(57)【要約】【課題】被検査体の位置検出精度を向上させることができる位置検出装置を提供すること。【解決手段】少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体ＷＫを支持する支持手段２と、被検査体ＷＫを加熱可能な変温手段３と、変温手段３による被検査体ＷＫの変温時に、被検査体ＷＫの造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体ＷＫの位置を認識する認識手段６とを備え、変温手段３は、１つの被検査体ＷＫの位置認識の間に、当該被検査体ＷＫへの変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返す。【選択図】図１
2015010937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出装置であって、
前記被検査体を変温可能な変温手段と、
前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する認識手段とを備え、
前記変温手段は、１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記被検査体への変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返すことを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出装置であって、
前記被検査体を変温可能な変温手段と、
前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する認識手段とを備え、
前記変温手段は、前記被検査体を加熱可能な加熱手段と、前記被検査体を冷却可能な冷却手段とを備え、１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記加熱手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止と、前記冷却手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止とを交互に少なくとも１回行うことを特徴とする位置検出装置。
【請求項３】
基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出方法であって、
１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記被検査体への変温動作および変温動作の停止を複数回繰り返すことで、前記被検査体を変温させる工程と、
前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する工程とを実施することを特徴とする位置検出方法。
【請求項４】
基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出方法であって、
１つの前記被検査体の位置認識の間に、加熱手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止と、冷却手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止とを交互に少なくとも１回行うことで、前記被検査体を変温させる工程と、
前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する工程とを実施することを特徴とする位置検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の位置を認識する位置検出装置および位置検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下単に「ウエハ」という場合がある）（被検査体）の位置を認識する位置検出装置が知られている（例えば、特許文献１）。
特許文献１に記載の位置検出装置は、ウエハを支持する位置決めテーブルと、位置決めテーブルの内部に設けられた温度調整手段と、ウエハの表面に形成された回路パターン（造形物）を撮影する赤外線カメラとを備え、ウエハを加熱することで熱伝導率の差による温度差を赤外線カメラで撮影し、ウエハの位置を認識するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０５６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の位置検出装置では、被検査体全体を加熱するので、例えば、ウエハ本体と当該ウエハ本体の表面に形成された造形物とに殆ど熱伝導率に差がない場合、一瞬で被検査体全体が同じ温度に達してしまう。このため、造形物が形成された領域と他の領域とに温度差が表れる時間が極めて短く、造形物が形成された領域と他の領域とを認識可能な一瞬の撮像データ（判別データ）、すなわち、少ない情報を基に被検査体の位置を認識しなければならず、例えば、その撮像データに異常や誤撮像があった場合、異なった位置決めを行ってしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被検査体の位置検出精度を向上させることができる位置検出装置および位置検出方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の位置検出装置は、基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出装置であって、前記被検査体を変温可能な変温手段と、前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する認識手段とを備え、前記変温手段は、１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記被検査体への変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返す、という構成を採用している。
【０００７】
また、本発明の位置検出装置は、基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出装置であって、前記被検査体を変温可能な変温手段と、前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する認識手段とを備え、前記変温手段は、前記被検査体を加熱可能な加熱手段と、前記被検査体を冷却可能な冷却手段とを備え、１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記加熱手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止と、前記冷却手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止とを交互に少なくとも１回行う、という構成を採用している。
【０００８】
一方、本発明の位置検出方法は、基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出方法であって、１つの前記被検査体の位置認識の間に、前記被検査体への変温動作および変温動作の停止を複数回繰り返すことで、前記被検査体を変温させる工程と、前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する工程とを実施する、という構成を採用している。
【０００９】
また、本発明の位置検出方法は、基材の少なくとも一方の面に所定の造形物が形成された被検査体の位置を認識する位置検出方法であって、１つの前記被検査体の位置認識の間に、加熱手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止と、冷却手段による前記被検査体への変温動作および変温動作の停止とを交互に少なくとも１回行うことで、前記被検査体を変温させる工程と、前記被検査体の変温時に判別データを取り込み、当該被検査体の前記造形物が形成された領域と他の領域とを判別して当該被検査体の位置を認識する工程とを実施する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【００１０】
以上のような位置検出装置および位置検出方法によれば、１つの被検査体の位置認識の間に、被検査体への変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返すことで、造形物が形成された領域と他の領域とに温度差が表れる時間が極めて短くとも、被検査体全体が同じ温度に達してしまう直前の状態を繰り返し再現できる。従って、被検査体の造形物が形成された領域と他の領域とに殆ど熱伝導率の差がない場合であっても、それらの領域を認識可能な一瞬の判別データを複数得ることができ、例えば、認識手段でそれら複数の判別データを比較し、検証したりする等の所定のデータ処理や制御を行って被検査体の位置を認識することができる。このように、多くの判別データを基にすることで、例えば、１または少数の判別データに異常や誤判別があったとしても、他の多数の判別データによって統計を取って補正したり、検証して補正したりすることで、位置検出精度を向上させることができる。
【００１１】
また、以上のような位置検出装置および位置検出方法によれば、１つの被検査体の位置認識の間に、加熱手段による変温動作および変温動作の停止と、冷却手段による変温動作および変温動作の停止とを交互に少なくとも１回行うことで、造形物が形成された領域と他の領域とに温度差が表れる時間が極めて短くとも、被検査体全体が同じ温度に達してしまう直前の状態を強制的に繰り返し再現できる。従って、被検査体の造形物が形成された領域と他の領域とに殆ど熱伝導率の差がない場合であっても、それらの領域を認識可能な一瞬の判別データを強制的に複数得ることができ、例えば、被検査体を加熱するときに得た判別データと、被検査体を冷却するときに得た判別データとを比較し、加熱時の判別結果を冷却時の判別結果で検証したり、冷却時の判別結果を加熱時の判別結果で検証したりすることで、それら判別データの信頼性を向上させることができる。その上、被検査体を初期の温度に速やかに戻して被検査体の取扱を容易にしたり、被検査体に感熱接着性の接着シートが貼付されていれば、当該接着シートを加熱し過ぎることによる糊残りの問題を防止したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係る位置検出装置を示す側面図。
【図２】被検査体の温度変化の説明図。
【図３】変形例に係る位置検出装置を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向である紙面手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１４】
図１において、位置検出装置１は、基材としてのウエハＷＦの少なくとも一方の面に所定の造形物としての複数の電子回路ＥＣが形成された被検査体ＷＫの位置を認識する装置であって、被検査体ＷＫを支持する支持手段２と、被検査体ＷＫを変温可能な変温手段３と、被検査体ＷＫの変温時に判別データを取り込み、当該被検査体ＷＫの電子回路ＥＣが形成された領域と他の領域としてのストリートラインＳＬとを判別して当該被検査体ＷＫの位置を認識する認識手段６と、Ｚ軸回りに支持手段２を回転させる回転手段８と、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に支持手段２を移動する２軸移動手段９とを備える。なお、被検査体ＷＫは、複数の電子回路ＥＣが所定の間隔を隔てて整列配置されることで、隣接する電子回路ＥＣ間にストリートラインＳＬが形成されるとともに、当該電子回路ＥＣが形成された面に接着シートＡＳが貼付されている。
【００１５】
支持手段２は、被検査体ＷＫを支持する支持面２５、側面部２３、および底面部２４を備えた中空箱状のテーブル２１により構成される。支持面２５は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通されている。
【００１６】
変温手段３は、赤外線照射装置、コイルヒータ、ヒートポンプ（放熱側）等の加熱手段３１からなり、テーブル２１の内部に収容されている。
【００１７】
認識手段６は、赤外線カメラやサーモグラフィ等のデータ取込手段６１と、当該データ取込手段６１から取り込んだ判別データを解析可能なパーソナルコンピュータやシーケンサ等の解析手段６２とを備え、当該解析手段６２およびデータ取込手段６１のみならず位置検出装置１の全体の動作を制御可能に設けられている。
【００１８】
回転手段８は、２軸移動手段９に支持された駆動機器としての回動モータ８１の出力軸８２でテーブル２１を回動可能に支持している。
【００１９】
２軸移動手段９は、回動モータ８１を支持するスライダ９１をＹ軸方向に移動可能な駆動機器としてのリニアモータ９２と、リニアモータ９２を支持するスライダ９３をＸ軸方向に移動可能な駆動機器としてのリニアモータ９４と備えている。
【００２０】
以上の位置検出装置１において、被検査体ＷＫの位置を検出する手順を説明する。
先ず、図１において、接着シートＡＳを有する被検査体ＷＫを図示しない搬送手段または人手で支持面２５上に載置すると、支持手段２が図示しない減圧手段を駆動し、被検査体ＷＫを吸着保持する。次に、変温手段３が１つの被検査体ＷＫの位置認識の間に、当該被検査体ＷＫへの変温動作および変温動作の停止すなわち、加熱手段３１の駆動および駆動停止をそれぞれ複数回繰り返す。このとき、認識手段６がデータ取込手段６１を駆動し、加熱手段３１の駆動に合わせて、熱伝導率の差による温度差を捉えた複数の判別データとしての画像を撮る。
【００２１】
ここで、被検査体ＷＫにおけるストリートラインＳＬ部分が電子回路ＥＣ部分に比して熱伝導率が高い場合、加熱手段３１の駆動によって、ストリートラインＳＬ部分が電子回路ＥＣ部分よりも一瞬早く温度上昇する。これをデータ取込手段６１の画像で観ると、先ず、図２（Ａ）に示す温度差のない状態から、加熱手段３１の駆動によって、図２（Ｂ）に示すように、電子回路ＥＣ部分よりも一瞬早く高温となったストリートラインＳＬ部分から放出される熱線（赤外線）が観察される（図２中黒い部分は高温になった部分）。このため、データ取込手段６１は、ストリートラインＳＬを電子回路ＥＣ部分と区別して浮かび上がったように撮像することができるので、解析手段６２で確実にストリートラインＳＬを判別することができる。その後、図２（Ｃ）に示すように、ストリートラインＳＬ部分に比して熱伝導率が低い電子回路ＥＣ部分が経時により（一瞬で）高温となり、データ取込手段６１の画像でストリートラインＳＬを判別し難くなる（場合によっては判別できなくなる）。
【００２２】
その後、加熱手段３１の駆動停止と経時により被検査体ＷＫは冷却され、図２（Ａ）に示す温度差のない状態に戻るので、再度加熱手段３１の駆動を行い、上述と同様にしてデータ取込手段６１の画像から解析手段６２がストリートラインＳＬを判別する。なお、被検査体ＷＫが冷却されるとき、図２（Ｄ）に示すように、熱伝導率が高いストリートラインＳＬ部分が電子回路ＥＣ部分よりも一瞬早く低温となるので（図２中白い部分は低温（室温）になった部分）、このときの画像をデータ取込手段６１で撮像して判別するようにしてもよい。また、上述の加熱手段３１の駆動、駆動停止と認識手段６での判別動作は、必要に応じて何度行ってもよい。
【００２３】
このように、電子回路ＥＣが形成された領域とストリートラインＳＬとに温度差が表れる時間が極めて短くとも、加熱手段３１の駆動、駆動停止を複数回繰り返し、それぞれの駆動に合わせて撮像も複数回繰り返すことで、認識手段６は、電子回路ＥＣとストリートラインＳＬとを認識可能な一瞬の画像を複数得ることができる。
【００２４】
さらに、解析手段６２では、電子回路ＥＣやストリートラインＳＬの位置認識が行われることとなるが、例えば、１または少数の画像に異常や誤撮像があったとしても、他の多数の画像によって統計を取って補正したり、検証して補正したりすることで、位置検出精度を向上させることができる。また、被検査体ＷＫを加熱するときに得た画像と、被検査体ＷＫが冷却するときに得た画像とを比較し、加熱手段３１による加熱時の判別結果を冷却時の判別結果で検証したり、冷却時の判別結果を加熱手段３１による加熱時の判別結果で検証したりすることで、それら画像の信頼性をさらに向上させることができる。
【００２５】
上述のようにして被検査体ＷＫの位置が認識できたら、認識手段６の認識結果に基づいて回転手段８および２軸移動手段９が回動モータ８１およびリニアモータ９２、９４を駆動し、被検査体ＷＫを所定の位置に位置決めする。本実施形態の場合、２軸移動手段９がリニアモータ９２、９４を駆動し、被検査体ＷＫの中心を所定の位置（例えば中心位置ＬＮ）に配置し、回転手段８が回動モータ８１を駆動し、相互に直交するストリートラインＳＬがＸ軸およびＹ軸と平行になるように配置する。
【００２６】
以上のような本実施形態によれば、１つの被検査体ＷＫの位置認識の間に、被検査体ＷＫへの駆動および駆動停止をそれぞれ複数回繰り返すことで、被検査体ＷＫの電子回路ＥＣが形成された領域とストリートラインＳＬが形成された領域とに殆ど熱伝導率の差がない場合であっても、それらの領域を認識可能な一瞬の画像を複数得ることができ、複数の画像から被検査体ＷＫの位置を認識することができて、位置検出精度を向上させることができる。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、上記実施形態の変温手段３を構成する加熱手段３１の代わりに送風機、ペルチェ素子、ヒートポンプ（吸熱側）等の冷却手段を採用し、当該冷却手段の駆動、駆動停止を複数回繰り返し、それぞれの駆動時にストリートラインＳＬ部分が電子回路ＥＣ部分よりも一瞬早く温度低下する一瞬をデータ取込手段６１で撮像し、解析手段６２で電子回路ＥＣやストリートラインＳＬの位置認識を行うようにしてもよい。
【００２９】
また、図３に示すように、被検査体ＷＫを加熱可能な加熱手段３１と、被検査体ＷＫを冷却可能な冷却手段３２とで変温手段３を構成し、１つの被検査体ＷＫの位置認識の間に、加熱手段３１の駆動および駆動停止と、冷却手段３２の駆動および駆動停止とを交互に少なくとも１回行うように構成してもよい。この場合、加熱手段３１および冷却手段３２としては上述と同様のものを採用することができ、それらをテーブル２１の内部に収容し、加熱手段３１の駆動に合わせてデータ取込手段６１で撮像し、加熱手段３１の駆動停止と略同時か、または当該駆動停止の直後に冷却手段３２を駆動し、被検査体ＷＫを強制的に冷却することで、図２（Ｄ）に示すような画像を撮像することもできる。なお、上述の加熱手段３１の駆動、駆動停止と冷却手段３２の駆動、駆動停止と認識手段６での判別動作は、必要に応じて何度行ってもよい。
【００３０】
このような構成とすることでも、上記実施形態と同様の効果を得ることができる上、例えば、被検査体ＷＫを加熱手段３１で加熱するときに得た画像と、被検査体ＷＫを冷却手段３２で冷却するときに得た画像とを比較し、加熱手段３１による加熱時の判別結果を冷却手段３２による冷却時の判別結果で検証したり、冷却手段３２による冷却時の判別結果を加熱手段３１による加熱時の判別結果で検証したりすることで、位置検出精度をさらに向上させることができる。その上、被検査体ＷＫを初期の温度に速やかに戻して被検査体ＷＫの取扱を容易にしたり、被検査体ＷＫに感熱接着性の接着シートＡＳが貼付されていれば、当該接着シートＡＳを加熱し過ぎることによる糊残りの問題を防止したりすることができる。なお、加熱手段３１や冷却手段３２は単数でも複数でもよい。
【００３１】
さらに、被検査体ＷＫの造形物は、型、模様、図柄、文字、記号等何ら限定されるものではない。
また、変温手段３は、加熱手段３１および冷却手段３２の両方設けた場合、先に冷却手段３２を駆動、駆動停止させ、その後に加熱手段３１を駆動、駆動停止させてもよい。このように、先に冷却手段３２を駆動させる場合、冷却手段３２は室温以下に被検査体ＷＫを冷却するとよい。
さらに、それら両方設けた場合、いずれか一方のみを使用して被検査体ＷＫの位置認識を行ってもよい。
また、変温手段３が加熱手段３１や冷却手段３２を駆動、駆動停止させてデータ取込手段６１で撮像した後に、回転手段８がテーブル２１を所定角度回転させ、さらに／または、２軸移動手段９がテーブル２１を所定量移動させた後、再度変温手段３が加熱手段３１や冷却手段３２を駆動、駆動停止させてデータ取込手段６１で撮像するようにしてもよい。
このようにすることで、電子回路ＥＣ部分やストリートラインＳＬ部分を違った角度や位置から撮像できるため、例えば、光の反射具合や陰り具合等によって、解析手段６２が画像から認識しきれなかった部分を明確にして再度撮像することができ、位置検出精度をさらに向上させることができる。
【００３２】
また、図１の加熱手段３１が加熱する領域（冷却手段が加熱する領域）を複数に分けたものや、図３の変温手段３について、例えば、左右の一端側から他端側に向かって、前後の一端側から他端側に向かって、中央から外側に向かって、加熱手段３１や冷却手段３２を順次駆動、駆動停止させてもよい。この場合、データ取込手段６１で連写撮像し、連写撮像による各判別データをつなぎ合わせて被検査体ＷＫ全体の判別データを生成することもできる。この場合には、同じ加熱手段３１を複数回駆動、駆動停止させたり、同じ冷却手段３２を複数回駆動、駆動停止させたりする訳ではないが、一端側から他端側に向けて順次駆動、駆動停止させることで、１つの被検査体ＷＫの位置認識の間に複数回駆動、駆動停止させることには違いなく、本発明に含まれる。
【００３３】
また、加熱手段３１および冷却手段３２として、径寸法の異なる環状のものを複数用意し、これらを位置ＬＮを中心として同心円上に円配列してもよい。
さらにた、加熱手段３１や冷却手段３２を支持手段２の上方に配置するとともに、認識手段６をテーブル２１の内部に収容し、被検査体ＷＫを上方から加熱、冷却する構成としてもよい。
また、認識手段６の判別データは、動画でもよいし静止画でもよいし、撮像することなく画像データや電子（電気的）データでもよい。
【００３４】
さらに、実施形態の構成で接着シートＡＳを上側にして被検査体ＷＫを載置してもよい。
また、被検査体ＷＫは、表裏両面に接着シートＡＳが貼付されたものでもよいし、表裏両面に接着シートＡＳが貼付されていないものでもよい。
【００３５】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被検査体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感熱接着性、感圧接着性のもの等が採用されてもよい。また、被検査体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被検査に貼付することができる。
【００３６】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、変温手段は、１つの被検査体の位置認識の間に、被検査体への変温動作および変温動作の停止をそれぞれ複数回繰り返すことができるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であれば何ら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００３７】
１  位置検出装置
３  変温手段
３１  加熱手段  
３２  変温手段  
６  認識手段
ＥＣ  電子回路（造形物）
ＷＦ  ウエハ（基材）
ＷＫ  被検査体
【図１】
2015010937.tif 000003
【図２】
2015010937.tif 000004
【図３】
2015010937.tif 000005