(57)【要約】    【課題】安定した吐出量の吐出装置を提供する。    【解決手段】真空ポンプ１１内に設けられたベンチュリ管と、補助気体を供給する補助気体供給装置７とを蓄液容器２１に接続し、ベンチュリ管に主気体を供給する主気体供給管５１と蓄液容器２１を真空排気する真空排気管５２とに、それぞれ第一、第二の可変弁１２，１３を設け、蓄液容器２１に補助気体を供給する補助気体供給管５４に補助可変弁１４を設け、各可変弁１２〜１４のコンダクタンスを調節することで、蓄液容器２１の内部の圧力を精密に制御することができる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出液が配置され、前記吐出液の液面上の部分の液上空間が圧力制御される蓄液装置と、
前記蓄液装置に配置された前記吐出液が供給される吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドに設けられ、前記吐出ヘッドに供給された前記吐出液で充満される吐出室と、
前記吐出ヘッドに下方に向けて設けられ、前記吐出室内の前記吐出液を、下方に向けて吐出する吐出孔と、
前記蓄液装置の内部と前記吐出室とを接続し、前記吐出ヘッドに供給される前記吐出液を流す吐出液供給管と、
前記液上空間を真空排気する真空生成装置と、
を有し、前記真空生成装置によって前記液上空間が、前記吐出孔が接触する吐出雰囲気の圧力よりも低圧力にされ、前記吐出液が前記吐出孔から落下しないようにされた吐出装置であって、
前記真空生成装置は、
第一、第二の太管と、前記第一、第二の太管よりも細く、前記第一、第二の太管とを接続する細管とを有するベンチュリ管と、
前記ベンチュリ管内に主気体を供給する給気装置と、
前記第一の太管の一端と前記給気装置とを接続し、前記主気体を通過させる主気体供給管と、
前記主気体供給管に設けられ、前記給気装置と前記ベンチュリ管との間で前記主気体が通過する部分の前記主気体供給管のコンダクタンスを変化させる第一の可変弁と、
前記ベンチュリ管の細管と前記液上空間とを接続し、前記ベンチュリ管に前記液上空間を真空排気させる真空排気管と、
前記ベンチュリ管の前記細管と前記液上空間との間に設けられ、前記液上空間内の気体である液上気体が通過する部分の前記真空排気管のコンダクタンスを変化させる第二の可変弁と、
補助気体の供給源と前記液上空間とに接続され、前記液上空間に前記補助気体を供給する補助気体供給装置と、
を有する吐出装置。
【請求項２】
前記補助気体供給装置は、前記補助気体を供給する供給源と前記液上空間とを接続する補助気体供給管と、
前記補助気体供給管に設けられ、前記供給源と前記液上空間との間の前記補助気体供給管のコンダクタンスを変化させる補助可変弁を有する請求項１記載の吐出装置。
【請求項３】
前記主気体と前記補助気体とには空気が用いられ、前記吐出雰囲気の圧力は大気圧にされた請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する吐出装置の技術分野に係り、特に、吐出液の液面上の空間を真空生成装置によって真空排気し、吐出液が吐出孔から流出しないようにした吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の基板を吐出対象物とし、吐出対象物上の所望の位置に、薄膜を形成するために、吐出対象物の表面に吐出液を液滴にして吐出し、吐出対象物上の所望の位置に着弾させる吐出装置が用いられている。
【０００３】
図４の符号１１０は、従来技術の吐出装置であり、蓄液容器１２１内と吐出ヘッド１２２内の吐出室１４３とは吐出液供給管１５５で接続され、蓄液容器１２１内に配置された吐出液１２８を、吐出液供給管１５５内を流して、吐出室１４３に供給する。
【０００４】
吐出室１４３内には、圧力発生装置１４５が設けられており、圧力発生装置１４５を動作させると、吐出室１４３内に供給された吐出液は、吐出孔１４４から吐出され、液滴となって、下方に位置する台１２３上に配置された吐出対象物１２５に着弾し、着弾した部分に吐出液が広がる。
【０００５】
上記のような吐出装置１１０では、蓄液容器１２１には、蓄液容器１２１内を真空排気する真空排気装置１０８が接続されており、蓄液容器１２１内を減圧することで、吐出孔１４４内の吐出液が下方に流出しないようにされている。
【０００６】
蓄液容器１２１と真空排気装置１０８とを接続する真空供給管１５２には逆止弁１００が設けられており、蓄液容器１２１内の圧力が所定の圧力に低下すると、逆止弁１００が動作して真空排気装置１０８を蓄液容器１２１から切り離し、吐出孔１４４から気体が吐出ヘッド１２２内に侵入しないようにされている。
吐出液１２８の供給については、例えば下記特許文献に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許公開２００７−１３６４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、吐出液１２８を流出させないための蓄液容器１２１内の圧力は、吐出液１２８の重量によって異なるため、蓄液容器１２１に配置された吐出液１２８を例えばプロセスに応じて異なる溶質の溶液などに交換するときに、新しく配置する吐出液１２８の密度が、交換前の吐出液１２８の密度と異なる場合は、新しい吐出液１２８を流出させず、また、気体が侵入しない圧力に逆止弁を設定する必要があり、吐出液１２８の交換が困難であった。
【０００９】
また、吐出液を吐出孔１４４から流出させないために必要な負圧は大気圧に近く、蓄液容器１２１内の圧力を高精度に制御することは、従来技術の機械式真空排気装置では困難である。
更にまた、機械式の真空排気装置では、内部部品の機械的動作に伴って、生成される負圧が脈動し、吐出液が吐出孔１４４内の液面で上下に振動するため、吐出量が安定しないという問題がある。
【００１０】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、大気圧に近い安定した負の静圧を生成し、吐出量が変化しない吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
ベンチュリー効果を利用した真空ポンプは圧空装置などに接続され、ポンプ内部に高速の流体流が形成され、その流体流の流れ方向とは略垂直に真空取出管を接続すると、真空取出管中に負圧の静圧が形成されることが知られていて、エジェクタ名称で空圧コンポーネントとして広く一般に市販されている。
【００１２】
流体には、空気等の気体や、水等の液体が用いられており、いずれの場合にも、可動部が存在しないことが大きな特徴とされている。気体の代わりに水等の液体を流体として使用することもできる。
【００１３】
また、圧縮と排気のサイクルが無いことから、形成される真空に圧力の変動が少なく、リークがあっても吸引力を維持できる特徴があり、また、可動部が無いため、液体を含んだガスや、腐食性のガスも真空排気することができる。
【００１４】
本発明は、ベンチュリー効果を用いた吐出装置であり、吐出液が配置され、前記吐出液の液面上の部分の液上空間が圧力制御される蓄液装置と、前記蓄液装置に配置された前記吐出液が供給される吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドに設けられ、前記吐出ヘッドに供給された前記吐出液で充満される吐出室と、前記吐出ヘッドに下方に向けて設けられ、前記吐出室内の前記吐出液を、下方に向けて吐出する吐出孔と、前記蓄液装置の内部と前記吐出室とを接続し、前記吐出ヘッドに供給される前記吐出液を流す吐出液供給管と、前記液上空間を真空排気する真空生成装置と、を有し、前記真空生成装置によって前記液上空間が、前記吐出孔が接触する吐出雰囲気の圧力よりも低圧力にされ、前記吐出液が前記吐出孔から落下しないようにされた吐出装置であって、前記真空生成装置は、第一、第二の太管と、前記第一、第二の太管よりも細く、前記第一、第二の太管とを接続する細管とを有するベンチュリ管と、前記ベンチュリ管内に主気体を供給する給気装置と、前記第一の太管の一端と前記給気装置とを接続し、前記主気体を通過させる主気体供給管と、前記主気体供給管に設けられ、前記給気装置と前記ベンチュリ管との間で前記主気体が通過する部分の前記主気体供給管のコンダクタンスを変化させる第一の可変弁と、前記ベンチュリ管の細管と前記液上空間とを接続し、前記ベンチュリ管に前記液上空間を真空排気させる真空排気管と、前記ベンチュリ管の前記細管と前記液上空間との間に設けられ、前記液上空間内の気体である液上気体が通過する部分の前記真空排気管のコンダクタンスを変化させる第二の可変弁と、補助気体の供給源と前記液上空間とに接続され、前記液上空間に前記補助気体を供給する補助気体供給装置と、を有する吐出装置である。
また、本発明は、前記補助気体供給装置は、前記補助気体を供給する供給源と前記液上空間とを接続する補助気体供給管と、前記補助気体供給管に設けられ、前記供給源と前記液上空間との間の前記補助気体供給管のコンダクタンスを変化させる補助可変弁を有する吐出装置である。
また、本発明は、前記主気体と前記補助気体とには空気が用いられ、前記吐出雰囲気の圧力は大気圧にされた吐出装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に用いた真空生成装置はモータ等の可動部が無く、長寿命であり、信頼性が高い。
また、真空生成装置は蓄液容器内の圧力を安定して真空排気することができるので、吐出量が安定する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の吐出装置を説明するための図
【図２】その吐出装置に用いた真空ポンプ（エジェクタ）を説明するための図
【図３】本発明に用いた真空生成装置の特性を説明するためのグラフ
【図４】従来技術の吐出装置を説明するための図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１の符号１０は、本発明の吐出装置を示している。
この吐出装置１０は、真空生成装置８と、吐出部９とを有している。
吐出部９は、吐出液２８が配置された蓄液装置２０と、吐出液２８を吐出する吐出ヘッド２２とを有している。
蓄液装置２０は、蓄液容器２１と、真空圧力計６１とを有しており、蓄液容器２１内には吐出液２８が配置されている。
【００１８】
吐出ヘッド２２の内部には、吐出室４３が複数設けられており、各吐出室４３と、蓄液容器２１の吐出液２８が配置された部分との間は、吐出液供給管５５によって接続され、蓄液容器２１の内部に配置された吐出液２８は、吐出液供給管５５を通って各吐出室４３の内部に供給されるようになっている。
【００１９】
各吐出室４３の内部は、蓄液装置２０から供給された吐出液２８によって充満されている。
吐出ヘッド２２の底面には、複数の吐出孔４４が設けられ、各吐出室４３は、それぞれ異なる一個の吐出孔４４に接続されている。
【００２０】
各吐出室４３には圧力発生装置４５が設けられており、制御装置２６が出力した吐出信号によって圧力発生装置４５が動作すると、動作した圧力発生装置４５が設けられた吐出室４３内の圧力が上昇し、その吐出室４３に接続された吐出孔４４から吐出液２８を吐出するようになっている。
【００２１】
吐出ヘッド２２の下方位置には、載置台２３が配置され、その上には吐出対象物２５が配置されている。
吐出孔４４は、載置台２３上の吐出対象物２５が配置された吐出雰囲気と接触している。吐出孔４４は、真下位置に向けられており、真下位置に吐出対象物２５が位置する場合は、吐出孔４４から吐出された吐出液２８は、液滴となって吐出雰囲気中を真下方向に飛行移動し、吐出液２８の液滴が吐出対象物２５に着弾すると、吐出対象物２５表面に吐出液２８の膜が形成される。
【００２２】
ここでは、吐出雰囲気は大気雰囲気にされており、従って、吐出液２８は大気雰囲気中に吐出される。
吐出液２８が吐出孔４４から吐出される際には、蓄液容器２１の吐出液２８は、吐出液供給管５５を通って吐出室４３に移動するから、吐出室４３の内部には、吐出孔４４から気体が侵入しない。
【００２３】
蓄液容器２１の内部は、吐出雰囲気や蓄液容器２１の周囲の雰囲気とは遮断されており、蓄液容器２１内部に配置された吐出液２８の液面４１と、蓄液容器２１の側面と天井面とにより、吐出雰囲気や大気雰囲気から分離された液上空間４２が形成されている。
【００２４】
吐出孔４４は、蓄液容器２１の液面４１よりも低い位置に配置されており、従って、吐出孔４４よりも高い場所に位置する吐出液２８は、重力により、吐出孔４４内に位置する吐出液に対して下向きの力を印加する。
【００２５】
吐出孔４４内の吐出液には、液上空間４２の圧力による力と、吐出孔４４内の液面よりも高い場所に位置する吐出液２８の重量による力とが下向きの力となって印加され、他方、吐出雰囲気の圧力による力と、吐出孔４４内の表面張力の上向き成分とが上向きの力となって印加されている。
【００２６】
吐出孔４４内に位置する吐出液２８は、その吐出液２８に表面張力の下向き成分よりも小さい力が印加されているときは、吐出孔４４からの流出が防止されているものとすると、下向きの力と上向きの力差が、吐出孔４４内の表面張力の上向き成分又は下向き成分よりも小さいときに、吐出孔４４内の吐出液２８は吐出孔４４から落下して流出することはなく、また、吐出孔４４から吐出室４３内に気泡が侵入することもない。
【００２７】
吐出孔４４内の吐出液２８の液面と、蓄液容器２１内の液面４１との高さの差は大きいため、液上空間４２の圧力が吐出雰囲気の圧力と同じ大きさの場合は、上向きの力と下向きの力の差が表面張力の下向き成分よりも大きくなり、吐出液２８は吐出孔４４から落下・流出する。
【００２８】
液上空間４２には真空生成装置８が接続されており、真空生成装置８によって液上空間４２は真空排気されて、吐出孔４４内の吐出液２８に印加される力の下向きの成分と上向き成分とが等しくされている場合には、吐出孔４４内の吐出液２８は静止し、流出しない。
【００２９】
また、吐出孔４４内の吐出液２８に印加される力の下向きの成分が上向き成分よりも大きいときに、その成分の差の値が表面張力の上向き成分よりも小さくされている場合と、吐出孔４４内の吐出液２８に印加される力の上向き成分が下向き成分よりも大きいときに、その成分の差の値が表面張力の下向き成分よりも小さくされている場合とは、吐出孔４４内の吐出液２８は吐出孔４４から落下して流出することはなく、また、吐出孔４４から吐出室４３内に気泡が侵入することもない。
【００３０】
本発明では、液上空間４２の圧力は、吐出孔４４内の吐出液２８に印加される力の下向きの成分と上向き成分との差が、表面張力の上向き成分又は下向き成分よりも小さくされ、吐出孔４４からの吐出液２８の流出や、気泡の侵入がない。
【００３１】
吐出雰囲気が大気雰囲気である場合は、液上空間４２は、真空生成装置８によって大気圧に近い圧力の真空雰囲気にされ、吐出液の流出や気泡の侵入が無いようにされている。
この真空生成装置８を説明すると、まず、真空生成装置８は、真空ポンプ１１と、給気装置１６とを有している。給気装置１６には、空圧源も含まれる。
【００３２】
真空ポンプ（エジェクタ）１１の切断断面図を図２に示す。
真空ポンプ１１は、管本体３８を有しており、管本体３８の中には、ベンチュリ管３０と、バッファ室３６とが形成されている。ベンチュリ管３０は、第一、第二の太管３１，３２と、第一、第二の太管３１，３２よりも細い細管３３とを有している。
【００３３】
第一の太管３１の一端には細管３３の一端が接続され、細管３３の他端は第二の太管３２の一端に接続されている。第一の太管３１の他端は主気体供給管５１に接続され、第一の太管３１の他端が主気体供給管５１中を流れる主気体の流入口４７にされており、第二の太管３２の他端を流出口４８とすると、流入口４７から第一の太管３１内に流入した主気体は、細管３３と、第二の太管３２とをこの順番で通過して、流出口４８から流出される。ここでは、流出口４８は大気雰囲気中に配置されており、主気体は、ベンチュリ管３０を流れて大気中に流出される。
ここでは、第一の太管３１の流入口４７は、主気体供給管５１によって、給気装置１６に接続されており、流出口４８は、排出管５３によって大気雰囲気に接続されている。
【００３４】
給気装置１６は大気中の空気を主吸入口５７から吸引して主気体供給管５１の中に送風しており、空気が主気体となって主気体供給管５１中を流れ、ベンチュリ管３０に供給され、ベンチュリ管３０を流れて流出口４８から排出管５３を通って大気に放出される。
【００３５】
ベンチュリ管３０に供給された主気体が、第一の太管３１から細管３３の中に流入すると、主気体の流速は大きくなり、細管３３から第二の太管３２の中に流入すると、主気体の流速は小さくなる。つまり、流入口４７と流出口４８以外は、主気体がベンチュリ管３０中に流入、流出する場所は無く、第一、第二の太管３１、３２中を流れる主気体よりも、細管３３中を流れる主気体の方が早くなるから、ベンチュリ効果によって、細管３３中の圧力は、第一、第二の太管３１、３２中の圧力よりも低圧になる。
【００３６】
第一の太管３１の中心軸線と、第二の太管３２の中心軸線と、細管３３の中心軸線とは、一直線に一致するように各管３１〜３３は配置されている。細管３３は直管であり、細管３３には、真空取得管３７の一端が接続されている。
【００３７】
真空取得管３７が細管３３に取り付けられた部分では、真空取得管３７は、細管３３の中心軸線に対して垂直な方向に伸びるようにされており、細管３３の内部は、真空取得管３７の内部と連通し、主気体が細管３３の内部を流れると、真空取得管３７の内部の気体は細管３３に吸引される。
【００３８】
真空取得管３７は、細管３３に対して、流入口４７側に傾くように設けられていてもよい。
真空取得管３７の他端は、バッファ室３６に接続されており、バッファ室３６は、真空排気管５２を介して、蓄液容器２１内の液上空間４２に接続されている。
【００３９】
液上空間４２は、真空排気管５２と、バッファ室３６と、真空取得管３７とを介して細管３３の内部に接続されており、液上空間４２に存する気体である液上気体は、真空排気管５２と、バッファ室３６と、真空取得管３７とを流れ、細管３３に吸引され、液上空間４２の圧力は、第一、第二の太管３１，３２内の圧力よりも低圧になる。
【００４０】
ここで、第一、第二の太管３１，３２内の圧力を吐出雰囲気の圧力と等しいものとする。その場合、液上空間４２は吐出雰囲気の圧力よりも低圧になり、液上空間４２はベンチュリ管３０によって真空排気されることになるが、ベンチュリ管３０の真空排気速度は小さいため、液上空間４２と吐出雰囲気との間の圧力差は小さい。
【００４１】
また、真空生成装置８は、蓄液容器２１に、供給源から補助気体を供給する補助気体供給装置７を有しており、補助気体供給装置７は、一端が蓄液容器２１の内部に接続され、他端が補助気体の供給源に接続された補助気体供給管５４を有している。ここでは共通管５６を介して接続されている。
【００４２】
蓄液容器２１の内部には、液上空間４２が吐出雰囲気よりも低圧な状態を維持しながら、補助気体供給管５４によって、供給源から補助気体が供給されている。従って、ベンチュリ管３０によって真空排気される液上空間４２は、補助気体が供給されない場合よりも、吐出雰囲気の圧力に近い圧力になる。
【００４３】
液上空間４２に補助気体が供給される場合は、液上空間４２に存する液上気体は、主として補助気体によって構成される。
ここでは、吐出雰囲気や大気雰囲気が供給源であり、補助気体供給管５４の一端である補助吸入口５８は、吐出雰囲気や大気雰囲気に開放されている。
【００４４】
補助気体供給管５４の他端は、液上空間４２に接続されており、吐出雰囲気や大気雰囲気よりも低圧の液上空間４２の圧力によって、補助気体が補助気体供給管５４を通って、液上空間４２に吸引されている。供給源が大気雰囲気の場合は、補助気体は空気である。
【００４５】
この例では、真空排気管５２と補助気体供給管５４とは、集合部５０において共通管５６の一端に接続されており、共通管５６の他端が蓄液容器２１に取り付けられ、共通管５６の内部が液上空間４２に接続されているが、真空排気管５２と補助気体供給管５４とがそれぞれ蓄液容器２１に取り付けられ、真空排気管５２の内部と補助気体供給管５４の内部とが液上空間４２に接続されていてもよい。
集合部５０に補助気体が供給される場合は、補助気体は、集合部５０からベンチュリ管３０に吸引される。
【００４６】
補助気体供給管５４の途中には、補助可変弁１４が設けられている。補助可変弁１４は、補助気体供給管５４の供給源と集合部５０との間の位置、又は、補助気体供給管５４が直接蓄液容器２１に取り付けられている場合は、補助気体供給管５４の供給源と蓄液容器２１との間に配置されている。
【００４７】
従って、補助可変弁１４は、補助気体供給管５４の補助気体が流れる部分に位置しており、補助可変弁１４を動作させると補助気体供給管５４の、補助気体を供給する部分のコンダクタンスの値を変化させ、補助気体の流量を変化させることができるようにされている。
【００４８】
例えば、補助気体圧力計６３を補助可変弁１４と集合部５０の間又は、補助可変弁１４と蓄液容器２１との間に取り付け、補助可変弁１４よりも下流側の補助気体供給管５４内の圧力を測定し、測定した圧力が、目的とする圧力よりも高圧である場合は、補助可変弁１４を動作させてコンダクタンスの値を小さくし、供給源から供給される補助気体を減少させ、逆に、測定した圧力が、目的とする圧力よりも低圧である場合はコンダクタンスの値を大きくし、供給源から供給される補助気体を増加させる。いずれの場合も、供給源から補助気体供給管５４内に供給される補助気体の圧力を、目的とする圧力に近づける。
【００４９】
同様に、主気体供給管５１と真空排気管５２とには、第一、第二の可変弁（第一、第二の減圧弁）１２，１３がそれぞれ設けられている。
第一の可変弁１２は、主気体供給管５１の給気装置１６と真空ポンプ１１内のベンチュリ管３０との間に設けられている。
【００５０】
従って、第一の可変弁１２は主気体供給管５１の主気体が流れる部分に位置しており、第一の可変弁１２を動作させると、主気体供給管５１内を主気体が通過する部分の主気体供給管５１のコンダクタンスを変化させ、主気体の流量を変化させることができるように構成されている。
【００５１】
主気体供給管５１のうち、給気装置１６と第一の可変弁１２との間、又は第一の可変弁１２とベンチュリ管３０との間に主気体圧力計６２を取り付け、測定した圧力値が、予め設定された主気体圧力値よりも大きい場合は、第一の可変弁１２は自動的にコンダクタンスの値を小さくし、測定した圧力値が、予め設定された主気体圧力値よりも小さい場合は、コンダクタンスの値を大きくし、ベンチュリ管３０に一定圧力で主気体が供給されるようにすることができる減圧弁（レギュレータ）が好適であり、さらに第一の可変弁１２とベンチュリ管３０の中間に可変弁を追加することでさらに微量真空圧とすることが可能となる。
【００５２】
また、第二の可変弁１３は、真空排気管５２の、真空ポンプ１１内のベンチュリ管３０と集合部５０との間、又は、真空排気管５２が蓄液容器２１に直接取り付けられている場合はそのベンチュリ管３０と蓄液容器２１との間に設けられている。
【００５３】
従って、第二の可変弁１３は、真空排気管５２の液上気体が流れる部分に位置しており、第二の可変弁１３が動作すると、真空排気管５２のベンチュリ管３０によって真空排気された部分のコンダクタンスの値が変化し、集合部５０又は蓄液容器２１に対する真空排気速度が変化するようになっている。
【００５４】
真空圧力計６１は蓄液容器２１に取り付けられており、液上空間４２の圧力を測定し、測定した圧力が、目的とする圧力よりも高圧である場合は、第二の可変弁１３を動作させてコンダクタンスの値を大きくし、ベンチュリ管３０が吸引する液上気体の量を増加させて液上空間４２の圧力を低下させ、逆に、真空圧力計６１が測定した圧力が、目的とする圧力よりも低圧である場合は、コンダクタンスの値を小さくし、ベンチュリ管３０が吸引する液上気体の量を減少させて液上空間４２の圧力を大きくさせる。
いずれの場合も、液上空間４２の圧力を、目的とする液上空間４２の圧力に近づけることができる。
【００５５】
給気装置１６は送風量を変化できるように構成されており、従って、給気装置１６の送風量を変化させることで、真空ポンプ１１が生成する負圧を変化させることができるが、送風量を精度よく設定することが困難なので、負圧の値を細かく設定することが困難である。本発明では、第一の可変弁１２によってコンダクタンスを変化させることで、ベンチュリ管３０に供給する主気体の圧力を高精度に設定し、液上空間４２の圧力を高精度に制御することができる。
また、第二の可変弁１３のコンダクタンスの値と、補助可変弁１４のコンダクタンスの値との比を制御することで、液上空間４２の圧力を、更に高精度に制御することができる。
【００５６】
補助可変弁１４を全開にして補助可変弁１４のコンダクタンスを最大値にし、第一の可変弁１２のコンダクタンスを所定の一定値にして第二の可変弁１３のコンダクタンスを変化させたときの、ベンチュリ管３０が吸い込む気体の流量と、蓄液容器２１内の圧力とを測定した。
図３のグラフ中の符号Ｌａで示した実線と、符号Ｌａ1、Lａ2で示す点線とは、流量を横軸にとり、蓄液容器２１の圧力の測定値と大気圧との間の差圧を左側縦軸にとったときの、流量と圧力の測定結果を示す曲線であり、差圧は負圧になっている。
実線Ｌａが示す曲線と点線Ｌａ1、Lａ2が示す曲線は、変化させた第二の可変弁１３のコンダクタンスに対応する、ベンチュリ管３０で形成できる最小の圧力(到達圧力)を示している。
点線Ｌａ1は、実線Ｌａの状態よりも第一の可変弁１２のコンダクタンスを大きくし、第二の可変弁１３のコンダクタンスの値が実線Ｌａと同じときに、ベンチュリ管３０の到達圧力を小さい圧力にした場合(真空排気速度が大きい場合)の関係であり、点線Ｌａ2は、実線Ｌａの状態よりも第一の可変弁１２のコンダクタンスを小さくし、第二の可変弁１３のコンダクタンスの値が実線Ｌａと同じときに、到達圧力を高い圧力にした場合(真空排気速度が小さい場合)の関係である。
各実線Ｌａ、点線Ｌａ1、Ｌａ2が示す関係では、ベンチュリ管３０が吸い込むガス流量が増加すると、圧力差はゼロ、つまり、吸い込む流量が増加すると、蓄液容器２１内の圧力は大気圧よりも低圧の状態から大気圧に近づいている。
【００５７】
次に、第一、第二の可変弁１２，１３のコンダクタンスを一定値にし、大気圧よりも高圧の補助気体の供給源に接続された補助可変弁１４のコンダクタンスを変化させ、供給源から供給される補助ガスの流量と、蓄液容器２１内の圧力とを測定した。
符号Ｌｂで示した実線と、符号Ｌｂ1、Ｌｂ2で示す点線とは、補助ガスの流量を横軸にとり、蓄液容器２１内の圧力の測定値と大気圧との間の差圧を右側縦軸にとったときの、流量と圧力の測定結果を示す曲線であり、差圧は正圧になっている。
点線Ｌｂ1は、実線Ｌｂの状態よりも第二の可変弁１３のコンダクタンスを小さくし、ベンチュリ管３０の排気速度を小さくさせた場合の関係であり、点線Ｌｂ2は、実線Ｌｂの状態よりも第二の可変弁１３のコンダクタンスを大きくし、ベンチュリ管３０の排気速度を大きくさせた場合の関係である。
いずれの場合でも、補助気体の流量を増加させると、蓄液容器２１内の圧力は増加する。
ベンチュリ管３０を実線Ｌａで動作させ、補助気体供給装置７を実線Ｌｂで動作させたときに、実線Ｌａ、Ｌｂがそれぞれ示す負圧と正圧の合計値が蓄液容器２１の液上空間４２上の圧力になる。
このように、本発明では、第一、第二の可変弁１２，１３と、補助可変弁１４のいずれか一か又は複数の弁を操作することで、液上空間４２を、大気圧に近い負圧にすることができる。
【符号の説明】
【００５８】
７……補助気体供給装置
８……真空生成装置
１０……吐出装置
１２……第一の可変弁
１３……第二の可変弁
１４……補助可変弁
１６……給気装置
２１……蓄液容器
２２……吐出ヘッド
２８……吐出液
３０……ベンチュリ管
３１……第一の太管
３２……第二の太管
３３……細管
４２……液上空間
４３……吐出室
４４……吐出孔
５１……主気体供給管
５４……補助気体供給管
５５……吐出液供給管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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