(57)【要約】【課題】静電吸着方式を用いて試料を保持し、かつ異物による試料の汚染を低減することができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る荷電粒子線装置は、試料室に隣接した予備排気室を備え、試料保持部が静電吸着により試料を保持した後に予備排気室内を減圧し、予備排気室内が減圧された後に試料を試料室へ搬送する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に対して荷電粒子線を照射する荷電粒子線源と、
前記試料を収容する試料室と、
前記試料室内の雰囲気を減圧してその状態を保つ減圧部と、
前記試料室に隣接する予備排気室と、
前記試料を前記予備排気室から前記試料室内へ搬送する移動機構と、
静電吸着によって前記試料を前記移動機構上に保持する試料保持部と、
を備え、
前記試料保持部は、前記試料が前記予備排気室内に存在する間に前記試料を静電吸着によって前記移動機構上に保持し、
前記予備排気室は、前記試料保持部が前記試料を前記移動機構上に保持する前は前記試料室との間の通路を封止しておき、前記試料保持部が前記試料を前記移動機構上に保持した後に前記予備排気室内の雰囲気を減圧した上で前記通路を開放し、
前記移動機構は、前記試料保持部が前記予備排気室内において前記試料を保持し、さらに前記予備排気室内の雰囲気が減圧された上で前記通路が開放された後、前記試料を前記試料室内に搬送する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記予備排気室の容積は、前記試料室の容積よりも小さく形成されている
ことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記試料保持部は、前記試料を静電吸着する１以上の電極と、前記電極に対して電圧を印加する試料保持電源とを備え、
前記電極のうち最も外周部分に配置されているものの外径は、前記試料の外径よりも大きく形成されている
ことを特徴とする請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記荷電粒子線装置はさらに、
前記試料保持部の周辺に配置されたトラップ電極と、
前記トラップ電極に対して電圧を印加するトラップ電源と、
を備え、
前記トラップ電源は、前述試料保持部が備える電極のうち最も外周に配置されているものに対して印加される電圧とは逆の極性を有する電圧を、前記トラップ電極に対して印加する
ことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記トラップ電極は、前記予備排気室内に配置されており、
前記トラップ電源は、前記試料保持部が前記試料を静電吸着によって保持するのと同時またはそれ以前に、前記トラップ電極に対して電圧を印加する
ことを特徴とする請求項４記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記試料保持部の中心から前記トラップ電極までの距離は、前記試料の半径に前記移動機構の移動誤差を加算した値よりも大きく構成されている
ことを特徴とする請求項４記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
前記荷電粒子線装置はさらに、前記試料を真空吸着によって保持してリフトアップするリフターを備え、
前記リフターは、前記前記予備排気室内に配置されており、前記予備排気室内の雰囲気が減圧されていない時点において、前記試料を真空吸着によって保持する
ことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項８】
前記予備排気室は、前記試料保持部が前記試料を前記移動機構上に保持する前は前記予備排気室内を大気に対して開放することにより、前記予備排気室内の雰囲気を大気圧に保持する
ことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項９】
前記試料保持電源は、蓄電池として構成されている
ことを特徴とする請求項３記載の荷電粒子線装置。
【請求項１０】
前記試料保持電源は、前記試料保持部の外部に配置されており、
前述試料保持部と前記試料保持電源を電気的に接続する端子は、前記試料保持部が前記試料を保持する保持面よりも下方に配置されている
ことを特徴とする請求項３記載の荷電粒子線装置。
【請求項１１】
前記移動機構が前記試料保持部を固定する端子と、前記試料保持電源を前記試料保持部と電気的に接続する端子は、一体的に構成されている
ことを特徴とする請求項３記載の荷電粒子線装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製品の製造工程においては、走査電子顕微鏡等の荷電粒子線装置を応用した製品を用いて、線幅計測およびその管理、検査装置により検出された異物のレビュー、などを実施している。
【０００３】
ウェーハ等の観察対象物（試料）を保持する機構としては、下記特許文献１に記載されているような静電吸着方式を採用する場合がある。静電吸着方式においては、試料外周を機械的に保持するピンなどは必要ないため、ピン付近のウェーハ表面における異物を減少させることができる。また、静電吸着力により試料を吸着面に固定するので、試料の撓みや反りを低減させる作用もある。
【０００４】
下記特許文献２に記載されている技術は、同心円状に配置された複数の電極板を用いて静電吸着方式の試料保持機構を構成している。同文献はさらに、外側の電極板の外径を、試料の外径よりも大きい値に形成し、印加電圧を制御することにより、荷電粒子線が照射される周囲の電位分布の歪を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１５５１６２号公報
【特許文献２】特開２０１０−２８２８２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
静電吸着方式によって試料を保持する場合、機械方式によって試料を保持する場合とは異なる異物による汚染が発生する。例えば、試料に付着した異物が高真空状態に維持された試料室において帯電し、斥力によって試料室内に放出され、試料上に降り注いで試料を汚染する可能性がある。
【０００７】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、静電吸着方式を用いて試料を保持し、かつ異物による試料の汚染を低減することができる荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る荷電粒子線装置は、試料室に隣接した予備排気室を備え、試料保持部が静電吸着により試料を保持した後に予備排気室内を減圧し、予備排気室内が減圧された後に試料を試料室へ搬送する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る荷電粒子線装置によれば、試料を保持する際および試料を試料室に対して搬送する際に、異物によって試料が汚染されることを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】静電吸着方式を用いて試料を保持機する試料保持部１０１の上面図である。
【図２】試料が異物によって汚染される例を示す図である。
【図３】実施形態１に係る荷電粒子線装置の構成を示す上面図である。
【図４】試料交換室１２０と試料室１３０の側断面模式図である。
【図５】試料交換室１２０内部を模式的に示す斜視図である。
【図６】試料室１３０内部を模式的に示す斜視図である。
【図７】走査電子顕微鏡１０００が試料９９を搬送する動作シーケンスを説明するフローチャートである。
【図８】ホールダ１００をロックするホールダロック機構８０１の構成例を示す図である。
【図９】トラップ電極５０４の配置例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜従来技術における静電吸着方式＞
以下では本発明の理解を容易にするため、まず従来技術における静電吸着方式について説明し、その後に本発明の実施形態について説明する。
【００１２】
図１は、静電吸着方式を用いて試料を保持機する試料保持部１０１の上面図である。試料保持部１０１は、セラミックス等の誘電体を用いて円形状に形成された複数の電極により構成される。図１に示す例においては、中心付近の電極を中心電極１０２、外周付近の電極を外周電極１０３とし、中心電極１０２と外周電極１０３に対してそれぞれ異なる極性の電圧を印加し、試料９９（例えば半導体ウェーハ）を静電吸着する。すなわち試料保持部１０１は、ダイポール型の静電吸着による試料保持機構として構成されている。
【００１３】
図２は、試料が異物によって汚染される例を示す図である。図２上は試料保持部１０１上に試料９９を載置した状態を示す上面図である。図２下は試料９９が異物１０５によって汚染される様子を示す側面図である。
【００１４】
一般に試料９９は、搬送ロボット等により試料保持部１０１上へ移載される。しかし搬送精度の低さに起因して、試料９９の搭載位置は、位置１０４として示すように搬送の都度わずかに異なる。そのため試料９９の裏面、特にエッジ付近に異物１０５が付着していた場合、試料保持部１０１上に異物１０５が移動し、次回搬送される試料９９の近傍に異物１０５が存在することになる。
【００１５】
試料保持部１０１が設置される試料室は１．０×１０−５Pa程度に減圧されているため、大気圧中と比較し、異物１０５および試料保持部１０１が帯電しやすく、異物１０５が容易に移動する。試料保持部１０１上に帯電した異物１０５が存在する状態で、試料保持部１０５の外部電極１０３に対して電圧を印加すると、異物１０５が印加電圧と同じ極性に帯電し、斥力により試料室内に放出される。放出された異物１０５の一部は試料９９上に降り注ぎ、これにより試料９９が汚染される。
【００１６】
帯電した異物１０５が飛散することを抑制する手法として、試料保持部１０１の外径を試料９９の外径よりも小さくすることが考えられる。しかしこれは、前述の特許文献３において課題とされているように、試料９９のエッジ付近における電界歪みを発生させてしまう。
【００１７】
そこで本発明に係る荷電粒子線装置は、静電吸着方式を用いて試料９９を保持する利点を維持しつつ、異物１０５が飛散することによる試料９９の汚染を抑制するため、後述する試料交換室１２０を新たに設け、異物１０５が飛散しにくい環境下において試料９９を保持した上で試料９９を試料室１３０へ搬送することとした。以下、本発明に係る荷電粒子線装置の構成を説明する。
【００１８】
＜実施の形態１＞
図３は、本発明の実施形態１に係る荷電粒子線装置の構成を示す上面図である。ここでは試料９９に対して電子を照射して試料９９を観察する走査電子顕微鏡１０００の構成を例示するが、その他種類の荷電粒子線を照射する装置においても本発明に係る構成を適用することができる。
【００１９】
走査電子顕微鏡１０００は、ミニエンバイロメントシステム１１０、試料交換室１２０（予備排気室）、試料室１３０を備える。
【００２０】
ミニエンバイロメントシステム１１０は、キャリアー２０１、搬送ロボット２０２、アライナー２０３を備える。キャリアー２０１は、試料９９を収納・搬送する。アライナー２０３は、試料９９のＶノッチなどの基準マークに基づき試料９９の向きを検出する。搬送ロボット２０２は、試料９９を搬送する。ミニエンバイロメントシステム１１０はさらに、外部からの異物の侵入を防ぐ空調を備える。
【００２１】
試料交換室１２０は、ミニエンバイロメント側ゲート２０４、試料室側ゲート３０１、真空ポンプ５０１（図５で後述）を備える。ミニエンバイロメント側ゲート２０４は、ミニエンバイロメントシステム１１０側の雰囲気を遮断する。試料室側ゲート３０１は、試料室１３０側の雰囲気を遮断する。真空ポンプ５０１（減圧部）は、試料９９を交換する度に減圧と大気圧へのリークを実施する。試料交換室１２０の容積は、試料室１３０の容積よりも小さく形成されている。
【００２２】
試料室１３０は、試料９９に対して電子線を照射する電子光学系３０８を備える。試料室１３０内は真空ポンプ５０１によって常に高真空に保たれる。試料室１３０はさらに、試料９９を移動させるステージユニットを備える。ステージユニットは、電子光学系３０８から出射される電子線が試料９９の観察対象位置に対して照射されるように、試料９９を移動させる。
【００２３】
図４は、試料交換室１２０と試料室１３０の側断面模式図である。以下、図４に示す構成について説明する。一部の構成要素については、後述の図面と併せて説明する。
【００２４】
試料交換室１２０内の試料保持部１０１が配置されている位置近傍には、トラップ電極５０４が配置されている。電源５０３は、外周電極１０３に対して印加される電圧とは逆極性の電圧をトラップ電極５０４に対して印加する。これによりトラップ電極５０４は、飛散した異物１０５を引き寄せる電界を形成する。
【００２５】
リフター２０７は、試料９９をリフトアップする機構である。リフター２０７は外部の真空源５０２に接続されており、真空吸着により試料９９を保持するように構成されている。リフター２０７の各梁は、電界歪みの影響の少ない試料９９の中心付近に、比較的狭い梁スパンで配置されている。リフター２０７が試料９９を保持する機構を備えていない場合、試料９９を安定的にリフトアップするためには、リフター２０７の梁スパンを試料９９の外周付近まで広く取る必要がある。そのためホールダ１００の外周部付近に切り欠き等が必要となり、試料９９外周部における電界歪みの原因となる。
【００２６】
ホールダ１００は、試料保持部１０１および試料９９を支持する支持機構である。ホールダ１００の中央部分には、リフター２０７が通過する穴が形成されている。ホールダ１００は、ガイドレール２０８に沿って試料交換室１２０内を移動し、ガイドレール３０５に沿って試料室１３０内を移動する。
【００２７】
図５は、試料交換室１２０内部を模式的に示す斜視図である。搬送ロボット２０２が試料９９を試料交換室１２０内に搬送するとき、リフター２０７は試料９９を交換する位置までリフトアップされている。
【００２８】
試料交換室１２０内の減圧が完了すると、試料室側ゲート３０１が開いて試料９９が試料室１３０に向かって搬送される。このときリフター２０７は搬送を妨げない位置まで降下する。ホールダ保持機構２０９は、ホールダ１００を保持する機構である。電源プラグ２１０は、試料交換室１２０内において試料保持部１０１に対して電圧を供給する。図４のコネクタ２１１は電源プラグ２１０に対応する接続部である。
【００２９】
図６は、試料室１３０内部を模式的に示す斜視図である。ホールダ１００が試料室１３０内に搬送されると、ホールダ搬送機構３０３とホールダ１００が接続される。電源プラグ３０４は、試料室１３０内において試料保持部１０１に対して電圧を供給する。図４のコネクタ３０７は電源プラグ３０４に対応する接続部である。ホールダロック機構３０６は、ホールダ１００を固定する機構である。
【００３０】
ホールダ１００とホールダ搬送機構３０３を接続する機構、コネクタ２１１、コネクタ３０７などのように、頻繁に機械的な接続と切断を繰り返す機構は、ホールダ１００上の試料９９を保持する面を基準面として、基準面よりも下方の位置に設置することが望ましい。基準面よりも上方に設置すると、機械的接続の繰り返しにより異物が生じ、試料９９に対して降り注ぐ可能性が高まるからである。
【００３１】
図７は、走査電子顕微鏡１０００が試料９９を搬送する動作シーケンスを説明するフローチャートである。以下、図７の各ステップについて説明する。
【００３２】
（図７：ステップＳ０１〜Ｓ０２）
搬送ロボット２０２は、試料９９をキャリアー２０１から試料交換室１２０まで搬送する（Ｓ０１）。アライナー２０３は、試料９９の方向および中心位置を検出し、ホールダ１００上へ載置する（Ｓ０２）。このとき実施する位置合わせ等の処理は、任意の従来技術を用いることができる。
【００３３】
（図７：ステップＳ０３〜Ｓ０４）
試料交換室１２０は、内部を大気圧に対して開放することにより、内部雰囲気を大気圧にする（Ｓ０３）。試料交換室１２０は、ミニエンバイロメント側ゲート２０４を開ける（Ｓ０４）。ステップＳ０３〜Ｓ０４は、試料９９を搬送する時間を短縮するため、ステップＳ０１〜Ｓ０２と並行して実施してもよい。
【００３４】
（図７：ステップＳ０５）
搬送ロボット２０２は、試料９９をリフター２０７上へ載置する。リフター２０７は、試料９９を交換する位置まであらかじめリフトアップしておく。本ステップにおいては、大気圧中でホールダ１００上に試料９９を載置するため、簡便な真空吸着式のリフター２０７を採用することができる。
【００３５】
（図７：ステップＳ０６）
リフター２０７上に試料９９が載置された後、搬送ロボット２０２のアームは試料交換室１２０中からミニエンバイロメントシステム１１０中に退避する。試料交換室１２０は、ミニエンバイロメント側ゲート２０４を閉じる。
【００３６】
（図７：ステップＳ０７）
リフター２０７を下降させ、ホールダ１００の試料保持面上における真空吸着を解除した後、リフター２０７はホールダ１００の移動を妨げない位置まで下降する。安全のため、真空吸着を解除するとき、リフター２０７の下降を一時停止させるのが望ましい。また、本ステップをステップＳ０６と同時に進行させ、試料９９を搬送する時間を短縮させてもよい。
【００３７】
（図７：ステップＳ０８）
電源プラグ２１０は、中心電極１０２と外周電極１０３に対してそれぞれ異なる極性の電圧を印加し、試料９９を静電吸着によって保持させる。図４においては、外周電極１０３に対して負極性の電圧を印加しているが、これに限られるものではない。
【００３８】
（図７：ステップＳ０９〜Ｓ１０）
真空ポンプ５０１は、試料交換室１２０内の雰囲気を、試料室１３０内の雰囲気と同等の真空度まで減圧する（Ｓ０９）。試料交換室１２０内の気圧が試料室１３０内の気圧と同等に達した後、試料交換室１２０は試料室側ゲート３０１を開ける（Ｓ１０）。
【００３９】
（図７：ステップＳ１１：その１）
ホールダ搬送機構３０３とホールダ１００を接続する。ホールダ搬送機構３０３は、ステージユニット３０９上のホールダ保持機構３０２上に配置されている。ステージユニット３０９は、電子光学系３０８下の観察位置から、試料室側ゲート３０１付近の試料交換位置まで、ホールダ搬送機構３０３をあらかじめ移動させる。ホールダ搬送機構３０３は、例えばボールねじとモータの組み合わせ等によって稼働させることができる。
【００４０】
（図７：ステップＳ１１：その２）
電源プラグ３０４をコネクタ３０７に接続する。電源プラグ３０４は、中心電極１０２と外周電極１０３それぞれに対して印加する電圧を個別に設定することができるように構成されており、これにより電子光学系３０８の対物レンズが形成する電場歪みを抑制することができる。電源プラグ３０４はさらに、試料９９表面の電位を変更して電子光学系３０８における２次電子の収集効率を上げるリターディング電圧を印加するための重畳電圧電源５０３を備える。
【００４１】
（図７：ステップＳ１２〜Ｓ１３）
ホールダ保持機構２０５とホールダ保持機構３０２の通電を切り替え、電源プラグ２１０をはずし、ホールダ１００の移動の妨げにならない位置まで電源プラグ２１０を退避させる（Ｓ１２）。ホールダ保持機構２０９とホールダ１００の接続を解除する（Ｓ１３）。
【００４２】
（図７：ステップＳ１４）
ガイドレール２０８とガイドレール３０５を用いて、ホールダ保持機構３０２上にホールダを移送する。
【００４３】
（図７：ステップＳ１５〜Ｓ１６）
試料保持室１２０は、ホールダ１００が試料室側ゲート３０１を通過したことをセンサ等によって確認した後、試料室側ゲート３０１を閉じる（Ｓ１５）。ホールダ保持機構３０２とホールダ１００を接続することにより、試料９９の搬送が完了する（Ｓ１６）。
【００４４】
（図７：ステップＳ１５〜Ｓ１６：補足）
ステージユニット３０９は高速で移動・停止を繰り返すため、ホールダロック機構３０６を複数設置するなどにより、ホールダ保持機構２０５による固定よりも強固に固定することが望ましい。試料９９をアンロードする場合は、以上の逆手順を実施すればよい。
【００４５】
＜実施の形態１：まとめ＞
以上のように、本実施形態１に係る走査電子顕微鏡１０００は、試料交換室１２０内において大気圧中で試料９９を静電吸着により保持した後、試料交換室１２０内を試料室１３０と同程度まで減圧する。これにより、試料９９は真空度が低い環境下で静電吸着されるので、高真空環境下で静電吸着する場合と比較して異物１０５が帯電しにくい。したがって、異物１０５による試料９９の汚染を低減することができる。
【００４６】
また、本実施形態１に係る走査電子顕微鏡１０００において、外周電極１０３の外径は試料９９の外径よりも大きく形成されている。これにより、試料９９のエッジ付近における電界歪みの影響をおさえることができる。
【００４７】
また、本実施形態１に係る走査電子顕微鏡１０００において、試料交換室１２０の容積は試料室１３０の容積よりも小さく形成されている。高真空環境下における帯電の影響を抑えるため、試料保持部１０１上に試料９９を搬送する度にステージユニット３０９等を配置する必要があるので、試料室１３０の容積は大きく取る必要がある。本実施形態１によれば、試料室１３０は常に高真空状態を保ち、容積の小さい試料交換室１２０のみ大気圧状態と高真空状態を交互に入れ替えればよいので、減圧時間を短縮することができる。
【００４８】
また、本実施形態１に係る走査電子顕微鏡１０００によれば、静電吸着方式のホールダ１００が高真空雰囲気と大気圧雰囲気を往復する。そのため、高真空雰囲気中にホールダ１００を保持し続ける場合と比較して、電圧印加停止後における残留帯電により試料９９を剥がしにくくなる現象や異物１０５を引き寄せる現象を抑制することができる。
【００４９】
また、本実施形態１に係る走査電子顕微鏡１０００によれば、静電吸着に先立ち試料交換室１２０を大気圧に対して開放することにより、試料交換室１２０内およびホールダ１００上の帯電した異物１０５を除電するため、試料室１３０内にイオナイザやＵＶ照射システム等の機構を加え、あらかじめこれらを除電することにより、帯電した異物１０５に起因する汚染の影響を低減することもできる。
【００５０】
＜実施の形態２＞
本発明の実施形態２では、走査電子顕微鏡１０００の各構成要素についての変形例を説明する。その他の構成については実施形態１と同様である。
【００５１】
図８は、ホールダ１００をロックするホールダロック機構８０１の構成例を示す図である。ホールダロック機構８０１は、ロック機構と通電機能を兼ね備えており、これら機能がともに必要になる部分において利用することができる。具体的には、ホールダ搬送機構３０３と電源プラグ３０４をホールダ１００へ接続する部分、電源プラグ２１０とホールダ保持機構２０９をホールダ１００へ接続する部分において、ホールダロック機構８０１に対応するロック機構受け口８０２を設け、その機能を利用することができる。
【００５２】
図８に示すホールダロック機構８０１のように、ロック機構と通電機能を集約し、動作工数を低減させることにより、試料９９を搬送する速度を向上させ、さらに部品点数を減少させることにより信頼性を向上させることができる。
【００５３】
図９は、トラップ電極５０４の配置例を示す側面図である。トラップ電極５０４は、ホールダ１００の試料保持面にできるだけ近い位置に設置する方が、異物１０５を収集する効率が高い。ただし、トラップ電極５０４から異物１０５が落下して試料９９を汚染することを防ぐ必要がある。そこで、ホールダ１００の試料保持面の中心位置９０１からトラップ電極５０４までの距離９０２は、試料９９の半径＋搬送ロボット２０２の搬送誤差以上であることが望ましい。
【００５４】
なお、電源５０３がトラップ電極５０４に対して電圧を印加するのは、試料保持部１０１が試料９９を静電吸着により保持するのと同時またはそれ以前であることが望ましい。試料保持部１０１が静電吸着を開始した後においては、異物１０５が斥力によって飛散する可能性が高まるからである。
【００５５】
実施形態１において、試料交換室１２０は１つのみ設けられているが、キャリアー２０１と併せて試料交換室１２０を複数設け、パイプライン搬送を採用して搬送速度を向上させてもよい。
【００５６】
実施形態１において、試料交換室１２０内でホールダ１００へ供給する電圧は、外部電源である電源プラグ２１０を介して提供されているが、ホールダ１００中に蓄電池等を持たせてこれを電源としてもよい。これらの手法を組み合わせた最適な手段を用いることが望ましい。
【００５７】
実施形態１〜２において、各構成要素の動作を制御する制御装置は、例えばマイコンやＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）などの演算装置を用いて構成することができる。これと同等の機能を有する回路デバイスを用いることもできる。
【００５８】
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記実施形態は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることもできる。また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることもできる。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成を追加・削除・置換することもできる。
【符号の説明】
【００５９】
９９：試料、１００：ホールダ、１０１：試料保持部、１０２：中心電極、１０３：外周電極、１０４：ウェーハ位置、１０５：異物、１１０：ミニエンバイロメントシステム、１２０：試料交換室、１３０：試料室、２０１：キャリアー、２０２：搬送ロボット、２０３：アライナー、２０４：ミニエンバイロメント側ゲート、２０５：ホールダ保持機構、２０７：リフター、２０８：ガイドレール、２０９：ホールダ保持機構、２１０：電源プラグ、２１１：電源コネクタ、３０１：試料室側ゲート、３０２：ホールダ保持機構、３０３：ホールダ搬送機構、３０４：電源プラグ、３０５：ガイドレール、３０６：ホールダロック機構、３０７：電源コネクタ、３０９：ステージユニット、５０１：真空ポンプ、５０２：真空源、５０３：電源、５０４：トラップ電極、８０１：ホールダロック機構、８０２：ロック機構受け口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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