(57)【要約】【課題】従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を保ちながら、Ｕ字屈曲時の直進性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラットケーブルを提供する。【解決手段】撚り合わされた複数の電線１１と、複数の電線１１の隙間を埋めるように設けられた介在１２と、複数の電線１１の周囲に巻き付けられたテープ１３と、テープ１３の周囲に設けられたシールド１４と、シールド１４の周囲に設けられたシース１５と、を備え、シース１５は、内層１６と外層１７とからなり、外層１７は、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる可動部配線用ケーブル１０である。【選択図】図１
2015005498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撚り合わされた複数の電線と、
前記複数の電線の隙間を埋めるように設けられた介在と、
前記複数の電線の周囲に巻き付けられたテープと、
前記テープの周囲に設けられたシールドと、
前記シールドの周囲に設けられたシースと、
を備え、
前記シースは、内層と外層とからなり、
前記外層は、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなることを特徴とする
可動部配線用ケーブル。
【請求項２】
前記絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比で前記フッ素ゴムと前記フッ素樹脂と
を含有する請求項１に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項３】
前記フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチ
レンと溶融性フッ素樹脂とを含有する請求項２に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項４】
前記外層は、厚さが０．２ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である請求項１から３の何れか一項に記載の可動部
配線用ケーブル。
【請求項５】
前記外層は、厚さが前記内層の厚さの１／５〜１／２である請求項１から４の何れか一
項に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項６】
前記内層は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れ
か一つからなる請求項１から５の何れか一項に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一項に記載の可動部配線用ケーブルを並列させると共に外層同
士を熱風融着させたことを特徴とする可動部配線用フラットケーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶画面（ＬＣＤ）等の製造ラインで用いられる可動部配線用ケー
ブル及び可動部配線用フラットケーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶画面等の製造ラインで用いられるケーブルのうち、繰り返しＵ字屈曲を受
けるような可動部に配線される可動部配線用ケーブルは、断線や捩れ対策のためにケーブ
ルベアの中に纏められている。
【０００３】
図３に示すように、このような可動部配線用ケーブル３０としては、撚り合わされた複
数の電線３１と、複数の電線３１の隙間を埋めるように設けられた介在３２と、複数の電
線３１の周囲に巻き付けられたテープ３３と、テープ３３の周囲に設けられた編組シール
ド３４と、編組シールド３４の周囲に設けられたシース３５と、を備えたものが知られて
いる。
【０００４】
この可動部配線用ケーブル３０には、繰り返しＵ字屈曲を受けても断線しないように優
れた可撓性が要求されることから、シース３５の材質として、優れた柔軟性を有する、ポ
リ塩化ビニル（ＰＶＣ）樹脂、ポリウレタン（ＰＵ）樹脂、又はポリオレフィン（ＰＯ）
樹脂等が用いられている。
【０００５】
また、半導体等の製造ラインでは、発塵（粉塵の発生）は部品不良を誘発する原因とな
るので、シース３５を構成するポリ塩化ビニル樹脂等の配合として、シース３５とケーブ
ルベアとの接触による発塵を抑制することが可能なＩＰＡクリーンクラス証明を取得した
ものを採用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平３−２４５４１７号公報
【特許文献２】特開昭６３−２９４１２号公報
【特許文献３】国際公開第００／５６８２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年はスマートフォンやタブレット端末の爆発的な普及により、半導体等の
製造ラインの稼働率が年々増加してきており、製造ラインにおける搬送機械等の高速化が
求められている。そして、搬送機械等の高速化に伴い、可動部に配線される可動部配線用
ケーブル３０もより速く、激しく、長距離に亘ってＵ字屈曲を受けることになる。
【０００８】
しかしながら、前述したように、シース３５を構成するポリ塩化ビニル樹脂等は優れた
柔軟性を有するため、Ｕ字屈曲時に可動部配線用ケーブル３０が直進性を保つことができ
ずに垂れて屈曲しまうことがある。
【０００９】
可動部配線用ケーブル３０が垂れて屈曲してしまうと、可動部配線用ケーブル３０とケ
ーブルベアとが接触し易くなり、たとえＩＰＡクリーンクラス証明を取得した配合を採用
した場合であっても、可動部配線用ケーブル３０の摩耗とこれに伴う発塵が増加し、製造
ラインにおいて部品不良の問題を引き起こす原因となる。
【００１０】
この問題を解決するために、シース３５の材質として、優れた耐摩耗性を有するフッ素
樹脂を用いることも考えられるが、フッ素樹脂は柔軟性に乏しく、シース３５の材質とし
てフッ素樹脂を採用した場合には、従来通りの曲げ半径での耐Ｕ字屈曲性が著しく低下し
、可動部配線用ケーブル３０の使用寿命が減少してしまう。
【００１１】
また、フッ素樹脂は、硬く割れやすいため、シース３５の割れにより、編組シールド３
４等が露出して電気的な問題を生じる虞もある。
【００１２】
更に、可動部配線用ケーブル３０の可撓性が低下することにより、Ｕ字屈曲時の可動部
配線用ケーブル３０の反発力が高くなり、可動部配線用ケーブル３０からケーブルベアに
対して圧力が掛かるため、ケーブルベアの寿命を早めてしまう問題も生じる。
【００１３】
これに対して、絶縁電線の耐摩耗性を向上させるために、導体又は絶縁層の周囲にフッ
素樹脂を含む絶縁塗料を塗布焼付し、最大で３５μｍ程度の厚さを有する被覆層を形成す
る技術が知られている（例えば、特許文献１又は２）。
【００１４】
ところが、前述した技術を可動部配線用ケーブル３０のシース３５に応用した場合には
、被覆層の厚さが３５μｍ程度と薄いため、可動部配線用ケーブル３０とケーブルベアと
が接触することにより、可動部配線用ケーブル３０の長期に亘る使用期間（例えば、５年
程度）内に被覆層が削れてシース３５が表出する虞がある。
【００１５】
そうすると、たとえシース３５の材質としてＩＰＡクリーンクラス証明を取得した配合
を採用した樹脂を使用していたとしても、Ｕ字屈曲時に可動部配線用ケーブル３０が直進
性を保つことができなくなり、可動部配線用ケーブル３０の摩耗とこれに伴う発塵が増加
してしまう。
【００１６】
また、シース３５の表出を防止するために、被覆層の厚さを厚くしてしまうと、ケーブ
ルベアに加えられる圧力が増加する問題や可動部配線用ケーブル３０の耐Ｕ字屈曲性が低下する問題が生じることとなる。
【００１７】
そこで、本発明の目的は、従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を保ちながら、Ｕ字屈曲時の直進
性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラッ
トケーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
この目的を達成するために創案された本発明は、撚り合わされた複数の電線と、前記複
数の電線の隙間を埋めるように設けられた介在と、前記複数の電線の周囲に巻き付けられ
たテープと、前記テープの周囲に設けられたシールドと、前記シールドの周囲に設けられ
たシースと、を備え、前記シースは、内層と外層とからなり、前記外層は、フッ素ゴムと
フッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなる可動部配線用ケーブルである。
【００１９】
前記絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比で前記フッ素ゴムと前記フッ素樹脂と
を含有すると良い。
【００２０】
前記フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチ
レンと溶融性フッ素樹脂とを含有すると良い。
【００２１】
前記外層は、厚さが０．２ｍｍ以上０．４ｍｍ以下であると良い。
【００２２】
前記外層は、厚さが前記内層の厚さの１／５〜１／２であると良い。
【００２３】
前記内層は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れ
か一つからなると良い。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を保ちながら、Ｕ字屈曲時の直進性、耐摩
耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用ケーブル及び可動部配線用フラットケーブ
ルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明に係る可動部配線用ケーブルを示す断面図である。
【図２】本発明に係る可動部配線用フラットケーブルを示す断面図である。
【図３】従来技術に係る可動部配線用ケーブルを示す断面図である。
【図４】本発明に係る可動部配線用ケーブルの変形例を示す断面図である。
【図５】本発明に係る可動部配線用フラットケーブルの変形例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面にしたがって説明する。
【００２７】
図１に示すように、本実施の形態に係る可動部配線用ケーブル１０は、撚り合わされた
複数の電線１１と、複数の電線１１の隙間を埋めるように設けられた介在１２と、複数の
電線１１の周囲に巻き付けられたテープ１３と、テープ１３の周囲に設けられたシールド
１４と、シールド１４の周囲に設けられたシース１５と、を備え、シース１５は、内層１
６と外層１７とからなり、外層１７は、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料か
らなることを特徴とする。
【００２８】
電線１１は、例えば、導体と導体の周囲に設けられた絶縁層とを備えた絶縁電線や内部
導体と外部導体とを備えた同軸ケーブル等からなる。
【００２９】
介在１２は、電線１１の配置を固定することで、ケーブル長手方向に亘ってケーブル断
面における電線１１の対称性を維持し、インピーダンスの変化を抑制する。
【００３０】
テープ１３は、例えば、滑り性の良い紙テープやポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ）、ナイロン樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂等の樹脂からなるテー
プであり、巻き付けたときに隣接するテープ１３同士が一部で重ね合わされるようにラッ
プ巻きされている。
【００３１】
このテープ１３は、電線１１の解れを防止し、介在１２と同様に、電線１１の配置を固
定することで、ケーブル長手方向に亘ってケーブル断面における電線１１の対称性を維持
し、インピーダンスの変化を抑制する。
【００３２】
シールド１４は、例えば、編組シールドや横巻シールドからなり、可動部配線用ケーブ
ル１０の電磁波障害（ElectroMagnetic Interference；ＥＭＩ）特性等のシールド特性を
担保する。
【００３３】
内層１６は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れ
か一つからなることが好ましい。これらの樹脂は、柔軟性に優れていることから、可動部
配線用ケーブル１０に優れた可撓性と耐Ｕ字屈曲性を付与することができるからである。
【００３４】
外層１７は、前述した通り、フッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料からなるが
、この絶縁材料は、９５：５〜２０：８０の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有す
ることが好ましい。また、フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリ
テトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有することが好ましい。これらの質量
比を満足する絶縁材料としては、ダイキン工業株式会社製のダイエル（登録商標）フルオ
ロＴＰＶが挙げられる。
【００３５】
この絶縁材料を用いることで、フッ素樹脂の耐摩耗性及び低発塵性とフッ素ゴムの柔軟
性及び弾力性（弾力性はＵ字屈曲時の直進性を向上させる）とを兼ね備えた外層１７を形
成することができる。
【００３６】
つまり、外層１７を設けることにより可動部配線用ケーブル１０の可撓性や耐Ｕ字屈曲
性を損なうことなくＵ字屈曲時の直進性を向上させることが可能となる。また、外層１７
は、フッ素樹脂の特長である耐油、耐化学薬品性、及び耐候性を備えており、油、酸性、
及びアルカリ性環境下においても使用可能であり、また紫外線や酸性雨等に暴露される屋
外使用にも適している。
【００３７】
外層１７は、厚さが０．２ｍｍ以上０．４ｍｍ以下であることが好ましい。外層１７の厚さが０．２ｍｍ未満であると、可動部配線用ケーブル１０を繰り返しＵ字屈曲させたときに外層１７に皺ができ、この皺が亀裂に進展して内層１６を表出させる虞があるからである。また、０．４ｍｍを超過すると、Ｕ字屈曲時の可動部配線用ケーブル１０の反発力が高くなり、可動部配線用ケーブル１０からケーブルベアに対して圧力が掛かるため、ケーブルベアの寿命を早めてしまうからである。
【００３８】
更に、外層１７は、厚さが内層１６の厚さの１／５〜１／２であることが好ましい。外
層１７の厚さが内層１６の厚さの１／５未満であると、可動部配線用ケーブル１０とケー
ブルベアとが接触することにより、可動部配線用ケーブル１０の長期に亘る使用期間（例
えば、５年程度）内に外層１７が削れて内層１６が表出する虞があるからである。また、
外層１７の厚さが内層１６の厚さの１／２以上であると、可動部配線用ケーブル１０の可
撓性が損なわれることにより、従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を保つことが困難になるからで
ある。更に、前述した絶縁材料は他の樹脂に比べてコストが高いことから、あまり大量に
使用すると、製品コストが著しく増加するからである。
【００３９】
これまで説明してきたように、本実施の形態に係る可動部配線用ケーブル１０によれば
、外層１７がフッ素ゴムとフッ素樹脂との複合材料たる絶縁材料からなるため、Ｕ字屈曲
時の直進性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させることができる。また、外層１７を可動
部配線用ケーブル１０の使用期間内に内層１６が表出しない程度の厚さに形成したとして
も、ケーブルベアに対する圧力が増加することはなく、更に従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を
保つことができる。
【００４０】
更に、可動部配線用ケーブル１０では、内層１６が柔軟性に優れたポリ塩化ビニル樹脂
等からなるため、可動部配線用ケーブル１０の可撓性や耐Ｕ字屈曲性は従来と殆ど変わら
ず、可動部配線用ケーブル１０の寿命も従来と比べて変わらない。
【００４１】
また、可動部配線用ケーブル１０は、Ｕ字屈曲時の直進性に優れており、従来の可動部
配線用ケーブル３０のように長距離に配線される場合であっても垂れ下がり難いため、可
動部配線用ケーブル１０を用いることでケーブルベアを無くし、搬送機械等の小型化に貢
献することが可能である。
【００４２】
また、図２に示すように、この可動部配線用ケーブル１０を並列させると共に外層１７同士を熱風融着させることで、従来と同等の耐Ｕ字屈曲性を保ちながら、Ｕ字屈曲時の直進性、耐摩耗性、及び低発塵性を向上させた可動部配線用フラットケーブル２０が得られる。
【００４３】
また、図４に示すように、エアチューブ１８の周囲に本願発明のシース１５を設けてエアチューブホース４０としてもよく、例えば、図５に示すように可動部配線用ケーブル１０の両端にエアチューブホース４０を並列させて外層１７同士を熱風融着させ、エアチューブホース４０を含む可動部配線用フラットケーブル２０を作成することができる。
【００４４】
エアチューブ１８は、例えばナイロンからなり、図４では単層であるが、複数層を設けてもよい。
【実施例】
【００４５】
次に、本発明の実施例を説明する。
【００４６】
実施例１として図１に示した構造の可動部配線用ケーブル１０（内層１６：厚さ０．８
ｍｍのポリ塩化ビニル樹脂、外層１７：厚さ０．４ｍｍのダイエル（登録商標）フルオロ
ＴＰＶ）を作製し、比較例１として図３に示した構造の可動部配線用ケーブル３０（シー
ス３５：厚さ１．０ｍｍのポリ塩化ビニル樹脂）を作製し、これらの耐Ｕ字屈曲性を調査
した。
【００４７】
耐Ｕ字屈曲性については、可動部配線用ケーブル１０、３０をＵ字屈曲させた状態で、
ストローク長を３００ｍｍ、曲げ半径をケーブル外径の６倍（４５ｍｍ）、８倍（６０ｍ
ｍ）、又は１０倍（７６ｍｍ）の３通りとして、可動部配線用ケーブル１０、３０の両端
が常に平行を保つようにストロークさせ、何回のストロークに耐えられるか試験を行った
。その結果を表１に示す。
【００４８】
【表１】
2015005498.tif 000003
【００４９】
表１から分かるように、実施例１と比較例１では耐Ｕ字屈曲性に差は無かった。
【００５０】
次に、摩耗特性及び発塵性については、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又は
ダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶの３通りのシースに対して、荷重が１ｋｇとなるよ
うにして３枚の刃を当てた状態で、これらの刃がケーブル長手方向にストローク長３００
ｍｍの距離を一往復するのを１回として３０回／分の速度でシースの表面を前後に擦り、
その削れ屑の量を調査した。
【００５１】
その結果、ダイエル（登録商標）フルオロＴＰＶのシースでは５００回でも殆ど削れ屑
が発生せず摩耗特性及び発塵性に優れることが確認できたが、それ以外のシースでは３０
０回後には削れ屑が大量に発生し、摩耗特性及び発塵性が非常に悪かった。
【符号の説明】
【００５２】
１０  可動部配線用ケーブル
１１  電線
１２  介在
１３  テープ
１４  シールド
１５  シース
１６  内層
１７  外層
【図１】
2015005498.tif 000004
【図２】
2015005498.tif 000005
【図３】
2015005498.tif 000006
【図４】
2015005498.tif 000007
【図５】
2015005498.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月7日(2014.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撚り合わされた複数の電線と、
前記複数の電線の隙間を埋めるように設けられた介在と、
前記複数の電線の周囲に巻き付けられたテープと、
前記テープの周囲に設けられたシールドと、
前記シールドの周囲に設けられたシースと、
を備え、
前記シースは、内層と外層とからなり、
前記外層は、９５：５〜２０：８０の質量比でフッ素ゴムとフッ素樹脂とを含有する絶縁材料であって、
前記フッ素樹脂は、９９．５：０．５〜７５：２５の質量比でポリテトラフルオロエチレンと溶融性フッ素樹脂とを含有する可動部配線用ケーブル。
【請求項２】
前記外層は、厚さが０．２ｍｍ以上０．４ｍｍ以下である請求項１に記載の可動部配線用ケーブル
【請求項３】
前記外層は、厚さが前記内層の厚さの１／５〜１／２である請求項１又は２に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項４】
前記内層は、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリウレタン樹脂、又はポリオレフィン樹脂の何れか一つからなる請求項１から３の何れか一項に記載の可動部配線用ケーブル。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の可動部配線用ケーブルを並列させると共に外層同士を熱風融着させたことを特徴とする可動部配線用フラットケーブル。