(57)【要約】【課題】破損しにくいスリットノズル洗浄装置、及び該スリットノズル洗浄装置を備えたワーク用塗布装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明のスリットノズル洗浄装置及び該スリットノズル洗浄装置を備えたワーク用塗布装置は、それぞれ前記衝突緩衝部材を傾動させる傾動機構を備える。そして、前記衝突緩衝部材は、傾動により、前記緩衝面の前記縁側の端部が前記側面と面一になる状態、及び前記端部が持ち上がる状態となる。スリットノズル洗浄装置は、スクレーパとスリットノズルの側面の縁との衝突を最小限に抑えるように衝突緩衝部材の配置が調整されても、スリットノズル洗浄後にスクレーパがスリットノズル側から衝突緩衝部材に向かって移動する際に、衝突緩衝部材を端部が持ち上がるように傾動させるため、スクレーパと衝突緩衝部材の端部との衝突が緩衝される。【選択図】図５
2015142062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液をワークに塗布するスリットノズルを洗浄するスリットノズル洗浄装置であって、
前記スリットノズルの側面に付着した前記塗布液を掻き取るスクレーパと、
前記スリットノズルのスリット方向に沿って前記スクレーパを移動させる移動機構と、
前記スリットノズルの側面の縁に近接配置され、緩衝面で前記スクレーパと前記縁との衝突を緩衝する衝突緩衝部材と、
前記衝突緩衝部材を傾動させる傾動機構と、
を備え、
前記衝突緩衝部材は、傾動により、前記緩衝面の前記縁側の端部が前記側面と面一になる状態、及び前記端部が持ち上がる状態となる、
スリットノズル洗浄装置。
【請求項２】
前記傾動機構は、前記スリット方向に直交しかつ水平面に平行な回転軸で前記衝突緩衝部材を回転させて傾動させ、
前記衝突緩衝部材は、
前記回転軸の軸方向から視て前記端部側が前記端部側の反対側より軽く、
前記スリットノズルからの下方への押圧力がかかる押圧部を前記端部側に備える、
請求項１に記載のスリットノズル洗浄装置。
【請求項３】
前記衝突緩衝部材は、前記端部側と反対側の下部に切欠面を有す、
請求項１又は２に記載のスリットノズル洗浄装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のスリットノズル洗浄装置と、
前記ワークと前記スリットノズルとを相対的に移動させる搬送機構と、
前記スリットノズルから前記塗布液を供給する塗布液供給機構と、
を備えたワーク用塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液をワークに塗布するスリットノズルに付着した塗布液をスクレーパで掻き取って洗浄するスリットノズル洗浄装置、及び該スリットノズル洗浄装置を備えるワーク用塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えばガラス基板（ワーク）にレジスト液（塗布液）をスリットノズルから塗布する基板用塗布装置が知られている。基板用塗布装置は、スリットノズルのスリット方向に直交する方向にガラス基板を搬送しつつレジスト液を塗布することにより、ガラス基板上に塗布膜を形成する。ただし、基板用塗布装置は、スリットノズルがスリット方向と直交する方向に移動する場合もある。
【０００３】
このような基板用塗布装置において、スリットノズルのスリット方向に延在する側面に付着した塗布液を取り除いて、スリットノズルを洗浄することがある。
【０００４】
例えば、特許文献１には、ゴムからなる平板状のスクレーパを、スリットノズルの先端及び側面に当接させながら、移動機構が当該スクレーパを保持する保持部材を移動させることにより、塗布液を掻き取る（取り除く）スリットノズル洗浄機構が記載されている。より具体的に、図を用いてスリットノズル洗浄機構について説明する。図８（Ａ）は、従来のスリットノズルの洗浄を説明するための図であり、図８（Ｂ）は、Ａ−Ａ断面図であり、図８（Ｃ）は、Ｂ−Ｂ断面図である。なお、図８（Ａ）において、スクレーパ８１０は、時刻ｔに従って移動している。
【０００５】
スクレーパ８１０（ｔ）は、移動機構によってスリットノズルに向かって移動している。スクレーパ８１０（ｔ＋１）は、図８（Ｂ）に示すように、スリットノズルの側面に押し付けられたまま移動する。これにより、スクレーパ８１０（ｔ＋１）は、移動しながらスリットノズルの側面に付着した塗布液を掻き取る。スリットノズルは、スクレーパ８１０（ｔ＋２）がスリットノズルの側面の端部まで移動すると、上方の退避位置に移動する。その後、スクレーパ８１０は、逆方向に移動して元の位置（スクレーパ８１０（ｔ）の位置）に戻る。
【０００６】
スクレーパ８１０（ｔ）の位置とスリットノズルの位置との間には、衝突緩衝部材８０１が配置されている。衝突緩衝部材８０１は、図８（Ｃ）に示すように、スリットノズルの側面に略平行な緩衝面８０２を２つ備えている。緩衝面８０２は、端部８０３がスリットノズルの側面に近接するように配置されている。緩衝面８０２は、スリットノズルの側面に近づくにつれて、すなわち端部８０３に近づくにつれて、スリットノズルの側面と面一になるように配置されている。
【０００７】
このような構成により、スクレーパ８１０（ｔ）は、移動するにつれて衝突緩衝部材８０１の緩衝面８０２に徐々に押し付けられる。その結果、スクレーパ８１０は、端部８０３で緩衝面８０２がスリットノズルの側面と面一となるため、スリットノズルの側面の縁との衝突が緩衝される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−５５６０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、スクレーパ８１０は、スリットノズル洗浄後にスリットノズルが退避位置に移動すると、押し付けられることによって収縮していた形状が弾力によってスリットを通る鉛直面（図８（Ｃ）に示す）の方向に戻る。そして、スクレーパ８１０は、形状が戻った状態で、元の位置（スクレーパ８１０（ｔ）の位置）に戻ると、衝突緩衝部材８０１の端部８０３に強く衝突してしまう。これにより、スクレーパ８１０が破損したり、スクレーパ８１０の移動機構に影響が出たりする。
【００１０】
スクレーパ８１０が元の位置に戻る際の衝突を最小限に抑えるために、例えば衝突緩衝部材８０１をより上方に配置したり、スリットノズルを通る鉛直面に緩衝面８０２を近づけて配置したりすると、衝突緩衝部材８０１の端部８０３がスリットノズルの側面と面一とならず、スクレーパ８１０はスリットノズルの側面の縁に強く衝突してしまう。
【００１１】
そこで、本発明は、上述の従来の問題に鑑みてなされたものであり、破損しにくいスリットノズル洗浄装置、及び該スリットノズル洗浄装置を備えたワーク用塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、塗布液をワークに塗布するスリットノズルを洗浄するスリットノズル洗浄装置であって、前記スリットノズルの側面に付着した前記塗布液を掻き取るスクレーパと、前記スリットノズルのスリット方向に沿って前記スクレーパを移動させる移動機構と、前記スリットノズルの側面の縁に近接配置され、緩衝面で前記スクレーパと前記縁との衝突を緩衝する衝突緩衝部材と、前記衝突緩衝部材を傾動させる傾動機構と、を備える。
【００１３】
そして、前記衝突緩衝部材は、傾動により、前記緩衝面の前記縁側の端部が前記側面と面一になる状態、及び前記端部が持ち上がる状態となる。
【００１４】
衝突緩衝部材の緩衝面の前記縁側の端部が前記側面と面一となる平行状態になると、スクレーパは、スリットノズルに向かって移動する際に緩衝面に徐々に押し付けられるため、スリットノズルの縁との衝突が緩衝される。衝突緩衝部材が傾動してスリットノズルの縁側の端部が持ち上がる傾斜状態になると、スクレーパは、スリットノズル洗浄後に、スリットノズル側から衝突緩衝部材に向かって移動する際に当該端部が持ち上がっているため、当該端部に衝突せず、徐々に緩衝面に押し付けられる。この押し付ける力によって、衝突緩衝部材は、再び平行状態となるように傾動する。傾動によってスクレーパが衝突緩衝部材を押し付ける力が分散されるため、スクレーパと衝突緩衝部材との衝突も緩衝される。
【００１５】
以上のように、本発明のスリットノズル洗浄装置は、スクレーパがスリットノズルに向かって移動する際及びスリットノズル洗浄後に衝突緩衝部材に向かって移動する際に、スクレーパとスリットノズル及び衝突緩衝部材との衝突が緩衝されることにより、スクレーパの破損及び移動機構への影響を防止することができる。
【００１６】
また、前記傾動機構は、前記スリット方向に直交しかつ水平面に平行な回転軸で前記衝突緩衝部材を回転させて傾動させ、前記衝突緩衝部材は、前記回転軸の軸方向から視て前記端部側が前記端部側の反対側より軽く、前記スリットノズルからの下方への押圧力がかかる押圧部を前記端部側に備えてもよい。
【００１７】
この態様では、衝突緩衝部材は、回転軸で回転することにより、傾動する。衝突緩衝部材は、自重によって傾斜状態となる。また、衝突緩衝部材は、スリットノズルの下降を利用して回転し、平行状態となる。従って、スリットノズル洗浄装置は、回転軸を回転させるモータ等の駆動源を備える必要がない。
【００１８】
また、前記衝突緩衝部材は、前記端部側と反対側の下部に切欠面を有してもよい。スクレーパがスリットノズル洗浄後にスリットノズル側から衝突緩衝部材に向かって移動すると、スクレーパからの押し付ける力は、特に当該下部にかかる。この態様では、スクレーパからの力がかかりやすい部分を切り欠いているため、スリットノズル洗浄装置は、スリットノズル洗浄後にスクレーパがスリットノズル側から衝突緩衝部材に向かって移動する際に、衝突緩衝部材との衝突をより緩衝させる。
【００１９】
また、本発明は、スリットノズル洗浄装置に限らず、上述のスリットノズル洗浄装置と、前記ワークと前記スリットノズルとを相対的に移動させる搬送機構と、前記スリットノズルから前記塗布液を供給する塗布液供給機構と、を備えたワーク用塗布装置であってもよい。
【発明の効果】
【００２０】
この発明によると、スクレーパとスリットノズルの側面の縁との衝突を最小限に抑えるように衝突緩衝部材の配置が調整されても、スリットノズル洗浄後にスクレーパがスリットノズル側から衝突緩衝部材に向かって移動する際に、衝突緩衝部材を端部が持ち上がるように傾動させるため、スクレーパと衝突緩衝部材の端部との衝突も緩衝される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態に係る基板用塗布装置の上面図である。
【図２】本実施形態に係る基板用塗布装置の側面図である。
【図３】衝突緩衝部材及びスリットノズルの斜視図である。
【図４】（Ａ）は、衝突緩衝部材の側面図であり、（Ｂ）は、衝突緩衝部材の上面図である。
【図５】（Ａ）は、スリットノズルの下降中における傾斜状態の衝突緩衝部材の側面図であり、（Ｂ）は、スリットノズル下降後における平行状態の衝突緩衝部材の側面図である。
【図６】（Ａ）は、スリットノズル上昇後における傾斜状態の衝突緩衝部材の側面図であり、（Ｂ）は、スクレーパの戻り移動中における平行状態の衝突緩衝部材の側面図である。
【図７】（Ａ）は、変形例に係る衝突緩衝部材の平行状態の側面図であり、（Ｂ）は、変形例に係る衝突緩衝部材の平行状態の下面図である。
【図８】（Ａ）は、従来のスリットノズルの洗浄を説明するための図であり、（Ｂ）は、Ａ−Ａ断面図であり、（Ｃ）は、Ｂ−Ｂ断面図である
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る基板用塗布装置１０は、メインフレーム１、サブフレーム２、上流側コンベア３、中間コンベア４、下流側コンベア５、スリットノズル６、スリットノズル洗浄機構８、及びコントローラ部１００を備えている。
【００２３】
コントローラ部１００は、メインフレーム１に接続されている。コントローラ部１００は、メインフレーム１及びサブフレーム２の各駆動部品の動作、並びにスリットノズル６からの塗布液の供給を制御する。また、コントローラ部１００は、スリットノズル洗浄機構８の各駆動部品の動作を制御する。
【００２４】
メインフレーム１は、上面にサブフレーム２を保持している。上流側コンベア３、中間コンベア４、及び下流側コンベア５は、それぞれレール（不図示）によってメインフレーム１の上方に保持されている。また、メインフレーム１は、保持部材６Ａを介してスリットノズル６を中間コンベア４の上方に保持している。
【００２５】
スリットノズル６は、保持部材６Ａの駆動部（不図示）によって、中間コンベア４の上方の吐出位置及び退避位置の間で昇降する。退避位置は、吐出位置より上方の位置である。図２に示すように、スリットノズル６は、基板用塗布装置１０を側面視すると、先端が絞り込まれた形状からなる。スリットノズル６は、当該先端で開放されたスリットからレ塗布液を吐出する。塗布液としては、例えば、レジスト液及びインクが利用可能である。
【００２６】
上流側コンベア３、中間コンベア４、及び下流側コンベア５は、それぞれ複数のローラ３１，４１，５１を備えている。ローラ３１，４１，５１は、モータ（不図示）からの駆動力によって回転する。すると、上流側コンベア３、中間コンベア４、及び下流側コンベア５は、ガラス基板を上流側から下流側に向けて直線状に搬送する。ただし、基板用塗布装置１０は、ガラス基板とスリットノズル６が相対的に移動すればよく、例えばガラス基板を固定してスリットノズル６をスリット方向と直交する方向に移動させる態様であっても構わない。また、ガラス基板の搬送は、コンベアではなく、ベルト又はチェーン等の機構によって実現されてもよい。さらに、基板用塗布装置１０は、ガラス基板に限らず、塗布の対象となる膜状の部材（ワーク）を搬送してもよい。
【００２７】
スリットノズル洗浄機構８は、洗浄台８０、スクレーパ保持部材８１、及び衝突緩衝部材７を備えている。スリットノズル洗浄機構８とコントローラ部１００との組は、本発明のスリットノズル洗浄装置に相当する。
【００２８】
洗浄台８０は、上面が開放された箱形状であり、サブフレーム２によって保持されている。スクレーパ保持部材８１は、洗浄台８０の内部に保持されている。洗浄台８０は、スクレーパ保持部材８１を保持した状態で、中間コンベア４の上方で、基板の搬送方向に平行に往復移動する。
【００２９】
なお、スリットノズル洗浄機構８は、洗浄台８０の内部にプライミングローラを備えてもよい。これにより、基板用塗布装置１０は、スリットノズル６内の経時劣化したレジスト液をプライミングローラの周面に吐出するプライミング処理を行うことが可能になる。
【００３０】
図２に示すように、スクレーパ保持部材８１は、移動機構（不図示）からの駆動力によって、基板の搬送方向と直交する方向のガイド８２に沿って洗浄台８０の内部で往復移動する。洗浄台８０は、退避位置及びスリットノズル洗浄位置で停止する。洗浄台８０がスリットノズル洗浄位置で停止すると、スリットノズル６のスリットとガイド８２とが同一鉛直面に含まれるようになる。
【００３１】
図２に示すように、スクレーパ保持部材８１は、基板用塗布装置１０を側面視すると、上面がＶ字状となっている。スクレーパ保持部材８１は、洗浄台８０がスリットノズル洗浄位置に移動し、かつスリットノズル６が洗浄位置（ただし、退避位置より下方の位置である。）に降下すると、Ｖ字状の上面がスリットノズル６の先端６３を構成する側面６１，６２に近接する。
【００３２】
スクレーパ保持部材８１は、Ｖ字状の上面に、スクレーパ８３及びスクレーパ８４を備えている。スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、それぞれ略三角柱の形状の弾性体（例えばゴム）からなる。スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、それぞれ三角柱の側面（保持面）でスクレーパ保持部材８１のＶ字状の面に保持されている。スクレーパ８３及びスクレーパ８４の保持面と異なる面（当接面）は、スリットノズル６の側面６１、及び側面６２に略当接する。
【００３３】
スクレーパ保持部材８１は、スクレーパ８３及びスクレーパ８４がスリットノズル６の側面６１及び側面６２に当接した状態で、コントローラ部１００の制御によりガイド８２に沿って開始位置９００から終了位置９０１まで洗浄方向に移動する。ただし、洗浄方向は、図１に示す方向と逆方向であってもよい。
【００３４】
このようにスクレーパ８３及びスクレーパ８４が移動すると、スリットノズル６の側面６１，６２に付着していたレジスト液が掻き取られる。掻き取られたレジスト液は、洗浄台８０の内部に一時的に溜まった後、排出される。ただし、図１及び図２に示すスクレーパ８３及びスクレーパ８４は例示であり、スリットノズル６の側面６１，６２に付着していたレジスト液を掻き取れば、どのような形状であっても構わず、例えばスクレーパ８３及びスクレーパ８４が一体となった形状でもよい。
【００３５】
衝突緩衝部材７は、スクレーパ保持部材８１の移動中のスクレーパ８３及びスクレーパ８４のスリットノズル６への衝突を緩衝するものである。衝突緩衝部材７は、ガイド８２の上方に配置されている。衝突緩衝部材７の位置は、洗浄台８０がスリットノズル洗浄位置で停止すると、スリットノズル６の位置と開始位置９００との間である。
【００３６】
より具体的には、衝突緩衝部材７は、保持部材８５及び回転軸８６（本発明の傾動機構に相当する。）を介して洗浄台８０に保持されている。保持部材８５は、洗浄台８０に固定されている。回転軸８６は、衝突緩衝部材７に軸支されている。回転軸８６は、軸方向がスリットノズル６のスリット方向に直交し、かつ水平面に平行である。これにより、衝突緩衝部材７は、回転軸８６を中心に回転自在となる。洗浄台８０は、衝突緩衝部材７を保持した状態で、中間コンベア４の上方で、基板の搬送方向に平行に往復移動する。
【００３７】
図３に示すように、衝突緩衝部材７は、外側に緩衝面７１及び緩衝面７２を有している。緩衝面７１及び緩衝面７２は、それぞれスクレーパ８３及びスクレーパ８４とスリットノズル６との衝突を緩衝するものである。緩衝面７１及び緩衝面７２は、それぞれ平面状であり、それぞれ所定の厚みを有する板からなる。
【００３８】
図４（Ａ）に示すように、緩衝面７１は、スリットノズル６側に端部７３を有している。緩衝面７１を構成する板は、端部７３側と反対側に近づくにつれて厚みが徐々に薄くなっている。すなわち、緩衝面７１は、端部７３側と反対側で法線方向と逆方向に極わずかに傾斜している。緩衝面７２は、スリットノズル６側に端部（不図示）を有している。緩衝面７２を構成する板は、当該端部側と反対側に近づくにつれて厚みが徐々に薄くなっている。すなわち、緩衝面７２は、当該端部側と反対側で法線方向と逆方向に極わずかに傾斜している。緩衝面７１及び緩衝面７２の傾斜は、スリットノズル６の洗浄時にスクレーパ８３及びスクレーパ８４に徐々に押し付けられるために、設定されている。
【００３９】
図３に示すように、緩衝面７１及び緩衝面７２は、下方で接合されており、接合部でエッジを形成している。衝突緩衝部材７は、スリット方向に沿って視ると、すなわち、基板用塗布装置１０を側面視すると、Ｖ字状になっている。衝突緩衝部材７は、スリットノズル６の形状に合わせて当該Ｖ字状に形成されている。ただし、当該エッジは、緩衝面７１及び緩衝面７２の接合によって形成されるに限らず、１枚の板を折り曲げることによって形成されてもよい。
【００４０】
図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、衝突緩衝部材７は、スリットノズル６側に押圧部７５（図４（Ｂ）の薄墨に示す）を備えている。押圧部７５は、例えば平面形状であり、水平面に対する当該平面の傾斜角がスリットノズル６の側面６４（図３及び図５（Ａ）を参照。）の傾斜角を考慮して形成されている。ただし、押圧部７５は、平面形状に限らず、スリットノズル６からの下方向への押圧力がかかればどんな形状でも構わない。
【００４１】
以下、図４（Ａ）に示す衝突緩衝部材７の状態を平行状態と称す。平行状態では、緩衝面７１及び緩衝面７２の接合部であるエッジは、方向がスリット方向に平行となっている。
【００４２】
回転軸８６は、緩衝面７１及び緩衝面７２で軸支されている。回転軸８６は、緩衝面７２を構成する板を貫通している。
【００４３】
図５（Ａ）に示すように、回転軸８６は、衝突緩衝部材７の重心位置を考慮して位置が設定されており、具体的には衝突緩衝部材７を側面視すると、緩衝面７１のうち端部７３側に位置が設定されている。同様に、回転軸８６は、緩衝面７２のうち、スリットノズル６側の端部側の位置に設定されている。これにより、衝突緩衝部材７は、回転軸８６を中心として端部７３側が端部７３側と反対側より軽くなっている。従って、図５（Ａ）の傾斜状態に示すように、衝突緩衝部材７は、スリットノズル洗浄機構８が回転軸８６を回転させるモータ等の駆動源を有さなくても、自重で回転している。衝突緩衝部材７の自重による回転によって、緩衝面７１の端部７３は、持ち上がっている。同様に、衝突緩衝部材７の自重による回転によって、緩衝面７２のスリットノズル６側の端部は、持ち上がっている。なお、スリットノズル洗浄機構８は、衝突緩衝部材７の回転範囲を設定するために、ストッパ等を備えてもよい。
【００４４】
衝突緩衝部材７は、洗浄台８０がスリットノズル洗浄位置で停止すると、端部７３側でスリットノズル６の先端６３に近接する。この状態で、図５（Ａ）の白抜き矢印に示す方向にスリットノズル６が降下すると、スリットノズル６の側面６４と押圧部７５とが接触する。さらに、スリットノズル６が降下すると、押圧部７５には、側面６４からの下方向の押圧力がかかる。衝突緩衝部材７は、この押圧力によって端部７３が下方に移動する方向に回転する。スリットノズル６が洗浄位置まで降下すると、衝突緩衝部材７は、図５（Ｂ）に示すように、平行状態となる。衝突緩衝部材７が平行状態になると、緩衝面７１は、端部７３でスリットノズル６の側面６１と面一となる。同様に、緩衝面７２は、端部でスリットノズル６の側面６２と面一となる。
【００４５】
以上のように、衝突緩衝部材７は、スリットノズル６の下降を利用することにより回転して平行状態となる。衝突緩衝部材７は、平行状態になると、緩衝面７１及び緩衝面７２がそれぞれスリットノズル６の側面６１及び側面６２と面一となる。すなわち、衝突緩衝部材７は、スリットノズル６の下降を利用してスリットノズル６の清掃に適した配置及び姿勢となる。従って、スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、スクレーパ保持部材８１が開始位置９００から終了位置９０１に移動する最中に、緩衝面７１及び緩衝面７２に徐々に押し付けられるため、それぞれ衝突緩衝部材７に強く衝突することがない。スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、緩衝面７１及び緩衝面７２が端部側でスリットノズル６の側面６１及び側面６２と面一となるため、それぞれ側面６１及び側面６２の縁（側面６４の縁）と衝突することがない。このように、衝突緩衝部材７は、スクレーパ８３及びスクレーパ８４のスリットノズル６の側面６１及び側面６２の縁（側面６４の縁）との衝突を緩衝する。
【００４６】
スクレーパ保持部材８１が終了位置９０１まで移動してスリットノズル６の洗浄が終わると、スリットノズル６は、退避位置まで上昇する。
【００４７】
図６（Ａ）の傾斜状態に示すように、衝突緩衝部材７は、スリットノズル６が上昇すると、自重により回転することにより、端部７３が持ち上がっている。この傾斜状態で、スクレーパ保持部材８１は、終了位置９０１から洗浄方向と逆方向に移動して開始位置９００に戻る。スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、衝突緩衝部材７の端部７３が持ち上がっているため、スクレーパ保持部材８１が開始位置９００に戻る際に、端部７３と強く衝突することがない。
【００４８】
スクレーパ保持部材８１が端部７３からさらに開始位置９００に向かって移動すると、スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、それぞれ徐々に緩衝面７１及び緩衝面７２に押し付けられる。スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、特に、それぞれ緩衝面７１の下部７７及び緩衝面７２の下部（不図示）に押し付けられる。基板の搬送方向に沿って視て、スクレーパ８３と緩衝面７１との当接部が回転軸８６より開始位置９００側になると、衝突緩衝部材７は、スクレーパ８３からの押圧力の上方への分力によって、端部７３が下方に移動する方向に回転する。当該上方への分力で衝突緩衝部材７が回転するため、スクレーパ８３から緩衝面７１に過剰に押圧力かかることがない。同様に、上方への分力で衝突緩衝部材７が回転するため、スクレーパ８４から緩衝面７２に過剰に押圧力がかかることがない。
【００４９】
このように、衝突緩衝部材７は、スクレーパ保持部材８１が開始位置９００に戻る駆動力を利用して、回転する。スクレーパ保持部材８１の開始位置９００への移動に伴って衝突緩衝部材７が回転することにより、スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、それぞれ緩衝面７１及び緩衝面７２に強く衝突することがない。
【００５０】
以上のように、スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、スクレーパ保持部材８１が開始位置９００から終了位置９０１に移動する際も、終了位置９０１から開始位置９００に戻る際も、スリットノズル６の側面６１及び側面６２の縁（側面６４の縁）、並びに衝突緩衝部材７に強く衝突することがない。これにより、スリットノズル洗浄機構８及びコントローラ部１００の組は、強い衝突によるスクレーパ８３及びスクレーパ８４の破損、及びスクレーパ保持部材８１を移動させる移動機構への影響を防止することができる。
【００５１】
なお、上述の例は、衝突緩衝部材７は、スリットノズル６からの押圧力及び自重によって回転していたが、モータ等の駆動源が回転軸８６を回転させることによって回転しても構わない。回転軸８６が駆動源によって回転される場合、衝突緩衝部材７の重心位置によらない軸支位置の設定が可能となる。
【００５２】
また、上述の例では、衝突緩衝部材７は、洗浄台８０に固定された保持部材８５が回転軸８６を軸支することにより保持されていたが、上方から懸架されて保持されても構わない。
【００５３】
また、スリットノズル洗浄機構８は、衝突緩衝部材８６を回転させず、平行状態及び傾斜状態に傾動させる態様であっても構わない。例えば、スリットノズル洗浄機構８は、端部７３側と端部７３の反対側とを交互に上下方向に昇降させることによって、衝突緩衝部材７を傾動させる。
【００５４】
また、衝突緩衝部材７は、緩衝面７１及び緩衝面７２で下方を覆う中空形状であったが、中空部が埋められた形状であってもよい。また、緩衝面７１及び緩衝面７２は、平面に限らず、端部でスリットノズル６の側面６１及び側面６２とそれぞれ面一になれば、それぞれ曲面であってもよい。
【００５５】
また、保持部材８５は、洗浄台８０に固定されるに限らず、衝突緩衝部材７が適切な洗浄位置に配置されればよく、例えばサブフレーム２に固定されてもよい。
【００５６】
図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示すように、変形例に係る衝突緩衝部材７Ａは、切欠面７８を有す点において衝突緩衝部材７と相違する。衝突緩衝部材７Ａは、下部７７Ａの端部７３側と反対側に切欠面７８（図７（Ｂ）の薄墨に示す）を有している。切欠面７８は、基板の搬送方向に沿った軸で水平面から傾斜している。すなわち、衝突緩衝部材７Ａは、衝突緩衝部材７の下部７７が切欠面７８によって切欠けられた形状である。緩衝面７１Ａは、緩衝面７１の端部７３と反対側の下部７７の角が切欠けられた形状である。緩衝面７２Ａは、緩衝面７２の端部と反対側の下部の角が切欠けられた形状である。
【００５７】
上述のように、スクレーパ保持部材８１が開始位置９００に戻る際に、衝突緩衝部材７は、スクレーパ８３及びスクレーパ８４によって特に下部で押さえつけられる。衝突緩衝部材７Ａは、スクレーパ８３及びスクレーパ８４からの押圧力がかかりやすい部分が切欠面７８によって切欠けられていることにより、スリットノズル洗浄後にスクレーパ保持部材８１が開始位置９００に戻る際のスクレーパ８３及びスクレーパ８４との衝突をより緩衝することができる。
【００５８】
さらに、切欠面７８の傾斜及び大きさを調整することにより、スクレーパ８３及びスクレーパ８４が衝突緩衝部材７Ａと全く接触しないようにすることも可能である。これにより、衝突緩衝部材７Ａは、スリットノズル６の洗浄後にスクレーパ８３及びスクレーパ８４に付着した塗布液にも接触することがない。従って、切欠面７８の傾斜及び大きさを調整することにより、塗布液付着による衝突緩衝部材７Ａの汚染及び劣化が防止される。なお、スクレーパ８３及びスクレーパ８４は、スリットノズル６の洗浄後に洗浄されるため、再びスリットノズル６を洗浄する際に衝突緩衝部材７Ａに塗布液を付着させることがない。
【００５９】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００６０】
１…メインフレーム
２…サブフレーム
３…上流側コンベア
４…中間コンベア
５…下流側コンベア
６…スリットノズル
６Ａ…保持部材
７，７Ａ…衝突緩衝部材
８…スリットノズル洗浄機構
１０…基板用塗布装置
３１，４１，５１…ローラ
６１，６２…側面
６３…先端
６４…側面
７１，７１Ａ，７２，７２Ａ…緩衝面
７３…端部
７５…押圧部
７７，７７Ａ…下部
７８…切欠面
８０…洗浄台
８１…スクレーパ保持部材
８２…ガイド
８３，８４…スクレーパ
８５…保持部材
８６…回転軸
１００…コントローラ部
８０１…衝突緩衝部材
８０２…緩衝面
８０３…端部
８１０…スクレーパ
９００…開始位置
９０１…終了位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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