(57)【要約】【課題】高充填密度かつ高解像度の蛍光面板の製造方法を提供することである。【解決手段】中空金属管にＣｓＩ粉末を充填し、細線にスウェージング加工し、所定の長さに切断する。複数の細線を束ねて別の中空金属管に充填する。次に細線充填した金属管を細線にスウェージング加工し、所定の長さに切断する。複数の細線を束ねて別の中空金属管に充填する。細線充填した金属管直径をスウェージング加工で８０〜９０％に絞り込み、所定の厚さに切断して蛍光面板を製造する。【選択図】図３
2015102383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）第一の中空金属管に蛍光体物質を充填する蛍光体充填工程と
（２）前記蛍光体充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、細線を形成する細線形成工程と
（３）形成した細線を所定長に切断する切断工程と
（４）複数の前記切断細線を第二の中空金属管に集束充填する集束充填工程と、
（５）細線充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、細線を形成する細線形成工程と
（６）形成した細線を所定長に切断する切断工程と
（７）複数の前記切断細線を第三の中空金属管に集束充填する集束充填工程と、
（８）細線充填金属管内の細線同士を圧着するため、スウェージング法で管の直径を絞り込む圧着絞り込み工程と
（９）前記絞り込み金属管を所定の厚さの蛍光面板に切断する切断工程と
（１０）前記蛍光面板を還元または中性雰囲気でアニールするアニール工程と
（１１）前記アニールした蛍光面板を研磨する研磨工程
とを備えることを特徴とする高解像度蛍光面板の製造方法。
【請求項２】
(１)前記請求項１記載の製造方法で得られた複数の蛍光面板を正方形に切断する切断工程と
（２）前記複数の正方形蛍光面板の4つの切断面と蛍光面の1つに接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の正方形面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を形成する接着形成工程と
（４）前記大型蛍光面板の片面に接着剤を塗布して基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする  請求項２記載の高解像度蛍光面板の製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載した製造方法で作成されたことを特徴とする高解像度蛍光面板。
【請求項４】
請求項２に記載した製造方法で作成されたことを特徴とする高解像度蛍光面板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高解像度をもつ蛍光面板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線を利用した検査装置は、医療用のＸ線診断装置等の他、産業用のＩＣ検査装置等に広く使用されている。このような検査装置に使用されるＸ線検出器は、Ｘ線を蛍光面板で受け、これを光に変換し蛍光面板の背面に配置された光電変換装置（例えばスイッチング用TFTに連結した光電変換要素として作用する薄膜アモルファスシリコンフォトダイオードで構成されているアクティブマトリクス型検出器）で画像化された電気信号に変換される。このＸ線検出器には様々な性能の向上が求められるが、最も重要なものとして解像度特性の向上が求められる。
【０００３】
従来Ｘ線検出器に用いられる蛍光面板には通常1μｍ程度の微粒子蛍光体を用いて、セットリング法（液中沈降法）で基板上に均一な蛍光面板を作成するか、またはヨウ化セシウム（ＣｓＩ）等の蛍光体を基板上に蒸着して均一な蛍光面板を作成する方法が知られている。このように構成された蛍光面板において、X線画像は、可視光線画像に変換されるが、発光フォトンはすべての立体角方向に放射されるので上記ＣＣＤ等の２次元撮像素子（撮像管）の垂直な画素エレメントだけでなく、近傍の画素エレメントにも到達する。このため、電気信号画像は元のX線画像に比べて、解像度が劣ることになる。
【０００４】
この解像度向上のために、横方向への光の影響を少なくなるように、蛍光面板の充填率を高くして厚さを薄くすること、基板に垂直な方向に柱状結晶を形成することで横方向への散乱が小さくする方法が知られている。しかしながらこの柱状構造でもまだ横方向散乱は起こり、十分な対策とはいえない。
【０００５】
従って、蛍光面板において解像度を向上させる方法として、垂直直下以外の上記ＣＣＤ等の２次元撮像素子の画素エレメントに到達しないようにするために、反射層としての役目を有する細管を集束し、細管内にシンチレータを充填した蛍光面板構造が提案された（特許文献１、特許文献２参照）。これらの提案では、細管形成後に、蛍光体物質を充填する方法がとられている。特許文献１では電子ビーム蒸着法で細管中にシンチレータ材料を充填することが記載されているが、シンチレータ材料の充填率が低いことが推定される。また、特許文献２では、高温融解液したシンチレータ材料融解液に中空細管を浸して充填する方法が記載されているが、これではせっかく形成した細管構造が高温でメルトする恐れがあり、この充填方法では蛍光面板を安定に形成することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平２−２２５９８号公報
【特許文献２】特開２０００−８１５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明の課題は、蛍光面板に平行な横方向への光散乱が抑えられる細管構造を持ち、かつ蛍光体充填密度が大きい高解像度の蛍光面板及び蛍光板の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の高解像度蛍光面板の製造方法は、
（１）第一の中空金属管に蛍光体物質を充填する蛍光体充填工程と
（２）前記蛍光体充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、細線を形成する細線形成工程と
（３）形成した細線を所定長に切断する切断工程と
（４）複数の前記切断細線を第二の中空金属管に集束充填する集束充填工程と、
（５）細線充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、細線を形成する細線形成工程と
（６）形成した細線を所定長に切断する切断工程と
（７）複数の前記切断細線を第三の中空金属管に集束充填する集束充填工程と、
（８）細線充填金属管内の細線同士を圧着するため、スウェージング法で、管の直径を絞り込む圧着絞り込み工程と
（９）前記絞り込み金属管を所定の厚さの蛍光面板に切断する切断工程と
（１０）前記蛍光面板を還元または中性雰囲気でアニールするアニール工程と
（１１）前記アニールした蛍光面板を研磨する研磨工程
とを備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の高解像度蛍光面板の製造方法は、
(１)前記請求項１記載の工程で得られた複数の蛍光面板を正方形に切断する切断工程と
（２）前記複数の正方形蛍光面板の4つの切断面と蛍光面の1つに接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の正方形面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を形成する接着形成工程と
（４）前記大型蛍光面板の片面に接着剤を塗布して基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の製造方法で用いられるスウェージング加工で蛍光体充填物を従来の特許文献１と特許文献２に比べて高密度化することができる。
【００１１】
本発明に用いる中空金属管としては展性・延性の優れた金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄、ニッケル、インジウム等を用いることができる。コスト、毒性の観点から銀、銅、アルミニウム、スズ、亜鉛、鉄、ニッケル、インジウム等が好ましい。
【００１２】
本発明に用いられる蛍光体（シンチレータ材料）にはX線吸収の大きい、即ち蛍光体は原子番号の大きい原子で構成されていること、また吸収したX線エネルギーの可視光線変換効率の高いこと、ＣＣＤ等の２次元撮像素子の分光感度特性にマッチングした発光スペクトルを有することが要求される。
【００１３】
この蛍光体としては、タリウム付活ヨウ化セシウムＣｓＩ：Ｔｌ、ナトリウム付活ヨウ化セシウムＣｓＩ：Ｎａ、テルビウム付活酸化硫化ガドリニウムＧｄ２Ｏ２Ｓ：Ｔｂ、ユーロピウム付活フッ化ハロゲン化物バリウムＢａＦ（Ｃｌ，Ｂｒ，Ｉ）：Ｅｕがあげられる。
【００１４】
本発明ではスウェージング加工を行うので、中空金属管及び蛍光体の硬度に関しては、中空金属管の硬度はなるべく小さいことが好ましい。蛍光体の硬度も小さい方が好ましいが、中空金属管の硬度と同等以上であることが必要である。
【００１５】
金属管よりも蛍光体硬度が極めて小さい場合には、スウェージング加工で管内の蛍光体がスウェージング加工で押し出され、蛍光体部分の割合の小さい細線になってしまう恐れがあるためである。
【００１６】
前記のヨウ化セシウム蛍光体のモース硬度は２であり、中空金属管の材質としての前記の銀も同じ２であり、ヨウ化セシウムと銀との組み合わせは最適である。上記に挙げた蛍光体は一般的に硬度２以上であり、中空金属管材質の前記金属のモース硬度は一般的には蛍光体以下である。したがって上記に挙げた蛍光体は本発明の製造方法で蛍光面板の製造が可能である。
【発明の効果】
【００１７】
スウェージング加工の導入により、蛍光体充填密度向上及び細管同士の接合も容易に行えることができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、第一の中空金属管に蛍光体粉末充填を示した説明図である。（実施例１）
【図２】図２は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、スウェージング加工で細線に絞り、所定の長さに切断を示した説明図である。（実施例１）
【図３】図３は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、複数の細線を第二の中空金属管に端から順に充填することを示した説明図である。（実施例１）
【図４】図４は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、複数の細線をハニカム型に配列充填することを示した説明図である。（実施例１）
【図５】図５は本発明の高解像度蛍光面板の解像度と空間周波数との関係を示すグラフである。（実施例１）
【図６】図６は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、大型蛍光面板の製造方法を示した説明図である。（実施例２）
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図１〜図６を参照して、この発明の実施の形態にかかる高解像度蛍光面板及び蛍光板の製造方法について説明する。
【００２０】
まず、展性・延性の優れた金属を用いた５〜１０ｃｍの外径の第一の中空金属管に蛍光体粉末を充填する。充填の際には、振動機（バイブレータ）上に金属管を配置して振動しながら、充填作業を進めるのが好ましい。充填密度は７０％程度以上が望ましい。（図１参照）。
【００２１】
本発明に用いる第一の中空金属管の外径C、内径Ｄで表したとき、Ｃは１〜１０ｃｍ、管の肉厚（Ｃ−Ｄ）／２は１〜１０ｍｍ程度の範囲の金属管を用いることが望ましい。
【００２２】
次に、前記蛍光体充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径ｄが１〜３ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返して細線形成を行う。
【００２３】
次に、この細線を切断機で所定の長さに切断する（図２参照）。
【００２４】
次に、複数の細線を集束し展性・延性の優れた金属を用いた５〜１０ｃｍの外径の中空金属管に図３に示すように端から順に充填する。
【００２５】
本発明に用いる第二の中空金属管の外径C、内径Ｄで表したとき、Ｃは１〜１０ｃｍ、管の肉厚（Ｃ−Ｄ）／２は１〜１０ｍｍ程度の範囲の金属管を用いることが望ましい。
【００２６】
スウェージング加工された細線を上記中空金属管に配置する際、図３に示すように充填することも可能であるが、図４に例示するように細線をハニカム構造になるように規則的に配置した方がより好ましい。中空金属管内の空隙面積が少なくなるように、中空金属管の内径Ｄと細線ｄとの比は（Ｄ／d）≧１０になるようにするのが好ましい。
【００２７】
次に、前記蛍光体充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径が１〜３ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返して細線形成を行ったあとで、切断機で所定の長さに切断する。
【００２８】
次に、複数の細線を集束し展性・延性の優れた金属を用いた第三の中空金属管に整列して充填する（図３参照）。この金属管の外径は最終的に必要とされる蛍光面板サイズによって変わるが、５〜２０ｃｍ程度の金属管を用いるのがよい。
【００２９】
このようにして得られた細管配列した金属管をスウェージング加工して、その直径を絞り、配列した細管同士の隙間をなくし、接着性を向上させる。直径絞り率は、金属管の材質にもよるが、一般的には８０〜９０％にするのが好ましい。
【００３０】
このようにして得られた金属管は所定の厚さたとえば０．５ｍｍの厚さにスライス後、スライス面板を研磨して、蛍光面板が得られる。
【００３１】
この蛍光面板中の蛍光体は複数回にわたるスウェージング加工で結晶歪みがのこっている。この歪みを解消するために、中性ないし還元雰囲気中での１００〜３００℃の温度でアニール工程を通して、本発明の高解像度蛍光面板が得られる。本工程のアニール処理で細管同士の接合性も向上する。
【００３２】
このようにして得られた高解像度蛍光面板を構成する１本の細管内の充填蛍光体部の直径（画素サイズ）は５０〜１００μｍとなる。
以下本発明に関して、実施例で詳細に説明する。
【実施例１】
【００３３】
図１に示すように、外径３ｃｍ、肉厚が５ｍｍ、長さ１０ｃｍの銀の第一の中空金属管１の中空部２に０．０６モル％のタリウム（Ｔｌ）をドープしたヨウ化セシウム（ＣｓＩ：Ｔｌ）蛍光体１０ｇを充填する。充填の際には、振動機（バイブレータ）上に金属管を配置して振動しながら、充填作業を行った。充填密度は約７０％であった。
【００３４】
次に、前記蛍光体充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径ｄ＝１．８ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返す。
【００３５】
次に、スライシングマシーンで長さ１０ｃｍに切断して細線を製造する（図２参照）。
【００３６】
次に、図４に示すように複数の細線１０９本を集束し外径３．１ｃｍ、内径Ｄ＝２．１ｃｍ、肉厚が５ｍｍ、長さ１０ｃｍの銀の第二の中空金属管にハニカムマトリックス状に整列して充填する（図４参照）。中空金属管内径と細線外径の比（Ｄ／ｄ）＝１１．６である。
【００３７】
次に、前記蛍光体充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径ｄ＝２ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返す。
【００３８】
次に、スライシングマシーンで長さ１０ｃｍに切断して細線を製造する。
【００３９】
次に、図４と同様にして複数の細線３７９本を集束し外径５．３ｃｍ、内径Ｄ＝４．３ｃｍ、肉厚が５ｍｍ、長さ１０ｃｍの銀の第三の中空金属管３にハニカム状に整列して充填する。中空金属管内径と細線外径の比（Ｄ／ｄ）＝２１．６である。
【００４０】
このようにして得られた細管配列した金属管をスウェージング加工して、その直径を４．５ｃｍに絞り、配列した細管同士の隙間をなくし、接着性を向上させる。
【００４１】
このようにして得られた金属管は所定の厚さたとえば０．５ｍｍの厚さにスライス後、スライス面板を研磨して、蛍光面板が得られる。
【００４２】
この蛍光体の結晶歪みを解消するために、窒素雰囲気中での２００〜３００℃の温度での１時間のアニール工程を通して、本発明の直径４．５ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの高解像度蛍光面板が得られる。この蛍光面板を構成する最小の細線中の蛍光体部の直径は約７０μｍである。
【００４３】
図５は、Ｘ線を本発明の高解像度蛍光面板で受け、これを光に変換し光電変換装置（ＣＣＤ等の２次元撮像素子）で画像化された電気信号の解像度ＭＴＦと空間周波数との関係を示すグラフである。細管構造を持たない従来の蛍光面板のＭＴＦと比較して、空間周波数の高い領域でもＭＴＦ低下の小さく大幅に解像度特性が改善されていることが分かる。
【００４４】
さらに大きな蛍光面板を得るためには、前記実施例１の中空金属管のサイズを数倍にすれば、数倍の蛍光面板が得られるが、高価な大型スウェージングマシーンが必要になり、コストパフォーマンスの観点からは好ましくない。この代わりに前記実施例１で作成した蛍光面板を利用して複数配列して大面板積の蛍光面板を製造することができる。  
【実施例２】
【００４５】
実施例１で製造した直径４．５ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの高解像度蛍光面板を１辺３ｃｍの正方形に切断して正方形の高解像度蛍光面板４を得る。複数の正方形蛍光面板４の４つの切断面板と蛍光面板の１つに接着材を塗布し、蛍光面板同士の接着は０．１〜０．２ｍｍのアルニウム箔（図示せず）を介して、基板５上に接着固定する。図６に例示するように４９枚の蛍光面板４とをアルミ箔を介して基板５上に配置して、基板に固定し、１辺２１ｃｍの大型高解像度蛍光面板を作成する。
【００４６】
基板５はアルミナのようなセラミックスでもよいし、アルミニウム等の金属板でも構わない。
【００４７】
配列接着後、蛍光面板を再度研磨して均一性を出してもよい。
【００４８】
前記実施例において、蛍光体はタリウム付活ヨウ化セシウムＣｓＩ：Ｔｌを用いて説明したが、この他にもナトリウム付活ヨウ化セシウムＣｓＩ：Ｎａ、テルビウム付活酸化硫化ガドリニウムＧｄ２Ｏ２Ｓ：Ｔｂ、ユーロピウム付活フッ化ハロゲン化物バリウムＢａＦ（Ｃｌ，Ｂｒ，Ｉ）：Ｅｕ等を用いて、蛍光体の硬度との組み合わせで中空金属管には適当な硬度を持つ金、銀、鉛、銅、アルミニウム、スズ、白金、亜鉛、鉄、ニッケル、インジウム等の中から適宜選択することで本発明の高解像度蛍光面板を製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の高解像度蛍光面板は光電変換装置と組み合わせて、医療用X線診断装置、産業用のＩＣ検査装置に用いて、高解像度の画像を提供し、蛍光面板の蛍光体充填率が高いことから、高感度の画像も提供できる。
【符号の説明】
【００５０】
１    第一の中空金属管
２    中空金属管の中空部に充填した蛍光体粉末
３    第二の中空金属管
４    正方形型蛍光面板
５    基板
【図４】
2015102383.tif 000003
【図５】
2015102383.tif 000004
【図１】
2015102383.tif 000005
【図２】
2015102383.tif 000006
【図３】
2015102383.tif 000007
【図６】
2015102383.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成26年1月8日(2014.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
(１)前記請求項１記載の製造方法で得られた複数の蛍光面板を正方形に切断する切断工程と
（２）前記複数の正方形蛍光面板の4つの切断面と蛍光面の1つに接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の正方形面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を形成する接着形成工程と
（４）前記大型蛍光面板の片面に接着剤を塗布して基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする  高解像度蛍光面板の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月6日(2014.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
（１）第一の中空金属管に蛍光体物質を充填して第一の蛍光体充填金属管を作成する蛍光体充填工程と
（２）前記第一の蛍光体充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、第一の細線を形成する細線形成工程と
（３）前記第一の細線を所定長に切断して第一の切断細線を作成する切断工程と
（４）複数の前記第一の切断細線を第二の中空金属管に集束充填して第一の細線充填金属管を作成する集束充填工程と、
（５）前記第一の細線充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、第二の細線を形成する細線形成工程と
（６）前記第二の細線を所定長に切断して第二の切断細線を作成する切断工程と
（７）複数の前記第二の切断細線を第三の中空金属管に集束充填して第二の細線充填金属管を作成する集束充填工程と、
（８）前記第二の細線充填金属管内の細線同士を圧着するため、スウェージング法で管の直径を絞り込み、絞り込み金属管を作成する圧着絞り込み工程と
（９）前記絞り込み金属管を所定の厚さの蛍光面板に切断する切断工程と
（１０）前記蛍光面板を還元または中性雰囲気でアニールするアニール工程と
（１１）前記アニールした蛍光面板を研磨する研磨工程
とを備えることを特徴とする高解像度蛍光面板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
(１)前記請求項１記載の製造方法で得られた蛍光面板を複数用意して正方形に切断して複数の正方形蛍光面板を作成する切断工程と
（２）複数の前記正方形蛍光面板の4つの切断面に接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の前記正方形面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を作成する接着形成工程と
（４）前記大型複合蛍光面板の片面に接着剤を塗布して金属箔接着した基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする高解像度蛍光面板の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項１記載の高解像度蛍光面板の製造方法は、
（１）第一の中空金属管に蛍光体物質を充填して第一の蛍光体充填金属管を作成する蛍光体充填工程と
（２）前記第一の蛍光体充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、第一の細線を形成する細線形成工程と
（３）前記第一の細線を所定長に切断して第一の切断細線を作成する切断工程と
（４）複数の前記第一の切断細線を第二の中空金属管に集束充填して第一の細線充填金属管を作成する集束充填工程と、
（５）前記第一の細線充填金属管をスウェージング法で、塑性加工により絞り込み、第二の細線を形成する細線形成工程と
（６）前記第二の細線を所定長に切断して第二の切断細線を作成する切断工程と
（７）複数の前記第二の切断細線を第三の中空金属管に集束充填して第二の細線充填金属管を作成する集束充填工程と、
（８）前記第二の細線充填金属管内の細線同士を圧着するため、スウェージング法で管の直径を絞り込み、絞り込み金属管を作成する圧着絞り込み工程と
（９）前記絞り込み金属管を所定の厚さの蛍光面板に切断する切断工程と
（１０）前記蛍光面板を還元または中性雰囲気でアニールするアニール工程と
（１１）前記アニールした蛍光面板を研磨する研磨工程
とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項２記載の高解像度蛍光面板の製造方法は、
(１)前記請求項１記載の製造方法で得られた蛍光面板を複数用意して正方形に切断して複数の正方形蛍光面板を作成する切断工程と
（２）複数の前記正方形蛍光面板の4つの切断面に接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の前記正方形面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を作成する接着形成工程と
（４）前記大型複合蛍光面板の片面に接着剤を塗布して基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
中空金属管よりも蛍光体硬度が極めて小さい場合には、スウェージング加工で管内の蛍光体がスウェージング加工で押し出され、蛍光体部分の割合の小さい細線になってしまう恐れがあるためである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
スウェージング加工の導入により、蛍光体充填密度向上及び細線充填金属管同士の接合も容易に行えることができるようになった。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【図１】図１は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、第一の中空金属管に蛍光体粉末充填して作成した第一の蛍光体充填金属管を示した図である。（実施例１）
【図２】図２は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、スウェージング加工で第一（または第二）の蛍光体充填金属管を絞り込み第一（または第二）の細線を作成し、所定の長さに切断して作成した第一（または第二）の切断細線を示した図である。（実施例１）
【図３】図３は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、複数の第一（または第二）の切断細線を第二（または第三）の中空金属管に端から順に充填することを示した説明図である。（実施例１）
【図４】図４は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、複数の第一（または第二）の切断細線をハニカム型に配列充填することを示した説明図である。（実施例１）
【図５】図５は本発明の高解像度蛍光面板の解像度と空間周波数との関係を示すグラフである。（実施例１）
【図６】図６は本発明の高解像度蛍光面板の製造方法において、大型蛍光面板の製造方法を示した説明図である。（実施例２）
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
まず、展性・延性の優れた金属を用いた５〜１０ｃｍの外径の第一の中空金属管に蛍光体粉末を充填して第一の蛍光体充填金属管を作成する。充填の際には、振動機（バイブレータ）上に金属管を配置して振動しながら、充填作業を進めるのが好ましい。充填密度は７０％程度以上が望ましい。（図１参照）。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
次に、前記第一の蛍光体充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径ｄが１〜３ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返して第一の細線形成を行う。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
次に、この第一の細線を切断機で所定の長さに切断して第一の切断細線を作成する（図２参照）。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
次に、複数の第一の切断細線を集束し展性・延性の優れた金属を用いた５〜１０ｃｍの外径の第二の中空金属管に図３に示すように端から順に充填して第一の細線充填金属管を作成する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
第一の切断細線を前記第二の中空金属管に配置する際、図３に示すように充填することも可能であるが、図４に例示するように細線をハニカム構造になるように規則的に配置した方がより好ましい。前記第二の中空金属管内の空隙面積が少なくなるように、前記第二の中空金属管の内径Ｄと細線ｄとの比は（Ｄ／d）≧１０になるようにするのが好ましい。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
次に、前記第一の細線充填金属管をスウェージング装置にかけて、最終的に外径が１〜３ｍｍになるように複数回スウェージング（絞り）加工を繰り返して第二の細線を形成したあとで、切断機で所定の長さに切断して第二の切断細線を作成する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
次に、複数の第二の細線を集束し展性・延性の優れた金属を用いた第三の中空金属管に整列して充填する（図３、４参照）。この第三の中空金属管の外径は最終的に必要とされる蛍光面板サイズによって変わるが、５〜２０ｃｍ程度の金属管を用いるのがよい。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
次に、スライシングマシーンで長さ１０ｃｍに切断して第一の切断細線を製造する（図２参照）。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
次に、図４に示すように複数の第一の切断細線１０９本を集束し外径３．１ｃｍ、内径Ｄ＝２．１ｃｍ、肉厚が５ｍｍ、長さ１０ｃｍの銀の第二の中空金属管にハニカムマトリックス状に整列して充填する（図４参照）。中空金属管内径と細線外径の比（Ｄ／ｄ）＝１１．６である。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次に、スライシングマシーンで長さ１０ｃｍに切断して第二の切断細線を製造する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
次に、図４と同様にして複数の第二の切断細線３７９本を集束し外径５．３ｃｍ、内径Ｄ＝４．３ｃｍ、肉厚が５ｍｍ、長さ１０ｃｍの銀の第三の中空金属管３にハニカム状に整列して充填する。中空金属管内径と細線外径の比（Ｄ／ｄ）＝２１．６である。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
実施例１で製造した直径４．５ｃｍ、厚さ０．５ｍｍの高解像度蛍光面板を１辺３ｃｍの正方形に切断して正方形の高解像度蛍光面板４を得る。複数の正方形蛍光面板４の４つの切断面板に接着材を塗布し、蛍光面板同士の接着は０．１〜０．２ｍｍのアルニウム箔（図示せず）を介して、大型の蛍光面板を作成する。この大型蛍光面板の片面に接着剤を塗布し、あらかじめアルミ箔接着した基板５とアルミ箔を介して接着一体化する。図６に正方形蛍光面板を縦７枚、横７枚に配列した合計４９枚の蛍光面板４とアルミ箔接着した基板５上に配置して作成した、１辺２１ｃｍの大型高解像度蛍光面板を例として示す。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本発明の高解像度蛍光面板は光電変換装置と組み合わせて、医療用X線診断装置、産業用のＩＣ検査装置に用いて、高解像度の画像を提供し、蛍光面板の蛍光体充填率が高いことから、高感度の画像も提供できる。なお本発明では、スウェージング法の塑性加工は３回行うことが記載されているが、例えば第二の切断細線を集束充填した第三の中空金属管をさらにスウェージング法で塑性加工を繰り返して、第三の切断細線を形成し、これを第四の中空金属管に集束充填して、充填蛍光体部の大きさを小さくして、さらなる高解像度を図ることは、本発明の趣旨に含まれており、スウェージング法の塑性加工は３回に制限するものではない。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
１    第一の中空金属管、または第二の中空金属管
２    第一の中空金属管の中空部に充填した蛍光体粉末、または第二の中空金属管の中空部に集束充填した第一の切断細線、または第三の中空金属管の中空部に集束充填した第二の切断細線
３    第二の中空金属管、または第三の中空金属管
４    正方形型蛍光面板
５    基板
【手続補正書】
【提出日】平成27年3月10日(2015.3.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
(１)前記請求項１記載の製造方法で得られた蛍光面板を複数用意して正方形に切断して複数の正方形蛍光面板を作成する切断工程と
（２）複数の前記正方形蛍光面板の4つの切断面に接着剤を塗布する塗布工程と
（３）複数の前記正方形蛍光面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を作成する接着形成工程と
（４）前記大型複合蛍光面板の片面に接着剤を塗布してアルミ箔接着した基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする高解像度蛍光面板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項２記載の高解像度蛍光面板の製造方法は     (１) 前記請求項１記載の製造方法で得られた蛍光面板を複数用意して正方形に切断して複数の正方形蛍光面板を作成する切断工程と    （２）複数の前記正方形蛍光面板の4つの切断面に接着剤を塗布する塗布工程と    （３）複数の前記正方形蛍光面板同士の間には金属薄膜を介して接着し、大型複合蛍光面板を作成する接着形成工程と    （４）前記大型複合蛍光面板の片面に接着剤を塗布してアルミ箔接着した基板に接着する接着工程
とを備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
本発明の高解像度蛍光面板は光電変換装置と組み合わせて、医療用X線診断装置、産業用のＩＣ検査装置に用いて、高解像度の画像を提供し、蛍光面板の蛍光体充填率が高いことから、高感度の画像も提供できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2015102383.tif 000009