(57)【要約】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）フィルタを用いるＶＨＦ受信機のプレフィルタ（２８）のためのシステム及び方法を提供する。システムは、アンテナ（２４）と、第１及び第２ＭＥＭＳフィルタ（２８）とを含む。第１ＭＥＭＳフィルタは、アンテナで受信した信号を、事前定義された第１帯域幅に基づいてフィルタリングし、第２ＭＥＭＳフィルタは、そのフィルタリングされた信号を、第２帯域幅に基づいてフィルタリングする。システムは、第２ＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器（３２）と、Ａ／Ｄ変換器で生成された信号をダウンコンバートするダウンコンバータ（３４）と、ダウンコンバータで生成された信号を処理するデジタル信号プロセッサ（４０）とを含む。第１及び第２ＭＥＭＳフィルタ又はダウン・コンバータは、受信した同調信号に基づいて調整可能である。
2008512964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナと、
前記アンテナと信号で通信するプレセレクト・フィルタと
を備え、前記プレセレクト・フィルタが、
第１の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタと、
前記第１のＭＥＭＳフィルタと信号で通信する第２のＭＥＭＳフィルタと
を備え、
前記第１のＭＥＭＳフィルタが、前記アンテナで受信された信号を、第１の帯域幅に基づいてフィルタリングし、前記第２のＭＥＭＳフィルタが、前記第１のＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号を、第２の帯域幅に基づいてフィルタリングする、
システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記第２のＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器を更に備えるシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムであって、前記Ａ／Ｄ変換器で生成されたデジタル信号をダウン・コンバートするダウン・コンバータを更に備えるシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のシステムであって、前記ダウン・コンバータで生成されたダウン・コンバート済みデジタル信号を処理するデジタル信号プロセッサを更に備えるシステム。
【請求項５】
請求項４に記載のシステムであって、前記第１のＭＥＭＳフィルタおよび前記第２のＭＥＭＳフィルタまたは前記ダウン・コンバータの少なくとも１つのものが、受信した同調信号に基づいて調整可能である、システム。
【請求項６】
請求項５に記載のシステムであって、前記同調信号が同調電圧を含む、システム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、前記第１のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数が、前記第２のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数から、事前定義された量だけオフセットされている、システム。
【請求項８】
請求項７に記載のシステムであって、前記オフセットが２３０ｋＨｚから２７０ｋＨｚの間であり、前記ＭＥＭＳフィルタの帯域幅が０．９ＭＨｚから２．１ＭＨｚの間である、システム。
【請求項９】
アンテナと、
前記アンテナと信号で通信するプレセレクト・フィルタと
を備え、前記プレセレクト・フィルタが、
受信信号をフィルタリングするように構成された複数のサブフィルタ
を備え、それぞれの前記サブフィルタが、
第１の帯域幅で、前記受信信号をフィルタリングするように設定された第１の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタと、
前記第１の帯域幅からオフセットされた第２の帯域幅で、前記ＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号をフィルタリングするように構成された第２のＭＥＭＳフィルタと、
前記第２のＭＥＭＳフィルタに結合され、前記プレセレクト・フィルタで受け取られた同調信号に基づいて作動されるスイッチと
を備える、
システム。
【請求項１０】
請求項９に記載のシステムであって、それぞれの前記サブフィルタが、事前定義されたチャネルをフィルタリングする、システム。
【請求項１１】
請求項１０に記載のシステムであって、前記チャネルの帯域幅が２３０ｋＨｚから２７０ｋＨｚの間であり、前記ＭＥＭＳフィルタの帯域幅が０．９ＭＨｚから２．１ＭＨｚの間である、システム。
【請求項１２】
請求項９に記載のシステムであって、前記プレセレクト・フィルタでフィルタリングされた信号を変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器を更に備えるシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のシステムであって、前記Ａ／Ｄ変換器で生成されたデジタル信号をダウン・コンバートするダウン・コンバータを更に備えるシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のシステムであって、前記ダウン・コンバータで生成されたダウン・コンバート済みデジタル信号を処理するデジタル信号プロセッサを更に備えるシステム。
【請求項１５】
請求項１４に記載のシステムであって、前記スイッチを制御する同調制御装置を更に備えるシステム。
【請求項１６】
アンテナで無線信号を受信するステップと、
前記アンテナで受信された信号を、第１のＭＥＭＳフィルタを用いてフィルタリングすることにより、第１の信号を生成するステップと、
前記第１の信号を、第２のＭＥＭＳフィルタを用いてフィルタリングすることにより、第２の信号を生成するステップと
を備える方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法であって、
前記第２の信号をデジタル信号に変換するステップと、
前記デジタル信号をダウン・コンバートするステップと、
ダウン・コンバートされた前記信号をデジタル信号プロセッサにおいて処理するステップと
を更に備える方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載の方法であって、前記第１のＭＥＭＳフィルタおよび前記第２のＭＥＭＳフィルタが、受信された同調信号に基づいて調整可能である、方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法であって、前記同調信号が同調電圧を含む、方法。
【請求項２０】
請求項１６に記載の方法であって、前記第１のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数が、前記第２のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数から、事前定義された量だけオフセットされている、方法。
【請求項２１】
請求項２０に記載の方法であって、前記オフセットが２３０ｋＨｚから２７０ｋＨｚの間であり、前記ＭＥＭＳフィルタの帯域幅が０．９ＭＨｚから２．１ＭＨｚの間である、方法。
【請求項２２】
アンテナで無線信号を受信するステップと、
前記アンテナで受信された信号を、複数の第１のＭＥＭＳフィルタのうちの１つを用いてフィルタリングすることにより、第１の信号を生成するステップと、
前記第１の信号を、複数の第２のＭＥＭＳフィルタのうちの１つを用いてフィルタリングすることにより、第２の信号を生成するステップと
を備える方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の方法であって、
前記第２の信号をデジタル信号に変換するステップと、
前記デジタル信号をダウン・コンバートするステップと、
ダウン・コンバートされた前記信号をデジタル信号プロセッサで処理するステップと
を更に備える方法。
【請求項２４】
請求項２２に記載の方法であって、
同調信号を受け取るステップと、
受け取られた前記同調信号に基づいて、前記複数の第２のＭＥＭＳフィルタのうちの１つで生成される第２の信号を選択するステップと
を更に備える方法。
【請求項２５】
請求項２２に記載の方法であって、前記複数の第１のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数が、前記複数の第２のＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数から、事前定義された量だけオフセットされている、方法。
【請求項２６】
請求項２５に記載の方法であって、前記オフセットが２３０ｋＨｚから２７０ｋＨｚの間であり、前記ＭＥＭＳフィルタの帯域幅が０．９ＭＨｚから２．１ＭＨｚの間である、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無線機に関し、特に、無線機に用いられるプレフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
受動的なオフチップの部品が必要であることが、長い間、通信送受信装置の小型化に対する重大な障壁となっている。特に、ヘテロダイン送受信装置のＲＦ段およびＩＦ段に一般的に用いられる高Ｑのバンドパス・フィルタのほとんどは、オフチップの機械的共振部品、例えば、水晶フィルタ、セラミック・フィルタおよびＳＡＷデバイスなどを用いて、実現されている。そのような技術は、品質因子Ｑが高いため、挿入損失においても、帯域幅百分率（percent bandwidth）においても、阻止能力においても、トランジスタ技術を用いて実現される類似のフィルタよりも優れている。高Ｑは更に、送受信装置にローカルの発振器または同期クロックを実装するためにも必要であり、これらの双方とも何れも厳しい位相雑音仕様を満たさなければならない。そうした目的のために、オフチップ部品（例えば、水晶結晶板）が用いられる。
【０００３】
上述の機械的デバイスは、オフチップ部品であるためには、集積電子回路とボード・レベルでインターフェースしなければならず、このことは、スーパーヘテロダイン送受信装置を小型化するうえでの大きい妨げとなる。そうした理由から、ページャ通信およびセルラ通信のためのシングルチップ送受信装置を実現するための近年の試みでは、より高いレベルのトランジスタ集積化によってオフチップの高Ｑの部品を不要にしようとする代替アーキテクチャが用いられている。残念なことに、そのような取り組みは、適切なフロントエンド選択度がないために、全体的な性能が十分でなく、これまでのところ、要求があまり厳しくない用途でのみ利用されている。
【０００４】
このような状況を鑑み、また、将来の通信需要ではより高レベルの性能が要求される可能性が高いことから、高Ｑ部品を保持し、かつ、スーパーヘテロダインのようなアーキテクチャを維持するシングルチップ送受信装置のソリューションが望まれる。
【０００５】
水晶共振器やＳＡＷフィルタのような機械的回路は、ほとんどの送受信装置の設計に不可欠の機能を提供するが、それらのサイズが大きいことやコストの制約から、それらの数は一般に抑えられる。残念なことに、高Ｑ部品の使用を最少化する場合、設計者は、選択度（即ち、Ｑ）をパワーと引き替えにすることが多く、従って、送受信装置の性能を犠牲にする。簡単な例として、通信サブシステムの受信パスの高ＱのＩＦフィルタを取り除くと、後続のＩＦ増幅器、ＩＱミキサ、およびＡ／Ｄ変換回路に対するダイナミック・レンジの要求が非常に高くなり、その分、消費電力も増えることになる。ＲＦにおいても同様のトレードオフが存在し、使用される高Ｑ部品の数が増えるほど、または高Ｑ部品が複雑になるほど、周辺のトランジスタ回路の消費電力が少なくなる。
【０００６】
微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を受信装置に用いることが現在検討されている。例えば、図１に示すように、グエン（Ｎｇｕｙｅｎ）の米国特許第６６８０６００号は、従来のヘテロダイン変換受信装置においてＭＥＭＳフィルタを用いてチャネル選択を行うことを示している。グエンは、ヘテロダイン・ベースのＶＨＦ受信装置の設計を簡素化できておらず、従って、めざましい改善をもたらしてはいない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、製造コストを下げ、信頼性を高め、重量を低減し、消費電力を下げ、信号対雑音比を高める、ＶＨＦ受信装置の狭帯域ＭＥＭＳプレフィルタが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタを用いるＶＨＦ受信装置におけるプレフィルタのためのシステムおよび方法を提供し、それにより、信号対雑音比を低下させることなく、製造コストを下げ、信頼性を高め、重量および消費電力を低減する、
【０００９】
本システムは、アンテナと、このアンテナと信号で通信するプレセレクト（予選択）・フィルタとを含む。プレセレクト・フィルタは、第１の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタと、この第１のＭＥＭＳフィルタと信号で通信する第２のＭＥＭＳフィルタとを含む。第１ＭＥＭＳフィルタは、アンテナで受信された信号を、第１の事前定義された帯域幅に基づいてフィルタリングし、第２ＭＥＭＳフィルタは、第１ＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号を、第２の帯域幅に基づいてフィルタリングする。本システムはまた、第２ＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器と、Ａ／Ｄ変換器で生成されたデジタル信号をダウン・コンバートするダウン・コンバータと、ダウン・コンバータで生成されたダウン・コンバート済みデジタル信号を処理するデジタル信号プロセッサとを含む。
【００１０】
本発明の他の態様によれば、第１および第２のＭＥＭＳフィルタまたはダウン・コンバータは、受信された同調信号に基づいて調整可能である。同調信号は、同調電圧を含む。
【００１１】
本発明の更に別の態様によれば、第１ＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数は、第２ＭＥＭＳフィルタのフィルタリングされる周波数から、事前定義された量だけオフセットされている。一実施形態では、このオフセットは、２３０ｋＨｚから２７０ｋＨｚの間であり、ＭＥＭＳフィルタの帯域幅は、０．９ＭＨｚから２．１ＭＨｚの間である。
【００１２】
以下では、本発明の好ましい実施形態および代替の実施形態を、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図２は、本発明の実施形態に従って形成された無線受信システム２０を示す。受信システム２０は、アンテナ２４と、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタ・コンポーネント２８と、増幅器３０と、アナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器３２と、デジタル・ダウン・コンバータ３４と、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）４０とを含む。ＭＥＭＳフィルタ・コンポーネント２８は、アンテナ２４で受信された信号をプレフィルタリングするように動作する。ＭＥＭＳフィルタ・コンポーネント２８でフィルタリングされた信号は、例えば低雑音増幅器（ＬＮＡ）などのような増幅器３８で増幅される。増幅された信号は、Ａ／Ｄ変換器３２でデジタル形式に変換され、デジタル・ダウン・コンバータ３４へ送られる。デジタル・ダウン・コンバータ３４はデジタル信号を隔離して、ＤＳＰ４０が、アンテナ２４で受信された所望されたチャネルの原信号を適正に処理することを、可能にする。
【００１４】
一実施形態では、ＭＥＭＳフィルタ・コンポーネント２８およびデジタル・ダウン・コンバータ３４は、同調制御装置（図示せず）から受信された同調制御信号によって調整される。
【００１５】
図３〜図６は、ＭＥＭＳフィルタ・コンポーネント２８の第１の実施形態を示す。図３に示すように、システム８０は、アンテナ２４から受け取ったアナログ無線信号をプレフィルタリングする。システム８０は、４つの独立した切換可能なＭＥＭＳフィルタ８２〜８８のバンクを含む。フィルタ・バンク８２〜８８のそれぞれは、共通の切換信号で制御される。共通の切換信号は、同調制御装置から受け取られた同調制御信号に基づく又は関連する。フィルタ・バンク８２〜８８は、アンテナ２４から受け取った信号のチャネルの選択を可能にする。フィルタ・バンク８２〜８８のコンポーネントについては、図４および図５で説明する。
【００１６】
図４は、ＭＥＭＳフィルタの２つのグループ１００および１０２を有する第１のフィルタ・バンク８２を示す。第１のフィルタ・グループ１００は一組のＭＥＭＳフィルタＡを含み、第２のグループ１０２は一組のＭＥＭＳフィルタＢを含む。この実施形態では、第１のフィルタ・グループ１００は、１０個のＭＥＭＳフィルタＡを含む。一例として、図３に示したコンポーネント８０は、１０８ＭＨｚから１１８ＭＨｚの帯域幅の無線信号をフィルタリングする。それぞれのＭＥＭＳフィルタＡは、１ＭＨｚの広さの帯域幅をフィルタリングするように構成される。それぞれのフィルタＡは、後続または隣接のフィルタＡから１ＭＨｚだけオフセットされている。図６の列１５０は、フィルタＡによって実行されるオーバーラップしたフィルタリングを示す。
【００１７】
第２のフィルタ・グループ１０２も１０個のＭＥＭＳフィルタＢを含む。ＭＥＭＳフィルタＢも、ＭＥＭＳフィルタＡと同様に、１ＭＨｚの広さの帯域幅であり、互いに１ＭＨｚずつオフセットされている。しかしながら、ＭＥＭＳフィルタＢは、ＭＥＭＳフィルタＡからは２５０ｋＨｚオフセットされている。１０個のフィルタＢのそれぞれは、対応するＭＥＭＳフィルタＡと結合され、その対応するＭＥＭＳフィルタＡで生成された１ＭＨｚチャネルを受け取る。それぞれのＭＥＭＳフィルタＢの出力は、２５０ｋＨｚにフィルタリングされた信号（チャネル帯域幅２５０ｋＨｚ）である。図６の列１５８は、フィルタＢによって実行されるフィルタリングを示す。
【００１８】
それぞれのＭＥＭＳフィルタＢにはスイッチ１１０ａ〜ｊが取り付けられる。スイッチ１１０ａ〜ｊは、コンポーネント８２で受け取られるスイッチ信号によって制御される。従って、例えば、同調制御信号（スイッチ信号）が、１０８〜１１８ＭＨｚ周波数帯の第１のチャネルが選択されることを識別する場合、コンポーネント８２の第１のスイッチ１１０ａが閉じて、対応する第１のＭＥＭＳフィルタＡとＢとの間の回路を完成させ、それによって、図５および図６に示す第１の２つのフィルタ１２０および１２２が形成され、第１の２５０ｋＨｚチャネルが選択される。
【００１９】
別の実施形態では、スイッチ１１０ａ〜ｊは含まれない。なぜなら、それぞれの出力抵抗の電圧値がスイッチとして働くからである。同調のための電圧が印加されない場合は、その抵抗に電流が流れない。
【００２０】
フィルタ・バンク８２でフィルタリングできるのは、すべてのチャネルのうちの最初の４分の１だけであるので、他のフィルタ・バンク８４〜８８が用意されている。従って、第２のフィルタ・バンク８４は、すべてのチャネルのうちの２番目の４分の１をフィルタリングするものであり、第２のセットのフィルタＢに結合された第３のセットの１０個のフィルタＣを含む。第３のフィルタ・バンク８６は、すべてのチャネルのうちの３番目の４分の１をフィルタリングするものであり、第４のセットのＭＥＭＳフィルタＤに結合された第３のセットのＭＥＭＳフィルタＣを含む。第４のフィルタ・バンク８８は、すべてのチャネルのうちの最後の４分の１をフィルタリングするものであり、第５のセットのＭＥＭＳフィルタＥに結合された、第４のセットのＭＥＭＳフィルタＤを含む。第２、第３、および第４のフィルタ・バンク８４〜８８もまた、スイッチ１１０ａ〜ｊと同様に、ＭＥＭＳフィルタのペアのそれぞれに結合されたアドレス指定可能なスイッチを含む。
【００２１】
一実施形態では、バンク８２〜８８のそれぞれにおけるスイッチが、ＭＥＭＳスイッチである。ＭＥＭＳフィルタＡ〜Ｅのセットのそれぞれは、別々のチップにデポジットされる。複数のＭＥＭＳチップと他の制御回路とが、単一のマルチチップ・モジュールに集められる。マルチチップ・モジュールは、コンテナに密封パッケージされる。マルチチップ・モジュールは、回路基板に表面実装されるように設計されることが可能であり、そのサイズは約２５．４ｍｍ（１インチ）×２５．４ｍｍ（１インチ）以下である。それぞれのＭＥＭＳフィルタのサイズは、約３０ミクロン×３０ミクロンである。
【００２２】
図７は、図２に示したＭＥＭＳフィルタ・コンポーネント２８の代替の実施形態を示す。この実施形態では、フィルタ・コンポーネント２８で実行されるフィルタリングを行うために、２つのＭＥＭＳフィルタ２０２および２０４のみが必要である。フィルタ２０２および２０４のそれぞれは、同調制御信号とは別の同調電圧信号、または同調制御信号に含まれる同調電圧信号を受け取る。同調電圧信号は、ＭＥＭＳフィルタ２０２および２０４がフィルタリングする周波数を変更するために、ＭＥＭＳフィルタ２０２および２０４の機械的アクチュエータ・コンポーネントに電圧をプレロードする。一実施形態では、フィルタ２０２および２０４のそれぞれが、事前定義された帯域幅だけオーバーラップするように、同調電圧が選択される。例えば、フィルタ２０２および２０４のそれぞれが２ＭＨｚの帯域幅をフィルタリングし、この両者間のオーバーラップは約２５０ｋＨｚである。２つのフィルタ２０２および２０４の結果、フィルタ２０２および２０４の一方だけの受信信号の帯域幅が約８分の１に小さくなる。このフィルタリングは、図６に示したフィルタリングと同様であるように見える。フィルタ２０２および２０４は同調可能なので、所望のチャネル、または帯域幅内のチャネルを選択するために、フィルタ２０２および２０４を同調電圧によって調整することが可能である。
【００２３】
図８、９および１０は、図３、４および７に示した実施形態で用いられるＭＥＭＳフィルタの様々な実施形態を示す。図８のＶｄｃは同調可能電圧入力であり、図９および１０のＶＰは、それらのＭＥＭＳフィルタのための同調可能電圧である。
【００２４】
図１１は、自由端（free-free ends）を有するビームを有するＭＥＭＳフィルタを示し、これに、機械回路の複雑性を追加することによって自由動作（free-free operation）が可能になり、基板に対するアンカー損失が低減される。適正な設計の支持ビームを用いれば、この構造においてアンカー損失を大幅に減衰させることが可能であり、９２ＭＨｚにおいてさえも約８０００のオーダーのＱを達成することが可能である。デバイスの寸法の尺度を変更するか、又はより高いモードの共振を用いることより、更に高い周波数を達成できるはずである。
【００２５】
図１２は、尺度の変更（スケーリング）に起因する性能の制限を抑制するための微小機械円板共振器を示す。この機械的円板共振器は、放射形状モード（たわみモードではない）の振動を用いて、１５６ＭＨｚというＶＨＦ半ばの周波数を９４００のＱで達成するが、なおも比較的大きい寸法を維持している。この共振器はポリシリコン円板を含み、このポリシリコン円板は、その中心にある軸部によって懸架されており、円板の周囲部から間隔をおいた金属電極で囲まれている。そのような、横方向の小さい電極と共振器の間のギャップは、横方向のサブミクロン・ギャップ・プロセス技術を用いて実現され、この技術は、アグレッシブなリソグラフィやエッチングの必要性なしに、表面精密機械加工技術および金属電気メッキ技術を犠牲側壁技術と組み合わせて、横方向のサブミクロンのギャップを実現する。
【００２６】
本発明の好ましい実施形態を図示し説明してきたが、上述のように、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく様々な変更を施すことが可能である。従って、本発明の範囲は、好ましい実施形態の開示に限定されない。本発明は、添付の特許請求の範囲を基準にして全体が決定されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、従来技術の無線機の構成要素を示す。
【図２】図２は、本発明の実施形態に従って形成される無線機の構成要素を示す。
【図３】図３および図４は、本発明の実施形態に従って形成される無線機の構成を示す。
【図４】図３および図４は、本発明の実施形態に従って形成される無線機の構成を示す。
【図５】図５は、図３および図４に示されたシステムで実行されるフィルタリングのスペクトルの例を示す。
【図６】図６は、図２で示されたシステムの２つのフィルタで実行されるフィルタリングを示す。
【図７】図７は、本発明の代替の実施形態を示す。
【図８】図８〜図１２は、本発明の何れかの実施形態においてフィルタとして用いられるＭＥＭＳフィルタの例の斜視図を示す。
【図９】図８〜図１２は、本発明の何れかの実施形態においてフィルタとして用いられるＭＥＭＳフィルタの例の斜視図を示す。
【図１０】図８〜図１２は、本発明の何れかの実施形態においてフィルタとして用いられるＭＥＭＳフィルタの例の斜視図を示す。
【図１１】図８〜図１２は、本発明の何れかの実施形態においてフィルタとして用いられるＭＥＭＳフィルタの例の斜視図を示す。
【図１２】図８〜図１２は、本発明の何れかの実施形態においてフィルタとして用いられるＭＥＭＳフィルタの例の斜視図を示す。
【図１】
2008512964.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2008512964.tif 000013
【図１２】
2008512964.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月18日(2007.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アンテナと、
前記アンテナと信号で通信するプレセレクト・フィルタと
を備え、前記プレセレクト・フィルタが、
第１の微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）・フィルタと、
前記第１のＭＥＭＳフィルタと信号で通信する第２のＭＥＭＳフィルタと
を備え、
前記第１のＭＥＭＳフィルタが、前記アンテナで受信された信号を、第１の帯域幅に基づいてフィルタリングし、前記第２のＭＥＭＳフィルタが、前記第１のＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号を、第２の帯域幅に基づいてフィルタリングする、
システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記第２のＭＥＭＳフィルタでフィルタリングされた信号をデジタル信号に変換するアナログ／デジタル（Ａ／Ｄ）変換器を更に備えるシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のシステムであって、前記Ａ／Ｄ変換器で生成されたデジタル信号をダウン・コンバートするダウン・コンバータを更に備えるシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のシステムであって、前記ダウン・コンバータで生成されたダウン・コンバート済みデジタル信号を処理するデジタル信号プロセッサを更に備えるシステム。
【国際調査報告】
2008512964.tif 000015
2008512964.tif 000016