(57)【要約】【課題】シャワープレートを保持する際に局所的な力が掛かることを抑制できる保持具を提供する。【解決手段】シャワープレートの表面に接触して吸着させる吸着部と作業者が把持する把手部とを有し、前記吸着部の前記シャワープレートと接触する側の凹み内に配置され前記シャワープレートの表面に吸着するシート状部材とこのシート状部材状から突出して当該吸着部が前記シャワープレートの表面に接触した状態でこのシャワープレートに配置された貫通孔を塞ぐ突起部とを備え、前記シート状部材と前記突起部と前記シャワープレートの表面との間の空間が減圧されて前記吸着部と前記シャワープレートとの間で吸着力を発生させる保持具。【選択図】図１
2015025497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャワープレートの表面に接触して吸着させる吸着部と作業者が把持する把手部とを有し、前記吸着部の前記シャワープレートと接触する側の凹み内に配置され前記シャワープレートの表面に吸着するシート状部材とこのシート状部材状から突出して当該吸着部が前記シャワープレートの表面に接触した状態でこのシャワープレートに配置された貫通孔を塞ぐ突起部とを備え、前記シート状部材と前記突起部と前記シャワープレートの表面との間の空間が減圧されて前記吸着部と前記シャワープレートとの間で吸着力を発生させる保持具。
【請求項２】
請求項１記載の保持具であって、前記シート状部材はポリイミドフィルムから構成され前記吸着部と脱着可能に接着されている保持具。
【請求項３】
請求項１または２に記載の保持具であって、前記突起部は低硬度シリコンゴムから構成され前記シート状部材上面にと接合されている保持具。
【請求項４】
前記低硬度シリコンゴムのシリコーンの硬さはISO7619に基づきA10/SからA30/Sの範囲内にあることを特徴する板状石英シャワープレート保持器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器の内部の処理室内に配置した半導体ウエハ等の基板状の試料をこの処理室内にガスを導入しつつ処理する半導体製造装置の前記処理室の天井面を構成して前記ガスの導入用の孔が配置されたシャワープレートを真空容器外に取り外し又は装着する際にシャワープレートを保持する器具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置の真空容器の内部に配置された処理室（チャンバ）には処理用のガスを処理室内に導入する部材として、処理室の天井面を構成して試料またはこれが載置される載置台の上面（載置面）に対向して配置されたシャワープレートが用いられている。このようなシャワープレートは、ガスとの相互の作用を抑制するため石英製のものが使用されることが一般的である。
【０００３】
また、このようなシャワープレートは円板形状を有し、その中央部を含む領域に配置された複数のガス穴から処理ガスが処理室内に向けて下向きに供給される。特に、近年はチャンバ内部でのガスの流れを試料の表面の半径方向あるいは周方向について均等に形成してチャンバの内側壁へのデポ物を低減できるように、シャワープレートの下面の全面に亙り多数のガス導入用の孔が配置されたシャワープレートが開発されている。
【０００４】
このシャワープレートは、通常、真空容器の上部を構成して処理室の内側を開閉可能な蓋等の部材の下方に配置されて処理室の天井面を構成しており、処理室内側に配置された部材の表面を清掃する等の装置の保守、点検の作業の際には、これを持ち上げることが必要となる。このとき、持ち上げる保持器具としては、シャワープレートにゴミが付着したり汚れたりしないようにすることが求められる。
【０００５】
また、シャワープレートは、通常、その径方向の大きさに対して厚さ方向の寸法は小さいものが多く、これを保持して持ち上げるために用いられる保持具として、吸着した部分の内外の圧差を用いて保持するサクションリフタが考えられる。このような技術は、特開２０１０−１８００４５号公報（特許文献１）に開示ものものが知られている。
【０００６】
この従来技術は、シート状の部材とこれに接合された板状の支持部材とを有し、対象物である板状物を保持して持ち上げる際には、シート状の部材を対象物に接触させ板状の支持部材の上面にサクションリフタを吸着させてサクションリフタを把手として用いるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１０−１８００４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記の従来技術では次の点について検討が不十分であったため問題が生じていた。すなわち、従来技術の保持具をシャワープレートを保持するために用いても、シャワープレートに貫通孔が有るために貫通孔を通して内外の圧力差が無くなるようにされてしまい、シャワープレートを保持できる吸着力を発生することができなくなる。このように貫通孔を有した板状の部材を吸着して使用者がこれを保持できる保持具が求められている。
【０００９】
本発明の目的は、シャワープレートを保持する際に局所的な力が掛かることを抑制できる保持具を提供することにある。また、シャワープレートを保持する際にこのシャワープレートの孔にゴミが付着することを抑制できる保持具を提供することにある。さらにまた、シャワープレートを保持する際に、その自重により落下したり破損したりすることを抑制できる保持具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記目的のために、表面が平面に形成された被保持物で板状石英の表面に対向する平面部及び穴部と、支持器具の内側に配置されたシート状の部材と可撓性の部材からなる部材で被保持物にある穴部を密着させ封止するものである。
【００１１】
具体的には、上記目的は、シャワープレートの表面に接触して吸着させる吸着部と作業者が把持する把手部とを有し、前記吸着部の前記シャワープレートと接触する側の凹み内に配置され前記シャワープレートの表面に吸着するシート状部材とこのシート状部材状から突出して当該吸着部が前記シャワープレートの表面に接触した状態でこのシャワープレートに配置された貫通孔を塞ぐ突起部とを備え、前記シート状部材と前記突起部と前記シャワープレートの表面との間の空間が減圧されて前記吸着部と前記シャワープレートとの間で吸着力を発生させる保持具により達成される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、処理室内の清掃の作業の効率を向上させることができる。さらには、シャワープレートに密着した保持具の部分の内側に空気が入ることが抑制され吸着力を発生してシャワープレートを保持することができる。
【００１３】
本発明は、保持力が形成されている間はシャワープレートの貫通孔に保持具の表面を構成する部材が吸着している。シャワープレートに接している部材は可撓性の部材と支持器具の外周部で構成されており、貫通孔またはこれの周囲の部材に局所的な力が生じることが抑制される。このため、シャワープレートが石英のように脆性の大きな材料を用いたものであっても、作業者は、これを持ち上げる際に損傷することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る保持具の実施例の構成の概略を示す図である。
【図２】図１に示す本実施例の保持具をシャワープレートに接触させた状態の例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施の形態を、図面を用いて説明する。
【実施例】
【００１６】
以下、本発明の一実施例で実施の形態を図１，２を用いて説明する。図１は、本発明の実施例に係る保持具の構成の概略を説明する図である。図１（ａ）は、保持具を上方から見た上面図であり図１（ｂ）は縦断面図である。
【００１７】
本実施例の保持具２０１は、作業者が把持できる把手部を有したサクションリフタレバー２０２と保持対象となる平板状の表面を有する部材（本実施例ではシャワープレート）の当該表面と接して密着するサクションリフタ吸着部２０３とを備え、密着した箇所の内部が減圧された結果圧力差により生じる吸着力によってシャワープレート等対象を持ち上げた場合にもこれを保持具に吸着させて保持する力を発揮する、所謂サクションリフタの構成を備えている。このような、サクションリフタの構成は従来から用いられてきた一般的なサクションリフタを適用することができる。
【００１８】
さらに、本実施例の保持具２０１は、樹脂等の弾性を有した材料から構成されたシート状部材１０１と、断面が円形を有した円筒形状を備えシート状部材１０１の上面から上方に突起した可撓性の部材で構成された凸状部１０２を備えている。シート状部材１０１は、本実施例ではポリイミドフィルムから構成され、シート状部材１０１の上面に粘着剤が塗布されてサクションリフタ吸着部２０３の吸着面を構成する曲面状の内面を有した凹部の当該内面上に隙間が少ないように、且つ脱着が可能なように接着されている。
【００１９】
凸状部１０２の形状は円筒あるいは円柱形状に限らず直方体等の多面体でも良く、以下の通り貫通孔またはその周囲のシャワープレートと接して密着できる構成であれば良い。また、本実施例では、凸状部１０２は、円筒形状の中心軸に沿った方向に弾性を有した低硬度シリコンゴムにより構成されている。さらに、低硬度シリコンゴムのシリコーンの硬さはISO7619に基づきA10/SからA30/Sの範囲内にされており、シート状部材１０１上面に接着剤を用いて接合されている。
【００２０】
図２は、図１に示す本実施例の保持具をシャワープレートに接触させた状態の例を模式的に示す図である。図２（ａ）は、上面から見た上面図であり、図２（ｂ）は縦断面図である。
【００２１】
シャワープレート３０１には、ガス供給に必要なガス供給孔３０２が中央部を含む領域に複数配置されている。この配置されている領域は、シャワープレート３０１が処理室の天井面に配置された状態で、下方でこれと対向して配置される試料の載置台の上面の全体を覆う位置である。
【００２２】
保持具２０１を用いてシャワープレート３０１を持ち上げる際には、先ず、保持具２０１のサクションリフタ吸着部２０３の下面である凹み部内側をシャワープレート３０１表面に垂直に押し付ける。その際に、ガス供給孔３０２の位置にサクションリフタの凸状部１０２の上面が一致するように目視で位置を決める。
【００２３】
すなわち、ガス供給孔３０２の開口が凸状部１０２の上面により覆われて塞がれるように保持具２０１の位置を貫通孔に対して設定する。本実施例では、凸状部１０２がシャワープレート３０１の中心の１つの貫通孔と合致するように位置が決められたものを示しているが、複数個でも可能である。
【００２４】
また、凸状部１０２の上面がガス供給孔３０２の開口と合致するように保持具２０１の位置が決められた状態で、サクションリフタ吸着部２０３の凹み部の内面と接合されたシート状部材１０１は、当該開口とその周囲の他の貫通孔の開口との間のシャワープレート３０１の表面と接触して密着する。このため、シート状部材１０１は略凸状部１０２が中心部に配置され半径方向の端部が凸状部１０２が塞ぐ開口とその周囲の開口との間に位置するように、半径の大きさはこれらの開口同士の距離より小さくされている。
【００２５】
つまり、シート状部材１０１はその外周縁端部がサクションリフタ吸着部２０３の凹み部内に装着された状態で凹み部の外周縁よりも内側に位置している。このため、クションリフタ吸着部２０３はその凹み部の外側のリング状の部材の平面状の表面がシャワープレート３０１の上面と接触することになる。
【００２６】
このような構成により、保持具２０１がシャワープレート３０１に接着された状態で、凸状部１０２とシート状部材１０１の下面とで構成されその外部とは気密に封止された空間が形成される。次に、この空間内部をサクションリフタレバー２０１を動作して当該空間内部を排気して減圧することにより、内外の圧力差を利用してシャワープレートと保持具２０１との間に吸着力を発生させる。
【００２７】
上記の実施例によれば、シート状部材１０１及び凸状部１０２とは可撓性の部材から構成され厚さ方向の部材がシャワープレート３０１の貫通孔の開口の周囲の表面に密着するように張り付くことができる。また、シート状部材１０１はサクションリフタ吸着部２０３のリング状の部分よりも内側の凹み部内部に収納されて配置されており、リング状部材がシャワープレート３０１と接触する。
【００２８】
さらに、シート状部材１０１はポリイミドフィルム等の樹脂により構成され、凸状部１０２は低硬度シリコンゴムにより構成されており、また、両者は接着剤により接着されている。ポリイミドにより構成されたシート状部材１０１とサクションリフタ吸着部２０３との接着はポリイミドフィルム側に粘着剤が塗布され接着されるがポリイミドフィルムと低硬度シリコンゴムは消耗品であるため、保持具１０１本体から脱着が可能である。
【００２９】
保持具１０１の本体は市販のサンションリフタを使用することができ、サクション部はニトリルゴム、本体と使用者が減圧の操作を行なえるレバーはアルミ合金であって使用者が把持できる把手が設けられる構成であることが好ましい。
【００３０】
凸状部材１０２には、シリコンゴムが好適に適用できる。この場合には、ＩＳＯ７６１９に基づきＡ１０／ＳからＡ３０／Ｓの範囲内にある硬さのシリコンゴムが適用範囲となる。また、シリコンゴムの形状はサンションリフタと板状石英シャワープレートの位置決めを考えて円形筒状であることが好ましい。
【００３１】
本実施例によれば、可撓性の部材に低硬度シリコンゴムを使用することでサクションフィルタの性能に影響することなく保持できるから、端部を金具等で保持する構成とは異なり、被保持物の損傷を防止できる。
【００３２】
本発明に関係する手段は、半導体製造装置用の真空チャンバ内に使用する全面に多数孔の開いた板状石英シャワープレートを把持し持ち上げる際に使用でき、真空チャンバ内の清掃作業には作業効率よく作業することが可能となる。
【符号の説明】
【００３３】
１０１…シート状部材、1０２…凸状部
２０１…保持具、２０２…サクションリフタレバー、
２０３…サクションリフタ吸着部
３０１…シャワープレート、３０２…ガス供給孔。
【図１】
2015025497.tif 000003
【図２】
2015025497.tif 000004