(57)【要約】【課題】  生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供することを目的とする。【解決手段】  被検出体の移動に伴い移動するシャフト３に設けた磁石４の移動量を磁気検出素子９ａによって検出するストロークセンサ１において、磁石４には、シャフト３の軸線方向に沿ってヨーク４，４０，４０ａを隣接して備えてなることを特徴とするストロークセンサであるため、シャフト３のストローク量に応じて、磁石４の厚みを調整する代わりに磁石４と隣接してヨーク４，４０，４０ａを配設することにより、磁石４の共用化が可能となり、低コストな磁石４を提供することができるものであり、生産性を向上することのできるストロークセンサを提供することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出体の移動に伴い移動するシャフトに設けた磁石の移動量を磁気検出素子によって検出するストロークセンサにおいて、前記磁石には、前記シャフトの軸線方向に沿ってヨークを隣接して備えてなることを特徴とするストロークセンサ。
【請求項２】
前記磁石は、その片側もしくは両側に前記ヨークを備えてなることを特徴とする請求項１に記載のストロークセンサ。
【請求項３】
前記ヨークは、同一の板厚による板状部材を複数重ねて設けてなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のストロークセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動体の移動量を検出するストロークセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のストロークセンサは、例えば、特許文献１ に開示されるものがある。このストロークセンサは、摺動孔を有した第１のケースと、第１のケースに結合することにより、互いの間に油を充填した油室を構成する第２のケースと、第１のケースに形成した油室を外部に連通させる連通通路と、先端部が外部に露出する状態で第１のケースの摺動孔に進退可能に嵌合し、かつ油室の内部に摺動孔よりも大径となるフランジを収容したシャフトと、油室に配設し、シャフトの先端部を第１のケースから常時突出する方向に押圧する押圧バネと、第２のケースの外部においてシャフトの変位量に応じてシャフトとともに移動する磁石を検出するホール素子とを備えたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−２１０４９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載のストロークセンサは、被検出体に伴うシャフトの移動量とホール素子との位置関係が単一磁石にて構成される場合において、シャフトの移動量が変わった際に磁石の容積や形状などを変更しなければならず、生産性が悪く、コストアップに成ってしまうといった問題点を有している。
【０００５】
そこで本発明は、前記問題点を解消し、生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のストロークセンサは、被検出体の移動に伴い移動するシャフトに設けた磁石の移動量を磁気検出素子によって検出するストロークセンサにおいて、前記磁石には、前記シャフトの軸線方向に沿ってヨークを隣接して備えてなることを特徴とするストロークセンサである。このように構成することにより、シャフトのストローク量に応じて、磁石の厚みを調整する代わりに磁石と隣接してヨークを配設することにより、磁石の共用化が可能となり、低コストな磁石を提供することができるものであり、生産性を向上することのできるストロークセンサを提供できる。
【０００７】
また、前記磁石は、その片側もしくは両側に前記ヨークを備えてなるものである。このように構成することにより、シャフトのストローク量に応じて、磁石と隣接して片側もしくは両側にヨークを配設することで磁気的な検出精度を良好に保つことができる。
【０００８】
また、前記ヨークは、同一の板厚による板状部材を複数重ねて設けてなるものである。このように構成することにより、磁石の共用化が可能となるとともに、同一の板厚からなるヨークを用いることによってヨークの共用化も可能となり、低コストなヨークを提供することができ、生産性を向上することのできるストロークセンサを提供できる。
【発明の効果】
【０００９】
以上の構成によって、本発明は、所期の目的を達成することができ、生産性を向上させることが可能なストロークセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態を示すストロークセンサの断面図である。
【図２】同実施形態の第一ユニットの断面図である。
【図３】同実施形態のシャフトの断面図である。
【図４】同実施形態の第二ユニットの断面図である。
【図５】同実施形態の充填材が未充填の第二ユニットの背面図である。
【図６】本発明の他の実施形態の第一ユニットの断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す磁石を含むシャフトの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１２】
本発明の実施形態のストロークセンサ１は、第一ユニット２と第二ユニット８の２つのユニットから構成される。なお、Ｌ１は、ストロークセンサ１の後述するシャフト３が移動する軸の中心位置（軸芯位置）を示している。
【００１３】
第一ユニット２は、シャフト３と、磁石４と、弾性部材であるコイルスプリング５と、第二軸受部６と、第一ケース体７から構成され、移動するシャフト３を備えたユニットである。
【００１４】
シャフト３は、真鍮やステンレス鋼等から形成されており、図示しない被検出体と接触し、シャフト３の長手方向（軸芯Ｌ１の長手方向）に沿って移動するものである。
【００１５】
シャフト３は、円柱形であり、その後端（図１中右側） の空洞部３ａで磁石４を接着や加締め止め等によって固定している。空洞部３ａを含むシャフト３の後端側は、後述する第二ケース体１３に設けた第一収納部１３ａ内に配置される。
【００１６】
シャフト３は、その中央部より先端側に、ストッパ部となる径大部３ｂを備えている。この径大部３ｂは、第一ケース体７の第一軸受部７ａの内径より大きく、コイルスプリング５と当設する受け部を兼ねている。
【００１７】
また、シャフト３は、径大部３ｂよりシャフト３の先端側の径小部３ｃが、第一ケース体７の第一軸受部７ａによって移動可能に支持されており、径大部３ｂの後側の径中部３ｄが、第二軸受部６（の内径部６ｃ）によって移動可能に支持されている。なお、本実施形態では、シャフト３の径小部３ｃ、径中部３ｄ、径大部３ｂの直径は、径小部３ｃ＜径中部３ｄ＜径大部３ｂである。
【００１８】
なお、コイルスプリング５は、径大部３ｂと第二軸受部６との間に設けられており、シャフト３は、コイルスプリング５のばね運動によって、シャフト３の径大部３ｂを第一軸受部７ａに設けた当接部７ｂに当設するように付勢し、シャフト３の初期位置を定めている。
【００１９】
シャフト３は、第一ケース体７に設けた第一軸受部７ａと、後述する第一ケース体７の第一収納部７ｃに圧入設置される第二軸受部６である２つの軸受部７ａ、６内を直線運動することで、軸芯Ｌ１位置を維持しながら往復移動（ストローク運動）することができるように設けられている。
【００２０】
磁石４は、円柱形状に形成され、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石やＳｍＣｏ磁石といった磁石からなり、着磁方向は、磁極が軸芯Ｌ１の長手方向に着磁されている。なお、着磁方向は、磁極が軸芯Ｌ１の長手方向に対して、垂直方向に着磁されたものでもよい。
【００２１】
磁石４は、シャフト３のストローク運動とともに、後述する第二ケース体１３に設けられた第一収納部１３ａ内をストローク運動（往復移動）する。
【００２２】
この際、磁石４は検出する往復移動によるストローク量が大きい場合、磁石４の厚みを大きく、小さい場合は厚みを小さくしないと検出精度に問題が発生する場合がある。そこで、磁石４の厚みを調整する代わりに磁石４の両端または片方にヨーク４０を付けることにより、磁石４の厚みの種類を抑えることができ、磁石４の共用化を図ることが可能となり低コストな磁石４を提供することができる。
【００２３】
コイルスプリング５は、例えば、バネ用ステンレス材等からなり、シャフト３の径中部３ｄの周囲に配置され、第一ケース体７の第一収納部７ｃ内に収納されている。
【００２４】
また、コイルスプリング５は、シャフト３の径大部３ｂを、第一ケース体７の当接部７ｂに当て、初期位置を定める役割を果たし、さらに、前記被検出体とシャフト３が接触した際、常時、前記被検出体を付勢し押し戻すため、振動等によるストローク量の変位を抑えることができる。
【００２５】
第二軸受部６は、真鍮やステンレス鋼等からなり、環状をしている。また、第二軸受部６は、直径の異なる径大部６ａと径小部６ｂで構成されている。径小部６ｂは、第一ケース体７の第一収納部７ｃに圧入保持され、第二軸受部６を貫通する孔である内径部６ｃが、軸受機構となっており、シャフト３をストローク運動（往復移動）可能に支持する。なお、内径部６ｃはすべりを良くするために、メッキや樹脂コーティング等の摺動性が向上する表面処理が施されている。
【００２６】
また、第二軸受部６は、コイルスプリング５の弾性により、シャフト３を前方へ常時付勢するように、径小部６ｂにコイルスプリング５のスプリング受部６ｄを設け、コイルスプリング５と当接し、コイルスプリング５の付勢を受けている。
【００２７】
第一ケース体７は、非磁性の金属、例えば、ステンレス鋼等からなり、主に第一収納部７ｃと第二収納部７ｄを備えている。
【００２８】
第一収納部７ｃは、底部となる第一軸受部７ａを備えた円筒状であり、シャフト３とコイルスプリング５とを収納する。そして、シャフト３とコイルスプリング５とを保持するために、第二軸受部６が、抜け止めとして第一収納部７ｃに圧入される。第一収納部７ｃは、その前端に第一軸受部７ａを備え、この第一軸受部７ａが、シャフト３の径小部３ｃの軸受となっている。また、第一軸受部７ａの第一収納部７ｃに臨む面が、コイルスプリング５と当設する当接部７ｂとなっており、シャフト３のストッパ部である径大部３ｂと当接し、シャフト３の移動を規制する役割を果たしている。
【００２９】
第一ケース体７の第二収納部７ｄは、底部７ｅを備えた円筒状であり、後述する第二ユニット８を収納する。第二収納部７ｄの底部７ｅが、第二ユニット８と当設することで、第二収納部７ｄが、第二ユニット８を受けるともに、第一ケース体７の第二収納部７ｄの開口端に設けられた加締め部７ｆにより、第二ユニット８が第一ケース体７の第二収納部７ｄ内に収納保持される。
【００３０】
また、第一ケース体７は、前記被検出体を検出するために組み付け固定するための取付部７ｇを備えている。この取付部７ｇは、第一ケース体７の少なくとも第一軸受部７ａと第二軸受部６との間に対応する部分に設けられており、第一収納部７ｃの外周面に設けられている。なお、この取付部７ｇには、雄ねじのねじ山が設けられており、ストロークセンサ１を螺着することが可能である。
【００３１】
コイルスプリング５は、第一ケース体７の取付部７ｇの内周部、つまり、第一収納部７ｃに収納されるため、一般的に想定されるシャフト３の後端に配置するよりも、ストロークセンサ１のシャフト３の長手方向の小型化を図ることができ、更に、ストロークセンサ１が、組付けられた時、第一ケース体７の取付部７ｇの内部に配置されるので、ストロークセンサ１の取付け面からの突出（飛出し）量を少なくすることが可能となる。
【００３２】
第二ユニット８は、磁気検出パッケージ９と、回路基板１０と、電線コード１１と、シール部材１２と、第二ケース体１３と、充填材１４から構成されたユニットである。
【００３３】
磁気検出パッケージ９は、ホールＩＣやＭＲ素子等の磁気検出素子９ａを合成樹脂で覆ったものである。また、磁気検出パッケージ９の平面９ｂが、シャフト３の軸芯Ｌ１位置の長手方向に対して並行な配置であり、磁気検出パッケージ９の平面９ｂが、磁石４の外周壁部４ａに対向するように配置され、シャフト３のストローク運動とともに往復移動する磁石４の動きに応じて変化する磁界の強さを検出している。なお、磁石４と磁気検出パッケージ９の距離を可能な限り小さくすることで、十分な磁束を確保することができ、外部磁界や磁石４の位置ズレといった出力変化に起因する影響を小さくすることができる。
【００３４】
磁気検出パッケージ９は、回路基板１０に設けられており、磁気検出パッケージ９に内蔵された磁気検出素子９ａは、図示しないリードを介して回路基板１０と電気的に接続され、シャフト３のストローク運動とともに往復移動する磁石４の動きに応じて変化する磁界の強さを検出し、この検出した結果を検出信号に変換し、この検出信号を回路基板１０と電気的に接続された電線コード１１を通じて（アナログやＰＷＭといった出力形式で）外部に出力するものである。
【００３５】
回路基板１０は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などの硬質な絶縁体からなる硬質回路基板からなり、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂ内に収納固定される。
【００３６】
回路基板１０には、磁気検出パッケージ９の他に図示しないコンデンサ等の各種電子部品が実装されている。
【００３７】
回路基板１０には、電線コード１１を取り付ける図示しない貫通する孔が設けられ、図示しない半田によって電線コード１１と図示しない回路基板１０上に設けられた配線パターンとを電気的に接続している。
【００３８】
シール部材１２は、ニトリルゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムといった合成ゴムからなり、第二ケース体１３の底部（端面）１３ｃの外側に施された配設部である溝部１３ｄに装着され、第二ユニット８（第二ケース体１３）を第一ユニット２（第一ケース体７）に収納し組み込まれた際、シール部材１２は、第一ケース体７の底部７ｅの内側と第二ケース体１３の底部１３ｃの外側との間に配設され、第一ケース体７と第二ケース体１３とで（加締め力によって）押し圧される。このシール部材１２によって、（実機外部から実機内部、もしくは実機内部から実機外部への、）シャフト３と第一ケース体７（特に、第一軸受部７ａ）との間からストロークセンサ１内部に浸入した油や水などの液体が、第一ケース体７と第二ケース体１３との間を通って、電線コード１１を設けた側に前記液体が通り抜けていくことを防止し、気密性を確保することができる。
【００３９】
シール部材１２は、第二ケース体１３の底部１３ｃに装着することで、小型化を図ることができる。それは、例えば、第二ケース体１３の円筒状の外周面に設置する場合に比べて、第二ケース体１３の径方向に体格を大きくし、シール部材１２を装着する配接部となる溝部を設けなければならなくなり、大型化を招いてしまう。
【００４０】
また、シール部材１２を第二ケース体１３の前記外周面に設置する場合、第二ケース体１３を成形する際、スライド型を採用する必要があるため、コスト高となってしまうが、第二ケース体１３の底部１３ｃに装着された場合、スライド型を用いないためコストを抑えることができる。
【００４１】
また、シール部材１２を第二ケース体１３の前記外周面に設置する場合、第二ユニット８を第一ユニット２に組込む際のめくれの発生や挿入負荷が増えることで、工程不良や効率ダウンを招いてしまうため、シール部材１２を底部１３ｃに装着される方が望ましい。
【００４２】
なお、シール部材１２は、図６に示すように、第一ケース体７の底部７ｅの内側に配設部である溝部７ｈを設け、この溝部７ｈに装着しても構わない。
【００４３】
第二ケース体１３は、ポリブチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂材料からなり、その外形は、有底の円筒形状であり、主に、第一収納部１３ａと第二収納部１３ｂを備えている。
【００４４】
第一収納部１３ａは、第二収納部１３ｂ内に位置しており、第一収納部１３ａと第二収納部１３ｂとは、互いに連通しないように仕切り１３ｋで区切られており、この仕切り１３ｋは、有底の円筒形状をしている。この仕切り１３ｋを間に挟んで磁気検出パッケージ９と磁石４とが対向するように設けられている。なお、第一収納部１３ａ、第二収納部１３ｂおよび仕切り１３ｋは、一体に形成されている。第一収納部１３ａの開口部１３ｍと第二収納部１３ｂの開口部１３ｎとは、第二ケース体１３の断面円形状の中心軸に対して、互いに反対の位置にその開口部１３ｍ、１３ｎが向いている。本実施形態では、第一収納部１３ａの開口部１３ｍが、第一ケース体７の底部７ｅ側に向いており、シャフト３に設けた磁石４を収納する。
【００４５】
第二収納部１３ｂの開口部１３ｎは、第一ケース体７の加締め部７ｆ側に向いており、（つまり、第一収納部１３ａの開口部１３ｎに相対する方向に開口部を設け、）磁気検出パッケージ９、回路基板１０を収納固定する。
【００４６】
第二収納部１３ｂ内は、充填材１４によって満たされている。この充填材１４は、エポキシやシリコーン等の液体から固体へと硬化する樹脂からなり、例えば、ＵＶ硬化型あるいは熱硬化型樹脂などであり、磁気検出パッケージ９と回路基板１０が、第二収納部１３ｂ内において気密的に収納保持されるようになっている。
【００４７】
また、第二収納部１３ｂは、組立工程で、第一ユニット２に第二ユニット８を加締め保持する際、確実に、第二ケース体１３の底部１３ｃが、第一ケース体７の底部７ｅに押付けられるように、組立工具（加締め機押し治具）が当接する受面１３ｅを設けている。
【００４８】
なお、受面１３ｅは、図５に示すように、偏肉による成形時、あるいは、成形後のヒケや反り、または、充填材１４を熱硬化させる際の変形といった形状変形の影響を抑えるために、例えば、第二ケース体１３の外周壁１３ｇと同等の肉厚であった方が良い。この受面１３ｅは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂを二分割する壁部１３ｐの端部に設けられている。壁部１３ｐに設けた受面１３ｅは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂの開口部１３ｎに達している。
【００４９】
壁部１３ｐによって、分割された第二収納部１３ｂの回路基板１０を配置した第二収納部１３ｂには、充填材１４が充填されている。回路基板１０などが配置されている空間にのみ充填材１４を充填していることで、充填材１４と第二収納部１３ｂの内壁との密着面積を少なくすることができ、熱膨張した際、線膨張の違う二つの材質の応力影響を小さく抑えることができ、充填材１４と第二収納部１３ｂの内壁との界面におけるクラック発生を抑制させ、気密性を良好とすることが可能となる。
【００５０】
なお、本実施形態では、第二収納部１３ｂは、壁部１３ｐによって二分割されているが、本実施形態に限定されるものではなく、第二収納部１３ｂを三分割以上に分割するように壁部１３ｐを設けてもよい。この場合、壁部１３ｐを設けることで、受面１３ｅの面積が増え、前記組立工具と接する面積が増加し、前記組立工具との接触が安定する。また、壁部１３ｐを充填材１４を充填しない第二収納部１３ｂに設けることで、第二ケース体１３の強度を増すことが可能となる。
【００５１】
第二収納部１３ｂには、回路基板１０の配設位置を決定する位置決め部１３ｉが設けられ、断面形状が三角形の圧入部１３ｊによって、回路基板１０を位置決め部１３ｉに押付けている。なお、この圧入部１３ｊは、回路基板１０の固定前は突起形状であるが、回路基板１０を取り付ける際、圧入部１３ｊの先端部が潰れて、回路基板１０が外れないようにするものである。
【００５２】
また、第二ケース体１３は、底部１３ｃの外側にシール部材１２を装着する溝部１３ｄを備えている。
【００５３】
以上の構成によって、二つのユニット２、８を予め組み立てておき、ユニット２、８を組み付けることによって、組み付け性を改善し、生産性を向上させることができる。
【００５４】
また、加締め部７ｆによって、第二ユニット８を第一ユニット２に十分な強度で保持できる。また、第一ユニット２の第一ケース体７が、金属であるため、より強固に固定することができる。また、第一ケース体７が、非磁性材の金属であるため、磁石４の磁界に悪影響を及ぼさず良好な出力特性を得ることができる。
【００５５】
また、第一ケース体７の底部７ｅの内側と第二ケース体１３の底部１３ｃの外側との間にシール部材１２を配設したことによって、第一ケース体７と第二ケース体１３との間の気密性を得ることができる。
【００５６】
また、シール部材１２を位置決め装着する配設部である溝部１３ｄを第二ケース体１３の底部１３ｃに設けたことによって、第二ケース体１３の外周面にシール部材１２を配設する溝部１３ｄを形成しなくて良いので、第二ケース体１３の金型構造において、スライド型が不要となり、第二ケース体１３の金型費を抑え、ひいては、ストロークセンサ１のコストを低く抑えることができる。
【００５７】
また、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂは、壁部１３ｐによって少なくとも二分割されており、二分割した第二収納部１３ｂの内、回路基板１０を配置した第二収納部１３ｂに充填材１４を充填したことによって、充填材１４と第二ケース体１３の内壁との密着面積を少なくすることができ、熱膨張した際、線膨張の違う二つの材質の応力影響を小さく抑えることができ、充填材１４と第二ケース体１３との界面のクラック発生を抑制させ、気密性を良好とすることが可能となる。
【００５８】
また、壁部３ｐは、第二ケース体１３の第二収納部１３ｂの開口部１３ｎに達していることによって、第一ユニット２と第二ユニット８とを組み付ける際に、壁部３ｐの端部に設けた受面１３ｅに前記組立工具が当接し、第二ユニット８を第一ユニット２に押し付け、加締め部７ｆをかしめて固定することが可能となり、第一ユニット２の第一ケース体７と第二ユニット８の第二ケース体１３との間に設けたシール部材１２を圧縮することで、良好な気密性を得ることができる。
【００５９】
図７は、シャフト３のストローク運動とともに、第二ケース体１３に設けられた第一収納部１３ａ内を往復移動する磁石４の他の実施形態を示している。シャフト３の往復移動によるストローク量が大きい場合と小さい場合とによって磁石４のストローク方向の厚みや長さなどを調整することが一般的に行われているが、本実施形態におけるシャフト３のストローク量に応じて、磁石４のストローク方向の厚みを調整する代わりに磁石４の両端または片方に隣接してヨーク４０を付けることにより、磁石４の共用化が可能となり低コストの磁石４を提供することができる。
【００６０】
この際、磁石４の他の実施形態として、図７（ａ）に示すように、ヨーク４０ａは、一定の厚みのものを複数枚使用し、磁石４の両側に設けたり、図７（ｂ）に示すように、片側に複数枚重ねて設けるものであっても良く、これにより、シャフト３の往復移動によるストローク量を任意に設定することが可能となり、同一の板厚からなるヨーク４０ａを用いることでヨーク４０ａの種類を抑えることができ、磁石４に加えて、ヨーク４０ａの共用化が可能となり、低コストのヨーク４０ａを提供することができる。
【００６１】
なお、図７（ｃ）に示すように、異なる板厚からなるヨーク４０ｂ、４０ｃを重ね合わせて配置することにより、シャフト３のストローク量に合わせることが容易となり、ヨーク４０（４０ａ，４０ｂ，４０ｃ）の数を極力抑えた状態にてセットすることが可能となるため組み付け作業も簡便に行うことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、被検出体の移動量を検出するストロークセンサに利用可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１ ストロークセンサ
２ 第一ユニット
３ シャフト
３ａ 空洞部
３ｂ 径大部（ストッパ部）
３ｃ 径小部
３ｄ 径中部
４ 磁石
４ａ 外周壁部
４０、４０ａ、４０ｂ、４０ｃ  ヨーク
５ 弾性部材（コイルスプリング）
６ 第二軸受部
６ａ 径大部
６ｂ 径小部
６ｃ 内径部
６ｄ スプリング受部
７ 第一ケース体
７ａ 第一軸受部
７ｂ 当接部
７ｃ 第一収納部
７ｄ 第二収納部
７ｅ 底部
７ｆ かしめ部
７ｇ 取付部
７ｈ 溝部
８ 第二ユニット
９ 磁気検出パッケージ
９ａ  外周壁部
９ｂ 平面
１０ 回路基板
１１ 電線コード
１２ シール部材
１３ 第二ケース体
１３ａ 第一収納部
１３ｂ 第二収納部
１３ｃ 底部
１３ｄ 配設部（溝部）
１３ｅ 受面
１３ｇ 外周壁
１３ｉ 位置決め部
１３ｊ 圧入部
１３ｋ 仕切り
１３ｍ 開口
１３ｎ 開口
１３ｐ 壁部
１４ 充填材
Ｌ１ 軸芯
【図１】
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【図２】
2015010876.tif 000004
【図３】
2015010876.tif 000005
【図４】
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【図５】
2015010876.tif 000007
【図６】
2015010876.tif 000008
【図７】
2015010876.tif 000009