(57)【要約】【課題】円筒状のドラムの外周に巻き付けられる枚葉状の金属薄板に処理液を噴射する液処理装置において、同一の処理槽内において処理液の混入を防ぎながら異なる複数の液処理を行うことができる金属薄板の液処理装置を提供する。【解決手段】金属薄板の液処理装置において、処理槽と、前記処理槽内に設けられ、枚葉状の金属薄板が外周に巻付けられる円筒状のドラムと、前記ドラムを回転させる回転駆動機構と、前記処理槽の内壁から前記ドラムの外周に向けて突出するように設けられ、前記ドラムの外周領域を当該ドラムの周方向に区分する、少なくとも２つ以上の仕切部材と、を備え、前記周方向に区分された前記ドラムの外周領域の各々には、前記ドラムの外周に巻付けられる金属薄板に処理液を噴射する処理液ノズルと、排液を回収する排液回収路と、がそれぞれ設けられていることを特徴とする金属薄板の液処理装置である。【選択図】図１
2015025165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板の液処理装置において、
処理槽と、
前記処理槽内に設けられ、枚葉状の金属薄板が外周に巻付けられる円筒状のドラムと、
前記ドラムを回転させる回転駆動機構と、
前記処理槽の内壁から前記ドラムの外周に向けて突出するように設けられ、前記ドラムの外周領域を当該ドラムの周方向に区分する、少なくとも２つ以上の仕切部材と、
を備え、
前記周方向に区分された前記ドラムの外周領域の各々には、前記ドラムの外周に巻付けられる金属薄板に処理液を噴射する処理液ノズルと、排液を回収する排液回収路と、がそれぞれ設けられている
ことを特徴とする金属薄板の液処理装置。
【請求項２】
前記仕切部材の各々は、前記ドラムの外周に対して１ｍｍ以下の隙間を空けるように突出されている
ことを特徴とする請求項１に記載の金属薄板の液処理装置。
【請求項３】
前記仕切部材の各々の前記ドラムの外周に対向する端部には、当該ドラムの外周に向けてエアを噴出する噴出口が設けられている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の金属薄板の液処理装置。
【請求項４】
前記噴出口から噴出されるエアの圧力は、０．２ＭＰａ以上である
ことを特徴とする請求項３に記載の金属薄板の液処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉状の金属薄板に対して処理液を噴射して液処理を行う金属薄板の液処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の端子部であるリードフレーム、ＨＤＤ読み取りヘッド用サスペンション基板、表示装置用蒸着マスク等の製品は、金属製の薄板（厚み：１００μｍ以下）を塩化第二鉄等のエッチング液でエッチングして加工される。
【０００３】
具体的には、例えば、リードフレームを製造する場合、ロールｔｏロール方式で水平搬送される連続する金属薄板に対して、ドライフィルムレジストがラミネートされ、その後、露光、現像、エッチング、レジストを除去する剥離の各工程が施される。
【０００４】
また、例えば、ＨＤＤ読み取りヘッド用サスペンション基板を製造する場合、ロールｔｏロール方式で水平搬送される連続する金属薄板に対して、カゼイン等のレジストが形成され、露光、現像の各工程が施された後、枚葉状に断裁される。次に、水平搬送される枚葉状の金属薄板に対して、エッチングが施され、レジストを除去する剥離工程を経て積層される。
【０００５】
また、例えば、表示装置用蒸着マスクを製造する場合、ロールｔｏロール方式で水平搬送される連続する金属薄板に対して、カゼイン等のレジスト（第１コーティング）が形成され、露光、現像、第１エッチング、第２コーティング、第２エッチング、レジストを除去する剥離の各工程が施された後、枚葉状に断裁される（特許文献１参照）。
【０００６】
ところで、いずれのエッチング製品を製造する場合も、金属薄板に対してエッチング液を噴射するエッチング工程が施されることになるが、ロールｔоロール方式で水平搬送される連続する金属薄板にエッチング液を噴射する場合、あるいは水平搬送される枚葉状の金属薄板にエッチング液を噴射する場合、いずれの場合も比較的大きなエッチングエリアを確保することが必要となる。
【０００７】
また、水平搬送される金属薄板の上面にエッチング液を噴射する場合、金属薄板の中央部に供給されるエッチング液は金属薄板の周縁部に供給されるエッチング液よりも外部に流出しにくい。そのため、金属薄板の中央部では反応済みのエッチング液による液溜まりが形成され、未反応のエッチング液が金属薄板まで到達しにくくなる。一方、金属薄板の周縁部では反応済みのエッチング液と未反応のエッチング液との間の交換が頻繁に行われる。これにより、金属薄板の中央部と周縁部との間にエッチング処理のばらつきが生じるおそれがある。
【０００８】
これらの問題を解決するために、円筒状のドラムの外周に巻き付けられる枚葉状の金属薄板に処理液を噴射する金属薄板の液処理装置が開発されている。本出願人は、このような金属薄板の液処理装置に関して、特願２０１３−１９７１号を出願している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−３９３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本件発明者は、特願２０１３−１９７１号に係る金属薄板の液処理装置に関して、更に鋭意研究を重ねた結果、ドラムの外周領域を当該ドラムの周方向に区分することにより、同一の処理槽内において処理液の混入を防ぎながら異なる複数の液処理を行うことができることを知見した。
【００１１】
本発明は、以上の知見に基づいて創案されたものである。本発明の目的は、円筒状のドラムの外周に巻き付けられる枚葉状の金属薄板に処理液を噴射する液処理装置において、同一の処理槽内において処理液の混入を防ぎながら異なる複数の液処理を行うことができる金属薄板の液処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、金属薄板の液処理装置において、処理槽と、前記処理槽内に設けられ、枚葉状の金属薄板が外周に巻付けられる円筒状のドラムと、前記ドラムを回転させる回転駆動機構と、前記処理槽の内壁から前記ドラムの外周に向けて突出するように設けられ、前記ドラムの外周領域を当該ドラムの周方向に区分する、少なくとも２つ以上の仕切部材と、
を備え、前記周方向に区分された前記ドラムの外周領域の各々には、前記ドラムの外周に巻付けられる金属薄板に処理液を噴射する処理液ノズルと、排液を回収する排液回収路と、がそれぞれ設けられていることを特徴とする金属薄板の液処理装置である。
【００１３】
本発明によれば、仕切部材によって区分されたドラムの外周領域の各々のうち、一の領域に設けられた処理液ノズルから噴射される処理液は、当該一の領域を区画する仕切部材によって遮られて隣接する他の領域に流出せずに、当該一の領域に設けられた排液回収路から回収される。例えば、ドラムの回転中に、当該ドラムの外周に巻き付けられる金属薄板に対して、一の領域に設けられた処理液ノズルから第１処理液を噴射して第１液処理を行った後、当該一の領域に設けられた処理液ノズルからの第１処理液の噴射を停止し、次に、別の領域に設けられた処理液ノズルから第２処理液を噴射して第２液処理を行うことにより、同一の処理槽内において第１処理液と第２処理液との混入を防ぎながら、異なる複数の液処理（すなわち、第１液処理及び第２液処理）を行うことが可能となる。これにより、金属薄板に対して異なる複数の液処理を行う際に、各液処理にそれぞれ対応する複数の液処理装置を用意する必要がなくなり、装置の設置スペース及び導入コストを低減することができる。また、金属薄板に対して異なる複数の液処理を行う際に、複数の液処理装置間で金属薄板を移送する工程が不要になるため、金属薄板の全体的な液処理時間を短縮することもできる。
【００１４】
好ましくは、前記仕切部材の各々は、前記ドラムの外周に対して１ｍｍ以下の隙間を空けるように突出されている。このような態様によれば、仕切部材の各々がドラムの外周に巻き付けられた金属薄板に接触して当該金属薄板を損傷させることが防止され得る。また、本件発明者の実際の検証によれば、このような態様によって、仕切部材によって区分されたドラムの外周領域の各々のうち、一の領域に設けられた処理液ノズルから噴射される処理液がドラムの外周と仕切部材との間の隙間を通って隣接する他の領域に流出することを効果的に防止できる。
【００１５】
また、好ましくは、前記仕切部材の各々の前記ドラムの外周に対向する端部には、当該ドラムの外周に向けてエアを噴出する噴出口が設けられている。このような態様によれば、噴出口から噴出されるエアにより、ドラムの外周と当該ドラムに対向する仕切部材の端部との間の隙間が正圧にされ、当該隙間に処理液が流入することが抑制され得る。
【００１６】
この場合、更に好ましくは、前記噴出口から噴出されるエアの圧力は、０．２ＭＰａ以上である。本件発明者の実際の検証によれば、このような態様によって、ドラムの外周と当該ドラムに対向する仕切部材の端部との間の隙間に処理液が流入することを確実に防止できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、仕切部材によって区分されたドラムの外周領域の各々のうち、一の領域に設けられた処理液ノズルから噴射される処理液は、当該一の領域を区画する仕切部材によって遮られて隣接する他の領域に流出せずに、当該一の領域に設けられた排液回収路から回収される。例えば、ドラムの回転中に、当該ドラムの外周に巻き付けられる金属薄板に対して、一の領域に設けられた処理液ノズルから第１処理液を噴射して第１液処理を行った後、当該一の領域に設けられた処理液ノズルからの第１処理液の噴射を停止し、次に、別の領域に設けられた処理液ノズルから第２処理液を噴射して第２液処理を行うことにより、同一の処理槽内において第１処理液と第２処理液との混入を防ぎながら、異なる複数の液処理（すなわち、第１液処理及び第２液処理）を行うことが可能となる。これにより、金属薄板に対して異なる複数の液処理を行う際に、各液処理にそれぞれ対応する複数の液処理装置を用意する必要がなくなり、装置の設置スペース及び導入コストを低減することができる。また、金属薄板に対して異なる複数の液処理を行う際に、複数の液処理装置間で金属薄板を移送する工程が不要になるため、金属薄板の全体的な液処理時間を短縮することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による金属薄板の液処理装置を示す概略正面図である。
【図２】図２は、図１の金属薄板の液処理装置を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図１の金属薄板の液処理装置におけるドラムを拡大して示す概略正面図である。
【図４】図４は、図３のドラムを拡大して示す概略上面図である。
【図５】図５は、図３のドラムの外周面に設けられた突起を拡大して示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態による金属薄板の液処理装置を示す概略正面図である。図２は、図１の金属薄板の液処理装置を示す概略平面図である。
【００２１】
図１及び図２に示すように、本実施の形態による金属薄板の液処理装置１０は、処理槽１６と、前記処理槽１６内に設けられ、枚葉状の金属薄板２０が外周に巻付けられる円筒状のドラム１１と、前記ドラム１１を回転させる回転駆動機構１２と、を備えている。
【００２２】
本実施の形態では、図１及び図２に示すように、処理槽１６は箱形状を有しており、処理槽１６の各辺の長さは、例えば２０００ｍｍである。
【００２３】
本実施の形態のドラム１１は、回転軸線を水平方向に向けられた姿勢で、処理槽１６内に配置されている。ドラム１１の直径は、例えば７００ｍｍであり、軸方向の長さは、例えば１９９５ｍｍである。ドラム１１の材質は、例えば、チタンまたはステンレスであるが、これに限定されず、硬質の合成樹脂であってもよい。
【００２４】
図３は、本実施の形態のドラム１１を拡大して示す概略正面図であり、図４は、当該ドラム１１を拡大して示す概略上面図である。
【００２５】
図３及び図４に示すように、金属薄板２０は、平面視矩形状を有しており、金属薄板２０の長手方向の長さはドラム１１の外周より短く、金属薄板２０の短手方向（幅方向）の長さはドラム１１の軸方向の長さより短くなっている。金属薄板２０の厚みは、例えば１００μｍ以下である。金属薄板２０の長手方向の一端部には、一対の開口２１が形成されている。
【００２６】
一方、ドラム１１の外周面には金属薄板２０の一対の開口２１に対応するように一対の突起１１ａが設けられている。本実施の形態では、図５に示すように、各突起１１ａの先端部に当該突起１１ａよりも大径の弾性部材１１ｂが設けられている。弾性部材１１ｂの径が縮められた状態でドラム１１の突起１１ａの先端部が金属薄板２０の開口２１に挿入され、当該開口２１が突起１１ａの基端部まで降ろされた後、弾性部材１１ｂの径が復元されることにより、金属薄板２０の開口２１が弾性部材１１ｂに引っ掛かって突起１１ａから抜け出すことが防止される。
【００２７】
また、図３及び図４に示すように、ドラム１１の外周面のうち金属薄板２０の長手方向の他端部に対応する位置に、一対の磁石１１ｃが埋め込まれている。一対の磁石１１ｃの磁力により、金属薄板２０の長手方向の他端部はドラム１１の外周面に吸着されて固定されるようになっている。
【００２８】
図１及び図２に戻って、ドラム１１の中心には当該ドラム１１と同軸状に回転軸１８が挿し込まれて固定されている。図２に示すように、回転軸１８の両端部は、処理槽１６の壁面を液密に貫通して処理槽１６の外部まで延ばされており、回転軸１８の一端部は回転駆動機構１２に接続され、他端部は回転軸受１７により回転可能に支持されている。
【００２９】
回転駆動機構１２は、例えばモータである。回転駆動機構１２の回転力が回転軸１８に伝達されることにより、回転軸１８に固定されたドラム１１は水平な回転軸線回りに回転駆動されるようになっている。
【００３０】
本実施の形態では、図１及び図２に示すように、処理槽１６の内壁からドラム１１の外周に向けて突出するように、２つの仕切部材１３ａ、１３ｂが設けられており、当該２つの仕切部材１３ａ、１３ｂは、ドラム１１の外周領域を当該ドラム１１の周方向に区分している。図示された例において、２つの仕切部材１３ａ、１３ｂは、それぞれ、斜め上向きに突出するように設けられている。周方向に区分されたドラム１１の外周領域のうち、図１における上方の領域に符号１１１を付し、下方の領域に符号１１２を付して示す。
【００３１】
本実施の形態では、図２に示すように、２つの仕切部材１３ａ、１３ｂの各々は、平面視矩形状を有している。各仕切部材１３ａ、１３ｂのうちドラム１１の軸方向の両端部及び径方向外側の端部は、それぞれ、処理槽１６の内壁に液密に密着されている。一方、各仕切部材１３ａ、１３ｂのうちドラム１１の径方向内側の端部は、ドラム１１の外周に対して１ｍｍ以下の隙間を空けるように配置されている。
【００３２】
本実施の形態では、図１に示すように、各仕切部材１３ａ、１３ｂのうちドラム１１の外周に対向する端部には、当該ドラム１１の外周に向けてエアを噴出する噴出口１４ａ、１４ｂが設けられている。具体的には、例えば、図１に示すように、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々は、所定の幅の隙間を空けて互いに対向して配置された一対の板部材を有しており、当該一対の板部材のうち径方向内側の端部が噴出口１４ａ、１４ｂを形成しており、径方向外側の端部にエア導入装置１５が接続されている。エア導入装置１５から一対の板部材間の隙間に導入されるエアは、当該隙間を径方向内向きに流れて、各噴出口１４ａ、１４ｂからドラム１１の外周に向けて噴出されるようになっている。各噴出口１４ａ、１４ｂから噴出されるエアの圧力は、例えば０．２ＭＰａ以上である。
【００３３】
図１に示すように、周方向に区分されたドラム１１の外周領域１１１、１１２の各々には、ドラム１１の外周に巻付けられる金属薄板２０に処理液を噴射する処理液ノズル３８、４８と、排液を回収する排液回収路３５、４５と、がそれぞれ設けられている。
【００３４】
本実施の形態では、図１に示すように、周方向に区分されたドラム１１の外周領域１１１、１１２の各々には、円弧状を有する処理液分配パイプ３１、４１が、当該ドラム１１の周方向に沿って湾曲するように設けられており、処理液ノズル３８、４８は、処理液分配パイプ３１、４１の内周面において、周方向に間隔を空けて複数設けられている。
【００３５】
本実施の形態では、図２に示すように、一の領域１１１に設けられた処理液分配パイプ３１は、ドラム１１の軸方向に間隔を空けて複数設けられている。そして、処理液分配パイプ３１の各々には、共通の処理液導入パイプ３２が接続されている。共通の処理液導入パイプ３２は、回転軸１８と平行な向きに延伸されて、処理槽１６の壁面を液密に貫通して処理槽１６の外部まで延ばされており、処理槽１６の外部において、揺動装置３９に接続されている。図示された例では、揺動装置３９は、クランク機構とモータとを備えており、モータの回転駆動がクランク機構により回転軸１８と平行な向きの直線駆動に変換されるようになっている。そして、このような揺動装置３９の作用により、処理液導入パイプ３２は、複数の処理液分配パイプ３１と一緒に、回転軸１８と平行な向きに揺動されるようになっている。また、処理槽１６の外部において、処理液導入パイプ３２には、不図示の可撓性のチューブを介してポンプ３３が接続されており、図１に示すように、ポンプ３３には処理液タンク３４とポンプ制御部３６とがそれぞれ接続されている。ポンプ制御部３６によりポンプ３３が動作されると、処理液タンク３４内に蓄液される処理液は、ポンプ３３によって処理液導入パイプ３２内に押し出され、各処理液分配パイプ３１内に分配された後、各処理液分配パイプ３１に設けられた処理液ノズル３８からドラム１１の外周に向けて噴出されるようになっている。
【００３６】
同様に、他の領域１１２に設けられた処理液分配パイプ４１は、ドラム１１の軸方向に間隔を空けて複数設けられている。そして、処理液分配パイプ４１の各々には、共通の処理液導入パイプ４２が接続されている。共通の処理液導入パイプ４２は、回転軸１８と平行な向きに延伸されて、処理槽１６の壁面を液密に貫通して処理槽１６の外部まで延ばされており、処理槽１６の外部において、不図示の揺動装置に接続されている。揺動装置は、クランク機構とモータとを備えており、モータの回転駆動がクランク機構により回転軸１８と平行な向きの直線駆動に変換されるようになっている。そして、このような揺動装置の作用により、処理液導入パイプ４２は、複数の処理液分配パイプ４１と一緒に、回転軸１８と平行な向きに揺動されるようになっている。また、処理槽１６の外部において、処理液導入パイプ４２には、不図示の可撓性のチューブを介してポンプ４３が接続されており、図１に示すように、ポンプ４３には処理液タンク４４とポンプ制御部４６とがそれぞれ接続されている。ポンプ制御部４６によりポンプ４３が動作されると、処理液タンク４４内に蓄液される処理液は、ポンプ４３によって処理液導入パイプ４２内に押し出され、各処理液分配パイプ４１内に分配された後、各処理液分配パイプ４１に設けられた処理液ノズル４８からドラム１１の外周に向けて噴出されるようになっている。
【００３７】
一方、図１に示すように、一の領域１１１に設けられた排液回収路３５の一端は、当該一の領域１１１の底部（すなわち、図１における仕切部材１３ａ、１３ｂの上面と処理槽１６の内壁との接続部分）に設けられており、他端は前述の処理液タンク３４に接続されている。一の領域１１１内を流れ落ちて当該一の領域１１１の底部に溜まる処理液は、排液回収路３５を通って排液された後、処理液タンク３４に回収されるようになっている。
【００３８】
同様に、他の領域１１２に設けられた排液回収路４５の一端は、当該他の領域１１２の底部（すなわち、図１における処理槽１６の底面）に設けられており、他端は前述の処理液タンク４４に接続されている。他の領域１１２内を流れ落ちて当該他の領域１１２の底部に溜まる処理液は、排液回収路４５を通って排液された後、処理液タンク４４に回収されるようになっている。
【００３９】
次に、以上のような本実施の形態の作用について、枚葉状の金属薄板に対してエッチング液を噴射してエッチング処理を行う工程と当該金属薄板に対して洗浄液を噴射して洗浄処理を行う工程とを例に説明する。
【００４０】
まず、ドラム１１が回転軸１８から取り外された状態で、ドラム１１の外周に枚葉状の金属薄板２０が巻き付けられる。具体的には、例えば、図３及び図４に示すように、金属薄板２０の長手方向の一端部に設けられた一対の開口２１がドラム１１の外周面に設けられた一対の突起１１ａに嵌合される。次いで、金属薄板２０がドラム１１の外周に沿って巻き付けられていき、金属薄板２０の長手方向の他端部が磁石１１ｃによって吸着されて固定される。金属薄板２０の外面には、少なくとも１つのレジスト開口を有するレジスト膜が予め形成されている。
【００４１】
次に、図１及び図２に示すように、外周に金属薄板２０が巻き付けられたドラム１１は回転軸１８に取付けられて固定される。この時、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々は、ドラム１１の外周に対して１ｍｍ以下の隙間を空けるように突出されている。これにより、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々がドラム１１の外周に巻き付けられた金属薄板２０に接触して当該金属薄板２０を損傷させることが防止される。
【００４２】
次に、回転駆動機構１２によりドラム１１が回転駆動されるとともに、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々の噴出口１４ａ、１４ｂからドラム１１の外周に向けてエアが噴出され、ドラム１１の外周と当該ドラム１１に対向する仕切部材１３ａ、１３ｂの端部との間の隙間が正圧にされる。本実施の形態では、各噴出口１４ａ、１４ｂから０．２ＭＰａ以上の圧力でエアが噴出される。
【００４３】
次に、周方向に区分されたドラム１１の外周領域のうち、一の領域１１１において、揺動装置３９により処理液分配パイプ３２が回転軸１８と平行な向きに揺動されながら、処理液ノズル３８からドラム１１の外周に巻き付けられた金属薄板２０にエッチング液（例えば、強酸）が噴射される。金属薄板２０上に供給されるエッチング液は、当該金属薄板２０のうちレジスト膜のレジスト開口から露出する部分を侵食して、当該金属薄板２０のエッチング処理が行われる。
【００４４】
本実施の形態では、一の領域１１１に設けられた処理液ノズル３８から噴射されるエッチング液のうち、隣接する他の領域１１２に向かって飛散するエッチング液は、当該一の領域１１１を区画する一対の仕切部材１３ａ、１３ｂによって遮られて隣接する他の領域１１２に流出せずに、仕切部材１３ａ、１３ｂの表面（上面）に沿って流れ落ちて当該一の領域１１１の底部に溜められる。
【００４５】
また、本実施の形態では、ドラム１１の外周と当該ドラム１１に対向する仕切部材１３ａ、１３ｂの端部との間の隙間が正圧にされているため、一の領域１１１に設けられた処理液ノズル３８から噴射されるエッチング液のうち当該隙間に向かって飛散するエッチング液、及び、金属薄板２０上に供給されてドラム１１の外周に沿って流れ落ちるエッチング液は、当該隙間のエアの圧力によって押し戻され、当該隙間に流入することが抑制される。押し戻されたエッチング液は、仕切部材１３ａ、１３ｂの表面（上面）に沿って流れ落ちて当該一の領域１１１の底部に溜められる。
【００４６】
そして、一の領域１１１の底部に溜められたエッチング液は、当該一の領域１１１に設けられた排液回収路３５から回収される。
【００４７】
その後、一の領域１１１に設けられた処理液ノズル３８からのエッチング液の噴射が停止される。
【００４８】
次に、周方向に区分されたドラム１１の外周領域のうち、他の領域１１２において、揺動装置（不図示）により処理液分配パイプ４２が回転軸１８と平行な向きに揺動されながら、処理液ノズル４８からドラム１１の外周に巻き付けられた金属薄板２０に洗浄液（例えば、水）が噴射される。金属薄板２０上に供給される洗浄液は、当該金属薄板２０上に付着するエッチング液を押し流して、当該金属薄板２０の洗浄処理が行われる。
【００４９】
本実施の形態では、他の領域１１２に設けられた処理液ノズル４８から噴射される洗浄液のうち、隣接する一の領域１１１に向かって飛散する洗浄液は、当該他の領域１１２を区画する一対の仕切部材１３ａ、１３ｂによって遮られて隣接する一の領域１１１に流出せずに、仕切部材１３ａ、１３ｂの表面（下面）に沿って流れ落ちて当該他の領域１１２の底部に溜められる。
【００５０】
また、本実施の形態では、ドラム１１の外周と当該ドラム１１に対向する仕切部材１３ａ、１３ｂの端部との間の隙間が正圧にされているため、他の領域１１２に設けられた処理液ノズル４８から噴射される洗浄液のうち当該隙間に向かって飛散する洗浄液は、当該隙間のエアの圧力によって押し戻され、当該隙間に流入することが抑制される。押し戻された洗浄液は、仕切部材１３ａ、１３ｂの表面（下面）に沿って流れ落ちて当該他の領域１１２の底部に溜められる。
【００５１】
そして、他の領域１１２の底部に溜められたエッチング液は、当該他の領域１１２に設けられた排液回収路４５から回収される。
【００５２】
その後、他の領域１１２に設けられた処理液ノズル３８からの洗浄液の噴射が停止され、仕切部材１３ａ、１３ｂの噴出口１４ａ、１４ｂからのエアの噴出も停止される。回転駆動機構１２によるドラム１１の回転駆動が停止され、ドラム１１が回転軸１８から取り外される。そして、ドラム１１の外周からエッチング済みの金属薄板２０が上述と逆の作用により取り外される。
【００５３】
本件発明者による実際の検証によれば、以上のような本実施の形態において、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々がドラム１１の外周に対して１ｍｍ以下の隙間を空けるように突出されている場合、一方の領域１１１（１１２）に設けられた処理液ノズル３８（４８）から噴射される処理液がドラム１１の外周と仕切部材１３ａ、１３ｂとの間の隙間を通って隣接する他方の領域１１２（１１１）に流出することを効果的に防止できることが確認された。
【００５４】
また、本件発明者による実際の検証によれば、以上のような本実施の形態において、噴出口１４ａ、１４ｂから噴出されるエアの圧力が０．２ＭＰａ以上である場合、ドラム１１の外周と当該ドラム１１に対向する仕切部材１３ａ、１３ｂの端部との間の隙間に処理液が流入することを確実に防止できることが確認された。
【００５５】
以上のような本実施の形態によれば、仕切部材１３ａ、１３ｂによって区分されたドラム１１の外周領域の各々のうち、一の領域１１１（１１２）に設けられた処理液ノズル３８（４８）から噴射される処理液は、当該一の領域１１１（１１２）を区画する仕切部材１３ａ、１３ｂによって遮られて隣接する他の領域１１２（１１１）に流出せずに、当該一の領域１１１（１１２）に設けられた排液回収路３５（４５）から回収される。例えば、ドラム１１の回転中に、当該ドラム１１の外周に巻き付けられる金属薄板２０に対して、一の領域１１１に設けられた処理液ノズル３８から第１処理液（エッチング液）を噴射して第１液処理（エッチング処理）を行った後、当該一の領域１１１に設けられた処理液ノズル３８からの第１処理液（エッチング液）の噴射を停止し、次に、別の領域１１２に設けられた処理液ノズル４８から第２処理液（洗浄液）を噴射して第２液処理（洗浄処理）を行うことにより、同一の処理槽１６内において第１処理液（エッチング液）と第２処理液（洗浄液）との混入を防ぎながら、異なる複数の液処理（すなわち、エッチング処理及び洗浄処理）を行うことが可能となる。これにより、金属薄板２０に対して異なる複数の液処理を行う際に、各液処理にそれぞれ対応する複数の液処理装置を用意する必要がなくなり、装置の設置スペース及び導入コストを低減することができる。また、金属薄板２０に対して異なる複数の液処理を行う際に、複数の液処理装置間で金属薄板２０を移送する工程が不要になるため、金属薄板２０の全体的な液処理時間を短縮することもできる。
【００５６】
また、本実施の形態によれば、仕切部材１３ａ、１３ｂの各々のドラム１１の外周に対向する端部には、当該ドラム１１の外周に向けてエアを噴出する噴出口１４ａ、１４ｂが設けられているため、噴出口１４ａ、１４ｂから噴出されるエアにより、ドラム１１の外周と当該ドラム１１に対向する仕切部材１３ａ、１３ｂの端部との間の隙間が正圧にされ、当該隙間に処理液が流入することが抑制され得る。
【００５７】
なお、本実施の形態では、図１に示すように、仕切部材１３ａ、１３ｂはドラム１１の周方向に間隔を空けて２つ設けられていたが、これに限定されず、仕切部材１３ａ、１３ｂはドラム１１の周方向に間隔を空けて３つ以上設けられていてもよい。この場合、ドラム１１の外周領域は３つ以上の領域に区分けされる。
【００５８】
また、本実施の形態では、一の領域１１１において金属薄板２０にエッチング液が噴射されてエッチング処理が行われた後、他の領域１１２において金属薄板２０に洗浄液が噴射されて洗浄処理が行われたが、これに限定されず、例えば、一の領域１１１において金属薄板２０にアルカリ液が噴射されてレジスト膜の剥離処理が行われた後、他の領域１１２において金属薄板２０に洗浄液が噴射されて洗浄処理が行われてもよい。あるいは、一の領域１１１において金属薄板２０に現像液が噴射されてレジスト膜の現像処理が行われた後、他の領域１１２において金属薄板２０に洗浄液が噴射されて洗浄処理が行われてもよい。
【符号の説明】
【００５９】
１０    液処理装置
１１    ドラム
１１ａ  突起
１１ｂ  弾性部材
１１ｃ  磁石
１２    回転駆動機構
１３ａ  仕切部材
１３ｂ  仕切部材
１４ａ  噴出口
１４ｂ  噴出口
１５    エア導入装置
１６    処理槽
１７    回転軸受
１８    回転軸
２０    金属薄板
２１    開口
３１    処理液分配パイプ
３２    処理液導入パイプ
３３    ポンプ
３４    処理液タンク
３５    排液回収路
３６    ポンプ制御部
３８    処理液ノズル
３９    揺動装置
４１    処理液分配パイプ
４２    処理液導入パイプ
４３    ポンプ
４４    処理液タンク
４５    排液回収路
４６    ポンプ制御部
４８    処理液ノズル
１１１  周方向に区分されたドラムの外周領域
１１２  周方向に区分されたドラムの外周領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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