(57)【要約】      （修正有）【課題】磁気シールドの外部磁界に対する遮蔽性を向上させる。【解決手段】磁気シールドＭＳ１は、残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ垂直方向の磁界を加えることにより磁化方向に垂直成分が生じる。残留磁化として面内方向の磁化を有する磁気シールドＭＳ１に対し、垂直磁気異方性が付与されている。この場合、磁気シールドＭＳ１の膜厚方向に働く反磁界は、磁気シールドＭＳ１に付与される垂直磁気異方性と打ち消しあう。このため、磁気シールドＭＳ１に対して垂直方向の外部磁界を加えることにより、磁気シールドＭＳ１の磁化方向には垂直成分が生じることとなる。すなわち、磁気シールドＭＳ１において垂直方向の外部磁界による磁化変化が生じやすくなり、垂直方向の外部磁界に対し十分な透磁率を実現することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ
垂直方向の磁界を加えることにより磁化方向に垂直成分が生じる磁気シールド。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気シールドにおいて、
垂直方向の外部磁界Ｈｋeffにより生じる垂直飽和磁化を４πＭＳとした場合において、５≦４πＭＳ／Ｈｋeff≦２０を満たす磁気シールド。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気シールドにおいて、
面内磁気異方性を有する第１磁性層と、前記第１磁性層との間において界面磁気異方性を誘起する非磁性層と、を積層してなる積層膜により構成される磁気シールド。
【請求項４】
請求項３に記載の磁気シールドにおいて、
前記第１磁性層は、ＣｏＦｅＢ、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅ、またはＮｉＦｅＣｏにより構成され、
前記非磁性層は、ＭｇＯ、ＴａまたはＰｔにより構成される磁気シールド。
【請求項５】
請求項３に記載の磁気シールドにおいて、
前記積層膜は、複数の前記第１磁性層と複数の前記非磁性層を、前記第１磁性層と前記非磁性層が交互に配置されるように積層してなる磁気シールド。
【請求項６】
請求項３に記載の磁気シールドにおいて、
面内磁気異方性を有する第２磁性層と、
前記第２磁性層と前記積層膜の間に設けられ、かつ前記第２磁性層との間において界面磁気異方性を誘起しない中間層と、
を有する磁気シールド。
【請求項７】
請求項６に記載の磁気シールドにおいて、
前記第２磁性層は、ＮｉＦｅにより構成され、
前記中間層は、Ｔａにより構成される磁気シールド。
【請求項８】
請求項１に記載の磁気シールドにおいて、
垂直方向の磁化成分は、結晶磁気異方性により生じる磁気シールド。
【請求項９】
請求項１に記載の磁気シールドにおいて、
垂直方向の磁化成分は、歪磁気異方性により生じる磁気シールド。
【請求項１０】
請求項１に記載の磁気シールドにおいて、
平板状または薄膜状である磁気シールド。
【請求項１１】
互いに積層された磁気記録層、トンネルバリア層および磁気参照層を含む磁気抵抗メモリと、
前記磁気抵抗メモリの上方または下方に設けられた磁気シールドと、
を備え、
前記磁気シールドは、
残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ
垂直方向の磁界を加えることにより、前記磁気シールドの磁化方向に垂直成分が生じる半導体装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の半導体装置において、
前記磁気記録層は、垂直磁気異方性を有する半導体装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載の半導体装置において、
前記磁気シールドは、前記磁気抵抗メモリの上方に、絶縁層を介して設けられている半導体装置。
【請求項１４】
磁気抵抗メモリを有する半導体チップと、
前記半導体チップの上方または下方に設けられた磁気シールドと、
を備え、
前記磁気シールドは、
残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ
垂直方向の磁界を加えることにより、前記磁気シールドの磁化方向に垂直成分が生じる半導体パッケージ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の半導体パッケージにおいて、
前記磁気抵抗メモリは、垂直磁気異方性を有する磁気記録層を含む半導体パッケージ。
【請求項１６】
請求項１４に記載の半導体パッケージにおいて、
前記磁気シールドは、前記半導体チップの上方および下方それぞれに設けられている半導体パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気シールド、半導体装置および半導体パッケージに関し、とくに磁気抵抗メモリを備える半導体装置および半導体パッケージに適用可能な技術である。
【背景技術】
【０００２】
現在、磁気抵抗メモリ（ＭＲＡＭ（Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ  Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ））の開発が活発化している。磁気抵抗メモリに関する技術としては、たとえば特許文献１〜３に記載のものが挙げられる。
【０００３】
特許文献１および２は、スピン注入を利用して自由層の磁化を反転させる磁気抵抗メモリに関する技術である。いずれの文献においても、自由層に対し垂直異方性を付与することが記載されている。特許文献３には、ＭＲＡＭチップを外部散乱磁界から遮蔽する磁気遮蔽構造を有する不揮発固体磁気メモリ装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００７−５２５８４７号公報
【特許文献２】米国特許出願公開第２００５／０１０４１０１号明細書
【特許文献３】特開２００３−１１５５７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気抵抗メモリに対する外部磁界の影響を抑えるため、磁気抵抗メモリを覆うように磁気シールドを形成する場合がある。しかしながら、このような磁気シールドにおいては、磁気シールドの膜厚方向に働く反磁界の影響により垂直方向への磁化変化が妨げられ、垂直方向の外部磁界に対する十分な透磁率を得ることが難しくなるおそれがあった。この場合、磁気シールドについて、とくに垂直方向の外部磁界に対する十分な遮蔽性を実現することが困難となる。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施の形態によれば、残留磁化として面内方向の磁化を有する磁気シールドに対し、垂直磁気異方性が付与される。
【発明の効果】
【０００７】
前記一実施の形態によれば、磁気シールドの外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態に係る磁気抵抗メモリおよび磁気シールドを示す断面模式図である。
【図２】磁気シールド内における磁化の変化を説明する断面模式図である。
【図３】垂直方向の外部磁界と、この外部磁界により磁気シールド内に生じる垂直方向の磁化成分と、の関係を模式的に示すグラフである。
【図４】本実施形態に係る磁気シールドの一例を示す断面模式図である。
【図５】図４に示す磁気シールドの変形例を示す断面模式図である。
【図６】本実施形態に係る半導体装置を示す断面模式図である。
【図７】本実施形態に係る半導体パッケージを示す断面模式図である。
【図８】図７に示す半導体パッケージのうち半導体チップと磁気シールドとの位置関係を示す平面模式図である。
【図９】図７に示す半導体パッケージの変形例を示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１０】
図１は、本実施形態に係る磁気抵抗メモリＭＭ１および磁気シールドＭＳ１を示す断面模式図である。図１においては、磁気抵抗メモリＭＭ１と磁気シールドＭＳ１との位置関係が模式的に示されている。
本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１は、残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ垂直方向の磁界を加えることにより磁気シールドＭＳ１の磁化方向に垂直成分が生じる。なお、磁気シールドＭＳ１の磁化方向や磁気シールドＭＳ１に加えられる外部磁界について、垂直方向とは磁気シールドＭＳ１の膜面に対し垂直な方向（図１中上下方向）を指し、面内方向とは磁気シールドＭＳ１の膜面に対し平行な方向を指す。これらは、後述する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１についても同様である。
【００１１】
本実施形態によれば、残留磁化として面内方向の磁化を有する磁気シールドＭＳ１に対し、垂直磁気異方性が付与されている。この場合、磁気シールドＭＳ１の膜厚方向に働く反磁界は、磁気シールドＭＳ１に付与される垂直磁気異方性と打ち消しあう。このため、磁気シールドＭＳ１に対して垂直方向の外部磁界を加えることにより、磁気シールドＭＳ１の磁化方向には垂直成分が生じることとなる。すなわち、磁気シールドＭＳ１において垂直方向の外部磁界による磁化変化が生じやすくなり、垂直方向の外部磁界に対し十分な透磁率を実現することができる。したがって、磁気シールドについて、垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
【００１２】
以下、本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１の構成、磁気シールドＭＳ１を含む半導体装置ＳＤ１および半導体パッケージＳＰ１の構成について、詳細に説明する。
【００１３】
まず、磁気シールドＭＳ１の構成について説明する。
磁気シールドＭＳ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１に近接して配置され、磁気抵抗メモリＭＭ１に対する外部磁界の影響を抑制する機能を有する。また、磁気シールドＭＳ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１から離間するように配置される。
本実施形態における磁気シールドＭＳ１は、たとえば１μｍ以上１０μｍ以下の膜厚を有する平板状、または１ｎｍ以上３０ｎｍ以下の膜厚を有する薄膜状とすることができる。平板状の磁気シールドＭＳ１は、たとえば磁気抵抗メモリＭＭ１を備える半導体チップの上方または下方に設けられる。また、薄膜状の磁気シールドＭＳ１は、たとえば半導体チップ内において磁気抵抗メモリＭＭ１の上方または下方に設けられる。
【００１４】
図１に示す断面模式図においては、磁気抵抗メモリＭＭ１の上方および下方それぞれに、磁気シールドＭＳ１が設けられる場合が例示されている。なお、磁気抵抗メモリＭＭ１の上方または下方のいずれか一方に、磁気シールドＭＳ１が設けられていてもよい。
また、磁気シールドＭＳ１は、平面視において磁気抵抗メモリＭＭ１の全体と重なるように設けられることが好ましい。これにより、磁気抵抗メモリＭＭ１に対する外部磁界の影響をより効果的に抑制できる。本実施形態においては、たとえばアレイ状に配列された複数の磁気抵抗メモリＭＭ１全体を覆うように、磁気シールドＭＳ１が設けられる。
【００１５】
磁気シールドＭＳ１は、残留磁化として面内方向の磁化を有しており、かつ垂直方向の磁界を加えることにより磁気シールドＭＳ１の磁化方向に垂直成分が生じる。上述のとおり、磁気シールドＭＳ１の磁化方向や磁気シールドＭＳ１に加えられる外部磁界について、垂直方向とは磁気シールドＭＳ１の膜面に対し垂直な方向を指す。すなわち、この垂直方向は、平板状または薄膜状の磁気シールドＭＳ１における膜厚方向に一致する。また、面内方向は、上記垂直方向を法線とする平面方向に一致する。
【００１６】
図２は、磁気シールドＭＳ１内における磁化の変化を説明する断面模式図である。
平板状または薄膜状の磁気シールドに対して垂直方向の外部磁界が加わる場合、磁気シールドの上面と下面において分極が発生する。そして、この分極により磁気シールド内に生じる反磁界によって、磁気シールドにおける垂直方向への磁化変化が妨げられる。この場合、垂直方向の外部磁界に対する十分な透磁率を得ることが困難となる。
本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１には垂直磁気異方性が付与されており、この垂直磁気異方性と反磁界が打ち消し合う。このため、図２に示すように、磁気シールドＭＳ１の磁化方向を垂直方向へ変化しやすくさせることができる。すなわち、垂直方向の外部磁界に対する高い透磁率を実現することができる。これにより、垂直方向の外部磁界により生じる磁束を、磁気シールドＭＳ１内へ効果的に吸収することができる。また、磁気シールドＭＳ１は残留磁化として面内方向の磁化を有することから、吸収した外部磁界による磁束は磁気シールドＭＳ１の垂直方向に対して斜めに流れることとなる。その結果、磁気抵抗メモリＭＭ１周囲における磁束の密度を低減することが可能となる。本実施形態においては、たとえばこのようにして、垂直方向の外部磁界による磁気抵抗メモリＭＭ１への影響を磁気シールドＭＳ１により抑制できる。
また、本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１によれば、面内方向の磁化を有することから、面内方向の外部磁界に対する高い透磁率を実現することもできる。このため、本実施形態においては、面内方向の外部磁界による磁気抵抗メモリＭＭ１への影響を、磁気シールドＭＳ１を用いて抑えることも可能である。
【００１７】
図３は、磁気シールドＭＳ１に加わる垂直方向の外部磁界と、この外部磁界により磁気シールドＭＳ１内に生じる垂直方向の磁化成分と、の関係を模式的に示すグラフである。ここでは、垂直方向の外部磁界Ｈを横軸とし、これにより磁気シールドＭＳ１内に生じる垂直磁化Ｍを縦軸とする磁化曲線が示されている。
図３に示す磁化曲線のように、磁気シールドＭＳ１に垂直方向の外部磁界Ｈを加えることにより、磁気シールドＭＳ１内に垂直磁化Ｍが生じる。この磁化曲線における傾きを調整することにより、垂直方向の外部磁界に対する磁気シールドＭＳ１の透磁率を調整できる。磁化曲線における傾きは、たとえば磁気シールドＭＳ１を構成する材料、構造、および形成条件等をそれぞれ適切に調整することにより制御することが可能である。
本実施形態においては、たとえば磁気シールドＭＳ１に対して垂直方向の外部磁界をＨｋeffを加えた際に生じる飽和磁化を４πＭＳとする。この場合、５≦４πＭＳ／Ｈｋeff≦２０を満たすことが好ましい。これにより、垂直方向の外部磁界に対する十分な透磁率を実現し、より効果的に垂直方向の外部磁界による磁気抵抗メモリＭＭ１への影響を抑制することが可能となる。なお、４πＭＳ／Ｈｋeffは、磁気シールドＭＳ１の実効的な透磁率μに対応する。
【００１８】
本実施形態において、垂直方向の外部磁界を加えることにより磁気シールドＭＳ１内に生じる垂直磁化は、たとえば磁気シールドＭＳ１の膜厚方向（垂直方向）に生じ得る反磁界を超えないように制御される。これにより、磁気シールドＭＳ１内の磁化方向が完全に垂直方向となり垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性が損なわれてしまう、という問題を抑制することができる。磁気シールドＭＳ１内に生じる垂直磁化は、たとえば磁気シールドＭＳ１を構成する材料、構造、形成条件等をそれぞれ調整することにより制御できる。また、磁気シールドＭＳ１の膜厚方向に生じる反磁界は、たとえば磁気シールドＭＳ１の形状や膜厚をそれぞれ調整することにより制御できる。
【００１９】
図４は、本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１の一例を示す断面模式図である。
本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１において、磁気シールドＭＳ１に加わる垂直方向の外部磁界により生じる垂直方向の磁化成分は、たとえば界面磁気異方性を利用して生じさせることができる。
【００２０】
本実施形態では、図４に示すように、たとえば面内磁気異方性を有する磁性層ＭＬ１と、磁性層ＭＬ１との間において界面磁気異方性を誘起する非磁性層ＮＭ１と、を積層してなる積層膜により、磁気シールドＭＳ１を構成することができる。これにより、磁気シールドＭＳ１には、界面磁気異方性による垂直磁気異方性が付与されることとなる。
磁性層ＭＬ１は、たとえばＣｏＦｅＢ、ＣｏＦｅ、ＮｉＦｅ、またはＮｉＦｅＣｏにより構成される。また、非磁性層ＮＭ１は、たとえばＭｇＯ等の酸化膜、またはＴａもしくはＰｔ等の非磁性金属膜により構成される。これにより、磁性層ＭＬ１と非磁性層ＮＭ１との間において界面磁気異方性を効果的に誘起することが可能となる。本実施形態においては、たとえばＣｏＦｅＢにより構成される磁性層ＭＬ１と、ＭｇＯにより構成される非磁性層ＮＭ１と、の組み合わせが一例として挙げられる。
また、本実施形態においては、たとえば非磁性層ＮＭ１と、磁性層ＭＬ１と、非磁性層ＮＭ１と、を順に積層した３層構造、または磁性層ＭＬ１と、非磁性層ＮＭ１と、磁性層ＭＬ１と、を順に積層した３層構造からなる積層膜により、磁気シールドＭＳ１を構成することも可能である。
【００２１】
図５は、図４に示す磁気シールドＭＳ１の変形例を示す断面模式図である。
図５（ａ）においては、磁気シールドＭＳ１を構成する積層膜が、複数の磁性層ＭＬ１と複数の非磁性層ＮＭ１を、磁性層ＭＬ１と非磁性層ＮＭ１が交互に配置されるように積層してなる場合が例示されている。この場合、磁性層ＭＬ１と非磁性層ＮＭ１との間に形成される各界面において、それぞれ界面磁気異方性が誘起される。このため、磁性層ＭＬ１と非磁性層ＮＭ１の層数を調整することにより、垂直方向の外部磁界に対する磁気シールドＭＳ１の透磁率を制御することができる。
【００２２】
図５（ｂ）においては、磁性層ＭＬ２と、中間層ＩＬ１と、が設けられる場合が例示されている。磁性層ＭＬ２は、面内磁気異方性を有している。また、中間層ＩＬ１は、磁性層ＭＬ１および非磁性層ＮＭ１を積層してなる上記積層膜と、磁性層ＭＬ２と、の間に設けられ、かつ磁性層ＭＬ２との間において界面磁気異方性を誘起しない層である。この場合、磁気シールドＭＳ１について、面内方向の外部磁界に対する透磁率を向上させることができる。このため、面内方向および垂直方向のいずれの外部磁界に対しても優れた遮蔽効果を有する磁気シールドＭＳ１を実現することができる。
磁性層ＭＬ２は、たとえばＮｉＦｅにより構成される。これにより、面内方向の外部磁界に対する磁気シールドＭＳ１の透磁率を効果的に向上させることができる。また、中間層ＩＬ１は、たとえばＴａにより構成される。これにより、磁性層ＭＬ２との間において界面磁気異方性が誘起されることを抑制し、磁気シールドＭＳ１における透磁率を安定的に制御することが可能となる。
【００２３】
本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１において、磁気シールドＭＳ１に付与される垂直磁気異方性は、たとえば結晶磁気異方性を利用して生じさせることもできる。この場合、磁気シールドＭＳ１は、たとえばＣｏＰｔにより形成される。これにより、磁気シールドＭＳ１には、結晶磁気異方性による垂直磁気異方性が付与されることとなる。
【００２４】
本実施形態に係る磁気シールドＭＳ１において、磁気シールドＭＳ１に付与される垂直磁気異方性は、たとえば歪磁気異方性を利用して生じさせることもできる。この場合、磁気シールドＭＳ１は、たとえばＮｉ／Ｃｕ積層膜により形成される。これにより、磁気シールドＭＳ１には、歪磁気異方性による垂直磁気異方性が付与されることとなる。
【００２５】
磁気シールドＭＳ１により保護される磁気抵抗メモリＭＭ１は、たとえば磁化が固定された磁気参照層ＲＬ１と、トンネルバリア層ＴＢ１と、磁化が可変である磁気記録層ＭＲ１と、を互いに積層することにより構成される。磁気参照層ＲＬ１および磁気記録層ＭＲ１は、強磁性体により構成される磁性層である。また、トンネルバリア層ＴＢ１は、非磁性材料により構成される非磁性層である。磁気参照層ＲＬ１、トンネルバリア層ＴＢ１および磁気記録層ＭＲ１からなる積層構造により、磁気トンネル接合ＭＴＪが形成される。
【００２６】
磁気シールドＭＳ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１の上方または下方に設けられる。このため、平板状または薄膜状である磁気シールドＭＳ１は、図１に示すように、磁気参照層ＲＬ１、トンネルバリア層ＴＢ１、および磁気記録層ＭＲ１の積層方向を法線とする平面と平行に配置されることとなる。この場合、アレイ状に配列される複数の磁気抵抗メモリＭＭ１を効率的に覆うことができる。また、とくに薄膜状の磁気シールドＭＳ１については、半導体チップ内の多層配線構造を構成する配線層内に形成されることが可能となる。
【００２７】
本実施形態において、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、たとえば垂直磁気異方性を有する。この場合、磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、たとえば垂直磁気異方性を示す強磁性材料により構成される。垂直磁気異方性とは、各層の膜面に対して垂直な方向を磁化容易軸とする磁気異方性を指す。
ここで、垂直磁気異方性を有する磁気記録層ＭＲ１は、垂直方向の外部磁界による影響を受けやすい。しかしながら、本実施形態によれば、垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性に優れた磁気シールドＭＳ１により、磁気抵抗メモリＭＭ１を覆うことができる。これにより、磁気記録層ＭＲ１に対する垂直方向の外部磁界による影響を、磁気シールドＭＳ１により抑えることが可能となる。このため、垂直磁気異方性を有する磁気記録層ＭＲ１を含む磁気抵抗メモリＭＭ１について、その動作性能を良好なものとすることができる。
なお、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、面内磁気異方性を有していてもよい。この場合、磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、たとえば面内磁気異方性を示す強磁性材料により構成される。なお、面内磁気異方性とは、各層の膜面に対して平行な方向を磁化容易軸とする磁気異方性を指す。
【００２８】
磁気抵抗メモリＭＭ１においては、磁気記録層ＭＲ１の磁化を反転させることによりデータ１または０の書き込みが行われる。磁気記録層ＭＲ１の磁化を反転させる方法としては、とくに限定されないが、たとえば電流磁界方式、スピン注入方式、または磁壁移動方式が挙げられる。電流磁界方式においては、磁気トンネル接合ＭＴＪの周辺に設けられた配線に流れる電流により生じる磁界によって磁気記録層ＭＲ１の磁化を反転させる。スピン注入方式においては、磁気トンネル接合ＭＴＪを貫通する方向に電流を流すことにより、磁気参照層ＲＬ１においてスピン分極した電流を利用して磁気記録層ＭＲ１の磁化を反転させる。磁壁移動方式においては、磁気記録層ＭＲ１内の磁壁を磁気記録層ＭＲ１内へ印加した電流により移動させることにより磁化を反転させる。
【００２９】
また、磁気抵抗メモリＭＭ１の読み出し動作は、磁気トンネル接合ＭＴＪを貫通する方向に読み出し電流を流すことにより行われる。これにより、磁気トンネル接合ＭＴＪの抵抗値が検出され、当該抵抗値に対応したデータ０または１が読み出される。
磁気記録層ＭＲ１の磁化方向が磁気参照層ＲＬ１の磁化方向と反平行方向である場合、磁気トンネル接合ＭＴＪの抵抗値は相対的に大きくなる。一方で、磁気記録層ＭＲ１の磁化方向が磁気参照層ＲＬ１の磁化方向と同じ方向である場合、磁気トンネル接合ＭＴＪの抵抗値は相対的に小さくなる。これらの抵抗値は、それぞれデータ０または１のいずれかに対応付けられる。
【００３０】
次に、本実施形態に係る半導体装置ＳＤ１について説明する。
図６は、本実施形態に係る半導体装置ＳＤ１を示す断面模式図である。図６（ａ）においては、一断面における半導体装置ＳＤ１の構成が示される。図６（ｂ）においては、図６（ａ）に示す一断面と直交する他の断面における半導体装置ＳＤ１の構成が示される。
【００３１】
半導体装置ＳＤ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１と、磁気抵抗メモリＭＭ１の上方または下方に設けられた磁気シールドＭＳ１と、を備えている。磁気シールドＭＳ１および磁気抵抗メモリＭＭ１としては、上述したものを用いることができる。図６においては、磁気シールドＭＳ１が磁気抵抗メモリＭＭ１の上方に設けられる場合が例示されている。
図６に示す例においては、半導体チップ内に磁気抵抗メモリＭＭ１および磁気シールドＭＳ１を形成することができる。このため、後工程において、磁気シールドＭＳ１を形成するための工程を省略することが可能となる。
【００３２】
本実施形態に係る半導体装置ＳＤ１は、半導体基板ＳＢ１と、半導体基板ＳＢ１に設けられたトランジスタＴＲ１と、を備えている。半導体基板ＳＢ１は、とくに限定されないが、たとえばシリコン基板や化合物半導体基板である。図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、トランジスタＴＲ１は、たとえば半導体基板ＳＢ１上に設けられたゲート絶縁膜ＧＩ１と、ゲート絶縁膜ＧＩ１上に設けられたゲート電極ＧＥ１と、ゲート電極ＧＥ１の側面に設けられたサイドウォールＳＷ１と、平面視でゲート電極ＧＥ１を挟むように半導体基板ＳＢ１に設けられたソース・ドレイン領域ＤＲ１と、を有する。図６においては、半導体基板ＳＢ１に複数のトランジスタＴＲ１が設けられる場合が例示されている。また、半導体基板ＳＢ１には、各トランジスタＴＲ１を、互いに分離し、かつ他の素子から分離するように素子分離膜ＥＩ１が埋め込まれている。
半導体基板ＳＢ１上には、トランジスタＴＲ１を覆うように層間絶縁膜ＩＩ１が設けられている。層間絶縁膜ＩＩ１には、ソース・ドレイン領域ＤＲ１に接続するコンタクトプラグＣＰ１が埋め込まれている。
【００３３】
層間絶縁膜ＩＩ１上には、磁気抵抗メモリＭＭ１が設けられている。磁気抵抗メモリＭＭ１は、たとえば層間絶縁膜ＩＩ１上に設けられた磁気参照層ＲＬ１と、磁気参照層ＲＬ１上に設けられたトンネルバリア層ＴＢ１と、トンネルバリア層ＴＢ１上に設けられた磁気記録層ＭＲ１と、により構成される。このとき、磁気参照層ＲＬ１は、たとえばコンタクトプラグＣＰ１を介してソース・ドレイン領域ＤＲ１に接続される。また、磁気抵抗メモリＭＭ１は、たとえば層間絶縁膜ＩＩ２中に形成される。磁気抵抗メモリＭＭ１の構成は、これに限定されず、多層配線構造中の任意の配線層に形成されることができる。
【００３４】
本実施形態において、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、たとえば垂直磁気異方性を有する。一方で、後述するように磁気抵抗メモリＭＭ１の上方には、磁気抵抗メモリＭＭ１を覆うように垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性に優れた磁気シールドＭＳ１が設けられる。このため、磁気記録層ＭＲ１に対する垂直方向の外部磁界による影響を、磁気シールドＭＳ１により抑えることが可能となる。なお、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、面内磁気異方性を有していてもよい。
図６においては、複数の磁気抵抗メモリＭＭ１が設けられる場合が例示されている。この例において、各磁気抵抗メモリＭＭ１は、たとえばそれぞれ異なるトランジスタＴＲ１のソース・ドレイン領域ＤＲ１に接続するように設けられる。本実施形態における半導体装置ＳＤ１においては、とくにアレイ状に配列された複数の磁気抵抗メモリＭＭ１が形成されていることが好ましい。
【００３５】
層間絶縁膜ＩＩ２上には、ビット線ＢＬ１が埋め込まれた層間絶縁膜ＩＩ３が設けられている。ビット線ＢＬ１は、たとえば磁気記録層ＭＲ１に接続される。図６においては、一のビット線ＢＬ１が複数の磁気抵抗メモリＭＭ１に接続される場合が例示される。層間絶縁膜ＩＩ３上には、層間絶縁膜ＩＩ４が設けられている。
【００３６】
層間絶縁膜ＩＩ４上には、磁気シールドＭＳ１が設けられている。また、層間絶縁膜ＩＩ４上には、磁気シールドＭＳ１を覆うように層間絶縁膜ＩＩ５が設けられている。
磁気シールドＭＳ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１の上方に位置し、かつ磁気抵抗メモリＭＭ１を覆うように設けられる。すなわち、磁気シールドＭＳ１は、絶縁層を介して磁気抵抗メモリＭＭ１の上方に設けられることとなる。これにより、磁気シールドＭＳ１と磁気抵抗メモリＭＭ１が互いに電気的に分離されることとなる。
磁気シールドＭＳ１は、たとえば１ｎｍ以上３０ｎｍ以下の膜厚を有する薄膜状である。図６においては、複数の磁気抵抗メモリＭＭ１を覆うように磁気シールドＭＳ１が設けられる場合が例示されている。本実施形態においては、たとえばアレイ状に配列された磁気抵抗メモリＭＭ１により構成されるセルアレイを全て覆うように磁気抵抗メモリＭＭ１を設けることができる。また、磁気シールドＭＳ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１よりも下層に位置する配線層中に形成されていてもよい。
【００３７】
次に、本実施形態に係る半導体パッケージＳＰ１について説明する。
図７は、本実施形態に係る半導体パッケージＳＰ１を示す断面模式図である。図８は、図７に示す半導体パッケージＳＰ１のうち半導体チップＳＣ１と磁気シールドＭＳ１との位置関係を示す平面模式図である。なお、図８中における破線は、メモリセルアレイＣＡ１が形成されている領域の位置を示している。
【００３８】
半導体パッケージＳＰ１は、磁気抵抗メモリＭＭ１を有する半導体チップＳＣ１と、半導体チップＳＣ１の上方または下方に設けられた磁気シールドＭＳ１と、を備えている。磁気シールドＭＳ１および磁気抵抗メモリＭＭ１としては、上述したものを用いることができる。図７においては、磁気シールドＭＳ１が半導体チップＳＣ１の上方に設けられる場合が例示されている。
【００３９】
本実施形態に係る半導体パッケージＳＰ１は、たとえばリードフレームＬＦ１を備えている。リードフレームＬＦ１は、ダイパッドＤＰ１と、ダイパッドＤＰ１の周囲に設けられたアウターリードＯＬ１と、により構成される。
ダイパッドＤＰ１上には、ダイアタッチ層ＤＡ１を介して半導体チップＳＣ１が搭載されている。半導体チップＳＣ１の上面に形成された電極パッド（図示せず）とアウターリードＯＬ１は、たとえばボンディングワイヤＢＷ１により互いに接続される。
【００４０】
磁気シールドＭＳ１は、たとえば１μｍ以上１０μｍ以下の膜厚を有する平板状である。図７においては、磁気シールドＭＳ１が、ダイアタッチ層ＤＡ２を介して半導体チップＳＣ１の上方に設けられる場合が例示されている。
図８に示すように、半導体チップＳＣ１上に設けられる磁気シールドＭＳ１は、たとえば平面視において半導体チップＳＣ１よりも小さい。すなわち、磁気シールドＭＳ１の平面視における外形線は、半導体チップＳＣ１の平面視における外形線よりも内側に位置することとなる。これにより、半導体チップＳＣ１の外周部に設けられ、かつボンディングワイヤＢＷ１を接続するための電極パッドを、露出させることができる。
また、半導体チップＳＣ１中には、たとえば複数の磁気抵抗メモリＭＭ１により構成されるメモリセルアレイＣＡ１が設けられている。磁気シールドＭＳ１は、平面視においてメモリセルアレイＣＡ１の全体を覆うように半導体チップＳＣ１上に設けられる。
【００４１】
本実施形態において、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、たとえば垂直磁気異方性を有する。また、磁気抵抗メモリＭＭ１を有する半導体チップＳＣ１の上方には、磁気抵抗メモリＭＭ１を覆うように垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性に優れた磁気シールドＭＳ１が設けられる。このため、磁気記録層ＭＲ１に対する垂直方向の外部磁界による影響を、磁気シールドＭＳ１により抑えることが可能となる。なお、磁気抵抗メモリＭＭ１を構成する磁気記録層ＭＲ１および磁気参照層ＲＬ１は、面内磁気異方性を有していてもよい。
【００４２】
半導体パッケージＳＰ１は、半導体チップＳＣ１および磁気シールドＭＳ１を封止する封止樹脂ＥＲ１を備えている。
なお、半導体パッケージＳＰ１の構成は、上述したものに限定されない。半導体パッケージＳＰ１は、たとえば配線基板上にバンプを介して半導体チップＳＣ１が搭載されることにより形成されていてもよい。この場合においても、半導体チップＳＣ１の上方にダイアタッチ層ＤＡ２を介して磁気シールドＭＳ１を配置することができる。
【００４３】
図９は、図７に示す半導体パッケージＳＰ１の変形例を示す断面模式図である。
本変形例に係る半導体パッケージＳＰ１において、磁気シールドＭＳ１は、半導体チップＳＣ１の上方および下方それぞれに設けられている。これにより、磁気抵抗メモリＭＭ１に対する外部磁界の影響をより効果的に抑制することが可能となる。
図９において、ダイパッドＤＰ１上には、ダイアタッチ層ＤＡ３を介して磁気シールドＭＳ１２（ＭＳ１）が設けられている。磁気シールドＭＳ１２上には、ダイアタッチ層ＤＡ１を介して半導体チップＳＣ１が設けられている。そして、半導体チップＳＣ１上には、ダイアタッチ層ＤＡ２を介して磁気シールドＭＳ１１（ＭＳ１）が設けられている。
【００４４】
本変形例においては、磁気シールドＭＳ１２を、たとえば平面視において半導体チップＳＣ１よりも大きくなるように設けることができる。このとき、磁気シールドＭＳ１２の平面視における外形線は、半導体チップＳＣ１の平面視における外形線よりも外側に位置することとなる。これにより、半導体チップＳＣ１の下方に生じる外部磁界による磁気抵抗メモリＭＭ１への影響を、さらに効果的に抑えることが可能となる。
一方で、磁気シールドＭＳ１１は、たとえば平面視において半導体チップＳＣ１よりも小さくなるように設けられる。すなわち、磁気シールドＭＳ１１の平面視における外形線は、半導体チップＳＣ１の平面視における外形線よりも内側に位置することとなる。これにより、半導体チップＳＣ１の外周部に設けられ、かつボンディングワイヤＢＷ１を接続するための電極パッドを、露出させることができる。
【００４５】
次に、本実施形態の効果を説明する。
本実施形態においては、残留磁化として面内方向の磁化を有する磁気シールドに対し、垂直磁気異方性が付与されている。この場合、磁気シールドＭＳ１の膜厚方向に働く反磁界は、磁気シールドＭＳ１に付与される垂直磁気異方性と打ち消しあう。このため、磁気シールドＭＳ１に対して垂直方向の外部磁界を加えることにより、磁気シールドＭＳ１の磁化方向には垂直成分が生じることとなる。すなわち、磁気シールドＭＳ１において垂直方向の外部磁界による磁化変化が生じやすくなり、垂直方向の外部磁界に対し十分な透磁率を実現することができる。したがって、磁気シールドＭＳ１について、垂直方向の外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
このように、本実施形態によれば、磁気シールドの外部磁界に対する遮蔽性を向上させることができる。
【００４６】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００４７】
ＳＰ１  半導体パッケージ
ＳＤ１  半導体装置
ＴＲ１  トランジスタ
ＭＳ１、ＭＳ１１、ＭＳ１２  磁気シールド
ＳＣ１  半導体チップ
ＭＭ１  磁気抵抗メモリ
ＣＡ１  メモリセルアレイ
ＭＴＪ  磁気トンネル接合
ＭＲ１  磁気記録層
ＴＢ１  トンネルバリア層
ＲＬ１  磁気参照層
ＭＬ１、ＭＬ２  磁性層
ＮＭ１  非磁性層
ＩＬ１  中間層
ＥＲ１  封止樹脂
ＢＷ１  ボンディングワイヤ
ＬＦ１  リードフレーム
ＯＬ１  アウターリード
ＤＰ１  ダイパッド
ＤＡ１、ＤＡ２、ＤＡ３  ダイアタッチ層
ＳＢ１  半導体基板
ＩＩ１、ＩＩ２、ＩＩ３、ＩＩ４、ＩＩ５  層間絶縁膜
ＧＥ１  ゲート電極
ＧＩ１  ゲート絶縁膜
ＳＷ１  サイドウォール
ＤＲ１  ソース・ドレイン領域
ＥＩ１  素子分離膜
ＢＬ１  ビット線
ＣＰ１  コンタクトプラグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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