(57)【要約】【課題】粉塵発生機構で発生する粉塵を効果的に集塵することができる送風式集塵装置を提供すること。【解決手段】本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、粉塵発生機構を包囲するブースと、前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、を備えたことを特徴とする送風式集塵装置である。【選択図】図１
2015077555.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、
粉塵発生機構を包囲するブースと、
前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、
前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、
を備えたことを特徴とする送風式集塵装置。
【請求項２】
前記ブースは、略直方体に形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の送風式集塵装置。
【請求項３】
前記ブースの一側面とは、前記ブースの上面であり、
前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の送風式集塵装置。
【請求項４】
前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、
前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の送風式集塵装置。
【請求項５】
前記ブースの一側面とは、前記ブースの前面であり、
前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面である
ことを特徴とする請求項１または２に記載の送風式集塵装置。
【請求項６】
前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、
前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっている
ことを特徴とする請求項５に記載の送風式集塵装置。
【請求項７】
前記ブースは、粉塵発生機構として、運搬機構の一部である金属製ギヤを包囲するようになっている
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の送風式集塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばクリーンルームのように、内部における清浄雰囲気の維持が必要とされる空間がある。そのような空間内においても、製品製造や製品運搬などが行われる。その際、製品製造や製品運搬のために必要な機構、例えば金属製のギヤ駆動部から、当該金属の粉塵が発生することがある。このような粉塵は、清浄雰囲気の維持のために、当該空間内における飛散が防止されなければならない。
【０００３】
特許文献１に記載された集塵装置は、バキューム手段によって粉塵を吸引するタイプの集塵装置である。このようにバキューム手段を用いる集塵装置は、粉塵の種類を問わないことの他、集塵効率が高いという利点がある。
【０００４】
詳しくは、特許文献１に記載された集塵装置では、バキューム手段により吸引した粉塵を通過させる流路内に、磁気吸着機構が設けられ、この磁気吸着機構に粉塵を吸着して回収する。この磁気吸着機構は、磁気発生手段と、磁気を帯びない素材から形成され磁気発生手段を囲繞し磁気発生手段周りを周回する方向に回転駆動される無端状の仕切材と、を備えている。そして、この磁気吸着機構は、仕切材を回転駆動させることで、上記した仕切材の外面に磁気吸着した粉塵を磁気が作用しない粉塵回収位置（仕切材）に搬送させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１３８０８３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、バキューム手段を用いる集塵装置は、例えば吸引口の付近などにおいて乱流が発生してしまって、当該乱流が粉塵の飛散を引き起こすという問題があった。
【０００７】
また、バキューム手段を用いる集塵装置は、吸引による集塵効率を上げるためや、吸引口の付近などにおいて発生する乱流によって飛散される粉塵の拡散を防止するために、粉塵発生機構を密閉することが望まれるが、クリーンルーム内の狭い（限られた）空間では、そのような密閉機構（密閉ブース）を設置することが難しい場合がある。
【０００８】
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、粉塵発生機構で発生する粉塵を効果的に集塵することができる送風式集塵装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、粉塵を発生させる粉塵発生機構に対して設けられる送風式集塵装置であって、粉塵発生機構を包囲するブースと、前記ブースの一側面に設けられ、前記ブース外部から前記ブース内部へと気流を送風する送風機と、前記ブースの一側面に対向する他側面に設けられ、前記送風機によって送風された気流を吸引排気する吸引排出口と、を備えたことを特徴とする送風式集塵装置である。
【００１０】
本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。
【００１１】
また、前記ブースは、略直方体に形成されていてもよい。この場合、ブースに対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高く、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることができる。
【００１２】
例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの上面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの底面であってもよい。この場合、ブースの上面から底面に向けて気流が流れることで、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。
【００１３】
また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記吸引排出口は、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して設けられて、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から吸引排出口を介して気体が吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。
【００１４】
あるいは、例えば、前記ブースの一側面とは、前記ブースの前面であり、前記ブースの他側面とは、前記ブースの後面であってもよい。この場合、ブースの前面から気流が後方に向けて流れることで、前後方向に沿って流れる気流によってブース内部の粉塵をブース外部に導くことができる。
【００１５】
また、この場合、前記ブースの内部には、前記粉塵発生機構の近傍の領域と前記粉塵発生機構から遠い領域とを互いの連通を維持しつつ隔てるための隔壁が、設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域に対して、補助吸引排気口が設けられており、前記粉塵発生機構の近傍の領域を陰圧状態にするようになっていてもよい。この場合、粉塵発生機構の近傍の領域から補助吸引排出口を介して吸引排気されることによって、粉塵発生機構の近傍の領域が陰圧状態となり、粉塵発生機構の近傍の領域から粉塵発生機構から遠い領域へと粉塵が拡散することを防止できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、粉塵発生機構で発生した粉塵がブース外部に飛散することが防止され、また、ブース内部の粉塵は、送風機から吸引排出口に向けて流れる気流によって、吸引排出口に効率的に導かれるため、例えば公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらずブース内部の粉塵を効果的に集塵することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態の送風式集塵装置の概略斜視透視図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態の送風式集塵装置の概略正面透視図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態の送風式集塵装置についての、図５に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の第１の実施の形態の送風式集塵装置１の概略斜視透視図である。図１に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置１は、例えばクリーンルーム内において各種製品を運搬するための運搬機構の一部であって前後方向に２つ並んで配置された金属製ギヤ群１０１、１０２に対して設けられる装置である。この場合、金属製ギヤ群１０１、１０２が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置１は、金属製ギヤ群１０１、１０２が発生させる粉塵を集塵するようになっている。
【００２０】
本実施の形態では、金属製ギヤ群１０１、１０２が発生させる粉塵は、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０５）、クロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４１５）などからなる粉塵であり、対象とする粒径は、０．７μｍ以上である。もっとも、目視できるのは数十μｍ程度である。なお、粉塵発生機構の材質、すなわち、粉塵発生機構が発生させる粉塵は、樹脂等であってもよい。
【００２１】
本実施の形態の送風式集塵装置１は、金属製ギヤ群１０１、１０２を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース１０を備えている。
【００２２】
ブース１０は、金属製ギヤ群１０１、１０２が発生させる粉塵の飛散領域を制限する目的で設けられている。ブース１０は、金属製ギヤ群１０１、１０２の周囲の空間を密閉するものに限定されず、金属製ギヤ群１０１、１０２に接続された各軸部材との干渉を避けるための種々の開口部（不図示）を有していてもよい。
【００２３】
本実施の形態では、金属製ギヤ群１０１、１０２の上方に位置するブース１０の面、すなわちブース１０の上面に、前後方向に並ぶように送風機２１〜２３が３つ配置されている。各送風機２１〜２３は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、３つの送風機２１〜２３の３つの支持部材によって、ブース１０の上面の全体が占められている。
【００２４】
各送風機２１〜２３は、ブース１０の外部から空気を取り込んでブース１０の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機２１〜２３の羽根車の回転軸は、鉛直方向（上下方向）に整列配置されている。これにより、各送風機２１〜２３により送風される気流は、ブース１０の上面から底面に向けて鉛直方向に流れるようになっている。各送風機２１〜２３は、１２０ｍｍ×１２０ｍｍのサイズであって、その送風量は、４８ＣＦＭ（１３．６ｌ／ｍｉｎ）程度となっている。
【００２５】
一方、ブース１０の底面には、前後方向に並ぶように３つの吸引排出口３１〜３３が設けられている。各吸引排出口３１〜３３は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口３１〜３３の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口３１〜３３を通った気流は、公知のフィルタ部材（不図示）を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口３１〜３３による排気量の和は、前述の送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。
【００２６】
そして、本実施の形態では、送風機２１と吸引排出口３１とが鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。より詳しくは、送風機２１の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口３１の中心を通るようになっている。同様に、送風機２２と吸引排出口３２とは鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。より詳しくは、送風機２２の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口３２の中心を通るようになっている。同様に、送風機２３と吸引排出口３３とは鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。より詳しくは、送風機２３の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口３３の中心を通るようになっている。
【００２７】
さらに、本実施の形態では、送風機２１の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機２２の羽根車の回転軸の直下の領域との間の領域に、金属製ギヤ群１０１が位置している。また、送風機２２の羽根車の回転軸の直下の領域と、送風機２３の羽根車の回転軸の直下の領域との間に、金属製ギヤ群１０２が位置している。
【００２８】
次に、本実施の形態の送風式集塵装置１の作用について説明する。
【００２９】
各種製品を運搬するための運搬機構の一部である金属製ギヤ群１０１、１０２は、動作の結果として、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０５）、クロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４１５）などからなる粉塵を発生させる。
【００３０】
発生した粉塵は、金属製ギヤ群１０１、１０２から飛散するが、金属製ギヤ群１０１、１０２がブース１０によって覆われているためブース１０の外部へ飛散することは防止される。また、ブース１０の内部の粉塵は、送風機２１〜２３から吸引排出口３１〜３３に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口３１〜３３に効率的に導かれる。そして、吸引排出口３１〜３３を通った粉塵は、吸引排出口３１〜３３の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
【００３１】
以上の通り、本実施の形態によれば、金属製ギヤ群１０１、１０２で発生した粉塵がブース１０の外部に飛散することが防止され、また、ブース１０の内部の粉塵は、送風機２１〜２３から吸引排出口３１〜３３に向けて流れる気流によって、吸引排出口３１〜３３に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
【００３２】
また、本実施の形態では、ブース１０が、略直方体に形成されていることで、ブース１０に対する送風機及び吸引排出口の設置に関する設計の自由度が高くなっている。このため、製造効率及び粉塵の集塵効率を向上させることが容易である。
【００３３】
また、本実施の形態では、送風機２１〜２３が設けられるブース１０の一側面がブース１０の上面であり、吸引排出口３１〜３３が設けられる一側面に対向する他側面がブース１０の底面である。このため、ブース１０の上面から気流は底面に向けて流れ、粉塵に作用する重力とも相俟って、粉塵の集塵効率を向上させることができる。
【００３４】
次に、図２は、本発明の第２の実施の形態の送風式集塵装置２の概略斜視透視図である。
【００３５】
本実施の形態の送風式集塵装置２では、ブース１０の前面に上下に並ぶように２つの送風機２４、２５が設けられている。また、ブース１０の後面に上下に並ぶように２つの吸引排出口３４、３５が設けられている。
【００３６】
詳しくは、各送風機２４、２５は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を備えている。そして、本実施の形態では、２つの送風機２４、２５の２つの支持部材によって、ブース１０の前面の全体が占められている。
【００３７】
各送風機２４、２５は、ブース１０の外部から空気を取り込んでブース１０の内部へ気流として送風するように構成されている。また、各送風機２４、２５の羽根車の回転軸は、前後方向に整列配置されている。これにより、各送風機２４、２５により送風される気流は、ブース１０の前面から後面に向けて前後方向に流れるようになっている。
【００３８】
一方、各吸引排出口３４、３５は、本実施の形態では、円形状に形成されている。もっとも、吸引排出口３４、３５の形状は、円形状でなくてもよく、楕円形状や矩形状であってもよい。吸引排出口３４、３５を通った気流は、公知のフィルタ部材（不図示）を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。吸引排気口３４、３５による排気量の和は、送風機２４、２５による送風量の和よりも大きく設定されて、装置内が陰圧状態とされるようになっている。
【００３９】
そして、本実施の形態では、送風機２４と吸引排出口３４とが前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機２４の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口３４の中心を通るようになっている。同様に、送風機２５と吸引排出口３５とは前後方向に対向するように位置している。より詳しくは、送風機２５の羽根車の回転軸の軸線が、吸引排出口３５の中心を通るようになっている。
【００４０】
以上に説明した各点で、送風式集塵装置２は、第１の実施の形態の送風式集塵装置１と異なっている。その他の構成は、第１の実施の形態の送風式集塵装置１と同様である。図２において、第１の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４１】
次に、本実施の形態の送風式集塵装置２の作用について説明する。
【００４２】
金属製ギヤ群１０１、１０２によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群１０１、１０２から飛散するが、金属製ギヤ群１０１、１０２がブース１０によって覆われているためブース１０の外部へ飛散することは防止される。また、ブース１０の内部の粉塵は、送風機２４、２５から吸引排出口３４、３５に向けて前後方向に流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口３４、３５に効率的に導かれる。そして、吸引排出口３４、３５を通った粉塵は、吸引排出口３４、３５の先にあるフィルタ部材（不図示、第１の実施の形態と同様のものである。）によって集塵される。
【００４３】
以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群１０１、１０２で発生した粉塵がブース１０の外部に飛散することが防止される。また、ブース１０の内部の粉塵は、送風機２４、２５から吸引排出口３４、３５に向けて前後方向に流れる気流によって、吸引排出口３４、３５に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
【００４４】
次に、図３は、本発明の第３の実施の形態の送風式集塵装置３の概略斜視透視図である。
【００４５】
本実施の形態の送風式集塵装置３は、ブース１０の底面の所定位置の下方に設けられる磁石装置７１、７２と、磁石装置７１、７２に対応するブース１０の底面の所定位置に設けられる粘着シート６１、６２とを有する点で、第１の実施の形態の送風式集塵装置１と異なっている。
【００４６】
磁石装置７１は、金属製ギヤ群１０１の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置７１の吸引面は、ブース１０の底面側において吸引排気口３１と吸引排気口３２との間の領域に位置している。
【００４７】
同様に、磁石装置７２は、金属製ギヤ群１０２の下方に設けられ、磁性体からなる粉塵を引きつける吸引面を有している。磁石装置７２の吸引面は、ブース１０の底面側において吸引排気口３２と吸引排気口３３との間の領域に位置している。
【００４８】
本実施の形態の磁石装置７１、７２は、金属製ギヤ群１０１、１０２の方向に強い磁力を有する異方性磁石で構成されている。具体的には、ニチレイマグネット株式会社製の商品名「マグタックテープ  ロール  １．５ｍｍ×１９ｍｍ」（品番：０００２２８）が用いられている。あるいは、株式会社マグナ製の商品名「ネオジムマグネットシート  １．０ｍｍ×２００ｍｍ」も用いられ得る。
【００４９】
一方、粘着シート６１は、磁石装置７１の吸引面に対応するブース１０の底面に設けられている。また、粘着シート６２は、磁石装置７２の吸引面に対応するブース１０の底面に設けられている。本実施の形態では、複数が積層された積層粘着シートが用いられている。具体的には、３０層積層タイプの、アズワン株式会社製の商品名「アズピュアクリーンマット」（品番：１−４７３１−６３  白  ４５０×９００）が、設置場所のサイズに合わせて切断されて用いられている。
【００５０】
その他の構成は、第１の実施の形態の送風式集塵装置１と同様である。図３において、第１の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５１】
次に、本実施の形態の送風式集塵装置３の作用について説明する。
【００５２】
金属製ギヤ群１０１、１０２によって発生した粉塵は、金属製ギヤ群１０１、１０２から飛散するが、金属製ギヤ群１０１、１０２がブース１０によって覆われているためブース１０の外部へ飛散することは防止される。また、ブース１０の内部の粉塵の一部は、送風機２１〜２３から吸引排出口３１〜３３に向けて流れる気流によって、直線状の軌道に沿って、吸引排出口３１〜３３に効率的に導かれる。ここで、気流に乗り損ねたブース１０の内部の粉塵の一部は、磁石装置７１、７２の磁力の作用を受けて当該磁石装置７１、７２の吸引面上の粘着シート６１、６２によって吸着される。吸着された粉塵は、粘着シート６１、６２の粘着力によって、その後に再び飛散することが確実に防止される。
【００５３】
そして、吸引排出口３１〜３３を通った粉塵は、吸引排出口３１〜３３の先にあるフィルタ部材（不図示、第１の実施の形態と同様のものである。）によって集塵される。
【００５４】
本実施の形態では、金属製ギヤ群１０１、１０２の所定時間の運転の後、金属製ギヤ群１０１、１０２の運転が停止された際に、例えば、作業者によってブース１０が取り外されて、作業者によって粘着シート６１、６２が剥がされることによって粘着シート６１、６２に吸着された粉塵が粘着シート６１、６２ごと廃棄される。この作業の際に、粉塵は、粘着シート６１、６２に吸着されたまま飛散することがないため、作業者による作業は容易である。また、粘着シート６１、６２が積層粘着シートからなるため、粉塵を吸着した最上位のシートが剥がされることで、次のシートの粘着面が簡便に露出される。この場合、その後、再びブース１０が取り付けられて、金属製ギヤ群１０１、１０２の運転が再開される。
【００５５】
以上の通り、本実施の形態によっても、金属製ギヤ群１０１、１０２で発生した粉塵がブース１０の外部に飛散することが防止される。また、ブース１０の内部の粉塵は、送風機２１〜２３から吸引排出口３１〜３３に向けて流れる気流によって、吸引排出口３１〜３３に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。加えて、磁石装置７１、７２の吸引面に引きつけられた磁性体からなる粉塵が、当該吸引面に設置された粘着シート６１、６２の粘着面によって吸着されることにより、その後に再び飛散することが確実に防止される。
【００５６】
また、吸着された粉塵は、粘着シート６１、６２ごと廃棄することが可能であるため、作業者の作業も容易である。
【００５７】
また、磁石装置７１、７２は、金属製ギヤ群１０１、１０２の方向に強い磁力を有する異方性磁石であるため、当該金属製ギヤ群１０１、１０２に対して、より強力に磁力を効かせることができる。
【００５８】
なお、磁石装置７１、７２は、電磁石装置によって置換することが可能である。この場合、磁力の強度調整が容易である他、磁力のＯＮ−ＯＦＦ制御も容易となる。従って、例えば粘着シート６１、６２の交換時に磁力をＯＦＦにして、吸引排気口３１〜３３からの吸引作用を優先させるといったことも可能となる。
【００５９】
また、粘着シートとして、本実施の形態では積層粘着シートが用いられたが、粘着面に粘着ジェルが塗布されたタイプのシートであってもよい。この場合、例えば粘着ジェルと一緒に粉塵が拭き取られ、その後に再び新たな粘着ジェルが塗布されることで、当該粘着シートは繰り返しの利用に供される。
【００６０】
次に、図４は、本発明の第４の実施の形態の送風式集塵装置４の概略正面透視図であり、図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【００６１】
図４及び図５に示すように、本実施の形態の送風式集塵装置４は、例えばクリーンルーム内においてウェハＷを運搬するための運搬機構の一部であるベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２に対して設けられる装置である。この場合、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２が粉塵発生機構であり、送風式集塵装置４は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２が発生させる粉塵を集塵するようになっている。
【００６２】
本実施の形態の送風式集塵装置４は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２を前後上下左右の各方向から包囲する略直方体形状に形成されたブース１１を備えている。
【００６３】
図４においてブース１１の内部における紙面左側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群２０１には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤが含まれ、ブース１１の内部における紙面右側の位置に配置されたベルトコンベア用ギヤ群２０２には、前後方向に間隔をあけて並ぶように配置された複数のギヤ（図５参照）が含まれている。図５には、ベルトコンベア用ギヤ群２０２に含まれているギヤ２０２ａ〜２０２ｆが図示されている。
【００６４】
ベルトコンベア用ギヤ群２０１に含まれている複数のギヤは、それぞれ、ベルトコンベア用ギヤ群２０２に含まれている複数のギヤのうちのいずれかと、左右方向に対向している。そして、左右方向に対向するベルトコンベア用ギヤ群２０１のギヤとベルトコンベア用ギヤ群２０２のギヤとは、左右方向に延びるシャフト２０３によって連結されている。当該シャフト２０３は、当該左右一対のギヤの回転に伴って回転するようになっている。
【００６５】
シャフト２０３には、当該シャフト２０３の軸方向に間隔をあけて並ぶように６つのローラ２０４が設けられている。各ローラ２０４はシャフト２０３に対して相対回転不能に固定されている。図４では、最前方のシャフト２０３及びローラ２０４のみが図示されているが、後方に配置されるシャフトについても、同様のローラが設けられている。
【００６６】
図４及び図５に示すように、ブース１０の底面には、上方に向けて立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる左右一対の立壁部８１、８２が形成されている。立壁部８１は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１の内側（左右方向でブース１０の中央側）でベルトコンベア用ギヤ群２０１に隣接する位置に配置されている。対称的に、立壁部８２は、ベルトコンベア用ギヤ群２０２の内側（左右方向でブース１０の中央側）でベルトコンベア用ギヤ群２０２に隣接する位置に配置されている。
【００６７】
図４に示すように、シャフト２０３は、立壁部８１、８２を貫通して、当該立壁部８１、８２に回転可能に支持されている。シャフト２０３の後方に配置されるシャフトも、立壁部８１、８２に回転可能に支持されている。
【００６８】
そして、本実施の形態では、立壁部８１の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁９１が設けられている。同様に、本実施の形態では、立壁部８２の上面から、左右方向外側に傾斜する方向に向けてさらに立ち上がるとともに前後方向に長尺に延びる隔壁９２が設けられている。
【００６９】
隔壁９１は、紙面左側におけるブース１１の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群２０１の近傍の領域Ｎ１とベルトコンベア用ギヤ群２０１から遠い領域Ｆとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。同様に、隔壁９２は、紙面右側におけるブース１１の内部において、ベルトコンベア用ギヤ群２０２の近傍の領域Ｎ２とベルトコンベア用ギヤ群２０２から遠い領域Ｆとを互いの連通を狭い流路面積に維持しつつ隔てている。
【００７０】
シャフト２０３に固定されたローラ２０４及びその後方のシャフトに固定されたローラの全体には、無端状ベルト（不図示）が巻き掛けられている。ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２は、無端状ベルトを駆動することで、無端状ベルト上に載置されるウェハＷを運搬するようになっている。図５に示すように、本実施の形態では、無端状ベルト上に載置されたウェハＷが、ブース１１の後方から前方に向けて運搬されるようになっている。
【００７１】
本実施の形態では、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の上方に位置するブース１１の面、すなわちブース１１の上面に、左右方向に並ぶように送風機２６〜２８が３つ配置されている。図示の例では、紙面左側に送風機２６が配置され、紙面右側に送風機２８が配置され、送風機２６と送風機２８との間に送風機２７が配置されている。更に詳しくは、本実施の形態では、図５に示すように、送風機２８は、前後２つの送風機本体２８ａ、２８ｂを有している。図示は省略するが、同様に、送風機２６、２７もそれぞれ、前後２つの送風機本体を有している。送風機２６〜２８における各送風機本体は、羽根車及び当該羽根車を回転可能に支持する矩形枠状の支持部材を有している。そして、本実施の形態では、３つの送風機２６〜２８に含まれている計６つの支持部材によって、ブース１１の上面の全体が占められている。
【００７２】
一方、ブース１０の底面には、送風機２６〜２８に対応して吸引排出口３６〜３８が設けられている。図５に示すように、吸引排出口３８には、前後２つの開口３８ａ、３８ｂが含まれている。図示は省略するが、吸引排出口３６、３７にもそれぞれ、前後２つの開口が含まれている。そして、本実施の形態においても、送風機２６と吸引排出口３６とが鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。同様に、送風機２７と吸引排出口３７とが鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。同様に、送風機２８と吸引排出口３８とが鉛直方向（上下方向）に対向するように位置している。
【００７３】
そして、吸引排出口３６〜３８を通った気流は、公知のフィルタ部材（不図示）を通って、さらに下流に流れるようになっている。当該フィルタ部材は、通過した気流に含まれる粉塵を捕捉するようになっている。
【００７４】
ここで、吸引排出口３６は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１の近傍の領域Ｎ１に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群２０１の近傍の領域Ｎ１を陰圧状態にするようになっている。同様に、吸引排出口３８は、ベルトコンベア用ギヤ群２０２の近傍の領域Ｎ２に対して設けられていて、ベルトコンベア用ギヤ群２０２の近傍の領域Ｎ２を陰圧状態にするようになっている。
【００７５】
次に、本実施の形態の送風式集塵装置４の作用について説明する。
【００７６】
ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２は、動作の結果として、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３０５）、クロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４１５）などからなる粉塵を発生させる。
【００７７】
発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２がブース１１によって覆われているためブース１１の外部へ飛散することは防止される。また、ブース１１の内部の粉塵は、送風機２６〜２８から吸引排出口３６〜３８に向けて流れる気流によって、吸引排出口３６〜３８に効率的に導かれる。そして、吸引排出口３６〜３８を通った粉塵は、吸引排出口３６〜３８の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
【００７８】
ここで、本実施の形態では、隔壁９１によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群２０１の近傍の領域Ｎ１に吸引排出口３６が設けられ、領域Ｎ１から吸引排出口３６を介して空気（気体）が吸引排気されることによって、領域Ｎ１が陰圧状態となる。このため、領域Ｎ１から遠い領域Ｆへと粉塵が拡散することが防止される。
【００７９】
しかも、本実施の形態では、隔壁９１が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機２６からの気流が領域Ｎ１に流入し難く、領域Ｆに流入し易い。これにより、領域Ｎ１が領域Ｆよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域Ｎ１から領域Ｆへと粉塵が拡散することが確実に防止される。
【００８０】
同様に、本実施の形態では、隔壁９２によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群２０２の近傍の領域Ｎ２に吸引排出口３８が設けられ、領域Ｎ２から吸引排出口３８を介して空気（気体）が吸引排気されることによって、領域Ｎ２が陰圧状態となる。このため、領域Ｎ２から遠い領域Ｆへと粉塵が拡散することが防止される。
【００８１】
しかも、本実施の形態では、隔壁９２が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機２８からの気流が領域Ｎ２に流入し難く、領域Ｆに流入し易い。これにより、領域Ｎ２が領域Ｆよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域Ｎ２から領域Ｆへと粉塵が拡散することが確実に防止される。
【００８２】
以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２で発生した粉塵がブース１１の外部に飛散することが防止され、また、ブース１１の内部の粉塵は、送風機２６〜２８から吸引排出口３６〜３８に向けて流れる気流によって、吸引排出口３６〜３８に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
【００８３】
しかも、隔壁９１、９２が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２から吸引排出口３６、３８を介して空気（気体）が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２からベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２から遠い領域Ｆへと粉塵が拡散することを防止できる。
【００８４】
次に、図６は、本発明の第５の実施の形態の送風式集塵装置５についての図５に対応する図である。以下、図４も適宜参照して、第５の実施の形態の送風式集塵装置５について説明する。
【００８５】
本実施の形態の送風式集塵装置５は、送風機２９がブース１１の前面に設けられていて送風機がブース１１の上面に設けられていない点、及び、ブース１１の後面に送風機２９に対応する吸引排出口３９が設けられている点で、第４の実施の形態の送風式集塵装置４と異なっている。
【００８６】
その他の構成は、第４の実施の形態の送風式集塵装置１と同様である。図６において、第４の実施の形態と同様の構成部分には同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８７】
本実施の形態の送風式集塵装置５の作用について説明する。発生した粉塵は、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２から飛散するが、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２がブース１１によって覆われているためブース１１の外部へ飛散することは防止される。また、ブース１１の内部の粉塵は、送風機２９から吸引排出口３９に向けて流れる気流によって、吸引排出口３９に効率的に導かれる。そして、吸引排出口３９を通った粉塵は、吸引排出口３９の先にあるフィルタ部材によって集塵される。
【００８８】
ここで、本実施の形態では、吸引排出口３８が、送風機２９からの気流を直接的に受け入れるのではなく、補助的に受け入れる補助吸引排出口として機能する。そして、隔壁９２によって隔てられたベルトコンベア用ギヤ群２０２の近傍の領域Ｎ２に吸引排出口３８が設けられ、領域Ｎ２から吸引排出口３８を介して空気（気体）が吸引排気されることによって、領域Ｎ２が陰圧状態となる。このため、領域Ｎ２から遠い領域Ｆへと粉塵が拡散することが防止される。
【００８９】
しかも、本実施の形態では、隔壁９２が、左右方向外側に傾斜する方向に向けて立ち上がっていて流路面積を狭めているので、送風機２８からの気流が領域Ｎ２に流入し難く、領域Ｆに流入し易い。これにより、領域Ｎ２が領域Ｆよりも陰圧になり易くなっている。このため、領域Ｎ２から領域Ｆへと粉塵が拡散することが確実に防止される。なお、図６においては、隔壁９１が図示されていないが、隔壁９１側においても、隔壁９２側と同じ作用効果が得られる。
【００９０】
以上の通り、本実施の形態によれば、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２で発生した粉塵がブース１１の外部に飛散することが防止され、また、ブース１１の内部の粉塵は、送風機２９から吸引排出口３９に向けて流れる気流によって、吸引排出口３９に効率的に導かれるため、公知のフィルタ部材を併用することで、物性によらず効果的に集塵され得る。
【００９１】
しかも、隔壁９１、９２が設けられ、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２から吸引排出口３６、３８を介して空気（気体）が吸引排気されることによって、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２が陰圧状態となる。このため、ベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２の近傍の領域Ｎ１、Ｎ２からベルトコンベア用ギヤ群２０１、２０２から遠い領域Ｆへと粉塵が拡散することを防止できる。
【符号の説明】
【００９２】
１、２、３、４、５  送風式集塵装置
１０、１１  ブース
２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９  送風機
３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８、３９  吸引排出口
６１、６２  粘着シート
７１、７２  磁石装置
８１、８２  立壁部
９１、９２  隔壁
１０１、１０２  金属製ギヤ群（粉塵発生機構）
２０１、２０２  ベルトコンベヤ用ギヤ群（粉塵発生機構）
２０３  シャフト
２０４  ローラ
Ｎ１、Ｎ２  ベルトコンベヤ用ギヤ群の近傍の領域
Ｆ  ベルトコンベヤ用ギヤ群から遠い領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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