(57)【要約】【課題】ハンドリングを十分考慮した梱包体を提供する。【解決手段】  基板収納容器１を収納する梱包体２は、四方に側壁５を有し、上部に開口を有する中空状の収納箱本体３と、収納箱本体３内の底部及び上部に配置される一対の緩衝体４ａ、４ｂと、開口に対応した天板部８ａを有する上部蓋体８と、収納箱本体３と上部蓋体８とを連結する上部連結部１１と、を備え、上部連結部１１が上部蓋体側ベルト１１ａの一方の他端側に設けられる係合部１１ｃと、上部蓋体用本体側ベルト１１ｂの他方の他端側に設けられる被係合部１１ｄとからなり、係合部１１ｃと被係合部１１ｄが係脱可能である。【選択図】図３
2015171910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板収納容器を収納する梱包体であって、
四方に側壁を有し、少なくとも上部に開口を有する中空状の収納箱本体と、
前記収納箱本体内の底部及び上部に配置される一対の緩衝体と、
前記開口に設けられ、少なくとも前記開口に対応した天板部を有する上部蓋体と、
前記収納箱本体と前記上部蓋体とを連結する少なくとも１以上の上部連結部と、
を備え、
前記上部連結部が
前記側壁に一端側を固定した上部蓋体用本体側ベルトと、
前記上部蓋体用本体側ベルトの固定位置に対応する前記上部蓋体の位置に設けられ、前記上部蓋体に一端側を固定した上部蓋体側ベルトと、
前記上部蓋体用本体側ベルト及び前記上部蓋体側ベルトの一方の他端側に設けられる係合部と、
前記上部蓋体用本体側ベルト及び前記上部蓋体側ベルトの他方の他端側に設けられる被係合部とからなり、
前記係合部と前記被係合部が係脱可能であることを特徴とする梱包体。
【請求項２】
前記収納箱本体は、基板収納容器を包装した包装体が収容される部分であり、
前記緩衝体は、前記包装体の底部及び上部に接触するように配置されるものであることを特徴とする請求項１に記載の梱包体。
【請求項３】
前記収納箱本体は、基板収納容器を包装した包装体を収容した状態で、前記包装体の対向する一対の側面と対向することとなる一対の前記収納箱本体の内側壁が、前記包装体の前記側面から５０ｍｍ以上離間し、前記包装体へのアクセス可能隙間が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の梱包体。
【請求項４】
前記上部蓋体が、前記天板部から延出して前記側壁の外側に重なるオーバーラップ部を備え、
前記上部蓋体側ベルトは、前記上部蓋体用本体側ベルトの前記固定位置と相対する前記オーバーラップ部の位置に前記一端側が固定されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の梱包体。
【請求項５】
前記オーバーラップ部と前記側壁の対向する面に設けられる仮固定手段を備えることを特徴とする請求項４に記載の梱包体。
【請求項６】
前記上部連結部の耐荷重総計が３０ｋｇｆ以上であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の梱包体。
【請求項７】
前記上部蓋体は、前記天板部の１稜線が前記側壁の１稜線と一体的に連結され、前記収納箱本体と一体に設けられていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の梱包体。
【請求項８】
前記天板部は、前記天板部の外側表面が平面とされるとともに、梱包体を搬送する場合に、前記平面を吸着して持ち上げて搬送可能な剛性を有することを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の梱包体。
【請求項９】
前記天板部の外側表面は、前記平面を吸着する吸着パッドの接触位置を示すマークを１つ以上備えることを特徴とする請求項８に記載の梱包体。
【請求項１０】
前記マークの大きさは、前記平面を吸着する吸着パッドの接触時の大きさと略等しい、又は前記吸着パッドの接触時の大きさよりも大きいことを特徴とする請求項９に記載の梱包体。
【請求項１１】
前記マークは、前記天板部の少なくとも４隅に配置されていることを特徴とする請求項９又は請求項１０に記載の梱包体。
【請求項１２】
前記マークは、前記平面を吸着する吸着パッドの接触位置とは異なる場所に配置されていることを特徴とする請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載の梱包体。
【請求項１３】
前記収納箱本体の底部に設けられる開口と、
前記底部に設けられる前記開口に対応した底板部を有する底部蓋体と、
前記収納箱本体と前記底部蓋体とを連結する少なくとも１以上の底部連結部と、を備え、
前記底部連結部が
前記側壁に一端側を固定した底部蓋体用本体側ベルトと、
前記底部蓋体用本体側ベルトの固定位置に対応する前記底部蓋体の位置に設けられ、前記底部蓋体に一端側を固定した底部蓋体側ベルトと、
前記底部蓋体用本体側ベルト及び前記底部蓋体側ベルトの一方の他端側に設けられる係合部と、
前記底部蓋体用本体側ベルト及び前記底部蓋体側ベルトの他方の他端側に設けられる被係合部とからなり、
前記係合部と前記被係合部が係脱可能であることを特徴とする請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の梱包体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、梱包体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、φ３００ｍｍの半導体ウェーハを収納する基板収納容器を梱包して輸送する場合には、例えば、包装した基板収納容器を図示しないクリーンルームから梱包作業場である準クリーンルーム環境にパレット等で移し、段ボール等からなる包装箱内に補強材、緩衝材、弾性材をそれぞれ手作業で敷設して積層し、弾性材上に包装状態の基板収納容器を手作業で上向きに搭載するとともに、この基板収納容器の上向きの正面に緩衝材と補強材とを手作業で重ねて積層し、その後、包装箱の開口した上部のフラップを閉じて輸送するようにしている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
基板収納容器は、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体の開口した正面に蓋体が嵌合されるフロントオープンボックスタイプからなり、容器本体の天井に天井搬送装置に把持されるフランジが装着されており、容器本体の両側壁に搬送レールがそれぞれ着脱自在に装着されている。このような基板収納容器は、不透明のアルミラミネート袋で包装して密閉され、この状態で梱包して出荷される。そして、輸送後に包装箱から取り出され、輸送先のクリーンルームに搬入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２３２５２号公報
【特許文献２】実開平０５−４９６５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
次世代の４５０ｍｍウェーハを収納して輸送に使用される基板収納容器は、既存の３００ｍｍウェーハの輸送容器に比較して、重量が大幅に増加し、総重量は約２５ｋｇとなると考えられている。このため、パレットへの積載や荷下ろしは、作業員が行うことは困難で、機械・装置を使って自動化すことが不可欠である。軽量物の積載・荷下ろしの場合は外装ダンボール箱の天面を吸着する装置を使用する方法が一般的であり、梱包体の上面を開梱して、収納された包装体を取り出すことが容易である。
しかしながら、包装体の重量が増すと、ハンドリングを十分考慮した梱包体でなければ、ハンドリングを安全に行ったり、自動化したりすることは出来ないという問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであって、ハンドリングを十分考慮した梱包体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、（１）本発明は、基板収納容器を収納する梱包体であって、四方に側壁を有し、少なくとも上部に開口を有する中空状の収納箱本体と、前記収納箱本体内の底部及び上部に配置される一対の緩衝体と、前記開口に設けられ、少なくとも前記開口に対応した天板部を有する上部蓋体と、前記収納箱本体と前記上部蓋体とを連結する少なくとも１以上の上部連結部と、を備え、前記上部連結部が、前記側壁に一端側を固定した上部蓋体用本体側ベルトと、前記上部蓋体用本体側ベルトの固定位置に対応する前記上部蓋体の位置に設けられ、前記上部蓋体に一端側を固定した上部蓋体側ベルトと、前記上部蓋体用本体側ベルト及び前記上部蓋体側ベルトの一方の他端側に設けられる係合部と、前記上部蓋体用本体側ベルト及び前記上部蓋体側ベルトの他方の他端側に設けられる被係合部とからなり、前記係合部と前記被係合部が係脱可能である梱包体を提供する。
【０００８】
（２）前記収納箱本体は、基板収納容器を包装した包装体が収容される部分であり、前記緩衝体は、前記包装体の底部及び上部に接触するように配置されるものである（１）に記載の梱包体を提供する。
（３）前記収納箱本体は、基板収納容器を包装した包装体を収容した状態で、前記包装体の対向する一対の側面と対向することとなる一対の前記収納箱本体の内側壁が、前記包装体の前記側面から５０ｍｍ以上離間し、前記包装体へのアクセス可能隙間が設けられている（１）又は（２）に記載の梱包体を提供する。
【０００９】
（４）前記上部蓋体が、前記天板部から延出して前記側壁の外側に重なるオーバーラップ部を備え、前記上部蓋体側ベルトは、前記上部蓋体用本体側ベルトの前記固定位置と相対する前記オーバーラップ部の位置に前記一端側が固定されている（１）から（３）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
（５）前記オーバーラップ部と前記側壁の対向する面に設けられる仮固定手段を備える（４）に記載の梱包体を提供する。
（６）前記上部連結部の耐荷重総計が３０ｋｇｆ以上である（１）から（５）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
（７）前記上部蓋体は、前記天板部の１稜線が前記側壁の１稜線と一体的に連結され、前記収納箱本体と一体に設けられている（１）から（６）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
（８）前記天板部は、前記天板部の外側表面が平面とされるとともに、梱包体を搬送する場合に、前記平面を吸着して持ち上げて搬送可能な剛性を有する（１）から（７）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
【００１０】
（９）また、前記天板部の外側表面は、前記平面を吸着する吸着パッドの接触位置を示すマークを１つ以上備える（８）に記載の梱包体を提供する。
（１０）前記マークの大きさは、前記平面を吸着する吸着パッドの接触時の大きさと略等しい、又は前記吸着パッドの接触時の大きさよりも大きい（９）に記載の梱包体を提供する。
（１１）前記マークは、前記天板部の少なくとも４隅に配置されている（９）又は（１０）に記載の梱包体を提供する。
（１２）前記マークは、前記平面を吸着する吸着パッドの接触位置とは異なる場所に配置されている（９）から（１１）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
【００１１】
（１３）本発明は、さらに前記収納箱本体の底部に設けられる開口と、前記底部に設けられる前記開口に対応した底板部を有する底部蓋体と、前記収納箱本体と前記底部蓋体とを連結する少なくとも１以上の底部連結部と、を備え、前記底部連結部が、前記側壁に一端側を固定した底部蓋体用本体側ベルトと、前記底部蓋体用本体側ベルトの固定位置に対応する前記底部蓋体の位置に設けられ、前記底部蓋体に一端側を固定した底部蓋体側ベルトと、前記底部蓋体用本体側ベルト及び前記底部蓋体側ベルトの一方の他端側に設けられる係合部と、前記底部蓋体用本体側ベルト及び前記底部蓋体側ベルトの他方の他端側に設けられる被係合部とからなり、前記係合部と前記被係合部が係脱可能である（１）から（１２）のいずれか１に記載の梱包体を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ハンドリングを十分考慮した梱包体を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施形態の梱包体を表わす展開斜視図である。
【図２】図１の梱包体の側面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の第１実施形態の固定バンドの固定状態を表わす正面図、（ｂ）は、本発明の第１実施形態の固定バンドが解錠された状態を表わす正面図である。
【図４】図２の梱包体の断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態の梱包体が収納する基板収納容器を表わす斜視図である。
【図６】本発明の第１実施形態の基板収納容器の包装体と緩衝体とを表わす斜視図である。
【図７】本発明の第１実施形態の梱包体のハンドリング状態を表わす斜視図である。
【図８】本発明の第２実施形態の梱包体を表わす展開斜視図である。
【図９】本発明の第3実施形態の梱包体を表わす斜視図である。
【図１０】本発明の第３実施形態の梱包体のハンドリング状態を表わす斜視図である。
【図１１】本発明の第3実施形態の梱包体を表わす斜視図である。
【図１２】本発明の第3実施形態の梱包体を表わす斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明に係る好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付して説明する。
【００１５】
図１は、本発明の第１実施形態の梱包体を表わす展開斜視図である。図２は、図１の梱包体の側面図である。図３（ａ）は、本発明の第１実施形態の上部連結部と底部連結部による固定状態を表わす正面図、（ｂ）は、本発明の第１実施形態の上部連結部と底部連結部が解錠された状態を表わす正面図である。図４は、図２の梱包体の断面図である。
【００１６】
図１、図２及び図４に示すように、本第１実施形態の梱包体３０は、基板収納容器１を収納するものであって、収納箱本体３、一対の上部緩衝体４ａ、底部緩衝体４ｂ、上部蓋体８、底部蓋体９、上部連結部１１、底部連結部１２を有する。
【００１７】
図５は、本発明の第１実施形態の梱包体が収納する基板収納容器を表わす斜視図である。基板収納容器１は、図５に示すようなボックスであり、正面に開口を備え外径４５０ｍｍのウェーハを収納する容器本体１ａと、容器本体１ａの開口を閉鎖するドア１ｂとを有していて、ウェーハを２５枚収納したときの総重量は、約２５ｋｇとなるので、通常作業員が手作業でハンドリングすることは、困難であり、無理に行えば身体を痛めてしまう危険もある。
【００１８】
図１、図２及び図４に戻り、収納箱本体３は、スリーブ状の中空状に形成されており、四方に側壁５を有し、基板収納容器１を包装した包装体２が収容される部分である。包装体２は、例えばアルミラミネート袋からなり、基板収納容器１を、アルミラミネート袋に収納した後に、このアルミラミネート袋の開口部を密封したものである。アルミラミネート袋は、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリスチレン系樹脂などの樹脂フィルムと、アルミ箔を貼り付けた樹脂フィルムとをラミネートした多層構造のフィルムが使用できる。
【００１９】
この収納箱本体３は、上下方向に上部開口６と下部開口７を有していて、それぞれの上部開口６と下部開口７に、上部蓋体８と、底部蓋体９とがそれぞれ取り付けられている。一対の上部緩衝体４ａ、底部緩衝体４ｂは、収納箱本体３内の底部及び上部に配置される。上部緩衝体４ａ、底部緩衝体４ｂは、包装体２の底部及び上部に接触するように配置される。
【００２０】
収納箱本体３の開口には、開口に対応した天板部８ａを有する上部蓋体８が設けられている。この上部蓋体８が、天板部８ａから延出して側壁５の外側に重なるオーバーラップ部８ｂを備える。上部蓋体８は、天板部８ａの１稜線が側壁５の１稜線と一体的に連結され、収納箱本体３と一体に設けられている。
【００２１】
天板部８ａは、天板部８ａの外側表面が平面とされるとともに、梱包体３０を搬送する場合に、搬送装置としての吸着式のハンドラーが平面を吸着して持ち上げて搬送可能な剛性を有する。収納箱本体３と上部蓋体８とを連結する上部連結部１１と、収納箱本体３と底部蓋体９とを連結する底部連結部１２が設けられている。この上部連結部１１、底部連結部１２は、例えばワンタッチで取り付けと取り外しが可能なもので構成される。
【００２２】
図３に示すように、上部連結部１１は、上部蓋体側ベルト１１ａ、上部蓋体用本体側ベルト１１ｂ、係合部１１ｃ、被係合部１１ｄを有する。上部連結部１１の耐荷重総計が３０ｋｇｆ以上である。上部蓋体用本体側ベルト１１ｂは、一端側がピン等によって側壁５に固定されている。上部蓋体用本体側ベルト１１ｂの固定位置に対応する上部蓋体８の位置には、上部蓋体側ベルト１１ａが設けられており、この上部蓋体側ベルト１１ａは一端側が上部蓋体８に固定されている。この上部蓋体側ベルト１１ａは、上部蓋体用本体側ベルト１１ｂの固定位置と相対するオーバーラップ部８ｂの位置に一端側が固定されている。
【００２３】
上部蓋体側ベルト１１ａのバンド部１３の他端側には、突出形状の係合部１１ｃが配設されている。上部蓋体用本体側ベルト１１ｂのバンド部１３の他端側には、溝形状の被係合部１１ｄが設けられている。係合部１１ｃを被係合部１１ｄに挿入することで、両者は互いに噛み合うようになっていて、上部蓋体側ベルト１１ａと上部蓋体用本体側ベルト１１ｂを一体化することが可能となる。また、係合部１１ｃの一部は、嵌合した時に被係合部１１ｄに設けられた貫通穴から露出したアクセス可能部１１ｅとしておき、この部分を内側に変形されることで、ワンタッチで係合部１１ｃと被係合部１１ｄが係脱可能となり、嵌合を解錠することが可能となる。
【００２４】
底部蓋体９は、底部に設けられる開口に対応した底板部９ａを有する。底部蓋体９が、底板部９ａから延出して側壁５の外側に重なるオーバーラップ部９ｂを備える。底部蓋体９は、底板部９ａの１稜線が側壁５の１稜線と一体的に連結され、収納箱本体３と一体に設けられている。
【００２５】
底部連結部１２は、収納箱本体３と底部蓋体９とを連結するものである。底部連結部１２は、底部蓋体側ベルト１２ａ、底部蓋体用本体側ベルト１２ｂ、係合部１２ｃ、被係合部１２ｄを有する。底部蓋体用本体側ベルト１２ｂは、一端側をピン等によって側壁５に固定されている。底部蓋体用本体側ベルト１２ｂの固定位置に対応する底部蓋体９の位置には、底部蓋体側ベルト１２ａが設けられ、この底部蓋体側ベルト１２ａは、一端側が底部蓋体９に固定されている。
【００２６】
底部蓋体側ベルト１２ａのバンド部１３の他端側には、係合部１２ｃが配設されている。底部蓋体用本体側ベルト１２ｂのバンド部１３の他端側には、被係合部１２ｄが配設されている。アクセス可能部１２ｅの操作によって係合部１２ｃと被係合部１２ｄが係脱可能である。
【００２７】
また、上部蓋体８と底部蓋体９と、側壁５とのそれぞれのオーバーラップ部分８ｂ、９ｂには、仮固定可能な仮固定部（仮固定手段）１４が設けられている。これにより、オーバーラップ部８ｂ、９ｂと側壁５とを弱い力で補助的に接合しているので、側面のばたつきによる汚染物質の発生や侵入を防止できる。また、仮固定できるようにすることで、側面部を外方向に開くようにもできるので、梱包時や開梱時の作業性も改善できる。仮固定部１４は、例えば、マジックテープ（登録商標）であったり、ゴムや熱可塑性エラストマーなどからなる粘着層であったり、磁力を利用したものとできる。
【００２８】
図６は、本発明の第１実施形態の基板収納容器の包装体と緩衝体とを表わす斜視図である。図４、図６に示すように、基板収納容器１の包装体２は、ドア１ｂを上方に向けた状態（ウェーハが垂直になった状態）で、底部緩衝体４ｂの凹部に容器本体１ａの背面側が接触して保持される。
【００２９】
底部緩衝体４ｂは、底面側に支柱部１５と、支柱部１５の間に形成されるリフト爪挿入部１６とを有し、上面には、基板収納容器の背面と係合可能な凹部１７が形成されている。上部緩衝体４ａは、基板収納容器のドアが取り付けられる正面と係合可能な凹部１８が形成されている。このように上下に配置される一対の上部緩衝体４ａ、底部緩衝体４ｂによって包装体２が、収納箱内で挟持されて保護されることとなるので、輸送時の振動や衝撃を緩和して、基板収納容器１を安全に搬送することが可能となる。こうした、上部緩衝体４ａ、底部緩衝体４ｂは、ポリスチレン系樹脂やポリオレフィン系樹脂からなるシートを成形加工したものや、これらを発泡させた発泡樹脂成形体から形成することができる。
【００３０】
図７は、本第１実施形態の基板収納容器の梱包体３０の上面を吸着して、ハンドリングする状態を表わす略斜視図である。搬送装置１９によって収納箱の上部開口を閉鎖する上部蓋体の平坦な天面を吸着することとなるが、側壁５と上部蓋体８と底部蓋体９とは、十分な耐荷重性能を備えた上部連結部１１、底部連結部１２によってそれぞれ連結されているので、機械式のハンドリングが可能となる。
【００３１】
上部連結部１１と底部連結部１２の耐荷重性能は、最低限収納する基板収納容器１の包装体２の重量の１．２倍あれば良いので、３０ｋｇ以上が必要である。上部連結部１１と底部連結部１２の個数は、荷重を均等に分散させることから、各辺に１又は複数個配置することが好ましいが、作業性を重視して各辺に１個以下とすることもできる。
【００３２】
本第１実施形態の梱包体３０によれば、上部に開口を有していて、上部連結部１１、底部連結部１２を解錠することで、上部蓋体８を容易に取り除くことができるので、上部緩衝体４ａを取り除いた後に、収納箱本体３は、基板収納容器１を包装した包装体２を収容した状態で、包装体２の対向する一対の側面と対向することとなる一対の収納箱本体３の内側壁５ａが、包装体２の側面から片側５０ｍｍ以上離間し、包装体２へのアクセス可能隙間が設けられている。つまり、上部蓋体８と、上部緩衝体４ａを取り外したときに、包装体２と収納箱本体３の内側壁５ａとの間に５０ｍｍ以上のアクセス可能隙間が形成されている。このアクセス可能隙間は、特に５０ｍｍ〜１００ｍｍ以下の範囲が好ましい。
【００３３】
このような隙間を形成することで、ロボットアクセスを可能として、搬送用の自動機でのハンドリングが可能となる。例えば、基板収納容器１は、ドア面を上向きに収納されているので、ドア１ｂを嵌合するために容器本体の開口周縁に張り出したフランジ部等をチャックするなどして、上部に取り出して、所定の位置に搬送することが可能となる。このように自動機を使ってハンドリングできるので、作業員の負担を軽減できるし、安全なハンドリングが可能となる。
【００３４】
また、５０ｍｍの隙間を形成することで、自動機のハンドリングが可能となる他に輸送時の振動を緩和することもできる。また、隙間を１００ｍｍ以下とすることで、梱包体のサイズを必要以上に大きくして保管スペースが増大したり、輸送効率を低減してしまうことを防止できる。
【００３５】
次に本発明の第２実施形態について説明する。図８は、本発明の第２実施形態の梱包体４０を表わす展開斜視図である。図８に示す例では、上部と下部とに開口を備えた収納箱本体２０の一辺に相対向する上部蓋体２１と下部蓋体２２の一辺とを連結した連結部２３を形成したものである。
この連結部２３を基点として、上部蓋体２１を収納箱本体２０の外側に折り曲げて、上部を開口することができる。その他の形態は、上述の第１実施形態と同様であり、これと同様の効果が得られる。この場合、収納箱本体２０と、上部蓋体２１及び下部蓋体２２とを部分的に一体化しているので、部品点数を少なくでき、組み立て作業や開梱作業が容易にできるし、梱包資材の保管スペースを縮小でき、管理も容易となる。
【００３６】
図９〜図１２は、本発明の第３実施形態の梱包体５０を表わす斜視図である。第１実施形態の梱包体を図７に示すように搬送装置１９で吸着してハンドリングする場合、正しい位置で吸着しないと位置がずれて吸着が不十分になったり、釣り上げた時にバランスを崩したりして安定したハンドリングが難しくなる。第３実施形態では、第１実施形態の天板部８ａの外側表面に、搬送装置１９の吸着パッド１９ａが吸着する位置を示すマーク２４を設けている。このため、搬送装置１９と梱包体５０との位置決めを効率良く正確に行うことができる。
【００３７】
図９、図１０は印刷などにより、天板部８ａの外側表面にマーク２４を設けたものである。マーク２４は吸着パッド１９ａの吸着位置に配置され、吸着パッド１９ａの接触時の大きさと略等しい円形か、これより大きい円形に形成している。このため、搬送装置１９で天板部８ａを吸着した後でも、外観から吸着パッド１９ａの吸着位置がずれていないか確認できる。
【００３８】
図１１は天板部８ａの４隅で吸着する搬送装置１９の場合であり、マーク２４も４隅に設けているが、対角線上の２箇所に設けるだけでも良い。また、天板部８ａの中央で吸着する搬送装置１９であれば、マーク２４を吸着パッド１９ａの吸着位置に１つ設けるだけでも良い。
【００３９】
図１２は、搬送装置１９に突起状の位置合わせ部材２５を設け、マーク２４を位置あわせ部材２５に対応する位置に配置したものである。マーク２４は吸着パッド１９ａの接触位置とは異なる場所に配置されることになるが、位置合わせ部材２５とマーク２４が一致するように吸着することで、梱包体５０を正しい位置で吸着しハンドリングできる。また、マーク２４を小さくすることもできる。
【００４０】
上記実施形態によれば、梱包体は、上部に開口を備えた収納箱本体３、２０に上部蓋体８を物理的なロック手段を用いて固定しているので、基板収納容器１を収容した梱包体のパレットへの積載または荷下ろしを搬送装置１９を使って行い、また荷下ろしした梱包体の上部を簡単に開梱し、収納した基板収納容器の包装体２にハンドリングロボットが容易にアクセス可能となるので、安全にハンドリングすることが可能となる。
【００４１】
本実施形態では、上下に開口を備えた収納箱本体の例を示したがこれに限らず、上部のみに開口を有し、下部の開口は、収納箱本体と一体化された折り曲げ片で閉鎖するものであってもよい。また、実施形態では、１個の基板収納容器を収納箱に収納していたが、これに限らず、複数段にするなど複数個の基板収納容器を１つの収納箱に収納可能としてもよい。
【００４２】
以上、具体的な実施形態について説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものでは無い。
【符号の説明】
【００４３】
１  基板収納容器
２  包装体
３  収納箱本体
４ａ  上部緩衝体
４ｂ  底部緩衝体
５  側壁
６  上部開口
７  下部開口
８  上部蓋体
８ａ  天板部
８ｂ  オーバーラップ部
９  底部蓋体
９ａ  底板部
９ｂ  オーバーラップ部
１１  上部連結部
１２  底部連結部
１４  仮固定部
１９  搬送装置
１９ａ  吸着パッド
２０  収納箱本体
２１  上部蓋体
２２  下部蓋体
２３  連結部
２４  マーク
２５  位置合わせ部材
【図１】
2015171910.tif 000003
【図２】
2015171910.tif 000004
【図３】
2015171910.tif 000005
【図４】
2015171910.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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