(57)【要約】【課題】圧電体基板と不透明基板との間の位置合わせを容易にする。【解決手段】液体噴射ヘッド１は第一の圧電体基板２ａと不透明基板を備える。第一の圧電体基板２ａは、表面の基準方向Ｋに同じピッチＰで配列するｎ個（ｎは１以上の整数）の吐出溝３と、吐出溝３に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝４とを有する。不透明基板は、第一の圧電体基板２ａの表面に接合され、板厚方向に貫通し基準方向Ｋに配列する（ｊ+ｎ+ｋ）個（ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数）の貫通孔８を有する。ここで、ｎ個の貫通孔８のそれぞれはｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通し、ｎ個の貫通孔８からなる孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａと他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂは吐出溝３に連通しない。【選択図】図１
2015077737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面の基準方向に同じピッチＰで配列するｎ個（ｎは１以上の整数）の吐出溝と、前記吐出溝に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて前記吐出溝と交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝とを有する第一の圧電体基板と、
前記第一の圧電体基板の表面に接合され、板厚方向に貫通し基準方向に配列する（ｊ+ｎ+ｋ）個（ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数）の貫通孔を有し、ｎ個の前記貫通孔のそれぞれはｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通し、前記吐出溝に連通するｎ個の前記貫通孔からなる孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔と他端側に位置するｋ個の前記貫通孔は前記吐出溝に連通しない不透明基板と、を備える液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔のｊ番目に配置される前記貫通孔と、前記孔列の一番目に配置される前記貫通孔とは前記ピッチＰ又は前記半ピッチ（Ｐ／２）離間し、
前記孔列のｎ番目に配置される前記貫通孔と、前記孔列の他端側に位置するｋ個の前記貫通孔の一番目に配置される前記貫通孔とは前記ピッチＰ又は前記半ピッチ（Ｐ／２）離間する請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔と他端側に位置するｋ個の前記貫通孔は、基準方向Ｋに直交し前記不透明基板の基板面に平行な方向において、前記非吐出溝が前記不透明基板の側に向けて開口する開口領域の範囲と重なる位置に設置される請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記不透明基板は、ｎ個の前記貫通孔がｎ個のノズルからなるノズルプレートである請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
ｎ個のノズルを有するノズルプレートを更に備え、
前記ノズルプレートは、ｎ個の前記ノズルのそれぞれがｎ個の前記貫通孔のそれぞれに連通し、前記不透明基板の前記第一の圧電体基板とは反対側に接合される請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記吐出溝及び前記非吐出溝は前記第一の圧電体基板の上面に設置され、
前記不透明基板は、ｎ個の前記貫通孔に連通する液室を有し、前記上面に接合されるカバープレートである請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
ｎ個の前記吐出溝と（ｎ+１）個の前記非吐出溝は前記第一の圧電体基板の側面に開口する請求項４又は５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
表面の基準方向に同じ前記ピッチＰで配列するｎ個の吐出溝と、前記吐出溝に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて前記吐出溝と交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝とを有する第二の圧電体基板を更に含み、
前記第一の圧電体基板と前記第二の圧電体基板とは、各前記圧電体基板の側面を面一に、前記上面とは反対側の下面どうしを対向させて一体的に構成され、
前記貫通孔は、前記第一の圧電体基板の側面に開口する吐出溝と前記第二の圧電体基板の側面に開口する吐出溝とを連通させる請求項５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
第一の液室と前記第一の液室に連通するｎ個のスリットとを有する第一のカバープレートと、第二の液室と前記第二の液室に連通するｎ個のスリットとを有する第二のカバープレートとを更に備え、
前記第一のカバープレートは、ｎ個の前記スリットのそれぞれがｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通し前記第一の圧電体基板の上面に接合され、
前記第二のカバープレートは、ｎ個の前記スリットのそれぞれがｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通し前記第二の圧電体基板の上面に接合される請求項８に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
ｎ個の前記吐出溝と（ｎ+１）個の前記非吐出溝が前記第一の圧電体基板の上面と前記上面とは反対側の下面に開口する請求項４又は５に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１１】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、
前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、
前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備える液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体に液滴を噴射して記録する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙等にインク滴を吐出して文字や図形を記録する、或いは素子基板の表面に液体材料を吐出して機能性薄膜を形成するインクジェット方式の液体噴射ヘッドが利用されている。この方式は、インクや液体材料などの液体を液体タンクから供給管を介してチャンネルに導き、チャンネルに充填される液体に圧力を印加してチャンネルに連通するノズルから液体を吐出する。液体の吐出の際には、液体噴射ヘッドや被記録媒体を移動させて文字や図形を記録する、或いは所定形状の機能性薄膜を形成する。
【０００３】
特許文献１には、この種の液体噴射ヘッドが記載されている。図８は特許文献１に記載される液体噴射ヘッドの分解斜視図である。液体噴射ヘッド２０１は、圧電体基板２０２と、圧電体基板２０２の表面ＳＦに接合されるカバープレート２０３と、圧電体基板２０２の前方端ＦＥに接合されるノズルプレート２１６とを備える。圧電体基板２０２の表面ＳＦにはダミーチャンネル２１２と吐出チャンネル２１１とが交互に配列する。カバープレート２０３は、液体供給室２１４と吐出チャンネル２１１に連通するスリット２１５とを備え、スリット２１５は吐出チャンネル２１１にのみ連通しダミーチャンネル２１２には連通しない。ノズルプレート２１６はノズル２１７を備え、ノズル２１７は前方端ＦＥに開口する吐出チャンネル２１１に連通する。吐出チャンネル２１１とダミーチャンネル２１２は隔壁２０６により分離され、隔壁２０６の側面に駆動電極２０７が形成される。駆動電極２０７は圧電体基板２０２の後方端ＲＥ近傍の表面ＳＦに形成される電極端子と電気的に接続される。後方端ＲＥ近傍の表面ＳＦにはフレキシブル回路基板２０４が接続され、外部から駆動信号が供給される。液体供給室２１４に供給される液体は、スリット２１５を介して吐出チャンネル２１１に流入する。駆動電極２０７に駆動信号が与えられると隔壁２０６は変形し、吐出チャンネル２１１の容積が急激に変化してノズル２１７から液滴が吐出される。
【０００４】
特許文献２には、チャンネル内の液体が循環するスルーフロータイプの液体噴射ヘッドが記載される。スルーフロータイプは、液体中に気泡や異物が混入した場合でもチャンネル外に迅速に排出することができる。そのため、キャップ構造やサービスステーションを用いずにメンテナンスを実施することができ、メンテナンス時の液体の消費量が減少し、ランニングコストを抑えることができる。更に、吐出不良によって被記録媒体を無駄に消費するのを最小限に抑えることができる。
【０００５】
図９は特許文献２に示される液体噴射ヘッドの分解斜視図である。液体噴射ヘッドは、２枚の圧電素子を重ねて３つの流路９０、９２、９４を構成するＰＺＴウエハ８８、８９と、流路９０と流路９４に連通する開口が形成され、流路９２を閉塞するマスクプレート１００と、流路９２を跨いで流路９０と流路９４を連通させる開口部が形成される開口プレート６６と、開口プレート６６の開口部に連通するノズル１０２が形成されるノズルプレート６４とを備える。液体は、矢印５２で示すように流路９０から開口プレート６６の開口部を経て流路９４に流れる。つまり、液体は流路９２の周りを循環する。２つの壁９６、９８の流路９２側の側面にはライン電極が、流路９０、９４側の側面にはアース電極が設けられ、これらの電極により壁９６、９８を駆動することにより、ノズル１０２から小液滴が吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１０１４３７号公報
【特許文献２】特表２００３−５０５２８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年は、吐出チャンネル２１１やダミーチャンネル２１２の溝幅や溝間隔が１００μｍ〜２０μｍと狭くなってきている。そのため、例えば特許文献１の液体噴射ヘッドでは、ノズルプレート２１６のノズル２１７と前方端ＦＥに開口する吐出チャンネル２１１とを高精度に位置合わせする必要がある。特に、ノズルプレート２１６として不透明材料、例えば金属板等を使用する場合は、ノズルプレート２１６を前方端ＦＥに接合する際に、ノズルプレート２１６を通して吐出チャンネル２１１が視認できず、正確に位置合わせを行うのが難しい。例えばノズルプレート２１６と圧電体基板２０２とを外形を基準として位置合わせを行うと位置精度が低下する。また、ノズル２１７を通して前方端ＦＥに開口する吐出チャンネル２１１に合わせようとしても、ノズル２１７を通して視認する開口が吐出チャンネル２１１の開口であるかダミーチャンネル２１２の開口であるか区別ができない。
【０００８】
同様の課題は、圧電体基板２０２の表面ＳＦに形成される吐出チャンネル２１１にカバープレート２０３を設置する場合にも生ずることがある。カバープレート２０３は通常不透明なので、表面ＳＦに接合する際にカバープレート２０３を通して吐出チャンネル２１１やダミーチャンネル２１２を視認することができない。そこで、スリット２１５を通して見える溝に合わせ込む場合に、スリット２１５を通してみている溝が吐出チャンネル２１１であるかダミーチャンネル２１２であるかを区別することができない場合がある。
【０００９】
また、特許文献２に記載の液体噴射ヘッドでは、マスクプレート１００、開口プレート６６及びノズルプレート６４を使用して液体循環型とするので、構成要素が多く、各プレートの位置合わせが極めて煩雑となる。また、これらの構成要素を、外形を基準としてＰＺＴウエハ８８、８９に貼り合わようとすると、高精度の位置合わせが難しい。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドは、表面の基準方向に同じピッチＰで配列するｎ個（ｎは１以上の整数）の吐出溝と、前記吐出溝に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて前記吐出溝と交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝とを有する第一の圧電体基板と、前記第一の圧電体基板の表面に接合され、板厚方向に貫通し基準方向に配列する（ｊ+ｎ+ｋ）個（ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数）の貫通孔を有し、ｎ個の前記貫通孔のそれぞれはｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通し、前記吐出溝に連通するｎ個の前記貫通孔からなる孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔と他端側に位置するｋ個の前記貫通孔は前記吐出溝に連通しない不透明基板と、を備えることとした。
【００１１】
また、前記孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔のｊ番目に配置される前記貫通孔と、前記孔列の一番目に配置される前記貫通孔とは前記ピッチＰ又は前記半ピッチ（Ｐ／２）離間し、前記孔列のｎ番目に配置される前記貫通孔と、前記孔列の他端側に位置するｋ個の前記貫通孔の一番目に配置される前記貫通孔とは前記ピッチＰ又は前記半ピッチ（Ｐ／２）離間することとした。
【００１２】
また、前記孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔と他端側に位置するｋ個の前記貫通孔は、基準方向Ｋに直交し前記不透明基板の基板面に平行な方向において、前記非吐出溝が前記不透明基板の側に向けて開口する開口領域の範囲と重なる位置に設置されることとした。
【００１３】
また、前記不透明基板は、ｎ個の前記貫通孔がｎ個のノズルからなるノズルプレートであることとした。
【００１４】
また、ｎ個のノズルを有するノズルプレートを更に備え、前記ノズルプレートは、ｎ個の前記ノズルのそれぞれがｎ個の前記貫通孔のそれぞれに連通し、前記不透明基板の前記第一の圧電体基板とは反対側に接合されることとした。
【００１５】
また、前記吐出溝及び前記非吐出溝は前記第一の圧電体基板の上面に設置され、前記不透明基板は、ｎ個の前記貫通孔に連通する液室を有し、前記上面に接合されるカバープレートであることとした。
【００１６】
また、ｎ個の前記吐出溝と（ｎ+１）個の前記非吐出溝は前記第一の圧電体基板の側面に開口することとした。
【００１７】
また、表面の基準方向に同じ前記ピッチＰで配列するｎ個の吐出溝と、前記吐出溝に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて前記吐出溝と交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝とを有する第二の圧電体基板を更に含み、前記第一の圧電体基板と前記第二の圧電体基板とは、各前記圧電体基板の側面を面一に、前記上面とは反対側の下面どうしを対向させて一体的に構成され、前記貫通孔は、前記第一の圧電体基板の側面に開口する吐出溝と前記第二の圧電体基板の側面に開口する吐出溝とを連通させることとした。
【００１８】
また、第一の液室と前記第一の液室に連通するｎ個のスリットとを有する第一のカバープレートと、第二の液室と前記第二の液室に連通するｎ個のスリットとを有する第二のカバープレートとを更に備え、前記第一のカバープレートは、ｎ個の前記スリットのそれぞれがｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通して前記第一の圧電体基板の上面に接合され、前記第二のカバープレートは、ｎ個の前記スリットのそれぞれがｎ個の前記吐出溝のそれぞれに連通して前記第二の圧電体基板の上面に接合されることとした。
【００１９】
また、ｎ個の前記吐出溝と（ｎ+１）個の前記非吐出溝が前記第一の圧電体基板の上面と前記上面とは反対側の下面に開口することとした。
【００２０】
本発明の液体噴射装置は、上記の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、前記液体噴射ヘッドに液体を供給する液体供給管と、前記液体供給管に前記液体を供給する液体タンクと、を備えることとした。
【発明の効果】
【００２１】
本発明による液体噴射ヘッドは、表面の基準方向に同じピッチＰで配列するｎ個（ｎは１以上の整数）の吐出溝と、吐出溝に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて吐出溝と交互に配列する（ｎ+１）個の非吐出溝とを有する第一の圧電体基板と、第一の圧電体基板の表面に接合され、板厚方向に貫通し基準方向に配列する（ｊ+ｎ+ｋ）個（ｊ、ｋはそれぞれ１以上の整数）の貫通孔を有し、ｎ個の貫通孔のそれぞれはｎ個の吐出溝のそれぞれに連通し、吐出溝に連通するｎ個の貫通孔からなる孔列の一端側に位置するｊ個の前記貫通孔と他端側に位置するｋ個の貫通孔は吐出溝に連通しない不透明基板と、を備える。これにより、第一の圧電体基板のｎ個の吐出溝と不透明基板のｎ個の貫通孔との間の位置を、一端側のｊ個の貫通孔と他端側のｋ個の貫通孔を通して見る第一の圧電体基板の表面状態により決定することができるので、２つの基板の位置合わせが極めて容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。
【図２】本発明の第一実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。
【図３】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドの模式的な部分分解斜視図である。
【図４】本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッドをカバープレート側から見る平面模式図である。
【図５】本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。
【図６】本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッドを説明するための図である。
【図７】本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置の模式的な斜視図である。
【図８】従来公知の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図９】従来公知の他の液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第一実施形態）
図１は、本発明の第一実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図１（ａ）は液体噴射ヘッド１の模式的な部分分解斜視図であり、図１（ｂ）〜（ｄ）はそれぞれ液体噴射ヘッド１をノズルプレート７の側から見る正面模式図である。本実施形態は、第一の圧電体基板２ａと不透明なノズルプレート７との間の位置合わせが容易な構造に関するものである。
【００２４】
図１（ａ）に示すように、液体噴射ヘッド１は、第一の圧電体基板２ａと、第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰに接合される不透明基板であるノズルプレート７と、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合されるカバープレート６とを備える。第一の圧電体基板２ａは、上面ＵＰの基準方向Ｋに同じピッチＰで配列するｎ個（ｎは１以上の整数、以下同じ。）の吐出溝３と、吐出溝３に対して半ピッチ（Ｐ/２）ずれて吐出溝３と交互に配列する（ｎ＋１）個の非吐出溝４とを有する。従って、基準方向Ｋに配列する溝列の両端には非吐出溝４が配置される。
【００２５】
ノズルプレート７は、第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰに接合され、板厚方向に貫通し基準方向Ｋに配列する（ｊ＋ｎ＋ｋ）個（ｊ、ｋは１以上の整数、以下同じ。）の貫通孔８を有し、ｎ個の貫通孔８のそれぞれはｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通し、吐出溝３に連通するｎ個の貫通孔８からなる孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８と他端側に位置するｋ個の貫通孔８は吐出溝３に連通しない。カバープレート６は、吐出溝３及び非吐出溝４の一部または全部を覆うように第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合される。ここで、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰ、側面ＳＰ、及び、上面ＵＰとは反対側の下面ＬＰは第一の圧電体基板２ａの表面に含まれる。ｎ個の吐出溝３と（ｎ＋１）個の非吐出溝４は第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰと側面ＳＰに開口する。
【００２６】
ノズルプレート７は不透明な材料から形成される不透明基板であり、孔列Ｒを構成するｎ個の貫通孔８（以下、貫通孔８1〜８nと記す。）は液滴を吐出するためのｎ個のノズル１１（以下、ノズル１１1〜１１nと記す。）として機能する。なお、ノズルプレート７のｎ個のノズル１１1〜１１nと、ｎ個のノズル１１1〜１１nの列、つまり孔列Ｒの一端側のｊ個の貫通孔８（以下、貫通孔８ａと記す。）と他端側のｋ個の貫通孔８（以下、貫通孔８ｂと記す。）は一列にピッチＰで配列する。本実施形態を表す図１ではｊ＝ｋ＝１である。そこで、孔列Ｒの一端側の貫通孔８ａを貫通孔８ａ1、他端側の貫通孔８ｂを貫通孔８ｂ1と記す。また、ｎ個のノズル１１1〜１１nは一端側から他端側に１１1、１１2、・・・１１n-1、１１nのように配列する。
【００２７】
従って、孔列Ｒの一端側に位置する１個の貫通孔８ａ1と、孔列Ｒの一番目に配置されるノズル１１1（貫通孔８1）とはピッチＰ離間する。同様に、孔列Ｒのｎ番目に配置されるノズル１１n（貫通孔８n）と孔列Ｒの他端側に位置する１個の貫通孔８ｂ1とはピッチＰ離間する。そして、貫通孔８ａ1と貫通孔８ｂ1は、基準方向Ｋに直交しノズルプレート７の基板面に平行な方向Ｈにおいて、非吐出溝４がノズルプレート７の側に向けて開口する開口領域の範囲Ｌと重なる位置に設置される。これにより、第一の圧電体基板２ａに対してノズルプレート７が基準方向Ｋに半ピッチ(Ｐ/２)以上ずれたとき、貫通孔８ａ1又は貫通孔８ｂ1を通して非吐出溝４や吐出溝３が視認可能となる。
【００２８】
第一の圧電体基板２ａはＰＺＴセラミックスやその他の圧電体材料を使用することができる。ノズルプレート７は、例えば金属板や不透明プラスチック板が使用される。なお、不透明基板としての“不透明”とは、基板を圧電体基板に接合する際に圧電体基板の表面が観察できない基板をいう。従って、光を透過しない基板の他に、透光性ではあるが光散乱が大きく、接合する圧電体基板の表面が観察できない基板や、透光性の基板であるが表面に不透明膜が形成され、接合する基板が観察できない基板が含まれる。図１において、吐出溝３は側面ＳＰから対向する側面の手前まで形成され、非吐出溝４は側面ＳＰから対向する側面までストレートに形成される。吐出溝３及び非吐出溝４の側壁には駆動電極１２が形成され、上面ＵＰに形成される電極端子１３に接続される。この電極端子１３に駆動信号が印加されると吐出溝３の両側壁が変形し、吐出溝３に充填される液体が貫通孔８、つまりノズル１１から吐出される。なお、吐出溝３や非吐出溝４の形状、駆動電極１２や電極端子１３の位置、形状は図１に示すものに限定されない。
【００２９】
図１（ｂ）は第一の圧電体基板２ａとノズルプレート７とが正しく位置合わせされるときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びノズル１１1〜１１nと吐出溝３及び非吐出溝４の位置関係を表す。孔列Ｒの両端側に位置する貫通孔８ａ1、８ｂ1は吐出溝３及び非吐出溝４には連通せず、これらの貫通孔８ａ1、８ｂ1を通して側面ＳＰが見える。孔列Ｒのｎ個のノズル１１1〜１１n（貫通孔８1〜８n）はｎ個の吐出溝３に連通し、ノズル１１1、・・・１１nを通して吐出溝３が見える。
【００３０】
図１（ｃ）は、第一の圧電体基板２ａに対してノズルプレート７を右方に半ピッチ（Ｐ/２）ずらしたときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びノズル１１1〜１１nの位置を表す。貫通孔８ａ1とｎ個のノズル１１1〜１１nからは非吐出溝４が見え、貫通孔８ｂ1からは第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰが見える。なお、貫通孔８を通して見える溝が吐出溝３か非吐出溝４かは区別ができない。図１（ｄ）は、第一の圧電体基板２ａに対してノズルプレート７を左方に半ピッチ（Ｐ／２）ずらしたときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びノズル１１1〜１１nの位置を表す。貫通孔８ｂ1とｎ個のノズル１１1〜１１nからは非吐出溝４が見え、貫通孔８ａ1からは第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰが見える。
【００３１】
従って、図１（ｂ）に示すように、孔列Ｒの一端側にｊ個の貫通孔８ａ1〜８ａjを設置し、他端側にｋ個の貫通孔８ｂ1〜８ｂkを設置した場合には、これらのｊ個とｋ個の貫通孔８ａ、８ｂを通して第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰが見え、孔列Ｒのｎ個のノズル１１1〜１１nを通して溝が見えるとき、正しく位置合わせがなされていることを示す。このように、きわめて簡便に、かつ、高精度で位置合わせを行うことができる。
【００３２】
なお、一般的には、孔列Ｒの一端側のｊ個の貫通孔８ａ1〜８ａj及び他端側のｋ個の貫通孔８ｂ1〜８ｂkを通して見える側面ＳＰの見え方に基づいて位置合わせを行う。この場合に、貫通孔８ａ1〜８ａj、８ｂ1〜８ｂkは、基準方向Ｋに直交し不透明基板（ノズルプレート７）の基板面に平行な方向Ｈにおいて、非吐出溝４がノズルプレート７の側に向けて開口する開口領域の範囲Ｌと重なる位置に設置する。そして、孔列Ｒを成す全ての貫通孔８1〜８nを通して溝が見える状態で、孔列Ｒの両端側に位置するｊ個とｋ個の貫通孔８ａ1〜８ａj、８ｂ1〜８ｂkを通して見える側面ＳＰの状態が、予め定められるパターンと一致するときに正確な位置合わが行われる。本実施形態では、孔列Ｒのすべての貫通孔８1〜８nから吐出溝３が見える状態で、２つの貫通孔８ａ1、８ｂ1を通して側面ＳＰが見えるときに正しく位置合わせが行われている。
【００３３】
（変形例）
図２は、本発明の第一実施形態の変形例に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図２（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ液体噴射ヘッド１をノズルプレート７（不透明基板）の側から見る正面模式図である。第一実施形態と異なる点は、孔列Ｒの両端のノズル１１1、１１nと孔列Ｒの両端側に位置する貫通孔８ａ1、８ｂ1との間が半ピッチ（Ｐ／２）離間する点であり、その他の構成は第一実施形態と同じである。
【００３４】
図２（ａ）は第一の圧電体基板２ａとノズルプレート７が正しく位置合わせされるときのノズル１１1〜１１n及び貫通孔８ａ1、８ｂ1と吐出溝３及び非吐出溝４の位置関係を表す。孔列Ｒの両端側の貫通孔８ａ1、８ｂ1は吐出溝３には連通せず、これらの貫通孔８ａ1、８ｂ1を通して非吐出溝４が見える。ただし、貫通孔８ａ1、８ｂ1を通して見える溝が吐出溝３か非吐出溝４かは区別ができない。図２（ｂ）は、第一の圧電体基板２ａに対してノズルプレート７を右方に半ピッチ（Ｐ／２）ずらしたときのノズル１１1〜１１nと貫通孔８ａ1、８ｂ1の位置を表す。貫通孔８ａ1からは吐出溝３が見え、貫通孔８ｂ1からは側面ＳＰが見える。ｎ個のノズル１１1〜１１nからは非吐出溝４が見える。
【００３５】
図２（ｃ）は、第一の圧電体基板２ａに対してノズルプレート７を左方に半ピッチ（Ｐ／２）ずらしたときのノズル１１1〜１１nと貫通孔８ａ1、８ｂ1の位置関係を表す。貫通孔８ａ1からは側面ＳＰが見え、貫通孔８ｂ1からは吐出溝３が見え、ｎ個のノズル１１1〜１１nからは非吐出溝４が見える。従って、吐出溝３及び非吐出溝４とノズルプレート７とが正しく位置合わせされる状態はいずれの貫通孔８ａ1、８ｂ1からも側面ＳＰが見えない図２（ａ）の状態となる。
【００３６】
より一般的には、孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａ1〜８ａjのｊ番目に配置される貫通孔８ａjと、孔列Ｒの一番目に配置されるノズル１１1（貫通孔８1）とはピッチＰ又は半ピッチ（ｐ／２）離間し、孔列Ｒのｎ番目に配置されるノズル１１n（貫通孔８n）と、孔列Ｒの他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂ1〜８ｂkの一番目に配置される貫通孔８ｂ1とはピッチＰ又は半ピッチ(Ｐ/２)離間するように構成すればよい。
【００３７】
（第二実施形態）
図３は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１の模式的な部分分解斜視図である。図４は、本発明の第二実施形態に係る液体噴射ヘッド１をカバープレート６側から見る平面模式図である。本実施形態は、第一の圧電体基板２ａとカバープレート６との間の位置合わせが容易になる構造に関するものである。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００３８】
図３に示すように、液体噴射ヘッド１は、第一の圧電体基板２ａと、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合される不透明基板であるカバープレート６と、第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰに接合されるノズルプレート７とを備える。第一の圧電体基板２ａは、上面ＵＰの基準方向Ｋに同じピッチＰで配列するｎ個の吐出溝３と、吐出溝３に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて吐出溝３と交互に配列する（ｎ＋１）個の非吐出溝４とを有する。カバープレート６は、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合され、板厚方向に貫通し基準方向Ｋに配列する（ｊ＋ｎ＋ｋ）個の貫通孔８（本実施形態ではスリット１０）を有する。ｎ個のスリット１０1〜１０n（貫通孔８1〜８n）のそれぞれはｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通し、吐出溝３に連通するｎ個の貫通孔８からなる孔列Ｒの一方側に位置するｊ個の貫通孔８と他端側に位置するｋ個の貫通孔８は第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰにより塞がれる。ノズルプレート７は、ｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通するｎ個のノズル１１が形成され、第一の圧電体基板２ａの側面ＳＰに接合される。
【００３９】
ここで、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰは第一の圧電体基板２ａの外面である表面に含まれる。カバープレート６は不透明な材料から形成される不透明基板であり、例えばＰＺＴセラミックス、不透明プラスチック等から形成される。カバープレート６は、ｎ個のスリット１０1〜１０n（貫通孔８1〜８n）に連通する液室９を有する。ｎ個のスリット１０1〜１０nは液室９の底面から第一の圧電体基板２ａの側に貫通する。ｎ個のスリット１０1〜１０nのそれぞれはｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通し、非吐出溝４には連通しない。ノズルプレート７は、ポリイミドフィルム等の透明プラスチックフィルムや不透明な金属板等を使用することができる。
【００４０】
図４（ａ）は第一の圧電体基板２ａとカバープレート６が正しく位置合わせされたときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びスリット１０1〜１０nと吐出溝３及び非吐出溝４の位置関係を表す。孔列Ｒの両端側に位置する貫通孔８ａ1、８ｂ1は吐出溝３及び非吐出溝４には連通せず、これらの貫通孔８ａ1、８ｂ1を通して上面ＵＰが見える。ｎ個のスリット１０1〜１０n（ｎ個の貫通孔８1〜８n）は孔列Ｒを構成する。ｎ個のスリット１０1〜１０nはｎ個の吐出溝３に連通し、各スリット１０1〜１０nを通して吐出溝３が見える。
【００４１】
図４（ｂ）は、第一の圧電体基板２ａに対してカバープレート６を右方に半ピッチ（Ｐ/２）ずらしたときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びスリット１０1〜１０nの位置を表す。貫通孔８ａ1とｎ個のスリット１０1〜１０nからは非吐出溝４が見え、貫通孔８ｂ1からは第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰが見える。なお、貫通孔８を通して見える溝が吐出溝３か非吐出溝４かは区別ができない。図４（ｃ）は、第一の圧電体基板２ａに対してカバープレート６を左方に半ピッチ（Ｐ／２）ずらしたときの貫通孔８ａ1、８ｂ1及びスリット１０1〜１０nの位置を表す。貫通孔８ｂ1とｎ個のスリット１０1〜１０nからは非吐出溝４が見え、貫通孔８ａ1からは第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰが見える。
【００４２】
図４（ａ）に示すように、孔列Ｒの一端側にｊ個の貫通孔８ａ1〜８ａjを設置し、他端側にｋ個の貫通孔８ｂ1〜８ｂkを設置した場合には、これらｊ個とｋ個の貫通孔８ａ、８ｂに第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰが見え、孔列Ｒのｎ個のスリット１０1〜１０nを通して吐出溝３が見えるとき、正しく位置合わせ行われている。このため、きわめて簡便に、かつ、高精度で位置合わせを行うことができる。
【００４３】
なお、非吐出溝４は側面ＳＰから対向する側面にかけてストレートに形成される。そのため、貫通孔８ａ1と貫通孔８ｂ1は、基準方向Ｋに直交しカバープレート６（不透明基板）の基板面に平行な方向Ｈにおいて、非吐出溝４がカバープレート６の側に向けて開口する開口領域と重なる位置に設置されることは明らかである。また、上記第一実施形態の変形例と同様に、貫通孔８ａ1と貫通孔８ｂ1を孔列Ｒの両端のスリット１０1、１０nから半ピッチ(Ｐ/２)ずらしてもよい。
【００４４】
（第三実施形態）
図５は、本発明の第三実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図５（ａ）は液体噴射ヘッド１の吐出溝３の溝方向に沿う断面模式図であり、図５（ｂ）は、ノズルプレート７を除去してノズルプレート７側から見る正面模式図であり、図５（ｃ）は、連通板５の平面模式図である。本実施形態は、２枚の圧電体基板の下面どうしを接合し、ノズルプレート近傍において一方の圧電体基板の吐出溝と他方の圧電体基板の吐出溝とが連通し、吐出溝を液体が循環可能に構成されるスルーフロータイプの液体噴射ヘッド１である。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００４５】
図５（ａ）に示すように、噴射ヘッド１は、下面ＬＰどうしが接合される第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂと、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの各上面ＵＰに接合される第一及び第二のカバープレート６ａ、６ｂと、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの側面ＳＰに接合される不透明基板である連通板５と、連通板５の圧電体基板の側とは反対側に接合されるノズルプレート７とを備える。以下、具体的に説明する。
【００４６】
第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂは、それぞれ上面ＵＰの基準方向Ｋに同じピッチＰで配列するｎ個の吐出溝３と、吐出溝３に対して半ピッチ（Ｐ／２）ずれて吐出溝３と交互に配列する（ｎ＋１）個の非吐出溝４とを有する。第一の圧電体基板２ａと第二の圧電体基板２ｂとは、各圧電体基板の側面ＳＰを面一に、上面ＵＰとは反対側の下面ＬＰどうしを対向させて一体的に構成される。なお、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂは第一又は第二実施形態の第一の圧電体基板２ａと同じである。
【００４７】
図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、連通板５は、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの側面ＳＰに接合され、板厚方向に貫通し、基準方向Ｋに配列する（ｊ＋ｎ＋ｋ）個の貫通孔８を有する。ｎ個の貫通孔８1〜８nからなる孔列Ｒのそれぞれは、第一の圧電体基板２ａのｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通すると共に、第二の圧電体基板２ｂのｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通する。つまり、ｎ個の貫通孔８1〜８nの基準方向Ｋにおける並びの１番目の貫通孔８1は、第一の圧電体基板２ａの基準方向Ｋの並びの１番目の吐出溝３と、第二の圧電体基板２ｂの基準方向Ｋの並びの１番目の吐出溝３とを連通させる。以下同様に、ｎ番目の貫通孔８nは、第一の圧電体基板２ａのｎ番目の吐出溝３と第二の圧電体基板２ｂのｎ番目の吐出溝３とを連通させる。そのため、貫通孔８を介して第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの吐出溝３が見える。更に、孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａ1〜８ａjと他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂ1〜８ｂkは、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの側面ＳＰにより塞がれ、吐出溝３には連通しない。つまり、貫通孔８ａ1〜８ａj、８ｂ1〜８ｂkを通して側面ＳＰが見える。なお、本実施形態では連通板５の（ｊ＋ｎ＋ｋ）個の貫通孔８を吐出溝３のピッチＰと同じピッチＰで配置しｊ＝ｋ＝２としている。
【００４８】
第一のカバープレート６ａは、第一の液室９ａと第一の液室９ａに連通するｎ個のスリット１０ａとを有する。第二のカバープレート６ｂは、第二の液室９ｂと第二の液室９ｂに連通するｎ個のスリット１０ｂを有する。第一のカバープレート６ａは、ｎ個のスリット１０ａのそれぞれがｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通して第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合される。第二のカバープレート６ｂは、ｎ個のスリット１０ｂのそれぞれがｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通して第二の圧電体基板２ｂの上面ＵＰに接合される。ノズルプレート７は、ｎ個のノズル１１を有し、ｎ個のノズル１１のそれぞれがｎ個の貫通孔８1〜８nのそれぞれに連通し、連通板５の第一及び第二圧電体基板の２ａ、２ｂの側とは反対側に接合される。
【００４９】
第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂは、既に説明したように、ＰＺＴセラミックス、その他の圧電体基板を使用することができる。第一及び第二のカバープレート６ａ、６ｂは、ＰＺＴセラミックス、その他のセラミックス、金属板、プラスチック板等を使用することができる。連通板５は、金属板、不透明なセラミックス、不透明がプラスチック板、その他の不透明な板を使用することができる。ノズルプレート７は、ポリイミド膜、その他プラスチックフィルム、金属板等を使用することができる。
【００５０】
図５（ｃ）は、第一及び第二圧電体基板２ａ、２ｂと連通板５とが正しく位置合わせされたときの貫通孔８ａ、８ｂ及び貫通孔８1〜８nからなる孔列Ｒと吐出溝３及び非吐出溝４の位置関係を表す。孔列Ｒの一端側の２つの貫通孔８ａ1、８ａ2を通して側面ＳＰが見え、他端側の２つの貫通孔８ｂ1、８ｂ2を通して側面ＳＰが見える。つまり、孔列Ｒの両端側の４つの貫通孔８ａ1、８ａ2、８ｂ1、８ｂ2はいずれの吐出溝３にも連通しない。これに対して、連通板５が右方に半ピッチ（Ｐ／２）ずれると、一端側の１つの貫通孔８ａ1を通して側面ＳＰが見えるが、他端側は２つの貫通孔８ｂ1、８ｂ2を通して側面ＳＰが見え、その他の貫通孔８ａ2、８1〜８nからはすべて非吐出溝４の開口が見える。同様に、連通板５が左方に半ピッチ（Ｐ／２）ずれると、他端側の１つの貫通孔８ｂ2を通して側面ＳＰが見えるが、一端側は２つの貫通孔８ａ1、８ａ2を通して側面ＳＰが見え、その他の貫通孔８ｂ1、８1〜８nからはすべて非吐出溝４の開口が見える。第一の圧電体基板２ａに対して連通板５が左方又は右方に半ピッチ(Ｐ/２)以上ずれると、一端側に位置する貫通孔８ａ1、８ａ2を通して見る側面ＳＰと他端側に位置する貫通孔８ｂ1、８ｂ2を通してみる側面ＳＰとは異なり、正しく位置合わせが行われていないことが一目瞭然となる。このように、両端側の貫通孔８を通して見える状態から、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂと連通板５とをきわめて簡便にかつ高精度に位置合わせを行うことができる。
【００５１】
液体噴射ヘッド１は次にように動作する。まず、第一の液室９ａに液体が供給される。液体は、矢印で示すように、ｎ個のスリット１０ａのそれぞれを介して第一の圧電体基板２ａのｎ個の吐出溝３に流入する。各吐出溝３の液体は、連通板５の各貫通孔８1〜８nを介して第二の圧電体基板２ｂのｎ個の吐出溝３に流入する。液体は、更に、第二のカバープレート６ｂのｎ個のスリット１０ｂを介して第二の液室９ｂに流出し、外部に排出される。次に、第一の圧電体基板２ａの吐出溝３と、この吐出溝３を挟む２つの非吐出溝４との間の２つの側壁に駆動信号を印加するとともに、第一の圧電体基板２ａの吐出溝３に連通する第二の圧電体基板２ｂの吐出溝３と、第二の圧電体基板２ｂの吐出溝３を挟む２つの非吐出溝４との間の２つの側壁に駆動信号を印加して駆動する。つまり、４つの側壁を同時に駆動して第一の圧電体基板２ａの吐出溝３と第二の圧電体基板２ｂの吐出溝３に同時に圧力波を生成し、ノズル１１から液滴を吐出する。
【００５２】
なお、一般的には、ｎ個の貫通孔８の列からなる孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａのｊ番目に配置される貫通孔８ａjと、孔列Ｒの一番目に配置される貫通孔８1とをピッチＰ又は半ピッチ(Ｐ/２)離間させ、ｎ番目に配置される貫通孔８nと、孔列Ｒの他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂの一番目に配置される貫通孔８ｂ1とをピッチＰ又は半ピッチ(Ｐ/２)離間させる。また、孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８と他端側に位置するｋ個の貫通孔８は、基準方向Ｋに直交し連通板５の基板面に平行な方向Ｈにおいて、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂの非吐出溝４が連通板５の側に向けて開口する開口領域の範囲Ｌと重なる位置に設置する。これにより、第一及び第二の圧電体基板２ａ、２ｂと連通板５との間の位置合わせを、きわめて簡便で、かつ、高精度に行うことができる。
【００５３】
（第四実施形態）
図６は、本発明の第四実施形態に係る液体噴射ヘッド１を説明するための図である。図６（ａ）は液体噴射ヘッド１の吐出溝３の溝方向の断面模式図であり、図６（ｂ）は、ノズルプレート７を除去して第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰとは反対側の下面ＬＰに接合した補強板１５の側を見る平面模式図である。本実施形態は、吐出溝３と非吐出溝４が第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰから下面ＬＰに貫通し、ノズルプレート７が下面ＬＰの側に設置される。同一の部分又は同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００５４】
液体噴射ヘッド１は、第一の圧電体基板２ａと、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰに接合されるカバープレート６と、第一の圧電体基板２ａの上面ＵＰとは反対側の下面ＬＰに接合され、不透明基板である補強板１５と、補強板１５の第一の圧電体基板２ａとは反対側に設置されるノズルプレート７とを備える。第一の圧電体基板２ａは、上面ＵＰの基準方向Ｋに同じピッチＰで配列するｎ個の吐出溝３と、吐出溝３に対して半ピッチ(Ｐ/２)ずれて吐出溝３と交互に配列する（ｎ＋１）個の非吐出溝４を有する。吐出溝３及び非吐出溝４は、第一の圧電体基板２ａの板厚方向に貫通し、上面ＵＰとは反対側の下面ＬＰに開口する。補強板１５は、第一の圧電体基板２ａの下面ＬＰに接合され、板厚方向に貫通し基準方向Ｋに配列する（ｊ＋ｎ＋ｋ）個の貫通孔８を有し、ｎ個の貫通孔８1〜８nのそれぞれはｎ個の吐出溝３のそれぞれに連通し、ｎ個の貫通孔８1〜８nからなる孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａと他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂはいずれの吐出溝３にも連通しない。なお、本実施形態では補強板１５の（ｊ＋ｎ＋ｋ）個の貫通孔８を吐出溝３のピッチＰと同じピッチＰで配置しｊ＝ｋ＝２としている。
【００５５】
カバープレート６は、第一の液室９ａと、第一の液室９ａとは分離される第二の液室９ｂと、第一の液室９ａとｎ個の吐出溝３のそれぞれとを連通するｎ個のスリット１０ａと、第二の液室９ｂとｎ個の吐出溝３のそれぞれとを連通するｎ個のスリット１０ｂと、を有する。スリット１０ａは吐出溝３の一方側において連通し、１０ｂは吐出溝３の他方側において連通する。ノズルプレート７はｎ個のノズル１１を有し、ｎ個のノズル１１のそれぞれがｎ個の貫通孔８1〜８nのそれぞれに連通する。
【００５６】
ここで、第一の圧電体基板２ａの下面ＬＰは第一の圧電体基板２ａの表面に含まれる。第一の圧電体基板２ａ、補強板１５、カバープレート６及びノズルプレート７の材質等については他の実施形態において説明したものと同じである。本実施形態において、補強板１５はノズルプレート７を補強する機能を有する。下面ＬＰに開口する吐出溝３の径が大きく、下面ＬＰに薄いノズルプレート７を直接貼り付けると、吐出溝３の液体に誘起させる圧力波がノズルプレート７により減衰する。そこで、下面ＬＰにノズルプレート７よりも高硬度の補強板１５を貼り付けて圧力波の減衰を抑制する。
【００５７】
図６（ｂ）は、第一の圧電体基板２ａと補強板１５が正しく位置合わせされるときの貫通孔８と吐出溝３及び非吐出溝４の位置関係を表す。孔列Ｒの一端側の２つの貫通孔８ａ1、８ａ2を通して下面ＬＰが見え、他端側の２つの貫通孔８ｂ1、８ｂ2を通して下面ＬＰが見える。つまり、孔列Ｒの両端側の４つの貫通孔８ａ1、８ａ2、８ｂ1、８ｂ2はいずれの吐出溝３にも連通しない。第三実施形態の場合と同様に、第一の圧電体基板２ａに対して補強板１５が半ピッチ(Ｐ/２)以上ずれると、一端側に位置する貫通孔８ａ1、８ａ2を通して見る下面ＬＰと他端側に位置する貫通孔８ｂ1、８ｂ2を通してみる下面ＬＰとが異なり、正しく位置合わせが行われていないことが一目瞭然となる。このように、両端側の貫通孔８ａ、８ｂを通して見える状態から、第一の圧電体基板２ａと補強板１５との位置合わせを、極めて簡便で、かつ、高精度に行うことができる。
【００５８】
液体噴射ヘッド１は次のように動作する。第一の液室９ａに供給される液体は、矢印で示すように、スリット１０ａを介して一方の端部から吐出溝３に流入し、吐出溝３の他方の端部からスリット１０ｂを介して第二の液室９ｂに流出する。そして、吐出溝３と吐出溝３を挟む２つの非吐出溝４との間の２つの側壁に駆動信号を印加して２つの側壁を同時に駆動し、吐出溝３に充填される液体に圧力波を発生させて、貫通孔８に連通するノズル１１から液滴を吐出する。
【００５９】
なお、本実施形態においても一般的には、ｎ個の貫通孔８の列からなる孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８ａのｊ番目に配置される貫通孔８ａjと、孔列Ｒの一番目に配置される貫通孔８1とをピッチＰ又は半ピッチ(Ｐ/２)離間させ、ｎ番目に配置される貫通孔８nと、孔列Ｒの他端側に位置するｋ個の貫通孔８ｂの一番目に配置される貫通孔８ｂ1とをピッチＰ又は半ピッチ(Ｐ/２)離間させる。また、孔列Ｒの一端側に位置するｊ個の貫通孔８と他端側に位置するｋ個の貫通孔８は、基準方向Ｋに直交し補強板１５の基板面に平行な方向Ｈにおいて、第一の圧電体基板２ａの非吐出溝４が補強板１５の側に向けて開口する開口領域の範囲Ｌと重なる位置に設置する。これにより、第一の圧電体基板２ａと補強板１５との間に位置合わせを、きわめて簡便で、かつ、高精度に行うことができる。
【００６０】
（第五実施形態）
図７は本発明の第五実施形態に係る液体噴射装置３０の模式的な斜視図である。液体噴射装置３０は、液体噴射ヘッド１、１’を往復移動させる移動機構４０と、液体噴射ヘッド１、１’に液体を供給し、液体噴射ヘッド１、１’から液体を排出する流路部３５、３５’と、流路部３５、３５’に連通する液体ポンプ３３、３３’及び液体タンク３４、３４’とを備えている。各液体噴射ヘッド１、１’は、圧電体基板２と、カバープレート６、ノズルプレート７とを備える。液体ポンプ３３、３３’として、流路部３５、３５’に液体を供給する供給ポンプとそれ以外に液体を排出する排出ポンプのいずれかもしくは両方を設置し、液体を循環させる。また、図示しない圧力センサーや流量センサーを設置し、液体の流量を制御することもある。液体噴射ヘッド１、１’は、第一又は第二の圧電体基板２ａ、２ｂの上面ＵＰに吐出溝３と非吐出溝４が交互に配列し、第一又は第二の圧電体基板２ａ、２ｂの表面に不透明基板が接合される。液体噴射ヘッド１、１’は、既に説明した第一〜第四実施形態のいずれかを使用する。
【００６１】
液体噴射装置３０は、紙等の被記録媒体４４を主走査方向に搬送する一対の搬送手段４１、４２と、被記録媒体４４に液体を吐出する液体噴射ヘッド１、１’と、液体噴射ヘッド１、１’を載置するキャリッジユニット４３と、液体タンク３４、３４’に貯留した液体を流路部３５、３５’に押圧して供給する液体ポンプ３３、３３’と、液体噴射ヘッド１、１’を主走査方向と直交する副走査方向に走査する移動機構４０とを備えている。図示しない制御部は液体噴射ヘッド１、１’、移動機構４０、搬送手段４１、４２を制御して駆動する。
【００６２】
一対の搬送手段４１、４２は副走査方向に延び、ローラ面を接触しながら回転するグリッドローラとピンチローラを備えている。図示しないモータによりグリッドローラとピンチローラを軸周りに移転させてローラ間に挟み込んだ被記録媒体４４を主走査方向に搬送する。移動機構４０は、副走査方向に延びた一対のガイドレール３６、３７と、一対のガイドレール３６、３７に沿って摺動可能なキャリッジユニット４３と、キャリッジユニット４３を連結し副走査方向に移動させる無端ベルト３８と、この無端ベルト３８を図示しないプーリを介して周回させるモータ３９を備えている。
【００６３】
キャリッジユニット４３は、複数の液体噴射ヘッド１、１’を載置し、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類の液滴を吐出する。液体タンク３４、３４’は対応する色の液体を貯留し、液体ポンプ３３、３３’、流路部３５、３５’を介して液体噴射ヘッド１、１’に供給する。各液体噴射ヘッド１、１’は駆動信号に応じて各色の液滴を吐出する。液体噴射ヘッド１、１’から液体を吐出させるタイミング、キャリッジユニット４３を駆動するモータ３９の回転及び被記録媒体４４の搬送速度を制御することにより、被記録媒体４４上に任意のパターンを記録することできる。
【００６４】
なお、本実施形態は、移動機構４０がキャリッジユニット４３と被記録媒体４４を移動させて記録する液体噴射装置３０であるが、これに代えて、キャリッジユニットを固定し、移動機構が被記録媒体を２次元的に移動させて記録する液体噴射装置であってもよい。つまり、移動機構は液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させるものであればよい。
【符号の説明】
【００６５】
１  液体噴射ヘッド
２  圧電体基板、２ａ  第一の圧電体基板、２ｂ  第二の圧電体基板
３  吐出溝
４  非吐出溝
５  連通板
６  カバープレート、６ａ  第一のカバープレート、６ｂ  第二のカバープレート
７  ノズルプレート
８、８ａ、８ｂ、８1〜８n  貫通孔
９  液室、９ａ  第一の液室、９ｂ  第二の液室
１０、１０1〜１０n  スリット
１１、１１1〜１１n  ノズル
１２  駆動電極
１３  電極端子
１５  補強板
Ｋ  基準方向、Ｈ  方向、Ｌ  範囲、Ｐ  ピッチ、Ｐ／２  半ピッチ、Ｒ  孔列
ＵＰ  上面、ＳＰ  側面、ＬＰ  下面
【図１】
2015077737.tif 000003
【図２】
2015077737.tif 000004
【図３】
2015077737.tif 000005
【図４】
2015077737.tif 000006
【図５】
2015077737.tif 000007
【図６】
2015077737.tif 000008
【図７】
2015077737.tif 000009
【図８】
2015077737.tif 000010
【図９】
2015077737.tif 000011