(57)【要約】【課題】  絶縁を確実に行え、かつ、飽和磁束密度の高い金属磁性材料と、この金属磁性材料を用いた低損失、かつ、直流重畳特性の良好な電子部品を提供する。【解決手段】  素体を形成する金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムとを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加されている。そして、この素体１１の内部には、コイル用導体パターン１２Ａから１２Ｃによりコイルパターンが形成されている。この金属磁性材料は、高温で熱処理しても磁気特性の劣化が少なく、コイルパターンの抵抗を低減させるための熱処理を適切な温度で行うことが可能である。 【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加されていることを特徴とする金属磁性材料。
【請求項２】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、
熱処理により該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が生成されていることを特徴とする金属磁性材料。
【請求項３】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、
熱処理により該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が生成され、該反応物による該金属磁性合金粉末元素との酸化物が存在していることを特徴とする金属磁性材料。
【請求項４】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、
熱処理により該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が生成され、該反応物が該金属磁性合金粉末の表面近傍に形成されていることを特徴とする金属磁性材料。
【請求項５】
前記金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素がリチウムである請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の金属磁性材料。
【請求項６】
前記反応物がスピネル系フェライトである請求項２乃至請求項５のいずれかに記載の金属磁性材料。
【請求項７】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、
該素体内に該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が生成され、
該素体の内部あるいは表面にコイルが形成されていることを特徴とする電子部品。
【請求項８】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、
該金属磁性合金粉末の表面近傍に、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が析出し、
該素体の内部あるいは表面にコイルが形成されていることを特徴とする電子部品。
【請求項９】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、
該素体を熱処理することにより、該素体内に該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が生成され、
該素体の内部あるいは表面にコイルが形成されていることを特徴とする電子部品。
【請求項１０】
鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、
該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、
該素体を熱処理することにより、該金属磁性合金粉末の表面近傍に、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が析出され、
該素体の内部あるいは表面にコイルが形成されていることを特徴とする電子部品。
【請求項１１】
前記素体中の金属磁性合金粉末が、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物を介して結合された請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１２】
前記素体中の隣接する金属磁性合金粉末が、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物を介して結合された請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１３】
前記素体中の隣接する金属磁性合金粉末が、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物を介して結合される部分と、該金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と該金属磁性合金粉末の反応物が存在しない、金属磁性合金粉末同士が結合される部分を備えた請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１４】
前記素体中の隣接する金属磁性合金粉末が、リチウムと該金属磁性合金粉末の反応物を介して結合された請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１５】
前記素体中の隣接する金属磁性合金粉末が、リチウムと該金属磁性合金粉末の反応物を介して結合される部分と、該リチウムと該金属磁性合金粉末の反応物が存在しない、金属磁性合金粉末同士が結合される部分を備えた請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１６】
前記反応物がスピネル系フェライトである請求項７乃至請求項１５のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１７】
前記素体の体積抵抗率が１０７Ω・ｃｍ以上有する請求項７乃至請求項１６のいずれかに記載の電子部品。
【請求項１８】
前記素体の３点曲げ強度が４０ＭＰａ以上有する請求項７乃至請求項１６のいずれかに記載の電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子回路に用いられるパワーインダクタ等に用いられる金属磁性材料と、それを用いた電子部品に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電源回路で使用されるパワーインダクタは、小型化、低損失化、大電流対応化が要求されており、これらの要求に対応すべく、その磁性材料に飽和磁束密度の高い金属磁性材料を使用することが検討されている。金属磁性材料は、飽和磁束密度が高いという利点があるが、その材料単体の絶縁抵抗は低く、電子部品の磁性体として使用するためには、材料粒子同士の絶縁を確保する必要がある。絶縁が確保できないと、部品本体が導通してしまったり、材料特性が劣化して、製品の損失が増加してしまったりする。
【０００３】
従来は、金属磁性材料を電子部品に用いるときに、樹脂等でボンド化したり、粒子を絶縁膜で被覆したりして、材料粒子同士の絶縁を確保することが行われていた。
例えば、特許文献１には、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金の表面をＺｎＯ系ガラスで被覆した材料を真空、無酸素、低酸素分圧下で焼成する電子部品が記載されている。しかし、真空、無酸素、低酸素分圧下では、焼結を防ぐため、材料粒子の被覆を確実にする必要があり、ガラスの添加量を多くする必要があったり、材料粒子の被覆のためコストが上昇したりするといった問題がある。
この様に、樹脂等でボンド化したり、粒子を絶縁膜で被覆したりする従来の手法では、絶縁性をより確実にするため、磁性材料以外の絶縁材料の量を多くすることが必要であり、磁性材料以外の体積を増加させることは磁気特性の劣化につながるという問題があった。
【０００４】
また、材料粒子に原料組成のみに由来する酸化物の層を形成する技術が開示されている（特許文献２、特許文献３）。この手法では、材料粒子に原料組成のみに由来する酸化物の絶縁膜を利用するので、磁気特性の劣化は小さい。しかし、この手法で用いる原料組成のみに由来する酸化物の絶縁膜では絶縁性が低かったり、十分な強度が得られなかったりする場合があった。
【０００５】
そこで、粒子に原料組成のみに由来する酸化物の層を形成し、これに樹脂含浸する等の手法も開示されている（特許文献４）。しかし、含浸等の手法は、コストが上昇するばかりか、製品の安定性を欠くため、実用性が低かった。
【０００６】
さらに、特許文献５には、鉄系化合物をコアとし、その周りに金属化合物のシェルを形成したコアシェル構造の金属磁性粉末と、ガラスとを含む磁性層材料が開示されている。しかし、この手法では、コアシェル構造を構成するために、コアを構成する材料に対してシェル形成材料を被覆する必要があり、上述した粒子を絶縁膜で被覆する従来の手法と同様に、コストの上昇や、被覆材料（シェル形成材料）の量を多くするために磁気特性の劣化につながるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−６２４２４号公報
【特許文献２】特許第４８６６９７１号公報
【特許文献３】特許第５０８２００２号公報
【特許文献４】特開２０１２−２３８８４１号公報
【特許文献５】特開２０１３−３３９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
電子部品用の金属磁性材料には、磁性粒子同士を、最小の絶縁層で絶縁して、高い絶縁性を確保する必要がある。また、絶縁膜は電気的、機械的にも強固である必要がある。さらに、材料粒子内の組成を均一に保つ必要がある。しかしながら、前述の様に、いずれの従来技術であっても、何らかの未解決な問題点を有していた。
【０００９】
本発明の課題は、絶縁を確実に行え、かつ、飽和磁束密度の高い金属磁性材料と、この金属磁性材料を用いた低損失、かつ、直流重畳特性の良好な電子部品を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加される。
また、本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、熱処理により金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成される。
さらに、本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、熱処理により金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成され、反応物による金属磁性合金粉末元素との酸化物が存在している。
またさらに、本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加され、熱処理により金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成され、反応物が金属磁性合金粉末の表面近傍に形成される。
【００１１】
本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、素体内に金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成され、素体の内部あるいは表面にコイルが形成される。
また、本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、金属磁性合金粉末の表面近傍に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が析出し、素体の内部あるいは表面にコイルが形成される。
さらに、本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、素体を熱処理することにより、素体内に金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成され、素体の内部あるいは表面にコイルが形成される。
またさらに、本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、素体を熱処理することにより、金属磁性合金粉末の表面近傍に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が析出して、素体の内部あるいは表面にコイルが形成される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加されるので、簡便な方法で、絶縁を確実に行え、かつ、飽和磁束密度を高くすることができる。
また、本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成され、素体内に金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素と金属磁性合金粉末の反応物が生成され、素体の内部あるいは表面にコイルが形成されるので、低損失、かつ、直流重畳特性の良好なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明による電子部品の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の分解斜視図である。
【図３】比較実験を行った実施例と比較例の組成と比較実験結果をまとめて示した表である。
【図４】実施例３、比較例１及び、比較例３のＸ線回折図である。
【図５】実施例と比較例１について熱処理温度を変化させて透磁率を測定した結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の金属磁性材料は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加される。金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素としてはリチウムが用いられる。これを熱処理することにより、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素であるリチウムと、金属磁性合金粉末を構成する元素の反応物が生成される。この反応物は、金属磁性合金粉末元素との酸化物として存在し、金属磁性合金粉末の表面近傍に形成される。
従って、本発明の金属磁性材料は、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素を添加し、元素の種類やその量を調整することにより、材料粒子の原料組成由来以外の物質を生成させることができ、材料粒子に原料組成のみに由来する酸化物で絶縁膜を形成する従来のものよりも効率よく絶縁できる。リチウムは、金属磁性合金粉末を構成する元素である鉄と反応して、金属磁性合金粉末の表面近傍に鉄とリチウムの反応物を形成することができる。
また、本発明の電子部品は、鉄と、ケイ素と、クロムを含有する金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料を用いて素体が形成される。金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素としてはリチウムが用いられる。この素体を熱処理することにより、素体内に金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素であるリチウムと、金属磁性合金粉末を構成する元素の反応物が生成される。この反応物は、金属磁性合金粉末元素との酸化物として存在し、金属磁性合金粉末の表面近傍に形成される。素体の内部あるいは表面にはコイルが形成される。
従って、本発明の電子部品は、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素を添加し、元素の種類やその量を調整することにより、材料粒子の原料組成由来以外の物質を生成させることができ、材料粒子に原料組成のみに由来する酸化物で絶縁膜を形成する従来のものよりも効率よく金属磁性粒子同士を絶縁できると共に、金属磁性粒子同士を強固に結合できる。リチウムは、金属磁性合金粉末を構成する元素である鉄と反応して、金属磁性合金粉末の表面近傍に鉄とリチウムの反応物を形成し、この反応物によって金属磁性粒子同士を強固に結合できる。
【００１５】
以下、本発明の金属磁性材料及び電子部品の実施形態を図１乃至図５を参照して説明する。
図１は本発明による電子部品の実施形態を示す斜視図、図２は図１の分解斜視図である。
図１、図２において、１０は電子部品、１１は素体、１３、１４は外部端子である。
電子部品１０は、素体１１と、外部端子１３、１４とを備えた積層型のインダクタである。
素体１１は、金属磁性体層１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄと、コイル用導体パターン１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃとを有している。
金属磁性体層１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄは、金属磁性合金粉末に、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素が添加された金属磁性材料により形成されている。
金属磁性合金粉末は、金属磁性体として、鉄と、ケイ素と、クロムとを含有する金属磁性合金（いわゆる、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ系金属磁性合金）の粉末が用いられる。また、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素としてはリチウムが用いられる。素体１１（金属磁性体層１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ）中では、金属磁性合金粉末を構成している元素である鉄とリチウムの反応物が生成され、この反応物が金属磁性合金粉末元素との酸化物として、金属磁性合金粉末の表面近傍に形成される。そして、素体１１中の金属磁性合金粉末同士が、金属磁性合金粉末を構成している鉄とリチウムの反応物を介して結合されている。金属磁性体層１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄを形成する金属磁性材料の詳細については後述する。
コイル用導体パターン１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃは、銀、銀系、金、金系、銅、銅系等の金属材料をペースト状にした導体ペーストを用いて形成される。
金属磁性体層１１Ａの表面には、コイル用導体パターン１２Ａが形成されている。このコイル用導体パターン１２Ａは、１ターン未満分が形成されている。コイル用導体パターン１２Ａの一端は、金属磁性体層１１Ａの端面に引き出される。
金属磁性体層１１Ｂの表面には、コイル用導体パターン１２Ｂが形成されている。このコイル用導体パターン１２Ｂは、１ターン未満分が形成されている。コイル用導体パターン１２Ｂの一端は金属磁性体層１１Ｂのスルーホール内の導体を介してコイル用導体パターン１２Ａの他端に接続されている。
金属磁性体層１１Ｃの表面には、コイル用導体パターン１２Ｃが形成されている。このコイル用導体パターン１２Ｃは、１ターン未満分が形成されている。コイル用導体パターン１２Ｃの一端は、金属磁性体層１１Ｃのスルーホール内の導体を介してコイル用導体パターン１２Ｂの他端に接続される。また、コイル用導体パターン１２Ｃの他端は、金属磁性体層１１Ｃの端面に引き出される。
このコイル用導体パターン１２Ｃが形成された金属磁性体層１１Ｃの上には、コイル用導体パターンを保護するための金属磁性体層１１Ｄが形成されている。
このように、金属磁性体層間のコイル用導体パターン１２Ａから１２Ｃによって素体１１内にコイルパターンが形成される。この素体１１の両端面には、図２に示す様に外部端子１３、１４が形成される。そして、コイル用導体パターン１２Ａの一端が外部端子１３に、コイル用導体パターン１２Ｃの他端が外部端子１４にそれぞれ接続されることにより、コイルパターンが外部端子１３と外部端子１４間に接続される。
【００１６】
この様な構成を有する本発明の電子部品は以下のようにして製造される。
まず、所定組成のＦｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金の粉末に所定量のリチウムを添加した後、混合してＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等のバインダをさらに添加する。そして、これを混練してペースト状にして金属磁性材料ペーストを得る。また、コイル用導体パターン１２Ａ〜１２Ｃを形成する導体ペーストを別途用意する。この金属磁性材料ペーストと導体ペーストとを交互に層状に印刷することにより、素体（成形体）１１が得られる。得られた素体１１は、大気中において所定温度で脱バインダ処理、及び、熱処理が行われて、電子部品１０が得られる。なお、外部端子１３、１４については、例えば、熱処理後に形成することができる。この場合、例えば、熱処理後の素体１１の両端に、外部端子用の導体ペーストを塗布した後、加熱処理を行うことにより、外部端子１３、１４を設けることができる。また、この外部端子１３、１４は、熱処理後の素体１１の両端に、外部端子用の導体ペーストを塗布した後、焼付け処理を行い、焼付けられた導体にめっきを施すことによっても設けることができる。この場合、素体１１に存在する空隙にめっき液が侵入するのを防止するために素体１１に存在する空隙に樹脂を含浸してもよい。
【００１７】
本実施形態では、素体１１を構成する金属磁性体層１１ａから１１ｄに用いられる金属磁性材料に、金属磁性合金粉末に対してリチウムを添加したものを用いることにより、磁気特性と絶縁特性との両立を図っている。以下この金属磁性材料について、より具体的な実施例を、比較例を含めた比較実験結果を挙げて説明する。
【００１８】
図３は、比較実験を行った実施例と比較例の組成と比較実験結果とをまとめて示した表である。
この比較実験では、所定組成のＦｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金の粉末に、リチウムをＬｉ２ＣＯ３換算で図３に示す所定量を添加した後、混合して、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等のバインダをさらに添加し、これを混練した金属磁性材料ペーストを用いて素体（成形体）を形成し、大気中において４００〜６００℃で脱バインダ（脱脂）処理を行った後、大気中において８００℃で熱処理してインダクタを形成した。なお、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金の粉末は、水アトマイズ法、ガスアトマイズ法等のアトマイズ法、還元法、カルボニル法、粉砕法等の各種粉末化法によって製造できるが、その表面に金属酸化物を形成するための処理が行われていないものを用いている。すなわち、粉末表面に特別な処理が行われていない、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金の粉末そのものを用いている。
【００１９】
本発明の金属磁性材料は、リチウムを金属磁性合金粉末に対して５ｗｔ％未満添加することにより、無添加の場合（比較例１）よりも、絶縁抵抗が上昇し、３点曲げ強度も上昇している。
また、複素透磁率μ’等の磁気特性についても、リチウムを金属磁性合金粉末に対して１ｗｔ％未満添加することにより、無添加の場合（比較例１）と同等の性能を確保できている。
なお、リチウムを金属磁性合金粉末に対して１０ｗｔ％添加したものは異相（Ｆｅ３Ｏ４）等が発生して、抵抗率が低下して、１０ＭＨｚでの透磁率が大幅に低下している。
【００２０】
図３に示した比較実験において、無添加時に対する１０ＭＨｚでの複素透磁率μ’の低下が３０％以内で、体積抵抗率が１０７Ω・ｃｍ以上、３点曲げ強度が４０Ｍｐａ以上のものを「可」、それ以外を「不可」として判定した結果を判定欄に示した。この条件は、インダクタとして利用可能な最低限の条件として設定してある。実施例１乃至実施例４の金属磁性材料は、この条件を満たして「可」となっている。この結果からすると、上記条件を満たすためには、リチウムは、０ｗｔ％を超え、１ｗｔ％未満、好ましくは、０．１ｗｔ％以上、０．５ｗｔ％以下の添加量が必要との結果が得られている。
【００２１】
リチウムを添加したことにより、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｓｉ合金粉末の表面に、ＬｉＦｅ５Ｏ８が生成したことは、Ｘ線回折やＳＥＭ−ＥＤＸにより確認できる。
図４は、リチウムを添加しない比較例１の金属磁性材料を用いたものと、実施例３の金属磁性材料を用いたものと、比較例３の金属磁性材料を用いたものについてＸ線回折を行ったＸ線回折図である。なお、図４では３種類の線図が重ならないように、縦軸（強度）の基準位置をずらして示している。
これによると、実施例３の金属磁性材料を用いたものと、比較例３の金属磁性材料を用いたものについては２θが３０から５０にＬｉＦｅ５Ｏ８のピークが見られる。リチウムを添加しない比較例１についてはＬｉＦｅ５Ｏ８のピークが見られず、その代わりにＦｅ２Ｏ３、すなわち、原材料粒子のみからなる酸化物が確認されている。
また、異相が発生しない範囲ではリチウムの添加量が多いほど、ＬｉＦｅ２Ｏ８の回折ピークは大きくなる傾向にあり、実施例３の金属磁性材料を用いたものよりも、比較例３の金属磁性材料を用いたものの方がＬｉＦｅ２Ｏ８の回折ピークが大きくなっている。
【００２２】
また、実施例１乃至実施例４と、リチウムを添加しない比較例１について熱処理温度を変えて透磁率特性を確認した。図５に示す様に、８００℃の透磁率を基準として、熱処理温度を上げた場合の透磁率の変化率を見ると、いずれも比較例１と比較して、高温の熱処理温度まで透磁率を維持することができる。８５０℃以上の熱処理温度でも特性を維持できれば、導体パターンを銀で構成した積層インダクタ等に適用した場合でも、導体パターンの低抵抗化と特性（インダクタンス値等）の確保の両立が可能となる。リチウムを添加しない比較例１においては、熱処理温度が高くなると透磁率が大きく低下してしまうため、熱処理温度を十分に高くすることができず、導体パターンの抵抗を下げることができない。それに対し、実施例１乃至実施例４では銀の融点近くまで熱処理温度を上げても透磁率を維持できるので、低抵抗化と特性（インダクタンス値等）の確保の両立が可能となり、高特性の積層インダクタを得ることができる。
【００２３】
なお、比較例２乃至比較例５のようにリチウムを添加しても良い結果が得られない場合もある。従って、本発明のリチウムを含む金属磁性材料を使用するときには、金属磁性材料の粒子径、熱処理を行う温度によって添加の最適量を設定すれば良い。なお、金属磁性合金粉末の粒子径が大きくなれば必要なリチウムの量は減少する（表面積が減る）。また、熱処理温度を上げる場合にも、添加量を調整すると良い。
【００２４】
以上説明した実施形態に限定されることなく、種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の範囲内である。
（１）実施形態において、熱処理を行う温度について、具体例を挙げて説明したが、これに限らず、熱処理を行う温度は、磁性材料の粒子径や所望の磁気特性等に応じて適宜変更しても良い。
（２）実施形態において、金属磁性材料に添加する添加物は、リチウムである例を挙げて説明した。これに限られず、例えば、添加物は、金属磁性合金粉末に含有している元素よりも酸化還元反応における平衡状態で酸化し易い元素を含み、かつ、焼成で金属磁性合金と反応して生成物を形成できるものであれば良く、様々な材質に変えることができる。
（３）実施形態において、金属磁性材料に添加する添加物の量は、金属磁性材料の粒子径や所望の磁気特性等に応じて適宜変更しても良い。
（４）実施形態において、金属磁性材料に含まれている金属磁性合金粉末は、その表面に酸化物が形成されていないものとして説明を行った。これに限らず、例えば、金属磁性合金粉末の表面には、酸化物が形成されていても良い。金属磁性合金粉末は、自然に酸化が進んだり、高温の熱処理において酸化が進んだりして、その表面に、金属磁性合金粉末に由来する金属酸化物が例えば部分的に、又は、全体的に、自然に形成されてしまうこともある。本発明では、この金属磁性合金粉末に由来する金属酸化物による絶縁性について期待するものではないが、この金属酸化物が金属磁性合金粉末の表面に形成されていても、何ら支障は無い。
（５）実施形態において、素体中の隣接する金属磁性合金粉末同士が、金属磁性合金粉末を構成している元素とリチウムの反応物を介して結合されている場合を示したが、素体中の隣接する金属磁性合金粉末同士が、リチウムと金属磁性合金粉末の反応物を介して結合されるだけでなく、リチウムと金属磁性合金粉末の反応物が存在しない部分で金属磁性合金粉末同士が結合されても良い。
（６）素体が棒状、ドラム状、Ｈ状等のコアとして形成され、コイルがこのコアの外周に導線を巻回して構成されても良い。
なお、実施形態及び変形実施形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した各実施形態によって限定されることはない。
【符号の説明】
【００２５】
１０  電子部品
１１  素体
１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ、１１Ｄ  金属磁性体層
１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃ  コイル用導体パターン
１３、１４  外部端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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