(57)【要約】【課題】省エネルギー化、省スペース化、メンテナンスフリー、低コスト化、および気流の制御性の向上を実現できる基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置を提供する。【解決手段】本発明の基板浮上装置１００は、複数の噴射孔１１１から空気を噴射することにより、基板１６０を載置面から浮上させる基板浮上装置１００であって、表面Ａ１が載置面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する複数の噴射孔１１１が形成される板状部材１１０と、板状部材１１０の裏側から複数の噴射孔１１１に向けて、振動板１２４を振動させることにより空気を吹き出す複数の送風機１２０と、複数の送風機１２０の駆動を制御する制御部１３０と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板を載置面から浮上させる基板浮上装置であって、
表面が前記載置面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する前記複数の噴射孔が形成される板状部材と、
前記板状部材の裏側から前記複数の噴射孔に向けて、振動板を振動させることにより空気を吹き出す複数の送風機と、
前記複数の送風機の駆動を制御する制御部と、を備える
基板浮上装置。
【請求項２】
前記複数の送風機は、前記複数の噴射孔に対して１対１に対応して設けられる
請求項１に記載の基板浮上装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記複数の送風機のそれぞれの駆動を制御する
請求項１または２に記載の基板浮上装置。
【請求項４】
前記複数の送風機のそれぞれは、
前記振動板と、
空気を内部空間に取り込むための吸込口と、前記複数の噴射孔の少なくとも一つと前記内部空間とを連通させる吹出口とが形成されており、かつ、前記内部空間に前記振動板が配置されるハウジングと、
前記振動板を振動させる駆動源と、を有し、
前記駆動源は、前記振動板を振動させることにより、前記吸込口から前記ハウジングの前記内部空間に空気を取り込んで、前記内部空間の空気を前記吹出口から吹き出す
請求項１から３のいずれか１項に記載の基板浮上装置。
【請求項５】
前記駆動源は、電圧が加えられることにより振動するピエゾ素子である
請求項１から４のいずれか１項に記載の基板浮上装置。
【請求項６】
前記送風機は、前記ハウジングの前記吸込口と前記吹出口との間に逆止弁がないブロアである
請求項１から５のいずれか１項に記載の基板浮上装置。
【請求項７】
前記送風機は、前記ハウジングの前記吸込口と前記吹出口との間に逆止弁を有する圧電ポンプである
請求項１から５のいずれか１項に記載の基板浮上装置。
【請求項８】
前記送風機は、さらに、前記ハウジングの前記吸込口に粉じんを除去するためのフィルタを有する
請求項１から７のいずれか１項に記載の基板浮上装置。
【請求項９】
基板を所定の載置位置から出し入れするための基板移載装置であって、
任意の間隔で板厚方向に貫通する複数の噴射孔が形成される長尺板状の複数のアームと、
前記複数のアームの裏側から前記複数の噴射孔に向けて空気を吹き出す複数の送風機と、
前記複数の送風機の駆動を制御する制御部と、を備える
基板移載装置。
【請求項１０】
搬送路に形成される複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板を搬送路の表面から浮上させ、これにより前記基板を搬送する基板搬送装置であって、
表面が前記搬送路の表面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する前記複数の噴射孔が形成される板状部材と、
前記板状部材の裏側から前記複数の噴射孔に向けて空気を吹き出す複数の送風機と、
前記複数の送風機のうちで、前記基板が上方に位置する噴射孔に対応する送風機から空気を吹き出させる制御部と、を備える
基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板などの搬送物を、空気を吹き出すことにより浮上させて搬送するための基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、コンプレッサーを用いて高圧空気を発生させて、発生させた高圧空気をタンクに蓄え、タンクに蓄えた高圧空気を複数のノズルから搬送物の底面に向けて吹き出すことにより、搬送物を浮上させる搬送装置が開示されている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−７５４９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の技術のように、コンプレッサーや、小型ファン、ブロアなどの高圧空気を発生させる装置（以下、「高圧空気発生装置」という。）を用いた場合、高圧空気を発生させるための大きな電力が必要になる。
【０００５】
また、この場合、高圧空気発生装置が回転する機構または摺動する機構を有しているため、当該機構の摩擦により粉じんを発生してしまうという課題も生じる。このため、従来の技術では、粉じんを除去するためのフィルタを設けている。しかしながら、フィルタは、所定の量の粉じんを除去すれば目詰まりを起こすため、高圧空気を送り込む量を維持しようとすれば定期的にメンテナンスを行う必要がある。つまり、従来の技術では、定期的にメンテナンスを行わなければ、性能を維持することができない。
【０００６】
また、搬送物の搬送路から高圧空気を吹き出すことになるため、高圧空気を搬送路に送り込むための配管設備が必要となる。このため、搬送装置の体積が大きくなるため設置するスペースを確保する必要がある。また、配管設備の設置に多くのコストがかかってしまう。
【０００７】
また、搬送装置をクリーンルームに適用する場合には、配管設備にさらに高圧空気を整流するためのチャンバなどの設備をさらに設ける必要があり、さらに搬送装置の体積が大きくなってしまう。
【０００８】
さらに、フィルタやチャンバなどを配管に設けた場合、高圧空気の気流の制御性（応答性）が悪く効率的な運転ができない。
【０００９】
そこで、本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであって、省エネルギー化、省スペース化、メンテナンスフリー、低コスト化、および気流の制御性の向上を実現できる基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る基板浮上装置は、複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板を載置面から浮上させる基板浮上装置であって、表面が前記載置面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する前記複数の噴射孔が形成される板状部材と、前記板状部材の裏側から前記複数の噴射孔に向けて、振動板を振動させることにより空気を吹き出す複数の送風機と、前記複数の送風機の駆動を制御する制御部と、を備える。
【００１１】
これによれば、複数の送風機は、振動板を振動させることにより空気を吹き出す。つまり、複数の噴射孔から吹き出される空気流の発生源である送風機には、回転する機構または摺動する機構がないため、粉じんの発生を抑えることができる。これにより、送風機の機構における摩擦が原因で発生する粉じんを除去するためのフィルタを設けなくてもよくなる。このため、定期的にメンテナンスを行う必要が無く、ユーザの利便性を向上させることができる。
【００１２】
また、複数の噴射孔の裏側に複数の送風機を直接配置しているため、配管を設置する必要が無い。このため、配管設備を設けるためのスペースを確保する必要が無く、基板浮上装置自体の体積をコンパクトにできる。また、配管設備（チャンバを含む）の設置にかかるコストを削減することができる。さらに、複数の噴射孔に送風機からの空気を直接送ることができるため、送風機を制御すれば複数の噴射孔から噴射される空気を制御できる。
【００１３】
例えば、前記複数の送風機は、前記複数の噴射孔に対して１対１に対応して設けられてもよい。
【００１４】
このため、複数の噴射孔それぞれから噴射される空気の制御性を向上させることができる。
【００１５】
例えば、前記制御部は、前記複数の送風機のそれぞれの駆動を制御してもよい。
【００１６】
これによれば、複数の送風機をそれぞれ独立して制御することができるため、例えば、複数の送風機のうちで基板が直上に位置する送風機のみを制御することができる。このように、基板を浮上させることに使用する送風機の数を制御することができるため、複数の送風機により消費される電力を必要最低限に抑えることができる。
【００１７】
例えば、前記複数の送風機のそれぞれは、前記振動板と、空気を内部空間に取り込むための吸込口と、前記複数の噴射孔の少なくとも一つと前記内部空間とを連通させる吹出口とが形成されており、かつ、前記内部空間に前記振動板が配置されるハウジングと、前記振動板を振動させる駆動源と、を有し、前記駆動源は、前記振動板を振動させることにより、前記吸込口から前記ハウジングの前記内部空間に空気を取り込んで、前記内部空間の空気を前記吹出口から吹き出してもよい。
【００１８】
これによれば、複数の送風機のそれぞれは、駆動源が振動板を振動させることにより、吸込口からハウジングの内部空間に空気を取り込んで、当該空気を吹出口から吹き出す構成であるため、駆動時に機構の摩擦が生じにくい構成である。このため、送風機の駆動時であっても、粉じんが発生しないようにできる。
【００１９】
例えば、前記駆動源は、電圧が加えられることにより振動するピエゾ素子であってもよい。
【００２０】
このため、電圧を加えることで振動板に効率よく振動を伝えることができる。また、電圧を加えたときに振動板を直ちに振動させることができるため、振動板を振動させたときの応答性を向上させることができる。
【００２１】
例えば、前記送風機は、前記ハウジングの前記吸込口と前記吹出口との間に逆止弁がないブロアであってもよい。また、例えば、前記送風機は、前記ハウジングの前記吸込口と前記吹出口との間に逆止弁を有する圧電ポンプであってもよい。
【００２２】
例えば、前記送風機は、さらに、前記ハウジングの前記吸込口に粉じんを除去するためのフィルタを有してもよい。
【００２３】
このため、送風機に外部の空気中に含まれる粉じんが取り込まれることを防ぐことができる。これにより、送風機の送風効率が粉じんにより低下することを防ぐことができる。
【００２４】
本発明の他の態様に係る基板移載装置は、基板を所定の載置位置から出し入れするための基板移載装置であって、任意の間隔で板厚方向に貫通する複数の噴射孔が形成される長尺板状の複数のアームと、前記複数のアームの裏側から前記複数の噴射孔に向けて空気を吹き出す複数の送風機と、前記複数の送風機の駆動を制御する制御部と、を備える。
【００２５】
また、本発明の他の態様に係る基板搬送装置は、搬送路に形成される複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板を搬送路の表面から浮上させ、これにより前記基板を搬送する基板搬送装置であって、表面が前記搬送路の表面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する前記複数の噴射孔が形成される板状部材と、前記板状部材の裏側から前記複数の噴射孔に向けて空気を吹き出す複数の送風機と、前記複数の送風機のうちで、前記基板が上方に位置する噴射孔に対応する送風機から空気を吹き出させる制御部と、を備える。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の基板浮上装置、基板移載装置、および基板搬送装置は、省エネルギー化、省スペース化、メンテナンスフリー、低コスト化、および気流の制御性の向上を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本実施の形態１にかかる基板浮上装置を用いた、基板搬送装置を示す図である。
【図２】図１の（ｂ）の部分Ｐ１の拡大図である。
【図３】変形例（１）にかかる基板浮上装置における図１の（ｂ）の部分Ｐ１の拡大図である。
【図４】変形例（３）にかかる基板浮上装置における図１の（ｂ）の部分Ｐ１の拡大図である。
【図５】本実施の形態２にかかる基板移載装置の外観を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の一態様に係る基板浮上装置、基板移載装置および基板搬送装置について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００２９】
なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
【００３０】
（実施の形態１）
本実施の形態１にかかる基板搬送装置は、搬送路に形成される複数の噴射孔が設けられており、複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板を載置面から浮上させる基板浮上装置を利用して、基板を当該搬送路に沿って搬送する装置である。
【００３１】
図１は、本実施の形態１にかかる基板浮上装置を用いた、基板搬送装置を示す図である。図１の（ａ）は、基板搬送装置１を上方から見た平面図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）におけるａ−ａ断面図である。
【００３２】
基板搬送装置１は、架台としての基板浮上装置１００と、搬送ローラ１４０と、ガイドローラ１５０とを備える。
【００３３】
基板浮上装置１００は、板状部材１１０と、複数の送風機１２０と、制御部１３０とを備える。
【００３４】
板状部材１１０は、表面Ａ１が基板１６０の載置面であり、任意の間隔で板厚方向に貫通する複数の噴射孔１１１が形成される。
【００３５】
複数の送風機１２０は、板状部材１１０の裏側から複数の噴射孔１１１に向けて振動板を振動させることにより空気を吹き出す。また、複数の送風機１２０は、板状部材１１０に設けられた複数の噴射孔１１１に対して１対１に対応して設けられる。
【００３６】
制御部１３０は、複数の送風機１２０の駆動を制御する。制御部１３０は、例えば、複数の送風機のそれぞれの駆動を制御してもよい。つまり、制御部１３０は、複数の送風機のそれぞれを独立して制御してもよい。
【００３７】
図２は、図１の（ｂ）の部分Ｐ１の拡大図である。つまり、図２は、送風機１２０の構成について説明するための図である。
【００３８】
複数の送風機１２０のそれぞれは、振動板１２４と、ハウジング１２１と、駆動源としてのピエゾ素子１２５とを有する。
【００３９】
ハウジング１２１には、吸込口１２２と、吹出口１２３とが形成されている。また、ハウジング１２１は、内部空間Ｓ１を形成しており、内部空間Ｓ１に振動板１２４およびピエゾ素子１２５が配置されている。つまり、ハウジング１２１は、振動板１２４を内包している。吸込口１２２は、ハウジング１２１の下部に形成されている。吸込口１２２は、外部の空気を内部空間Ｓ１に取り込むための開口部である。吹出口１２３は、ハウジング１２１の上部に形成されている。吹出口１２３は、円筒形状であり、ハウジング１２１の内部空間Ｓ１により生じた空気流を、板状部材１１０に形成された複数の噴射孔１１１の一つに吹き出している。つまり、吹出口１２３は、複数の噴射孔１１１の一つと内部空間Ｓ１とを連通させている。また、吹出口１２３の円筒形状の外周面は、噴射孔１１１の内周面と接している。これにより、複数の送風機１２０のそれぞれから発生された空気流は、効率よく複数の噴射孔１１１のそれぞれから噴射されることになる。
【００４０】
ピエゾ素子１２５は、電圧が加えられることにより振動することで、振動板１２４を振動させる。ピエゾ素子１２５は、振動板１２４を振動させることにより、吸込口１２２からハウジング１２１の内部空間Ｓ１に空気を取り込んで、内部空間Ｓ１の空気を吹出口１２３から吹き出す。ピエゾ素子１２５は、振動板１２４と面接触することにより振動板に振動を伝達する。なお、振動板１２４は、単なる膜状の部材であるが、ピエゾ素子１２５が振動板１２４の機能を兼ねていてもよい。つまり、振動板自体がピエゾ素子である構造であってもよい。
【００４１】
上述のような構成の送風機１２０としては、例えば、株式会社村田製作所製のマイクロブロアを利用することができる。
【００４２】
本実施の形態１にかかる基板浮上装置１００によれば、複数の送風機１２０は、振動板１２４を振動させることにより空気を吹き出す。つまり、複数の噴射孔１１１から吹き出される空気流の発生源である送風機１２０には、回転する機構または摺動する機構がないため、粉じんの発生を抑えることができる。これにより、送風機１２０の機構における摩擦が原因で発生する粉じんを除去するためのフィルタを設けなくてもよくなる。このため、定期的にメンテナンスを行う必要が無く、ユーザの利便性を向上させることができる。
【００４３】
また、複数の噴射孔１１１の裏側に複数の送風機１２０を直接配置しているため、配管を設置する必要が無い。このため、配管設備を設けるためのスペースを確保する必要が無く、基板浮上装置１００自体の体積をコンパクトにできる。また、配管設備（チャンバを含む）の設置にかかるコストを削減することができる。さらに、複数の噴射孔１１１に送風機１２０からの空気を直接送ることができるため、送風機１２０を制御すれば複数の噴射孔１１１から噴射される空気を制御できる。つまり、複数の噴射孔１１１から噴射される空気の制御性を向上できる。
【００４４】
また、本実施の形態１にかかる基板浮上装置１００によれば、複数の送風機１２０のそれぞれは、ピエゾ素子１２５が振動板１２４を振動させることにより、吸込口１２２からハウジング１２１の内部空間Ｓ１に空気を取り込んで、当該空気を吹出口１２３から吹き出す構成であるため、駆動時に機構の摩擦が生じにくい構成である。このため、送風機１２０の駆動時であっても、粉じんが発生しないようにできる。
【００４５】
また、本実施の形態１にかかる基板浮上装置１００によれば、複数の送風機１２０は、複数の噴射孔１１１に対して１対１に対応して設けられるため、複数の噴射孔１１１のそれぞれから噴射される空気の制御性を向上させることができる。
【００４６】
また、本実施の形態１にかかる基板浮上装置１００によれば、複数の送風機１２０をそれぞれ独立して制御することができるため、例えば、複数の送風機１２０のうちで基板が直上に位置する複数の送風機１２０のみを制御することができる。このように、基板１６０を浮上させることに使用する送風機１２０の数を制御することができるため、複数の送風機１２０により消費される電力を必要最低限に抑えることができる。
【００４７】
また、本実施の形態１にかかる基板浮上装置１００によれば、駆動源として電圧が加えられることにより振動するピエゾ素子１２５が採用されているため、電圧をピエゾ素子１２５に加えることで振動板１２４に効率よく振動を伝えることができる。また、電圧を加えたときに振動板１２４を直ちに振動させることができるため、振動板１２４を振動させたときの応答性を向上させることができる。
【００４８】
（変形例）
（１）
上記実施の形態１にかかる基板浮上装置１００では、複数の送風機１２０のハウジング１２１の吸込口１２２は単なる開口部となっているが、これに限らない。例えば、図３に示すように吸込口１２２に粉じんを除去するフィルタ１２６を設けた送風機１２０ａを採用した基板浮上装置１００ａとしてもよい。
【００４９】
これにより、複数の送風機１２０ａのそれぞれには、外部の空気中に粉じんが含まれる場合であっても粉じんがハウジング１２１の内部空間Ｓ１に取り込まれることを防ぐことができる。これにより、送風機１２０ａの送風効率が粉じんによって低下することを防ぐことができる。
【００５０】
（２）
上記実施の形態１にかかる基板浮上装置１００では、複数の送風機１２０の振動板１２４はピエゾ素子１２５によって振動されているが、これに限らずに、例えば、カムを回転させることにより振動を発生させてもよい。なお、この場合の複数の送風機では、摩擦により粉じんが生じてしまうが、基板浮上装置の配管設備を省略できるという点で有用である。
【００５１】
（３）
上記実施の形態にかかる基板浮上装置１００では、複数の送風機１２０のそれぞれは、ハウジング１２１の吸込口１２２と吹出口１２３との間に逆止弁がないマイクロブロアが採用されているがこれに限らない。例えば、図４に示すような、圧電ポンプを採用した送風機１２０ｂを採用してもよい。
【００５２】
図４は、変形例（３）にかかる送風機１２０ｂは、振動板１２４ｂと、ハウジング１２１ｂと、駆動源としてのピエゾ素子１２５ｂとの他に、逆止弁１２７、１２８をさらに有する。
【００５３】
ハウジング１２１ｂには、円筒形状の吸込口１２２ｂおよび吹出口１２３ｂが形成されている。また、ハウジング１２１は、内部空間Ｓ２を形成しており、内部空間Ｓ２に振動板１２４ｂおよびピエゾ素子１２５ｂが配置されている。吸込口１２２ｂおよび吹出口１２３ｂは、内部空間Ｓ２と連通している。吸込口１２２ｂと内部空間Ｓ２との間には、内部空間Ｓ２に吸い込まれる空気が吸込口１２２ｂに向かって逆流することを防止するための逆止弁１２７が設けられている。また、吹出口１２３ｂと内部空間Ｓ２の間には、内部空間Ｓ２から吹き出される空気が内部空間Ｓ２に向かって逆流することを防止するための逆止弁１２８が設けられている。そして、送風機１２０ｂの吹出口１２３ｂと板状部材１１０に形成される噴射孔１１１とは、連通部材１２９ａ、１２９ｂにより互いに連通された状態で連結されている。
【００５４】
なお、上述のような構成の送風機１２０ｂとしては、例えば、高砂電気工業株式会社製のピエゾマイクロポンプを利用することができる。
【００５５】
（実施の形態２）
本実施の形態２にかかる基板移載装置は、基板を載置するアームに複数の噴射孔が設けられており、複数の噴射孔から空気を噴射することにより、基板をアームの表面から浮上させ、基板をアームから所定の載置位置に移載する装置である。
【００５６】
図５は、本実施の形態２にかかる基板移載装置の外観を示す斜視図である。
【００５７】
基板移載装置２は、複数のアーム２１０と、複数の送風機１２０とを少なくとも有する。本実施の形態２にかかる基板移載装置２は、図５に示すように、さらに、複数のアーム２１０（本実施の形態では４本）を支持する支持部材３１０と、第１ガイド３２０と、第２ガイド３３０と、第３ガイドとを有する。
【００５８】
複数のアーム２１０は、任意の間隔で板厚方向に貫通する複数の噴射孔２１１が形成される奥行方向（Ｙ軸方向）に延びる長尺板状の部材である。複数の送風機１２０は、複数のアーム２１０の裏側から複数の噴射孔２１１に向けて空気を吹き出す。本実施の形態２では、複数の送風機１２０は、複数のアーム２１０のそれぞれに設けられる複数の噴射孔２１１のそれぞれに対して１つずつ設けられる。なお、複数の送風機１２０の具体的な構造は、実施の形態１にかかる送風機１２０と同じ構造であるため説明を省略する。
【００５９】
第１ガイド３２０は、当該支持部材３１０を上下方向（Ｚ軸方向）にスライドするためのガイドである。具体的には、第１ガイド３２０は、一対の柱状部材であり、支持部材３１０を幅方向（Ｘ軸方向）で挟み込んでいる。そして、支持部材３１０のＸ軸方向外側と一対の第１ガイド３２０のＸ軸方向内側とは、Ｚ軸方向に摺動可能に連結されている。
【００６０】
第２ガイド３３０は、支持部材３１０が連結されている第１ガイド３２０を奥行方向（Ｙ軸方向）にスライドするガイドである。第２ガイド３３０は、具体的には、板状部材であり、一対の第１ガイド３２０の下部によってＸ軸方向で挟み込まれている。そして、第１ガイド３２０の下部のＸ軸方向外側と、第２ガイド３３０のＸ軸方向外側とはＹ軸方向に摺動可能に連結されている。
【００６１】
第３ガイド３４０は、支持部材３１０および第１ガイド３２０が連結されている第２ガイド３３０をＸ軸方向にスライドするためのガイドである。具体的には、第３ガイド３４０は、Ｘ軸方向に延びる長尺状の部材であり、第２ガイド３３０の下面と、第２ガイド３３０がＸ軸方向に摺動可能に連結されている。
【００６２】
第１ガイド３２０、第２ガイド３３０および第３ガイド３４０は、それぞれが動力を有しており、それぞれが連結している相手の部材を摺動可能な方向に向けてスライドするような構成であってもよい。
【００６３】
本実施の形態２にかかる基板移載装置２によれば、基板１６０を移載するための複数のアーム２１０に本実施の形態１で説明した基板浮上装置を適用している。このため、基板１６０を複数のアーム２１０から浮上させた状態で、基板１６０の所定の載置位置に移動させることができる。これにより、基板１６０を所定の載置位置から出し入れするときに、基板１６０と複数のアーム２１０とが非接触の状態とすることができるため、基板１６０に傷を付けないで起動させることができる。
【００６４】
以上、本発明の一つまたは複数の態様に係る基板浮上装置について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、液晶基板等の搬送物を空気により浮上させて、搬送または移載に利用できる基板浮上装置などとして有用である。
【符号の説明】
【００６６】
１    基板搬送装置
１００、１００ａ    基板浮上装置
１１０    板状部材
１１１、２１１    噴射孔
１２０、１２０ａ、１２０ｂ    送風機
１２１、１２１ｂ    ハウジング
１２２、１２２ｂ    吸込口
１２３、１２３ｂ    吹出口
１２４、１２４ｂ    振動板
１２５、１２５ｂ    ピエゾ素子
１２６    フィルタ
１２７、１２８    逆止弁
１２９ａ、１２９ｂ    連通部材
１３０    制御部
１４０    搬送ローラ
１５０    ガイドローラ
１６０    基板
２１０    アーム
３１０    支持部材
３２０    第１ガイド
３３０    第２ガイド
３４０    第３ガイド
【図１】
2015093772.tif 000003
【図２】
2015093772.tif 000004
【図３】
2015093772.tif 000005
【図４】
2015093772.tif 000006
【図５】
2015093772.tif 000007