(57)【要約】      （修正有）【課題】基板からフィルムを剥離させる際の確実性を向上させたフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法を提供する。【解決手段】強粘着ローラ２２、２４の粘着面２２Ａ、２４Ａのうち、フィルム５、７と接触する領域についての、強粘着ローラ２２、２４の軸方向の長さの合計は、フィルム５、７の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、弱粘着ローラ３２、３４の粘着面３２Ａ、３４Ａのうち、フィルム５、７と接触する領域についての、弱粘着ローラ３２、３４の軸方向の長さの合計は、フィルム５、７の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっている。【選択図】図１
2015101473.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送路を搬送される基板の表面に貼り付けられたフィルムを前記基板から剥離させるフィルム剥離装置であって、
搬送手段と、初期剥離手段と、全体剥離手段と、を有してなり、前記初期剥離手段は前記搬送路において前記全体剥離手段よりも上流側に位置しており、
前記搬送手段は、前記基板を前記搬送路において順方向および逆方向の両方向に搬送することができ、
前記初期剥離手段は、
外周面に粘着面を有する回動可能な強粘着ローラを、搬送路よりも上方の位置および下方の位置のうちの少なくともいずれか一方の位置に、かつ、該強粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように有し、
前記強粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記強粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、
前記強粘着ローラは、前記搬送路上の前記基板に貼り付けられたフィルムの搬送方向側の端部と接着後に、該フィルムを前記基板から引き剥がす方向に回動することにより該フィルムの搬送方向側の端部を前記基板から剥離させることができ、
さらに、前記強粘着ローラは上下方向に移動することができ、
前記全体剥離手段は、
外周面に粘着面を有する回動可能な弱粘着ローラを、搬送路よりも上方の位置および下方の位置のうちの少なくともいずれか一方の位置に、かつ、該弱粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように有し、
前記弱粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記弱粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、
また、前記搬送路上を搬送されてきた前記基板の表面に貼り付けられた前記フィルムを前記弱粘着ローラに押し付ける付勢手段を有し、
前記弱粘着ローラは、前記初期剥離手段から前記全体剥離手段に搬送されてきた前記基板に貼り付けられている前記フィルムの剥離させられた前記搬送方向側の端部に接着し、該フィルムを前記基板から引き剥がす方向に回動することにより該フィルムの全体を回動する方向に巻き取りながら前記基板から引き剥がすことができることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項２】
請求項１に記載のフィルム剥離装置において、
前記初期剥離手段は、さらに、
前記搬送路を挟んで前記強粘着ローラと上下方向に対向するように、かつ、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、回動可能な第１の搬送ローラを有し、
前記全体剥離手段は、さらに、
前記搬送路を挟んで前記弱粘着ローラと上下方向に対向するように、かつ、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、回動可能な第２の搬送ローラを有する、
ことを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のフィルム剥離装置において、
ガイド部材およびピンチローラがさらに設けられているとともに、前記弱粘着ローラの外周面には周方向に溝が設けられており、
前記溝には前記ガイド部材が差し込まれており、前記弱粘着ローラが回動する方向に巻き取った前記フィルムは前記ガイド部材により前記弱粘着ローラから引き離され、
前記弱粘着ローラから引き離された前記フィルムは前記ピンチローラによって外部に排出されることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のフィルム剥離装置において、
さらに、軸方向が前記弱粘着ローラの軸方向と平行である清掃用粘着ローラを有しており、該清掃用粘着ローラを前記弱粘着ローラに押し付けることにより、前記弱粘着ローラに付着したゴミを前記清掃用粘着ローラに付着させて取り除くことができることを特徴とするフィルム剥離装置。
【請求項５】
搬送路を搬送される基板の表面に貼り付けられたフィルムを前記基板から剥離させるフィルム剥離方法であって、
前記搬送路において前記基板を搬送し、前記フィルムの搬送方向側の端部を、軸方向が前記搬送路と直交する水平方向であり、かつ、外周面に粘着面を有する回動可能な強粘着ローラに接着させ、前記フィルムを前記基板から引き剥がす方向に前記強粘着ローラを回動させて前記フィルムの搬送方向側の端部を前記基板から剥離させる初期剥離工程と、
前記初期剥離工程の後、前記基板を前記搬送路において逆方向に引き戻して、前記強粘着ローラと接着していた前記フィルムの搬送方向側の端部を前記強粘着ローラから離脱させる離脱工程と、
前記離脱工程の後、前記強粘着ローラを上下方向に移動させて、前記強粘着ローラを前記搬送路から遠ざける退避工程と、
前記退避工程の後、前記離脱工程を経た前記基板を前記搬送路において搬送し、前記初期剥離工程で剥離させられた前記フィルムの搬送方向側の端部を、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、外周に粘着面を有する回動可能な弱粘着ローラに接着させ、前記基板に貼り付けられている前記フィルムを前記基板から引き剥がす方向に前記弱粘着ローラを回動させることにより該フィルムの全体を回動する方向に巻き取りながら前記基板から引き剥がす全体剥離工程と、
を有することを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項６】
請求項５に記載のフィルム剥離方法において、
前記強粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記強粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、
また、前記弱粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記弱粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっていることを特徴とするフィルム剥離方法。
【請求項７】
請求項５または６に記載のフィルム剥離方法において、
前記弱粘着ローラの外周面には周方向に溝が設けられていて、該溝にはガイド部材が差し込まれており、前記弱粘着ローラが回動する方向に巻き取った前記フィルムは前記ガイド部材により前記弱粘着ローラから引き離され、
前記弱粘着ローラから引き離された前記フィルムはピンチローラによって外部に排出されることを特徴とするフィルム剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム剥離装置およびフィルム剥離方法に関し、特に、基板からフィルムを剥離させる際の確実性を向上させたフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のフィルム剥離装置には、フィルムを剥離させる際に針状の部材を使用するために基板に傷をつけてしまうおそれがあるという問題や、搬送中の基板をフィルム剥離工程でいったん停止させる必要があるために単位時間当たりの処理数が低下するという問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するフィルム剥離装置として、特許文献１において、基板を搬送する基板搬送手段と、該基板搬送手段により搬送される基板の表面に貼られたフィルムに粘着して剥離させる粘着剥離手段と、該粘着剥離手段により剥がれたフィルムを把持して基板から剥離排出するフィルム排出手段を有するフィルム剥離装置において、該粘着剥離手段は基板上のフィルムを粘着剥離する粘着テープと該粘着テープをセットする粘着テープセット部及び巻取るための粘着テープ巻取り部と搬送されてきた基板に貼られたフィルムの端部に該粘着テープを押し付けてフィルムを粘着し巻き上げる粘着テープ押し付けローラを有し、該フィルム排出手段は、１対のキャッチローラと１対の駆動ローラとキャッチローラ及び駆動ローラの間にそれぞれ巻掛けてあって回転することでフィルムを挟み込んで搬送する１対の搬送ベルトを有し、該粘着テープ及び該１対の搬送ベルトはそれぞれ該基板搬送手段による基板の搬送速度と同速度での移動するものであり、さらに、該フィルム排出手段は、該一方のキャッチローラが他方のキャッチローラに向う方向に移動して該粘着テープにより巻き上げられてきたフィルムを受け取って該１対の搬送ベルトの間に把持し基板からフィルムを剥離しながら搬送するものであることを特徴とするフィルム剥離装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７７３７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の図２から明らかなように、特許文献１に記載のフィルム剥離装置における粘着テープ押し付けローラおよびキャッチローラの軸方向の長さは、処理対象のフィルム付き基板の搬送方向と直交する水平方向の長さと比較してかなり短くなっている。このため、粘着テープ押し付けローラによりフィルムを粘着させる領域およびキャッチローラによりフィルムを挟み込む領域が狭く、特許文献１に記載のフィルム剥離装置は、基板からフィルムを剥離させる際の確実性に問題がある可能性がある。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、基板からフィルムを剥離させる際の確実性を向上させたフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下のフィルム剥離装置およびフィルム剥離方法により、前記課題を解決したものである。
【０００８】
即ち、本発明に係るフィルム剥離装置は、搬送路を搬送される基板の表面に貼り付けられたフィルムを前記基板から剥離させるフィルム剥離装置であって、搬送手段と、初期剥離手段と、全体剥離手段と、を有してなり、前記初期剥離手段は前記搬送路において前記全体剥離手段よりも上流側に位置しており、前記搬送手段は、前記基板を前記搬送路において順方向および逆方向の両方向に搬送することができ、前記初期剥離手段は、外周面に粘着面を有する回動可能な強粘着ローラを、搬送路よりも上方の位置および下方の位置のうちの少なくともいずれか一方の位置に、かつ、該強粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように有し、前記強粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記強粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、前記強粘着ローラは、前記搬送路上の前記基板に貼り付けられたフィルムの搬送方向側の端部と接着後に、該フィルムを前記基板から引き剥がす方向に回動することにより該フィルムの搬送方向側の端部を前記基板から剥離させることができ、さらに、前記強粘着ローラは上下方向に移動することができ、前記全体剥離手段は、外周面に粘着面を有する回動可能な弱粘着ローラを、搬送路よりも上方の位置および下方の位置のうちの少なくともいずれか一方の位置に、かつ、該弱粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように有し、前記弱粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記弱粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、また、前記搬送路上を搬送されてきた前記基板の表面に貼り付けられた前記フィルムを前記弱粘着ローラに押し付ける付勢手段を有し、前記弱粘着ローラは、前記初期剥離手段から前記全体剥離手段に搬送されてきた前記基板に貼り付けられている前記フィルムの剥離させられた前記搬送方向側の端部に接着し、該フィルムを前記基板から引き剥がす方向に回動することにより該フィルムの全体を回動する方向に巻き取りながら前記基板から引き剥がすことができることを特徴とするフィルム剥離装置である。
【０００９】
ここで、「強粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となる」とは、強粘着ローラの軸方向が水平方向であり、かつ、上方から見たときに強粘着ローラの軸方向と前記搬送路が直交していることを意味する。
【００１０】
同様に、「弱粘着ローラの軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となる」とは、弱粘着ローラの軸方向が水平方向であり、かつ、上方から見たときに弱粘着ローラの軸方向と前記搬送路が直交していることを意味する。
【００１１】
前記フィルム剥離装置において、前記初期剥離手段は、さらに、前記搬送路を挟んで前記強粘着ローラと上下方向に対向するように、かつ、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、回動可能な第１の搬送ローラを有し、前記全体剥離手段は、さらに、前記搬送路を挟んで前記弱粘着ローラと上下方向に対向するように、かつ、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、回動可能な第２の搬送ローラを有するように構成してもよい。
【００１２】
ここで、「軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された」とは、当該ローラの軸方向が水平方向であり、かつ、上方から見たときに当該ローラの軸方向と前記搬送路が直交していることを意味する。
【００１３】
前記フィルム剥離装置において、ガイド部材およびピンチローラをさらに設けるとともに、前記弱粘着ローラの外周面には周方向に溝を設け、前記溝には前記ガイド部材を差し込み、前記弱粘着ローラが回動する方向に巻き取った前記フィルムは前記ガイド部材により前記弱粘着ローラから引き離され、前記弱粘着ローラから引き離された前記フィルムは前記ピンチローラによって外部に排出されるように構成してもよい。
【００１４】
前記フィルム剥離装置において、さらに、軸方向が前記弱粘着ローラの軸方向と平行である清掃用粘着ローラを備えさせ、該清掃用粘着ローラを前記弱粘着ローラに押し付けることにより、前記弱粘着ローラに付着したゴミを前記清掃用粘着ローラに付着させて取り除くように構成してもよい。
【００１５】
また、本発明に係るフィルム剥離方法は、搬送路を搬送される基板の表面に貼り付けられたフィルムを前記基板から剥離させるフィルム剥離方法であって、前記搬送路において前記基板を搬送し、前記フィルムの搬送方向側の端部を、軸方向が前記搬送路と直交する水平方向であり、かつ、外周面に粘着面を有する回動可能な強粘着ローラに接着させ、前記フィルムを前記基板から引き剥がす方向に前記強粘着ローラを回動させて前記フィルムの搬送方向側の端部を前記基板から剥離させる初期剥離工程と、前記初期剥離工程の後、前記基板を前記搬送路において逆方向に引き戻して、前記強粘着ローラと接着していた前記フィルムの搬送方向側の端部を前記強粘着ローラから離脱させる離脱工程と、前記離脱工程の後、前記強粘着ローラを上下方向に移動させて、前記強粘着ローラを前記搬送路から遠ざける退避工程と、前記退避工程の後、前記離脱工程を経た前記基板を前記搬送路において搬送し、前記初期剥離工程で剥離させられた前記フィルムの搬送方向側の端部を、軸方向が前記搬送路の延びる方向と直交する水平方向となるように配置された、外周に粘着面を有する回動可能な弱粘着ローラに接着させ、前記基板に貼り付けられている前記フィルムを前記基板から引き剥がす方向に前記弱粘着ローラを回動させることにより該フィルムの全体を回動する方向に巻き取りながら前記基板から引き剥がす全体剥離工程と、を有することを特徴とするフィルム剥離方法である。
【００１６】
前記強粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記強粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、また、前記弱粘着ローラの粘着面のうち、前記フィルムと接触する領域についての、前記弱粘着ローラの軸方向の長さの合計は、前記フィルムの、前記搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっていることが好ましい。
【００１７】
また、前記フィルム剥離方法において、前記弱粘着ローラの外周面に周方向に溝を設け、該溝にはガイド部材を差し込み、前記弱粘着ローラが回動する方向に巻き取った前記フィルムが前記ガイド部材により前記弱粘着ローラから引き離され、前記弱粘着ローラから引き離された前記フィルムがピンチローラによって外部に排出されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係るフィルム剥離装置では、強粘着ローラの粘着面のうち、フィルムと接触する領域についての強粘着ローラの軸方向の長さの合計が、前記フィルムの、搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっており、また、弱粘着ローラの粘着面のうち、フィルムと接触する領域についての弱粘着ローラの軸方向の長さの合計が、前記フィルムの、搬送路と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくなっているので、基板から前記フィルムを剥離させる際の確実性を向上させることができる。
【００１９】
また、本発明に係るフィルム剥離方法では、初期剥離工程でフィルムの搬送方向側の端部を基板から剥離させた後、いったん基板を搬送路において逆方向に引き戻して、強粘着ローラと接着していたフィルムの搬送方向側の端部を強粘着ローラから離脱させ、その後、弱粘着ローラがフィルムの全体を回動する方向に巻き取りながらフィルムの全体を基板から引き剥がすので、強粘着ローラの軸方向の長さおよび弱粘着ローラの軸方向の長さをお互いに干渉することなく長くすることができるので、基板からフィルムを剥離させる際の確実性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０の概略構成を示す図
【図２】強粘着ローラ２２の一例を示す図
【図３】強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａの配置状態とフィルム５の幅との位置関係の一例を示す図
【図４】弱粘着ローラ３２、ガイド３８、およびピンチローラ４０の配置状態を示す図
【図５】弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａの配置状態とフィルム５の幅との位置関係の一例を示す図
【図６】初期剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図７】初期剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図８】初期剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図９】初期剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図１０】全体剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図１１】全体剥離工程の進行手順の一部を模式的に示す図
【図１２】本発明の第２実施形態に係るフィルム剥離装置の全体剥離手段７０の概略構成（清掃用粘着ローラ６０、６２を弱粘着ローラ３２、３４に押し付ける前の状態）を示す図
【図１３】本発明の第２実施形態に係るフィルム剥離装置の全体剥離手段７０の概略構成（清掃用粘着ローラ６０、６２を弱粘着ローラ３２、３４に押し付けている状態）を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るフィルム剥離装置を詳細に説明する。
【００２２】
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０の概略構成を示す図である。
【００２３】
本第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０は、初期剥離手段２０と、全体剥離手段３０とを有してなり、搬送路１に沿って搬送される基板３に貼り付けられたフィルム５、７を基板３から剥離させて取り除く装置である。
【００２４】
初期剥離手段２０は、搬送路１に沿って搬送される基板３に貼り付けられたフィルム５、７の搬送方向側の端部を所定の範囲（例えば、フィルム５、７の搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲）だけ剥離させる役割を有する。フィルム５、７の搬送方向側の端部を剥離させることにより、次の工程で、全体剥離手段３０によってフィルム５、７の全体を容易に基板３から取り除くことができる。なお、搬送方向とは、図１において左から右に向かう方向のことである。
【００２５】
初期剥離手段２０は、強粘着ローラ２２、２４と、搬送ローラ２３、２５とを有してなり、図１に示すように、初期剥離手段２０は、搬送路１を挟んで上下方向に対向して配置された強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３とからなるローラ組２６Ａと、搬送路１を挟んで上下方向に対向して配置された強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５とからなるローラ組２６Ｂとを備えている。強粘着ローラ２２、２４は、それぞれ外周面に粘着面２２Ａ、２４Ａを備えている。強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３の両者の軸方向は平行であり、また、強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５の両者の軸方向は平行である。また、強粘着ローラ２２、２４および搬送ローラ２３、２５の軸方向はいずれも水平方向である。なお、強粘着ローラ２２、２４および搬送ローラ２３、２５の軸方向は、図１において紙面と直交する方向である。
【００２６】
強粘着ローラ２２において、粘着面２２Ａは強粘着ローラ２２の軸方向に連続していなくてもよく、図２に示すように、所定の幅（例えば１５〜２５ｍｍ程度の幅）を有する粘着面２２Ａが所定の間隔（例えば４〜６ｍｍ程度の間隔）を開けて強粘着ローラ２２の軸方向に配置されているようにしてもよい。
【００２７】
２組のローラ組２６Ａ、２６Ｂのうち、搬送路１の上流側（図１において左側）に位置するローラ組２６Ａは、上方に強粘着ローラ２２を備え、下方に搬送ローラ２３を備えており、搬送路１の下流側（図１において右側）に位置するローラ組２６Ｂは、上方に搬送ローラ２５を備え、下方に強粘着ローラ２４を備えている。強粘着ローラ２２、２４には動力が供給されておらず自ら回動することはできないが、搬送ローラ２３、２５は、動力が供給されて自ら回動することができる駆動ローラであり、搬送路１に沿って基板３を両方向に（図１において右方向と左方向のいずれの方向にも）搬送することができる。駆動ローラである搬送ローラ２３、２５によって基板３が搬送路１に沿って搬送されると、搬送される基板３に付着したフィルム５、７と接触することにより強粘着ローラ２２、２４も回動する。
【００２８】
また、ローラ組２６Ａにおいて、強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３の間には隙間が設けられているが、強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａの最も低い高さ位置は、搬送路１を搬送されてきた基板３の上面に貼り付けられたフィルム５の上面の位置よりもわずかに下方に位置しており、搬送路１を搬送されてきた基板３の搬送方向側の端部が強粘着ローラ２２の真下に達するとフィルム５の搬送方向側の端部が粘着面２２Ａに付着するようになっている。本実施形態では強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３の間に隙間を設けたが、必ずしも強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３の間に隙間を設ける必要はなく、強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａは搬送ローラ２３に接触していてもよい。
【００２９】
同様に、ローラ組２６Ｂにおいても、強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５の間には隙間が設けられているが、強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａの最も高い高さ位置は、搬送路１を搬送されてきた基板３の下面に貼り付けられたフィルム７の下面の位置よりもわずかに上方に位置しており、搬送路１を搬送されてきた基板３の搬送方向側の端部が強粘着ローラ２４の真上に達するとフィルム７の搬送方向側の端部が粘着面２４Ａに付着するようになっている。本実施形態では強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５の間に隙間を設けたが、必ずしも強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５の間に隙間を設ける必要はなく、強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａは搬送ローラ２５に接触していてもよい。
【００３０】
なお、後述するように、強粘着ローラ２２、２４は、昇降シリンダ２２Ｂ、２４Ｂのロッド２２Ｃ、２４Ｃにそれぞれ取り付けられており、強粘着ローラ２２、２４はロッド２２Ｃ、２４Ｃが収縮・伸長することにより上下方向に移動することができるようになっている。そして、強粘着ローラ２２、２４の粘着面２２Ａ、２４Ａを搬送ローラ２３、２５にそれぞれ接触させる場合には、昇降シリンダ２２Ｂ、２４Ｂのロッド２２Ｃ、２４Ｃが、弱い圧力で、強粘着ローラ２２、２４を搬送ローラ２３、２５にそれぞれ押し付ける。このため、強粘着ローラ２２、２４の粘着面２２Ａ、２４Ａが搬送ローラ２３、２５にそれぞれ接触していて隙間がない場合でも、搬送路１を搬送されてきた基板３の搬送方向側の端部が強粘着ローラ２２、２４に接触すると、強粘着ローラ２２、２４は押し戻され、強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３との間および強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５との間にはそれぞれ隙間ができ、基板３は、強粘着ローラ２２と搬送ローラ２３との間および強粘着ローラ２４と搬送ローラ２５との間を通過できるようになっている。
【００３１】
強粘着ローラ２２は、粘着力の強い粘着面２２Ａを表面に備えており、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５の搬送方向側の端部が粘着面２２Ａに付着した状態で、強粘着ローラ２２が基板３を搬送する方向（図１において左から右に進む方向）に回動（図１において反時計回り方向に回動）すると、フィルム５の搬送方向側の端部には基板３から引き剥がされる方向に力が働き、フィルム５の搬送方向側の端部は基板３から剥離する。このとき、粘着面２２Ａとフィルム５との間には、粘着面２２Ａの円周方向に（強粘着ローラ２２の円周方向に）せん断力が加わるだけでなく、フィルム５を粘着面２２Ａに押し付ける方向にも力が働くので、粘着面２２Ａとフィルム５との間では剥離が起こりにくい。一方、フィルム５と基板３との間には基板面と直交する方向（フィルム５を基板３から引き剥がす方向）にも力が働くためピーリングが起こりやすく、フィルム５と基板３との間では剥離が起こりやすい。
【００３２】
なお、粘着面２２Ａの粘着力は、基板３とフィルム５との間の接着力および強粘着ローラ２２の外周面への粘着面２２Ａの配置状況に応じて適宜設定すべきものであり、特定の数値範囲に限定されるわけではないが、粘着面２２Ａに付着したフィルム５を強粘着ローラ２２の接線方向に剥がすときに必要な力が、強粘着ローラ２２の軸方向１０ｍｍ幅で例えば６〜８Ｎ程度となるようにすることが多い。
【００３３】
同様に、強粘着ローラ２４は、粘着力の強い粘着面２４Ａを表面に備えており、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７の搬送方向側の端部が粘着面２４Ａに付着した状態で、強粘着ローラ２４が基板３を搬送する方向（図１において左から右に進む方向）に回動（図１において時計回り方向に回動）すると、フィルム７の搬送方向側の端部には基板３から引き剥がされる方向に力が働き、フィルム７の搬送方向側の端部は基板３から剥離する。このとき、粘着面２４Ａとフィルム７との間には粘着面２４Ａの円周方向に（強粘着ローラ２４の円周方向に）せん断力が加わるだけでなく、フィルム７を粘着面２４Ａに押し付ける方向にも力が働くので、粘着面２４Ａとフィルム７との間では剥離が起こりにくい。一方、フィルム７と基板３との間には基板面と直交する方向（フィルム７を基板３から引き剥がす方向）にも力が働くためピーリングが起こりやすく、フィルム７と基板３との間では剥離が起こりやすい。
【００３４】
なお、粘着面２４Ａの粘着力は、基板３とフィルム７との間の接着力および強粘着ローラ２４の外周面への粘着面２４Ａの配置状況に応じて適宜設定すべきものであり、特定の数値範囲に限定されるわけではないが、粘着面２４Ａに付着したフィルム７を強粘着ローラ２４の接線方向に剥がすときに必要な力が、強粘着ローラ２４の軸方向１０ｍｍ幅で例えば６〜８Ｎ程度となるようにすることが多い。
【００３５】
基板３の上面に貼り付けられたフィルム５の搬送方向側の端部が粘着面２２Ａに付着した状態で、基板３が搬送方向に１０〜２０ｍｍ程度搬送されると、搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲だけフィルム５は基板３から剥離する（図６（２）に示す初期剥離部５Ａが生じる。）。
【００３６】
同様に、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７の搬送方向側の端部が粘着面２４Ａに付着した状態で、基板３が搬送方向に１０〜２０ｍｍ程度搬送されると、搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲だけフィルム７は基板３から剥離する（図８（５）に示す初期剥離部７Ａが生じる。）。
【００３７】
搬送路１の上流側（図１において左側）に位置するローラ組２６Ａは、上方に強粘着ローラ２２を備えているので、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５を基板３から引き剥がし、搬送路１の下流側（図１において右側）に位置するローラ組２６Ｂは、下方に強粘着ローラ２４を備えているので、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７を基板３から引き剥がす。
【００３８】
また、フィルム５、７の搬送方向側の端部がそれぞれいったん粘着面２２Ａ、２４Ａに付着しても、本来の搬送方向と反対方向（図１において左方向）に基板３を搬送することにより、フィルム５、７を粘着面２２Ａ、２４Ａから引き剥がすことができる。前述したように、初期剥離手段２０は、搬送路１に沿って搬送される基板３に貼り付けられたフィルム５、７の搬送方向側の端部を所定の範囲（例えば、フィルム５、７の搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲）だけ剥離させる役割を有するので、搬送路１に沿って搬送されてきた基板３の上面に貼り付けられたフィルム５が粘着面２２Ａに付着してから、基板３を搬送方向に１０〜２０ｍｍ程度搬送するのに必要なだけ強粘着ローラ２２を回動させた後、逆方向に基板３を引き戻し、フィルム５を強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａから引き剥がす。同様に、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７に対しては、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７が粘着面２４Ａに付着してから、基板３を搬送方向に１０〜２０ｍｍ程度搬送するのに必要なだけ強粘着ローラ２４を回動させた後、逆方向に基板３を引き戻し、フィルム７を強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａから引き剥がす。
【００３９】
粘着面２２Ａ、２４Ａとしては、具体的には例えば、粘着テープの粘着面を使用することができ、１日に１回程度、多重に重なった粘着テープをはがすことにより、粘着面２２Ａ、２４Ａの必要な粘着力を保持することができる。ここで、後述するように、強粘着ローラ２２、２４は、昇降シリンダ２２Ｂ、２４Ｂのロッド２２Ｃ、２４Ｃにそれぞれ取り付けられており、強粘着ローラ２２、２４はロッド２２Ｃ、２４Ｃが収縮・伸長することにより上下方向に移動することができるようになっている。このため、粘着テープをはがすことにより強粘着ローラ２２、２４の径が小さくなっても、ロッド２２Ｃ、２４Ｃを適宜伸長させて、強粘着ローラ２２、２４の位置を上下方向に微修正して適切な位置にすることにより、本実施形態に係るフィルム剥離装置１０を引き続き使用することができる。
【００４０】
また、必要な粘着力を確保できるのであれば、粘着面２２Ａ、２４Ａとして、ウレタン等のゴム素材を用いてもよい。この場合、粘着面２２Ａ、２４Ａに付着したゴミはアルコールで清掃すれば取り除くことができ、粘着面２２Ａ、２４Ａの粘着力を回復させることができる。
【００４１】
さらに、強粘着ローラ２２は、昇降シリンダ２２Ｂのロッド２２Ｃに取り付けられており、強粘着ローラ２２はロッド２２Ｃが収縮・伸長することにより上下方向に移動することができるようになっている。また、強粘着ローラ２４は、昇降シリンダ２４Ｂのロッド２４Ｃに取り付けられており、強粘着ローラ２４はロッド２４Ｃが収縮・伸長することにより上下方向に移動することができるようになっている。強粘着ローラ２２、２４が上下方向に移動することできるようになっている理由は、後述する本フィルム剥離装置１０の動作の説明から明らかなように、搬送方向側の端部を剥離させた後に強粘着ローラ２２、２４から分離させたフィルム５、７が再度強粘着ローラ２２、２４に付着することを防ぐためである。
【００４２】
次に、強粘着ローラ２２、２４における粘着面２２Ａ、２４Ａの配置状態についてさらに詳細に説明する。
【００４３】
強粘着ローラ２２、２４の軸方向（図１において紙面と直交する方向）についての粘着面２２Ａ、２４Ａの長さの合計Ｌｓｕｍは、搬送方向と直交する水平方向（図１において紙面と直交する方向）のフィルム５、７の幅Ｌｆｉｌｍの５０％よりも大きくなっている。
【００４４】
ここで、強粘着ローラ２２において、図３のように粘着面２２Ａが配置されている場合を例に取り上げて、ＬｓｕｍとＬｆｉｌｍの関係について具体的に説明する。
【００４５】
図３に示すように、フィルム５と接触する粘着面２２Ａの領域が９つあって、それぞれの領域の強粘着ローラ２２の軸方向の長さをＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８、Ｌ９とすると、フィルム５と接触する粘着面２２Ａの領域の軸方向（強粘着ローラ２２の軸方向）についての長さの合計Ｌｓｕｍは、
Ｌｓｕｍ＝Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ５＋Ｌ６＋Ｌ７＋Ｌ８＋Ｌ９
と表すことができる。
【００４６】
図３において、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５の搬送方向と直交する水平方向の幅をＬｆｉｌｍとすると、本実施形態では、
（Ｌｓｕｍ／Ｌｆｉｌｍ）＞０．５
という関係が成立するように強粘着ローラ２２において粘着面２２Ａを配置している。
【００４７】
（Ｌｓｕｍ／Ｌｆｉｌｍ）の値が０．５以下になると、粘着面２２Ａに接着するフィルム５の搬送方向と直交する水平方向の領域が小さくなりすぎ、フィルム５の搬送方向側の端部を所定の範囲だけ剥離させることを安定的に行うことに支障をきたすおそれがある。
【００４８】
本実施形態では、強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａについても同様となるように配置している。
【００４９】
次に全体剥離手段３０について説明する。
【００５０】
全体剥離手段３０は、初期剥離手段２０によって搬送方向側の端部が基板３から剥離させられたフィルム５、７の全体を基板３から引き剥がす役割を有する。
【００５１】
全体剥離手段３０は、弱粘着ローラ３２、３４と、搬送ローラ３３、３５とを有しており、図１に示すように、搬送路１を挟んで上下方向に対向して配置された弱粘着ローラ３２と搬送ローラ３３とからなるローラ組３６Ａと、搬送路１を挟んで上下方向に対向して配置された弱粘着ローラ３４と搬送ローラ３５とからなるローラ組３６Ｂとを備えている。弱粘着ローラ３２と搬送ローラ３３の両者の軸方向は平行であり、弱粘着ローラ３４と搬送ローラ３５の両者の軸方向は平行である。また、弱粘着ローラ３２、３４および搬送ローラ３３、３５の軸方向はいずれも水平方向である。なお、弱粘着ローラ３２、３４および搬送ローラ３３、３５の軸方向は、図１において紙面と直交する方向である。
【００５２】
２組のローラ組３６Ａ、３６Ｂのうち、搬送路１の上流側（図１において左側）に位置するローラ組３６Ａは、上方に弱粘着ローラ３２を備え、下方に搬送ローラ３３を備えており、搬送路１の下流側（図１において右側）に位置するローラ組３６Ｂは、上方に搬送ローラ３５を備え、下方に弱粘着ローラ３４を備えている。搬送ローラ３３、３５は動力が供給されておらず自ら回動することはできないが、弱粘着ローラ３２、３４は、動力が供給されて自ら回動することができる駆動ローラであり、搬送路１に沿って基板３を両方向に（図１において右方向と左方向のいずれの方向にも）搬送することができる。
【００５３】
また、搬送ローラ３３は、対向する弱粘着ローラ３２との間隔を狭める方向にバネ３３Ａによって付勢されており、搬送されてきた基板３の上面に貼り付けられたフィルム５が弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａに確実に付着するようになっている。
【００５４】
同様に、搬送ローラ３５は、対向する弱粘着ローラ３４との間隔を狭める方向にバネ３５Ａによって付勢されており、搬送されてきた基板３の下面に貼り付けられたフィルム７が弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａに確実に付着するようになっている。
【００５５】
図１に示すように、ローラ組３６Ａにおいて弱粘着ローラ３２と搬送ローラ３３との間には隙間が設けられ、ローラ組３６Ｂにおいて弱粘着ローラ３４と搬送ローラ３５との間には隙間が設けられているが、これらの隙間の幅は、どちらも、基板３とフィルム５、７の合計の厚さ未満である。これらの隙間の幅が、基板３とフィルム５、７の合計の厚さ未満であっても、搬送ローラ３３、３５はバネ３３Ａ、３５Ａによって上下方向に付勢されており、バネ３３Ａ、３５Ａの伸縮に伴って上下方向に移動可能であるので、基板３は弱粘着ローラ３２と搬送ローラ３３との間、および弱粘着ローラ３４と搬送ローラ３５との間を通過することができる。
【００５６】
弱粘着ローラ３２は粘着力の弱い粘着面３２Ａを表面に備えている。粘着面３２Ａは、弱粘着ローラ３２の軸方向１０ｍｍ幅で３〜４Ｎ程度の粘着力（粘着面３２Ａに付着したフィルム５を弱粘着ローラ３２の接線方向に剥がすときに必要な力）を有する。したがって、弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａの粘着力は、強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａの粘着力の半分程度である。粘着面３２Ａには、具体的には例えば、ウレタン等のゴム素材を用いることができる。この場合、粘着面３２Ａに付着したゴミはアルコールで清掃すれば取り除くことができ、粘着面３２Ａの粘着力を回復させることができる。
【００５７】
同様に、弱粘着ローラ３４は粘着力の弱い粘着面３４Ａを表面に備えている。粘着面３４Ａは、弱粘着ローラ３４の軸方向１０ｍｍ幅で３〜４Ｎ程度の粘着力（粘着面３４Ａに付着したフィルム７を弱粘着ローラ３４の接線方向に剥がすときに必要な力）を有する。したがって、弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａの粘着力は、強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａの粘着力の半分程度である。粘着面３４Ａには、具体的には例えば、ウレタン等のゴム素材を用いることができる。この場合、粘着面３４Ａに付着したゴミはアルコールで清掃すれば取り除くことができ、粘着面３４Ａの粘着力を回復させることができる。
【００５８】
初期剥離手段２０によって搬送方向側の端部が剥離させられたフィルム５の搬送方向側の端部が粘着面３２Ａに付着した状態で、弱粘着ローラ３２が基板３を搬送する方向（図１において左から右に進む方向）に回動（図１において反時計回り方向に回動）すると、フィルム５の搬送方向側の端部には基板３から引き剥がされる方向に力が働き、フィルム５は搬送方向側の端部から順次基板３から剥離していく。
【００５９】
同様に、初期剥離手段２０によって搬送方向側の端部が剥離させられたフィルム７の搬送方向側の端部が粘着面３４Ａに付着した状態で、弱粘着ローラ３４が基板３を搬送する方向（図１において左から右に進む方向）に回動（図１において時計回り方向に回動）すると、フィルム７の搬送方向側の端部には基板３から引き剥がされる方向に力が働き、フィルム７は搬送方向側の端部から順次基板３から剥離していく。
【００６０】
前述したように、初期剥離手段２０によって、フィルム５、７の搬送方向側の端部の所定の領域は基板３からすでに剥離させられているので、弱粘着ローラ３２、３４の粘着面３２Ａ、３４Ａの粘着力は、強粘着ローラ２２、２４の粘着面２２Ａ、２４Ａの粘着力の半分程度であっても、弱粘着ローラ３２、３４の粘着面３２Ａ、３４Ａにフィルム５、７を付着させて巻き取ることができる。
【００６１】
初期剥離手段２０の役割は、フィルム５、７の搬送方向側の端部の所定の領域のみを基板３から剥離させることであり、初期剥離手段２０の強粘着ローラ２２、２４はフィルム５、７を付着させた状態でわずかな量しか回動させる必要はなかったが、全体剥離手段３０の役割はフィルム５、７の全体を基板３から引き剥がすことであり、全体剥離手段３０の弱粘着ローラ３２、３４については、フィルム５、７の全体が基板３から引き剥がされるまで回動させる。
【００６２】
搬送ローラ３３、３５には外部から駆動力は供給されていないが、駆動ローラである弱粘着ローラ３２、３４によって基板３が搬送路１に沿って搬送されると、搬送される基板３に付着したフィルム５、７と接触することにより搬送ローラ３３、３５も回動する。
【００６３】
搬送路１の上流側（図１において左側）に位置するローラ組３６Ａは、上方に弱粘着ローラ３２を備えており、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５を基板３から引き剥がしながら巻き取っていき、搬送路１の下流側（図１において右側）に位置するローラ組３６Ｂは、下方に弱粘着ローラ３４を備えており、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７を基板３から引き剥がしながら巻き取っていく。
【００６４】
また、全体剥離手段３０は、ローラ組３６Ａにおいて、ガイド３８、ピンチローラ４０、４２を有しており、また、ローラ組３６Ｂにおいて、ガイド４４、ピンチローラ４６、４８を有している。図１に示すように、ピンチローラ４０、４２はお互いに対向するように配置されており、また、ピンチローラ４６、４８はお互いに対向するように配置されている。
【００６５】
ローラ組３６Ａにおける、弱粘着ローラ３２、ガイド３８、およびピンチローラ４０の配置状態を図４に示すが、ローラ組３６Ｂにおける、弱粘着ローラ３４、ガイド４４、およびピンチローラ４６の配置状態も図４に示す配置状態と同様であるので、ここでは、ローラ組３６Ａにおける、弱粘着ローラ３２、ガイド３８、およびピンチローラ４０の配置状態のみを説明し、ローラ組３６Ｂにおける、弱粘着ローラ３４、ガイド４４、およびピンチローラ４６の配置状態についての説明は省略する。
【００６６】
弱粘着ローラ３２の構成をより詳しく説明すると、図４に示すように、弱粘着ローラ３２は、軸心３２Ｂに多数の弱粘着ローラ部品３２Ｃが軸方向に所定の間隔を開けて取り付けられた構成になっている。各弱粘着ローラ部品３２Ｃは、表面に粘着面３２Ａをそれぞれ備える。
【００６７】
また、ピンチローラ４０の構成をより詳しく説明すると、図４に示すように、ピンチローラ４０は、軸心４０Ａに多数のピンチローラ部品４０Ｂが軸方向に所定の間隔を開けて取り付けられた構成になっている。
【００６８】
弱粘着ローラ部品３２Ｃの軸方向の幅およびピンチローラ部品４０Ｂの軸方向の幅は、同程度の長さになっており、どちらも例えば１５〜２５ｍｍ程度である。また、弱粘着ローラ部品３２Ｃ同士の間の隙間の幅およびピンチローラ部品４０Ｂ同士の間の隙間の幅も、同程度の長さになっており、どちらも例えば４〜６ｍｍ程度である。したがって、弱粘着ローラ３２およびピンチローラ４０の全体の形状は、外周面に所定の間隔で所定の幅の溝が設けられた形状となっている。
【００６９】
各弱粘着ローラ部品３２Ｃは、表面に粘着面３２Ａをそれぞれ備えるので、弱粘着ローラ３２において、所定の幅（例えば１５〜２５ｍｍ程度の幅）を有する粘着面３２Ａが所定の間隔（例えば４〜６ｍｍ程度の間隔）を開けて弱粘着ローラ３２の軸方向に配置されており、粘着面３２Ａは弱粘着ローラ３２の軸方向に連続していない。
【００７０】
また、弱粘着ローラ部品３２Ｃ同士の各隙間およびピンチローラ部品４０Ｂ同士の各隙間には、細長い板状体からなるガイド３８が配置されている。各ガイド３８の後端は保持部材３８Ａにそれぞれ取り付けられており、多数のガイド３８の後端が保持部材３８Ａに取り付けられた全体の形状は櫛状の形状となっている。
【００７１】
ガイド３８は、弱粘着ローラ３２の回動に合わせて弱粘着ローラ３２に巻き取られていくフィルム５と弱粘着ローラ３２の軸心３２Ｂ（図１１（３）参照）との間に入り込んで、弱粘着ローラ３２に巻き取られたフィルム５を弱粘着ローラ３２から引き剥がし、ピンチローラ４０、４２の間に送り込む。
【００７２】
同様に、ガイド４４は、弱粘着ローラ３４の回動に合わせて弱粘着ローラ３４に巻き取られていくフィルム７と弱粘着ローラ３４の軸心３４Ｂ（図１１（４）参照）との間に入り込んで、弱粘着ローラ３４に巻き取られたフィルム７を弱粘着ローラ３４から引き剥がし、ピンチローラ４６、４８の間に送り込む。
【００７３】
ピンチローラ４０、４２のうちの少なくとも一方には、図示せぬ動力源から駆動力が供給されており、ピンチローラ４０、４２の間に送り込まれたフィルム５はピンチローラ４０、４２によって引っ張られて、フィルム回収容器５０へと送り込まれる。
【００７４】
同様に、ピンチローラ４６、４８のうちの少なくとも一方には、図示せぬ動力源から駆動力が供給されており、ピンチローラ４６、４８の間に送り込まれたフィルム７はピンチローラ４６、４８によって引っ張られて、フィルム回収容器５０へと送り込まれる。
【００７５】
次に、弱粘着ローラ３２、３４における粘着面３２Ａ、３４Ａの配置状態についてさらに詳細に説明する。
【００７６】
弱粘着ローラ３２、３４の軸方向（図１において紙面と直交する方向）についての粘着面３２Ａ、３４Ａの長さの合計Ｌｓｕｍは、搬送方向と直交する水平方向（図１において紙面と直交する方向）のフィルム５、７の幅Ｌｆｉｌｍの５０％よりも大きくなっている。
【００７７】
ここで、弱粘着ローラ３２において、図５のように粘着面３２Ａが配置されている場合を例に取り上げて、ＬｓｕｍとＬｆｉｌｍの関係について具体的に説明する。
【００７８】
図５に示すように、フィルム５と接触する粘着面３２Ａの領域が９つあって、それぞれの領域の弱粘着ローラ３２の軸方向の長さをＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、Ｌ５、Ｌ６、Ｌ７、Ｌ８、Ｌ９とすると、フィルム５と接触する粘着面３２Ａの領域の軸方向（弱粘着ローラ３２の軸方向）についての長さの合計Ｌｓｕｍは、
Ｌｓｕｍ＝Ｌ１＋Ｌ２＋Ｌ３＋Ｌ４＋Ｌ５＋Ｌ６＋Ｌ７＋Ｌ８＋Ｌ９
と表すことができる。
【００７９】
図５において、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５の搬送方向と直交する水平方向の幅をＬｆｉｌｍとすると、本実施形態では、
（Ｌｓｕｍ／Ｌｆｉｌｍ）＞０．５
という関係が成立するように弱粘着ローラ３２において粘着面３２Ａを配置している。
【００８０】
（Ｌｓｕｍ／Ｌｆｉｌｍ）の値が０．５以下になると、粘着面３２Ａに接着するフィルム５の搬送方向と直交する水平方向の領域が小さくなりすぎ、フィルム５の全体を安定的に剥離させることに支障をきたすおそれがある。
【００８１】
本実施形態では、弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａについても同様となるように配置している。
【００８２】
以上、本発明の第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０の構成について説明したが、本発明のフィルム剥離装置は、説明したフィルム剥離装置１０の構成に限定されるわけではない。例えば、搬送路１の上方に設けた強粘着ローラ２２および搬送路１の下方に設けた強粘着ローラ２４を上下方向に対向するように配置してもよく、また、搬送路１の上方に設けた弱粘着ローラ３２および搬送路１の下方に設けた弱粘着ローラ３４を上下方向に対向するように配置してもよい。
【００８３】
また、搬送ローラ３３、３５に外部から駆動力を供給するようにして、搬送ローラ３３、３５が自ら回動できるようにしてもよい。
【００８４】
また、片面のみにフィルムが貼り付けられている基板３からフィルムを取り除く用途にのみ適用される場合には、ローラ組２６Ａ、２６Ｂのうちからローラ組２６Ｂを省略し、ローラ組３６Ａ、３６Ｂのうちからローラ組３６Ｂを省略してもよい。あるいは、ローラ組２６Ａ、２６Ｂのうちからローラ組２６Ａを省略し、ローラ組３６Ａ、３６Ｂのうちからローラ組３６Ａを省略してもよい。
【００８５】
また、基板３を搬送路１に沿って搬送する手段として、搬送ローラ２３、２５、３３、３５を具体的に示したが、基板３を搬送路１に沿って搬送する手段はこれに限定されるわけでなく、他の搬送手段を用いてもよい。なお、基板３が初期剥離手段２０に達するまでの搬送手段および基板３が全体剥離手段３０を通過した後の搬送手段については図示していないが、任意の搬送手段を用いることができる。
【００８６】
次に、本発明の第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０の動作について説明する。
【００８７】
フィルム剥離装置１０の動作は、大きく分けて、初期剥離工程と全体剥離工程に分けられる。
【００８８】
初期剥離工程の進行手順を図６〜図９に模式的に示し、全体剥離工程の進行手順を図１０、図１１に模式的に示す。
【００８９】
まず、図６（１）に示すように、搬送路１に沿って基板３を初期剥離手段２０の方に送り込む。基板３を搬送する手段は特には限定されず、図６（１）にはこの段階で用いる搬送手段を図示していない。
【００９０】
そして、搬送路１に沿って基板３をさらに初期剥離手段２０の方に送り込むと、基板３の上面に貼り付けられたフィルム５は、搬送路１よりも上方に配置された強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａに接触して付着し、図６（２）に示すように、強粘着ローラ２２の回動する方向（図６（２）において、搬送路１よりも上方に配置された強粘着ローラ２２が反時計回りに回動する方向）に搬送方向側の端部から巻き取られていき、初期剥離部５Ａが生じる。この際、搬送路１よりも下方に配置された搬送ローラ２３が図６（２）において時計回りに回動し、基板３を搬送方向（図６（２）において左方から右方に向かう方向）に進行させる。
【００９１】
基板３の上面に貼り付けられたフィルム５を搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲だけ基板３から剥離させ、初期剥離部５Ａを生じさせた後、搬送ローラ２３を逆方向（図６（２）、図７（３）において反時計回りの方向）に回動させて、図７（３）に示すように基板３を反対方向（図６（２）、図７（３）において右方から左方に向かう方向）に引き戻し、フィルム５を粘着面２２Ａから引き離す。
【００９２】
フィルム５が粘着面２２Ａから引き離されたら、図７（４）に示すように、昇降シリンダ２２Ｂのロッド２２Ｃを上方に収縮させ、強粘着ローラ２２を搬送路１から上方に遠ざける。
【００９３】
強粘着ローラ２２を搬送路１から上方に遠ざけた後、搬送路１に沿って基板３を初期剥離手段２０の下流側のローラ組２６Ｂに送り込む。基板３の下面に貼り付けられたフィルム７は、搬送路１よりも下方に配置された強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａに接触して付着し、図８（５）に示すように、強粘着ローラ２４の回動する方向（図８（５）において、強粘着ローラ２４が時計回りに回動する方向）に搬送方向側の端部から巻き取られていき、初期剥離部７Ａが生じる。この際、図８（５）において搬送ローラ２３が時計回りに回動し、搬送ローラ２５が反時計回りに回動して、基板３を搬送方向（図８（５）において左方から右方に向かう方向）に進行させる。
【００９４】
基板３の下面に貼り付けられたフィルム７を搬送方向側の端部から１０〜２０ｍｍ程度の範囲だけ基板３から剥離させ、初期剥離部７Ａを生じさせた後、搬送ローラ２３、２５を逆方向（図８（５）、図８（６）において搬送ローラ２３を反時計回りの方向、搬送ローラ２５を時計回りの方向）に回動させて、図８（６）に示すように基板３を反対方向（図８（５）、図８（６）において右方から左方に向かう方向）に引き戻し、フィルム７を粘着面２４Ａから引き離す。
【００９５】
フィルム７が粘着面２４Ａから引き離されたら、図９（７）に示すように、昇降シリンダ２４Ｂのロッド２４Ｃを下方に収縮させ、強粘着ローラ２４を搬送路１から下方に遠ざける。
【００９６】
強粘着ローラ２４を搬送路１から下方に遠ざけた後、搬送路１に沿って基板３を全体剥離手段３０の上流側のローラ組３６Ａに送り込む。基板３の上面に貼り付けられたフィルム５は、搬送路１よりも上方に配置された弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａに接触して付着し、図１０（１）に示すように、弱粘着ローラ３２の回動する方向（図１０（１）において、弱粘着ローラ３２が反時計回りに回動する方向）に搬送方向側の端部から巻き取られていく。この際、図１０（１）において弱粘着ローラ３２が反時計回りに回動して、基板３を搬送方向（図１０（１）において左方から右方に向かう方向）に進行させる。図１０（１）において、弱粘着ローラ３２に巻き取られたフィルム５の部位を巻き取り部５Ｂとして示している。
【００９７】
さらに、基板３を搬送方向（図１０（１）において左方から右方に向かう方向）に進行させていくと、基板３の下面に貼り付けられたフィルム７は、搬送路１よりも下方に配置された弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａに接触して付着し、図１０（２）に示すように、弱粘着ローラ３４の回動する方向（図１０（２）において、弱粘着ローラ３４が時計回りに回動する方向）に搬送方向側の端部から巻き取られていく。この際、図１０（２）において弱粘着ローラ３２が反時計回りに回動し、弱粘着ローラ３４が時計回りに回動して、基板３を搬送方向（図１０（２）において左方から右方に向かう方向）に進行させる。図１０（２）において、弱粘着ローラ３４に巻き取られたフィルム７の部位を巻き取り部７Ｂとして示している。
【００９８】
図１１（３）に示すように、弱粘着ローラ３２に巻き取られたフィルム５がガイド３８に達すると、ガイド３８は弱粘着ローラ３２の軸心３２Ｂとフィルム５との間に入り込み、粘着面３２Ａに付着したフィルム５を粘着面３２Ａから分離させ、分離させたフィルム５をピンチローラ４０、４２の間に送り込む。ピンチローラ４０、４２はフィルム５を引っ張る方向に回動する。
【００９９】
さらに、図１１（４）に示すように、弱粘着ローラ３４に巻き取られたフィルム７がガイド４４に達すると、ガイド４４は弱粘着ローラ３４の軸心３４Ｂとフィルム７との間に入り込み、粘着面３４Ａに付着したフィルム７を粘着面３４Ａから分離させ、分離させたフィルム７をピンチローラ４６、４８の間に送り込む。ピンチローラ４６、４８はフィルム７を引っ張る方向に回動する。
【０１００】
ピンチローラ４０、４２の間を通過したフィルム５およびピンチローラ４６、４８の間を通過したフィルム７は、フィルム回収容器５０へと送り込まれる。
【０１０１】
以上説明したように、フィルム剥離装置１０を用いてのフィルム剥離作業では、初期剥離工程でフィルム５、７の搬送方向側の端部を基板３から剥離させた後、いったん基板３を搬送路１において逆方向に引き戻して、強粘着ローラ２２、２４と接着していたフィルム５、７の搬送方向側の端部を強粘着ローラ２２、２４から離脱させ、その後、弱粘着ローラ３２、３４がフィルム５、７の全体を回動する方向に巻き取りながらフィルム５、７の全体を基板３から引き剥がすので、強粘着ローラ２２、２４の軸方向の長さおよび弱粘着ローラ３２、３４の軸方向の長さをお互いに干渉することなく長くすることができ、基板３からフィルム５、７を剥離させる際の確実性を向上させることができる。
【０１０２】
（第２実施形態）
図１２、図１３は、本発明の第２実施形態に係るフィルム剥離装置の全体剥離手段７０の概略構成を示す図であるが、第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０と同一の構成要素には同一の符号を付し、説明は省略する。
【０１０３】
本発明の第２実施形態に係るフィルム剥離装置は、第１実施形態に係るフィルム剥離装置１０に、図１２、図１３に示す清掃用粘着ローラ６０、６２をさらに備えさせたフィルム剥離装置である。
【０１０４】
図１２、図１３に示すように、第２実施形態に係るフィルム剥離装置では、清掃用粘着ローラ６０は弱粘着ローラ３２の斜め上方に両者の軸方向が平行となるように設けられており、清掃用粘着ローラ６２は弱粘着ローラ３４の斜め下方に両者の軸方向が平行となるように設けられている。清掃用粘着ローラ６０は、粘着力の強い粘着面６０Ａ（弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａの粘着力よりも強い粘着力を有する。）を表面に備えており、清掃用粘着ローラ６２は、粘着力の強い粘着面６２Ａ（弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａの粘着力よりも強い粘着力を有する。）を表面に備えている。
【０１０５】
清掃用粘着ローラ６０は、昇降シリンダ６０Ｂのロッド６０Ｃに取り付けられており、清掃用粘着ローラ６０はロッド６０Ｃが伸長・収縮することにより、弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａへの粘着面６０Ａの押し付けと粘着面３２Ａからの粘着面６０Ａの離脱をすることができるようになっている。また、清掃用粘着ローラ６２は、昇降シリンダ６２Ｂのロッド６２Ｃに取り付けられており、清掃用粘着ローラ６２はロッド６２Ｃが伸長・収縮することにより、弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａへの粘着面６２Ａの押し付けと粘着面３４Ａからの粘着面６２Ａの離脱をすることができるようになっている。図１２は、清掃用粘着ローラ６０、６２を弱粘着ローラ３２、３４に押し付ける前の状態を模式的に示す図であり、図１３は、清掃用粘着ローラ６０、６２を弱粘着ローラ３２、３４に押し付けている状態を模式的に示す図である。
【０１０６】
清掃用粘着ローラ６０は自ら回動することができないフリーローラであり、清掃用粘着ローラ６０の粘着面６０Ａを弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａに押し付けた状態で弱粘着ローラ３２が回動することにより、弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａに付着したゴミを粘着面６０Ａに付着させて取り除くことができる。また、清掃用粘着ローラ６２は自ら回動することができないフリーローラであり、清掃用粘着ローラ６２の粘着面６２Ａを弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａに押し付けた状態で弱粘着ローラ３４が回動することにより、弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａに付着したゴミを粘着面６２Ａに付着させて取り除くことができる。
【０１０７】
粘着面６０Ａ、６２Ａとしては、具体的には例えば、粘着テープの粘着面を使用することができ、清掃作業後に多重に重なった粘着テープを剥がすことにより、粘着面６０Ａ、６２Ａの必要な粘着力を保持することができる。
【０１０８】
また、必要な粘着力を確保できるのであれば、粘着面６０Ａ、６２Ａとして、ウレタン等のゴム素材を用いてもよい。この場合、粘着面６０Ａ、６２Ａに付着したゴミはアルコールで清掃すれば取り除くことができ、粘着面６０Ａ、６２Ａの粘着力を回復させることができる。
【０１０９】
清掃用粘着ローラ６０、６２により弱粘着ローラ３２、３４の粘着面３２Ａ、３４Ａの清掃を行う頻度は特に限定されず、弱粘着ローラ３２、３４の粘着面３２Ａ、３４Ａの汚れの状態に応じて適宜に行えばよい。
【０１１０】
（本発明の実施形態の効果）
本発明の実施形態のフィルム剥離装置を用いての初期剥離工程では、フィルム５、７の搬送方向側の端部の所定の範囲のみを強粘着ローラ２２、２４を用いて基板３から剥離させた後、基板３を逆方向に引き戻して、強粘着ローラ２２、２４からフィルム５、７を分離させ、この後、全体剥離工程でフィルム５、７の全体を、弱粘着ローラ３２、３４を用いて基板３から引き剥がしており、初期剥離工程を行う領域と全体剥離工程を行う領域がフィルム剥離装置内で異なっている。このため、強粘着ローラ２２、２４の軸方向の長さおよび弱粘着ローラ３２、３４の軸方向の長さを、フィルム５、７の搬送路１と直交する水平方向の幅より長くしても、強粘着ローラ２２、２４および弱粘着ローラ３２、３４がお互いに干渉することのないように配置することができる。このため、本発明の実施形態のフィルム剥離装置では、フィルム５、７の搬送路１と直交する幅方向の全長にわたって強粘着ローラ２２、２４および弱粘着ローラ３２、３４を配置させることができる。
【０１１１】
その結果、強粘着ローラ２２の粘着面２２Ａのうち、フィルム５と接触する領域についての強粘着ローラ２２の軸方向の長さの合計を大きくすることができ、フィルム５の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくすることができる。また、強粘着ローラ２４の粘着面２４Ａのうち、フィルム７と接触する領域についての強粘着ローラ２４の軸方向の長さの合計を大きくすることができ、フィルム７の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくすることができる。
【０１１２】
さらに、弱粘着ローラ３２の粘着面３２Ａのうち、フィルム５と接触する領域についての弱粘着ローラ３２の軸方向の長さの合計を大きくすることができ、フィルム５の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくすることができる。また、弱粘着ローラ３４の粘着面３４Ａのうち、フィルム７と接触する領域についての弱粘着ローラ３４の軸方向の長さの合計を大きくすることができ、フィルム７の、搬送路１と直交する水平方向の幅の５０％よりも大きくすることができる。
【０１１３】
以上のことから、本発明の実施形態のフィルム剥離装置を用いることにより、強粘着ローラ２２、２４および弱粘着ローラ３２、３４とフィルム５、７とが接着する領域を広くとることができ、基板３からフィルム５、７を剥離させて分離させる作業の確実性を向上させることができる。
【符号の説明】
【０１１４】
１…搬送路
３…基板
５、７…フィルム
５Ａ、７Ａ…初期剥離部
５Ｂ、７Ｂ…巻き取り部
１０…フィルム剥離装置
２０…初期剥離手段
２２、２４…強粘着ローラ
２２Ａ、２４Ａ…粘着面
２２Ｂ、２４Ｂ…昇降シリンダ
２２Ｃ、２４Ｃ…ロッド
２３、２５…搬送ローラ
２６Ａ、２６Ｂ…ローラ組
３０、７０…全体剥離手段
３２、３４…弱粘着ローラ
３２Ａ、３４Ａ…粘着面
３２Ｂ、３４Ｂ…軸心
３２Ｃ…弱粘着ローラ部品
３３、３５…搬送ローラ
３３Ａ、３５Ａ…バネ
３６Ａ、３６Ｂ…ローラ組
３８、４４…ガイド
３８Ａ…保持部材
４０、４２、４６、４８…ピンチローラ
４０Ａ…軸心
４０Ｂ…ピンチローラ部品
５０…フィルム回収容器
６０、６２…清掃用粘着ローラ
６０Ａ、６２Ａ…粘着面
６０Ｂ、６２Ｂ…昇降シリンダ
６０Ｃ、６２Ｃ…ロッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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