(57)【要約】【課題】基板の位置決め固定と垂直方向の押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる基板固定装置、及び基板検査装置を提供する。【解決手段】基板１１０が対向配置される基台２と、基板１１０の第１辺と対向配置され、第１辺に当接するための第１当接面３１１を有する第１当接部材３１と、基板１１０の第２辺と対向配置され、第２辺に当接するための第２当接面３２１を有する第２当接部材３２と、基板１１０から離間した離間姿勢と、離間姿勢から下方に移動することにより、配置面に配置された基板を配置面に向かって押圧する押圧姿勢に姿勢変更可能な第１押圧部材４１，第２押圧部材４２と、第１当接部材３１と第２当接部材３２とを、第１平面方向Ｘに沿って互いに接近するように相対移動させつつ、第１押圧部材４１，第２押圧部材４２を離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更させる第１駆動部６１，第２駆動部６２とを備えた。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１辺と、前記第１辺と対向する第２辺とを有する基板を固定するための基板固定装置であって、
前記基板が対向配置される配置面を有する基台と、
前記配置面に配置された基板の前記第１辺と対向配置され、前記第１辺に当接するための第１当接面を有する第１当接部材と、
前記配置面に配置された基板の前記第２辺と対向配置され、前記第２辺に当接するための第２当接面を有する第２当接部材と、
前記基板から離間した離間姿勢と、前記離間姿勢から前記配置面と交差する交差方向に移動することにより、前記配置面に配置された基板を前記配置面に向かって押圧する押圧姿勢に姿勢変更可能な押圧部材と、
前記第１当接部材と前記第２当接部材とを、前記第１辺及び前記第２辺と交差する第１平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させつつ、前記押圧部材を前記離間姿勢から前記押圧姿勢に姿勢変更させる駆動部とを備える基板固定装置。
【請求項２】
前記相対移動に伴い前記第１当接面と前記第２当接面とが共に前記基板に接する状態になるタイミングと、前記押圧部材が前記基板に当接するタイミングとが、略同時である請求項１記載の基板固定装置。
【請求項３】
前記押圧部材は、
前記相対移動に伴い前記第１当接面と前記第１辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第１押圧部材と、
前記相対移動に伴い前記第２当接面と前記第２辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第２押圧部材とを含む請求項１又は２記載の基板固定装置。
【請求項４】
前記第１当接部材は、
前記配置面と平行な板状の形状を有する第１板状部と、
前記第１板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第１板状部の前記第１平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第１平面方向に沿って延びる第１突条とを含み、
前記第１押圧部材は、
前記押圧姿勢において、前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第１基部と、
前記二つの第１基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第１押圧突起とを含み、
前記二つの第１基部の前記第１板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第１突条の頂部よりも前記第１板状部に近い位置に位置し、
前記第２当接部材は、
前記配置面と平行な板状の形状を有する第２板状部と、
前記第２板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第２板状部の前記第１平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第１平面方向に沿って延びる第２突条とを含み、
前記第２押圧部材は、
前記押圧姿勢において、前記第２板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第２基部と、
前記二つの第２基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第２押圧突起とを含み、
前記二つの第２基部の前記第２板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第２突条の頂部よりも前記第２板状部に近い位置に位置する請求項３記載の基板固定装置。
【請求項５】
前記基板は、
前記第１辺と交差する方向に延びる第３辺と、
前記第３辺と対向する第４辺とを有し、
前記配置面に配置された基板の前記第３辺と対向配置される第３当接部材と、
前記配置面に配置された基板の前記第４辺と対向配置される第４当接部材とを有し、
前記駆動部は、
前記第１当接部材と前記第２当接部材とを前記相対移動させつつ、前記第３当接部材と前記第４当接部材とを、前記第１平面方向と交差する第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させる請求項３又は４に記載の基板固定装置。
【請求項６】
前記相対移動に伴い前記第３当接部材と前記第４当接部材とが共に前記基板に接する状態になるタイミングと、前記押圧部材が前記基板に当接するタイミングとが、略同時である請求項５記載の基板固定装置。
【請求項７】
前記押圧部材は、
前記相対移動に伴い前記第３当接面と前記第３辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第３押圧部材と、
前記相対移動に伴い前記第４当接面と前記第４辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第４押圧部材とを含む請求項５又は６記載の基板固定装置。
【請求項８】
前記第３当接部材は、
前記配置面と平行な板状の形状を有する第３板状部と、
前記第３板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第３板状部の前記第２平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第２平面方向に沿って延びる第３突条とを含み、
前記第３押圧部材は、
前記押圧姿勢において、前記第３板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第３基部と、
前記二つの第３基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第３押圧突起とを含み、
前記二つの第３基部の前記第３板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第３突条の頂部よりも前記第３板状部に近い位置に位置し、
前記第４当接部材は、
前記配置面と平行な板状の形状を有する第４板状部と、
前記第４板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第４板状部の前記第２平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第２平面方向に沿って延びる第４突条とを含み、
前記第４押圧部材は、
前記押圧姿勢において、前記第４板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第４基部と、
前記二つの第４基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第４押圧突起とを含み、
前記二つの第４基部の前記第４板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第４突条の頂部よりも前記第４板状部に近い位置に位置する請求項７記載の基板固定装置。
【請求項９】
前記基板は、
前記第１辺と交差する方向に延びる第３辺と、
前記第３辺と対向する第４辺とを有し、
前記配置面に配置された基板の前記第３辺と対向配置される第３当接部材と、
前記配置面に配置された基板の前記第４辺と対向配置される第４当接部材とを有し、
前記駆動部は、
前記第１当接部材と前記第２当接部材とを前記相対移動させつつ、前記第３当接部材と前記第４当接部材とを、前記第１平面方向と交差する第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させる請求項１又は２に記載の基板固定装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の基板固定装置と、
前記基板固定装置により保持された基板を検査する検査部とを備える基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を所定の位置に押圧する基板固定装置、及びその基板固定装置により保持された基板を検査する基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板の検査を行う際には、予め定められた位置に基板を固定してから検査を行っている。基板の位置を固定するために、基板の対向２角それぞれを密着支持する二つのコーナー支持片を相互に近接方向に付勢することで基板を所定の検査位置に挟持し、この基板を上方から押圧することで基板を受け部に密着させる技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−３２４０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の技術では、基板をコーナー支持片で挟み込んで検査位置に固定した状態で、基板に対して垂直方向に押圧するので、基板にストレスが加わるという不都合があった。
【０００５】
本発明の目的は、基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる基板固定装置、及び基板検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る基板固定装置は、第１辺と、前記第１辺と対向する第２辺とを有する基板を固定するための基板固定装置であって、前記基板が対向配置される配置面を有する基台と、前記配置面に配置された基板の前記第１辺と対向配置され、前記第１辺に当接するための第１当接面を有する第１当接部材と、前記配置面に配置された基板の前記第２辺と対向配置され、前記第２辺に当接するための第２当接面を有する第２当接部材と、前記基板から離間した離間姿勢と、前記離間姿勢から前記配置面と交差する交差方向に移動することにより、前記配置面に配置された基板を前記配置面に向かって押圧する押圧姿勢に姿勢変更可能な押圧部材と、前記第１当接部材と前記第２当接部材とを、前記第１辺及び前記第２辺と交差する第１平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させつつ、前記押圧部材を前記離間姿勢から前記押圧姿勢に姿勢変更させる駆動部とを備える。
【０００７】
この構成によれば、第１当接部材と第２当接部材とが、第１平面方向に沿って互いに接近するように相対移動することにより、間に挟まれる基板の位置が位置決めされる。また、押圧部材が離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更されることにより、基板が載置面に押圧される。このとき、駆動部は、第１当接部材と第２当接部材とを相対移動させつつ、押圧部材を離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更させるので、基板の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する結果、基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【０００８】
また、前記相対移動に伴い前記第１当接面と前記第２当接面とが共に前記基板に接する状態になるタイミングと、前記押圧部材が前記基板に当接するタイミングとが、略同時であることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、基板の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する精度が向上する結果、基板に加わるストレスを低減できる確実性が向上する。
【００１０】
また、前記押圧部材は、前記相対移動に伴い前記第１当接面と前記第１辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第１押圧部材と、前記相対移動に伴い前記第２当接面と前記第２辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第２押圧部材とを含むことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、第１押圧部材と第２押圧部材とによって、基板の両端部付近で基板が配置面に向けて押圧されるので、基板が反り返っているような場合であっても、基板を配置面に密着させるように押圧することができる。
【００１２】
また、前記第１当接部材は、前記配置面と平行な板状の形状を有する第１板状部と、前記第１板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第１板状部の前記第１平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第１平面方向に沿って延びる第１突条とを含み、前記第１押圧部材は、前記押圧姿勢において、前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第１基部と、前記二つの第１基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第１押圧突起とを含み、前記二つの第１基部の前記第１板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第１突条の頂部よりも前記第１板状部に近い位置に位置し、前記第２当接部材は、前記配置面と平行な板状の形状を有する第２板状部と、前記第２板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第２板状部の前記第１平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第１平面方向に沿って延びる第２突条とを含み、前記第２押圧部材は、前記押圧姿勢において、前記第２板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第２基部と、前記二つの第２基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第２押圧突起とを含み、前記二つの第２基部の前記第２板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第２突条の頂部よりも前記第２板状部に近い位置に位置することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、基板が反り返っているような場合であっても、第１突条及び第２突条によって、基板をその平面方向に押圧して位置決めすることができる。かつ、第１突条及び第２突条を備えることによって、第１板状部及び第２板状部の厚みを小さくしても反り返った基板を第１突条及び第２突条によって位置決めさせることができる。そして、第１板状部及び第２板状部の厚みを小さくすれば、第１及び第２基部が、第１及び第２板状部と干渉するおそれが低減される。
【００１４】
また、前記基板は、前記第１辺と交差する方向に延びる第３辺と、前記第３辺と対向する第４辺とを有し、前記配置面に配置された基板の前記第３辺と対向配置される第３当接部材と、前記配置面に配置された基板の前記第４辺と対向配置される第４当接部材とを有し、前記駆動部は、前記第１当接部材と前記第２当接部材とを前記相対移動させつつ、前記第３当接部材と前記第４当接部材とを、前記第１平面方向と交差する第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、第１当接部材と第２当接部材とが、第１平面方向に沿って互いに接近するように相対移動し、かつ第３当接部材と第４当接部材とが、第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動することにより、間に挟まれる基板の位置が位置決めされる。これにより、第１及び第２平面方向に対して、基板を位置決めすることができる。また、押圧部材が離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更されることにより、基板が載置面に押圧される。このとき、駆動部は、第１当接部材及び第２当接部材と、第３当接部材及び第４当接部材とをそれぞれ相対移動させつつ、押圧部材を離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更させるので、基板の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する結果、基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【００１６】
また、前記相対移動に伴い前記第３当接部材と前記第４当接部材とが共に前記基板に接する状態になるタイミングと、前記押圧部材が前記基板に当接するタイミングとが、略同時であることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、基板の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する精度が向上する結果、基板に加わるストレスを低減できる確実性が向上する。
【００１８】
また、前記押圧部材は、前記相対移動に伴い前記第３当接面と前記第３辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第３押圧部材と、前記相対移動に伴い前記第４当接面と前記第４辺とが当接する位置の近傍で前記押圧姿勢をとる第４押圧部材とを含むことが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、第１押圧部材、第２押圧部材、第３押圧部材、及び第４押圧部材によって、基板の四辺端部付近で基板が配置面に向けて押圧されるので、基板が反り返っているような場合であっても、基板を配置面に密着させるように押圧することができる。
【００２０】
また、前記第３当接部材は、前記配置面と平行な板状の形状を有する第３板状部と、前記第３板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第３板状部の前記第２平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第２平面方向に沿って延びる第３突条とを含み、前記第３押圧部材は、前記押圧姿勢において、前記第３板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第３基部と、前記二つの第３基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第３押圧突起とを含み、前記二つの第３基部の前記第３板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第３突条の頂部よりも前記第３板状部に近い位置に位置し、前記第４当接部材は、前記配置面と平行な板状の形状を有する第４板状部と、前記第４板状部の前記配置面とは反対側の面の、前記第４板状部の前記第２平面方向と直交する方向における略中央に凸設され、当該反対側の面を二つの領域に仕切るように前記第２平面方向に沿って延びる第４突条とを含み、前記第４押圧部材は、前記押圧姿勢において、前記第４板状部における前記二つの領域にそれぞれ対向する二つの第４基部と、前記二つの第４基部からそれぞれ前記基板と対向する位置まで延び、かつ当該対向する位置から前記基板へ向かって突出する二つの第４押圧突起とを含み、前記二つの第４基部の前記第４板状部と対向する側の面は、前記押圧姿勢において前記第４突条の頂部よりも前記第４板状部に近い位置に位置することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、基板が反り返っているような場合であっても、第１、第２、第３、及び第４突条によって、基板をその平面方向に押圧して位置決めすることができる。かつ、第１、第２、第３、及び第４突条を備えることによって、第１、第２、第３、及び第４板状部の厚みを小さくしても反り返った基板を第１、第２、第３、及び第４突条によって位置決めさせることができる。そして、第１、第２、第３、及び第４板状部の厚みを小さくすれば、第１、第２、第３、及び第４基部が、第１、第２、第３、及び第４板状部と干渉するおそれが低減される。
【００２２】
また、前記基板は、前記第１辺と交差する方向に延びる第３辺と、前記第３辺と対向する第４辺とを有し、前記配置面に配置された基板の前記第３辺と対向配置される第３当接部材と、前記配置面に配置された基板の前記第４辺と対向配置される第４当接部材とを有し、前記駆動部は、前記第１当接部材と前記第２当接部材とを前記相対移動させつつ、前記第３当接部材と前記第４当接部材とを、前記第１平面方向と交差する第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動させることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、第１当接部材と第２当接部材とが、第１平面方向に沿って互いに接近するように相対移動し、かつ第３当接部材と第４当接部材とが、第２平面方向に沿って互いに接近するように相対移動することにより、間に挟まれる基板の位置が位置決めされる。これにより、第１及び第２平面方向に対して、基板を位置決めすることができる。また、押圧部材が離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更されることにより、基板が載置面に押圧される。このとき、駆動部は、第１当接部材及び第２当接部材と、第３当接部材及び第４当接部材とをそれぞれ相対移動させつつ、押圧部材を離間姿勢から押圧姿勢に姿勢変更させるので、基板の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する結果、基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【００２４】
また、本発明に係る基板検査装置は、上述の基板固定装置と、前記基板固定装置により保持された基板を検査する検査部とを備える。
【００２５】
この構成によれば、検査部によって、上述の基板固定装置により保持された基板を検査することができるので、検査のために基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【発明の効果】
【００２６】
このような構成の基板固定装置、及び基板検査装置は、基板の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査装置の構成を概略的に示す正面図である。
【図２】基板の外観の一例を示す平面図である。
【図３】図１に示す基板固定装置の構成の一例を示す上面図である。
【図４】図３に示す第１〜第４当接部材と、第１〜第４押圧部材の基板付近の部分とを拡大して示す斜視図である。
【図５】図３に示す第１当接部材の構造を詳細に示す平面図である。図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は正面図を示している。
【図６】図１に示す第１当接部材と第１押圧部材とのVI−VI断面を示す断面図である。
【図７】第１当接部材と第１押圧部材とが基板を押圧する動作を説明するための説明図である。
【図８】図４に示す第１〜第４当接部材と、第１〜第４押圧部材の基板付近の部分との、離間姿勢の状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査装置１００の構成を概略的に示す正面図である。図１に示す基板検査装置１００は、検査対象の基板に形成された回路パターンを検査するための装置である。
【００２９】
基板としては、コア層（支持体層）を有している一般的なビルドアップ基板に限られず、コア層がなく、可撓性を有するコアレス基板を用いることができる。また、基板は、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板であってもよい。
【００３０】
図１に示す基板検査装置１００は、筐体１１２を有している。筐体１１２の内部空間には、基板固定装置１と、第１検査部１２１と、第２検査部１２２と、が主に設けられている。基板固定装置１は、検査対象の基板１１０を所定の位置に固定するように構成されている。
【００３１】
第１検査部１２１は、基板固定装置１に固定された基板１１０の上方に位置する。第２検査部１２２は、基板固定装置１に固定された基板１１０の下方に位置する。第１検査部１２１及び第２検査部１２２は、基板１１０に形成された回路パターンを検査するための検査治具１２３を備えている。また、第１検査部１２１及び第２検査部１２２は、筐体１１２内で適宜移動するために検査部移動機構１２５を備えている。
【００３２】
基板検査装置１００は、基板固定装置１、第１検査部１２１、及び第２検査部１２２等の動作を制御する制御部１２７を備えている。制御部１２７は、例えばマイクロコンピュータを用いて構成されている。制御部１２７は、第１検査部１２１及び第２検査部１２２を適宜移動させ、基板固定装置１に固定された基板１１０に検査治具１２３を接触させることにより、基板１１０に形成された回路パターンを検査治具１２３によって検査するように構成されている。
【００３３】
図１に示す基板固定装置１は、上述したように、種々の基板１１０に対して適用可能であるが、特にコアレス基板などの可撓性を有する基板１１０を固定することを想定している。一般的に、基板１１０は矩形状（略矩形状）である。
【００３４】
図２は、基板１１０の外観の一例を示す平面図である。図１に示す基板１１０の４つの辺のうちの１つを「第１辺」、当該第１辺に対向する辺を「第２辺」、第１辺及び第２辺と略直交（交差）する方向に延びる辺の一方を「第３辺」、当該第３辺に対向する辺を「第４辺」とする。図２に示す基板１１０は、略矩形の形状を有する例を示している。そして、第１辺及び第２辺と略直交して交差する方向が第１平面方向Ｘ、第１平面方向Ｘと略直交して交差する方向が第２平面方向Ｙとされている。
【００３５】
なお、基板１１０の４つの角は、必ずしも正確な直角である必要はなく、多少直角からずれた角度であってもよい。基板１１０は、正方形、長方形、平行四辺形、あるいは台形等の多角形であってもよい。なお、図面上で基板１１０をわかり易く強調して示すため、基板１１０はハッチングを施して図示している。
【００３６】
図３は、図１に示す基板固定装置１の構成の一例を示す上面図である。図３は、基板固定装置１を斜め上方から見た外観図である。図３に示す基板固定装置１は、基台２、第１当接部材３１、第２当接部材３２、第３当接部材３３、第４当接部材３４、第１押圧部材４１、第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、第４押圧部材４４、第１駆動部６１、第２駆動部６２、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４を備えている。
【００３７】
基台２は、筐体１１２により略水平に保持され、その上面が平坦な配置面にされている。配置面には、基板１１０が対向配置されて載置される。図４は、第１当接部材３１、第２当接部材３２、第３当接部材３３、及び第４当接部材３４と、第１押圧部材４１、第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、及び第４押圧部材４４の基板１１０付近の部分とを拡大して示す斜視図である。
【００３８】
第１当接部材３１、第２当接部材３２、第３当接部材３３、第４当接部材３４は、配置面に対して略垂直な第１当接面３１１、第２当接面３２１、第３当接面３３１、第４当接面３４１をそれぞれ有している。そして、第１当接部材３１、第２当接部材３２、第３当接部材３３、第４当接部材３４は、配置面に載置された基板１１０に第１当接面３１１、第２当接面３２１、第３当接面３３１、第４当接面３４１を向けて、基板１１０（基板１１０の配設位置）の周囲に基板１１０を取り囲むように配設されている。
【００３９】
これにより、配置面に載置された基板１１０に対して、第１当接面３１１が第１辺と対向配置され、第２当接面３２１が第２辺と対向配置され、第３当接面３３１が第３辺と対向配置され、第４当接面３４１が第４辺と対向配置される。
【００４０】
図５は、図３に示す第１当接部材３１の構造を詳細に示す平面図である。図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は正面図を示している。第１当接部材３１は、扁平な略直方体形状の本体部３１４を有している。本体部３１４の、第１当接面３１１付近は配置面と平行な板状形状の第１板状部３１２とされている。また、第１板状部３１２の上面には、第２平面方向Ｙにおける略中央に凸設され、第１平面方向Ｘに沿って延びる第１突条３１３が形成されている。これにより、第１板状部３１２及び第１突条３１３の端面が、第１当接面３１１とされている。第１押圧部材４１が押圧姿勢のとき、第１当接面３１１は、基板１１０の第１辺に当接され、第１当接部材３１は、基板１１０を第２当接部材３２へ向かって押圧する。
【００４１】
第２当接部材３２、第３当接部材３３、及び第４当接部材３４は、第１当接部材３１と略同様に構成されている。すなわち、第２当接部材３２は、第２当接面３２１、第２板状部３２２、第２突条３２３、及び本体部３２４を備えている。第３当接部材３３は、第３当接面３３１、第３板状部３３２、第３突条３３３、及び本体部３３４を備えている。第４当接部材３４は、第４当接面３４１、第４板状部３４２、第４突条３４３、及び本体部３４４を備えている。
【００４２】
第１押圧部材４１は、基板１１０の端部上面を押圧する押圧姿勢のとき、第１突条３１３の一方の側と他方の側とで第１板状部３１２の上面にそれぞれ対向する二つの第１基部４１１と、二つの第１基部４１１からそれぞれ基板１１０の上方まで延びる二つの第１押圧突起４１２と、二つの第１基部４１１を第１駆動部６１に連結するアーム４１３と、アーム４１３に取り付けられた案内コロ４１４とを含んでいる。
【００４３】
図６は、図１に示す第１当接部材３１と第１押圧部材４１とのVI−VI断面を示す断面図である。図６に示すように、第１押圧突起４１２は、第１基部４１１から基板１１０の上方まで延び、かつ基板１１０の上面へ向かって下向きに突出している。これにより、第１押圧部材４１が押圧姿勢のとき、第１押圧突起４１２の先端が基板１１０の上面に当接し、基板１１０を基台２の配置面に向かって押圧するようにされている。
【００４４】
第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、及び第４押圧部材４４は、第１押圧部材４１と略同様に構成されている。すなわち、第２押圧部材４２は第２基部４２１と第２押圧突起４２２とアーム４２３と案内コロ４２４とを備え、第３押圧部材４３は第３基部４３１と第３押圧突起４３２とアーム４３３と案内コロ４３４とを備え、第４押圧部材４４は第４基部４４１と第４押圧突起４４２とアーム４４３と案内コロ４４４とを備えている。
【００４５】
図７は、第１当接部材３１と第１押圧部材４１とが基板１１０を押圧する動作を説明するための説明図である。図７（ａ）に示すように、基板１１０は、反り返って端部が上方に持ち上がっている場合がある。特に、コアレス基板の場合、基板が反りやすく、従って基板１１０の端部が持ち上がりやすい。
【００４６】
そのため、基板１１０の端部が、第１板状部３１２の上面より上まで持ち上がってしまう場合がある。もし第１突条３１３がなければ、基板１１０の端部が、第１板状部３１２の上面より上まで持ち上がってしまうと、第１当接部材３１は、基板１１０を第２当接部材３２へ向けて押圧移動させることができず、従って基板１１０を位置決めすることができない。
【００４７】
このような場合であっても、第１当接部材３１には、第１突条３１３が設けられているので、第１突条３１３の第１当接面３１１で基板１１０を押圧して位置決めすることが可能となる。
【００４８】
この状態で第１基部４１１が下降することにより、第１押圧突起４１２の先端で基板１１０の端部が下方に押圧される（図７（ｂ））。
【００４９】
ここで、もし仮に、第１当接部材３１が第１突条３１３を備えず、代わりに第１板状部３１２の厚みが大きく、第１板状部３１２の上面位置が、図７（ｂ）に示す第１押圧突起４１２の上面位置と同じにされていた場合、第１基部４１１は、図７（ｂ）に示す位置まで下降したときに第１板状部３１２の上面と干渉してそれ以上基板１１０を下方に押圧することができなくなる。
【００５０】
この場合、基板１１０を配置面に押圧可能にするためには、第１押圧突起４１２の上下方向の突出量を増大させる必要が生じるが、第１押圧突起４１２の上下方向の突出量を増大させると、第１押圧突起４１２の強度を確保する必要から第１押圧突起４１２の水平方向の突出量も増大させる必要が生じる。しかしながら、第１押圧突起４１２の水平方向の突出量を増大させると、第１押圧突起４１２が基板１１０に接触する面積が増大し、検査治具１２３のプローブを接触させることができない箇所、すなわち検査できない箇所が増大するという不都合が生じる。
【００５１】
一方、第１当接部材３１は第１突条３１３を備えているので、第１板状部３１２の厚みを小さくしても反り返った基板１１０を第１突条３１３の第１当接面３１１により水平方向に押圧することができ、かつ第１基部４１１の下面が第１突条３１３の頂部より下方まで下降可能であるため、第１押圧突起４１２の上下方向及び水平方向の突出量を減少させても第１押圧突起４１２の先端で基板１１０を配置面に押圧できる（図７（ｃ））。
【００５２】
これにより、第１押圧突起４１２の上下方向及び水平方向の突出量を減少させて検査できない領域を減少させる効果が得られる。第２突条３２３、第３突条３３３、及び第４突条３４３についても、第１突条３１３と同様の効果が得られる。
【００５３】
図８は、離間姿勢のときの、第１当接部材３１、第２当接部材３２、第３当接部材３３、及び第４当接部材３４と、第１押圧部材４１、第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、及び第４押圧部材４４の基板１１０付近の部分とを拡大して示す斜視図である。図８に示すように、離間姿勢のとき、第１当接部材３１は第１平面方向Ｘに沿って基板１１０から離間した位置に退避し、第３当接部材３３は第２平面方向Ｙに沿って基板１１０から離間した位置に退避する。また、離間姿勢のとき、第１押圧部材４１の第１基部４１１及び第１押圧突起４１２、第２押圧部材４２の第２基部４２１及び第２押圧突起４２２、第３押圧部材４３の第３基部４３１及び第３押圧突起４３２、第４押圧部材４４の第４基部４４１及び第４押圧突起４４２は、上方に退避して基板１１０から離間する。
【００５４】
第２当接部材３２は、第２当接面３２１が基板１１０の第２辺と対向するように、基台２の配置面上の予め定められた基準位置に固定的に配設されている。第４当接部材３４は、第４当接面３４１が基板１１０の第４辺と対向するように、基台２の配置面上の予め定められた基準位置に固定的に配設されている。これにより、第２当接面３２１及び第４当接面３４１は、基板１１０を検査位置に位置決めするための基準面とされている。
【００５５】
第１駆動部６１は、図８に示す離間姿勢の状態から、第１当接部材３１を第１平面方向Ｘに沿って第２当接部材３２へ向かって移動させることにより第１当接部材３１と第２当接部材３２とを互いに接近するように相対移動させつつ、第１基部４１１及び第１押圧突起４１２を下降させる。第２駆動部６２は、第１駆動部６１による第１基部４１１及び第１押圧突起４１２の下降動作と連動（並行）して第２基部４２１及び第２押圧突起４２２を下降させる。
【００５６】
これにより、基板１１０は、第１当接部材３１により第１平面方向Ｘに沿って第２当接部材３２の第２当接面３２１に押し当てられて、第１平面方向Ｘの配置位置が位置決めされる。また、この位置決め動作と並行して、第１押圧突起４１２及び第２押圧突起４２２により、基板１１０が第１辺と第２辺の近傍で下方に押圧されて、基台２の配置面に密着される。これにより、図１に示す押圧姿勢となる。
【００５７】
第３駆動部６３は、第１駆動部６１による第１当接部材３１の第２当接部材３２への移動動作と連動（並行）して、図８に示す離間姿勢の状態から、第３当接部材３３を第２平面方向Ｙに沿って第４当接部材３４へ向かって移動させることにより第３当接部材３３と第４当接部材３４とを互いに接近するように相対移動させつつ、第３基部４３１及び第３押圧突起４３２を下降させる。第４駆動部６４は、第３駆動部６３による第３基部４３１及び第３押圧突起４３２の下降動作と連動（並行）して第４基部４４１及び第４押圧突起４４２を下降させる。
【００５８】
これにより、基板１１０は、第３当接面３３１により第２平面方向Ｙに沿って第４当接部材３４の第４当接面３４１に押し当てられて、第２平面方向Ｙの配置位置が位置決めされる。また、この位置決め動作と並行して、第３押圧突起４３２及び第４押圧突起４４２により、基板１１０が第３辺と第４辺の近傍で下方に押圧されて、基台２の配置面に密着される。
【００５９】
このとき、第１駆動部６１、第２駆動部６２、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４の駆動動作に伴い第１当接面３１１、第２当接面３２１、第３当接面３３１、及び第４当接面３４１が共に基板１１０に接する状態になるタイミングと、第１押圧部材４１（第１押圧突起４１２）、第２押圧部材４２（第２押圧突起４２２）、第３押圧部材４３（第３押圧突起４３２）、及び第４押圧部材４４（第４押圧突起４４２）が基板１１０に当接するタイミングとが、略同時とされている。この場合、略同時とは、駆動動作のばらつきや、基板１１０の反りや変形に起因して生じるタイミングのずれを許容する程度の時間差を含み、例えば、０．５秒以内であれば、略同時とする。
【００６０】
以上のようにして、第１当接部材３１及び第３当接部材３３による基板１１０の位置決め動作と、第１押圧部材４１（第１押圧突起４１２）、第２押圧部材４２（第２押圧突起４２２）、第３押圧部材４３（第３押圧突起４３２）、及び第４押圧部材４４（第４押圧突起４４２）による基板１１０の押圧動作とが並行して実行されるので、基板１１０の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板１１０に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する結果、基板１１０の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【００６１】
すなわち、もし仮に、先に基板１１０の位置決めを完了して、基板１１０の平面に沿う方向の押圧力が最大になった後に基板１１０を垂直方向に押圧すると、基板１１０の垂直方向の移動に伴い第１当接面３１１、第２当接面３２１、第３当接面３３１、及び第４当接面３４１と基板１１０との間に大きな摩擦力が生じ、基板１１０に大きなストレスが加わる。
【００６２】
また、もし仮に、先に基板１１０の垂直方向の押圧を完了して垂直方向の押圧力が最大になった後に基板１１０を基板１１０の平面に沿う方向に押圧すると、第１押圧突起４１２、第２押圧突起４２２、第３押圧突起４３２、第４押圧突起４４２、及び配置面と、基板１１０との間に大きな摩擦力が生じ、基板１１０に大きなストレスが加わる。
【００６３】
一方、基板固定装置１によれば、基板１１０の平面に沿う方向の押圧力が上昇する期間と、基板１１０に対して垂直方向の押圧力が上昇する期間とが並行する結果、先に基板１１０の位置決めを完了する場合や先に基板１１０の垂直方向の押圧を完了する場合に比べて基板１１０の位置決め固定と基板に対する垂直方向への押圧とを行う際に、基板に加わるストレスを低減することができる。
【００６４】
また、基板１１０の水平方向の位置決めと、鉛直方向の押圧とが並行して実行されるので、基板１１０を検査位置に保持するための処理時間を短縮することができる。
【００６５】
次に、第１駆動部６１、第２駆動部６２、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４の構成について、主に図３を参照しつつ詳細に説明する。第１駆動部６１は、スライド部６１１、支持軸６１２、二つの引張コイルばね６１３、二つのコイルバネ６１４、及び二つのガイド部材６１５を備えている。
【００６６】
スライド部６１１は、基台２の上面に、第１平面方向Ｘに沿ってスライド移動可能に取り付けられている。引張コイルばね６１３は、スライド部６１１を、第１平面方向Ｘに沿って基板１１０側に引き寄せるように付勢する。また、スライド部６１１は、図略の駆動機構により、引張コイルばね６１３の付勢力に抗して基板１１０から離間する方向に駆動されるようになっている。駆動機構としては、例えば空気圧アクチュエータ、ソレノイド、モータ等、種々の駆動手段を用いることができる。
【００６７】
スライド部６１１の基板１１０に向かう側には、第１当接部材３１が固着されている。これにより、第１当接部材３１は、スライド部６１１と共に基台２の上面を、第２平面方向Ｙに沿ってスライド移動する。
【００６８】
また、スライド部６１１には、第２平面方向Ｙに沿って延びる支持軸６１２が取り付けられている。支持軸６１２の両端部には、各アーム４１３の端部が取り付けられている。これにより、各第１押圧部材４１は、支持軸６１２を中心に揺動可能にされている。また、各第１押圧部材４１は、スライド部６１１と共に第１平面方向Ｘに沿ってスライド移動する。
【００６９】
すなわち、図略の駆動機構により駆動力が付与されると、スライド部６１１、第１当接部材３１、及び第１押圧部材４１が基板１１０から離間する方向に移動し、図略の駆動機構による駆動力がオフする（無くなる）と、スライド部６１１、第１当接部材３１、及び第１押圧部材４１が引張コイルばね６１３の付勢力により基板１１０へ向かって移動する。
【００７０】
ガイド部材６１５は、第１平面方向Ｘに長尺の形状を有し、基台２の上面に配設されている。ガイド部材６１５の上面は、アーム４１３の案内コロ４１４を案内する案内面とされている。各コイルバネ６１４は、各アーム４１３をそれぞれ下方に付勢し、各アーム４１３の案内コロ４１４をガイド部材６１５の案内面に当接させる。案内面は、基板１１０側の端部付近で凹没している。
【００７１】
案内コロ４１４がコイルバネ６１４の付勢力により案内面に当接した状態でスライド部６１１が基板１１０へ向かってスライド移動すると、案内コロ４１４がガイド部材６１５の案内面により案内されつつ基板１１０方向へ移動する。そして、案内コロ４１４が案内面の凹没部に達すると、案内コロ４１４が凹没部に沿って下降する。その結果、各アーム４１３が下降して第１押圧突起４１２が下降し、基板１１０をコイルバネ６１４の付勢力により下方に押圧する押圧姿勢となる。
【００７２】
これにより、スライド部６１１、第１当接部材３１、及び第１押圧部材４１が引張コイルばね６１３の付勢力により基板１１０へ向かって移動し、第１当接部材３１により基板１１０が第２当接部材３２に向けて押圧され、位置決めされるのと同期して、略同時のタイミングで第１押圧突起４１２が下降し、押圧姿勢となるようにされている。
【００７３】
第２駆動部６２は、スライド部６２１、支持軸６２２、二つの引張コイルばね６２３、二つのコイルバネ６２４、及び二つのガイド部材６２５を備えている。
【００７４】
スライド部６２１は、第２当接部材３２の第２当接面３２１とは反対側で、基台２の上面に、第１平面方向Ｘに沿ってスライド移動可能に取り付けられている。引張コイルばね６２３は、スライド部６２１を、第１平面方向Ｘに沿って基板１１０側に引き寄せるように付勢する。また、スライド部６２１は、図略の駆動機構により、引張コイルばね６２３の付勢力に抗して基板１１０から離間する方向に駆動されるようになっている。なお、スライド部６２１は、連動機構によって、他のスライド部のスライド動作と連動してスライド移動する構成であってもよい。
【００７５】
また、スライド部６２１には、第２平面方向Ｙに沿って延びる支持軸６２２が取り付けられている。そして、各アーム４２３の端部から所定長さ内側の位置で、支持軸６２２の両端部が各アーム４２３に取り付けられている。これにより、各第２押圧部材４２は、支持軸６２２を中心に揺動可能にされている。
【００７６】
すなわち、図略の駆動機構により駆動力が付与されると、スライド部６２１及び第２押圧部材４２が基板１１０から離間する方向に移動する。また、図略の駆動機構による駆動力がオフする（無くなる）と、スライド部６２１及び第２押圧部材４２が引張コイルばね６２３の付勢力により基板１１０へ向かって移動する。
【００７７】
ガイド部材６２５は、基台２に立設された柱状部と、柱状部の先端から第１平面方向Ｘに沿って基板１１０から離間する方向に延びるガイド部とを含んでいる。ガイド部の下面は、案内コロ４２４を案内する案内面とされている。
【００７８】
各コイルバネ６２４は、各アーム４２３の端部付近（案内コロ４２４のアーム４２３への取付部）をそれぞれ上方に付勢し、各アーム４２３の案内コロ４２４をガイド部材６２５の案内面に当接させる。案内面は、基板１１０側の端部付近で凹没している。
【００７９】
案内コロ４２４がコイルバネ６２４の付勢力により案内面に当接した状態でスライド部６２１が基板１１０へ向かってスライド移動すると、案内コロ４２４がガイド部材６２５の案内面により案内されつつ基板１１０方向へ移動する。そして、案内コロ４２４が案内面の凹没部に達すると、案内コロ４２４が凹没部に沿って上昇する。その結果、第２基部４２１及び第２押圧突起４２２が下降し、基板１１０をコイルバネ６２４の付勢力により下方に押圧する押圧姿勢となる。
【００８０】
第３駆動部６３は、スライド部６３１、支持軸６３２、引張コイルばね６３３、コイルバネ６３４、及びガイド部材６３５を備えている。第３駆動部６３は、スライド部６３１が、第２平面方向Ｙに沿ってスライド移動する点を除き、第１駆動部６１と略同様に構成されているので、その説明を省略する。
【００８１】
第４駆動部６４は、スライド部６４１、支持軸６４２、引張コイルばね６４３、コイルバネ６４４、及びガイド部材６４５を備えている。第４駆動部６４は、スライド部６４１が、第２平面方向Ｙに沿ってスライド移動する点を除き、第２駆動部６２と略同様に構成されているので、その説明を省略する。
【００８２】
第１駆動部６１、第２駆動部６２、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４は、例えば制御部１２７が、上述の駆動機構の駆動及びオフタイミングを同期させたり、あるいは図略の連動機構によりスライド部６１１，６２１，６３１，６４１の動作タイミングを同期させたりすることによって、第１当接部材３１及び第３当接部材３３による基板１１０の位置決め動作と、第１押圧部材４１（第１押圧突起４１２）、第２押圧部材４２（第２押圧突起４２２）、第３押圧部材４３（第３押圧突起４３２）、及び第４押圧部材４４（第４押圧突起４４２）による基板１１０の押圧動作とを並行して実行し、第１当接面３１１、第２当接面３２１、第３当接面３３１、及び第４当接面３４１が共に基板１１０に接する状態になるタイミングと、第１押圧部材４１（第１押圧突起４１２）、第２押圧部材４２（第２押圧突起４２２）、第３押圧部材４３（第３押圧突起４３２）、及び第４押圧部材４４（第４押圧突起４４２）が基板１１０に当接するタイミングとが、略同時となるようにされている。
【００８３】
なお、第１駆動部６１、第２駆動部６２、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４は、第１当接部材３１及び第３当接部材３３による基板１１０の位置決め動作と、第１押圧部材４１、第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、及び第４押圧部材４４による基板１１０の押圧動作とを並行して実行するものであればよく、上述の構成に限らない。
【００８４】
また、第１板状部３１２、第２板状部３２２、第３板状部３３２、第４板状部３４２に、第１突条３１３、第２突条３２３、第３突条３３３、第４突条３４３が設けられている例を示したが、必ずしも第１突条３１３、第２突条３２３、第３突条３３３、第４突条３４３は設けられていなくてもよい。
【００８５】
また、押圧部材として、第１押圧部材４１、第２押圧部材４２、第３押圧部材４３、第４押圧部材４４を備える例を示したが、押圧部材は必ずしも複数の部材で構成される例に限らない。例えば、押圧部材は、基板１１０全体を押圧する板状の部材であってもよく、基板１１０の外周に対応する枠状の部材であってもよい。
【００８６】
また、第３当接部材３３、第４当接部材３４、第３押圧部材４３、第４押圧部材４４、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４を備えない構成であってもよい。第３当接部材３３、第４当接部材３４、第３押圧部材４３、第４押圧部材４４、第３駆動部６３、及び第４駆動部６４を備えていなくても、第１平面方向Ｘにおける基板１１０の位置決め及び押圧を行う際に、基板１１０に加わるストレスを低減する効果が得られる。
【符号の説明】
【００８７】
１    基板固定装置
２    基台
３１  第１当接部材
３２  第２当接部材
３３  第３当接部材
３４  第４当接部材
４１  第１押圧部材
４２  第２押圧部材
４３  第３押圧部材
４４  第４押圧部材
６１  第１駆動部
６２  第２駆動部
６３  第３駆動部
６４  第４駆動部
１００      基板検査装置
１１０      基板
１１２      筐体
１２１      第１検査部
１２２      第２検査部
１２３      検査治具
１２５      検査部移動機構
１２７      制御部
３１１      第１当接面
３１２      第１板状部
３１３      第１突条
３１４，３２４，３３４，３４４      本体部
３２１      第２当接面
３２２      第２板状部
３２３      第２突条
３３１      第３当接面
３３２      第３板状部
３３３      第３突条
３４１      第４当接面
３４２      第４板状部
３４３      第４突条
４１１      第１基部
４１２      第１押圧突起
４１３，４２３，４３３，４４３      アーム
４１４，４２４，４３４，４４４      案内コロ
４２１      第２基部
４２２      第２押圧突起
４３１      第３基部
４３２      第３押圧突起
４４１      第４基部
４４２      第４押圧突起
６１１，６２１，６３１，６４１      スライド部
６１２，６２２，６３２，６４２      支持軸
６１４，６２４，６３４，６４４      コイルバネ
６１５，６２５，６３５，６４５      ガイド部材
Ｘ    第１平面方向
Ｙ    第２平面方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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