(57)【要約】【課題】本発明は、振動発生装置に関する。【解決手段】本発明の一実施例による振動発生装置は、内部空間を備えるハウジングに振動可能に複数回折れ曲がって備えられる振動部材を固定し、振動部材に重量体及び圧電素子を結合して構成される。したがって、振動発生装置の固有周波数を維持し且つ小型化に有利であるという効果がある。【選択図】図１
2015217387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間を備えるハウジングと、
前記内部空間に一端が固定され他端が振動可能に備えられる振動部材と、
前記振動部材に備えられる重量体と、
前記振動部材の一面に設置される少なくとも一つの圧電素子と、
を含み、
前記振動部材は、前記ハウジングに一端が固定され他端が自由端である第１の部材、前記第１の部材の他端から前記第１の部材の上面方向に伸びる第２の部材、及び前記第２の部材の端部から前記第１の部材の一端側に伸びる第３の部材を備える、振動発生装置。
【請求項２】
前記第２の部材は、少なくとも４回折れ曲がって備えられる、請求項１に記載の振動発生装置。
【請求項３】
前記第２の部材は、前記第１の部材の上面方向に伸びる第１の折り曲げ部、前記第１の折り曲げ部の端部から前記第１の部材の一端側に伸びる第２の折り曲げ部、前記第２の折り曲げ部の端部から前記第２の折り曲げ部の上面方向に伸びる第３の折り曲げ部、前記第３の折り曲げ部の端部から前記第１の部材の他端側に伸びる第４の折り曲げ部、及び前記第４の折り曲げ部の端部から前記第４の折り曲げ部の上面方向に伸びる第５の折り曲げ部を備える、請求項１または２に記載の振動発生装置。
【請求項４】
前記第２の折り曲げ部と前記第４の折り曲げ部は並んで備えられる、請求項３に記載の振動発生装置。
【請求項５】
前記第２の折り曲げ部は前記第２の折り曲げ部と対向する第１の部材と並んで備えられ、前記第４の折り曲げ部は前記第４の折り曲げ部と対向する第３の部材と並んで備えられる、請求項３または４に記載の振動発生装置。
【請求項６】
前記第２の部材は第１の部材の他端から垂直に伸び、前記第３の部材は前記第２の部材の端部から水平に伸びて備えられる、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項７】
前記第１の部材の一端は、前記内部空間に溶接又は接着剤を用いたボンディングのうち少なくとも一つの方法で固定される、請求項１から６のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項８】
前記第１の部材の一面には、前記圧電素子が装着されて結合することができる結合溝が備えられる、請求項１から７のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項９】
前記第１の部材は、前記ハウジングに前記内部空間に突出するように備えられる支持部材に一端が結合される、請求項１から８のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１０】
前記第１の部材と前記ハウジングの内部面の間にはエアギャップが備えられる、請求項９に記載の振動発生装置。
【請求項１１】
前記支持部材の上側には、前記第３の部材の少なくとも一部が重なるように位置する、請求項９または１０に記載の振動発生装置。
【請求項１２】
前記第１から第５の折り曲げ部が連結される部分には曲率が形成される、請求項３から５のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１３】
前記第１の部材と前記第２の部材が連結される部分及び前記第２の部材と前記第３の部材が連結される部分には曲率が形成される、請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１４】
前記第３の部材には、前記重量体が結合する重量体結合部が折れ曲がって備えられる、請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１５】
前記重量体結合部の外側面には、折れ曲がって突出し前記重量体を支持する結合突起が備えられる、請求項１４に記載の振動発生装置。
【請求項１６】
前記重量体の前記結合突起と対面する外側面には、前記結合突起が挿入される挿入溝が備えられる、請求項１５に記載の振動発生装置。
【請求項１７】
前記重量体と前記重量体結合部は、溶接又は接着剤を用いたボンディングのうち少なくとも一つの方法により結合される、請求項１４から１６のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１８】
前記圧電素子は、前記第１の部材の前記ハウジングと対面する一面又はその反対面である他面に備えられる、請求項１から１７のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項１９】
前記圧電素子の上側には、前記重量体の少なくとも一部が重なるように位置する、請求項１から１８のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２０】
前記圧電素子は、中心が前記第１の部材の自由端側に偏るように備えられる、請求項１から１９のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２１】
前記圧電素子は、前記振動部材の固定端側の端部が前記重量体の前記振動部材の自由端側の端部よりも自由端側に偏るように備えられる、請求項１から２０のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２２】
前記圧電素子は、ポリマー又はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ）材質である、請求項１から２１のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２３】
前記圧電素子は、第１から第３の部材のうち少なくとも一つに備えられる、請求項１から２２のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２４】
前記圧電素子は、前記第１の部材に複数備えられる、請求項１から２３のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２５】
前記ハウジングには、前記振動部材との衝突を防止し前記振動部材の変位を調節するストッパーが備えられる、請求項１から２４のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２６】
前記振動部材には、前記振動部材間の衝突を防止するためのダンパーが少なくとも一つ備えられる、請求項１から２５のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２７】
前記重量体には、前記ハウジングとの衝突を防止するためのダンパーが備えられる、請求項１から２６のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２８】
前記振動部材には、少なくとも一つの弾性変形補助孔が備えられる、請求項１から２７のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項２９】
前記圧電素子は、前記第１から第５の折り曲げ部のうち少なくとも一つに備えられる、請求項３から５のいずれか１項に記載の振動発生装置。
【請求項３０】
内部空間を形成するハウジングと、
前記ハウジングに一端が固定され他端が振動可能に備えられる振動部材と、
前記振動部材の一面に設置される少なくとも一つの圧電素子と、
前記振動部材に備えられる重量体と、
を含み、
前記振動部材は、前記ハウジングに一端が固定され他端が自由端である第１の部材、前記第１の部材の他端から前記第１の部材の上面方向に複数回折れ曲がって伸びる第２の部材、及び前記第２の部材の端部から前記第１の部材の一端側に伸びる第３の部材を備える、振動発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動発生装置は、携帯電話等の携帯用電子機器に搭載されて多様な用途に活用されている。
【０００３】
上記携帯用電子機器には、機能の多様化につれて多様な電子部品が実装される。
【０００４】
したがって、携帯用電子機器に搭載される振動発生装置の小型化が求められている。
【０００５】
しかしながら、振動発生装置のサイズを減少させる場合は共振周波数に変化が生じるという問題がある。
【０００６】
よって、振動発生装置のサイズを減少させ且つ共振周波数を維持することができる振動発生装置に関する研究が必要とされている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、共振周波数を維持し且つサイズが減少した振動発生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一実施例による振動発生装置は、内部空間を備えるハウジングに振動可能に複数回折れ曲がって備えられる振動部材を固定し、上記振動部材に重量体及び圧電素子を結合して構成される。したがって、振動発生装置の共振周波数を維持し且つサイズを減少させる。
【０００９】
本発明の一実施例による振動発生装置において、上記振動部材は、ハウジングに固定される第１の部材、上記第１の部材から伸びて形成され且つ複数回折れ曲がる第２の部材、及び第２の部材の端部から伸びて形成される第３の部材を備える。したがって、振動発生装置の固有周波数を維持し且つサイズを減少させる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の一実施例による振動発生装置によれば、振動発生装置の共振周波数を維持し且つサイズを減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例による振動発生装置の分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【図３ａ】本発明の一実施例による振動部材の斜視図である。
【図３ｂ】本発明の一実施例による振動部材の底面斜視図である。
【図４】図３ａのＡ‐Ａ'線に沿う断面図である。
【図５】本発明の一実施例による重量体の斜視図である。
【図６】本発明の一実施例による重量体と振動部材が結合した態様を示した平面図である。
【図７】本発明の他の実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【００１３】
図１は本発明の一実施例による振動発生装置１０の分解斜視図であり、図２は本発明の一実施例による振動発生装置１０の結合断面図である。
【００１４】
図１及び図２を参照すると、本発明の一実施例による振動発生装置１０は、ハウジング１００、振動部材２００、重量体３００及び圧電素子４００を含む。
【００１５】
上記ハウジング１００は、上記振動発生装置１０の外観を形成する部材であり、一側が開放された上部ケース１１０と、上記開放された一側に結合して内部空間を形成する下部ケース１２０を含む。
【００１６】
上記上部ケース１１０と下部ケース１２０は、溶接、接着剤を用いたボンディング、フック結合等の多様な方法で結合されることができる。
【００１７】
上記内部空間には、後述する振動部材２００、重量体３００、圧電素子４００が備えられる。
【００１８】
また、上記下部ケース１２０には、上記内部空間に突出する支持部材１２１が備えられることができる。
【００１９】
上記支持部材１２１は、上記下部ケース１２０の一側を折り曲げて製作されるか、又は上記下部ケース１２０の製作時に共に製作されることができる。
【００２０】
上記支持部材１２１は、上記ハウジング１００（より具体的には、下部ケース１２０）を折り曲げて製作されることに限定されず、上記ハウジング１００（より具体的には、下部ケース１２０）の内部に別個のサポート部材１２３を付着して製作されることもできる。この場合、上記サポート部材１２３は、溶接、接着剤を用いたボンディング、フック結合等の多様な方法で上記ハウジング１００に結合されることができる（図１０参照）。
【００２１】
上記支持部材１２１には上記振動部材２００の一端が固定され、上記振動部材２００は上記支持部材１２１に一端が固定された状態で振動する。即ち、上記振動部材２００は、基本的にカンチレバー（Ｃａｎｔｉｌｅｖｅｒ、片持ち梁）方式で備えられて自由端部が振動することができる。
【００２２】
即ち、上記下部ケース１２０から突出して備えられる支持部材１２１によって、上記振動部材２００と上記下部ケース１２０の間には、上記振動部材２００が振動することができるエアギャップＧが備えられる。
【００２３】
上記ハウジング１００には、上記振動部材２００との衝突を防止し、上記振動部材２００の変位を調節するストッパー１３０が備えられることができる。上記ストッパー１３０は、上記振動発生装置１０の駆動時に上記振動部材２００と接触することができる。
【００２４】
即ち、振動発生装置１０が駆動すると、上記振動部材２００が振動して上記ハウジング１００の内側面と衝突する可能性がある。この際、上記振動部材２００と上記ハウジング１００の衝突によって上記振動部材２００が破損する恐れがある。
【００２５】
よって、上記ハウジング１００にストッパー１３０を備えることにより、上記振動部材２００と上記ハウジング１００の衝突を防止し、振動部材２００が振動する変位を調節することができる。
【００２６】
図３ａは本発明の一実施例による振動部材２００の斜視図であり、図３ｂは本発明の一実施例による振動部材２００の底面斜視図であり、図４は図２のＡ‐Ａ'線に沿う断面図である。
【００２７】
図３及び図４を参照すると、振動部材２００は、上記ハウジング１００の内部空間に一端が固定され、他端が振動可能に備えられる。
【００２８】
即ち、上記振動部材２００は、上記ハウジング１００に一端が固定され他端が自由端である第１の部材２１０、上記第１の部材２１０の他端から上記第１の部材２１０の上面方向に伸びる第２の部材２２０、及び上記第２の部材２２０の端部から上記第１の部材２１０の一端側に伸びる第３の部材２３０を備え、上記第１から第３の部材２１０、２２０、２３０には、振動部材２００間の衝突を防止するための少なくとも一つのダンパー２４０が備えられることができる。
【００２９】
なお、方向に関する用語を定義すると、部材の上面とは、上記部材の上記上部ケース１１０と対面する一面を意味し、部材の下面とは、上記部材の上記下部ケース１２０と対面する一面を意味する。
【００３０】
上記第１の部材２１０は、上記支持部材１２１に一端が固定されることができる。即ち、上記第１の部材２１０の一端は上記支持部材１２１に固定された固定端２１６であればよく、他端は自由端２１７であればよい。上記第１の部材２１０の固定方法は、溶接、接着剤を用いたボンディング等の多様な方法のうち少なくとも一つの方法であればよい。
【００３１】
また、上記第１の部材２１０と上記下部ケース１２０の間にはエアギャップＧが備えられることができる。
【００３２】
上記第１の部材２１０には、電気的信号によって上記振動部材２００を加振させる圧電素子４００が少なくとも一つ備えられることができる。
【００３３】
上記圧電素子４００は、ポリマー材質又はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ）材質であればよい。但し、これに限定されず、上記振動部材２００を加振させることができる多様な材質の圧電素子を用いてもよい。
【００３４】
また、上記第１の部材２１０の一面には上記圧電素子４００が装着されて結合することができる結合溝２１１が備えられ、上記結合溝２１１は上記圧電素子４００の外形に対応して備えられることができる。
【００３５】
即ち、上記圧電素子４００は、上記結合溝２１１に装着されて結合することにより、第１の部材２１０と堅固に結合することができる。
【００３６】
第２の部材２２０は、上記第１の部材２１０の他端から上記第１の部材２１０の上面方向に複数回折れ曲がって伸びることができる。上記第１の部材２１０と上記第２の部材２２０が連結される部分には曲率（Ｒ）が形成されることができる。
【００３７】
以下、式１及び式２を参照して、本発明の一実施例による振動発生装置１０の共振周波数を維持し且つサイズを減少させる原理を簡略に説明する。
【００３８】
【数１】
2015217387.tif 000003
【００３９】
【数２】
2015217387.tif 000004
【００４０】
上記式において、Ｋは比例定数、Ｌは振動部材の長さ、ｍは振動部材の質量、ωは共振周波数を意味する。
【００４１】
式１及び式２を参照すると、共振周波数は、振動部材の長さが短くなるほど増加し、振動部材の長さが長くなるほど減少する。
【００４２】
したがって、振動発生装置の小型化のために振動部材の長さを減少させる場合は、共振周波数が増加し、振動発生装置としての機能を行うことが困難になる。
【００４３】
即ち、本発明の一実施例による振動発生装置１０は振動部材２００を折り曲げて備えるため、振動部材２００の全長を維持し且つ振動発生装置１０の全サイズを減少させることができる。
【００４４】
上記第２の部材２２０は、上記第１の部材２１０の他端から垂直に伸びて少なくとも４回折れ曲がることができる。以下では、上記第２の部材２２０が４回折れ曲がる構成を例に挙げて説明する。
【００４５】
第２の部材２２０は、上記第１の部材２１０の上面方向に伸びる第１の折り曲げ部２２１、上記第１の折り曲げ部２２１の端部から上記第１の部材２１０の一端側に伸びる第２の折り曲げ部２２２、上記第２の折り曲げ部２２２の端部から当該第２の折り曲げ部２２２の上面方向に伸びる第３の折り曲げ部２２３、上記第３の折り曲げ部２２３の端部から上記第１の部材２１０の他端側に伸びる第４の折り曲げ部２２４、及び上記第４の折り曲げ部２２４の端部から当該第４の折り曲げ部２２４の上面方向に伸びる第５の折り曲げ部２２５を備える。
【００４６】
上記第１から第５の折り曲げ部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５の連結部分には曲率（Ｒ）が形成され、上記第２の折り曲げ部２２２と上記第４の折り曲げ部２２４は並んで備えられることができる。
【００４７】
また、上記第２の折り曲げ部２２２は当該第２の折り曲げ部２２２と対向する第１の部材２１０と並んで備えられ、上記第４の折り曲げ部２２４は当該第４の折り曲げ部と対向する第３の部材２３０と並んで備えられることができる。
【００４８】
また、上記第１から第５の折り曲げ部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５には、振動発生装置１０の駆動時に衝突を防止するためのダンパー２４０が備えられることができる。
【００４９】
第３の部材２３０は第２の部材２２０の端部から上記第１の部材２１０の一端側に伸びて備えられ、上記第２の部材２２０と上記第３の部材２３０が連結される部分には曲率（Ｒ）が形成されることができる。
【００５０】
また、上記第３の部材２３０は、上記第２の部材２２０の端部から水平に伸びて備えられることができる。
【００５１】
さらに、上記第３の部材２３０には、上記重量体３００が結合する重量体結合部２３１が折れ曲がって備えられることができる。
【００５２】
なお、図面には、上記第３の部材２３０が下部ケース１２０の方向に折れ曲がって上記重量体３００が上記第３の部材２３０の上面に結合された構成が示されている。但し、これに限定されず、上記第３の部材２３０を上部ケース１１０の方向に折り曲げて上記重量体３００を上記第３の部材２３０の下面に結合してもよい。
【００５３】
また、上記重量体結合部２３１の外側面には、折れ曲がって突出し上記重量体３００を支持する結合突起２３２が備えられることができる。
【００５４】
後述するが、上記重量体３００のうち上記結合突起２３２と対面する外側面には、上記結合突起２３２が挿入される挿入溝３１０が備えられることができる。上記結合突起２３２は、上記挿入溝３１０に挿入されて結合することができる。
【００５５】
また、上記重量体結合部２３１と上記重量体３００は、溶接又は接着剤を用いたボンディングのうち少なくとも一つの方法により結合されることもでき、上記結合突起２３２と上記挿入溝３１０の機械的結合のみで結合されることもできる。
【００５６】
また、上記支持部材１２１の上側には、上記第３の部材２３０の少なくとも一部が重なるように位置することができる。
【００５７】
上記振動部材２００には、弾性変形が容易になるように強度を低減させるための少なくとも一つの弾性変形補助孔２５０が備えられることができる。
【００５８】
即ち、上記弾性変形補助孔２５０は、上記振動部材２００の強度を低減させることにより、振動発生装置１０の駆動時に上記振動部材２００の弾性変形を容易にすることができる。
【００５９】
図５は本発明の一実施例による重量体３００の斜視図であり、図６は本発明の一実施例による重量体３００と振動部材２００が結合した態様を示した平面図である。
【００６０】
図５及び図６を参照すると、重量体３００は、上記振動部材２００の振動時に連動して振動することにより上記振動部材２００の振動量を増大させる役割を行い、上記振動部材２００の一側に備えられることができる。
【００６１】
上記重量体３００は、上記振動部材２００の多様な位置に備えられることができる。以下では、上記重量体３００が上記振動部材２００の第３の部材２３０に備えられた構成を例に挙げて説明する。
【００６２】
上記重量体３００は、溶接又は接着剤を用いたボンディングのうち少なくとも一つの方法で上記第３の部材２３０の重量体結合部２３１に結合されることができる。
【００６３】
また、上記重量体３００の外側面には、前述したように挿入溝３１０が備えられることができる。
【００６４】
上記挿入溝３１０には上記第３の部材２３０に備えられる結合突起２３２が挿入され、これにより、上記重量体３００は上記第３の部材２３０に安定的に固定されることができる。
【００６５】
また、上記重量体３００には、上記ハウジング１００との衝突を防止するための少なくとも一つのダンパー２４０が備えられることができる。
【００６６】
また、図２を参照すると、圧電素子４００は、電気的信号によって曲げ変形を起こすことにより上記振動部材２００を加振させる役割を行うものであり、上記第１の部材２１０の上記ハウジング１００と対面する一面又は反対面である他面に備えられる。
【００６７】
但し、上記圧電素子４００が備えられる位置及び個数は多様に変わってもよい。即ち、上記圧電素子は、第１から第３の部材のうち少なくとも一つに備えられることができる。
【００６８】
上記圧電素子４００の上側には上記重量体３００の少なくとも一部が位置し、上記圧電素子４００の中心は上記第１の部材２１０の自由端である他端側に偏ることができる。
【００６９】
また、上記圧電素子４００は、ポリマー材質又はチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ、ｌｅａｄ  ｚｉｒｃｏｎａｔｅ  ｔｉｔａｎａｔｅ）材質であればよいが、これに限定されず、上記振動部材２００に振動を発生させることができる多様な材質であればいずれのものでもよい。
【００７０】
一方、上記第１の部材２１０には上記圧電素子４００が装着されて結合することができる結合溝２１１が備えられ、上記結合溝２１１は上記圧電素子４００の外形に対応することができる。
【００７１】
上記圧電素子４００は、上記結合溝２１１に装着されて結合することにより、より堅固に第１の部材２１０と結合することができる。
【００７２】
図７〜図９は、本発明の他の実施例による振動発生装置の結合断面図である。
【００７３】
図７〜図９を参照すると、本発明の他の実施例による振動発生装置１０は、ハウジング１００、振動部材２００、重量体３００及び圧電素子４００を含むことができる。
【００７４】
即ち、図１〜図６に示されている本発明の一実施例による振動発生装置のうち上記圧電素子４００の位置のみが異なり、他の構成は全て同じである。よって、同じ構成に関する詳細な説明は省略し、上述した説明に代える。
【００７５】
図７を参照すると、本発明の他の実施例による振動発生装置１０において、圧電素子４００は、上記振動部材２００の固定端２１６側の端部が上記重量体３００の上記振動部材２００の自由端２１７側の端部よりも自由端２１７側に偏るように備えられることができる。
【００７６】
即ち、上記圧電素子４００の上側には上記重量体３００が位置しなくてもよい。
【００７７】
また、図面には上記圧電素子４００が上記第１の部材２１０の下面に備えられた構成が示されているが、これに限定されず、上記第１の部材２１０の上面に備えられてもよく、上／下面に複数備えられてもよい。
【００７８】
図８及び図９を参照すると、圧電素子４００は複数備えられることができる。即ち、設計によって、上記圧電素子４００は、複数が隣接又は離隔して備えられることができる。
【００７９】
上記圧電素子４００が離隔して備えられる場合、上記圧電素子４００は、上記第１の部材２１０に複数が互いに離隔して備えられてもよく、第１から第５の折り曲げ部２２１、２２２、２２３、２２４、２２５のうち少なくとも一つに複数備えられてもよい。
【００８０】
即ち、圧電素子４００が備えられる位置及び個数は多様に変わってもよく、このような構成も本発明の技術的思想の範囲内に含まれる。
【００８１】
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
【符号の説明】
【００８２】
１００  ハウジング
１１０  上部ケース
１２０  下部ケース
２００  振動部材
２１０  第１の部材
２２０  第２の部材
２３０  第３の部材
２４０  ダンパー
３００  重量体
３１０  挿入溝
４００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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