(57)【要約】【課題】微細な濾過構造部を有し、優れたフィルター機能を発現するフィルターを提供する。【解決手段】フィルター３１、複数の単位部材４１積層された積層体３２を備えるものとし、単位部材４１を、平板形状の基材４２の対向する一対の主面４３ａ，４３ｂの一方の主面４３ａに位置する溝部４４を有するものとし、複数の単位部材４１を主面が当接するように積層して上記の積層体３２とし、溝部４４が位置することにより他方の主面４３ｂに存在する基材４２の薄肉部４５で区画された複数の流路３４を有する濾過構造部３３を備えるものとする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板形状の基材と、該基材の対向する一対の主面の一方に位置して前記基材の一方の側から対向する他方の側に至る溝部と、を有する複数の単位部材が、前記主面を当接するように積層された積層体を備えるとともに、前記溝部が位置することにより他方の前記主面に存在する前記基材の薄肉部で区画された複数の流路を有する濾過構造部を備えることを特徴とするフィルター。
【請求項２】
前記積層体は、前記溝部が位置する主面が同じ方向となるように前記単位部材を複数積層したものであることを特徴とする請求項１に記載のフィルター。
【請求項３】
前記積層体は、前記溝部が対向するように１組の前記単位部材が積層されてなる単位積層体を複数積層したものであることを特徴とする請求項１に記載のフィルター。
【請求項４】
前記薄肉部は前記単位部材の前記基材の端に位置しており、前記積層体の一の面に配列している複数の前記薄肉部に当接する蓋部材を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のフィルター。
【請求項５】
前記単位部材は、前記薄肉部に切欠き部または貫通孔部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のフィルター。
【請求項６】
前記単位部材は、前記薄肉部を除く前記基材に一方の前記主面から他方の前記主面に至る貫通口を有し、該貫通口は前記濾過構造部とは別の濾過構造部を構成していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルター。
【請求項７】
前記単位部材は、前記溝部とは異なる溝部を有し、該溝部は前記濾過構造部とは別の濾過構造部を構成していることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のフィルター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルターに係り、特に流体中に含まれる異物の除去、あるいは、流体中に含まれる生成物の回収等に使用することができるフィルターに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、飲料製造においては、飲料中に含まれる粒子のなかで除去が必要なものがある場合、フィルターを用いた除去工程が設けられている。流体中に含まれる粒子を除去するフィルターとしては、従来から、金網やパンチングメタル（板材に所望の大きさの孔部を機械的に穿設したもの）を組み合わせた積層型のフィルターが使用されている。このようなフィルターは、金網が有する開口径（ワイヤー間距離）の大きさにより、捕獲できる粒子の大きさを見込み、流体の物性、除去対象となる粒子の大きさ等に応じて、所望の開口径を有する金網が使用されていた。
しかし、金網を用いた積層型のフィルターでは、通過させる粒子と捕獲する粒子の制御が不安定であった。また、３次元的に入り組んだ構造の金網中に捕獲された粒子の除去が難しく、メンテナンス性に問題があった。特に飲料製造等のように衛生上の厳しい環境管理が要求される工程では、メンテナンス時の洗浄で粒子が除去しきれずに残留しているフィルターは、再使用せずに交換を余儀なくされていた。
上記のような問題を解消するために、孔部を形成した金属薄板を積層したフィルターが提案されている。例えば、金属薄板に対してエッチング加工を行って貫通孔を穿設して孔部を形成し、このような金属薄板を積層して、孔部の大きさと金属薄板の合計板厚で計算されるアスペクト比を向上させたフィルターが提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−１０９９８５号公報
【特許文献２】特開２０１１−１４７８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような金属薄板を積層したフィルターでは、フィルター機能を発現する孔部のアスペクト比を向上させるためには、複数枚の金属薄板を積層する必要があるが、積層時の孔部同士の位置ズレが発生して、フィルター内部の孔部中に段差が生じて、開口寸法（フィルタ寸法）の精度低下が発生し、良好なフィルター機能を得ることが難しいという問題があった。特に、捕獲対象の粒子が微小であって孔部が微細になるほど、積層時の精度低下が問題であった。
本発明は上述のような実情に鑑みてなされたものであり、微細な濾過構造部を有し、優れたフィルター機能を発現するフィルターを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するために、本発明のフィルターは、平板形状の基材と、該基材の対向する一対の主面の一方に位置して前記基材の一方の側から対向する他方の側に至る溝部と、を有する複数の単位部材が、前記主面を当接するように積層された積層体を備えるとともに、前記溝部が位置することにより他方の前記主面に存在する前記基材の薄肉部で区画された複数の流路を有する濾過構造部を備えるような構成とした。
【０００６】
本発明の他の態様として、前記積層体は、前記溝部が位置する主面が同じ方向となるように前記単位部材を複数積層したものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記積層体は、前記溝部が対向するように１組の前記単位部材が積層されてなる単位積層体を複数積層したものであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記薄肉部は前記単位部材の前記基材の端に位置しており、前記積層体の一の面に配列している複数の前記薄肉部に当接する蓋部材を有するような構成とした。
【０００７】
本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記薄肉部に切欠き部または貫通孔部を有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記薄肉部を除く前記基材に一方の前記主面から他方の前記主面に至る貫通口を有し、該貫通口は前記濾過構造部とは別の濾過構造部をなしているような構成とした。
本発明の他の態様として、前記単位部材は、前記溝部とは異なる溝部を有し、該溝部は前記濾過構造部とは別の濾過構造部をなしているような構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のフィルターは、濾過構造部の寸法精度が高く、捕獲対象の粒子寸法に応じた濾過構造部の寸法制御が可能な構造であり、優れたフィルター機能を発現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図である。
【図２】図２は、図１に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図３】図３は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図４】図４は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図５】図５は、図４に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図６】図６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図７】図７は、図６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図８】図８は、図６に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。
【図９】図９は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１０】図１０は、図９に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図１１】図１１は、図９に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。
【図１２】図１２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１３】図１３は、図１２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図１４】図１４は、単位部材の他の例を示す斜視図である。
【図１５】図１５は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１６】図１６は、図１５に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図１７】図１７は、単位部材の他の例を示す斜視図である。
【図１８】図１８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図１９】図１９は、図１８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図２０】図２０は、図１８に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。
【図２１】図２１は、単位部材と単位積層体の他の例を示す斜視図である。
【図２２】図２２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図２３】図２３は、図２２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図２４】図２４は、図２２に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。
【図２５】図２５は、単位部材と単位積層体の他の例を示す斜視図である。
【図２６】図２６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図２７】図２７は、図２６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図２８】図２８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図２９】図２９は、図２８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図３０】図３０は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図である。
【図３１】図３１は、図３０に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。
【図３２】図３２は、図３０に示されるフィルターを構成する単位積層体の斜視図である。
【図３３】図３３は、本発明のフィルターを作製する一例を説明するための斜視図である。
【図３４】図３４は、本発明のフィルターを作製する他の例を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
尚、図面は模式的または概念的なものであり、各部材の寸法、部材間の大きさの比等は、必ずしも現実のものと同一とは限らず、また、同じ部材等を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比が異なって表される場合もある。
【００１１】
［第１の実施形態］
図１は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図２は、図１に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１および図２において、フィルター１１は、複数の単位部材２１と単位部材２１′が積層されてなる積層体１２と、蓋部材１５を有している。
積層体１２を構成する単位部材２１は、平板形状の基材２２と、この基材２２の対向する一対の主面２３ａ，２３ｂの一方の主面２３ａに位置して基材２２の一方の側２２ａから対向する他方の側２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２４と、基材２２において溝部２４が位置する部位の主面２３ｂ側に位置している薄肉部２５と、を有している。溝部２４の寸法は、後述する流路１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部２５は基材２２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。
また、積層体１２を構成する単位部材２１′は平板形状であり、溝部２４および薄肉部２５を備えていない他は、上記の単位部材２１と同様である。
【００１２】
このような単位部材２１は、一の単位部材２１の主面２３ａと、隣接する他の単位部材２１の主面２３ｂとを当接し、溝部２４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材２１のうち、最外側に位置して主面２３ａと溝部２４が露出している単位部材２１の主面２３ａには、単位部材２１′が接合されている。尚、図３に示されるように、積層された４個の単位部材２１のうち、最外側に位置している単位部材２１の溝部２４を後述する流路として使用しない場合には、単位部材２１′が接合されていないものであってもよい。図示例では、４個の単位部材２１が積層されているが、積層体１２を構成する単位部材２１の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１５は、積層体１２の一の面に配列している複数の単位部材２１の肉薄部２５と、単位部材２１′に当接し、溝部２４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１１は、肉薄部２５で区画された溝部２４からなる流路１４を有する濾過構造部１３を備え、この濾過構造部１３は流路１４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
【００１３】
単位部材２１，２１′の材質は、例えば、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系のステンレス鋼、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、ニオブ、タンタル、ジルコニウム、コバルト合金、クロム合金、モリブデン合金、タングステン合金等であってよい。このような単位部材２１の厚みＴは、例えば、２０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１５０μｍの範囲であることが好適である。
また、溝部２４の寸法は、上述した流路１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部２４の寸法を設定することができる。このような溝部２４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００１４】
単位部材２１，２１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
また、蓋部材１５の材質は、単位部材２１，２１′の材質と同じもの、あるいは、異なるものであってよく、単位部材２１，２１′との接合を考慮して適宜選択することができる。
このようなフィルター１１では、濾過構造部１３に供給され流路１４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
【００１５】
図４は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図５は、図４に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図４および図５において、フィルター３１は、複数の単位部材４１と単位部材４１′が積層されてなる積層体３２を有している。
積層体３２を構成する単位部材４１は、平板形状の基材４２と、この基材４２の対向する一対の主面４３ａ，４３ｂの一方の主面４３ａに位置して基材４２の一方の側４２ａから対向する他方の側４２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部４４と、基材４２において溝部４４が位置する部位の主面４３ｂ側に位置している薄肉部４５と、を有している。溝部４４の寸法は、後述する流路３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部４５は基材４２の図示Ｚ方向の端から離間した部位に位置している。
また、積層体３２を構成する単位部材４１′は平板形状であり、溝部４４および薄肉部４５を備えていない他は、上記の単位部材４１と同様である。
【００１６】
このような単位部材４１は、一の単位部材４１の主面４３ａと、隣接する他の単位部材４１の主面４３ｂとを当接し、溝部４４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材４１のうち、最外側に位置して主面４３ａと溝部４４が露出している単位部材２１には、その主面４３ａに単位部材４１′が接合されている。尚、積層された４個の単位部材４１のうち、最外側に位置している単位部材４１の溝部４４を後述する流路として使用しない場合には、単位部材４１′が配設されていないものであってもよい。また、図示例では、４個の単位部材４１が積層されているが、積層体３２を構成する単位部材４１の数はこれに限定されるものではない。
【００１７】
また、単位部材４１の溝部４４は、主面４３ａに複数本並行に形成してもよい。溝部４４を複数本並行に形成することで、フィルター３１は１つの主面４３ａに複数本の並行した流路３４を形成することができ、流路の数を増やしてフィルター３１の圧力損失を低減することができる。
このようなフィルター３１は、肉薄部４５で区画された溝部４４からなる流路３４を有する濾過構造部３３を備え、この濾過構造部３３は流路３４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター３１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材４１，４１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、溝部４４の寸法は、上述した流路３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部４４の寸法を設定することができる。このような溝部４４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００１８】
単位部材４１、単位部材４１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター３１では、濾過構造部３３に供給され流路３４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
上述のフィルター１１，３１は、使用する単位部材２１，４１の溝部２４，４４の寸法、長さにより、流路１４，３４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材２１、単位部材４１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２２，４２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１４，３４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部１３，３３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
【００１９】
［第２の実施形態］
図６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図７は、図６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図６および図７において、フィルター５１は、複数の単位部材６１が積層されてなる積層体５２と、蓋部材５５を有している。
積層体５２を構成する単位部材６１は、平板形状の基材６２と、この基材６２の対向する一対の主面６３ａ，６３ｂの一方の主面６３ａに位置して基材６２の一方の側６２ａから対向する他方の側６２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部６４と、基材６２において溝部６４が位置する部位の主面６３ｂ側に位置している薄肉部６５と、を有している。溝部６４の寸法は、後述するように１組の単位部材６１が単位積層体６０を構成することにより、後述する流路５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部６５は基材６２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。
【００２０】
このような単位部材６１は、図８に示されるように、１組の単位部材６１が溝部６４を対向するように主面６３ａ同士を当接して積層され、単位積層体６０を構成している。そして、この単位積層体６０が、溝部６４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。尚、図示例では、３組の単位積層体６０、計６個の単位部材６１が積層されているが、積層体５２を構成する単位積層体６０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材５５は、積層体５２の一の面に配列している複数の肉薄部６５に当接し、溝部６４を覆うように接合されている。
このようなフィルター５１は、当接された２個の単位部材６１の肉薄部６５で区画された対向する２個の溝部６４からなる流路５４を有する濾過構造部５３を備え、この濾過構造部５３は流路５４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター５１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材６１の材質は、上述の単位部材２１と同様とすることができる。
【００２１】
また、溝部６４の寸法は、単位積層体６０において１組の溝部６４が対向することで、上述した流路５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部６４の寸法を設定することができる。このような溝部６４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００２２】
この実施形態では、流路５４の幅Ｗ１が、溝部６４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第１の実施形態において、使用する単位部材２１の基材２２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部２４が深くなって薄肉部２５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材６１における溝部６４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部６５を厚くすることができ、さらに、単位積層体６０を積層することにより、各流路５４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部６５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
単位部材６１の接合、単位積層体６０の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
また、蓋部材５５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
このようなフィルター５１では、濾過構造部５３に供給され流路５４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
【００２３】
図９は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図１０は、図９に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図９および図１０において、フィルター７１は、複数の単位部材８１が積層されてなる積層体７２を有している。
積層体７２を構成する単位部材８１は、平板形状の基材８２と、この基材８２の対向する一対の主面８３ａ，８３ｂの一方の主面８３ａに位置して基材８２の一方の側８２ａから対向する他方の側８２ｂに至るように図示のＸ方向に沿った溝部８４と、基材８２において溝部８４が位置する部位の主面８３ｂ側に位置している薄肉部８５と、を有している。溝部８４の寸法は、後述するように１組の単位部材８１が単位積層体８０を構成することにより後述する流路７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部８５は基材８２の図示Ｚ方向の端から離間した部位に位置している。
【００２４】
このような単位部材８１は、図１１に示されるように、１組の単位部材８１が溝部８４を対向するように主面８３ａ同士を当接して積層され、単位積層体８０を構成している。そして、この単位積層体８０が、溝部８４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。尚、図示例では、３組の単位積層体８０、計６個の単位部材８１が積層されているが、積層体７２を構成する単位積層体８０の数はこれに限定されるものではない。
また、単位部材８１の溝部８４は、主面８３ａに複数本並行に形成してもよい。溝部８４を複数本並行に形成することで、フィルター７１は１つの単位積層体８０に複数本の並行した流路７４を形成することができ、流路の数を増やしてフィルター７１の圧力損失を低減することができる。
このようなフィルター７１は、当接された２個の単位部材８１の肉薄部８５で区画された対向する２個の溝部８４からなる流路７４を有する濾過構造部７３を備え、この濾過構造部７３は流路７４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター７１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材８１の材質は、上述の単位部材２１と同様とすることができる。
【００２５】
また、溝部８４の寸法は、単位積層体８０において１組の溝部８４が対向することで、上述した流路７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部８４の寸法を設定することができる。このような溝部８４は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
この実施形態では、流路７４の幅Ｗ１が、溝部８４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第１の実施形態において、使用する単位部材４１の基材４２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部４４が深くなって薄肉部４５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材８１における溝部８４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部８５を厚くすることができ、さらに、単位積層体８０を積層することにより、各流路７４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部８５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
【００２６】
単位部材８１の接合、単位積層体８０の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター７１では、濾過構造部７３に供給され流路７４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
上述のようなフィルター５１，７１は、使用する単位部材６１，８１の溝部６４，８４の寸法、長さにより、流路５４，７４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、特に流路５４，７４の幅Ｗ１は単位部材６１、単位部材８１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材６２，８２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路５４，７４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部５３，７３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。さらに、設定される通過粒子の最大径に影響されることなく、十分に高い強度を具備するものである。
【００２７】
［第３の実施形態］
図１２は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図１３は、図１２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１２および図１３において、フィルター９１は、複数の単位部材１０１と単位部材１０１′、単位部材１０１″が積層されてなる積層体９２と、蓋部材９５を有している。尚、図１２では、積層体９２と蓋部材９５とが離間した状態を示している。
積層体９２を構成する単位部材１０１は、平板形状の基材１０２と、この基材１０２の対向する一対の主面１０３ａ，１０３ｂの一方の主面１０３ａに位置して基材１０２の一方の側１０２ａから対向する他方の側１０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１０４と、基材１０２において溝部１０４が位置する部位の主面１０３ｂ側に位置している薄肉部１０５と、この薄肉部１０５に位置する複数の切欠き部１０６と、を有している。溝部１０４の寸法は、後述する流路９４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１０５は基材１０２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。この薄肉部１０５に位置する切欠き部１０６の幅Ｗ２は、後述する流路９４を流れる流体が切欠き部１０６を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
【００２８】
また、積層体９２を構成する単位部材１０１′は平板形状であり、溝部１０４、薄肉部１０５、切欠き部１０６を備えていない他は、上記の単位部材１０１と同様である。さらに、積層体９２を構成する単位部材１０１″は平板形状であり、切欠き部１０６を備えていない他は、上記の単位部材１０１と同様である。
このような単位部材１０１は、一の単位部材１０１の主面１０３ａと、隣接する他の単位部材１０１の主面１０３ｂとを当接し、溝部１０４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材１０１のうち、一方の最外側に位置して主面１０３ａと溝部１０４が露出している単位部材１０１には、その主面１０３ａに単位部材１０１′が接合されている。また、他方の最外側に位置して主面１０３ｂと切欠き部１０６が露出している単位部材１０１の主面１０３ｂには、単位部材１０１″がその主面１０３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材１０１が積層されているが、積層体９２を構成する単位部材１０１の数はこれに限定されるものではない。
【００２９】
また、蓋部材９５は、積層体９２の一の面に配列している複数の単位部材１０１の薄肉部１０５と単位部材１０１″の肉薄部１０５、および、単位部材１０１′に当接し、溝部１０４と切欠き部１０６を覆うように接合されている。
このようなフィルター９１は、肉薄部１０５で区画された溝部１０４からなる流路９４を有する濾過構造部９３を備え、この濾過構造部９３は流路９４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター９１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１０１、単位部材１０１′、単位部材１０１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材９５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
【００３０】
溝部１０４の寸法は、上述した流路９４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部１０４の寸法を設定することができる。また、薄肉部１０５に位置する切欠き部１０６は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路９４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この切欠き部１０６の幅Ｗ２と流路９４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。尚、図示例では、切欠き部１０６は２個であるが、基材１０２の図示Ｘ方向の長さに応じて、圧力損失を低減できるように切欠き部１０６の数は適宜設定することができる。
上記の溝部１０４、切欠き部１０６は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１０１、単位部材１０１′、単位部材１０１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
【００３１】
このようなフィルター９１では、濾過構造部９３に供給され流路９４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、本実施形態では、薄肉部１０５が切欠き部１０６に替えて、図１４に示されるように貫通孔部１０７を備えるものであってもよい。このような貫通孔部１０７の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１０７の開口形状（例えば、主面１０３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１０７の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。
このような貫通孔部１０７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００３２】
図１５は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図１６は、図１５に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１５および図１６において、フィルター１１１は、複数の単位部材１２１と単位部材１２１′、単位部材１２１″が積層されてなる積層体１１２を有している。尚、図１５では、後述する流路１１４が位置する箇所でフィルター１１１を図示のＺ方向に分断し離間させた状態を示している。
積層体１１２を構成する単位部材１２１は、平板形状の基材１２２と、この基材１２２の対向する一対の主面１２３ａ，１２３ｂの一方の主面１２３ａに位置して基材１２２の一方の側１２２ａから対向する他方の側１２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１２４と、基材１２２において溝部１２４が位置する部位の主面１２３ｂ側に位置している薄肉部１２５と、この薄肉部１２５に位置する複数の貫通孔部１２７と、を有している。溝部１２４の寸法は、後述する流路１１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１２５は基材１２２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。この薄肉部１２５に位置する貫通孔部１２７の幅Ｗ２は、後述する流路１１４を流れる流体が貫通孔部１２７を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
【００３３】
また、積層体１１２を構成する単位部材１２１′は平板形状であり、溝部１２４、薄肉部１２５、貫通孔部１２７を備えていない他は、上記の単位部材１２１と同様である。さらに、積層体１１２を構成する単位部材１２１″は平板形状であり、貫通孔部１２７を備えていない他は、上記の単位部材１２１と同様である。
このような単位部材１２１は、一の単位部材１２１の主面１２３ａと、隣接する他の単位部材１２１の主面１２３ｂとを当接し、溝部１２４が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材１２１のうち、一方の最外側に位置して主面１２３ａと溝部１２４が露出している単位部材１２１には、その主面１２３ａに単位部材１２１′が接合されている。また、他方の最外側に位置して主面１２３ｂと貫通孔部１２７が露出している単位部材１２１の主面１２３ｂには、単位部材１２１″がその主面１２３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材１２１が積層されているが、積層体１１２を構成する単位部材１２１の数はこれに限定されるものではない。
【００３４】
このようなフィルター１１１は、肉薄部１２５で区画された溝部１２４からなる流路１１４を有する濾過構造部１１３を備え、この濾過構造部１１３は流路１１４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１１１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１２１、単位部材１２１′、単位部材１２１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
【００３５】
また、溝部１２４の寸法は、上述した流路１１４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１２４の寸法を設定することができる。また、薄肉部１２５に位置する貫通孔部１２７は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１１４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この貫通孔部１２７の幅Ｗ２と流路１１４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。
上記の溝部１２４、貫通孔部１２７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１２１、単位部材１２１′、単位部材１２１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター１１１では、濾過構造部１１３に供給され流路１１４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
【００３６】
尚、図１５、図１６に示される例では、貫通孔部１２７は、薄肉部１２５の図示Ｚ方向の長さと同じ長さで形成されているが、図１７に示されるように、薄肉部１２５の図示Ｚ方向の長さの一部となるように貫通孔部１２７′が形成されていてもよい。このような貫通孔部１２７′の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１２７′の開口形状（例えば、主面１２３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１２７′の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。
上記の貫通孔部１２７′は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００３７】
このようなフィルター９１，１１１は、使用する単位部材１０１，１２１の溝部１０４，１２４の寸法、長さにより、流路９４，１１４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材１０１、単位部材１２１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１０２，１２２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路９４，１１４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部９３，１１３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。また、濾過構造部９３，１１３の内部に切欠き部１０６、あるいは、貫通孔部１０７，１２７，１２７′が位置することにより、圧力損失が低減される。
【００３８】
［第４の実施形態］
図１８は、本発明のフィルターの一実施形態を説明するための斜視図であり、図１９は、図１８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図１８および図１９において、フィルター１３１は、複数の単位部材１４１と単位部材１４１′が積層されてなる積層体１３２と、蓋部材１３５を有している。尚、図１８では、積層体１３２と蓋部材１３５とが離間した状態を示している。
【００３９】
積層体１３２を構成する単位部材１４１は、平板形状の基材１４２と、この基材１４２の対向する一対の主面１４３ａ，１４３ｂの一方の主面１４３ａに位置して基材１４２の一方の側１４２ａから対向する他方の側１４２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１４４と、基材１４２において溝部１４４が位置する部位の主面１４３ｂ側に位置している薄肉部１４５と、この薄肉部１４５に位置する複数の切欠き部１４６と、を有している。溝部１４４の寸法は、後述する流路１３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１４５は基材１４２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。この薄肉部１４５に位置する切欠き部１４６の幅Ｗ２は、後述する流路１３４を流れる流体が切欠き部１４６を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
また、積層体１３２を構成する単位部材１４１′は平板形状であり、切欠き部１４６を備えていない他は、上記の単位部材１４１と同様である。
【００４０】
このような単位部材１４１は、図２０に示されるように、１組の単位部材１４１が溝部１４４を逆方向に向け、かつ、切欠き部１４６が一致するようにして主面１４３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体１４０を構成している。そして、この単位積層体１４０が、溝部１４４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材１４１′がその主面１４３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体１４０、計４個の単位部材１４１が積層されているが、積層体１３２を構成する単位積層体１４０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１３５は、積層体１３２の一の面に配列している複数の単位部材１４１、単位部材１４１′の肉薄部１４５に当接し、溝部１４４と切欠き部１４６を覆うように接合されている。
このようなフィルター１３１は、肉薄部１４５で区画された溝部１４４からなる流路１３４を有する濾過構造部１３３を備え、この濾過構造部１３３は流路１３４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１３１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
【００４１】
単位部材１４１、単位部材１４１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１３５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
また、溝部１４４の寸法は、１組の溝部１４４が対向することで、上述した流路１３４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１４４の寸法を設定することができる。
【００４２】
この実施形態では、流路１３４の幅Ｗ１が、溝部１４４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第３の実施形態において、使用する単位部材１０１の基材１０２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部１０４が深くなって薄肉部１０５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材１４１における溝部１４４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部１４５を厚くすることができ、さらに、単位積層体１４０を積層することにより、各流路１３４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部１４５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
また、薄肉部１４５に位置する切欠き部１４６は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１３４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この切欠き部１４６の幅Ｗ２と流路１３４の幅Ｗ１との大小関係は特に制限されない。
上記の溝部１４４、切欠き部１４６は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１４１、単位部材１４１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
【００４３】
このようなフィルター１３１では、濾過構造部１３３に供給され流路１３４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、本実施形態では、薄肉部１４５が切欠き部１４６に替えて、図２１に示すように貫通孔部１４７備えるものであってもよい。このような貫通孔部１４７の開口幅Ｗ３と流路の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１４７の開口形状（例えば、主面１４３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１４７の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような貫通孔部１４７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００４４】
図２２は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２３は、図２２に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２２および図２３において、フィルター１５１は、複数の単位部材１６１と単位部材１６１′が積層されてなる積層体１５２を有している。尚、図２２では、後述する流路１５４が位置する箇所でフィルター１５１を図示のＺ方向に分断し離間させた状態を示している。
【００４５】
積層体１５２を構成する単位部材１６１は、平板形状の基材１６２と、この基材１６２の対向する一対の主面１６３ａ，１６３ｂの一方の主面１６３ａに位置して基材１６２の一方の側１６２ａから対向する他方の側１６２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１６４と、基材１６２において溝部１６４が位置する部位の主面１６３ｂ側に位置している薄肉部１６５と、この薄肉部１６５に位置する複数の貫通孔部１６７と、を有している。溝部１６４の寸法は、後述する流路１５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。また、図示例では、薄肉部１６５は基材１６２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。この薄肉部１６５に位置する貫通孔部１６７の幅Ｗ２は、後述する流路１５４を流れる流体が貫通孔部１６７を流れることにより圧力損失を低減できるように設定される。
また、積層体１５２を構成する単位部材１６１′は平板形状であり、貫通孔部１６７を備えていない他は、上記の単位部材１６１と同様である。
【００４６】
このような単位部材１６１は、図２４に示されるように、１組の単位部材１６１が溝部１６４を逆方向に向け、かつ、貫通孔部１６７が一致するようにして主面１６３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体１６０を構成している。そして、この単位積層体１６０が、溝部１６４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材１６１′がその主面１６３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体１６０、計４個の単位部材１６１が積層されているが、積層体１５２を構成する単位積層体１６０の数はこれに限定されるものではない。
このようなフィルター１５１は、肉薄部１６５で区画された溝部１６４からなる流路１５４を有する濾過構造部１５３を備え、この濾過構造部１５３は流路１５４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、フィルター１５１を通過可能な粒子の大きさを規定する。
【００４７】
単位部材１６１、単位部材１６１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、溝部１６４の寸法は、１組の溝部１６４が対向することで、上述した流路１５４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を３０〜２００μｍの範囲、高さＨを３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部１６４の寸法を設定することができる。
【００４８】
この実施形態では、流路１５４の幅Ｗ１が、溝部１６４の深さの２倍に相当する。例えば、上述の第３の実施形態において、使用する単位部材１２１の基材１２２の厚みが薄く、設定される通過粒子の最大径に対応させた場合、溝部１２４が深くなって薄肉部１２５が極端に薄くなり、強度的に支障が生じるおそれがあっても、本実施形態では、１個の単位部材１２１における溝部１２４の深さを、設定される通過粒子の最大径の半分とすることができる。したがって、薄肉部１２５を厚くすることができ、さらに、単位積層体１６０を積層することにより、各流路１５４を区画する薄肉部が、２個の薄肉部１６５からなるので、十分に強度の高いものとなる。
また、薄肉部１６５に位置する貫通孔部１６７は図示Ｙ方向への流体の流れを可能とするものであり、流路１５４を図示Ｘ方向に流れる流体の一部に圧力上昇が生じると、圧の低い隣接する流路へ流体が流れるバイパス的作用をなし、これにより圧力損失が低減される。この貫通孔部１６７の幅Ｗ２と流路１５４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。
【００４９】
上記の溝部１６４、貫通孔部１６７は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１６１、単位部材１６１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター１５１では、濾過構造部１５３に供給され流路１５４を図示のＸ方向に通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。
尚、図２２、図２３に示される例では、貫通孔部１６７は、薄肉部１６５の図示Ｚ方向の長さと同じ長さで形成されているが、図２５に示されるように、薄肉部１６５の図示Ｚ方向の長さの一部となるように貫通孔部１６７′が形成されていてもよい。このような貫通孔部１６７′の開口幅Ｗ３と流路１５４の幅Ｗ１、高さＨとの大小関係は特に制限されない。貫通孔部１６７′の開口形状（例えば、主面１６３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通孔部１６７′の開口幅Ｗ３は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような貫通孔部１６７′は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００５０】
このようなフィルター１３１，１５１は、使用する単位部材１４１，１６１の溝部１４４，１６４の寸法、長さにより、流路１３４，１５４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、特に流路１３４，１５４の幅Ｗ１は単位部材１４１、単位部材１６１の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１４２，１６２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１３４，１５４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができ、これにより濾過構造部１３３，１５３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。また、濾過構造部１３３，１５３の内部に切欠き部１４６、あるいは、貫通孔部１４７，１６７，１６７′が位置することにより、圧力損失が低減される。さらに、設定される通過粒子の最大径に影響されることなく、十分に高い強度を具備するものである。
【００５１】
［第５の実施形態］
図２６は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２７は、図２６に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２６および図２７おいて、フィルター１７１は、複数の単位部材１８１と単位部材１８１′が積層されてなる積層体１７２と、蓋部材１７５を有している。
積層体１７２を構成する単位部材１８１は、平板形状の基材１８２と、この基材１８２の対向する一対の主面１８３ａ，１８３ｂの一方の主面１８３ａに位置して基材１８２の一方の側１８２ａから対向する他方の側１８２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部１８４と、基材１８２において溝部１８４が位置する部位の主面１８３ｂ側に位置している薄肉部１８５と、を有している。溝部１８４の寸法は、後述する流路１７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものである。図示例では、薄肉部１８５は基材１８２の図示Ｚ方向の一方の端に位置している。また、単位部材１８１は、一方の主面１８３ａから他方の主面１８３ｂに至る貫通口１８８を基材１８２に有している。この貫通口１８８の寸法は、後述する流路１７７の幅Ｗ４を決定するものである。図示例では、貫通口１８８が２個存在するが、貫通口１８８の数はこれに限定されない。
また、積層体１７２を構成する単位部材１８１′は平板形状であり、溝部１８４および薄肉部１８５を備えていない他は、上記の単位部材１８１と同様である。
【００５２】
このような単位部材１８１は、一の単位部材１８１の主面１８３ａと、隣接する他の単位部材１８１の主面１８３ｂとを当接し、溝部１８４が平行に配列し、貫通口１８８が一致して連通するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された４個の単位部材１８１のうち、最外側に位置して主面１８３ａと溝部１８４が露出している単位部材１８１の主面１８３ａには、貫通口１８８が一致して連通するように単位部材１８１′が接合されている。
また、蓋部材１７５は、積層体１７２の一の面に配列している複数の単位部材１８１の肉薄部１８５と、単位部材１８１′に当接し、溝部１８４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１７１は、肉薄部１８５で区画された溝部１８４からなる流路１７４と、貫通口１８８が連通して構成された流路１７７を有する濾過構造部１７６を備える。濾過構造部１７３は、流路１７４の幅Ｗ１と高さＨのいずれか小さい寸法により、流路１７４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部１７６は、流路１７７の幅Ｗ４の寸法により、流路１７７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材１８１，１８１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１７５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
【００５３】
溝部１８４の寸法は、上述した流路１７４の幅Ｗ１と高さＨを決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨを１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部１８４の寸法を設定することができる。また、貫通口１８８の寸法は、上述した流路１７７の幅Ｗ４を決定するものであり、例えば、幅Ｗ４を２５〜１００μｍの範囲で決定するように貫通口１８８の寸法Ｗ４を設定することができる。貫通口１８８の開口形状（例えば、主面１８３ａ，１８３ｂにおける断面形状）は、円形が好適であるが、楕円形、あるいは、正方形、正六角形、正八角形等の多角形、これらの多角形の角部に丸味を有する形状等であってもよい。貫通口１８８の開口幅Ｗ４は、開口形状が円形である場合には、その直径であり、開口形状が楕円形、多角形等のように開口寸法が一定ではない場合には、開口形状における最小の開口寸法である。このような溝部１８４、貫通口１８８は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材１８１、単位部材１８１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
【００５４】
このようなフィルター１７１では、濾過構造部１７３に供給され流路１７４を通過する流体に対して濾過機能を発現し、濾過構造部１７６に供給され流路１７７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路１７４を通過可能な粒子よりも、流路１７７を通過可能な粒子が大きい場合、まず、流路１７７を図示のＹ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して流路１７４に流体を送り、流路１７４を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路１７４を通過可能な粒子の大きさ、流路１７７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。
さらに、フィルター１７１は、使用する単位部材１８１の溝部１８４の寸法、長さにより、流路１７４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨが決定され、単位部材１８１、単位部材１８１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材１８２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１７４のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部１７３の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
【００５５】
また、使用する単位部材１８１，１８１′の貫通口１８８の寸法により、流路１７７の幅Ｗ４が設定され、積層体１７２を構成する単位部材１８１の積層数を多くすることにより流路１７７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。但し、単位部材１８１、単位部材１８１′の積層時の貫通口１８８同士の位置ズレが発生した場合、流路１７７中に段差が生じて、開口寸法（フィルタ寸法）の精度が多少低下することになる。しかし、フィルター１７１では、上述のように１次濾過、２次濾過を実施することができ、流路１７７を有する濾過構造部１７６における濾過を、捕獲対象の粒子が比較的大きい１次濾過とすることにより、仮に積層時の精度低下が生じても、その影響を最小限とすることができる。
【００５６】
このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図４、図５に示される単位部材４１，４１′の基材４２に、一方の主面４３ａから他方の主面４３ｂに至る貫通口を設けること、図７に示される単位部材６１の基材６２に、一方の主面６３ａから他方の主面６３ｂに至る貫通口を設けること、図１０に示される単位部材８１の基材８２に、一方の主面８３ａから他方の主面８３ｂに至る貫通口を設けること、図１２〜図１４に示される単位部材１０１，１０１′の基材１０２に、一方の主面１０３ａから他方の主面１０３ｂに至る貫通口を設けること、図１５〜図１７に示される単位部材１２１，１２１′の基材１２２に、一方の主面１２３ａから他方の主面１２３ｂに至る貫通口を設けること、図１８〜図２１に示される単位部材１４１，１４１′の基材１４２に、一方の主面１４３ａから他方の主面１４３ｂに至る貫通口を設けること、図２２〜図２５に示される単位部材１６１，１６１′の基材１６２に、一方の主面１６３ａから他方の主面１６３ｂに至る貫通口を設けることにより、上述の本発明のフィルター３１，５１，７１，９１，１１１，１３１，１５１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。
【００５７】
［第６の実施形態］
図２８は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図２９は、図２８に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図２８および図２９おいて、フィルター１９１は、複数の単位部材２０１と単位部材２０１′、単位部材２０１″が積層されてなる積層体１９２と、蓋部材１９５を有している。
【００５８】
積層体１９２を構成する単位部材２０１は、平板形状の基材２０２と、この基材２０２の対向する一対の主面２０３ａ，２０３ｂの一方の主面２０３ａに位置して基材２０２の一方の側２０２ａから対向する他方の側２０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２０４と、基材２０２において溝部２０４が位置する部位の主面２０３ｂ側に位置している薄肉部２０５と、を有している。さらに、単位部材２０１は、主面２０３ｂに位置して基材２０２の一方の側２０２ａから対向する他方の側２０２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２０９と、基材２０２において溝部２０９が位置する部位の主面２０３ａ側に位置している薄肉部２１０と、を有している。溝部２０４の寸法は、後述する流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものである。また、溝部２０９の寸法は、後述する流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものである。図示例では、薄肉部２０５は基材２０２の図示Ｚ方向の一方の端に位置し、薄肉部２１０は基材２０２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。
積層体１９２を構成する単位部材２０１′は平板形状であり、溝部２０４および薄肉部２０５を備えていない他は、上記の単位部材２０１と同様である。また、積層体１９２を構成する単位部材２０１″は平板形状であり、溝部２０９および薄肉部２１０を備えていない他は、上記の単位部材２０１と同様である。
【００５９】
このような単位部材２０１は、一の単位部材２０１の主面２０３ａと、隣接する他の単位部材２０１の主面２０３ｂとを当接し、溝部２０４、溝部２０９が平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層されている。このように積層された３個の単位部材２０１のうち、一方の最外側に位置して主面２０３ａと溝部２０４が露出している単位部材２０１の主面２０３ａには、単位部材２０１′がその主面２０３ｂを当接して接合されている。また、他方の最外側に位置して主面２０３ｂと溝部２０９が露出している単位部材２０１の主面２０３ｂには、単位部材２０１″がその主面２０３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、３個の単位部材２０１が積層されているが、積層体１９２を構成する単位部材２０１の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材１９５は、積層体１９２の一の面に配列している複数の単位部材２０１と単位部材２０１″の肉薄部２０５と、単位部材２０１′に当接し、溝部２０４を覆うように接合されている。
このようなフィルター１９１は、肉薄部２０５で区画された溝部２０４からなる流路１９４を有する濾過構造部１９３と、肉薄部２１０で区画された溝部２０９からなる流路１９７を有する濾過構造部１９６を備える。濾過構造部１９３は、流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１のいずれか小さい寸法により、流路１９４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部１９６は、流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２のいずれか小さい寸法により、流路１９７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材２０１，２０１′，２０１″の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材１９５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
【００６０】
溝部２０４の寸法は、上述した流路１９４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を１５〜１００μｍの範囲、高さＨ１を１５〜１００μｍの範囲で決定するように溝部２０４の寸法を設定することができる。また、溝部２０９の寸法は、上述した流路１９７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものであり、例えば、幅Ｗ５を２０〜２００μｍの範囲、高さＨ２を２０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２０９の寸法を設定することができる。このような溝部２０４、および、溝部２０９は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
単位部材２０１、単位部材２０１′、単位部材２０１″の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
【００６１】
このようなフィルター１９１では、濾過構造部１９３に供給され流路１９４を通過する流体に対して濾過機能を発現することができ、また、濾過構造部１９６に供給され流路１９７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路１９４を通過可能な粒子よりも、流路１９７を通過可能な粒子が大きい場合、まず、濾過構造部１９６の流路１９７を図示のＸ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して濾過構造部１９３の流路１９４に流体を送り、流路１９４を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路１９４を通過可能な粒子の大きさ、流路１９７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。
【００６２】
さらに、フィルター１９１は、使用する単位部材２０１，２０１″の溝部２０４の寸法、長さにより、流路１９４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨ１が決定され、使用する単位部材２０１，２０１′の溝部２０９の寸法、長さにより、流路１９７の幅Ｗ５、あるいは、高さＨ２が決定され、単位部材２０１、単位部材２０１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２０２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路１９４，１９７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部１９３，１９５の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図４、図５に示される単位部材４１，４１′の基材４２の主面４３ｂに溝部を設けること、図１２〜図１４に示される単位部材１０１，１０１′の基材１０２の主面１０３ｂに溝部を設けること、図１５〜図１７に示される単位部材１２１，１２１′の基材１２２の主面１２３ｂに溝部を設けることにより、上述の本発明のフィルター３１，９１，１１１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。
【００６３】
［第７の実施形態］
図３０は、本発明のフィルターの他の実施形態を説明するための斜視図であり、図３１は、図３０に示されるフィルターを構成する単位部材の斜視図である。図３０および図３１おいて、フィルター２１１は、複数の単位部材２２１と単位部材２２１′が積層されてなる積層体２１２と、蓋部材２１５を有している。
積層体２１２を構成する単位部材２２１は、平板形状の基材２２２と、この基材２２２の対向する一対の主面２２３ａ，２２３ｂの一方の主面２２３ａに位置して基材２２２の一方の側２２２ａから対向する他方の側２２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２２４と、基材２２２において溝部２２４が位置する部位の主面２２３ｂ側に位置している薄肉部２２５と、を有している。さらに、単位部材２２１は、主面２２３ｂに位置して基材２２２の一方の側２２２ａから対向する他方の側２２２ｂに至るように図示Ｘ方向に沿った溝部２２９と、基材２２２において溝部２２９が位置する部位の主面２２３ａ側に位置している薄肉部２３０と、を有している。溝部２２４の寸法は、後述する流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものである。また、溝部２２９の寸法は、後述する流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものである。図示例では、薄肉部２２５は基材２２２の図示Ｚ方向の一方の端に位置し、薄肉部２３０は基材２２２の図示Ｚ方向の一方の端から離間した部位に位置している。
【００６４】
積層体２１２を構成する単位部材２２１′は平板形状であり、溝部２０９および薄肉部２３０を備えていない他は、上記の単位部材２２１と同様である。
このような単位部材２２１は、図３２に示されるように、１組の単位部材２２１が溝部２２９が対向するように主面２２３ｂ同士を当接して積層され、単位積層体２２０を構成している。そして、この単位積層体２２０が、溝部２２４を平行に配列するように接合されて、図示のＹ方向に積層され、その両外側には、単位部材２２１′がその主面２２３ａを当接して接合されている。尚、図示例では、２組の単位積層体２２０、計４個の単位部材２２１が積層されているが、積層体２１２を構成する単位積層体２２０の数はこれに限定されるものではない。
また、蓋部材２１５は、積層体２１２の一の面に配列している複数の単位部材２２１、単位部材２２１′の肉薄部２２５に当接し、溝部２２４を覆うように接合されている。
【００６５】
このようなフィルター２１１は、肉薄部２２５で区画された溝部２２４からなる流路２１４を有する濾過構造部２１３と、肉薄部２３０で区画された溝部２２９からなる流路２１７を有する濾過構造部２１６を備える。そして、濾過構造部２１３は、流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１のいずれか小さい寸法により、流路２１４を通過可能な粒子の大きさを規定し、また、濾過構造部２１６は、流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２のいずれか小さい寸法により、流路２１７を通過可能な粒子の大きさを規定する。
単位部材２２１，２２１′の材質は、上述の単位部材２１，２１′と同様とすることができる。
また、蓋部材２１５の材質は、上述の蓋部材１５と同様とすることができる。
溝部２２４の寸法は、１組の溝部２２４が対向することで、上述した流路２１４の幅Ｗ１と高さＨ１を決定するものであり、例えば、幅Ｗ１を４０〜２００μｍの範囲、高さＨ１を４０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２２４の寸法を設定することができる。また、溝部２２９の寸法は、単位積層体２２０において１組の溝部２２９が対向することで、上述した流路２１７の幅Ｗ５と高さＨ２を決定するものであり、例えば、幅Ｗ５を３０〜２００μｍの範囲、高さＨ２を３０〜２００μｍの範囲で決定するように溝部２２９の寸法を設定することができる。このような溝部２２４、および、溝部２２９は、例えば、エッチングマスクを介したドライエッチング、ウエットエッチング、あるいは、研削等により形成することができる。
【００６６】
単位部材２２１、単位部材２２１′の接合は、例えば、拡散接合、電気溶接、あるいは、ネジによる締結等により行うことができる。
このようなフィルター２１１では、濾過構造部２１３に供給され流路２１４を通過する流体に対して濾過機能を発現することができ、また、濾過構造部２１６に供給され流路２１７を通過する流体に対して濾過機能を発現することができる。例えば、流路２１４を通過可能な粒子よりも、流路２１７を通過可能な粒子が小さい場合、まず、濾過構造部２１３の流路２１４を図示のＸ方向に流体を流すことにより１次濾過を行い、次いで、図示しない導管を介して濾過構造部２１６の流路２１７に流体を送り、流路２１７を図示のＸ方向に通過する流体に対して２次濾過を行うことができる。これにより、効率の高い濾過機能を発現することができる。このような１次、２次の濾過順序は、流路２１４を通過可能な粒子の大きさ、流路２１７を通過可能な粒子の大きさに応じて、適宜設定することができる。本実施形態では、流路２１４は溝部２２４が対向して形成され、流路２１７は溝部２２９が対向して形成されているので、溝部２２４と溝部２２９の寸法調整によって流路２１４の幅Ｗ２、流路２１７の幅Ｗ５の大小関係を広い範囲で設定することができる。
【００６７】
さらに、フィルター２１１は、使用する単位部材２２１，２２１″の溝部２２４の寸法、長さにより、流路２１４の幅Ｗ１、あるいは、高さＨ１が決定され、使用する単位部材２２１の溝部２２９の寸法、長さにより、流路２１７の幅Ｗ５、あるいは、高さＨ２が決定され、特に流路２１４の幅Ｗ１、流路２１７の幅Ｗ５は、単位部材２２１、単位部材２２１′の積層時の精度に影響されることがない。また、基材２２２の幅（図示Ｘ方向の基材の長さ）を長くすることにより流路２１４，２１７のアスペクト比（流路の長さ／流路の幅）を大きくすることができる。これにより濾過構造部２１３，２１５の寸法精度が高く、優れたフィルター機能が発現される。
このように２種の流路を備えた構造は、上述の実施形態においても採用することができる。例えば、図６〜図８に示される単位部材６１のうち積層体５２の最外側に位置しない単位部材６１の基材６２の主面６３ｂに溝部を設けること、図９〜図１１に示される単位部材８１のうち積層体７２の最外側に位置しない単位部材８１の基材８２の主面８３ｂに溝部を設けること、図１８〜図２１に示される単位部材１４１の基材１４２の主面１４３ｂに溝部を設けること、図２２〜図２５に示される単位部材１６１の基材１６２の主面１６３ｂに溝部を設けることにより、上述の本発明のフィルター５１，７１，１３１，１５１においても、１次濾過、２次濾過による効率の高い濾過機能を発現することができる。
【００６８】
上述の実施形態は例示であり、本発明のフィルターはこれらの実施形態に限定されるものではない。
例えば、上述のフィルター１１は、図３３に示されるように、単位部材２１の基材２２の図示のＸ方向の長さを長く設定することにより積層体１２の図示のＸ方向の長さを長いものとし、これに対応して蓋部材１５の図示のＸ方向の長さを長く設定したものであってもよい。このようなフィルター１１は、図示のＹ−Ｚ面に沿って所望の箇所で切断（図示例では切断部位を鎖線で示している）することにより、流路１４のアスペクト比が所望の値を有するフィルターを得ることができる。同様に、上述のフィルター１７１は、図３４に示されるように、単位部材１８１の基材１８２の図示のＸ方向の長さを長く設定することにより積層体１７２の図示のＸ方向の長さを長いものとし、これに対応して蓋部材１７５の図示のＸ方向の長さを長く設定したものであってもよい。このようなフィルター１７は、隣り合う流路１７７の間で図示のＹ−Ｚ面に沿って所望の箇所で切断（図示例では切断部位を鎖線で示している）することにより、流路１７４のアスペクト比が所望の値を有し、所望の数の流路１７７を有するフィルターを得ることができる。このことは、例示したフィルター１１，１７１の他に、本発明のいずれのフィルターにも適用することができる。
【００６９】
また、上述のフィルター１７１では、流路１７７が図示のＸ方向に複数配列されているが、図示のＺ方向にも複数配列されたものであってもよい。この場合、図示のＺ方向における各段の流路１７７の幅Ｗ４が異なるようにしてもよく、これにより３次以上の濾過が可能となる。同様に、上述のフィルター１９１，２１２，２３１では、流路１９７，２１７，２３７が図示のＹ方向に複数配列されているが、図示のＺ方向にも複数配列されたものであってもよい。この場合も、図示のＺ方向における各段の流路１９７，２１７，２３７の幅Ｗ５、高さＨ２が異なるようにしてもよく、これにより３次以上の濾過が可能となる。
【実施例】
【００７０】
次に、具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
単位部材の基材としてステンレス鋼（ＳＵＳ３０４、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ、厚み１００μｍ）を準備した。
この基材の両主面に感光性ドライフィルム（旭化成（株）製）  サンフォートＡＱ−２５５８）をラミネートした後、所望のマスクを介して露光し、現像することによりエッチングマスク１とエッチングマスク２を対向する各主面に形成した。このように形成したエッチングマスク１は、基材の長さ１５０ｍｍの側端に平行であって、当該側端から５０ｍｍ離間した位置に幅２５μｍの帯状の開口部を有するものであった。また、形成したエッチングマスク２は基材の主面の全域を被覆するものであった。
【００７１】
次に、エッチングマスク１が上面側となるように基材を水平に維持した状態で、下記のエッチング条件のスプレーエッチングにより、基材のエッチングマスク１側からエッチングして溝部を形成し、その後、エッチングマスク１およびエッチングマスク２を除去し、洗浄した。
（エッチング条件）
・エッチング液  ：  塩化第二鉄溶液
・比重          ：  ４９ボーメ（Ｂｅ）
・温度          ：  ７５℃
・スプレー圧    ：  ３ｋｇ／ｃｍ2
【００７２】
このようなスプレーエッチングにより、基材の一方の主面に、基材の長さ１５０ｍｍの側端に平行であって、当該側端から５０ｍｍ離間した位置に、基材を横切るように幅３５μｍ、深さ１５μｍの帯状の溝部が形成され、この溝部が位置する他方の主面には薄肉部が形成された。これにより、図５に示されるような単位部材が得られた。
上記と同様にして、単位部材を１６個作製した。また、溝部を形成していない単位部材を１個準備した。
次いで、１６個の単位部材を、溝部が同じ方向を向き、かつ、平行となるように主面同士を当接させ、かつ、最外側に位置して溝部が露出している単位部材の主面に、溝部を形成していない単位部材を当接した。この状態で、各単位部材間を４箇所電気溶接することにより仮接着し、その後、下記の条件で拡散接合により複数の単位部材を接合して積層体を作製した。
【００７３】
この積層体は、各単位部材の溝部が薄肉部で区画された１６個の流路を有するものであった。
（拡散接合条件）
・雰囲気    ：  真空  
・接合温度  ：  １０００℃
・接合時間  ：  ９時間
【００７４】
上記のように作製した積層体を、上記の流路の長さ方向が０．１ｍｍとなるように、流路の長さ方向に垂直に裁断して、図４に示されるようなフィルターを作製した。
このように作製したフィルターが備える流路は、幅Ｗ１（図４参照）が１５μｍ、高さＨ（図４参照）が３５μｍであり、アスペクト比（流路の長さ／流路の最小開口寸法）が約６．７であり、微細な濾過構造部をなすことが確認された。
【００７５】
このようなフィルターを濾過装置に装着し、薄力粉（粒径分布幅は５〜１００μｍ）を純水に１０ｇ／Ｌ含有させた流体を用い、濾過を行った結果、流路内での圧力損失は０．２８ＭＰａ程度であった。また、０．１時間の濾過操作の後、濾過装置から取り外したフィルターを純水洗浄後にエタノールを用いて洗浄したところ、フィルターに捕獲されていた薄力粉を完全に排除することができた。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
種々の流体の濾過に利用可能であり、また、流体の濾過工程を必要とする種々の製品の製造に利用することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１１，３１，５１，７１，９１，１１１，１３１，１５１，１７１，１９１，２１１…フィルター
１２，３２，５２，７２，９２，１１２，１３２，１５２，１７２，１９２，２１２…積層体
１３，３３，５３，７３，９３，１１３，１３３，１５３，１７３，１７６，１９３，１９６，２１３，２１６…濾過構造部
１４，３４，５４，７４，９４，１１４，１３４，１５４，１７４，１７７，１９４，１９７，２１４，２１７…流路
６０，８０，１４０，１６０，２２０…単位積層体
２１，２１′，４１，４１′，６１，８１，１０１，１０１′，１０１″，１２１，１２１′，１２１″，１４１，１４１′，１６１，１６１′，１８１，１８１′，２０１，２０１′，２２１，２２１′…単位部材
２４，４４，６４，８４，１０４，１２４，１４４，１６４，１８４，２０４，２０９，２２４，２２９…溝部
２５，４５，６５，８５，１０５，１２５，１４５，１６５，１８５，２０５，２１０，２２５，２３０…薄肉部
１０６，１４６…切欠き部
１０７，１２７，１２７′，１４７，１６７，１６７′…貫通孔部
１８８…貫通口
【図１】
2015217350.tif 000003
【図２】
2015217350.tif 000004
【図３】
2015217350.tif 000005
【図４】
2015217350.tif 000006
【図５】
2015217350.tif 000007
【図６】
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【図７】
2015217350.tif 000009
【図８】
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【図９】
2015217350.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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