(57)【要約】【課題】部材数を増加させることなく内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上できる圧電アクチュエータおよびその製造方法を提供することができる。【解決手段】高温環境下で駆動する圧電アクチュエータ１０であって、複数の圧電素子が直列に積み重ねられた圧電アクチュエータ本体１００と、圧電アクチュエータ本体１００を収容する金属製のケース２６０と、を備え、ケース２６０内に露出する金属部材の表面が陽極酸化膜で覆われている。これにより、陽極酸化膜の吸湿効果によりケース２６０内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。また、ケース２６０内に吸湿材を用いる必要がなく、部材数の増加による組み立ての複雑化を防止し、工程数を低減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温環境下で駆動する圧電アクチュエータであって、
複数の圧電素子が直列に積み重ねられた圧電アクチュエータ本体と、
前記圧電アクチュエータ本体を収容する金属製のケースと、を備え、
前記ケース内に露出する金属部材の表面が陽極酸化膜で覆われていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記圧電アクチュエータ本体を一方の端部で固定する固定部と、
前記圧電アクチュエータ本体の他方の端部に設けられ、前記圧電アクチュエータ本体の変位を伝達する変位伝達部と、
前記圧電アクチュエータ本体に圧縮力を与える弾性部と、を更に備え、
前記固定部、変位伝達部および弾性部の前記ケース内部に露出する表面は、陽極酸化膜で覆われていることを特徴とする請求項１記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記圧電素子は、環状に形成された素子本体と、前記素子本体の表面に形成された外部電極と、を備えることを特徴としている請求項２記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項２または請求項３記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記固定部、変位伝達部および弾性部のケース内部の表面に陽極酸化処理を行なう工程と、
前記圧電アクチュエータ本体、固定部、変位伝達部および弾性部を前記ケース内に封止する工程と、を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温環境下で駆動する圧電アクチュエータおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電アクチュエータには、複数の圧電素子を連結した圧電アクチュエータ本体にケースを被せて構成されるものが知られている。例えば、特許文献１記載の圧電アクチュエータは、複数の圧電素子を略同一中心軸上に伸縮方向に複数個積み重ねて形成された圧電アクチュエータ本体に軸固定用のシャフトを挿入し、金属ケースを被せて構成されている。このような圧電アクチュエータは、高湿度下で用いられることがある。
【０００３】
一般的に、高湿度下で圧電アクチュエータを駆動した場合、圧電素子に埋設された内部電極のＡｇがマイグレーションを起こし、絶縁抵抗が低下する。そこで、例えば金属製ケース内に不活性ガス(Ｎ２)を充填して封止し、絶縁抵抗を高める対策が採られていた。しかし、一般的な封止方法では１〜５％程度の湿度が金属製ケース内に残留する。この程度の湿度であっても、高温環境下で圧電アクチュエータが駆動されるとＡｇのマイグレーションが生じやすくなる。一方、高価な装置を導入し、金属製ケース内湿度をさらに低下させることもできるが、コストが嵩む。そこで特許文献１記載の圧電アクチュエータでは、金属ケース内に吸湿材を用いることで絶縁抵抗を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１５７４３９号公報
【特許文献２】特開２０１０−２５８０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のような金属製ケース内に吸湿材を用いる方法では、部材数が増えることになる。そして、圧電アクチュエータの製造時には、組み立てが複雑化し、工程数が増えてしまう。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、部材数を増加させることなく内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上できる圧電アクチュエータおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）上記の目的を達成するため、本発明の圧電アクチュエータは、高温環境下で駆動する圧電アクチュエータであって、複数の圧電素子が直列に積み重ねられた圧電アクチュエータ本体と、前記圧電アクチュエータ本体を収容する金属製のケースと、を備え、前記ケース内に露出する金属部材の表面が陽極酸化膜で覆われていることを特徴としている。
【０００８】
このように、本発明の圧電アクチュエータでは、ケース内に露出する金属部材の表面が陽極酸化膜で覆われているため、陽極酸化膜の吸湿効果によりケース内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。また、ケース内に吸湿材を用いる必要がなく、部材数の増加による組み立ての複雑化を防止し、工程数を低減できる。
【０００９】
（２）また、本発明の圧電アクチュエータは、前記圧電アクチュエータ本体を一方の端部で固定する固定部と、前記圧電アクチュエータ本体の他方の端部に設けられ、前記圧電アクチュエータ本体の変位を伝達する変位伝達部と、前記圧電アクチュエータ本体に圧縮力を与える弾性部と、を更に備え、前記固定部、変位伝達部および弾性部の前記ケース内部に露出する表面は、陽極酸化膜で覆われていることを特徴としている。これにより、固定部、変位伝達部および弾性部の露出面への導通を防止することができる。
【００１０】
（３）また、本発明の圧電アクチュエータは、前記圧電素子が、環状に形成された素子本体と、前記素子本体の表面に形成された外部電極と、を備えることを特徴としている。環状の圧電素子を用いる場合には、ケース内の金属部材が多くなるため、陽極酸化膜による絶縁性の向上が効果的となる。
【００１１】
（４）また、本発明の圧電アクチュエータの製造方法は、上記の圧電アクチュエータの製造方法であって、前記固定部、変位伝達部および弾性部のケース内部の表面に陽極酸化処理を行なう工程と、前記圧電アクチュエータ本体、固定部、変位伝達部および弾性部を前記ケース内に封止する工程と、を含むことを特徴としている。このようにして、ケース内に露出する部材の表面を陽極酸化膜で覆うため、陽極酸化膜の吸湿効果によりケース内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、陽極酸化膜の吸湿効果によりケース内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。また、金属ケース内に吸湿材を用いる必要がなく、部材数の増加による組み立ての複雑化を防止し、工程数を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施形態に係る圧電アクチュエータの一形態を示す断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ本体の斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）それぞれ圧電素子の斜視図、平面図および底面図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）それぞれ圧電素子の側断面図および異なる平断面図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）それぞれ変位端側の絶縁板の平面図、底面図および側断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）それぞれ固定端側の絶縁板の平面図、底面図および側断面図である。
【図７】第２の実施形態に係る圧電アクチュエータを示す断面図である。
【図８】耐久試験の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
［第１の実施形態］
（圧電アクチュエータ）
図１は、圧電アクチュエータの一形態を示す断面図である。図１に示すように、圧電アクチュエータ１０は、圧電アクチュエータ本体１００、固定部２１０、絶縁板２２０、２３０、変位伝達部２４０、弾性部２５０およびケース２６０を備えている。圧電アクチュエータ１０は、１２０℃以上の高温環境下で用いられる。圧電アクチュエータ１０においては、ケース２６０内に露出する金属部材の表面は陽極酸化膜で覆われているため、陽極酸化膜の吸湿効果により内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。以下に各部について説明する。
【００１６】
（圧電アクチュエータ本体）
図２は、圧電アクチュエータ本体１００の斜視図である。図２に示すように、圧電アクチュエータ本体１００は、円筒状であり、複数の圧電素子１１０を略同一中心軸上に伸縮方向に積み重ねて形成されている。
【００１７】
（圧電素子）
図３（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ圧電素子１１０の斜視図、平面図および底面図である。圧電素子１１０は、圧電アクチュエータ用に伸縮方向に積み重ねられて用いられる。圧電素子１１０は、素子本体１１１および外部電極１１５ａ〜１１６ｃにより構成されている。なお、素子本体１１１の形状は、八角形、十二角形等の多角形の環状や楕円環状であってもよい。環状の圧電素子１１０を用いる場合には、ケース２６０内の金属部材が多くなるため、陽極酸化膜による絶縁性の向上が効果的となる。
【００１８】
外部電極１１５ａ〜１１５ｃ（第１の外部電極）は、素子本体１１１の表面に設けられており、具体的には素子本体１１１の中央の孔１１７の内側面および両主面の孔１１７側の縁部分に一体に設けられている。また、外部電極１１６ａ〜１１６ｃ（第２の外部電極）は、素子本体１１１の外側面および両主面の外周側の縁部分に一体に設けられている。なお、外部電極の両主面部分と内部電極との接続部分は、バイアホールで形成することもできる。
【００１９】
それぞれの外部電極の両主面部分１１５ａ、１１５ｃ、１１６ａ、１１６ｃは、素子本体１１１の中心軸に対して回転移動させても積層方向への投影が互いに重なることが好ましい。なお、それぞれの外部電極の両主面部分１１５ａ、１１５ｃ、１１６ａ、１１６ｃは、軸対称に設けられていることが好ましい。
【００２０】
図４（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ圧電素子１１０の側断面図および異なる平断面図である。図４（ａ）は、図３（ｂ）における断面４ａによる断面図であり、図４（ｂ）、図４（ｃ）は、それぞれ図４（ａ）における断面４ｂ、４ｃによる断面図である。素子本体１１１は、圧電層１１２および圧電層１１２を介して交互に積層された内部電極１１３（第１の内部電極）および内部電極１１４（第２の内部電極）を有している。外部電極１１５ａ〜１１５ｃは、内部電極１１３と接続されており、外部電極１１６ａ〜１１６ｃは、内部電極１１４と接続されている。
【００２１】
（その他の部材）
図１を参照すると、固定部２１０は、固定板により圧電アクチュエータ本体１００を一方の端部で固定しており、変位の基準となっている。また、固定板は、シャフト２１５と結合し、シャフト２１５の位置を固定しており、これらを合わせて固定部２１０を呼ぶ。
【００２２】
シャフト２１５は、直列に積み重ねられた複数の圧電素子１１０の中央の孔１１７に挿入されており、圧電アクチュエータ本体１００の軸を固定している。シャフト２１５は、孔１１７に挿入されたときに変位伝達部２４０との間に隙間２１７が生じる長さに形成されている。
【００２３】
絶縁板２２０、２３０は、圧電アクチュエータ本体１００の両端のそれぞれに設けられており、固定部２１０やケース２６０と駆動回路とを絶縁している。絶縁板２２０、２３０は、絶縁性の板であればよいが、アルミナ板のように硬い材料で形成されている方が好ましい。変位端側の絶縁板２２０の変位伝達部２４０側に一端が駆動電源と接続されたリード線３１５の他端が接続されている。また、固定端側の絶縁板２３０の圧電アクチュエータ本体１００側に一端が駆動電源と接続されたリード線３１６の他端が接続されている。
【００２４】
図５（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ変位端側の絶縁板２２０の平面図、底面図および側断面図である。図５（ｃ）は、図５（ａ）、図５（ｂ）における断面５ｃの断面図である。図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、絶縁板２２０には、圧電素子１１０と同径の孔２２７が形成されており、圧電アクチュエータ本体１００側の主面から変位伝達部２４０側の主面まで孔２２７を介して一体に電極２２５が設けられている。このように絶縁板２２０では、中央部で両主面の導通がとられている。
【００２５】
図６（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ固定端側の絶縁板２３０の平面図、底面図および側断面図である。図６（ｃ）は、図６（ａ）、図６（ｂ）における断面６ｃの断面図である。図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、絶縁板２３０には、圧電素子１１０と同径の孔２３７が形成されており、圧電アクチュエータ本体１００側の主面には、孔２３７の縁部分と重ならないように外周側に電極２３６が設けられている。
【００２６】
なお、上記の例では、変位端側の絶縁板２２０および固定端側の絶縁板２３０でそれぞれ駆動電源と接続しているが、変位端側の絶縁板を単なる絶縁板とし、固定端側の絶縁板のみで駆動電源と接続してもよい。その場合、固定端側の絶縁板において、圧電アクチュエータ本体１００側の主面上に孔側の電極および外周側の電極を分けて設け、孔側の電極のみを裏の主面に接続するよう形成してケース２６０と接続し、外周側の電極を圧電アクチュエータ本体１００の径より外に延ばしてリード線付けする。
【００２７】
変位伝達部２４０は、フランジ部２４１および柱状部２４２を備え、断面Ｔ字の軸対称な形状に形成されており、柱状部２４２の先端２４５により変位が外部に伝えられる。弾性部２５０は、たとえばバネであり、変位伝達部２４０および絶縁板２２０、２３０とともに圧電アクチュエータ本体１００を変位方向に沿って固定部２１０側に弾性力で押圧することで、圧電アクチュエータ本体１００に圧縮力を付与している。
【００２８】
ケース２６０は、金属製であり、圧電アクチュエータ本体１００、変位伝達部２４０、固定部２１０を収容する。固定部２１０、変位伝達部２４０および弾性部２５０のケース２６０内部に露出する表面は、陽極酸化膜で覆われている。陽極酸化膜は、吸湿性が強く、ケース２６０の封止時に不活性ガスに含まれるガス中の水分や、素子等のその他部材から発生する水分を吸湿する。これにより、固定部２１０、変位伝達部２４０および弾性部２５０の露出面への導通を防止することができる。
【００２９】
特に１２０℃以上の高温環境で圧電アクチュエータ１０が用いられる場合には効果的であり、１６０℃以上の環境ではさらに効果的である。なお、陽極酸化膜の厚さは３〜４０μｍであることが好ましい。３μｍより薄い場合は吸湿性の信頼性及び耐久性の低下や、吸湿量の減少が顕著となる。一方、４０μｍより厚い場合は金属部材の機械的強度の低下が顕著となる。
【００３０】
また、ケース２６０内に吸湿材を用いる必要がなく、部材数の増加による組み立ての複雑化を防止し、工程数を低減できる。なお、ケース２６０内に露出する金属部材として、具体的には陽極酸化を施した金属（アルミニウム、チタン、ジルコニウム等）を用いることができる。
【００３１】
（圧電アクチュエータの製造方法）
上記のように構成された圧電素子１１０の製造方法を説明する。まず、圧電素子１１０として、所定形状の環状の一体焼成型素子を作製する。圧電層１１２と内部電極１１３とを積層し、両主面側の端部に内部電極１１３の無い層を設けたものを作製する。
【００３２】
圧電素子１１０の外形を加工し、例えば厚さは平面研削、外径を円筒加工し、内径はフライス加工して、所定の環状に形成する。外側面の外部電極１１６ｂおよび両主面の外部電極１１５ａ、１１５ｃ、１１６ａ、１１６ｃはスクリーン印刷で電極ペーストを塗布し、焼き付ける。内側面の外部電極１１５ｂは、両主面のスクリーン印刷時に印刷面の反対側から孔を吸引して電極ペーストが孔の内側面に付着するようにして、これを焼き付けて形成する。
【００３３】
一方で、圧電アクチュエータ本体１００以外を構成する部材を準備する。すなわち固定部２１０、変位伝達部２４０および弾性部２５０のケース２６０内部の表面に陽極酸化処理を行なう。
【００３４】
次に、作製した複数個の圧電素子１１０を積み重ねた圧電アクチュエータ本体１００の両端に、電極上にリード線をはんだ付けした絶縁板２２０、２３０を配置し、シャフト２１５を孔に通して位置がずれない様にする。さらに絶縁板の上からコイルバネのような弾性部２５０で圧力を掛け、積み重ねられた圧電素子１１０の両主面上の外部電極１１５ａ、１１５ｃ、１１６ａ、１１６ｃの接触を確実にする。
【００３５】
そして、圧電アクチュエータ本体１００、固定部２１０、変位伝達部２４０および弾性部２５０をケース２６０内に封止する。このようにして圧電アクチュエータ本体１００を作製できる。このようにして、ケース２６０内に露出する部材の表面を陽極酸化膜で覆うため、陽極酸化膜の吸湿効果によりケース内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。
【００３６】
［第２の実施形態］
（圧電アクチュエータの構造）
上記の実施形態では、環状の圧電素子を用いているが、矩形体の圧電素子を用いてもよい。図７は、圧電アクチュエータ２０を示す断面図である。圧電アクチュエータ２０は、圧電アクチュエータ本体４０５、座４４０（固定部）およびケース４６０により構成され、電圧が印加されることで変位する。圧電アクチュエータ２０においても、ケース４６０内に露出する金属部材の表面は陽極酸化膜で覆われている。
【００３７】
圧電アクチュエータ本体４０５は、複数の圧電素子４１０、リード部材４２０、半球４３０（変位伝達部）で構成されている。複数の圧電素子４１０は、圧電素子４１０同士が端面で接着されることで互いに直列（電圧印加による伸縮方向）に連結されている。圧電アクチュエータ本体４０５は、一端に半球４３０を有し、他端は底部として座４４０に接着されており、多連化された圧電素子４１０に電圧が印加されることで伸縮する。
【００３８】
リード部材４２０は、金属製で板状に形成されており、圧電素子４１０の両側面に形成された外部電極４１５に接着されている。一対のリード部材４２０は、座４４０において一対の端子４５０に接続されている。
【００３９】
圧電アクチュエータ本体４０５は、リード部材４２０を介して外部電極４１５に電圧が印加される。座４４０は、圧電アクチュエータ本体４０５の他端を支持しており、圧電アクチュエータ本体４０５の伸縮により半球４３０が変位する。
【００４０】
圧電素子４１０は、圧電層と内部電極とが交互に積層され、矩形体に形成されている。また、圧電素子４１０の側面には内部電極に接続された外部電極４１５が設けられている。圧電層は、たとえばＰＺＴ等の圧電材料で構成されている。内部電極は、Ａｇ−Ｐｄ等で構成されている。
【００４１】
ケース４６０は、圧電アクチュエータ本体４０５に被さって座に封止され、ドーム形状の部分に半球４３０が当接するダイヤフラム４６５（弾性部）を有する。ケース４６０の直管部分は、ケース４６０の中央から底部にかけて円筒に形成されている。ケースの先端部分には、ドーム形状を有するダイヤフラム４６５が形成されている。ケース４６０は、金属製であり、ＳＵＳ等の材質が望ましい。座４４０は、概略円板状に形成され、圧電アクチュエータ本体４０５の他端を支持する。半球４３０、座４４０、ダイヤフラム４６５を含むケース４６０の内側は、ケース４６０内部に露出しており、これらの部材の表面は、陽極酸化膜で覆われている。陽極酸化膜の吸湿効果によりケース４６０内の水分を吸収することで、高温環境下での駆動においても内部電極のＡｇのマイグレーションを防止し、絶縁抵抗を向上させることができる。
【００４２】
（圧電アクチュエータの製造方法）
まず、圧電層と内部電極とが交互に積層された圧電素子４１０を作製する。具体的には、圧電セラミックスのグリーンシートにＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の電極ペーストを印刷して積層、圧着し、焼成する。次に、圧電素子４１０の側面に積層方向に沿って、内部電極に接続された外部電極４１５を形成する。圧電素子４１０の側面に電極ペーストを印刷して焼成することで外部電極４１５を形成できる。
【００４３】
得られた複数の圧電素子４１０の積層方向の端面には、エポキシ等の接着剤を塗布して接着し、直列方向に連結する。このようにして多連化を行い、接着剤を硬化させる。最後に、金属製で板状のリード部材４２０を、外部電極４１５に固着させて、多連化した圧電アクチュエータ本体４０５を作製できる。
【００４４】
一方で、圧電アクチュエータ本体４０５以外を構成する部材を準備する。すなわち半球４３０、座４４０およびダイヤフラム４６５を含むケース４６０内側の表面に陽極酸化処理を行なう。そして、圧電アクチュエータ本体４０５の先端に半球４３０を接着する。
【００４５】
一方で上記の圧電アクチュエータ本体４０５を座４４０に設置し、ケース４６０を被せて封止する。このとき、リード部材４２０は、座４４０に挿通された端子４５０を介して外部と電気的に接続する。このようにして、圧電アクチュエータ２０を作製することができる。
【００４６】
［実施例］
まず、圧電素子として、外径６ｍｍ、内径２ｍｍ、厚さ３ｍｍの環状の一体焼成型素子を作製した。１層あたり５０μｍを５０層積層し、両主面側の端部に内部電極の無い層を０．２５ｍｍずつ設けた。厚さは平面研削、外径を円筒加工し、内径はフライス加工した。外側面の外部電極および上下面の外部電極はスクリーン印刷で電極ペーストを塗布し、焼き付けた。内側面の外部電極は、両主面のスクリーン印刷時に印刷面の反対側から孔を吸引して電極ペーストが孔の内側面に付着するようにして、これを焼き付けて形成した。
【００４７】
このようにして作製した３個の圧電素子を積み重ねた圧電アクチュエータ本体の両端に、電極上にリード線をはんだ付けしたアルミナ板（絶縁板）を配置し、金属シャフトを孔に通して位置がずれない様にした。さらにアルミナ板の上からコイルバネで圧力を掛け、圧電素子上下の外部電極の接触を確実にした。これを、不活性ガスフロー中で陽極酸化処理したアルミニウム（アルマイト）のケースに溶接処理により封止し、実施例の圧電アクチュエータを得た。また、一方でＳＵＳ３１６の金属ケースに溶接処理により封止し、比較例の圧電アクチュエータを得た。
【００４８】
これらの圧電アクチュエータに対し、温度１２０℃、ＤＣ１５０Ｖの条件で耐久性試験を行なった。不良の基準は、１．０ＭΩ以下と定めた。図８は、耐久試験の結果を示すグラフである。図８に示すように、比較例の圧電アクチュエータは７５０ｈ以降に急激に絶縁抵抗が悪化し、１０００ｈでは１．０ＭΩ以下となった。一方で陽極酸化処理したアルミニウムケースを用いた実施例の圧電アクチュエータは、１０００ｈ経過しても絶縁性が急激に悪化する傾向は観察されなかった。このように、実施例では部材数や工程数を増やすことなく、圧電アクチュエータの絶縁性を向上させることができることが実証された。
【符号の説明】
【００４９】
１０  圧電アクチュエータ
１００  圧電アクチュエータ本体
１１０  圧電素子
１１１  素子本体
１１２  圧電層
１１３、１１４  内部電極
１１５ａ〜１１５ｃ、１１６ａ〜１１６ｃ  外部電極
１１７  孔
２１０  固定部
２１５  シャフト
２１７  隙間
２２０  絶縁板
２２５  電極
２２７  孔
２３０  絶縁板
２３６  電極
２３７  孔
２４０  変位伝達部
２４１  フランジ部
２４２  柱状部
２４５  先端
２５０  弾性部
２６０  ケース
３１５、３１６  リード線
４０５  圧電アクチュエータ本体
４１０  圧電素子
４１５  外部電極
４２０  リード部材
４３０  半球（変位伝達部）
４４０  座（固定部）
４５０  端子
４６０  ケース
４６５  ダイヤフラム（弾性部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
2015070093.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2015070093.tif 000008
【図７】
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【図８】
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