(57)【要約】【課題】信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】コネクタは、半導体チップの第２面上に設けられ第２電極に接合された第１部分と、第１部分から第２リードフレーム側に突出し、第１部分よりも薄い第２部分と、を有する。第１部分は、半導体チップの第２電極に接合された第１接合面と、第１接合面に対向し、樹脂から露出した放熱面と、を有する。第２部分は、第２リードフレームに接合された第２接合面と、第２接合面よりも第１部分側に第２接合面に近接して設けられた凹部と、を有する。【選択図】図１
2015142072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１リードフレームと、
前記第１リードフレームに対して離間して設けられた第２リードフレームと、
前記第１リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第１面と前記第１面に対向する第２面とを持つ半導体層と、前記第１面に設けられ前記第１リードフレームに接合された第１電極と、前記第２面に設けられた第２電極と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第２面上に設けられ前記第２電極に接合された第１部分であって、前記半導体チップの前記第２電極に接合された第１接合面と、前記第１接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第１部分と、
前記第１部分から前記第２リードフレーム側に突出し、前記第１部分よりも薄い第２部分であって、前記第２リードフレームに接合された第２接合面と、前記第２接合面よりも前記第１部分側に前記第２接合面に近接して設けられた凹部と、を有する第２部分と、
を有するコネクタと、
を備えた半導体装置。
【請求項２】
前記凹部は、前記第２部分の突出方向に対して直交する方向に延びる溝である請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記コネクタの前記第２接合面と、前記第２接合面と接合された前記第２リードフレームの上面とは、前記第２部分の突出方向の幅が同じである請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記コネクタの前記第２接合面と、前記第２接合面と接合された前記第２リードフレームの上面とは、前記第２部分の突出方向に対して直交する方向の長さが同じである請求項１〜３のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項５】
第１リードフレームと、
前記第１リードフレームに対して離間して設けられた第２リードフレームと、
前記第１リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第１面と前記第１面に対向する第２面とを持つ半導体層と、前記第１面に設けられ前記第１リードフレームに接合された第１電極と、前記第２面に設けられた第２電極と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第２面上に設けられ前記第２電極に接合された第１部分であって、前記半導体チップの前記第２電極に接合された第１接合面と、前記第１接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第１部分と、
前記第１部分から前記第２リードフレーム側に突出し、前記第１部分よりも薄い第２部分であって、前記第２リードフレームに接合された第２接合面を有する第２部分と、
を有するコネクタと、
を備え、
前記コネクタの前記第２接合面に第１凹部または第１凸部が設けられ、前記第２接合面と接合された前記第２リードフレームの上面に、前記第１凹部と嵌合する第２凸部または前記第１凸部と嵌合する第２凹部が設けられている半導体装置。
【請求項６】
第１リードフレームと、
前記第１リードフレームに対して離間して設けられた第２リードフレームと、
前記第１リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第１面と前記第１面に対向する第２面とを持つ半導体層と、前記第１面に設けられ前記第１リードフレームに接合された第１電極と、前記第２面に設けられた第２電極と、を有する半導体チップと、
前記第２面に設けられ、前記第２電極を露出させる開口を有する絶縁膜と、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第２面上に設けられ前記第２電極に接合された第１部分であって、前記半導体チップの前記第２電極に接合された第１接合面と、前記第１接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第１部分と、
前記第１部分から前記第２リードフレーム側に突出し、前記第１部分よりも薄い第２部分であって、前記第２リードフレームに接合された第２接合面を有する第２部分と、
を有するコネクタと、
を備え、
前記コネクタの前記第１部分の前記第１接合面のエッジは、５０μｍ以上２００μｍ以下の距離を隔てて、前記絶縁膜の前記開口のエッジよりも内側に位置している半導体装置。
【請求項７】
前記第２電極の面積に対する前記開口の面積の比は、８０％以上１００％未満である請求項６記載の半導体装置。
【請求項８】
前記コネクタの前記第１部分の前記放熱面が円形である請求項１〜７のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項９】
前記第１部分の前記第１接合面は、前記放熱面の面積よりも広い面積の角形である請求項８記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、パワーデバイスにおいて、低抵抗化のため、チップと外部リードとの接続構造として、ワイヤボンディングではなく、銅などの板状のコネクタまたはストラップを用いた構造が提案され、そのような製品も多くなってきている。
【０００３】
また、チップ上に搭載したコネクタを樹脂から露出させ、実装基板側のパッケージ下面と、パッケージ上面の両面から放熱する構造が提案されている。この構造では、パッケージ上面を露出させることによる特有の問題が懸念され、その問題に対する解決が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１２４３９０号公報
【特許文献２】特開２０１１−１２９８１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の実施形態は、信頼性の高い半導体装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態によれば、半導体装置は、第１リードフレームと、前記第１リードフレームに対して離間して設けられた第２リードフレームと、前記第１リードフレーム上に設けられた半導体チップと、前記半導体チップを封止する樹脂と、コネクタと、を備えている。前記半導体チップは、第１面と前記第１面に対向する第２面とを持つ半導体層と、前記第１面に設けられ前記第１リードフレームに接合された第１電極と、前記第２面に設けられた第２電極と、を有する。前記コネクタは、前記半導体チップの前記第２面上に設けられ前記第２電極に接合された第１部分と、前記第１部分から前記第２リードフレーム側に突出し、前記第１部分よりも薄い第２部分と、を有する。前記第１部分は、前記半導体チップの前記第２電極に接合された第１接合面と、前記第１接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する。前記第２部分は、前記第２リードフレームに接合された第２接合面と、前記第２接合面よりも前記第１部分側に前記第２接合面に近接して設けられた凹部と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施形態の半導体装置の模式断面図。
【図２】実施形態の半導体装置の模式上面図。
【図３】半導体チップの模式平面図。
【図４】実施形態の半導体装置の模式上面図。
【図５】図２（ｂ）におけるＡ−Ａ拡大断面図。
【図６】（ａ）は実施形態の半導体チップの模式平面図であり、（ｂ）は図６（ａ）にコネクタの接合面を重ねた模式平面図。
【図７】実施形態の半導体装置の模式上面図。
【図８】実施形態の半導体装置の模式断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
【０００９】
図１は、実施形態の半導体装置１の模式断面図である。  
図２（ａ）は、実施形態の半導体装置１の模式上面図であり、図２（ｂ）は、樹脂８０を取り除いた模式上面図である。図２（ｂ）において樹脂８０は側面の外形線のみを図示している。
【００１０】
実施形態の半導体装置１は、半導体チップ１０と、半導体チップ１０と電気的に接続されたリードフレーム２１、３１、４１と、半導体チップ１０とリードフレーム３１とを接続するコネクタ５０と、これら要素を封止する樹脂８０と、を有する。
【００１１】
半導体チップ１０は、半導体層における一方の面側に設けられた第１電極と、他方の面側に設けられた第２電極との間を結ぶ縦方向に電流経路が形成される縦型デバイスである。半導体チップ１０は、例えば、縦型ＭＯＳＦＥＴ（Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor）である。あるいは、半導体チップ１０は、縦型ＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）、縦型ダイオードである。
【００１２】
半導体としてはシリコンが用いられる。あるいは、シリコン以外の半導体（例えばＳｉＣ、ＧａＮ等の化合物半導体）を用いてもよい。
【００１３】
図３（ａ）は、半導体チップ１０の第１面１２の模式平面図であり、図３（ｂ）は、第１面１２の反対側の第２面１４の模式平面図である。
【００１４】
図３（ａ）に示すように、半導体層１１の第１面１２には、第１電極１３が形成されている。例えばＭＯＳＦＥＴにおいては、第１電極１３はドレイン電極である。第１電極１３は、第１面１２の大部分を占めて形成されている。
【００１５】
図３（ｂ）に示すように、半導体層１１の第２面１４には、第２電極１５と第３電極１６とが互いに絶縁分離されて形成されている。第２電極１５は、第２面１４の大部分を占めて形成され、例えばＭＯＳＦＥＴにおいてはソース電極である。第３電極１６の面積は、第２電極１５の面積よりも小さく、例えばＭＯＳＦＥＴにおいてはゲート電極である。
【００１６】
図２（ｂ）に示すように、第１リードフレーム２１は、ダイパッド２２と、複数本のリード２３とを有する。ダイパッド２２の平面形状は四角形状に形成され、その一辺から複数本のリード２３が突出している。第１リードフレーム２１は金属板の型加工により成形され、ダイパッド２２及びリード２３は一体に設けられている。
【００１７】
第１リードフレーム２１のリード２３の突出方向の反対側には、第１リードフレーム２１に対して離間して第２リードフレーム３１が設けられている。
【００１８】
第２リードフレーム３１は、第１リードフレーム２１側に設けられたインナーリード３２と、インナーリード３２から突出した複数本のアウターリード３３とを有する。アウターリード３３は、第１リードフレーム２１のリード２３の突出方向の逆方向に突出している。インナーリード３２は、アウターリード３３の突出方向、および第１リードフレーム２１のリード２３の突出方向に対して直交する方向に延びている。
【００１９】
第２リードフレーム３１は金属板の型加工により成形され、インナーリード３２及びアウターリード３３は一体に設けられている。
【００２０】
また、第１リードフレーム２１のリード２３の突出方向の反対側には、第３リードフレーム４１も第１リードフレーム２１に対して離間して設けられている。第３リードフレーム４１は、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の長手方向の隣に設けられている。第３リードフレーム４１は、第２リードフレーム３１に対して離間している。
【００２１】
第３リードフレーム４１は、第１リードフレーム２１側に設けられたインナーリード４２と、インナーリード４２から突出した１本のアウターリード４３とを有する。アウターリード４３は、第２リードフレーム３１のアウターリード３３の突出方向と同じ方向に突出している。
【００２２】
図１に示すように、第１リードフレーム２１のリード２３とダイパッド２２との間には段差は形成されず、リード２３の上面とダイパッド２２の上面はフラットにつながり、リード２３の下面とダイパッド２２の下面はフラットにつながっている。
【００２３】
第２リードフレーム３１は、インナーリード３２とアウターリード３３との間の部分で屈曲し、インナーリード３２とアウターリード３３との間に段差が形成されている。第３リードフレーム４１も、第２リードフレーム３１と同様、インナーリード４２とアウターリード４３との間の部分で屈曲し、インナーリード４２とアウターリード４３との間に段差が形成されている。
【００２４】
第２リードフレーム３１のアウターリード３３の下面は、第１リードフレーム２１の下面（リード２３の下面及びダイパッド２２の下面）と同じ高さレベルにある。第３リードフレーム４１のアウターリード４３の下面は、第１リードフレーム２１の下面、および第２リードフレーム３１のアウターリード３３の下面と同じ高さレベルにある。
【００２５】
アウターリード３３、４３の下面および第１リードフレーム２１の下面を高さ方向（上下方向）の基準にして、インナーリード３２、４２の上面は、ダイパッド２２の上面よりも上方に位置している。
【００２６】
半導体チップ１０は、第１リードフレーム２１のダイパッド２２上に搭載されている。半導体チップ１０は、第１電極１３が形成された第１面１２をダイパッド２２側に向けている。
【００２７】
第１電極１３は、図１に示す導電性接合材（例えば、はんだ）２５を介してダイパッド２２に接合されている。したがって、半導体チップ１０の第１電極１３は、第１リードフレーム２１と電気的に接続されている。
【００２８】
半導体チップ１０の第２面１４上には、コネクタ５０が搭載されている。コネクタ５０は、第１部分５１と第２部分５２とを有する。第１部分５１と第２部分５２は、相対的に厚さが異なり、第１部分５１は第２部分５２よりも厚い。
【００２９】
コネクタ５０は金属板の型加工により成形され、第１部分５１及び第２部分５２は一体に設けられている。コネクタ５０は、例えば、電気伝導および熱伝導に優れた銅からなる。なお、コネクタ５０として、銅を主成分とする銅合金を使ってもよい。
【００３０】
第１部分５１は、各リードフレーム２１、３１、４１の厚みよりも厚く、例えば、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下である。第１部分５１は、半導体チップ１０の第２電極１５に例えばはんだなどの導電性接合材５５を介して接合された第１接合面５４を有する。また、第１部分５１は、第１接合面５４の反対側に形成され、樹脂８０から露出した放熱面５３を有する。
【００３１】
第２部分５２は、第１部分５１から第２リードフレーム３１側に突出している。第２部分５２の先端部の下面（第２接合面）５２ａは、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上に重なり、例えばはんだなどの導電性接合材３５を介してインナーリード３２の上面３２ａに接合している。
【００３２】
したがって、コネクタ５０は、半導体チップ１０の第２電極１５と、第２リードフレーム３１とを電気的に接続している。
【００３３】
第２接合面５２ａは平坦面である。また、第２部分５２の下面には、第２部分５２の上面側に向かってくぼんだ凹部として溝６１が設けられている。溝６１は、第２部分５２の突出方向に対して直交する方向に連続して延びている。
【００３４】
溝６１は、第２接合面５２ａよりも第１部分５１側に、第２接合面５２ａに近接して設けられている。第２接合面５２ａと溝６１との間には段差が形成されている。溝６１は、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上面３２ａの上には重ならず、インナーリード３２よりも第１リードフレーム２１側に形成されている。
【００３５】
また、図２（ｂ）に示すように、半導体チップ１０の第３電極（ゲート電極）１６と、第３リードフレーム４１は、ゲートコネクタ７０によって電気的に接続されている。あるいは、第３電極１６と第３リードフレーム４１は、ワイヤボンディング接続でもよい。
【００３６】
ゲートコネクタ７０の一端部７１は、例えばはんだなどの導電性接合材を介して第３電極１６に接合されている。ゲートコネクタ７０の他端部７２は、第３リードフレーム４１のインナーリード４２の上に重なり、例えばはんだなどの導電性接合材を介して第３リードフレーム４１のインナーリード４２の上面に接合している。
【００３７】
半導体チップ１０は、樹脂封止され、外部環境から保護されている。樹脂８０は、半導体チップ１０、ダイパッド２２の上面、第２リードフレーム３１のインナーリード３２、第３リードフレーム４１のインナーリード４２、コネクタ５０の第１部分５１の側面、コネクタ５０の第２部分５２を覆っている。
【００３８】
また、樹脂８０は、第１電極１３とダイパッド２２との接合部、第２電極１５とコネクタ５０との接合部、コネクタ５０の第２部分５２と第２リードフレーム３１のインナーリード３２との接合部、第３電極１６と第３リードフレーム４１のインナーリード４２との接合部を覆っている。
【００３９】
第１リードフレーム２１の下面（リード２３の下面およびダイパッド２２の下面）、第２リードフレーム３１のアウターリード３３の下面、および第３リードフレーム４１のアウターリード４３の下面は、樹脂８０で覆われずに、樹脂８０から露出している。
【００４０】
それら第１リードフレーム２１の下面、第２リードフレーム３１のアウターリード３３の下面、および第３リードフレーム４１のアウターリード４３の下面は、図示しない実装基板（配線基板）の導体パターンに対して例えばはんだを介して接合される。
【００４１】
また、図１、図２（ａ）に示すように、コネクタ５０の第１部分５１の上面は樹脂８０から露出され、放熱面５３として機能する。コネクタ５０の放熱面５３上には、必要に応じてヒートシンクを接合することもできる。
【００４２】
半導体チップ１０で発生した熱は、第１電極１３よりも広い面積のダイパッド２２を通じて実装基板に放熱され、なおかつ、コネクタ５０の放熱面５３を通じて半導体装置１の外部（例えば空気中）に放熱される。すなわち、実施形態の半導体装置１は、両面放熱パッケージ構造を有し、特にチップ発熱量が大きくなりがちな電力用途の場合に放熱性を高めることができる。
【００４３】
コネクタ５０の第１部分５１は、半導体チップ１０と第２リードフレーム３１との電気的接続だけでなく、実装面の反対方向への放熱を担う放熱体としても機能する。そのコネクタ５０の第１部分５１は、半導体チップ１０の直上に搭載され、半導体チップ１０の第２電極１５の面積に対する、第２電極１５と第１部分５１との接合面の面積の比は８０％以上である。また、半導体チップ１０の第２電極１５の面積に対する、コネクタ５０の放熱面５３の面積の比は１００％以上である。
【００４４】
すなわち、第２電極１５の大部分の面がコネクタ５０への熱伝導面として使われ、コネクタ５０に伝導した熱は、第２電極１５の面積以上の放熱面５３から半導体装置１の外部に放熱される。このため、コネクタ５０を放熱体として有効に利用することができ、放熱効率に優れる。
【００４５】
コネクタ５０は全体を厚くするのではなく、第１部分５１よりも薄い第２部分５２を設けることで、コネクタ５０の上面側から樹脂８０が被さる領域を設けている。すなわち、第２部分５２において、樹脂８０はコネクタ５０の上面を覆っている。第２部分５２が樹脂８０に食い込んだ構造となっている。このため、コネクタ５０の上面のすべてを樹脂８０から露出させる構造に比べて、樹脂８０の剥離（コネクタ５０の抜け）を抑制できる。
【００４６】
前述した接合材としては、はんだに限らず、例えば銀ペーストのような導電性ペーストを使ってもよい。いずれにしても接合材は加熱により溶融した状態または流動性を持つ状態から固化して、対象となる２要素間を固定するとともに電気的に接続する。
【００４７】
ここで、コネクタ５０と半導体チップ１０とを接合する接合材５５と、コネクタ５０と第２リードフレーム３１とを接合する接合材３５が溶融した状態では、コネクタ５０は溶融した接合材の上に乗っている状態となり、コネクタ５０の位置ずれ（面方向の位置ずれ）が懸念される。
【００４８】
例えば、コネクタ５０の第２部分５２が第２リードフレーム３１のインナーリード３２上から大きく外れて、アウターリード３３の方までずれてしまうと、後に樹脂８０をモールドする工程で、コネクタ５０の第２部分５２が金型と干渉することが起こり得る。コネクタ５０と金型との干渉は、コネクタ５０や金型の変形や破損につながり得る。
【００４９】
また、コネクタ５０の上面（放熱面）５３を樹脂８０から露出させる両面放熱パッケージ構造では、図２において２点鎖線で例示するようにコネクタ５０のずれがデバイスの外観上に現れるため、品位不良となる場合があり得る。
【００５０】
そこで、実施形態によれば、コネクタ５０の第２接合面５２ａに近接して溝６１を形成することで、第２接合面５２ａの幅（第２部分５２の突出方向に対して平行な方向の幅）を制限している。
【００５１】
この溝６１によって、溶融した接合材３５がコネクタ５０の第２部分５２の下面を第１部分５１側にぬれ広がることが抑制される。したがって、第２部分５２の図１における左右方向の位置ずれが抑制される。溝６１に接合材３５が流れ込んでも、溝６１が溶融した接合材３５で満たされて接合材３５が溝６１から溢れ出さなければ、第２部分５２を位置ずれさせるような接合材３５の広がりを防ぐことができる。
【００５２】
第２リードフレーム３１に対する第２部分５２の位置ずれの抑制は、コネクタ５０全体の位置ずれを抑制し、半導体チップ１０に対する第１部分５１の位置ずれも抑制することができる。
【００５３】
また、図４に示すように、コネクタ５０の第２部分５２の第２接合面５２ａと、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上面３２ａとで、第２部分５２の突出方向の幅ａを同じにすれば、溶融した接合材３５がその幅ａを超えて幅方向に広がることがなく、コネクタ５０の第２部分５２が幅方向にずれる余地がない。
【００５４】
前述した溝６１を形成することで、第２接合面５２ａの幅を、第２リードフレーム３１の上面３２ａの幅に簡単にそろえることができる。
【００５５】
さらに、コネクタ５０の第２部分５２の第２接合面５２ａと、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上面３２ａとで、第２部分５２の突出方向に対して直交する方向の長さｂを同じにすれば、溶融した接合材３５がその長さｂを超えて長さ方向に広がることがなく、コネクタ５０の第２部分５２が長さ方向にずれる余地がない。
【００５６】
また、長さ方向のずれを抑制する構造として、図５の構造を用いることもできる。  
図５は、図２（ｂ）におけるＡ−Ａ拡大断面を表す。
【００５７】
例えば、図５に示す例では、コネクタ５０の第２部分５２の第２接合面５２ａに凹部６２を設け、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上面３２ａに凸部６３を設けている。これら凹部６２と凸部６３との嵌合により、第２リードフレーム３１のインナーリード３２に対するコネクタ５０の第２部分５２の位置ずれ（第２部分５２の突出方向に対して直交する方向の位置ずれ）が規制される。
【００５８】
第２部分５２の第２接合面５２ａと、インナーリード３２の上面３２ａとは接合材３５を介して接合され、凸部６３は凹部６２の内壁に対して接合材３５を介して接合される。
【００５９】
凹部６２は図５において紙面を貫く方向に延びる溝として形成され、これに合わせて、凸部６３も紙面を貫く方向に延びている。あるいは、凸部６３は突起、凹部６２はホールであってもよい。
【００６０】
また、コネクタ５０の第２部分５２の第２接合面５２ａに凸部を、第２リードフレーム３１のインナーリード３２の上面３２ａに凹部を設けてもよい。
【００６１】
次に、半導体チップ１０に対するコネクタ５０の位置ずれを抑制する構造について説明する。
【００６２】
図３（ｂ）に示すように、半導体チップ１０の第２面１４には、第２電極１５と第３電極１６が形成されている。その第２面１４には、図６（ａ）に示すように、絶縁膜９０が形成されている。絶縁膜９０は、例えば樹脂膜であり、例えばポリイミド膜である。
【００６３】
絶縁膜９０には第１開口９１と第２開口９２が形成されている。第１開口９１には第２電極１５が露出している。第２開口９２には第３電極１６が露出している。第２電極１５のエッジ（破線で表す）は絶縁膜９０に覆われている。第１開口９１の面積は第２電極１５の面積よりも小さく、第１開口９１のエッジ９１ａは第２電極１５のエッジよりも内側に位置している。
【００６４】
同様に、第３電極１６のエッジ（破線で表す）は絶縁膜９０に覆われている。第２開口９２の面積は第３電極１６の面積よりも小さく、第２開口９２のエッジは第３電極１６のエッジよりも内側に位置している。
【００６５】
図６（ｂ）は、図６（ａ）にコネクタ５０の第１部分５１の底面（第１接合面５４）を重ねた模式平面図である。すなわち、図６（ｂ）には、コネクタ５０において、接合材５５（図１に示す）を介して半導体チップ１０の第２電極１５に接合される部分（面）のみを模式的に図示している。
【００６６】
コネクタ５０の第１接合面５４の面積は、第２電極１５の面積および絶縁膜９０の第１開口９１の面積よりも小さく、第１接合面５４のエッジ５４ａは第１開口９１のエッジ９１ａよりも内側に位置している。第１接合面５４のエッジ５４ａは、５０μｍ以上２００μｍ以下の距離ｄを隔てて、絶縁膜９０の第１開口９１のエッジ９１ａよりも内側に位置している。
【００６７】
したがって、溶融した接合材５５を介してコネクタ５０の第１接合面５４が半導体チップ１０の第２電極１５上に乗った状態において、第１接合面５４が第２電極１５に対して面方向にずれるとしても距離ｄ（５０μｍ以上２００μｍ以下）に制限することができる。コネクタ５０の第１接合面５４は、絶縁膜９０の第１開口９１のエッジ９１ａを超えて第１開口９１の外側にずれることがない。したがって、半導体チップ１０に対するコネクタ５０の位置ずれを抑制することができる。
【００６８】
また、第２電極１５の面積に対する絶縁膜９０の第１開口９１の面積の比は、８０％以上１００％未満である。すなわち、第２電極１５は、面積比で８０％以上の領域でコネクタ５０の第１部分５１と接合しているため、半導体チップ１０とコネクタ５０との接合部の電気抵抗を低減でき、さらに半導体チップ１０からコネクタ５０への放熱性も向上できる。
【００６９】
以上説明した実施形態によれば、半導体チップ１０および第２リードフレーム３１に対して、それら半導体チップ１０と第２リードフレーム３１とを接続するコネクタ５０の位置ずれを抑制することができる。このため、コネクタ５０を介した半導体チップ１０と第２リードフレーム３１との間の電気的接続の抵抗上昇を抑えることができる。また、半導体チップ１０に対するコネクタ５０の熱的接続の低下もまねかずに、コネクタ５０を通じた放熱性を高めることができる。コネクタ５０の位置精度が上がれば、製造が安定し、信頼性も向上する。
【００７０】
図７は、他の実施形態の半導体装置の模式上面図である。  
図８は、他の実施形態の半導体装置の模式断面図である。
【００７１】
樹脂８０から露出するコネクタ５０の放熱面５３が四角形状であると、コネクタ５０が放熱面５３に対して平行な面内で回転するように位置ずれした場合、図２（ａ）において２点鎖線で示すように、パッケージ外形線（樹脂８０の外形線）に対して放熱面５３の外形線が非平行になり、外観上の品位が損なわれやすい。
【００７２】
これに対して、図７に示すように、樹脂８０から露出する放熱面５３の形状を円形にすると、コネクタ５０が回転方向にずれたとしても外観には現れず、外観上の品位低下をまねかない。
【００７３】
なお、コネクタ５０の第１部分５１において、半導体チップ１０の第２電極１５との接合面５４は、円形放熱面５３の面積よりも大きな角形（例えば略四角形）にすることで、第２電極１５とコネクタ５０との接合面積の低下を防げる。
【００７４】
すなわち、図７、８に示すように、コネクタ５０の第１部分５１は、四角い板状の下部５６の上に円錐台形状の上部５７が設けられた構造を有する。下部５６の下面は略四角形の第１接合面５４であり、上部５７の上面は円形の放熱面５３である。
【００７５】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７６】
１０…半導体チップ、１１…半導体層、１２…第１面、１３…第１電極、１４…第２面、１５…第２電極、１６…第３電極、２１…第１リードフレーム、２２…ダイパッド、２３…リード、３１…第２リードフレーム、３２…インナーリード、３３…アウターリード、４１…第３リードフレーム、４２…インナーリード、４３…アウターリード、５０…コネクタ、５１…第１部分、５２…第２部分、５２ａ…第２接合面、５３…放熱面、５４…第１接合面、６１…凹部（溝）、６２…凹部、６３…凸部、７０…ゲートコネクタ、８０…樹脂、９０…絶縁膜、９１…開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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