(57)【要約】【課題】パーティクルの発生を防止するとともにパーティクルが弁座面と弁体面との間に噛み込みこむことによる遮断性の悪化を防止する。【解決手段】弁体面４１ａを有する弁体部４０と、流入口１２ａの周囲に設けられるとともに弁体面４１ａと対向する位置に配置される弁座面５１を有する弁座部５０と、弁体部４０に連結されるとともに弁体部４０を軸線Ａ方向に沿って移動させて遮断状態または流通状態のいずれかに切り替える移動機構と、を備え、弁座部５０が、弁座面５１から軸線Ａに沿って弁体面４１ａに突出する無端状の内周側突起部５２および外周側突起部５３を有し、弁体部４０が、弁体面４１ａを形成するダイヤフラム４１と、ダイヤフラム４１の背面に配置される弾性部材４２とを有する遮断弁１００を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁室内を軸線に沿って移動するとともに該軸線に直交する平面上に形成された弁体面を有する弁体部と、
前記軸線に沿って前記弁室内に流体を流入させる流入口の周囲に設けられるとともに前記弁体面と対向する位置に配置される弁座面を有する弁座部と、
前記弁体部に連結されるとともに該弁体部を前記軸線方向に沿って移動させて前記弁体面が前記弁座面に接触する遮断状態または前記弁体面が前記弁座面から離間した流通状態のいずれかに切り替える移動機構と、を備え、
前記弁座部が、前記弁座面から前記軸線に沿って前記弁体面に向かって突出するとともに前記流入口を取り囲むように形成された無端状の突起部を複数有し、
前記弁体部が、前記弁体面を形成するダイヤフラムと、該ダイヤフラムの背面に配置される弾性部材とを有することを特徴とする遮断弁。
【請求項２】
前記ダイヤフラムが、前記突起部の高さよりも厚い請求項１に記載の遮断弁。
【請求項３】
前記移動機構が、
前記弁体部に連結されるとともに前記弁体部ととともに前記軸線方向に移動可能なピストン部と、
前記弁体面を前記弁座面に近づける方向の第１付勢力を前記ピストン部に発生させる第１付勢力発生部と、
前記弁体面を前記弁座面から遠ざける方向の第２付勢力を前記ピストン部に発生させる第２付勢力発生部と、を有し、
前記第１付勢力が前記第２付勢力を上回る場合に前記弁体面が前記弁座面に接触して前記遮断状態となり、前記第２付勢力が前記第１付勢力を上回る場合に前記弁体面が前記弁座面から離間して前記流通状態となる請求項１または請求項２に記載の遮断弁。
【請求項４】
前記第１付勢力発生部が発生させる前記第１付勢力がスプリングの弾性力であり、
前記第２付勢力発生部が発生させる前記第２付勢力が圧縮空気の圧力であり、
前記第２付勢力発生部は、前記圧縮空気の圧力を増加させることにより、前記第１付勢力を上回る前記第２付勢力を発生させて前記遮断状態を前記流通状態に切り替える請求項３に記載の遮断弁。
【請求項５】
前記第１付勢力発生部が発生させる前記第１付勢力が圧縮空気の圧力であり、
前記第２付勢力発生部が発生させる前記第２付勢力がスプリングの弾性力であり、
前記第１付勢力発生部は、前記圧縮空気の圧力を増加させることにより、前記第２付勢力を上回る前記第１付勢力を発生させて前記流通状態を前記遮断状態に切り替える請求項３に記載の遮断弁。
【請求項６】
前記弁体部が、前記ピストン部に連結される中間部材を有し、
該中間部材には、前記軸線方向の先端側から順に、拡径部と、該拡径部よりも前記軸線に直交する径方向の幅が狭い縮径部とが形成されており、
前記ダイヤフラムは、前記弾性部材が前記弁体面および前記中間部材の先端に接触した状態で前記縮径部と接触した状態となる係止部を有し、
該係止部は、その周囲が前記ピストン部の先端に取り囲まれた状態となっている請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の遮断弁。
【請求項７】
前記流通状態における流体の流量を調整する流量調整機構を備える請求項３から請求項６のいずれか１項に記載の遮断弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遮断弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流入口から流入する流体を流出口から流出させる流通状態と、流入口から流入する流体を流出口から流出させない遮断状態とを切り替え可能な遮断弁が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１に開示された遮断弁は、弁座に弁体を接触または離間させることにより流通状態と遮断状態とを切り替える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−９２１９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示された遮断弁は、弁座を形成する部材の硬度と弁体を形成する部材の硬度とがそれぞれ高い場合、これらを接触させることによって部材の一部が削れてパーティクルが発生し、流体中に混入してしまう可能性がある。また、流入口から流入する流体自体にパーティクルが混入している場合、そのパーティクルが弁座と弁体との間に噛み込み、噛み込んだ位置の形状が変形して遮断性が損なわれてしまう可能性がある。
【０００５】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、弁座面と弁体面の接触によるパーティクルの発生を防止するとともに流体に混入したパーティクルが弁座面と弁体面との間に噛み込みこむことによる遮断性の悪化を防止した遮断弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明に係る遮断弁は、弁室内を軸線に沿って移動するとともに該軸線に直交する平面上に形成された弁体面を有する弁体部と、前記軸線に沿って前記弁室内に流体を流入させる流入口の周囲に設けられるとともに前記弁体面と対向する位置に配置される弁座面を有する弁座部と、前記弁体部に連結されるとともに該弁体部を前記軸線方向に沿って移動させて前記弁体面が前記弁座面に接触する遮断状態または前記弁体面が前記弁座面から離間した流通状態のいずれかに切り替える移動機構と、を備え、前記弁座部が、前記弁座面から前記軸線に沿って前記弁体面に向かって突出するとともに前記流入口を取り囲むように形成された無端状の突起部を複数有し、前記弁体部が、前記弁体面を形成するダイヤフラムと、該ダイヤフラムの背面に配置される弾性部材とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る遮断弁によれば、弁体部の移動方向である軸線に直交する平面上に形成された弁体面は、移動機構によって、弁体面に対向する位置に配置される弁座面に接触または離間する。移動機構によって弁体面が弁座面に近づくと、弁体面を形成するダイヤフラムと弁座面から弁体面に向かって突出する突起部が接触する。突起部は、弁座面から軸線に沿って弁体面に向かって突出し、弁室内に流体を流入させる流入口の周囲を取り囲むように形成される無端状であるため、突起部と弁体面との接触によって流入流路から弁室への流体の流入が遮断される。また、ダイヤフラムの背面には弾性部材が配置されているため、突起部に接触したダイヤフラムは弾性部材とともに突起部の形状に沿うように変形する。したがって、弁座面と弁体面の接触による衝撃が弾性部材により吸収され、パーティクルの発生が防止される。
【０００８】
また、弁座部は弁座面から弁体面に向かって突出する無端状の突起部を複数有するため、遮断状態において、いずれかの突起部と弁体面との間にパーティクルが噛み込んで突起部の形状が変形しても、他の突起部と弁体面との接触によって流入流路から弁室への流体の流入が遮断される。したがって、パーティクルが弁座面と弁体面との間に噛み込みこむことによる遮断性の悪化を防止することができる。
【０００９】
本発明の第１態様の遮断弁は、前記ダイヤフラムが、前記突起部の高さよりも厚い。
このようにすることで、突起部の接触と離間が繰り返されてダイヤフラムが変形する場合であっても、突起部が突き破ってダイヤフラムを破損させる危険を抑制することができる。
【００１０】
本発明の第２態様の遮断弁は、前記移動機構が、前記弁体部に連結されるとともに前記弁体部ととともに前記軸線方向に移動可能なピストン部と、前記弁体面を前記弁座面に近づける方向の第１付勢力を前記ピストン部に発生させる第１付勢力発生部と、前記弁体面を前記弁座面から遠ざける方向の第２付勢力を前記ピストン部に発生させる第２付勢力発生部と、を有し、前記第１付勢力が前記第２付勢力を上回る場合に前記弁体面が前記弁座面に接触して前記遮断状態となり、前記第２付勢力が前記第１付勢力を上回る場合に前記弁体面が前記弁座面から離間して前記流通状態となる。
【００１１】
本発明の第２態様の遮断弁によれば、ピストン部には、弁体面を弁座面に近づける方向の第１付勢力と、弁体面を弁座面から遠ざける方向の第２付勢力とがそれぞれ発生する。１付勢力が第２付勢力を上回る場合に弁体面が弁座面に接触して遮断状態となり、第２付勢力が第１付勢力を上回る場合に弁体面が弁座面から離間して流通状態となる。
このようにすることで、第１付勢力と第２付勢力とを調整することにより、遮断状態と流通状態とを適切に切り替えることができる。
【００１２】
本発明の第２態様の遮断弁においては、前記第１付勢力発生部が発生させる前記第１付勢力がスプリングの弾性力であり、前記第２付勢力発生部が発生させる前記第２付勢力が圧縮空気の圧力であり、前記第２付勢力発生部は、前記圧縮空気の圧力を増加させることにより、前記第１付勢力を上回る前記第２付勢力を発生させて前記遮断状態を前記流通状態に切り替える構成であってもよい。
【００１３】
このようにすることで、圧縮空気の圧力が低い通常状態では第１付勢力が第２付勢力を上回って遮断状態となり、圧縮空気の圧力を増加させることで遮断状態から流通状態に切り替わるノーマルクローズ型の遮断弁を提供することができる。
【００１４】
本発明の第２態様の遮断弁においては、前記第１付勢力発生部が発生させる前記第１付勢力が圧縮空気の圧力であり、前記第２付勢力発生部が発生させる前記第２付勢力がスプリングの弾性力であり、前記第１付勢力発生部は、前記圧縮空気の圧力を増加させることにより、前記第２付勢力を上回る前記第１付勢力を発生させて前記流通状態を前記遮断状態に切り替える構成であってもよい。
【００１５】
このようにすることで、圧縮空気の圧力が低い通常状態では第２付勢力が第１付勢力を上回って流通状態となり、圧縮空気の圧力を増加させることで流通状態から遮断状態に切り替わるノーマルオープン型の遮断弁を提供することができる。
【００１６】
上記第２態様の遮断弁においては、前記弁体部が、前記ピストン部に連結される中間部材を有し、該中間部材には、前記軸線方向の先端側から順に、拡径部と、該拡径部よりも前記軸線に直交する径方向の幅が狭い縮径部とが形成されており、前記ダイヤフラムは、前記弾性部材が前記弁体面および前記中間部材の先端に接触した状態で前記縮径部と接触した状態となる係止部を有し、該係止部は、その周囲が前記ピストン部の先端に取り囲まれた状態となっているようにしてもよい。
【００１７】
このようにすることで、係止部の周囲を取り囲むピストン部の先端の存在により、中間部材に形成された縮径部に接触した状態となっている係止部が、軸線に直交する径方向に変形することが規制される。そのため、中間部材がダイヤフラムから抜けてしまう不具合が防止される。
【００１８】
上記いずれかの遮断弁においては、前記流通状態における流体の流量を調整する流量調整機構を備えていてもよい。このようにすることで、流通状態における流体の流量を調整可能な遮断弁を提供することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、弁座面と弁体面の接触によるパーティクルの発生を防止するとともに流体に混入したパーティクルが弁座面と弁体面との間に噛み込みこむことによる遮断性の悪化を防止した遮断弁を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態の遮断弁の遮断状態における縦断面図である。
【図２】図１に示す遮断弁の部分拡大図である。
【図３】図２に示すＰ方向からピストン部をみた図である。
【図４】図２に示す下部ハウジングのＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図５】図２に示す弁体部近傍の部分拡大図である。
【図６】図１に示す遮断弁の分解組立図である。
【図７】第１実施形態の遮断弁を示す図であり、（ａ）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）のＣ−Ｃ矢視断面図であり、（ｃ）が背面図である。
【図８】第１実施形態の遮断弁の流通状態における縦断面図である。
【図９】第２実施形態の遮断弁の流通状態における縦断面図である。
【図１０】第３実施形態の遮断弁の遮断状態における縦断面図である。
【図１１】第３実施形態の遮断弁を示す図であり、（ａ）が平面図であり、（ｂ）が（ａ）のＤ−Ｄ矢視断面図であり、（ｃ）が背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜第１実施形態＞
以下、本発明の第１実施形態の遮断弁１００について図面を参照して説明する。本実施形態の遮断弁１００は、半導体製造装置等に用いられる流体（薬液、純水等の液体）を流通させる配管に設置される機器である。
図１に示すように、遮断弁１００は、下部ハウジング１０と、上部ハウジング２０と、カバー部３０と、弁体部４０と、弁座部５０と、移動機構６０、を備える。以下、遮断弁１００が備える各構成について、それぞれ詳細に説明する。
【００２２】
下部ハウジング１０は、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン））製の部材であり、流入流路１１と、導入流路１２と、流出流路１３とが内部に形成されている。下部ハウジング１０は、締結ボルト（図示略）によって設置面Ｓに固定されている。
【００２３】
流入流路１１は、上流側配管（図示略）から流入する流体を遮断弁１００の内部へ導く流路である。導入流路１２は、設置面Ｓと平行な軸線に沿って遮断弁１００の内部に流入する流体の流通方向を軸線Ａに沿った方向に転換させ、弁室１４内に流体を導く流路である。流出流路１３は、弁室１４から流出する流体を設置面Ｓと平行な軸線に沿って下流側配管（図示略）に導く流路である。
【００２４】
上部ハウジング２０は、フッ素樹脂（例えば、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）やＰＰ（ポリプロピレン））製の部材であり、軸線Ａに沿って延びる筒状の部材である。上部ハウジング２０には、軸線Ａに沿って移動可能な移動部材６１が収容されている。上部ハウジング２０には、操作ポート２１が形成されている。操作ポート２１には、圧縮空気供給源（図示略）から圧縮空気が供給される。操作ポート２１に供給された圧縮空気は、導入流路２１ａを介して圧力室２２に導入される。
【００２５】
カバー部３０は、カバー３１と、芯部３２と、芯部３２とカバー３１を連結する締結ねじ３３とを備える。カバー３１と芯部３２は、フッ素樹脂（例えば、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）やＰＰ（ポリプロピレン））製の部材である。カバー３１の軸線Ａに沿った下端部の外周面は、上部ハウジング２０の軸線Ａに沿った上端部の内周面に連結されるようになっている。
【００２６】
弁体部４０は、弁室１４内を軸線Ａに沿って移動する部材である。図６の分解組立図に示すように、弁体部４０は、ダイヤフラム４１と、弾性部材４２と、ピン部材４３と、中間部材４４とを備える。
ダイヤフラム４１は、フッ素樹脂（例えば、ＰＴＦＥ）製の薄膜状部材である。図２の部分拡大図に示すように、ダイヤフラム４１は、弁体面４１ａと、ダイヤフラム部４１ｂと、環状突起部４１ｃ、係止部４１ｄとが一体に成型された部材である。ダイヤフラム４１は、上部ハウジング２０の先端面によって軸線Ａの下方に向けて押し付けられることにより、軸線Ａ方向の位置が固定される。
【００２７】
図２に示すように、ダイヤフラム４１により形成される弁体面４１ａは、軸線Ａに直交する平面上に形成された面であり、弁座部５０と対向する位置に配置されている。ダイヤフラム部４１ｂは、平面視が円環形状の薄膜状部材であり、弁室１４内の流体を隔離するための部材である。ダイヤフラム部４１ｂは、移動部材６１と連結される中間部材４４が軸線Ａ方向に移動するのに伴って変形する部材となっている。
【００２８】
環状突起部４１ｃは、軸線Ａ回りの周方向に延在するとともに軸線Ａに沿って下方に突出する部材である。環状突起部４１ｃと対向する下部ハウジング１０には、軸線Ａ回りの周方向に延在する無端状の環状溝部１５が設けられている。環状突起部４１ｃは環状溝部１５に挿入されることにより、軸線Ａの径方向の位置が固定された状態となる。
係止部４１ｄは、中間部材４４が軸線Ａに沿って移動しないように固定するための部材である。
【００２９】
弾性部材４２は、弁室１４に接するダイヤフラム４１の弁体面４１ａの背面に配置される部材であり、軸線Ａに沿って平面視した形状が略円形状となる部材である。弾性部材４２は、平面視が円形状の弁体面４１ａの全面を背面側から支持するようになっている。
【００３０】
弾性部材４２は、弁座部５０が形成されるフッ素樹脂製の下部ハウジング１０よりも硬度の低い素材により構成されている。弾性部材４２を構成する部材は、耐薬品性（耐酸性および耐アルカリ性）の高い部材を用いるのが好ましく、例えば、フッ素ゴムやエチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）が用いられる。弾性部材４２を耐薬品性の高い部材としているのは、弁室１４内の流体の一部がガスとしてダイヤフラム４１を透過し、弾性部材４２近傍に導かれるからである。弾性部材４２の底面は弁体面４１ａの背面に接触した状態で配置され、弾性部材４２の上面は中間部材４４の下面に接触した状態で配置される。
【００３１】
中間部材４４は、軸線Ａ方向に延びる円筒状の部材であり、締結ねじ７１によってピストン部６２と連結されている。図２に示すように、中間部材４４の先端には軸線Ａに直交する径方向の長さがＷ１となる拡径部４４ａと、径方向の長さがＷ２となる縮径部４４ｂとが設けられている。
【００３２】
縮径部４４ｂにはダイヤフラム４１の係止部４１ｄが接触するように配置される。縮径部４４ｂに接触する係止部４１ｄの内周面の間隔は図２に示す幅Ｗ２と一致しており、拡径部４４ａの幅よりも狭い。従って、縮径部４４ｂに係止部４１ｄが接触した図２に示す状態では、中間部材４４がダイヤフラム４１から抜けないようになっている。このため、中間部材４４に連結されるピストン部６２が軸線Ａ方向に移動するのに伴って、ダイヤフラム４１が軸線Ａ方向に移動する。
【００３３】
図２に示すように、ピン部材４３は、中間部材４４に設けられた貫通穴４４ｃに挿入される円柱状の部材である。貫通穴４４ｃは、軸線Ａに直交する方向に延びている。ピン部材４３の両端部は、ピストン部６２に設けられた溝６２ａ，６２ｂに挟まれた状態で配置されている。
【００３４】
図３に示すように、ピストン部６２に設けられた溝６２ａは、軸線Ａ方向に延在するとともに、軸線Ａに直交する方向の溝幅がピン部材４３よりもやや広くなっている。そのため、中間部材４４は、軸線Ａ回りに回転する方向の力が与えられたとしても、溝６２ａにピン部材４３が突き当たることによって、軸線Ａ回りに回転しないように規制される。また、図３では、溝６２ａ側について示しているが、溝６２ｂ側も同様の構造となっている。
【００３５】
なお、図２に示す弁体部４０は、弁体面４１ａが弁座面５１に接触した状態となっている。一方、図３に示す弁体部４０は、弁体面４１ａが弁座面５１から離間した状態となっている。図３は、ピストン部６２とピン部材４３を説明するために、その周囲に配置される上部ハウジング２０，下部ハウジング１０の図示を省略している。
【００３６】
したがって、中間部材４４を締結ねじ７１によってピストン部６２に連結する際に、締結ねじ７１を軸線Ａ回りに回転させても、中間部材４４は軸線Ａ回りに回転しないようになっている。そのため、中間部材４４が軸線Ａ回りに回転し、それに伴ってダイヤフラム４１が軸線Ａ回りに回転してダイヤフラム部４１ｂが破損しまう不具合を防止することができる。
【００３７】
弁座部５０は、下部ハウジング１０に形成される部材であり、軸線Ａに沿って導入流路１２から弁室１４内に流体を流入させる流入口１２ａの周囲に設けられる。図４は、図２に示す下部ハウジング１０のＢ−Ｂ矢視断面図であり、ダイヤフラム４１を設置しない状態で軸線Ａ方向に沿って下部ハウジング１０を平面視した図となっている。流入口１２ａから弁室１４内に流入した流体は、流出口１３ａから流出流路１３に導かれる。
【００３８】
図２，図４，図５に示すように、弁座部５０は、弁座面５１と、内周側突起部５２と、外周側突起部５３とを備えている。弁座面５１は、軸線Ａに直交する平面上に形成され、弁体面４１ａと対向する位置に配置される。図４における流入口１２ａの周囲に設けられた円環状の領域が弁座面５１を示している。
【００３９】
内周側突起部５２および外周側突起部５３は、弁座面５１から軸線Ａに沿って弁体面４１ａに突出するとともに流入口１２ａを取り囲むように形成された部材である。内周側突起部５２および外周側突起部５３は、流入口１２ａを取り囲むように形成された無端状の部材であり、下部ハウジング１０に弁座面５１とともに一体的に形成されている。図４において破線で示した位置に、内周側突起部５２と外周側突起部５３とが形成されている。図４における破線は、各突起部の頂部の位置を示している。
図５に示すように、ダイヤフラム４１の弁体面４１ａの厚さｈ１は、内周側突起部５２および外周側突起部５３の高さｈ２よりも厚くなっている。
【００４０】
図１に示す移動機構６０は、弁体部４０に連結されるとともに弁体部４０を軸線Ａ方向に沿って移動させて弁体面４１ａが弁座面５１に接触する遮断状態または弁体面４１ａが弁座面５１から離間した流通状態のいずれかに切り替える機構である。移動機構６０は、ピストン部６２と、スプリング７０（第１付勢力発生部）と、圧力室２２（第２付勢力発生部）とを備える。
【００４１】
図１に示すように、ピストン部６２は、軸線Ａに沿って延びる略円筒状の部材であり、締結ねじ７１によって弁体部４０に連結されている。ピストン部６２は、弁体部４０とともに軸線Ａ方向に移動可能となっている。
スプリング７０は、弁体面４１ａを弁座面５１に近づける方向の弾性力（第１付勢力）をピストン部６２に発生させる。スプリング７０の軸線Ａ方向の上端部はカバー３１に支持され、スプリング７０の軸線Ａ方向の下端部はピストン部６２の軸線Ａ方向の上端部に突き当てあれる。このようにして、スプリング７０の弾性力がピストン部６２に伝達される。
【００４２】
圧力室２２は、弁体面４１ａを弁座面５１から遠ざける方向の圧力（第２付勢力）をピストン部６２に発生させる。圧力室２２には、ピストン部６２と上部ハウジング２０により画定される空間であり、操作ポート２１から導入流路２１ａを介して圧縮空気が導入される。
図１に示すように、ピストン部６２の外周面の溝部には、Ｏリング６１ａとパッキン６１ｂが取り付けられている。Ｏリング６１ａとパッキン６１ｂとが上部ハウジング２０の内周面と接触することにより、圧力室２２に導入された圧縮空気が密閉された状態となる。
【００４３】
次に、本実施形態の遮断弁１００が流体を流通させる流通状態と流体の流通を遮断する遮断状態とを切り替える動作について説明する。
【００４４】
本実施形態の遮断弁１００は、ノーマルクローズ型の遮断弁であり、圧力室２２内の圧縮空気の圧力が低い通常状態ではスプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回って図１に示す遮断状態となる。一方、圧力室２２内の圧縮空気の圧力を増加させることで図１に示す遮断状態から図８に示す流通状態に切り替わる。圧力室２２内の圧縮空気の圧力は、操作ポート２１に圧縮空気を導入する圧縮空気供給源（図示略）によって調整される。
【００４５】
図５に示すように、スプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回る場合は、弁体面４１ａが弁座面５１に接触した遮断状態となる。この遮断状態においては、流入口１２ａから弁室１４への流体の流入が遮断される。一方、圧縮空気の圧力がスプリング７０の弾性力を上回る場合は、図８に示すように、弁体面４１ａが弁座面５１から離間した流通状態となる。この流通状態においては、流入口１２ａから弁室１４へ流体が流入する。
【００４６】
図５に示すように遮断状態においては、内周側突起部５２と外周側突起部５３とが弁体面４１ａに接触している。弁体面４１ａのうち、内周側突起部５２と外周側突起部５３とに接触する部分は、各突起部の形状と一致するように変形する。内周側突起部５２と外周側突起部５３と弁体面４１ａとは、それぞれ同じフッ素樹脂製の部材であるが、弁体面４１ａは薄膜状となっている。そのため、弁体面４１ａは軸線Ａに沿った方向に変形しやすくなっている。
【００４７】
また、弁体面４１ａの背面を支持する弾性部材４２は、フッ素樹脂製の下部ハウジング１０よりも硬度の低い部材により構成されている。そのため、図５に示すように、軸線Ａに沿った方向に変形した弁体面４１ａの形状に沿って、弾性部材４２が軸線Ａに沿った方向に変形する。弾性部材４２はフッ素樹脂よりも硬度が低いため、弁体面４１ａが、弁座面５１と内周側突起部５２と外周側突起部５３とに接触する際に、その接触による衝撃が弾性部材４２によって吸収される。
【００４８】
弁体面４１ａと内周側突起部５２との間に流入口１２ａから流入した流体に含まれるパーティクルが噛み込む場合、パーティクルの存在によって弁体面４１ａと内周側突起部５２との接触部分に生じる応力が局所的に高まる。弁体部４０と弁座部５０とがそれぞれ同じ硬度の材料で構成される場合、弁体部４０と弁座部５０との接触によって局所的に応力が高まった部分に変形が生じる可能性がある。このような変形が生じると、変形した部分における流体の遮断性が損なわれる。
【００４９】
本実施形態においては、弁体部４０が硬度の低い弾性部材４２を備えているため、弁体面４１ａと内周側突起部５２との接触部分にパーティクルが噛み込んだとしても、局所的に応力が高まって変形が生じることが抑制される。
なお、以上の説明では、弁体面４１ａと内周側突起部５２との間にパーティクルが噛み込むことについて説明したが、弁体面４１ａと外周側突起部５３との間にパーティクルが噛み込む場合も同様である。
【００５０】
また、本実施形態の弁座部５０は、内周側突起部５２と外周側突起部５３とを備えている。そのため、弁体面４１ａと内周側突起部５２との間にパーティクルが噛み込んで内周側突起部５２が変形しても、外周側突起部５３によって遮断性が確保される。同様に、弁体面４１ａと外周側突起部５３との間にパーティクルが噛み込んで外周側突起部５３が変形しても、内周側突起部５２によって遮断性が確保される。
このように、本実施形態の弁座部５０は、内周と外周の二重の突起部を備えているため、パーティクルが噛み込んで一方の突起部が変形したとしても、他方の突起部によって遮断性を確保することができる。
【００５１】
次に、本実施形態の遮断弁１００の組立て方法について説明する。
先ず始めに、下部ハウジング１０に弁体部４０を取り付ける。この際、下部ハウジング１０の環状溝部１５にダイヤフラム４１の環状突起部４１ｃを挿入する。その後、ダイヤフラム４１の弁体面４１ａの背面に接触するように弾性部材４２を取り付ける。弾性部材４２を取り付けた後、ダイヤフラム４１の係止部４１ｄを軸線Ａの径方向の外方に変形させながら、中間部材４４の拡径部４４ａを弾性部材４２に接触する位置まで挿入する。
【００５２】
図２に示すように、拡径部４４ａ拡径部４４ａが軸線Ａに沿って下方に挿入され、拡径部４４ａが係止部４１ｄを通過すると、中間部材４４の縮径部４４ｂがダイヤフラム４１の係止部４１ｄと接触した状態となる。これにより、中間部材４４の先端が弾性部材４２に接触した状態となるとともに、中間部材４４がダイヤフラム４１に対して軸線Ａに沿って相対的に移動しないように一体化される。
【００５３】
次に、下部ハウジング１０に対して上部ハウジング２０を取り付ける。図２に示すように、上部ハウジング２０を下部ハウジング１０に取り付ける際に、上部ハウジング２０の下端部がダイヤフラム４１に接触し、この接触によって環状溝部１５にダイヤフラム４１の環状突起部４１ｃが挿入される。
【００５４】
次に、筒状の上部ハウジング２０の軸線Ａに沿った上方から移動部材６１を取り付ける。この際、ピストン部６２の外周面に設けられた溝に、Ｏリング６１ａとパッキン６１ｂを取り付ける。その後、移動部材６１のピストン部６２が中間部材４４と上部ハウジング２０の隙間に配置されるように、ピストン部６２の先端を軸線Ａに沿って下方に挿入する。その後に、締結ねじ７１によって、移動部材６１のピストン部６２を弁体部４０の中間部材４４に連結する。
【００５５】
図２に示すように、ピストン部６２の先端を軸線Ａに沿って下方に挿入すると、ピストン部６２の先端の外周面に設けられた溝６２ａ，６２ｂに、中間部材４４の貫通穴４４ｃに挿入されたピン部材４３の端部が挿入された状態となる。図２に示す状態になると、ダイヤフラム４１の係止部４１ｄの周囲がピストン部６２の先端に取り囲まれた状態となる。この状態となると、ピストン部６２の存在によって、係止部４１ｄが軸線Ａの径方向に変形することが規制される。そのため、中間部材４４がダイヤフラム４１から抜けてしまう不具合が防止される。
【００５６】
次に、スプリング７０を移動部材６１の上端に設置し、スプリング７０の上部にカバー部３０を取り付ける。
カバー部３０は、締結ねじ３２により芯部３２をカバー３１に連結した部材である。スプリング７０の上部にカバー部３０を取り付ける際に、スプリング７０の中央に設けられる空間に、カバー部３０の芯部３２を挿入する。カバー部３０は、カバー３１の下端の内周面を上部ハウジング２０の上端の内周面に挿入することによって上部ハウジング２０に固定される。カバー部３０が上部ハウジング２０に固定されることにより、スプリング７０の上端がカバー３１に固定され、スプリング７０の下端が移動部材６１の上端に固定された状態となる。
【００５７】
最後に、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０とを連結する。図７（ａ）および図７（ｃ）に示すように、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０とは、平面視が略長方形の部材となっており、その四隅には軸線Ａと平行な方向に延びる貫通穴が形成されている。四隅の貫通穴の内周面には、それぞれ雌ねじが形成されている。
【００５８】
四隅の貫通穴に、貫通ボルト８０，８１，８２，８３をそれぞれ締結する。この際、貫通穴の内周面に形成された雌ねじと、貫通ボルトの外周面に形成された雄ねじとが締結される。これにより、図７（ｂ）に示すように、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０とが連結された状態となる。
以上のようにして、本実施形態の遮断弁１００が組み立てられる。
【００５９】
以上説明した本実施形態の遮断弁１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の遮断弁１００によれば、弁体部４０の移動方向である軸線Ａに直交する平面上に形成された弁体面４１ａは、移動機構６０によって、弁体面４１ａに対向する位置に配置される弁座面５１に接触または離間する。
【００６０】
移動機構６０によって弁体面４１ａが弁座面５１に近づくと、弁体面４１ａを形成するダイヤフラム４１と弁座面５１から弁体面４１ａに突出する内周側突起部５２および外周側突起部５３が接触する。内周側突起部５２および外周側突起部５３は、弁座面５１から軸線Ａに沿って弁体面４１ａに突出し、弁室１４内に流体を流入させる流入口１２ａの周囲を取り囲むように形成される無端状である。そのため、内周側突起部５２および外周側突起部５３と弁体面４１ａとの接触によって導入流路１２から弁室１４への流体の流入が遮断される。
【００６１】
また、ダイヤフラム４１の背面には弾性部材４２が配置されている。そのため、内周側突起部５２および外周側突起部５３に接触したダイヤフラム４１は弾性部材４２とともに内周側突起部５２および外周側突起部５３の形状に沿うように変形する。したがって、弁座面５１と弁体面４１ａの接触によるパーティクルの発生が防止される。
【００６２】
また、弁座部５０は弁座面５１から弁体面４１ａに突出する無端状の内周側突起部５２および外周側突起部５３を有する。そのため、遮断状態において、いずれかの突起部と弁体面４１ａとの間にパーティクルが噛み込んで突起部の形状が変形する場合であっても、他の突起部と弁体面４１ａとの接触によって導入流路１２から弁室１４への流体の流入が遮断される。したがって、パーティクルが弁座面５１と弁体面４１ａとの間に噛み込みこむことによる遮断性の悪化を防止することができる。
【００６３】
本実施形態の遮断弁１００は、ダイヤフラム４１が、内周側突起部５２および外周側突起部５３の高さよりも厚い。このようにすることで、内周側突起部５２および外周側突起部５３の接触と離間が繰り返されてダイヤフラム４１の弁体面４１ａが変形する場合であっても、内周側突起部５２および外周側突起部５３がダイヤフラム４１の弁体面４１ａを突き破って破損させる危険を抑制することができる。
【００６４】
本実施形態の遮断弁１００は、移動機構６０が、弁体部４０に連結されるとともに弁体部４０ととともに軸線Ａ方向に移動可能なピストン部６２と、弁体面４１ａを弁座面５１に近づける方向の弾性力をピストン部６２に発生させるスプリング７０（第１付勢力発生部）と、弁体面４１ａを弁座面５１から遠ざける方向の圧力をピストン部６２に発生させる圧力室２２（第２付勢力発生部）と、を有する。
【００６５】
本実施形態の遮断弁１００によれば、ピストン部６２には、弁体面４１ａを弁座面５１に近づける方向の弾性力と、弁体面４１ａを弁座面５１から遠ざける方向の圧力とがそれぞれ発生する。スプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回る場合に弁体面４１ａが弁座面５１に接触して図１に示す遮断状態となり、圧縮空気の圧力がスプリング７０の弾性力を上回る場合に弁体面４１ａが弁座面５１から離間して図８に示す流通状態となる。
このようにすることで、スプリング７０の弾性力と圧縮空気の圧力とを調整することにより、遮断状態と流通状態とを適切に切り替えることができる。
【００６６】
本実施形態の遮断弁１００によれば、弁体部４０が、ピストン部６２に連結される中間部材４４を有し、中間部材４４には、軸線Ａ方向の先端側から順に、拡径部４４ａと、拡径部４４ａよりも軸線Ａに直交する径方向の幅が狭い縮径部４４ｂとが形成されている。ダイヤフラム４１は、弾性部材４２が弁体面４１ａおよび中間部材４４の先端に接触した状態で縮径部４４ｂと接触した状態となる係止部４１ｄを有する。この係止部４１ｄは、その周囲がピストン部６２の先端に取り囲まれた状態となっている。
【００６７】
このようにすることで、係止部４１ｄの周囲を取り囲むピストン部６２の先端の存在により、中間部材４４に形成された縮径部４４ｂに接触した状態となっている係止部４１ｄが、軸線Ａに直交する径方向に変形することが規制される。そのため、中間部材４４がダイヤフラム４１から抜けてしまう不具合が防止される。
【００６８】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。第１実施形態と同様の部材については、同一の符号を付すとともにその説明を省略する。第１実施形態の遮断弁１００がノーマルローズ型の遮断弁であるのに対し、本実施形態の遮断弁１００’はノーマルオープン型の遮断弁である点が異なる。
【００６９】
図９に示すように、本実施形態の遮断弁１００’は、上部ハウジング２０’の上方に、圧縮空気供給源から圧縮空気が供給される操作ポート２１’を備えている。また、遮断弁１００’は、上部ハウジング２０’の上方に、操作ポート２１’から導入流路２１’ａを介して圧縮空気が導かれる圧力室２２’を備えている。
【００７０】
スプリング７０は、弁体部４０の弁体面４１ａを弁座部５０の弁座面５１から遠ざける方向の弾性力（第２付勢力）をピストン部６２に発生させる。スプリング７０の軸線Ａ方向の上端部はピストン部６２に支持され、スプリング７０の軸線Ａ方向の下端部は上部ハウジング２０’に突き当てあれる。このようにして、スプリング７０の弾性力がピストン部６２に伝達される。
【００７１】
圧力室２２’は、弁体面４１ａを弁座面５１に近づける方向の圧力（第１付勢力）をピストン部６２に発生させる。圧力室２２には、ピストン部６２と上部ハウジング２０とカバー部３０により画定される空間であり、操作ポート２１’から導入流路２１’ａを介して圧縮空気が導入される。
【００７２】
次に、本実施形態の遮断弁１００が流体を流通させる流通状態と流体の流通を遮断する遮断状態とを切り替える動作について説明する。
【００７３】
本実施形態の遮断弁１００’は、ノーマルオープン型の遮断弁であり、圧力室２２’内の圧縮空気の圧力が低い通常状態ではスプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回って図９に示す流通状態となる。一方、圧力室２２’内の圧縮空気の圧力を増加させることで図９に示す流通状態から遮断状態（図示略）に切り替わる。圧力室２２’内の圧縮空気の圧力は、操作ポート２１’に圧縮空気を導入する圧縮空気供給源（図示略）によって調整される。
【００７４】
図９に示すように、スプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回る場合は、弁体面４１ａが弁座面５１から離間した流通状態となる。この流通状態においては、流入口１２ａから弁室１４へ流体が流入する。一方、圧縮空気の圧力がスプリング７０の弾性力を上回る場合は、弁体面４１ａが弁座面５１に接触した遮断状態となる。この遮断状態においては、流入口１２ａから弁室１４への流体の流入が遮断される。
【００７５】
以上説明したように、本実施形態の遮断弁１００’は、圧縮空気の圧力を増加させることにより、スプリング７０の弾性力を上回る圧力を発生させて流通状態を遮断状態に切り替える。このようにすることで、圧縮空気の圧力が低い通常状態ではスプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回って流通状態となり、圧縮空気の圧力を増加させることで流通状態から遮断状態に切り替わるノーマルオープン型の遮断弁１００’を提供することができる。
【００７６】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。第１実施形態と同様の部材については、同一の符号を付すとともにその説明を省略する。本実施形態の遮断弁１００”は流通状態における流体の流量を調整可能な流量調整機構９０を備える点が第１実施形態の遮断弁１００と異なる。
【００７７】
図１０に示す遮断弁１００”は、ノーマルクローズ型の遮断弁である。遮断弁１００”は、圧力室２２内の圧縮空気の圧力が低い通常状態ではスプリング７０の弾性力が圧縮空気の圧力を上回って遮断状態となる。一方、遮断弁１００”は、圧力室２２内の圧縮空気の圧力を増加させることで遮断状態から図１０に示す流通状態に切り替わる。
【００７８】
流量調整機構９０は、移動機構６０によって弁体部４０が軸線Ａ方向に沿って弁座部５０から離間する際の最大離間距離を調整する機構である。弁体部４０が弁座部５０から離間する際の最大離間距離により、弁体部４０と弁座部５０との間を流通する流体の流量が定まる。したがって、弁体部４０が弁座部５０から離間する際の最大離間距離を流量調整機構９０により調整することにより、流通状態における遮断弁１００”の流量が決定する。
【００７９】
流量調整機構９０は、円筒部材９１と、ピン部材９２と、第１ロッド部材９３と、第２ロッド部材９４と、ロックナット９５と、流量調整つまみ９６と、ピン部材９７とを備えている。
円筒部材９１は、軸線Ａと同軸に配置される部材であり、軸線Ａと直交する方向に延在する貫通穴が形成されている。この貫通穴には、ピン部材９２が挿入されている。
【００８０】
本実施形態のカバー部３０”が備えるカバー３１”は、軸線Ａに沿って延在する略円筒形状の部材であり、その内部に円筒部材９１の外周面と略同径の内周面を有する貫通穴が形成されている。本実施形態のカバー３１”が有する貫通穴は、図１０に示すように、軸線Ａ方向に延在している。円筒部材９１は、カバー３１”が有する貫通穴において、軸線Ａ方向に移動可能となっている。
【００８１】
円筒部材９１の貫通穴の両端部から突出するピン部材９２は、カバー３１”の先端部に形成された軸線Ａに沿った一対の溝に挿入された状態となっている。そのため、円筒部材９１は、カバー３１”が有する貫通穴の内部において、軸線Ａ回りに回転することが規制される。
【００８２】
円筒部材９１の貫通穴の両端部から突出するピン部材９２は、カバー３１”の先端部に形成された軸線Ａに沿った一対の溝に挿入された状態となっている。そのため、円筒部材９１は、カバー３１”が有する貫通穴の内部において、軸線Ａ回りに回転することが規制される。第１ロッド部材９３は、軸線Ａに沿って延在する軸状部材であり、外周面に雄ねじが形成されている。第１ロッド部材９３と円筒部材９１とは、一体に形成されている。
【００８３】
第２ロッド部材９４は、軸線Ａに沿って延在する略円筒形状の部材であり、内周面に雌ねじが、外周面に雄ねじがそれぞれ形成されている。第２ロッド部材９４の内周面の雌ねじは、第１ロッド部材９３の外周面の雄ねじに連結されている。また、第２ロッド部材９４の外周面の雄ねじは、カバー３１”の貫通穴の上端部に形成された雌ねじ、およびロックナット９５の内周面に形成された雌ねじにそれぞれ連結されている。
【００８４】
ロックナット９５は、円筒部材９１の軸線Ａ方向の位置が変化しないように固定するための部材である。ロックナット９５を回転させ、ロックナット９５の下面とカバー３１”の上面とが密着するように締結することにより、円筒部材９１の軸線Ａ方向の位置が固定される。
【００８５】
流量調整つまみ９６は、操作者の操作により軸線Ａ回りに回転する略円筒形状の部材である。流量調整つまみ９６には、軸線Ａに直交する水平方向に延在し、ピン部材９７が挿入される貫通穴が形成されている。また、流量調整つまみ９６には、軸線Ａに沿って延在し、第２ロッド部材９４の端部が挿入される貫通穴が形成されている。
【００８６】
ピン部材９７は、水平方向に延在する流量調整つまみ９６の貫通穴と、第２ロッド部材９４の端部に形成された水平方向の貫通穴との双方に挿入される。流量調整つまみ９６と第２ロッド部材９４とがピン部材９７によって連結されているので、流量調整つまみ９６を軸線Ａ回りに回転させることにより第２ロッド部材９４も軸線Ａ回りに回転する。
【００８７】
ここで、第２ロッド部材９４の内周面に形成される雌ねじのピッチ（軸線Ａ方向のねじ谷間の距離）と、第１ロッド部材９３の外周面に形成される雄ねじのピッチ（軸線Ａ方向のねじ山間の距離）は、それぞれピッチＡで一致している。一方、第２ロッド部材９４の外周面に形成される雄ねじのピッチ（軸線Ａ方向のねじ山間の距離）と、カバー３１”の貫通穴の上端部に形成された雌ねじのピッチ（軸線Ａ方向のねじ谷間の距離）は、それぞれピッチＢで一致している。
【００８８】
そして、ピッチＡとピッチＢは、ピッチＡ＜ピッチＢとなっている。したがって、第２ロッド部材９４が軸線Ａに沿って下方向に移動するように流量調整つまみ９６を軸線Ａ回りに１回転させると、第２ロッド部材９４は軸線Ａに沿って下方向に距離Ｂだけ移動する。一方、第１ロッド部材９３は、第２ロッド部材９４が軸線Ａ回りに一回転するのに伴って、軸線Ａに沿って、第２ロッド部材９４に対して上方向に距離Ａだけ相対的に移動する。従って、第２ロッド部材９４を軸線Ａ回りに１回転させると、第１ロッド部材は、軸線Ａに沿って下方向に距離（Ｂ―Ａ）だけ移動する。
【００８９】
円筒部材９１は、第１ロッド部材９３と一体に形成されているため、第２ロッド部材９４の外周面のピッチＢと第２ロッド部材９４の内周面のピッチＡの差分の距離（Ｂ−Ａ）だけ、軸線Ａに沿って下方向に移動する。このように距離（Ｂ−Ａ）だけ下方向に移動するのは、第２ロッド部材９４の内周面のピッチＡが第２ロッド部材９４の外周面のピッチＢよりも小さく、円筒部材９１がピン部材９２によってカバー３１”に対して軸線Ａ回りに回転しないようになっているからである。
【００９０】
同様に、第１ロッド部材９３が軸線Ａに沿って上方向に距離Ｂだけ移動する際、円筒部材９１は、第２ロッド部材９４の外周面のピッチＢと第２ロッド部材９４の内周面のピッチＡの差分の距離（Ｂ−Ａ）だけ、軸線Ａに沿って上方向に移動する。このように距離（Ｂ−Ａ）だけ上方向に移動するのは、第２ロッド部材９４の内周面のピッチＡが第２ロッド部材９４の外周面のピッチＢよりも小さく、円筒部材９１がピン部材９２によってカバー３１”に対して軸線Ａ回りに回転しないようになっているからである。
【００９１】
以上のように、第２ロッド部材９４の外周面に形成される雄ねじ部と内周面に形成される雌ねじ部のピッチを異ならせている。このようにすることで、流量調整つまみ９６の回転に対する円筒部材９１の移動量を小さくし、円筒部材９１の移動量の微調整が可能となっている。そして、流量調整つまみ９６を回転させて円筒部材９１の位置を調整することにより、弁体部４０が軸線Ａ方向に沿って弁座部５０から離間する際の最大離間距離が調整される。
【００９２】
次に、遮断弁１００”の下部ハウジング１０，上部ハウジング２０，カバー部３０”を締結する締結構造について説明する。
図１１（ａ）および図１１（ｃ）に示すように、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０”とは、平面視が略長方形の部材となっており、その四隅には軸線Ａと平行な方向に延びる貫通穴が形成されている。
【００９３】
下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０”とを貫通する４つの貫通穴には、それぞれ貫通穴と略同径のシャフト材９９が挿入されている。このシャフト部材は、両端部に、内周面に雌ねじが形成された締結穴が形成されている。各締結穴には、カバー部３０”側から、外周面に雄ねじが形成された締結ボルト９８ａ，９８ｂ，９８ｃ，９８ｄが締結される。一方、各締結穴には、下部ハウジング１０側から、外周面に雄ねじが形成された締結ボルト９８ｅ，９８ｆ，９８ｇ，９８ｈが締結される。
【００９４】
シャフト材９９は、ＳＵＳ４０３等のステンレス材により形成されるのが望ましい。シャフト材９９をステンレス材により形成することにより、遮断弁１００”を流通する流体の温度によるシャフト材９９の長さの変化を抑制することができる。
【００９５】
本実施形態では、図１１（ｂ）に示すように、下部ハウジング１０と上部ハウジング２０とカバー部３０”とを、これらを貫通して配置されるシャフト材９９によって連結している。そして、シャフト材をステンレス材により形成することにより、遮断弁１００”を流通する流体の温度によって遮断弁１００”が変形し、流通状態における流体の流量が変化することを抑制することができる。
【００９６】
このように、本実施形態の締結構造は、遮断弁１００”を流通する流体の温度によって遮断弁１００”が変形することを好適に抑制するものである。このような締結構造を、流通状態における流体の流量を調整可能な流量調整機構９０を備える本実施形態の遮断弁１００”に適用することにより、流体の温度による流体の流量の変動を好適に抑制することができる。
【００９７】
以上説明したように、本実施形態の遮断弁１００”によれば、弁体部４０が弁座部５０から離間する際の最大離間距離を流量調整機構９０により調整することができる。弁体部４０が弁座部５０から離間する際の最大離間距離を調整することにより、流通状態における遮断弁１００”の流量が決定される。そのため、本実施形態の遮断弁１００”によれば、流通状態における流体の流量が調整可能となる。
【００９８】
＜他の実施形態＞
その他、本発明は上述した実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【符号の説明】
【００９９】
１２ａ  流入口
１４    弁室
２２，２２’  圧力室（第２付勢力発生部）
４０    弁体部
４１    ダイヤフラム
４１ａ  弁体面
４１ｂ  ダイヤフラム部
４１ｄ  係止部
４２    弾性部材
４４    中間部材
５０    弁座部
５１    弁座面
５２    内周側突起部
５３    外周側突起部
６０    移動機構
７０    スプリング（第１付勢力発生部）
９０    流量調整機構
１００，１００’，１００”  遮断弁
Ａ      軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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