(57)【要約】【課題】ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測の高精度化を図ることができると共に、低コスト化を図ることができる研削盤を提供する。【解決手段】第一低熱膨張材（７１）が、切込方向に延びるように設けられ、基端側を第一支持装置（１０）のうち第二軸線（Ｌ２）より第一軸線（Ｌ１）に近い位置に固定され、自由端側を切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置（１０，５０）より低い熱膨張係数の材料により形成される。スケール（７３）と検出用ヘッド（７４）の一方が、第一低熱膨張材（７１）に設けられ、他方が、第二支持装置（５０）または第二支持装置（５０）に固定される部材（７２）に設けられる。【選択図】図２
2015093359.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークと砥石車の一方を第一軸線周りに回転可能に支持する第一支持装置と、
前記ワークと前記砥石車の他方を第二軸線周りに回転可能に支持し、前記第一支持装置に対して切込方向に相対移動可能な第二支持装置と、
前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第一支持装置のうち前記第二軸線より前記第一軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第一低熱膨張材と、
前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との一方に設けられるスケールと、
前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との他方に設けられ、前記スケールに対向するように設けられる検出用ヘッドと、
前記スケールおよび前記検出用ヘッドにより検出された前記第一軸線と前記第二軸線との切込方向距離に基づいて、両支持装置の相対位置を制御する制御装置と、
を備える研削盤。
【請求項２】
前記第一低熱膨張材の基端は、前記第一軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定される、請求項１に記載の研削盤。
【請求項３】
前記研削盤は、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第二支持装置のうち前記第一軸線より前記第二軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第二低熱膨張材をさらに備え、
前記スケールは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の一方に設けられ、
前記検出用ヘッドは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の他方に設けられる、
請求項１または２に記載の研削盤。
【請求項４】
前記第二低熱膨張材の基端は、前記第二軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定される、請求項３に記載の研削盤。
【請求項５】
前記第一、第二低熱膨張材は、それぞれの基端側から同一方向に延びるように設けられ、
前記スケールおよび前記検出用ヘッドは、前記第一軸線と前記第二軸線との間以外に配置される、
請求項３または４に記載の研削盤。
【請求項６】
前記第一低熱膨張材は、前記ワークと前記砥石車の下方に配置され、
前記研削盤は、前記第二支持装置に固定され、前記第一低熱膨張材に対して前記切込方向に相対移動可能であり、前記スケールおよび前記検出用ヘッドの周囲を囲うカバー部材をさらに備える、
請求項１〜５の何れか一項に記載の研削盤。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削盤に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
工作機械の構成部品の熱変位が加工精度に影響を及ぼすことが知られている。つまり、位置計測器が取り付けられている構成部品が熱変位した場合には、計測値が熱変位の影響を受けてしまう。そこで、位置計測器を低熱膨張材に取り付けることが、特許文献１、２に記載されている。
【０００３】
特許文献１には、工作機械において、ワーク支持装置と工具支持装置との相対位置を計測するために、ベッド（固定基台）に固定された低熱膨張材をワーク支持装置および工具支持装置のそれぞれに分岐することが記載されている。当該工作機械では、低熱膨張材の分岐されたそれぞれの端部に、スケールと検出用ヘッドの一方が設けられ、ワーク支持装置および工具支持装置に、スケールと検出用ヘッドの他方が設けられる。そして、当該工作機械は、それぞれのスケールおよび検出用ヘッドによる検出値に基づいて、ワーク支持装置と工具支持装置の相対位置を制御している。
【０００４】
また、特許文献２には、工作機械の主軸装置において、主軸の熱変位を検出するために、低熱膨張材を用いることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−２４０４２３号公報
【特許文献２】特開平１−２９５７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１において、ワーク支持装置と工具支持装置との相対位置を計測するために、一方のスケールと検出用ヘッドにより、ベッドに対するワーク支持装置の位置を計測し、他方のスケールと検出用ヘッドにより、ベッドに対する工具支持装置の位置を計測している。しかし、２対のスケールと検出用ヘッドを用いた計測であって、ベッドを介した計測では、計測誤差が生じるおそれがある。特に、研削盤においては、ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測についてさらなる高精度化が求められるため、計測誤差をさらに低減することが求められる。さらに、２対のスケールと検出用ヘッドを用いるため、高コスト化を招来する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ワーク支持装置と砥石車支持装置との切込方向の相対位置の計測の高精度化を図ることができると共に、低コスト化を図ることができる研削盤を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（請求項１）本手段に係る研削盤は、ワークと砥石車の一方を第一軸線周りに回転可能に支持する第一支持装置と、前記ワークと前記砥石車の他方を第二軸線周りに回転可能に支持し、前記第一支持装置に対して切込方向に相対移動可能な第二支持装置と、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第一支持装置のうち前記第二軸線より前記第一軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第一低熱膨張材と、前記第一低熱膨張材と前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との一方に設けられるスケールと、前記第一低熱膨張材と、前記第二支持装置または前記第二支持装置に固定される部材との他方に設けられ、前記スケールに対向するように設けられる検出用ヘッドと、前記スケールおよび前記検出用ヘッドにより検出された前記第一軸線と前記第二軸線との切込方向距離に基づいて、両支持装置の相対位置を制御する制御装置と、を備える。
【０００９】
本手段によれば、第一低熱膨張材の基端側が、第一支持装置のうち第一軸線に近い位置に固定されている。そして、第一低熱膨張材には、スケールまたは検出用ヘッドが取り付けられている。従って、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールまたは検出用ヘッドは、周囲の熱変位に関わらず、第一支持装置のうちの第一軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置に取り付けられていることになる。一方、スケールと検出用ヘッドの他方は、第二支持装置に設けられるか、もしくは、第二支持装置に固定される部材に設けられる。従って、スケールと検出用ヘッドによって検出される「第一軸線と第二軸線との切込方向距離」は、熱変位の影響の少ない実距離の相当値となる。その結果、高精度な研削が可能となる。
【００１０】
さらに、本手段によれば、スケールと検出用ヘッドは、それぞれ一つずつ設けられている。つまり、１対のスケールと検出用ヘッドを用いて、上述したように高精度な研削が可能となる。さらに、本手段は、１対のスケールと検出用ヘッドを用いるため、従来のように２対のスケールと検出用ヘッドを用いる場合に比べて低コストとなる。
【００１１】
本手段に係る研削盤の好適な実施態様について以下に説明する。
（請求項２）前記第一低熱膨張材の基端は、前記第一軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定されるとよい。これにより、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールまたは検出用ヘッドは、周囲の熱変位に関わりなく、切込方向において第一軸線の位置から一定距離の位置に取り付けられていることになる。従って、高精度な研削が可能となる。
【００１２】
（請求項３）また、前記研削盤は、前記切込方向に延びるように設けられ、基端側を前記第二支持装置のうち前記第一軸線より前記第二軸線に近い位置に固定され、自由端側を前記切込方向に対して規制されないように設けられ、両支持装置より低い熱膨張係数の第二低熱膨張材をさらに備え、前記スケールは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の一方に設けられ、前記検出用ヘッドは、前記第一低熱膨張材と前記第二低熱膨張材の他方に設けられるとよい。
【００１３】
第二低熱膨張材の基端側が、第二支持装置のうち第二軸線に近い位置に固定されている。そして、第二低熱膨張材には、スケールと検出用ヘッドの他方が取り付けられている。従って、第二低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの他方は、周囲の熱変位に関わらず、第二支持装置のうちの第二軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置に取り付けられていることになる。
【００１４】
一方、上述したように、第一低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの一方は、第一支持装置のうちの第一軸線に近い位置から実質的に一定距離の位置（距離変化の小さい位置）に取り付けられていることになる。従って、第一、第二低熱膨張材を用いることにより、スケールと検出用ヘッドにより検出される切込方向距離は、高精度に実距離の相当値となる。その結果、さらなる高精度な研削が可能となる。
【００１５】
（請求項４）また、前記第二低熱膨張材の基端は、前記第二軸線に直交し、かつ、前記切込方向に直交する位置に固定されるとよい。これにより、第二低熱膨張材に取り付けられているスケールと検出用ヘッドの他方は、周囲の熱変位に関わりなく、切込方向において第二軸線の位置から一定距離の位置に取り付けられていることになる。従って、高精度な研削が可能となる。
【００１６】
（請求項５）また、前記第一、第二低熱膨張材は、それぞれの基端側から同一方向に延びるように設けられ、前記スケールおよび前記検出用ヘッドは、前記第一軸線と前記第二軸線との間以外に配置されるようにしてもよい。これにより、スケールおよび検出用ヘッドが、第一軸線と第二軸線との間以外に配置されるため、研削液の熱等の影響をより確実に受けないようにできる。その結果、高精度な研削が可能となる。
【００１７】
（請求項６）また、前記第一低熱膨張材は、前記ワークと前記砥石車の下方に配置され、前記研削盤は、前記第二支持装置に固定され、前記第一低熱膨張材に対して前記切込方向に相対移動可能であり、前記スケールおよび前記検出用ヘッドの周囲を囲うカバー部材をさらに備えるようにしてもよい。
【００１８】
第一低熱膨張材は、ワークと砥石車の下方に配置される。つまり、ワークや砥石車の上側の空間に第一低熱膨張材が存在せず、研削盤全体の構成が簡易となる。また、砥石車によるワークの研削点には、研削液がかけられる。従って、下方には、研削液が流れ落ちる。しかし、本手段に係る研削盤はカバー部材を備えることにより、研削液がスケールおよび検出用ヘッドにかかることが防止される。従って、スケールおよび検出用ヘッドが研削液の熱等の影響を受けることを抑制できる。結果として、高精度な研削が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態の研削盤の平面図（上方から見た図）である。
【図２】図１における２−２断面図である。図２において、左側が設置面側であり、右側が上方である。
【図３】図２における３−３断面図である。
【図４】図２における４−４断面図である。
【図５】図２と同一断面図であって、砥石車をワークに接触させた状態の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（１．研削盤の概要）
本発明の実施形態としての研削盤の一例として、テーブルトラバース型円筒研削盤を例に挙げて説明する。当該研削盤について、図１を参照して説明する。図１において、Ｘ軸方向は、砥石車６０によるワークＷに対する切込方向であり、Ｚ軸方向は、トラバース方向であり、Ｙ軸方向は設置面に対して鉛直な方向である。
【００２１】
図１に示すように、研削盤１は、主として、ベッド１０、テーブル２０、主軸台３０、心押台４０、砥石台５０、砥石車６０、Ｘ方向位置検出装置７０、および制御装置８０を備える。
【００２２】
ベッド１０は、設置面上に固定される。ベッド１０は、図１の下側においてＺ軸方向に延びるガイドレール１１，１２を備える。また、ベッド１０は、図１の上側においてＸ軸方向に延びる該取れる１３，１４を備える。さらに、ベッド１０において、ワークＷの回転軸線Ｌ１（「第一軸線」に相当）の直下に、Ｘ軸方向のガイドレール１３，１４側に開口するように凹所１５が形成されている。本実施形態においては、凹所１５の座面が、ワークＷの回転軸線Ｌ１の直下に位置するように形成されている。
【００２３】
テーブル２０は、長尺状に形成され、ベッド１０のガイドレール１１，１２上にＺ軸方向に移動可能に設けられる。テーブル２０は、公知の駆動装置によってベッド１０に対してＺ軸方向に移動可能となる。テーブル２０上の一端側に主軸台３０が固定され、テーブル２０の他端側に心押台４０が固定される。そして、ワークＷのＺ軸回りに回転可能となるように、主軸台３０と心押台４０とにより支持される。
【００２４】
ここで、ベッド１０、テーブル２０、主軸台３０および心押台４０が、切込方向において、ワークＷを支持する装置（本発明における「第一支持装置」に相当）として機能する。そして、ワークＷの回転軸線Ｌ１が、本発明における第一軸線に相当する。
【００２５】
砥石台５０は、ベッド１０のガイドレール１３，１４上にＸ軸方向（切込方向）に移動可能に設けられる。砥石台５０は、砥石車６０を軸線Ｌ２（「第二軸線」に相当）周りに回転可能に支持する。ここで、砥石車６０の回転軸線Ｌ２は、Ｚ軸方向に平行、すなわち、ワークＷの回転軸線Ｌ１に平行である。ここで、砥石台５０は、公知の駆動装置によってベッド１０に対してＸ軸方向に移動可能となる。また、砥石車６０は、公知の駆動装置によって砥石台５０に対して回転軸線Ｌ２周りに回転可能となる。さらに、砥石台５０は、側面に砥石車６０の回転軸線Ｌ２の直下を基準面とする側方突起板５１を備える。
【００２６】
ここで、砥石台５０は、本発明において、第一支持装置に対応する意味として、切込方向に相対移動する第二支持装置に相当する。そして、砥石車６０の回転軸線Ｌ２が、本発明における第二軸線に相当する。
【００２７】
Ｘ方向位置検出装置７０（以下、「検出装置」と称する）は、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との切込方向距離（離間距離）Ｈを検出する。検出装置７０は、スケール７３と検出用ヘッド７４とを備え、検出用ヘッド７４がスケール７３に対向する位置のＸ軸座標を検出値とする。なお、検出装置７０の詳細は、後述する。
【００２８】
制御装置８０は、スケール７３および検出用ヘッド７４により検出されたワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との切込方向距離Ｈに基づいて、ワークＷに対する砥石台５０の切込方向の相対位置を制御する。また、制御装置８０は、Ｚ軸方向の検索位置に応じて、テーブル２０のＺ軸方向位置を制御し、ワークＷの回転、砥石車６０の回転の制御を行う。
【００２９】
（２．検出装置７０の詳細）
次に、検出装置７０の詳細構成について、図２〜図４を参照して説明する。検出装置７０は、第一低熱膨張材７１と、第二低熱膨張材７２と、スケール７３と、検出用ヘッド７４と、カバー部材７５とを備える。
【００３０】
第一低熱膨張材７１は、図２および図３に示すように、軸状または棒状に形成され、基端にフランジ７１ａを有する。第一低熱膨張材７１は、ベッド１０、テーブル２０、主軸台３０、心押台４０、砥石台５０および砥石車６０より低い熱膨張係数の材料により形成される。第一低熱膨張材７１は、例えば、インバーなどの合金材料を用いる。従って、他の部材１０〜６０が熱変位する場合において、第一低熱膨張材７１の熱変位量は他の部材１０〜６０に比べて極めて小さい。
【００３１】
第一低熱膨張材７１の基端側であるフランジ７１ａが、ベッド１０の凹所１５の座面に固定され、第一低熱膨張材７１は、切込方向（Ｘ軸方向）に延びるように設けられている。つまり、第一低熱膨張材７１の基端側は、ベッド１０のうち、砥石車６０の回転軸線Ｌ２よりワークＷの回転軸線Ｌ１に近い位置に設けられている。特に、本実施形態においては、第一低熱膨張材７１の基端側の面が、ワークＷの回転軸線Ｌ１の直下に位置する。つまり、第一低熱膨張材７１の基端は、ワークＷの回転軸線Ｌ１に直交し、かつ、切込方向（Ｘ軸方向）に直交する位置に固定されている。
【００３２】
さらに、第一低熱膨張材７１は、砥石車６０の下方に至る位置まで延びている。特に、第一低熱膨張材７１の自由端は、ベッド１０のＸ軸方向のガイドレール１３，１４の端部近傍まで延びている。つまり、第一低熱膨張材７１は、基端側から切込方向のうち砥石台５０側（後方：図２の上側）に延びるように設けられている。さらに、第一低熱膨張材７１の自由端側は、切込方向に対して規制（拘束）されないように設けられている。つまり、第一低熱膨張材７１の基端側のみがベッド１０に固定されており、他の部位は他のどの部材にも固定されていない。従って、第一低熱膨張材７１は、ベッド１０の凹所１５に追従して移動し、第一低熱膨張材７１の長手方向の長さは、ベッド１０などの他の部材の熱変位の影響を受けない。
【００３３】
さらに、図２および図４に示すように、第一低熱膨張材７１の軸方向中央付近において、上側面には、平面状の座面７１ｂが形成されている。この座面７１ｂには、検出用ヘッド７４が固定されている。そして、検出用ヘッド７４の検出面が上面を向くように、検出用ヘッド７４は第一低熱膨張材７１に固定されている。特に、本実施形態においては、検出用ヘッド７４は、砥石車６０の回転軸線Ｌ２より後方（図２の上側）に設けられている。つまり、検出用ヘッド７４は、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との間以外の位置に配置されている。
【００３４】
第二低熱膨張材７２は、図２および図３に示すように、軸状または棒状に形成され、基端にフランジ７２ａを有する。第二低熱膨張材７２は、第一低熱膨張材７１と同様に、他の部材より低い熱膨張係数の材料により形成される。従って、他の部材１０〜６０が熱変位する場合において、第二低熱膨張材７２の熱変位量は他の部材１０〜６０に比べて小さい。
【００３５】
第二低熱膨張材７２の基端側であるフランジ７２ａが、砥石台５０の側方突起板５１の基準面に固定され、第二低熱膨張材７２は、切込方向（Ｘ軸方向）に延びるように設けられている。つまり、第二低熱膨張材７２の基端側は、砥石台５０のうち、ワークＷの回転軸線Ｌ１より砥石車６０の回転軸線Ｌ２に近い位置に設けられている。特に、本実施形態においては、第二低熱膨張材７２の基端側の面が、砥石車６０の回転軸線Ｌ２の直下に位置する。つまり、第二低熱膨張材７２の基端は、砥石車６０の回転軸線Ｌ２に直交し、かつ、切込方向（Ｘ軸方向）に直交する位置に固定されている。
【００３６】
さらに、第二低熱膨張材７２は、側方突起板５１から、後方、すなわちワークＷとは反対側に延びている。つまり、第二低熱膨張材７２における基端から自由端に延びる方向が、第一低熱膨張材７１における基端から自由端に延びる方向と同一となる。特に、第二低熱膨張材７２の自由端は、ベッド１０のＸ軸方向のガイドレール１３，１４の端部近傍まで延びている。
【００３７】
さらに、第二低熱膨張材７２の自由端側は、切込方向に対して規制（拘束）されないように設けられている。つまり、第二低熱膨張材７２の基端側のみが砥石台５０に固定されており、他の部位は他のどの部材にも固定されていない。従って、第二低熱膨張材７２は、砥石台５０の側方突起板５１に追従して移動し、第二低熱膨張材７２の長手方向の長さは、砥石台５０などの他の部材の熱変位の影響を受けない。
【００３８】
第一低熱膨張材７１はベッド１０に固定されており、第二低熱膨張材７２は砥石台５０に固定されているため、砥石台５０がベッド１０に対して相対移動する場合には、第一低熱膨張材７１と第二低熱膨張材７２とは切込方向に相対移動する。
【００３９】
スケール７３は、図４に示すように、第二低熱膨張材７２の側面に設けられている。さらに、スケール７３の下面が、検出用ヘッド７４の上面に対向する。従って、砥石台５０がベッド１０に対して切込方向に相対移動する場合に、スケール７３と検出用ヘッド７４とが切込方向に相対移動する。そして、検出用ヘッド７４の対向するスケール７３の位置が、制御装置８０によって検出される。
【００４０】
さらに、スケール７３は、砥石車６０の回転軸線Ｌ２より後方（図２の上側）に設けられている。つまり、スケール７３は、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との間以外の位置に配置されている。
【００４１】
カバー部材７５は、砥石台５０の側方に固定されている。カバー部材７５は、第二低熱膨張材７２およびスケール７３を囲うように設けられている。さらに、カバー部材７５は、第一低熱膨張材７１を部分的に収容し、第一低熱膨張材７１に対して切込方向に相対移動可能となるように設けられている。ただし、カバー部材７５において、第一低熱膨張材７１が貫通する部位には、例えば、オイルシールなどのシール部材７５ａ，７５ｂが設けられている。従って、砥石台５０がベッド１０に対して切込方向に相対移動する場合であっても、研削液が、カバー部材７５の内部に進入することを防止できる。
【００４２】
（３．検出装置７０の動作）
次に、検出装置７０の動作について、図２および図５を参照して説明する。図２は、砥石車６０がワークＷから離れている状態を示し、図５は、砥石車６０がワークＷに接触している状態を示す。
【００４３】
図２においては、検出用ヘッド７４は、スケール７３の中央付近に対向している。従って、制御装置８０は、検出用ヘッド７４が対向するスケール７３の位置情報を受け取ることによって、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との離間距離を算出する。
【００４４】
また、図２においては、第一低熱膨張材７１の自由端側の一部が、カバー部材７５の後端より突出している。さらに、第一低熱膨張材７１の一部が、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との切込方向の間であって、下方に露出している。従って、第一低熱膨張材７１の当該部位には、研削液がかかり得る。
【００４５】
一方、図５においては、検出用ヘッド７４が、スケール７３の後端付近に対向している。従って、制御装置８０は、検出用ヘッド７４およびスケール７３から図２の場合とは異なる位置情報を受け取り、当該位置情報に基づいて前記離間距離の算出を行う。また、図５においては、第一低熱膨張材７１の自由端側の一部が、カバー部材７５の後端より突出している。突出量は、図２の場合に比べて大きい。
【００４６】
（４．効果）
本実施形態によれば、第一低熱膨張材７１の基端側が、第一支持装置としてのベッド１０のうちワークＷの回転軸線Ｌ１に近い位置に固定されている。特に、当該基端側が、回転軸線Ｌ１の直下に固定されている。そして、第一低熱膨張材７１には、検出用ヘッド７４が取り付けられている。従って、第一低熱膨張材７１に取り付けられている検出用ヘッド７４は、周囲の熱変位に関わらず、ベッド１０のうちの回転軸線Ｌ１に近い位置（特に直下）から実質的に一定距離の位置（Ｌ１から距離変化の小さい位置）に取り付けられていることになる。
【００４７】
また、第二低熱膨張材７２の基端側が、第二支持装置としての砥石台５０のうち砥石車６０の回転軸線Ｌ２に近い位置に固定されている。特に、当該基端側が、回転軸線Ｌ２の直下に固定されている。そして、第二低熱膨張材７２には、スケール７３が取り付けられている。従って、第二低熱膨張材７２に取り付けられているスケール７３は、周囲の熱変位に関わらず、砥石台５０のうちの回転軸線Ｌ２に近い位置（特に直下）から実質的に一定距離の位置（Ｌ２から距離変化の小さい位置）に取り付けられていることになる。
【００４８】
従って、第一、第二低熱膨張材７１，７２を用いることにより、スケール７３と検出用ヘッド７４により検出される「第一軸線と第二軸線との切込方向距離」は、高精度に、回転軸線Ｌ１，Ｌ２間の実距離の相当値となる。その結果、ワークＷに対する砥石車６０の切込方向位置を高精度に位置決めできるため、ワークＷを高精度に研削可能となる。
【００４９】
さらに、本実施形態によれば、スケール７３と検出用ヘッド７４は、それぞれ一つずつ設けられている。つまり、１対のスケール７３と検出用ヘッド７４を用いて、上述したように高精度な研削が可能となる。さらに、本実施形態では、１対のスケール７３と検出用ヘッド７４を用いるため、従来のように２対のスケールと検出用ヘッドを用いる場合に比べて低コストとなる。
【００５０】
また、第一、第二低熱膨張材７１，７２は、それぞれの基端側から同一方向（後方）に延びるように設けられている。さらに、スケール７３および検出用ヘッド７４は、ワークＷの回転軸線Ｌ１と砥石車６０の回転軸線Ｌ２との間以外に配置されている。これにより、スケール７３および検出用ヘッド７４が、回転軸線Ｌ１と回転軸線Ｌ２との間以外に配置されるため、研削液の熱等の影響をより確実に受けないようにできる。その結果、高精度な研削が可能となる。
【００５１】
さらに、研削盤１は、カバー部材７５を備え、第一、第二低熱膨張材７１，７２は、ワークＷと砥石車６０の下方に配置されている。そして、カバー部材７５は、砥石台５０の位置に関わらず、スケール７３および検出用ヘッド７４を収容している。つまり、ワークＷや砥石車６０の上側の空間に第一、第二低熱膨張材７１，７２が存在せず、研削盤１全体の構成が簡易となる。また、砥石車６０によるワークＷの研削点には、研削液がかけられるため、研削点の下方には、研削液が流れ落ちる。しかし、研削盤１はカバー部材７５を備えることにより、研削液がスケール７３および検出用ヘッド７４にかかることが防止される。従って、スケール７３および検出用ヘッド７４が研削液の熱等の影響を受けることを抑制できる。結果として、高精度な研削が可能となる。
【００５２】
（５．その他）
上記実施形態においては、スケール７３を第二低熱膨張材７２に設け、検出用ヘッド７４を第一低熱膨張材７１に設けた。この他に、スケール７３と検出用ヘッド７４とを、それぞれ逆に取り付けるようにしてもよい。
【００５３】
また、第一低熱膨張材７１の基端がワークＷの回転軸線Ｌ１の直下に固定されるとしたが、僅かにずれていても十分に効果を有する。第二低熱膨張材７２についても同様である。すなわち、第二低熱膨張材７２の基端が砥石車６０の回転軸線Ｌ２の直下に固定されるとしたが、僅かにずれていても十分に効果を奏する。
【００５４】
また、上記実施形態の研削盤１は、第一低熱膨張材７１と第二低熱膨張材７２を備えることとしたが、どちらか一方のみを有するようにしても、ある程度の効果を発揮する。例えば、第一低熱膨張材７１のみを有する場合には、第一低熱膨張材７１に検出用ヘッド７４とスケール７３の一方を取り付け、検出用ヘッド７４とスケール７３の他方は、砥石台５０に直接取り付けることになる。このとき、砥石台５０に直接取り付ける検出用ヘッド７４とスケール７３の他方は、切込方向において、砥石車６０の回転軸線Ｌ２近傍に設置するとよい。
【符号の説明】
【００５５】
１：研削盤、  １０：ベッド（第一支持装置）、  １５：凹所、  ５０：砥石台（第二支持装置）、  ５１：側方突起板、  ６０：砥石車、  ７０：Ｘ方向位置検出装置、  ７１：第一低熱膨張材、  ７１ａ：フランジ、  ７１ｂ：座面、  ７２：第二低熱膨張材、  ７２ａ：フランジ、  ７３：スケール、  ７４：検出用ヘッド、  ７５：カバー部材、  ７５ａ，７５ｂ：シール部材、  ８０：制御装置、  Ｈ：切込方向距離、  Ｌ１：ワークの回転軸線（第一軸線）、  Ｌ２：砥石車の回転軸線（第二軸線）、  Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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