(57)【要約】【課題】重合基板から剥離された被処理基板の反りを抑制し、重合基板の剥離処理を適切に行う。【解決手段】重合ウェハＴを被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離する剥離装置３０は、重合ウェハＴを加熱する加熱機構１２４を備え、被処理ウェハＷを保持する第１の保持部１１０と、支持ウェハＳを保持する第２の保持部１１１と、第１の保持部１１０に設けられ、且つ第１の保持部１１０に保持された被処理基板Ｗの非接合面ＷＮに不活性ガスを供給するガス供給部１２５と、を有している。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、
重合基板を加熱する加熱機構を備え、被処理基板を保持する第１の保持部と、
支持基板を保持する第２の保持部と、
剥離後の被処理基板を非接合面側から冷却する冷却部と、を有することを特徴とする、剥離装置。
【請求項２】
前記冷却部は、前記第１の保持部に設けられ、且つ前記第１の保持部に保持された被処理基板の非接合面に冷却媒体を供給する冷媒供給部を有することを特徴とする、請求項１に記載の剥離装置。
【請求項３】
前記冷却媒体は不活性ガスであることを特徴とする、請求項２に記載の剥離装置。
【請求項４】
前記冷却部は、前記第１の保持部に隣接して配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の剥離装置。
【請求項５】
前記冷却部は、前記第１の保持部から前記前記冷却部に被処理基板が搬送されている間に、当該被処理基板に付着した接着剤が硬化しない位置に配置されていることを特徴とする、請求項４に記載の剥離装置。
【請求項６】
前記冷却部は、被処理基板を冷却する冷却板を有することを特徴とする、請求項４又は５に記載の剥離装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の剥離装置を備えた剥離システムであって、
前記剥離装置と、前記剥離装置で剥離された第１の基板を洗浄する第１の洗浄装置と、前記剥離装置で剥離された第２の基板を洗浄する第２の洗浄装置と、を備えた処理ステーションと、
前記処理ステーションに対して、第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬入出する搬入出ステーションと、
前記処理ステーションと前記搬入出ステーションとの間で、第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬送する搬送装置と、を有することを特徴とする、剥離システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を剥離する剥離装置、及び当該剥離装置を備えた剥離システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば半導体デバイスの製造プロセスにおいて、半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という）の大口径化が進んでいる。また、実装などの特定の工程において、ウェハの薄化が求められている。ここで、例えば大口径で薄いウェハを、そのまま搬送したり、研磨処理したりすると、ウェハに反りや割れが生じるおそれがある。このため、ウェハを補強するために、例えば支持基板であるウェハやガラス基板にウェハを貼り付けることが行われている。そして、このようにウェハと支持基板が接合された状態でウェハの研磨処理等の所定の処理が行われた後、ウェハと支持基板が剥離される。
【０００３】
かかるウェハと支持基板の剥離は、例えば特許文献１に開示されている剥離システムによって行われる。この剥離システムは、接着剤で接合された重合ウェハをウェハと支持基板に剥離する剥離装置と、剥離されたウェハを洗浄する洗浄装置と、剥離装置と洗浄装置との間でウェハを搬送する搬送装置とを有している。かかる場合、剥離装置では、第１の保持部でウェハを保持し、第２の保持部で支持基板を保持した後、重合ウェハを所定の温度に加熱して、重合ウェハ中の接着剤を軟化させる。そして、接着剤の軟化状態を維持した状態で第１の保持部と第２の保持部を相対的に水平方向に移動させて、重合ウェハを剥離する。その後、搬送装置において、剥離されたウェハをベルヌーイチャックにより非接触の状態で保持し、当該ウェハを剥離装置から洗浄装置に搬送する。洗浄装置では、ポーラスチャックでウェハを保持して回転させながら、ウェハ上に接着剤の溶剤を供給し、当該ウェハ上に残存する接着剤を除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２３６０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された剥離システムでは、剥離されたウェハがベルヌーイチャックに受け渡されると、ウェハ上に残存する接着剤の温度が下がり、接着剤が硬化して収縮する場合があった。より詳細に説明すると、接着剤においてウェハと反対側の面（以下、「表面」という）、すなわち外気に露出する表面は、接着剤のウェハ側の面（以下、「裏面」という）に比べて、温度が下がりやすい。特にベルヌーイチャックは気体を噴出してウェハを非接触で保持するため、この気体によって接着剤の表面の温度は裏面の温度に比べて下がりやすい。そうすると、接着剤はその表面が裏面に先だって収縮し、これによりウェハは接着剤と反対側に突出して反ってしまう。特にウェハは薄化されているため、この反りが顕著になる。
【０００６】
このようにウェハが反ると、ベルヌーイチャックでウェハを適切に保持することができず、また洗浄装置のポーラスチャックでもウェハを適切に保持することができない。したがって、剥離システムにおける剥離処理を適切に行うことができない。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、重合基板から剥離された被処理基板の反りを抑制し、重合基板の剥離処理を適切に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するため、本発明は、被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、重合基板を加熱する加熱機構を備え、被処理基板を保持する第１の保持部と、支持基板を保持する第２の保持部と、剥離後の被処理基板を非接合面側から冷却する冷却部と、を有することを特徴としている。なお、被処理基板の非接合面とは、被処理基板が接着剤を介して支持基板と接合される面と反対側の面をいう。
【０００９】
本発明によれば、第１の保持部に保持された被処理基板と第２の保持部に保持された支持基板を加熱しながら剥離した後、冷却部によって、剥離後の被処理基板を非接合面側から冷却する。そうすると、接着剤は被処理基板側の面（以下、「裏面」という）から冷却され、これにより接着剤は裏面から硬化して収縮する。一方、接着剤において被処理基板と反対側の面（以下、「表面」という）は外気によって冷却されて収縮するが、上述のように接着剤の裏面を積極的に収縮させることで、接着剤の表面と裏面との収縮差を小さくできる。これにより、冷却後の被処理基板の反りが抑制され、被処理基板をほぼ平坦にすることができる。したがって、搬送装置のベルヌーイチャックや洗浄装置のポーラスチャックで被処理基板を適切に保持することができ、重合基板の剥離処理を適切に行うことができる。換言すれば、重合基板の剥離処理の安定性を向上させることができるのである。
【００１０】
前記冷却部は、前記第１の保持部に設けられ、且つ前記第１の保持部に保持された被処理基板の非接合面に冷却媒体を供給する冷媒供給部を有していてもよい。かかる場合、前記冷却媒体は不活性ガスであるのが好ましい。
【００１１】
前記冷却部は、前記第１の保持部に隣接して配置されていてもよい。かかる場合、前記冷却部は、前記第１の保持部から前記前記冷却部に被処理基板が搬送されている間に、当該被処理基板に付着した接着剤が硬化しない位置に配置されているのが好ましい。また、前記冷却部は、被処理基板を冷却する冷却板を有していてもよい。
【００１２】
別な観点による本発明は、前記剥離装置を備えた剥離システムであって、前記剥離装置と、前記剥離装置で剥離された第１の基板を洗浄する第１の洗浄装置と、前記剥離装置で剥離された第２の基板を洗浄する第２の洗浄装置と、を備えた処理ステーションと、前記処理ステーションに対して、第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬入出する搬入出ステーションと、前記処理ステーションと前記搬入出ステーションとの間で、第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬送する搬送装置と、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、重合基板から剥離された被処理基板の反りを抑制し、重合基板の剥離処理を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施の形態にかかる剥離システムの構成の概略を示す平面図である。
【図２】被処理ウェハと支持ウェハの側面図である。
【図３】剥離装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図４】第１の洗浄装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図５】第１の洗浄装置の構成の概略を示す横断面図である。
【図６】第２の搬送装置の構成の概略を示す側面図である。
【図７】剥離処理の主な工程を示すフローチャートである。
【図８】剥離後の被処理ウェハを非接合面側から冷却する様子を示す説明図である。
【図９】冷却後の被処理ウェハの状態を示す説明図である。
【図１０】冷却後の被処理ウェハの状態を示す説明図である。
【図１１】ベルヌーイチャックからポーラスチャックに被処理ウェハを受け渡す様子を示す説明図である。
【図１２】他の実施の形態にかかる剥離装置の構成の概略を示す縦断面図である。
【図１３】他の実施の形態において、第１の保持部から冷却板に被処理ウェハを搬送する様子を示す説明図である。
【図１４】他の実施の形態において、剥離後の被処理ウェハを非接合面側から冷却する様子を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる剥離システム１の構成の概略を示す平面図である。
【００１６】
剥離システム１では、図２に示すように被処理基板としての被処理ウェハＷと支持基板としての支持ウェハＳとが接着剤Ｇで接合された重合基板としての重合ウェハＴを、被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離する。以下、被処理ウェハＷにおいて、接着剤Ｇを介して支持ウェハＳと接合される面を「接合面ＷＪ」といい、当該接合面ＷＪと反対側の面を「非接合面ＷＮ」という。同様に、支持ウェハＳにおいて、接着剤Ｇを介して被処理ウェハＷと接合される面を「接合面ＳＪ」といい、当該接合面ＳＪと反対側の面を「非接合面ＳＮ」という。
【００１７】
被処理ウェハＷは、製品となるウェハであって、例えば接合面ＷＪに複数の電子回路やバンプ等を備えた複数のデバイスが形成されている。また、例えば非接合面ＷＮにも、バンプ等が形成されている場合がある。さらに被処理ウェハＷは、例えば非接合面ＷＮが研磨処理され、薄化されている。具体的には、被処理ウェハＷの厚さは、約２０μｍ〜１００μｍである。
【００１８】
支持ウェハＳは、被処理ウェハＷの径と略同径の円板形状を有し、当該被処理ウェハＷを支持するウェハである。なお、本実施の形態では、支持基板としてウェハを用いた場合について説明するが、例えばガラス基板等の他の基板を用いてもよい。
【００１９】
剥離システム１は、図１に示すように例えば外部との間で複数の被処理ウェハＷ、複数の支持ウェハＳ、複数の重合ウェハＴをそれぞれ収容可能なカセットＣＷ、ＣＳ、ＣＴが搬入出される搬入出ステーション２と、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴに対して所定の処理を施す各種処理装置を備えた剥離処理ステーション３と、剥離処理ステーション３に隣接する後処理ステーション４との間で被処理ウェハＷの受け渡しを行うインターフェイスステーション５と、を一体に接続した構成を有している。
【００２０】
搬入出ステーション２と剥離処理ステーション３は、Ｘ方向（図１中の上下方向）に並べて配置されている。これら搬入出ステーション２と剥離処理ステーション３との間には、ウェハ搬送領域６が形成されている。インターフェイスステーション５は、剥離処理ステーション３のＹ方向負方向側（図１中の左方向側）に配置されている。インターフェイスステーション５のＸ方向正方向側（図１中の上方向側）には、後処理ステーション４に受け渡す前の被処理ウェハＷを検査する検査装置７が配置されている。また、インターフェイスステーション５を挟んで検査装置７の反対側、すなわちインターフェイスステーション５のＸ方向負方向側（図１中の下方向側）には、検査後の被処理ウェハＷの接合面ＷＪ及び非接合面ＷＮの洗浄と、被処理ウェハＷの表裏面の反転を行う検査後洗浄ステーション８が配置されている。
【００２１】
搬入出ステーション２には、カセット載置台１０が設けられている。カセット載置台１０には、複数、例えば３つのカセット載置板１１が設けられている。カセット載置板１１は、Ｙ方向（図１中の左右方向）に一列に並べて配置されている。これらのカセット載置板１１には、剥離システム１の外部に対してカセットＣＷ、ＣＳ、ＣＴを搬入出する際に、カセットＣＷ、ＣＳ、ＣＴを載置することができる。このように搬入出ステーション２は、複数の被処理ウェハＷ、複数の支持ウェハＳ、複数の重合ウェハＴを保有可能に構成されている。
【００２２】
なお、カセット載置板１１の個数は、本実施の形態に限定されず、任意に決定することができる。例えばカセットＣＴを複数載置できるようにしてもよく、これら複数のカセットＣＴのうち、１つのカセットＣＴを不具合ウェハの回収用として用い、他方のカセットＣＴを正常な重合ウェハＴの収容用として用いてもよい。また、搬入出ステーション２に搬入された複数の重合ウェハＴには予め検査が行われており、正常な被処理ウェハＷを含む重合ウェハＴと、欠陥のある被処理ウェハＷを含む重合ウェハＴとに判別されている。
【００２３】
またカセット載置台１０には、処理待ちの複数の重合ウェハＴを一時的に収容して待機させておく待機装置１２が設けられている。待機装置１２には、ダイシングフレームのＩＤ（Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）の読み取りを行うＩＤ読取機構が設けられ、かかるＩＤ読取機構によって重合ウェハＴを識別することができる。さらに待機装置１２では、位置調節機構によって重合ウェハＴの水平方向の向きを調節することもできる。
【００２４】
ウェハ搬送領域６には、第１の搬送装置２０が配置されている。第１の搬送装置２０は、例えば鉛直方向、水平方向（Ｙ方向、Ｘ方向）及び鉛直軸周りに移動自在な搬送アームを有している。第１の搬送装置２０は、ウェハ搬送領域６内を移動し、搬入出ステーション２と剥離処理ステーション３との間で被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴを搬送できる。
【００２５】
剥離処理ステーション３は、重合ウェハＴを被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離する剥離装置３０を有している。剥離装置３０のＹ方向負方向側（図１中の左方向側）には、剥離された被処理ウェハＷを洗浄する第１の洗浄装置３１が配置されている。剥離装置３０と第１の洗浄装置３１との間には、第２の搬送装置３２が設けられている。また、剥離装置３０のＹ方向正方向側（図１中の右方向側）には、剥離された支持ウェハＳを洗浄する第２の洗浄装置３３が配置されている。このように剥離処理ステーション３には、第１の洗浄装置３１、第２の搬送装置３２、剥離装置３０、第２の洗浄装置３３が、インターフェイスステーション５側からこの順で並べて配置されている。
【００２６】
上記剥離装置３０の構成、上記第１の洗浄装置３１、第２の搬送装置３２の構成については、それぞれ後述する。
【００２７】
上記第２の洗浄装置３３としては、例えば特開２０１３−２３６０９４号公報に記載の第２の洗浄装置を用いることができる。すなわち、第２の洗浄装置３３は、第１の洗浄装置３１のほぼ同様の構成を有し、後述する第１の洗浄装置３１のポーラスチャック１９０に代えて、支持ウェハＳを保持して回転させるスピンチャックを有している。なお、第２の洗浄装置３３において、スピンチャックの下方には、被処理ウェハＷの裏面、すなわち非接合面ＷＮに向けて洗浄液を噴射するバックリンスノズル（図示せず）が設けられていてもよい。このバックリンスノズルから噴射される洗浄液によって、被処理ウェハＷの非接合面ＷＮと被処理ウェハＷの外周部が洗浄される。
【００２８】
検査装置７では、剥離装置３０により剥離された被処理ウェハＷ上の接着剤Ｇの残渣の有無が検査される。かかる検査は、例えばチャックに保持された被処理ウェハＷを撮像することによって行われる。
【００２９】
検査後洗浄ステーション８では、検査装置７で接着剤Ｇの残渣が確認された被処理ウェハＷの洗浄が行われる。この検査後洗浄ステーション８は、被処理ウェハＷの接合面ＷＪを洗浄する接合面洗浄装置４０、被処理ウェハＷの非接合面ＷＮを洗浄する非接合面洗浄装置４１、被処理ウェハＷの表裏面を上下反転させる反転装置４２を有している。これら接合面洗浄装置４０、反転装置４２、非接合面洗浄装置４１は、後処理ステーション４側からＹ方向に並べて配置されている。
【００３０】
インターフェイスステーション５には、Ｙ方向に延伸する搬送路５０上を移動自在な第３の搬送装置５１が設けられている。第３の搬送装置５１は、鉛直方向及び鉛直軸周り（θ方向）にも移動自在であり、剥離処理ステーション３、後処理ステーション４、検査装置７及び検査後洗浄ステーション８との間で被処理ウェハＷを搬送できる。
【００３１】
なお、後処理ステーション４では、剥離処理ステーション３で剥離された被処理ウェハＷに所定の後処理を行う。所定の後処理として、例えば被処理ウェハＷをマウントする処理や、被処理ウェハＷ上のデバイスの電気的特性の検査を行う処理、被処理ウェハＷをチップ毎にダイシングする処理などが行われる。
【００３２】
以上の剥離システム１には、図１に示すように制御部６０が設けられている。制御部６０は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、剥離システム１における被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴの処理を制御するプログラムが格納されている。また、プログラム格納部には、上述の各種処理装置や搬送装置などの駆動系の動作を制御して、剥離システム１における後述の剥離処理を実現させるためのプログラムも格納されている。なお、前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Ｈに記録されていたものであって、その記憶媒体Ｈから制御部６０にインストールされたものであってもよい。
【００３３】
次に、上述した剥離装置３０の構成について説明する。剥離装置３０は、図３に示すように、内部を密閉可能な処理容器１００を有している。処理容器１００の側面には、被処理ウェハＷ、支持ウェハＳ、重合ウェハＴの搬入出口（図示せず）が形成され、当該搬入出口には開閉シャッタ（図示せず）が設けられている。
【００３４】
処理容器１００の底面には、当該処理容器１００の内部の雰囲気を排気する排気口１０１が形成されている。排気口１０１には、例えば真空ポンプなどの排気装置１０２に連通する排気管１０３が接続されている。
【００３５】
処理容器１００の内部には、被処理ウェハＷを下面で吸着保持する第１の保持部１１０と、支持ウェハＳを上面で載置して保持する第２の保持部１１１とが設けられている。第１の保持部１１０は、第２の保持部１１１の上方に設けられ、第２の保持部１１１と対向するように配置されている。すなわち、処理容器１００の内部では、被処理ウェハＷを上側に配置し、且つ支持ウェハＳを下側に配置した状態で、重合ウェハＴに剥離処理が行われる。
【００３６】
第１の保持部１１０には、例えばポーラスチャックが用いられている。第１の保持部１１０は、平板状の本体部１２０を有している。本体部１２０の下面側には、多孔質体であるポーラス１２１が設けられている。ポーラス１２１は、例えば被処理ウェハＷとほぼ同じ径を有し、当該被処理ウェハＷの非接合面ＷＮと当接している。なお、ポーラス１２１としては例えば炭化ケイ素や多孔質セラミックが用いられる。
【００３７】
本体部１２０の内部であってポーラス１２１の上方には吸引空間１２２が形成されている。吸引空間１２２は、例えばポーラス１２１を覆うように形成されている。吸引空間１２２には、吸引管１２３が接続されている。吸引管１２３は、例えば真空ポンプなどの負圧発生装置（図示せず）に接続されている。そして、吸引管１２３から吸引空間１２２とポーラス１２１を介して被処理ウェハの非接合面ＷＮが吸引され、当該被処理ウェハＷが第１の保持部１１０に吸着保持される。
【００３８】
本体部１２０の内部であって吸引空間１２２の上方には、被処理ウェハＷを加熱する加熱機構１２４が設けられている。加熱機構１２４には、例えばヒータが用いられる。
【００３９】
また、本体部１２０には、第１の保持部１１０に保持された被処理ウェハＷの非接合面ＷＮに冷却媒体である不活性ガスを供給する、冷媒供給部としてのガス供給部１２５が設けられている。ガス供給部１２５は、被処理ウェハＷの非接合面ＷＮに当接するポーラス１２１の表面において開口している。また、ガス供給部１２５は、ポーラス１２１の表面において均一に分布するように複数設けられ、被処理ウェハＷの非接合面ＷＮに面内均一に不活性ガスを供給する。これら複数のガス供給部１２５は、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源１２６に連通している。ガス供給源１２６からガス供給部１２５に供給される不活性ガスは、所定の温度に調節されている。不活性ガスは、例えばガス供給源１２６の内部で温度調節されてもよいし、或いはガス供給部１２５に設けられた温調機構（図示せず）によって温度調節されてもよい。なお、これらガス供給部１２５とガス供給源１２６が、本発明の冷却部を構成している。
【００４０】
第１の保持部１１０の上面には、当該第１の保持部１１０を支持する支持板１３０が設けられている。支持板１３０は、処理容器１００の天井面に支持されている。なお、本実施の形態の支持板１３０を省略し、第１の保持部１１０は処理容器１００の天井面に当接して支持されてもよい。
【００４１】
第２の保持部１１１の内部には、支持ウェハＳを吸着保持するための吸引管１４０が設けられている。吸引管１４０は、例えば真空ポンプなどの負圧発生装置（図示せず）に接続されている。
【００４２】
また、第２の保持部１１１の内部には、支持ウェハＳを加熱する加熱機構１４１が設けられている。加熱機構１４１には、例えばヒータが用いられる。
【００４３】
第２の保持部１１１の下方には、第２の保持部１１１及び支持ウェハＳを鉛直方向及び水平方向に移動させる移動機構１５０が設けられている。移動機構１５０は、第２の保持部１１１を鉛直方向に移動させる鉛直移動部１５１と、第２の保持部１１１を水平方向に移動させる水平移動部１５２とを有している。
【００４４】
鉛直移動部１５１は、第２の保持部１１１の下面を支持する支持板１６０と、支持板１６０を昇降させて第１の保持部１１０と第２の保持部１１１を鉛直方向に接近、離隔させる駆動部１６１と、支持板１６０を支持する支持部材１６２とを有している。駆動部１６１は、例えばボールネジ（図示せず）と当該ボールネジを回動させるモータ（図示せず）とを有している。また、支持部材１６２は、鉛直方向に伸縮自在に構成され、支持板１６０と後述する支持体１７１との間に例えば４箇所に設けられている。
【００４５】
水平移動部１５２は、Ｘ方向（図３中の左右方向）に沿って延伸するレール１７０と、レール１７０に取り付けられる支持体１７１と、支持体１７１をレール１７０に沿って移動させる駆動部１７２とを有している。駆動部１７２は、例えばボールネジ（図示せず）と当該ボールネジを回動させるモータ（図示せず）とを有している。なお、駆動部１７２は、図示のようにレール１７０のＸ方向正方向側に配置されていてもよいし、或いはレール１７０のＸ方向負方向側に配置されていてもよい。
【００４６】
なお、第２の保持部１１１の下方には、重合ウェハＴ又は支持ウェハＳを下方から支持し昇降させるための昇降ピン（図示せず）が設けられている。昇降ピンは第２の保持部１１１に形成された貫通孔（図示せず）を挿通し、第２の保持部１１１の上面から突出可能になっている。
【００４７】
また、剥離装置３０における各部の動作は、上述した制御部６０によって制御される。
【００４８】
次に、上述した第１の洗浄装置３１の構成について説明する。第１の洗浄装置３１は、図４及び図５に示すように内部を密閉可能な処理容器１８０を有している。処理容器１８０の側面には、被処理ウェハＷの搬入出口（図示せず）が形成され、当該搬入出口には開閉シャッタ（図示せず）が設けられている。
【００４９】
処理容器１８０内の中央部には、被処理ウェハＷを保持して回転させるポーラスチャック１９０が設けられている。ポーラスチャック１９０は、平板状の本体部１９１と、本体部１９１の上面側に設けられた多孔質体であるポーラス１９２とを有している。ポーラス１９２は、例えば被処理ウェハＷとほぼ同じ径を有し、当該被処理ウェハＷの非接合面ＷＮと当接している。なお、ポーラス１９２としては例えば炭化ケイ素や多孔質セラミックが用いられる。ポーラス１９２には吸引管（図示せず）が接続され、当該吸引管からポーラス１９２を介して被処理ウェハＷの非接合面ＷＮを吸引することにより、当該被処理ウェハＷをポーラスチャック１９０上に吸着保持できる。
【００５０】
ポーラスチャック１９０の下方には、例えばモータなどを備えたチャック駆動部１９３が設けられている。ポーラスチャック１９０は、チャック駆動部１９３により所定の速度に回転できる。また、チャック駆動部１９３には、例えばシリンダなどの昇降駆動源が設けられており、ポーラスチャック１９０は昇降自在になっている。
【００５１】
ポーラスチャック１９０の周囲には、被処理ウェハＷから飛散又は落下する液体を受け止め、回収するカップ１９４が設けられている。カップ１９４の下面には、回収した液体を排出する排出管１９５と、カップ１９４内の雰囲気を真空引きして排気する排気管１９６が接続されている。
【００５２】
図５に示すように、カップ１９４のＸ方向負方向（図５中の下方向）側には、Ｙ方向（図５中の左右方向）に沿って延伸するレール２００が形成されている。レール２００は、例えばカップ１９４のＹ方向負方向（図５中の左方向）側の外方からＹ方向正方向（図５中の右方向）側の外方まで形成されている。レール２００には、アーム２０１が取り付けられている。
【００５３】
アーム２０１には、図４及び図５に示すように被処理ウェハＷに洗浄液、例えば接着剤Ｇの溶剤である有機溶剤を供給する洗浄液ノズル２０２が支持されている。アーム２０１は、図５に示すノズル駆動部２０３により、レール２００上を移動自在である。これにより、洗浄液ノズル２０２は、カップ１９４のＹ方向正方向側の外方に設置された待機部２０４からカップ１９４内の被処理ウェハＷの中心部上方まで移動でき、さらに当該被処理ウェハＷ上を被処理ウェハＷの径方向に移動できる。また、アーム２０１は、ノズル駆動部２０３によって昇降自在であり、洗浄液ノズル２０２の高さを調節できる。
【００５４】
洗浄液ノズル２０２には、例えば２流体ノズルが用いられる。洗浄液ノズル２０２には、図４に示すように当該洗浄液ノズル２０２に洗浄液を供給する供給管２１０が接続されている。供給管２１０は、内部に洗浄液を貯留する洗浄液供給源２１１に連通している。供給管２１０には、洗浄液の流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群２１２が設けられている。また、洗浄液ノズル２０２には、当該洗浄液ノズル２０２に不活性ガス、例えば窒素ガスを供給する供給管２１３が接続されている。供給管２１３は、内部に不活性ガスを貯留するガス供給源２１４に連通している。供給管２１３には、不活性ガスの流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群２１５が設けられている。そして、洗浄液と不活性ガスは洗浄液ノズル２０２内で混合され、当該洗浄液ノズル２０２から被処理ウェハＷに供給される。なお、以下においては、洗浄液と不活性ガスを混合したものを単に「洗浄液」という場合がある。
【００５５】
なお、ポーラスチャック１９０の下方には、被処理ウェハＷを下方から支持し昇降させるための昇降ピン（図示せず）が設けられていてもよい。かかる場合、昇降ピンはポーラスチャック１９０に形成された貫通孔（図示せず）を挿通し、ポーラスチャック１９０の上面から突出可能になっている。そして、ポーラスチャック１９０を昇降させる代わりに昇降ピンを昇降させて、ポーラスチャック１９０との間で被処理ウェハＷの受け渡しが行われる。
【００５６】
また、第１の洗浄装置３１における各部の動作は、上述した制御部６０によって制御される。
【００５７】
次に、上述した第２の搬送装置３２の構成について説明する。第２の搬送装置３２は、図６に示すように被処理ウェハＷを保持するベルヌーイチャック２３０を有している。ベルヌーイチャック２３０は、気体を噴出することにより被処理ウェハＷを浮遊させ、非接触の状態で被処理ウェハＷを吸引懸垂し保持することができる。ベルヌーイチャック２３０は、支持アーム２３１に支持されている。支持アーム２３１は、第１の駆動部２３２に支持されている。この第１の駆動部２３２により、支持アーム２３１は水平軸周りに回動自在であり、且つ水平方向に伸縮できる。第１の駆動部２３２の下方には、第２の駆動部２３３が設けられている。この第２の駆動部２３３により、第１の駆動部２３２は鉛直軸周りに回転自在であり、且つ鉛直方向に昇降できる。そして第２の搬送装置３２は、剥離された被処理ウェハＷの表裏面を反転させつつ、剥離装置３０から第１の洗浄装置３１に被処理ウェハＷを搬送できる。
【００５８】
なお、第２の搬送装置３２における各部の動作は、上述した制御部６０によって制御される。
【００５９】
次に、以上のように構成された剥離システム１を用いて行われる被処理ウェハＷと支持ウェハＳの剥離処理方法について説明する。図７は、かかる剥離処理の主な工程の例を示すフローチャートである。
【００６０】
先ず、複数枚の重合ウェハＴを収容したカセットＣＴ、空のカセットＣＷ、及び空のカセットＣＳが、搬入出ステーション２の所定のカセット載置板１１に載置される。第１の搬送装置２０によりカセットＣＴ内の重合ウェハＴが取り出され、待機装置１２に搬送される。このとき、重合ウェハＴは、被処理ウェハＷを上側に配置し、且つ支持ウェハＳを下側に配置した状態で搬送される。
【００６１】
待機装置１２では、ＩＤ読取機構によって重合ウェハＴのＩＤを読み取るＩＤ読取処理を行う。ＩＤ読取機構によって読み取られたＩＤは、制御部６０へ送信される。また待機装置１２では、位置調節機構によって重合ウェハＴのノッチ部の位置を検出しながら当該重合ウェハＴの向きが調節される。さらに例えば装置間の処理時間差等により処理待ちの重合ウェハＴが生じる場合には、待機装置１２に重合ウェハＴを一時的に待機させておくことができ、一連の工程間でのロス時間を短縮することができる。
【００６２】
剥離装置３０に搬入された重合ウェハＴは、第２の保持部１１１に吸着保持される。その後、移動機構１５０により第２の保持部１１１を上昇させて、第１の保持部１１０と第２の保持部１１１で重合ウェハＴを挟み込んで保持する。このとき、第１の保持部１１０に被処理ウェハＷの非接合面ＷＮが吸着保持され、第２の保持部１１１に支持ウェハＳの非接合面ＳＮが吸着保持される。
【００６３】
その後、加熱機構１２４、１４１によって重合ウェハＴが所定の温度、例えば２００℃〜２５０℃に加熱される。そうすると、重合ウェハＴ中の接着剤Ｇが軟化する。
【００６４】
続いて、加熱機構１２４、１４１によって重合ウェハＴを加熱して接着剤Ｇの軟化状態を維持しながら、移動機構１５０によって第２の保持部１１１と支持ウェハＳを鉛直方向及び水平方向、すなわち斜め下方に移動させる。そして、第１の保持部１１０に保持された被処理ウェハＷと、第２の保持部１１１に保持された支持ウェハＳとが剥離される（図７の工程Ａ１）。
【００６５】
この工程Ａ１において、第２の保持部１１１は、鉛直方向に１００μｍ移動し、且つ水平方向に３００ｍｍ移動する。ここで、本実施の形態では、重合ウェハＴ中の接着剤Ｇの厚みは例えば３０μｍ〜４０μｍであって、被処理ウェハＷの接合面ＷＪに形成されたデバイス（バンプ）の高さは例えば２０μｍである。したがって、被処理ウェハＷ上のデバイスと支持ウェハＳとの間の距離が微小となる。そこで、例えば第２の保持部１１１を水平方向にのみ移動させた場合、デバイスと支持ウェハＳが接触し、デバイスが損傷を被るおそれがある。この点、本実施の形態のように第２の保持部１１１を水平方向に移動させると共に鉛直方向にも移動させることによって、デバイスと支持ウェハＳとの接触を回避し、デバイスの損傷を抑制することができる。なお、この第２の保持部１１１の鉛直方向の移動距離と水平方向の移動距離の比率は、被処理ウェハＷ上のデバイス（バンプ）の高さに基づいて設定される。
【００６６】
その後、図８に示すように第１の保持部１１０に被処理ウェハＷの非接合面ＷＮが吸着保持された状態で、ガス供給部１２５から非接合面ＷＮに、所定の温度に調節された不活性ガスを供給する。これにより、被処理ウェハＷは非接合面ＷＮ側から冷却される。そして図９に示すように、接着剤Ｇは被処理ウェハＷ側の面（以下、「裏面ＧＲ」という）から冷却され、例えば１００℃まで冷却される（図７の工程Ａ２）。そうすると、これにより接着剤Ｇは裏面ＧＲから硬化して収縮する。なお、不活性ガスによって接着剤Ｇを冷却する目標温度は、当該接着剤Ｇが硬化する温度であって、接着剤の種類に応じて任意に設定される。
【００６７】
一方、接着剤Ｇにおいて被処理ウェハＷと反対側の面（以下、「表面ＧＦ」という）は外気によって冷却されて収縮するが、上述のように接着剤Ｇの裏面ＧＲを積極的に収縮させることで、接着剤Ｇの表面ＧＦの収縮と裏面ＧＲの収縮をほぼ同じにすることができる。なお、接着剤Ｇの表面ＧＦの収縮と裏面ＧＲの収縮は、例えば不活性ガスの温度や供給時間等によって制御される。そして、このように接着剤Ｇの表面ＧＦと裏面ＧＲとの収縮差を小さく制御することにより、被処理ウェハＷの反りが抑制され、被処理ウェハＷをほぼ平坦にすることができる。そして、第１の保持部１１０に保持された被処理ウェハＷの下方に配置されたベルヌーイチャック２３０によって、被処理ウェハＷを適切に保持することができる。
【００６８】
なお、工程Ａ２において、図１０に示すように接着剤Ｇの裏面ＧＲが表面ＧＦに先だって収縮するように、接着剤Ｇの裏面ＧＲを冷却してもよい。そうすると、被処理ウェハＷは接着剤Ｇ側に突出して若干程度反る。かかる場合でも、接着剤Ｇの表面ＧＦと裏面ＧＲとの収縮差を小さいので、被処理ウェハＷの反り量は小さい。このため、ベルヌーイチャック２３０によって被処理ウェハＷを適切に保持することができる。
【００６９】
ここで、従来、剥離後の被処理ウェハＷに対して何も処理しない場合、接着剤Ｇの表面ＧＦは裏面ＧＲに先だって収縮するため、被処理ウェハＷは接着剤Ｇと反対側に大きく突出して反る。これに対して、図９と図１０に示したいずれの場合でも、かかる従来の被処理ウェハＷの反りを防止して、ベルヌーイチャック２３０によって被処理ウェハＷを適切に保持することができる。
【００７０】
第１の保持部１１０からベルヌーイチャック２３０に被処理ウェハＷが受け渡されると、図１１に示すように支持アーム２３１を回動させてベルヌーイチャック２３０を第１の洗浄装置３１のポーラスチャック１９０の上方に移動させると共に、ベルヌーイチャック２３０を反転させて被処理ウェハＷの非接合面ＷＮを下方に向ける。このとき、ポーラスチャック１９０をカップ１９４よりも上方まで上昇させて待機させておく。その後、ベルヌーイチャック２３０からポーラスチャック１９０に被処理ウェハＷが受け渡され吸着保持される。このとき、上述したように被処理ウェハＷがほぼ平坦になっているので、ポーラスチャック１９０によって被処理ウェハＷを適切に保持することができる。
【００７１】
第１の洗浄装置３１では、ポーラスチャック１９０に被処理ウェハＷが吸着保持されると、ポーラスチャック１９０を所定の位置まで下降させる。続いて、アーム２０１によって待機部２０４の洗浄液ノズル２０２を被処理ウェハＷの中心部の上方まで移動させる。その後、ポーラスチャック１９０によって被処理ウェハＷを回転させながら、洗浄液ノズル２０２から被処理ウェハＷの接合面ＷＪに洗浄液を供給する。供給された洗浄液は遠心力により被処理ウェハＷの接合面ＷＪの全面に拡散されて、当該被処理ウェハＷの接合面ＷＪが洗浄される（図９の工程Ａ３）。
【００７２】
ここで、上述したように搬入出ステーション２に搬入された複数の重合ウェハＴには予め検査が行われており、正常な被処理ウェハＷを含む重合ウェハＴと欠陥のある正常な被処理ウェハＷを含む重合ウェハＴとに判別されている。
【００７３】
正常な重合ウェハＴから剥離された正常な被処理ウェハＷは、工程Ａ３で接合面ＷＪが洗浄された後、非接合面ＷＮが下方を向いた状態で第３の搬送装置５１によって検査装置７に搬送される。検査装置７では、被処理ウェハＷの接合面ＷＪを撮像して、当該接合面ＷＪにおける接着剤Ｇの残渣の有無が検査される（図７の工程Ａ４）。
【００７４】
検査装置７において接着剤Ｇの残渣が確認された場合、被処理ウェハＷは第３の搬送装置５１により検査後洗浄ステーション８の接合面洗浄装置４０に搬送され、接合面洗浄装置４０において接合面ＷＪが洗浄される（図７の工程Ａ５）。接合面ＷＪが洗浄されると、被処理ウェハＷは第３の搬送装置５１によって反転装置４２に搬送され、反転装置４２において被処理ウェハＷの表裏面が反転される（図７の工程Ａ６）。なお、検査装置７で接着剤Ｇの残渣が確認されなかった場合には、被処理ウェハＷは接合面洗浄装置４０に搬送されることなく反転装置４２にて反転される。
【００７５】
その後、反転された被処理ウェハＷは、第３の搬送装置５１により再び検査装置７に搬送され、非接合面ＷＮの検査が行われる（図７の工程Ａ７）。そして、非接合面ＷＮにおいて接着剤Ｇの残渣やパーティクルなどが確認された場合、被処理ウェハＷは第３の搬送装置５１によって非接合面洗浄装置４１に搬送され、非接合面洗浄装置４１において非接合面ＷＮが洗浄される（図７の工程Ａ８）。次いで、洗浄された被処理ウェハＷは、第３の搬送装置５１によって後処理ステーション４に搬送される。なお、検査装置７で接着剤Ｇの残渣が確認されなかった場合には、被処理ウェハＷは非接合面洗浄装置４１に搬送されることなくそのまま後処理ステーション４に搬送される。
【００７６】
その後、後処理ステーション４において被処理ウェハＷに所定の後処理が行われる（図７の工程Ａ９）。こうして、被処理ウェハＷが製品化される。
【００７７】
一方、欠陥のある重合ウェハＴから剥離された欠陥のある被処理ウェハＷは、工程Ａ３で接合面ＷＪが洗浄された後、第１の搬送装置２０によって搬入出ステーション２に搬送される。その後、欠陥のある被処理ウェハＷは、搬入出ステーション２から外部に搬出され回収される（図７の工程Ａ１０）。
【００７８】
被処理ウェハＷに上述した工程Ａ１〜Ａ１０が行われている間、剥離装置３０で剥離された支持ウェハＳは、第１の搬送装置２０によって第２の洗浄装置３３に搬送される。そして、第２の洗浄装置３３において、支持ウェハＳの接合面ＳＪが洗浄される（図７の工程Ａ１１）。かかる洗浄処理によって、支持ウェハＳの接合面ＳＪに残存する接着剤Ｇが除去される。
【００７９】
その後、接合面ＳＪが洗浄された支持ウェハＳは、第１の搬送装置２０によって搬入出ステーション２に搬送される。その後、支持ウェハＳは、搬入出ステーション２から外部に搬出され回収される（図７の工程Ａ１２）。こうして、一連の被処理ウェハＷと支持ウェハＳの剥離処理が終了する。
【００８０】
以上の実施の形態によれば、第１の保持部１１０に保持された被処理ウェハＷと第２の保持部１１１に保持された支持ウェハＳを加熱しながら剥離した後、剥離後の被処理ウェハＷを非接合面ＷＮ側から冷却する。そうすると、接着剤Ｇは裏面ＧＲから冷却され、これにより接着剤Ｇは裏面ＧＲから硬化して収縮する。一方、接着剤Ｇの表面ＧＦは外気によって冷却されて収縮するが、上述のように接着剤Ｇの裏面ＧＲを積極的に収縮させることで、接着剤Ｇの表面ＧＦと裏面ＧＲとの収縮差を小さくできる。これにより、冷却後の被処理ウェハＷの反りが抑制され、被処理ウェハＷをほぼ平坦にすることができる。したがって、第２の搬送装置３２のベルヌーイチャック２３０や第１の洗浄装置３１のポーラスチャック１９０で被処理ウェハＷを適切に保持することができ、重合ウェハＴの剥離処理を適切に行うことができる。換言すれば、重合ウェハＴの剥離処理の安定性を向上させることができる。
【００８１】
また、ガス供給部１２５は第１の保持部１１０に設けられているので、重合ウェハＴを被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離した後、直ちに剥離後の被処理ウェハＷに対して、当該被処理ウェハＷの非接合面ＷＮに不活性ガスを供給することができる。このため、接着剤Ｇの表面ＧＦが裏面ＧＲに先だって収縮するのを確実に抑制することができ、接着剤Ｇの表面ＧＦと裏面ＧＲとの収縮差をより小さくすることができる。そして、被処理ウェハＷの反りをより小さくすることができる。
【００８２】
さらに、このように第１の保持部１１０に保持された被処理ウェハＷにおいて、接着剤Ｇを積極的に硬化させるので、その後、ベルヌーイチャック２３０に被処理ウェハＷを受け渡した際、当該ベルヌーイチャック２３０に接着剤Ｇが付着するのを抑制することもできる。
【００８３】
なお、本実施の形態では、ガス供給部１２５から不活性ガスを供給したが、被処理ウェハＷの非接合面ＷＮに供給する冷却媒体はこれに限定されず、例えば空気等、種々の冷却媒体を用いることができる。但し、被処理ウェハＷ上のデバイスが影響を受けないようにするためには、冷却媒体として不活性ガスを用いるのが好ましい。
【００８４】
また、以上の実施の形態の剥離システム１によれば、剥離装置３０において重合ウェハＴを被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離した後、第１の洗浄装置３１において、剥離された被処理ウェハＷを洗浄すると共に、第２の洗浄装置３３において、剥離された支持ウェハＳを洗浄することができる。このように本実施の形態によれば、一の剥離システム１内で、被処理ウェハＷと支持ウェハＳの剥離から被処理ウェハＷの洗浄と支持ウェハＳの洗浄までの一連の剥離処理を効率よく行うことができる。また、第１の洗浄装置３１と第２の洗浄装置３３において、被処理ウェハＷの洗浄と支持ウェハＳの洗浄をそれぞれ並行して行うことができる。さらに、剥離装置３０において被処理ウェハＷと支持ウェハＳを剥離する間に、第１の洗浄装置３１と第２の洗浄装置３３において別の被処理ウェハＷと支持ウェハＳを処理することもできる。したがって、被処理ウェハＷと支持ウェハＳの剥離を効率よく行うことができ、剥離処理のスループットを向上させることができる。
【００８５】
また、このように一連のプロセスにおいて、被処理ウェハＷと支持ウェハＳの剥離から被処理ウェハＷの後処理まで行うことができるので、剥離処理のスループットをさらに向上させることができる。
【００８６】
以上の実施の形態では、剥離後の被処理ウェハＷを非接合面ＷＮ側から冷却する冷却部は、ガス供給部１２５とガス供給源１２６を備えていたが、冷却部の構成はこれに限定されず、種々の構成を取り得る。
【００８７】
例えば図１２に示すように、冷却部は冷却板３００を有している。冷却板３００は、第１の保持部１１０に隣接して配置されている。後述するように剥離後の被処理ウェハＷは第１の保持部１１０から冷却板３００に搬送される。この被処理ウェハＷの搬送中に被処理ウェハＷ上の接着剤Ｇが硬化しない位置に、冷却板３００は配置されている。
【００８８】
冷却板３００には、例えば第１の保持部１１０と同様にポーラスチャックが用いられる。冷却板３００は、平板状の本体部３１０を有している。本体部３１０の下面側には、多孔質体であるポーラス３１１が設けられている。ポーラス３１１は、例えば被処理ウェハＷとほぼ同じ径を有し、当該被処理ウェハＷの非接合面ＷＮと当接している。なお、ポーラス３１１としては例えば炭化ケイ素や多孔質セラミックが用いられる。
【００８９】
本体部３１０の内部であってポーラス３１１の上方には吸引空間３１２が形成されている。吸引空間３１２は、例えばポーラス３１１を覆うように形成されている。吸引空間３１２には、吸引管３１３が接続されている。吸引管３１３は、例えば真空ポンプなどの負圧発生装置（図示せず）に接続されている。そして、吸引管３１３から吸引空間３１２とポーラス３１１を介して被処理ウェハの非接合面ＷＮが吸引され、当該被処理ウェハＷが冷却板３００に保持される。
【００９０】
本体部３１０の内部であって吸引空間３１２の上方には、被処理ウェハＷを冷却する冷却部材３１４が設けられている。冷却部材３１４には、例えばペルチェ素子等が用いられる。
【００９１】
なお、本実施の形態では、冷却板３００にポーラスチャックを用いていたが、被処理ウェハＷを保持する構成は本実施の形態に限定されず、任意に設計することができる。例えば被処理ウェハＷは、冷却板３００とは別の保持機構（図示せず）によって保持されてもよい。また本実施の形態では、被処理ウェハＷは冷却板３００に当接して保持されていたが、被処理ウェハＷと冷却板３００との間に微小な隙間が形成されていてもよい。かかる場合でも、冷却板３００によって被処理ウェハＷを冷却することは可能である。
【００９２】
かかる場合、工程Ａ１において重合ウェハＴを被処理ウェハＷと支持ウェハＳに剥離した後、図１３に示すように第２の搬送装置３２のベルヌーイチャック２３０によって、第１の保持部１１０から冷却板３００に被処理ウェハＷは搬送される。そして、図１４に示すようにベルヌーイチャック２３０から冷却板３００に被処理ウェハＷが受け渡され、当該冷却板３００に被処理ウェハＷの非接合面ＷＮが保持される。
【００９３】
上述したように冷却板３００は第１の保持部１１０に隣接して配置されているので、被処理ウェハＷの搬送時間を短時間にできる。そうすると、被処理ウェハＷの搬送中、接着剤Ｇの表面ＧＦが外気に晒されていても、表面ＧＦの温度がほとんど低下せず、当該表面ＧＦは硬化して収縮しない。
【００９４】
その後、工程Ａ２において、冷却板３００に被処理ウェハＷの非接合面ＷＮが吸着保持された状態で、冷却板３００によって当該被処理ウェハＷが非接合面ＷＮ側から冷却される。そうすると、接着剤Ｇは裏面ＧＲから冷却されて、裏面ＧＲから硬化して収縮する。このため、接着剤Ｇの表面ＧＦの収縮と裏面ＧＲの収縮をほぼ同じにすることができ、被処理ウェハＷをほぼ平坦にすることができる。
【００９５】
なお、後続の工程Ａ３〜Ａ１２については、上記実施の形態における工程Ａ３〜Ａ１２と同様であるので説明を省略する。
【００９６】
本実施の形態においても、上記実施の形態と同様の効果を享受できる。すなわち、冷却後の被処理ウェハＷをほぼ平坦にできるので、第２の搬送装置３２のベルヌーイチャック２３０や第１の洗浄装置３１のポーラスチャック１９０で被処理ウェハＷを適切に保持することができ、重合ウェハＴの剥離処理を適切に行うことができる。
【００９７】
また、冷却板３００は第１の保持部１１０と独立して設けられているので、冷却板３００による被処理ウェハＷ（接着剤Ｇ）の冷却に伴って、第１の保持部１１０が影響を受けることがない。すなわち、第１の保持部１１０が冷却されることがなく、第１の保持部１１０の温度を維持することができる。そうすると、工程Ａ１において重合ウェハＴを加熱しながら剥離した後、工程Ａ２において剥離後の被処理ウェハＷを冷却しても、次の重合ウェハＴを加熱するために第１の保持部１１０の温度を調節する必要がない。したがって、第１の保持部１１０を用いた重合ウェハＴの剥離処理を連続して行うことができ、剥離処理のスループットを向上させることができる。
【００９８】
なお、本実施の形態では、第１の保持部１１０に隣接して設けられる冷却部として、冷却板３００を用いたが、冷却部の構成はこれに限定されない。例えば被処理ウェハＷ非接合面ＷＮに不活性ガス等の冷却媒体を供給する冷却部を、第１の保持部１１０に隣接して設けてもよい。
【００９９】
また、冷却部は、図３に示したガス供給部１２５とガス供給源１２６と、図１２に示した冷却板３００をすべて備えていてもよい。かかる場合、両実施の形態における効果を相乗的に享受することができる。
【０１００】
以上の実施の形態の剥離システム１において、剥離前の重合ウェハＴにおける接着剤Ｇの周縁部を除去するエッジカット装置（図示せず）が設けられていてもよい。エッジカット装置では、例えば接着剤Ｇの溶剤に重合ウェハＴを浸漬させることによって、接着剤Ｇの周縁部を溶剤によって溶解させる。かかるエッジカット処理により接着剤Ｇの周縁部が除去されることで、剥離装置３０での剥離処理において被処理ウェハＷと支持ウェハＳとを剥離させ易くすることができる。
【０１０１】
以上の実施の形態の重合ウェハＴには、当該重合ウェハＴの損傷を抑制するための保護部材、例えばダイシングフレーム（図示せず）が設けられていてもよい。ダイシングフレームは、被処理ウェハＷ側に設けられている。そして、被処理ウェハＷが支持ウェハＳから剥離された後も、薄化された被処理ウェハＷはダイシングフレームに保護された状態で、所定の処理や搬送が行われる。したがって、剥離後の被処理ウェハＷの損傷を抑制することができる。
【０１０２】
以上の実施の形態では、後処理ステーション４において被処理ウェハＷに後処理を行い製品化する場合について説明したが、本発明は、例えば３次元集積技術で用いられる被処理ウェハを支持ウェハから剥離する場合にも適用することができる。なお、３次元集積技術とは、近年の半導体デバイスの高集積化の要求に応えた技術であって、高集積化した複数の半導体デバイスを水平面内で配置する代わりに、当該複数の半導体デバイスを３次元に積層する技術である。この３次元集積技術においても、積層される被処理ウェハの薄化が求められており、当該被処理ウェハを支持ウェハに接合して所定の処理が行われる。
【０１０３】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。本発明は、基板がウェハ以外のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）、フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板である場合にも適用できる。
【符号の説明】
【０１０４】
１    剥離システム
２    搬入出ステーション
３    剥離処理ステーション
２０  第１の搬送装置
３０  剥離装置
３１  第１の洗浄装置
３３  第２の洗浄装置
６０  制御部
１１０  第１の保持部
１１１  第２の保持部
１２４  加熱機構
１２５  ガス供給部
１２６  ガス供給源
３００  冷却板
Ｇ    接着剤
Ｓ    支持ウェハ
Ｔ    重合ウェハ
Ｗ    被処理ウェハ
【図１】
2015207756.tif 000003
【図２】
2015207756.tif 000004
【図３】
2015207756.tif 000005
【図４】
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【図５】
2015207756.tif 000007
【図６】
2015207756.tif 000008
【図７】
2015207756.tif 000009
【図８】
2015207756.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2015207756.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2015207756.tif 000014
【図１３】
2015207756.tif 000015
【図１４】
2015207756.tif 000016