(57)【要約】【課題】本発明はマイクロチャンネルリアクターに関し、より詳しくは分配板によって分配された異種流体が分岐ポートによって噴射されて互いに衝突することで混合するようにして、異種流体を上下で繰返し移動されるように形成された流路を通過するようにして互いに衝突しながら反応するようにするマイクロチャンネルリアクターに関する。【解決手段】混合する流体が投入される投入管がそれぞれ具備された流体投入部と、投入された流体が混合する流体混合部と、混合した流体が排出される流体排出部とを有している。前記流体投入部は、前記投入管から投入された流体が連通される連通部と、前記連通部で前記流体混合部で排出されて所定の間隔で排出口が形成された分配板をそれぞれ具備している。前記流体混合部は、前記排出口とそれぞれ貫通された通孔と連通された多数の微細チャンネルと、前記微細チャンネルの排出側端部に形成されながら隣接した微細チャンネルを通過する互いに違う流体が互いに衝突して混合するように分岐ポートとを具備している。前記流体排出部は、前記分岐ポートによって衝突して混合した流体を収容する収容部と、前記収容部で排出される排出口とを具備している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
混合される流体が投入される投入管をそれぞれ具備した流体投入部と、投入された流体が混合される流体混合部と、混合された流体が排出される流体排出部とを備えたマイクロチャンネルリアクターにおいて、
前記流体投入部は、前記投入管から投入された流体が連通される連通部と、前記連通部で前記流体混合部に排出されて所定の間隔で排出口が形成された分配板とをそれぞれ具備し、
前記流体混合部は、前記排出口をそれぞれ貫通した通孔と、前記通孔と連通した多数の微細チャンネルと、前記微細チャンネルの排出側端部に形成された分岐ポートとを具備し、隣接した前記微細チャンネルを通過する互いに異なる流体が互いに衝突して混合され、
前記流体排出部は、前記分岐ポートによって衝突して混合された流体を収容する収容部と、前記収容部から混合された液体を排出する排出口とを具備していることを特徴とするマイクロチャンネルリアクター。
【請求項２】
前記分配板の排出口は、それぞれの投入管に投入された流体が交番で微細チャンネルをそれぞれ通過するように互いに位置ずれしていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項３】
前記流体混合部は、微細チャンネルと分岐ポートをそれぞれ具備した金属薄板が複数積層されて形成されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項４】
前記流体混合部は、流体が通過する通孔と前記通孔と連通した複数の微細チャンネルを具備した熱交換機用金属薄板が、微細チャンネルと分岐ポートを具備した前記金属薄板の間に挿入されて積層されることを特徴とする請求項３に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項５】
前記流体混合部は、上面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、軸方向の流路チャンネルとが形成された下部プレートと、
上面と底面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、投入された流体が上下方向及び長さ方向に移動が繰り返された３次元流路チャンネルとが形成されており、前記下部プレートの上部に積層された上部プレートとを含んでおり、
前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの中央に位置する前記連通部を有する底面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートの流路チャンネルと連通しており、上面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルと同一軸線上に位置しており且つ底面に形成されたドーナツ型チャンネル及び下部プレートの流路チャンネルと連通しており、前記上部プレートと前記下部プレートとが一体に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項６】
前記下部プレートのドーナツ型チャンネルはエッチングによって形成されて、中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルは上下に連通されるように前記中間プレート厚さの半分の深さでエッチングされたことを特徴とする請求項５に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項７】
前記流体混合部の下部プレートと中間プレートは二つ以上繰り返し積層されて流路チャンネルの端部どうし上下に互いに連通していることを特徴とする請求項５又は６に記載のマイクロチャンネルリアクター.
【請求項８】
前記流体混合部は、前記微細チャンネルの外郭所定部位面を所定形状で貫通する一つ又はそれ以上の断熱孔をさらに具備していることを特徴とする請求項１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項９】
前記流体混合部は、前記微細チャンネルと分岐ポートを直列又は並列で複数連結したことを特徴とする請求項１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１０】
混合される流体が投入される投入管をそれぞれ具備した流体投入部と、投入された流体が混合する流体混合部と、混合された流体が排出される流体排出部とを備えたマイクロチャンネルリアクターにおいて、
前記流体混合部は、一体に形成された下部プレート、中間プレート及び上部プレートを含んでおり、
前記下部プレートは、上面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、軸方向の流路チャンネルとを有しており、
前記中間プレートは、上面と底面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、投入された流体が上下方向及び長さ方向に移動が繰り返される３次元流路チャンネルとを有し、前記下部プレートの上部に積層されており、
前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの中央に位置された前記連通部を有する底面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートの流路チャンネルと連通されて、前記上面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルと同一軸線上に位置しており且つ底面に形成されたドーナツ型チャンネル及び下部プレートの流路チャンネルと連通していることを特徴とするマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１１】
前記下部プレートのドーナツ型チャンネルはエッチングによって形成されて、前記中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルは上下に連通されるように前記中間プレート厚さの半分の深さでエッチングされたことを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１２】
前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの深さは前記中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルの深さと等しいことを特徴とする請求項１１に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１３】
前記流体混合部は前記流体投入部から投入された流体が収容される収容部と、前記収容部から分岐されるように複数の微細チャンネルが形成された分岐部と、前記分岐部によって分岐された流路に合流する前記流体混合部の３次元流路チャンネルと繋がれる合流部とをさらに具備していることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１４】
前記流体混合部の流路チャンネルを隣接して複数具備し、流路チャンネルのそれぞれの端部を連結する連結部を具備していることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１５】
前記流体混合部の下部プレート、中間プレート及び上部プレートはブレージング接合（blazingly bonded）されていることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１６】
前記流体混合部の下部プレートの下部に接合されて、冷却水流入口及び排出口が形成されて上面に複数のマイクロチャンネルが形成されたマイクロ熱交換機をさらに具備していることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【請求項１７】
前記流体混合部の下部プレートと中間プレートは二つ以上繰り返し積層されて流路チャンネルの端部が互いに上下に連通されることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロチャンネルリアクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロチャンネルリアクターに関し、より詳しくは分配板によって分配された異種流体が分岐ポートによって噴射されて互いに衝突することで混合するようにして、異種流体を上下で繰返し移動されるように形成された流路を通過するようにして互いに衝突しながら反応するようにするマイクロチャンネルリアクターに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、マイクロチャンネルリアクターは数十又は数百ミクロンの大きさのチャンネルを加工して微細流路を形成し、この流路の間を流体が通過しながら混合するようにしてこの混合された流体を排出するための機器である。
【０００３】
互いに違う異種流体を混合するための現存する装置を利用して流体を混合する方法は機械的装置を利用して軸によるブレードの回転運動や上昇又は下降運動を通じて流体を混合することになる。しかしこのような装置の最大の問題点は流体を混合するのに必要となる時間が長くて、大きさが制限されるので多量の流体を混合するには問題がある。
【０００４】
従って、多量の混合流体を生産しようとする時には混合するのに長時間が必要となり、多量の混合流体を収容するために装置が大型化されるので設備費用が高くなる短所を持っている。また、このような混合機の大部分は容器内で混合羽による混合方法を利用するので決まった混合量によって容器を入れ替らなければならない煩わしい問題点があった。
【０００５】
このような問題点を改善するために使われたマイクロチャンネルリアクターの一例としで韓国特許出願番号第２０００‐７００４１８６を図１に示した。
【０００６】
図示されたように、ハウジング底部（１００１）とハウジング上部（１００２）が互いに向けて対面する接続表面（１００３、１００４）上に密封式に互いに支えされて、流入通路（１００５ａ、１００５ｂ）と流出口（１００６）が接続表面（１００３、１００４）によって形成された分離面で開放されて、混合部（１００７）を形成する通路溝（１００８、１００９）は２個の接続表面（１００３、１００４）の中少なくとも一つに形成されている。
【０００７】
従来に使われたマイクロチャンネルリアクターの他の例としで数百個のマイクロ微細チャンネルを通じて流体を噴射することで拡散による混合が成り立つマイクロチャンネルリアクターが提案されたが、互いに違う平面で互いに違う方向に噴射されることで拡散による混合に過ぎず混合性能が制限される問題点があった。
【０００８】
また、通路溝（１００８、１００９）の加工が難しくて製造費用が高く、流体が互いに混合される部分が多くて圧力損失が多く発生するので混合効率が落ちる問題点があった。従って、流出口（１００６）で混合流体が排出される時、所定の圧力を維持するために流入通路（１００５ａ、１００５ｂ）で高圧の流体を流入させなければならないのでマイクロチャンネルリアクターを高圧容器に製造されなければならない問題点があった。
【０００９】
一方、多数の微細チャンネルが形成された金属板をブレージング接合して製作した熱交換機で本人が出願して登録された登録特許公報第４３７１３５を図２に示した。
図示されたように、微細チャンネル（１０２１）が加工された金属板（１０２２）を接合用薄板と交番積層してブレージング接合を実施して形成されており、このように構成された熱交換機は微細チャンネル（１０２１）が成す各流路に対する耐熱性、耐圧力性が極大化されるようにしたことである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は前記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたことで、本発明の目的は大型の混合機を使わずに異種流体の混合が可能で決まった混合量によって容器を入れ替る必要なしに使用が可能で短い時間以内に効果的に混合することができるマイクロチャンネルリアクターを提供することである。
【００１１】
同時に、本発明の他の目的は、エッチングを利用して分岐ポートと微細チャンネルが形成された金属板をブレージング積層して製作することで精密に加工することができるし、製造が容易くて経済的で耐久性が優秀なマイクロチャンネルリアクターを提供することである。
【００１２】
また、本発明の他の目的は、異種流体が上下で繰返し移動されるように形成された３次元流路を通過するようになって互いに直接的に衝突することで流体を短時間で効果的に混合できるようにするマイクロチャンネルリアクターを提供することである。
【００１３】
さらに、本発明の他の目的は、流路を長く形成すると同時に小型化することができ、異種流体が混合する時の反応熱を吸収及び放出が容易いようにして反応効率を向上させるマイクロチャンネルリアクターを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記のような目的を果たすための本発明は、混合される流体が投入される投入管をそれぞれ具備した流体投入部と、投入された流体が混合される流体混合部と、混合された流体が排出される流体排出部とを備えたマイクロチャンネルリアクターにおいて、前記流体投入部は、前記投入管から投入された流体が連通される連通部と、前記連通部で前記流体混合部に排出されて所定の間隔で排出口が形成された分配板とをそれぞれ具備し、前記流体混合部は、前記排出口をそれぞれ貫通した通孔と、前記通孔と連通した多数の微細チャンネルと、前記微細チャンネルの排出側端部に形成された分岐ポートとを具備し、隣接した前記微細チャンネルを通過する互いに異なる流体が互いに衝突して混合され、前記流体排出部は、前記分岐ポートによって衝突して混合された流体を収容する収容部と、前記収容部から混合された液体を排出する排出口とを具備していることを特徴とする。
【００１５】
また、前記分配板の排出口は、それぞれの投入管に投入された流体が交番で微細チャンネルをそれぞれ通過するように互いに位置ずれしていることを特徴とする。前記流体混合部は、微細チャンネルと分岐ポートをそれぞれ具備した金属薄板が複数積層されて形成されていることを特徴とする。
【００１６】
さらに、前記流体混合部は、流体が通過する通孔と前記通孔と連通した複数の微細チャンネルを具備した熱交換機用金属薄板が、微細チャンネルと分岐ポートを具備した前記金属薄板の間に挿入されて積層されることを特徴とする。
【００１７】
同時に、前記流体混合部は、上面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、軸方向の流路チャンネルとが形成された下部プレートと、上面と底面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、投入された流体が上下方向及び長さ方向に移動が繰り返された３次元流路チャンネルとが形成されており、前記下部プレートの上部に積層された上部プレートとを含んでおり、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの中央に位置する前記連通部を有する底面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートの流路チャンネルと連通しており、上面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルと同一軸線上に位置しており且つ底面に形成されたドーナツ型チャンネル及び下部プレートの流路チャンネルと連通しており、前記上部プレートと前記下部プレートとが一体に形成されていることを特徴とする。
【００１８】
また、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルはエッチングによって形成されて、中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルは上下に連通されるように前記中間プレート厚さの半分の深さでエッチングされたことを特徴とする。前記流体混合部の下部プレートと中間プレートは二つ以上繰り返し積層されて流路チャンネルの端部どうし上下に互いに連通されることを特徴とする。
【００１９】
また、前記流体混合部は、前記微細チャンネルの外郭所定部位面を所定形状で貫通する一つ又はそれ以上の断熱孔をさらに具備していることを特徴とする。前記流体混合部は、前記微細チャンネルと分岐ポートを直列又は並列で複数連結したことを特徴とする。
【００２０】
同時に、本発明は、混合される流体が投入される投入管をそれぞれ具備した流体投入部と、投入された流体が混合する流体混合部と、混合された流体が排出される流体排出部とを備えたマイクロチャンネルリアクターにおいて、前記流体混合部は、一体に形成された下部プレート、中間プレート及び上部プレートを含んでおり、前記下部プレートは、上面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、軸方向の流路チャンネルとを有しており、前記中間プレートは、上面と底面に一定深さを持って軸方向に配置された複数のドーナツ型チャンネルと、前記ドーナツ型チャンネルの端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネルの間が連通される連通部と、投入された流体が上下方向及び長さ方向に移動が繰り返される３次元流路チャンネルとを有し、前記下部プレートの上部に積層されており、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの中央に位置された前記連通部を有する底面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートの流路チャンネルと連通されて、前記上面に形成されたドーナツ型チャンネルは、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルと同一軸線上に位置しており且つ底面に形成されたドーナツ型チャンネル及び下部プレートの流路チャンネルと連通していることを特徴とする。
【００２１】
また、前記下部プレートのドーナツ型チャンネルはエッチングによって形成されて、前記中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルは上下に連通されるように前記中間プレート厚さの半分の深さでエッチングされたことを特徴とする。前記下部プレートのドーナツ型チャンネルの深さは前記中間プレートの上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネルの深さと等しいことを特徴とする。
【００２２】
また、前記流体混合部は前記流体投入部から投入された流体が収容される収容部と、前記収容部から分岐されるように複数の微細チャンネルが形成された分岐部と、前記分岐部によって分岐された流路に合流する前記流体混合部の３次元流路チャンネルと繋がれる合流部とをさらに具備していることを特徴とする。
【００２３】
同時に、前記流体混合部の流路チャンネルを隣接して複数具備し、流路チャンネルのそれぞれの端部を連結する連結部を具備していることを特徴とする。前記流体混合部の下部プレート、中間プレート及び上部プレートはブレージング接合（blazingly bonded）されていることを特徴とする。
【００２４】
また、前記流体混合部の下部プレートの下部に接合されて、冷却水流入口及び排出口が形成されて上面に複数のマイクロチャンネルが形成されたマイクロ熱交換機をさらに具備していることを特徴とする。前記流体混合部の下部プレートと中間プレートは二つ以上繰り返し積層されて流路チャンネルの端部が互いに上下に連通されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明は大型の混合機を使わずに異種流体の混合が可能で小型化することができ、決まった混合量によって容器を入れ替る必要がなくて分岐ポートを通じて噴射された異種流体が互いに直接的に衝突することで流体を短時間内に効果的に混合することができる。また、エッチングを利用して微細チャンネルと分岐ポートを形成した金属薄板をブレージング接合に積層して製作することで精密に加工することができ、製造が容易くて経済的で耐久性に優秀な効果がある。
【００２６】
また、異種流体が長さ方向及び上下方向で繰り返し移動されるようにして分岐及び合流されるように形成された３次元流路を通過するようになって互いに直接的に衝突することで流体を短時間内に混合することだけではなく、単位体積当流路を最大で長く形成することで均一な混合になるようにして反応効率を高めることができ、化学反応の性質及び制御を同時に調節することができ、小型化することができ、異種流体が混合する時の反応熱の吸収及び放出が可能で反応効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、前記のような構成を持つ本発明によるマイクロチャンネルリアクターを添付された図面を参考して詳しく説明する。図３は本発明によるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図で、図４は本発明によるマイクロチャンネルリアクターの主要部を現わした断面図である。
【００２８】
図示されたように、本発明によるマイクロチャンネルリアクター（１００）は、混合される流体が投入される流体投入部（１１０）と、投入された流体が混合される流体混合部（１２０）及び混合した流体が排出される流体排出部（１３０）で構成される。
【００２９】
前記流体投入部（１１０）は異種の流体が投入される投入管（１１１）がそれぞれ具備されたカバー（１１２）と、前記投入管（１１１）を経って投入された流体を流体混合部（１２０）に分配されるようにする分配板（１１４ａ、１１４ｂ）で構成される。
【００３０】
前記カバー（１１２）は上部と下部にそれぞれ設置されて前記投入管（１１１）と連通された投入孔（１１３）が形成されている。前記投入孔（１１３）を通過した流体は分配板（１１４ａ、１１４ｂ）に移動される。
【００３１】
前記分配板（１１４ａ、１１４ｂ）は前記カバー（１１２）の内側に位置して、前記投入管（１１１）と投入孔（１１３）を経って投入された流体が連通される連通部（１１５）と、前記連通部（１１５）で前記流体混合部（１２０）に排出されて所定の間隔に形成された排出口（１１６ａ、１１６ｂ）がそれぞれ具備されている。
【００３２】
前記分配板（１１４）は前記連通部（１１５）がそれぞれの排出口（１１６ａ、１１６ｂ）と連通され流体混合部（１２０）に排出される時それぞれの排出口（１１６ａ、１１６ｂ）へ一定な量の流体が分配されるようにする役割をする。
【００３３】
前記流体混合部（１２０）は、前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）とそれぞれ連通されて流体が通過する多数の微細チャンネル（１２１）と、前記微細チャンネル（１２１）の排出側端部に形成されて流体を混合する分岐ポート（１２２）と、前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）と貫通される通孔（１２４）が具備されている。
【００３４】
流体が前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）を経って前記微細チャンネル（１２１）を通過する時、図３のように、上部に位置した分配板（１１４ａ）に形成された排出口（１１６ａ）と下部に位置した分配板（１１４ｂ）に形成された排出口（１１６ｂ）が交番でそれぞれの微細チャンネル（１２１）と連通されることで一つの微細チャンネル（１２１）には流体（Ａ）が通過してこれと隣接した微細チャンネル（１２１）には流体（Ｂ）が通過するようになる。
【００３５】
同時に、上部に位置した分配板（１１４ａ）に形成された排出口（１１６ａ）と下部に位置した分配板（１１４ｂ）に形成された排出口（１１６ｂ）は垂直線上に位置せずに互いに位置ずれ（offset）している。
【００３６】
即ち、図５の上側に図示された上部に位置した分配板（１１４ａ）の平面図のように、排出口（１１６ａ）は左側にかたよっていて、図５の下側に図示された下部に位置した分配板（１１４ｂ）の底面図では、排出口（１１６ｂ）は右側にかたよっている。前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）は一直線上に互いに同じ位置ではなくて互いに位置ずれしている。
【００３７】
このように、上下部に位置した分配板（１１４ａ、１１４ｂ）に形成された前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）が互いに位置ずれしている理由は流体が微細チャンネル（１２１）を通過する時、隣接した微細チャンネル（１２１）を通過する流体が違う種類になるようにしてそれぞれの流体が所定の角度を成す分岐ポート（１２２）で噴射されて見合わせて衝突されることで異種流体が混合するようにするためである。
【００３８】
特に、本発明では分配板（１１４ａ、１１４ｂ）に形成された排出口（１１６ａ、１１６ｂ）を経て交番で微細チャンネル（１２１）及び分岐ポート（１２２）を通過するようにして噴射された異種流体が直接的に衝突することで混合されることが最大の特徴である。これによって、本発明は流体混合部（１２０）の微細チャンネル（１２１）と分岐ポート（１２２）を通過して噴射された流体が直接的に衝突して混合することで短時間内に混合されることになる。
【００３９】
また、前記流体混合部（１２０）は、図６と図７のように微細チャンネル（１２１）と分岐ポート（１２２）を具備した金属薄板（１２３）を複数積層して形成されることが望ましい。この時、金属薄板（１２３）はエッチングを利用して微細チャンネル（１２１）と分岐ポート（１２２）を形成して、この金属薄板（１２３）を積層してブレージング接合で製作される。
【００４０】
このように、金属薄板（１２３）をエッチングすることで微細チャンネル（１２１）及び分岐ポート（１２２）を容易く加工することができ、このように加工された金属薄板（１２３）を複数積層して接合するようになれば加工が易しくて精密に加工することができ、経済的に製造することができる。
【００４１】
前記流体排出部（１３０）は一つの微細チャンネル（１２１）及び分岐ポート（１２２）を通過して噴射された流体が隣接した微細チャンネル（１２１）を通過して分岐ポート（１２２）によって噴射された流体が互いに衝突して混合した流体を排出する役割をする。
【００４２】
前記流体排出部（１３０）は図６のように金属薄板（１２３）の場合には分岐ポート（１２２）の排出側に別に設置されることになる。図７のように金属薄板（１２３）の場合には分岐ポート（１２２）の排出側に形成されて混合流体が収容される収容部（１３１）を通して排出されるようになる。この収容部（１３１）は互いに連通されるようにして一つの収容部になっても構わないし、多くの変更や変形が可能なことは勿論である。
【００４３】
前記のような構造になった本発明によるマイクロチャンネルリアクター（１００）の製造工程は次のようである。以下の製造工程は本人が出願して登録された登録特許公報第４３７１３５を参照にして説明する。
【００４４】
先に、金属板に投入孔（１１３）を穿孔してカバー（１１２）を準備して前記投入孔（１１３）と連通されるように投入管（１１１）を仮接する。引き継いで、他の金属板にミーリング加工などを利用して前記投入孔（１１３）と連通されるように連通部（１１５）を形成して、前記連通部（１１５）に決まった間隔で排出口（１１６ａ、１１６ｂ）を穿孔して分配板（１１４ａ、１１４ｂ）を準備する。
【００４５】
そして、金属薄板を準備して表面を洗滌した後、各金属薄板に多数の微細チャンネル（１２１）と分岐ポート（１２２）が形成される以外の部分に腐食性が強い合成樹脂などを塗布してエッチングを実施して金属薄板に微細チャンネル（１２１）及び分岐ポート（１２２）を形成する。
【００４６】
引き継いで、金属薄板（１２３）を洗滌して塗布された合成樹脂などを除去した後、上下部に設置される分配板（１１４ａ、１１４ｂ）に形成された排出口（１１６ａ、１１６ｂ）と連通されるように金属薄板（１２３）に通孔（１２４）を形成する。
【００４７】
そして、金属板にミーリング加工などを利用して前記分岐ポート（１２２）と連通されるように収容部（１３１）を形成して、前記収容部（１３１）の中央に排出口（１３２）を形成して、前記収容部（１３１）の底面に前記排出口（１３２）と連通されるように排出管（１３３）を仮接して流体排出部（１３０）を準備する。
【００４８】
そして、カバー（１１２）の間に分配板（１１４ａ、１１４ｂ）を位置させて分配板の間に金属薄板（１２３）を位置させる。引き継いで、カバー（１１２）と分配板（１１４ａ、１１４ｂ）及び金属薄板（１２３）の間に交番して接合用薄板を挿入及び積層して、積層された積層体の後部と流体排出部（１３０）の間に接合用薄板を挿入して突き合わせる。
【００４９】
この時、使われる接合用薄板はブレージング炉で接合過程を施行する場合溶融される接合媒体として利用されることで材質がアルミニウムである金属板を使う場合アルミニウムとシリコーンの合金を使うし、銅合金の場合銀又は銀含有合金、ステンレス系列合金又は耐熱合金の場合ニッケル系列の合金又は純銅を使う。
【００５０】
また、ブレージング接合の時微細チャンネル（１２１）が塞がることを防止するためには０．１ｍｍ以下の厚さを持って望ましくは０．０２５〜０．０５ｍｍ程度の厚さを持つことを使う。このすべての積層体をブレージング炉に投入して接合を実施して、後処理工程で表面に排出された残留溶融体を除去すれば本発明によるマイクロチャンネルリアクター（１００）が製造されることになる。
【００５１】
図８は微細チャンネル（１２１）と分岐ポート（１２２）を直列で複数設置して分岐ポート（１２２）の排出側に収容部（１３１）を設置することで流体の混合をより確かにさせるようにしたことである。このような場合には減圧されて混合流体の排出速度が低下されるので別途の昇圧手段を設置して使うようになる。
【００５２】
図９は図８のような構造になって４種類の異種流体を混合するためのことで２種類の異種流体（Ａ、Ｂ）を混合した混合流体（Ａ＋Ｂ）に他の２種類の異種流体（Ｃ、Ｄ）を混合するようにして４種類の混合流体(Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ)を排出されるようにしたことである。
【００５３】
この場合には混合流体（Ａ＋Ｂ）が違う２種類の異種流体（Ｃ、Ｄ）が投入される微細チャンネル（１２１）を通過するようになる時、Ｃ、Ｄの流体圧力が混合流体（Ａ＋Ｂ）の圧力より高くなると逆流現象が生ずるので逆流現象を防止するための手段を設置して使うようになる。
【００５４】
図１０は本発明の望ましい実施例によるマイクロチャンネルリアクターを現わした分解斜視図として、図３に図示された本発明によるマイクロチャンネルリアクターの金属薄板（１２３）の間に熱交換機用金属薄板（１４０）を挿入して積層されることを現わす。
【００５５】
前記熱交換機用金属薄板（１４０）は流体が通過する通孔（１４１）と、前記通孔（１４１）と連通される多数の微細チャンネル（１４２）を具備して、前記熱交換機用金属薄板（１４０）の通孔（１４１）と微細チャンネル（１４２）に冷却材などが循環されて熱交換機の役割をする。
【００５６】
このように、本発明は流体が通過する通孔（１４１）と、前記通孔（１４１）と連通される多数の微細チャンネル（１４２）を具備した熱交換機用金属薄板（１４０）を前記金属薄板（１２３）の間に挿入させて積層することでマイクロチャンネルリアクターの役割だけではなく熱交換機としての役割も遂行することができるようになる。
【００５７】
同時に、本発明は図３に図示された本発明によるマイクロチャンネルリアクターの分配板（１１４ａ、１１４ｂ）及び金属薄板（１２３）に、図１１とのように、前記微細チャンネル（１２１）の外郭所定部位面を所定形状で貫通する一つ又はその以上の断熱孔（１２５）が具備されることが望ましい。前記断熱孔（１２５）は断熱効果を増加させるためにブレージング接合の時に真空が維持された状態で接合される。
【００５８】
このように、本発明は金属薄板（１２３）に断熱孔（１２５）を具備することで優秀な断熱効果があることは勿論であり、マイクロチャンネルリアクターの重さを減らすことができる。また、図１０のように熱交換機用金属薄板（１４０）が挿入される場合には金属薄板（１２３）及び熱交換機用金属薄板（１４０）にすべて貫通されるように断熱孔（１２５）を形成すれば良い。
【００５９】
図１２と図１３は本発明によるマイクロチャンネルリアクターのさまざまな形態を見せてくれる分解斜視図として、流体の選択によって２種から８種の異種流体を混合することができる。図１２は２種類以上の異種流体を混合するようにしたことで、隣接した２種類の異種流体が混合され４個の排出管（１３３）の方にそれぞれ排出されることを示す。そして、図１３は４種類以上の異種流体を混合するようにしたことで、隣接した４種類の異種流体が混合され排出管（１３３）の方にそれぞれ排出されることを示す。
【００６０】
図１４ないし図１６はさまざまな形態のマイクロチャンネルリアクターを示す。図示されたように、マイクロチャンネルリアクター（１００）の投入管（１１１）の位置を変えることでマイクロチャンネルリアクター（１００）が設置される位置によってさまざまな形態で変更実施が可能である。
【００６１】
図１７は本発明によるマイクロチャンネルリアクターの他の例を示した分解斜視図である。図示されたように、分配板（１１４ａ、１１４ｂ）の間に位置する流体混合部（１２０）がドーナツ型チャンネル（１５１）が長さ方向に互いに連通される流路チャンネルが上面に具備されるようにエッチングされた下部プレート（１５０）と、ドーナツ型チャンネル（１６１）が長さ方向及び上下方向に互いに連通される流路チャンネルが両面に具備されるようにエッチングされた上部プレート（１６０）が積層されて一体に接合されるようになる。
【００６２】
この時、下部プレート（１５０）及び上部プレート（１６０）の一側端部は前記排出口（１１６ａ、１１６ｂ）と、貫通される通孔（１５２、１６２）がそれぞれ具備されている。前記下部プレート（１５０）と上部プレート（１６０）の詳しい形状は後述する他の形態のマイクロチャンネルリアクターで詳しく扱う事にする。
【００６３】
図１８ないし図３０は本発明のまた他の形態のマイクロチャンネルリアクターを示したもので、図１８は本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの斜視図であり、図１９は本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図であり、図２０は図１８のＡ‐Ａ断面図、図２１は図１８のＢ‐Ｂ断面図であり、図２２は図１８のＣ‐Ｃ断面図、図２３は図１８のＤ‐Ｄ断面図である。
【００６４】
図示されたように、本発明の他の形態であるマイクロチャンネルリアクター（２００）は、混合する流体が投入される流体投入部（２１０）と、投入された流体が混合する流体混合部（２２０）及び混合した流体が排出される流体排出部（２３０）で構成される。
【００６５】
前記流体投入部（２１０）は異種の流体が投入される投入管がそれぞれ具備されて、この投入管を通じて投入された異種流体が流体混合部（２２０）に移動されて混合される。前記流体混合部（２２０）は、前記流体投入部（２１０）と前記流体排出部（２３０）とそれぞれ結合されて連通されて、薄板である下部プレート（２２１）、中間プレート（２２２）及び上部プレート（２２３）が積層するようになる。この時、各プレート（２２１、２２２、２２３）はブレージング接合されることが望ましい。
【００６６】
前記下部プレート（２２１）はくだんの図１７に図示された下部プレート（１５０）と等しい形状になっている。前記下部プレート（２２１）は上面に一定の深さを持って長さ方向に配置された複数のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）が形成されるが前記ドーナツ型チャンネル（２２１ａ）の端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネル（２２１ａ）の間が連通されるように連通部（２２１ｂ）が具備されて長さ方向の流路チャンネルが形成される。
【００６７】
異種流体が前記流体投入部（２１０）に投入されれば、前記ドーナツ型チャンネル（２２１ａ）を経て分岐され連通部（２２１ｂ）に移動されながら合流されて反応するようになる。このようなドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と、このチャンネル（２２１ａ）の間を連通させる連通部（２２１ｂ）が繰り返し的に具備されるようになるので異種流体がドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と連通部（２２１ｂ）を通過しながら異種流体の反応が促進される。
【００６８】
この時、連通部（２２１ｂ）はドーナツ型チャンネル（２２１ａ）どうしの端部が重なる時連通部（２２１ｂ）で異種流体が合流及び分岐されるようにＶ字形態の突出部（２２１ｃ）が具備されるように重なるのが望ましい。前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）はエッチングによって形成されるのが望ましい。
【００６９】
前記中間プレート（２２２）はくだんの図１７に図示された上部プレート（１６０）と等しい形状になっている。前記中間プレート（２２２）は前記下部プレート（２２１）の上部に積層されて、くだんの下部プレート（２２１）と同じく上面及び底面に一定の深さを持って長さ方向に配置された複数のドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）が形成されるが前記ドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）の端部が互いに連接されてドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）の間が連通されるように連通部（２２２ｂ´、２２２ｂ"）が具備されている。
【００７０】
この時、連通部（２２２ｂ´、２２２ｂ"）はくだんの下部プレート（２２１）と同じくドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）どうしの端部が重なる時連通部（２２２ｂ´、２２２ｂ"）で異種流体が合流されるようにＶ字形態の突出部（２２２ｃ´、２２２ｃ"）が具備されるように重なるのが望ましい。
【００７１】
この時、底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）は前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）の中央に位置されて前記下部プレート（２２１）の流路チャンネルと連通されて、上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）は前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と同一軸線上に位置されて底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）及び下部プレート（２２１）の流路チャンネルと連通されるようになっている。
【００７２】
従って、前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"） は下部プレート（２２１）の流路チャンネルと連通されるようになることで上下方向での移動が可能になる。結局、前記ドーナツ型チャンネル（２２１ａ、２２２ａ´、２２２ａ"）は互いに長さ方向及び上下方向に連通されることで異種流体が長さ方向及び上下方向での移動が繰り返し可能になる３次元流路を形成するようになる。
【００７３】
このように本発明はドーナツ型チャンネル（２２１ａ、２２２ａ´、２２２ａ"）が３次元流路チャンネルを形成することで異種流体が長さ方向で分岐及び合流されるようにすることと同時に上下に移動されて分岐及び合流されるようにして異種流体の混合反応を促進させるようになる。
【００７４】
また、前記中間プレート（２２２）の上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）は上下に連通されるように前記中間プレート（２２２）厚さの半分の深さにエッチングされることが望ましく、上面及び底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´、２２２ａ"）の深さは前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）の深さと等しいようになることが望ましい。即ち、前記中間プレート（２２２）の底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）を中心に上下対称になるように形成されることが望ましい。
【００７５】
図１８ないし図２３に図示されたマイクロチャンネルリアクターは３次元流路チャンネルが１行に形成されたことを示して、図２４ないし図３０に図示されたマイクロチャンネルリアクターは３次元流路チャンネルが隣接して複数具備されて流路チャンネルのそれぞれの端部が互いに繋がれていることを示す。
【００７６】
図２０ないし図２３に図示された断面図は前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）が同一軸線上に位置されたことを示す。
【００７７】
図２０は図１８のＡ‐Ａ断面図として、異種流体が図１８のＡ‐Ａ断面位置では前記中間プレート（２２２）の連通部（２２２ｂ"）と前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）及び前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２２ａ）がそれぞれ分岐されている。これによって異種流体がそれぞれ分岐されるようになる。
【００７８】
図２１は図１８のＢ‐Ｂ断面図として、異種流体が図２０の断面位置のようにそれぞれ分岐された状態で図２１の断面位置に到達されれば前記中間プレート（２２２）の連通部（２２２ｂ"）と前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）及び前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）が互いに連通されているようになるので互いに合流されるようになる。
【００７９】
図１８のＢ‐Ｂ断面位置に到達されれば前記中間プレート（２２２）の連通部（２２２ｂ"）に具備されたＶ字形態の突出部（２２２ｃ"）の中央を通った位置で前記中間プレート（２２２）の連通部（２２２ｂ"）に具備された突出部（２２２ｃ"）によって広くなりながら中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）と前記下部プレート（２２１ａ）に形成されたドーナツ型チャンネル（２２１ａ）に分岐されるようになる。
【００８０】
図２２は図１８のＣ‐Ｃ断面図として異種流体が図２１の断面位置で図２２の断面位置に到達されれば前記中間プレート（２２２）の連通部（２２２ｂ"）で合流された異種流体が前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）及び前記中間プレート（２２２）の底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）に移動されて合流されるようになる。
【００８１】
このような状態は前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）及び前記中間プレート（２２２）の底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）がすべて連通された状態である。
【００８２】
図２３は図１８のＤ‐Ｄ断面図として、異種流体が図２２の断面位置で図２３の断面位置に到達されれば前記下部プレート（２２１）のドーナツ型チャンネル（２２１ａ）と前記中間プレート（２２２）の上面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ´）及び前記中間プレート（２２２）の底面に形成されたドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）に移動されて合流された異種流体が長さ方向では前記中間プレート（２２２）のドーナツ型チャンネル（２２２ａ"）に分岐されるようになって上下方向では前記中間プレート（２２２）の上面に形成された連通部（２２２ｂ´）と前記下部プレート（２２１）の連通部（２２１ｃ）に分岐されるようになる。
【００８３】
このように、本発明は長さ方向及び上下方向に分岐されるように３次元流路チャンネルを形成することによって異種流体の混合反応効率を高めるようになる。
【００８４】
図２４は本発明のまた他の形態のマイクロチャンネルリアクターを現わした斜視図であり、図２５は図２４の分解斜視図であり、図２６は図２５の下部プレートの平面図であり、図２７は図２５の中間プレートの平面図である。
【００８５】
前記図示されたように、流体混合部（２２０）は前記流体投入部（２１０）から投入された流体が収容される収容部（２２４）と、前記収容部（２２４）から分岐されるように複数の微細チャンネル（２２５ａ）が形成された分岐部（２２５）と、前記分岐部（２２５）から合流されて前記流体混合部（２２０）の３次元流路チャンネルと繋がれる合流部（２２６）がさらに具備される。
【００８６】
この時、前記分岐部（２２５）と合流部（２２６）は交番されるように複数個に具備されても構わない。また、３次元流路チャンネルが隣接して複数具備されて、流路チャンネルのそれぞれの端部が互いに繋がれる連結部（２２７）が具備されている。
【００８７】
図２８は本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図である。図２６に図示された下部プレート（２２１）と中間プレート（２２２）が交番されるように二つ以上繰り返し積層されている。このような場合には一番上部に位置した下部プレート（２２１´）と中間プレート（２２２´）は流路チャンネルの排出側が中間に位置した下部プレート（２２１"）と中間プレート（２２２"）の入口側と繋がれるようになる。
【００８８】
また、中間に位置した下部プレート（２２１"）と中間プレート（２２２"）の排出側は一番下部に位置した下部プレート（２２１´"）と中間プレート（２２２´"）の入口側と繋がれるようになる。このように本発明は下部プレート（２２１）と中間プレート（２２２）が交番されるように二つ以上繰り返し積層されることで３次元流路チャンネルの長さを最大限長くすることができるようになって混合反応効率を向上させる。
【００８９】
図２９は図２５の下部及び中間プレートの変形例を現わした斜視図である。図示されたように異種流体がそれぞれ投入されてそれぞれ収容されるように収容部（２２４）がそれぞれ具備されているし、それぞれ投入されてそれぞれ収容された異種流体が微細チャンネル（２２５ａ）が見合わせるように形成されている分岐部（２２５）が形成されている。従って、異種流体が前記分岐部（２２５）から分岐されて合流部（２２６）で合流される時互いに衝突して合流されるようになる。
【００９０】
図３０は本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図である。図示されたように、本発明のマイクロチャンネルリアクターは下部プレート（２２１）の下部にマイクロ熱交換機（２４０）をさらに積層することが望ましい。
【００９１】
前記マイクロ熱交換機（２４０）は前記流体混合部（２２０）の下部プレート（２２１）の下部に接合されて冷却水流入口及び排出口が形成されて上面に多数のマイクロチャンネル（２４１）が形成されている。
【００９２】
ここで熱交換機は微細チャンネル（２４１）が形成されてＶ字形態に繰り返し形成されているが他の形態の熱交換機を使っても構わない。このように熱交換機（２４０）を利用するようになれば異種流体の反応に必要な反応熱の吸収又は放出できるようにさせることで反応効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】従来のマイクロチャンネルリアクターの斜視図。
【図２】従来の熱交換機の分解斜視図。
【図３】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【図４】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの主要部を示した断面図。
【図５】本発明による分配板の平面図及び底面図。
【図６】本発明による金属薄板の斜視図。
【図７】本発明による金属薄板の斜視図。
【図８】流体混合部を直列で繋がれた概略的な構造を示した平面図。
【図９】流体混合部を直列で繋がれた概略的な構造を示した平面図。
【図１０】本発明の望ましい実施例によるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【図１１】本発明の望ましい実施例によるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【図１２】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１３】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１４】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１５】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１６】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１７】本発明によるマイクロチャンネルリアクターの多様な形態を示す分解斜視図及び斜視図。
【図１８】本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの斜視図。
【図１９】本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【図２０】図１８のＡ‐Ａ断面図。
【図２１】図１８のＢ‐Ｂ断面図。
【図２２】図１８のＣ‐Ｃ断面図。
【図２３】図１８のＤ‐Ｄ断面図。
【図２４】本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの斜視図。
【図２５】図２４の分解斜視図。
【図２６】図２５の下部プレートの平面図。
【図２７】図２５の中間プレートの平面図。
【図２８】本発明のまた他の形態であるイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【図２９】図２５の下部及び中間プレートの変形例を示した斜視図。
【図３０】本発明のまた他の形態であるマイクロチャンネルリアクターの分解斜視図。
【符号の説明】
【００９４】
１１０  流体投入部、    １１１  投入管、    １１２  カバー、    １１３  投入孔、    １１４ａ、１１４ｂ  分配板、    １１５  連通部、    １１６ａ、１１６ｂ  排出口、    １２０  流体混合部、    １２１  微細チャンネル、    １２２  分岐ポート、    １２３  金属薄板、    １２４  通孔、    １２５  断熱孔、    １３０  流体排出部、    １３１  収容部、    １３２  排出口、    １３３  排出管、    １４０  熱交換機用金属薄板、    １４１  通孔、    １４２  微細チャンネル、    ２１０  流体投入部、    ２２０  流体混合部、    ２２１、２２１´、２２１"、２２１´"  下部プレート、    ２２２、２２２´、２２２"、２２２´"  中間プレート、    ２２１ａ、２２２ａ´、２２２ａ"  ドーナツ型チャンネル、    ２２１ｂ、２２２ｂ´、２２２ｂ"  連通部、    ２２１ｃ、２２２ｃ´、２２２ｃ"  突出部、    ２２３  上部プレート、    ２２４  収容部、    ２２５  分岐部、    ２２５ａ  微細チャンネル、    ２２６  合流部、    ２２７  連結部、    ２３０  流体排出部、    ２４０  熱交換機、    ２４１  微細チャンネル、    １００、２００  マイクロチャンネルリアクター
【図１】
2008512237.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2008512237.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2008512237.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
2008512237.tif 000029
【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【国際調査報告】
2008512237.tif 000033
2008512237.tif 000034