(57)【要約】【課題】最適な位置に冷却液を噴射する噴射手段を備えた板状物の加工装置を提供する。【解決手段】本発明の面取装置１０のノズル２６は、面取用砥石１８の環状溝３４とガラス板１２の端縁部１２Ａとの接触箇所Ｐであって、面取用砥石１８の回転方向の上流側の位置から接触箇所Ｐに向けて冷却液を噴射する位置に設置される。また、ノズル２６は、面取用砥石１８の回転軸１９に対して直交する面内方向に冷却液を噴射する位置に設置されている。また、ノズル２６は、面取用砥石１８の周縁部の接線方向に冷却液を噴射する位置に設置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を保持する定盤と、
前記定盤に保持された前記板状物の端縁部を研削して面取りする円盤状又は円柱状の面取用砥石と、
前記面取用砥石を回転させる回転手段と、
前記面取用砥石の周縁部を前記板状物の外周面の研削面に接触させて前記面取用砥石、又は前記板状物を、前記板状物の端縁部に沿って移動させる移動手段と、
前記面取用砥石の前記研削面と前記板状物の端縁部との接触箇所に冷却液を噴射するとともに、前記面取用砥石の回転軸に対して直交する面内方向に前記冷却液を噴射する噴射手段と、
を備えたことを特徴とする板状物の加工装置。
【請求項２】
前記噴射手段は、前記面取用砥石の前記研削面の接線方向に前記冷却液を噴射する請求項１に記載の板状物の加工装置。
【請求項３】
前記面取用砥石は、該面取用砥石の前記周縁部の形状が扁平である円盤状又は円柱状であって、前記板状物の前記研削面が接触されると、接触圧によって該端縁部の形状に沿って、前記面取用砥石の厚さ方向の断面形状が凹状に弾性変形する弾性体である請求項１、又は２に記載の板状物の加工装置
【請求項４】
前記面取用砥石は、前記外周面に１本又は複数本の環状溝を備えている請求項１、又は２に記載の板状物の加工装置。
【請求項５】
板状体の端縁部に、回転する円盤状又は円柱状の面取用砥石の研削面を押し付けるとともに、前記板状体及び前記面取用砥石を、前記板状体の前記端縁部に沿って相対的に移動させながら、前記面取用砥石の前記研削面と前記板状物の前記端縁部との接触箇所に冷却液を噴射させることにより、前記板状体の端縁部を面取り加工する板状体の加工方法において、
前記面取用砥石の回転軸に対して直交する面内方向に前記冷却液を噴射することを特徴とする板状物の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物の加工装置及び加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）用のガラス板（板状物）は、溶融ガラスを板状に成形し、その後、切断装置によって所定の矩形サイズのガラス板に切断される。その後、ガラス板は、面取装置（加工装置）の面取用砥石によって、その端縁部が研削加工されることにより面取りされる。面取装置としては、特許文献１の如く公知である。
【０００３】
また、特許文献２に記載された面取装置は、面取用砥石、及び冷却液（研削液）噴射ノズル等を備えている。前記面取用砥石は、ガラス板の平面に直交する軸と平行な軸を中心に回転されるとともに、その回転方向は、ガラス板の研削部においてガラス板の搬送方向と相対する方向に設定されている。また、面取用砥石の研削面となる外周面は、略凹状で円弧状の断面輪郭形状をなし、ガラス板の端縁部を断面円弧状に研削加工する。
【０００４】
一方、前記冷却液噴射ノズルは、ガラス板と面取用砥石との接触部を基準として、面取用砥石の回転方向上流側から、前記接触部に向けて冷却液を噴射するように構成されている。
【０００５】
また、特許文献３に記載された冷却液（クーラント）噴射ノズルは、ワークを挟んで両側に一対配置されるとともに、ワークと砥石との接触部に対して斜め上方に設置されており、前記接触部及びその近傍に向けて冷却液を斜め方向から噴射している。すなわち、特許文献３の加工装置では２本の冷却液噴射ノズルを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１６０１４７号公報
【特許文献２】特開２００９−１７２７４９号公報
【特許文献３】特開２００７−３００５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の面取装置では、冷却液噴射ノズルが最適な位置に設置されていないため、冷却液噴射ノズルから噴射された冷却液が最適な位置に噴射されず、研削加工後のガラス板の端縁部に焼け、欠けが発生し、ガラス板の割れの要因になるとともに、生産性を阻害する要因になっていた。
【０００８】
特に、５０００ｒｐｍ以上の高速回転の面取用砥石は、回転中の面取用砥石の外周面に沿って層の厚い空気層が形成される。冷却液噴射ノズルを含む冷却液噴射装置では、前記空気層を貫通させるための冷却液の噴射圧力、噴射量が設定されているが、冷却液噴射ノズルが最適な位置に設置されていない場合には、前記噴射圧力、噴射量が無用に大きくなり、冷却液噴射装置の負荷が大きくなるという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、最適な位置に冷却液を噴射する噴射手段を備えた板状物の加工装置及び加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記目的を達成するために、板状物を保持する定盤と、前記定盤に保持された前記板状物の端縁部を研削して面取りする円盤状又は円柱状の面取用砥石と、前記面取用砥石を回転させる回転手段と、前記面取用砥石の周縁部を前記板状物の外周面の研削面に接触させて前記面取用砥石、又は前記板状物を、前記板状物の端縁部に沿って移動させる移動手段と、前記面取用砥石の前記研削面と前記板状物の端縁部との接触箇所に冷却液を噴射するとともに、前記面取用砥石の回転軸に対して直交する面内方向に前記冷却液を噴射する噴射手段と、を備えたことを特徴とする板状物の加工装置を提供する。
【００１１】
本発明は、前記目的を達成するために、板状体の端縁部に、回転する円盤状又は円柱状の面取用砥石の研削面を押し付けるとともに、前記板状体及び前記面取用砥石を、前記板状体の前記端縁部に沿って相対的に移動させながら、前記面取用砥石の前記研削面と前記板状物の前記端縁部との接触箇所に冷却液を噴射させることにより、前記板状体の端縁部を面取り加工する板状体の加工方法において、前記面取用砥石の回転軸に対して直交する面内方向に前記冷却液を噴射することを特徴とする板状物の加工方法を提供する。
【００１２】
本発明によれば、面取用砥石の研削面と板状物の端縁部との接触箇所に冷却液を噴射するとともに、面取用砥石の回転軸に対して直交する面内方向に前記冷却液を噴射する位置に噴射手段を設置した。これにより、冷却液が最適な位置に噴射されるので、面取用砥石によって板状物の端縁部を良好に面取りできるとともに、冷却液噴射量を低減できる。また、本発明は、１つの噴射手段を用いて冷却液を最適な位置に噴射しているので、２本の冷却液噴射ノズルを用いる特許文献３の装置と比較して、冷却水の使用量を削減できる。なお、板状物がガラス板の場合には、ガラス板の端縁部に生じる焼け、欠けの発生を低減できる。
【００１３】
本発明の前記噴射手段は、前記面取用砥石の前記研削面の接線方向に前記冷却液を噴射することが好ましい。
【００１４】
本発明によれば、冷却液の噴射圧力によって面取用砥石に回転負荷をかけることなく、冷却液を最適な位置に噴射することができる。
【００１５】
本発明の前記面取用砥石は、該面取用砥石の前記研削面の形状が扁平である円盤状又は円柱状であって、前記板状物の端縁部が接触されると、接触圧によって該端縁部の形状に沿って、前記面取用砥石の厚さ方向の断面形状が凹状に弾性変形することが好ましい。
【００１６】
本発明の前記面取用砥石は、その外周面に環状溝（研削面）が形成された溝付きの面取用砥石ではなく、外周面が扁平であり、板状物の端縁部が接触されると、接触圧によって端縁部の形状に沿って、前記面取用砥石の厚さ方向の断面形状が凹状に弾性変形する面取用砥石である。この場合、弾性変形した凹部の底部に冷却液を噴射するように、噴射手段の位置を設定すればよい。
【００１７】
本発明によれば、板状物の端縁部のうち、板状物の端面と主面との境界面に面取用砥石が接触するので、前記境界面を円滑に研削加工できる。板状物がガラス板の場合には、前記境界面に生じる微小なチッピング（欠け）を低減できる。
【００１８】
本発明の前記面取用砥石は、前記外周面に１本又は複数本の環状溝を備えていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る板状物の加工装置によれば、最適な位置に冷却液を噴射することができるので、面取用砥石によって板状物の端縁部を良好に面取りできるとともに、冷却液噴射量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の板状物の加工装置が適用された面取装置の平面図
【図２】面取用砥石とガラス板とノズルの配置位置を示した斜視図
【図３Ａ】ガラス板の端縁部に面取用砥石の溝が対向配置された説明図
【図３Ｂ】面取用砥石の溝によってガラス板の端縁部が研削されている説明図
【図３Ｃ】研削加工されて面取りされたガラス板の端縁部の説明図
【図４Ａ】図２に示した配置位置を側面から見た説明図
【図４Ｂ】図２に示した配置位置を上面から見た説明図
【図５】他の面取用砥石を示した全体斜視図
【図６Ａ】ガラス板の端縁部に図５の面取用砥石の研削面が対向配置された説明図
【図６Ｂ】ガラス板の端縁部が図５の面取用砥石によって研削されている説明図
【図６Ｃ】図５の面取用砥石によって面取りされたガラス板の端縁部の説明図
【図７】ガラス板の端縁部が図５の面取用砥石によって研削されている側面図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面に従って本発明に係る板状物の加工装置及び加工方法の好ましい実施の形態を詳説する。
【００２２】
図１は、本発明の板状物の加工装置が適用された、実施の形態の面取装置１０の平面図である。この面取装置１０は、厚さが０．７ｍｍ以下の液晶ディスプレイ用ガラス板（板状物）１２の端縁部を面取りする装置である。なお、本発明の加工装置に適用できる板状物は、液晶ディスプレイ用ガラス板に限定されず、プラズマディスプレイ用ガラス板、ＬＥＤディスプレイ用ガラス板等のＦＰＤ用ガラス板、建材用やミラー用等の一般的なガラス板、金属製、又は樹脂製の板状物に適用してもよい。また板状物の厚さも０．７ｍｍ以下に限定されず、０．７ｍｍを超える厚さであってもよい。
【００２３】
面取装置１０は、矩形状のガラス板１２を吸着保持する定盤１４、定盤１４を矢印Ａ−Ｂ方向に往復移動させる移動装置（移動手段）１６、ガラス板１２の端縁部を研削加工して面取りする円盤状又は円柱状の一対の面取用砥石１８、２０、面取用砥石１８、２０を高速回転させるモータ（回転手段）２２、２４、及び冷却液を噴射するノズル（噴射手段）２６、２８等から構成される。
【００２４】
実施の形態の面取装置１０は、定盤１４の搭載面にガラス板１２の主面を吸着保持させ、定盤１４を移動装置１６によって矢印Ａ方向に移動させながら、その移動中にガラス板１２の対向する端縁部１２Ａ、１２Ｂを、ガラス板１２の移動方向に対して対向する方向に回転（自転）している面取用砥石１８、２０によって研削加工する。これによって、ガラス板１２の端縁部１２Ａ、１２Ｂが面取りされる。また、前記研削加工時には、面取用砥石１８とガラス板１２の端縁部１２Ａとの接触箇所に、ノズル２６から冷却液が噴射されるとともに、面取用砥石２０とガラス板１２の端縁部１２Ｂとの接触箇所に、ノズル２８から冷却液が噴射される。これにより、前記接触箇所が前記冷却液によって冷却されるので、ガラス板１２の端縁部１２Ａに生じる焼け、欠け等の発生が低減され、また、ガラス板１２の前記主面と研削された端面との境界部に生じるチッピングが低減される。前記ノズル２６、２８については後述する。
【００２５】
冷却液の材料は特に限定されず、純水、研削油、及びこれらの混合物でよい。
【００２６】
面取装置１０では、ガラス板１２の対向する一対の端縁部１２Ａ、１２Ｂを同時に面取りするために、面取用砥石１８が端縁部１２Ａに対向して配置されるとともに、面取用砥石２０が端縁部１２Ｂに対向して配置されている。
【００２７】
図１において面取用砥石１８は、モータ２２によって反時計方向に回転され、面取用砥石２０は、モータ２４によって時計方向に回転される。また、面取用砥石１８、２０の回転数は、５０００ｒｐｍ以上に設定されている。
【００２８】
なお、同図では、ガラス板１２を矢印Ａ方向に移動させながら、固定された面取用砥石１８、２０によって端縁部１２Ａ、１２Ｂを研削加工する面取装置１０を示しているが、これに限定されるものではなく、ガラス板１２を固定し、面取用砥石１８、２０をガラス板１２の端縁部１２Ａ、１２Ｂに沿って移動させる面取装置でもよく、ガラス板１２及び面取用砥石１８、２０の双方をガラス板１２の端縁部１２Ａ、１２Ｂに沿って互いに近づく方向に移動させる面取装置でもよい。また、ガラス板１２の他の対向する端縁部１２Ｃ、１２Ｄは、図１の面取用砥石１８、２０の後段に配置された不図示の一対の面取用砥石によって研削加工してもよい。又は、ガラス板１２を定盤１４によってＢ方向に移動させて元の位置に復帰させ、次に、ガラス板１２を定盤１４によって、ガラス板１２の主面方向の垂線を軸にして９０度回転させた後、定盤１４によってガラス板１２をＡ方向に移動させながら、間隔が変更された面取用砥石１８、２０によって端縁部１２Ｃ、１２Ｄを研削加工してもよい。
【００２９】
面取用砥石１８、２０は、図２の如くガラス板１２の端面１２Ｅに対向して配置されている。ここで端面１２Ｅとは、ガラス板１２の主面１２Ｆに対して直交する方向の面であり、面取り前の面である。この端面１２Ｅと主面１２Ｆとの境界部、及び端面１２Ｅを含む部分を端縁部１２Ａ〜１２Ｄと称し、端縁部１２Ａ〜１２Ｄを面取用砥石１８、２０によって研削加工する。なお、特許文献１に記載の如く、面取用砥石１８、２０の回転軸を、ガラス板１２の主面に立てた垂線に対して所定角度傾斜させてもよい。
【００３０】
面取用砥石１８、２０は同時に回転駆動され、図１の移動装置１６によるガラス板１２の移動によって、ガラス板１２の対向する端縁部１２Ａ、１２Ｂが面取用砥石１８、２０によって同時に研削加工される。
【００３１】
図３Ａ、図３Ｂは、面取用砥石１８、２０の外周面３０、３２の要部拡大断面図である。なお、面取用砥石１８、２０は同一構成なので、ここでは面取用砥石１８について説明し、面取用砥石２０の説明は省略する。
【００３２】
面取用砥石１８の外周面３０には、研削面である複数本の環状溝３４が水平方向に形成され、この環状溝３４が図４Ａの側面図の如く上下方向に複数本平行に備えられている。なお、環状溝３４の面取用砥石１８の厚さ方向の断面形状は、図３Ａ、図３Ｂに記載のＵ字状に限定されず、Ｖ字状、凹状であってもよい。また、環状溝３４の本数は１本でもよいが、面取用砥石１８の交換作業を省くため、図４Ａの如く複数本備えることが好ましい。環状溝３４が面取用砥石１８に複数本備えられているため、使用中の環状溝３４が寿命になったとき、図示しない制御装置で面取用砥石１８を環状溝３４のピッチ単位で上下方向（面取用砥石１８の厚さ方向）に昇降させれば、面取用砥石１８の交換作業をせずに新しい環状溝３４で面取りできる。また、環状溝３４の形状は、単一の曲率半径を有する形状でもよく、端面１２Ｅを研削する部分、及び図３Ｃに示すように研削終了した端面１２Ｅ′と主面１２Ｆとの境界面１２Ｇを研削する部分が異なる曲率半径を有する形状のものでもよい。
【００３３】
図３Ａに示すように、ガラス板１２の端縁部１２Ａは、環状溝３４に対向され、図３Ｂの如く、面取用砥石１８が研削代分だけ端縁部１２Ａに向けて送られることにより、端縁部１２Ａに面取用砥石１８の環状溝３４が押圧当接される。これにより、図３Ｃの如く、端縁部１２Ａが環状溝３４によって研削加工される。なお、図３Ａの破線で示すように、端面１２Ｅのガラス板１２の厚さ方向の中心部が環状溝３４の最深部に当接するように面取用砥石１８が端縁部１２Ａに向けて送られる。
【００３４】
面取用砥石１８、２０としては、鉄系、銅系、コバルト系、真鍮系等の金属の結合剤で砥粒を保持したメタルボンド砥石、熱硬化性樹脂の結合剤で砥粒を保持したレジンボンド砥石、ガラス等の磁器質の結合剤で砥粒を保持したビトリファイドボンド砥石、砥石の台座表面にメッキ層をつくり、前記メッキ層に砥粒を固着した電着砥石が挙げられる。
【００３５】
結合剤に配される研磨砥粒としては、ダイヤモンド、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）等を挙げることができる。
【００３６】
図５は、他の面取用砥石４０を示した全体斜視図であり、図６Ａ〜図６Ｃは、図５の面取用砥石４０によるガラス板１２の研削の説明図である。
【００３７】
同図に示す面取用砥石４０は、円盤状又は円柱状に構成されるとともに、外周面の研削面４２が実質的に扁平な面取用砥石である。また、面取用砥石４０の研削面４２は、図６Ａの如く、ガラス板１２の端縁部１２Ａに対向配置され、図６Ｂに示すように、ガラス板１２の端縁部１２Ａが研削面４２に接触されると、その接触圧により、端縁部１２Ａの形状に沿って、面取用砥石４０の厚さ方向の断面形状が凹状に弾性変形するゴム製等の弾性体である。
【００３８】
この面取用砥石４０によれば、ガラス板１２の端縁部１２Ａ〜１２Ｄが面取用砥石４０の扁平な研削面４２に接触すると、研削面４２は端縁部１２Ａ〜１２Ｄの輪郭形状に略一致する凹状に凹まされる。この時、ガラス板１２の端面１２Ｅと主面１２Ｆとの境界部１２Ｇ、１２Ｇに接触による圧力が集中するので、境界部１２Ｇ、１２Ｇが他の部分よりも多めに研削されていき、ガラス板１２の端縁部１２Ａが図６Ｃの如く研削される。
【００３９】
図７は、ガラス板１２の端縁部１２Ａが図５の面取用砥石４０によって研削されている側面図である。図７の如く、ガラス板１２の端縁部１２Ａに押されて膨らむ面取用砥石４０の研削面４２の凹部４４の上下のエッジ部分４６、４６が、ガラス板１２の上下の境界部１２Ｇ、１２Ｇに低圧で接触するため、境界部１２Ｇ、１２Ｇがエッジ部分４６、４６によって円滑に研削され、境界部１２Ｇ、１２Ｇに生じるチッピングの発生が低減される。
【００４０】
面取用砥石４０は、弾性体内に研磨砥粒を分散することにより構成される。弾性体としては、ブチルゴム、シリコーン、ポリウレタン、天然ゴムを挙げることができる。前記研磨砥粒としては、ダイヤモンド、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、軽石、ガーネット等を挙げることができる。
【００４１】
次に、実施の形態のノズル２６、２８について図２、及び図４Ａ、Ｂを参照して説明する。なお、ノズル２６、２８は同一部材であり、配置位置の概念も同一なので、ここではノズル２６について説明し、ノズル２８の説明は省略する。
【００４２】
前述の如く、ノズル２６は、面取用砥石１８（面取用砥石４０も同様）の研削面（面取用砥石１８の場合には環状溝３４、面取用砥石４０の場合には凹んだ凹部４４）とガラス板１２の端縁部１２Ａとの接触位置Ｐ１に対して面取用砥石１８の回転方向上流側の位置Ｐ２であって、図２の如く、面取用砥石１８（４０）の回転方向の上流側の位置から位置Ｐ２（図４Ｂ）に向けて冷却液を噴射する位置に設置されている。また、位置Ｐ２は、面取用砥石１８の環状溝３４の直径ｄ及び接触位置Ｐ１と位置Ｐ２との距離ｘの比ｘ／ｄが、０．０４（４％）〜０．０５（５％）の範囲内（０．０４（４％）≦ｘ／ｄ≦０．０５（５％））となるように設定される。
【００４３】
また、ノズル２６は、図４Ａの如く、面取用砥石１８の回転軸１９に対して直交する面内方向に冷却液を噴射する位置に設置されている。すなわち、実施の形態のノズル２６は、図４Ｂの矢印Ｃの如く、位置Ｐ２に向けて冷却液を、ガラス板１２の主面Ｆの面内方向と平行方向に噴射する。
【００４４】
これにより、実施の形態のノズル２６によれば、冷却液が面取用砥石１８（４０）の最適な位置、すなわち回転中の面取用砥石１８の外周面に沿って形成された、空気層を貫通できる位置に噴射されるので、面取用砥石１８（４０）によってガラス板１２の端縁部１２Ａを良好に面取りできるとともに、冷却液の噴射量を低減できる。なお、良好に面取りできるとは、ガラス板１２の端縁部１２Ａに生じる焼け、欠けの発生を低減でき、境界面１２Ｇに発生するチッピングを軽減できるという意味である。また、面取用砥石１８（４０）からノズル２６（２８）の噴射口までの距離は特に限定されず、それぞれが接しない程度に近接する距離であってもよい。当該距離に設置されたノズル２６（２８）から噴射された冷却液は、面取用砥石１８（４０）の回転に伴って位置Ｐ２に瞬時に供給されるので、ガラス板１２の良好な研削加工に支障は生じない。
【００４５】
また、ノズル２６は、図４Ｂの如く、面取用砥石１８（４０）の前記研削面（環状溝３４、凹部４４）の接線方向に冷却液を噴射する位置に設置されることが好ましい。これにより、ノズル２６から噴射された冷却液の噴射圧力によって面取用砥石１８（４０）に回転負荷をかけることなく、冷却液を面取用砥石１８（４０）の最適な位置に噴射することができる。また、実施の形態では、１本のノズル２６（２８）を用いて冷却液を最適な位置に噴射しているので、２本の冷却液噴射ノズルを用いる特許文献３の装置と比較して、冷却水の使用量を削減できる。
【００４６】
なお、高速回転中の面取用砥石１８（４０）の外周面に形成される空気層に、ノズル２６から噴射される冷却液を貫通させる好適な条件は、ノズル２６の噴射口の径が２〜３ｍｍ、位置Ｐ２からノズル２６の噴射口までの距離が１０〜２０ｍｍ、冷却液の流速が１０〜２０ｍ／ｓｅｃ、及び面取用砥石１８（４０）による面取り加工速度（ガラス板１２の面取用砥石１８、２０に対する相対速度）が１２ｍ／ｍｉｎであることが好ましい。このような条件下で面取り加工を行うことにより、冷却液を前記空気層に貫通させることができるとともに、冷却液の供給量を３〜５Ｌ／ｍｉｎに低減できる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明の板状物の加工装置による加工対象物は、高い面取り精度が要求される液晶ディスプレイ等のＦＰＤ用ガラス板に限定されず、建材用やミラー用等の一般的なガラス板でもよい。また、ガラス板に限定されず、金属製、又は樹脂製の板状物であってもよい。
【符号の説明】
【００４８】
１０…面取装置、１２…ガラス板、１２Ａ〜１２Ｄ…端縁部、１２Ｅ…端面、１２Ｅ′…端面、１２Ｆ…主面、１２Ｇ…境界面、１４…定盤、１６…移動装置、１８、２０…面取用砥石、１９…回転軸、２２、２４…モータ、２６、２８…ノズル、３０、３２…外周面、４０…面取用砥石、４２…研削面、４４…凹部、４６…エッジ部
【図１】
2015006697.tif 000003
【図２】
2015006697.tif 000004
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
2015006697.tif 000007
【図４Ａ】
2015006697.tif 000008
【図４Ｂ】
2015006697.tif 000009
【図５】
2015006697.tif 000010
【図６Ａ】
2015006697.tif 000011
【図６Ｂ】
2015006697.tif 000012
【図６Ｃ】
2015006697.tif 000013
【図７】
2015006697.tif 000014