを防いでいる。吸引側ポンプ配管９及び吐出側ポンプ配管１０は、それぞれ磁気コイルポンプ１と接続されて液の流路を形成する。
【００２０】
本発明の磁気コイルポンプは、従来のポンプとは異なり、液の吐出及び吸引を制御する弁が２つでなく、１つだけを備えている点で大きな特徴を有する。この特徴は、シャトル４の一端部に、シリンダー２内の液室から液を吐出させるときにシャトル４とシリンダー２の内壁との隙間に液が入り込まないようにするための凹部４１を設けることによって得られる。本発明の磁気コイルポンプにおいて、弁が１つだけであってもポンプとして十分に機能するメカニズムは次のように考えている。
【００２１】
図２において、図１に示す液室７に液を満たそうとしてシャトル４を後方（図２において右側）へ可動させるとき、吸引側ポンプ配管からの液は、ボール弁６が開くとともにシャトル４の前方（図２において左側）に移動する。そのとき移動する液は、シリンダー２とシャトル４との間にシールやパッキンが設置されていないため、両者の隙間を液が自由に往来することができる。すなわち、吸引側ポンプ配管からの液は、抵抗をほとんど受けないで、容易にシャトル４の前方の液室７に入ることができる。
【００２２】
次いで、図１に示すように、シャトル４を前方（図１において左側）へ可動させることによって液室７に満たされる液を吐出するときは、ボール弁６が閉じて液が後方（吸引側ポンプ配管９側）に逆流するのを防止するだけでなく、シャトル４の一端部に設けた凹部４１によってシリンダー内の液室７から液がシャトル４とシリンダー２の内壁との隙間に入り込まないようにすることができる。それによって、液の逆流がほぼ完全に防止され、十分な吐出性能を得ることができる。仮に、シャトル４の一端部に凹部４１を設けない場合は、シャトル４とシリンダー２の内壁との隙間から液がシャトル４の後方（図１においてシャトル４の右側）へ逆流するようになり、吐出性能の低下が顕著になってポンプとして十分に機能しなくなる。
【００２３】
それに対して、従来の磁気コイルポンプは、液突出時のシール効果を得るために、シャトルとシリンダの間にパッキンやシールが使用されている。しかしながら、この構造では、液室７に液を満たそうとする吸引の動きに入ったときに、パッキンやシールによって吸引側ポンプ配管からの液の吸引に対して抵抗力が働くようになり、十分な液量をスムーズに搬送することができなくなる。そのため、従来の磁気コイルポンプでは２つの弁を備える構造が採用されていた。
【００２４】
本発明は、従来の磁気コイルポンプが有する上記の問題を、シャトル４の一端部に凹部４１を設けることによって解決できる。そして、本発明の磁気コイルポンプを吸引側及び吐出側の各ポンプ配管と接続して閉ループの液流路を構成する場合に、ポンプとして十分な液量を搬送できる機能を発揮できることが分かった。このような検討はこれまでほとんど行われておらず、本発明の構造及び構成を採用することによって、図１及び図２に示すように、ボール弁６の１つだけでも液の吸引及び吐出の機能低下が抑えられる。その結果、部品点数を削減でき、小型で高性能のポンプを得ることが可能となる。
【００２５】
本発明は、ボール弁６の代わりに、図３に示すような平板状の弁１１をシャトル４に内部に配置しても良い。図３の左図及び右図は、それぞれシャトル４の左側面図及び正面断面図である。図３の左図には、平板状の弁１１及びそれを支持するためピン１２を点線で表している。また、図３に示すように、シャトル４には液吐出側の周囲にU字状の凹部４１が設けてあり、この凹部４１によって液突出時にシール効果が得られる。
【００２６】
図３に示すように、平板状の弁１１は所定の距離を動けるような間隔でピン１２によってシャトル４に支持されている。平板状の弁１１が液の流れ方向でこの間隔を左右に動くことによって、液の吐出又は吸引が行われる。
【００２７】
図３に示す平板状の弁１１は、弁としての機能を十分に果たすことができるものの、図１に示すボール状の弁と比べて形状がやや複雑である。そのため、平板状の弁１１は製造が難しくなるだけでなく、シャトル４に取り付けるときの位置合わせやその調整に熟練を要する。したがって、本発明で使用する弁としては、図１に示すボール状の弁が好適である。
【００２８】
また、本発明は、磁気コイルを２個以上設けて順番に動作させるとシャトル４のストロークを増加させることができ、１回の操作で吐出及び吸引する液量を多くすることができる。この動きは、リニアモータと同じドライブ方式になる。この方式によって、より多量の液が搬送できるようになり、磁気コイルポンプによる液の搬送効率が向上するという効果が得られる。
【００２９】
＜実施例２＞
図４は、本発明の別の構造を有する磁気コイルポンプ２０を示す断面図及び正面図であり、液室２６に液が満たされて吐出を開始するときの状態を示している。また、図５は、図４と同じ構造を有する磁気コイルポンプ２０において、図４に示す液室２６に液を満たそうとする吸引の動きに入るときの状態を示す断面図及び正面図である。図４及び図５において、ボール弁２４、液室２６、吸引側ポンプ配管２７、磁気シールキャップ２８及び吐出側ポンプ配管２９は、図１及び図２に示す磁気ポンプ１と同じ構成を有する。
【００３０】
図４に示す磁気コイルポンプ２０は、シャトル２５として、図１に示す磁気コイルポンプで使用する永久磁石５に代わりに、可動鉄心２１が入れてあり、シリンダーに備える磁気コイルの２２と２３をセットにして流体を押し出す機能を有する。流体を押し出すときには、磁気コイル２２で可動鉄心２１を内蔵するシャトル２５を引き込み、つぎに磁気コイル２２の電源を切って磁気コイル２３に電流を流すことで、図５に示すような状態にし、図４に示す状態と図５に示す状態とを繰り返すことによって流体が送られる。
【００３１】
このように、図４及び図５に示す磁気コイルポンプは、可動鉄心２１を内蔵するシャトル２５を引き寄せるための磁気コイルと可動鉄心２１を内蔵するシャトル２５を押し出すための磁気コイルとをセットにした磁気コイルをシリンダーに備えることが特徴である。シャトル２５の動く方向は、磁気コイル２２と２３のそれぞれに流す電流の切り替えによって制御される。この構造によって、前記実施例１と同じ機能及び作用を有する磁気コイルポンプを得ることができる。本実施例において、シリンダーに備える磁気コイル２２と２３とのセットは１組に限定されず、２組以上であっても良い。２組以上の磁気コイルを用いて、それらを順番に動作させるとシャトル２５のストロークを増加させることができ、１回の操作で吐出及び吸引する液量を多くすることができる。
【００３２】
次に、本発明の磁気コイルポンプを用いる冷却システムについて説明する。
【００３３】
＜実施例３＞
図６は、本発明の磁気コイルポンプの１個を配置した本発明の冷却システム９０を示す図である。図６に示すように、本発明の冷却システム９０は、冷媒タンク９３と、磁気コイルポンプ９４と、冷却フィン９５とを有し、発熱した冷却対象物９２を冷却する目的で、冷却フィン９５で冷却した冷媒を循環させる。冷媒の循環は、冷却対象物９２及び前記の各機能部材９３〜９５を連結した流路９６によって行う。流路９６を用いて、冷却対象物９２、冷媒タンク９３、ポンプ９４、及び冷却フィン９５を繋ぐことで、流量、圧力ともに２つ（ダブル）の弁を持つ従来のポンプと同じ働きをさせることができる。つまり、本発明においては１個だけの弁を有する本発明の磁気コイルポンプによって冷却ができるので、ポンプ価格は、安価にかつ信頼性もあがり、ポンプの大きさも小さく、重量も軽いので経済的なポンプになる。
【００３４】
＜実施例４＞
本発明では、通常の冷却用ポンプの１個が万一故障したときにバックアップ用のポンプを準備して併設した冷却システムを構築することができる。図７は、並列に冷却用の磁気コイルポンプ１３、１４及び１５の複数を並べて配置した本発明の冷却システムを示す概略図である。図７において、磁気コイルポンプ１３、１４及び１５は並列に配置されて配管によって流路１６と繋がる。図７に示す磁気コイルポンプの設置方法は、従来の冷却システムにおいて一般的なものであるが、この方法では、多くのスペースが必要である。この技術課題を解決するものとして、本発明では別の構成を有する冷却システムを提供することができる。
【００３５】
＜実施例５＞
図８に、本発明の磁気コイルポンプの複数を直列に配置した本発明の冷却システム９１の概略図を示す。図８では、直列に磁気コイルポンプ１３、１４及び１５の複数を配置することによって、通常１台のポンプが動作していて、電気的なトラブルなどでポンプが動作しなくなったときに、他のポンプが動作するという方式にして安全を確保することが可能である。
【００３６】
図８に示す冷却システムは設置面積が少なくてすむので、冷却機器を小型化できる。このようにできるのは、弁がポンプ１個に１つしかない磁気コイルポンプを使用することで初めて構築できるシステムである。例えば、ポンプが２個の弁を有する場合は、片方の弁が開くと片方の弁が閉じる構造のポンプで構成されているので、１台のポンプが動作しなくなったときのバックアップ機能を発揮することができない。また、ポンプとして従来の回転ポンプを使用するときには、ポンプが停止すると回転翼が流路を邪魔するので、このポンプもバックアップ機能を発揮するできない。このように、弁を１つだけ有する本発明の磁気コイルポンプを用いることによって、ポンプを直列に配置して冷却のシステムのポンプバックアップシステムが組めるので非常にスペース効率が良くなり、従来のポンプには無い優れた特徴を有する。
【００３７】
図７及び図８は、冷却システムとして３個の磁気コイルポンプを使用した例を示したが、使用する磁気コイルポンプの個数は３個に限定されない。本発明の冷却システムにおいて複数の磁気コイルポンプを並列又は直列に配置するときは、２個又は４個以上であっても良い。
【００３８】
以上のように、本発明の磁気コイルポンプは、部品点数が少なく、駆動回路が簡単で、且つ、摩耗する部品や箇所がなく、高信頼性を有し、長寿命に耐えることができる。また、ポンプ構造が簡略化できるため、低コストのポンプを得ることができる。
【００３９】
本発明の冷却システムは、従来のポンプよりも冷却性能とその効率を向上することができ、冷却用の磁気コイルポンプの１個が万一故障したときにバックアップ用のポンプを準備するシステムとすることができる。さらに、磁気コイルポンプを直列に配置することによって、故障時のバックアップ機能を十分に果たしながら、冷却用ポンプの配置面積を少なくしてスペース効率を高めることができ、冷却機器システムそのものの小型化を図ることができる。本発明の冷却システムは、電子計算機やパソコン等の電子・電気機器の分野だけでなく、自動車、電車等の輸送機器用や工作機械等の産業機器用の冷却機器としても適用することができるため、その有用性は極めて高い。
【符号の説明】
【００４０】
１・・・磁気コイルポンプ
２・・・シリンダー
３・・・磁気コイル
４・・・シャトル
５・・・永久磁石
６・・・ボール弁
７・・・液室
８・・・磁気シールドキャップ
９・・・吸引側ポンプ配管
１０・・・吐出側ポンプ配管
１１・・・平板状の弁
１２・・・ピン
１３，１４，１５・・・磁気コイルポンプ
１６・・・流路
２０・・・磁気コイルポンプ
２１・・・可動鉄心
２２，２３・・・磁気コイルポンプ
２４・・・ボール弁
２５・・・シャトル
２６・・・液室
２７・・・吸引側ポンプ
２８・・・磁気シールドキャップ
２９・・・吐出側ポンプ
４１・・・凹部
９０・・・冷却システム
９２・・・冷却対象物
９３・・・冷媒タンク
９４・・・磁気コイルポンプ
９５・・・冷却フィン
９６・・・流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2015068178.tif 000006
【図５】
2015068178.tif 000007
【図６】
2015068178.tif 000008
【図７】
2015068178.tif 000009
【図８】
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