(57)【要約】      （修正有）【課題】シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができ、このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要のない張力付与装置および張力付与方法を提供する。【解決手段】検査装置により検査されるべき被検査体Ｆに張力を付与するための張力付与装置１０は、互いに離間して設けられ、各々が被検査体Ｆの側縁部を保持する一対の被検査体保持部２１と、一対の被検査体保持部２１を連結する連結部（例えば、連結部材２４）と、を備えており、一対の被検査体保持部２１のうち少なくとも一方の前記被検査体保持部２１は弾性変形を行う材料から形成されている。【選択図】図２
2015052460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査装置により検査されるべき被検査体に張力を付与するための張力付与装置であって、
互いに離間して設けられ、各々が前記被検査体の側縁部を保持する一対の被検査体保持部と、
一対の前記被検査体保持部を連結する連結部と、
を備え、
一対の前記被検査体保持部のうち少なくとも一方の前記被検査体保持部は弾性変形を行う材料から形成されている、張力付与装置。
【請求項２】
一対の前記被検査体保持部はそれぞれ弾性変形を行う材料から形成されており、一対の前記被検査体保持部の各々は他の前記被検査体保持部側に向かって変形するよう押圧されるようになっている、請求項１記載の張力付与装置。
【請求項３】
弾性変形を行う材料から形成されている前記被検査体保持部を他の前記被検査体保持部側に向かって押圧して変形させる押圧部を更に備えた、請求項１または２記載の張力付与装置。
【請求項４】
前記各被検査体保持部は、被検査体載置部材および押さえ部材を有しており、
一対の前記被検査体保持部のうち少なくとも一方の前記被検査体保持部における前記被検査体載置部材が弾性変形を行う材料から形成されており、
前記被検査体載置部材上に載置された前記被検査体の側縁部が前記押さえ部材により押さえられることにより当該被検査体の側縁部が前記被検査体保持部により保持されるようになっている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の張力付与装置。
【請求項５】
前記被検査体載置部材および前記押さえ部材における互いに向き合う面にはそれぞれ摩擦部材が設けられている、請求項４記載の張力付与装置。
【請求項６】
前記摩擦部材はゴムを含む、請求項５記載の張力付与装置。
【請求項７】
前記押さえ部材の端部が蝶番により揺動自在に前記被検査体載置部材の端部に連結されている、請求項４乃至６のいずれか一項に記載の張力付与装置。
【請求項８】
前記押さえ部材における前記蝶番が設けられた端部とは反対側の端部に留め具が設けられており、前記押さえ部材は前記留め具により前記被検査体載置部材に係合するようになっている、請求項７記載の張力付与装置。
【請求項９】
前記連結部は、互いに離間して設けられた一対のものからなり、
一対の前記被検査体保持部および一対の前記連結部により被検査体保持用枠体が構成されている、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の張力付与装置。
【請求項１０】
一対の前記被検査体保持部および前記連結部が載置される基台を備え、
当該基台には、一対の前記被検査体保持部および前記連結部の位置決めを行う位置決めガイドが設けられている、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の張力付与装置。
【請求項１１】
互いに離間して設けられ、各々が被検査体の側縁部を保持する一対の被検査体保持部と、一対の前記被検査体保持部を連結する連結部と、を備えた張力付与装置により、検査装置により検査されるべき前記被検査体に張力を付与するための張力付与方法であって、
弾性変形を行う材料から形成されている前記被検査体保持部を他の前記被検査体保持部側に向かって押圧して変形させる工程と、
一対の前記被検査体保持部の各々に前記被検査体の側縁部を保持させる工程と、
変形している前記被検査体保持部を元の状態に戻すことにより、一対の前記被検査体保持部により各側縁部が保持されている前記被検査体に張力を与える工程と、
を備えた、張力付与方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置により検査されるべき枚葉フィルム等の被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とするための張力付与装置および張力付与方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
枚葉フィルム等の被検査体の欠陥検査装置として、例えば特許文献１に開示されるものが知られている。特許文献１に開示される欠陥検査装置は、反り等の変形をしている枚葉フィルムの欠陥をフィルム全面にわたって光学的に検査するようになっている。より詳細には、特許文献１に開示される欠陥検査装置において、枚葉フィルムを搬送する方向に沿って順に、上側が浮き矯正ローラおよび下側が高さ保持ローラからなる一対のローラ、上下に配置した一対の送り出しローラおよび上下に配置した一対の受け取りローラが、枚葉フィルムが水平に搬送されるようそれぞれ設けられている。そして、送り出しローラと受け取りローラとの間の上下に、枚葉フィルムに光を照射し、その透過光を受光して欠陥を検査するための光源およびカメラが配設されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２０１７８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるような従来の欠陥検査装置では、検査対象によっては、特定の角度から反射光を受光したときにだけ欠陥が見えるという場合があり、このような場合には、複数のカメラを用いて、カメラや照明の角度を変えて被検査体の検査を行う必要がある。しかしながら、特許文献１に開示される欠陥検査装置は、概して、送り出しローラや受け取りローラの直径が約５〜３０ｍｍであり、また、送り出しローラの外周面と受け取りローラの外周面との間の間隔の最短距離が約１〜３０ｍｍであるため、カメラや照明の角度を変えたときに、送り出しローラや受け取りローラがカメラの視野や照明の照射範囲に干渉する場合がある。このため、カメラや照明の角度を最適なものとすることができないおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができ、このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要のない張力付与装置および張力付与方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の張力付与装置は、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を付与するための張力付与装置であって、互いに離間して設けられ、各々が前記被検査体の側縁部を保持する一対の被検査体保持部と、一対の前記被検査体保持部を連結する連結部と、を備え、一対の前記被検査体保持部のうち少なくとも一方の前記被検査体保持部は弾性変形を行う材料から形成されていることを特徴とする。
【０００７】
このような張力付与装置によれば、各々が被検査体の側縁部を保持する一対の被検査体保持部のうち少なくとも一方の被検査体保持部は弾性変形を行う材料から形成されているため、弾性変形を行う材料から形成されている被検査体保持部を他の被検査体保持部側に向かって押圧して変形させた後、一対の被検査体保持部の各々に被検査体の側縁部を保持させ、変形している被検査体保持部を元の状態に戻すことにより、一対の被検査体保持部により各側縁部が保持されている被検査体に張力を与えることができる。このため、シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができる。このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要がなくなる。
【０００８】
本発明の張力付与装置においては、一対の前記被検査体保持部はそれぞれ弾性変形を行う材料から形成されており、一対の前記被検査体保持部の各々は他の前記被検査体保持部側に向かって変形するよう押圧されるようになっていてもよい。
【０００９】
本発明の張力付与装置は、弾性変形を行う材料から形成されている前記被検査体保持部を他の前記被検査体保持部側に向かって押圧して変形させる押圧部を更に備えていてもよい。
【００１０】
本発明の張力付与装置においては、前記各被検査体保持部は、被検査体載置部材および押さえ部材を有しており、一対の前記被検査体保持部のうち少なくとも一方の前記被検査体保持部における前記被検査体載置部材が弾性変形を行う材料から形成されており、前記被検査体載置部材上に載置された前記被検査体の側縁部が前記押さえ部材により押さえられることにより当該被検査体の側縁部が前記被検査体保持部により保持されるようになっていてもよい。
【００１１】
本発明の張力付与装置においては、前記被検査体載置部材および前記押さえ部材における互いに向き合う面にはそれぞれ摩擦部材が設けられていてもよい。
【００１２】
この場合、前記摩擦部材はゴムを含んでいてもよい。
【００１３】
また、前記押さえ部材の端部が蝶番により揺動自在に前記被検査体載置部材の端部に連結されていてもよい。
【００１４】
また、前記押さえ部材における前記蝶番が設けられた端部とは反対側の端部に留め具が設けられており、前記押さえ部材は前記留め具により前記被検査体載置部材に係合するようになっていてもよい。
【００１５】
本発明の張力付与装置においては、前記連結部は、互いに離間して設けられた一対のものからなり、一対の前記被検査体保持部および一対の前記連結部により被検査体保持用枠体が構成されていてもよい。
【００１６】
本発明の張力付与装置は、一対の前記被検査体保持部および前記連結部が載置される基台を備え、当該基台には、一対の前記被検査体保持部および前記連結部の位置決めを行う位置決めガイドが設けられていてもよい。
【００１７】
本発明の張力付与方法は、互いに離間して設けられ、各々が被検査体の側縁部を保持する一対の被検査体保持部と、一対の前記被検査体保持部を連結する連結部と、を備えた張力付与装置により、検査装置により検査されるべき前記被検査体に張力を付与するための張力付与方法であって、弾性変形を行う材料から形成されている前記被検査体保持部を他の前記被検査体保持部側に向かって押圧して変形させる工程と、一対の前記被検査体保持部の各々に前記被検査体の側縁部を保持させる工程と、変形している前記被検査体保持部を元の状態に戻すことにより、一対の前記被検査体保持部により各側縁部が保持されている前記被検査体に張力を与える工程と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
このような張力付与方法によれば、シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができる。このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要がなくなる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の張力付与装置および張力付与方法によれば、シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体に張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができ、このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態による張力付与装置の構成の概略を示す斜視図である。
【図２】図１に示す張力付与装置の上面図であって、被検査体載置部材や連結部材を変形させた後、被検査体載置部材上に載置された被検査体の上面を押さえ部材により押さえる前の状態を示す図である。
【図３】図１等に示す張力付与装置における押さえ部材の端部に設けられた留め具等の構成を示す側面図である。
【図４】図１等に示す張力付与装置で用いられる被検査体保持用枠体の構成を示す斜視図であって、被検査体が被検査体保持用枠体により保持されているときの状態を示す図である。
【図５】図４に示す被検査体保持用枠体により保持されている被検査体の検査を行う検査装置の構成の一例を示す斜視図である。
【図６】図４に示す被検査体保持用枠体により保持されている被検査体の検査を行う検査装置の構成の他の例を示す斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態による張力付与装置に用いられるトグルクランプの構成を示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態による張力付与装置の他の構成の概略を示す斜視図である。
【図９】図８に示す張力付与装置の上面図であって、被検査体載置部材や連結部材を変形させた後、被検査体載置部材上に載置された被検査体の上面を押さえ部材により押さえる前の状態を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態による張力付与装置の更に他の構成の概略を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１乃至図６は、本実施の形態に係る張力付与装置および張力付与方法を示す図である。このうち、図１は、本実施の形態による張力付与装置の構成の概略を示す斜視図であり、図２は、図１に示す張力付与装置の上面図である。また、図３は、図１等に示す張力付与装置における押さえ部材の端部に設けられた留め具等の構成を示す側面図であり、図４は、図１等に示す張力付与装置で用いられる被検査体保持用枠体の構成を示す斜視図である。また、図５および図６は、図４に示す被検査体保持用枠体により保持されている被検査体の検査を行う検査装置の構成の様々な例を示す斜視図である。
【００２２】
本実施の形態による張力付与装置１０は、検査装置により検査されるべき枚葉フィルム等の被検査体Ｆに張力を与えてピンと張った平坦な状態とするものである。図１および図２に示すように、張力付与装置１０は、平板形状の基台１２と、この基台１２上に着脱自在に設けられた被検査体保持用枠体２０とを備えている。ここで、被検査体保持用枠体２０は、互いに離間して設けられた一対の被検査体載置部材２２および互いに離間して設けられた一対の連結部材２４を有しており、各連結部材２４により一対の被検査体載置部材２２が連結されるようになっている。ここで、被検査体保持用枠体２０における一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４はそれぞれ細長い四角柱のものとなっており、これらの一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４は額縁状となるよう設けられている。
【００２３】
図１に示すように、平板形状の基台１２上には、被検査体保持用枠体２０により保持されるべき枚葉フィルム等の被検査体Ｆが載置される載置台１４が設けられている。この載置台１４は基台１２から盛り上がったものとなっており、被検査体保持用枠体２０における各被検査体載置部材２２や各連結部材２４とほぼ同じ高さを有している。また、被検査体保持用枠体２０が基台１２上に載置されたときに、載置台１４は、被検査体保持用枠体２０における一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４の間に形成された略長方形形状の空間内に位置するようになっている。
【００２４】
被検査体保持用枠体２０における一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４はそれぞれアルミニウム合金等の弾性変形を行う材料から形成されている。また、基台１２上には、一対の被検査体載置部材２２の各々を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させる押圧部として一対のシリンダ３０が設置されている。ここで、シリンダ３０には図２における左右方向に往復移動を行うピストン部分３２が設けられており、各シリンダ３０のピストン部分３２が対応する被検査体載置部材２２を載置台１４に向かって押圧することにより、図２に示すように一対の被検査体載置部材２２の中央部分が互いに向かって接近するよう各被検査体載置部材２２が変形するようになる。また、これに合わせて、一対の連結部材２４は図２の上下方向において外側に膨らむように変形するようになる。
【００２５】
また、基台１２上には、被検査体保持用枠体２０における一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４の位置決めを行う４つの位置決めガイド１６が当該被検査体保持用枠体２０の四隅の箇所にそれぞれ配設されている。被検査体保持用枠体２０が基台１２上に載置されたときに、これらの位置決めガイド１６により各被検査体載置部材２２および各連結部材２４の位置決めが行われることにより、各シリンダ３０のピストン部分３２により各被検査体載置部材２２が押圧されて変形しても、被検査体載置部材２２や連結部材２４の位置が大きくずれてしまうことが抑制される。
【００２６】
また、図１に示すように、各被検査体載置部材２２には押さえ部材２６が設けられている。より詳細には、各押さえ部材２６の端部（図１における奥側の端部）は蝶番により揺動自在に各被検査体載置部材２２の端部（図１における奥側の端部）に連結されている。ここで、載置台１４上に被検査体Ｆが載置されたときに、図２に示すようにこの被検査体Ｆの両側縁部がそれぞれ各被検査体載置部材２２上に載置されるようになるが、各被検査体載置部材２２上に載置された被検査体Ｆの側縁部を押さえ部材２６により上方から押さえることができるようになっている。このようにして、被検査体Ｆの両側縁部はそれぞれ被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間で挟持されるようになり、このことにより被検査体Ｆが被検査体保持用枠体２０により保持されるようになる。
【００２７】
また、各押さえ部材２６の端部が蝶番により揺動自在に各被検査体載置部材２２の端部に連結される際に、各押さえ部材２６は図１における左右方向にも多少揺動するようになっていてもよい。このことにより、各被検査体載置部材２２が図２の左右方向において内側に向かって変形し、各押さえ部材２６の先端部分（図２における下端部分）が図２の左右方向において内側に向かって移動した場合でも、この押さえ部材２６の先端部分を図２の左右方向に揺動させることにより、当該押さえ部材２６の先端部分に設けられた留め具２８（後述）を被検査体載置部材２２の端部（図２における下端部分）に係合させることができるようになる。
【００２８】
また、図１乃至図３に示すように、被検査体載置部材２２および押さえ部材２６における互いに向き合う面にはそれぞれ弾性ゴム等の摩擦部材２２ａ、２６ａが設けられている。このことにより、被検査体Ｆの側縁部が被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間で挟持されたときに、これらの被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間から被検査体Ｆの側縁部が滑り出てしまうことを抑制することができる。また、この場合には、被検査体載置部材２２が変形した状態で被検査体Ｆの側縁部が被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間で挟持された後、被検査体載置部材２２が元の状態に戻ったときに、摩擦部材２２ａ、２６ａに対して被検査体Ｆが適度にすべることにより、当該被検査体Ｆにかかる張力を均一なものとすることができるようになる。
【００２９】
また、図１および図３に示すように、押さえ部材２６における蝶番が設けられた端部（すなわち、図１における奥側の端部）とは反対側の端部には留め具２８が設けられており、押さえ部材２６は留め具２８により被検査体載置部材２２に係合するようになっている。より詳細には、図３に示すように、留め具２８の下端部には爪部分２８ａが設けられており、また、被検査体載置部材２２の端部にはこの爪部分２８ａが係合する被係合部分２２ｂが設けられている。そして、留め具２８の爪部材２８ａが被検査体載置部材２２の被係合部分２２ｂに係合することにより、押さえ部材２６の摩擦部材２６ａと被検査体載置部材２２の摩擦部材２２ａとが互いに面するよう、押さえ部材２６が被検査体載置部材２２に係合するようになる。また、留め具２８はバネ２９を介して押さえ部材２６の端部に取り付けられており、このバネ２９の収縮力により留め具２８は図３における当該バネ２９を中心として時計回りの方向（図３における矢印方向）に付勢されている。このことにより、留め具２８に何ら力が加えられていないときには、バネ２９の収縮力により留め具２８は被検査体載置部材２２に当接するよう付勢され、留め具２８の爪部材２８ａが被検査体載置部材２２の被係合部分２２ｂに係合するようになる。一方、図１に示すように押さえ部材２６を被検査体載置部材２２から上方に揺動させる場合には、操作者が留め具２８を把持してバネ２９の収縮力に抗して当該留め具２８を図３におけるバネ２９を中心として反時計回りの方向（図３における矢印と反対方向）に回転させる必要がある。
【００３０】
本実施の形態では、被検査体載置部材２２および押さえ部材２６等により、被検査体Ｆの側縁部を保持する被検査体保持部２１が構成されている。すなわち、被検査体保持用枠体２０には、互いに離間して設けられた一対の被検査体保持部２１が設けられ、各被検査体保持部２１により被検査体Ｆの側縁部が保持されるようになっている。
【００３１】
次に、このような構成からなる張力付与装置１０による動作、具体的には被検査体Ｆに張力を付与する方法について説明する。
【００３２】
まず、被検査体保持用枠体２０を基台１２上に載置する。そして、操作者が留め具２８の爪部分２８ａを被検査体載置部材２２の被係合部分２２ｂから外すことにより、図１に示すように、押さえ部材２６を被検査体載置部材２２から上方に揺動させ、押さえ部材２６の摩擦部材２６ａと被検査体載置部材２２の摩擦部材２２ａとを離間させるようにする。
【００３３】
次に、各シリンダ３０のピストン部分３２により、各被検査体載置部材２２を載置台１４に向かって押圧する。このことにより、図２に示すように一対の被検査体載置部材２２の中央部分が互いに向かって接近するよう各被検査体載置部材２２が変形する。また、これに合わせて、一対の連結部材２４は図２の上下方向において外側に膨らむように変形する。そして、検査装置により検査されるべき被検査体Ｆを載置台１４上に載置する。このときに、図２に示すように、被検査体Ｆの両側縁部がそれぞれ各被検査体載置部材２２上に載置されるようにする。
【００３４】
その後、各被検査体載置部材２２上に載置された被検査体Ｆの各側縁部を押さえ部材２６により上方から押さえ、被検査体Ｆの両側縁部がそれぞれ被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間で挟持されるようにする。このことにより被検査体Ｆが被検査体保持用枠体２０により保持されるようになる。そして、各シリンダ３０のピストン部分３２が各被検査体載置部材２２から遠ざかるように退避し、各ピストン部分３２が対応する被検査体載置部材２２を押圧しないようになると、各被検査体載置部材２２および各連結部材２４はそれぞれ図１に示すような元の状態に戻り、両側縁部がそれぞれ被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間で挟持されている被検査体Ｆは図２における左右方向に広がるように引っ張られるようになる。このことにより、被検査体Ｆに張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができるようになる。
【００３５】
次に、被検査体Ｆを保持している被検査体保持用枠体２０を基台１２上から取り外す。基台１２上から取り外したときの、被検査体Ｆを保持している被検査体保持用枠体２０の構成を図４に示す。図４に示すように、基台１２上から被検査体保持用枠体２０を取り外しても、この被検査体保持用枠体２０により保持された被検査体Ｆは、ピンと張った平坦な状態が維持されるようになる。そして、検査装置において、被検査体保持用枠体２０により保持されたままの状態で被検査体Ｆを検査する。
【００３６】
図４に示すような、被検査体保持用枠体２０により保持されている被検査体Ｆの検査を行う検査装置の構成の様々な例を図５および図６に示す。図５に示すような検査装置では、被検査体Ｆを保持している被検査体保持用枠体２０はステージ５０上に載置され、このステージ５０が水平方向（例えば、図５における左方向）に移動する。そして、光源５２から被検査体Ｆに照射された光が当該被検査体Ｆで反射して、この反射光がＣＣＤカメラ等の撮像部５４により捉えられるようになる。このようにして、撮像部５４により捉えられた反射光に基づいて、被検査体Ｆの欠陥が検査されるようになる。また、図６に示すような検査装置では、被検査体Ｆを保持している被検査体保持用枠体２０はステージ６０上に載置され、このステージ６０が水平方向（例えば、図６における左方向）に移動する。また、ステージ６０における被検査体Ｆが面する箇所には開口６１が形成されている。そして、光源６２から被検査体Ｆに照射された光が当該被検査体Ｆを透過し、この透過光がＣＣＤカメラ等の撮像部６４により捉えられるようになる。このようにして、撮像部６４により捉えられた透過光に基づいて、被検査体Ｆの欠陥が検査されるようになる。ここで、図５や図６に示すような検査装置において、被検査体保持用枠体２０により保持された被検査体Ｆは、ピンと張った平坦な状態が維持されており、このような状態で被検査体保持用枠体２０ごと被検査体Ｆがステージ５０、６０上に載置されているため、被検査体Ｆの欠陥を精度良く検査することができるようになる。
【００３７】
以上のような構成からなる本実施の形態の張力付与装置１０および張力付与方法によれば、各々が被検査体Ｆの側縁部を保持する一対の被検査体保持部２１における被検査体載置部材２２は弾性変形を行う材料から形成されているため、各被検査体載置部材２２を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させた後、一対の被検査体保持部２１の各々に被検査体Ｆの側縁部を保持させ、その後、変形している各被検査体載置部材２２を元の状態に戻すことにより、一対の被検査体保持部２１により各側縁部が保持されている被検査体Ｆに対して図１における左右方向に広がるような張力を与えることができる。このようにして、シンプルな構成により、検査装置により検査されるべき被検査体Ｆに張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができる。このことにより、検査装置において送り出しローラや受け取りローラ等のような被検査体に張力を与える機構を設ける必要がなくなる。
【００３８】
また、本実施の形態の張力付与装置１０においては、弾性変形を行う材料から形成されている各被検査体保持部２１の被検査体載置部材２２を他の被検査体載置部材２２側に向かって押圧して変形させる押圧部としてシリンダ３０が設けられている。
【００３９】
また、本実施の形態の張力付与装置１０においては、前述したように、各被検査体保持部２１は、被検査体載置部材２２および押さえ部材２６を有しており、被検査体載置部材２２上に載置された被検査体Ｆの側縁部が押さえ部材２６により押さえられることにより当該被検査体Ｆの側縁部が被検査体保持部２１により保持されるようになっている。また、被検査体載置部材２２および押さえ部材２６における互いに向き合う面にはそれぞれ弾性ゴム等の摩擦部材２２ａ、２６ａが設けられている。このことにより、被検査体Ｆの側縁部が被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間に挟まれたときに、これらの被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間から被検査体Ｆの側縁部が滑り出てしまうことを抑制することができる。また、この場合には、被検査体載置部材２２が変形した状態で被検査体Ｆの側縁部が被検査体載置部材２２と押さえ部材２６との間に挟まれた後、被検査体載置部材２２が元の状態に戻ったときに、摩擦部材２２ａ、２６ａに対して被検査体Ｆが適度にすべることにより、当該被検査体Ｆにかかる張力を均一なものとすることができるようになる。
【００４０】
また、本実施の形態の張力付与装置１０においては、前述したように、押さえ部材２６の端部が蝶番により揺動自在に被検査体載置部材２２の端部に連結されている。また、図１および図３に示すように、押さえ部材２６における蝶番が設けられた端部とは反対側の端部に留め具２８が設けられており、押さえ部材２６は留め具２８により被検査体載置部材２２に留められるようになっている。
【００４１】
また、本実施の形態の張力付与装置１０においては、前述したように、連結部材２４は、互いに離間して設けられた一対のものからなり、一対の被検査体保持部２１および一対の連結部材２４により被検査体保持用枠体２０が構成されている。
【００４２】
また、本実施の形態の張力付与装置１０においては、前述したように、被検査体保持用枠体２０が載置される基台１２には、一対の被検査体保持部２１における各被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４の位置決めを行う位置決めガイド１６が設けられている。このことにより、被検査体保持用枠体２０が基台１２上に載置されたときに、位置決めガイド１６により各被検査体載置部材２２および各連結部材２４の位置決めが行われることにより、各シリンダ３０のピストン部分３２により各被検査体載置部材２２が押圧されて変形しても、被検査体載置部材２２や連結部材２４の位置が大きくずれてしまうことが抑制される。
【００４３】
なお、本実施の形態による張力付与装置１０や張力付与方法は、上述したような態様に限定されることはなく、様々な変更を加えることができる。
【００４４】
例えば、図１等に示す張力付与装置１０では、押圧部としてのシリンダ３０は各被検査体載置部材２２に対応して一対設けられているが、このような例に限定されることはない。一対の被検査体載置部材２２のうち一方の被検査体載置部材２２の近傍にのみ、シリンダ３０等の押圧部が設けられるようになっていてもよい。この場合は、一対の被検査体載置部材２２のうち一方の被検査体載置部材２２しか押圧部により変形させることができないが、この場合でも、当該一方の被検査体載置部材２２を他方の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させた後、一対の被検査体保持部２１の各々に被検査体Ｆの側縁部を保持させ、その後、変形している一方の被検査体載置部材２２を元の状態に戻すことにより、一対の被検査体保持部２１により各側縁部が保持されている被検査体Ｆに対して図１における左右方向に広がるような張力を与えることができる。この場合でも、検査装置により検査されるべき被検査体Ｆに張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができる。また、シリンダ３０等の押圧部の設置台数が１つのみである場合には、一対の被検査体載置部材２２のうち一方の被検査体載置部材２２が弾性変形を行う材料から形成されるようになっていてもよい。すなわち、変形しない被検査体載置部材２２は必ずしも弾性変形を行う材料から形成される必要はない。
【００４５】
また、本実施の形態では、一対の連結部材２４は必ずしも弾性変形を行う材料から形成される必要はない。一対の連結部材２４が例えば剛性のものからなっている場合でも、シリンダ３０等の押圧部により押圧されて変形する被検査体載置部材２２が弾性変形を行う材料から形成されているときには、一対の被検査体保持部２１の各々に被検査体Ｆの側縁部を保持させ、その後、変形している被検査体載置部材２２を元の状態に戻すことにより、一対の被検査体保持部２１により各側縁部が保持されている被検査体Ｆに対して図１における左右方向に広がるような張力を与えることができるようになる。
【００４６】
また、一対の被検査体載置部材２２の各々を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させる押圧部として、基台１２上に一対のシリンダ３０を設置する代わりに、図７に示すようなトグルクランプ７０等の他の機器を基台１２上に設置してもよい。ここで、図７に示すトグルクランプ７０の構成について簡単に説明する。トグルクランプ７０は、操作者が把持するハンドル７２と、ハンドル７２の基端部分に取り付けられ、操作者がハンドル７２を図７における矢印方向に揺動させると軸７４ａを中心として一体的に回転するような楕円形のカム７４と、その基端部分がカム７４の周縁部に接するようなピストン部分７６とを有している。また、ピストン部分７６の先端には押圧部７８が設けられており、この押圧部７８により被検査体載置部材２２が押圧されるようになっている。また、ピストン部分７６の根元部分にはバネ７９が設けられており、このバネ７９によりピストン部分７６は被検査体載置部材２２から遠ざかる方向（すなわち、図７における左方向）に付勢されるようになっている。
【００４７】
このようなトグルクランプ７０によれば、操作者がハンドル７２を把持していないときには、当該ハンドル７２や押圧部７８は図７における実線部分に位置し、この押圧部７８は被検査体載置部材２２から離間している。一方、操作者がハンドル７２を図７における実線部分から二点鎖線部分に押し倒したときには、カム７４が軸７４ａを中心として回転し、このカム７４の周縁部にその基端部分が接しているようなピストン部分７６はバネ７９による付勢力に抗して図７における右側に押し出されるようになる。このことにより、ピストン部分７６の先端に取り付けられた押圧部７８も図７における実線部分から二点鎖線部分に押し出され、この押圧部７８により被検査体載置部材２２が押圧されるようになる。このようにして、一対の被検査体載置部材２２の各々を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させる押圧部として、図７に示すようなトグルクランプ７０を用いることもできる。
【００４８】
また、一対の被検査体載置部材２２の各々を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させる押圧部として、ネジ送りにより各被検査体載置部材２２を押圧して変形させるような機構を用いてもよい。
【００４９】
また、各被検査体保持部２１において、押さえ部材２６と被検査体載置部材２２との間に被検査体Ｆの側縁部を挟持させる際に、留め具２８により押さえ部材２６を被検査体載置部材２２に係合する代わりに、マグネット等の他の構成により押さえ部材２６を被検査体載置部材２２に係合するようになっていてもよい。
【００５０】
また、互いに離間して設けられた一対の被検査体保持部２１を連結するための連結部材２４は、互いに離間して設けられた一対のものに限定されることはない。１つの連結部材２４のみによって一対の被検査体保持部２１が連結されるようになっていてもよい。このような張力付与装置１０ａについて図８および図９を用いて説明する。
【００５１】
図８および図９に示すような張力付与装置１０ａは、平板形状の基台１２と、この基台１２上に着脱自在に設けられた被検査体保持用枠体２０ａとを備えているが、被検査体保持用枠体２０ａは、互いに離間して設けられた一対の被検査体載置部材２２および１つの連結部材２４を有しており、この１つの連結部材２４により一対の被検査体載置部材２２が連結されるようになっている。
【００５２】
図８および図９に示すような張力付与装置１０ａでも、被検査体保持用枠体２０ａにおける一対の被検査体載置部材２２および１つの連結部材２４はそれぞれアルミニウム合金等の弾性変形を行う材料から形成されている。また、各シリンダ３０のピストン部分３２が対応する被検査体載置部材２２を載置台１４に向かって押圧すると、図９に示すように一対の被検査体載置部材２２の中央部分が互いに向かって接近するよう各被検査体載置部材２２が変形するようになる。また、これに合わせて、連結部材２４は図９の上方向に膨らむように変形するようになる。
【００５３】
図８および図９に示すような変形例に係る張力付与装置１０ａでも、各々が被検査体Ｆの側縁部を保持する一対の被検査体保持部２１における被検査体載置部材２２は弾性変形を行う材料から形成されているため、各被検査体載置部材２２を他の被検査体載置部材２２に向かって押圧して変形させた後、一対の被検査体保持部２１の各々に被検査体Ｆの側縁部を保持させ、その後、変形している各被検査体載置部材２２を元の状態に戻すことにより、一対の被検査体保持部２１により各側縁部が保持されている被検査体Ｆに張力を与えることができる。このようにして、連結部材２４が１つのみの場合であっても、検査装置により検査されるべき被検査体Ｆに張力を与えてピンと張った平坦な状態とすることができる。
【００５４】
また、図１０に示すように、更なる変形例に係る張力付与装置１０ｂでは、基台１２上において、被検査体保持用枠体２０における一対の被検査体載置部材２２および一対の連結部材２４の間に形成された略長方形形状の空間内に追加の被検査体保持用枠体８０が着脱自在に設置されるようになっていてもよい。このような追加の被検査体保持用枠体８０は、検査装置により検査されるべき被検査体Ｆに対して図１０における上下方向に広がるような張力を追加的に与えて、この被検査体Ｆを図１０における上下方向にもピンと張った平坦な状態とするようになっている。
【００５５】
ここで、追加の被検査体保持用枠体８０は、互いに離間して設けられた一対の被検査体載置部材８２および互いに離間して設けられた一対の連結部材８４を有しており、各連結部材８４により一対の被検査体載置部材８２が連結されるようになっている。ここで、追加の被検査体保持用枠体８０における一対の被検査体載置部材８２および一対の連結部材８４はそれぞれ被検査体載置部材２２や連結部材２４と同じ高さを有する細長い四角柱のものとなっており、これらの一対の被検査体載置部材８２および一対の連結部材８４は額縁状となるよう配設されている。
【００５６】
追加の被検査体保持用枠体８０における一対の被検査体載置部材８２および一対の連結部材８４はそれぞれアルミニウム合金等の弾性変形を行う材料から形成されている。また、基台１２上には、一対の被検査体載置部材８２の各々を他の被検査体載置部材８２に向かって押圧して変形させるための、シリンダやトグルクランプ等の押圧部（図示せず）が設置されている。そして、このような押圧部が一対の被検査体載置部材８２を互いに向かって押圧することにより、図１０に示すように一対の被検査体載置部材８２の中央部分が互いに向かって接近するよう各被検査体載置部材８２が変形するようになる。また、これに合わせて、一対の連結部材８４は図１０の左右方向において外側に膨らむように変形するようになる。
【００５７】
また、基台１２上には、追加の被検査体保持用枠体８０における一対の被検査体載置部材８２および一対の連結部材８４の位置決めを行う４つの追加の位置決めガイド１８が当該追加の被検査体保持用枠体８０の四隅の箇所にそれぞれ配設されている。追加の被検査体保持用枠体８０が基台１２上に載置されたときに、これらの追加の位置決めガイド１８により各被検査体載置部材８２および各連結部材８４の位置決めが行われることにより、図示しない押圧部により各被検査体載置部材８２が押圧されて変形しても、被検査体載置部材８２や連結部材８４の位置が大きくずれてしまうことが抑制される。
【００５８】
また、各被検査体載置部材８２には図示しない押さえ部材が設けられている。より詳細には、各押さえ部材の端部は蝶番により揺動自在に各被検査体載置部材８２の端部に連結されている。ここで、図１０に示すように、被検査体Ｆの上縁部および下縁部がそれぞれ各被検査体載置部材８２上に載置されているときに、これらの上縁部および下縁部を押さえ部材により上方から押さえることができるようになっている。このようにして、被検査体Ｆの上縁部および下縁部はそれぞれ被検査体載置部材８２と押さえ部材との間で挟持されるようになり、このことにより被検査体Ｆが被検査体保持用枠体２０に加えて追加の被検査体保持用枠体８０により保持されるようになる。
【００５９】
図１０に示すような更なる変形例に係る張力付与装置１０ｂによれば、追加の被検査体保持用枠体８０が設けられていることにより、この追加の被検査体保持用枠体８０において各被検査体載置部材８２を他の被検査体載置部材８２に向かって押圧して変形させた後、各被検査体載置部材８２と押さえ部材（図示せず）との間で被検査体Ｆの上縁部および下縁部をそれぞれ保持させ、その後、変形している各被検査体載置部材８２を元の状態に戻すことにより、上縁部および下縁部がそれぞれ追加の被検査体保持用枠体８０により保持されている被検査体Ｆに対して上下方向に広がるような張力を与えることができる。このようにして、被検査体Ｆを図１０における上下方向にもピンと張った平坦な状態とすることができるようになる。
【符号の説明】
【００６０】
１０、１０ａ、１０ｂ  張力付与装置
１２  基台
１４  載置台
１６  位置決めガイド
１８  追加の位置決めガイド
２０、２０ａ  被検査体保持用枠体
２１  被検査体保持部
２２  被検査体載置部材
２２ａ  摩擦部材
２２ｂ  被係合部分
２４  連結部材
２６  押さえ部材
２６ａ  摩擦部材
２８  留め具
２８ａ  爪部分
２９  バネ
３０  シリンダ
３２  ピストン部分
５０  ステージ
５２  光源
５４  撮像部
６０  ステージ
６１  開口
６２  光源
６４  撮像部
７０  トグルクランプ
７２  ハンドル
７４  カム
７４ａ  軸
７６  ピストン部分
７８  押圧部
７９  バネ
８０  追加の被検査体保持用枠体
８２  被検査体載置部材
８４  連結部材
Ｆ  被検査体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015052460.tif 000008
【図７】
2015052460.tif 000009
【図８】
2015052460.tif 000010
【図９】
2015052460.tif 000011
【図１０】
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