(57)【要約】【課題】簡便な方法で評価を行うことが可能な回折光学素子の評価装置を提供する。【解決手段】評価装置１が、円環状の照明光を回折光学系５に照射する照明部１５と、照明光が照射された回折光学系５からの複数次数の回折光を検出する検出部３０と、回折光学系５からの複数次数の回折光を検出部３０に導いて集光させるリレーレンズ２５と、検出部３０を光軸に沿って移動させて、回折光学系５の使用の際に不要となる０次回折光もしくは２次回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置させ、回折光学系５で使用される１次回折光が検出面３１上で環状に形成されるように調整する調整部３５とを備えている。【選択図】図１
2015087346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の照明光を回折光学素子に照射する照明部と、
前記照明光が照射された前記回折光学素子からの複数次数の回折光を検出する検出部と、
前記検出部に対する前記複数次数の回折光の集光位置を調整する調整部とを備えることを特徴とする回折光学素子の評価装置。
【請求項２】
前記調整部は、前記複数次数の回折光のうち前記回折光学素子の使用の際に不要となる次数の回折光の集光位置を前記検出部の検出面上に位置させ、前記回折光学素子で使用される次数の回折光が前記検出面上で環状に形成されるように調整することを特徴とする請求項１に記載の回折光学素子の評価装置。
【請求項３】
前記検出部により検出された検出信号に基づいて、前記複数次数の回折光のうち前記不要となる次数の回折光の比率を求める処理部を備えることを特徴とする請求項２に記載の回折光学素子の評価装置。
【請求項４】
前記検出部により検出された前記複数次数の回折光を表示する表示部を備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の回折光学素子の評価装置。
【請求項５】
環状の照明光を回折光学素子に照射し、
前記照明光が照射された前記回折光学素子からの複数次数の回折光を検出部により検出し、
前記検出部に対する前記複数次数の回折光の集光位置を調整することを特徴とする回折光学素子の評価方法。
【請求項６】
前記調整の際、前記複数次数の回折光のうち前記回折光学素子の使用の際に不要となる次数の回折光の集光位置を前記検出部の検出面上に位置させ、前記回折光学素子で使用される次数の回折光が前記検出面上で環状に形成されるように調整することを特徴とする請求項５に記載の回折光学素子の評価方法。
【請求項７】
前記検出部を用いて検出した検出信号に基づいて、前記複数次数の回折光のうち前記不要となる次数の回折光の比率を求めることを特徴とする請求項６に記載の回折光学素子の評価方法。
【請求項８】
前記検出部を用いて検出した前記複数次数の回折光を表示することを特徴とする請求項５から７のいずれか一項に記載の回折光学素子の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折光学素子の評価装置および評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回折光学素子（ＤＯＥ：Diffractive Optical Element）は、薄いながらも所定の光学特性を得られることから、光学機器によく用いられるようになってきている。回折光学素子の評価方法として、回折光学素子の回折効率を評価する方法や、回折光学素子で生じる回折光のうち不要となる次数の回折光（フレア）の光強度の比率を評価する方法等が知られている。また、回折光学素子の評価を行うために、光軸と垂直な面内における回折光の分布を測定する装置が考案されている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００８／０７２７０９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、回折光学素子の評価を行う従来の方法では、装置が大掛かりとなって多くの手間を要していた。
【０００５】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、簡便な方法で評価を行うことが可能な回折光学素子の評価装置および評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的達成のため、本発明に係る回折光学素子の評価装置は、環状の照明光を回折光学素子に照射する照明部と、前記照明光が照射された前記回折光学素子からの複数次数の回折光を検出する検出部と、前記検出部に対する前記複数次数の回折光の集光位置を調整する調整部とを備えている。
【０００７】
上述の評価装置において、前記調整部は、前記複数次数の回折光のうち前記回折光学素子の使用の際に不要となる次数の回折光の集光位置を前記検出部の検出面上に位置させ、前記回折光学素子で使用される次数の回折光が前記検出面上で環状に形成されるように調整することが好ましい。
【０００８】
上述の評価装置において、前記検出部により検出された検出信号に基づいて、前記複数次数の回折光のうち前記不要となる次数の回折光の比率を求める処理部を備えることが好ましい。
【０００９】
上述の評価装置において、前記検出部により検出された前記複数次数の回折光を表示する表示部を備えることが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係る回折光学素子の評価方法は、環状の照明光を回折光学素子に照射し、前記照明光が照射された前記回折光学素子からの複数次数の回折光を検出部により検出し、前記検出部に対する前記複数次数の回折光の集光位置を調整するようになっている。
【００１１】
上述の評価方法において、前記調整の際、前記複数次数の回折光のうち前記回折光学素子の使用の際に不要となる次数の回折光の集光位置を前記検出部の検出面上に位置させ、前記回折光学素子で使用される次数の回折光が前記検出面上で環状に形成されるように調整することが好ましい。
【００１２】
上述の評価方法において、前記検出部を用いて検出した検出信号に基づいて、前記複数次数の回折光のうち前記不要となる次数の回折光の比率を求めることが好ましい。
【００１３】
上述の評価方法において、前記検出部を用いて検出した前記複数次数の回折光を表示することが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、簡便な方法で回折光学素子の評価を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１実施形態の評価装置を示す概要構成図である。
【図２】回折光学素子の評価方法を示すフローチャートである。
【図３】（ａ）は回折光学素子の中心軸近傍を遮光しない場合の回折光を示す模式図であり、（ｂ）は回折光学素子の中心軸近傍を遮光した場合の回折光を示す模式図である。
【図４】（ａ）（ｂ）（ｃ）ともに検出部で検出された回折光の一例を示す模式図である。
【図５】第２実施形態の評価装置を示す概要構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。第１実施形態における回折光学素子の評価装置１が図１に示されている。この評価装置１は、カメラの交換レンズ等に用いられる回折光学系５を評価するための装置である。評価装置１は、レンズ保持部１０と、照明部１５と、バンドパスフィルタ１８と、遮光部２０と、リレーレンズ２５と、検出部３０と、調整部３５と、画像処理部４０と、表示部４５とを備えて構成される。
【００１７】
レンズ保持部１０は、評価対象の回折光学系５を着脱可能に保持する。回折光学系５は、例えば、両凸形状の正レンズ６と、回折格子７ａが形成された回折レンズ７とを有し、物体からの光を集光して結像可能に構成される。本実施形態の回折光学系５で使用する回折光は１次回折光であり、１次回折光以外の不要な回折光、例えば、０次回折光や２次回折光はフレアとなる。
【００１８】
照明部１５は、詳細な図示を省略するが、光源として用いられるレーザー装置（図示せず）や、光源からの光を平行光にするコリメーター（図示せず）等から構成される。バンドパスフィルタ１８は、照明部１５の近傍に着脱交換可能に配設され、所定波長の光を透過させる。遮光部２０は、照明部１５とレンズ保持部１０との間のレンズ保持部１０（回折光学系５）側の近傍に配設される。遮光部２０は、回折光学系５の中心側と外周側を遮光する遮光部材を有して構成される。遮光部２０において光が通過可能な領域は、回折光学系５よりも外径が少し小さい円環状に形成される。これにより、照明部１５は、バンドパスフィルタ１８および遮光部２０を介して、レンズ保持部１０に保持された回折光学系５に、照明光として所定波長を有する円環状の平行光を照射する。
【００１９】
リレーレンズ２５は、照明光が照射された回折光学系５からの回折光を検出部３０に導いて集光させる。リレーレンズ２５は、負レンズから構成され、回折光学系５の収差を補正するように構成されている。
【００２０】
検出部３０は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の二次元イメージセンサーを有して構成され、リレーレンズ２５と対向する面に、光軸と垂直な方向に延びる検出面３１が形成される。検出部３０は、検出面３１に達した回折光学系５からの回折光を検出し、その検出信号を画像処理部４０に送信する。また、検出部３０は、光軸に沿って平行移動可能に構成されている。
【００２１】
調整部３５は、検出部３０を光軸に沿って移動させて、回折光学系５からの回折光の集光位置を調整する。例えば、調整部３５は、回折光学系５からの回折光のうち、フレアとなる０次回折光もしくは２次回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置するように調整する。
【００２２】
画像処理部４０は、検出部３０から送信された検出信号に基づいて、検出部３０の検出面３１に形成された回折光の画像データを生成し、生成した画像データを不図示の記憶部に記憶する。表示部４５は、画像処理部４０により生成された画像データに基づいて、検出部３０の検出面３１に形成された回折光の画像を表示する。
【００２３】
第１実施形態における回折光学系５（回折光学素子）の評価方法について、図２に示すフローチャートを参照しながら説明する。まず、評価対象の回折光学系５をレンズ保持部１０に装着保持させ、評価装置１の設定調整を行う（ステップＳＴ１０１）。このとき、調整部３５は、検出部３０を光軸に沿って移動させて、回折光学系５からの回折光の集光位置を調整する。具体的には、回折光学系５からの回折光のうち、０次回折光の（設計的なもしくは実際の）集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置するように調整する。また必要に応じて、バンドパスフィルタ１８を、所望の透過波長域を備えたものに交換する。
【００２４】
次に、照明部１５を用いて回折光学系５に照明光を照射する（ステップＳＴ１０２）。このとき、照明部１５から射出されてバンドパスフィルタ１８を透過した平行光の一部が遮光部２０を通り、所定波長を有する円環状の平行光が照明光として回折光学系５に照射される。回折光学系５に照明光が照射されると、回折光学系５の回折レンズ７に形成された回折格子７ａから回折光が生じる。回折格子７ａから生じた回折光は、リレーレンズ２５により検出部３０に導かれて集光される。
【００２５】
次に、検出部３０を用いて回折光学系５からの回折光を検出する（ステップＳＴ１０３）。ここで、検出部３０に達する回折光について、図３を参照しながら説明する。回折格子７ａから生じた回折光には、回折光学系５で使用される１次回折光の他に、不要な０次回折光や２次回折光が僅かに含まれる。先のステップＳＴ１０１において、０次回折光の集光位置が検出部３０の検出面３１上に位置するように調整されている。また、上述したように、照明部１５により円環状の平行光（照明光）が回折光学系５に照射される。そのため、図３（ｂ）に示すように、検出部３０の検出面３１に達する０次回折光Ｄｆ０は点状のスポット光となる。一方、検出部３０の検出面３１に達する１次回折光Ｄｆ１は、回折格子７ａからの出射角度が０次回折光Ｄｆ０と異なるため、検出面３１よりも手前の位置で集光し、検出面３１において円環状に拡がって形成される。
【００２６】
これにより、検出部３０は、点状の０次回折光Ｄｆ０と円環状の１次回折光Ｄｆ１とを検出面３１上で分離して検出することができる。検出部３０は、検出した０次回折光および１次回折光の検出信号を画像処理部４０に送信する。画像処理部４０は、検出部３０から送信された検出信号に基づいて、検出部３０の検出面３１に形成された回折光の画像データを生成し、生成した画像データを不図示の記憶部に記憶する。
【００２７】
なお仮に、遮光部２０を設けないで照明を行った場合、図３（ａ）に示すように、検出部３０の検出面３１に達する１次回折光Ｄｆ１´は、検出面３１よりも手前の位置で集光し、検出面３１において円形状に拡がって形成される。そのため、点状の０次回折光Ｄｆ０´と円形状の１次回折光Ｄｆ１´とが検出面３１上で重なる状態となり、０次回折光Ｄｆ０´の検出感度が著しく低下する。
【００２８】
またこのとき、画像処理部４０は、生成した画像データにおける回折光の信号強度に基づいて、各次数の回折光の相対的な光強度を求める。ここで、回折光学系５から検出される複数次数の回折光のうち不要となる回折光の光強度の比率を、ノイズ光比率と称する。すなわち、画像処理部４０は、生成した画像データにおける回折光の信号強度に基づいて、ノイズ光比率を算出し、算出したノイズ光比率のデータを不図示の記憶部に記憶する。このノイズ光比率は、赤色（波長：６３５ｎｍ）の光で０．４％〜０．６％、緑色（波長：５３５ｎｍ）の光で０．１％以下であることが望ましい。
【００２９】
そして、表示部４５は、画像処理部４０により生成された画像データに基づいて、検出部３０の検出面３１に形成された回折光の画像を表示する（ステップＳＴ１０４）。表示部４５で表示される画像の一例を図４に模式的に示す。図４（ａ）は、照明光の波長が５３５ｎｍ、検出時間が１／６０秒の条件で回折光の検出を行ったときの画像である。図４（ａ）において、光強度の大きい１次回折光Ｄｆ１ａは信号強度が飽和状態で円環状に検出され、光強度の小さい０次回折光Ｄｆ０ａは高感度に検出されている。図４（ｂ）は、照明光の波長が５３５ｎｍ、検出時間が１／１０００秒の条件で回折光の検出を行ったときの画像である。図４（ｂ）において、１次回折光Ｄｆ１ｂが高感度な円環状に検出されている。図４（ｃ）は、照明光の波長が６３５ｎｍ、検出時間が１／５００秒の条件で回折光の検出を行ったときの画像である。図４（ｃ）において、１次回折光Ｄｆ１ｃおよび０次回折光Ｄｆ０ｃがともに高感度に検出されている。
【００３０】
このように、照明光の波長に応じて検出時間を調整することにより、複数次数の回折光を高感度に検出することができる。なお、表示部４５は、画像処理部４０により算出されたノイズ光比率を表示するようにしてもよい。
【００３１】
以上説明したように、第１実施形態によれば、回折光学系５の使用の際に不要となる次数の回折光（０次回折光）の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置させ、回折光学系５で使用される次数の回折光（１次回折光）が検出面３１上で円環状に形成されるように、回折光学系５からの回折光の集光位置を調整している。このように、検出部３０に対する回折光の集光位置を調整可能に構成されることで、複数次数の回折光を検出面３１上で分離して検出することができ、簡便な方法で回折光学系５の評価を行うことが可能となる。
【００３２】
また、０次回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置させ、１次回折光が検出面３１上で環状に形成されるように調整することで、０次回折光と１次回折光のように光強度が大きく異なる回折光でも検出面３１上で分離して検出することができる。また、検出部３０を用いて検出した検出信号に基づいてノイズ光比率を求めることにより、簡便な方法でノイズ光比率を求めることができる。また、検出部３０を用いて検出した回折光を表示することで、回折光学系５の評価に適した条件（例えば、照明光の波長に応じた検出時間等）を容易に求めることができる。
【００３３】
なお、上述の第１実施形態において、回折光学系５からの回折光のうち、０次回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置するように調整しているが、これに限られるものではなく、２次回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置するように調整してもよい。このようにすれば、０次回折光の場合と同様にして、点状の２次回折光と円環状の１次回折光とを検出面３１上で分離して検出することができ、２次回折光のノイズ光比率を求めることも可能である。また、０次回折光や２次回折光に限らず、他の次数の回折光の集光位置を検出部３０の検出面３１上に位置するように調整してもよい。
【００３４】
また、上述の第１実施形態において、照明部１５は、遮光部２０を介して回折光学系５に円環状の照明光を照射しているが、これに限られるものではなく、例えばリング照明等を利用して、遮光部２０を用いずに回折光学系５に円環状の照明光を照射してもよい。また、遮光部２０を回折光学系５のリレーレンズ２５側の近傍に設け、回折光学系５に対して実質的に円環状の照明光が照射される構成であってもよい。また、円環状の照明光に限らず、回折光学素子の外周形状に応じた環状の照明光を用いることができる。
【００３５】
また、上述の第１実施形態において、調整部３５が検出部３０を光軸に沿って移動させているが、これに限られるものではない。例えば、調整部３５がリレーレンズ２５を光軸に沿って移動させてもよく、また例えば、調整部３５がリレーレンズ２５と検出部３０の両方を移動させてもよく、リレーレンズ２５および検出部３０のうち少なくとも一方を光軸に沿って移動可能に構成されていればよい。
【００３６】
次に、評価装置の第２実施形態について、図５を参照しながら説明する。第２実施形態の評価装置１０１は、顕微鏡等に用いられる回折レンズ１０５を評価するための装置である。評価装置１０１は、レンズ保持部１１０と、照明部１１５と、バンドパスフィルタ１１８と、遮光部１２０と、第１リレーレンズ１２５と、第２リレーレンズ１２６と、検出部１３０と、調整部１３５と、画像処理部４０と、表示部４５とを備えて構成される。なお、第２実施形態において、画像処理部４０および表示部４５は、第１実施形態と同様の構成であるため、第１実施形態と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３７】
レンズ保持部１１０は、評価対象の回折レンズ１０５を着脱可能に保持する。回折レンズ１０５は、例えば、透明円盤状の第１基板１０６と、第１基板１０６と同様に形成された第２基板１０７と、第１基板１０６と第２基板１０７との間に密着積層された回折格子部１０８とから構成される。本実施形態の回折レンズ１０５で使用する回折光は１次回折光であり、１次回折光以外の不要な回折光、例えば、０次回折光や２次回折光はフレアとなる。
【００３８】
照明部１１５は、詳細な図示を省略するが、光源として用いられるレーザー装置（図示せず）や、光源からの光を所定の発散光にする発散レンズ（図示せず）等から構成される。バンドパスフィルタ１１８は、照明部１１５の近傍に着脱交換可能に配設され、所定波長の光を透過させる。遮光部１２０は、照明部１１５とレンズ保持部１１０との間のレンズ保持部１１０（回折レンズ１０５）側の近傍に配設される。遮光部１２０は、第１実施形態の遮光部２０と同様に構成される。これにより、照明部１１５は、バンドパスフィルタ１１８および遮光部１２０を介して、レンズ保持部１１０に保持された回折レンズ１０５に、照明光として所定波長を有する円環状の発散光を照射する。
【００３９】
第１リレーレンズ１２５は、２枚の接合レンズからなり、照明光が照射された回折光学系５からの回折光を第２リレーレンズ１２６に導く。第２リレーレンズ１２６は、２枚の接合レンズからなり、第１リレーレンズ１２５からの回折光を検出部３０に導いて集光させる。
【００４０】
検出部１３０は、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の二次元イメージセンサーを有して構成され、第２リレーレンズ１２６と対向する面に、光軸と垂直な方向に延びる検出面１３１が形成される。検出部１３０は、検出面１３１に達した回折レンズ１０５からの回折光を検出し、その検出信号を画像処理部４０に送信する。また、検出部１３０は、光軸に沿って平行移動可能に構成されている。
【００４１】
調整部１３５は、検出部１３０を光軸に沿って移動させて、回折レンズ１０５からの回折光の集光位置を調整する。例えば、調整部１３５は、回折レンズ１０５からの回折光のうち、フレアとなる０次回折光もしくは２次回折光の集光位置を検出部１３０の検出面１３１上に位置するように調整する。
【００４２】
第２実施形態における回折レンズ１０５（回折光学素子）の評価方法について説明する。なお、第２実施形態の評価フローは、第１実施形態の評価フローと同様であるため、第１実施形態で用いた図２のフローチャートに基づいて説明する。まず、評価対象の回折レンズ１０５をレンズ保持部１１０に装着保持させ、評価装置１０１の設定調整を行う（ステップＳＴ１０１）。このとき、調整部１３５は、検出部１３０を光軸に沿って移動させて、回折レンズ１０５からの回折光の集光位置を調整する。具体的には、回折レンズ１０５からの回折光のうち、０次回折光の（設計的なもしくは実際の）集光位置を検出部１３０の検出面１３１上に位置するように調整する。また必要に応じて、バンドパスフィルタ１１８を、所望の透過波長域を備えたものに交換する。
【００４３】
次に、照明部１１５を用いて回折レンズ１０５に照明光を照射する（ステップＳＴ１０２）。このとき、照明部１１５から射出されてバンドパスフィルタ１１８を透過した発散光の一部が遮光部１２０を通り、所定波長を有する円環状の発散光が照明光として回折レンズ１０５に照射される。回折レンズ１０５に照明光が照射されると、回折レンズ１０５の回折格子部１０８から回折光が生じる。回折格子部１０８から生じた回折光は、第１リレーレンズ１２５および第２リレーレンズ１２６により検出部１３０に導かれて集光される。
【００４４】
次に、検出部１３０を用いて回折レンズ１０５からの回折光を検出する（ステップＳＴ１０３）。このとき、検出部１３０は、第１実施形態と同様に、検出面１３１における点状の０次回折光と円環状の１次回折光とを検出する。検出部１３０は、検出した０次回折光および１次回折光の検出信号を画像処理部４０に送信する。画像処理部４０は、検出部１３０から送信された検出信号に基づいて、検出部１３０の検出面１３１に形成された回折光の画像データを生成し、生成した画像データを不図示の記憶部に記憶する。またこのとき、画像処理部４０は、生成した画像データにおける回折光の信号強度に基づいて、ノイズ光比率を算出し、算出したノイズ光比率のデータを不図示の記憶部に記憶する。
【００４５】
そして、表示部４５は、第１実施形態と同様に、画像処理部４０により生成された画像データに基づいて、検出部１３０の検出面１３１に形成された回折光の画像を表示する（ステップＳＴ１０４）。なお、表示部４５は、第１実施形態と同様に、画像処理部４０により算出されたノイズ光比率を表示するようにしてもよい。
【００４６】
このように、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００４７】
なお、上述の第２実施形態において、回折レンズ１０５からの回折光のうち、０次回折光の集光位置を検出部１３０の検出面１３１上に位置するように調整しているが、これに限られるものではなく、第１実施形態と同様に、２次回折光の集光位置を検出部１３０の検出面１３１上に位置するように調整してもよい。また、０次回折光や２次回折光に限らず、他の次数の回折光の集光位置を検出部１３０の検出面１３１上に位置するように調整してもよい。
【００４８】
また、上述の第２実施形態において、照明部１１５は、遮光部１２０を介して回折レンズ１０５に円環状の照明光を照射しているが、これに限られるものではなく、例えばリング照明等を利用して、遮光部１２０を用いずに回折レンズ１０５に円環状の照明光を照射してもよい。また、遮光部１２０を回折レンズ１０５のリレーレンズ１２５，１２６側の近傍に設け、回折レンズ１０５に対して実質的に円環状の照明光が照射される構成であってもよい。また、円環状の照明光に限らず、回折光学素子の外周形状に応じた環状の照明光を用いることができる。
【００４９】
また、上述の第２実施形態において、調整部１３５が検出部１３０を光軸に沿って移動させているが、これに限られるものではない。例えば、調整部１３５が第２リレーレンズ１２６を光軸に沿って移動させてもよく、また例えば、調整部１３５が第２リレーレンズ１２６と検出部１３０の両方を移動させてもよく、第２リレーレンズ１２６および検出部１３０のうち少なくとも一方を光軸に沿って移動可能に構成されていればよい。
【００５０】
また、上述の第１および第２実施形態において、バンドパスフィルタ１８，１１８が設けられているが、これに限られるものではなく、例えば、バンドパスフィルタ１８，１１８を設けずに、照明部１５，１１５において照明光の波長を調整するようにしてもよい。また例えば、遮光部２０，１２０が、遮光部材とバンドパスフィルタとが接合した構成であってもよい。
【００５１】
また、上述の第１および第２実施形態において、ノイズ光比率を求めて回折光学素子（回折光学系５および回折レンズ１０５）の評価を行っているが、これに限られるものではなく、回折光学素子から検出される複数次数の回折光のうち回折光学素子で使用する回折光（例えば１次回折光）の光強度の比率を求めて、回折光学素子の評価を行うようにしてもよい。また、表示部４５で表示される画像に基づいて、目視で回折光学素子の評価を行うようにしてもよい。
【００５２】
また、上述の第１および第２実施形態において、照明光の波長として赤色（波長：６３５ｎｍ）と緑色（波長：５３５ｎｍ）の波長を例示しているが、これに限られるものではなく、例えば、青色の波長や、紫外域の波長、赤外域の波長等、所望の波長域の照明光を使用可能である。
【符号の説明】
【００５３】
１  評価装置（第１実施形態）
５  回折光学系（回折光学素子）
１５  照明部                            ２０  遮光部
２５  リレーレンズ
３０  検出部                            ３１  検出面
３５  調整部
４０  画像処理部                        ４５  表示部
１０１  評価装置（第２実施形態）
１０５  回折レンズ（回折光学素子）
１１５  照明部                          １２０  遮光部
１２５  第１リレーレンズ                １２６  第２リレーレンズ
１３０  検出部                          １３１  検出面
１３５  調整部
Ｄｆ０  ０次回折光                      Ｄｆ１  １次回折光
【図１】
2015087346.tif 000003
【図２】
2015087346.tif 000004
【図３】
2015087346.tif 000005
【図４】
2015087346.tif 000006
【図５】
2015087346.tif 000007