(57)【要約】【課題】検査における誤判定の発生を抑えることのできる高周波部品の検査装置を提供する。【解決手段】高周波部品の一部をなす導波管に検査用導波管を嵌合させ、前記検査用導波管を通じて前記高周波部品を検査する高周波部品の検査装置において、基台部材と、前記検査用導波管に固定された支持部材と、前記支持部材と前記基台部材とを連結する１つ以上のエラストマと、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波部品の一部をなす導波管に検査用導波管を嵌合させ、前記検査用導波管を通じて前記高周波部品を検査する高周波部品の検査装置において、
基台部材と、前記検査用導波管に固定された支持部材と、前記支持部材と前記基台部材とを連結する１つ以上のエラストマと、を備えることを特徴とする高周波部品の検査装置。
【請求項２】
前記導波管が、前記基台部材における前記エラストマの取付面に垂直な方向から傾きを持った状態で前記検査装置に載置される前記高周波部品に対応するべく、複数の前記エラストマの間で厚みを異ならせて調整していることを特徴とする請求項１に記載の高周波部品の検査装置。
【請求項３】
前記エラストマとして、ウレタンゲルによる発泡スポンジを用いることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の高周波部品の検査装置。
【請求項４】
請求項１に記載の高周波部品の検査装置の調整方法であって、前記エラストマのサイズ及び／又は形状を変化させて調整を行うことを特徴とする高周波部品の検査装置の調整方法。
【請求項５】
高周波部品の一部をなす導波管に検査用導波管を嵌合させ、前記検査用導波管を通じて前記高周波部品を検査する高周波部品の検査装置において、
前記高周波部品を検査する際に前記高周波部品を載置するための載置台と、前記載置台上に配されて前記高周波部品を載置するためのエラストマと、を備えることを特徴とする高周波部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波部品の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、高周波部品の導波管に検査用導波管を着脱可能に接続し、この検査用導波管を通じて高周波部品を検査する高周波部品の検査装置が知られている。
【０００３】
この種の従来の検査装置としては、正面図を図１０（ａ）に、側面図を図１０（ｂ）に示すようなものがある。また、検査対象の高周波部品としては、正面図を図１１（ａ）に、側面図を図１１（ｂ）に示すような衛星放送受信用ＢＳコンバータがある。
【０００４】
図１０に示す検査装置１０１は、ベース１０２と、ベース１０２上に突設された支柱１０３と、支柱１０３の途中に上方に向けられて固定支持された検査用導波管１０４と、支柱１０３上に水平に固定された載置台１０５を備えている。
【０００５】
図１０に示すように、Ｌ字型部材１０６は支柱１０３に固定され、Ｌ字型部材１０６に形成された孔に検査用導波管１０４を挿通し、検査用導波管１０４を固定している。検査用導波管１０４の先端には、円錐台状の先端凸部１０４Ａが設けられる。
【０００６】
また、図１１に示す高周波部品１１１は、導波管１１１１と同軸コネクタ１１１２等を備えている。導波管１１１１の先端には、円錐台状の先端凹部１１１１Ａが設けられる。
【０００７】
ここで、載置台１０５上に高周波部品１１１を載置して、この高周波部品１１１の導波管１１１１を下方に向け、この導波管１１１１の先端凹部１１１１Ａを検査用導波管１０４の先端凸部１０４Ａに着脱可能に嵌合接続させる。その上で、高周波信号を検査用導波管１０４及び導波管１１１１を通じて高周波部品１１１の本体に入力し、高周波部品１１１の動作試験を行う。
【０００８】
このような高周波部品の検査装置１０１においては、高周波部品１１１の導波管１１１１と検査用導波管１０４を高精度で接続させるべく、導波管１１１１の先端凹部１１１１Ａを検査用導波管１０４の先端凸部１０４Ａに密接嵌合させることが望ましい。
【０００９】
しかしながら、検査用導波管１０４を高精度で加工したとしても、量産品である高周波部品１１１の導波管１１１１には寸法誤差が生じる。このような寸法誤差により、導波管１１１１の先端凹部１１１１Ａと検査用導波管１０４の先端凸部１０４Ａの密接嵌合を確実に行うのは困難なことがあり、これが高周波部品１１１の動作試験における誤判定の原因となっていた。
【００１０】
そこで、特許文献１には、検査用導波管の先端近傍外周に固定されたフランジと、当該フランジの下側に重ねられた支持板とを備え、当該支持板と支柱に固定されたＬ字型部材の間にバネが設けられた検査装置が提案されている（特許文献１の第１図、第２図）。
【００１１】
これにより、検査用導波管は上下方向（Ｚ軸方向）に弾性的に移動可能に支持される。また、フランジが支持板上で水平方向に移動可能であることから、検査用導波管も水平方向に移動可能である。即ち、検査用導波管は水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）に移動可能に支持されている。
【００１２】
このような構成により、高周波部品が検査装置の載置台上に載置されるときに、高周波部品の導波管の中心軸が検査用導波管の中心軸からずれていたとしても、検査用導波管の先端凸部が導波管の先端凹部に誘い込まれて嵌合するとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００８−１４７８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、上記特許文献１のような支持構造では、水平方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）への弾性力が弱いため検査用導波管の誘い込みが上手くいかず、密接嵌合を安定して行うには困難があった。密接嵌合が上手く行われない場合、インピーダンスマッチングにずれが生じ、検査時におけるＮＦ（Noise Figure）値が悪化する。ＮＦとは、入力のＳ／Ｎから出力のＳ／Ｎへの劣化度を示し、ここで入力は検査用導波管の先端であり、出力は高周波部品の出力端子である。
【００１５】
ここで図１２に、嵌合状態が良好・不良でのＮＦ検査結果の一例を示す（図１２に示すグラフの横軸は高周波信号の周波数を示し、縦軸はＮＦ値を示す）。嵌合状態が良好であれば、対象周波数の全てについてＮＦ値はＮＦ検査基準値（工場での検査工程における基準値）を下回っている。しかしながら、嵌合状態が不良の場合、対象周波数の一部についてＮＦ値がＮＦ検査基準値を上回っており、高周波部品が実際は良品であるにもかかわらず、不良品であると誤判定されている。
【００１６】
このように、嵌合状態に不良が生じると、検査における誤判定が発生する虞があった。また、上記特許文献１の構成では、異なる仕様の導波管（導波管の取付角度や形状が異なる等）を有した高周波部品に対応させようとしても、既存設備を改造することは困難であり、汎用性が無くコストが上昇するという問題点もあった。
【００１７】
上記問題点に鑑み、本発明は、検査における誤判定の発生を抑えることのできる高周波部品の検査装置、及びその調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために本発明の一態様は、高周波部品の一部をなす導波管に検査用導波管を嵌合させ、前記検査用導波管を通じて前記高周波部品を検査する高周波部品の検査装置において、基台部材と、前記検査用導波管に固定された支持部材と、前記支持部材と前記基台部材とを連結する１つ以上のエラストマと、を備える構成としている。
【００１９】
このような構成によれば、高周波部品の検査の際に、導波管に検査用導波管を誘い込んで安定して嵌合を行うことができ、検査における誤判定の発生を抑えることができる。
【００２０】
また、上記構成において、前記導波管が、前記基台部材における前記エラストマの取付面に垂直な方向から傾きを持った状態で前記検査装置に載置される前記高周波部品に対応するべく、複数の前記エラストマの間で厚みを異ならせて調整していることとしてもよい。
【００２１】
また、上記いずれかの構成において、前記エラストマとして、ウレタンゲルによる発泡スポンジを用いることとしてもよい。これにより、安価で繰り返し耐久性の強い支持構造を得ることができる。
【００２２】
また、本発明の一態様は、上記構成である高周波部品の検査装置の調整方法であって、前記エラストマのサイズ及び／又は形状を変化させて調整を行うこととしている。このような構成によれば、簡易に高周波部品に応じた検査装置を構築することが可能となる。即ち、既存設備の改造に対する汎用性が高いものとなる。
【００２３】
また、本発明の一態様は、上記構成である高周波部品の検査装置の調整方法であって、前記エラストマの配置を変化させて調整を行うこととしている。このような構成によれば、支持部材に弾性力を与える位置を簡易に変更することができる。
【００２４】
また、上記目的を達成するために本発明の一態様は、高周波部品の一部をなす導波管に検査用導波管を嵌合させ、前記検査用導波管を通じて前記高周波部品を検査する高周波部品の検査装置において、前記高周波部品を検査する際に前記高周波部品を載置するための載置台と、前記載置台上に配されて前記高周波部品を載置するためのエラストマと、を備える構成としている。
【００２５】
このような構成によれば、高周波部品の検査の際に、エラストマ上に高周波部品を載置すれば、高周波部品の移動によって導波管が検査用導波管に誘い込まれ、安定して嵌合を行うことができる。従って、検査における誤判定の発生を抑えることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によると、高周波部品の検査における誤判定の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置の正面図及び側面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る支持ユニットの正面図、側面図、及び上面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る検査装置の正面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る支持ユニットの正面図及び上面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る検査装置の側面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る支持ユニットの側面図及び上面図である。
【図７】高周波部品の一例を示す正面図及び側面図である。
【図８】高周波部品の一例を示す正面図及び側面図である。
【図９】本発明の第４実施形態に係る検査装置の正面図及び側面図である。
【図１０】従来例に係る検査装置の正面図及び側面図である。
【図１１】高周波部品の一例を示す正面図及び側面図である。
【図１２】高周波部品のＮＦ検査結果の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
＜第１実施形態＞
以下に本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る検査装置の正面図を図１（ａ）に、側面図を図１（ｂ）に示す。なお、図１において、Ｚ軸方向は上下方向を示し、Ｚ軸に垂直な水平面内の２軸方向をＸ軸、Ｙ軸方向としている（その他の図面についても同様）。
【００２９】
図１に示す検査装置１１は、ベース１２と、ベース１２上に突設された支柱１３と、支柱１３の略中央に設けられた支持ユニット１４と、支持ユニット１４により先端部１５Ａを上方に向けて長手方向が上下方向（Ｚ軸方向）となるよう支持された検査用導波管１５と、支柱１３上に水平に固定された載置台１６を備えている。
【００３０】
支持ユニット１４の構成を示す正面図を図２（ａ）に、側面図を図２（ｂ）に、上面図を図２（ｃ）に示す。図２（ａ）（ｂ）に示すように、支持ユニット１４は、支柱１３に直接固定支持されたＬ字型部材１４１（基台部材）と、検査用導波管１５の先端近傍外周に固定された支持板１４２と、Ｌ字型部材１４１が有する水平板１４１Ａに対して支持板１４２を移動可能に連結するエラストマ１４３を備えている。
【００３１】
図２（ｃ）に示すように、Ｌ字型部材１４１の水平板１４１Ａには、検査用導波管１５が挿通される孔部１４１Ｂが形成され、孔部１４１Ｂの周辺の４か所にそれぞれエラストマ１４３が配置される。支持板１４２と水平板１４１Ａはエラストマ１４３を介して接続される。孔部１４１Ｂの径は、検査用導波管１５の外径より大きく設定されるので、検査用導波管１５（支持板１４２）は、エラストマ１４３によって上下方向（Ｚ軸方向）に加えて水平方向（Ｘ、Ｙ軸方向）を移動可能に弾性的に支持される。
【００３２】
即ち、支持板１４２に下方向への荷重が作用したならば、支持板１４２はエラストマ１４３による弾性力に抗して水平板１４１Ａに接近する下方向に移動し、エラストマ１４３が短縮する。また、支持板１４２に水平方向の荷重が作用したならば、支持板１４２はエラストマ１４３による弾性力に抗して水平方向に移動する。
【００３３】
なお、エラストマ１４３は、例えば安価であり繰り返し耐久性の強いウレタンゲルによる発泡スポンジを使用することが望ましい。また、図２においては、エラストマ１４３の形状の一例として立方体としている。
【００３４】
次に、本実施形態に係る検査装置１１により高周波部品を検査する手順を説明する。
【００３５】
検査対象となる高周波部品１１１（図１）は、例えば図１１（ａ）（ｂ）に示すようなものであり、導波管１１１１及び同軸コネクタ１１１２等を備えている。導波管１１１１は先端に先端部１１１１Ｂを有している。先端部１１１１Ｂの内部は、検査用導波管１５の先端部１５Ａを収める空間となっている。
【００３６】
ここで、図１に示すように、高周波部品１１１の導波管１１１１を下方に向けた状態で、高周波部品１１１を検査装置１１の載置台１６に載置して、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂを載置台１６の孔１６Ａを介して検査用導波管１５の先端部１５Ａに被せる。
【００３７】
このとき、高周波部品１１１が載置台１６に載るよりも先に、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂが検査用導波管１５の先端部１５Ａに接触する。このため、高周波部品１１１の荷重が先端部１１１１Ｂを通じて検査用導波管１５の先端部１５Ａに加わり、下方向への力が検査用導波管１５に加わる。従って、支持板１４２に下方向への力が作用し、支持板１４２はエラストマ１４３による弾性力に抗して下方向へ移動し、エラストマ１４３は短縮する。そして、高周波部品１１１が載置台１６上に載る。
【００３８】
ここで、仮に高周波部品１１１の導波管１１１１の中心軸が検査用導波管１５の中心軸に一致していたならば、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂが検査用導波管１５の先端部１５Ａに正確に嵌合する。
【００３９】
また、仮に高周波部品１１１の導波管１１１１の中心軸が検査用導波管１５の中心軸からずれていたならば、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂの一部が検査用導波管１５の先端部１５Ａの一部に接触し、先端部１５Ａには下方向のみならず水平方向にも力が作用する。この水平方向の力により、先端部１５Ａ（支持板１４２）がエラストマ１４３による弾性力に抗して水平方向（Ｘ軸、Ｙ軸方向）に移動し、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂの内部空間に誘い込まれて嵌合する。
【００４０】
このように、高周波部品１１１が検査装置１１の載置台１６に載置されるときに、導波管１１１１の中心軸が検査用導波管１５の中心軸からずれていたとしても、検査用導波管１５の先端部１５Ａは安定的に導波管１１１１の先端部１１１１Ｂの内部に誘い込まれて、正確に嵌合することができる。
【００４１】
本実施形態の効果を検証するために、本実施形態に係る検査装置１１と従来型の検査装置（図１０）とで高周波部品の検査結果を比較した。より具体的には、本実施形態に係る検査装置１１と従来型の検査装置それぞれを用いて各１００個の高周波部品のＮＦ検査を行った（図１２に示すグラフと同様のプロットを各高周波部品について行った）。
【００４２】
その結果、ＮＦ値がＮＦ検査基準値を超え、実際には良品であるのに不良品であると誤判定された高周波部品が、従来型の検査装置では１００個中２０個であり、本実施形態の検査装置では１００個中２個であった。即ち、本実施形態での誤判定率は２％であり、従来型での誤判定率２０％から大幅に低減させることができた。これは、本実施形態では、従来型に比べて高周波部品の導波管に対する検査用導波管の嵌合を安定して行えたからである。
【００４３】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本発明の第２実施形態に係る検査装置の正面図を図３に示す。図３に示した検査装置１１’は、図７に示すような高周波部品の検査に対応するよう構成されたものである。
【００４４】
図７に示す高周波部品１１１’は、導波管１１１１’及び同軸コネクタ１１１２’等を備えている。導波管１１１１’は、先端に先端部１１１１’Ｂを有し、正面視でその長手方向が上下方向に対して角度をもって傾いている。
【００４５】
このような傾いた導波管１１１１’を有した高周波部品１１１’に対応するため、検査装置１１’は、図４に示すような構成の支持ユニット１４’を有している。図４に示す支持ユニット１４’では、Ｌ字型部材１４１の水平板１４１Ａに形成された、検査用導波管１５を挿通させる孔部１４１Ｂの周辺の４か所にエラストマ１４３’が配置される。
【００４６】
エラストマ１４３’は、Ｘ軸方向に沿った一方の２つの組（図４（ｂ）の左方の組）よりも他方の２つの組（図４（ｂ）の右方の組）のもののほうが厚み（高さ）が大きくなるように構成している。そして、検査用導波管１５の先端近傍外周に固定された支持板１４２と水平板１４１Ａがエラストマ１４３’によって連結される。
【００４７】
このような支持ユニット１４’の構成により、傾いた導波管１１１１’を有した高周波部品１１１’を検査装置１１’の載置台１６’に載置するときに、検査用導波管１５の先端部１５Ａが導波管１１１１’の先端部１１１１’Ｂの内部空間に誘い込まれ、安定的に嵌合する。従って、傾いた導波管１１１１’を有した高周波部品１１１’を検査した際の誤判定を抑えることができる。
【００４８】
ここで、上記第１実施形態に係る検査装置１１（図１）を改造して本実施形態に係る検査装置１１’を構築しようとした場合、エラストマの厚みを変更する調整を行えば可能であるので、簡易に高周波部品に応じた検査装置を構築することが可能となる。つまり、既存設備の改造に対する汎用性が高いものとなる。
【００４９】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本発明の第３実施形態に係る検査装置の側面図を図５に示す。図５に示した検査装置１１’’は、図８に示すような高周波部品の検査に対応するよう構成されたものである。
【００５０】
図８に示す高周波部品１１１’’は、導波管１１１１’’及び同軸コネクタ１１１２’’等を備えている。導波管１１１１’’は、先端に先端部１１１１’ ’Ｂを有し、先端部１１１１’’Ｂは、正面視（図８（ａ））よりも側面視（図８（ｂ））で幅の長い形状となっている。
【００５１】
このような先端部１１１１’’Ｂを持つ導波管１１１１’’を有した高周波部品１１１’’に対応するため、検査装置１１’’は、図６に示すような構成の支持ユニット１４’’を有している。図４に示す支持ユニット１４’’では、Ｌ字型部材１４１の水平板１４１Ａに形成された、検査用導波管１５を挿通させる孔部１４１Ｂの周辺の４か所にエラストマ１４３’’が配置される。検査用導波管１５の先端近傍外周に固定された支持板１４２と水平板１４１Ａがエラストマ１４３’’によって連結される。
【００５２】
ここで、上記第１実施形態では、エラストマの形状は立方体としていたが、本実施形態のエラストマ１４３’’の形状は直方体としている。導波管１１１１’’の先端部１１１１’’Ｂの幅が側面視（図５）で長くなっており、側面視にて（ＺＹ平面内にて）導波管１１１１’’が傾きやすいため、エラストマ１４３’’の形状を直方体として弾性力を調整している。また、エラストマ１４３’’の配置を調整し、支持板１４２に弾性力を与える位置を調整している。
【００５３】
これにより、導波管１１１１’’を有した高周波部品１１１’’を検査装置１１’’の載置台１６’’に載置するときに、検査用導波管１５の先端部１５Ａが導波管１１１１’’の先端部１１１１’’Ｂの内部空間に誘い込まれ、安定的に嵌合する。従って、導波管１１１１’’を有した高周波部品１１１’’を検査した際の誤判定を抑えることができる。
【００５４】
上記第１実施形態の検査装置を改造して本実施形態の検査装置１１’’を構築する場合、エラストマの形状及び配置を変更すれば可能であるので、簡易に高周波部品に応じた検査装置を構築可能となる。つまり、既存設備の改造に対する汎用性が高い。
【００５５】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態について説明する。本発明の第４実施形態に係る検査装置の正面図を図９（ａ）に、側面図を図９（ｂ）に示す。
【００５６】
図９に示す検査装置２１は、ベース２２と、ベース２２上に突設された支柱２３と、支柱２３の途中に固定支持されたＬ字型部材２４と、Ｌ字型部材２４の水平板２４Ａに先端近傍外周を固定された検査用導波管２５と、支柱２３上に水平に固定された載置台２６と、載置台２６上に固定されたエラストマ２７を備えている。
【００５７】
検査装置２１によって検査対象である高周波部品１１１を検査する際は、高周波部品１１１の導波管１１１１の先端部１１１１Ｂを下方に向けて載置台２６の孔部２６Ａを挿通させて高周波部品１１１をエラストマ２７上に載置する。
【００５８】
高周波部品１１１がエラストマ２７上に載置されると、高周波部品１１１に作用する下方向の荷重によってエラストマ２７は短縮し、高周波部品１１１はエラストマ２７による弾性力に抗して下方向へ移動する。
【００５９】
このとき、導波管１１１１の中心軸が検査用導波管２５の中心軸と一致していれば、高周波部品１１１の下方向への移動によって導波管１１１１の先端部１１１１Ｂが検査用導波管２５の先端部２５Ａに正確に嵌合する。
【００６０】
一方、導波管１１１１の中心軸が検査用導波管２５の中心軸からずれていれば、先端部１１１１Ｂの一部が先端部２５Ａの一部と接触し、高周波部品１１１には下方向のみならず水平方向（Ｘ、Ｙ軸方向）に荷重が作用するので、高周波部品１１１はエラストマ２７による弾性力に抗して水平方向にも移動する。これにより、先端部１１１１Ｂの内部空間が先端部２５Ａに誘い込まれて嵌合する。
【００６１】
このように、本実施形態によれば、導波管１１１１の中心軸が検査用導波管２５の中心軸からすれていたとしても、導波管１１１１の先端部１１１１Ｂが検査用導波管２５の先端部２５Ａに安定的に嵌合する。従って、高周波部品１１１の検査において誤判定を抑えることができる。
【００６２】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の趣旨の範囲内であれば、実施形態は種々の変形が可能である。
【００６３】
例えば、エラストマの粘着力や硬度が弱い場合、図２に示す構成において、支持板１４２とＬ字型部材１４１の水平板１４１Ａとを連結するピンをエラストマ１４３内部を貫通するよう設けるようにし、連結を補強してもよい。
【符号の説明】
【００６４】
１１  検査装置
１２  ベース
１３  支柱
１４  支持ユニット
１４１  Ｌ字型部材
１４２  支持板
１４３  エラストマ
１５  検査用導波管
１６  載置台
１１１  高周波部品
１１１１  導波管
１１１２  同軸コネクタ
【図１】
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【図２】
2015142309.tif 000004
【図３】
2015142309.tif 000005
【図４】
2015142309.tif 000006
【図５】
2015142309.tif 000007
【図６】
2015142309.tif 000008
【図７】
2015142309.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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