(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体・電子部品などの断面研磨に用いられ、研磨の失敗低減と研磨時間の短縮を実現する試料固定台、および該試料固定台と観察用具とを有する研磨機を提供する。【解決手段】磁性材料からなる試料台１０を有する研磨機により断面加工を行う試料９を、二枚のプレート板１，４で挟み、該プレート板を蝶ボルト２とナット５とで締結する。締結に用いたナット５の凸部６が試料台１０の底面と接するよう位置決めし、かつプレート板４に面一で設けた磁石７を試料台１０に着磁させることにより、試料台１０への取り付けは容易に行なわれる。さらに研磨機は研磨の残り代を目視で判断できる観察用具を有するため、残り代を確認するための繰り返し作業を短縮できる。【選択図】図２
2015042426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨機に設けられた磁性材料からなる試料台に取り付けられる試料固定台であって、貫通穴を有し試料を挟持する２枚のプレート板と、前記貫通穴に挿入されナットで締結される蝶ボルトと、前記プレート板の一方の表面と面一となるように設けられた磁石と、を備える試料固定台。
【請求項２】
請求項1に記載の試料固定台と、前記試料固定台に挟持される試料が研磨される様子を観察する観察用具とを備える研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は断面研磨用の卓上研磨機に使用する試料を挟む試料固定台と研磨機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
樹脂で包む試料の手研磨は勘に頼る作業が行われている。また、手研磨や一般的なArイオン照射前処理は専用機械研磨において、残り代が100μm程度の加工をしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2007-181860   公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
手研磨又は研磨機において研磨の失敗を防ぐため研磨時間を必要とする。それは、残り代を確認するため繰り返しの作業が多いためである。したがって、上記課題を解決するのが発明の研磨機に使用する試料固定台と研磨機である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の試料固定台において、試料を挟持する２枚のプレート板は貫通穴を施し、一方のプレート板の表面に磁石を面一に設け、ザグリと嵌め合うナットを凸にし、前記貫通穴に蝶ボルトを通しナットで締結し、蝶ボルトを緩めると試料は着脱が自在となり、研磨機の備える試料台に取り付けられるものである。
【０００６】
本発明の研磨機は、前記載の試料固定台に装着された試料を、観察具のルーペやCCDカメラなどで研磨される様子を見る観察用具は、観察台に設ける貫通穴に前記観察用具の取り                                                    
付けをビス穴に通すシャフトのビスの先端を観察具に押し付ける締結は固着となり、シャフト台は貫通穴と貫通ビス穴と貫通穴を設け、前記シャフトの一方を貫通穴に挿入しビス穴を用いてシャフト表面を蝶ボルトの先端で押し付け締結し、前記貫通穴を研磨機上面部に設けるビス穴とビスの締結により、研磨機に観察用具を設けるものである。
【発明の効果】
【０００７】
研磨機が有する試料固定台と観察用具は、前記試料固定台にてArイオン装置の専用治具を装着し、前記観察用具も伴って、Arイオン装置の前処理の研磨は残り代10μm前後(例えば観察具の倍率が25倍において10μm前後の残り代の目視判断が可能である。)を加工することができる。それは、Ａｒイオン装置の照射時間を短縮し、手研磨又は研磨機より効率的で省力化を図るものである。
【０００８】
汎用性の高い試料固定台は、蝶ボトル(寸法)を長くすることで範囲が数ミリ〜2cmの試料を挟持するものである。例えば、非樹脂包埋では親指サイズの半導体と微小のチップなどを検査・調査に適用すると有用である。前記は一般の樹脂包埋とは異なるために樹脂の硬化時間及び材料などコスト削減と環境影響の減少を図れるものである。
【０００９】
本発明は、研磨機に設けられた鉄などの磁性材料の試料台は、下記の実施例が説明する中の半自動式と手動式において、試料固定台が備える磁石とナットは試料台との固定をワンタッチで取り付けが容易なものである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】試料固定台を斜形図に示す。
【図２】試料固定台と試料台を側面図に示す。
【図３】試料固定台と観察用具と試料台を側面図で示す。
【図４】観察用具を側面図に示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
試料固定台は図1と図2で説明すると、試料9を挟持する２枚のプレート板は試料9の位置が中心付近で端面を数ミリ突きでる。蝶ボルト2で試料9を締結するプレート板1は左右に備える貫通穴3とプレート板4はしまりばめのザグリ11(図示せず)を設ける磁石7は面一でナット5はプレート板4から凸6に突き出る構造からなる試料固定台である。前記試料9を挟持する固定はプレート板が少し湾曲程度になる様に蝶ボルト2を指先の締付けトルクとなる。研磨機に備える磁性材料の試料台10はプレート板4の磁石7とナット5の凸6が支持する研磨を、プレート板1に取り付く蝶ボルト2を緩めると試料9は着脱自在で再利用が可能な試料固定台になるものである。
【００１２】
観察用具13を図4で説明すると、研磨機に備える観察用具で試料が研磨される様子を観察するために、観察台18と観察具15と貫通穴16(図示せず)と貫通ビス穴19を用いて、観察具15を貫通穴16(図示せず)に挿入し、シャフト20先端部のビス14を前記貫通ビス穴19と締結は固着となる。シャフト台22が備える貫通穴33(図示せず)とビス穴23と貫通穴26は、前記シャフト20の一方をすきまばめの貫通穴26に挿入されたシャフト面をビス穴23を用いて蝶ボルト24の先端を押し付ける締結は固着となる。前期シャフト台22は貫通穴33(図示せず)と研磨機上面部25のビス穴27を用いるビス17締結で固着なる。被写体のピントを合わせは蝶ボルト24を緩めシャフト20を活用することができ、試料を挟持する試料固定台も伴って、一般的な勘に頼る作業と機械研磨の操作よりも効率的で省力化を図るものである。
【実施例】
【００１３】
試料固定台を図1と図2で説明すると、試料9の位置は中心付近で端面を数ｍはみ出るように装着する。試料9を２枚で挟むプレート板1は貫通穴3を左右に設け、一方のプレート板4はザグリの貫通穴(図示なし)と嵌め合うナット5と前記貫通穴3に通す蝶ボルト2で締結する。前記プレート板4のザグリ(図示なし)と嵌め合う磁石7は同一に備え磁性材料の試料台10との着磁固定でありナット5を凸6に突き出た位置決めからなる試料固定台は、試料台10と固着状態において研磨をなすものである。  
【００１４】
観察用具の使用を図3で説明すると、研磨盤31とペーパ29上面に試料9が装着された試料固定台30と試料台10が着磁固定し、研磨機上面部25の研磨治具２８が備える磁石A34と磁性材料の試料台10で固定支持からなる。それは半自動式および手動式において観察用具で試料9の研磨される様子を観察する研磨方法は、研磨の失敗低減（精神的な作業負荷の軽減）と研磨時間の短縮を図るものである。
【符号の説明】
【００１５】
1 プレート板
2  蝶ボルト
3  貫通穴
4  プレート板
5  ナット
6  凸部
7  磁石 
9  試料
10  試料台 
12  ザグリ(図示せず)
13  観察用具
14  ビス
16  貫通穴(図示せず)
17  ビス
18  観察台
19  貫通ビス穴
20  シャフト
22  シャフト台
23  ビス穴
24  蝶ボトル
25  研磨機上面部
26  貫通穴
27  ビス穴
28  研磨治具
29  ペーパー
30  試料固定台
31  研磨盤
33  貫通穴(図示せず)
34  磁石A
【図１】
2015042426.tif 000003
【図２】
2015042426.tif 000004
【図３】
2015042426.tif 000005
【図４】
2015042426.tif 000006