(57)【要約】【課題】表面が液体で濡れているガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及びガラス板の製造方法、並びに洗浄手段及び洗浄手段からガラス板に伝わる洗浄手段の押圧力及び回転力を強くしてもガラス板を安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及びガラス板の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス板Ｇの搬送装置４０は、表面に凹凸の無い円柱状のローラ４４、４８によって、ローラ４４、４８によるガラス板Ｇの保持力を高めた状態でガラス板Ｇを搬送する。ガラス板Ｇの洗浄装置６０は、搬送装置４０、ディスクブラシ７０、７２を備える。ディスクブラシ７０、７２による洗浄中において、ガラス板Ｇの保持力を搬送装置４０のローラ４４、４８によって高める。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面が液体で濡れているガラス板を水平方向に搬送する搬送手段を備えたガラス板の製造装置において、
前記搬送手段は、
円柱状の第１のローラ群であって、前記ガラス板の下面が当接され、回転駆動されることにより前記ガラス板を水平状態で水平方向に搬送する樹脂製の第１のローラ群と、
前記第１のローラ群の上方に配置され、かつ前記ガラス板の上面に当接されて前記第１のローラ群との間で前記ガラス板を挟み込む樹脂製の第２のローラ群と、を備え、
前記第１のローラ群の各ローラの軸長は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向の前記ガラス板の幅寸法よりも長いことを特徴とするガラス板の製造装置。
【請求項２】
前記搬送手段の前記第１のローラ群及び前記第２のローラ群の各ローラは、可撓性部材によって構成され、かつ両端部がローラ支持部に支持されることにより、前記ローラの自重によって下方に湾曲状に撓んだ状態で配置される請求項１に記載のガラス板の製造装置。
【請求項３】
前記搬送手段の前記第２のローラ群は、円柱状のローラによって構成され、かつ前記第２のローラ群の各ローラの軸長は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向の前記ガラス板の幅寸法よりも長い請求項１又は２に記載のガラス板の製造装置。
【請求項４】
前記搬送手段の前記第２のローラ群は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向において、前記ガラス板の両端部のみに当接される請求項１又は２に記載のガラス板の製造装置。
【請求項５】
前記搬送手段の前記第１のローラ群及び前記第２のローラ群の各ローラの表層部は、ウレタン製である請求項１〜４のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のガラス板の搬送手段と、
搬送中の前記ガラス板に液体を供給する液体供給手段と、
搬送中の前記ガラス板の上面及び下面に接触して、前記上面及び下面に付着している付着物を除去する洗浄手段と、
が備えられたことを特徴とするガラス板の製造装置。
【請求項７】
前記洗浄手段は、鉛直方向の軸を中心に自転、鉛直方向の軸を中心に公転、又は鉛直方向の２本の軸を中心に自転及び公転する複数のディスクブラシによって構成される請求項６に記載のガラス板の製造装置。
【請求項８】
前記洗浄手段の前記複数のディスクブラシは、第１のローラ群の隣接する２本のローラの間に、前記ガラス板の搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列され、かつ、第２のローラ群の隣接する２本のローラの間に、前記ガラス板の搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列され、
前記複数のディスクブラシには、前記ガラス板に対する高さを調整する調整手段が備えられている請求項７に記載のガラス板の製造装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のガラス板の製造装置を用いる、ガラス板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の製造装置及びガラス板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）に用いられるガラス板は、図１２に示す複数の工程を経ることにより製造される。
【０００３】
すなわち、前記ガラス板の製造工程１００は、ガラス板成形工程１０２、研磨工程１０４、シャワー洗浄工程１０６、スラリー洗浄工程１０８、第１の高圧シャワー洗浄工程１１０、洗剤洗浄工程１１２、第２の高圧シャワー洗浄工程１１４、純水洗浄工程１１６、第３の高圧シャワー洗浄工程１１８、純水シャワーリンス工程１２０、最終リンス工程１２２、乾燥工程１２４、及び検査工程１２６からなる。
【０００４】
ガラス板成形工程１０２は、溶融ガラスから帯状の板ガラスを成形する工程と、帯状の板ガラスを所定の矩形状サイズのガラス板に切断する工程を含む。
【０００５】
ガラス板は、研磨工程１０４から検査工程１２６に至るまでコンベアによって連続搬送されながら各工程にて所定の処理が施される。そして、最終工程の検査工程１２６を経たガラス板は、パレット等に梱包されて出荷される。
【０００６】
ここで、複数枚のガラス板が積層された物、又は複数枚のガラス板が合紙等の緩衝材を介して積層されたものをガラス板積層体といい、ガラス板積層体が搭載されて梱包される物をパレットといい、パレットにガラス板積層体が梱包されたものをガラス板梱包体という。
【０００７】
また、ガラス板は、シャワー洗浄工程１０６から乾燥工程１２４に至るまで、洗浄水、スラリー溶液、洗剤、純水等の液体が供給されるウェットな環境下、すなわち、表面が液体で濡れている状態で搬送される。
【０００８】
特許文献１には、搬送装置によってガラス板を水平方向に搬送しながら薬液又は純水等の液体を、ガラス板の表面に滴下してガラス板を洗浄するウェット処理装置（洗浄装置）が開示されている。
【０００９】
特許文献１の前記搬送装置は、ガラス板を上方に湾曲させて搬送することを特徴とし、一つの形態として、ガラス板の両端部を上下の搬送ローラで挟み込み、ガラス板の中央部を下方の中間ローラによって上方に押し上げる搬送装置が開示されている。また、他の形態として、ガラス板の両端部を上下の搬送ローラで挟み込み、ガラス板の中央部を下方の第１の中間ローラによってガラス板の上方に押し上げ、かつ、ガラス板の中央部とガラス板の両端との間に設けられた下方の第２の中間ローラによってガラス板を上方に押し上げる搬送装置が開示されている。
【００１０】
特許文献１の洗浄装置によれば、ガラス板の両端部よりも中央部が高くなる湾曲した状態で、ガラス板の表面に液体を滴下するため、液体がガラス板の中央部から両端部に停滞することなく流れて排出される。
【００１１】
また、特許文献２においても、特許文献１と同様に、ガラス板を上方に湾曲させて搬送する搬送装置が開示されている。
【００１２】
一方、ガラス板は、スラリー洗浄工程１０８、洗剤洗浄工程１１２、及び純水洗浄工程１１６では、特許文献３に開示されたディスクブラシを使用する洗浄装置によって洗浄される場合がある。ディスクブラシは、ガラス板の上下に複数配置され、ガラス板を上下から挟み込んで、ガラス板の上面及び下面を同時に洗浄する。
【００１３】
ディスクブラシを使用する洗浄装置では、ガラス板に対するディスクブラシの接触状態が強すぎると、洗浄中にガラス板が蛇行し、一方で弱すぎると、ガラス板に洗浄残りが生じるという問題がある。
【００１４】
特許文献３では、搬送装置によって搬送されているガラス板の厚さを測定し、測定した厚さに基づいて、最適な高さにディスクブラシを調整することにより、上記問題を解消している。
【００１５】
また、特許文献３の搬送装置は、ガラス板の下面が当接されるローラ群を備え、ローラ群の各ローラがベルトによって回転駆動されることにより、ガラス板が搬送される。なお、特許文献３では、洗浄時に使用する液体として、純水、水道水、又はアルカリ混合水等が例示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００２−９０４１号公報
【特許文献２】特開２００３−１００５８１号公報
【特許文献３】特開２００３−１１２９５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、特許文献１に開示された搬送装置は、上下の搬送ローラによってガラス板の両端部のみを挟み込み、ガラス板の他の部分は、ガラス板を上方に押し上げる１個又は３個の中間ローラをガラス板の下方に備えているだけなので、ガラス板を蛇行することなく安定して搬送することは困難であった。
【００１８】
また、特許文献１の搬送装置は、ガラス板に液体を滴下する洗浄装置に適用されているが、洗浄手段として、ガラス板に押圧され、かつ回転されて洗浄力を高める、特許文献３のようなディスクブラシを使用した洗浄装置に適用された場合には、ディスクブラシからガラス板に伝わるディスクブラシの押圧力及び回転力によって、ガラス板の蛇行を阻止することは困難であった。
【００１９】
一方、特許文献３の搬送装置は、ガラス板の下面が当接されるローラ群のみ備えた構成なので、ガラス板を安定して搬送することはもともと困難であった。そして、このような搬送装置に、ディスクブラシを使用した洗浄装置を適用すると、ディスクブラシからガラス板に伝わるディスクブラシの押圧力及び回転力によって、ガラス板の蛇行を阻止することは困難であった。
【００２０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、表面が液体で濡れているガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及び当該装置を用いるガラス板の製造方法、並びに洗浄手段及び洗浄手段からガラス板に伝わる洗浄手段の押圧力及び回転力を強くしてもガラス板を安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及び当該装置を用いるガラス板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の一態様は、前記目的を達成するために、表面が液体で濡れているガラス板を水平方向に搬送する搬送手段を備えたガラス板の製造装置において、前記搬送手段は、円柱状の第１のローラ群であって、前記ガラス板の下面が当接され、回転駆動されることにより前記ガラス板を水平状態で水平方向に搬送する樹脂製の第１のローラ群と、前記第１のローラ群の上方に配置され、かつ前記ガラス板の上面に当接されて前記第１のローラ群との間で前記ガラス板を挟み込む樹脂製の第２のローラ群と、を備え、前記第１のローラ群の各ローラの軸長は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向の前記ガラス板の幅寸法よりも長いことを特徴とするガラス板の製造装置を提供する。
【００２２】
本発明の一態様によれば、表面に凹凸の無い円柱状の樹脂製の第１のローラ群の各ローラは、ガラス板の下面において、ガラス板の搬送方向に直交する方向の幅全域に密着されるので、第１のローラ群によるガラス板の下面の保持力が引用文献１の下面側のローラ群よりも向上する。また、樹脂製の第２のローラ群の各ローラは、ガラス板の上面に当接されて密着される。これにより、ガラス板は、第１のローラ群と第２のローラ群とによって保持力が高められた状態で搬送されるので、ガラス板は、表面が液体によって濡れている状態であっても蛇行することなく安定して搬送される。
【００２３】
本発明の一態様は、前記搬送手段の前記第１のローラ群及び前記第２のローラ群の各ローラは、可撓性部材によって構成され、かつ両端部がローラ支持部に支持されることにより、前記ローラの自重によって下方に湾曲状に撓んだ状態で配置されることが好ましい。
【００２４】
本発明の一態様によれば、ガラス板は、第１のローラ群及び第２のローラ群の湾曲状の形状に倣った形状に弾性変形されて搬送される。すなわち、ガラス板は、中央部が両端部よりも低くなった湾曲形状で搬送されるので、直棒状のローラと比較し、搬送方向に対して直交する方向のずれ（蛇行）が規制された状態で搬送される。
【００２５】
本発明の一態様は、前記搬送手段の前記第２のローラ群は、円柱状のローラによって構成され、かつ前記第２のローラ群の各ローラの軸長は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向の前記ガラス板の幅寸法よりも長いことが好ましい。
【００２６】
本発明の一態様によれば、表面に凹凸の無い円柱状の樹脂製の第２のローラ群の各ローラは、ガラス板の上面において、ガラス板の搬送方向に直交する方向の幅全域に密着されるので、第２のローラ群によるガラス板の上面の保持力がより一層高まる。
【００２７】
本発明の一態様は、前記搬送手段の前記第２のローラ群は、前記ガラス板の搬送方向に直交する方向において、前記ガラス板の両端部のみに当接されることが好ましい。
【００２８】
本発明の一態様によれば、第２のローラ群の各ローラを、ガラス板の両端部のみ当接可能な短軸長のローラとしても、特許文献１の搬送装置よりもローラによるガラス板の保持力が向上する。
【００２９】
また、本発明の一態様によれば、第２のローラ群の各ローラは、ガラス板の品質領域であるガラス板の中央部には接触していない。このため、第２のローラ群の各ローラが品質領域に接触することに起因する、品質領域の傷発生を防止できる。
【００３０】
更に、本発明の一態様によれば、ガラス板に対する第２のローラ群の各ローラの接触面積を減らすことができるので、第２のローラ群の各ローラがガラス板に接触することに起因する、汚れの付着量を減らすことができる。
【００３１】
本発明の一態様は、前記搬送手段の前記第１のローラ群及び前記第２のローラ群の各ローラの表層部は、ウレタン製であることが好ましい。
【００３２】
本発明の一態様によれば、ローラの表層部をウレタン製とすることにより、ガラス板の表面が液体が濡れた状態において、ローラによるガラス板の保持力が飛躍的に向上する。
【００３３】
本発明は、前記目的を達成するために、本発明のガラス板の搬送手段と、搬送中の前記ガラス板に液体を供給する液体供給手段と、搬送中の前記ガラス板の上面及び下面に接触して、前記上面及び下面に付着している付着物を除去する洗浄手段と、が備えられたことを特徴とするガラス板の製造装置を提供する。
【００３４】
本発明の一態様によれば、本発明の搬送手段のローラによってガラス板の保持力が向上されているので、洗浄手段からガラス板に伝わる洗浄手段の押圧力及び回転力を強くして洗浄力を高めても、ガラス板は蛇行せず、安定して搬送される。
【００３５】
本発明の一態様は、前記洗浄手段は、鉛直方向の軸を中心に自転、鉛直方向の軸を中心に公転、又は鉛直方向の２本の軸を中心に自転及び公転する複数のディスクブラシによって構成されることが好ましい。
【００３６】
本発明の一態様によれば、ガラス板に対するディスクブラシの押圧力と回転力（自転力、公転力）によって、ガラス板に付着した汚れを確実に除去できる。
【００３７】
本発明の一態様は、前記洗浄手段の前記複数のディスクブラシは、第１のローラ群の隣接する２本のローラの間に、前記ガラス板の搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列され、かつ、第２のローラ群の隣接する２本のローラの間に、前記ガラス板の搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列され、前記複数のディスクブラシには、前記ガラス板に対する高さを調整する調整手段が備えられていることが好ましい。
【００３８】
本発明の一態様によれば、第１のローラ群及び第２のローラ群の各ローラの自重による撓み量に応じた高さ位置にディスクブラシを配置できる。つまり、ガラス板に押圧当接されるディスクブラシのブラシ先端の位置を微調整できる。よって、ディスクブラシによるガラス板の洗浄性能が向上する。
【００３９】
本発明の一態様は、本発明のガラス板の製造装置を用いる、ガラス板の製造方法を提供する。
【００４０】
本発明の一態様によれば、ガラス板の表面が液体によって濡れている状態であっても、ガラス板を蛇行することなく安定して搬送できる。
【発明の効果】
【００４１】
以上説明したように本発明によれば、表面が液体で濡れているガラス板を蛇行させることなく安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及び当該装置を用いるガラス板の製造方法、並びに洗浄手段及び洗浄手段からガラス板に伝わる洗浄手段の押圧力及び回転力を強くしてもガラス板を安定して搬送できる搬送手段を備えたガラス板の製造装置及び当該装置を用いるガラス板の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】第１の実施形態のガラス板の搬送装置の要部構成を示した斜視図
【図２】図１に示した搬送装置の側面図
【図３】図１に示した搬送装置の平面図
【図４】（Ａ）は、第１のローラ群のウレタン製の各ローラにガラス板を載置した状態を示した斜視図、（Ｂ）は、従来のローラ群にガラス板を載置した状態を示した斜視図
【図５】第２の実施形態のガラス板の搬送装置の要部構成を示した斜視図
【図６】第３の実施形態のガラス板の搬送装置の要部構成を示した斜視図
【図７】図６の搬送装置を構成するローラの要部断面図
【図８】図６に示した搬送装置の変形例の要部構成を示した正面図
【図９】実施形態のガラス板の洗浄装置を示した要部斜視図
【図１０】図９のＩ−Ｉ線に沿った断面図
【図１１】図９に示した洗浄装置の平面図
【図１２】ＦＰＤ用ガラス板の製造工程を示したブロック図
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下、添付図面に従って本発明に係るガラス板の製造装置及びガラス板の製造方法の好ましい実施形態について説明する。
【００４４】
実施形態のガラス板の製造装置及び当該装置を用いるガラス板の製造方法の搬送装置（搬送手段）として、ガラス板を図１２に示した製造工程に沿って順次搬送させる搬送装置、すなわち、表面が液体で濡れている状態のガラス板を水平状態で水平方向に搬送する搬送装置を例示する。また、実施形態の洗浄装置（洗浄手段）としては、ディスクブラシを使用するスラリー洗浄工程１０８、洗剤洗浄工程１１２、及び純水洗浄工程１１６のうち少なくとも一つの工程に設置される洗浄装置を例示する。
【００４５】
《第１の実施形態の搬送装置１０》
図１は、第１の実施形態のガラス板Ｇの搬送装置１０の要部構成を示した斜視図である。図２は、図１に示した搬送装置１０の側面図、図３は、図１に示した搬送装置１０の平面図である。
【００４６】
〔搬送装置１０の構成〕
搬送装置１０は、ガラス板Ｇを水平状態で水平方向に搬送する装置であり、ガラス板Ｇの下面が当接される第１のローラ群（搬送ローラ群ともいう）１２と、第１のローラ群１２の上方に配置され、かつガラス板Ｇの上面に当接されて第１のローラ群１２との間でガラス板Ｇを厚さ方向に挟み込む第２のローラ群（ピンチローラ群ともいう）１４とを備える。
【００４７】
第１のローラ群１２を構成する複数のローラ（搬送ローラともいう）１６は、直棒状であって円柱状に構成される。また、複数のローラ１６は、ガラス板Ｇを矢印Ａ方向（搬送方向）に搬送するために、搬送方向に沿って所定の間隔をもって並設される。すなわち、ローラ１６の軸１６Ａの方向が、水平方向において搬送方向に対し直交している。
【００４８】
ローラ１６は、ガラス板Ｇの下面と接触する表層部が樹脂製であり、かつ周面に凹凸の無いローラである。各ローラ１６は、ベルト等の動力伝達手段（不図示）を介して回転駆動手段（不図示）に接続され、この回転駆動手段からの動力が伝達されることにより、図１の矢印Ｂ方向に回転駆動される。この回転によってガラス板Ｇが矢印Ａ方向に搬送される。
【００４９】
また、ローラ１６の軸１６Ａの長さは、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向のガラス板Ｇの幅Ｗの寸法よりも長く設定され、ローラ１６の両端部がガラス板Ｇからはみ出ている。よって、ガラス板Ｇは幅Ｗの全域においてローラ１６に当接される。
【００５０】
第２のローラ群１４を構成する複数のローラ（ピンチローラともいう。）１８もローラ１６と同様に直棒状であって円柱状に構成される。また、ローラ１８は、ローラ１６の真上に配置される。すなわち、ローラ１８はローラ１６と同様に、搬送方向に沿って所定の間隔をもって並設される。つまり、ローラ１８の軸１８Ａの方向が、水平方向において搬送方向に対し直交している。これによって、ガラス板Ｇは、ローラ１６とローラ１８とによって挟み込まれる。また、ローラ１８もローラ１６と同様に、表層部が樹脂製であり、かつ周面に凹凸のないローラであるが、ローラ１８はこれに限定されるものではない。しかしながら、ローラ１８によるガラス板Ｇの上面の保持力を向上させるためには、ローラ１８も樹脂製であることが好ましい。また、樹脂としてはウレタン樹脂、シリコーン樹脂、フッ素樹脂が例示されるが、これらのうち、ウレタン樹脂であることが、前記保持力を更に高めることができるので好ましい。
【００５１】
ローラ１８には、回転駆動手段が接続されておらず、ローラ１８は、ガラス板Ｇの上面との間の摩擦抵抗により、ガラス板Ｇの搬送に追従して図１の矢印Ｃ方向に従動回転される。なお、ガラス板Ｇのサイズが所定のサイズよりも大型になれば、ローラ１８をローラ１６と同様に回転駆動手段によって回転させて、ガラス板Ｇの搬送力を高めてもよい。ローラ１８の回転駆動手段としては、ローラ１６のベルトを用いた回転駆動手段に限定されない。例えば、隣接するローラ１８の端部同士をギヤを介して連結させ、ギヤに回転動力を加えることによりローラ１８を回転させる回転駆動手段であってもよい。
【００５２】
また、各ローラ１８の軸１８Ａの長さは、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向のガラス板Ｇの幅Ｗの寸法よりも長く設定され、ローラ１８の両端部がガラス板Ｇからはみ出ている。よって、ガラス板Ｇは幅Ｗの全域においてローラ１８に当接される。
【００５３】
〔搬送装置１０の作用〕
第１の実施形態の搬送装置１０によれば、表面に凹凸の無い円柱状の樹脂製の第１のローラ群１２の各ローラ１６は、ガラス板Ｇの下面において、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向の幅Ｗ全域に密着されるので、第１のローラ群１２によるガラス板Ｇの下面の保持力が引用文献１の下面側のローラ群よりも向上する。また、樹脂製の第２のローラ群１４の各ローラ１８は、ガラス板Ｇの上面に当接されて密着される。
【００５４】
これにより、ガラス板Ｇは、第１のローラ群１２と第２のローラ群１４とによって保持力が高められた状態で搬送されるので、ガラス板Ｇは、表面が液体で濡れている状態であっても蛇行することなく安定して搬送される。
【００５５】
また、第１の実施形態の搬送装置１０によれば、表面に凹凸の無い円筒状の樹脂製の第２のローラ群１４の各ローラ１８は、ガラス板Ｇの上面において、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向の幅Ｗ全域に密着されるので、第２のローラ群１４によるガラス板Ｇの上面の保持力がより一層高まる。これにより、ガラス板Ｇの蛇行を更に規制できる。
【００５６】
また、第１の実施形態の搬送装置１０によれば、ローラ１６、１８の表層部がウレタン製なので、ガラス板Ｇの表面が液体で濡れている状態であっても、ローラ１６、１８によるガラス板Ｇの保持力が飛躍的に向上する。これにより、ガラス板Ｇの蛇行をより一層規制できる。
【００５７】
〔実験例〕
第１のローラ群１２によるガラス板Ｇの保持力と、従来のローラ群によるガラス板Ｇの保持力を実験にて比較した。
【００５８】
図４（Ａ）は、第１のローラ群１２のウレタン製の各ローラ１６にガラス板Ｇを載置した斜視図である。図４（Ｂ）は、従来のローラ群２０にガラス板Ｇを載置した斜視図である。
【００５９】
従来のローラ群２０の各ローラ２２は、直棒状の回転軸２４に複数のリングローラ２６が所定の間隔をもって配置されることによって構成される。
【００６０】
ローラ１６の配置間隔（ガラス板Ｇの搬送方向におけるピッチ）とローラ２２の配置間隔（ガラス板Ｇの搬送方向におけるピッチ）とを１２０ｍｍに設定し、ローラ１６とリングローラ２６の外径を３０ｍｍとした。
【００６１】
ガラス板Ｇとしては、長辺（長さ）が５２０ｍｍ、短辺（幅）が４１０ｍｍ、厚さが０．７ｍｍのものを試験品として用意した。
【００６２】
ガラス板Ｇの下面、ローラ１６の表面（周面）、及びリングローラ２６の表面（周面）に純水を塗布してガラス板Ｇの表面を液体で濡れた状態にした。
【００６３】
上記条件において、ガラス板Ｇの中央部（重心位置）に不図示の牽引線材の先端を接着し、牽引線材を矢印Ｄの如く、ローラ１６及びローラ２２の軸方向（ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向）に牽引し、ガラス板Ｇが滑動したときの荷重、すなわち、最大静止摩擦力を取得することにより、第１のローラ群１２によるガラス板Ｇの保持力と、ローラ群２０によるガラス板Ｇの保持力とを比較した。
【００６４】
この結果、第１のローラ群１２による最大静止摩擦力の平均値Ｆ（Ｎ）は０．６８Ｎであり、これに対してローラ群２０の最大静止摩擦力の平均値Ｆ（Ｎ）は０．３７Ｎであった。
【００６５】
上記実験結果から分かるように、第１のローラ群１２によれば、従来のローラ群２０に対して、ガラス板Ｇに対する保持力が飛躍的に向上することが確認できた。
【００６６】
《第２の実施形態の搬送装置３０》
図５は、第２の実施形態のガラス板Ｇの搬送装置３０の要部構成を示した斜視図である。
【００６７】
搬送装置３０の構成を説明するにあたり、図１〜図３に示した搬送装置１０と同一の部材については同一の符号を付してその説明は省略する。
【００６８】
図５に示す第２のローラ群３２を構成する各ローラ３４は、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向において、ガラス板Ｇの両端部のみに当接される長さに構成され、各ローラ３４の一端部がガラス板Ｇからはみ出ている。
【００６９】
このように各ローラ３４を、ガラス板Ｇの両端部のみ当接可能な短軸長のローラとしても、特許文献１の搬送装置よりもローラ３４によるガラス板Ｇの保持力が向上する。
【００７０】
また、各ローラ３４は、ガラス板Ｇの品質領域であるガラス板Ｇの上面中央部には接触していない。このため、各ローラ３４が品質領域に接触することに起因する、品質領域の傷発生を防止できる。
【００７１】
更に、ガラス板Ｇの上面に対する各ローラ３４の接触面積を減らすことができるので、各ローラ３４がガラス板Ｇに接触することに起因する、汚れの付着量を減らすことができる。
【００７２】
なお、ローラ３４の表層部も樹脂製であり、そのなかでウレタン製とすることが、ローラ３４によるガラス板Ｇの保持力を高める点で好ましい。
【００７３】
《第３の実施形態の搬送装置４０》
図６は、第３の実施形態のガラス板Ｇの搬送装置４０の要部構成を示した斜視図である。
【００７４】
図７は、搬送装置４０の第１のローラ群４２の各ローラ４４、及び第２のローラ群４６の各ローラ４８の要部断面図であり、可撓性部材によって構成されたローラ４４、４８が示されている。
【００７５】
ローラ４４、４８は３重管構成であり、内管５０はカーボン製、中管５２はステンレス製、外管５４はウレタン製である。すなわち、ローラ４４、４８は、芯管であるステンレス製の中管５２がカーボン製の内管５０によって補強され、中管５２が外管５４に嵌入されることによって表層部がウレタン製のローラに構成されている。また、ローラ４４、４８は自重で下方に湾曲状に撓むように、厚さが２ｍｍ以下の中管５２が使用されている。
【００７６】
また、ローラ４４、４８の軸の長さは、ガラス板Ｇの搬送方向に直交する方向のガラス板Ｇの幅Ｗの寸法よりも長く設定され、ローラ４４、４８の両端部がガラス板Ｇからはみ出ている。そして、ガラス板Ｇは幅Ｗの全域においてローラ４４、４８に当接される。
【００７７】
ローラ４４、４８は、両端部がローラ支持部５６の軸受５８に支持される。これにより、ローラ４４、４８は、図６の如くローラ４４、４８の自重によって下方に湾曲状に撓んだ状態で配置されている。なお、一例として、ローラ４４、４８の撓み量は、軸長３５００ｍｍにおいて０．５ｍｍ〜１ｍｍである。
【００７８】
搬送装置４０によれば、ガラス板Ｇは、第１のローラ群４２及び第２のローラ群４６の湾曲状の形状に倣った形状に弾性変形されて搬送される。すなわち、ガラス板Ｇは、中央部が両端部よりも低くなった湾曲形状で搬送されるので、例えば図４（Ｂ）に示した直棒状のローラ群２０と比較し、搬送方向に対して直交する方向のずれ（蛇行）が規制された状態で搬送される。これにより、搬送装置４０によれば、ガラス板Ｇの蛇行を防止できる。
【００７９】
図８は、図６に示した搬送装置４０の変形例の要部構成を示した正面図である。
【００８０】
図８の搬送装置４０は、ローラ４８の撓み量をローラ４４の撓み量よりも小さくして、ローラ４８をガラス板Ｇの両端部のみに当接させた形態である。この搬送装置４０によれば、図５に示した搬送装置３０と同様な効果、すなわち、品質領域の傷発生防止効果、及び汚れ付着量の低減効果を得ることができる。
【００８１】
《実施形態の洗浄装置６０》
図９は、実施形態の洗浄装置６０の要部斜視図である。図１０は、図９のＩ−Ｉ線に沿った断面図である。図１１は、図９の洗浄装置６０の平面図である。
【００８２】
なお、図９〜図１１の洗浄装置６０は、図６に示した搬送装置４０にディスクブラシ群（洗浄手段）６２、６４を搭載することにより構成された装置であるが、図６の搬送装置４０に限定されず、図１〜図３に示した搬送装置１０、図５に示した搬送装置３０、及び図８に示した搬送装置４０にディスクブラシ群６２、６４を搭載して実施形態の洗浄装置としてもよい。
【００８３】
図９の如く洗浄装置６０は、搬送装置４０、ガラス板Ｇの下面を洗浄する下段ディスクブラシ群６２、ガラス板Ｇの上面を洗浄する上段ディスクブラシ群６４、液体をガラス板Ｇの下面に向けて噴射する下段ノズル（液体供給手段）６６、及び液体をガラス板Ｇの下面に向けて噴射する上段ノズル（液体供給手段）６８を備える。ディスクブラシは、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）のスポンジ製で外径７０〜１００ｍｍの円柱形状である。ディスクブラシの回転（自転）速度は、１００〜５００ｒｐｍとすることが好ましい。
【００８４】
液体は、図１２に示す工程に応じて、酸化セリウム等を含有するスラリー、洗浄剤（アルカリ性または酸性）および純水のうち、いずれか１つの液体を噴射する。例えば、液体として、有機ホスホン酸、ポリカルボン酸塩、芳香族スルホン酸、及びアミン−アルキレンオキサイド付加物を含む水系洗浄剤を使用すれば、研磨後のガラス板Ｇの表面に残留および／または付着した酸化セリウム等からなる研磨砥粒を、良好に分散して除去することができ、ガラス板Ｇの平坦性を損なうこともない。
【００８５】
下段ディスクブラシ群６２の複数のディスクブラシ７０は、図９、図１０の如く、第１のローラ群４２の隣接する２本のローラ４４、４４の間に、ガラス板Ｇの搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列される。また、上段ディスクブラシ群６４の複数のディスクブラシ７２は、図１１の如く第２のローラ群４６の隣接する２本のローラ４８、４８の間に、ガラス板Ｇの搬送方向に対して直交する方向に所定の間隔を持って配列される。
【００８６】
ディスクブラシ７０、７２は、ガラス板Ｇの表面（上面及び下面）に対して直交する鉛直方向の回転軸を有し、ディスクブラシ７０、７２のブラシ部分がガラス板Ｇの表面に当接される。
【００８７】
また、ディスクブラシ７０は、隣接する２台のディスクブラシ７２の間の下方に配置されている。つまり、ディスクブラシ７０の回転軸は、隣接する２台のディスクブラシ７４回転軸のピッチの中央位置に配置されている。
【００８８】
なお、上記実施形態は、ディスクブラシ７０、７２を前記回転軸によって自転させる構成であるが、ガラス板Ｇの表面に対して直交する鉛直方向の公転軸（不図示）によって公転させる形態でもよく、また、前記回転軸と前記公転軸の２本の軸によって自転及び公転させる形態であってもよい。
【００８９】
また、水平方向において隣接する２列の下段ディスクブラシ群６２の各ディスクブラシ７０は、位置が互い違いにずらされており、１列目の隣接するディスクブラシ７０とディスクブラシ７０との間の隙間に、２列目のディスクブラシ７０が配置されている。また、上段ディスクブラシ群６４の各ディスクブラシ７２も同様に配置されている。つまり、下段ディスクブラシ群６２および上段ディスクブラシ群６４は、千鳥状（zigzag alignment）に配置されている。千鳥状に配置されることによって、搬送方向の上流側のディスクブラシ間で除去されなかった付着物を、搬送方向の下流側のディスクブラシで除去できる。これによって、搬送中のガラス板Ｇの上面及び下面の全面が複数のディスクブラシ７０、７２によって擦られる。各ディスクブラシ７０、７２は、そのブラシ部分がガラス板Ｇの上面及び下面に押圧された状態で回転され、これによって、ガラス板Ｇの上面及び下面に付着した付着物が確実に除去される。
【００９０】
ディスクブラシ７０、７２による洗浄中において、ガラス板Ｇの保持力、つまり、ガラス板の直進搬送性能が搬送装置４０のローラ４４、４８によって高められているので、ディスクブラシ７０、７２からガラス板Ｇに伝わるディスクブラシ７０、７２の押圧力及び回転力を強くして洗浄力を高めても、ガラス板Ｇは蛇行せず、安定して搬送される。
【００９１】
また、各ディスクブラシ７０、７２には、ガラス板Ｇの上面及び下面に対する高さを調整する調整手段が備えられている。
【００９２】
この調整手段によって、図１０の如くローラ４４、４８の自重による撓み量に応じた高さ位置に各ディスクブラシ７０、７２を配置できる。つまり、ガラス板Ｇの上面及び下面に押圧当接されるディスクブラシ７０、７２のブラシ先端の位置を微調整できる。よって、ディスクブラシ７０、７２によるガラス板Ｇの洗浄性能が向上する。
【００９３】
前記調整手段としては、下段に配置された各ディスクブラシ７０の高さをローラ４４の高さに合わせて調整した後、その各ディスクブラシ７２の高さを基準にして上段に配置された各ディスクブラシ７２の高さを、ガラス板Ｇの厚さに相当する分だけ上方に位置させることが好ましい。
【００９４】
下段に配置された各ディスクブラシ７０の高さの調整は、まず、ローラ４４の長さ方向における撓み量をダイヤルゲージ等の計測手段によって予め計測する。この場合、非湾曲部であるローラ４４の両端部をゼロ点位置とする。次に、各ディスクブラシ７０の高さが、そのディスクブラシ７０と対応するローラ４４の部位の高さに合うようにダイヤルゲージ等の計測手段によって調整する。
【００９５】
ディスクブラシ７０は、回転軸であるねじ棒にロックナット及びフランジを介して固定されている。ディスクブラシ７０の高さ調整時には、ロックナットを緩め、ねじ軸に対してフランジを回転させてディスクブラシ７０の高さを、ねじの送り作用により調整する。この後、ロックナットをねじ軸に締結することにより高さ調整作業が終了する。
【００９６】
次に、上段ディスクブラシ群６４の各ディスクブラシ７２の高さ調整を行う。この高さ調整もディスクブラシ７０の高さの調整と同様である。すなわち、ローラ４８の長さ方向における撓み量をダイヤルゲージ等の計測手段によって予め計測する。この場合、非湾曲部であるローラ４８の両端部をゼロ点位置とする。次に、各ディスクブラシ７２の高さが、そのディスクブラシ７２と対応するローラ４８の部位の高さに合うようにダイヤルゲージ等の計測手段によって調整する。
【００９７】
ディスクブラシ７２もディスクブラシ７０と同様に、回転軸であるねじ棒にロックナット及びフランジを介して固定されている。ディスクブラシ７２の高さ調整時には、ロックナットを緩め、ねじ軸に対してフランジを回転させてディスクブラシ７２の高さを、ねじの送り作用により調整する。この後、ロックナットをねじ軸に締結することにより高さ調整作業が終了する。
【００９８】
なお、前記調整手段は、上記手段に限定されるものではない。また、実施形態では、洗浄手段としてディスクブラシ６２を例示したが、これに限定されるものではなく、ガラス板Ｇの搬送方向に対して直交方向に回転軸を有するロール状のブラシであってもよい。
【符号の説明】
【００９９】
Ｇ…ガラス板、１０…搬送装置、１２…第１のローラ群、１４…第２のローラ群、１６…ローラ、１６Ａ…軸、１８…ローラ、１８Ａ…軸、２０…ローラ群、２２…ローラ、２４…回転軸、２６…リングローラ、３０…搬送装置、３２…第２のローラ群、３４…ローラ、４０…搬送装置、４２…第１のローラ群、４４…ローラ、４６…第２のローラ群、４８…ローラ、５０…内管、５２…中管、５４…外管、５６…ローラ支持部、５８…軸受、６０…洗浄装置、６２…下段ディスクブラシ群、６４…上段ディスクブラシ群、６６…下段ノズル、６８…上段ノズル、７０…ディスクブラシ、７２…ディスクブラシ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2015030570.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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