(57)【要約】【課題】  本発明は、電気的に動作される放電によってＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための装置に関する。【解決手段】  金属又は金属溶湯が、放電ギャップに近い面上に備えられ、エネルギービーム（４）によって蒸発する。それ故、プラズマの点火のためにガス状媒体を発生させる。保護部品（１３）は、少なくとも一つの開口部（１４）を覆うために、稼働中に異なる電位の部品間に配置され、形成される。保護部品（１３）は、装置の稼働中に動作される。この動作のために、保護部品上の局所な熱負荷が低減される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に動作される放電によって、ＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための装置において、
電極（１）間のガス状媒体の中に、プラズマの点火を可能にする放電ギャップを形成するために、互いに距離を置いて配置された２つの電極（１）と、
前記放電ギャップで面上に金属又は金属溶湯を供給するための装置と、
前記金属又は金属溶湯を、少なくとも部分的に蒸発させる前記面上に、エネルギービーム（４）を向け、これにより、前記ガス状媒体の少なくとも一部を発生させるために適合するエネルギービーム装置と、
稼働中に、異なる電位を有する部品間の少なくとも１つの開口部（１４）の中に、前記金属又は金属溶湯を蒸発させることによって発生した金属蒸気又は金属液滴の少なくとも直接移動を防ぎ、保護部品（１３）によって少なくとも部分的に覆われるように配置され、形成された保護部品（１３）と、を少なくとも含む装置であって、
前記保護部品（１３）が、前記装置の稼働中に、動作状態で配置されることを可能にするように取付けられることを特徴とする、装置。
【請求項２】
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、回転動作状態で配置されることを可能にするように取付けられることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置は、前記金属又は金属溶湯を、前記電極（１）の少なくとも１つの面上に備えるように適合されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記電極（１）は、前記装置の稼働中に回転状態で配置されることが可能であることを特徴とする、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記電極（１）が、回転中に、前記金属溶湯を含む容器の中に浸るとこと特徴とする、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記保護部品（１３）が少なくとも一つの冷却水路（１５）を構成することを特徴とする、請求項１〜５の一項に記載の装置。
【請求項７】
前記少なくとも一つの冷却水路（１５）は、前記装置の稼働中に、前記冷却水路（１５）を介して冷却液を搬送する冷却回路に接続されることを特徴とする、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記冷却回路は、液体金属、特に、前記ガス状媒体の少なくとも一部を発生させるための溶融金属を、前記冷却液として、構成することを特徴とする、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記保護部品（１３）は、細長い回転対称形状を有し、その回転対称軸まわりを回転することを特徴とする、請求項１〜８の一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記保護部品（１３）の直径は、その回転対称軸に沿って変化することを特徴とする、
請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、回転状態で配置され、
その回転軸に沿って前記保護部品の振動を可能にすることを、可能にするように取付けられることを特徴とする、請求項１〜１０の一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、回転状態で配置されることを可能にするように取付けられ、
シールド（２１）は、前記回転により前記保護部品（１３）から飛び散る液滴を、キャッチするように前記保護部品（１３）の片側の上に配置されることを特徴とする、請求項１〜１１の一項に記載の装置。
【請求項１３】
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、回転状態で配置されることを可能にするように取付けられ、
少なくとも一つのスキマー（２２）は、回転中に、前記保護部品（１３）から液体金属を除去するように、前記保護部品（１３）に配置されることを特徴とする、請求項１〜１２の一項に記載の装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３の一つ又は数個に記載の装置における前記保護部品（１３）上に加熱の影響を低減する方法において、
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、動作されることを特徴とする、方法。
【請求項１５】
前記保護部品（１３）は、前記装置の稼働中に、回転されることを特徴とする、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記保護部品（１３）は、更に、前記装置の稼働中に、その回転軸に沿って振動されることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的に動作される放電によりＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための装置に関する。保護部品を構成する前記装置は、放電ギャップから異なる電位を有する装置の部品間の開口部に金属蒸気や金属液滴の少なくとも直接移動（direct passage）を防ぐために、配置され、形成される。本発明はまた、保護部品の局所的な加熱を低減する方法に関する。本発明はまた、保護部材の局所加熱を低減する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＵＶ放射（ＥＵＶ：極紫外線）又は軟Ｘ線、即ち、約１ｎｍ〜２０ｎｍの波長領域において放射、を発生させるためのプラズマ放電ランプは、ＥＵＶリソグラフィ、顕微鏡又は計測学の分野に必要とされる。
【０００３】
このような放電ランプは、例えば特許文献１に開示されている。この文献のＥＵＶランプは、図１に見られるように、電極間のガス状媒体内にプラズマの点火を可能にするギャップを形成するように、互いに間隔を置いて放電スペースに配置された２つの電極ホイールを構成する。電極ホイール１は、回転可能に取付けられて、温度制御された浴２に部分的に浸し、この浴は、液体金属、例えば錫から構成される。電極ホイール１の材料は、液体錫によって電極の濡れることを可能にする。即ち、錫浴２を通って回転軸３のまわりを回転するとき、電極ホイール１の面が、錫の薄い層で覆われる。パルスレーザ４で、錫は、ギャップにおいて電極ホイールの１つから蒸発する。蒸気雲（vapor cloud）は、第２の電極ホイールに向けて広がり、所定時間後に、短絡回路が電極ホイールの間に作られる。キャパシタバンク５は、絶縁されたフィードスルー６を介して錫浴２に接続され、したがって電極ホイール１にも接続され、放電し、ホットプラズマ（hot plasma）が作られ、所望のＥＵＶ放射を放出する。全体の設備は、少なくとも１０−４ｈＰａの基本的な真空に達する真空容器８の中に位置される。電極ホイール１の面上の錫層７は、スキマー９によって、厚さについて制御される。厚さは、一般的に０．５μｍと５００μｍの間の範囲になるように制御される。
【０００４】
ランプの外側のミラー等の光学素子は、ランプの放出側に配置されるデブリ軽減ユニット（debris mitigation unit）１１によって、保護される。このようなデブリ軽減ユニット１１は、放射の経路を可能にし、金属蒸気の経路を抑制する。
【０００５】
図はまた、設定温度で浴２の中に金属溶湯を維持するための２つのヒータ／冷却ユニット１２を模式的に示す。
【０００６】
ランプの他の部品へ蒸発した錫又は錫の液滴の移送を回避するために、保護金属シールド１０は、放電ギャップの下でランプの内側に配置される。この所謂楔は、ランプの長い寿命と同様に、高い変換効率のために重要である。高い変換効率は、電極システムの誘導性に、低くなること、即ち、１０ｎＨ以下になることを要求し、これは、異なる電位で部品間のギャップ又は開口部が、小さく、特に数ミリメートル程度になることを意味する。これらの小さなギャップは、ランプヘッドの生涯にわたって蓄積する多少の錫によって容易に架橋され得る。これが生じる場合、キャパシタバンクが、再び充電されず、なんらＥＵＶが生成されないため、効果的に短絡回路が作られる。修復措置のため、ランプヘッドは、交換される必要があり、したがって、少なくとも真空は、破られる必要があり、放電ランプの大幅なダウンタイムとなる。錫が重要な開口部の中に跳ね返るのを回避するために、金属シールド１０、即ち開口部の上の特別な屋根は、図１のランプに備えられる。この金属シールドは、ランプの稼働中に異なる電位の性質をもつ、２つの錫浴２と金属要素の間の開口部を覆う。
【０００７】
特許文献１はまた、金属シールドが放電ギャップの近くに液体金属を移送するために使用される回転するディスクとして形成される、プラズマ放電ランプの実施形態を開示する。この回転するディスクは、回転中に液体錫を有する容器に浸る。これは、液体金属の蒸気又は滴から効果的に保護されるように開口部を覆わないように、このシールドの形状を制限する。
【０００８】
本特許出願において保護部品とも呼ばれている、金属シールドは、プラズマ放電の近く、数ミリメートルから数センチメートルに変化する距離に、配置されなければならない。その結果、プラズマによって放出された高い平均光度（light intensity）にさらされる。ランプや装置の平均入力電力がスケールアップすると、保護部品は、過度に熱くなり、次のような問題にいたる。錫は、この保護部品上に堆積され、次いで高温度に蒸発して、ＥＵＶを発生させるプラズマ上に悪影響を与え得る。そのようなより高い温度では、また、保護部品がどんどん腐食されるように、保護部品の材料がより速く錫に反応する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】ＷＯ  ２００５／０２５２８０  Ａ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、上記したように、保護部品の加熱の影響が低減される電気的に動作される放電によって、ＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための装置を提供することである。また、本発明の目的は、そのような装置における保護部品の温度を低減するための方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
該目的は、請求項１に係る装置と請求項１４に係る方法で達成される。装置及び方法の有利な実施形態は、従属請求項の主題であり、又は発明の詳細な説明の後続部分に開示される。
【００１２】
電気的に動作される放電によって、ＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための提案された装置において、
電極間のガス状媒体の中に、プラズマの点火を可能にする放電ギャップを形成するために、互いに距離を置いて配置された２つの電極と、
放電ギャップで面上に金属又は金属溶湯を供給するための装置と、
前記金属又は金属溶湯を、少なくとも部分的に蒸発させる前記面上に、エネルギービーム（４）を向け、これにより、前記ガス状媒体の少なくとも一部を発生させるために適合するエネルギービーム装置と、
稼働中に、異なる電位を有する装置の部品間の少なくとも一つの開口部の中に、前記金属又は金属溶湯を蒸発させることによって、発生した金属蒸気又は金属液滴の少なくとも直接移動を防ぎ、前記部品が前記保護部品によって少なくとも部分的に覆われるように配置され、形成された保護部品と、を少なくとも含む。
提案された装置において、保護部品は、装置の稼働中に、動作状態で、特に回転状態で配置されることを可能にするように取付けられる。
【００１３】
保護部品、即ち保護シールド又は楔のこのような動作で、保護部品上の熱は、稼働中に、大きな面エリアに亘って分散される。そのため、保護部品の局所的な加熱は、固定部品に比べて低下する。一方、保護部品は、稼働中に、異なる電位の部品の間の１つの開口部又は数個の開口部を十分に覆うように適切に形成され、それ故に、このような開口部の中の液体金属の付着（堆積）に対して効果的な保護をもたらす。付加的な固定シールドや楔もまた、他の面を介して反射された液滴に対して開口部を保護するために使用され得る。即ち、放電からの直接の見通し線（line-of-sight）がないので、これらの付加的な部品の加熱は、はるかに小さくなる。
【００１４】
このような装置における保護部品上の加熱効果を低減する提案された方法は、装置の稼働中に、この保護部品の動作、好ましくは回転を適宜構成する。動作速度又は回転速度は、保護部品上の熱負荷に応じて選択され得る。
【００１５】
提案された装置は、好ましくは、特許文献１から知られている放電ランプのように、設計される。したがって、電極は、装置の稼働中に回転状態で配置され、回転する間に金属溶湯を有する容器に浸る、電極ホイールによって形成される。電極は、金属溶湯を介してキャパシタバンクに電気的に接続される。金属溶融物は、このように、回転する電極の外面に付けられ、回転に伴って放電ギャップに搬送される。放電ギャップで面上に金属溶湯を供給するために提案された装置は、このようにして、液体金属溶湯を有する２つの容器と、電極の対応する駆動設備によって形成される。容器の代わりに、回転する電極の外面に液体金属を付ける他のタイプの装置も備えられ得る。
【００１６】
エネルギービーム、好ましくはレーザビームは、放電ギャップで電極の少なくとも一つの面に焦点を合わされ、ガス状媒体の少なくとも一部を発生させるために液体金属、好ましくは液体錫を蒸発させる。このような装置の稼働は、上記特許文献１で詳細に説明される。異なる電位を有する２つの容器の間のギャップ又は開口部の中に液体金属の付着（堆積）を回避するために、保護部品は、放電ギャップの間に配置され、ギャップ又は開口部を保護し、ギャップ又は開口部を完全に覆うように形成される。このコンテクストにおけるカバーと言う用語は、ギャップ又は開口部が、放電からギャップ又は開口部への方向に、保護部品の平行投影の領域で、保護部品によって面をかぶせられることを意味する。
【００１７】
好ましい実施形態においては、保護部品の回転軸は、電極に関して、この方向における保護部品の必要とされる長さと、駆動モータを有する駆動軸の接続とが、容易に実現されるため、保護部品及び／又はその駆動軸が電極による制限なしに延ばすことができるように配置される。
【００１８】
それにもかかわらず、提案された装置はまた、上述の好ましい設計から異なって設計され得る。金属又は金属溶湯は、放電ギャップに近い他の面にも備えられ得る。そして、金属又は金属溶湯は、その面から蒸発される。金属又は金属溶湯の供給は、それ故に、電極自体によってだけでなく、他の移送する手段、例えば移送ベルトや適切に配置されたノズルによって、実現され得る。後にエネルギービームによって溶融され、蒸発させられる、固体の形態に金属を備えることもまた可能である。電極自体もまた、異なった方法（態様）で形成され得る。このような装置の他の設計によって、保護部品の提案された動作又は回転は、同じタスクを果たす、すなわち、異なる電位の部品間の開口部やギャップを、この保護部品の局所的な熱負荷を低減しながら、金属の付着に対して保護することは、当業者に明らかである。
【００１９】
提案された保護部品は、好ましくは、回転対称な細長い形状を有する。すなわち、回転軸に垂直な横断面が円形である。しかしながら、保護部品の直径は、保護部品の下に配置されたギャップ又は開口部の効果的な保護を可能にする回転軸に沿って変化しても良い。
【００２０】
保護部品は、更に、この軸に沿った部品の振動又は動作を可能にする回転駆動軸上に取付けられても良い。このような振動は、更に、熱付着のエリアを拡大させ、それ故に、装置の稼働中に、保護部品の局所的な熱負荷を更に低減する。
【００２１】
好ましい実施形態において、保護部品は、部品の中に少なくとも１つの冷却水路を統合することによって更に冷却されても良い。冷却水路は、装置の稼働中に冷却水路を通って冷却液の流れを可能にする冷却回路に接続されている。この付加的な強制冷却によって、保護部品の温度は、制御され得る。保護部品は、例えば、冷却液として水で冷却され得る。水による冷却は、非常に簡単に実行され得るが、特別な予防措置を必要とする。水冷は、低出力で液体金属を凍らせ、一方で、保護部品における電力消費が高くなると、容易に沸騰させ得る。したがって、水冷の代わりに、好ましくは液体金属、特にガス状媒体の生成のために使用される液体金属は、冷却液として使用される。この液体金属のための分離回路は、このような溶解のために必要とされ得るが、水冷の欠点を有していない。
【００２２】
保護部品上に堆積された液体金属が、部品の回転中に、制御不能に飛び散るのを防ぐために、液滴受けやスキマーは、放電のピンチ領域（pinch region）を通過した後に、この部品の面が最初に動作する保護部品の側に配置されても良い。
【００２３】
液滴受けは、回転する保護部品から飛び散る液滴が、この要素上に堆積し、対応する容器、例えばガス放電のために液体金属を含む容器に、この要素で安全に案内されるように、配置され、形成された、要素である。この液滴受けは、例えば、保護部品側に、凹面、特に球状又は球状に近い横断面を有しても良い。液滴受けは、液体金属が問題を引き起こす位置に向けて衝突液滴の偏向を回避する。
【００２４】
更に、又は液滴受けに代えて、少なくとも１つのスキマーは、回転する保護部品上の液体金属の超過分を除去するために、そして、この超過分の金属を液滴受けの対応する面、又は対応する容器に案内するために、備えられても良い。
【００２５】
提案された装置と対応する方法によって、保護部品の局所的な温度又は熱負荷は、このような部品の他の公知の設備や形状に比較して低減される。保護部品の面が、わずかにだけ、金属の融点温度以上に保たれると、金属は、非常にゆっくりとだけ、蒸発し、故に、ＥＵＶや軟Ｘ線の発生に悪影響を及ぼさない。保護部品の材料を有する液体金属の反応速度もまた、このような温度において、非常に遅くなる。
【００２６】
提案された装置及び方法は、添付の図面に関連して一例として、以下に説明される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来技術に係るＥＵＶ放射及び／又は軟Ｘ線を発生させるための装置の断面図である。
【図２】提案された装置の例示的な実施形態の断面図である。
【図３】例示的な実施形態に係る提案された装置の切断部分の斜視図である。
【図４】提案された装置の更なる例示的な実施形態の断面図である。
【図５】回転軸に沿った保護部品の振動動作を示す概略断面図である。
【図６】提案された装置における液滴受けの例示的な形状と設備を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
図１のＥＵＶプラズマ放電ランプは、既に本明細書の冒頭部分に記載されている。以下の例では、保護シールドの設計の実施形態、即ち、提案された装置の保護部品が記載されている。保護部品は、図１の金属シールド１０の代わりをするために使用され得る。提案された装置の更なる部品は、この既知のランプと同一にすることができ、これらの部品は、以下の例に関連して、更に説明されないようにする。
【００２９】
図２は、このような提案された装置の実施形態の断面図を示す。この装置では、図１の金属シールド１０は、図２に示されるように回転する保護部品１３によって代わりにされる。
【００３０】
この保護部材１３は、金属から形成されても良く、放電ランプの動作中に、指示された方向に回転できるように取付けられている。本実施形態では、この保護要素１３は、回転軸の方向、即ち図２に示されるように断面に垂直に延在する細長い形状を有している。
【００３１】
保護部品１３は、図に示された２つの錫湯２と真空容器８の壁との間の開口部１４を覆うのに十分な大きさの直径を有する円形の断面形状を有している。保護部品は、これにより、２つの電極ホイールに加えて、第三のホイールのように形成され、重要なギャップや開口部１４を保護するための屋根としての機能を果たしている。細長い形状、特に回転するバーの形によって、保護部品１３は、液体金属の液滴が生成される位置から見たときの開口部１４の重要な部分を覆う。
【００３２】
保護部品の駆動軸は、電極ホイールの駆動軸３と同様に、真空容器８の外部へ延在され得る。保護部品は、これにより、適切なモータによって電極ホイールと同様に駆動され得る。
【００３３】
保護部品の直径は、図３の斜視図に示されるように、回転軸に沿って変えることができる。形状におけるこのような変化により、ランプヘッドや装置の他のハードウェアでも、ピンチ放電（pinch discharge）からの熱負荷に対して良好に遮蔽され得る。図３は、保護要素１３の変化する直径が認識され得る切断透視図を示す。図はまた、電極ホイール１の一部及びこれら電極ホイールの駆動軸を示す。図３においても分かるように、回転する保護部品１３は、内部冷却水路１５を備えられ得る。一般的な水冷は、オプションの一つである。好ましくは、液体錫は、放電のためのガス状媒体を生成するためにも使用される冷却液として使用される。
【００３４】
液体錫や他の液体金属の使用は、これらの材料が高い冷却能力を有するため、好ましく、回転する保護部品１３が燃料の融点以上にとどまることを保証でき、その結果、蓄積（accumulation）が回避される。必要に応じて、金属合金もまた、冷却範囲を最適化するために使用され得る。
【００３５】
図４は、提案された放電ランプの実現の別の例を示す。この例では、電極は、錫湯２を通って案内されるコンベヤベルト１６によって形成される。シェーパー要素１７は、キャパシタバンクとコンベヤベルト１６との間の電気的接触として使用される。シェーパー要素１７は、この実施形態において、回転する。冷却ローラ１８は、錫の融点未満にコンベヤベルト１６を冷却するために、備えられ、使用される。固体錫で覆われたコンベヤベルト１６を有することは、錫がスピンオフする危険性なしに、ベルトのためのより速い駆動速度が得られるという利点を有する。ベルトは、錫浴２を通る途中と、錫浴の外側とのガイドローラ１９によって案内される。この実施形態では、保護要素１３は、液体錫を有する２つの容器の間の開口部１４を覆うために前の実施形態と同様に形成され、配置される。これは、図４に模式的に示されている。
【００３６】
高温によってもたらされるエロージョン（erosion）に起因するダメージを制限するためのアイデアの拡張は、回転軸の方向に保護部品１３の付加的な振動を導入することである。図５は、図示された矢印で回転軸２０に沿ってこのような振動を表示する模式図を示す。この付加的な振動のために、ホットスポット（hot spot）は、保護部品の広いエリアに亘って分布している。
【００３７】
回転する保護部品は、図２，３の実施形態の場合に陽極ホイールと陰極ホイールの間の領域に、又は一般的には２つの電極の間に、配置されている。装置の動作中に、液体金属の液滴は、プラズマにおける放電中に生成され、液体面とプラズマ及び／又はエネルギービーム間の相互作用によって、回転する電極ホイールから飛散する。そのため、保護部品は、液体金属で覆われる。保護部品は、好ましくは、固体錫の大規模蓄積（a large build up）、を回避するために、わずかに、錫の融点以上、例えば、錫の融点（２３２℃）と約１０００℃の温度との間の温度範囲にあるので、液体錫も、ある瞬間に、スピンオフし、保護部品が回転する場合にも、スピンオフする。この錫は、容器又はバケット内に案内されなければならない。そうでなければ、錫は、異なる電位の部分間のギャップに、結局は蓄積し、その結果、電極間の短絡の原因となる。
【００３８】
回転する保護部品の場合、図６は、液滴が、上記部品の間のギャップに入ることを回避するために簡単な手段を示す。保護部品の回転のため、錫の液滴は、図中の２つの矢印で示されるように、優先方向に反射される。この位置で、特別な液滴受け２１は、これらの液滴が、更に装置内に反射することを回避するために設置されている。液滴は、この液滴受けの凹面上に堆積され、対応する容器に流れ落ちる。
【００３９】
更なる手段も、図に示される。この手段は、錫の超過分を保護部品から除去するスキマー２２を含む。そのため、回転する保護部品は、錫の薄い層だけによって覆われる。スキマー２２は、このスキマーによって収集された液体錫が、液滴受け２１の内面に流れ、そこから対応する容器に流れるように配置される。保護部品１３は、液滴が、影響を受ける部品（sensitive component）、即ちギャップや電極ホイールに衝突するポイントに近くに飛散するように、高回転速度、例えば２０ｍ／ｓ以上で回転できる。これらのホイール１は、図６に示されるように、頂部に配置される。液滴は、陰極電位の部品と陽極電位の部品の間のギャップが位置する底部に達しない。同様の手段は、電極ホイールから錫を除去するためにも使用され得る。
【００４０】
本発明は、図面と上記に、詳細に図示され記載されているが、かかる図示や記載は、模範的又は例示的であり、制限的に解すべきではない。本発明は、開示された実施形態に限定されない。開示された実施形態の他の変形は、図面、開示され添付された請求項の研究から、請求項に係る発明を実施する際に、これらの当業者によって、理解され、影響を与え得る。例えば、保護部品は、いくつかガイドロールの回りに回転する連続ベルトであっても良い。保護部品の動作は、回転せずに直線動作しても良い。特許請求の範囲において、含むという用語は、他の要素や方法を除外せず、単数の要素であっても複数の要素を除外するものではない。ある手段が相互に異なる従属請求項に列挙されているという単なる事実は、これらの手段の組合わせが有利に使用できないことを示すものではない。特許請求の範囲における参照符号は、範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
【符号の説明】
【００４１】
１      電極ホイール
２      錫浴
３      電極ホイールの回転軸
４      エネルギービーム
５      キャパシタバンク
６      絶縁されたフィードスルー
７      錫層
８      真空容器
９      スキマー
１０      金属シールド
１１      デブリ軽減ユニット
１２      ヒータ／冷却ユニット
１３      保護部品
１４      開口部
１５      冷却水路
１６      コンベヤベルト
１７      シェーパー要素
１８      冷却ローラ
１９      ガイドローラ
２０      保護部品の回転軸
２１      液滴受け
２２      スキマー
【図１】
2015005511.tif 000003
【図２】
2015005511.tif 000004
【図３】
2015005511.tif 000005
【図４】
2015005511.tif 000006
【図５】
2015005511.tif 000007
【図６】
2015005511.tif 000008
【外国語明細書】
2015005511000001.pdf
2015005511000002.pdf
2015005511000003.pdf
2015005511000004.pdf