(57)【要約】【課題】ウエハの表面に酸化膜などを形成したり、不純物を拡散させたりする熱処理炉において、熱処理炉の炉心管内にガイド管等の複雑な構造を設けることなく親ボートを直進させて、ウエハの落下や親ボートの転倒を防止することができる熱処理炉を得ることを目的とする。【解決手段】傾斜して配置され、熱処理を行う炉心管１と、炉心管１と直線上に並ぶように傾斜して配置されたトレイ７と、熱処理されるウエハ６を載置し、炉心管１とトレイ７との間で往復動する運搬台４とを有することを特徴とする熱処理炉。【選択図】  図１
2015008202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
傾斜して配置され、熱処理を行う炉心管と、
前記炉心管と直線上に並ぶように傾斜して配置されたトレイと、
熱処理されるウエハを載置し、前記炉心管と前記トレイとの間で往復動する運搬台と
を有することを特徴とする熱処理炉。
【請求項２】
前記運搬台に働く重力の傾斜方向の成分が、前記運搬台に働く最大静止摩擦力よりも大きくなるような角度で傾斜が設けられていることを特徴とする熱処理炉。
【請求項３】
前記運搬台が前記傾斜に沿って落下するのを支えるフック棒を有することを特徴とする
請求項１乃至２に記載の熱処理炉。
【請求項４】
前記フック棒を前記傾斜に沿って往復動させることにより、前記運搬台を前記炉心管と前記トレイとの間で往復動させることを特徴とする
請求項１乃至３に記載の熱処理炉。
【請求項５】
前記炉心管内に前記運搬台を保持するためのストッパーを有することを特徴とする請求項１乃至４に記載の熱処理炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱処理炉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
熱処理炉は、たとえばウエハの表面に酸化膜などを形成したり、不純物を拡散させたりする装置である。熱処理炉には縦型炉と横型炉とがある。横型炉の一般的な構成は特許文献１に示されている。横型炉の場合、炉心管はガス導入部を備えた円筒状を有している。ウエハを積載した親ボート（運搬台）は、親ボートに設けられたフック引っ掛け部にフック棒が引っ掛けられて、炉心管に搬出入される。熱処理を行う際には、炉心管内の熱処理に最適な位置まで運ばれた後、ウエハが熱処理される。
【０００３】
熱処理炉の親ボート搬入・搬出時に、炉心管や親ボートに歪みや傾きがある場合や炉心管と親ボートの当たりが悪い場合には親ボートが真っ直ぐ進まずに、円筒形の炉心管に沿って親ボートが回転することがある。また、親ボートを搬送するフック棒の位置や、親ボートの位置は毎回同じではないために、力が加わる支点と親ボートの重心が炉心管に対して真っ直ぐでないことも親ボートが回転する要因である。この回転が大きい場合、ウエハが落下したり、ウエハを積載した親ボートが転倒したりする不具合が生じる。
【０００４】
そこで、特許文献２では、炉心管内部に、車輪を挟むように２本のガイド管を設置することで直進性を向上させる熱処理炉が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５４４５号
【特許文献２】特開平９−１８１００８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の技術によれば、熱処理炉の炉心管は耐熱性の観点から主に石英製であり、ガイド管も石英製で構成する必要があり、ガイド管を設置するような複雑な構造となるとコストがかさむという問題点がある。また、ガイド管に親ボートが引っ掛かった場合には破損の恐れがあり、またガイド管を乗り越えてしまう可能性もある。
【０００７】
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、熱処理炉の炉心管内にガイド管等の複雑な構造を設けることなく親ボートを直進させて、ウエハの落下や親ボートの転倒を防止することができる熱処理炉を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の熱処理炉は、傾斜して配置され、熱処理を行う炉心管と、炉心管と直線上に並ぶように傾斜して配置されたトレイと、熱処理されるウエハを載置し、炉心管とトレイとの間で往復動する運搬台とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の熱処理炉では、炉心管およびトレイに傾斜の構造を持たせることにより、親ボートを直進させる効果がある。
また、親ボートを直進させることにより、ウエハの落下や親ボートの転倒を防止する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１の熱処理炉の構成を示す模式図。
【図２】本発明の実施の形態１の親ボートとフック棒の斜視図。
【図３】本発明の実施の形態１の親ボートに働く力を示した模式図。
【図４】本発明の実施の形態１の親ボートに働く力を拡大して示した模式図。
【図５】本発明の実施の形態１の熱処理炉の親ボート運搬方法を示す模式図。（ａ）〜（ｅ）の順に搬入・搬出動作を行う。
【図６】従来の熱処理炉の構成を示す模式図。
【図７】本発明の実施の形態１の熱処理炉の炉心管部での断面図。
【図８】本発明の実施の形態１の親ボートの車軸と車輪の構成を示した断面図。
【図９】本発明の実施の形態１の親ボートに働く回転力を示す模式図。
【図１０】本発明の実施の形態１の熱処理炉のトレイ部での断面図。
【図１１】従来の熱処理炉のトレイ部での断面図。
【図１２】本発明の実施の形態２の熱処理炉の親ボート運搬方法を示す模式図。（ａ）〜（ｄ）の順に搬入・搬出動作を行う。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
実施の形態１ ．
図１、図２を用いて、この発明の実施の形態にかかる熱処理炉を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面間においても同様である。
【００１２】
図１は本発明の実施の形態１の熱処理炉を構成を示す模式図である。
実施の形態１の熱処理炉１０の構成について説明する。
熱処理炉１０は、傾斜して配置された炉心管１と、炉心管１の直線上に並ぶように傾斜して配置されたトレイ７と、熱処理されるウエハ６を載置して炉心管１とトレイ７との間を移動する運搬台としての親ボート４と、親ボート４を支えるためのフック棒２を有する。
【００１３】
炉心管１は図７に示すようにＹＺ断面が円筒状の形状であり、トレイ７側の端面は開口し、ウエハ搬出入口を形成している。円筒状の炉心管１は、トレイ７側が高くなるように水平に対して角度Ｇで傾斜している。トレイ７と反対側の端面は閉塞し、炉心管１内部に反応ガスを供給する反応ガス供給配管（図示せず）が接続されている。炉心管１や親ボート４、子ボート５の材質は、一般的には石英製であるが、１０００℃程度の高温でも変形やパーティクル発生の無い材質であれば良い。例えば他の材質として、炭化ケイ素（ＳｉＣ）でも良い。
【００１４】
トレイ７は、図１０に示すように炉心管１の半径と同じ半径を持った円筒形状の一部を切り取った断面円弧状の形状であり、トレイ７を含む仮想円筒の中心軸は、炉心管１の円筒の中心軸と一致し、水平に対して角度Ｇで傾斜している。これにより、炉心管１とトレイ７は、炉心管１側がトレイ７側よりも低くなるように直線上に並べられる。これにより、炉心管１とトレイ７はＸ軸方向から見たときに同一曲面を形成するので、親ボート４は炉心管１とトレイ７の間を滑らかに移動することができる。
トレイ７上には子ボート５を運搬するための親ボート４が載っている。
子ボート５にはウエハ６が載っている。
炉心管１は、円筒状の内壁に、親ボート４を炉心管１内で保持する親ボートストッパー９を有する。
親ボート４は、Ｘ負方向側、トレイ側に設けられたフック棒２で傾斜方向（Ｘ正方向）の荷重を支えられている。フック棒２はフック棒保持部３で保持されている。
【００１５】
親ボート４とフック棒２について、図２と図８で詳細に説明する。親ボート４には、Ｘ軸負方向にフック棒２のフック１１の径よりも大きな空間ができるように、コの字型のフック棒接続部８が取り付けられている。
図８は、親ボート４の車軸１４と車輪１２の構成を模式的に示した断面図である。親ボート４は車軸１４と車輪１２を有する。親ボート４に対して図２のＸ方向の力がかかると、親ボート４が設置された面に対して車輪１２が転がって移動する。設置面と車輪１２は転がるので、摩擦力は発生しない。一方、車軸１４は親ボート４に子ボート５およびウエハ６を載せる本体部分に固定されている。車輪１２の中心に開けられた穴に車軸１４が通されており、車軸１４の外周と車輪１２の内周は滑るので、車軸１４と車輪１２との間には摩擦力が発生する。
【００１６】
ここで、角度Ｇで傾斜しているトレイ７上に載っている親ボート４に働く力について、図３、図４を用いて説明する。
図３は、親ボート４に働く重力を示す模式図である。
図４は親ボート４に働く重力のベクトルを拡大した模式図である。
親ボート４には、重力Ｆ１が働く。
Ｆ１＝ｍ×ｇ
ｍ：親ボート４、子ボート５、ウエハ６の合計の質量
ｇ：重力加速度
重力Ｆ１は、親ボート４に働く重力の傾斜方向の成分Ｆ３と、親ボート４に働く重力の傾斜と垂直な成分の力Ｆ２に分解できる。
Ｆ２＝Ｆ１×ｃｏｓＧ  …  （式１）
Ｆ３＝Ｆ１×ｓｉｎＧ  …  （式２）
【００１７】
傾斜角度Ｇがゼロ、即ち傾斜が無く炉心管１とトレイ７が水平に設置されている場合は、Ｆ３＝０となってＸ方向の力は働かない。
傾斜角度Ｇを徐々に大きくしていくと、重力の傾斜方向の成分Ｆ３が車輪と車軸の間に働き、Ｆ３とつりあう摩擦力Ｆ４が発生し、親ボート４のＸ方向の移動は発生しない。
Ｆ４＝Ｆ３
傾斜角度Ｇをさらに大きくしていくと、摩擦力を超えてすべりが発生する。
【００１８】
すべりが発生する直前の最大の摩擦力を最大静止摩擦力ＦＭと呼ぶ。
すべりが発生する直前の傾斜角度をＧ０とすると、ＦＭは以下の式で表される。
ＦＭ＝Ｍｙｕ０×Ｆ２＝Ｆ３  …  （式３）
ここでＭｙｕ０は静止摩擦係数である。
式３に式１と式２を代入して解くと、下記の通りとなる。
Ｍｙｕ０×Ｆ１×ｃｏｓＧ０＝Ｆ１×ｓｉｎＧ０
Ｍｙｕ０＝ｓｉｎＧ０／ｃｏｓＧ０＝ｔａｎＧ０
Ｇ０＝ｔａｎ−１（Ｍｙｕ０）  …  （式４）
即ち、傾斜角度がＧ０より大きいと、親ボート４にはＸ方向の力ＦＸが働く。
【００１９】
ここで、親ボート４がフック棒２で支えられていない場合、親ボート４は車輪と車軸がすべり、車輪が斜面に対して回転して転がって、Ｘ正方向に傾斜に沿って落下する。
フック棒２で親ボート４を支えている場合、フック棒２には、親ボート４に働く重力の傾斜方向の成分Ｆ３と最大静止摩擦力ＦＭとが合成された力として、Ｘ正方向に引っ張る力ＦＸが働く。
ＦＸ＝Ｆ３−ＦＭ
＝Ｆ１×ｓｉｎＧ−Ｍ０×Ｆ１×ｃｏｓＧ
＝Ｆ１×（ｓｉｎＧ−Ｍ０×ｃｏｓＧ）
＝Ｆ１×（ｓｉｎＧ−ｔａｎＧ０×ｃｏｓＧ）
傾斜角度ＧがＧ０に等しい場合、上式は以下の通りとなる。
ＦＸ＝Ｆ１×（ｓｉｎＧ０−ｔａｎＧ０×ｃｏｓＧ０）
＝Ｆ１×（ｓｉｎＧ０−ｓｉｎＧ０）＝０
即ち、傾斜角度ＧがＧ０に等しい場合、フック棒２にＸ正方向に働く力ＦＸはゼロである。
【００２０】
まとめると、ＦＸは以下の通りとなる。
０＜Ｇ＜Ｇ０
ＦＸ＝０
Ｇ０＜Ｇ
ＦＸ＝Ｆ１×（ｓｉｎＧ−ｔａｎＧ０×ｃｏｓＧ）
【００２１】
実施の形態１では、傾斜角度ＧはＧ０よりも大きな角度で傾けられている。
即ち、親ボート４に働く重力の傾斜方向の成分が、親ボート４に働く最大静止摩擦力よりも大きくなるような角度で傾斜が設けられている。
このように構成することで、親ボート４の停止状態では、親ボート４が傾斜に沿って落下するのをフック棒２で支えた状態となっている。
【００２２】
つぎに、実施の形態１の熱処理炉１０を用いた熱処理の様子について説明する。図５は、熱処理炉へのウエハの搬出入の様子を模式的に示す図である。
【００２３】
図５は、太陽電池製造工程の不純物（たとえば、リンなど）の拡散工程または熱酸化工程において、横型拡散炉の炉心管１への熱処理対象となるウエハ６を搭載した親ボート４の搬出入の様子を表している。ここで、熱処理の対象となるウエハ６は、たとえば表面に反射防止用の凹凸が形成されたｐ型シリコンウエハを用いることができる。熱拡散処理時は高温のため、ウエハ６を入れた石英製の子ボート５を石英製の親ボート４に載せて処理が行われる。
【００２４】
まず、図５（ａ）に示されるように、トレイ７上に親ボート４を載置し、親ボート４のＸ軸負方向の端部に設けられるフック引っ掛け部８に、フック棒２のフック１１を引っ掛ける。フック１１はＺ軸上方からフック引っ掛け部８に挿入される。その後、熱処理の対象となるウエハ６を入れた子ボート５を親ボート４上の所定の位置に載置する。
【００２５】
次に、図５（ｂ）に示されるように、フック棒保持部３をＸ軸正方向に移動させて、フック棒２をＸ軸正方向に移動させる。親ボート４には、Ｘ方向の力ＦＸが働き、それをフック棒２で支えた状態となっているので、フック棒２をＸ軸正方向に移動させると、親ボート４はＦＸに引っ張られてＸ軸正方向に移動し、炉心管１内に挿入される。
【００２６】
次に、図５（ｃ）に示されるように、親ボート４のＸ軸正方向側の車輪を炉心管１内の親ボートストッパー９の位置で停止させる。この位置では、親ボート４に働くＸ方向の力ＦＸは、親ボートストッパー９で支えられるため、フック棒２を外しても親ボート４が傾斜に沿って落下することはない。
【００２７】
その後、フック１１がフック棒接続部８から外され、フック棒２が炉心管１より外の位置に出される。そして、炉心管１のトレイ７側の端面のウエハ搬出入口が図示しない扉で閉じられ、炉心管１内を所定のガス雰囲気として、熱処理が行われる。
【００２８】
熱処理後、扉が開けられ、炉心管１のウエハ搬出入口からフック棒２が挿入され、親ボート４のフック引っ掛け部８にフック１１が引っ掛けられる。ついで、図５（ｄ）に示されるように、フック棒４をＸ軸負方向に移動させることによって、親ボート４が炉心管１から搬出され、図５（ｅ）に示されるように、トレイ７上の所定の位置まで搬送される。
【００２９】
その後、親ボート４および子ボート５がトレイ７上で所定の温度まで冷却された後、子ボート５が次の工程での処理に移される。以上によって、熱処理炉１０を用いたウエハ６の処理が終了する。その後、新しいウエハ６を入れた子ボート５に載せ替えて、次の処理が開始される。
このように、フック棒２を傾斜に沿って往復動させることにより、親ボート４を炉心管１とトレイ７との間で往復動させることができる。
【００３０】
図２は本発明の実施の形態１の親ボート４とフック棒２の斜視図である。
図２に示されるように、一般的な親ボート４では、Ｘ軸負方向にフック棒２のフック１１の径よりも大きな空間ができるように、コの字型のフック引っ掛け部８が取り付けられている。このような構造では、フック１１をフック引っ掛け部８に差し込むと、フック１１とフック引っ掛け部８との接続部は、点で接することになる。
【００３１】
ここで、従来の熱処理炉の構成を図６に示す。また、炉心管部での断面図を図７に示す。従来の熱処理炉では、炉心管１とトレイ７は水平に設置されている。
このような状態で、搬入時に親ボート４を炉心管１内にフック棒２で押し込むと、親ボート４には静止摩擦力が働いており、押し込むのとは逆方向に摩擦力が働くため、親ボート４が図７の矢印の方向に回転し、螺旋状に搬送されてしまうことがあった。
特に、炉心管１や親ボート４に歪みや傾きがある場合や、炉心管１と親ボート４の車輪の当たりが悪い場合には、親ボート４に働く摩擦力が大きくなり、親ボート４が直進性を失い親ボート４が大きく回転してしまうことがあった。
【００３２】
トレイ７部での断面図を図１０に示す。トレイ７には、親ボート４の位置を決めるために、トレイガイド１３が設けられている。このトレイガイド１３により、親ボート４の両側に設けられた車輪１２の位置を規制し、親ボート４をトレイ７上で水平に設置することができる。また、親ボート４を水平に設置することにより、親ボート４上の子ボート５の載せ換え作業を容易に行うことができる。
しかしながら、親ボート４が炉心管１内でＸ軸周りに大きく回転すると、炉心管１からトレイ７への乗り移り時に、図１１で示すように車輪１２がトレイガイド１３に乗り上げ、親ボート４の破損を引き起こしたり、親ボート４が転倒したりする不具合を生じる。
【００３３】
これに対し、実施の形態１では、摩擦力よりも大きい重力が働いているため、親ボート４を重力により進行方向に引っ張りながら進めることになり、親ボート４を図７の矢印の方向に回転させる力が働かず、親ボート４は回転しない。また、炉心管１や親ボート４に歪みや傾きがあって親ボート４が回転した場合でも、図９に示すようにフック棒接続部８が回転軸となり親ボートに回転モーメントが加わることで、親ボート４の進行方向は炉心管１の長手方向と平行方向に補正される。
【００３４】
また、搬出時にも搬入時と同様に、親ボート４が直進性を失った場合には、フック棒接続部８が回転軸となり親ボートに回転モーメントが加わることで、親ボート４の進行方向は炉心管１の長手方向と平行方向に補正される。
【００３５】
以上のように、本発明の実施の形態１では、炉心管１およびトレイ７に傾斜の構造を持たせることにより、親ボート４を直進させる効果がある。
また、親ボート４を直進させることにより、ウエハ６の落下や親ボート４の転倒を防止する効果がある。
また、親ボート４を直進させることにより、搬出時のトレイ７との乗り換え部分での、トレイガイド１３への乗り上げを防止し、親ボート４の破損や転倒を防止する効果がある。
また、炉心管４の内部に石英製のガイド管等の複雑な構造を必要としないので、コストを低減できるという効果がある。
【００３６】
なお、実施の形態１では、運搬台が親ボート４と子ボート５に別れている実施例を説明したが、それに限られることはなく、親ボート４と子ボート５が一体となった形態の運搬台であってもよい。
【００３７】
また、親ボート４に車輪１２が設けられた実施例を説明したが、それに限られることはなく、車輪を有しない親ボート４であっても良い。この場合、親ボート４が炉心管１やトレイ７の上を滑って移動するので、摩擦力は親ボート４と炉心管１やトレイ７との間に働くことになる。
【００３８】
実施の形態２．
図１２は本発明の実施の形態２の熱処理炉１１０の構成を示す模式図である。
実施の形態２は、トレイ１０７側より炉心管１０１側が高くなっていることと、フック棒１０３が炉心管側に設けられていることが、実施の形態１との主な違いである。
実施の形態２の熱処理炉１１０の構成について説明する。
熱処理炉１１０は、傾斜した炉心管１０１と、炉心管１０１の直線上に並べられたトレイ１０７と、炉心管１０１とトレイ１０７との間を移動する運搬台としての親ボート１０４と、親ボート１０４を支えるためのフック棒１０２を有する。
【００３９】
炉心管１０１は円筒状の形状であり、両側の端面が開口している。
円筒状の炉心管１０１は、トレイ１０７と反対側が高くなるように水平に対して角度Ｇで傾斜している。トレイ１０７と反対側の端面の付近に、炉心管１０１内部に反応ガスを供給する反応ガス供給配管（図示せず）が接続されている。
【００４０】
トレイ１０７は、炉心管１０１の半径と同じ半径を持った円筒形状の一部を切り取った断面円弧状の形状であり、トレイ１０７を含む仮想円筒の中心軸は、炉心管１０１の中心軸と一致し、水平に対して角度Ｇで傾斜している。これにより、炉心管１０１とトレイ１０７は、炉心管１０１側がトレイ１０７側よりも高くなるように直線上に並べられる。これにより、炉心管１０１とトレイ１０７はＸ軸方向から見たときに同一面を形成するので、親ボート１０４は炉心管１０１とトレイ１０７の間を滑らかに移動することができる。
トレイ１０７上には子ボート１０５を運搬するための親ボート１０４が載っている。
炉心管１０１は、円筒状の内壁に、親ボート１０４を炉心管１０１内で保持する役割の親ボートストッパー１０９を有する。
親ボート１０４は、Ｘ負方向側、トレイ１０７と反対側に設けられたフック棒１０２で傾斜方向（Ｘ正方向）の荷重を支えられている。フック棒１０２はフック棒保持部１０３で保持されている。
【００４１】
次に、実施の形態２の熱処理炉１１０を用いた熱処理の様子について説明する。図１２は、熱処理炉へのウエハの搬出入の様子を模式的に示す図である。
実施の形態２では、実施の形態１と同様に、傾斜角度ＧはＧ０よりも大きな角度で傾けられている。
即ち、親ボート１０４に働く重力の傾斜方向の成分が、親ボート１０４に働く最大静止摩擦力よりも大きくなるような角度で傾斜が設けられている。
このように構成することで、親ボート１０４の停止状態では、親ボート１０４が傾斜に沿って落下するのをフック棒１０２で支えた状態となっている。
【００４２】
図１２は、熱処理炉１１０の炉心管１０１への熱処理対象となるウエハ１０６を搭載した親ボート１０４の搬出入の様子を表している。ここで、熱処理の対象となるウエハ１０６は、たとえば表面に反射防止用の凹凸が形成されたｐ型シリコンウエハを用いることができる。熱拡散処理時は高温のため、ウエハ１０６を石英製の親ボート１０４に乗せて処理が行われる。
【００４３】
まず、図１２（ａ）に示されるように、トレイ１０７上に親ボート１０４を載置し、親ボート１０４のＸ軸負方向の端部に設けられるフック引っ掛け部１０８に、フック棒１０２のフック１１１を引っ掛ける。フック１１１はＺ軸上方からフック引っ掛け部１０８に挿入される。フック棒１０２はトレイ７に対して炉心管１０１側に設けられ、炉心管１０１のトレイ１０７と反対側の外側まで伸ばして設置され、炉心管１０１のトレイ１０７と反対側の外側からフック棒保持部１０３で保持されている。トレイ１０７上に親ボート１０４を載置した後、熱処理の対象となるウエハ１０６を積載した子ボート１０５を親ボート１０４上の所定の位置に載置する。
【００４４】
次に、図１２（ｂ）に示されるように、フック棒１０２をＸ軸負方向に移動させる。親ボート１０４には、Ｘ軸正方向の力ＦＸが働き、それをフック棒１０２で支えた状態となっているので、フック棒１０２をＸ軸負方向に移動させると、親ボート４はＦＸに引っ張られながらＸ軸負方向に移動し、炉心管１０１内に挿入される。
【００４５】
次に、図１２（ｃ）に示されるように、親ボート１０４のＸ軸負方向側の車輪が炉心管１０１内の親ボートストッパー１０９を超えた位置で停止させる。この位置では、親ボート４に働くＸ軸正方向の力ＦＸは、親ボートストッパー１０９で支えられるため、フック棒１０２を外しても親ボート１０４が傾斜に沿って落下することはない。
【００４６】
その後、フック１１１がフック棒接続部１０８から外され、フック棒１０２が炉心管１０１より外の位置に出される。そして、炉心管１０１のＸ軸正方向端部にあるウエハ搬出入口と、Ｘ軸負方向端部にあるフック棒搬出入口とが図示しない扉で閉じられ、炉心管１０１内を所定のガス雰囲気として、熱処理が行われる。
【００４７】
熱処理後、両側の扉が開けられ、炉心管１０１のＸ軸負方向端部にあるフック棒搬出入口からフック棒１０２が挿入され、親ボート１０４のフック引っ掛け部１０８にフック１１１が引っ掛けられる。ついで、図１２（ｄ）に示されるように、まずフック棒１０２で親ボート１０４を押して、親ボート１０４のＸ軸負方向側の車輪を炉心管１０１内の親ボートストッパー１０９を乗り越えさせる。これにより、親ボート１０４の荷重はフック棒１０２に働き、親ボート１０４が傾斜方向に落下するのをフック棒１０２で支えた状態になる。その後、フック棒１０２をＸ軸正方向に移動させることによって、親ボート１０４が炉心管１０１から搬出され、図１２（ａ）に示されるように、トレイ１０７上の所定の位置まで搬送される。
【００４８】
その後、親ボート１０４および子ボート１０５がトレイ１０７上で所定の温度まで冷却された後、子ボート１０５がつぎの工程での処理に移される。以上によって、熱処理炉１１０を用いたウエハ１０６の処理が終了する。
【００４９】
実施の形態２では、炉心管１０１とトレイ１０７を傾斜させることで、親ボート１０４に摩擦力よりも大きい重力が働いているため、親ボート１０４を荷重によりフック棒１０２と反対側に引っ張りながら進めることになり、親ボート１０４を図７の矢印の方向に回転させる力が働かず、親ボート１０４は回転しない。また、炉心管１０１や親ボート１０４に歪みや傾きがあって親ボート１０４が回転した場合でも、図９に示すようにフック棒接続部１０８が回転軸となり親ボートに回転モーメントが加わることで、親ボート１０４の進行方向は炉心管１０１の長手方向と平行方向に補正される。
【００５０】
また、搬出時にも搬入時と同様に、親ボート１０４が直進性を失った場合には、フック棒接続部１０８が回転軸となり親ボート１０４に回転モーメントが加わることで、親ボート１０４の進行方向は炉心管１０１の長手方向と平行方向に補正される。
【００５１】
以上のように、実施の形態２では、炉心管１０１およびトレイ１０７に傾斜の構造を持たせることにより、親ボート１０４を直進させる効果がある。
また、親ボート１０４を直進させることにより、ウエハ１０６の落下や親ボート１０４の転倒を防止する効果がある。
また、親ボート１０４を直進させることにより、搬出時のトレイ１０７との乗り換え部分での、トレイガイド１３への乗り上げを防止し、親ボート１０４の破損や転倒を防止する効果がある。
【００５２】
なお、実施の形態２では、運搬台が親ボート１０４と子ボート１０５に別れている実施例を説明したが、それに限られることはなく、親ボート１０４と子ボート１０５が一体となった形態の運搬台であってもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１．炉心管
２．フック棒
３．フック棒保持部
４．親ボート（運搬台）
５．子ボート（半導体ウエハを積載する支持体）
６．半導体ウエハ
７．トレイ
８．フック棒接続部
９．親ボートストッパー
１０．熱処理炉
１１．フック
１２．車輪
１３．トレイガイド
１４．車軸
１０１．炉心管
１０２．フック棒
１０３．フック棒保持部
１０４．親ボート（運搬台）
１０５．子ボート（半導体ウエハを積載する支持体）
１０６．半導体ウエハ
１０７．トレイ
１０８．フック棒接続部
１０９．親ボートストッパー
１１０．熱処理炉
１１１．フック
【図１】
2015008202.tif 000003
【図２】
2015008202.tif 000004
【図３】
2015008202.tif 000005
【図４】
2015008202.tif 000006
【図５】
2015008202.tif 000007
【図６】
2015008202.tif 000008
【図７】
2015008202.tif 000009
【図８】
2015008202.tif 000010
【図９】
2015008202.tif 000011
【図１０】
2015008202.tif 000012
【図１１】
2015008202.tif 000013
【図１２】
2015008202.tif 000014