(57)【要約】【課題】本発明は、オイル供給ノズル及びその製造方法に関する。【解決手段】本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルは、マイクロニードルと、接着剤を媒介として上記マイクロニードルが挿入固定されるニードルホルダーと、を含み、上記ニードルホルダーは上記ニードルホルダーがオイル注入装置に挿入されるようにする結合孔と、上記結合孔に連結され、上記マイクロニードルが挿入される挿入孔とを備え、上記挿入孔と上記結合孔が連結される地点にはガイド孔が備えられることができる。【選択図】図３
2015087010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロニードルと、
接着剤を媒介として前記マイクロニードルが挿入固定されるニードルホルダーと、を含み、
前記ニードルホルダーは前記ニードルホルダーがオイル注入装置に挿入されるようにする結合孔と、前記結合孔に連結され、前記マイクロニードルが挿入される挿入孔と、を備え、
前記挿入孔と前記結合孔が連結される地点にはガイド孔が備えられる、オイル供給ノズル。
【請求項２】
前記ガイド孔の直径は、前記結合孔の直径より小さく、前記挿入孔の直径より大きく形成される、請求項１に記載のオイル供給ノズル。
【請求項３】
前記挿入孔の内壁には、前記接着剤との接触面積が増加するように少なくとも一つのリザーバー溝が形成される、請求項１又は２に記載のオイル供給ノズル。
【請求項４】
前記挿入孔の内壁は、前記ニードルホルダーの他の部分より表面粗度が大きく形成される、請求項１から３の何れか１項に記載のオイル供給ノズル。
【請求項５】
マイクロニードルを提供する段階と、
オイル注入装置に挿入されるように結合孔を備え、前記マイクロニードルが挿入されるように挿入孔を備え、前記挿入孔と前記結合孔が連結される地点にガイド孔を備えるニードルホルダーを提供する段階と、
前記マイクロニードルを前記挿入孔に挿入させる段階と、
端が前記ガイド孔に配置されるように漏れ防止用治具を前記結合孔に挿入させる段階と、
前記挿入孔の内壁と前記マイクロニードルとの隙間に接着剤を注入させる段階と、
を含むオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項６】
前記挿入孔の内壁の表面粗度を前記ニードルホルダーの他の部分より大きく形成させる段階をさらに含む、請求項５に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項７】
前記挿入孔の内壁に少なくとも一つのリザーバー溝を形成する段階をさらに含む、請求項５又は６に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項８】
前記マイクロニードルを前記挿入孔に挿入させる段階は、
前記マイクロニードルの端が前記漏れ防止用治具の端と接触するように前記マイクロニードルの端を前記ガイド孔内に位置させる段階である、請求項５から７の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項９】
前記漏れ防止用治具を前記結合孔に挿入させる段階は、
前記漏れ防止用治具の端を前記ガイド孔内に位置させて前記マイクロニードルの端を密閉する段階である、請求項５から８の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１０】
前記マイクロニードルを提供する段階は、
ワイヤを提供する段階と、
前記ワイヤに少なくとも二つの金属層が形成されるように蒸着させる段階と、
前記ワイヤを除去する段階と、を含む、請求項５から９の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１１】
前記蒸着させる段階は、ニッケルと金を順に蒸着させる段階である、請求項１０に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１２】
前記ニッケルと前記金はスパッタリング法（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）により前記ワイヤに蒸着される、請求項１１に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１３】
前記ワイヤを除去する段階は、エッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）により前記ワイヤを除去する段階である、請求項１０から１２の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オイル供給ノズル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、記録ディスク駆動装置（Ｈａｒｄ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ、ＨＤＤ）に用いられる小型スピンドルモータは、磁気ヘッドがディスク（Ｄｉｓｋ）にデータを記録したり、読み取れるようにディスクを回転させる機能を担う。
【０００３】
このような記録ディスク駆動装置には小型スピンドルモータが用いられる。
【０００４】
小型スピンドルモータには流体動圧軸受アセンブリーが用いられており、上記流体動圧軸受アセンブリーのシャフトとスリーブの間にはオイルが介在されて上記オイルにより発生する流体圧力でシャフトを支持する。
【０００５】
このとき、上記スピンドルモータに用いられる流体動圧軸受アセンブリーにオイルを注入するためには、別途のオイル注入装置が必要で、オイル注入装置の端部から吐出されるオイルは、流体動圧軸受アセンブリーの隙間に入って流体動圧軸受アセンブリーの内部に充填される。
【０００６】
しかし、最近では、スピンドルモータの小型化の傾向に伴って、流体動圧軸受アセンブリーに形成される隙間のサイズも小さくなっており、従来のオイル注入装置は、微細な隙間へのオイル注入に適さないため、容易にオイル注入ができないという問題があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の一実施形態による目的は、微細な隙間にも容易にオイル注入ができるようにマイクロニードルを採用したオイル供給ノズル及びその製造方法を提供することである。
【０００８】
また、マイクロニードルの抜去力を向上させて信頼性を確保することができるオイル供給ノズル及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルは、マイクロニードルと、接着剤を媒介として上記マイクロニードルが挿入固定されるニードルホルダーと、含み、上記ニードルホルダーは上記ニードルホルダーがオイル注入装置に挿入されるようにする結合孔と、上記結合孔に連結され、上記マイクロニードルが挿入される挿入孔と、を備え、上記挿入孔と上記結合孔が連結される地点にはガイド孔が備えられてもよい。
【００１０】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの上記ガイド孔の直径は、上記結合孔の直径より小さく、上記挿入孔の直径より大きく形成されてもよい。
【００１１】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの上記挿入孔の内壁には、上記接着剤との接触面積が増加するように少なくとも一つのリザーバー溝が形成されてもよい。
【００１２】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの上記挿入孔の内壁は、上記ニードルホルダーの他の部分より表面粗度が大きく形成されてもよい。
【００１３】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法は、マイクロニードルを提供する段階と、オイル注入装置に挿入されるように結合孔を備え、上記マイクロニードルが挿入されるように挿入孔を備え、上記挿入孔と上記結合孔が連結される地点にガイド孔を備えるニードルホルダーを提供する段階と、上記マイクロニードルを上記挿入孔に挿入させる段階と、端が上記ガイド孔に配置されるように漏れ防止用治具を上記結合孔に挿入させる段階と、上記挿入孔の内壁と上記マイクロニードルとの隙間に接着剤を注入させる段階と、を含んでもよい。
【００１４】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法は、上記挿入孔の内壁の表面粗度を上記ニードルホルダーの他の部分より大きく形成させる段階をさらに含んでもよい。
【００１５】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法は、上記挿入孔の内壁に少なくとも一つのリザーバー溝を形成する段階をさらに含んでもよい。
【００１６】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法のうち、上記マイクロニードルを上記挿入孔に挿入させる段階は、上記マイクロニードルの端が上記漏れ防止用治具の端と接触するように上記マイクロニードルの端を上記ガイド孔内に位置させる段階であってもよい。
【００１７】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法のうち、上記漏れ防止用治具を上記結合孔に挿入させる段階は、上記漏れ防止用治具の端を上記ガイド孔内に位置させて上記マイクロニードルの端を密閉する段階であってもよい。
【００１８】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法のうち、上記マイクロニードルを提供する段階は、ワイヤを提供する段階と、上記ワイヤに少なくとも二つの金属層が形成されるように蒸着させる段階と、上記ワイヤを除去する段階と、を含んでもよい。
【００１９】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法のうち、上記蒸着させる段階は、ニッケルと金を順に蒸着させる段階であってもよい。
【００２０】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法において、上記ニッケルと上記金はスパッタリング法（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）により上記ワイヤに蒸着されてもよい。
【００２１】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの製造方法のうち、上記ワイヤを除去する段階は、エッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）により上記ワイヤを除去する段階であってもよい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル及びその製造方法によると、微細な隙間にもオイルを容易に注入することができる。
【００２３】
また、マイクロニードルの抜去力を向上させて信頼性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルを利用してスピンドルモータにオイルを注入する様子を示した概念図である。
【図２】（ａ）は本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの斜視図であり、（ｂ）は本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの断面図である。
【図３】本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの部分拡大図である。
【図４ａ】本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルに漏れ防止用治具を結合する前の様子を示した斜視図である。
【図４ｂ】本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルに漏れ防止用治具を結合した様子を示した斜視図である。
【図５】図３のＡ部分の拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【００２６】
図１は、本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルを用いてスピンドルモータにオイルを注入する様子を示した概念図である。
【００２７】
図１のスピンドルモータは、流体動圧軸受アセンブリー２００を備えており、上記流体動圧軸受アセンブリー２００は、シャフト２１０と、上記シャフト２１０が回転できるように上記シャフト２１０を支持するスリーブ２２０と、上記シャフト２１０と結合して上記シャフト２１０とともに回転するローター２３０と、上記スリーブ２２０の下部と結合するカバープレート２４０と、上記スリーブ２２０と上記ローター２３０の間でオイルがシーリングされるようにするストッパー２５０と、を含んでもよい。
【００２８】
図１のスピンドルモータにおいて、上記スリーブ２２０と上記カバープレート２４０は固定部材であってもよく、上記シャフト２１０、上記ローター２３０及び上記ストッパー２５０は回転部材であってもよい。
【００２９】
上記固定部材と上記回転部材の間には微小隙間が形成され、上記微小隙間にオイルが注入されることで、上記回転部材が回転する際に流体圧力が発生し、上記回転部材が上記固定部材に対して滑らかに回転することができる。
【００３０】
ここで、上記スピンドルモータは、上記スリーブ２２０と上記ストッパー２５０の間に形成される隙間を介してオイルが注入され、注入されたオイルは上記回転部材と上記固定部材との隙間に沿って充填されることができる。
【００３１】
オイルは、別途のオイル供給部を介して供給されてもよく、図１に示されたように、本発明の一実施形態では、オイル供給ノズル１００を介して上記スリーブ２２０と上記ストッパー２５０との隙間にオイルを注入することができる。
【００３２】
このとき、上記スリーブ２２０と上記ストッパー２５０の間に形成された隙間は微細な隙間で、最近のスピンドルモータの小型化の傾向により次第に大きさが小さくなっている。
【００３３】
しかし、本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００は、マイクロニードル１１０を採用してニードルの外径と内径のサイズを縮小させることで、微細な隙間にもオイルを注入することができる。
【００３４】
以下では、図２（ａ）、図２（ｂ）及び図３を参照して本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００について説明する。
【００３５】
図２の（ａ）は本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの斜視図であり、図２の（ｂ）は本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの断面図であり、図３は本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルの部分拡大図である。
【００３６】
図２及び図３を参照すると、本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００は、マイクロニードル１１０及び上記マイクロニードル１１０が挿入されるニードルホルダー１２０を含んでもよい。
【００３７】
上記マイクロニードル１１０は、内部にオイルが移動できる通路を有し、所定大きさの内径と外径を備える針状であってもよい。
【００３８】
上記マイクロニードル１１０は上記ニードルホルダー１２０に挿入されて固定されてもよく、上記ニードルホルダー１２０の外部に露出した上記マイクロニードル１１０の端部からオイルが吐出されることができる。
【００３９】
上記マイクロニードル１１０の内径は１５０μｍ〜５０μｍであってもよく、外径は２００μｍ〜８０μｍであってもよい。
【００４０】
上記内径と外径が具現できる上記マイクロニードル１１０の製造方法については後述する。
【００４１】
上記マイクロニードル１１０は、上記ニードルホルダー１２０に挿入されて固定されてもよく、上記ニードルホルダー１２０は別途のオイル注入装置（不図示）に挿入されてもよい。
【００４２】
即ち、上記オイル注入装置（不図示）から供給されるオイルは、上記ニードルホルダー１２０を経て最終的に上記マイクロニードル１１０の端部に吐出されて上記スリーブ２２０と上記ストッパー２５０との隙間に注入される。
【００４３】
上記ニードルホルダー１２０は、上記ニードルホルダー１２０が上記オイル注入装置（不図示）に挿入されるようにする結合孔１２１と、上記結合孔１２１に連結され、上記マイクロニードル１１０が挿入される挿入孔１２３と、を備えてもよい。
【００４４】
また、上記挿入孔１２３と上記結合孔１２１が連結される地点にガイド孔１２５が備えられてもよい。
【００４５】
ここで、上記ガイド孔１２５の直径は、上記結合孔１２１の直径より小さく、上記挿入孔１２３の直径より大きく形成されることができる。
【００４６】
上記ガイド孔１２５は、後述する漏れ防止用治具３００の端部が配置される構成であってもよく、これに対しては後述する。
【００４７】
上記マイクロニードル１１０は、上記マイクロニードル１１０の端が上記ガイド孔１２５に位置するように上記挿入孔１２３に挿入されてもよい。
【００４８】
上記マイクロニードル１１０と上記挿入孔１２３の内壁の間には接着剤１３０が塗布されてもよく、上記マイクロニードル１１０は上記接着剤１３０を媒介として上記ニードルホルダー１２０に固定されてもよい。
【００４９】
ここで、上記接着剤１３０との接着力を強化するために、本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００では、上記挿入孔１２３の内壁に少なくとも一つのリザーバー溝１２３ａが形成されてもよい。
【００５０】
従って、上記リザーバー溝１２３ａにも上記接着剤１３０が充填され、接触面積が増加するため、上記接着剤１３０との接着力が強化されることができる。
【００５１】
また、外部衝撃等があっても、上記リザーバー溝１２３ａに充填された上記接着剤１３０自体がストッパーの役割をするため、上記マイクロニードル１１０の抜去力が向上する。
【００５２】
上記挿入孔１２３の内壁は、上記ニードルホルダー１２０の他の部分より表面粗度が大きく形成されることができる。
【００５３】
上記挿入孔１２３の内壁の表面粗度が上記ニードルホルダー１２０の他の部分より大きく形成されるため、上記挿入孔１２３の内壁と上記接着剤１３０の接触する面積がさらに増加して、上記接着剤１３０との接着力がさらに強化されることができる。
【００５４】
図４ａは本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルに漏れ防止用治具を結合する前の様子を示した斜視図であり、図４ｂは本発明の一実施形態によるオイル供給ノズルに漏れ防止用治具を結合した様子を示した斜視図であり、図５は図３のＡ部分の拡大断面図である。
【００５５】
図４ａ〜図５を参照し、本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００の製造方法を説明する。
【００５６】
先ず、マイクロニードル１１０を提供する。
【００５７】
上記マイクロニードル１１０は、所定の直径を有するワイヤに少なくとも二つの金属層が形成されるように蒸着させた後に上記ワイヤを除去することで形成することができる。
【００５８】
従って、上記ワイヤの直径（または上記金属層の内径）が上記マイクロニードル１１０の内径となることができ、上記金属層の外径が上記マイクロニードル１１０の外径となることができる。
【００５９】
上記マイクロニードル１１０の内径と外径は、上記ワイヤの直径と上記金属層の外径により決まるため、上記ワイヤの直径及び上記ワイヤに蒸着される上記金属層の外径の大きさを調節することで、所望する内径と外径を有する上記マイクロニードル１１０を製造することができる。
【００６０】
具体的には、上記少なくとも二つの金属層はニッケルと金からなる金属層であってもよく、上記ニッケルと上記金を順に上記ワイヤに蒸着して金属層を形成することができる。
【００６１】
ここで、上記ニッケルと上記金は、スパッタリング法（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）により上記ワイヤに蒸着されてもよい。
【００６２】
上記ワイヤに金属層を形成してから上記ワイヤを除去して上記マイクロニードル１１０を製造してもよく、ここで、上記ワイヤはエッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）工程により除去することができる。
【００６３】
次に、上記マイクロニードル１１０が挿入されて固定される上記ニードルホルダー１２０を提供する。
【００６４】
上記ニードルホルダー１２０は、別途のオイル注入装置（不図示）に挿入されるように結合孔１２１を備えてもよく、上記マイクロニードル１１０が挿入されるように挿入孔１２３を備えてもよく、上記挿入孔１２３と上記結合孔１２１が連結される地点にはガイド孔１２５が備えられてもよい。
【００６５】
このような構造を有する上記ニードルホルダー１２０は、プラスチック射出成形により製造されてもよい。
【００６６】
また、上記挿入孔１２３の内壁には、接着剤との接触面積が増加するように少なくとも一つのリザーバー溝１２３ａが形成されてもよく、上記挿入孔１２３の内壁の表面粗度を上記ニードルホルダー１２０の他の部分より大きく形成することができる。
【００６７】
また、上記ガイド孔１２５の直径は、上記結合孔１２１の直径より小さく、上記挿入孔１２３の直径より大きく形成されることができる。
【００６８】
上記マイクロニードル１１０と上記ニードルホルダー１２０が提供されたら、上記マイクロニードル１１０を上記ニードルホルダー１２０の上記挿入孔１２３に挿入する。
【００６９】
また、上記ニードルホルダー１２０の上記結合孔１２１には、漏れ防止用治具３００が挿入されてもよい。
【００７０】
ここで、上記マイクロニードル１１０の端が上記漏れ防止用治具３００の端と接触するように、上記マイクロニードル１１０の端と上記漏れ防止用治具３００の端は上記ガイド孔１２５内に位置することができる。
【００７１】
上記漏れ防止用治具３００は、接着剤１３０が上記マイクロニードル１１０の端を介して上記マイクロニードル１１０の内部に入って上記マイクロニードル１１０を詰まらせる現象を防止するためのものである。
【００７２】
上記漏れ防止用治具３００の端は、上記マイクロニードル１１０の端と接触して上記マイクロニードル１１０の端を密閉するため、接着剤１３０が上記マイクロニードル１１０の内部に入ることを防止することができる。
【００７３】
上記漏れ防止用治具３００によって上記マイクロニードル１１０の端が密閉されたら、上記挿入孔１２３の内壁と上記マイクロニードル１１０との隙間に接着剤１３０を注入して上記マイクロニードル１１０を上記ニードルホルダー１２０に固定させる。
【００７４】
上記マイクロニードル１１０が固定されたら、上記漏れ防止用治具３００を分離して本発明の一実施形態によるオイル供給ノズル１００の製造を完了する。
【００７５】
以上の実施形態により、微細な隙間にもオイルを容易に注入することができ、マイクロニードルの抜去力を向上させて信頼性を確保することができる。
【００７６】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
【符号の説明】
【００７７】
１００  オイル供給ノズル
１１０  マイクロニードル
１２０  ニードルホルダー
１２１  結合孔
１２３  挿入孔
１２３ａ  リザーバー溝
１２５  ガイド孔
２００  流体動圧軸受アセンブリー
３００  漏れ防止用治具
【図１】
2015087010.tif 000003
【図２】
2015087010.tif 000004
【図３】
2015087010.tif 000005
【図４ａ】
2015087010.tif 000006
【図４ｂ】
2015087010.tif 000007
【図５】
2015087010.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成27年1月7日(2015.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロニードルと、
接着剤を媒介として前記マイクロニードルが挿入固定されるニードルホルダーと、を含み、
前記ニードルホルダーは前記ニードルホルダーがオイル注入装置に挿入されるようにする結合孔と、前記結合孔に連結され、前記マイクロニードルが挿入される挿入孔と、を備え、
前記挿入孔と前記結合孔が連結される地点にはガイド孔が備えられ、
前記挿入孔の内壁は、前記ニードルホルダーの他の部分より表面粗度が大きく形成される、オイル供給ノズル。
【請求項２】
前記ガイド孔の直径は、前記結合孔の直径より小さく、前記挿入孔の直径より大きく形成される、請求項１に記載のオイル供給ノズル。
【請求項３】
前記挿入孔の内壁には、前記接着剤との接触面積が増加するように少なくとも一つのリザーバー溝が形成される、請求項１又は２に記載のオイル供給ノズル。
【請求項４】
マイクロニードルを提供する段階と、
オイル注入装置に挿入されるように結合孔を備え、前記マイクロニードルが挿入されるように挿入孔を備え、前記挿入孔と前記結合孔が連結される地点にガイド孔を備えるニードルホルダーを提供する段階と、
前記マイクロニードルを前記挿入孔に挿入させる段階と、
端が前記ガイド孔に配置されるように漏れ防止用治具を前記結合孔に挿入させる段階と、
前記挿入孔の内壁と前記マイクロニードルとの隙間に接着剤を注入させる段階と、
を含み、
前記マイクロニードルを前記挿入孔に挿入させる段階は、前記マイクロニードルの端が前記漏れ防止用治具の端と接触するように前記マイクロニードルの端を前記ガイド孔内に位置させる段階である、オイル供給ノズルの製造方法。
【請求項５】
前記挿入孔の内壁の表面粗度を前記ニードルホルダーの他の部分より大きく形成させる段階をさらに含む、請求項４に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項６】
前記挿入孔の内壁に少なくとも一つのリザーバー溝を形成する段階をさらに含む、請求項４又は５に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項７】
前記漏れ防止用治具を前記結合孔に挿入させる段階は、
前記漏れ防止用治具の端を前記ガイド孔内に位置させて前記マイクロニードルの端を密閉する段階である、請求項４から６の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項８】
前記マイクロニードルを提供する段階は、
ワイヤを提供する段階と、
前記ワイヤに少なくとも二つの金属層が形成されるように蒸着させる段階と、
前記ワイヤを除去する段階と、を含む、請求項４から７の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項９】
前記蒸着させる段階は、ニッケルと金を順に蒸着させる段階である、請求項８に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１０】
前記ニッケルと前記金はスパッタリング法（Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）により前記ワイヤに蒸着される、請求項９に記載のオイル供給ノズルの製造方法。
【請求項１１】
前記ワイヤを除去する段階は、エッチング（Ｅｔｃｈｉｎｇ）により前記ワイヤを除去する段階である、請求項８から１０の何れか１項に記載のオイル供給ノズルの製造方法。