(57)【要約】【課題】高感度で、解像性・透明性・保存安定性に優れ、硬化のムラが生じにくい感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ、液晶表示装置を提供すること。【解決手段】光重合開始剤、バインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、  感光性樹脂組成物は、液晶表示装置用カラーフィルタを構成する透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層形成されるものであり、  前記光重合開始剤が化式１で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有すること。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
光重合開始剤、バインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物は、液晶表示装置用カラーフィルタを構成する透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層形成されるものであり、
前記光重合開始剤が化式１で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2015045686.tif 000016
[化式１において、Ｘ１は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３又はＣＮを表し、Ｘ２・Ｘ３は置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、Ｘ４は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＯ２、ＳＯ４Ｈ、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表し、Ｘ５及びＸ６は、それぞれ独立に、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＲ１２ＣＯＲ１１、ＯＣＯＲ１１、ＣＯＯＲ１１、ＳＣＯＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＳＯＲ１１、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表す。Ｒ１１、Ｒ１２及びＲ１３は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表す。ａ及びｂはそれぞれ独立に、０〜３である。]
【請求項２】
前記フルオレン系オキシムエステル化合物が、化式２で表されることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2015045686.tif 000017
【請求項３】
前記フルオレン系オキシムエステル化合物が、化式３で表されることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
2015045686.tif 000018
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を用いた透明層を具備したことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置のカラーフィルタの形成に用いられる、高感度で透明性に優れ、硬化時のムラの発生が少ない感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像表示装置の高機能化に伴い、広視野角、高速応答性が求められている。広視野角、高速応答にはＩＰＳモードやＴＢＡモード等の液晶層に横電解を印加する表示方式が適する。横電界を印加する表示方式の液晶表示装置においては、カラーフィルタ等のフィルタ層が設けられた基板には電極が設けられていないため、フィルタ層から発生するガス成分や水分が液晶層中に進入して液晶層中の不純物イオンの濃度が増加し、液晶中の気泡や表示不良が発生しやすくなるという課題があった。
【０００３】
そのため、着色層の液晶層に接する側に、遮光層や着色層からなるカラーフィルタのガス・水分・不純物イオンが液晶層へ進入するのを防ぐためとカラーフィルタの平坦化を目的として透明膜層を形成したカラーフィルタを用いることが一般的である。
【０００４】
上記の液晶表示装置用カラーフィルタの透明膜層に求められる特性としては、下地となる着色層の透過率を低下させないことが必須であり、高い透明性が求められる。
【０００５】
更に、液晶表示装置では、カラーフィルタの透明基板表面のうねりに起因するＲｅｄ、Ｇｒｅｅｎ及びＢｌｕｅの各画素間でのギャップムラ、あるいは各画素内でのギャップムラの存在により、カラーフィルタの平坦性が損なわれ、色ムラあるいはコントラストムラを生じる。その結果、画像品質の低下を来たすため、透明膜層には高い平坦性が求められる。
【０００６】
特に近年、スマートフォン、タブレット型端末の普及にともなって、画像表示装置の高精細化が進んでおり、狭ギャップ化、画像表示装置の薄型化に伴った、カラーフィルタの薄膜化の要求が強く、カラーフィルタの透明膜層の平坦化要求は、さらに強くなってきている。
【０００７】
また、光硬化樹脂を用いた、透明膜層の形成は、露光と現像が行われ、露光が不十分であったり、硬化にムラが生じると、現像時にムラとなり、生産性が低下してしまう。
【０００８】
また透明膜形成後に、フォトスペーサーや配向膜形成などの工程の際にも透明膜層の硬化ムラ等に起因した後工程不良が発生し、生産性を低下させ、更にはフォトスペーサーの高さばらつきを生じさせたり、配向膜の塗布ムラにより、配向不良が発生するなど、液晶表示装置の表示品質を大きく低下させる要因となる。このため透明膜層を形成する感光性樹脂組成物は高感度で硬化均一性に優れたものが求められる。
【０００９】
従来、透明膜層の硬化ムラ対策及び製造の際のリードタイム短縮などを目的として、透明膜層の形成に用いる光感光性樹脂組成物の高感度化による対応を行っていた。光感光性樹脂組成物の高感度化には、光重合性モノマーの増量、あるいは光重合開始剤の増量が一般的である。
【００１０】
しかしながら光重合性モノマーを増量させた場合、光感光性樹脂組成物中の低分子成分が増加することから膜の流動がおきやすくなり、平坦性が低下する問題があった。また、光重合開始剤の増量については、光重合開始剤の着色により、透過率を低下させてしまう
という問題があった（特許文献１）。
【００１１】
そうしたことから、高感度化の目的に対して、バインダーポリマーを検討することが多くおこなわれている。しかしながら、バインダーポリマーでの高感度化では、現像性の悪化や保存安定性などの問題が生じやすく検討の余地が残されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−１０６７６５号公報
【特許文献２】特開２００１−０６４３３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記の課題を考慮して成されたもので、高感度で、解像性・透明性・保存安定性に優れ、硬化のムラが生じにくい感光性樹脂組成物、それを用いたカラーフィルタ、液晶表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記の課題を解決するための手段として、請求項１に記載の発明は、光重合開始剤、バインダーポリマー、感光性モノマー、界面活性剤、および溶剤を含有する感光性樹脂組成物であって、
前記感光性樹脂組成物は、液晶表示装置用カラーフィルタを構成する透明膜層として、ガラス基板上の遮光層、着色画素層上に積層形成されるものであり、
前記光重合開始剤が化式１で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。
【００１５】
【化４】
2015045686.tif 000002
[化式１において、Ｘ１は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３又はＣＮを表し、Ｘ２・Ｘ３は置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、Ｘ４は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＯ２、ＳＯ４Ｈ、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表し、Ｘ５及びＸ６は、それぞれ独立に、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＲ１２ＣＯＲ１１、ＯＣＯＲ１１、ＣＯＯＲ１１、ＳＣＯＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＳＯＲ１１、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表す。Ｒ１１、Ｒ１２及びＲ１３は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表す。ａ及びｂはそれぞれ独立に、０〜３である。]
また、請求項２に記載の発明は、前記フルオレン系オキシムエステル化合物が、化式２で表されることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物である。
【００１６】
【化５】
2015045686.tif 000003
また、請求項３に記載の発明は、前記フルオレン系オキシムエステル化合物が、化式３で表されることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物である。
【００１７】
【化６】
2015045686.tif 000004
また、請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成
物を用いた透明層を具備したことを特徴とするカラーフィルタである。
【００１８】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のカラーフィルタを用いたことを特徴とする液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の感光性樹脂組成物を用いることで、透明性・平坦性に優れ、硬化均一性に優れた透明膜層を形成することが可能となり、それを用いることにより優れた表示品質のカラーフィルタ、及び液晶表示装置を提供できる。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に実施形態を掲げ、本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態のみに限定されるものではない。
【００２１】
本発明の感光性樹脂組成物は、（ａ）光重合開始剤、（ｂ）バインダーポリマー、（ｃ）感光性モノマー、（ｄ）界面活性剤、（ｅ）溶剤、および（ｆ）エポキシ化合物を含有して成る。
【００２２】
（ａ）光重合開始剤としては、少なくとも化式１、又は化式２、又は化式３で表されるフルオレン系オキシムエステル化合物を含有することを特徴とする。
【００２３】
化式１において、Ｘ１は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３又はＣＮを表し、Ｘ２・Ｘ３は置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表し、Ｘ４は、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＣＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＯ２、ＳＯ４Ｈ、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表し、Ｘ５及びＸ６は、それぞれ独立に、Ｒ１１、ＯＲ１１、ＳＲ１１、ＣＯＲ１１、ＣＯＮＲ１２Ｒ１３、ＮＲ１２ＣＯＲ１１、ＯＣＯＲ１１、ＣＯＯＲ１１、ＳＣＯＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＯＳＲ１１、ＣＳＯＲ１１、ＣＮ、ハロゲン原子又は水酸基を表す。Ｒ１１、Ｒ１２及びＲ１３は、それぞれ独立に、水素原子、置換基を有していてもよい炭素原子数１〜２０のアルキル基、置換基を有していてもよい炭素原子数６〜３０のアリール基、置換基を有していてもよい炭素原子数７〜３０のアリールアルキル基又は置換基を有していてもよい炭素原子数２〜２０の複素環基を表す。ａ及びｂはそれぞれ独立に、０〜３である。
【００２４】
Ｘ１は、合成の容易さ、感度、溶解性、黒色感光性樹脂組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−アミル基、イソアミル基、ｔ−アミル基、ｎ−ヘキシル基、２−エチルヘキシル基等の炭素数１０以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数１０以下の側鎖を有しても良い環状アルキル基、アリール基、メチルアリール基等の芳香族環を有するアリールアルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、２−（１−メトキシプロピル）基、２−（１−エトキシプロピル）基等の炭素数１０以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を１個有するアルキル基である。
【００２５】
Ｘ２・Ｘ３は、合成の容易さ、感度、溶解性、黒色感光性樹脂組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−アミル基、イソアミル基、ｔ−アミル基、ｎ−ヘキシル基等の炭素数６以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数６以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、
エトキシエチル基、２−（１−メトキシプロピル）基、２−（１−エトキシプロピル）基等の炭素数６以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を１個有するアルキル基である。
【００２６】
Ｘ４は、合成の容易さ、感度、溶解性、感光性着色組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくは水素、またはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−アミル基、イソアミル基、ｔ−アミル基、ｎ−ヘキシル基等の炭素数６以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数６以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、２−（１−メトキシプロピル）基、２−（１−エトキシプロピル）基等の炭素数６以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を１個有するアルキル基、ニトロ基、スルホ基、シアノ基、ハロゲン原子、水酸基等である。
【００２７】
Ｘ５及びＸ６は、合成の容易さ、感度、溶解性、感光性着色組成物に含有したときの保存安定性の観点から、特に好ましくはメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−アミル基、イソアミル基、ｔ−アミル基、ｎ−ヘキシル基等の炭素数６以下のアルキル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数６以下の環状アルキル基、メトキシメチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、２−（１−メトキシプロピル）基、２−（１−エトキシプロピル）基等の炭素数６以下でありメチレン鎖中にエーテル結合を１個有するアルキル基、シアノ基、ハロゲン原子、水酸基等である。
【００２８】
【化７】
2015045686.tif 000005
【００２９】
【化８】
2015045686.tif 000006
【００３０】
【化９】
2015045686.tif 000007
【００３１】
【化１０】
2015045686.tif 000008
【００３２】
【化１１】
2015045686.tif 000009
【００３３】
【化１２】
2015045686.tif 000010
化式１で表される光重合開始剤の合成法は、特に制限は無いが以下の方法により合成できる。
【００３４】
アシル体の合成：フルオレン化合物１と酸クロライド２を塩化アルミニウムの存在下で反応し、目的物であるアシル体３を得る。
【００３５】
【化１３】
2015045686.tif 000011
オキシムエステル化合物の合成：アシル体３と、塩酸ヒドロキシルアミンと、ジメチルホルムアミドを仕込み、加熱攪拌し、オキシム化合物４を得る。オキシム化合物４と酸無水物５を加熱攪拌し、反応終了後、アルカリで中和し、オキシムエステル化合物６が得られる。
【００３６】
【化１４】
2015045686.tif 000012
オキシムエステル化合物の合成：オキシムエステル化合物６と酸クロライド７を塩化アルミニウムの存在下で反応し、目的物であるオキシムエステル化合物８を得る。
【００３７】
【化１５】
2015045686.tif 000013
オキシムエステル化合物の合成：オキシムエステル化合物６を硫酸酸性条件下で硝酸と
反応し、目的物であるオキシムエステル化合物９を得る。
【００３８】
【化１６】
2015045686.tif 000014
化式１で表される光重合開始剤は、近接露光装置の光源として広く用いられている高圧水銀ランプとのマッチングに優れ、主要な輝線であるｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）の光を効率よく吸収するため、感光性樹脂組成物を高感度化することができる。
【００３９】
このため、塗膜が十分に硬化するため、均一な硬化膜となり、後工程へのムラ低減につながる。また、少量で高感度化が可能であるため、開始剤による耐熱性の悪化が生じにくく、高い透明性を維持することができる。更に、高感度なため、膜流動性が生じにくく、高い平坦性も有する。
【００４０】
化式１で表される光重合開始剤の含有量は、前記感光性樹脂組成物の固形分中１〜２０重量％であることが好ましく、より好ましくは２〜１５重量％の範囲である。光重合開始剤の含有量がこの範囲である場合、を形成することが可能である。光重合開始剤の含有量が１重量％以下である場合、感光性樹脂組成物の感度が不足する。一方、光重合開始剤の含有量が２０重量％以上である場合、開始剤の熱分解による黄変で透明性が維持されない。
【００４１】
本発明の感光性樹脂組成物には、化式１で表される光重合開始剤と共に、他の光重合開始剤を併用することができる。
アセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンなどが挙げられる。また、複数のアセトフェノン系およびその他の光重合開始剤を組み合わせて使用してもよい。アセトフェノン系以外の光重合開始剤は、光を照射されることによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生剤、増感剤などが挙げられる。活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物などが挙げられる。
【００４２】
ベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００４３】
ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４４】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４５】
トリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメ
チル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
【００４６】
活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００４７】
酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００４８】
また、活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００４９】
本発明において用いられる光重合開始助剤は、光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。光重合開始助剤としては、少なくとも１種のアミン系を含む。アミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。また、複数のアミン系やその他の光重合開始助剤を組み合わせて使用してもよい。その他の光重合開始助剤としては、例えば、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
【００５０】
アルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００５１】
チオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００５２】
光重合開始助剤として市販のものを用いることもでき、市販の光重合開始助剤としては
、例えば、ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業社製）などが挙げられる。
【００５３】
これらの光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好ましくは０．０１モル以上５モル以下である。
【００５４】
（ｂ）バインダーポリマーとしては、アクリル系共重合体が使用でき、例えば、カルボキシル基含有モノマーおよびこれと共重合可能なほかのモノマーとの共重合体などが挙げられる。
【００５５】
カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸などが挙げられる。不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２−メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、例えば、こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、こはく酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、例えば、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００５６】
前記カルボキシル基含有モノマーと共重合可能な他のモノマーとしては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、インデンなどの芳香族ビニル化合物、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、ｉ−プロピルアクリレート、ｉ−プロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｉ−ブチルアクリレート、ｉ−ブチルメタクリレート、ｓｅｃ−ブチルアクリレート、ｓｅｃ−ブチルメタクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、ｔ−ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルアクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、２−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシブチルメタクリレート、３−ヒドロキシブチルアクリレート、３−ヒドロキシブチルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、２−メトキシエチルメタクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−フェノキシエチルメタクリレート、メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレングリコールメタクリレート、メトキシプロピレングリコールアクリレート、メトキシプロピレングリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロペンタジエニルメタクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピルメタクリレート、グリセロールモノアクリレート、グリセロールモノメタクリレートなどの不飽和カルボン酸エステル類、２−アミノエチルアクリレート、２−アミノエチルメタクリレート、２−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ジメチルアミノエチルメタクリレート、２−アミノプロピルアクリレート、２−アミノプロピルメタクリレート、２−ジメチルアミノプロピルアクリレート、２−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、３−アミノプロピルアクリレート、３−アミノプロピルメタクリレート、３−ジメチルアミノプロピルアクリレート、���−ジメチルアミノプロピルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートなどの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニルなどのカルボン酸ビニルエステル類、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテルなどの不飽和エーテル類、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデンなどのシアン化ビニル化合物、アクリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチルメタクリルアミドなどの不飽和アミド類、マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミドなどの不飽和イミド類、１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンなどの脂肪族共役ジエン類、ポリスチレン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレート、ポリ−ｎ−ブチルアクリレート、ポリ−ｎ−ブチルメタクリレート、ポリシロキサンの重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類などを挙げることができる。これらのモノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
【００５７】
前記共重合体におけるカルボキシル基含有モノマー単位の含有量は、通常１０〜５０重量％、好ましくは１５〜４０重量％、とりわけ好ましくは２５〜４０重量％である。前記した、カルボキシル基含有モノマー単位の含有量が、１０〜５０重量％であると、現像液に対する溶解性が良好であり、現像時にパターンが正確に形成される傾向があり、好ましい。前記アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／ポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー共重合体、（メタ）アクリル酸／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、（メタ）アクリル酸／こはく酸モノ（２−アクリロイロキシエチル）／スチレン／アリル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド／スチレン／グリセロールモノ（メタ）アクリレート共重合体などが挙げられる。なお、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートであることを示す。
【００５８】
中でも（メタ）アクリル酸／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリ
ル酸／ベンジル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／メチル（メタ）アクリレート／スチレン共重合体などが好ましい。
【００５９】
前記アクリル系重合体は、そのポリスチレン換算重量平均分子量が通常３，０００〜４００，０００であり、好ましくは５，０００〜１００，０００、とりわけ好ましくは２０，０００〜４０，０００である。前記したポリスチレン換算重量平均分子量が３，０００〜４００，０００であると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。また、酸価は通常３０〜２５０であり、より好ましくは６０〜１８０、とりわけ好ましくは９０〜１６０である。
【００６０】
前記した酸価が、３０〜２５０であると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで酸価はアクリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００６１】
前記バインダーポリマーは、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して通常５重量％以上９０重量％以下、好ましくは１０重量％以上８０重量％以下、とりわけ好ましくは２０重量％以上７０重量％以下の範囲で用いられる。前記したバインダーポリマーの含有量が、５重量％以上９０重量％以下であると、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【００６２】
本発明において用いられる（ｃ）感光性モノマーとしては、光を照射されることによって光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうるモノマーであって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００６３】
前記感光性モノマーは、３官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。３官能以上の多官能の感光性モノマーとしては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記感光性モノマーは、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００６４】
（ｃ）感光性モノマーの含有量は感光性樹脂組成物中で、通常５重量％以上９０重量％以下、好ましくは１０重量％以上８０重量％以下、とりわけ好ましくは２０重量％以上７０重量％以下の範囲で用いられる。前記した、光重合性化合物の含有量が、５重量％以上９０重量％以下であると、硬化が十分におこり残膜率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００６５】
本発明で用いられる（ｄ）界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミンなどのアニオン性界面活性剤；ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、ポリエチレングリコールモノラウレートなどの
ノニオン性界面活性剤； アルキル４級アンモニウム塩やそれらのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤；アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤が挙げられ、これらは単独でまたは２種以上を混合して用いることができる。
【００６６】
前記界面活性剤は単独または２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００６７】
本発明で用いられる（ｅ）溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
【００６８】
エーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。ケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。エステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。アミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。その他の溶剤としては、例え���、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
【００６９】
上記した溶剤の中でも、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、２−
ヘプタノンなどが好ましく用いられる。
【００７０】
前記溶剤は、それぞれ単独でまたは２種類以上を組み合わせて用いることができ、感光性樹脂組成物中の前記溶剤の含有量は、通常５０重量％以上９０重量％以下、好ましくは６０重量％以上８５重量％以下である。溶剤の含有量が５０重量％以上９０重量％以下であると、平坦性が良好で、カラーフィルタとしたきに十分な色濃度が得られ、好ましい。
【００７１】
本発明の感光性樹脂組成物は、充填剤、バインダーポリマー以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００７２】
硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダーポリマー中のカルボキシル基と反応してバインダーポリマーを架橋することができる化合物が挙げられる。また、それ単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物も挙げられる。前記化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられる。
【００７３】
（ｆ）エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００７４】
オキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００７５】
本発明の感光性組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。前記該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００７６】
多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類、ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００７７】
多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類、無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類、無水ヘキサヒドロフ
タル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類、エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００７８】
カルボン酸無水物類として、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーＥＨ−７００（旭電化工業社製）、リカシッドＨＨ（新日本理化社製）、ＭＨ−７００（新日本理化社製）などが挙げられる。
【００７９】
前記硬化剤は、それぞれ単独でまたは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【実施例１】
【００８０】
以下に実施例を掲げ、本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
【００８１】
＜遮光層の形成＞（感光性黒色組成物の作製）
感光性黒色組成物は、以下の組成の混合物を混合攪拌して作製した。（固形分中の顔料濃度：３０．７％）
カーボンブラック分散液：ＴＰＢＫ−２０１６（御国色素社製）        ２８．５重量部樹脂：Ｖ２５９−ＭＥ（新日鐵化学社製  固形分５６．１重量％）      １０．３重量部モノマー：ＤＰＨＡ（日本化薬社製）                                ２．５８重量部開始剤：ＯＸＥ−０２（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）      ０．８６重量部溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート            ９２．０重量部レベリング剤                                                        １．３重量部である。
【００８２】
＜遮光層の形成＞
透明基板上に上記の感光性黒色組成物をスピンコートにより膜厚１．５μｍとなるように塗布した。１００℃で３分乾燥の後、露光機にて格子状のパターン露光を２００ｍＪ行い、アルカリ現像液にて６０秒間現像、２３０℃で６０分加熱処理をして定着、格子状のブラックマトリクス層を透明基板上に形成した。なお、アルカリ現像液は以下の組成からなる。以下、実施例及び比較例ではこのアルカリ現像液を用いて現像を行う。
炭酸ナトリウム：                                                    １．５重量部炭酸水素ナトリウム：                                                ０．５重量部陰イオン系界面活性剤：ペリレックスＮＢＬ（花王社製）                ８．０重量部水：                                                              ９０．０重量部である。
【００８３】
＜着色層の形成＞（赤色、緑色、青色着色組成物の作製）
赤色着色組成物、下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色顔料の分散体を作製した。
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ２５４                        １８重量部
イルガーフォーレッドＢ-ＣＦ（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
赤色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  ｅｄ１７７                            ２重量部
クロモフタールレッドＡ２Ｂ（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
分散剤：アジスパーＰＢ８２１（味の素ファインテクノ社製）                ２重量部
アクリルワニス（固形分２０％）                                        ５０重量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して赤色着色組成物を得た。
【００８４】
上記分散体                                                          ７２重量部カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：            ８重量部
カヤラッドＤＰＣＡ−３０（日本化薬社製）
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：                            １０重量部
カヤラッドＤＰＨＡ（日本化薬社製）
メチル化メラミン樹脂：ＭＷ３０（三和ケミカル社製）                    １０重量部光開始剤：イルガキュアー９０７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）  ３重量部増感剤：ＥＡＢ‐Ｆ（保土ヶ谷化学工業社製）                              １重量部溶剤：シクロヘキサノン                                              ２５３重量部である。
【００８５】
緑色着色組成物
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色顔料の分散体を作製した。
緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ３６                      １６重量部
リオノールグリーン６ＹＫ（東洋インキ製造社製）
黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０                    ８重量部
ファンチョンファーストイエローＹ-５６８８（バイエル社製）
分散剤：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ‐１６３（ビックケミー社製）                  ２重量部アクリルワニス（固形分２０％）                                      １０２重量部
その後、上記分散体を１２８部用い、さらに下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色着色組成物を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート：                              １４重量部
ＮＫエステルＡＴＭＰＴ（新中村化学社製）
光開始剤：イルガキュアー９０７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）  ４重量部増感剤：ＥＡＢ‐Ｆ（保土ヶ谷化学工業社製）                              ２重量部溶剤：シクロヘキサノン                                              ２５７重量部である。
【００８６】
青色着色組成物
下記組成の混合物を均一に攪拌混合した後、直径１ｍｍのガラスビースを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して青色顔料の分散体を作製した。
青色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ１５                        ３０重量部
リオノールブルーＥＳ（東洋インキ製造社製）
紫色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ２３                      ２重量部
パリオゲンバイオレット５８９０（ＢＡＳＦ社製）
分散剤：ソルスバーズ２００００（ゼネカ社製）                            ６重量部アクリルワニス（固形分２０％）                                      ２００重量部その後、下記組成の混合物を均一になるように攪拌混合した後、５μｍのフィルタで濾過して青色着色組成物を得た。
上記分散体：                                                        ２３８重量部トリメチロールプロパントリアクリレート：                              １９重量部
ＮＫエステルＡＴＭＰＴ（新中村化学社製）
光開始剤：イルガキュアー９０７（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）  ４重量部増感剤：ＥＡＢ‐Ｆ（保土ヶ谷化学工業社製）                              ２重量部溶剤：シクロヘキサノン                                              ２１４重量部
である。
【００８７】
＜着色層の形成＞
得られた赤色着色組成物、緑色着色組成物、青色着色組成物を用いて下記の要領で画素となる着色層を形成した。前述の遮光層を形成した透明基板上に、赤色着色組成物をスピンコートにより膜厚２μｍとなるように塗布した。乾燥の後、露光機にてストライプ状のパターン露光をし、アルカリ現像液にて９０秒間現像、２３０℃で２０分加熱して定着、ストライプ状の赤色着色層を透明基板上に形成した。
【００８８】
次に、緑色着色組成物も同様にスピンコートにて膜厚が２μｍとなるように塗布。乾燥後、露光機にてストライプ状の着色層を前述の赤色着色層とはずらした場所に露光し現像することで、前述赤色着色層と隣接した緑色着色層を形成した。
【００８９】
さらに、赤色、緑色と全く同様にして、青色着色組成物についても膜厚２μｍで赤色着色層、緑色着色層と隣接した青色着色層を形成した。
【００９０】
＜透明膜層の形成＞
１リットル容の５つ口フラスコに、
シクロヘキサノン                                                        ２００ｇＮ−シクロヘキシルマレイミド                                              ３０ｇ２−ヒドロキシエチルメタクリレート                                        ３０ｇメタアクリル酸                                                            ２０ｇブチルメタクリレート                                                      ２０ｇを仕込み、窒素雰囲気下で
アゾビスイソブチロニトリル                                              １．０ｇを添加し８０〜８５℃で８時間反応させた。
次いで、
イソシアネートエチルメタクリレート                                          ７ｇオクチル酸スズ                                                        ０．０３ｇを
シクロヘキサン１０ｇで溶解したものを約１０分で滴下し、滴下後８０〜８５℃で３０分反応させて側鎖に重合性のメタクリロイル基を有する樹脂溶液を合成した。さらに、この樹脂の不揮発分が２０重量％となるようにシクロヘキサンノンで調製し、バインダー樹脂１の溶液を得た。
【００９１】
＜感光性樹脂組成物１の作製＞
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物１を作製した。
（ａ）光重合開始剤：化式２ＤＦＩ−０２０（ダイトーケミックス社製）      ６重量部（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １３６重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２２８重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業製）
＜透明膜層１の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物１を膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ/ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層１
を作製した。
【実施例２】
【００９２】
実施例１における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例１と同様に操作を行った。
【００９３】
＜感光性樹脂組成物２の作製＞
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物２を作製した。
（ａ）光重合開始剤：化式２ＤＦＩ−０２０（ダイトーケミックス社製）      ４重量部（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １３６重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２２３重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業製）
である。
【００９４】
＜透明膜層２の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物２を膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ/ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層２を作製した。
【００９５】
＜透明膜層２（単膜）の形成＞
前記した、感光性組成物２をガラス基板上に膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層２（単膜）を作製した。
【実施例３】
【００９６】
実施例１における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例１と同様に操作を行った。
【００９７】
＜感光性樹脂組成物３の作製＞
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物３を作製した。
（ａ）光重合開始剤：化式３ＤＦＩ−０９１（ダイトーケミックス社製）      ６重量部（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １３６重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２２３重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業製）
である。
【００９８】
＜透明膜層３の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物３を膜厚が２．０μ
ｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ/ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層３を作製した。
【００９９】
＜透明膜層３（単膜）の形成＞
前記した、感光性組成物３をガラス基板上に膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層３（単膜）を作製した。
【０１００】
＜比較例１＞
実施例１における感光性樹脂組成物を以下の組成物に変えた以外は実施例１と同様に操作を行った。
【０１０１】
＜感光性樹脂組成物４の作製＞
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物４を作製した。
（ａ）光重合開始剤：イルガキュアー９０７                              １２重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １３６重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２４２重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業社製）
である。
【０１０２】
＜透明膜層４の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物４を膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層４を作製した。
【０１０３】
＜透明膜層４（単膜）の形成＞
前記した、感光性組成物４をガラス基板上に膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層４（単膜）を作製した。
【０１０４】
＜比較例２＞
（感光性樹脂組成物５の作製）以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物５を作製した。
（ａ）光重合開始剤：イルガキュアー９０７                                ６重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １３６重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２２８重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
（スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０  住友化学工業社製）
である。
【０１０５】
＜透明膜層５の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物５を膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層５を作製した。
【０１０６】
＜透明膜層５（単膜）の形成＞
前記した、感光性組成物５をガラス基板上に膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層５（単膜）を作製した。
【０１０７】
＜比較例３＞
（感光性樹脂組成物６の作製）
以下の組成の混合物を混合攪拌して感光性樹脂組成物６を作製した。
（ａ）光重合開始剤：イルガキュアー９０７                                ６重量部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
（ｂ）バインダーポリマー：合成例１にて作製したバインダー樹脂        ５００重量部（ｃ）感光性モノマー：ジペンタエリスリトールトリアクリレート        １５０重量部（ｄ）界面活性剤：Ｆ‐５５０（大日本インキ化学工業社製）          ０．０９重量部（ｅ）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ２７５重量部（ｆ）エポキシ化合物：オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂        ２７重量部
スミエポキシＥＳＣＮ−１９５ＸＬ−８０（住友化学工業社製）
である。
【０１０８】
＜透明膜層６の形成＞
前記した遮光層、着色層を形成したガラス基板上に感光性樹脂組成物６を膜厚が２．０μｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャップ）は１００μｍで露光した。
その後、以下のようなアルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層６を作製した。
【０１０９】
＜透明膜層６（単膜）の形成＞
前記した、感光性組成物６をガラス基板上に膜厚が２．０マイクロｍになるようにスピンコートし、９０℃で５分間乾燥した。透明膜層形成用のフォトマスクを通して高圧水銀灯の光を５０ｍＪ／ｃｍ２照射した。尚、フォトマスクとガラス基板との間隔（露光ギャッ
プ）は１００μｍで露光した。
その後、アルカリ現像液を用いて４０秒間現像を行い、水洗を施したのち、２３０℃３０分焼成して透明膜層６（単膜）を作製した。
【０１１０】
＜評価＞
上記のように作製した感光性樹脂組成物で作製した透明膜層を、以下の項目にて評価を実施した。
【０１１１】
＜現像後ムラ＞
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物にて透明膜層（単膜）形成時、現像後の外観をＮａランプ下において観察し、シミムラなどが観察されたものを×、観察されないものを○とした。
【０１１２】
＜飽和露光量＞
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物において透明膜層（単膜）形成時、コート後の膜厚を測定し、露光時には、フォトマスクを介して露光量を段階的に照射（1０，２０，３０，４０，５０，６０，８０，１００ｍＪ／ｃｍ２）してパターニングし、現像工程及び焼成完了後、各露光ステップでの膜厚を測定し、以下のような方法で各露光量での残膜率及び飽和露光量を算出、判定した。
飽和露光量（ｍＪ）：残膜率が飽和する最小露光量
（残膜率（％）：２３０℃・３０分焼成後の膜厚÷現像前コート時の膜厚）飽和露光量が５０ｍＪ以下のものを○、それ以上のものを×とした。
膜厚の測定には、小坂研究所社製二次元微細形状測定器ＥＴ４０００Ｔを用いた。
【０１１３】
＜透過率＞
上記実施例および比較例で得られた感光性樹脂組成物において透明膜層（単層）を形成し、大塚電子社製分光透過率測定装置ＬＣＦ‐１１００Ｍを用いて分光透過率を測定し、４００ｎｍの分光透過率が９９％以上となるものを○、未満となるものを×とした。
【０１１４】
＜平坦性＞
上記実施例および比較例で得られたカラーフィルタ上の透明膜層を、小坂研究所社製二次元微細形状測定器ＥＴ４０００Ｔを用いて測定し、透明膜の平坦化率ＦＡを評価した。
ＦＡ＝（ＦＲ＋ＦＧ＋ＦＢ）／３                                      式（１）
ＦＲ＝（ＨＲ（２）−ＬＲ（２））／（ＨＲ（１）−ＬＲ（１））        式（２）
ＦＲ＝（ＨＧ（２）−ＬＧ（２））／（ＨＧ（１）−ＬＧ（１））        式（３）
ＦＲ＝（ＨＢ（２）−ＬＢ（２））／（ＨＢ（１）−ＬＢ（１））        式（４）
ここで、
ＨＲ（１）：透明膜層を形成する前のＲｅｄ画素高さの最大値、
ＬＲ（１）：透明膜層を形成する前のＲｅｄ画素の中心の高さ、
ＨＧ（１）：透明膜層を形成する前のＧｒｅｅｎ画素高さの最大値、
ＬＧ（１）：透明膜層を形成する前のＧｒｅｅｎ画素中心の高さ、
ＨＢ（１）：透明膜層を形成する前のＢｌｕｅ画素高さの最大値、
ＬＢ（１）：透明膜層を形成する前のＢｌｕｅ画素中心の高さ、
ＨＲ（２）：透明膜層を形成した後のＲｅｄ画素高さの最大値、
ＬＲ（２）：透明膜層を形成した後のＲｅｄ画素中心の高さ、
ＨＧ（２）：透明膜層を形成した後のＧｒｅｅｎ画素高さの最大値、
ＬＧ（２）：透明膜層を形成した後のＧｒｅｅｎ画素中心の高さ、
ＨＢ（２）：透明膜層を形成した後のＢｌｕｅ画素高さの最大値、
ＬＢ（２）：透明膜層を形成した後のＢｌｕｅ画素中心の高さ
であり、平坦性の評価基準は、８５％以上を○、８５％未満のものを×とした。
【０１１５】
上記の評価を行った結果を表１に示した。
【０１１６】
【表１】
2015045686.tif 000015
表１の結果の通り、本発明に指定した開始剤を用いた際には、低露光量でも現像後ムラがなく、優れた硬化均一性を示し、更に透明性に優れ、平坦性の高い透明膜層を形成が可能であった。
また、比較例１のように従来の開始剤を用いて高感度化を行った場合には、透明性及び平坦性が悪化する結果となり、透明性を改善するため開始剤を減量した比較例２のような場合には、感度が低下し、現像後ムラが発生する結果となった。また、比較例３のように感光性モノマーを増量して高感度化を行った場合においては、平坦性が悪化した。