(57)【要約】【課題】ガラス基板をブレークラインがスクライブ線からずれることがなく、ブレーク面にチッピングやシャークティースが発生しないブレーク方法を提供する。【解決手段】ガラス基板１を保持するブレークテーブル２を固定テーブル２１およびこの固定テーブル２１に所定の間隙を介して隣接し所定の回転軸９の周りに回転可能な回転テーブル２２で構成し、固定テーブル２１および回転テーブル２２にまたがるように柔軟な軟質樹脂膜３を配置する。ガラス基板１のスクライブ線１０が上面かつ所定の間隙上に位置するようにして、スクライブ線１０を境に一方の側が固定テーブル２１上に、他方の側が回転テーブル２２上になるように軟質樹脂膜３上に支持し、ガラス基板１１のスクライブ線１０の両側を剛性を有し、かつ柔軟性を有する硬質樹脂層５、７で押圧しながら回転テーブル２２側のガラス基板１を回転テーブル２２とともに回転軸９の周りに回転させる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を保持するブレークテーブルを固定テーブルおよびこの固定テーブルに対して所定の間隙を介して隣接し所定の回転軸の周りに回転可能な回転テーブルで構成し、前記固定テーブルおよび回転テーブルにまたがるように柔軟な軟質樹脂膜を配置し、一主面に割断予定線に沿って初亀裂およびスクライブ線を形成したガラス基板を前記スクライブ線が上面になるように、かつ、前記固定テーブルおよび回転テーブルの間隙上に位置するようにして前記スクライブ線を境に一方の側が前記固定テーブル上に、他方の側が前記回転テーブル上に位置するようにして前記軟質樹脂膜上に支持し、前記ガラス基板のスクライブ線側の面において前記スクライブ線の両側を所定の剛性および柔軟性を有する硬質樹脂層で押圧し、前記初亀裂に圧力を印加しながら前記回転テーブル側のガラス基板を前記回転テーブルとともに前記回転軸の周りに回転させることを特徴とするガラス基板のブレーク方法。
【請求項２】
ガラス基板の表面に強化層を形成した高強度ガラス基板であることを特徴とする請求項１に記載のガラスのブレーク方法。
【請求項３】
軟質樹脂膜が軟質ウレタン樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のガラスのブレーク方法。
【請求項４】
軟質樹脂膜のガラス基板との接触面にポリテトラフルオロエチレン層を設けたことを特徴とする請求項１に記載のガラスのブレーク方法。
【請求項５】
軟質樹脂膜の厚さを割断すべきガラス基板の厚さに応じて異ならせることを特徴とする請求項１に記載のガラスのブレーク方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スマートフォンやタブレット端末、ノートパソコン、タッチテーブルのスクリーンやテレビのスクリーンなどに使用されるフラットパネルディスプレイ用ガラスのブレーク方法、特にガラス表面を化学強化したアルミノケイ酸ガラスやフロートガラスに熱処理を加えて風冷強化したガラスなどの表面に強化層を形成したガラス（以下これらを高強度ガラスと総称する）の基板をブレークするのに好適なガラス基板のブレーク方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近ガラス基板の割断において、過去１世紀にわたって使用されてきたダイヤモンドチップによる機械的方法に代わって、レーザビーム照射による熱応力スクライブ方法（以下レーザスクライブと略記する）が使用されるようになってきた。レーザスクライブによれば、機械的方法に固有の欠点、すなわちマイクロクラック発生によるガラス強度の低下、割断時のカレット発生による汚染、適用板厚の下限値の存在などが一掃できる。
【０００３】
レーザスクライブにおいては一般に、ガラスを局所的に加熱し、気化、溶融やクラックが発生しない程度のレーザ光照射を行なう。この時ガラス加熱部は熱膨張しようとするが周辺ガラスからの反作用にあい十分な膨張ができず、この加熱領域には圧縮応力が発生する。周辺の非加熱領域でも、加熱部からの膨張に押されてさらに周辺に対して歪みが発生し、その結果圧縮応力が発生する。こうした圧縮応力は加熱中心点を原点とした半径方向のもので、加熱が発生後ほとんど音速でガラス板全域に伝播する。ところで物体に圧縮応力がある場合には、その直交方向にはポアソン比に比例した引っ張り応力が発生する。
【０００４】
引張り応力の存在位置に亀裂がある場合にはこの亀裂先端では応力拡大が発生し、この拡大された応力が材料の破壊靱性値を超えると亀裂が拡大する。すなわち、亀裂先端から加熱中心に向かって亀裂が進展するという制御された割断が生じることになる。したがって、レーザ照射点を先行走査することで、亀裂を延長させていくことができる。
【０００５】
ガラス基板のレーザスクライブはこの原理を使用しており、引張り応力の最大点付近に冷却を行なうと、このときガラスの収縮によって増幅される引張り応力が割断強化に役立ち、加熱と冷却の併用によって割断が効率よく実現できることが提案されている（特許文献１参照）。
特許文献１によれば、加熱用レーザ光としてはＣＯ２レーザ光が使用される。ＣＯ２レーザ光のビームスポットにおけるエネルギーの９９％は、ガラス板６の深さ３．７μｍのガラス表面層において吸収され、ガラス板の全厚さにわたって透過しない。これは、ＣＯ２レーザ波長におけるガラスの吸収係数が著しく大きいことによる。この結果、加熱はガラス板の表面層のみで発生し、この加熱領域では圧縮応力が発生する。
【０００６】
この加熱領域から外れた位置にある冷却点で冷却を行なうと引張り応力が発生し、この冷却点から後方に初亀裂を出発点とする表面スクライブが発生する。このスクライブの深さは、ソーダガラスなどでは通常１００μｍ程度である。しかしながら、ガラス板は脆性が強く、このスクライブ線にあわせて曲げ応力を印加し機械的に割断することが容易である。この曲げ応力の印加によって割断するプロセスをブレークと称する。レーザビームは走査方向の方向に走査される。この方法は従来方法である機械的方法に比較すれば数多くの長所があり、フラットパネルディスプレイ装置の生産に徐々に応用されるようになって来た。
【０００７】
曲げ応力の印加によって割断するプロセスをブレーク方法としては、割目を形成したガラス基板の割目の両側を夫々に基板保持部材に保持させ、一方の基板保持部材を基板の一方側に位置する固定テーブルに固定し、他方の基板保持部材をスライド駆動源を介して基板の他方側に位置する摺動テーブルに取り付け、摺動テーブルを基板の割目のほぼ真下において割目に平行な軸を中心に揺動可能に配置して、摺動テーブルを前記軸を中心に下方へ向けて揺動させることによ
り基板を割目に沿って折り曲げ割断する方法（特許文献２参照）や、ガラス基板の切断したい位置を受け治具から突出させて固定し、ガラス基板の突出部にブレークアクチュエータを作用させて折り割る方法（特許文献３、特許文献４）などが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３０２７７６８号明細書
【特許文献２】特開平２００２―１８７９７号公報
【特許文献３】実公平２−４０９９号公報
【特許文献４】特開２００６−３１９８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
一方、近年、スマートフォンやタブレット端末、ノートパソコン、タッチテーブルのスクリーンやテレビのスクリーンなどのフラットパネルディスプレイ用ガラスとして、ガラス表面の硬度を増すためにガラスの表裏面を化学強化した高強度ガラスが活用されている。このような高強度ガラスとしては、例えばコーニング社のゴリラガラス、ＩＯＸ−ＦＳガラス、旭硝子社のドラゴントレイルガラス（いずれも商品名）などが知られている。
【００１０】
特許文献２〜４によるブレーク方法は、通常のソーダガラスによるガラス基板のブレーク加工には問題はないが、高強度ガラスの場合には、スクライブ線に対してブレークラインが逸れてしまったり、ブレーク面にチッピングやシャークティースが発生してガラス強度が低下してしまうなど、ブレーク後のガラス基板の品質が低下してしまうという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するもので、ガラス基板、特に高強度ガラス基板のブレーク加工において、ブレークラインがスクライブ線からずれることがなく、しかも、ブレーク面にチッピングやシャークティースが発生せずに鏡面加工が実現できるガラス基板のブレーク方法を提供することを目的とするものである。
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明は、スクライブ線を形成したガラス基板を保持するブレークテーブルを固定テーブルおよびこの固定テーブルに所定の間隙を介して隣接し所定の回転軸の周りに回転可能な回転テーブルで構成し、前記固定テーブルおよび回転テーブルにまたがるように基板保持テーブル上に柔軟な軟質樹脂膜を配置し、ガラス基板をスクライブ線が上面になるように、かつ、前記所定の間隙上に位置するようにしてスクライブ線を境に一方の側が固定テーブル上に、他方の側が回転テーブル上になるように前記軟質樹脂膜上に支持し、ガラス基板のスクライブ線側の面においてスクライブ線の両側をある程度の剛性を有し、しかもある程度の柔軟性を有する硬質樹脂層で押圧して、回転テーブル側のガラス基板を回転テーブルとともに回転軸の周りに回転させることによりガラス基板のスクライブ線に沿って亀裂を進行させてガラスをブレークするものである。
【００１３】
上記構成によれば、ガラス基板のブレーク加工において、ブレークラインがスクライブ線からずれることがなく、しかも、ブレーク面にチッピングやシャークティース、カレットなどがほとんど発生せずに鏡面加工が実現できる。特に、ガラス基板のブレーク加工時にブレークラインがスクライブ線からずれやすく、ブレーク面にチッピングやシャークティース、カレットなどが発生しやすい高強度ガラス基板である場合において、ブレークラインのスクライブ線からのずれがなく、ブレーク面のチッピングやシャークティース、カレットなどがほとんどない鏡面加工を実現することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ガラス基板、特に高強度ガラス基板のブレーク加工において、ブレークラインがスクライブ線からずれることがなく、しかも、ブレーク面にチッピングやシャークティース、カレットなどが発生せずに鏡面加工が実現できる。また、高強度ガラス基板の表裏面に多少凹凸があってもブレークテーブル上の軟質樹脂膜および高強度ガラス基板を押圧する硬質樹脂層で高強度ガラス基板を狭持したときの締め付け力のバラつきを小さくすることができるとともに、スクライブ線と高強度ガラス基板を押圧する硬質樹脂層との位置決め精度も緩めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明によるガラス基板のブレーク方法を実施するためのブレーク装置の実施例に係る全体構成を概念的斜視図
【図２】図１におけるブレーク装置の実施例に係るＡ−Ａ‘線断面側面図
【図３】図１におけるブレーク装置の実施例に係る平面図
【図４】図２におけるブレーク装置の実施例に係る断面側面図を矢印Ｘ方向から見た側面図
【図５】図２におけるブレーク装置の実施例に係るブレーク直前におけるＡ−Ａ‘線断面側面図
【図６】図５におけるブレーク装置の実施例に係るブレーク開始時におけるＡ−Ａ‘線断面側面図
【図７】図６におけるブレーク装置の実施例に係るブレーク開始時におけるＡ−Ａ‘断面側面図を矢印Ｘ方向から見た側面図
【図８】図５におけるブレーク装置のブレーク進行時の動作を説明する断面側面図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明は、スクライブ線を形成したガラス基板を保持するブレークテーブルを固定テーブルおよびこの固定テーブルに所定の間隙を介して隣接し所定の回転軸の周りに回転可能な回転テーブルで構成し、前記固定テーブルおよび回転テーブルにまたがるように基板保持テーブル上に柔軟な軟質樹脂膜を配置し、ガラス基板をスクライブ線が上面になるように、かつ、前記所定の間隙上に位置するようにしてスクライブ線を境に一方の側が固定テーブル上に、他方の側が回転テーブル上になるように前記軟質樹脂膜上に支持し、ガラス基板のスクライブ線側の面においてスクライブ線の両側をある程度の剛性を有し、しかもある程度の柔軟性を有する硬質樹脂層で押圧して、回転テーブル側のガラス基板を回転テーブルとともに回転軸の周りに回転させることによりガラス基板のスクライブ線に沿って亀裂を進行させてガラスをブレークするものである。
【００１７】
また、本発明はガラス基板のブレーク加工時にブレークラインがスクライブ線からずれやすく、ブレーク面にチッピングやシャークティース、カレットなどが発生しやすい高強度ガラス基板をブレークした場合においても、ブレークラインのスクライブ線からのずれがなく、ブレーク面のチッピングやシャークティース、カレットなどがほとんどない鏡面加工を実現することができる。
【００１８】
また、ガラス基板を支持する軟質樹脂膜は軟質ウレタン樹脂である場合はガラス基板との密着性が特に高く、ガラス基板をブレークした時のガラスを引きちぎるブレーク力を緩衝させる作用が特に優れている。
【００１９】
また、軟質樹脂膜のガラス基板との接触面にポリテトラフルオロエチレン層を設けると、ブレーク後に軟質樹脂膜とガラス基板との剥離が容易になる。
【００２０】
また、軟質樹脂膜の厚さを割断すべきガラス基板の厚さに応じて異ならせることにより、ガラス基板の厚さが異なってもブレーク操作時に加える押圧力の大きさを綿密に調整させる必要がない。
【００２１】
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施例においてはガラス基板として高強度ガラス基板を例に説明するが、通常のソーダガラス基板においても実施できることはもちろんである。
【実施例】
【００２２】
図１は本発明による高強度ガラス基板のブレーク方法を実施するためのブレーク装置の実施例に係る全体構成を示す概念的斜視図、図２は図１におけるにブレーク装置の実施例のＡ−Ａ‘線断面側面図、図３は図１におけるブレーク装置の実施例の平面図、図４は図２における断面側面図を矢印Ｘ方向から見た側面図である。
【００２３】
高強度ガラスからなるガラス基板１は基板保持用のブレークテーブル２上に載置される。ガラス基板１は一主面に予めレーザスクライブなどによりスクライブ線１０が形成されており、このスクライブ線１０が形成された面がガラス基板１の上面側になるように、すなわち、スクライブ線１０がブレークテーブル２の上面に接するように載置される。ブレークテーブル２は図２に示すように所定の間隙をもって配置された一対のテーブル部材から構成されており、一方のテーブル部材はガラス基板１をブレークする際に固定配置されている固定テーブル２１、他方のテーブル部材はガラス基板１をブレークする際にガラス基板１の平面に対して下方に回転可能な回転テーブル２２を構成している。固定テーブル２１および回転テーブル２２の各々の上表面には薄く、柔軟性を有する軟質ウレタン樹脂などの軟質樹脂膜３が配置されており、ブレークすべきガラス基板１はブレーク時にこの軟質樹脂膜３上に載置される。軟質樹脂膜３はガラス基板１が載置されたとき、ガラス基板１に対して圧力が均等に作用し、固定テーブル２１および回転テーブル２２に置くだけで固定テーブル２１および回転テーブル２２に対して高い密着性を有するので、固定テーブル２１および回転テーブル２２に対して横方向にずれる恐れはない。したがって、接着剤などで接着固定する必要はない。なお、軟質樹脂膜３のガラス基盤１との接触面には必要に応じてテフロン（登録商標）として知られている厚さ０.１ｍｍ程度のポリテトラフルオロエチレン層を設けることによりブレーク完了後のガラス基板１の剥離が容易になる。
【００２４】
固定テーブル２１および回転テーブル２２に対向した上方には固定側押さえベース４および回転側押さえベース６が配置されている。固定側押さえベース４および回転側押さえベース６の各々の下端にはガラス基板１を固定テーブル２１および回転テーブル２２に押さえるためにある程度の剛性を有し、しかもある程度の柔軟性を有する硬質ウレタン樹脂などの硬質樹脂膜５、７が設けられている。硬質樹脂膜５、７としてウレタンゴムなどの柔軟性を有する樹脂を使用した場合、ガラス基板１を強く押圧するとその粘着性によりブレ−ク後のガラス基板１から剥がしにくく分離ができない場合があるが、硬質ウレタン樹脂はある程度の剛性を有しており、さらにガラス接触面に軟質樹脂膜３と同様にテフロン（登録商標）層を設けることによりガラス基板１からの剥離は容易である。
【００２５】
ガラス基板１は、ブレーク時に固定テーブル２１および回転テーブル２２の各々の上表面に設けられた軟質樹脂膜３上に載置する際は、ガラス基板１の割断予定線１１が固定テーブル２１および回転テーブル２２の間の間隙内に位置するように載置される。軟質樹脂膜３の一端には後述するプッシャー８を出入自在に挿入させるためのプッシャー用開口３１が形成されており、固定テーブル２１および回転テーブル２２の間の間隙内にはガラス基板１の割断予定線１１の一端の形成された初亀裂１１をガラス基板１の裏面側から突き上げるためのプッシャー８が出入自在に挿入される。ガラス基板１のスクライブ線１１方向の直下位置に対応する軟質樹脂膜３の下面の位置は回転テーブル２２の回転軸９に相当し、回転テーブル２２はこの回転軸９の周りに矢印Ｙ方向に、すなわち、ガラス基板１をブレークする際にガラス基板１の平面に対して下方に回転する。
【００２６】
次に動作を説明する。まず、図２に示すように、ガラス基板１をスクライブ線１０を下側にしてブレークテーブル２上の軟質樹脂膜３上に載置する。このとき、ガラス基板１に形成されているスクライブ線１０が固定テーブル２１および回転テーブル２２の間隙に位置し、かつスクライブ線１０の方向が固定テーブル２１および回転テーブル２２の長さ方向に平行になるように配置する。軟質樹脂膜３は柔軟性があるので、軟質樹脂膜３と固定テーブル２１および回転テーブル２２とが高い密着性を有するのと同様に、ガラス基板１と軟質樹脂膜３とは高い密着性を有している。したがって、ガラス基板１がその面方向において軟質樹脂膜３に対してずれる恐れはない。また、ガラス基板１と軟質樹脂膜３との高い密着性により軟質樹脂膜３がガラス基板１に作用する圧力はその面内において均等になる。
【００２７】
この状態で固定側押さえベース４および回転側押さえベース６を下方に移動させると、図５に示すように、固定側押さえベース４の下端に設けられている硬質樹脂膜５がガラス基板１の上表面に当接してガラス基板１を固定テーブル２１に押し付ける。したがって、固定テーブル２１側のガラス基板１には硬質樹脂膜５の押圧力により所定の圧力が加えられる。同様に、回転側押さえベース６の下端に設けられている硬質樹脂膜７もガラス基板１の上表面に当接してガラス基板１を回転テーブル２２に押し付けるので、回転テーブル２２側のガラス基板１にも硬質樹脂膜７の押圧力により所定の圧力が加えられる。このとき、固定側押さえベース４および回転側押さえベース６による押圧力を均等にすることにより、ガラス基板１の固定テーブル２１側および回転テーブル２２側にはそれぞれ均等な圧力がかけられる。この結果、ガラス基板１のスクライブ線１０には、スクライブ線１０を中心にスクライブ線１０が開く方向に予備的な力が加えられる。
【００２８】
この状態で、図７に示すように固定テーブル２１および回転テーブル２２の間の間隙内にプッシャー８を挿入し、さらに、軟質樹脂膜３に形成されているプッシャー用開口３１内に侵入させてプッシャー８の先端によりガラス基板１の裏面における初亀裂１１に対応する位置を押圧する。このとき、ガラス基板１の初亀裂１１は図７の左側端部付近にあり、ガラス基板１のスクライブ線１０はこの初亀裂１１から図５の右方向に伸びている。プッシャー８の先端によりガラス基板１の裏面における初亀裂１１に対応する位置を押圧しながら、図８に示すように、回転テーブル２２を回転軸９を中心に下方に回転させると、ガラス基板１は軟質樹脂膜３とともに回転テーブル２２の回転軸９の周りに矢印Ｙ方向に回転し始める。
【００２９】
ガラス基板１の下面の軟質樹脂膜３は柔軟であり、回転テーブル２１が回転軸９の周りに矢印Ｙ方向に回転すると、回転力はガラス基板１を曲げる方向に力が働いてスクライブ線１０を押し広げるように作用するが、ガラス基板１を引きちぎる方向、すなわちガラス基板１の面方向には作用しない。一方、ガラス基板１の初亀裂１１の裏面にはプッシャー８により押圧力が加わっているので、ガラス基板１にはガラス基板１の初亀裂１１を起点としてスクライブ線１０に沿った亀裂が進行する。この亀裂はスクライブ線１０に沿って進行するとともに、ガラス基板１にはプッシャー８により初亀裂１１に押圧力が加わってスクライブ線１０が開く方向に予備的な力が加わっているので、ガラス基板１の厚さ方向にも進行する。したがって、ガラス基板１は亀裂のスクライブ線１０に沿った方向およびガラス基板１の厚さに沿った方向への進行により割断が進行し、やがて初亀裂１１とは反対側の端部まで割断が達してブレークされる。
【００３０】
こうしてブレークされたガラス基板１のブレーク面にはチッピングやシャークティースはほとんど存在しない。また、カレットなどの残渣も一切発生しない。これは、ガラス基板１を固定テーブル２１と回転テーブル２２の上に直接載置せずに軟質樹脂膜３を介して載置されているために、ガラス基板１に作用する回転テーブル２１の回転力によりガラスを引きちぎるブレーク力を緩衝させるためである。
【００３１】
また、一般に、本発明のようにスクライブ線１０が形成されたガラス基板１をブレークする際に、スクライブ線１０に対して均一に予備的ストレスを与えるためのブレークテーブル２および固定押さえベース４、回転押さえベース５には高い部品加工精度が必要であり、さらに部品の設置時などの調整やブレーク加工時の部品位置の調整などの難易度が高い場合が多い。本発明においては、ブレークテーブル２の上に軟質樹脂膜３を設置し、固定押さえベース４および回転押さえベース５のガラス基板１に対する接触面に硬質樹脂層５．７を設けており、これら軟質樹脂膜３、硬質樹脂層５．７は金属材料などと比較して柔軟性を有しているので、部品加工精度や部品の設置時、ブレーク加工時の調整の許容度を大きくすることができるので、ブレーク装置を安価に製造することが可能になる。
【００３２】
なお、ガラス基板１の初亀裂１１に対する裏面からのプッシャー８の押圧力はプッシャー８の突き上げ距離により制御し、ガラス基板１を破壊しない程度の強さに制御することが好ましい。
【００３３】
軟質樹脂膜３の厚さは回転テーブル２１の回転軸９の中心とガラス基板１との間の回転軸オフセットに対応する。この回転軸オフセットは割断すべきガラス基板１のブレーク作用に影響するので、割断すべきガラス基板１の厚さにより異ならせることが好ましい。したがって、軟質樹脂膜３として厚さの異なる数種を用意しておき、割断すべきガラス基板１の厚さに応じて交換可能にすることが好ましい。
【００３４】
また、固定テーブル２１と回転テーブル２２とのあいだの間隙はガラス基板１の支え距離に相当し、固定テーブル２１の硬質樹脂膜５および回転テーブル２２の硬質樹脂膜７との間隙はガラス基板１の押さえ距離に相当する。これらの支え距離および押さえ距離も割断すべきガラス基板１のブレーク作用に影響するので、割断すべきガラス基板１の厚さに応じて調整可能とすることが好ましい。
【００３５】
本発明によりブレークされたガラス基板１のブレーク面を詳細に観察したところ、ブレーク面の直角度はスクライブ線１０に対して偏差が５０μｍ以内であり、またチッピングは１０μｍ以下でシャークティースは観察されなかった。また、ブレーク後のガラス基板１の強度は４点曲げ強度試験によると５００ＭＰａ以上でばらつきも少なかった。
【００３６】
以上のように、本発明によれば、ガラス基板、特に高強度ガラス基板のブレーク加工において、ブレークラインがスクライブ線からずれることがなく、しかも、ブレーク面にチッピングやシャークティースが発生せずに鏡面加工が実現できる高強度ガラス基板のブレーク方法を提供することが出来る。また、ブレーク装置の加工も容易になり安価に製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明によるガラス基板のブレーク方法は、ブレークラインがスクライブ線からずれやすく、ブレーク面を鏡面加工することが困難な高強度ガラス、特に大面積の高強度ガラスの鏡面割断に適用して好適である。」
【符号の説明】
【００３８】
１  ガラス基板
２  ブレークテーブル
３  軟質樹脂膜
４  固定側押さえベース
６  回転側押さえベース
５、７  硬質樹脂膜
８  プッシャー
９  回転軸
１０  スクライブ線
１１  初亀裂
２１  固定テーブル
２２  回転テーブル
３１  プッシャー用開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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