(57)【要約】【課題】ノズルやクリーニング部材の摩擦や発埃による消耗を低減する。【解決手段】接着剤塗布装置１０は、接着剤Ｒが供給されて先端に設けられたノズル１２ｂから基板に接着剤Ｒを塗布する接着剤塗布部材としてのスリットコータ１２と、スリットコータ１２に対向配置されたクリーニング部材１４と、を有し、スリットコータ１２が、クリーニング部材１４の表面に向かって垂直方向に移動して、クリーニング部材１４の表面にノズル１２ｂの先端に付着した液滴Ｄを接触させて、液滴Ｄを流動させ、クリーニング部材１４の表面から離れるように垂直方向に移動して、液滴Ｄをノズル１２ｂ先端から取り除く。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に接着剤を塗布する接着剤塗布部材と、
前記接着剤塗布部材に対向配置されたクリーニング部材と、を有し、
前記接着剤塗布部材を、前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除くことを特徴とする接着剤塗布装置。
【請求項２】
前記接着剤塗布部材は、前記クリーニング部材に前記ノズルは接触させずにノズル先端に付着した液滴のみを接触させることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項３】
前記接着剤塗布部材は、前記ノズル先端を前記クリーニング部材に接触させることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項４】
前記接着剤塗布部材は、前記ノズル先端に付着した液滴を前記クリーニング部材に複数回接触させることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項５】
前記接着剤塗布部材と前記クリーニング部材とは、前記液滴の接触毎に相対的に移動して、前記クリーニング部材の前記液滴との接触面を新しくすることを特徴とする請求項４記載の接着剤塗布装置。
【請求項６】
前記接着剤塗布部材と前記クリーニング部材との相対的に移動する距離を、前記液滴と前記クリーニング部材の接触回数に応じて可変とすることを特徴とする請求項５記載の接着剤塗布装置。
【請求項７】
前記接着剤塗布部材は、前記クリーニング部材と前記液滴の接触後に、前記液滴の一部が付着した前記クリーニング部材の表面に再度液滴を接触させることを特徴とする請求項４記載の接着剤塗布装置。
【請求項８】
前記ノズル先端から垂下する液滴に対して横断方向から接触し、前記液滴の一部を流動させて前記ノズル先端から取り除く接着剤除去部材を設けたことを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項９】
前記クリーニング部材の表面を摺動して、前記クリーニング部材に付着した接着剤を拭き取る拭き取り部材を設けたことを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項１０】
前記接着剤塗布部材によって塗布された接着剤を仮硬化させるエネルギを照射する照射ユニットを備えた塗布ユニットと、
前記クリーニング部材が配置されたクリーニングユニットと、を更に備え、
前記接着剤塗布部材は、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットとの間を移動可能であり、
前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットの間には所定間隔が設けられ、当該所定間隔は前記塗布ユニットの仮硬化のエネルギが前記クリーニングユニット内に移動した前記接着剤塗布部材に到達しない距離であることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項１１】
前記接着剤塗布部材によって塗布された接着剤を仮硬化させるエネルギを照射する照射ユニットを備えた塗布ユニットと、
前記クリーニング部材が配置されたクリーニングユニットと、を更に備え、
前記接着剤塗布部材は、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットとの間を移動可能であり、
前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットの間には開閉可能な遮光部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項１２】
前記接着塗布部材に近接して配置され、前記ノズル先端に付着した液滴を前記クリーニング部材に向かって吹き付けるエアブローを更に備えることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項１３】
前記ノズル先端部に撥液処理を施したことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の接着剤塗布装置。
【請求項１４】
前記接着剤塗布部材のノズル先端に付着した接着剤の液滴の粘度を低下させる粘度低下手段を有することを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。
【請求項１５】
前記粘度低下手段は、前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を加熱する加熱手段であることを特徴とする請求項１４記載の接着剤塗布装置。
【請求項１６】
前記加熱手段は、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させる際に前記液滴を加熱することを特徴とする請求項１５記載の接着剤塗布装置。
【請求項１７】
前記加熱手段は、前記クリーニング部材を加熱することを特徴とする請求項１５又は１６に記載の接着剤塗布装置。
【請求項１８】
接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に接着剤を塗布する接着剤塗布部材のクリーニング方法であって、
クリーニング部材を前記接着剤塗布部材に対向配置し、
前記接着剤塗布部材を前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、当該液滴を前記ノズル先端から前記クリーニング部材に流動させて前記ノズル先端から取り除くことを特徴とする接着剤塗布部材のクリーニング方法。
【請求項１９】
表示用パネルを含む一対の基板が接着剤を介して貼り合わされた表示パネルの製造装置であって、
前記一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に前記接着剤を塗布する塗布部と、
前記一対の基板を、前記塗布した接着剤によって貼り合わせる貼り合せ部と、
前記貼り合せ部において貼り合わされた前記一対の基板の前記接着剤を硬化させる硬化部と、
前記一対の基板を、前記塗布部、前記貼り合せ部及び前記硬化部の間で搬送する搬送部と、を有し、
前記塗布部は、
前記接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に前記接着剤を塗布する接着剤塗布部材と、
前記接着剤塗布部材に対向配置されたクリーニング部材と、を有し、
前記接着剤塗布部材が、前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除くことを特徴とする表示パネル製造装置。
【請求項２０】
表示用パネルを含む一対の基板を接着剤を介して貼り合わせて表示パネルの製造を行なう方法であって、
前記一対の基板の少なくとも一方の基板の表面に対して、先端にノズルが設けられた接着剤塗布部材を用いて前記接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤塗布部材を、前記接着剤を塗布する度にクリーニングする工程と、
前記一対の基板を前記塗布した接着剤を挟んで対向保持し、少なくとも一方を移動させることにより、前記接着剤を介して一対の基板を貼り合わせる工程と、
貼り合わされた一対の基板の前記接着剤を硬化する工程と、を備え、
前記接着剤塗布部材をクリーニングする工程において、
クリーニング部材を前記接着剤塗布部材に対向配置し、
前記接着剤塗布部材を前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴に接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除くことを特徴とする表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤塗布装置、接着剤塗布部材のクリーニング方法及び表示パネル製造装置、表示パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等に用いられる表示パネルは、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネル等の表示用パネルに、操作用のタッチパネル、表面を保護する保護パネル（カバーパネル）等を積層した構成となっている。これらの基板は、例えば、一方の基板に接着剤を塗布し二つの基板を積層することによって貼り合わされる。そのため、表示パネル製造装置は、接着剤の塗布部と基板の貼り合せ部とを備えている。
【０００３】
塗布部には接着剤塗布装置が備えられている。接着剤塗布装置は様々なタイプのものがあるが、平板状の基板に接着剤を塗布する場合には、一例として、スリットコータが使用される。スリットコータは、基板の短辺の寸法に応じた全長を有する塗布ヘッドを備えており、この塗布ヘッドの先端にはスリットノズルが設けられている。スリットノズルから接着剤を吐出しながら、塗布ヘッドを基板に沿って長辺方向に移動させることで、基板に均一な厚みで接着剤を塗布することができる。
【０００４】
塗布が完了し、スリットノズルから接着剤の吐出を停止しても、残圧や接着剤の粘度、表面張力によって、ノズル先端には接着剤の液滴が残留することがある。このような接着剤の残留は、次の塗布開始時の吐出量のバラツキの要因となる。このままの状態で基板への塗布作業を行うと、塗布ムラが生じる可能性がある。そこで、ノズルのクリーニングが必要となっていた。ノズルのクリーニングには、板状のクリーニング部材にノズルを強く押し付け、クリーニング部材を水平方向に動かして液滴を擦り取る方法や、スリットノズルの形状に沿うように成型した高分子樹脂のクリーニング部材をノズルに押しつけ、ノズルに沿ってクリーニング部材を水平方向に動かして液滴を擦り取る方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１６８０１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のような、ノズルから液滴を擦り取る方法では、ノズルとクリーニング部材の間で摩擦によりクリーニング部材の消耗が発生するばかりか、摺動により発塵し、その塵や埃がノズル先端に付着する可能性がある。これら塵や埃のような異物がノズル先端に存在していると、その異物の部分の接着剤の吐出状態や基板への塗布状態が異物のない部分と変わってしまうために、スジ状の塗布ムラとなりやすい。さらに、擦り取る作業を複数回繰り返すことで、クリーニング部材の方にも接着剤が広範囲に付着してしまい、その状態でノズルを押し付けると、クリーニング部材に付着した接着剤がノズルに移ってしまい、ノズル先端を汚してしまう可能性もあった。
【０００７】
本発明は、上述のような問題点を解決するために提案されたものであり、塗布ヘッドのノズルを、摩擦や発埃を低減した方法でクリーニングすることができ、ノズルやクリーニング部材の消耗を防ぎ、かつノズル先端の液滴を確実に取り除くことができる接着剤塗布装置、接着剤塗布部材のクリーニング方法、表示パネル製造装置及び表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述の目的を達成するために、本発明の接着剤塗布装置は、接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に接着剤を塗布する接着剤塗布部材と、前記接着剤塗布部材に対向配置されたクリーニング部材と、を有し、前記接着剤塗布部材を、前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除く。
【０００９】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材は、前記クリーニング部材に前記ノズルは接触させずにノズル先端に付着した液滴のみを接触させるようにしても良い。
【００１０】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材は、前記ノズル先端を前記クリーニング部材に接触させるようにしても良い。
【００１１】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材は、前記ノズル先端に付着した液滴を前記クリーニング部材に複数回接触させるようにしても良い。
【００１２】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材と前記クリーニング部材とは、前記液滴の接触毎に相対的に移動して、前記クリーニング部材の前記液滴との接触面を新しくするようにしても良い。
【００１３】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材と前記クリーニング部材との相対的に移動する距離を、前記液滴と前記クリーニング部材の接触回数に応じて可変とすると良い。
【００１４】
本発明の一態様として、前記接着剤塗布部材は、前記クリーニング部材と前記液滴の接触後に、前記液滴の一部が付着した前記クリーニング部材の表面に再度液滴を接触させると良い。
【００１５】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置に、前記ノズル先端から垂下する液滴に対して横断方向から接触し、前記液滴の一部を流動させて前記ノズル先端から取り除く接着剤除去部材を設けても良い。
【００１６】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置に、前記クリーニング部材の表面を摺動して、前記クリーニング部材に付着した接着剤を拭き取る拭き取り部材を設けても良い。
【００１７】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置は、前記接着剤塗布部材によって塗布された接着剤を仮硬化させるエネルギを照射する照射ユニットを備えた塗布ユニットと、前記クリーニング部材が配置されたクリーニングユニットと、を更に備え、前記接着剤塗布部材は、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットとの間を移動可能であり、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットの間には所定間隔が設けられ、当該所定間隔は前記塗布ユニットの仮硬化のエネルギが前記クリーニングユニット内に移動した前記接着剤塗布部材に到達しない距離にすると良い。
【００１８】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置は、前記接着剤塗布部材によって塗布された接着剤を仮硬化させるエネルギを照射する照射ユニットを備えた塗布ユニットと、前記クリーニング部材が配置されたクリーニングユニットと、を更に備え、前記接着剤塗布部材は、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットとの間を移動可能であり、前記塗布ユニットと前記クリーニングユニットの間に開閉可能な遮光部材を設けると良い。
【００１９】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置は、前記接着塗布部材に近接して配置され、前記ノズル先端に付着した液滴を前記クリーニング部材に向かって吹き付けるエアブローを更に備えても良い。
【００２０】
本発明の一態様として、前記ノズル先端部に撥液処理を施しても良い。
【００２１】
本発明の一態様として、接着剤塗布装置は、前記接着剤塗布部材のノズル先端に付着した接着剤の液滴の粘度を低下させる粘度低下手段を備えても良い。
【００２２】
本発明の一態様として、前記粘度低下手段は、前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を加熱する加熱手段であっても良い。
【００２３】
本発明の一態様として、前記加熱手段は、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させる際に前記液滴を加熱しても良い。
【００２４】
本発明の一態様として、前記加熱手段は、前記クリーニング部材を加熱するものであっても良い。
【００２５】
本発明のクリーニング方法は、接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に接着剤を塗布する接着剤塗布部材のクリーニング方法であって、クリーニング部材を前記接着剤塗布部材に対向配置し、前記接着剤塗布部材を前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、当該液滴を前記ノズル先端から前記クリーニング部材に流動させて前記ノズル先端から取り除く。
【００２６】
本発明の製造装置は、表示用パネルを含む一対の基板が接着剤を介して貼り合わされた表示パネルの製造装置であって、前記一対の基板の、少なくとも一方の基板の表面に前記接着剤を塗布する塗布部と、前記一対の基板を、前記塗布した接着剤によって貼り合わせる貼り合せ部と、前記貼り合せ部において貼り合わされた前記一対の基板の前記接着剤を硬化させる硬化部と、前記一対の基板を、前記塗布部、前記貼り合せ部及び前記硬化部の間で搬送する搬送部と、を有し、前記塗布部は、前記接着剤が供給されて先端に設けられたノズルから基板に前記接着剤を塗布する接着剤塗布部材と、前記接着剤塗布部材に対向配置されたクリーニング部材と、を有し、前記接着剤塗布部材が、前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴を接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除く。
【００２７】
本発明の製造方法は、表示用パネルを含む一対の基板を接着剤を介して貼り合わせて表示パネルの製造を行なう方法であって、前記一対の基板の少なくとも一方の基板の表面に対して、先端にノズルが設けられた接着剤塗布部材を用いて前記接着剤を塗布する工程と、前記接着剤塗布部材を、前記接着剤を塗布する度にクリーニングする工程と、前記一対の基板を前記塗布した接着剤を挟んで対向保持し、少なくとも一方を移動させることにより、前記接着剤を介して一対の基板を貼り合わせる工程と、貼り合わされた一対の基板の前記接着剤を硬化する工程と、を備え、前記接着剤塗布部材をクリーニングする工程において、クリーニング部材を前記接着剤塗布部材に対向配置し、前記接着剤塗布部材を前記クリーニング部材表面に向かって垂直方向に相対的に移動し、前記クリーニング部材表面に前記ノズル先端に付着した接着剤の液滴に接触させて当該液滴を流動させ、前記クリーニング部材表面から離れるように垂直方向に相対的に移動して、前記液滴を前記ノズル先端から取り除く。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、クリーニング部材を液滴に接触させ、液滴を流動させることによりノズルから取り除くため、ノズルをクリーニング部材に強く押し付ける必要がなく、ノズルやクリーニング部材の摩擦や発埃による消耗や汚染を低減し、安定したクリーニングを行うことができる。これにより塗布ムラのない接着剤の塗布ができ、高品質の表示パネルの製造ができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る表示パネル製造装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図３】（Ａ）は接着剤塗布装置の塗布ユニットにおける接着剤の塗布を示す模式図であり、（Ｂ）は塗布された接着剤の外縁部の形状を示す拡大図である。
【図４】接着剤塗布装置の塗布ユニットにおける接着剤の塗布を示す模式図である。
【図５】（Ａ）はノズル先端に付着する液滴を示す模式図であり、（Ｂ）は液滴が残ったまま接着剤の塗布を行った場合の、塗りムラの一例を示す図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係るクリーニングユニットの作用を説明する図である。
【図７】表示パネル製造装置の貼り合せ部の構造及び作用を示す図である。
【図８】表示パネル製造装置の硬化部の構造及び作用を示す図である。
【図９】基板上方から見た、接着剤の塗布端のバラつきを表わした模式図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態に係るクリーニングユニットの作用を説明する図である。
【図１１】比較例１及び実施例１，３〜７の始点盛り上がり量を示すグラフである。
【図１２】比較例１及び実施例１，３〜７の直線性を示すグラフである。
【図１３】比較例２及び実施例２，８〜１２の始点盛り上がり量を示すグラフである。
【図１４】比較例２及び実施例２，８〜１２の直線性を示すグラフである。
【図１５】本発明の第３の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図１６】本発明の第３の実施形態に係るクリーニングユニットの作用を説明する図である。
【図１７】本発明の第３の実施形態に係るクリーニングユニットの作用を説明する図である。
【図１８】拭き取り部材に切欠きを設けた場合の作用を説明する図である。
【図１９】本発明の第４の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図２０】本発明の第４の実施形態に係るクリーニングユニットの作用を説明する図である。
【図２１】本発明の第５の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図２２】本発明の第５の実施形態に係る塗布ユニットの作用を説明する図である。
【図２３】図２１の変形例を示す図である。
【図２４】その他の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図２５】その他の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【図２６】その他の実施形態に係る接着剤塗布装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。なお、実施形態では、表示パネル製造装置において製造される表示パネルの例として、液晶表示パネルを用いる。また、基板貼合装置において貼り合せされる一対の基板の例として、表示用パネルである液晶パネルと、液晶パネルをカバーする保護パネルを用いる。すなわち、液晶パネルと保護パネルを積層して貼り合せることによって、液晶表示パネルが構成される。
【００３１】
［第１の実施形態］
（表示パネル製造装置）
図１に示すように、表示パネル製造装置１００は、塗布部１、貼り合せ部２、硬化部３及び搬送部４を備える。表示パネル製造装置１００は、また、制御装置７を備えている。制御装置７は、各部を構成する装置の動作の制御や、基板の搬送タイミングの制御を行う。
【００３２】
搬送部４は、液晶パネルＳ１及び保護パネルＳ２を各部へ搬送する搬送手段とその駆動機構から構成される。搬送手段は、たとえば、ターンテーブル、コンベア等が考えられるが、上記各部の間で基板を搬送可能なものであれば、どのような装置であってもよい。
【００３３】
液晶パネルＳ１及び保護パネルＳ２は、ローダ５によって表示パネル製造装置１００に搬入され、搬送部４で搬送される。搬送部４に沿って塗布部１、貼り合せ部２及び硬化部３が配置されている。不図示のピックアップ手段によって、液晶パネルＳ１及び保護パネルＳ２は搬送部４からピックアップされ、不図示の搬入口を介して各部への搬入及び搬出がなされる。各部での、以下に詳述する工程を経て、液晶表示パネルＬが製造され、アンローダ６によって表示パネル製造装置１００から搬出される。説明の便宜上、搬送部４での搬送方向をＸ軸方向と称する。Ｘ軸方向と直交する、搬送部４から各部への搬入及び搬出方向を、Ｙ軸方向と称する。また、上下方向をＺ軸方向とも称する。
【００３４】
（塗布部）
塗布部１は、図２に示すように、接着剤塗布装置１０を備える。接着剤塗布装置１０には、基板への接着剤Ｒの塗布を行う塗布ユニット１０Ａと、塗布ユニット１０Ａに隣接して、塗布後のクリーニングを行うクリーニングユニット１０Ｂとが設けられている。基板の搬入口は、塗布ユニット１０Ａ側に設けられている。なお、接着剤Ｒの基板への塗布は、液晶表示パネルを構成する液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２のいずれか一方に行っても良く、あるいは双方に行っても良い。本実施形態では、液晶パネルＳ１の表面に接着剤Ｒを塗布する例について説明する。また、接着剤Ｒは種々のものを用いることができるが、後述する硬化部３においてＵＶ照射を用いて接着剤Ｒの硬化を行う為、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂を用いることが好ましい。
【００３５】
塗布ユニット１０Ａは、ステージ１１と、接着剤塗布部材としてのスリットコータ１２とを備える。ステージ１１には、搬送部４で搬送され、不図示のピックアップ手段によって塗布部１に搬入された液晶パネルＳ１が載置される。
【００３６】
本実施形態では、平面視長方形の液晶パネルＳ１を用いた場合を説明する。液晶パネルＳ１は、ステージ１１上において、長辺が図２の紙面左右方向、すなわちＸ軸方向に延び、短辺が紙面奥方向、すなわちＹ軸方向に延びるように位置する。
【００３７】
スリットコータ１２は、ステージ１１上方に位置し、図３（Ａ）に示すように、液晶パネルＳ１の短辺の寸法に応じた長手方向寸法を有する塗布ヘッド１２ａを備えている。この塗布ヘッド１２ａの先端には細長いスリット状の開口が設けられ、接着剤Ｒを吐出するスリットノズル（以下、単に「ノズル」と称する）１２ｂが形成されている。そのため、ノズル１２ｂによる接着剤Ｒの吐出領域は、細長い線状となる。
【００３８】
図２に示すように、スリットコータ１２は接着剤Ｒを収容するタンクＴと配管を介して接続されている。スリットコータ１２は駆動機構Ｍ１を備えており、ステージ１１上をＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に構成される。ノズル１２ｂから接着剤Ｒを吐出しながら、塗布ヘッド１２ａを液晶パネルＳ１に沿って液晶パネルＳ１のＸ軸方向に移動させることで、液晶パネルＳ１上に均一な厚みで接着剤Ｒを塗布することができる。ただし、図３（Ｂ）に示すように、接着剤Ｒの塗り始めと塗り終わりの部分に該当する外縁部には、表面張力の影響により盛り上がりが生じ、さらにその内側に凹んだ部分が生じることがある。スリットコータ１２に残留する液滴Ｄの残留量が多いと、盛り上がりと凹みの差が大きくなる傾向がある。
【００３９】
スリットコータ１２は、また、駆動機構Ｍ１によって、塗布ユニット１０Ａと隣接するクリーニングユニット１０Ｂの間を進退可能に移動することができる。
【００４０】
図４（Ａ）に示すように、接着剤Ｒを塗布する際、スリットコータ１２が塗布ユニット１０Ａに進入し、ステージ１１に載置された液晶パネルＳ１の、短辺側の一端上に位置する。スリットコータ１２は、ノズル１２ｂから接着剤Ｒを吐出しながら、Ｘ軸方向を一端側から他端側に向かって移動する。そして、他端側に至ったところで停止する。これによって、図４（Ｂ）に示すように、液晶パネルＳ１の表面全体に、接着剤Ｒが行き渡るように供給していく。塗布が完了すると、スリットコータ１２はステージ１１上からＸ軸方向に移動することによって、塗布ユニット１０Ａから退避して隣接するクリーニングユニット１０Ｂに進入する。
【００４１】
なお、上述の例では、スリットコータ１２に駆動機構Ｍ１が備えられ、スリットコータ１２がステージ１１上を移動して接着剤Ｒを塗布したが、スリットコータ１２の移動は相対移動であれば良い。すなわち、ステージ１１側に駆動機構が備えられ、スリットコータ１２からの接着剤Ｒの吐出に合わせてステージ１１を移動させることによって液晶パネルＳ１上に接着剤Ｒを塗布しても良い。
【００４２】
クリーニングユニット１０Ｂは、図２に示すように、板状のクリーニング部材１４と、クリーニング部材１４が取り付けられている載置台１５を備える。載置台１５は、塗布ユニット１０Ａのステージ１１に隣接して配置され、ステージ１１上方から退避したスリットコータ１２の下方に位置するようになっている。
【００４３】
板状のクリーニング部材１４は、上面の少なくとも接着剤Ｒが付着する部分については、撥液性の高くない素材を用いることが好ましいと考えられる。例えば、ガラス又は吸水紙といった素材、シリコンゴムやポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム等の親液性の樹脂、又は接着剤Ｒとの親和性を高めるコーティング若しくは表面処理などを施したものを用いることができる。クリーニング部材１４は、スリットコータ１２の長手方向寸法と同じ長さ以上の辺を有し、その辺がスリットコータ１２と略平行になるように、すなわちＹ軸方向に延びるように載置台１５に配置されている。
【００４４】
スリットコータ１２は、塗布ユニット１０Ａでの塗布が完了すると、接着剤Ｒの吐出が停止されるが、配管やノズル内の残圧や接着剤Ｒの粘度、表面張力によって、ノズル１２ｂの先端には、図５（Ａ）に示すように、液滴Ｄが残留することになる。ここで、「液滴」とは、ノズル先端に表面張力で残留している接着剤を意味するものであり、その形状は球形に限られない。例えば、図５（Ａ）に示した液滴Ｄは、断面視は略球形であっても、スリットコータ１２の下方から見れば、細長い線状となっているが、このような形状も液滴Ｄに含む。
【００４５】
この液滴Ｄができたままのノズル１２ｂで塗布を継続すると、次の基板への塗布の開始時には、新たに吐出される接着剤Ｒと残留した液滴Ｄとが混合して吐出されることとなり、予定した吐出量とならない。また、ノズル１２ｂの長手方向に対して不均一に液滴Ｄが残留していると、ノズル１２ｂの長手方向の吐出量が不均等となる。このような吐出となると、図５（Ｂ）に示すように、塗り始め部分の直線性が悪くなり、塗りムラが生じてしまう。特に塗り始め及び塗り終わりのプロファイルに塗りムラが生じると、製品不良となりかねない。
【００４６】
そこで、接着剤Ｒの塗布が完了した後、スリットコータ１２は塗布ユニット１０Ａからクリーニングユニット１０Ｂへ移動し、ノズル１２ｂ先端のクリーニングを行う。クリーニングユニット１０Ｂにおける作用について、より詳しく説明する。
【００４７】
まず、塗布ユニット１０Ａから退避したスリットコータ１２はクリーニングユニット１０Ｂに進入し、図６（Ａ）に示すように、載置台１５上のクリーニング部材１４の上方に移動する。
【００４８】
続いて、図６（Ｂ）に示すように、スリットコータ１２は、クリーニング部材１４の表面に向かって垂直方向に下降し、少なくともノズル１２ｂ先端の液滴Ｄがクリーニング部材１４の表面に接触する位置で停止する。ここで、ノズル１２ｂ自体はクリーニング部材１４の表面に接触しないか、接触しても、クリーニング部材１４の表面に強く押し付けられない程度にとどめるようにすることが望ましい。特に、ガラス等の硬質な素材を用いた場合、ノズル１２ｂの先端がクリーニング部材１４に強く押し付けられると、ノズル１２ｂ及びクリーニング部材１４のいずれか又は両方が破損するおそれがある。破損を防ぐためには、スリットコータ１２の停止位置は、クリーニング部材１４の上面あるいはそれよりも若干上の位置とすると良い。使用される接着剤Ｒの粘度によってノズル１２ｂ先端に残留する液滴Ｄの大きさも変わるため、予め接着剤Ｒの粘度と液滴Ｄの大きさの相関関係を調べておくことで、停止位置は適宜定めることができる。なお、クリーニング部材１４としてシリコンゴム等の弾性を有する素材を用いた場合は、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４の表面にある程度押し付けることも可能である。
【００４９】
液滴Ｄにクリーニング部材１４が接触すると、液滴Ｄはクリーニング部材１４に濡れ広がる。そして、液滴Ｄのノズル１２ｂおよびクリーニング部材１４に対する表面張力の作用から、液滴Ｄには濡れ広がるクリーニング部材１４に向かう下方へ引っ張る力がはたらく。これにより、図６（Ｃ）に示すように、液滴Ｄはノズル１２ｂ先端からクリーニング部材１４の表面へ流動する。
【００５０】
その後、図６（Ｄ）に示すように、スリットコータ１２は垂直方向に上昇してクリーニング部材１４の表面から離れる。ここで、スリットコータ１２が液滴Ｄを接触させたまま水平方向に移動すれば、液滴Ｄがノズル１２ｂ側面に付いて却って汚れてしまうことも考えられる。本実施形態では、スリットコータ１２が垂直方向に上昇してクリーニング表面から離れることで、液滴Ｄが側面に付着することなくノズル１２ｂ先端からスムーズに引きはがされ、クリーニング部材１４の表面に移動する。これによって、スリットコータ１２のクリーニングが完了する。クリーニング部材１４の液滴Ｄが付着する部分に撥液性の高くない素材を用いることで、ノズル１２ｂ先端からクリーニング部材１４の表面への液滴Ｄの移動がスムーズとなる。なお、ノズル１２ｂ先端部に例えばフッ素剤コーティングなどの撥液処理を行っても良い。これによって、液滴Ｄは、ノズル１２ｂからスムーズに離れ、撥液性の高くないクリーニング部材１４に移動しやすくなる。
【００５１】
スリットコータ１２は、再び塗布ユニット１０Ａに移動し、基板への接着剤Ｒの塗布が行われる。スリットコータ１２は、クリーニングによって液滴Ｄが取り除かれているため、塗り始め部分の直線性が良好に保たれ、塗りムラを防ぐことができる。
【００５２】
ところで、クリーニング部材１４とノズル１２ｂ先端との平行度がある程度保たれていないと、クリーニング部材１４と接着剤Ｒの液滴Ｄ又はノズル１２ｂ先端との接触が不均一となり、液滴Ｄの流動状態が不均一となってしまう。特にスリットノズルの様に線状に吐出する場合は、ノズル先端とクリーニング部材との平行度は重要となる。したがって、クリーニング部材とノズル先端との平行度を調整する機構を設けても良い。
【００５３】
ただし、クリーニング部材１４として、例えばシリコンゴム等の弾性体を用い、かつノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４の表面に接触させる場合は、弾性体が撓んでノズル１２ｂ先端の形状に沿う。そのため、クリーニング部材１４とノズル１２ｂ先端の平行度を厳密に合わせる必要がなくなる。
【００５４】
（貼り合せ部）
接着剤Ｒが塗布された液晶パネルＳ１は、不図示のピックアップ手段によって塗布部１から搬出され、搬送部４で搬送され、貼り合せ部２に搬入される。ここで、保護パネルＳ２も、貼り合せ部２に搬入される。液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２の搬送タイミングは、貼り合せ部２で合流することができるように調整すれば良く、一つに限定されるものではない。
【００５５】
例えば、保護パネルＳ２を液晶パネルＳ１と同時に表示パネル製造装置１００に搬入するが、塗布部１は通過して先に貼り合せ部２に搬入する。そして、液晶パネルＳ１が塗布部１で接着剤Ｒを塗布されている間は、貼り合せ部２において待機していても良い。あるいは、保護パネルＳ２は、液晶パネルＳ１よりも後のタイミングで表示パネル製造装置１００に搬入し、塗布部１での塗布が完了した液晶パネルＳ１と同じタイミングで貼り合せ部２に搬入するようにしても良い。
【００５６】
貼り合せ部２は、図７（Ａ）に示すように、液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２を積層して貼り合せる基板貼合装置２０を備える。基板貼合装置２０は、チャンバ２１内に下側プレート２２と上側プレート２３を対向配置した構成となっている。チャンバ２１は上下動が可能であり、上方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３が外部に開放され液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２が搬入可能となる。下方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３はチャンバ内に収容され、チャンバ内部に密閉空間が形成される。チャンバ２１は不図示の排気手段によって内部圧力を調整可能となっている。つまり、液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で貼り合せが行われるようになっている。
【００５７】
下側プレート２２は、支持部として、プレート上に載置された基板を支持する。上側プレート２３は、保持部として、基板を保持機構により保持する。本実施形態では、例として、下側プレート２２に、接着剤Ｒが塗布された液晶パネルＳ１が支持され、上側プレート２３に保護パネルＳ２が保持される場合を説明する。
【００５８】
上側プレート２３の保持機構として、たとえば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構が適用可能である。複数のチャックを併用することも可能である。上側プレート２３には、駆動部として、昇降機構２５が備えられている。この昇降機構２５によって、上側プレート２３は下側プレート２２に接離可能に移動し、図７（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持された保護パネルＳ２を下側プレート２２に支持された液晶パネルＳ１に押し付けて積層する。液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２は、液晶パネルＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒを介して貼り合わされ、積層パネルＳ１０が形成される。
【００５９】
上述したように、液晶パネルＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒの外縁部は盛り上がりが生じている。液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２を貼り合せる際に、通常は、貼り合せ時にこの外縁部の盛り上がりは保護パネルＳ２によって押し潰されて凹みも無くなる。ただし、上述したように、スリットコータ１２に残留する液滴Ｄの残留量が多いと、盛り上がり量が多くなり、盛り上がりと凹みの高さの差が大きくなる傾向がある。盛り上がりと凹みの高さの差が大きい状態で貼り合せを行うと、盛り上がりを押し潰し切れずに凹みが残り、結果として積層パネルＳ１０にボイドが発生してしまう可能性がある。しかしながら、本実施形態では上述したように、塗布部においてスリットコータ１２のクリーニングを行うため、接着剤Ｒの外縁部の盛り上がりと凹みの差を小さくすることができ、ボイドの発生も低減することができる。
【００６０】
下側プレート２２は、載置された液晶パネルＳ１の位置がずれないように、上側プレート２３と同様の保持機構を備えていても良い。
【００６１】
液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２を貼り合せて形成された積層パネルＳ１０は、不図示のピックアップ手段によって貼り合せ部２から搬出され、搬送部４で搬送され、硬化部３に搬入される。
【００６２】
（硬化部）
図８に示すように、硬化部３は、液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２を接着している接着剤Ｒを硬化する硬化装置３０を備える。硬化装置３０は、積層パネルＳ１０が載置されるステージ３１と、ステージ３１上に配置されたＵＶ照射ユニット３３を備える。
【００６３】
ＵＶ照射ユニット３３は、紫外線（ＵＶ）を発することができる１つまたは複数のＵＶランプやＬＥＤ等から構成されている。ＵＶ照射ユニット３３の照射は、接着剤Ｒを硬化するのに必要なエネルギ量の紫外線を照射することができるように調節されている。このエネルギ量は、紫外線照射の強度と時間により調整される。
【００６４】
図８（Ａ）に示すように、搬送部４で搬送された積層パネルＳ１０はステージ３１に載置される。そして、図８（Ｂ）に示すように、ＵＶ照射ユニット３３が、接着剤Ｒが完全に硬化するのに必要なエネルギ量の紫外線を照射し、接着剤Ｒの硬化が完了する。
【００６５】
なお、表示パネル製造装置１００は、塗布部１、貼り合せ部２及び硬化部３の前後又はその間に別の工程を行っても良い。そのために、表示パネル製造装置１００は、例えば、塗布部１の前段又は貼り合せ部２の前段で基板の外観を撮像して位置合わせを行う位置合わせ部や、完成した液晶表示パネルＬを梱包するテーピングユニット等を備えても良い。
【００６６】
［評価試験１］
上述した本実施形態の表示パネル製造装置１００において、事前に接着剤Ｒの塗布処理を複数回行い、スリットコータ１２のノズル１２ｂ先端に液滴Ｄを付着させた状態にした。そして、実施例１として、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に１回押し付けることによりクリーニングを行った。その後、再び基板への接着剤Ｒの塗布処理を行った。また、比較例１として、塗布処理を複数回行って液滴Ｄを付着させたスリットコータ１２に対して、クリーニングは行わずに、再び基板への接着剤Ｒの塗布処理を行った。
【００６７】
クリーニングは以下の条件で行った。
・クリーニング部材…シリコンゴム
・ノズル押し付け時間…０．１ｓｅｃ
・ノズル押し付け量…０．２ｍｍ
ここで、ノズル押し付け量とは、ノズル先端をクリーニング部材の表面の位置から下方へ押し込む深さを意味する。
【００６８】
塗布処理は以下の条件で行った。
・基板…ガラス製、１５２．４×９１．４（ｍｍ）の長方形、厚さ０．７ｍｍ
・接着剤…粘度２９００ｍＰａ・ｓの紫外線（ＵＶ）硬化樹脂
・接着剤塗布厚目標…２００μｍ
クリーニング部材１４として用いたシリコンゴムと接着剤Ｒとの接触角を測定すると、約７６°だった。接触角が０°に近づくほど親液性が高くなるが、シリコンゴムは比較的撥液性は高くなく、接着剤Ｒに対しては親液性を有すると言える。
【００６９】
実施例１及び比較例１についてそれぞれ、基板上に塗布された接着剤Ｒの形状の評価を行った。
［始点盛り上がり量］
まず、実施例１及び比較例１について、図３（Ｂ）に示すように、基板を側方から見て、盛り上がりの頂点部の高さＨＭＡＸをそれぞれ測定した。さらに、頂点部から基板中心に向かって１０ｍｍ移動した地点の高さを測定した。接着剤Ｒの特性によって若干の誤差はあるが、盛り上がりの頂点部から基板中心に向かって約１０ｍｍ未満の範囲で凹みが生じて、それより基板中心側は平らな面となり、塗布厚となる。頂点部から基板中心側に１０ｍｍ移動した地点の高さを塗布厚さとし、この高さを盛り上がりの底辺高さＨＭＩＮとしたとき、頂点部の高さＨＭＡＸから底辺高さＨＭＩＮを差し引いたものを、接着剤Ｒが塗布厚より盛り上がる量、すなわち、盛り上がり量ＨＤＩＦとすることができる。
【００７０】
実施例１と比較例１の測定結果を、以下の表１に示す。
【表１】
2015142905.tif 000003
【００７１】
表１からわかるように、クリーニングを行った実施例１は、クリーニングを行わなかった比較例１よりも盛り上がり量が少ない。クリーニングによって、スリットコータ１２の液滴Ｄが取り除かれたため、盛り上がり量が少なくなり、ボイドの発生を低減することができる。
【００７２】
［直線性］
次に、接着剤Ｒの塗り始め部分の直線性について評価を行った。図９に示すように、基板上方から見て、接着剤Ｒの塗布端のうち、基板外縁に最も近い部分と、基板外縁に最も遠い部分との間の距離Ｉを測定した。この距離Ｉは塗布端のバラつきを示すものであり、距離Ｉが小さいほど直線性が良好であるという評価を下すことができる。なお、図９は理解しやすくするためにバラつきを誇張して描いており、実際のバラつきを表わしたものではない。実施例１については、実施例１−１及び実施例１−２として、同一条件で２回試験を行った。
【００７３】
実施例１−１，１−２及び比較例１の測定結果を、以下の表２に示す。
【表２】
2015142905.tif 000004
表２からわかるように、クリーニングを行った実施例１−１及び１−２は、クリーニングを行わなかった比較例１よりも距離Ｉが短く、直線性が良好である。クリーニングによって、スリットコータ１２の液滴Ｄが取り除かれたため、塗布端のバラつきが少なくなり、塗りムラを低減することができる。
【００７４】
［評価試験２］
評価試験１では、クリーニング部材１４にシリコンゴムを用いたが、評価試験２ではクリーニング部材１４として両面にＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートを用いた。ＰＥＴフィルムと接着剤Ｒとの接触角を測定すると、約５３°だった。ＰＥＴフィルムも比較的撥液性は高くなく、接着剤Ｒに対しては親液性であると言える。その他は評価試験１と同様の条件で試験を行った。実施例２として、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に１回押し付けることによりクリーニングを行った。比較例２はクリーニングを行わなかった。そして、実施例２及び比較例２についてそれぞれ、始点盛り上がり量と直線性の評価を行った。
【００７５】
［始点盛り上がり量］
実施例２及び比較例２の測定結果を、以下の表３に示す。
【表３】
2015142905.tif 000005
表３に示すように、ＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートをクリーニング部材１４として用いた実施例２でも、クリーニングを行わなかった比較例２よりも盛り上がり量が少なくなっており、ボイド発生の可能性を低減できることがわかる。
【００７６】
［直線性］
実施例２及び比較例２の測定結果を、以下の表４に示す。
【表４】
2015142905.tif 000006
表４に示すように、ＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートをクリーニング部材１４として用いた実施例２でも、クリーニングを行わなかった比較例２よりも距離Ｉが短く、直線性が良好である。クリーニングによって、スリットコータ１２の液滴Ｄが取り除かれたため、塗布端のバラつきが少なくなり、塗りムラを低減することができる。
【００７７】
（効果）
（１）本実施形態の接着剤塗布装置１０は、接着剤Ｒが供給されて先端に設けられたノズル１２ｂから基板に接着剤Ｒを塗布する接着剤塗布部材としてのスリットコータ１２と、スリットコータ１２に対向配置されたクリーニング部材１４と、を有し、スリットコータ１２が、クリーニング部材１４の表面に向かって垂直方向に移動して、クリーニング部材１４の表面にノズル１２ｂの先端に付着した液滴Ｄを接触させて、液滴Ｄを流動させ、クリーニング部材１４の表面から離れるように垂直方向に移動して、液滴Ｄをノズル１２ｂ先端から取り除く。
【００７８】
クリーニング部材１４を液滴Ｄに接触させ、液滴Ｄを流動させることによりノズル１２ｂから取り除くため、ノズル１２ｂをクリーニング部材１４に強く押し付ける必要がなく、ノズル１２ｂやクリーニング部材１４の摩擦や発埃による消耗や汚染を低減することができる。また、スリットコータ１２は垂直方向に移動して、クリーニング部材１４に接離するように動作するのみであり、水平方向に移動して液滴Ｄをクリーニング部材１４で擦り取るような動作は行われない。そのため、液滴Ｄがノズル１２ｂの側面に付着してノズル１２ｂが却って汚れてしまうようなことがない。これによって、クリーニング後の塗布をムラの少ない安定したものとすることが可能である。
【００７９】
また、クリーニング部材をスリットコータ１２の細長いノズル１２ｂに沿って移動させて液滴Ｄを擦り取る方法では、クリーニング部材をノズル１２ｂに沿って移動させるのに時間を要する。一方、本実施形態では、クリーニング部材１４の一回の移動により、ノズル１２ｂ先端全体のクリーニングを行うことができるため、クリーニング時間を短縮することができる。拭き取り回数を増やすほど、クリーニング時間は大きく短縮することができる。
【００８０】
なお、スリットコータ１２のクリーニング部材１４に対する移動は相対的であれば良いため、クリーニング部材１４の方がスリットコータ１２に接離するように移動しても良い。その場合は、クリーニング部材１４が載置された載置台１５に駆動機構を別に備え、クリーニング部材１４を移動可能にすると良い。
【００８１】
（２）スリットコータ１２は、クリーニング部材１４に、ノズル１２ｂは接触させずにノズル１２ｂ先端に付着した液滴Ｄのみを接触させる。
【００８２】
本実施形態では、液滴Ｄを流動させることによりノズル１２ｂのクリーニングを行うので、クリーニング部材１４をノズル１２ｂに直接接触させる必要がなく、ノズル１２ｂとクリーニング部材１４の消耗をより低減させることができる。
【００８３】
（３）あるいは、スリットコータ１２は、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に接触させてもよい。接触させることでノズル１２ｂ先端の液滴Ｄを確実にクリーニング部材１４に接触させることが出来る。さらに、ノズル１２ｂで液滴Ｄを押し広げるので、より確実に液滴Ｄをクリーニング部材１４に移動させることができる。
【００８４】
［第２の実施形態］
次に、第２の実施形態について、図１０を参照して説明する。なお、以降の実施形態では、第１の実施形態の構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付与し詳細な説明を省略する。第２の実施形態では、例えば使用している接着剤Ｒの粘度が高く、ノズル１２ｂをクリーニング部材１４に一回接触させただけでは、ノズル１２ｂ先端の液滴Ｄを完全に取り除くことが難しい場合に、ノズル１２ｂ先端の液滴Ｄをクリーニング部材１４に複数回接触させる。
【００８５】
第２の実施形態の表示パネル製造装置１００及び接着剤塗布装置１０の構成は、第１の実施形態と同一である。また、塗布部１の塗布ユニット１０Ａ、貼り合せ部２及び硬化部３における作用は第１の実施形態と同様であるため、説明は省略する。本実施形態の塗布部１のクリーニングユニット１０Ｂの作用について、図１０を用いて説明する。
【００８６】
図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）までは、第１の実施形態と同様である。すなわち、塗布ユニット１０Ａから退避したスリットコータ１２がクリーニングユニット１０Ｂに進入して載置台１５のクリーニング部材１４の上方に位置し（図１０（Ａ））、クリーニング部材１４に向かって下降し（図１０（Ｂ））、液滴Ｄをクリーニング部材１４の表面に接触させて、クリーニング部材１４の表面に移動させる（図１０（Ｃ））。ただし、上述したように接着剤Ｒの粘度が高いと、１回の接触では液滴Ｄの全てが移動しないこともある。そのため、図１０（Ｄ）に示すように、スリットコータ１２を上昇させたときに、ノズル１２ｂ先端には、小さくはなったが、液滴Ｄが依然として付着している。そこで、本実施形態では、１回目の接触の後、スリットコータ１２を移動させ、クリーニング部材１４の未使用の部分を使って２回目の接触を行う。
【００８７】
図１０（Ｅ）に示すように、スリットコータ１２はクリーニング部材１４の上方を、Ｘ軸方向に所定量移動する。所定量とは、スリットコータ１２のノズル１２ｂ先端部分が、クリーニング部材１４表面の液滴Ｄが付着した部分から離れ、液滴Ｄが付着していない部分の上まで移動できる距離である。すなわち、クリーニング部材１４と液滴Ｄの接触後に、スリットコータ１２がクリーニング部材１４の上方を移動することで、クリーニング部材１４の液滴Ｄとの接触面を新しくすることができる。なお、図中では一例として、スリットコータ１２は左方向へ移動しているが、移動方向はクリーニング部材１４の新しい接触面の位置に応じて適宜選択することができ、右方向へ移動しても良い。
【００８８】
スリットコータ１２の移動量は、接着剤Ｒの粘度等から、クリーニング部材１４にどれぐらいの面積の接着剤Ｒの液滴Ｄが形成されるかを把握しておき、予め決定しておいても良い。あるいは、１回目の接触が終わった後に、目視でクリーニング部材１４表面の接着剤Ｒの液滴Ｄの大きさを確認し、その液滴Ｄにノズル１２ｂ先端が接触しないように、手動でスリットコータ１２を移動させても良い。
【００８９】
スリットコータ１２をクリーニング部材１４の上方を移動させた後、図１０（Ｆ）に示すように、再びクリーニング部材１４に向かって下降させ、２回目の接触を行う。ノズル１２ｂ先端に残存していた液滴Ｄがクリーニング部材１４表面に接触して流動し、クリーニング部材１４の表面に移動する。液滴Ｄが移動した後、図１０（Ｇ）に示すように、スリットコータ１２は再び上昇してクリーニング部材１４から離れる。ノズル１２ｂ先端に残存していた液滴Ｄは取り除かれ、クリーニングが完了する。
【００９０】
接着剤Ｒの粘度等によっては、２回の接触でも液滴Ｄが全て取り除かれないこともある。その場合は、さらにスリットコータ１２を移動させて、３回目以上の接触を行っても良い。スリットコータ１２の移動量はすべて一定距離としても良いが、クリーニング部材１４表面に付着する接着剤Ｒの面積は次第に小さくなっていくことが考えられるので、移動量は接触回数を重ねるごとに小さくしていっても良い。移動量を同じ量とするよりも、移動時間の合計が短くなるので、よりクリーニング時間を短縮することができる。
【００９１】
また、スリットコータ１２の停止位置は、第１の実施形態と同様、少なくともノズル１２ｂ先端の液滴Ｄがクリーニング部材１４の表面に接触する位置である。すなわち、液滴Ｄのみがクリーニング部材１４の表面に接触する位置か、ノズル１２ｂ先端がクリーニング部材１４の表面に接触するが、強く押し付けられない位置とすると良い。
【００９２】
ただし、１回目の接触と２回目の接触では、停止位置を変更しても良い。例えば、１回目の接触では、液滴Ｄは最も大きい状態なので、クリーニング部材１４の上面より若干上で停止し、液滴Ｄのみをクリーニング部材１４の表面に接触させるようにしても良い。そして、２回目の接触では、クリーニング部材１４の上面位置まで下降し、ノズル１２ｂ自体をクリーニング部材１４の表面に接触させるようにしても良い。２回目は１回目より液滴Ｄが小さくなっていることが予想されるが、ノズル１２ｂ自体を接触させることで、液滴Ｄを確実にクリーニング部材１４に接触させることができる。
【００９３】
もちろん、１回目を含む全ての接触においてノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に接触させても良い。あるいは、１回目はノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に接触させ、２回目は液滴Ｄのみを接触させる等、回数ごとのスリットコータの停止位置は目的に応じて適宜選択することができる。
【００９４】
第１の実施形態と同様に、クリーニング部材１４とノズル１２ｂ先端との平行度を調整する機構を設けても良い。ただし、上述したように、クリーニング部材１４としてシリコンゴム等の弾性体を用い、かつノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４の表面に接触させる場合は、弾性体が撓んでノズル１２ｂ先端の形状に沿うため、調整機構を省くことができる。特に、第２の実施形態ではスリットコータ１２をＸ軸方向に移動してクリーニング部材１４との接触場所を変えるため、クリーニング部材１４全域での平行度の調整が必要となる。そのためクリーニング部材１４として弾性体を用いると、平行度の調整が不要となるため、クリーニングの効率を大きく向上させることができる。
【００９５】
［評価試験３］
第１の実施形態の評価試験１及び２では、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に１回のみ押し付けてクリーニングを行った。第２の実施形態の評価試験３では、さらに実施例３〜７として、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に２〜６回押し付けてクリーニングを行った。ノズル１２ｂの押し付けは、１回毎に水平方向に移動してクリーニング部材１４との接触位置を変更した。クリーニング部材１４は、第１の実施形態の評価試験１と同様に、シリコンゴムを用いた。
【００９６】
［始点盛り上がり量］
比較例１，実施例１及び実施例３〜７の始点盛り上がり量の測定結果を、以下の表５に示す。また、測定結果をグラフにしたものを図１１に示す。
【表５】
2015142905.tif 000007
【００９７】
表５及び図１１に示すように、ノズル１２ｂの押し付けを１回のみ行った場合でも、盛り上がり量を低減することができるが、押し付け回数を増やすことで、盛り上がり量を大きく低減できることがわかる。特に、押し付け回数を３回とした実施例４では、盛り上がり量を実施例３の半分近くに抑えることができ、クリーニングによるボイド低減効果が大きいことがわかる。
【００９８】
［直線性］
比較例１、実施例１及び実施例３〜７の直線性に関する測定結果を、以下の表６に示す。実施例１及び３〜７については、それぞれ同一条件で２回試験を行った。測定結果をグラフにしたものを図１２に示す。
【表６】
2015142905.tif 000008
表６及び図１２からわかるように、ノズル１２ｂの押し付けを１回のみ行った実施例１でも、比較例１より良好な直線性を得られるが、押し付け回数を増やすことで、より良好な直線性を得ることができる。特に、押し付け回数を３回とした実施例４−１及び４−２では距離Ｉが大きく低減し、直線性に大きな改善が見られる。
【００９９】
［評価試験４］
評価試験４は、第１の実施形態の評価試験２と同様に、クリーニング部材１４として両面にＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートを用いた。さらに、実施例８〜１２として、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に２〜６回押し付けてクリーニングを行った。その他は、評価試験３と同様の条件で試験を行った。
【０１００】
［始点盛り上がり量］
比較例２，実施例２及び実施例８〜１２の始点盛り上がり量の測定結果を、以下の表７に示す。また、測定結果をグラフにしたものを図１３に示す。
【表７】
2015142905.tif 000009
【０１０１】
表７及び図１３に示すように、クリーニング部材１４にＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートを用いた場合でも、押し付け回数を増やすことで盛り上がり量を大きく低減できることがわかる。特に、押し付け回数が３回以上の実施例９〜１２では、盛り上がり量がほぼ０に抑えることができており、クリーニングによるボイド低減効果が大きいことがわかる。
【０１０２】
［直線性］
比較例２、実施例２及び実施例８〜１２の直線性に関する測定結果を、以下の表８に示す。また、測定結果をグラフにしたものを図１４に示す。
【表８】
2015142905.tif 000010
表８及び図１４からわかるように、クリーニング部材１４にＰＥＴフィルムを貼ったシリコンゲルシートを用いた場合でも、押し付け回数を増やすことで、より良好な直線性を得ることができる。特に、押し付け回数を３回以上の実施例９〜１２では、直線性に大きな改善が見られる。
【０１０３】
（効果）
（１）第２の実施形態の接着剤塗布装置１０において、スリットコータ１２はノズル１２ｂ先端に付着した液滴Ｄをクリーニング部材１４に複数回接触させる。
【０１０４】
例えば、接着剤Ｒの粘度が高いために、液滴Ｄとクリーニング部材１４を１回接触させただけでは、ノズル１２ｂ先端から液滴Ｄを全て取り除くことが難しい場合でも、複数回接触させることで、液滴Ｄを全て取り除くことができる。
【０１０５】
また、第１の実施形態で述べたように、クリーニング部材１４の一回の移動によりノズル１２ｂ先端全体のクリーニングを行うことができるため、クリーニング時間を短縮することができる。液滴Ｄをクリーニング部材１４に複数回接触させる場合、すなわちクリーニングを複数回行う場合には、クリーニング時間の短縮効果をさらに大きくすることができる。
【０１０６】
（２）スリットコータ１２は、クリーニング部材１４に対して液滴Ｄの接触後に移動して、クリーニング部材１４の液滴Ｄとの接触面を新しくする。これによって、複数回の接触を行う場合でも、毎回接着剤Ｒの付着していない新しい面をつかってクリーニングを行うことができる。
【０１０７】
なお、スリットコータ１２のクリーニング部材１４に対する移動は相対的であれば良いため、スリットコータ１２がクリーニング部材１４の上方に位置している際に、クリーニング部材１４の方を動かして接触面を新しくするようにしても良い。その場合は、クリーニング部材１４が載置された載置台１５に駆動機構を別に備え、クリーニング部材１４を移動可能にすると良い。
【０１０８】
（３）スリットコータ１２がクリーニング部材１４に対して移動する距離は、液滴Ｄとクリーニング部材１４の接触回数に応じて可変としても良い。例えば、接触回数を重ねて液滴Ｄが小さくなっていくにしたがって、移動距離を小さくしていくことで、クリーニング部材１４に液滴Ｄが付着する面積を小さくすることができる。また、移動距離を等間隔とするよりも移動時間の合計が短くなるので、よりクリーニング時間を短縮することができる。
【０１０９】
次のクリーニングを行う際には、クリーニング部材１４を交換することもできるが、同じクリーニング部材１４のまだ液滴Ｄが付着していない部分を使ってクリーニングを行うこともできる。そのような場合に、１回のクリーニングでの液滴Ｄの付着面積をできるだけ小さくすることによって、限られた面積のクリーニング部材１４でより多い回数のクリーニングを行うことができ、交換間隔も延ばし、交換作業に要する液晶表示パネルの非生産時間を短縮することができる。また、クリーニング部材１４が吸水紙等の使い捨ての材料の場合は、材料コストも低減することができる。
【０１１０】
［第３の実施形態］
次に、第３の実施形態について、図１５〜図１７を参照して説明する。第３の実施形態の接着剤塗布装置１０は、図１５に示すように、クリーニング部材１４に付着された接着剤Ｒの液滴Ｄを拭き取る拭き取り部材１６が、クリーニングユニット１０Ｂに備えられている。
【０１１１】
拭き取り部材１６は、ゴム等の弾性体で構成されたヘラ状の部材である。拭き取り部材１６は支持部材１７によって支持され、載置台１５上方に配置されている。支持部材１７は駆動機構Ｍ２に接続されており、駆動機構Ｍ２によって拭き取り部材１６はＸ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。拭き取り部材１６は、クリーニング部材１４のＹ軸方向に延びる辺と略同じ長さで、上面視略平行の辺を有している。
【０１１２】
拭き取り部材１６は、図中では、クリーニングユニット１０Ｂの左側に配置されているが、配置位置はこれに限られない。例えば、クリーニングユニット１０Ｂ内のＹ軸方向奥側等の、スリットコータ１２の進路を妨げない位置に配置することが望ましいが、駆動機構Ｍ２に接続されているため、スリットコータ１２の進入時に移動するようにしても良い。
【０１１３】
拭き取り部材１６の第１の動作例を、図１６を用いて説明する。ここでは、第２の実施形態で説明した、液滴Ｄとクリーニング部材１４との接触が複数回行われた場合を例に取って説明する。もちろん、第１の実施形態で説明した、液滴Ｄとクリーニング部材１４との接触が一回の場合に行っても良いことは言うまでもない。
【０１１４】
図１６（Ａ）に示すように、クリーニング部材１４の上面には、液滴Ｄが複数付着している。なお、クリーニングが完了したスリットコータ１２は、既にクリーニングユニット１０Ｂから退避している。
【０１１５】
図１６（Ｂ）に示すように、拭き取り部材１６はＸ軸方向に移動し、載置台１５上方の、クリーニング部材１４の外縁近傍の位置で停止する。次に、図１６（Ｃ）に示すように、拭き取り部材１６は下降し、クリーニング部材１４の上面より若干下の位置で停止する。さらに、図１６（Ｄ）に示すように、拭き取り部材１６はクリーニング部材１４に向かってＸ軸方向に移動する。
【０１１６】
拭き取り部材１６はクリーニング部材１４の側面に付き当たるが、弾性体で構成されているため、撓ってクリーニング部材１４の上面に押し上げられる。そして、クリーニング部材１４の上面に押し付けられた状態で摺動する。これによって、拭き取り部材１６は、ゴムべらのように、クリーニング部材１４の上面に付着している複数の液滴Ｄをまとめて拭き取る。
【０１１７】
なお、図１６（Ｂ）に図示した状態では、クリーニング部材１４の側面に突き当たるように、拭き取り部材１６がクリーニング部材１４の外縁近傍の位置で停止しているが、始めからクリーニング部材１４の上面に突き当たるように、拭き取り部材１６はクリーニング部材１４上面の上方で停止しても良い。また、図中では一例として、拭き取り部材１６は、クリーニング部材１４の表面を左方向に摺動しているが、拭き取り部材１６の配置位置に応じて移動方向は適宜選択することができ、右方向へ摺動しても良い。
【０１１８】
拭き取り部材１６の第２の動作例を、図１７を用いて説明する。第２の動作例は、拭き取り部材１６の再生処理である。図１６に示したように、拭き取り部材１６は、クリーニング部材１４の上面の一端から他端へと摺動することによって、クリーニング部材１４に付着した液滴Ｄを拭き取る。拭き取り後の拭き取り部材１６には、接着剤Ｒが付着している。拭き取り部材１６は一旦上昇してクリーニング部材１４の上面から離れた後に、再生処理が行われる。
【０１１９】
再生処理は、拭き取り部材１６に付着した接着剤Ｒを取り除くことによって行う。取り除く方法としては、擦り取る、絞り取る又は吸引する等の方法が考えられるが、ここでは再生部材１９によって接着剤Ｒを擦り取る方法を説明する。図１７（Ａ）〜（Ｃ）は、再生処理の三つの例を示している。
【０１２０】
図１７（Ａ）に示す例では、クリーニング部材１４の角部が再生部材１９を構成している。すなわち、クリーニング部材１４の角部で接着剤Ｒを擦り取る。拭き取り部材１６は、拭き取り終了後に上昇してクリーニング部材１４の上面から離れ、Ｘ軸方向を遡るように移動する。そして図１６（Ｂ）で図示した、載置台１５上方のクリーニング部材１４の外縁近傍の位置で再び停止する。次に、拭き取り部材１６は下降し、クリーニング部材１４の上面より下の位置で停止する。このとき、拭き取り部材１６に付着した接着剤Ｒが確実に擦り取れるように、下降位置は図１６（Ｃ）に示した拭き取り時の下降位置よりも下になるようにしても良い。
【０１２１】
拭き取り部材１６がクリーニング部材１４に向かってＸ軸方向に移動することで、図１７（Ａ）に示すように、拭き取り部材１６が撓ってクリーニング部材１４の側面から上面に乗り上げる際に、付着している接着剤Ｒが側面と上面を接続する角部に擦り取られる。
【０１２２】
図１７（Ｂ）に示す例では、載置台１５の角部が再生部材１９を構成している。接着剤Ｒを擦り取る方法は図１７（Ａ）と同じだが、この場合は、拭き取り部材１６は載置台１５の外縁近傍で、載置台１５の上面より下の位置に停止する。そして、載置台１５に向かってＸ軸方向に移動することで、載置台１５の角部によって拭き取り部材１６に付着していた接着剤Ｒが擦り取られる。
【０１２３】
図１７（Ｃ）に示す例では、専用の再生部材１９を用意し、その角部で接着剤Ｒを擦り取っている。再生部材１９は、クリーニング部材１４や載置台１５のように角を有する、例えば略直方体の部材とすると良い。また、例えばガラス、金属、樹脂等で形成して、ある程度の硬さを有し、弾性体で構成されたクリーニング部材１４を撓らせることができるようにすると良い。再生部材１９は、不図示の駆動機構を備え、再生処理を行う時に載置台１５上方に移動するようにしても良い。
【０１２４】
接着剤Ｒを擦り取る方法は、図１７（Ａ）及び（Ｂ）に図示した例と同じだが、この場合は、拭き取り部材１６は、再生部材１９の外縁近傍で、再生部材１９の上面より下の位置に停止する。そして、再生部材１９に向かってＸ軸方向に移動することで、再生部材１９の角部によって拭き取り部材１６に付着していた接着剤Ｒが擦り取られる。
【０１２５】
図１７（Ａ）〜（Ｃ）では、一例として、拭き取り部材１６が、クリーニングユニット１０Ｂを左方向に移動して再生部材１９に接触しているが、拭き取り部材１６の配置位置に応じて移動方向は適宜選択することができ、右方向へ摺動しても良い。
【０１２６】
拭き取り及び再生処理後、拭き取り部材１６は載置台１５上方から退避し、液滴Ｄが拭き取られたクリーニング部材１４によって、再びスリットコータ１２のクリーニングが行われる。
【０１２７】
なお、第１の実施形態では、クリーニング部材１４に撥液性の高くない素材を用いることが好ましいと述べたが、第３の実施形態では、更に、吸液性も高くない、ガラスやシリコンゴム等の素材を用いることが好ましい。これによって、クリーニング部材１４の表面に付着した液滴Ｄを、拭き取り部材１６によってスムーズに拭き取ることができる。
【０１２８】
ところで、拭き取り部材１６を用いてクリーニング部材１４表面の接着剤Ｒを拭き取る際に、接着剤Ｒを完全に取り除く必要は無く、ある程度の拭き残しがあっても良い。あるいは、敢えて拭き残しが存在するように拭き取りを行っても良い。クリーニング部材１４の表面に接着剤Ｒが存在することによって、親液性、すなわち接着剤Ｒとの親和性が増すことが考えられる。これによって、クリーニングの際、ノズル１２ｂ先端に残留する液滴Ｄを、よりスムーズにクリーニング部材１４に移動させることができると考えられる。
【０１２９】
このように、積極的に拭き残し部分を設ける場合には、例えば、図１８のように、拭き取り部材１６のクリーニング部材１４への接触部分に複数の切欠き又は溝等を設けると良い。あるいは、接触部分の表面を粗くして凸凹状にすると良い。このような構成にすることによって、拭き取りの際にクリーニング部材１４の表面に線状の拭き残し部分が形成される。このとき、線状の拭き残し部分が、ノズル１２ｂの線状の吐出領域と交差するように延びるようにすると良い。この場合は、拭き取り部材１６の切り欠き又は凹部の方向も、ノズル１２ｂのスリットと直交する方向に設けると良い。そうすることで、親液部分を吐出領域の始端から終端まで万遍なく設けることができ、クリーニングの際、ノズル１２ｂ先端をクリーニング部材１４に形成された拭き残しの親液部分に位置合わせする必要がなくなる。つまり、親液部分とノズル１２ｂの先端が平行となる場合は、ノズル１２ｂの先端を親液部分に接触するよう位置合わせが必要となるが、親液部分とノズル１２ｂは直交するので、ノズル１２ｂは特に位置を合わせる必要もなくノズル１２ｂのスリットあるいは液滴Ｄは、親液部分に接触できる。
【０１３０】
なお、スリットコータ１２は垂直方向に移動して、クリーニング部材１４に接離するように動作するのみであるため、このような拭き残し部分があったり、あるいはクリーニング部材１４の表面に親液性を有する材料を塗布したような場合でも、ノズル１２ｂの側面に接着剤Ｒが逆に付着して溜まってしまうことを防ぐことができる。
【０１３１】
（効果）
（１）第３の実施形態の接着剤塗布装置１０には、クリーニング部材１４の表面を摺動して、クリーニング部材１４に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄを拭き取る拭き取り部材１６を設けた。これによって、クリーニング部材１４を交換しなくとも、再度クリーニングに使用することができるため、クリーニング部材１４の交換回数を減らすことができ、材料コストを低減し、作業効率を向上させることができる。
【０１３２】
また、特に、液滴Ｄとクリーニング部材１４の接触が複数回行われる場合には、クリーニング部材１４の複数個所に液滴Ｄが付着することになる。この複数個所の液滴Ｄを、拭き取り部材１６でまとめて拭き取ることができるため、クリーニング部材１４の再生処理を容易に行うことができる。
【０１３３】
（２）拭き取り部材１６に付着した接着剤Ｒを擦り取って拭き取り部材１６を再生させる再生部材１９を設けた。これによって、拭き取り部材１６を拭き取りの都度交換しなくとも、再度拭き取りを行うことができるため、拭き取り部材１６の交換回数を減らすことができ、材料コストを低減し、作業効率を向上させることができる。
【０１３４】
（３）再生部材１９を、クリーニング部材１４の角部又はクリーニング部材１４が載置される載置台１５の角部によって構成した。これによって、別途専用の再生部材を設ける必要が無く、省スペース及び省コストを達成することができる。
【０１３５】
［第４の実施形態］
次に、第４の実施形態について、図１９及び図２０を参照して説明する。第４の実施形態では、ノズル１２ｂ先端の液滴Ｄをクリーニング部材１４の上面に接触させる前に、予備的な液滴Ｄの除去を行う態様を説明する。
【０１３６】
第４の実施形態の表示パネル製造装置１００及び接着剤塗布装置１０の構成は、第１の実施形態と概ね同一であるが、図１９に丸囲みで示すように、板状のクリーニング部材１４の角部、即ち、側面と側面に連接する上面の外縁部分が、液滴Ｄの予備除去を行う接着剤除去部材１８として構成されている。なお、図中では、クリーニング部材１４の右側の角部を接着剤除去部材１８として構成しているが、スリットコータ１２の駆動方向に応じて、クリーニング部材１４の左側の角部を接着剤除去部材１８としても良い。
【０１３７】
この接着剤除去部材１８の作用について、図２０を使って説明する。接着剤除去部材１８による液滴Ｄの予備除去以外の作用については第１又は第２の実施形態と同様であるため、説明は省略する。
【０１３８】
図２０（Ａ）に示すように、塗布ユニット１０Ａから退避したスリットコータ１２が、クリーニングユニット１０Ｂに進入する。第１及び第２の実施形態では、スリットコータ１２は、載置台１５のクリーニング部材１４の上方に位置した。第４の実施形態では、スリットコータ１２は、載置台１５上のクリーニング部材１４近傍ではあるが、クリーニング部材１４が存在しない位置に移動し、載置台１５に向かって下降する。そして、ノズル１２ｂ先端から垂下する液滴Ｄが、クリーニング部材１４の上面より下の位置であり、かつ載置台１５表面には接触しない位置で停止する。したがって、本実施形態のクリーニング部材１４の厚さは、ノズル１２ｂ先端から滴下する液滴Ｄの全長よりも長くなることが望ましい。
【０１３９】
図２０（Ｂ）に示すように、スリットコータ１２はＸ軸方向を、クリーニング部材１４に向かって移動する。この移動によって、クリーニング部材１４の側面がノズル１２ｂ先端から垂下する液滴Ｄを横断するように接触する。この接触によって、図２０（Ｃ）に示すように、液滴Ｄの一部が流動してノズル１２ｂ先端から離れる。離れた液滴Ｄの一部は、スリットコータ１２の移動につられて、クリーニング部材１４の上面の外縁部に乗り上げるように付着する。すなわち、クリーニング部材１４の側面と側面に連接する上面外縁部は、液滴Ｄの一部を除去する部材として作用する。
【０１４０】
液滴Ｄの一部がクリーニング部材１４に移動した後、スリットコータ１２は一旦上昇する。そして、図２０（Ｄ）に示すように、液滴Ｄが付着していない部分までＸ軸方向に移動した後に、第１の実施形態と同様に、クリーニング部材１４に向かって下降し、ノズル１２ｂ先端に残った液滴Ｄをクリーニング部材１４に接触させ、取り除く。
【０１４１】
なお、図中では、一例として、スリットコータ１２は左方向に移動して再生部材１９に接触しているが、拭き取り部材１６の配置位置に応じて移動方向は適宜選択することができ、右方向へ摺動しても良い。また、本実施形態では、接着剤除去部材１８は、クリーニング部材１４の一部として構成したが、別の部材として設けても良い。
【０１４２】
（効果）
第４の実施形態の接着剤塗布装置１０において、ノズル１２ｂ先端から垂下する液滴Ｄに対して横断方向から接触し、液滴Ｄの一部を流動させてノズル１２ｂ先端から取り除く接着剤除去部材１８を設けた。
【０１４３】
例えば、接着剤Ｒの粘度が高いために、液滴Ｄとクリーニング部材１４を接触させただけでは、ノズル１２ｂ先端から液滴Ｄを全て取り除くことが難しい場合でも、液滴Ｄに横断方向から接触する接着剤除去部材１８により、液滴Ｄの一部を取り除くことができるため、より確実に液滴Ｄを取り除くことができる。
【０１４４】
なお、本実施形態では、スリットコータ１２を移動させてクリーニング部材１４の側面に液滴Ｄを接触させたが、クリーニング部材１４が載置された載置台１５に駆動機構を設けて、クリーニング部材１４を移動させて側面を液滴Ｄに接触させても良い。
【０１４５】
［第５の実施形態］
次に、第５の実施形態について、図２１〜図２３を参照して説明する。図２１に示すように、第５の実施形態では、接着剤塗布装置１０の塗布ユニット１０Ａに、接着剤Ｒの仮硬化部として、ＵＶ照射ユニット１３を設けた。また、塗布ユニット１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂの間には、所定の間隔Ｃが設けられている。
【０１４６】
ＵＶ照射ユニット１３は、紫外線（ＵＶ）を発することができる１つまたは複数のランプやＬＥＤ等から構成されており、ステージ１１上に配置されている。図２２に示すように、ＵＶ照射ユニット１３は、液晶パネルＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒに対して、ＵＶ照射を行う。
【０１４７】
この塗布部１におけるＵＶ照射は、弱い照射強度で、あるいは酸素阻害が起きるように大気下で行われている。そのため、接着剤Ｒは、未硬化部分が残留した状態を広く含む、いわゆる仮硬化の状態となる。
【０１４８】
仮硬化の状態となることによって、接着剤Ｒの流動が抑制され、後述する貼り合せまでの搬送等の時間や貼り合せにおいて塗布形状のくずれやパネル外への接着剤Ｒのはみ出しが防止される。なおかつ、未硬化部分が残留しているため、接着剤Ｒの接着性やクッション性は維持される。この仮硬化は、使用する接着剤Ｒの粘度が低く塗布形状を維持しにくい場合、特に有効である。
【０１４９】
第１の実施形態で説明したように、スリットコータ１２は、液晶パネルＳ１への接着剤Ｒを完了した後、塗布ユニット１０Ａからクリーニングユニット１０Ｂに退避する。ここで、クリーニングユニット１０Ｂに存在するスリットコータ１２にＵＶ照射ユニット１３の照射光が届いてしまうと、ノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄも硬化してしまう可能性がある。硬化した液滴Ｄは、クリーニング部材１４に接触させてもノズル１２ｂ先端から取り除けなくなる可能性がある。
【０１５０】
上述したように、塗布ユニット１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂの間には、所定の間隔Ｃが設けられている。この所定間隔Ｃは、ＵＶ照射ユニット１３の照射光が、クリーニングユニット１０Ｂに退避しているスリットコータ１２に届かない距離であり、照射光の到達距離に応じて適宜設定することができる。この所定間隔Ｃを設けることによって、ノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄが硬化してしまうことを防止することができる。
【０１５１】
図２３は、図２１の変形例であり、塗布ユニット１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂとの間に間隔Ｃを設ける代わりに、開閉可能なシャッタ５０が設けられている。スリットコータ１２が塗布ユニット１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂの間を移動するときは、シャッタ５０は開けておく。そして、少なくとも塗布ユニット１０ＡでＵＶ照射が行われる際には、このシャッタ５０を閉めておく。これによって、ＵＶ照射光がクリーニングユニット１０Ｂのスリットコータ１２に到達し、ノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄが硬化してしまうことを防ぐことができる。そして、シャッタ５０を設けた場合は、塗布ユニット１０Ａとクリーニングユニット１０Ｂを接近させることができるため、省スペースにも寄与する。
【０１５２】
［その他の実施形態］
（１）本発明は、上記した実施形態に限定されるものではない。例えば、図２４に示すように、クリーニングユニット１０Ｂに進入したスリットコータ１２に近接するようにエアブロー５１を配置して、ノズル１２ｂ先端に付着した液滴Ｄに下向きのエアーを吹き付け、液滴Ｄがクリーニング部材１４に移動しやすくするようにしても良い。これによって、より確実にクリーニングができる。また、特にノズル１２ｂ先端の立ち上がり部分への付着残りを低減することができる。
【０１５３】
この時、図２１や図２３のように、クリーニングユニット１０Ｂと塗布ユニット１０Ａとの間に間隔やシャッタが設けても良い。エアーの吹付けによって塗布ユニット１０Ａ上に液滴Ｄが飛散してしまうことを防止できる。
【０１５４】
（２）また、クリーニング部材１４を載置台１５上に配置する代わりに、湾曲させて回転部材上に配置しても良い。図２５に、クリーニング部材１４をローラ５２の外周上に配置した例を示している。液滴Ｄとクリーニング部材１４の複数回の接触タイミングに合わせてローラを回転させることで、ノズル１２ｂ自体をＸ軸方向に移動させなくても、常にクリーニング部材１４の接着剤Ｒが付着していない綺麗な面に液滴Ｄを接触させることができる。
【０１５５】
また、拭き取り部材１６をローラ５２の外周上に配置しても良い。配置位置は、液滴Ｄとクリーニング部材１４の接触位置からローラ５２の回転方向の下流側で、予めクリーニング部材１４の表面に接触するようにしておくと良い。これによって、クリーニング部材１４に付着した液滴Ｄがローラ５２の回転によって拭き取り部材１６の配置位置に到達し、拭き取り部材１６によって拭き取られる。そのため、拭き取り部材１６自体を移動させる必要がない。
【０１５６】
拭き取り部材１６の配置位置の一例として、ローラ５２上のクリーニング部材１４に付着した液滴Ｄが、下方あるいは側方を向く位置に配置しても良い。このような配置によって、拭き取り部材１６に拭き取られた接着剤Ｒを、そのまま下方に落下させることができるため、拭き取り部材１６が汚れにくくなり、再生部材１９がなくても使用回数を長くすることができる。
【０１５７】
（３）あるいは、図２６に示すように、回転する２つのスプロケット５３，５３にチェーンのベルト５４を掛け渡し、そのベルト５４上にクリーニング部材１４を配置しても良い。スプロケット５３，５３の回転でベルト５４を送ることによって、ローラ５２の場合と同様に、ノズル１２ｂ自体をＸ軸方向に移動させなくても、常にクリーニング部材１４の接着剤Ｒが付着していない綺麗な面に液滴Ｄを接触させることができる。スプロケット５３，５３の間隔によりベルト５４の長さは調節可能であり、このベルト５４上にクリーニング部材１４を配置することで、クリーニング部材１４の面積を大きく取ることができる。多くの接触回数が要求されるクリーニングに好適である。もちろん、チェーンのベルトとスプロケットの代わりに平ベルトとプーリを使っても、同様の効果を得られる。
【０１５８】
ベルト５４の場合も、ローラ５２と同様に、拭き取り部材１６をベルト５４の外周上に配置することができる。配置位置も、ローラ５２と同様に、ベルト５４上のクリーニング部材１４に付着した液滴Ｄが、下方あるいは側方を向く位置に配置して、拭き取り部材１６に拭き取られた接着剤Ｒを、そのまま下方に落下するようにしても良い。また、ローラ５２やベルト５４上にクリーニング部材１４を配置する代わりに、ローラ５２やベルト５４自体をクリーニング部材１４として構成しても良い。
【０１５９】
（４）上述の実施形態では、液晶パネルＳ１の表面に接着剤Ｒを塗布したが、代わりに保護パネルＳ２の表面に塗布しても良い。あるいは、液晶パネルＳ１及び保護パネルＳ２の両方の表面に塗布しても良い。
【０１６０】
（５）上述の実施形態では、貼り合せを行う基板として、液晶パネルＳ１と保護パネルＳ２を例に説明したが、これに限られず、各種の基板を用いることができる。例えば、表示用パネルとしては有機ＥＬパネル等の平面表示器（フラットパネルディスプレイ）であれば適用できる。また、保護パネルの他に操作用のタッチパネルを用いることができる。さらに、保護パネルにタッチパネルを貼り合わせることも含まれる。また、貼り合せる基板も一対に限られない。液晶パネルや保護パネルの他にさらにタッチパネルを貼り合せたり、あるいは保護パネルを上下に貼り合せる等して、３枚以上の基板や二対以上の基板を貼り合せても良い。すなわち、表示パネルを構成する基板の貼り合わせであれば適用可能である。
【０１６１】
（６）上述の実施形態のなかでも述べているが、接着剤塗布装置１０のスリットコータ１２の、液晶パネルＳ１やクリーニング部材１４に対する移動は相対的なものであれば良い。したがって、液晶パネルＳ１が載置されたステージ１１やクリーニング部材１４が載置された載置台１５の方を移動させることで、塗布やクリーニングを行っても良い。また、スリットコータ１２の塗布ユニット１０Ａ及びクリーニングユニット１０Ｂへの進入及び退避も、スリットコータ１２自体を移動させるのではなく、各ユニットに備えられたステージ１１や載置台１５を移動させることで行っても良い。
【０１６２】
（７）上述の実施形態では、基板貼合装置２０の上側プレート２３に昇降機構を設けたが、代わりに下側プレート２２に昇降機構を設けても良い。あるいは、下側プレート２２と上側プレート２３の両方に昇降機構を設けても良い。
【０１６３】
（８）上述の実施形態は、接着剤塗布部材としてスリット状のノズルを備えたスリットコータ１２を例に挙げて説明したが、他の種類のコータ、例えば円筒ノズル、すなわちニードルノズルを備えたコータを用いても良い。この場合、単ノズルでもよいし、複数のノズルを線状に並べたマルチノズルでもよい。特にマルチノズルの場合は、長い吐出領域となるのでスリットノズル同様の効果がある。
【０１６４】
（９）粘度の高い接着剤Ｒを用いるような場合には、ノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄをクリーニング部材１４に接触させても、クリーニング部材１４の表面に移動しにくくなることが考えられる。これは、粘度の高い接着剤Ｒは流動に時間を要することに加えて、クリーニング部材１４との接触角が大きくなり、クリーニング部材１４への濡れ広がりが悪くなるからである。そこで、クリーニング時に接着剤Ｒの粘度を低下させる手段を設けても良い。
【０１６５】
接着剤Ｒの粘度低下手段の一つとして、接着剤Ｒの温度を上昇させることが考えられる。そこで、スリットコータ１２のノズル１２ｂの先端にヒーター等の加熱手段を設けても良い。スリットコータ１２がクリーニングのためにクリーニングユニット１０Ｂに移動した際に、加熱手段によりノズル１２ｂの先端の温度を上昇させる。これによってノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄも加熱することができる。液滴Ｄは加熱されることによって粘度が低下するため、スムーズにノズル１２ｂ先端からクリーニング部材１４の表面に移動させることができる。このように、接着剤Ｒの粘度が高い場合でも、粘度低下手段を設けることによってクリーニングの効果を維持することができる。ノズル１２ｂ先端を加熱してクリーニングを行った場合は、再び塗布処理を開始する前に、ノズル１２ｂの余熱によってその後の塗布に影響が出ないように、温度を調整する時間を設けると良い。
【０１６６】
あるいは、クリーニングユニット１０Ｂの、クリーニング部材１４が取り付けられた載置台１５にヒーター等の加熱手段を設けても良い。加熱手段が載置台１５を加熱することによって、載置台１５に取り付けられたクリーニング部材１４の温度も上昇する。温度が上昇したクリーニング部材１４に接触することによって、ノズル１２ｂ先端に付着した接着剤Ｒの液滴Ｄも加熱される。このように、クリーニング部材１４側を加熱する場合は、ノズル１２ｂを直接加熱することがないため、ノズル１２ｂの温度調整時間を設ける必要がなく、作業効率が良い。
【０１６７】
さらに、クリーニングユニット１０Ｂを、図２４に示したエアブロー５１を設ける構成にした場合には、このエアブロー５１を接着剤Ｒの粘度低下手段としても良い。すなわち、エアブロー５１を加熱したエアーを吹き付ける構成とすることで、ノズル１２ｂ先端に付着した液滴Ｄに下向きのエアーを吹き付けた際に、液滴Ｄを加熱することもできる。加熱によって液滴Ｄの粘度を低下させると同時に、液滴Ｄに対して下向きの力が加わるので、よりスムーズに液滴Ｄをクリーニング部材１４の表面に移動させることができる。
【０１６８】
いずれの手段を採用した場合でも、クリーニング時のみ、すなわちノズル１２ｂ先端に付着した液滴Ｄをクリーニング部材１４に接触させる際に液滴Ｄの加熱を行う。そのため、接着剤Ｒへの影響は少なく、塗布ユニット１０Ａでの塗布時には、接着剤Ｒは本来の粘度を含む特性での塗布を行うことができる。したがって、製造する液晶表示パネルＬの品質に影響を与えることなく、クリーニングを確実に行うことができる。このような粘度低下手段は、上述した紫外線硬化樹脂だけでなく、様々な粘度や種類の接着剤に適用可能である。接着剤Ｒとして、例えば熱硬化型の樹脂を用いる場合であっても、硬化に至らない温度での加熱であれば、粘度を低下させることができる。
【０１６９】
（１０）上述の実施形態では、表示パネル製造装置１００の塗布部１と貼り合せ部２は、別体の接着剤塗布装置１０と基板貼合装置２０として構成したが、同一の装置として構成しても良い。例えば、上側プレート２３と下側プレート２２が対向配置されたチャンバ２１内に、スリットコータ１２とＵＶ照射ユニット１３を移動可能に設け、下側プレート２２を塗布部１のステージ１１として用いる。すなわち、下側プレート２２に載置した液晶パネルＳ１に接着剤Ｒを塗布して仮硬化した後に、スリットコータ１２とＵＶ照射ユニット１３を下側プレート２２上から退避させ、貼り合せを行っても良い。そして、チャンバ２１に隣接してクリーニングユニット１０Ｂを設け、チャンバ２１から退避したスリットコータ１２のクリーニングを行っても良い。
【０１７０】
（１１）上述の実施形態では、硬化部３の硬化装置３０に、ＵＶ照射ユニット３３を備えた。また、第５の実施形態では、接着剤塗布装置１０の仮硬化部として、ＵＶ照射ユニット１３を用いた。しかしながら、接着剤Ｒを硬化又は仮硬化させるエネルギを出力可能なものであれば、ＵＶ照射ユニットに限られない。例えば、電磁波照射ユニット、放射線照射ユニット、あるいは赤外線照射ユニットやヒーターを用いることができる。使用する接着剤Ｒについても、仮硬化の態様に合わせて、電磁波により硬化する樹脂、放射線により硬化する樹脂、あるいは熱硬化型樹脂を用いることができる。
【０１７１】
（１２）上述の実施形態では、貼り合せ部２において、基板貼合装置２０のチャンバ２１内部を減圧して真空下で貼り合せを行ったが、大気下で貼り合せを行っても良い。チャンバ２１を密閉し減圧する空間を形成するために必要な手段を設けなくて済むので、より低コストに装置を構成でき、低コストで表示パネルを製造できる。
【０１７２】
（１３）第２の実施形態では、クリーニング部材１４と液滴Ｄの接触後に、スリットコータ１２をクリーニング部材１４の上方を相対的に移動してから再度接触を行うことによって、クリーニング部材１４の液滴Ｄとの接触面を新しくするようにしたが、上方の移動をせずに、同じ位置で再度接触を行っても良い。これによって、ノズル１２ｂ先端の液滴Ｄは、クリーニング部材１４の表面にすでに付着している接着剤Ｒに接触し、一体化することによって容易に下方に引っ張られる力がはたらくことになり、より確実に液滴Ｄを取り除くことができる。この場合は、２回目の接触において、下降したスリットコータ１２が停止する位置を調整して、クリーニング部材１４表面に付着している接着剤Ｒがノズル１２ｂの側面に付着しないようにする。
【０１７３】
あるいは、クリーニング部材１４の表面に予め接着剤Ｒをヘラ等で薄く引き伸ばして塗っておいたり、吸水紙の場合は、予め接着剤Ｒを紙に染み込ませておいても良い。これによって、液滴Ｄとクリーニング部材１４との接触面を新しくしても、液滴Ｄとクリーニング部材１４表面の付着、濡れ広がりが容易となり、液滴Ｄを下方に引く力を得ることができる。
【符号の説明】
【０１７４】
１  塗布部
２  貼り合せ部
３  硬化部
４  搬送部
５  ローダ
６  アンローダ
７  制御装置
１０  接着剤塗布装置
１０Ａ  塗布ユニット
１０Ｂ  クリーニングユニット
１１  ステージ
１２  スリットコータ
１２ａ  塗布ヘッド
１２ｂ  スリットノズル
１３  ＵＶ照射ユニット
１４  クリーニング部材
１５  載置台
１６  拭き取り部材
１７  支持部材
１８  接着剤除去部材
１９  再生部材
２０  基板貼合装置
２１  チャンバ
２２  下側プレート
２３  上側プレート
２５  昇降機構
３０  硬化装置
３１  ステージ
３３  ＵＶ照射ユニット
５０  シャッタ
５１  エアブロー
５２  ローラ
５３  スプロケット
５４  ベルト
１００  表示パネル製造装置
Ｃ  間隔
Ｄ  液滴
Ｒ  接着剤
Ｓ１  液晶パネル
Ｓ２  保護パネル
Ｓ１０  積層パネル
Ｌ  液晶表示パネル
Ｔ  タンク
Ｍ１  駆動機構
Ｍ２  駆動機構
【図１】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１９】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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