(57)【要約】【課題】２つの異なる別の空間の間で、対象試料を受け渡しができ、対象試料を加熱または乾燥処理して２つの異なる別の空間との間での対象試料の受け渡しをする作業の効率を向上できるパスボックス式乾燥炉を提供する。【解決手段】パスボックス式乾燥炉１は、第１空間ＳＰ１と第１空間ＳＰ１とは異なる第２空間ＳＰ２を隔てる部分に配置される。このパスボックス式乾燥炉１は、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２をつなぐ収容空間１３を有する本体部３と、本体部３に配置されて収容空間１３の第１空間ＳＰ１側を開閉可能に閉じる第１開閉扉１１と、本体部３に配置されて収容空間１３の第２空間ＳＰ２側を開閉可能に閉じる第２開閉扉１２を有し、本体部３は、加熱炉または乾燥炉である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１空間と前記第１空間とは異なる第２空間を隔てる部分に配置されるパスボックス式乾燥炉であって、
前記第１空間と前記第２空間をつなぐ収容空間を有する本体部と、
前記本体部に配置されて前記収容空間の前記第１空間側を開閉可能に閉じる第１開閉扉と、
前記本体部に配置されて前記収容空間の前記第２空間側を開閉可能に閉じる第２開閉扉と、を有し、
前記本体部は、加熱炉または乾燥炉であることを特徴とするパスボックス式乾燥炉。
【請求項２】
前記第１開閉扉が開いているときには、前記第２開閉扉を閉じて施錠し、前記第２開閉扉が開いているときには、前記第１開閉扉を閉じて施錠するための施錠装置を有することを特徴とする請求項１に記載のパスボックス式乾燥炉。
【請求項３】
前記本体部は、前記収容空間内の温度を検知する温度センサを有することを特徴とする請求項１または２に記載のパスボックス式乾燥炉。
【請求項４】
前記本体部は、前記収容空間内の圧力を検知する圧力センサを有することを特徴とする請求項３に記載のパスボックス式乾燥炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方の空間と他方の空間を仕切る壁に配置されて、一方の空間から他方の空間へ対象物を移動できるパスボックス式乾燥炉に関する。
【背景技術】
【０００２】
乾燥パスボックスは、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている乾燥パスボックスは、箱型のドライブースの反対側の位置にそれぞれ設けられている。ドライブースは、クリーンルーム等の清浄な雰囲気内に設置される。
【０００３】
各乾燥パスボックスは、ほぼ直方体のボックス本体を有し、開閉可能な扉を有している。ドライブースと乾燥パスボックスとの間の開口部は、スライド式の扉により開閉自在になっている。乾燥パスボックスのボックス本体内には、複数のローラと、これらのローラの上をスライド可能なテーブルを有する。ボックス本体は、エア供給口と排気口を有し、減湿処理された低露点空気は、ダクトを通じてドライブースのエア供給口と、乾燥パスボックスのボックス本体のエア供給口に供給できるようになっている。
【０００４】
物品をドライブース内に搬入する際には、室側の乾燥パスボックスのボックス本体の扉を開けて、ボックス本体内のテーブルを引き出してその上に物品を載せる。そして、このテーブルを乾燥パスボックスのボックス本体内に戻して扉を閉じる。
【０００５】
物品は、しばらくの間乾燥パスボックスのボックス本体内に留めておくことにより、物品は乾燥処理されて物品に付着された水分が除去される。その後、乾燥パスボックスのボックス本体内の温度は、物品搬入前の露点温度までに回復する。そして、ドライブース側のスライド扉を開放して、テーブルをドライブース内に延ばすことにより、ドライブース内の搬送装置が、テーブルから物品を受け取って所定の処理や保管等を実施する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−６１７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１に開示されている２つの乾燥パスボックスはドライブースに接合されており、減湿処理された低露点空気をドライブースと２つの乾燥パスボックス内に供給するようになっている複雑で大型の構造体である。ドライブースと２つの乾燥パスボックスは一体の構造体であるので、この複雑で大型の構造体になっているドライブースと２つの乾燥パスボックスは、２つの異なる別の空間において物品を移動しようとする作業、例えばクリーンルームのダーティ側の第１空間内にある物品を、クリーンルームのクリーン側の第２空間内に移す作業を行うために、第１空間と第２空間との間を隔てる壁に設置することが難しい。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、２つの異なる別の空間の間で、対象試料を受け渡しができ、対象試料を加熱または乾燥処理して２つの異なる別の空間との間での対象試料の受け渡しをする作業の効率および場所の効率的活用を向上できるパスボックス式乾燥炉を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成するため、請求項１に記載のパスボックス式乾燥炉は、第１空間と前記第１空間とは異なる第２空間を隔てる部分に配置されるパスボックス式乾燥炉であって、前記第１空間と前記第２空間をつなぐ収容空間を有する本体部と、前記本体部に配置されて前記収容空間の前記第１空間側を開閉可能に閉じる第１開閉扉と、前記本体部に配置されて前記収容空間の前記第２空間側を開閉可能に閉じる第２開閉扉と、を有し、前記本体部は、加熱炉または乾燥炉であることを特徴とする。
【００１０】
請求項１に記載のパスボックス式乾燥炉は、簡単な構造であるので、対象材料を受け渡しする際に、２つの異なる別の空間を隔てる壁部に容易に設置することができ、本体部の第１開閉扉と第２開閉扉により収容空間を開けることで、２つの異なる別の空間の間で、対象試料を受け渡しができ、対象試料を加熱または乾燥処理して２つの異なる別の空間との間での対象試料の受け渡しをする作業の効率を向上できる。
【００１１】
請求項２に記載のパスボックス式乾燥炉では、前記第１開閉扉が開いているときには、前記第２開閉扉を閉じて施錠し、前記第２開閉扉が開いているときには、前記第１開閉扉を閉じて施錠するための施錠装置を有することを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載のパスボックス式乾燥炉では、収容空間は、第１開閉扉を開けることで一方の空間につなげることができ、収容空間は、第２開閉扉を開けることで他方の空間につなげることができ、２つの異なる別の空間が直接つながらないようにすることができる。
【００１３】
請求項３に記載のパスボックス式乾燥炉では、前記本体部は、前記収容空間内の温度を検知する温度センサを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載のパスボックス式乾燥炉では、本体部の収容空間を加熱炉または乾燥炉として用いる際に、温度センサを用いて収容空間の温度を確認することができる。
【００１５】
請求項４に記載のパスボックス式乾燥炉では、前記本体部は、前記収容空間内の圧力を検知する圧力センサを有することを特徴とする。
【００１６】
請求項４に記載のパスボックス式乾燥炉では、本体部の収容空間を大気、加圧、真空化の加熱炉または乾燥炉として用いる際に、圧力センサを用いて収容空間内の圧力を確認することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、２つの異なる別の空間の間で、対象試料を受け渡しができ、対象試料を加熱または乾燥処理して２つの異なる別の空間との間での対象試料の受け渡しをする作業の効率を向上できるパスボックス式乾燥炉を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のパスボックス式乾燥炉の実施形態を備える２つの異なる空間を示す側面図である。
【図２】図１に示すパスボックス式乾燥炉と２つの異なる空間を示す斜視図である。
【図３】第１開閉扉が開いているが、第２開閉扉は閉じている状態を示す平面図である。
【図４】第１開閉扉が閉じているが、第２開閉扉は開いている状態を示す平面図である。
【図５】専用台車を示す斜視図である。
【図６】専用台車の使用例を示す図である。
【図７】図５と図６に示す専用台車とは異なる構造の専用台車の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態のパスボックス式乾燥炉１を備える２つの異なる空間ＳＰ１、ＳＰ２を示す側面図である。図２は、図１に示すパスボックス式乾燥炉１と２つの異なる空間ＳＰ１、ＳＰ２を示す斜視図である。
【００２１】
図１と図２に示すように、パスボックス式乾燥炉１は、壁部２に配置されている。この壁部２は、クリーンルームのダーティ側の第１空間ＳＰ１と、クリーンルームのクリーン側の第２空間ＳＰ２を隔てている隔壁部である。クリーンルームのダーティ側の第１空間ＳＰ１と、クリーンルームのクリーン側の第２空間ＳＰ２とは、壁部２とパスボックス式乾燥炉２により隔絶されている。
【００２２】
図１と図２に示すパスボックス式乾燥炉１は、壁部２に配置されていることで、対象試料は、ダーティ側の第１空間ＳＰ１から、パスボックス式乾燥炉１内に移してパスボックス式乾燥炉１内で、例えば真空状態下で乾燥処理あるいは加熱処理を行った後に冷却して、パスボックス式乾燥炉１内からクリーン側の第２空間ＳＰ２内に移すことができるようになっている。これにより、ダーティ側の第１空間ＳＰ１にある対象試料が、クリーン側の第２空間ＳＰ２を汚染したり、クリーン側の第２空間ＳＰ２内にコンタミネーションを起こす問題、すなわち、屑、、等のやを対象試料に付着したままで、クリーン側の第２空間ＳＰ２に持ち込んでしまうことを防ぐことができる。
【００２３】
図１と図２に示すパスボックス式乾燥炉１は、本体部３と、第１開閉扉１１と、第２開閉扉１２と、加熱部４と、温度センサ５と、圧力センサ６と、冷却部７等を有している。本体部３と第１開閉扉１１と第２開閉扉１２は、耐熱性を有する金属、例えばステンレス等により作られている。
【００２４】
図２に示すように、パスボックス式乾燥炉１の本体部３は、直方体の箱であり、上面部３Ａと、下面部３Ｂと、左右側面部３Ｃ、３Ｄと、第１前面部３Ｅと、第２前面部３Ｆを有している。本体部３は、その内部に、破線で示すように例えば直方体形状の収容空間１３を有している。この収容空間１３内には、加熱部４と、温度センサ５と、圧力センサ６と、冷却部７が配置されている。
【００２５】
図１と図２に示す１つまたは複数個の加熱部４は、収容空間１３内に配置でき、加熱部４としては例えばパイプヒータ等を使用でき、加熱部４には制御部１００から通電することで発熱して収容空間１３内を加熱あるいは乾燥するようになっている。１つまたは複数個の冷却部７は、収容空間１３内に配置でき、冷却部７には、図示しない冷却水供給部から、制御部１００の指令により冷却水が供給されることにより、収容空間１３内を冷却するようになっている。
【００２６】
図１と図２に示す温度センサ５は、収容空間１３内の温度を検出して、制御部１０に対して収容空間１３内の温度情報を通知する。圧力センサ６は、収容空間１３内の圧力を検出して、制御部１０に対して収容空間１３内の圧力情報を通知する。制御部１００は、この圧力情報に基づいて、収容空間１３内の圧力を検知することができる。
【００２７】
図１と図２に示すように、収容空間１３は、例えば長方形状の第１開口部２１と、第１開口部２１とは反対位置の例えば長方形状の第２開口部２２を有している。第１開口部２１は、第１空間ＳＰ１内に開口しており、第２開口部２２は、第２空間ＳＰ２内に開口している。
【００２８】
図３と図４は、パスボックス式乾燥炉１等を示す平面図であり、図３では、第１開閉扉１１が開いているが、第２開閉扉１２は閉じている。図４では、第１開閉扉１１が閉じているが、第２開閉扉１２は開いている。
【００２９】
図２と図３と図４に示すように、第１開閉扉１１は、第１開口部２１を、ヒンジ１１Ｈを介して開閉可能に密閉することができる。同様にして、第２開閉扉１２は、第２開口部２２を、ヒンジ１２Ｈを介して開閉可能に密閉することができる。なお、ヒンジ１１Ｈ、１２Ｈの設定位置は、第１開閉扉１１と第２開閉扉１２の左右端部のどちらの位置であっても良い。第１開閉扉１１は把持用の取っ手１１Ｔを有し、第２開閉扉は把持用の取っ手１２Ｔを有している。
【００３０】
図３では、第１開閉扉１１が開いているので、第１開口部２１が第１空間ＳＰ１内に開放されているが、第２開閉扉１２は閉じているので、第２開口部２２は第２開閉扉１２により密閉されているので、第２空間ＳＰ２にはつながっていない。また、図４では、第１開閉扉１１が閉じているので、第１開口部２１は第１開閉扉１１により密閉されているので、第１空間ＳＰ１にはつながっていない。第２開閉扉１２は開いているので、第２開口部２２は第２空間ＳＰ２内に開放されている。
【００３１】
また、図３と図４に示すように、本体部３は、第１開閉扉１１の第１施錠装置３１と、第２開閉扉１２の第２施錠装置３２を有している。第１施錠装置３１は、制御部１００の指令により第１開閉扉１１を施錠し、第２施錠装置３２は、制御部１００の指令により第２開閉扉１２を施錠する。第１施錠装置３１と第２施錠装置３２は、同様の構造を有している。第１施錠装置３１は、固定部材３１Ａと、電磁ソレノイド３１Ｂを有し、第２施錠装置３２は、固定部材３２Ａと、電磁ソレノイド３２Ｂを有している。固定部材３１Ａ、３２Ａは、ともにＬ字型であり、本体部３の側面部３Ｄに固定されている。この固定部材３１Ａ、３２Ａには、それぞれ電磁ソレノイド３１Ｂ、３２Ｂが取り付けられている。
【００３２】
第１開閉扉１１の端部には、係止用の穴１１Ｐが形成されており、第２開閉扉１２の端部には、係止用の穴１２Ｐが形成されている。図３に示すように、第１開閉扉１１が第１開口部２１を閉じて密閉した状態では、制御部１００の指令により電磁ソレノイド３１Ｂが作動して、電磁ソレノイド３１Ｂのロッド３１Ｃが、第１開閉扉１１の係止用の穴１１Ｐにはまり込むことで、第１開閉扉１１が開かないように施錠状態にすることができる。
【００３３】
同様にして、図４に示すように、第２開閉扉１２が第２開口部２２を閉じて密閉した状態では、制御部１００の指令により電磁ソレノイド３２Ｂが作動して、電磁ソレノイド３２Ｂのロッド３２Ｃが、第２開閉扉１１の係止用の穴１２Ｐにはまり込むことで、第２開閉扉１２が開かないように施錠状態にすることができる。
【００３４】
ただし、制御部１００の指令により、図３に示すように、第２施錠装置３２が、第２開閉扉１２を施錠している状態では、第１開閉扉１１は施錠を解除可能であり、図４に示すように、第１施錠装置３１が、第１開閉扉１１を施錠している状態では、第２開閉扉１２は施錠を解除可能になっている。
【００３５】
なお、図１と図２では、第１施錠装置３１と第２施錠装置３２は、図面の簡単化のために図示を省略している。
【００３６】
図１と図２に示すように、パスボックス式乾燥炉１の本体部３の上述した収容空間１３は、上述したように加熱源としての加熱部４と、冷却源としての冷却部７と、図示しない撹拌機構と、温度制御するための温度センサ５と制御部１００を有している。パスボックス式乾燥炉１の本体部３の収容空間１３は、処理しようする対象試料の種類により、大気圧状態化または加圧状態化、真空状態化をすることができる。
【００３７】
例えば、パスボックス式乾燥炉１の本体部３の収容空間１３内を真空化可能な装置とするためには、図２に示すように、真空ポンプ１９が配管１９Ａを介して収容空間１３に接続されている。真空ポンプ１９と配管１９Ａは、壁部２内に配置されている。これにより、制御部１００が真空ポンプ１９の動作を制御することで、収容空間１３内を真空雰囲気にすることができる。
【００３８】
このように、真空ポンプ１９を別途壁部２内に配置することで、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２がクリーンルームやドライルーム等に使用される場合には、真空ポンプ１９側から汚染したり、クリーン側の第２空間ＳＰ２内にコンタミネーションを起こさないようにするために、真空ポンプ１９はドライ化対応の真空ポンプにより構成するものとする。場合によっては、真空ポンプ１９は、例えば油回転式の真空ポンプを使用することができる。
【００３９】
次に、上述した構成を有するパスボックス式乾燥炉１の使用例を、図１から図４を参照して説明する。
【００４０】
概略的に使用時の動作を説明すると、図２において、処理をしようとする対象試料ＯＢは、ダーティ側の第１空間ＳＰ１から、パスボックス式乾燥炉１の収容空間１３内に移して、パスボックス式乾燥炉１の収容空間１３内では例えば真空化で乾燥処理あるいは加熱処理を行った後に冷却して、その後パスボックス式乾燥炉１内からクリーン側の第２空間ＳＰ２内に移すことができる。
【００４１】
詳細に使用時の動作を説明すると、図２に示す対象試料ＯＢは、ダーティ側の第１空間ＳＰ１にあり、図３に示すようにダーティ側の第１空間ＳＰ１側の第１開閉扉１１を開けて、この対象試料ＯＢは、この収容空間１３内に投入する。この場合には、第２開閉扉１２は施錠状態にあるので、第２開閉扉１２を、クリーン側の第２空間ＳＰ２側において誤って開いてしまうことが無い。すなわち、収容空間１３は第２空間ＳＰ２側に繋がってしまうことはない。
【００４２】
図１と図２に示すように、第１開閉扉１１が第１開口部２１を閉じて密閉して、第１開閉扉１１は施錠状態になる。従って、この場合には、第１開閉扉１１と第２開閉扉１２は共に施錠状態にあるので、第１開閉扉１１と第２開閉扉１２を、誤って開いてしまうことがないので、収容空間１３は第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２のいずれにもつながらない。
【００４３】
次に、図１の制御部１００は、真空ポンプ１９を作動して収容空間１３内を真空状態にし、加熱部４により対象試料ＯＢの加熱処理あるいは乾燥処理をする。これにより、収容空間１３内の対象試料ＯＢは、真空状態化で加熱処理あるいは乾燥処理を所定時間行える。この真空状態化での加熱処理あるいは乾燥処理の際には、制御部１００が、温度センサ５からの温度情報と、圧力センサ６からの圧力情報に基づいて、収容空間１３内の温度と圧力を監視している。
【００４４】
対象試料ＯＢの加熱処理あるいは乾燥処理が終わると、制御部１００は、冷却部７により所定温度まで冷却して、真空ポンプ１９を止めて収容空間１３内の真空状態を解除する。
【００４５】
次に、図４に示すように、制御部１００が電磁ソレノイド３２Ｂを作動させて、第２開閉扉１２の施錠状態を解除することで、クリーン側の第２空間ＳＰ２において第２開閉扉１２が開く。そして、処理の終わった対象試料ＯＢは、収容空間１３内からクリーン側の第２空間ＳＰ２内に払出しをすることができる。ただし、この払出しの場合には、第１開閉扉１１は施錠状態にあるので、第１開閉扉１１を、ダーティ側の第１空間ＳＰ１側において誤って開いてしまうことがなく、収容空間１３がダーティ側の第１空間ＳＰ１につながってしなうおそれはない。
【００４６】
このようにして、パスボックス式乾燥炉１を用いることで、対象試料ＯＢは、ダーティ側の第１空間ＳＰ１から、パスボックス式乾燥炉１の収容空間１３内に移してパスボックス式乾燥炉１の収容空間１３内で、例えば真空状態化で乾燥処理あるいは加熱処理を行った後に冷却する。その後、対象試料ＯＢは、パスボックス式乾燥炉１内からクリーン側の第２空間ＳＰ２内に移すことができる。簡単な構成を有し小型のパスボックス式乾燥炉１を用いることで、２つの異なる別の空間ＳＰ１、ＳＰ２との間で、対象試料ＯＢを受け渡しする際に、２つの異なる別の空間ＳＰ１、ＳＰ２を隔てる壁部２に容易に設置することができ、２つの異なる別の空間ＳＰ１、ＳＰ２の間での対象試料ＯＢを受け渡しの作業の効率を向上することができる。
【００４７】
次に、図５と図６を参照して、作業者が、対象試料ＯＢを本体部３の収容空間１３内に投入したり、収容空間１３内から取り出すための専用台車５０の例を説明する。図５は、この専用台車５０を示す斜視図であり、図６は、専用台車５０の使用例を示している。
【００４８】
図５に示すように、専用台車５０は、基部５１と、４つのキャスタ５２と、複数個のフリーローラ５３と、ハンドル部５４を有している。基部５１の四隅の底部には、それぞれキャスタ５２が回転可能に取り付けられている。前側の２つのキャスタ５２は方向転換可能である。複数個のフリーローラ５３は、対象試料ＯＢを載せるための試料設置台であり、基台５１の上面部において平行に並べて回転可能に支持されている。
【００４９】
これらのフリーローラ５３の上には、対象試料ＯＢを載せて作業者が押すことで、対象試料ＯＢをＳ方向に移動可能になっている。ハンドル部５４は作業者が把持して専用台車５０を押すことができる。このパスボックス式乾燥炉１が、例えばクリーンルーム等の作業者の動きが制限された空間に設置される場合に、作業者側の運用により、専用台車５０を使用することができる。
【００５０】
この専用台車５０は、必要に応じて図６（Ｂ）に示すように、クリーン側の第２空間ＳＰ２内で使用して、収容空間１３内の対象試料ＯＢを複数個のフリーローラ５３側に移して受け取りことができる。また、必要に応じて図６（Ａ）に示すように、ダーティ側の第１空間ＳＰ１内で使用して、対象試料ＯＢを複数個のフリーローラ５３側から収容空間１３内に投入することができる。
【００５１】
図７は、図５と図６に示す専用台車５０とは異なる構造の専用台車の例を示している。図７に示す専用台車６０は、基部６１と、４つのキャスタ６２と、複数個のフリーローラ６３と、ハンドル部６４と、設置部７１を有している。基部６１の四隅の底部には、それぞれキャスタ６２が回転可能に取り付けられている。前側の２つのキャスタ６２は方向転換可能である。複数個のフリーローラ６３は、対象試料ＯＢを載せるための試料設置台であり、設置部７１の上面部において平行に並べて回転可能に支持されている。これらのフリーローラ６３の上には、対象試料ＯＢを載せて作業者が押すことで、Ｓ方向に移動可能になっている。
【００５２】
ハンドル部６４は作業者が把持して専用台車６０を押すことができる。しかも、設置部７１と基部６１との間には、昇降機構部７２が配置されている。この昇降機構部７２は、Ｘ状のリンク部材７３，７４と、電動アクチュエータ７５を有している。電動アクチュエータ７５を作動することにより、設置部７１は、基部６１に対してＺ方向に昇降して位置決めすることができるので、対象試料ＯＢの高さ位置を、容易に調整することができる。
【００５３】
以上説明したように、パスボックス式乾燥炉１は、乾燥炉または加熱炉として、壁部２を介して設置できることにより、対象試料ＯＢを、２つの別の空間ＳＰ１、ＳＰ２を移動する作業が省くことが可能となる。また、ダーティ側の別空間ＳＰ１から乾燥炉または加熱炉に対象試料ＯＢを設置する際に、処理前の対象試料ＯＢを、直接クリーン側の別空間ＳＰ２に持込む作業が無くなり、対象試料ＯＢによるクリーン側の別空間ＳＰ２への汚染・コンタミ等を抑制する効果がある。
【００５４】
パスボックス式乾燥炉１は、乾燥炉または加熱炉（真空・大気炉・加圧炉等あらゆる用途）に適用可能である。パスボックス式乾燥炉１は、壁部２を介して、ダーティ側の空間ＳＰ１からクリーン側の空間ＳＰ２に対象試料ＯＢが移動できるために、作業効率の短縮に繋がり、作業効率の向上やコンタミの抑制が可能である。
【００５５】
２つの空間ＳＰ１、ＳＰ２は、パスボックス式乾燥炉１による隔離構造を採用しており、パスボックス式乾燥炉１は、クリーンルーム（クリーン側、ダーティ側）や２つの別空間との間を、壁部を介して設置できる加熱及び乾燥炉に適用することができる。ただし、壁部２等を介さずに運用により単独で使用することも可能とする。
【００５６】
パスボックス式乾燥炉１は、壁部２を介して設置できることにより、２つの別空間を移動する作業が省くことが可能となり、またダーティ側の空間ＳＰ１から乾燥炉あるいは加熱炉として働くパスボックス式乾燥炉１に対象試料ＯＢを設置する際に、処理前の対象試料ＯＢを直接クリーン側の空間ＳＰ２に持込む作業が無くなり、対象試料ＯＢによるクリーン側の空間ＳＰ２への汚染・コンタミ等を抑制する効果がある。ただし、運用により、図１に示す場合とは逆に、ダーティ側を空間ＳＰ２として、クリーン側を空間ＳＰ１として処理を行うことも可能とする。
【００５７】
パスボックス式乾燥炉１は、処理をする対象試料ＯＢにより、図１に示すように真空ポンプ１９により真空化できる以外に、大気圧化又は加圧化できる機能を有するようにしても良い。作業者側の運用により、加熱炉または乾燥炉として機能するパスボックス式乾燥炉の扉を自動開閉機構付の機構とすることも可能である。
【００５８】
ダーティ側の第１開閉扉１１が開放している場合は、本体通電時に限り、クリーン側の第２開閉扉１２Cは施錠状態となる機能を有する。クリーン側の第２開閉扉１２が開放している場合は、本体通電時に限り、ダーティ側の第１開閉扉１１は施錠状態となる機能を有する。
【００５９】
パスボックス式乾燥炉に対して付加する設備としては、パスボックス式乾燥炉１を真空対応装置とした場合に、乾燥炉あるいは加熱炉内を真空にする為の真空ポンプが必要である。この真空対応装置であるパスボックス式乾燥炉は、特にクリーンルームやドライルーム等に使用されるケースがあるため、真空ポンプ側からの汚染・コンタミを抑制するためにドライ化対応の真空ポンプにて構成するものとする。場合により、油回転式の真空ポンプも使用する。
【００６０】
パスボックス式乾燥炉に対して付加する設備としては、当該装置であるパスボックス式乾燥炉は、クリーンルーム等の作業者の動きが制限された空間に設置される可能性もあるために、作業者側の運用により、上述したように専用台車を使用した構成も可能とする。その場合には、パスボックス式乾燥炉１の収容空間１３に対象試料ＯＢを載せたり、収容空間１３から降ろしたりするために、専用台車には、試料設置台（又はフリーコンベヤ等）を有する機構とする。
【００６１】
本発明の実施形態のパスボックス式乾燥炉１は、第１空間ＳＰ１と第１空間ＳＰ１とは異なる第２空間ＳＰ２を隔てる部分に配置される。このパスボックス式乾燥炉１は、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２をつなぐ収容空間１３を有する本体部３と、本体部３に配置されて収容空間１３の第１空間ＳＰ１側を開閉可能に閉じる第１開閉扉１１と、本体部３に配置されて収容空間１３の第２空間ＳＰ２側を開閉可能に閉じる第２開閉扉１２と、を有し、本体部３は、加熱炉または乾燥炉である。
【００６２】
これにより、パスボックス式乾燥炉１は簡単な構造であるので、対象材料ＯＢを受け渡しする際に、２つの異なる別の空間ＳＰ１，ＳＰ２を隔てる壁部（隔てる部分）２に容易に設置することができ、本体部３の第１開閉扉１１と第２開閉扉１２により収容空間１３を開けることで、２つの異なる別の空間ＳＰ１、ＳＰ２の間で、対象試料ＯＢを受け渡しができ、対象試料ＯＢを加熱または乾燥処理して、２つの異なる別の空間ＳＰ１，ＳＰ２との間での対象試料ＯＢの受け渡し作業の効率を向上できる。
【００６３】
パスボックス式乾燥炉１では、第１開閉扉１１が開いているときには、第２開閉扉１２を閉じて施錠し、第２開閉扉１２が開いているときには、第１開閉扉１１を閉じて施錠するための施錠装置３１，３２を有する。これにより、収容空間１３は、第１開閉扉１１を開けることで一方の空間ＳＰ１につなげることができ、収容空間１３は、第２開閉扉１２を開けることで他方の空間ＳＰ２につなげることができ、２つの異なる別の空間ＳＰ１、ＳＰ２が直接つながらないようにすることができる。
【００６４】
本体部３は、収容空間１３内の温度を検知する温度センサ５を有する。これにより、本体部３の収容空間１３を加熱炉または乾燥炉として用いる際に、温度センサ５を用いて収容空間１３の温度を確認することができる。
【００６５】
本体部３は、収容空間１３内の圧力を検知する圧力センサ６を有する。これにより、本体部３の収容空間１３を真空化の加熱炉または乾燥炉として用いる際に、圧力センサ６を用いて収容空間１３内の圧力から収容空間１３内の圧力を確認することができる。また、不活性ガスを使用した場合の炉内酸素濃度を計測するための酸素濃度計を有しても良い。
【００６６】
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。
【００６７】
パスボックス式乾燥炉１は、真空加熱炉または真空乾燥炉であるが、これに限らず、大気圧の加熱炉または大気圧の乾燥炉であったり、加圧型の加熱炉または加圧型の乾燥炉等であっても良く、パスボックス式乾燥炉１は、あらゆる用途に適用できる。また、パスボックス式乾燥炉１は、図示例では、壁部２に配置されているが、壁部等を介さずに、運用によっては単独で使用することも可能である。
【００６８】
なお、上述した本発明の実施形態では、第１開閉扉１１と第２開閉扉１２の内の少なくとも片方が開扉状態では、パスボックス式乾燥炉の加熱・乾燥・真空・冷却動作のいずれも動作を開始しない。
【００６９】
また、２つの開閉扉は、対向した配置することなく、同じ向きであっても良い。つまり、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２が壁部２を介して隣室として設けられている場合以外に、例えば、第１空間ＳＰ１と第２空間ＳＰ２では、隣室として同様に同じ向きに開閉扉が付いている状態である。
【符号の説明】
【００７０】
１      パスボックス式乾燥炉
２      壁部
３      本体部
５      温度センサ
６      圧力センサ
１３    収容空間
３１    第１施錠装置
３２    第２施錠装置
ＳＰ１  第１空間
ＳＰ２  第２空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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