(57)【要約】      （修正有）【課題】耐熱性および耐溶剤性に優れた感光性樹脂組成物、赤外線透過フィルタおよびその製造方法、赤外線センサならびにカラーフィルタを提供する。【解決手段】一般式（Ｉ）で表される染料と、光重合開始剤と、重合性化合物とを含有する、感光性樹脂組成物。一般式（Ｉ）2015068945.tif 000084（一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ3は、水素原子、窒素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。また、Ｒ3は、Ａの置換基と環を形成してもよく、Ｒ3が窒素原子を表す場合、Ａの置換基と環を形成する。Ｒ3Aは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。）【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される染料と、光重合開始剤と、重合性化合物とを含有する、感光性樹脂組成物。
一般式（Ｉ）
【化１】
2015068945.tif 000077
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、カルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ3は、水素原子、窒素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。また、Ｒ3は、Ａの置換基と環を形成してもよく、Ｒ3が窒素原子を表す場合、Ａの置換基と環を形成する。Ｒ3Aは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ａは、複素５員環または複素６員環を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【請求項２】
前記一般式（Ｉ）が、下記一般式（ＩＩ）〜（ＶＩ）のいずれかで表される、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
一般式（ＩＩ）
【化２】
2015068945.tif 000078
（一般式（ＩＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ4は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ5は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基または置換基を有するカルボニル基を表す。Ｒ6およびＲ7は、それぞれ独立に水素原子またはアルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ6AおよびＲ7Aは、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（ＩＶ）
【化３】
2015068945.tif 000079
（一般式（ＩＶ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ12およびＲ13は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（Ｖ）
【化４】
2015068945.tif 000080
（一般式（Ｖ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ14およびＲ15は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（ＶＩ）
【化５】
2015068945.tif 000081
（一般式（ＶＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ16およびＲ17は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有するカルボニル基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【請求項３】
アルカリ可溶性樹脂をさらに含有する、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記アルカリ可溶性樹脂が、下記式（ＥＤ）で表される化合物に由来する繰り返し単位を有する、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
【化６】
2015068945.tif 000082
（式（ＥＤ）中、Ｒ18及びＲ19は、それぞれ独立して、水素原子又は炭化水素基を表す。）
【請求項５】
前記光重合開始剤がオキシム化合物である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記感光性樹脂組成物が、赤外線フィルタ、固体撮像素子または液晶表示装置の画素形成に用いられる、請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物より形成される赤外線透過フィルタ。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を基板上に付与して、赤外線透過組成物層を形成する工程と、赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する赤外線透過フィルタの製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を含み、インクジェット法による着色画素形成に用いられるインクジェット用インク。
【請求項１１】
請求項８に記載の赤外線透過フィルタ、または、請求項９に記載の赤外線透過フィルタの製造方法により得られる赤外線透過フィルタを含有する赤外線センサ。
【請求項１２】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を塗布し、形成された層を少なくとも紫外線でフォトマスクを介して露光し、現像することによりパターンを形成し、形成されたパターンをポストベークすることを含む画素形成方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の画素形成方法により作製された画素を有するカラーフィルタ。
【請求項１４】
請求項１３に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または液晶表示装置。
【請求項１５】
下記一般式で表される化合物またはその金属錯体。
【化７】
2015068945.tif 000083
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、赤外線透過フィルタおよびその製造方法、赤外線センサならびにカラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、固体撮像素子や液晶ディスプレイに不可欠な構成部品である。特に、固体撮像素子用のカラーフィルタでは、色分解性の向上及び色再現性の向上が求められている。
【０００３】
このようなカラーフィルタは、複数の色相の着色領域（着色硬化膜）を備えて形成されており、通常は、少なくとも、赤色、緑色、及び青色の着色領域（以下、「着色パターン」や「着色画素」ともいう。）を備えて形成される。着色パターンの形成方法としては、まず、第１の色相において、赤色、緑色、青色の何れかの着色材を有する感光性樹脂組成物を塗布し、露光、現像、必要に応じて加熱処理を行ってこの色相の着色パターンを形成した後、第２の色相、第３の色相において同様の塗布、露光、現像、必要に応じた加熱処理のプロセスを繰り返すことになる。
【０００４】
固体撮像素子は、様々な用途で光センサとして活用されている。
例えば、近赤外線は可視光に比べて波長が長いので散乱しにくく、距離計測や、３次元計測などにも活用可能である。また、近赤外線は人間、動物などの目に見えないので、夜間に被写体を近赤外線光源で照らしても被写体に気付かれることなく、夜行性の野生動物を撮影する用途、防犯用途として相手を刺激せずに撮影することにも使用可能である。このような近赤外線に感知する光センサは、様々な用途に展開が可能であり、近赤外線に感知する固体撮像素子に用いることができるカラーフィルタの開発が待ち望まれている。
【０００５】
特許文献１には、スクアリリウム化合物の金属錯体、ラジカル発生剤およびエチレン性不飽和二重結合を少なくとも１個有する化合物を含有する光重合性組成物について開示されている。
特許文献２には、可視光領域に極大吸収を有し、特定の部分構造を有するスクアリリウム色素−金属錯体化合物及びバインダーを含有することを特徴とする光学フィルタについて開示されている。
特許文献３には、特定構造のスクアリリウム化合物を含有することを特徴とする光学フィルタについて開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００３−０８５００５号パンフレット
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００８−０３５５３３号パンフレット
【特許文献３】国際公開ＷＯ２００６−０５４７００号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明者らが検討したところ、特許文献１〜３に開示されているスクアリリウム化合物を用いて硬化膜を形成すると、耐熱性および耐溶剤性が良好ではないことがわかった。
本発明は、かかる課題を解決することを目的としたものであって、耐熱性および耐溶剤性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らが詳細に検討した結果、感光性樹脂組成物中に、下記一般式（Ｉ）で表される染料と、光重合開始剤と、重合性化合物を配合することにより、上記課題を解決しうることを見出した。
具体的には、下記手段＜１＞により、好ましくは、＜２＞〜＜１５＞により、上記課題は解決された。
＜１＞下記一般式（Ｉ）で表される染料と、光重合開始剤と、重合性化合物とを含有する、感光性樹脂組成物。
一般式（Ｉ）
【化１】
2015068945.tif 000002
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ3は、水素原子、窒素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。また、Ｒ3は、Ａの置換基と環を形成してもよく、Ｒ3が窒素原子を表す場合、Ａの置換基と環を形成する。Ｒ3Aは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ａは、複素５員環または複素６員環を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
＜２＞一般式（Ｉ）が、下記一般式（ＩＩ）〜（ＶＩ）のいずれかで表される、＜１＞に記載の感光性樹脂組成物。
一般式（ＩＩ）
【化２】
2015068945.tif 000003
（一般式（ＩＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ4は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ5は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基または置換基を有するカルボニル基を表す。Ｒ6およびＲ7は、それぞれ独立に水素原子またはアルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ6AおよびＲ7Aは、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（ＩＶ）
【化３】
2015068945.tif 000004
（一般式（ＩＶ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ12およびＲ13は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（Ｖ）
【化４】
2015068945.tif 000005
（一般式（Ｖ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ14およびＲ15は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
一般式（ＶＩ）
【化５】
2015068945.tif 000006
（一般式（ＶＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ16およびＲ17は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有するカルボニル基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
＜３＞アルカリ可溶性樹脂をさらに含有する、＜１＞または＜２＞に記載の感光性樹脂組成物。
＜４＞アルカリ可溶性樹脂が、下記式（ＥＤ）で表される化合物に由来する繰り返し単位を有する、＜３＞に記載の感光性樹脂組成物。
【化６】
2015068945.tif 000007
（式（ＥＤ）中、Ｒ18及びＲ19は、それぞれ独立して、水素原子又は炭化水素基を表す。）
＜５＞光重合開始剤がオキシム化合物である、＜１＞〜＜４＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜６＞感光性樹脂組成物が、赤外線フィルタ、固体撮像素子または液晶表示装置の画素形成に用いられる、＜１＞〜＜５＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
＜７＞＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。
＜８＞＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物より形成される赤外線透過フィルタ。＜９＞＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を基板上に付与して、赤外線透過組成物層を形成する工程と、赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程と、露光後の前記赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程と、を有する赤外線透過フィルタの製造方法。
＜１０＞＜１＞〜＜６＞のいずれに記載の感光性樹脂組成物を含み、インクジェット法による着色画素形成に用いられるインクジェット用インク。
＜１１＞＜８＞に記載の赤外線透過フィルタ、または、＜９＞に記載の赤外線透過フィルタの製造方法により得られる赤外線透過フィルタを含有する赤外線センサ。
＜１２＞＜１＞〜＜６＞のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を塗布し、形成された層を少なくとも紫外線でフォトマスクを介して露光し、現像することによりパターンを形成し、形成されたパターンをポストベークすることを含む画素形成方法。
＜１３＞＜１２＞に記載の画素形成方法により作製された画素を有するカラーフィルタ。
＜１４＞＜１３＞に記載のカラーフィルタを有する固体撮像素子または液晶表示装置。
＜１５＞下記一般式で表される化合物またはその金属錯体。
【化７】
2015068945.tif 000008
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、耐熱性および耐溶剤性に優れた感光性樹脂組成物を提供することが可能となった。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下において、本発明の内容について詳細に説明する。尚、本願明細書において「〜」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される
本明細書における基（原子団）の表記に於いて、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
また、本明細書中における「放射線」とは、例えば、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等を意味する。また、本発明において光とは、活性光線または放射線を意味する。本明細書中における「露光」とは、特に断らない限り、水銀灯、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、Ｘ線、ＥＵＶ光などによる露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線による描画も露光に含める。
また、本明細書において、“（メタ）アクリレート”はアクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、“（メタ）アクリル”はアクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、“（メタ）アクリロイル”はアクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
また、本明細書において、“単量体”と“モノマー”とは同義である。本明細書における単量体は、オリゴマーおよびポリマーと区別され、重量平均分子量が２，０００以下の化合物をいう。本明細書において、重合性化合物とは、重合性官能基を有する化合物のことをいい、単量体であっても、ポリマーであってもよい。重合性官能基とは、重合反応に関与する基を言う。
本明細書において、化学式中のＭｅはメチル基を、Ｅｔはエチル基を、Ｐｒはプロピル基を、Ｂｕはブチル基を、Ｐｈはフェニル基をそれぞれ示す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
【００１１】
本発明の感光性樹脂組成物は、後述する一般式（Ｉ）で表される染料と、光重合開始剤と、重合性化合物とを含有することを特徴とする。
このような構成にすることにより、耐熱性および耐溶剤性に優れた感光性樹脂組成物を提供することができる。また、硬化膜を薄膜化したときに、可視光成分に由来するノイズが少ない状態で、赤外線を透過可能な赤外線透過フィルタを作製することができる。
このメカニズムは推定であるが、ピラゾロン環および他の複素環を含むスクアリリウム色素を用いることにより、ピラゾロンの酸素原子と金属の結合が強まり、感光性樹脂組成物を硬化させたときに、より剛直な構造となるため、耐熱性が向上すると考えられる。また、分子量がより大きくなるため、耐溶剤性が向上すると考えられる。
さらに、後述する一般式（Ｉ）で表される染料は、二配位または三配位錯体を形成するため、色相がブロード化し、着色剤の添加量を低下させることができる。そのため、硬化膜を薄膜化したときに、可視光成分に由来するノイズが少ない状態で、赤外線を透過可能な赤外線透過フィルタを作製できると考えられる。
【００１２】
＜一般式（Ｉ）で表される染料＞
本発明の感光性樹脂組成物は、一般式（Ｉ）で表される染料を含有する。
一般式（Ｉ）
【化８】
2015068945.tif 000009
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ3は、水素原子、窒素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ3Aは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。また、Ｒ3は、Ａの置換基と環を形成してもよく、Ｒ3が窒素原子を表す場合、Ａの置換基と環を形成する。Ａは、複素５員環または複素６員環を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【００１３】
一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。
Ｒ1は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましい。
Ｒ2は、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましい。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられ、フッ素原子、塩素原子、臭素原子が好ましく、塩素原子がより好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状または分岐状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましい。アルキル基は、メチル基、エチル基、ｎ-プロピル基、イソプロピル基およびｔ-ブチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
アリール基の炭素数は、６〜１８が好ましく、６〜１２がより好ましく、６がさらに好ましい。アリール基は、単環であっても多環であってもよいが、単環であることが好ましい。アリール基が多環である場合、環の数は２〜４が好ましい。アリール基の具体例としては、フェニル基が好ましい。
複素環基は、単環であっても多環であってもよいが、単環であることが好ましい。複素環基は、芳香族または非芳香族であってもよい。複素環基は、３員環〜８員環が好ましく、６員環がより好ましい。複素環基が有するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子および硫黄原子の少なくとも１種が好ましく、窒素原子がより好ましい。複素環基が有するヘテロ原子の数は、１〜３が好ましく、１がより好ましい。複素環の具体例としては、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、ピラゾール環、オキサゾール環、イソオキサゾール環、チアゾール環、ピラン環、ピペリジン環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、ピラジン環、ピペラジン環、トリアジン環、テトラジン環、オキサジン環、オキサン環、ジオキサン環、チアン環、ジチアン環等が挙げられ、ピリジン環が好ましい。
カルボニル基が有する置換基は、炭素数１〜１０のアルコキシ基が好ましく、炭素数１〜４のアルコキシ基がより好ましく、メトキシ基またはエトキシ基がさらに好ましい。
アルキル基、アリール基および複素環基は、置換基を有していてもよい。置換基としては、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、ハロゲン原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数１〜１０のアルコキシ基、炭素数１〜１０のアシル基、炭素数１〜１０のカルバモイル基、スルホニル基、アミノ基等が好ましい。炭素数１〜１０のアルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよい。これらの置換基は、さらに置換基を有していてもよい。
【００１４】
このメカニズムは推定であるが、一般式（Ｉ）中、−ＮＲ3Ｒ3Aの構造を有することにより、膜中における分子内での水素結合性を向上させることができる。
Ｒ3は、水素原子、窒素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。
アルキル基は、上記一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアルキル基と同義であり、メチル基およびエチル基が好ましい。
アリール基は、上記一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアリール基と同義であり、フェニル基が好ましい。
複素環基は、単環であっても多環であってもよい。複素環基は、芳香族または非芳香族であってもよい。複素環基は、３員環〜８員環が好ましく、５員環がより好ましい。複素環基が有するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子および硫黄原子の少なくとも１種が好ましく、窒素原子および硫黄原子がより好ましい。複素環基が有するヘテロ原子の数は、１〜３が好ましく、２がより好ましい。複素環は、芳香族炭化水素基と縮合していてもよい。具体例としては、ベンゾチアゾリル基が好ましい。
アルキル基、アリール基および複素環基が有していてもよい置換基としては、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、炭素数１〜１０のアルコキシ基が好ましく、炭素数１〜４のアルコキシ基がより好ましく、メトキシ基がさらに好ましい。
また、Ｒ3は、一般式（Ｉ）中のＡの置換基と環を形成してもよく、Ｒ3が窒素原子を表す場合、Ａの置換基と環を形成する。Ｒ3がＡの置換基と環を形成する場合、形成された環が一般式（Ｉ）中のＡと縮合していることが好ましい。また、Ｒ3がＡの置換基と環を形成する場合、形成された環は５〜７員環であることが好ましく、５員環であることがより好ましい。
【００１５】
Ｒ3Aは、水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、水素原子が好ましい。アルキル基は、上記一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2がアルキル基を表す場合と同義であり、無置換のメチル基または無置換のエチル基が好ましい。アリール基は、上記一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2がアリール基を表す場合と同義であり、無置換のアリール基が好ましく、無置換のフェニル基が好ましい。
【００１６】
Ａは、複素５員環または複素６員環を表す。Ａは、芳香族または非芳香族であってもよい。Ａを構成する構成原子は、炭素原子、窒素原子および酸素原子の少なくともいずれか１つを含むことが好ましく、少なくとも窒素原子を含むことが好ましい。Ａを構成するヘテロ原子数は、１〜３が好ましく、１または２がより好ましい。Ａの具体例としては、ピリジン環およびピラゾール環が好ましい。
Ａが有していてもよい置換基としては、後述する置換基群Ａが挙げられる。
Ｍは、金属を表し、Ａｌ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｚｎ、ＮｉおよびＣｏが好ましく、Ａｌ、Ｆｅ、ＣｕおよびＺｎがより好ましく、Ａｌがさらに好ましい。
【００１７】
上記一般式（Ｉ）で表される染料は、下記一般式（ＩＩ）〜（ＶＩ）のいずれかで表されることが好ましい。
【００１８】
一般式（ＩＩ）
【化９】
2015068945.tif 000010
（一般式（ＩＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、またはアルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ4は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ5は、水素原子、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基または置換基を有するカルボニル基を表す。Ｒ6およびＲ7は、それぞれ独立に水素原子またはアルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ6AおよびＲ7Aは、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【００１９】
一般式（ＩＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２０】
一般式（ＩＩ）中、Ｒ4は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基を表し、水素原子またはアルキル基が好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましい。アルキル基は、無置換のアルキル基が好ましく、メチル基およびエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
アリール基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアリール基と同義であり、無置換の炭素数６〜１８のアリール基が好ましく、フェニル基が好ましい。
複素環基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明した複素環基と同義であり、ピリジル、ピペラジル、ピペリジルおよびピロリジル基が好ましい。
【００２１】
一般式（ＩＩ）中、Ｒ5は、水素原子、アルキル基、アリール基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基または置換基を有するカルボニル基を表し、水素原子、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基または置換基を有するカルボニル基が好ましく、水素原子またはシアノ基がより好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜４がより好ましい。
アリール基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアリール基と同義であり、無置換の炭素数６〜１８のアリール基が好ましく、フェニル基が好ましい。
ハロゲン原子は、塩素原子が好ましい。
アルコキシ基の炭素数は、１〜１０が好ましく、１〜４がより好ましい。
カルボニル基が有する置換基は、アミノ基が好ましい。
【００２２】
一般式（ＩＩ）中、Ｒ6およびＲ7は、それぞれ独立に水素原子またはアルキル基、アリール基または複素環基を表し、水素原子、アルキル基またはアリール基が好ましい。
アルキル基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアルキル基と同義であり、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｔ−ブチル基、２−エチルヘキシル基が好ましく、メチル基またはエチル基がより好ましい。
アルキル基が有していてもよい置換基としては、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、炭素数１〜１０のアルコキシ基が好ましく、炭素数１〜５のアルコキシ基がより好ましい。
アリール基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアリール基と同義であり、フェニル基が好ましい。
複素環基は、一般式（Ｉ）中のＲ3で説明した複素環基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２３】
一般式（ＩＩ）中、Ｒ6AおよびＲ7Aは、それぞれ独立に水素原子、アルキル基またはアリール基を表し、水素原子が好ましい。アルキル基およびアリール基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアルキル基およびアリール基と同義である。アルキル基は、メチル基またはエチル基が好ましく、エチル基がより好ましい。アリール基は、フェニル基が好ましい。
一般式（ＩＩ）中、Ｍは、一般式（Ｉ）中のＭと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２４】
以下、一般式（ＩＩ）で表される染料の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記表中、Benzothiazolylは、ベンゾチアゾリル基を表し、2-Pridylは、２−ピリジル基を表す。
【化１０】
2015068945.tif 000011
【表１】
2015068945.tif 000012
【００２５】
一般式（ＩＶ）
【化１１】
2015068945.tif 000013
（一般式（ＩＶ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、またはアルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ12およびＲ13は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【００２６】
一般式（ＩＶ）中、Ｒ1およびＲ2は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２７】
一般式（ＩＶ）中、Ｒ12およびＲ13は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。
特に、Ｒ12は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、水素原子またはアルキル基がさらに好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状または分岐状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基は、無置換であることが好ましい。
アリール基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明したアリール基と同義であり、フェニル基が好ましい。
複素環基は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2で説明した複素環基と同義であり、ピリジル基が好ましい。
【００２８】
Ｒ13は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、水素原子、アルキル基またはアリール基がより好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状または分岐状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基は、無置換であることが好ましい。
アリール基は、炭素数６〜１２のアリール基がより好ましく、フェニル基がさらに好ましい。アリール基が有していてもよい置換基は、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、炭素数１〜１０のアルキル基、スルホニル基、アミノ基等が好ましい。これらの置換基は、さらに置換基を有していてもよい。具体的に、置換基は、アルキルスルホニルアミノ基が好ましい。
複素環基は、Ｒ12で説明した複素環基と同義であり、好ましい範囲も同様である。
ハロゲン原子は、塩素原子が好ましい。
アルコキシ基の炭素数は、1〜１０が好ましく、1〜７がより好ましい。
カルバモイル基の炭素数は、1〜１４が好ましく、1〜１０がより好ましい。
置換基を有するカルボニル基は、上記一般式（Ｉ）中のＲ2で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式（ＩＶ）中、Ｍは、一般式（Ｉ）中のＭと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００２９】
以下、一般式（ＩＶ）で表される染料の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記表中、2-Pridylは、２−ピリジル基を表す。
【化１２】
2015068945.tif 000014
【表２】
2015068945.tif 000015
【００３０】
一般式（Ｖ）
【化１３】
2015068945.tif 000016
（一般式（Ｖ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ14およびＲ15は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【００３１】
一般式（Ｖ）中、Ｒ1およびＲ2は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式（Ｖ）中、Ｒ14およびＲ15は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルコキシ基、アミノ基、カルバモイル基、アルキル基、置換基を有するカルボニル基、スルホニル基、アリール基、カルボン酸または複素環基を表す。
【００３２】
Ｒ14は、水素原子、アルキル基または複素環基が好ましく、水素原子またはアルキル基がより好ましい。アルキル基および複素環基は、上記一般式（ＩＶ）中のＲ12で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００３３】
Ｒ15は、水素原子、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、アルキル基またはフェニル基がより好ましい。
アルキル基は、直鎖状、分岐状および環状のいずれであってもよいが、直鎖状または分岐状が好ましい。アルキル基の炭素数は、１〜８が好ましく、１〜５がより好ましい。アルキル基が有していてもよい置換基は、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、アセチル基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキル基等が好ましい。これらの置換基は、さらに置換基を有していてもよい。
アリール基および複素環基は、上記一般式（ＩＶ）中のＲ13で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。
ハロゲン原子、アルコキシ基、カルバモイル基、置換基を有するカルボニル基は、上記一般式（ＩＶ）中、Ｒ12およびＲ13で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式（Ｖ）中、Ｍは、一般式（Ｉ）中のＭと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００３４】
以下、一般式（Ｖ）で表される染料の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記表中、2-Pridylは、２−ピリジル基を表す。Acはアセチル基を表す。
【化１４】
2015068945.tif 000017
【表３】
2015068945.tif 000018
【００３５】
一般式（ＶＩ）
【化１５】
2015068945.tif 000019
（一般式（ＶＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｒ16およびＲ17は、それぞれ独立に水素原子、置換基を有するカルボニル基、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。Ｍは、金属を表す。ｎは、２または３を表す。）
【００３６】
一般式（ＶＩ）中、Ｒ1およびＲ2は、一般式（Ｉ）中のＲ1およびＲ2と同義であり、好ましい範囲も同様である。
一般式（ＶＩ）中、Ｒ16およびＲ17は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、置換基を有するカルボニル基、シアノ基、ニトロ基、アルキル基、アリール基または複素環基を表す。
【００３７】
Ｒ16は、水素原子、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、水素原子、置換基を有するカルボニル基またはアルキル基がさらに好ましい。
アルキル基は、上記一般式（ＩＶ）中のＲ12で説明したものと同義であり、炭素数１〜４のアルキル基が好ましい。アルキル基が有していてもよい置換基は、後述する置換基群Ａが挙げられ、特に、ハロゲン原子が好ましい。
カルボニル基が有する置換基は、炭素数１〜１０のアルコキシ基、アミノ基、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましい。これらの置換基は、さらに置換基を有していてもよい。
アリール基は、炭素数６〜１２のアリール基がより好ましく、無置換のフェニル基がさらに好ましい。
複素環基は、上記一般式（ＩＶ）中のＲ13で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００３８】
Ｒ17は、水素原子、置換基を有するカルボニル基、アルキル基、アリール基または複素環基が好ましく、アルキル基またはアリール基がより好ましい。
アルキル基、アリール基および複素環基は、上記一般式（ＩＶ）中のＲ13で説明したものと同義であり、好ましい範囲も同様である。アリール基が有していてもよい置換基は、炭素数１〜１０のアルキル基が好ましく、炭素数１〜３のアルキル基がより好ましい。
ハロゲン原子は、塩素原子が好ましい。
一般式（ＶＩ）中、Ｍは、一般式（Ｉ）中のＭと同義であり、好ましい範囲も同様である。
【００３９】
以下、一般式（ＶＩ）で表される染料の具体例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記表中、Benzylは、ベンジル基を表し、2-Pridylは、２−ピリジル基を表す。
【化１６】
2015068945.tif 000020
【表４】
2015068945.tif 000021
【００４０】
上述した一般式（Ｉ）〜（ＶＩ）中の官能基が置換基を有する場合、置換基としては、以下の置換基群Ａが挙げられる。
置換基群Ａ：
置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基、複素環基、シアノ基、ヒドロキシル基、ニトロ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アミノオキシ基、アリールオキシ基、シリルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、アミノ基、アシルアミノ基、アミノカルボニルアミノ基、アルコキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、スルファモイルアミノ基、アルキルまたはアリールスルホニルアミノ基、メルカプト基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ基、スルファモイル基、スルホ基、アルキルまたはアリールスルフィニル基、アルキルまたはアリールスルホニル基、アシル基、アリールオキシカルボニル基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、アリールまたはヘテロ環アゾ基、イミド基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスフィニルオキシ基、ホスフィニルアミノ基、シリル基などが挙げられる。
【００４１】
本発明の感光性樹脂組成物中、上述した一般式（Ｉ）で表される染料の含有量の合計は、１５〜８５質量％であることが好ましく、２０〜８０質量％であることがより好ましい。
また、本発明の感光性樹脂組成物の全着色剤中、上述した一般式（Ｉ）で表される染料の含有量の合計は、４〜５０質量％であることが好ましく、７〜４０質量％であることがより好ましい。
本発明の感光性樹脂組成物中、上述した一般式（Ｉ）で表される染料は、１種のみ含まれていても良いし、２種以上含まれていても良い。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【００４２】
＜その他の着色剤＞
本発明の組成物は、上述した一般式（Ｉ）で表される染料以外の他の着色剤をさらに含有していてもよい。他の着色剤としては、顔料および染料を挙げることができる。
【００４３】
顔料は、有機顔料であることが好ましく、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
【００４４】
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  ７，１０，３６，３７，５８等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌａｃｋ  １，７等（以上、黒色顔料）
これら有機顔料は、単独若しくは種々組合せて用いることができる。
【００４５】
染料としては、上述した一般式（Ｉ）で表される染料以外の染料であって、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。
化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が使用できる。また、これらの染料の多量体を用いてもよい。染料の多量体としては、特開２０１１−２１３９２５号公報、特開２０１３−０４１０９７号公報等に記載されている化合物が挙げられる。
【００４６】
また、染料としては、酸性染料及び／又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００４７】
以下に酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
ａｃｉｄ  ａｌｉｚａｒｉｎ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｎ；ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  １，２，２４，４８；ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０〜４５，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５８，１７１，１８２，１９２，２４３，３２４：１；ａｃｉｄ  ｃｈｒｏｍｅ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｋ；ａｃｉｄ  Ｆｕｃｈｓｉｎ；ａｃｉｄ  ｇｒｅｅｎ  １，３，５，９，１６，２５，２７，５０；ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ６，７，８，１０，１２，５０，５１，５２，５６，６３，７４，９５；ａｃｉｄ
ｒｅｄ  １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８３，１９８，２１１，２１５，２１６，２１７，２４９，２５２，２５７，２６０，２６６，２７４；ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ６Ｂ，７，９，１７，１９；ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，４２，５４，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１８４，２４３；Ｆｏｏｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３；及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００４８】
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  ４４、３８；Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ  ｏｒａｎｇｅ  ４５；Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  Ｂ、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ  １１０等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【００４９】
なかでも、染料としては、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系ピロメテン系から選ばれる着色剤であることが好ましい。
例えば特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許４８０８５０１号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、米国特許５０５９５０号明細書、米国特許５６６７９２０号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報等に開示されている色素も使用できる。
さらに、顔料と染料を組み合わせて使用してもよい。
【００５０】
本発明の組成物は、平均粒子径（ｒ）が、２０ｎｍ≦ｒ≦３００ｎｍ、好ましくは２５ｎｍ≦ｒ≦２５０ｎｍ、特に好ましくは３０ｎｍ≦ｒ≦２００ｎｍを満たす顔料を含有してもよい。ここでいう「平均粒子径」とは、顔料の一次粒子（単微結晶）が集合した二次粒子についての平均粒子径を意味する。平均一次粒子径は、ＳＥＭあるいはＴＥＭで観察し、粒子が凝集していない部分で粒子サイズを１００個計測し、平均値を算出することによって求めることができる。
また、本発明において使用しうる顔料の二次粒子の粒子径分布（以下、単に「粒子径分布」という。）は、（平均粒子径±１００）ｎｍに入る二次粒子が全体の７０質量％以上、好ましくは８０質量％以上であることが望ましい。なお、本発明においては、粒子径分布は、散乱強度分布を用いて測定した。
【００５１】
上記平均粒子径及び粒子径分布を有する顔料は、市販の顔料を、場合により使用される他の顔料（平均粒子径は通常、３００ｎｍを越える。）と共に、好ましくは分散剤及び溶媒と混合した顔料混合液として、例えばビーズミル、ロールミル等の粉砕機を用いて、粉砕しつつ混合・分散することにより調製することができる。このようにして得られる顔料は、通常、顔料分散液の形態をとる。
【００５２】
本発明においては、微細でかつ整粒化された有機顔料を用いてもよい。顔料の微細化は、顔料と水溶性有機溶剤と水溶性無機塩類と共に高粘度な液状組成物を調製し、湿式粉砕装置等を使用して、応力を付加して摩砕する工程を経ることで達成される。
【００５３】
顔料の微細化工程に使用される水溶性有機溶剤としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を挙げることができる。
また、少量用いることで顔料に吸着して、廃水中に流失しない限りにおいては、水溶性は低いか、或いは、水溶性を有しない他の溶剤、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、クロロベンゼン、ニトロベンゼン、アニリン、ピリジン、キノリン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ハロゲン化炭化水素、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン等を用いてもよい。
顔料の微細化工程に使用する溶剤は、１種のみでもよく、必要に応じて２種類以上を混合して使用してもよい。
【００５４】
本発明において顔料の微細化工程に使用される水溶性無機塩としては、塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩化カルシウム、塩化バリウム、硫酸ナトリウム等が挙げられる。
微細化工程における水溶性無機塩の使用量は顔料の１〜５０質量倍であり、多い方が摩砕効果はあるが、より好ましい量は生産性の点で１〜１０質量倍である。また、水分が１％以下の無機塩類を用いることが好ましい。
微細化工程における水溶性有機溶剤の使用量は、顔料１００質量部に対して５０質量部から３００質量部の範囲であり、好ましくは１００質量部から２００質量部の範囲である。
【００５５】
顔料の微細化工程における湿式粉砕装置の運転条件については特に制限はないが、粉砕メディアによる磨砕を効果的に進行させるため、装置がニーダーの場合の運転条件は、装置内のブレードの回転数は、１０〜２００ｒｐｍが好ましく、また２軸の回転比が相対的に大きいほうが摩砕効果が大きく好ましい。運転時間は乾式粉砕時間と併せて１時間〜８時間が好ましく、装置の内温は５０〜１５０℃が好ましい。また粉砕メディアである水溶性無機塩は粉砕粒度が５〜５０μｍで粒子径の分布がシャープで、且つ球形が好ましい。
【００５６】
本発明の組成物は、上述した一般式（Ｉ）で表される染料に加えて、他の着色剤をさらに含有する場合、黄色顔料としてのＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９と、青色顔料としてのＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６と、紫色顔料としてのＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３とを含有することが好ましい。
【００５７】
本発明の組成物に含有される顔料が、黄色顔料と、青色顔料と、紫色顔料とを組み合わせてなる場合、黄色顔料の全顔料に対する質量比が０．１〜０．２であり、青色顔料の全顔料に対する質量比が０．２５〜０．５５であり、紫色顔料の全顔料に対する質量比が０．０５〜０．１５であることが好ましい。
【００５８】
着色剤（上述した一般式（Ｉ）で表される染料および他の着色剤）の含有量は、組成物の全固形分に対して、２０〜７０質量％であることが好ましく、２５〜６５質量％であることがより好ましく、３０〜６０質量％であることが更に好ましい。
【００５９】
（顔料分散液の調製）
本発明の組成物が顔料を含有する場合、顔料を必要により、顔料分散剤、有機溶剤、顔料誘導体、および高分子化合物等のその他の成分等と共に分散して、顔料分散液を調製し、得られた顔料分散液を、上述した一般式（Ｉ）で表される染料、光重合開始剤、重合性化合物等の成分と混合して調製することが好ましい。
【００６０】
顔料分散液の調製方法は、特に制限されないが、分散の方法としては、例えば、顔料と顔料分散剤等を予め混合して、ホモジナイザー等で予め分散しておいたものを、ジルコニアビーズ等を用いたビーズ分散機（例えば、ＧＥＴＺＭＡＮＮ社製のディスパーマット）等を用いて微分散させることによって行なえる。
【００６１】
＜顔料分散剤＞
顔料分散液の調製に用いうる顔料分散剤としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等の界面活性剤、及び、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【００６２】
顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子としては、例えば、特開平３−１１２９９２号公報、特表２００３−５３３４５５号公報等に記載の末端にりん酸基を有する高分子、特開２００２−２７３１９１号公報等に記載の末端にスルホン酸基を有する高分子、特開平９−７７９９４号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有する高分子などが挙げられる。また、特開２００７−２７７５１４号公報に記載の高分子末端に２個以上の顔料表面へのアンカー部位（酸基、塩基性基、有機色素の部分骨格やヘテロ環等）を導入した高分子も分散安定性に優れ好ましい。
【００６３】
顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子としては、例えば、特開昭５４ー３７０８２号公報、特表平８−５０７９６０号公報、特開２００９−２５８６６８公報等に記載のポリ（低級アルキレンイミン）とポリエステルの反応生成物、特開平９−１６９８２１号公報等に記載のポリアリルアミンとポリエステルの反応生成物、特開平１０−３３９９４９号、特開２００４−３７９８６号公報等に記載のマクロモノマーと、窒素原子モノマーとの共重合体、特開２００３−２３８８３７号公報、特開２００８−９４２６号公報、特開２００８−８１７３２号公報等に記載の有機色素の部分骨格や複素環を有するグラフト型高分子、特開２０１０−１０６２６８号公報等に記載のマクロモノマーと酸基含有モノマーの共重合体等が挙げられる。特に、特開２００９−２０３４６２号公報に記載の塩基性基と酸性基を有する両性分散樹脂は、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び感光性樹脂組成物が示す現像性の観点から特に好ましい。
【００６４】
顔料表面へのアンカー部位を有するグラフト型高分子をラジカル重合で製造する際に用いるマクロモノマーとしては、公知のマクロモノマーを用いることができ、東亜合成（株）製のマクロモノマーＡＡ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリメタクリル酸メチル）、ＡＳ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリスチレン）、ＡＮ−６Ｓ（末端基がメタクリロイル基であるスチレンとアクリロニトリルの共重合体）、ＡＢ−６（末端基がメタクリロイル基であるポリアクリル酸ブチル）、ダイセル化学工業（株）製のプラクセルＦＭ５（メタクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン５モル当量付加品）、ＦＡ１０Ｌ（アクリル酸２−ヒドロキシエチルのε−カプロラクトン１０モル当量付加品）、及び特開平２−２７２００９号公報に記載のポリエステル系マクロモノマー等が挙げられる。これらの中でも、特に柔軟性且つ親溶剤性に優れるポリエステル系マクロモノマーが、顔料分散物の分散性、分散安定性、及び顔料分散物を用いた感光性樹脂組成物が示す現像性の観点から特に好ましく、更に、特開平２−２７２００９号公報に記載のポリエステル系マクロモノマーで表されるポリエステル系マクロモノマーが最も好ましい。
【００６５】
顔料表面へのアンカー部位を有するブロック型高分子としては、特開２００３−４９１１０号公報、特開２００９−５２０１０号公報等に記載のブロック型高分子が好ましい。
【００６６】
顔料分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５（高分子量不飽和ポリカルボン酸）、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０〜４０１０〜４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０〜４３４０（ブロック共重合体）、４４００〜４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２、ＰＢ８８０、ＰＢ８８１」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、日本ルーブリゾール（株）製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」、川研ファインケミカル（株）製  ヒノアクトＴ−８０００Ｅ等、信越化学工業（株）製、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１、裕商（株）製「Ｗ００１：カチオン系界面活性剤」、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤、「Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７」等のアニオン系界面活性剤、森下産業（株）製「ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０」、サンノプコ（株）製「ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００」等の高分子分散剤、（株）ＡＤＥＫＡ製「アデカプルロニックＬ３１、Ｆ３８���Ｌ４２、Ｌ４４、Ｌ６１、Ｌ６４、Ｆ６８、Ｌ７２、Ｐ９５、Ｆ７７、Ｐ８４、Ｆ８７、Ｐ９４、Ｌ１０１、Ｐ１０３、Ｆ１０８、Ｌ１２１、Ｐ−１２３」、及び三洋化成（株）製「イオネットＳ−２０」等が挙げられる。
【００６７】
これらの顔料分散剤は、単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。また、顔料分散剤は、前記顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子と共に、顔料分散剤として後述のアルカリ可溶性樹脂と併用して用いてもよい。なお、顔料分散剤として、後掲のアルカリ可溶性樹脂、一般式（ＥＤ）で表される化合物を使用してもよい。
【００６８】
顔料分散液における顔料分散剤の含有量としては、顔料１００質量部に対して、１〜８０質量部であることが好ましく、５〜７５質量部がより好ましく、１０〜７０質量部であることが更に好ましい。
【００６９】
＜顔料誘導体＞
顔料分散液は、更に、顔料誘導体を含有してもよい。
顔料誘導体とは、有機顔料の一部分を、酸性基、塩基性基又はフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物である。顔料誘導体としては、分散性及び分散安定性の観点から、酸性基又は塩基性基を有する顔料誘導体を含有することが好ましい。
【００７０】
顔料誘導体を構成するための有機顔料としては、ジケトピロロピロール系顔料、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔料、ペリノン系顔料、ペリレン系顔料、チオインジゴ系顔料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料、キノフタロン系顔料、スレン系顔料、金属錯体系顔料等が挙げられる。
また、顔料誘導体が有する酸性基としては、スルホン酸、カルボン酸及びその４級アンモニウム塩が好ましく、カルボン酸基及びスルホン酸基がさらに好ましく、スルホン酸基が特に好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、特に三級アミノ基が好ましい。
【００７１】
顔料誘導体としては、特に、キノリン系、ベンズイミダゾロン系及びイソインドリン系の顔料誘導体が好ましく、キノリン系及びベンズイミダゾロン系の顔料誘導体がさらに好ましい。
【００７２】
顔料分散液における顔料誘導体の含有量は、顔料の全質量に対し、１〜５０質量％が好ましく、３〜３０質量％がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７３】
＜有機溶剤＞
顔料分散液は有機溶剤を含有することが好ましい。
有機溶剤は、顔料分散液中に含まれる各成分の溶解性や、顔料分散液を感光性樹脂組成物に応用した場合の塗布性などにより選択される。有機溶剤としては、エステル類、エーテル類、ケトン類、芳香族炭化水素類が用いられる。中でも、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートが好ましく、後述する感光性樹脂組成物に含むことができる（Ｆ）有機溶剤を用いることも好ましい。
顔料分散液における有機溶剤の含有量としては、５０〜９５質量％が好ましく、７０〜９０質量％がより好ましい。
【００７４】
＜高分子化合物＞
顔料分散液には、上記各成分に加え、分散安定性の向上、顔料分散液を感光性樹脂組成物に応用した場合の現像性制御などの観点から、高分子化合物を更に含有してもよい。
【００７５】
高分子化合物としては、例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体（特に、カルボン酸基と側鎖に重合性基を含有する（メタ）アクリル酸系共重合体が好ましい。）、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物等が挙げられる。このような高分子材料は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用するため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましく、例えば、複素環を含有するモノマーとエチレン性不飽和結合を有する重合性オリゴマーを共重合体単位として含むグラフト共重合体が挙げられる。
他の高分子材料としては、更に、ポリアミドアミン燐酸塩、高分子量不飽和ポリカルボン酸、ポリエーテルエステル、芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエステルアミン、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレートポリオキシエチレンモノステアレート等が挙げられる。
【００７６】
これらの高分子材料は、単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせ用いてもよい。
顔料分散液における高分子材料の含有量としては、顔料に対して、２０〜８０質量％が好ましく、３０〜７０質量％がより好ましい。
【００７７】
＜光重合開始剤＞
本発明の組成物は、光重合開始剤をさらに含む。
本発明における光重合開始剤（以下、単に「重合開始剤」ということがある。）としては、以下に述べる光重合開始剤として知られているものを用いることができる。
【００７８】
光重合開始剤としては、前記重合性化合物の重合を開始する能力を有する限り、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものが好ましい。また、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、モノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であってもよい。
また、光重合開始剤は、約３００ｎｍ〜８００ｎｍ（３３０ｎｍ〜５００ｎｍがより好ましい。）の範囲内に少なくとも約５０の分子吸光係数を有する化合物を、少なくとも１種含有していることが好ましい。
【００７９】
光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有するもの、オキサジアゾール骨格を有するもの、など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル、アミノアセトフェノン化合物、ヒドロキシアセトフェノンなどが挙げられる。これらの中でも、オキシム化合物が好ましい。
【００８０】
前記トリアジン骨格を有するハロゲン化炭化水素化合物としては、例えば、若林ら著、Ｂｕｌｌ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．Ｊａｐａｎ，４２、２９２４（１９６９）記載の化合物、英国特許１３８８４９２号明細書記載の化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報記載の化合物、独国特許３３３７０２４号明細書記載の化合物、Ｆ．Ｃ．ＳｃｈａｅｆｅｒなどによるＪ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．；２９、１５２７（１９６４）記載の化合物、特開昭６２−５８２４１号公報記載の化合物、特開平５−２８１７２８号公報記載の化合物、特開平５−３４９２０号公報記載の化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載の化合物、などが挙げられる。
【００８１】
前記米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されている化合物としては、例えば、オキサジアゾール骨格を有する化合物（例えば、２−トリクロロメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロロフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−フェニル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリブロモメチル−５−（２−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール；２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−クロルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−ｎ−ブトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリプロモメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾールなど）などが挙げられる。
【００８２】
また、上記以外の重合開始剤として、アクリジン誘導体（例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタンなど）、Ｎ−フェニルグリシンなど、ポリハロゲン化合物（例えば、四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェニルトリクロロメチルケトンなど）、クマリン類（例えば、３−（２−ベンゾフラノイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（２−ベンゾフロイル）−７−（１−ピロリジニル）クマリン、３−ベンゾイル−７−ジエチルアミノクマリン、３−（２−メトキシベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（４−ジメチルアミノベンゾイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３，３’−カルボニルビス（５，７−ジ−ｎ−プロポキシクマリン）、３，３’−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、３−ベンゾイル−７−メトキシクマリン、３−（２−フロイル）−７−ジエチルアミノクマリン、３−（４−ジエチルアミノシンナモイル）−７−ジエチルアミノクマリン、７−メトキシ−３−（３−ピリジルカルボニル）クマリン、３−ベンゾイル−５，７−ジプロポキシクマリン、７−ベンゾトリアゾール−２−イルクマリン、また、特開平５−１９４７５号公報、特開平７−２７１０２８号公報、特開２００２−３６３２０６号公報、特開２００２−３６３２０７号公報、特開２００２−３６３２０８号公報、特開２００２−３６３２０９号公報などに記載のクマリン化合物など）、アシルホスフィンオキサイド類（例えば、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルフェニルホスフィンオキサイド、ＬｕｃｉｒｉｎＴＰＯなど）、メタロセン類（例えば、ビス（η５−２，４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２，６−ジフロロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム、η５−シクロペンタジエニル−η６−クメニル−アイアン（１＋）−ヘキサフロロホスフェート（１−）など）、特開昭５３−１３３４２８号公報、特公昭５７−１８１９号公報、同５７−６０９６号公報、及び米国特許第３６１５４５５号明細書に記載された化合物などが挙げられる。
【００８３】
前記ケトン化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、４−メトキシベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン、２−エトキシカルボニルベンゾフェノン、ベンゾフェノンテトラカルボン酸又はそのテトラメチルエステル、４，４’−ビス（ジアルキルアミノ）ベンゾフェノン類（例えば、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビスジシクロヘキシルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジヒドロキシエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、４−ジメチルアミノベンゾフェノン、４−ジメチルアミノアセトフェノン、ベンジル、アントラキノン、２−ｔ−ブチルアントラキノン、２−メチルアントラキノン、フェナントラキノン、キサントン、チオキサントン、２−クロル−チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、フルオレノン、２−ベンジル−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−１−ブタノン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルホリノ−１−プロパノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパノールオリゴマー、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類（例えば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、ベンジルジメチルケタール）、アクリドン、クロロアクリドン、Ｎ−メチルアクリドン、Ｎ−ブチルアクリドン、Ｎ−ブチル−クロロアクリドンなどが挙げられる。
【００８４】
重合開始剤としては、ヒドロキシアセトフェノン化合物、アミノアセトフェノン化合物、及び、アシルホスフィン化合物も好適に用いることができる。より具体的には、例えば、特開平１０−２９１９６９号公報に記載のアミノアセトフェノン系開始剤、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィンオキシド系開始剤も用いることができる。
ヒドロキシアセトフェノン系開始剤としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ−１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−２９５９，ＩＲＧＡＣＵＲＥ−１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤としては、市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３６９、及び、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−３７９（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。アミノアセトフェノン系開始剤として、３６５ｎｍまたは４０５ｎｍ等の長波光源に吸収波長がマッチングされた特開２００９−１９１１７９号公報に記載の化合物も用いることができる。また、アシルホスフィン系開始剤としては市販品であるＩＲＧＡＣＵＲＥ−８１９やＤＡＲＯＣＵＲ−ＴＰＯ（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることができる。
【００８５】
重合開始剤として、より好ましくはオキシム化合物が挙げられる。
組成物が、重合開始剤としてオキシム化合物を含有することにより、組成物の塗布から露光までの時間（ＰＣＤ：Ｐｏｓｔ  Ｃｏａｔｉｎｇ  Ｄｅｌａｙ）に対するパターンの特性依存性（以下、単に、「ＰＣＤ依存性」とも言う）が良好なものとなる。
オキシム化合物の具体例としては、特開２００１−２３３８４２号公報記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報記載の化合物、特開２００６−３４２１６６号公報記載の化合物を用いることができる。
【００８６】
本発明で重合開始剤として好適に用いられるオキシム誘導体等のオキシム化合物としては、例えば、３−ベンゾイロキシイミノブタン−２−オン、３−アセトキシイミノブタン−２−オン、３−プロピオニルオキシイミノブタン−２−オン、２−アセトキシイミノペンタン−３−オン、２−アセトキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、２−ベンゾイロキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オン、３−（４−トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン−２−オン、及び２−エトキシカルボニルオキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられる。
【００８７】
オキシム化合物としては、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ．１６５３−１６６０）、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ  ＩＩ（１９７９年）ｐｐ.１５６−１６２、Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ  Ｓｃｉｅｎｃｅ  ａｎｄ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年）ｐｐ．２０２−２３２、特開２０００−６６３８５号公報記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報、特開２００６−３４２１６６号公報の各公報に記載の化合物等が挙げられる。
市販品ではＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ社製）、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＯＸＥ−０２（ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ−ＰＢＧ−３０４（常州強力電子新材料有限公司社製）も好適に用いられる。また、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０４、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０９、ＴＲＯＮＬＹ  ＴＲ−ＰＢＧ−３０５（常州強力電子新材料有限公司社（ＣＨＡＮＧＺＨＯＵ  ＴＲＯＮＬＹ  ＮＥＷ  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣ  ＭＡＴＥＲＩＡＬＳ  ＣＯ．，ＬＴＤ）製）などの市販品も使用できる。
【００８８】
また、上記以外のオキシム化合物として、カルバゾールのＮ位にオキシムが連結した特表２００９−５１９９０４号公報に記載の化合物、ベンゾフェノン部位にヘテロ置換基が導入された米国特許７６２６９５７号公報に記載の化合物、色素部位にニトロ基が導入された特開２０１０−１５０２５号公報および米国特許公開２００９−２９２０３９号記載の化合物、国際公開特許２００９−１３１１８９号公報に記載のケトオキシム系化合物、トリアジン骨格とオキシム骨格を同一分子内に含有する米国特許７５５６９１０号公報に記載の化合物、４０５ｎｍに吸収極大を有しｇ線光源に対して良好な感度を有する特開２００９−２２１１１４号公報記載の化合物などを用いてもよい。
【００８９】
好ましくはさらに、特開２００７−２３１０００号公報、及び、特開２００７−３２２７４４号公報に記載される環状オキシム化合物に対しても好適に用いることができる。環状オキシム化合物の中でも、特に特開２０１０−３２９８５号公報、特開２０１０−１８５０７２号公報に記載されるカルバゾール色素に縮環した環状オキシム化合物は、高い光吸収性を有し高感度化の観点から好ましい。
また、オキシム化合物の特定部位に不飽和結合を有する特開２００９−２４２４６９号公報に記載の化合物も、重合不活性ラジカルから活性ラジカルを再生することで高感度化を達成でき好適に使用することができる。
【００９０】
最も好ましくは、特開２００７−２６９７７９号公報に示される特定置換基を有するオキシム化合物や、特開２００９−１９１０６１号公報に示されるチオアリール基を有するオキシム化合物が挙げられる。
具体的には、オキシム化合物としては、下記一般式（ＯＸ−１）で表される化合物が好ましい。なお、オキシムのＮ−Ｏ結合が（Ｅ）体のオキシム化合物であっても、（Ｚ）体のオキシム化合物であっても、（Ｅ）体と（Ｚ）体との混合物であってもよい。
【００９１】
【化１７】
2015068945.tif 000022
【００９２】
一般式（ＯＸ−１）中、Ｒ及びＢは各々独立に一価の置換基を表し、Ａは二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表す。
一般式（ＯＸ−１）中、Ｒで表される一価の置換基としては、一価の非金属原子団であることが好ましい。
前記一価の非金属原子団としては、アルキル基、アリール基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、複素環基、アルキルチオカルボニル基、アリールチオカルボニル基等が挙げられる。また、これらの基は、１以上の置換基を有していてもよい。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
置換基としてはハロゲン原子、アリールオキシ基、アルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基、アシルオキシ基、アシル基、アルキル基、アリール基等が挙げられる。
【００９３】
置換基を有していてもよいアルキル基としては、炭素数１〜３０のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基、オクタデシル基、イソプロピル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、１−エチルペンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、２−エチルヘキシル基、フェナシル基、１−ナフトイルメチル基、２−ナフトイルメチル基、４−メチルスルファニルフェナシル基、４−フェニルスルファニルフェナシル基、４−ジメチルアミノフェナシル基、４−シアノフェナシル基、４−メチルフェナシル基、２−メチルフェナシル基、３−フルオロフェナシル基、３−トリフルオロメチルフェナシル基、及び、３−ニトロフェナシル基が例示できる。
【００９４】
置換基を有していてもよいアリール基としては、炭素数６〜３０のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、ビフェニル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基、９−アンスリル基、９−フェナントリル基、１−ピレニル基、５−ナフタセニル基、１−インデニル基、２−アズレニル基、９−フルオレニル基、ターフェニル基、クオーターフェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基、キシリル基、ｏ−クメニル基、ｍ−クメニル基及びｐ−クメニル基、メシチル基、ペンタレニル基、ビナフタレニル基、ターナフタレニル基、クオーターナフタレニル基、ヘプタレニル基、ビフェニレニル基、インダセニル基、フルオランテニル基、アセナフチレニル基、アセアントリレニル基、フェナレニル基、フルオレニル基、アントリル基、ビアントラセニル基、ターアントラセニル基、クオーターアントラセニル基、アントラキノリル基、フェナントリル基、トリフェニレニル基、ピレニル基、クリセニル基、ナフタセニル基、プレイアデニル基、ピセニル基、ペリレニル基、ペンタフェニル基、ペンタセニル基、テトラフェニレニル基、ヘキサフェニル基、ヘキサセニル基、ルビセニル基、コロネニル基、トリナフチレニル基、ヘプタフェニル基、ヘプタセニル基、ピラントレニル基、並びに、オバレニル基が例示できる。
【００９５】
置換基を有していてもよいアシル基としては、炭素数２〜２０のアシル基が好ましく、具体的には、アセチル基、プロパノイル基、ブタノイル基、トリフルオロアセチル基、ペンタノイル基、ベンゾイル基、１−ナフトイル基、２−ナフトイル基、４−メチルスルファニルベンゾイル基、４−フェニルスルファニルベンゾイル基、４−ジメチルアミノベンゾイル基、４−ジエチルアミノベンゾイル基、２−クロロベンゾイル基、２−メチルベンゾイル基、２−メトキシベンゾイル基、２−ブトキシベンゾイル基、３−クロロベンゾイル基、３−トリフルオロメチルベンゾイル基、３−シアノベンゾイル基、３−ニトロベンゾイル基、４−フルオロベンゾイル基、４−シアノベンゾイル基、及び、４−メトキシベンゾイル基が例示できる。
【００９６】
置換基を有していてもよいアルコキシカルボニル基としては、炭素数２〜２０のアルコキシカルボニル基が好ましく、具体的には、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、デシルオキシカルボニル基、オクタデシルオキシカルボニル基、及び、トリフルオロメチルオキシカルボニル基が例示できる。
【００９７】
置換基を有していてもよいアリールオキシカルボニル基として具体的には、フェノキシカルボニル基、１−ナフチルオキシカルボニル基、２−ナフチルオキシカルボニル基、４−メチルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、４−フェニルスルファニルフェニルオキシカルボニル基、４−ジメチルアミノフェニルオキシカルボニル基、４−ジエチルアミノフェニルオキシカルボニル基、２−クロロフェニルオキシカルボニル基、２−メチルフェニルオキシカルボニル基、２−メトキシフェニルオキシカルボニル基、２−ブトキシフェニルオキシカルボニル基、３−クロロフェニルオキシカルボニル基、３−トリフルオロメチルフェニルオキシカルボニル基、３−シアノフェニルオキシカルボニル基、３−ニトロフェニルオキシカルボニル基、４−フルオロフェニルオキシカルボニル基、４−シアノフェニルオキシカルボニル基、及び、４−メトキシフェニルオキシカルボニル基が例示できる。
【００９８】
置換基を有していてもよい複素環基としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子若しくはリン原子を含む、芳香族又は脂肪族の複素環が好ましい。
具体的には、チエニル基、ベンゾ［ｂ］チエニル基、ナフト［２，３−ｂ］チエニル基、チアントレニル基、フリル基、ピラニル基、イソベンゾフラニル基、クロメニル基、キサンテニル基、フェノキサチイニル基、２Ｈ−ピロリル基、ピロリル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、インドリジニル基、イソインドリル基、３Ｈ−インドリル基、インドリル基、１Ｈ−インダゾリル基、プリニル基、４Ｈ−キノリジニル基、イソキノリル基、キノリル基、フタラジニル基、ナフチリジニル基、キノキサリニル基、キナゾリニル基、シンノリニル基、プテリジニル基、４ａＨ−カルバゾリル基、カルバゾリル基、β−カルボリニル基、フェナントリジニル基、アクリジニル基、ペリミジニル基、フェナントロリニル基、フェナジニル基、フェナルサジニル基、イソチアゾリル基、フェノチアジニル基、イソキサゾリル基、フラザニル基、フェノキサジニル基、イソクロマニル基、クロマニル基、ピロリジニル基、ピロリニル基、イミダゾリジニル基、イミダゾリニル基、ピラゾリジニル基、ピラゾリニル基、ピペリジル基、ピペラジニル基、インドリニル基、イソインドリニル基、キヌクリジニル基、モルホリニル基、及び、チオキサントリル基が例示できる。
【００９９】
置換基を有していてもよいアルキルチオカルボニル基として具体的には、メチルチオカルボニル基、プロピルチオカルボニル基、ブチルチオカルボニル基、ヘキシルチオカルボニル基、オクチルチオカルボニル基、デシルチオカルボニル基、オクタデシルチオカルボニル基、及び、トリフルオロメチルチオカルボニル基が例示できる。
【０１００】
置換基を有していてもよいアリールチオカルボニル基として具体的には、１−ナフチルチオカルボニル基、２−ナフチルチオカルボニル基、４−メチルスルファニルフェニルチオカルボニル基、４−フェニルスルファニルフェニルチオカルボニル基、４−ジメチルアミノフェニルチオカルボニル基、４−ジエチルアミノフェニルチオカルボニル基、２−クロロフェニルチオカルボニル基、２−メチルフェニルチオカルボニル基、２−メトキシフェニルチオカルボニル基、２−ブトキシフェニルチオカルボニル基、３−クロロフェニルチオカルボニル基、３−トリフルオロメチルフェニルチオカルボニル基、３−シアノフェニルチオカルボニル基、３−ニトロフェニルチオカルボニル基、４−フルオロフェニルチオカルボニル基、４−シアノフェニルチオカルボニル基、及び、４−メトキシフェニルチオカルボニル基が挙げられる。
【０１０１】
前記一般式（ＯＸ−１）中、Ｂで表される一価の置換基としては、アリール基、複素環基、アリールカルボニル基、又は、複素環カルボニル基を表す。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
【０１０２】
なかでも、特に好ましくは以下に示す構造である。
下記の構造中、Ｙ、Ｘ、及びｎは、後述する一般式（ＯＸ−２）におけるＹ、Ｘ、及びｎとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
【０１０３】
【化１８】
2015068945.tif 000023
【０１０４】
一般式（ＯＸ−１）中、Ａで表される二価の有機基としては、炭素数１〜１２のアルキレン基、シクロアルキレン基、アルキニレン基が挙げられる。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
中でも、式（ＯＸ−１）におけるＡとしては、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、無置換のアルキレン基、アルキル基（例えば、メチル基、エチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ドデシル基）で置換されたアルキレン基、アルケニル基（例えば、ビニル基、アリル基）で置換されたアルキレン基、アリール基（例えば、フェニル基、ｐ−トリル基、キシリル基、クメニル基、ナフチル基、アンスリル基、フェナントリル基、スチリル基）で置換されたアルキレン基が好ましい。
【０１０５】
一般式（ＯＸ−１）中、Ａｒで表されるアリール基としては、炭素数６〜３０のアリール基が好ましく、また、置換基を有していてもよい。置換基としては、先に置換基を有していてもよいアリール基の具体例として挙げた置換アリール基に導入された置換基と同様のものが例示できる。
なかでも、感度を高め、加熱経時による着色を抑制する点から、置換又は無置換のフェニル基が好ましい。
【０１０６】
一般式（ＯＸ−１）においては、一般式（ＯＸ−１）中のＡｒとそれに隣接するＳとで形成される「ＳＡｒ」の構造が、以下に示す構造であることが感度の点で好ましい。なお、Ｍｅはメチル基を表し、Ｅｔはエチル基を表す。
【０１０７】
【化１９】
2015068945.tif 000024
【０１０８】
オキシム化合物は、下記一般式（ＯＸ−２）で表される化合物であることが好ましい。
【０１０９】
【化２０】
2015068945.tif 000025
【０１１０】
（一般式（ＯＸ−２）中、Ｒ及びＸは各々独立に一価の置換基を表し、Ａ及びＹは各々独立に二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表し、ｎは０〜５の整数である。）
一般式（ＯＸ−２）におけるＲ、Ａ、及びＡｒは、前記一般式（ＯＸ−１）におけるＲ、Ａ、及びＡｒと同義であり、好ましい例も同様である。
【０１１１】
一般式（ＯＸ−２）中、Ｘで表される一価の置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、アシル基、アルコキシカルボニル基、アミノ基、複素環基、ハロゲン原子が挙げられる。また、これらの基は１以上の置換基を有していてもよい。置換基としては、前述した置換基が例示できる。また、前述した置換基は、さらに他の置換基で置換されていてもよい。
【０１１２】
これらの中でも、一般式（ＯＸ−２）におけるＸとしては、溶剤溶解性と長波長領域の吸収効率向上の点から、アルキル基が好ましい。
また、一般式（ＯＸ−２）におけるｎは、０〜５の整数を表し、０〜２の整数が好ましい。
【０１１３】
一般式（ＯＸ−２）中、Ｙで表される二価の有機基としては、以下に示す構造が挙げられる。なお、以下に示される基において、「＊」は、一般式（ＯＸ−２）において、Ｙと隣接する炭素原子との結合位置を示す。
【０１１４】
【化２１】
2015068945.tif 000026
【０１１５】
光重合開始剤としては、中でも、高感度化の観点から、下記に示す構造を有するものが好ましい。
【０１１６】
【化２２】
2015068945.tif 000027
【０１１７】
さらに、オキシム化合物は、下記一般式（ＯＸ−３）で表される化合物であることが好ましい。
【０１１８】
【化２３】
2015068945.tif 000028
【０１１９】
一般式（ＯＸ−３）中、Ｒ及びＸは各々独立に一価の置換基を表し、Ａは二価の有機基を表し、Ａｒはアリール基を表し、ｎは０〜５の整数である。
一般式（ＯＸ−３）におけるＲ、Ｘ、Ａ、Ａｒ、及び、ｎは、一般式（ＯＸ−２）におけるＲ、Ｘ、Ａ、Ａｒ、及び、ｎとそれぞれ同義であり、好ましい例も同様である。
【０１２０】
以下、好適に用いられるオキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１２１】
【化２４】
2015068945.tif 000029
【０１２２】
【化２５】
2015068945.tif 000030
【０１２３】
オキシム化合物は、３５０ｎｍ〜５００ｎｍの波長領域に極大吸収波長を有するものであり、３６０ｎｍ〜４８０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものであることが好ましく、３６５ｎｍ及び４５５ｎｍの吸光度が高いものが特に好ましい。
【０１２４】
オキシム化合物は、３６５ｎｍ又は４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、１,０００〜３００，０００であることが好ましく、２,０００〜３００，０００であることがより好ましく、５,０００〜２００，０００であることが特に好ましい。
化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いることができるが、具体的には、例えば、紫外可視分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｒｙ−５  ｓｐｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチル溶媒を用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。
【０１２５】
本発明に用いられる光重合開始剤は、必要に応じて２種以上を組み合わせて使用してもよい。
光重合開始剤の組成物中における含有量（２種以上の場合は総含有量）としては、組成物の全固形分に対して、０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、より好ましくは０．５〜１０質量％の範囲、特に好ましくは１〜８質量％の範囲である。
【０１２６】
組成物は、光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
組成物に用いられる増感剤としては、例えば、特開２００８−３２８０３号公報の段落０１０１〜０１５４に記載される化合物が挙げられる。
組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で、０．１質量％〜２０質量％であることが好ましく、０．５質量％〜１５質量％がより好ましい。増感剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１２７】
＜重合性化合物＞
本発明の組成物は、重合性化合物をさらに含む。
重合性化合物としては、具体的には、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも１個、好ましくは２個以上有する化合物から選ばれる。中でも、４官能以上の多官能重合性化合物が好ましく、５官能以上がさらに好ましい。
このような化合物群は当該産業分野において広く知られているものであり、本発明においてはこれらを特に限定なく用いることができる。これらは、例えば、モノマー、プレポリマー、すなわち２量体、３量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物並びにそれらの多量体などの化学的形態のいずれであってもよい。本発明における重合性化合物は一種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１２８】
より具体的には、モノマー及びそのプレポリマーの例としては、不飽和カルボン酸（例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など）やそのエステル類、アミド類、並びにこれらの多量体が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、及び不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類、並びにこれらの多量体である。また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物や、単官能若しくは多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基やエポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更に、ハロゲン基やトシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と、単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン等のビニルベンゼン誘導体、ビニルエーテル、アリルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。
これらの具体的な化合物としては、特開２００９−２８８７０５号公報の段落番号〔００９５〕〜〔０１０８〕に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
【０１２９】
また、前記重合性化合物としては、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン基を有する、常圧下で１００℃以上の沸点を持つエチレン性不飽和基を持つ化合物も好ましい。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号各公報に記載されているようなウレタン（メタ）アクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。
多官能カルボン酸にグリシジル（メタ）アクリレート等の環状エーテル基とエチレン性不飽和基を有する化合物を反応させ得られる多官能（メタ）アクリレートなども挙げることができる。
また、好ましい重合性化合物として、特開２０１０−１６０４１８号、特開２０１０−１２９８２５号各公報、特許４３６４２１６号明細書等に記載される、フルオレン環を有し、エチレン性不飽和基を２官能以上有する化合物、カルド樹脂も使用することが可能である。
【０１３０】
また、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物としては、特開２００８−２９２９７０号公報の段落番号［０２５４］〜［０２５７］に記載の化合物も好適である。
【０１３１】
上記の他に、下記一般式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−５）で表される、ラジカル重合性モノマーも好適に用いることができる。なお、式中、Ｔがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲに結合する。
【０１３２】
【化２６】
2015068945.tif 000031
【０１３３】
【化２７】
2015068945.tif 000032
【０１３４】
前記一般式において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｔ、は、各々同一であっても、異なっていてもよい。
前記一般式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−５）で表される重合性化合物の各々において、複数存在するＲの少なくとも１つは、−ＯＣ（＝Ｏ）ＣＨ＝ＣＨ2、又は、−ＯＣ（＝Ｏ）Ｃ（ＣＨ3）＝ＣＨ2で表される基を表す。
前記一般式（ＭＯ−１）〜（ＭＯ−５）で表される重合性化合物の具体例としては、特開２００７−２６９７７９号公報の段落番号０２４８〜段落番号０２５１に記載されている化合物を本発明においても好適に用いることができる。
【０１３５】
また、特開平１０−６２９８６号公報において一般式（１）及び（２）としてその具体例と共に記載の前記多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後に（メタ）アクリレート化した化合物も、重合性化合物として用いることができる。
【０１３６】
中でも、重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３３０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３２０；日本化薬株式会社製）ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  Ｄ−３１０；日本化薬株式会社製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬株式会社製）、及びこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコール、プロピレングリコール残基を介している構造が好ましい。
また、重合性化合物としては、２−（メタ）アクリロイロキシエチルカプロエートアシッドホスフェート（市販品としては日本化薬株式会社製のＰＭ−２０）、ウレタンアクリレート（市販品としては新中村化学社製のＵ−６ＬＰＡ）なども好適に挙げられる。
これらのオリゴマータイプも使用できる。以下に好ましい重合性化合物の態様を示す。
【０１３７】
重合性化合物としては、多官能モノマーであって、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等の酸基を有していてもよい。エチレン性化合物が、上記のように混合物である場合のように未反応のカルボキシル基を有するものであれば、これをそのまま利用することができるが、必要において、上述のエチレン性化合物のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を導入してもよい。この場合、使用される非芳香族カルボン酸無水物の具体例としては、無水テトラヒドロフタル酸、アルキル化無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、アルキル化無水ヘキサヒドロフタル酸、無水コハク酸、無水マレイン酸が挙げられる。
【０１３８】
本発明において、酸基を有するモノマーとしては、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルであり、脂肪族ポリヒドロキシ化合物の未反応のヒドロキシル基に非芳香族カルボン酸無水物を反応させて酸基を持たせた多官能モノマーが好ましく、
特に好ましくは、このエステルにおいて、脂肪族ポリヒドロキシ化合物がペンタエリスリトール及び／又はジペンタエリスリトールであるものである。市販品としては、例えば、東亞合成株式会社製の多塩基酸変性アクリルオリゴマーとして、Ｍ−５１０、Ｍ−５２０などが挙げられる。
【０１３９】
本発明における組成物には、これらの重合性化合物は１種を単独で用いてもよいが、重合性化合物の製造上、単一の化合物を得ることは難しいことから、２種以上を混合して用いてもよい。
また、必要に応じて重合性化合物として酸基を有しない多官能モノマーと酸基を有する多官能モノマーを併用してもよい。
酸基を有する多官能モノマーの好ましい酸価としては、０．１〜４０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇであり、特に好ましくは５〜３０ｍｇ−ＫＯＨ／ｇである。多官能モノマーの酸価が低すぎると現像溶解特性が落ち、高すぎると製造や取扱いが困難になり光重合性能が落ち、画素の表面平滑性等の硬化性が劣るものとなる。従って、異なる酸基の多官能モノマーを２種以上併用する場合、或いは酸基を有しない多官能モノマーを併用する場合、全体の多官能モノマーとしての酸基が上記範囲に入るように調整することが好ましい。
【０１４０】
また、重合性化合物として、カプロラクトン構造を有する多官能性単量体を含有することも好ましい態様である。
カプロラクトン構造を有する重合性化合物としては、その分子内にカプロラクトン構造を有する限り特に限定されるものではないが、例えば、トリメチロールエタン、ジトリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリペンタエリスリトール、グリセリン、ジグリセロール、トリメチロールメラミン等の多価アルコールと、（メタ）アクリル酸およびε−カプロラクトンをエステル化することにより得られる、ε−カプロラクトン変性多官能（メタ）アクリレートを挙げることができる。なかでも下記一般式（Ｚ−１）で表されるカプロラクトン構造を有する多官能性単量体が好ましい。
【０１４１】
【化２８】
2015068945.tif 000033
【０１４２】
一般式（Ｚ−１）中、６個のＲは全てが下記一般式（Ｚ−２）で表される基であるか、または６個のＲのうち１〜５個が下記一般式（Ｚ−２）で表される基であり、残余が下記一般式（Ｚ−３）で表される基である。
【０１４３】
【化２９】
2015068945.tif 000034
【０１４４】
一般式（Ｚ−２）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を示し、ｍは１または２を示し、「＊」は結合手であることを示す。
【０１４５】
【化３０】
2015068945.tif 000035
【０１４６】
一般式（Ｚ−３）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を示し、「＊」は結合手であることを示す。）
【０１４７】
このようなカプロラクトン構造を有する多官能性単量体は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ−２０（上記式（１）〜（３）においてｍ＝１、式（２）で表される基の数＝２、Ｒ1が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ−３０（同式、ｍ＝１、式（２）で表される基の数＝３、Ｒ1が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ−６０（同式、ｍ＝１、式（２）で表される基の数＝６、Ｒ1が全て水素原子である化合物）、ＤＰＣＡ−１２０（同式においてｍ＝２、式（２）で表される基の数＝６、Ｒ1が全て水素原子である化合物）等を挙げることができる。
本発明において、カプロラクトン構造を有する多官能性単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【０１４８】
本発明における重合性化合物としては、炭素数が２以上のアルキレンオキシ基（エチレンオキシ基、プロピレンオキシ基、ブチレンオキシ基等）を含有する重合性化合物が好ましい。
炭素数が２以上のアルキレンオキシ基を含有する重合性化合物の中でも、下記一般式（ｉ）又は（ｉｉ）で表される化合物の群から選択される少なくとも１種であることが特に好ましい。
【０１４９】
【化３１】
2015068945.tif 000036
【０１５０】
一般式（ｉ）及び（ｉｉ）中、Ｅは、各々独立に、−（（ＣＨ2）yＣＨ2Ｏ）−、又は−（（ＣＨ2）yＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）−を表し、ｙは、各々独立に０〜１０の整数を表し、Ｘは、各々独立に、アクリロイル基、メタクリロイル基、水素原子、又はカルボキシル基を表す。
一般式（ｉ）中、Ｘで表されるアクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は３個又は４個であり、ｍは各々独立に０〜１０の整数を表し、各ｍの合計は０〜４０の整数である。但し、各ｍの合計が０の場合、Ｘのうちいずれか１つはカルボキシル基である。
一般式（ｉｉ）中、Ｘで表されるアクリロイル基及びメタクリロイル基の合計は５個又は６個であり、ｎは各々独立に０〜１０の整数を表し、各ｎの合計は０〜６０の整数である。但し、各ｎの合計が０の場合、Ｘのうちいずれか１つはカルボキシル基である。
【０１５１】
一般式（ｉ）中、ｍは、０〜６の整数が好ましく、０〜４の整数がより好ましい。また、各ｍの合計は、２〜４０の整数が好ましく、２〜１６の整数がより好ましく、４〜８の整数が特に好ましい。
一般式（ｉｉ）中、ｎは、０〜６の整数が好ましく、０〜４の整数がより好ましい。また、各ｎの合計は、３〜６０の整数が好ましく、３〜２４の整数がより好ましく、６〜１２の整数が特に好ましい。
また、一般式（ｉ）又は一般式（ｉｉ）中の−（（ＣＨ2）yＣＨ2Ｏ）−又は−（（ＣＨ2）yＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）−は、酸素原子側の末端がＸに結合する形態が好ましい。
【０１５２】
一般式（ｉ）又は（ｉｉ）で表される化合物は１種単独で用いてもよいし、２種以上併用してもよい。特に、一般式（ｉｉ）において、６個のＸ全てがアクリロイル基である形態が好ましい。
【０１５３】
一般式（ｉ）又は（ｉｉ）で表される化合物は、従来公知の工程である、ペンタエリスリト−ル又はジペンタエリスリト−ルにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを開環付加反応により開環骨格を結合する工程と、開環骨格の末端水酸基に、例えば（メタ）アクリロイルクロライドを反応させて（メタ）アクリロイル基を導入する工程と、から合成することができる。各工程はよく知られた工程であり、当業者は容易に一般式（ｉ）又は（ｉｉ）で表される化合物を合成することができる。
【０１５４】
一般式（ｉ）、（ｉｉ）で表される化合物の中でも、ペンタエリスリトール誘導体及び／又はジペンタエリスリトール誘導体がより好ましい。
具体的には、下記式（ａ）〜（ｆ）で表される化合物（以下、「例示化合物（ａ）〜（ｆ）」ともいう。）が挙げられ、中でも、例示化合物（ａ）、（ｂ）、（ｅ）、（ｆ）が好ましい。
【０１５５】
特に、重合性化合物としては、例示化合物（ｂ）が効果的であり、本発明の効果を格段に向上させることができる。
【０１５６】
【化３２】
2015068945.tif 000037
【０１５７】
【化３３】
2015068945.tif 000038
【０１５８】
一般式（ｉ）、（ｉｉ）で表される重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ鎖を４個有する４官能アクリレートであるＳＲ−４９４、日本化薬株式会社製のペンチレンオキシ鎖を６個有する６官能アクリレートであるＤＰＣＡ−６０、イソブチレンオキシ鎖を３個有する３官能アクリレートであるＴＰＡ−３３０などが挙げられる。
【０１５９】
更に、重合性化合物としては、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７（３００〜３０８頁）に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用できる。
【０１６０】
組成物中における重合性化合物の含有量としては、組成物の全固形分に対して、２〜５０質量％が好ましく、２〜３０質量％がより好ましく、２〜２５質量％がさらに好ましい。
【０１６１】
＜アルカリ可溶性樹脂＞
本発明の組成物は、さらにアルカリ可溶性樹脂を含有してもよい。
アルカリ可溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体であってもよく、分子（好ましくは、アクリル系共重合体、スチレン系共重合体を主鎖とする分子）中に少なくとも１つのアルカリ可溶性を促進する基を有するアルカリ可溶性樹脂の中から適宜選択することができる。
【０１６２】
アルカリ可溶性樹脂としては、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホン酸基、フェノール性水酸基などが挙げられるが、有機溶剤に可溶で弱アルカリ水溶液により現像可能なものが好ましく、（メタ）アクリル酸が特に好ましいものとして挙げられる。これら酸基は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
前記重合後に酸基を付与しうるモノマーとしては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有するモノマー、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有するモノマー、２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有するモノマー等が挙げられる。これら酸基を導入するための単量体は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。アルカリ可溶性バインダーに酸基を導入するには、例えば、酸基を有するモノマーおよび／または重合後に酸基を付与しうるモノマー（以下「酸基を導入するための単量体」と称することもある。）を、単量体成分として重合するようにすればよい。なお、重合後に酸基を付与しうるモノマーを単量体成分として酸基を導入する場合には、重合後に例えば後述するような酸基を付与するための処理が必要となる。
【０１６３】
アルカリ可溶性樹脂の製造には、例えば、公知のラジカル重合法による方法を適用することができる。ラジカル重合法でアルカリ可溶性樹脂を製造する際の温度、圧力、ラジカル開始剤の種類及びその量、溶媒の種類等々の重合条件は、当業者において容易に設定可能であり、実験的に条件を定めるようにすることもできる。
【０１６４】
アルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマーが好ましく、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂等、並びに側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他の単量体との共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体としては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレート及びアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート等、ビニル化合物としては、スチレン、α-メチルスチレン、ビニルトルエン、グリシジルメタクリレート、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ-ビニルピロリドン、テトラヒドロフルフリルメタクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等、特開平１０−３００９２２号公報に記載のＮ位置換マレイミドモノマーとして、Ｎ―フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等を挙げることができる。なお、これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他の単量体は１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。
【０１６５】
アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、本発明の着色感光性組成物をポジ型の組成物とする場合に好適に用いることができる。アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えば、ノボラック樹脂、又はビニル重合体等が挙げられる。
上記ノボラック樹脂としては、例えば、フェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えば、フェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトール、又はビスフェノールＡ等が挙げられる。
上記アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、又はベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記フェノール類及びアルデヒド類は、単独若しくは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【０１６６】
上記ノボラック樹脂の具体例としては、例えば、メタクレゾール、パラクレゾール又はこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。
【０１６７】
上記ノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールＣやビスフェノールＡ等のフェノール系水酸基を有する低分子量成分を上記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【０１６８】
また、本発明における組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂としては、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。上述の重合性基を含有するポリマーの例としては、ダイヤナ−ルＮＲシリーズ（三菱レイヨン株式会社製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（ＣＯＯＨ含有  ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ．Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．Ｌｔｄ．，製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれもダイセル化学工業株式会社製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）などが挙げられる。
これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とＯＨ基を反応させ、未反応のイソシアネート基を１つ残し、かつ（メタ）アクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、ＯＨ基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する２塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、ＯＨ基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開２００２-２２９２０７号公報及び特開２００３-３３５８１４号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。
【０１６９】
アルカリ可溶性樹脂としては、特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体が好適である。この他、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【０１７０】
アルカリ可溶性樹脂としては、下記一般式（ＥＤ）で示される化合物（以下「エーテルダイマー」と称することもある。）を必須とする単量体成分を重合してなるポリマー（ａ）を含むことも好ましい。
【０１７１】
【化３４】
2015068945.tif 000039
【０１７２】
一般式（ＥＤ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立して、水素原子または炭素数１〜２５の炭化水素基を表す。
【０１７３】
エーテルダイマーを示す一般式（ＥＤ）中、Ｒ1およびＲ2で表される炭素数１〜２５の炭化水素基としては、特に制限はないが、例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、イソブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｔｅｒｔ−アミル、ステアリル、ラウリル、２−エチルヘキシル等の直鎖状または分岐状のアルキル基；フェニル等のアリール基；シクロヘキシル、ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル、ジシクロペンタジエニル、トリシクロデカニル、イソボルニル、アダマンチル、２−メチル−２−アダマンチル等の脂環式基；１−メトキシエチル、１−エトキシエチル等のアルコキシで置換されたアルキル基；ベンジル等のアリール基で置換されたアルキル基；等が挙げられる。これらの中でも特に、メチル、エチル、シクロヘキシル、ベンジル等のような酸や熱で脱離しにくい１級または２級炭素の置換基が耐熱性の点で好ましい。
【０１７４】
エーテルダイマーの具体例としては、例えば、ジメチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｎ−プロピル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソプロピル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｎ−ブチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソブチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔｅｒｔ−ブチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔｅｒｔ−アミル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ステアリル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ラウリル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（２−エチルヘキシル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（１−メトキシエチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（１−エトキシエチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジフェニル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（ジシクロペンタジエニル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（トリシクロデカニル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（イソボルニル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジアダマンチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジ（２−メチル−２−アダマンチル）−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート等が挙げられる。これらの中でも特に、ジメチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジエチル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジシクロヘキシル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエート、ジベンジル−２，２'−［オキシビス（メチレン）］ビス−２−プロペノエートが好ましい。これらエーテルダイマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。一般式（ＥＤ）で示される化合物由来の構造体は、その他の単量体を共重合させてもよい。
【０１７５】
上記の他、アルカリ可溶性樹脂に共重合させる単量体として下記式（Ｘ）で示されるエチレン性不飽和単量体（ａ）を含むことが好ましい。
式（Ｘ）
【化３５】
2015068945.tif 000040
（式（Ｘ）において、Ｒ1は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ2は炭素数２〜１０のアルキレン基を表し、Ｒ3は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１〜２０のアルキル基を表す。ｎは１〜１５の整数を表す。）
【０１７６】
上記式（Ｘ）において、Ｒ2のアルキレン基の炭素数は、２〜３であることが好ましい。また、Ｒ3のアルキル基の炭素数は１〜２０であるが、より好ましくは１〜１０であり、Ｒ3のアルキル基はベンゼン環を含んでもよい。Ｒ3で表されるベンゼン環を含むアルキル基としては、ベンジル基、２−フェニル（イソ）プロピル基等を挙げることができる。
【０１７７】
エチレン性不飽和単量体（ａ）としては、フェノールのエチレンオキサイド（ＥＯ）変性（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのＥＯまたはプロピレンオキサイド（ＰＯ）変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＥＯ変性（メタ）アクリレート、ノニルフェノールのＰＯ変性（メタ）アクリレート等が挙げられる。これら化合物のうち、パラクミルフェノールのＥＯまたはＰＯ変性（メタ）アクリレートは、より分散効果が高い。
【０１７８】
ポリマー（ａ）は、エーテルダイマーと共に、その他の単量体を共重合させた共重合体であってもよい。
エーテルダイマーと共に共重合しうるその他の単量体としては、例えば、酸基を導入するための単量体、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体、エポキシ基を導入するための単量体、及び、これら以外の他の共重合可能な単量体が挙げられる。このような単量体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を用いてもよい。
【０１７９】
酸基を導入するための単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー、Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミド等のフェノール性水酸基を有するモノマー、無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー等が挙げられる。これらの中でも特に、（メタ）アクリル酸が好ましい。
また、酸基を導入するための単量体は、重合後に酸基を付与しうる単量体であってもよく、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する単量体、グリシジル（メタ）アクリレート等のエポキシ基を有する単量体、２−イソシアナートエチル（メタ）アクリレート等のイソシアネート基を有する単量体等が挙げられる。ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を用いる場合、重合後に酸基を付与しうる単量体を用いる場合、重合後に酸基を付与する処理を行う必要がある。重合後に酸基を付与する処理は、単量体の種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。水酸基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。エポキシ基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、Ｎ−メチルアミノ安息香酸、Ｎ−メチルアミノフェノール等のアミノ基と酸基を有する化合物を付加させか、又は、例えば（メタ）アクリル酸のような酸を付加させた後に生じた水酸基に、例えば、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、マレイン酸無水物等の酸無水物を付加させる処理が挙げられる。イソシアネート基を有する単量体を用いる場合であれば、例えば、２−ヒドロキシ酪酸等の水酸基と酸基を有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
【０１８０】
ポリマー（ａ）を得るための単量体が、酸基を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、５〜７０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜６０質量％である。
【０１８１】
ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体としては、例えば、例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマー；グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマー；等が挙げられる。ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を用いる場合、重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理を行う必要がある。重合後にラジカル重合性二重結合を付与するための処理は、用いるラジカル重合性二重結合を付与しうるモノマーの種類によって異なり、例えば、次の処理が挙げられる。（メタ）アクリル酸やイタコン酸等のカルボキシル基を有するモノマーを用いる場合であれば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。無水マレイン酸や無水イタコン酸等のカルボン酸無水物基を有するモノマーを用いる場合であれば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等のエポキシ基を有するモノマーを用いる場合であれば、（メタ）アクリル酸等の酸基とラジカル重合性二重結合とを有する化合物を付加させる処理が挙げられる。
【０１８２】
ポリマー（ａ）を得るための単量体が、ラジカル重合性二重結合を導入するための単量体を含む場合、その含有割合は、特に制限されないが、全単量体成分中、５〜７０質量％が好ましく、より好ましくは１０〜６０質量％である。
【０１８３】
エポキシ基を導入するための単量体としては、例えば、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル（メタ）アクリレート、ｏ−（またはｍ−、またはｐ−）ビニルベンジルグリシジルエーテル等が挙げられる。
【０１８４】
他の共重合可能な単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸メチル２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等の（メタ）アクリル酸エステル類；スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物；Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等のＮ−置換マレイミド類；ブタジエン、イソプレン等のブタジエンまたは置換ブタジエン化合物；エチレン、プロピレン、塩化ビニル、アクリロニトリル等のエチレンまたは置換エチレン化合物；酢酸ビニル等のビニルエステル類；等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、（メタ）アクリル酸ベンジル、スチレンが、透明性が良好で、耐熱性を損ないにくい点で好ましい。
【０１８５】
ポリマー（ａ）を得るための単量体が、他の共重合可能な単量体を含む場合、その含有割合は特に制限されないが、９５質量％以下が好ましく、８５質量％以下であることがより好ましい。
【０１８６】
以下、アルカリ可溶性樹脂の例示化合物を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。下記に示す例示化合物の組成比はモル％である。
【０１８７】
【化３６】
2015068945.tif 000041
【０１８８】
【化３７】
2015068945.tif 000042
【０１８９】
【化３８】
2015068945.tif 000043
【０１９０】
これらのアルカリ可溶性樹脂の中で好適なものとしては、特に、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体やベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他ノモノマーカラナル多元共重合体が含まれる。この他、２−ヒドロキシエチルメタクリレートを共重合したもの、特開平７−１４０６５４号公報に記載の、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２−ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクレート／メタクリル酸共重合体などが挙げられる。
【０１９１】
また、本発明における組成物の架橋効率を向上させるために、重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂を使用してもよい。
重合性基を有したアルカリ可溶性樹脂としては、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したアルカリ可溶性樹脂等が有用である。これら重合性基を含有するアルカリ可溶性樹脂としては、予めイソシアネート基とＯＨ基を反応させ、未反応のイソシアネート基を１つ残し、かつ（メタ）アクリロイル基を含む化合物とカルボキシル基を含むアクリル樹脂との反応によって得られるウレタン変性した重合性二重結合含有アクリル樹脂、カルボキシル基を含むアクリル樹脂と分子内にエポキシ基及び重合性二重結合を共に有する化合物との反応によって得られる不飽和基含有アクリル樹脂、酸ペンダント型エポキシアクリレート樹脂、ＯＨ基を含むアクリル樹脂と重合性二重結合を有する２塩基酸無水物を反応させた重合性二重結合含有アクリル樹脂、ＯＨ基を含むアクリル樹脂とイソシアネートと重合性基を有する化合物を反応させた樹脂、特開２００２−２２９２０７号公報及び特開２００３−３３５８１４号公報に記載されるα位又はβ位にハロゲン原子或いはスルホネート基などの脱離基を有するエステル基を側鎖に有する樹脂を塩基性処理を行うことで得られる樹脂などが好ましい。
【０１９２】
アルカリ可溶性樹脂の酸価は、３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、７０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。
【０１９３】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２，０００〜５０，０００が好ましく、５，０００〜３０，０００がさらに好ましく、７，０００〜２０，０００が特に好ましい。
本発明における重量平均分子量は、特に述べない限り、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）で測定したものをいう。ＧＰＣは、得られたポリマーについて、溶媒を除去することによって単離し、得られた固形分をテトラヒドロフランにて０．１質量％に希釈して、ＨＬＣ−８０２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）にて、ＴＳＫｇｅｌ  Ｓｕｐｅｒ  Ｍｕｌｔｉｐｏｒｅ  ＨＺ−Ｈ（東ソー（株）製、４．６ｍｍＩＤ×１５ｃｍ）を３本直列につないだものをカラムとして測定することができる。条件は、試料濃度を０．３５質量％、流速を０．３５ｍＬ／ｍｉｎ、サンプル注入量を１０μＬ、測定温度を４０℃とし、ＲＩ検出器を用いて行うことができる。
【０１９４】
感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂の含有量としては、組成物の全固形分に対して、１〜１５質量％が好ましく、より好ましくは、２〜１２質量％であり、特に好ましくは、３〜１０質量％である。
本発明の組成物は、アルカリ可溶性樹脂を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０１９５】
＜溶剤＞
本発明の組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤の例としては、例えば、以下のものが挙げられる。
エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸アルキル（例えば、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等（例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル等））、２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類（例：２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル））、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル及び２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル（例えば、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等、並びに、エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等、並びに、ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等、並びに、芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。
【０１９６】
溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
溶剤を２種以上組みあわせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、及びプロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合溶液である
【０１９７】
組成物に含まれる溶剤の量は、組成物の全量に対し、１０〜９０質量％であることが好ましく、２０〜８０質量％であることがより好ましく、２５〜７５質量％であることが更に好ましい。
【０１９８】
＜重合禁止剤＞
本発明における組成物においては、組成物の製造中又は保存中において、重合性化合物の不要な熱重合を阻止するために、少量の重合禁止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。中でも、ｐ−メトキシフェノールが好ましい。
重合禁止剤の添加量は、組成物の質量に対して、約０．０１質量％〜約５質量％が好ましい。本発明の組成物は、重合禁止剤を１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。
【０１９９】
＜界面活性剤＞
本発明の組成物には、塗布性をより向上させる観点から、各種の界面活性剤を添加してもよい。
界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
特に、本発明の組成物は、フッ素系界面活性剤を含有することで、塗布液として調製したときの液特性（特に、流動性）がより向上することから、塗布厚の均一性や省液性をより改善することができる。
【０２００】
即ち、フッ素系界面活性剤を含有する組成物を適用した塗布液を用いて膜形成する場合においては、被塗布面と塗布液との界面張力を低下させることにより、被塗布面への濡れ性が改善され、被塗布面への塗布性が向上する。このため、少量の液量で数μｍ程度の薄膜を形成した場合であっても、厚みムラの小さい均一厚の膜形成をより好適に行える点で有効である。
【０２０１】
フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３質量％〜４０質量％が好適であり、より好ましくは５質量％〜３０質量％であり、特に好ましくは７質量％〜２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、組成物中における溶解性も良好である。
【０２０２】
フッ素系界面活性剤としては、例えば、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７６、同Ｆ１７７、同Ｆ１４１、同Ｆ１４２、同Ｆ１４３、同Ｆ１４４、同Ｒ３０、同Ｆ４３７、同Ｆ４７５、同Ｆ４７９、同Ｆ４８２、同Ｆ５５４、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ−１０１、同ＳＣ−１０３、同ＳＣ−１０４、同ＳＣ−１０５、同ＳＣ１０６８、同ＳＣ−３８１、同ＳＣ−３８３、同Ｓ３９３、同ＫＨ−４０（以上、旭硝子（株）製）等が挙げられる。
【０２０３】
ノニオン系界面活性剤として具体的には、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセリンエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル（ＢＡＳＦ社製のプルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株））等が挙げられる。
【０２０４】
カチオン系界面活性剤として具体的には、フタロシアニン誘導体（商品名：ＥＦＫＡ−７４５、森下産業（株）製）、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。
アニオン系界面活性剤として具体的には、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）社製）等が挙げられる。
【０２０５】
シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング（株）製「トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ」、「トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ」、「トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ」，「トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ」，「トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ」、「トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ」、「トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ」、「トーレシリコーンＳＨ８４００」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製「ＴＳＦ−４４４０」、「ＴＳＦ−４３００」、「ＴＳＦ−４４４５」、「ＴＳＦ−４４６０」、「ＴＳＦ−４４５２」、信越シリコーン株式会社製「ＫＰ３４１」、「ＫＦ６００１」、「ＫＦ６００２」、ビックケミー社製「ＢＹＫ３０７」、「ＢＹＫ３２３」、「ＢＹＫ３３０」等が挙げられる。
本発明の組成物に界面活性剤を含有する場合、界面活性剤の添加量は、組成物の全質量に対して、０．００１〜２．０質量％が好ましく、より好ましくは０．００５〜１．０質量％である。
本発明の組成物は、界面活性剤を、１種類のみを含んでいてもよいし、２種類以上含んでいてもよい。２種類以上含む場合は、その合計量が上記範囲となることが好ましい。
【０２０６】
＜その他の成分＞
本発明における組成物には、必要に応じて、Ｎ，Ｎ-ジアルキルアミノ安息香酸アルキルエステルや２-メルカプトベンゾチアゾールなどの連鎖移動剤、アゾ系化合物や過酸化物系化合物などの熱重合開始剤、熱重合成分、膜の強度、感度を高める目的で多官能チオールやエポキシ化合物、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤、ジオクチルフタレートなどの可塑剤、低分子量有機カルボン酸などの現像性向上剤、その他充填剤、上記の特定バインダーやアルカリ可溶性樹脂以外の高分子化合物、酸化防止剤、凝集防止剤などの各種添加物を含有することができる。
【０２０７】
また、現像後に後加熱で膜の硬化度を上げるために熱硬化剤を添加することができる。熱硬化剤としては、アゾ化合物、過酸化物等の熱重合開始剤、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、エポキシ化合物、スチレン化合物等があげられる。
【０２０８】
＜感光性樹脂組成物の調製＞
本発明の感光性樹脂組成物は、上記した各成分と共に、攪拌混合し、必要によって、下記のようなろ過を施して、感光性樹脂組成物を調製することができる。
【０２０９】
本発明における感光性樹脂組成物は、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタで濾過することが好ましい。従来からろ過用途等に用いられているものであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素樹脂、ナイロン−６、ナイロン−６，６等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量を含む）等によるフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）が好ましい。
【０２１０】
フィルタの孔径は、０．０１〜７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１〜２．５μｍ程度、さらに好ましくは０．０１〜２．０μｍ程度である。この範囲とすることにより、後工程において均一及び平滑な感光性樹脂組成物の調製を阻害する、微細な異物を確実に除去することが可能となる。
【０２１１】
フィルタを使用する際、異なるフィルタを組み合わせてもよい。その際、第１のフィルタでのフィルタリングは、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。
また、上述した範囲内で異なる孔径の第１のフィルタを組み合わせてもよい。ここでの孔径は、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。市販のフィルタとしては、例えば、日本ポール株式会社、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）又は株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタの中から選択することができる。
第２のフィルタは、上述した第１のフィルタと同様の材料等で形成されたものを使用することができる。
例えば、第１のフィルタでのフィルタリングは、分散液のみで行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタリングを行ってもよい。
【０２１２】
また、下記一般式で表される化合物またはその金属錯体も本発明の範囲に含まれる。下記一般式で表される化合物およびその金属錯体は、例えば、上述した一般式（Ｉ）で表される染料の製造に好ましく用いることができる。
【化３９】
2015068945.tif 000044
【０２１３】
本発明の感光性樹脂組成物は、例えば、インクジェット法による着色画素形成に用いられるインクジェット用インクにも好適に使用することができる。
【０２１４】
＜感光性樹脂組成物による赤外線透過フィルタの製造＞
次に、本発明の赤外線透過フィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明の赤外線透過フィルタは、基板上に、上述の感光性樹脂組成物を用いてなる着色領域（着色パターン）（好ましくは、黒色領域（黒色パターン））を有することを特徴とする。
本発明の感光性樹脂組成物が、赤外線透過フィルタ用組成物である場合、上述した一般式（Ｉ）で表される染料に加えて、青色の着色剤および紫色の着色剤から選ばれる少なくとも１種の着色剤を併用することが好ましい。また、さらに、黄色顔料を併用することが好ましい。
青色の着色剤としては、フタロシアニン顔料が好ましく、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５：６がより好ましい。紫色の着色剤としては、紫色顔料が好ましく、Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ２３がより好ましい。
黄色顔料としては、例えばＰｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１３９が好ましく用いられる。
特に好ましい態様としては、着色剤として、一般式（Ｉ）で表される染料、黄色顔料、青色顔料および紫色顔料を含む態様である。この場合の好ましい各着色剤の比率は、一般式（Ｉ）で表される染料と黄色顔料との質量比が、８５：１５〜５０：５０であることが好ましく、一般式（Ｉ）で表される染料と黄色顔料との合計質量と、青色顔料と紫色顔料との合計質量の質量比が、６０：４０〜４０：６０であることがより好ましい。
以下、本発明の赤外線透過フィルタについて、その製造方法を通じて詳述する。
【０２１５】
本発明の赤外線透過フィルタを構成する着色画素の形成方法は、上記した感光性樹脂組成物を調製してフォトリソ法で設ける方法、あるいは上記した感光性樹脂組成物を調製し、インクジェット法で設ける方法等の方法が採用できる。
これらの中でも、感光性樹脂組成物を調製してフォトリソ法で設ける方法が、微細なパターンを任意の形状に設けることが容易であり好ましい態様である。
【０２１６】
以下に、感光性樹脂組成物を調製して、フォトリソ法で各着色画素を設ける方法により、固体撮像素子用途の赤外線透過フィルタを作製する方法について述べるが、本発明の赤外線透過フィルタはこれに限定されるものではない。
【０２１７】
本発明の赤外線透過フィルタの製造方法は、上述した感光性樹脂組成物を用いて基板上に赤外線透過組成物層（着色層）を形成する工程（着色層形成工程）と、赤外線透過組成物層をパターン状に露光する工程（露光工程）と、露光後の赤外線透過組成物層を現像してパターンを形成する工程（現像工程）とを含む。
【０２１８】
＜着色層形成工程＞
着色層形成工程では、基板体上に、感光性樹脂組成物を用いて感光性樹脂組成物からなる着色層（赤外線透過組成物層）を形成する。
【０２１９】
本工程に用いうる基板としては、例えば、固体撮像素子に用いられるＣＣＤ、ＣＭＯＳ有機ＣＭＯＳにおける光電変換素子基板、シリコン基板等や、液晶表示装置等に用いられる無アルカリガラス、ソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたもの等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０２２０】
基板上に赤外線透過組成物層の形成方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
【０２２１】
基板上に塗布された着色層（赤外線透過組成物層）の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等で５０℃〜１４０℃の温度で１０秒〜３００秒で行うことができる。
【０２２２】
着色層の乾燥後（プリベーク後）の膜厚としては、０．５５μｍ〜１．８μｍの範囲であり、０．６０μｍ以上１．８μｍ未満が好ましく、０．７０μｍ以上１．６μｍ以下がより好ましく、０．８０μｍ以上１．４μｍ以下が特に好ましい。
【０２２３】
＜露光工程＞
露光工程では、着色層形成工程において形成された着色層（赤外線透過組成物層）を、パターン状に露光する。
本工程における露光においては、着色層の露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された着色層部分だけを硬化させることによりことにより行うことが好ましい。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、ｇ線、ｈ線、ｉ線等の放射線が好ましく用いられ、特にｉ線が好ましい。照射量は３０ｍＪ／ｃｍ2〜１５００ｍＪ／ｃｍ2が好ましく、５０ｍＪ／ｃｍ2〜１０００ｍＪ／ｃｍ2がより好ましく、８０ｍＪ／ｃｍ2〜５００ｍＪ／ｃｍ2が最も好ましい。
【０２２４】
＜現像工程＞
露光工程に次いで、アルカリ現像処理（現像工程）を行うことにより、露光後の未硬化部を現像液に溶出させ、光硬化した部分を残存させる。この現像工程により、着色画素からなるパターン状皮膜を形成することができる。
【０２２５】
現像方式は、デイップ方式、シャワー方式、スプレー方式、パドル方式などいずれでもよく、これらにスウィング方式、スピン方式、超音波方式などを組み合わせてもよい。
現像液に触れる前に、被現像面を予め水等で湿しておいて、現像むらを防ぐこともできる。
【０２２６】
現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては、通常２０℃〜３０℃であり、現像時間は２０〜９０秒である。
【０２２７】
現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が０．００１質量％〜１０質量％、好ましくは０．０１質量％〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後、純水で洗浄（リンス）して余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施すことが好ましい。
【０２２８】
なお、本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを後加熱（ポストベーク）や後露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常１００℃〜２７０℃の熱硬化処理を行う。
【０２２９】
光を用いる場合には、ｇ線、ｈ線、ｉ線、ＫｒＦやＡｒＦなどのエキシマレーザ、電子線、Ｘ線等により行うことができるが、既存の高圧水銀灯で２０〜５０℃程度の低温で行うことが好ましく、照射時間としては、１０秒〜１８０秒、好ましくは３０秒〜６０秒である。後露光と後加熱との併用の場合、後露光を先に実施することが好ましい。
【０２３０】
以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程（更に、必要により硬化工程）を行うことにより、赤外線透過フィルタが作製される。
【０２３１】
なお、本発明の特定の分光特性を示す着色画素だけで赤外線透過フィルタを構成してもよいし、上記した分光特性を示す着色画素と、赤、緑、青、マゼンタ、黄、シアン、黒、無色等の着色画素とを有するカラーフィルタを構成してもよい。他の色の画素と共にカラーフィルタを構成する場合は、本発明の特定の分光特性を示す着色画素を先に設けても、後から設けてもよい。
【０２３２】
本発明における感光性樹脂組成物は、例えば、塗布装置吐出部のノズル、塗布装置の配管部、塗布装置内等に付着した場合でも、公知の洗浄液を用いて容易に洗浄除去することができる。この場合、より効率の良い洗浄除去を行うためには、感光性樹脂組成物に含まれる有機溶剤として前掲した有機溶剤を洗浄液として用いることが好ましい。
【０２３３】
また、特開平７−１２８８６７号公報、特開平７−１４６５６２号公報、特開平８−２７８６３７号公報、特開２０００−２７３３７０号公報、特開２００６−８５１４０号公報、特開２００６−２９１１９１号公報、特開２００７−２１０１号公報、特開２００７−２１０２号公報、特開２００７−２８１５２３号公報などに記載の洗浄液も、本発明の感光性樹脂組成物の洗浄除去用の洗浄液として好適に用いることができる。
洗浄液としては、アルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボキシレート、又はアルキレングリコールモノアルキルエーテルを用いることが好ましい。
洗浄液として用いうるこれら有機溶剤は、単独で用いても２種以上を混合して用いてもよい。
【０２３４】
有機溶剤２種以上を混合する場合、水酸基を有する有機溶剤と水酸基を有しない有機溶剤とを混合してなる混合溶剤が好ましい。水酸基を有する有機溶剤と水酸基を有しない有機溶剤との質量比は、１／９９〜９９／１、好ましくは１０／９０〜９０／１０、更に好ましくは２０／８０〜８０／２０である。混合溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）とプロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）の混合溶剤で、その比率が６０／４０であることが特に好ましい。
なお、感光性樹脂組成物に対する洗浄液の浸透性を向上させるために、洗浄液には、樹脂組成物が含有しうる界面活性剤として前掲した界面活性剤を添加してもよい。
【０２３５】
また、本発明の赤外線透過フィルタの製造方法によって製造された赤外線透過フィルタは、ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ、有機ＣＭＯＳセンサ、ＣＩＧＳイメージセンサ等の固体撮像素子に好適に搭載されることができる。特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ、有機ＣＭＯＳセンサの固体撮像素子に搭載されることが好適である。本発明の赤外線透過フィルタは、例えば、ＣＣＤ素子を構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されることができる。
本発明の赤外線透過フィルタは、波長４００〜７００ｎｍの範囲のいずれかにおける光透過率が２０％以下であることが好ましく、１７％以下がより好ましく、１５％以下がさらに好ましい。特に、波長４００〜７００ｎｍの範囲の全ての範囲における光透過率が、上記範囲を満たすことが好ましい。
【０２３６】
本発明の画素形成方法は、上述した感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、形成された層を少なくとも紫外線でフォトマスクを介して露光し、現像することによりパターンを形成し、形成されたパターンをポストベークすることを含むことを特徴とする。またｈ、本発明のカラーフィルタは、この画素形成方法により作製された画素を有することを特徴とする。
【０２３７】
本発明の赤外線センサは、本発明の赤外線透過フィルタを備える。本発明の赤外線センサの構成としては、赤外線透過フィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
【０２３８】
基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサ、有機ＣＭＯＳセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオード及びポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオード及び転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面及びフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、本発明の赤外線透過フィルタを有する構成である。
【０２３９】
更に、デバイス保護層上であって赤外線透過フィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、赤外線透過フィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
【０２４０】
なお、有機ＣＭＯＳセンサは、光電変換層として薄膜のパンクロ感光性有機光電変換膜とＣＭＯＳ信号読み出し基板を含んで構成され、光を捕捉しそれを電気信号に変換する役割を有機材料が担い、電気信号を外部に取り出す役割を無機材料が担う２層構成のハイブリッド構造であり、原理的には入射光に対して開口率を１００％にすることができる。有機光電変換膜は構造フリーの連続膜でＣＭＯＳ信号読みだし基板上に敷設できるので、高価な微細加工プロセスを必要とせず、画素微細化に適している。
【０２４１】
本発明の固体撮像素子は、本発明のカラーフィルタを備える。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明におけるカラーフィルタが備えられた構成であり、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
支持体上に、固体撮像素子（ＣＣＤイメージセンサー、ＣＭＯＳイメージセンサー、等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、上記フォトダイオードおよび上記転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口したタングステン等からなる遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、上記デバイス保護膜上に、本発明の固体撮像素子用カラーフィルタを有する構成である。
さらに、上記デバイス保護層上であってカラーフィルタの下（支持体に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。
【０２４２】
本発明のカラーフィルタは、上記固体撮像素子のみならず、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などの、画像表示装置に用いることができ、特に液晶表示装置の用途に好適である。本発明のカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、表示画像の色合いが良好で表示特性に優れた高画質画像を表示することができる。
【０２４３】
表示装置の定義や各表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
【０２４４】
本発明のカラーフィルタは、カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に用いてもよい。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については、例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ（共立出版（株）１９９６年発行）」に記載されている。さらに、本発明はＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置や、ＳＴＮ、ＴＮ、ＶＡ、ＯＣＳ、ＦＦＳ、およびＲ−ＯＣＢ等にも適用できる。
また、本発明におけるカラーフィルタは、明るく高精細なＣＯＡ（Color-filter On Array）方式にも供することが可能である。ＣＯＡ方式の液晶表示装置にあっては、カラーフィルタ層に対する要求特性は、前述のような通常の要求特性に加えて、層間絶縁膜に対する要求特性、すなわち低誘電率および剥離液耐性が必要とされることがある。本発明のカラーフィルタにおいては、色相に優れた色素を用いることから、色純度、光透過性などが良好で着色パターン(画素）の色合いに優れるので、解像度が高く長期耐久性に優れたＣＯＡ方式の液晶表示装置を提供することができる。なお、低誘電率の要求特性を満足するためには、カラーフィルタ層の上に樹脂被膜を設けてもよい。
これらの画像表示方式については、例えば、「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページなどに記載されている。
また、本発明では、マイクロオーレッド方式（マイクロＯＬＥＤ）のディスプレイにも好ましく用いることができる。これらの画像表示方式については、例えば、「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページなどに記載されている。
【０２４５】
本発明におけるカラーフィルタを備えた液晶表示装置は、本発明におけるカラーフィルタ以外に、電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなど様々な部材から構成される。本発明のカラーフィルタは、これらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については、例えば、「'９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表良吉（株）富士キメラ総研、２００３年発行）」に記載されている。
バックライトに関しては、SID meeting Digest 1380（2005）（A.Konno et.al）や、月刊ディスプレイ  ２００５年１２月号の１８〜２４ページ（島 康裕）、同２５〜３０ページ（八木隆明）などに記載されている。
【０２４６】
本発明におけるカラーフィルタを液晶表示装置に用いると、従来公知の冷陰極管の三波長管と組み合わせたときに高いコントラストを実現できるが、さらに、赤、緑、青のＬＥＤ光源（ＲＧＢ−ＬＥＤ）をバックライトとすることによって輝度が高く、また、色純度の高い色再現性の良好な液晶表示装置を提供することができる。
【実施例】
【０２４７】
以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「％」および「部」は質量基準である。
【０２４８】
＜合成例＞
＜＜例示化合物１の合成例＞＞
【化４０】
2015068945.tif 000045
３，４−ジエトキシ−３−シクロブテン−１，２−ジオン（３０ｇ）と、１−フェニル−３−メチルピラゾリン−５−オン（３０ｇ）、炭酸カリウム（２５ｇ）、メタノール（４２０ｍｌ）をフラスコに入れ、２５℃で１時間攪拌した。反応後、析出物を濾取した。得られた固体と、炭酸カリウム（７．２ｇ）、水（３６０ｍｌ）をフラスコに入れ、６０℃で５時間攪拌した後に、１Ｎ塩酸（２７０ｍｌ）を加え、不溶物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物１を３０ｇ得た。
1Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ）δ：７．７７（ｄ、２Ｈ）、７．４４（ｄｄ、２Ｈ）、７．２３（ｔ、１Ｈ）、２．３９（ｓ、３Ｈ）
【０２４９】
＜＜例示化合物２の合成例＞＞
【化４１】
2015068945.tif 000046
例示化合物１の合成において、１−フェニル−３−メチルピラゾリン−５−オンを１，３−ジメチル−５−ピラゾロンに変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物２を得た。
Ｍａｓｓ：２０９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５０】
＜＜例示化合物３の合成例＞＞
【化４２】
2015068945.tif 000047
例示化合物１（３．０ｇ）と、ｎ−ブタノール（２０ｍｌ）と、トルエン（１０ｍｌ）、例示化合物３（３．２ｇ）をフラスコに入れ、１４０℃で１０時間攪拌した。反応後、メタノール（６０ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物４を２．２ｇ得た。
1Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ）δ：７．８９（ｄ、２Ｈ）、７．４０（ｄｄ、２Ｈ）、７．１４（ｄｄ、１Ｈ）、３．５６（ｍ、４Ｈ）、３．５１（ｍ、４Ｈ）、３．２７（ｓ、６Ｈ）、２．５１（ｓ、３Ｈ）、２．４９（ｓ、３Ｈ）
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：６０６ｎｍ
【０２５１】
＜＜例示化合物６の合成例＞＞
【化４３】
2015068945.tif 000048
例示化合物４の合成において、例示化合物３を例示化合物５に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物６を得た。
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：６１９ｎｍ
Ｍａｓｓ：５５２（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５２】
＜＜例示化合物２−１の合成例＞＞
【化４４】
2015068945.tif 000049
例示化合物４（０．８ｇ）と、トルエン（７ｍｌ）と、酢酸（０．２ｍｌ）、アルミニウムイソプロポキシド（０．１ｇ）をフラスコに入れ、１１０℃で２時間攪拌した。反応後、ヘキサン（１０ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物２−１を０．７ｇ得た。
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：５８９ｎｍ
Ｍａｓｓ：１５７４（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５３】
＜＜例示化合物２−２の合成例＞＞
【化４５】
2015068945.tif 000050
例示化合物２−１の合成において、例示化合物４を例示化合物６に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物２−２を得た。
Ｍａｓｓ：１６８２（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５４】
＜＜例示化合物２−３の合成例＞＞
【化４６】
2015068945.tif 000051
例示化合物２−１の合成において、アルミニウムトリスエチルアセトアセタートを酢酸銅（ＩＩ）に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物２−３を得た。
Ｍａｓｓ：１０９４（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５５】
＜＜例示化合物８の合成例＞＞
【化４７】
2015068945.tif 000052
例示化合物１（３．０ｇ）と、ｎ−ブタノール（５０ｍｌ）と、トルエン（２０ｍｌ）、例示化合物７（５．３ｇ）をフラスコに入れ、１４０℃で１０時間攪拌した。反応後、メタノール（１００ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物８を６．１ｇ得た。
1Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ）δ：１０．２４（ｓ、１Ｈ）、８．０１（ｄ、２Ｈ）、７．８５（ｄ、２Ｈ）、７．４７（ｄｄ、２Ｈ）、７．３７（ｄ、２Ｈ）、７．２６（ｄｄ、１Ｈ）、７．１７（ｍ、１Ｈ）、３．２０（ｄｄ、２Ｈ）、２．２９（ｓ、３Ｈ）、１．６７（ｍ、２Ｈ）、１．４９（ｓ、９Ｈ）、１．３４（ｍ、２Ｈ）、１．２０（ｍ、８Ｈ）、０．８２（ｄｄ、３Ｈ）
λmax（ＡｃＯＥｔ）：５１９ｎｍ
【０２５６】
＜＜例示化合物１０の合成例＞＞
【化４８】
2015068945.tif 000053
例示化合物８の合成において、例示化合物７を例示化合物９に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物１０を得た。
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：５０８ｎｍ
Ｍａｓｓ：３８９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５７】
＜＜例示化合物３−１の合成例＞＞
【化４９】
2015068945.tif 000054
例示化合物８（１．０ｇ）と、酢酸エチル（１０ｍｌ）と、酢酸（１ｍｌ）、アルミニウムトリスエチルアセトアセタート（０．２ｇ）をフラスコに入れ、６０℃で９時間攪拌した。反応後、ヘキサン（１０ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物３−１を１．０ｇ得た。
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：５０７ｎｍ
Ｍａｓｓ：２０７５（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５８】
＜＜例示化合物３−２の合成例＞＞
【化５０】
2015068945.tif 000055
例示化合物３−１の合成において、アルミニウムトリスエチルアセトアセタートを塩化鉄（III）に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物３−２を得た。
Ｍａｓｓ：２１０４（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２５９】
＜＜例示化合物３−３の合成例＞＞
【化５１】
2015068945.tif 000056
例示化合物３−１の合成において、アルミニウムトリスエチルアセトアセタートを酢酸亜鉛（ＩＩ）に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物３−３を得た。
Ｍａｓｓ：１４２９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６０】
＜＜例示化合物３−４の合成例＞＞
【化５２】
2015068945.tif 000057
例示化合物８の合成において、例示化合物８を例示化合物１０に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物３−４を得た。
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：４８４ｎｍ
Ｍａｓｓ：１１８９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６１】
＜＜例示化合物１１の合成例＞＞
【化５３】
2015068945.tif 000058
例示化合物１（１．０ｇ）と、n-ブタノール（１０ｍｌ）と、トルエン（１０ｍｌ）、５−アミノ−３−メチル-１-フェニルピラゾ−ル（０．７ｇ）をフラスコに入れ、１４０℃で３時間攪拌した。反応後、アセトニトリル（１００ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物１１を１．０ｇ得た。
1Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ）δ：７．７８（ｄ、２Ｈ）、７．５６〜７．４７（ｍ、７Ｈ）、７．３０（ｄｄ、１Ｈ）、２．４３（ｓ、３Ｈ）、２．４１（ｓ、３Ｈ）
λｍａｘ（ＡｃＯＥｔ）：５２３ｎｍ
【０２６２】
＜＜例示化合物１２の合成例＞＞
【化５４】
2015068945.tif 000059
例示化合物１１の合成において、例示化合物１を例示化合物２に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物１２を得た。
Ｍａｓｓ：３６４（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６３】
＜＜例示化合物１３の合成例＞＞
【化５５】
2015068945.tif 000060
例示化合物１１の合成において、５−アミノ−３−メチル−１−フェニルピラゾ−ルを３−アミノ−５−フェニルピラゾールに変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物１３を得た。
Ｍａｓｓ：４１２（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６４】
＜＜例示化合物４−１の合成例＞＞
【化５６】
2015068945.tif 000061
例示化合物１１（１．０ｇ）と、酢酸エチル（２０ｍｌ）と、酢酸（２ｍｌ）、アルミニウムトリスエチルアセトアセタート（０．３ｇ）をフラスコに入れ、１１０℃で２時間攪拌した。反応後、ヘキサン（５０ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物４−１を１．０ｇ得た。
λmax（ＡｃＯＥｔ）：４９７ｎｍ
Ｍａｓｓ：１３００（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６５】
＜＜例示化合物４−２の合成例＞＞
【化５７】
2015068945.tif 000062
例示化合物４−１の合成において、アルミニウムトリスエチルアセトアセタートを酢酸銅（ＩＩ）に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物４−２を得た。
Ｍａｓｓ：８９９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６６】
＜＜例示化合物４−３の合成例＞＞
【化５８】
2015068945.tif 000063
例示化合物４−１の合成において、例示化合物１１を例示化合物１２に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物４−３を得た。
Ｍａｓｓ：１１１４（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６７】
＜＜例示化合物４−４の合成例＞＞
【化５９】
2015068945.tif 000064
例示化合物４−１の合成において、例示化合物１１を例示化合物１２に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物４−４を得た。
Ｍａｓｓ：１２７２（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２６８】
＜＜例示化合物１５の合成例＞＞
【化６０】
2015068945.tif 000065
例示化合物１（３．０ｇ）と、ｎ−ブタノール（３０ｍｌ）と、トルエン（３０ｍｌ）、例示化合物１４（２．９ｇ）をフラスコに入れ、１５０℃で２時間攪拌した。反応後、アセトニトリル（１００ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物１５を５．０ｇ得た。
1Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ）δ：８．６０（ｄ、１Ｈ）、７．８０（ｄ、２Ｈ）、７．４５（ｄｄ、２Ｈ）、７．３０（ｄｄ、１Ｈ）、５．２９（ｄｄ、１Ｈ）、２．４５（ｓ、３Ｈ）、１．８８（ｓ、３Ｈ）、１．５３（ｄ、３Ｈ）、１．４６（ｓ、９Ｈ）
λmax（ＡｃＯＥｔ）：５２０ｎｍ
【０２６９】
＜＜例示化合物５−１の合成例＞＞
【化６１】
2015068945.tif 000066
例示化合物１５（１．０ｇ）と、ＮＭＰ（１５ｍｌ）と、アルミニウムイソプロポキシド（０．１ｇ）をフラスコに入れ、１１０℃で６時間攪拌した。反応後、ＩＰＡ（５０ｍｌ）を加え、析出物を濾取した。この結晶を５０℃で送風乾燥することで、例示化合物５−１を１．０ｇ得た。
λmax（ＡｃＯＥｔ）：５００ｎｍ
Ｍａｓｓ：１５２９（［Ｍ＋１］、１００％）
【０２７０】
＜＜例示化合物５−２の合成例＞＞
【化６２】
2015068945.tif 000067
例示化合物１５の合成において、アルミニウムトリスエチルアセトアセタートを塩化鉄（III）に変更し、ほかは同様の操作によって例示化合物５−２を得た。
Ｍａｓｓ：１５５８（［Ｍ＋１］、１００％）
例示化合物３、５、７、９、１４の合成方法としては、公知の方法を参照にして合成することができる。
【０２７１】
〔感光性樹脂組成物の調製〕
下記の成分を混合して、実施例１−１の感光性樹脂組成物を調製した。
・染料                                                      １６．３部
・下記アルカリ可溶性樹脂１                                    １．１部
・下記重合性化合物１                                          ２．４部
・光重合開始剤：下記重合開始剤１                              ０．９部
・界面活性剤１：ＤＩＣ株式会社製Ｍｅｇａｆａｃ  Ｆ−７８１Ｆの１．００質量％ＰＧＭＥＡ溶液                                                    ４．２部
・重合禁止剤：ｐ−メトキシフェノール                      ０．００１部
・有機溶剤１：ＰＧＭＥＡ                                    ７５．１部
【０２７２】
【化６３】
2015068945.tif 000068
【０２７３】
【化６４】
2015068945.tif 000069
【０２７４】
【化６５】
2015068945.tif 000070
【０２７５】
感光性樹脂組成物を、ガラス基板上に、スピンコートし、１００℃、１２０秒間ホットプレートで乾燥し、乾燥した後、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、１０００ｍJ／ｃｍ2で露光した。さらに、２２０℃のホットプレートを用いて３００秒間加熱処理（ポストベーク）を行った。
【０２７６】
＜耐熱性評価＞
上記のようにして得られた硬化膜を作成直後に透過率を測定した。続いて、２６０℃の条件化で１０分保持した後に、同様に透過率を測定した。加熱前後の透過率変化を残存率として算出し、以下の評価基準に基づき評価した。評点が高いほど、可視光成分に由来のノイズが少なく、性能が優れていることを示す。
＜評価基準＞
６：  ｘ≧０．９
５：  ０．９＞ｘ≧０．８
４：  ０．８＞ｘ≧０．７
３：  ０．７＞ｘ≧０．６
２：  ０．６＞ｘ≧０．５
１：  ０．５＜ｘ
【０２７７】
＜耐溶剤性評価＞
上記のようにして得られた硬化膜を、ＮＭＰ耐性に関する試験方法に基づいて測定した。ＮＭＰ浸漬前後の色度変化ΔＥａｂ＊に関しては、好ましくは０以上３未満であり、さらに好ましくは０以上２未満である。
＜評価基準＞
６：ｘ≦２
５：２＜ｘ≦２.５
４：２．５＜ｘ≦３．０
３：３．０＜ｘ≦３.５
２：３．５＜ｘ≦４
１：４＜ｘ
【０２７８】
（実施例１−２〜１−６、比較例１−１〜１−３）
実施例１−１の感光性樹脂組成物の調製において、染料の種類を下記表に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、感光性樹脂組成物を調整し、作成した。また、実施例１−１と同様の評価を行った。
実施例１−６は、実施例１−２の感光性樹脂組成物の調製において、アルカリ可溶性樹脂１をＥｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）に変更したこと以外は、実施例１と同様にして、感光性樹脂組成物を調整し、作成した。また、実施例１−１と同様の評価を行った。
【表５】
2015068945.tif 000071
【０２７９】
比較化合物Ａは、国際公開ＷＯ２００３−０８５００５号パンフレットの具体例１−２を用いた。
比較化合物Ａ
【化６６】
2015068945.tif 000072
比較化合物Ｂは、国際公開ＷＯ２００８−０３５５３３号パンフレットの具体例１を用いた。
比較化合物Ｂ
【化６７】
2015068945.tif 000073
比較化合物Ｃは、国際公開ＷＯ２００６−０５４７００号パンフレットのＩｂ−１を用いた。
比較化合物Ｃ
【化６８】
2015068945.tif 000074
【０２８０】
〔赤外線透過フィルタの作製〕
感光性樹脂組成物を、シリコンウェハ上に乾燥後の膜厚が１．０μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、１．４μｍ角の正方形ピクセルパターンが形成されるフォトマスクを用いて５０〜７５０ｍＪ／ｃｍまで５０ｍＪ／ｃｍ2ステップで露光を行うことで、上記正方形ピクセルパターンを解像する最適露光量を決定し、この最適露光量にて露光を行った。その後、露光された塗布膜が形成されているシリコンウェハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行い、シリコンウェハ上に着色パターンを形成した。着色パターンが形成されたシリコンウェハを純水でリンス処理を行い、その後スプレー乾燥した。
さらに、２００℃のホットプレートを用いて３００秒間加熱処理（ポストベーク）を行い、赤外線透過フィルタとしての、着色パターンを有するシリコンウェハを得た。
【０２８１】
〔分散樹脂１〕
分散樹脂１として、下記樹脂Ａを使用した。
【０２８２】
【化６９】
2015068945.tif 000075
【０２８３】
〔顔料分散液Ｂ−１の調製〕
下記組成の混合液を、０．３ｍｍ径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル（減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製））で、３時間、混合、分散して、顔料分散液Ｂ−１を調製した。
・例示化合物２−１                                            ８．１部
・黄色顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １３９      ３．７部
・分散剤：ＢＹＫ社製  ＢＹＫ−１１１                          ２．５部
・有機溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート    ７９．１部
【０２８４】
〔顔料分散液Ｂ−２の調製〕
下記組成の混合液を、０．３ｍｍ径のジルコニアビーズを使用して、ビーズミル（減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ−３０００−１０（日本ビーイーイー（株）製））で、３時間、混合、分散して、顔料分散液Ｂ−２を調製した。
・青色顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５：６）      ９．９部
・紫色顔料（Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２３）      ２．７部
・分散剤：ＢＹＫ社製  ＢＹＫ−１１１                          ２．０部
・上記分散樹脂１                                              ３．３部
・有機溶剤：シクロヘキサノン                                ３１．２部
・有機溶剤：プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）
５０．９部
【０２８５】
（実施例２−１）
〔感光性樹脂組成物の調製〕
下記の成分を混合して、実施例２−１の感光性樹脂組成物を調製した。
・顔料分散液Ｂ−１                                          ４６．５部
・顔料分散液Ｂ−２                                          ３７．１部
・上記アルカリ可溶性樹脂１                                    １．１部
・上記重合性化合物１                                          ２．４部
・光重合開始剤：上記記重合開始剤１                            ０．９部
・界面活性剤１：ＤＩＣ株式会社製Ｍｅｇａｆａｃ  Ｆ−７８１Ｆの１．００質量％ＰＧＭＥＡ溶液                                                    ４．２部
・重合禁止剤：p−メトキシフェノール                       ０．００１部
・有機溶剤１：ＰＧＭＥＡ                                      ７．８部
【０２８６】
（可視光ノイズ性能）
上記のようにして得られた赤外線透過フィルタの厚み方向における、波長４００ｎｍ〜７００ｎｍの可視光領域における平均光透過率ｔ１と波長８２５ｎｍ〜１３００ｎｍの可視光領域における平均光透過率ｔ２との比（ｔ１／ｔ２＝ｘ）を、紫外可視近赤外分光光度計Ｕ−４１００（日立ハイテクノロジーズ社製）の分光光度計（ｒｅｆ．ガラス基板）を用いて求め、以下の評価基準に基づき評価した。評点が高いほど、可視光成分に由来のノイズが少なく、性能が優れていることを示す。
＜評価基準＞
６：  ｘ≦０．０６
５：  ０．０６＜ｘ≦０．６２５
４：  ０．０６２５＜ｘ≦０．６５
３：  ０．０６５＜ｘ≦０．０７
２：  ０．０７＜ｘ≦０．０８
１：  ０．０８＜ｘ
【０２８７】
（実施例２−２〜２−８、比較例２−１〜２−３）
実施例２−１の感光性樹脂組成物の調製において、染料の種類を下記表に示すように変更したこと以外は、実施例２−１と同様にして、感光性樹脂組成物を調整し、作成した。また、実施例２−１と同様の評価を行った。
比較例２−６は、実施例２−３の感光性樹脂組成物の調製において、アルカリ可溶性樹脂１をＥｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）に変更したこと以外は、実施例２−３と同様にして、感光性樹脂組成物を調整し、作成した。また、実施例２−３と同様の評価を行った。
下記表中、「ＯＸＥ０１」は、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０１（ＢＡＳＦ社製）、「ＯＸＥ０２」は、ＩＲＧＡＣＵＲＥ−ＯＸＥ０２（ＢＡＳＦ社製）を表す。
【表６】
2015068945.tif 000076