(57)【要約】【課題】  歩留まりの向上及び安定化を図ることが可能となる振動型アクチュエータを提供する。【解決手段】  接触部を有する突起部を備えた弾性体と、電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、を有し、前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、少なくとも前記フレキシブルプリント基板の電極部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の１つの面に接着された電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記フレキシブルプリント基板の電極部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。
【請求項２】
前記前記フレキシブルプリント基板の電極部は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間と重なっていない、請求項１に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項３】
接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の１つの面に接着された電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
ベース部及びベース部に設けられた電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記フレキシブルプリント基板のベース部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていないこと、振動型アクチュエータ。
【請求項４】
前記前記フレキシブルプリント基板は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない、請求項３に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項５】
接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の１つの面に接着され、電極層を有する電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、
前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、
を有し、
前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、
少なくとも前記電気−機械エネルギー変換素子の前記電極層の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータ。
【請求項６】
前記弾性体は、前記電気−機械エネルギー変換素子が接合される接合部を有し、
前記突起部は、前記接触部と前記接合部の間に、立ち上がり部を有し、
前記空間は、前記接触部、前記立ち上がり部、及び前記電気−機械エネルギー変換素子に囲まれている、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記弾性体は、更に前記立ち上がり部と前記接触部の間に、バネ部を有する、請求項６に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項８】
前記突起部は、前記振動子の長手方向における振動の、節部に設けられる、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項９】
前記突起部は、前記振動子の短手方向における振動の、腹部に設けられる、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記立ち上がり部は、前記接触部の周囲において空隙を有する、請求項６または７に記載の振動型アクチュエータ。
【請求項１１】
レンズと、前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた交換用レンズ。
【請求項１２】
撮像素子と、レンズと、前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた撮像装置。
【請求項１３】
レンズと、撮像素子と、前記撮像素子を駆動する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた撮像装置。
【請求項１４】
ステージと、前記ステージを駆動する請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータと、を備えた自動ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一様態は、振動型アクチュエータに関する。具体的には、例えば、振動子が平板状に形成されており、平板状の一面に摩擦部材である突起が形成されている振動型アクチュエータに関する。また、本発明の別の一様態は、上記振動型アクチュエータを備えた交換用レンズ、撮像装置、または自動ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動型アクチュエータの一例として、被駆動部を直線状に駆動する振動型アクチュエータについて、従来から様々な提案が行われており、例えば、特許文献１のような振動型アクチュエータが提案されている。その駆動原理について、図５、図６を用いて説明する。図５に示すように振動子は電気−機械エネルギー変換素子１０７を振動子１０６に貼り付けた構成を備えている。
【０００３】
図６は、該圧電振動子の二つの曲げ振動モードを表した図である。図６（ａ）に示される振動モードは、二つの曲げ振動モードのうちの一方の曲げ振動モード（Ａモードとする）を表している。このＡモードは、矩形の振動子１０６の長辺方向（矢印Ｘ方向）における二次の屈曲運動であり、短辺方向（矢印Ｙ方向）と平行な３本の節を有している。
【０００４】
ここで、突起部１０８はＡモードの振動で節となる位置の近傍に配置されており、Ａモードの振動により矢印Ｘ方向に往復運動を行う。また、図６（ｂ）に示される振動モードは、二つの曲げ振動モードのうちの他方の曲げ振動モード（Ｂモードとする）を表している。
【０００５】
このＢモードは、矩形の振動子１０６の短辺方向（矢印Ｙ方向）における一次の屈曲振動であり、長辺方向（矢印Ｘ方向）と平行な２本の節を有している。ここで、Ａモードにおける節とＢモードにおける節は、ＸＹ平面内において略直交するようになっている。また、突起部１０８はＢモードの振動で腹となる位置の近傍に配置されており、Ｂモードの振動により矢印Ｚ方向に往復運動を行う。
【０００６】
上記したＡモードとＢモードの振動を所定の位相差で発生させることにより、突起部１０８の先端に楕円運動を発生させることができる。突起部１０８の先端には被駆動部であるスライダ１１６が加圧接触するようになっており、スライダ１１６は突起部１０８の楕円運動によって、振動子１０６に対して矢印Ｌ方向に相対的に移動することができる。
【０００７】
この振動型アクチュエータは、振動を発生する振動子に被駆動部を加圧接触させることで、振動を受けて被駆動部が相対運動を行う構成となっている。そのため、振動子が発生する振動を受けた被駆動部が跳ねることによる異音の発生や、相対移動が不安定になるなどの現象が発生することがある。
【０００８】
これらの問題に対処するための構成について、図７を用いて説明する。図７において、振動子１０６は、突起部１０８及び、電気−機械エネルギー変換素子に接合される接合部を有する。接触部と、突起部と接合される前記電気−機械エネルギー変換素子との間には、空間部が形成されている。突起部は、被駆動体と接触するための接触部と、接触部と接合部との間に形成された、接触部が被駆動体との接触で加圧された際、突起部にバネ性をもたせるためのバネ部を有する。また、接触部と、前記電気−機械エネルギー変換素子との間は、空間部となっている。
【０００９】
その際、このようなバネ部として、接触部とバネ部との間をつなぐ立ち上げ部を形成し、接触部、立ち上げ部、及び接合部よりも、バネ部を薄い厚みで形成する。
【００１０】
これらにより、接触部が被駆動体との接触で加圧された際、バネ部が弾性変形することで、振動子１０６を、バネ性を有する構造とすることが可能となる。よって、振動子と被駆動部との相対移動時の不安定性を改善することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１１−２０００５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ここで、振動型アクチュエータに給電するためには例えばフレキシブルプリント基板が電気−機械エネルギー変換素子に接着剤や異方性導電フィルム、異方性ペースト等で接着する必要がある。いずれの接着の場合も導通や所定の厚み、強度を得るためには、接着時にフレキシブルプリント基板及び電気―機械エネルギー変換素子を加圧しなければならない。しかしながら、従来例（図７）に示したような、電気−機械エネルギー変換素子と突起部の間に空間部がある場合、接着時に、電気−機械エネルギー変換素子のうち、空間部に面する部分に応力が集中し、割れてしまうという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一様態は、接触部を有する突起部を備えた弾性体と、電気−機械エネルギー変換素子とを備えた振動子と、電極部を有し、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、を有し、前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、少なくとも前記フレキシブルプリント基板の電極部の端が、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータに関する。
【００１４】
また、本発明の別の一様態は、接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の１つの面に接着された電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、ベース部及びベース部に設けられた電極部を備え、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、を有し、前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、少なくとも前記フレキシブルプリント基板のベース部の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていないこと、振動型アクチュエータに関する。
【００１５】
更に、本発明の別の一様態は、接触部を有する突起部を備えた弾性体と、前記弾性体の１つの面に接着され、電極層を有する電気−機械エネルギー変換素子と、を備えた振動子と、前記電気−機械エネルギー変換素子に固定されたフレキシブルプリント基板と、を有し、前記接触部と前記電気−機械エネルギー変換素子の間には空間部があり、少なくとも前記電気−機械エネルギー変換素子の前記電極層の端は、前記弾性体の前記面に垂直な方向において、前記空間部と重なっていない振動型アクチュエータに関する。
【００１６】
また、本発明の一様態は、上記振動型アクチュエータを備えた交換用レンズ、撮像装置、または自動ステージに関する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一様態によれば、弾性体と電気−機械エネルギー変換素子との間に空間部がある振動子に、フレキシブル基板を固定する場合でも、電気−機械エネルギー変換素子における応力集中を低減することができる。応力集中を低減できることで、電気−機械エネルギー変換素子の割れが少なく、安定して振動型アクチュエータを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例１における振動子の構成を説明する斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明の実施例１における振動型アクチュエータの構成を説明する上面図である。（ｂ）は図２（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図３】本発明の実施例２における振動子の構成を説明する上面図である。
【図４】（ａ）は本発明の実施例３における振動子の構成を説明する上面図である。（ｂ）は本発明の実施例３における振動子の構成を説明する下面図である。
【図５】従来例の振動型アクチュエータの構成を示す図である。
【図６】振動型アクチュエータの曲げモードを説明する図である。
【図７】（ａ）は従来例の振動型アクチュエータの構成を説明する上面図である。（ｂ）は図２（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図８】振動型アクチュエータの適用例を示す図である。
【図９】振動型アクチュエータの適用例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（実施例１）
本実施例を、図１を用いて説明する。図１はリニア型の振動型アクチュエータの概観斜視図である。図１において、リニア型の振動型アクチュエータは振動子１および被駆動体であるスライダ５によって構成されている。
【００２０】
振動子１は薄板状に形成された電気−機械エネルギー変換素子である圧電素子３と、圧電素子３の一つの面に接合された弾性体２で構成されている。弾性体２は、圧電素子３と接合する面を有する接合部２２、及び突起部２１を有している。突起部２１は、振動子１の駆動時に被駆動体（スライダ）５と接触する接触部２１ａと、接触部２１ａと接合部２２の間の立ち上がり部２１ｂを有し、接触部２１ａと立ち上がり部２１ｂの間には、バネ部２１ｃを有する。従って、突起部２１は、内部に空間部を有する。図１では、立ち上がり部２１ｂは突起部２１の側面全体で連続しているが、立ち上がり部２１ｂは、例えば開口を有する等、いくつかの側面を有し、その間が空隙となっていてもよい。つまり、立ち上がり部２１ｂは、接触部２１ａの周囲に空隙を有していてもよい。また、ここでは、弾性体２が突起部２１を２つ有する例を示すが、弾性体２は、突起部を１つ有していてもよく、また、３つ以上有していてもよい。前記２つの突起部２１は、例えば振動子１の長手方向の振動の節部に設けられ、突起部２１を節に違い位置に設ける程、より大きな長手方向への駆動量を得られる。また、振動子１の短手方向の振動の腹部に設けられ、より腹に近い位置に設けることで、より大きな振動子の厚み方向（突き上げ方向）の駆動量を得られる。振動の節部とは、振動の腹より節に近い位置を示し、振動の腹部とは、振動の節より腹に近い位置を示す。
【００２１】
圧電素子３への給電用として、圧電素子３の、弾性体２と逆の面にはフレキシブルプリント基板４が固定されている。
【００２２】
弾性体２は金属やセラミックスなどの振動の減衰が小さい材料で形成されることが好ましい。弾性体２の製造に関して、プレス成型や切削などで突起部２１を一体で設けてもよいし、突起部２１を別に設けて、後から溶接や接着などで固定することも可能である。また突起部２１は本実施例のように複数設けてもよいし、１つでもよい。
【００２３】
圧電素子３はチタン酸ジルコン酸鉛を用いる。また、チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸ビスマスナトリウムなどの鉛を、含有しない圧電材料を用いてもよい。圧電素子３には弾性体２とは反対面に銀等で構成される電極パターンが形成されているが、本実施例では簡単のためにこの電極パターンの図示を省力する。
【００２４】
フレキシブルプリント基板４のベース部４１にはポリイミドやポチエチレンテレフタラート、電極パターンには銅や銀、カーボン等を使用することが可能である。このベース部４１は、弾性体の圧電素子が固定される面に垂直な方向（振動子の厚さ方向とも言い、ここでは、図２（ａ）の紙面と垂直方向）において、突起部２１の内部に存在する空間と重ならないように配置されている。具体的には、フレキシブルプリント基板４の形状が、突起部２１の空間部と重ならないような形状となっている。なお、ここで、フレキシブルプリント基板４が突起部２１の空間部と、振動子の厚さ方向において重ならないというのは、振動子の厚さ方向から、振動子１を見た時に、フレキシブルプリント基板４の像が突起部２１の内部の空間と重ならないことを意味する。
【００２５】
次に振動子１の製造方法について説明する。まず弾性体２と圧電素子３とを、接着剤を用いて固定する。続いて、圧電素子３とフレキシブルプリント基板４を固定する。この固定手段としては、接着剤または異方性導電フィルム、異方性導電ペーストなどがある。
【００２６】
接着の場合は、所望の接着強度及び厚さを得るために、常温〜１８０℃程度の中で所定の面圧で加圧する必要がある。また異方性導電フィルム、異方性導電ペーストでは導通を得るために１８０〜２００℃で加圧する必要がある。
【００２７】
ベース部４１上に、導電材料から成る電極部４２が形成されている。ここでは、電極部４２の厚みは１７．５〜３５μｍ、ベース部４１の厚みは１２．５〜２５μｍである。ゴムや樹脂などの、比較的軟らかい材料から成る部材を介してフレキシブルプリント基板４を加圧する場合、フレキシブルプリント基板４のうち、電極部４２だけでなく、ベース部４１全体に応力が発生することになる。
【００２８】
このとき、本実施例では、ベース部４１が、振動子の厚さ方向で突起部の空間部と重ならない位置に配置されているため、振動子１は、弾性体２の突起部２１の空間部と重ならない面で加圧力を受ける。ここで仮にフレキシブルプリント基板４が圧電素子３の全体に配置されていた場合、突起部２１の内部は空間になっているために、この部分に面した圧電素子３の剛性が低く、過度の応力が集中してしまう。
【００２９】
しかし、本実施例では、前述したように突起部２１の空間部と振動子の厚さ方向で重なる領域を避けるように、フレキシブルプリント基板４のベース部４１が配置されているので、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。よって圧電素子３が割れることない、安定した製造が可能となる。
【００３０】
ここでは、フレキシブルプリント基板４のベース部４１が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならないように配置される例を説明した。しかし、少なくともフレキシブルプリント基板４のベース部４１の端が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならないように配置されれば、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。
【００３１】
振動型アクチュエータの駆動原理は従来例と同様なので、ここでは省略する。
【００３２】
ただし、本発明のリニア型の振動型アクチュエータにおいて、接触面に楕円運動を生成する方法は上記方法に限られない。例えば、上記とは異なる曲げ振動モードの振動同士を組み合わせてもよいし、弾性体を長手方向に伸縮させる縦の振動モードの振動と曲げ振動モードの振動とを組み合わせてもよい。
【００３３】
接触面を送り方向に変位させる振動モードを主とする振動と、接触面を突上げ方向に変位させる振動モードの振動との組み合わせにより、接触面に楕円運動を生成する方式であれば、どのような駆動方式を用いても良い。
【００３４】
本実施例では、矩形状の薄板状に形成された圧電素子の例を示したが、圧電素子の形状はこれに限定されず、矩形状の角が丸くなっている形状等、上記駆動方式のいずれかにより、振動子と被駆動体を相対移動することができる形状であればよい。
【００３５】
（実施例２）
本実施例について、図３を用いて説明する。なおフレキシブルプリント基板４以外の構成及び駆動原理については実施例１と同様である。本実施例では、フレキシブルプリント基板の加圧を、剛性の高い材料から成る部材で行う場合について述べる。
【００３６】
電極部４２の厚みは１７．５〜３５μｍ、ベース部４１の厚みは１２．５〜２５μｍである。フレキシブルプリント基板４と圧電素子３との接着において、金属などの剛性の高い材料から成る部材で直接フレキシブルプリント基板４を加圧する場合、電極の厚み分があるので、応力は電極部４２に集中することになる。
【００３７】
よって電極部４２が突起部２１の内部の空間と重ならないように配置することで、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。
【００３８】
この場合、ベース部４１は突起部２１の位置に拘束されることなく自由に配置できるので、ベース部４１の面積を広げることで接着強度の調節が可能となる。
【００３９】
ここでは、フレキシブルプリント基板４の電極部４２が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならない位置に配置される例を説明した。しかし、少なくともフレキシブルプリント基板４の電極部４２の端が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならないように配置されることで、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。これによって、電極部４２とベース部４１とで形成される段差部により振動子１に不均一に加圧力がかかり、振動子の厚さ方向において段差部と重なる圧電素子３の部分に応力が集中するのを、緩和することができる。
【００４０】
（実施例３）
本実施例では、圧電素子３の電極層３１の構成によって応力集中を緩和する方法を述べる。その他構成、駆動原理は実施例１と同様である。
【００４１】
本実施例では、図４に示すように、ベース部４１が突起部２１の空間と重なる位置に配置されているが、圧電素子３の電極層３１がこの空間部と重ならないように配置されている。電極部４２は分かりやすくするために図示していない。この電極パターン３１の厚みは２〜１０μｍ程度あるので、電極パターンによって形成される段差部が、加圧方向において、突起部２１の空間部と重なる位置にないことで、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。ここでは、圧電素子３の電極層３１が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならないように配置される例を説明した。しかし、少なくとも圧電素子３の電極層３１の端が、突起部２１の空間部と、振動子１の厚さ方向において重ならないように配置されれば、圧電素子３への応力集中を緩和することができる。
【００４２】
（実施例４）
本発明の振動型アクチュエータの適用例として、カメラなどの撮像装置（光学機器）のレンズ鏡筒に、レンズを駆動しオートフォーカスする為の振動型アクチュエータを組み込んだ例を図８を用いて説明する。
【００４３】
図８は、レンズ鏡筒のレンズの駆動機構部を説明する図である。本実施例の振動型アクチュエータによる被駆動体の駆動機構は、実施例１乃至３のいずれかに記載の振動型アクチュエータと、被駆動体と、この被駆動体を摺動自在に保持する、平行に配された第一ガイドバーと第二ガイドバーとを備えている。
【００４４】
そして、この電気−機械エネルギー変換素子に対する駆動電圧の印加によって生成された振動子の突起部の楕円運動によって、振動子と弾性体の突起部と接触する第二ガイドバーとの間に相対移動力を発生させる。これによって、被駆動体を第一及び第二ガイドバーに沿って移動可能に構成されている。
【００４５】
具体的には、図８に示すように、本実施例の振動型アクチュエータによる被駆動体の駆動機構１００は、主にレンズ保持部材であるレンズホルダ５２、レンズ５７、フレキシブルプリント基板が結合された振動子１、加圧磁石５５、２つのガイドバー５３、５４及び不図示の基体から構成される。
【００４６】
２本のガイドバーで構成された第一のガイドバー５３、第二ガイドバー５４は、互いに平行に配置されるようにそれらの各ガイドバーの両端が、不図示の基体により保持固定されている。
【００４７】
レンズホルダ５２は、円筒状のホルダ部５２ａ、振動子１及び加圧磁石５５を保持固定する保持部５２ｂ、第一ガイドバー５３と嵌合してガイドの作用をなす第一のガイド部５２ｃから構成される。
【００４８】
加圧手段を構成するための加圧磁石５５は永久磁石及び永久磁石の両端に配置される２つのヨークから構成される。加圧磁石５５とガイドバー５４との間に磁気回路が形成され、これら部材間に吸引力が発生する。加圧磁石５５はガイドバー５４とは間隔を設けて配置されており、ガイドバー５４は振動子１と接するように配置されている。前記の吸引力によりガイドバー５４と振動子１との間に加圧力が与えられる。
【００４９】
弾性体の２箇所の突起部２１が第二ガイドバー５４と加圧接触して第二のガイド部を形成する。第二のガイド部は磁気による吸引力を利用してガイド機構を形成しており、外力を受ける等により振動子１とガイドバー５４が引き離される状態が生じるが、これに対しては、つぎのように対処されている。すなわち、レンズホルダ５２に備えられる脱落防止部５２ｄがガイドバーに当たることで、レンズホルダ５２が所望の位置に戻るように対応が施されている。
【００５０】
振動子１に所望の電気信号を与えることで振動子１とガイドバー５４との間に駆動力が発生し、この駆動力によりレンズホルダの駆動が行われる。振動型アクチュエータとしては、実施例１乃至３で示した振動型アクチュエータのいずれも用いることができる。
【００５１】
本実施例では、振動型アクチュエータを撮像装置のオートフォーカス用のレンズ駆動に用いる例を説明したが、本発明の適用例はこれに限定されない。例えば、ズーム用レンズの移動のためのレンズホルダの駆動に用いることもできる。したがって、本願発明の振動型アクチュエータは、レンズ駆動用に、撮像装置に加えて、交換用レンズにも搭載することができる。また、撮像素子の駆動に用いることもでき、手ぶれ補正時のレンズや撮像素子の駆動に用いることもできる。
【００５２】
（実施例５）
図８では、本発明の振動型アクチュエータを撮像装置に用いた例を示したが、応用例はこれに限定されず、顕微鏡等の各種ステージの駆動にも用いることができる。例えば、顕微鏡のステージの駆動に用いた例を図９を用いて説明する。
【００５３】
図９は、本発明の第２の実施例に係る撮像装置としての顕微鏡の斜視図である。図９の顕微鏡は、撮像素子と光学系を内蔵する撮像部６０と、基台上に設けられ、振動型アクチュエータにより移動されるステージ６２を有する自動ステージ６１と、を有する。被観察物をステージ６２上に置いて、拡大画像を撮像部６０で撮影する。観察範囲が広範囲に有る場合には、振動型アクチュエータで、ステージ６２を移動させることで被観察物を図中のＸ方向やＹ方向に移動させて、多数の撮影画像を取得する。不図示のコンピュータにて、撮影画像を結合し、観察範囲が広範囲で、かつ、高精細な１枚の画像を取得できる。
【００５４】
振動型アクチュエータとしては、実施例１乃至３で示した振動型アクチュエータのいずれも用いることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  振動子
２  弾性体
２１  突起部
３  圧電素子
３１  電極パターン
４  フレキシブルプリント基板
４１  ベース部
４２  電極部
１０６  振動子
１０７  電気−機械エネルギー変換素子
１０８  突起部
１０９  フレキシブルプリント基板
１１６  スライダ
【図１】
2015006047.tif 000003
【図２】
2015006047.tif 000004
【図３】
2015006047.tif 000005
【図４】
2015006047.tif 000006
【図５】
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【図６】
2015006047.tif 000008
【図７】
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【図８】
2015006047.tif 000010
【図９】
2015006047.tif 000011