(57)【要約】【課題】造粒粉末９を製作してから成形体３９を焼結するまでの時間を短縮すること。【解決手段】ジェットミルによって粉砕された鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を電極材料として用い、軸心７ｓが鉛直方向ＶＤに対して傾斜した筒状の造粒容器７内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、造粒容器７をその軸心７ｓ周りに回転させことにより、クロムを含むコバルト合金粉末５を乾式造粒して、球状の造粒粉末９を製作すること。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に被膜を形成する際に用いられる放電表面処理用電極を製造するための製造方法であって、
機械的粉砕法によって生成された不定形状の金属粉末を電極材料として用い、軸心が鉛直方向に対して傾斜した筒状の造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記造粒容器をその軸心周りに回転させたり、別の造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記別の造粒容器を振動又は揺動させたりすることにより、前記金属粉末を乾式で造粒して、前記金属粉末の集合体からなる球状の造粒粉末を製作する造粒工程と、
前記造粒工程の終了後に、成形金型内に前記造粒粉末を充填して、前記成形金型内の前記造粒粉末を圧縮成形することにより、前記造粒粉末からなる成形体を製作する圧縮工程と、
前記造粒工程の終了後に、前記成形体を焼成して焼結する焼成工程と、を具備したことを特徴とする放電表面処理用電極の製造方法。
【請求項２】
前記圧縮工程と前記焼成工程は、前記成形金型内の前記造粒粉末を圧縮成形して前記成形体を製作しながら、前記成形体を焼成して焼結することにより、１つの工程で行うようになっていることを特徴とする請求項１に記載の放電表面処理用電極の製造方法。
【請求項３】
前記圧縮工程の終了後であって前記焼成工程の開始前に、前記成形体をゴム型内に封入し、圧力容器内の作動液の静水圧の作用によって前記成形体を均等に加圧することにより、前記成形体にＣＩＰ処理を施すＣＩＰ工程と、を具備したことを特徴とする請求項１に記載の放電表面処理用電極の製造方法。
【請求項４】
前記圧縮工程は、前記成形金型内に前記造粒粉末を充填して、前記成形金型内の前記造粒粉末を圧縮成形して前記成形体を製作しながら、前記成形体を仮焼成するようになっており、
前記圧縮工程の終了後であって前記焼成工程の開始前に、前記成形体をゴム型内に封入し、圧力容器内の作動液の静水圧の作用によって前記成形体を均等に加圧することにより、前記成形体にＣＩＰ処理を施すＣＩＰ工程と、を具備したことを特徴とする請求項１に記載の放電表面処理用電極の製造方法。
【請求項５】
前記造粒工程の終了後であって前記圧縮工程の開始前に、前記造粒粉末を分級して、目標の粒径範囲内の造粒粉末を回収する分級工程と、を具備したことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかの請求項に記載の放電表面処理用電極の製造方法。
【請求項６】
放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に被膜を形成するための放電表面処理方法であって、
請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載の放電表面処理用電極の製造方法によって製造された放電表面処理用電極を用い、前記放電表面処理用電極と前記金属ワークの被処理部との間にパルス状の放電を発生させて、その放電エネルギーにより前記金属ワークの被処理部を局所的に溶融させつつ、前記放電表面処理用電極の電極材料又は該電極材料の反応物質を前記金属ワークの被処理部に溶着させて、前記被膜を形成することを特徴とする放電表面処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に例えば耐摩耗性のある被膜を形成する際に用いられる放電表面処理用電極を製造するための製造方法等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、放電表面処理用電極について種々の開発がなされており、通常、放電表面処理用電極は次のような方法（通常の製造方法）によって製造されている。
【０００３】
アトマイズ又はボールミル等によって生成された金属粉末を電極材料とし、金属粉末を造粒する。具体的には、イソプロピルアルコール等の溶液を貯留した攪拌容器内に金属粉末及びアクリル系ポリマー等のバインダを投入して、攪拌容器内を攪拌することにより、金属粉末、溶液、及びバインダ等を混合してなるスラリーを製作する。続いて、スプレードライヤーを用い、スプレードライヤーの乾燥容器内を高温の窒素ガス雰囲気に維持した状態で、スプレードライヤーのノズルから乾燥容器内にスラリーを噴霧することにより、スラリー中の溶液を乾燥させて、バインダを含む金属粉末の集合体からなる球状の造粒粉末を製作する。
【０００４】
造粒粉末を製作した後に、成形金型内に造粒粉末を充填して、冷間プレス装置を用いて、成形金型内の造粒粉末を圧縮成形することにより、造粒粉末からなる成形体を製作する。続いて、加熱処理炉内に成形体をセットして、加熱処理炉内を非酸化雰囲気に維持した状態で、成形体の温度（換言すれば、加熱処理炉内の温度）をバインダの飛散温度まで昇温させて一定時間保持することにより、成形体からバインダを脱脂する。更に、加熱処理炉内を非酸化雰囲気に維持した状態で、成形体の温度を金属粉末の焼結温度まで昇温させて一定時間保持することにより、成形体を焼成させて焼結させる。
【０００５】
以上により、焼結した成形体からなる放電表面処理用電極を製造することができる。
【０００６】
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２４９４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、通常の製造方法にあっては、金属粉末を造粒する際にバインダを用いているため、前述のように、成形体を焼結させる前に、加熱処理炉内に成形体をセットした状態で、成形体の温度をバインダの飛散温度まで昇温させて一定時間保持して、成形体からバインダを脱脂する必要がある。そのため、造粒粉末を製作してから成形体を焼結するまでの時間が長くなって、放電表面処理用電極の生産性（製造性）を十分に高めることが困難であるという問題がある。
【０００９】
また、成形体からバインダを脱脂しているものの、焼結済みの成形体からなる放電表面処理用電極の内部にバインダの残渣が残り易く、バインダの残渣が残ると、放電表面処理用電極の密度が放電表面処理用電極の軸方向に沿って不均一になって、放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に形成した被膜に品質（均一性）のバラツキが生じるという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の放電表面処理用電極の製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の発明者は、前述の問題を解決するために、種々な手法によって金属粉末の造粒を試みた結果、造粒対象としてジェットミルによって粉砕された鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末を用いた場合において、軸心が鉛直方向に対して傾斜した筒状の造粒容器内にクロムを含むコバルト合金粉末を投入し、造粒容器をその軸心周りに回転させるだけで、バインダを用いなくても、クロムを含むコバルト合金粉末を乾式で造粒して、図７（ａ）（ｂ）に示すようなクロムを含むコバルト合金粉末の集合体からなる球状の造粒粉末を製作できることが判明し、本発明を完成するに至った。これは、造粒容器内において鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末の絡み合い易いという性質が有効かつ効果的に発揮されたことによるものと考えられる。なお、図示は省略するが、ボールミル、ビーズミルによって粉砕された不定形状のクロムを含むコバルト合金粉末等、別の機械的粉砕法によって生成された不定形状の金属粉末を電極材料とした場合にも、球状の造粒粉末を製作できることが判明している。
【００１２】
本発明の第１の特徴は、放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に被膜を形成する際に用いられる放電表面処理用電極を製造するための製造方法であって、機械的粉砕法によって生成された不定形状の金属粉末を電極材料として用い、軸心が鉛直方向に対して傾斜した筒状の造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記造粒容器をその軸心周りに回転させたり、別の造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記別の造粒容器を振動又は揺動させたりすることにより、前記金属粉末を乾式で造粒（乾式造粒）して、前記金属粉末の集合体からなる球状の造粒粉末を製作する造粒工程と、前記造粒工程の終了後に、成形金型内に前記造粒粉末を充填して、前記成形金型内の前記造粒粉末を圧縮成形することにより、前記造粒粉末からなる成形体を製作する圧縮工程と、前記造粒工程の終了後に、前記成形体を焼成して焼結する焼成工程と、を具備したことを要旨とする。
【００１３】
ここで、「金属ワーク」とは、金属素材としての金属ワークだけでなく、ガスタービン部品等の金属部品を含む意である。また、「金属粉末」とは、例えばニッケル粉末、コバルト粉末等の純金属粉末、例えばクロムを含むコバルト合金粉末等の合金粉末、及びこれらの混合粉末を含む意である。
【００１４】
第１の特徴によると、機械的粉砕法によって生成された不定形状の前記金属粉末を電極材料として用い、軸心が鉛直方向に対して傾斜した前記造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記造粒容器をその軸心周りに回転させているため、バインダを用いなくても、前記金属粉末を乾式で造粒（乾式造粒）して、球状の前記造粒粉末を製作することができる。また、前記造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記造粒容器をその軸心周りに回転させる代わりに、前記別の造粒容器内に前記金属粉末を投入し、前記別の造粒容器を振動又は揺動させる場合も、同様に、バインダを用いなくても、球状の前記造粒粉末を製作できるものと推定される。これにより、前記造粒粉末を製作した後に前記成形体からバインダを脱脂する工程を省くことができると共に、前記放電表面処理用電極の密度を前記放電表面処理用電極の軸方向に沿って略均一にすることができる。
【００１５】
本発明の第２の特徴は、放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に被膜を形成するための放電表面処理方法であって、第１の特徴からなる放電表面処理用電極の製造方法によって製造された放電表面処理用電極を用い、前記放電表面処理用電極と前記金属ワークの被処理部との間にパルス状の放電を発生させて、その放電エネルギーにより前記金属ワークの被処理部を局所的に溶融させつつ、前記放電表面処理用電極の電極材料又は該電極材料の反応物質を前記金属ワークの被処理部に溶着させて、前記被膜を形成することを要旨とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、前記造粒粉末を製作した後に前記成形体からバインダを脱脂する工程を省くことができるため、前記造粒粉末を製作してから前記成形体を焼結するまでの時間を大幅に短縮して、前記放電表面処理用電極の生産性（製造性）を十分に高めることができる。
【００１７】
また、前記放電表面処理用電極の密度を前記放電表面処理用電極の軸方向に沿って略均一にすることができるため、放電エネルギーを利用して金属ワークの被処理部に形成した前記被膜の品質（均一性）のバラツキを無くして、前記被膜の品質を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における造粒工程を説明する模式図である。
【図２】図２は、第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における分級工程を説明する模式図である。
【図３】図３（ａ）は、成形金型内に造粒粉末を充填した状態を示す図、図３（ｂ）は、第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮焼成工程及び第４実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮工程を説明する模式図である。
【図４】図４（ａ）は、第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮工程を説明する模式図、図４（ｂ）は、第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における焼成工程を説明する模式図である。
【図５】図５は、第３実施形態及び第４実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法におけるＣＩＰ工程を説明する模式図である。
【図６】図６は、第５実施形態に係る放電表面処理方法を説明する模式図である。
【図７】図７（ａ）、造粒容器内の造粒粉末を示す写真図、図７（ｂ）は、図７（ａ）の部分拡大写真図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１実施形態）
第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法について図１から図３（ａ）（ｂ）及び図６を参照して説明する。
【００２０】
本発明の第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法は、図６に示すような放電表面処理用電極１を製造するための方法であって、造粒工程と、分級工程と、圧縮焼成工程（圧縮工程と焼成工程を合わせた工程）とを具備している。そして、本発明の第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における各工程の具体的内容は、次のようになる。なお、放電表面処理用電極１は、放電エネルギーを利用して金属ワークＷの被処理部Ｗａに例えば耐摩耗性のある被膜３を形成する際に用いられるものである。
【００２１】
造粒工程
図１に示すように、ジェットミルによって粉砕されかつ平均粒径が５μｍ以下の鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を電極材料として用いる。そして、軸心７ｓが鉛直方向ＶＤに対して傾斜した筒状の造粒容器７内に鱗片状（不定形状の一例）のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、造粒容器７をその軸心７ｓ周りに回転させる。これにより、クロムを含むコバルト合金粉末５を乾式で造粒（乾式造粒）して、クロムを含むコバルト合金粉末５の集合体からなる球状の造粒粉末９を製作することができる。なお、造粒容器７内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、造粒容器７をその軸心７ｓ周りに回転させる代わりに、筒状の別の造粒容器（図示省略）内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、別の造粒容器を振動又は揺動させても構わない。
【００２２】
ここで、鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５の中に、アトマイズ法、還元法、又はカルボニル法によって生成されかつ平均粒径が５μｍ以下の球状のクロムを含むコバルト合金粉末１１が混入されていても構わなく、この場合、クロムを含むコバルト合金粉末５，１１全体（電極材料全体）に対する球状のクロムを含むコバルト合金粉末１１の割合を１０重量％以下に設定する必要がある。電極材料全体に対する球状のクロムを含むコバルト合金粉末１１の割合が１０重量％を超えると、造粒容器７内において鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５の絡み合い易いという性質を有効かつ効果的に発揮させることが困難になるからである。また、鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５に代えて、ボールミル、ビーズミルによって粉砕された不定形状のクロムを含むコバルト合金粉末（図示省略）を電極材料として用いても構わない。
【００２３】
分級工程
前記造粒工程の終了後に、図２に示すように、振動式ふるい装置１３のふるい容器１５内に造粒粉末９を投入して、ふるい容器１５を振動させる。これにより、ふるい容器１５内に配設した一対のふるい網１７，１９によって造粒粉末９を分級して、目標の粒径範囲内（本発明の実施形態にあっては、平均粒径１００〜２００μｍ）の造粒粉末９を回収することができる。
【００２４】
圧縮焼成工程
前記分級工程の終了後に、図３（ａ）に示すように、グラファイトにより構成された成形金型２１を用い、成形金型２１内に造粒粉末９を充填する。ここで、成形金型２１は、ダイ孔２３ｈを有したダイ２３と、ダイ２３のダイ孔２３ｈ内の上部に上下方向へ移動可能に設けられた上パンチ２５と、ダイ２３のダイ孔２３ｈ内の下部に上下方向へ移動可能に設けられた下パンチ２７とを備えている。
【００２５】
次に、図３（ｂ）に示すように、ホットプレス装置（熱間プレス装置）２９の加熱処理炉３１内における上ラム３３と下ラム３５との間に成形金型２１をセットする。そして、加熱処理炉３１内を非酸化雰囲気に維持した状態で、上ラム３３を下ラム３５に対して相対的に下方向へ移動させながら、電源３７を用いた通電加熱方式による加熱によって成形金型２１内の温度を電極材料の焼結温度（焼成温度）まで昇温させて一定時間保持する。これにより、成形金型２１内の造粒粉末９を圧縮成形して造粒粉末９からなる成形体３９を製作しながら、成形体３９を焼成して焼結することができる。
【００２６】
ここで、電源３７を用いた通電加熱方式による加熱に代えて、抵抗体（図示省略）を用いた抵抗加熱方式による加熱又はコイル（図示省略）を用いた誘電加熱方式による加熱等によって成形金型２１内の温度を電極材料の焼結温度まで昇温させて一定時間保持しても構わない。なお、非酸化雰囲気とは、真空雰囲気、窒素ガス等の不活性ガス雰囲気、水素ガス雰囲気、ＣＯガス雰囲気等を含む意であって、電極材料の焼結温度とは、例えば、０．５〜０．８Ｔｍ℃（Ｔｍ：電極材料の融点）のことである。
【００２７】
以上により、焼結した成形体３９からなる放電表面処理用電極１を製造することができる。
【００２８】
続いて、第１実施形態の作用及び効果について説明する。
【００２９】
ジェットミルによって粉砕された鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を電極材料として用い、軸心７ｓが鉛直方向ＶＤに対して傾斜した造粒容器７内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５（球状のクロムを含むコバルト合金粉末１１が混入された鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を含む）を投入して、造粒容器７をその軸心７ｓ周りに回転させているため、バインダを用いなくても、クロムを含むコバルト合金粉末５を乾式で造粒（乾式造粒）して、球状のクロムを含むコバルト合金粉末５の造粒粉末９を製作することができる。また、造粒容器７内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、造粒容器７をその軸心７ｓ周りに回転させる代わりに、別の造粒容器内に鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末５を投入し、別の造粒容器を振動又は揺動させた場合も、同様に、バインダを用いなくても、球状のクロムを含むコバルト合金粉末５の造粒粉末９を製作できるものと推定される。これにより、造粒粉末９を製作した後に成形体３９からバインダを脱脂する工程を省くことができると共に、放電表面処理用電極１の密度を放電表面処理用電極１の軸方向に沿って略均一にすることができる。
【００３０】
従って、第１実施形態によれば、造粒粉末９を製作した後に成形体３９からバインダを脱脂する工程を省くことができるため、造粒粉末９を製作してから成形体３９を焼結するまでの時間を大幅に短縮して、放電表面処理用電極１の生産性（製造性）を十分に高めることができる。
【００３１】
また、放電表面処理用電極１の密度を放電表面処理用電極１の軸方向に沿って略均一にすることができるため、放電エネルギーを利用して金属ワークＷの被処理部Ｗａに形成した被膜３の品質（均一性）のバラツキを無くして、被膜３の品質を安定させることができる。
【００３２】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法の構成の中で、第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法と異なる点についてのみ図４（ａ）（ｂ）を参照して説明する。
【００３３】
第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法は、第１実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮焼成工程に代えて、圧縮工程と焼成工程とを具備している。そして、第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮工程と焼成工程の具体的な内容は、次のようになる。
【００３４】
圧縮工程
図４（ａ）に示すように、成形金型２１内に造粒粉末９を充填した状態で、冷間プレス装置４１における上ラム４３と下ラム４５との間に成形金型２１をセットする。そして、上ラム４３を下ラム４５に対して相対的に下方向へ移動させて、成形金型２１内の造粒粉末９を圧縮成形する。これにより、造粒粉末９からなる成形体３９を製作することができる。
【００３５】
なお、第２実施形態においては、成形金型２１はグラファイトにより構成される必要はない。
【００３６】
焼成工程
前記圧縮工程の終了後に、図４（ｂ）に示すように、成形金型２１（図４（ａ）参照）から取り出した成形体３９を加熱処理炉４７内の所定位置にセットする。そして、加熱処理炉４７内を非酸化雰囲気に維持した状態で、加熱処理炉４７のヒータ４９によって非酸化雰囲気の温度（加熱処理炉４７内の温度）の温度を電極材料の焼結温度まで昇温させて一定時間保持する。これにより、成形体３９を焼成して焼結することができる。
【００３７】
そして、第２実施形態においても、前述の第１実施形態と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００３８】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法の構成の中で、第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法と異なる点についてのみ図５を参照して説明する。
【００３９】
第３実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法は、第２実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における各工程（造粒工程、分級工程、圧縮工程、焼成工程）の他に、ＣＩＰ工程を具備している。そして、第３実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法におけるＣＩＰ工程の具体的な内容は、次のようになる。
【００４０】
ＣＩＰ工程
前記圧縮工程の終了後であって前記焼成工程の開始前に、図５に示すように、成形金型２１（図４（ａ）参照）から取り出した成形体３９にゴム型５１に封入する。そして、ゴム型５１を圧力容器５３内の作動液（加圧液）Ｓに浸漬させて、圧力容器５３内の作動液Ｓの静水圧（等方圧）の作用によって成形体３９を均等に加圧することにより、成形体３９にＣＩＰ処理を施すことができる。
【００４１】
そして、第３実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用及び効果を奏する他に、前記焼成工程の前に、成形体３９にＣＩＰ処理を施しているため、放電表面処理用電極１（図６参照）の密度を放電表面処理用電極１の軸方向に沿ってより略均一にすることができ、放電エネルギーを利用して金属ワークＷの被処理部Ｗａ（図６参照）に形成した被膜３（図６参照）の品質をより安定させることができる。
【００４２】
（第４実施形態）
第４実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法の構成の中で、第３実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法と異なる点についてのみ図３（ｂ）を参照して説明する。
【００４３】
第４実施形態に係る放電表面処理用電極の製造方法における圧縮工程は、冷間プレス装置（図４（ａ）参照）の代わりに、図３（ｂ）に示すように、ホットプレス装置２９を用い、ホットプレス装置２９の加熱処理炉３１内における上ラム３３と下ラム３５との間にグラファイトにより構成された成形金型２１をセットする。そして、加熱処理炉３１内を非酸化雰囲気に維持した状態で、上ラム３３を下ラム３５に対して相対的に下方向へ移動させながら、電源３７を用いた通電加熱方式による加熱によって成形金型２１内の温度を電極材料の仮焼成温度（仮焼結温度）まで昇温させて一定時間保持する。これにより、成形金型２１内の造粒粉末９を圧縮成形して成形体３９を製作しながら、成形体３９を仮焼成することができる。
【００４４】
ここで、電源３７を用いた通電加熱方式による加熱に代えて、抵抗体（図示省略）を用いた抵抗加熱方式による加熱又はコイル（図示省略）を用いた誘電加熱方式による加熱等によって成形金型２１内の温度を電極材料の仮焼成温度まで昇温させても構わない。なお、電極材料の仮焼成温度とは、例えば、０．３〜０．４５Ｔｍ℃（Ｔｍ：電極材料の融点）のことである。
【００４５】
そして、第４実施形態においても、前述の第３実施形態と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００４６】
（第５実施形態）
第５実施形態に係る放電表面処理方法について図６を参照して説明する。
【００４７】
図６に示すように、第５実施形態に係る放電表面処理方法は、放電エネルギーを利用して金属ワークＷの被処理部Ｗａに耐摩耗性のある被膜３を形成するための方法であって、第５実施形態に係る放電表面処理方法の具体的な内容は、次のようになる。
【００４８】
第１実施形態から第４実施形態のうちのいずれかの実施形態に係る放電表面処理用電極１を用い、加工槽５５に貯留された加工油Ｌ中において、放電表面処理用電極１と金属ワークＷの被処理部Ｗａとの間にパルス状の放電を発生させる。これにより、その放電エネルギーにより金属ワークＷの被処理部Ｗａを局所的に溶融させつつ、放電表面処理用電極１の電極材料又はその反応物質を金属ワークＷの被処理部Ｗａに溶着させて、耐摩耗性のある被膜３を形成することができる。
【００４９】
そして、第５実施形態に係る放電表面処理方法によれば、第１実施形態から第４実施形態のうちのいずれかの実施形態に係る放電表面処理用電極１を用いているため、放電エネルギーを利用して金属ワークＷの被処理部Ｗａに形成した被膜３の品質（均一性）のバラツキを無くして、被膜３の品質を安定させることができる。
【００５０】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、適宜の変更を行うことにより、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００５１】
Ｌ：加工油、Ｓ：作動液、Ｗ：金属ワーク、Ｗａ：被処理部、１：放電表面処理用電極、３：被膜、５：鱗片状のクロムを含むコバルト合金粉末、７：造粒容器、７ｓ：造粒容器の軸心、９：造粒粉末、１１：球状のクロムを含むコバルト合金粉末、１３：振動ふるい装置、１５：ふるい容器、１７：ふるい網、１９：ふるい網、２１：成形金型、２３：ダイ、２３ｈ：ダイ孔、２５：上パンチ、２７：下パンチ、２９：ホットプレス装置、３１：加熱処理炉、３３：上ラム、３５：下ラム、３７：電源、３９：成形体、４１：冷間プレス装置、４３：上ラム、４５：下ラム、４７：加熱処理炉、４９：ヒータ、５１：ゴム型、５３：圧力容器、５５：加工槽
【図１】
2015067879.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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