(57)【要約】【課題】検査を効率的に実施できる光導波路の検査方法を提供する。【解決手段】本発明の光導波路の検査方法は、光照射部から検査光を光導波路部２０ａ〜２０ｃの光入力部２５に照射し、撮像部により光導波路の光出力部２３を撮像して画像データを生成する撮像工程と、画像データを解析し、光出力部２３の位置、寸法及び形状並びにコアパターン２１の光の相対損失の少なくとも１つを算出し、その算出結果に基づき光導波路の合否判定を実施する合否判定工程と、光照射部及び撮像部の位置関係を規定した状態で、光導波路集合体１と、光照射部及び撮像部とをＹ方向に相対移動させる移動工程とを含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ方向にそれぞれ延在する複数の光導波路部と、前記複数の光導波路部のそれぞれの間に設けられた切断しろとを有し、個片化することにより光導波路が得られる光導波路集合体を用いて光導波路の検査を実施する光導波路の検査方法であって、
前記複数の光導波路部のそれぞれは、１つ以上のコアパターンと前記コアパターンを埋設するクラッド層とを備え、前記コアパターンに光を入射させる光入力部と前記コアパターンを通過した光を出射させる光出力部とを備え、
前記複数の光導波路部は、Ｘ方向と略垂直をなすＹ方向に並列し、
前記複数の光導波路部のＹ方向のピッチ間距離は、任意の距離で規定されてなり、
前記光導波路の検査方法は、光照射部から検査光を前記光導波路部の前記光入力部に照射し、撮像部により前記光導波路部の前記光出力部を撮像して画像データを生成する撮像工程と、
前記画像データを解析し、前記光出力部の位置、寸法及び形状並びに前記コアパターンの光の相対損失の少なくとも１つを算出し、その算出結果に基づき前記光導波路の合否判定を実施する合否判定工程と、
前記光照射部及び前記撮像部の位置関係を規定した状態で、前記光導波路集合体と、前記光照射部及び前記撮像部とをＹ方向に相対移動させる移動工程とを含む光導波路の検査方法。
【請求項２】
前記撮像工程の前に、前記複数の光導波路部において少なくとも１つの光導波路部を間引きながら前記撮像部の前記光出力部に対する焦点距離を順次測定する焦点距離測定工程を含み、
前記撮像工程は、前記焦点距離測定工程において測定された焦点距離に基づいて、前記撮像部が前記光出力部を撮像するときの焦点距離を決定する、請求項１に記載の光導波路の検査方法。
【請求項３】
前記複数の光導波路部は、Ｘ方向の少なくとも一方の一端に第１の端面、及び前記第１の端面に近接するＹ方向の両側に第１の側面部及び第２の側面部をそれぞれ有する、請求項１又は２に記載の光導波路の検査方法。
【請求項４】
前記複数の光導波路部は、Ｘ方向の他方の一端に第２の端面及び、前記第２の端面に近接するＹ方向の両側に第３の側面部及び第４の側面部をそれぞれ有する、請求項３に記載の光導波路の検査方法。
【請求項５】
前記複数の光導波路部は、前記光導波路部のＸ方向の中央の領域において、Ｙ方向の両側に第５の側面部及び第６の側面部をそれぞれ有する、請求項１又は２に記載の光導波路の検査方法。
【請求項６】
前記複数の光導波路部の第１の端面のＸ方向の位置が略同一位置である、請求項３又は４に記載の光導波路の検査方法。
【請求項７】
前記第１の端面、及び／又は、前記第１の側面及び前記第２の側面が、前記コアパターンの光軸方向とＹ方向とにより形成される平面と略垂直をなす、請求項３又は４に記載の光導波路の検査方法。
【請求項８】
前記複数の光導波路部は、Ｘ方向及びＹ方向と略垂直をなすＺ方向の少なくとも一方側に第１の側面をそれぞれ有し、前記第１の側面及び前記第１の端面に、又は、前記第１の端面及び前記第２の端面に、又は、第１の側面に前記光入力部及び前記光出力部をそれぞれ備える、請求項１〜７のいずれか１項に記載の光導波路の検査方法。
【請求項９】
前記複数の光導波路部は、前記第１の端面に前記光出力部をそれぞれ備える、請求項８に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１０】
前記光導波路集合体を個片化して、複数の光導波路を作製したとき、前記光導波路の前記第１の端面と、前記第１の側面部及び／又は前記第２の側面部が、外部の筐体の位置合わせの基準面として使用できる、請求項３又は４に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１１】
前記切断しろは、前記コアパターンの材質及び／又は前記クラッド層の材質からなる、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１２】
前記複数の光導波路部は、Ｘ方向及びＹ方向と略垂直をなすＺ方向の少なくとも一方側に第２の側面をそれぞれ有し、前記複数の光導波路部の前記第２の側面上に、隣接する光導波路部を接続する保持基板を備え、
前記切断しろは前記保持基板からなる、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１３】
前記合否判定工程は、前記コアパターンの光の相対損失を算出する請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１４】
前記合否判定工程は、前記光導波路の前記第１の側面部と前記コアパターンとの間の距離を算出する、請求項３又は４に記載の光導波路の検査方法。
【請求項１５】
前記合否判定工程は、前記光導波路の前記第１の側面部と前記第２の側面部との間の距離を算出する、請求項３又は４に記載の光導波路の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光導波路の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報容量の増大に伴い、幹線やアクセス系といった通信分野のみならず、ルータやサーバ内の情報処理や、民生機器ではパソコン、携帯電話にも光信号を用いる光インターコネクション技術の開発が進められている。光伝送路としては、光ファイバに比べ、配線の自由度が高く、かつ高密度化が可能な光導波路を用いることが望ましく、中でも加工性や経済性に優れたポリマー材料を用いた光導波路が有望である。このような光導波路を製造するに当たり、光導波路の寸法や光導通性等を検査する必要がある。例えば、光導波路の光導通性を検査する検査方法として、光導波路の光入力ポートに光を照射し、光導波路の光出力ポートから出力される光の画像をイメージセンサ等で取得し、その画像から光出力ポートから出力される光の強度及び分布を解析することにより光導波路の光導通性を検査する検査方法が知られている（非特許文献１）。この検査方法によれば、複数の光導波路の出力ポートを一つの画像に含まれるようにすることによって複数の出力ポートの一括検査が可能になる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】ＪＰＣＡ−ＰＥ０２−０５−０３Ｓ−２０１０、「光配線板の光導通検査方法」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、非特許文献１に記載されているような従来の光導波路の検査方法では、光導波路を一つずつ可動ステージに配置して、光導波路の位置合わせをしなければならないので、光導波路の検査に時間が非常にかかっていた。そこで、本発明は、効率的な光導波路の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、以下に示す構成を採用することにより、上記課題を解決し得ることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下のとおりである。
［１］Ｘ方向にそれぞれ延在する複数の光導波路部と、複数の光導波路部のそれぞれの間に設けられた切断しろとを有し、個片化することにより光導波路が得られる光導波路集合体を用いて光導波路の検査を実施する光導波路の検査方法であって、複数の光導波路部のそれぞれは、１つ以上のコアパターンとコアパターンを埋設するクラッド層とを備え、コアパターンに光を入射させる光入力部とコアパターンを通過した光を出射させる光出力部とを備え、複数の光導波路部は、Ｘ方向と略垂直をなすＹ方向に並列し、複数の光導波路部のＹ方向のピッチ間距離は、任意の距離で規定されてなり、光導波路の検査方法は、光照射部から検査光を光導波路部の光入力部に照射し、撮像部により光導波路部の光出力部を撮像して画像データを生成する撮像工程と、画像データを解析し、光出力部の位置、寸法及び形状並びにコアパターンの光の相対損失の少なくとも１つを算出し、その算出結果に基づき光導波路の合否判定を実施する合否判定工程と、光照射部及び撮像部の位置関係を規定した状態で、光導波路集合体と、光照射部及び撮像部とをＹ方向に相対移動させる移動工程とを含む光導波路の検査方法。
［２］撮像工程の前に、複数の光導波路部において少なくとも１つの光導波路部を間引きながら撮像部の光出力部に対する焦点距離を順次測定する焦点距離測定工程を含み、撮像工程は、焦点距離測定工程において測定された焦点距離に基づいて、撮像部が光出力部を撮像するときの焦点距離を決定する、上記［１］に記載の光導波路の検査方法。
［３］複数の光導波路部は、Ｘ方向の少なくとも一方の一端に第１の端面、及び第１の端面に近接するＹ方向の両側に第１の側面部及び第２の側面部をそれぞれ有する、上記［１］又は［２］に記載の光導波路の検査方法。
［４］複数の光導波路部は、Ｘ方向の他方の一端に第２の端面及び、第２の端面に近接するＹ方向の両側に第３の側面部及び第４の側面部をそれぞれ有する、上記［３］に記載の光導波路の検査方法。
［５］複数の光導波路部は、光導波路部のＸ方向の中央の領域において、Ｙ方向の両側に第５の側面部及び第６の側面部をそれぞれ有する、上記［１］又は［２］に記載の光導波路の検査方法。
［６］複数の光導波路部の第１の端面のＸ方向の位置が略同一位置である、上記［３］又は［４］に記載の光導波路の検査方法。
［７］第１の端面、及び／又は、第１の側面及び第２の側面が、コアパターンの光軸方向とＹ方向とにより形成される平面と略垂直をなす、上記［３］又は［４］に記載の光導波路の検査方法。
［８］複数の光導波路部は、Ｘ方向及びＹ方向と略垂直をなすＺ方向の少なくとも一方側に第１の側面をそれぞれ有し、第１の側面及び第１の端面に、又は、第１の端面及び第２の端面に、又は、第１の側面に光入力部及び光出力部をそれぞれ備える、上記［１］〜［７］のいずれかに記載の光導波路の検査方法。
［９］複数の光導波路部は、第１の端面に光出力部をそれぞれ備える、上記［８］に記載の光導波路の検査方法。
［１０］光導波路集合体を個片化して、複数の光導波路を作製したとき、光導波路の第１の端面と、第１の側面部及び／又は第２の側面部が、外部の筐体の位置合わせの基準面として使用できる、上記［３］又は［４］に記載の光導波路の検査方法。
［１１］切断しろは、コアパターンの材質及び／又はクラッド層の材質からなる、上記［１］〜［１０］のいずれかに記載の光導波路の検査方法。
［１２］複数の光導波路部は、Ｘ方向及びＹ方向と略垂直をなすＺ方向の少なくとも一方側に第２の側面をそれぞれ有し、複数の光導波路部の第２の側面上に、隣接する光導波路部を接続する保持基板を備え、切断しろは保持基板からなる、上記［１］〜［１０］のいずれかに記載の光導波路の検査方法。
［１３］合否判定工程は、コアパターンの光の相対損失を算出する上記［１］〜［１２］のいずれかに記載の光導波路の検査方法。
［１４］合否判定工程は、光導波路の第１の側面部とコアパターンとの間の距離を算出する、上記［３］又は［４］に記載の光導波路の検査方法。
［１５］合否判定工程は、光導波路の第１の側面部と第２の側面部との間の距離を算出する、上記［３］又は［４］に記載の光導波路の検査方法。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、効率的な光導波路の検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法で使用する光導波路集合体を説明するための図である。
【図２】図２は、光導波路検査装置の概略図である。
【図３】図３は、光導波路検査装置による光導波路の検査を説明するための図である。
【図４】図４は、光導波路集合体を個片化する工程を説明するための図である。
【図５】図５は、焦点距離測定工程を説明するための図である。
【図６】図６は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例３に使用する光導波路集合体を説明するための図である。
【図７】図７は、外部の筐体に取り付けた光導波路を示す図である。
【図８】図８は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例３に使用する光導波路集合体におけるコアパターンの光軸方向とＹ方向とにより形成される平面を説明するための図である。
【図９】図９は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例３を説明するための図である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例４に使用する光導波路集合体を説明するための図である。
【図１１】図１１は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例５に使用する光導波路集合体を説明するための図である。
【図１２】図１２は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法の変形例６に使用する光導波路集合体を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施形態の光導波路の検査方法を説明する。なお、本発明の一実施形態の光導波路の検査方法は本発明の光導波路の検査方法を限定しない。本発明の一実施形態における光導波路の検査方法は、光導波路集合体を用いて光導波路の検査を実施する。まず、図１を参照して、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法に使用する光導波路集合体について説明する。図１（ａ）は、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法で使用する光導波路集合体の斜視図であり、図２（ｂ）は、その光導波路集合体をＸ方向から見たときの図である。
【０００９】
図１（ａ）に示すように、光導波路集合体１は、Ｘ方向にそれぞれ延在する複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃと、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれの間に設けられた切断しろ４０ａ，４０ｂとを有する。そして、光導波路集合体１を個片化することにより光導波路が得られる。
【００１０】
複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれは、１つ以上のコアパターン２１とコアパターン２１を埋設するクラッド層２２とを備える。また、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれは、コアパターン２１に光を入射させる光入力部２５とコアパター２１を通過した光を出射させる光出力部２３とを備える。さらに、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃは、Ｘ方向と略垂直をなすＹ方向に並列する。なお、略垂直としたのは、光導波路集合体１が歪んだり反ったりする場合があり、その場合、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃが並ぶ方向が、Ｘ方向と垂直をなす方向から多少ずれる場合があるからである。
【００１１】
図１（ａ）に示すように、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれは、Ｘ方向の一方の端に第１の端面３１を有し、他方の端に第２の端面３２を有する。また、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれは、Ｘ方向及びＹ方向と略垂直をなすＺ方向の一方側に第１の側面３５を有し、他方側に第２の側面３６を有する。なお、第１の端面３１、第２の端面３２、第１の側面３５及び第２の側面３６は、光入力部及び／又は光出力部を有する面である場合、光の入出力に悪影響のない範囲の平坦面（又は曲面）であればよく、コネクタ等の外部の筐体に嵌合させる部分の面である場合、嵌合に悪影響のない範囲で平坦面（又は曲面）であればよく、さらに検査時に測定が可能である範囲で、傾斜していても湾曲していても問題はない。上述する光入力部２３及びそれと対をなす光出力部２５は、Ｘ方向に略平行に配置させているとよい。これにより光導波路の検査を順次行うことが容易となる。
【００１２】
コアパターン２１は、クラッド層２２よりも屈折率が高い透明な樹脂からなり、光信号はコアパターン２１の中を伝搬する。コアパターン２１のＺ方向の厚さは特に限定されないが、通常は１０〜１００μｍである。クラッド層２２は、コアパターン２１よりも屈折率が低い樹脂からなる。これにより、コアパターン２１とクラッド層２２との間の界面に入射した光は反射するようになり、コアパターン２１から光信号が漏れ出すことを抑制できる。
【００１３】
光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１では、コアパターン２１の端面が露出しており、そのコアパターン２１の露出部分が光導波路部２０ａ〜２０ｃの光出力部２３となる。すなわち、光導波路部２０ａ〜２０は、第１の端面３１に光出力部２３を備える。また、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第２の端面３２側のコアパターン２１の端部にはミラー２４が設けられている。そして、ミラ−２４に光を入射させる光入力部２５が光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面３５の第２の端面３２の近傍に設けられている。なお、光導波路部は、コアパターンの光軸上の２箇所にミラーを備え、第１の側面に光を入射し、第１の側面から光を出力するミラー付き光導波路部であってもよい。また、光導波路部は、第１の端面及び第２の端面に光出力部及び光入力部をそれぞれ備えるようにしてもよい。すなわち、複数の光導波路部は、第１の端面及び第２の端面に、又は、第１の側面に光入力部及び光出力部を備えてもよい。
【００１４】
図１（ｂ）に示すように複数の光導波路部２０ａ〜２０ｂのＹ方向のピッチ間距離（Ｐ１，Ｐ２）は任意の距離に規定されている。なお、ピッチ間距離（Ｐ１，Ｐ２）が規定されていれば、ピッチ間距離Ｐ１とピッチ間距離Ｐ２とは同一であってもよいし、異なっていてもよい。複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのＹ方向のピッチ間距離とは、隣接する光導波路部２０ａ〜２０ｃのＹ方向の中心１３間の距離である。これにより、１つの光導波路部の検査が終了した後、光導波路集合体１をＹ方向に、ピッチ送りしただけで、次の光導波路部（先とは別の光導波路部）を検査することが可能となり、光導波路部２０ａ〜２０ｃの検査を効率的に実施できる。なお、ピッチ送りは、後述の光導波路集合体１と、光照射部１１０及び撮像部１４０とをＹ方向に相対移動させる移動工程であり、少なくともＹ方向の成分を有する相対移動である。なお、上記相対移動は、複数のコアパターンを有する光導波路部２０ａ〜２０ｃにおいて、該複数のコアパターン２１の光出力部２３や、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃの光出力部２３が、同一の視野に入りきれない場合に行われる。本発明の一実施形態における光導波路の検査方法において、光導波路集合体１はＹ方向に光導波路部２０ａ〜２０ｃが配列されているため、少なくとも１回以上の相対移動が行われる。
【００１５】
検査する際に個片化された光導波路をそれぞれ検査するための後述の可動ステージに設置するのではなく、光導波路集合体１を一括して、その可動ステージに設置できるため、１つの光導波路当たりの設置時間も短縮できる。また、検査完了後に光導波路を取り外す際も、光導波路集合体１として一括して取り外しが可能であるため、１つの光導波路当たりの取り外し時間も短縮できる。さらに、上記のように光導波路集合体１の状態で、光導波路を可動ステージに設置及び取り外しを行うため、可動ステージに設置及び取り外しを行う回数が、個片化された光導波路をそれぞれ可動ステージに設置及び取り外しを行う回数よりも減少する。したがって、異物等の付着によって光導波路を汚染したり、傷つけたりするリスクを低減することができる。
【００１６】
複数の光導波路部２０ａ〜２０ｂのＹ方向のピッチ間距離（Ｐ１，Ｐ２）が同一である場合、１つの光導波路部の検査が終了した後、次の光導波路部を検査するために実施する光導波路集合体１のＹ方向のピッチ送りの距離を一定にできるので、光導波路部２０ａ〜２０ｃの検査をさらに効率的に実施できる。
【００１７】
切断しろ４０ａ，４０ｂは、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれの間に設けられている。切断しろ４０ａ，４０ｂは、光導波路部２０ａ〜２０ｂのクラッド層２２と同じ材質からなる。また、切断しろ４０ａ，４０ｂは、光導波路部２０ａ〜２０ｂのコアパターン２１と同じ材質からなるようにしてもよい。さらに、切断しろ４０ａ，４０ｂは、光導波路部２０ａ〜２０ｂのクラッド層２２と同じ材質と光導波路部２０ａ〜２０ｂのコアパターン２１と同じ材質とからなるようにしてもよい。これにより、光導波路部２０ａ〜２０ｃを形成するときに一緒に切断しろ４０ａ，４０ｂも形成できるので、切断しろ４０ａ，４０ｂの形成が容易になる。
【００１８】
光導波路集合体１は、例えば、以下のように作製される。クラッド層を形成するフィルムの上に、コアパターンを形成するためのフィルムを積層する。このフィルムに対して露光処理を行ない、コアパターンを形成する。そして、クラッド層を形成するフィルムをさらに積層して、光導波路集合体１を作製する。
【００１９】
また、光導波路集合体１を作製するとき、適宜光路変換ミラー、光入力部及び光出力部等を形成するための加工を行ってもよい。さらに、光導波路集合体には、光導波路部以外の箇所に、可動ステージに対してＸ方向及びＹ方向を規定する嵌合部等を有してもよい。例えば、後述の可動ステージに凸部を形成し、光導波路集合体に嵌合穴を設ける。そして、可動ステージの凸部と光導波路集合体の嵌合穴とを嵌合させることによって、任意の位置に光導波路集合体を可動ステージにセットできる。嵌合部は光導波路集合体に２箇所以上設けると、可動ステージに光導波路集合体を配置するときの角度ずれを抑制でいるため、光導波路集合体には、勘合部を２箇所以上設けることがより好ましい。
【００２０】
次に、図２及び図３を参照して、上述の光導波路集合体を用いて光導波路の検査を実施する、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法を詳細に説明する。図２は、本発明の一実施形態の光導波路の検査方法で使用する光導波路検査装置の概略図である。図３は、光導波路検査装置による光導波路の検査を説明するための図である。
【００２１】
本発明の一実施形態の光導波路の検査方法で使用する光導波路検査装置１００は、光照射部１１０、可動ステージ１２０、ステージコントローラ１３０、撮像部１４０及び画像取込処理装置１５０を含む。光照射部１１０は、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面３５の第２の端面３２の近傍に設けられた光入力部２５に光を照射する。光照射部１１０には、例えば、スーパールミネッセントダイオード（ＳＬＤ）光源、自然放出光（ＡＳＥ）光源、発行ダイオード（ＬＥＤ）等を用いることができる。可動ステージ１２０は、検査する光導波路集合体１を載置する。また、可動ステージ１２０は、光導波路集合体１のＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向に移動可能である。これにより、光導波路集合体１をＹ方向にピッチ送りすることができる。ステージコントローラ１３０は可動ステージ１２０のＸ方向及びＹ方向の移動を制御する。
【００２２】
光照射部１１０からの検査光は、光導波路集合体１における光入力部２５に照射される。光導波路集合体における検査光のスポット径は、少なくとも光入力部２５を内包する大きさであるとよく、複数の光入力部２５を内包する大きさであると、一括して光損失の検査が行えるためより好ましい。なお、検査光のスポットでは、光は均一な強度部分布を有していることが好ましい。これにより、光照射部１１０と光入力部２５との間に微視的な位置ズレが発生しても良好に検査が行える。
【００２３】
撮像部１４０は、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１を撮像し、画像データを生成する。第１の端面３１の光出力部２３から放出される光の輝度分布の分解能を確保するために、高階調のエリアイメージセンサを備えた撮像部を使用することが好ましい。画像取込処理装置１５０は、画像データを取得し、解析して、それに基づいて、光出力部２３の位置、形状及び寸法並びにコアパターン２１を通過した光の相対損失等を算出する。なお、相対損失とは、標準サンプルから出射された光強度を基準値とし、被検査サンプルから出射された光強度より算出される損失（デシベル）の差のことをいう。撮像部１４０は、少なくとも１つの光出力部２３を撮像できればよい。しかし、一視野で複数の光出力部２３を撮像できると検査効率を向上できるため、撮像部１４０は、複数の光出力部２３を一度に撮像できることがより好ましい。
【００２４】
本発明の一実施形態における光導波路の検査方法は、光照射部１１０から検査光を光導波路部２０ａ〜２０ｃの光入力部２５に照射し、撮像部１４０により光導波路部２０ａ〜２０ｃの光出力部２３を撮像し、画像データを生成する撮像工程（工程Ａ）と、画像データを解析し、光出力部２３の位置、寸法及び形状並びにコアパターン２１の光の相対損失の少なくとも１つを算出し、その算出結果に基づき光導波路部２０ａ〜２０ｃの合否判定を実施する合否判定工程（工程Ｂ）と、光照射部１１０及び撮像部１４０の位置関係を規定した状態で、光導波路集合体１と、光照射部１１０及び撮像部１４０とをＹ方向に相対移動させる移動工程（工程Ｃ）とを含む。
【００２５】
（工程Ａ）
工程Ａでは、光照射部１１０から検査光を光導波路部２０ａ〜２０ｃの光入力部２５に照射し、撮像部１４０により光導波路の光出力部２３を撮像する。例えば、図３（ａ）に示すように、光導波路部２０ａを検査するとき、光照射部１１０から領域２に検査光を照射して、光導波路部２０ａの第２の側面３５の３つの光入力部２５に光を照射する。そして、撮像部１３０を使用して、光導波路部２０ａの第１の端面３１を撮像して、光導波路部２０ａの第１の端面３１の画像データを生成する。
【００２６】
（工程Ｂ）
工程Ｂでは、画像データを解析し、光出力部２３の位置、寸法及び形状並びにコアパターン２１の光の相対損失の少なくとも１つを算出し、その算出結果に基づき光導波路の合否判定を実施する。例えば、光導波路部２０ａを検査するとき、画像取込処理装置１５０は、撮像部１４０において生成された画像データを解析して、光出力部２３の位置、形状及び寸法並びにコアパターン２１の光の相対損失等を算出する。そして、算出した値が、所定の基準を満足するか否かにより、光導波路集合体１が個片化されて得られる、光導波路部２０ａに対応する光導波路部の合否を判定する。
【００２７】
（工程Ｃ）
工程Ｃでは、光照射部１１０及び撮像部１４０の位置関係を規定した状態で、光導波路集合体１と、光照射部１１０及び撮像部１４０とをＹ方向に相対移動させる。例えば、光照射部１１０及び撮像部１４０の位置関係を保持した状態で、図３（ａ）の矢印３に示す方向に可動ステージ１２０を、光導波路集合体１における複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃが並ぶ方向であるＹ方向に所定距離移動させる。なお、光導波路集合体１と、光照射部１１０及び撮像部１４０とをＹ方向に相対移動させることができれば、可動ステージ１２０を固定して、光照射部１１０及び撮像部１４０の位置関係を規定した状態で光照射部１１０及び撮像部１４０を図３（ａ）の矢印３に示す方向の反対方向に移動させるようにしてもよい。さらに、可動ステージ１２０を図３（ａ）の矢印３に示す方向に移動させ、光照射部１１０及び撮像部１４０の位置関係を規定した状態で光照射部１１０及び撮像部１４０を図３（ａ）の矢印３に示す方向の反対方向に移動させるようにしてもよい。
【００２８】
そして、図３（ｂ）に示すように、光導波路部２０ａに隣接する光導波路部２０ｂについて、上記工程Ａ及び工程Ｂを実施する。さらに、工程Ｃを実施した後、光導波路部２０ｂに隣接する光導波路部２０ｃについても上記工程Ａ及び工程Ｂを実施する。
【００２９】
なお、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法による検査が終了した光導波路集合体は、分割されて、個片化された複数の光導波路となる。例えば、図４（ａ）に示すように、ブレードソー及びレーザー等を利用してＡ−Ａ一点鎖線に沿って光導波路集合体１を切断して光導波路集合体１の切断しろ４０ａ，４０ｂを除去する。その結果、図４（ｂ）に示すように、光導波路集合体１は個片化され、光導波路２０Ａ〜２０Ｃが得られる。
【００３０】
［変形例］
以上、説明した本発明の一実施形態における光導波の検査方法を次のように変形することができる。
［変形例１］
本発明の一実施形態における光導波路の検査工程の撮像工程（工程Ａ）の前に、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃにおいて少なくとも１つの光導波路を間引きながら撮像部１４０の光出力部２３に対する焦点距離を順次測定する焦点距離測定工程を実施し、撮像工程では、焦点距離測定工程において測定された焦点距離に基づいて、撮像部１４０が光出力部２３を撮像するときの焦点距離を決定するようにしてもよい。これにより、撮像部１４０が光出力部２３を撮像するときの焦点距離の決定に要する時間を短くすることができ、より効率的に光導波路の検査を実施することができる。
【００３１】
例えば、１１個の光導波路部（ａ〜ｋ）がＹ方向に並べて設けられた光導波路集合体について、光導波路検査装置１００の撮像部１４０をＹ方向に走査して、１つおきの光導波路部（ａ，ｃ，ｅ，ｇ，ｉ，ｋ）の光出力部に対する焦点距離を測定する。光導波路集合体が少し歪んでいたり反っていたりすると、図５（ａ）に示すように、光導波路によって、光出力部に対する焦点距離が変化する場合がある。このように変化した焦点距離を所定の曲線（例えば、サインカーブ及び正規曲線等）にカーブフィッティングさせ、カーブフィッティングさせた曲線Ｃに基づいて、図５（ｂ）に示すように、焦点距離を測定しなかった光導波路部（ｂ，ｄ，ｆ，ｈ，ｊ）の焦点距離を決定する。そして、撮像工程では、測定した焦点距離及びカーブフィッティングさせた曲線に基づいて決定した焦点距離で、光出力部２３を撮像する。この場合、Ｙ方向の相対移動の前、相対移動と同時、相対移動の後に、光導波路集合体１と、撮像部１１０とをＸ方向に相対移動させ所定の焦点距離に移動させればよい。Ｘ方向の相対移動の方法は、光照射部１１０と撮像部１４０とを同時にＸ方向に移動させてもよく、撮像部１４０のみをＸ方向に移動させてもよい。
【００３２】
［変形例２］
本発明の一実施形態における光導波路の検査方法で使用される光導波路集合体１に含まれる光導波路部２０ａ〜２０ｃの数は３であったが、１又は２でもよいし、４以上でもよい。また、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法で使用される光導波路集合体１の光導波路部２０ａ〜２０ｃのそれぞれに含まれるコアパターン２１の数は３であったが、１又は２でもよいし、４以上でもよい。
【００３３】
［変形例３］
本発明の一実施形態の光導波路の検査方法では、上述の図１に示す光導波路集合体１を使用した。しかし、図６に示すような次の光集合重合体１Ａを光導波路の検査に使用してもよい。光導波路集合体１Ａは、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃは、第１の端面３１、第１の端面３１に近接するＹ方向の両側に第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａを有してもよい。すなわち、図６に示す光導波路集合体１ＡにおけるＸ方向及びＹ方向により形成される平面に投影した形状が、いわゆる櫛形形状であってもよい。これにより、光導波路集合体１Ａをピッチ送りすることにより、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形の形状及び寸法、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の光出力部２３の形状及び寸法、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形を基準とした光出力部２３の位置等を、効率的に検査することができる。なお、第１の端面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは、コネクタ等の外部の筐体に嵌合させる部分の面である場合、嵌合に悪影響のない範囲で平坦面（又は曲面）であればよく、さらに検査時に測定が可能である範囲で、傾斜していても湾曲していても問題はない。また、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは、本発明の一実施形態における光導波路集合体１の切断しろ４０ａ，４０ｂの一部を、ブレードソー及びレーザー等を利用して除去することにより形成することができる。
【００３４】
また、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａの大きさは、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形（ＹＺ平面の外形）が観察できれば、特に限定されない。光導波路部２０ａ〜２０ｃがコネクタ等の外部の筐体と嵌合させて使用するものである場合、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａの大きさは、筐体と良好に嵌合可能な範囲の大きさであることが好ましい。これにより、光導波路の外部の筐体と嵌合させる部分の検査を効率的に実施できる。また、光出力部２３が第１の端面３１ではなく、第１の側面３５に設けられている場合、第１の端面３１からコアパターン（光出力部）までの距離は、筐体と良好に嵌合可能な距離であることが好ましい。
【００３５】
第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは切断しろ４０ａ，４０ｂから露出している部分であるので、上述の光導波路検査装置１００の撮像部１４０を使用して、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１を撮影すると、その撮影した画像から光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形を容易に認識することができる。そして、画像取込処理装置１５０は、撮影された第１の端面３１の画像を解析して、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形の形状及び寸法、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の光出力部２３の形状及び寸法、並びに光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１の外形を基準とした光出力部２３の位置等を算出することができる。
【００３６】
光導波路集合体１Ａの切断しろ４０ａ，４０ｂを除去して光導波路集合体１Ａを個片化された後も第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは残り、光導波路の端部形状を画定する。光導波路がコネクタ等の外部の筐体と嵌合させて使用するものである場合、外部の筐体と嵌合させる光導波路部２０ａ〜２０ｃの端部の形状及び寸法の精度は重要である。本発明の一実施形態の変形例２によれば、このような形状及び寸法の精度が重要である部分の検査を、光導波路集合体を個片化する前に実施できるので、その検査を効率的に実施することができる。
【００３７】
上述したように、光導波路集合体１Ａを個片化した後も第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは残る。したがって、図７（ａ）に示すように、外部の筐体６０Ａに光導波路２０を嵌合させて光導波路２０を使用する場合、光導波路２０の第１の端面３１、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａは、外部の筐体６０Ａの位置合わせの基準面として使用できる。これにより、外部の筐体６０Ａの位置合わせの基準面を光導波路部２０ａ〜２０ｃに効率的に検査できる。また、図７（ｂ）に示すように、外部の筐体６０Ｂに、光導波路２０の第１の端面３１及び第１の側面部３３ａを接触させて、外部の筐体６０に取り付ける場合、光導波路２０の第１の端面３１及び第１の側面部３３ａは、外部の筐体６０Ａの位置合わせの基準面として使用できる。さらに、図示しないが、外部の筐体に、光導波路２０の第１の端面３１及び第２の側面部３４ａを接触させて、外部の筐体に取り付ける場合、光導波路２０の第１の端面３１及び第２の側面部３４ａは、外部の筐体の位置合わせの基準面として使用できる。これらの場合も、光導波路部２０ａ〜２０ｃにおける外部の筐体６０の位置合わせの基準面を効率的に検査できる。
【００３８】
変形例２の光導波路集合体１Ａでは、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１のＸ方向の位置が略同一位置であることが好ましく、同じであることがより好ましい。これにより、観察光学系１４０の焦点を光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の端面３１に精度よく合わせることができ、第１の端面３１の形状や寸法に関する検査精度を上昇させることができる。本発明の光導波路集合体は、光導波路集合体に歪みやたわみがあっても、複数の光導波路部間が連結されているため、それぞれの光導波路の焦点距離は緩やかに変化することになり、焦点を合わせやすい。歪みやたわみのない光導波路集合体の場合には、観察光学系１４０を光導波路集合体のＹ方向に相対的に移動するだけで検査が可能となる。
【００３９】
図８に示すように、第１の端面３１、及び／又は、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａが、コアパターンの光軸７１方向とＹ方向とにより形成される平面７０と略垂直をなすことが好ましい。これにより、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａと第１の端面３１との位置関係、第１の端面３１の形状及び第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａの形状が同一視野から検査可能になるので、光導波路部２０ａ〜２０ｃの検査をさらに効率的に実施できる。なお、第１の端面３１が光出力部を有する面である場合、光の出力に悪影響のない範囲で、及び／又は、検査時に測定が可能である範囲で、第１の端面３１とコアパターンの光軸７１方向及びＹ方向とにより形成される平面７０とがなす角度は９０°からずれていてもよい。また、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａがコネクタ等の外部の筐体に嵌合させる部分の面である場合、嵌合に悪影響のない範囲で、及び／または検査時に測定が可能である範囲で、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａと、コアパターンの光軸７１方向及びＹ方向とにより形成される平面７０とがなす角度は９０°からずれていてもよい。
【００４０】
上述の光導波路集合体１Ａを使用して光導波路の検査を実施する場合、光導波路の検査で、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面部３３ａとコアパターン２１との間の距離を測定する検査を実施してもよい。また、光導波路の第１の側面部３３ａと第２の側面部３４ａとの間の距離を測定する検査を実施してもよい。
【００４１】
例えば、図９（ａ）に示すように、上述の光導波路検査装置１００により、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面３３の画像を取得し、その画像を解析して第１の側面部３３ａと第１の端面３１の３つの光出力部２３の中心との間のそれぞれの距離（Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３）を算出することにより、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面部３３ａとコアパターン２１との間の距離を測定する検査を実施してもよい。これにより、第１の端面３１の外形を基準とした光出力部２３の位置の検査を効率的に実施できる。また、図９（ｂ）に示すように、上述の光導波路検査装置１００により、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面３３の画像を取得し、その画像を解析して第１の側面部３３ａと第２の側面部３４ａとの間の距離（Ｙ４）を算出することにより、光導波路部２０ａ〜２０ｃの第１の側面部３３ａと第２の側面部３４ａとの間の距離を測定する検査を実施してもよい。これにより、第１の端面３１の外形の検査を効率的に実施できる。
【００４２】
［変形例４］
上述の変形例３の光導波路の検査では、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃが、第１の側面部３３ａ及び第２の側面部３４ａを有する光導波路集合体１Ａを使用した。しかし、図１０に示すように、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃが第２の端面３２に近接するＹ方向の両側に第３の側面部３３ｂ及び第４の側面部３４ｂをさらにそれぞれ有する光導波路集合体１Ｂを使用して光導波路の検査を実施してもよい。すなわち、図１０に示す光導波路集合体１ＢにおけるＸ方向及びＹ方向により形成される平面に投影した形状が、いわゆる魚の骨型形状であってもよい。これにより、光導波路集合体１Ｂの歪みや反りを低減することができ、光導波路の検査をさらに効率的に実施することができる。
【００４３】
［変形例５］
図１１に示すように、複数の光導波路部２０ａ〜２０ｃが、光導波路部２０ａ〜２０ｃの中央の領域において、Ｙ方向側の両面に第５の側面３３ｃ及び第６の側面３４ｃをそれぞれ有する光導波路集合体１Ｃを使用して光導波路の検査を実施してもよい。すなわち、図１１に示す光導波路集合体１ＣにおけるＸ方向及びＹ方向により形成される平面に投影した形状が、いわゆる梯子型形状であってもよい。これにより、光導波路集合体１Ｃの歪みや反りを低減することができ、光導波路の検査をさらに効率的に実施することができる。
【００４４】
［変形例６］
以上の一実施形態の光導波路の検査方法では、切断しろ４０ａ，４０ｂは、光導波路部２０ａ〜２０ｂのクラッド層２２と同じ材質からなる光導波路集合体１を使用した。しかし、図１２に示すように、複数の光導波路部の第２の側面３６上に、隣接する光導波路部２０ａ〜２０ｃを接続する保持基板８０を備え、切断しろ４０ａ，４０ｂは、保持基板８０からなる光導波路集合体１Ｄを使用してもよい。これにより、光導波路部２０ａ〜２０ｃを保持基板８０から剥がすことにより、光導波路集合体１Ｄを容易に個片化することができる。
【００４５】
なお、このような光導波路集合体１Ｄは、本発明の一実施形態における光導波路の検査方法で使用した光導波路集合体１に保持基板８０を貼り付けた後、ダイサー等を使用して、保持基板８０を切断せずに光導波路集合体１を切断することにより作製することができる。
【００４６】
保持基板８０には、例えば、ガラスエポキシ樹脂基板、セラミック基板、ガラス基板、シリコン基板、プラスチック基板、金属基板、樹脂層付き基板、金属層付き基板、プラスチックフィルム、樹脂層付きプラスチックフィルム、金属層付きプラスチックフィルム及び電気配線板等が挙げられる。保持基板８０には、可撓性があるフレキシブルな基板でも、非可撓性の固い材質の基板でも使用することができる。保持基板８０の厚さは、特に限定されないが、例えば、５μｍ〜１０ｍｍであることが好ましく、５μｍ〜２５０μｍであることがさらに好ましい。
【００４７】
以上で説明した実施形態及び変形例はあくまで例示に過ぎず、発明の特徴が損なわれない限り本発明はこれらの内容に限定されない。また、発明の特徴が損なわれない限り、以上で説明した実施形態及び変形例又は変形例同士を組み合わせてもよい。
【実施例】
【００４８】
以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、実施例は、本発明を限定するものではない。
【００４９】
［実施例１］
（光導波路集合体の作製）
基板としてポリイミドフィルム（ポリイミド；ユーピレックスＲＮ（宇部日東化成（株）製）、厚み；２５μｍ）を大きさ１００×１００μｍに裁断し、該基板上に、屈折率が１．５３６となる１５μｍ厚の下部クラッド層を形成した。
【００５０】
次に、上記の下部クラッド層面にコア層形成用の樹脂層（厚さ；４５μｍ）を積層し、露光及び現像することによって、幅４５μｍ×高さ４５μｍ、長さ９ｃｍのコアパターンを２５０μｍピッチで１２ＣＨ配列（１つの光導波路に対して１２ＣＨのコアパターン）し、該１２ＣＨのコアパターンの組みを７ｍｍ間隔で５組配置した（コアパターンの屈折率；１．５５５）。次いで、光導波路部の両外側（光導波路集合体のＹ方向の端部付近）にφ３．１ｍｍの嵌合用の穴をドリルで形成した。
【００５１】
次いで、コアパターン形成面側からコアパターンの側面及び上面を覆うように上部クラッド層を形成し、光導波路シートとした。形成後の上部クラッド層の厚みはコアパターンの上面から３０μｍであった。
【００５２】
得られた光導波路シートの上部クラッド層側から、ダイシングソー（ＤＡＣ５５２、（株）ディスコ）を用いて、コアパターンの両端面のそれぞれ１ｃｍ内側の位置でコアパターンに直交する方向（Ｙ方向）に光導波路シートを切断した。光導波路シートの一方のコアパターン端面から１ｃｍ内側の位置では、４５°の傾斜面が形成されるように切断し、傾斜面４５°の光路変換ミラーを形成した。もう一方の端面から１ｃｍ内側の位置では光導波路シートの平面方向に対して垂直な端面を形成した。この垂直な端面が光導波路部の第１の端面となる。なお、光伝搬に用いられるコアパターン長は７ｃｍであった。
【００５３】
次に、１２ＣＨのコアパターンが並ぶ方向における１２ＣＨのコアパターンの両側を、１２ＣＨのコアパターンが中心になるように、上記垂直な端面から３．５ｃｍの位置まで、上記ダイシングソーで切削し、第１の側面部及び第２の側面部を形成し、１２個のコアパターンをそれぞれ有する５つの光導波路部を備えた光導波路集合体を形成した。なお、１つの光導波路部における第１の側面部と第２の側面部との間の距離の設計値は２．９９８ｍｍ（許容値±０．００２ｍｍ）であった。
【００５４】
（光導波路集合体の検査）
得られた光導波路集合体を、光導波路の形状及び光損失を測定する測定機である光テスタ（商品名；ＯＰＴ−００２、シナジーオプトシステムズ（株）製）のＸＹＺステージが可動するサンプルステージ上にセットし、光導波路部に設けられたミラーに検査光が入射できる位置に、光源を配置し、第１の端面方向に受光部（ＣＣＤ）を配置した。なお、検査に先立ってあらかじめ光損失値が既知の基準サンプル（２．５ｄＢ）を、上記光テスタを用いて光量を測定し、相対損失算出時の基準光量を測定した。なお、サンプルステージにはφ３．０ｍｍの嵌合用の凸部が２箇所形成されており、先に光導波路集合体に形成した嵌合穴と、該凸部を併せてセットした。
【００５５】
次に、受光部方向から落射照明にて光導波路部の第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離を測定した。その後に、３ＣＨごとに４回サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に移動させて第１端面方向から出射される光損失の相対損失を測定した。さらに、第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離に対する出射される光の位置を測定した。
【００５６】
次いで、サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に７ｍｍ移動させ、上記と同様に第１の側面及び第２の側面間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置をそれぞれ測定した。上記の測定を５回繰り返し、光導波路部の測定を行った。測定に要した時間は２分であった。また、サンプルステージへのセットは容易であり、０．５分で可能であった。
【００５７】
（光導波路の評価）
上記光導波路集合体の切断しろ部分（３．５ｃｍ（Ｘ方向））を上記ダイシングソーで切断し、光導波路を個片化した。上記検査で第１の側面及び第２の側面間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置が良好であった個片化した光導波路をコネクタ（嵌合部幅３．０ｍｍ）に嵌め併せたところ、良好に位置合わせができ、光損失も良好であった。
【００５８】
［実施例２］
（光導波路集合体の作製及び検査）
コアパターン長を２．０ｃｍにし、切断しろ部分を１．０ｃｍにした以外は実施例１と同様の方法で光導波路集合体を作製した。得られた光導波路集合体を光テスタ（商品名；ＯＰＴ−００２、シナジーオプトシステムズ（株）製）のＸＹＺステージが可動するサンプルステージ上にセットし、光導波路に設けられたミラーに検査光が入射できる位置に、光源を配置し、第１の端面方向に受光部（ＣＣＤ）を配置した。なお、検査に先立ってあらかじめ光損失値が既知の基準サンプル（２．０ｄＢ）を、上記光テスタを用いて光量を測定し、相対損失算出時の基準光量を測定した。
【００５９】
次に、受光部方向から落射照明にて光導波路の第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離を測定した。その後に、３ＣＨごとに４回サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に移動させて第１端面方向から出射される光損失の相対損失を測定した。さらに、第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離に対する出射される光の位置を測定した。本光導波路集合体はゆがみが発生していたため、測定視野ごとにＣＣＤをＹ方向に前後させて±１０μｍの範囲でオートフォーカスを行った。
【００６０】
次いで、サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に７ｍｍ移動させ、上記と同様に第１の側面部及び第２の側面部間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置をそれぞれ測定した。上記の測定を５回繰り返し、光導波路の測定を行った。本光導波路集合体はゆがみが発生していたため、７ｍｍ移動させるごとに前測定箇所を基準にしてＣＣＤをＹ方向に前後させて±１０μｍの範囲でオートフォーカスを行った。
【００６１】
測定に要した時間は２．５分であった。また、サンプルステージへのセットは容易であり、０．５分で可能であった。
【００６２】
［実施例３］
（光導波路集合体の作製）
光導波路シートの各コアパターンの両端面からそれぞれ１ｃｍ内側の位置にミラーをそれぞれ形成した。次に上部クラッド層形成面側から保持基板としてパナプロテクトＥＴ−５０ｋ−Ｂ（商品名、パナック（株））をラミネートした。そして、１２ＣＨのコアパターンの両側を、保持基板を切断しないように、１２ＣＨのコアパターンが中心になるように、切断された光導波路シートの垂直な端面から３．５ｃｍの位置まで、上記ダイシングソーで切削し、１２個のコアパターンをそれぞれ有する５つの光導波路部を備えた光導波路集合体を形成した。この光導波路集合体の光導波路部における光入力部及び光出力部は、上述の第１の側面に該当する面に設けられている。
【００６３】
なお、１つの光導波路部における第１の側面部と第２の側面部との間の設計値は２．９９８ｍｍ（許容値±０．００２ｍｍ）とし、コアパターン長を８ｃｍとし、ミラー位置は第１の端面及び第２の端面からそれぞれ０．５ｍｍ内側の位置になるようにした。
【００６４】
（光導波路集合体の検査）
得られた光導波路集合体を光テスタ（商品名；ＯＰＴ−００２、シナジーオプトシステムズ（株）製）のＸＹＺステージが可動するサンプルステージ上にセットし、光導波路に設けられた一方のミラーに検査光が入射できる位置に、光源を配置し、もう一方のミラー上に受光部（ＣＣＤ）を配置した。なお、検査に先立ってあらかじめ光損失値が既知の基準サンプル（３．５ｄＢ）を、上記光テスタを用いて光量を測定し、相対損失算出時の基準光量を測定した。
【００６５】
次に、受光部方向から落射照明にて光導波路の第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離を測定し、その後に、３ＣＨごとに４回サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に移動させて一方のミラーから出射される光損失の相対損失を測定し、さらに、第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離に対する出射される光の位置を測定した。
【００６６】
次いで、サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に７ｍｍ移動させ、上記と同様に第１の側面部及び第２の側面部間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置をそれぞれ測定した。上記の測定を５回繰り返し、光導波路の測定を行った。測定に要した時間は２．０分であった。また、サンプルステージへのセットは容易であり、０．５分で可能であった。
【００６７】
（光導波路の評価）
上記光導波路集合体の光導波路部を保持基板からそれぞれ剥離して、光導波路を個片化した。上記検査で第１の側面部及び第２の側面部間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置が良好であった個片化した光導波路をコネクタ（嵌合部幅３．０ｍｍ）に嵌め併せたところ、良好に位置合わせができ、光損失も良好であった。
【００６８】
［比較例１］
（光導波路の作製及び検査）
第１の側面部及び第２の側面部を形成しなかった点を除いて実施例１と同様の方法で作製した光導波路集合体を個片化して得られた５本の光導波路を光テスタ（商品名；ＯＰＴ−００２、シナジーオプトシステムズ（株）製）のＸＹＺステージが可動するサンプルステージ上にそれぞれ配置し、光導波路に設けられたミラーに検査光が入射できる位置に、光源を配置し、第１の端面方向に受光部（ＣＣＤ）を配置した。尚、検査に先立ってあらかじめ光損失値が既知の基準サンプル（２．５ｄＢ）を、上記光テスタを用いて光量を測定し、相対損失算出時の基準光量を測定した。
【００６９】
次に、受光部方向から落射照明にて光導波路の第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離を測定し、その後に、３ＣＨごとに４回サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に移動させて第１端面方向から出射される光損失の相対損失を測定し、さらに、第１端面方向から第１の側面部及び第２の側面部間の距離に対する出射される光の位置を測定した。
【００７０】
次いで、サンプルステージを光導波路集合体のＹ方向に７ｍｍ移動させ、上記と同様に第１の側面部及び第２の側面部間の距離及び、相対損失の測定、出射光の位置をそれぞれ測定した。上記の測定を５回繰り返し、光導波路の測定を行った。すると、それぞれの端面位置（Ｘ方向）はそれぞれの測定視野ごとにランダムに±５００μｍずれており、ＣＣＤを用いたオートフォーカスも時間がかかった。また、光導波路のミラーと光源との位置関係にもばらつきがあり、光導波路の位置を調整する必要であった。測定に要した時間は１５分であった。また、サンプルステージへのセットにも１０分要した。
【００７１】
［結果］
以上の実施例１〜３と比較例１とを比較することにより、本発明によれば、光導波路の検査を効率的に実施できることがわかる。
【符号の説明】
【００７２】
１，１Ａ〜１Ｄ  光導波路集合体
２０，２０Ａ〜２０Ｃ  光導波路
２０ａ〜２０ｃ  光導波路部
２１  コアパターン
２２  クラッド層
２５  光入力部
２３  光出力部
２４  ミラー
４０ａ，４０ｂ  切断しろ
６０Ａ，６０Ｂ  外部の筐体
８０  保持基板
１００  光導波路検査装置
１１０  光照射部
１２０  可動ステージ
１３０  ステージコントローラ
１４０  撮像部
１５０  画像取込処理装置
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図３】
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【図４】
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【図９】
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