(57)【要約】【課題】  供給流路に気泡が残る可能性を低減させる。【解決手段】  本発明の液体吐出ヘッドは、液体を貯蔵する液体タンクと、前記液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列を備える記録素子基板と、前記液体タンクから前記記録素子基板に液体を供給し、前記液体タンクとの接続部分における第１の幅よりも、前記記録素子基板との接続部分における第２の幅の方が広く、前記第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える供給流路と、前記拡大部における供給流路を、複数の分割流路に分割する分割部と、を有し、前記分割部は、各分割流路内における流速分布が略均一となるように前記供給流路を分割する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯蔵する液体タンクと、
前記液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列を備える記録素子基板と、
前記液体タンクから前記記録素子基板に液体を供給し、前記液体タンクとの接続部分における第１の幅よりも、前記記録素子基板との接続部分における第２の幅の方が広く、前記第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える供給流路と、
前記拡大部における供給流路を、複数の分割流路に分割する分割部と、を有し、
前記分割部は、各分割流路内における流速分布が略均一となるように前記供給流路を分割することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記分割部は、前記供給流路を２分割し、前記ノズル列の両端部分に向けて液体を供給することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記分割部は、側面が、該側面と対向する前記供給流路の側面と略平行となり、前記分割流路のそれぞれの断面積が略一定となるように形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記分割部は、前記供給流路を３分割し、前記ノズル列の両端部分および中央部分に向けて液体を供給することを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項４に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル列の中央部分に向けて液体を供給する分割流路は、前記ノズル列の両端部分に向けて液体を供給する分割流路よりも前記液体の流抵抗が大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体を貯蔵する液体タンクと、
前記液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列を備える記録素子基板と、
前記液体タンクから前記記録素子基板に液体を供給し、前記液体タンクとの接続部分における第１の幅よりも、前記記録素子基板との接続部分における第２の幅の方が広く、前記第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える供給流路と、を備える液体吐出ヘッドにおける液体の供給方法であって、
分割部を設けることにより、前記拡大部における供給流路を、複数の分割流路に分割するとともに、各分割流路内における流速分布が略均一とすることを特徴とする液体吐出ヘッドにおける液体の供給方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよび、液体吐出ヘッドにおける液体供給方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
記録媒体上に画像を形成する画像形成装置として、インクジェットプリンタが知られている。インクジェットプリンタは、液体であるインクを吐出する複数の微細なノズルが配列された記録素子基板を有する液体吐出ヘッドを、記録媒体に対して相対的に移動させながら、ノズルからインクを記録媒体に吐出して、画像を形成する。なお、液体吐出ヘッドは、インクジェット記録ヘッドとも称される。
【０００３】
上述したような液体吐出ヘッドは、さらに、液体タンク、および、インクの供給流路を備えている。液体吐出ヘッドには、液体タンクから供給流路を介してインクが供給され、各ノズルに設けられた圧電素子もしくは電気熱変換素子が画像データに応じた電気信号により駆動されると、ノズルからインクが液滴として吐出される。このようにノズルから吐出されたインクの液滴が組み合わされて、記録媒体上に１つの画像が形成される。
【０００４】
上記のように、インクジェットプリンタは、微細なノズルからインクを直接吐出して画像が形成されるため、良好な画像を形成するためにはノズルからのインクの吐出不良や不吐出が問題となる。そのため、ノズルは、常に、正常にインクの吐出ができる状態に保持される必要がある。
【０００５】
ノズルからのインクの吐出不良や不吐出は、ノズル内にインクタンクなどにあった空気の泡が詰まったり、長期間のインク不吐出などにより、ノズルからインク溶媒が蒸発してインクが増粘したり、また、インクが乾燥したりすることで、発生する。
【０００６】
ノズルからのインクの吐出不良や不吐出を防止するために、インクジェットプリンタは、通常、種々の回復機構や回復装置を備えている。回復機構や回復装置は、ノズル内の空気の泡、増粘したインク、ノズル表面のインクの乾燥皮膜、などを除去し、ノズルを正常にインクの吐出ができる状態にする機能を有する。
【０００７】
また、回復機構や回復装置の多くは、泡や増粘したインクや乾燥皮膜だけでなく、ノズル内のゴミなどの異物や、ノズル表面に付着したインクやゴミなどを除去する機能を併せもつ。
【０００８】
上述したような回復装置が、特許文献１（特開２００７−２５３４０８号公報）に開示されている。具体的に、特許文献１には、液体吐出ヘッドのノズルが設けられているノズル面と接触し、接触部分が弾性体で構成された吸引キャップと、吸引キャップをノズル面に対して平行にスライドさせる吸引キャップ移動手段と、を有する吐出回復装置が開示されている。
【０００９】
特許文献１に開示されている吐出回復装置は、吸引ポンプを用いて吸引キャップとノズル面とで囲まれた空間を大気圧よりも低い圧力とした状態で、吸引キャップをノズル面と接触させながら移動させる。このようにして、吐出回復装置が、ノズルの吸引と、弾性体で構成された吸引キャップによるノズル面のワイピングとを同時に行うことにより、ノズルは、正常にインクの吐出ができる状態に短時間で回復される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００７−２５３４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に開示されている吐出回復装置は、ノズル内の空気の泡や増粘したインクやノズル表面の乾燥皮膜などを除去することによって、ノズルの状態を正常にインクの吐出ができる状態にすることはできるが、供給流路内に残る空気の泡などは除去できない。供給流路内に空気の泡などが残ると、記録素子基板に安定してインクが供給されず、画像が適切に形成されないおそれがある。
【００１２】
供給流路は、通常、液体タンクとの接続部分における幅（第１の幅）よりも、記録素子基板との接続部分における幅（第２の幅）の方が広く形成される。
【００１３】
一般に、流路を流れるインクの流速は、流路の幅が広がると低下し、また、流路の断面においては中心部より端部の方が遅い。そのため、上述したような、第１の幅から第２の幅に変化する拡大部の端部においては、インクの流速が低下して、空気の泡が残る可能性が高い。
【００１４】
このように、供給流路において、流れるインクの流速が場所ごとに違う場合には、流速が低下する場所で、空気の泡が残る可能性が高い。
【００１５】
本発明の目的は、供給流路に空気の泡が残る可能性を低減させた、液体吐出ヘッド、および、液体吐出ヘッドにおけるインクの供給方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために本発明の液体吐出ヘッドは、液体を貯蔵する液体タンクと、前記液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列を備える記録素子基板と、前記液体タンクから前記記録素子基板に液体を供給し、前記液体タンクとの接続部分における第１の幅よりも、前記記録素子基板との接続部分における第２の幅の方が広く、前記第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える供給流路と、前記拡大部における供給流路を、複数の分割流路に分割する分割部と、を有し、前記分割部は、各分割流路内における流速分布が略均一となるように前記供給流路を分割する。
【００１７】
上記目的を達成するために本発明の液体吐出ヘッドにおける液体供給方法は、液体を貯蔵する液体タンクと、前記液体を吐出する複数のノズルが配列されたノズル列を備える記録素子基板と、前記液体タンクから前記記録素子基板に液体を供給し、前記液体タンクとの接続部分における第１の幅よりも、前記記録素子基板との接続部分における第２の幅の方が広く、前記第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える供給流路と、を備える液体吐出ヘッドにおける液体の供給方法であって、分割部を設けることにより、前記拡大部における供給流路を、複数の分割流路に分割するとともに、各分割流路内における流速分布が略均一とする。
【００１８】
本発明によれば、供給流路は、拡大部に設けられた分割部により複数の分割流路に分割され、各分割流路内における流速分布が略均一となる。
【００１９】
一般に、流路における液体の流路において流速分布が均一でない場合には、流速が低下する箇所において、空気の泡が残りやすい。したがって、供給流路の拡大部の端部のように、供給流路内の液体の流速が低下する箇所においては、空気の泡が残る可能性が高い。
【００２０】
本発明では、各分割流路内において流速分布が略均一化されているので、供給流路内の流速が低下する場所が減少し、供給流路に気泡が残る可能性を低減させることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、供給流路に空気の泡が残る可能性を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施形態を適用可能な液体吐出ヘッドの模式図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ’線に沿った断面図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの回復動作について説明するための図である。
【図４】図１に示す液体吐出ヘッドの要部断面図である。
【図５】第１の実施形態の液体吐出ヘッドの要部断面図である。
【図６】図５に示す液体吐出ヘッドのインクの流路を示す模式図である。
【図７】図５に示す液体吐出ヘッドを、記録素子基板側から見た図である。
【図８】第２の実施形態の液体吐出ヘッドの要部断面図である。
【図９】第８に示す液体吐出ヘッドのインクの流路を示す模式図である。
【図１０Ａ】図８に示す液体吐出ヘッドの供給流路の分割位置について説明するための図である。
【図１０Ｂ】図８に示す液体吐出ヘッドの供給流路の分割位置について説明するための図である。
【図１０Ｃ】図８に示す液体吐出ヘッドの供給流路の分割位置について説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
（第１の実施形態）
まず、本発明の各実施形態が適用可能な液体吐出ヘッドの構成について、図１、図２を用いて説明する。なお、以降、液体吐出ヘッドの構成の説明において、図２に示される液体吐出ヘッド１については、図面横方向の長さを幅と称して説明する。
【００２５】
図１は、本発明の各実施形態が適用可能な液体吐出ヘッドの模式図である。
【００２６】
図２は、図１に示すＡ−Ａ’線に沿った、断面図である。
【００２７】
図１、図２に示されるように、液体吐出ヘッド１は、記録素子基板３と、液体タンク４と、フィルタ５と、供給流路６と、を有している。
【００２８】
記録素子基板３は、インクを吐出する複数のノズル２が配列されたノズル列７を有する。各ノズル２には圧電素子もしくは電気熱変換素子が設けられており、圧電素子もしくは電気熱変換素子が駆動されると、ノズル２からインクが記録媒体（不図示）に向けて吐出される。
【００２９】
液体タンク４は、記録素子基板３に供給されるインクを貯蔵するタンクである。
【００３０】
フィルタ５は、液体タンク４内のインクの供給口に設けられ、液体タンク４から記録素子基板３に供給されるインクに含まれるゴミなどを除去する。
【００３１】
供給流路６は、液体タンク４と記録素子基板３とを連通させ、液体タンク４から記録素子基板３にインクを供給する流路である。また、供給流路６は、液体タンク４との接続部分における第１の幅よりも、記録素子基板３との接続部分における第２の幅の方が広く、第１の幅から第２の幅に変化する拡大部を備える。
【００３２】
次に、液体吐出ヘッド１のノズル２が正常にインクの吐出ができる状態に回復される回復動作について、図３を用いて説明する。
【００３３】
図３は、液体吐出ヘッド１の回復動作について説明するための図である。
【００３４】
図３に示す回復装置８は、ノズル２内への空気の泡や異物の侵入による不具合発生時、インクの増粘や物性変動による吐出異常の発生時、もしくはこれらの発生が予想されるときに起動され、インクの吸引動作が行われる。
【００３５】
まず、回復装置８の構成について説明する。
【００３６】
回復装置８は、キャップ部９と、吸引流路１０と、吸引ポンプ１１と、吸引制御バルブ１２と、大気開放バルブ１３とを有し、液体吐出ヘッド１と接触する。
【００３７】
液体吐出ヘッド１は、ノズル２が設けられているノズル面１４を備え、該ノズル面１４とキャップ部９とが接触する。
【００３８】
キャップ部９は、ノズル面１４と接触した状態のときに、ノズル面１４と密閉空間を形成するもので、ノズル面１４との接触部分は弾性体とされている。また、キャップ部９は、吸引流路１０と接続されている。
【００３９】
吸引流路１０は、吸引制御バルブ１２を介して吸引ポンプ１１と接続されるとともに、大気開放バルブ１３を介して大気開放されている。
【００４０】
次に、回復装置８による回復動作について説明する。
【００４１】
まず、回復装置８は、吸引制御バルブ１２が開けられ、かつ、大気開放バルブ１３が閉じられている状態で、吸引ポンプ１１を駆動する。回復装置８は、キャップ部９とノズル面１４とで囲まれる密閉空間を排気して、この密閉空間を負圧とすることにより、ノズル２内に詰まった空気の泡や増粘したインクなどを除去することができる。除去された空気の泡や増粘したインクは、吸引流路１０を介して不図示の回収タンクに蓄えられる。
【００４２】
さらに、回復装置８は、吸引ポンプ１１を駆動させながら、キャップ部９をノズル面１４と接触させたまま移動させる。この移動により、回復装置８のキャップ部９の弾性体で構成された部分がブレードとして用いられ、ノズル面１４に対してワイピングが行われ、ノズル２の表面に形成された乾燥皮膜などを除去することができる。
【００４３】
回復装置８は、ノズル２内の吸引と、ノズル面１４のワイピングとを終えると、吸引ポンプ１１を停止し、吸引制御バルブ１２を閉じ、大気開放バルブ１３を開けて、回復動作を終了する。
【００４４】
このようにして、回復装置８は、ノズル２の吸引と、ノズル面１４のワイピングを同時に行うことができる。
【００４５】
次に、図４を用いて、供給流路６に空気の泡が残る様子を説明する。
【００４６】
図４は、液体吐出ヘッド１の要部断面図である。
【００４７】
ここで、一般に、流路を流れるインクの流速は、流路の幅が広がると低下し、また、流路の断面においては中心部より端部の方が遅い。したがって、図４に示されるように、拡大部１５の端部においては、インクの流速が低下し、泡１６が残りやすい。
【００４８】
なお、供給流路６が、第２の幅と同等の幅で、その幅が広がらずに一定となるように形成されるならば、供給流路６において、インクの流速の場所ごとの違いが小さくなり、インクの流速が低下する場所が減るため、供給流路６に泡１６が残りにくい。しかし、供給流路６を、第２の幅と同等の幅で、その幅が広がらずに一定となるように形成する場合には、フィルタ５の幅が第２の幅と同等となって大型化し、生産コストの上昇や、液体タンク４の大型化を招くことになる。このため、一般的には図４に示す形状の供給流路が採用されている。
【００４９】
次に、図５〜図７を用いて、本実施形態の液体吐出ヘッドの構成について、説明する。
【００５０】
図５は、本実施形態の液体吐出ヘッド１Ａの要部断面図である。以降、前述した液体吐出ヘッド１と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００５１】
図５に示されるように、供給流路６は、拡大部１５に設けられた分割部１７により、分割流路１８―１，１８−２に２分割されている。また、分割流路１８―１，１８−２は、ノズル列７の両端部分に向けてインクを供給するように形成されている。
【００５２】
図６は、液体吐出ヘッド１Ａのインクの流路を示す模式図である。
【００５３】
図６に示されるように、供給流路６は、液体タンク４との接続部分である液体タンク接続部１９から、図面上から下に向かって、幅が等しいまま図面手前から奥に向かう方向の長さである奥行が狭くなる。その後、供給流路６は、断面積が最小となる断面積最小部２０において、ノズル列７の両端部分に向かう分割流路１８―１，１８−２に２分割される。
【００５４】
ここで、分割部１７は、側面が、その側面と対向するインクの流路の側面と略平行となり、分割流路１８―１，１８−２のそれぞれの断面積が略一定となるように形成されている。したがって、分割流路１８―１，１８−２内においては、それぞれインクの流速分布が略均一となる。
【００５５】
また、分割流路１８―１，１８−２は、対称に配置され、それぞれの勾配および断面積が同等となるように形成されている。したがって、分割流路１８―１，１８−２におけるインクの流量は略同等となる。
【００５６】
なお、液体吐出ヘッド１Ａにおいては、液体吐出ヘッド１においてよりも、インクの流路の記録素子基板３との接続部分における断面積が小さい。そのため、本実施形態を適用することにより、記録素子基板３に供給されるインクの流量が減少する様に思われる。
【００５７】
ここで、液体吐出ヘッド１Ａにおいては、断面積が略一定となるように分割流路１８―１，１８−２が形成されている。そのため、分割流路１８―１，１８−２の断面である分割流路断面２１−１，２１−２の総断面積は、断面積最小部２０における供給流路６の断面積と同等となる。したがって、本実施形態を適用しても、液体タンク４から記録素子基板３へと向かうインクの流路における最小の断面積は変わらず、記録素子基板３に供給されるインクの流量は減少しない。
【００５８】
図７は、液体吐出ヘッド１Ａを、記録素子基板３側から見た図である。
【００５９】
図７に示されるように、分割流路１８―１，１８−２は、ノズル列７の両端部分に向けてインクを供給するように形成されている。
【００６０】
このように、本実施形態においては、供給流路６が、分割部１７により、分割流路１８―１，１８−２に分割される。分割流路１８―１，１８−２は、断面積が略一定であり、分割流路１８―１，１８−２内におけるインクの流速分布が略均一となる。
【００６１】
そのため、分割流路１８―１，１８−２内において、流速分布が略均一化されることで、拡大部１５の端部のような流速が低下して空気の泡が残る可能性が高い場所が減少する。したがって、供給流路に空気の泡が残る可能性を低減させることができる。
【００６２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について、図８〜図１０を用いて説明する。
【００６３】
図８は、本実施形態の液体吐出ヘッド１Ｂの要部断面図である。以降、前述した液体吐出ヘッド１，１Ａと同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
【００６４】
図８に示されるように、供給流路６は、分割部２２−１，２２−２により、ノズル列７の両端部分に向けてインクを供給する端分割流路２３−１，２３−２、および、ノズル列７の中央部分に向けてインクを供給する中央分割流路２４に、３分割される。
【００６５】
ここで、液体吐出ヘッド１Ａにおいては、分割流路１８―１，１８−２は、ノズル列７の両端部分に向けてインクを供給することから、ノズル列７の中央部分および両端部分に配されたノズル２へのインクの供給状態が均一とならない可能性がある。しかし、液体吐出ヘッド１Ｂにおいては、中央分割流路２４が、ノズル列７の中央部分に向けてインクを供給するため、ノズル列７の中央部分および両端部分に配されたノズル２へのインクの供給状態が均一となる。
【００６６】
図９は、液体吐出ヘッド１Ｂのインクの流路を示す模式図である。
【００６７】
図９に示すように、中央分割流路２４は、その断面である中央流路断面２６の断面積が、端分割流路２３−１，２３−２の断面である端流路断面２５−１，２５−２の断面積よりも小さくなるように形成されている。
【００６８】
一般に、流路を流れるインクの流速は、流路の断面においては中心部より端部の方が遅い。そのため、中央分割流路２４に端分割流路２３−１，２３−２よりも多くのインクが流れ、端分割流路２３−１，２３−２にインクが十分に流れずに、拡大部１５の端部に空気の泡が残るおそれがある。
【００６９】
ここで、中央流路断面２６の断面積が、端流路断面２５−１，２５−２の断面積よりも小さいため、中央分割流路２４におけるインクの流抵抗は、端分割流路２３−１，２３−２におけるインクの流抵抗よりも大きくなる。
【００７０】
したがって、中央分割流路２４に端分割流路２３−１，２３−２よりも多くのインクが流れることはない。そのため、端分割流路２３−１，２３−２にインクが十分に流れ、拡大部１５の端部に空気の泡が残る可能性が低減される。
【００７１】
なお、本実施形態においては、端流路断面２５−１，２５−２および中央流路断面２６の断面積により、端分割流路２３−１，２３−２および中央分割流路２４におけるインクの流抵抗を調整したが、これに限られない。流路長や勾配等などにより、流抵抗を調整してもよい。
【００７２】
また、分割流路の数が第１の実施形態よりも多いことから、分割流路を流れるインクの流速は第１の実施形態と比較すると遅いものとなる。そのため、第１の実施形態では、流速が速いことから空気の泡が残ることを防止する効果が高いものとなる。また、本実施形態では、ノズル列７の各ノズルへのインクの供給状態の均一化を図ることができるものとなっている。
【００７３】
次に、液体吐出ヘッド１Ｂにおける供給流路６の分割位置について、図１０Ａ〜図１０Ｃを用いて説明する。
【００７４】
図１０Ａ〜図１０Ｃは、液体吐出ヘッド１Ｂの供給流路６の分割位置について説明するための図である。
【００７５】
図１０Ａに示されるように、液体吐出ヘッド１Ｂにおいては、供給流路６は、断面積最小部２０において、分割部２２−１，２２−２により、端分割流路２３−１，２３−２および中央分割流路２４に分割されるように構成されている。
【００７６】
ここで、図１０Ｂに示されるように、供給流路６が断面積最小部２０よりも上流側の上流側分割位置２７において分割された場合には、分割部２２−１，２２−２の側面と、その側面に対向するインクの流路の側面とが略平行とならない。そのため、端分割流路２３−１，２３−２の断面積が略一定とならず、端分割流路２３−１，２３−２内におけるインクの流速分布が均一化されない。したがって、拡大部１５の端部のような場所において、インクの流速が低下し、泡１６が残るおそれがある。
【００７７】
また、図１０Ｃに示されるように、供給流路６が断面積最小部２０よりも下流側の下流側分割位置２８において分割された場合には、供給流路６は、断面積最小部２０から幅が広がった後に、分割されることになる。そのため、インクの流速の低下やインクの流れの乱れが発生し、記録素子基板３には安定してインクが供給されず、画像形成が適切に行われないおそれがある。
【００７８】
したがって、供給流路６は、断面積最小部２０において分割されることが好ましい。ただし、分割部２２−１，２２−２の側面と、その側面に対向するインクの流路の側面とが略平行となり、端分割流路２３−１，２３−２の断面積が略一定となるのであれば、供給流路６を断面積最小部２０より上流側において分割してもよい。
【００７９】
なお、本実施形態においては、供給流路６は、３つの分割流路に分割されたが、これに限られない。供給流路６は、中央分割流路２４を２つ以上設けるなどして、４つ以上の分割流路に分割されてもよい。
【００８０】
このように、本実施形態においては、供給流路６は、端分割流路２３−１，２３−２、および、端分割流路２３−１，２３−２よりもインクの流抵抗が大きい中央分割流路２４に分割される。
【００８１】
そのため、中央分割流路２４により多くのインクが流れることはなく、端分割流路２３−１，２３−２にインクが十分に流れることになる。したがって、拡大部１５の端部においてもインクの流速が低下せず、空気の泡が残る可能性が低減する。
【００８２】
また、ノズル列７の両端部分には端分割流路２３−１，２３−２からインクが十分に供給され、また、ノズル列７の中央部分には中央分割流路２４からインクが十分に供給される。そのため、ノズル列７の全てのノズル２に万遍なくインクが供給される。
【符号の説明】
【００８３】
１，１Ａ，１Ｂ    液体吐出ヘッド
２    ノズル
３    記録素子基板
４    液体タンク
５    フィルタ
６    供給流路
７    ノズル列
８    回復装置
９    キャップ部
１０    吸引液体流路
１１    吸引ポンプ
１２    吸引制御バルブ
１３    大気開放バルブ
１４    ノズル面
１５−１，１５−２    端部
１６    泡
１７，２２−１，２２−２    分割部
１８−１，１８−２    分割流路
１９    液体タンク接続部
２０    断面積最小部
２１−１，２１−２    分割流路断面
２３−１，２３−２    端分割流路
２４    中央分割流路
２５−１，２５−２    端流路断面
２６    中央流路断面
２７    上流側分割位置
２８    下流側分割位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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