(57)【要約】【課題】監視対象の流体圧が所定圧以上になったときにエア通路の途中部に介装した開閉弁機構を閉弁駆動するようにしたエア通路開閉弁を提供する。【解決手段】エア通路開閉弁(1) は、監視対象の流体圧を受圧する弁体を介して検知用エア通路を開閉するものであり、このエア通路開閉弁(1) は、弁ケース(2) と、弁ケース(2）に形成された検知用エア通路(3) であって、一端部の第１ポート(3a)に加圧エアが供給されると共に他端部の第２ポート(3d)が大気開放される検知用エア通路(3) と、検知用エア通路(3) の途中部を開閉可能な開閉弁機構(4) と、開閉弁機構(4) の弁体(4A)を開弁方向へ付勢する圧縮スプリング(5) と、外部から供給される監視対象の流体圧を開閉弁機構(4) の弁体(4A)に作用させて圧縮スプリング(5) の付勢力に抗して開閉弁機構(4) を閉弁可能な閉弁機構(6) と、圧縮スプリング(5) の付勢力を調節可能な付勢力調節機構(22)とを備えている。【選択図】図２
2015068491.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象の流体圧を受圧する弁体を介して検知用エア通路を開閉するエア通路開閉弁であって、
弁ケースと、
前記弁ケースに形成された検知用エア通路であって、一端部に加圧エアが供給されると共に他端部が大気開放される検知用エア通路と、
前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構と、
前記開閉弁機構の弁体を開弁方向へ付勢する圧縮スプリングと、
外部から供給される監視対象の流体圧を前記開閉弁機構の弁体に作用させて前記圧縮スプリングの付勢力に抗して前記開閉弁機構を閉弁可能な閉弁機構とを備えたことを特徴とするエア通路開閉弁。
【請求項２】
前記弁ケースに前記圧縮スプリングの付勢力を調節可能な付勢力調節機構を設けたことを特徴とする請求項１に記載のエア通路開閉弁。
【請求項３】
前記弁ケースは、前記圧縮スプリングを収容するスプリング収容穴と、このスプリング収容穴の一端に連通すると共に前記弁体を可動に収容する弁体収容穴とを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のエア通路開閉弁。
【請求項４】
前記弁ケースは、前記エア通路の一端部の第１ポートと、前記エア通路の他端部の第２ポートと、前記閉弁機構の流体圧導入孔とが形成されたポート形成部材を備えていることを特徴とする請求項３に記載のエア通路開閉弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検知用エア通路を開閉するエア通路開閉弁に関し、特に監視対象の流体圧が所定圧以上のとき閉弁状態を維持するエア通路開閉弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体圧機器のケース部材の内部にエア通路を形成し、そのエア通路の一端部に検知用加圧エアを供給し、エア通路の他端部を大気開放状態に保持し、エア通路の途中部を開閉する開閉弁を設け、流体圧機器の可動部材の位置が変化したとき開閉弁を閉弁させ、エア通路の一端側のエア圧の変化を検知することで、流体圧機器の可動部材の位置の変化を検知する技術は公知である。
【０００３】
一方、流体通路を開閉するパイロット式開閉弁であって、スプリングにより開弁駆動し、パイロット流体圧により閉弁駆動するパイロット式開閉弁も公知である。
【０００４】
例えば、特許文献１には、逆止弁一体型圧力開閉弁装置が開示されている。この開閉弁装置は、高圧冷媒の冷媒通路を開閉する開閉弁と、この開閉弁の高圧弁体に連結されたダイヤフラム式アクチュエータと、冷媒通路の高圧冷媒をダイヤフラム式アクチュエータの内面側に導く均圧穴とを有し、高圧冷媒の供給が停止した際には、前記ダイヤフラム式アクチュエータで開閉弁を閉弁し、高圧冷媒の供給が継続中には、均圧穴から導く高圧冷媒で前記ダイヤフラム式アクチュエータの駆動力を減少させて、 開閉弁を開弁させる。
【０００５】
特許文献２には、水道の給水弁としてのパイロット式開閉弁であってソレノイドアクチュエータを備えたパイロット式開閉弁が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３１５４４４号公報
【特許文献２】特開２００８−１９６６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ワークをクランプするクランプ装置等の流体圧機器において、特定の油室の油圧が所定圧以上の油圧を維持しているか否か監視したいという技術的要請がある。
特許文献１，２の開閉弁装置は、ダイヤフラムアクチュエータを採用しているため、監視対象の流体圧を利用して開閉弁を開閉駆動するような構造にすることはできない。
【０００８】
ここで、前記特定の油室の油圧を検出する油圧センサを流体圧機器に付設することが考えられるが、既存の流体圧機器に改造を施して油圧センサを付設しなければならず、油圧センサも高価であるため、製作費の面で不利である。しかも、油圧センサにはリード線が接続されるため、故障も生じやすくなる。
【０００９】
本発明の目的は、監視対象の流体圧が所定圧以上になったときにエア通路の途中部に介装した開閉弁機構を閉弁駆動するようにしたエア通路開閉弁を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１のエア通路開閉弁は、監視対象の流体圧を受圧する弁体を介して検知用エア通路を開閉するエア通路開閉弁であって、弁ケースと、前記弁ケースに形成された検知用エア通路であって、一端部に加圧エアが供給されると共に他端部が大気開放される検知用エア通路と、前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構と、前記開閉弁機構の弁体を開弁方向へ付勢する圧縮スプリングと、外部から供給される監視対象の流体圧を前記開閉弁機構の弁体に作用させて前記圧縮スプリングの付勢力に抗して前記開閉弁機構を閉弁可能な閉弁機構とを備えたことを特徴としている。
【００１１】
請求項２のエア通路開閉弁は、請求項１の発明において、前記弁ケースに前記圧縮スプリングの付勢力を調節可能な付勢力調節機構を設けたことを特徴としている。
【００１２】
請求項３のエア通路開閉弁は、請求項１又は２の発明において、前記弁ケースは、前記圧縮スプリングを収容するスプリング収容穴と、このスプリング収容穴の一端に連通すると共に前記弁体を可動に収容する弁体収容穴とを備えたことを特徴としている。
【００１３】
請求項４のエア通路開閉弁は、請求項３の発明において、前記弁ケースは、前記エア通路の一端部の第１ポートと、前記エア通路の他端部の第２ポートと、前記閉弁機構の流体圧導入孔とが形成されたポート形成部材を備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明によれば、弁ケースと、前記弁ケースに形成された検知用エア通路と、前記検知用エア通路の途中部を開閉可能な開閉弁機構と、前記開閉弁機構の弁体を開弁方向へ付勢する圧縮スプリングと、外部から供給される監視対象の流体圧を前記開閉弁機構の弁体に作用させて前記圧縮スプリングの付勢力に抗して前記開閉弁機構を閉弁可能な閉弁機構とを備えているため、検知用エア通路の一端側のエア圧から開閉弁機構が閉弁したことを検知することができ、監視用の流体圧が所定圧以上であることを前記エア圧を介して検知することができる。
【００１５】
請求項２の発明によれば、前記弁ケースに前記圧縮スプリングの付勢力を調節可能な付勢力調節機構を設けたため、エア通路開閉弁の汎用性が高くなる。
【００１６】
請求項３の発明によれば、前記弁ケースは、前記圧縮スプリングを収容するスプリング収容穴と、このスプリング収容穴の一端に連通すると共に前記弁体を可動に収容する弁体収容穴とを備えたため、エア通路開閉弁を製作する上で有利である。
【００１７】
請求項４の発明によれば、前記弁ケースは、前記エア通路の一端部の第１ポートと、前記エア通路の他端部の第２ポートと、前記閉弁機構の流体圧導入孔とが形成されたポート形成部材を備えているため、エア通路開閉弁を製作する上で有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例１に係るエア通路開閉弁の平面図である。
【図２】開弁状態における図１のII−II線断面図である。
【図３】閉弁状態における図２相当図である。
【図４】図１のIV−IV線断面図である。
【図５】本発明の実施例２に係るワーク準備ステーションにおけるワークパレット等の断面図である。
【図６】ワーク加工ステーションにおけるワークパレット等の断面図である。
【図７】エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁の平面図である。
【図８】図７のパイロット式チェック弁の左側面図である。
【図９】図７のパイロット式チェック弁の縦断面図（油圧流通状態）である。
【図１０】図７のパイロット式チェック弁の縦断面図（閉弁状態）である。
【図１１】図７のパイロット式チェック弁の縦断面図（開弁状態）である。
【図１２】図５のワークパレットとその周辺装置の油圧／空圧回路図（アンクランプ動作状態）である。
【図１３】図５のワークパレットとその周辺装置の油圧／空圧回路図（クランプ動作状態）である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための形態について実施例に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２０】
本実施例に係るエア通路開閉弁について説明する。
図１〜図４に示すように、このエア通路開閉弁１は、監視対象の流体圧を受圧する弁体を介して検知用エア通路３を開閉するエア通路開閉弁である。
このエア通路開閉弁１は、弁ケース２と、この弁ケース２に形成された検知用エア通路３と、開閉弁機構４と、圧縮スプリング５と、閉弁機構６とを備えている。尚、以下の説明において、「流体圧」は「加圧流体」を意味する場合がある。
【００２１】
弁ケース２は短い円柱形に形成されているが、この形状以外の形状に形成してもよい。  弁ケース２は、ケース本体２ａと、このケース本体２ａの下端側部分の円形凹部７に下方から嵌合された円形板状のポート形成部材２ｂとを有する。ポート形成部材２ｂは２本のボルト８によりケース本体２ａに固定するように構成してある。
弁ケース２には、２つの縦向きのボルト孔９が貫通状に形成され、弁ケース２を外部機器のベース部材１０上に載置した状態にして２つのボルト孔９に挿通させたボルト（図示略）により、弁ケース２をベース部材１０に固定している。
【００２２】
ポート形成部材２ｂには、エア通路３の一端部の第１ポート３ａと、エア通路３の他端部の第２ポート３ｄと、閉弁機構６の流体圧導入孔６ａとが形成されている。
第１，第２ポート３ａ，３ｄの上下両端部にはシール部材１１が装着され、流体圧導入孔６ａの下端部にもシール部材１１が装着されている。
【００２３】
ケース本体２ａの中央部の下端部分には平面視円形で偏平な弁体収容穴１３が形成され、ケース本体２ａの中央部には、弁体収容穴１３の上端に連なる縦向きのスプリング収容孔１４が形成されている。開閉弁機構４の弁体４Ａは、弁体収容穴１３に上下に可動に収容された円板部４ａと、円板部４ａの上端中央部から上方へ突出する突出部４ｂと、円板部４ａの下端中央部から下方へ延びて流体圧導入孔６ａに挿入されたロッド状の受圧部４ｃとを備えている。この受圧部４ｃの外周側はシール部材１２でシールされている。
【００２４】
円板部４ａの厚さは弁体収容穴１３の高さよりも僅かに小さく、円板部４ａの直径は弁体収容穴１３の直径よりも僅かに小さく設定されている。
【００２５】
前記検知用エア通路３は、第１ポート３ａと、上流側エア通路３ｂと、弁体収容穴１３の一部と、スプリング収容孔１４の一部と、下流側エア通路３ｃと、第２ポート３ｄとで連続的な通路に構成されている。第１ポート３ａはベース部材１０の第１エア通路１５に接続され、この第１エア通路１５は外部エア通路１６を介して加圧エア供給源１７に接続され、外部エア通路１６にはエア圧センサ１８又は圧力スイッチが接続され、加圧エア供給源１７とエア圧センサ１８が制御ユニット１９に電気的に接続される。
【００２６】
第２ポート３ｄはベース部材１０の第２エア通路２０に接続され、第２エア通路２０は外部エア通路を介して又は介さずに大気開放される。
流体圧導入孔６ａはベース部材１０の流体圧供給通路２１に接続され、流体圧供給通路２１には外部の流体圧機器から監視対象の流体圧（油圧又は加圧エア）が供給される。
【００２７】
開閉弁機構４は検知用エア通路３の途中部を開閉可能に構成されている。
開閉弁機構４は、弁体収容穴１３と、弁体４Ａと、上流側エア通路３ｂが開放される弁体収容穴１３の上端壁に形成された弁座４ｄと、弁体４Ａの上端面に弁座４ｄに接近対向状に形成された弁面４ｅとを備えている。弁面４ｅが弁座４ｄから離隔しているときには開弁状態となり、弁面４ｅが弁座４ｄに密着しているときには閉弁状態となる。圧縮スプリング５は、スプリング収容孔１４に圧縮状態で収容され、この圧縮スプリング５は開閉弁機構４の弁体４Ａを開弁方向（下方）へ付勢している。
【００２８】
前記弁ケース２に圧縮スプリング５の付勢力を調節可能な付勢力調節機構２２が設けられている。この付勢力調節機構２２は、スプリング収容孔１４の上端壁のネジ孔２３と、このネジ孔２３に上下方向に進退可能に装着されたネジ部材２４と、スプリング収容孔１４の上端寄り部位においてネジ部材２４の下端と圧縮スプリング５の上端間に挟着されたスプリング受部材２５とを有する。尚、ネジ部材２４の上端部には六角レンチを係合させるための操作穴２４ａが形成されている。
【００２９】
閉弁機構６は、流体圧供給通路２１から流体圧導入孔６ａに供給される監視対象の流体圧を開閉弁機構４の弁体４Ａに作用させて圧縮スプリング５の付勢力に抗して開閉弁機構４を閉弁可能に構成されている。
【００３０】
次に、エア通路開閉弁１の作用、効果について説明する。
加圧エア供給源１７から外部エア通路１６を介して加圧エアを検知用エア通路３の第１ポート３ａに供給し、開閉弁機構４が開弁状態である場合には、その加圧エアを第２ポート３ｄから排出させる。
監視対象の流体圧の圧力が所定圧未満である場合には、図２に示すように、開閉弁機構４が開弁状態を保持するため、エア圧センサ１８は圧力「低」を検出し、制御ユニット１９において監視対象の流体圧の圧力が所定圧未満であることが検知される。
【００３１】
監視対象の流体圧の圧力が所定圧以上になると、図３に示すように、開閉弁機構４が閉弁状態を保持するため、エア圧センサ１８は圧力「高」を検出し、制御ユニット１９において監視対象の流体圧の圧力が所定圧以上であることが検知される。このように、油圧センサを用いることなく、油圧センサに比べて安価なエア圧センサ１８又は圧力スイッチを介して監視対象の流体圧の圧力が所定圧以上になったことを検知することができる。
【００３２】
前記圧縮スプリング５の付勢力を調節可能な付勢力調節機構２２を設けたため、エア通路開閉弁１の汎用性が高くなる。前記弁ケース２は、圧縮スプリング５を収容するスプリング収容穴１４と、スプリング収容穴１４の一端に連通すると共に弁体４Ａを可動に収容する弁体収容穴１３とを備えているため、エア通路開閉弁１を製作する上で有利である。
【００３３】
前記弁ケース２は、検知用エア通路３の一端部の第１ポート３ａと、検知用エア通路３の他端部の第２ポート３ｄと、閉弁機構６の流体圧導入孔６ａとが形成されたポート形成部材２ｂを備えているため、第１，第２ポート３ａ，３ｄと流体圧導入孔６ａを能率的に機械加工できるから、エア通路開閉弁１を製作する上で有利である。
【実施例２】
【００３４】
本発明を適用したエア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００と、このパイロット式チェック弁１００を組み込んだワークパレット３０及びその周辺装置について説明する。図５に示すように、ワークパレット３０は、ワークＷをクランプする為の１又は複数のクランプ装置３１と、エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００とを有する。
【００３５】
図５は、ワークパレット３０にワークＷを着脱するワーク準備ステーションに、ワークパレット３０をセットした状態を示す図である。図６は、ワークに機械加工を施すワーク加工ステーションに、ワークパレット３０をセットした状態を示す図である。尚、本実施例において、クランプ装置３１のクランプ油室３１ａ（図１２、図１３参照）のクランプ用油圧が「監視対象の流体圧」に相当するものである。また、「油圧」は「加圧油」を意味する場合がある。
【００３６】
図５に示すように、ワークパレット３０は、パレット本体３２と、クランプ装置３１と、ワーク支持部材３３と、エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００と、エア通路接続用カプラー３４と、油圧通路接続用のカプラー３５，３６と、ワークパレット固定用クランプ装置５０の環状係合部材５２などを備えている。尚、図５において、ＰＡは加圧エア供給源３７から供給される加圧エアを示し、ＣＬは油圧供給源３９から供給されるクランプ用油圧を示し、ＵＣＬは油圧供給源３９から供給されるアンクランプ用油圧を示す。
【００３７】
前記クランプ装置３１は、油圧シリンダで昇降駆動される出力部材３１ａと、この出力部材３１ａの上端部に固定されたクランプアーム３１ｂと、出力部材３１ａの昇降時に出力部材３１ａを９０°旋回させる旋回機構（図示略）を備えている。尚、クランプ装置３１としては種々のクランプ装置を採用することができる。
【００３８】
ワーク準備ステーションにおいて、ワークパレット３０はベース部材４１の上に載置され、複数のワークパレット固定用クランプ装置５０により固定される。このクランプ装置５０は、ベース部材４１に装備されたクランプ機構５１と、ワークパレット３０に装備された環状係合部材５２を有する。ベース部材４１には、加圧エア通路４２及びそのカプラー４３と、クランプ用油路４４及びそのカプラー４５と、アンクランプ用油路４６及びそのカプラー４７とが設けられている。
【００３９】
ベース部材４１上のクランプ機構５１は、クランプ本体５３と、クランプ本体５３のシリンダ孔に昇降可能に装着されたピストン部５４ａとこのピストン部５４ａから上方へ延びる出力ロッド５４ｂとを含む出力部材５４と、ピストン部５４ａの下側に形成されたアンクランプ油室５５と、ピストン部５４ａの上側の環状収容室に圧縮状態で収容された皿バネ積層体５６と、ボールロック機構５７と、環状係合部材５２を水平方向に位置決めする水平方向位置決め機構５８と、環状係合部材５２を着座させる着座面５９（クランプ本体５３の上端に形成されている）と、クリーニング用加圧エアを供給するエア通路６０（これは加圧エア供給源３７に接続されている）と、着座検知用の加圧エアのエア通路６１と、油圧供給源３９に接続された油圧通路６２などを備えている。
【００４０】
ボールロック機構５７は、クランプ本体５３の筒状部５３ａの上部に形成した複数の水平な保持穴に装着された複数の鋼球６３と、複数の鋼球６３に対応するように出力ロッド５４ｂに形成された複数の係合凹部６４とを備えている。環状係合部材５２は、その中央穴の上端の外周近傍部に形成された環状テーパ面６５などを備えている。ボールロック機構５７は、複数の鋼球６３で環状テーパ面６５を下方へ押圧することで環状係合部材５２を固定する。
【００４１】
クランプ装置５０において、アンクランプ油室５５に供給した油圧で出力部材５４を上方移動させ、鋼球６３を係合凹部６４に部分的に退避させることで、鋼球６３が環状テーパ面６５に係合しなくなってアンクランプ状態になる。また、アンクランプ油室５５の油圧を抜いて皿バネ積層体５６の弾性力で出力部材５４を下降させると、鋼球６３が出力ロッド５４ｂで外側へ押動されて環状テーパ面６５に係合し、その環状テーパ面６５を下方へ押圧するためクランプ状態になる。
【００４２】
水平方向位置決め機構５８は、筒状部５３ａの下部の外周面に形成された上方程小径化する環状テーパ面５８ａを備えている。環状係合部材５２は、環状テーパ面５８ａに外嵌して密着するように環状係合部材５２に形成された環状弾性壁部５８ｂと、この環状弾性壁部５８ｂの外周側に形成された環状溝５８ｃとを備えている。尚、環状溝５８ｃには、異物侵入防止の為に軟質の弾力性に優れる合成樹脂材料を充填してもよい。
【００４３】
前記のクランプ状態になるとき、環状弾性壁部５８ｂが径拡大方向へ弾性変形して、環状弾性壁部５８ｂが環状テーパ面５８ａに密着し、環状係合部材５２が水平方向へ高精度に位置決めされる。この時、環状係合部材５２の下端面が着座面５９に密着して鉛直方向に高精度に位置決めされる。
【００４４】
クランプ本体５３の着座面５９に開口したエアノズル６１ａには、エア通路４２，６１を介して加圧エアが供給され、エア通路４２は外部エア通路４２ａを介して加圧エア供給源３７に接続され、外部エア通路４２ａにはエア圧センサ３８が接続され、加圧エア供給源３７とエア圧センサ３８とは制御ユニット４０に電気的に接続されている。それ故、エア圧センサ３８で検出するエア圧を介してワークパレット３０の着座を検知可能である。
【００４５】
ワークパレット３０のワーク支持部材３３のワーク着座面３３ａに開口したエアノズル３３ｂには、エア通路４２からカプラー４３，３４とエア通路３４ａを介して加圧エアが供給され、エア圧センサ３８で検出するエア圧を介してワークＷの着座を検知可能である。
【００４６】
パイロット式チェック弁１００の第１油圧ポート１０１は、油圧供給源３９から油路４４と、カプラー４５，３５と、油路３５ａを介して油圧を供給／排出可能である。第１油圧ポート１０１はチェック弁１００内の油路を介して第２油圧ポート１０２へ接続可能であり、第２油圧ポート１０２は油路３５ｂによりクランプ装置３１のクランプ油室３１ａに接続されている。
【００４７】
チェック弁１００のパイロットポート１０３は油路３６ａによりクランプ装置３１のアンクランプ油室３１ｂに接続され、油路３６ａは油路３６ｂと、カプラー３６，４７と、油路４６を介して油圧供給源３９に接続されている。
【００４８】
前記のように、ワーク準備ステーションにおいて、クランプ装置３１をクランプ駆動し、ワークＷをクランプした状態で、ベース部材４１のクランプ装置５０をクランプ解除し、カプラー４５，３５、４７，３６、４３，３４を分離してからワークパレット３０を図６に示すワーク加工ステーションのマシニングセンタのテーブル７０上に搬送し、テーブル７０に装備したクランプ装置５０Ａによりワークパレット３０を固定する。これと同時に、テーブル７０のカプラー７１にカプラー３４を接続する。尚、クランプ装置３１のクランプ油室３１ａに充填した油圧は、パイロット式チェック弁１００で遮断されているため、カプラー４５，３５、４７，３６を分離しても、クランプ状態を維持することができる。
【００４９】
テーブル７０に装備したクランプ装置５０Ａは、前記クランプ装置５０と同様のものであるので説明を省略する。着座面５９Ａに開口したエアノズル６１ａＡへは加圧エア供給源３７Ａから外部エア通路７２ａとエア通路７２を介して加圧エアが供給され、外部エア通路７２ａにはエア圧センサ３８Ａが接続されており、加圧エア供給源３７Ａとエア圧センサ３８Ａは制御ユニット４０Ａに電気的に接続されている。そのため、エア圧センサ３８Ａと制御ユニット４０Ａによりワークパレット３０の着座面５９Ａへの着座を確認することができる。
【００５０】
次に、エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００について、図７〜図１１に基づいて説明する。エア通路開閉弁８０は、監視対象の油圧を受圧する弁体８４を介して検知用エア通路８２を開閉するエア通路開閉弁であり、実施例１のエア通路開閉弁と同様のものであるから、簡単に説明する。
【００５１】
このエア通路開閉弁８０は、弁ケース８１と、弁ケース８１に形成された検知用エア通路８２であって、一端部の第１ポート８２ａに加圧エアが供給されると共に他端部の第２ポート８２ｂが大気開放される検知用エア通路８２と、検知用エア通路８２の途中部を開閉可能な開閉弁機構８３と、開閉弁機構８３の弁体８４を開弁方向へ付勢する圧縮スプリング８５と、クランプ装置３１のクランプ油室３１ａの油圧（監視対象の流体圧）を開閉弁機構８３の弁体８４に作用させて圧縮スプリング８５の付勢力に抗して開閉弁機構８３を閉弁可能な閉弁機構８６とを備えている。閉弁機構８６の油圧導入孔８６ａ（流体圧導入孔）には、クランプ装置３１のクランプ油室３１ａの油圧と同圧力の油圧が導入される。このエア通路開閉弁８０では、油圧導入孔８６ａの油圧が所定圧以上のとき閉弁状態を維持するようになっている。
【００５２】
前記弁ケース８１にはネジ部材８７ａを介して圧縮スプリング８５の付勢力を調節可能な付勢力調節機構８７が設けられている。弁ケース８１は、圧縮スプリング８５を収容するスプリング収容穴８８と、このスプリング収容穴８８の一端に連通すると共に弁体８４を左右方向へ可動に収容する弁体収容穴８９とを備えている。弁体収容穴８９に連通した第１ポート８２ａと、スプリング収容穴８８に連通されて大気開放された第２ポート８２ｂとが形成されている。第１ポート８２ａは、ワークパレット３０内のエア通路３４ｂに連通されている。このエア通路開閉弁８０の弁ケース８１は、パイロット式チェック弁１００の弁ケース１０４の一端面に当接させた状態で、４本のボルト９０により弁ケース１０４に固定されている。
【００５３】
次に、パイロット式チェック弁１００について説明する。
図７〜図１１に示すように、パイロット式チェック弁１００は、弁ケース１０４と、弁ケース１０４内に形成された収容穴１０５と、この収容穴１０５に収容されたチェック弁機構１０６及びパイロット機構１０７と、補助弁ケース１０８と、第１油圧ポート１０１と、第２油圧ポート１０２と、パイロットポート１０３とを備えている。チェック弁機構１０６は、チェック弁ケース１０９と、弁体１１０と、この弁体１００を閉弁方向へ付勢する圧縮スプリング１１１とを備えている。弁ケース１０４は、４本のボルト９１によりワークパレット３０に固定される。
【００５４】
チェック弁ケース１０９は、収容凹部１０９ａと、この収容凹部１０９ａの一端側の壁部に形成された中央穴１０９ｂと、第１油圧ポート１０１に連通状に形成され且つ中央穴１０９ｂに連通する第１横断油路１１２と、第２油圧ポート１０２に連通状に形成され且つ収容凹部１０９ａに連通された第２横断油路１１３と、中央穴１０９ｂの内面側外周部に突出状に形成された環状弁座１１４とを備えている。第１横断油路１１２に臨む第１環状フィルター１１２ａと、第２横断油路１１３に臨む第２環状フィルター１１３ａも装着されている。
【００５５】
弁体１１０は、合成樹脂製の環状部材で構成された弁面１１０ａと、外周部に形成された複数の通路溝１１０ｂとを有する。弁体１１０は、収容凹部１０９ａに軸心方向へ可動に装着されている。圧縮スプリング１１１は、補助弁ケース１０８の凹部１０８ａと弁体１１０の凹部１１０ｃとに圧縮状態に装着されて弁体１１０を閉弁方向へ付勢している。  凹部１０８ａ，１１０ｃは、第２横断油路１１３に連通すると共に油圧導入孔８６ａに連通し、第２油圧ポート１０２に連通している。
【００５６】
パイロット機構１０７は、シリンダ形成部材１１４と、このシリンダ形成部材１１４に軸心方向へ可動に装着されたピストン部材１１５とを有する。ピストン部材１１５は、ピストン部１１５ａとロッド部１１５ｂとを有し、ピストン部１１５ａは、パイロットポート１０３からパイロット油室１０７ａに導入される油圧を受圧可能に構成されている。ロッド部１１５ｂは、ピストン部１１５ａからシリンダ形成部材１１４の貫通穴１１４ａを貫通してチェック弁機構１０６の方へ延び、中心穴１０９ｂに挿入されている。
【００５７】
パイロットポート１０３は、油路３６ａによりクランプ装置３１のアンクランプ油室３１Ｂに接続され、このパイロットポート１０３は、油路３６ａ，３６ｂ、カプラー３６，４７、油路４６を介して油圧供給源３９に接続されている（図５参照）。
【００５８】
クランプ装置３１のクランプ用油室３１ａに油圧を充填する際には、第１油圧ポート１０１に油圧が供給され、第１油圧ポート１０１から第２油圧ポート１０２を経てクランプ用油室３１ａに流れ、アンクランプ用油室３１ｂの油圧が排出されるため、図９に示すように、チェック弁機構１０６が開弁状態になると共にエア通路開閉弁８０が閉弁状態になるから、エア圧センサ３８と制御ユニット４０によりクランプ用油室３１ａに充填される油圧を監視することができる。
【００５９】
クランプ用油室３１ａへの油圧の充填が完了すると、図１０に示すように、チェック弁機構１０６が圧縮スプリング１１１の付勢力で閉弁状態になると共にエア通路開閉弁８０が閉弁状態を維持するため、クランプ用油室３１ａに充填された油圧が所定圧以上であるか否かエア圧センサ３８と制御ユニット４０により監視することができる。
【００６０】
図１０の状態では、クランプ用油室３１ａに所定の圧力の油圧が封入状態になっているため、ワークＷをクランプ状態に維持したまま、カプラー３５，４５、３６，４７、３４，４３を分離することができる。それ故、ワークパレット３０をワーク加工ステーションへ搬送して機械加工に供することができる。この機械加工中においても、クランプ用油室３１ａに所定圧以上の圧力の油圧が保持されている限り、エア通路開閉弁８０は閉弁状態を維持するため、エア圧センサ３８Ａと制御ユニット４０Ａにより、クランプ用油室３１ａの油圧を監視することができる。
【００６１】
ワークＷの機械加工終了後に、ワークパレット３０をワーク準備ステーションに搬送し、クランプ装置３１をクランプ解除する際には、アンクランプ用油室３１ｂに油圧を供給するため、パイロットポート１０３にも油圧が供給され、図１１に示すように、パイロット機構１０７がチェック弁機構１０６を開弁状態に切換える。そのため、クランプ用油室３１ａの油圧が第２油圧ポート１０２からチェック弁機構１０６を通って第１油圧ポート１０１へ流れ、油圧供給源３９に排出される。
【００６２】
前記のクランプ装置３１と、エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００などの油圧回路は、図１２、図１３のようになる。図１２、図１３は、ワークパレット３０がワーク準備ステーションにある場合を示す図である。尚、電磁開閉弁３９ａは、油圧供給源３９側に設けられたものであり、制御ユニット４０により駆動制御される。図１２はクランプ装置３１をクランプ解除している状態を示し、図１３はクランプ装置３１をクランプ状態にした場合を示す。
【００６３】
次に、エア通路開閉弁付きパイロット式チェック弁１００の作用、効果について補足説明する。前記エア通路開閉弁８０は、前記実施例１のエア通路開閉弁１と同様の作用、効果を奏するため、その説明は省略する。
ワークパレット３０にパイロット式チェック弁１００を装備したため、クランプ用油室３１ａに油圧を充填した状態で、カプラー３５，４５、３６，４７、３４，４３を分離することができる。
【００６４】
パイロット式チェック弁１００にエア通路開閉弁８０を付設したため、クランプ用油室３１ａに充填した油圧が保持されているか否かをエア通路開閉弁８０を介して監視することができる。しかも、ワークパレット３０において、共通のエア通路３４ａからエアノズル３３ｂと、エア通路開閉弁８０に加圧エアを供給することができるため、ワークパレット３０のエア通路が簡単になる。クランプ装置５０のエアノズル６１ａに対してもエア通路３４ａが分岐するエア通路４２又はエア通路７２から加圧エアを供給するため、ワークパレット３０とベース部材４１とテーブル７０に形成するエア通路が簡単になるうえ、共通のエア圧センサ３８，３８Ａの検出信号からクランプ用油室３１ａの油圧が所定圧以上であることを確認することができる。
【００６５】
次に、前記実施例を部分的に変更する例について説明する。
１）エア通路開閉弁１において、圧縮スプリング５として図示のものより小型のスプリングを採用する場合もあり、コイルスプリング以外のスプリングを採用する場合もある。
２）受圧部４ｃの直径は、図示のものに限定されるものではなく、監視対象の流体圧の大きさ、圧縮スプリング５の弾性力との関係で適宜設定される。
３）開閉弁機構４の代わりに、実施例２のパイロット式チェック弁１００に組み込んだポペット弁構造の開閉弁機構を設けてもよく、或いはスプール弁構造の開閉弁機構を設けてもよい。
【００６６】
４）エア通路開閉弁８０をワークパレット３０の上面に装備したが、ワークパレット３０の側面に装備してもよく、ワークパレット３０に形成した収容凹部に装備してもよい。
５）エア通路開閉弁８０に対しては、独立のエア通路とカプラーを介して加圧エアを供給するように構成してもよい。
６）その他、当業者ならば、前記実施例を部分的に変更して実施することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明は、監視対象の流体圧を受圧する弁体を介して検知用エア通路を開閉する種々の用途のエア通路開閉弁を提供する。
【符号の説明】
【００６８】
１，８０    エア通路開閉弁
２，８１    弁ケース
２ｂ        ポート形成部材
３，８２    検知用エア通路
３ａ，８２ａ  第１ポート
３ｄ，８２ｂ  第２ポート
４，８３    開閉弁機構
４Ａ，８４  弁体
５，８５    圧縮スプリング
６，８６    閉弁機構
６ａ，      流体圧導入孔
８６ａ      油圧導入孔
１３，８９  弁体収容穴
１４，８８  スプリング収容穴
２２，８７  付勢力調整機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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