(57)【要約】【課題】ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能な産業用ロボットのハンドを提供する。【解決手段】このハンドは、ガラス基板２の下面に接触する接触面１２ａが形成されるゴム製または樹脂製の複数のパッド１２を備えており、接触面１２ａは、球面状に形成されている。【選択図】図６
2015217509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドであって、前記ガラス基板が搭載されるハンドにおいて、
前記ガラス基板の下面に接触する接触面が形成されるゴム製または樹脂製の複数のパッドを備え、
前記接触面は、球面状に形成されていることを特徴とするハンド。
【請求項２】
前記ガラス基板は、長方形状に形成され、
複数の前記パッドは、長方形状に形成される前記ガラス基板の外周端部分の下面に前記接触面が接触するように、略長方形の枠状の形状に沿って配置されていることを特徴とする請求項１記載のハンド。
【請求項３】
第１パッド、第２パッドおよび第３パッドの３個の前記パッドによって構成される複数のパッド群が略長方形の枠状の形状に沿って配置され、
前記パッド群では、上下方向から見たときに、前記第１パッドの前記接触面の中心と前記第２パッドの前記接触面の中心と前記第３パッドの前記接触面の中心とを結んだ仮想線が三角形状をなすように、前記第１パッド、前記第２パッドおよび前記第３パッドが配置され、
上下方向から見たときに、前記第１パッドの前記接触面の中心と前記第２パッドの前記接触面の中心とを結んだ仮想線は、前記ガラス基板の端面と略平行になっており、
前記第３パッドは、前記第１パッドおよび前記第２パッドよりも前記ガラス基板の外周側に配置され、
前記ガラス基板が前記ハンドに搭載されているときに、前記第１パッドの前記接触面と前記第２パッドの前記接触面とが前記ガラス基板の下面に接触していることを特徴とする請求項２記載のハンド。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のハンドと、前記ハンドがその先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項５】
前記ハンドは、真空中に配置されていることを特徴とする請求項４記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドに関する。また、本発明は、かかるハンドを備える産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空蒸着法によって有機ＥＬデバイスを製造する有機ＥＬデバイス製造装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の有機ＥＬデバイス製造装置は、ガラス基板を搬送する搬送ロボットを備えている。また、真空蒸着法によって有機ＥＬデバイスを製造する際のガラス基板の搬送方法として、一般に、蒸着面を下側に向けた状態でガラス基板を搬送するいわゆる下面搬送が知られている。
【０００３】
下面搬送でガラス基板が搬送される場合、ガラス基板の下面が蒸着面であるため、搬送ロボットは、蒸着面に触れることができない。したがって、下面搬送でガラス基板が搬送される場合には、搬送ロボットは、蒸着面の周囲に形成される枠部分にハンドが接触するようにハンドにガラス基板を搭載して、ガラス基板を搬送している。この場合、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを防止するために、ガラス基板が搭載されるハンドの上面にＯリングが取り付けられることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−６２０４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、有機ＥＬデバイス製造装置等の搬送ロボットで搬送されるガラス基板は大型化している。ガラス基板が大型化すると、下面搬送でガラス基板が搬送される場合、蒸着面の周囲の枠部分にハンドが接触するようにハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きくなる。また、近年、有機ＥＬデバイス製造装置等の搬送ロボットに対して、ガラス基板の搬送時間の短縮化の要求が高まっている。本願発明者の検討によると、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きくなると、また、ガラス基板の搬送時間を短縮するために、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度を大きくすると、ハンドの上面にＯリングが取り付けられていても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれが生じることが明らかになった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドにおいて、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能な産業用ロボットのハンドを提供することにある。また、本発明の課題は、かかるハンドを備える産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットのハンドは、ガラス基板を搬送する産業用ロボットのハンドであって、ガラス基板が搭載されるハンドにおいて、ガラス基板の下面に接触する接触面が形成されるゴム製または樹脂製の複数のパッドを備え、接触面は、球面状に形成されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の産業用ロボットのハンドでは、ガラス基板の下面に接触するパッドの接触面が球面状に形成されている。そのため、本発明では、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きくなっても、ガラス基板の下面にパッドの接触面を確実に接触させることが可能になる。また、本発明では、球面状に形成される接触面がガラス基板の下面に点接触するため、接触面とガラス基板との接触圧を高めることが可能になる。このように、本発明では、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きくなっても、ガラス基板の下面に接触面を確実に接触させることが可能になるとともに、接触面とガラス基板との接触圧を高めてハンドによるガラス基板の保持力を高めることが可能になる。したがって、本発明では、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能になる。
【０００９】
本発明において、ガラス基板は、長方形状に形成され、複数のパッドは、長方形状に形成されるガラス基板の外周端部分の下面に接触面が接触するように、略長方形の枠状の形状に沿って配置されていることが好ましい。このように構成すると、蒸着面を下側に向けた状態でガラス基板を搬送する下面搬送によってガラス基板が搬送される場合であって、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きい場合であっても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能になる。
【００１０】
本発明において、第１パッド、第２パッドおよび第３パッドの３個のパッドによって構成される複数のパッド群が略長方形の枠状の形状に沿って配置され、パッド群では、上下方向から見たときに、第１パッドの接触面の中心と第２パッドの接触面の中心と第３パッドの接触面の中心とを結んだ仮想線が三角形状をなすように、第１パッド、第２パッドおよび第３パッドが配置され、上下方向から見たときに、第１パッドの接触面の中心と第２パッドの接触面の中心とを結んだ仮想線は、ガラス基板の端面と略平行になっており、第３パッドは、第１パッドおよび第２パッドよりもガラス基板の外周側に配置され、ガラス基板がハンドに搭載されているときに、第１パッドの接触面と第２パッドの接触面とがガラス基板の下面に接触していることが好ましい。
【００１１】
このように構成すると、各パッド群において、２個のパッドの接触面がガラス基板の下面に接触するため、ガラス基板を搬送する際に、ハンドに搭載されるガラス基板の状態を安定させることが可能になる。また、このように構成すると、第１パッドおよび第２パッドよりもガラス基板の外周側に第３パッドが配置されているため、たとえば、所定の処理装置の棚に載置されているガラス基板をハンドに搭載する際にガラス基板が揺れたとしても、第３パッドの作用でガラス基板の揺れを抑制することが可能になる。すなわち、第３パッドによって、ハンドにガラス基板を搭載する際にガラス基板があばれるのを抑制することが可能になる。
【００１２】
本発明のハンドは、ハンドがその先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備える産業用ロボットに用いることができる。この産業用ロボットでは、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能になる。
【００１３】
本発明において、ハンドは、たとえば、真空中に配置されている。ハンドが真空中に配置されると、ハンドはガラス基板を吸引して保持することはできないが、本発明では、ハンドがガラス基板を吸引することができなくても、また、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明では、ハンドに搭載されたガラス基板の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板を搭載して移動するハンドの加速度が大きくても、ガラス基板を搬送する際のハンドに対するガラス基板の位置ずれを抑制することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態にかかるハンドの図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。
【図２】図１に示すガラス基板の構成を説明するための平面図である。
【図３】図１（Ａ）のＥ部の拡大図である。
【図４】図３のＦ−Ｆ方向からハンドフォークの先端側部分を示す図である。
【図５】図３のＧ部の拡大図である。
【図６】図４のＨ部の構成を説明するための図である。
【図７】本発明の他の実施の形態にかかるガラス基板の構成を説明するための平面図である。
【図８】本発明の他の実施の形態にかかるハンドの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
（産業用ロボットの概略構成およびハンドの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるハンド３の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。図２は、図１に示すガラス基板２の構成を説明するための平面図である。図３は、図１（Ａ）のＥ部の拡大図である。図４は、図３のＦ−Ｆ方向からハンドフォーク６の先端側部分を示す図である。図５は、図３のＧ部の拡大図である。図６は、図４のＨ部の構成を説明するための図である。
【００１８】
本形態の産業用ロボットは、真空中で有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板２を搬送するロボットであり、有機ＥＬディスプレイの製造システムに組み込まれて使用される。この製造システムでは、真空蒸着法によって有機ＥＬディスプレイが製造される。産業用ロボットは、蒸着面を下側に向けた状態でガラス基板２を搬送する。ガラス基板２は、長方形の板状に形成されている。図２に示すように、ガラス基板２の下面は、蒸着が行われる長方形状の蒸着領域２ａと、蒸着領域２ａの周囲を囲む長方形の枠状の枠領域２ｂ（図２の斜線部分）とから構成されている。枠領域２ｂは、ガラス基板２の外周端部分の下面を構成している。
【００１９】
また、本形態の産業用ロボットは、比較的大型のガラス基板２の搬送に適したロボットである。この産業用ロボットは、ガラス基板２が搭載されるハンド３と、ハンド３がその先端側に回動可能に連結されるアーム４（図１（Ｂ）参照）と、アーム４の基端側が回動可能に連結される本体部（図示省略）とを備えている。ハンド３およびアーム４は、本体部の上側に配置されている。また、ハンド３およびアーム４は、真空中に配置されている。
【００２０】
ハンド３は、アーム４に連結される基部５と、ガラス基板２が搭載される２個のハンドフォーク６とを備えている。ハンドフォーク６は、２本のフォーク本体７を備えている。フォーク本体７は、細長い直線の棒状に形成されている。２本のフォーク本体７は、互いに所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。また、フォーク本体７の基端は、基部５に固定されている。２個のハンドフォーク６のうちの一方のハンドフォーク６の２本のフォーク本体７は、基部５から水平方向の一方側へ突出するように基部５に固定され、他方のハンドフォーク６の２本のフォーク本体７は、水平方向の一方側へ突出する２本のフォーク本体７と反対側に向かって突出するように基部５に固定されている。
【００２１】
以下の説明では、上下方向から見たときのフォーク本体７の長手方向（図１（Ａ）のＸ方向）を左右方向とし、上下方向から見たときの左右方向に直交する方向（図１（Ａ）のＹ方向）を前後方向とする。ハンドフォーク６に搭載されるガラス基板２の端面は、左右方向または前後方向と略平行になっている。
【００２２】
また、ハンドフォーク６は、フォーク本体７の先端側に固定される複数の第１フォーク部８と、第１フォーク部８に固定される複数の第２フォーク部９とを備えている。ガラス基板２は、ハンドフォーク６の、第１フォーク部８および第２フォーク部９が配置された部分に搭載される。ハンドフォーク６の、第１フォーク部８および第２フォーク部９が配置された部分の外形は、ガラス基板２の外形よりもわずかに大きくなっている。
【００２３】
第１フォーク部８は、２本のフォーク本体７から前後方向の外側に向かって伸びるように、フォーク本体７に固定されている。また、複数の第１フォーク部８は、左右方向に所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。本形態では、７個の第１フォーク部８が左右方向に所定の間隔をあけた状態で配置されている。１個のハンドフォーク６を構成する２本のフォーク本体７のそれぞれに固定される複数の第１フォーク部８のそれぞれは、左右方向において同じ位置に配置されている。
【００２４】
第１フォーク部８は、平板状の部材が所定形状に折り曲げられることで形成されている。図４に示すように、第１フォーク部８は、フォーク本体７から前後方向の外側に向かって伸びる細長い平板状の基端部８ａと、前後方向における基端部８ａの外側端に繋がるとともに前後方向の外側に向かうにしたがって上方向に向かうように傾斜する平板状の傾斜部８ｂと、傾斜部８ｂの上端に繋がるとともに前後方向の外側に向かって伸びる平板状の先端部８ｃとから構成されている。
【００２５】
第２フォーク部９は、細長い平板状に形成されている。第２フォーク部９は、図３に示すように、１個のハンドフォーク６において左右方向の最も外側に配置される第１フォーク部８から左右方向の外側に向かって伸びるように第１フォーク部８に固定されている。すなわち、１個のハンドフォーク６において、左右方向の最も外側に配置される４個の第１フォーク部８のそれぞれに第２フォーク部９が固定されている。具体的には、４個の第１フォーク部８のそれぞれに複数の第２フォーク部９が固定されている。また、４個の第１フォーク部８のそれぞれに固定される複数の第２フォーク部９は、前後方向に所定の間隔をあけた状態で平行に配置されている。本形態では、４個の第１フォーク部８のそれぞれに２個の第２フォーク部９が固定されている。１個のハンドフォーク６において左右方向の最も外側に配置される第１フォーク部８のそれぞれに固定される複数の第２フォーク部９のそれぞれは、前後方向において同じ位置に配置されている。
【００２６】
複数の第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側（前後方向の外側端側）および複数の第２フォーク部９の先端側（左右方向の外側端側）のそれぞれには、ガラス基板２の下面に接触する接触面１２ａが形成されるパッド１２（図５、図６参照）が取り付けられている。具体的には、複数の第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側および複数の第２フォーク部９の先端側のそれぞれの上面に、ブロック状に形成されるパッド保持部材１３が固定され、このパッド保持部材１３にパッド１２が固定されている。すなわち、複数の第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側および複数の第２フォーク部９の先端側のそれぞれの上面には、パッド保持部材１３を介してパッド１２が取り付けられている。また、２本のフォーク本体７のそれぞれの上面にも、パッド保持部材１３を介してパッド１２が取り付けられている。フォーク本体７に取り付けられるパッド１２は、前後方向において、第２フォーク部９の先端側に取り付けられるパッド１２と同じ位置に配置されている。
【００２７】
パッド１２は、ゴムで形成されている。具体的には、パッド１２は、フッ素ゴムで形成されている。このパッド１２は、図６に示すように、上述の接触面１２ａが形成される接触部１２ｂと、パッド保持部材１３に保持される保持部１２ｃとから構成されており、全体としてきのこ状に形成されている。接触部１２ｂの形状は、球体の一部を切り取った形状となっており、略半球状に形成されている。接触面１２ａは、接触部１２ｂの上面を構成しており、球面状に形成されている。保持部１２ｃは、略円筒状に形成されており、保持部１２ｃの上端に接触部１２ｂが繋がっている。保持部１２ｃは、図６に示すように、パッド保持部材１３に形成されるパッド保持孔１３ａに圧入されている。保持部１２ｃの下端側には、パッド保持孔１３ａからのパッド１２の抜けを防止する抜け防止部１２ｄが保持部１２ｃの径方向の外側へ広がるように形成されている。
【００２８】
上述のように、複数の第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側および複数の第２フォーク部９の先端側のそれぞれには、パッド保持部材１３を介してパッド１２が取り付けられている。また、２本のフォーク本体７のそれぞれにもパッド保持部材１３を介してパッド１２が取り付けられており、フォーク本体７に取り付けられるパッド１２は、前後方向において第２フォーク部９の先端側に取り付けられるパッド１２と同じ位置に配置されている。すなわち、本形態では、複数のパッド１２は、ガラス基板２の枠領域２ｂ（すなわち、ガラス基板２の外周端部分の下面）に接触面１２ａが接触するように、略長方形の枠状の形状に沿って配置されている。具体的には、本形態では、パッド保持部材１３に３個のパッド１２が固定されており、３個のパッド１２によって構成される複数のパッド群１５が略長方形の枠状の形状に沿って配置されている。
【００２９】
なお、本形態では、第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側に取り付けられるパッド１２の上端の高さと、第２フォーク部９の先端側に取り付けられるパッド１２の上端の高さと、フォーク本体７に取り付けられるパッド１２の上端の高さとが同じ高さになるように、第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側に取り付けられるパッド保持部材１３の高さと、第２フォーク部９の先端側に取り付けられるパッド保持部材１３の高さと、フォーク本体７に取り付けられるパッド保持部材１３の高さとが異なっている。
【００３０】
図５に示すように、１個のパッド保持部材１３に固定される３個のパッド１２のそれぞれをパッド１２Ａ〜１２Ｃとすると、パッド群１５では、上下方向から見たときに、パッド１２Ａの接触面１２ａの中心とパッド１２Ｂの接触面１２ａの中心とパッド１２Ｃの接触面１２ａの中心とを結んだ仮想線Ｌ１〜Ｌ３が正三角形状をなすように、パッド１２Ａ〜１２Ｃがパッド保持部材１３に固定されている。
【００３１】
また、上下方向から見たときに、パッド１２Ａの接触面１２ａの中心とパッド１２Ｂの接触面１２ａの中心とを結んだ仮想線Ｌ１は、ハンドフォーク６に搭載されるガラス基板２の端面と略平行になっている。すなわち、第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側に配置されるパッド群１５では、上下方向から見たときに、仮想線Ｌ１は、ハンドフォーク６に搭載されるガラス基板２の前後の端面と略平行（すなわち、左右方向と略平行）になっている。また、第２フォーク部９の先端側およびフォーク本体７に配置されるパッド群１５では、上下方向から見たときに、仮想線Ｌ１は、ハンドフォーク６に搭載されるガラス基板２の左右の端面と略平行（すなわち、前後方向と略平行）になっている。
【００３２】
また、パッド１２Ｃは、パッド１２Ａ、１２Ｂよりも前後方向または左右方向の外側に配置されている。すなわち、第１フォーク部８の先端部８ｃの先端側に配置されるパッド群１５では、パッド１２Ｃは、パッド１２Ａ、１２Ｂよりも前後方向の外側に配置され、第２フォーク部９の先端側およびフォーク本体７に配置されるパッド群１５では、パッド１２Ｃは、パッド１２Ａ、１２Ｂよりも左右方向の外側に配置されている。すなわち、パッド１２Ｃは、パッド１２Ａ、１２Ｂよりもガラス基板２の外周側に配置されている。本形態では、ガラス基板２がハンドフォーク６に搭載されているときに、パッド１２Ａの接触面１２ａおよびパッド１２Ｂの接触面１２ａはガラス基板２の下面（具体的には、枠領域２ｂ）に接触しているが、パッド１２Ｃの接触面１２ａはガラス基板２の下面に接触していない（図６参照）。本形態のパッド１２Ａは、第１パッドであり、パッド１２Ｂは、第２パッドであり、パッド１２Ｃは、第３パッドである。
【００３３】
なお、本形態では、ハンドフォーク６にガラス基板２が搭載されているときに、ガラス基板２の枠領域２ｂに複数のパッド１２が接触するため、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の撓みの状態を、等高線ＣＬを用いて模式的に示すと図２のようになり、ガラス基板２の中心に向かうにしたがって、ガラス基板２の撓み量が大きくなる。
【００３４】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ガラス基板２の枠領域２ｂにパッド１２の接触面１２ａが接触するように、複数のパッド１２が略長方形の枠状の形状に沿って配置されているため、蒸着面を下側に向けた状態でガラス基板２を搬送する下面搬送によってガラス基板２を搬送することが可能になる。また、本形態では、ガラス基板２の枠領域２ｂに接触面１２ａが接触するため、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の撓み量が大きくなるが、本形態では、ガラス基板２の下面に接触するパッド１２の接触面１２ａが球面状に形成されているため、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の撓み量が大きくなっても、ガラス基板２の下面に接触面１２ａを確実に接触させることが可能になる。また、本形態では、球面状に形成される接触面１２ａがガラス基板２の下面に点接触するため、接触面１２ａとガラス基板２との接触圧を高めることが可能になる。
【００３５】
このように、本形態では、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の撓み量が大きくなっても、ガラス基板２の下面に接触面１２ａを確実に接触させることが可能になるとともに、接触面１２ａとガラス基板２との接触圧を高めてハンドフォーク６によるガラス基板２の保持力を高めることが可能になる。したがって、本形態では、ハンド３が真空中に配置されてハンド３がガラス基板２を吸引することができなくても、また、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の撓み量が大きく、かつ、ガラス基板２を搭載して移動するハンド３の加速度や減速度が大きくても、ガラス基板２を搬送する際のハンド３に対するガラス基板２の位置ずれを抑制することが可能になる。たとえば、本形態では、ガラス基板２を搭載して移動するハンド３の加速度が２Ｇであっても、ガラス基板２を搬送する際のハンド３に対するガラス基板２の位置ずれを抑制することが可能になる。
【００３６】
本形態では、各パッド群１５において、２個のパッド１２Ａ、１２Ｂの接触面１２ａがガラス基板２の下面に接触している。そのため、本形態では、ハンドフォーク６に搭載されたガラス基板２の状態を安定させることが可能になる。また、本形態では、パッド１２Ａ、１２Ｂよりも前後方向または左右方向の外側にパッド１２Ｃが配置されているため、たとえば、蒸着装置の棚に載置されているガラス基板２をハンドフォーク６に搭載する際にガラス基板２が揺れたとしても、パッド１２Ｃの作用によって、ガラス基板２の揺れを抑制することが可能になる。すなわち、本形態では、パッド１２Ｃによって、ハンドフォーク６にガラス基板２を搭載する際にガラス基板２があばれるのを抑制することが可能になる。
【００３７】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００３８】
上述した形態では、ガラス基板２の下面は、長方形状の蒸着領域２ａと、蒸着領域２ａの周囲を囲む長方形の枠状の枠領域２ｂとによって構成されている。この他にもたとえば、ガラス基板２がさらに大型化する場合には、ガラス基板２の下面は、図７に示すように、同じ大きさの長方形状に形成される４個の蒸着領域２ｃと、長方形の枠状に形成される枠領域２ｄと４個の蒸着領域２ｃを区画する十字状の区画領域２ｅとからなる枠領域２ｆ（図７の斜線部分）とによって構成されても良い。この場合には、複数のパッド１２は、ガラス基板２の枠領域２ｆに接触面１２ａが接触するように、枠領域２ｆの形状に沿って配置される。なお、図７に示すガラス基板２がハンドフォーク６に搭載されているときのガラス基板２の撓みの状態を、等高線ＣＬを用いて模式的に示すと図７のようになり、各蒸着領域２ｃの中心に向かうにしたがって、ガラス基板２の撓み量が大きくなる。
【００３９】
上述した形態では、ハンド３は、基部５と２本のフォーク本体７と複数の第１フォーク部８と複数の第２フォーク部９とから構成されている。この他にもたとえば、図８に示すように、ハンド３は、アーム４に連結される基部２５と、基部２５から水平方向の一方へ伸びる複数のフォーク２６（たとえば、４本のフォーク２６）とから構成されても良い。この場合には、図８（Ａ）に示すように、ガラス基板２の下面の全体を支持するように、複数のパッド１２がフォーク２６の上面に取り付けられても良いし、図８（Ｂ）に示すように、ガラス基板２の下面の四隅部分を支持するように、４個のパッド１２がフォーク２６の上面に取り付けられても良い。
【００４０】
上述した形態では、ハンドフォーク６に搭載されているガラス基板２の下面に接触しないパッド１２Ｃがパッド保持部材１３に固定されているが、パッド１２Ｃがパッド保持部材１３に固定されなくても良い。この場合には、ハンドフォーク６に搭載されているガラス基板２の下面に接触する１個以上のパッド１２がパッド保持部材１３に固定されていれば良い。また、上述した形態では、仮想線Ｌ１〜Ｌ３が正三角形状をなすようにパッド１２Ａ〜１２Ｃがパッド保持部材１３に固定されているが、仮想線Ｌ１〜Ｌ３が二等辺三角形状等の他の三角形状となすようにパッド１２Ａ〜１２Ｃがパッド保持部材１３に固定されても良い。
【００４１】
上述した形態では、パッド１２は、ゴムで形成されているが、ガラス基板２の表面を覆うコーティング剤よりも柔らかい材料でパッド１２が形成されるのであれば（すなわち、パッド１２がガラス基板２の表面のコーティング層に傷を生じさせないのであれば）、パッド１２は、ゴム以外の材料で形成されても良い。たとえば、パッド１２は、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）等の樹脂で形成されても良い。
【００４２】
上述した形態では、産業用ロボットは、有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板２を搬送しているが、産業用ロボットは、液晶ディスプレイ用のガラス基板等の他のガラス基板を搬送しても良い。また、上述した形態では、産業用ロボットは、真空中でガラス基板２を搬送しているが、産業用ロボットは、大気中でガラス基板２を搬送しても良い。大気中でガラス基板２が搬送される場合には、ガラス基板２を吸引する吸引パッドがハンド３の上面に設けられても良い。なお、本発明では、パッド１２の作用で、ハンドフォーク６によるガラス基板２の保持力を高めることが可能になるため、吸引パッドがハンド３の上面に設けられる場合であっても、吸引パッドの数を減らすことが可能になる。
【符号の説明】
【００４３】
２  ガラス基板
３  ハンド
４  アーム
１２  パッド
１２Ａ  パッド（第１パッド）
１２Ｂ  パッド（第２パッド）
１２Ｃ  パッド（第３パッド）
１２ａ  接触面
１５  パッド群
Ｌ１〜Ｌ３  仮想線
【図１】
2015217509.tif 000003
【図２】
2015217509.tif 000004
【図３】
2015217509.tif 000005
【図４】
2015217509.tif 000006
【図５】
2015217509.tif 000007
【図６】
2015217509.tif 000008
【図７】
2015217509.tif 000009
【図８】
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