(57)【要約】【課題】切削屑のワーク表面への付着を従来と比べてより効果的に低減することができ、また、吸引装置を使用することなく、切削屑を含む切削液（排液）を適切に排出することができる切削装置を提供する。【解決手段】  ブレード２６の表面及び裏面側に誘導液ノズル６８、７０を配置し、それらから吐出される誘導液を衝突させてブレード２６の下流側にウォーターカーテン７６を形成する。これによって、ブレード２６に供給されて飛散する切削屑を含む切削液がウォーターカーテン７６に捕獲されて誘導液と共に排液回収部材８０の排液回収口９０から外部へと排出される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、
スピンドルの先端部に装着され， 前記被加工物を切削する切削ブレードと、
前記被加工物の加工点に切削液を供給する切削液供給手段と、
前記切削液供給手段から供給され、前記切削ブレードによる前記被加工物の切削により生じた切削屑を含んだ切削液からなる排液が前記切削ブレードの回転に起因して飛散する側に、前記被加工物の表面から前記切削ブレードと反対側に向けて立ちのぼる誘導液により液体カーテンを生成する液体カーテン生成手段と、
前記液体カーテン生成手段により生成された液体カーテンの前記誘導液が流れる方向に配置され、前記液体カーテンに混入した前記排液を前記誘導液と共に回収する排液回収手段と、
を備えた切削装置。
【請求項２】
前記液体カーテン生成手段は、前記被加工物の加工点に対して前記切削ブレードの回転方向の下流側となる所定位置の衝突点に向けて前記誘導液を吐出するノズルであって、前記スピンドルの軸線方向の互いに異なる位置から前記切削ブレードの回転方向の上流側から下流側へと向う方向に前記誘導液を吐出する２本のノズルを有する請求項１に記載の切削装置。
【請求項３】
前記２本のノズルは、前記スピンドルの軸線方向の位置に関して前記切削ブレードを間に挟んだ位置に配置される請求項２に記載の切削装置。
【請求項４】
前記２本のノズルは、異なる流速の誘導液を吐出する請求項２又は３に記載の切削装置。
【請求項５】
前記液体カーテンに接触する位置に湾曲面を配置し、前記液体カーテンの前記誘導液の流れる方向を湾曲させた請求項１〜４のうちのいずれか１項に記載の切削装置。
【請求項６】
前記排液回収手段は、前記排液を排出する排液管に連通する回収口であって、前記被加工物の加工点に対して前記切削ブレードの回転方向の下流側となる位置に配置される回収口と、前記被加工物の加工点と前記回収口との間の前記被加工物の表面の位置から前記回収口の位置へと向って上向きに傾斜するガイド面とを備えた請求項１〜５のうちのいずれか１項に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は切削装置に係り、特に半導体ウェーハ等のワーク（被加工物）を回転するブレードで切削する切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、スピンドルによって高速に回転される切削ブレード（回転歯、以下、単にブレードという）と称する薄型砥石による加工手段と、ワークを保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるＸ、Ｙ、Ｚ、θの各移動軸とが設けられている。
【０００３】
スピンドルには、ブレードを覆うブレードカバーが取り付けられており、そのブレードカバーには切削液ノズルが設けられ、切削液ノズルから切削液がブレード及び加工点に供給される。切削液の供給方法として、加工点よりもブレードの回転方向の上流側（前側）に配置された切削液ノズルにより、ブレードの外周部に切削液を供給する方法や、ブレードの両側面に沿って配置された一対の切削液ノズルにより、ブレードの両側面からブレード及び加工点に切削液を供給する方法などが一般的に知られている。
【０００４】
特許文献１には、加工点よりもブレードの回転方向の下流側（後側）に、切削屑を含む切削液（排液）を回収する排液ガイド部材を設けると共に、排液ガイド部材とワーク表面との間に排液が入り込むのを防止する液体噴射手段を設けることが提案されている。
【０００５】
これによれば、排液ガイド部材は、排液を回収する排出管路に連結されており、加工点よりも下流側において、ブレードに向けて徐々に下降する傾斜ガイド面を有する。その傾斜ガイド面により、ワーク表面から排液をすくい上げて排出管路へと排出させる。これにより、加工点の下流側のワーク表面に排液が流れて切削屑がワーク表面に付着してしまう事態が低減されている。
【０００６】
また、液体噴射手段は、排液ガイド部材とワーク表面との間の隙間に水などの液体を供給し、その隙間に液体の壁を形成する。これにより、排液ガイド部材とワーク表面との間の隙間に排液が進入して切削屑がワーク表面に付着してしまうという事態が低減されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−６９２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の液体噴射手段では、排液と液体噴射手段から供給された液体との双方の流れが互いにぶつかり合うため、それらの液体の衝突面で排液が滞留する。そのため、滞留した排液に含まれる切削屑がワーク表面に付着するという事態が生じてしまうおそれがある。
【０００９】
また、排液の流れは、主にブレードの回転力が切削液に与えられて生じたものであり、その動圧（運動エネルギー）は大きくない。そのため、排液が排出管路を適切に流れるように排出管路を吸引装置により吸引する必要がある。
【００１０】
しかしながら、吸引装置により排出管路を吸引すると、ワーク表面が乾燥して切削屑がワーク表面に乾燥固着しやすくなり、除去することが困難になるという問題がある。
【００１１】
また、ブレード周りの装置構成が複雑化するという問題やコストが高くなるという問題がある。
【００１２】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、切削屑のワーク表面への付着を従来と比べてより効果的に低減することができ、また、吸引装置を使用することなく、切削屑を含む切削液（排液）を適切に排出することができる切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するため、本発明の一の態様に係る切削装置は、被加工物を保持する保持手段と、スピンドルの先端部に装着され、前記被加工物を切削する切削ブレードと、前記被加工物の加工点に切削液を供給する切削液供給手段と、前記切削液供給手段から供給され、前記切削ブレードによる前記被加工物の切削により生じた切削屑を含んだ切削液からなる排液が前記切削ブレードの回転に起因して飛散する側に、前記被加工物の表面から前記切削ブレードと反対側に向けて立ちのぼる誘導液により液体カーテンを生成する液体カーテン生成手段と、前記液体カーテン生成手段により生成された液体カーテンの前記誘導液が流れる方向に配置され、前記液体カーテンに混入した前記排液を前記誘導液と共に回収する排液回収手段と、を備えている。
【００１４】
本発明によれば、被加工物の切削により生じた切削屑を含んだ切削液からなる排液が、被加工物表面から立ちのぼる液体カーテンに混入し、被加工物表面にとどまることなく、誘導液と共に排液回収手段により排出される。従って、排液に含まれる切削屑が被加工物表面に付着することが確実に防止される。
【００１５】
また、液体カーテンを形成する誘導液の動圧（運動エネルギー）によって、吸引装置を使用することなく、排液を排出することも可能となる。
【００１６】
本発明の他の態様に係る切削装置は、前記液体カーテン生成手段は、前記被加工物の加工点に対して前記切削ブレードの回転方向の下流側となる所定位置の衝突点に向けて前記誘導液を吐出するノズルであって、前記スピンドルの軸線方向の互いに異なる位置から前記切削ブレードの回転方向の上流側から下流側へと向う方向に前記誘導液を吐出する２本のノズルを有する態様とすることができる。
【００１７】
本態様によれば、２本のノズルから吐出される誘導液が衝突点で衝突することによって被加工物の表面から立ちのぼる液体カーテンが生成される。
【００１８】
本発明の更に他の態様に係る切削装置は、前記２本のノズルは、前記スピンドルの軸線方向の位置に関して前記切削ブレードを間に挟んだ位置に配置される態様とすることができる。
【００１９】
本発明の更に他の態様に係る切削装置は、前記２本のノズルは、異なる流速の誘導液を吐出する態様とすることができる。
【００２０】
本態様によれば、液体カーテンの向き（誘導液の流れる向き）を調整することができるため、排液回収手段の設置位置の自由度が増大する。
【００２１】
本発明の更に他の態様に係る切削装置は、前記液体カーテンに接触する位置に湾曲面を配置し、前記液体カーテンの前記誘導液の流れる方向を湾曲させた態様とすることができる。
【００２２】
本態様によれば、液体カーテンの向き（誘導液の流れる向き）を調整することができるため、排液回収手段の設置位置の自由度が増大する。
【００２３】
本発明の更に他の態様に係る切削装置は、前記排液回収手段は、前記排液を排出する排液管に連通する回収口であって、前記被加工物の加工点に対して前記切削ブレードの回転方向の下流側となる位置に配置される回収口と、前記被加工物の加工点と前記回収口との間の前記被加工物の表面の位置から前記回収口の位置へと向って上向きに傾斜するガイド面とを備えた態様とすることができる。
【００２４】
本態様によれば、切削屑のワーク表面への付着を従来と比べてより効果的に低減することができ、また、吸引装置を使用することなく、切削屑を含む切削液（排液）を適切に排出することができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、切削屑のワーク表面への付着を従来と比べてより効果的に低減することができ、また、吸引装置を使用することなく、切削屑を含む切削液（排液）を適切に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の外観を示す斜視図
【図２】加工部におけるスピンドルユニットの先端部周辺を拡大して示した斜視図
【図３】スピンドルユニットの周辺部の一部構成要素をＹ方向から示した図
【図４】誘導液ノズル及び排液回収部材をＸＹ平面に投影して示した模式図
【図５】ウォーターカーテンの形成方向を調整する方法の説明に使用した図４と同様の模式図
【図６】ウォーターカーテンの形成方向を調整する他の方法の説明に使用した図４と同様の模式図
【図７】図６の構成を立体的に示した斜視図
【図８】ツインスピンドルタイプのダイシング装置における排液回収部材の配置を例示した図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２８】
図１は、本発明が適用されたダイシング装置（切削装置）の外観を示す斜視図である。
【００２９】
ダイシング装置１０は、複数の板状のワークＷ（被加工物）が収納されたカセットを外部装置との間で受け渡すロードポート１２と、吸着部１４を有しワークＷを装置各部に搬送する搬送手段１６と、ワークＷを載置するワークテーブル３０と、ワークＷの加工が行なわれる加工部２０と、加工後のワークＷを洗浄し、乾燥させるスピンナ２２とを備えている。ダイシング装置１０の各部の動作は制御手段としてのコントローラ２４により制御される。
【００３０】
加工部２０には、近傍にワークＷの表面を撮像する撮像手段１８が備えられ、内部には互いに対向配置され、先端に薄い円盤状のブレード２６と、ブレード２６を覆う不図示のブレードカバーが取り付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドルユニット２８、２８が設けられている。
【００３１】
スピンドルユニット２８はどちらも３０，０００ｒｐｍ〜８０，０００ｒｐｍでブレード２６を高速回転させるとともに、不図示の移動軸により互いに独立して図のＹ方向のインデックス送りとＺ方向の切込み送りとがなされる。また、ワークＷを吸着保持する保持手段であるワークテーブル３０が、不図示の移動軸によって図のＸ方向に研削送りされる。これらの動作により、高速に回転するブレード２６の外周部がワークＷに接触し、ワークＷがＸ方向に切削される。
【００３２】
なお、ワークテーブル３０はＺ方向に沿ったθ軸の周りに回転するようになっており、θ軸周りの回転によってワークＷの切削ラインをＸ方向に一致させることで、ワークＷの任意の方向の切削ラインが切削される。
【００３３】
また、本発明が適用されるダイシング装置１０として、上記の一対のスピンドルユニット２８のうちのいずれか一方のみを備えたものであってもよく、以下において、図１のロードポート１２側から加工部２０をＸ方向に見たときの右側のスピンドルユニット２８に関連する構成のみを説明する。
【００３４】
図２は、加工部２０におけるスピンドルユニット２８の先端部周辺を拡大して示した斜視図である。
【００３５】
同図に示すスピンドルユニット２８は、略全体を覆うスピンドルハウジング４０と、スピンドルハウジング４０から突出したスピンドル４２（回転軸部材）とを有する。
【００３６】
スピンドルハウジング４０は、加工部２０においてモータ駆動によりＹ方向及びＺ方向に移動する不図示の支持部材に支持される。このスピンドルハウジング４０は、スピンドル４２を回動自在に支持すると共に、スピンドル４２を回転駆動するモータを内蔵する。
【００３７】
スピンドル４２は、円柱状に形成されており、その軸心がＹ方向と平行となるように配置されとともに、一部がスピンドルハウジング４０の先端側に突出して配置される。そのスピンドルハウジング４０から突出したスピンドル４２の先端部に同図では詳細な構造を省略したブレード２６が取り付けられる。
【００３８】
スピンドル４２は、スピンドルハウジング４０に内蔵された上記モータにより軸心（回転軸Ａｓ）周りに回転する。
【００３９】
これにより、ブレード２６は、スピンドル４２の回転によって回転軸Ａｓを中心にして回転する。また、ブレード２６は、スピンドルユニット２８のＹ方向及びＺ方向の移動によってＹ方向及びＺ方向に移動する。
【００４０】
ブレード２６は、円環状で、かつ、薄板状に形成されており、円環状の両側面ｓｆ、ｓｂ（表面ｓｆと裏面ｓｂ）と、中央部に貫通形成された嵌合孔４４を有する。詳細な構成の説明は省略するが、ブレード２６は、嵌合孔４４にスピンドル４２を挿通させた状態でスピンドル４２の先端部に着脱可能に固定される。これによって、ブレード２６の中心軸がスピンドル４２の軸心、即ち、回転軸Ａｓと同軸上に配置され、ブレード２６の両側面が回転軸Ａｓ（Ｙ方向）に対して直交する方向に沿って配置される。
【００４１】
なお、ブレード２６の両側面ｓｆ、ｓｂのうち、スピンドル４２の先端側に配置される面を表面ｓｆ、スピンドルハウジング４０側に配置される面を裏面とする。
【００４２】
また、ブレード２６は、スピンドルユニット２８の周辺部の一部構成要素をＹ方向（ブレード２６の表面側）から示した図３に示すように、外周部にダイヤモンドなどの砥粒を含む極薄の切削砥石部４６を有し、その切削砥石部４６を円環状の基台４８が支持する構造（いわゆるハブタイプブレード）を有する。したがって、スピンドル４２の回転によりブレード２６が回転軸Ａｓの周りに回転すると、切削砥石部４６が回転軸Ａｓに直交する面内で回転移動する。そして、ブレード２６が回転しながらブレード２６の外周部がワークテーブル３０に保持されたワークＷに接触することにより、切削砥石部４６がワークＷを切削する。なお、ブレード２６は、基台４８を有していないものなど、どのような構造であってもよい。
【００４３】
ここで、ワークＷの切削時におけるブレード２６の回転方向は、ブレード２６の表面ｓｆ側からみて時計回り方向（図３において時計回り方向）となっており、ブレード２６とワークＷとが接触する加工点Ｐ０に対して右側を加工点Ｐ０に対して前側又は単に上流側といい、左側を後側又は単に下流側というものとする。
【００４４】
ブレード２６の周辺部には、図２に示すようにブレードカバー５０が設けられる。ブレードカバー５０は、スピンドルハウジング４０に固定されており、ブレード２６の外周を覆うように配置される。これにより、後述のようにブレード２６に吐出された切削液や切削屑等が加工部２０の外部に飛散することが抑止される。
【００４５】
ブレードカバー５０の加工点Ｐ０よりも前側（上流側）の位置には、切削液供給手段としての切削液ノズル５２が設置される。切削液ノズル５２は、水などの切削液を吐出する先端部がブレード２６の外周に対向する位置に配置される。また、切削液ノズル５２には、不図示の切削液供給管が接続される。
【００４６】
これにより、加工点Ｐ０よりも上流側の位置において、切削液供給管から切削液ノズル５２に供給された切削液が、切削液ノズル５２の先端部からブレード２６の外周部に向けて吐出される。そして、その切削液がブレード２６の回転と共に加工点Ｐ０へと流れて加工点Ｐ０に切削液が供給される。従って、加工点Ｐ０において発生する切削屑が切削液とともに除去され、また、ブレード２６や加工点Ｐ０が切削液により冷却される。
【００４７】
ブレードカバー５０の下部には、液体カーテン生成手段としての一対の誘導液ノズルユニット６０、６２が配置される。各誘導液ノズルユニット６０、６２は、ブレードカバー５０の加工点Ｐ０よりも前側（上流側）の位置に固定される支持部６４、６６と、支持部６４、６６から後側（下流側）に延在する誘導液ノズル６８、７０とを有する。
【００４８】
なお、誘導液ノズル６８、７０は、ブレード２６を間に挟んでブレード２６の表面ｓｆ側と裏面ｓｂ側とに配置されており、図３には、ブレード２６の表面ｓｆ側に配置される誘導液ノズル６８とその支持部６４とからなる誘導液ノズルユニット６０のみが示されている。
【００４９】
支持部６４、６６は、各々、誘導液ノズル６８、７０の基端部を固持してそれらの誘導液ノズル６８、７０を支持する。また、支持部６４、６６には、詳細を後述する誘導液（水など）を供給する不図示の供給管が接続される。支持部６４、６６の内部には、供給管から誘導液ノズル６８、７０に連通する管路が形成される。これにより、供給管から供給された誘導液が支持部６４、６６の管路を介して誘導液ノズル６８、７０に供給される。
【００５０】
誘導液ノズル６８、７０は、先端部を除く基端部側の長手部が支持部６４、６６から互いに平行となるように延設されてブレード２６を間に挟んだ位置に配置される。それらの長手部の軸心は、スピンドル４２の回転軸Ａｓに直交する方向で、かつ、水平方向に配置される。即ち、２本の誘導液ノズル６８、７０の長手部は、Ｘ方向に沿って延在する。
【００５１】
また、２本の誘導液ノズル６８、７０のうちの一方の誘導液ノズル６８はブレード２６の表面ｓｆ側に配置され、他方の誘導液ノズル７０はブレード２６の裏面ｓｂ側に配置され、各々の先端部が加工点Ｐ０の近くに配置される。
【００５２】
図４は、誘導液ノズル６８、７０及び後述の排液回収部材８０をＸＹ平面に投影して示した模式図であり、加工点Ｐ０（ブレード２６の外周端の最下点の位置）をＸ軸及びＹ軸の原点位置とし、ブレード２６の回転方向（スピンドル４２の回転軸Ａｓに直交する方向）をＸ方向として示している。
【００５３】
図３及び図４に示すように、各誘導液ノズル６８、７０の先端には、誘導液を吐出する吐出口６８Ａ、７０Ａ（開口）が設けられる。これにより、誘導液ノズル６８、７０の各々に供給された誘導液は誘導液ノズル６８、７０の各々の先端から吐出される。
【００５４】
また、各誘導液ノズル６８、７０の先端部には、吐出口６８Ａ、７０Ａの向きをＸ方向と異なる方向に設定する湾曲部６８Ｂ、７０Ｂが設けられる。これにより、誘導液ノズル６８、７０の吐出口６８Ａ、７０Ａの方向が、各々の吐出口６８Ａ、７０Ａから吐出された誘導液が互いに交差（衝突）する方向に設定される。
【００５５】
より詳細に説明すると、各々の吐出口６８Ａ、７０Ａの方向、即ち、吐出口６８Ａ、７０Ａ付近における誘導液ノズル６８、７０の軸線方向は、Ｘ方向（後向き）からブレード２６側に向けた方向となるようにＺ軸周りに所定角度（少なくとも９０度未満）回転させた方向に設定される。そして更に、水平方向から下向きとなるようにＹ軸周りに所定角度（少なくとも９０度未満）回転させた方向に設定される。
【００５６】
本実施の形態では、誘導液ノズル６８と誘導液ノズル７０とは、Ｘ軸（ＸＺ平面）に対して対称の形状、配置となっており、吐出口６８Ａ、７０Ａから吐出された誘導液が互いに交差する点を衝突点Ｐ１として、ＸＹ平面に投影すると、図４に示すようにＸ方向及びＹ方向に関して、加工点Ｐ０よりも下流側となるＸ軸上（ＸＺ平面上）の位置に衝突点Ｐ１が設定される。そして、その衝突点Ｐ１に向けて誘導液が吐出されるように誘導液ノズル６８、７０の湾曲部６８Ｂ、７０ＢのＸ方向及びＹ方向の湾曲角度が設定されて吐出口６８Ａ、７０Ａの方向（及び位置）が設定される。なお、本実施の形態では、誘導液ノズル６８、７０の各々から吐出される誘導液の流量（流速）は等しい。
【００５７】
また、Ｚ方向に関しては、衝突点Ｐ１は図３に示すようにワークＷの表面より低い位置に設定され、その衝突点Ｐ１のＺ方向の位置に向けて誘導液が吐出されるように誘導液ノズル６８、７０の湾曲部６８Ｂ、７０ＢのＺ方向の湾曲角度が設定されて吐出口６８Ａ、７０Ａの方向が設定される。ただし、衝突点Ｐ１のＺ方向の位置はワークＷの表面と一致していてもよい。また、衝突点Ｐ１をワークＷの表面に設定し、湾曲部６８Ｂ、７０ＢのＸ方向及びＹ方向の湾曲角度を上記のように設定すれば、湾曲部６８Ｂ、７０Ｂの各々のＺ方向の湾曲角度は、必ずしも衝突点Ｐ１の位置に向けて誘導液が吐出される角度に設定する必要はなく、衝突点Ｐ１の手前でワークＷの表面に誘導液が到達する角度に設定してもよい。
【００５８】
以上の誘導液ノズルユニット６０、６２によれば、図２〜図４に示すように、各誘導液ノズル６８、７０の吐出口６８Ａ、７０Ａから吐出された誘導液７２、７４は、衝突点Ｐ１の近傍の点（図４の点Ｐ２、Ｐ３）でワークＷ表面に到達してワークＷ表面を線状に流れた直後に衝突点Ｐ１のワークＷ表面上への投影位置で互いに衝突する。そして、その衝突により、誘導液がワークＷ表面からブレード２６と反対側の方向に向けて立ちのぼり（隆起して）、略ＸＺ平面に沿ったウォーターカーテン７６（液体カーテン）が形成される。
【００５９】
このウォーターカーテン７６は、図３に示すように前端部７６Ａがブレード２６の外周部に接触せず、且つ、できるだけブレード２６の外周部の近傍を通過するような角度で斜め後方に向けて立ちのぼるように、誘導液ノズル６８、７０の湾曲部６８Ｂ、７０ＢのＺ方向の湾曲角度（吐出口６８Ａ、７０Ａの方向）等によって調整される。
【００６０】
一方、ワークＷの切削時において、加工点Ｐ０から飛散した切削屑を含む切削液（排液）は、ウォーターカーテン７６の前端部７６Ａに衝突して混入し、ウォーターカーテン７６に捕獲されてウォーターカーテン７６の表面付近を誘導液と共に流れる。そして、後述のように排出管路から排出される。
【００６１】
図２、図３に示すようにブレードカバー５０の加工点Ｐ０よりも後側（下流側）の位置、即ち、回転するブレード２６によって加工点Ｐ０から排液が飛散する側となる位置には、排液を排出管路に誘導するための排液回収手段として排液回収部材８０が設置される。
【００６２】
排液回収部材８０は、加工点Ｐ０よりも後側に配置されるガイド部８２と、ガイド部８２の後側上部に連設される回収部本体８４とを有する。
【００６３】
ガイド部８２は、水平方向に対して斜めに傾斜し、前側に向かって下降する（後側に向かって上向きに傾斜する）ガイド面８６と、水平方向の沿った下面８８とを有する。ガイド面８６の前端は、誘導液ノズル６８、７０から吐出された誘導液が衝突する位置、即ち、衝突点Ｐ１よりも後側に配置される。下面８８は、水平面であって、ワークＷの表面に対して接触しないように微小な隙間を有した位置に配置される。
【００６４】
回収部本体８４は、前後方向（Ｘ方向）に貫通する矩形状の貫通孔を排液回収口９０として有する。回収部本体８４の後側には、不図示の排液管が接続されており、排液回収口９０は、その排液管の管路（排出管路）に連通する。
【００６５】
また、排液回収口９０の下面９２は、ガイド部８２のガイド面８６から段差無く連続的に形成される。
【００６６】
この排液回収部材８０によれば、上述のようにウォーターカーテン７６を形成した誘導液は、ガイド面８６にすくい上げられて排液回収口９０に誘導される。特に、ウォーターカーテン７６の前端部７６Ａの表面付近の誘導液は、ガイド部８２の下面８８とワークＷ表面との隙間に入り込むことなく、確実に排液回収口９０に誘導される。そして、排液回収口９０に誘導された誘導液は、排液管の管路（排出管路）を流れて加工部２０の外部に排出される。
【００６７】
一方、回転するブレード２６によりワークＷを切削している際に、切削屑が含まれる切削液、即ち、排液は、ウォーターカーテン７６に前端部７６Ａに衝突して誘導液に混入する。その排液は、流速の早いウォーターカーテン７６の前端部７６Ａの表面付近を誘導液と共に流れ、ガイド面８６から離れた位置を通過して排液回収口９０へと誘導される。
【００６８】
従って、ガイド部８２の下面８８とワークＷ表面との間の隙間に誘導液が進入したとしても、切削屑を含む排液はその隙間に進入することなく、確実に排液回収口９０へと誘導されて排液管の管路（排出管路）を流れて外部に排出される。
【００６９】
また、誘導液ノズル６８、７０から吐出される誘導液の流れは速く、排出管路を流れる誘導液及び排液の動圧（運動エネルギー）が大きいため、排出管路を吸引装置により吸引しなくても誘導液及び排液を、排出管路を通じて外部に排出することができる。したがって、装置構成が簡素であり、コストの低減も図ることができる。
【００７０】
以上の実施の形態では、図４に示すように排液回収部材８０の排液回収口９０のＹ方向に関する中心位置が、Ｘ軸（ブレード２６のＹ方向の位置）と略一致する位置に配置したが、必ずしも、これに限らない。
【００７１】
例えば、図４と同様に誘導液ノズル６８、７０及び排液回収部材８０をＸＹ平面に投影して示した図５に示すように誘導液ノズル６８に供給する誘導液の圧力を、誘導液ノズル７０に供給する誘導液の圧力よりも高くして、誘導液ノズル６８から吐出する誘導液７２の流量（流速）を誘導液ノズル７０から吐出する誘導液７４の流量（流速）よりも大きくしたとする。
【００７２】
このとき、ウォーターカーテン７６が形成される方向、即ち、ウォーターカーテン７６の誘導液のＸ及びＹ方向に関する流れ方向は、Ｘ方向に対して流量の小さい誘導液ノズル７０側に曲げた方向となる。
【００７３】
このように誘導液ノズル６８、７０から吐出する誘導液の流量（流速）を調整することによって、ウォーターカーテン７６の形成方向を調整することができる。したがって、排液回収部材８０の排液回収口９０のＹ方向の中心位置をＸ軸上からＹ方向にずらした位置に設けた場合であっても、ウォーターカーテン７６を排液回収口９０に向けた方向に形成して、誘導液及び排液を排液回収部材８０で適切に回収することができる。
【００７４】
また、ウォーターカーテン７６の形成方向を調整する方法として、誘導液ノズル６８、７０の吐出口６８Ａ、７０Ａの各々の位置や向きをＸ軸（ＸＺ平面）に対して非対称とし、吐出口６８Ａ、７０Ａから衝突点Ｐ１へと向う誘導液の流れ方向を調整する方向もある。
【００７５】
更に、ウォーターカーテン７６の形成方向を調整する方法として、図４と同様に誘導液ノズル６８、７０及び排液回収部材８０をＸＹ平面に投影して示した図６、及び、図６の構成を立体的に示した図７に示すように、ウォーターカーテン７６の一方の側部に接触するように円柱部材１００を配置する方法も採用できる。
【００７６】
即ち、コアンダ効果により円柱部材１００の周面に沿ってウォーターカーテン７６を曲げることができ、ウォーターカーテン７６内を流れる誘導液の流れ方向を変えることができる。円柱部材１００は、ブレードカバー５０や排液回収部材８０等の任意の部材に固定することができる。
【００７７】
これによれば、排液回収部材８０の排液回収口９０の位置に応じて、円柱部材１００の位置や直径を調整することによって、ウォーターカーテン７６の曲げ量を調整し、誘導液及び排液を排液回収部材８０で適切に回収することができる。なお、円柱状の部材に限らず湾曲面を有する部材の湾曲面をウォーターカーテン７６に接触させることによって上述と同様の効果を得ることができる。
【００７８】
また、上述のようにウォーターカーテン７６の形成方向を調整することによって排液回収部材８０の排液回収口９０を設ける位置の自由度が増すため、例えば、図１に示したように２つのスピンドルユニット２８が対向配置されるツインスピンドルタイプのダイシング装置１０の場合にそれらの２つのスピンドルユニット２８の各々に対して設けられる排液回収部材８０を互いに干渉しない位置に設けることができる。
【００７９】
即ち、ツインスピンドルタイプのダイシング装置１０の場合、２つのブレード２６、２６を近接させた際にそれらに対応して設けられた２つの排液回収部材８０が干渉してしまう可能性がある。
【００８０】
そこで、図８に示すように各々のスピンドルユニット２８の排液回収部材８０の排液回収口９０のＹ方向に関する中心位置を、ブレード２６のＹ方向の位置に対してスピンドルハウジング４０側に近付けた位置に設置する。これによって、排液回収部材８０の干渉を防止することができる。そして、この場合に、上述のような方法でウォーターカーテン７６の形成方向を調整すれば、誘導液及び排液を排液回収部材８０に適切に回収することができる。
【００８１】
以上、上記実施の形態において説明した排液回収部材８０の構成は一例であって、ウォーターカーテンの誘導液が流れる方向に配置されて誘導液に混入した廃液を回収することができる排液回収手段であれば、どのような構成のものであってもよい。
【００８２】
また、本発明は、ツインスピンドルタイプのダイシング装置（切削装置）に限らず、シングルスピンドルタイプのダイシング装置やその他の任意のダイシング装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００８３】
１０…ダイシング装置、２０…加工部、２６…ブレード、２８…スピンドルユニット、３０…ワークテーブル、４２…スピンドル、４６…切削砥石部、５０…ブレードカバー、５２…切削液ノズル、６０、６２…誘導液ノズルユニット、６４、６６…支持部、６８、７０…誘導液ノズル、６８Ａ、７０Ａ…吐出口、６８Ｂ、７０Ｂ…湾曲部、７２、７４…誘導液、７６…ウォーターカーテン（液体カーテン）、８０…排液回収部材、８２…ガイド部、８４…回収部本体、８６…ガイド面、９０…排液回収口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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