(57)【要約】【課題】液体に含まれる異物や成分の滞留を抑制することができる弁装置及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  流路を開閉する弁装置であって、内部に圧力調整室２３が設けられた装置本体と、前記圧力調整室の開口を封止するフィルムと、前記フィルムに接着された受圧板３１と、前記受圧板に連結された弁体と、前記弁体を前記フィルムに向かって付勢するバネと、を具備し、前記圧力調整室は、液体を流入する流入口２２と、液体を排出する流出口２６ａと、前記受圧板に相対向する領域に設けられた壁部２７と、前記受圧板に相対向する領域に設けられた第１凹部２８と、を有し、前記弁体は、前記流入口を開閉し、前記流入口は、前記第１凹部に設けられ、前記弁体の移動軸方向において、前記壁部と前記受圧板との間隔は、前記第１凹部と前記受圧板との間隔よりも狭く、前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記壁部は、前記第１凹部が、前記流入口から、前記流入口に対して前記流出口とは反対側に向かって配置されるように、設けられている。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を開閉する弁装置であって、
内部に圧力調整室が設けられた装置本体と、
前記圧力調整室の開口を封止するフィルムと、
前記フィルムに接着された受圧板と、
前記受圧板に連結された弁体と、
前記弁体を前記フィルムに向かって付勢するバネと、を具備し、
前記圧力調整室は、液体を流入する流入口と、液体を排出する流出口と、前記受圧板に相対向する領域に設けられた壁部と、前記受圧板に相対向する領域に設けられた第１凹部と、を有し、
前記弁体は、前記流入口を開閉し、
前記流入口は、前記第１凹部に設けられ、
前記弁体の移動軸方向において、前記壁部と前記受圧板との間隔は、前記第１凹部と前記受圧板との間隔よりも狭く、
前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記壁部は、前記第１凹部が、前記流入口から、前記流入口に対して前記流出口とは反対側に向かって配置されるように、設けられていることを特徴とする弁装置。
【請求項２】
前記圧力調整室は、第２凹部を有し、
前記流出口は、前記第２凹部に設けられ、
前記壁部は、前記第２凹部が、前記第１凹部と連通し、かつ前記圧力調整室の開口縁部に沿って配置されるように、設けられていることを特徴とする請求項１記載の弁装置。
【請求項３】
前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記第１凹部は、前記流入口と前記流出口とを通る直線に直交する方向の開口幅が、前記流出口側から前記流入口側に向かって狭くなるように、設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載の弁装置。
【請求項４】
前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記壁部は、前記受圧板の外側まで設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の弁装置。
【請求項５】
前記受圧板は、前記バネの一端部を収容するバネ受けが設けられ、
前記壁部と前記受圧板とが当接しない時において、前記弁体の移動軸方向における、前記第１凹部と前記バネ受けとの間隔は、前記流入口と前記流出口とを通る直線方向における、前記壁部と前記バネ受けとの間隔よりも広いことを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の弁装置。
【請求項６】
前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記流入口と前記流出口とを通る直線を対称軸として、前記壁部は線対称となっていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の弁装置。
【請求項７】
前記フィルムの面方向が鉛直方向と同じ方向となるように配置されていると共に、前記流出口が前記流入口よりも鉛直方向上側に配置されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の弁装置。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか一項に記載の弁装置を具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路の途中に設けられて流路を開閉する弁装置及び弁装置を有する液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置等には、液体が貯留された貯留手段から液体を噴射する液体噴射ヘッドに液体を供給する流路の途中に、当該流路を開閉して液体の供給圧を調整する自己封止弁等の弁装置が設けられている。
【０００３】
弁装置は、下流側の圧力が負圧（大気圧に対して負圧）になることで弁体を開いて開弁し、上流側から下流側に液体を供給するようになっている。具体的には、上流流路に接続された収容室と下流流路に接続された圧力調整室とを連通する連通孔（流入口）に弁体を設け、圧力調整室の一側面を可撓性のフィルムで形成されたダイヤフラムによって形成し、圧力調整室内の液体の圧力と大気圧との圧力差に応じてダイヤフラムが撓み変形することにより、弁体を移動させて連通孔（流入口）を開閉する構成となっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、流入口から圧力調整室に流入した液体は、圧力調整室が下流流路と接続された流出口に向かって最短距離を通過しようとするため、流入口と流出口とを結ぶ直線以外の領域、特に流入口と流出口とを結ぶ線上において流出口とは反対側に液体が滞留し、液体に含まれるゴミや気泡等の異物や液体に含まれる成分が保持され易い。
【０００５】
このため、圧力調整室内に設けた壁部とフィルムとが非接触状態で第１流路を形成する第１モードと、壁部とフィルムとが接触状態で第２流路を形成する第２モードと、に切り替え可能とし、液体の流れを切り替えて、液体の滞留を抑制した弁装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２３０１９６号公報
【特許文献２】特開２０１２−１５８００２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、フィルム接着時の熱によりフィルムに皺が生じる場合に、皺の凹凸を考慮して特許文献２の第１モード（第１流路）と第２モード（第２流路）とを切り替えが可能なようにフィルムを貼り付けることが難しく、第１モード（第１流路）と第２モード（第２流路）との切り替え（フィルムと壁との当接状態の切り替え）を制御するのが難しいという問題がある。第１モード（第１流路）と第２モード（第２流路）との切り替えがうまくいかないと、例えば、供給圧の調整時にフィルムが壁部に当接してしまい、その結果、フィルムが大気圧から受ける力が壁部に逃げ、弁に加わる力が小さくなってしまい、供給圧の調整がうまくいかない虞がある。
なお、このような問題はインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置に搭載される弁装置に限定されず、他の装置に搭載される弁装置においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、液体に含まれる異物や成分の滞留を抑制することができる弁装置及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、流路を開閉する弁装置であって、内部に圧力調整室が設けられた装置本体と、前記圧力調整室の開口を封止するフィルムと、前記フィルムに接着された受圧板と、前記受圧板に連結された弁体と、前記弁体を前記フィルムに向かって付勢するバネと、を具備し、前記圧力調整室は、液体を流入する流入口と、液体を排出する流出口と、前記受圧板に相対向する領域に設けられた壁部と、前記受圧板に相対向する領域に設けられた第１凹部と、を有し、前記弁体は、前記流入口を開閉し、前記流入口は、前記第１凹部に設けられ、前記弁体の移動軸方向において、前記壁部と前記受圧板との間隔は、前記第１凹部と前記受圧板との間隔よりも狭く、前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記壁部は、前記第１凹部が、前記流入口から、前記流入口に対して前記流出口とは反対側に向かって配置されるように、設けられていることを特徴とする弁装置にある。
かかる態様では、第１凹部によって、開弁した際に流入口から流出口に向かう流路抵抗よりも、流入口から流出口とは反対側に向かう流路抵抗を小さくして、流出口とは反対側に液体を多く流すことができる。したがって、液体を圧力調整室の全体で攪拌して液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。また、壁部に受圧板を当接させることで、フィルムの貼り付けを高精度に行う必要がなくなる。
【００１０】
ここで、前記圧力調整室は、第２凹部を有し、前記流出口は、前記第２凹部に設けられ、前記壁部は、前記第２凹部が、前記第１凹部と連通し、かつ前記圧力調整室の開口縁部に沿って配置されるように、設けられていることが好ましい。これによれば、第２凹部によってさらに圧力調整室全体の液体の攪拌を行うことができる。
【００１１】
また、前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記第１凹部は、前記流入口と前記流出口とを通る直線に直交する方向の開口幅が、前記流出口側から前記流入口側に向かって狭くなるように、設けられていることが好ましい。これによれば、圧力調整室の周縁部のうち、流入口に対して流出口とは反対側の周縁部で液体の流れが遅くなるのを抑制して、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００１２】
また、前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記壁部は、前記受圧板の外側まで設けられていることが好ましい。これによれば、受圧板のずれや移動軸の傾斜などが生じても受圧板を壁部に確実に当接させることが可能となる。さらに、第１凹部を、圧力調整室の周縁部のうち、流入口に対して流出口とは反対側の周縁部の付近にまで設けることができ、液体を圧力調整室の全体で攪拌して液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００１３】
また、前記受圧板は、前記バネの一端部を収容するバネ受けが設けられ、前記壁部と前記受圧板とが当接しない時において、前記弁体の移動軸方向における、前記第１凹部と前記バネ受けとの間隔は、前記流入口と前記流出口とを通る直線方向における、前記壁部と前記バネ受けとの間隔よりも広いことが好ましい。これによれば、流入口から圧力調整室内に流入した液体を、より流路抵抗の低い第１凹部と受圧板との間に多く流すことができる。また、バネ受けにより、受圧板とこれを付勢するバネとの接続を安定させることができる。
【００１４】
また、前記弁体の移動軸方向から平面視した際に、前記流入口と前記流出口とを通る直線を対称軸として、前記壁部は線対称となっていることが好ましい。これによれば、流入口と流出口とを通る直線を中心として両側の液体の流れを均等にすることができ、液体が滞留する領域をさらに減少させることができる。
【００１５】
また、前記フィルムの面方向が鉛直方向と同じ方向となるように配置されていると共に、前記流出口が前記流入口よりも鉛直方向上側に配置されていることが好ましい。これによれば、流出口から気泡を排除し易くすることができると共に、第１凹部によって鉛直方向下側に液体に含まれる異物や成分が沈降するのを抑制することができる。
【００１６】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の弁装置を具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態１に係る弁装置の斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る弁装置の平面図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る弁装置の断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る弁装置の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る弁装置の断面図である。
【図６】本発明の実施形態１に係る弁装置の要部を示す図である。
【図７】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略図である。
【図８】本発明の実施形態２に係る弁装置の要部を示す図である。
【図９】本発明の実施形態３に係る弁装置の要部を示す図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る弁装置の要部を示す図である。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る弁装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る弁装置の斜視図であり、図２は、弁装置の平面図であり、図３及び図４は、図２のＡ−Ａ′線断面図、図５は、図２のＢ−Ｂ′線断面図であり、図６は、弁装置の圧力調整室を示す平面図である。
【００１９】
図示するように、弁装置１０は、インク等の液体が流れる流路の途中に設けられて当該流路を開閉するものであり、図示するＺ方向のＺ２側において、弁装置１０を構成する装置本体２０の一側面には、可撓性のフィルム３０が熱溶着等により接合されている。
【００２０】
装置本体２０には、流路の上流側に連通する収容室２１と、収容室２１に流入口２２を介して連通すると共に流路の下流側に連通する圧力調整室２３と、が設けられている。
【００２１】
収容室２１は、図示するＺ方向のＺ１側において、装置本体２０の一側面に形成された凹部を蓋部材２４で封止することで形成されている。また、収容室２１には、流入路２５の一端が連通して設けられている。この流入路２５の他端には、チューブ等を介して上流流路が接続される。
【００２２】
圧力調整室２３は、装置本体２０のＺ１側である収容室２１が設けられた側とは反対側のＺ２側の一側面に、開口する凹形状を有する。また、装置本体２０の圧力調整室２３が開口する面には、フィルム３０が貼付されており、圧力調整室２３の開口はフィルム３０によって封止されている。また、圧力調整室２３には、流出路２６の一端としての流出口２６ａが連通して設けられている。この流出路２６の他端には、チューブ等を介して又は直接下流流路が接続される。
【００２３】
ここでフィルム３０は、液体に対して耐性を有する可撓性材料を用いることができる。また、フィルム３０としては、水分透過率や液酸素や窒素等のガス透過率の低い材料を用いるのが好ましい。フィルム３０の材料としては、例えば、高密度ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレン（ＰＰ）フィルムに、塩化ビニリデン（サラン）をコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートした構成が挙げられる。また、他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。また、フィルム３０の接合方法は、熱溶着に限定されず、振動溶着や接着剤を用いるようにしてもよい。
【００２４】
フィルム３０の圧力調整室２３の壁面の一部を構成する部分は、ダイヤフラム３０ａとなっている。本実施形態では、圧力調整室２３を開口が円形状となるように設けたため、圧力調整室２３の開口を封止するダイヤフラム３０ａは円形状となっている。
【００２５】
また、ダイヤフラム３０ａのＺ１側である圧力調整室２３側の面には、受圧板３１が設けられている。受圧板３１は、ダイヤフラム３０ａよりも小さな外径を有する円盤形状を有し、ダイヤフラム３０ａのＺ１側の面に略中心位置に貼付されている。受圧板３１とフィルム３０との接着方法は特に限定されず、例えば、熱溶着、振動溶着、接着剤を用いた接着等であってもよい。このような受圧板３１は、流入口２２を開閉する弁体が直接フィルム３０に当接するのを避けるために設けられたものであり、ダイヤフラム３０ａよりも剛性の高い材料、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。
【００２６】
また、受圧板３１には、詳しくは後述するコイルバネである第２バネ４０を受けるバネ受け３２が設けられている。バネ受け３２は、圧力調整室２３側の面に円環形状に突出して設けられており、第２バネ４０の一端部が内部に収容される。
【００２７】
圧力調整室２３の底面、すなわち、装置本体２０のダイヤフラム３０ａに相対向する壁面には、図示するＺ方向である厚さ方向に貫通して圧力調整室２３と収容室２１とを連通する流入口２２が設けられている。この流入口２２が収容室２１から圧力調整室２３に液体を流入する流入流路として機能する。このような流入口２２は、圧力調整室２３の略中央、すなわち、受圧板３１の略中央に相対向して設けられている。
【００２８】
この流入口２２には、弁体５０が挿通されている。弁体５０は、流入口２２に挿通された軸部５１と、軸部５１の収容室２１内の端部に設けられたフランジ部５２と、フランジ部５２に嵌着されたシール部材５３と、を具備する。
【００２９】
軸部５１は、流入口２２よりも若干小さな外径を有し、圧力調整室２３内の一端部が受圧板３１の中央部に当接する。また、軸部５１の受圧板３１に当接する一端部とは反対側の他端部は収容室２１内に配置されており、収容室２１内の他端部には、フランジ部５２が一体的に形成されている。
【００３０】
フランジ部５２は、円形の板状部材からなる。また、フランジ部５２には、シール部材５３が嵌着されている。シール部材５３は、ゴム又はエラストマー等からなり、中央に貫通孔を有するドーム形状を有する。シール部材５３は、貫通孔が軸部５１を挿通する配置となるようにフランジ部５２に嵌着されている。
【００３１】
このような弁体５０のフランジ部５２と収容室２１を画成する蓋部材２４との間には、コイルバネである第１バネ４１が介装されており、第１バネ４１の付勢力により、弁体５０は、軸部５１の軸方向を移動軸方向として圧力調整室２３側に付勢されている。なお、第１バネ４１は、フランジ部５２の軸部５１とは反対面側に設けられた第１凸部５４と、蓋部材２４に設けられた第２凸部２４ａとに嵌合されることで保持されている。この第１バネ４１がフランジ部５２を流入口２２側に付勢することで、シール部材５３が流入口２２の開口縁部に当接し、流入口２２を閉口、すなわち、閉弁する。ここで、Ｚ１側からＺ２側へのＺ方向を、流入口２２が開弁の状態から閉弁の状態へ軸部５１が移動する方向、すなわち、弁体５０の移動軸方向と定義する。
【００３２】
また、圧力調整室２３内の受圧板３１と、圧力調整室２３の受圧板３１に相対向する底面との間には、コイルバネである第２バネ４０が介装されている。第２バネ４０は、軸部５１の外周に配置されており、受圧板３１を圧力調整室２３の底面とは反対側に付勢する。
【００３３】
ここで、弁体５０に働く力には、フィルム３０の反力と、圧力調整室２３の液体圧を受けて受圧板３１とダイヤフラム３０ａとに働く力と、第１バネ４１の付勢力と、第２バネ４０の付勢力と、液体の供給圧を受けて弁体５０に働く力と、がある。
【００３４】
フィルム３０の反力とは、撓み変形したダイヤフラム３０ａが元の形状に復元しようとする力である。ダイヤフラム３０ａの変形量、すなわち、撓み量が大きいほど、フィルム３０の反力は大きくなる。このようなフィルム３０の反力は受圧板３１を介して軸部５１に伝達される。
【００３５】
圧力調整室２３のインク圧を受けて受圧板３１とダイヤフラム３０ａとに働く力とは、インク圧を受ける受圧板３１とダイヤフラム３０ａとの受圧面積とインク圧との積で表される。圧力調整室２３内の液体が流出口２６ａから下流に流されて、圧力調整室２３内の液体が減少すると、液体圧と大気圧との差圧が大きくなり、受圧板３１とダイヤフラム３０ａとに働く力は大きくなる。この受圧板３１とダイヤフラム３０ａとに働く力は、軸部５１を介して弁体５０に開弁方向の力として働く。
【００３６】
第１バネ４１の付勢力は、弁体５０をＺ２側である閉弁方向に付勢する力である。また、第２バネ４０の付勢力は、受圧板３１をＺ２側である大気側に押圧する力である。このように、本実施形態では、弁体５０は、第１バネ４１及び第２バネ４０によって、圧力調整室２３の液体の圧力によって受圧板３１とダイヤフラム３０ａとに働く力とは反対向きの力を受圧板３１に与えるので、受圧板３１を弁体５０が開弁位置に達するまで変位させるためには、第１バネ４１及び第２バネ４０の付勢力に相当する分だけ、圧力調整室２３内の液体をより低い圧力まで減圧させる必要がある（動作圧）。このように、本実施形態では、動作圧を設定するためのバネを、第１バネ４１及び第２バネ４０に分けて、それぞれを収容室２１と圧力調整室２３とに収容することで、バネを収容室２１又は圧力調整室２３の一方のみに収容する場合に比べて、弁装置１０の薄型化を図ることができる。
【００３７】
そして、このような弁装置１０では、圧力調整室２３内の液体が下流に流されて圧力調整室２３内が大気圧よりも負圧に減圧されることで、ダイヤフラム３０ａが圧力調整室２３の底面側に移動し、受圧板３１が弁体５０を第１バネ４１及び第２バネ４０の付勢力に抗してＺ１側に押圧することで弁体５０のシール部材５３と流入口２２の開口縁部との間に隙間が生じて、流入口２２が開口、すなわち開弁する。また、この開弁によって収容室２１から圧力調整室２３内にインクが供給されることで、圧力調整室２３内の減圧が解消されると、ダイヤフラム３０ａが第１バネ４１及び第２バネ４０の付勢力によって元の位置に戻り、閉弁する。
【００３８】
このような弁装置１０の圧力調整室２３の底面には、圧力調整室２３内の液体を下流流路に流すための流出路２６の一端が開口して設けられている。本実施形態では、流出路２６の圧力調整室２３の開口を流出口２６ａと称する。また、本実施形態の流出口２６ａは、図示するＹ方向においてＹ２側である、圧力調整室２３の一端部側に設けられている。なお、本実施形態では、鉛直方向の上側がＹ方向のＹ２側となっている。すなわち、本実施形態の弁装置１０は、フィルム３０の面方向が鉛直方向のＹ方向を含むように配置される。そして、流出口２６ａは、圧力調整室２３の鉛直方向の上側の端部に配置されている。これにより、圧力調整室２３内の気泡が浮力によって鉛直方向の上側に移動したとしても、気泡を流出口２６ａから確実に排出させることができる。また、液体を圧力調整室２３に最初に充填する初期充填において、圧力調整室２３内の気体を流出口２６ａから排出して、圧力調整室２３内の気体や気泡の残留を減少させることができる。すなわち、初期充填は、例えば、液体を弁装置１０に供給する流入路２５に連通する部分を閉塞（チョーク）した状態で、流出路２６側から気体及び液体を吸引することで行うことができる。この初期充填時のチョークを解放した際に圧力調整室２３に残留する気体の量は、流出口２６ａの鉛直方向の位置で決まる。つまり、流出口２６ａが鉛直方向上側にあればあるほど、初期充填時に圧力調整室に残留する気体を減少することができる。なお、本実施形態では、鉛直方向の上側がＹ方向のＹ２側となっているが、Ｙ方向については後述する。
【００３９】
ちなみに、流出口２６ａが鉛直方向で下側に配置されていると、初期充填時に流出口２６ａよりも鉛直方向上側に気体が残留し、残留した気体は浮力によって流出口２６ａまで下がることがないため、圧力調整室２３の液体を収容する容積が減少してしまうと共に、ダイヤフラム３０ａの挙動が変わってしまう。また、圧力調整室２３に気泡が残留すると、気泡が予期せぬタイミングで下流側に流れて不具合が生じてしまう虞がある。また、液体に含まれる気泡やフィルム３０を透過した気体は浮力によって鉛直方向上側に溜まるため、気泡が成長してしまうと共に成長した気泡を流出口２６ａから排出することが困難になってしまう。そして、気泡を排出するためには、例えば、液体を気泡と共に流出路２６側から吸引するクリーニング動作を行うことで排出させることができるが、クリーニング動作に要する液体の消費量が増大してしまう。本実施形態では、流出口２６ａを圧力調整室２３の鉛直方向上側の端部に配置することで、初期充填時の気体の残留を抑制することができると共に、圧力調整室２３内の液体に含まれる気泡やフィルム３０を透過した気体が流出口２６ａから排出し易くして、気泡の成長や残留を排出するための液体の消費を抑制することができる。なお、流出口２６ａは、少なくとも流入口２２よりも鉛直方向上側に配置されていれば、気体の残留や気泡の滞留を抑制することができる。
【００４０】
このような圧力調整室２３の底面、すなわち、ダイヤフラム３０ａに相対向する壁面には、壁部２７がＺ１側からＺ２側であるダイヤフラム３０ａ側に突出して設けられている。壁部２７は、図示するＹ方向において、流入口２２が設けられた領域から、圧力調整室２３の周縁部のうち、流出口２６ａ側であるＹ２側とは反対側のＹ１側の周縁部に向かって設けられた第１凹部２８と、第１凹部２８に連通して圧力調整室２３の外周側の周方向に亘って連続して設けられた第２凹部２９と、を圧力調整室２３内に形成するように設けられている。ここで、Ｙ１側からＹ２側へのＹ方向を、Ｚ方向から平面視した際に、流入口２２から流出口２６ａへの方向と定義する。すなわち、Ｙ方向は、前述のＺ方向と垂直な方向である。
【００４１】
第１凹部２８は、ダイヤフラム３０ａ側のＺ２側に開口するように、Ｚ１側の底面に設けられ、底面があるＺ１側において流入口２２と連通している。すなわち、第１凹部２８の底面のうち、ダイヤフラム３０ａに相対向する面には流入口２２が開口している。また、本実施形態では、第１凹部２８は、流入口２２から、Ｙ方向のＹ１側の周縁部に向かって、すなわち、鉛直方向の下側に沿って設けられている。また、本実施形態の第１凹部２８は、鉛直方向の下側に向かって、図示するＸ方向における開口幅が略同じになるように設けられている。このような第１凹部２８によって、壁部２７と受圧板３１とのＺ方向の間隔に比べて、第１凹部２８と受圧板３１とのＺ方向の間隔は広くなっている。なお、第１凹部２８は、受圧板３１のバネ受け３２が挿入される大きさの開口で設けられており、ダイヤフラム３０ａが圧力調整室２３の底面側に撓み変形した際に、バネ受け３２は、第１凹部２８内に挿入される。また、図４に示すように、第１凹部２８のＺ方向の深さは、受圧板３１が壁部２７に当接した際に、バネ受け３２が第１凹部２８の底面に当接しない深さで形成されている。ここで、Ｘ方向は、Ｙ方向及びＺ方向に垂直な方向とする。
【００４２】
ここで、弁体５０が開弁した際に、流入口２２の周囲において、受圧板３１のバネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ１は、受圧板３１のバネ受け３２と壁部２７とのＹ方向の間隔ｄ２よりも広くなっている。すなわち、バネ受け３２が設けられていない受圧板３１の場合には、第１凹部２８によってｄ２よりもｄ１の方が確実に広くなるものの、バネ受け３２が設けられている場合、バネ受け３２の突出量やバネ受け３２の位置等によって反転、すなわち、ｄ１の方がｄ２よりも狭くなってしまう場合が考えられる。したがって、バネ受け３２は、ｄ１の方がｄ２よりも広くなる位置及び突出量で形成されている必要がある。
【００４３】
なお、第１凹部２８を形成する壁部２７は、言い換えると、Ｚ方向から平面視した際に、弁体５０の軸部５１を中心として、３６０度未満に設けられている。なお、壁部２７は、１８０度以上となるように設けられているのが好ましい。ちなみに、壁部２７が１８０度よりも小さく設けられているとは、壁部２７が流入口２２のＸ方向に設けられておらず、流入口２２よりも鉛直方向下側のすべてが第１凹部２８となってしまう。そして、このように開口幅の広い第１凹部２８では、詳しくは後述するが、圧力調整室２３内の液体の攪拌能力が低くなってしまうからである。また、壁部２７、第１凹部２８及び第２凹部２９は、Ｚ方向から平面視した際に、Ｙ方向を軸とした線対称となる形状となっている。これにより、詳しくは後述するが、第１凹部２８及び第２凹部２９によって圧力調整室２３に液体の流れを形成する際に、液体が滞留する領域を減らして、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００４４】
第２凹部２９は、第１凹部２８のＹ１側の端部から流出口２６ａに向かって、圧力調整室２３の両側の外周に沿って連続して設けられている。すなわち、本実施形態の第２凹部２９は、壁部２７を圧力調整室２３の周縁部から一定の距離を離して設けることで、圧力調整室２３の鉛直方向下側から鉛直方向上側に向かって圧力調整室２３の外周側に周方向に沿って連続して設けられている。このような第２凹部２９の底面に流出口２６ａが開口して設けられている。また、第２凹部２９は、本実施形態では、圧力調整室２３の周方向に向かって略同じ幅で設けられている。なお、第１凹部２８及び第２凹部２９を圧力調整室２３内に形成する壁部２７は、Ｚ方向から平面視した際に、受圧板３１の外側まで達する大きさで設けられている。すなわち、壁部２７は、受圧板３１の射影が収まる大きさ、つまり受圧板３１よりも大きな外径で設けられている。これにより、Ｚ方向のＺ１側である壁部２７側に受圧板３１が移動した際に、受圧板３１がフィルム３０のＸＹの面方向にずれたとしても、受圧板３１を壁部２７に確実に当接させることができる。また、壁部２７が受圧板３１の外側まで設けられていない場合よりも、壁部２７を受圧板３１の外側まで設けた場合の方が、第１凹部２８を圧力調整室２３のＹ１側の周縁部の付近にまで設けることができ、液体を圧力調整室２３の全体で攪拌して液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００４５】
なお、Ｚ方向から平面視した際に、受圧板３１の外側まで達する大きさで壁部２７が設けられているため、壁部２７には、圧力調整室２３の底面のうち、受圧板３１に相対向する領域に設けられた部分と、受圧板３１に相対向しない領域に設けられた部分とが含まれる。同様に、第１凹部２８には、受圧板３１に相対向する領域に設けられた部分と、受圧板３１に相対向しない領域に設けられた部分とが含まれる。
【００４６】
このような第１凹部２８と第２凹部２９とが連通する部分の壁部２７の角は、曲面となるように面取りされており、第１凹部２８から第２凹部２９に液体が流れる際に、角部に異物や気泡が引っかかるのを抑制している。
【００４７】
このような弁装置１０では、圧力調整室２３内の液体が流出口２６ａから流れ出て、圧力調整室２３内の圧力が減圧されると、図３（ｂ）及び図４に示すように、ダイヤフラム３０ａがＺ１側に移動し、受圧板３１が弁体５０を第１バネ４１及び第２バネ４０の付勢力に抗してＺ１側に押圧する。
【００４８】
このとき、圧力調整室２３内の液体の減圧が小さい（大気圧と液体の圧力との差が小さい）場合には、図３（ｂ）に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接しない状態で、開弁する。また、圧力調整室２３内の液体の減圧が大きい、すなわち、大気圧と液体の圧力との差が大きい場合には、図４に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接する。
【００４９】
ここで、図４に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接した状態では、受圧板３１と第１凹部２８との間に、流入口２２からＹ１側に延びる供給流路が形成される。そして、流入口２２から圧力調整室２３内に流入した液体は、第１凹部２８と受圧板３１との間に形成された供給流路を介して流出口２６ａとは反対側、すなわち、本実施形態では鉛直方向下側に供給される。
【００５０】
また、図３（ｂ）に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接しない状態では、流入口２２の周囲において、受圧板３１と壁部２７とのＺ方向の間隔よりも受圧板３１と第１凹部２８とのＺ方向の間隔の方が広いため、第１凹部２８と受圧板３１との間の部分の流路抵抗は、受圧板３１と壁部２７との流路抵抗よりも小さくなる。したがって、流入口２２から圧力調整室２３に流入した液体は、流路抵抗の高い受圧板３１と壁部２７との間に比べて、流路抵抗の低い第１凹部２８と受圧板３１との間に多く流れる。つまり、流入口２２から圧力調整室２３内に流入した液体は、流入口２２から流出口２６ａとは反対側、すなわち、本実施形態では、鉛直方向下側に向かって流れる。
【００５１】
さらに、上述のように、バネ受け３２と壁部２７とのＹ方向の間隔ｄ２を、バネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ１よりも狭くしているので、流入口２２から圧力調整室２３内に流入した液体を、より流路抵抗の低い第１凹部２８と受圧板３１との間に多く流すことができる。
【００５２】
このように、図３（ｂ）及び図４に示すように、流入口２２から圧力調整室２３に流入した液体は、流路抵抗が低い方向、すなわち、流入口２２からＹ１側に向かって流れるため、圧力調整室２３の全体に液体の流れを形成することができる。
【００５３】
ちなみに、壁部２７により第１凹部２８が形成されていない場合、流入口２２から圧力調整室２３に流入した液体は、直接流出口２６ａに向かう直線上に多く流れる。このため、流入口２２に対してＹ１側には、液体の流れが形成されず、液体に含まれる気泡や異物、液体に含まれる成分などが滞留する。特に、本実施形態のように、Ｙ方向が鉛直方向となるように配置し、気泡排出性を考慮して流出口２６ａを鉛直方向の上側に配置した場合には、鉛直方向の下側に液体の滞留が生じる領域が発生するため、液体に含まれる異物や成分が圧力調整室２３の鉛直方向の下側に多く沈降してしまう。
【００５４】
本実施形態では、圧力調整室２３の液体に含まれる異物や成分が滞留し易い領域に向かって流路抵抗の小さな供給流路を形成することで、液体の滞留を抑制して、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００５５】
なお、図３（ｂ）のように、、受圧板３１が壁部２７に当接しない程度の状態と、図４のように受圧板３１が壁部２７に当接する状態とは、選択的に制御できることが好ましい。
【００５６】
例えば、前述のように流入路２５に連通する部分を閉塞（チョーク）した状態で、流出路２６側から吸引する場合に、図４に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接した状態とすることで、圧力調整室２３の全体に液体の流れを形成し、圧力調整室２３内の気体及び液体に加え沈降物も、流出口２６ａから効果的に排出することができる。
【００５７】
また、流入路２５に連通する部分を閉塞（チョーク）せずに圧力調整室２３内の液体を顆粒に流す場合に、図３（ｂ）に示すように、受圧板３１が壁部２７に当接しない程度の状態とすることで、受圧板３１と壁部２７との間に隙間が形成され、第１凹部２８による供給流路とは別に僅かの液体を流出口２６ａに向けて直線的に流すことができる。よって、流入口２２から圧力調整室２３内に流入した液体やそれに含まれる気泡が、壁部２７付近で滞留するのを低減することができる。
【００５８】
このように第１凹部２８によってＹ１側に流れた液体は、次に圧力調整室２３のＹ１側の周縁部から流出口２６ａに向かって流れるが、ダイヤフラム３０ａと圧力調整室２３の底面とのＺ方向の間隔について、第２凹部２９が形成されている領域が広くなっており、壁部２７が設けられた領域が狭くなっている。このため、第２凹部２９は壁部２７が設けられた領域に比べて流路抵抗が小さく、第２凹部２９内を圧力調整室２３の周縁部に沿って液体が多く流れて流出口２６ａから流出される。ちなみに、第２凹部２９は、Ｚ方向から平面視した際に、受圧板３１に重ならない領域、すなわち、受圧板３１に相対向する領域の外側に配置されている。したがって、ダイヤフラム３０ａが弁体５０側に撓み変形して弁体５０が開弁した際に、第２凹部２９の開口はダイヤフラム３０ａによって塞がれていない。また、図３（ｂ）に示すように、ダイヤフラム３０ａと壁部２７との間は完全に閉塞されずに隙間が生じたとしても、壁部２７とダイヤフラム３０ａとのＺ方向の間隔よりも、第２凹部２９とダイヤフラム３０ａとのＺ方向の間隔の方が十分に広くなる。
【００５９】
このように、第１凹部２８によって、流入口２２から直接流出口２６ａに向かって直線的に液体が多く流れるのを抑制して、流入口２２から流出口２６ａとは反対方向であるＹ１側に向かって液体を多く流すことができる。このため、圧力調整室２３内で液体が滞留する領域を抑制して圧力調整室２３の全体に亘って液体を流して、液体を攪拌することができる。したがって、液体に含まれる気泡やゴミなどの異物、液体に含まれる成分等が滞留する領域に留まるのを抑制することができる。また、本実施形態では、第２凹部２９を設けることによって、第１凹部２８を通過して流出口２６ａから離れた領域に流れ出た液体は、第２凹部２９内を多く流れて流出口２６ａに至る。これによっても圧力調整室２３全体の液体の攪拌を行って、圧力調整室２３内の液体の成分の沈降や偏りを抑制することができる。特に、本実施形態の弁装置１０は、フィルム３０の面方向が鉛直方向となるように配置されるため、流入口２２から圧力調整室２３に流入された液体に含まれる異物や成分は、鉛直方向下側に沈降し易い。本実施形態では、第１凹部２８によって液体を鉛直方向下側に向かって流すことで、鉛直方向下側の異物や成分が沈降し易い領域に液体の流れを形成することができ、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。なお、本実施形態では、Ｙ方向が鉛直方向となるように配置されるものであるが、特にこれに限定されず、Ｚ方向が鉛直方向となるように配置されていてもよい。この場合であっても、第１凹部２８を設けていないと、流入口２２と流出口２６ａとを結ぶ直線上に液体が多く流れ、流入口２２を中心として流出口２６ａとは反対側のＹ１側に流れる液体の量が減少するが、本実施形態のように第１凹部２８及び第２凹部２９を設けることで、圧力調整室２３の全体に亘って液体の流れを形成し、液体を攪拌することができる。また、これ以外にも、流出口２６ａが流入口２２よりも鉛直方向上側にある場合には、同様に液体を攪拌することができる。
【００６０】
また、本実施形態では、図４に示すように、壁部２７に受圧板３１を当接させて、第１凹部２８と受圧板３１との間に供給流路を形成するようにしたため、フィルム３０の貼り付けを高精度に行って供給流路を形成する必要がない。すなわち、装置本体２０へのフィルム３０の貼り付け精度が低く、フィルム３０に皺が生じたとしても、受圧板３１を壁部２７に当接させて流入口２２から流出口２６ａとは反対側に液体が多く流れる流路を形成することで、第１凹部２８と受圧板３１とで供給流路を容易に形成することができる。
【００６１】
なお、このような弁装置１０は、液体を噴射する液体噴射ヘッドに搭載されてユニット化され、液体噴射装置に搭載される。ここで、弁装置が搭載される液体噴射装置の一例について図７を参照して説明する。なお、図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例を示す概略図である。
【００６２】
図７に示すように、本実施形態の液体噴射装置Ｉでは、弁装置１０が搭載された液体噴射ヘッドユニット１がキャリッジ２に搭載されている。そして、液体噴射ヘッドユニット１が搭載されたキャリッジ２は、筐体７に取り付けられたキャリッジ軸２ａに軸方向移動可能に設けられている。
【００６３】
また、筐体７には、液体が貯留された貯留手段３が設けられており、貯留手段３からの液体は、キャリッジ２に搭載された液体噴射ヘッドユニット１にチューブ１００を介して供給される。
【００６４】
そして、駆動モーター８の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト８ａを介してキャリッジ２に伝達されることで、液体噴射ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ２はキャリッジ軸２ａに沿って移動される。一方、筐体７には搬送手段としての搬送ローラー９が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー９により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラに限られずベルトやドラム等であってもよい。
【００６５】
このような液体噴射装置Ｉでは、キャリッジ２がキャリッジ軸２ａに沿って移動されると共に液体噴射ヘッドユニット１によって液体が液滴として吐出されて記録シートＳに着弾される。
【００６６】
なお、上述した液体噴射装置Ｉでは、液体噴射ヘッドユニット１がキャリッジ２に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、液体噴射ヘッドユニット１が筐体７に固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００６７】
また、上述した例では、液体噴射装置Ｉは、貯留手段３が筐体７に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、貯留手段３が筐体７に搭載されておらず、液体噴射装置Ｉの外部から液体が供給されてもよい。
【００６８】
（実施形態２）
図８は、本発明の実施形態２に係る弁装置の圧力調整室を示す平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００６９】
図８に示すように、本実施形態の弁装置１０に設けられた圧力調整室２３には、壁部２７が設けられており、壁部２７によって第１凹部２８Ａと第２凹部２９とが形成されている。
【００７０】
ここで、第１凹部２８Ａは、流入口２２から圧力調整室２３の周縁部のうち流出口２６ａとは反対側であるＹ１側の周縁部に向かって設けられており、そのＸ方向の開口幅は、流入口２２から離れるほど徐々に狭くなるように設けられている。つまり、第１凹部２８Ａを形成する側面は、鉛直方向に対して傾斜した傾斜面で形成されている。言い換えると、弁体５０の移動軸方向であるＺ方向から平面視した際に、第１凹部２８Ａは、流入口２２と流出口２６ａとを通る直線に直交する方向であるＸ方向の開口幅が、流出口２６ａから流入口２２側へ向かって、つまりＹ２側からＹ１側に向かって狭くなるように、設けられている。
【００７１】
このように第１凹部２８Ａの開口幅をＹ１側に向かって徐々に狭めることで、流入口２２からＹ方向に離れた位置での流速を向上して、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。ちなみに、例えば第１凹部２８ＡをＹ方向に向かって同じ幅で設けた場合、圧力調整室２３のＹ１側の周縁部で両側、すなわち第２凹部２９のＸ１側及びＸ２側に液体は拡散するため、圧力調整室２３のＹ１側の周縁部で液体の流れが遅くなり、液体が滞留してしまう虞がある。本実施形態では、第１凹部２８Ａの開口幅をＹ１側に向かって徐々に狭くすることで、圧力調整室２３のＹ１側の周縁部で液体の流れが遅くなるのを抑制して、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００７２】
（実施形態３）
図９は、本発明の実施形態３に係る弁装置の圧力調整室を示す平面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図９に示すように、本実施形態の弁装置１０に設けられた圧力調整室２３には、壁部２７が設けられており、壁部２７によって第１凹部２８と第２凹部２９Ａとが形成されている。
【００７３】
第２凹部２９Ａは、第１凹部２８に連通する領域側、すなわちＹ１側のＸ方向の幅ｄ３に比べて、流出口２６ａに連通する側、すなわちＹ２側の幅ｄ４が広くなっている。なお、ここで言う第２凹部２９Ａの幅とは、第２凹部２９ＡのＺ方向におけるＺ２側の開口幅であって、第２凹部２９Ａを流れる液体の流れに対して直交する方向の幅のことである。言い換えると、流入口２２を通る線が第２凹部２９Ａを横断する幅のことである。
【００７４】
なお、本実施形態では、第２凹部２９ＡのＹ１側の幅からＹ２側の幅は、第２凹部２９Ａを流れる液体の流れに沿って、すなわち、圧力調整室２３の周方向に沿って徐々に広くなるように形成されている。
【００７５】
このように、第２凹部２９Ａの幅を流出口２６ａに向かって徐々に広くすることによって、流出口２６ａ近傍での第２凹部２９Ａを流れる液体の流路抵抗を小さくすることができ、さらに第２凹部２９Ａ内に多くの液体を流すことができる。したがって、さらなる液体の攪拌を行って液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００７６】
なお、本実施形態の第２凹部２９Ａを実施形態２の第１凹部２８Ａと組み合わせることで、さらに圧力調整室２３内の液体の攪拌を行って、液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００７７】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態１〜３では、第１凹部２８、２８Ａと第２凹部２９、２９Ａとの両方を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１凹部２８、２８Ａのみを設けるようにしてもよい。ここで、このような例を図１０に示す。なお、図１０は、本発明の他の実施形態に係る弁装置の圧力調整室を示す平面図である。図１０に示すように、圧力調整室２３には、壁部２７によって上述した実施形態１と同様の第１凹部２８のみが形成されている。すなわち、第２凹部２９は形成されていない。このような構成であっても、第１凹部２８によって流入口２２から流出口２６ａとは反対側の流れを形成することができ、最も液体の滞留が生じ易い領域に液体の流れを形成することができるため、液体の滞留を抑制して液体に含まれる異物や成分の沈降を抑制することができる。
【００７８】
また、上述した実施形態１〜３では、バネとしての第１バネ４１、第２バネ４０を共に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、弁体５０をＺ２側に付勢できれば、バネは、第１バネ４１、第２バネ４０の何れか一方のみでもよい。
【００７９】
また、上述した実施形態１〜３では、受圧板３１にバネ受け３２を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、受圧板３１にバネ受け３２を設けられていなくても、バネが弁体５０をＺ２側に付勢できればよい。受圧板３１にバネ受け３２が設けられている場合には、受圧板３１とこれを付勢するバネとの接続を安定させることができる。
【００８０】
また、上述した実施形態１〜３では、Ｚ方向から平面視した際に、壁部２７は、受圧板３１の外側まで達する大きさで設けられているようにしたが、特にこれに限定されず、壁部２７は、Ｚ方向から平面視した際に、受圧板３１に含有される大きさで設けられ、壁部２７及び第１凹部２８が共に受圧板３１に相対向する領域に設けられた部分だけであってもよい。また、その場合に、第２凹部２９が、受圧板３１に相対向する領域に設けられた部分と、受圧板３１に相対向しない領域に設けられた部分とを有していてもよい。
【００８１】
また、上述した実施形態１〜３では、バネ受け３２と壁部２７とのＹ方向の間隔ｄ２を、バネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ１よりも狭くすることで、流入口２２から圧力調整室２３内に流入した液体を、より流路抵抗の低い第１凹部２８と受圧板３１との間に多く流したが、特にこれに限定されない。例えば、この構成に代えて、あるいはこの構成に加えて、バネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔が、バネ受け３２のＹ２側よりもＹ１側の方が広くなるように、第１凹部２８を圧力調整室２３の底面に形成してもよい。ここで、このような構成を図１１に示す。なお、図１１は、本発明の他の実施形態に係る弁装置の断面図である。
【００８２】
図１１（ａ）に示すように、第１凹部２８を、流入口２２を中心としてＹ１側をＹ２側よりも深くする。これにより、第１凹部２８のＹ２側におけるバネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ３を、Ｙ１側の間隔ｄ１よりも広くすることができる。したがって、バネ受け３２と第１凹部２８とのＹ２側の流路抵抗を低くして、圧力調整室２３内に流入した液体を第１凹部２８と受圧板３１とのＹ２側にさらに多く流すことが可能となる。
【００８３】
また、図１１（ｂ）に示すように、バネ受け３２と壁部２７とのＹ方向の間隔ｄ２′が、第１凹部２８のＹ２側におけるバネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ１以上となった場合であっても、第１凹部２８を、流入口２２を中心としてＹ１側をＹ２側よりも深くする。これにより、第１凹部２８のＹ２側におけるバネ受け３２と第１凹部２８とのＺ方向の間隔ｄ３を、バネ受け３２と壁部２７とのＹ方向の間隔ｄ２′よりも広くすることができ、バネ受け３２と第１凹部２８とのＹ２側の流路抵抗を低くして、圧力調整室２３内に流入した液体を第１凹部２８と受圧板３１とのＹ２側に多く流すことが可能となる。
【００８４】
また、上述した実施形態１〜３では、壁部２７、第１凹部２８及び第２凹部２９は、Ｚ方向から平面視した際に、Ｙ方向を軸とした線対称となる形状とし、第１凹部２８から第２凹部２９への液体の流れが、Ｘ１側及びＸ２側のいずれにおいても滞留することを低減するようにしたが、これに限定されず、例えば、壁部２７が線対称でなくてもよい。もちろん、圧力調整室２３についても、Ｙ方向を軸とした線対称となっていなくてもよい。
【００８５】
なお、本発明は、広く液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を具備する液体噴射装置にも適用することができる。
【００８６】
また、本発明は、液体噴射装置に搭載される弁装置に限定されず、流路を有する装置全般に用いることができるものである。
【符号の説明】
【００８７】
Ｉ  液体噴射装置、  １  液体噴射ヘッドユニット、  １０  弁装置、  ２０  装置本体、  ２１  収容室、  ２２  連通孔（流入口）、  ２３  圧力調整室、  ２７  壁部、  ２８、２８Ａ  第１凹部、  ２９、２９Ａ  第２凹部、  ３０  フィルム、  ３０ａ  ダイヤフラム、  ３１  受圧板、  ４０  第１バネ、  ４１  第２バネ、  ５０  弁体、  ５１  軸部、  ５２  フランジ部、  ５３  シール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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