(57)【要約】      （修正有）【課題】検査時間を短縮することができるタッチパネル検査装置、及びタッチパネル検査方法を提供する。【解決手段】面状に拡がるタッチ面Ｐｓを有し、タッチ面Ｐｓにタッチされた位置に応じた静電容量を出力可能なタッチパネルＰの検査を行うタッチパネル検査装置１であって、タッチ面Ｐｓの複数箇所をタッチする複数の疑似指３２と、タッチ面Ｐｓが複数の疑似指３２によりタッチされた状態でタッチパネルＰから静電容量を取得する静電容量測定部と、静電容量測定部により取得された静電容量に基づいて、タッチパネルＰの良否を判定する判定部とを備えた。【選択図】図１
2015207078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
面状に拡がるタッチ面を有し、前記タッチ面にタッチされた位置に応じた情報を出力可能なタッチパネルの検査を行うタッチパネル検査装置であって、
前記タッチ面の複数箇所をタッチする複数の疑似指と、
前記タッチ面が前記複数の疑似指によりタッチされた状態で前記タッチパネルから前記情報を取得する情報取得部と、
前記情報取得部により取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する判定部とを備えるタッチパネル検査装置。
【請求項２】
前記疑似指の数は、４以上である請求項１記載のタッチパネル検査装置。
【請求項３】
前記疑似指の数は、５以上である請求項２記載のタッチパネル検査装置。
【請求項４】
前記疑似指の数は、９以上である請求項３記載のタッチパネル検査装置。
【請求項５】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面の少なくとも一部の領域に対して、略均等に分布するように配置されている請求項１〜４のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項６】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面の略全面に対して、略均等に分布するように配置されている請求項５記載のタッチパネル検査装置。
【請求項７】
前記複数の疑似指は、略格子状の交点に対応するように配置されている請求項１〜６のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項８】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面と対向配置される板状部材の、前記タッチ面と対向する面から前記タッチ面へ向かって突出するように形成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項９】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面と交差する方向に沿って伸縮可能にされており、前記各疑似指の前記タッチ面と接触する先端部を、前記タッチ面方向へ向けて弾性的に付勢する付勢部をさらに備える請求項１〜８のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１０】
前記タッチ面上には、複数の設定位置が設定されており、
前記タッチパネルは、前記設定位置毎に加えられた押圧力に応じた前記情報を出力し、
前記タッチパネル検査装置は、前記複数の疑似指を前記タッチ面にタッチさせ、前記各疑似指による前記タッチ面の押圧力を変更可能な押圧部をさらに備え、
前記情報取得部は、前記押圧部によって前記押圧力が加えられた状態で、前記タッチパネルから前記各設定位置にそれぞれ対応して前記情報を取得し、
前記判定部は、前記各設定位置にそれぞれ対応して取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する請求項１〜９のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１１】
前記押圧部によって互いに異なる複数の前記押圧力を加えさせ、当該各押圧力に対応する前記情報を、前記情報取得部によって前記各設定位置に対応してそれぞれ取得させる押圧力制御部をさらに備え、
前記判定部は、前記各押圧力及び前記各設定位置に対応して取得された前記各情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する請求項１０記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１２】
前記複数の押圧力のうち一つを基準押圧力とし、
前記設定位置毎に、前記複数の押圧力のうち前記基準押圧力を除く他の押圧力に対応する前記情報と前記基準押圧力に対応する前記情報との差を演算する差演算部をさらに備え、
前記判定部は、前記各設定位置に対応して前記差演算により演算された前記差に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する請求項１１記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１３】
前記他の押圧力は、複数設定されている請求項１２記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１４】
前記基準押圧力は、実質的に０である請求項１２又は１３記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１５】
前記判定部は、さらに、前記各設定位置にそれぞれ対応して取得された前記情報に基づいて、前記各設定位置のうち不良状態の設定位置を判定する請求項１０〜１４のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１６】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面と対向配置される板状部材の、前記タッチ面と対向する面から前記タッチ面へ向かって突出するように形成されており、
前記押圧部は、前記板状部材を前記タッチ面へ押圧することにより、前記押圧力を生じさせる請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１７】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面と交差する方向に沿って伸縮自在にされており、前記各疑似指の前記タッチ面と接触する先端部を、前記タッチ面方向へ向けて弾性的に付勢する付勢部をさらに備え、
前記押圧部は、前記板状部材と前記タッチ面との対向距離を変化させることにより、前記各疑似指の前記押圧力を一括して変化させる請求項１６記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１８】
前記複数の疑似指は、前記タッチ面における予め設定された複数のタッチ位置にタッチされ、
前記タッチパネル検査装置は、前記情報取得部により取得された前記情報から得られる複数のタッチ検出位置と、前記複数のタッチ位置との各ずれ量を算出する位置ずれ量演算部をさらに備え、
前記判定部は、前記位置ずれ量演算部により算出された前記各ずれ量に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する請求項１〜１１のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項１９】
前記タッチパネルは、一方向に沿って延びる複数の行電極と、前記一方向と交差する方向に延び、前記複数の行電極と対向配置された複数の列電極とを備え、
前記情報取得部は、前記複数の行電極のうち一の行電極を選択し、前記複数の列電極のうち一の列電極を選択し、当該選択された一の行電極と一の列電極とを除く他の前記行電極及び前記列電極を回路グラウンドに接続し、当該一の行電極と当該一の列電極とが交差する設定位置に対応する静電容量を前記情報として取得する請求項１〜１８のいずれか１項に記載のタッチパネル検査装置。
【請求項２０】
面状に拡がるタッチ面を有し、前記タッチ面にタッチされた位置に応じた情報を出力可能なタッチパネルの検査を行うタッチパネル検査方法であって、
複数の疑似指で前記タッチ面の複数箇所をタッチするタッチ工程と、
前記タッチ面が前記複数の疑似指によりタッチされた状態で前記タッチパネルから前記情報を取得する情報取得工程と、
前記情報取得工程により取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する判定工程とを含むタッチパネル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの検査を行うタッチパネル検査装置、及びタッチパネル検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットを始めとした電子機器の急速な普及に伴い、人間の指やスタイラスペンがタッチした位置を検出するタッチパネルの需要が特に高まっている。そして、このようなタッチパネルの検査を行う検査装置として、移動可能なプローブをタッチパネルに当接させて、得られた信号で検査を行うものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２７４２２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の検査装置では、タッチパネル全体を検査するためにはプローブの位置を、タッチ面全体にまんべんなく移動させて、当接と検査とを繰り返す必要がある。そのため、タッチパネルの検査に時間がかかるという不都合があった。
【０００５】
本発明の目的は、検査時間を短縮することができるタッチパネル検査装置、及びタッチパネル検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るタッチパネル検査装置は、面状に拡がるタッチ面を有し、前記タッチ面にタッチされた位置に応じた情報を出力可能なタッチパネルの検査を行うタッチパネル検査装置であって、前記タッチ面の複数箇所をタッチする複数の疑似指と、前記タッチ面が前記複数の疑似指によりタッチされた状態で前記タッチパネルから前記情報を取得する情報取得部と、前記情報取得部により取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する判定部とを備える。
【０００７】
また、本発明に係るタッチパネル検査方法は、面状に拡がるタッチ面を有し、前記タッチ面にタッチされた位置に応じた情報を出力可能なタッチパネルの検査を行うタッチパネル検査方法であって、複数の疑似指で前記タッチ面の複数箇所をタッチするタッチ工程と、前記タッチ面が前記複数の疑似指によりタッチされた状態で前記タッチパネルから前記情報を取得する情報取得工程と、前記情報取得工程により取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定する判定工程とを含む。
【０００８】
これらの構成によれば、複数の疑似指を、タッチ面の複数箇所にタッチさせた状態で、タッチされた位置に応じた情報が取得され、その情報に基づいて、タッチパネルの良否が判定されるので、背景技術のようにタッチ面の各所にプローブを移動させることなく、タッチ面に同時に複数の疑似指を当接させて、タッチ面全体の検査を行うことができる。その結果、検査に際してプローブの移動時間が不要となるので、タッチパネルの検査時間を短縮することができる。
【０００９】
また、前記疑似指の数は、４以上であることが好ましい。
【００１０】
疑似指の数が、４以上であれば、疑似指を面状に略均等に分布させてタッチ面にタッチさせるように配置することが容易となる。
【００１１】
また、前記疑似指の数は、５以上であることが好ましい。
【００１２】
疑似指が５以上有れば、検査しようとするタッチ位置を取り囲むように少なくとも上下左右に他のタッチ位置を配置し、周囲の他のタッチ位置の影響を評価することが可能となる。従って、他のタッチ位置の影響を受けやすいためにタッチ検出の精度が低下する不良モードの検査を行うことが容易となる。
【００１３】
また、前記疑似指の数は、９以上であることが好ましい。
【００１４】
疑似指が９以上有れば、疑似指を検査しようとするタッチ位置の上下左右、左上、右上、左下、及び右上に他のタッチ位置を配置し、周囲の他のタッチ位置の影響を評価することが可能となる。さらに、疑似指を格子の交点上に９以上配置すれば、矩形状の領域全体にタッチ位置を分布させることができる。従って、他のタッチ位置の影響を受けやすいためにタッチ検出の精度が低下する不良モードの検査精度がより向上する。
【００１５】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面の少なくとも一部の領域に対して、略均等に分布するように配置されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、タッチ面の少なくとも一部の領域に対して、複数の疑似指をまんべんなく同時にタッチさせることができる。その結果、当該少なくとも一部の領域について、むらなく検査を行うことが可能となる。
【００１７】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面の略全面に対して、略均等に分布するように配置されていることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、タッチ面の略全面に対して、複数の疑似指をまんべんなく同時にタッチさせることができる。その結果、タッチ面全体を、一括してむらなく検査を行うことが可能となる。
【００１９】
また、前記複数の疑似指は、略格子状の交点に対応するように配置されていることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、複数の疑似指を、略均等に分布させることができる。
【００２１】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面と対向配置される板状部材の、前記タッチ面と対向する面から前記タッチ面へ向かって突出するように形成されていることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、板状部材をタッチ面へ近づけることによって、複数の疑似指を、一括してタッチ面にタッチさせることができる。
【００２３】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面と交差する方向に沿って伸縮可能にされており、前記各疑似指の前記タッチ面と接触する先端部を、前記タッチ面方向へ向けて弾性的に付勢する付勢部をさらに備えることが好ましい。
【００２４】
この構成によれば、複数の疑似指をタッチ面にタッチした状態で複数の疑似指の位置を、タッチ面と交差する方向に沿って変位させることにより、疑似指によりタッチ面を押圧する押圧力を変化させることができるので、押圧力を変化させることが容易である。
【００２５】
また、前記タッチ面上には、複数の設定位置が設定されており、前記タッチパネルは、前記設定位置毎に加えられた押圧力に応じた前記情報を出力し、前記タッチパネル検査装置は、前記複数の疑似指を前記タッチ面にタッチさせ、前記各疑似指による前記タッチ面の押圧力を変更可能な押圧部をさらに備え、前記情報取得部は、前記押圧部によって前記押圧力が加えられた状態で、前記タッチパネルから前記各設定位置にそれぞれ対応して前記情報を取得し、前記判定部は、前記各設定位置にそれぞれ対応して取得された前記情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定することが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、複数の疑似指により、タッチ面に圧力をかけた状態で、タッチパネルの良否を判定することができるので、圧力が加えられた場合に現象が現れる不良を検出することが可能となる。
【００２７】
また、前記押圧部によって互いに異なる複数の前記押圧力を加えさせ、当該各押圧力に対応する前記情報を、前記情報取得部によって前記各設定位置に対応してそれぞれ取得させる押圧力制御部をさらに備え、前記判定部は、前記各押圧力及び前記各設定位置に対応して取得された前記各情報に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定することが好ましい。
【００２８】
この構成によれば、疑似指の押圧力に依存して発現する不良を検出できる確実性が向上する。
【００２９】
また、前記複数の押圧力のうち一つを基準押圧力とし、前記設定位置毎に、前記複数の押圧力のうち前記基準押圧力を除く他の押圧力に対応する前記情報と前記基準押圧力に対応する前記情報との差を演算する差演算部をさらに備え、前記判定部は、前記各設定位置に対応して前記差演算により演算された前記差に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定することが好ましい。
【００３０】
前記情報には、タッチ面にタッチされた位置に応じた成分と、疑似指の押圧力の差に応じて生じた成分とが重畳されている。そのため、前記情報に基づいて、疑似指の押圧力の差に応じて生じる不良を判断することが容易でない。そこで、この構成によれば、タッチ位置は変化させずに複数の押圧力のうち基準押圧力を除く他の押圧力に対応する情報と基準押圧力に対応する情報との差を演算することで、タッチ面にタッチされた位置に応じた成分が低減された情報を前記差として得ることができる。そして、その差に基づいて、タッチパネルの良否を判定するので、疑似指の押圧力に依存して発現する不良の検出精度が向上する。
【００３１】
また、前記他の押圧力は、複数設定されていることが好ましい。
【００３２】
疑似指の押圧力に依存して発現する不良は、押圧力が高いほど発現しやすいとは限らず、中間的な押圧力でのみ発現する場合がある。そこでこの構成によれば、複数の押圧力を加えて検査を行うことができるので、中間的な押圧力でのみ発現する不良を検出できる確実性が向上する。
【００３３】
また、前記基準押圧力は、実質的に０であることが好ましい。
【００３４】
この構成によれば、タッチ面に押圧力がほとんど加わらないタッチ状態で得られる情報を基準にして、押圧力が加わったときの情報との差に基づいて、タッチパネルの良否が判定されるので、疑似指の押圧力に依存して発現する不良の検出精度が向上する。
【００３５】
また、前記判定部は、さらに、前記各設定位置にそれぞれ対応して取得された前記情報に基づいて、前記各設定位置のうち不良状態の設定位置を判定することが好ましい。
【００３６】
この構成によれば、不良内容を詳細に知ることができる。
【００３７】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面と対向配置される板状部材の、前記タッチ面と対向する面から前記タッチ面へ向かって突出するように形成されており、前記押圧部は、前記板状部材を前記タッチ面へ押圧することにより、前記押圧力を生じさせることが好ましい。
【００３８】
この構成によれば、押圧部は、板状部材をタッチ面方向へ押圧することにより、複数の疑似指を一括してタッチ面に押圧させることができる。
【００３９】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面と交差する方向に沿って伸縮自在にされており、前記各疑似指の前記タッチ面と接触する先端部を、前記タッチ面方向へ向けて弾性的に付勢する付勢部をさらに備え、前記押圧部は、前記板状部材と前記タッチ面との対向距離を変化させることにより、前記各疑似指の前記押圧力を一括して変化させることが好ましい。
【００４０】
この構成によれば、押圧部は、板状部材とタッチ面との対向距離を変化させることにより、各疑似指の前記押圧力を一括して変化させることができるので、押圧部の構成を簡素化することが容易である。
【００４１】
また、前記複数の疑似指は、前記タッチ面における予め設定された複数のタッチ位置にタッチされ、前記タッチパネル検査装置は、前記情報取得部により取得された前記情報から得られる複数のタッチ検出位置と、前記複数のタッチ位置との各ずれ量を算出する位置ずれ量演算部をさらに備え、前記判定部は、前記位置ずれ量演算部により算出された前記各ずれ量に基づいて、前記タッチパネルの良否を判定することが好ましい。
【００４２】
この構成によれば、複数の疑似指を複数のタッチ位置にタッチさせるので、実際にタッチさせた位置と、タッチパネルにより検出されたタッチ検出位置とのずれを、背景技術のようにプローブを移動させることなく、複数箇所において一括して取得することができる。その結果、タッチパネルの検査時間を短縮することができる。
【００４３】
また、前記タッチパネルは、一方向に沿って延びる複数の行電極と、前記一方向と交差する方向に延び、前記複数の行電極と対向配置された複数の列電極とを備え、前記情報取得部は、前記複数の行電極のうち一の行電極を選択し、前記複数の列電極のうち一の列電極を選択し、当該選択された一の行電極と一の列電極とを除く他の前記行電極及び前記列電極を回路グラウンドに接続し、当該一の行電極と当該一の列電極とが交差する設定位置に対応する静電容量を前記情報として取得することが好ましい。
【００４４】
この構成によれば、静電容量方式のタッチパネルを検査することができる。
【発明の効果】
【００４５】
このような構成のタッチパネル検査装置、及びタッチパネル検査方法は、検査時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係る、タッチパネル検査方法を用いたタッチパネル検査装置の構成の一例を模式的に示す正面図である。
【図２】図１に示す押圧部材の構成の一例を示す斜視図である。
【図３】図２に示す疑似指の構成の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るタッチパネル検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図５】押圧力に対応する差の一例を三次元的に表したグラフである。
【図６】押圧力に対応する差の一例を三次元的に表したグラフである。
【図７】押圧力に対応する差の一例を三次元的に表したグラフである。
【図８】図１に示すタッチパネル検査装置により実行されるタッチパネル検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図９】図１に示すタッチパネル検査装置により実行されるタッチパネル検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るタッチパネル検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図１１】位置ずれ量演算部により算出されたずれ量の一例を三次元的に表したグラフである。
【図１２】図１０に示すタッチパネル検査装置により実行されるタッチパネル検査方法の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図８に示すタッチパネル検査方法の変形例を示すフローチャートである。
【図１４】図９に示すタッチパネル検査方法の変形例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００４７】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。
（第１実施形態）
【００４８】
図１は、本発明の第１実施形態に係る、タッチパネル検査方法を用いたタッチパネル検査装置の構成の一例を模式的に示す正面図である。図１に示すタッチパネル検査装置１は、大略的に、基台２と、押圧部材３と、昇降機構４（押圧部）とを備えている。基台２は、平坦な上面を有している。基台２の上面には、検査対象のタッチパネルＰが載置される。タッチパネルＰの上面は、略矩形のタッチ面Ｐｓとされている。基台２の上面には、図略の位置決め機構が設けられており、基台２は、予め設定された検査位置にタッチパネルＰを保持する。
【００４９】
押圧部材３は、基台２の上方の昇降機構４に取り付けられている。押圧部材３は、基台２の検査位置に載置されたタッチパネルＰと対向するように配設されている。昇降機構４は、押圧部材３を昇降させる。これにより、昇降機構４は、押圧部材３とタッチ面Ｐｓとの対向距離を変化させ、後述する複数の疑似指３２がタッチパネルＰに押圧される押圧力を、一括して変更可能にされている。
【００５０】
図２は、押圧部材３の構成の一例を示す斜視図である。図２に示す押圧部材３は、例えば、板状部材３１と、板状部材３１の下面から突出するように形成された円柱状の複数の疑似指３２とを備えている。
【００５１】
板状部材３１の外形は、検査対象のタッチパネルＰのタッチ面Ｐｓと対応するように、タッチ面Ｐｓと略同一の矩形形状、又はタッチパネルＰよりも大きい形状にされている。複数の疑似指３２は、板状部材３１の下面、すなわちタッチ面Ｐｓと対向する側の面全体に、略格子状の交点に対応して略均等に分布するように配置されている。なお、複数の疑似指３２は、略均等に分布していればよく、格子状の交点に対応して配置される例に限らない。
【００５２】
図２に示す例では、８行×１２列の９６本の疑似指３２が、タッチ面Ｐｓの略全面に対して、略均等に分布するように配置される例を示している。複数の疑似指３２をこのように配置することによって、タッチ面Ｐｓの全域に、一括して（同時に）複数の疑似指３２をまんべんなく当接させることが可能とされている。これにより、タッチ面全体を検査するために、背景技術のようにタッチ面の各所にプローブを移動させることなく、タッチ面Ｐｓの全域に、同時に複数の疑似指３２を当接させて、タッチ面Ｐｓ全体の検査を行うことができる。その結果、検査に際してプローブの移動時間が不要となるので、タッチパネルＰの検査時間を短縮することが可能となる。
【００５３】
なお、複数の疑似指３２は、必ずしもタッチ面Ｐｓの略全面に対して、略均等に分布するように配置される例に限らない。押圧部材３は、例えば複数の疑似指３２が、タッチ面の少なくとも一部の領域に対して略均等に分布するように配置された構成であってもよい。そして、押圧部材３を、タッチ面Ｐｓに沿ってＸ−Ｙ方向に移動可能としてもよい。これにより、押圧部材３を移動させつつ一部の領域毎に、押圧部材３をタッチ面Ｐｓに当接させ、複数回検査を行うことで、タッチ面Ｐｓ全体を検査するようにしてもよい。
【００５４】
例えば、疑似指３２の数を４以上とし、タッチ面Ｐｓを格子状に１２の領域に分割して、各領域に対向する位置に押圧部材３を移動させ、これらの領域毎に検査を行ってもよい。疑似指３２の数が４以上であれば、疑似指３２を面状に略均等に分布させて配置することが容易となるので好ましい。
【００５５】
本発明者らは、同時に複数のタッチ位置を検知可能ないわゆるマルチタッチ機能を有するタッチパネルにおいて、複数箇所タッチされた場合に、あるタッチ箇所の検知動作が他のタッチ箇所の影響を受ける場合があることを見出した。具体的には、例えばマルチタッチに対応した静電容量方式のタッチパネルにおいて、各タッチ位置でユーザの指により生じる静電容量に加えて、他のタッチ位置において生じた静電容量が各タッチ位置の静電容量値に影響を与えていることを見出した。そして、このような他のタッチ位置の影響を受けやすいためにタッチ検出の精度が低下する不良モードが存在することを見出した。
【００５６】
しかしながら、背景技術のように疑似指３２（プローブ）が１本の場合、他のタッチ位置の影響を検査することはできない。また、疑似指３２が２本の場合、検査しようとするタッチ位置に対して、一方の側にしか他のタッチ位置が存在しないので、他のタッチ位置の影響を十分に評価することができない。また、疑似指３２が３〜４本の場合であっても、検査しようとするタッチ位置に対して、他のタッチ位置が配置されていない方向が生じるため、他のタッチ位置の影響を十分に評価することができない。
【００５７】
これに対し、疑似指３２が５本以上有れば、検査しようとするタッチ位置を取り囲むように少なくとも上下左右に他のタッチ位置を配置し、周囲の他のタッチ位置の影響を評価することが可能となる。従って、他のタッチ位置の影響を受けやすいためにタッチ検出の精度が低下する不良モードの検査を行うために、疑似指３２が５本以上あることが好ましい。
【００５８】
さらに、疑似指３２が９本以上有れば、疑似指３２を格子の交点上に配置した上で、検査しようとするタッチ位置の上下左右、左上、右上、左下、及び右上に他のタッチ位置を配置し、周囲の他のタッチ位置の影響を評価することが可能となる。さらに、疑似指３２を格子の交点上に９本以上配置すれば、矩形状の領域全体にタッチ位置を分布させることができる。従って、他のタッチ位置の影響を受けやすいためにタッチ検出の精度が低下する不良モードの検査を行うと共に、タッチ面Ｐｓ全体を検査するために、疑似指３２が９本以上あることが好ましい。
【００５９】
図３は、図２に示す疑似指３２の構成の一例を示す断面図である。図３に示す疑似指３２は、板状部材３１の下面から下方へ延びる円筒状の筒体３２１と、先端が球面形状にされた円柱状の先端部材３２２と、コイルばね３２３（付勢部）とを備えている。先端部材３２２の後端外周部には、外向きに突出する鍔部３２２ａが形成されている。先端部材３２２は、先端を下向きにして筒体３２１に挿入され、筒体３２１内で上下方向に進退可能にされている。
【００６０】
筒体３２１の下端開口部には、鍔部３２２ａと係合する係合部３２１ａが、当該下端開口部の内周に、内側へ突出するように形成されている。これにより、先端部材３２２が、筒体３２１から抜け落ちないようにされている。
【００６１】
コイルばね３２３は、先端部材３２２を、下方（タッチパネルＰのタッチ面Ｐｓ方向）へ向けて弾性的に付勢する。これにより、先端部材３２２が、コイルばね３２３の付勢力に抗して押圧されると先端部材３２２が筒体３２１内に押し込まれ、疑似指３２が縮む。一方、先端部材３２２が押圧されなければコイルばね３２３の付勢力により先端部材３２２が筒体３２１内から押し出され、疑似指３２が伸びる。
【００６２】
ここで、タッチパネルＰのタッチ面Ｐｓに先端部材３２２の先端を当接させ、タッチ面Ｐｓでの押圧力で押圧されて筒体３２１内に先端部材３２２が押し込まれる変位距離をｘ、コイルばね３２３のばね定数をｋとすると、タッチ面Ｐｓの押圧力Ｆは、下記の式（１）で表される。
【００６３】
Ｆ＝ｋｘ  ・・・（１）
【００６４】
従って、押圧部材３によれば、昇降機構４によってタッチパネルＰと板状部材３１の対向距離を調節して変位距離ｘを調節することで、複数の疑似指３２によりタッチパネルＰのタッチ面Ｐｓに加えられる押圧力を一括して調節することができる。
【００６５】
なお、付勢部はコイルばね３２３に限らない。例えばゴムなどの弾性部材を付勢部として用いてもよい。例えば、疑似指３２全体をゴムなどの弾性部材によって構成し、疑似指３２自体が付勢部として機能する構成であってもよい。
【００６６】
図４は、図１に示すタッチパネル検査装置１と、タッチパネルＰとの電気的構成の一例を示すブロック図である。タッチパネルＰは、横方向に沿って延びる複数の行電極Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５と、縦方向に沿って延び、行電極Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５と対向配置された複数の列電極Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５とを備えている。なお、行電極及び列電極がそれぞれ５つずつの例を示したが、行電極、列電極は、６つ以上であってもよく、４つ以下であってもよい。
【００６７】
図４に示すタッチパネルＰは、いわゆる静電容量方式のタッチパネルであり、タッチされた位置の静電容量が変化する。タッチパネルＰは、行電極Ａ１，Ａ２，Ａ３，Ａ４，Ａ５のうち一つと、列電極Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４，Ｂ５のうち一つとを選択することで、当該二つの電極が交差する位置に対応する静電容量を、外部から測定可能にされている。
【００６８】
行電極Ａ１と列電極Ｂ１の交差する位置を設定位置（１，１）、行電極Ａ１と列電極Ｂ２の交差する位置を設定位置（１，２）、行電極Ａｍと列電極Ｂｎの交差する位置を設定位置（ｍ，ｎ）、行電極Ａ５と列電極Ｂ５の交差する位置を設定位置（５，５）とする。すなわち、タッチパネルＰのタッチ面Ｐｓ上には、設定位置（１，１）〜（５，５）の２５個の設定位置が予め設定されている。
【００６９】
また、タッチ面Ｐｓには、行電極Ａの電極番号１〜５をＸ座標の座標値とし、列電極Ｂの電極番号１〜５をＹ座標の座標値とするＸ−Ｙ座標が設定されている。これにより、例えば、設定位置（１，１）は座標（１，１）で表され、設定位置（２，２）は座標（１，１）で表され、設定位置（１，１）と設定位置（２，２）との中央位置は、座標（１．５，１．５）で表される。
【００７０】
図４に示すタッチパネル検査装置１は、交流信号供給用のスイッチＳＡ１〜ＳＡ５、信号検出用のスイッチＳＢ１〜ＳＢ５、行電極Ａ１〜Ａ５を回路グラウンドに接続するための接地スイッチＳＡｇ１〜ＳＡｇ５、列電極Ｂ１〜Ｂ５を回路グラウンドに接続するための接地スイッチＳＢｇ１〜ＳＢｇ５、交流信号源５、交流電流計６、及び制御部７を備えている。
【００７１】
交流信号源５は、例えば発振回路を用いて構成されている。交流信号源５は、予め設定された周波数の交流信号を、スイッチＳＡ１〜ＳＡ５を介して行電極Ａ１〜Ａ５へ供給する。
【００７２】
スイッチＳＡ１〜ＳＡ５の一方の端子は、図略のコネクタを介して行電極Ａ１〜Ａ５と接続され、他方の端子は交流信号源５に接続されている。スイッチＳＢ１〜ＳＢ５の一方の端子は、図略のコネクタを介して列電極Ｂ１〜Ｂ５と接続され、他方の端子は交流電流計６を介して回路グラウンドに接続されている。接地スイッチＳＡｇ１〜ＳＡｇ５の一方の端子は、図略のコネクタを介して行電極Ａ１〜Ａ５と接続され、他方の端子は回路グラウンドに接続されている。接地スイッチＳＢｇ１〜ＳＢｇ５の一方の端子は、図略のコネクタを介して列電極Ｂ１〜Ｂ５と接続され、他方の端子は回路グラウンドに接続されている。
【００７３】
スイッチＳＡ１〜ＳＡ５、ＳＢ１〜ＳＢ５、接地スイッチＳＡｇ１〜ＳＡｇ５、ＳＢｇ１〜ＳＢｇ５は、制御部７からの制御信号に応じてオンオフする。スイッチＳＡ１〜ＳＡ５がオンすると、それぞれに対応する行電極へ、交流信号源５から出力された交流信号を供給する。スイッチＳＢ１〜ＳＢ５がオンすると、それぞれに対応する列電極が交流電流計６に接続される。
【００７４】
接地スイッチＳＡｇ１〜ＳＡｇ５がオンすると、それぞれに対応する行電極が回路グラウンドに接続され、接地スイッチＳＢｇ１〜ＳＢｇ５がオンすると、それぞれに対応する列電極が回路グラウンドに接続される。
【００７５】
制御部７は、例えば、所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、一時的にデータを記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）等の記憶部、及びこれらの周辺回路等を備えて構成されている。制御部７は、例えば記憶部に記憶された制御プログラムを実行することにより、押圧力制御部７１、静電容量測定部７２（情報取得部）、差演算部７３、及び判定部７４として機能する。
【００７６】
押圧力制御部７１は、昇降機構４によって押圧部材３を昇降させて、互いに異なる複数の押圧力を押圧部材３によりタッチ面Ｐｓに加えさせ、当該各押圧力に対応する静電容量を、静電容量測定部７２によって測定させる。複数の押圧力としては、例えば、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１、押圧力Ｆ２、及び押圧力Ｆ３が用いられる。
【００７７】
基準押圧力Ｆ０は、実質的に圧力０であり、各疑似指３２の先端をタッチ面Ｐｓに無加重で軽くタッチさせる状態に対応している。基準押圧力Ｆ０は、昇降機構４による押圧部材３の位置決め精度やコイルばね３２３のバラツキ等を考慮して、例えば５ｇ以下の実質的に０と考えられる微少な圧力とされている。押圧力Ｆ１は例えば５０ｇ、押圧力Ｆ２は例えば１５０ｇ、押圧力Ｆ３は例えば２５０ｇとされている。
【００７８】
静電容量測定部７２は、昇降機構４によって押圧部材３がタッチ面Ｐｓにタッチされた状態で、設定位置（１，１）〜（５，５）に対応する静電容量を測定する。具体的には、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量を測定するときは、静電容量測定部７２は、スイッチＳＡｍをオン、接地スイッチＳＡｇｍをオフ、スイッチＳＡｍ以外のスイッチＳＡをオフ、接地スイッチＳＡｇｍ以外の接地スイッチＳＡｇをオンする。これにより、行電極Ａｍが選択され、行電極Ａｍ以外の行電極Ａが回路グラウンドに接続される。また、交流信号源５からスイッチＳＡｍを介して行電極Ａｍへ交流信号が供給される。
【００７９】
また、静電容量測定部７２は、スイッチＳＢｎをオン、接地スイッチＳＢｇｎをオフ、スイッチＳＢｎ以外のスイッチＳＢをオフ、接地スイッチＳＢｇｎ以外の接地スイッチＳＢｇをオンする。これにより、列電極Ｂｎが選択されて交流電流計６に接続され、列電極Ｂｎ以外の列電極Ｂが回路グラウンドに接続される。その結果、交流信号源５から行電極Ａｍへ供給された交流信号が、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量と列電極Ｂｎとを介して交流電流計６に流れる。
【００８０】
交流電流計６は、流れる電流の電流値を測定し、その電流値を静電容量測定部７２へ送信する。この場合、交流電流計６に流れる電流は、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量に応じて変化し、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量が大きいほど、交流電流計６で測定される電流値が大きくなる。静電容量測定部７２は、交流電流計６で測定された電流値から、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量を算出する。以下、設定位置（ｍ，ｎ）の静電容量を、静電容量（ｍ，ｎ）と称する。
【００８１】
静電容量測定部７２は、スイッチＳＡ１〜ＳＡ５、接地スイッチＳＡｇ１〜ＳＡｇ５、スイッチＳＢ１〜ＳＢ５、及び接地スイッチＳＢｇ１〜ＳＢｇ５を順次切り替えて、押圧部材３の各疑似指３２によってタッチ面Ｐｓがタッチされた位置に応じた静電容量（１，１）〜（５，５）を取得する。
【００８２】
差演算部７３は、基準押圧力Ｆ０のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ１のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３のときの静電容量（１，１）〜（５，５）に基づいて、設定位置毎に、基準押圧力Ｆ０のときの静電容量（１，１）〜（５，５）と、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３のときの静電容量（１，１）〜（５，５）との差を、押圧力Ｆ１に対応する差（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２に対応する差（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）として算出する。
【００８３】
図５〜図７は、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する差の一例を三次元的に表したグラフである。図５は押圧力Ｆ１（＝５０ｇ）に対応する差を示し、図６は押圧力Ｆ２（＝１５０ｇ）に対応する差を示し、図７は押圧力Ｆ３（＝２５０ｇ）に対応する差を示している。図５〜図７におけるＸ軸、Ｙ軸は、タッチ面Ｐｓに設定されたＸ−Ｙ座標に対応し、すなわちタッチ面Ｐｓ上の位置を示している。Ｚ軸は、差（１，１）〜（５，５）を示している。
【００８４】
判定部７４は、差演算部７３によって算出された、押圧力Ｆ１に対応する差（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２に対応する差（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）に基づいて、タッチパネルＰの良否を判定する。具体的には、例えば押圧力Ｆ１に対応する差（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２に対応する差（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）を、それぞれ予め設定された基準範囲と比較し、当該各差のうちいずれかが基準範囲外のとき、タッチパネルＰが不良であると判定する。なお、基準範囲は、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３のそれぞれに対応して異なる値の範囲が設定されていてもよい。
【００８５】
次に、上述のように構成されたタッチパネル検査装置１により実行されるタッチパネル検査方法について説明する。図８、図９は、図１に示すタッチパネル検査装置１により実行されるタッチパネル検査方法の一例を示すフローチャートである。なお、以下のフローチャートにおいて、同一の処理には同一のステップ番号を付してその説明を省略する。
【００８６】
まず、押圧力制御部７１は、昇降機構４によって、押圧部材３を下降させ、基準押圧力Ｆ０で各疑似指３２の先端部をタッチ面Ｐｓに当接させる（ステップＳ１：タッチ工程）。次に、押圧力制御部７１は、静電容量測定部７２によって、基準押圧力Ｆ０に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）を取得させる（ステップＳ２：情報取得工程）。
【００８７】
次に、押圧力制御部７１は、昇降機構４によって、押圧部材３をわずかに下降させ、押圧力Ｆ１で各疑似指３２の先端部をタッチ面Ｐｓに押圧させる（ステップＳ３）。次に、押圧力制御部７１は、静電容量測定部７２によって、押圧力Ｆ１に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）を取得させる（ステップＳ４：情報取得工程）。
【００８８】
次に、押圧力制御部７１は、昇降機構４によって、押圧部材３をわずかに下降させ、押圧力Ｆ２で各疑似指３２の先端部をタッチ面Ｐｓに押圧させる（ステップＳ５）。次に、押圧力制御部７１は、静電容量測定部７２によって、押圧力Ｆ２に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）を取得させる（ステップＳ６：情報取得工程）。
【００８９】
次に、押圧力制御部７１は、昇降機構４によって、押圧部材３をわずかに下降させ、押圧力Ｆ３で各疑似指３２の先端部をタッチ面Ｐｓに押圧させる（ステップＳ７）。次に、押圧力制御部７１は、静電容量測定部７２によって、押圧力Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）を取得させる（ステップＳ８：情報取得工程）。
【００９０】
次に、差演算部７３は、基準押圧力Ｆ０のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ１のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２のときの静電容量（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３のときの静電容量（１，１）〜（５，５）に基づいて、設定位置毎に、基準押圧力Ｆ０のときの静電容量（１，１）〜（５，５）と、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３のときの静電容量（１，１）〜（５，５）との差を、押圧力Ｆ１に対応する差（１，１）〜（５，５）、押圧力Ｆ２に対応する差（１，１）〜（５，５）、及び押圧力Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）として算出する（ステップＳ９：差演算工程）。
【００９１】
ステップＳ２，Ｓ４，Ｓ６，Ｓ８において取得された、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）は、タッチ面Ｐｓの同じ位置に各疑似指３２が接した状態で測定された静電容量である。従って、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）のいずれもが、同一のタッチ位置に各疑似指３２がタッチされた状態の静電容量を表しており、各疑似指３２のタッチ位置に応じた静電容量の変化量が大きいのに対し、圧力差に伴う静電容量の変化は比較的小さい。
【００９２】
一方、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）には、各疑似指３２のタッチ位置に応じた静電容量と、圧力差に伴う静電容量の変化量とが重畳されている。そのため、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）に基づいて、圧力差に伴う静電容量の変化量が正常か否かを判定する場合、判定精度が低下する。そこで、ステップＳ９において、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）から基準押圧力Ｆ０のときの静電容量（１，１）〜（５，５）を差し引くことによって、各疑似指３２のタッチ位置に応じた静電容量を排除することができる。その結果、主に圧力差に伴う静電容量の変化量が反映された、差（１，１）〜（５，５）を押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応して算出することにより、差（１，１）〜（５，５）に基づいて、圧力差に伴う静電容量の変化量が正常か否かを判定する判定精度が向上する。
【００９３】
図５〜図７に示す例では、押圧力Ｆ１（５０ｇ）の図５、押圧力Ｆ２（１５０ｇ）の図６、及び押圧力Ｆ３（２５０ｇ）の図７は、図６及び図７においてピークＧが生じていることを除いて、略同様の差を示していることが判る。
【００９４】
次に、判定部７４は、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）のうちいずれかが、基準範囲外であるか否かを判定する（ステップＳ１１：判定工程）。図５〜図７に示す例では、押圧力Ｆ２，Ｆ３（図６，図７）のとき、ピークＧで差が基準範囲外となり（ステップＳ１１でＹＥＳ）、判定部７４は、タッチパネルＰが不良であると判定し（ステップＳ１２）、例えば図略の液晶表示器やＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の表示装置にその判定結果を表示する。
【００９５】
次に、判定部７４は、その基準範囲外となったピークＧの座標位置、及びそのときの押圧力を含む判定結果情報を、例えばＨＤＤ等の記憶部に累積的に記憶し（ステップＳ１３）、処理を終了する。なお、判定結果情報には、座標位置及び押圧力のいずれか一方のみが含まれていてもよい。
【００９６】
一方、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）のうちいずれもが基準範囲内であった場合（ステップＳ１１でＮＯ）、判定部７４は、タッチパネルＰが正常であると判定し（ステップＳ１４）、処理を終了する。
【００９７】
図５〜図７に示す例では、押圧力Ｆ２，Ｆ３（図６，図７）のとき、ピークＧで差が基準範囲外となり（ステップＳ１１でＹＥＳ）、タッチパネルＰの不良を検出することができる。一方、押圧力Ｆ１（図５）のとき、ピークＧは生じていない。従って、もし仮に、ステップＳ５〜Ｓ８を実行せず、ステップＳ９で押圧力Ｆ２，Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）を算出しなかった場合、図５〜図７に示すような不良を検出することができない。
【００９８】
一方、タッチパネル検査装置１によれば、ステップＳ１〜Ｓ１２の処理により、図５〜図７に示すような、疑似指３２の押圧力に依存する不良を検出することができるので、不良の判定精度を向上することができる。
【００９９】
また、複数の疑似指３２により、タッチ面Ｐｓの複数箇所に同時にタッチして、タッチ面Ｐｓの全領域を検査することができるので、背景技術のように、一本のプローブを移動させながら検査を行う場合よりも検査時間を短縮することができる。また、複数の疑似指３２により、タッチ面Ｐｓの複数箇所に同時にタッチして、タッチ面Ｐｓの全領域を検査することにより、静電容量（１，１）〜（５，５）や差（１，１）〜（５，５）には、タッチパネルＰが均一でない歪みが反映される。その結果、タッチパネルＰの歪みを不良として検出することが可能となる。
【０１００】
また、ステップＳ１３において、基準範囲外となったピークＧの座標位置、及びそのときの押圧力を含む判定結果情報が累積的に記憶されるので、複数枚のタッチパネルＰを検査した場合、各タッチパネルＰの判定結果情報が記憶部に累積的に記憶される。従って、記憶部に記憶された判定結果情報を統計的に処理することにより、例えば基準範囲外となる座標位置が特定の座標位置に集中していたり、特定の押圧力で基準範囲外となっていたりというような、タッチパネルＰの生産ロットの傾向を把握することが可能となる。このような生産ロットの傾向から、タッチパネルＰの生産工程を改善することが容易となる。
【０１０１】
なお、必ずしも複数の押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する差（１，１）〜（５，５）を用いて判定を行う必要はなく、一つの押圧力Ｆ３と一つの基準押圧力Ｆ０のみを用いて例えばステップＳ３〜Ｓ６を実行しなくてもよい。しかしながら、不良は、必ずしも押圧力が高いほど発現しやすいとは限らない。例えば押圧力Ｆ２のときにピークＧが現れて不良が発現し、押圧力Ｆ３のときにはピークＧが小さく、あるいは現れずに不良が発現しない場合がある。このような場合、一つの基準押圧力Ｆ０と一つの押圧力Ｆ３のみを用いる構成では、タッチパネルＰの不良を検出できないおそれがある。そこで、ステップＳ３〜Ｓ６を実行し、一つの基準押圧力Ｆ０と例えば複数の押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を用いる構成は、タッチパネルＰの不良検出精度を向上できる点でより好ましい。
【０１０２】
また、基準押圧力Ｆ０は、必ずしも実質的にゼロである必要はない。例えば、基準押圧力Ｆ０は５０ｇ、押圧力Ｆ１が実質的にゼロ、押圧力Ｆ２が１５０ｇ、押圧力Ｆ３が２５０ｇであってもよい。
【０１０３】
また、差演算部７３を備えず、ステップＳ９を実行せず、ステップＳ１１において、基準押圧力Ｆ０及び押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）のうちいずれかが基準範囲外か否かを判定する構成としてもよい。また、差演算部７３を備えず、例えばステップＳ２〜Ｓ６，Ｓ９を実行せず、ステップＳ１１において、一つの押圧力、例えば押圧力Ｆ３に対応する静電容量（１，１）〜（５，５）のうちいずれかが基準範囲外か否かを判定する構成としてもよい。
【０１０４】
また、タッチパネルＰは、必ずしも静電容量方式に限らない。タッチパネルＰは、例えば抵抗膜方式等、他の方式であってもよい。例えば抵抗膜方式では、抵抗値が情報として用いられ、タッチパネルＰが採用する方式に応じたパラメータが、情報として用いられる。例えば、タッチパネルＰが、静電容量や抵抗値等の位置検出用の物理量を計測する回路を内蔵し、その計測値をデジタル値で出力する構成であってもよい。この場合、その計測値を示すデジタル値が情報として用いられる。また、タッチパネルＰが、タッチ位置を検出する回路を内蔵し、タッチ位置を示す位置データを出力する構成であってもよい。この場合、その位置データが情報として用いられる。
（第２実施形態）
【０１０５】
次に、本発明の第２実施形態に係るタッチパネル検査方法を用いたタッチパネル検査装置１ａについて説明する。図１０は、本発明の第２実施形態に係るタッチパネル検査装置１ａの電気的構成の一例を示すブロック図である。図１０に示すタッチパネル検査装置１ａと図４に示すタッチパネル検査装置１とでは、制御部７ａの構成が異なる。その他の構成は図４に示すタッチパネル検査装置１と同様であるのでその説明を省略し、以下本実施形態の特徴的な点について説明する。
【０１０６】
制御部７ａは、制御部７とは、差演算部７３の代わりに位置ずれ量演算部７３ａを備える点、及び昇降制御部７１ａ、判定部７４ａの構成が異なる。
【０１０７】
昇降制御部７１ａは、昇降機構４によって押圧部材３を昇降させて、タッチ面Ｐｓにタッチさせ、当該各押圧力に対応する静電容量を、静電容量測定部７２によって測定させる。このとき、押圧部材３をタッチ面Ｐｓにタッチさせる押圧力は、例えば実質的に０であってもよく、５０ｇ、１５０ｇ、２５０ｇ等であってもよい。
【０１０８】
上述の記憶部には、押圧部材３をタッチ面Ｐｓにタッチさせることにより複数の疑似指３２がタッチされることになるタッチ面Ｐｓ上の複数の位置座標が、複数の基準タッチ位置として予め記憶されている。各基準タッチ位置は、例えば誤差が１００μｍ〜９００μｍ以下となるように、予め高精度で計測され、記憶されている。
【０１０９】
位置ずれ量演算部７３ａは、静電容量測定部７２により取得された静電容量（１，１）〜（５，５）から、複数の疑似指３２のタッチ位置をタッチ検出位置として算出する。そして、位置ずれ量演算部７３ａは、複数の疑似指３２のタッチ検出位置と、複数の基準タッチ位置との各ずれ量を算出する。
【０１１０】
ところで、複数の基準タッチ位置は、必ずしも設定位置（１，１）〜（５，５）と一致していない。例えば、設定位置（１，１）と設定位置（２，２）の間などに疑似指３２が当接される場合もある。そこで、位置ずれ量演算部７３ａは、設定位置（１，１）〜（５，５）で検出された静電容量値に基づき演算処理を施すことで、設定位置（１，１）〜（５，５）の間隔よりも高い分解能で、複数の疑似指３２の各タッチ検出位置を算出する。このような各タッチ検出位置の演算方法としては、例えば特開２０１３−１３４６９８号公報に記載されている重心法等を用いることができる。
【０１１１】
図１１は、位置ずれ量演算部７３ａにより算出されたずれ量の一例を三次元的に表したグラフである。Ｘ軸、Ｙ軸は、タッチ面Ｐｓに設定されたＸ−Ｙ座標に対応し、すなわちタッチ面Ｐｓ上の位置を示している。Ｚ軸はずれ量を示している。図１１に示す例では、タッチ面Ｐｓの周縁近傍でずれ量が大きくなっている。タッチパネルＰは、一般に、タッチパネルのひずみによって、タッチ面Ｐｓの周縁近傍でずれ量が大きくなる傾向がある。
【０１１２】
判定部７４ａは、位置ずれ量演算部７３ａにより算出された各ずれ量に基づいて、タッチパネルＰの良否を判定する。例えば、各ずれ量の最大値が、予め設定された基準値以上であれば不良と判定する。基準値は、例えば５ｍｍとすることができる。
【０１１３】
次に、上述のように構成されたタッチパネル検査装置１ａにより実行されるタッチパネル検査方法について説明する。図１２は、図１０に示すタッチパネル検査装置１ａにより実行されるタッチパネル検査方法の一例を示すフローチャートである。
【０１１４】
まず、昇降制御部７１ａは、昇降機構４によって、押圧部材３を下降させ、各疑似指３２の先端部をタッチ面Ｐｓに当接させる（ステップＳ２１：タッチ工程）。次に、昇降制御部７１ａは、静電容量測定部７２によって、静電容量（１，１）〜（５，５）を取得させる（ステップＳ２２：情報取得工程）。
【０１１５】
次に、位置ずれ量演算部７３ａは、静電容量（１，１）〜（５，５）に基づいて、例えば重心法を用いて各疑似指３２のタッチ位置をタッチ検出位置として算出する（ステップＳ２３）。次に、位置ずれ量演算部７３ａは、複数の疑似指３２のタッチ検出位置と、複数の基準タッチ位置との各ずれ量を算出する（ステップＳ２４）。これにより、例えば図１１に示すような、タッチ面Ｐｓ上の位置座標に対応したずれ量のデータが得られる。
【０１１６】
次に、判定部７４ａは、各ずれ量を基準値（例えば５ｍｍ）と比較し、各ずれ量のうちいずれかが基準値以上であるか否か（各ずれ量の最大値が基準値以上か否か）を判定する（ステップＳ２５：判定工程）。各ずれ量のうちいずれかが基準値以上のとき（ステップＳ２５でＹＥＳ）、判定部７４ａは、タッチパネルＰが不良であると判定し（ステップＳ２６）、例えば図略の液晶表示器やＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の表示装置にその判定結果を表示する。
【０１１７】
次に、判定部７４ａは、ずれ量が基準値以上となった基準タッチ位置、タッチ検出位置、及びそのときのずれ量を含む判定結果情報を、例えばＨＤＤ等の記憶部に累積的に記憶し（ステップＳ２７）、処理を終了する。なお、判定結果情報には、基準タッチ位置、タッチ検出位置、及びそのときのずれ量のうち一部が含まれていてもよい。
【０１１８】
一方、各ずれ量のいずれもが基準値に満たないとき（ステップＳ２５でＮＯ）、判定部７４ａは、タッチパネルＰが正常であると判定し（ステップＳ２８）、処理を終了する。
【０１１９】
以上、ステップＳ２１〜Ｓ２８の処理によれば、複数の疑似指３２により、タッチ面Ｐｓの複数箇所に同時にタッチして、タッチ面Ｐｓの全領域を検査することができるので、背景技術のように、一本のプローブを移動させながら検査を行う場合よりも検査時間を短縮することができる。
【０１２０】
また、ステップＳ２７において、ずれ量が基準値以上となった基準タッチ位置、タッチ検出位置、及びそのときのずれ量を含む判定結果情報が累積的に記憶されるので、複数枚のタッチパネルＰを検査した場合、各タッチパネルＰの判定結果情報が記憶部に累積的に記憶される。従って、記憶部に記憶された判定結果情報を統計的に処理することにより、例えばずれ量が基準値以上となる座標位置が特定の座標位置に集中している等というような、タッチパネルＰの生産ロットの傾向を把握することが可能となる。このような生産ロットの傾向から、タッチパネルＰの生産工程を改善することが容易となる。
【０１２１】
なお、図４に示すタッチパネル検査装置１において、差演算部７３、判定部７４の代わりに位置ずれ量演算部７３ａ、判定部７４ａを用い、図１３、図１４に示すタッチパネル検査方法を実行してもよい。すなわち、図１３において、ステップＳ１〜Ｓ８を実行後、ステップＳ２３ａにおいて、位置ずれ量演算部７３ａは、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３にそれぞれ対応する静電容量（１，１）〜（５，５）に基づいて、例えば重心法を用いて各疑似指３２のタッチ位置を、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３にそれぞれ対応するタッチ検出位置として算出する（ステップＳ２３ａ）。
【０１２２】
次に、位置ずれ量演算部７３ａは、基準押圧力Ｆ０、押圧力Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３にそれぞれ対応する、各タッチ検出位置と、複数の基準タッチ位置との各ずれ量を算出する（ステップＳ２４ａ）。
【０１２３】
以下、ステップＳ２５，Ｓ２６を実行し、ステップＳ２７ａで、判定部７４ａは、ずれ量が基準値以上となった基準タッチ位置、タッチ検出位置、そのときのずれ量、及び押圧力を含む判定結果情報を、例えばＨＤＤ等の記憶部に累積的に記憶し（ステップＳ２７）、処理を終了する。なお、判定結果情報には、基準タッチ位置、タッチ検出位置、そのときのずれ量、及び押圧力のうち一部が含まれていてもよい。
【０１２４】
以上、図１３、図１４に示すタッチパネル検査方法によっても、ステップＳ１〜Ｓ１３の場合と同様、タッチパネルの不良検出精度を向上させることができる。また、複数の疑似指３２により、タッチ面Ｐｓの複数箇所に同時にタッチして、タッチ面Ｐｓの全領域を検査することにより、静電容量（１，１）〜（５，５）には、タッチパネルＰが均一でない歪みが反映される。その結果、タッチパネルＰの歪みがタッチ検出位置と、基準タッチ位置のずれ量にも反映されるので、タッチパネルＰの歪みを不良として検出することが可能となる。
【符号の説明】
【０１２５】
１，１ａ    タッチパネル検査装置
２    基台
３    押圧部材
４    昇降機構（押圧部）
５    交流信号源
６    交流電流計
７，７ａ    制御部
３１  板状部材
３２  疑似指
７１  押圧力制御部
７１ａ      昇降制御部
７２  静電容量測定部（情報取得部）
７３  差演算部
７３ａ      位置ずれ量演算部
７４，７４ａ      判定部
３２１      筒体
３２１ａ    係合部
３２２      先端部材
３２２ａ    鍔部
３２３      コイルばね（付勢部）
Ａ，Ａ１〜Ａ５    行電極
Ｂ，Ｂ１〜Ｂ５    列電極
Ｆ０  基準押圧力
Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３  押圧力
Ｐ    タッチパネル
Ｐｓ  タッチ面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図１１】
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