(57)【要約】【課題】凹凸を有する被洗浄面であっても筐体の向きを変えることなく洗浄むらを抑制することができる乾式クリーニング筐体を提供する。【解決手段】筐体４には２つのインレット２４Ａ、２４Ｂが設けられているとともに、これらを個別に開閉可能なシャッター４６Ａ、４６Ｂが設けられている。インレット２４Ａを開放してインレット２４Ｂを閉じると、反時計回りの旋回気流３０が発生して洗浄媒体５が飛翔し、開口部１８で洗浄対象物２０に衝突して汚れを除去する。インレット２４Ａを閉じてインレット２４Ｂを開放すると、旋回気流３０の向きが逆となる。旋回気流３０の向きを変えることにより、筐体４の向きを変えることなく開口部１８における旋回気流の上流側と下流側での衝突回数の偏りに起因する洗浄むらを解消することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄媒体が収容される内部空間と、
前記内部空間に連通し、洗浄対象物の被洗浄面に当接される開口部と、
前記開口部とは別に設けられ、外部の空気を前記内部空間へ導入するための通気路と、
前記内部空間に連通し、吸気手段に接続される吸気口と、
を備え、
前記内部空間は、前記開口部が前記被洗浄面に当接された状態で前記吸気手段により吸気したとき、前記通気路から流入した空気が旋回気流となる形状を有し、
前記開口部は、前記旋回気流により飛翔する洗浄媒体が前記被洗浄面に繰り返し衝突するように配置され、
向きが異なる旋回気流を発生させることが可能な構成を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項２】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路が複数箇所に備えられているとともに、各通気路を個別に開閉可能な開閉手段を備え、各通気路を交互に開閉することにより前記旋回気流の向きが異なる乾式クリーニング筐体。
【請求項３】
請求項２に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記通気路から前記内部空間へ外部の空気が流入することを妨げず、且つ、前記旋回気流によって飛翔する洗浄媒体が前記内部空間の外側へ移動することを抑制する多孔部材を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項４】
請求項３に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記多孔部材の孔は、前記通気路の外側から内側に向かって狭くなるテーパ形状を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体において、
前記開閉手段が、前記通気路を開閉可能な閉塞部材と、該閉塞部材を前記通気路を閉塞する位置と開放する位置とに任意に設定可能な駆動源と、を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体において、
前記開閉手段が、前記通気路をそれぞれ開閉するヒンジ機構と、各ヒンジ機構を連結するリンク部材と、該リンク部材を、一方の通気路を閉塞するときに他方の通気路が開放されるように駆動する駆動源と、を有している乾式クリーニング筐体。
【請求項７】
請求項１に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記内部空間、開口部及び通気路がそれぞれ複数個別に設けられており、向きが異なる旋回気流を同時に発生させることが可能な乾式クリーニング筐体。
【請求項８】
請求項７に記載の乾式クリーニング筐体において、
前記複数の吸気口は一つの吸気手段に接続されている乾式クリーニング筐体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の乾式クリーニング筐体と、前記吸気手段と、前記洗浄媒体とを有する乾式クリーニング装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の乾式クリーニング装置において、
前記乾式クリーニング筐体を１つの方向とこれに直交する方向に任意に移動させるＸＹ軸駆動機構と、移動方向を制御する制御手段とを備えた乾式クリーニング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体の内部空間で旋回気流により洗浄媒体を飛翔させ、洗浄対象物に接触ないし衝突させて洗浄する乾式クリーニング装置、該乾式クリーニング装置に用いられる乾式クリーニング筐体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリント基板製造におけるフローはんだ槽によるはんだ付け工程において、はんだ付け処理する領域以外をマスクする治具が多く用いられている。
このようなマスク治具（ディップパレット、キャリアパレットと呼ばれる）は、繰り返し使用されるうちに、表面にフラックスが堆積して固着しマスクの精度を下げるために、定期的に洗浄する必要があった。
一般的には、このような洗浄は溶剤に浸漬して行うため、大量の溶剤を消費しており、コストアップを避けられず、作業者や環境への負荷も極めて大きい。
浸漬せずに装置内で溶剤を洗浄対象物に噴射する方式も知られているが、溶剤を大量に使用するという点に変わりはない。
【０００３】
この問題を解消する技術として、例えば特許文献１に記載の乾式クリーニング装置が提案されている。
この装置では、内部空間を有する筐体に吸気手段を接続して筐体内を負圧化し、筐体の外周面の一部に設けられた通気路から外部空気を高速で流入させることにより筐体内で旋回気流を生じさせ、この旋回気流で薄片状の洗浄媒体を筐体内で循環飛翔させるようになっている。
筐体の外周面の一部に形成された、上記通気路よりも大きな断面積を有する開口部を洗浄対象物に当てて塞ぐことにより上記旋回気流が生じ、開口部で洗浄媒体が洗浄対象物の表面に高速で衝突し、これが繰り返されることにより洗浄対象物の汚れが除去されるものである。
筐体の内部空間と吸気手段との間には、多孔性の分離板が設けられており、洗浄対象物から除去された汚れや、磨耗等により小さくなった洗浄媒体は、洗浄中、分離板を通過して吸気手段側へ回収されるようになっている。
【０００４】
上記筐体を洗浄対象物であるディップパレットに沿って矩形方向（ＸＹ軸方向）に移動させ、広い面積を自動的に洗浄するようにした機構も提案されている（特許文献１）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、今までの乾式クリーニング筐体では、旋回気流によって洗浄媒体が一定方向に回転しているため、洗浄対象物の被洗浄面が平面の場合は問題ないが、ディップパレット（以下、単に「パレット」ともいう）のように開口や凹凸がある場合には、洗浄むらが生じるという問題があった。
筐体が有する上記開口部は、洗浄媒体が洗浄対象物に衝突可能な領域であり、開口部で区画される範囲は洗浄が行われ得る領域であるが、実際には旋回気流の旋回方向において開口部の下流側と上流側とで洗浄媒体の衝突確率に差異が生じ、洗浄むらになってしまう。
【０００６】
これを図１８に基づいて具体的に説明する。
筐体２００の開口部１８が洗浄対象物としてのディップパレット１００で塞がれた状態で、筐体内が吸引されるとインレット２４から外部空気が高速で流入して旋回気流３０が生じる。
薄片状の洗浄媒体５は旋回気流で循環飛翔する過程において、インレット２４からの高速気流で加速され、ディップパレット１００の開口１５０における旋回気流の旋回方向下流側のテーパ面１５０ｂに衝突しやすい。
上流側のテーパ面１５０ａは旋回気流に沿う形状であるため、洗浄媒体の衝突確率は下流側のテーパ面１５０ｂに比べて圧倒的に少なくなる。
このため、下流側のテーパ面１５０ｂでは汚れ５０は除去されるが、上流側のテーパ面１５０ａでは残り、洗浄むらとなる。
【０００７】
上記洗浄むらの発生は、旋回気流で洗浄媒体を飛翔させながら洗浄対象物に衝突させることを繰り返す乾式クリーニング方式では避けられない特性である。
図１９にパレットの実際の洗浄後の画像を示す。
旋回気流の上流側で汚れが残存しているのがはっきりと確認できる。
【０００８】
この問題を解消するには、筐体又は洗浄対象物の向きを変えて汚れが残っている部分を再度洗浄する方式とすることが考えられる。
この場合、例えば筐体の移動方向の一方側に突出した手持ち部分がある構成では、洗浄作業を行うスペースのレイアウトによっては、一回の洗浄後に筐体を反対向きにすることができないケースもある。
筐体をＸＹ軸方向に移動させて自動的に洗浄を行う装置においては、ＸＹの移動軸に加えて筐体の姿勢を変えるためのθ軸を必要とするため、コストアップを来たすとともに、姿勢変更の時間が発生して洗浄効率が低下する。
このことは筐体を位置固定して洗浄対象物を移動させる自動化構成においても同様に生じる。
【０００９】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたもので、凹凸を有する被洗浄面であっても筐体の向きを変えることなく洗浄むらを抑制することができる乾式クリーニング筐体の提供を、その主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の乾式クリーニング筐体は、洗浄媒体が収容される内部空間と、前記内部空間に連通し、洗浄対象物の被洗浄面に当接される開口部と、前記開口部とは別に設けられ、外部の空気を前記内部空間へ導入するための通気路と、前記内部空間に連通し、吸気手段に接続される吸気口と、を備え、前記内部空間は、前記開口部が前記被洗浄面に当接された状態で前記吸気手段により吸気したとき、前記通気路から流入した空気が旋回気流となる形状を有し、前記開口部は、前記旋回気流により飛翔する洗浄媒体が前記被洗浄面に繰り返し衝突するように配置され、向きが異なる旋回気流を発生させることが可能な構成を有している。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、凹凸を有する被洗浄面であっても筐体の向きを変えることなく洗浄むらを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る乾式クリーニング筐体の分解斜視図である。
【図２】同筐体の洗浄動作を示す図で、（ａ）は左側のインレットを開放し、右側のインレットを閉じた状態の図、（ｂ）は（ａ）と逆の状態の図である。
【図３】ダブルインレット方式の他の利点を説明する図で、（ａ）は左右のインレットを共に開放した状態を示す図、（ｂ）は左右のインレットを共に閉じた状態を示す図である。
【図４】オリフィス板の孔形状の種類を示す平面図である。
【図５】各構成の洗浄効果を比較する実験での洗浄対象物（パレット）と筐体との位置関係を示す図である。
【図６】オリフィス板を有しない第２の実施形態の一例を示す乾式クリーニング筐体の要部断面図である。
【図７】第２の実施形態の他例を示す乾式クリーニング筐体の要部断面図である。
【図８】第２の実施形態の別例を示す乾式クリーニング筐体の要部断面図である。
【図９】第３の実施形態における乾式クリーニング筐体の要部断面図で、（ａ）はインレットを開放した状態を示す図、（ｂ）はインレットを閉じた状態を示す図である。
【図１０】第４の実施形態におけるオリフィス板の断面図である。
【図１１】第５の実施形態における乾式クリーニング筐体の要部断面図で、（ａ）は左側のインレットを閉じて右側のインレットを開放した状態を示す図、（ｂ）は（ａ）の逆の状態を示す図である。
【図１２】第６の実施形態における自動洗浄構成を示す斜視図である。
【図１３】自動洗浄構成における洗浄動作を示す斜視図である。
【図１４】第７の実施形態における乾式クリーニング筐体の斜視図である。
【図１５】本発明の乾式クリーニング装置の基本となる構成を示す概要断面図である。
【図１６】同乾式クリーニング装置の洗浄動作の原理を示す図である。
【図１７】同乾式クリーニング装置の使用状態を示す斜視図である。
【図１８】旋回気流が一定方向である場合の乾式クリーニング筐体の問題点を説明するための概要断面図である。
【図１９】同筐体で洗浄した後の洗浄むらを示す画像図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
まず、図１５乃至図１８に基づいて、本発明の基礎となる乾式クリーニング装置の基本的な構成について説明する。
図１５に基づいて、ハンディタイプの乾式クリーニング装置２の構成の概要を説明する。図１５（ａ）はＡ−Ａ線での横断面図、（ｂ）はＢ−Ｂ線での縦断面図である。
乾式クリーニング装置２は、内部に洗浄媒体５の飛翔空間（内部空間）を有する乾式クリーニング筐体（以下、単に「筐体」ともいう）４と、筐体４内を負圧化する吸気手段６とを備えている。
【００１４】
筐体４は、筐体本体部としての円筒形状の上部筐体４Ａと、逆円錐形状の下部筐体４Ｂとから一体として構成されている。ここでの上部、下部は図面上の便宜的呼称であって、実機上の上下とは必ずしも関係はない。
下部筐体４Ｂは、その円錐形状の頂部に吸気口８を一体に備えており、吸引ダクトとして機能する。
吸気手段６は、吸気口８に一端を接続されたフレキシブルな吸引ホース１０と、該吸引ホース１０の他端に接続された吸引装置１２とを有している。
吸引装置１２としては、家庭用掃除機、真空モータや真空ポンプ、あるいは流体の圧送により間接的に低圧化ないし負圧化を生じさせる装置などを適宜用いることができる。
なお、部材の上面、底面等の上下の位置関係は図面上の基準にすぎない。
【００１５】
上部筐体４Ａの底面部は、下部筐体４Ｂの上端部を結合する嵌合凹部４Ａ−１となっており、上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂは分離可能となっている。上部筐体４Ａの上面４Ａ−２は密閉されている。
上部筐体４Ａの底面部における下部筐体４Ｂとの境界部分には、多孔手段としての多孔性の分離板１４が設けられている。
分離板１４は、パンチングメタルのような穴が空いた板状の部材である。
分離板１４は、吸引されたときの洗浄媒体５の下部筐体４Ｂ側（吸気口側）への移動を阻止するものである。
【００１６】
図１５（ａ）では分離板１４の表示を一部省略している。なお、洗浄媒体５は分かり易くするためにその大きさを誇張表示している。
多孔手段としては、洗浄媒体５を通さずに空気及び粉塵（洗浄対象物から除去された除去物）を通過させる大きさの細孔を多く備える多孔形状であればよい。
すなわち、多孔手段としては、スリット板や網などを用いてもよく、材質も滑らかな面を備えていれば、樹脂や金属などを自由に選択してもよい。
多孔手段は旋回気流の旋回軸と直交する面として配置されている。これにより、多孔手段に沿う方向に気流が流れることにより、洗浄媒体５の滞留を防ぐ効果がある。
旋回気流の減衰を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
【００１７】
多孔手段は、旋回気流に沿った面に配置されることにより、表面に吸着した洗浄媒体を再飛翔させることができる。
筐体４の材質は特に限定されないが、異物の付着や洗浄媒体との摩擦による消耗を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適であるが、樹脂製のものを用いることもできる。
上部筐体４Ａの内部中心には、上部筐体４Ａの円筒軸を共通の軸とするように、円筒状の流路制限部材１６が筐体の一部として設けられ、流路制限部材１６の下端は分離板１４に固定されている。
流路制限部材１６は旋回気流の流路断面積を絞って流速を向上させる目的で設けられている。
流路制限部材１６により上部筐体４Ａ内には滑らかな壁面を有するリング状の旋回気流移動空間（洗浄媒体の飛翔空間としての内部空間）が形成されている。
【００１８】
上部筐体４Ａの形状によっては、流路制限部材１６の中心軸と上部筐体４Ａの中心軸を必ずしも共通にする必要はなく、リング状の空間が確保できていれば偏芯していても良い。
上部筐体４Ａの側面の一部には、旋回気流で飛翔する洗浄媒体５を洗浄対象物に接触ないし衝突させるための開口部１８が形成されている。
上部筐体４Ａは直径に対して高さが極めて小さい円筒形状であり、その高さを形成する側面の一部に開口部１８が設けられている。
筐体４全体としては、図１５（ｂ）に示すように、開口部１８以外の外周部分が洗浄対象物２０から大きく逃げる（離れる）レイアウトとなり、洗浄対象物２０に対する局所的当接、換言すればピンポイントクリーニングの自由度が高められている。
【００１９】
開口部１８は、上部筐体４Ａの側面を円筒軸に平行な平断面により切断した形状であり、円筒軸と直交する方向から見て矩形形状をなしている。
上部筐体４Ａの側面には空気流入口２２が形成されており、空気流入口２２には、通気路としてのインレット２４が上部筐体４Ａの外方から接続されて上部筐体４Ａに一体に固定されている。
インレット２４は分離板１４に略平行に設定されており、その通気方向は、上部筐体４Ａの半径方向に対して傾き、その通気路中心の延長線が開口部１８に達するように位置している。
インレット２４は、上部筐体４Ａの高さ方向に延びる幅を有している。
インレット２４は上部筐体４Ａの高さよりも径又は幅が小さいものを１つ配置してもよく、単体のインレットを高さ方向に複数配置する構成としてもよい。
【００２０】
吸気口８、開口部１８及びインレット２４はいずれも内部空間２６に連通している。流路制限部材１６によって内部空間２６の内周側が規定されている。
【００２１】
図１５に示すように、開口部１８が洗浄対象物２０の被洗浄面に当接して塞がれると、筐体４内が閉空間としてなり、インレット２４を介して内部空間２６に導入された空気が吸気口８側に吸引される。
このため、インレット２４から外気が高速で流入し、この高速気流は洗浄媒体５を開口部１８へ向けて加速させるとともに旋回気流３０を生成する。円環状の内部空間２６は旋回流路でもある。
閉空間が形成された時に生じる旋回気流は、吸気による負圧で分離板１４上に吸着保持された洗浄媒体を吹き払い、再飛翔させる効果を有する。
開口部１８は、洗浄対象物２０から離されて開放されたときに、空気流入口２２における内圧を、大気圧もしくはその近傍にするために十分な大きさの面積を備える。
また、空気流入口２２も、開口部１８の開放時に大気圧もしくはその近傍になりやすい位置に配置される。
【００２２】
このような構成を備えることにより、乾式クリーニング装置２を洗浄対象物に当てていない間は、空気流入口２２が大気圧に近づくことによって、外部との差圧が低下し、その結果流入する気流が劇的に低減する。
一方、開口部１８から流入する気流は多くなるため、洗浄媒体５が筐体４内から漏れ出ることを防ぐことができる。
また、開口部１８が開放されている状態では、閉塞されている場合に比べて流入する気流の総量が２〜３倍になるため、とくに薄片状の洗浄媒体では多孔手段上に吸着されるため、再飛翔せず筐体の外に漏れることがない。
これを開口部開放時における洗浄媒体吸着効果という。
【００２３】
洗浄媒体５は、薄片状の洗浄片の集合であるが、ここでは薄片状の洗浄片単体としての意味でも用いている。
薄片状の洗浄媒体とは面積が１ｍｍ２以上２００ｍｍ２以下の薄片である。洗浄媒体の材質はポリカーボネイト、ポリエチレンテレフタラート、アクリル、セルロース樹脂などの耐久性のある素材からなるフィルムであり、厚みは０．０２ｍｍ以上１．０ｍｍ以下である。
但し、洗浄対象物によっては洗浄媒体の厚みやサイズや材質を変えることが効果的な場合もあり、これらの洗浄媒体を使用する場合も本発明の範囲に含まれるため、前記洗浄媒体条件にはとらわれないものとする。
洗浄媒体の材質に関しては、樹脂だけにとどまらず、紙、布などの薄片や、あるいは、雲母などの鉱物、セラミックやガラス、金属箔であっても、薄く軽量で飛翔しやすい形状にすることで使用することができる。
【００２４】
上部筐体４Ａのリング状の内部空間２６は、洗浄媒体５が収容される空間であるとともに、旋回気流によって洗浄媒体５が飛翔し開口部１８に露出する洗浄対象物２０に衝突するための空間である。
流路制限部材１６の内部３４は、旋回気流が作用しない空間である。
【００２５】
以上のように構成される乾式クリーニング装置２による洗浄動作（以下、「クリーニング動作」ともいう）を、図１６を参照して説明する。
なお、図１６では、部材の厚み等を省略し、分かり易くするために静空間としての内部３４をハッチングで表示している。
図１６（ｂ）は、開口部１８を洗浄対象物２０から離して開口部１８を開放し吸気を行っている状態を、図１６（ａ）は、開口部１８を洗浄対象物２０に当てて閉塞した状態を示している。
クリーニング動作に先立って、洗浄媒体５を筐体４内に供給する。
洗浄媒体の供給方法としては、吸引装置１２が作動している状態で、開口部１８から所定量の洗浄媒体を吸い込んでもよく、開口部１８が塞がれた状態でインレット２４から投入してもよい。
【００２６】
筐体４内に供給された洗浄媒体５は、図１６（ｂ）下図に示すように、分離板１４に吸い付けられて筐体４内に保持される。
筐体４内は吸気により負圧状態となっているので、筐体外部の空気がインレット２４を通して筐体４内に流入するが、このときのインレット２４内の流れは流速・流量ともに小さいので、筐体４内に発生する旋回気流３０は洗浄媒体５を飛翔させる強さには至らない。
筐体４内に洗浄媒体５が供給・保持されたら、図１６（ａ）に示すように、開口部１８を洗浄対象物２０の表面のクリーニングすべき部位に当てて閉塞状態にする。
【００２７】
開口部１８が塞がれると、開口部１８からの吸気が止まるので、筐体４内の負圧は一気に増大し、インレット２４を通じて吸い込まれる空気量・流速ともに増大してインレット２４内で整流される。
その後、インレット出口（空気流入口２２）から筐体４内に高速空気流となって吹き出す。
吹き出した空気流は、分離板１４上に保持されている洗浄媒体５を剥がして開口部１８に露出する洗浄対象物２０の表面に向けて飛翔させる。
上記空気流は、旋回気流３０となって、筐体４の内壁に沿って円環状に流れつつ、一部は分離板１４の穴を通って吸気手段６により吸気される。
【００２８】
筐体４内を円環状に流れた旋回気流３０がインレット２４の出口部に戻ると、インレット２４から入り込む空気流が旋回気流３０に合流しつつ加速する。
このようにして筐体４内に安定した旋回気流３０が形成される。
洗浄媒体５は、旋回気流により筐体４内で旋回（循環飛翔）し、洗浄対象物２０の表面に繰り返し衝突する。
この衝突による衝撃で、洗浄対象物２０の表面から汚れが微小粒状あるいは粉状となって分離する。
分離した汚れは、分離板１４の穴を通って吸気手段６により筐体４の外部へ排出される。
【００２９】
筐体４内に形成される旋回気流３０は、その旋回軸が分離板１４の表面に直交しており、分離板１４の表面に平行な気流となる。
このため、旋回気流３０は分離板表面に吸い着けられた洗浄媒体５に、横方向から吹き付けて洗浄媒体５と分離板１４の間に入り込み、分離板１４に吸い付けられている洗浄媒体５を分離板１４から引き剥がして再度飛翔させる効果が生じる。
また、開口部１８が塞がれて上部筐体４Ａ内の負圧が増大して、下部筐体４Ｂ内の負圧に近くなるため、洗浄媒体５を分離板１４の表面に吸い付ける力も低下して、洗浄媒体５の飛翔がより容易になる効果が生じる。
旋回気流３０は、一定の方向に気流が加速されるため高速の気流が生成しやすく、洗浄媒体５の高速飛翔運動も容易となる。
高速で旋回移動する洗浄媒体５は、分離板１４に吸い付けられにくく、洗浄媒体５に付着した汚れが、遠心力により洗浄媒体５から分離され易い。
【００３０】
図１７に上述した乾式クリーニング装置２によるクリーニングの実際的な例を示す。
洗浄対象物は前述したフローはんだ槽工程で用いられるディップパレットであり、符号１００で示す。
ディップパレット１００には、マスク開口部１０１、１０２、１０３が開口しており、これらマスク開口部の穴周辺にフラックスＦＬが堆積・固化している。この堆積・固化したフラックスＦＬが除去すべき汚れである。
下部筐体４Ｂの根元部（吸気口８の部位）を手ＨＤで握り、吸気状態で、筐体４の開口部１８を被クリーニング部位に押し当てる。
【００３１】
開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられる以前は、筐体４内は吸気され、洗浄媒体５は分離板１４に吸い付けられているので（洗浄媒体吸着効果）、開口部１８は下方を向いているものの、筐体４内から洗浄媒体５が外部へ漏れることは無い。
勿論、開口部１８が被クリーニング部位に押し当てられた以後は、筐体内が気密状態となり、洗浄媒体の漏れ出しはない。
【００３２】
開口部１８を被クリーニング部位に押し当てると、インレット２４による流入気流が急増し、筐体４内に強い旋回気流３０を発生させ、分離板１４に吸い付けられた洗浄媒体５を飛翔させる。
洗浄媒体５は、ディップパレット１００の被クリーニング部位に付着固化したフラックスＦＬに衝突し、これによりフラックスＦＬが除去される。
作業者は、上述の如く下部筐体４Ｂの根元を手ＨＤに持ち、ディップパレット１００に対して移動させて、被クリーニング部位を順次移動させ、付着・固化したフラックスＦＬを全て除去することができる。
【００３３】
図１７の状態では、ディップパレット１００のマスク開口部１０１の周辺部がクリーニングされ、マスク開口部１０２、１０３の周辺部がクリーニング途上である。
被クリーニング部位に対して開口部を移動させる時に被クリーニング部位から開口部１８が離されても、前述の洗浄媒体吸着効果により、洗浄媒体５が筐体内から漏れ出さない。
このため、洗浄媒体数が維持され、洗浄媒体量の減少によるクリーニング性能の低下は生じない。
【００３４】
洗浄媒体５は、繰り返し使用される間にクリーニング部位に対する衝突による衝撃により次第に破壊され、被クリーニング部位のディップパレット１００から除去したフラックス（汚れ）と共に、吸引装置１２に吸引回収される。
このため、乾式クリーニング装置を長時間使用していると、筐体内に保持された洗浄媒体の量が減少する。このような場合は、新しい洗浄媒体を筐体４内に補給する。
【００３５】
図１乃至図５に基づいて本発明の第１の実施形態を説明する。上記基本的構成と同一又は同等部分は同一符号にて示す。
図１に示すように、上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂは、ボルト挿通孔３６、３８を介して図示しないボルト・ナットで一体に結合されるようになっている。
吸気口８を有する集塵ダクト４０は下部筐体４Ｂと分離されており、ネジ挿通孔４２とネジ孔４４を介して図示しないネジで下部筐体４Ｂに固定されるようになっている。
流路制限部材１６は複数の開口を有し、その外周面を覆うように分離板１４が設けられている。除去された汚れや洗浄媒体の破片等は分離板１４を通って流路制限部材１６内に入り、集塵ダクト４０へ排出される。
【００３６】
上部筐体４Ａと下部筐体４Ｂとを一体化した後、流路制限部材１６の外周面に分離板１４を固定したユニットを筐体内に挿入してセットし、かかる状態で集塵ダクト４０を固定することで筐体４の組み立てが完了する。
他の図では、分離板１４と一体のユニットを流路制限部材１６として表示する。
【００３７】
本実施形態における筐体４は、流路制限部材１６を挟んで両側（複数個所）にインレット２４Ａ、２４Ｂを有しており、向きが異なる（ここでは逆向きとなる）旋回気流を任意に発生させることが可能な構成となっている。
インレット２４の上面側には、インレット２４を個別に開閉可能な開閉手段としてのシャッター４６Ａ、４６Ｂが設けられている。
シャッター４６Ａ、４６Ｂはそれぞれ、筐体４に一体に形成されたガイド部４８Ａ、４８Ｂに嵌合しており、開閉方向にスライド可能となっている。
また、シャッター４６Ａ、４６Ｂはそれぞれ、操作用凸部４６Ａ−１、４６Ｂ−１を有しており、手動で開閉される。
シャッター４６としては、金属製や樹脂製のものを採用することができる。
【００３８】
図２（ａ）に示すように、インレット２４Ａのみを開放した状態で開口部１８を洗浄対象物２０に当てて塞ぐとインレット２４Ａから流入する気流によって反時計回り方向の旋回気流３０が発生する。
筐体４の内部空間２６に収容されている洗浄媒体５は旋回気流３０によって飛翔し、インレット２４Ａの部位で加速されて洗浄対象物２０の被洗浄面２０ａに付着した膜状の汚れ５０に衝突してこれを除去する。この洗浄動作が繰り返されて洗浄が進行する。
インレット２４Ａより流入した気流は、旋回流路（内部空間２６）を旋回した後に分離板１４を介して流路制限部材１６の内部へ流れ、集塵ダクト４０へ排出される。除去された汚れ成分５４や洗浄媒体の破片５６等も同様に排出される。
【００３９】
インレット２４Ｂの空気流入口の部位には多孔部材としてのオリフィス板５２Ｂが設けられている。
オリフィス板５２Ｂは、インレット２４Ｂから内部空間へ外部の空気が流入することを妨げず、且つ、旋回気流によって飛翔する洗浄媒体が内部空間の外側へ移動することを抑制する機能を有している。除去された汚れ成分の移動も抑制している。
オリフィス板５２Ｂは、洗浄媒体５の円滑な旋回飛翔を妨げないように旋回流路の外周面に沿って設けられている。すなわち、オリフィス板５２Ｂは内部空間２６の外周面の一部を兼ねるように配置されている。
【００４０】
同様の理由から、インレット２４Ａの側にはオリフィス板５２Ａが設けられている。
インレット２４Ｂではシャッター４６Ｂが閉じて閉塞されているため、外部からの空気流入は生じず、インレットの機能は発現しない。
使用していないインレット２４Ｂからの洗浄媒体５の外部への漏れ防止は、基本的にはシャッター４６Ｂが担っているが、実質的にはオリフィス板５２Ｂによってなされる。
換言すれば、洗浄媒体や除去された汚れ成分の不使用インレットを介した外部への漏れが、オリフィス板５２Ｂとシャッター４６Ｂとの２重構成で防止されている。
【００４１】
図２（ｂ）に示すように、インレット２４Ａ側のシャッター４６Ａを閉じ、インレット２４Ｂ側のシャッター４６Ｂを開放すると、上記とは逆に時計回り方向の旋回気流３０が発生する。
すなわち、筐体４の向きを変えることなく、シャッター４６Ａ、４６Ｂを交互に開閉する操作のみで旋回気流３０の向きを変えることができる。
図１８で示したように、被洗浄面に凹凸がある場合、図２（ａ）に示す状態で筐体４を移動（往路移動）させて洗浄を行った後、図２（ｂ）に示すようにインレットの開閉を逆にして移動（復路移動）させれば、洗浄むらを無くすことができる。
この場合、復路移動時に筐体４の向きを変える必要はない。
【００４２】
上記ダブルインレット構成の他の利点について説明する。
図３（ａ）に示すように、シャッター４６Ａ、４６Ｂを共に開いた状態とすれば、内部空間２６に両方向の旋回気流が発生し、これらの旋回気流が互いに打ち消しあう。
このため、開口部１８から集塵ダクト４０へ向か吸引気流のみが発生する。この状態では、吸引気流による負圧の影響で、洗浄媒体や筐体に残留する汚れ成分は分離板１４に吸い寄せられ、外に漏れ出すことがない。
また、両方のインレットからの気流の流入により、負圧が弱まるため、筐体と洗浄対象物の吸着力が弱まり、筐体から洗浄対象物２０を容易に離すことができる。
【００４３】
図３（ｂ）に示すように、シャッター４６Ａ、４６Ｂを共に閉じた状態とすれば、内部空間２６に旋回気流が発生せず、開口部１８から集塵ダクト４０へ向かう直線的な吸引気流となる。
この場合、シャッター４６Ａ、４６Ｂを共に開いた状態と違い、インレットからの流入気流がないために、内部空間２６の負圧が大きくなり、開口部１８の吸引力が強く働く。
この状態では、吸引気流による負圧の影響で、洗浄媒体や筐体に残留する汚れ成分は分離板１４に吸い寄せられ、外に漏れ出すことがない。
さらに、負圧が高いため、洗浄対象物２０に残留した洗浄媒体の破片５６や付着力の弱まった汚れ成分５４を容易に筐体内に回収することができる。
【００４４】
オリフィス板５２は、洗浄媒体を通さない大きさの細孔を多く備える多孔形状であればよく、材質も滑らかな面を備えていれば、筐体の材質は特に限定されない。
異物の付着や洗浄媒体との摩擦による摩耗（消耗）を防ぐために、例えばアルミ二ウムやステンレスなどの金属製が好適である。摩擦による消耗に耐え得るものであれば樹脂製のものを用いることもできる。
一般的な多孔形状として、図４（ａ）に示すような丸穴、長穴、図４（ｂ）に示すような角穴、六角などがある。
洗浄媒体の挟まりの影響のない場合には、多孔の代わりに、図４（ｃ）に示すような網状のものを用いることも可能である。
旋回気流の減衰と洗浄媒体の滞留を抑えるために、筐体内面は段差、凹凸がなく平滑であることが望ましい。
【００４５】
オリフィス板の開口率は、気流の取り込みに必要なインレット断面積に対して、各孔の合計面積が同等以上となるように設計する。同等以上とするのは、１つの大穴と比較して多孔による気流の流入損失が発生するためである。
シャッター４６とガイド部４８との間にシール部材を設けて気密状態でスライドさせる構成としてもよい。
シャッター４６Ａ、４６Ｂを常時閉じるように付勢し、開放操作とロックを１つのレバーでできる構成とすれば、手動操作を容易にすることができる。
閉塞部材としてのシャッター４６Ａ、４６Ｂをそれぞれ個別にインレットを閉塞する位置と開放する位置とに任意に設定可能な駆動源を設けて電動で駆動する構成としてもよい。
２つのシャッター４６Ａ、４６Ｂを独立に駆動又は操作可能な構成とすることで、いずれか一方が閉じて他方が開いている状態、両方が開いている状態、両方共閉じている状態の４つの動作を任意に行うことができる。
【００４６】
本実施形態に係る乾式クリーニング装置の洗浄能力について説明する。
図５にパレットの開口部付近の断面図を示す。パレット１００の開口部Ｐははんだが流れやすいようにするテーパ部Ｐ１ｂ、Ｐ２ｂと、はんだを漏らさないようにせき止める垂直部Ｐ１ｃ、Ｐ２ｃが備えられているのが一般的である。
符号Ｐ１ａ、Ｐ２ａはパレットの平面部を示している。
【００４７】
このような形状の洗浄対象物に対して、下記の３つの洗浄構成を用いて洗浄した場合の各箇所の洗浄状態の結果を表１に示す。
構成１：本実施形態に係る構成
構成２：半円筒の洗浄槽の最下部に洗浄媒体加速ノズルを備えた従来構成（例えば、特許文献２）
構成３：旋回気流の方向が一方向だけの従来構成（例えば、特許文献１）
図５に示す筐体は構成３のものである。
【００４８】
【表１】
2015217316.tif 000003
【００４９】
表１に示すように、構成１では洗浄媒体の回転方向を変えながら洗浄を行うことができるため、全ての面が洗浄可能である。
構成２ではテーパ部や、特に垂直な面が全く洗浄できなかった。これは下側から上側に向かって洗浄媒体が直線的に飛翔するため、平面部Ｐ１ａ、Ｐ２ａに対する衝突力は大きいが、テーパ部では弱くなり、垂直部では平行となって除去力はほとんどないからである。
構成３では旋回気流の下流側となるテーパ部Ｐ２ｂと垂直部Ｐ２ｃは共に洗浄品質が良いが、上流側に位置するテーパ部Ｐ１ｂ、垂直部Ｐ１ｃの洗浄品質は、課題の欄で説明した理由により極めて悪くなった。
表１に示す結果から、旋回気流の方向を変える構成とすることにより、洗浄品質において優位性を有することが明らかである。
【００５０】
図６乃至図８に基づいて第２の実施形態を説明する。
上記実施形態と同一部分は同一符号で示し、特に必要がない限り既にした構成上及び機能上の説明は省略して要部のみ説明する（以下の他の実施形態において同じ）。
上記実施形態ではオリフィス板を有する構成としたが、本実施形態ではインレットの開閉とオリフィス板の機能とを１つの部材で得る構成（以下、「ワンエレメント方式」という）としている。
図６に示すように、開閉手段５８Ａは、インレット２４Ａを閉塞する閉塞部材としてのプラグ６０Ａと、プラグ６０Ａをインレット２４Ａを開閉する方向にスライドさせる駆動源としてのエアシリンダ６２Ａとから構成されている。
駆動源としてはリニアモータ等でもよい（以下の実施形態において同じ）。
【００５１】
開閉手段５８Ａの設置スペースは、インレット２４Ａの外側を構成する筐体側板を上方に延ばすことによって確保している。
プラグ６０Ａの先端面６０Ａ−１は、インレット２４Ａを閉塞したときに、旋回気流を阻害しないように内部空間２６の外周面（旋回流路の外周面）に沿った形状を有している。
他方の開閉手段５８Ｂにおいても同様の構成となっている。
【００５２】
図６は、インレット２４Ａを閉塞し、インレット２４Ｂを開放した状態を示している。この状態ではインレット２４Ｂから外部空気が流入するため、旋回気流３０は時計回り方向となる。
開閉手段５８Ａのプラグ６０Ａの先端形状は筐体の内周面に沿って延びる形状であるため、インレット２４Ｂのからの流入気流によって生じた旋回気流３０及び旋回する洗浄媒体５の移動を阻害しない。
時計回り方向の旋回気流にて洗浄を行った後旋回気流の向きを変える場合には、まず開閉手段５８Ｂを動作させてプラグ６０Ｂでインレット２５Ｂを閉塞し、洗浄媒体の漏れを確実に防ぐ。
次に開閉手段５８Ａを動作させてプラグ６０Ａを移動し、インレット２４Ａを開放する。
インレット２４Ａが開放されるとここから外部空気が流入し、反時計回り方向の旋回気流が発生して洗浄媒体が同方向に飛翔する。
【００５３】
図７にワンエレメント方式の他例を示す。
本例における開閉手段６４Ａは、インレット２４Ａの外側を構成する筐体側板に形成されたスリット６６Ａに摺動自在に挿入された閉塞部材としてのスライド板６８Ａと、スライド板６８Ａをインレット２４Ａを開閉する方向にスライドさせる駆動源としてのエアシリンダ６２Ａとから構成されている。
エアシリンダ６２は上記筐体側板に設けられた図示しないブラケットに保持されている。
スリット６６Ａの内部には、滑りが良くかつ洗浄媒体を漏らさないフェルトやナイロンブラシのようなシール材が配置されている。
他方の開閉手段６４Ｂにおいても同様の構成となっている。
【００５４】
旋回気流の発生原理及び向きを変える動作は上記と同様であるので説明は省略する。
本例では、スライド板のスライドをガイドするスリットの内側を、スライド板が洗浄媒体となるべく接触しないように、インレットからの流入気流と旋回気流との合流地点Ｃよりも旋回方向上流に配置している。
これにより、スライド板でインレットを閉塞したときの旋回流路は滑らかにならず一定の段差が生じる。
図７では誇張して表示しているが、実際の段差はインレットの幅である３ｍｍ程度であるので、２０ｍｍ以上ある旋回流路幅に対して十分小さく、旋回気流の阻害要因とはならない。
【００５５】
図８にワンエレメント方式の別例を示す。
本例における開閉手段７０Ａは、閉塞部材としてのスイング板７２Ａと、スイング板７２Ａをインレット２４Ａを開閉する方向に回動させる駆動源としてのエアシリンダ６２Ａとから構成されている。
スイング板７２Ａは、インレット２４Ａの外側を構成する筐体側板７４を分割した一方であり、筐体４に設けられた図示しないブラケットに固定された軸７５Ａを支点に回動可能に設けられている。
筐体側板７４は３ｍｍ以上の厚みを持っており、かつインレットからの流入気流と旋回気流との合流地点よりも旋回方向上流で分割されている。
【００５６】
図８ではインレット２４Ｂが閉塞され、インレット２４Ａが開放されている状態を示しており、旋回気流３０の方向は反時計回り方向となる。
本例では、図７で示したスライド板方式と同様、旋回流路の内周に段差ができてしまうが、図８では誇張表示されており、実際には旋回流路幅の２０ｍｍに対して十分小さいので旋回気流に与える影響は極めて少ない。
【００５７】
上記ワンエレメント方式のいずれにおいても、特に洗浄媒体の衝突確率が低い領域である、インレットからの流入気流と旋回気流との合流位置よりも旋回方向上流に可動部を備えている。
このため、洗浄媒体の挟まりによる動作不良のリスクを低減しつつインレットの開閉を制御できる。
また、ワンエレメント方式ではインレットを閉塞したしたときにインレット内の空間、例えば図２におけるシャッターとオリフィス板との間の空間とが内部空間２６に連通しないので、旋回気流の圧損を回避できる。
【００５８】
図９に第３の実施形態を示す。
本実施形態における開閉手段７６Ｂは、筐体側板にヒンジ７８Ｂを介して回動可能に設けられた閉塞部材としての蓋８０Ｂと、蓋８０Ｂをインレット２４Ｂを開閉する方向に回動させる図示しない駆動源とから構成されている。
図示しないが、インレット２４Ａ側においても同様の構成を有している。
ヒンジによる開閉方式とすれば、シャッター方式よりも安定して開閉動作を行うことができる。
【００５９】
図９（ａ）に示すように、インレット２４Ａを閉じた状態で蓋８０Ｂを開くとインレット２４Ｂから外部空気が流入して時計回り方向の旋回気流を筐体内に生じさせ、薄片状の洗浄媒体５を飛翔させる。
一方、図９（ｂ）に示すように、蓋８０Ｂを閉じると空気は流入しない。このとき、もう一方のインレット２４Ａの蓋を開くと、逆方向に旋回気流が発生し、薄片状の洗浄媒体はインレット２４Ａの出口でオリフィス板５２Ａから出る気流で加速され、旋回気流に乗って筐体内を循環する。
この場合、薄片状の洗浄媒体は、遠心力で筐体の内壁（内部空間の外周面）に沿って飛翔し、気流抵抗により内壁に平行な姿勢をとる。
このため、薄片状の洗浄媒体はオリフィス板５２Ｂには衝突せず、その表面に沿って飛翔するため、洗浄媒体の面積より小さいオリフィス（オリフィス板の孔）に刺さるなどして速度が低下する可能性は極めて低く、スムーズに旋回動作を行うことができる。
すなわち、洗浄媒体として薄片状のものを使用すれば、空気抵抗による必然的な姿勢制御によってオリフィス板５２を設けた構成に起因する洗浄媒体の目詰まりや引っ掛かり等の不具合は生じない。
【００６０】
洗浄媒体が粒状の場合には、筐体の内壁に衝突して反射しながら旋回するため、必ずしもオリフィス板の表面に沿った動きをしない。
このため、粒状の洗浄媒体がオリフィスに嵌って滞留したり、オリフィス板に正面衝突してダメージを与えるなどの問題が発生する懸念がある。
上記のように、薄片状の洗浄媒体ではスムーズな旋回移動が得られ、洗浄媒体は高い頻度で開口部にて洗浄対象物に衝突することができ、粒状の洗浄媒体と比較した場合、より多くの汚れを除去する機能が得られる。
【００６１】
図１０に第４の実施形態（オリフィス板の変形例）を示す。
本実施形態におけるオリフィス板５２は、各オリフィス（孔）５２ａが、インレット２４の外側から内側に向かって狭くなるテーパ形状を有している。
他方のインレット側においても同様の構成となっている。
このような構成であると、オリフィス板の気流抵抗が低減されるため、同様の負圧でもより高速で流量の多い取り込み気流（流入気流）を得ることができ、結果として、よりエネルギーの大きな旋回気流が発生する。
このため、洗浄媒体の衝突速度や旋回速度を向上させることができる。
【００６２】
図１１に第５の実施形態を示す。
本実施形態は第３の実施形態の変形例である。第３の実施形態ではインレット２４Ａ、２４Ｂをヒンジ構成で個別に開閉する構成としたが、本実施形態では一つの動作で２つのインレット２４Ａ、２４Ｂの開閉動作を同時に行う構成としている。
蓋８０Ａには連結片８２Ａが一体に形成されており、連結片８２Ａはリンク部材８４に回転自在に連結されている。
リンク部材８４の中央部には図示しない駆動源への接続片８５が形成されている。インレット２４Ｂ側においても同様の構成となっている。
ヒンジ７８Ａ、蓋８０Ａ及び連結片８２Ａによりヒンジ機構が形成され、該ヒンジ機構とリンク部材８４及び図示しない駆動源とにより、本実施形態における開閉手段８６が構成されている。
【００６３】
図１１（ａ）はインレット２４Ａが閉じ、インレット２４Ｂが開いた状態を示している。この場合、旋回気流３０の向きは時計回り方向となる。
図１１（ｂ）に示すように、図示しない駆動源が動作してリンク部材８４を矢印方向（図中左方向）に押圧すると、インレット２４Ｂが閉じると同時にインレット２４Ａが開き、旋回気流３０の向きは反時計回り方向となる。
このように、一方のインレットを閉めるともう片方のインレットが必ず開くため、１つの動作で旋回気流の回転方向を切り換えることができる。
リンク機構は、例えばエアシリンダやカムで駆動させることができる。
このような構成にすることにより、駆動源を一つにして構成や動作を簡略化することができ、またインレットが両方とも閉塞して負圧が高まり、筐体を変形・破損させてしまうことを避けることもできる。
【００６４】
ノズルを筐体内に配置し、圧縮空気の噴射により旋回気流を加速して洗浄能力を向上させてもよい。
その場合は、方向の異なるノズルを２つ以上備え、インレットの開閉に同期して、発生した旋回気流を加速させる方向のノズルだけを稼働させる制御を行うことが望ましい。
【００６５】
図１２及び図１３に第６の実施形態を示す。
本実施形態に係る乾式クリーニング装置は、上記各実施形態で説明した乾式クリーニング筐体を、ＸＹ軸方向に動作するステージ上に配置し、筐体の矩形移動動作によって一定の面積の洗浄対象を自動的に洗浄する構成を有している。
【００６６】
図１２に乾式クリーニング装置の全体構成を示す。
図１１で示したリンク部材による同時開閉方式の筐体４はその開口部１８を上向きにしてＸ軸リニアモータ９０に取り付けられている。Ｘ軸リニアモータ９０はその下側に位置するＹ軸リニアモータ９１に接続されている。
Ｘ軸リニアモータ９０とＹ軸リニアモータ９１はＸＹ軸駆動機構を構成している。
【００６７】
装置フレーム９２の下部には吸引装置１２が載置されており、筐体４の吸気口８と吸引装置１２は吸引ホース１０で接続されている。
リンク部材８４は図示しないエアシリンダに接続されている。
吸引装置１２、エアシリンダ、Ｘ軸リニアモータ９０、Ｙ軸リニアモータ９１は、制御ＢＯＸ９３に収容された制御手段（マイクロコンピュータ）により制御される。
【００６８】
装置フレーム９２の上部には、洗浄対象物を保持する洗浄対象物保持部材としてのパレット保持部９４がＸ軸方向に対向して配置されている。
パレット保持部９４はＹ軸方向に間隔おいて径が１ｍｍの複数のピン９５を有しており、洗浄対象物としての図示しないパレットはその洗浄したい面を下向きにしてピン９５に支持された状態で載置され、筐体４の開口部１８に密接するように固定される。
具体的にはパレットの縁がピン９５で支持されている状態で、図示しない押し付け機構でピンに押し付ける方法を採用している。
図１３に示すように、洗浄媒体を外に漏らさないように、パレット１００の開口部位にはＰＣＢ基板と同じサイズの漏れ防止板９６が固定されている。
図１２に示すように、筐体の開口部１８の周りには毛の長さが１０ｍｍのブラシ状のシール材９７が配置されており、洗浄対象物の凹凸に追従して隙間を塞ぎ、洗浄媒体の漏れと気密性とを確保している。
【００６９】
筐体内は常に負圧であるので、洗浄媒体は圧縮空気を吹き付けて飛翔させる構成に比べて外に漏れにくい。
筐体の開口部１８の横には反射型の光学センサ９８が配置されており、パレット１００の範囲外に筐体が出そうになると、ＸＹ軸の駆動を制御して移動方向を変える制御を行う。
これにより、パレットのサイズが変化しても、プログラムの変更なしに適応が可能である。
【００７０】
本実施形態に係る乾式クリーニング装置の動作を説明する。
まず、上を向いた開口部１８から、適量の薄片状の洗浄媒体を投入する。洗浄媒体は汚れを除去する硬さを備えている素材を選定するが、ここでは０．１ｍｍの厚みのトリアセチルセルロース（以下「ＴＡＣ」という）のフィルムを３ｍｍの矩形片に加工したものを用いる。
次にパレット１００を筐体４に接するように、洗浄面を下に向けて置き、次にパレット１００の開口部位を塞ぐように漏れ防止板９６を固定する。
この状態で制御手段に指令を送り、動作を開始させる。
【００７１】
制御手段はまず吸引装置１２をＯＮにし、一方のインレットの蓋８０をエアシリンダによって開く指令を出す。
すると旋回気流が筐体内で生じて、洗浄媒体が飛翔を開始する。次にＸ軸リニアモータ９０を駆動してＸ軸方向に筐体を移動させる。
これにより、Ｘ軸に沿った領域の被洗浄面にＴＡＣフィルムが衝突し、表面のフラックスを削り取って集塵機側（吸引装置側）に排出させる。
旋回気流の方向は特に制限はないが、開口部１８における旋回気流の下流方向に筐体を駆動させると、洗浄媒体が漏れ出た場合にその洗浄媒体を再度筐体内に取り込むことができるため、洗浄媒体の量が減りにくい効果がある。
【００７２】
光学センサ９８がパレットより外の領域に出てセンサ信号が変化すると、制御手段はＸ軸の移動方向を反転させるとともに、エアシリンダを制御し、インレットの開閉を行い旋回気流の回転方向も逆転させる。
そのまま、同様にＸ軸方向の原点位置まで洗浄しながら戻ることで、パレットの凹凸や開口部位の内側に複数の角度から洗浄媒体が衝突し、洗浄ムラを無くすことができる。
【００７３】
本実施形態では１ストロークごとに一定方向の旋回気流としているが、時間を決めて周期的に回転方向を切り替えても同様の効果が得られる。
一往復が完了した後は、Ｙ軸リニアモータ９１を駆動してＹ軸方向に筐体の幅から７ｍｍほど短い距離に平行移動し、同様の往復動作と旋回気流の回転方向の切り換えを繰り返す。７ｍｍ短いのは筐体４の移動軌跡をオーバーラップさせて未洗浄領域を確実になくすためである。
図１３の破線は、筐体の移動軌跡を示している。
Ｙ軸方向の移動で光学センサ９８がパレット１００の範囲外に出てセンサ信号が変化したときは、Ｙ軸リニアモータ９１の駆動を止め、その位置で筐体４をＸ軸方向で一往復させたのち、ホームポジションに戻して、吸引装置１２を停止させる。
最後に漏れ防止板９６を外して、洗浄が完了したパレット１００を取り出す。
【００７４】
このような動作により、凹凸や開口部があるパレットのような洗浄対象物でも、むら無く洗浄を行うことができる。
本実施形態ではリンク部材による同時開閉方式の筐体を用いた自動洗浄構成としたが、上記プラグ方式やスイング板方式、あるいは圧縮空気ノズルと組み合わせて旋回気流の方向を切り替える機能を備えた筐体を使用しても同様の機能を得ることができる。
【００７５】
上記実施形態では、旋回気流の方向をインレットの開閉により切り替える構成としたが、図１４に示すように、内部空間、開口部及び通気路をそれぞれ複数個別に設け、向きが異なる旋回気流を同時に発生させる構成としてもよい（第７の実施形態）。
すなわち、時計回り方向の旋回気流３０ａを発生させる筐体４ａと、反時計回り方向の旋回気流３０ａを発生させる筐体４ｂとを一体構成とし、向きが異なる旋回気流を同時に発生させる構成とする。
吸引装置１２に接続される吸引ホース１０は二股に分かれてそれぞれ吸気口８ａ、８ｂに接続されている。
このようにすれば、旋回軸方向のサイズは嵩張るが、開閉手段を設ける必要もなく、インレットの開閉構成を付与したことによる旋回気流の圧損も生じない。
また、開口部１８における旋回気流の上流側と下流側とが同時に洗浄されるので、同じ洗浄位置を往復移動する必要もない。
筐体４を旋回軸方向と直交する方向（矢印Ａ方向）に移動させた場合、筐体間の仕切り部分に僅かながら未洗浄部分が残る懸念があるが、旋回軸方向（矢印Ｂ方向）に移動させればその心配もない。
【００７６】
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。
【符号の説明】
【００７７】
２  乾式クリーニング装置
５  洗浄媒体
６  吸気手段
８  吸気口
１８  開口部
２０  洗浄対象物
２４Ａ、２４Ｂ  通気路としてのインレット
２６  内部空間
３０ａ、３０ｂ  旋回気流
４６Ａ、４６Ｂ  閉塞部材としてのシャッター
５２ａ  孔
５２Ａ、５２Ｂ  多孔部材としてのオリフィス板
５８Ａ、５８Ｂ、６４Ａ、６４Ｂ、７０Ａ、７０Ｂ、７６Ａ、７６Ｂ、８６  開閉手段
６２  駆動源としてのエアシリンダ
８４  リンク部材
【先行技術文献】
【特許文献】
【００７８】
【特許文献１】特開２０１２−０５０９７３号公報
【特許文献２】特許４５３１８４１号公報
【図１】
2015217316.tif 000004
【図２】
2015217316.tif 000005
【図３】
2015217316.tif 000006
【図４】
2015217316.tif 000007
【図５】
2015217316.tif 000008
【図６】
2015217316.tif 000009
【図７】
2015217316.tif 000010
【図８】
2015217316.tif 000011
【図９】
2015217316.tif 000012
【図１０】
2015217316.tif 000013
【図１１】
2015217316.tif 000014
【図１２】
2015217316.tif 000015
【図１３】
2015217316.tif 000016
【図１４】
2015217316.tif 000017
【図１５】
2015217316.tif 000018
【図１６】
2015217316.tif 000019
【図１７】
2015217316.tif 000020
【図１８】
2015217316.tif 000021
【図１９】
2015217316.tif 000022