(57)【要約】【課題】電気容量に起因する表示のムラ欠陥部位を正確に、かつ素早く特定する。【解決手段】検査装置（１０）は、液晶パネル（７０）における対向電圧の電圧値（Ｖ１）・（Ｖ２）でのそれぞれの検査画像を撮像した第１撮像画像（ＩＭ１）及び第２撮像画像（ＩＭ２）を取得する撮像部（２）と、第１撮像画像（ＩＭ１）と第２撮像画像（ＩＭ２）との比較結果に基づきムラ欠陥部位（Ｆ）を判定する欠陥判定部（４０）とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力手段と、
上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像手段と、
上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定手段とを備えていることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】
上記欠陥判定手段は、
上記第１撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第１対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値と、の差分である第１コントラスト値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第２対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値と、の差分である第２コントラスト値を上記複数の部位毎に算出するコントラスト値算出手段と、
上記第１コントラスト値と、上記第２コントラスト値との差分値を上記複数の部位毎に算出し、上記複数の部位のうち上記差分値が所定の基準値より大きい部位を特定することで上記欠陥部位を特定する欠陥部位特定手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
上記欠陥判定手段は、
上記第１撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第１対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値と、の差分である第１コントラスト値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第２対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値と、の差分である第２コントラスト値を上記複数の部位毎に算出するコントラスト値算出手段と、
上記複数の部位毎に算出した上記第１コントラスト値と上記第２コントラスト値とを比較し、正負が反転している部位を特定することで上記欠陥部位を特定する欠陥部位特定手段とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項４】
上記複数の部位の欠陥の割合が所定以下である正常部位において、正相と、負相とで輝度値が同じとなる対向電圧の値をΔＶｍとし、上記第１対向電圧の値をＶ１とし、上記第２対向電圧の値をＶ２とすると、Ｖ１≧ΔＶｍ、Ｖ２≦ΔＶｍを満たすことを特徴とする請求項２又は３に記載の欠陥検査装置。
【請求項５】
上記コントラスト値算出手段は、
上記第１の想定輝度値として、上記第１撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値の平均である第１平均輝度値を算出し、
上記第２の想定輝度値として、上記第２撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値の平均である第２平均輝度値を算出し、
上記第１コントラスト値として、上記第１撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記第１平均輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出し、
上記第２コントラスト値として、上記第２撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記第２平均輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出することを特徴とする請求項２又は３に記載の欠陥検査装置。
【請求項６】
上記コントラスト値算出手段は、
上記第１の想定輝度値として、欠陥が無い液晶表示装置の対向電極に上記第１対向電圧を印加することで上記欠陥が無い液晶表示装置に表示させた検査画像を撮像した欠陥が無い第１撮像画像に含まれ、上記第１撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の輝度値を取得し、
上記第１コントラスト値として、上記第１撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第１撮像画像に含まれ、上記第１撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第１の想定輝度値と、の差分値を上記複数の部位毎に算出し、
上記第２の想定輝度値として、欠陥が無い液晶表示装置の対向電極に上記第２対向電圧を印加することで上記欠陥が無い液晶表示装置に表示させた検査画像を撮像した欠陥が無い第２撮像画像に含まれ、上記第２撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の輝度値を取得し、
上記第２コントラスト値として、上記第２撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第２撮像画像に含まれ、上記第２撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第２の想定輝度値と、の差分値を上記複数の部位毎に算出することを特徴とする請求項２又は３に記載の欠陥検査装置。
【請求項７】
一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力ステップと、
上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像ステップと、
上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定ステップとを有することを特徴とする欠陥検査方法。
【請求項８】
一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の上記対向電極に対向電圧を印加することで、欠陥を検査するための検査画像を上記液晶表示装置に表示させる信号入力装置であって、
撮像された画像が比較結果に基づいて欠陥部位の判定に使用される第１及び第２検査画像をそれぞれ上記液晶表示装置に表示させ、
第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させることを特徴とする信号入力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶パネルの欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び信号入力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルにおける欠陥を検査するための種々の欠陥検査装置が開発されている。特許文献１の検査装置では、検査時において、液晶パネルに供給する電圧値を変化させて、当該液晶パネルに表示させた複数の画像を撮像する。そして、当該複数の画像に基づいて、液晶パネルに印加した電圧値の変化に応じて外観が変化し、かつ、その変化態様が周囲とは異なる異常部位を検出する。これにより、特に異物付着に基づく液晶パネルの欠陥を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３‐１９４６６９号公報（２００３年７月９日公開）
【特許文献２】特開平５‐１８８３９２号公報（１９９３年７月３０日公開）
【特許文献３】特開２００９‐８５８９２号公報（２００９年４月２３日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液晶パネルに発生する欠陥は、製造／プロセス上の不均一性や不具合によって、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）の異常による電気的不良、液晶材料の配向異常、カラーフィルタの異常などにより発生すると考えられる。これら欠陥の中で、特に電気的な不良に起因する欠陥は、異常のない正常部分とムラ欠陥部である異常部位とで電気信号を付与した際の挙動が異なる。このような性質を利用して、特許文献１の検査装置では、欠陥である異常部位を特定している。
【０００５】
しかしながら、一言に電気的な不良によって発生する欠陥といっても、その原因は様々なものがあり、電気的なリークによって発生する欠陥や電気容量の異常に発生するものなどがある。この中で、特に電気容量に起因する欠陥は、周囲の輝度に対し欠陥部位の輝度が小さく緩やかに変化するムラ欠陥となる。
【０００６】
特許文献１の検査装置は、液晶パネルのうち、各絵素にＴＦＴが形成されているアクティブマトリクス基板へ供給する駆動電圧、つまりデータ電圧を連続的に変化させることにより、その液晶パネルの画像表示の変化を見るものである。
【０００７】
しかし、前記駆動電圧を変更する方法では、電気容量に起因するムラ欠陥部位の輝度は、正常部位である周囲の輝度との差が小さく、電圧値の選択方法によっては大きな変化が見られない場合があり、液晶パネルに付着した異物、汚れとの切り分けが困難となる可能性がある。また、変化を確認するための他の既存技術の場合では、液晶パネルの表示画像の枚数を多く撮像する必要があるため、タクトの求められる生産装置として影響が大きくなる。
【０００８】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、電気容量に起因する表示のムラ欠陥部位を正確に、かつ素早く特定することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る欠陥検査装置は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力手段と、上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像手段と、上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定手段とを備えている。
【００１０】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る欠陥検査方法は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力ステップと、上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像ステップと、上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定ステップとを有する。
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る信号入力装置は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の上記対向電極に対向電圧を印加することで、欠陥を検査するための検査画像を上記液晶表示装置に表示させる信号入力装置であって、撮像された画像が比較結果に基づいて欠陥部位の判定に使用される第１及び第２検査画像をそれぞれ上記液晶表示装置に表示させ、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様によれば、電気容量に起因する表示のムラ欠陥部位を正確に、かつ素早く特定するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】上記検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図３】上記検査装置の検査対象である液晶パネルの構成を表す図である。
【図４】上記液晶パネルに入力される信号波形を表す図である。
【図５】上記液晶パネルの対向電圧と絵素の平均輝度との関係を表す図である。
【図６】ムラ欠陥を生じている液晶パネルの撮像画像を表す図である。
【図７】実施形態１に係る検査装置のムラ欠陥を検査する工程の処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】実施形態２に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図９】実施形態２に係る検査装置のムラ欠陥を検査する工程の処理の流れを示すフローチャートである。
【図１０】実施形態３に係る検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１１】実施形態３に係る検査装置のムラ欠陥を検査する工程の処理の流れを示すフローチャートである。
【図１２】ムラ欠陥部位と、異物による不良欠陥部位とを含む液晶パネルの検査画像を撮像した撮像画像の一部を拡大した図である。
【図１３】ムラ欠陥部位を含むように複数の絵素の輝度を測定した結果を表す図である。
【図１４】図１３の（ａ）に示す輝度値と、図１３の（ｂ）に示す輝度値との差分を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
〔実施形態１〕
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００１５】
（検査装置１０の概略）
図１は、本発明の液晶パネル欠陥検査装置（以下「検査装置」と称する）の概略構成を示すブロック図である。検査装置（欠陥検査装置）１０は、撮像部（撮像手段）２と、パターン表示部３０と、欠陥判定部（欠陥判定手段）４０と、主制御部６とを備えている。
【００１６】
撮像部２は、検査対象である液晶パネル（液晶表示装置）７０の表示画像を撮像し、液晶パネル７０の画像データ（撮像画像）を取得する。撮像部２は、液晶パネル７０に表示された第１検査画像を撮像することで第１撮像画像ＩＭ１を取得する。また、撮像部２は、液晶パネル７０に表示された第２検査画像を撮像することで第２撮像画像ＩＭ２を取得する。撮像部２は、当該取得した第１撮像画像ＩＭ１及び第２撮像画像ＩＭ２を欠陥判定部４０へ出力する。なお、撮像部２の具体的な構成は後述する。
【００１７】
パターン表示部３０は、液晶パネル７０に接続されており、欠陥検査のための表示パターン（第１検査画像、第２検査画像）の点灯および非点灯を切り替えるものである。パターン表示部３０は、液晶パネル７０を点灯すための電圧を印加する駆動回路である、データ信号入力部３１及び対向電圧入力部（信号入力手段、信号入力装置）３２を備えている。
【００１８】
データ信号入力部３１は、液晶パネル７０のアクティブマトリクス基板に配されたゲートバスライン（走査線）、ソースバスライン（信号線）に所定の電圧を印加する。
【００１９】
対向電圧入力部３２は、アクティブマトリクス基板と対向配置された対向基板に配された対向電極に所定の対向電圧Ｖｃｏｍを印加する。対向電圧入力部３２は、電圧値Ｖ１である対向電圧Ｖｃｏｍ（第１対向電圧）を液晶パネル７０の対向電極に印加することで液晶パネル７０に第１検査画像を表示させ、上記電圧値Ｖ１と異なる電圧値Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍ（第２対向電圧）を液晶パネル７０の対向電極に印加することで液晶パネル７０に第２検査画像を表示させる。なお、パターン表示部３０のデータ信号入力部３１及び対向電圧入力部３２は、ＰＣから構成することもできる。
【００２０】
欠陥判定部４０は、コントラスト値算出部（コントラスト値算出手段）４１と、欠陥部位特定部（欠陥部位特定手段）４２とを備えている。欠陥判定部４０は、撮像部２から、撮像部２が撮像した第１撮像画像ＩＭ１及び第２撮像画像ＩＭ２を取得する。欠陥判定部４０は、第１撮像画像ＩＭ１と第２撮像画像ＩＭ２との比較結果に基づきムラ欠陥部位を判定する。
【００２１】
コントラスト値算出部４１は、撮像部２が撮像した第１撮像画像ＩＭ１に含まれる液晶パネル７０の複数の絵素のそれぞれの輝度値と、電圧値Ｖ１である対向電圧Ｖｃｏｍを液晶パネル７０の対向電極に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、液晶パネル７０における上記絵素（部位）と対応する絵素（部位）において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値との差分である第１コントラスト値ＣＯＮ１を検査対象とした液晶パネル７０の上記複数の絵素（部位）毎に算出する。コントラスト値算出部４１が算出する、液晶パネル７０の複数の絵素（部位）のそれぞれの輝度値と、上記第１の想定輝度値を算出するための液晶パネル７０の複数の絵素（部位）の輝度値とは、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる、検査対象とした液晶パネル７０の複数の絵素（部位）の像の輝度値である。
【００２２】
コントラスト値算出部４１は、撮像部２が撮像した第２撮像画像ＩＭ２に含まれる上記複数の絵素（部位）のそれぞれの輝度値と、電圧値Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを液晶パネル７０の対向電極に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、液晶パネル７０における上記絵素（部位）と対応する絵素（部位）において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値との差分である第２コントラスト値ＣＯＮ２を検査対象とした液晶パネル７０の上記複数の絵素（部位）毎に算出する。コントラスト値算出部４１が算出する、液晶パネル７０の複数の絵素（部位）のそれぞれの輝度値と、上記第２の想定輝度値を算出するための液晶パネル７０の複数の絵素（部位）の輝度値とは、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる、検査対象とした液晶パネル７０の複数の絵素（部位）の像の輝度値である。
【００２３】
なお、第１及び第２の想定輝度値、第１コントラスト値ＣＯＮ１及び第２コントラスト値ＣＯＮ２については後述する。
【００２４】
欠陥部位特定部４２は、コントラスト値算出部４１が算出した第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２との差分値を上記複数の絵素毎に算出し、上記複数の絵素のうち上記差分の値が所定の基準値より大きい絵素を特定することで上記欠陥部位を特定する。
【００２５】
なお、上記においては欠陥部位を絵素ごとに特定する形態を説明した。しかし、本発明においては、第１撮像画像ＩＭ１・第２撮像画像ＩＭ２における一定の面積を占める部位ごとに欠陥部位の判定を行う形態であればよく、絵素ごとの区分で欠陥部位の判定を行う形態に限定されない。たとえば、欠陥判定を行う部位を、一絵素ではなく、複数の絵素からなる領域ごとに区分して、当該領域ごとに各領域内の複数の絵素の平均輝度値、又は欠陥が無いとした場合に各領域内に想定される輝度値の平均である平均想定輝度値を算出し、さらに、平均コントラスト値を算出し、各領域ごとに欠陥判定を行うことで液晶パネル７０における欠陥部位を特定してもよい。
【００２６】
すなわち、ムラ欠陥部位特定のための基となる第１撮像画像ＩＭ１・第２撮像画像ＩＭ２における部位は、一絵素の区分に限定されず、複数の絵素を一区分としてもよい。さらに、上記部位は、絵素の区分でなくてもよく、第１撮像画像ＩＭ１又は第２撮像画像ＩＭ２における一定の面積を占める範囲であればよい。この部位の範囲は、ムラ欠陥部位の面積等に応じて適宜設定すればよい。以下の説明も同様である。
【００２７】
主制御部６は、撮像部２、パターン表示部３０、欠陥判定部４０をそれぞれ制御する。主制御部６は、データベースに接続されていて、検出した欠陥の情報をデータベースに蓄積する。
【００２８】
（液晶パネル７０）
次に、図３を用いて液晶パネル７０の構成について説明する。図３は液晶パネル７０の構成を表す図である。
【００２９】
液晶パネル７０は、検査装置１０による欠陥検査の対象である。液晶パネル７０は、絵素７１が、一定方向にマトリクス状に配列されたものである。液晶パネル７０は、互いに対向配置された一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有する。アクティブマトリクス基板と対向基板との間に液晶層７４が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素７１毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極７２Ｄと、ドレイン電極７２Ｄと対向配置され上記対向基板上に配された対向電極７５とが配されている。液晶パネル７０は、ドレイン電極７２Ｄと、対向電極７５との間の電位差によって液晶分子を制御し、画像を表示する。
【００３０】
上記アクティブマトリクス基板には、ベースとなるガラス等の透明絶縁性基板の上に走査線としての複数のゲートバスラインＸ１〜Ｘｍ（以下、単にゲートバスラインＸと称する）と、信号線としての複数のソースバスラインＹ１〜Ｙｎ（以下、単にソースバスラインＹと称する）とが夫々交差して配線されている。ゲートバスラインＸの一端はゲートドライバＧＤと接続されている。ソースバスラインＹの一端はソースドライバＳＤと接続されている。そして、ゲートバスラインＸとソースバスラインＹとで囲まれた各領域にマトリクス状に形成された絵素電極７３が、ゲートバスラインＸとソースバスラインＹとの交差部近傍に形成されたＴＦＴ７２によって駆動される構成となっている。ＴＦＴ７２は、ソース電極７２Ｓと、ゲート電極７２Ｇと、ドレイン電極７２Ｄとを備える。ソース電極７２ＳはソースバスラインＹの何れかと接続されおり、ゲート電極７２ＧはゲートバスラインＸの何れかと接続されており、ドレイン電極７２Ｄは絵素電極７３と接続されている。
【００３１】
更に、アクティブマトリクス基板には、絵素電極７３と絶縁層を介して対向させ、蓄積付加容量を形成する蓄積付加容量電極を形成してもよい。
【００３２】
上記対向基板は、ベースとなるガラス等の透明絶縁性基板の液晶層７４側の全面に、対向電極７５が対向電極配線７７と接続されることで一体的に形成されている。対向電極７５は、絵素電極７３やドレイン電極７２Ｄと、液晶層７４を介して対向配置されている。また、対向基板には、対向電極７５と上記透明絶縁性基板との間にカラーフィルタが形成されている。なお、対向電極７５や対向電極配線７７は、所定の領域毎に複数に分割された構成であってもよい。
【００３３】
絵素７１は、ゲートバスラインＸとソースバスラインＹとで囲まれた各領域である。絵素電極７３と、液晶層７４を挟む対向電極７５との間で液晶層容量が構成される。
【００３４】
（検査装置１０の具体的構成）
次に、図２に基づき、検査装置１０の具体的な構成の一例を説明する。図２は、図１の検査装置１０の概略構成を示す斜視図である。
【００３５】
図２に示すように、検査装置１０は、撮像部２、パターン表示部３０、搬送コンベア５、および制御ボックス７を備えている。なお、検査装置１０は、これらの構成要素と有線または無線接続された、図示しない検査装置制御部を備えており、この検査装置制御部によって、これらの構成要素を統括して制御される。検査装置１０は、検査対象となる液晶パネル７０が欠陥を有しているか否かを検出する。
【００３６】
撮像部２は、撮像カメラ３と、撮像カメラ３を載置する撮像カメラステージ４とから構成されている。撮像カメラ３は、例えば、ラインセンサまたはエリアセンサなどである。撮像カメラ３がラインセンサの場合、撮像カメラステージ４は、撮像カメラ３が液晶パネル７０をスキャンできるように、液晶パネル７０の表示面に対して平行に撮像カメラ３を駆動する。一方、撮像カメラ３がエリアセンサの場合、撮像カメラ３は撮像カメラステージ４に固定されたままでよい。
【００３７】
パターン表示部３０は、制御ボックス７に接続されており、液晶パネル７０に表示パターンを表示するための表示信号を出力し、液晶パネル７０に表示させる表示パターンの点灯制御を行う。ここで表示信号とは具体的には液晶パネル７０のゲートバスラインＸ、ソースバスラインＹ、および対向電極７５それぞれに対して、所定のタイミングで所定の電圧を印加する信号パターンのことであり、信号パターンの設定情報は制御ボックス内の図示しない記録媒体に事前に記録されている。
【００３８】
搬送コンベア５は、検査装置制御部の指示により、液晶パネル７０を撮像カメラ３の撮
像領域まで搬送し、液晶パネル７０が撮像領域に達すると停止する。なお、図２では、液晶パネル７０を１つだけ記載しているが、その液晶パネル７０の検査終了後、次の検査対象となる液晶パネル７０が搬送コンベア５により搬送される。このため、検査装置１０では、複数の液晶パネル７０の欠陥検査を順次、自動的に行うことができる。
【００３９】
制御ボックス７内には、欠陥判定部４０、および主制御部６が格納されている。また、制御ボックス７には、撮像カメラ３およびパターン表示部３０が接続されており、制御ボックス７内の主制御部６により、撮像カメラ３およびパターン表示部３０が制御される。
【００４０】
撮像カメラ３は撮像画像（撮像データ）を制御ボックス７に送信し、パターン表示部３０は、液晶パネル７０への表示パターン（第１及び第２検査画像）の点灯情報を送信する。制御ボックス７は、表示パターンが表示された液晶パネル７０を、撮像カメラ３が撮像して得られる撮像画像を処理して、液晶パネル７０の欠陥を検査する画像処理装置（画像処理部）として機能する。なお、前述のパターン表示部３０も、この画像処置装置の一部として機能する。欠陥検査の結果は、前述のデータベースに格納される。なお、図２では、制御ボックス７は、１台のＰＣから構成されているが、複数台のＰＣから構成されていてもよい。
【００４１】
このような検査装置１０は、搬送コンベア５によって搬送された液晶パネル７０の欠陥を自動検査する。すなわち、検査装置１０に液晶パネル７０が搬送されると、液晶パネル７０に接続されたパターン表示部３０の指示により、液晶パネル７０に表示パターンが点灯する。この際、液晶パネル７０には、対向電極７５への印加電圧値を変化させることで複数の表示パターンが表示される。撮像部２（撮像カメラ３）は、この液晶パネル７０の印加電圧値を変化させて表示された複数の表示パターンそれぞれを撮像することで、液晶パネル７０の画像データを取得する。撮像部２は、撮像した画像データを、欠陥判定部４０に出力する。
【００４２】
（ムラ反転（または強調）のメカニズムについて）
次に、図４、図５を用いて、対向電圧Ｖｃｏｍの変化によって液晶パネル７０のムラ欠陥の輝度が変化する原因について説明する。
【００４３】
図４は液晶パネル７０に入力される信号波形を表す図であり、（ａ）はゲート電極７２Ｇに入力されるゲート波形を表し（ｂ）はソース電極７２Ｓに入力されるソース波形を表し（ｃ）は正常部位のドレイン電極に入力されるドレイン波形及び対向電圧波形を表し（ｄ）はムラ欠陥のドレイン電極に入力されるドレイン波形及び対向電圧波形を表す。
【００４４】
≪１．液晶パネル７０の駆動について≫
液晶パネル７０は、上述したように、ＴＦＴ７２を用いたアクティブマトリクス構造となっており、アクティブマトリクス基板と対向基板との間に液晶層７４が形成されている。液晶パネル７０は一般的に液晶分子の劣化を防ぐために正相と負相とで駆動電圧（絵素電極７３及び対向電極７５間の電位差。以下、絵素電圧Ｖｐｉｘと称する場合がある）の極性の正負を反転させる交流駆動を行う。液晶パネル７０の駆動方法としては、液晶パネル７０外部のデータ信号入力部３１から、液晶パネル７０のアクティブマトリクス基板側に配されたソースドライバＳＤ及びゲートドライバＧＤにそれぞれ画像表示用の表示信号を入力する。ゲートドライバＧＤは上記表示信号を受けると、図４の（ａ）に示すゲート波形となるゲート電圧をゲートバスラインＸに印加する。また、ソースドライバＳＤは上記表示信号を受けると、データ信号である、図４の（ｂ）に示すソース波形となるソース電圧をソースバスラインＹに印加する。そして、ゲートバスラインＸに印加されたゲート電圧がＴＦＴ７２のゲート電極７２Ｇに印加されることで、ソースバスラインＹに印加されたソース電圧が、ＴＦＴ７２のソース電極７２Ｓを通じてＴＦＴ７２のドレイン電極７２Ｄへ供給される。図４の（ｃ）（ｄ）はドレイン電極７２Ｄに印加されたドレイン電圧のドレイン波形である。このようなＴＦＴ７２の駆動によりソースバスラインＹからドレイン電極７２Ｄへの電力供給が制御される。ドレイン電極７２Ｄは、絵素電極７３と電気的に接続されており、ドレイン電圧は絵素電極の電圧と略等しくなる。
【００４５】
しかし、ドレイン電極７２Ｄと、他の配線等との間には寄生容量が発生する。そして、他の配線の電圧変動に伴い上記寄生容量の電圧も変動し、ドレイン電圧に引き込み電圧が加わる。このため、ソース電極７２Ｓに印加したソース電圧Ｖｓ［Ｖ］がそのままドレイン電極７２Ｄに供給されるわけではない。寄生容量によるドレイン電圧の降下をΔＶ［Ｖ］とすると、正相でＶｓ−ΔＶ［Ｖ］、負相では−Ｖｓ−ΔＶ［Ｖ］がドレイン電極７２Ｄに供給されることになる。この結果、ドレイン電圧の波形は、正相と負相とで非対称となる。
【００４６】
一方、対向基板側においては、外部の対向電圧入力部３２から対向電極７５に一定の電圧値である対向電圧Ｖｃｏｍ[Ｖ]が供給される。液晶パネル７０の輝度はドレイン電圧（絵素電極電圧）と対向電圧Ｖｃｏｍの差（絵素電圧Ｖｐｉｘ）の絶対値によって決まる。
【００４７】
図４の（ｃ）に示すように、正相では、絵素電圧ＶｐｉｘはＶｓ−ΔＶ−Ｖｃｏｍとなり、負相では、絵素電圧Ｖｐｉｘは−Ｖｓ−ΔＶ−Ｖｃｏｍとなる。よって１周期分の絵素７１の輝度Ｉｌｓを積算する場合、下記の式１で表される。
【００４８】
Ilc=I(｜Vs-ΔV-Vcom|)+I(|-Vs-ΔV-Vcom｜)・・・（式１）
ここで、正相の輝度Ｉ（|Vs-ΔV-Vcom|）と、逆相である負相の輝度Ｉ（|-Vs-ΔV-Vcom|）とが同じとなる対向電圧Ｖｃｏｍを最適対向電圧と称する。
【００４９】
対向電圧Ｖｃｏｍが最適対向電圧の場合、正相及び負相の輝度が一定となるため、フリッカ（画面のちらつき）は発生しない。上記式１において、Ｖｃｏｍ[Ｖ]＝−ΔＶ[Ｖ]の時に正相と逆相の輝度値が共にＩ（｜Ｖｓ｜）と等しくなり、最適対向電圧となる。一方、その他の場合（Ｖｃｏｍと−ΔＶとが等しくない場合）は正相と逆相とで明暗が周期的に繰り返す、所謂フリッカと呼ばれるちらつきがみられる。
【００５０】
液晶パネル７０の輝度値を測定する場合、露光時間がちらつきの周期よりも十分に長い場合は明暗の輝度値を足し合わせた輝度の積算値を測定することになるため、測定輝度値は上記式１のＩｌｃとなる。液晶パネル７０の輝度は上記の通り、対向電圧Ｖｃｏｍとドレイン電圧との差（絵素電圧Ｖｐｉｘ）の絶対値によって決まる。そして、一般的に絵素電圧と輝度との関係は線形ではないので、対向電圧Ｖｃｏｍを変化させた場合、明相での輝度増加分と暗相での輝度減少分とが等しくならず、積算輝度ＩｌｃはＶｃｏｍの変化に応じて変動することになる。液晶パネル７０における正常部位の引き込み電圧（すなわち最適対向電圧）をΔＶｍ［Ｖ］とすると、上記式１からわかるようにＶｃｏｍを変化させた時の積算輝度ＩｌｃはＶｃｏｍ＝｜−ΔＶｍ｜を中心とした偶関数となる（図５参照）。
【００５１】
図５は、対向電圧と絵素の平均輝度との関係を表す図である。図５の（ａ）は液晶パネル７０の正常部位における最適対向電圧を対向電極に印加したときの様子を表し、（ｂ）は最適対向電圧より低い対向電圧を対向電極に印加したときの様子を表し、（ｃ）は最適対向電圧より高い対向電圧を印加したときの様子を表す図である。
【００５２】
したがって、例えばＶｃｏｍを変化させた時のＩｌｃの変動は図５の（ａ）〜（ｃ）に示すような、極値を中心として左右で傾きの正負が反転する挙動となる。図５ではＩｌｃをＩａｖｅで示している。
【００５３】
なお、最適対向電圧は基本的に既知の値である。すなわち、何ら異常のない液晶パネルであれば、同じ設計の機種の場合、同じ最適対向電圧となる。最適対向電圧を求める方法の例としては、予め、検査前に異常のない液晶パネルの対向電圧Ｖｃｏｍを変化させながら目視で検査を行い、目視でちらつき（フリッカ）がなくなる電圧値を記録することで求めればよい。なお、最適対向電圧の算出方法は上記に限定されない。
【００５４】
≪２．ムラ欠陥発生の原因について≫
液晶パネル７０のムラ欠陥は上記の通り、ＣＦ（カラーフィルタ）の印刷パターン異常、ＴＦＴ特性の異常、液晶分子の配向不良など様々な原因が考えられる。本実施の形態では種々のムラ欠陥のうち、主としてソースバスラインＹとドレイン電極７２Ｄとの間の寄生容量が、液晶パネル７０内で不均一となることで発生する寄生容量不良に起因するムラ欠陥を検査する。液晶パネル７０の寄生容量は液晶パネル７０の種類によって固有の値であり、理想的には同じ種類の液晶パネル７０の中では、全てのパネルの全ての部位で均一の値となる。しかし、液晶パネル７０を製造するうえで、ゲートバスラインＸまたはソースバスラインＹに配線幅の異常や配線パターンの位置的なズレが液晶パネル７０の一部の領域に発生した場合など、製造工程における誤差や欠陥等により液晶パネル７０内に寄生容量が正常部位に対して異なる値となるムラ欠陥部位が生じる場合がある。
【００５５】
この場合、図４の（ｃ）に示すように正常部位の引き込み電圧をΔＶｍ［Ｖ］とすると、図４の（ｄ）に示すようにムラ欠陥部位の引き込み電圧はΔＶｍ＋ΔＶ’ｍ［Ｖ］となる。このような引き込み電圧の違いにより、液晶パネル７０の正常部位とムラ欠陥部位とでドレイン電圧が異なる。図４の（ｃ）に示すように、正常部位における絵素電圧ＶｐｉｘＳは、正相ではＶｓ−ΔＶｍ−Ｖｃｏｍとなり、負相では、絵素電圧ＶｐｉｘＳは−Ｖｓ−ΔＶｍ−Ｖｃｏｍとなる。一方、図４の（ｄ）に示すように、ムラ欠陥部位における絵素電圧ＶｐｉｘＦは、正相ではＶｓ−ΔＶｍ−ΔＶ’ｍ−Ｖｃｏｍとなり、負相では、絵素電圧ＶｐｉｘＦは−Ｖｓ−ΔＶｍ−ΔＶ’ｍ−Ｖｃｏｍとなる。
【００５６】
すなわち、正常部位とムラ欠陥部位とで、対向電極７５に印加すべき最適対向電圧も異なることになる。
【００５７】
図５の（ａ）に示すように、液晶パネル７０の正常部位における最適対向電圧（正相と負相とで輝度が同じとなる対向電圧）はΔＶｍとなり、ムラ欠陥部位での最適対向電圧は、ΔＶｍ−ΔＶｍ’となる。このように、正常部位と比べてムラ欠陥部位は、最適対向電圧がΔＶ’ｍ分シフトしているため、液晶パネル７０の対向電極７５全体に対向電圧Ｖｃｏｍとして、一定値のΔＶｍ[Ｖ]を印加すると、ムラ欠陥部位は、正常部位との輝度差を生じてムラ欠陥として認識される。
【００５８】
（ムラ欠陥検査の原理）
次に、図５、図６を用いて、検査装置１０によるムラ欠陥検査の原理について説明する。図６は、ムラ欠陥を生じている液晶パネルの撮像画像を表し、（ａ）は最適対向電圧を対向電極に印加したときの様子を表し（ｂ）は最適対向電圧より低い対向電圧を対向電極に印加したときの第２撮像画像の様子を表し、（ｃ）は最適対向電圧より高い対向電圧を印加したときの第１撮像画像を表す図である。
【００５９】
上記の通り、液晶パネル７０において、寄生容量に起因するムラ欠陥は、対向電圧を変化させると、正常部位とは異なる、対向電圧‐輝度との関係を示す曲線（輝度曲線（図５参照））上の輝度値を持つことになる。
【００６０】
このため、図５の（ａ）に示した対向電圧‐輝度との関係から考え、正常部位の最適対向電圧であるΔＶｍを液晶パネル７０全体の対向電極７５に印加すると、図６の（ａ）に示すように、ムラ欠陥部位Ｆは、液晶パネル７０の大半の面積を占める正常部位Ｓよりも明るく部分的に発生する白ムラ欠陥となる。
【００６１】
また、図５の（ｂ）に示すように対向電圧ＶｃｏｍをΔＶｍより負の方向に進めＶ２（Ｖ２＜ΔＶｍ）とすると、図６の（ｂ）に示すように正常部位Ｓ及びムラ欠陥部位Ｆとも明るくなる。
【００６２】
一方、図５の（ｃ）に示すように対向電圧ＶｃｏｍをΔＶｍより正の方向に進めＶ１（Ｖ１＞ΔＶｍ）とすると、図６の（ｃ）に示すようにムラ欠陥部位Ｆは、正常部位Ｓよりも暗くなる黒ムラ欠陥となる。
【００６３】
このように、対向電圧Ｖｃｏｍの値によって相対的に変化する正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆとの輝度の関係を利用して、検査装置１０によってムラ欠陥部位Ｆの検出を行う。
【００６４】
ここで、ムラ欠陥部位Ｆと正常部位Ｓとで対向電圧Ｖｃｏｍによって明るさが相対的に反転する理由は、図５の（ａ）〜（ｃ）を用いて上述したように、積算輝度Ｉｌｃ（平均輝度Ｉａｖｅ）が偶関数となるためである。すなわち、積算輝度Ｉｌｃのグラフは極値（｜−ΔＶｍ｜）を中心として左右で傾きの正負が反転するので、正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆの両方がグラフの左に位置する図５の（ｂ）に示すＶｃｏｍ＝Ｖ２の場合と、正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆの両方がグラフの右に位置する図５の（ｃ）に示すＶｃｏｍ＝Ｖ１の場合とで、正常部位Ｓの輝度に対するムラ欠陥部位Ｆの明るさの大小関係が反転する。
【００６５】
そこで、本実施の形態では、液晶パネル７０の想定輝度値（第１の想定輝度値・第２の想定輝度値）と、当該想定輝度値に対するムラ欠陥部位Ｆの輝度値のズレ量であるコントラスト値（第１コントラスト値ＣＯＮ１・第２コントラスト値ＣＯＮ２）を算出し、当該コントラスト値同士を比較することでムラ欠陥部位Ｆを判定する。
【００６６】
想定輝度値とは、液晶パネル７０に欠陥が無い場合に想定される液晶パネル７０の絵素７１の輝度値である。
【００６７】
第１の想定輝度値は、電圧値Ｖ１である対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、液晶パネル７０における絵素７１（当該液晶パネル７０における一定の面積を占める部位と言い換えることもできる）において想定される輝度値を示すものである。
【００６８】
第２の想定輝度値は、電圧値Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、液晶パネル７０における絵素７１（当該液晶パネル７０における一定の面積を占める部位と言い換えることもできる）において想定される輝度値を示すものである。
【００６９】
この第１及び第２の想定輝度値は、電圧値Ｖ１・Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを液晶パネル７０に印加し、液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに想定される絵素７１の輝度値なので、直接測定することは困難である。
【００７０】
この第１及び第２の想定輝度値の算出方法として種々の方法が考えられるが、一例として、第１撮像画像ＩＭ１又は第２撮像画像ＩＭ２から算出され、（i）ムラ欠陥部位Ｆを有する液晶パネル７０が有する複数の絵素７１の平均輝度値Ｉａｖｅを第１及び第２の想定輝度値とみなしてもよいし、（ii）ムラ欠陥部位Ｆ以外の正常部位Ｓの輝度（背景輝度）を第１及び第２の想定輝度値とみなしてもよいし、（iii）又は、第１撮像画像ＩＭ１又は第２撮像画像ＩＭ２から算出するのではなく、ムラ欠陥部位Ｆが無い良品の液晶パネル７０に電圧値Ｖ１・Ｖ２の対向電圧Ｖｃｏｍを印加したときの表示画像を撮像した欠陥が無い第１撮像画像又は第２撮像画像における個々の絵素７１の像の輝度値を第１及び第２の想定輝度値とみなしてもよい。
【００７１】
ここで、ムラ欠陥部位Ｆを有する液晶パネル７０が有する複数の絵素７１の平均輝度値Ｉａｖｅは、ムラ欠陥部位Ｆの輝度値を含むことになるものの、液晶パネル７０全体の面積におけるムラ欠陥部位Ｆの面積は僅少である。このため、液晶パネル７０全体の平均輝度に対するムラ欠陥の輝度による影響はほとんど無視することができる。このため、ムラ欠陥部位Ｆを有する液晶パネル７０に含まれる複数の絵素７１の平均輝度値Ｉａｖｅは、液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに想定される絵素７１の輝度値である想定輝度値（第１の想定輝度値・第２の想定輝度値）とみなすことができる。
【００７２】
第１コントラスト値ＣＯＮ１は、対向電圧ＶｃｏｍがＶ１のときにおける第１の想定輝度値に対するムラ欠陥部位Ｆの輝度値のズレ量である。
【００７３】
第２コントラスト値ＣＯＮ２は、対向電圧ＶｃｏｍがＶ２のときにおける第２の想定輝度値に対するムラ欠陥部位Ｆの輝度値のズレ量である。
【００７４】
本実施の形態では、この第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、ムラ欠陥判定値を算出する。一例として、第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２との差分をムラ欠陥判定値とする。そして、このムラ欠陥判定値が所定の閾値を超えている絵素をムラ欠陥部位Ｆとして検出する。
【００７５】
寄生容量に起因するムラ欠陥部位Ｆは、想定輝度値（第１の想定輝度値・第２の想定輝度値）の変化に対する輝度の変化量が大きいため、コントラストの差分をとると、正常部位Ｓと比べてムラ欠陥部位Ｆの絶対値が大きくなる。
【００７６】
したがって、ムラ欠陥判定値をみると寄生容量に起因するムラ欠陥を強調して判定することができる。このため、ムラ欠陥部位を正確に判定することが可能となる。
【００７７】
（欠陥検査工程）
本実施の形態に係る液晶パネル７０の欠陥検査工程は、通常の欠陥検査工程と、上述したムラ欠陥を検査するムラ欠陥検査工程とを有する。
【００７８】
欠陥検査工程では、対向電極に印加する対向電圧値として３種類の電圧値を用いる。液晶パネル７０の対向電極７５に印加する対向電圧値の具体的な例としては、欠陥が存在しない正常な液晶パネルの最適対向電圧値であるΔＶｍ、ΔＶｍよりも電圧値が高いＶ１、ΔＶｍよりも電圧値が低いＶ２の３つの設定値を用いる。そして、対向電極７５への印加電圧値を上記のぞれぞれの値とした３種類の表示パターンを検査対象となる液晶パネル７０に表示させ検査する。ただし、液晶パネル７０に表示させる表示パターンは３種類に限定されず、最低限、対向電圧値が異なる２種類の表示パターンを表示させればよい。
【００７９】
ここで、ΔＶｍは液晶パネルの設計機種ごとに固有の値であり、検査前に事前に調べておく。ΔＶｍの設定値を調べる具体的な方法は、例えば、欠陥が存在しない液晶パネルに、対向電圧値を変化させながら表示パターンを表示させ、液晶パネルの表示パターンの表示状態を人の目で確認し、フリッカの発生が無くなる対向電圧値をその設計機種の最適対向電圧であるΔＶｍと設定する方法がある。
【００８０】
また、Ｖ１とＶ２の設定の方法は、ΔＶｍを基準にして十分に対向電圧値を変えて設定すればよく、具体的には正常な液晶パネルに対し、製造工程のバラツキで発生が想定される寄生容量異常に起因するひき込み電圧降下量（図４の（ｄ）に示すΔＶｍ＋ΔＶ’ｍ）よりも大きな値を設定することが望ましい。
【００８１】
検査装置１０の欠陥判定部４０は、まず、対向電極７５の電圧値がΔＶｍの表示パターンでの撮像画像に基づいて通常の欠陥検査を行う。ここで一般的な検査手法を用いて欠陥判定部４０は撮像画像中における輝度の異常個所を欠陥として判定する。ここで検出される欠陥は多様な種類を含んでおり、例えば、絵素７１の輝点欠陥や黒点欠陥である点欠陥、ゲートバスラインＸやソースバスラインＹの断線・短絡欠陥である線欠陥、ならびに絵素７１の輝度が広範にわたって設定値からずれる異常である表示ムラ欠陥などが検出される。
【００８２】
次に、本実施の形態では、ムラ欠陥検査工程にて、ムラ欠陥のうち、寄生容量異常に起因するものを下記の手順でムラ欠陥部位を強調し、当該ムラ欠陥部位を検出する。これについて、主に図７を用いて説明する。
【００８３】
図７は、実施の形態１に係る検査装置１０のムラ欠陥を検査する工程の処理の流れを示すフローチャートである。
【００８４】
対向電圧入力部３２は、電圧値Ｖ１の対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極配線７７を通じて対向電極７５に印加する。これにより、液晶パネル７０は、対向電圧がＶ１の表示パターンを表示する。撮像部２は当該表示パターンを撮像し、第１撮像画像ＩＭ１を得る。撮像部２は第１撮像画像ＩＭ１を欠陥判定部４０へ出力する。
【００８５】
コントラスト値算出部４１は、欠陥判定部４０が撮像部２から第１撮像画像ＩＭ１を取得すると、当該第１撮像画像ＩＭ１に含まれる撮像された全ての絵素７１の輝度値の平均値である第１平均輝度値Ｉａｖｅ１を算出する（Ｓ１１）。本実施の形態においては、この第１平均輝度値Ｉａｖｅ１が第１の想定輝度値である。
【００８６】
次に、対向電圧入力部３２は、電圧値Ｖ２の対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極配線７７を通じて対向電極７５に印加する。これにより、液晶パネル７０は、対向電圧がＶ２の表示パターンを表示する。撮像部２は当該表示パターンを撮像し、第２撮像画像ＩＭ２を得る。撮像部２は第２撮像画像ＩＭ２を欠陥判定部４０へ出力する。
【００８７】
コントラスト値算出部４１は、欠陥判定部４０が撮像部２から第２撮像画像ＩＭ２を取得すると、当該第２撮像画像ＩＭ２に含まれる撮像された全ての絵素７１の輝度値の平均値である第２平均輝度値Ｉａｖｅ２を算出する（Ｓ１２）。本実施の形態においては、この第２平均輝度値Ｉａｖｅ２が第２の想定輝度値である。
【００８８】
次に、コントラスト値算出部４１は、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる全ての絵素７１のそれぞれの輝度値と第１平均輝度値Ｉａｖｅ１との差分をとり第１コントラスト値ＣＯＮ１を算出する（Ｓ１３）。
【００８９】
また、コントラスト値算出部４１は、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる全ての絵素７１のそれぞれの輝度値と第２平均輝度値Ｉａｖｅ２との差分をとり第２コントラスト値ＣＯＮ２を算出する（Ｓ１４）。
【００９０】
次に、欠陥部位特定部４２は、コントラスト値算出部４１が算出した第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、ムラ欠陥判定値を算出する（Ｓ１５）。
【００９１】
ムラ欠陥判定値の一例として、欠陥部位特定部４２は、対向電圧値がＶ１の表示パターンの第１撮像画像ＩＭ１における第１コントラスト値ＣＯＮ１と、対向電圧値がＶ２の表示パターンでの第２撮像画像ＩＭ２における第２コントラスト値ＣＯＮ２との差分値をムラ欠陥判定値とする。
【００９２】
次に、欠陥部位特定部４２は、ムラ欠陥判定値を、事前に設定した所定の閾値と比較し、閾値を超えたムラ判定値を有する絵素７１をムラ欠陥として検出する。このように、欠陥部位特定部４２は、ムラ欠陥部位を判定する（Ｓ１６）。
【００９３】
そして、ΔＶｍを対向電極７５に印加することで行った通常の欠陥検査での検出欠陥と、Ｖ１及びＶ２を対向電極７５に印加することで行ったコントラスト値の比較に基づく検査の検出欠陥との結果を合わせて欠陥部位特定部４２は最終的な検出欠陥を判定する（Ｓ１７）。
【００９４】
これにより、通常の検査では検出できなかった輝度値の異常が小さな寄生容量の異常に起因するムラ欠陥も含めて検出することができる。また、通常の欠陥検査工程のみでは検出されたムラ欠陥が寄生容量異常に起因するものか否かを判定することができない。しかし上述したムラ欠陥検査工程によって、Ｖ１およびＶ２を対向電極７５に印加することで行ったコントラスト値の比較に基づく検出欠陥と、上記通常の欠陥検査工程での検出欠陥とを比較することによって、寄生容量異常に起因するものか否かを判定することが可能となる。
【００９５】
よって、通常の欠陥検査工程より欠陥の発生原因を特定することができ、検査結果から早期に工程異常などの発生原因を特定し工程を改善するような、工程管理上のメリットを得ることができる。
【００９６】
ここで、コントラスト値をとると通常、様々な欠陥が検出される。例えば、カラーフィルタの色かけや液晶分子の配向き不良などもムラ欠陥として検出される。しかしながら、このような欠陥は対向電極の対向電圧値を変化させてもコントラスト値が極端に変動することはない。このため、対向電圧入力部３２が対向電極７５に印加する電圧値をＶ１・Ｖ２と変化させて第１及び第２検査画像を液晶パネル７０に表示させることで、主としてアクティブマトリクス基板側に発生する寄生容量不良に起因するムラ欠陥のみを強調して精度よく検出することができる。
【００９７】
（検査装置１０の主な作用効果）
上記のように、検査装置１０は、電圧値Ｖ１の対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加することで液晶パネル７０に第１検査画像を表示させ、電圧値Ｖ１とは異なる電圧値Ｖ２の対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加することで液晶パネルに第２検査画像を表示させる対向電圧入力部３２と、上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像ＩＭ１を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像ＩＭ２を取得する撮像部２と、第１撮像画像ＩＭ１と第２撮像画像ＩＭ２との比較欠陥に基づき欠陥部位を特定する欠陥判定部４０とを備えている。
【００９８】
上記構成によると、第１撮像画像ＩＭ１と、第２撮像画像ＩＭ２とは、対向電極７５に、対向電圧入力部３２が、異なる電圧値Ｖ１・Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを印加することで得られた画像である。そして、欠陥判定部４０は第１撮像画像ＩＭ１と、第２撮像画像ＩＭ２との比較結果に基づきムラ欠陥部位Ｆを判定する。このため、正確に、寄生容量に起因するムラ欠陥部位Ｆを特定することができる。また、少なくとも第１撮像画像ＩＭ１と、第２撮像画像ＩＭ２との２種類の画像の比較結果から寄生容量に起因するムラ欠陥部位Ｆを特定するため、３種類以上の画像を用いる場合と比べて素早くムラ欠陥部位を特定することができる。なお、この欠陥検査に用いる画像の種類は２種類に限定されず、互いに異なる３種類以上の電圧値を対向電圧Ｖｃｏｍとして印加することで液晶パネル７０に表示された検査画像それぞれを、撮像部２で撮像することで得られる３種類以上の撮像画像の比較結果から、寄生容量に起因するムラ欠陥部位Ｆを特定してもよい。
【００９９】
また、コントラスト値算出部４１は、（i）第１撮像画像ＩＭ１として撮像された複数の絵素７１（一定の面積を占める部位）のそれぞれの輝度値と、（ii）電圧値Ｖ１である対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、当該液晶パネル７０における、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる絵素７１と対応する絵素７１（一定の面積を占める部位）において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値と、の差分である第１コントラスト値ＣＯＮ１を複数の絵素７１毎に算出する。また、コントラスト値算出部４１は、（i）第２撮像画像ＩＭ２として撮像された複数の絵素７１（一定の面積を占める部位）のそれぞれの輝度値と、（ii）電圧値Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを対向電極７５に印加したときの液晶パネル７０に欠陥が無いとしたときに、当該液晶パネル７０における、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる絵素７１と対応する絵素７１（一定の面積を占める部位）において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値と、の差分である第２コントラスト値ＣＯＮ２を複数の絵素７１毎に算出する。
【０１００】
そして、欠陥部位特定部４２は、第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２との差分値を複数の絵素７１毎（一定の面積を占める部位毎であってもよい）に算出し、複数の絵素７１のうち上記差分値が所定の基準値より大きい絵素７１を特定することでムラ欠陥部位Ｆを特定する。このようにして、欠陥部位特定部４２は、ムラ欠陥部位Ｆを特定する。
【０１０１】
具体的な一例として、コントラスト値算出部４１は、第１の想定輝度値として、実際の検査対象である液晶パネル７０毎に第１平均輝度値Ｉａｖｅ１を算出し、第２の想定輝度値として、実際の検査対象である液晶パネル７０毎に第２平均輝度値Ｉａｖｅ２を算出する。
【０１０２】
そして、コントラスト値算出部４１は、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値と、上記算出した第１平均輝度値Ｉａｖｅ１との差分を複数の絵素７１毎に算出することで第１コントラスト値ＣＯＮ１を得る。また、コントラスト値算出部４１は、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値と、上記算出した第２平均輝度値Ｉａｖｅ２との差分を複数の絵素７１毎に算出することで第２コントラスト値ＣＯＮ２を得る。
【０１０３】
このため、実際の検査対象である液晶パネル７０毎に輝度ばらつきがあっても、正確に第１コントラスト値ＣＯＮ１及び第２コントラスト値ＣＯＮ２を得ることができる。そして、Ｓ１５で説明したように、欠陥部位特定部４２は、この第１コントラスト値ＣＯＮ１及び第２コントラスト値ＣＯＮ２からムラ欠陥判定値を得るため、より正確に、ムラ欠陥部位Ｆを特定することができる。
【０１０４】
また、複数の絵素７１の欠陥の割合が所定以下である正常部位Ｓにおいて、正相と、負相とで輝度値が同じとなる対向電圧Ｖｃｏｍの電圧値をΔＶｍとすると、第１検査画像を液晶パネル７０に表示させるために対向電圧入力部３２が対向電極７５に印加する電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ１と、第２検査画像を液晶パネル７０に表示させるために対向電圧入力部３２が対向電極７５に印加する電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ２とは、Ｖ１≧ΔＶｍ、Ｖ２≦ΔＶｍを満たしている。上記構成により、対向電圧入力部３２は、第１及び第２検査画像におけるムラ欠陥部位Ｆを強調して液晶パネル７０に表示させることができる。撮像部２は、この第１及び第２検査画像を撮像することで第１撮像画像ＩＭ１及び第２撮像画像ＩＭ２を得る。このため、欠陥部位特定部４２は、正確にムラ欠陥部位Ｆを特定することができる。
【０１０５】
〔実施例〕
図１２はムラ欠陥部位Ｆと、異物による不良欠陥部位とを含む液晶パネル７０の検査画像を撮像した撮像画像の一部を拡大した図である。図１２の（ａ）はムラ欠陥部位Ｆと、異物による不良欠陥部位を含む液晶パネル７０の第２撮像画像ＩＭ２を表す図であり、（ｂ）はムラ欠陥部位Ｆと、異物による不良欠陥部位を含む液晶パネル７０の第１撮像画像ＩＭ１を表す図である。
【０１０６】
絵素電圧ＶｐｉｘがＶ０階調で黒表示、Ｖ２５５階調で白表示となる液晶パネル７０において、Ｖ３３階調（グレー表示）を想定輝度値とした。そして、対向電圧Ｖｃｏｍ＝Ｖ２＝−２．２〔Ｖ〕とし図１２の（ａ）に示す第２撮像画像ＩＭ２を得た。また、対向電圧Ｖｃｏｍ＝Ｖ１＝−０．４〔Ｖ〕とし図１２の（ｂ）に示す第１撮像画像ＩＭ１を得た。
【０１０７】
図１２の（ａ）の領域Ａ２内に寄生容量不良に起因するムラ欠陥部位Ｆ２が存在する。ムラ欠陥部位Ｆ２は、背景である正常部位の輝度値と比べて明るいことが分かる。また、図１２の（ａ）の領域Ｂ２内に異物による不良欠陥部位が存在する。この不良欠陥部位も、背景である正常部位の輝度値と比べて明るいことが分かる。
【０１０８】
そして、対向電圧値をＶ２からＶ１へ変更すると、図１２の（ｂ）の領域Ａ１内に存在する寄生容量不良に起因するムラ欠陥部位Ｆ１は、背景である正常部位の輝度値と比べて暗くなっていることが分かる。このように、寄生容量不良に起因するムラ欠陥部位Ｆ１の輝度値は、対向電圧Ｖｃｏｍを変化させると、背景である正常部位の輝度値の変化よりも大きく変化することが分かった。
【０１０９】
一方、図１２の（ｂ）の領域Ｂ１内の異物による不良欠陥部位は背景である正常部位の輝度値と比べて明るいことが分かる。このように、異物による不良欠陥部位の輝度値は、対向電圧Ｖｃｏｍの値を変化させてもほぼ変化しないことが分かった。
【０１１０】
図１３はムラ欠陥部位Ｆを含むように複数の絵素７１の輝度を測定した結果を表す図であり図１３の（ａ）は図１２の（ａ）に示す第２撮像画像ＩＭ２を図１３の（ａ）に示す直線ＡＦ２に沿って絵素７１の輝度を測定した結果を表す図であり、図１３の（ｂ）は図１２の（ｂ）に示す第１撮像画像ＩＭ１を図１３の（ｂ）に示す直線ＡＦ１に沿って絵素７１の輝度を測定した結果を表す図である。なお、直線ＡＦ２に沿って輝度値を測定した絵素７１と、直線ＡＦ１に沿って輝度値を測定した絵素７１とは同一絵素である。
【０１１１】
図１３の（ａ）に示すように、ムラ欠陥部位Ｆ２の輝度値は他の正常部位と比べて輝度値が大きくなっていることが分かる。一方、図１３の（ｂ）に示すようにムラ欠陥部位Ｆ１の輝度値は他の正常部位と比べて輝度値が小さくなっていることが分かる。
【０１１２】
図１４は図１３の（ａ）に示す輝度値と、図１３の（ｂ）に示す輝度値との差分を表す図である。図１４に示すように、対向電圧Ｖｃｏｍを変化させたときの輝度値の差を取ると、ムラ欠陥部位Ｆ（ムラ欠陥部位Ｆ・Ｆ２）における輝度値の差は、他の正常部位における輝度値の差と比べて値が小さくなっていることが分かった。換言すると、ムラ欠陥部位Ｆ（ムラ欠陥部位Ｆ・Ｆ２）における輝度値の差の絶対値は、他の正常部位における輝度値の差の絶対値と比べて値が大きくなることが分かった。
【０１１３】
〔実施形態２〕
本発明の第２の実施形態について、主に図８、図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１１４】
図８は、実施形態２に係る検査装置（欠陥検査装置）１０ａの概略構成を表すブロック図である。検査装置１０ａは、欠陥判定部４０に替えて欠陥判定部（欠陥判定手段）４０ａを備える点で検査装置１０と相違する。検査装置１０ａの他の構成は検査装置１０と同様である。欠陥判定部４０ａは、欠陥部位特定部４２に替えて欠陥部位特定部（欠陥部位特定手段）４２ａを備える点で欠陥判定部４０と相違する。欠陥判定部４０ａの他の構成は欠陥判定部４０と同様である。
【０１１５】
欠陥部位特定部４２ａは、第１コントラスト値ＣＯＮ１と第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、コントラスト値が反転している部位をムラ欠陥部位Ｆと判定するものである。
【０１１６】
図５の（ｂ）（ｃ）、図６の（ｂ）（ｃ）、図１２、及び図１３を用いて説明したように、対向電圧Ｖｃｏｍを変化させることにより、正常部位Ｓの輝度に対するムラ欠陥部位Ｆの相対的な輝度の違い（輝度の差）を変化させ、ムラ欠陥部位Ｆの判定に利用することができる。そして、対向電圧Ｖｃｏｍを適切に変化させることにより、正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆとの輝度の大小関係を反転させることができ、より精度よく欠陥判定ができる。これは、上述したように、積算輝度Ｉｌｃ（平均輝度Ｉａｖｅ）が偶関数となるためである。すなわち、積算輝度Ｉｌｃのグラフは極値（｜ΔＶｍ｜）を中心として左右で傾きの正負が反転するためである。
【０１１７】
正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆの輝度が反転する条件は下記のようになる。たとえば、正常部位Ｓの電圧降下量ΔＶｍに対してムラ欠陥部位の電圧降下量ΔＶｍ’が最大で±ａ Ｖ変化することが想定される場合は、対向電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ１を｜ΔＶｍ｜から+ａＶ以上変化させ、対向電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ２を｜ΔＶｍ｜から−ａＶ以上変化させればよい。これにより、対向電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ１と、対向電圧Ｖｃｏｍの電圧値Ｖ２とでは、正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆとの輝度値が反転することになる。
【０１１８】
すなわち、ΔＶｍに対して想定されるムラ欠陥部位Ｆの電圧降下量ΔＶ’ｍの違い（ばらつき）よりも十分に大きな値だけ正側と負側にＶｃｏｍを変化させた２つ電圧値Ｖ１・Ｖ２を用いれば、正常部位Ｓとムラ欠陥部位Ｆとで輝度値が反転することになる。
【０１１９】
図９は、実施の形態２に係る検査装置１０ａのムラ欠陥を検査する工程の処理の流れを示すフローチャートである。
【０１２０】
検査装置１０ａは、実施形態１と同様に、ムラ欠陥を検査するムラ欠陥検査工程の前に、通常の欠陥検査工程を行う。
【０１２１】
そして、Ｓ１１〜Ｓ１４の処理を経て、コントラスト値算出部４１が第１コントラスト値ＣＯＮ１及び第２コントラスト値ＣＯＮ２を算出すると（Ｓ１３、Ｓ１４）、次に、欠陥部位特定部４２ａは、第１コントラスト値ＣＯＮ１と第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、コントラスト値が反転している部位をムラ欠陥部位と判定する（Ｓ２５）。次に、Ｓ１７に進み、ΔＶｍを対向電極７５に印加することで行った通常の欠陥検査での検出欠陥と、Ｖ１及びＶ２を対向電極７５に印加することで行ったコントラスト値の比較に基づく検査の検出欠陥との結果を合わせて最終的な検出欠陥を判定する（Ｓ１７）。
【０１２２】
このように、寄生容量に起因したムラ欠陥部位Ｆの特定のために、欠陥部位特定部４２ａは第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、正負が判定している絵素７１（部位）を特定する。例えば、第１コントラスト値ＣＯＮ１が正の値である部位と、第２コントラスト値ＣＯＮ２が負の値の部位の場合、欠陥部位特定部４２ａは、その部位をムラ欠陥部位Ｆと判定する。
【０１２３】
換言すると、対向電圧Ｖｃｏｍを変化させた場合にコントラスト値の正負が反転する、すなわち背景輝度に比べて輝度が明るくなる部位（白ムラ。図５の（ｂ）、図６の（ｂ）、図１２の（ａ）、図１３の（ａ）参照）が、背景輝度に比べて輝度が暗くなる部位（黒ムラ。図５の（ｃ）、図６の（ｃ）、図１２の（ｂ）、図１３の（ｂ）参照）に変化するような部位を、寄生容量に起因するムラ欠陥部位Ｆと判定するものである。この方法を用いると高い精度で判定が可能となる。また、欠陥部位特定部４２ａは、第１コントラスト値ＣＯＮ１と第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較し、正負が反転している絵素７１（部位）を特定するだけで、ムラ欠陥部位Ｆを特定することができるので、ムラ欠陥部位Ｆを特定するための演算の負荷を低減することができる。
【０１２４】
〔実施形態３〕
本発明の第３の実施形態について、主に図１０、図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【０１２５】
図１０は、実施形態３に係る検査装置（欠陥検査装置）１０ｂの概略構成を表すブロック図である。検査装置１０ｂは、欠陥判定部４０に替えて欠陥判定部（欠陥判定手段）４０ｂを備える点に加えさらに撮像画像記憶部（記憶部）５０を備える点で検査装置１０と相違する。検査装置１０ｂの他の構成は検査装置１０と同様である。欠陥判定部４０ｂは、コントラスト値算出部４１に替えてコントラスト値算出部（コントラスト値算出手段）４１ｂを備える点で欠陥判定部４０と相違する。欠陥判定部４０ｂの他の構成は欠陥判定部４０と同様である。
【０１２６】
コントラスト値算出部４１ｂは、撮像画像から、予め、撮像画像記憶部５０に登録された第１の想定輝度値又は第２の想定輝度値との差分をとることによりコントラスト値を算出する。
【０１２７】
撮像画像記憶部５０には、予め、第１の想定輝度値及び第２の想定輝度値を記憶しておく。具体的には、例えば、撮像画像記憶部５０には、第１の想定輝度値及び第２の想定輝度値の画像データ、マップ等を事前に登録しておく。なお、撮像画像記憶部５０は、検査装置１０ｂの内部又は外部の何れに設けられていてもよい。
【０１２８】
本実施の形態において、第１の想定輝度値は、欠陥が無い第１撮像画像における絵素７１の輝度値である。すなわち、上記第１の想定輝度値は、欠陥が無い液晶パネルの対向電極に、対向電圧入力部３２が電圧値Ｖ１である対向電圧Ｖｃｏｍを印加することで上記欠陥が無い液晶パネルに表示させた欠陥が無い第１の検査画像を、撮像部２が撮像した欠陥が無い第１撮像画像に含まれる絵素７１（一定の面積を占める部位であってもよい）の輝度値である。
【０１２９】
本実施の形態において、第２の想定輝度値は、欠陥が無い第２撮像画像における絵素７１の輝度値である。すなわち、上記第２の想定輝度値は、欠陥が無い液晶パネルの対向電極に、対向電圧入力部３２が電圧値Ｖ２である対向電圧Ｖｃｏｍを印加することで上記欠陥が無い液晶パネルに表示させた欠陥が無い第１の検査画像を、撮像部２が撮像した欠陥が無い第１撮像画像に含まれる絵素７１（一定の面積を占める部位であってもよい）の輝度値である。
【０１３０】
上述したように、コントラスト値（第１コントラスト値ＣＯＮ１・第２コントラスト値ＣＯＮ２）は背景輝度に対するムラ欠陥部位Ｆの輝度差である。このコントラスト値の算出法は、実施の形態１で説明したコントラスト値の算出方法以外に、下記の方法を用いて算出してもよい。
【０１３１】
通常の欠陥検査の後、コントラスト値算出部４１ｂは、第１コントラスト値ＣＯＮ１として、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値と、撮像画像記憶部５０に記憶された、良品の液晶パネルの、第１撮像画像に含まれる絵素７１と対応する絵素７１の上記第１の想定輝度値との差分を複数の絵素７１毎に算出する（Ｓ３１）。
【０１３２】
また、コントラスト値算出部４１ｂは、第２コントラスト値ＣＯＮ２として、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値と、撮像画像記憶部５０に記憶された、良品の液晶パネルの、第２撮像画像に含まれる絵素７１と対応する絵素７１の上記第２の想定輝度値との差分を複数の絵素７１毎に算出する（Ｓ３２）。
【０１３３】
次に、欠陥部位特定部４２は、コントラスト値算出部４１ｂが算出した第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２とを比較しムラ欠陥部位Ｆを特定する（Ｓ３３）。Ｓ３３で、欠陥部位特定部４２がムラ欠陥部位Ｆを特定する方法は、図７のＳ１５、Ｓ１６のように第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２との差分からムラ欠陥判定値を算出し（Ｓ１５）、当該ムラ欠陥判定値と、所定の閾値と比較し、上記所定の閾値を超えたムラ判定値を有する絵素７１をムラ欠陥部位Ｆとして特定する（Ｓ１６）方法であってもよいし、又は、図９のＳ２５のように、第１コントラスト値ＣＯＮ１と、第２コントラスト値ＣＯＮ２とで正負が反転している部位を特定することでムラ欠陥部位Ｆを特定してもよい。
【０１３４】
上記構成によると、コントラスト値算出部４１ｂは、予め撮像画像記憶部５０に記憶された第１の想定輝度値と、第１撮像画像ＩＭ１に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値との差分を複数の絵素７１毎に算出することで第１コントラスト値ＣＯＮ１を算出する。そして、コントラスト値算出部４１ｂは、予め撮像画像記憶部５０に記憶された第２の想定輝度値と、第２撮像画像ＩＭ２に含まれる複数の絵素７１のそれぞれの輝度値との差分を複数の絵素７１毎に算出することで第２コントラスト値ＣＯＮ２を算出する。このため、検査対象である液晶パネル７０毎に、第１及び第２の想定輝度値を算出する必要がないため、第１及び第２の想定輝度値を得るための演算の負荷を低減することができる。
【０１３５】
〔ソフトウェアによる実現例〕
検査装置１０の制御ブロック（特に欠陥判定部４０・４０ａ・４０ｂ）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１３６】
後者の場合、検査装置１０は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１３７】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係る欠陥検査装置は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力手段と、上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像手段と、上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定手段とを備えている。
【０１３８】
上記構成によると、上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像とは、上記対向電極に、上記信号入力手段が、異なる電圧値である第１及び第２対向電圧を印加することで得られた画像である。そして、上記欠陥判定手段は上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する。このため、正確に、電気容量に起因するムラ欠陥部位を特定することができる。また、少なくとも第１撮像画像と、上記第２撮像画像との２種類の画像の比較結果から電気容量に起因するムラ欠陥部位を特定するため、素早くムラ欠陥部位を特定することができる。
【０１３９】
本発明の態様２に係る欠陥検査装置は、上記態様１において、上記欠陥判定手段は、上記第１撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第１対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値と、の差分である第１コントラスト値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第２対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値と、の差分である第２コントラスト値を上記複数の部位毎に算出するコントラスト値算出手段と、上記第１コントラスト値と、上記第２コントラスト値との差分値を上記複数の部位毎に算出し、上記複数の部位のうち上記差分値が所定の基準値より大きい部位を特定することで上記欠陥部位を特定する欠陥部位特定手段とを備えていてもよい。上記構成により、上記欠陥部位特定手段は、上記欠陥部位を特定することができる。
【０１４０】
本発明の態様３に係る欠陥検査装置は、上記態様１において、上記欠陥判定手段は、上記第１撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第１対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第１の想定輝度値と、の差分である第１コントラスト値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２撮像画像に含まれ一定の面積を占める複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記第２対向電圧を上記対向電極に印加したときの上記液晶表示装置に欠陥が無いとしたときに、当該液晶表示装置における、上記部位と対応する部位において想定される輝度値を示す第２の想定輝度値と、の差分である第２コントラスト値を上記複数の部位毎に算出するコントラスト値算出手段と、上記複数の部位毎に算出した上記第１コントラスト値と上記第２コントラスト値とを比較し、正負が反転している部位を特定することで上記欠陥部位を特定する欠陥部位特定手段とを備えていてもよい。
【０１４１】
上記構成によると、上記欠陥部位特定手段は、上記第１コントラスト値と上記第２コントラスト値とを比較し、正負が反転している部位を特定するだけで、上記欠陥部位を特定することができるので、上記欠陥部位を特定するための演算の負荷を低減することができる。
【０１４２】
本発明の態様４に係る欠陥検査装置は、上記態様２又は３において、上記複数の部位の欠陥の割合が所定以下である正常部位において、正相と、負相とで輝度値が同じとなる対向電圧の値をΔＶｍとし、上記第１対向電圧の値をＶ１とし、上記第２対向電圧の値をＶ２とすると、Ｖ１≧ΔＶｍ、Ｖ２≦ΔＶｍを満たしてもよい。上記構成により、第１及び第２検査画像におけるムラ欠陥部位を強調して表示させることができる。
【０１４３】
本発明の態様５に係る欠陥検査装置は、上記態様２又は３において、上記コントラスト値算出手段は、上記第１の想定輝度値として、上記第１撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値の平均である第１平均輝度値を算出し、上記第２の想定輝度値として、上記第２撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値の平均である第２平均輝度値を算出し、上記第１コントラスト値として、上記第１撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記第１平均輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２コントラスト値として、上記第２撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記第２平均輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出してもよい。
【０１４４】
上記構成により、上記コントラスト値算出手段は、第１及び第２の想定輝度値として、実際の検査対象である液晶表示装置毎に上記第１及び第２平均輝度値を算出する。そして、上記コントラスト値算出手段は、上記第１撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記算出した上記第１平均輝度値との差分を上記複数の部位毎に算出することで上記第１コントラスト値を得る。また、上記コントラスト値算出手段は、上記第２撮像画像に含まれる上記複数の部位のそれぞれの輝度値と、上記算出した上記第２平均輝度値との差分を上記複数の部位毎に算出することで上記第２コントラスト値を得る。このため、検査対象である液晶表示装置毎に輝度ばらつきがあっても、正確に第１及び第２コントラスト値を得ることができるため、この結果、より正確に、欠陥部位を特定することができる。
【０１４５】
本発明の態様６に係る欠陥検査装置は、上記態様２又は３において、上記コントラスト値算出手段は、上記第１の想定輝度値として、欠陥が無い液晶表示装置の対向電極に上記第１対向電圧を印加することで上記欠陥が無い液晶表示装置に表示させた検査画像を撮像した欠陥が無い第１撮像画像に含まれ、上記第１撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の輝度値を取得し、上記第１コントラスト値として、上記第１撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第１撮像画像に含まれ、上記第１撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第１の想定輝度値と、の差分値を上記複数の部位毎に算出し、上記第２の想定輝度値として、欠陥が無い液晶表示装置の対向電極に上記第２対向電圧を印加することで上記欠陥が無い液晶表示装置に表示させた検査画像を撮像した欠陥が無い第２撮像画像に含まれ、上記第２撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の輝度値を取得し、上記第２コントラスト値として、上記第２撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第２撮像画像に含まれ、上記第２撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第２の想定輝度値と、の差分値を上記複数の部位毎に算出してもよい。
【０１４６】
上記構成によると、上記コントラスト値算出手段は、上記第１の想定輝度値として、上記欠陥が無い第１撮像画像に含まれる上記部位のそれぞれの輝度値を取得する。そして、上記コントラスト値算出手段は、上記第１撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第１撮像画像に含まれ、上記第１撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第１の想定輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出することで上記第１コントラスト値を算出する。また、上記コントラスト値算出手段は、上記第２撮像画像に含まれる上記部位の輝度値と、上記欠陥が無い第２撮像画像に含まれ、上記第２撮像画像に含まれる上記部位と対応する部位の上記第２の想定輝度値との差分値を上記複数の部位毎に算出することで上記第２コントラスト値を算出する。
【０１４７】
このため、検査対象である液晶表示装置毎に、上記第１及び第２の想定輝度値を算出する必要がないため、上記第１及び第２の想定輝度値を得るための演算の負荷を低減することができる。
【０１４８】
本発明の態様７に係る欠陥検査方法は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させる信号入力ステップと、上記第１検査画像を撮像することで第１撮像画像を取得し、上記第２検査画像を撮像することで第２撮像画像を取得する撮像ステップと、上記第１撮像画像と、上記第２撮像画像との比較結果に基づき欠陥部位を判定する欠陥判定ステップとを有することを特徴としている。
【０１４９】
上記構成により、正確に、電気容量に起因するムラ欠陥部位を特定することができると共に、素早くムラ欠陥部位を特定することができる。
【０１５０】
本発明の態様８に係る信号入力装置は、一対のアクティブマトリクス基板と対向基板とを有し、両基板の間に液晶層が挟持され、マトリクス状に配された複数の絵素毎に、上記アクティブマトリックス基板上のドレイン電極と、上記対向基板上に当該ドレイン電極と対向配置された対向電極とが配されており、上記ドレイン電極と、上記対向電極との間に電圧が印加されることで画像を表示する液晶表示装置の上記対向電極に対向電圧を印加することで、欠陥を検査するための検査画像を上記液晶表示装置に表示させる信号入力装置であって、撮像された画像が比較結果に基づいて欠陥部位の判定に使用される第１及び第２検査画像をそれぞれ上記液晶表示装置に表示させ、第１対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第１検査画像を表示させ、上記第１対向電圧とは電圧値が異なる第２対向電圧を上記対向電極に印加することで上記液晶表示装置に第２検査画像を表示させることを特徴としている。
【０１５１】
上記構成により、正確に、電気容量に起因するムラ欠陥部位を特定させることができると共に、素早くムラ欠陥部位を特定させることができる。
【０１５２】
本発明の各態様に係る検査装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記検査装置が備える各手段として動作させることにより上記検査装置をコンピュータにて実現させる検査装置の検査制御プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【０１５３】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１５４】
本発明は、液晶パネルの欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び信号入力装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１５５】
２  撮像部（撮像手段）
１０・１０ａ・１０ｂ  検査装置（欠陥検査装置）
３０  パターン表示部
３１  データ信号入力部
３２  対向電圧入力部（信号入力手段、信号入力装置）
４０・４０ａ・４０ｂ  欠陥判定部（欠陥判定手段）
４１・４１ｂ  コントラスト値算出部（コントラスト値算出手段）
４２・４２ａ  欠陥部位特定部（欠陥部位特定手段）
５０  撮像画像記憶部（記憶部）
７０  液晶パネル（液晶表示装置）
７１  絵素
７２Ｄ  ドレイン電極
７２Ｇ  ゲート電極
７２Ｓ  ソース電極
７３  絵素電極
７５  対向電極
ＣＯＮ２  第２コントラスト値
ＣＯＮ１  第１コントラスト値
Ｆ  ムラ欠陥部位
ＩＭ１  第１撮像画像
ＩＭ２  第２撮像画像
Ｓ  正常部位
Ｖ１・Ｖ２  電圧値
Ｖｃｏｍ  対向電圧（第１対向電圧、第２対向電圧）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図６】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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