(57)【要約】【課題】            分光測定器と同等の性能を備えつつ、高スループットで発光体の波長推定ができる方法及び装置を提供する。【解決手段】        正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察部と、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察部とを備え、第１の波長は第２の波長よりも短く設定され、    発光体から発せられる光のうち、第１観察部で観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力部と、第２観察部で観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力部と、  第１観察輝度値と第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力部を備え、    予め登録しておいた波長推定関数と、観察輝度比率とに基づいて、発光体の推定波長を推定する方法及び装置。【選択図】          図１
2015010834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察ステップと、
前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察ステップとを有し、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力ステップと、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力ステップと、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力ステップを有し、
予め登録しておいた波長推定関数と、前記観察輝度比率とに基づいて、前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する、発光波長推定ステップを有する、
発光体の発光波長推定方法。
【請求項２】
前記波長推定関数が、
予め既存の発光体の特定部位から発せられる光の波長を特定する発光波長特定ステップと、当該既存の発光体の特定部位における前記観察輝度比率に基づいて算出されている
ことを特徴とする、請求項１に記載の発光体の発光波長推定方法。
【請求項３】
前記蛍光観察ステップでは、前記蛍光発光した光の光束を分岐させ、
前記第１観察ステップと前記第２観察ステップとが、前記検査対象となる蛍光発光体を同時に観察することを特徴とする、
請求項１又は請求項２に記載の発光体の発光波長推定方法。
【請求項４】
前記観察対象となる発光体は、１枚の基板上に複数配置されており、
前記蛍光観察ステップでは、検査対象となる複数の発光体を一度に観察できる視野サイズが同じに設定されている
ことを特徴とする、請求項３に記載の発光体の発光波長推定方法。
【請求項５】
前記観察対象となる発光体がフォトルミネッセンス特性を有する蛍光発光体であり、
前記蛍光発光体に向けて励起光を照射するための励起光照射ステップをさらに有し、
前記第１観察ステップ及び前記第２観察ステップでは、前記蛍光発光体から発せられる蛍光成分の光を観察することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の発光体の発光波長推定方法。
【請求項６】
前記観察対象となる蛍光発光体が、フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップであることを特徴とする、請求項５に記載の発光体の発光波長推定方法。
【請求項７】
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察部と、
前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察部とを備え、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察部で観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力部と、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力部と、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力部を備え、
予め算出しておいた波長推定関数を登録する波長推定関数を登録部と、
前記波長推定関数と前記観察輝度比率に基づいて前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する発光波長推定部を備えた、
発光体の発光波長推定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光体の発光波長を推定する方法及びその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光灯，プラズマディスプレの背面板，ＬＥＤチップなどの蛍光（ルミネッセンス）特性を有する材料（つまり、蛍光発光体）や、ＬＥＤ照明や有機ＥＬなどの発光体など（つまり、狭義の発光体），白色バックライトと組合せ配置された液晶用カラーフィルタなど（つまり、広義の発光体）の発光波長は、それら製品の品質・性能に関わるものであり、分光型の二次元輝度計などを用いて、波長測定が行われている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
また、発光色の異なる複数のＬＥＤ（例えば、赤色ＬＥＤと緑色ＬＥＤ）について、それぞれの発光色のＬＥＤの異常を検知する手法として、２系統のフィルタとセンサを用い、検出した輝度値の比率を先ず算出し、後に当該比率を判定用閾値と比較するといった検査が行われている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１７７８１２号公報
【特許文献２】特開２００２−１９５８８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のような分光型の二次元輝度計では、発光体が多数ある場合や１枚の基板上に複数配列されている場合に、1点１点の計測に時間がかかるため、スループットが低くなってしまう。
【０００６】
また、特許文献２のような構成では、高スループットでの異常検知が可能であっても、発光波長の推定を行うまでには至っていない。
【０００７】
そこで本発明は、分光測定器と同等の性能を備えつつ、高スループットで発光体の波長推定ができる方法及び装置を提供することを目的とする。ここで、推定する波長とは、発光する光の波長分布の平均値や中央値、最頻値などの代表値とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の課題を解決するために、第１の発明は、
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察ステップと、
前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察ステップとを有し、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力ステップと、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力ステップと、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力ステップを有し、
予め登録しておいた波長推定関数と、前記観察輝度比率とに基づいて、前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する、発光波長推定ステップを有する、
発光体の発光波長推定方法である。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、
前記波長推定関数が、
予め既存の発光体の特定部位から発せられる光の波長を特定する発光波長特定ステップと、当該既存の発光体の特定部位における前記観察輝度比率に基づいて算出されている
ことを特徴とする。
【００１０】
第３の発明は、第１の発明又は第２の発明において、
前記蛍光観察ステップでは、前記蛍光発光した光の光束を分岐させ、
前記第１観察ステップと前記第２観察ステップとが、前記検査対象となる蛍光発光体を同時に観察することを特徴とする。
【００１１】
第４の発明は、第３の発明において、
前記観察対象となる発光体は、１枚の基板上に複数配置されており、
前記蛍光観察ステップでは、検査対象となる複数の発光体を一度に観察できる視野サイズが同じに設定されていることを特徴とする。
【００１２】
第５の発明は、第１〜第４の発明のいずれかにおいて、
前記観察対象となる発光体がフォトルミネッセンス特性を有する蛍光発光体であり、
前記蛍光発光体に向けて励起光を照射するための励起光照射ステップをさらに有し、
前記第１観察ステップ及び前記第２観察ステップでは、前記蛍光発光体から発せられる蛍光成分の光を観察することを特徴とする。
【００１３】
第６の発明は、第５の発明において、
前記観察対象となる蛍光発光体が、フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップであることを特徴とする。
【００１４】
第７の発明は、
発光体から発せられる光のうち、正常発光の判定基準となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させて観察する第１観察部と、
前記蛍光発光した光のうち、正常発光の判定基準となる第２の波長よりも短い波長の光を透過させて観察する第２観察部とを備え、
前記第１の波長は、前記第２の波長以下に設定されており、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第１観察部で観察された当該特定部位の輝度を第１観察輝度値として出力する、第１観察輝度値出力部と、
前記発光体の特定部位から発せられる光のうち、第２観察ステップで観察された当該特定部位の輝度を第２観察輝度値として出力する、第２観察輝度値出力部と、
前記第１観察輝度値と前記第２観察輝度値との比率を観察輝度比率として出力する、観察輝度比率出力部を備え、
予め算出しておいた波長推定関数を登録する波長推定関数を登録部と、
前記波長推定関数と前記観察輝度比率に基づいて前記発光体から発せられる光の推定波長を算出する発光波長推定部を備えた、
発光体の発光波長推定装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明を適用した発光体の波長推定は、分光測定器と同等の性能を備えつつ、高スループット化が達成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を具現化する形態の一例を示す正面図である。
【図２】本発明を適用して観察する発光体の一例を示す平面図である。
【図３】本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。
【図４】本発明を具現化する形態で得られた観察輝度比率の波長特性の一例を示す図である。
【図５】本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図である。
【図６】本発明を具現化する形態で得られた波長推定値と実測値との相関図である。
【図７】本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図である。
【図８】本発明を具現化する形態の別の一例を示すフロー図である。
【図９】本発明を具現化する形態の別の一例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、観察対象となる発光体として、蛍光発光体の一類型であるＬＥＤチップを例示し、図を用いながら説明をする。ここでは、ＬＥＤチップは、波長４４０〜４５０ｎｍで正常に発光するものと、４４０ｎｍ以下の波長で発光するものと、４５０ｎｍ以上の波長で発光するものとが混在している。
【００１８】
図１は、本発明の使用に用られる装置の一例を示す側面図である。
図１には、本発明の使用に用られる装置の一つの類型である、ＬＥＤチップ検査装置１の構成が示されている。このＬＥＤチップ検査装置１は、第１観察部２Ａと、第２観察部２Ｂと、第１観察輝度値出力部３Ａと、第２観察輝度値出力部３Ｂと、観察輝度比率出力部４と、波長推定関数登録部５と、発光波長推定部６と、励起光照明部７とを備えて構成されている。
【００１９】
第１観察部２Ａと、第２観察部２Ｂとは、それぞれＬＥＤチップＣを観察するためのものであり、観察した画像を外部へ出力することができる構成をしている。具体的には、第１観察部２Ａは撮像カメラ２１とレンズ２２を備えて構成されており、下述するＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ａを観察することができる。同様に、第２観察部２Ｂは、撮像カメラ２６とレンズ２７を備えて構成されており、下述するＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ｂを観察することができる。
【００２０】
また、第１観察部２Ａには、基準波長となる第１の波長よりも長い波長の光を透過させるための、ロングパスフィルタ２３が備えられている。つまり、観察カメラ２１では、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ａの内、ロングパスフィルタ２３を通過した光２９ａを観察できる。一方、第２観察部２Ｂは、基準波長となる第２の波長よりも長い波長の光を透過させるための、ショートパスフィルタ２８が備えられている。つまり、観察カメラ２６では、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ｂの内、ショートパスフィルタ２８を通過した光２９ｂを観察できる。さらに、上記第１の波長は、上記第２の波長よりも短く設定されている。具体的には、第１の波長を４４０ｎｍ、第２の波長を４５０ｎｍとし、第１観察部２Ａのロングパスフィルタ２３は、波長４４０ｎｍ以上の光を透過させ、第２観察部２Ａのショートパスフィルタ２８は、波長４５０ｎｍ以下の光を透過させる。
【００２１】
第１観察輝度値出力部３Ａは、第１観察部２Ａで観察されたＬＥＤチップＣの特定部位の輝度を、第１観察輝度値として出力するものである。同様に、第２観察輝度値出力部３Ｂは、第２観察部２Ｂで観察されたＬＥＤチップＣの特定部位の輝度を、第２観察輝度値として出力するものである。具体的には、ＬＥＤチップＣの特定部位について、第１観察部２Ａ，第２観察部２Ｂの撮像カメラから出力された画像信号（アナログ信号）をＡ／Ｄ変換するなどして輝度値として出力したり、当該撮像カメラから出力される輝度に対応したデータ値を出力したりするものが例示できる。
【００２２】
観察輝度比率出力部４は、第１観察輝度値と第２観察輝度値との比率を算出し、観察輝度比率（Ｘ）として出力するものである。
【００２３】
波長推定関数登録部５は、予め規定しておいた波長推定関数ｆを登録しておくものである。波長推定関数ｆについては、詳細を後述する手順により算出し規定しておく。
【００２４】
発光波長推定部６は、波長推定関数ｆと、第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂを用いて得られた観察輝度比率（Ｘ）とに基づいて、ＬＥＤチップＣの特定部位から発せられる光の推定波長（Ｙ）を算出するものである。
【００２５】
励起光照明部７は、ＬＥＤチップＣに向けて励起光７１を照射するものである。励起光７１の波長としては、波長３６５ｎｍの紫外光を例示することができる。励起光７１が照射されたＬＥＤチップＣは、蛍光発光し、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７２ａ，７２ｂが、それぞれレンズ２２，２７へ向けて放出される。
【００２６】
なお、ＬＥＤチップ検査装置１は、必要に応じて、ウエハーＷを載置する載置台Ｓを備えた構成としても良い。そうすれば、検査対象となるＬＥＤチップＣが、下述の様なウエハーＷに複数配置されいる場合、ＬＥＤチップ検査装置１は、ウエハーＷを所定の位置へ移動させて、ウエハーＷ上に配置された任意の位置のＬＥＤチップＣを第１観察部２Ａ及び第２観察部２Ｂで観察することができるからである。また、載置台Ｓは、下述のＸ方向やＹ方向に、ウエハーＷを移動できるような移動機構（いわゆる、ＸＹステージ機構）に取り付けて構成しても良い。
【００２７】
図２は、本発明を適用して観察する対象の一例を示す平面図である。
図２では、ウエハーＷ上に、観察対象となるＬＥＤチップＣが複数配置された様子が示されいる。これらのＬＥＤチップＣは、最終製品に組み込むために個片化される前の状態、つまり製造工程中の半完成状態ではあるが、フォトルミネッセンス特性を有する状態にある。なお、図２において、ウエハーＷの表面をＸ，Ｙ方向とし、それに直交する厚み方向をＺ方向とし、Ｚ方向の矢印側を上方と表現する（以下、各図について同じ）。
【００２８】
ウエハーＷに配置されている各ＬＥＤチップＣは、外見上は良品／不良品の見分けが付かないが、Ａ１の領域が波長４４０ｎｍ以下、Ａ２の領域が波長４４０〜４４３ｎｍ、Ａ３の領域が波長４４３〜４４７ｎｍ、Ａ４の領域が波長４４７〜４５０ｎｍ、Ａ５の領域が波長４５０ｎｍ以上で、それぞれ発光している。
なお、図２では説明のために、発光波長の違いを異なるハッチングにて示している。
【００２９】
＜波長推定関数の算出フロー＞
本発明を実施する前段階として、このウエハーＷを用いて、波長推定関数ｆを算出する。以下、波長推定関数ｆの算出手順について述べる。
図３は、本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図であり、波長推定関数ｆの算出フローが示されている。
【００３０】
まず、分光観察する位置へ移動し（ステップｓ１）、その位置で分光観察を行い（ステップｓ２）、発光波長を特定する（ステップｓ３）。
【００３１】
この分光観察する位置は、発光波長特性の異なる部位、若しくは、発光波長特性が異なると思われる部位を、予めサンプリング対象として複数箇所選択しておく。具体的には、図３に示す様に、ウエハーＷ上に４５点のサンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５を設定しておく。次に、サンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５ついて、既存の分光型二次元輝度計（いわゆる分光測定器）を用いて、発光波長を計測する。この分光測定器は、発光体の発する波長スペクトルを測定し、発光する光の波長についての平均値や中央値、最頻値、代表値などを出力することができる。
【００３２】
続いて、上記分光観察したサンプリング対象部位が第１観察部２Ａで観察できる位置へ移動し（ステップｓ１０）、第１観察部２Ａによる観察を行い（ステップｓ１１）、第１観察輝度値を出力する（ステップｓ１２）。さらに、この分光観察したサンプリング対象部位が第２観察部２Ｂで観察できる位置へ移動し（ステップｓ２０）、第２観察部２Ｂによる観察を行い（ステップｓ２１）、第２観察輝度値を出力する（ステップｓ２２）。
【００３３】
続いて、第１観察輝度値と第２観察輝度値とから、観察輝度比率（Ｘ）を算出する（ステップｓ３１）。
【００３４】
全てのサンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５について、全ての観察が終了したかどうかを判断し（ステップｓ３２）、全ての観察が終了していなければ、上記ステップｓ１〜ｓ３２を繰り返し、全ての観察が終了していれば、波長推定関数ｆを算出する（ステップｓ４１）。
【００３５】
下記に、波長推定関数ｆの算出手順の一例を示す。
まず、上述のフロー（ステップｓ１〜ｓ３２）に基づいて、サンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５について、分光測定器で特定された発光波長を測定するとともに、第１観察部２Ａでの観察により取得した第１観察輝度値と、第２観察部２Ｂでの観察により取得した第２観察輝度値とから、観察輝度比率（Ｘ）を算出する。
【００３６】
次に、サンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５について、発光波長と観察輝度比率（Ｘ）とを対応させてデータテーブルに記録する。そして、データテーブルに記録されたデータに基づいて、横軸を観察輝度比率、縦軸を発光波長とし、サンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５についてのデータをプロットする。
【００３７】
図４は、本発明を具現化する形態で得られた観察輝度比率の波長特性の一例を示す図であり、第１観察輝度値と第２観察輝度値との比率である観察輝度比率（Ｘ）と、分光測定器で特定された発光波長とを相関させてプロットした分布図である。
【００３８】
次に、波長推定関数ｆの基本関数を規定する。基本関数としては、線形関数、多項式関数、指数関数、対数関数、累乗関数などを適用することができ、これら規定した基本関数がサンプリング対象部位Ｓ１〜Ｓ４５により近似するように、最小二乗法などを用いて基本関数の係数を決定する。
【００３９】
本例においては、第１観察輝度値と第２観察輝度値との観察輝度比率（Ｘ）から、推定波長（Ｙ）を算出するための波長推定関数ｆは、
Ｙ＝１０・ｌｏｇｅ（１００Ｘ）＋４００
で表すことができる。
【００４０】
以上が波長推定関数ｆの算出手順であり、上述の様にして算出した波長推定関数ｆは、ＬＥＤチップの検査装置１の波長推定関数登録部５に登録しておく。
【００４１】
＜未知の部位に対する波長推定フロー＞
以下に、本発明に係る発光体の発光波長推定方法について説明する。
図５は、本発明を具現化する形態の一例を示すフロー図であり、発光波長が未知の部位に対する波長推定フローが示されている。なお、上記手順に基づいて算出した波長推定関数ｆは、予め登録してある。
【００４２】
先ず、ＬＥＤチップＣの観察対象部位が第１観察部２Ａで観察できる位置へ、ウエハーＷを移動させる（ステップｓ１００）。そして、ＬＥＤチップＣの観察対象部位を第１観察部２Ａにて観察し（ステップｓ１１１）、第１観察輝度値を出力する（ステップｓ１１２）。さらに、この観察対象部位が第２観察部２Ｂで観察できる位置へ、ウエハーＷを移動させ（ステップｓ１２０）、第２観察部２Ｂによる観察を行い（ステップｓ１２１）、第２観察輝度値を出力する（ステップｓ１２２）。
【００４３】
続いて、第１観察輝度値と第２観察輝度値とから、観察輝度比率（Ｘ）を算出する（ステップｓ１３１）。
【００４４】
続いて、予め登録しておいた波長推定関数ｆと、この観察輝度比率（Ｘ）とに基づいて、観察対象部位の推定波長（Ｙ）を算出する（ステップｓ１４１）。
【００４５】
全ての観察対象部位について、全ての観察が終了したかどうかを判断し（ステップｓ１４２）、全ての観察が終了していなければ、上記ステップｓ１００〜ｓ１４２を繰り返し、全ての観察が終了していれば、次のウエハーＷと交換する。
このようにして、未知の部位に対して発光体から発せられる光の推定波長（Ｙ）を算出することができる。つまり、発光体の発光波長を推定することができる。
【００４６】
図６は、本発明を具現化する形態で得られた波長推定値と実測値との相関図である。つまり、発光波長が未知の部位について、本発明を適用させて波長推定した結果（波長推定値）と、実際の分光測定器で測定した波長（実測値）との相関関係を対比させた図である。この図をみれば、本発明を適用させて算出した推定波長（Ｙ）が、実測値と極めて高い相関関係にあり、波長推定が正しいと言える。なお、このときの相関係数は、０．９９であった。
【００４７】
＜波長推定関数の算出の類型＞
本発明の実施において、サンプリングに基づく波長推定関数ｆの算出については、以下の類型が例示でき、必要に応じて適宜採用すれば良い。
１）同一ウエハーついては毎回行う（つまり、観察するウエハー毎に算出）。
２）同一ロットのウエハーについては代表する１つのウエハーを選択して行う（つまり、ロット毎に算出）。
３）同一品種のウエハーについては代表する１つのウエハーを選択して行う（つまり、品種毎に算出）。
４）同一品種のウエハーについて、基本構成を同じにする他の装置で算出された波長推定関数ｆを使用する（つまり、他機種と共有）。
【００４８】
＜別の形態＞
第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとが、ＬＥＤチップＣの特定部位について、同時に観察できる形態としておき、１度に観察できる形態とすることが望ましい。
つまり、第１観察ステップと、第２観察ステップが同時に行われる形態である。
具体的には、図７で示したステップｓ１００〜ｓ１３２を、図７に示す様なフローに基づいて、同じ位置で未知の波長で発光する部位について観察を行い、輝度値算出を並列的に行う形態である。
【００４９】
このような形態で観察することで、観察対象物が複数ある場合に、別々の場所で観察する形態と比較して、次の観察位置に移動するための移動回数を減らすことができる。
【００５０】
さらに、上記の形態は、波長特定関数ｆを算出するために第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとで観察する際にも、適用することができる。つまり、図２で示したステップｓ１０〜ｓ２２を、図８に示す様になフローに基づいて、同じ位置でサンプリングのための観察を行い、輝度値算出を並列的に行う形態である。
【００５１】
このような形態で観察することで、サンプリング対象物が複数ある場合に、別々の場所で観察する形態と比較して、次のサンプリング位置に移動するための移動回数を減らすことができるので、波長推定関数ｆが算出されていない未知の発光体に対して、迅速に対処することができる。
【００５２】
＜別の形態＞
上述した本発明を適用するにあたり、第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂとは、一度に観察できる視野サイズが同じでなくても良く、適宜視野サイズを調整する処理などを行うことにより、両画像の視野サイズを揃えてから比較処理を行うことができる。
【００５３】
しかし、観察対象となるＬＥＤチップＣが１枚のウエハーＷ上に複数配置されていれば、第１観察部２Ａと、第２観察部２Ｂとは、波長推定対象となるＬＥＤチップＣを一度に観察できる視野サイズが同じに設定されている形態とすることが好ましい。そうすることにより、当該両画像の視野サイズを調整する処理にかかる時間を短縮したい場合に好適である。
【００５４】
図９は、本発明を具現化する形態の別の一例を示す正面図であり、上述とは別の形態のＬＥＤチップの検査装置１ｂが示されている。
【００５５】
具体的には、ＬＥＤチップの検査装置１ｂは、ＬＥＤチップＣを観察するための対物レンズ（図示せず）が取り付けられた鏡筒３３と、ハーフミラーや、ビームスプリッタ等と呼ばれる光学素子からなる分岐手段３４と、励起光照明部７ｂを備えて構成されている。励起光照明部７ｂからＬＥＤチップＣに向けて、励起光（例えば、波長３６５ｎｍの紫外光）７１ｂを照射する。そうすると、ＬＥＤチップＣが蛍光発光し、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７３が、鏡筒３３へ向けて放出される。そして、ＬＥＤチップＣから放出される光の一部７３は、分岐手段３４で分岐され、それぞれ分岐した光２５ａ，２５ｂは、第１撮像部２Ａと第２撮像部２Ｂとで観察するように構成されている。このとき、分岐手段３４から第１観察部３１，第２観察部３２までの光路長は同じにしておく。さらに、それらの間にレンズ等が配置されていれば、観察倍率も同じになるようにしておく。
【００５６】
また、上述のＬＥＤチップの検査装置と同様に、第１撮像部２Ａは、撮像カメラ２１とロングパスフィルタ２３を備えており、分岐手段３４で分岐された光２５ａのうち、４４０ｎｍ以上の波長の光２９ａを観察できるように構成されている。また、第２撮像部２Ｂは、撮像カメラ２６とショートパスフィルタ２８を備えており、分岐手段３４で分岐された光２５ｂのうち、４５０ｎｍ以下の波長の光２９ｂを観察できるように構成されている。
【００５７】
ＬＥＤチップの検査装置１ｂに示す様な構成の装置を用いて検査対象となるＬＥＤチップＣを検査すれば、第１観察部２Ａと第２観察部２Ｂで同時に観察することができるだけでなく、一度に観察する視野サイズも同じであり、両画像のマッチングのための変換処理などに要する時間を短縮できる。そのため、より迅速な観察・検査ができるようになるため、より好ましい。
【００５８】
＜別の形態＞
上述の説明では、観察対象物として、フォトルミネッセンス特性を有するＬＥＤチップを例示した。ＬＥＤチップの製造工程中において、従来の検査方法では迅速に検査を行うことが出来なかったが、本発明を適用すれば、迅速に発光波長を推定することができる。
【００５９】
また、本発明は、上述のＬＥＤチップの発光波長の推定に限らず、蛍光灯，プラズマディスプレの背面板など、他の蛍光発光体の発光波長の推定に適用することができる。
【００６０】
さらに本発明は、蛍光発光体に限らず、ＬＥＤ照明や有機ＥＬなどの発光体など（つまり、狭義の発光体）や、白色バックライトと組合せ配置された液晶用カラーフィルタなど（つまり、広義の発光体）の発光波長の推定にも適用することができる。なお、この場合は、上述した励起光照明部７を備えない構成で本発明を具現化できる。
【００６１】
なお、上述では、第１の波長と第２の波長とのオーバーラップ幅が１０ｎｍの場合を例示した。これは、第１の波長と第２の波長とがオーバーラップしていれば、測定範囲が広くなるため、半値幅が２０ｎｍ程度のＬＥＤチップの蛍光検査などに好適となるからである。
【００６２】
しかし、本発明の適用に当たり、第１の波長と第２の波長とは、上記範囲に限定されず、検査対象の発光波長の実体に応じて適宜設定すれば良い。つまり、第１の波長と第２の波長とのオーバーラップがより多くなるように設定することで、半値幅の広い発光体に対して波長推定を好適に行うことができる。一方、第１の波長と第２の波長とのオーバーラップがより少なくなるように設定することで、より半値幅の狭い発光体に対して波長推定を好適に行うことができる。
【００６３】
さらに、第１の波長と第２の波長とが同じ波長となるように設定しても良い。このような構成であれば、発光体の発光波長が基準波長付近でばらつきがあっても、正確に波長推定ができるようになる。
【符号の説明】
【００６４】
１      ＬＥＤチップ検査装置
２Ａ    第１観察部
２１    撮像カメラ
２２    レンズ
２３    ロングパスフィルタ
２Ｂ    第２観察部
２６    撮像カメラ
２７    レンズ
２８    ショートパスフィルタ
２５ａ  分岐した光
２５ｂ  分岐した光
２９ａ  ロングパスフィルタを通過した光
２９ｂ  ロングパスフィルタを通過した光
３Ａ    第１観察輝度値出力部
３Ｂ    第２観察輝度値出力部
４      観察輝度比率出力部
５      波長推定関数登録部
６      発光波長推定部
７      励起光照明部
７１    励起光
７２ａ  ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
７２ｂ  ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
７３    ＬＥＤチップＣから放出される光の一部
ｓ２    分光観察ステップ
ｓ３    波長特定ステップ
ｓ１１  第１観察ステップ（波長特定部位）
ｓ１２  第１観察輝度出力ステップ（波長特定部位）
ｓ２１  第２観察ステップ（波長特定部位）
ｓ２２  第２観察輝度出力ステップ（波長特定部位）
ｓ３１  観察輝度比率出力ステップ（波長特定部位）
ｓ４１  波長推定関数算出ステップ
ｓ１１１  第１観察ステップ（未知波長部位）
ｓ１１２  第１観察輝度出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１２１  第２観察ステップ（未知波長部位）
ｓ１２２  第２観察輝度出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１３１  観察輝度比率出力ステップ（未知波長部位）
ｓ１４１  発光波長推定ステップ
ｆ        波長推定関数
Ｃ        ＬＥＤチップ（発光体）
Ｓ        載置台
Ｗ        ウエハー
Ｘ        観察輝度比率
Ｙ        推定波長
【図１】
2015010834.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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