(57)【要約】【課題】２種のガスを分留する分留装置および分留方法と、これを用いた検査装置を提供する。【解決手段】第１のタンクと、第２のタンクと、第１のタンクと第２のタンクとの間を連通させる連通管と、ガスをタンクの外に排出する排出管と、ガスをタンク内に導入する導入管と、を備え、連通管のタンク内に開口している開口部は、排出管のタンク内に開口している開口部よりも重力が作用する方向とは反対方向側にあることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のタンクと、
第２のタンクと、
前記前記第１のタンクと前記第２のタンクとの間を連通させる連通管と、
ガスを前記タンクの外に排出する排出管と、
前記ガスを前記タンク内に導入する導入管と、
を備え、
前記連通管の前記タンク内に開口している開口部は、前記排出管の前記タンク内に開口している開口部よりも重力が作用する方向とは反対方向側にあることを特徴とする分留装置。
【請求項２】
前記タンクに接続されている前記排出管、前記導入管、および前記前記第１のタンクと前記第２のタンクと間に設けられている前記連通管には、弁が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の分留装置。
【請求項３】
前記排出管には、前記タンク内を減圧状態にする排気ポンプが接続されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の分留装置。
【請求項４】
前記導入管には、前記タンク内に導入されるガスの流入量の調整と流入圧力を調整する調整弁が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の分留装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の分留装置と、
ガス検出器と、を備え、
前記第１のタンクおよび前記第２のタンクの少なくとも何れかに被検査体が載置され、
前記ガス検出器は、前記被検査体から離脱するガスを検出することを特徴とする検査装置。
【請求項６】
前記ガス検出器は、前記第１のタンクおよび前記第２のタンクの少なくとも何れかに接続されていることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
第１のガスと、前記第１のガスと比して分子量の大きい第２のガスと、を分留する分留方法であって、
前記第１のガスが内在する第１のタンクに前記第２のガスを導入する工程と、
重力が作用する方向と反対方向となる前記第１のタンク内と前記第２のタンク内との上方部に端部が開口し、前記第１のタンクと前記第２のタンクとの間に設けられている連通管を通じて前記第１のガスを前記第２のタンクへ移送する工程と、
重力が作用する方向となる前記第２のタンク内の下方部に端部が開口する排出管により前記第２のタンクに内在する前記第２のガスを排出する工程と、
前記第１のガスが収容されている第２のタンクに前記第２のガスを導入する工程と、
前記連通管を通じて前記第１のガスを第１のタンクへ移送する工程と、
前記第１のタンク内の前記下方部に前記端部が開口する前記排出管により前記第１のタンクに内在する前記第２のガスを排出する工程と、
を含むことを特徴とする分留方法。
【請求項８】
被検査体が前記第１のタンクに載置されているとき、
前記被検査体は、前記導入管から導入された前記第１のガスによって加圧され、
前記導入管から導入された前記第２のガスによって、前記第１のガスが前記連通管を通じて前記第２のタンクに移送され、前記第１のタンクの内部が前記第２のガスに置換されることを特徴とする請求項７に記載の分留方法。
【請求項９】
前記第１のガスは、ヘリウムを主成分とすることを特徴とする請求項７または請求項８に記載の分留方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分留装置、検査装置、および分留方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被試験体としての半導体装置などが収容されたキャビティーの漏れ（リーク）検査をおこなう方法として、圧力容器（タンク）内に被試験体を載置し、ヘリウムガスをタンクに充填し、ヘリウムガスが有する圧力によって被検査体を加圧するリーク検査がおこなわれている。
当該検査に用いるヘリウムガスは、空気中に微量しか含まれていない「希ガス元素」であり、その生産量が少ないため希少かつ高価なガスである。
従来は、検査毎に検査に用いたヘリウムガスを大気に放出していたが、これを回収し、再利用する技術が特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６２−３６５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述したヘリウムガスを回収するリサイクル機構は、その構成機器としてコンプレッサー、ヘリウムガスを保管するタンク等を用いることから設備が複雑となりコスト高の要因となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態、または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
本適用例に係る分留装置は、第１のタンクと、第２のタンクと、第１のタンクと第２のタンクとの間を連通させる連通管と、ガスをタンクの外に排出する排出管と、ガスをタンク内に導入する導入管と、を備え、連通管のタンク内に開口している開口部は、排出管のタンク内に開口している開口部よりも重力が作用する方向とは反対方向側にあることを特徴とする。
【０００７】
この様な分留装置によれば、重力が作用する方向と反対の方向に第１のタンクと第２のタンクとの間を連通させる連通管が設けられているため、当該連通管を通じて重力が作用する方向に滞留する分子量の小さいガスを他のタンクに移送することができる。したがって、タンク内に分子量の異なるガスが内在する場合に、分子量の差に応じて分留することができる。よって、分子量の差を利用してガスを圧縮することなく分留することができるため、装置の構成が簡便な分留装置を実現することができる。
【０００８】
［適用例２］
上記適用例に係る分量装置には、タンクに接続されている排出管、導入管、および第２のタンクと第２のタンクとの間に設けられている連通管には、弁が設けられていることが好ましい。
【０００９】
この様な分留装置よれば、タンクに接続される各管に弁が設けられていることで、タンクに導入されたガスの圧力を保持することができる。
【００１０】
［適用例３］
上記適用例に係る分留装置において、排出管には、タンク内を減圧状態にする排気ポンプが接続されていることが好ましい。
【００１１】
この様な分留装置によれば、タンク内を減圧することでタンク内に内在する大気を減少させ、分留効果を高めることができる。
【００１２】
［適用例４］
上記適用例に係る分留装置において、導入管には、タンク内に導入される第１のガスおよび第２のガスの流入量の調整と流入圧力を調整する調整弁が設けられていることが好ましい。
【００１３】
この様な分留装置によれば、調整弁によって第１のガスおよび第２のガスの流入圧力を調整することで、これらガスが導入されるタンク内の圧力を調整することができる。
【００１４】
［適用例５］
本適用例に係る検査装置は、上述したいずれかの分留装置と、ガス検出器と、を備え、第１のタンクおよび第２のタンクの少なくとも何れかに被検査体が載置され、ガス検出器は、被検査体から離脱するガスを検出することを特徴とする。
【００１５】
この様な検査装置によれば、被検査体が載置された少なくとも一のタンクに、ガスを導入することで被検査体を加圧する。加圧された被検査体は、気密が保たれていない部分から内部に当該ガスが浸入する。被検査体は、ガスによる加圧から解かれ、被検査体から離脱するガスをガス検出器で検出することで、その気密性を検査することができる。また、被検査体の加圧に用いられたガスは、被検査体の加圧をおこなったタンクとは異なるタンクに移送することで回収するとともに、被検体の加圧に用いたガスと比して分子量の大きい大気やガスを排出管によってタンクの外に排出することができる。よって、被検査体の加圧に用いるガスを回収することで繰り返し利用することができる検査装置を実現することができる。
【００１６】
［適用例６］
上記適用例に係る検査装置において、ガス検出器は、第１のタンクおよび第２のタンクの少なくとも何れかに接続されていることが好ましい。
【００１７】
この様な検査装置によれば、バルブによって配管を切り替え、第１のタンクまたは第２のタンクのいずれかにガス検出器を接続することで、１台のガス検出器で複数のタンクに載置された被検査体から離脱するガスを検出することができる。
【００１８】
［適用例７］
本適用例に係る分留方法は、第１のガスと、第１のガスと比して分子量の大きい第２のガスと、を分留する分留方法であって、第１のガスが内在する第１のタンクに第２のガスを導入する工程と、重力が作用する方向と反対方向となる第１のタンク内と第２のタンク内との上方部に端部が開口し、第１のタンクと第２のタンクとの間に設けられている連通管を通じて第１のガスを第２のタンクへ移送する工程と、重力が作用する方向となる第２のタンク内の下方部に端部が開口する排出管により第２のタンクに内在する第２のガスを排出する工程と、第１のガスが収容されている第２のタンクに第２のガスを導入する工程と、連通管を通じて第１のガスを第１のタンクへ移送する工程と、第１のタンク内の下方部に端部が開口する排出管により第１のタンクに内在する第２のガスを排出する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１９】
この様な分留方法によれば、第１のタンクおよび第２のタンクに導入される第１のガスと第２のガスとは分子量が異なるため、第１のガスはタンクの上方部に、第２のガスはタンクの下方部に滞留する。したがって、ガス移送工程によって第１のタンクに内在する第１のガスは、第１のガスの有する圧力と、第２のガスを導入する工程によって導入された第２のガスにより、連通管を通じて第２のタンクへ移送することができる。また、ガス排出工程によって、第２のタンクに内在する大気や第２のガスを排出することで第２のタンクに移送される第１のガスを第２のガスから分留することができる。さらに、ガス移送工程によって第２のタンクに内在する第１のガスは、第１のガスの有する圧力と、第２のガスを導入する工程によって導入された第２のガスにより、連通管を通じて第１のタンクへ移送することができる。また、ガス排出工程によって、第１のタンクに内在する第２のガスを排出することで第１のタンクに移送される第１のガスを第２のガスから分留することができる。よって、これらの工程を繰り返すことで第２のガスから第１のガスを分留することができる。
【００２０】
［適用例８］
上記適用例に係る分留方法において、被検査体が第１のタンクに載置されているとき、被検査体は、導入管から導入された第１のガスによって加圧され、導入管から導入された第２のガスによって、第１のガスが連通管を通じて第２のタンクに移送され、第１のタンクの内部が第２のガスに置換されることが好ましい。
【００２１】
この様な分留方法において、第１のタンクに載置された被検体の加圧に用いた第１のガスは、第１のタンクに接続されている導入管から第２のガスが導入されることで連通管を通じて第２のタンクへ移送される。これにより、第１のタンクは、第２のガスに置換されるとともに、第１のタンクに内在した第１のガスを第２のタンクに移送することができる。よって、被検査体の加圧に用いる第１のガスをタンク外に排出することなく分留することができる。更に、第１のタンクにガス検出器を取り付けることにより、第１のタンクから被検査体を取り出すことなくガス検出（リーク試験）をすることができる。
【００２２】
［適用例９］
上記適用例に係る分留方法において、ガスは、ヘリウムを主成分とすることが好ましい。
【００２３】
この様な分留方法によれば、ガスは、その主成分を大気などと比して分子量の小さいヘリウムとすることで、タンク内の上方部に滞留し、上述した連通管によって容易に別のタンクに移送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態に係る分留装置の構成を模式的示す図。
【図２】第１実施形態に係る分留装置を用いた分留方法の工程を示す工程フロー図。
【図３】第１実施形態に係る分留装置を用いた分留方法におけるガスの流れを示す模式図。
【図４】第１実施形態に係る分留装置を用いた分留方法におけるガスの流れを示す模式図。
【図５】第１実施形態に係る分留装置のタンクを増設した例を示す模式図。
【図６】第２実施形態に係る検査装置の構成を模式的に示す図。
【図７】第２実施形態に係る分留装置を用いた分留方法の工程を説明するフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際の構成要素とは適宜に異ならせて記載する場合がある。
【００２６】
［第１実施形態］
第１実施形態に係る分留装置および分留方法について、図１ないし図５を用いて説明する。
図１は、本実施形態に係る分留装置の構成を模式的に示す図である。図２は、本実施形態の分留装置を用いた分留方法の各工程を示す工程フロー図である。図３および図４は、本実施形態の分留装置を用いた分留方法におけるガスの流れを示す模式図。図５は、タンクを増設した分留装置を例示する図面である。
【００２７】
＜分留装置１の構成＞
図１に示す本実施形態の分留装置１は、複数のタンクとして第１のタンクＴ１および第２のタンクＴ２（以下、「タンクＴ１」および「タンクＴ２」と称する。）を備えている。タンクＴ１およびタンクＴ２には、第１のガスとしてヘリウムを主成分として含むガスＧ１（以下、「ガスＧ１」と称する。）および第２のガスとして大気を含み、大気を主成分として含むガスＧ２（以下、「ガスＧ２」と称する。）が収容されている。また、分留装置１は、タンクＴ１およびタンクＴ２間を連通させる連通管１０と、タンクＴ１およびタンクＴ２内にガスＧ１およびガスＧ２を充填（導入）する導入管３０と、タンクＴ１およびタンクＴ２内のガスＧ２を排出する排出管５０と、を備える。
なお、本実施形態の分留装置１は、適宜、図１の構成要素（各部）の一部を省略または変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
以下に、分留装置１について詳述する。
【００２８】
（タンクＴ１およびタンクＴ２）
タンクＴ１およびタンクＴ２（以下、総称する場合「タンクＴ」と称する。）は、ガスＧ１およびガスＧ２が導入される、いわゆる圧力容器である。タンクＴは、その構成する材料は特に限定されることなく、導入されるガスＧ１およびガスＧ２の圧力に耐え、かつ漏洩しない材料であれば良い。本実施形態においては、その一例として鋼材を用いて形成された容器を用いている。
タンクＴには、そのタンクＴ１およびタンクＴ２の間を連通させる連通管１０が接続されている。また、タンクＴには、ガスＧ１を導入する導入管３２、およびガスＧ２を導入する導入管３４（以下、総称する場合「導入管３０」と称する。）と、タンクＴに導入されたガスＧ２を主に排気する排出管５０と、が接続されている。
【００２９】
（ガスＧ１およびガスＧ２）
ガスＧ１およびガスＧ２は、導入管３０からタンクＴに導入される。
本実施形態のガスＧ１は、ヘリウム（Ｈｅ）を主成分とするガスを用いると好適である。また、ガスＧ２は、ガスＧ１と比して分子量の大きい（重い）気体を主成分とするガスである。ヘリウム（Ｈｅ）の分子量が４［ｇ／ｍｏｌ］でることからガスＧ２は、これより分子量が大きい窒素（Ｎ・分子量７［ｇ／ｍｏｌ］）、二酸化炭素（ＣＯ２・分子量４４［ｇ／ｍｏｌ］）、アルゴン（Ａｒ・分子量１８［ｇ／ｍｏｌ］）等を含むガス、または、これらが混合されたガス、または大気Ｇを用いることができる。また、ガスＧ２は、不活性で安価なガスが好適である。ガスＧ２は、ガスＧ１を移送（分留）するために用いられ、分留後は大気中に開放されるためである。
【００３０】
（連通管１０）
連通管１０は、タンクＴ１およびタンクＴ２の間を連通させる様に設けられている。
連通管１０は、端部１２がタンクＴ１の中に開口し、端部１２と反対側の他端となる端部１４がタンクＴ２の中に開口するように設けられている。端部１２，１４は、重力が作用する方向と反対方向となるタンクＴ１およびタンクＴ２内の上方部分Ｔ１３，Ｔ２３に開口するように設けられている。
連通管１０は、上述したガスＧ１をタンクＴ１からタンクＴ２、またはタンクＴ２からタンクＴ１へ移送するために設けられている。ここで、タンクＴに内在するガスＧ１およびガスＧ２は、その分子量の差によって、分子量の小さいガスＧ１がタンクＴ１，Ｔ２の上方部分Ｔ１３，Ｔ２３に、分子量の大きいガスＧ２がタンクＴ１，Ｔ２の下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に、それぞれ滞留しやすくなる。よって、連通管１０の端部１２，１４をタンクＴ１，Ｔ２の上方部分Ｔ１３，Ｔ２３に開口させることで、容易にタンクＴ１からタンクＴ２、またはタンクＴ２からタンクＴ１へ移送することができる。連通管１０は、その構成する材料は特に限定されること無く、タンクＴに導入されるガスＧ１およびガスＧ２の圧力に耐え、かつ漏洩しない材料であれば良い。本実施形態においては、その一例としてステンレス鋼管を用いている。
【００３１】
連通管１０には、ガスＧ１を移送するためのバルブ（弁）Ｖ１０が設けられている。バルブＶ１０が設けられていることで、タンクＴ１およびタンクＴ２に導入されたガスＧ１およびガスＧ２の圧力を維持することができる。
なお、バルブＶ１０は、その形態は特に限定されることなく、手動操作式のバルブ、操作駆動源としてソレノイドを設けた電磁バルブや、モーターを設けたモーターバルブとして設けても良い。本実施形態では、その一例として手動操作式のバルブを用いている。
【００３２】
（導入管３０）
導入管３０は、タンクＴ１，Ｔ２に接続され、その端部３６が下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に開口するように設けられている。導入管３０は、ガスＧ１を導入する導入管３２と、ガスＧ２を導入する導入管３４と、を有し、それぞれの導入管３２，３４にバルブＶ３２，Ｖ３４が設けられている。導入管３２，３４に設けられているバルブＶ３２，Ｖ３４は、ガスＧ１，Ｇ２を導入するときに開放されるものである。その他のときは、閉止されることでタンクＴの圧力を維持することができる。
導入管３０は、その構成する材料は特に限定されること無く、タンクＴに導入されるガスＧ１およびガスＧ２の圧力に耐え、かつ漏洩しない材料であれば良い。本実施形態においては、その一例としてステンレス鋼管を用いている。バルブＶ３２，Ｖ３４は、バルブＶ１０と同様に、その形態は特に限定されることなく、手動操作式のバルブ、電磁バルブやモーターバルブとして設けても良い。また、調圧機能を備えたレギュレーターバルブとして設けて良い。本実施形態においては、その一例としてレギュレーターバルブを用いている。
【００３３】
なお、本実施形態の分留装置１において導入管３０は、その接続される位置が特に限定されるものでないが、ガスＧ２を導入する導入管３４は、下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に端部３６が開口するように設けられていることが好ましい。ガスＧ２を導入する導入管３４は、下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に端部３６が開口するように接続されていることで、ガスＧ１と比して分子量の大きいガスＧ２をタンクＴの下方部分Ｔ１５，Ｔ２５からタンクＴ内に導入することができる。よって、重力が作用する方向からガスＧ２をタンクＴ内に導入し、タンクＴ内に導入されているガスＧ１を上方部分Ｔ１３，Ｔ２３へ押し上げることができる。
【００３４】
（排出管５０）
排出管５０は、タンクＴ１，Ｔ２に接続され、重力が作用する方向で下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に端部５２が開口するように設けられている。排出管５０には、バルブＶ５０が設けられている。排出管５０に設けられているバルブＶ５０は、ガスＧ２を排出するときに開放されるものである。その他のときは、閉止されることでタンクＴの圧力を維持することができる。
排出管５０は、その構成する材料は特に限定されること無く、タンクＴに導入されるガスＧ１およびガスＧ２の圧力に耐え、かつ漏洩しない材料であれば良い。本実施形態においては、その一例としてステンレス鋼管を用いている。
バルブＶ５０は、その形態は特に限定されることなく、手動操作式のバルブ、電磁バルブ、モーターバルブとして設けても良い。本実施形態では、その一例として手動操作式のバルブを用いている。
また、排出管５０の端部５２と反対側に排気ポンプ５４を接続しても良い。排気ポンプ５４を接続することでタンクＴ内の排気を促すことができる。
【００３５】
なお、本実施形態の分留装置１において排出管５０は、下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に端部５２が開口するように設けられていることが好ましい。排出管５０で排出されるガスＧ２は、ガスＧ１と比べて分子量が大きいためタンクＴにおいて重力が作用する方向に滞留しやすい。そこで、ガスＧ２を排出する排出管５０は、下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に端部３６が開口するように接続されている。これにより、下方部分Ｔ１５，Ｔ２５に滞留するガスＧ２をタンクＴから排出することができる。
【００３６】
＜分留装置１を用いた分留方法＞
本実施形態の分留装置１を用いた分留方法について説明する。
本実施形態の分留方法は、分留装置１を用いてタンクＴに内在するガスＧ１およびガスＧ２に分留するものである。本実施形態の分留方法は、分留の準備をおこなう分留準備工程と、タンクＴにガスＧ１を導入するガスＧ１導入工程と、導入されたガスＧ１を他のタンクへ移送するガスＧ１移送工程と、ガスＧ１が移送されたタンクに内在するガスＧ２を排出するガス排出工程と、を含む。
以下、工程順に分留方法について図２ないし図４を参照して説明する。
【００３７】
（分留準備工程）
ステップＳ１０は、分留装置１を用いて分留を行うための分留準備工程を含む。
分留準備工程は、タンクＴ内の圧力を０［Ｍｐａ］（大気圧）にする工程である。ここで圧力とは、ゲージ圧力を示すものであり、以下同様である。
分留準備工程は、タンクＴに接続されている排出管５０に設けられたバルブＶ５０を開き、タンクＴ内に大気Ｇを導入するとともに、タンクＴ内の圧力を大気圧にする。
なお、分留効果を高めるためにタンクＴ内を減圧状態にすることが好ましい。そこで、排出管５０に接続された排気ポンプ５４により、タンクＴ内を減圧状態としても良い。
タンクＴ内の圧力が、大気圧もしくは減圧状態となればステップＳ２０へ工程を進める。
【００３８】
（ガスＧ１導入工程）
ステップＳ２０は、タンクＴにヘリウム（Ｈｅ）を主成分としたガスＧ１を導入するガスＧ１導入工程を含む。
ガスＧ１導入工程は、タンクＴに接続されている導入管３２を介して、タンクＴ内にガスＧ１を導入する工程である。
【００３９】
ガスＧ１導入工程は、図３（ａ）に示す様にタンクＴ１，Ｔ２のいずれかにガスＧ１を導入する。本実施形態においては、タンクＴ１にガスＧ１を導入する例を説明する。ガスＧ１導入工程は、タンクＴ１に接続された導入管３２に設けられているバルブＶ３２を開き、タンクＴ１内の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］になるようにガスＧ１を導入する。ガスＧ１導入工程は、レギュレーターバルブとして設けられているバルブＶ３２を操作することでガスＧ１の圧力を調整し、タンクＴ１内の圧力を所定の値にすることができる。
タンクＴ１にガスＧ１の導入が完了すれば、ステップＳ３０へ工程を進める。
【００４０】
（ガスＧ１移送工程）
ステップＳ３０は、ガスＧ１が導入されたタンクＴから他方のタンクＴへガスＧ１を移送するガスＧ１移送工程を含む。
ガスＧ１移送工程は、タンクＴに接続されている連通管１０を介して、一方のタンクＴに導入されたガスＧ１を他方のタンクＴに移送する工程である。
本実施形態の分留方法は、前述のガスＧ１導入工程において、タンクＴ１にガスＧ１が導入されている。したがって、当該ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１に導入されたガスＧ１をタンクＴ２へ移送をおこなう。
【００４１】
ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１とタンクＴ２とを連通する連通管１０に設けられたバルブＶ１０を開くことで、タンクＴ１に導入されたガスＧ１をタンクＴ２へ移送する。タンクＴ１に導入されたガスＧ１は、概ね０．２［Ｍｐａ］の圧力を有することから、バルブＶ１０を開くと、その圧力によってタンクＴ２に移送される。
【００４２】
本実施形態の分留方法において、タンクＴ１，Ｔ２が略同じ容積であれば、バルブＶ１０を開くことで連通管１０を介してタンクＴ１，Ｔ２内のゲージ圧力は、略０．０５［Ｍｐａ］で均衡状態となる。ガスＧ１が移送されることで、図３（ｂ）に示す様にタンクＴ１には減圧したガスＧ１が内在し、タンクＴ２には、その内を二分する様にガスＧ１と大気Ｇとが内在する。したがって、タンクＴ１には減圧されたガスＧ１が残留することとなる。
そこで、ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１にガスＧ２を導入することで、導入されたガスＧ２によってガスＧ１をタンクＴ２へ押出す様に移送をおこなう。
【００４３】
ガスＧ１移送工程は、連通管１０に設けられたバルブＶ１０を閉じた上で、導入管３４に設けられているバルブＶ３４を開とし、ガスＧ２をタンクＴ１に導入する。
ガスＧ２のタンクＴ１への導入は、タンクＴ１内の圧力が概ね０．３５［Ｍｐａ］となるように、導入管３４に設けられたバルブＶ３４を操作することでおこなう。タンクＴ１の圧力は、レギュレーターバルブとして設けられているバルブＶ３４を調整することで、所定の値に調整することができる。
【００４４】
ここで、タンクＴ１に導入されるガスＧ２は、ガスＧ１と比して分子量の大きいガスが用いられている。したがって、図３（ｃ）に示すように、ガスＧ２をタンクＴ１に導入すると分子量の大きいガスＧ２は、重力の作用する方向であるタンクＴ１の下方部分Ｔ１５から上方部分Ｔ１３に向かって貯留される。また、ガスＧ２と比して分子量の小さいガスＧ１は、重力の作用する方向と反対方向であるタンクＴ１の上方部分Ｔ１３から下方部分Ｔ１５に向かって順に貯留される。よって、タンクＴ１に接続（連通）する連通管１０の端部１２が上方部分Ｔ１３に開口するため、ガスＧ２の混入を抑制しつつ、上方部分Ｔ１３に貯留されるガスＧ１をタンクＴ２に移送することができる。
【００４５】
タンクＴ１にガスＧ２が導入され、所定の圧力に到達すればバルブＶ３４を閉止し、連通管１０に設けられたバルブＶ１０を開とする。これにより、図３（ｄ）に示す様にタンクＴ１に導入されたガスＧ２によって押出されたガスＧ１は、連通管１０を介してタンクＴ２に移送される。ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１及びタンクＴ２の圧力が均衡すれば、ステップＳ４０へ工程を進める。
【００４６】
（ガス排出工程）
ステップＳ４０は、タンクＴ２に内在する大気Ｇを排出するガス排出工程を含む。
ガス排出工程は、タンクＴ２に接続されている排出管５０によって、タンクＴ２の外部に大気Ｇの排出をおこなう工程である。
ガスＧ１が移送されるタンクＴ２は、分留準備工程においてその内部が大気圧もしくは減圧状態とされるが、減圧状態とした場合でも大気Ｇが残留する。そのため、タンクＴ２に残留した大気Ｇの体積に相当するガスＧ１がタンクＴ１に残留する。そこで、ガス排出工程によって、タンクＴ２から大気Ｇを排出する。
【００４７】
前述のガスＧ１移送工程で移送されるガスＧ１は、分子量の小さいヘリウム（Ｈｅ）が主成分であるため、タンクＴ２の上方部分Ｔ２３から順にタンクＴ２の下方部分Ｔ２５に向かって貯留される。換言すると、ガスＧ１以外の大気Ｇは、タンクＴ２の下方部分Ｔ２５から順に上方部分Ｔ２３に向かって貯留される。
ここで、排出管５０の端部５２は、タンクＴ２の下方部分Ｔ２５に開口していることから、タンクＴ２の上方部分Ｔ２３に貯留されるガスＧ１が排出されることを抑制しつつ、下方部分Ｔ２５に貯留されている大気Ｇを効率的に排気することができる。よって、ガス排出工程は、タンクＴ２に接続された排出管５０に設けられているバルブＶ５０を開とし、大気ＧをタンクＴ２の外部に排出をおこなう。ガス排出工程によってタンクＴ２から大気Ｇを排出することで、タンクＴ１に残留していたガスＧ１は、タンクＴ１に導入されたガスＧ２によってタンクＴ２へ押出されるように移送される。
【００４８】
ガス排出工程は、タンクＴ１内の圧力、およびタンクＴ２内の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］となればタンクＴ２に接続された排出管５０に設けられているバルブＶ５０を閉止する。これにより図３（ｅ）に示す様に、タンクＴ１に導入されたガスＧ２は、概ね０．２［Ｍｐａ］のゲージ圧力を有し貯留される。また、タンクＴ２に移送されたガスＧ１は、概ね０．２［Ｍｐａ］の圧力を有し貯留される。
なお、タンクＴ１およびタンクＴ２内のゲージ圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］に満たない場合は、タンクＴ２にガスＧ１を補充（導入）することができる。タンクＴ２にガスＧ１を補充する場合は、連通管１０に設けられたバルブＶ１０を閉じ、タンクＴ２に接続されている導入管３２に設けられたバルブＶ３２を開き、所定のゲージ圧力に到達するまで補充する。また、タンクＴ１およびタンクＴ２の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］に満たない場合は、ガスＧ１が移送されたタンクＴ２に大気Ｇが残留している場合がある。したがって、ガスＧ１を補充する圧力を０．２［Ｍｐａ］より高めにするとともに、タンクＴ２に接続される排出管５０に設けられたバルブＶ５０を開き下方部分Ｔ２５に滞留する大気Ｇを排出すると良い。
【００４９】
ステップＳ２０ないしステップＳ４０の各工程をおこなうことで、タンクＴ１に導入されたガスＧ１を大気ＧやガスＧ２から分留することができる。さらに、タンクＴ２からタンクＴ１にガスＧ１を移送することでガスＧ１を分留することができる。かかる分流方法を次に説明する。
【００５０】
（分留準備工程）
ステップＳ１１０は、ステップＳ１０で上述した分留準備工程を含む。
分留準備工程は、タンクＴ１内の圧力を０［Ｍｐａ］（大気圧）にする工程である。
分留準備工程は、タンクＴ１に接続されている排出管５０に設けられたバルブＶ５０を開き、図４（ａ）に示すタンクＴ１に貯留されているガスＧ２を放出し、図４（ｂ）に示す様にタンクＴ２内の圧力を大気圧にする。なお、分留効果を高めるためにタンクＴ２内を減圧状態にすることが好ましい。そこで、排出管５０に接続された排気ポンプ５４により、タンクＴ内を減圧状態としても良い。大気圧もしくは減圧状態としたタンクＴ２には、大気ＧとガスＧ２が内在する。
タンクＴ１内の圧力が、大気圧もしくは減圧状態となればステップＳ１２０へ工程を進める。
【００５１】
（ガスＧ１移送工程）
ステップＳ１２０は、ステップＳ３０で上述したガスＧ１移送工程を含む。
ガスＧ１移送工程は、タンクＴに接続されている連通管１０を介して、タンクＴ２に貯留されたガスＧ１をタンクＴ１に移送する工程である。
【００５２】
ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１とタンクＴ２とを連通する連通管１０に設けられたバルブＶ１０を開くことで、タンクＴ２に貯留されたガスＧ１をタンクＴ１へ移送する。タンクＴ２に貯留されたガスＧ１は、概ね０．２［Ｍｐａ］の圧力を有することから、バルブＶ１０を開くと、その圧力によってタンクＴ１に移送される。ステップＳ３０と同様にガスＧ１移送工程において、バルブＶ１０を開くことで連通管１０を介してタンクＴ１，Ｔ２内のゲージ圧力は、略０．０５［Ｍｐａ］で均衡状態となる。ガスＧ１が移送されることで、図４（ｃ）に示す様にタンクＴ２には減圧したガスＧ１が内在し、タンクＴ１には、その内を二分する様にガスＧ１とガスＧ２（大気Ｇ）とが内在する。したがって、タンクＴ２には減圧されたガスＧ１が残留することとなる。
ガスＧ１移送工程は、ステップＳ３０と同様にタンクＴ２にガスＧ２を導入することで、導入されたガスＧ２によってガスＧ１をタンクＴ１へ押出す様に移送をおこなう。
【００５３】
ガスＧ１移送工程は、連通管１０に設けられたバルブＶ１０を閉じた上で、導入管３４に設けられているバルブＶ３４を開とし、ガスＧ２をタンクＴ２に導入する。
ガスＧ２のタンクＴ２への導入は、タンクＴ２内の圧力が概ね０．３５［Ｍｐａ］となるように、導入管３４に設けられたバルブＶ３４を操作することでおこなう。タンクＴ２内の圧力は、レギュレーターバルブとして設けられているバルブＶ３４を調整することで、所定の値に調整することができる。
【００５４】
タンクＴ２にガスＧ２が導入され、所定の圧力に到達すればバルブＶ３４を閉止し、連通管１０に設けられたバルブＶ１０を開とする。これにより、図４（ｄ）に示す様にタンクＴ２に導入されたガスＧ２によって押出されたガスＧ１は、連通管１０を介してタンクＴ１に移送される。
タンクＴ１およびタンクＴ２のゲージ圧力が均衡すれば、ステップＳ１３０へ工程を進める。
【００５５】
（ガス排出工程）
ステップＳ１３０は、ステップＳ４０で上述したガス排出工程を含む。
ガス排出工程は、タンクＴ１に接続されている排出管５０によって、タンクＴ１の外部にガスＧ２および大気Ｇの排出をおこなう工程である。
ガス排出工程は、タンクＴ１に接続された排出管５０に設けられているバルブＶ５０を開とし、大気ＧをタンクＴ１の外部に排出をおこなう。ガス排出工程によってタンクＴ１の下方部分Ｔ１５からガスＧ２および大気Ｇを排出することで、タンクＴ２に残留していたガスＧ１は、タンクＴ２に導入されたガスＧ２によってタンクＴ１へ押出されるように移送される。
【００５６】
ガス排出工程は、タンクＴ１内の圧力、およびタンクＴ２内の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］となればタンクＴ１に接続された排出管５０に設けられているバルブＶ５０を閉止する。これにより図４（ｅ）に示す様に、ガスＧ２は、概ね０．２［Ｍｐａ］の圧力を有しタンクＴ２に貯留される。また、ガスＧ１は、概ね０．２［Ｍｐａ］の圧力を有しタンクＴ１に貯留される。
なお、タンクＴ１およびタンクＴ２内の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］に満たない場合は、ステップＳ４０と同様にタンクＴ１にガスＧ１を補充（導入）することができる。
【００５７】
ステップＳ１１０ないしステップＳ１３０の各工程をおこなうことで、タンクＴ２に貯留されたガスＧ１を大気ＧやガスＧ２から分留することができる。さらに、ステップＳ２０ないしステップＳ４０、ステップＳ１１０ないしステップＳ１３０を繰り返すことで、大気ＧやガスＧ２からガスＧ１を繰り返し分留することができる。
【００５８】
なお、上述した分留装置１は、２つのタンクＴ１およびタンクＴ２を備えている。しかし、これに限定されること無く、図５に示す様に、３つのタンクＴ１、タンクＴ２、およびタンクＴ３と、付随するバルブ等の構成要素を設けても良い。
タンクＴ１〜Ｔ３を備えることで、タンクＴ１からタンクＴ２へのガスＧ１移送中に、タンクＴ３において分留準備工程を開始するなど、分留装置１の稼働率を高めることができる。
【００５９】
上述した第１実施形態によれば、以下の効果が得られる。
この様な分留装置１によれば、タンクＴに内在するガスＧ１とガスＧ２は分子量がことなるため、ガスＧはタンクＴの上方部Ｔ１３，Ｔ２３に、ガスＧ２はタンクＴの下方部Ｔ１５，Ｔ２５に滞留する。これにより、ガスＧ１はタンク上方部Ｔ１３，Ｔ２３に端部１２，１４が開口する連通管１０によって他のタンクＴに移送することができる。また、ガスＧ２はタンク下方部Ｔ１５，Ｔ２５に開口する排出管５０によってタンクＴの外に排出することができる。よって、タンクＴに内在するガスＧ１とガスＧ２とを、これらガスの有する分子量の差、および圧力を利用して分留することができる。また、ガスＧ１およびガスＧ２を圧縮することなく分留するため、圧縮装置等が不要であり高圧ガス保安法等の基準を満たすとともに、装置の構成が簡便、かつガスＧ１およびガスＧ２の漏洩を抑制した安全性の高い分留装置１を実現することができる。
【００６０】
［第２実施形態］
第２実施形態に係る検査装置および検査方法について、図６および図７を用いて説明する。
図６は、本実施形態に係る検査装置の構成を模式的に示す図である。図７は、本実施形態の検査方法の各工程を示す工程フロー図である。
【００６１】
本実施形態の検査装置２は、第１実施形態で上述した分留装置１を用いて被検査体Ｓの気密状態の検査をおこなうものである。検査装置２の構成、および検査装置２を用いた検査方法は、分留装置１の構成、および分留装置１を用いた分留方法と同様の部分が含まれている。よって、同様の構成および方法については説明を一部省略する。
【００６２】
＜検査装置２の構成＞
図６に示す検査装置２は、第１実施形態で上述した分留装置１と、分留装置１を構成するタンクＴに内在するガスＧ１を検出する検出器Ｄを備える。なお、本実施形態の検査装置２は、適宜、図６の構成要素（各部）の一部を省略または変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
以下に、検査装置２について詳述する。
【００６３】
（タンクＴ１およびタンクＴ２）
上述した分留装置１を用いた検査装置２には、被検査体ＳをガスＧ１で加圧するためのタンクＴ１，Ｔ２（圧力容器）が設けられている。タンクＴ１，Ｔ２には、被検査体ＳをタンクＴ１，Ｔ２内に載置するため、開閉可能な蓋Ｔ１７，Ｔ２７が設けられている。
【００６４】
（検出器Ｄおよび検出管６０）
検査装置２は、タンクＴに載置された被検査体Ｓから放出されるガスＧ１を検出する検出器Ｄが設けられている。検出器Ｄは、タンクＴに接続された検出管６０の一端に接続されている。検出器Ｄには、検出対象のガスＧ１を含む気体（ガスＧ２および大気Ｇ）を排出するために排気ポンプ５４が接続されている。検出器Ｄに接続された検出管６０は、その反対の端部がタンクＴ内に開口している。検出器ＤによるガスＧ１の検出方法は特に限定されることなく、公知のヘリウム検出（検知）器を用いることができる。
また、検出管６０にはタンクＴと検出器Ｄとの間にバルブＶ６０が設けられている。バルブＶ６０が設けられていることで、タンクＴ１およびタンクＴ２の圧力を維持することができる。なお、バルブＶ５０は、その形態は特に限定されることなく、手動操作式のバルブ、電磁バルブやモーターバルブとして設けても良い。本実施形態では、その一例として手動操作式のバルブを用いている。
【００６５】
検出器Ｄは、タンクＴ１，Ｔ２のそれぞれに対応して設けられているが、切り替えバルブなどを設けて一の検出器Ｄによって、タンクＴ１およびタンクＴ２に載置された被検査体Ｓから離脱するガスＧ１を検出しても良い。
【００６６】
その他の構成は、第１実施形態で説明をした分留装置１の構成と同様であるため説明を省略する。
【００６７】
＜検査装置２を用いた検査方法＞
本実施形態の検査装置２を用いた検査方法について説明する。
検査装置２を用いた検査方法は、被検査体Ｓの検査をおこなう検査準備工程と、被検査体Ｓの検査をおこなうタンクＴにガスＧ１を導入するガスＧ１導入工程と、検査をおこなうタンクＴに導入されたガスＧ１を他のタンクＴに移送するガスＧ１移送工程と、を含む。さらに検査装置２を用いた検査方法は、ガスＧ１が移送された他のタンクＴに内在するガスＧ２や大気Ｇを排出するガス排出工程と、被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出するガスＧ１検出工程と、を含む。
以下、工程順に検査装置２を用いた検査方法について図７を参照して説明する。
【００６８】
（検査準備工程）
ステップＳ２１０は、検査装置２を用いて被検査体Ｓの気密性の検査をおこなうための検査準備工程を含む。検査準備工程は、第１実施形態で上述した分留方法のステップＳ１０における分留準備工程と同様の工程である。
検査準備工程は、タンクＴ内に被検査体Ｓを載置し、検査の準備をおこなう工程である。検査準備工程は、タンクＴ１，Ｔ２内に被検査体Ｓを載置し、蓋Ｔ１７，Ｔ２７を所定の位置に取り付けてタンクＴ１，Ｔ２を封止する。ここで、タンクＴには大気Ｇが内包されている。被検査体Ｓの気密性の検査精度を高めるためには、タンクＴ内に導入されるガスＧ１の濃度を高めることが求められる。そこで、タンクＴ内を減圧状態にすることが好ましい。検査準備工程は、タンクＴに接続されている排出管５０に設けられたバルブＶ５０を開き、排出管５０に接続された排気ポンプ５４によってタンクＴ内を減圧状態にする。タンクＴ内の圧力が減圧状態となればステップＳ２２０へ工程を進める。
【００６９】
（ガスＧ１導入工程）
ステップＳ２２０は、タンクＴにヘリウム（Ｈｅ）を主成分としたガスＧ１を導入するガスＧ１導入工程を含む。ガスＧ１導入工程は、第１実施形態で上述した分留方法のステップＳ２０におけるガスＧ１導入工程と同様である。
ガスＧ１導入工程は、タンクＴに接続されている導入管３２を介して、タンクＴ内にガスＧ１を導入する工程である。ガスＧ１導入工程は、先に検査を行うタンクＴ１またはタンクＴ２にガスＧ１を導入する。本実施形態においては、タンクＴ１に載置された被検査体Ｓを先に検査する例を説明する。
【００７０】
ガスＧ１導入工程は、タンクＴ１に接続された導入管３２に設けられているバルブＶ３２を開き、タンクＴ１内の圧力が概ね０．２［Ｍｐａ］になるようにガスＧ１を導入する。ガスＧ１導入工程は、レギュレーターバルブとして設けられているバルブＶ３２を操作することでガスＧ１の圧力を調整し、タンクＴ１内の圧力を所定の値にすることができる。
【００７１】
ガスＧ１導入工程は、ガスＧ１をタンクＴ１に導入し、ガスＧ１の圧力により被検査体Ｓを加圧するとともに、所定の時間放置する。被検査体ＳをガスＧ１で加圧することで、分子量の小さいヘリウム（Ｈｅ）を主成分とするガスＧ１は、被検査体Ｓの気密性に不具合がある場合、その不具合が生じている箇所から被検査体Ｓの内部に浸入する。被検査体Ｓに浸入したガスＧ１は、後述するガスＧ１検出工程によって検出をおこなうことで気密性の不具合を検査するものである。所定の時間、被検査体Ｓの加圧を行った後にステップＳ２３０へ工程を進める。
【００７２】
（ガスＧ１移送工程）
ステップＳ２３０は、ガスＧ１が導入されたタンクＴから他方のタンクＴへガスＧ１を移送するガスＧ１移送工程を含む。ガスＧ１移送工程は、第１実施形態で上述した分留方法のステップＳ３０におけるガスＧ１移送工程と同様の工程である。
ガスＧ１移送工程は、タンクＴに接続されている連通管１０を介して、一方のタンクＴに導入されたガスＧ１を他方のタンクＴに移送する工程である。
【００７３】
本実施形態の検査方法は、タンクＴ１に載置された被検査体Ｓの検査を先におこなうため、前述のガスＧ１導入工程においてタンクＴ１にガスＧ１が導入されている。したがって、当該ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１に導入されたガスＧ１をタンクＴ２へ移送する。
ガスＧ１移送工程は、ガスＧ１の有する圧力によって連通管１０を介してタンクＴ２へガスＧ１の移送をおこなう。また、ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１にガスＧ２を導入し、ガスＧ２の圧力によってガスＧ１をタンクＴ２へ押出す様に移送する。ガスＧ１移送工程は、第１実施形態で説明した分留方法におけるガスＧ１移送工程と同様であるため、その他の説明を省略する。
ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１及びタンクＴ２の圧力が均衡すれば、ステップＳ２４０へ工程を進める。
【００７４】
（ガス排出工程）
ステップＳ２４０は、タンクＴ２に内在する大気Ｇを排出するガス排出工程を含む。ガス排出工程は、第１実施形態で上述した分留方法のステップＳ４０におけるガス排出工程と同様の工程である。
ガス排出工程は、タンクＴ２に接続されている排出管５０によって、タンクＴ２の外部に大気Ｇの排出をおこなう工程である。
【００７５】
ガスＧ１が移送されるタンクＴ２は、検査準備工程においてその内部が減圧状態とされるが、大気Ｇが残留する。そのため、タンクＴ１からタンクＴ２にガスＧ１が移送されても、タンクＴ２に残留したガスＧ２の体積に相当するガスＧ１がタンクＴ１に残留する。そこで、ガス排出工程によって、タンクＴ２から大気Ｇを排出する。ガスＧ２がタンクＴ２から排出されることで、タンクＴ１に残留していたガスＧ１は、タンクＴ１に導入されたガスＧ２によってタンクＴ２へ押出されるように移送される。
ガス排出工程は、第１実施形態で説明した分留方法におけるガス排出工程と同様であるため、その他の説明を省略する。
ガス排出工程は、大気Ｇの排出が完了した後に、ステップＳ２５０へ工程を進める。
【００７６】
（ガスＧ１検出工程）
ステップＳ２５０は、被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出するガスＧ１検出工程を含む。ガスＧ１検出工程は、先の工程でガスＧ１の圧力により加圧された被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出する工程である。
ガス検出工程は、タンクＴ１に載置された被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出するため、タンクＴ１に接続されている検出器ＤにタンクＴ１に内在するガスＧ２を通過させガスＧ１の検出をおこなう。検出器Ｄを通過したガスＧ２は大気中に排出される。
ここで、先のガスＧ１導入工程によって被検査体Ｓが加圧された際に、気密に不具合が生じている箇所から被検査体Ｓの内部にガスＧ１が浸入している。被検査体Ｓの気密性は、浸入したガスＧ１が被検査体Ｓから離脱するとともに、その離脱したガスＧ１を検出器Ｄで検出することで検査することができる。そこで、ガス検出工程は、検出器Ｄに接続されている排気ポンプ５４によってタンクＴ１内を減圧することで被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を離脱させるとともに、タンクＴ１から排出されるガスＧ２に含まれるガスＧ１の検出をおこなう。
所定の圧力までタンクＴ１内を減圧し、排出されるガスＧ２に含まれるガスＧ１の検出が完了すれば、ステップＳ２６０に工程を進める。
【００７７】
（被検査体Ｓ取り出し工程）
ステップＳ２６０は、被検査体ＳをタンクＴから取り出す被検査体Ｓ取り出し工程を含む。
被検査体Ｓ取り出し工程は、被検査体Ｓの検査がおこなわれたタンクＴを大気圧状態にするとともに、蓋Ｔ１７もしくは蓋Ｔ２７を開き被検査体Ｓを取り出す工程である。
本実施形態の検査方法は、タンクＴ１に載置された被検査体Ｓから先に検査をおこなっている。よって、当該被検査体Ｓ取り出し工程は、タンクＴ１に載置された被検査体Ｓの取り出しをおこなう。
被検査体Ｓ取り出し工程は、検出器Ｄが接続されている検出管６０に設けられたバルブＶ６０を閉じ、タンクＴ１に接続されている排出管５０に設けられたバルブＶ５０を開くことでタンクＴ１内を大気圧状態にする。被検査体Ｓ取り出し工程は、タンクＴ１内が大気圧状態となった後に蓋Ｔ１７を開放し、被検査体Ｓの取り出しをおこなう。
被検査体Ｓの取り出しが完了すれば、ステップＳ３１０へ工程を進める。
【００７８】
（検査準備工程）
ステップＳ３１０は、被検査体Ｓが取り出されたタンクＴに新たに被検査体Ｓを載置し、被検査体Ｓの気密の検査をおこなうための検査準備工程を含む。
本実施形態においてＳ３１０に含まれる検査準備工程は、ステップＳ２１０と同様に、被検査体Ｓが取り出されたタンクＴ１に新たな被検査体Ｓを載置し、タンクＴ１内を減圧状態にする。タンクＴ１内の圧力が減圧状態にとなればステップＳ３２０へ工程を進める。
【００７９】
（ガスＧ１移送工程）
ステップＳ３２０は、ガスＧ１が移送されたタンクＴから他方のタンクＴへガスＧ１を移送するガスＧ１移送工程を含む。
ステップＳ３２０に含まれるガスＧ１移送工程は、ステップＳ２３０と同様に、タンクＴに接続されている連通管１０を介して、タンクＴ２に貯留されたガスＧ１をタンクＴ１に移送する工程である。ガスＧ１移送工程は、ガスＧ１の有する圧力によって連通管１０を介してタンクＴ１へガスＧ１の移送をおこなう。また、ガスＧ１移送工程は、タンクＴ２にガスＧ２を導入し、ガスＧ２の圧力によってガスＧ１をタンクＴ１へ押出す様に移送する。ガスＧ１移送工程は、ステップＳ２３０と同様のため他の説明を省略する。
ガスＧ１移送工程は、タンクＴ１及びタンクＴ２の圧力が均衡すれば、ステップＳ３３０へ工程を進める。
【００８０】
（ガス排出工程）
ステップＳ３３０は、タンクＴ１に内在するガスＧ２を排出するガス排出工程を含む。
ステップＳ３２０に含まれるガス排出工程は、ステップＳ２４０と同様に、タンクＴ１に接続されている排出管５０によって、タンクＴ１の外部に大気Ｇの排出をおこなう工程である。ガスＧ１が移送されるタンクＴ１は、検査準備工程においてその内部が減圧状態とされるが、大気Ｇ残留する。そのため、タンクＴ１に残留したガスＧ２を含む大気Ｇの体積に相当するガスＧ１がタンクＴ２に残留する。そこで、ガス排出工程によって、タンクＴ１からガスＧ２を含む大気Ｇを排出する。ガスＧ２を含む大気ＧがタンクＴ１から排出されることで、タンクＴ２に残留していたガスＧ１は、タンクＴ２に導入されたガスＧ２によってタンクＴ１へ押出されるように移送される。ガス排出工程は、ステップＳ２４０と同様のため他の説明を省略する。
ガス排出工程は、大気Ｇの排出が完了した後に、ステップＳ３４０へ工程を進める。
【００８１】
（ガスＧ１検出工程）
ステップＳ３４０は、被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出するガスＧ１検出工程を含む。
ステップＳ３４０に含まれるガス検出工程は、ステップＳ２５０と同様に、先の工程でガスＧ１の圧力により加圧された被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出する工程である。
ガス検出工程は、タンクＴ２に載置された被検査体Ｓに浸入したガスＧ１を検出するため、タンクＴ２に接続されている検出器ＤにタンクＴ２に内在するガスＧ２を通過させガスＧ１の検出をおこなう。なお、検出器Ｄを通過したガスＧ２は大気に排出される。ガスＧ１検出工程は、ステップＳ２５０と同様のため説明を省略する。
所定の圧力までタンクＴ２内を減圧し、排出されるガスＧ２に含まれるガスＧ１の検出が完了すれば、ステップＳ３５０に工程を進める。
【００８２】
（被検査体Ｓ取り出し工程）
ステップＳ３５０は、被検査体ＳをタンクＴから取り出す被検査体Ｓ取り出し工程を含む。ステップＳ３５０に含まれるガス検出工程は、ステップＳ２６０と同様に、被検査体Ｓの検査がおこなわれたタンクＴ２を大気圧状態にするとともに、蓋Ｔ２７を開き被検査体Ｓを取り出す工程である。
被検査体Ｓ取り出し工程は、ステップＳ２６０と同様のため他の説明を省略する。
【００８３】
上述したステップＳ２１０からステップＳ３５０を終えることで、タンクＴ１およびタンクＴ２に載置した被検査体Ｓの検査をおこなうことができる。また、これらのステップを繰り返すことで、継続して被検査体Ｓに対する検査をおこなうことができる。
【００８４】
なお、上述した検査方法は、タンクＴ１およびタンクＴ２に被検査体Ｓを載置し、それぞれのタンクＴにおいて検査をする方法を説明した。しかい、これに限定されること無く、いずれかのタンクＴに被検査体Ｓを載置し、ガスＧ１を移送し、分留するタンクとして他方のタンクＴを用いる検査方法としても良い。
また、検査装置２において、被検査体Ｓの検査をおこなうタンクＴは、２つ（タンクＴ１，Ｔ２）設けられているがこれに限定されること無く、図５に例示する分留装置１の様にタンクＴを３つ設けても良い。タンクＴを３つ以上備えることで、タンクＴ１でガスＧ１検出工程を、タンクＴ２でガスＧ１導入工程を、タンクＴ３で検査準備工程を、それぞれ並行して行うことができ検査装置２の稼働率を高めることができる。
【００８５】
上述した第２実施形態によれば、以下の効果が得られる。
この様な検査装置２によれば、被検査体Ｓが載置されたタンクＴに、ガスＧ１を導入することで被検査体Ｓを加圧する。加圧された被検査体Ｓは、気密が保たれていない部分から内部にガスＧ１が浸入する。被検査体Ｓは、ガスＧ１による加圧から解かれ、被検査体Ｓから離脱するガスＧ１をガス検出器Ｄで検出することで、その気密性を検査することができる。また、被検査体Ｓの加圧に用いられたガスＧ１は、被検査体Ｓの加圧をおこなったタンクＴとは異なるタンクＴに移送することで回収するとともに、ガスＧ１と比して分子量の大きい大気ＧやガスＧ２を排出管５０によってタンクＴの外に排出することができる。よって、ガスＧ１を回収し、ガスＧ２や大気Ｇから分留することで、希少ガスであるヘリウムを主成分とするガスＧ１を繰り返し利用することができる検査装置２を実現することができる。また、被検査体Ｓの検査にかかる費用を抑制することができる。
【００８６】
まお、上述した分留装置１および検査装置２において、各バルブの操作は、シーケンス制御を用いた制御部によって行っても良い。制御部を用いることにより、インターロックプログラムを有したシーケンス制御プログラムを採用することで、さらに安全性を高めた分留装置１および検査装置２を実現することができる。
【符号の説明】
【００８７】
１…分留装置、２…検査装置、１０…連通管、１２，１４…端部、３０…導入管、３６…端部、５０…排出管、５２…端部、５４…排気ポンプ、Ｇ…大気、Ｇ１…第１のガス、Ｇ２…第２のガス、Ｔ…タンク、Ｔ１…第１のタンク、Ｔ２…第２のタンク、Ｔ１３，Ｔ２３…上方部、Ｔ１５，Ｔ２５…下方部、Ｖ１０，Ｖ３２，Ｖ３４，Ｖ５０，Ｖ６０…バルブ。
【図１】
2015087143.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015087143.tif 000008
【図７】
2015087143.tif 000009