(57)【要約】【課題】生産ラインを短くする。【解決手段】分断装置１は、載置部２と、分断部４と、吸着部５とを備える。載置部２は、第１面１０１が下方を向くような状態で基板１００が載置されている。分断部４は、載置部２の上方に配置される。分断部４は、載置部２上に載置された基板１００をスクライブライン１０３，１０４に沿って押圧するように下方に移動可能である。吸着部５は、載置部２の上方に配置される。吸着部５は、分断部４によって分断された基板１００を吸着するように下方に移動可能である。【選択図】図１
2015123602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１面にスクライブラインが形成された基板を分断する分断装置であって、
前記第１面が下方を向くような状態で基板が載置されるように構成された載置部と、
前記載置部の上方に配置され、前記載置部上に載置された前記基板を前記スクライブラインに沿って押圧するように下方に移動可能な分断部と
前記載置部の上方に配置され、前記分断部によって分断された前記基板を吸着するように下方に移動可能な吸着部と、
を備える、分断装置。
【請求項２】
前記分断部は、前記水平方向に延びる一対の押圧部を有している、
請求項１に記載の分断装置。
【請求項３】
前記吸着部は、前記一対の押圧部の間に配置される、
請求項２に記載の分断装置。
【請求項４】
前記分断部及び前記吸着部を支持し、上下方向に移動可能な支持部をさらに備え、
前記分断部は、前記支持部に対して相対的に上下方向に移動可能であり、
前記吸着部は、前記支持部と一体的に上下方向に移動する、
請求項１から３のいずれかに記載の分断装置。
【請求項５】
水平方向に移動可能なベース部をさらに備え、
前記支持部は、前記ベース部に上下移動可能に取り付けられる、
請求項４に記載の分断装置。
【請求項６】
前記吸着部は、複数の吸着パッドを有する、
請求項１から５のいずれかに記載の分断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分断装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的にマザー基板から複数の単位基板を取り出す方法は、まず、スクライブ装置によってマザー基板にスクライブラインを形成する。そして、分断装置によって、スクライブラインに沿ってマザー基板を分断する。マザー基板を分断することによって形成された複数の単位基板は、搬送装置によって吸着されて次の工程へと搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１２６５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
設置スペースの観点より、マザー基板から複数の単位基板を取り出すまでの生産ラインの長さを短くしたいという要望がある。
【０００５】
本発明の課題は、生産ラインを短くすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある側面に係る分断装置は、第１面にスクライブラインが形成された基板を分断する分断装置である。分断装置は、載置部と、分断部と、吸着部とを備える。載置部は、第１面が下方を向くような状態で基板が載置されるように構成される。分断部は、載置部の上方に配置される。分断部は、載置部上に載置された基板をスクライブラインに沿って押圧するように下方に移動可能である。吸着部は、載置部の上方に配置される。吸着部は、分断部によって分断された基板を吸着するように下方に移動可能である。
【０００７】
このように構成された分断装置は、基板を分断するための分断部と、分断後の基板を吸着するための吸着部との両方を有している。このため、マザー基板から単位基板を取り出すまでの生産ラインの長さを短くすることができる。
【０００８】
好ましくは、分断部は、水平方向に延びる一対の押圧部を有している。
【０００９】
好ましくは、吸着部は、一対の押圧部の間に配置される。この構成によれば、より設置スペースを小さくすることができ、ひいては生産ラインを短くすることができる。
【００１０】
好ましくは、分断装置は、支持部をさらに備える。支持部は、分断部及び吸着部を支持する。支持部は、上下方向に移動可能である。分断部は、支持部に対して相対的に上下方向に移動可能である。吸着部は、支持部と一体的に上下方向に移動する。
【００１１】
好ましくは、分断装置は、水平方向に移動可能なベース部をさらに備える。支持部は、ベース部に上下移動可能に取り付けられる。
【００１２】
好ましくは、吸着部は、複数の吸着パッドを有する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、生産ラインを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】分断装置の概略図。
【図２】分断装置の動作を示す図。
【図３】分断装置の動作を示す図。
【図４】分断装置の動作を示す図。
【図５】変形例４に係る分断装置の概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る分断装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、分断装置の概略図である。
【００１６】
図１に示すように、分断装置１は、載置部２、支持部３、分断部４、吸着部５、及びベース部６を備えている。
【００１７】
載置部２には、基板１００が載置される。基板１００は第１面１０１と第２面１０２とを有しており、第１面１０１にはスクライブライン１０３、１０４が形成されている。そして、基板１００は、第１面１０１が下方を向くようにして、載置部２上に載置されている。なお、載置部２は、載置領域２１とベルトコンベア（図示省略）とを有していてもよい。載置領域２１は、分断部４によって分断加工が行われる領域であり、分断部４の下方に位置する。また、ベルトコンベアは、スクライブライン１０３，１０４が形成された基板１００を前工程から載置領域２１まで搬送する。
【００１８】
支持部３は、載置部２の上方に配置されている。支持部３は、分断部４と吸着部５とを支持している。支持部３は、上下方向に移動可能である。支持部３は、上下方向に移動することによって、載置部２に対して接近及び離反する。支持部３は、第１駆動部７を介してベース部６に取り付けられている。この第１駆動部７が支持部３を駆動することによって、支持部３は上下方向に移動する。例えば、第１駆動部７は、エアシリンダとすることができる。
【００１９】
分断部４は、第１押圧部４１及び第２押圧部４２を有している。第１及び第２押圧部４１、４２は、載置部２の上方に配置されており、上下方向に移動可能である。第１及び第２押圧部４１，４２は、支持部３と相対的に上下方向移動するように、支持部３に支持されている。すなわち、第１及び第２押圧部４１，４２は、支持部３から独立して上下方向に移動可能である。具体的には、支持部３が上下方向の位置を維持している場合であっても、第１及び第２押圧部４１，４２は上下方向に移動可能である。また、支持部３が上下方向に移動している場合であっても、第１及び第２押圧部４１，４２は、上下方向の位置を維持することができる。
【００２０】
分断部４は、ベース部６に設置された第２駆動部８によって駆動される。第２駆動部８が第１及び第２押圧部４１，４２を駆動することによって、第１及び第２押圧部４１，４２は上下方向に移動する。
【００２１】
例えば、第２駆動部８は、エアーにより駆動される回転シリンダであって、傘歯車（図示省略）を介して連結ロッド９を回転させる。連結ロッド９は、ラックアンドピニオンギア（図示省略）を介して、第１及び第２押圧部４１，４２に接続している。第２駆動部８が連結ロッド９を回転させると、連結ロッド９の回転運動がラックアンドピニオンによって直線運動に変換される。この結果、第１及び第２押圧部４１及び４２は、上下方向に駆動される。また、第１押圧部４１と第２押圧部４２とは互いに同期して上下方向に移動する。
【００２２】
第１押圧部４１は水平方向（図１の紙面手前から紙面奥に向かう方向）に延びており、基板１００はスクライブライン１０３が第１押圧部４１と同じ方向に延びるように載置部２上にセットされる。また、第２押圧部４２は水平方向に延びており、基板１００は他方のスクライブライン１０４が第２押圧部４２と同じ方向に延びるように載置部２上にセットされる。なお、第１押圧部４１と第２押圧部４２とは、互いに間隔をおいて配置され、互いに平行に延びている。
【００２３】
第１押圧部４１が下方に移動することによって、第１押圧部４１の下端部がスクライブライン１０３に沿って基板１００を第２面１０２側から押圧する。また、第２押圧部４２が下方に移動することによって、第２押圧部４２の下端部がスクライブライン１０４に沿って基板１００を第２面１０２側から押圧する。
【００２４】
吸着部５は、複数の吸着パッド５１を有する。各吸着パッド５１は、載置部２の上方に配置される。各吸着パッド５１は、支持部３に支持されている。なお、各吸着パッド５１は、支持部３に固定されており、支持部３と一体的に上下方向に移動する。各吸着パッド５１は、ポンプ（図示省略）に接続されており、空気を吸引することによって、基板１００の第２面１０２に吸着する。
【００２５】
ベース部６は、吸着部５によって吸着された基板１００を搬送するように、水平方向に移動可能である。また、ベース部６は、鉛直軸を中心に回転可能である。
【００２６】
次に上述したように構成された分断装置１の動作について説明する。
【００２７】
図１に示すように、載置部２の載置領域２１に基板１００がセットされる。なお、基板１００は、スクライブライン１０３，１０４が形成された第１面１０１が下方を向いている。
【００２８】
次に、図２に示すように、第２駆動部８が分断部４を駆動する。これによって、第１及び第２押圧部４１，４２が下方へ移動する。そして、第１押圧部４１の下端部がスクライブライン１０３に沿って基板１００を押圧し、この結果、基板１００はスクライブライン１０３に沿って分断される。また、第２押圧部４２の下端部がスクライブライン１０４に沿って基板１００を押圧し、この結果、基板１００はスクライブライン１０４に沿って分断される。
【００２９】
次に、図３に示すように、第１駆動部７が支持部３を駆動する。これによって、吸着部５が下方へ移動し、各吸着パッド５１が分断後の基板１００を吸着する。
【００３０】
次に、図４に示すように、第２駆動部８が分断部４を駆動して第１及び第２押圧部４１，４２を上方に移動させる。また、第１駆動部７が支持部３を駆動して支持部３及び吸着部５を上方に移動させる。そして、ベース部６が水平方向に移動することによって、分断後の基板１００を後工程に搬送する。
【００３１】
以上の分断装置１によれば、分断部４を有するとともに吸着部５を有しているため、基板１００を分断してから搬送するまでの生産ラインを短くすることができる。
【００３２】
［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
【００３３】
変形例１
押圧部４１，４２の数は特に限定されない。例えば、分断部４は、１つの押圧部のみを有していてもよいし、基板の４辺を一度に分断できるように４つの押圧部を有していてもよい。
【００３４】
変形例２
上記実施形態では第１及び第２押圧部４１、４２は、１つの第２駆動部８及び連結ロッド９を共有しているため、互いに同期して上下方向に移動するが特にこれに限定されない。例えば、第１押圧部４１と第２押圧部４２は、互いに別々に上下方向に移動するように構成されていてもよい。この場合、第１押圧部４１は、第２押圧部４２とは別に第２駆動部８及び連結ロッド９を有している。
【００３５】
変形例３
上記実施形態では、分断部４が支持部３に対して相対的に上下方向に移動可能であり、吸着部５が支持部３と一体的に上下方向に移動可能であるが、特にこれに限定されない。例えば、吸着部５が支持部３に対して相対的に上下方向に移動可能であり、分断部４が支持部３と一体的に上下方向に移動可能である構成としてもよい。
【００３６】
変形例４
上記実施形態では、第２駆動部８はベース部６に設置されていたが、特にこれに限定されない。例えば、図５に示すように、第２駆動部８は、支持部３に固定されていてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１    分断装置
２    載置部
３    支持部
４    分断部
４１、４２    押圧部
５    吸着部
５１    吸着パッド
６    ベース部
１００    基板
１０１    第１面
１０３，１０４    スクライブライン
【図１】
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【図２】
2015123602.tif 000004
【図３】
2015123602.tif 000005
【図４】
2015123602.tif 000006
【図５】
2015123602.tif 000007