(57)【要約】【課題】フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御する。【解決手段】張力制御装置１は、帯状のフィルム状物Ｆ１の走行方向に湾曲した曲面１８ａ及び当該曲面１８ａの走行方向の両端に連続する一対の平面１８ｂからなる搬送面１８を有し、当該搬送面１８に形成された複数の開口部１８ｃからフィルム状物Ｆ１に流体を噴出することで当該フィルム状物Ｆ１を当該搬送面１８から浮揚させるチャンバー１０と、このチャンバー１０を前後方向の軸回りに揺動させるアクチュエーター１４，１５と、チャンバー１０を上下方向の軸回りに揺動させるアクチュエーター１６，１７と、搬送面１８上に左右方向に列になるように設けられ、当該搬送面１８及び当該フィルム状物Ｆ１の間に介在する流体の圧力を検出する複数の圧力センサー３４と、これら複数の圧力センサー３４の検出結果に基づいて、アクチュエーター１４〜１７を動作させる演算表示器３５とを備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状のフィルム状物の走行方向に湾曲した曲面及び該曲面の前記走行方向の両端に連続する一対の平面からなる搬送面を有し、該搬送面に形成された複数の開口部から前記フィルム状物に流体を噴出することで該フィルム状物を該搬送面から浮揚させるチャンバーと、
前記チャンバーを前後方向の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターと、
前記チャンバーを上下方向の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターと、
前記搬送面に左右方向に列になるように設けられ、該搬送面及び前記フィルム状物の間に介在する前記流体の圧力を検出する複数の圧力センサーと、
前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記ローリングアクチュエーター及び前記ヨーイングアクチュエーターを動作させる制御手段と、を備えている張力制御装置。
【請求項２】
前記チャンバーを上下方向に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターを備え、
前記制御手段は、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記アップアンドダウンアクチュエーターを動作させる請求項１に記載の張力制御装置。
【請求項３】
前記チャンバーの左側を上下に移動させる左側アクチュエーターと、
前記チャンバーの右側を上下に移動させる右側アクチュエーターと、を備え、
前記ローリングアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターの一方が動作することで実現し、
前記アップアンドダウンアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に等速で動作することで実現する請求項２に記載の張力制御装置。
【請求項４】
前記ヨーイングアクチュエーターとして、前記チャンバーの左右の一方に作用して前後に進退する進退アクチュエーターを備えている請求項１〜３のいずれかに記載の張力制御装置。
【請求項５】
前記ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向の軸回りに回転する回転アクチュエーターを備えている請求項１〜４のいずれかに記載の張力制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムや、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）や金属板（金属ストリップ）の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、更には板厚の厚めの物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という。）に働く張力を制御する張力制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、搬送中のフィルム状物に働く張力を制御する張力制御装置が知られている。例えば、特許文献１に記載された張力制御装置は、加圧空気の噴出を受けて生じる長尺シート状物の撓みにより当該長尺シート状物に働く張力を非接触で検出し、その検出結果に基づいて、長尺シート状物を搬送するローラを変速したり制動したりすることで、当該長尺シート状物に働く張力を制御する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−３２２６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の張力制御装置は、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御できない。
【０００５】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御する張力制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明は、帯状のフィルム状物の走行方向に湾曲した曲面及び該曲面の前記走行方向の両端に連続する一対の平面からなる搬送面を有し、該搬送面に形成された複数の開口部から前記フィルム状物に流体を噴出することで該フィルム状物を該搬送面から浮揚させるチャンバーと、前記チャンバーを前後方向の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターと、前記チャンバーを上下方向の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターと、前記搬送面に左右方向に列になるように設けられ、該搬送面及び前記フィルム状物の間に介在する前記流体の圧力を検出する複数の圧力センサーと、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記ローリングアクチュエーター及び前記ヨーイングアクチュエーターを動作させる制御手段と、を備えている張力制御装置である。
【０００７】
本発明によれば、複数の圧力センサーが搬送面に左右方向に列になるように設けられているので、搬送面及びフィルム状物の間に介在する流体の圧力を検出し、当該流体の圧力の幅方向の分布を把握できる。搬送面及びフィルム状物の間に介在する流体の圧力の幅方向の分布は、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布と相関があるので、複数の圧力センサーで検出した流体の圧力の幅方向の分布に基づいて、ローリングアクチュエーター及びヨーイングアクチュエーターを動作させることで、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を所望する態様に制御できる。
【０００８】
（２）本発明はまた、前記チャンバーを上下方向に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターを備え、前記制御手段は、前記複数の圧力センサーの検出結果に基づいて、前記アップアンドダウンアクチュエーターを動作させる上記（１）に記載の張力制御装置である。
【０００９】
上記発明によれば、アップアンドダウンアクチュエーターを動作させて、チャンバーを上下方向に移動させることで、フィルム状物に働く張力を、幅方向の全体にわたって増減させられる。
【００１０】
（３）本発明はまた、前記チャンバーの左側を上下に移動させる左側アクチュエーターと、前記チャンバーの右側を上下に移動させる右側アクチュエーターと、を備え、前記ローリングアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターの一方が動作することで実現し、前記アップアンドダウンアクチュエーターは、前記左側アクチュエーター及び前記右側アクチュエーターが互いに同一の方向に等速で動作することで実現する上記（２）に記載の張力制御装置である。
【００１１】
上記発明によれば、ローリングアクチュエーター及びアップアンドアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００１２】
（４）本発明はまた、前記ヨーイングアクチュエーターとして、前記チャンバーの左右の一方に作用して前後に進退する進退アクチュエーターを備えている上記（１）〜（３）のいずれかに記載の張力制御装置である。
【００１３】
上記発明によれば、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００１４】
（５）本発明はまた、前記ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向の軸回りに回転する回転アクチュエーターを備えている上記（１）〜（４）のいずれかに記載の張力制御装置である。
【００１５】
上記発明によれば、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の上記（１）〜（５）に記載の張力制御装置によれば、フィルム状物に働く張力の幅方向の分布を制御できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る張力制御装置の正面図である。
【図２】図１に示す張力制御装置の平面図である。
【図３】図１に示す張力制御装置の側面図である。
【図４】図１に示す張力制御装置の構成を示すブロック図である。
【図５】（Ａ）はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において左側に偏っている状況を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。
【図６】（Ａ）はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において右側に偏っている状況を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。
【図７】（Ａ）はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において全体的に過大になっている状況を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。
【図８】（Ａ）はフィルム状物に働く張力の幅方向の分布において全体的に不足している状況を示し、（Ｂ）は（Ａ）に示す状況における張力制御装置の動きを説明する正面図である。
【図９】（Ａ）及び（Ｂ）は張力制御装置におけるヨーイングアクチュエーターの動きを説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る張力制御装置について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態にて説明する張力制御装置１の構成に限定されるものではない。
【００１９】
まず、図１〜図４を用いて、張力制御装置１の構成について説明する。図１は、張力制御装置１の正面図である。図２は、張力制御装置１の平面図である。図３は、張力制御装置１の構成を示すブロック図である。図４は、張力制御装置１の構成を示すブロック図である。なお、各図において、図面の簡略化のため、一部の構成を適宜省略する。そして、各図において、部材の厚みや大きさなどを適宜誇張して表現する。
【００２０】
図１〜図３に示される張力制御装置１は、搬送される帯状のフィルム状物Ｆ１に働く張力を制御するものであり、走行するフィルム状物Ｆ１の途中に配置される。この張力制御装置１は、圧縮された流体（本実施形態では、空気）を、搬送中のフィルム状物Ｆ１に噴き付けて、当該フィルム状物Ｆ１を浮揚させる。そして、張力制御装置１は、噴き付けた流体の圧力に基づいて、各種アクチュエーター１４〜１７を動作させることで、フィルム状物Ｆ１に働く張力を制御する。なお、フィルム状物Ｆ１を走行させる駆動源（図示省略）としては、ＢＥＬＬＭＡＴＩＣ株式会社（東京都西多摩郡瑞穂町）が市販するサクションローラーなどを採用できる。
【００２１】
具体的に、張力制御装置１は、チャンバー１０と、一対の供給管１１，１２と、台座１３と、左側アクチュエーター１４と、右側アクチュエーター１５と、進退アクチュエーター１６と、回転アクチュエーター１７と、などを備えている。
【００２２】
チャンバー１０は、断面視でかまぼこ型をなす長尺形を呈する金属製のエアターンバーである。エアターンバーの詳細は、例えば、特開２０１３−０２３３７１号公報を参照されたい。ただし、チャンバー１０は、金属製であることに限定されず、ポリ塩化ビニル製、ポリエチレン製、ポリプロピレン製などであってもよい。このチャンバー１０は、両側面に設けられた一対の供給口（図示省略）と、フィルム状物Ｆ１を搬送する搬送面１８と、を備えている。
【００２３】
一対の供給口（図示省略）には、それぞれ、供給管１１又は１２が接続される。チャンバー１０内には、一対の供給管１１，１２を通じて一対の供給口から圧縮された流体が供給される。なお、供給口の一方を蓋などで閉塞して、一の供給管１１又は１２を通じて流体の供給を受けるようにしてもよい。例えば、供給管１１が接続される供給口を蓋などで閉塞して、供給管１２を通じて流体の供給を受けるようにしてもよい。
【００２４】
搬送面１８は、断面視で半円弧形の曲面１８ａと、この曲面１７ｂに滑らかに連続する一対の平面１８ｂと、からなり、巻き付けられるフィルム状物Ｆ１と対向する。すなわち、搬送面１８は、帯状のフィルム状物Ｆ１の走行方向に湾曲した曲面１８ａと、この曲面１８ａの走行方向の両端に連続する一対の平面１８ｂと、からなる。この搬送面１８には、一対の供給口（図示省略）から供給された、圧縮された流体を噴出する複数（多数）の開口部１８ｃが形成されている。なお、複数の開口部１８ｃは、プレス打抜き（パンチング）によって形成されていることが好ましいが、プレス打抜きに限定されるものではない。また、図面においては、表現上誇張して、複数の開口部１８ｃを大きく描いているが、それぞれ、面積が０．００２５πｍｍ２以上２５πｍｍ２以下であることが好ましい。すなわち、径が０．１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２５】
台座１３には、チャンバー１０が固定されている。この台座１３は、各種アクチュエーター１４〜１７によって支持されており、当該各種アクチュエーターによって移動又は揺動させられる。結果、台座１３に固定されているチャンバー１０は、移動又は揺動させられる。
【００２６】
具体的に、チャンバー１０は、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５の少なくとも一方により、前後方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに揺動させられる（図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）参照）。そして、チャンバー１０は、進退アクチュエーター１６又は回転アクチュエーター１７により、上下方向（図面におけるＺ軸方向）の軸回りに揺動させられる（図９（Ａ）及び図９（Ｂ）参照）。また、チャンバー１０は、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５により、上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させられる（図１参照）。
【００２７】
左側アクチュエーター１４は、回転アクチュエーター１７により水平面内で回転する回転プレート１９に固定されている。この左側アクチュエーター１４は、台座１３の左側（張力制御装置１の正面に向かって右側）を支持すると共に、台座１３の左側を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させる。結果、左側アクチュエーター１４は、台座１３に固定されているチャンバー１０の左側を上下に移動させる。
【００２８】
右側アクチュエーター１５は、回転アクチュエーター１７により水平面内で回転する回転プレート１９に固定されている。この右側アクチュエーター１５は、台座１３の右側（張力制御装置１の正面に向かって左側）を支持すると共に、台座１３の右側を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させる。結果、右側アクチュエーター１５は、台座１３に固定されているチャンバー１０の右側を上下に移動させる。
【００２９】
これら左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５は、一体となって、チャンバー１０を前後方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーターとして機能する。具体的に、ローリングアクチュエーターは、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーターが互いに反対の方向に動作し、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５が互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５の一方が動作することで実現する。
【００３０】
そして、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５は、一体となって、チャンバー１０を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させるアップアンドダウンアクチュエーターとして機能する。具体的に、アップアンドダウンアクチュエーターは、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１４が互いに同一の方向に等速で動作することで実現する。
【００３１】
進退アクチュエーター１６は、揺動軸２０回りに水平面内で揺動する揺動プレート２１の左右の一方（本実施形態では左側（張力制御装置１の正面に向かって右側））に作用して前後（図面におけるＹ軸方向）に進退することで、揺動プレート２１を揺動軸２０回りに水平面内で揺動させる。すなわち、進退アクチュエーター１６は、チャンバー１０の左右の一方（本実施形態では左側（張力制御装置１の正面に向かって右側））に間接的に作用して前後（図面におけるＹ軸方向）に進退することで、当該チャンバー１０を上下方向（図面におけるＺ軸方向）の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターとして機能する。
【００３２】
回転アクチュエーター１７は、進退アクチュエーター１６により揺動軸２０回りに水平面内で揺動する揺動プレート２１に固定されている。この回転アクチュエーター１７は、上下方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに回転することで、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５が固定されている回転プレート１９を水平面内で回転させる。すなわち、回転アクチュエーター１７は、チャンバー１０を上下方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに揺動させるヨーイングアクチュエーターとして機能する。
【００３３】
図４に示されるように、張力制御装置１は、更に、圧力センサー３０と、演算表示器３１と、モーターインバーター３２と、ブロア３３と、複数の圧力センサー３４と、演算表示器３５と、などを備えている。なお、これらの構成は、特許第４５７５５３３号公報に記載された装置を参考にすることができる。詳細は、当該特許第４５７５５３３号公報を参照されたい。
【００３４】
圧力センサー３０は、チャンバー１０内に設けられている。この圧力センサー３０は、チャンバー１０内の流体の圧力を検出し、その検出結果を演算表示器３１に出力する。
【００３５】
演算表示器３１は、圧力センサー３４の検出結果に基づいて、モーターインバーター３２に制御信号を送信することで、当該モーターインバーター３２によってブロア３３を制御する。モーターインバーター３２は、演算表示器３１からの制御信号に基づいて、ブロア３３を制御する。ブロア３３は、流体（本実施形態では、圧縮した空気）を、供給管１１，１２を介してチャンバー１０内に供給する。
【００３６】
複数の圧力センサー３４は、搬送面１８に、厳密には搬送面１８の裏側（チャンバー１０の内側）に、左右方向（図面における）に列になるように設けられている。これら複数の圧力センサー３４は、それぞれ、搬送面１８及びフィルム状物Ｆ１の間に介在する流体の圧力を検出し、その検出結果を演算表示器３５に出力する。
【００３７】
なお、複数の圧力センサー３４が検出する流体の圧力は、フィルム状物Ｆ１に働く張力と相関がある。すなわち、複数の圧力センサー３４が検出する流体の圧力の幅方向の分布は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布と相関がある。このように、複数の圧力センサー３４は、間接的に、フィルム状物Ｆ１に働く張力を検出しているといえるので、本願書類においては、便宜上、複数の圧力センサー３４が検出する対象を、フィルム状物Ｆ１に働く張力と表現することもある。
【００３８】
演算表示器３５は、複数の圧力センサー３４の検出結果に基づいて、各種アクチュエーター１４〜１７に制御信号を送信することで、当該各種アクチュエーター１４〜１７を制御する。
【００３９】
次に、図５を用いて、フィルム状物Ｆ１に働く張力が幅方向の左側に偏っている状況における張力制御装置１の動きを説明する。図５（Ａ）は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布において左側に偏っている状況を示す。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）に示す状況における張力制御装置１の動きを説明する。
【００４０】
図５（Ａ）に示されるように、フィルム状物Ｆ１が蛇行すること等によって、フィルム状物Ｆ１に働く張力が幅方向（図面におけるＸ軸方向）の左側（図面における右側）に偏っている状況においては、図５（Ｂ）に示されるように、チャンバー１０を前後方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーター（左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５）を動作させて、張力の偏りを無くすようにする。例えば、左側アクチュエーター１４を収縮させることでチャンバー１０の左側（図面における右側）を下方に移動させると共に、右側アクチュエーター１５を伸張させることでチャンバー１０の右側（図面における左側）を上方に移動させることになる。これにより、蛇行が解消されて張力の偏りが無くなる。
【００４１】
次に、図６を用いて、フィルム状物Ｆ１に働く張力が幅方向の右側に偏っている状況における張力制御装置１の動きを説明する。図６（Ａ）は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布において右側に偏っている状況を示す。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に示す状況における張力制御装置１の動きを説明する。
【００４２】
図６（Ａ）に示されるように、フィルム状物Ｆ１が蛇行すること等によって、フィルム状物Ｆ１に働く張力が幅方向（図面におけるＸ軸方向）の右側（図面における左側）に偏っている状況においては、図６（Ｂ）に示されるように、チャンバー１０を前後方向（図面におけるＹ軸方向）の軸回りに揺動させるローリングアクチュエーター（左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５）を動作させて、張力の偏りを無くすようにする。例えば、左側アクチュエーター１４を伸張させることでチャンバー１０の左側（図面における右側）を上方に移動させると共に、右側アクチュエーター１５を収縮させることでチャンバー１０の右側（図面における左側）を下方に移動させることになる。これにより、蛇行が解消されて張力の偏りが無くなる。
【００４３】
次に、図７を用いて、フィルム状物Ｆ１に働く張力が全体的に過大になっている状況における張力制御装置１の動きを説明する。図７（Ａ）は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布において全体的に過大になっている状況を示す。図７（Ｂ）は、図７（Ａ）に示す状況における張力制御装置１の動きを説明する。
【００４４】
図７（Ａ）に示されるように、フィルム状物Ｆ１に働く張力が全体的に過大になっている状況においては、図７（Ｂ）に示されるように、チャンバー１０を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させるアップアンドダウンアクチュエーター（左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５）を動作させて、張力を減らすようにする。すなわち、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５を収縮させることでチャンバー１０を下方に移動させることになる。
【００４５】
次に、図８を用いて、フィルム状物Ｆ１に働く張力が全体的に不足している状況における張力制御装置１の動きを説明する。図８（Ａ）は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布において全体的に不足している状況を示す。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に示す状況における張力制御装置１の動きを説明する。
【００４６】
図８（Ａ）に示されるように、フィルム状物Ｆ１に働く張力が全体的に不足している状況においては、図８（Ｂ）に示されるように、チャンバー１０を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させるアップアンドダウンアクチュエーター（左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５）を動作させて、張力を減らすようにする。すなわち、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５を伸張させることでチャンバー１０を上方に移動させることになる。
【００４７】
次に、図９を用いて、張力制御装置１におけるヨーイングアクチュエーター（進退アクチュエーター１６又は回転アクチュエーター１７）の動きを説明する。図９（Ａ）は、張力制御装置１におけるヨーイングアクチュエーター（進退アクチュエーター１６）の動きを説明する平面図である。図９（Ｂ）は、張力制御装置１におけるヨーイングアクチュエーター（回転アクチュエーター１７）の動きを説明する平面図である。
【００４８】
図９（Ａ）に示されるように、ヨーイングアクチュエーターである進退アクチュエーター１６を伸張させることで、チャンバー１０は揺動軸２０回りに右回りに揺動する。一方、図示は省略するが、ヨーイングアクチュエーターである進退アクチュエーター１６を収縮させることで、チャンバー１０は揺動軸２０回りに左回りに揺動する。すなわち、進退アクチュエーター１６を伸縮させることで、チャンバー１０が上下方向（図面におけるＺ軸方向）の軸回りに揺動する。
【００４９】
図９（Ｂ）に示されるように、ヨーイングアクチュエーターである回転アクチュエーター１７を右回りに回転させることで、チャンバー１０は回転アクチュエーター１７の軸回りに右回りに揺動する。一方、図示は省略するが、ヨーイングアクチュエーターである回転アクチュエーター１７を左回りに回転させることで、チャンバー１０は回転アクチュエーター１７の軸回りに左回りに揺動する。すなわち、回転アクチュエーター１７を回転させることで、チャンバー１０が上下方向（図面におけるＺ軸方向）の軸回りに揺動する。
【００５０】
なお、進退アクチュエーター１６と回転アクチュエーター１７のどちらを動作させるかは、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布の状況や、フィルム状物Ｆ１のねじれの状況などにより適宜決定すればよい。なお、フィルム状物Ｆ１のねじれの状況は、別途検出したり、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向の分布から別途算出したりすることになる。
【００５１】
以上説明した張力制御装置１によれば、複数の圧力センサー２４が搬送面１８に左右方向（図面におけるＸ軸方向）に列になるように設けられているので、搬送面１８及びフィルム状物Ｆ１の間に介在する流体の圧力を検出し、当該流体の圧力の幅方向（図面におけるＸ方向）の分布を把握できる。搬送面１８及びフィルム状物Ｆ１の間に介在する流体の圧力の幅方向（図面におけるＸ軸方向）の分布は、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向（図面におけるＸ軸方向）の分布と相関があるので、複数の圧力センサー２４で検出した流体の圧力の幅方向（図面におけるＸ軸方向）の分布に基づいて、各種アクチュエーター１４〜１７を動作させることで、フィルム状物Ｆ１に働く張力の幅方向（図面におけるＸ軸方向）の分布を所望する態様に制御できる。
【００５２】
そして、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５をアップアンドダウンアクチュエーターとして動作させて、チャンバー１０を上下方向（図面におけるＺ軸方向）に移動させることで、フィルム状物Ｆ１に働く張力を、幅方向（図面におけるＸ軸方向）の全体にわたって増減させられる。
【００５３】
また、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５が互いに反対の方向に動作し、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５が互いに同一の方向に相対速度をもって動作し、又は左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５の一方が動作することで、ローリングアクチュエーターを実現するので、ローリングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００５４】
さらに、左側アクチュエーター１４及び右側アクチュエーター１５が互いに同一の方向に等速で動作することで、アップアンドダウンアクチュエーターを実現するので、アップアンドダウンアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００５５】
そして、ヨーイングアクチュエーターとして、チャンバー１０の左右の一方に作用して前後（図面におけるＹ軸方向）に進退する進退アクチュエーター１６を備えているので、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００５６】
また、ヨーイングアクチュエーターとして、上下方向（図面におけるＺ軸方向）の軸回りに回転する回転アクチュエーター１７を備えているので、ヨーイングアクチュエーターを簡単な構造で実現できる。
【００５７】
本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、その趣旨及び技術思想を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。また、各変形例の構成は、可能な範囲で他の変形例に適用できる。
【００５８】
すなわち、上記実施形態において、各構成の位置、大きさ、長さ、形状、材質、向き、数量などは適宜変更できる。
【符号の説明】
【００５９】
１  張力制御装置
１０  チャンバー
１４  左側アクチュエーター
１５  右側アクチュエーター
１６  進退アクチュエーター
１７  回転アクチュエーター
１８  搬送面
１８ａ  曲面
１８ｂ  平面
１８ｃ  開口部
３４  圧力センサー
３５  演算表示器（制御手段）
Ｆ１  フィルム状物
【図１】
2015224128.tif 000003
【図２】
2015224128.tif 000004
【図３】
2015224128.tif 000005
【図４】
2015224128.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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