(57)【要約】      （修正有）【課題】安定した光出力を得ることができる光モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】光モジュールの製造方法は、（Ａ）第１のレンズ１２ａを、第１のレンズ１２ａの焦点にＬＤ１１ａが位置するように配置する工程と、（Ｂ）第２のレンズ１４ａを、第２のレンズ１４ａの焦点のうち第１のレンズ１２ａ側の焦点が、第１のレンズ１２ａの他方の焦点に位置するように配置する工程と、（Ｃ）第３のレンズと光ファイバを模した治具４０を筐体後壁２Ａ外面の所定箇所に配置する工程と、（Ｄ）第２のレンズ１４ａを、第２のレンズ１４ａの光軸上を移動させて、模した光ファイバ４５に入射する光の強度を所定の値に調整する工程とを有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、当該光源が生成する光を集光する第１のレンズと、該第１のレンズを通過した光を集光する第２のレンズと、該第２のレンズを通過した光を光ファイバ上に集光する第３のレンズと、該光源、該第１のレンズ、該第２のレンズを搭載する筐体、を備える光モジュールの製造方法であって、
（Ａ）該第１のレンズを、該第１のレンズの焦点に該光源が位置する様に配置する工程と、
（Ｂ）該第２のレンズを、該第２のレンズの該第１のレンズ側の焦点が該第１のレンズの他方の焦点に位置する様に配置する工程と、
（Ｃ）該第３のレンズと該光ファイバを模した治具を該筐体外面の所定箇所に配置する工程と、
（Ｄ）該第２のレンズを該第２のレンズの光軸上を移動して、該模した治具の光ファイバに入射する光の強度を所定の値に調整する、光モジュールの製造方法。
【請求項２】
該工程（Ａ）と該工程（Ｂ）は、該光の光軸を該筐体の外側にシフトさせる治具を用いて行う、請求項１に記載の光モジュールの製造方法。
【請求項３】
該製造方法はさらに、該光源に対する該（Ｄ）の工程の後、
該筐体外面に配置された該治具に替えて該第３のレンズと該光ファイバを該筐体側面に配置する工程を含む、請求項１に記載の光モジュールの製造方法。
【請求項４】
該光モジュールはさらに他の光を生成する他の光源、他の第１のレンズ、他の第２のレンズ、及び該他の光源が生成する光と該光源が生成する光を合波して該第３のレンズに出力する光合波器を該筐体内に備えており、
該（Ａ）〜（Ｄ）の工程を該他の光源に対して該光源と独立に行う、請求項１又は２に記載の光モジュールの製造方法。
【請求項５】
該製造方法はさらに、該光源に対する該（Ｄ）の工程の後、
該筐体外面に配置された該治具に替えて該第３のレンズと該光ファイバを該筐体側面に配置する工程と、
該光ファイバに入射する光の強度が最大となる位置に該第３のレンズと該光ファイバを配置する工程と、
該他の光源に対して該（Ａ）、（Ｂ）を行う工程と、
該他の光源に対して該光ファイバに入射する該他の光の強度が所定の範囲になる様に該他の第２のレンズを該他の第２のレンズの光軸上をスライドする、
請求項４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、光半導体モジュールが開示されている。この光半導体モジュールは、レーザー光を放射する半導体レーザーと、半導体レーザーからのレーザー光を集光するレンズと、レンズで集光されたレーザー光をファイバフェルールの伝送路に出力する光コネクタとを備えている。この光コネクタは、レーザー光が入射される入射面を備えた光ファイバを含むファイバフェルールと、この入射面を覆うように設けられた光減衰部とを備える。光減衰部は例えば偏光ガラスであり、光減衰部におけるレーザー光の透過率は光軸を中心とした光減衰部の回転により変化する。また、上述した半導体レーザー、レンズ及び光コネクタは、上記入射面におけるレーザー光のスポット径が光ファイバのコアの直径より小さくなるように調芯が行われる。
【０００３】
ところで、光モジュールにおいて、レーザダイオード（以下「ＬＤ」という）、レンズ及び光ファイバを適正に光学調芯（光結合）させた状態であっても、ＬＤに所定の電流を印加したときにＬＤの光出力（モジュール外に取り出されてレンズに光結合されるファイバ端面とは別の端面から出力される光の強度）は所定値を超える場合がある。また、所定の光出力を確保するためにＬＤに印加する印加電流値を低下させると、ＬＤの緩和振動周波数が低下しＬＤの高周波特性が損なわれるという問題が生じる。
【０００４】
そこで、特許文献１に記載されているように光コネクタをＺ軸方向（光軸方向）に移動させて、ファイバの端面をレンズの焦点からオフセットした位置に移動させることによって、ファイバのコアに入射される光の割合を減少させている。これをデフォーカス（de-focus）と称する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−２１２７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
多波長集積モジュールでは、互いに独立な複数の光信号を最終的に一本の光ファイバの端面に結合させる。上記のように光結合点をデフォーカスさせる方法では、１つのＬＤ光に対するパワー調整は適切に行える。しかしながら、例えば４つのＬＤ光のパワー調整を行う場合には、ＬＤの発光パワー若しくは光学部品の結合効率のばらつき、又は４つの光軸の位置若しくは角度のばらつきによって、ファイバ結合パワーの差が拡大し安定した光出力を得られないという問題が生じる。
【０００７】
また、４レーンのＬＤ光を最終的に１つの集光レンズでファイバの端面に結合させるので、デフォーカスによる光量調整を１つのＬＤ光に対して行った場合、他のＬＤ光に対しては必ずしも最適な光量調整にならないという問題もある。すなわち、集光レンズにおける各ＬＤ光の光軸は、設計上は整合しているが、実際には各ＬＤ光によって微妙にばらついている。よって、集光レンズの光軸に沿ってレンズ又はファイバの端面を移動させても、各ＬＤ光が当該光軸に沿ってレンズに入射しているとは限らず各ＬＤ光に対する適正なオフセット量が異なっていることが多いので、安定した光出力を得られない。
【０００８】
更に、各ＬＤ光がレンズの光軸上を伝播してレンズ及びファイバの端面に入射している場合であっても、ＬＤのＩ−Ｌ特性（印加電流−光出力）には当然ながらばらつきがあるので、各ＬＤ間で一意のオフセット量は保証されない。
【０００９】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、安定した光出力を得ることができる光モジュールの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一形態による光モジュールの製造方法は、光源と、この光源が生成する光を集光する第１のレンズと、この第１のレンズを通過した光を集光する第２のレンズと、この第２のレンズを通過した光を光ファイバ上に集光する第３のレンズと、これら光源、第１のレンズ、第２のレンズを搭載する筐体、を備える光モジュールの製造方法であって、（Ａ）第１のレンズを、この第１のレンズの焦点に光源が位置する様に配置する工程と、（Ｂ）第２のレンズを、この第２のレンズの焦点のうち第１のレンズ側の焦点が、第１のレンズの他方の焦点に位置する様に配置する工程と、（Ｃ）第３のレンズと光ファイバを模した治具を筐体外面の所定箇所に配置する工程と、（Ｄ）第２のレンズを、この第２のレンズの光軸上を移動させて、模した光ファイバに入射する光の強度を所定の値に調整する工程を有する。
【００１１】
本発明の光モジュールはさらに他の光を生成する他の光源、他の第１のレンズ、他の第２のレンズ、及びこの他の光源が生成する光と前記光源が生成する光とを合波して第３のレンズに出力する光合波器を筐体内に備えており、この他の光源と光ファイバとの間の光結合効率の調整を、すなわち、この他の光源が生成する光の光ファイバへの入射強度の調整を、前記光源についての（Ａ）〜（Ｄ）の製造工程とは独立に行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一形態による光モジュールの製造方法では、安定した光出力を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係る光モジュールの内部構造を示す斜視図である。
【図２】図１の光モジュールの内部構造を示す平面図である。
【図３】図１の光モジュールの光学系を示す模式図である。
【図４】図１の光モジュールにおけるレンズ系の調芯を説明する図である。
【図５】スリーブにおけるＸＹトレランスを示すグラフである。（ａ）は第２のレンズをＬＤ側に移動させた場合、（ｂ）は第２のレンズを光ファイバ側に移動させた場合、をそれぞれ示す。
【図６】第２のレンズを変位させる方向と反射戻り光量との関係を示すグラフである。
【図７】従来の調整方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照しながら本発明に係る光モジュールの製造方法の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は相当の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１５】
図１は、本実施形態に係る光モジュール１の内部構造を示している。図２は、光モジュール１の内部構造を示す平面図である。光モジュール１は、発光モジュールである。図１及び図２に示されるように、光モジュール１は、直方体状の筐体２と、フランジ付き円柱状の光結合部３とを備える。また、光モジュール１の内部には、４個のＬＤ１１ａ〜１１ｄ、４個の第１のレンズ１２ａ〜１２ｄ、ビームスプリッタ１３、４個の第２のレンズ（コリメートレンズ）１４ａ〜１４ｄ、第１のＷＤＭフィルタ１５、第２のＷＤＭフィルタ１６、ミラー１７、アイソレータ１８及び偏波合成フィルタ１９が設けられている。各第１のレンズ１２ａ〜１２ｄは各ＬＤ１１ａ〜１１ｄに対応して設けられており、各第２のレンズ１４ａ〜１４ｄは各第２のレンズ１４ａ〜１４ｄに対応して設けられている。
【００１６】
以下では、図面において、「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」の語を用いるが、これらの語は図示する状態に基づく便宜的なものである。以下の説明において、前方向は第１のレンズ１２ａ〜１２ｄから見てＬＤ１１ａ〜１１ｄが設けられる方向であり、後方向は筐体２から見て光結合部３が設けられる方向である。左右方向は、ＬＤ１１ａ〜１１ｄ、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄ又は第２のレンズ１４ａ〜１４ｄが並設される方向である。また、上下方向は、前後方向及び左右方向のそれぞれに直交する方向である。
【００１７】
光モジュール１では、光源として機能する４レーンのＬＤ１１ａ〜１１ｄが独立して駆動し、それぞれのＬＤ１１ａ〜１１ｄが光信号を出力する。ＬＤ１１ａ〜１１ｄから出力された信号光は、それぞれ第１のレンズ１２ａ〜１２ｄ（集光レンズ）に入力され、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄによって集光される。また、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄによって集光された光は、それぞれ第２のレンズ１４ａ〜１４ｄに入力されて、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄによって平行光に変換される。第２のレンズ１４ａ〜１４ｄのＬＤ１１ａ〜１１ｄ側の焦点は、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄそれぞれの焦点と一致するように配置される。よって、この焦点を光源とする発散光は、この焦点に自身の焦点を一致させた第２のレンズ１４ａ〜１４ｄにより平行ビームに変換される。
【００１８】
図３は、光モジュール１の光学系を示す模式図である。図３に示されるように、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄからのそれぞれの光は、第１のＷＤＭフィルタ１５、第２のＷＤＭフィルタ１６、ミラー１７、アイソレータ１８及び偏波合成フィルタ１９を含む光学回路によって合波され、筐体２の後壁２Ａに設けられた窓２ａを介して筐体２外に出力される。筐体２外に出力された光は、光結合部３内に設けられた第３のレンズ４によって集光され、第３のレンズ４の後側に位置するファイバスタブ６の光ファイバ５の端面に結合される。
【００１９】
従来はファイバの端面を光軸方向にオフセットする方式（スリーブデフォーカス方式）によって、ファイバの端面に結合される光のパワー（以下、ファイバ結合パワーと称することもある）を調整していた。しかしながら、本実施形態では、筐体２の内部における第２のレンズ１４ａ〜１４ｄのそれぞれの位置を光軸方向に変化させることによって、各ＬＤ１１ａ〜１１ｄからの出力光によるファイバ結合パワーを所定の範囲内とする。また、４つの出力光の合波方式としては、薄膜フィルタが蒸着されたガラス部品を用いたＴＦＦ（Thin  Film  Filter）方式が挙げられる。このＴＦＦ方式は、集積ＴＯＳＡに採用されている光合波方式である。
【００２０】
上記の方式は、ＬＤ１１ａ〜１１ｄからの出力光を第２のレンズ１４ａ〜１４ｄによって平行光とし、この平行光を光合波器に入射させることによって合波を行う。よって、筐体２から出力される光は平行光となり、この平行光は、筐体２の外部に位置する第３のレンズ（集光レンズ）４によって集光されて光ファイバ５の端面に結合する。第３のレンズ４の有効径内に平行光が入射すれば、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを通る４つの光に光軸方向のずれが発生しても光は１点に集中する。また、ファイバ結合パワーは、各ＬＤ１１ａ〜１１ｄから出力される光強度のばらつきと、光学系の光結合効率のばらつきに依存する。これらによるばらつきは、一般的に３ｄＢ程度となる。
【００２１】
直接変調型であるＬＤ１１ａ〜１１ｄの平均光出力は、所定の駆動電流条件下において約１０ｄＢｍである。また、光合波器とレンズ系による光ファイバ５の端面への結合ロスは２〜３ｄＢ程度であるため、光ファイバ５から出力される信号光の強度は７〜８ｄＢｍ程度となる。一方、ＩＥＥＥで規定されているＬＲ４（１００ＧＢＡＳＥ−ＬＲ４）の光出力は最大４．５ｄＢｍとされており、光ファイバ５への結合効率を調整しない場合にはオーバーパワーの条件となってしまう。
【００２２】
ここで、従来の結合効率の調整方法は、ファイバの端面の位置を集光位置（焦点）から遠ざける（又は近づける）デフォーカス法によって行っていた。しかしながら、光モジュール１にデフォーカス法を適用すると、理想的な状態となっている１本の光軸に対しての調整は可能となるが、実際は、実装ばらつき等による光軸のばらつき、及びＬＤ１１ａ〜１１ｄからの出力光によるばらつき、があるため、全て（４本）の光軸に対するパワー調整は困難である。
【００２３】
このファイバ結合パワーのばらつきの原因を具体的に説明する。図７に示されるように、４つの平行光Ｌ０〜Ｌ３を集光レンズである第３のレンズ４に入射させるときに、各平行光Ｌ０〜Ｌ３の光軸がずれていると、第３のレンズ４からファイバスタブ６の光ファイバ５に向かう各光における光軸の角度が互いに異なることとなる。但し、各平行光Ｌ０〜Ｌ３における光軸のずれが第３のレンズ４の有効径の範囲内であれば、第３のレンズ４から光ファイバ５に向かう各光は１点に集光され、この光ファイバ５では、安定したファイバ結合パワーが得られる。
【００２４】
しかしながら、光モジュール１から出力される光を調整するために光ファイバ５における光の結合位置を集光位置からずらす（遠ざける又は近づける）と、４つの光軸のずれで第３のレンズ４から光ファイバ５に向かう各光の光軸の角度が互いに異なっていることによって、結合位置をずらした後における４つの光軸の位置ずれが大きくなり、その結果、ファイバ結合パワーのばらつきが大きくなるという問題が生じる。
【００２５】
そこで、本実施形態では、上述した問題を解決するため、筐体２内の各ＬＤ１１ａ〜１１ｄに対する第２のレンズ（コリメートレンズ）１４ａ〜１４ｄの位置を、ファイバ結合パワーをモニタすると共にファイバ結合パワーが所望の光出力パワーとなるまで、光軸方向に変位させる調整を行う。このような調整を行うことによって、４つのＬＤ１１ａ〜１１ｄの全てにおいて、所望のファイバ結合パワーを得ることができる。
【００２６】
以下では、所望のファイバ結合パワーを得ることができる具体的な光出力調整方法を説明する。図３に示されるように、集積ＴＯＳＡである光モジュール１の光学系は３レンズ系となっており、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄのそれぞれにおいて、ＬＤ１１ａ〜１１ｄからの出力光を５〜６倍の倍率で集光する。一般的に、ＤＦＢ−ＬＤの出力光をＳＭＦ（Single-mode  Fiber）に最適に結合させることが可能な光学倍率は５〜６倍である。第２のレンズ１４ａ〜１４ｄは第１のレンズ１２ａ〜１２ｄによって集光された光を平行光に変換する。筐体２の外部に位置する第３のレンズ４は、筐体２の後壁２Ａを通過した平行光を光ファイバ５の端面に集光させる。
【００２７】
ここで、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄの焦点距離は０．４５ｍｍであり、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄの倍率は５〜６である。第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの焦点距離は０．８５ｍｍであり、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの倍率は１である。第３のレンズ４の焦点距離は０．８５ｍｍであり、第３のレンズ４の倍率は１である。このような３レンズ系を有する光モジュール１では、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄの光学倍率を５〜６倍、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄ及び第３のレンズ４の光学倍率を１倍として、最も高い位置精度が求められる第１のレンズ１２ａ〜１２ｄの後方に第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを実装することによって、倍率が低い第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを光軸調整用のレンズとして用いることができ実装時の位置ずれによる光結合ロスを低減させることができる。
【００２８】
また、２レンズ系を有する光モジュールではコリメートレンズの実装精度が０．３μｍ以下であることが求められるのに対し、３レンズ系を有する光モジュール１では第２のレンズ（コリメートレンズ）１４の実装精度が１．５μｍ以下であれば同等の性能を実現できる。なお、レンズ等の光学部品は、小型化を実現させるため、エポキシ系のＵＶ硬化型樹脂等の接着剤によって固定される。このような固定は、樹脂の硬化時における収縮又は硬化時の熱による膨張等の影響により、１μｍ以下の精度で実装させるのが困難である。
【００２９】
また、光モジュール１では、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄの倍率を５〜６倍の光学系としているので、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄから後方に位置する平行光のビームパターンの直径を縮小させることができ（０．６ｍｍ程度から０．２ｍｍ程度にまで縮小できる）、光合波を行う光学系のコンパクト化を実現させることができる。
【００３０】
次に、光モジュール１におけるレンズ系の調芯手順について説明する。まず、光モジュール１内の所定箇所にＬＤ１１ａ〜１１ｄを搭載し、ＬＤ１１ａ〜１１ｄの電気的な動作が可能となるように、ＬＤ１１ａ〜１１ｄに対して所定のワイヤリングを行う。その後は、図４に示されるように、ＬＤ１１ａに対する第１のレンズ１２ａの位置を決定する工程、第１のレンズ１２ａに対する第２のレンズ１４ａの初期位置を決定する工程及び第２のレンズ１４ａの調芯を行う工程、を実行する。以下では、これらの各工程について詳細に説明する。
【００３１】
まず、図４（ａ）に示されるように、ＬＤ１１ａに対する第１のレンズ１２ａの位置を決定する工程を実行する。この工程では、光モジュール１内に配置されたＬＤ１１ａ〜１１ｄの生成する光を光モジュール１外に取り出す必要がある。これには、２枚の反射鏡を、ＬＤ１１ａ〜１１ｄの光軸に対して４５°の角度で互いに平行に配置した治具を用い、ＬＤ１１ａ〜１１ｄの光軸を光モジュール１外に平行移動することにより行う。そして、筐体２に対する遠点（筐体２から１０００ｍｍ程度離れた箇所）に赤外線カメラ３０を配置して、赤外線カメラ３０を用いて第１のレンズ１２ａの位置調整を行う。具体的には、ＬＤ１１ａが出力した光が第１のレンズ１２ａによって平行光となるように、第１のレンズ１２ａが出力する光を上記治具を用いて光モジュール１外に取り出し、赤外線カメラ３０によって第１のレンズ１２ａから出射される光のフィールドパターンを確認しながら、ＬＤ１１ａに対する第１のレンズ１２ａの位置を決定する。
【００３２】
このとき、ＬＤ１１ａの発光点が第１のレンズ１２ａの焦点上に位置することとなるので、ＬＤ１１ａが出力した光は、第１のレンズ１２ａから赤外線カメラ３０が位置する遠点に至るまで平行光となる。そして、第１のレンズ１２ａの光軸方向の位置を所定量オフセットさせる、すなわち第１のレンズ１２ａをＬＤ１１ａから離す方向に移動させることにより、倍率を５倍としたＬＤ１１ａと第１のレンズ１２ａとの関係を得ることができる。
【００３３】
続いて、図４（ｂ）に示されるように、第１のレンズ１２ａに対する第２のレンズ１４ａの初期位置を決定する工程を実行する。この工程でも、上記治具により第２のレンズ１４ａを発した光を光モジュール１外に平行移動する。この工程では、遠点に配置された赤外線カメラ３０を用いて第２のレンズ１４ａの位置調整をしながら第２のレンズ１４ａの初期位置を決定する。具体的には、赤外線カメラ３０によって第２のレンズ１４ａから出射される光のフィールドパターンを確認しながら、第２のレンズ１４ａから赤外線カメラ３０にまで到達する光が平行光となるように、光軸方向における第２のレンズ１４ａの初期位置を決定する。
【００３４】
次に、図４（ｃ）に示されるように、位置調整用の治具４０を設置する。この治具４０は第３のレンズ４と光ファイバ５を模した集光レンズ４４と光ファイバ４５とを備えており、集光レンズ４４と光ファイバ４５との位置関係は上述した第３のレンズ４と光ファイバ５の位置関係と同一となっている。すなわち、治具４０において、集光レンズ４４と光ファイバ４５とは、光ファイバ４５の端面が集光レンズ４４の光軸上であって且つ集光レンズ４４の焦点位置にあるように配置されている。
【００３５】
上記のような治具４０を、筐体２の後壁２Ａに対して実際に第３のレンズ４及び光ファイバ５が配置される位置（設計位置）に配置する。その後、治具４０における光ファイバ４５の他方（集光レンズ４４の反対側）の端面から出射される光が所定の強度となるように、第２のレンズ１４ａの調芯を行う工程を実行する。ここで、第２のレンズ１４ａの初期位置は前工程で決定されており、このとき第２のレンズ１４ａの焦点位置は第１のレンズ１２ａの焦点位置と一致している。よって、第２のレンズ１４ａを通過した光が平行光となっているので、この第２のレンズ１４ａの調芯を行う工程では、所定の光出力が得られるように、第２のレンズ１４ａを光軸に垂直な面内で移動させる調整を行う。具体的には、図４（ｄ）に示されるように、第２のレンズ１４ａを光軸方向に変位させることによって光ファイバ４５の端面に結合される光のパワーが所望の値になるように第２のレンズ１４ａの位置調整を行う。その後、接着剤によって第２のレンズ１４ａを筐体２の内部で固定させる。
【００３６】
以上のように、ＬＤ１１ａに対する第１のレンズ１２ａの位置を決定する工程、第１のレンズ１２ａに対する第２のレンズ１４ａの初期位置を決定する工程、及び第２のレンズ１４ａを調芯する工程を実行した後には、ＬＤ１１ｂに対する第１のレンズ１２ｂの位置を決定する工程、第１のレンズ１２ｂに対する第２のレンズ１４ｂの初期位置を決定する工程、及び第２のレンズ１４ｂを調芯する工程を上記と同様に実行する。ここで、治具４０の筐体２に対する位置は変更しない。
【００３７】
具体的には、（１）ＬＤ１１ｂの出力光が第１のレンズ１２ｂによって平行光となるように、遠点に位置する赤外線カメラ３０を用いて第１のレンズ１２ｂの位置を決定し、（２）第２のレンズ１４ｂを通過した光を赤外線カメラ３０で観測し、この観測した光が平行光となる第２のレンズ１４ｂの位置を第２のレンズ１４ｂの初期位置として決定し、（３）光ファイバ４５が所定の光出力を得るように第２のレンズ１４ｂを光軸に沿ってオフセットしファイバ結合パワーの調整を行った後に第２のレンズ１４ｂを固定する。その後は、上記（１）〜（３）と同一の方法を用いて、第１のレンズ１２ｃ、第２のレンズ１４ｃ、第１のレンズ１２ｄ及び第２のレンズ１４ｄの配置を、この順で行う。
【００３８】
以上のように、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄ及び第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの配置を行った後は、治具４０を筐体２の後壁２Ａから外す。そして、第３のレンズ４及び光ファイバ５を備えた正規の光結合部３を筐体２の後壁２Ａに取り付けて、筐体２に対する光結合部３の調芯を行った後に光結合部３を筐体２に固定させる。従来は筐体と集光レンズとスタブ（フェルール）との３体調芯を行う必要があったが、本実施形態に係る方法では、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの実装時にファイバ結合パワーの調整を既に行っている。よって、第３のレンズ４と、光ファイバ５を保持するファイバスタブ６と、を組み込んだ光結合系を、この光結合系から取り出す光の強度を観測しつつ筐体２の後壁（光結合系が取り付けられる壁）２Ａでスライドさせる。そして、光強度が最大となる光結合系の位置を見出し、当該位置で光結合系を筐体２に溶接によって固定する。
【００３９】
このように溶接による固定を行うための設備として、ＹＡＧ調芯溶接設備を用いることができる。ＹＡＧ調芯溶接設備では、第３のレンズ４と、光結合部３のスリーブと、の光軸方向における位置関係を維持した状態で、筐体２、第３のレンズ４及び上記スリーブの３体調芯を行うことによって、４つの全ての光出力が調整された値のファイバ結合パワーとすることができる。
【００４０】
以上、本実施形態に係る光モジュールの製造方法は、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄのそれぞれを光軸方向に変位させて各第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの調芯を行う工程を備えている。このように第２のレンズ１４ａ〜１４ｄのそれぞれに対して調芯を行うことによって、ＬＤ１１ａ〜１１ｄのそれぞれから出力される各ＬＤ光に対する適正なオフセット量で調芯を行うことができるので、光ファイバ５からの光出力を安定させることができる。
【００４１】
第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの調芯を行う工程では、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄのそれぞれを光軸方向に変位させてファイバ結合パワーの調整を行ったが、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを移動させる方向としては、ＬＤ１１ａ〜１１ｄ側であってもよいし、光ファイバ５側であってもよい。
【００４２】
しかし、図５（ｂ）に示されるように、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを光ファイバ５側（第１のレンズ１２ａ〜１２ｄから離れる方向）に変位させた場合は、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄをＬＤ１１ａ〜１１ｄ側（第１のレンズ１２ａ〜１２ｄに近づく方向）に変位させた場合と比較して、光ファイバ５の結合トレランスを拡大させることができる。よって、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを光ファイバ５側に変位させた場合には光の変化量を低減させることが可能となるので、光ファイバ５からの光出力を一層安定させることができる。ここで、図５（ａ）は第２のレンズ１４ａ〜１４ｄをＬＤ１１ａ〜１１ｄ側に変位させた場合の結合トレランスを示し、図５（ｂ）は第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを光ファイバ５側に変位させた場合の結合トレランスを示している。
【００４３】
また、図６のグラフに示されるように、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄを光ファイバ５側に変位させた場合には、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄをＬＤ１１ａ〜１１ｄ側に変位させた場合と比較して、反射戻り光の光量を低減させることができる。これは、第１のレンズ１２ａ〜１２ｄと第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの間隔が広がるので、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄの光入射面による反射の影響が低減されたことによる。更に、第２のレンズ１４ａ〜１４ｄ及び第３のレンズ４としては、例えば２０ｍｍ程度以上の長い焦点距離を有するレンズを用いることによって、結合トレランスを拡大させる効果と反射戻り光の光量を低減させる効果とを高めることが可能となる。
【符号の説明】
【００４４】
１…光モジュール、２…筐体、３…光結合部、４…第３のレンズ、５…光ファイバ、１１ａ〜１１ｄ…ＬＤ（光源）、１２ａ〜１２ｄ…第１のレンズ、１３…ビームスプリッタ、１４ａ〜１４ｄ…第２のレンズ、１５…第１のＷＤＭフィルタ（光学回路）、１６…第２のＷＤＭフィルタ（光学回路）、１７…ミラー（光学回路）、１８…アイソレータ（光学回路）、１９…偏波合成フィルタ（光学回路）、３０…赤外線カメラ、４０…治具、４４…集光レンズ、４５…光ファイバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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