(57)【要約】【課題】従来よりも均一なミスト冷却を実現する。【解決手段】内部に収容した被処理物の周囲に配置され、被処理物に向けて冷却媒体を噴霧する複数の冷却ノズルと、該冷却ノズルに連通するヘッダ管と、該ヘッダ管に冷却媒体を供給する冷却ポンプと、を少なくとも備え、複数の冷却ノズルは所定数にグループ分けされ、ヘッダ管は複数の冷却ノズルの各グループ毎に設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に収容した被処理物の周囲に配置され、前記被処理物に向けて冷却媒体を噴霧する複数の冷却ノズルと、
該冷却ノズルに連通するヘッダ管と、
該ヘッダ管に冷却媒体を供給する冷却ポンプと、を少なくとも備え、
前記複数の冷却ノズルは、所定数にグループ分けされ、
前記ヘッダ管は、前記複数の冷却ノズルの各グループ毎に設けられることを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記複数の冷却ノズルは、前記被処理物の側方において２以上にグループ分けされることを特徴とする請求項１に記載の冷却装置。
【請求項３】
前記複数の冷却ノズルは、前記被処理物の側方において上下方向に多段に設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の冷却装置。
【請求項４】
最上段の前記冷却ノズルは、前記被処理物の上端よりも高い位置に配置され、かつ、他の段の前記冷却ノズルよりも内側に配置されることを特徴とする請求項３に記載の冷却装置。
【請求項５】
前記ヘッダ管は、前記被処理物の周囲において前記冷却ノズルとの距離が等距離となるように形状設定されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の冷却装置。
【請求項６】
被処理物を加熱する加熱装置と、
前記請求項１〜５のいずれか一項に記載の冷却装置と
を備えることを特徴とする多室型熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却装置及び多室型熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、冷却室と３つの加熱室とを中間搬送室を介して接続した多室型熱処理装置が開示されている。この多室型熱処理装置では、中間搬送室を挟んで上側に３つの加熱室を設けると共に下側に冷却室を設けるように構成されており、中間搬送室の被処理物は、昇降装置によって冷却室の上側から当該冷却室内に搬入/排出される。また、この多室型熱処理装置では、冷却室の中央に搬入された被処理物に対して、側方の複数箇所に設けられたノズルから冷却媒体を噴射（噴霧）することによって冷却媒体のミスト（霧）による冷却（ミスト冷却）が行われる。上記各ノズルには、ヘッダ管を介して冷却媒体ポンプから冷却媒体が供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−０５１６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来の多室型熱処理装置では、複数のノズルから均一な量の冷却媒体を被処理物に対して噴射することが困難であり、これによって被処理物の各所を均一に冷却することが困難であった。被処理物の不均一な冷却は、加熱室による被処理物の加熱と冷却室による被処理物の冷却により被処理物に所望の熱処理を施す熱処理装置において、無視することのできない極めて重要な技術課題である。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、従来よりも均一なミスト冷却を実現することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明では、冷却装置に係る第１の解決手段として、内部に収容した被処理物の周囲に配置され、前記被処理物に向けて冷却媒体を噴霧する複数の冷却ノズルと、該冷却ノズルに連通するヘッダ管と、該ヘッダ管に冷却媒体を供給する冷却ポンプと、を少なくとも備え、前記複数の冷却ノズルは、所定数にグループ分けされ、前記ヘッダ管は、前記複数の冷却ノズルの各グループ毎に設けられる、という手段を採用する。
【０００７】
本発明では、第２の解決手段として、上記第１の解決手段において、前記複数の冷却ノズルは、前記被処理物の側方において２以上にグループ分けされる、という手段を採用する。
【０００８】
本発明では、第３の解決手段として、上記第１または第２の解決手段において、前記被処理物の側方において上下方向に多段に設けられる、という手段を採用する。
【０００９】
本発明では、第４の解決手段として、上記第３の解決手段において、最上段の前記冷却ノズルは、前記被処理物の上端よりも高い位置に配置され、かつ、他の段の前記冷却ノズルよりも内側に配置される、という手段を採用する。
【００１０】
本発明では、第５の解決手段として、上記第１〜第４のいずれかの解決手段において、前記ヘッダ管は、前記被処理物の周囲において前記冷却ノズルとの距離が等距離となるように形状設定されている、という手段を採用する。
【００１１】
さらに、本発明では、多室型熱処理装置に係る第１の解決手段として、被処理物を加熱する加熱装置と、上記第１〜第５のいずれかの解決手段に係る冷却装置とを備える、という手段を採用する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ヘッダ管が冷却ノズルの各グループ毎に設けられるので、単一のヘッダ管を用いて複数の冷却ノズルに冷却媒体を供給する場合に比較して、ヘッダ管の圧損に起因する各冷却ノズルにおける冷却媒体の噴射量のばらつきを抑制することが可能である。したがって、本発明によれば、被処理物に対して冷却媒体を従来よりも均一に噴射することが可能であり、よって従来よりも均一なミスト冷却を実現することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る冷却装置及び多室型熱処理装置の全体構成を示す第１の縦断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る冷却装置及び多室型熱処理装置の全体構成を示す第２の縦断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る冷却装置の全体構成を示す縦断面図である。
【図４】図２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図２におけるＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図２におけるＣ−Ｃ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
本実施形態に係る冷却装置及び多室型熱処理装置は、図１に示すように、冷却装置Ｒ、中間搬送装置Ｈ及び２つの加熱装置Ｋ１、Ｋ２を合体させた装置である。なお、実際の多室型熱処理装置は３つの加熱装置を備えているが、図１では冷却装置Ｒの中心縦断面を示している関係で３つ目の加熱装置が示されてない。
【００１５】
冷却装置Ｒは、被処理物Ｘを冷却処理する装置であり、図１〜図６に示すように、冷却チャンバー１、複数の冷却ノズル２、複数のミストヘッダー３（ヘッダ管）、冷却ポンプ４、冷却排水管５、冷却水槽６、冷却循環管７及び複数の攪拌ノズル８等々を備えている。
【００１６】
冷却チャンバー１は、縦型円筒形の容器（中心軸線が鉛直方向となる容器）であり、内部空間が冷却室ＲＳである。この冷却チャンバー１の上部は中間搬送装置Ｈに接続されており、冷却チャンバー１には冷却室ＲＳを中間搬送装置Ｈの内部空間（搬送室ＨＳ）に連通させる開口が形成されている。冷却室ＲＳには、この開口を介して被処理物Ｘ（被冷却物）が搬入／搬出される。
【００１７】
複数の冷却ノズル２は、図１〜図３に示されているように、冷却室ＲＳ内に収容された被処理物Ｘの周囲に離散配置されている。より具体的には、複数の冷却ノズル２は、被処理物Ｘの周囲において、鉛直方向に多段（具体的には５段）かつ冷却チャンバー１（冷却室ＲＳ）の周方向に一定間隔を隔てた状態で、被処理物Ｘを全体として取り囲むように、かつ、被処理物Ｘとの距離が極力等距離となるように離散配置されている。
【００１８】
また、複数の冷却ノズル２は、所定数にグループ分けされている。すなわち、複数の冷却ノズル２は、冷却室ＲＳの鉛直方向における段毎にグループ化され、また冷却チャンバー１（冷却室ＲＳ）の周方向においても複数にグループ分けされている。このような複数のグループ（ノズルグループ）には、図３〜図４に示すように、ミストヘッダー３が個別に設けられている。
【００１９】
より具体的には、最上段に属する複数の冷却ノズル２は、図４に示すように２つのノズルグループにグループ分けされており、各々のノズルグループにミストヘッダー３が個別に設けられている。一方、最下段及び中間の３段に属する複数の冷却ノズル２については、図５に示すように３つのノズルグループにグループ分けされており、各々のノズルグループについてミストヘッダー３が個別に設けられている。このような各ノズルグループの各冷却ノズル２は、ノズル軸の向きが被処理物Ｘの方向を向くように調節されており、ミストヘッダー３を介して冷却ポンプ４から供給された冷却媒体を被処理物Ｘに向けて噴霧する。
【００２０】
また、最上段に属する複数の冷却ノズル２は、図１や図３に示すように、鉛直方向において被処理物Ｘの上端よりも高い位置に配置されている。一方、最下段に属する複数の冷却ノズル２は、被処理物Ｘの下端と略同等な高さに配置されている。さらには、最上段に属する複数の冷却ノズル２は、他の段の冷却ノズル２よりも内側、つまり他の段の冷却ノズル２よりも冷却チャンバー１の内面から離間して配置される。
【００２１】
ここで、上記冷却媒体は、熱処理の冷却用に一般的に用いられる冷却油よりも粘性が低い液体であり、例えば水である。上記冷却ノズル２の噴射孔は、水等の冷却媒体が所定の噴霧角で均一かつ一定粒径の液滴となるように形状設定されている。また、各冷却ノズル２の噴霧角及び互いに隣り合う冷却ノズル２の間隔は、図１〜図５に示されているように、冷却ノズル２から噴き出た液敵のうち、外周側に位置する液敵が隣接する冷却ノズル２から噴き出た外周側の液敵と交差あるいは衝突するように設定されている。
【００２２】
すなわち、このような複数の冷却ノズル２は、被処理物Ｘを冷却媒体の液敵の集合体つまり冷却媒体のミスト（冷却媒体ミスト）で全体的に包囲するように冷却媒体を被処理物Ｘに向けて噴霧するものである。上記冷却媒体ミストは、均一な粒径かつ均一な濃度の液滴によって被処理物Ｘの周りに形成されることが好ましい。
【００２３】
本実施形態の冷却装置Ｒは、このような冷却媒体ミストを用いて被処理物Ｘを冷却するもの、つまり被処理物Ｘをミスト冷却するものである。なお、この冷却装置Ｒにおける冷却温度や冷却時間等の冷却条件は、被処理物Ｘにおける熱処理の目的や被処理物Ｘの材質等に応じて適宜設定される。
【００２４】
複数のミストヘッダー３は、複数の冷却ノズル２に連通する配管であり、上述したノズルグループ毎に設けられている。すなわち、複数のミストヘッダー３は、上記ノズルグループに対応して、上下方向に多段（５段）かつ冷却チャンバー１（冷却室ＲＳ）の周方向において複数（２つあるいは３つ）設けられている。
【００２５】
また、各ミストヘッダー３は、図４や図５に示すように、各冷却ノズル２との距離が等距離となるように冷却チャンバー１の内面に沿って円弧状に形状設定されおり、一定間隔で冷却ノズル２が取り付けられている。このような複数のミストヘッダー３は、冷却媒体に対する圧損が各冷却ノズル２について略均等であり、よって各冷却ノズル２に対して略均等な量の冷却媒体を分配する。
【００２６】
ここで、冷却装置Ｒは、上述した冷却媒体ミストを用いた被処理物Ｘのミスト冷却に加えて、被処理物Ｘを冷却媒体に浸漬させる冷却（浸漬冷却）が可能である。この浸漬冷却は、複数の攪拌ノズル８から供給された冷却媒体によって冷却チャンバー１内の被処理物Ｘを浸漬状態にして冷却するものである。すなわち、上記冷却ポンプ４の吐出口には切換弁（図示略）が設けられており、冷却ポンプ４は、上記複数のミストヘッダー３あるいは複数の攪拌ノズル８に対して択一的に冷却媒体を供給する。なお、この冷却ポンプ４については、冷却媒体の吐出圧の時間変動が極力少ないものが選定される。
【００２７】
冷却排水管５は、冷却チャンバー１の下部と冷却水槽６とを連通させる配管であり、途中部位に排水弁が設けられている。冷却水槽６は、上記冷却排水管５あるいは冷却循環管７を介して冷却チャンバー１から排水された冷却媒体を貯留する液体容器である。冷却循環管７は、図３に示すように、冷却チャンバー１の上部と冷却水槽６の上部とを連通させる配管である。この冷却循環管７は、上述した浸漬冷却時において冷却チャンバー１からオーバーフローした冷却媒体を冷却水槽６に戻すためのものである。複数の攪拌ノズル８は、図３や図６に示すように、冷却チャンバー１の下部に離散配置されており、浸漬冷却時において冷却媒体を上方に向けて噴射することにより冷却チャンバー１内に冷却媒体を供給すると共に当該冷却媒体を攪拌する。
【００２８】
中間搬送装置Ｈは、搬送チャンバー１０、冷却室載置台１１、冷却室昇降台１２、冷却室昇降シリンダー１３、一対の搬送レール１４、一対のプッシャ―シリンダー１５，１６、加熱室昇降台１７及び加熱室昇降シリンダー１８等々を備えている。搬送チャンバー１０は、冷却装置Ｒと各加熱装置Ｋ１、Ｋ２との間に設けられた容器であり、内部空間が搬送室ＨＳである。被処理物Ｘは、バスケット等の容器（収納容器）内に収容された状態で、外部の搬送装置によって搬入／搬出口（図示略）から搬送チャンバー１０内に搬入される。
【００２９】
冷却室載置台１１は、冷却装置Ｒで被処理物Ｘを冷却する際に被処理物Ｘを載せる支持台であり、被処理物Ｘの底部が極力広く露出するように被処理物Ｘを支持する。この冷却室載置台１１は、冷却室昇降台１２上に設けられている。冷却室昇降台１２は、冷却室載置台１１を支持する支持台、つまり被処理物Ｘを冷却室載置台１１を介して支持する支持台であり、冷却室昇降シリンダー１３の可動ロッドの先端に固定されている。
【００３０】
冷却室昇降シリンダー１３は、上記冷却室昇降台１２を上下動（昇降）させるアクチュエータである。すなわち、冷却室昇降シリンダー１３及び上記冷却室昇降台１２は、冷却装置Ｒの専用搬送装置であり、冷却室載置台１１上に載置された被処理物Ｘを搬送室ＨＳから冷却室ＲＳに搬送すると共に冷却室ＲＳから搬送室ＨＳに搬送する。
【００３１】
一対の搬送レール１４は、搬送チャンバー１０内の床部に水平方向に延在するように敷設されている。これら搬送レール１４は、冷却装置Ｒと加熱装置Ｋ１との間で被処理物Ｘを搬送させる際のガイド部材（案内部材）である。プッシャ―シリンダー１５は、搬送チャンバー１０内の被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１に向けて搬送する際に、被処理物Ｘを押圧するアクチュエータである。プッシャ―シリンダー１６は、被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１から冷却装置Ｒに搬送する際に、被処理物Ｘを押圧するアクチュエータである。
【００３２】
すなわち、一対の搬送レール１４及びプッシャ―シリンダー１５，１６は、被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１と冷却装置Ｒとの間に搬送する専用搬送装置である。なお、図１には一対の搬送レール１４及びプッシャ―シリンダー１５，１６が示されているが、実際の中間搬送装置Ｈは、合計３対の搬送レール１４及びプッシャ―シリンダー１５，１６を備えている。すなわち、搬送レール１４及びプッシャ―シリンダー１５，１６は、加熱装置Ｋ１用だけではなく、加熱装置Ｋ２用に、また図示しない３つ目の加熱装置用にも設けられている。
【００３３】
加熱室昇降台１７は、被処理物Ｘを中間搬送装置Ｈから加熱装置Ｋ１に搬送する際に被処理物Ｘが載置される支持台である。すなわち、被処理物Ｘは、上記プッシャ―シリンダー１５によって図１の右方向に押圧されることにより、加熱室昇降台１７の直上に搬送される。加熱室昇降シリンダー１８は、上記加熱室昇降台１７上の被処理物Ｘを上下動（昇降）させるアクチュエータである。すなわち、加熱室昇降台１７及び加熱室昇降シリンダー１８は、加熱装置Ｋ１の専用搬送装置であり、加熱室昇降台１７上に載置された被処理物Ｘを搬送室ＨＳから加熱装置Ｋ１の内部（加熱室ＫＳ）に搬送すると共に加熱室ＫＳから搬送室ＨＳに搬送する。
【００３４】
続いて、各加熱装置Ｋ１，Ｋ２については基本的に同一構成を有するので、以下では代表して加熱装置Ｋ１の構成を説明する。加熱装置Ｋ１は、加熱チャンバー２０、断熱容器２１、複数の加熱ヒータ２２、真空排気管２３、真空ポンプ２４、攪拌翼２５及び攪拌モータ２６等々を備えている。
【００３５】
加熱チャンバー２０は、搬送チャンバー１０上に設けられた容器であり、内部空間が加熱室ＫＳである。この加熱チャンバー２０は、上述した冷却チャンバー１と同様に縦型円筒形の容器（中心軸線が鉛直方向となる容器）であるが、冷却チャンバー１よりも小型に形成されている。断熱容器２１は、上記加熱チャンバー２０内に設けられた縦型円筒形の容器であり、所定の断熱性能を有する断熱材から形成されている。
【００３６】
複数の加熱ヒータ２２は、棒状の発熱体であり、垂直姿勢で断熱容器２１の内側かつ周方向に所定間隔で設けられている。これら複数の加熱ヒータ２２は、加熱室ＫＳ内に収容された被処理物Ｘを所望温度（加熱温度）まで加熱する。なお、この加熱温度や加熱時間等の加熱条件は、被処理物Ｘに関する熱処理の目的や被処理物Ｘの材質等に応じて適宜設定される。
【００３７】
ここで、上記加熱条件には加熱室ＫＳ（加熱チャンバー２０）内の真空度（圧力）が含まれる。真空排気管２３は、加熱室ＫＳに連通する配管であり、一端が断熱容器２１の上部に接続され、他端が真空ポンプ２４に接続されている。真空ポンプ２４は、このような真空排気管２３を介して加熱室ＫＳ内の空気を吸引する排気ポンプである。加熱室ＫＳ内の真空度は、真空ポンプ２４による空気の排気量によって決定される。
【００３８】
攪拌翼２５は、断熱容器２１内の上部に、回転軸の方向が鉛直方向（上下方向）となる姿勢で設けられた回転翼である。この攪拌翼２５は、攪拌モータ２６によって駆動されることによって、加熱室ＫＳ内の空気を攪拌する。攪拌モータ２６は、出力軸が鉛直方向（上下方向）となるように加熱チャンバー２０上に設けられた回転駆動源である。加熱チャンバー２０上に位置する攪拌モータ２６の出力軸は、加熱チャンバー２０内に位置する攪拌翼２５の回転軸に対して、加熱チャンバー２０の気密性（シール性）を損なわないように軸結合している。
【００３９】
なお、図１〜図６には示されていないが、本実施形態に係る多室型熱処理装置は、専用の制御盤（制御装置）を備えている。この制御盤は、ユーザが熱処理における各種条件を設定入力する操作部と、内部に予め記憶された制御プログラムに基づいて上記冷却ポンプ４、加熱ヒータ２２、各種シリンダー、真空ポンプ２４等の各駆動部を制御することにより、被処理物Ｘに対して上記設定情報に従った熱処理を実行させる制御部と、を備えている。
【００４０】
次に、このように構成された多室型熱処理装置の動作（熱処理方法）、特に冷却装置の動作（冷却処置方法）について詳しく説明する。この多室型熱処理装置の動作は、上記制御盤が設定情報に基づいて主体的に実行するものである。なお、周知のように熱処理には目的に応じて種々のものがある。以下では、熱処理の一例として被処理物Ｘを焼入れする場合の動作について説明する。
【００４１】
焼入れは、例えば被処理物Ｘを温度Ｔ１に加熱した後に温度Ｔ２まで急速冷却し、当該温度Ｔ２で一定時間保持した後に緩やかに冷却することにより完了する。外部の搬送装置によって搬入/搬出口から中間搬送装置Ｈ内に収容されたの被処理物Ｘは、例えばプッシャ―シリンダー１５が作動することによって加熱室昇降台１７上に搬送され、さらに加熱室昇降シリンダー１８が作動することによって加熱室ＫＳ内に収容される。
【００４２】
そして、被処理物Ｘは、加熱ヒータ２２が一定時間通電されることによって温度Ｔ１に加熱されると、加熱室昇降シリンダー１８、が作動することによってプッシャ―シリンダー１６が作動することによって冷却室載置台１１上に搬送され、さらに冷却室昇降シリンダー１３が作動することによって冷却室ＲＳに搬送される。  
【００４３】
ここで、冷却ポンプ４が予め作動して複数の攪拌ノズル８から冷却媒体が供給されることにより、冷却室ＲＳ内は冷却媒体で満たされた状態となっている。したがって、被処理物Ｘは、冷却媒体中に浸漬されて温度Ｔ２まで急冷（浸漬冷却）される。この浸漬冷却は所定時間に亘って行われるが、この浸漬冷却において、複数の攪拌ノズル８から冷却媒体が冷却室ＲＳ内に連続的に供給されつつ撹拌され、また冷却室ＲＳでオーバーフローした冷却媒体は、冷却循環管７を介して冷却水槽６に戻される。
【００４４】
そして、このような浸漬冷却が完了すると、排水弁が開放されて冷却室ＲＳ内の冷却媒体が冷却排水管５を介して短時間で冷却水槽６に排水され、これによって被処理物Ｘの状態は、冷却媒体に浸漬された状態から空気中に放置された状態に短時間で移行する。そして、所定時間に亘って放置された後に、冷却ポンプ４が作動することによって、また冷却ポンプ４の吐出口が冷却循環管７から各ミストヘッダー３に切り替えられることによって、冷却ノズル２から冷却媒体の液滴が被処理物Ｘに向けて噴射される。すなわち、被処理物Ｘは、冷却ノズル２から噴射される冷却媒体の液滴によってミスト冷却される。
【００４５】
このミスト冷却では、上述したようにノズルグループ毎にミストヘッダー３が設けられており、より具体的には被処理物Ｘの周囲側方に設けられた複数の冷却ノズル２を最上段で２グループ、また最下段及び中間の３段で３グループにグループ分けされている。すなわち、冷却ポンプ４から吐出された冷却媒体は、従来のように単一のミストヘッダーを介して複数の冷却ノズルに冷却媒体を供給する場合に比較して各冷却ノズル２に均一に供給される。したがって、各冷却ノズル２から噴射される冷却媒体の液滴は、被処理物Ｘの各部位に向けて均一に噴射されるので、結果として被処理物Ｘは全体として均一にミスト冷却される。
【００４６】
また、このミスト冷却では、ミストヘッダー３が上下方向に多段（５段）に設けられるので、被処理物Ｘの表面のより広い範囲に向けて冷却媒体の液滴を噴射することが可能であり、これによっても被処理物Ｘを全体として均一にミスト冷却することができる。
【００４７】
さらには、最上段の各冷却ノズル２は、被処理物Ｘの上端よりも高い位置に配置され、かつ、他段の冷却ノズル２よりも内側に配置されることにより、被処理物Ｘとの距離が他段の冷却ノズル２と略同等に設定されている。これによって、被処理物Ｘの上端にも他の部位と同様に冷却媒体の液滴が作用して、被処理物Ｘの上端が他の部位と同様に均一にミスト冷却される。
【００４８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のような変形例が考えられる。
（１）上記実施形態では、冷却装置Ｒ、中間搬送装置Ｈ及び３つの加熱装置を備える多室型熱処理装置について説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明は、例えば冷却装置Ｒと単一の加熱室とが開閉扉を介して隣り合うタイプの多室型熱処理装置にも適用可能である。
【００４９】
（２）上記実施形態におけるミストヘッダー３（ヘッダ管）の設置態様、つまり複数の冷却ノズル２のグループ分けの態様はあくまでも一例であり、必要に応じて種々の変形例が考えられる。例えば冷却ノズル２の上下方向における段数は、必要に応じて５段以下あるいは５段以上であってもよく、周方向におけるノズルグループの個数は２個あるいは３個以外の個数でもよい。
【００５０】
（３）また、上記実施形態の冷却装置Ｒは、被処理物Ｘを上方から冷却室ＲＳ内に収容するものであるが、本発明はこれに限定されない。本発明は、被処理物Ｘを側方（水平方向）あるいは下方から冷却室ＲＳ内に収容するものにも適用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
Ｒ  冷却装置、ＲＳ  冷却室、Ｈ  中間搬送装置、ＨＳ  搬送室、Ｋ１，Ｋ２  加熱装置、ＫＳ  加熱室、Ｘ  被処理物、１  冷却チャンバー、２  冷却ノズル、３  ミストヘッダー（ヘッダ管）、４  冷却ポンプ、５  冷却排水管、６  冷却水槽、７  冷却循環管、８  攪拌ノズル、１０  搬送チャンバー、１１  冷却室載置台、１２  冷却室昇降台、１３  冷却室昇降シリンダー、１４  搬送レール、１５，１６  プッシャ―シリンダー、１７  加熱室昇降台、１８  加熱室昇降シリンダー、２０  加熱チャンバー、２１  断熱容器、２２  加熱ヒータ、２３  真空排気管、２４  真空ポンプ、２５  攪拌翼、２６  攪拌モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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