(57)【要約】【課題】位置ずれ量を特定する作業の作業効率を向上させる。【解決手段】基板１００の標識を撮像して画像データを出力する撮像部４と、標識の対向位置に撮像部４を移動させる移動機構と、画像データに基づく基板の撮像画像を表示部に表示させる表示処理を実行する表示処理部とを備えて、撮像部４の移動量および撮像画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせて基板１００を検査可能に構成され、撮像部４は、基板１００の表面１００ａから入射した画像光Ｌｐを表面１００ａに沿った方向に反射させる反射部４１を備えると共に、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐを受光可能な位置に撮像素子３３が配置されて構成され、表示処理部は、撮像画像内における標識の位置関係が非反射状態の画像光Ｌｐによる画像内における標識の位置関係と同じ位置関係となるように画像データを変換して撮像画像を表示部に表示させる。【選択図】図３
2015087275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系、発光部および撮像素子を有して検査対象の基板に設けられている標識を含む当該基板を撮像して画像データを出力する撮像部と、移動指示に従って前記標識の対向位置に前記撮像部を移動させる移動機構と、前記画像データに基づく前記基板の撮像画像を表示部に表示させる表示処理を実行する表示処理部とを備えて、前記移動機構による前記撮像部の移動量および前記撮像画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせて前記基板を検査する基板検査装置であって、
前記撮像部は、前記基板の表面から入射した当該基板についての画像光を当該表面に沿った方向に反射させる前記光学系としての反射部を備えると共に、当該反射部によって反射された前記画像光を受光可能な位置に前記撮像素子が配置されて構成され、
前記表示処理部は、前記表示処理において、前記撮像画像内における前記標識の位置関係が非反射状態の前記画像光による画像内における前記標識の位置関係と同じ位置関係となるように前記画像データを変換する変換処理を実行して当該撮像画像を前記表示部に表示させる基板検査装置。
【請求項２】
前記反射部は、ハーフミラーで構成され、
前記発光部は、前記ハーフミラーを透過する前記画像光の光路上における前記反射部よりも前記基板から離間する位置に配置されている請求項１記載の基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像部によって撮像した基板の撮像画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせて基板を検査する基板検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した両面基板検査装置が知られている。この両面基板検査装置は、サーボモータによってＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させられる照明具および位置計測用カメラを備えて構成されている。この両面基板検査装置では、基板に設けられている基準マークに対して照明具から照明光を照射し、基準マーク側からの反射光映像を位置計測用カメラによって撮影する。また、この両面基板検査装置では、撮影した映像に基づいて基板の位置ずれ量や位置計測用カメラの配設位置の位置ずれ量を特定し、検査用プローブピンを基板にプロービングさせる際に、特定した位置ずれ量に基づいてプロービング位置を補正する。
【０００３】
ここで、上記の両面基板検査装置では、照明具と、位置計測用カメラを構成するレンズおよび撮像素子とが一直線上に配列されているため、基板から撮像素子までの垂直距離（基板に対して垂直な方向の距離）が長くなる。この場合、例えば、基板が水平面に対して傾斜しているときには、画像が撮像素子に結像する結像位置が本来の結像位置（基板が水平面に対して平行なときの結像位置）から位置ずれすることとなるが、この位置ずれ量は、基板から撮像素子までの垂直距離が長いほど大きくなる。このため、上記の両面基板検査装置では、基板から撮像素子までの垂直距離が長いことに起因して、基板が水平面に対して傾斜しているときに、位置ずれ量の測定精度が低下するおそれがある。
【０００４】
このような課題を解決する手段として、例えば、下記特許文献２に開示されている基板検査装置に配設されている補助カメラが知られている。この補助カメラは、照明ユニットと撮像素子（ＣＣＤ）との間にプリズムが配置されて、基板に対して垂直な入射光（画像光）をプリズムによって基板に平行な向きに反射させて撮像素子に導くように構成されている。このため、この補助カメラの構成を採用することで、基板から撮像素子までの垂直距離を短くすることが可能となる結果、基板が水平面に対して傾斜しているときの位置ずれ量の測定精度を向上させることが可能となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２２１５５０号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】特許３３１３０８５号公報（第６−７頁、第５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、基板に対して垂直な入射光をプリズムによって基板に平行な向きに反射させる構成を採用した基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この基板検査装置では、プリズムによって入射光を反射させることで、画像が左右または上下に反転する。この場合、この基板検査装置において、位置ずれ量を特定する際には、オペレータが、カメラによって撮像された撮像画像を見ながら、カメラの光軸と位置合わせ用の基準マーク（標識）の中心とが一致するようにカメラを移動させる操作を行うことがある。しかしながら、この基板検査装置では、上記したように画像が左右または上下に反転しているため、移動方向を誤認することがあり、このような操作の操作性が悪く、作業効率の向上が困難であるという問題点が存在する。
【０００７】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、位置ずれ量を特定する作業の作業効率を向上し得る基板検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく請求項１記載の基板検査装置は、光学系、発光部および撮像素子を有して検査対象の基板に設けられている標識を含む当該基板を撮像して画像データを出力する撮像部と、移動指示に従って前記標識の対向位置に前記撮像部を移動させる移動機構と、前記画像データに基づく前記基板の撮像画像を表示部に表示させる表示処理を実行する表示処理部とを備えて、前記移動機構による前記撮像部の移動量および前記撮像画像に基づいて特定されるプロービング位置にプローブをプロービングさせて前記基板を検査する基板検査装置であって、前記撮像部は、前記基板の表面から入射した当該基板についての画像光を当該表面に沿った方向に反射させる前記光学系としての反射部を備えると共に、当該反射部によって反射された前記画像光を受光可能な位置に前記撮像素子が配置されて構成され、前記表示処理部は、前記表示処理において、前記撮像画像内における前記標識の位置関係が非反射状態の前記画像光による画像内における前記標識の位置関係と同じ位置関係となるように前記画像データを変換する変換処理を実行して当該撮像画像を前記表示部に表示させる。
【０００９】
また、請求項２記載の基板検査装置は、請求項１記載の基板検査装置において、前記反射部は、ハーフミラーで構成され、前記発光部は、前記ハーフミラーを透過する前記画像光の光路上における前記反射部よりも前記基板から離間する位置に配置されている。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の基板検査装置では、基板の表面から入射した画像光を表面に沿った方向に反射させる光学系としての反射部を備えると共に、反射部によって反射された画像光を受光可能な位置に撮像素子が配置されて撮像部が構成され、表示処理部が、撮像画像内における標識の位置関係が非反射状態の画像光による画像内における標識の位置関係と同じ位置関係となるように画像データを変換して撮像画像を表示部に表示させる。このため、この基板検査装置によれば、左右や上下が反転した状態の撮像画像が表示される構成とは異なり、例えば、移動機構に対する撮像部の移動指示を行って撮像部の光軸を示すカーソルの中心と撮像画像内の標識の中心とを一致させる（位置合わせする）作業における誤操作を確実に防止することができる結果、このような位置合わせの作業効率、ひいては位置ずれ量を特定する作業効率を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、請求項２記載の基板検査装置では、反射部がハーフミラーで構成され、ハーフミラーを透過する画像光の光路上におけるハーフミラーよりも基板から離間する位置に発光部が配置されている。この場合、ハーフミラーを反射部として用いていない構成では、光学系の光軸上に発光部を配置することができないため、光学系の光軸を標識の中心に一致させたときに、標識の正面から照明光を照射することができないこととなる結果、標識に対して十分な照度で照明光を照射させることが困難なことがある。これに対して、この基板検査装置では、光学系の光軸上に発光部を配置することができるため、標識に対して十分な照度で照明光を照射させることができる結果、標識を含む基板の表面を明瞭に撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】基板保持部２、移動機構３および撮像部４の構成を示す平面図である。
【図３】撮像部４の構成を示す断面図である。
【図４】基板１００における標識Ｍの形成部分の平面図である。
【図５】変換処理を実行していない状態の撮像画像Ｇｂの表示画面図である。
【図６】変換処理を実行した状態の撮像画像Ｇａの表示画面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１４】
最初に、基板検査装置の一例としての図１に示す基板検査装置１の構成について説明する。基板検査装置１は、同図に示すように、基板保持部２、移動機構３、撮像部４、表示処理部５、表示部６、操作部７、記憶部８および制御部９を備えて、検査対象の基板１００に対する検査を実行可能に構成されている。
【００１５】
基板保持部２は、図２に示すように、基板１００を載置可能な載置台１１と、載置台１１に載置された基板１００の縁部を挟み込んで載置台１１に固定する固定部１２とを備えて基板１００を保持可能に構成されている。
【００１６】
移動機構３は、制御部９の制御に従って撮像部４を移動可能に構成されると共に、制御部９の制御に従ってプローブ５１（図１，２参照）を移動（プロービング）可能に構成されている。具体的には、移動機構３は、図２に示すように、第１駆動部２１、第２駆動部２２および支持板２３を備えて構成されている。なお、基板検査装置１は、第２駆動部２２および支持板２３をそれぞれ複数備えて、複数のプローブ５１をプロービングさせて検査を行うように構成されているが、発明の理解を容易とするため、第２駆動部２２および支持板２３をそれぞれ１つだけ図示して、各第２駆動部２２および各支持板２３のうちのそれぞれ１つについてのみ、以下説明する。
【００１７】
第１駆動部２１は、基板保持部２における載置台１１の載置面１１ａ（載置面１１ａに載置された基板１００の表面１００ａ）に平行な方向（ＸＹ方向：図２参照）に支持板２３を移動させる。第２駆動部２２は、同図に示すように、支持板２３に取り付けられている。また、第２駆動部２２は、プローブ５１を固定可能に構成されて、基板保持部２における載置台１１の載置面１１ａに対して垂直な方向（Ｚ方向）にプローブ５１を移動させる。支持板２３は、図２，３に示すように、基板保持部２における載置台１１の載置面１１ａ（載置面１１ａに載置された基板１００の表面１００ａ）と表面２３ａが平行な状態（平行状態）に配置され、この平行状態で第１駆動部２１によって移動させられる。
【００１８】
撮像部４は、図２，３に示すように、移動機構３の支持板２３に取り付けられて、移動機構３の第１駆動部２１によってＸＹ方向（図２参照）に移動させられる。なお、図３では、図２におけるＡ−Ａ線で切断した状態で各構成要素を図示すると共に、第２駆動部２２およびプローブ５１の図示を省略している。
【００１９】
また、撮像部４は、制御部９の制御に従って基板１００に設けられている標識Ｍを含む基板１００の表面１００ａを撮像して画像データＤｇを出力する。具体的には、撮像部４は、図３に示すように、光学系３１、発光部３２および撮像素子３３を備え、これらの構成要素が筐体３４内に配設されて構成されている。
【００２０】
光学系３１は、図３に示すように、反射部４１およびレンズ４２を備えて構成されている。反射部４１は、一例として、板状のハーフミラーで構成されている。また、反射部４１は、同図に示すように、基板保持部２における載置台１１の載置面１１ａ（載置面１１ａに載置された基板１００の表面１００ａ：つまり、撮像部４が取り付けられている移動機構３における支持板２３の表面２３ａ）に対して反射面４１ａが４５°傾斜するように筐体３４内に配置され、基板１００の表面１００ａに対して垂直（または、ほぼ垂直）な方向に沿って基板１００から入射した標識Ｍを含む基板１００についての画像光Ｌｐを基板１００の表面１００ａ（つまり、移動機構３における支持板２３の表面２３ａ）に沿って（表面１００ａに平行または、ほぼ平行な方向に）反射させる。レンズ４２は、筐体３４内における反射部４１と撮像素子３３との間に配置されて反射部４１によって反射された画像光Ｌｐを撮像素子３３の受光面３３ａに結像させる。
【００２１】
発光部３２は、一例として、ＬＥＤ（発光ダイオード）を備えて構成されて、図３に示すように、照明光Ｌｌを射出する。また、発光部３２は、同図に示すように、筐体３４内における光学系３１の反射部４１よりも基板１００から離間する位置（この例では、反射部４１の上方）に配置されている。この基板検査装置１では、反射部４１が、ハーフミラーで構成されているため、発光部３２から射出された照明光Ｌｌは、反射部４１を透過して基板１００に照射される。
【００２２】
撮像素子３３は、一例としてＣＣＤ（電荷結合素子）で構成されている。また、撮像素子３３は、図３に示すように、光学系３１の反射部４１によって反射された画像光Ｌｐを受光可能に筐体３４内に配置されて、画像光Ｌｐを受光して画像データＤｇを出力する。具体的には、撮像素子３３は、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐの光路上において、受光面３３ａが支持板２３の表面２３ａに対して直交し、かつ同図における撮像素子３３の上下方向が図５に示す表示部６の表示画面（同図に示す矩形の枠）における左右方向となるように配置されている。
【００２３】
表示処理部５は、制御部９の制御に従い、撮像部４から出力された画像データＤｇに基づく標識Ｍを含む基板１００の撮像画像Ｇａ（図６参照）を表示させるための表示用データＤｄを生成して表示部６に出力することによって撮像画像Ｇａを表示部６に表示させる表示処理を実行する。この場合、表示処理部５は、表示処理において、画像データＤｇに基づく撮像画像Ｇａ内における標識Ｍの位置関係が、非反射状態の画像光Ｌｐによる画像（基板１００の表面１００ａから入射した画像光Ｌｐをそのまま撮像素子３３で受光して表示させたときの画像）内における標識Ｍの位置関係と同じ位置関係で表示部６に表示されるように、画像データＤｇに対して変換処理を行って表示用データＤｄを生成する。
【００２４】
表示部６は、表示処理部５から出力される表示用データＤｄに基づく撮像画像Ｇａを表示すると共に、検査結果を示す画像を表示する。
【００２５】
操作部７は、基板１００と撮像部４との位置ずれ量を特定する特定処理の実行を指示する操作ボタン、撮像部４の移動指示をするための操作ボタン、および検査処理の実行を指示するための操作ボタンなどを備え、これらの操作ボタンが操作されたときに操作信号を出力する。
【００２６】
記憶部８は、基板１００における標識Ｍの位置（設計上の位置）を示す標識位置データＤｍ、プローブ５１をプロービングさせる基板１００上の位置として予め決められた位置を示すプロービング位置データＤｐを記憶する。また、制御部９の制御に従い、制御部９によって実行される特定処理において特定される位置ずれ量を示す位置ずれ量データＤａを記憶する。
【００２７】
制御部９は、操作部７から出力される操作信号に従って基板検査装置１を構成する各構成要素を制御する。また、制御部９は、基板１００と撮像部４との位置ずれ量を特定する特定処理を実行する。また、制御部９は、プローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する検査処理を実行する。
【００２８】
次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する方法、およびその際の基板検査装置１の各部の動作について、図面を参照して説明する。
【００２９】
まず、図２に示すように、基板保持部２の載置台１１における載置面１１ａの予め決められた位置（例えば、中央部）に基板１００を位置合わせしつつ載置する。次いで、基板保持部２の固定部１２で基板１００の縁部を挟み込んで基板１００を載置台１１に固定する。これにより基板１００が基板保持部２に保持される。
【００３０】
続いて、操作部７を操作して基板１００と撮像部４との位置ずれ量を特定する特定処理の実行を指示する。この際に、操作部７が操作信号を出力し、制御部９が操作信号に従って特定処理を実行する。この特定処理では、制御部９は、記憶部８から標識位置データＤｍを読み出して、基板１００における標識Ｍの位置（設計上の位置）を特定する。次いで、制御部９は、移動機構３の第１駆動部２１を制御して、支持板２３をＸＹ方向に移動させることにより、標識Ｍの対向位置（上方の位置）に撮像部４における光学系３１の反射部４１を位置させる。
【００３１】
続いて、制御部９は、撮像部４を制御して標識Ｍを含む基板１００を撮像させる。具体的には、制御部９は、撮像部４の発光部３２を発光させる。この際に、図３に示すように、発光部３２から照射された照明光Ｌｌがハーフミラーで構成されている光学系３１の反射部４１を透過して標識Ｍを含む基板１００の表面１００ａに照射される。
【００３２】
ここで、ハーフミラーを反射部４１として用いていない従来の構成では、光学系３１の光軸上に発光部３２を配置することができない（光学系３１の光軸を標識Ｍの中心に一致させたときに、標識Ｍの正面から照明光Ｌｌを照射することができない）ため、一般的に、リング状の発光部を用いて光学系３１の光軸の周囲から照明光Ｌｌを標識Ｍに対して照射する構成が採用されている。このため、従来のこの構成では、標識Ｍに対して十分な照度で照明光Ｌｌを照射させることが困難なことがある。これに対して、この基板検査装置１では、反射部４１がハーフミラーで構成されているため、光学系３１の光軸上に発光部３２を配置することが可能となっている。したがって、この基板検査装置１では、標識Ｍに対して十分な照度で照明光Ｌｌを照射させることができる結果、標識Ｍを含む基板１００の表面１００ａを明瞭に撮像することが可能となっている。
【００３３】
次いで、照射された照明光Ｌｌが表面１００ａで反射して、画像光Ｌｐとして反射部４１に入射する。続いて、反射部４１が、基板１００の表面１００ａに垂直（または、ほぼ垂直）な方向に沿って表面１００ａから入射した画像光Ｌｐを、基板１００の表面１００ａに沿って（表面１００ａに平行またはほぼ平行な方向に）反射させる。次いで、レンズ４２が、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐを撮像素子３３の受光面３３ａに結像させ、撮像素子３３が、画像光Ｌｐに基づいて画像データＤｇを生成して出力する。
【００３４】
続いて、制御部９は、表示処理部５を制御して表示処理を実行させる。この表示処理では、表示処理部５は、撮像部４から出力された画像データＤｇに基づく標識Ｍを含む基板１００の撮像画像Ｇａを表示部６に表示させるための表示用データＤｄを生成する。この場合、表示処理部５は、表示処理において、画像データＤｇに対して変換処理を行うことにより、画像データＤｇに基づく撮像画像Ｇａ内における標識Ｍの位置関係が、非反射状態の画像光Ｌｐによる画像内における標識Ｍの位置関係と同じ位置関係で表示部６に表示させる表示用データＤｄを生成する。また、表示処理部５は、撮像部４（光学系３１および撮像素子３３）の光軸の位置を示すカーソルＣ（図６参照））を表示させる情報を含めて表示用データＤｄを生成する。
【００３５】
ここで、この基板検査装置１では、図３に示すように、支持板２３の表面２３ａ（基板１００の表面１００ａ）に対して反射面４１ａが４５°傾斜するように反射部４１が配置されている。また、この基板検査装置１では、受光面３３ａが支持板２３の表面２３ａに対して直交し、かつ同図における撮像素子３３の上下方向が図５に示す表示部６の表示画面（同図に示す矩形の枠）における左右方向となるように撮像素子３３が配置されている。したがって、図５に示すように、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐが受光面３３ａに結像した状態の撮像画像Ｇｂをそのまま（つまり、変換処理を実行することなく）表示部６に表示させたときには、基板１００を上方から平面視した画像（図４に示す画像Ｇｃ）とは左右方向が反転することとなる。より具体的には、図４，５に示すように、撮像画像Ｇｂ内における各画像構成要素の位置関係と、画像Ｇｃにおける各画像構成要素の位置関係とが、各画像Ｇｂ，Ｇｃ（反射部４１の反射面４１ａでもある。）における左右方向の中心線Ｓを対称軸として線対称となっている。つまり、撮像画像Ｇｂは、中心線Ｓを中心として画像Ｇｃの左右を反転させた画像となっている。
【００３６】
このため、この基板検査装置１では、表示処理部５は、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐが受光面３３ａに結像した画像（図５に示す撮像画像Ｇｂ）の左右方向の中心線Ｓを中心としてその画像の左右を反転させることで、表示部６に表示される撮像画像Ｇａ（図６参照）内における標識Ｍの左右の位置関係が、非反射状態の画像光Ｌｐによる画像（図４参照）内における標識Ｍの左右の位置関係と同じ位置関係となるように画像データＤｇに対して変換処理を行って表示用データＤｄを生成する。
【００３７】
次いで、制御部９が表示用データＤｄを表示部６に出力することにより、図６に示すように、表示用データＤｄに基づく撮像画像Ｇａが撮像部４の光軸を示すカーソルＣと共に表示部６に表示される。この場合、表示処理部５が、表示処理において上記した変換処理を行って表示用データＤｄを生成するため、同図に示すように、非反射状態の画像光Ｌｐによる画像（図４に示す基板１００を上方から平面視した画像Ｇｃ）と標識Ｍの左右の位置関係が同じである撮像画像Ｇａが表示部６に表示される。
【００３８】
続いて、操作部７を操作して、撮像部４の光軸を示すカーソルＣの中心と撮像画像Ｇａ内の標識Ｍの中心とが一致するように移動機構３に対する撮像部４（支持板２３）の移動指示を行う。この際に、制御部９が操作信号に応じて移動機構３を制御して、撮像部４を移動させる。次いで、制御部９は、移動機構３による移動量を位置ずれ量として特定して、その位置ずれ量を示す位置ずれ量データＤａを記憶部８に記憶させる。以上により特定処理が終了する。
【００３９】
この場合、左右が反転した状態の撮像画像Ｇｂ（図５参照）が表示される構成では、例えば、標識Ｍの中心が撮像部４の光軸に対して左側に位置ずれしているときに、撮像画像Ｇｂ内における標識Ｍの中心が撮像部４の光軸を示すカーソルＣの中心に対して右側に位置ずれしているように表示される（同図参照）。このため、移動機構３に対する撮像部４の移動指示を行ってカーソルＣの中心と標識Ｍの中心とを一致させる位置合わせの作業を行う際に、実際には左側に位置ずれしている標識Ｍに向けて撮像部４を左向きに移動させるべきところ、それとは逆の右向きに移動させるような誤操作を行うおそれがある。つまり、操作者の意図に反してカーソルＣの中心と標識Ｍとがさらに大きく位置ずれするおそれがある。
【００４０】
これに対して、この基板検査装置１では、制御部９が、表示処理において画像データＤｇに対して変換処理を行って表示用データＤｄを生成することにより、非反射状態の画像光Ｌｐによる画像（基板１００を上方から平面視した画像Ｇｃ（図４参照））と標識Ｍの左右の位置関係が同じである撮像画像Ｇａ（図６参照）を表示部６に表示させることができる。つまり、上記のように、標識Ｍの中心が撮像部４の光軸に対して左側に位置ずれしているときには、撮像画像Ｇａ内においても、標識Ｍの中心が撮像部４の光軸を示すカーソルＣの中心に対して左側に位置ずれしているように表示される。このため、この基板検査装置１では、上記した位置合わせの作業において、誤操作が確実に防止されて、操作者の意図どおりにカーソルＣの中心と標識Ｍの中心とを確実かつ容易に一致させることができる結果、このような位置合わせの作業効率、ひいては位置ずれ量を特定する作業効率を十分に向上させることが可能となっている。
【００４１】
続いて、操作部７を操作して、検査処理の実行を指示する。この際に、操作部７が、操作信号を出力し、制御部９が、操作信号に従って検査処理を実行する。この検査処理では、制御部９は、プロービング位置データＤｐを記憶部８から読み出して、プロービング位置を特定する。また、制御部９は、位置ずれ量データＤａを記憶部８から読み出して、位置ずれ量を特定する。
【００４２】
次いで、制御部９は、プロービング位置を位置ずれ量で補正する。続いて、制御部９は、移動機構３の第１駆動部２１を制御して、補正後のプロービング位置の上方にプローブ５１を移動させる。次いで、制御部９は、移動機構３の第２駆動部２２を制御して、基板１００の表面１００ａに向けて移動（下降）させて、補正後のプロービング位置にプローブ５１をプロービングさせる。
【００４３】
続いて、制御部９は、図外の信号供給部を制御して検査用の電気信号を出力させてプローブ５１を介して基板１００に供給させ、その際にプローブ５１を介して入力した電気信号を検出する。次いで、制御部９は、出力させた検査用の電気信号の物理量（例えば、電圧値）と入力した電気信号の物理量（例えば、電流値）とに基づいて抵抗値を算出し、その抵抗値に基づいて、基板１００の良否（基板１００における導体パターンの絶縁状態の良否や導通状態の良否）を検査する。続いて、制御部９は、表示処理部５を制御して、検査結果を示す表示用データＤｄを生成させて表示部６に出力させる。これにより、表示部６に検査結果が表示される。
【００４４】
このように、この基板検査装置１では、基板１００の表面１００ａから入射した画像光Ｌｐを表面１００ａに平行な方向に反射させる反射部４１を備えると共に、反射部４１によって反射された画像光Ｌｐを受光可能な位置に撮像素子３３が配置されて撮像部４が構成され、表示処理部５が、撮像画像Ｇａ内における標識Ｍの位置関係が非反射状態の画像光Ｌｐによる画像内における標識Ｍの位置関係と同じ位置関係となるように画像データＤｇを変換して撮像画像Ｇａを表示部６に表示させる。このため、この基板検査装置１によれば、左右が反転した状態の撮像画像Ｇｂが表示される構成とは異なり、例えば、移動機構３に対する撮像部４の移動指示を行って撮像部４の光軸を示すカーソルＣの中心と撮像画像Ｇａ内の標識Ｍの中心とを一致させる（位置合わせする）作業における誤操作を確実に防止することができる結果、このような位置合わせの作業効率、ひいては位置ずれ量を特定する作業効率を十分に向上させることができる。
【００４５】
また、この基板検査装置１では、反射部４１がハーフミラーで構成され、ハーフミラーを透過する画像光Ｌｐの光路上における反射部４１よりも基板１００から離間する位置に発光部３２が配置されている。この場合、ハーフミラーを反射部４１として用いていない構成では、光学系３１の光軸上に発光部３２を配置することができないため、光学系３１の光軸を標識Ｍの中心に一致させたときに、標識Ｍの正面から照明光Ｌｌを照射することができないこととなる結果、標識Ｍに対して十分な照度で照明光Ｌｌを照射させることが困難なことがある。これに対して、この基板検査装置１では、光学系３１の光軸上に発光部３２を配置することができるため、標識Ｍに対して十分な照度で照明光Ｌｌを照射させることができる結果、標識Ｍを含む基板１００の表面１００ａを明瞭に撮像することができる。
【００４６】
なお、基板検査装置１は、上記の構成に限定されない。例えば、反射部４１をハーフミラーで構成した例について上記したが、ハーフミラー以外のビームスプリッタ（反射光と透過光の比率が１：１以外の比率のビームスプリッタ）で構成した反射部を採用することもできる。また、全反射ミラーで構成した反射部を採用し、例えばリング状の発光部を反射部と基板１００との間に配置する構成を採用することもできる。
【００４７】
また、反射部４１による画像光Ｌｐの反射によって画像の左右が反転する例について上記したが、反射部４１における反射面４１ａの向き（傾斜方向）によっては、画像における上下方向の中心線を中心として画像の上下が反転することもある。このような構成を採用するときには、表示処理部５が、表示処理において、撮像画像Ｇａ内における標識Ｍの上下の位置関係が非反射状態の画像光Ｌｐによる画像内における標識Ｍの上下の位置関係と同じ位置関係となるように画像データＤｇを変換して撮像画像Ｇａを表示部６に表示させることで、上記した各効果を実現することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１  基板検査装置
３  移動機構
４  撮像部
５  表示処理部
６  表示部
７  操作部
３１  光学系
３２  発光部
３３  撮像素子
４１  反射部
５１  プローブ
１００  基板
１００ａ  表面
Ｄｇ  画像データ
Ｇａ  撮像画像
Ｌｐ  画像光
Ｍ  標識
【図１】
2015087275.tif 000003
【図２】
2015087275.tif 000004
【図３】
2015087275.tif 000005
【図４】
2015087275.tif 000006
【図５】
2015087275.tif 000007
【図６】
2015087275.tif 000008