(57)【要約】【課題】球形に近く、且つ粒子それぞれが均一な大きさを有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子およびその合成方法を提供する。【解決手段】本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法は、水熱合成法を応用したものであり、ジスプロシウム塩化物を製造する段階と、ジスプロシウム塩化物を水溶液に混合してジスプロシウム塩化物水溶液を形成する段階と、  ジスプロシウム塩化物水溶液を反応させて、ジスプロシウムカーボネート粒子を析出する段階と、ジスプロシウムカーボネート粒子を熱処理する段階とを含む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ジスプロシウム塩化物を製造する段階と、
前記ジスプロシウム塩化物を水溶液に混合してジスプロシウム塩化物水溶液を形成する段階と、
前記ジスプロシウム塩化物水溶液を反応させて、ジスプロシウムカーボネート粒子を析出する段階と、
前記ジスプロシウムカーボネート粒子を熱処理する段階と、を含む、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項２】
前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、ジスプロシウム酸化物が溶解されている溶液を乾燥させる段階を含む、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項３】
前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、
マイクロ単位以上の粒径を有するジスプロシウム酸化物の一次粒子を準備する段階と、
前記一次粒子を酸性溶液に溶解させる段階と、
前記ジスプロシウム酸化物の一次粒子が溶解されている酸性溶液を９０℃以下の温度で乾燥させる段階と、を含む、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項４】
前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、数百ナノメートル以上の単位サイズを有するジスプロシウム酸化物の一次粒子を塩酸に溶解させる段階を含む、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項５】
前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は４０ｎｍ以下の粒径を有する、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項６】
前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は１５ｎｍ〜２５ｎｍの粒径を有する、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項７】
前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、水熱合成法を用いて形成されたものである、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項８】
前記ジスプロシウムカーボネート粒子を析出する段階は、前記ジスプロシウム塩化物水溶液を７５℃〜９５℃の温度で加熱する段階を含む、請求項１に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法。
【請求項９】
ナノメートル単位の粒径を有するように水熱合成法（ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ  ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ｍｅｔｈｏｄ）を用いて合成される、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子。
【請求項１０】
積層セラミックキャパシタの素子本体製造用の添加剤として用いられる、請求項９に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子。
【請求項１１】
ジスプロシウム塩化物を製造し、前記ジスプロシウム塩化物を尿素水に混合して混合液を形成し、前記混合液を攪拌および加熱して、ジスプロシウムカーボネートを析出した後、前記ジスプロシウムカーボネート粒子を熱処理することで形成される、請求項９に記載のジスプロシウム酸化物ナノ粒子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子およびその合成方法に関し、より詳細には、均一な球形を有し、且つナノメートル単位の粒径に微粒化したジスプロシウム酸化物ナノ粒子およびその合成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、携帯用電子機器の小型化、軽量化、および多機能化の傾向に伴い、このような電子機器に用いられる積層セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ  Ｌａｙｅｒ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｃａｐａｃｉｔｏｒ；ＭＬＣＣ）などのチップ部品もまたこのような傾向に応えるために開発されている。積層セラミックキャパシタの小型化、軽量化および多機能化のためには、誘電体チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）の薄膜化および高積層化を具現する必要があるが、これを具現する過程において、チップ部品の容量特性低下および信頼性低下などによる付加的な問題が生じる。現在、積層セラミックキャパシタの静電容量を高めるために、誘電体の主成分となるチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）とともに様々な種類の添加剤を添加して素子本体を製造することで、チップ部品の特性向上を図っている。
【０００３】
このような添加剤のうちジスプロシウム酸化物（Ｄｙ２Ｏ３）粒子は、誘電体層上において酸素の移動度（ｍｏｂｉｌｉｔｙ）を減少させて積層セラミックキャパシタの寿命信頼性を向上させるために用いられる。その他にも、ジスプロシウム酸化物粒子は、その固有の物理的特性および化学的特性により、蛍光粉末活性剤、巨大磁気変形合金、磁気光学貯蔵材料、中性子吸収剤、金属添加剤、光学ガラス、研磨剤、減速材、水素吸蔵剤、およびそのほかの高温／高強度セラミックなどに応用できる材料である。
【０００４】
ジスプロシウム酸化物粒子を積層セラミックキャパシタのような小型チップ部品に使用するためには、粒子それぞれが均一な球形の粒子形態を有する必要があり、その大きさもまたナノメートル単位サイズに微粒化することが好ましい。特に、最近のチップ部品の傾向に応えるためには、ジスプロシウム酸化物粒子は、１００ｎｍ以下の粒径を有するとともに、粒子それぞれの大きさが均一、且つ球形に近い形態を有することが理想的である。しかし、従来の合成法ではこのような要件に応えるジスプロシウム酸化物粒子を合成することが困難である。
【０００５】
図１は機械的粉砕法を用いて合成されたジスプロシウム酸化物粒子を示す写真である。図１を参照すると、従来技術の一例として、いわゆるトップダウン法（ｔｏｐ‐ｄｏｗｎ）と称する機械的粉砕法を用いて合成されたジスプロシウム酸化物粒子の場合、それぞれの粒子の形態が不規則で、互いに凝集していることが確認される。これは、機械的粉砕の場合、粒径の大きいジスプロシウム酸化物を数十ナノメートルサイズに粉砕すること自体が非常に難しいだけでなく、機械的な方式による粒子の分解は、均一な形態の微粒子を合成することに限界があるためである。
【０００６】
図２はゾルゲル法を用いて合成されたジスプロシウム酸化物粒子を示す写真である。図２を参照すると、従来技術の他の例として、ゾルゲル法を用いてジスプロシウム酸化物粒子を合成する方法は、有機溶媒とジスプロシウム-有機物複合体を反応させて、有機成分である界面活性剤がジスプロシウム酸化物粒子の表面にコーティングされたナノメートル単位の板状のジスプロシウム酸化物を合成する方法である。しかし、ゾルゲル法は、略７０℃内外の温度で、有機溶媒とジスプロシウム-有機物複合体を４時間反応させなければならないため、合成時間が非常に長いという欠点がある。また、有機溶媒上で不純物を除去するために真空雰囲気で略１時間程度の処理が必要となるだけでなく、３２０℃で６時間の反応工程が必要となり、工程条件が複雑で、その収率もまた低い。このような複雑な工程条件のわりには、最終に合成されたジスプロシウム酸化物粒子は、ほとんどが球形ではなく、長い棒状またはチューブ（ｔｕｂｅ）状に合成され、チップ部品の素子本体製造用の添加剤として使用するには不適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】韓国公開特許第２０１０-０１２２２２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明が解決しようとする課題は、球形に近く、且つ粒子それぞれが均一な大きさを有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子およびその合成方法を提供することにある。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題は、ナノメートル単位の粒径を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子を効率的に大量生産できるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法を提供することにある。
【００１０】
本発明が解決しようとする課題は、合成時間を大幅に短縮できるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るジスプロシウム酸化物粒子は、ナノメートル単位の粒径を有するように水熱合成法（ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ  ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ｍｅｔｈｏｄ）を用いて合成されたものである。
【００１２】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、積層セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ  Ｌａｙｅｒ  Ｃｅｒａｍｉｃ  Ｃａｐａｃｉｔｏｒ；ＭＬＣＣ）の素子本体製造用の添加剤として用いられることができる。
【００１３】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、ジスプロシウム塩化物（Ｄｙ２Ｏ３  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）を製造し、前記ジスプロシウム塩化物を尿素水に混合して混合液を形成し、前記混合液を攪拌および加熱して、ジスプロシウムカーボネート（Ｄｙ２（ＣＯ３）３）を析出した後、前記ジスプロシウムカーボネート粒子を熱処理することで形成されることができる。
【００１４】
本発明に係るジスプロシウム酸化物粒子の合成方法は、ジスプロシウム塩化物（Ｄｙ２Ｏ３  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）を製造する段階と、前記ジスプロシウム塩化物を水溶液に混合してジスプロシウム塩化物水溶液を形成する段階と、前記ジスプロシウム塩化物水溶液を反応させて、ジスプロシウムカーボネート粒子を析出する段階と、前記ジスプロシウムカーボネート粒子を熱処理する段階と、を含む。
【００１５】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、ジスプロシウム酸化物が溶解されている溶液を乾燥させる段階を含むことができる。
【００１６】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、マイクロ単位以上の粒径を有するジスプロシウム酸化物の一次粒子を準備する段階と、前記一次粒子を酸性溶液に溶解させる段階と、前記ジスプロシウム酸化物の一次粒子が溶解されている酸性溶液を９０℃以下の温度で乾燥させる段階と、を含むことができる。
【００１７】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、数百ナノメートル以上の単位サイズを有するジスプロシウム酸化物の一次粒子を塩酸（ＨＣＬ）に溶解させる段階を含むことができる。
【００１８】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は４０ｎｍ以下の粒径を有することができる。
【００１９】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は１５ｎｍ〜２５ｎｍの粒径を有することができる。
【００２０】
本発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、水熱合成法（ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ  ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ｍｅｔｈｏｄ）を用いて形成されたものであることができる。
【００２１】
発明の実施形態によれば、前記ジスプロシウムカーボネート粒子を析出する段階は、前記ジスプロシウム塩化物水溶液を７５℃〜９５℃の温度で加熱する段階を含むことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、ナノメートル単位の粒径を有し、且つ、粒子それぞれが均一な球形を有することで、積層セラミックキャパシタのようなチップ部品の添加剤の材料として用いられることができる。
【００２３】
本発明に係るジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法によれば、水熱合成法を応用することで、均一な球形を有し、且つナノメートル単位の粒径を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子を大量生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】機械的粉砕法を用いて合成されたジスプロシウム酸化物粒子を示す写真である。
【図２】ゾルゲル法を用いて合成されたジスプロシウム酸化物粒子を示す写真である。
【図３】本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子を示す写真である。
【図４】本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成過程においてジスプロシウム塩化物を乾燥させた状態を示す写真である。
【図６】図３のジスプロシウム酸化物ナノ粒子をＸ線回折分析法（ＸＲＤ）で測定して確認した結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の利点及び特徴、そしてそれらを果たす方法は、添付図面とともに詳細に後述される実施形態を参照すると明確になるであろう。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されず、相異なる多様な形態で具現されることができる。本実施形態は、本発明の開示が完全になるようにするとともに、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に伝達するために提供されることができる。明細書全体において、同一参照符号は同一構成要素を示す。
【００２６】
本明細書で用いられる用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を限定しようとするものではない。本明細書で、単数型は文句で特別に言及しない限り複数型も含む。明細書で用いられる「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」及び／または「含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」は言及された構成要素、段階、動作及び／または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。
【００２７】
また、本明細書に記述する実施形態は、本発明の理想的な例示図である断面図および／または平面図を参照して説明する。図面において、膜および領域の厚さは技術的内容の効果的な説明のために誇張されたものであり、許容誤差などによって例示図の形態が多少変形されることがある。したがって、本発明の実施形態は、図示された特定の形態に制限されるものではなく製造工程によって生成される形態の変化も含む。例えば、直角に示された蝕刻領域は、ラウンド状であるか所定の曲率を有する形態であってもよい。
【００２８】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子およびその合成方法について詳細に説明する。
【００２９】
図３は本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子を示す写真である。図３を参照すると、本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、略ナノメートル単位の粒径を有し、また、それぞれの粒径は、大体均一であることができる。特に、図３に示されたように、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子それぞれは、球形（ｓｐｈｅｒｅ）であるか球形に非常に近い形状を有しており、非常に均一な粒子形態をなすことができる。また、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、略４０ｎｍ以下、さらに、３０ｎｍ以下の粒径を有することができ、その平均粒径は、略１５ｎｍ〜２５ｎｍであることができる。この際、前記ナノ粒子は大体球形を有するため、前記のような粒径の数値は粒子の平均直径を意味することができる。
【００３０】
このようなジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、図１および図２を参照して説明した機械的粉砕法またはゾルゲル法などの従来技術により合成されたジスプロシウム酸化物粒子に対し、ナノメートル単位の粒径を有し、且つ粒子それぞれが非常に均一な球形を有することを確認することができる。
【００３１】
前記のような本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、水熱合成法（ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ  ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ  ｍｅｔｈｏｄ）を用いて合成されることができる。水熱合成法は、液相合成法の一つであって、高温高圧雰囲気で水または所定の溶液を用いて物質を合成する工程であってもよい。水熱合成法を利用する場合、機械的粉砕法またはゾルゲル法などの方法を利用する場合に比べ、ジスプロシウム酸化物ナノ粒子を効率的に合成することができるが、通常の方法では、粒子間の密集化によってナノメートル単位の粒径を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成が困難になる虞がある。しかし、本発明は、通常の水熱合成法を応用して、数十ｎｍ〜数百ｎｍ、好ましくは４０ｎｍ以下の粒径を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子を合成した。このようなジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法については後述する。
【００３２】
上述のジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、様々な分野において用いられることができる。特に、積層セラミックキャパシタ（ＭＬＣＣ）のようなチップ部品の素子本体は、普通チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）を主成分として製造されるが、チップ部品の容量およびその他のチップの特性をさらに高めるために、ジスプロシウム酸化物粒子を添加剤として使用することができる。したがって、図３に示されたように、本発明のジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、チップ部品の素子本体製造用の添加剤として充分に用いられることができる。
【００３３】
上述したように、本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、ナノメートル単位の粒径を有し、且つ、粒子それぞれが均一な球形を有することで、積層セラミックキャパシタのようなチップ部品製造用の添加剤の材料として好適である。これにより、本発明に係るジスプロシウム酸化物ナノ粒子は、ナノメートル単位の粒径を有し、且つ、粒子それぞれが均一な球形を有することで、積層セラミックキャパシタのようなチップ部品の添加剤の材料として用いられることができる。
【００３４】
次に、本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法について詳細に説明する。ここで、上述のジスプロシウム酸化物ナノ粒子について重複する内容は省略または簡素化することがある。
【００３５】
図４は本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法を示すフローチャートである。また、図５は本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成過程においてジスプロシウム塩化物を乾燥させた状態を示す写真であり、図６は図３のジスプロシウム酸化物ナノ粒子をＸ線回折分析法（ＸＲＤ）で測定して確認した結果を示すグラフである。
【００３６】
図４を参照すると、まず、ジスプロシウム塩化物（ｄｙｓｐｒｏｓｉｕｍ  ｃｈｌｏｒｉｄｅ）を製造することができる（Ｓ１１０）。ジスプロシウム塩化物を製造する段階は、ジスプロシウム酸化物の一次粒子を準備する段階と、前記ジスプロシウム酸化物の一次粒子を酸性溶液に溶解させて水溶液を準備する段階と、前記水溶液を乾燥させる段階と、を含むことができる。前記ジスプロシウム酸化物の一次粒子としては、相対的に粒径が大きく、不規則な形状を有するジスプロシウム粒子が用いられることができる。一例として、前記ジスプロシウム酸化物の一次粒子としては、マイクロ単位以上の粒径を有し、且つ不規則な形態を有するジスプロシウム酸化物粒子が用いられることができる。前記酸性溶液としては、塩酸（ＨＣＬ）などの酸（ａｃｉｄ）が用いられることができる。前記のような工程により、図５に示されたように、小さくて均一なナノ粒子が形成されることを確認した。
【００３７】
ここで、前記水溶液を乾燥させる段階は、前記クロライドイオンと酸性溶液との反応の影響による粒子の密集化現象を防止するために付加した工程であってもよい。より具体的に、ジスプロシウム塩化物水溶液を準備する過程において、過量の酸性溶液にジスプロシウム酸化物を反応させた後、これを水に希釈すると、過量の酸によってクロライドイオン（Ｃｌ−）が過量で存在するようになり、このように発生したクロライドイオンは、正電荷を帯びるナノ粒子の周辺において対イオンとして作用し、ナノ粒子の電気二重層を減少させる。そのため、ジスプロシウム酸化物粒子は、粒子の凝集化および密集化によってその大きさが大きくなり、最終に合成されたそれぞれの粒子もまた不規則な形態を有する。一方、過量の酸において尿素の加水分解が起こり、多量のヒドロキシドイオン（ＯＨ−）が発生することがある。この場合、発生したヒドロキシドイオンとジスプロシウムイオンが結合してジスプロシウムヒドロキシド（Ｄｙ（ＯＨ）３）が形成される。このように形成されたヒドロキシド（ＯＨ−）は、析出された粒子が互いに結合して密集化する傾向を強くして、ナノメートル単位サイズの均一なジスプロシウム酸化物ナノ粒子を合成し難くする。
【００３８】
前記のような問題を解決するために、本発明は、製造された水溶液を乾燥させる段階を追加することで、クロライドイオンの影響と過量の酸の影響を減少できるようにした。これにより、上述の析出された粒子の密集化の傾向を最小化して、効率的に微粒化したジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成を可能にした。
【００３９】
ジスプロシウム塩化物を水溶液に混合および反応させて、ジスプロシウムカーボネート（Ｄｙ２（ＣＯ３）３）を析出することができる（Ｓ１２０）。一例として、前記製造されたジスプロシウム塩化物を尿素水（ｕｒｅａ）または水に混合して混合液を製造することができる。前記混合液を略７５℃〜９５℃の温度条件で攪拌して反応させることができる。この際、好ましい温度は、略９０℃内外である。攪拌時間は、略１０分から４０分程度に調節することができる。このような反応工程は、４０分以内で完了が可能であるため、従来の機械的粉砕法またはゾルゲル法に比べ、工程時間を大幅に短縮することができる。
【００４０】
前記のような反応工程により、尿素水が加水分解されて発生するカーボネートイオン（ＣＯ３２−）と、ジスプロシウム塩化物から発生したジスプロシウムイオン（Ｄｙ３＋）とが互いに結合してジスプロシウムカーボネート（Ｄｙ２（ＣＯ３）３）が析出されることができる。
【００４１】
ジスプロシウムカーボネート（Ｄｙ２（ＣＯ３）３）に対して熱処理工程を行うことができる（Ｓ１３０）。熱処理工程としては、前記ジスプロシウムカーボネートに対して焼成工程（ｃａｌｃｉｎａｔｉｏｎ  ｐｒｏｃｅｓｓ）を行うことができる。このような焼成工程を行って得たナノ粒子をＸ線回折分析法（ＸＲＤ）で測定した結果、図６に示されたように、最終に合成された粒子がジスプロシウム酸化物ナノ粒子であることを確認することができた。これにより、図３に示されたように、略２０ｎｍの平均粒径を有し、且つ球形を有する均一なジスプロシウム酸化物ナノ粒子が合成されることができる。
【００４２】
上述したように、本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法によれば、水熱合成法を応用して、合成過程において粒子の密集化現象を防止することで、ナノメートル単位の粒径を有し、且つ、粒子それぞれが均一な球形を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子を合成することができる。また、本発明の実施形態によるジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法によれば、水熱合成法を応用して、均一な球形を有し、且つ微粒化したジスプロシウム酸化物ナノ粒子を９０℃以下の相対的に低い温度および１時間以内の工程時間内で合成完了することができる。これにより、本発明に係るジスプロシウム酸化物ナノ粒子の合成方法は、水熱合成法を応用することで、均一な球形を有し、且つナノメートル単位の粒径を有するジスプロシウム酸化物ナノ粒子を大量生産することができる。
【００４３】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、上述の内容は本発明の好ましい実施形態を示して説明するものに過ぎず、本発明は、本明細書に開示された発明の概念の範囲、述べた開示内容と均等な範囲及び／または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。上述の実施形態は本発明を実施するにおいて最善の状態を説明するためのものであり、本発明のような他の発明を用いるにおいて当業界に公知された他の状態での実施、そして発明の具体的な適用分野及び用途で要求される多様な変更も可能である。従って、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態に本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むと解釈されるべきであろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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