(57)【要約】【課題】安価な搬送機構で搬送ロボットを構成するとともに搬送機構の修理や調整を容易にする。【解決手段】本発明の搬送機構は、板状ワークＷを保持する保持ユニット２１とこれを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニット２４とを備える搬送ロボット２０と、搬送ロボット２０を直線状の走行方向に走行させる走行ユニット２４とにより構成され、走行ユニット２４によって搬送ロボット２０を走行方向に走行させつつ、移動ユニット２４の旋回部２８によって保持ユニット２１を搬送先に向けて旋回させることにより、保持ユニット２１が保持する板状ワークを搬送先に搬送するため、、安価な搬送機構で搬送ロボット２０を構成でき、搬送機構の構成が簡易となり該搬送機構の修理や調整を容易に行うことができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状ワークを保持する保持ユニットと該保持ユニットを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニットとを備える搬送ロボットと、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行ユニットと、により構成され、該走行ユニットの走行方向に複数配設される搬送先に板状ワークを搬送する搬送機構であって、
該保持ユニットは、板状ワークを保持する保持部と、該保持部を支持し該移動ユニットに連結された直線状のアーム部と、を備え、
該移動ユニットは、該アーム部に連結され該保持ユニットを支持する支持柱と、該支持柱を上下させる昇降部と、該支持柱を軸として該保持ユニットを水平方向に旋回させる旋回部と、を備え、
該走行ユニットは、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行レールと、該走行レールに沿って該搬送ロボットを走行させる走行駆動源と、を備え、
該走行ユニットによって該搬送ロボットを走行方向に走行させつつ、該移動ユニットの該旋回部によって該保持ユニットを該搬送先に向けて旋回させることにより、該保持ユニットが保持する板状ワークを該搬送先に搬送する搬送機構。
【請求項２】
前記走行ユニットによって前記搬送ロボットを走行方向に走行させる走行速度に応じて前記旋回部の旋回速度を制御する制御部を備え、
該制御部は、該搬送ロボットの該走行方向の走行速度に対応した旋回速度で該旋回部を旋回させ、前記保持ユニットが保持する板状ワークを該走行方向に対して直交する方向に位置する搬送先に搬送する請求項１記載の搬送機構。
【請求項３】
前記保持ユニットが保持する板状ワークの中心を軸に該保持ユニットを回転させる回転軸と、該回転軸を回転させるモータとを備える請求項１または２記載の搬送機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置において板状ワークを搬送する搬送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状ワークなどの被加工物に対して加工を施す加工装置には、板状ワークを所定の搬送先に搬送する搬送手段として、例えば搬送ロボットが用いられる。搬送ロボットとしては、例えば、板状ワークを保持するハンドまたは保持パッドを装着した多関節アーム軸と、ハンドまたは保持パッドを上下方向に移動させる昇降軸と、ハンドまたは保持パッドを旋回移動させる旋回軸とを備えるスカラロボットがある。このように構成される搬送ロボットでは、ハンドまたは保持パッドで板状ワークを保持し、加工装置における所定の搬送先に板状ワークを搬送している（例えば、下記の特許文献１及び２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−３３９６５号公報
【特許文献２】特表２００９−５３８５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した搬送ロボットに備える多関節アーム軸には、少なくとも２本のアームと、各アームを旋回させる旋回モータと、２本のアームを同期させて旋回方向を逆にして該アームを旋回させるベルト機構とを少なくとも備える必要があり、多関節アーム軸を有さない搬送ロボットと比べて高価となって非経済的である。また、多関節アーム軸は、複雑な構造となっているため、搬送機構の修理や調整が困難であるという問題もある。
【０００５】
本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、安価な搬送機構で搬送ロボットを構成するとともに、搬送機構の修理や調整を容易にできるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、板状ワークを保持する保持ユニットと該保持ユニットを上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニットとを備える搬送ロボットと、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行ユニットと、により構成され、該走行ユニットの走行方向に複数配設される搬送先に板状ワークを搬送する搬送機構であって、該保持ユニットは、板状ワークを保持する保持部と、該保持部を支持し該移動ユニットに連結された直線状のアーム部と、を備え、該移動ユニットは、該アーム部に連結され該保持ユニットを支持する支持柱と、該支持柱を上下させる昇降部と、該支持柱を軸として該保持ユニットを水平方向に旋回させる旋回部と、を備え、該走行ユニットは、該搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行レールと、該走行レールに沿って該搬送ロボットを走行させる走行駆動源と、を備え、該走行ユニットによって該搬送ロボットを走行方向に走行させつつ、該移動ユニットの該旋回部によって該保持ユニットを該搬送先に向けて旋回させることにより、該保持ユニットが保持する板状ワークを該搬送先に搬送する。
【０００７】
上記搬送機構では、上記走行ユニットによって上記搬送ロボットを走行方向に走行させる走行速度に応じて上記旋回部の旋回速度を制御する制御部を備え、該制御部は、該搬送ロボットの該走行方向の走行速度に対応した旋回速度で該旋回部を旋回させ、前記保持ユニットが保持する板状ワークを該走行方向に対して直交する方向に位置する搬送先に搬送する。
【０００８】
上記保持ユニットが保持する板状ワークの中心を軸に該保持ユニットを回転させる回転軸と、該回転軸を回転させるモータとを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の搬送機構は、板状ワークを保持する保持部と直線状のアーム部とを備える保持ユニットと、保持ユニットを上下方向と水平方向と移動させる移動ユニットとから構成される搬送ロボットと、搬送ロボットを直線状の走行方向に走行させる走行ユニットとにより構成したため、多関節アームを備えた搬送ロボットと比べて搬送機構の部品を減らして安価な搬送機構で搬送ロボットを構成することできる上、搬送機構の構成が簡易であることから搬送機構の調整や修理を容易に行うことができる。そして、搬送ロボットを走行方向に走行させながら保持ユニットを搬送先に向けて旋回させて板状ワークを搬送するため、多関節アームを備えていなくても、板状ワークを所望の搬送先に搬送することができる。
【００１０】
また、本発明の搬送機構には、上記走行ユニットによって上記搬送ロボットを走行方向に走行させる走行速度に応じて移動ユニットに備える旋回部の旋回速度を制御する制御部
を備えているため、搬送ロボットを該走行方向に走行させながら、板状ワークを的確に搬送先に搬送できる。
【００１１】
さらに、本発明の搬送機構には、保持ユニットが保持する板状ワークの中心を軸にして保持ユニットを回転させる回転軸と、該回転軸を回転させるモータとを備えていることから、保持ユニットが回転することで板状ワークの向きを搬送先で所望の向きに合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】搬送機構を備える加工装置の一例を示す分解斜視図である。
【図２】搬送機構を備える加工装置の一例を示す斜視図である。
【図３】板状ワークを研削ユニットに搬送する状態を示す平面図である。
【図４】板状ワークを洗浄ユニットに搬送する状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１及び図２に示す搬送ロボット２０は、被加工物である板状ワークを所望の搬送先に搬送する搬送機構の一例であり、例えば板状ワークに研削を施す加工装置１に搭載することができる。加工装置１は、図１に示すように、Ｘ軸方向に延在して配設されるカセット載置ユニット２と、カセット載置ユニット２に載置されたカセット３に対して板状ワークを搬出及び搬入する搬出入ロボット１０と、搬出入ロボット１０をＸ軸方向に移動させるガイドユニット１７と、搬出入ロボット１０によって搬出された板状ワークを仮置きする仮置きユニット４０と、仮置きユニット４０から搬送先に板状ワークを搬送する搬送ロボット２０と、搬送ロボット２０を直線状の走行方向（Ｙ軸方向）に走行させる走行ユニット３０と、走行ユニット３０の走行方向に沿って配設される研削ユニット５０ａ，５０ｂと、研削ユニット５０ａ，５０ｂによって研削が施された板状ワークを洗浄する洗浄ユニット６０とを備えている。
【００１４】
カセット載置ユニット２は、複数のカセットステージ２ａが連結されて構成されており、各カセットステージ２ａのそれぞれに複数の板状ワークを収容するカセット３が載置されている。カセット３は、例えば、作業者によってカセットステージ２ａに載置される。
【００１５】
搬出入ロボット１０は、板状ワークを保持する保持ユニット１１と、保持ユニット１１を支持するとともにＸ軸方向に移動させる移動ユニット１４とを備えている。保持ユニット１１は、被加工物をハンドリングするハンド１２と、ハンド１２に装着され前後方向に伸縮する多関節アーム１３とを備えており、多関節アーム１３が伸縮することにより、ハンド１２を所望の位置に位置付けることができる。ハンド１２は、１８０度反転して上面と下面とを裏返すことができる構成となっている。移動ユニット１４は、多関節アーム１３に連結され保持ユニット１１を昇降させる支持部１５と、支持部１５に接続されるガイド部１６とを備えている。ガイド部１６は、ガイドユニット１７において移動可能に配設されている。搬出入ロボット１０及び移動ユニット１４が作動することにより、カセットステージ２ａに載置されたカセット３に対して板状ワークの搬出入をすることができる。
【００１６】
ガイドユニット１７は、カセット載置ユニット２と平行なＸ軸方向に延在するガイドレール１８を備えている。ガイドレール１８は、両側に配設された端部ガイドレール１８ａ，１８ｂと、２つの中間ガイドレール１８ｃとにより構成されている。ガイドユニット１７では、中間レール１８ｃを増やすことにより、ガイドレール１８の長さを延長することが可能となっている。このように構成されるガイドユニット１７は、図２に示すように、カセット載置ユニット２に連結される。
【００１７】
仮置きユニット４０は、箱状のユニットハウジング４１と、ユニットハウジング４１の上面に形成された仮置きテーブル４２と、仮置きテーブル４２の中心を基準として径方向に移動可能な複数のピン４３とを備えている。この仮置きユニット４０は、図２に示すように、例えば、例えば走行ユニット３０の側方に配置される。仮置きユニット４０では、板状ワークを仮置きテーブル４２に載置した状態でピン４３が径方向に移動し、板状ワークの周縁をピン４３が押すことにより、仮置きテーブル４２において板状ワークの中心を所定位置に合わせることができる。
【００１８】
搬送ロボット２０は、板状ワークを保持する保持ユニット２１と、保持ユニット２１を上下方向（Ｚ軸方向）と水平方向（ＸＹ平面方向）とに移動させる移動ユニット２４とを備えている。保持ユニット２１は、板状ワークを保持する保持部２２と、保持部２２を支持し移動ユニット２４に連結され関節を有しない直線状のアーム部２３とを備えている。保持部２２は、例えば保持パッドで構成されており、板状ワークを吸引保持することができる。アーム部２３の幅は、保持部２２の直径よりも短い。
【００１９】
移動ユニット２４は、アーム部２３に連結され保持ユニット２１を支持する支持柱２５と、支持柱２５の下方に連結された走行部２６と、支持柱２５とともに保持ユニット２１を上下方向に昇降させる昇降部２７と、支持柱２５を軸として保持ユニット２１を水平方向に旋回させる旋回部２８とを備えている。また、図示していないが、移動ユニット２４には、保持ユニット２１が保持する板状ワークの中心を軸に保持ユニット２１に備える保持部２２を回転させる回転軸と、該回転軸を回転させるモータとを備えており、保持部２２自体を所望角度回転させることが可能な構成となっている。
【００２０】
走行ユニット３０は、ガイドユニット１７の延在方向（Ｘ軸方向）に対して垂直なＹ軸方向に直線状に延在して配設されている。走行ユニット３０は、搬送ロボット２０を直線状の走行方向（Ｙ軸方向）に走行させる走行レール３１と、走行レール３１に沿って上記搬送ロボット２０を走行させる走行駆動源３２とを備えている。走行レール３１は、両側に配設された端部走行レール３１ａ，３１ｂと、３つの中間走行レール３１ｃとを連結させた構成となっている。走行ユニット３０では、中間走行レール３１ｃを増やすことにより、走行レール３１の長さを延長することができる。走行駆動源３２は、図示していないが、例えば走行レール３１と平行にのびるボールネジと、該ボールネジの一端に連結されたモータとにより構成される。
【００２１】
走行ユニット３０には、走行ユニット３０によって搬送ロボット２０を走行方向に走行させる走行速度に応じて旋回部２８の旋回速度を制御する制御部７０が接続されている。制御部７０は、保持ユニット２２が保持する板状ワークを、搬送ロボット２０の走行方向（Ｙ軸方向）に複数配設される所望の搬送先に搬送するように制御することができる。
【００２２】
研削ユニット５０ａは、ユニットハウジング５１と、ユニットハウジング５１の上面に配設され回転可能なターンテーブル５２と、ターンテーブル５２に配設された少なくとも２つのチャックテーブル５３と、チャックテーブル５３に保持された板状ワークに対して例えば粗研削を施す研削手段５４ａと、研削手段５４ａを支持する支持手段５５とを備えている。ターンテーブル５２が回転することにより、チャックテーブル５３を、研削が施される領域とチャックテーブル５３に対して搬送ロボット２０が板状ワークを搬送できる搬送領域とに移動させることができる。
【００２３】
研削手段５４ａは、粗研削用の研削砥石５４１ａが環状に固着された研削ホイール５４０ａを備えている。図示しないモータが駆動されてスピンドルが回転することにより、研削ホイール５４０ａを所定の回転速度で回転させることができる。支持手段５５は、門型のコラム５５０と、コラム５５０の中央において研削手段５４ａを挟むようにして支持する支持板５５１とを備えている。支持板５５１は、研削手段５４ａを上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させることが可能となっている。一方、研削ユニット５０ｂは、例えば板状ワークに対して仕上げ研削を施す研削ユニットであり、研削手段５４ｂにおいて仕上げ研削用の研削砥石５４１ｂが環状に固着された研削ホイール５４０ｂを備えている点以外は、研削ユニット５０ａと同様の構成となっているため、同様に構成されている部位には研削ユニット５０ａと共通の符号してその説明は省略する。このように構成される研削ユニット５０ａ，５０ｂは、図２に示すように、走行ユニット３０に沿って対面して配設されている。
【００２４】
図２に示す研削ユニット５０ａ，５０ｂの周囲には、研削ユニット５０ａ，５０ｂと他の機構とを仕切るための壁６を有する仕切り部４ａ，４ｂがそれぞれ配設されている。仕切り部４ａ，４ｂには、搬送ロボット２０の走行方向（Ｙ軸方向）側に面した部分において開口部５が形成されており、開口部５から研削ユニット５０ａ，５０ｂの内部に搬送ロボット２０の保持部２２が進入できる構成となっている。なお、図２の例では、仕切り部４ａ，４ｂを研削ユニット５０ａ，５０ｂの周囲に配設したが、この構成に限定されるものではない。
【００２５】
洗浄ユニット６０は、図１に示すように、ユニットハウジング６１と、ユニットハウジング６１において凹部状に形成された洗浄領域６２と、板状ワークを保持し回転可能なスピンナーテーブル６３と、スピンナーテーブル６３に保持された板状ワークに対して洗浄液を噴出するノズル６４とを備えている。洗浄ユニット６０は、図２に示すように、例えば、仮置きテーブル４１と対向した位置であって走行ユニット３０の側方に配置される。加工後の板状ワークを洗浄する際には、板状ワークをスピンナーテーブル６３に保持させるとともにスピンナーテーブル６３を回転させながら、板状ワークに向けてノズル６４から洗浄液を噴きつけて洗浄が行われる。
【００２６】
以下では、図２に示す加工装置１を用いて板状ワークＷに対し搬送、研削及び洗浄を施す動作について説明する。板状ワークＷは、被加工物の一例であって、その表面Ｗａに格子状のストリートＳによって区画されたそれぞれの領域に複数のデバイスＤが形成されている。また、板状ワークＷの外周の一端部には、結晶方位を識別するためのマークとなるノッチＮが形成されている。このように構成される板状ワークＷは、カセット載置ユニット２のカセットステージ２ａに載置されたカセット３に複数収容されている。
【００２７】
まず、搬出入ロボット１０は、カセット３から加工前の板状ワークＷを搬出して仮置きユニット４０に搬送する。板状ワークＷが仮置きユニット４０の仮置きテーブル４２に載置されたら、４つのピン４３が径方向に移動し、板状ワークＷの周縁を押して仮置きテーブル４２において板状ワークＷの中心の位置を合わせる。その後、搬送ロボット２０及び走行ユニット３０が作動することにより、板状ワークＷが研削ユニット５０ａ，５０ｂ及び洗浄ユニット６０に順次搬送されて粗研削、仕上げ研削及び洗浄が順次施される。
【００２８】
ここで、搬送ロボット２０を図１で示した走行レール３１に沿って直線方向（Ｙ軸方向）に走行させながら、板状ワークＷを搬送先に搬送する動作について説明する。なお、研削ユニット５０ａ，５０ｂに向けて板状ワークＷを直線状に搬送する動作は同様であるため、板状ワークＷを研削ユニット５０ｂに搬送する動作を説明するものとする。
【００２９】
搬送ロボット２０の保持部２２が板状ワークＷを保持した後、図１で示した走行駆動源３２が作動することにより、図３（ａ）に示すように、走行レール３１に沿って搬送ロボット２０を例えば＋Ｙ方向に走行させる。また、走行ユニット３０によって搬送ロボット２０を＋Ｙ方向に走行させながら、旋回部２８によって保持ユニット２１を水平方向に旋回させ、アーム部２３とともに保持部２２を図２で示した仕切り部４ｂの開口部５から研削ユニット５０ｂの内部に進入させる。このとき、図１で示した制御部７０は、走行ユニット３０によって搬送ロボット２０が＋Ｙ方向に走行する走行速度に応じて旋回部２８による保持ユニット２１の旋回速度を制御する。具体的には、図３（ａ）に示す状態、すなわち保持部２２が、走行レール３１の真上（＋Ｚ側）であって研削ユニット５０ｂのチャックテーブル５３の側方（−Ｘ方向側）にある状態から、図３（ｂ）に示すように＋Ｘ方向に移動し、同図（ｃ）に示すチャックテーブル５３の真上（＋Ｚ側）の位置に到達するように、搬送ロボット２０の＋Ｙ方向の走行速度とアーム部２３の旋回速度とを調整する。すなわち、保持部２２は、±Ｙ方向には動かず、＋Ｘ方向にのみ動くようにする。このようにして、搬送ロボット２０を走行方向（＋Ｙ方向）に走行させながら、搬送ロボット２０の走行方向に直交する方向（＋Ｘ方向）に保持部２２が移動するように保持ユニット２１を旋回させて保持部２２をチャックテーブル５３の上方の位置に的確に移動させ、板状ワークＷをチャックテーブル５３に搬送できる。板状ワークＷを保持する保持部２２が走行レール３１に対して水平方向に直交する方向（Ｘ軸方向）に移動するため、開口部５の±Ｙ方向のサイズは、保持部２２の直径より若干大きい程度でよい。
【００３０】
また、板状ワークＷをチャックテーブル５３に搬送する際、移動ユニット２４に備えた図示しないモータが保持部２２を回転させることで、チャックテーブル５３において板状ワークＷのノッチＮの向きを所望の向きに合わせることができる。保持部２２を回転させず、旋回部２８の旋回角度に応じて、チャックテーブル５３を回転させてノッチＮの向きを合わせるようにしてもよい。
【００３１】
次に、図４に示すように、研削ユニット５０ｂから洗浄ユニット６０に向けて板状ワークＷを搬送する動作について説明する。具体的には、図１で示した走行駆動源３２が作動することにより、図４（ａ）に示すように、走行レール３１に沿って搬送ロボット２０を例えば＋Ｙ方向にさらに走行させながら、旋回部２８によって保持ユニット２１を水平方向に旋回させる。
【００３２】
このとき、図１で示した制御部７０は、走行ユニット３０によって搬送ロボット２０が走行する走行速度に応じて旋回部２８による保持ユニット２１の旋回速度を制御する。具体的には、移動ユニット２４が図４（ａ）に示す状態、すなわち保持部２２が、走行レール３１の真上（＋Ｚ側）であって洗浄ユニット６０のスピンナーテーブル６３の側方（−Ｘ方向側）にある状態から、図４（ｂ）に示すように、＋Ｘ方向に移動し、同図（ｃ）に示すスピンナーテーブル６３の真上（＋Ｚ側）の位置に到達するように、＋Ｙ方向の走行速度とアーム部２３の旋回速度とを調整する。すなわち、保持部２２は、±Ｙ方向には動かず、＋Ｘ方向にのみ動くようにする。このようにして、搬送ロボット２０を走行方向（＋Ｙ方向）に走行させながら、保持ユニット２１を旋回させて搬送ロボット２０の走行方向に直交する方向（＋Ｘ方向）に保持部２２を移動させてスピンナーテーブル６３の上方の位置に的確に位置づけ、板状ワークＷをスピンナーテーブル６３に搬送できる。
【００３３】
次に、板状ワークＷに対して粗研削及び仕上げ研削を施す動作について説明する。図２に示すように、加工前の板状ワークＷが、上記した搬送ロボット２０による直線状の搬送動作により研削ユニット５０ａのチャックテーブル５３に搬送されると、ターンテーブル５２が回転し、板状ワークＷを保持したチャックテーブル５３を研削手段５４ａの下方に移動させる。次いで、支持手段５５によって研削手段５４ａを板状ワークＷの表面Ｗａに接近する方向に下降させ、研削ホイール５４０ａとともに回転する研削砥石５４１ａで板状ワークＷの表面Ｗａを押圧しながら粗研削する。その後、ターンテーブル５２がさらに回転することにより、粗研削後の板状ワークＷを保持したチャックテーブル５３を、搬送ロボット２０が届く範囲の搬送領域に移動させる。
【００３４】
搬送ロボット２０の保持部２２が粗研削後の板状ワークＷを保持した後、搬送ロボット２０は、上記した直線状の搬送動作によって研削ユニット５０ｂのチャックテーブル５３に板状ワークＷを搬送する。その後、粗研削と同様に、ターンテーブル５２が回転し、板状ワークＷを保持したチャックテーブル５３を研削手段５４ｂの下方に移動させ、研削ホイール５４０ｂとともに回転する研削砥石５４１ｂで板状ワークＷの表面Ｗａを押圧しながら仕上げ研削する。このようにして粗研削及び仕上げ研削された板状ワークＷは、搬送ロボット２０によって洗浄ユニット６０に搬送され洗浄された後、搬出入ロボット１０によって、スピンナーテーブル６３から搬出されて所定のカセット３に搬入される。
【００３５】
以上のとおり、搬送ロボット２０は、板状ワークＷを保持する保持部２２とこれを支持する直線状のアーム部２３とを備える保持ユニット２１と、保持ユニット２１を上下方向と水平方向とに移動させる移動ユニット２４とにより構成され、搬送ロボット２０を走行方向に走行させながら保持ユニット２１を搬送先に向けて旋回させて板状ワークを搬送するため、多関節アームを備えていないくても、板状ワークを所望の搬送先に搬送することができる。したがって、多関節アームを備えた従来の搬送ロボットと比べて部品を減らすことができ、安価な搬送機構で搬送ロボット２０を構成できる。また、搬送ロボット２０の構成が複雑に構成されていないため、搬送機構の調整や修理を容易に行うことが可能となる。
【符号の説明】
【００３６】
１：加工装置  ２：カセット載置ユニット  ２ａ：カセットステージ  ３：カセット
４ａ，４ｂ：仕切り部  ５：開口部  ６：壁
１０：搬出入ロボット  １１：保持ユニット  １２：ハンド  １３：多関節アーム
１４：移動ユニット  １５：支持部  １６：ガイド部  １７：ガイドユニット
１８：ガイドレール  １８ａ，１８ｂ：端部ガイドレール  １８ｃ：中間ガイドレール
２０：搬送ロボット  ２１：保持ユニット  ２２：保持部  ２３：アーム部
２４：移動ユニット  ２５：支持柱  ２６：走行部  ２７：昇降部  ２８：旋回部
３０：走行ユニット  ３１：走行レール  ３１ａ，３１ｂ：端部走行レール
３１ｃ：中間走行レール  ３２：走行駆動源
４０：仮置きユニット  ４１：ユニットハウジング  ４２：仮置きテーブル  ４３：ピン
５０ａ，５０ｂ：研削ユニット  ５１：ユニットハウジング  ５２：ターンテーブル
５３：チャックテーブル  ５４ａ，５４ｂ：研削手段
５４０ａ，５４０ｂ：研削ホイール  ５４１ａ，５４１ｂ：研削砥石
５５：支持手段  ５５０：門型コラム  ５５１：支持板
６０：洗浄ユニット  ６１：ユニットハウジング  ６２：洗浄領域
６３：スピンナーテーブル  ６４：ノズル
７０：制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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