(57)【要約】【課題】検査の際にガラス測定テーブルが傷付くおそれを低減するとともに、検査対象物の変形を低減する。【解決手段】平板状の検査対象物を載置する載置機構１０を板状部材６の上に複数配置した検査テーブルであって、前記載置機構は、前記メタルマスクを載置する載置部２２と、前記載置部を支持し、前記板状部材側に所定の曲率の第１の曲面１８ｂを有する第１の台座部１８と、前記第１の台座部を支持し、前記第１の台座部側に前記所定の曲率に対応する曲率の第２の曲面１６ｄを有すると共に前記板状部材の法線方向に移動可能な第２の台座部１６とを備え、前記第２の台座部は、前記第１の曲面が前記第２の曲面上を滑動することにより前記第１の台座部を揺動可能に支持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状の検査対象物を載置する載置機構を板状部材の上に複数配置した検査テーブルであって、
前記載置機構は、
前記メタルマスクを載置する載置部と、
前記載置部を支持し、前記板状部材側に所定の曲率の第１の曲面を有する第１の台座部と、
前記第１の台座部を支持し、前記第１の台座部側に前記所定の曲率に対応する曲率の第２の曲面を有すると共に前記板状部材の法線方向に移動可能な第２の台座部と
を備え、
前記第２の台座部は、前記第１の曲面が前記第２の曲面上を滑動することにより前記第１の台座部を揺動可能に支持することを特徴とする検査テーブル。
【請求項２】
前記第１の台座部は、中央に円筒状の空洞部を備え、
前記第２の台座部は、中央に円柱状の前記空洞部に挿入される突出部を備え、
前記空洞部に前記突出部が挿入された状態において前記空洞部の内壁面と前記突出部の外壁面との間には所定の間隙が形成されることを特徴とする請求項１記載の検査テーブル。
【請求項３】
前記第１の曲面は、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凸状の曲面であり、
前記第２の曲面は、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凹状の曲面であることを特徴とする請求項１または２記載の検査テーブル。
【請求項４】
前記第１の曲面は、中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凹状の曲面であり、
前記第２の曲面は、中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凸状の曲面であることを特徴とする請求項１または２記載の検査テーブル。
【請求項５】
前記板状部材は、ガラスにより形成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の検査テーブル。
【請求項６】
前記板状部材を支持し、かつ前記板状部材の高さを調整する複数の高さ調整部を備え、
前記板状部材は、中央に開口部を有するセラミックにより形成されることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の検査テーブル。
【請求項７】
平板状の検査対象物を載置する板状部材と、
前記板状部材を支持し、かつ前記板状部材の高さを調整する複数の高さ調整部と
を備え、
前記板状部材は、中央に開口部を有するセラミックにより形成されることを特徴とする検査テーブル。
【請求項８】
前記検査対象物は、メタルマスクであることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の検査テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機ＥＬ素子等の製造工程において使用されるメタルマスクを載置して検査する検査テーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象物を載置するガラス板の平面度を調整する平面度調整機構を備えたガラス製測定テーブルが知られている（例えば、特許文献１参照）。このガラス製測定テーブルによれば、ガラス板の平面に撓みがない状態で検査対象物を検査することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−０３３２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このガラス製測定テーブルにおいては、検査の際に検査対象物を直接ガラス板に載置するため、ガラス板が傷付き易いという問題があった。
【０００５】
ここで、ガラス板を傷付けないように、ガラス板に直接検査対象物を載置しない構成とすることも考えられるが、この場合、検査対象物を変形させずに支持することは困難である。
【０００６】
本発明の目的は、検査の際にガラス板が傷付くおそれを低減するとともに、検査対象物の変形を低減することができる検査テーブルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の検査テーブルは、平板状の検査対象物を載置する載置機構を板状部材の上に複数配置した検査テーブルであって、前記載置機構は、前記メタルマスクを載置する載置部と、前記載置部を支持し、前記板状部材側に所定の曲率の第１の曲面を有する第１の台座部と、前記第１の台座部を支持し、前記第１の台座部側に前記所定の曲率に対応する曲率の第２の曲面を有すると共に前記板状部材の法線方向に移動可能な第２の台座部とを備え、前記第２の台座部は、前記第１の曲面が前記第２の曲面上を滑動することにより前記第１の台座部を揺動可能に支持することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の検査テーブルは、前記第１の台座部が、中央に円筒状の空洞部を備え、前記第２の台座部が、中央に円柱状の前記空洞部に挿入される突出部を備え、前記空洞部に前記突出部が挿入された状態において前記空洞部の内壁面と前記突出部の外壁面との間には所定の間隙が形成されることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の検査テーブルは、前記第１の曲面が、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凸状の曲面であり、前記第２の曲面が、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凹状の曲面であることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の検査テーブルは、前記第１の曲面が、中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凹状の曲面であり、前記第２の曲面が、中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凸状の曲面であることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の検査テーブルは、前記板状部材が、ガラスにより形成されることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の検査テーブルは、前記板状部材を支持し、かつ前記板状部材の高さを調整する複数の高さ調整部を備え、前記板状部材が、中央に開口部を有するセラミックにより形成されることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の検査テーブルは、検査対象となるメタルマスクを載置する板状部材と、前記板状部材を支持し、かつ前記板状部材の高さを調整する複数の高さ調整部とを備え、前記板状部材が、中央に開口部を有するセラミックにより形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の検査テーブルによれば、検査の際にガラス測定テーブルが傷付くおそれを低減するとともに、検査対象物の変形を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施の形態に係る検査テーブルを示す斜視図である。
【図２】第１の実施の形態に係る検査テーブルに配置される駒の断面図である。
【図３】第１の実施の形態に係る検査テーブルに載置部の傾きを調整できない駒を配置した場合を示す図である。
【図４】第２の実施の形態に係る検査テーブルを示す斜視図である。
【図５】実施の形態に係る検査テーブルを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、第１の実施の形態に係る検査テーブルについて、有機ＥＬ素子等の製造工程において使用されるメタルマスクを検査する検査テーブルを例に説明する。図１は、第１の実施の形態に係る検査テーブルを示す斜視図である。図１に示すように、検査テーブル２には、矩形状に形成され上下に積層された透明な一対の上ガラス板４、下ガラス板６、上ガラス板４の平面４ａの傾斜角度を調整する複数の平面度調整機構８、及びメタルマスク９を載置する複数の駒１０が備えられている。
【００１７】
ここで、検査テーブル２には、平面度調整機構８が格子状に配置され、円筒形状を有する駒１０が上ガラス板４の外周に沿って配置されている。
【００１８】
図２は、第１の実施の形態に係る検査テーブル２に配置される駒１０の断面図である。図２に示すように、上ガラス板４には、駒１０を配置するための配置穴１１が形成され、駒１０は、配置穴１１内に配置される。また、下ガラス板６の配置穴１１に対応する位置には、駒１０を固定する際の位置合わせに用いられる位置合わせ用穴６ａが設けられている。
【００１９】
また、駒１０には、下ガラス板６に固定される頭部を有する円盤状のベースボルト１２、ベースボルト１２の上に配置される第２の台座部１６、第２の台座部１６の上に載置される第１の台座部１８、第１の台座部１８の脱抜を防止する抜け防止板２３、ベースボルト１２、抜け防止板２３、及び第２の台座部１６をそれぞれ所定の位置に固定するロックナット２０、並びにメタルマスク９を載置する載置部２２が備えられている。
【００２０】
ここで、載置部２２はアクリル樹脂等で形成された円盤状の部材であり、上側にメタルマスク９を載置する載置面２２ａを有している。また、載置部２２は下側に載置部２２を第１の台座部１８に固定する固定面２２ｂを有している。
【００２１】
また、ベースボルト１２の頭部の下側中央部には、駒１０を固定する際に位置合わせ用穴６ａに挿入される円柱状の突出部１２ａが形成されている。なお、突出部１２ａの外周部は、駒１０を固定した場合に下ガラス板６と当接する円環状の当接面１２ｂとして機能する。ここで、当接面１２ｂは、接着剤を用いて下ガラス板６に固定される。
【００２２】
また、ベースボルト１２の上側中心部には、外周にねじ溝を有するねじ部１４が形成されている。
【００２３】
また、第２の台座部１６は、中心に空洞部１６ａを有する円盤状の部材であり、空洞部１６ａの内周面には、ねじ部１４のねじ溝と螺合するねじ溝が形成されている。このため、第２の台座部１６をねじ部１４の軸周りに回動させることにより、第２の台座部１６をねじ部１４の軸方向に沿って上下方向に移動させることができ、第１の台座部１８を介して載置部２２の高さを調整することができる。
【００２４】
また、第２の台座部１６の上側中央部には、円筒状の突出部１６ｂが形成され、突出部１６ｂの外周壁１６ｃの外側には円環状の滑らかな第２の曲面１６ｄが形成されている。ここで、第２の曲面１６ｄは、所定の曲率を有しており、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凹形状に形成されている。
【００２５】
また、第１の台座部１８は、載置部２２を支持する円環状の部材であり、上側に載置部２２を固定する固定面１８ａを備え、下側に第２の曲面１６ｄと当接する円環状の滑らかな第１の曲面１８ｂを備えている。ここで、第１の曲面１８ｂは、第２の曲面１６ｄの曲率に対応する曲率を有しており、中心から遠ざかるにつれて次第に高くなる凸形状に形成されている。なお、第２の曲面１６ｄ及び第１の曲面１８ｂは滑らかであり、両曲面間の摩擦係数は小さいため、第１の曲面１８ｂは第２の曲面１６ｄに対して滑動自在な状態で当接する。
【００２６】
また、第１の台座部１８の下側の円環状の部分の内周面側には、所定の高さを有する内周壁１８ｃが形成されている。また、内周壁１８ｃと第２の台座部１６の突出部１６ｂの外周壁１６ｃとの間には、所定の間隙２４が設けられ、第１の台座部１８は第２の台座部１６により揺動可能に支持される。従って、検査の際にメタルマスク９を駒１０に載置した場合、第１の台座部１８を介して載置部２２の傾斜角度をメタルマスク９の載置部２２の傾斜角度に合わせることができ、載置部２２の載置面２２ａの全面をメタルマスク９に接触させることができる。
【００２７】
なお、第１の台座部１８が所定の傾斜角度を超えて傾斜した場合には、第１の台座部１８の内周壁１８ｃが突出部１６ｂの外周壁１６ｃに当接し、第１の台座部１８がそれ以上傾斜することが抑止される。これにより、第１の台座部１８が必要以上に傾斜することを防止し、適切な傾斜角度の範囲で載置部２２を傾斜させることができる。
【００２８】
この第１の実施の形態に係る検査テーブル２によれば、メタルマスク９を上ガラス板４に直接載置せず駒１０に載置して検査を行うため、検査の際に上ガラス板４が傷付くおそれを低減することができる。
【００２９】
また、検査の際に載置面２２ａの全面をメタルマスク９に接触させることにより、検査ごとに測定誤差が生じないようにすることができる。例えば、図３に示すように、載置部２２の傾きを調整することのできない駒２９を検査テーブル２に配置した場合、駒２９の組付け時の組付け誤差等により各駒２９の載置部２２の傾きにバラツキが生じる場合がある。この場合、メタルマスク９と載置面２２ａのとの当接部分Ａは点当たりとなるため、メタルマスク９に点当たりによる変形が生じる。そして、検査ごとにメタルマスク９の載置位置がずれた場合、載置位置のずれに伴ってメタルマスク９に生じる変形の位置が変化する。
【００３０】
しかし、第１の実施の形態に係る駒１０（図２参照）を用いた場合、載置面２２ａの全面がメタルマスク９に接触するため、点当たりによる変形がメタルマスク９に生じることがなく、検査ごとにメタルマスク９の載置位置がずれた場合でもメタルマスク９の変形位置が変化することがない。このため、検査ごとの測定誤差を低減することができ、検査の精度を向上させることができる。
【００３１】
また、異なる検査テーブル２を用いてメタルマスク９を検査した場合においても、検査テーブル２ごとにメタルマスク９の変形位置が変化することがなく、検査テーブル２ごとの測定誤差を低減することができる。
【００３２】
次に、第２の実施の形態に係る検査テーブルについて説明する。この第２の実施の形態に係る検査テーブルは、第１の実施の形態のような駒を用いず、中央部に矩形状の開口部を有するセラミック板の上にメタルマスクを載置して検査を行うようにしたものである。
【００３３】
図４は、第２の実施の形態に係る検査テーブルを示す斜視図である。図４に示すように、検査テーブル２００は、検査対象物であるメタルマスクを載置するフレーム３２、フレーム３２を上下に移動させることによりフレーム３２の傾斜角度を調整する複数の高さ調整機構３４を備えている。ここで、フレーム３２は、検査対象となるメタルマスクを載置するためのセラミック製のフレームであり、中央部には矩形状の開口部３２ａが形成されている。また、高さ調整機構３４は、フレーム３２の両側の長手方向に沿って所定の間隔で配置されている。
【００３４】
この第２の実施の形態に係る検査テーブル２００によれば、剛性の高いセラミック部材を用いることにより、メタルマスクを載置するフレーム３２の撓みを抑制することができ、メタルマスクを高精度で検査することができる。また、フレーム３２の中央部に開口部３２ａを設けるため、フレーム３２が不透明なセラミック部材で形成されていても、検査テーブル２００の下側から照明光でメタルマスクを照明しながら検査を行うことができる。
【００３５】
なお、図５に示すように、第２の実施の形態に係る検査テーブル２００のフレーム３２上に第１の実施の形態に係る検査テーブル２に用いられる駒１０を配置し、メタルマスクを検査する際に駒１０の上にメタルマスクを載置するようにしてもよい。この場合、フレーム３２を傷つけずに精度よくメタルマスクを検査することができる。
【００３６】
なお、上述の実施の形態の駒１０において、第２の台座部１６の第２の曲面１６ｄが中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凸形状に形成され、第１の台座部１８の第１の曲面１８ｂが中心から遠ざかるにつれて次第に低くなる凹形状に形成されていてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
２…検査テーブル、４…上ガラス板、６…下ガラス板、８…平面度調整機構、１０…駒、１２…ベースボルト、１６…第２の台座部、１６ｂ…突出部、１６ｃ…外周壁、１６ｄ…第２の曲面、１８…第１の台座部、１８ｂ…第１の曲面、１８ｃ…内周壁、２２…載置部、２４…間隙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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