(57)【要約】【課題】搬送ロールの外周面の振れを小さくし、フィルムの搬送位置を安定させる。【解決手段】フィルム１０を搬送する搬送ロール２と、搬送ロール２の外周面を支持する基準ロール３と、搬送ロール２の外周面に当接され搬送ロール２を基準ロール３に対して付勢する与圧ロール４とを備え、搬送ロール２は、基準ロール３及び与圧ロール４によって少なくとも３点以上で、ラジアル方向を支持されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムを搬送する搬送ロールと、
上記搬送ロールの外周面を支持する基準ロールと、上記搬送ロールの外周面に当接され上記搬送ロールを上記基準ロールに対して付勢する与圧ロールとを備え、
上記搬送ロールは、上記基準ロール及び上記与圧ロールによって少なくとも３点以上で、ラジアル方向を支持されている搬送ロールユニット。
【請求項２】
上記基準ロール及び上記与圧ロールは、ベアリングである請求項１記載の搬送ロールユニット。
【請求項３】
上記搬送ロールは、２つの基準ロールによって支持されている請求項１又は２に記載の搬送ロールユニット。
【請求項４】
上記基準ロールは上記搬送ロールの外周面の鉛直上側に対称配置され、上記与圧ロールは上記搬送ロールの外周面の鉛直下側に設けられている請求項３記載の搬送ロールユニット。
【請求項５】
上記搬送ロールは、２つの上記基準ロールの間において上記フィルムが当接される請求項３又は４に記載の搬送ロールユニット。
【請求項６】
上記搬送ロールは、スラスト方向の両端において、それぞれ上記基準ロール及び上記与圧ロールによって支持されている請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送ロールユニット。
【請求項７】
上記搬送ロールの両端面を第２の基準ロール及び第２の与圧ロールによって支持されている請求項１〜６のいずれか１項に記載の搬送ロールユニット。
【請求項８】
上記搬送ロールは、中空円筒状のガラスロールである請求項１〜７のいずれか１項に記載の搬送ロールユニット。
【請求項９】
上記搬送ロールは、表面粗度Ｒａが０．８μｍ未満である請求項８記載の搬送ロールユニット。
【請求項１０】
上記与圧ロールを回転する回転駆動機構を備え、上記搬送ロールは上記与圧ロールを介して回転される請求項１，３〜９のいずれか１項に記載の搬送ロールユニット。
【請求項１１】
上記請求項１〜１０のいずれか１項に記載の搬送ロールユニットを用いたフィルム検査装置。
【請求項１２】
上記請求項１〜１０のいずれか１項に記載の搬送ロールユニットを用いた露光装置。
【請求項１３】
上記請求項１〜１０のいずれか１項に記載の搬送ロールユニットを用いた微細加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムを搬送する搬送ロールを支持する搬送ロールユニットに関し、特にフィルムを搬送する搬送ロールにおいて、ロール振れを抑制し安定的にフィルムを搬送することができる搬送ロールユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フィルムの外観検査装置や露光装置等において、フィルムを搬送する中空円筒状のガラスによって形成された搬送ロールが用いられている。搬送ロール内にはＬＥＤ等の光源が配置され、外周面に当接しながら搬送されるフィルムに光を照射し、その透過光を受光することにより外観検査を行い、またフィルム表面に塗布された塗料を露光する。
【０００３】
この種の搬送ロールを外観検査装置に適用する場合には、フィルム表面の微細な凹凸を写すためにカメラの被写界深度が狭く設定されているため、当該カメラに対するフィルムの搬送位置が高精度に安定されていることが求められる。また、露光装置においても、光源に対するフィルムの搬送位置にばらつきが生じると光の照射強度が安定せず、フィルムの性能等に影響を及ぼすため、光源に対するフィルムの搬送位置が高精度に安定されていることが求められる。
【０００４】
このため、フィルムを搬送する搬送ロールには、ロールの回転によってもフィルムが当接する外周面の振れをできるだけ抑制する高精度な円筒度が求められている。また、搬送ロールは、高精度な円筒度に加えて、当該搬送ロールを回転可能に支持する軸受部において高精度に支持されている必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２２２５８４号公報
【特許文献２】特許３９５６２００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、図１３及び図１４に、従来の技術を用いて中空円筒状のガラスによって形成された搬送ロールユニットを示す。図１３に示す搬送ロールユニット５０は、ベアリング５１によって回転自在に支持された軸受部５２と、両開放端面が軸受部５２と接続された中空円筒状の搬送ロール５３とを有する。しかし、軸受部５２は金属製であり、ガラス製の搬送ロール５３に圧入などで直接接続することは強度上困難となる。また、接着剤を介して搬送ロールの両開放端面に軸受部５２を接続した場合にも、ガラス製の搬送ロール５３の外周面に研磨仕上げを行う必要があるが、金属製の軸受部５２との接点における強度上困難となる。
【０００７】
また、図１４に示す搬送ロールユニット６０は、フィルムが当接する中空円筒状の外周面部６２と軸受部６３とが一体に形成されたガラス製の搬送ロール６１の当該軸受部６３が金属製のベアリング６４に支持されている。しかし、金属製のベアリング６４でガラス製の軸受部６３を支持させるのは強度上困難となる。また、ガラス製の搬送ロール６１の外周面部６２に研磨仕上げを行う必要があるが、金属製のベアリング６４との接点における強度上困難となる。
【０００８】
このため、搬送ロール５３，６１は、研磨仕上げが不十分となり、円筒度が低く、フィルムの搬送位置を高精度に安定させることができない。また、円筒度を高めたとしても、ベアリング５１，６４による軸受部５２，６３の支持精度が低ければ、当該搬送ロール５３，６１の回転による外周面の振れが大きくなり、フィルムの搬送位置を高精度に安定させることが困難となる。
【０００９】
そこで、本発明は、搬送ロールの外周面の振れを小さくすることができ、フィルムの搬送位置を高精度に安定させることができる搬送ロールユニット、これを用いたフィルム検査装置、露光装置及び微細加工機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、本発明に係る搬送ロールユニットは、フィルムを搬送する搬送ロールと、上記搬送ロールの外周面を支持する基準ロールと、上記搬送ロールの外周面に当接され上記搬送ロールを上記基準ロールに対して付勢する与圧ロールとを備え、上記搬送ロールは、上記基準ロール及び上記与圧ロールによって少なくとも３点以上で、ラジアル方向を支持されているものである。
【００１１】
また、本発明に係るフィルム検査装置は、上述した搬送ロールユニットを用いたものである。
【００１２】
また、本発明に係る露光装置は、上述した搬送ロールユニットを用いたものである。
【００１３】
また、本発明に係る露光装置は、上述した搬送ロールユニットを用いたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、搬送ロールが基準ロールによって回転位置が決められ、円筒度に起因する大径ロールと小径ロールの径の差は与圧ロールによって吸収される。これにより、搬送ロールは、基準ロール近傍においては、搬送ロールの回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができ、基準ロール近傍において搬送されるフィルムの搬送位置を高精度に安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本発明に係る搬送ロールユニットの動作原理を説明するための図である。
【図２】図２は、基準ロール近傍におけるロール振れを示す図である。
【図３】図３は、搬送ロールユニットを示す外観斜視図である。
【図４】図４は、搬送ロールユニットを示す外観斜視図である。
【図５】図５は、搬送ロールユニットを示す正面図である。
【図６】図６は、搬送ロールユニットを示す側面図である。
【図７】図７は、外観検査装置の構成を示す図である。
【図８】図８は、外観検査装置の他の構成を示す図である。
【図９】図９は、露光装置の構成を示す図である。
【図１０】図１０は、微細加工機の構成を示す図である。
【図１１】図１１は、実施例において搬送ロールの測定位置を示す図である。
【図１２】図１２は、測定結果を示すグラフである。
【図１３】図１３は、従来の搬送ロールを示す断面図である。
【図１４】図１４は、従来の搬送ロールを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明が適用された搬送ロールユニット、これを用いたフィルム検査装置及び露光装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能であることは勿論である。また、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることがある。具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
【００１７】
［基本原理］
本発明が適用された搬送ロールユニット１は、図１に示すように、フィルム１０を搬送する円筒状の搬送ロール２と、搬送ロール２の外周面を支持する基準ロール３と、搬送ロール２の外周面に当接され搬送ロール２を基準ロール３に対して付勢する与圧ロール４とを備える。
【００１８】
搬送ロール２は、基準ロール３及び与圧ロール４によって少なくとも３点以上で、回転可能に支持されることにより位置決めされている。具体的に、搬送ロール２は、図１に示すように、外周面の鉛直上側に配設された２つの基準ロール３ａ，３ｂと、外周面の鉛直下側に配設された１つの与圧ロール４によって３点支持され、これにより位置決めが図られている。
【００１９】
搬送ロール２は、基準ロール３ａ，３ｂ間においてフィルム１０が当接されるとともに、図示しない駆動機構によって回転されることにより、フィルム１０の搬送をガイドする。
【００２０】
基準ロール３ａ，３ｂ及び与圧ロール４は、搬送ロール２の外周面を支持することにより、フィルム１０が当接される基準ロール３ａ，３ｂ間において、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを抑制するものである。
【００２１】
基準ロール３ａ，３ｂは、図示しないフレーム部材に固定されることにより、搬送ロール２の支持位置を決める。与圧ロール４は、基準ロール３ａ，３ｂと対向配置されるとともに、与圧バネ５によって搬送ロール２を基準ロール３ａ，３ｂ側に付勢している。
【００２２】
搬送ロールユニット１は、搬送ロール２の円筒度によって、回転されると外周面が大径のロール２ａと小径ロール２ｂの２つの軌跡を有する。ここで、搬送ロールユニット１は、与圧ロール４によって２つの基準ロール３ａ，３ｂ側に搬送ロール２を付勢しているため、大径ロール２ａと小径ロール２ｂとの径の差に比して、基準ロール３ａ，３ｂ間における搬送ロール２の振れが大幅に抑制される。
【００２３】
すなわち、搬送ロールに設けた回転軸を軸受部によって支持する搬送ロールユニットにおいては（図１３、図１４参照）、回転軸を中心に搬送ロールが回転されると、円筒度に応じて同軸の大径ロールと小径ロールの外周面の軌跡を描くことから、外周面の振れが当該大径ロールと小径ロールの径の差に応じて現れる。
【００２４】
一方、搬送ロールユニット１によれば、搬送ロール２が基準ロール３ａ，３ｂによって回転位置が決められ、円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差は与圧ロール４によって吸収される。これにより、搬送ロール２は、基準ロール３ａ，３ｂ間においては、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができる。
【００２５】
例えば、搬送ロール２は、円筒度に起因する大径ロール２ａの直径φ1＝２００ｍｍ、小径ロール２ｂの直径φ2＝１９０ｍｍとしたときに、図２に示すように、基準ロール３ａ，３ｂ間におけるロール振れＺ1＝０．７２４ｍｍとなる。また、搬送ロール２は、円筒度に起因する大径ロール２ａの直径φ1＝１９０ｍｍ、小径ロール２ｂの直径φ2＝１９０．１ｍｍとしたときに、基準ロール３ａ，３ｂ間におけるロール振れＺ1＝０．００７３０７ｍｍとなる。
【００２６】
したがって、搬送ロールユニット１によれば、フィルム１０が当接される基準ロール３ａ，３ｂ間において、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを抑制することができ、基準ロール３ａ，３ｂ間において支持するフィルムの搬送位置を高精度に安定させることができる。
【００２７】
［搬送ロールユニット］
次いで、搬送ロールユニット１の具体的な構成例について説明する。図３、図４に示すように、搬送ロールユニット１は、メインフレーム１１と、メインフレーム１１に接続され基準ロール３及び与圧ロール４が設けられるサイドフレーム１２とを備える。メインフレーム１１は、サイドフレーム１２が取り付けられる上部フレーム１１ａと、上部フレーム１１ａを支える図示しない脚部とを有する。
【００２８】
上部フレーム１１ａは、搬送ロールユニット１の基準であり、上部フレーム１１ａにサイドフレーム１２が取り付けられるとともに、このサイドフレーム１２に設けられた基準ロール３及び与圧ロール４によって搬送ロール２が支持されることにより、上部フレーム１１ａを基準に搬送ロール２の支持位置、及び搬送ロール２にガイドされるフィルム１０の搬送位置が決まる。
【００２９】
上部フレーム１１ａは、所定の間隔で２枚のサイドフレーム１２が接続されている。２枚のサイドフレーム１２は、上面を上部フレーム１１ａに接続されるとともに、支軸１３によって挿通支持されることにより、メインフレーム１１に対して固定されている。各サイドフレーム１２は、搬送ロール２が挿通する円形の挿通口１２ａが開口されている。サイドフレーム１２の各挿通口１２ａの近傍には、搬送ロール２を支持するとともにラジアル方向の振れを抑制する基準ロール３及び与圧ロール４として、ラジアル基準ベアリング１５及びラジアル与圧ベアリング１６が取り付けられている。また挿通口１２ａには、後述するラジアル与圧ベアリング１６を挿通支持する支持シャフト１７が挿通する凹部１８が形成されている。
【００３０】
［ラジアル基準ベアリング／ラジアル与圧ベアリング］
図５に示すように、ラジアル基準ベアリング１５及びラジアル与圧ベアリング１６は、搬送ロール２の外周面を転動する単列深溝玉軸受を用いることができる。ラジアル基準ベアリング１５は、サイドフレーム１２の挿通口１２ａ内に外周面の一部が臨む位置に固定されている。また、ラジアル基準ベアリング１５は、例えば２つ設けられ、挿通口１２ａの鉛直上側に対称配置されている。２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂは、搬送ロール２の外周面を回転可能に支持することにより、当該ラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間において、搬送ロール２の円筒度に起因するロール振れを抑制する。
【００３１】
ラジアル与圧ベアリング１６は、２つのサイドフレーム１２間に亘って支持されている支持シャフト１７に、回転可能に支持されている。支持シャフト１７は各挿通口１２ａに形成された凹部１８に上下方向に揺動可能に嵌合されている。また、支持シャフト１７は、ラジアル与圧ベアリング１６に付勢力を伝達する与圧レバー１９が回転可能に支持されている。
【００３２】
与圧レバー１９は、ラジアル与圧ベアリング１６を支持する支持シャフト１７が接続されている。また、与圧レバー１９は、サイドフレーム１２に回転可能に取り付けられている。サイドフレーム１２における与圧レバー１９の回転軸１９ａは、若干ラジアル与圧ベアリング１６よりも左右の一方に偏倚して形成されている。また、与圧レバー１９は、回転軸１９ａとラジアル与圧ベアリング１６を挟んだ反対側に与圧バネ２０の一端が係止される係止部１９ｂが形成されている。与圧バネ２０は、ラジアル与圧ベアリング１６に付勢力を付加するものであり、一端がサイドフレーム１２に係止され、他端が与圧レバー１９の係止部１９ｂに係止されている。
【００３３】
与圧レバー１９は、与圧バネ２０によって係止部１９ｂが上方に回動付勢されている。これにより、与圧レバー１９に支持されているラジアル与圧ベアリング１６は、搬送ロール２を２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ側へ付勢する。
【００３４】
搬送ロール２は、２枚のサイドフレーム１２のそれぞれに設けられたラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ及びラジアル与圧ベアリング１６によって、長手方向の両端部を支持されることにより、メインフレーム１１に対するラジアル方向の位置決めが図られる。また、搬送ロール２は、ラジアル与圧ベアリング１６に付勢されることにより、常時、サイドフレーム１２に設けられているラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂに当接して回転される。
【００３５】
搬送ロール２は、円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差がラジアル与圧ベアリング１６によって吸収される。これにより、搬送ロール２は、ラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間においては、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができる。
【００３６】
なお、搬送ロールユニット１は、ラジアル与圧ベアリング１６を与圧バネ２０によって付勢する他にも、例えば与圧ロール４をゴムロール等の弾性材料によって形成し、自身の弾性力によって、あるいは与圧バネ２０とともに付勢力を付加してもよい。
【００３７】
搬送ロール２は、光透過性の材料によって円筒形に形成することにより、内部に検査用あるいは露光用の光源を配置することができる。また、搬送ロール２は、例えばホウケイ酸ガラス等のガラスロールとすることにより、表面を研削することで円筒度を高精度に仕上げることができ、例えば表面粗度Ｒａが０．８μｍ未満とされている。
【００３８】
［スラスト基準ベアリング／スラスト与圧ベアリング］
また、搬送ロールユニット１は、図６に示すように、搬送ロール２のスラスト方向の位置決めを図るスラスト基準ベアリング２１及びスラスト与圧ベアリング２２を設けてもよい。スラスト基準ベアリング２１は、一方のサイドフレーム１２に設けた支持片２３に支持されることにより、挿通口１２ａの内側に臨まされ、これにより搬送ロール２の一方の端面と当接される。スラスト与圧ベアリング２２は、他方のサイドフレーム１２に設けた支持片２４に揺動自在に支持されることにより、挿通口１２ａの内側に臨まされ、これにより搬送ロール２の他方の端面と当接される。また、スラスト与圧ベアリング２２は、与圧バネ２５によってスラスト方向に付勢され、これにより搬送ロール２をスラスト基準ベアリング２１側に付勢する。搬送ロール２は、スラスト与圧ベアリング２２によってスラスト基準ベアリング２１に付勢されることにより、スラスト方向の位置決めが図られる。
【００３９】
［駆動機構］
また、搬送ロールユニット１は、与圧ロール４として上記ゴムロールを用いるとともに、ラジアル与圧ベアリング１６を介して搬送ロール２を回転駆動する駆動機構３０を設けてもよい。駆動機構３０は、駆動モータ３１と、駆動モータ３１の軸に取り付けられた第１のプーリー３２と、ゴムロールを支持する支持シャフト１７の先端に取り付けられた第２のプーリー３３と、第１、第２のプーリー３２，３３間に掛け渡されたプーリーベルト３４とを有する。
【００４０】
駆動機構３０は、駆動モータ３１の駆動力を支持シャフト１７に伝達することにより当該ゴムロールを回転し、搬送ロール２をフィルム１０の搬送方向に回転させる。
【００４１】
［検査装置］
このような搬送ロールユニット１は、例えば図７に示すように、フィルム１０の外観を検査する外観検査装置４０に適用することができる。外観検査装置４０は、搬送ロールユニット１と、フィルム１０に検査光を照射する光源４１と、フィルム１０の外観を撮像するカメラ４２とを有する。
【００４２】
光源４１は、円筒のガラスロールからなる搬送ロール２の内部に設けられ、２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間を搬送されるフィルム１０に検査光を照射する。なお、外観検査装置４０は、図８に示すように、光源４１を搬送ロール２のフィルム１０が搬送されるラジアル基準ベアリング１５が当接する面側と反対側に設けるとともに、光源４１から出射する光から特定の波長のみを有する光を取り出す光学フィルタ４３等の光学素子を搬送ロール２の内部に配置してもよい。
【００４３】
カメラ４２は、検査光が照射されたフィルム１０を撮像するものであり、搬送ロール２のフィルム１０が搬送される外周面上に配置されている。カメラ４２によって撮像されたフィルム１０の外観画像はモニタに出力され、目視検査や画像処理装置を用いた自動検査工程に付される。カメラ４２は、フィルム１０の異物サイズに応じた分解能及び被写界深度を有し、例えば、フィルム１０の異物サイズが約２０μｍであるのに対し、分解能７μｍ、被写界深度４０〜５０μｍである。
【００４４】
ここで、カメラ４２は、搬送ロール２と同様に、上部フレーム１１ａに対して配置位置が決められている。そして、搬送ロールユニット１を用いた外観検査装置４０は、上述したようにラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間において、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができる。
【００４５】
したがって、外観検査装置４０は、フィルム１０が搬送ロール２のラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間における外周面にガイドされることにより、搬送ロール２の円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差に比して、フィルム１０の振れを大幅に抑制することができる。したがって、外観検査装置４０は、カメラ４２の被写界深度が浅く設定されている場合にも、搬送ロール２に搬送されているフィルム１０の微小な異物を検出することができる。
【００４６】
［露光装置］
また、搬送ロールユニット１は、例えば図９に示すように、フィルム１０にＵＶ光等の所定の波長の光を照射しフィルム表面に塗布されたＵＶ硬化系のバインダー樹脂層を改質する露光装置４５に適用することができる。露光装置４５は、フィルム１０に露光光を照射するＬＥＤ等の光源４６が、円筒のガラスロールからなる搬送ロール２の内部に設けられている。露光装置４５は、２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間を搬送されるフィルム１０に露光光を照射することにより、フィルム１０のバインダー樹脂層を改質させることができる。
【００４７】
このとき、露光装置４５は、ラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間において、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができる。したがって、露光装置４５は、フィルム１０が搬送ロール２のラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間における外周面にガイドされることにより、搬送ロール２の円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差に比して、フィルム１０の振れを大幅に抑制することができる。したがって、露光装置４５は、光源４６の光線がフィルム１０に均等に照射され、光強度ムラに起因する品質のばらつきを抑制することができる。
【００４８】
［微細加工機］
また、搬送ロールユニット１は、例えば図１０に示すように、フォトリソグラフィを用いたフィルム１０の微細加工機４７に適用することができる。微細加工機４７は、搬送ロール２の外周面に所定の微細パターン４９がエッチング等により形成され、当該パターンをフィルム１０に設けられたＵＶ硬化系の樹脂層に転写する。微細加工機４７は、円筒のガラスロールからなる搬送ロール２の内部にＵＶ光を照射する光源４８が設けられ、微細パターン４９が形成された搬送ロール２の外周面にフィルム１０の樹脂層を当接するとともに、光源４８によりＵＶ光を照射し、当該樹脂層に搬送ロール２に形成された微細パターン４９を転写する。
【００４９】
このとき、微細加工機４７は、ラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間において、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができる。したがって、微細加工機４７は、フィルム１０が搬送ロール２のラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間における外周面にガイドされることにより、搬送ロール２の円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差に比して、フィルム１０の振れを大幅に抑制することができる。したがって、微細加工機４７は、光源４８の光線がフィルム１０に均等に照射され、光強度ムラに起因する転写ムラを防止でき、フィルム１０の樹脂層に均一に微細パターン４９を転写することができる。
【００５０】
［その他の変形例］
上述した搬送ロールユニット１では、搬送ロール２の上側に２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂを設け、搬送ロール２の下側に１つのラジアル与圧ベアリング１６を設けたが、搬送ロールユニット１は、ラジアル基準ベアリング１５及びラジアル与圧ベアリング１６によって３点以上で搬送ロール２を支持すればよく、例えば搬送ロール２の下側に２つのラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂを設け、搬送ロール２の上側に１つのラジアル与圧ベアリング１６を設けてもよい。搬送ロールユニット１は、搬送ロールラジアル基準ベアリング１５を鉛直下側に設けることで、搬送ロール２の自重によってもラジアル基準ベアリング１５側に付勢され、ラジアル与圧ベアリング１６による付勢を補助することができる。
【００５１】
また、搬送ロールユニット１は、搬送ロール２の上側に１つのラジアル基準ベアリング１５を設け、搬送ロール２の下側に２つのラジアル与圧ベアリング１６を設けてもよい。また、搬送ロールユニット１は、搬送ロール２の下側に１つのラジアル基準ベアリング１５を設け、搬送ロール２の上側に２つのラジアル与圧ベアリング１６を設けてもよい。これらの場合、搬送ロール２はラジアル基準ベアリング１５の前後の領域においてロール振れが抑制され、フィルム１０はラジアル基準ベアリング１５の前後に亘って搬送される。
【００５２】
その他、搬送ロールユニット１は、搬送ロール２の上側又は下側に設けた複数のラジアル基準ベアリング１５と複数のラジアル与圧ベアリング１６によって搬送ロール２を支持してもよい。
【００５３】
なお、本発明に係る搬送ロールユニット１は、上述したフィルムの外観検査装置４０、露光装置４５及び微細加工機４７に用いる他にも、フィルム１０の搬送を高精度に安定させるあらゆる用途に用いることができる。
【実施例】
【００５４】
次いで、搬送ロールユニット１の実施例について説明する。本実施例では、搬送ロール２として円筒のガラスロールを用いて、この搬送ロール２を鉛直上側に設けた２つのラジアル基準ベアリング１５及び鉛直下側に設けた１つのラジアル与圧ベアリング１６によって回転自在に支持した。図１１に示すように、搬送ロール２には、周回方向に均等に測定位置を割り振り、計１２点が２つのラジアル基準ベアリング１５間に回転されたときのロール振れを計測した。
【００５５】
その結果、図１２に示すように、搬送ロール２の円筒度の実測値（大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差）は１８μｍであったのに対して、ロール振れは５μｍ以内に収まった。これにより、搬送ロールユニット１は、搬送ロール２の円筒度に起因する大径ロール２ａと小径ロール２ｂの径の差がラジアル与圧ベアリング１６によって吸収され、ラジアル基準ベアリング１５ａ，１５ｂ間においては、搬送ロール２の回転に伴うロール振れを大幅に抑制することができることが分かる。
【符号の説明】
【００５６】
１  搬送ロールユニット、２  搬送ロール２  基準ロール、４  与圧ロール、１０  フィルム、１１  メインフレーム、１１ａ  上部フレーム、１２  サイドフレーム、１２ａ  挿通口、１３  支軸、１５  ラジアル基準ベアリング、１６  ラジアル与圧ベアリング、１７  支持シャフト、１８  凹部、１９  与圧レバー、２０  与圧バネ、２１  スラスト基準ベアリング、２２  スラスト与圧ベアリング、２３，２４  支持片、３０  駆動機構、３１  駆動モータ、３２  第１のプーリー、３３  第２のプーリー、４０  外観検査装置、４１  光源、４２  カメラ、４３  光学フィルタ、４５  露光装置、４６  光源、４７  微細加工機、４８  光源
【図１】
2015102454.tif 000003
【図２】
2015102454.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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