(57)【要約】【課題】洗浄対象物の洗浄度を精度良く検査することができる洗浄度検査装置、及び洗浄度検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】洗浄液Ｗによる洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査するための洗浄度検査装置１であって、給水Ｗ１の導電率を測定する導電率計と、排水Ｗ２の導電率を測定する導電率計と、前者の導電率計で測定された導電率と後者の導電率計で測定された導電率とを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する洗浄度検査部と、を備えた洗浄度検査装置１である。【選択図】図１
2015010881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査装置であって、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられていない前記洗浄液の導電率を測定する第１測定部と、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第２測定部と、
前記第１測定部で測定された導電率と前記第２測定部で測定された導電率とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度検査する洗浄度検査部と、
を備えた洗浄度検査装置。
【請求項２】
前記洗浄対象物には、所定時間継続して洗浄液が流入され、
前記洗浄対象物への流入前の洗浄液の一部がこの流入前の洗浄液から分岐されて流入される第１流入管と、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液が流入される第２流入管と、を更に備え、
前記第１測定部は、前記第１流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定し、
前記第２測定部は、前記第２流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定し、
前記洗浄度検査部は、所定サンプリング周期で、前記第１測定部によって測定された導電率と前記第２測定部によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して前記第１測定部から取得された所定の複数個の導電率と、連続して前記第２測定部から取得された前記所定の複数個の導電率とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する、
請求項１に記載の洗浄度検査装置。
【請求項３】
前記洗浄度検査部は、連続して前記第１測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第１平均値として算出するとともに、連続して前記第２測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第２平均値として算出し、前記第１平均値と前記第２平均値とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する、
請求項１又は２に記載の洗浄度測定装置。
【請求項４】
洗浄液中のパーティクルを検出するパーティクルセンサを更に備え、
前記洗浄度検査部は、パーティクルセンサによる検出結果に基づいて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する、
請求項１から３の何れかに記載の洗浄度測定装置。
【請求項５】
洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査方法であって、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられていない前記洗浄液の導電率を測定する第１測定ステップと、
前記洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第２測定ステップと、
前記第１測定ステップで測定された導電率と前記第２測定ステップで測定された導電率とを用いて、前記洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度測定ステップと、
を含む洗浄度検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄対象物の洗浄度検査装置、及び洗浄度検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば特許文献１に記載されているような、ガラスやプラスチック等の洗浄対象物を洗浄液で洗浄する洗浄装置は、医療等の分野で広く用いられている。このような洗浄装置による洗浄対象物の洗浄度が十分であるかの検査については、洗浄者が目視により行うことが一般的であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−５１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、洗浄者の目視による検査では、洗浄対象物の洗浄度を精度良く検査できない場合があった。
【０００５】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、洗浄対象物の洗浄度を精度良く検査することができる洗浄度検査装置、及び洗浄度検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る洗浄度検査装置は、洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査装置である。この洗浄度検査装置は、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率を測定する第１測定部と、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第２測定部と、第１測定部で測定された導電率と第２測定部で測定された導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度検査部と、を備える。
【０００７】
上記構成によれば、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を用いて洗浄対象物の洗浄度が検査される。ここで、洗浄対象物の洗浄が進むと、この洗浄に用いられた洗浄液に溶解する成分の量が減っていくため、この洗浄液の導電率が低い程、洗浄対象物の洗浄度が高いことになる。このため、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率が測定され、洗浄対象物の洗浄度が検査されることで、洗浄者の目視によらずとも、洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。
【０００８】
更に、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率も洗浄対象物の洗浄度の検査に用いられるため、洗浄前から洗浄液に含有されていた成分に起因する導電率を、洗浄対象物の洗浄度を検査するために用いることができる。例えば、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率と洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率とを比較することで、洗浄対象物を洗浄することによって洗浄液に溶解された成分に起因する導電率を取得して、洗浄度の検査に用いることができる。このため、例えば市水（水道水）等のような土地や場所によって、洗浄前から溶解されている成分（以下、「ノイズ成分」と記載する）に起因する導電率が一定ではない洗浄液を用いた場合でも、精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。
【０００９】
（２）上記洗浄対象物には、所定時間継続して洗浄液が流入され、上記洗浄度検査装置は、洗浄対象物への流入前の洗浄液の一部がこの流入前の洗浄液から分岐されて流入される第１流入管と、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液が流入される第２流入管と、を更に備えてもよい。そして、第１測定部は、第１流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定してもよい。第２測定部は、第２流入管に流入された洗浄液の導電率を連続的に測定してもよい。洗浄度検査部は、所定サンプリング周期で、第１測定部によって測定された導電率と第２測定部によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して第１測定部から取得された所定の複数個の導電率と、連続して第２測定部から取得された所定の複数個の導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。
【００１０】
上記構成によれば、連続して取得された所定の複数個の導電率を用いて洗浄対象物の洗浄度を検査するため、洗浄液に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化して洗浄度を検査することができる。このため、より精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。
【００１１】
（３）上記洗浄度検査部は、連続して第１測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第１平均値として算出するとともに、連続して第２測定部から取得された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値を第２平均値として算出し、第１平均値と第２平均値とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。
【００１２】
上記構成によれば、連続して測定された所定の複数個の導電率の二乗和の平均値が算出されることで、洗浄液に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を更に一層平滑化して洗浄度を検査することができる。このため、より精度良く洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。
【００１３】
（４）また、上記洗浄度検査装置は、洗浄液中のパーティクルを検出するパーティクルセンサを更に備えてもよい。そして、上記洗浄度検査部は、パーティクルセンサによる検出結果に基づいて、洗浄対象物の洗浄度を検査してもよい。
【００１４】
上記構成によれば、洗浄液中に溶解している成分だけでなく、洗浄液中のパーティクル（溶解していない不純物）の検出結果に基づいて洗浄対象物の洗浄度を検査することができる。
【００１５】
（５）本発明に係る洗浄度検査方法は、洗浄液による洗浄対象物の洗浄度を検査するための洗浄度検査方法である。そして、この洗浄度検査方法は、洗浄対象物の洗浄に用いられていない洗浄液の導電率を測定する第１測定ステップと、洗浄対象物の洗浄に用いられた洗浄液の導電率を測定する第２測定ステップと、第１測定ステップで測定された導電率と第２測定ステップで測定された導電率とを用いて、洗浄対象物の洗浄度を検査する洗浄度測定ステップと、を含む。
【００１６】
上記構成によれば、（１）の発明と同様の作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本実施形態に係る洗浄システムを示す図である。
【図２Ａ】本実施形態に係る洗浄度検査装置の正面図である。
【図２Ｂ】本実施形態に係る洗浄度検査装置の側面図である。
【図２Ｃ】本実施形態に係る洗浄度検査装置の平面図である。
【図３】本実施形態に係る洗浄度検査装置に搭載される基板である。
【図４】給水（市水）についての検査値の推移と、排水についての検査値の推移とを示すグラフである。
【図５Ａ】マンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液と、マンニトール濃度１パーセントの洗浄液と、市水との導電率の計測結果の推移を示すグラフである。
【図５Ｂ】図５Ａで示すマンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液と市水との導電率の測定結果から算出された検査値を示したグラフである。
【図６Ａ】所定期間毎に１０点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。
【図６Ｂ】所定期間毎に２００点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。
【図６Ｃ】所定期間毎に５００点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。
【図６Ｄ】所定期間毎に１０００点取得されたサンプルを用いて算出された平均値を示したグラフである。
【図７】本実施形態にかかる洗浄度検査装置における洗浄液の流路の一例を示す図である。
【図８】本実施形態にかかる洗浄度検査装置の電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図９】本実施形態にかかる洗浄度検査装置のバルブの開閉とモータの駆動及び停止タイミングの一例とを示すタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１９】
（洗浄システムの概要）
先ず、図１から図３を用いて、本発明の一実施形態に係る洗浄度検査装置１を備えた洗浄システム１００について説明する。
【００２０】
洗浄システム１００は、洗浄液Ｗによって洗浄対象物Ｏを洗浄する洗浄装置３００と、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査するための洗浄度検査装置１とからなる。なお、本実施形態においては、洗浄装置３００と洗浄度検査装置１とは別体であるが、一体に形成してもよい。本実施形態では、洗浄対象物Ｏは、例えば、プラスチック製やガラス製等の医療用容器等であるが、特に医療用容器等に限定されない。
【００２１】
洗浄装置３００は、洗浄対象物Ｏを配置するための洗浄容器３０１を有し、この洗浄容器３０１に対して洗浄液Ｗが所定時間継続的に供給（流入）されることで、洗浄対象物Ｏが洗浄される。なお、洗浄容器３０１に流入される前の洗浄液Ｗ、すなわち、洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられていない洗浄液Ｗを、以下「給水Ｗ１」と記載する。なお、給水Ｗ１としては、例えば、水（例えば市水Ｗ１１）や精製水Ｗ１２等を用いることができる。
【００２２】
そして、洗浄容器３０１からは、洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられた洗浄液Ｗが流出されるようになっている。なお、洗浄に用いられた洗浄液Ｗを、以下「排水Ｗ２」と記載する。
【００２３】
洗浄度検査装置１は、洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられていない洗浄液Ｗ（給水Ｗ１）の導電率を測定する導電率計ＥＣ１（本発明の「第１測定部」に相当）と、洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられた洗浄液Ｗ（排水Ｗ２）の導電率を測定する導電率計ＥＣ２（本発明の「第２測定部」に相当）と、導電率計ＥＣ１で測定された導電率と導電率計ＥＣ２で測定された導電率とを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査するＣＰＵ１０１（図８参照、本発明の「洗浄度検査部」に相当）と、を備える。
【００２４】
上記構成によれば、排水Ｗ２の導電率を用いて洗浄対象物Ｏの洗浄度が検査される。ここで、洗浄対象物Ｏの洗浄が進むと、排水Ｗ２に溶解している成分（洗浄剤や洗浄対象物Ｏに付着している汚れ等の成分。以下、「洗浄由来成分」と記載する）の量が減っていくため、導電率が低い程、洗浄対象物Ｏの洗浄度が高いことになる。このため、排水Ｗ２の導電率を用いることで、排水Ｗ２に溶解している成分の量に応じて洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することができる。
【００２５】
更に、給水Ｗ１の導電率も洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査に用いられるため、洗浄前から給水Ｗ１に溶解されていた成分に起因する導電率を洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査するために用いることができる。例えば、給水Ｗ１の導電率と排水Ｗ２との導電率とを比較することで、洗浄対象物Ｏの洗浄によって排水Ｗ２に溶解された成分に起因する導電率を取得することができる。このため、洗浄前から洗浄液Ｗに溶解されているノイズ成分の影響を受けず、精度良く洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することができる。
【００２６】
また、洗浄度検査装置１は、洗浄対象物Ｏへの流入前の洗浄液Ｗ（給水Ｗ１）の一部がこの流入前の洗浄液Ｗから分岐されて流入される第１流入管２と、洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられた洗浄液Ｗ（排水Ｗ２）が流入される第２流入管３とを備える。そして、導電率計ＥＣ１は、第１流入管２に流入された洗浄液Ｗ（給水Ｗ１）の導電率を連続的に測定する。導電率計ＥＣ２は、第２流入管３に流入された洗浄液Ｗ（排水Ｗ２）の導電率を連続的に測定する。
【００２７】
ＣＰＵ１０１は、所定サンプリング周期で、導電率計ＥＣ１によって測定された導電率と導電率計ＥＣ２によって測定された導電率とを取得するとともに、連続して導電率計ＥＣ１から取得された所定の複数個（所定サンプル数）の導電率と、連続して導電率計ＥＣ２から取得された上記所定の複数個（所定サンプル数）の導電率とを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。
【００２８】
具体例を説明すると、ＣＰＵ１０１は、導電率計ＥＣ１で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を第１平均値として算出するとともに、導電率計ＥＣ２で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を第２平均値として算出し、第１平均値と第２平均値とを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。例えば、ＣＰＵ１０１は、第１平均値（又は第１平均値に基づく値）と第２平均値（又は第２平均値に基づく値）とを比較することで、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行う。この一例を挙げれば、ＣＰＵ１０１は、第１平均値（又は第１平均値に基づく値）と第２平均値（又は第２平均値に基づく値）との差が所定の閾値以下であるかどうかを判断することで、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行う。
【００２９】
上記構成によれば、所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値が算出されることで、給水Ｗ１や排水Ｗ２に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化することができる。このため、より精度良く洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することができる。
【００３０】
洗浄度検査装置１は、更に洗浄対象物Ｏの洗浄に用いられた洗浄液Ｗ（排水Ｗ２）中のパーティクルを検出するパーティクルセンサＰＳ１（図７）を更に備える。そして、ＣＰＵ１０１は、パーティクルセンサＰＳ１による検出結果に基づいて洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。これによって、洗浄液Ｗ中に溶解している洗浄由来成分だけでなく、洗浄液Ｗ中のパーティクル（溶解しない洗浄由来成分）の検出結果に基づいて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することができる。
【００３１】
（洗浄度検査装置の詳細）
以下に、図１から図９を用いて洗浄度検査装置１の詳細を説明する。
【００３２】
（洗浄度検査装置の詳細：機械的構成）
まず、図２Ａから図３を用いて洗浄度検査装置の機械的構成を説明する。洗浄度検査装置１は、キャスター付きの略直方体状の筐体内に、第１流入管２、第２流入管３、及び基盤１Ａ等を備えるものである。第１流入管２には、洗浄装置１００からの給水Ｗ１が流入される。なお、本実施形態では、給水Ｗ１として、洗浄対象物Ｏの洗浄のために市水Ｗ１１を用いるだけでなく、洗浄の仕上げのリンス処理のために精製水Ｗ１２を用いる。このため、第１流入管２には、市水Ｗ１１だけでなく、精製水Ｗ１２が流入される場合がある。なお、第２流入管３には、上述したように排水Ｗ２が流入される。
【００３３】
また、図３で示すように、基盤１Ａには、導電率計ＥＣ１（導電率変換器）、導電率計ＥＣ２（導電率変換器）、バルブ切替タイマ（ＴＭ１、ＴＭ２）、Ａ／Ｄ変換器（ＡＤ）等が搭載されている。
【００３４】
導電率計ＥＣ１は、第１流入管２に流入された給水Ｗ１の導電率を所定の導電率計測期間において連続して測定する。また、導電率計ＥＣ２は、第２流入管３に流入された排水Ｗ２の導電率を所定の導電率計測期間において連続して測定する。これらの導電率計ＥＣ１、ＥＣ２としては、例えば、メトラートレド社製のものを使用することができる。パーティクルセンサＰＳ１は、給水Ｗ１や排水Ｗ２に含有されているパーティクルを検出するセンサである。パーティクルセンサＰＳ１としては、例えば、北斗電子工業社製のものを使用することができる。
【００３５】
ＣＰＵ１０１は、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２の測定結果に基づいて洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査するとともに、パーティクルセンサＰＳ１の検出結果に基づいて洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。詳細については、図８を用いて後述する。
【００３６】
（洗浄度検査装置の詳細：洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査方法）
以下に、図４から図６Ｄを用いて、洗浄度検査装置１によって行われる洗浄度検査方法を説明する。本実施形態に係る洗浄度検査方法の第１の特徴は、上述したように、排水Ｗ２の導電率だけでなく、給水Ｗ１の導電率も用いることで、洗浄由来成分に起因した導電率を取得して洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することである。
【００３７】
以下に、図４を用いて、上記第１の特徴の利点を証明する。図４では、給水Ｗ１（市水Ｗ１１）の導電率の測定結果の推移と、排水Ｗ２の導電率の測定結果の推移とが示されている。具体的には、市水Ｗ１１及び排水Ｗ２のそれぞれについて、所定サンプリング周期で導電率が取得され、各期間Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ、ＩＶにおいて、取得された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を平方根した値（以下、「検査値」と記載する）が算出されており、図４では算出された検査値が示されている。なお、各期間Ｉ、ＩＩ、ＩＩＩ、ＩＶは、測定開始から所定時間（例えば１０００ｍｓ）経過する毎の期間である。
【００３８】
図４で示すように、時間の経過とともに、排水Ｗ２の導電率に基づく上記検査値が下がり、給水Ｗ１の導電率に基づく検査値に近づいている。そして、洗浄が十分に進んだ期間ＩＶでは、これらの値が一致している。このことから、排水Ｗ２の導電率と給水Ｗ１の導電率との差分は、洗浄対象物Ｏの洗浄によって洗浄液Ｗに溶解された洗浄由来成分に基づくものであり、この差分を用いることで、ノイズ成分の影響を受けずに、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが示されている。
【００３９】
更に、本実施形態に係る洗浄度検査方法の第２の特徴は、上述したように、所定サンプリング周期で給水Ｗ１及び排水Ｗ２の導電率を取得し、給水Ｗ１、排水Ｗ２それぞれについて、連続して取得された所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を算出し、この平均値を洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査に用いることである。
【００４０】
以下に、図５Ａから図６Ｄを用いて、本実施形態の第２の特徴の利点を証明する。図５Ａでは、マンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液Ｗと、マンニトール濃度１パーセントの洗浄液Ｗと、市水Ｗ１１との導電率の計測結果の推移を示す。図５Ａで示すように、マンニトール濃度が１パーセントの洗浄液Ｗの導電率と給水Ｗ１の導電率とは有意差がある。このことから、洗浄液Ｗに溶解されている洗浄由来成分がある程度多い場合については、排水Ｗ２の導電率と給水Ｗ１の導電率とを用いて洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが示される。
【００４１】
しかしながら、図５Ａで示すように、マンニトール濃度が０．１パーセントの洗浄液Ｗの導電率と市水Ｗ１１の導電率とには有意差がない。この理由としては、マンニトール濃度が０．１パーセントの洗浄液Ｗや市水Ｗ１１の流速、溶解されている成分の部分的な濃度の偏り等によって、導電率の測定結果が不均一となっている（ばらつきが生じている）からである。このことから、洗浄対象物Ｏの洗浄が進み、排水Ｗ２に溶解されている洗浄由来成分が減少してくると、排水Ｗ２の導電率と給水Ｗ１の導電率とを用いて洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を精度良く行うことが困難であることが理解される。従って、高い洗浄レベルが要求される場合には、給水Ｗ１の導電率と排水Ｗ２の導電率とを単に比較するだけでは、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査の精度に不足がある。
【００４２】
以下、本実施形態に係る洗浄度検査方法では、上記第２の特徴によって、給水Ｗ１や排水Ｗ２に溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の導電率に与える影響を平滑化することができることを説明する。図５Ｂでは、図５Ａで示すマンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液Ｗの導電率と市水Ｗ１１の導電率との測定結果から算出された検査値が示されている。なお、検査値は、上述したように、所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値を平方根した値である。なお、図５Ｂでは、測定開始から所定時間（例えば１０００ｍｓ）経過する毎の各期間について、１０点取得されたサンプル（導電率）を用いて検査値が算出されている。なお、グラフの右欄の説明において、「１〜１０」と記載されているのは、１つめのサンプルから１０個目のサンプルまでの導電率（測定開始から所定時間経過するまでの期間に取得された導電率）を用いて算出された値であることを意味している。グラフの右欄のその他の数値範囲についても、同様の意味である。
【００４３】
図５Ｂのグラフで示すように、マンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液Ｗの検査値と、市水Ｗ１１の検査値との間には、有意差がある。この理由は、マンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液Ｗの検査値と、市水Ｗ１１について、所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を算出することで、溶解されている成分の部分的な濃度の偏り、流速等の影響を平滑化することができるからである。このことから、排水Ｗ２についての所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した第１平均値と、給水Ｗ１についての導電率の二乗和を平均した第２平均値とを用いることで、洗浄対象物Ｏの洗浄が進み、洗浄液Ｗに含有されている不純物が減少してきた場合でも、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を精度良く行うことができることが理解される。従って、本実施形態に係る洗浄度検査方法では、上記第２の特徴によって、高い洗浄レベルが要求される場合であっても、洗浄対象物Ｏの洗浄度を精度良く行うことができることが理解される。
【００４４】
次に、図６Ａから図６Ｄを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査精度と、サンプル数との関係を説明する。なお、図６Ａから図６Ｄは、マンニトール濃度０．１パーセントの洗浄液Ｗ、０．０１パーセントの洗浄液Ｗ、及び市水Ｗ１１について、測定開始から所定時間（例えば１０００ｍｓ）経過する毎の各期間において、取得された所定サンプル数の導電率の二乗和を平均した平均値を示す（検査値ではない）。図６Ａは、平均値の算出に用いられるサンプル数が１０のグラフ、図６Ｂは、平均値の算出に用いられるサンプル数が２００のグラフ、図６Ｃは、平均値の算出に用いられるサンプル数が５００のグラフ、図６Ｄは、平均値の算出に用いられるサンプル数が１０００のグラフである。図６Ａから図６Ｄの各グラフでは、サンプル数が多い程、同一の洗浄液Ｗについての、各期間のそれぞれの平均値にばらつきが生じないことが示される。このことから、サンプル数が多い程、より精度よく洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行うことが理解され、サンプル数が２００以上であることが検査精度の点から好ましいことが理解される。
【００４５】
（洗浄度検査装置の詳細：洗浄度検査装置における洗浄液Ｗの流路構成）
以下に、図７を用いて、洗浄度検査装置１における洗浄液Ｗの流路構成の一例を説明する。まず、この説明の前提として、図１を用いて、洗浄装置３００に対する給水Ｗ１の供給方法と、洗浄装置３００からの排水Ｗ２の流出方法の一例について説明する。洗浄装置３００内の洗浄容器３０１に対して市水Ｗ１１や精製水Ｗ１２が給水Ｗ１として所定時間継続的に供給される。市水Ｗ１１の供給及び精製水Ｗ１２の供給は、個別の給水管（図略）を介して行われる。
【００４６】
なお、精製水Ｗ１２の供給は、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になった後に仕上げのリンス処理のために行われる。従って、市水Ｗ１１の供給後に精製水Ｗ１２の供給が行われるようになっている。なお、本実施形態では、市水Ｗ１１の供給時だけでなく精製水Ｗ１２の供給時にも洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行うが、この限りではなく、リンス処理時には洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行わなくてもよい。
【００４７】
また、洗浄装置３００において洗浄に用いられた排水Ｗ２は、排水管（図略）を介して洗浄装置３００から流出されるようになっている。
【００４８】
図７に戻って、洗浄度検査装置１は、市水Ｗ１１を洗浄装置３００に供給するための給水管から分岐された流路管１０に連結された流路管１１を備える。更に、洗浄度検査装置１は、精製水Ｗ１２を洗浄装置に供給するための給水管から分岐された流路管２０に連結された流路管２１を備える。なお、図２Ｂで示す第１流入管２は、流路管１１、２１から成る。
【００４９】
流路管１１の途中にはモータＭ１に接続された市水元弁Ｖ１が配置されており、流路管２１の途中にはモータＭ２に接続された精製水元弁Ｖ２が配置されている。モータＭ１、Ｍ２の作動及び停止を切り替えることによって、これらの弁Ｖ１、Ｖ２の開閉を制御して、市水Ｗ１１及び精製水Ｗ１２の洗浄度検査装置１への流入を制御することができる。流路管１１と流路管２１とはそれぞれその下流側端で、流路管１２に連結されており、流路管１１を通った市水Ｗ１１が流路管１２に流入し、流路管２１を通った精製水Ｗ１２が流路管１２に流入することが出来るようになっている。
【００５０】
なお、本実施形態では、上述したように市水Ｗ１１を用いて洗浄対象物Ｏを十分に洗浄した後に、洗浄の仕上げとして精製水Ｗ１２を用いて洗浄対象物Ｏのリンス処理を行う。従って、市水元弁Ｖ１と精製水元弁Ｖ２との両方が開状態になることはなく、市水Ｗ１１及び精製水Ｗ１２のうち何れか一方のみが流路管１２に流入するようになっている。もっとも、この構成に限定されず、市水Ｗ１１及び精製水Ｗ１２の混合液が流路管１２に流入されてもよい。
【００５１】
流路管１２の途中には、導電率計ＥＣ１が配置されており、これによって、流路管１２に流入された市水Ｗ１１や精製水Ｗ１２の導電率を測定することができるようになっている。なお、本実施形態では、市水Ｗ１１と精製水Ｗ１２の混合液の導電率を測定することはないが、これらの導電率を測定してもよい。
【００５２】
流路管１２における導電率計ＥＣ１の下流側の所定位置には、流路管１３が分岐されているとともに、この所定位置の下流側には、モータＭ４に接続された給水下流側弁Ｖ４が配置されている。モータＭ４の作動及び停止を切り替えることによって、給水下流側弁Ｖ４の開閉を制御することができる。流路管１２を通過した市水Ｗ１１及び精製水Ｗ１２は洗浄度検査装置１の外部に排出される。
【００５３】
また、洗浄度検査装置１は、洗浄装置３００の排水管（図略）から分岐された流路管３０に連結された流路管３１を備える。なお、図２Ｂで示す第２流入管３は、図７の流路管３１から成る。この流路管３１は、その下流側端に継ぎ手Ｃ１を介して、流路管３２と流路管３５とが接続されており、流路管３１から流路管３２、３５に排水Ｗ２が流入される。なお、流路管３５に流入された排水Ｗ２は流路管３５を通って洗浄度検査装置１の外部に排出される。
【００５４】
流路管３２の途中には、モータＭ３に接続された排水元弁Ｖ３が配置されている。モータＭ３の作動及び停止を切り替えることによって、排水元弁Ｖ３の開閉を制御して、排水Ｗ２の洗浄度検査装置１への流入を制御することができる。流路管３２における排水元弁Ｖ３より下流側には、導電率計ＥＣ２が配置されており、これによって、流路管３２に流入された排水Ｗ２の導電率を測定することができるようになっている。
【００５５】
流路管３２の下流側端には、この端から２つに分岐するように流路管３３と流路管３４とが連結されている。流路管３３には、流路管３２からの排水Ｗ２が流入するが、この排水Ｗ２は流路管３３を通過して洗浄度検査装置１の外部に排出される。
【００５６】
また、流路管３４の途中には、上述した流路管１３の下流側端が連結されており、この連結部より下流側には、パーティクルセンサＰＳ１が配置されている。これによって、パーティクルセンサＰＳ１は、流路管３２を通過して流路管３４を流通する排水Ｗ２のパーティクルを検出することができるとともに、流路管１３を通過して流路管３４に流入された市水Ｗ１１や精製水Ｗ１２のパーティクルを検出することができる。なお、本実施形態では、市水Ｗ１１のパーティクルだけでなく精製水Ｗ１２のパーティクルも検出するが、市水Ｗ１１のパーティクル及び精製水Ｗ１２のパーティクルのうち何れか一方のみを検出してもよい。
【００５７】
なお、流路管１３の途中には、モータＭ５に接続された給水・センサ間弁Ｖ５が配置されており、流路管３４におけるパーティクルセンサＰＳ１より上流側には、モータＭ６に接続された排水・センサ間弁Ｖ６が配置されている。モータＭ５、Ｍ６の作動及び停止をそれぞれ切り替えることで、給水・センサ間弁Ｖ５及び排水・センサ間弁Ｖ６の開閉をそれぞれ切り替えることができる。
【００５８】
なお、給水・センサ間弁Ｖ５及び排水・センサ間弁Ｖ６は、択一的に開状態に切り替えられ、その両方が開状態になることはない。従って、パーティクルセンサＰＳ１は、給水Ｗ１（市水Ｗ１１や精製水Ｗ１２）及び排水Ｗ２のうち何れか一方のパーティクルを検出することになる。
【００５９】
流路管３４を通過した市水Ｗ１１又は排水Ｗ２は洗浄度検査装置１の外部に排出される。
【００６０】
（洗浄度検査装置の詳細：洗浄度検査装置の電気的構成）
以下に、図８を用いて、洗浄度検査装置１における電気的構成を説明する。洗浄度検査装置１は、上述した導電率計ＥＣ１、ＥＣ２、パーティクルセンサＰＳ１、及びモータＭ１〜Ｍ６の他に、ＣＰＵ１０１、Ａ／Ｄコンバータ１０２、駆動制御回路１０３、モニタ１０４、ＲＡＭ１０５、ＲＯＭ１０６及び操作部１０７等を備える。
【００６１】
ＣＰＵ１０１は、図略のバスを介してＡ/Ｄコンバータ１０２、駆動制御回路１０３、モニタ１０４、ＲＡＭ１０５、ＲＯＭ１０６、及び操作部１０７等と通信可能に接続されている。なお、モニタ１０４は、例えば液晶表示パネル等である。ＲＡＭ１０５は、ＣＰＵ１０１のワーキングメモリとして機能するものである。ＲＯＭ１０６は、洗浄度検査装置１の起動用プログラム等が記憶される。操作部１０７は、例えばタッチパネル等であり、ユーザの操作を受け付けるものである。
【００６２】
また、ＣＰＵ１０１には、Ａ／Ｄコンバータ１０２を介して導電率計ＥＣ１、ＥＣ２が接続されている。これによって、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２によって測定された導電率を示すアナログ信号が、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２からＡ／Ｄコンバータ１０２に連続的に入力される。そして、Ａ／Ｄコンバータ１０２でアナログ信号がデジタルデータ（導電率データ）に変換されてＣＰＵ１０１に入力される。
【００６３】
ＣＰＵ１０１は、入力された導電率データを所定サンプリング周期で取得してＲＡＭ１０５に記憶する。なお、ＲＡＭ１０５には、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２それぞれについて所定の複数個（所定サンプル数）の導電率データを記憶することができるようになっており、ＲＡＭ１０５に記憶されている導電率データのうち最も古い導電率データに上書きするように新たな導電率データを記憶する。そして、ＣＰＵ１０１は、ＲＡＭ１０５に記憶されている所定サンプル数の導電率データを用いて、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行う。
【００６４】
具体例としては、ＣＰＵ１０１は、所定サンプリング周期毎に、ＲＡＭ１０５から導電率計ＥＣ１についての所定サンプル数の導電率データを取得する。そして、ＣＰＵ１０１は、取得されたこれらの導電率データが示す各導電率の二乗和の平均値（第１平均値）を算出して、この第１平均値を平方根した検査値（「給水Ｗ１の検査値」と記載する）を算出する。同様にして、ＣＰＵ１０１は、ＲＡＭ１０５から導電率計ＥＣ２についての所定サンプル数の導電率データを取得する。そしてＣＰＵ１０１は、取得されたこれらの導電率データが示す各導電率の二乗和の平均値（第２平均値）を算出して、この第２平均値を平方根した検査値（「排水Ｗ２の検査値」と記載する）を算出する。
【００６５】
ＣＰＵ１０１は、給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値との差分を算出し、この差分が所定の閾値以下であるかどうかで洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行い、この差分が所定の閾値以下である場合には、この検査結果が良好であると判断する。なお、必ずしも給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値との差分を算出する必要はなく、他の方法によって、給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値との比較を行い、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行ってもよい。
【００６６】
また、本実施形態では、給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値を算出し、給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値を洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査に用いているが、給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値を算出しなくてもよい。例えば、給水Ｗ１についての上記第１平均値と排水Ｗ２についての上記第２平均値とを直接比較することで、検査対象物Ｏの洗浄度の検査を行ってもよい。
【００６７】
ＣＰＵ１０１は、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果（検査結果が不良又は良好等）をモニタ１０４に表示する。更に、ＣＰＵ１０１は、算出された給水Ｗ１の検査値と排水Ｗ２の検査値等もモニタ１０４に表示してもよい。例えば、ＣＰＵ１０１は、図６Ａから図６Ｄで示すようなグラフを表示することもできる。
【００６８】
また、ＣＰＵ１０１には、Ａ／Ｄコンバータ１０２を介してパーティクルセンサＰＳ１が接続されている。これによって、パーティクルセンサＰＳ１によって検出されたパーティクルの量を示すアナログ信号が、Ａ／Ｄコンバータ１０２に入力される。このアナログ信号は、Ａ／Ｄコンバータ１０２でデジタルデータ（パーティクル量データ）に変換される。パーティクル量データは、Ａ／Ｄコンバータ１０２からＣＰＵ１０１に入力される。
【００６９】
ＣＰＵ１０１は、入力されるパーティクル量データを所定の時間経過毎に取得して、このパーティクル量データに基づいて、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。具体例としては、ＣＰＵ１０１は、パーティクルデータの示す排水Ｗ２のパーティクル量を用いて洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査する。なお、給水Ｗ１に予めパーティクルが混入している可能性もある。このようなパーティクルを考慮して洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行うため、本実施形態では、排水Ｗ２のパーティクル量だけでなく、給水Ｗ１のパーティクル量も検出されて洗浄度の検査に用いられる。例えば、洗浄対象物Ｏに対する洗浄の開始前や、リンス処理の開始前の所定期間において、所定周期毎に給水Ｗ１（市水Ｗ１１、精製水Ｗ１２）のパーティクル量を検出し、この検出したパーティクル量の平均値を初期値として算出する。そして、この初期値と排水Ｗ２のパーティクル量とを比較して、検査結果が判断される。具体例を挙げれば、給水Ｗ１のパーティクル量から初期値を差し引いた値が所定の閾値以下であれば、検査結果が良好であると判断される。なお、給水Ｗ１のパーティクル量は必ずしも検出される必要はなく、排水Ｗ２のパーティクル量が所定の閾値以下である場合に、洗浄度の検査結果が良好となってもよい。ＣＰＵ１０１は、この検査結果をモニタ１０４に表示してもよい。
【００７０】
本実施形態では、洗浄装置３００と洗浄度検査装置１とが通信可能に構成され、洗浄度検査装置１によって自動的に精製水Ｗ１２によるリンス処理を行うように設定が変更される。もっとも、ユーザ（洗浄者）は、モニタ１０４によって、導電率に基づく検査結果とパーティクル量に基づく検査結果との両方が良好であることを確認した場合に、市水Ｗ１１による洗浄を終了させて、精製水Ｗ１２によるリンス処理を行うように洗浄装置３００の設定を変更してもよい。なお、本実施形態においては、市水Ｗ１１と同様にリンス処理においても、精製水Ｗ１２についての導電率の測定及びパーティクルの検出を行うが、精製水Ｗ１２については導電率の測定及びパーティクルの検出を行わず、リンス処理時には洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を行わなくてもよい。
【００７１】
ＣＰＵ１０１は、駆動制御回路１０３に対して、モータＭ１〜Ｍ６を動作させることを指示する駆動信号を送信することで、各弁Ｖ１〜Ｖ６の開閉を制御する。以下、各弁Ｖ１〜Ｖ６の開閉タイミングを、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２による給水Ｗ１、排水Ｗ２の導電率の測定の期間と、パーティクルセンサＰＳ１による給水Ｗ１、排水Ｗ２のパーティクルの検出の期間と関連づけて説明する。
【００７２】
（洗浄度検査装置の詳細：各弁Ｖ１〜Ｖ６の開閉タイミング）
図７、図８及び図９を参照して、各弁Ｖ１〜Ｖ６の開閉タイミングの一例を説明する。なお、図９では、ＣＰＵ１０１が導電率計ＥＣ１、ＥＣ２、及びパーティクルセンサＰＳ１から信号を受け付ける期間についても示しているが、ＣＰＵ１０１は、洗浄度検査の開始時（例えば、電源オン時）からこれらの信号の受け付けを開始し、洗浄度検査装置１の動作停止時（例えば、電源オフ時）にこれらの信号の受け付けを終了する。
【００７３】
まず、洗浄度の検査処理の開始タイミングｔ１に、ＣＰＵ１０１は、市水元弁Ｖ１と、給水・センサ間弁Ｖ５を開状態にさせる。これによって、パーティクルセンサＰＳ１には市水が流入される。（市水Ｗ１１及び排水Ｗ２を用いた検査期間の開始）。この後のタイミングｔ２に、ＣＰＵ１０１は、給水・センサ間弁Ｖ５を閉状態にさせる。このタイミングｔ１からタイミングｔ２までの期間（例えば約１分間）において、ＣＰＵ１０１は、パーティクルセンサＰＳ１からの信号に基づいて、所定周期毎に市水Ｗ１１のパーティクル量を取得し、これらの取得されたパーティクル量の平均値を初期値として算出する。なお、初期値の算出には、所定値以上の量のパーティクルが安定的に検出され始めた後に取得されたパーティクル量（例えば、２０秒から４０秒間に取得されたパーティクル量）が使用される。初期値は、洗浄対象物Ｏの洗浄に由来せず、予め市水Ｗ１１に含有されているパーティクル量を示す。
【００７４】
そして、タイミングｔ２では、ＣＰＵ１０１は、給水・センサ間弁Ｖ５を閉状態にさせて、初期値の算出を終了する。そして、ＣＰＵ１０１は、給水下流側弁Ｖ４を開状態にさせて、導電率計ＥＣ１に市水Ｗ１１が連続的に流入される。これによって、市水Ｗ１１の導電率の測定が開始される。また、排水元弁Ｖ３は、上記タイミングｔ１において開状態にされており、タイミングｔ２では、導電率計ＥＣ２１には排水Ｗ２が連続的に流入される。これによって、排水Ｗ２の導電率測定が開始される。なお、ＣＰＵ１０１は、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２から入力された信号（導電率データ）の示す導電率が所定の値（例えば、０）よりも大きくなったときに、所定サンプリング周期毎に導電率データを取得してＲＡＭ１０５に記憶する処理を開始する。そして、ＣＰＵ１０１は、導電率データを取得する毎に、市水Ｗ１１、排水Ｗ２のそれぞれについて所定のサンブル数の導電率データを用いて検査値を取得し、これらの検査値の差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。
【００７５】
また、タイミングｔ２において、ＣＰＵ１０１は、排水・センサ間弁Ｖ６を開状態にして、パーティクルセンサＰＳ１に排水Ｗ２を流入させる。そして、ＣＰＵ１０１は、パーティクルセンサＰＳ１からの信号に基づいて、所定周期毎に排水Ｗ２のパーティクル量を取得する処理を開始する。排水Ｗ２のパーティクル量が取得されたときに、ＣＰＵ１０１は、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの期間に算出された初期値と、取得されたパーティクル量との差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。
【００７６】
ＣＰＵ１０１は、導電率に基づく洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になっるとともに、パーティクル量に基づく洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったと判断したタイミングｔ３に、弁Ｖ１、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ６を閉状態にするとともに、洗浄完了の信号を洗浄機３００に送信する（市水Ｗ１１及び排水Ｗ２を用いた検査期間の終了）。この洗浄完了の信号を受信した洗浄機３００は、市水Ｗ１１を用いた洗浄対象物Ｏの洗浄を終了し、精製水Ｗ１２を用いた洗浄対象物Ｏの洗浄処理（リンス処理）を開始する。なお、ＣＰＵ１０１は、洗浄完了の信号を洗浄機３００に送信するのに代えて、又はこの送信に加えて、モニタ１０４に洗浄完了を表示してもよい。そして、ユーザが、洗浄機３００の設定を、市水Ｗ１１を用いた洗浄対象物Ｏの洗浄からリンス処理に手動で切り替えてもよい。
【００７７】
その後、洗浄装置３００においてリンス処理が開始されたタイミングｔ４において、ＣＰＵ１０１は、精製水元弁Ｖ２と給水・センサ間弁Ｖ５とを開状態に切り替え、パーティクルセンサＰＳ１に精製水Ｗ１２を流入させる。これによって、ＣＰＵ１０１は、パーティクルセンサＰＳ１から精製水Ｗ１２のパーティクル量を示す信号を受信する。ＣＰＵ１０１は、その後のタイミングｔ５において、給水・センサ間弁Ｖ５を閉状態に変更する。タイミングｔ４からタイミングｔ５までの期間において、ＣＰＵ１０１は、精製水Ｗ１２のパーティクル量を取得し、この取得したパーティクル量を用いて精製水Ｗ１２についての初期値を算出する。この初期値の算出方法は、市水Ｗ１２についての初期値の算出方法と同様である。
【００７８】
そして、タイミングｔ５では、ＣＰＵ１０１は、給水下流側弁Ｖ４を開状態にさせ、精製水Ｗ１２が導電率計ＥＣ１に流入される。これによって、精製水Ｗ１２の導電率の測定が開始される。。また、排水元弁Ｖ３は、上記タイミングｔ４において開状態にされており、タイミングｔ５では、導電率計ＥＣ２１には排水Ｗ２が流入される。これによって、排水Ｗ２の導電率測定が開始される。なお、ＣＰＵ１０１は、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２から入力された信号（導電率データ）の示す導電率が所定の値（例えば、０）よりも大きくなったときに、所定サンプリング周期毎に導電率データを取得してＲＡＭ１０５に記憶する処理を開始する。ＣＰＵ１０１は、導電率データを取得する毎に、精製水Ｗ１２、排水Ｗ２のそれぞれについて所定のサンブル数の導電率データを用いて検査値を取得し、これらの検査値の差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。
【００７９】
また、タイミングｔ５において、ＣＰＵ１０１は、排水・センサ間弁Ｖ６を開状態にして、パーティクルセンサＰＳ１に排水Ｗ２を流入させる。これによって、ＣＰＵ１０１は、パーティクルセンサＰＳ１からの信号に基づいて、所定周期毎に排水Ｗ２のパーティクル量を取得する処理を開始する。ＣＰＵ１０１は、タイミングｔ４からタイミングｔ５までの期間に算出された初期値と、取得されたパーティクル量との差分が所定の閾値以下であるかどうかを判断して洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったかを判断する。
【００８０】
ＣＰＵ１０１は、導電率に基づく洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になっるとともに、パーティクル量に基づく洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査結果が良好になったと判断したタイミングｔ６に、弁Ｖ２、Ｖ３、Ｖ４、Ｖ６を閉状態にするとともに、リンス処理完了の信号を洗浄機３００に送信する（精製水Ｗ１２及び排水Ｗ２を用いた検査期間の終了）。このリンス処理完了の信号を受信した洗浄機３００は、リンス処理を終了する。なお、ＣＰＵ１０１は、リンス処理完了の信号を洗浄機３００に送信するのに代えて、又はこの送信に加えて、モニタ１０４にリンス処理完了を表示してもよい。そして、ユーザが、リンス処理を終了させるように、洗浄機３００の設定を手動で切り替えてもよい。
【００８１】
なお、上述したように、本実施形態では、ＣＰＵ１０１は、パーティクル量に基づく洗浄度の検査と、導電率に基づく洗浄度の検査とを平行して行うが、この限りではない。例えば、導電率に基づく洗浄度の検査がまず行われ、この検査結果が良好である場合に、パーティクル量に基づく洗浄度の検査が行われてもよい。また、逆に、パーティクル量に基づく洗浄度の検査がまず行われ、その後に導電率に基づく洗浄度の検査が行われてもよい。
【００８２】
また、本実施形態では、市水Ｗ１１を用いての洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査後に、精製水Ｗ１２を用いての洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査を開始しているが、市水Ｗ１１及び精製水Ｗ１２の何れか一方についてのみ、洗浄度の検査を行ってもよい。
【００８３】
なお、上述した各弁Ｖ１〜Ｖ６の開閉タイミング、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２及びパーティクルセンサＰＳ１からの信号の受け付け開始や終了タイミングはあくまで一例であり、適宜変更することができる。
【００８４】
（変形例）
本実施形態では、導電率計ＥＣ１で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値（第１平均値）を算出するとともに、導電率計ＥＣ２で連続して測定された所定サンプル数の導電率の二乗和の平均値（第２平均値）を算出し、これらの第１平均値と第２平均値とを洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査に用いているが、第１平均値と第２平均値とを算出することは本発明の必須の構成ではない。洗浄度の精度がそれほど必要でない場合や微量の溶解された成分であっても導電率に大きな差がある場合などは、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２で測定された導電率を直接比較することで、洗浄対象物Ｏの洗浄度の検査をおこなってもよい。この場合には、例えば、導電率計ＥＣ１、ＥＣ２で測定された各導電率に対してフィルタ処理を行うことで、洗浄液Ｗに予め溶解されているノイズ成分の影響を受けずに、洗浄対象物Ｏの洗浄度を検査することができる。
【符号の説明】
【００８５】
１      洗浄度検査装置
２      第１流入管
３      第２流入管
１０１  ＣＰＵ（洗浄度検査部）
ＥＣ１  導電率計（第１測定部）
ＥＣ２  導電率計（第２測定部）
ＰＳ１  パーティクルセンサ
Ｗ      洗浄液
Ｗ１    給水（洗浄に用いられていない洗浄液）
Ｗ２    排水（洗浄に用いられた洗浄液）
Ｏ      洗浄対象物
【図１】
2015010881.tif 000003
【図２Ａ】
2015010881.tif 000004
【図２Ｂ】
2015010881.tif 000005
【図２Ｃ】
2015010881.tif 000006
【図３】
2015010881.tif 000007
【図４】
2015010881.tif 000008
【図５Ａ】
2015010881.tif 000009
【図５Ｂ】
2015010881.tif 000010
【図６Ａ】
2015010881.tif 000011
【図６Ｂ】
2015010881.tif 000012
【図６Ｃ】
2015010881.tif 000013
【図６Ｄ】
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【図７】
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【図８】
2015010881.tif 000016
【図９】
2015010881.tif 000017