(57)【要約】      （修正有）【課題】センサの位置決めを精度よく行うことなく、隙間段差の計測を精度よく行う隙間段差計測装置を提供する。【解決手段】スリット光源１６Ａ、１６Ｂによって、計測対象を形成する２つの板材の表面に、複数のスリット光を平行に照射し、センサ部１８によって、複数のスリット光が照射された状態の平面画像を取得する。取得された平面画像に基づき、複数のスリット光の各々の細線を抽出し、２つの板材の各々の端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、複数のスリット光の各々の細線と２つの板材の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出する。検出された各交点の３次元位置に基づいて、隙間段差の寸法を算出する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの対象物間に形成される隙間と段差を計測対象とし、前記計測対象の寸法を求める隙間段差計測装置であって、
前記計測対象を形成する前記２つの対象物の表面に、複数のスリット光を平行に照射するスリット光照射手段と、
前記２つの対象物の表面と対向するように配置され、前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像及び前記複数のスリット光が照射されない状態の前記計測対象を含む平面画像のうちの少なくとも前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像を取得するセンサ手段と、
前記センサ手段により取得された平面画像に基づき、前記対象物の表面に照射された前記複数のスリット光の各々のラインを抽出し、前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、前記複数のスリット光の各々のラインと前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出する交点検出手段と、
前記交点検出手段によって検出された各交点の３次元位置に基づいて、前記計測対象の寸法を算出する寸法計測手段と、
を含む隙間段差計測装置。
【請求項２】
前記抽出された前記複数のスリット光の各々のラインの間隔を計測し、予め求められた前記複数のスリット光の各々のラインの間隔と、前記計測された前記複数のスリット光の各々のラインの間隔とに基づいて、前記寸法計測手段によって計測された前記段差の寸法を補正する補正手段を更に含む請求項１記載の隙間段差計測装置。
【請求項３】
前記交点検出手段によって検出された各交点の３次元位置に基づいて、前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインを示す直線をそれぞれ求め、求められた直線に基づいて、前記計測対象の寸法を算出する請求項１又は２記載の隙間段差計測装置。
【請求項４】
２つの対象物間に形成される隙間と段差を計測対象とし、前記計測対象の寸法を求める隙間段差計測方法であって、
スリット光照射手段によって、前記計測対象を形成する前記２つの対象物の表面に、複数のスリット光を平行に照射し、
前記２つの対象物の表面と対向するように配置されたセンサ手段によって、前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像及び前記複数のスリット光が照射されない状態の前記計測対象を含む平面画像のうちの少なくとも前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像を取得し、
交点検出手段によって、前記センサ手段により取得された平面画像に基づき、前記対象物の表面に照射された前記複数のスリット光の各々のラインを抽出し、前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、前記複数のスリット光の各々のラインと前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出し、
寸法計測手段によって、前記交点検出手段によって検出された各交点の３次元位置に基づいて、前記計測対象の寸法を算出する
隙間段差計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、隙間段差計測装置及び方法に係り、特に、２つの対象物間に形成される隙間と段差の寸法を求める隙間段差計測装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、自動車の外観品質の向上の要求から、自動車ボデーの仕上がり時の品質を保証するための寸法検査が重要視されている。
【０００３】
自動車ボデーの寸法検査には、ボデーを構成する各部パネル単体での検査、各パネルを組み付けた塗装前状態のボデー（ホワイトボデーと呼ぶ）での検査、および塗装と内外装品を組み付けた後のボデー（塗装後ボデーと呼ぶ）についての検査があり、各工程で非常に綿密な検査が行われる。
【０００４】
建付け品質を保証するための寸法検査のうち重要なものは、ドアとドアの間や、エンジンフードとフェンダの間などの建付け寸法（段差と隙間）の検査である。この検査は、生産ラインのボデーの搬送中に行われるもので、現状、検査員の目視と触覚により綿密に行なわれているが、熟練検査員の不足や省人化の点から自動化の要望が非常に強い。パネル単体の検査については、３次元視覚センサを用いた自動車パネル寸法検査システムの報告がある（非特許文献１）。これは、スリット光とテレビカメラを用いた３次元視覚センサにより、パネルと基準座標を与える基準ブロックとの間の隙間と段差を検査するものである。ホワイトボデーの検査については、その全長や全幅を、スポット光センサを６軸ロボットに装着して計測した報告がある（非特許文献２）。また、ロボットを用いずに固定治具に多数のスリット光センサを装着しボデーの建付け寸法を検査した例もある（非特許文献３、４）。
【０００５】
また、自動車ボデーではなく各種の部品の寸法検査については、スポット光とＰＳＤ（半導体位置検出器）を組み合わせた形状検査システム（非特許文献５、６）や船舶用プロペラの寸法を、スポット光を綿状に走査するセンサ（非特許文献７）により検査するシステムの報告がある（非特許文献８）。
【０００６】
従来、これらのセンサはロボットなどのアクチュエータに装着され計測部位への位置決めを行った後に、光が投射された部分の隙間段差の計測を行っている。このため、隙間に対して垂直に計測光が投射されていない場合には正しい隙間を計測することは不可能である。このためアクチュエータに高い精度での位置決め能力が求められる。
【０００７】
これに対して、スリット光を十字状に投射した３次元視覚センサにより、端面の２点で３次元座標を求め、端面を直線近似して隙間段差を計測する方法を、本発明者らは考案した（非特許文献９）。この方法によれば、ほとんどの場合粗い位置決めにより精度良い計測を行う事ができる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】樋口、小関、山本、「三次元視覚センサによる自動車パネル寸法検査システム」，電学論C,  Vol.112, 平成4年2月
【非特許文献２】Y. Sakamoto  and、K. Yamamoto  :  “Development  of  Car Body  Inspection  System”, Proc. SAE/ESD  Int. Computer Graphics Conference, p.101 (1987)
【非特許文献３】G. Seliger, W. Felsing, K. D. Lennartz  and H.Trilk  :“Laser  Scanning for Flexibilization of Robotic Assembly Cells", Proc. Int. Conf. on Robot Vision and SensoryControls, p. 307(1988)
【非特許文献４】W. S Wilson  :“The Role of Vision in a Dimensional Control Strategy",  Proc. Vision ' 85, p. 7 (1985)
【非特許文献５】高木、小島、高草木、栗根、吉岡、「レーザー応用形状計測装置」，日立評論,  Vol.68,  No. 73、昭和61年3月
【非特許文献６】服部、久保、坂本、渡辺、「自由曲面における非接触三次元計測」，三菱電機技報, 62,73、(昭和63年4月
【非特許文献７】M. Rioux, “Laser Range Finder based on Synchronized Scanner" Appl. 0pt. ， 23, 3837 (1984)
【非特許文献８】R.F. Livingston, A. F. Tural and M. R. Thomas : “Application of 3-D Vision to the Measurement of Marine Propellers”, Proc. Vision'  87, p. 10  (1987)
【非特許文献９】塚田、渡辺、小出、廣頻、堀江、山岸、「丸穴３次元位置計測技術の開発」，第17回画像センシングシンポジウムSSII2011, IS4-01 、2011年6月
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の非特許文献２に記載のセンサは、スポット光センサのため、建付け寸法検査にはセンサの機械的移動が必要となり、計測時間がかかる、という問題がある。
【００１０】
また、上記の非特許文献５、６に記載のセンサは、上記の非特許文献２に記載のセンサと同様の理由で、建付け検査には不向きである。
【００１１】
また、上記の非特許文献９に記載の方法では、十字状のスリット光の投射位置がずれた場合には、２点間の距離が極端に短くなり、端面の直線近似に大きな誤差が生じ、正確に隙間段差を求めることができない場合がある、という問題がある（図９参照）。
【００１２】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、センサの位置決めを精度よく行うことなく、隙間段差の計測を精度よく行うことができる隙間段差計測装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために本発明に係る隙間段差計測装置は、２つの対象物間に形成される隙間と段差を計測対象とし、前記計測対象の寸法を求める隙間段差計測装置であって、前記計測対象を形成する前記２つの対象物の表面に、複数のスリット光を平行に照射するスリット光照射手段と、前記２つの対象物の表面と対向するように配置され、前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像及び前記複数のスリット光が照射されない状態の前記計測対象を含む平面画像のうちの少なくとも前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像を取得するセンサ手段と、前記センサ手段により取得された平面画像に基づき、前記対象物の表面に照射された前記複数のスリット光の各々のラインを抽出し、前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、前記複数のスリット光の各々のラインと前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出する交点検出手段と、前記交点検出手段によって検出された各交点の３次元位置に基づいて、前記計測対象の寸法を算出する寸法計測手段と、を含んで構成されている。
【００１４】
本発明に係る隙間段差計測方法は、２つの対象物間に形成される隙間と段差を計測対象とし、前記計測対象の寸法を求める隙間段差計測方法であって、スリット光照射手段によって、前記計測対象を形成する前記２つの対象物の表面に、複数のスリット光を平行に照射し、前記２つの対象物の表面と対向するように配置されたセンサ手段によって、前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像及び前記複数のスリット光が照射されない状態の前記計測対象を含む平面画像のうちの少なくとも前記複数のスリット光が照射された状態の前記計測対象を含む平面画像を取得し、交点検出手段によって、前記センサ手段により取得された平面画像に基づき、前記対象物の表面に照射された前記複数のスリット光の各々のラインを抽出し、前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインをそれぞれ抽出し、前記複数のスリット光の各々のラインと前記２つの対象物の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出し、寸法計測手段によって、前記交点検出手段によって検出された各交点の３次元位置に基づいて、前記計測対象の寸法を算出する。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明の隙間段差計測装置及び方法によれば、２つの対象物の表面に、複数のスリット光を平行に照射し、複数のスリット光が照射された状態の平面画像を取得し、照射された複数のスリット光の各々のラインと、２つの対象物の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出し、各交点の３次元位置に基づいて、隙間と段差の寸法を算出することにより、センサの位置決めを精度よく行うことなく、隙間段差の計測を精度よく行うことができる、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】２つの板材の表面に、２本の平行なスリット光を照射する様子を示す図である。
【図２】２つの板材の端部にスリット光が照射された様子を示す図である。
【図３】２つの板材の端面を示す直線を求めて、隙間を計測する方法を説明するための図である。
【図４】スリット光の間隔と段差との関係を説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る隙間段差計測装置の構成を示す図である。
【図６】２つの板材の間に形成される隙間及び段差を計測対象とし、その寸法を求める方法を説明するための図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る隙間段差計測装置の制御演算部の機能的構成を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る隙間段差計測装置の制御演算部による処理ルーチンを示すフローチャートである。
【図９】従来技術において十字状のスリット光の投射位置がずれた様子を示す図である。
【図１０】検査対象となる自動車ボデーを示す図である。
【図１１】ＴＶカメラとスリット光源を用いた光切断法による３角測量を示す図である。
【図１２】（Ａ）隙間方向に対して垂直に投射される様子を示す図、及び（Ｂ）隙間方向に対して垂直からずれて投射される様子を示す図、（Ｃ）計測対象面に対して垂直に投射される様子を示す図、及び（Ｄ）計測対象面に対して垂直からずれて投射される様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
＜発明の概要＞
図１０は、検査対象となる自動車ボデーである。隙間と段差は、図１０に示すように面の端部の間隔とその段差である。３次元座標の計測は、図１１に示すように、ＴＶカメラとスリット光源を用いた光切断法による３角測量で行う。従来の光切断法による計測では、計測光が隙間方向に対して垂直（図１２（Ａ）参照）に、計測対象面に対しても垂直（図１２（Ｃ）参照）に投射できるようにセンサを位置決めして計測を行っていた。また、隙間方向に対して垂直からずれた場合にはその分が誤差として計測されてしまう、という欠点があった（図１２（Ｂ）参照）。計測対象面に対して垂直からずれた場合には、その分が誤差として計測されてしまう、という欠点があった（図１２（Ｄ）参照）。
【００１９】
そこで、本実施の形態では、図１に示すように計測のためのスリット光を平行に２本照射することにより、図２に示すように、隙間方向に対して垂直からずれて照射された場合にも、計測対象面の端面上２点の３次元座標を計測して、端面の直線を求め、正しく隙間を計測する（図３参照）。さらに、段差計測においても、図４に示すように、計測光が対象面に対して垂直に照射されなかった場合に、対象面に投射された２本のスリット光の間隔（Ｄ）を計測することにより、その傾きによる影響の補正を行う。正しく照射されていれば、設定したスリット光の間隔に相当する値となるが、斜めに照射されるとその角度に応じて間隔が広く計測される。このとき、計測される段差も傾き角度に応じた誤差を含んだ値となっている。この時、計測されたスリット光間隔と段差の値には比例（Ａ：Ｂ＝Ｃ：Ｄ）の関係があるので、本来のスリット光間隔Ｂと計測値Ｃ、Ｄにより補正を加えることができる。
【００２０】
＜システム構成＞
図６に示すように、本発明の実施の形態に係る隙間段差計測装置は、検査台（図示省略）の上に載置された２つの板材の間に形成される隙間及び段差を計測対象とし、その寸法を求めるための装置である。
【００２１】
図５に、上記計測方法を実現するための隙間段差計測装置１０の構成を示す。隙間段差計測装置１０は、センサヘッド１２及び制御演算部１４を備えている。センサヘッド１２は２つのスリット光源１６Ａ、１６Ｂとセンサ部１８とを備えて構成されている。制御演算部１４は、スリット光源１６Ａ、１６Ｂに対する命令により、スリット光源１６Ａ、１６Ｂのスリット光のＯＮ／ＯＦＦ、発光時間、およびその照射強度を制御する。センサ部１８としては、ＣＣＤカメラ、２次元センサ、ＣＭＯＳカメラを用いることができる。
【００２２】
スリット光源１６Ａ、１６Ｂは、フレーム部材２０に固定されている。スリット光源１６Ａ、１６Ｂは、計測対象となる２つの板材の表面と対向するように配置され、それぞれがレーザスリット光を、２つの板材間の隙間の長さ方向と交差するように、２つの板材の表面に対し照射するようになされている。また、スリット光源１６Ａ、１６Ｂにより形成される２本のレーザスリット光（スリット光）が平行に２つの板材の表面に照射されるように、スリット光源１６Ａ、１６Ｂが設置されている。
【００２３】
尚、スリット光は、２つの板材の表面に対して照射され、スリット光の照射方向は、センサ部１８の撮像方向に対して平行ではない。
【００２４】
また、スリット光源１６Ａ、１６Ｂは、それぞれ制御演算部１４に接続され、制御演算部１４により、独立して照射制御が可能とされている。
【００２５】
また、この隙間段差計測装置１０においては、２つの板材の表面に対向する位置に、センサ部１８が配置される。このセンサ部１８により、図６に示すように、少なくとも、一方の板材の端部と他方の板材の端部とが、共に１平面画像の情報として取得されるようになされている。尚、検査台は、スリット光の波長に応じた無反射コーティングがなされ、スリット光の反射光がセンサ部１８で撮像されないようになされている。
【００２６】
また、センサ部１８は制御演算部１４に接続されている。
【００２７】
また、制御演算部１４は、図７に示すように、照射制御部３０、画像取得部３２、スリット光ライン抽出部３４、特徴点抽出部３６、３次元座標変換部３８、計測部４０、及び段差補正部４２を備えている。
【００２８】
照射制御部３０は、スリット光源１６Ａ、１６Ｂによりスリット光を照射するように、スリット光源１６Ａ、１６Ｂの照射制御を行う。なお、計測対象物の振動の影響を低減するためにパルス状に短時間で強い発光の制御を行う事も可能である。
【００２９】
画像取得部３２は、スリット光の照射タイミングに同期してセンサ部１８により撮像されたスリット光画像を取得する。なお、画像取得部３２は、スリット光の照射タイミングに同期して撮像するように、センサ部１８による撮像を制御するようにしてもよい。
【００３０】
また、画像取得部３２は、スリット光を照射していない状態でセンサ部１８により撮像された画像を取得する。
【００３１】
また、画像取得部３２は、取得したスリット光画像に対して、画像処理による前処理（例えば、二値化処理）や特徴点抽出の処理を行う。このとき、スリット光を照射していない状態で撮像された画像の濃淡情報を補助的に参照して、スリット光画像中の特徴点抽出の精度を向上させることも行っている。なお、計測対象となる２つの板材とセンサヘッド１２との位置関係が同じであるため、スリット光画像と、スリット光を照射せずに撮像した画像との位置は同じ画素値で対応している。
【００３２】
また、画像取得部３２は、スリット光を照射していない状態で撮像した画像に対して、画像処理による前処理（例えば、二値化処理）や特徴点抽出の処理を行う。
【００３３】
スリット光ライン抽出部３４は、例えば、スリット光画像から、細線化処理により、スリット光ラインの骨格線を抽出する。
【００３４】
特徴点抽出部３６は、スリット光を照射していない状態で撮像した画像から、２つの板材の端部を示す線を各々抽出する。特徴点抽出部３６は、スリット光ライン抽出部３４によって抽出されたスリット光画像上の２本のスリット光の細線と、抽出されたスリット光画像上の２つの板材の端部を示す線との交点を、各々算出する。
【００３５】
３次元座標変換部３８は、算出された交点の各々の座標について、予めキャリブレーションにより求められた座標変換テーブルを参照した座標演算により、交点の各々の３次元座標を求める。なお、３次元座標系は、一方の板材を基準板材とし、基準板材の表面の法線ベクトルを座標軸基準とした３次元座標系である。
【００３６】
計測部４０は、交点の各々の３次元座標に基づいて求められる３次元空間での一方の板材の端面を示す直線と、他方の板材の端面を示す直線とに基づいて、２つの板材の隙間及び段差の寸法を算出し、算出された隙間の寸法を出力する。
【００３７】
段差補正部４２は、スリット光ライン抽出部３４によって抽出されたスリット光画像上の２本のスリット光細線の間隔を算出し、算出された間隔と、予め求められた２本のスリット光ラインの間隔とを比較して、計測部４０によって計測された段差の寸法を補正し、補正された段差の寸法を出力する。
【００３８】
例えば、上記図４に示すように、予め求められた２本のスリット光ラインの間隔をＢ、スリット光画像上の２本のスリット光細線の間隔をＤ、計測部４０によって計測された段差の寸法をＣとすると、補正後の段差の寸法Ａは、以下の式で算出される。
【００３９】
Ａ＝ＢＣ／Ｄ
【００４０】
＜隙間段差計測装置の作用＞
次に、図８に示すフローチャートに基づいて、隙間段差計測装置１０における処理（隙間段差計測方法）の流れを説明する。尚、制御演算部１４における処理は、隙間段差計測プログラムに基づき実行される。
【００４１】
まず、計測対象の２つの板材の表面に対し撮像用の照明手段（図示せず）により、例えば白色照明の全体照射がなされ、２つの板材の端部を含む画像がセンサ部１８により撮像され、制御演算部１４により、撮像された画像が取得される（図８のステップ１００）。
【００４２】
次に、制御演算部１４により、スリット光源１６Ａ、１６Ｂが駆動され、２本のレーザスリット光が２つの板材の表面に対しそれぞれ照射され、照射された状態で、２つの板材の端部を含む画像がセンサ部１８により撮像され、制御演算部１４により、撮像されたスリット光画像が取得される（ステップ１０２）。ここで、前述のように、検査台は無反射コーティングされているため、２つの板材の端部の隙間の下の検査台からのスリット光の反射光は撮像されない。
【００４３】
センサ部１８により取得された各画像は、制御演算部１４において二値化処理がなされる。この二値化処理により、照射部と非照射部との境界線が明確化される。そして、制御演算部１４において、二値化処理されたスリット光画像上の、所定の厚み幅を有する２本のレーザスリット光のラインが、細線化処理される（ステップ１０４）。
【００４４】
また、制御演算部１４では、全体照明下で撮像された画像を二値化処理した画像に基づき、２つの板材の端部のエッジラインが画素レベルで抽出される（ステップ１０６）。
【００４５】
そして、制御演算部１４において、ステップ１０４、１０６で求められた一方のスリット光の細線と、２つの板材の端部のエッジラインとに基づいて、直線の方程式を解くことにより、一方のレーザスリット光と２つの板材の端部との交点の各々が画素レベル以下で求められる（ステップ１０８）。
【００４６】
また、制御演算部１４では、ステップ１０４、１０６で求められた他方のスリット光の細線と、２つの板材の端部のエッジラインとに基づいて、直線の方程式を解くことにより、他方のレーザスリット光と２つの板材の端部との交点の各々の算出がなされる（ステップ１０８）。
【００４７】
ここで、センサ部１８により撮像される画像は、二次元平面上のデータである。記憶部（図示省略）に予め、画像上の位置と３次元座標との対応を示すルックアップテーブルを記録しておき、それを参照して３次元座標を得ることができる。
【００４８】
そこで、制御演算部１４では、ステップ１０８において求められた画素レベル以下での交点が、３次元座標に変換される（ステップ１１０）。
【００４９】
そして、制御演算部１４では、求められた２本のレーザスリット光と一方の板材の端部との２つの交点に基づいて３次元空間での直線が求められる。また、求められた２本のレーザスリット光と他方の板材の端部との２つの交点に基づいて３次元空間での直線が求められる(ステップ１１２）。
【００５０】
そして、制御演算部１４により、求められた２つの直線に基づいて、２つの板材の端部の隙間寸法及び段差寸法が算出される（ステップ１１２）。次に、制御演算部１４により、ステップ１０６で求められた２本のスリット光の細線から、スリット光の細線の間の間隔が算出される。算出されたスリット光の細線の間の間隔と、予め求められたスリット光のラインの間の間隔とに基づいて、ステップ１１２で求められた段差寸法が補正される（ステップ１１６）。
【００５１】
以上説明したように、本実施の形態に係る隙間段差計測装置によれば、２つの板材の表面に、２本のスリット光を平行に照射し、２本のスリット光が照射された状態の平面画像と、２本のスリット光が照射されていない状態の平面画像とを取得し、照射された複数のスリット光の各々の細線と、２つの板材の各々の端部のエッジラインとの各交点を検出し、各交点の３次元位置に基づいて、隙間と段差の寸法を算出することにより、センサの位置決めを精度よく行うことなく、隙間段差の計測を精度よく行うことができる。
【００５２】
また、平行２ラインの計測光を照射することにより、センサと板材の相対位置関係の影響を受けずに、常に一定の間隔を持って板材端点を２点計測することが可能となるため、センサの位置決めを精度良く行う必要はない。これにより、突合せ板材の隙間段差の計測において、板材に対するセンサの位置決めを精度良く行うことなく、安定した隙間段差の計測を実現することができる。
【００５３】
なお、上記の実施の形態では、２本のスリット光を平行に照射する場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、３本以上のスリット光を平行に照射するようにしてもよい。その場合、各レーザスリット光の中心ラインとワーク両端のエッジラインとの交点をそれぞれ求め、各交点位置に基づき計測対象の寸法を求めることで、より高精度に測定を行うことができる。
【００５４】
また、上記の実施の形態においては、スリット光照射手段をスリット光源とし、それぞれレーザスリット光を照射するものとしたが、光源がレーザ光に限定されるものではなく、レーザ以外の光源（例えば、ＬＥＤ）によりスリット光を形成し、照射するものであってもよい。
【００５５】
また、上記の実施の形態においては、センサ部により取得された各画像を二値化処理後、スリット光の細線、及び２つの板材の端部のエッジラインを画素レベルで抽出する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、センサ部により取得された各画像を二値化処理せずに、各画像からスリット光の細線、及び２つの板材の端部のエッジラインを抽出するようにしてもよい。この場合、例えば、平面画像におけるスリット光の幅方向の輝度重心画素を求め、それをスリット光の長さ方向に結んでいくことにより細線を抽出することが好ましい。
【００５６】
また、スリット光が照射されていない画像から、２つの板材の端部のエッジラインを画素レベルで抽出する場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。スリット光が照射されていない画像を用いずに、スリット光画像の細線化画像で、２つの板材の端部を特徴点として抽出し、エッジラインを画素レベルで抽出するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１０   隙間段差計測装置
１２   センサヘッド
１４   制御演算部
１６Ａ、１６Ｂスリット光源
１８   センサ部
３０   照射制御部
３２   画像取得部
３４   スリット光ライン抽出部
３６   端点検出部
３８   端面補間部
４０   計測部
４２   段差補正部
【図３】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図６】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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