(57)【要約】【課題】本発明の目的は、組立作業性に優れ、各測温接点の位置ずれが少ない多点式熱電対を提供することである。【解決手段】本発明に係る多点式熱電対１は、芯棒１０と、芯棒１０の外周面の少なくとも一部を拡径させた段付き部２０と、一対の金属素線３１を、絶縁管３２の一対の貫通孔３３にそれぞれ挿通させるとともに絶縁管３２の一方の端部から延出させ、延出された部分同士を接合して形成された測温接点３４を有し、測温接点３４の位置を芯棒１０の軸方向で相互にずらして芯棒１０の周囲に配置されるｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）の熱電対３０と、絶縁管３２の測温接点３４側とは反対側の端部に配置され、金属素線３１又は絶縁管３２を挿通させる複数個の周辺孔４１を有する多穴絶縁管部４０と、少なくとも、芯棒１０、段付き部２０及び熱電対３０を収容する保護管５０と、を備える。【選択図】図１
2015215220.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
芯棒と、
該芯棒の外周面の少なくとも一部を拡径させた段付き部と、
一対の金属素線を、絶縁管の一対の貫通孔にそれぞれ挿通させるとともに前記絶縁管の一方の端部から延出させ、延出された部分同士を接合して形成された測温接点を有し、該測温接点の位置を前記芯棒の軸方向で相互にずらして前記芯棒の周囲に配置されるｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）の熱電対と、
前記絶縁管の前記測温接点側とは反対側の端部に配置され、前記金属素線又は前記絶縁管を挿通させる複数個の周辺孔を有する多穴絶縁管部と、
少なくとも、前記芯棒、前記段付き部及び前記熱電対を収容する保護管と、を備えることを特徴とする多点式熱電対。
【請求項２】
前記段付き部は、前記多点式熱電対の軸方向に垂直な断面において前記熱電対の数が１個以上（ｎ−１）個以下となる部位に配置され、かつ、
前記断面に存在する熱電対を係止する溝を有することを特徴とする請求項１に記載の多点式熱電対。
【請求項３】
前記段付き部は、前記多点式熱電対の軸方向に垂直な断面において前記熱電対の数が［０．５ｎ］以下となる部位に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の多点式熱電対。
【請求項４】
前記段付き部が、前記芯棒と一体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の多点式熱電対。
【請求項５】
前記多穴絶縁管部が、前記保護管内に収容されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の多点式熱電対。
【請求項６】
前記多穴絶縁管部は、前記芯棒を挿通させる中央孔を更に有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の多点式熱電対。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱電対に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の炉のように、広範囲にわたって厳しい温度制御が求められる場合があり、温度制御には、通常、一本の保護管内に複数対の熱電対が収容された多点式熱電対が使用される。多点式熱電対では、保護管の軸方向における測温接点の位置の違いはもちろん、保護管の周方向（横断面）における測温接点の位置の違いが、測定温度に影響して問題となる場合がある。保護管内には、クリアランスがあり、そのクリアランス内で測温接点が動いて位置がずれると、測定温度にずれが生じてしまう。あるいは、一の熱電対がクリアランス内を動いて他の熱電対の測温接点と熱源との間に位置した場合、他の熱電対では、一の熱電対によって熱が遮られて測定温度にずれが生じてしまう。
【０００３】
保護管内における温度センサの感応部を保護管の長さ方向の配置だけでなく、保護管内の断面上の配置をも特定して厳密な測定対象位置の温度測定を可能とするために、保護管内に棒状部材を設置した温度計が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。保護管内に、測温接点を保護管内部中心に位置させるガイド部材を設けた熱電対が提案されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２３４７３４号公報
【特許文献２】特開平１０−１５３４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１では、各熱電対の周方向における位置ずれを防止するために、例えば、熱電対の数に合わせて凸部を形成する必要があり、棒状部材の形状が複雑になる。また、棒状部材の断面形状を多角形、円形などの単純な形状にした場合は、多点式熱電対の先端側では熱電対の数が少なくなるため、クリアランスが大きくなり、棒状部材の位置が定まらない。その結果、測温接点の位置もずれやすくなる。特許文献２では、一対の熱電対に対して複数の部材を用いるため、組立作業性が劣る。さらに、複数の部材の寸法誤差が、保護管の軸方向における測温接点の位置に影響するため、保護管軸方向において測温接点を正確に配置することが難しい。
【０００６】
本発明の目的は、組立作業性に優れ、各測温接点の位置ずれが少ない多点式熱電対を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る多点式熱電対は、芯棒と、該芯棒の外周面の少なくとも一部を拡径させた段付き部と、一対の金属素線を、絶縁管の一対の貫通孔にそれぞれ挿通させるとともに前記絶縁管の一方の端部から延出させ、延出された部分同士を接合して形成された測温接点を有し、該測温接点の位置を前記芯棒の軸方向で相互にずらして前記芯棒の周囲に配置されるｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）の熱電対と、前記絶縁管の前記測温接点側とは反対側の端部に配置され、前記金属素線又は前記絶縁管を挿通させる複数個の周辺孔を有する多穴絶縁管部と、少なくとも、前記芯棒、前記段付き部及び前記熱電対を収容する保護管と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る多点式熱電対では、前記段付き部は、前記多点式熱電対の軸方向に垂直な断面において前記熱電対の数が１個以上（ｎ−１）個以下となる部位に配置され、かつ、前記断面に存在する熱電対を係止する溝を有することが好ましい。保護管の横断面上での各熱電対の位置ずれを抑制することができる。
【０００９】
本発明に係る多点式熱電対では、前記段付き部は、前記多点式熱電対の軸方向に垂直な断面において前記熱電対の数が［０．５ｎ］以下となる部位に配置されることが好ましい。芯棒の位置ずれを抑制することができる。
【００１０】
本発明に係る多点式熱電対では、前記段付き部が、前記芯棒と一体であることが好ましい。一体であることによって部材の寸法誤差が小さくなり、芯棒の位置ずれを抑制できる。また、部品点数を減らして、組立作業性をより向上させることができる。
【００１１】
本発明に係る多点式熱電対では、前記多穴絶縁管部が、前記保護管内に収容されていることが好ましい。各熱電対の保護管の周方向及び軸方向における位置をより確実に固定させることができる。
【００１２】
本発明に係る多点式熱電対では、前記多穴絶縁管部は、前記芯棒を挿通させる中央孔を更に有することが好ましい。芯棒の位置ずれを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、組立作業性に優れ、各測温接点の位置ずれが少ない多点式熱電対を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係る多点式熱電対の一例を示す側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線切断部端面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線切断部端面図である。
【図４】図１のＣ−Ｃ線切断部端面図である。
【図５】図１のＣ−Ｃ線切断部端面図の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に本発明について実施形態を示して詳細に説明するが本発明はこれらの記載に限定して解釈されない。本発明の効果を奏する限り、実施形態は種々の変形をしてもよい。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る多点式熱電対の一例を示す側面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線切断部端面図である。本実施形態に係る多点式熱電対１は、芯棒１０と、芯棒１０の外周面の少なくとも一部を拡径させた段付き部２０と、一対の金属素線３１を、絶縁管３２の一対の貫通孔３３にそれぞれ挿通させるとともに絶縁管３２の一方の端部から延出させ、延出された部分同士を接合して形成された測温接点３４を有し、測温接点３４の位置を芯棒１０の軸方向で相互にずらして芯棒１０の周囲に配置されるｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）の熱電対３０と、絶縁管３２の測温接点３４側とは反対側の端部に配置され、金属素線３１又は絶縁管３２を挿通させる複数個の周辺孔４１を有する多穴絶縁管部４０と、少なくとも、芯棒１０、段付き部２０及び熱電対３０を収容する保護管５０と、を備える。
【００１７】
本実施形態に係る多点式熱電対１は、例えば、保護管５０がＬ字状である形態（図１に図示）、保護管が直線状である形態（不図示）を包含する。まず、保護管５０がＬ字状である形態について説明する。
【００１８】
保護管５０は、一端が閉塞した中空部材である。保護管５０は、閉塞端５０ａを含む第一直線部５１と、屈曲部５２と、第二直線部５３とを有し、全体としてＬ字状をなす。保護管５０の他端（不図示）は開口しており、芯棒１０、段付き部２０及び熱電対３０などを収容後、密封される。密封前にガス置換又は減圧を行ってもよい。保護管５０の横断面形状は、特に限定されないが、例えば、円形、楕円形、多角形である。保護管５０の材質は、例えば、セラミックス、石英、融点１７００℃以上の高融点金属である。
【００１９】
熱電対３０は、ゼーベック効果を利用した温度センサである。熱電対３０は、保護管５０内に収容される。一対の金属素線３１の組合せは、特に限定されないが、例えば、成分の異なるＰｔ−ＲｈとＰｔ−Ｒｈとの組合せ（例えばＢ熱電対）、Ｐｔ−ＲｈとＰｔとの組合せ（例えばＲ熱電対、Ｓ熱電対）、Ｎｉ−Ｃｒ−Ｓｉ系合金とＮｉ−Ｓｉ系合金との組合せ（例えばＮ熱電対）、Ｎｉ−Ｃｒ系合金とＮｉ−Ａｌ系合金との組合せ（例えばＫ熱電対）、ＷとＲｅとの組合せ（Ｗ−Ｒｅ熱電対）、ＩｒとＲｈとの組合せ（Ｉｒ−Ｒｈ熱電対）である。一対の金属素線３１は、短絡しないように、一方の端部を絶縁管３２の一方の端部から延出させた状態で、絶縁管３２の一対の貫通孔３３にそれぞれ挿通される。測温接点３４は、一対の金属素線３１の絶縁管３２から延出した部分同士を例えば溶接によって接合して形成される。測温接点３４は、第一直線部５１内に配置されることが好ましい。
【００２０】
多点式熱電対１は、熱電対３０をｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）有する。図１及び図２では、一例として熱電対３０が５本である形態を示したが、本発明はこれに限定されない。ｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）の熱電対３０は、図１に示すように、測温接点３４の位置を芯棒１０の軸方向で相互にずらして芯棒１０の周囲に配置される。熱電対３０は、絶縁管３２の軸方向を芯棒１０の軸方向に対して平行に配置されることが好ましい。各熱電対３０の測温接点３４の位置は、温度測定位置に応じて適宜設計される。
【００２１】
保護管５０がＬ字型であるとき、熱電対３０は、絶縁管３２として、第一直線部５１に配置される第一絶縁長管３２ａと、屈曲部５２に配置される絶縁短管３２ｂと、第二直線部５３に配置される第二絶縁長管３２ｃとを有することが好ましい。第一絶縁長管３２ａは、各熱電対３０の測温接点３４の近傍から多穴絶縁管部４０に至る長さを有する直線状の管である。絶縁短管３２ｂは、ビーズ状をなし、複数個を並べて配置されることで、絶縁短管３２ｂ同士の間で屈曲可能となる。第二絶縁長管３２ｃは、第二直線部５３と略同じ長さを有する直線状の管である。
【００２２】
絶縁管３２（３２ａ，３２ｂ，３２ｃ）は、両端が開口した中空部材である。本実施形態では、絶縁管３２（３２ａ，３２ｂ，３２ｃ）として、例えば、一つの管に二つの貫通孔３３を有する二穴管を用いる（図２に図示）か、又は一つの管に一つの貫通孔３３を有する管を二本一組で用いてもよい（不図示）。より好ましくは、二穴絶縁管を用いる。二穴絶縁管を用いることで、部品点数が少なくなり、組立作業性がより向上できる。絶縁管３２（３２ａ，３２ｂ，３２ｃ）の横断面の形状は、特に限定されないが、例えば、楕円形（図２に図示）、円形（不図示）、多角形（不図示）である。絶縁管３２（３２ａ，３２ｂ，３２ｃ）の材質は、絶縁性を有する材質であれば特に限定されないが、例えば、セラミックス、石英である。本明細書において、絶縁性とは、例えば、大気中で０〜１７００℃における抵抗値が１０１Ω・ｃｍ以上であることをいう。
【００２３】
芯棒１０は、棒状部材である。芯棒１０の横断面の形状は、例えば、円形（図２に図示）、楕円形（不図示）、多角形（不図示）である。本実施形態に係る多点式熱電対１では、多穴絶縁管部４０によって各熱電対３０の保護管５０の周方向における位置を固定させることができるため、熱電対３０の保護管５０の周方向における位置を固定すべく、芯棒１０の横断面形状を熱電対の数に合わせて凸部を形成するなど複雑な形状にすることを必須としない。このため、芯棒１０の横断面の形状を、円形（図２に図示）、楕円形（不図示）、多角形（不図示）などのように単純形状とすることができ、加工が容易になる。芯棒１０の材質は、輻射熱を透過しやすい材質であることが好ましく、例えば、石英、サファイア、合成ガラス、フッ化カルシウムである。芯棒１０は、保護管５０内に収容される。より好ましくは、第一直線部５１内に配置される。芯棒１０は、図２に示すように、保護管５０の横断面の中心部に配置されることが好ましい。
【００２４】
図３は、図１のＢ−Ｂ線切断部端面図である。段付き部２０は、芯棒１０の外周面の少なくとも一部を拡径させた部分である。段付き部２０の半径ｒは、保護管５０の半径（内径）Ｒよりも僅かに小さいことが好ましい。段付き部２０の半径ｒは、芯棒１０の中心部Ｏから段付き部２０の外周までの距離である。ｒ／Ｒは、０．７５０〜０．９９５であることが好ましく、０９００〜０．９９０であることがより好ましい。段付き部２０の半径ｒを保護管５０の半径Ｒよりも僅かに小さくすることで、芯棒１０が保護管５０内でがたつくことを防止することができる。段付き部２０は、図３に示すように芯棒１０と一体であるか、又は芯棒１０と別体であってもよい（不図示）。本実施形態に係る多点式熱電対１では、図３に示すように、段付き部２０が、芯棒１０と一体であることが好ましい。段付き部２０と芯棒１０とが一体であることによって、段付き部２０が多点式熱電対の軸方向に変動することを抑制し、熱電対が段付き部から外れて動くことなく固定できる。その結果、部材の寸法誤差が小さくなりｒ／Ｒを大きくすることができる。また、部品点数を減らして、組立作業性をより向上させることができる。
【００２５】
段付き部２０は、例えば、保護管５０内であって、多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が１個以上（ｎ−１）個以下となる部位に配置される。図３では、一例として、熱電対３０の数が２個となる部位に段付き部２０を配置した例を示した。段付き部２０が、多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が１個以上（ｎ−１）個以下となる部位に配置されるとき、段付き部２０は、断面に存在する熱電対３０を係止する溝２１を有することが好ましい。溝２１は、段付き部２０において芯棒１０の外周面の全周に対して一部分を拡径せずに形成された切り欠き状の部分である。熱電対３０を溝２１に係止させることで、保護管５０の横断面上での各熱電対３０の位置ずれを抑制することができる。図３では、段付き部２０を設けた部分の多点式熱電対１の横断面に存在する二つの熱電対３０を一つの溝２１に係止させた形態を示したが、横断面に存在する二つの熱電対３０間に仕切り壁（不図示）を設けて溝２１を二区画に分割し、各区画に熱電対３０をひとつずつ係止させてもよい。図１では、段付き部２０を１個だけ設けた形態を示したが、段付き部２０は２個以上設けてもよい。
【００２６】
段付き部２０は、多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が［０．５ｎ］以下となる部位に配置されることが好ましい。ここで、［］はガウス記号であり、［０．５ｎ］は０．５ｎを超えない最大の整数を表す。例えば、ｎが５のとき、［２．５］は２である。多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面における熱電対３０の数が少なくなるほど、保護管５０内のクリアランスが大きくなり、芯棒１０が保護管５０内でがたつきやすくなるところ、多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面における熱電対３０の数が少ない部分に段付き部２０を設けることで、芯棒１０の位置ずれをより効率的に抑制することができる。
【００２７】
段付き部２０は、多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が０個となる部位に配置されてもよい。多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が０個となる部位は、最長の熱電対３０の測温接点３４よりも芯棒１０の先端側である。段付き部２０が多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が０個となる部位に配置されるとき、段付き部２０は芯棒１０の外周面の全周にわたって設けることが好ましい。
【００２８】
図４は、図１のＣ−Ｃ線切断部端面図である。多穴絶縁管部４０は、蓮根状の部材である。周辺孔４１は貫通孔であり、金属素線３１を挿通させる。ｎ本の熱電対３０を多穴絶縁管部４０でひとまとめに束ねることで、各熱電対３０の保護管５０の周方向における位置を固定させることができる。周辺孔４１には、絶縁管３２を挿通させてもよい。
【００２９】
図５は、図１のＣ−Ｃ線切断部端面図の変形例を示す図である。多穴絶縁管部４０は、芯棒１０を挿通させる中央孔４２を更に有することが好ましい。中央孔４２は、貫通孔であるか、又はくぼみであってもよい。芯棒１０を中央孔４２に挿通又は嵌合させることで、芯棒１０の位置ずれをより抑制することができる。
【００３０】
多穴絶縁管部４０は、保護管５０内に収容されることが好ましく、第一直線部５１の屈曲部５２側の端部に配置されることがより好ましい。各熱電対３０の保護管５０の周方向および軸方向における位置をより確実に固定させることができる。
【００３１】
多穴絶縁管部４０は２個以上配置してもよい。多穴絶縁管部４０を２個以上配置する場合は、多穴絶縁管部４０は、第一直線部５１の屈曲部５２側の端部に加えて、第二直線部５３の屈曲部５２側の端部に配置することが好ましい。多穴絶縁管部４０を第一直線部５１の屈曲部５２側の端部及び第二直線部５３の屈曲部５２側の端部に配置することで、各熱電対３０の保護管５０の周方向および軸方向における位置をより確実に固定させることができる。
【００３２】
次に、本実施形態に係る多点式熱電対１の組立工程において、ｎ本の熱電対３０を保護管５０内に挿入する工程の一例について説明する。まず、ｎ本の熱電対３０の金属素線３１又は絶縁管３２を、多穴絶縁管部４０の周辺孔４１に挿通させる。それにより、多穴絶縁管部４０によってｎ本の熱電対３０が一体となる。この多穴絶縁管部４０によってｎ本の熱電対３０が一体となったｎ本の熱電対３０の中心に芯棒１０を配置する。このとき、多穴絶縁管部４０によって一体となったｎ本の熱電対３０は、第一絶縁長管３２ａの長さによって測温接点３４の位置が所定の温度測定位置に配置する。また、段付き部２０が多点式熱電対１の軸方向に垂直な断面において熱電対３０の数が１個以上（ｎ−１）個以下となる部位に配置される場合は、溝２１に熱電対３０を係止させる。最後に、芯棒１０の周囲に配置され、かつ、多穴絶縁管部４０によってひとまとめにされたｎ本の熱電対３０を、保護管５０内に挿入する。このように、ｎ本の熱電対３０は芯棒１０の周囲に配置された状態で多穴絶縁管部４０によってひとまとめにされていることから、ｎ本の熱電対３０の配置を保ちながら保護管５０内に容易に挿入することができ、組立作業性が高い。
【００３３】
本実施形態は、保護管５０が屈曲部５２で略９０°に屈曲したＬ字状に限定されず、保護管５０が屈曲部５２で鋭角又は鈍角に屈曲した形状であってもよい。
【００３４】
ここまで、保護管５０がＬ字状である形態について説明してきたが、保護管は直線状であってもよい。保護管５０が直線状である形態は、保護管５０が第一直線部５１だけを有する形態である。
【実施例】
【００３５】
以降、実施例を示しながら本発明についてさらに詳細に説明するが、本発明は実施例に限定して解釈されない。
【００３６】
（実施例１〜３）
図１に示す形状の多点式熱電対１を３本用意し、実施例１〜３とした。実施例１〜３について、縦振り試験、及び振動試験を行い、測温接点３４の位置ずれ（軸方向・周方向）及び芯棒の位置ずれ（周方向）を確認した。実施例１〜３は、いずれも次の構成を有する。多点式熱電対１において、保護管５０、芯棒１０及び段付き部２０の材質は石英であり、絶縁管３２の材質はアルミナである。保護管５０の第一直線部５１の長さは１３００ｍｍ、保護管５０の半径Ｒ（図３に図示）は３．４ｍｍ、芯棒１０の半径は１．５ｍｍ、段付き部２０の半径ｒ（図３に図示）は３．１２５ｍｍであり、絶縁管３２の長径は２．４ｍｍ、短径は１．５ｍｍである。また、各熱電対３０の測温接点３４の位置を、図１に示すように、保護管５０の閉塞端５０ａから近い順にＶ点、Ｗ点、Ｘ点（不図示）、Ｙ点、Ｚ点とし、第二直線部５３の中心軸からＶ点、Ｗ点、Ｘ点（不図示）、Ｙ点、Ｚ点の各点までの距離をｄ１、ｄ２、ｄ３（不図示）、ｄ４、ｄ５とし、ｄ１〜ｄ５の順に１２９０ｍｍ、１１４０ｍｍ、７８０ｍｍ、４２０ｍｍ、２７０ｍｍとなるように配置した（以降、各点までの距離を各点における規格値という。）。
【００３７】
（比較例１、２）
図１に示す形状の多点式熱電対１において芯棒１０（段付き部２０を含む）及び多穴絶縁管部５０を有さない多点式熱電対を２本用意し、比較例１、２とした。比較例１、２について、縦振り試験、及び振動試験を行い、測温接点３４の位置ずれ（軸方向・周方向）を確認した。比較例１、２は、いずれも芯棒１０（段付き部２０を含む）及び多穴絶縁管部５０を有さない以外は、実施例１〜３と同じ構成を有する。
【００３８】
（縦振り試験）
まず、多点式熱電対１を、保護管５０の閉塞端５０ａを上向きとし、次いで保護管５０の閉塞端５０ａを下向きとし、最後に保護管５０の閉塞端５０ａを上向きに戻すという縦振り操作を１回とし、当該縦振り操作を３０回行った。
【００３９】
（振動試験）
輸送包装試験機（ＢＦ−１００ＵＴ、アイデックス社製）を用いて、次の計測条件で振動試験を行った。
計測条件：
輸送包装モード  Ｌｏ周波数  １０Ｈｚ  Ｈｉ周波数  ４０Ｈｚ
加速度  約３．６Ｇ（４０Ｈｚ時）  ２分掃引×５回
（約５００ｋｍのトラック輸送を想定）
【００４０】
（測温接点の位置ずれ）
測温接点の位置ずれは次の通り評価した。
【００４１】
軸方向については、縦置き・横置きで測定した。縦置きは、多点式熱電対１を保護管５０の閉塞端５０ａを上向きとし、かつ、第一直線部５１を直角台に当てて設置した。横置きは、多点式熱電対１を保護管５０の閉塞端５０ａを横向きとし、かつ、第一直線部５１を水平な台に乗せて設置した。そして、縦置き及び横置きについて、それぞれ、完成時、縦振り操作１０回、２０回、３０回及び振動試験後の第二直線部５３の中心軸からＶ点、Ｗ点、Ｘ点、Ｙ点、Ｚ点までの距離を測定し、測定値と規格値との差（測定値−規格値）を求め、規格値からのずれ量とした。Ｖ点、Ｗ点、Ｘ点、Ｙ点、Ｚ点の各点において、得られた規格値からのずれ量の最大値と最小値との差を求め、軸方向での最大ずれ量（単位：ｍｍ）とし、表１に示した。
【００４２】
周方向については、多点式熱電対１を縦置きし、Ｖ点、Ｗ点、Ｘ点、Ｙ点、Ｚ点の各点において、完成時、縦振り操作１０回、２０回、３０回及び振動試験後の座標位置を確認し、最も離れた座標位置同士の直線距離を、周方向での最大ずれ量（単位：ｍｍ）とし、表２に示した。
【００４３】
【表１】
2015215220.tif 000003
【００４４】
【表２】
2015215220.tif 000004
【００４５】
表１に示すように、比較例１、２では、軸方向での最大ずれ量が横置き測定で最大２．５ｍｍ、縦置き測定で最大１ｍｍであるのに対して、実施例１〜３では、軸方向での最大ずれ量が横置き測定及び縦置き測定ともに最大０．５ｍｍであり、実施例１〜３は、比較例１、２よりも測温接点の軸方向における位置ずれが抑制できたことが確認された。表２に示すように、比較例１、２では、周方向での最大ずれ量が最大で５．２ｍｍであるのに対して、実施例１〜３では、周方向での最大ずれ量が最大で２．０ｍｍであり、実施例１〜３は、比較例１、２よりも測温接点の周方向における位置ずれが抑制できたことが確認された。
【００４６】
（芯棒の位置ずれ）
芯棒の位置ずれは次の通り評価した。図３に示す横断面において、完成時、縦振り操作１０回、２０回、３０回及び振動試験後の保護管５０の外周から段付き部２０と溝２１との境界までの距離ａ，ｂを測定した。ａ，ｂの値のうち、最大値と最小値との差を求め、芯棒のずれ量（単位：ｍｍ）とし、表３に示した。
【００４７】
【表３】
2015215220.tif 000005
【００４８】
表３に示すように、実施例１〜３では、芯棒のずれ量が最大で１．５ｍｍであり、芯棒のがたつきが抑制されていることが確認された。
【符号の説明】
【００４９】
１  多点式熱電対
１０  芯棒
２０  段付き部
２１  溝
３０  熱電対
３１  金属素線
３２  絶縁管
３２ａ  第一絶縁長管
３２ｂ  絶縁短管
３２ｃ  第二絶縁長管
３３  貫通孔
３４  測温接点
４０  多穴絶縁管部
４１  周辺孔
４２  中央孔
５０  保護管
５０ａ  閉塞端
５１  第一直線部
５２  屈曲部
５３  第二直線部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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