(57)【要約】【課題】小型化することができる回転支持装置を提供すること。【解決手段】回転支持装置１０は、複数の処理対象物としてのシートＢＳをそれぞれ保持する複数の保持手段２０と、円周方向に所定間隔をおいて保持手段２０を支持する支持手段３０と、支持手段３０で支持された保持手段２０を円周方向に沿って所定角度θずつ回動させ、保持手段２０で保持されたシートＢＳに所定の処理を施す処理位置に当該保持手段２０を停止させる回動手段ＴＭとを備え、支持手段３０は、所定の処理が施されたシートＢＳに対して定着処理である乾燥処理を施す定着処理手段としての乾燥装置３３を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理対象物をそれぞれ保持する複数の保持手段と、
円周方向に所定間隔をおいて前記保持手段を支持する支持手段と、
前記支持手段を前記円周方向に沿って所定角度ずつ回動させ、前記保持手段で保持した前記処理対象物に所定の処理を施す処理位置に当該保持手段を停止させる回動手段とを備え、
前記支持手段は、前記所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施す定着処理手段を有する
ことを特徴とする回転支持装置。
【請求項２】
前記定着処理手段は、前記保持手段の回動領域の内側に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載の回転支持装置。
【請求項３】
前記定着処理手段は、複数の前記保持手段で保持した前記処理対象物に共用可能に設けられる
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の回転支持装置。
【請求項４】
前記定着処理手段は、前記定着処理で用いられる処理媒体が送り込まれるとともに、複数の前記保持手段に対応した複数の処理媒体供給口が設けられた媒体室を備えている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の回転支持装置。
【請求項５】
複数の処理対象物を複数の保持手段でそれぞれ保持する工程と、
前記保持手段が円周方向に所定間隔をおいて支持された支持手段を当該円周方向に沿って所定角度ずつ回動させ、前記保持手段で保持した前記処理対象物に所定の処理を施す処理位置に当該保持手段を停止させる工程と、
前記支持手段に設けられた定着処理手段により、前記所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施す工程とを実施する
ことを特徴とする処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転支持装置および処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の被印刷物（処理対象物）を回転支持する回転支持装置が知られている（例えば、特許文献１）。
特許文献１に記載の回転支持装置は、スタンドに回転可能に支持された円盤状の支持プレート（支持手段）と、支持プレートに回転可能に支持され、被印刷物を着脱可能な複数の支持台（保持手段）とを備え、スタンド側に設けられた印刷処理ステーションや乾燥処理ステーション（定着処理手段）に対して支持プレートから支持台を延出させて、各処理ステーションでの処理を行うように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１３２１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の回転支持装置が有する保持手段は、印刷処理等の所定の処理の数と定着処理手段の数とによって保持手段の数が決まるので、保持手段の数が多くなってしまい、装置本体が大型化してしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、装置本体が大型化することを防止することができる回転支持装置および処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の回転支持装置は、複数の処理対象物をそれぞれ保持する複数の保持手段と、円周方向に所定間隔をおいて前記保持手段を支持する支持手段と、前記支持手段を前記円周方向に沿って所定角度ずつ回動させ、前記保持手段で保持した前記処理対象物に所定の処理を施す処理位置に当該保持手段を停止させる回動手段とを備え、前記支持手段は、前記所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施す定着処理手段を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明の回転支持装置において、前記定着処理手段は、前記保持手段の回動領域の内側に設けられることが好ましい。
本発明の回転支持装置において、前記定着処理手段は、複数の前記保持手段で保持した前記処理対象物に共用可能に設けられることが好ましい。
本発明の回転支持装置において、前記定着処理手段は、前記定着処理で用いられる処理媒体が送り込まれるとともに、複数の前記保持手段に対応した複数の処理媒体供給口が設けられた媒体室を備えていることが好ましい。
【０００８】
本発明の処理方法は、複数の処理対象物を複数の保持手段でそれぞれ保持する工程と、前記保持手段が円周方向に所定間隔をおいて支持された支持手段を当該円周方向に沿って所定角度ずつ回動させ、前記保持手段で保持した前記処理対象物に所定の処理を施す処理位置に当該保持手段を停止させる工程と、前記支持手段に設けられた定着処理手段により、前記所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施す工程とを実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、保持手段を支持する支持手段に定着処理手段を設けることにより、保持手段の数を定着処理手段の数の分減らすことができ、装置本体が大型化することを防止することができる。
【００１０】
この際、定着処理手段を保持手段の回動領域の内側に設けることにより、当該定着処理手段を保持手段の回動領域の外側に設けた場合と比べて装置本体が大型化することを防止することができる。
また、定着処理手段を複数の保持手段で保持した処理対象物用に共用可能に設ければ、複数の保持手段に対して定着処理手段の数を１とすることができ、定着処理手段の数を削減して装置本体が大型化することを防止することができる。
さらに、定着処理手段に媒体室を設けた場合には、保持手段で保持された処理対象物に向けて、処理媒体供給口を通して処理媒体を効率的に保持手段に供給することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る回転支持装置を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、回転支持装置１０は、複数の処理対象物としてのシートＢＳを保持する複数の保持手段２０と、円周方向に所定間隔をおいて保持手段２０を支持する支持手段３０と、支持手段３０を円周方向に沿って所定角度θ（６０度）ずつ回動させ、保持手段２０で保持したシートＢＳに所定の処理を施す処理位置に当該保持手段２０を停止させる回動手段ＴＭとを備え、シートＢＳを供給する供給手段４０、シートＢＳの表面ＢＳ１側に印刷処理を施す第１印刷手段５０、第２印刷手段７０、第３印刷手段８０、シートＢＳに薄膜等を形成する膜形成手段６０、および処理後のシートＢＳを巻き取って排出する排出手段９０に囲まれて配置されている。
【００１４】
保持手段２０は、シートＢＳを保持可能な６体の保持ローラ２２を備えている。保持ローラ２２は、表面にシートＢＳを接着保持可能な接着剤層が積層されている。当該接着剤層は、例えば、シートＢＳを接着剥離可能な感圧接着性や感熱接着性の接着剤等で形成される。
【００１５】
支持手段３０は、回動モータＤＭの出力軸ＤＭＡに支持されたプレート３２と、プレート３２に支持され、出力軸３７Ａで保持ローラ２２を支持する駆動機器としての回動モータ３７と、所定の処理が施されたシートＢＳに対して定着の処理としての乾燥処理を施す定着処理手段としての乾燥装置３３とを備えている。
乾燥装置３３は、保持手段２０の回動領域の内側に設けられ、複数の保持手段２０で保持したシートＢＳ用に共用可能に設けられている。また、乾燥装置３３は、乾燥処理で用いられる処理媒体として温度が調整された空気（以下、単に「温調空気」という）が送り込まれるとともに、複数の保持手段２０に対応した複数の処理媒体供給口３６が設けられた媒体室３４を備えている。
【００１６】
回動手段ＴＭは、駆動機器としての回動モータＤＭを備えている。
【００１７】
供給手段４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってシートＢＳを吸着保持可能な支持面４１Ａを有するテーブル４１と、テーブル４１を支持する出力軸４２Ａを有する駆動機器としての直動モータ４２と、直動モータ４２を支持するスライダ４３を有する駆動機器としてのリニアモータ４４とを備えている。
【００１８】
第１印刷手段５０、第２印刷手段７０、および第３印刷手段８０は、例えば、トランジスタ回路の電極形成用のインキを貯留するインキパン５１、７１、８１と、インキパン５１、７１、８１内のインキをかき出すファンテンローラ５２、７２、８２と、ファンテンローラ５２、７２、８２からインキを受け取る転写ローラ５４、７４、８４と、表面に版５３Ａ、７３Ａ、８３Ａが形成又は支持され、所定の印刷を行う版胴５３、７３、８３とを備えている。なお、ファンテンローラ５２、７２、８２、版胴５３、７３、８３および転写ローラ５４、７４、８４は図示しない駆動機器によって回動可能に設けられている。
【００１９】
膜形成手段６０は、絶縁膜の形成に用いられる絶縁素材をシートＢＳに噴射するノズル６１を備えている。
【００２０】
排出手段９０は、帯状の接着シートＡＳを支持する支持ローラ９２と、駆動機器としての直動モータ９３の出力軸９３Ａに回転可能に支持された押圧ローラ９４と、駆動機器としての回動モータ９５によって駆動され、接着シートＡＳを回収する回収ローラ９６とを備えている。なお、接着シートＡＳは、保持ローラ２２に積層された接着剤層の接着力よりも強い接着力を有している。
【００２１】
以上の回転支持装置１０を利用して、シートＢＳにトランジスタ回路を形成する処理手順を説明する。
先ず、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が図１中実線で示す待機位置にあるテーブル４１の支持面４１Ａ上にシートＢＳを載置すると、供給手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、シートＢＳを吸着保持する。その後、供給手段４０がリニアモータ４４を駆動し、テーブル４１を右方向に移動させ、シートＢＳの右端がプレート３２の最下位置に位置する保持ローラ２２の直下に位置したことを図示しない検知手段が検知すると、供給手段４０がリニアモータ４４の駆動を停止する。次いで、供給手段４０が直動モータ４２を駆動し、テーブル４１を上昇させ、シートＢＳを保持ローラ２２に接触させる。その後、供給手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止するとともに、リニアモータ４４を駆動し、テーブル４１を右方向に移動させる。このとき、支持手段３０が回動モータ３７を駆動し、テーブル４１の移動に同期させて保持ローラ２２を反時計方向に回転させ、シートＢＳの巻き取りを開始する。シートＢＳが保持ローラ２２に保持されたことを図示しない検知手段が検知すると、支持手段３０が回動モータ３７の駆動を停止する。その後、供給手段４０が直動モータ４２を駆動し、テーブル４１を下降させた後、リニアモータ４４を駆動し、テーブル４１を待機位置に戻す。
【００２２】
次いで、回動手段ＴＭが回動モータＤＭを駆動し、プレート３２を反時計方向に所定の角度θ回転させ、シートＢＳが保持された保持ローラ２２を第１印刷手段５０での処理位置に停止させる。そして、支持手段３０が回動モータ３７を駆動し、図１に示すように、シートＢＳの印刷開始位置ＰＴ１と第１印刷手段５０の版５３Ａの印刷開始端とを接触させた後、第１印刷手段５０が図示しない回動モータを駆動し、保持ローラ２２の回転に同期させて版胴５３等を回転させ、シートＢＳの表面ＢＳ１にゲート電極を印刷する。この第１印刷手段５０での処理中において、シートＢＳの印刷開始位置ＰＴ１が処理媒体供給口３６の近傍に到達したことが図示しない検知手段で検知されると、定着処理手段が乾燥装置３３を駆動し、温調空気を媒体室３４に送り込み、処理媒体供給口３６を通して温調空気をシートＢＳに供給し、表面ＢＳ１に印刷されたゲート電極の乾燥を行い、当該ゲート電極をシートＢＳに定着させる。その後、版５３ＡとシートＢＳとが接触しない位置まで版胴５３が回転したことを図示しない検知手段が検知すると、第１印刷手段５０が図示しない回動モータの駆動を停止する。そして、シートＢＳの印刷終了位置ＰＴ２が処理媒体供給口３６を通過したことを図示しない検知手段が検知すると、保持手段２０が回動モータ３７の駆動を停止する。
【００２３】
続いて、回動手段ＴＭが回動モータＤＭを駆動し、プレート３２を反時計方向に所定の角度θだけ回転させることで、保持ローラ２２を膜形成手段６０での処理位置に停止させる。次いで、支持手段３０が回動モータ３７を駆動し、シートＢＳの印刷開始位置ＰＴ１がノズル６１の処理位置に位置すると、膜形成手段６０がノズル６１を動作し、シートＢＳのゲート電極上に絶縁素材を噴射して絶縁膜を形成する。この膜形成手段６０での処理中においても、乾燥装置３３が温調空気を媒体室３４に送り込み、処理媒体供給口３６を通して温調空気をシートＢＳに供給し、膜形成面の乾燥を行い、絶縁膜をシートＢＳに定着させる。その後、シートＢＳの印刷終了位置ＰＴ２がノズル６１の処理位置に達したことを図示しない検知手段が検知すると、膜形成手段６０がノズル６１の動作を停止する。そして、シートＢＳの印刷終了位置ＰＴ２が処理媒体供給口３６を通過したことを図示しない検知手段が検知すると、支持手段３０が回動モータ３７の駆動を停止する。
【００２４】
この後、回動手段ＴＭが回動モータＤＭを駆動してプレート３２を反時計方向に所定の角度θだけ回転させ、保持ローラ２２を第２印刷手段７０および第３印刷手段８０での処理位置に停止させ、第１印刷手段５０での印刷と同様に、絶縁膜上にソース電極およびドレイン電極をそれぞれ印刷する。これらの印刷処理中においても、乾燥装置３３温調空気を媒体室３４に送り込み、処理媒体供給口３６を通して温調空気をシートＢＳに供給し、ソース電極およびドレイン電極をシートＢＳに定着させる。
【００２５】
次に、回動手段ＴＭが回動モータＤＭを駆動し、プレート３２を所定の角度θだけ回転させ、保持ローラ２２を排出手段９０の排出位置で停止させる。次いで、支持手段３０が回動モータ３７を駆動し、シートＢＳの印刷開始位置ＰＴ１が接着シートＡＳに最も接近した剥離開始位置に位置すると、排出手段９０が直動モータ９３を駆動し、押圧ローラ９４を右方向に移動させ、接着シートＡＳをシートＢＳの印刷開始位置ＰＴ１に押圧して貼付する。その後、排出手段９０が回動モータ９５を駆動し、保持ローラ２２の回転に同期させて接着シートＡＳを繰り出すことで、図１中２点鎖線で示すように、シートＢＳを保持ローラ２２から剥離し、剥離したシートＢＳを接着シートＡＳごと回収ローラ９６で回収する。この排出動作中については、乾燥装置３３による乾燥を続けてもよいが、排出手段９０に対応した処理媒体供給口３６を設けないことで、乾燥を省いてもよい。供給手段４０によるシートＢＳの供給中についても同様である。そして、シートＢＳ全体が保持ローラ２２から剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、支持手段３０および排出手段９０が回動モータ３７、９５の駆動を停止する。その後、排出手段９０が直動モータ９３を駆動し、押圧ローラ９４を図１中実線に示す位置に移動させた後、排出手段９０が回動モータ９５を駆動し、弛んだ接着シートＡＳを巻き取って停止する。次いで、回動手段ＴＭが回動モータＤＭを駆動してプレート３２を角度θだけ回転させ、保持ローラ２２をシートＢＳの供給位置に停止させ、以降、上記同様の動作が繰り返される。また、上記では１つの保持手段２０に着目して説明したが、他の保持手段２０においても、上記同様の動作が順に行われる。
【００２６】
以上のような実施形態によれば、保持手段２０を支持する支持手段３０に乾燥装置３３を設けることにより、保持手段２０の数を乾燥装置３３の数の分減らすことができ、装置本体が大型化することを防止することができる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、処理対象物としては、樹脂シート、接着シート、金属板、シリコーン板（ウエハ）、木板でもよいし、シート状や板状でないものでもよく、それらを保持する保持手段の構造等は、処理対象物の形態に応じて適宜変更してよい。
また、処理対象物に施される所定の処理としては、印字、塗装、膜の蒸着、膜の積層、接着シートや接着剤の接着、光照射、洗浄、研磨、研削、切削等、前記実施形態以外のものであってもよい。
また、定着処理としては、乾燥以外に、加熱、冷却、紫外線照射、赤外線照射、マイクロ波照射、Ｘ線照射などであってもよく、処理媒体は、温調空気以外に、単体ガス、複合ガス、紫外線、赤外線、マイクロ波、Ｘ線などであってもよい。
さらに、定着処理手段は、媒体室３４を省略してもよく、処理媒体供給口３６を通すことなく処理媒体を処理対象物に向けて直接供給して所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施してもよい。
また、定着処理手段は、複数の保持手段で保持された処理対象物用に複数設けられていてもよく、定着処理手段の設置位置としては、支持手段３０の回動中心位置であってもよいし、支持手段３０の回動中心位置の周辺であってもよく、複数の定着処理手段は、同一の処理媒体を供給することで、供用可能なものであってもよいし、異なる処理媒体を供給することで、供用しないものであってもよい。
保持手段２０は、シートＢＳを吸着して保持してもよいし、シートＢＳの供給方向先端部および後端部を挟持して保持してもよい。
支持手段３０は、所定の処理を施す処理装置と乾燥装置３３とを保持手段２０よりも支持手段３０の回動中心側かつ円周方向に交互に配置してもよく、この場合、保持手段２０は、保持ローラ２２にかえて、シートＢＳを平面状態で保持するテーブルを採用することができ、回動モータ３７を省略することができる。
処理媒体供給口３６にシャッタや扉等の遮蔽手段を設け、定着処理の不要な場合に部分的または全体的に処理媒体の供給を行わないようにしたり、シャッタや扉等の開口領域を調整して処理媒体の供給量を増減させたりするようにしてもよい。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、円周方向に所定間隔をおいて保持手段を支持し、所定の処理が施された処理対象物に対して定着処理を施す定着処理手段を有したものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであれば何ら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３０】
１０…回転支持装置
２０…保持手段
３０…支持手段
３３…乾燥装置（定着処理手段）
３４…媒体室
３６…処理媒体供給口
ＢＳ…シート
ＴＭ…回動手段
θ…角度
【図１】
2015136836.tif 000003