(57)【要約】【課題】従来の製作装置よりも簡単な装置構造で、かつ従来よりも高強度でかつ厚み幅のある鋼材を使用して、高精度ピッチのスクリュー羽根を製作するスクリュー羽根製作装置を提供することにある。【解決手段】スクリュー羽根製作装置１は、フレーム１１と、一対のレール１２，１３と、巻付用軸１４と、巻付用軸１４を回転させる第１駆動部１５と、巻付用軸１４の回転に従って回転するフランジ部１６と、フランジ部１６に設置される固定部１６１と、一対のレール１２，１３と平行に配置される駆動スクリュー２１と、駆動スクリュー２１を回転させる第２駆動部２２と、駆動スクリュー２１に螺合するボルト２３，２４を下部に備えた移動ベッド３０と、鋼材Ｓを巻付用軸１４に対し角度αで載置する曲げ金具３１と、巻付用軸１４が挿設されるベッド用巻付軸受３２と、巻付用軸１４の回転速度と移動ベッド３０の移動速度を制御する制御部を備える。【選択図】図１Ａ
2015123480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼材から無軸スクリュー羽を製造するためのスクリュー羽根製作装置であって、
フレームと、
前記フレームに固定される一対のレールと、
前記一対のレールの上方かつ当該一対のレールに平行に配置される巻付用軸と、
前記巻付用軸を回転させる第１駆動部と、
前記巻付用軸の回転に従って回転するフランジ部と、
前記フランジ部に設置され、かつ鋼材の一方端を固定する固定部と、
前記一対のレールの間であって、当該一対のレールに平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリューと、
前記駆動スクリューを回転させる第２駆動部と、
前記一対のレールに移動可能に載置され、かつ前記駆動スクリューに螺合するボルトを下部に備えた移動ベッドと、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記鋼材を前記巻付用軸に対し角度αで載置する曲げ金具と、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記巻付用軸が挿設されるベッド用巻付軸受と、
前記第１駆動部を制御することで前記フランジ部の回転速度を制御し、かつ前記第２駆動部を制御することで前記移動ベッドの移動速度を制御する制御部と、を備えるスクリュー羽根製作装置。
【請求項２】
前記ボルトが前記移動ベッドの下部２か所に設けられている、請求項１に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項３】
前記一対のレールと接触する前記移動ベッドの箇所に展延性金属材料で構成した滑部を備える請求項１または２に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項４】
前記巻付用軸と接触する前記ベッド用巻付軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備える請求項１から３のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項５】
前記第１駆動部とは異なる他方端に、前記巻付用軸を支える巻付用軸受をさらに備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項６】
前記巻付用軸と接触する前記巻付用軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備える請求項５に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項７】
前記曲げ金具は、高さ調整可能に構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項８】
前記曲げ金具は、前記角度αを調整可能に構成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項９】
前記曲げ金具は、前記巻付用軸の下方に配置される、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリュー羽根（例えば、無軸スクリューコンベヤ用のスクリュー羽根）を製作するためのスクリュー羽根製作装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来公知の製造装置は、軸線方向に回転する円筒状のサポート（３）と、バー本体（７）と係合するガイド（８）を備え、サポート（３）の軸方向に移動する移動装置（１６）を備え、サポート（３）の一端にバー端部（７ａ）をネジで固定し、サポート（３）を回転させつつ、移動装置（１６）を移動させることで、バー本体（７）がサポート（３）の周りに螺旋状に巻きつけてスクリューを製造する（特許文献１参照）。この装置では、ガイド（８）の角度α、（サポート（３）軸に対する角度）を変更してスクリューのピッチを変更できることが記載されている。
【０００３】
特許文献１の製造装置は、移動台（１２）を備え、移動台（１２）が２本の平行で水平なガイド（１３）に沿って車輪上を走行する。移動台（１２）は、電気モータ（１５）で駆動される無限軌道形スクリュー（１４）に単一のナットを介して連結されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００１‐５２６１１６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１の装置では、鋼板(例えば、厚み４〜８ｍｍ、幅３０〜５０ｍｍの熱間圧延鋼材ＳＳ４００)を加工し、スクリュー羽根を製作する程度のものであった。しかしながら、ＳＳ４００の強度、上記厚みおよび幅寸法のスクリュー羽根では、搬送物（例えば、鉄鉱石、砂利などの硬質物）によっては摩耗が激しく、羽根が曲がったり、折れたりしていた。
【０００６】
また、市販の鋼材は、縦６ｍ、横２ｍが一般的である。スクリュー羽根の幅（例えば３０ｍｍ）に応じて、縦方向に平行に鋼材を切断し縦６ｍ、横３０ｍｍの原材に加工し、次いでスクリュー羽根の加工を行う。スクリュー羽根の外径が大きくなるほど、スクリュー羽根の軸方向長さが短くなる（直線で６ｍのため、スクリュー加工によりそれよりも短くなる）。所望の軸方向長さ（例えば、８ｍ以上）のスクリュー羽根を得るためには、スクリュー羽根を継ぎ加工（先端部同士を溶接加工）する必要がある。しかしながら、上記鋼材ＳＳ４００の強度、上記厚みおよび幅寸法のスクリュー羽根の継ぎ加工しても、スクリュー羽根のピッチが安定したものではなかったため、継ぎ加工できる個数に限度があり、せいぜい３〜４個程度であった。
【０００７】
また、特許文献１の装置は、円筒状のサポート（３）の外径によってスクリューの径が決定されるため、径の異なるサポート（３）を複数用意し、所望の外径によってサポート（３）を取り替える必要があった。
【０００８】
そこで、本発明は上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、従来の製作装置よりも簡単な装置構造で、かつ従来よりも高強度でかつ厚み幅のある鋼材を使用して、高精度ピッチのスクリュー羽根を製作するスクリュー羽根製作装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るスクリュー羽根製作装置は、鋼材から無軸スクリュー羽根を製造するためのスクリュー羽根製作装置であって、
フレームと、
前記フレームに固定される一対のレールと、
前記一対のレールの上方かつ当該一対のレールに平行に配置される巻付用軸と、
前記巻付用軸を回転させる第１駆動部と、
前記巻付用軸の回転に従って回転するフランジ部と、
前記フランジ部に設置され、かつ鋼材の一方端を固定する固定部と、
前記一対のレールの間であって、当該一対のレールに平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリューと、
前記駆動スクリューを回転させる第２駆動部と、
前記一対のレールに移動可能に載置され、かつ前記駆動スクリューに螺合するボルトを下部に備えた移動ベッドと、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記鋼材を前記巻付用軸に対し角度αで載置する曲げ金具と、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記巻付用軸が挿設されるベッド用巻付軸受と、
前記第１駆動部を制御することで前記フランジ部の回転速度を制御し、かつ前記第２駆動部を制御することで前記移動ベッドの移動速度を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、２条ネジ構造の駆動スクリューによって移動ベッドを安定的にかつ高精度に移動させることができ、従来よりも高強度でかつ厚みと幅のある鋼材を使用して、高精度ピッチのスクリュー羽根を製作することができる。
【００１１】
本発明のスクリュー羽根の原材料となる「鋼材」としては、例えば、一般構造用圧延鋼材（ＳＳ３３０、ＳＳ４００、ＳＳ４９０、ＳＳ５４０など）、冷間圧延鋼板（ＳＰＣＣ、ＳＰＣＤ、ＳＰＣＥ、ＳＰＣＦ、ＳＰＣＧなど）、炭素鋼鋼材（Ｓ２５Ｃ、Ｓ３０Ｃ、Ｓ３５Ｃ、Ｓ４５Ｃ、Ｓ５０Ｃ、Ｓ５５Ｃなど）、熱間または冷間圧延ステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４，ＳＵＳ３１６，ＳＵＳ４３０，ＳＵＳ４１０など）、耐摩耗鋼板(スエーデンスチール社のハードックス（ＨＡＲＤＯＸ（登録商標））、ＪＦＥスチール社のエバーハード（ＥＶＥＲＨＡＲＤ（登録商標））など)、高張力鋼板（ＳＭ５７０、ＳＭＡ５７０Ｗなど）、ＴＭＣＰ型高張力鋼板（ＳＭ５７０ＴＭＣ、ＳＭＡ５７０ＷＴＭＣなど）が挙げられる。
【００１２】
上記鋼材の厚みは、例えば１０ｍｍ〜５０ｍｍであり、好ましくは１５ｍｍ〜５０ｍｍであって、鋼材の幅が、例えば３０ｍｍ〜８０ｍｍであり、好ましくは４０ｍｍ〜８０ｍｍである。従来のスクリュー羽根の原材料（ＳＳ４００）の厚み４〜８ｍｍかつ幅３０〜５０ｍｍよりも大きくとも、本発明の装置であれば、スクリュー羽根の製作が可能である。
【００１３】
上記鋼材の形状は、例えば、断面が矩形（長方形、正方形）、円形、多角形、異形などであるが、スクリュー羽根としては長方形が好ましい。
【００１４】
本発明の一実施形態として、前記ボルトが前記移動ベッドの下部２か所に設けられている。
【００１５】
この構成によれば、２条ネジ構造の駆動スクリューに螺合するボルトを２か所に設けたことで、移動ベッドをさらに安定的にかつ高精度に移動させることができ、従来よりも高強度でかつ厚みと幅のある鋼材を使用して、高精度ピッチのスクリュー羽根を製作することができる。
【００１６】
本発明の一実施形態として、前記一対のレールと接触する前記移動ベッドの箇所に展延性金属材料で構成した滑部を備える。
【００１７】
この構成によれば、レールと移動ベッドと間に滑部を介在させたことで、それら部材間に生じる摩擦力を低減させることができ、レール上の移動ベッドをスムーズに移動させることができる。
【００１８】
本発明の一実施形態として、前記巻付用軸と接触する前記ベッド用巻付軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備える。
【００１９】
この構成によれば、ベッド用巻付軸受の内面に滑部を設けたことで、巻付用軸とベッド用巻付軸受との間に生じる摩擦力を低減させることができ、巻付用軸をスムーズに回転させかつ移動ベッドの移動にかかる負荷も低減できる。
【００２０】
「展延性を有する金属材料」は、例えば、金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄またはニッケル、それらの２種以上の合成金属（例えば黄銅）が挙げられる。滑部としては、所定の強度かつ展延性を有する金属材料が好ましく、例えば黄銅が好ましい。
【００２１】
本発明の一実施形態として、前記第１駆動部とは異なる他方端に、前記巻付用軸を支える巻付用軸受をさらに備える。
【００２２】
本発明の一実施形態として、前記巻付用軸と接触する前記巻付用軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備える。
【００２３】
この構成によれば、巻付用軸受の内面に滑部を設けたことで、巻付用軸と巻付用軸受との間に生じる摩擦力を低減させることができ、巻付用軸をスムーズに回転させることができる。
【００２４】
本発明の一実施形態として、前記曲げ金具は、高さ調整可能に構成されている。
【００２５】
この構成によれば、他の部材を変えることなく、曲げ金具の高さ位置を任意に変えることで、異なる外径のスクリュー羽根を簡単に製作することができる。曲げ金具のベース材を複数段に構成することで、高さ位置を任意に調整できる。
【００２６】
本発明の一実施形態として、前記曲げ金具は、前記角度αを調整可能に構成されている。
【００２７】
この構成によれば、角度αを変えることで、異なるピッチのスクリュー羽根を簡単に製作できる。また、外径に対応して角度αを変更させることが好ましい。
【００２８】
本発明の一実施形態として、前記曲げ金具は、前記巻付用軸の下方に配置されることが好ましい。
【００２９】
この構成によれば、巻付用軸の回転軸の下方にあるため、安定的に鋼材を送り込むことができ、外径およびピッチの寸法安定性が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１Ａ】スクリュー羽根製作装置の側面概略図である。
【図１Ｂ】スクリュー羽根製作装置を巻付用軸の一方向から見た図である。
【図２】２条ネジ構造の駆動スクリューおよび２条ネジ用ナットを説明するための図である。
【図３】滑部を説明するための図である。
【図４】曲げ金具および固定部に鋼材をセットした状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図面を参照しながら本実施形態のスクリュー羽根製作装置を説明する。スクリュー羽根製作装置１は、フレーム１と、フレーム１に固定される一対のレール１２、１３と、一対のレール１２、１３の上方かつ一対のレール１２、１３に平行に配置される巻付用軸１４と、巻付用軸１４を回転させる第１駆動部１５と、巻付用軸１５の回転に従って回転するフランジ部１６と、フランジ部１６に設置され、かつ鋼材Ｓの一方端を固定する固定部１６１とを備える。
【００３２】
第１駆動部１５は、第１モータ１５１と、第１モータ１５１の回転運動をフランジ部１６の回転運動へ連動させるためのカップリング部、平歯車、フランジユニットを有するギヤボックス１５２を備える。固定部１６１は、後述する曲げ金具の角度αと同じまたは略同じ角度で鋼材Ｓの一方端を固定するように構成させることが好ましい。固定部１６１と鋼材Ｓとを、溶接で固定してもよく（図４参照）、鋼材Ｓの一方端を挟み込んで固定するボックス蓋または結合手段（ボルト、ナット）を用いてもよい。
【００３３】
また、スクリュー羽根製作装置１は、一対のレール１２，１３の間であって、一対のレール１２、１３に平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリュー２１と、駆動スクリュー２１を回転させる第２駆動部２２と、一対のレール１２、１３に移動可能に載置され、かつ駆動スクリュー２１に螺合するボルト２３、２４を下部に２か所備えた移動ベッド３０を備える。
【００３４】
図３に示したように、一対のレール１２，１３と接触する移動ベッド３０の箇所(接触箇所)に所定の強度かつ展延性金属材料で構成した滑部３４を備える。本実施形態において滑部３４は、黄銅で構成している。
【００３５】
第２駆動部２２は、第２モータ２２１と、第２モータ２２１の回転運動を駆動スクリュー２１の回転運動へ連動させるためのカップリング部２２２を備える。
【００３６】
図２に示したように、移動ベッド３０の下部にボルト２３，２４を設けている。２条ネジ構造の駆動スクリュー２１に螺合するボルト２３、２４を２か所に設けたことで、移動ベッド３０を安定的にかつ高精度に移動させることができる。
【００３７】
また、スクリュー羽根製作装置１は、移動ベッド３０上に設けられ、かつ鋼材を巻付用軸１４に対し角度αで載置する曲げ金具３１と、移動ベッド３０上に設けられ、かつ巻付用軸１４が挿設されるベッド用巻付軸受３２を備える。また、巻付用軸１４と接触するベッド用巻付軸受３２の内面に、所定の強度かつ展延性を有する金属材料で構成した滑部(不図示)を備える。本実施形態において上記滑部（不図示）は、黄銅で構成している。
【００３８】
また、曲げ金具３１が巻付用軸１４の下方に配置させることが好ましい。曲げ金具３１の高さ位置は、スクリュー羽根のピッチ、外径に応じて設定する。図４に示すように、曲げ金具３１の角度αは、鋼材Ｓの種類（厚み、材質）、ピッチ、外径に応じて設定するが、例えば、１０度〜３０度である。
【００３９】
また、スクリュー羽根製作装置１は、第１駆動部１５（第１モータ１５１の回転速度）を制御することでフランジ部１６（および巻付用軸１４）の回転速度を制御し、かつ第２駆動部２２（第２モータ２２１の回転速度）を制御することで移動ベッド３０の移動速度を制御する制御部（不図示）を備える。上記制御部は、コンピュータ（動作プログラムが記憶されたメモリと接続されている）や専用回路、ファームウエアを組み込んだ装置などで構成できる。
【００４０】
また、スクリュー羽根製作装置１は、第１駆動部１５とは異なる他方端に、巻付用軸１４を支える巻付用軸受１８を備える。巻付用軸受１８は、図１の矢印方向に傾斜し巻付用軸１４から外れる構成である（破線図は外れた状態を示す）。また、巻付用軸１４と接触する巻付用軸受１８の内面に、所定の強度かつ展延性を有する金属材料で構成した滑部を備える。本実施形態において上記滑部（不図示）は、黄銅で構成している。
【００４１】
＜実施例＞
鋼材としてＪＦＥスチール社製のＥＢＥＲＨＡＲＤ３６０を用い、上記スクリュー羽根製作装置１でスクリュー羽根を製作した。表１に製作したスクリュー羽根を示す。
【表１】
2015123480.tif 000003
【００４２】
従来の鋼材よりも高強度の特殊鋼でかつ厚み（１５〜３０ｍｍ）と羽根幅（４０〜７５ｍｍ））があっても、高精度な外径およびピッチのスクリュー羽根を製作することができた。
【符号の説明】
【００４３】
１          スクリュー羽根製作装置
１１        フレーム
１２、１３  一対のレール
１４        巻付用軸
１５        第１駆動部
１６        フランジ部
１６１      固定部
１８        巻付用軸受
２１        駆動スクリュー
２２        第２駆動部
３０        移動ベッド
３１        曲げ金具
３２        ベッド用巻付軸受
３４        滑部
Ｓ          鋼材
【図１Ａ】
2015123480.tif 000004
【図１Ｂ】
2015123480.tif 000005
【図２】
2015123480.tif 000006
【図３】
2015123480.tif 000007
【図４】
2015123480.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成27年4月23日(2015.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般構造用圧延鋼材（ＳＳ４００）よりも高強度の鋼材から無軸スクリュー羽を製造するためのスクリュー羽根製作装置であって、
フレームと、
前記フレームに固定される一対のレールと、
前記一対のレールの上方かつ当該一対のレールに平行に配置される巻付用軸と、
前記巻付用軸を回転させる第１駆動部と、
前記巻付用軸の回転に従って回転するフランジ部と、
前記フランジ部に設置され、かつ鋼材の一方端を固定する固定部と、
前記一対のレールの間であって、当該一対のレールに平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリューと、
前記駆動スクリューを回転させる第２駆動部と、
前記一対のレールに移動可能に載置され、かつ前記駆動スクリューに螺合する螺合手段を下部に備えた移動ベッドと、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記鋼材を前記巻付用軸に対し角度αで載置する曲げ金具と、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記巻付用軸が挿設されるベッド用巻付軸受と、
前記第１駆動部を制御することで前記フランジ部の回転速度を制御し、かつ前記第２駆動部を制御することで前記移動ベッドの移動速度を制御する制御部と、を備えるスクリュー羽根製作装置。
【請求項２】
前記螺合手段が前記移動ベッドの下部２か所に設けられている、請求項１に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項３】
前記一対のレールと接触する前記移動ベッドの箇所に展延性金属材料で構成した滑部を備え、
前記展延性金属材料が、金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄、ニッケルから選択される１種または２種以上の合成金属である、請求項１または２に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項４】
前記巻付用軸と接触する前記ベッド用巻付軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備え、
前記展延性を有する金属材料が、金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄、ニッケルから選択される１種または２種以上の合成金属である、請求項１から３のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項５】
前記第１駆動部とは異なる他方端に、前記巻付用軸を支える巻付用軸受をさらに備える、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項６】
前記巻付用軸と接触する前記巻付用軸受の内面に、展延性を有する金属材料で構成した滑部を備え、
前記展延性を有する金属材料が、金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄、ニッケルから選択される１種または２種以上の合成金属である、請求項５に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項７】
前記曲げ金具は、高さ調整可能に構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項８】
前記曲げ金具は、前記角度αを調整可能に構成されている、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【請求項９】
前記曲げ金具は、前記巻付用軸の下方に配置される、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスクリュー羽根製作装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明に係るスクリュー羽根製作装置は、一般構造用圧延鋼材（ＳＳ４００）よりも高強度の鋼材から無軸スクリュー羽根を製造するためのスクリュー羽根製作装置であって、
フレームと、
前記フレームに固定される一対のレールと、
前記一対のレールの上方かつ当該一対のレールに平行に配置される巻付用軸と、
前記巻付用軸を回転させる第１駆動部と、
前記巻付用軸の回転に従って回転するフランジ部と、
前記フランジ部に設置され、かつ鋼材の一方端を固定する固定部と、
前記一対のレールの間であって、当該一対のレールに平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリューと、
前記駆動スクリューを回転させる第２駆動部と、
前記一対のレールに移動可能に載置され、かつ前記駆動スクリューに螺合する螺合手段を下部に備えた移動ベッドと、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記鋼材を前記巻付用軸に対し角度αで載置する曲げ金具と、
前記移動ベッド上に設けられ、かつ前記巻付用軸が挿設されるベッド用巻付軸受と、
前記第１駆動部を制御することで前記フランジ部の回転速度を制御し、かつ前記第２駆動部を制御することで前記移動ベッドの移動速度を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の一実施形態として、前記螺合手段が前記移動ベッドの下部２か所に設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
また、スクリュー羽根製作装置１は、一対のレール１２，１３の間であって、一対のレール１２、１３に平行に配置される２条ネジ構造の駆動スクリュー２１と、駆動スクリュー２１を回転させる第２駆動部２２と、一対のレール１２、１３に移動可能に載置され、かつ駆動スクリュー２１に螺合する螺合手段２３、２４を下部に２か所備えた移動ベッド３０を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
図２に示したように、移動ベッド３０の下部に螺合手段２３，２４を設けている。２条ネジ構造の駆動スクリュー２１に螺合する螺合手段２３、２４を２か所に設けたことで、移動ベッド３０を安定的にかつ高精度に移動させることができる。