(57)【要約】【課題】減圧室内に設けられた巻き出しロール５２から巻き出される長尺樹脂フィルムＦと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が効率的に除電できる長尺樹脂フィルムの巻き出し装置等を提供する。【解決手段】巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部８０の剥離面側空間部８１に、上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段が設けられ、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口７０が巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が除電されるようになっていることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺樹脂フィルムが巻き付けられた巻き出しロールを減圧室内に備え、該巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて上記長尺樹脂フィルムを巻き出す長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段を設けると共に、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気を除電するようになっていることを特徴とする長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項２】
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、上記長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっていることを特徴とする請求項１に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項３】
上記巻き出しロールと直近下流側ロール間を搬送される長尺樹脂フィルムを中央にして幅方向両端側の近傍にそれぞれ設けられ、かつ、上記タッチロールの回転中心軸が摺動可能に係合する隙間部を具備する一対のレール状案内部により上記保持部材が構成されていることを特徴とする請求項２に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項４】
先端側に上記タッチロールの回転中心軸を回転可能に支持する支持部を有しかつ基端側が回動可能に固定されて上記先端側が上下方向に揺動する一対のアーム部により上記保持部材が構成されていることを特徴とする請求項２に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項５】
上記ガス吹き出し口から放出されるガスが不活性ガスであることを特徴とする請求項１に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項６】
上記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とする請求項５に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置。
【請求項７】
減圧室と、該減圧室内に設けられた巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて長尺樹脂フィルムを巻き出す巻き出し装置と、上記巻き出しロールと巻き取りロール間に設けられロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対し表面処理を施す表面処理手段を備えた表面処理装置において、
上記巻き出し装置が、請求項１〜６のいずれかに記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置により構成されていることを特徴とする表面処理装置。
【請求項８】
上記表面処理手段がスパッタリング成膜手段で構成されることを特徴とする請求項７に記載の表面処理装置。
【請求項９】
長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずに金属膜が成膜された金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
請求項８に記載の表面処理装置を用いて、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に金属膜を成膜することを特徴とする金属膜付樹脂フィルムの製造方法。
【請求項１０】
上記長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面にシード層を成膜し、該シード層の表面に銅層を成膜することを特徴とする請求項９に記載の金属膜付樹脂フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺樹脂フィルムが巻き付けられた巻き出しロールを減圧室内に備え、該巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて長尺樹脂フィルムを巻き出す長尺樹脂フィルムの巻き出し装置に係り、特に、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が効率的に除電できる長尺樹脂フィルムの巻き出し装置とこの装置が組み込まれた表面処理装置および金属膜付樹脂フィルムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル、ノートパソコン、デジタルカメラ、携帯電話等には、長尺樹脂フィルムの上に配線パターンが形成されたフレキシブル配線基板が用いられている。このフレキシブル配線基板は、長尺樹脂フィルムの片面若しくは両面に金属膜を成膜した金属膜付樹脂フィルムに、フォトリソグラフィーやエッチング等の薄膜技術を適用したパターニング処理を施すことによって得られる。近年、フレキシブル配線基板の配線パターンはますます微細化、高密度化する傾向にあり、これに伴って夾雑物を含まない高品質な金属膜付樹脂フィルムが求められている。
【０００３】
この種の金属膜付樹脂フィルムの製造方法として、従来から、金属箔を接着剤により長尺樹脂フィルムに貼り付けて製造する方法（３層基板の製造方法）、金属箔に樹脂溶液をコーティングした後、乾燥させて製造する方法（キャスティング法）、真空成膜法単独で、または、真空成膜法と湿式めっき法との併用で長尺樹脂フィルムに金属膜を成膜して製造する方法（メタライジング法）等が知られている。
【０００４】
上記メタライジング法においては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームスパッタリング法等が真空成膜法として用いられている。例えば特許文献１には、ポリイミド絶縁層上にクロムをスパッタリングしてクロム層を成膜し、次いで銅をスパッタリングして銅からなる導体層を形成する方法が記載されている。この内、クロムは酸等に耐食性を有する金属として知られている。
【０００５】
また、特許文献２には、真空成膜法により長尺樹脂フィルムに連続的に成膜する装置として、スパッタリングウェブコータと称される巻き出し・巻き取り式（ロールツーロール方式）の真空スパッタリング装置が開示されている。この巻き出し・巻き取り式の真空スパッタリング装置には、ロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを巻き付けて冷却するクーリングロール（冷却キャンロールとも称される）が具備されている。このようなスパッタリングウェブコータを用いれば、連続的なメタライジング法による処理で金属膜付樹脂フィルムを作製することが可能になる。
【０００６】
ところで、ロールツーロールで長尺樹脂フィルムが搬送される真空スパッタリング装置においては、巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルムが剥離して巻き出しロールから巻き出される際、あるいは、長尺樹脂フィルムが搬送ロールに接触しながら搬送される際、剥離あるいは摩擦を原因として長尺樹脂フィルムに静電気が帯電することがあり、長尺樹脂フィルムの搬送時において長尺樹脂フィルムに欠陥が発生する、長尺樹脂フィルムに傷が発生する、長尺樹脂フィルムのロールへの巻き込みが発生する等、様々な不具合が発生する可能性が高いことが分かってきた。
【０００７】
特許文献３には、真空引きされた減圧室内においてロールツーロールで長尺樹脂フィルムを搬送させても、長尺樹脂フィルムに向けガスを吹き付けることにより、長尺樹脂フィルムに帯電した静電気を除電できることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平２−９８９９４号公報
【特許文献２】特開昭６２−２４７０７３号公報
【特許文献３】特開２００９−１８１９３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
減圧室内を搬送される長尺樹脂フィルムに向けガスを吹き付ける特許文献３の方法を採用することで、長尺樹脂フィルムと搬送ロールの摩擦帯電による静電気を除電することは可能になったが、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気を除電するには効果が不十分であった。これは、巻き出し側の原料ロール（巻き出しロール）に剥離帯電が累積していくため、特に樹脂フィルムが長尺になる程、長尺樹脂フィルムに向けガスを吹き付けても除電しきれなくなると考えられた。
【００１０】
一方、真空引きされた減圧室内においてガスを使用せずに除電が可能な電気力線型（例えば、交流式や直流式等の電圧印加方式）除電装置、真空紫外線型除電装置では、長尺樹脂フィルムと搬送ロールの摩擦帯電による静電気の除電効果は十分でなく、また、剥離帯電による静電気の除電効果は殆どなかった。
【００１１】
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が効率的に除電される長尺樹脂フィルムの巻き出し装置とこの装置が組み込まれた表面処理装置を提供し、合わせて金属膜付樹脂フィルムの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
そこで、本発明者が上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、原料ロール（すなわち巻き出しロール）から長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に該フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段を設けることで、剥離帯電による長尺樹脂フィルムの静電気を効率的に除電できることを見出すに至った。
【００１３】
すなわち、本発明に係る第１の発明は、
長尺樹脂フィルムが巻き付けられた巻き出しロールを減圧室内に備え、該巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて上記長尺樹脂フィルムを巻き出す長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段を設けると共に、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気を除電するようになっていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、第２の発明は、
第１の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、上記長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっていることを特徴とし、
第３の発明は、
第２の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記巻き出しロールと直近下流側ロール間を搬送される長尺樹脂フィルムを中央にして幅方向両端側の近傍にそれぞれ設けられ、かつ、上記タッチロールの回転中心軸が摺動可能に係合する隙間部を具備する一対のレール状案内部により上記保持部材が構成されていることを特徴とし、
第４の発明は、
第２の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
先端側に上記タッチロールの回転中心軸を回転可能に支持する支持部を有しかつ基端側が回動可能に固定されて上記先端側が上下方向に揺動する一対のアーム部により上記保持部材が構成されていることを特徴とし、
第５の発明は、
第１の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記ガス吹き出し口から放出されるガスが不活性ガスであることを特徴とし、
第６の発明は、
第５の発明に記載の長尺樹脂フィルムの巻き出し装置において、
上記不活性ガスがアルゴンガスであることを特徴とするものである。
【００１５】
次に、第７の発明は、
減圧室と、該減圧室内に設けられた巻き出しロールから巻き取りロールへ向けて長尺樹脂フィルムを巻き出す巻き出し装置と、上記巻き出しロールと巻き取りロール間に設けられロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムに対し表面処理を施す表面処理手段を備えた表面処理装置において、
上記巻き出し装置が、第１の発明〜第６の発明のいずれかに記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置により構成されていることを特徴とし、
第８の発明は、
第７の発明に記載の表面処理装置において、
上記表面処理手段がスパッタリング成膜手段で構成されることを特徴とする。
【００１６】
また、第９の発明は、
長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずに金属膜が成膜された金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
第８の発明に記載の表面処理装置を用いて、長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に金属膜を成膜することを特徴とし、
第１０の発明は、
第９の発明に記載の金属膜付樹脂フィルムの製造方法において、
上記長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面にシード層を成膜し、該シード層の表面に銅層を成膜することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明に記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置によれば、
巻き出しロールから長尺樹脂フィルムが巻き出されるフィルム剥離部の剥離面側空間部に上記フィルム剥離部に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段が設けられ、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口が、巻き出される長尺樹脂フィルムの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口により構成されて、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が除電されるようになっているため、帯電により発生する長尺樹脂フィルムの上述した欠陥を防止することが可能となる。
【００１８】
更に、第２の発明に記載された長尺樹脂フィルムの巻き出し装置によれば、
巻き出しロールと該巻き出しロールの隣に位置する直近下流側ロールとの間を搬送される長尺樹脂フィルムの上面に外周面が接触するタッチロールと、長尺樹脂フィルムに接触するタッチロールを上下方向へ移動可能に保持する保持部材と、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口とタッチロールとを連結する連結部材を備え、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位するフィルム剥離部に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口を追従させて、上記フィルム剥離部とガス吹き出し口との位置関係が略一定に保持されるようになっているため、長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変化する原料ロール（巻き出しロール）径に関わらず略同等の除電効果を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る巻き出し装置が組み込まれたロールツーロール方式の真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）の概略構成を示す説明図。
【図２】長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位するフィルム剥離部に対してガス吹き出し手段のガス吹き出し口が追従される本発明に係る巻き出し装置の作用説明図であり、図２（Ａ）は原料ロール（巻き出しロール）径が大きい場合の作用説明図、図２（Ｂ）は長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って原料ロール（巻き出しロール）径が小さくなった場合の作用説明図。
【図３】長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って変位するフィルム剥離部に対してガス吹き出し手段のガス吹き出し口が追従される本発明の変形例に係る巻き出し装置の作用説明図であり、図３（Ａ）は原料ロール（巻き出しロール）径が大きい場合の作用説明図、図３（Ｂ）は長尺樹脂フィルムの巻き出し供給量に従って原料ロール（巻き出しロール）径が小さくなった場合の作用説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００２１】
（１）本発明の巻き出し装置が組み込まれたロールツーロール方式の真空成膜装置
本発明の巻き出し装置を組み込んだ表面処理装置について、ロールツーロール方式の真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）を例に挙げて説明する。
【００２２】
図１に示すように上記真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）５０は、真空チャンバー（減圧室）５１内において、巻き出しロール（原料ロール）５２から巻き取りロール６４へ向けて搬送される被成膜基材としての長尺樹脂フィルムＦをキャンロール５６に巻き付けて冷却しながらスパッタリング成膜処理を施す装置であり、金属膜付樹脂フィルムを連続的に作製することができる。ここで原料ロールとは、表面処理前の長尺樹脂フィルムＦが巻き付けられたロールを意味する。
【００２３】
具体的に説明すると、真空チャンバー（減圧室）５１には、図示外のドライポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオコイル等の種々の排気手段が備えられており、真空チャンバー（減圧室）５１内を到達圧力１０-4Ｐａ程度まで減圧した後、アルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガス等の不活性ガスや目的に応じて添加される酸素ガス等のスパッタリングガスを導入して０.１〜１０Ｐａ程度に圧力調整できるようになっている。真空チャンバー（減圧室）５１の形状や材質については、上述した減圧状態に耐え得るものであれば特に限定はなく、種々のものを使用することができる。
【００２４】
この真空チャンバー（減圧室）５１内に、長尺樹脂フィルムＦの搬送経路を画定する各種のロールが設けられている。巻き出しロール（原料ロール）５２からキャンロール５６までの搬送経路には、巻き出しロール（原料ロール）５２から巻き出された長尺樹脂フィルムＦを案内するフリーロール（巻き出しロール５２の隣に位置する直近下流側ロールに相当する）５３、長尺樹脂フィルムＦの張力の測定を行う張力センサロール５４、および、張力センサロール５４から送り出される長尺樹脂フィルムＦをキャンロール５６に導入するモータ駆動のフィードロール５５がこの順に配置されている。
【００２５】
キャンロール５６から巻き取りロール６４までの搬送経路にも、上記同様に、キャンロール５６の周速度に対する調整を行うモータ駆動のフィードロール６１、長尺樹脂フィルムＦの張力測定を行う張力センサロール６２、および、長尺樹脂フィルムＦを案内するフリーロール６３がこの順に配置されている。
【００２６】
上記巻き出しロール５２および巻き取りロール６４では、パウダークラッチ等によりトルク制御が行われており、これにより長尺樹脂フィルムＦの張力バランスが保たれている。モータで回転駆動されるキャンロール５６は、熱負荷の掛かるスパッタリング処理により熱せられる長尺樹脂フィルムＦを冷却するため内部に冷媒が循環している。このキャンロール５６の周速度に対して、フィードロール５５、６１の回転数が調整されており、これによりキャンロール５６の外周面に長尺樹脂フィルムＦを密着させて搬送することができる。
【００２７】
キャンロール５６の外周面に対向する位置には、長尺樹脂フィルムＦの搬送経路に沿って４個のマグネトロンスパッタリングカソード５７、５８、５９、６０がこの順に設けられている。これ等マグネトロンスパッタリングカソード５７〜６０の各々には、キャンロール５６の外周面に対向する面にターゲット（図示せず）が取り付けられており、これ等ターゲットから叩き出されたスパッタ粒子が長尺樹脂フィルムＦの表面上に堆積して金属膜の成膜が行われる。
【００２８】
（２）真空成膜装置に組み込んだ本発明に係る長尺樹脂フィルムの巻き出し装置
上記真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）５０に係る長尺樹脂フィルムＦの巻き出し部７５には、巻き出しロール５２から長尺樹脂フィルムＦが巻き出されるフィルム剥離部８０の剥離面側空間部８１に、上記フィルム剥離部８０に向けガスを吹き付けるガス吹き出し手段が設けられていると共に、長尺樹脂フィルムＦの幅方向に沿って設けられた複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口（図示せず）により上記ガス吹き出し手段のガス吹き出し口７０が構成されている。更に、複数のガス吹き出し口群または単一の長尺状ガス吹き出し口で構成される上記ガス吹き出し口７０は長尺樹脂フィルムＦの上面に外周面が接触するタッチロール７１に連結され、長尺樹脂フィルムＦの巻き出し供給量に従って変位する上記フィルム剥離部８０に対しガス吹き出し手段のガス吹き出し口７０を追従させて、上記フィルム剥離部８０とガス吹き出し口７０との位置関係が略一定に保持されるようになっている。
【００２９】
そして、上記ガス吹き出し手段から長尺樹脂フィルムＦが巻き出されるフィルム剥離部８０に向けガスが吹き付けられることにより、巻き出しロール５２から巻き出される長尺樹脂フィルムＦと巻き出しロール５２に巻き付けられた長尺樹脂フィルムＦ間の剥離帯電による静電気を除電することが可能となる。更に、上記ガス吹き出し手段が、長尺樹脂フィルムＦが巻き出されるフィルム剥離部８０の剥離面側空間部８１に設けられているため、長尺樹脂フィルムＦだけでなく原料ロール（巻き出しロール）５２にもガスが吹き付けられることで、原料ロール（巻き出しロール）５２に蓄積された剥離帯電を緩和させることができ効果的に除電を行うことが可能となる。このような除電機能を具備させるため、ガス吹き出し手段はフィルム剥離部８０の剥離面側空間部８１に設けられることを必要とし、フィルム剥離部８０の剥離面とは反対側［図２に示す巻き出しロール（原料ロール）５２の上側］には設置されない。
【００３０】
また、長尺樹脂フィルムＦが巻き出されるフィルム剥離部８０に向けて吹き付けられるガスは真空チャンバー（減圧室）５１の外部から導入され、ガスの種類としてはアルゴンガス、窒素ガス、ヘリウムガス等の不活性ガスが好ましく、アルゴンガスがより好ましい。また、導入されるガスの流量は、長尺樹脂フィルムＦで許容される帯電電位に応じて適宜調整されるが、３００ｓｃｃｍ〜１５００ｓｃｃｍが好ましい。当然のことながら導入されるガスの流量は、真空チャンバー（減圧室）５１に接続されている排気手段の負荷を低減させるため、可能な限り少なく設定することが好ましい。
【００３１】
ところで、上記長尺樹脂フィルムＦの巻き出し供給量に従って原料ロール（巻き出しロール）５２の径が変化（漸減）するため、上記原料ロール（巻き出しロール）５２の径に関わらず常にフィルム剥離部８０にガスを吹き付けられることが望まれる。このため、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口７０は、上述したように長尺樹脂フィルムＦ上面に外周面が接触するタッチロール７１に連結されてフィルム剥離部８０とガス吹き出し口７０との位置関係が略一定に保持されるようになっている。
【００３２】
すなわち、図２（Ａ）（Ｂ）に示すように、巻き出しロール（原料ロール）５２と該巻き出しロール５２の隣に位置するフリーロール（直近下流側ロール）５３との間を搬送される長尺樹脂フィルムＦの上面に外周面が接触するタッチロール７１と、長尺樹脂フィルムＦに接触するタッチロール７１を上下方向へ移動可能に保持する保持部材９０と、ガス吹き出し手段のガス吹き出し口７０とタッチロール７１とを連結する連結部材７６を備え、長尺樹脂フィルムＦの巻き出し供給量に従って変位するフィルム剥離部８０に対し、ガス吹き出し口７０を追従させてフィルム剥離部８０とガス吹き出し口７０との位置関係が略一定に保持されるようになっている。タッチローラー７１は図２（Ａ）（Ｂ）上において自重により上下方向に移動自在とする。この構成により、ガス吹き出し口７０とタッチローラー７１の相対的な位置関係は常に一定になると共に、タッチローラー７１は長尺樹脂フィルムＦ上に自重で乗っているため、原料ロール（巻き出しロール）５２の径が変化して長尺樹脂フィルムＦの搬送位置が変化してもタッチローラー７１が移動し、上記ガス吹き出し口７０と長尺樹脂フィルムＦが巻き出されるフィルム剥離部８０の位置関係は実質的に一定となるように配置できる。更に、上記タッチローラー７１の位置に応じて、ガス吹き出し口７０のガス放出方向が微調整される機構を付設することにより、原料ロール（巻き出しロール）５２における径の変化に応じたフィルム剥離部８０の移動に対しても最適な位置にガスを吹き付けることが可能になるためより好ましい。
【００３３】
タッチローラー７１を上下方向へ移動可能に保持する上記保持部材９０として、図２（Ａ）（Ｂ）に示すように巻き出しロール（原料ロール）５２と該巻き出しロール５２の隣に位置するフリーロール（直近下流側ロール）５３間を搬送される長尺樹脂フィルムＦを中央にしてその幅方向両端側の近傍にそれぞれ設けられ、かつ、タッチロール７１の回転中心軸が摺動可能に係合する隙間部を具備する一対のレール状案内部７２により構成する方法が例示できる。また別の形態としては、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように先端側７７にタッチロール７１の回転中心軸を回転可能に支持する支持部を有しかつ基端側７８が回動可能に固定されて上記先端側７７が上下方向に揺動する一対のアーム部７３により構成する方法が例示される。尚、上記タッチローラー７１を用いて、ガス吹き出し口７０の位置を長尺樹脂フィルムＦの変位に応じて変更させる方法は、当然のことながら上記方法に限定されることはない。
【００３４】
（３）金属膜付樹脂フィルムの製造方法
上記真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）５０を用いることにより、長尺樹脂フィルムＦの帯電による影響を受けない高品質の金属膜付樹脂フィルムを製造することができる。例えば、図１に示すスパッタリングカソード５７にニッケル系合金のターゲットを取り付け、スパッタリングカソード５８〜６０に銅のターゲットを取り付けることにより、長尺樹脂フィルムＦの少なくとも一方の面に接着剤層を介さずにニッケル系合金等からなる膜と銅膜とが積層された高品質な金属膜付樹脂フィルムを製造することができる。
【００３５】
尚、スパッタリング成膜で得られる金属膜を更に厚くしたい場合には、スパッタリング成膜の後に湿式めっき処理を施して金属膜を更に積層することができる。このような湿式めっき処理を行うときは、電気めっき処理のみで金属膜を形成する場合と、一次めっきとしての無電解めっき処理並びに二次めっきとしての電解めっき処理等のような湿式めっき法を組み合わせて行う場合とがある。かかる湿式めっき処理には、一般的な湿式めっき法の諸条件を採用することができる。
【００３６】
そして、上記方法で製造した金属膜付樹脂フィルムに対し、サブトラクティブ法等を用いてパターンニングすることにより、液晶テレビ、携帯電話等に使用されるフレキシブル配線基板を得ることができる。尚、サブトラクティブ法とは、レジストで覆われていない金属膜（例えば、上記Ｃｕ膜）をエッチングにより除去してフレキシブル配線基板を製造する方法である。
【００３７】
次に、長尺樹脂フィルムＦには、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのような樹脂フィルムや、ポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムを使用することができる。特に、金属膜付樹脂フィルムには耐熱性樹脂フィルムが好適であり、具体的にはポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリテトラフルオロエチレン系フィルム、ポリフェニレンサルファイド系フィルム、ポリエチレンナフタレート系フィルム、液晶ポリマー系フィルム等が好ましい。これ等の耐熱性樹脂フィルムは、金属膜付フレキシブル基板としての柔軟性、実用上必要な強度、配線材料として好適な電気絶縁性を有しているからである。
【００３８】
ところで、Ｎｉ合金等からなる膜はシード層と呼ばれ、クロム、インコネル、Ｎｉ−Ｃｒ合金、コンスタンタン、またはモネル等の各種公知の金属や合金を用いることができ、その組成は金属膜付樹脂フィルムの電気絶縁性や耐マイグレーション性等の所望の特性に応じて適宜選択される。
【実施例】
【００３９】
以下、本発明の実施例について比較例を挙げて具体的に説明する。
【００４０】
［実施例１］
図１に示した真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）５０を用意し、スパッタリングカソード５７に「Ｎｉ−２０質量％Ｃｒ合金ターゲット」を取り付け、かつ、スパッタリングカソード５８、５９、６０に「Ｃｕターゲット」を取り付けた。また、長尺樹脂フィルムとして、厚さ３８μｍのポリイミドフィルム［東レ・デュポン株式会社製、商品名カプトン（登録商標）］を用意し、「Ｎｉ−２０質量％Ｃｒ合金膜」を１０ｎｍ、この合金膜表面に１００ｎｍの「銅膜」を積層するように設定した。
【００４１】
真空チャンバー（減圧室）５１内を減圧雰囲気にした後、長尺樹脂フィルムＦをロールツーロールで搬送してキャンロール５６の外周面に巻き付け、冷却しながらスパッタリング成膜を行った。その際、図２（Ａ）（Ｂ）に示すように巻き出しロール（原料ロール）５２と長尺樹脂フィルムＦのフィルム剥離部８０へ向けて、吹き出し口７０からアルゴンガスをその流量を変化させながら吹き付けた。
【００４２】
図１に示すフリーロール（直近下流側ロール）５３に到達する直前の位置において、非接触型センサー（春日電気株式会社製表面電位計ＫＳＤ−０１２０）を用いて長尺樹脂フィルムＦの帯電量を測定したところアルゴンガス流量が多い時ほど帯電量は低下していた。
【００４３】
そして、流量が５００ｓｃｃｍのとき、管理値である±１０ｋＶ以内まで低下し、流量が１５００ｓｃｃｍでほとんど帯電がなくなったことを確認できた。
【００４４】
［比較例１］
図２（Ａ）（Ｂ）におけるガス吹き出し口７０の向きを１２０°左回りに回転させ、長尺樹脂フィルムＦにおけるフィルム剥離部８０の剥離面とは反対側のフィルム面へ向けアルゴンガスを放出させる構造に変更し、長尺樹脂フィルムＦのみにガスが吹き付けられるようにした以外は実施例１と同様に行い、かつ同様の測定を行った。
【００４５】
この場合においても帯電量の除電効果は確認されたが、管理値である±１０ｋＶに達するには１０００ｓｃｃｍを必要としたことから、フィルム剥離部８０の剥離面側に配置されたガス吹き出し口７０からアルゴンガスを吹き付けた方が除電効果は大きく、アルゴンの使用量を節約できることが確認された。更に、外部から導入されるアルゴンガスの使用量が節約されるため、排気手段への負荷も低減されることも確認された。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明に係る長尺樹脂フィルムの巻き出し装置によれば、巻き出しロールから巻き出される長尺樹脂フィルムと巻き出しロールに巻き付けられた長尺樹脂フィルム間の剥離帯電による静電気が効率的に除電されることから、金属膜付樹脂フィルムの製造に適している真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）内に組み込んで適用される産業上の利用可能性を有している。
【符号の説明】
【００４７】
５０  真空成膜装置（スパッタリングウェブコータ）
５１  真空チャンバー（減圧室）
５２  巻き出しロール
５３  フリーロール（直近下流側ロール）
５４、６２  張力センサロール
５５、６１  フィードロール
５６  キャンロール
５７、５８、５９、６０  マグネトロンスパッタリングカソード
６３  フリーロール
６４  巻き取りロール
７０  ガス吹き出し口
７１  タッチロール
７２  レール状案内部
７３  アーム部
７５  巻き出し部
７６  連結部材
７７  先端側
７８  基端側
８０  フィルム剥離部
８１  剥離面側空間部
９０  保持部材
Ｆ  長尺樹脂フィルム
【図１】
2015224131.tif 000003
【図２】
2015224131.tif 000004
【図３】
2015224131.tif 000005