(57)【要約】【課題】振動子の共振周波数と異なる周波数で共振させる。【解決手段】第１共振周波数で共振する第１振動子１０と、第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振し、かつ、振動位相が前記第１振動子１０と逆相である第２振動子２０と、第１振動子１０及び第２振動子２０の等価回路定数を調整する調整部３０と、第１振動子１０が有する第１等価並列容量、及び第２振動子２０が有する第２等価並列容量を打ち消す負性容量回路４０と、を備える。【選択図】図１
2015070500.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１共振周波数で共振する第１振動子と、
前記第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振し、かつ、振動位相が前記第１振動子と逆相である第２振動子と、
前記第１振動子及び前記第２振動子の等価回路定数を調整する調整部と、
前記第１振動子が有する第１等価並列容量、及び前記第２振動子が有する第２等価並列容量を打ち消す負性容量回路と、
を備える共振回路。
【請求項２】
前記調整部は、前記第１振動子及び前記第２振動子に印加する直流電圧を変化させることにより、前記等価回路定数を調整する、
請求項１に記載の共振回路。
【請求項３】
前記第１振動子及び前記第２振動子は、静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である、
請求項２に記載の共振回路。
【請求項４】
前記第１振動子及び前記第２振動子は、互いに直列に接続されており、
前記負性容量回路は、前記第１振動子及び前記第２振動子の接続点とグランドとの間に設けられている、
請求項１から３のいずれか１項に記載の共振回路。
【請求項５】
互いに並列に接続された前記第１振動子及び前記第２振動子と接続されており、かつ前記第１振動子及び前記第２振動子と入出力される平衡信号を不平衡信号に変換する変換部をさらに備え、
前記負性容量回路は、前記第１振動子及び前記変換部の接続点とグランドとの間、並びに、前記第２振動子及び前記変換部の接続点とグランドとの間に設けられている、
請求項１から３のいずれか１項に記載の共振回路。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の共振回路と、
前記共振回路の入出力間に設けられた増幅回路と、
を備える発振回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、共振回路及び発振回路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、共振周波数が異なる複数の水晶振動子を用いることにより、単一の水晶振動子で調整可能な周波数範囲よりも広い周波数範囲で発振周波数を調整できる反共振回路が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
図９は、従来の反共振回路４００の構成例を示す。図９において、反共振回路４００は、交流信号源４３０の出力抵抗４４０と負荷抵抗４５０とに接続されている。
【０００４】
反共振回路４００は、出力抵抗４４０と負荷抵抗４５０との間における異なる経路に接続された水晶振動子４１１及び水晶振動子４２１を備える。水晶振動子４１１が接続された第１の経路には、減衰器４１２、インダクタ４１３及びキャパシタ４１４が直列に設けられている。水晶振動子４１１は、インダクタ４１３とキャパシタ４１４との接続点とグランドとに接続されている。同様に、水晶振動子４２１が接続された第２の経路には、減衰器４２２、インダクタ４２３及びキャパシタ４２４が直列に設けられている。水晶振動子４２１は、インダクタ４２３とキャパシタ４２４との接続点とグランドとに接続されている。
【０００５】
水晶振動子４１１及び水晶振動子４２１は、それぞれ異なる共振周波数を有しており、キャパシタ４１４及びキャパシタ４２４を介して互いに接続されている。これにより、反共振回路４００は、水晶振動子４１１の共振周波数と水晶振動子４２１の共振周波数との間の周波数において共振する。減衰器４１２及び減衰器４２２の減衰率を変化させることにより、反共振回路４００の反共振周波数が変化する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９５２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、水晶振動子、ＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical Systems）振動子等の高いＱを有する共振子の共振周波数は、ｆＬ＝（１／２π）√｛（Ｃ１＋ＣＬ）／Ｌ１Ｃ１ＣＬ｝で表される。ここで、Ｃ１は振動子の等価回路のモーショナルキャパシタンス、ＣＬは負荷容量、Ｌ１は振動子の直列インダクタンスである。
【０００８】
Ｃ１が比較的小さいＭＥＭＳ振動子を用いた発振回路においては、振動子に印加するバイアス電圧を調整することによって周波数の調整が行われる。しかし、集積回路や個別部品において実現できる数ｐＦオーダーの容量値に対してＣ１が非常に小さい振動子を発振回路に用いた場合は、ＣＬ＞＞Ｃ１の関係に基づいてｆＬ＝（１／２π）√（１／Ｌ１Ｃ１）と近似できるので、共振周波数は、振動子が有するＬ１及びＣ１に基づいて定められる。したがって、上記の振動子を発振回路に用いる場合には、振動子の共振周波数の温度特性が、そのまま発振周波数の温度特性に反映されてしまう。
【０００９】
特に、ＭＥＭＳ振動子の共振周波数の温度特性は−３０ｐｐｍ／℃程度であり、温度変化に対する周波数変化範囲が比較的大きい。したがって、ＭＥＭＳ振動子を用いた発振回路においては、バイアス電圧を調整するだけでは、温度変化を相殺して安定した発振周波数を得ることが困難である。
【００１０】
図９に示した反共振回路４００においては、単一のＭＥＭＳ振動子のバイアス電圧を調整する場合よりも広い周波数範囲で反共振周波数を変化させることができる。しかし、反共振回路４００において、反共振周波数におけるＱの値を発振回路に用いることができる程度に大きな値にするために、インダクタ４１３及びインダクタ４２３のインダクタンス値を十分に大きな値にしなければならなかった。具体的には、特許文献１においては、インダクタ４１３及びインダクタ４２３のインダクタンス値として２７μＨが例示されている。
【００１１】
しかし、インダクタは、温度変化に応じてインダクタンス値が大きく変化する。また、振動子のばらつきに応じてインダクタンス値を調整することも困難である。したがって、インダクタを用いた共振回路においては、安定した発振周波数の発振信号を得ることができなかった。さらに、μＨオーダーのインダクタンス値を有するインダクタは、集積回路に内蔵することが困難であった。したがって、従来の反共振回路４００を用いて、安定した発振周波数の発振信号を得られる発振回路を、低コストで量産することができなかった。
【００１２】
そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、振動子の共振周波数と異なる周波数で共振させることができる共振回路及び発振回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の第１の実施態様に係る共振回路は、第１共振周波数で共振する第１振動子と、前記第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振し、かつ、振動位相が前記第１振動子と逆相である第２振動子と、前記第１振動子及び前記第２振動子の等価回路定数を調整する調整部と、前記第１振動子が有する第１等価並列容量、及び前記第２振動子が有する第２等価並列容量を打ち消す負性容量回路と、を備える。
【００１４】
前記調整部は、例えば、前記調整部は、前記第１振動子及び前記第２振動子に印加する直流電圧を変化させることにより、前記等価回路定数を調整する。また、前記第１振動子及び前記第２振動子は、例えば、静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である。
【００１５】
前記第１振動子及び前記第２振動子は、例えば、互いに直列に接続されており、前記負性容量回路は、前記第１振動子及び前記第２振動子の接続点とグランドとの間に設けられている。
【００１６】
上記の共振回路は、互いに並列に接続された前記第１振動子及び前記第２振動子と接続されており、かつ前記第１振動子及び前記第２振動子と入出力される平衡信号を不平衡信号に変換する変換部をさらに備え、前記負性容量回路は、前記第１振動子及び前記変換部の接続点とグランドとの間、並びに、前記第２振動子及び前記変換部の接続点とグランドとの間に設けられていてもよい。
【００１７】
本発明の第２の実施態様に係る発振回路は、上記の共振回路と、前記共振回路の入出力間に設けられた増幅回路と、を備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る発振回路によれば、振動子の共振周波数と異なる周波数で共振させることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態に係る共振回路の構成を示す。
【図２】第１の実施形態に係る共振回路の等価回路を示す。
【図３】第１の実施形態に係る第１振動子及び第２振動子の利得の周波数特性を示す。
【図４Ａ】第１の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図４Ｂ】第１の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図４Ｃ】第１の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図５】第２の実施形態に係る共振回路の構成を示す。
【図６】第２の実施形態に係る共振回路の等価回路を示す。
【図７Ａ】第２の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図７Ｂ】第２の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図７Ｃ】第２の実施形態に係る共振回路の利得の周波数特性を示す。
【図８】第３の実施形態に係る発振回路の構成を示す。
【図９】従来の発振回路の構成を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
＜第１の実施形態＞
［共振回路１の構成］
図１は、第１の実施形態に係る共振回路１の構成を示す図である。共振回路１は、第１振動子１０と、第２振動子２０と、調整部３０と、負性容量回路４０と、入力端子５０と、出力端子６０とを備える。
【００２１】
第１振動子１０は、第１共振周波数ｆｒ１で共振する。第２振動子２０は、第１共振周波数と異なる第２共振周波数ｆｒ２で共振し、かつ、振動位相が第１振動子１０と逆相である。第１振動子１０及び第２振動子２０は、例えば、複数の電極の内側に円盤状の振動体が設けられており、ワイングラスモードで振動する静電駆動型ＭＥＭＳ振動子である。
【００２２】
第１振動子１０は、複数の電極１００（電極１００ａ、電極１００ｂ、電極１００ｃ、電極１００ｄ）を有する。また、第１振動子１０は、複数の電極１００の内側に設けられた振動体１０１を有する。第１振動子１０においては、電極１００ａに印加された高周波電圧に応じて、振動体１０１が所定の周波数で振動し、発振信号が電極１００ｂ、電極１００ｃ及び電極１００ｄから出力される。
【００２３】
同様に、第２振動子２０は、複数の電極２００（電極２００ａ、電極２００ｂ、電極２００ｃ、電極２００ｄ）を有する。また、第２振動子２０は、複数の電極２００の内側に設けられた振動体２０１を有する。第２振動子２０においては、電極２００ａに印加された高周波電圧に応じて、振動体２０１が所定の周波数で振動し、発振信号が電極２００ｂ、電極２００ｃ及び電極２００ｄから出力される。
【００２４】
第１振動子１０の４つの電極のうち、互いに隣接する電極においては、互いに逆位相電流が、互いに対向する電極においては、互いに同位相電流が発生する。図１においては、電極１００ａに入力される信号と同位相で振動する信号が出力される電極１００ｃが、電極２００ａに接続されており、電極２００ａに入力される信号と逆位相で振動する信号が出力される電極２００ｄが、出力端子６０に接続されている。すなわち、第１振動子１０は、入力の振動位相と出力の振動位相とが同相であり、第２振動子２０は、入力の振動位相と出力の振動位相とが逆相である。
【００２５】
調整部３０は、第１振動子１０及び第２振動子２０の等価回路定数を調整する。具体的には、調整部３０は、第１振動子１０及び第２振動子２０のそれぞれに直流の静電駆動電圧を出力する。第１振動子１０及び第２振動子２０のそれぞれは、静電駆動電圧が印加されると、等価回路定数が変化する。調整部３０は、第１振動子１０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ１と第２振動子２０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ２とを独立して制御することができる。
【００２６】
静電駆動電圧が大きくなると、第１振動子１０及び第２振動子２０の等価直列キャパシタンスが大きくなり、等価直列抵抗及び等価直列インダクタンスが小さくなる。具体的には、静電駆動電圧がｎ倍になると、等価直列キャパシタンスは約ｎ２倍になり、等価直列抵抗は約１／ｎ２になる。したがって、調整部３０が出力する静電駆動電圧に応じて、第１振動子１０及び第２振動子２０のそれぞれが有する等価直列キャパシタンス、等価直列抵抗及び等価直列インダクタンスを変化させることができる。
【００２７】
静電駆動電圧を変化させても、第１振動子１０及び第２振動子２０のそれぞれの単体の共振周波数はほとんど変化しない。しかし、共振回路１においては第１振動子１０と第２振動子２０とが互いに直列に接続されているので、調整部３０が、第１振動子１０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ１と、第２振動子２０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ２とを変化させることで、共振回路１の共振周波数は、第１共振周波数と第２共振周波数との間で変化する。
【００２８】
負性容量回路４０は、第１振動子１０及び第２振動子２０の間のノードとグランドとの間に設けられている。負性容量回路４０は、正の電圧を印加すると電荷を放出する性質を持つ回路である。例えば、負性容量回路４０は、オペアンプ又は複数のトランジスタのような能動素子と、キャパシタ及び抵抗のような受動素子とを組み合わせて構成される公知の回路により構成される。
【００２９】
図２は、第１の実施形態に係る共振回路１の等価回路図である。
第１振動子１０は、等価並列キャパシタ１０２、等価直列抵抗１０３、等価直列インダクタ１０４、等価直列キャパシタ１０５、及びトランス１０６を有する。トランス１０６は、結合係数が−１である。等価並列キャパシタ１０２は、等価直列抵抗１０３の一端と、トランス１０６の一端とに接続されている。
【００３０】
同様に、第２振動子２０は、等価並列キャパシタ２０２、等価直列抵抗２０３、等価直列インダクタ２０４、等価直列キャパシタ２０５、及びトランス２０６を有する。第２振動子２０は、第１振動子１０と逆相で振動するので、トランス２０６の結合係数が１である点で、トランス１０６と異なる。等価並列キャパシタ２０２は、等価直列抵抗２０３の一端と、トランス２０６の一端とに接続されている。
【００３１】
ここで、負性容量回路４０の容量値は、等価並列キャパシタ１０２及び等価並列キャパシタ２０２の容量値と符号が反対であり、かつ、等価並列キャパシタ１０２の容量値と等価並列キャパシタ２０２の容量値とを合計した値に等しい。したがって、第１振動子１０と第２振動子２０との間に負性容量回路４０が設けられていることにより、第１振動子１０、第２振動子２０及び負性容量回路４０の接続点から見ると、等価並列キャパシタ１０２及び等価並列キャパシタ２０２が見えない状態になる。その結果、共振回路１は、第１振動子１０の反共振周波数及び第２振動子２０の反共振周波数の影響を受けにくくなり、第１振動子１０の共振周波数と第２振動子２０の共振周波数との間で共振しやすくなる。
【００３２】
図３は、第１振動子１０及び第２振動子２０の利得の周波数特性を示す図である。図３における実線は第１振動子１０の周波数特性、点線は第２振動子２０の周波数特性を示す。第１振動子１０の周波数特性及び第２振動子２０の周波数特性には、利得が大きくなる共振点と利得が小さくなる反共振点（減衰ノッチ）とが存在することがわかる。また、第１振動子１０及び第２振動子２０の振動位相が逆相であるため、第１振動子１０の特性と第２振動子２０の特性との間で、共振点に対する反共振点の周波数軸上の位置が、逆になっている。
【００３３】
第１振動子１０の共振周波数ｆｒ１は約５１．９０ＭＨｚであり、反共振周波数ｆａ１は約５１．８８ＭＨｚである。また、第２振動子２０の共振周波数ｆｒ２は約５２．１０ＭＨｚであり、反共振周波数ｆｒ２は、約５２．１２ＭＨｚである。すなわち、第１振動子１０及び第２振動子２０の共振周波数と反共振周波数との関係は、ｆａ１＜ｆｒ１＜ｆｒ２＜ｆａ２である。このような関係があることにより、共振回路１においては、第１振動子１０及び第２振動子２０の反共振点の影響を受けることなく、共振周波数ｆｒ１と共振周波数ｆｒ２との間の周波数で発振することができる。
【００３４】
図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃは、第１振動子１０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ１及び第２振動子２０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ２を変化させた場合の、共振回路１の利得の周波数特性を示す図である。図４Ａは、Ｖｐ１＝３Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖの場合の周波数特性を示す。図４Ｂは、Ｖｐ１＝Ｖｐ２＝１０Ｖの場合の周波数特性を示す。図４Ｃは、Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝３Ｖの場合の周波数特性を示す。
【００３５】
このように、共振回路１の共振周波数は、第１振動子１０の共振周波数ｆｒ１及び第２振動子２０のｆｒ２のうち、印加する静電駆動電圧が小さい方の振動子、すなわち、等価直列容量が小さい方の振動子の共振周波数に近づく。したがって、Ｖｐ１をＶｐ２よりも小さくすることで、共振回路１の共振周波数は第１振動子１０の共振周波数ｆｒ１に近づき、Ｖｐ２をＶｐ１よりも小さくすることで、共振回路１の共振周波数は第２振動子２０の共振周波数ｆｒ２に近づく。
【００３６】
［第１の実施形態における効果］
以上のとおり、第１の実施形態に係る共振回路１によれば、第１共振周波数で共振する第１振動子１０と、第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振し、かつ、振動位相が第１振動子１０と逆相である第２振動子２０とが直列に接続されており、第１振動子１０が有する等価並列容量、及び第２振動子２０が有する等価並列容量を打ち消す負性容量回路４０が、第１振動子１０と第２振動子２０との間に設けられている。このような構成により、調整部３０が、第１振動子１０及び第２振動子２０に印加する静電駆動電圧を変化させることで、共振回路１の共振周波数を、第１振動子１０の共振周波数と第２振動子２０の共振周波数との間で変化させることができる。
【００３７】
＜第２の実施形態＞
図５は、第２の実施形態に係る共振回路２の構成を示す図である。図６は、共振回路２の等価回路を示す図である。共振回路２は、第１振動子１０と、第２振動子２０と、調整部３０と、負性容量回路４１と、負性容量回路４２と、入力端子５０と、出力端子６０とを備える。本実施形態に係る第１振動子１０、第２振動子２０、調整部３０、入力端子５０及び出力端子６０は、第１の実施形態に係る共振回路１における第１振動子１０、第２振動子２０、調整部３０、入力端子５０及び出力端子６０と同等である。
【００３８】
共振回路２においては、入力端子５０と出力端子６０との間で、第１振動子１０及び第２振動子２０が互いに並列に接続されている。調整部３０は、例えば、第１振動子１０及び第２振動子２０のそれぞれに静電駆動電圧を印加することにより、第１振動子１０及び第２振動子２０の等価回路定数を調整する。
【００３９】
第１振動子１０の電極１００ａ及び第２振動子２０の電極２００ａが、入力端子５０に接続されており、電極１００ｃ及び電極２００ｂが変換部７０に接続されている。電極１００ｃからは、入力端子５０から入力される信号と同位相で振動する信号が出力され、電極２００ｂからは、入力端子５０から入力される信号と逆位相で振動する信号が出力される。
【００４０】
負性容量回路４１及び負性容量回路４２は、第１の実施形態に係る負性容量回路４０と同様に、正の電圧を印加すると電荷を放出する性質を持つ回路である。負性容量回路４１は、第１振動子１０及び変換部７０の接続点とグランドとの間に設けられている。負性容量回路４１の容量値は、第１振動子１０の等価並列キャパシタ１０２の容量値と符号が逆で同じ値である。負性容量回路４２は、第２振動子２０及び変換部７０の接続点とグランドとの間に設けられている。負性容量回路４２の容量値は、第２振動子２０の等価並列キャパシタ２０２の容量値と符号が逆で同じ値である。
【００４１】
負性容量回路４１及び負性容量回路４２が設けられていることにより、第１振動子１０と変換部７０との接続点から等価並列キャパシタ１０２が見えなくなり、第２振動子２０と変換部７０との接続点から等価並列キャパシタ２０２が見えなくなる。その結果、共振回路１は、第１振動子１０の反共振周波数及び第２振動子２０の反共振周波数の影響を受けにくくなり、第１振動子１０の共振周波数と第２振動子２０の共振周波数との間で共振しやすくなる。
【００４２】
変換部７０は、第１振動子１０及び第２振動子２０に接続されており、第１振動子１０及び第２振動子２０との間で入出力される平衡信号を、出力端子６０に出力される不平衡信号に変換する。具体的には、変換部７０は、第１振動子１０からの出力信号及び第２振動子２０からの出力信号から構成される平衡信号を、グランドを基準電位とする不平衡信号に変換して、出力端子６０に出力する。共振回路２は、変換部７０が設けられていることにより、第１振動子１０から変換部７０の方向に流れる電流と、変換部７０から第２振動子２０の方向に流れる電流とが打ち消し合うことなく、これらの電流の大きさに応じた不平衡信号を出力することができる。
【００４３】
図７Ａ、図７Ｂ及び図７Ｃは、第１振動子１０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ１及び第２振動子２０に印加する静電駆動電圧Ｖｐ２を変化させた場合の、共振回路２の利得の周波数特性を示す図である。図７Ａは、Ｖｐ１＝３Ｖ、Ｖｐ２＝１０Ｖの場合の周波数特性を示す。図７Ｂは、Ｖｐ１＝Ｖｐ２＝１０Ｖの場合の周波数特性を示す。図７Ｃは、Ｖｐ１＝１０Ｖ、Ｖｐ２＝３Ｖの場合の周波数特性を示す。
【００４４】
このように、共振回路２の共振周波数は、第１振動子１０の共振周波数ｆｒ１及び第２振動子２０のｆｒ２のうち、印加する静電駆動電圧が小さい方の振動子、すなわち、等価直列容量が小さい方の振動子の共振周波数に近づく。したがって、Ｖｐ１をＶｐ２よりも小さくすることで、共振回路２の共振周波数は第１振動子１０の共振周波数ｆｒ１に近づき、Ｖｐ２をＶｐ１よりも小さくすることで、共振回路１の共振周波数は第２振動子２０の共振周波数ｆｒ２に近づく。
【００４５】
［第２の実施形態における効果］
以上のとおり、第２の実施形態に係る共振回路２によれば、第１共振周波数で共振する第１振動子１０と、第１共振周波数と異なる第２共振周波数で共振し、かつ、振動位相が第１振動子１０と逆相である第２振動子２０とが並列に接続されており、第１振動子１０が有する等価並列容量を打ち消す負性容量回路４１、及び第２振動子２０が有する等価並列容量を打ち消す負性容量回路４２が、第１振動子１０と変換部７０との間、及び第２振動子２０と変換部７０との間に設けられている。このような構成により、調整部３０が、第１振動子１０及び第２振動子２０に印加する静電駆動電圧を変化させることで、共振回路２の共振周波数を、第１振動子１０の共振周波数と第２振動子２０の共振周波数との間で変化させることができる。
【００４６】
＜第３の実施形態＞
図８は、第３の実施形態に係る発振回路３００の構成を示す図である。発振回路３００は、第１の実施形態に係る共振回路１を含む負帰還回路３と、共振回路１の入出力間に設けられた増幅回路４と、を備える。負帰還回路３は、共振回路１の代わりに共振回路２を有してもよい。
【００４７】
負帰還回路３は、共振回路１と、ゲイン調整部８０とを有する。ゲイン調整部８０は、例えば、増幅回路４のゲインを補完する増幅器である。負帰還回路３は、増幅回路４の出力信号を正帰還することにより、共振回路１の共振周波数の発振信号を増幅回路４から出力させる。
【００４８】
増幅回路４は、増幅器９０を有する。増幅回路４は、負帰還回路３からの負帰還を受けて、共振回路１の共振周波数の信号を増幅することにより、発振信号を出力する。
【００４９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００５０】
１、２・・・共振回路、３・・・負帰還回路、４・・・増幅回路、１０・・・第１振動子、２０・・・第２振動子、３０・・・調整部、４０、４１、４２・・・負性容量回路、５０・・・入力端子、６０・・・出力端子、７０・・・変換部、８０・・・ゲイン調整部、９０・・・増幅器、１００・・・電極、１０１・・・振動体、１０２・・・等価並列キャパシタ、１０３・・・等価直列抵抗、１０４・・・等価直列インダクタ、１０５・・・等価直列キャパシタ、１０６・・・トランス、２００・・・電極、２０１・・・振動体、２０２・・・等価並列キャパシタ、２０３・・・等価直列抵抗、２０４・・・等価直列インダクタ、２０５・・・等価直列キャパシタ、２０６・・・トランス、３００・・・発振回路、４００・・・反共振回路、４１１・・・水晶振動子、４１２・・・減衰器、４１３・・・インダクタ、４１４・・・キャパシタ、４２１・・・水晶振動子、４２２・・・減衰器、４２３・・・インダクタ、４２４・・・キャパシタ、４３０・・・交流信号源、４４０・・・出力抵抗、４５０・・・負荷抵抗
【図１】
2015070500.tif 000003
【図２】
2015070500.tif 000004
【図３】
2015070500.tif 000005
【図４Ａ】
2015070500.tif 000006
【図４Ｂ】
2015070500.tif 000007
【図４Ｃ】
2015070500.tif 000008
【図５】
2015070500.tif 000009
【図６】
2015070500.tif 000010
【図７Ａ】
2015070500.tif 000011
【図７Ｂ】
2015070500.tif 000012
【図７Ｃ】
2015070500.tif 000013
【図８】
2015070500.tif 000014
【図９】
2015070500.tif 000015