(57)【要約】      （修正有）【課題】信号伝達部が内部に配置された流路部材内を含む液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２ａは、複数の吐出孔８、および複数の吐出孔８と繋がっている共通流路５を含んでいる流路部材４と、複数の吐出孔８からそれぞれ液体を吐出させる複数の加圧部３０と、複数の加圧部３０を駆動する信号を伝える信号伝達部６０と有する液体吐出ヘッド２ａであって、流路部材４は、前記信号伝達部６０が配置されている空隙５２を有しており、空隙５２と共通流路５との間の隔壁５４がダンパとなっている。【選択図】図３
2015101025.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、および該複数の吐出孔と繋がっている共通流路を含んでいる流路部材と、
前記複数の吐出孔からそれぞれ液体を吐出させる複数の加圧部と、該複数の加圧部を駆動する信号を伝える信号伝達部と有する液体吐出ヘッドであって、
前記流路部材は、前記信号伝達部が配置されている空隙を有しており、
該空隙と前記共通流路との間の隔壁がダンパとなっていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路部材の中で、前記複数の吐出孔と前記共通流路とは、前記複数の加圧部により内部の液体がそれぞれ加圧される複数の加圧室を介して繋がっており、
前記流路部材は、前記複数の吐出孔が開口している吐出孔面を有しており、
前記加圧部は、前記加圧室の前記吐出孔面側に配置されており、
前記空隙は、前記共通流路の前記吐出孔面側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材は、前記吐出孔面を一方の主面とする平面形状を有しており、
前記共通流路は、前記流路部材の平面方向に沿って一方方向に伸びており、
前記複数の加圧室は、前記共通流路の両側に、前記一方方向に沿って配置されており、
前記信号伝達部は、前記共通流路の前記一方方向の端部で、前記流路部材から引き出されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記流路部材は、前記吐出孔面を一方の主面とする平面形状を有しており、
前記共通流路は、前記流路部材の平面方向に沿って一方方向に伸びており、
前記複数の加圧室は、前記共通流路の片側に、前記一方方向に沿って配置されており、
前記信号伝達部は、前記共通流路に対して、前記複数の加圧室が配置されている側の反対側で、前記流路部材から引き出されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記複数の加圧部を制御する制御部を備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出させる液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、液体を記録媒体上に吐出することによって、各種の印刷を行なうインクジェットヘッドが知られている。液体吐出ヘッドは、例えば、マニホールド（共通流路）およびマニホールドから複数の加圧室をそれぞれ介して繋がる吐出孔を有した平板状の流路部材と、加圧室をそれぞれ覆うように設けられた複数の変位素子を有する圧電アクチュエータ基板とを積層して構成される（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００３】
この液体吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータ基板を駆動する信号が流れる信号伝達部は、リザーバを貫通して外部と繋がっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１３１４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、流路部材内に、空間効率よく信号伝達部が配置された液体吐出ヘッドおよびそれを用いた記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、および該複数の吐出孔と繋がっている共通流路を含んでいる流路部材と、前記複数の吐出孔からそれぞれ液体を吐出させる複数の加圧部と、該複数の加圧部を駆動する信号を伝える信号伝達部と有する液体吐出ヘッドであって、前記流路部材は、前記信号伝達部が配置されている空隙を有しており、該空隙と前記共通流路との間の隔壁がダンパとなっていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記複数の加圧部を制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、流路部材内に、空間効率よく信号伝達部を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】（ａ）は、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッドを含む記録装置の側面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図２】図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。
【図３】図２のＸ−Ｘ方向から見た部分縦断面図である。
【図４】本発明の他の実施形態のヘッド本体の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カ
ラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図であり、図１（ｂ）は、概略の平面図である。プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１１】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１２】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されていて、液体吐出ヘッド２の、液体を吐出する部位が印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１３】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがある。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１４】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１５】
プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１６】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００１７】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フ
レーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよいし、人によって手動で操作されてもよい。
【００１８】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００１９】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２０】
次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について説明する。図２は、図１に示された液体吐出ヘッド２の要部であるヘッド本体２ａを示す平面図である。図３は、図２のＸ−Ｘ方向から見た部分縦断面図である。
【００２１】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバや、金属製の筐体を含んでいてもよい。また、ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。
【００２２】
ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は、流路部材４の内部にある空隙５２に向けて開口しており、加圧室１０の開口は、空隙５２に配置されている圧電アクチュエータ基板２１で閉塞されている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５の両端部とそれぞれ繋がっている開口５ａ、５ｃを有している。吐出する液体は、開口５ａ、５ｃの両方から供給してもよいし、どちらか一方から供給し、他方から排出することにより、プリンタ１の内部で液体が循環するようにしてもよい。
【００２３】
加圧室１０内の液体を加圧する加圧部である変位素子３０は、圧電アクチュエータ基板２１内に作り込まれている。変位素子３０を駆動する駆動信号は、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部６０により外部から伝達される。信号伝達部６０は、一部が空隙５２内に配置されており、流路部材４の上面に開口している信号伝達部用開口６２を通って流路部材４の外にまで繋がっている。
【００２４】
信号伝達部６０の通る空隙５２を、マニホールド５の近くに配置することで、空隙５２とマニホールド５との間の隔壁をダンパ５４とすることとができる。ダンパ５４は、変形することでマニホールド５の体積を可変できるようになっており、液体の吐出量が急に増えたり減ったりした際に変形することで、液体を安定して供給させることができる。
【００２５】
流路部材４内には、平面形状は長方形状の２つの圧電アクチュエータ基板２１が流路部材４の長手方向に配置されている。
【００２６】
流路部材４の内部には、共通流路であるマニホールド５が形成されている。マニホールド５は流路部材４の長手方向の一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールドの開口５ａ、５ｃが形成されている。
【００２７】
流路部材４には、マニホールド５の両側に複数の加圧室１０が配置されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。
【００２８】
流路部材４には、マニホールド５に沿うようにして、２行の加圧室１０の行である加圧室行が、マニホールド５の両側に１行ずつ、合計２行設けられている。各加圧室行において、加圧室１０は１つのマニホールド５としぼり６を介して繋がっている。また、加圧室１０は、しぼり６と繋がっているのとは反対側でディセンダ（部分流路）７を介して吐出孔８と繋がっている。１行の加圧室行に繋がっている吐出孔は、１行に並んでいる。つまり、吐出孔８の行も、マニホールド５の両側に１行ずつ合計２行設けられている。各加圧室行において、加圧室１０は、７５ｄｐｉの間隔で並んでおり、２行の加圧室行を合わせて、加圧室１０は、１５０ｄｐｉの間隔で並んでいる。各吐出孔行において同様に、１行の吐出孔行内で吐出孔８は、７５ｄｐｉの間隔で並んでおり、２行の吐出孔行を合わせて、吐出孔８は、１５０ｄｐｉの間隔で並んでいる。これによりヘッド本体２ａの長手方向にわたって、１５０ｄｐｉの間隔で、液体を吐出し、印刷することができる。
【００２９】
圧電アクチュエータ基板２１の下面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体と、個別電極本体から引き出されている引出電極とを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列を構成している。また、圧電アクチュエータ基板２１の下面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極が形成されている。
【００３０】
ヘッド本体２ａに含まれる流路部材４は、複数のプレート４ａ〜ｆが積層された積層構造を有している。各プレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通してしぼり６から吐出孔８までの個別流路およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。流路部材４において、加圧室１０は流路部材４の内部の空隙５２に向けて下側に開口しており、吐出孔８は、流路部材４の下面である吐出孔面４−１で、下側に向いて開口している。
【００３１】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、プレート４ｃ、４ｄに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がるしぼり６である。しぼり６は、プレート４ｃに形成されている。第３に、加圧室１０のしぼり６が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する個別流路であるディセンダ７である。ディセンダ７は、プレート４ｃの加圧室１０の出口からプレート４ｆの吐出孔８までの各プレートに形成されている。
【００３２】
第４に、マニホールド５を構成する連通孔である。この連通孔は、プレート４ｂ〜ｄに形成されている。プレート４ｄに形成されたマニホールド５となる孔は、プレート４ｅにより塞がれており、その部分のプレート４ｅはダンパ５４として働く。
【００３３】
第１〜４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５から吐出孔８までの流路を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から流路部材４の平面方向に向かって、しぼり６を通って加圧室１０の一端部に至る。次に、加圧室１０の延在方向に沿って平面方向に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０の他端部からディセンダ７に入った液体は、水平方向に移動した後、下方に向かい、吐出孔面４−１に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。
【００３４】
圧電アクチュエータ基板２１は、圧電体である２枚の圧電セラミック層２１ａ、２１ｂからなる積層構造を有している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂはそれぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電アクチュエータ基板２１の圧電セラミック層２１ａの下面から圧電セラミック層２１ｂの上面までの厚さは４０μｍ程度である。圧電セラミック層２１ａ、２１ｂのいずれの層も複数の加圧室１０を跨ぐように延在している。これらの圧電セラミック層２１ａ、２１ｂは、例えば、強誘電性を有する、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系、ＮａＮｂＯ３系、ＢａＴｉＯ３系、（ＢｉＮａ）ＮｂＯ３系、ＢｉＮａＮｂ５Ｏ１５系などのセラミックス材料からなる。なお、圧電セラミック層２１ｂは、振動板として働いており、必ずしも圧電体である必要はなく、代わりに、圧電体でない他のセラミック層や金属板を用いてもよい。
【００３５】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述のように圧電アクチュエータ基板２１の下面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体と、そこから引き出された引出電極とを含んでいる。引出電極の一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。また、接続電極２６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００３６】
共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極に、圧電セラミック層２１ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極は、多数の個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
【００３７】
圧電セラミック層２１ａの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００３８】
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
【００３９】
あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
【００４０】
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、圧力室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。圧力室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、圧力室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
【００４１】
なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。
【００４２】
液体吐出ヘッド２の構成について改めてまとめると、流路部材４内に、マニホールド５および信号伝達部６０が配置されている空隙５２が配置されており、マニホールド５と空隙５２との間がダンパ５４となっているので、信号伝達部６０とダンパ５４とを、流路部材４内に、空間効率よく配置できる。これによりヘッド本体２ａを小型化あるいは薄型化できる。
【００４３】
また、圧電アクチュエータ基板２１が、加圧室１０の吐出孔面４−１側に配置され、空隙５２が、マニホールド５の吐出孔面４−１側に配置されており、圧電アクチュエータ基板２１と空隙５２とがともに同じ側に配置されているので、流路部材４内の信号伝達部６０の長さを短くできる。また、圧電アクチュエータ基板２１を流路部材４の内部に配置することで、加圧室１０の、流路部材４の積層方向における位置を、吐出孔面４−１側に近くできるので、ディセンダ７の長さを短くできる。これにより、ＡＬを短くできるので、高周波駆動に適する液体吐出ヘッド２とすることができる、加圧室１０の、流路部材４の積層方向における位置は、吐出孔面４−１側から流路部材４の厚さの半分以下の位置にするのがよい。
【００４４】
さらに、信号伝達部６０として柔軟性のなる平板状のものを用いて、マニホールド５の一面が信号伝達部６０で塞がれるようにし、信号伝達部６０そのものをダンパにしてもよい。そのようにすれば部材の数を少なくできる。
【００４５】
信号伝達部６０を流路部材４の外部に引き出す配置としては、図２に示すように、マニホールド５の両側に加圧室１０が配置されている場合、信号伝達部６０は、マニホールド５の前記一方方向の端部の流路部材用開口６２で、流路部材４から引き出だすことができる。図２では、記信号伝達部６０は、マニホールド５の一端側だけから引き出しているが、マニホールド５の両端それぞれから引き出してもよい。
【００４６】
図４は、本発明の他の実施形態の液体吐出ヘッド２に要部であるヘッド本体１０２ａの平面図である。上述したヘッド本体２ａとの差異が少ない部分については、同じ符号を付けて説明を省略する。
【００４７】
ヘッド本体１０２ａでは、加圧室１０および吐出孔８は、マニホールド５に沿ってマニホールド５の一方側に配置されている。このような場合、信号伝達部１６０は、マニホールド５に対して、加圧室１０が配置されている側の反対側に配置されている信号伝達部用開口１６２で、流路部材４から引き出すことができる。
【００４８】
なお、加圧部として圧電素子である変位素子３０の例を示したが、これに限られるものでなく、加圧室１０中の液体を加圧できるものなら他のものでよく、例えば、加圧室１０中の液体を加熱して沸騰させて圧力を生じさせるものや、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）を用いたものでも良い。
【符号の説明】
【００４９】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｇ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
５・・・マニホールド（共通流路）
５ａ、ｃ・・・（マニホールドの）開口
６・・・しぼり
７・・・ディセンダ（部分流路）
８・・・吐出孔
１０・・・加圧室
２１、１２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層
２１ｂ・・・圧電セラミック層（振動板）
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２６・・・接続電極
３０・・・変位素子（加圧部）
５２・・・空隙
５４・・・ダンパ（隔壁）
６０・・・信号伝達部
６２、１６２・・・信号伝達部用開口
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙
【図１】
2015101025.tif 000003
【図２】
2015101025.tif 000004
【図３】
2015101025.tif 000005
【図４】
2015101025.tif 000006