(57)【要約】【課題】ショート補正値の測定条件を確実に満たした状態でショート補正値を測定する。【解決手段】処理部１３は、ショート補正値測定処理において、第２電流供給部６を作動させて第２電圧検出部９に第２電圧Ｖ２を検出させると共に第２電圧Ｖ２と第２電流Ｉ２とに基づいて電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出し、第３電流供給部７を作動させて第３電圧検出部１０に第３電圧Ｖ３を検出させると共に第３電圧Ｖ３と第３電流Ｉ３とに基づいて電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出し、かつ第１電流供給部５を作動させて第１電圧検出部８に第１電圧Ｖ１を検出させると共に第１電圧Ｖ１と第１電流Ｉ１とに基づいて一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂ間のショート状態を検出したときに、ショート補正値を測定する。【選択図】図１
2015010983.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、
一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、
前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、
前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に第２電流を供給する第２電流供給部と、
前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に第３電流を供給する第３電流供給部と、
前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、
前記第２電流供給部による前記第２電流の供給状態において前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に発生する第２電圧を検出する第２電圧検出部と、
前記第３電流供給部による前記第３電流の供給状態において前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に発生する第３電圧を検出する第３電圧検出部と、
前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがショート状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてショート補正値を測定するショート補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記ショート補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、
前記処理部は、前記ショート補正値測定処理において、前記第２電流供給部を作動させて前記第２電圧検出部に前記第２電圧を検出させると共に当該第２電圧と前記第２電流とに基づいて前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、前記第３電流供給部を作動させて前記第３電圧検出部に前記第３電圧を検出させると共に当該第３電圧と前記第３電流とに基づいて前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、かつ前記第１電流供給部を作動させて前記第１電圧検出部に前記第１電圧を検出させると共に当該第１電圧と前記第１電流とに基づいて前記一対の電流供給プローブ間のショート状態を検出したときに、前記ショート補正値を測定するインピーダンス測定装置。
【請求項２】
一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、
一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、
前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、
前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に第２電流を供給する第２電流供給部と、
前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に第３電流を供給する第３電流供給部と、
前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、
前記第２電流供給部による前記第２電流の供給状態において前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に発生する第２電圧を検出する第２電圧検出部と、
前記第３電流供給部による前記第３電流の供給状態において前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に発生する第３電圧を検出する第３電圧検出部と、
前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがオープン状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてオープン補正値を測定するオープン補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記オープン補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、
前記処理部は、前記オープン補正値測定処理において、前記第２電流供給部を作動させて前記第２電圧検出部に前記第２電圧を検出させると共に当該第２電圧と前記第２電流とに基づいて前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、前記第３電流供給部を作動させて前記第３電圧検出部に前記第３電圧を検出させると共に当該第３電圧と前記第３電流とに基づいて前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、かつ前記第１電流供給部を作動させて前記第１電圧検出部に前記第１電圧を検出させると共に当該第１電圧と前記第１電流とに基づいて前記一対の電流供給プローブ間のオープン状態を検出したときに、前記オープン補正値を測定するインピーダンス測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象の各端部に接触させられる一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブを備えて測定対象のインピーダンスを測定するインピーダンス測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のインピーダンス測定装置として、出願人は、下記非特許文献１に開示されたインピーダンス測定装置（ＬＣＲメータ）を既に提案している。このインピーダンス測定装置は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブを備えて測定対象のインピーダンスを４端子法によって測定可能に構成されている。また、このインピーダンス測定装置は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブ（以下、「測定プローブ」ともいう）の浮遊アドミタンス（オープン残留成分）を測定してオープン補正値として記憶する機能、および測定プローブの残留インピーダンス（ショート残留成分）を測定してショート補正値として記憶する機能を備え、算出した測定対象のインピーダンスに対して、記憶しているオープン補正値およびショート補正値で補正することにより、測定対象のインピーダンスをより少ない誤差で測定可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【非特許文献１】ＩＭ３５３３  ＩＭ３５３３−０１  ＬＣＲメータ、取扱説明書、日置電機株式会社、２０１２年９月発行  改訂１版、付録８（オープン補正とショート補正について）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記の２つの補正値のうちのショート補正値を測定する際には、上記の非特許文献１に記載されているように、例えばショートバーなどを使用して一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてをショート（短絡）させ、この状態においてインピーダンスを測定する。このようにして測定されたインピーダンスは、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブ全体（測定プローブ）の残留インピーダンスであるため、上記のインピーダンス測定装置は、この測定された残留インピーダンスをショート補正値として記憶する。
【０００５】
しかしながら、このショート補正値の測定の際に、希に、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてをショートさせたつもりであっても、一対の電圧検出プローブのうちのいずれか一方または双方が一対の電流供給プローブとショートに近い状態ではあるが良好なショート状態にはなっていない場合がある。この場合には、測定される残留インピーダンスは誤った値であるものの小さい値ではあるため、インピーダンス測定装置がこの測定された残留インピーダンスをショート補正値として誤って記憶するという事態が発生することがある。したがって、このインピーダンス測定装置には、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてが良好にショートされているというショート補正値の測定条件を満たしていないときに測定されたショート補正値を正常なショート補正値であると誤って記憶することが希に発生するという改善すべき課題が存在している。
【０００６】
また、オープン補正値を測定する際には、一対の電流供給プローブのうちの一方の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのうちの一方の電圧検出プローブ（測定対象の一方の電極に接触させるプローブ）をショート（短絡）させると共に、一対の電流供給プローブのうちの他方の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのうちの他方の電圧検出プローブ（測定対象の他方の電極に接触させるプローブ）をショート（短絡）させ、かつ一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブと他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブとの間をオープンにし（一対の電流供給プローブをオープンにするのと等価である）、この状態においてインピーダンスを測定する。このようにして測定されたインピーダンスの逆数は、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブの浮遊アドミタンスであるため、上記のインピーダンス測定装置は、この測定された浮遊アドミタンスをオープン補正値として記憶する。
【０００７】
しかしながら、このオープン補正値の測定の際にも、希に、一対の電流供給プローブをオープンにさせたつもりであっても、オープンに近い状態ではあるが良好なオープン状態にはなっていない場合がある。また、希に、一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブをショートさせたつもりであっても、良好なショート状態にはなっていない場合や、他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブをショートさせたつもりであっても、良好なショート状態にはなっていない場合がある。この場合には、測定される浮遊アドミタンスは誤った値であるため、インピーダンス測定装置がこの測定された浮遊アドミタンスをオープン補正値として誤って記憶するという事態が発生することがある。したがって、このインピーダンス測定装置には、一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブが良好にショートされると共に他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブが良好にショートされ、かつ一対の電流供給プローブが良好なオープン状態になっているというオープン補正値の測定条件を満たしていないときに測定されたオープン補正値を正常なオープン補正値であると誤って記憶することが希に発生するという改善すべき課題が存在している。
【０００８】
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、ショート補正値の測定条件を確実に満たした状態でショート補正値を測定し得るインピーダンス測定装置を提供することを主目的とする。また、オープン補正値の測定条件を確実に満たした状態でオープン補正値を測定し得るインピーダンス測定装置を提供することを他の主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成すべく請求項１記載のインピーダンス測定装置は、一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に第２電流を供給する第２電流供給部と、前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に第３電流を供給する第３電流供給部と、前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、前記第２電流供給部による前記第２電流の供給状態において前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に発生する第２電圧を検出する第２電圧検出部と、前記第３電流供給部による前記第３電流の供給状態において前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に発生する第３電圧を検出する第３電圧検出部と、前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがショート状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてショート補正値を測定するショート補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記ショート補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記ショート補正値測定処理において、前記第２電流供給部を作動させて前記第２電圧検出部に前記第２電圧を検出させると共に当該第２電圧と前記第２電流とに基づいて前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、前記第３電流供給部を作動させて前記第３電圧検出部に前記第３電圧を検出させると共に当該第３電圧と前記第３電流とに基づいて前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、かつ前記第１電流供給部を作動させて前記第１電圧検出部に前記第１電圧を検出させると共に当該第１電圧と前記第１電流とに基づいて前記一対の電流供給プローブ間のショート状態を検出したときに、前記ショート補正値を測定する。
【００１０】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置は、一方が測定対象の一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の他方の端部に接触させられる一対の電流供給プローブと、一方が前記測定対象の前記一方の端部に接続され、他方が当該測定対象の前記他方の端部に接触させられる一対の電圧検出プローブと、前記一対の電流供給プローブ間に第１電流を供給する第１電流供給部と、前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に第２電流を供給する第２電流供給部と、前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に第３電流を供給する第３電流供給部と、前記第１電流供給部による前記第１電流の供給状態において前記一対の電圧検出プローブ間に発生する第１電圧を検出する第１電圧検出部と、前記第２電流供給部による前記第２電流の供給状態において前記一方の電流供給プローブと前記一方の電圧検出プローブとの間に発生する第２電圧を検出する第２電圧検出部と、前記第３電流供給部による前記第３電流の供給状態において前記他方の電流供給プローブと前記他方の電圧検出プローブとの間に発生する第３電圧を検出する第３電圧検出部と、前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブがオープン状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいてオープン補正値を測定するオープン補正値測定処理、並びに前記一対の電流供給プローブおよび前記一対の電圧検出プローブが前記測定対象に接続されている状態での前記第１電流および前記第１電圧に基づいて前記測定対象のインピーダンスを測定すると共に当該測定されたインピーダンスを前記オープン補正値で補正して当該測定対象についての最終的なインピーダンスを算出するインピーダンス測定処理を実行する処理部とを備え、前記処理部は、前記オープン補正値測定処理において、前記第２電流供給部を作動させて前記第２電圧検出部に前記第２電圧を検出させると共に当該第２電圧と前記第２電流とに基づいて前記一方の電流供給プローブおよび前記一方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、前記第３電流供給部を作動させて前記第３電圧検出部に前記第３電圧を検出させると共に当該第３電圧と前記第３電流とに基づいて前記他方の電流供給プローブおよび前記他方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、かつ前記第１電流供給部を作動させて前記第１電圧検出部に前記第１電圧を検出させると共に当該第１電圧と前記第１電流とに基づいて前記一対の電流供給プローブ間のオープン状態を検出したときに、前記オープン補正値を測定する。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１記載のインピーダンス測定装置によれば、処理部は一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてのショート状態を検出したときに、すなわち、ショート補正値の測定条件が確実に満たされていることを検出したときにショート補正値測定処理を実行してショート補正値を測定するため、一対の電流供給プローブおよび一対の電圧検出プローブのすべてを確実にショートさせた状態でショート補正値を正確に測定することができる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、この正確なショート補正値に基づいて測定対象のインピーダンスを正確に測定することができる。
【００１２】
また、請求項２記載のインピーダンス測定装置によれば、処理部は、一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブ間のショート状態を検出し、かつ一対の電流供給プローブ間のオープン状態を検出したときに、すなわち、オープン補正値の測定条件が確実に満たされていることを検出したときにオープン補正値測定処理を実行してオープン補正値を測定するため、一方の電流供給プローブおよび一方の電圧検出プローブを確実にショートさせると共に他方の電流供給プローブおよび他方の電圧検出プローブを確実にショートさせ、かつ一対の電流供給プローブを確実にオープンにした状態でオープン補正値を正確に測定することができる。したがって、このインピーダンス測定装置によれば、この正確なオープン補正値に基づいて測定対象のインピーダンスを正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】インピーダンス測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】ショート補正値測定処理５０を説明するためのフローチャートである。
【図３】インピーダンス測定処理６０を説明するためのフローチャートである。
【図４】他のショート補正値測定処理５０Ａを説明するためのフローチャートである。
【図５】オープン補正値測定処理７０を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、インピーダンス測定装置の実施の形態について説明する。
【００１５】
まず、インピーダンス測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１６】
インピーダンス測定装置１は、図１に示すように、測定対象２のインピーダンスＺを測定する装置であって、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂ（特に区別しないときには「電流供給プローブ３」ともいう）、一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ（特に区別しないときには「電圧検出プローブ４」ともいう）、第１電流供給部５、第２電流供給部６、第３電流供給部７、第１電圧検出部８、第２電圧検出部９、第３電圧検出部１０、スイッチ１１，１２、処理部１３、記憶部１４および出力部１５を備えている。
【００１７】
一対の電流供給プローブ３は、図１に示すように、第１電流供給部５に接続されると共に、一方の電流供給プローブ３ａが測定対象２の一方の端部２ａに接触され、他方の電流供給プローブ３ｂが測定対象２の他方の端部２ｂに接触される。一対の電圧検出プローブ４は、第１電圧検出部８に接続されると共に、一方の電圧検出プローブ４ａが測定対象２の一方の端部２ａに接触され、他方の電圧検出プローブ４ｂが測定対象２の他方の端部２ｂに接触される。
【００１８】
第１電流供給部５は、図１に示すように、一例として定電流源５ａとスイッチ５ｂとを備えて構成されている。また、定電流源５ａは、予め規定された電流値（振幅が一定）の第１電流（一例として、予め規定された周波数の交流定電流）Ｉ１を出力可能に構成されると共に、スイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３に接続されている。また、定電流源５ａは処理部１３によって制御されることにより、第１電流Ｉ１の出力およびその停止を実行する。また、定電流源５ａは、電流検出器およびＡ／Ｄ変換器（いずれも図示せず）を備えて、出力している第１電流Ｉ１をこの電流検出器で電圧信号に変換すると共に、この変換された電圧信号をこのＡ／Ｄ変換器で波形データＤｉ（第１電流Ｉ１の電流波形を示す波形データ）に変換して出力する。なお、この波形データＤｉを出力する機能については、上記のように定電流源５ａに内蔵させる構成を採用することもできるし、第１電流供給部５の外部に、上記の機能を有する電流検出器およびＡ／Ｄ変換器を配設する構成を採用することもできる。
【００１９】
また、第１電流供給部５については、定電流源５ａを使用する上記の構成に代えて、電圧源、電流検出器、Ａ／Ｄ変換器、およびスイッチ５ｂを有する構成を採用することもできる。この構成の第１電流供給部５では、電圧源は、予め規定された周波数の交流電圧を出力可能に構成されると共に、スイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３に接続されている。また、電流検出器は、電圧源からの交流電圧がスイッチ５ｂを介して一対の電流供給プローブ３間に印加されることによって電圧源から出力される電流を第１電流Ｉ１として検出して電圧信号に変換し、Ａ／Ｄ変換器は、この変換された電圧信号を波形データＤｉに変換して出力する。
【００２０】
また、スイッチ５ｂは、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続し、オフ状態のときに一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａから切り離す。
【００２１】
なお、定電流源５ａは、予め規定された周波数で第１電流Ｉ１を出力する構成に代えて、処理部１３によって設定された周波数で第１電流Ｉ１を出力する構成を採用することもできる。この構成を採用することにより、処理部１３は、定電流源５ａから任意の周波数で第１電流Ｉ１を出力させることが可能になる。
【００２２】
第２電流供給部６は、図１に示すように、予め規定された既知の電流値の第２電流（直流定電流）Ｉ２を一対の出力端子（図示せず）から出力可能に構成されている。また、第２電流供給部６は、一対の出力端子がスイッチ１１を介して一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａに接続されている。また、第２電流供給部６は、処理部１３によって制御されることにより、第２電流Ｉ２の出力およびその停止を実行する。また、スイッチ１１も、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを第２電流供給部６の一対の出力端子に接続し、オフ状態のときに一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａをこの一対の出力端子から切り離す。
【００２３】
第３電流供給部７は、図１に示すように、予め規定された既知の電流値の第３電流（直流定電流）Ｉ３を一対の出力端子（図示せず）から出力可能に構成されている。また、第３電流供給部７は、一対の出力端子がスイッチ１２を介して他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。また、第３電流供給部７は、処理部１３によって制御されることにより、第３電流Ｉ３の出力およびその停止を実行する。また、スイッチ１２も、処理部１３によって制御されることにより、オン状態またはオフ状態のいずれか一方の状態に移行して、オン状態のときに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを第３電流供給部７の一対の出力端子に接続し、オフ状態のときに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂをこの一対の出力端子から切り離す。
【００２４】
第１電圧検出部８は、図１に示すように、一例として増幅部８ａおよびＡ／Ｄ変換部８ｂで構成されている。増幅部８ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が一方の電圧検出プローブ４ａに接続されると共に、他方の入力端子が他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。この構成により、増幅部８ａは、一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ間に発生する第１電圧Ｖ１を入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ１ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部８ｂは、電圧信号Ｖ１ａを所定の周波数のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ１ａの波形データＤ１を出力する。
【００２５】
第２電圧検出部９は、図１に示すように、一例として増幅部９ａおよびＡ／Ｄ変換部９ｂで構成されている。増幅部９ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が第２電流供給部６の一対の出力端子のうちの一方の出力端子に接続されると共に、他方の入力端子が第２電流供給部６の他方の出力端子に接続されている。したがって、増幅部９ａは、一対の入力端子がスイッチ１１を介して一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａに接続されている。この構成により、増幅部９ａは、スイッチ１１がオン状態のときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間に発生する第２電圧Ｖ２をスイッチ１１を介して入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ２ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部９ｂは、電圧信号Ｖ２ａを所定の周波数（一例としてＡ／Ｄ変換部８ｂと同じ周波数）のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ２ａの波形データＤ２を出力する。
【００２６】
第３電圧検出部１０は、図１に示すように、一例として増幅部１０ａおよびＡ／Ｄ変換部１０ｂで構成されている。増幅部１０ａは、一対の入力端子（図示せず）のうちの一方の入力端子が第３電流供給部７の一対の出力端子のうちの一方の出力端子に接続されると共に、他方の入力端子が第３電流供給部７の他方の出力端子に接続されている。したがって、増幅部１０ａは、一対の入力端子がスイッチ１２を介して他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂに接続されている。この構成により、増幅部１０ａは、スイッチ１２がオン状態のときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間に発生する第３電圧Ｖ３をスイッチ１２を介して入力して、所定の増幅率で増幅して電圧信号Ｖ３ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部１０ｂは、電圧信号Ｖ３ａを所定の周波数（一例としてＡ／Ｄ変換部８ｂと同じ周波数）のサンプリングクロック（図示せず）でサンプリングすることにより、電圧信号Ｖ３ａの波形データＤ３を出力する。
【００２７】
処理部１３は、一例としてＣＰＵで構成されて、ショート補正値測定処理５０（図２参照）、オープン補正値測定処理、第１接続検出処理、第２接続検出処理、およびインピーダンス測定処理６０（図３参照）を実行する。また、処理部１３は、第１電流供給部５、第２電流供給部６、第３電流供給部７およびスイッチ１１，１２に対する上記した制御についても実行する。
【００２８】
この場合、処理部１３は、ショート補正値測定処理５０では、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ全体の残留インピーダンスＺｓをショート補正値（以下、「ショート補正値Ｚｓ」ともいう）として測定して記憶する。また、処理部１３は、オープン補正値測定処理では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとの間の浮遊アドミタンスＹｏをオープン補正値（以下、「オープン補正値Ｙｏ」ともいう）として測定して記憶する。
【００２９】
また、処理部１３は、第１接続検出処理では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが互いに接続されているか否か（ショート状態であるか否か）を検出すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが互いに接続されているか否か（ショート状態であるか否か）を検出する。また、処理部１３は、第２接続検出処理では、一対の電流供給プローブ３が互いに接続されているか否か（ショート状態であるか否か）を検出する。また、処理部１３は、インピーダンス測定処理６０では、測定対象２のインピーダンスＺを測定する。
【００３０】
記憶部１４は、ＲＯＭやＲＡＭなどの半導体メモリで構成されて、処理部１３のためのワークメモリとして機能する。また、記憶部１４には、処理部１３についての動作プログラムが予め記憶されている。出力部１５は、一例としてＬＣＤなどの表示装置で構成されて、処理部１３によって実行された第１接続検出処理および第２接続検出処理での処理結果（エラー表示）を表示すると共に、インピーダンス測定処理の処理結果を表示する。
【００３１】
次に、インピーダンス測定装置１の動作について説明する。
【００３２】
インピーダンス測定装置１では、まず、処理部１３が、図２に示すショート補正値測定処理５０を実行する。なお、処理部１３によるショート補正値測定処理５０の実行前に、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂは、例えばショートバーなどを使用して互いにショート（短絡）させられている。
【００３３】
ショート補正値測定処理５０では、処理部１３は、まず、第１接続検出処理を実行することにより、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが互いに接続されている（ショート状態）か否かを検出すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが互いに接続されている（ショート状態）か否かを検出する（ステップ５１）。
【００３４】
具体的には、処理部１３は、まず、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態を検出する際には、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオフ状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂを定電流源５ａから切り離す。次いで、処理部１３は、スイッチ１１に対する制御を実行して、スイッチ１１をオフ状態からオン状態に一定時間（例えば数秒）だけ移行させることにより、増幅部９ａの一対の入力端子と第２電流供給部６の一対の出力端子とに、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａをそれぞれ一定時間だけ接続する。
【００３５】
続いて、処理部１３は、第２電流供給部６に対する制御を実行して、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間への第２電流Ｉ２の供給を上記の一定時間の間だけ実行させる。これにより、第２電圧検出部９では、増幅部９ａが、この両プローブ３ａ，４ａに第２電流Ｉ２が流れることによって両プローブ３ａ，４ａ間に発生する第２電圧Ｖ２を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ２ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部９ｂは、この電圧信号Ｖ２ａを波形データＤ２に変換して出力する。
【００３６】
処理部１３は、上記の一定時間の間にこの波形データＤ２を取得すると共に、この波形データＤ２に基づいて第２電圧Ｖ２の電圧値を算出する。また、処理部１３は、この算出した第２電圧Ｖ２の電圧値と第２電流Ｉ２の既知の電流値とに基づいて、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のインピーダンス（この例では抵抗値）を算出する。また、処理部１３は、算出した抵抗値を予め規定されたしきい値と比較する。この接続検出処理では、処理部１３は、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態（この例ではショートバーを介してのショート状態）であるか否かを検出するため、しきい値は例えば１Ω未満の小さい抵抗値に規定されている。
【００３７】
処理部１３は、この比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値を超えるときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態にはないと判別して第１接続検出処理を終了させ、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ５２）、ショート補正値測定処理５０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直して、処理部１３にショート補正値測定処理５０の実行を再度開始させる。
【００３８】
一方、処理部１３は、ステップ５１での比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値以下のときには、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態にあると判別して、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂのショート状態についての検出を開始する。なお、上記の一定時間の間だけオン状態に移行していたスイッチ１１は、処理部１３により、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態についての検出が完了するまでにオフ状態に制御されている。
【００３９】
この各プローブ３ｂ，４ｂのショート状態の検出に際して、処理部１３は、スイッチ１２に対する制御を実行して、スイッチ１２をオフ状態からオン状態に一定時間（例えば数秒）だけ移行させることにより、増幅部１０ａの一対の入力端子と第３電流供給部７の一対の出力端子とに、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂをそれぞれ一定時間だけ接続する。
【００４０】
続いて、処理部１３は、第３電流供給部７に対する制御を実行して、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間への第３電流Ｉ３の供給を上記の一定時間の間だけ実行させる。これにより、第３電圧検出部１０では、増幅部１０ａが、この両プローブ３ｂ，４ｂに第３電流Ｉ３が流れることによって両プローブ３ｂ，４ｂ間に発生する第３電圧Ｖ３を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ３ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部１０ｂは、この電圧信号Ｖ３ａを波形データＤ３に変換して出力する。
【００４１】
処理部１３は、上記の一定時間の間にこの波形データＤ３を取得すると共に、上記した波形データＤ２のときと同様にして、第３電圧Ｖ３の電圧値を算出し、この算出した第３電圧Ｖ３の電圧値と第３電流Ｉ３の既知の電流値とに基づいて、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のインピーダンス（この例では抵抗値）を算出する。また、処理部１３は、算出した抵抗値を予め規定されたしきい値と比較することにより、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態であるか否かを検出する。
【００４２】
処理部１３は、この比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値を超えるときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態にはないと判別して第１接続検出処理を終了させ、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ５２）、ショート補正値測定処理５０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直して、処理部１３にショート補正値測定処理５０の実行を再度開始させる。
【００４３】
一方、処理部１３は、ステップ５１での比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値以下のときには、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態にあると判別して第１接続検出処理を終了させ、次いで、一対の電流供給プローブ３間のショート状態についての検出を行う第２接続検出処理を開始する。なお、上記の一定時間の間だけオン状態に移行していたスイッチ１２は、処理部１３により、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂのショート状態についての検出が完了するまでにオフ状態に制御されている。
【００４４】
この第２接続検出処理では、処理部１３は、まず、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。次いで、処理部１３は、定電流源５ａに対する制御を実行して、一対の電流供給プローブ３間への第１電流Ｉ１の供給を開始させる。これにより、第１電圧検出部８では、増幅部８ａが、一対の電流供給プローブ３間に第１電流Ｉ１が流れることによって一対の電流供給プローブ３間に発生する第１電圧Ｖ１を入力すると共に増幅して、電圧信号Ｖ１ａとして出力する。Ａ／Ｄ変換部８ｂは、この電圧信号Ｖ１ａを波形データＤ１に変換して処理部１３に出力する。また、定電流源５ａは、第１電流Ｉ１の供給を開始したときには、波形データＤｉの処理部１３への出力についても開始する。
【００４５】
処理部１３は、各波形データＤ１，Ｄｉを、例えば第１電流Ｉ１の１周期分だけ取得して、記憶部１４に記憶させる。次いで、処理部１３は、波形データＤｉに基づいて第１電流Ｉ１の電流値（例えば実効値）を算出し、この電流値を予め規定されたしきい値と比較する。一対の電流供給プローブ３がショート状態で接続されていないとき（接触抵抗が大きいとき）には、第１電流Ｉ１の電流値（例えば実効値）は、予め規定された一定の電流値に達しない状態になる。したがって、しきい値をこの一定の電流値よりも若干低い値に規定しておくことにより、一対の電流供給プローブ３がショート状態で接続されていることを条件として、算出した電流値がしきい値以上の状態になる。
【００４６】
これにより、処理部１３は、この比較の結果、算出した電流値がこのしきい値を下回るときには、一対の電流供給プローブ３がショート状態にはないと判別して第２接続検出処理を終了させ、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ５２）、ショート補正値測定処理５０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂをショート状態に接続し直して、処理部１３にショート補正値測定処理５０の実行を再度開始させる。
【００４７】
一方、処理部１３は、ステップ５１での比較の結果、算出した抵抗値がこのしきい値以上のときには、一対の電流供給プローブ３がショート状態にあると判別して第２接続検出処理を完了させる。この場合、処理部１３は、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａがショート状態であり、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂがショート状態であり、かつ一対の電流供給プローブ３がショート状態にあることから、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４のすべてがショート状態になっている（すなわち、ショート補正値の測定条件が確実に満たされている）と判別して、次に、ショート補正値算出処理を実行する（ステップ５３）。
【００４８】
このショート補正値算出処理では、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一対の電流供給プローブ３ａ，３ｂおよび一対の電圧検出プローブ４ａ，４ｂ全体の残留インピーダンスＺｓをショート補正値Ｚｓとして算出して記憶部１４に記憶する。これにより、ショート補正値算出処理が完了し、ショート補正値Ｚｓの測定についても完了する。このため、ショート補正値測定処理についても完了する。なお、上記のように、ショート補正値算出処理の実行前に取得して記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉを使用する構成に代えて、ショート補正値算出処理において各波形データＤ１，Ｄｉを新たに取得して、この取得した各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、ショート補正値Ｚｓを算出する構成を採用することもできる。
【００４９】
このインピーダンス測定装置１では、このようにショート補正値測定処理において、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４のすべてがショート状態になっていること（ショート補正値の測定条件が確実に満たされていること）を検出して初めてショート補正値算出処理を実行する構成を採用することで、ショート補正値Ｚｓの正確な測定が可能になっている。
【００５０】
次いで、処理部１３は、図５に示すオープン補正値測定処理７０を実行する。なお、処理部１３によるオープン補正値測定処理７０の実行前に、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを互いに接続（ショート）させると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを互いに接続（ショート）させる。また、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとをオープン状態（未接続状態）に移行させる。この場合、上記のように電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａが互いにショートされ、かつ電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂが互いにショートされている状態においては、電流供給プローブ３ａおよび電圧検出プローブ４ａと、電流供給プローブ３ｂおよび電圧検出プローブ４ｂとをオープン状態にすることと、一対の電流供給プローブ３をオープン状態にすることと同じである。
【００５１】
処理部１３は、このオープン補正値測定処理７０では、上記した第１接続検出処理を実行して、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａの接続（ショート）状態を検出すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂの接続（ショート）状態を検出する。また、処理部１３は、一対の電流供給プローブ３のオープン状態を検出する（ステップ７１）。
【００５２】
なお、このオープン状態の検出に際しては、処理部１３は、まず、定電流源５ａに対して第１電流Ｉ１を出力させる制御を実行すると共に、このときに定電流源５ａから出力される波形データＤｉを取得する。次いで、処理部１３は、この波形データＤｉに基づいて第１電流Ｉ１の電流値を算出すると共に、予め規定されたしきい値と比較する。一対の電流供給プローブ３がオープン状態のときには、第１電流Ｉ１の電流値（例えば実効値）は、予め規定された一定の電流値（微小な電流値）以下になる。したがって、しきい値をこの一定の電流値に規定しておくことにより、算出した電流値がしきい値以下になっているときには一対の電流供給プローブ３がオープン状態であることを検出でき、算出した電流値がしきい値を超えているときには一対の電流供給プローブ３がオープン状態ではないことを検出することができる。
【００５３】
このステップ７１での検出の結果、処理部１３は、一方の電流供給プローブ３ａと一方の電圧検出プローブ４ａとが接続（ショート）状態ではないこと、他方の電流供給プローブ３ｂと他方の電圧検出プローブ４ｂとが接続（ショート）状態ではないこと、および一対の電流供給プローブ３がオープン状態ではないことのうちの少なくとも１つを検出したとき（すなわち、オープン補正値の測定条件が満たされていないとき）には、浮遊アドミタンスＹｏ（オープン補正値Ｙｏ）の正確な測定が困難であると判別して、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ７２）、オープン補正値測定処理７０を完了させる。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを互いに接続（ショート）し直すと共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを互いに接続（ショート）し直し、かつ一対の電流供給プローブ３をオープン状態にし直して、処理部１３にオープン補正値測定処理７０の実行を再度開始させる。
【００５４】
一方、処理部１３は、ステップ７１での検出の結果、一方の電流供給プローブ３ａと一方の電圧検出プローブ４ａとが接続（ショート）状態であり、他方の電流供給プローブ３ｂと他方の電圧検出プローブ４ｂとが接続（ショート）状態であり、かつ一対の電流供給プローブ３がオープン状態であることを検出したとき（すなわち、オープン補正値の測定条件が満たされているとき）には、オープン補正値算出処理を実行する。
【００５５】
このオープン補正値算出処理では、処理部１３は、まず、第１電流供給部５に対する制御を実行して、スイッチ５ｂをオン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。次いで、処理部１３は、定電流源５ａに対する制御を実行して、一対の電流供給プローブ３間への第１電流Ｉ１の供給を開始させる。これにより、第１電圧検出部８が波形データＤ１の処理部１３への出力を開始し、定電流源５ａが波形データＤｉの処理部１３への出力を開始する。
【００５６】
処理部１３は、各波形データＤ１，Ｄｉを、例えば第１電流Ｉ１の１周期分だけ取得して、記憶部１４に記憶させる。次いで、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとの間の浮遊アドミタンスＹｏをオープン補正値Ｙｏとして算出して記憶部１４に記憶する。これにより、オープン補正値算出処理が完了し、併せてオープン補正値測定処理も完了する。
【００５７】
このように本例では、このオープン補正値測定処理７０において、オープン補正値算出処理の実行ための各波形データＤ１，Ｄｉを取得する前に、上記したステップ７１を実行してオープン補正値の測定条件が満たされているか否かを検出し、オープン補正値の測定条件が満たされていることを検出して初めて各波形データＤ１，Ｄｉを取得する（オープン補正値算出処理を実行する）ようにしている。このため、このインピーダンス測定装置１では、オープン補正値Ｙｏについてもショート補正値Ｚｓと同様にして正確に測定することが可能になっている。
【００５８】
次に、インピーダンス測定装置１では、処理部１３が、図３に示すインピーダンス測定処理６０を実行する。なお、処理部１３によるインピーダンス測定処理６０の実行前に、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを測定対象２の一方の端部２ａに接触させ、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを測定対象２の他方の端部２ｂに接触させる。
【００５９】
インピーダンス測定処理６０では、処理部１３は、まず、上記した第１接続検出処理を実行することにより、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが共に測定対象２の一方の端部２ａに接触し（つまり、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａが一方の端部２ａを介してショートし）、かつ他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが共に測定対象２の他方の端部２ｂに接触し（つまり、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂが他方の端部２ｂを介してショートし）ているか否かを検出する（ステップ６１）。
【００６０】
処理部１３は、この検出の結果、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと測定対象２の一方の端部２ａとの接触状態、並びに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂと測定対象２の他方の端部２ｂとの接触状態の少なくとも一方がショート状態でないときには、出力部１５にエラー表示を行って（ステップ６２）、その旨を報知する。この場合、インピーダンス測定装置１の作業者は、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４と測定対象２の各端部２ａ，２ｂとの接続を見直す。
【００６１】
一方、処理部１３は、ステップ６１での検出の結果、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと測定対象２の一方の端部２ａとの接触状態、並びに他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂと測定対象２の他方の端部２ｂとの接触状態が共にショート状態であることを検出したときには、インピーダンス算出処理を実行する（ステップ６３）。なお、処理部１３は、各スイッチ１１，１２については、このインピーダンス算出処理の実行前までにいずれもオフ状態に制御される。
【００６２】
このインピーダンス算出処理では、処理部１３は、まず、第１電流供給部５のスイッチ５ｂに対する制御を実行して、オン状態に移行させることにより、一対の電流供給プローブ３を定電流源５ａに接続する。次いで、処理部１３は、定電流源５ａに対する制御を実行して、一対の電流供給プローブ３間への第１電流Ｉ１の供給を開始させる。これにより、測定対象２の各端部２ａ，２ｂ間には、第１電流Ｉ１が流れることによって測定対象２のインピーダンスＺに応じた交流電圧が発生する。
【００６３】
第１電圧検出部８では、増幅部８ａが、この交流電圧を一対の電圧検出プローブ４を介して第１電圧Ｖ１として入力すると共に増幅して電圧信号Ｖ１ａとして出力し、Ａ／Ｄ変換部８ｂが、電圧信号Ｖ１ａを波形データＤ１に変換して処理部１３に出力する。
【００６４】
処理部１３は、この波形データＤ１と定電流源５ａから出力される波形データＤｉとを取得して、記憶部１４に記憶させる。次いで、処理部１３は、記憶部１４に記憶されている各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて、一対の電流供給プローブ３、一対の電圧検出プローブ４および測定対象２全体のインピーダンスを算出する。続いて、処理部１３は、この算出したインピーダンスを、記憶部１４に記憶されているショート補正値Ｚｓおよびオープン補正値Ｙｏで補正することにより、測定対象２の最終的なインピーダンスＺを算出して記憶部１４に記憶させる。これによりインピーダンス算出処理が完了する。
【００６５】
次いで、処理部１３は、出力処理を実行して（ステップ６４）、算出したインピーダンスＺを出力部１５にインピーダンス測定処理の処理結果として表示させる。これにより、インピーダンス測定処理が完了する。
【００６６】
このように、このインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、ショート補正値測定処理５０において、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出し、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出し、かつ一対の電流供給プローブ３間のショート状態を検出したとき（ショート補正値の測定条件が確実に満たされていることを検出したとき）に、ショート補正値算出処理を実行してショート補正値Ｚｓを測定する。
【００６７】
したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４のすべてを確実にショートさせた状態でショート補正値Ｚｓを正確に測定することができるため、この正確なショート補正値Ｚｓに基づいて測定対象２のインピーダンスＺを正確に測定することができる。
【００６８】
また、このインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、オープン補正値測定処理７０において、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出し（ショートさせるべきすべてのプローブ間のショート状態を検出し）、かつ一対の電流供給プローブ３間のオープン状態を検出したとき（オープン補正値の測定条件が確実に満たされていることを検出したとき）に、オープン補正値算出処理を実行してオープン補正値Ｙｏを測定する。
【００６９】
したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａを確実にショートさせると共に、ショートさせるべき他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂを確実にショートさせ、かつ一対の電流供給プローブ３を確実にオープンにした状態でオープン補正値Ｙｏを正確に測定することができるため、この正確なオープン補正値Ｙｏに基づいて測定対象２のインピーダンスＺを正確に測定することができる。
【００７０】
なお、上記の例では、第１電流供給部５の定電流源５ａが予め規定された一定の周波数（１つの周波数）の第１電流Ｉ１を供給し、処理部１３が、このときの各波形データＤ１，Ｄｉに基づいてこの一定の周波数での測定対象２のインピーダンスＺを測定する構成を採用しているため、ショート補正値Ｚｓおよびオープン補正値Ｙｏについてもこの一定の周波数の第１電流Ｉ１を供給して測定する構成を採用しているが、第１電流供給部５の定電流源５ａが予め規定された複数の周波数の第１電流Ｉ１を順次供給し、処理部１３が、各周波数での各波形データＤ１，Ｄｉに基づいて各周波数での測定対象２のインピーダンスＺを測定する構成を採用することもでき、この構成を採用したときには、ショート補正値Ｚｓおよびオープン補正値Ｙｏについても周波数毎に測定する必要がある。
【００７１】
以下、ショート補正値Ｚｓを例に挙げて説明する。この場合、処理部１３は、図３に示す上記したショート補正値測定処理５０に、第１電流Ｉ１の周波数を設定するステップ５４と、予め規定された複数の周波数での補正値（ショート補正値Ｚｓ）の測定がすべて完了したか否かを判別するステップ５５とを追加した図４に示すショート補正値測定処理５０Ａを実行することにより、複数の周波数でのショート補正値Ｚｓを測定して記憶部１４に記憶させる。
【００７２】
この構成を採用したインピーダンス測定装置１では、処理部１３は、複数の周波数のうちの１つの周波数に第１電流Ｉ１の周波数を設定し（ステップ５４）、この設定した周波数においてステップ５１を実行して（つまり、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出し、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出し、かつ一対の電流供給プローブ３間のショート状態を検出して）、ショート状態か否かを検出し、検出の結果がショート状態でないときにはエラー表示を行い（ステップ５２）、ショート状態のときにはステップ５３のショート補正値算出処理を実行してショート補正値Ｚｓを算出（測定）するという動作を、ステップ５５において全周波数でのショート補正値Ｚｓの測定が完了したか否かを判別しつつ繰り返すことにより、複数の周波数でのショート補正値Ｚｓの測定を実行する。
【００７３】
したがって、このインピーダンス測定装置１によれば、一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４のすべてを確実にショートさせた状態で各周波数においてショート補正値Ｚｓを正確に測定することができるため、この正確なショート補正値Ｚｓに基づいて各周波数での測定対象２のインピーダンスＺを正確に測定することができる。なお、オープン補正値Ｙｏについても、上記したショート補正値Ｚｓのときと同様にして、複数の周波数でのオープン補正値Ｙｏの測定を実行してもよいのは勿論である。
【００７４】
また、上記のインピーダンス測定装置１では、一対の電流供給プローブ３間に第１電流Ｉ１を供給する第１電流供給部５と、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間に第２電流Ｉ２を供給する第２電流供給部６と、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間に第３電流Ｉ３を供給する第３電流供給部７とを個別に備える構成を採用しているが、第１電流供給部５を不図示の切替スイッチを介して一対の電流供給プローブ３および一対の電圧検出プローブ４に接続して、この切替スイッチを切り替えることにより、１つの第１電流供給部５を、必要に応じて、一対の電流供給プローブ３間、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間、および他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のいずれかに接続する構成を採用することもできる。この構成を採用することにより、１つの第１電流供給部５で第１電流Ｉ１、第２電流Ｉ２および第３電流Ｉ３を供給することができるため、装置コストを低減することができる。
【００７５】
また、上記のインピーダンス測定装置１では、一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａ間のショート状態を検出するために、スイッチ１１、第２電流供給部６および第２電圧検出部９を配設すると共に、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂ間のショート状態を検出するために、スイッチ１２、第３電流供給部７および第３電圧検出部１０を配設する構成を採用しているが、第２電流供給部６および第２電圧検出部９か、第３電流供給部７および第３電圧検出部１０のいずれか一方の電流供給部および電圧検出部で他方の電流供給部および電圧検出部を兼用する構成を採用することもできる。
【００７６】
この構成では、スイッチ１１およびスイッチ１２に代えて設けたスイッチ回路を介して、一方の電流供給部および電圧検出部を一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａと、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂとに切り替えて接続する構成を採用する。この構成を採用することにより、１つの電流供給部と１つの電圧検出部によって一方の電流供給プローブ３ａおよび一方の電圧検出プローブ４ａのショート状態と、他方の電流供給プローブ３ｂおよび他方の電圧検出プローブ４ｂのショート状態の双方を検出することができるため、インピーダンス測定装置の回路構成を簡略化することができる。
【００７７】
また、上記のインピーダンス測定装置１では、算出したショート補正値Ｚｓについての測定条件が満たされているか否かを検出してからショート補正値Ｚｓを記憶するショート補正値測定処理５０と、算出したオープン補正値Ｙｏについての測定条件が満たされているか否かを検出してからオープン補正値Ｙｏを記憶するオープン補正値測定処理７０の双方を実行する好ましい構成を採用しているが、ショート補正値Ｚｓについては上記のショート補正値測定処理５０を実行するものの、オープン補正値Ｙｏについては、算出したオープン補正値Ｙｏについての測定条件が満たされているか否かを検出することなく記憶するオープン補正値測定処理を実行する構成や、逆に、オープン補正値Ｙｏについては上記のオープン補正値測定処理７０を実行するものの、ショート補正値Ｚｓについては、算出したショート補正値Ｚｓについての測定条件が満たされているか否かを検出することなく記憶するショート補正値測定処理を実行する構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００７８】
１  インピーダンス測定装置
２  測定対象
２ａ  一方の端部
２ｂ  他方の端部
３ａ，３ｂ  電流供給プローブ
４ａ，４ｂ  電圧検出プローブ
５  第１電流供給部
６  第２電流供給部
７  第３電流供給部
８  第１電圧検出部
９  第２電圧検出部
１０  第３電圧検出部
１３  処理部
Ｉ１  第１電流
Ｉ２  第２電流
Ｉ３  第３電流
Ｖ１  第１電圧
Ｖ２  第２電圧
Ｖ３  第３電圧
Ｙｏ  オープン補正値
Ｚ  インピーダンス
Ｚｓ  ショート補正値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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