(57)【要約】【課題】大型化しにくい構成を用いながら，周波数変換を可変とせずとも，周波数を適正に計測できる区間を広げうる技術を提供する。【解決手段】ヘテロダイン器２が，被計測周波数ｆｓに対し，和周波成分ｆｓ＋ｆｒを形成する上昇変換と，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜を形成する下降変換を施す。ｆｓが或る適正区間より高い場合，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜がバンドパスフィルタ３を通過し，ｆｓが適正区間より低い場合，和周波成分ｆｓ＋ｆｒがバンドパスフィルタ３を通過する。被計測信号ＳＡを計測器５に入力させてｆｓの計測を行い，ｆｓが適正区間を上側又は下側に外れたとき，計測器５への入力をバンドパスフィルタ３の通過信号ＳＢに切り替える。切り替えの際，ｆｓが適正区間を上下どちら側に外れたかによって，通過信号ＳＢが和周波成分ｆｓ＋ｆｒよりなるか，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜よりなるかを特定する。【選択図】図１
2015087398.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）或る適正区間と異なる第１〜第Ｎ（但し，Ｎ≧２とする。）の拡張区間を考えたとき，第ｉの周波数変換が，第ｉの拡張区間の周波数を，前記適正区間内の値に変換し，かつ第ｊ（但し，ｉとｊは，ｉ≠ｊなる１〜Ｎの任意の自然数とする。）の拡張区間の周波数は，前記適正区間外の値に変換するような既知の第１〜第Ｎの周波数変換を，被計測信号に施すことにより中間信号を形成すると共に，その形成した中間信号における前記適正区間の周波数成分の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測する手順と，
（ｂ）前記適正区間の周波数成分を形成した周波数変換として，前記第１〜第Ｎの周波数変換から特定した周波数変換であって，前記被計測信号の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測した結果を用いて特定した前記周波数変換の逆変換の演算と，前記手順（ａ）で得られた計測値とを用いて，前記被計測信号の周波数を算出する手順と
を含む周波数計測方法。
【請求項２】
前記中間信号における前記適正区間の周波数成分の計測と，前記被計測信号の計測とに，共通の計測器を用いる請求項１に記載の周波数計測方法。
【請求項３】
或る適正区間と異なる第１〜第Ｎ（但し，Ｎ≧２とする。）の拡張区間を考えたとき，第ｉの周波数変換が，第ｉの拡張区間の周波数を，前記適正区間内の値に変換し，かつ第ｊ（但し，ｉとｊは，ｉ≠ｊなる１〜Ｎの任意の自然数とする。）の拡張区間の周波数は，前記適正区間外の値に変換するような既知の第１〜第Ｎの周波数変換を，被計測信号に施すことにより中間信号を形成する周波数変換器と，
前記中間信号が入力され，前記適正区間の周波数を通過させ，前記周波数変換器で前記適正区間外の値に変換された周波数を遮断する濾波器と，
前記濾波器を通過した通過信号，又は前記周波数変換器に入力される前記被計測信号が入力され，自己に入力された信号の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測する計測器と，
前記計測器に対して前記通過信号及び前記被計測信号のいずれを入力させるかを，外部からの制御に従って選択するスイッチと，
前記スイッチの制御を行う演算制御手段であって，（Ａ）前記スイッチによって前記被計測信号を前記計測器に入力させた状態の，前記計測器の計測結果を用いて，前記被計測信号の周波数が，前記第１〜第Ｎの拡張区間のいずれに属するかを特定する機能，及び（Ｂ）前記スイッチによって前記通過信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測値が前記適正区間の周波数を表す場合に，前記第１〜第Ｎの周波数変換のうち，前記機能（Ａ）により特定した拡張区間の周波数を前記適正区間内の値に変換する周波数変換の逆変換の演算と，前記適正区間の周波数を表す前記計測値とを用いて，前記被計測信号の周波数を算出する機能をもつ演算制御手段と
を備えた周波数計測装置。
【請求項４】
前記演算制御手段が，さらに，（Ｃ）前記スイッチによって前記被計測信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測値が，前記適正区間の周波数を表す場合に，その計測値によって前記被計測信号の周波数を特定する機能，及び（Ｄ）前記スイッチによって前記被計測信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測結果が，前記被計測信号の周波数が前記適正区間から外れていることを表すか，又は前記計測器の計測値が表す周波数が，前記適正区間の範囲内で前記適正区間の端点に近づいた場合に，前記通過信号が前記計測器に入力されるよう前記スイッチを切り替える機能をもち，そのスイッチを切り替える際の前記計測器の計測結果を用いて，前記機能（Ａ）による前記拡張区間の特定を行う請求項３に記載の周波数計測装置。
【請求項５】
前記第１〜第Ｎの拡張区間のうち１つが，前記適正区間より低域側に，前記適正区間と隣接して配置された下側拡張区間であり，前記第１〜第Ｎの周波数変換のうち，前記下側拡張区間の周波数を前記適正区間内の値に変換する周波数変換が，前記適正区間内における低域側の端部に位置する下端部区間の周波数を，前記適正区間における前記下端部区間以外の区間の値に変換し，
前記演算制御手段が，前記機能（Ｄ）として，前記スイッチによって前記被計測信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測値が表す周波数が，前記下端部区間に属した場合に，前記通過信号が前記計測器に入力されるよう前記スイッチを切り替える機能をもつ請求項４に記載の周波数計測装置。
【請求項６】
前記第１〜第Ｎの拡張区間のうち１つが，前記適正区間より高域側に，前記適正区間と隣接して配置された上側拡張区間であり，前記第１〜第Ｎの周波数変換のうち，前記上側拡張区間の周波数を前記適正区間内の値に変換する周波数変換が，前記適正区間内における高域側の端部に位置する上端部区間の周波数を，前記適正区間における前記上端部区間以外の区間の値に変換し，
前記演算制御手段が，前記機能（Ｄ）として，前記スイッチによって前記被計測信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測値が表す周波数が，前記上端部区間に属した場合に，前記通過信号が前記計測器に入力されるよう前記スイッチを切り替える機能をもつ請求項４又は５に記載の周波数計測装置。
【請求項７】
コンピュータを，請求項３〜６のいずれかに記載の周波数計測装置における前記演算制御手段として機能させるプログラム。
【請求項８】
センシングの対象となる物理量の影響をうけて特性が変化するセンシング素子を，該特性が発振周波数を決定づける態様で含んで構成されることにより，前記物理量の値に応じた発振周波数をもつ発振信号を出力する発振回路と，
或る適正区間と異なる第１〜第Ｎ（但し，Ｎ≧２とする。）の拡張区間を考えたとき，第ｉの周波数変換が，第ｉの拡張区間の周波数を，前記適正区間内の値に変換し，かつ第ｊ（但し，ｉとｊは，ｉ≠ｊなる１〜Ｎの任意の自然数とする。）の拡張区間の周波数は，前記適正区間外の値に変換するような既知の第１〜第Ｎの周波数変換を，前記発振信号に施すことにより中間信号を形成する周波数変換器と，
前記中間信号が入力され，前記適正区間の周波数を通過させ，前記周波数変換器で前記適正区間外の値に変換された周波数を遮断する濾波器と，
前記濾波器を通過した通過信号，又は前記周波数変換器に入力される前記発振信号が入力され，自己に入力された信号の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測する計測器と，
前記計測器に対して前記通過信号及び前記発振信号のいずれを入力させるかを，外部からの制御に従って選択するスイッチと，
前記スイッチの制御を行う演算制御手段であって，（Ｉ）前記スイッチによって前記発振信号を前記計測器に入力させた状態の，前記計測器の計測結果を用いて，前記発振周波数が，前記第１〜第Ｎの拡張区間のいずれに属するかを特定する機能，及び（ＩＩ）前記スイッチによって前記通過信号を前記計測器に入力させた状態で，前記計測器の計測値が前記適正区間の周波数を表す場合に，前記第１〜第Ｎの周波数変換のうち，前記機能（Ｉ）により特定した拡張区間の周波数を前記適正区間内の値に変換する周波数変換の逆変換の演算と，前記適正区間の周波数を表す前記計測値とを用いて，前記物理量の値を算出する機能をもつ演算制御手段と
を備えた発振型センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，被計測信号に周波数変換を施す手順を含む周波数計測技術と，これを用いたセンシング技術とに関する。
【背景技術】
【０００２】
周波数を計測するための計測器として，例えば，レシプロカル方式の周波数カウンタ（以下，レシプロカルカウンタという。）が用いられている。
【０００３】
図１３（Ａ）に，レシプロカルカウンタの概念図を示す。レシプロカルカウンタは，被計測信号Ｓの周期ＴあたりのクロックパルスＣＬＫの数をカウントする。カウント値が周期Ｔの長さを表すので，その逆数を算出することで周波数を特定できる。
【０００４】
レシプロカルカウンタでは，周波数が高い程，カウント数が減るため分解能が低下し，周波数が低い程，１回の計測に要する時間が長期化する。このため，兼ね合いを考慮し，周波数の計測範囲を或る有限区間に限ることが望まれる場合がある。
【０００５】
ここでは，レシプロカルカウンタについて述べたが，一般に他の計測器においても同様，その計測器が所望の性能を発揮できる適正な計測を保証するために，或る有限区間（以下，適正区間という。）内での使用が推奨される場合がある。
【０００６】
特許文献１〜３に開示されるように，適正区間外の周波数を計測したければ，計測に先立って，被計測信号に既知の周波数変換を施せばよい。変換後の周波数が適正区間に属するような周波数変換を選ぶことで，適正区間での計測が可能となり，対応する逆変換の演算を計測値に施せば，周波数を算出できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2014-9979号公報
【特許文献２】特開2007-10593号公報
【特許文献３】特開2009-5259号公報
【特許文献４】特開S57-52837号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１〜３の技術では，適正区間より広い区間にわたって周波数の適正な計測を可能とするには，周波数変換を可変とする構成が必須である。
【０００９】
特許文献４は，計測対象の物理量が変動しうる区間を，複数の計測器で分担して受けもつ思想を開示する。この思想にならえば，周波数変換を可変とする必要はなくなるが，例えば，適正区間を両側に拡張したい場合，適正区間を受けもつ計測器，適正区間より低域の区間を受けもつ計測器，及び適正区間より高域の区間を受けもつ計測器の３つが必要となり，構成が大型化する。
【００１０】
本発明の目的は，大型化しにくい構成を用いながら，周波数変換を可変とせずとも，周波数を適正に計測できる区間を広げうる技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一観点によれば，（ａ）或る適正区間と異なる第１〜第Ｎ（但し，Ｎ≧２とする。）の拡張区間を考えたとき，第ｉの周波数変換が，第ｉの拡張区間の周波数を，前記適正区間内の値に変換し，かつ第ｊ（但し，ｉとｊは，ｉ≠ｊなる１〜Ｎの任意の自然数とする。）の拡張区間の周波数は，前記適正区間外の値に変換するような既知の第１〜第Ｎの周波数変換を，被計測信号に施すことにより中間信号を形成すると共に，その形成した中間信号における前記適正区間の周波数成分の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測する手順と，（ｂ）前記適正区間の周波数成分を形成した周波数変換として，前記第１〜第Ｎの周波数変換から特定した周波数変換であって，前記被計測信号の，既知の期間あたりの繰り返し数，又は周期若しくは周期に依存する時間幅を計測した結果を用いて特定した前記周波数変換の逆変換の演算と，前記手順（ａ）で得られた計測値とを用いて，前記被計測信号の周波数を算出する手順とを含む周波数計測方法が提供される。
【００１２】
本明細書において，或る区間と他の区間が異なるとは，それら区間の少なくともいずれか一方が，他方と重複しない区間をもつことをいう。但し，第１〜第Ｎの各拡張区間は，適正区間と重複をもたず，かつ拡張区間どうしも重複をもたない概念とする。
【発明の効果】
【００１３】
第１〜第Ｎの周波数変換のうち，被計測信号の周波数が属する拡張区間に対応した周波数変換の効果のみを計測に供するから，周波数変換を可変とせずとも，第ｋ（但し，ｋは１〜Ｎの任意の自然数とする。）の拡張区間に属する周波数を，第ｋの周波数変換によって適正区間内の値に変換したうえで，計測することができる。
【００１４】
こうして，周波数を適正に計測できる区間を，第１〜第Ｎの拡張区間の分だけ広げることができるにも関わらず，適正区間の周波数成分を形成した周波数変換の特定がなされるため，第１〜第Ｎの拡張区間の周波数の計測に，共通の計測器を用いることが可能となり，構成を大型化しにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例による周波数計測装置の概念図，
【図２】バンドパスフィルタの利得を示す概念図，
【図３】第１及び第２の周波数変換を表す関数のグラフ，
【図４】プロセッサの処理手順を示すフローチャート，
【図５】第１及び第２の周波数変換を表す関数のグラフ，
【図６】他の実施例による周波数計測装置の概念図，
【図７】第１及び第２の周波数変換を表す関数のグラフ，
【図８】第１及び第２の周波数変換を表す関数のグラフ，
【図９】第１〜第４の周波数変換を表す関数のグラフ，
【図１０】プロセッサの処理手順を示すフローチャート，
【図１１】プロセッサの処理手順を示すフローチャート，
【図１２】さらに他の実施例による周波数計測装置の概念図，
【図１３】計測器としての周波数カウンタの概念図，
【図１４】実施例による発振型圧力センサの概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１に，実施例による周波数計測装置の概念図を示す。
【００１７】
分配器１が，被計測周波数ｆｓをもつ被計測信号ＳＡを，ヘテロダイン器２とスイッチ４とに分配する。分配器１は，例えばノードで構成されうる。
【００１８】
ヘテロダイン器２は，局発信号源２１と，混合器２２とを含む。局発信号源２１が，既知の周波数ｆｒをもつ局発信号を発する。混合器２２が，その局発信号と被計測信号ＳＡとを掛け算することで，周波数ｆｓ＋ｆｒの和周波成分と，周波数｜ｆｓ−ｆｒ｜の差周波成分とをもつ中間信号を形成する。
【００１９】
バンドパスフィルタ（以下，ＢＰＦと記す。）３に，その中間信号が入力される。ＢＰＦ３は，固定された通過バンドをもつが，ｆｓの値に応じて，和周波成分ｆｓ＋ｆｒを通過させる場合もあり，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜を通過させる場合もある。
【００２０】
スイッチ４は，ＢＰＦ３を通過した通過信号ＳＢ，及び被計測信号ＳＡのいずれを計測器５に入力させるかを，プロセッサ６からの制御に従って選択する。
【００２１】
計測器５は，レシプロカルカウンタで構成され，自己に入力された信号の周期を，その周期あたりのクロックパルス数のカウントにより計測する。そのカウント値が，計測器５の計測値である。
【００２２】
プロセッサ６が，スイッチ４の制御と，計測器５の計測値の逆数を求めること等により被計測周波数ｆｓを特定する処理とを行う。
【００２３】
図２に，ＢＰＦ３の利得の周波数依存性を模式的に示す。
【００２４】
図２（Ａ）に示すように，ＢＰＦ３の下側カットオフ周波数をｆＬ，上側カットオフ周波数をｆＨとする。ｆＬ以上ｆＨ以下の通過バンドＰの幅ｆＨ−ｆＬが，局発信号の周波数ｆｒと等しい。従って，ｆｓが区間Ｐに属するとき，和周波成分ｆｓ＋ｆｒと，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜の双方が，ＢＰＦ３で遮断されうる。
【００２５】
一方，通過バンドＰは，計測器５にとって適正な計測を行える適正区間Ｍと等しい。このため，ｆｓが区間Ｐ（＝Ｍ）に属するとき，スイッチ４によって被計測信号ＳＡが計測器５に入力されていれば，ｆｓの適正な計測を行える。
【００２６】
図２（Ｂ）に示すように，ｆｓが，適正区間Ｍの上限値ｆＨより高くても，ｆＨ＋ｆｒ以下であれば，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜がＢＰＦ３を通過する。適正区間Ｍの上側に隣接するこの区間Ｈ（ｆＨ＜ｆｓ≦ｆＨ＋ｆｒ）を上側拡張区間と呼ぶことにする。
【００２７】
上側拡張区間Ｈにｆｓが属するとき，ｆｓそれ自体は高すぎるため計測器５で適正に計測できないが，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜であれば適正に計測できる。そのためには，計測器５に通過信号ＳＢが入力されていればよい。
【００２８】
図２（Ｃ）に示すように，ｆｓが，適正区間Ｍの下限値ｆＬより低くても，ｆＬ−ｆｒ以上であれば，和周波成分ｆｓ＋ｆｒがＢＰＦ３を通過する。適正区間Ｍの下側に隣接するこの区間Ｌ（ｆＬ−ｆｒ≦ｆｓ＜ｆＬ）を下側拡張区間と呼ぶことにする。
【００２９】
下側拡張区間Ｌにｆｓが属するとき，ｆｓそれ自体は低すぎるため計測器５で適正に計測できないが，和周波成分ｆｓ＋ｆｒであれば適正に計測できる。そのためには，計測器５に通過信号ＳＢが入力されていればよい。
【００３０】
図３は，ｙ＝ｆｓ＋ｆｒ及びｙ＝｜ｆｓ−ｆｒ｜のグラフ，即ち和周波成分及び差周波成分の，被計測周波数ｆｓに対する依存性，並びにｙ＝ｆｓのグラフを示す。
【００３１】
以下，被計測周波数ｆｓの，和周波成分ｆｓ＋ｆｒへの変換を上昇変換といい，差周波成分｜ｆｓ−ｆｒ｜への変換を下降変換という。ｙ軸が変換後の周波数を示す。
【００３２】
被計測周波数ｆｓは，下側拡張区間Ｌに属するとき，上昇変換によって通過バンドＰ内の値に変換され，上側拡張区間Ｈに属するとき，下降変換によって通過バンドＰＭ内の値に変換される。
【００３３】
なお，被計測周波数ｆｓは，下側拡張区間Ｌに属するとき，下降変換も同時にうけるが，その下降変換後の周波数は，通過バンドＰを外れ，ＢＰＦ３で遮断される。また，被計測周波数ｆｓは，上側拡張区間Ｈに属するとき，上昇変換も同時にうけるが，その上昇変換後の周波数は，通過バンドＰを外れ，ＢＰＦ３で遮断される。
【００３４】
こうして，上昇変換と下降変換のうち，ｆｓが属する拡張区間に対応した周波数変換の効果のみがＢＰＦ３で選ばれる。通過信号ＳＢが単一周波数成分のみをもつから，計測器５でその周波数を適切に計測できる。その計測値が表す周波数をｆＢとする。
【００３５】
但し，知りたいのはｆｓの値である。ｆＢからｆｓを知るために，ｆＢに対し，上昇変換と下降変換のいずれの変換の逆変換を施せばよいかを特定することが必要である。そのためには，ｆｓが下側拡張区間Ｌと上側拡張区間Ｈのいずれに属するかを特定すればよい。ｆｓが属する拡張区間を特定することは，逆変換を特定することと等価である。
【００３６】
拡張区間の特定は，被計測信号ＳＡの測定によって行う。拡張区間の周波数は適正に計測できないが，ｆｓが区間ＬとＨのいずれに属するかさえ特定できれば充分である。ｆｓが区間Ｌに属するならば，その値はｆＢに上昇変換の逆変換を施したｆＡ１であり，区間Ｈに属するならば，その値はｆＢに下降変換の逆変換を施したｆＡ２である。
【００３７】
図４に，プロセッサ６が行う処理のフローチャートを示す。
【００３８】
まず，プロセッサ６は，被計測信号ＳＡが計測器５に入力されるようスイッチ４を制御し（Ｓ１），計測器５の計測値が，適正区間Ｍの周波数を表すか判定する（Ｓ２）。
【００３９】
計測値が適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ２：適正），プロセッサ６は，その周波数をもってｆｓを特定し（Ｓ３），特定したｆｓの値を外部出力する等して，Ｓ２に戻る。
【００４０】
一方，計測値が適正区間Ｍの上端点ｆＨを超える周波数を表す場合（Ｓ２：オーバー），プロセッサ６は，通過信号ＳＢが計測器５に入力されるようスイッチ４を制御し（Ｓ４），計測値が適正区間Ｍの周波数を表すか判定する（Ｓ５）。
【００４１】
計測値が適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ５：適正），プロセッサ６は，その周波数に下降変換の逆変換（以下，逆下降変換という。），即ちｆｒを加算する演算を施した値でｆｓを特定し（Ｓ６），特定したｆｓの値を外部出力する等して，Ｓ５に戻る。
【００４２】
ここで逆下降変換を行うのは，Ｓ２の測定結果を用いたことによる。即ち，Ｓ４でスイッチ制御した際に，Ｓ２で“オーバー”の結果を得ていたので，Ｓ５で“適正”の測定結果を得たことで，ｆｓが上側拡張区間Ｈに属することが確定的となり，上側拡張区間Ｈに属するｆｓが下降変換をうけて計測器５で適正に計測されたと分かるからである。
【００４３】
Ｓ５で，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの下端点ｆＬに達したとき（Ｓ５：アンダー），プロセッサ６は，再び被計測信号ＳＡを計測器５に入力させるべく，スタートに戻る。この場合，ｆｓが上側拡張区間Ｈから適正区間Ｍに戻る可能性がある。
【００４４】
Ｓ５で，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの上端点ｆＨに達したとき（Ｓ５：オーバー），プロセッサ６は，エラーを出力し（Ｓ７），スタートに戻る。この場合，ｆｓが上側拡張区間Ｈさえ超える可能性がある。
【００４５】
他方，Ｓ２で，計測値が適正区間Ｍの下端点ｆＬを下回る周波数を表す場合も（Ｓ２：アンダー），プロセッサ６は，通過信号ＳＢを計測器５に入力させ（Ｓ８），計測値が適正区間Ｍの周波数を表すか判定する（Ｓ９）。
【００４６】
計測値が適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ９：適正），プロセッサ６は，その周波数に上昇変換の逆変換（以下，逆上昇変換という。），即ちｆｒを減じる演算を施した値でｆｓを特定し（Ｓ１０），特定したｆｓの値を外部出力する等して，Ｓ９に戻る。
【００４７】
ここで逆上昇変換を行うのは，Ｓ２の測定結果を用いたことによる。即ち，Ｓ８でスイッチ制御した際に，Ｓ２で“アンダー”の結果を得ていたので，Ｓ９で“適正”の測定結果を得たことで，ｆｓが下側拡張区間Ｌに属することが確定的となり，下側拡張区間Ｌに属するｆｓが上昇変換をうけて計測器５で計測されたと分かるからである。
【００４８】
Ｓ９で，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの上端点ｆＨに達したとき（Ｓ９：オーバー），プロセッサ６は，再び被計測信号ＳＡを計測器５に入力させるべく，スタートに戻る。この場合，ｆｓが下側拡張区間Ｌから適正区間Ｍに戻る可能性がある。
【００４９】
Ｓ９で，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの下端点ｆＬに達したとき（Ｓ９：アンダー），プロセッサ６は，エラーを出力し（Ｓ１１），スタートに戻る。この場合，ｆｓが下側拡張区間Ｌにも満たなくなる可能性がある。
【００５０】
以上の例によれば，通過信号ＳＢを計測に供する場合，その信号ＳＢを形成したのが上昇変換なのか下降変換なのかを特定するため，拡張区間ＬとＨの周波数の計測に，共通の計測器５を使用できる。さらに，スイッチ４を用い，被計測信号ＳＡを計測に供する状態と，通過信号ＳＢを計測に供する状態とを切り替えるので，被計測信号ＳＡの計測にも，共通の計測器５を使用でき，この結果，計測器５が１つで足りる。
【００５１】
以下，図４のＳ２の判定の変形例について述べる。
【００５２】
計測器５は，自己に入力された信号の周波数が，適正区間Ｍから外れているとき，具体的な計測値を示さなくても，その周波数が，適正区間Ｍを上下どちら側に外れているかを特定できる情報量をもつ計測結果を示せばよい。
【００５３】
例えば，計測器５は，周波数が適正区間Ｍを上側に外れたこと示す信号，又は下側に外れたこと示す信号を出力してもよい。プロセッサ６は，その信号によってＳ２の“オーバー”か“アンダー”かの判断を行える。かかる信号としては，例えば，計測器５を構成するカウンタのボロー信号やオーバーフロー信号等が挙げられる。
【００５４】
次に，図５を参照し，上昇変換と下降変換の変形例について述べる。
【００５５】
図５で，適正区間Ｍの低域側の端部に位置する区間ＭＬを，下端部区間と呼び，適正区間Ｍの高域側の端部に位置する区間ＭＨを，上端部区間と呼ぶことにする。
【００５６】
本例では，上昇変換が，下端部区間ＭＬの周波数を上端部区間ＭＨの値に変換する役割をさらに果たし，下降変換が，上端部区間ＭＨの周波数を下端部区間ＭＬの値に変換する役割をさらに果たす。これは，例えば，ｆＨ−ｆＬ＞ｆｒとすることで実現できる。
【００５７】
本例では，図４のフローを，次のように読み替えて適用する。
【００５８】
Ｓ２では，計測値が表す周波数が，上端部区間ＭＨに属したとき，即ち上端部区間ＭＨの低域側の端点以上のとき“オーバー”と判断し，下端部区間ＭＬに属したとき，即ち下端部区間ＭＬの高域側の端点以下のとき“アンダー”と判断し，適正区間Ｍの区間ＭＬ及びＭＨを除く中央区間ＭＭに属するとき“適正”と判断する。
【００５９】
これにより，ｆｓが適正区間Ｍから拡張区間Ｌ又はＨへ連続的に移行する場合に，ｆｓが適正区間Ｍから外れて事後的にスイッチ４の切り替えを行うのではなく，ｆｓが適正区間Ｍから外れる前にスイッチ４の切り替えを行えるから，適正区間Ｍと拡張区間Ｌ及びＨとの境で，適正な計測が途切れてしまうことを防止できる。
【００６０】
また，計測器５にレシプロカルカウンタを用いたので，上端部区間ＭＨに属する周波数を下降変換して計測することで，区間ＭＨでの計測値の分解能を高めることができ，下端部区間ＭＬに属する周波数を上昇変換して計測することで，区間ＭＬに属する周波数の１回の計測に要する時間を短縮することができる。
【００６１】
Ｓ５では，計測値が表す周波数が，下端部区間ＭＬの高域側の端点を下回るとき“アンダー”と判断し，Ｓ９では，計測値が表す周波数が，上端部区間ＭＨの低域側の端点を上回るとき“オーバー”と判断する。これにより，ｆｓが拡張区間から適正区間に戻る際も，拡張区間と適正区間との境で適正な計測が途切れることを防止できる。
【００６２】
以上，１つの変形例を述べたが，より一般的には，Ｓ２では，計測器５の計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの範囲内で，上端点ｆＨに近づいたとき“オーバー”と判断し，下端点ｆＬに近づいたとき“アンダー”と判断することができる。
【００６３】
ここで“端点に近づく”とは，例えば，図４のＳ２→Ｓ３→Ｓ２のループ処理が示すような，繰り返しなされる計測で，計測値が表す周波数が，前回の計測値が表す周波数よりも，端点に近いことを指し，その周波数が端点に達することも含む意味とする。
【００６４】
周波数が端点に近づいたか否かは，上記例のように，計測値が表す周波数が，或る境界点から端点までの端部区間に属したか否かで判断できる他，例えば，計測値が表す周波数それ自体にはよらず，その周波数の，前回の計測値が表す周波数からの変化量が，或る基準値を超えたか否かによっても判断できる。
【００６５】
即ち，計測値が表す周波数が端点に向かって大きく変化した場合は，次回の計測値が表す周波数が適正区間を超える可能性が高い。そこで，予めスイッチ４の切り替え制御を行うことで，適正な計測が途切れてしまうことを防止できる。
【００６６】
同様に，Ｓ５では，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの下端点ｆＬに近づいたとき“アンダー”と判断し，Ｓ９では，計測値が表す周波数が，適正区間Ｍの上端点ｆＨに近づいたとき“オーバー”と判断することができる。
【００６７】
以下，図４のＳ５及びＳ９の判定の他の変形例について述べる。
【００６８】
Ｓ５及びＳ９では，通過信号ＳＢの振幅がゼロになったときも“オーバー”又は“アンダー”の判定を下せる。これは，ｆｓが適正区間Ｍに戻ったとき，通過信号ＳＢがゼロになり（図２（Ａ）参照），和周波成分が適正区間を下回ったとき，及び差周波成分が適正区間を上回ったときも，通過信号ＳＢがゼロになるからである。
【００６９】
例えば，Ｓ５では，差周波成分がｆＬに近づきつつ，通過信号ＳＢがゼロになったときも“アンダー”と判断し，Ｓ９では，和周波成分がｆＨに近づきつつ，通過信号ＳＢがゼロになったときも“オーバー”と判断することができる。通過信号ＳＢがゼロになったことは，例えば，計測器５の計測結果を通じて，プロセッサ６で検知できる。
【００７０】
このように，ｆｓが適正区間に隣る拡張区間に属する状態では，ｆｓが，その拡張区間の適正区間側の端点に近づいた場合のみならず，その端点を適正区間側に外れた場合にも，被計測信号ＳＡが計測器５に入力されるようスイッチ４を制御することができる。
【００７１】
同様に，Ｓ５では，差周波成分がｆＨに近づきつつ，通過信号ＳＢがゼロになったときも“オーバー”と判定し，Ｓ９では，和周波成分がｆＬに近づきつつ，通過信号ＳＢがゼロになったときも“アンダー”と判定することができる。
【００７２】
次に，図６及び図７を参照し，他の実施例について述べる。
【００７３】
図６は，周波数変換を分周と逓倍で実現する例を示す。分周逓倍器７に，被計測信号ＳＡが分配される。分周逓倍器７は，分配器７１，逓倍器７２，分周器７３，及び加算器７４を含む。分配器７１が，被計測信号ＳＡを逓倍器７２と分周器７３に分配する。分配器７１は，例えばノードで構成されうる。
【００７４】
逓倍器７２はｆｓをｎ倍し，分周器７３はｆｓを１／ｍ倍する。加算器７４が，それら逓倍された信号と分周された信号とを加算することで，周波数ｎ・ｆｓの逓倍波成分と，周波数ｆｓ／ｍの分周波成分とをもつ中間信号を形成する。ここでｎとｍは２以上の自然数であり，本例では，ｎ＝ｍ＝２とする。
【００７５】
図７に，ｙ＝２・ｆｓ及びｙ＝ｆｓ／２のグラフ，即ち逓倍波成分と分周波成分の被計測周波数ｆｓに対する依存性，並びにｙ＝ｆｓのグラフを示す。
【００７６】
以下，被計測周波数ｆｓの，逓倍波成分２・ｆｓへの変換を逓倍変換，分周波成分ｆｓ／２への変換を分周変換という。ｙ軸が変換後の周波数を示す。
【００７７】
逓倍変換は，下側拡張区間Ｌの周波数を適正区間Ｍ内の値に変換し，上側拡張区間Ｈの周波数は適正区間Ｍ外の値に変換する。分周変換は，上側拡張区間Ｈの周波数を適正区間Ｍ内の値に変換し，下側拡張区間Ｌの周波数は適正区間Ｍ外の値に変換する。
【００７８】
本例では，下側拡張区間Ｌの幅は，（ｆＨ−ｆＬ）／ｎであり，上側拡張区間Ｈの幅は，ｍ・（ｆＨ−ｆＬ）である。
【００７９】
本例でも，図４のフローを，図４中，“逆上昇変換”を，逓倍変換の逆変換，即ち１／ｎ倍する演算に読み替え，“逆下降変換”を，分周変換の逆変換，即ちｍ倍する演算に読み替えて適用することができる。
【００８０】
次に，図８を参照し，拡張区間の配置位置の変形例について述べる。
【００８１】
以下では，任意の第１及び第２の拡張区間Ｌ及びＨを考えたとき，第１の拡張区間Ｌの周波数を適正区間Ｍ内の値に変換する周波数変換を，第１の周波数変換と呼び，第２の拡張区間Ｈの周波数を適正区間Ｍ内の値に変換する周波数変換を，第２の周波数変換と呼ぶことにする。
【００８２】
ｆｓが属する拡張区間に対応した周波数変換の効果のみを計測に供するために，第１の周波数変換は，第２の拡張区間Ｈの周波数を適正区間Ｍ外の値に変換し，第２の周波数変換は，第１の拡張区間Ｌの周波数を適正区間Ｍ外の値に変換することが必要である。
【００８３】
これまで，第１の周波数変換として，周波数を高める変換，即ち上昇変換又は逓倍変換を用い，第２の周波数変換として，周波数を低下させる変換，即ち下降変換又は分周変換を用いた。これにより，第１の拡張区間Ｌを適正区間Ｍより低域に配置し，第２の拡張区間Ｈを適正区間Ｍより高域に配置した。
【００８４】
図８（Ａ）に示すように，第１及び第２の周波数変換の双方を，周波数を高める変換とすることで（図中，α，βは２以上の自然数とする），拡張区間ＬとＨの双方を，適正区間Ｍより低域に配置することもできる。
【００８５】
図８（Ｂ）に示すように，第１及び第２の周波数変換の双方を，周波数を低下させる変換とすることで（図中，γ，δは２以上の自然数とする），拡張区間ＬとＨの双方を，適正区間Ｍより高域に配置することもできる。
【００８６】
次に，図９を参照し，拡張区間の配置数の変形例について述べる。
【００８７】
図９に，一点鎖線で示すように，第３の周波数変換ｙ＝ξ・ｆｓを追加することで，第３の拡張区間Ｌ２が追加され，第４の周波数変換ｙ＝（１／η）・ｆｓを追加することで，第４の拡張区間Ｈ２が追加される（図中，ξ，ηは２以上の自然数とする）。
【００８８】
これは，図６の加算器７４の後段に，ξ逓倍された周波数ξ・ｆｓの信号を加算する加算器と，η分周された周波数（１／η）・ｆｓの信号を加算する加算器とを追加することで実現できる。こうして，加算を繰り返し用いることで，所望数の拡張区間を構成しうることが当業者に理解できるであろう。
【００８９】
図１０は，図９の構成を用いたフローチャートの一例である。
【００９０】
以下，図１０を参照し，ｆｓが適正区間Ｍ内の初期値から連続的に変動しうる場合に適用できる処理を述べる。図１０では，計測器５による計測の繰り返しが，ｆｓの変動に対して充分に速いことを前提とする。
【００９１】
まず，プロセッサ６は，被計測信号ＳＡを計測器５に入力させ（Ｓ２１），計測値が適正区間Ｍの周波数を表すか判定する（Ｓ２２）。計測値が，適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ２２：適正），その周波数をもってｆｓを特定し（Ｓ２３），Ｓ２２に戻る。
【００９２】
一方，計測器５の計測結果が，ｆｓが適正区間Ｍを下側に外れたことを表す場合（Ｓ２２：アンダー），プロセッサ６は，通過信号ＳＢを計測器５に入力させ（Ｓ２４），計測値が適正区間Ｍの周波数を表すか判定する（Ｓ２５）。
【００９３】
計測値が適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ２５：適正），プロセッサ６は，ｆｓが拡張区間Ｌ１とＬ２のいずれに属するか特定し（Ｓ２７），区間Ｌ１に属するとき（Ｓ２７：Ｌ１），計測値が表す周波数にｎ逓倍変換の逆変換を施した値でｆｓを特定し（Ｓ２８），区間Ｌ２に属するとき（Ｓ２７：Ｌ２），ξ逓倍変換の逆変換を施した値でｆｓを特定し（Ｓ２９），Ｓ２５に戻る。
【００９４】
Ｓ２５で，計測器５の計測結果が，ｆｓが区間Ｌ１の上限値を超えるか，又はその上限値に近づいたことを表す場合（Ｓ２５：オーバー），プロセッサ６は，スタートに戻る。この場合，ｆｓが区間Ｌ１から適正区間Ｍに戻る可能性がある。
【００９５】
Ｓ２５で，計測器５の計測結果が，ｆｓが区間Ｌ２の下限値を下回るか，又はその下限値に近づいたことを表す場合（Ｓ２５：アンダー），プロセッサ６は，エラーを出力し（Ｓ２６），スタートに戻る。この場合，ｆｓが区間Ｌ２さえ下回る可能性がある。
【００９６】
他方，Ｓ２２で，計測器５の計測結果が，ｆｓが適正区間Ｍを上側に外れたことを表す場合も（Ｓ２２：オーバー），Ｓ２４〜２９と同様の処理を行う（Ｓ３０〜３５）。
【００９７】
以下，Ｓ２７の判定を具体例に挙げて，拡張区間を特定する手法を述べる。
【００９８】
Ｓ２５→Ｓ２７→Ｓ２８又はＳ２９のループ処理の１巡目のとき，即ち最初にＳ２５で“適正”と判定したとき，Ｓ２７では“Ｌ１”と判定する。これは，ｆｓが適正区間Ｍ内の初期値から連続的に変動するから，Ｓ２４でスイッチ制御した際のＳ２２の測定結果“アンダー”を用いると，Ｓ２５の測定結果が“適正”であることによって，ｆｓの属する拡張区間がＬ１と特定されるからである。
【００９９】
上記ループ処理の２巡目以降では，計測器５の計測値の変化によって，ｆｓの属する拡張区間を特定する。この点について，図９に戻って説明する。
【０１００】
図９に示すように，ｆｓが区間Ｌ１からＬ２に移行する際，Ｌ１とＬ２の境で，計測値が表す周波数が，ｆＬ近傍の値からｆＨ近傍の値に不連続に変化する。この不連続な変化で区間Ｌ２への移行を検知できる。同様に，ｆｓが区間Ｌ２からＬ１に戻る際，Ｌ２とＬ２の境で，計測値が表す周波数が，ｆＨ近傍の値からｆＬ近傍の値に不連続に変化するから，区間Ｌ１への戻りを検知できる。
【０１０１】
こうして，最初の基準となる区間がＬ１であること，即ちＳ２２の測定結果が“アンダー”であることを用い，そこからの相対変位によって現在のｆｓが属する拡張区間を特定できる。そのうえで，Ｓ２５で“オーバー”か“アンダー”かの判定がなされ，Ｓ３１及びＳ３３も，同様にして行えることが当業者に理解できるであろう。
【０１０２】
図１１は，図９の構成を用いたフローチャートの他の例を示す。
【０１０３】
まず，プロセッサ６は，被計測信号ＳＡを計測器５に入力させ（Ｓ５１），計測値が，いずれの区間の周波数を表すか判定する（Ｓ５２）。
【０１０４】
計測値が適正区間Ｍの周波数を表すとき（Ｓ５２：適正），その周波数をもってｆｓを特定し（Ｓ５３），Ｓ５２に戻る。計測値が表す周波数が，適正区間Ｍにも拡張区間Ｌ１，Ｌ２，Ｈ１，及びＨ２のいずれにも属さないとき（Ｓ５２：拡張区間外），エラーを出力し（Ｓ５４），Ｓ５２に戻る。
【０１０５】
一方，計測値が表す周波数が，拡張区間Ｌ１，Ｌ２，Ｈ１，及びＨ２のいずれかに属するとき（Ｓ５２：拡張区間），プロセッサ６は，通過信号ＳＢを計測器５に入力させる（Ｓ５５）。このとき，プロセッサ６は，ｆｓが拡張区間Ｌ１，Ｌ２，Ｈ１，及びＨ２のいずれに属するかを特定している。
【０１０６】
次に，プロセッサ６は，計測値が適正区間Ｍの周波数を表すか判定し（Ｓ５６），適正区間Ｍの周波数を表す場合（Ｓ５６：適正），その周波数に，Ｓ５２で特定した拡張区間に対応する逆変換の演算を施し，ｆｓを算出する（Ｓ５７）。
【０１０７】
次に，プロセッサ６は，Ｓ５５でスイッチ制御を行った時から一定時間が経過した否か判定し（Ｓ５８），経過していれば（Ｓ５８：ＹＥＳ），スタートに戻り，まだ経過していなければ（Ｓ５８：ＮＯ），Ｓ５６に戻る。Ｓ５６で，計測器５の計測結果が，周波数が適正区間Ｍ外であることを表す場合も（Ｓ５６：適正区間外），スタートに戻る。
【０１０８】
以上のフローによれば，一定時間ごとにｆｓの属する区間を確認するから，通過信号ＳＢを計測に供している状態で，ｆｓが拡張区間から適正区間Ｍに戻ったか否かの判断を積極的に行う必要がない。
【０１０９】
ところで，Ｓ５２では，拡張区間の周波数も被計測信号ＳＡを通じて測定する。拡張区間Ｌ１又はＬ２の周波数は低いため，計測に長い時間を要する。しかし，Ｓ５２の判定は，一定時間ごとにしかなされないから，計測器５による計測の繰り返しの時間分解能が著しく損なわれる訳ではない。
【０１１０】
また，拡張区間Ｈ１又はＨ２の周波数は高いため，高い確度での計測は行えない。しかし，ｆｓがＨ１とＨ２のいずれに属するか特定できれば充分である。その特定のため，Ｓ５２では，必要に応じてクロックＣＬＫの周波数を高めてもよい。
【０１１１】
図１２は，他の実施例による周波数計測装置の概念図である。周波数変換器８は，図１のヘテロダイン器２，又は図６の分周逓倍器７で構成される。
【０１１２】
事前変換器９が，入力信号Ｓ０に，可変な既知の周波数変換（以下，事前変換という。）を施す。事前変換には，ヘテロダイン法，分周，逓倍等が用いられる。事前変換が施された信号が，被計測信号ＳＡとなる。
【０１１３】
プロセッサ６が，図４等のフローで特定したｆｓの値に，事前変換の逆変換の演算を施すことで，入力信号Ｓ０の周波数を算出し，またその算出した周波数に基づいて，事前変換を制御する。
【０１１４】
例えば，ｆｓが適正区間Ｍの中央値に追随するよう事前変換を制御することで，スイッチ４の切り替えの頻度を減らせる。また，周波数を適正に計測できる区間のさらなる拡大が図られる。
【０１１５】
入力信号Ｓ０の周波数が急に変動した場合でも，スイッチ４の切り替えは，事前変換器９の制御より迅速に行える。ｆｓが急に適正区間から外れても，拡張区間Ｌ又はＨに属していれば，スイッチ４の切り替えにより，これを適正にリアルタイムに計測できる。
【０１１６】
以上，周波数計測装置の実施例を述べた。例えば，次のような変形も可能である。
【０１１７】
上記各例では，（ア）被計測信号ＳＡの計測→（イ）通過信号ＳＢの計測→（ウ）逆変換の特定→（エ）ｆｓの算出，の順の処理（図４及び図１０），又は（ア）→（ウ）→（イ）→（エ）の順の処理（図１１）を行ったが，例えば，（イ）→（ア）→（ウ）→（エ）の順の処理を行ってもよい。即ち，通過信号ＳＢを測定に供して適正区間の計測値を得た直後に，被計測信号ＳＡの計測に切り替えて，計測値に施すべき逆変換の特定を行ってもよい。
【０１１８】
上記各例では，スイッチ４を用いたが，これを省略し，被計測信号ＳＡを計測する第１の計測器と，通過信号ＳＢを計測する第２の計測器とを備えてもよい。その場合も，各拡張区間の計測に，その第２の計測器を共通に使用でき，構成の大型化は抑えうる。
【０１１９】
上記各例では，適正区間と拡張区間，及び相隣る拡張区間どうしが隣接していたが，それらの間に隙間があってもよい。本明細書で，“隣接する”とは，２つの区間が両者の境に共通の端点をもつことをいう。それら区間は重複をもたないから，その端点は一方の区間にのみ含まれる。“隣る”とは，間に隙間が存することを許容する意味とする。
【０１２０】
上記各例では，適正区間がＢＰＦ３の通過バンドと一致していたが，そうである必要はない。例えば，適正区間は，ＢＰＦ３の通過バンドに内包されていてもよいし，ＢＰＦ３の下側ゼロクロス周波数から上側ゼロクロス周波数までに内包されていてもよい。
【０１２１】
上記各例では，周波数変換器を常時作動させたが，周波数変換器を休止させたまま，被計測信号ＳＡを計測に供し，ｆｓが適正区間の端点に近づいたときだけ，周波数変換器を起動させて，スイッチ４の切り替えに備える制御をプロセッサが行ってもよい。
【０１２２】
上記各例では，計測器５を構成するレシプロカルカウンタが，被計測信号の周期を計測したが，周期の整数倍や半周期等，周期に依存する時間幅を計測してもよい。
【０１２３】
図１３（Ｂ）は，計測器５の他の例としての，ダイレクト方式の周波数カウンタ（以下，ダイレクトカウンタという。）を示す。ダイレクトカウンタは，既知のゲート期間Ｇ，例えば１秒あたりの，被計測信号Ｓの繰り返し数をカウントする。そのカウント値によって被計測信号Ｓの周波数を特定できる。
【０１２４】
ダイレクトカウンタでは，例えば，被計測周波数が低すぎると，カウント数が少ないため充分な分解能が得られず，被計測周波数が高すぎると，カウント値が飽和したりして充分な確度が得られないといった理由で，適正区間が決まる。
【０１２５】
図１３（Ａ）及び（Ｂ）には，矩形波の被計測信号Ｓを示したが，図１，図６，及び図１２の被計測信号ＳＡ，並びに図１２の入力信号Ｓ０は，正弦波であっても，矩形波等の非正弦波であってもよい。計測器５は，自己に与えられる信号を矩形波に整形するシュミットトリガ等の整形器を必要に応じて含む。計測器５は，アナログ式のものでもよい。
【０１２６】
図１４は，実施例による発振型圧力センサの概念図である。
【０１２７】
以下，便宜上，ＣｓとＲｉ（但し，ｉ＝１〜３）の記号を，図面参照符号の意味だけでなく，それぞれキャパシタンスを表す変数，抵抗値を表す変数の意味でも用いる。
【０１２８】
発振回路１０は，オペアンプと，オペアンプの非反転入力端子とグランドとの間に置かれた抵抗Ｒ１と，オペアンプの出力端子から非反転入力端子に至る帰還路に置かれた抵抗Ｒ２と，オペアンプの出力端子から反転入力端子に至る帰還路に置かれた抵抗Ｒ３と，その反転入力端子とグランドとの間に置かれたキャパシタＣｓとを備えた無安定マルチバイブレータよりなり，発振周波数が，１／｛２・Ｒ３・Ｃｓ・ｌｏｇ（（Ｒ１＋Ｒ２）／Ｒ１）｝で表される発振信号を出力する。
【０１２９】
キャパシタＣｓは，圧力をうけると，その極板間距離が変化し，キャパシタンスＣｓが変化する構造をもつ。上式の如く，キャパシタンスＣｓは発振周波数を決定づけるため，発振回路１０は，圧力の値に応じた発振周波数をもつ発振信号を出力する。
【０１３０】
周波数計測装置１１に，発振信号が入力される。周波数計測装置１１は，図１，図６，又は図１２の装置で構成され，上記プロセッサは，図４等のフローで特定した発振周波数から圧力の値を求め，その圧力を表示出力する。圧力を求めるには，発振周波数を圧力と対応付ける関係式や対応表を記憶するメモリをさらに備えればよい。
【０１３１】
本例では，センシング素子にキャパシタを用いたが，熱の影響をうけて抵抗値が変化する抵抗，コアが変位をうけてインダクタンスが変化するインダクタ，湿度やガス濃度の影響をうけて共振周波数が変化する水晶振動子等を用いることもできる。また，発振回路は，マルチバイブレータ等の弛張発振回路の他，各種の調和発振回路でも構成できる。
【０１３２】
以上，実施例に沿って本発明を説明したが，本発明はこれらに限られない。種々の変更，改良，及び組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明の周波数計測装置は，発信型センサにおける物理量の計測に限らず，例えば，通信における送受信周波数の計測，電力供給における周波数の監視，集積回路の試験，電子機器の検査といった周波数を計測するあらゆる用途に利用することができる。
【符号の説明】
【０１３４】
１…分配器，
２…ヘテロダイン器（周波数変換器），
２１…局発信号源，
２２…混合器，
３…バンドパスフィルタ（濾波器），
４…スイッチ，
５…計測器，
６…プロセッサ（演算制御手段），
７…分周逓倍器（周波数変換器），
７１…分配器，
７２…逓倍器，
７３…分周器，
７４…加算器，
８…周波数変換器，
９…事前変換器，
１０…無安定マルチバイブレータ（発振回路），
１１…周波数計測装置，
ＳＡ…被計測信号，
ＳＢ…通過信号，
Ｐ…通過バンド，
Ｍ…適正区間，
ＭＬ…下端部区間，
ＭＨ…上端部区間，
Ｌ，Ｌ１…下側拡張区間（第１の拡張区間），
Ｈ，Ｈ１…上側拡張区間（第２の拡張区間），
Ｌ２…第３の拡張区間，
Ｈ２…第４の拡張区間，
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３…抵抗，
Ｃｓ…キャパシタ（センシング素子）。
【図１】
2015087398.tif 000003
【図２】
2015087398.tif 000004
【図３】
2015087398.tif 000005
【図４】
2015087398.tif 000006
【図５】
2015087398.tif 000007
【図６】
2015087398.tif 000008
【図７】
2015087398.tif 000009
【図８】
2015087398.tif 000010
【図９】
2015087398.tif 000011
【図１０】
2015087398.tif 000012
【図１１】
2015087398.tif 000013
【図１２】
2015087398.tif 000014
【図１３】
2015087398.tif 000015
【図１４】
2015087398.tif 000016