(57)【要約】【課題】ロッドの一端側に係合された被駆動体の揺動を抑制することができる取付構造、取付構造を有したリンク機構付き検出装置及びリンク機構が接続される位置検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】取付構造は、揺動するレバーＬ１と往復移動可能なロッドとを備え、支点ＰＰに近い側を第１円弧端点ＧＡ１、遠い側を第２円弧端点ＧＡ２とし、支点ＰＰからレバーＬ１のレバー線分ＬＪＭへの垂線を垂線線分ＶＬとし、支点ＰＰと円弧中間点ＧＡ３とを結んだ中間線ＰＧ３と垂線線分ＶＬのなす角を中間角度ＡＮ３とし、支点ＰＰと第１円弧端点ＧＡ１を結んだ第１端線ＰＧ１と垂線線分ＶＬのなす角を第１角度ＡＮ１とし、支点ＰＰと第２円弧端点ＧＡ２を結んだ第２端線ＰＧ２と垂線線分ＶＬのなす角を第２角度ＡＮ２とし、中間角度ＡＮ３が第１角度ＡＮ１と第２角度ＡＮ２のいずれか大きい角度と等しいか若しくは大きくなるという特徴を有している。【選択図】図３
2015214950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端側に揺動軸を有し所定の揺動角度範囲で揺動するレバーと、
一端側に被駆動体が係合されたロッドと、
該ロッドの中間部に配設され前記ロッドを往復移動可能に支持する支持体と、を備え、
前記レバーの他端側と前記ロッドの他端側とを前記揺動軸から所定の距離離れた結合軸で可動可能に結合した取付構造であって、
前記レバーの揺動に伴い前記結合軸が描く円弧において、前記支持体に近い側の円弧端点を第１円弧端点とするとともに、前記支持体に遠い側の円弧端点を第２円弧端点とし、
前記揺動軸と前記結合軸とを結ぶ線分をレバー軸線とし、
前記支持体の支持中心である支点から前記レバー軸線に向けた線が前記レバー軸線に対して垂線となる前記レバーの揺動角度の際に、前記垂線を垂線線分とするとともに、前記レバー軸線をレバー線分とし、
前記レバー線分と前記円弧との接続点を円弧中間点とし、
前記支点と前記円弧中間点とを結んだ線を中間線とし、前記支点と前記第１円弧端点を結んだ線を第１端線とし、前記支点と前記第２円弧端点を結んだ線を第２端線とし、
前記中間線と前記垂線線分のなす角を中間角度とし、前記第１端線と前記垂線線分のなす角を第１角度とし、前記第２端線と前記垂線線分のなす角を第２角度とし、
前記中間角度が前記第１角度と前記第２角度のいずれか大きい角度と等しいか若しくは大きくなるように、前記レバーと前記ロッドと結合したことを特徴とする取付構造。
【請求項２】
前記支持体は、スラスト軸受であることを特徴とする請求項１に記載の取付構造。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の取付構造を有したリンク機構と、
前記リンク機構に接続された検出装置と、を備え、
前記検出装置は、前記リンク機構の前記ロッドとともに往復移動する前記被駆動体と、
該被駆動体とともに往復移動する可動磁石と、
該可動磁石の動作を検出する検出手段と、を有することを特徴とするリンク機構付き検出装置。
【請求項４】
前記検出手段は、前記可動磁石の往復移動の移動方向と、前記可動磁石との間隔方向と、における前記可動磁石の動作量を検出することを特徴とする請求項３に記載のリンク機構付き検出装置。
【請求項５】
前記可動磁石と前記検出手段との間に隔壁が設けられていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載のリンク機構付き検出装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の取付構造を有したリンク機構が接続される位置検出装置であって、
前記リンク機構の前記ロッドに係合され前記ロッドとともに往復移動する前記被駆動体と、
該被駆動体とともに動作する可動磁石と、
該可動磁石の動作を検出する検出手段と、を有することを特徴とする位置検出装置。
【請求項７】
前記可動磁石の往復移動に伴って前記可動磁石と前記検出手段との相対的な間隔が変化し、
前記第１角度または前記第２角度のいずれか大きい角度における前記可動磁石の位置と、前記中間角度における前記可動磁石の位置と、の相対的な間隔が同じとなる位置に前記検出手段が配設されることを特徴とする請求項６記載の位置検出装置。
【請求項８】
前記検出手段は、前記可動磁石の往復移動の移動方向と、前記可動磁石との間隔方向と、における前記可動磁石の動作量を検出することを特徴とする請求項６または請求項７に記載の位置検出装置。
【請求項９】
前記可動磁石と前記検出手段との間に隔壁が設けられていることを特徴とする請求項６ないし請求項８のいずれかに記載の位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リンク機構における取付構造に関し、特に、取付構造を有したリンク機構付き検出装置及び該リンク機構が接続される位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一端側に設けられた回転中心軸を中心にして回転するレバーと、このレバーの他端側で係合され往復移動するロッドと、を有したリンク機構は、簡単な治具や複雑な機械にいたる様々な用途で用いられている。特に、クランク、コネクティングロッド、ピストン等の内燃機関で良く用いられている。
【０００３】
このような従来例として、特許文献１では、リンクレバー９０３とロッド９０４を有したリンク機構が用いられたウェイストゲートバルブ制御装置９００が提案されている。図１８は、ウェイストゲートバルブ制御装置９００を説明する図であって、図１８（ａ）はウェイストゲートバルブ制御装置９００の側面構成図であり、図１８（ｂ）は、ウェイストゲートバルブ制御装置９００に用いられるリンク機構を示した説明図である。
【０００４】
図１８（ａ）に示すウェイストゲートバルブ制御装置９００は、回転中心軸を中心にして回転するウェイストゲートバルブ９０１と、このウェイストゲートバルブ９０１を駆動するロッド９０４と、ウェイストゲートバルブ９０１とロッド９０４とを連結するリンクレバー９０３と、ロッド９０４に一体的に設置されて、一定の磁束密度の磁界を発生する磁石を含む磁性移動体９０７と、この磁性移動体９０７の移動を検出するストロークセンサ９９９と、を備えて構成される。
【０００５】
このウェイストゲートバルブ制御装置９００に用いられたリンク機構は、図１８（ｂ）に示すように、リンクレバー９０３とロッド９０４が直交するように連結されて中立点を形成するように構成されている。そして、ウェイストゲートバルブ９０１の駆動に伴って、リンクレバー９０３は、全閉開度点（図１８（ｂ）に示す点Ａ）から中間開度点（中立点）（図１８（ｂ）に示す点Ｂ）を経て全開開度点（図１８（ｂ）に示す点Ｃ）と、円弧を描いて回動する。そして、リンクレバー９０３の回動に伴って、ロッド９０４は、スラスト軸受９０５に支持されて、傾きながら往復移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−１３２５５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来例のようなリンク機構では、リンクレバー９０３の回動に伴って、ロッド９０４が傾き、ロッド９０４の往復移動に伴って、ロッド９０４が大きく偏心するようになる。特に、従来例のような非接触式のストロークセンサ９９９を用いて、ロッド９０４のストロークを検出するような場合、このロッド９０４の偏心がストロークセンサ９９９とロッド９０４との間隔を変動させることになり、ストロークセンサ９９９の検出精度が低下するという課題があった。この偏心が大きくなればなるほど、ストロークセンサ９９９の検出精度への悪影響が大きくなってしまう。
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するもので、ロッドの一端側に係合された被駆動体の揺動を抑制することができる取付構造、該取付構造を有したリンク機構付き検出装置及び該リンク機構が接続される位置検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題を解決するために、本発明の取付構造は、一端側に揺動軸を有し所定の揺動角度範囲で揺動するレバーと、一端側に被駆動体が係合されたロッドと、該ロッドの中間部に配設され前記ロッドを往復移動可能に支持する支持体と、を備え、前記レバーの他端側と前記ロッドの他端側とを前記揺動軸から所定の距離離れた結合軸で可動可能に結合した取付構造であって、前記レバーの揺動に伴い前記結合軸が描く円弧において、前記支持体に近い側の円弧端点を第１円弧端点とするとともに、前記支持体に遠い側の円弧端点を第２円弧端点とし、前記揺動軸と前記結合軸とを結ぶ線分をレバー軸線とし、前記支持体の支持中心である支点から前記レバー軸線に向けた線が前記レバー軸線に対して垂線となる前記レバーの揺動角度の際に、前記垂線を垂線線分とするとともに、前記レバー軸線をレバー線分とし、前記レバー線分と前記円弧との接続点を円弧中間点とし、前記支点と前記円弧中間点とを結んだ線を中間線とし、前記支点と前記第１円弧端点を結んだ線を第１端線とし、前記支点と前記第２円弧端点を結んだ線を第２端線とし、前記中間線と前記垂線線分のなす角を中間角度とし、前記第１端線と前記垂線線分のなす角を第１角度とし、前記第２端線と前記垂線線分のなす角を第２角度とし、前記中間角度が前記第１角度と前記第２角度のいずれか大きい角度と等しいか若しくは大きくなるように、前記レバーと前記ロッドと結合したことを特徴としている。
【００１０】
これによれば、本発明の取付構造は、レバーの揺動角度範囲において、支持体に支持されたロッドの支点を中心としたロッドのブレ角度を小さくすることができる。このため、ロッドの一端側に係合された被駆動体の揺動を抑制することができる。このことにより、被駆動体が大きく揺動することによる被駆動体の不具合を軽減することができる。
【００１１】
また、本発明の取付構造は、前記支持体がスラスト軸受であることを特徴としている。
【００１２】
これによれば、ロッドが動く際に、異音を発したり寿命を縮めること無しに、ロッドの傾きの動きと往復移動を可能とすることができる。このことにより、被駆動体の駆動が安定して行われることとなる。
【００１３】
また、本発明のリンク機構付き検出装置は、請求項１または請求項２に記載の取付構造を有したリンク機構と、前記リンク機構に接続された検出装置と、を備え、前記検出装置が、前記リンク機構の前記ロッドとともに往復移動する前記被駆動体と、該被駆動体とともに往復移動する可動磁石と、該可動磁石の動作を検出する検出手段と、を有することを特徴としている。
【００１４】
これによれば、ロッドの支点を中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構とリンク機構に接続された検出装置とを備えているので、ロッドが往復移動した際に、検出装置の被駆動体における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドが往復移動した際の可動磁石と検出手段との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられたリンク機構付き検出装置を提供することができる。
【００１５】
また、本発明のリンク機構付き検出装置は、前記検出手段が、前記可動磁石の往復移動の移動方向と、前記可動磁石との間隔方向と、における前記可動磁石の動作量を検出することを特徴としている。
【００１６】
これによれば、可動磁石の動作をより正確に検出することができる。このことにより、位置検出の精度を向上させることができる。
【００１７】
また、本発明のリンク機構付き検出装置は、前記可動磁石と前記検出手段との間に隔壁が設けられていることを特徴としている。
【００１８】
これによれば、可動磁石が配設される空間と検出手段が配設される空間とが隔てられることとなる。このことにより、ロッドの配置されている空間での環境変化があっても検出手段への影響を軽減させることができる。
【００１９】
また、本発明の位置検出装置は、請求項１または請求項２に記載の取付構造を有したリンク機構が接続される位置検出装置であって、前記リンク機構の前記ロッドに係合され前記ロッドとともに往復移動する前記被駆動体と、該被駆動体とともに動作する可動磁石と、該可動磁石の動作を検出する検出手段と、を有することを特徴としている。
【００２０】
これによれば、可動磁石を動作する被駆動体がロッドの支点を中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構に係合されているので、ロッドが往復移動した際に、位置検出装置の被駆動体における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドが往復移動した際の可動磁石と検出手段との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置を提供することができる。
【００２１】
また、本発明の位置検出装置は、前記可動磁石の往復移動に伴って前記可動磁石と前記検出手段との相対的な間隔が変化し、前記第１角度または前記第２角度のいずれか大きい角度における前記可動磁石の位置と、前記中間角度における前記可動磁石の位置と、の相対的な間隔が同じとなる位置に前記検出手段が配設されることを特徴としている。
【００２２】
これによれば、可動磁石が往復移動した際に、可動磁石と検出手段との間隔の変動が小さいものとすることができる。このことにより、可動磁石のブレの影響を受けることによる検出手段の検出精度の低下をより抑えることができる。
【００２３】
また、本発明の位置検出装置は、前記検出手段が、前記可動磁石の前記往復移動の移動方向と、前記可動磁石との間隔方向と、における前記可動磁石の動作量を検出することを特徴としている。
【００２４】
これによれば、可動磁石の動作をより正確に検出することができる。このことにより、位置検出の精度を向上させることができる。
【００２５】
また、本発明の位置検出装置は、前記可動磁石と前記検出手段との間に隔壁が設けられていることを特徴としている。
【００２６】
これによれば、可動磁石が配設される空間と検出手段が配設される空間とが隔てられることとなる。このことにより、ロッドの配置されている空間での環境変化があっても検出手段への影響を軽減させることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の取付構造は、レバーの揺動角度範囲において、支持体に支持されたロッドの支点を中心としたロッドのブレ角度を小さくすることができる。このため、ロッドの一端側に係合された被駆動体の揺動を抑制することができる。このことにより、被駆動体が大きく揺動することによる被駆動体の不具合を軽減することができる。
【００２８】
また、本発明のリンク機構付き検出装置は、ロッドの支点を中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構とリンク機構に接続された検出装置とを備えているので、ロッドが往復移動した際に、検出装置の被駆動体における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドが往復移動した際の可動磁石と検出手段との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられたリンク機構付き検出装置を提供することができる。
【００２９】
また、本発明の位置検出装置は、可動磁石を動作する被駆動体がロッドの支点を中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構に係合されているので、ロッドが往復移動した際に、位置検出装置の被駆動体における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドが往復移動した際の可動磁石と検出手段との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段の検出精度の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施形態の取付構造を説明する側面構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態の取付構造を説明する図であって、スラスト軸受の一例を示した図である。
【図３】本発明の第１実施形態の取付構造を説明する構成図であって、レバーとロッドの動きを模式化した側面図である。
【図４】本発明の第２実施形態の位置検出装置を説明する分解斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態の位置検出装置を説明する斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態の位置検出装置を説明する側面図である。
【図７】本発明の第２実施形態の位置検出装置を説明する上面図である。
【図８】本発明の第２実施形態の位置検出装置を説明する図であって、図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線における断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係わる位置検出装置の動作を説明する図であって、図８の状態から可動磁石が下方に移動した状態を示す断面図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係わる位置検出装置の可動磁石の動作を説明する図である。
【図１１】本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置を説明する分解斜視図である。
【図１２】本発明の第３実施形態に係わるリンク機構を説明した構成側面図である。
【図１３】本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置を説明する斜視図である。
【図１４】本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置を説明する側面図である。
【図１５】本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置を説明する上面図である。
【図１６】本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置を説明する図であって、図１５に示すＸＶ−ＸＶ線における断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態に係わるリンク機構付き検出装置の動作を説明する図であって、図１６の状態から可動磁石が上方に移動した状態を示す断面図である。
【図１８】従来例のウェイストゲートバルブ制御装置を説明する図であって、図１８（ａ）はウェイストゲートバルブ制御装置の側面構成図であり、図１８（ｂ）は、ウェイストゲートバルブ制御装置に用いられるリンク機構を示した説明図である。
【図１９】従来例のウェイストゲートバルブ制御装置におけるリンクレバーとロッドの動きを模式化した側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００３２】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態の取付構造を説明する側面構成図であって、図１（ａ）は、レバーＬ１が右側（図１に示すＸ１側）に揺動した状態を示し、図１（ｂ）は、レバーＬ１が中間部に位置した状態を示し、図１（ｃ）は、レバーＬ１が左側（図１に示すＸ２側）に揺動した状態を示している。図２は、本発明の第１実施形態の取付構造に用いたスラスト軸受の一例を示した図である。
【００３３】
本発明の第１実施形態の取付構造は、車両等の内燃機関に用いられ、図１に示すように、所定の揺動角度範囲で揺動するレバーＬ１と、一端Ｒ２ａ側に被駆動体Ｊ０５が係合されたロッドＲ２と、ロッドＲ２を往復移動可能に支持する支持体Ｓ４と、を備えて構成されている。そして、第１実施形態の取付構造は、レバーＬ１の他端Ｌ１ｚ側とロッドＲ２の他端Ｒ２ｚ側とが結合軸Ｇ３の部分で結合しており、レバーＬ１の所定の揺動角度範囲の揺動動作とロッドＲ２の直線動作（往復移動）とが可能なリンク機構を有している。
【００３４】
先ず、取付構造のレバーＬ１は、金属製の板状の形状をしており、図１に示すように、一端Ｌ１ａ側（図１に示すＺ２側）には貫通孔が形成され、この貫通孔に揺動軸Ｙ６を有した揺動軸体（図示していない）が挿通されて、図１（ａ）ないし図１（ｃ）に示すように、この揺動軸Ｙ６を揺動中心としてレバーＬ１が所定の揺動角度範囲で揺動するように構成されている。レバーＬ１が、回動軸を回動中心として所定の回動角度で回動するように構成してもよい。また、図示はしていないが、レバーＬ１の揺動軸体には他の機器が接続されている。
【００３５】
また、レバーＬ１の他端Ｌ１ｚ側（図１に示すＺ１側）には、レバーＬ１の本体から延設された凸部（詳細な図示をしていない）が形成され、この凸部にロッドＲ２が遊嵌されて、この部分でレバーＬ１とロッドＲ２が結合している。そして、この凸部には揺動軸Ｙ６から所定の距離離れた結合軸Ｇ３が貫いており、レバーＬ１の揺動に伴って、この結合軸Ｇ３は、側面視して、揺動軸Ｙ６を中心とした円弧を描くようになっている。
【００３６】
次に、取付構造のロッドＲ２は、金属製の棒状の形状をしており、図１に示すように、他端Ｒ２ｚ側（図１に示すＸ１側）には、貫通孔（詳細な図示をしていない）が形成されており、この貫通孔とレバーＬ１の凸部とが結合されている。そして、図１（ａ）ないし図１（ｃ）に示すように、レバーＬ１の揺動動作とロッドＲ２の直線動作とが可能となっている。なお、ロッドＲ２の直線動作の範囲は、レバーＬ１の揺動動作の揺動角度範囲に対応している。
【００３７】
また、ロッドＲ２の一端Ｒ２ａ側（図１に示すＸ２側）には、被駆動体Ｊ０５が係合されて、ロッドＲ２の直線動作（往復移動）と一体となって移動するようになっている。なお、ロッドＲ２の一端Ｒ２ａ側には、この直線動作を利用して動作する被駆動体Ｊ０５を備えた機器が接続される。
【００３８】
次に、取付構造の支持体Ｓ４は、図２に示すようなスラスト軸受を用い、図１に示すように、ロッドＲ２における一端Ｒ２ａと他端Ｒ２ｚとの間の中間部に配設されている。このスラスト軸受は、図２に示すように、ベアリングを有した転動体Ｓ４ｂと、転動体Ｓ４ｂを受ける軌道板（Ｓ４ｊ、Ｓ４ｋ）と、から構成されており、ロッドＲ２が中央部の貫通穴Ｓ４ｈに挿通される。そして、スラスト軸受（支持体Ｓ４）は、ロッドＲ２を往復移動可能に支持するとともに、ロッドＲ２の若干の偏心（傾き）を可能にしている。これにより、ロッドＲ２が動く際に、異音を発したり寿命を縮めることがない。このことにより、被駆動体Ｊ０５の駆動が安定して行われることとなる。
【００３９】
次に、以上のように構成された第１実施形態の取付構造における、取付状態の詳細について、図３を用いて説明する。図３は、本発明の第１実施形態の取付構造を説明する構成図であって、レバーＬ１とロッドＲ２の動きを模式化した側面図である。また、従来例のウェイストゲートバルブ制御装置９００における取付状態についても、図１９に模式化して示しており、この図１９と比較して説明する。なお、第１実施形態の取付構造と同じような部分の名称及び付番は、説明を分かり易くするため、同じ名称と最初に“Ｃ”を追加した付番を用いている。
【００４０】
本発明の第１実施形態の取付構造は、前述したように、レバーＬ１の揺動に伴い結合軸Ｇ３が円弧ＡＲＣ（図３に示す）を描いている。そして、図３に示すように、この円弧ＡＲＣの中で、支持体Ｓ４（図３に示す支点ＰＰ）に近い側の円弧端点を第１円弧端点ＧＡ１とするとともに、支持体Ｓ４に遠い側の円弧端点を第２円弧端点ＧＡ２としている。なお、この第１円弧端点ＧＡ１は、レバーＬ１が所定の揺動角度範囲内で左側（図３に示すＸ２方向）に最大限振れた時の結合軸Ｇ３の位置を示し、第２円弧端点ＧＡ２は、レバーＬ１が所定の揺動角度範囲内で右側（図３に示すＸ１方向）に最大限振れた時の結合軸Ｇ３の位置を示している。
【００４１】
また、揺動軸Ｙ６と結合軸Ｇ３とを結ぶ線分をレバー軸線ＬＪとし、支持体Ｓ４の支持中心である支点ＰＰからレバー軸線ＬＪに向けた線がレバー軸線ＬＪに対して垂線となるレバーＬ１の揺動角度の際に（図３に示すレバーＬ１Ｍの場合）、その垂線を垂線線分ＶＬとするとともに、レバー軸線ＬＪをレバー線分ＬＪＭとしている。そして、このレバー線分ＬＪＭと円弧ＡＲＣとの接続点を円弧中間点ＧＡ３としている。
【００４２】
更に、取付構造は、図３に示すように、支点ＰＰと第１円弧端点ＧＡ１を結んだ線を第１端線ＰＧ１とし、支点ＰＰと第２円弧端点ＧＡ２を結んだ線を第２端線ＰＧ２とし、支点ＰＰと円弧中間点ＧＡ３とを結んだ線を中間線ＰＧ３とし、その際の第１端線ＰＧ１と垂線線分ＶＬのなす角を第１角度ＡＮ１とし、第２端線ＰＧ２と垂線線分ＶＬのなす角を第２角度ＡＮ２とし、中間線ＰＧ３と垂線線分ＶＬのなす角を中間角度ＡＮ３としている。
【００４３】
本発明の第１実施形態の取付構造は、以上のように各線分及び各角度等を定義して、中間角度ＡＮ３が第１角度ＡＮ１と等しく（図３（ａ）の状態）、或いは中間角度ＡＮ３が第２角度ＡＮ２と等しく（図３（ｃ）の状態）、若しくは中間角度ＡＮ３が第１角度ＡＮ１及び第２角度ＡＮ２より大きくなる（図３（ｂ）の状態）ように、レバーＬ１の揺動角度範囲を規定して、レバーＬ１とロッドＲ２とを結合している。なお、図３（ａ）の状態では、第２角度ＡＮ２より第１角度ＡＮ１の方が大きく、図３（ｃ）の状態では、第１角度ＡＮ１より第２角度ＡＮ２の方が大きくなっている。また、図３（ｂ）の状態では、第２角度ＡＮ２より第１角度ＡＮ１の方が大きくなっているが、上述したレバーＬ１の揺動角度範囲内では、第１角度ＡＮ１より第２角度ＡＮ２の方が大きくなる状態も存在する。これらのことから、中間角度ＡＮ３が、ロッドＲ２が偏心する最大のブレ角度となる。
【００４４】
一方、従来例のウェイストゲートバルブ制御装置９００における取付状態は、リンクレバー９０３とロッド９０４が直交するように連結されて、リンクレバー９０３の揺動中立点を形成するように構成されている。つまり、図１９に示すように、揺動中立点におけるレバー軸線ＣＬＪと支点ＣＰＰとのなす角が直角となっているとともに、揺動中立点から右側（図１９に示すＸ１側）への揺動による往復の距離ＤＫと、揺動中立点から左側（図１９に示すＸ２側）への揺動による往復の距離ＤＫと、が同じになっている。これにより、第１実施形態の取付構造における中間線ＰＧ３と垂線線分ＶＬとが同じ線分となり、支点ＣＰＰからのレバー軸線ＣＬＪへの垂線が従来例の垂線線分ＣＶＬとなっている。そして、その際には、図１９に示すように、第１実施形態の取付構造における中間角度ＡＮ３は形成されず、第１端線ＣＰＧ１と垂線線分ＣＶＬのなす角である第１角度ＣＡＮ１と、第２端線ＣＰＧ２と垂線線分ＣＶＬのなす角である第２角度ＣＡＮ２と、が形成されるようになる。
【００４５】
以上のような構成を有した従来の取付構造では、リンクレバー９０３の揺動角度範囲内において、リンクレバー９０３が支点ＣＰＰ側に一番近づいた際の第１角度ＣＡＮ１の時が、常にロッド９０４が偏心する最大のブレ角度となる。このため、従来の取付構造は、本発明の取付構造と比較して、ロッド９０４の直線動作の範囲が本発明のロッドＲ２の直線動作の範囲と同じであれば、ロッド９０４のブレ角度が必ず大きいものとなる。つまり、本発明の取付構造では、垂線線分ＶＬを挟んで第１角度ＡＮ１または第２角度ＡＮ２と中間角度ＡＮ３とが形成されるのに対し、従来の取付構造では、垂線線分ＣＶＬの一方側にのみ第１角度ＣＡＮ１及び第２角度ＣＡＮ２が形成されるので、中間角度ＡＮ３よりも第１角度ＣＡＮ１の方が必ず大きくなり、ロッド９０４のブレ角度が必ず大きいものとなる。
【００４６】
以上のように構成された本発明の第１実施形態の取付構造における、効果について、以下に纏めて説明する。
【００４７】
本発明の第１実施形態の取付構造は、垂線線分ＶＬと中間線ＰＧ３のなす角の中間角度ＡＮ３が垂線線分ＶＬと第１端線ＰＧ１とのなす角の第１角度ＡＮ１或いは垂線線分ＶＬと第２端線ＰＧ２とのなす角の第２角度ＡＮ２のいずれか大きい方と等しいか若しくは大きくなるように構成した。これにより、レバーＬ１の揺動角度範囲において、支持体Ｓ４に支持されたロッドＲ２の支点ＰＰを中心としたロッドＲ２のブレ角度を小さくすることができる。このため、ロッドＲ２の一端Ｒ２ａ側に係合された被駆動体Ｊ０５の揺動を抑制することができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５が大きく揺動することによる被駆動体Ｊ０５の不具合を軽減することができる。
【００４８】
また、支持体Ｓ４がスラスト軸受であるので、ロッドＲ２が動く際に、異音を発したり寿命を縮めること無しに、ロッドＲ２の傾きの動きと往復移動を可能とすることができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５の駆動が安定して行われることとなる。
【００４９】
［第２実施形態］
図４は、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２を説明する分解斜視図である。図５は、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２を説明する斜視図である。図６は、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２を説明する側面図である。図７は、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２を説明する上面図である。また、第２実施形態の位置検出装置１０２は、第１実施形態の取付構造を有したリンク機構が接続されるようになっている。なお、第１実施形態と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５０】
本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２は、図５ないし図７に示すような外観を呈し、上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とを組み合わせて形成され、図４に示すように、上ケースＫ１１及び下ケースＫ１９内の空間を移動する可動磁石１２と、可動磁石１２の動作を検出する検出手段１３と、可動磁石１２と一体的に駆動可能な被駆動体Ｊ０５と、を備えて構成されている。他に、第２実施形態の位置検出装置１０２は、可動磁石１２を移動させる駆動部１６と、下ケースＫ１９の底面Ｋ１９ｂ側に配設された固定板１７と、外部機器と電気的に接続するためのコネクタＣＮが内蔵されたコネクタケースＨ１８と、図示しない減圧源等の空気式制御装置にチューブ等で接続されるフィッティングＦ１９と、を有している。
【００５１】
図８は、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２を説明する図であって、図７に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線における断面図である。図９は、本発明の第２実施形態に係わる位置検出装置１０２の動作を説明する図であって、図８の下限状態から可動磁石１２が上方に移動して上限状態に位置した際の断面図である。
【００５２】
先ず、位置検出装置１０２の上ケースＫ１１及び下ケースＫ１９は、金属材を加工して作製されており、上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とが組み合わされた際には、図８及び図９に示すように、可動磁石１２、被駆動体Ｊ０５及び駆動部１６を収容し可動磁石１２が移動可能な収容部Ｋ１ｓを形成している。
【００５３】
また、上ケースＫ１１には、図５ないし図７に示すように、中間部の側壁から垂直方向に延設されたフィッティングＦ１９が設けられている。このフィッティングＦ１９は、中空に形成されており、この中空により収容部Ｋ１ｓと外部とが空間で繋がっている。また、上ケースＫ１１の上方側には、コネクタケースＨ１８の一方側が挿入されて係合される係合受部Ｋ１ｇが設けられており、コネクタケースＨ１８が配設されている。
【００５４】
また、下ケースＫ１９には、図４に示すように、底面Ｋ１９ｂの中央部に開口した開口部Ｋ１９ｈを有しており、この開口部Ｋ１９ｈには、図８及び図９に示すように、取付構造のロッドＲ２が挿通されている。また、開口部Ｋ１９ｈの部分には、取付構造の支持体Ｓ４が収容されており、支持体Ｓ４がロッドＲ２の往復移動が行えるようにロッドＲ２を支持している。なお、この開口部Ｋ１９ｈにより、下ケースＫ１９側の収容部Ｋ１ｓ内を大気圧に保持している。
【００５５】
次に、位置検出装置１０２の可動磁石１２は、円柱形状の永久磁石を用いており、図４、図８及び図９に示すように、合成樹脂で作製された可動磁石ホルダＨ１２に保持されている。この可動磁石ホルダＨ１２は、可動磁石１２の円柱外形を覆うように形成されており、台座部が被駆動体Ｊ０５に固定されて、被駆動体Ｊ０５とともに動作するように構成されている。
【００５６】
次に、位置検出装置１０２の検出手段１３は、ホール素子と半導体素子とが熱硬化性の合成樹脂でパッケージングされて形成されおり、図８及び図９に示すように、上ケースＫ１１の側壁を挟んで可動磁石１２と対向する外壁面Ｋ１１ｑに２つ配設されている。つまり、２つの検出手段１３（１３Ａ、１３Ｂ）と可動磁石１２との間に隔壁が設けられている構成となっている。これにより、検出手段１３が配設される空間と可動磁石１２が配設される空間とが隔てられることとなり、ロッドＲ２の配置されている空間での環境変化があっても検出手段１３への影響を軽減させることができる。また、この２つの検出手段１３（１３Ａ、１３Ｂ）は、回路基板に搭載され回路基板とともにコネクタケースＨ１８の一方側に装着されており、コネクタケースＨ１８を上ケースＫ１１の係合受部Ｋ１ｇに係合させて挿入されるだけで、外壁面Ｋ１１ｑと対向した位置に配設されるようになる。
【００５７】
また、検出手段１３は、可動磁石１２の上下方向の動作（往復移動）に伴う磁界の変化を検知し、検出手段１３Ａが可動磁石１２の往復移動の移動方向（図８に示すＺ方向）を検出し、検出手段１３Ｂが可動磁石１２との間隔方向（図８に示すＸ方向）を検出しすることにより、可動磁石１２の動作量を検出している。これにより、移動方向及び間隔方向の２軸の方向での動作を検出するので、可動磁石１２の動作をより正確に検出することができる。このことにより、位置検出装置１０２の位置検出の精度を向上させることができる。
【００５８】
次に、位置検出装置１０２の被駆動体Ｊ０５は、リンク機構のロッドＲ２に係合されロッドＲ２とともに往復移動するようになっており、図８及び図９に示すように、可動磁石１２の可動磁石ホルダＨ１２が固着されたピストン部Ｐ５と、ピストン部Ｐ５の下方（図８に示すＺ２方向）に配設された補強板Ａ５と、を有して構成されている。
【００５９】
被駆動体Ｊ０５のピストン部Ｐ５は、金属材を用い、図４に示すように、円筒状に形成され、一方に底面部Ｐ５ｂを有し、底面部Ｐ５ｂの中央には、図８及び図９に示すように、ロッドＲ２が挿通される穴部Ｐ５ｈを有している。
【００６０】
被駆動体Ｊ０５の補強板Ａ５は、金属材を用い、図４に示すように、円盤状に形成され、中央には、ロッドＲ２が挿通される貫通穴Ａ５ｋを有している。また、補強板Ａ５は、図８及び図９に示すように、駆動部１６（後述するダイヤフラムＤ６の底部１６ｂ）を挟んで、ピストン部Ｐ５の底面部Ｐ５ｂ側に配設されている。
【００６１】
次に、位置検出装置１０２の駆動部１６は、図８及び図９に示すように、収容部Ｋ１ｓ内を２つの空間に分けるダイヤフラムＤ６と、ダイヤフラムＤ６の底部１６ｂを付勢する付勢部材Ｆ６と、を有して構成されている。なお、２つの空間とは、ダイヤフラムＤ６の上ケースＫ１１側の減圧室とダイヤフラムＤ６の下ケースＫ１９側の大気室とを指している。
【００６２】
駆動部１６のダイヤフラムＤ６は、弾性を有するゴム材を用い、図４に示すように、円筒状に形成され、上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とに挟持されるフランジ部１６ｆと、変形自在な変形部１６ｅと、中央にロッドＲ２が挿通される貫通穴１６ｈ（図８を参照）を有する底部１６ｂと、から構成されている。そして、ダイヤフラムＤ６は、図８及び図９に示すように、ダイヤフラムＤ６の底部１６ｂがピストン部Ｐ５の底面部Ｐ５ｂと補強板Ａ５とに挟持されるように配設され、ロッドＲ２が貫通穴１６ｈに挿通され、被駆動体Ｊ０５に固定されている。これにより、ダイヤフラムＤ６が変形してもダイヤフラムＤ６の底部１６ｂは平面を保つことができる。
【００６３】
駆動部１６の付勢部材Ｆ６は、両端を平面に研磨したコイルバネで、図８及び図９に示すように、一方端が上ケースＫ１１の天井面に当接し、他方端がピストン部Ｐ５の底面部Ｐ５ｂに当接している。そして、付勢部材Ｆ６は、ピストン部Ｐ５を下方に付勢している。
【００６４】
以上のようにして構成された駆動部１６は、ダイヤフラムＤ６の変形により、可動磁石１２を上下方向に移動させている。つまり、図８の下限状態から、チューブ等で空気式制御装置に接続されたフィッティングＦ１９を介して減圧室が減圧されると、ダイヤフラムＤ６が変形し、付勢部材Ｆ６の付勢力に抗してダイヤフラムＤ６の底部１６ｂが上方（図８に示すＺ１方向）に移動するようになる。そして、減圧室の減圧による力が付勢部材Ｆ６の付勢力より大きく勝った場合には、図９の上限状態にまでダイヤフラムＤ６の底部１６ｂの移動が行われる。一方、減圧室の減圧が解除されると、付勢部材Ｆ６の付勢力により、図８の下限状態にまで、ダイヤフラムＤ６の底部１６ｂの移動が行われる。このようにして、駆動部１６が上下方向に移動することにより、可動磁石１２及び被駆動体Ｊ０５が上下方向に移動している。
【００６５】
そして、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２は、第１実施形態の取付構造を有したリンク機構が接続されるようになっているので、上述した駆動部１６による可動磁石１２及び被駆動体Ｊ０５の上下方向の往復移動がごく僅かなブレをもって行われる。これにより、ロッドＲ２が往復移動した際の可動磁石１２と検出手段１３との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置１０２を提供することができる。
【００６６】
次に、この上下方向の往復移動について、図１０を用いて詳細に説明する。図１０は、可動磁石１２及び被駆動体Ｊ０５の動作を説明する図であって、図１０（ａ）は、取付構造のレバーＬ１が第１円弧端点ＧＡ１にある時の状態を示し、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の状態からレバーＬ１の結合軸Ｇ３が垂線線分ＶＬ上にある時の状態を示し、図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）の状態からレバーＬ１が円弧中間点ＧＡ３にある時の状態を示し、図１０（ｄ）は、図１０（ｃ）の状態からレバーＬ１の結合軸Ｇ３が垂線線分ＶＬ上にある時の状態を示し、図１０（ｅ）は、図１０（ｄ）の状態からレバーＬ１が第２円弧端点ＧＡ２にある時の状態を示している。なお、図１０は、説明を分かり易くするため、上ケースＫ１１、可動磁石１２、検出手段１３及び被駆動体Ｊ０５のみを模式的に示しているとともに、図８及び図９における上下方向（Ｚ方向）を９０°回転させて示している。
【００６７】
先ず、本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２は、可動磁石１２の往復移動の全体移動距離における始点（図１０（ａ）における状態）では、ロッドＲ２のブレ角度がＸ１側で最大となっており、可動磁石１２の傾きがＸ１側で最大となっている。その際には、可動磁石１２と検出手段１３との相対的な間隔の内、最大の間隔となる最大値を有している。この最大値は、図１０（ａ）に示すように、可動磁石１２が傾いているので、検出手段１３と可動磁石１２のどの部分との間隔を最大値とするのが難しいが、例えば、可動磁石１２の先端部（図１０に示すＺ１側）との間隔を最大値（図１０（ａ）に示すＭＡＸ）とする。
【００６８】
次に、レバーＬ１の回動に伴って、可動磁石１２が下方（図１０に示すＺ２方向）に移動し、可動磁石１２が、図１０（ｂ）の検出手段１３と平行となる状態、つまりロッドＲ２のブレ角度が０°となる状態を経て、図１０（ｃ）の状態となる。その際には、ロッドＲ２のブレ角度がＸ２側で最大となっており、可動磁石１２の傾きがＸ２側で最大となっている。これにより、可動磁石１２と検出手段１３との相対的な間隔の内、最小の間隔となる最小値（図１０（ｃ）に示すＭＩＮ）を有することとなる。
【００６９】
最後に、更なるレバーＬ１の回動に伴って、可動磁石１２が下方（図１０に示すＺ２方向）に更に移動し、可動磁石１２が、図１０（ｄ）の検出手段１３と平行となる状態、つまりロッドＲ２のブレ角度が０°となる状態を経て、全体移動距離における終点（図１０（ｅ）の状態）となり、レバーＬ１の回動が終了する。本発明の第２実施形態では、図１０（ａ）の始点と同様に、ロッドＲ２のブレ角度がＸ１側で最大となり、可動磁石１２の傾きがＸ１側で最大となるように、全体移動距離の終点を決めている。なお、言うまでもないが、可動磁石１２は往復移動を行うので、図１０に示すＺ１方向に移動する場合は、始点及び終点が逆になる。
【００７０】
以上の上下方向の往復移動と可動磁石１２の配設位置との関係について纏めると、可動磁石１２の往復移動の全体移動距離において、全体移動距離の始点及び終点における可動磁石１２は、可動磁石１２と検出手段１３との相対的な間隔が最大値となる位置に配設されている（図１０（ａ）及び図１０（ｅ）を参照）。更に、全体移動距離の中点におけるの可動磁石１２は、可動磁石１２と検出手段１３との相対的な間隔が最小値となる位置（図１０（ｃ）を参照）に配設されている（図１０（ｅ）に示す移動距離ＤＳを参照）。本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２は、このように可動磁石１２が配置されるように、被駆動体Ｊ０５と取付構造のロッドＲ２とを係合させている。
【００７１】
また、本発明の第１実施形態で説明した取付構造のリンク機構におけるロッドＲ２のブレ角度で説明すると、リンク機構の第１角度ＡＮ１または第２角度ＡＮ２のいずれか大きい角度における可動磁石１２の位置と、中間角度ＡＮ３における可動磁石１２の位置と、の相対的な間隔が同じとなる位置に検出手段１３が配設されるように構成すると良い。これにより、可動磁石１２が往復移動した際に、可動磁石１２と検出手段１３との間隔の変動が小さいものとすることができる。このことにより、可動磁石１２のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下をより抑えることができる。
【００７２】
最後に、位置検出装置１０２の固定板１７は、金属材を用い、図４に示すように、円盤状に形成され、中央には、ロッドＲ２が挿通される貫通穴１７ｋを有している。また、固定板１７は、図８及び図９に示すように、下ケースＫ１９の底面Ｋ１９ｂ側に配設され、下ケースＫ１９の開口部Ｋ１９ｈの部分に収容された取付構造の支持体Ｓ４を固定している。
【００７３】
以上のように構成された本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２における、効果について、以下に纏めて説明する。
【００７４】
本発明の第２実施形態の位置検出装置１０２は、可動磁石１２を動作する被駆動体Ｊ０５がロッドＲ２の支点ＰＰを中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構に係合されているので、ロッドＲ２が往復移動した際に、位置検出装置１０２の被駆動体Ｊ０５における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドＲ２が往復移動した際の可動磁石１２と検出手段１３との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられた位置検出装置１０２を提供することができる。
【００７５】
また、リンク機構の第１角度ＡＮ１または第２角度ＡＮ２のいずれか大きい角度における可動磁石１２の位置と、中間角度ＡＮ３における可動磁石１２の位置と、の相対的な間隔が同じとなる位置に検出手段１３が配設されるように構成した。これにより、可動磁石１２が往復移動した際に、可動磁石１２と検出手段１３との間隔の変動が小さいものとすることができる。このことにより、可動磁石１２のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下をより抑えることができる。
【００７６】
また、検出手段１３が可動磁石１２における移動方向及び間隔方向の２軸の動作量を検出するので、可動磁石１２の動作をより正確に検出することができる。このことにより、位置検出装置１０２の位置検出の精度を向上させることができる。
【００７７】
また、可動磁石１２と検出手段１３との間に隔壁が設けられているので、可動磁石１２が配設される空間と検出手段１３が配設される空間とが隔てられることとなる。このことにより、ロッドＲ２の配置されている空間での環境変化があっても検出手段１３への影響を軽減させることができる。
【００７８】
［第３実施形態］
図１１は、本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３を説明する分解斜視図である。図１２は、本発明の第３実施形態に係わるリンク機構ＲＮＫを説明した構成側面図である。なお、第１実施形態及び第２実施形態と同一構成については、同一符号を付して詳細な説明は省略する。
【００７９】
本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３は、図１１に示すように、第１実施形態の取付構造を有したリンク機構ＲＮＫと、リンク機構ＲＮＫに接続された検出装置２０３と、を備えて構成される。
【００８０】
先ず、リンク機構付き検出装置ＲＮ３のリンク機構ＲＮＫは、図１２に示すように、所定の揺動角度範囲で揺動（図１２に示すＡＮＡ）するレバーＬ１と、一端Ｒ２ａ側に被駆動体Ｊ０５（図１１を参照）が係合されたロッドＲ２と、所定の往復移動範囲で往復移動（図１２に示すＪＡＬ）可能にロッドＲ２を支持する支持体Ｓ４と、を備えて構成されている。そして、このリンク機構ＲＮＫは、レバーＬ１の他端Ｌ１ｚ側とロッドＲ２の他端Ｒ２ｚ側とが結合軸Ｇ３の部分で結合しており、レバーＬ１の所定の揺動角度範囲の揺動動作とロッドＲ２の往復移動範囲の直線動作（往復移動）とが可能となっている。なお、第１実施形態の取付構造で詳細な説明を行っているので、リンク機構ＲＮＫの詳細な説明は省略する。
【００８１】
また、リンク機構ＲＮＫは、第１実施形態の取付構造を有しているので、第１実施形態で説明したように、垂線線分ＶＬと中間線ＰＧ３のなす角の中間角度ＡＮ３が垂線線分ＶＬと第１端線ＰＧ１とのなす角の第１角度ＡＮ１或いは垂線線分ＶＬと第２端線ＰＧ２とのなす角の第２角度ＡＮ２のいずれか大きい方と等しいか若しくは大きくなるように、レバーＬ１とロッドＲ２とを結合している。これにより、レバーＬ１の揺動角度範囲において、支持体Ｓ４に支持されたロッドＲ２の支点ＰＰを中心としたロッドＲ２のブレ角度を小さくすることができる。このため、ロッドＲ２の一端Ｒ２ａ側に係合された被駆動体Ｊ０５の揺動を抑制することができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５が大きく揺動することによる被駆動体Ｊ０５の不具合を軽減することができる。
【００８２】
また、リンク機構ＲＮＫは、第１実施形態の取付構造を有しているので、第１実施形態で説明したように、支持体Ｓ４がスラスト軸受となっている。このため、ロッドＲ２が動く際に、異音を発したり寿命を縮めること無しに、ロッドＲ２の傾きの動きと往復移動を可能とすることができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５への駆動を安定して行うことができる。
【００８３】
次に、リンク機構付き検出装置ＲＮ３の検出装置２０３について説明する。図１３は、検出装置２０３を説明する斜視図である。図１４は、検出装置２０３を説明する側面図である。図１５は、検出装置２０３を説明する上面図である。図１３及び図１４は、説明を分かり易くするため、一部が省略されたリンク機構ＲＮＫを記載している。図１６は、本発明の第３実施形態の検出装置２０３を説明する図であって、図１５に示すＸＶ−ＸＶ線における断面図である。図１７は、本発明の第３実施形態に係わる検出装置２０３の動作を説明する図であって、図１６の下限状態から可動磁石２２が上方に移動して上限状態に位置した際の断面図である。
【００８４】
検出装置２０３は、図１３ないし図１５に示すような外観を呈し、上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とを組み合わせて形成され、上ケースＫ１１及び下ケースＫ１９内の空間を移動する可動磁石２２と、可動磁石２２の動作を検出する検出手段１３と、可動磁石２２と一体的に駆動可能な被駆動体Ｊ０５と、を備えて構成されている。他に、第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３は、可動磁石２２を移動させる駆動部２６と、下ケースＫ１９の底面Ｋ１９ｂ側に配設された固定板１７と、外部機器と電気的に接続するためのコネクタＣＮが内蔵されたコネクタケースＨ１８と、図示しない減圧源等の空気式制御装置にチューブ等で接続されるフィッティングＦ１９と、を有している。
【００８５】
先ず、検出装置２０３の上ケースＫ１１及び下ケースＫ１９は、本発明の第２実施形態と同様に、金属材を加工して作製されており、上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とが組み合わされた際には、図１６及び図１７に示すように、可動磁石２２及び駆動部２６を収容し可動磁石２２が移動可能な収容部Ｋ１ｓを形成している。なお、上ケースＫ１１及び下ケースＫ１９は、本発明の第２実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。
【００８６】
次に、検出装置２０３の可動磁石２２は、円筒形状の永久磁石を用いており、図１１、図１６及び図１７に示すように、合成樹脂で作製された円筒形状の可動磁石ホルダＨ２２に保持されている。この可動磁石２２は、可動磁石ホルダＨ２２が可動磁石２２の円筒内に挿入されることにより、保持されている。なお、可動磁石ホルダＨ２２の合成樹脂材料として、ポリブチレンテレフタレート樹脂（ＰＢＴ、polybutyleneterephtalate）やポリアミド樹脂（polyamide）等を用いるのが好適である。
【００８７】
次に、検出装置２０３の検出手段１３は、本発明の第２実施形態と同様に、ホール素子と半導体素子とが熱硬化性の合成樹脂でパッケージングされて形成されおり、図１６及び図１７に示すように、上ケースＫ１１の側壁を挟んで可動磁石２２と対向する外壁面Ｋ１１ｑに２つ配設されている。つまり、２つの検出手段１３（１３Ａ、１３Ｂ）と可動磁石２２との間に隔壁が設けられている構成となっている。これにより、検出手段１３が配設される空間と可動磁石２２が配設される空間とが隔てられることとなり、ロッドＲ２の配置されている空間での環境変化があっても検出手段１３への影響を軽減させることができる。また、この２つの検出手段１３（１３Ａ、１３Ｂ）は、回路基板に搭載され回路基板とともにコネクタケースＨ１８の一方側に装着されており、コネクタケースＨ１８を上ケースＫ１１の係合受部Ｋ１ｇに係合させて挿入されるだけで、外壁面Ｋ１１ｑと対向した位置に配設されるようになる。
【００８８】
また、検出手段１３は、可動磁石２２の上下方向の動作（往復移動）に伴う磁界の変化を検知し、検出手段１３Ａが可動磁石２２の往復移動の移動方向（図１６に示すＺ方向）を検出し、検出手段１３Ｂが可動磁石２２との間隔方向（図１６に示すＸ方向）を検出しすることにより、可動磁石２２の動作量を検出している。これにより、移動方向及び間隔方向の２軸の方向での動作を検出するので、可動磁石２２の動作をより正確に検出することができる。このことにより、検出装置２０３の位置検出の精度を向上させることができる。
【００８９】
次に、検出装置２０３の被駆動体Ｊ０５は、リンク機構ＲＮＫのロッドＲ２に係合されロッドＲ２とともに往復移動するようになっており、図１６及び図１７に示すように、可動磁石２２の可動磁石ホルダＨ２２が固着されたピストン部Ｐ５と、ピストン部Ｐ５の下方（図１６に示すＺ２方向）に配設された補強板Ａ５と、を有して構成されている。
【００９０】
被駆動体Ｊ０５のピストン部Ｐ５及び補強板Ａ５は、第２実施形態と同様に、金属材を用いて形成されている。なお、ピストン部Ｐ５及び補強板Ａ５は、本発明の第２実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。
【００９１】
次に、検出装置２０３の駆動部２６は、図１６及び図１７に示すように、収容部Ｋ１ｓ内を２つの空間に分けるダイヤフラムＤ６と、ダイヤフラムＤ６の底部２６ｂを付勢する付勢部材Ｆ６と、を有して構成されている。そして、ダイヤフラムＤ６のフランジ部２６ｆが上ケースＫ１１と下ケースＫ１９とに挟持されて配設されている。なお、２つの空間とは、ダイヤフラムＤ６の上ケースＫ１１側の減圧室とダイヤフラムＤ６の下ケースＫ１９側の大気室とを指している。
【００９２】
駆動部２６のダイヤフラムＤ６は弾性を有するゴム材を用い、駆動部２６の付勢部材Ｆ６は両端を平面に研磨したコイルバネを用いている。なお、駆動部２６のダイヤフラムＤ６及び付勢部材Ｆ６は、本発明の第２実施形態と同様な構成なので、詳細な説明は省略する。
【００９３】
そして、駆動部２６は、ダイヤフラムＤ６の変形部２６ｂの変形により、可動磁石２２を上下方向に移動させている。つまり、図１６の下限状態から、チューブ等で空気式制御装置に接続されたフィッティングＦ１９を介して減圧室が減圧されると、ダイヤフラムＤ６が変形し、付勢部材Ｆ６の付勢力に抗してダイヤフラムＤ６の底部２６ｂが上方（図１６に示すＺ１方向）に移動するようになる。そして、減圧室の減圧による力が付勢部材Ｆ６の付勢力より大きく勝った場合には、図１７の上限状態にまでダイヤフラムＤ６の底部２６ｂの移動が行われる。一方、減圧室の減圧が解除されると、付勢部材Ｆ６の付勢力により、図１６の下限状態にまで、ダイヤフラムＤ６の底部２６ｂの移動が行われる。このようにして、駆動部２６が上下方向に移動することにより、可動磁石２２及び被駆動体Ｊ０５が上下方向に移動している。
【００９４】
そして、本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３は、第１実施形態の取付構造を有したリンク機構ＲＮＫが備えられているので、上述した駆動部２６による可動磁石２２及び被駆動体Ｊ０５の上下方向の往復移動がごく僅かなブレをもって行われる。これにより、ロッドＲ２が往復移動した際に、検出装置２０３の被駆動体Ｊ０５における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドＲ２が往復移動した際の可動磁石２２と検出手段１３との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられたリンク機構付き検出装置ＲＮ３を提供することができる。
【００９５】
最後に、検出装置２０３の固定板１７は、金属材を用い、図１１に示すように、円盤状に形成され、中央には、ロッドＲ２が挿通される貫通穴１７ｋを有している。また、固定板１７は、図１６及び図１７に示すように、下ケースＫ１９の底面Ｋ１９ｂ側に配設され、下ケースＫ１９の開口部Ｋ１９ｈの部分に収容された取付構造の支持体Ｓ４を固定している。
【００９６】
以上のように構成された本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３における、効果について、以下に纏めて説明する。
【００９７】
本発明の第３実施形態のリンク機構付き検出装置ＲＮ３は、リンク機構ＲＮＫを、垂線線分ＶＬと中間線ＰＧ３のなす角の中間角度ＡＮ３が垂線線分ＶＬと第１端線ＰＧ１とのなす角の第１角度ＡＮ１或いは垂線線分ＶＬと第２端線ＰＧ２とのなす角の第２角度ＡＮ２のいずれか大きい方と等しいか若しくは大きくなるように構成した。これにより、レバーＬ１の揺動角度範囲において、支持体Ｓ４に支持されたロッドＲ２の支点ＰＰを中心としたロッドＲ２のブレ角度を小さくすることができる。このため、ロッドＲ２の一端Ｒ２ａ側に係合された被駆動体Ｊ０５の揺動を抑制することができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５が大きく揺動することによる被駆動体Ｊ０５の不具合を軽減することができる。
【００９８】
また、リンク機構ＲＮＫの支持体Ｓ４がスラスト軸受であるので、ロッドＲ２が動く際に、異音を発したり寿命を縮めること無しに、ロッドＲ２の傾きの動きと往復移動を可能とすることができる。このことにより、被駆動体Ｊ０５への駆動を安定して行うことができる。
【００９９】
また、ロッドＲ２の支点ＰＰを中心としたブレ角度を小さくすることができるリンク機構ＲＮＫとリンク機構ＲＮＫに接続された検出装置２０３とを備えているので、ロッドＲ２が往復移動した際に、検出装置２０３の被駆動体Ｊ０５における往復移動のブレが小さいものとなる。このため、ロッドＲ２が往復移動した際の可動磁石２２と検出手段１３との間隔の変動を小さくすることができ、往復移動のブレの影響を受けることによる検出手段１３の検出精度の低下を抑えることができる。このことにより、検出精度の低下が抑えられたリンク機構付き検出装置ＲＮ３を提供することができる。
【０１００】
また、検出手段１３が可動磁石２２における移動方向及び間隔方向の２軸の動作量を検出するので、可動磁石２２の動作をより正確に検出することができる。このことにより、検出装置２０３の位置検出の精度を向上させることができる。
【０１０１】
また、可動磁石２２と検出手段１３との間に隔壁が設けられているので、可動磁石２２が配設される空間と検出手段１３が配設される空間とが隔てられることとなる。このことにより、ロッドＲ２の配置されている空間での環境変化があっても検出手段１３への影響を軽減させることができる。
【０１０２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
【０１０３】
＜変形例１＞
上記第１実施形態では、支持体Ｓ４としてスラスト軸受を好適に用いたが、これに限るものではない。
【０１０４】
＜変形例２＞
上記第２実施形態及び第３実施形態では、可動磁石（１２、２２）を移動させる駆動部（１６、２６）として、ダイヤフラムＤ６と付勢部材Ｆ６とを用いて構成したが、これに限るものではなく、可動磁石（１２、２２）を移動させる手段であれば良い。
【０１０５】
本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
Ｌ１、Ｌ１Ｍ  レバー
Ｌ１ａ  一端
Ｌ１ｚ  他端
Ｒ２    ロッド
Ｒ２ａ  一端
Ｒ２ｚ  他端
１２、２２    可動磁石
１３、１３Ａ、１３Ｂ  検出手段
Ｓ４    支持体
Ｊ０５  被駆動体
ＲＮＫ  リンク機構
１０２  位置検出装置
２０３  検出装置
ＲＮ３  リンク機構付き検出装置
ＡＮ１  第１角度
ＡＮ２  第２角度
ＡＮ３  中間角度
ＡＲＣ  円弧
Ｇ３    結合軸
ＧＡ１  第１円弧端点
ＧＡ２  第２円弧端点
ＧＡ３  円弧中間点
ＬＪ    レバー軸線
ＬＪＭ  レバー線分
ＰＧ１  第１端線
ＰＧ２  第２端線
ＰＧ３  中間線
ＰＰ    支点
ＶＬ    垂線線分
Ｙ６    揺動軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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