(57)【要約】【課題】共振周波数等の特性をほとんど変えることなく、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができる振動素子の出力調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】本発明の振動素子の出力調整方法は、基部と、駆動用振動腕と、駆動用電極と、第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕と、第１の検出用電極と、第２の検出用電極とを有する振動素子の振動調整方法であって、前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流および前記第２の検出用電極から出力される電流をそれぞれ検出し、前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極と前記第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更する。【選択図】図１
2015087334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部に支持された駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕に設けられた駆動用電極と、
前記基部に前記駆動用振動腕と異なる位置に支持された第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕と、
前記第１の検出用振動腕に設けられた第１の検出用電極と、
前記第２の検出用振動腕に設けられた第２の検出用電極とを有する振動素子の出力調整方法であって、
前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流および前記第２の検出用電極から出力される電流をそれぞれ検出し、
前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極と前記第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更することを特徴とする振動素子の出力調整方法。
【請求項２】
前記振動素子の出力調整時の前記駆動用電極への印加電圧は、前記振動素子の使用時の前記駆動用電極への印加電圧よりも大きく設定する請求項１に記載の振動素子の出力調整方法。
【請求項３】
前記振動素子は、前記第１の検出用振動腕の根元部が先端部よりも応力が集中し、前記第２の検出用振動腕の根元部が先端部よりも応力が集中するものであり、
前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極の前記第１の検出用振動腕の根元部に位置する部位と、前記第２の検出用電極の前記第２の検出用振動腕の根元部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで粗調整を行い、前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極の前記第１の検出用振動腕の先端部に位置する部位と、前記第２の検出用電極の前記第２の検出用振動腕の先端部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで微調整を行う請求項１または２に記載の振動素子の出力調整方法。
【請求項４】
前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流の絶対値をＡ、前記第２の検出用電極から出力される電流の絶対値をＢ、前記駆動用電極から出力される電流の絶対値をＣとしたとき、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下となるように、前記第１の検出用電極と前記第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動素子の出力調整方法。
【請求項５】
互いに交差する第１軸、第２軸、第３軸を想定したとき、前記振動素子は、前記第３軸を法線とし、前記駆動用振動腕は、前記第２軸方向に延在し、前記第１の検出用振動腕および前記第２の検出用振動腕は、それぞれ、前記第２軸方向であって、前記駆動用振動腕とは反対側に延在し、
前記振動素子は、その使用の際は、前記駆動用振動腕が前記第１軸方向に往復駆動しつつ、前記振動素子に前記第２軸回りの回転が加わると、前記駆動用振動腕は、前記第３軸方向に往復駆動し、前記第１の検出用振動腕および前記第２の検出用振動腕は、それぞれ、前記第３軸方向に往復駆動するものである請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動素子の出力調整方法。
【請求項６】
基部と、
前記基部に支持された駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕に設けられた駆動用電極と、
前記基部に前記駆動用振動腕と異なる位置に支持された第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕と、
前記第１の検出用振動腕に設けられた第１の検出用電極と、
前記第２の検出用振動腕に設けられ、前記第１の検出電極と面積の異なる第２の検出用電極とを有し、
前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流の絶対値をＡ、前記第２の検出用電極から出力される電流の絶対値をＢ、前記駆動用電極から出力される電流の絶対値をＣとしたとき、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする振動素子。
【請求項７】
請求項６に記載の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。
【請求項８】
請求項６に記載の振動素子を備えたことを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項６に記載の振動素子を備えたことを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子の出力調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正（いわゆる手ぶれ補正）等に用いられ、角速度、加速度等の物理量を検出する角速度センサー（振動ジャイロセンサー）が知られている。
１対の駆動用振動腕と１対の検出用振動腕とを有する「Ｈ型」と呼ばれる振動素子を備える角速度センサーでは、例えば製造時のバラツキ等により、角速度センサーに角速度が加えられていなくても、駆動用振動腕を通電により振動させた状態において、各検出用振動腕が振動してしまう。これは、「振動漏れ」と呼ばれる。そして、その振動漏れにおいて、互いの検出用振動腕の振動が異なり、このため、一方の検出用振動腕に設けられた検出用電極から出力される電流と、他方の検出用振動腕に設けられた検出用電極から出力される電流とが異なり、それがノイズとして検出されてしまうという問題がある。なお、このような問題は、他の形態の振動素子にもある。
そこで、特許文献１には、振動素子の１対の振動片の一方と他方とで、互いに逆方向に振動漏れが生じるように構成し、一方の振動片の出力と他方の振動片の出力との差をとることで、振動漏れによるノイズをキャンセルすることができる角速度センサーが開示されている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載の角速度センサーでは、製造時のバラツキ等により、振動漏れによるノイズを十分に除去することができない。
また、他の方法としては、振動素子の検出用振動腕に錘を設けておき、その錘の一部を研削し、錘の質量を変更することで、１対の検出用振動腕の振動漏れを一致させる方法がある。
しかしながら、前記の方法では、検出用振動腕の質量が変わることで、不本意に、振動素子の共振周波数が変わってしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３２９４４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、共振周波数等の特性をほとんど変えることなく、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができる振動素子の出力調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子の出力調整方法は、基部と、
前記基部に支持された駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕に設けられた駆動用電極と、
前記基部に前記駆動用振動腕と異なる位置に支持された第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕と、
前記第１の検出用振動腕に設けられた第１の検出用電極と、
前記第２の検出用振動腕に設けられた第２の検出用電極とを有する振動素子の振動調整方法であって、
前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流および前記第２の検出用電極から出力される電流をそれぞれ検出し、
前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極と前記第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更することを特徴とする。
【０００７】
これにより、振動漏れにより第１の検出用電極から出力される電流の絶対値と、振動漏れにより第２の検出用電極から出力される電流の絶対値との差を小さくすることができるので、その振動漏れによるノイズの影響を抑制することができ、これによって、振動素子の出力が安定し、正確に検出を行うことができる。
また、振動素子の出力調整は、第１の検出用電極と第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更して行うので、振動素子の共振周波数、感度等の特性はほとんど変更されることがない。
【０００８】
［適用例２］
本発明の振動素子の出力調整方法では、前記振動素子の出力調整時の前記駆動用電極への印加電圧は、前記振動素子の使用時の前記駆動用電極への印加電圧よりも大きく設定することが好ましい。
これにより、振動素子の出力調整の際、駆動用振動腕が大きく振動し、第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕を大きく振動させることができるので、第１の検出用電極および第２の検出用電極から出力される電流を大きくすることができ、これによって、正確に調整を行うことができる。
【０００９】
［適用例３］
本発明の振動素子の出力調整方法では、前記振動素子は、前記第１の検出用振動腕の根元部が先端部よりも応力が集中し、前記第２の検出用振動腕の根元部が先端部よりも応力が集中するものであり、
前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極の前記第１の検出用振動腕の根元部に位置する部位と、前記第２の検出用電極の前記第２の検出用振動腕の根元部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで粗調整を行い、前記第１の検出用電極から出力される前記電流の絶対値と前記第２の検出用電極から出力される前記電流の絶対値との差が小さくなるように、前記第１の検出用電極の前記第１の検出用振動腕の先端部に位置する部位と、前記第２の検出用電極の前記第２の検出用振動腕の先端部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで微調整を行うことが好ましい。
これにより、粗調整により、調整時間を短縮することができ、また、微調整により、正確に調整を行うことができる。
【００１０】
［適用例４］
本発明の振動素子の出力調整方法では、前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流の絶対値をＡ、前記第２の検出用電極から出力される電流の絶対値をＢ、前記駆動用電極から出力される電流の絶対値をＣとしたとき、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下となるように、前記第１の検出用電極と前記第２の検出用電極との少なくとも一方の面積を変更することが好ましい。
これにより、振動素子の出力がより安定し、より正確に検出を行うことができる。
【００１１】
［適用例５］
本発明の振動素子の出力調整方法では、互いに交差する第１軸、第２軸、第３軸を想定したとき、前記振動素子は、前記第３軸を法線とし、前記駆動用振動腕は、前記第２軸方向に延在し、前記第１の検出用振動腕および前記第２の検出用振動腕は、それぞれ、前記第２軸方向であって、前記駆動用振動腕とは反対側に延在し、
前記振動素子は、その使用の際は、前記駆動用振動腕が前記第１軸方向に往復駆動しつつ、前記振動素子に前記第２軸回りの回転が加わると、前記駆動用振動腕は、前記第３軸方向に沿って往復駆動し、前記第１の検出用振動腕および前記第２の検出用振動腕は、それぞれ、前記第３軸方向に沿って往復駆動するものであることが好ましい。
これにより、振動素子の出力がより安定し、より正確に検出を行うことができる。
【００１２】
［適用例６］
本発明の振動素子は、基部と、
前記基部に支持された駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕に設けられた駆動用電極と、
前記基部に前記駆動用振動腕と異なる位置に支持された第１の検出用振動腕および第２の検出用振動腕と、
前記第１の検出用振動腕に設けられた第１の検出用電極と、
前記第２の検出用振動腕に設けられ、前記第１の検出電極と面積の異なる第２の検出用電極とを有し、
前記駆動用電極に通電し、前記駆動用振動腕を往復駆動させた状態で、前記第１の検出用電極から出力される電流の絶対値をＡ、前記第２の検出用電極から出力される電流の絶対値をＢ、前記駆動用電極から出力される電流の絶対値をＣとしたとき、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下であることを特徴とする。
これにより、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下であるので、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができ、振動素子の出力が安定し、正確に検出を行うことができる。
【００１３】
［適用例７］
本発明の振動子は、本発明の振動素子と、
前記振動素子を収納したパッケージと、を備えている。
これにより、前記本発明の振動素子と同様の効果が得られる。
［適用例８］
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えたことを特徴とする。
これにより、前記本発明の振動素子と同様の効果が得られる。
［適用例９］
本発明の移動体は、本発明の振動素子を備えたことを特徴とする。
これにより、前記本発明の振動素子と同様の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の振動素子の調整方法により調整された振動素子を用いた振動子を模式的に示す平面図である。
【図２】図１に示す振動子の横断面図である。
【図３】図１に示す振動子の駆動用振動腕を示す図であり、（ａ）は拡大平面図、（ｂ）は拡大横断面図である。
【図４】図１に示す振動子の検出用振動腕を示す図であり、（ａ）は拡大平面図、（ｂ）は拡大横断面図である。
【図５】図１に示す振動子の振動素子の主要部の斜視図である。
【図６】図１に示す振動子の振動素子の出力調整を説明するための図である。
【図７】本発明の振動素子を用いたモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の振動素子を用いた携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図９】本発明の振動素子を用いたディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１０】本発明の振動素子を用いた移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の振動素子の出力調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜実施形態＞
図１は、本発明の振動素子の調整方法により調整された振動素子を用いた振動子を模式的に示す平面図である。図２は、図１に示す振動子の横断面図である。図３は、図１に示す振動子の駆動用振動腕を示す図であり、（ａ）は拡大平面図、（ｂ）は拡大横断面図である。図４は、図１に示す振動子の検出用振動腕を示す図であり、（ａ）は拡大平面図、（ｂ）は拡大横断面図である。図５は、図１に示す振動子の振動素子の主要部の斜視図である。図６は、図１に示す振動子の振動素子の出力調整を説明するための図である。
【００１６】
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する（交差する）３つの軸として、ｘ軸（第１軸）、ｙ軸（第１軸）およびｚ軸（第１軸）を想定し、図１〜図５において、各軸を図示しており、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向」、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向」、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」という。また、各方向の正負は、図中の矢印に示すとおりである。
【００１７】
図１および図２に示す振動子（センサーデバイス）１は、角速度を検出するジャイロセンサーである。
このような振動子１は、例えば、撮像機器の手ぶれ補正や、ＧＰＳ（Global Positioning System）衛星信号を用いた移動体ナビケーションシステムにおける車両などの姿勢検出、姿勢制御等に用いることができる。
この振動子１は、振動素子２と、振動素子２を収納したパッケージ４とを有する。
【００１８】
以下、振動子１を構成する各部を順次説明する。
振動素子２は、１つの軸まわりの角速度を検出するジャイロセンサー素子である。
図１に示すように、振動素子２は、ｚ軸を法線としており、振動基板２０と、駆動用電極群５１、５２と、検出用電極群５３、５４とを有している。
振動基板２０は、基部２１と、１対の駆動用振動腕２２１、２２２と、１対の検出用振動腕２３１、２３２と、支持部２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とを有する、いわゆる「Ｈ型」の振動基板である。本実施形態では、基部２１、駆動用振動腕２２１、２２２、検出用振動腕２３１、２３２、支持部２５および連結部２６１〜２６４は、圧電体材料で一体的に形成されている。なお、検出用振動腕２３１が第１の検出用振動腕、検出用振動腕２３２が第２の検出用振動腕である。
【００１９】
圧電体材料としては、特に限定されないが、水晶を用いるのが好ましい。これにより、振動素子２の特性を優れたものとすることができる。水晶は、互いに直交するＸ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）およびＺ軸（光学軸）の３本の結晶軸を有する。基部２１、駆動用振動腕２２１、２２２、検出用振動腕２３１、２３２、支持部２５および連結部２６１〜２６４は、例えば、Ｚ軸が厚さ方向に存在するとともにＸ軸およびＹ軸に平行な板面を有する水晶で構成された基板をエッチング加工することにより形成することができる。かかる基板の厚さは、振動素子２の発振周波数（共振周波数）、外形サイズ、加工性等に応じて適宜設定される。なお、本実施形態では、基部２１、駆動用振動腕２２１、２２２、出用振動腕２３１、２３２、支持部２５および連結部２６１〜２６４が水晶で一体的に構成されている場合を例に説明する。また、本実施形態では、結晶軸のＸ軸が絶対座標軸のｘ軸と一致しており、結晶軸のＹ軸が絶対座標軸のｙ軸と一致しており、結晶軸のＺ軸が絶対座標軸のｚ軸と一致している。
【００２０】
基部２１は、平面視で基部２１を囲むように形成された支持部２５に、４つの連結部２６１〜２６４を介して支持されている。４つの連結部２６１〜２６４は、それぞれ、長尺形状をなし、一端が基部２１に連結され、他端が支持部２５に連結されている。なお、連結部２６１〜２６４は、それぞれ、長手方向の途中で複数回屈曲している。
また、基部２１は、ｚ軸方向からみたとき、ｙ軸方向に延びる１対の辺と、ｘ軸方向に延びる１対の辺とを有する矩形状をなしている。すなわち、基部２１は、平面視したとき、後述するような駆動用振動腕２２１、２２２の延出方向に対して平行な１対の辺と、駆動用振動腕２２１、２２２の延出方向に対して垂直な１対の辺とを有する矩形状をなしている。これにより、後述するように検出用振動腕２３１、２３２を駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って第２の方向（図５に示す矢印Ｅ１、Ｅ２の方向）により効率的に振動（面内振動）させることができる（図５参照）。
【００２１】
また、図１に示すように、本実施形態での基部２１は、四角形状をなし、そのｘ軸方向の長さは、ｙ軸方向の長さよりも長いのが好ましい。すなわち、平面視における駆動用振動腕２２１、２２２の延出方向に対して垂直な方向での基部２１の長さをＬ１とし、平面視における駆動用振動腕２２１、２２２の延出方向に対して平行な方向での基部２１の長さをＬ２としたとき、Ｌ１＞Ｌ２なる関係を満たすのが好ましい。このようなＬ１およびＬ２の関係を満たすことにより、検出用振動腕２３１、２３２を駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って第２の方向Ｅ１、Ｅ２により効率的に振動させることができる。
【００２２】
駆動用振動腕２２１、２２２は、それぞれ、基部２１からｙ軸方向（＋ｙ方向）に延出（延在）している。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２は、互いに平行となるように設けられている。また、駆動用振動腕２２１、２２２は、互いにｘ軸方向に離間して配置されている。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２は、それぞれ、独立して振動することができる。図３（ｂ）に示すように、駆動用振動腕２２１、２２２の横断面は、それぞれ、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。
また、駆動用振動腕２２１、２２２の先端部には、それぞれ、ハンマーヘッド（錘部）２２１１、２２２１が形成されている。これにより、駆動用振動腕２２１、２２２の長さを短くすることができ、振動素子２の小型化を図ることができる。なお、ハンマーヘッド２２１１、２２２１は、省略されていてもよい。
【００２３】
そして、駆動用振動腕２２１には、駆動用電極群５１が設けられ、同様に、駆動用振動腕２２２には、駆動用電極群５２が設けられている。以下、駆動用電極群５１について代表的に説明する。なお、駆動用電極群５２については、４つの駆動用電極５２１、５２２、５２３、５２４で構成されており、後述する駆動用電極群５１と同様であるため、その説明を省略する。なお、駆動用振動腕２２２、駆動用電極群５２、駆動用電極５２１、５２２、５２３、５２４は、図３中に括弧書きで示す。
【００２４】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、駆動用電極群５１は、駆動用振動腕２２１の上面に設けられた駆動用電極５１１と、駆動用振動腕２２１の下面に設けられた駆動用電極５１２と、駆動用振動腕２２１の左側面に設けられた駆動用電極５１３と、駆動用振動腕２２１の右側面に設けられた駆動用電極５１４とで構成されている。
駆動用電極５１１および駆動用電極５１２は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。また、駆動用電極５１３および駆動用電極５１４は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。このような駆動用電極５１１、５１２は、図示しない配線を介して、図１に示す支持部２５に設けられた端子５７ａに電気的に接続されている。また、駆動用電極５１３、５１４は、図示しない配線を介して、図１に示す支持部２５に設けられた端子５７ｂに電気的に接続されている。なお、駆動用電極群５２の駆動用電極５２１、５２２は、前記駆動用電極５１３、５１４に電気的に接続されており、また、駆動用電極群５２の駆動用電極５２３、５２４は、前記駆動用電極５１１、５１２に電気的に接続されている。
【００２５】
検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、基部２１からｙ軸方向であって、前記駆動用振動腕２２１、２２２と反対側（−ｙ方向）に延出（延在）している。これにより、検出用振動腕２３１、２３２は、互いに平行となるように設けられている。また、検出用振動腕２３１、２３２は、前述した駆動用振動腕２２１、２２２とは反対方向に延出している。また、検出用振動腕２３１、２３２は、互いにｘ軸方向に離間して配置されている。これにより、検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、独立して振動することができる。図４（ｂ）に示すように、検出用振動腕２３１、２３２の横断面は、それぞれ、ｘ軸に平行な１対の辺とｚ軸に平行な１対の辺とで構成された矩形をなしている。
【００２６】
また、検出用振動腕２３１、２３２の先端部には、それぞれ、ハンマーヘッド（錘部）２３１１、２３２１が形成されている。これにより、検出用振動腕２３１、２３２の長さを短くすることができ、振動素子２の小型化を図ることができる。なお、ハンマーヘッド２３１１、２３２１は、省略されていてもよい。
このような検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ、後述するように駆動用振動腕２２１、２２２に加えられた物理量に応じて第１の方向（図５に示す矢印Ｃ１およびＤ１、Ｃ２およびＤ２）に振動するとともに、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って第１の方向とは異なる第２の方向（図５に示す矢印Ｅ１、Ｅ２）に振動するものである。
【００２７】
そして、図１に示すように、検出用振動腕２３１には、検出用電極群（第１の検出用電極群）５３が設けられ、同様に、検出用振動腕２３２には、検出用電極群（第２の検出用電極群）５４が設けられている。このように駆動用振動腕２２１、２２２とは別体として設けられた検出用振動腕２３１、２３２に検出用電極群５３、５４を設けることにより、検出用電極群５３、５４の検出用電極の電極面積（電極として機能する部分の面積）を大きくすることができる。そのため、振動素子２の検出感度を向上させることができる。
【００２８】
以下、検出用電極群５３について代表的に説明する。なお、検出用電極群５４については、４つの検出用電極（第２の検出用電極）５４１、５４２、５４３、５４４で構成されており、後述する検出用電極群５３と同様であるため、その説明を省略する。なお、検出用振動腕２３２、検出用電極群５４、検出用電極５４１、５４２、５４３、５４４は、図４中に括弧書きで示す。
【００２９】
図４（ａ）、（ｂ）に示すように、検出用電極群５３は、検出用振動腕２３１の上面に設けられた検出用電極（第１の検出用電極）５３１、５３２と、検出用振動腕２３１の下面に設けられた検出用電極（第１の検出用電極）５３３、５３４とで構成されている。ここで、検出用電極５３１、５３３は、それぞれ、検出用振動腕２３１の幅方向での一方側（図４中の左側）に設けられ、また、検出用電極５３２、５３４は、それぞれ、検出用振動腕２３１の幅方向での他方側（図４中の右側）に設けられている。
【００３０】
検出用電極５３１および検出用電極５３４は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。また、検出用電極５３２および検出用電極５３３は、互いに同電位となるように、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されている。このような検出用電極５３１、５３４は、図示しない配線を介して、図１に示す支持部２５に設けられた端子５７ｃに電気的に接続されている。また、検出用電極５３２、５３３は、図示しない配線を介して、図１に示す支持部２５に設けられた端子５７ｅに電気的に接続されている。なお、検出用電極群５４は、図示しない配線を介して、図１に示す支持部２５に設けられた端子５７ｄ、５７ｆに電気的に接続されている。
【００３１】
なお、検出用電極５３１〜５３４は、それぞれ、その一部分が基部２１に設けられていてもよく、同様に、検出用電極５４１〜５４４は、それぞれ、その一部分が基部２１に設けられていてもよい。そして、後述する振動素子２の出力調整においては、検出用電極５３１〜５３４のうちの基部２１に設けられている部位の面積を変更してもよく、同様に、検出用電極５４１〜５４４のうちの基部２１に設けられている部位の面積を変更してもよい。
【００３２】
このように構成された振動素子２では、使用の際は、端子５７ａと端子５７ｂとの間に駆動信号（駆動電圧）が印加されること、すなわち、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４に通電することにより、図５に示すように、駆動用振動腕２２１と駆動用振動腕２２２とが互いに接近・離間するように屈曲振動（駆動振動）（ｘ軸方向に往復駆動）する。すなわち、駆動用振動腕２２１が図５中の矢印Ａ１の方向に屈曲するとともに駆動用振動腕２２２が図５中の矢印Ａ２の方向に屈曲する状態と、駆動用振動腕２２１が図５中の矢印Ｂ１の方向に屈曲するとともに駆動用振動腕２２２が図５中の矢印Ｂ２の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
【００３３】
このように駆動用振動腕２２１、２２２を駆動振動させた状態で、振動素子２にｙ軸まわりの角速度ωが加わると、駆動用振動腕２２１、２２２は、コリオリ力により、ｚ軸方向に互いに反対側に屈曲振動する（ｚ軸方向に往復駆動）。これに伴い、検出用振動腕２３１、２３２は、ｚ軸方向（第１の方向）に互いに反対側に屈曲振動（検出振動）（ｚ軸方向に往復駆動）する。すなわち、検出用振動腕２３１が図５中の矢印Ｃ１の方向に屈曲するとともに検出用振動腕２３２が図５中の矢印Ｃ２の方向に屈曲する状態と、検出用振動腕２３１が図５中の矢印Ｄ１の方向に屈曲するとともに検出用振動腕２３２が図５中の矢印Ｄ２の方向に屈曲する状態とを交互に繰り返す。
このような検出用振動腕２３１、２３２の検出振動により検出用電極群５３、５４に生じた電荷を検出することにより、振動素子２に加わった角速度ωを求めることができる。
【００３４】
また、このとき、検出用振動腕２３１、２３２は、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動に伴って互いに接近・離間する方向（第１の方向とは異なる第２の方向）に屈曲振動（ｘ軸方向に往復駆動）する。すなわち、検出用振動腕２３１、２３２は、駆動用振動腕２２１、２２２に物理量が加えられているか否かにかかわらず、検出用振動腕２３１が図５中の矢印Ｅ１に示す方向に屈曲振動するとともに、検出用振動腕２３２が図５中の矢印Ｅ２に示す方向に屈曲振動する。
【００３５】
なお、検出用電極群５３、５４に生じた電荷は、電流として検出する。また、例えば、その電流は、検出用電極群５３の検出用電極５３１、５３４と検出用電極５３２、５３３との間の電流と、検出用電極群５４の検出用電極５４１、５４４と検出用電極５４２、５４３との間の電流とを加算して検出する。なお、前記電流の検出では、検出用電極群５３と検出用電極群５４とで電極の配置が逆であるので、互いの電流の差分をとっているとも言うことができる。これにより、検出用振動腕が１つの場合に比べて、約２倍の大きさの出力電流が得られる。
【００３６】
ここで、振動素子２を製造する際は、振動素子２に対して後述する出力調整が行われることにより、振動素子２は、下記の構成や特性を有することとなる。
まず、検出用電極５３１〜５３４の少なくとも１つと、検出用電極５３１〜５３４の少なくとも１つとは、面積が異なる。
また、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４の所定の電極に通電し、駆動用振動腕２２１、２２２がｘ軸方向に振動し、振動素子２に物理量が加えられていない状態で、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値をＡ、検出用電極５４１〜５４４からから出力される電流の絶対値をＢ、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４の所定の電極から出力される電流の絶対値をＣとし、検出用電極５３１〜５３４から発生する漏れ信号をＡ／Ｃ、検出用電極５４１〜５４４から発生する漏れ信号をＢ／Ｃとしたとき、その差、すなわち、Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃが１００ｐｐｍ以下である。これにより、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができ、振動素子２の出力が安定し、正確に検出を行うことができる。
【００３７】
図２に示すように、パッケージ４は、上方に開放する凹部を有するベース部材（ベース）４１と、このベース部材４１の凹部を覆うように設けられた蓋部材（リッド）４２とを備える。そして、ベース部材４１と蓋部材４２とにより、振動素子２が収納される内部空間が形成されている。
ベース部材４１は、平板状の板体（板部）４１１と、板体４１１の上面の外周部に接合された枠体（枠部）４１２とで構成されている。
このようなベース部材４１は、例えば、酸化アルニウム質焼結体、水晶、ガラス等で構成されている。
【００３８】
図２に示すように、ベース部材４１の板体４１１の上面（蓋部材４２に覆われる側の面）には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含んで構成された接着剤のような接合部材８１により、前述した振動素子２の支持部２５が接合されている。これにより、振動素子２がベース部材４１に対して支持・固定されている。
さらに、図１および図２に示すように、ベース部材４１の上面には、複数の内部端子７１が設けられている。
複数の内部端子７１には、例えばボンディングワイヤーで構成された配線を介して、前述した振動素子２の端子５７ａ〜５７ｆが電気的に接続されている。
【００３９】
一方、ベース部材４１の板体４１１の下面（パッケージ４の底面）には、振動子１が組み込まれる機器（外部機器）に実装される際に用いられる複数の外部端子７３が設けられている。
この複数の外部端子７３は、図示しない内部配線を介して、板体４１１に電気的に接続されている。これにより、板体４１１と複数の外部端子７３とが電気的に接続される。
このような各内部端子７１および各外部端子７３は、それぞれ、例えば、タングステン（Ｗ）等のメタライズ層にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）等の被膜をメッキ等により積層した金属被膜からなる。
【００４０】
このようなベース部材４１には、蓋部材４２が気密的に接合されている。これにより、パッケージ４内が気密封止されている。
この蓋部材４２は、例えば、ベース部材４１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
ベース部材４１と蓋部材４２との接合方法としては、特に限定されず、例えば、ろう材、硬化性樹脂等で構成された接着剤による接合方法、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。また、かかる接合は、減圧下または不活性ガス雰囲気下で行うことにより、パッケージ４内を減圧状態または不活性ガス封入状態に保持することができる。
【００４１】
次に、振動素子２の出力調整方法（製造方法）について説明する。
振動素子２では、例えば製造時のバラツキにより、振動素子２に物理量が加えられていなくても、駆動用振動腕２２１、２２４を通電により振動させた状態において、検出用振動腕２３１、２３２が振動し、検出用電極５３１〜５３４と、検出用電極５４１〜５４４とに、それぞれ、電荷が生じる。
【００４２】
そこで、この振動素子２の出力調整では、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４の所定の電極に通電し、駆動用振動腕２２１、２２２を振動（往復駆動）させ、振動素子２に物理量が加えられていない状態で、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値と、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値との差が小さくなるように、検出用電極５３１〜５３４の少なくとも１つと、検出用電極５４１〜５４４の少なくとも１つとのいずれか一方または両方の面積を変更する。この面積の変更は、面積の増加でもよく、また、面積の減少でもよい。また、検出用電極５３１〜５３４の面積を変更する箇所は、駆動用振動腕２２１に設けられる部位と基部２１に設けられる部位とのいずれでもよく、同様に、検出用電極５４１〜５４４の面積を変更する箇所は、駆動用振動腕２２２に設けられる部位と基部２１に設けられる部位とのいずれでもよい。以下、振動素子２の出力調整について詳細に説明する。
【００４３】
まず、図６に示すように振動素子２に、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流を検出する電流検出部９１を検出用電極５３１〜５３４に電気的に接続し、同様に、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流を検出する電流検出部９２を検出用電極５４１〜５４４に電気的に接続する。なお、図６には、電流検出部９１は、検出用電極５３１、５３２のみに接続されているように図示されているが、検出用電極５３１、５３４は、図示しない配線を介して互いに電気的に接続され、検出用電極５３２、５３３は、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されているので、電流検出部９１は、検出用電極５３３、５３４にも電気的に接続される。同様に、図６には、電流検出部９２は、検出用電極５４１、５４２のみに接続されているように図示されているが、検出用電極５４１、５４４は、図示しない配線を介して互いに電気的に接続され、検出用電極５４２、５４３は、図示しない配線を介して互いに電気的に接続されているので、電流検出部９２は、検出用電極５４３、５４４にも電気的に接続される。なお、電流検出部９１、９２としては、例えば、電流計等を用いる。
【００４４】
次に、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４の所定の電極に通電し、駆動用振動腕２２１、２２２を振動（往復駆動）させる。そして、振動素子２に物理量が加えられていない状態で、電流検出部９１により、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流を検出し、同様に、電流検出部９２により、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流を検出する。
【００４５】
この振動素子２の出力調整時の駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４への印加電圧は、振動素子２の使用時の駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４への印加電圧よりも大きく設定することが好ましい。これにより、振動素子２の出力調整の際、駆動用振動腕２２１、２２２が大きく振動し、検出用振動腕２３１、２３２を大きく振動させることができるので、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流および検出用電極５４１〜５４４から出力される電流を大きくすることができ、これによって、正確に調整を行うことができる。
なお、振動素子２の出力調整時の駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４への印加電圧は、振動素子２の使用時の駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４への印加電圧の１．５倍以上、３倍以下であることが好ましく、２倍以上、３倍以下であることがより好ましい。
【００４６】
次に、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流と、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流とを比較し、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値と、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値との差が小さくなるように、検出用電極５３１〜５３４の少なくとも１つと、検出用電極５４１〜５４４の少なくとも１つとのいずれか一方または両方の面積を変更する。なお、検出用電極５３１〜５３４の面積を変更する場合、面積を変更する検出用電極は、そのうちの１つでもよく、２つでもよく、３つでもよく、すべてでもよいが、以下では、代表的に、検出用電極５３１の面積を変更する場合を説明する。同様に、検出用電極５４１〜５４４の面積を変更する場合、面積を変更する検出用電極は、そのうちの１つでもよく、２つでもよく、３つでもよく、すべてでもよいが、以下では、代表的に、検出用電極５４１の面積を変更する場合を説明する。
【００４７】
検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値が、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値よりも大きい場合は、検出用電極５３１の面積を減少させるか、または、検出用電極５４１の面積を増加させるか、または、検出用電極５３１の面積を減少させ、かつ、検出用電極５４１の面積を増加させる。但し、これらのうちでは、処理を容易かつ迅速に行うことができるという観点から、検出用電極５３１の面積を減少させることが好ましい。
【００４８】
また、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値が、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値よりも大きい場合は、検出用電極５４１の面積を減少させるか、または、検出用電極５３１の面積を増加させるか、または、検出用電極５４１の面積を減少させ、かつ、検出用電極５３１の面積を増加させる。但し、これらのうちでは、前記と同様の理由で、検出用電極５４１の面積を減少させることが好ましい。
なお、検出用電極５３１、５４１の面積を減少させる方法としては、特に限定されず、例えば、レーザトリミング、研削等が挙げられる。また、検出用電極５３１、５４１の面積を増加させる方法としては、特に限定されず、例えば、ＦＩＢ（収束イオンビーム）を用いたスパッタリング等の蒸着等が挙げられる。
【００４９】
前記検出用電極５３１〜５３４から出力される電流と検出用電極５４１〜５４４から出力される電流とを検出する電流検出と、検出用電極５３１、５４１の面積の変更する面積変更処理とは、検出用電極５３１〜５３４から出力される電流の絶対値と、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値との差が目標値以下になるまで、繰り返し行う。この場合、検出用電極５３１〜５３４から発生する漏れ信号Ａ／Ｃと、検出用電極５４１〜５４４から発生する漏れ信号Ｂ／Ｃの差（Ａ／Ｃ−Ｂ／Ｃ）を１００ｐｐｍ以下にすることが好ましい。これにより、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができ、振動素子２の出力が安定し、正確に検出を行うことができる。
【００５０】
また、振動素子２は、検出用振動腕２３１、２３２の根元部の方が先端部よりも応力が集中し、その根元部に加わる応力が大きくなる。
これにより、検出用振動腕２３１、２３２が振動する際、検出用電極５３１〜５３４の検出用振動腕２３１の根元部に位置する部位には、検出用電極５３１〜５３４の検出用振動腕５３１の先端部に位置する部位よりも、大きな電荷が発生する。
このため、検出用電極５３１〜５３４の検出用振動腕２３１の根元部に位置する部位の面積を変更すると、検出用電極５３１〜５３４の検出用振動腕２３１の先端部に位置する部位の面積を変更する場合よりも、出力電流が大きく変化する。検出用電極５４１〜５４４も同様である。
【００５１】
したがって、振動素子２の出力調整では、まず、検出用電極５３１の検出用振動腕２３１の根元部に位置する部位と、検出用電極５４１の検出用振動腕２３２の根元部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで粗調整を行う。そして、この後、検出用電極５３１の検出用振動腕２３１の先端部に位置する部位と、検出用電極５４１の検出用振動腕２３２の先端部に位置する部位との少なくとも一方の面積を変更することで微調整を行う。これにより、粗調整により、調整時間を短縮することができ、また、微調整により、正確に調整を行うことができる。
【００５２】
また、振動素子２の出力調整では、振動子１の駆動回路を介さずに、外部電源を駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４に電気的に接続し、その外部電源により駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４に通電するようにしてもよい。これにより、振動子１の駆動回路の制約を受けることなく、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４に任意の大きさの電圧を印加することができる。
【００５３】
以上説明したように、この振動素子２の出力調整方法によれば、駆動用電極５１１〜５１４、５２１〜５２４に通電し、駆動用振動腕２２１、２２２を振動（往復駆動）させ、振動素子２に物理量が加えられていない状態で、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値と、検出用電極５４１〜５４４から出力される電流の絶対値との差を小さくすることができるので、振動漏れによるノイズの影響を抑制することができ、これによって、振動素子２の出力が安定し、正確に検出を行うことができる。
また、振動素子２の出力調整は、検出用電極５３１〜４３４、５４１〜５４４のいずれかの面積を変更して行うので、振動素子２の共振周波数、感度等の特性はほとんど変更さることがない。
【００５４】
＜電子機器の実施形態＞
次いで、振動素子２を適用した電子機器について、図７〜図９に基づき、詳細に説明する。
図７は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【００５５】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動子１（振動素子２）が内蔵されている。
【００５６】
図８は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動子１（振動素子２）が内蔵されている。
【００５７】
図９は、本発明の振動素子を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【００５８】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【００５９】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動子１（振動素子２）が内蔵されている。
【００６０】
なお、振動素子を備える電子機器は、図７のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図８の携帯電話機、図９のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【００６１】
＜移動体の実施形態＞
次いで、振動素子を適用した移動体について、図１０に基づき、詳細に説明する。
図１０は、本発明の振動素子を備える移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
自動車１５００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動子１（振動素子２）が内蔵されており、振動素子２によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。振動素子２の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプターで利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、振動子１（振動素子２）が組み込まれる。
【００６２】
以上、本発明の振動素子の出力調整方法、振動素子、振動子、電子機器および移動体を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。
また、前述した実施形態では、振動腕の本数は、４本であったが、これに限定されず、例えば、１本、２本、３本または５本以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、いわゆる「Ｈ型」の振動素子を例に説明したが、これに限定されず、例えば、「ダブルＴ型」、「二脚音叉」、「三脚音叉」、「くし歯型」、「直交型」、「角柱型」等、種々の振動素子（ジャイロ素子）に適用することが可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１……振動子（センサーデバイス）  ２……振動素子  ２０……振動基板  ２１……基部  ２２１……駆動用振動腕  ２２１１……ハンマーヘッド  ２２２……駆動用振動腕  ２２２１……ハンマーヘッド  ２３１……検出用振動腕  ２３１１……ハンマーヘッド  ２３２……検出用振動腕  ２３２１……ハンマーヘッド  ２５……支持部  ２６１……連結部  ２６２……連結部  ２６３……連結部  ２６４……連結部  ４……パッケージ  ４１……ベース部材（ベース）  ４１１……板体（板部）  ４１２……枠体（枠部）  ４２……蓋部材（リッド）  ５１……駆動用電極群  ５１１……駆動用電極  ５１２……駆動用電極  ５１３……駆動用電極  ５１４……駆動用電極  ５２……駆動用電極群  ５３……検出用電極群  ５３１……検出用電極  ５３２……検出用電極  ５３３……検出用電極  ５３４……検出用電極  ５４……検出用電極群  ５７ａ……端子  ５７ｂ……端子  ５７ｃ……端子  ５７ｄ……端子  ５７ｅ……端子  ５７ｆ……端子  ７１……内部端子  ７３……外部端子  ８１……接合部材  ９１、９２……電流検出部  １１００……パーソナルコンピューター  １１０２……キーボード  １１０４……本体部  １１０６……表示ユニット  １１０８……表示部  １２００……携帯電話機  １２０２……操作ボタン  １２０４……受話口  １２０６……送話口  １２０８……表示部  １３００……ディジタルスチルカメラ  １３０２……ケース  １３０４……受光ユニット  １３０６……シャッターボタン  １３０８……メモリー  １３１０……表示部  １３１２……ビデオ信号出力端子  １３１４……入出力端子  １４３０……テレビモニター  １４４０……パーソナルコンピューター  １５００……自動車  １５０１……車体  １５０２……車体姿勢制御装置  １５０３……車輪  Ａ１……矢印  Ａ２……矢印  Ｂ１……矢印  Ｂ２……矢印  Ｃ１……矢印  Ｃ２……矢印  Ｄ１……矢印  Ｄ２……矢印  Ｅ１……矢印  Ｅ２……矢印  Ｌ１……長さ  Ｌ２……長さ  ω……角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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