(57)【要約】【課題】確実に超砥粒ワイヤソーをツルーイング・ドレッシングする。【解決手段】導電性皮膜５で覆われた超砥粒４を有する超砥粒ワイヤソー２のツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、超砥粒４の突出端を覆う導電性皮膜５を除去して超砥粒４の表面を露出させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性皮膜で覆われた超砥粒を有する超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、
前記超砥粒の突出端を覆う前記導電性皮膜を除去して前記超砥粒の表面を露出させる、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項２】
前記超砥粒ワイヤソーは、芯線の表面に前記超砥粒を結合材で固着させた超砥粒ワイヤソーである、請求項１に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項３】
前記結合材は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、電着のいずれかである、請求項１または請求項２に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項４】
前記導電性皮膜は、金属、合金、導電性物質を含有する樹脂、導電性物質を含有するガラス、導電性物質を含有するセラミックスからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項５】
前記導電性皮膜を除去する方法は、ショットブラスト法、放電加工法、電解法のいずれかである、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項６】
筒状体内に前記超砥粒ワイヤソーを挿入してその中で前記導電性皮膜を除去する、請求項５に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項７】
前記導電性皮膜が除去された前記超砥粒は、工作物の加工に直接作用する超砥粒である、請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項８】
前記導電性皮膜から露出した前記超砥粒を含む最突出端は、前記導電性皮膜から突出している、請求項７に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法を用いて超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う、超砥粒ワイヤソーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法およびそれを用いた超砥粒ワイヤソーの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超砥粒ワイヤソーとしては、芯線に超砥粒を結合材で固着した超砥粒ワイヤソーが知られている。この超砥粒ワイヤソーは、切れ味が極めて良好である。さらに水溶性または不水溶性の研削液を用いるので、機械とその周辺の汚染を低減することができ、作業環境を改善できる等、多くの特長を有する。そして数ｋｍ以上の長尺の超砥粒ワイヤソーを製造することができるので、多くの枚数のウェハを一度でスライシング加工することが可能で、スラリーを用いる遊離砥粒方式のマルチワイヤソー方式に比べて数倍以上の切断速度を得ることができる。超砥粒ワイヤソーは、例えば、ポリエチレン、ナイロン、ポリエステル等からなる素材、またはこれらの素材をガラス繊維、炭素繊維で補強した材料を芯線とし、この芯線の外周に超砥粒を合成樹脂接着剤または電着で固着したものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
別の超砥粒ワイヤソーとしては、炭素繊維、アラミド繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、シリコンカーバイド繊維、または、シリコン−チタン−炭素−酸素系無機繊維等のモノフィラメントまたはマルチフィラメントを芯線とし、この芯線の外周に超砥粒をメッキまたは樹脂で固着したものである（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
超砥粒ワイヤソーをドレッシングするのに、ドレッシングストーンを超砥粒ワイヤソーに押し当てることが知られている（例えば、特許文献３参照）。
【０００５】
さらに、超砥粒ワイヤソーをドレッシングする方法として、ＧＣ砥石を超砥粒ワイヤソーに押し当てることが知られている（例えば、特許文献４参照）。
【０００６】
そしてさらに、石材、コンクリート等を切断するのに用いる芯線にビーズと呼ばれる、パイプ状の超砥粒層を所定のピッチで固定した超砥粒ワイヤソーのドレッシング方法が知られている。回転する砥石に、エンドレスの超砥粒ワイヤソーに捻り力を与えて回転させながら接触させて、らせん状にドレッシングするものである（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−１２６９５３号公報
【特許文献２】特開平９−１５５６３１号公報
【特許文献３】特開平１１−２８６５４号公報
【特許文献４】特開２０００−１５８３１９号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Ｄｒ．Ｆｒｉｔｓｃｈ社のＨＰ、超砥粒ワイヤソーのドレッシング装置、Dressing and Sharpening Machine SAM 205 / 210型など、[平成２５年８月１６日検索]、インターネット＜ＵＲＬhttp://www.dr-fritsch.de/e_menue.html＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記に記載した従来の方法では、超砥粒ワイヤソーが十分にドレッシング出来ない問題点があった。さらに、ツルーイングがほとんど出来ない問題点もあった。  
【００１０】
本発明はこれらの問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法は、導電性皮膜で覆われた超砥粒を有する超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、超砥粒の突出端を覆う導電性皮膜を除去して超砥粒の表面を露出させる、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法である。
【発明の効果】
【００１２】
この発明では、超砥粒ワイヤソーを確実にツルーイング・ドレッシングすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態１に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置の模式図である。
【図２】図１の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
【図３】実施の形態２に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
【図４】実施の形態３に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
【図５】実施の形態４に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
【図６】ドレッシング前の超砥粒ワイヤソーの断面図である。
【図７】ドレッシング前の超砥粒ワイヤソーの断面図である。
【図８】ドレッシング後の超砥粒ワイヤソーの断面図である。
【図９】ドレッシング後の超砥粒ワイヤソーの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本願の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法は、導電性皮膜で覆われた超砥粒を有する超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、超砥粒の突出端を覆う導電性皮膜を除去して超砥粒の表面を露出させる。
【００１５】
このような超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法では、確実に超砥粒ワイヤソーをツルーイング・ドレッシングすることができる。
【００１６】
好ましくは、超砥粒ワイヤソーは、芯線の表面に超砥粒を結合材で固着させた超砥粒ワイヤソーである。
【００１７】
好ましくは、結合材は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、電着のいずれかである。
【００１８】
好ましくは、導電性皮膜は、金属、合金、導電性物質を含有する樹脂、導電性物質を含有するガラス、導電性物質を含有するセラミックスからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む。
【００１９】
好ましくは、導電性皮膜を除去する方法は、ショットブラスト法、放電加工法、電解法のいずれかである。
【００２０】
好ましくは、筒状体内に超砥粒ワイヤソーを挿入してその中で導電性皮膜を除去する。
好ましくは、導電性皮膜が除去された超砥粒は、工作物の加工に直接作用する超砥粒である。
【００２１】
好ましくは、導電性皮膜から露出した超砥粒を含む最突出端は、導電性皮膜から突出している。
【００２２】
好ましくは、超砥粒ワイヤソーの製造方法は、上記のいずれかの超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法を用いて超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う。
【００２３】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の実施の形態において、同一または相当する部分については同一の参照符号を付し、その説明については繰り返さない。また、各実施の形態を組み合わせることも可能である。
【００２４】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置の模式図である。図２は、図１の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
【００２５】
図１および図２を参照して、実施の形態１に従ったツルーイング・ドレッシング装置１は、電解液タンク１０と、給電プーリー２０，３０と、電極４０と、ワーキング槽５０とを有する。ツルーイング・ドレッシング装置１では、メッキ装置のプラス極とマイナス極が逆に配置された構造とされている。
【００２６】
電解液タンク１０には、電解液が溜められている。電解液としては、メッキ用の電解液および電解エッチング用の電解液を採用することが可能である。電解液タンク１０には、電解液供給路１１と電解液回収路１２とが接続されており、電解液供給路１１を通じて電解液タンク１０からワーキング槽５０へ電解液が供給される。ワーキング槽５０の電解液は電解液回収路を経由して電解液タンク１０へ集められる。
【００２７】
給電プーリー２０，３０は、超砥粒ワイヤソー２を送り出しまたは巻き取る。超砥粒ワイヤソー２は、芯線３、結合材６、結合材６により芯線３に固定される超砥粒４、および超砥粒を覆う導電性皮膜５を有する。給電プーリー２０，３０は、電源の＋極に接続される。芯線３は、導電性を有することが好ましく、材質としてはピアノ線が最も好ましい。超砥粒ワイヤソー２は、矢印２ｃで示す方向に送られる。
【００２８】
結合材６は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、電着のいずれかである。導電性皮膜５は、金属、合金、導電性物質を含有する樹脂、導電性物質を含有するガラス、導電性物質を含有するセラミックスからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む。
【００２９】
超砥粒ワイヤソー２はワーキング槽５０内で電解液６０に浸されている。超砥粒ワイヤソー２は、電極４０内を移動する。電極４０は、電源の−極に接続される。電極４０にはスリット４１が設けられており、スリット４１を経由して筒状の電極４０の内部から外部へ、さらに外部から内部へと電解液が循環する。なお、スリット４１は孔に置き換えられてもよい。さらに、スリット４１が設けられなくてもよい。電極４０は、たとえば鉄により構成される。
【００３０】
電解液６０は、ワーキング槽５０に溜められている。電解液供給路１１から電解液６０が供給され、ワーキング槽５０からあふれ出た電解液６０は、電解液回収路１２を通って電解液タンク１０へ集められる。
【００３１】
電極４０の円筒の径を調整することで、超砥粒ワイヤソー２と電極４０との間のクリアランスを調整することが可能となる。
【００３２】
図１および図２で示すツルーイング・ドレッシング装置１において超砥粒ワイヤソー２から電極４０側へ電流が流れると、アノードとしての超砥粒ワイヤソー２側では、導電性皮膜５を構成する材料がイオン化する。これにより、電極４０内を通過するにつれて、突出部を構成する導電性皮膜５の一部分が除去される。
【００３３】
このように構成されたツルーイング・ドレッシング装置１では、電解により導電性皮膜５の一部分を除去することができるため、確実にツルーイング・ドレッシングを行うことができる。
【００３４】
（実施の形態２）
図３は、実施の形態２に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。図３を参照して、実施の形態２では、いわゆる筆メッキ（Brush Plating）の装置を用いて導電性皮膜５の一部分を除去する。筆状の電極４５により導電性皮膜５を除去するために、筆メッキを行う場合と比較して、プラスとマイナスを逆に接続する。具体的には、超砥粒ワイヤソー２は、電源の＋極に接続され、電極４５は−極に接続される。筆メッキ用の装置を用いるため、実施の形態１で示した電解液タンク１０、電解液供給路１１、電解液回収路１２、およびワーキング槽５０は不要であり、電解液６０は電極４５に浸み込んでいる。
【００３５】
電極４５と超砥粒ワイヤソー２との接触距離または接触圧を調整することで、導電性皮膜５の一部分電解により除去する。超砥粒ワイヤソー２の外周の突出部では、電極４５との接触距離が長いか、または接触圧が大きくなるため、突出部において導電性皮膜５を除去することができる。なお、電極４５は刷毛状、筆形状のいずれであってもよいが、全方向から電極４５が超砥粒ワイヤソー２と接触することが好ましい。
【００３６】
（実施の形態３）
図４は、実施の形態３に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。図４を参照して、実施の形態３では、ダイス形状の電極４６を用いて導電性皮膜５の一部分を除去する。超砥粒ワイヤソー２は、電源の＋極に接続され、電極４６は−極に接続される。実施の形態１で示した電解液タンク１０、電解液供給路１１、電解液回収路１２、ワーキング槽５０、電解液６０が用いられ、実施の形態１の電極４０がダイス形状の電極４６に交換されている。
【００３７】
（実施の形態４）
図５は、実施の形態４に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。実施の形態４では、平板電極４７または丸棒電極４８を用いて導電性皮膜５の一部分を除去する。超砥粒ワイヤソー２は、電源の＋極に接続され、平板電極４７および丸棒電極４８は−極に接続される。実施の形態１で示した電解液タンク１０、電解液供給路１１、電解液回収路１２、ワーキング槽５０、電解液６０が用いられ、実施の形態１の電極４０が平板電極４７または丸棒電極４８に交換されている。
【００３８】
図６および７は、ドレッシング前の超砥粒ワイヤソーの断面図である。図８および９は、ドレッシング後の超砥粒ワイヤソーの断面図である。図６および７を参照して、ドレッシング前には、超砥粒４は、導電性皮膜５および結合材６に覆われている。なお、結合材６には覆われていなくてもよい。図７および９では、芯線３の表面には、真鍮メッキまたは銅メッキなどのメッキ層３００が形成されている。各実施の形態に従ったドレッシング後には、図８および９で示すように超砥粒４が導電性皮膜５および結合材６から露出するため、超砥粒ワイヤソー２の切れ味が向上する。
【００３９】
以上、この発明の実施の形態について説明したが、ここで示した実施の形態はさまざまに変更することが可能である。
【００４０】
導電性皮膜５を電気化学的に除去する方法として電解法を示したが、これに限られず、導電性皮膜５を除去する方法は、物理的なショットブラスト法、または電気的な放電加工法であってもよい。
【００４１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、超砥粒ワイヤソーのツルーイングおよび・またはドレッシングに適用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１  ドレッシング装置、２  超砥粒ワイヤソー、３  芯線、４  超砥粒、５  導電性皮膜、６  結合材、１０  電解液タンク、１１  電解液供給路、１２  電解液回収路、２０，３０  給電プーリー、４０，４５，４６  電極、４１  スリット、４７  平板電極、４８  丸棒電極、５０  ワーキング槽、６０  電解液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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