(57)【要約】【課題】使用済みの切断部材が装置に残置されていることに起因して生じるタイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生することを好適に防止し得るチューブ接合装置を提供する。【解決手段】チューブ接合装置１が備える制御部１００は、溶断に使用される前の未使用のウェハーＷＦ１を使用した溶断作業を開始する際に、排出ポジションＰＳ２に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていることが検出された場合、溶断作業の進行を制限するように動作制御を行う。【選択図】図２４
2015136575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱した切断部材によって第１のチューブの端部と第２のチューブの端部を溶断した後、前記第１のチューブの溶断した端部と前記第２のチューブの溶断した端部を入れ替えて接合するチューブ接合装置であって、
前記第１のチューブおよび前記第２のチューブを保持する保持部を備える筐体と、
前記筐体に設けられ、複数の前記切断部材を収容可能に構成された収容部と、
前記保持部に保持された前記第１のチューブおよび前記第２のチューブを溶断する際に前記切断部材を待機させる第１の位置へ前記収容部に収容された前記切断部材を移動させ、溶断作業後に、前記筐体から前記切断部材が取り出し可能となる第２の位置へ溶断に使用された使用済みの前記切断部材を移動させる移動機構と、
溶断作業後に使用済みの前記切断部材が前記第２の位置に残置されているか否かを検出する切断部材検出部と、
溶断に使用される前の未使用の前記切断部材を使用した溶断作業を開始する際に、前記切断部材検出部により前記第２の位置に使用済みの前記切断部材が残置されていることが検出された場合、溶断作業の進行を制限するように動作制御を行う制御部と、を有するチューブ接合装置。
【請求項２】
前記保持部に前記第１のチューブおよび前記第２のチューブが正常にセットされているか否かを検出するチューブ検出部と、
前記筐体に設けられ前記保持部へ前記第１のチューブおよび前記第２のチューブをセットする際に開閉されるカバーが正常に閉められているか否かを検出するカバー検出部と、
前記収容部に前記切断部材が正常に収容されているか否かを検出する収容状態検出部と、をさらに有しており、
前記チューブ検出部、前記カバー検出部、および前記収容状態検出部のそれぞれは、前記切断部材検出部による検出が実施される前および／または検出が実施された後に、検出を実施し、
前記制御部は、前記チューブ検出部、前記カバー検出部、および前記収容状態検出部のうちの少なくとも一つが正常でないとの検出結果を得た場合に、溶断作業の進行を制限する、請求項１に記載のチューブ接合装置。
【請求項３】
前記制御部によって溶断作業の進行を制限する動作制御が行われる場合に、その旨を報知する報知部をさらに有する請求項１または請求項２に記載のチューブ接合装置。
【請求項４】
前記筐体は、当該筐体の内外に連通し使用済みの前記切断部材が送り出される取出し口を有しており、
前記第２の位置は、前記取出し口付近に設定される、請求項１〜３のいずれか１項に記載のチューブ接合装置。
【請求項５】
前記切断部材検出部は、前記第２の位置に向けて光を出射する発光部と、前記光の受光の有無により前記切断部材が残置されているか否かを検知する受光部とを備えるフォトセンサを有する請求項１〜４のいずれか１項に記載のチューブ接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チューブの接合に使用されるチューブ接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂製のチューブ同士などを繋ぎ合わせる技術として、各樹脂製のチューブの端部を溶断し、溶断した端部同士を相互に押し付けて加圧接合させる接合方法が従来から知られている。このような技術は、様々な産業分野において広く用いられており、その一例として、腹膜透析方法などの医療技術への応用が試みられている。
【０００３】
腹膜透析方法は、患者の腹腔内に埋め込んだチューブ（カテーテル）を使用して所定の透析液を体内に入れた後、腹膜を介して透析液内へ移行させた水や老廃物を体外へ取り除く方法である。体内へ透析液を入れる際には、患者に埋め込まれたチューブを透析液が収容されたバックのチューブに対して液密に接合させる。また、体内から透析液を排液する際にも、患者に埋め込まれたチューブを排液用のバックのチューブに液密に接合させる。
【０００４】
上記のように接合対象となる一方のチューブは、患者の腹腔内に埋め込まれているため、接合作業時に各チューブが汚染されることのないように作業には細心の注意を払わなければならない。このような点を鑑みて、例えば特許文献１に記載されているように、２本の樹脂製のチューブを溶断して無菌状態で自動的に接合を行うことを可能にするチューブ接合装置が開発されている。この装置では、２本のチューブの溶断した端部を入れ替えて接合するため、接合の際に菌汚染の心配が無く、チューブおよびバッグ内の透析液等の無菌性を保持することができる。また、２本のチューブの各端部の溶断は、加熱した平板状の金属製ウェハーを用いて行われている。ウェハーは、接合装置に装着されたカセットから一枚ずつ順次に所定位置に送り込まれ、溶断に使用された後は、装置から取り除くことが可能な位置へ送り出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許２７１００３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した接合装置を使用する場合、接合作業を終える度に装置からウェハーを取り除く作業が行われる。使用済みのウェハーが取り忘れなどによって装置から取り除かれずに連続して接合作業が実施されると、装置に残置されたウェハーが当該装置の各部、例えば、ウェハーによる切断作業を行う際にウェハーを保持した状態で昇降動作を行うホルダーなどと干渉してタイムアウトエラーや接合不良といった問題が生じ得る。
【０００７】
しなしながら、従来の装置においては、使用済みの切断部材が装置に残置されているか否かといったことを検出することはできないため、上記のような問題の発生を未然に防ぐことができず、装置を使用する上での利便性が低下するものとなっていた。
【０００８】
そこで、本発明は、使用済みの切断部材が装置に残置されていることに起因して生じ得るタイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生することを好適に防止し得るチューブ接合装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のチューブ接合装置は、加熱した切断部材によって第１のチューブの端部と第２のチューブの端部を溶断した後、前記第１のチューブの溶断した端部と前記第２のチューブの溶断した端部を入れ替えて接合するチューブ接合装置であって、前記第１のチューブおよび前記第２のチューブを保持する保持部を備える筐体と、前記筐体に設けられ、複数の前記切断部材を収容可能に構成された収容部と、前記保持部に保持された前記第１のチューブおよび前記第２のチューブを溶断する際に前記切断部材を待機させる第１の位置へ前記収容部に収容された前記切断部材を移動させ、溶断作業後に、前記筐体から前記切断部材が取り出し可能となる第２の位置へ溶断に使用された使用済みの前記切断部材を移動させる移動機構と、溶断作業後に使用済みの前記切断部材が前記第２の位置に残置されているか否かを検出する切断部材検出部と、溶断に使用される前の未使用の前記切断部材を使用した溶断作業を開始する際に、前記切断部材検出部により前記第２の位置に使用済みの前記切断部材が残置されていることが検出された場合、溶断作業の進行を制限するように動作制御を行う制御部と、を有している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るチューブ接合装置によれば、未使用の切断部材を使用した溶断作業を開始する際に、溶断に使用された使用済みの切断部材が当該装置から切断部材が取り出し可能となる第２の位置に残置されていることが検出された場合には溶断作業の進行が制限される。このため、第２の位置に使用済みの切断部材が残置されていることに起因して生じ得るタイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生することを好適に防止することが可能になる。
【００１１】
また、チューブ接合装置が、切断部材検出部による第２の位置における切断部材の残置の有無の検出を実施する前および／またはその後に、各チューブのセット状態が正常か否か、カバーの開閉状態が正常か否か、切断部材の収容状態が正常か否かをそれぞれ検出し、各条件が満たされた場合に溶断作業を進行するように構成されている場合、準備が整えられていない状態で溶断作業が進行してしまう誤動作の発生を防止することができる。特に、切断部材検出部による検出の後に、上記各検出を実施することにより、第２の位置から切断部材を取り除く作業中に生じ得るチューブの位置ズレ、カバーの閉め忘れ等が発生している場合に、その旨を使用者が容易に把握することが可能になるため、これらの不具合に迅速に対応することが可能になる。
【００１２】
また、制御部によって溶断作業の進行が制限される動作制御がなされる場合に、その旨を報知する報知部を有するように構成されている場合、溶断作業の進行が制限される旨を使用者が明確に把握することが可能になる。
【００１３】
また、筐体の内外に連通する取出し口付近に第２の位置が設定されている場合、筐体内部から送り出された使用済みの切断部材が取出し口に滞留して生じるタイムアウトエラーの発生を好適に防止することが可能になる。
【００１４】
また、切断部材検出部がフォトセンサを有するように構成されている場合、精度良く切断部材の残置の有無を検出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るチューブ接合装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示すチューブ接合装置をＪ１方向から見た側面図である。
【図３】図１に示すチューブ接合装置をＪ２方向から見た側面図である。
【図４】図１に示すチューブ接合装置の底面図である。
【図５】図５（Ａ）は、図１に示す筐体の正面部側に設けられている操作パネル部の構成例を示す図、図５（Ｂ）は、図１に示す筐体の上面部に設けられている表示部の構成例を示す図である。
【図６】図１に示すクランプ蓋部を筐体からＲＴ方向に開いた状態を示す斜視図である。
【図７】図６に示す矢印ＳＳ方向から見たクランプ蓋部の内部構造例と、筐体側クランプ部の内部構造例を示す斜視図である。
【図８】クランプ蓋部の内部構造例と、筐体側クランプ部の内部構造例を示す別の角度から見た斜視図である。
【図９】図７に示すクランプ蓋部の内部構造と筐体側クランプ部の内部構造を拡大して示す図である。
【図１０】チューブ接合装置の筐体内に配置されている構成要素の概略の配置例を示す斜視図である。
【図１１】チューブ接合装置の制御系統の電気ブロックを示す図である。
【図１２】図１２（Ａ）〜（Ｃ）は、筐体のウェハーカセット挿入部と、ウェハーカセット取り出しボタンの付近と、ウェハーカセットを示す斜視図である。
【図１３】図１３（Ａ）は、ウェハーカセットの底面部を示す斜視図、図１３（Ｂ）は、ウェハーカセットの上面部を示す斜視図である。
【図１４】ファンと、筐体側クランプ部に配置された各チューブとウェハーとの位置関係の例を示す側面図である。
【図１５】実施形態に係るチューブ接合装置により接合されるチューブを模式的に示す図である。
【図１６】図１６（Ａ）〜（Ｃ）は、チューブ接合装置が備える筐体側クランプ部にチューブをセットする様子を模式的に示す図である。
【図１７】図１７（Ａ）、（Ｂ）は、チューブ接合装置が備える筐体側クランプ部にチューブをセットする様子を模式的に示す図である。
【図１８】図１８（Ａ）〜（Ｄ）は、チューブ接合装置による溶断−接合作業の各工程を模式的に示す図である。
【図１９】図１９（Ａ）は、接合後の各チューブを拡大して示す図、図１９（Ｂ）は、接合後の各チューブの配設状態を模式的に示す図である。
【図２０】切断部材を移動させる移動機構およびウェハーカセット収納ユニットを示す平面図である。
【図２１】図２１（Ａ）は、ウェハーホルダーが昇降動作を実施する前の様子を模式的に示す側面図、図２１（Ｂ）は、ウェハーホルダーが上昇動作を実施した際の様子を模式的に示す側面図である。
【図２２】図２２（Ａ）は、ウェハーホルダーが下降動作を実施した際の様子を示す側面図、図２２（Ｂ）は、使用済みの切断部材が取出し口へ送り出される様子を模式的に示す側面図である。
【図２３】図２３（Ａ）は、対比例に係るチューブ接合装置を使用した際に切断部材と下降動作中のウェハーホルダーが干渉する様子を示す斜視図、図２３（Ｂ）は、切断部材と下降動作中のウェハーホルダーが干渉する様子を模式的に示す側面図である。
【図２４】制御部による動作制御のフローチャートを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、図面の寸法比率は、説明の都合上誇張されており、実際の比率とは異なる場合がある。
【００１７】
図１は、本実施形態に係るチューブ接合装置を示す概観斜視図である。図２は、図１に示す矢印Ｊ１方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図３は、図１に示す矢印Ｊ２方向から見たチューブ接合装置の側面図である。図４は、チューブ接合装置を底面部側から見た斜視図である。
【００１８】
チューブ接合装置１は、複数のチューブＴ１、Ｔ２（以下、第１のチューブＴ１および第２のチューブＴ２とする）のそれぞれの端部を溶断し、溶断した各端部同士を無菌状態で加圧して接合するものである。本実施形態の説明においては、腹膜透析液バッグの透析液チューブ（第１のチューブＴ１に相当する）と、腹膜透析をする際に使用される患者の腹膜カテーテル側のチューブ（第２のチューブＴ２に相当する）の接合に使用される医療装置に適用した例を通じてチューブ接合装置を説明する。
【００１９】
図１８、図１９に示すように、チューブ接合装置１は、加熱したウェハーＷＦ（切断部材に相当する）によって第１のチューブＴ１の端部と第２のチューブＴ２の端部を溶断した後、第１のチューブＴ１の溶断した端部と第２のチューブＴ２の溶断した端部を入れ替えて接合するように構成されている。
【００２０】
チューブ接合装置１の各構成について説明する。
【００２１】
チューブ接合装置１の好ましい使用環境は、例えば、環境温度１０〜４０℃、相対湿度３０〜８５％である。ただし、各チューブＴ１、Ｔ２の端部を加圧溶着することが可能であれば、使用環境について特に制限はない。
【００２２】
図１、図２、図３に示すように、チューブ接合装置１は、例えば、筐体２と、当該装置１に各チューブＴ１、Ｔ２をセットする際にそのセットの補助に使用されるチューブセット補助具４を有するように構成することができる。
【００２３】
筐体２は、例えば、１３５ｍｍ（幅）×９９ｍｍ（高さ）×２６８ｍｍ（奥行）の大きさで、重さが２．４ｋｇ程度で構成される。
【００２４】
筐体２は、上筐体部分２Ｗと、上側筐体部分２Ｗと組み合わせられる下筐体部分２Ｖと、上側筐体部分２Ｗの上部側に設けられた開閉可能なクランプ蓋部３を有している。クランプ蓋部３を含む筐体２とチューブセット補助具４は、例えば、硬質のプラスチックにより作られるが、材質等について制限は特にない。
【００２５】
筐体２は、後述するように、チューブ接合装置１の各構成要素を収容する。クランプ蓋部３は、この筐体２の上部に配置されている。
【００２６】
チューブセット補助具４は、筐体２に対して着脱可能に取り付けられている。筐体２とクランプ蓋部３は、例えば、明度の比較的高い明るい色、具体的には、クリーム色あるいは白色で構成することが可能である。また、使用者（実際にチューブ接合装置を使用する者や患者等）が、筐体２、クランプ蓋部３、チューブセット補助部４のそれぞれを、視覚的に明確に区別できるようにするために、チューブセット補助具４は、例えば、オレンジ色で構成することが可能である。ただし、上記各部の色は、特に限定されず、任意に選択することができる。
【００２７】
筐体２は、図１〜図４に示すように、底面部２Ａと、正面部２Ｂと、右側面部２Ｃと、左側面部２Ｄと、背面部２Ｅと、上面部２Ｆを有するケースによって構成されている。このケースは、図示するように、面取りがされたほぼ直方体形状の形状を有している。
【００２８】
図４に示すように、底面部２Ａの四隅には、それぞれ設置用部材２Ｇが取り付けられている。これらの設置用部材２Ｇは、例えば円形状のプラスチック製あるいはゴム製の滑り止め部材で構成することができる。重量が比較的大きなチューブ接合装置１は、これらの設置用部材２Ｇが用いられることにより机面のような設置面に対して滑らないように置かれる。これにより、２本のチューブＴ１、Ｔ２を接合する作業時などにチューブ接合装置１に位置ずれが生じることを防止でき、接合作業を安定した状態で実施することが可能になる。
【００２９】
底面部２Ａには、例えば、バッテリ交換用の蓋部材２Ｈを設けることができる。この蓋部材２Ｈは、例えば、ねじ２Ｉのような固定部材により着脱可能に取り付けることができる。ねじ２Ｉを外して、蓋部材２Ｈを取り外せば、図４中において破線で示されるバッテリＢＡを交換することが可能となる。蓋部材２Ｈは、例えば、正面部２Ｂよりも背面部２Ｅ寄り側に配置することができる。また、蓋部材２Ｈは、ファンＦＮの排気用開口部６からは離れた位置に配置している。
【００３０】
図４に示すように、底面部２Ａには、音声用開口部５と排気用開口部６が形成されている。音声用開口部５と排気用開口部６は、例えば、バッテリ交換用の蓋部材２Ｈと正面部２Ｂとの間に形成される。
【００３１】
音声用開口部５は、複数の細長い貫通穴５Ａにより構成されており排気用開口部６は、複数の細長い貫通穴６Ａにより構成されている。
【００３２】
底面部２Ａの内側には、破線で示すようにスピーカＳＰと排気装置としてのファンＦＮが配置されている。このファンＦＮは、接合動作を終えた後にウェハーＷＦを冷却する冷却用ファンとしての機能も有する。
【００３３】
音声用開口部５は、スピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等を、筐体２の外側に出力するために設けられている。これにより、使用者は、スピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等を、明瞭に聞くことができる。
【００３４】
排気用開口部６は、冷却用のファンＦＮが作動することで筐体２の内部で発生する熱や、内部を通るガスを、筐体２の外部に強制的に排出するために設けられている。これにより、筐体２内の熱や内部を通るガスを、側面部２Ｃ、２Ｄではなく、底面部２Ａ側から筐体２の外部に排出することができる。
【００３５】
図４に示すように、筐体１の底面部２Ａには、その他にも、複数本のリブ２ＪがＹ方向に平行に形成されている。これらのリブ２Ｊは、チューブセット補助具４を筐体２に対して着脱自在に取り付ける際の、ガイド部分としての機能を有している。チューブセット補助具４の詳細については後述する。
【００３６】
次に、図５を参照して、操作パネル部７と表示部８について説明する。
【００３７】
図５（Ａ）は、図１に示す筐体２の正面部２Ｂ側に設けられている操作パネル部７の例を示している。図５（Ｂ）は、図１に示す筐体２の上面部２Ｆに設けられている表示部８の例を示している。
【００３８】
図５（Ａ）に示す操作パネル部７は、［電源］スイッチボタン７Ｂと、［電源］ランプ７Ｃと、［充電中］ランプ７Ｄと、［接合］ボタン７Ｅと、［接合］ランプ７Ｆと、［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇを有している。
【００３９】
［電源］ランプ７Ｃと［充電中］ランプ７Ｄと［接合］ランプ７Ｆと［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇは、操作パネル部７における各種の状態を表す表示用のランプである。各ランプは、例えば、緑色のＬＥＤ（発光ダイオード）ランプで構成することができる。
【００４０】
［電源］スイッチボタン７Ｂは、チューブ接合装置１に電源を入れるために押されるボタンである。［電源］ランプ７Ｃは、［電源］スイッチボタン７Ｂを押すことにより点灯する。
【００４１】
［接合］ボタン７Ｅは、使用者が２本のチューブＴ１、Ｔ２のそれぞれの端部を溶断して、そして各チューブＴ１、Ｔ２の端部を入れ替えて加圧接合する溶断−接合作業を開始する際に押すボタンである。［接合］ランプ７Ｆは、［接合］ボタン７Ｅを押すと点灯する。また、［接合］ランプ７Ｆは、チューブ接合装置１の故障時に、故障状態にあることを使用者に警告するために点滅するように構成することもできる。
【００４２】
［充電中］ランプ７Ｄは、図４に示すバッテリＢＡに対して商用交流電源側からの充電が行われている場合に点灯する。
【００４３】
［ウェハー取り出し］ランプ７Ｇは、２本のチューブＴ１、Ｔ２の接合が終了して、後述するように、使用者が使用済みのウェハーＷＦを筐体２内から取り出して排出することができるような状態になると、点灯または点滅する。
【００４４】
図５（Ｂ）に示す表示部８は、［カバー閉じる］ランプ８Ｂと、［ウェハーカセット交換］ランプ８Ｃと、［ウェハー不良］ランプ８Ｄと、［要充電］ランプ８Ｅと、［室温不適］ランプ８Ｆと、［装置故障］ランプ８Ｇと、[ウェハー残置]ランプ８Ｈを有している。
【００４５】
［装置故障］ランプ８Ｇは、チューブ接合装置１が故障したことを知らせる警告ランプである。［装置故障］ランプ８Ｇは、例えば、赤色のＬＥＤランプにより構成することができる。その他のランプは、警報表示ランプとして構成されており、例えば、黄色のＬＥＤランプにより構成することができる。
【００４６】
図１と図２を再度参照し、筐体２の側面部２Ｃには、ウェハーカセット挿入部２０と、ウェハーカセット取り出しボタン２１が設けられている。
【００４７】
ウェハーカセット挿入部２０は、図１に示すウェハーカセットＷＣを着脱可能に挿入するための長方形状の開口部により構成されている。ウェハーカセットＷＣがウェハーカセット挿入部２０を通じて筐体２内に挿入された状態で、使用者が指でウェハーカセット取り出しボタン２１を押し込むことで、ウェハーカセットＷＣはウェハーカセット挿入部２０を通じて筐体２の外部に取り出すことができる。なお、ウェハーカセットＷＣについては後述するが、このウェハーカセットＷＣは各チューブＴ１、Ｔ２の溶断に使用される複数個のウェハーＷＦが収容された容器によって構成されている。
【００４８】
図３に示すように、筐体２の左側面部２Ｄには、音量調整ボリューム２２と、音声メッセージ切替えスイッチ２３が設けられている。
【００４９】
使用者が音量調整ボリューム２２をスライドすることで音声メッセージの音量の大小を好みに応じて調整できる。また、使用者が音声メッセージ切替えスイッチ２３を例えば「無」の状態から「有」の状態にスライドすることで、所定の音声メッセージを図４に示すスピーカＳＰから出力することができる。使用者が音声メッセージ切替えスイッチ２３を例えば「無」の状態にすれば、スピーカＳＰから、例えば、所定のブザー音を出力させることができる。
【００５０】
次に、接合対象となる各チューブＴ１、Ｔ２を説明する。
【００５１】
図１５には、チューブ接合装置１により接合される２本のチューブＴ１、Ｔ２が例示されている。各チューブＴ１、Ｔ２としては、例えば、塩化ビニル製のチューブを選択することが可能である。ただし、各チューブＴ１、Ｔ２の材質は、溶断および加圧により相互に接合可能なものであればよく、その限りにおいて限定されない。例えば、各チューブＴ１、Ｔ２の材質がそれぞれ異なるものであってもよい。
【００５２】
図１５に示す例では、第１のチューブＴ１は、その先端部にコネクターＣＴを有している。第１のチューブＴ１は、透析液バッグＢＬの透析液チューブＴＢＬに対して分岐管９を介して接続されている。さらに第１のチューブＴ１は、排液用バッグＨＬの排液チューブＴＨＬに対して分岐管９を介して接続されている。
【００５３】
チューブＴ２は、例えば、延長チューブ１０と保護チューブ１１を有するように構成することができる。延長チューブ１０は、連結管１２、シリコーンチューブ１３、カテーテルジョイント１４を介して、腹膜カテーテル１５に接続されている。腹膜カテーテル１５は、患者Ｍの腹腔内に挿入されている。
【００５４】
図１５に示すように、チューブ接合装置１は、第１のチューブＴ１の斜線で示す接合部分Ｃ１とチューブＴ２の斜線で示す接合部分Ｃ２を積み重ねた状態で、チューブＴ１の接合部分Ｃ１とチューブＴ２の接合部分Ｃ２を、後述するように加熱したウェハーＷＦを用いて溶断する（図１８（Ａ）を参照）。そして、溶断した後、チューブＴ１の溶断した端部と、チューブＴ２の溶断した端部とを入れ替えて加圧して接合する（図１８（Ｃ）、（Ｄ）を参照）。
【００５５】
次に、筐体２に設置されたクランプ蓋部３について説明する。
【００５６】
クランプ蓋部３は、溶断作業を実施する際に、後述する筐体側クランプ部５０との間で２本のチューブＴ１、Ｔ２を挟み込んで固定保持する機能を備えている。図１に示すように、このクランプ蓋部３は、例えば、操作パネル部７と表示部８との間に配置することができる。
【００５７】
図６は、図１に示す矢印ＲＴ方向にクランプ蓋部３を開いた状態における筐体１を示す斜視図である。図７は、図６に示す矢印ＳＳ方向から見た筐体１の内部およびクランプ蓋部３の内部を示す斜視図である。
【００５８】
クランプ蓋部３は、図１と図２に示すように、クランプ板３０と、クランプ操作部３１と、被覆カバー３２を有している。
【００５９】
クランプ操作部３１は使用者が手指でクランプ蓋部３を開閉する際に使用される。クランプ操作部３１と、クランプ板３０および被覆カバー３２とを、それぞれ目視で容易に区別できるようにするために、例えば、クランプ操作部３１は緑色に着色することができ、クランプ板３０と被覆カバー３２は、例えば、クリーム色あるいは白色に着色することができる。
【００６０】
図１に示すように、クランプ板３０の表面には、２本のチューブＴ１、Ｔ２の挿入状態を模式的に記した確認シール３０Ｓを貼り付けることができる。チューブ接合装置１を使用する際に、使用者が確認シール３０Ｓを目視することにより、２本のチューブＴ１、Ｔ２が、クランプ蓋部３と筐体側クランプ部５０との間に正しく挟み込まれているか否かを簡易的に確認することが可能になる。
【００６１】
図１と図６に示すように、クランプ蓋部３のクランプ板３０は、中心軸ＣＬを中心として図１に示す閉じた状態から図６に示す９０度を超える角度まで開くことができるように、筐体２に対して取り付けられている。
【００６２】
クランプ蓋部３の被覆カバー３２は、筐体２に対して中心軸ＣＬ１を中心にして回転できるように取り付けられている。この被覆カバー３２に設けられた突起３２Ｔは、クランプ板３０に設けられたガイド溝３０Ｒにはめ込まれている。突起３２Ｔとガイド溝３０Ｒとが設けられることにより、クランプ板３０が筐体２に対して中心軸ＣＬを中心として図６に示す９０度を超える角度まで開く際に、被覆カバー３２がクランプ板３０の動きに追従して持ち上げられるように構成される。
【００６３】
図１と図６に示すように、クランプ操作部３１は、クランプ板３０の先端部３０Ｄに所定のピン（図示省略）を介して取り付けられている。クランプ操作部３１は、このピンにより、中心軸ＣＬ２を中心として回転できるように軸支されている。
【００６４】
図６に示すように、クランプ操作部３１は、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の係合爪３１Ｍを有している。筐体２には、幅方向にそれぞれ所定の間隔を空けて配置された一対の突起部３３が突出して設けられている。クランプ操作部３１の各突起部３３は、筐体２の各係合爪３１Ｍにそれぞれ引っ掛けて固定することが可能に構成されている。
【００６５】
図６に示すように、クランプ蓋部３が開いた状態で、使用者がクランプ操作部３１を指で持って、中心軸ＣＬを中心にして矢印ＲＳ方向に回転させると、図１に示すように、クランプ板３０により筐体側クランプ部５０が上側から覆われる。そして、使用者がクランプ操作部３１を指で持って、中心軸ＣＬ２を中心に矢印ＲＧ方向に回転させると、図６に示す一対の係合爪３１Ｍは、それぞれ筐体２の対応する位置に形成された突起部３３に対して噛み合わされる。これにより、クランプ蓋部３は、筐体２に設けられた筐体側クランプ部５０を上から閉じる。その結果、各チューブＴ１、Ｔ２の接合中にクランプ蓋部３が誤って開かないように機械的に固定される。
【００６６】
次に、図６と図７を参照して、クランプ板３０の内側に配置された各構成要素と、筐体側クランプ部５０の内側に配置された各構成要素を説明する。
【００６７】
クランプ板３０の内側には、接合する際に第１のチューブＴ１を押えるために用いられる第１のチューブ押さえ部材３５と、第１収容部材３６と、第２収容部材３７が配置されている。
【００６８】
第１のチューブ押さえ部材３５、第１収容部材３６、第２収容部材３７は、例えば、硬質のプラスチックで形成することが可能であるが、材質等は特に制限されない。第１のチューブ押さえ部材３５は、第１収容部材３６との間に所定の隙間３８を形成するように第１収容部材３６から離隔した位置に設けられている。
【００６９】
第１収容部材３６は、凹部３６Ａと凹部３６Ｂの二つの凹部を有している。同様に、第２収容部材３７は、凹部３７Ａと凹部３７Ｂの二つの凹部を有している。
【００７０】
筐体側クランプ部５０の内側には、接合する際に第１のチューブＴ１を挟み込むために用いられる第１のチューブ挟み込み部５１と、接合する際に第２のチューブＴ２を挟み込むために用いられる第２のチューブ挟み込み部５２が配置されている。
【００７１】
第１のチューブ挟み込み部５１は、第１突起５１Ａと第２突起５１Ｂを有している。図７に示すように、第１突起５１Ａと第２突起５１Ｂは、両突起５１Ａ、５１Ｂの間に第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２を潰さないようにして挟み込むための挟み込み間隔ＳＤが形成されるように対面して配置されている。
【００７２】
第２のチューブ挟み込み部５２は、第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂを有している。図７に示すように、第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂは、両突起５２Ａ、５２Ｂの間に第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２を潰さないようにして挟み込むための挟み込み間隔ＳＤが形成されるように対面して配置されている。
【００７３】
クランプ蓋部３を閉じた状態では、筐体側クランプ部５０に設けられた第１のチューブ挟み込み部５１の第１突起５１Ａと第２突起５１Ｂのそれぞれは、クランプ板３０側に設けられた凹部３７Ａ、３７Ｂにそれぞれ収納される。同様にして、筐体側クランプ部５０に設けられた第２のチューブ挟み込み部５２の第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂのそれぞれは、クランプ板３０側に設けられた凹部３６Ａ、３６Ｂにそれぞれ収納される。
【００７４】
第１のチューブ挟み込み部５１と第２のチューブ挟み込み部５２の間には、接合する際に第２のチューブＴ２を押えるために用いられる第２のチューブ押さえ部材５３が配置されている。
【００７５】
第２のチューブ押さえ部材５３は、クランプ板３０側の第１のチューブ押さえ部材３５に対応させて筐体側クランプ部５０に設けられている。第１のチューブ押さえ部材３５と第２のチューブ押さえ部材５３は、それぞれ半円筒形状の空間部を有している。図１に示すようにクランプ蓋部３を閉じた状態では、筐体側クランプ部５０に設けられた第２のチューブ押さえ部材５３とクランプ板３０側に設けられた第１のチューブ押さえ部材３５が重なる。重なった際に第１のチューブ押さえ部材３５と第２のチューブ押さえ部材５３は、第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２を収容可能な円筒状の空間を両部材の間に形成する。
【００７６】
第１のチューブ押さえ部材３５と第２収容部材３７は一体化した部材で構成することができる。同様にして、第２のチューブ押さえ部材５３と第１のチューブ挟み込み部５１は一体化した部材で構成することができる。
【００７７】
ここで、図７に示すように、例えば、第１のチューブ押さえ部材３５と第２のチューブ押さえ部材５３の周囲にはギア５５を形成することができる。このギア５５は、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断した後、各チューブＴ１、Ｔ２の端部の位置を入れ替える動作を駆動するクランプモータ５６のギア５６Ｇと噛み合うように構成されている。
【００７８】
クランプモータ５６が制御部１００（図１１を参照）の指令により作動してギア５６Ｇを回転させると、第１のチューブ押さえ部材３５と第２のチューブ押さえ部材５３は、第２の収容部材３７と第１のチューブ挟み込み部５１が一体になった状態で１８０度正回転し、または１８０度逆回転する。この回転が行われている間は、溶断された第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２が第１のチューブ押さえ部材３５と第２のチューブ押さえ部材５３により保持される。そして、溶断した後の第１のチューブＴ１の端部の位置と第２のチューブＴ２の端部の位置は、１８０度上下逆転する（図１８（Ｃ）を参照）。これにより、溶断する前は、第２のチューブＴ２が上側に、第１のチューブＴ１が下側に位置し、溶断した後は、第１のチューブＴ１の溶断した端部が上側に位置し、第２のチューブＴ２の溶断した端部が下側に位置する。
【００７９】
図７に示すように、第２のチューブ押さえ部材５３と第２のチューブ挟み込み部５２との間には、ウェハーＷが移動可能に挿入されるウェハー挿入用の隙間５７が形成されている。
【００８０】
図８は、クランプ蓋部３の内部構造と、筐体側クランプ部５０の内部構造を示す別の角度から見た斜視図である。
【００８１】
クランプ蓋部３の第１収容部材３６と筐体側クランプ部５０の第２のチューブ挟み込み部５２は、２本のチューブＴ１、Ｔ２を挟み込んで固定するための固定クランプユニット７１を構成している。この固定クランプユニット７１に対して、クランプ蓋部３の第１のチューブ押さえ部材３５および第２収容部材３７と、筐体側クランプ部５０の第２のチューブ押さえ部材５３および第１のチューブ挟み込み部５１とにより、可動クランプユニット７２が構成されている。
【００８２】
可動クランプユニット７２と固定クランプユニット７１は、２本のチューブＴ１、Ｔ２を挟み込んで固定する。そして、溶断した後に、可動クランプユニット７２は、固定部分である固定クランプユニット７１に対して、２本のチューブＴ１、Ｔ２を１８０度回転させる。この回転動作は、前述したようにクランプモータ５６により駆動される。
【００８３】
図８に示すように、筐体２の上面部２Ｆには、その左右の位置に斜面部分２Ｐ、２Ｒが形成されている。斜面部分２Ｐには、例えば、透析液バッグ側の第１のチューブＴ１が入れ込まれる側であることを示す表示ラベル２Ｘが取り付けられる。一方、斜面部分２Ｒには、患者のお腹側の第２のチューブＴ２が入れ込まれる側であることを示す表示ラベル２Ｙが取り付けられる。
【００８４】
図６と図８に示すように、操作パネル部７の付近には、溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦが送り出される取出し口５８が設けられている。筐体２の操作パネル部７の付近には、当該筐体２の内外に連通し溶断に使用されたウェハーＷＦが送り出される取出し口５８が設けられている。この取出し口５８は、第２のチューブ押さえ部材５３と第２のチューブ挟み込み部５２との間に形成された隙間５７（図７を参照）の延長上に配置されている。取出し口５８を、ウェハーＷＦが通る隙間５７の延長線上に設けることにより、使用者は、ウェハーの取出し部５８に案内されたウェハーＷＦを、指で摘んで容易に取り出すことができる。
【００８５】
図８に示すように、取出し口５８の付近には、円形の穴５９が形成されている。また、この円形の穴５９には、棒状のインターロック６０が配置されている。
【００８６】
インターロック６０は、例えば、電磁駆動式のソレノイド６１のロッドにより構成される。ソレノイド６１は、制御部１００から送信される指令により、図８中の破線で示す状態から実線で示すＺ１方向へ上昇する。上昇したインターロック６０によりクランプ操作部３１の前端部が押さえられる。その結果、例えば２本のチューブＴ１、Ｔ２を溶断して接合している最中に、クランプ蓋部３が開かないようにして閉じた状態をより確実に保持することが可能になる。
【００８７】
図８に示すソレノイド検出センサ８９は、例えば、光８９Ｌを出射する発光部８９Ａと、光８９Ｌを受光可能な受光部８９Ｂとを有するフォトカプラにより構成することができる。ソレノイド検出センサ８９によりクランプ蓋部３の開閉状態が検出される。検出結果は制御部１００へ送信される（図１１を参照）。
【００８８】
図９は、図７に示すクランプ蓋部３の内部構造と筐体側クランプ部５０の内部構造を拡大して示す斜視図である。
【００８９】
図９に示すように、第２のチューブ挟み込み部５２の第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂとの間には、各突起５２Ａ、５２Ｂよりも低い位置に形成された底部が設けられる。この底部には、円形の穴部７４が形成されている。そして、円形の穴部７４には、各チューブＴ１、Ｔ２のセット状態を検出するためのチューブ検出ピン７５が配置されている。
【００９０】
各チューブＴ１、Ｔ２が、第１突起５１Ａと第２突起５１Ｂの間に形成されたはめ込み溝５１Ｃと、第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂの間に形成されたはめ込み溝５２Ｃにはめ込まれると、チューブ検出ピン７５は、図９の紙面と直交する方向に押される。チューブ検出ピン７５は、押される際に受ける力に基づいて、各チューブＴ１、Ｔ２が正確にはめ込まれたことを検出する。図１４に示すように、チューブ検出ピン７５の先端部７５Ａは、２本のチューブＴ１、Ｔ２を受ける部分として構成されている。チューブ検出ピン７５の後端部７５Ｂにはマグネット９１が取り付けられている。チューブ検出ピン７５の後端部７５Ｂと筐体２の間には、チューブ検出ピン７５をＺ１方向に押し上げるためのスプリング９２が配置されている。
【００９１】
図１０は、チューブ接合装置１の筐体２内に配置されている構成要素の概略の配置例を示す斜視図である。
【００９２】
図１０に示すように、筐体２内には、メイン基板８０と、ＤＣ入力基板８１と、ウェハーカセット収納ユニット８２と、ウェハー送りユニット８３と、固定クランプユニット７１と、可動クランプユニット７２と、ソレノイド６１と、スピーカＳＰと、ファンＦＮと、そしてバッテリＢＡが収容されている。
【００９３】
ＤＣ入力基板８１は、例えば、メイン基板８０から可能な限り離れた位置に配置されていることが好ましい。ＤＣ入力基板８１からのノイズがメイン基板８０に搭載されている回路要素に対して影響を与えないようにするためである。
【００９４】
次に、図１１を参照して、チューブ接合装置１の制御部１００の機能を説明する。図１１は、チューブ接合装置１の電気ブロックを示している。
【００９５】
図１１に示すように、チューブ接合装置１は、当該装置の各部の動作を統轄的に制御する制御部１００を有している。制御部１００は、マイクロコンピュータなどのＣＰＵと、ＣＰＵにより実行される装置全体の制御プログラムや各種データを記憶するＲＯＭと、ワークエリアとして測定データや各種データを一時的に記憶するＲＡＭとを備えている。
【００９６】
制御部１００は、ＤＣ入力基板８１側のバッテリＢＡから電源供給を受ける。このＤＣ入力基板８１は、ジャック８４と、切り替えスイッチ８５を有している。ジャック８４は、充電器８６の接続ピン８６Ｐに接続されることで、商用交流電源から交流／直流変換した所定のＤＣ電源を受ける。なお、充電器８６とジャック８４は、図１にも示している。
【００９７】
図１１に示す切り替えスイッチ８５は、ジャック８４とバッテリＢＡを接続する。充電器８６からのＤＣ電源は、バッテリＢＡの充電に用いられる。そして、バッテリＢＡに充電されたＤＣ電源は、制御部１００へ供給される。
【００９８】
図１１に示すように、制御部１００には、サーミスタ等の温度センサ８７が電気的に接続されている。この温度センサ８７は、筐体２の周囲の環境温度（外気温度）を検出して制御部１００へ外気温度情報ＴＦを供給する。制御部１００は、各チューブＴ１、Ｔ２を加熱する際に外気温度情報ＴＦを参照して、例えば、各外気温度が予め定めた温度よりも低い場合には、２本のチューブＴ１、Ｔ２の加熱時間を長くするといった処理を実行する。また、制御部１００は、例えば、環境温度をスピーカＳＰで患者に報知するように動作制御を行う。
【００９９】
図１１に示すように、図５（Ａ）にそれぞれ示された操作パネル部７の［電源スイッチ］ボタン７Ｂと、［接合］ボタン７Ｅと、各ランプ７Ｃ、７Ｄ、７Ｆ、７Ｇが制御部１００に電気的に接続されている。
【０１００】
図１１に示すように、スピーカＳＰは、音声合成部８８を介して制御部１００に電気的に接続されている。スピーカＳＰは、制御部１００の指令により予め決められている音声ガイダンス等を発声する。
【０１０１】
音量調整ボリューム２２と、音声メッセージ切替えスイッチ２３は、制御部１００に電気的に接続されている。音声メッセージ切替えスイッチ２３が「有」である場合には、音声ガイダンスをスピーカＳＰから出すことができ、音声メッセージ切替スイッチ２３が「無」である場合には、図示しないブザーを鳴らすことができる。
【０１０２】
図１１に示すように、図５（Ｂ）にそれぞれ示された表示部８の［カバー閉じる］ランプ８Ｂと、［ウェハーカセット交換］ランプ８Ｃと、［ウェハー不良］ランプ８Ｄと、［要充電］ランプ８Ｅと、［室温不適］ランプ８Ｆと、［装置故障］ランプ８Ｇと、［ウェハー残置］ランプ８Ｈは、制御部１００の指令により点灯または点滅するように構成されている。
【０１０３】
図１１に示すように、図８に示すインターロック６０のソレノイド６１は、制御部１００の指令により作動する。具体的には、図８に例示するように、ソレノイド６１のインターロック６０が下端位置６０Ｌにある場合には、インターロック６０が破線で示すように発光部８９Ａからの光８９Ｌを遮るので、受光部８９Ｂは、制御部１００に対して「クランプ蓋部３をインターロックしていないという信号」を送信する。これに対して、ソレノイド６１のインターロック６０が上端位置６０Ｈにある場合には、インターロック６０が実線で示すように発光部８９Ａからの光８９Ｌを遮らないので、受光部８９Ｂは、制御部１００に対して「クランプ蓋部３をインターロックしているという信号」を送信する。これにより、制御部１００は、クランプ蓋部３のロック状態あるいは非ロック状態を把握する。
【０１０４】
図１１に示すように、筐体側クランプ部５０のホールセンサ９０は、制御部１００に電気的に接続されており、検出結果を制御部１００へ送信するように構成されている。図９、図１４に示すように、第１突起５２Ａと第２突起５２Ｂの間のはめ込み溝５２Ｃに、第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２が順番にはめ込まれると、チューブＴ１とチューブＴ２により、スプリング９２の力に抗してチューブ検出ピン７５がＺ２方向へ押し込まれる。この押し込みにより、チューブ検出ピン７５が下がるため、ホールセンサ９０によりマグネット９１の磁力が検出される。そして、ホールセンサ９０は制御部１００へ、「２本のチューブＴ１、Ｔ２が正しくはめ込まれたこと」を通知する旨の信号を送信する。仮に、チューブＴ１とチューブＴ２がはめ込み溝５２Ｃに十分にはめ込まれていないか、あるいはどちらか１本のチューブだけがはめ込まれている場合には、ホールセンサ９０がマグネット９１の磁力を検出できない。この際、ホールセンサ９０は、制御部１００へ、「２本のチューブＴ１、Ｔ２が正しくはめ込まれていないこと」を通知する旨の信号を送信する。
【０１０５】
図１１に示すように、筐体側クランプ部５０は、マイクロスイッチ９３を有している。マイクロスイッチ９３は、クランプ蓋部３の開閉状態を検出するセンサである。マイクロスイッチ９３は、図６に示すようにクランプ蓋部３のクランプ操作部３１を指で持って、矢印ＲＳ方向に中心軸ＣＬを中心にして回転させた際に、図１に示すようにクランプ板３０が、筐体側クランプ部５０を閉じたことを検知する。なお、マイクロスイッチ９３としては、例えば、筐体側クランプ部５０が閉じられた際に、筐体２の任意の位置に対して当接により閉じられたことを検出する機械式のセンサや、筐体側クランプ部５０の位置に基づいて閉じられたことを検出する電気式のセンサなど公知のセンサを使用することが可能である。
【０１０６】
図１１に示すように、ウェハーカセット収納ユニット８２は、ウェハー有無センサ１０１と、ウェハー残量検出センサ１０２を有している。ウェハー有無センサ１０１は、図１に示すウェハーカセットＷＣ内にウェハーＷＦが残っているか否かを検出するセンサである。ウェハー残量検出センサ１０２は、図１に示すウェハーカセットＷＣ内に何枚のウェハーＷＦが残っているか、すなわちウェハーＷＦの残枚数を検出するセンサである。ウェハー有無センサ１０１とウェハー残量検出センサ１０２には、例えば、公知のフォトセンサ等を使用できる。
【０１０７】
図１１に示すウェハー送りユニット８３は、ウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦを所定の待機ポジションＰＳ１まで直線移動するためのユニットである。ウェハー送りユニット８３は、モータ１０３、モータドライブ１０４、前進端センサ１０５、中間センサ１０６、そして後進端センサ１０７を有する。モータドライブ１０４は、制御部１００からの指令を受けると、モータ１０３を駆動して、ウェハーカセットＷＣ内のウェハーを一枚ずつ待機ポジションＰＳ１へ直線移動させる。なお、ウェハー送りユニット８３の詳細については後述する。
【０１０８】
図１１に示すように、制御部１００は、ウェハー加熱ヒータ１１０、モータドライブ１１１、カムモータセンサ１１２、クランプモータセンサ１１３、ウェハー電流検出部１１５、ウェハー電圧検出部１１６、ファンＦＮのそれぞれと電気的に接続されている。モータドライブ１１１が制御部１００から指令を受けると、モータドライブ１１１は、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断および接合するためにカムモータ１１７やクランプモータ５６を駆動する。
【０１０９】
図１１に示すカムモータ１１７は、ウェハーＷＦを上下移動させる動作と、２本のチューブを寄せる動作を行う。このカムモータ１１７が行うウェハーＷＦを上下移動させる動作とは、ウェハーＷＦを待機ポジションＰＳ１からその上方に位置する溶断ポジションＰＳｍに上昇させ、逆にウェハーＷＦを溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１に下降させる動作である（図２１、図２２を参照）。また、カムモータ１１７は、２本のチューブＴ１、Ｔ２を溶断した後、各チューブＴ１、Ｔ２同士を寄せる動作を実施する。ウェハーＷＦを溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１に下げて待機させた後に、第１のチューブＴ１の溶断した端部と第２のチューブＴ２の溶断した端部を、相手方のチューブの溶断した端部に対してそれぞれ寄せることにより加圧接合する動作である。カムモータ１１７の動作例については後述する。
【０１１０】
クランプモータ５６は、図７に例示した可動クランプユニット７２の１８０度の回転と、１８０度回転した後の復帰回転を行う。
【０１１１】
カムモータセンサ１１２は、カム位置と原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。クランプモータセンサ１１３は、可動クランプユニット７２の回転時の原点を検出する例えばフォトセンサで構成される。
【０１１２】
ウェハー加熱ヒータ１１０は、制御部１００からの指令によりウェハーを加熱するために設けられている。通電の際には、ウェハー電流検出部１１５は、ウェハーに供給されているウェハー電流値を検出する。また、ウェハー電圧検出部１１６は、ウェハーに供給されているウェハー電圧値を検出する。
【０１１３】
次に、図１２、図１３を参照して、ウェハーカセット収納ユニット８２およびウェハーカセットＷＣについて説明する。
【０１１４】
図１２は、筐体２のウェハーカセット挿入部２０と、ウェハーカセット取り出しボタン２１の周辺部と、ウェハーカセットＷＣを示している。図１３（Ａ）は、ウェハーカセットＷＣの下面側を示す斜視図であり、図１３（Ｂ）は、ウェハーカセットＷＣの上面側を示す斜視図である。
【０１１５】
ウェハーカセット挿入部２０とウェハーカセット取り出しボタン２１は、図１０に示すウェハーカセット収納ユニット８２に配置されている。
【０１１６】
図１２（Ａ）に示すように、ウェハーカセットＷＣの上面部１２０には、挿入方向を示す矢印２１Ｙが設けられている。使用者がウェハーカセットＷＣを矢印２１Ｙに従って、図１２（Ｂ）に示すようにウェハーカセット挿入部２０内に挿入する。その後、ウェハーＷＦを使用したことでウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦが無くなると、使用者は図１２（Ｃ）に示すようにウェハーカセット取り出しボタン２１を指で押すことにより、空のウェハーカセットＷＣをウェハーカセット挿入部２０内から取り出すことができる。
【０１１７】
図１３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェハーカセットＷＣは、複数枚のウェハーＷＦを収容するための容器として構成されている。ウェハーカセットＷＣは、好ましくは、内部のウェハーＷＦを目視で確認できるようにするために、透明のプラスチックにより作られる。
【０１１８】
ウェハーカセットＷＣは、上面部１２０と、底面部１２１と、正面部１２２と、側面部１２３、１２４と、背面部１２５とにより構成されている。
【０１１９】
正面部１２２の内側には、一枚ずつウェハーＷＦが配置される。そして、図１３（Ｂ）に示すように、ウェハーＷＦに対して押し出し用の部材１２６をＹ１方向に押し付けることで、１枚のウェハーＷＦは、ウェハーカセットＷＣの内部から一枚ずつＹ１方向に沿って所定の待機位置ＰＳ１へ押し出される。ウェハーＷＦの移動動作の詳細は後述する。
【０１２０】
図１３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ウェハーカセットＷＣの内部には、２本のスプリング１２８とスプリング受け部材１２９が収容されている。２本のスプリングの各一端部は、ウェハーカセットＷＣの背面部１２５の内面に支持されている。一方、２本のスプリングの各他端部は、スプリング受け部材１２９に支持されている。このスプリング受け部材１２９は、各スプリング１２８がずれないようにするための位置ずれ防止部１３０を有している。
【０１２１】
２本のスプリング１２８は、スプリング受け部材１２９を介して、複数枚のウェハーＷＦを正面部１２２の内面に対して押し付ける。各ウェハーＷＦが２本のスプリング１２８によって保持された状態で、正面部１２２側に位置するウェハーＷＦに対して押し出し用の部材１２６をＹ１方向に押し付けると、最も外側に位置する１枚のウェハーＷＦだけがウェハーカセットＷＣ内からＹ１方向に沿って取り出される。
【０１２２】
図１３（Ａ）に示すように、切断部材として用いられるウェハーＷＦは、ウェハー加熱ヒータ１１０（図１１、図１４を参照）により加熱可能な略長方形状に形成された銅製の金属板（厚み：０．３ｍｍ程度、幅：３４ｍｍ程度、高さ１３ｍｍ程度）で構成されている。なお、ウェハーＷＦは、加熱される際にウェハー加熱ヒータ１１０に接続される２つの接点１３１を有している。
【０１２３】
次に、チューブセット補助具４について説明する。
【０１２４】
チューブセット補助具４は、筐体２に対して使用者が必要に応じて取り付けることができる。チューブセット補助具４は、使用者が図１２（Ｃ）に示すように、２本のチューブＴ１、Ｔ２を筐体２に保持する作業を確実に行えるようにするためのガイド機能を有している。これにより、図１２（Ｃ）に示すように、使用者は、２本のチューブＴ１、Ｔ２を挟み込んで保持する場合に、その作業を簡単かつ迅速に行うことが可能になる。
【０１２５】
図２、図３、図４に示すように、チューブセット補助具４は、第１側部１３５と、第２側部１３６と、裏面連結部１３７を有している。
【０１２６】
図２に示すように、第１側部１３５は、爪部分１３５Ａと、分岐部１３５Ｂ、１３５Ｃを有している。爪部分１３５Ａは、筐体２の操作パネル部７の周辺部に取り付け可能に構成されている。
【０１２７】
図３に示すように、第２側部１３６は、爪部分１３６Ａと、分岐部１３６Ｂ、１３６Ｃと、チューブを受けるためのＵ字型の受け部１３８を有している。爪部分１３６Ａは、筐体２の操作パネル部７の周辺部に取り付け可能に構成されている。受け部１３８は、図１３（Ｃ）に示すように、２本のチューブＴ１、Ｔ２を受けるようになっている。また、図３に示すように、分岐部１３６Ｂと分岐部１３６Ｃの間に空間を設けることにより、音量調整ボリューム２２を露出させることができ、使用者が音量調整ボリューム２２を操作し易く構成されている。
【０１２８】
図４に示すように、チューブセット補助具４の裏面連結部１３７は、第１連結部分１３７Ａと第２連結部分１３７Ｂを有している。第１連結部分１３７Ａには、設置用部材２Ｇを通す開口部１３７Ｃが形成されている。第２連結部分１３７Ｂには、設置用部材２Ｇの高さに合わせた突起部１３７Ｄが設けられている。これにより、筐体２は、４つの設置用部材２Ｇと２つの突起部１３７Ｄにより、例えば机面等に対して、所定間隔だけ浮かせた状態で設置することができる。
【０１２９】
チューブセット補助具４の第１連結部分１３７Ａと第２連結部分１３７Ｂの間には、音声用開口部５と排気用開口部６を露出させ、かつ、排気装置であるファンＦＮの排気用開口部６ＡとスピーカＳＰ用の音声用開口部５Ａを開放する開放部分１４４が形成されている。このため、ファンＦＮは、筐体２の内部の気体や熱を開口部６を通じて筐体２の外部に確実に放出できる。また、スピーカＳＰが発生する音声ガイダンスや警告音等は、開口部５を通じて筐体２の外部に確実に出力できるので、音声ガイダンスや警告音等がこもらずに聞き易くなる。
【０１３０】
次に、図１４を参照して、ファンＦＮと、筐体側クランプ部５０における２本のチューブＴ１、Ｔ２とウェハーＷＦとの位置関係を説明する。
【０１３１】
図１４には、クランプ蓋部３および筐体側クランプ部５０によって固定保持された各チューブＴ１、Ｔ２をウェハーカセットＷＣから送り出されたウェハーＷＦにより切断する前後の様子が模式的に示されている。
【０１３２】
ウェハーＷＦは、図１０に示すウェハー送りユニット８３が備える移動機構５００（図１５を参照）を作動させることにより、ウェハーカセットＷＣからＹ１方向に送られ、待機ポジションＰＳ１に配置される。
【０１３３】
図１４に示すように、ウェハーＷＦが待機ポジションＰＳ１に配置されると、ウェハーＷＦの２つの接点１３１は、ウェハー加熱ヒータ１１０に接続される。そして、ウェハー加熱ヒータ１１０は、制御部１００の指令により接点を通電して発熱する。この発熱によりウェハーＷＦは加熱される。加熱されたウェハーＷＦの下方には、ファンＦＮが配置されている。
【０１３４】
各チューブＴ１、Ｔ２は、溶断される際に、図９に示す各はめ込み溝５１Ｃ、５２ＣにＺ２方向に積み重ねた状態ではめ込まれる。そして、図１４に示すように、ウェハーＷＦが待機ポジションＰＳ１から溶断ポジションＰＳ２に上昇すると、ウェハーＷＦにより２本のチューブＴ１、Ｔ２が溶断される。この際、２本のチューブＴ１、Ｔ２の構成材料である可塑剤が気化してガスが発生する。ガスは回転駆動されるファンＦＮにより、矢印ＭＹで示す排出経路に沿って底面部２Ａの排気用開口部６から筐体２の外部へ排出される。このため、筐体２の付近にプラスチック製品等が置かれていても、可塑剤のガスがプラスチック製品に対して直接吹き付けられることが無いので、プラスチック製品の一部が溶ける等といった悪影響を受けない。
【０１３５】
次に、図１６〜図１９を参照して、２本のチューブＴ１、Ｔ２を接合する作業工程を説明する。図１６、図１７は、チューブ接合装置１に各チューブＴ１、Ｔ２をセットする工程を概略的に示す図であり、図１８、図１９は、チューブ接合装置１による溶断作業の流れを概略的に示す図である。
【０１３６】
チューブ接合装置１による溶断作業を開始するにあたり、インターロック６０は筐体２内に引っ込んで格納された状態にある（図８の破線で示す状態）。まず、使用者は、チューブ接合装置１のクランプ操作部３１を掴んで、図１に示す矢印ＲＴ方向に持ち上げる。すると、図６に示すように、クランプ蓋部３が筐体側クランプ部５０から離れて、筐体側クランプ部５０が外部に開いた状態となる。
【０１３７】
次に、図１６（Ａ）に示すように、チューブＴ１を準備する。そして、図１６（Ｂ）に示すように、チューブＴ１の接合部分Ｃ１を筐体側クランプ部５０のはめ込み溝５１Ｃとはめ込み溝５２Ｃにはめ込む（図９をも参照）。この際、第１のチューブＴ１は、はめ込み溝５２Ｃ側からＸ１方向に向けてはめ込む。この作業により、チューブＴ１のコネクターＣＴ側の部分はチューブセット補助具４のＵ字型の受け部１３８上に配置され、コネクターＣＴは受け部１３８の外側に位置される。
【０１３８】
次に、図１６（Ｃ）に示すように、第１のチューブＴ１に接合される第２のチューブＴ２を準備する。なお、チューブＴ２としては、例えば、当該接合作業の前に、既に前回の接合の際に形成された接合部１４１を有したものを使用することができる。この接合部１４１の断面は円形状に形成されている。
【０１３９】
次に、図１７（Ａ）に示すように、第１のチューブＴ１の上側に第２のチューブＴ２を積み重ねる。第２のチューブＴ２の接合部１４１を、筐体側クランプ部５０に設けられた位置決め用突起１４０の先端に合わせるようにして、第２のチューブＴ２をセットする。
【０１４０】
第２のチューブＴ２は、筐体側クランプ部５０のはめ込み溝５１Ｃとはめ込み溝５２Ｃにはめ込む。この際、第２のチューブＴ２は、はめ込み溝５１Ｃ側からＸ２方向に向けてはめ込む。これにより、図１７（Ｂ）に示すように、第２のチューブＴ２は第１のチューブＴ１の上側においてＺ１方向に沿って積み重ねる。この状態で、各チューブＴ１、Ｔ２を矢印ＲＺ方向に押し込んで、はめ込み溝５１Ｃ、５２Ｃ内で確実に固定させる。
【０１４１】
次に、使用者は、図６に示すように開いた状態にあるクランプ蓋部３を閉じる作業を行う。クランプ操作部３１を掴んで、クランプ蓋部３を図６に示すＲＳ方向に沿って回転させると、クランプ蓋部３が閉じる。これにより、図１８（Ａ）に示すように、各チューブＴ１、Ｔ２は、第１のチューブ挟み込み部５１と第２収容部材３７の間、および、第２のチューブ挟み込み部５２と第１収容部材３６の間にそれぞれ挟み込まれる。
【０１４２】
そして、ウェハーＷＦがウェハーカセットＷＣ内から、図１８（Ｂ）に示すように各チューブＴ１、Ｔ２の下方に位置する待機ポジションＰＳ１へ移動される。この際、ウェハーＷＦは、図１４に示すウェハー加熱ヒータ１１０の加熱により、例えば、約３００℃に加熱される。加熱されたウェハーＷＦは、後述するカムモータ１１７の作動により、図１８（Ｂ）に示すように、破線で示す待機ポジションＰＳ１から実線で示す溶断ポジションＰＳｍまでＺ１方向に沿って上昇する。その結果、ウェハーＷＦにより各チューブＴ１、Ｔ２が溶断される。
【０１４３】
続いて、図１８（Ｃ）に示すように、図７に示すクランプモータ５６が制御部１００の指令により作動して、クランプモータ５６がギア５６Ｇを回転させる。すると、第２収容部材３７と一体的に構成された第１のチューブ押さえ部材３５と、第１のチューブ挟み込み部５１と一体的に構成された第２のチューブ押さえ部材５３は、第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２を保持したまま１８０度回転する。その結果、第１のチューブＴ１の溶断した端部が上側に配置され、第２のチューブＴ２の溶断した端部が下側に配置される。
【０１４４】
次に、図１８（Ｄ）に示すように、ウェハーＷＦが溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１にＺ２方向に沿って下がるとともに、１８０度回転された側に位置する各チューブＴ１、Ｔ２がＸ２方向へ押される。
【０１４５】
これにより、ウェハーＷＦにより溶断され、かつ、１８０度回転された側に位置する第１のチューブＴ１の一方の端部は、回転されていない側に位置する第２のチューブＴ２の他方の端部に対して加圧して接合される。また、ウェハーＷＦにより溶断され、かつ、１８０度回転された側に位置する第２のチューブＴ２の一方の端部は、回転されていない側に位置する第１のチューブＴ１の他方の端部に対して加圧して接合される。その後、各チューブＴ１、Ｔ２が冷却されて接合が完了する。
【０１４６】
接合が完了した後、溶断に使用した使用済みのウェハーＷＦは、後述する移動機構５００により、取出し口５８へ排出される。これにより、使用者は使用済みのウェハーＷＦを指で摘んで取り出すことができる。
【０１４７】
その後、使用者は、クランプ操作部３１を掴んで、図１に示す矢印ＲＴ方向に持ち上げる。すると、図６に示すようにクランプ蓋部３が筐体側クランプ部５０から離れる。使用者は、図１９（Ａ）、（Ｂ）に示すように接合した後の各チューブＴ１、Ｔ２を筐体側クランプ部５０から取り外して分離する。以上のようにして、図１５に示す透析液バッグＢＬ側のチューブＴ１と、使用者Ｍ側のチューブＴ２とを、無菌的にしかも簡便に接合することができる。
【０１４８】
次に、ウェハーカセットＷＣ内のウェハーＷＦを、待機ポジションＰＳ１と、排出ポジションＰＳ２へ移動させる移動機構５００について、図２０を参照して説明する。図２０は、移動機構５００とウェハーカセット収納ユニット８２の平面図である。
【０１４９】
図２０に示す移動機構５００は、筐体２内のウェハー送りユニット８３に位置され、ウェハーカセット収納ユニット８２と取出し口５８の付近に配置されている。
【０１５０】
ウェハーカセット収納ユニット８２内には、前述したようにウェハーカセットＷＣが収納されている。移動機構５００は、このウェハーカセットＷＣ内の未使用のウェハーＷＦ１を１枚ずつＹ１方向に押し出して、待機ポジションＰＳ１へ送る。さらに、移動機構５００は、溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦを、取出し口５８へ移動させる。なお、以下の説明において、便宜上、溶断に使用される前のウェハーを未使用のウェハーＷＦ１とし、溶断に使用されたウェハーを使用済みのウェハーＷＦ２とし、これらのウェハーを総称してウェハーＷＦとする。
【０１５１】
図２０に示すように、移動機構５００は、ウェハー移動操作部５０１と、ウェハー送り位置検出部５０２と、ウェハーホルダー５０３を有している。ウェハー移動操作部５０１は、ウェハーカセット収納ユニット８２に対面する位置において、Ｙ１方向に沿って設けられている。
【０１５２】
ウェハー移動操作部５０１の構造を説明する。
【０１５３】
ウェハー移動操作部５０１は、移動体(スライダー)５１０と、第１基部５１１と、第２基部５１２と、送りネジ５１３と、ガイドバー５１４と、モータ１０３を有している。第１基部５１１と第２基部５１２は、間隔をおいて対面するようにして、筐体２の底面シャーシ２ＮにおいてＺ１方向に立設されている。
【０１５４】
ガイドバー５１４は、第１基部５１１と第２基部５１２の間に固定されている断面円形の細い部材である。送りネジ５１３の一端部は、第１基部５１１に対して回転可能に取り付けられ、送りネジ５１３の他端部は、第２基部５１２に対して回転可能に取り付けられている。送りネジ５１３の一端部にはギア５１５が取り付けられている。ギア５１５は、モータ１０３の出力軸に固定されている別のギア５１６にかみ合っている。制御部１００がモータドライブ１０４に指令を与えると、モータ１０３はギア５１５、５１６を介して送りネジ５１３を正回転と逆回転させる。
【０１５５】
送りネジ５１３とガイドバー５１４は、Ｙ１方向に沿って設けられており、互いに平行に配置される。移動体５１０は、メネジ部分５１７と円筒状の受け部材５１８を有している。送りネジ５１３はメネジ部分５１７にかみ合っており、ガイドバー５１４は受け部材５１８を通っている。
【０１５６】
移動体５１０は、位置指示部材５２０と、押圧部材５３０を有している。位置指示部材５２０はＸ１方向を向いており、押圧部材５３０はＹ１方向を向いている。
【０１５７】
押圧部材５３０は、Ｙ１方向とＺ１方向に沿う平面に延在する板状の金属製の部材によって構成されている。その厚みは、ウェハーＷＦの厚み（０．３ｍｍ程度）より僅かに薄く構成されている。また、押圧部材５３０は移動体５１０からＹ１方向に突き出すように配置されている。押圧部材５３０は移動体５１０のウェハーカセット収納ユニット８２に近い位置に取り付けられている。
【０１５８】
移動体５１０がＹ１方向に移動することで、移動体５１０の押圧部材５３０は、ウェハーカセット収納ユニット８２に収納されているカセットＷＣ内から未使用のウェハーＷＦ１を一枚ずつＹ１方向に沿って直線的に送り出す。
【０１５９】
図２０に示すウェハーホルダー５０３は、Ｙ１方向に沿って押圧部材５３０の延長線上に配置されている。ウェハーホルダー５０３は、ウェハーカセットＷＣからＹ１方向に押し出されてきたウェハーＷＦ１の下端面を支えながら、ウェハーＷＦ１をＹ１方向に案内して待機ポジションＰＳ１に位置決めする。このため、ウェハーホルダー５０３は、断面Ｕ字型の溝を有していて、その溝幅は、ウェハーＷＦ１の厚み（０．３ｍｍ程度）より僅かに大きくなっている。このウェハーホルダー５０３は、使用済みのウェハーＷＦ２を取出し口５８にまで案内する機能も有している。
【０１６０】
次に、移動機構５００のウェハー送り位置検出部５０２を説明する。
【０１６１】
ウェハー送り位置検出部５０２は、前進端センサ１０５と、中間センサ１０６と、後進端センサ１０７の少なくとも３つのセンサを有している。これらの各センサ１０５、１０６、１０７は、例えば、公知のフォトセンサによって構成することが可能である。
【０１６２】
図２０に示すように、前進端センサ１０５は、光１０５Ｌを発生する発光部１０５Ａと、この光１０５Ｌを受光する受光部１０５Ｂを有する。また、中間センサ１０６は、光１０６Ｌを発生する発光部１０６Ａと、この光１０６Ｌを受光する受光部１０６Ｂを有する。また、後進端センサ１０７は、光１０７Ｌを発生する発光部１０７Ａと、この光１０７Ｌを受光する受光部１０７Ｂを有する。
【０１６３】
前進端センサ１０５の発光部１０５Ａ、中間センサ１０６の発光部１０６Ａ、後進端センサ１０７の発光部１０７Ａは、例えば、赤外発光ダイオードで構成することができる。また、前進端センサ１０５の受光部１０５Ｂ、中間センサ１０６の受光部１０６Ｂ、後進端センサ１０７の受光部１０７Ｂは、例えば、フォトトランジスタで構成することができる。また、発光部１０５Ａと受光部１０５Ｂ、発光部１０６Ａと受光部１０６Ｂ、発光部１０７Ａと受光部１０７は、例えば、それぞれが小型樹脂にモールドされた一体型の反射型フォトセンサで構成することができる。なお、前進端センサ１０５、中間センサ１０６、後進端センサ１０７は、例えば、透過型フォトセンサで構成することも可能である。
【０１６４】
前進端センサ１０５の発光部１０５Ａの発生する光１０５Ｌは、前進端位置ＰＭ１に移動体５１０の位置指示部材５２０が到達すると、位置指示部材５２０により反射されることで、受光部１０５Ｂに受光される。同様にして、中間センサ１０６の発光部１０６Ａの発生する光１０６Ｌは、中間位置ＰＭ２に移動体５１０の位置指示部材５２０が到達すると、位置指示部材５２０により反射されることで、受光部１０６Ｂに受光される。また、同様にして、後進端センサ１０７の発光部１０７Ａの発生する光１０７Ｌは、後進端位置ＰＭ３に移動体５１０の位置指示部材５２０が到達すると、位置指示部材５２０により反射されることで、受光部１０７Ｂに受光される。
【０１６５】
前進端センサ１０５の受光部１０５Ｂと、中間センサ１０６の受光部１０６Ｂと、後進端センサ１０７の受光部１０７Ｂが、それぞれ光１０５Ｌ、１０６Ｌ、１０７Ｌを受光すると、受光信号１０５Ｓ、１０６Ｓ、１０７Ｓが制御部１００へ送られる。これにより、制御部１００は、移動体５１０の位置指示部材５２０のＹ１方向に関する位置、すなわちウェハーＷＦのＹ１方向に関する押し出し位置を確認することができる。
【０１６６】
次に、移動機構５００によるウェハーＷＦの位置決め動作を説明する。
【０１６７】
前述したように、チューブ接合装置１を使用した各チューブＴ１、Ｔ２の接合を行うにあたり、使用者は、図６に示すようにクランプ蓋部３を開いた状態にする。そして、各チューブＴ１、Ｔ２を筐体側クランプ部５０にセットする。
【０１６８】
また、接合を開始する前の準備作業として、ウェハーカセット収納ユニット８２内にウェハーカセットＷＣをセットする作業を行う。図２０に示すように、ウェハーカセットＷＣをセットした段階においては、移動機構５００が備えるウェハー移動操作部５０１の移動体５１０は、後進端位置ＰＭ３に位置決めされる。これにより、ウェハーカセットＷＣ内に収納されたウェハーＷＦ１の後端部５３０Ｒが、移動機構５００が備えるウェハー移動操作部５０１の押圧部材５３０の先端部５３０Ｔに突き当たる位置に配置される。
【０１６９】
制御部１００が、モータドライブ１０４に指令を与えると、モータ１０３がギア５１５、５１６を介して送りネジ５１３を正回転させる。これにより、移動体５１０は、ガイドバー５１４に沿ってＹ１方向に直線移動を始める。そして、押圧部材５３０の先端部５３０Ｔは、ウェハーカセットＷＣ内の未使用のウェハーＷＦ１を、１枚ずつＹ１方向に押し出して待機ポジションＰＳ１に位置決めする。
【０１７０】
押圧部材５３０により未使用のウェハーＷＦ１が待機ポジションＰＳ１へ送られると、移動体５１０に設けられた位置指示部材５２０がＹ１方向に前進するので、位置指示部材５２０の位置が後進端センサ１０７、中間センサ１０６、そして前進端センサ１０５の順番で検出される。後進端センサ１０７、中間センサ１０６、そして前進端センサ１０５がそれぞれ位置指示部材５２０を検出すると、受光信号１０７Ｓ、１０６Ｓ、１０５Ｓを制御部１００に送る。これにより、制御部１００は、移動体５１０の位置指示部材５２０のＹ１方向に関する位置、すなわちウェハーＷＦ１のＹ１方向に関する押し出し位置を確認することができる。
【０１７１】
図２０に示すように、未使用のウェハーＷＦ１が１枚ずつＹ１方向に押し出されて待機ポジションＰＳ１に位置決めされると、制御部１００はウェハー加熱ヒータ１１０に通電する。これにより、ウェハー加熱ヒータ１１０は、ウェハーＷＦに設けられた２つの接点１３１（図１３（Ａ）を参照）を介してウェハーＷＦを通電・加熱して所定の温度に上げる。
【０１７２】
その後、制御部１００は、図１１に示すモータドライブ１１１に指令を出す。これにより、カムモータ１１７が駆動して、ウェハーＷＦ１を載せたウェハーホルダー５０３がＺ１方向に押し上げられる。ウェハーＷＦ１は待機ポジションＰＳ１からＺ１方向に持ち上げられて溶断ポジションＰＳｍに位置決めされる。これにより、２本のチューブＴ１、Ｔ２が溶断される。なお、ウェハーホルダー５０３の動作の詳細については、後述する。
【０１７３】
次に、制御部１００は、モータドライブ１１１に指令を出して、カムモータ１１７を駆動して、溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦ２を載せたウェハーホルダー５０３を溶断ポジションＰＳｍから待機ポジションＰＳ１までＺ２方向に沿って下げる。
【０１７４】
次に、図１８（Ｃ）に示すように第１のチューブＴ１と第２のチューブＴ２が同時に１８０°回転されることで第１のチューブＴ１の溶断した端部と第２のチューブＴ２の溶断した端部が入れ替えられた後、それぞれの端部が加圧接合される。
【０１７５】
待機ポジションＰＳ１に戻った使用済みのウェハーＷＦ２は、押圧部材５３０によりＹ１方向にさらに移動されることで、使用済みのウェハーＷＦ２を筐体から取り出すことが可能となる取出し口５８まで押し出される（図１、図６を参照）。そして、使用者が指で使用済みのウェハーＷＦ２を摘むことで、筐体２内に使用済みのウェハーＷＦ２を落としてしまうこと無く取り出すことが可能になる。
【０１７６】
２本のチューブＴ１、Ｔ２を溶断して加圧接合を行った後、制御部１００が図１１に示すモータドライブ１０４に指令を与えて送りネジ５１３を逆回転させると、移動体５１０と押圧部材５３０は、Ｙ２方向に沿って直線移動して後進端位置ＰＭ３に復帰する。
【０１７７】
ここで、位置指示部材５２０が、後進端センサ１０７により検出されている状態では、押圧部材５３０の先端部５３０Ｔは未使用のウェハーＷＦ１を押し始めていないので、未使用のウェハーＷＦ１はウェハーカセットＷＣ内からＹ１方向に飛び出していない。したがって、この時点では、ウェハーカセットＷＣをウェハーカセット収納ユニット８２から取り出すことが可能である。
【０１７８】
一方で、位置指示部材５２０が、中間センサ１０６により検出されている状態では、押圧部材５３０と未使用のウェハーＷＦ１がウェハーカセットＷＣに掛かっているので、ウェハーカセットＷＣをウェハーカセット収納ユニット８２から取り出すことができない。同様にして、位置指示部材５２０が前進端センサ１０５により検出されている状態では、押圧部材５３０がウェハーカセットＷＣに掛かっているので、ウェハーカセットＷＣをウェハーカセット収納ユニット８２から取り出すことができない。
【０１７９】
このように、後進端センサ１０７、中間センサ１０６、そして前進端センサ１０５が、Ｙ１方向に沿って互いに間隔をおいて配置されているため、ウェハーカセット収納ユニット８２からウェハーカセットＷＣを取り出すことが可能なタイミングを検出することができる。そして、このウェハーカセットＷＣの取出し可能なタイミングを示す案内は、例えば図２０に例示するように表示部８に表示することができる。
【０１８０】
次に、図２１、図２２を参照して、ウェハーホルダー５０３について説明する。図２１、図２２は、ウェハーホルダー５０３を簡略化して示す側面図である。
【０１８１】
前述したように、各チューブＴ１、Ｔ２を溶断する作業を実施する際には、移動機構５００により、未使用のウェハーＷＦ１が一枚ずつウェハーホルダー５０３へ送られる。そして、未使用のウェハーＷＦ１がウェハーホルダー５０３に配置された状態で、ウェハーホルダー５０３が上昇動作を実施することにより、ウェハーホルダー５０３の上方にセットされた各チューブＴ１、Ｔ２が溶断される。
【０１８２】
図２１（Ａ）に示すように、ウェハーホルダー５０３は、未使用のウェハーＷＦ１の下端面が載置されるＵ字型の溝（図示省略）が形成された本体部６０１と、この本体部６０１を筐体２の所定の位置に対して昇降可能に支持する支持部材６０２と、当該ウェハーホルダー５０３の昇降動作を駆動するカム６５１に当接されるベアリング部６０３と、当該ウェハーホルダー５０３の昇降状態を検出するために設けられた検出端６０４を有している。
【０１８３】
ウェハーホルダー５０３に設けられたベアリング部６０３は、カム６５１の回転に伴い当該カム６５１の外表面に沿って摺動する。ベアリング部６０３が摺動することにより、ウェハーホルダー５０３は所定方向（Ｚ１、Ｚ２方向）に昇降する。カム６５１の表面形状の変化によってウェハーホルダー５０３が所定のタイミングでＺ１方向へ上昇して、ウェハーＷＦが溶断ポジションＰＳｍに到達すると、各チューブＴ１、Ｔ２が溶断される。一方で、溶断が終了した後、カム６５１を回転させると、カム６５１の表面形状の変化によってウェハーホルダー５０３が所定のタイミングでＺ２方向へ下降し、ウェハーＷＦが待機位置ＰＳ１へ戻される。
【０１８４】
カム６５１の回転動作は、制御部１００からカムモータ１１７へ送信される指令に基づいて実施される。制御部１００は、カム６５１を回転させるタイミングおよび停止させるタイミングやカム６５１の回転速度等を制御する。
【０１８５】
制御部１００によるウェハーホルダー５０３の昇降動作の制御を正確に行うことを可能にするために、例えば、図２１（Ａ）に示すようなウェハーホルダーセンサ６６１が用いられる。このウェハーホルダーセンサ６６１は、ウェハーホルダー５０３の検出端６０４との接触・非接触状態を検知可能な公知の接触式センサにより構成することができる。
【０１８６】
ウェハーホルダー５０３の検出端６０４がウェハーホルダーセンサ６６１に接触しているときには、ウェハーホルダー５０３が下降した状態にあることが検出され、ウェハーホルダー５０３の検出端６０４がウェハーホルダーセンサ６６１に接触していないときには、ウェハーホルダー５０３が上昇した状態にあることが検出される。これらの検出結果は制御部１００へ送信される。制御部１００は、送信された検出結果に基づいて、カム６５１の回転動作をフィードバック制御する。なお、ウェハーホルダーセンサ６６１は、ウェハーホルダー５０３の動作状態を検出可能であれば特に制限されることはなく、例えば、公知のフォトセンサ等によって構成することも可能である。
【０１８７】
次に、図２１、図２２を参照して、ウェハーＷＦがウェハーホルダー５０３へ送られ、その後に取出し口５８まで送り出される動作例を説明する。
【０１８８】
図２１（Ａ）に示すように、二本のチューブＴ１、Ｔ２の溶断−接合作業を開始するにあたり、図２０に示す移動機構５００によってウェハーカセットＷＣから未使用のウェハーＷＦ１がウェハーホルダー５０３へ送られる。未使用のウェハーＷＦ１は、溶断を開始する前の待機ポジションＰＳ１に位置決めされる。この際、ウェハーＷＦ１に設けられた２つの接点１３１を介してウェハーＷＦ１が加熱される。
【０１８９】
次に、図２１（Ｂ）に示すように、制御部１００からカムモータ１１７へ指令を送信してカム６５１を回転させる。カム６５１が回転すると、ベアリング部６０３を介してカム６５１に当接したウェハーホルダー５０３が持ち上げられる。これにより、ウェハーＷＦが溶断ポジションＰＳｍに位置決めされる。ウェハーホルダー５０３が持ち上げられると、ウェハーホルダー５０３の上方に保持された各チューブＴ１、Ｔ２がウェハーＷＦにより溶断される。
【０１９０】
次に、図２２（Ａ）に示すように、カム６５１を再び回転させると、カム６５１の表面形状に従ってウェハーホルダー５０３が下降動作を開始する。溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦ２は待機ポジションＰＳ１に位置決めされる。
【０１９１】
溶断−接合作業が終了した後、図２０に示す移動機構５００によってウェハーカセットＷＣから未使用のウェハーＷＦ１がウェハーホルダー５０３へ送られる。この際、図２２（Ｂ）に示すように、未使用のウェハーＷＦ１の先端部が使用済みのウェハーＷＦ２の後端部に突き当てられる。未使用のウェハーＷＦ１は、使用済みのウェハーＷＦ２に突き当てられた状態でそのまま前進移動する。その結果、使用済みのウェハーＷＦ２は、筐体２内に設けられた所定の搬送路６１１を通って取出し口５８付近まで送り出される。以上のように、ウェハーＷＦは筐体２内において各ポジションに位置決めされた後、取出し口５８へ移動される。
【０１９２】
溶断−接合作業を終えた後、他のチューブの溶断作業を引き続き実施する場合には、使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８から取り除かれた後、図５（Ａ）に示す［接合］ボタン７Ｅが使用者により押下される。［接合］ボタン７Ｅが押下されると、ウェハーカセットＷＣ内から送られた未使用のウェハーＷＦ１による溶断作業が開始される。ここで、取出し口５８に使用済みのウェハーＷＦ２が残置された状態で［接合］ボタン７Ｅが押下されて溶断作業が進行すると、以下に説明する対比例のような問題が発生し得る。
【０１９３】
図２３（Ａ）は対比例に係るチューブ接合装置の筐体９０２を示し、図２３（Ｂ）は対比例に係るウェハーホルダー９０３の側面図を示す。また、各図には、使用済みのウェハーＷＦ２が筐体９０２に残置された状態で溶断作業を進行させた際の様子が示される。
【０１９４】
図２３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、使用済みのウェハーＷＦ２は未使用のウェハーＷＦ１によって押し出されて筐体９０２内の所定の搬送路９０６に沿って略直線的に移動するが、移動した後、他の部材等により支持等されないと、図１９（Ａ）の矢印ｄ１で示すように筐体２内で倒れ込んでしまう。このような倒れ込みが生じると、ウェハーホルダー９０３の動作範囲内に含まれる意図しない場所に使用済みのウェハーＷＦ２が置かれてしまう。この状態で未使用のウェハーＷＦ１による溶断作業が進行すると、昇降動作を行うウェハーホルダー９０３と使用済みのウェハーＷＦ２が干渉してしまう。なお、ホルダー部９０３と使用済みのウェハーＷＦ２の干渉はホルダー部９０３が持ち上げられる上昇動作時にも発生し得る。ウェハーホルダー９０３と使用済みのウェハーＷＦ２が干渉すると、タイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生してしまう。
【０１９５】
上記のような点を鑑みて、本実施形態に係るチューブ接合装置１は、使用済みのウェハーＷＦ２が装置に残置されているか否かを検出し、その検出結果に応じて溶断作業の進行を制限するように動作制御を実施する。
【０１９６】
概説すると、チューブ接合装置１は、第１のチューブＴ１および第２のチューブＴ２を保持する筐体側クランプ部５０（保持部に相当する）を備える筐体２と、筐体２に設けられ、複数のウェハーＷＦを収容可能に構成されたウェハーカセット収納ユニット８２（収容部に相当する）と、筐体側クランプ部５０に保持された第１のチューブＴ１および第２のチューブＴ２を溶断する際にウェハーＷＦを待機させる待機ポジションＰＳ１（第１の位置に相当する）へウェハーカセット収納ユニット８２に収容されたウェハーＷＦを移動させ、溶断作業後に、筐体２からウェハーＷＦが取り出し可能となる排出ポジションＰＳ２（第２の位置に相当する）へ溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦ２を移動させる移動機構５００と、溶断作業後に使用済みのウェハーＷＦ２が排出ポジションＰＳ２に残置されているか否かを検出するウェハー残置検出センサ７００（切断部材検出部に相当する）と、溶断に使用される前の未使用のウェハーＷＦ１を使用した溶断作業を開始する際に、ウェハー残置検出センサ７００により排出ポジションＰＳ２に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていることが検出された場合、溶断作業の進行を制限するように動作制御を行う制御部１００と、を有している。
【０１９７】
使用済みのウェハーＷＦ２の残置を検出するために用いられるウェハー残置検出センサ７００について説明する。
【０１９８】
図６、図２０に示すように、ウェハー残置検出センサ７００は、取出し口５８付近に位置する排出ポジションＰＳ２に向けて光を出射する発光部７０１と、発光部７０１が出射した光の受光の有無により使用済みのウェハーＷＦ２が排出ポジションＰＳ２に残置されているか否かを検知する受光部７０２とを備えるフォトセンサによって構成している。
【０１９９】
ウェハー残置検出センサ７００は、例えば、筐体２の内部における取出し口５８の付近に配置される。また、発光部７０１と受光部７０２は、互いの間を使用済みのウェハーＷＦ２が通過することが可能となるように所定の間隔を空けて配置される。
【０２００】
発光部７０１は、制御部１００から送信される指令に基づいて所定のタイミングで光を出射する。具体的には、チューブの溶断および接合が終了して、使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８へ移動された後に光を出射する。この光が、受光部７０２に到達すると、受光部７０２は当該受光部７０２と発光部７０１との間に使用済みのウェハーＷＦ２が存在していないとの検出結果を得る。一方、発光部７０１から出射された光が受光部７０１に到達しない場合には、受光部７０２は当該受光部７０２と発光部７０１との間に使用済みのウェハーＷＦ２が存在するとの検出結果を得る。これらの検出結果は図１１に示すように、ウェハー残置検出センサ７００から制御部１００へ送信される。
【０２０１】
制御部１００は、発光部７０１と受光部７０２との間に使用済みのウェハーＷＦ２が存在しているとの検出結果を得た場合には、「溶断作業後に使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８に残置されている」と判定する。また、制御部１００は、発光部７０１と受光部７０２との間に使用済みのウェハーＷＦ２が存在していないとの検出結果を得た場合には、「溶断作業後に使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８に残置されていない」と判定する。制御部１００は上記の判定結果に基づいて、所定の処理動作を実行するようにチューブ接合装置１の各部へ動作指令を送信する。
【０２０２】
次に、図２４を参照して、チューブ接合装置１の動作制御例を説明する。図２４には、チューブ接合装置１による溶断−接合作業の工程を概略的に表したフローチャートが示される。制御部１００は、ＲＯＭに予め格納された制御プログラムを実行することによって図２４に示す各作業を装置の各部に実行させるように指令を発信する。
【０２０３】
最初に、チューブ接合装置１の使用に際して、所定の準備作業が行われる。具体的には、クランプ蓋部３を開いて接合対象となるチューブＴ１、Ｔ２を筐体側クランプ部５０にセットする作業と、クランプ蓋部３を閉じる作業と、ウェハーカセットＷＣをウェハーカセット収納ユニット８２にセットする作業が行われる。
【０２０４】
準備作業が完了した後、ステップ１０１として、第１のチューブＴ１および第２のチューブＴ２のセット状態、開閉可能なカバーとしての機能を備えるクランプ蓋部３の開閉状態、ウェハーカセット収納ユニット８２内へのウェハーＷＦの収容状態がそれぞれ正常であるか否かが検出される。
【０２０５】
各チューブＴ１、Ｔ２が正常にセットされているか否かは、図１１に示すホールセンサ９０（チューブ検出部に相当する）により行われる。また、クランプ蓋部３が正常に閉められているか否かは、図１１に示すマイクロスイッチ９３（カバー検出部に相当する）により行われる。また、ウェハーカセット収納ユニット８２内にウェハーＷＦが正常に収容されているか否かは、図１１に示すウェハー有無センサ１０１およびウェハー残量検出センサ１０２（収容状態検出部）により行われる。
【０２０６】
ステップ１０１において、チューブＴ１、Ｔ２のセット状態、クランプ蓋部３の開閉状態、ウェハーＷＦの収容状態のいずれか一つでも正常でないと検出された場合は、溶断作業の進行が制限されてステップ１１１に進む。
【０２０７】
ここで、チューブＴ１、Ｔ２のセットが正常でない状態とは、例えば、各チューブＴ１、Ｔ２が上下方向に整列して配置されていない場合やチューブＴ１、Ｔ２のうちの一方または他方がセットされていない場合などが該当する。クランプ蓋部３が正常に閉められていない状態とは、例えば、クランプ蓋部３が開かれたままで閉じられていない状態などが該当する。ウェハーＷＦが正常に収容されていない状態とは、例えば、ウェハーカセットＷＣがウェハーカセット収納ユニット８２にセットされていない状態やウェハーカセットＷＣ内にウェハーＷＦが収容されていない状態などが該当する。
【０２０８】
ステップ１１１では、ステップ１０１において検出された結果が正常でない旨を使用者に報知する。報知は、チューブ接合装置１に設けられた報知部により実施される。この報知部としては、例えば、図１１に示す音声部や図５（Ｂ）に示す表示部８が用いられる。報知方法としては、例えば、音声部から警告音声や警告音を発したり、表示部８の各ランプ８Ｂ、８Ｃ、８Ｄ等を点灯・点滅させたりする方法で行われる。報知が実施された後、ステップ１０１に進み、再度検出が行われる。
【０２０９】
ステップ１０１において正常との検出結果が得られた場合は、ステップ１０２に進む。ステップ１０２において、使用者が図５に示す［接合］ボタンを押下するとステップ１０３に進む。
【０２１０】
ステップ１０３では、図１５に示す移動機構５００により未使用のウェハーＷＦ１が待機ポジションＰＳ１へ送られる。次にステップ１０４に進む。
【０２１１】
ステップ１０４では、図１５に示すウェハー残置検出センサ７００により、現在進行中の溶断作業に先立って使用された使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８付近に残置されているか否かの検出が行われる。
【０２１２】
ステップ１０４において、取出し口５８に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていることが検出された場合は、溶断作業の進行が制限されて、ステップ１１２に進む。
【０２１３】
ステップ１１２では、取出し口５８に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていることを報知する。報知する方法は、ステップ１１１と同様に、例えば、音声部から警告音声や警告音を発したり、表示部８の［ウェハー残置］ランプ８Ｈを点灯・点滅させたりする方法で行われる。報知が実施された後、ステップ１０４に進み、使用済みのウェハーＷＦ２が残置されているか否かの検出が再度行われる。
【０２１４】
ステップ１０４において、取出し口５８に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていないことが検出された場合は、ステップ１０５に進む。
【０２１５】
ステップ１０５では、ステップ１０１と同様に、第１のチューブＴ１および第２のチューブＴ２のセット状態、クランプ蓋部３の開閉状態、ウェハーカセット収納ユニット８２内のウェハーＷＦの収容状態がそれぞれ正常であるか否かが検出される。溶断を開始する前工程であるウェハーＷＦの加熱が実施される前に上記の各項目を再度確認することにより、使用者が誤操作等を行っていないかが再度チェックされる。ウェハーＷＦ２を取り除く作業時に各チューブＴ１、Ｔ２に位置ズレが生じているような場合や、ウェハーＷＦ２を取り除いた後にクランプ蓋部３が開いた状態のままである場合には、タイムアウトエラー等の原因となるため、これらの問題が生じていないか否かが確認的にチェックされる。
【０２１６】
ステップ１０５において、チューブＴ１、Ｔ２のセット状態、クランプ蓋部３の開閉状態、ウェハーＷＦの収容状態のいずれか一つでも正常でないと検出された場合は、溶断作業の進行が制限されて、ステップ１１３に進む。ステップ１１３では、前述したステップ１１１と同様に、報知部による報知が行われる。報知が実施された後、ステップ１０５に進み、再度検出が行われる。
【０２１７】
ステップ１０５において、正常との検出結果が得られた場合は、ステップ１０６に進む。
【０２１８】
ステップ１０６では、ウェハーＷＦを加熱する。ウェハーＷＦを加熱した後、ステップ１０７に進む。
【０２１９】
ステップ１０７では、カムモータ１１７の上昇動作が駆動され、ウェハーホルダー５０３による各チューブＴ１、Ｔ２の溶断が行われる（図２１（Ｂ）を参照）。
【０２２０】
次に、ステップ１０８に進み、カムモータ１１７の下降動作が駆動される（図２２（Ａ）を参照）。
【０２２１】
次に、ステップ１０９に進み、溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦ２を冷却する。
【０２２２】
このように図２４に示すフローチャートにしたがって各工程を実施することで、取出し口５８に使用済みのウェハーＷＦ２が残置された状態で溶断作業が進行されるのを好適に防止することが可能になる。
【０２２３】
以上、本実施形態に係るチューブ接合装置１によれば、未使用のウェハーＷＦ１を使用した溶断作業を開始する際に、溶断に使用された使用済みのウェハーＷＦ２が当該装置１からウェハーが取り出し可能となる排出ポジションＰＳ２に残置されていることが検出された場合には、溶断作業の進行が制限される。このため、排出ポジションＰＳ２に使用済みのウェハーＷＦ２が残置されていることに起因して生じ得るタイムアウトエラーや接合不良などの問題が発生することを好適に防止することが可能になる。
【０２２４】
また、チューブ接合装置１が、使用済みのウェハーＷＦ２の残置の有無の検出を実施する前および／またはその後に、各チューブＴ１、Ｔ２のセット状態が正常か否か、クランプ蓋部３の開閉状態が正常か否か、ウェハーＷＦの収容状態が正常か否かをそれぞれ検出し、各条件が満たされた場合に溶断作業を進行するように構成されているため、準備が整えられていない状態で溶断作業が進行してしまう誤動作の発生を好適に防止することができる。特に、ウェハー残置検出センサ７００による検出の後に実施することで、排出ポジションＰＳ２から使用済みのウェハーＷＦ２を取り除く作業中に生じ得るチューブＴ１、Ｔ２の位置ズレ、クランプ蓋部３の閉め忘れ等が発生している場合に、その旨を使用者が容易に把握することが可能になるため、これらの不具合に迅速に対応することが可能になる。
【０２２５】
また、制御部１００によって溶断作業の進行が制限される動作制御がなされる場合に、その旨を報知する報知部を有するように構成されているため、溶断作業の進行が制限される旨を使用者が明確に把握することが可能になる。
【０２２６】
また、筐体２の内外に連通する取出し口５８付近に排出ポジションＰＳ２が設定されているため、筐体２内部から送り出された使用済みのウェハーＷＦ２が取出し口５８に滞留して生じるタイムアウトエラーの発生を好適に防止することが可能になる。
【０２２７】
また、ウェハー残置検出センサ７００がフォトセンサを有するように構成されている場合、精度良く使用済みのウェハーＷＦ２の残置の有無を検出することが可能になる。
【０２２８】
以上、実施形態を通じて本発明に係るチューブ接合装置を説明したが、本発明は実施形態において説明した内容に限定されることはなく、特許請求の範囲の記載に基づいて適宜改変することが可能である。
【０２２９】
例えば、使用済みのウェハーの残置を検出するタイミングは、ウェハーホルダーが昇降動作を開始する前に設定されればよく、その限りにおいて変更することが可能である。一例として、ウェハーを昇温する工程の直前に実施してもよい。
【０２３０】
また、例えば、チューブのセット状態、カバーの開閉状態、ウェハーのセット状態の検出については、その実施を省略してもよい。実施形態において説明したように実施する場合においても、例えば、使用済みのウェハーの残置を検出する工程を行う前後のいずれかのタイミングで少なくとも実施されていればよい。
【０２３１】
また、例えば、ウェハー残置検出センサの構成は、フォトセンサのみに限定されず、排出ポジションに送り出された使用済みのウェハーを検出可能な限りにおいて変更することが可能である。一例として、排出ポジション付近で使用済みのウェハーに接触することで残置の有無を検出するように構成された接触式のセンサなどを使用することができる。
【０２３２】
また、例えば、チューブ接合装置の筐体や各部の構成は、当該装置が使用される用途や目的、設計上の都合等に応じて変更可能であり、図示した構成のみに限定されることはない。同様に、使用済みのウェハーの検出が行われる第２の位置を筐体に設けられた取出し口付近に設定した例を説明したが、第２の位置は装置の構成等に合わせて適宜変更することが可能である。ウェハー残置検出センサの配置位置についても第２の位置との関係で変更することが可能である。
【０２３３】
また、接合対象となるチューブは、溶断した後に端部の位置を切り替えて加圧接合を行う対象となるチューブであればよく、腹膜透析に用いられるチューブに限定されることはない。
【符号の説明】
【０２３４】
１  チューブ接合装置、
２  筐体、
３  クランプ蓋部、
８  表示部（報知部）、
５０  筐体側クランプ部（保持部）、
５８  取出し口、
８２  ウェハーカセット収納ユニット（収容部）、
９０  ホールセンサ（チューブ検出部）、
９３  マイクロスイッチ（カバー検出部）、
１００  制御部、
１０１  ウェハー有無センサ、
１０２  ウェハー残量検出センサ、
５００  移動機構、
５０３  ウェハーホルダー、
７００  ウェハー残置検出センサ（切断部材検出部）、
７０１  発光部、
７０２  受光部、
ＰＳ１  待機ポジション（第１の位置）、
ＰＳ２  排出ポジション（第２の位置）、
ＰＳｍ  溶断ポジション、
Ｔ１  第１のチューブ、
Ｔ２  第２のチューブ、
ＷＦ  ウェハー（切断部材）、
ＷＦ１  未使用のウェハー、
ＷＦ２  使用済みのウェハー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2015136575.tif 000024
【図２３】
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【図２４】
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