(57)【要約】【課題】本発明は、クリーンルームのファンフィルタユニットに関し、従来のファンフィルタユニットにおいては吸込み口が横または上の一箇所であって、空気の滞留域が発生したり、滞留域の空気が循環したりすることが課題であって、それを解決することである。【解決手段】クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、水平方向の吸込み口は、メインの吸込み口２ａと、それ以外に空気の滞留域を無くすための補助的吸込み口（２ｂ〜２ｄ）とが設けられてなるクリーンルームのファンフィルタユニット１とするものである。【選択図】  図１
2015010810.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、
水平方向の吸込み口は、メインの吸込み口と、それ以外に空気の滞留域を無くすための補助的吸込み口とが設けられてなること、
を特徴とするクリーンルームのファンフィルタユニット。
【請求項２】
水平方向の吸込み口においては、補助的吸込み口の開口面積が、メインの吸込み口の開口面積よりも小さく形成されていること、
を特徴とする請求項１に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。
【請求項３】
吸込み口は、上下方向において下から上に横方向に突出するテーパ形に形成されていること、
を特徴とする請求項１または２に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。
【請求項４】
吸込み口は、吸込み風量と吸込み風向とを調節する機能が付加されていること、
を特徴とする請求項１乃至３のいずれか1項に記載のクリーンルームのファンフィルタユニット。
【請求項５】
クリーンルームにおいて、クリーンルーム用の天井を無くすとともに、請求項１〜３に記載のファンフィルタユニットを仮想天井の位置に配設してなること、
を特徴とするクリーンルーム。
【請求項６】
ファンフィルタユニットは、そのメインの吸込み口を背向させて設置されていること、
を特徴とする請求項５に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井レス方式のクリーンルームにおける、空気清浄装置であるファンフィルタユニット（以下、単に、ＦＦＵと略記する場合もある）と、そのファンフィルタユニットを使用してなるクリーンルームに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、クリーンルームにおいては、常時、クリーンルーム内全域に亘って清浄度を確保するように設計されていた。しかしながら、近年において景気の低迷が長引くなか、製造業においても限られた設備投資の中で、厳しい価格競争、新技術への対応や品質の確保への対応が迫られている。
【０００３】
そこで、ローコスト化に対応すべく、建設費の縮減とランニングコストの低減を達成するために、図５（Ａ）に示すように、必要な時（生産時）に、必要域の清浄化を行い、塵埃が多少あっても製品に影響なければ良いという流れになって来ている。かかることから、特許文献１に開示されているように、クリーンルーム用の天井を無くし（天井レス方式）、ＦＦＵをスラブ天井から直接吊って、局所的に作業域の清浄度を確保することが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１１２７５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、クリーンルームのファンフィルタユニットは、図５（Ｂ）、図６に示すように、上面吸込み、若しくは、横吸込みの２種類である。例えば、図５（Ｂ）に示すように、上面吸込みの場合、仮想天井上部の滞留域の空気を循環してしまい、天井をなくすことにより、循環回数が増えて、ファン能力アップが必要となる。
【０００６】
また、図６に示すように、天井レス方式に横吸込みを採用した場合、１方向からのみの吸込みとなり、ファンフィルタユニット機器の間に空気の滞留域が発生するという課題がある。
そこで、本発明に係るクリーンルームとそのファンフィルタユニットは、このような課題を解決するために提案されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るクリーンルームのファンフィルタユニットの上記課題を解決して目的を達成するための要旨は、クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、水平方向の吸込み口は、メインの吸込み口と、それ以外に空気の滞留域を無くすための補助的吸込み口とが設けられてなることである。
【０００８】
前記水平方向の吸込み口においては、補助的吸込み口の開口面積が、メインの吸込み口の開口面積よりも小さく形成されていることである。
【０００９】
前記吸込み口は、上下方向において下から上に横方向に突出するテーパ形に形成されていることを含む。
また、前記吸込み口は、吸込み風量と吸込み風向とを調節する機能が付加されていることである。
【００１０】
本発明に係るクリーンルームの上記課題を解決して目的を達成するための要旨は、クリーンルームにおいて、クリーンルーム用の天井を無くすとともに、上記ファンフィルタユニットを仮想天井の位置に配設してなることである。また、前記ファンフィルタユニットは、そのメインの吸込み口を背向させて設置されていることを含むものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のクリーンルームとそのファンフィルタユニットによれば、天井を無くしたクリーンルームにおいて、ＦＦＵを多方向からの吸込みを可能にすることにより、仮想天井の下部のみ効率的に空気を循環させて、仮想天井下部の空気の滞留域をなくし、必要域を局所的に清浄化することが可能となる。
【００１２】
クリーンルーム用の吊り天井を設置せず、ＦＦＵを必要な機器の上部に設置することが可能となり、高い清浄度が必要なエリアの上に、ＦＦＵを設置することができる。そして、前記吊り天井が無いのでクリーンルームの改修時に、レイアウト変更が容易である。
【００１３】
クリーンルーム用の吊り天井が無いことで、室内の熱気が仮想天井より上の部分に上がり、必要域の冷房負荷が下がるなどのメリットもある。更に、ファンフィルタユニットと熱処理を行うクリーンエアコンとを別の装置とすることで、清浄度と温度との要求に合わせ、別々に制御可能となる。また、負荷の少ない夜間には、風量を減らし、消費電力量を削減することも可能である。
【００１４】
ＦＦＵの吸込み口を下向きにしたテーパ形にすることで、仮想天井の位置より下の空気のみを吸い込むようになり、仮想天井の位置より上の滞留域の空気を無駄に吸い込むことが無く、効率的にＦＦＵを稼働させることができると言う数々の優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るファンフィルタユニット１の平面図（Ａ）、ファンフィルタユニット１の下側の一部拡大断面図（Ｂ）である。
【図２】同本発明のファンフィルタユニット１の側面図（Ａ）、底部におけるメディアガードの側面図（Ｂ）である。
【図３−Ａ】同本発明のファンフィルタユニット１の正面図（Ａ）、底部におけるメディアガード８の正面図（Ｂ）である。
【図３−Ｂ】同本発明に係るファンフィルタユニット１のメインの吸込み口２ａにおいて、下向きのテーパ形に形成した状態の断面図（Ｂ）である。
【図４】ファンフィルタユニット１を使用したクリーンルーム１２における、空気の空気齢を示す説明用断面図である。
【図５】従来例に係るクリーンルームのファンフィルタユニットを局所的に配設した状態を示す説明用斜視図（Ａ）、上向きのファンフィルタユニットによるクリーンルーム内の空気の流れを示す説明用断面図（Ｂ）である。
【図６】従来例に係る横向きのファンフィルタユニット１５を使用したクリーンルームにおける、空気の空気齢を示す説明用断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明に係るクリーンルームのファンフィルタユニット１は、図１に示すように、空気の滞留域を無くすべく、吸込み口を多方向から吸い込むように形成されたものである。
【実施例１】
【００１７】
本発明に係るファンフィルタユニット１は、図１乃至図３−Ａに示すように、クリーンルーム用の天井を無くした天井レスクリーンルームにおけるファンフィルタユニットにおいて、水平方向の吸込み口２を、前後左右の４方向に設けるとともに、そのうちの３箇所の吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄを、吸込み用の開口面積が残り1箇所のメインの吸込み口２ａの吸込み用の開口面積よりも小さく形成されている。
【００１８】
前記ファンフィルタユニット１は、図１（Ａ）に示すように、全体の大きさが、一例として、１３００（横）×１０００（縦）×５４０（厚さ）ｍｍ程度の大きさである。上部４箇所に吊りボルト用の孔が設けられている。
【００１９】
また、水平状態で、ファンフィルタユニット１の前後左右（１箇所がメインの吸込み口２ａで、他の３箇所が補助的な吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄ）から空気を吸い込み、下に向かって吹き出すものである。ファンフィルタユニット１の内部に、送風機６が設けられ、各吸込み口２には、スライドシャッター３，４が設けられている。
【００２０】
前記スライドシャッター３は、メインの吸込み口２ａ用であり、その大きさは、例えば、幅２０×高さ２４０ｍｍ程度である。吸込み用の開口部の孔は、例えば、複数個の楕円孔である、同様に、補助的吸込み口（２ｂ，２ｃ，２ｄ）用のスライドシャッター４は、幅２０×高さ５０ｍｍ程度である。また、吸込み用の開口部の孔は、例えば複数個の楕円孔である。このスライドシャッターにおいて、前記開口部の孔の開口面積をスライド板などで可変させることで、吸込み風量を調整する。
【００２１】
前記スライドシャッター３，４の前（外側）には、吸込みの風向を調整する可変ルーバー等が設けられている。なお、この吸込み風量や風向の調整は、他の公知の手段で行うことができるものである。
【００２２】
こうして、前記吸込み口２においては、吸込み風量と吸込み風向とを調節する機能が付加されている。この調整装置の駆動には、例えば、手動若しくは自動で行い、遠隔操作用としては、電動モータや油圧若しくはエアー駆動などの駆動装置で行うものである。
【００２３】
また、図１（Ａ），（Ｂ）、図２（Ａ）に示すように、下方向の吹出し１４口には、メインフィルタ５が設けられている。これは、図１（Ｂ）に示すように、クリーンルーム１２の清浄度に対応させたＨＥＰＡ（ヘパ）フィルタ１０である。また、図１（Ｂ）に示すように、吹き出し口のグリル９は、図示した羽根に限らず可動羽根若しくはパンチングなどと取り替えが可能であり、風向調整ができるものである。
【００２４】
こうして、吸込み口２として、前記メインの吸込み口２ａが１箇所、空気の滞留域を無くすための補助的吸込み口２ｂ，２ｃ，２ｄが３箇所に設けられて、ファンフィルタユニット１が構成されているのである。図１（Ａ）に、各吸込み口から吸い込まれた空気の流れを矢印で示す。
【００２５】
また、前記ファンフィルタユニット１の他の実施例として、吸込み口２は、図３−Ｂに示すように、上下方向において下から上に横方向に突出するテーパ形に形成する。このように、吸込み口２の形状を、下向きに斜めに開口にしたテーパ形にすることで、このファンフィルタユニット１の設置位置（仮想天井の位置）より上位置の、滞留域にある空気を吸い込まないようにしてそれを乱さず、仮想天井の位置より下位置にある大型コンピュータ等の機器１１の発熱による上昇流分を吸い込むようになって、効率的である。また、同様に、このファンフィルタユニット１には、上向きの吸込み口を設けていないのである。
【００２６】
本発明に係るクリーンルーム１２は、クリーンルーム用の吊り天井を無くすとともに、上記ファンフィルタユニット１を仮想天井の位置に、発熱量の大きな機器１１や通路などの配置に対応させて最も効率的になるように、適宜位置に配設してなるものである。
【００２７】
このクリーンルーム１２では、図４に示すように、前記機器１１の位置に対して、その上位置で、その機器１１を左右若しくは前後から挟むようにして、ファンフィルタユニット１，１を配設する。なお、ファンフィルタユニット１を機器１１の真上に配置することもある。
【００２８】
更に、前記ファンフィルタユニット１，１のそれぞれのメインの吸込み口２ａ同士を背向させて、仮想天井の位置に吊りボルトなどで吊り下げる。こうして、背向したファンフィルタユニット１，１のユニットごとに配設する。
【００２９】
上記のようにしてファンフィルタユニット１，１を配設することで、機器１１の発熱による上昇流分のみ、図４中の矢印で示すように、左右の補助的吸込み口２ｃ，２ｃ（２ｂ，２ｄ）によって吸込まれる。そして、ファンフィルタユニット１，１の吹出し口１４から空気が吹き出され、メインの吸込み口２ａに吸い込まれることで、仮想天井より下位置において空気が循環する。
【００３０】
こうして、ファンフィルタユニット１のメインの吸込み口２ａと吹出し口１４とで、仮想天井位置より下の空気が循環するとともに、前記補助的吸込み口２ｃ（２ｂ、２ｄ）によって、機器１１の発熱による上昇流分が仮想天井位置より上で滞留することなく、ファンフィルタユニット１，１に吸い込まれて循環するものである。
【００３１】
前記ファンフィルタユニット１，１の配置により、機器１１に対応して必要な箇所に、局所的に清浄して、クリーンルーム１２における、局所毎に異なる清浄度の要求に応えることができるようになる。
【００３２】
更に、ファンフィルタユニット１の吸込み口２において、下向きのテーパ形にすることで、仮想天井の位置より上の空気を乱すことなく、仮想天井の位置より下の空気を効率的に循環させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明に係るファンフィルタユニットによれば、クリーンルーム内で全部均一に清浄度を高くして維持する必要が無く、必要な箇所にだけ清浄度を確保して、機器の発熱による滞留域を解消する場合に広く適用できるものである。
【符号の説明】
【００３４】
１          ファンフィルタユニット、          １ａ      本体、
２          吸込み口、                        ２ａ      メインの吸込み口、
２ｂ，２ｃ，２ｄ        補助的吸込み口、
３          スライドシャッター、              ４        スライドシャッター、  
５          メインフィルタ、                  ６        送風機、
７          送風点検蓋、                      
８          メディアガード、                  
９          グリル、
１０        ＨＥＰＡフィルタ、
１１        機器、                            １２      クリーンルーム、
１３        パンチングメタル、
１４        吹出し口、
１５        従来のファンフィルタユニット。
【図１】
2015010810.tif 000003
【図２】
2015010810.tif 000004
【図３−Ａ】
2015010810.tif 000005
【図３−Ｂ】
2015010810.tif 000006
【図４】
2015010810.tif 000007
【図５】
2015010810.tif 000008
【図６】
2015010810.tif 000009