(57)【要約】 【課題】  圧電素子の充電を精度良く行うこと。【解決手段】圧電素子を昇圧回路によって充電し、前記圧電素子に対して並列接続されたスイッチング素子の動作によって前記圧電素子を放電させる圧電素子駆動回路において、前記圧電素子を放電させる制御信号に基づいて前記圧電素子を放電させ、かつ前記昇圧回路による前記圧電素子への充電を制止する充電制止回路を具備する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子を昇圧回路によって充電し、前記圧電素子に対して並列接続されたスイッチング素子の動作によって前記圧電素子を放電させる圧電素子駆動回路において、
前記圧電素子を放電させる制御信号に基づいて前記圧電素子を放電させ、かつ前記昇圧回路による前記圧電素子への充電を制止する充電制止回路
を具備することを特徴とする圧電素子駆動回路。
【請求項２】
前記昇圧回路は、電源に接続された電流供給用トランジスタと、一端が前記電流供給用トランジスタに接続されると共に他端が前記圧電素子に接続されたコイルと、前記圧電素子に並列接続された充電用トランジスタとを有し、
前記圧電素子には、放電用トランジスタが並列接続され、
前記充電制止回路は、前記圧電素子を放電させる前記制御信号に基づいて前記電流供給用トランジスタを開き、前記コイルへの充電を断つ、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電素子駆動回路。
【請求項３】
前記充電制止回路は、前記圧電素子を放電させる前記制御信号を、反転させて前記電流供給用トランジスタに供給する反転回路を有することを特徴とする請求項２に記載の圧電素子駆動回路。
【請求項４】
前記圧電素子の充電電圧を検出し、この検出した充電電圧と予め設定された電圧とを比較し、当該比較結果に応じて前記昇圧回路による前記圧電素子への充電を制御する充電制御回路を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電素子駆動回路。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電素子駆動回路と、
前記圧電素子駆動回路によって駆動される圧電素子を備えた塗布ヘッドと、
基板を支持するステージと、前記塗布ヘッドと前記ステージとを前記ステージに支持された基板の表面に沿って相対移動させる移動装置と、
を備えたことを特徴とする液滴塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子駆動回路および液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置の製造装置では、ガラス基板の表面に配向膜やレジスト膜等の機能性薄膜が形成される。この機能性薄膜の形性には、当該機能性薄膜の材料となる液体をガラス基板上に噴射塗布するインクジェット方式の塗布装置が用いられる。この塗布装置は、ガラス基板を搬送するための搬送テーブルを備え、この搬送テーブルの上方に複数のヘッドを備える。これらヘッドは、それぞれ下面に複数のノズルが穿設され、これらノズルが内部の各液室に連通し、かつ各ノズルにはそれぞれ圧電素子(圧電振動子とも称する)が設けられている。これらヘッドは、圧電素子の収縮・復元により各ノズルからガラス基板上に液室の液体が吐出する(例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図５は圧電素子駆動回路の構成図を示す。直流電源ＰＳには、ＮＰＮ型トランジスタ（以下、電流供給用トランジスタと称する）Ｑ０からコイルＬ１、ダイオードＤ１を介して圧電素子ＰＺＴが接続され、かつダイオードＤ１及び圧電素子ＰＺＴに対して並列に充電用トランジスタＱ１が接続されると共に、圧電素子ＰＺＴに対して並列に放電用トランジスタＱ２が接続されている。又、制御ユニット１０からは、昇圧信号ＣＰと吐出信号（ファイヤーパルス）ＦＰとが出力され、このうち昇圧信号ＣＰが反転回路Ｆ１を介して電流供給用トランジスタＱ０のベースに送られ、吐出信号（ファイヤーパルス）ＦＰが放電用トランジスタＱ２に送られる。
【０００４】
このような駆動回路であれば、図６に示すように昇圧信号ＣＰがハイレベルからローレベルになると、充電用トランジスタＱ１が開く（非導通）と共に、電流供給用トランジスタＱ０が開くので、直流電源ＰＳから出力される電流は、コイルＬ１からダイオードＤ１を通して圧電素子ＰＺＴに流れる。これにより、圧電素子ＰＺＴの充電が行われ、その充電電圧Ｖｐｚｔは、上昇する。
【０００５】
吐出信号ＦＰがハイレベルになると、放電用トランジスタＱ２が閉じるので、この時点に圧電素子ＰＺＴは、放電し、その充電電圧Ｖｐｚｔは急激に下降する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００９-０１４１４８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、放電用トランジスタＱ２が閉じて圧電素子ＰＺＴが放電しているときに、ノイズによる誤動作によって電流供給用トランジスタＱ０が閉じて（導通して）しまった場合など、直流電源ＰＳから電流供給用トランジスタＱ０を通してコイルＬ１に電流が流れ、コイルＬ１が充電されてしまうことがある。
【０００８】
このような場合、この後圧電素子ＰＺＴの充電を行おうとしたときに、コイルＬ１は既にいくらか充電された状態となっているので、圧電素子ＰＺＴがその分だけ余計に充電されてしまい、圧電素子ＰＺＴの充電量が所定の電圧よりも多くなってしまうことが考えられる。  
本発明の目的は、圧電素子の充電を精度良く行うことができる圧電素子駆動回路および液滴塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の主要な局面に係る圧電素子駆動回路は、圧電素子を昇圧回路によって充電し、前記圧電素子に対して並列接続されたスイッチング素子の動作によって前記圧電素子を放電させる圧電素子駆動回路において、前記圧電素子を放電させる制御信号に基づいて前記圧電素子を放電させ、かつ前記昇圧回路による前記圧電素子への充電を制止する充電制止回路を具備する。
【００１０】
本発明の主要な局面に係る液滴塗布装置は、上記圧電素子駆動回路と、前記圧電素子駆動回路によって駆動される圧電素子を備えた塗布ヘッドと、基板を支持するステージと、前記塗布ヘッドと前記ステージとを前記ステージに支持された基板の表面に沿って相対移動させる移動装置とを備えた。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、圧電素子の充電を精度良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る圧電素子駆動回路の第１の実施の形態を適用した液滴塗布装置を示す外観構成図。
【図２】同装置に設けられる圧電素子駆動回路を示す構成図。
【図３】同駆動回路の動作タイミング図。
【図４】本発明に係る圧電素子駆動回路の第２の実施の形態を示す構成図。
【図５】従来の圧電素子駆動回路を示す構成図。
【図６】同駆動回路の動作タイミング図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１は圧電素子駆動回路を適用したインクジェット方式の液滴塗布装置１の外観構成図を示す。この液滴塗布装置１は、例えば液晶表示パネルの製造装置に用いられ、塗布対象物として液晶表示パネル製造用のガラス基板Ｋに塗布液等の液体（液滴）を塗布するのに用いられる。この液滴塗布装置１は、例えば液晶表示パネルの製造装置に限らず、液体を塗布するものであれば、他の装置にも適用できる。
【００１５】
この液滴塗布装置１は、ステージ２と、回転機構(不図示)と、Ｙ軸移動機構３と、複数の塗布ヘッド４と、支持部材５と、制御部６と、架台７とを備える。ステージ２は、ガラス基板Ｋを水平状態、すなわちＸ軸方向とＸ軸方向に直交するＹ軸方向とに沿う状態で載置する。回転機構は、ステージ２をθ方向、すなわちＸ軸方向及びＹ軸方向を含む平面内の回転方向に回転させる。Ｙ軸移動機構３は、架台７上に設けられ、回転機構を介してステージ２をＹ軸方向に移動させる。複数の塗布ヘッド４は、それぞれステージ２上のガラス基板Ｋに向けて塗布液を複数の液滴として吐出する。支持部材５は、門型に形成され、Ｙ軸移動機構３を跨いで架台７上に設けられ、各塗布ヘッド４をそれぞれ支持する。制御部６は、上記各部、すなわちステージ２や回転機構、Ｙ軸移動機構３、複数の塗布ヘッド４等をそれぞれ制御する。
【００１６】
具体的に説明すると、ステージ２は、回転機構上に載置され、この回転機構によりθ方向に回転可能に設けられている。なお、ステージ２は、当該ステージ２上にガラス基板Ｋをその自重により載置するものに限らず、例えばガラス基板Ｋを保持するために静電チャックや吸着チャック等の保持機構を設けるようにしてもよく、又は、ガラス基板Ｋを支持する複数の支持ピン等を設け、これら支持ピン等をステージ２上に出没可能に設けてもよい。
【００１７】
回転機構は、Ｙ軸移動機構３上に載置され、ステージ２と共にＹ軸移動機構３によりＹ軸方向に移動可能に設けられている。この回転機構は、制御部６に電気的に接続され、当該制御部６により駆動制御される。この回転機構としては、例えばモータを駆動源とする回転機構等を用いる。  
Ｙ軸移動機構３は、架台７上に載置され、回転機構をステージ２と共にＹ軸方向に案内して移動させる。このＹ軸移動機構３は、制御部６に電気的に接続され、当該制御部６により駆動制御される。このＹ軸移動機構３は、例えばリニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。
【００１８】
各塗布ヘッド４は、門型の支持部材５における梁部にＸ軸方向に沿って、例えば直線状又は千鳥状に配設されている。これら塗布ヘッド４は、それぞれ液滴を吐出する複数の吐出孔と、これら吐出孔にそれぞれ連通する複数の液室と、これら液室の容積をそれぞれ可変する複数の圧電素子、ここでは例えば図２に示すように２つの圧電素子Ｐ１、Ｐ２とを各々内蔵している。各吐出孔は、塗布ヘッド４の吐出面に所定のピッチ（間隔）で直線状に並べて形成されている。これら吐出孔の数は、通常数十個から数百個程度である。各吐出孔の直径は、数μｍから数十μｍ程度である。吐出孔のピッチは、数十μｍから数百μｍ程度である。各塗布ヘッド４は、それぞれ制御部６に電気的に接続され、この制御部６によって駆動制御される。
【００１９】
各塗布ヘッド４は、例えば各圧電素子Ｐ１、Ｐ２に対する充放電が行われると、このときの各圧電素子Ｐ１、Ｐ２の収縮・復元により各液室の容積を変化させ、これら液室内の塗布液を各吐出孔から液滴として吐出する。
【００２０】
液晶表示パネルのガラス基板Ｋ上における配向膜形成用の塗布液は、当該塗布液を貯留する液体タンクからチューブ等を介して各塗布ヘッド４の各液室内に供給され、各液室を塗布液により満たす。なお、配向膜形成用の塗布液としては、例えばポリイミド（ＰＩ）溶液を用いる。この状態で、各圧電素子Ｐ１又はＰ２が駆動すると、当該駆動した圧電素子Ｐ１又はＰ２に対応する液室内の塗布液がその液室に連通する吐出孔から押し出され、液滴として各吐出孔から吐出される。
【００２１】
支持部材５は、各塗布ヘッド４を支持するもので、門型に形成されたコラムである。この支持部材５は、その梁部がＸ軸方向に沿うように設けられる。この支持部材５の脚部は、架台７の上面に固定されて設けられている。各塗布ヘッド４は、梁部の前面、すなわち図１中の手前側の面に設けられている。
【００２２】
制御部６は、架台７内に設けられ、上記各部、すなわちステージ２や回転機構、Ｙ軸移動機構３、複数の塗布ヘッド４等を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種プログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を有する。塗布情報は、例えばドットパターン等の所定の塗布パターン、塗布ヘッド４の吐出周波数及びガラス基板Ｋの移動速度に関する情報等を含む。
【００２３】
この制御部６は、塗布動作を行う場合、塗布情報に基づいて回転機構、Ｙ軸移動機構３及び各塗布ヘッド４等を動作制御する。  
制御部６は、塗布動作において、回転機構を制御し、ステージ２上のガラス基板Ｋを所望の向きに合わせる。この状態で、制御部６は、Ｙ軸移動機構３及び各塗布ヘッド４を制御し、Ｙ軸移動機構３により各塗布ヘッド４とステージ２上のガラス基板Ｋとを相対移動させながら各塗布ヘッド４を動作制御してステージ２上のガラス基板Ｋに各液滴を塗布し、このガラス基板Ｋ上に複数の配向膜を形成する。これら配向膜は、多面取りを目的としてガラス基板Ｋに設けられた複数の表示領域上にそれぞれ形成される。
【００２４】
図２はインクジェット方式の液滴塗布装置１に設けられる圧電素子駆動回路ＳＤの構成図を示す。なお、図５と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。  
制御ユニット１０は、例えばＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）であって、例えば図示しない上位のＣＰＵからのガラス基板Ｋの塗布データ等に基づいて昇圧信号ＣＰと、吐出信号（ファイヤーパルス）ＦＰとを出力する。このうち制御ユニット１０から昇圧信号ＣＰを出力する昇圧信号ラインＳＬは、充電用トランジスタＱ１のゲートに接続され、当該制御ユニット１０から出力される昇圧信号ＣＰは、昇圧信号ラインＳＬを通って充電用トランジスタＱ１のゲートのみに送られる。又、制御ユニット１０から吐出信号ＦＰを出力するラインは、放電用トランジスタＱ２のゲートと充電制止回路１１とに接続され、当該制御ユニット１０から出力される吐出信号ＦＰは、放電用トランジスタＱ２のゲートと充電制止回路１１とに送られる。
【００２５】
この充電制止回路１１は、制御ユニット１０における吐出信号ＦＰの出力端と電流供給用トランジスタＱ０のベースとの間に接続され、圧電素子ＰＺＴを放電させるための吐出信号ＦＰ（制御信号）に基づいて圧電素子ＰＺＴを放電させ、かつ昇圧回路１２すなわち直流電源ＰＳに接続された電流供給用トランジスタＱ０と、一端が電流供給用トランジスタＱ０に接続されると共に他端が圧電素子ＰＺＴに接続されたコイルＬ１と、ダイオードＤ１と、圧電素子ＰＺＴに並列接続された充電用トランジスタＱ１とから成る昇圧回路１２による圧電素子ＰＺＴへの充電を制止する。この充電制止回路１１は、圧電素子ＰＺＴを放電させる吐出信号ＦＰに基づいて電流供給用トランジスタＱ０を開き、圧電素子ＰＺＴを放電させる期間中、コイＬ１ルへの充電（通電）を断つ。この充電制止回路１１は、例えば２つの反転回路Ｆ１、Ｆ２を直列接続してなる。
【００２６】
上記制御ユニット１０には、吐出信号用ラインＨＬが接続され、この吐出信号用ラインＨＬが当該充電制止回路１１に接続され、かつ放電用トランジスタＱ２のゲートに接続されている。これにより、制御ユニット１０から出力される吐出信号ＦＰは、吐出信号用ラインＨＬを通って充電制止回路１１に送られ、かつ放電用トランジスタＱ２のゲートに送られる。
【００２７】
圧電素子ＰＺＴには、放電用トランジスタＱ２が並列接続されている。
【００２８】
次に、上記の如く構成された駆動回路の動作について説明する。
【００２９】
図３に示すように吐出信号ＦＰがローレベルにあるとき、この吐出信号ＦＰは、充電制止回路１１を通って電流供給用トランジスタＱ０に入力すると共に放電用トランジスタＱ２に入力する。これにより、放電用トランジスタＱ２は開く（非導通）と共に、電流供給用トランジスタＱ０は閉じる。この吐出信号ＦＰが、ローレベルにある期間中は電流供給用トランジスタＱ０が閉じているので、この期間中に、充電用トランジスタＱ１を閉じると、コイルＬ１に電流が流れて充電され、その後、充電用トランジスタＱ１を開くとコイルＬ１からダイオードＤ１を通して圧電素子ＰＺＴに電流が流れ、この圧電素子ＰＺＴは充電されてその充電電圧Ｖｐｚｔが上昇する。
【００３０】
吐出信号ＦＰがハイレベルになると、このハイレベルに立ち上がった時に、放電用トランジスタＱ２が閉じる（導通する）ので、この時点に圧電素子ＰＺＴは、放電し、その充電電圧Ｖｐｚｔは急激に下降する。  
この吐出信号ＦＰがハイレベルになった時点で、電流供給用トランジスタＱ０のベースには、充電制止回路１１を通って吐出信号ＦＰが入力するので、当該電流供給用トランジスタＱ０は開く。この電流供給用トランジスタＱ０が開くことにより、直流電源ＰＳとコイルＬ１との間は、開放され、直流電源ＰＳから出力される電流は、コイルＬ１に流れることがない。この電流供給用トランジスタＱ０の開動作は、吐出信号ＦＰがハイレベルの間、維持される。
【００３１】
この結果、圧電素子ＰＺＴが放電しているとき（放電用トランジスタＱ２が閉じている期間中において充電電圧Ｖｐｚｔが０になった後も含む）に、コイルＬ１が充電されることが防止され、そのため、充電用トランジスタＱ１を閉じてコイルＬ１の充電を行うときには、コイルＬ１は充電されておらず、充電用トランジスタＱ１を閉じている期間分の充電が行われる。そのため、圧電素子ＰＺＴが所望の充電電圧Ｖｐｚｔよりも多く充電されることが防止され、圧電素子ＰＺＴの充電を精度良く行うことができ、その結果、圧電素子ＰＺＴの駆動によって吐出される液滴を所望の吐出量で精度良く吐出させることが可能となり、この液滴の塗布によって形成されるポリイミド膜を所望の膜厚で均一に形成することが可能となる。
【００３２】
このように上記第１の実施の形態によれば、圧電素子ＰＺＴが放電しているとき、つまり、放電用トランジスタＱ２が閉じている期間中に、直流電源ＰＳから電流供給用トランジスタＱ０を通してコイルＬ１に電流が流れようとしても、吐出信号ＦＰがハイレベルになった時点で電流供給用トランジスタＱ０は開き、この開状態は吐出信号ＦＰがハイレベルの期間中維持されるので、コイルＬ１に電流が流れて充電されることがなく、圧電素子ＰＺＴの充電を精度良く行うことができる。
【００３３】
制御ユニット１０は、放電用トランジスタＱ２の閉動作中に電流供給用トランジスタＱ０を開状態とするために吐出信号ＦＰのみを出力すればよいので、吐出信号ＦＰと昇圧信号ＣＰとの各信号レベルを確認しながら出力するような負担がなくなる。
【００３４】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。  
図４は圧電素子駆動回路の第２の実施の形態を示す構成図を示す。なお、図２と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。  
充電制御回路２０は、圧電素子ＰＺＴの充電電圧を検出し、この検出した充電電圧と予め設定された目標電圧とを比較し、当該比較結果に応じて昇圧回路１２による圧電素子ＰＺＴへの充電を制御する。この充電制御回路２０は、アッテネータＡＴＴと、コントローラＣtrlとを有する。
【００３５】
アッテネータＡＴＴは、放電用トランジスタＱ２のドレインに接続され、圧電素子ＰＺＴに印加される充電電圧を検出し、この検出充電電圧をフィードバックしてコントローラＣtrlに入力する。  
このコントローラＣtrlは、圧電素子ＰＺＴの充電電圧を制御するための目標電圧が予め設定され、フィードバックされた検出充電電圧と目標電圧とを比較し、この比較に応じて充電用トランジスタＱ１を開閉する制御信号を当該充電用トランジスタＱ１のゲートに出力する。
【００３６】
このコントローラＣtrlは、フィードバックされた検出充電電圧と目標電圧との比較の結果、検出充電電圧が目標電圧よりも低ければ、充電用トランジスタＱ１を開閉する制御信号を当該充電用トランジスタＱ１に出力して圧電素子ＰＺＴを充電させ、一方、検出充電電圧が目標電圧に達すれば、充電用トランジスタＱ１を開く制御信号を当該充電用トランジスタＱ１に出力して圧電素子ＰＺＴへの充電を止め、圧電素子ＰＺＴの充電電圧を目標電圧に制御する。
【００３７】
次に、上記の如く構成された駆動回路の動作について説明する。
【００３８】
吐出信号ＦＰがローレベルにあるとき、第１の実施の形態と同様に、放電用トランジスタＱ２は開くと共に、電流供給用トランジスタＱ０は閉じるので、圧電素子ＰＺＴは充電されてその充電電圧Ｖｐｚｔが上昇する。
【００３９】
吐出信号ＦＰがハイレベルになった時、放電用トランジスタＱ２が閉じるので、圧電素子ＰＺＴは、放電し、その充電電圧Ｖｐｚｔは急激に下降する。このとき、電流供給用トランジスタＱ０が開くので、直流電源ＰＳとコイルＬ１との間は、開放され、直流電源ＰＳから出力される電流は、コイルＬ１に流れることがない。
【００４０】
一方、アッテネータＡＴＴは、圧電素子ＰＺＴに印加される充電電圧を検出し、この検出充電電圧をフィードバックしてコントローラＣtrlに入力する。
【００４１】
このコントローラＣtrlは、フィードバックされた検出充電電圧と目標電圧とを比較し、この比較に応じて充電用トランジスタＱ１を開閉する制御信号を当該充電用トランジスタＱ１のゲートに出力する。例えば、検出充電電圧が目標電圧よりも低ければ、コントローラＣtrlは、充電用トランジスタＱ１を開閉する制御信号を当該充電用トランジスタＱ１に出力して圧電素子ＰＺＴを充電させる。一方、検出充電電圧が目標電圧に達すれば、コントローラＣtrlは、充電用トランジスタＱ１を開く制御信号を当該充電用トランジスタＱ１に出力して圧電素子ＰＺＴへの充電を止める。これにより、圧電素子ＰＺＴの充電電圧は、目標電圧に制御される。
【００４２】
又、吐出信号ＦＰがハイレベルの期間中、放電用トランジスタＱ２が閉じ、かつ電流供給用トランジスタＱ０が開くので、このときに例えば充電用トランジスタＱ１が閉じたとしても、コイルＬ１には、電流が流れないので、当該コイルＬ１を充電することがない。
【００４３】
このように上記第２の実施の形態によれば、上記第１の実施の形態と同様の作用効果が得られるうえ、さらに、充電制御回路２０によって圧電素子ＰＺＴの充電電圧を検出し、この充電電圧と予め設定された目標電圧との比較結果に応じて圧電素子ＰＺＴへの充電を制御するので、圧電素子ＰＺＴの充電電圧を目標電圧に制御できる。
【００４４】
また、圧電素子ＰＺＴに並列接続された放電用トランジスタＱ２を有する放電回路と、直流電源ＰＳに接続された電流供給用トランジスタＱ０と、一端が電流供給用トランジスタＱ０に接続されると共に他端が圧電素子ＰＺＴに接続されたコイルＬ１と、ダイオードＤ１と、圧電素子ＰＺＴに並列接続された充電用トランジスタＱ１とから成る昇圧回路１２とは、それぞれ独立した回路を形成しているので、同一の回路基板で形成する必要がなく、回路基板を分離することが可能である。
【００４５】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１：液滴塗布装置、ＳＤ：圧電素子駆動回路、Ｋ：ガラス基板、２：ステージ、３：Ｙ軸移動機構、４：塗布ヘッド、５：支持部材、６：制御部、７：架台、ＰＺＴ：圧電素子、１０：制御ユニット、１１：充電制止回路、１２：昇圧回路、Ｆ１，Ｆ２：反転回路、２０：充電制御回路、ＡＴＴ：アッテネータ、Ｃtrl：コントローラ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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