(57)【要約】【課題】ドローイングマシンの経糸引き通し部材による経糸引取りミスを低減する。【解決手段】経糸引き通し部材１０の最前進位置におけるバンドホイール１６とガイド７の間のグリッパーバンド１８に第１被検出体２３を設け、第１被検出体２３と対向する第１センサー２６を設置する。経糸引き通し部材１０の最後退位置におけるバンドホイール１６とガイド６の間のグリッパーバンド１８に第２被検出体２４を設け、第２被検出体２４と対向する第２センサー２７を設置する。制御装置２２は、第１センサー２６の検出信号により経糸引き通し部材１０の最前進位置到達を認識し、モータ１５に逆転指令を発信する。【選択図】図３
2015081384.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
経糸把持部を有するグリッパー及び前記グリッパーを結合したグリッパーバンドからなる経糸引き通し部材及び前記経糸引き通し部材を、経糸を把持する最前進位置とハーネスへの経糸引き通しを完了する最後退位置との間に往復移動するバンド駆動部材を備えたドローイングマシンにおいて、
前記経糸引き通し部材の前記グリッパーバンドに被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記被検出体を検出するセンサーを前記経糸引き通し部材の移動経路に向けて設置したことを特徴とするドローイングマシン。
【請求項２】
前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記第１被検出体を検出する第１センサーを設け、前記経糸引き通し部材の前記最後退位置における前記第２被検出体を検出する第２センサーを設けたことを特徴とする請求項１に記載のドローイングマシン。
【請求項３】
前記グリッパーバンドに単一の被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記単一の被検出体を検出する第１センサーを設け、前記経糸引き通し部材の前記最後退位置における前記単一の被検出体を検出する第２センサーを設けたことを特徴とする請求項１に記載のドローイングマシン。
【請求項４】
前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体を検出する単一のセンサーを設け、前記第１被検出体に前記経糸引き通し部材が前記最前進位置に到達したことを示す最前進位置検出信号形成部を設け、前記第２被検出体に前記経糸引き通し部材が前記最後退位置に到達したことを示す最後退位置検出信号形成部を設けたことを特徴とする請求項１に記載のドローイングマシン。
【請求項５】
前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体を検出する単一の近接センサーを設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体のいずれが前記単一の近接センサーに近接したかを前記経糸引き通し部材の移動方向により判別する判別手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載のドローイングマシン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、ヘルド、ドロッパー及びリード等のハーネスに経糸を引き通すドローイングマシンに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハーネスに経糸を機械的に引き通すドローイングマシンは、例えば、特許文献１に開示されている。特許文献１では、ドロッパー、ヘルド及びリードが配置された経糸引き通し位置にクランプグリッパーを結合したグリッパーバンドが配置され、クランプグリッパーの前進方向に多数の経糸を張架した経糸保持枠が配置されている。
【０００３】
グリッパーバンドは、モータによって往復回転するバンドホイールによって駆動され、経糸保持枠の経糸を把持する最前進位置とドロッパー、ヘルド及びリードへの経糸の引き通しを完了する最後退位置との間を往復移動される。また、クランプグリッパー及びグリッパーバンドは、経糸保持枠とドロッパーの間、ドロッパーとヘルドの間、ヘルドとリードの間及びリードよりも後退する側に配置された複数のチャネル状ガイドにより案内されて往復移動する。
【０００４】
また、経糸保持枠の経糸引取位置には、経糸が引き取られる毎に経糸の存在を確認するセンサーが設けられ、経糸の引取り動作を監視している。センサーは固定の相手部品と対になる弾力的なセンサーストラップで構成されている。センサーストラップは相手部品と重なり合っている。経糸保持枠の経糸のループがクランプグリッパーによって引き取られると、センサーストラップは経糸によって相手部品から離れる方向に移動される。センサーストラップの移動は誘導センサーによって検出され、クランプグリッパーによる経糸の引取りが確認される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表平４−５０５３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ドローイングマシンにおいて、経糸の引取りミスが生じる原因としては、例えば、バンドホイールを駆動するモータの脱調や、グリッパーバンドをフィード穴と噛合して往復移動するバンドホイールの歯飛び等により、グリッパーバンドがストローク不足を生じ、経糸の引取り位置にクランプグリッパーが到達できない場合である。
【０００７】
特許文献１に開示された技術では、経糸の引取り位置に経糸の引取りを監視するセンサーを設けているため、グリッパーバンドのストローク不足が発生した場合、経糸引取りミスとしてドローイングマシンを停止する。
【０００８】
本願発明は、ドローイングマシンの経糸引き通し部材による経糸引取りミスを低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１は、経糸把持部を有するグリッパー及び前記グリッパーを結合したグリッパーバンドからなる経糸引き通し部材及び前記経糸引き通し部材を、経糸を把持する最前進位置とハーネスへの経糸引き通しを完了する最後退位置との間に往復移動するバンド駆動部材を備えたドローイングマシンにおいて、前記経糸引き通し部材の前記グリッパーバンドに被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記被検出体を検出するセンサーを前記経糸引き通し部材の移動経路に向けて設置したことを特徴とする。
【００１０】
請求項１によれば、グリッパーが経糸の把持作用を行う最前進位置に到達したか否かを正確に検知することができ、経糸引き通し部材のストローク不足による経糸引取りミスを無くすことができる。
【００１１】
請求項２は、前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記第１被検出体を検出する第１センサーを設け、前記経糸引き通し部材の前記最後退位置における前記第２被検出体を検出する第２センサーを設けたことを特徴とする。請求項２によれば、グリッパー最後退位置であるスタート位置への到達と最前進位置である経糸把持位置への到達とを正確に確認しながら経糸の引き通し作業を行うことができ、ドローイングマシンの性能、品質及び信頼性を高めることができる。また、センサー及び被検出体からなる検知機構を簡素な構成で、廉価に製作することができる。
【００１２】
請求項３は、前記グリッパーバンドに単一の被検出体を設け、前記経糸引き通し部材の前記最前進位置における前記単一の被検出体を検出する第１センサーを設け、前記経糸引き通し部材の前記最後退位置における前記単一の被検出体を検出する第２センサーを設けたことを特徴とする。請求項３によれば、請求項２と同様に、正確な経糸の引き通し作業を行うことができるとともにドローイングマシンの性能、品質及び信頼性を高めることができる。また、構成を簡単にすることができる。
【００１３】
請求項４は、前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体を検出する単一のセンサーを設け、前記第１被検出体に前記経糸引き通し部材が前記最前進位置に到達したことを示す最前進位置検出信号形成部を設け、前記第２被検出体に前記経糸引き通し部材が前記最後退位置に到達したことを示す最後退位置検出信号形成部を設けたことを特徴とする。請求項４によれば、請求項２と同様に、正確な経糸の引き通し作業を行うことができるとともにドローイングマシンの性能、品質及び信頼性を高めることができる。
【００１４】
請求項５は、前記グリッパーバンドに第１被検出体及び第２被検出体を設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体を検出する単一の近接センサーを設け、前記第１被検出体及び前記第２被検出体のいずれが前記単一の近接センサーに近接したかを前記経糸引き通し部材の移動方向により判別する判別手段を設けたことを特徴とする。請求項５によれば、グリッパーのスタート位置への到達と経糸把持位置への到達とを正確に確認しながら経糸の引き通し作業を行うことができ、ドローイングマシンの性能、品質及び信頼性を高めることができる。また、構成を簡単にすることができる。
【発明の効果】
【００１５】
本願発明は、ドローイングマシンの経糸引き通し部材による経糸引取りミスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１の実施形態におけるドローイングマシンの概要を示す斜視図である。
【図２】経糸引き通し部材を示す一部省略正面図である。
【図３】経糸引き通し部材とバンド駆動部材の関係を示す一部断面平面図である。
【図４】第２の実施形態を示す経糸引き通し部材の一部省略正面図である。
【図５】第３の実施形態を示す経糸引き通し部材の一部省略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
（第１の実施形態）
第１の実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。なお、本願明細書においては、図１の左側を前方、右側を後方として説明する。図１において、ドローイングマシン１の前方側には、図示しないワープビームから引き出された多数の経糸Ｗを張架する経糸保持枠２が配置されている。経糸保持枠２の後方側には、複数の直線状に形成されたガイド３〜７及び湾曲状に形成されたガイド８が配列されている。ガイド３〜７は、経糸引き通し後における経糸Ｗの脱出のために外部に開放された断面凸状の溝９を有し、ガイド３〜８は、長尺の経糸引き通し部材１０の往復移動を案内する。
【００１８】
ガイド３とガイド４との間には、図示しない貯留部から搬送されたドロッパー１１が配置され、ガイド４とガイド５との間には、図示しない貯留部から搬送されたヘルド１２が配置され、ガイド５とガイド６との間には、リード１３が配置されている。なお、本実施形態において、ハーネスとは、ドロッパー１１、ヘルド１２及びリード１３の総称である。ガイド６とガイド７との間には、バンド駆動部材１４が配置されている。バンド駆動部材１４は、正逆回転可能なモータ１５及びモータ１５により正逆回転されるバンドホイール１６から構成されている。
【００１９】
経糸引き通し部材１０は、図２及び図３に示すように、グリッパー１７とグリッパー１７を端部に結合したグリッパーバンド１８から構成されている。なお、グリッパー１７は金属材で構成され、グリッパーバンド１８は繊維強化樹脂等の非金属材で構成されている。グリッパー１７には、先端側に経糸把持部１９が形成され、グリッパーバンド１８には、長手方向に多数の送り孔２０が一定のピッチで穿設されている。
【００２０】
バンドホイール１６の周面には、図３に示すように、グリッパーバンド１８の送り孔２０と同一ピッチで配置された多数の送り歯２１が形成されている。バンドホイール１６は、送り歯２１が送り孔２０に噛合するように配置され、バンドホイール１６の正転（矢印Ａ方向）又は逆転（矢印Ｂ方向）によりグリッパーバンド１８を前進（図３の左方向）又は後退（図３の右方向）させることができる。
【００２１】
モータ１５は、制御装置２２（図１参照）と電気的に接続され、制御装置２２からの予め設定された回転数の正転指令と逆転指令により駆動される。バンドホイール１６によって駆動される経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達すると、モータ１５の正転が終了する。また、経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達するとモータ１５の逆転が終了する。なお、経糸引き通し部材１０の最後退位置は、経糸引き通し部材１０の前進のためのスタート位置である。
【００２２】
経糸引き通し部材１０は、前進方向及び後退方向の往復移動時、ガイド３〜８により案内され、ドロッパー１１の糸孔、ヘルド１２の糸孔及びリード１３の隙間を通過することができる。また、経糸引き通し部材１０の最前進位置では、グリッパー１７が経糸保持枠２の端部に張架されている経糸Ｗ１を把持する位置に到達し、最後退位置では、ハーネス、即ちドロッパー１１、ヘルド１２及びリード１３への経糸Ｗ１の引き通しを完了した位置に到達する。
【００２３】
グリッパーバンド１８には、図２及び図３に示すように、第１被検出体２３及び第２被検出体２４が間隔を空けて設けられている。第１被検出体２３及び第２被検出体２４は、金属材で構成され、２つの突起部２５が送り孔２０に圧入されることによりグリッパーバンド１８に固定されている。
【００２４】
第１被検出体２３及び第２被検出体２４の設定位置の詳細について、以下に説明する。第１被検出体２３は、グリッパーバンド１８がバンドホイール１６の正転によって駆動され、経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達した時、バンドホイール１６とガイド７との間に位置するよう設定される。また、最前進位置にある第１被検出体２３と対向する位置に、第１センサー２６が経糸引き通し部材１０の移動経路に向けて設置されている。
【００２５】
第２被検出体２４は、グリッパーバンド１８がバンドホイール１６の逆転によって駆動され、経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達した時、バンドホイール１６とガイド６との間に位置するよう設定される。また、最後退位置にある第２被検出体２４と対向する位置に、第２センサー２７が経糸引き通し部材１０の移動経路に向けて設置されている。
【００２６】
第１センサー２６及び第２センサー２７は、誘導式近接センサーで構成されているが、他の静電容量式、磁気式等の近接センサー、反射式、透過式等の光電式センサーあるいは接触式センサーのいずれかを用いて構成しても良い。
【００２７】
第１センサー２６及び第２センサー２７は、制御装置２２と電気的に接続されている。第１センサー２６は第１被検出体２３と対向すると、検出信号を制御装置２２に送信し、制御装置２２は経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したことを認識する。第２センサー２７は第２被検出体２４と対向すると、検出信号を制御装置２２に送信し、制御装置２２は経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達したことを認識する。
【００２８】
ドローイングマシン１の運転開始時には、経糸引き通し部材１０が最後退位置にあり、第２センサー２７は第２被検出体２４を検出し、検出信号を制御装置２２に送信している。従って、制御装置２２は、経糸引き通し部材１０が最後退位置、即ち、スタート位置にあることを認識しており、運転開始指令の発信可能な状態にある。
【００２９】
制御装置２２の正転指令により、モータ１５が正転方向に回転すると、バンドホイール１６は図３の矢印Ａ方向に回転し、グリッパーバンド１８を前進方向に移動させる。経糸引き通し部材１０は、モータ１５の正転終了により、最前進位置に到達し、グリッパー１７の経糸把持部１９が経糸保持枠２の経糸Ｗ１を把持する。
【００３０】
第１センサー２６は対向する位置の第１被検出体２３を検出し、検出信号を制御装置２２に送信する。制御装置２２は第１センサー２６の検出信号を受信することにより、経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したことを認識し、モータ１５に逆転指令を発信する。
【００３１】
制御装置２２の逆転指令により、モータ１５が逆転方向に回転するため、バンドホイール１６は図３の矢印Ｂ方向に回転し、グリッパーバンド１８を後退方向に移動する。経糸引き通し部材１０は、グリッパー１７により把持された経糸Ｗ１をドロッパー１１、ヘルド１２の各糸孔及びリード１３の隙間に通しながら後退し、モータ１５の逆転終了により、最後退位置に到達して経糸Ｗ１の引き通しを完了する。
【００３２】
第２センサー２７は対向する位置の第２被検出体２４（図３の仮想線参照）を検出し、検出信号を制御装置２２に送信する。制御装置２２は、第２センサー２７の検出信号を受信することにより、経糸引き通し部材１０が最後退位置、即ち、スタート位置に到達したことを認識し、続くモータ１５への正転指令の発信に備えることができる。
【００３３】
第１の実施形態では、グリッパーバンド１８に第１被検出体２３を設け、第１センサー２６からの検出信号により経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したことを認識し、モータ１５に逆転指令を発信するため、経糸引き通し部材１０のストローク不足に起因する経糸Ｗ１の引取りミスを無くすことができる。また、グリッパーバンド１８に第２被検出体２４を設け、第２センサー２７による検出信号を得ることにより、経糸引き通し部材１０が最後退位置、即ち、スタート位置に存在することを確認してモータ１５の正転を開始することができる。このため、経糸引き通し部材１０の移動を正確に行うことができる。また、第１被検出体２３及び第２被検出体２４は、バンドホイール１６を挟んだ位置に設置され、経糸引き通し部材１０の往復移動時にバンドホイール１６を通過する必要が無いため、第１被検出体２３及び第２被検出体２４の形状や取付け位置の自由度を高めることができる。
【００３４】
（第２の実施形態）
図４は第２の実施形態を示したもので、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。第２の実施形態では、経糸引き通し部材１０のグリッパーバンド１８に単一の被検出体２８が固定されている。経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達した時の被検出体２８（図４の実線参照）と対向する位置に、第１センサー２９が経糸引き通し部材１０の移動経路に向けて設置されている。また、経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達した時の被検出体２８（図４の仮想線参照）と対向する位置に、第２センサー３０が経糸引き通し部材１０の移動経路に向けて設置されている。
【００３５】
従って、制御装置２２（図１参照）は、第１センサー２９から被検出体２８の検出信号を受信した時、経糸引き通し部材１０が最前進位置に正しく到達したことを確認することができる。また、制御装置２２は、第２センサー３０から被検出体２８の検出信号を受信した時、経糸引き通し部材１０が最後退位置、即ち、スタート位置に正しく到達したことを確認することができる。
【００３６】
なお、第２の実施形態では、被検出体２８がバンドホイール１６を前後方向に通過する構成であるため、グリッパーバンド１８に固定される被検出体２８は、バンドホイール１６の駆動に支障の無いように設けられている。例えば、図４の設置位置では、被検出体２８に送り孔２０（図２参照）を設ける構成が考えられる。また、バンドホイール１６の送り歯２１（図３参照）と対向しないグリッパーバンド１８の位置、例えば、グリッパーバンド１８の上端側、下端側あるいは送り孔２０の間等に設置する構成が考えられる。
【００３７】
第２の実施形態は、グリッパーバンド１８に単一の被検出体２８を設けた構成であるが、第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００３８】
（第３の実施形態）
図５は第３の実施形態を示したもので、第１の実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。第３の実施形態では、経糸引き通し部材１０のグリッパーバンド１８に第１被検出体３１及び第２被検出体３２を設けた構成である。第１被検出体３１及び第２被検出体３２には、それぞれに文字Ｘからなる最前進位置検出信号形成部及び文字Ｙから最後退位置検出信号形成部が設けられている。
【００３９】
経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達した時の第１被検出体３１と対向する位置には、センサーとして単一のイメージセンサー３３が経糸引き通し部材１０の移動経路に向けて設置されている。第２被検出体３２は、経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達した時、イメージセンサー３３と対向できるように、第１被検出体３１と間隔を空けてグリッパーバンド１８に設けられている。
【００４０】
イメージセンサー３３は、第１被検出体３１の文字Ｘを読み取ると、文字Ｘの検出信号を制御装置２２（図１参照）に送信する。制御装置２２では、文字Ｘの検出信号を受信することにより、経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したことを確認することができる。また、イメージセンサー３３が第２被検出体３２の文字Ｙを読み取り、制御装置２２に文字Ｙの検出信号を送信すると、制御装置２２では、経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達したことを確認することができる。
【００４１】
第３の実施形態の別例として、イメージセンサー３３を反射式あるいは透過式の光電センサーに代えることができる。投光器及び受光器を備えた反射式光電センサーでは、第１被検出体３１及び第２被検出体３２を反射率の異なる材料で構成する。この場合、第１被検出体の反射面が最前進位置検出信号形成部、第２被検出体の反射面が最後退位置検出信号形成部となる。従って、第１被検出体３１と第２被検出体３２とでは、受光器における受光量が異なり、制御装置２２は受光器からの受光量の違いにより、経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したか、あるいは最後退位置に到達したかを確認することができる。
【００４２】
投光器及び受光器を備えた透過式光電センサーでは、表示手段としての被検出信号形成部は、例えば、第１被検出体３１及び第２被検出体３２に形成（必要に応じ、グリッパーバンド１８側にも形成）した断面積の異なる貫通孔で構成する。この場合、第１被検出体の貫通孔が最前進位置検出信号形成部、第２被検出体の貫通孔が最後退位置検出信号形成部となる。従って、第１被検出体３１と第２被検出体３２とでは、受光器における受光量が異なり、制御装置２２は受光信号の違いにより、経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したか、あるいは最後退位置に到達したかを確認することができる。
【００４３】
第３の実施形態における他の別例として、イメージセンサー３３を誘導式、静電容量式、磁気式等の近接センサーで構成し、第１被検出体３１及び第２被検出体３２を金属材で構成する。また、経糸引き通し部材１０の移動方向検知部が設けられる。移動方向検知部は、例えば、モータ１５あるいはバンドホイール１６の回転方向を検出できるエンコーダ等により構成される。
【００４４】
制御装置２２は、移動方向検知部により経糸引き通し部材１０が前進中であることが判別されている状態で近接センサーが近接信号を出力した場合に経糸引き通し部材１０が最前進位置に到達したと確認するとともに、移動方向判別部により後退中であることが判別されている状態で近接センサーが近接信号を出力した場合に経糸引き通し部材１０が最後退位置に到達したと確認する。制御装置２２は、第１被検出体３１及び第２被検出体３２のいずれが単一の近接センサーに近接したかを経糸引き通し部材１０の移動方向により判別する判別手段を構成する。
【００４５】
第３の実施形態は、グリッパーバンド１８に設けた２つの被検出体（第１被検出体３１及び第２被検出体３２）に対し、単一のセンサーを設けた構成であるが、第１の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００４６】
本願発明は、前記した各実施形態の構成に限定されるものではなく、本願発明の趣旨の範囲内で種々の変更が可能であり、次のように実施することができる。
【００４７】
（１）第１の実施形態において、第１被検出体２３及び第２被検出体２４の形状や取付け位置を、第２の実施形態における被検出体２８のように構成しても良い。この構成によれば、第１被検出体２３及び第２被検出体２４は、バンドホイール１６を通過するグリッパーバンド１８の部分に設けることができ、グリッパーバンド１８に対する設置位置の自由度を高めることができる。
（２）第１の実施形態における第１被検出体２３及び第２被検出体２４、第２の実施形態における被検出体２８、第３の実施形態の他の別例における第１被検出体３１及び第２被検出体３２は、金属箔テープあるいは金属粉末により構成することができる。金属箔テープや金属粉末は、薄く形成することができるため、グリッパーバンド１８への設置の自由度を高めることができる。
【００４８】
（３）第１〜第３の実施形態において、バンド駆動部材１４は、経糸引き通し部材１０に連結したリンク機構により構成しても良い。
（４）第１〜第３の実施形態において、グリッパー１７を非金属材で構成し、グリッパーバンド１８を金属材で構成しても良い。この場合、第１の実施形態、第２の実施形態及び第３の実施形態の他の別例における各被検出体２３、２４、２８、３１、３２を非金属材で構成し、検出信号の途絶えた状態を制御装置２２で検出するように構成すると良い。
（５）第１〜第３の実施形態では、ドロッパー１１、ヘルド１２及びリード１３の全てのハーネスに経糸Ｗを引き通すドローイングマシン１を示して説明したが、１つ又は２つのハーネスに経糸Ｗを引き通すドローイングマシン１において実施することができる。
【符号の説明】
【００４９】
１  ドローイングマシン
２  経糸保持枠
３、４、５、６、７、８  ガイド
１０  経糸引き通し部材
１１  ドロッパー（ハーネス）
１２  ヘルド（ハーネス）
１３  リード（ハーネス）
１４  バンド駆動部材
１５  モータ
１６  バンドホイール
１７  グリッパー
１８  グリッパーバンド
２０  送り孔
２１  送り歯
２２  制御装置
２３、３１、３２  第１被検出体
２４  第２被検出体
２６、２９  第１センサー
２７、３０  第２センサー
２８  被検出体
３３  イメージセンサー
【図１】
2015081384.tif 000003
【図２】
2015081384.tif 000004
【図３】
2015081384.tif 000005
【図４】
2015081384.tif 000006
【図５】
2015081384.tif 000007