(57)【要約】【課題】基板コーナー部の単位製品のピックアップ時に、端材とこじれることなく取り出し可能なブレイク方法とブレイク装置を提供する。【解決手段】コンベア３の搬送路４に第一平坦部４ａ、傾斜部４ｂ、第二平坦部４ｃを設け、搬送路４に沿って基板Ｍを搬送し、第一平坦部４ａから傾斜部４ｂ、又は傾斜部４ｂから第二平坦部４ｃに、基板Ｍが移行する際の基板Ｍの屈曲によってＸ方向のスクライブラインＳ１をブレイクする第一ブレイク工程と、Ｙ方向のスクライブラインＳ２近傍に沿ってローラ７を押圧転動させて、Ｙ方向のスクライブラインをブレイクする第二ブレイク工程と、Ｘ方向のスクライブラインＳ１の両端端材領域部分Ｐ１を押圧部材１１によってブレイクする第三ブレイク工程と、ブレイクされた単位製品Ｍ１’を吸着ユニットＤでピックアップするピックアップ工程とからなる構成とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
四方の周辺に端材領域を残した状態で、表面に互いに直交するスクライブラインを形成することにより複数の単位製品領域が区分けされた基板を、前記スクライブラインに沿ってブレイクすることにより単位製品と端材とを切り出すブレイク方法であって、
前記基板を搬送するコンベアの搬送路において、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、当該搬送路に沿って基板を上流から下流に搬送し、前記第一平坦部から前記傾斜部に、若しくは当該傾斜部から前記第二平坦部に、基板が移行するときの基板の屈曲によって基板送り方向と直交するＸ方向のスクライブラインをブレイクする第一ブレイク工程と、
基板送り方向に延びるＹ方向のスクライブラインの近傍に沿ってローラを押しつけて転動させることにより、前記Ｙ方向のスクライブラインをブレイクする第二ブレイク工程と、
少なくとも基板送り方向先端側並びに後端側に位置するＸ方向のスクライブラインの両端部分を、押圧部材の押しつけによってブレイクする第三ブレイク工程と、
前記第一乃至第三ブレイク工程によって切り出された単位製品をピックアップして次のステージに搬送するピックアップ工程とからなる基板のブレイク方法。
【請求項２】
前記単位製品に前記端材が付着してピックアップされたときに、プッシャにより前記端材を前記単位製品から分離するようにした請求項１に記載の基板のブレイク方法。
【請求項３】
四方の周辺に端材領域を残した状態で、表面に互いに直交するスクライブラインを形成することにより複数の単位製品領域が区分けされた基板を、前記スクライブラインに沿ってブレイクすることにより単位製品と端材とを切り出すブレイク装置であって、
前記基板を載置して搬送する搬送路を備えたコンベアと、
前記搬送路上で、上流側に設けられた第一平坦部と、この第一平坦部に連なって形成された傾斜部と、この傾斜部に連なって前記第一平坦部に対し段差状に形成された第二平坦部とから構成された第一ブレイク機構と、
前記第一ブレイク機構の下流側で、基板送り方向に延びるＹ方向のスクライブラインの近傍に沿って前記基板を押圧転動して、前記Ｙ方向のスクライブラインをブレイクするローラを備えた第二ブレイク機構と、
少なくとも基板送り方向先端側並びに後端側に位置する基板送り方向と直交するＸ方向のスクライブラインの両端部分をブレイクする押圧部材を備えた第三ブレイク機構と、
前記第一乃至第三ブレイク機構によって切り出された単位製品をピックアップして次のステージに搬送する吸着ユニットとからなる基板のブレイク装置。
【請求項４】
前記吸着ユニットは、前記端材が前記単位製品に付着してピックアップされたときに、前記端材を前記単位製品から切り離すプッシャを備えている請求項３に記載の基板のブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス等の脆性材料基板をスクライブラインに沿ってブレイクするためのブレイク方法並びにブレイク装置に関する。特に本発明は、薄板のガラス基板（マザー基板）を、その表面に形成されたスクライブラインに沿ってブレイクして単位製品を切り出すのに適したブレイク方法並びにブレイク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、マザー基板（以下、単に「基板」という）から単位製品を切り出すのには、図６に示すように、まず基板Ｍの表面に互いに直交するＸ方向のスクライブラインＳ１並びにＹ方向のスクライブラインＳ２を加工し、次の工程でこれらのスクライブラインＳ１、Ｓ２に沿ってブレイクすることによって単位製品を切り出している。この場合、切り出された単位製品の端面精度を高めるために、基板Ｍの四辺近傍には端材領域Ｔ１、Ｔ２が形成されており、この端材領域Ｔ１、Ｔ２は、ブレイク時に切り離されて破棄される。
【０００３】
基板をスクライブラインに沿ってブレイクする方法の一つとして、例えば図９に示すようなブレイクバー２１を用いるものがある。これによれば、クッションシート２２上に載置した基板２３に対し、スクライブライン２４を設けた面とは反対側の面からブレイクバー２１を押しつけて基板２３を撓ませ、スクライブライン２４の亀裂を厚み方向に浸透させてブレイクする。しかしこの方法では、一本のスクライブライン２４をブレイクすることができる長尺のブレイクバーを大きな荷重で基板２３に押しつけて一挙にブレイクするため、基板にかかる負荷が大きくなり、分断面が破壊されやすく端面強度が劣化しやすいといった課題がある。
【０００４】
また、上記のような負荷の大きい長尺のブレイクバーを用いず、小さな荷重でのブレイクが可能な方法として、特許文献１で示すような手法がある。
この方法は、基板上面に形成したスクライブラインの脇をローラで押しつけながら転動させることにより、スクライブラインの亀裂を厚み全部に浸透させて基板をスクライブラインに沿ってブレイクするようにしたものである。この方法では、スクライブラインより離れた箇所でスクライブラインを折り曲げるように撓ませるので、ブレイクの際の荷重は押圧刃の場合よりも小さくて済み、破壊などの発生を抑制してきれいな分断面を得ることができる。特に、厚みが０．２〜０．５ｍｍといった薄板ガラス基板のブレイクにおいて有効である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１６１６７４号公報
【特許文献２】特開２００９−２０８２３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、このローラによるブレイク方法では、スクライブラインの端部がブレイクしにくいといった問題点がある。その要因として、カッターホイールでスクライブラインを加工する際の手法にあるものと考えられる。
【０００７】
基板をカッターホイールでスクライブする方法には、「外切り」と「内切り」とがあり、基板の種類や厚み、用途によって、選択的に使い分けられている（特許文献２参照）。
前者の「外切り」は、図１０（ａ）に示すように、カッターホイール２５の最下端を基板２３の表面（上面）よりわずかに下方まで降下させた状態で、基板２３の片側端部の外側位置（スクライブ開始位置）にセットする。そしてセットした位置から水平移動させ、基板２３端部に衝突させてイニシャルクラックを形成し、さらに所定のスクライブ圧で押圧しながら、カッターホイール２５を水平移動させるようにしてスクライブを行う方法である。
この外切りの手法では、基板２３端部でのカッターホイール２５の刃先のかかり（食い込み）がよく、イニシャルクラックを容易に形成することができるとともに、加工されたスクライブラインは基板２３の端部まで達しているため、次工程でのブレイクを容易かつ正確に行うことができる。
しかし、厚みが０．２〜０．５ｍｍといった薄いガラス基板では、カッターホイールの基板端部での衝突時の衝撃によって基板端部にカケが生じたり、基板端部から破断して不規則な亀裂が先走りすることがあるため、薄板のブレイクには不向きである。
【０００８】
後者の「内切り」は、図１０（ｂ）示すように、基板２３の端縁から２〜１０ｍｍ程度内側（スクライブ開始位置）でカッターホイール２５を上方から下降させて基板２３に所定のスクライブ圧で当接させ、押圧しながらカッターホイール２５を水平移動させるようにしてスクライブを行う方法である。
この内切りの手法では、カッターホイール２５が基板２３端部と衝突するようなことがないため、基板端部にカケを生じるおそれがなく、薄板のブレイクには好適である。しかし、「内切り」であるが故に、スクライブされない部分がスクライブラインの端部付近に残り、このため、スクライブラインの端部付近がブレイクされにくいといった問題が生じる。
【０００９】
このように、スクライブライン端部のブレイクが不完全である場合、図１１で示すように、基板Ｍのコーナー部分の単位製品Ｍ１’に隣接するＸ方向の端材領域Ｔ１及びＹ方向の端材Ｔ２は、Ｐ１部並びにＰ２部においてブレイクが不十分であることから、Ｌ字形に接続された状態で残ることになる。このため、単位製品Ｍ１’を吸着ユニットでピックアップしたときに、Ｌ字形の端材と単位製品Ｍ１’との間で端面同士がこじれて単位製品Ｍ１’の端面に傷がつき、端面強度が劣化するなどの弊害が発生する。
【００１０】
そこで本発明は上記課題に鑑み、基板のコーナー部分の単位製品をピックアップしたときに、端材との間でこじれ等の不具合が生じることなく取り出すことができ、しかも、従来のような負荷の大きい長尺のブレイクバーを使用することなく、低荷重でのブレイクが可能なブレイク方法並びにブレイク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために本発明では次のような技術的手段を講じた。すなわち、本発明のブレイク方法は、四方の周辺に端材領域を残した状態で、表面に互いに直交するスクライブラインを形成することにより複数の単位製品領域が区分けされた基板を、前記スクライブラインに沿ってブレイクすることにより単位製品と端材とを切り出すブレイク方法であって、前記基板を搬送するコンベアの搬送路において、上流から順に第一平坦部と、当該第一平坦部に連なる傾斜部と、当該傾斜部に連なる第二平坦部とを設けて、当該搬送路に沿って基板を上流から下流に搬送し、前記第一平坦部から前記傾斜部に、若しくは当該傾斜部から前記第二平坦部に、基板が移行するときの基板の屈曲によって基板送り方向と直交するＸ方向のスクライブラインをブレイクする第一ブレイク工程と、基板送り方向に延びるＹ方向のスクライブラインの近傍に沿ってローラを押しつけて転動させることにより、前記Ｙ方向のスクライブラインをブレイクする第二ブレイク工程と、少なくとも基板送り方向先端側並びに後端側に位置するＸ方向のスクライブラインの両端部分を、押圧部材の押しつけによってブレイクする第三ブレイク工程と、前記第一乃至第三ブレイク工程によって切り出された単位製品をピックアップして次のステージに搬送するピックアップ工程とからなるブレイク方法をその特徴とする。
【００１２】
また、本発明は、四方の周辺に端材領域を残した状態で、表面に互いに直交するスクライブラインを形成することにより複数の単位製品領域が区分けされた基板を、前記スクライブラインに沿ってブレイクすることにより単位製品と端材とを切り出すブレイク装置であって、前記基板を載置して搬送する搬送路を備えたコンベアと、前記搬送路上で、上流側に設けられた第一平坦部と、この第一平坦部に連なって形成された傾斜部と、この傾斜部に連なって前記第一平坦部に対し段差状に形成された第二平坦部とから構成された第一ブレイク機構と、前記第一ブレイク機構の下流側で、基板送り方向に延びるＹ方向のスクライブラインの近傍に沿って前記基板を押圧転動して、前記Ｙ方向のスクライブラインをブレイクするローラを備えた第二ブレイク機構と、少なくとも基板送り方向先端側並びに後端側に位置する基板送り方向と直交するＸ方向のスクライブラインの両端部分をブレイクする押圧部材を備えた第三ブレイク機構と、前記第一乃至第三ブレイク機構によって切り出された単位製品をピックアップして取り出す吸着ユニットとからなる基板のブレイク装置をも特徴とする。
【００１３】
前記吸着ユニットは、端材が単位製品に付着してピックアップされたときに、端材を単位製品から切り離す昇降可能なプッシャを備えている構成とするのがよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、吸着ユニットで基板のコーナー部分の単位製品をピックアップする際、この単位製品に隣接するＬ字形の端材は、第三ブレイク工程によりＸ方向の端材とＹ方向の端材とに完全に分断されているので、Ｌ字形で繋がった端材の場合に比べて、端材と単位製品との間で端面同士がこじれて傷がつくことを抑制することができる。
また、コンベアによる基板搬送途上でＸ方向並びにＹ方向のスクライブラインがブレイクされるものであるから、作業時間を短縮することができて生産性を向上させることができる。さらに、従来のように負荷の大きな長尺のブレイクバーを使用しないため、分断面の傷を軽減でき、端面強度を高めることができるといった効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るブレイク装置の一例を示す概略的な平面図。
【図２】図１のブレイク装置を側面視した説明図。
【図３】本発明方法の第一ブレイク工程及び第二ブレイク工程を示す説明図。
【図４】本発明方法の第三ブレイク工程並びにピックアップ工程を示す説明図。
【図５】本発明方法のピックアップ工程の別実施例を示す説明図。
【図６】本発明方法でブレイクされる基板の一例を示す平面図。
【図７】本発明方法でブレイクされた単位製品を示す平面図。
【図８】本発明方法でブレイクされた単位製品の別の一例を示す平面図。
【図９】従来のブレイク方法の一例を示す説明図。
【図１０】外切りと内切りのスクライブライン形成方法を示す説明図。
【図１１】マザー基板ブレイク時の単位製品と端材との不都合状態を説明する図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下において、本発明のブレイク方法並びにブレイク装置の詳細を、図１〜６を参照にして説明する。図６は本発明でブレイクされる基板の平面図である。この基板Ｍは、その表面に互いに直交するＸ方向のスクライブラインＳ１並びにＹ方向のスクライブラインＳ２が「内切り」の手法で予め形成されており、これにより、基板Ｍの四方の周辺にＸ方向の端材領域Ｔ１並びにＹ方向の端材領域Ｔ２を残した状態で、スクライブラインＳ１、Ｓ２によって区分けされた六つの単位製品領域Ｍ１が形成されている。なお、この基板Ｍは、厚みが０．２〜０．５ｍｍと薄く、載置されるベルトコンベアなどの接地面の形状に沿って自重により屈曲変形する物性を備えている。
【００１７】
本発明のブレイク装置は、複数の輪体１…によって無端状に張設されたベルト２を有するコンベア３を備えている。ベルト２の上面は、基板Ｍを載置して図１並びに図２のＹ方向に搬送する搬送路４を形成する。コンベア３は、原動機（図示略）によって駆動される。
【００１８】
搬送路４は、上流から水平な第一平坦部４ａと、この第一平坦部４ａに連なって上方に傾斜する傾斜部４ｂと、この傾斜部４ｂの傾斜上位側に連なって形成された水平な第二平坦部４ｃとを備え、これらは、基板送り方向に直交するＸ方向のスクライブラインＳ１をブレイクする第一ブレイク機構Ａを構成している。
傾斜部４ｂは、その傾斜下位側の上面両脇部分に接触するローラ５と、傾斜上位側の下面に接触するローラ６とによってその傾斜姿勢が保持されている。
なお、第一平坦部４ａと第二平坦部４ｃとの高低差（段差）は３〜１０ｍｍとするのがよく、傾斜部４ｂの勾配は１〜３°が好ましい。また、この高低差並びに勾配は、ブレイクされる基板Ｍの厚みや材料によって適切な値が選択される。
【００１９】
第一ブレイク機構Ａの下流側でコンベア３の上方位置に、基板送り方向に延びるＹ方向のスクライブラインＳ２をブレイクする第二ブレイク機構Ｂが配置されている。
この第二ブレイク機構Ｂは、Ｙ方向の各スクライブラインＳ２の近傍に沿って押圧転動するローラ７を備え、各ローラ７はホルダ８を介してヘッド９に昇降可能に保持されている。また、ヘッド９はコンベア３を跨がるように配置されたビーム１０に、Ｘ方向（図２の前後方向）に移動調整可能に取りつけられている。なお、ローラ７とＹ方向のスクライブラインＳ２との間隔は０．５〜２ｍｍ、好ましくは１ｍｍ程度とするのがよい。
【００２０】
さらに、第二ブレイク機構Ｂの下流側でコンベア３の上方位置に、基板のＸ方向のスクライブラインＳ１のうち、基板送り方向先端側並びに後端側のスクライブラインの端材領域部分Ｐ１を再度ブレイクする第三ブレイク機構Ｃが設けられている。
この第三ブレイク機構Ｃは、上記Ｐ１部分のみをブレイクする左右一対の押圧部材１１を備えている。押圧部材１１はヘッド１２に昇降可能に保持され、ヘッド１２はコンベア３を跨がるように配置されたビーム１３に、Ｘ方向に移動調整可能に取りつけられている。
【００２１】
また、第三ブレイク機構Ｃの下流側でコンベア３の上方位置に、ブレイクされた単位製品Ｍ１’をピックアップして取り出す吸着ユニットＤが設けられている。
この吸着ユニットＤは、ブレイクされた単位製品Ｍ１’を吸着して持ち上げる吸着部材１４を備え、吸着部材１４はホルダ１５に昇降可能に保持されている。また、ホルダ１５は、Ｘ方向に延びる横梁１６にＸ方向に移動可能に保持され、横梁１６は、吸着部材１４と共に左右の水平なレール１７に沿って次のステージ１９まで移動できるように形成されている。
また、吸着ユニットＤは、端材が単位製品Ｍ１’に付着してピックアップされたときに、端材Ｔ１、Ｔ２を単位製品Ｍ１’から切り離す昇降可能なプッシャ１８を備えている。
【００２２】
次に、上記のブレイク装置を用いたブレイク方法について説明する。
図１並びに図２に示すように、基板Ｍを搬送路４の上流、すなわち、第一平坦部４ａ上に載置してコンベア３を駆動し、下流（Ｙ方向）に向かって搬送する。基板Ｍが第一ブレイク機構Ａの傾斜部４ｂに移行すると、基板は傾斜部４ｂで屈曲する。そして、基板ＭのＸ方向のスクライブラインＳ１が、図３（ａ）に示すように傾斜部４ｂと第二平坦部４ｃとの境界部分にくると、屈曲外面側にあるスクライブラインＳ１の亀裂が厚み方向に浸透し、スクライブラインＳ１に沿って基板Ｍがブレイクされる。しかし、スクライブラインＳ１の両端の端材領域部分Ｐ１は、上記した「内切り」による加工手段のため、完全に分断されない状態で残される。このようにして全てのＸ方向のスクライブラインＳ１が順次ブレイクされる（第一ブレイク工程）。
上記した基板Ｍが傾斜部４ｂから第二平坦部４ｃに移行する際には、傾斜部４ｂと第二平坦部４ｃとの境界部分で基板Ｍが自重により自然に屈曲することが可能であるが、図３に示すように、第二平坦部４ｃの上方にガイド部材２０を設けて基板Ｍの先導側端部を強制的に水平姿勢にガイドするようにしてもよい。
【００２３】
続いて、図３（ｃ）に示すように、基板Ｍは第二ブレイク機構Ｂに搬送され、ローラ７がＹ方向のスクライブラインＳ２の近傍に押しつけられる。この状態で基板ＭがＹ方向（図中右方向）へ進行することにより、Ｙ方向のスクライブラインＳ２の近傍に沿ってローラ７が転動する。この転動によって、ローラ７を押しつけた部分がベルト２とともにスクライブラインＳ２を折り曲げるように下方に撓み、これによりスクライブラインＳ２の亀裂が厚み方向に浸透してＹ方向のスクライブラインＳ２をブレイクすることができる（第二ブレイク工程）。
しかしこの場合も、Ｙ方向スクライブラインＳ２の両端の端材領域部分Ｐ２は、上記した理由により完全に分断されない状態で残されることになる。
なお、実施例では、ローラ７の位置を固定して基板Ｍをコンベア３によってＹ方向に移動させることによりブレイクするようにしたが、基板Ｍをコンベア３上で停止させておき、ローラ７を移動させるようにしてもよい。
【００２４】
続いて、図４（ａ）に示すように、基板Ｍは第三ブレイク機構Ｃに搬送され、先の第一ブレイク機構ＡでブレイクされたＸ方向スクライブラインＳ１の不完全なブレイク部分、すなわち、端材領域部分Ｐ１を完全にブレイクする（第三ブレイク工程）。
詳述すると、基板Ｍの送り方向先導端側のＸ方向スクライブラインＳ１の端材領域部分Ｐ１が第三ブレイク機構Ｃの押圧部材１１の下方に来るとコンベア３が停止し、押圧部材１１が降下する。押圧部材１１は、Ｘ方向スクライブラインＳ１の端材領域部分Ｐ１近傍を押しつけてベルト２と共に基板Ｍを折り曲げるように撓ませて完全にブレイクする。次いで、コンベア３を駆動し、基板Ｍの後端側のＸ方向スクライブラインＳ１の端材領域部分Ｐ１が押圧部材１１の下方へ来たときにコンベア３を停止し、上記同様に後端側のＸ方向スクライブラインＳ１の端材領域部分Ｐ１をブレイクする。
なお、この押圧部材１１によるブレイクは、Ｘ方向スクライブラインＳ１の全ての端材領域部分Ｐ１に対して行われるようにしてもよい。
【００２５】
このようにして、一枚の基板Ｍから切り離された単位製品Ｍ１’は、図４（ｂ）に示すように、吸着ユニットＤの吸着部材１４によりピックアップされる。そして、図４（ｃ）に示すように次のステージ１９に搬送される。この吸着ユニットＤによるピックアップの際、基板Ｍのコーナー部分の単位製品Ｍ１’に隣接するＬ字形の端材は、第三ブレイク工程によってＰ１部分で完全にＸ方向の端材Ｔ１とＹ方向の端材Ｔ２とに分断されている（図７参照）ので、Ｌ字形で繋がった端材の場合に比べて、端材Ｔ１、Ｔ２と単位製品Ｍ１’との間で端面同士がこじれて傷がつくのを抑制することができる。
【００２６】
なお、基板によっては、素材の無駄をなくすために端材領域の幅を小さく形成する場合がある。この場合、第一ブレイク工程で、基板送り方向先導端側、並びに後端側のＸ方向スクライブラインＳ１を搬送路４の傾斜部４ｂと第二平坦部４ｃの境界部でブレイクするときに、基板Ｍの先導端側並びに後端側の端材領域Ｔ１の屈曲が不十分となり、端材領域Ｔ１に隣接するＸ方向のスクライブラインＳ１が完全にブレイクされないことがある。したがって、最終的に吸着ユニットＤでコーナー部分の単位製品Ｍ１’をピックアップしたときに、図８に示すように、単位製品Ｍ１’とＸ方向の端材Ｔ１とが繋がって取り出されることになる。
このような場合、図５（ａ）に示すように、吸着ユニットＤの吸着部材１４で単位基板Ｍ１’をピックアップした状態で、図５（ｂ）に示すように、付属するプッシャ１８を押し下げることによりＸ方向の端材Ｔ１をＸ方向スクライブラインＳ１に沿って切り離して単位製品Ｍ１’のみを取り出すことができる。なお、Ｘ方向の端材Ｔ１はその幅が狭く形成されているので、単位製品Ｍ１’とＸ方向の端材Ｔ１とが繋がって取り出されたとき、Ｘ方向の端材Ｔ１のＰ３部分（図８参照）は、上方に引き上げるときの力によって分断される。
【００２７】
以上のように、本実施例では、吸着ユニットＤで基板Ｍのコーナー部分の単位製品Ｍ１’をピックアップする際、この単位製品Ｍ１’に隣接するＬ字形の端材は、第三ブレイク工程によりＰ１部分で完全にＸ方向の端材Ｔ１とＹ方向の端材Ｔ２とに分断されているので、Ｌ字形で繋がった端材の場合に比べて、端材Ｔ１、Ｔ２と単位製品Ｍ１’との間で端面同士がこじれて傷がつくことを抑制することができる。
また、コンベア３による基板搬送途中で、Ｘ方向並びにＹ方向のスクライブラインＳ１、Ｓ２がブレイクされるものであるから、作業時間を短縮して生産性を向上させることができる。
さらに、基板のＸ方向のスクライブラインＳ１をブレイクする第一ブレイク工程では、搬送路４の傾斜部４ｂから第二平坦部４ｃに基板Ｍが移行する際の基板の屈曲によって行うものであるから、衝撃を与えず確実にブレイクすることができる。また、基板ＭのＹ方向スクライブラインＳ２のブレイクには、ローラ７をスクライブラインＳ２の近傍に沿って転動させるローラブレイク方式を用いたので、長尺のブレイクバーを用いたブレイク方式に比して衝撃の少ない低荷重でブレイクすることができる。これにより、基板にかかる振動を小さくして分断面の破壊を抑制し、端面強度を高めることができる。
【００２８】
以上、本発明の代表的な実施例について説明したが、本発明は必ずしも上記の実施例構造のみに特定されるものではない。例えば、上記実施例では、Ｙ方向のスクライブラインＳ２をブレイクする第二ブレイク工程の後に、Ｘ方向のスクライブラインＳ１の両端部分を完全ブレイクする第三ブレイク工程を行ったが、その順序は逆であってもよい。また、ブレイクされる基板Ｍは、上記実施例で述べた単板以外に、表面にスクライブラインを備えた２枚の基板を貼り合わせた貼り合わせ基板のブレイク工程にも適応させることが可能である。その他本発明ではその目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明は、表面にスクライブラインを備えた脆性材料基板をブレイクするブレイク方法並びにブレイク装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００３０】
Ａ  第一ブレイク機構
Ｂ  第二ブレイク機構
Ｃ  第三ブレイク機構
Ｄ  吸着ユニット
Ｍ  基板
Ｍ１  単位製品領域
Ｍ１’  単位製品
Ｐ１  Ｘ方向スクライブラインの端材領域部分
Ｐ２  Ｙ方向スクライブラインの端材領域部分
Ｓ１  Ｘ方向スクライブライン
Ｓ２  Ｙ方向スクライブライン
Ｔ１  Ｘ方向の端材
Ｔ２  Ｙ方向の端材
２  ベルト
３  コンベア
４  搬送路
４ａ  第一平坦部
４ｂ  傾斜部
４ｃ  第二平坦部
７  ローラ
１１  押圧部材
１４  吸着部材
１８  プッシャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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