(57)【要約】【課題】高湿中や結露などの水滴が存在する場合において移動子の駆動力の低下を抑制することが可能な静電アクチュエータを提供する。【解決手段】静電アクチュエータは、基板と、基板上に設けられた電極とを有する固定子と、固定子の前記電極を有する面上に配置される移動子と、を備える。移動子は、樹脂基板と、樹脂基板の固定子側に設けられた多数の突状体と、を有する。多数の突状体に対向する固定子の面は、撥水処理されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に設けられた電極とを有する固定子と、前記固定子の前記電極を有する面上に配置される移動子と、を備えた静電アクチュエータにおいて、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板の固定子側に設けられた多数の突状体と、を有し、
前記多数の突状体に対向する前記固定子の面は、撥水処理されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記固定子は、前記基板上に設けられた前記電極を覆う接着層と、前記接着層上に設けられたカバーフィルムと、前記カバーフィルム上に設けられた潤滑層と、をさらに備え、
前記多数の突状体に対向する前記潤滑層の面は、撥水性を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記多数の突状体に対向する前記基板の面は、撥水処理されている
ことを特徴とする請求項１及び２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記多数の突状体に対向する前記カバーフィルムの面は、撥水処理されている
ことを特徴とする請求項２に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記固定子と対向しない前記移動子の前記樹脂基板の面は、撥水処理されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
前記移動子は、前記樹脂基板の固定子側に設けられた抵抗層をさらに有し、
前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
前記抵抗層は、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）で構成されていることを特徴とする請求項６に記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】
前記抵抗層の固定子側に設けられた前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側にカーボンビーズが混ぜられた防湿性樹脂である
ことを特徴とする請求項６に記載の静電アクチュエータ。  
【請求項９】
前記抵抗層の固定子側に設けられた前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側でカーボンビーズを接着する接着剤と、前記接着剤およびカーボンビーズを被覆する第１の撥水剤とを含む
ことを特徴とする請求項６に記載の静電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記移動子の前記樹脂基板の前記固定子と対向しない面に、絵柄が記載されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電極が設けられた固定子と、この固定子上に配置されるとともに、樹脂基板と、樹脂基板上に設けられた抵抗層とを有する移動子と、を備えた静電アクチュエータが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
このような静電アクチュエータは、固定子と移動子が平面的に張り付いた状態で動くため、そのままでは固定子と移動子の摩擦抵抗が大きくなる傾向がある。
【０００４】
そこで、従来の静電アクチュエータには、固定子の上面に絶縁性バインダによって固着された導電性ビーズを固定した凹凸面を設け、この凹凸面に対向する移動子の裏面に潤滑面を設けたものがある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
しかし、ビーズを含むインク（塗料）の印刷またはコーティングは、目詰まりし易く、また、ビーズ含有液体は凝集し、凹凸面にムラが出やすくなる。
【０００６】
そして、ビーズ含有量が少ない場合、凸部間隔が広くなり、フィルムのたわみにより、凹凸面と潤滑面が平面で接する面積が広くなる。一方、ビーズ含有量が多い場合、カールし易くまた接触する凸部が多くなり摩擦抵抗も大きくなる。
【０００７】
さらに、ビーズを固定する絶縁性バインダ（樹脂層）は、所定値よりも薄い場合、ビーズが脱落し易くなり、所定値よりも厚い場合、ビーズが覆われ凹凸面の所定の凹凸が形成されない。
【０００８】
すなわち、上記従来の静電アクチュエータでは、導電性ビーズを用いた凹凸面の面内における凹凸の均一性が低く、固定子と移動子との間の摩擦抵抗が局所的に大きくなる。
【０００９】
そして、既述のように、このような従来の静電アクチュエータにおいて、移動子の抵抗体は、樹脂基板を挟んで固定子と反対側に配置されている。
【００１０】
これにより、抵抗体が固定子と擦れて磨耗や劣化が生じるのを防ぐことができる。
【００１１】
しかし、この従来の静電アクチュエータでは、湿度の高い環境下で使用すると、外気に触れる面では水膜が生じその水膜が電気的遮蔽層となり移動子が駆動しにくくなる。また、結露した場合には水滴が表面に留まり、固定子と移動子との間に入り込み、固定子と移動子とが密着し摩擦が大きくなり移動子が動き難くなるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平１−１０１７９７号公報
【特許文献２】特開平９−１２１５６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、このような点を考慮してなされるものであり、高湿中や結露などの水滴が存在する場合において移動子の駆動力の低下を抑制することが可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の一態様に係る静電アクチュエータは、
基板と、前記基板上に設けられた電極とを有する固定子と、前記固定子の前記電極を有する面上に配置される移動子と、を備えた静電アクチュエータにおいて、
前記移動子は、樹脂基板と、前記樹脂基板の固定子側に設けられた多数の突状体と、を有し、
前記多数の突状体に対向する前記固定子の面は、撥水処理されていることを特徴とする。
【００１５】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記固定子は、前記基板上に設けられた前記電極を覆う接着層と、前記接着層上に設けられたカバーフィルムと、前記カバーフィルム上に設けられた潤滑層と、をさらに備え、
前記多数の突状体に対向する前記潤滑層の面は、撥水性を有するようにしてもよい。
【００１６】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記多数の突状体に対向する前記基板の面は、撥水処理されているようにしてもよい。
【００１７】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記多数の突状体に対向する前記カバーフィルムの面は、撥水処理されているようにしてもよい。
【００１８】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記固定子と対向しない前記移動子の前記樹脂基板の面は、撥水処理されているようにしてもよい。
【００１９】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記移動子は、前記樹脂基板の固定子側に設けられた抵抗層をさらに有し、
前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側に設けられているようにしてもよい。
【００２０】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記抵抗層は、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）で構成されているようにしてもよい。
【００２１】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記抵抗層の固定子側に設けられた前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側にカーボンビーズが混ぜられた防湿性樹脂であるようにしてもよい。  
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記抵抗層の固定子側に設けられた前記多数の突状体は、前記抵抗層の固定子側にカーボンビーズが混ぜられた防湿性樹脂であるようにしてもよい。
【００２２】
また、前記静電アクチュエータにおいて、
前記移動子の前記樹脂基板の前記固定子と対向しない面に、絵柄が記載されているようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る静電アクチュエータにおいて、移動子は、樹脂基板と、樹脂基板の固定子側に設けられた抵抗層と、抵抗層の固定子側に設けられた多数の突状体と、を有し、固定子の多数の突状体に対向する面に、潤滑層が形成されている。
【００２４】
これにより、湿度の高い環境下での使用であっても、移動子の駆動力が低下することを抑制でき、結露した場合であっても水滴が排除され駆動力の低下が抑制できる。
【００２５】
さらに、移動子に絵柄を印刷する用途の場合にも抵抗層が樹脂基板に覆われているため、印刷方式やインク材料の選定の自由度が大きくなる。
【００２６】
さらに、移動子の抵抗層が摺動構造体（マット層）を介して固定子と接触しており、磨耗や劣化の発生を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明による静電アクチュエータ１００の構成の一例を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す静電アクチュエータ１００を模式的に示す上面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った静電アクチュエータ１００の断面の一例を示す断面図である。
【図４】図４は、図３に示す領域Ｘに囲まれる摺動構造体１０４を含む領域を拡大した一例を示す断面図である。
【図５】図５は、図３に示す領域Ｘに囲まれる摺動構造体１０４を含む領域を拡大した他の例を示す断面図である。
【図６】図６は、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄの波形の一例を示す波形図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明による静電アクチュエータの実施の形態について図面に基づいて説明する。
図１は、本発明による静電アクチュエータ１００の構成の一例を示す斜視図である。また、図２は、図１に示す静電アクチュエータ１００を模式的に示す上面図である。また、図３は、図２のＡ−Ａ線に沿った静電アクチュエータ１００の断面の一例を示す断面図である。
【００２９】
なお、簡単のため、図２おいては、接着層１０３ａ、カバーフィルム１０３ｂ、摺動構造体１０４を省略している。
【００３０】
図１ないし図３に示すように、静電アクチュエータ１００は、一面１０２ａと他面１０２ｂとを有する基板１０２と、基板１０２の一面１０２ａに各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で配置された複数の線状電極１ａ〜１ｄと、を有する固定子１と、固定子１の線状電極１ａ〜１ｄ上に移動自在に配置された移動子２と、を備える。
【００３１】
なお、移動子２を駆動するための信号ａ〜ｄは、図示しない駆動回路から静電アクチュエータ１００に入力される。このとき、各信号ａ〜ｄは、バスライン１０１ａ〜１０１ｄ、スルーホール配線１ｂ２、１ｄ２、および、パッド電極１ｂ１、１ｄ１を介して、線状電極１ａ〜１ｄに、それぞれ印加される。
【００３２】
以下、固定子１について、さらに詳述する。上述のように、固定子１は、基板１０２と、この基板１０２の一面１０２ａに設けられた導電性を有する複数の線状電極１ａ〜１ｄとを備えている。
【００３３】
さらに、複数の線状電極１ａ〜１ｄの一側に（図２の左側）、複数の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに、線状電極１ａと線状電極１ｂに各々接続される第１のバスライン１０１ａと第２のバスライン１０１ｂが互いに平行に設けられている。
【００３４】
さらに、複数の線状電極１ａ〜１ｄの他側に（図２の右側）、複数の線状電極１ａ〜１ｄに直交する方向に延設するとともに線状電極１ｃと線状電極１ｄに各々接続される第３のバスライン１０１ｃと第４のバスライン１０１ｄとが互いに平行に設けられている。
【００３５】
また、基板１０２の一面１０２ａ上に設けられた複数の線状電極１ａ〜１ｄを覆って接着層１０３ａ、カバーフィルム１０３ｂが設けられ、さらにカバーフィルム１０３を覆って潤滑層１０５が設けられている。すなわち、カバーフィルム１０３ｂは、接着層１０３ａ上に設けられている。また、潤滑層１０５は、カバーフィルム１０３ｂ上に設けられている。
【００３６】
ところで、基板１０２は、例えば、２５μｍの厚さを有する。この基板１０２に用いられる素材としては、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特にポリイミドやPENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００３７】
また、上述のように、複数の線状電極１ａ〜１ｄは、基板１０２の一面１０２ａ上に各々独立して設けられ、互いに平行に等間隔で櫛歯状に繰り返し配置されている。この線状電極１ａ〜１ｄは、例えば、配線ピッチが０．３ｍｍ以下に設定され、また、この線状電極１ａ〜１ｄは、その厚さは、例えばポリイミド基板上に電極材としてCuを使用する場合は18μm程度、電極材としてＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を形成する場合では１，５００Å程度を有する（図２および図３参照）。
【００３８】
また、２本の第１、第２のバスライン１０１ａ、１０１ｂは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの一側（図２の左側）に、設けられている。
【００３９】
また、２本の第３、第４のバスライン１０１ｃ、１０１ｄは、各々帯状をなし、上述のように線状電極１ａ〜１ｄの他側（図２の右側）に、設けられている。
【００４０】
次に、図３により、固定子１の接着層１０３ａ、カバーフィルム１０３ｂ、および潤滑層１０５について詳述する。
図３に示すように、接着層１０３ａは、基板１０２上に複数の線状電極１ａ〜１ｄを覆うように設けられている。
【００４１】
また、カバーフィルム１０３ｂは、接着層１０３ａ上に設けられている。このカバーフィルム１０３に用いられる素材としては、例えば、ポリイミドが選択される。
【００４２】
また、潤滑層１０５は、カバーフィルム１０３ｂ上に設けられている。すなわち、多数の突状体１０４ｂに対向する固定子１の面に、潤滑層１０５を形成されている。この潤滑層１０５は、例えば、シリコーン樹脂からなる。
【００４３】
そして、多数の突状体１０４ｂに対向する固定子１の面は、撥水処理されている。例えば、シリコーン樹脂が塗布されている。すなわち、多数の突状体１０４ｂに対向する潤滑層１０５の面は、撥水性を有する。これにより、多数の突状体１０４ｂに対向する固定子１の面において、水滴が排除される。
【００４４】
これにより、多数の突状体１０４ｂに対向する固定子１の面において、電気的遮蔽層となる水膜の発生を防ぐことができる。
【００４５】
したがって、湿度の高い環境下での使用であっても、移動子２の駆動力が低下することを抑制でき、結露した場合であっても水滴が排除され駆動力の低下が抑制できる。
【００４６】
また、多数の突状体１０４ｂに対向する基板１０２の面は、撥水処理されている。例えば、パラフィンワックスが塗布されているようにしてもよい。これにより、基板１０２の面において、水滴が排除される。さらに、多数の突状体１０４ｂに対向するカバーフィルム１０３ｂの面は、撥水処理されている。例えば、シリコーン樹脂が塗布されているようにしてもよい。これにより、カバーフィルム１０３ｂの面において、水滴が排除される。
【００４７】
次に、移動子２について詳述する。ここで、図４は、図３に示す領域Ｘに囲まれる摺動構造体１０４を含む領域を拡大した一例を示す断面図である。
【００４８】
図１および図２に示すように、移動子２は、固定子１の電極（複数の線状電極１ａ〜１ｄ）を有する面上に配置されている。
【００４９】
この移動子２は、図３、図４に示すように、絶縁基材（樹脂基板）２ａと、樹脂基板２ａの固定子１側に設けられた抵抗層（抵抗体膜）２ｂと、この抵抗層２ｂの固定子１側（すなわち、樹脂基板２ａの固定子側）に設けられた多数の突状体１０４ｂを含む摺動構造体１０４と、を有する。
【００５０】
そして、移動子２の樹脂基板２ａの固定子１と対向しない面２ａ１には、絵柄が記載されている。
【００５１】
さらに、移動子２の樹脂基板２ａの固定子１と対向しない面２ａ１に、該絵柄を被覆するように第２の撥水剤が塗布されている。なお、この第２の撥水剤は、例えば、ＰＴＦＥ、フッ素樹脂誘導体、界面活性剤、ワックス、ジメシルロキサン、パラフィン系溶剤、または、乳化剤の何れかである。
【００５２】
また、樹脂基板２ａに用いられる素材としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＥＴ−Ｇ（テレフタル酸−シクロヘキサンジメタノール−エチレングリコール共重合体）、PEN（ポリエチレンナフレタート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＡ（ポリアミド）、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルフイド）、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、ポリスチレン系、ＡＢＳ、ポリアクリル酸エステル、ポリエチレン、ポリウレタン等が、選択される。特に、PETは安価であり、またPENは高耐熱性、高強度であり好ましい。
【００５３】
また、固定子１と対向しない移動子２の樹脂基板２ａの面２ａ１は、撥水処理されている。これにより、移動子２の耐湿性を向上することができる。
【００５４】
抵抗層２ｂは、上述のように、樹脂基板２ａ上に設けられ、この抵抗層２ｂは、例えば、１μｍ程度の厚さを有する。また、抵抗層２ｂは、例えば、１０11〜１０13Ω／□の範囲の表面抵抗値を有する。
【００５５】
この抵抗層２ｂは、例えば、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）で構成されている。
【００５６】
ここで、抵抗層２ｂの固定子１側にカーボンビーズ（導電性ビーズ）１０４ａが混ぜられた防湿性樹脂１０４ｃが塗布されることにより、多数の突状体１０４ｂが抵抗層２ｂの固定子１側に設けられる。
【００５７】
これにより、移動子２の固定子１側の面を滑りやすいマット状の形状にしつつ、移動子２の固定子１側の面に適度な放電特性を持たせることができる。
【００５８】
なお、既述の防湿性樹脂１０４ｃは、溶剤を含まない水系の樹脂（例えば、スチレンアクリル樹脂である）である。これにより、ＡＴＯへのダメージを低減することができる。
【００５９】
さらに、この防湿性樹脂１０４ｃには、第１の撥水剤が混ぜられている。なお、この第１の撥水剤は、例えば、パラフィンワックスである。これにより、電極と帯電面との間に、導電膜になる水の膜が形成されるのを抑制することができる。
【００６０】
既述のように、摺動構造体１０４は、防湿性樹脂１０４ｃとカーボンビーズ１０４ａで構成される多数の突状体１０４ｂを含み、固定子１の上面（潤滑層１０５）に対して摺動性を有する。
【００６１】
すなわち、移動子２の固定子１側の面には、移動子２の摺動性を高めるために、多数の突状体１０４ｂが設けられた摺動構造体１０４が形成されている。そして、摺動構造体１０４に対向する固定子１の面に、潤滑層１０５が形成されている。
【００６２】
これにより、固定子１と移動子２との間の接触面積が減少し、摩擦抵抗を低減することができる。
【００６３】
なお、カーボンビーズ１０４ａを接着剤で抵抗層２ｂに固定するようにしてもよい。ここで、図５は、図３に示す領域Ｘに囲まれる摺動構造体１０４を含む領域を拡大した他の例を示す断面図である。
【００６４】
図５に示すように、摺動構造体１０４は、接着剤１０４ｃ１、撥水剤１０４ｃ２、およびカーボンビーズ１０４ａで構成される多数の突状体１０４ｂを含み、固定子１の上面（潤滑層１０５）に対して摺動性を有する。
【００６５】
すなわち、抵抗層２ｂの固定子側にカーボンビーズ１０４ａを接着剤１０４ｃ１により接着し、接着剤１０４ｃ１およびカーボンビーズ１０４ａを被覆するように撥水剤１０４ｃ２が塗布されることにより、多数の突状体１０４ｂが抵抗層２ｂの固定子側に設けられる。これにより、容易に多数の突状体１０４ｂが抵抗層２ｂの固定子側に形成することができる。
【００６６】
この場合も、移動子２の固定子１側の面には、移動子２の摺動性を高めるために、多数の突状体１０４ｂが設けられた摺動構造体１０４が形成されている。そして、摺動構造体１０４に対向する固定子１の面に、潤滑層１０５が形成されている。
【００６７】
これにより、固定子１と移動子２との間の接触面積が減少し、摩擦抵抗を低減することができる。
【００６８】
以上のように、移動子２の固定子１側の面には、移動子２の摺動性を高めるために、多数の突状体１０４ｂが設けられた摺動構造体１０４が形成されている。これにより、固定子１と移動子２との間の接触面積が減少し、摩擦抵抗を低減することができる。
【００６９】
次に、以上のような構成を有する静電アクチュエータ１００の動作について説明する。
まず、図２に示すように、信号ａ〜ｄは、図示しない駆動回路から静電アクチュエータ１００に入力される。このとき、各信号ａ〜ｄは、バスライン１０１ａ〜１０１ｄ、スルーホール配線１ｂ２、１ｄ２、および、パッド電極１ｂ１、１ｄ１を介して、線状電極１ａ〜１ｄに、それぞれ印加される。
【００７０】
ここで、図６は、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄの波形の一例を示す波形図である。なお、図６では、信号ａ〜ｄが矩形波の場合について示しているが、信号ａ〜ｄが正弦波である場合も同様の位相関係になる。
【００７１】
図６に示すように、隣接する線状電極１ａ、１ｂに入力される２つの信号ａ、ｂは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｂ、１ｃに入力される２つの信号ｂ、ｃは、４分の１周期だけずれている。同様に、隣接する線状電極１ｃ、１ｄに入力される２つの信号ｃ、ｄは、４分の１周期だけずれている。
【００７２】
これにより、線状電極１ａと線状電極１ｃには、各々位相が半周期ずれた信号ａ、ｃが入力される。また、線状電極１ｂと線状電極１ｄには、各々位相が半周期ずれた信号ｂ、ｄが入力される。
【００７３】
この場合、移動子２の抵抗層２ｂが、線状電極１ａ〜１ｄに印加される信号ａ〜ｄに応じて帯電する。そして、信号ａ〜ｄの電圧が変化することにより、移動子２の帯電した部分が放電する前に、移動子２が固定子１上を線状電極１ａ〜１ｄに垂直な方向Ｙに、移動する（図２）。
【００７４】
ここで、既述のように、静電アクチュエータ１００において、移動子は、樹脂基板と、樹脂基板の固定子側に設けられた抵抗層と、抵抗層の固定子側に設けられた多数の突状体と、を有し、固定子の多数の突状体に対向する面に、潤滑層が形成されている。さらに、多数の突状体に対向する固定子の面は、撥水処理されている。
【００７５】
これにより、移動子と固定子との間の水滴が排除される。すなわち、湿度の高い環境下での使用であっても、移動子の駆動力が低下することを抑制でき、結露した場合であっても水滴が排除され駆動力の低下が抑制できる。
【００７６】
さらに、移動子２に絵柄を印刷する用途の場合にも抵抗層２ｂが樹脂基板２ａに覆われているため、印刷方式やインク材料の選定の自由度が大きくなる。
【００７７】
さらに、移動子２の抵抗層２ｂが摺動構造体（マット層）１０４を介して固定子と接触しており、磨耗や劣化の発生を低減できる。
【００７８】
また、固定子１と移動子２との間に空間が介在するため、固定子１と移動子２とが貼り付つきにくくなり、移動子２が動き易くなる。
【００７９】
また、例えば、湿度が高い場合、潤滑層１０５と摺動構造体１０４との間に隙間ができるため、水分により固定子１と移動子２とが貼り付くのを、抑制することができる。
【００８０】
また、長時間運転しても、突状体１０４ｂが導電性を有し放電するため、帯電（全体チャージアップ）しにくく、固定子と移動子とが貼り付きにくくなり、移動子が動き易くなる。
【００８１】
以上のように、本実施例に係る静電アクチュエータによれば、高湿中や結露などの水滴が存在する場合において移動子の駆動力の低下を抑制することができる。
【００８２】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００８３】
１  固定子
１ａ〜１ｄ  線状電極
１ｂ１、１ｄ１  パッド電極
１ｂ２、１ｄ２  スルーホール配線
２  移動子
２ａ  樹脂基板
２ｂ  抵抗層
１００  静電アクチュエータ
１０１ａ  第１のバスライン
１０１ｂ  第２のバスライン
１０１ｃ  第３のバスライン
１０１ｄ  第４のバスライン
１０２  基板
１０３ａ  接着層
１０３ｂ  カバーフィルム
１０４  摺動構造体
１０４ａ  カーボンビーズ
１０４ｂ  突状体
１０５  潤滑層
ａ〜ｄ  信号
【図１】
2015162938.tif 000003
【図２】
2015162938.tif 000004
【図３】
2015162938.tif 000005
【図４】
2015162938.tif 000006
【図５】
2015162938.tif 000007
【図６】
2015162938.tif 000008