(57)【要約】 【課題】  部品数を減らし、小型化を実現すること。【解決手段】  複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ計測する電圧測定回路において、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の抵抗分圧回路と、前記各抵抗分圧回路を介して前記圧電素子毎に接続された複数のスイッチング素子と、前記複数のスイッチング素子を選択するセレクタと、前記複数の抵抗分圧回路における各分圧点からそれぞれダイオードを介して接続され、前記セレクタにより選択された前記スイッチング素子に対応する前記圧電素子の充電電圧を計測する測定器とを具備する。【選択図】図２
2015070224.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ計測する電圧測定回路において、
前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の抵抗分圧回路と、
前記各抵抗分圧回路を介して前記圧電素子毎に接続された複数のスイッチング素子と、
前記複数のスイッチング素子を選択するセレクタと、
前記複数の抵抗分圧回路における各分圧点からそれぞれダイオードを介して接続され、前記セレクタにより選択された前記スイッチング素子に対応する前記圧電素子の充電電圧を計測する測定器と、
を具備することを特徴とする電圧測定回路。
【請求項２】
前記各ダイオードは、それぞれ前記測定器から前記抵抗分圧回路に向けて順方向に接続されることを特徴とする請求項１に記載の電圧測定回路。
【請求項３】
前記ダイオードは、スイッチングダイオードであることを特徴とする請求項１又は２に記載の電圧測定回路。
【請求項４】
前記複数のスイッチング素子毎には、それぞれ前記抵抗分圧回路を介して前記複数の圧電素子が接続され、
かつ前記複数のスイッチング素子別の前記複数の抵抗分圧回路の分圧点毎には、それぞれ前記各ダイオードを介して１つの前記測定器が接続される、
ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の電圧測定回路。
【請求項５】
圧電素子の充放電による当該圧電素子の収縮・復元によって液体を吸い込み吐出する圧電素子駆動回路において、
請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の電圧測定回路と、
前記電圧測定回路により計測された前記複数の圧電素子の各充電電圧に基づいて前記複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ制御する制御ユニットと、
を具備することを特徴とする圧電素子駆動回路。
【請求項６】
塗布液の液滴を吐出させる複数のノズルとこれらのノズルそれぞれに対応して設けられた圧電素子とを備えた塗布ヘッドと、基板を支持するステージと、前記塗布ヘッドと前記ステージとを前記ステージに支持された基板の表面に沿って相対移動させる移動装置とを備え、前記基板に前記塗布液の液滴を塗布する液滴塗布装置であって、
前記圧電素子の充電電圧を測定する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電圧測定回路を備えたことを特徴とする液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧測定回路、圧電素子駆動回路及び液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置の製造装置では、ガラス基板の表面に配向膜やレジスト膜等の機能性薄膜が形成される。この機能性薄膜の形性には、当該機能性薄膜の材料となる液体を複数のヘッドからガラス基板上に噴射塗布するインクジェット方式の塗布装置が用いられる。この塗布装置に用いられるヘッドは、複数のノズルを備え、ノズル毎に圧電素子(圧電振動子とも称する)を設け、これら圧電素子の駆動により液体をノズルから噴射する(例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
複数のノズルからそれぞれ所定量のインク等の液体を噴射するには、複数の圧電素子の各充電電圧を計測し、これら計測された各充電電圧に基づいて複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ制御することが考えられる。そして、複数の圧電素子の充電電圧の計測では、これら圧電素子の充電電圧をそれぞれアナログ・デジタル変換器（以下、ＡＤＣと称する）により計測するが、複数の圧電素子の充電電圧を１つのＡＤＣを用いて計測するために、２つの圧電素子をそれぞれアナログ・スイッチを介して１つのＡＤＣに接続し、アナログ・スイッチによりいずれか一方の圧電素子を選択してＡＤＣに接続し、当該選択された圧電素子の充電電圧をＡＤＣにより計測している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００９-０１４１４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような圧電素子の充電電圧の計測回路では、複数の圧電素子毎にそれぞれアナログ・スイッチを接続しなければないうえ、塗布装置では、多数のノズルが設けられているために、これらノズル毎にアナログ・スイッチ等が必要になり、計測回路を小型化するために当該回路の部品数を減らすことが要求されている。
【０００６】
本発明の目的は、部品数を減らし、小型化を実現できる電圧測定回路、圧電素子駆動回路及び液滴塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の主要な局面に係る電圧測定回路は、複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ計測するもので、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の抵抗分圧回路と、前記各抵抗分圧回路を介して前記圧電素子毎に接続された複数のスイッチング素子と、前記複数のスイッチング素子を選択するセレクタと、前記複数の抵抗分圧回路における各分圧点からそれぞれダイオードを介して接続され、前記セレクタにより選択された前記スイッチング素子に対応する前記圧電素子の充電電圧を計測する測定器とを具備する。
【０００８】
本発明の主要な局面に係る圧電素子駆動回路は、圧電素子の充放電による当該圧電素子の収縮・復元によって液体を吸い込み吐出する圧電素子駆動回路において、上記記載の電圧測定回路と、前記電圧測定回路により計測された前記複数の圧電素子の各充電電圧に基づいて前記複数の圧電素子の充電電圧をそれぞれ制御する制御ユニットとを具備する。
【０００９】
本発明の主要な局面に係る液滴塗布装置は、塗布液の液滴を吐出させる複数のノズルとこれらのノズルそれぞれに対応して設けられた圧電素子とを備えた塗布ヘッドと、基板を支持するステージと、前記塗布ヘッドと前記ステージとを前記ステージに支持された基板の表面に沿って相対移動させる移動装置とを備え、前記基板に前記塗布液の液滴を塗布する液滴塗布装置であって、前記圧電素子の充電電圧を測定する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電圧測定回路を備えた。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、部品数を減らし、小型化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る電圧測定回路の第１の実施の形態を適用した液滴塗布装置を示す外観構成図。
【図２】同電圧測定回路を示す回路構成図。
【図３】本発明に係る電圧測定回路の第２の実施の形態を示す回路構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１３】
図１はインクジェット方式の液滴塗布装置１の外観構成図を示す。この液滴塗布装置１は、例えば液晶表示パネルの製造装置に用いられ、塗布対象物として液晶表示パネル製造用のガラス基板Ｋに塗布液等の液体（液滴）を塗布するのに用いられる。この液滴塗布装置１は、例えば液晶表示パネルの製造装置に限らず、液体を塗布するものであれば、他の装置にも適用できる。
【００１４】
この液滴塗布装置１は、ステージ２と、回転機構(不図示)と、Ｙ軸移動機構３と、複数の塗布ヘッド４と、支持部材５と、制御部６と、架台７とを備える。ステージ２は、ガラス基板Ｋを水平状態、すなわちＸ軸方向とＸ軸方向に直交するＹ軸方向とに沿う状態で載置する。回転機構は、ステージ２をθ方向、すなわちＸ軸方向及びＹ軸方向を含む平面内の回転方向に回転させる。Ｙ軸移動機構３は、架台７上に設けられ、回転機構を介してステージ２をＹ軸方向に移動させる。複数の塗布ヘッド４は、それぞれステージ２上のガラス基板Ｋに向けて塗布液を複数の液滴として吐出する。支持部材５は、門型に形成され、Ｙ軸移動機構３を跨いで架台７上に設けられ、各塗布ヘッド４をそれぞれ支持する。制御部６は、上記各部、すなわちステージ２や回転機構、Ｙ軸移動機構３、複数の塗布ヘッド４等をそれぞれ制御する。
【００１５】
具体的に説明すると、ステージ２は、回転機構上に載置され、この回転機構によりθ方向に回転可能に設けられている。なお、ステージ２は、当該ステージ２上にガラス基板Ｋをその自重により載置するものに限らず、例えばガラス基板Ｋを保持するために静電チャックや吸着チャック等の保持機構を設けるようにしてもよく、又は、ガラス基板Ｋを支持する複数の支持ピン等を設け、これら支持ピン等をステージ２上に出没可能に設けてもよい。
【００１６】
回転機構は、Ｙ軸移動機構３上に載置され、ステージ２と共にＹ軸移動機構３によりＹ軸方向に移動可能に設けられている。この回転機構は、制御部６に電気的に接続され、当該制御部６により駆動制御される。この回転機構としては、例えばモータを駆動源とする回転機構等を用いる。
【００１７】
Ｙ軸移動機構３は、架台７上に載置され、回転機構をステージ２と共にＹ軸方向に案内して移動させる。このＹ軸移動機構３は、制御部６に電気的に接続され、当該制御部６により駆動制御される。このＹ軸移動機構３は、例えばリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
【００１８】
各塗布ヘッド４は、門型の支持部材５における梁部にＸ軸方向に沿って、例えば直線状又は千鳥状に配設されている。これら塗布ヘッド４は、それぞれ液滴を吐出する複数の吐出孔と、これら吐出孔にそれぞれ連通する複数の液室と、これら液室の容積をそれぞれ可変する複数の圧電素子、ここでは例えば図２に示すように２つの圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２を各々内蔵している。各吐出孔は、塗布ヘッド４の吐出面に所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて形成されている。吐出孔の数は、例えば数十個から数百個程度である。これら吐出孔の直径は、数μｍから数十μｍ程度である。これら吐出孔のピッチは、数十μｍから数百μｍ程度である。各塗布ヘッド４は、それぞれ制御部６に電気的に接続され、この制御部６によって駆動制御される。これらの圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２は、容量性であり充電により電気エネルギを蓄え、放電により電気エネルギを放出する。
【００１９】
各塗布ヘッド４は、例えば各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２に対する充放電が行われると、このときの各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２の収縮・復元により各液室の容積を変化させ、これら液室内の塗布液を各吐出孔から液滴として吐出する。
【００２０】
液晶表示パネルのガラス基板Ｋ上における配向膜形成用の塗布液は、当該塗布液を貯留する液体タンクからチューブ等を介して各塗布ヘッド４の各液室内に供給され、各液室を塗布液により満たす。なお、配向膜形成用の塗布液としては、例えばポリイミド（ＰＩ）溶液を用いる。この状態で、各圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ２が駆動すると、当該駆動した圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ２に対応する液室内の塗布液がその液室に連通する吐出孔から押し出され、液滴として各吐出孔から吐出される。
【００２１】
支持部材５は、各塗布ヘッド４を支持するもので、門型に形成されたコラムである。この支持部材５は、その梁部がＸ軸方向に沿うように設けられる。この支持部材５の脚部は、架台７の上面に固定されて設けられている。各塗布ヘッド４は、梁部の前面、すなわち図１中の手前側の面に設けられている。
【００２２】
制御部６は、架台７内に設けられ、上記各部、すなわちステージ２や回転機構、Ｙ軸移動機構３、複数の塗布ヘッド４等を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種プログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を有する。塗布情報は、例えばドットパターン等の所定の塗布パターン、塗布ヘッド４の吐出周波数及びガラス基板Ｋの移動速度に関する情報等を含む。
【００２３】
この制御部６は、塗布動作を行う場合、塗布情報に基づいて回転機構、Ｙ軸移動機構３及び各塗布ヘッド４等を動作制御する。
【００２４】
この制御部６は、塗布動作において、回転機構を制御し、ステージ２上のガラス基板Ｋを所望の向きに合わせる。この状態で、制御部６は、Ｙ軸移動機構３及び各塗布ヘッド４を制御し、Ｙ軸移動機構３により各塗布ヘッド４とステージ２上のガラス基板Ｋとを相対移動させながら各塗布ヘッド４を動作制御してステージ２上のガラス基板Ｋに各液滴を塗布し、このガラス基板Ｋ上に複数の配向膜を形成する。これら配向膜は、多面取りを目的としてガラス基板Ｋに設けられた複数の表示領域上にそれぞれ形成される。
【００２５】
図２は制御部６に設けられている電圧測定回路１０の回路構成図を示す。この電圧測定回路１０は、２つの圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ２の各充電電圧を計測する。なお、実際には圧電素子は、多数設けられているが、説明を分かり易くするために２つの圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２として説明する。
【００２６】
制御部６は、電圧測定回路１０により計測した充電電圧に基づいて各圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ２の充電電圧をそれぞれ所定電圧に制御する。つまり、制御部６は、圧電素子駆動回路及び圧電素子駆動回路の制御ユニットとしての機能を備える。
【００２７】
圧電素子ＰＺＴ１には、抵抗分圧回路１１が接続されている。この抵抗分圧回路１１は、圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧を分圧するもので、各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの直列回路から成る。なお、この抵抗分圧回路１１は、圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧が例えば７０Ｖ程度の高い電圧になるために分圧している。
【００２８】
この抵抗分圧回路１１には、スイッチング素子としてのＮＰＮ型トランジスタＱ１（以下、トランジスタＱ１と称する）のコレクタが接続されている。このトランジスタＱ１は、抵抗分圧回路１１を介して圧電素子ＰＺＴ１に接続されたものとなっている。
【００２９】
抵抗分圧回路１１における各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの分圧点すなわち接続点には、ダイオードＤ１を介して測定器としてのアナログ・デジタル変換器（以下、ＡＤＣと称する）１３が接続されている。
【００３０】
ダイオードＤ１は、ＡＤＣ１３から抵抗分圧回路１１に向けて順方向に接続されている。このダイオードＤ１は、例えばスイッチングダイオードである。
【００３１】
一方、圧電素子ＰＺＴ２には、抵抗分圧回路１２が接続されている。この抵抗分圧回路１２は、圧電素子ＰＺＴ２の充電電圧を分圧するもので、上記抵抗分圧回路１１と同様に、各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの直列回路から成る。
【００３２】
この抵抗分圧回路１２には、スイッチング素子としてのＮＰＮ型トランジスタＱ２（以下、トランジスタＱ２と称する）のコレクタが接続されている。このトランジスタＱ２は、抵抗分圧回路１２を介して圧電素子ＰＺＴ２に接続されたものとなっている。
【００３３】
抵抗分圧回路１２における各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの分圧点すなわち接続点には、ダイオードＤ２を介して上記ＡＤＣ１３が接続されている。このダイオードＤ２は、ＡＤＣ１３から抵抗分圧回路１２に向けて順方向に接続されており、例えばスイッチングダイオードである。
【００３４】
セレクタ１４が各トランジスタＱ１、Ｑ２のベースに接続されている。このセレクタ１４は、各トランジスタＱ１、Ｑ２のうちいずれか一方を選択するもので、選択するトランジスタＱ１又はＱ２のベースにベース電流を流すことによって当該トランジスタＱ１又はＱ２を閉じる。このセレクタ１４は、上記制御部６から出力されるセレクト信号によってトランジスタＱ１又はＱ２を開く。
【００３５】
ＡＤＣ１３は、各抵抗分圧回路１１、１２における各分圧点からそれぞれ各ダイオードＤ１、Ｄ２を介して接続され、セレクタ１４により選択されたトランジスタＱ１又はＱ２に対応する圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ２の充電電圧を計測する。
【００３６】
このような構成であれば、セレクタ１４が例えばトランジスタＱ１を選択するために当該トランジスタＱ１のベースにベース電流を流すと、このトランジスタＱ１は閉じる（導通する）。このトランジスタＱ１の閉により圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧は、抵抗分圧回路１１の各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂにより分圧され、この分圧された電圧がダイオードＤ１を通してＡＤＣ１３に加わる。このＡＤＣ１３は、ダイオードＤ１を通して加わった各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧を計測する。
【００３７】
セレクタ１４からトランジスタＱ１へのベース電流が無くなると、このトランジスタＱ１は開く（非導通）ので、圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧Ｖｐｚｔと、ＡＤＣ１３の電源電圧Ｖｃｃと、ＡＤＣ１３の入力電圧Ｖａｄｃとの関係は、
Ｖｐｚｔ＞Ｖｃｃ＞ Ｖａｄｃ
となる。これにより、ダイオードＤ１は、逆バイアスとなってＡＤＣ１３に圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧Ｖｐｚｔに応じた電圧は加わらず、かつ圧電素子ＰＺＴ１からの電流も断たれる。
【００３８】
一方、セレクタ１４がトランジスタＱ２のベースにベース電流を流すと、このトランジスタＱ２は閉じる。このトランジスタＱ２の閉により圧電素子ＰＺＴ２の充電電圧は、抵抗分圧回路１２の各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂにより分圧され、この分圧された電圧がダイオードＤ２を通してＡＤＣ１３に加わる。このＡＤＣ１３は、ダイオードＤ２を通して加わった各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ２の充電電圧を計測する。
【００３９】
セレクタ１４からトランジスタＱ２へのベース電流が無くなると、上記同様に、ダイオードＤ２は、逆バイアスとなってＡＤＣ１３に圧電素子ＰＺＴ２の充電電圧に応じた電圧は加わらず、かつ圧電素子ＰＺＴ２からの電流も断たれる。
【００４０】
このように上記第１の実施の形態によれば、各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２にそれぞれ各抵抗分圧回路１１、１２を介して各トランジスタＱ１、Ｑ２を接続し、セレクタ１４によりトランジスタＱ１又はＱ２を選択して抵抗分圧回路１１又は１２の分圧電圧をダイオードＤ１又はＤ２を通してＡＤＣ１３に送って圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２の充電電圧を計測するので、アナログ・スイッチに代わってダイオードＤ１、Ｄ２を用いることで小型化を図ることができる。なお、インクジェット方式の塗布装置は、複数のヘッドが設けられ、これらヘッド毎にそれぞれ複数のノズルが設けられているので、トランジスタＱ１等の部品数を減少し、アナログ・スイッチに代わってダイオードＤ１等を用いることは、当該電圧測定回路１０を小型化する上で大変有効である。
【００４１】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００４２】
図３は電圧測定回路１０の回路構成図を示す。ここでは、４つの圧電素子ＰＺＴ１〜ＰＺＴ４が設けられている。この電圧測定回路１０は、各圧電素子ＰＺＴ１〜ＰＺＴ４を行列接続によって構成される。例えば、各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２と、各圧電素子ＰＺＴ３、ＰＺＴ４とがそれぞれ行方向に接続され、かつ各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ３と、各圧電素子ＰＺＴ２、ＰＺＴ４とがそれぞれ行方向に接続されている。
【００４３】
セレクタ１４には、例えば２つのトランジスタＱ１、Ｑ２の各ベースが接続され、このうちトランジスタＱ１のコレクタに抵抗分圧回路１１を介して圧電素子ＰＺＴ１が接続され、かつ抵抗分圧回路１１における各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの接続点にダイオードＤ１を介してＡＤＣ１３−１が接続されている。  
これと共に、トランジスタＱ１のコレクタには、抵抗分圧回路１２を介して圧電素子ＰＺＴ２が接続され、かつ抵抗分圧回路１２における各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの接続点にダイオードＤ２を介してＡＤＣ１３−２が接続されている。
【００４４】
一方、トランジスタＱ２のコレクタには、抵抗分圧回路２１を介して圧電素子ＰＺＴ３が接続され、かつ抵抗分圧回路２１における各抵抗Ｒ３ａ、Ｒ３ｂの接続点にダイオードＤ３を介してＡＤＣ１３−１が接続されている。すなわち、ＡＤＣ１３−１は、圧電素子ＰＺＴ１又はＰＺＴ３の充電電圧を計測する。
【００４５】
これと共に、トランジスタＱ２のコレクタには、抵抗分圧回路２２を介して圧電素子ＰＺＴ４が接続され、かつ抵抗分圧回路２２における各抵抗Ｒ４ａ、Ｒ４ｂの接続点にダイオードＤ４を介してＡＤＣ１３−２が接続されている。すなわち、ＡＤＣ１３−２は、圧電素子ＰＺＴ２又はＰＺＴ４の充電電圧を計測する。
【００４６】
又、ＡＤＣ１３−１、１３−２には、それぞれ抵抗Ｒ５、Ｒ６を介して電源Ｖｃｃが供給されている。
【００４７】
このような構成であれば、セレクタ１４が例えばトランジスタＱ１のベースにベース電流を流すと、このトランジスタＱ１は閉じる。このトランジスタＱ１の閉により各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２の各充電電圧は、それぞれ各抵抗分圧回路１１、１２の各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂやＲ２ａ、Ｒ２ｂにより分圧され、これら分圧された各電圧が各ダイオードＤ１、Ｄ２を通して各ＡＤＣ１３−１、１３−２にそれぞれ加わる。このうちＡＤＣ１３−１は、ダイオードＤ１を通して加わった各抵抗Ｒ１ａ、Ｒ１ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ１の充電電圧を計測する。これと共にＡＤＣ１３−２は、ダイオードＤ２を通して加わった各抵抗Ｒ２ａ、Ｒ２ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ２の充電電圧を計測する。
【００４８】
セレクタ１４からトランジスタＱ１へのベース電流が無くなると、このトランジスタＱ１は開くので、上記同様に、ダイオードＤ１、Ｄ２は、それぞれ逆バイアスとなってＡＤＣ１３−１、１３−２に各圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２の各充電電圧に応じた電圧は加わらず、かつ圧電素子ＰＺＴ１、ＰＺＴ２からの電流もそれぞれ断たれる。
【００４９】
一方、セレクタ１４が例えばトランジスタＱ２のベースにベース電流を流すと、このトランジスタＱ２は閉じる。このトランジスタＱ２の閉により各圧電素子ＰＺＴ３、ＰＺＴ４の各充電電圧は、それぞれ各抵抗分圧回路２１、２２の各抵抗Ｒ３ａ、Ｒ３ｂやＲ４ａ、Ｒ４ｂにより分圧され、これら分圧された各電圧が各ダイオードＤ３、Ｄ４を通して各ＡＤＣ１３−１、１３−２にそれぞれ加わる。このうちＡＤＣ１３−１は、ダイオードＤ３を通して加わった各抵抗Ｒ３ａ、Ｒ３ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ３の充電電圧を計測する。これと共にＡＤＣ１３−２は、ダイオードＤ４を通して加わった各抵抗Ｒ４ａ、Ｒ４ｂの分圧電圧、すなわち圧電素子ＰＺＴ４の充電電圧を計測する。
【００５０】
セレクタ１４からトランジスタＱ２へのベース電流が無くなると、このトランジスタＱ２は開くので、上記同様に、ダイオードＤ３、Ｄ４は、それぞれ逆バイアスとなってＡＤＣ１３−１、１３−２に各圧電素子ＰＺＴ３、ＰＺＴ４の各充電電圧に応じた電圧は加わらず、かつ圧電素子ＰＺＴ３、ＰＺＴ４からの電流もそれぞれ断たれる。
【００５１】
このように上記第２の実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することができると共に、各圧電素子ＰＺＴ１〜ＰＺＴ４を行列接続することによって圧電素子ＰＺＴ１〜ＰＺＴ４の個数に対するトランジスタＱ１、Ｑ２の個数を減少できる。  
なお、第１の実施の形態においては、圧電素子が２つの例を説明し、第２の実施の形態においては、圧電素子が４つの例を説明したが、これに限られるものではなく、これよりも多くの圧電素子においても適用可能であることは言うまでもない。
【００５２】
また、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１：液滴塗布装置、Ｋ：ガラス基板、２：ステージ、３：Ｙ軸移動機構、４：塗布ヘッド、５：支持部材、６：制御部、７：架台、１０：電圧測定回路、ＰＺＴ１〜ＰＺＴ４：圧電素子、１１，１２，２１，２２：抵抗分圧回路、Ｒ１ａ，Ｒ１ｂ，Ｒ２ａ、Ｒ２ｂ，Ｒ３ａ，Ｒ３ｂ，Ｒ４ａ，Ｒ４ｂ：抵抗、Ｑ１，Ｑ２：ＮＰＮ型トランジスタ、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４：ダイオード、１３，１３−１，１３−２：ＡＤＣ、Ｒ５，Ｒ６：抵抗。
【図１】
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【図２】
2015070224.tif 000004
【図３】
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