(57)【要約】【課題】半導体基板と電極の間の直列抵抗を減少させて、変換効率の良い光電変換装置を得る.【解決手段】半導体基板と半導体基板に形成した第１導電型領域と、第１導電型領域と電気的に接続する電極とを有し、第１導電型領域は電極と相対する電極領域を有し、電極領域に結晶欠陥を有することにより、第１導電型領域と電極の間の直列抵抗成分を小さくすることができるので、光電変換装置の変換効率を向上させることができる。【選択図】図１
2015142079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と
前記半導体基板に形成した第１導電型領域と、
前記第１導電型領域と電気的に接続する電極とを有し、
前記第１導電型領域は電極と相対する電極領域を有し、
前記電極領域に結晶欠陥を有する光電変換装置。
【請求項２】
前記半導体基板上に形成した誘電体層を有し、
前記第１導電型領域は、前記誘電体層上に設けられている、
請求項１記載の光電変換装置。
【請求項３】
前記第１導電型領域は、
前記電極領域以外の非電極領域を有し、
前記電極領域の第１導電型不純物濃度は、前記非電極領域の第１導電型不純物濃度よりも高い請求項１乃至２記載記載の光電変換装置。
【請求項４】
前記第１導電型領域は、
前記電極領域以外の非電極領域を有し、
前記電極領域における結晶欠陥の面密度は、前記非電極領域における結晶欠陥の面密度よりも高い請求項１乃至３記載の光電変換装置。
【請求項５】
前記誘電体層は、第１の誘電体層と、前記第１の誘電体層の上に形成された第２の誘電体層からなり、
前記第１導電型領域と前記電極の間に、前記第１の誘電体層または前記第２の誘電体層のいずれかが介挿された請求項１から４のいずれかに記載の光電変換装置。
【請求項６】
前記結晶欠陥の面密度は５５０個／ｃｍ２以上１００，０００個／ｃｍ２以下である請求項１から５のいずれかに記載の光電変換装置。
【請求項７】
前記誘電体層の厚さは、０．１ｎｍ以上４．５ｎｍ以下である請求項１から６のいずれかに記載の光電変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光電変換装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽光エネルギーを直接電気エネルギーに変換する光電変換装置に対しては、近年、特に地球環境問題の観点から、次世代のエネルギー源としての期待が急激に高まっている。光電変換装置用の材料としては化合物半導体や有機材料などが利用されてきたが、現在はシリコン結晶が主流となっている。現在最も多く生産、販売されている光電変換装置では、太陽光を受ける受光面にはｎ電極が、受光面の反対面である裏面にはｐ電極が設けられている。受光面側に設けられたｎ電極は、光電変換により得られた電流の取り出しのために必要不可欠であるが、ｎ電極が形成された部位の基板には該ｎ電極による遮蔽によって太陽光が入射しないため、電極面積が大きいと変換効率が低下する。受光面側の電極によるこのような変換効率の損失をシャドウロスという。
【０００３】
受光面に電極がない裏面電極型光電変換装置においては、電極によるシャドウロスがなく、入射する太陽光をほぼ１００％光電変換装置に取り込むことができるため、原理的に高変換効率が実現可能である。このような裏面電極型光電変換装置の例として、特開２００７―１９２５９号公報が挙げられる。
【０００４】
図１１は、従来の裏面電極型の光電変換装置の構造を示す概略断面図である。半導体基板５０の裏面に高濃度ｐ型ドーピング領域５２と高濃度ｎ型ドーピング領域５３が交互に設けられている。半導体基板５０の表面には、たとえばシリコン酸化膜や、シリコン窒化膜などからなるパッシベーション膜５１が形成されており、これによって表面再結合が抑制されている。裏面に設けられたｐ領域のコンタクトホール５６およびｎ領域のコンタクトホール５７をそれぞれ介し、高濃度ｐ型ドーピング領域５２にはｐ電極５４が、高濃度ｎ型ドーピング領域５３にはｎ電極５５がそれぞれ接続され、光電変換により得られた電流が取り出される。受光面のパッシベーション膜５１は反射防止膜としての働きも兼ねている。図１１からわかるように、ｐ型ドーピング領域、ｎ型ドーピング領域、ｐ電極、ｎ電極は全て裏面に形成されており、受光面には光をさえぎるものがなく、太陽光をほぼ１００％取り込むことができる。
【０００５】
上述の従来例においては、半導体基板とｐ電極とｎ電極が直接接触していたが、光電変換装置のさらなる高効率化の方法として、金属電極部と半導体基板の間にさらにパッシベーション膜を挿入したいわゆるコンタクトパッシベーション構造とし（金属電極／パッシベーション膜／半導体層）、半導体基板上でのキャリアの再結合を極力低減させる事で開放電圧Ｖｏｃの改善および効率の改善が得られている。この場合、パッシベーション膜の膜厚は、十分なトンネル電流を流すために薄くする必要がある。参考文献１（Dimitri Zielke  Physica statuts solidi Rapid Research letters Volume 5 Issue 8 page 298-300）によればドーピング領域の上のパッシベーション膜の膜厚が２ｎｍより大きくなると直列抵抗が大きくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７―１９２５９号公報
【非特許文献】
【０００７】
【非特許文献１】Dimitri Zielke  Physica statuts solidi Rapid Research letters Volume 5 Issue 8 page 298-300
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述の光電変換装置のコンタクトパッシベーション構造においては、パッシベーション層膜厚を厚くすると直列抵抗が増加し、パッシベーション層膜厚を薄くするとキャリア再結合が増加するという、相反する課題を解決することが困難であった。また、半導体基板とｐ電極とｎ電極が直接接触している光電変換装置においても、コンタクトホール部で直列抵抗が存在し、FFの低下が存在していた。このように、従来の光電変換装置では、半導体基板と電極の間の直列抵抗が変換効率低下の原因となっていた。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、半導体基板と電極の間の直列抵抗を減少させて、変換効率の高い光電変換装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の光電変換装置は、半導体基板と半導体基板に形成した第１導電型領域と、第１導電型領域と電気的に接続する電極とを有し、第１導電型領域は電極と相対する電極領域を有し、電極領域に結晶欠陥を有するものである
また、本発明の光電変換装置は、半導体基板上に形成した誘電体層を有し、第１導電型領域は、誘電体層上に設けられてなるものである。
【００１１】
また、本発明の光電変換装置は、第１導電型領域は、電極領域以外の非電極領域を有し、前記電極領域の第１導電型不純物濃度は、非電極領域の第１導電型不純物濃度よりも高いという特徴を有するものである。
【００１２】
また、本発明の光電変換装置は、第１導電型領域は、電極領域以外の非電極領域を有し、電極領域における結晶欠陥の面密度は、非電極領域における結晶欠陥の面密度よりも高いという特徴を有するものである。
【００１３】
また、本発明の光電変換装置は、誘電体層は、第１の誘電体層と、前記第１の誘電体層の上に形成された第２の誘電体層からなり、第１導電型領域と前記電極の間に、第１の誘電体層または第２の誘電体層のいずれかが介挿されたものである。
【００１４】
また、本発明の光電変換装置は、結晶欠陥の面密度は５５０個／ｃｍ２以上１００，０００個／ｃｍ２以下である特徴を有するものである。
【００１５】
また、本発明の光電変換装置は、誘電体層の厚さは、０．１ｎｍ以上４．５ｎｍ以下であるという特徴を有するものである。。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、半導体基板と電極の間の直列抵抗成分を小さくすることができるので、光電変換装置の変換効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の光電変換装置の断面模式図である。
【図２】本発明の光電変換装置の部分拡大図である。
【図３】結晶欠陥領域の欠陥の密度と、セルの特性との関係を示す図である。
【図４】欠陥密度と変換効率の関係を示すグラフである。
【図５】結晶欠陥を示す断面図である。
【図６】誘電体層厚と光電変換装置の特性の関係を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態である光電変換装置の断面模式図
【図８】本発明の第３の実施の形態である光電変換装置の断面模式図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態である光電変換装置の断面模式図である。
【図１０】開口部の違う光電変換装置の変換効率を比較した図である。
【図１１】従来の光電変換装置の構造を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態に係る説明する。以下の説明では同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについて詳細な説明は繰り返さない。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は本発明の光電変換装置の断面模式図である。図１において、ｎ型シリコン基板１０の受光面と反対側の面に、リン（Ｐ）などの第１の導電型であるｎ型ドーパントをドープしたｎ型領域１１と、ホウ素（Ｂ）などの第２の導電型であるｐ型ドーパントをドープしたｐ型領域１２が形成されている。ｎ型領域１１およびｐ型領域１２は、ｎ型シリコン基板１０の受光面と反対側の面に、ドーパントを熱拡散したり、ドーパントイオンをイオン注入することにより形成することができる。
【００２０】
ｎ型領域１１およびｐ型領域１２上には誘電体層１３が形成されている。誘電体層としては、酸化シリコン、窒化シリコン、酸窒化シリコン、酸化アルミニウムなどが用いられ、プラズマＣＶＤ法やＡＬＤ法（Atomic Layer Deposition）などを用いて形成することができる。ここでは、誘電体層として酸化シリコンを使用した。
【００２１】
誘電体層１３を介してｎ型領域１１上にｎ電極１４が設けられている。ｎ電極１４がｎ型領域に相対している部分において、ｎ型領域１１は、ｎ電極１４と接していないが、誘電体層１３が薄いために、トンネル効果によって、ｎ型領域１１とｎ電極１４とは電気的に接続している。
【００２２】
また、誘電体層１３を介してｐ型領域１２上にｐ電極１５が設けられている。ｐ型領域１２がｐ電極１５に相対している部分において、ｐ型領域１２はｐ電極１５と接していないが、誘電体層１３が薄いために、トンネル効果によって、ｐ型領域１２とｐ電極１５とは電気的に接続している。
【００２３】
さらに、ｐ型領域１２がｐ電極１５に相対している部分において、誘電体層１３との界面付近に結晶欠陥領域１６が形成されている。
【００２４】
ｐ型領域１２がｐ電極１５に相対する部分に、結晶欠陥を含む結晶欠陥領域１６を形成することにより、ｐ型領域と誘電体層の界面に空間電荷が導入されることで、薄い誘電体層を介したトンネル電流が流れやすくなるため、誘電体層１３の直列抵抗を低減することができる。なお、結晶欠陥領域１６は、ｐ型領域１２がｐ電極１５に相対する部分と完全に一致している必要はない。
【００２５】
ｎ型シリコン基板１０の受光面側は、テクスチャ加工がされてなり、窒化シリコン、酸化チタンなどからなる反射防止膜１７が形成されている。反射防止膜１７はｎ型シリコン基板１０の受光面のパッシベーション機能も有する。
【００２６】
図２は、本発明の光電変換装置を電極側から見た部分拡大図であり、光電変換装置１の電極形成面の一部の拡大図である。ｎ型領域１１は、誘電体層１３の下方であって、ｎ型シリコン基板１０上の円形の領域で、その円形の内部はｎ型シリコン基板１０よりもｎ型ドーパントの濃度が高い領域である。ｎ電極１４は、誘電体層１３の上方にあって、円形のｎ型領域１１のほぼ中央に位置している。
【００２７】
ｐ型領域１２は、ｎ型シリコン基板１０上に設けられ、ｎ型領域１１を取り囲むように形成されている。円形のｐ電極１５は、誘電体層１３上にあって、ｐ型領域１２上に設けられている。ｐ電極１５直下のｐ型領域１２に、結晶欠陥領域１６が設けられている。ｐ電極１５と結晶欠陥領域１６は、シリコン基板の法線方向からみたときに丁度重なり合うように形成してもよいが、図２に記載のように、結晶欠陥領域１６をｐ電極１５より小さく形成することで、ｐ電極１５下のｎ型シリコン基板のパッシベーション性をより向上することができるので好ましい。
【００２８】
ｎ型領域１１およびｐ型領域１２はｎ型シリコン基板１０の受光面とは反対側の面に、それぞれ、リンなどのｎ型のドーパントとホウ素などのｐ型のドーパントを拡散させることで形成される。さらに、結晶欠陥領域１６においては、ホウ素などのｐ型のドーパントをイオン注入することにより、第１導電型不純物濃度（ホウ素濃度）をより高めるとともに、イオン注入領域のシリコン基板上のｐ型領域表面には結晶欠陥が導入される。結晶欠陥領域１６の不純物濃度（ホウ素濃度）５×１０１８〜２×１０２０atoms/cm3程度である。結晶欠陥領域１６以外のｐ型領域１２の不純物濃度（ホウ素濃度）は１×１０１７〜１×１０１９atoms/cm3程度である。すなわち、結晶欠陥領域１６のホウ素濃度は、結晶欠陥領域以外のホウ素濃度に対して高くなる。
【００２９】
その結果、結晶欠陥が含まれる第１導電型の領域の第１導電型不純物濃度は、結晶欠陥が含まれる第１導電型の領域以外の領域である第２領域の第１導電型不純物濃度よりも高くなる。
【００３０】
また、第１導電型の領域における結晶欠陥の面密度は、第２領域の結晶欠陥の面密度よりも高くなる。
【００３１】
ｎ型領域およびｐ型領域のうち、電極直下でない領域では表面不純物濃度を比較的低く抑えてパッシベーション効果を高める一方で、電極直下の領域は不純物を高濃度にドープして抵抗ロスを低減する構造にすることで、高出力を得ることができる。
【００３２】
高出力化のためにｎ型のシリコン基板を用いる場合には、ｐ型領域を形成するためにイオン注入する元素はホウ素等のｐ型ドーパントを選択する。通常、ホウ素のイオン注入ではイオン注入に起因する欠陥を取り除くための熱処理として１０５０℃以上の高温のアニールが必要になるが、その温度でアニールを行うと、ドーパント以外の不純物起因の欠陥の生成などにより、シリコン基板のバルクライフタイムが大きく低下してしまう。
【００３３】
そこで、裏面のｐ型領域は拡散法で形成し、続いて、電極に相対する部分の、結晶欠陥領域を作りたいｐ型領域だけにホウ素をイオン注入法でイオン注入して、高濃度にドーピングすることにより、セレクティブ・エミッタ構造を形成する。その結果、イオン注入されたｐ型領域には、イオン注入工程に起因する結晶欠陥が形成される。しかし、イオン注入されていないｐ型領域ではイオン注入工程に起因する結晶欠陥が形成されない。この状態でアニール温度を９００〜９５０℃程度に低く抑えてアニールを行うと、シリコン基板全体のバルクライフタイムを損なうことはない。また、ｐ電極直下のｐ型領域にのみイオン注入により高濃度ドープするため、その部分だけ結晶欠陥が残る。このようにして、結晶欠陥領域が形成される。
【００３４】
また、前記結晶欠陥領域１６内の結晶欠陥の面密度は、シリコン基板の同一面の結晶欠陥領域１６以外の領域と比較して、相対的に結晶欠陥の面密度が大きくなるように結晶欠陥を導入すればよい。より詳しくは、例えば、シリコン基板の同一面の結晶欠陥領域１６以外の領域の結晶欠陥面密度が５５０個／ｃｍ２未満である場合には、シリコン基板の同一面の結晶欠陥領域１６以外の領域における結晶欠陥の面密度は５５０個／ｃｍ２以上となるように、結晶欠陥を導入すればよい。すなわち、結晶欠陥領域１６の周辺領域よりも結晶欠陥の面密度を高くすることで、結晶欠陥領域と誘電体層の界面に空間電荷が導入されることで光電変換装置の直列抵抗Ｒｓを低減し、ＦＦおよび変換効率の向上を実現することができる。
【００３５】
また、結晶欠陥の面密度Ｄは、下記のようにして算出する。断面ＴＥＭで結晶欠陥領域１６の断面を観察した際に、結晶欠陥は結晶格子の転位線として観測される。ある断面において観測された結晶欠陥数がＮ［個］であり、結晶欠陥領域１６の観察した幅をＬ［ｃｍ］である場合、
Ｄ＝（Ｎ／Ｌ）２［個／ｃｍ２］
として算出することができる。なぜならば、結晶欠陥の形成に関して異方性が存在しないため、直交する２つの断面でＴＥＭ観察をした場合に、どの方向においても結晶欠陥線密度はＮ／Ｌになると考えられる。したがって、面密度は、結晶欠陥の線密度Ｎ／Ｌの２乗として導くことができる。このようにして、断面ＴＥＭ画像から結晶欠陥の面密度を算出する。また、ウェハ表面を上方からＴＥＭで観察して結晶欠陥が確認できる場合は、ウェハ表面の観察画像から結晶欠陥の面密度を直接算出してもよい。
【００３６】
ホウ素のイオン注入によって、電極直下のｐ型領域に酸素積層欠陥が生じるが、それらは、アニール工程によりシリコン基板表面に移動し、シリコン基板表面で消失していく。このとき、アニール工程の時間を調整して半導体基板表面に欠陥が残るようにする。結晶欠陥の密度はアニール工程の時間をコントロールすることで実現できる。結晶欠陥を所定の密度で残すことで、パッシベーション効果を得つつ直列抵抗を低減したセル構造が実現できる。
【００３７】
尚、ｎ電極直下もリンなどのｎ型ドーパントを拡散ではなくイオン注入により導入してもよい。その場合、シリコン基板の表面がアモルファス化し、アニール工程で再結晶するといった経過をたどり、ホウ素のイオン注入の場合と比較して結晶欠陥は残りにくいので、ｎ電極直下には結晶欠陥領域は形成されない。
【００３８】
図３は、結晶欠陥領域の欠陥の密度と、セルの特性との関係を示す図であり、図１の光電変換装置の結晶欠陥領域１６の欠陥密度を変化させて、セルの特性を測定したものである。各実施例および比較例において、セル特性の最高到達点を相対値で示している。曲線因子ＦＦ、開放電圧Ｖｏｃ、短絡電流Ｉｓｃ、変換効率ηは、比較例１の特性を基準とした相対値である。比較例１のｐ電極直下には結晶欠陥はほとんどない。一方、実施例１乃至４、および、比較例２は、イオン注入後のアニール工程をコントロールして、電極直下のｐ型領域に結晶欠陥を設けたものであり、アニール条件によって結晶欠陥領域における結晶欠陥の個数を変化させている。
【００３９】
実施例１乃至４は、結晶欠陥のない比較例１に比べて変換効率ηが１％以上向上している。一方、比較例２は結晶欠陥が多すぎてキャリアの再結合が増大して変換効率は向上しなかった。
【００４０】
図４は、欠陥密度と変換効率の関係を示す図であり、表１における欠陥密度と変換効率ηとの関係をグラフに示したものである。変換効率ηは、結晶欠陥がないものを１としたときの相対値である。欠陥を形成しない比較例１に対して１％以上変換効率ηが向上する（１．０１倍以上となる）ラインを点線で示した。表１によれば、前記結晶欠陥は５５０個／ｃｍ２以上１００，０００個／ｃｍ２以下において、結晶欠陥領域がない比較例に比べて変換効率が相対値で１％以上向上していることがわかる。
【００４１】
図５は、結晶欠陥を示す断面図であり、ｐ電極直下の断面の透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）による断面写真である。矢印で結晶欠陥の箇所を示す。図５（ａ）は、比較例１の断面写真であり、シリコン基板表面に結晶欠陥がない。図５（ｂ）は、実施例１の断面写真のうちの一つである。実施例１の結晶欠陥の欠陥密度は、複数のＴＥＭ観察画像より約５５０個／ｃｍ２であることがわかった。図５（ｃ）は、実施例２の断面写真であり、結晶欠陥をさらに多く残した例である。結晶欠陥の欠陥密度は、複数のＴＥＭ観察画像より約１０００個／ｃｍ２であることがわかった。
【００４２】
図６は、誘電体層厚と光電変換装置の特性の関係を示す図である。図６（ａ）は、比較例１、および実施例１〜３において、誘電体層の厚さと変換効率ηとの関係を示したものである。図６（ｂ）は、比較例１、および実施例１〜３のそれぞれにおいて、誘電体層がないときに比べて、変換効率ηが高くなる誘電体層厚の範囲を示したものである。数値は、比較例１、および実施例１〜３の誘電体層がない場合の変換効率をそれぞれ基準とした相対値である。したがって、数値が１以上であれば、各例の誘電体層がない場合に比べて変換効率ηが高いことを示している。
【００４３】
結晶欠陥がない比較例１は、誘電体層による効率向上の効果がある膜厚の範囲が０．１ｎｍから１．５ｎｍの範囲であるが、結晶欠陥領域を設けた実施例は全て、誘電体層の効果のある膜厚の範囲が大きくなっている。特に、実施例３の場合、誘電体層の厚みが０．１ｎｍ以上４．５ｎｍ以下の広い範囲において、電極直下に誘電体層がないものに対して変換効率が向上することがわかる。
【００４４】
結晶欠陥領域を形成することで、電極と導電型層の間の直列抵抗Ｒｓが低減され、誘電体層がない場合に対して効率の向上する誘電体層の厚さの範囲が大きくなっている。すなわち、誘電体層として許容される膜厚の範囲が広がる。また、膜厚を適切にコントロールしたときの、変換効率の最大値も大きくなっている。
【００４５】
また、電極層下の導電型層に導入した欠陥密度が大きくなるほど、変換効率が向上する誘電体層の膜厚の範囲が大きい側に広がる。これは、欠陥導入量の増加により電極と導電型層の間の直列抵抗Ｒｓが低減されるため、誘電体層を厚くしても直列抵抗Ｒｓが増加しにくいので、パッシベーション効果としての開放電圧Ｖｏｃ向上と直列抵抗Ｒｓ低減を両立できるからである。
【００４６】
比較例１のように、変換効率が向上する誘電体層の膜厚の範囲が狭い場合は、電極直下の誘電体層の厚さがばらつくと、変換効率の低下およびばらつき増加の原因になるが、変換効率が向上する誘電体層の膜厚の範囲が広い場合には、誘電体層の厚さのばらつきが変換効率に及ぼす影響を小さくすることができる。結果として、生産条件のばらつきに対して安定して高い変換効率が得られるので、生産における平均変換効率の向上および生産歩留の向上を実現することができる。
【００４７】
上記の実施例においては、ｎ型半導体基板を使用したがｐ型半導体基板を用いても良い。
【００４８】
（実施の形態２）
図７は、本発明の第２の実施の形態である光電変換装置の断面模式図である。誘電体層と電極以外の構成は図１に示す光電変換装置と同じである。図７（ａ）において、ｎ型シリコン基板２０の受光面と反対側に、リン（Ｐ）などのｎ型ドーパントをドープしたｎ型領域２１と、ホウ素（Ｂ）などのｐ型ドーパントをドープしたｐ型領域２２が形成されている。ｎ型領域２１およびｐ型領域２２上には酸化シリコンや窒化シリコンの誘電体層２３が形成されている。
【００４９】
また、誘電体層２３を介してｎ型領域１１上にｎ電極２４が設けられている。また、誘電体層２３を介してｐ型領域２２上にｐ電極２５が設けられている。ｎ電極２４およびｐ電極２５の直下の誘電体層２３は、厚さが他の部分よりも薄くなっている。誘電体層２３は第１の誘電体層２３ａと第２の誘電体層２３ｂの２層からなるが、ｐ型領域２２がｐ電極２５に相対している電極直下の誘電体層は第２の誘電体層２３ｂだけが存在し、厚さが薄くなっている。
【００５０】
上記のような構造は、例えば以下に示す工程で作成される。まず、ｎ型シリコン基板２０の受光面と反対側に、ｎ型領域２１とｐ型領域２２を形成後、ｐ型領域上に結晶欠陥領域２６を形成する。続いて、第１の誘電体層２３ａを７０〜８０ｎｍ程度形成する。次に、ｎ電極２４とｐ電極２５を形成する位置に、ｎ型領域とｐ型領域に達する開口部を形成する。次に、第２の誘電体層２３ｂを０．５〜１．５ｎｍ形成し、次に、ｎ電極２４とｐ電極２５を第２の誘電体層２３ｂ上に形成することにより作成することができる。
【００５１】
このように、第１の誘電体層２３ａと第２の誘電体層２３ｂとを形成することにより、ｎ電極２４、ｐ電極２５がそれぞれ、厚く形成された第１の誘電体層の開口部において、薄く形成された第２の誘電体層を介してｎ型領域およびｐ型領域と近距離で相対することができる。これにより、各電極と導電型領域間の直列抵抗を軽減することができる。さらに、ｎ電極２４、ｐ電極２５に相対していない、ｎ型領域２１およびｐ型領域２２上の誘電体層を厚くすることができるので、結果としてパッシベーション効果を高めて高いＶｏｃおよび光電変換効率を得ることができる。
【００５２】
ｐ電極２５直下のｐ型領域２２において、誘電体層２３との界面付近に結晶欠陥領域２６が形成されている。これにより、ｐ型領域と誘電体層の界面に空間電荷が導入されることで、薄い誘電体層を介したトンネル電流が流れやすくなるため、誘電体層２３の直列抵抗を低減することができる。
【００５３】
また、ｎ型シリコン基板２０の受光面と反対側の面は、結晶欠陥が導入されることにより、微小な凹凸が形成されている。凹凸の高さは、０．５〜５ｎｍである。このように、微小な凹凸を形成することにより、第１の誘電体層２３ａの開口部において、第２の誘電体層２３ｂを介したｎ電極２４とｎ型領域１１の電気的な導通がとりやすくなるので、直列抵抗を低減し、ＦＦおよび変換効率を向上することができる。
【００５４】
ｎ型シリコン基板２０の受光面側は、テクスチャ加工がされてなり、窒化シリコン、酸化チタンなどで形成された、反射防止膜２７が形成されている。反射防止膜２７はシリコン基板受光面のパッシベーション機能も有する。
【００５５】
また、図７（ｂ）に示すように、ｎ電極２４’またはｐ電極２５’が誘電体層２３ａの開口部以外の部分、すなわち、電極がｎ型領域またはｐ型領域に相対している部分以外の誘電体層上にも形成されていてもよい。この場合、ｐ電極２４’とｎ電極２５’の間は、短絡しない程度の間隙が設けられている。
【００５６】
（実施の形態３）
図８は、本発明の第３の実施の形態である光電変換装置の断面模式図である。誘電体層と電極以外の構成は、図１に示す光電変換装置と同じである。
【００５７】
図８においてｎ型シリコン基板３０の受光面と反対側に、リン（Ｐ）などのｎ型ドーパントをドープしたｎ型領域３１と、ホウ素（Ｂ）などのｐ型ドーパントをドープしたｐ型領域３２が形成されている。ｎ型領域３１およびｐ型領域３２上には酸化シリコンや窒化シリコンの誘電体層３３が形成されている。誘電体層３３には開口部が設けられており、ｎ型領域３１上の開口部にｎ電極３４が設けられている。ｐ型領域３２上の開口部にｐ電極３５が設けられている。実施の形態１および２との差異は、各導電型領域と電極が誘電体層を介さず直接接触する領域があることである。
【００５８】
ｐ型領域３２がｐ電極３５に相対している部分において、ｐ電極３５との界面付近に結晶欠陥領域３６が形成されている。結晶欠陥領域３６を形成することにより、欠陥を介した電流が流れやすくなるためｐ型領域３２とｐ電極３５の界面の直列抵抗を小さくすることができる。
【００５９】
尚、結晶欠陥領域が形成されて直列抵抗が低減されたとしても、受光面と反対側の面に誘電体層のない構造では、結晶欠陥がキャリア再結合を助長する効果が大きくなるために、却って、変換効率が低下する。よって、受光面と反対側の面において、電極と各導電型領域が直接接触する領域以外の部分は、適切な厚さの誘電体層で略覆われている必要がある。
【００６０】
ｎ型シリコン基板３０の受光面側は、テクスチャ加工がされてなり、窒化シリコン、酸化チタンなどで形成された、反射防止膜３７が形成されている。反射防止膜３７はシリコン基板受光面のパッシベーション機能も有する。
【００６１】
（実施の形態４）
図９は、本発明の第４の実施の形態である光電変換装置の断面模式図である。誘電体層と電極および結晶欠陥領域以外の構成は、図１に示す光電変換装置と同じである。
【００６２】
図９において、ｎ型シリコン基板４０の受光面と反対側に、リン（Ｐ）などのｎ型ドーパントをドープしたｎ型領域４１と、ホウ素（Ｂ）などのｐ型ドーパントをドープしたｐ型領域４２が形成されている。ｎ型領域４１およびｐ型領域４２上には酸化シリコンや窒化シリコンの誘電体層４３が形成されている。誘電体層４３には開口部４８が設けられており、ｎ型領域４１上の開口部４８ａに対応する位置にｎ電極４４が設けられている。また、ｐ型領域４２上の開口部４８ｂに対応する位置であるｐ電極４５が設けられている。
【００６３】
開口部４８ａは、誘電体層４３上にあるｎ電極４４よりも小さくなっており、ｎ電極４４の下部であるｎ電極４４ａは、開口部４８ａの形状に従って細くなっている。また、開口部４８ｂは、誘電体層４３上にあるｐ電極４５よりも小さくなっており、ｐ電極４５の下部であるｐ電極４５ａは、開口部４８ｂの形状に従って細くなっている。結晶欠陥領域４６は、ｐ型領域が開口部に相対している部分である、ｐ型領域４２がｐ電極４５に相対している部分にある。
【００６４】
ｎ型シリコン基板４０の受光面側は、テクスチャ加工がされてなり、窒化シリコン、酸化チタンなどで形成された、反射防止膜４７が形成されている。反射防止膜４７はシリコン基板受光面のパッシベーション機能も有する。
【００６５】
図１０は、開口部の面積の異なる光電変換装置の変換効率を比較した図である。結晶欠陥領域４６を設けた光電変換装置は、結晶欠陥領域のない従来の光電変換装置に比べて変換効率ηが大きくなっている。さらに、開口部を小さくして誘電体層上の電極面積の５〜１０％程度の面積の開口部をもった光電変換装置は、さらに変換効率ηが高くなることがわかる。同図において、曲線因子ＦＦ、開放電圧Ｖｏｃ、変換効率ηは、従来の構造を１としたときの相対値である。
【００６６】
結晶欠陥領域４６によって、直列抵抗が減少するので、開口部４８を小さくすることができる。開口部４８を小さくすることにより、誘電体層４３の占める割合が増えるので、パッシベーション効果が向上するためＶｏｃ、ＦＦおよび変換効率を向上することができる。
【００６７】
今回開示された実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６８】
１０、２０、３０、４０…ｎ型シリコン基板
１１、２１、３１、４１…ｎ型領域
１２、２２、３２、４２…ｐ型領域
１３、２３、３３、４３…誘電体層
１４、２４、２４’、３４、４４、４４ａ…ｎ電極
１５、２５、２５’、３５、４５，４５ａ…ｐ電極
１６、２６、３６、４６…結晶欠陥領域
１７、２７、３７、４７…反射防止膜
２３ａ…第１の誘電体層
２３ｂ…第２の誘電体層
４８、４８ａ、４８ｂ…開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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