(57)【要約】【課題】より良好な振動アクチュエータ及び光学機器を提供する。【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１０は、円筒状のベース部１１と、前記ベース部１１の外周に配置されるアクチュエータ部１００と、を具備し、前記アクチュエータ部１００は、電気機械変換素子３２を含む振動部３０と、前記振動部３０に対して相対的に回転する回転部２２と、前記振動部３０と前記回転部２２とを圧接するための加圧部４０と、を備え、前記加圧部４０は複数の爪部４１Ａを有し、前記ベース部１１は、前記爪部４１Ａとバヨネット結合する係合部１２を有すること、を特徴とする。【選択図】図３
2015104265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のベース部と、
前記ベース部の外周に配置されるアクチュエータ部と、を具備し、
前記アクチュエータ部は、
電気機械変換素子を含む振動部と、
前記振動部に対して相対的に回転する回転部と、
前記振動部と前記回転部とを圧接するための加圧部と、
を備え、
前記加圧部は複数の爪部を有し、
前記ベース部は、前記爪部とバヨネット結合する係合部を有すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部は円環形状で、前記爪部は、前記加圧部の内径側に設けられていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、
前記電気機械変換素子と接する吸振材を有し、
前記加圧部は、前記吸振材を介して前記電気機械変換素子を押圧すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記回転部を保持するロータ保持部材を備え、
前記加圧部は、前記ロータ保持部材を介して前記回転部を押圧すること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記爪部の数は３以上の整数であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部は、ウェーブの一方が他部材との接触部で、他方が非接触部であるウェーブワッシャであり、
前記爪部は前記非接触部に設けられていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項７】
請求項６に記載の振動アクチュエータであって、
前記ウェーブワッシャの前記接触部は、前記爪部の整数倍であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項８】
請求項６または７に記載の振動アクチュエータであって、
前記接触部は、前記振動部に発生する振動波の数の整数倍であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部は皿バネであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部は、前記爪部の整数倍以上の歯部を有する歯付バネであること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部の歯数は、前記爪部の数をｍ、前記振動部に発生する振動波の数をｎとしたときの、ｍとｎの最小公倍数の１以上の整数倍であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記加圧部と前記ベース部の径方向は、前記爪部の径方向端面と前記ベース部の前記係合部の径方向端面によって位置決めされていること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は、樹脂であること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、
前記ベース部は、段付きバヨネット結合によって、前記回転部の回転方向への前記加圧部の移動を制限していること、
を特徴とする振動アクチュエータ。
【請求項１５】
請求項１から１４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動アクチュエータ及び光学機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気機械素子を用いて移動子を動かす振動アクチュエータを締結するために、バヨネット機構を用いるものがある。また、バネの芯がずれることにより性能が劣化し、また静寂性が損なわれる点に対して、バヨネット機構に新たに芯補正機能を設けたものもある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１８４９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来技術においては、他部材とバネとの干渉によって音が発生し、さらに、部品点数が多いため、全長および径方向の振動アクチュエータのスペースが大きく、組立が困難という課題があった。
【０００５】
本発明の課題は、より良好な振動アクチュエータ及び光学機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項１に記載の発明は、円筒状のベース部と、前記ベース部の外周に配置されるアクチュエータ部と、を具備し、前記アクチュエータ部は、電気機械変換素子を含む振動部と、前記振動部に対して相対的に回転する回転部と、前記振動部と前記回転部とを圧接するための加圧部と、を備え、前記加圧部は複数の爪部を有し、前記ベース部は、前記爪部とバヨネット結合する係合部を有すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は円環形状で、前記爪部は、前記加圧部の内径側に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の振動アクチュエータであって、前記電気機械変換素子と接する吸振材を有し、前記加圧部は、前記吸振材を介して前記電気機械変換素子を押圧すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記回転部を保持するロータ保持部材を備え、前記加圧部は、前記ロータ保持部材を介して前記回転部を押圧すること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記爪部の数は３以上の整数であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は、ウェーブの一方が他部材との接触部で、他方が非接触部であるウェーブワッシャであり、前記爪部は前記非接触部に設けられていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の振動アクチュエータであって、前記ウェーブワッシャの前記接触部は、前記爪部の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項８に記載の発明は、請求項６または７に記載の振動アクチュエータであって、前記接触部は、前記振動部に発生する振動波の数の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項９に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は皿バネであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１０に記載の発明は、請求項１から５のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部は、前記爪部の整数倍以上の歯部を有する歯付バネであること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部の歯数は、前記爪部の数をｍ、前記振動部に発生する振動波の数をｎとしたときの、ｍとｎの最小公倍数の１以上の整数倍であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１２に記載の発明は、請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記加圧部と前記ベース部の径方向は、前記爪部の径方向端面と前記ベース部の前記係合部の径方向端面によって位置決めされていること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１３に記載の発明は、請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は、樹脂であること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１４に記載の発明は、請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動アクチュエータであって、前記ベース部は、段付きバヨネット結合によって、前記回転部の回転方向への前記加圧部の移動を制限していること、を特徴とする振動アクチュエータである。
請求項１５に記載の発明は、請求項１から１４のいずれか１項に記載の振動アクチュエータを備える光学機器である。
なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、より良好な振動アクチュエータ及び光学機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態である振動アクチュエータを備えるカメラを示す図である。
【図２】第１実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。
【図３】振動アクチュエータの部分縦断面図である。
【図４】ウェーブワッシャの中筒への装着構造を説明する図である。
【図５】ウェーブワッシャの斜視図である。
【図６】ウェーブワッシャの爪部と中筒の係合溝との関係を説明する図である。
【図７】変形例のウェーブワッシャの斜視図である。
【図８】加圧部材の変形例としての皿バネの斜視図である。
【図９】加圧部材の変形例としての歯付バネの斜視図である。
【図１０】加圧部材としてウェーブワッシャを用いた第２実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。
【図１１】図１０に示す振動アクチュエータの縦断面図である。
【図１２】加圧部材として皿バネを用いた第２実施形態における振動アクチュエータの外観斜視図である。
【図１３】図１２に示す振動アクチュエータの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図において、光軸に沿った被写体側をＺプラス側、像側をＺマイナス側として説明する。光軸は振動アクチュエータ１０の中心の軸線方向でもある。
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態である振動アクチュエータ１０を備えるカメラ１を示す図である。
本実施形態のカメラ１は、撮像素子６を有するカメラボディ２と、レンズ鏡筒３とを備える。レンズ鏡筒３は、カメラボディ２に着脱可能な交換レンズである。なお、本実施形態のカメラ１は、レンズ鏡筒３が交換レンズである例を示すが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
【００１１】
レンズ鏡筒３は、レンズ４、カム筒５、振動アクチュエータ１０等を備えている。
振動アクチュエータ１０は、略円環形状であり、その軸線方向が光軸方向（Ｚ方向）と略一致するようにレンズ鏡筒３内に配置されている。この振動アクチュエータ１０は、カメラ１のフォーカス動作時にレンズ４を駆動する駆動源として用いられている。
振動アクチュエータ１０から得られた駆動力は、カム筒５に伝えられる。レンズ４のレンズ枠４ａは、カム筒５とカム係合しており、振動アクチュエータ１０の駆動力によってカム筒５が光軸回りに回転すると、レンズ４は、光軸方向へ移動して焦点調節が行なわれる。
【００１２】
そして、カメラ１は、レンズ鏡筒３内に設けられた不図示のレンズ群（レンズ４を含む）によって撮像素子６の撮像面に結像された被写体像を、撮像素子６によって電気信号に変換すると共にその信号をＡ／Ｄ変換して画像データとして記録する。
【００１３】
つぎに、図２および図３を参照して、振動アクチュエータ１０について説明する。
図２は、振動アクチュエータ１０の外観斜視図である。図３は、振動アクチュエータ１０の部分（環状の一方の）縦断面図である。
振動アクチュエータ１０は、ベース部となる中筒１１の外周に、アクチュエータ部１００が配置されたものである。アクチュエータ部１００は、ロータ部２０と、ステータ３０と、両者を圧接させる加圧部４０とが、Ｚ軸マイナス方向に向かって直列に配設されて構成されている。本実施形態の振動アクチュエータ１０は、Ｚ軸方向に移動不能なロータ部２０に、ステータ３０を加圧部４０によって圧接させるいわゆるステータ加圧構造である。
【００１４】
中筒１１は、軸線を中心とした円筒状の部材であって、ポリカーボネート等の機械的強度の高い樹脂により、射出成形によって形成されている。中筒１１は、前後方向（Ｚ軸方向）に前部１１Ｆと後部１１Ｒとに分割形成され、この２つの部材はネジ結合で一体化されている。
中筒１１の前端（Ｚ軸プラス側の端）には、大径のフランジ部１１Ａが形成されている。また、中筒１１の後端（Ｚ軸マイナス側の端）の周囲には加圧部４０における後述するウェーブワッシャ４１が係合する係合溝（係合部）１２が形成されている。
【００１５】
ロータ部２０は、ロータ保持部材２１と、当該ロータ保持部材２１によってそのＺ軸マイナス側に保持されたロータ（回転部）２２と、両者の間に介設された防振材２３および接触圧均等化のためのシート２４と、により構成されている。
ロータ保持部材２１は、円環状の基部２１ＡのＺ軸マイナス側に小径の円環状の嵌合部２１Ｂを備え、その基部２１Ａで軸受け１１Ｃを介して中筒１１に回転自在に装着されている。
嵌合部２１Ｂは、ロータ２２の基部２２Ａに嵌合し、ロータ２２をその径方向の位置を規定して（同芯に）保持する。また、ロータ保持部材２１における基部２１Ａの外周には、出力ピン２５が径方向に突設されている。
ロータ２２は、アルミニウム合金等によって、略円環状に形成されている。ロータ２２は、基部２２ＡのＺ軸マイナス側に突設された肉薄の被駆動部２２Ｂを備えている。
【００１６】
防振材２３は、ゴムまたはゲル等によって形成されている。防振材２３は、ロータ保持部材２１における基部２１ＡのＺ軸マイナス側の端面に接して配置されている。防振材２３は、移動子１５の縦方向の振動を吸収するように作用する。
シート２４は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の低摩擦の部材によって形成されている。シート２４は、防振材２３とロータ２２の基部２２ＡのＺ軸プラス側の端面との間に介設されている。シート２４は、ロータ２２のロータ保持部材２１に対する接触圧を周方向において均一化させるように作用する。
【００１７】
また、ロータ部２０の外周には、ロータ保持部材２１とロータ２２とに跨がって、連結テープ２６が周方向３カ所に貼付されている。この連結テープ２６は、ロータ２２とロータ保持部材２１とがシート２４の作用で相対回転してしまうことを防ぎ、ロータ２２とロータ保持部材２１とを同期回転させる。
【００１８】
ステータ（振動部）３０は、弾性体３１に圧電体３２が接着されて構成されている。
弾性体３１は、高弾性率を有するステンレス鋼またはインバー鋼等の鉄合金により略円環状に形成されている。弾性体３１のＺ軸プラス側は、複数のスリットが形成された櫛歯部３１Ａとなっている。弾性体３１のＺ軸マイナス側の端面には、圧電体３２が導電性を有する接着剤等によって接着されている。
【００１９】
圧電体３２は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する機能を有する圧電素子である。圧電体３２は、図示しない電極部が形成されており、この電極部にフレキシブルプリント基板が電気的に接続されて駆動信号が供給されるようになっている。圧電体３２は、フレキシブルプリント基板を介して供給される駆動信号によって伸縮し、弾性体３１を振動させる。なお、圧電体３２は、電歪素子を用いてもよい。
【００２０】
ステータ３０は、中筒１１におけるロータ部２０のＺ軸マイナス側に、後述する加圧部４０によってロータ部２０に向けて押圧付勢されて配設され、その櫛歯部３１Ａの先端面がロータ部２０におけるロータ２２の被駆動部２２Ｂの端面に圧接している。
そして、ステータ３０は、圧電体３２の伸縮によって弾性体３１における櫛歯部３１Ａの先端面に進行波を生じ、櫛歯部３１Ａの先端面が加圧接触しているロータ２２を回転駆動する。
【００２１】
加圧部４０は、加圧部材としてのウェーブワッシャ４１と、振動吸収材４２と、加圧板４３と、によって構成されている。
ウェーブワッシャ４１は、円環状で中心軸方向に波打った形状に弾性を有する薄板素材によって形成され、中心軸方向（Ｚ軸方向）の弾性変形で復帰力を生ずるものである。ウェーブワッシャ４１は、中筒１１に外挿されてその係合溝１２にＺ軸方向に移動不能に係合し、これによって中筒１１に装着されている。なお、その中筒１１への装着構造については、後に詳述する。
【００２２】
振動吸収材４２は、フェルト等の不織布によって形成された円環状の部材であって、ステータ３０のＺ軸マイナス側の面（圧電体３２）に当接するように配設されている。この振動吸収材４２は、ステータ３０の振動を吸収して後述する加圧板４３やウェーブワッシャ４１に伝達することを抑制する。
加圧板４３は、金属薄板による円環状の部材であって、振動吸収材４２とウェーブワッシャ４１との間に配設されている。加圧板４３は、ウェーブワッシャ４１の押圧力を周方向において均等化して振動吸収材４２に作用させる。
【００２３】
そして、加圧部４０は、Ｚ軸方向に弾性変形して中筒１１に装着されたウェーブワッシャ４１が、その弾性復帰力で加圧板４３および振動吸収材４２を介してステータ３０をＺ軸プラス方向に押圧する。これにより、ステータ３０の櫛歯部３１Ａの先端面が、ロータ部２０におけるロータ２２の被駆動部２２Ｂの端面に圧接する。
【００２４】
上記のように構成された振動アクチュエータ１０は、ステータ３０における圧電体３２への駆動信号の供給によって弾性体３１の櫛歯部３１Ａの先端面に進行波を生じさせ、この進行波によってロータ２２を回転駆動する。ロータ２２はロータ保持部材２１と共に回転し（すなわちロータ部２０が回転し）、その回転力はロータ保持部材２１に植設された出力ピン２５から図１に示したカム筒５に伝達される（カム筒５を回転駆動する）。
【００２５】
つぎに、図４〜図６を参照して、加圧部４０におけるウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造について説明する。
図４は、ウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造を説明する図である。図５は、ウェーブワッシャ４１の斜視図である。図６は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａと中筒１１の係合溝１２との関係を説明する図であって、（ａ）はウェーブワッシャ４１の平面図、（ｂ）は中筒１１を背面側（Ｚ軸マイナス側）から見た図である。
【００２６】
ウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造は、ウェーブワッシャ４１の後述する爪部４１Ａを、中筒１１に形成された係合溝１２に合致させ、ウェーブワッシャ４１を回転させることで中筒１１に装着する、いわゆるバヨネット構造である。
【００２７】
ウェーブワッシャ４１は、たとえば、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ６３１、Ｃ５２１０、Ｃ１７２０等の、バネ性を有する金属薄板によって、前述したように、円環状で中心軸方向に波打った形状に形成されている。
ウェーブワッシャ４１の内周部には、中筒１１における係合溝１２に係合する爪部４１Ａが突設されている。本実施形態では、図５および図６に示すように、爪部４１Ａは、周方向に３カ所、等角度間隔（１２０°間隔）で設けられている。
爪部４１Ａは、所定幅でウェーブワッシャ４１の内径側に所定量突出している。図６（ａ）に示す爪部４１Ａの先端の径（内径：φＤ）は、図６（ｂ）に示す中筒１１における係合溝１２の底（φｄ）に対して、ガタ無く嵌合する公差に設定されている。
【００２８】
ここで、爪部４１Ａは、ウェーブワッシャ４１における波形状の谷の部位に設けられている。換言すると、ウェーブワッシャ４１は、爪部４１Ａが形成されている部位を谷として、波の山４１Ｂが形成されている。爪部４１Ａが周方向に３カ所設けられている本実施形態におけるウェーブワッシャ４１は、谷と山がそれぞれ３カ所ある３波長の波形状である。
【００２９】
中筒１１における係合溝１２は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａと対応して、周方向に等角度間隔（１２０°間隔）で３カ所設けられている。係合溝１２は、図４に示すように、嵌入部１２Ａと、係合ロータ部１２Ｂと、係合凹部１２Ｃと、を備えている。
【００３０】
嵌入部１２Ａは、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが嵌入可能な幅で、中筒１１のＺ軸マイナス側の端面側に開放し、Ｚ軸方向プラス側には所定量入り込んで形成されている。
係合ロータ部１２Ｂは、嵌入部１２Ａの奥端から中筒１１を背面側（Ｚ軸マイナス側）から見て時計回り方向所定角度に延設されている。
【００３１】
係合凹部１２Ｃは、係合ロータ部１２Ｂにおける周方向先端部のＺ軸マイナス側の面が、Ｚ軸マイナス側に凹状に抉られて形成されている。その周方向における幅は、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが嵌入可能に設定されている。この係合凹部１２ＣのＺ軸マイナス側の面が、中筒１１に対するウェーブワッシャ４１のＺ軸方向における位置を規定する面となる。
【００３２】
そして、上記のような装着構造では、ウェーブワッシャ４１は、以下のようにして中筒１１に装着される。なお、ウェーブワッシャ４１の装着時には、上述したロータ部２０、ステータ３０および加圧部４０の他の構成要素は中筒１１に組み付けられている。
図４中矢印で示すように、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａを中筒１１の背面側の端部からその嵌入部１２Ａに嵌め込み、係合ロータ部１２Ｂに沿って図中時計回りに回転させる。爪部４１Ａが係合凹部１２Ｃに対応する位置に至ると、爪部４１Ａは係合凹部１２Ｃに嵌まり、これによってウェーブワッシャ４１は中筒１１に回転不能として装着される。
【００３３】
ここで、中筒１１に装着されたウェーブワッシャ４１のＺ軸方向における位置は、その波の山４１Ｂが加圧板４３と接触して、ウェーブワッシャ４１がＺ軸方向に所定量弾性変形するように設定されている。これにより、このウェーブワッシャ４１の弾性復帰力は、爪部４１Ａを係合凹部１２Ｃに嵌合させると共に、加圧板４３をＺ軸プラス側に押圧するように作用する。加圧板４３に作用する押圧力は、前述したように、ステータ３０をロータ部２０におけるロータ２２に圧接させる力となる。
【００３４】
上記のようなウェーブワッシャ４１の中筒１１への装着構造では、ウェーブワッシャ４１の備える爪部４１Ａが中筒１１の係合溝１２に係合し、これによってウェーブワッシャ４１が中筒１１に装着される。つまり、ウェーブワッシャ４１はそれ自体で中筒１１に固定される。このため、ウェーブワッシャ４１を中筒１１に固定するための部材は不要となる。
【００３５】
なお、上記実施形態では、加圧部４０における加圧部材としてのウェーブワッシャ４１は、３つの波形状を有し、その波の谷に相当する３カ所に中筒１１と係合する爪部４１Ａが設けられているものを例示している。しかし、ウェーブワッシャにおける波の数（波長）および爪部の数は、この例に限るものではない。
【００３６】
爪部は、ウェーブワッシャが中筒に安定的に装着されるためには３カ所以上、周方向に等角度間隔で配置されることが好ましく、これに対して波の数は爪部の数と同じか２倍、３倍等の整数倍とする。つまり、爪部の間に１以上の波の山が存在するように設定する。これにより、バネ力を円周方向に均一化することができる。
図７に示すウェーブワッシャ４１１は、爪部４１１Ａが６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられ、波の数（波長）が６波長の例である。爪部４１１Ａは、各波長の谷の位置に設けられている。
また、接触部となる山の部分は、弾性体３１に発生する振動波の整数倍である。
【００３７】
また、加圧部４０における加圧部材は、ウェーブワッシャに限らず、皿バネや歯付バネを用いても良い。図８は、皿バネの例を示す。図９は、歯付バネの例であって、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は平面図である。
図８に示す皿バネ４１２は、爪部４１２Ａが６カ所の例である。爪部４１２Ａは、周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられる。このような皿バネ４１２を用いれば、相手部材（加圧板４３）を円周状に押圧することができるため、一層均質的な押圧力を得ることができる。
【００３８】
図９に示すような歯付バネでは、歯は周方向に等角度間隔に配置され、その数は爪部の整数倍であることが、変形が均質化できるため好ましい。また、歯の数はステータの進行波の波数の整数倍であるとどの進行波も同じように波頭がロータに接することができるので効果的である。
最適の歯数は、爪部の数ｍ、進行波の波数ｎ、としたときのｍとｎの最小公倍数およびその整数倍である。図９に示す歯付バネ４１３は、爪部４１３Ａの数ｍ＝６、進行波の波数ｎ＝８、の場合であって、歯４１３Ｂの数を２４としたものである。
爪部４１３Ａは、周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられる。また、歯４１３Ｂは、周方向に等角度間隔（１５°間隔）で設けられる。
【００３９】
（第２実施形態）
つぎに、本発明をロータ加圧構造の振動アクチュエータ適用した第２実施形態を、図１０〜図１３を参照して説明する。
図１０は、加圧部材としてウェーブワッシャ４１０を用いた第２実施形態における振動アクチュエータ１１０の外観斜視図である。
図１１は、図１０に示す振動アクチュエータ１１０の縦断面図である。
図１２は、加圧部材として皿バネ４２０を用いた第２実施形態における振動アクチュエータ１２０の外観斜視図である。
図１３は、図１２に示す振動アクチュエータ１２０の縦断面図である。
【００４０】
なお、前述した第１実施形態における振動アクチュエータ１０と同機能の構成要素には、同符号を付して説明は省略する。また、振動アクチュエータ１０のカメラ１およびレンズ鏡筒３への適用は、第１実施形態と同様である。
【００４１】
図１０および図１１に示す振動アクチュエータ１１０は、中筒１１の外周に、加圧部材としてウェーブワッシャ４１０と、ロータ部２０と、ステータ３０とが、Ｚ軸マイナス方向に向かって直列に配設されている。本構成の振動アクチュエータ１１０は、Ｚ軸方向に移動不能なステータ３０に、ロータ部２０を加圧部４００によって圧接させる。
中筒１１のＺ軸マイナス側の端部には、大径のフランジ部１１Ｂが形成されている。
中筒１１のＺ軸プラス側の端部には、ウェーブワッシャ４１０が装着される係合溝１２が形成されている。係合溝１２は、ウェーブワッシャ４１０の爪部４１０Ａと対応して周方向に等角度間隔で６カ所設けられている。
【００４２】
ステータ３０は、中筒１１におけるフランジ部１１ＢのＺ軸プラス側に振動吸収材１３を挟んで配置され、Ｚ軸マイナス側には移動不能となっている。
ロータ部２０は、軸受け２７を介して中筒１１に回転自在に装着されたロータ保持部材２１と、当該ロータ保持部材２１のＺ軸マイナス側に保持されたロータ２２と、両者の間に介設された防振材２３と、により構成されている。
【００４３】
加圧部材としてウェーブワッシャ４１０は、前述した第１実施形態において説明した図７に示すウェーブワッシャ４１１と同様に、爪部４１０Ａ（図１０には表れていない）が６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられ、波の数（波長）が６波長のものである。爪部４１０Ａは、各波長の谷の位置に設けられている。
【００４４】
ウェーブワッシャ４１０は、その爪部４１０Ａが中筒１１のＺ軸プラス側の端部に形成された係合溝１２に係合して中筒１１に装着され、図１１中矢印で示すように、軸受け２７を押圧するように設けられている。ウェーブワッシャ４１０の押圧力は、軸受け２７を介してロータ２２に作用し、ロータ２２をステータ３０に圧接させる。
【００４５】
図１２および図１３に示す振動アクチュエータ１２０は、加圧部材として皿バネ４２０を用いたものである。
皿バネ４２０は、前述した第１実施形態において説明した図８に示す皿バネ４１２と同様に、爪部４２０Ａ（図１２には表れていない）が６カ所周方向に等角度間隔（６０°間隔）で設けられたものである。
【００４６】
皿バネ４２０は、その爪部４２０Ａが中筒１１のＺ軸プラス側の端部に形成された係合溝１２に係合して中筒１１に装着され、図１３中矢印で示すように、軸受け２７を押圧するように設けられている。ウェーブワッシャ４１０の押圧力は、軸受け２７を介してロータ２２に作用し、ロータ２２をステータ３０に圧接させる。
【００４７】
以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）本実施形態に係る振動アクチュエータ１０では、ロータ２２とステータ３０とを圧接させる加圧部材としてのウェーブワッシャ４１は、その備える爪部４１Ａが中筒１１に形成された係合溝１２に係合することで、中筒１１に装着される。これにより、ウェーブワッシャ４１を固定するための部材が不要となり、部品点数の削減によってコストを低減できると共に、小型化も可能となる。
【００４８】
（２）ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａの先端の径と、中筒１１における係合溝１２の底の径とは、ガタ無く嵌合する所定の嵌合公差に設定されている。このため、ウェーブワッシャ４１は治具等を要することなく中筒１１の中心と芯が合った状態で装着される。これにより、組み立てが簡単となり、組み立て工数の削減によるコスト低減が可能となる。
【００４９】
（３）ウェーブワッシャ４１は中筒１１の中心と芯が合った状態で装着されるため、ウェーブワッシャ４１によって加圧する径位置が周方向すべての点で一致する。これにより、ステータ３０とロータ２２の摩擦が円周方向のどの位置でも均質化し、回転ムラが小さくなる。また、ステータ３０の進行波がロータ２２に均質に伝わるため電力が下がり、効率が改善する。さらに、低速での進行波の伝達が効率的に行われるため、起動性が向上する。
【００５０】
（４）ウェーブワッシャ４１は中筒１１の中心と芯が合った状態で装着されて、爪部１４Ａ以外の部位が中筒１１と接触することがない。このため、駆動時にステータ３０の振動が伝達されて振動するウェーブワッシャ４１の内周が中筒１１の外周面と干渉することによる音の発生がなく、静寂性を向上できる。また、音発生を防ぐための余計な部品やその組立工程も不要となり、コスト低減が可能となる。
（５）中筒１１は、ポリカーボネート等の樹脂によって形成されているため、万一振動するウェーブワッシャ４１の内周が当接しても、音の発生を抑制できる。
【００５１】
（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）本実施形態では、ウェーブワッシャ４１の爪部４１Ａが係合する中筒１１の係合溝１２は、爪部４１Ａが嵌入することでその周方向移動を規制する係合凹部１２Ｃを備えている。しかし、爪部４１Ａは、ウェーブワッシャ４１の弾性復帰力で係合ロータ部１２Ｂの壁面に圧接されて、その摩擦力が回転方向の移動を規制するため、この係合凹部１２Ｃを設けない構成も可能である。
【００５２】
（２）また、中筒１１とウェーブワッシャ４１とを接着剤によって接着し、ウェーブワッシャ４１の回転を規制する構成としても良い。
（３）ウェーブワッシャ４１には、外周部に突起または切り欠きを設けたり穴を形成し、中筒１１への装着時に工具による回転操作を可能とする構成としても良い。これにより、組立性を向上させることができる。
【００５３】
（４）上記実施形態は、中空状の中筒を中心とする振動アクチュエータについて説明したが、本発明はこれに限らず、中心軸が回転する振動アクチュエータにも適用可能なものである。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。
【符号の説明】
【００５４】
１：カメラ、１０：振動アクチュエータ、１１：中筒、１２：係合溝、１２Ｃ：係合凹部、２０：ロータ部、２１：ロータ保持部材、２２：ロータ、３０：ステータ、３１：弾性体、３２：圧電体、４０：加圧部、４１：ウェーブワッシャ、４１Ａ：爪部、４１Ｂ：波の山、４２：振動吸収材、１１０：振動アクチュエータ、１２０：振動アクチュエータ、４１０：ウェーブワッシャ、４１０Ａ：爪部、４１１：ウェーブワッシャ、４１１Ａ：爪部、４１２：皿バネ、４１２Ａ：爪部、４１３：歯付バネ、４１３Ａ：爪部、４１３Ｂ：歯、４２０：皿バネ、４２０Ａ：爪部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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