(57)【要約】【課題】小型化した分析装置の提供にある【解決手段】分析装置１００は、試料が存在する分析領域Ｃ３に当てる光を発する光源１０と、光源１０からの光を反射して分析領域Ｃ３を通過させる反射機構３０と、分析領域Ｃ３を通過した光を検出する検出器４０と、を備える。反射機構３０は、光源１０からの光を非軸放物面鏡により反射する。反射機構３０は、分析領域Ｃ３外の第１領域Ｃ１と、分析領域Ｃ３を挟んで第１領域Ｃ１に対向する第２領域Ｃ２と、に設けられる複数の非軸放物面鏡３１〜３５を有してもよい。複数の非軸放物面鏡３１〜３５は、ジグザグ光路を形成し、検出器４０は、ジグザグ光路の末端に設けられる第１の検出位置４０ａと、ジグザグ光路の途中に設けられる第２の検出位置４０ｂ、４０ｃの少なくとも一方に配置可能とされてもよい。【選択図】図１
2015081830.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料が存在する分析領域に当てる光を発する光源と、
前記光源からの光を反射して前記分析領域を通過させる反射機構と、
前記分析領域を通過した光を検出する検出器と、
を備え、
前記反射機構は、前記光源からの光を非軸放物面鏡により反射することを特徴とする分析装置。
【請求項２】
前記反射機構は、前記分析領域外の第１領域と、前記分析領域を挟んで前記第１領域に対向する第２領域と、に設けられる複数の非軸放物面鏡を有し、
前記複数の非軸放物面鏡は、前記第１領域から前記分析領域を通過して前記第２領域へと向かう第１光路と、前記第２領域から前記分析領域を通過して前記第１領域へと向かう第２光路とが複数連なったジグザグ光路を形成し、
前記検出器は、前記ジグザグ光路の末端に設けられる第１の検出位置と、前記ジグザグ光路の途中に設けられる第２の検出位置の少なくとも一方に配置可能とされることを特徴とする請求項１に記載の分析装置。
【請求項３】
前記反射機構は、前記第１領域に設けられる非軸放物面鏡である集光鏡と、前記第２領域に設けられる非軸放物面鏡である反射鏡と、を有し、
前記集光鏡は、入射する平行光を反射して当該集光鏡の焦点に集光させ、
前記反射鏡は、前記集光鏡の焦点位置に当該反射鏡の焦点が位置するように配置され、前記焦点に集光された光を平行光にして反射させ、
前記第２の検出位置は、前記第１光路上に設けられることを特徴とする請求項２に記載の分析装置。
【請求項４】
前記第２の検出位置は、前記焦点と前記反射鏡との間に設けられることを特徴とする請求項３に記載の分析装置。
【請求項５】
前記第２の検出位置は、複数設けられる前記第１光路に対応して複数設けられることを特徴とする請求項３または４に記載の分析装置。
【請求項６】
前記第１の検出位置と前記第２の検出位置を含む複数の検出位置のうち、一の検出位置から他の検出位置へと前記検出器を移動させる駆動機構をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の分析装置。
【請求項７】
前記分析領域に設けられ、前記試料を通す流路管をさらに備え、
前記流路管は、前記第１光路および前記第２光路に交差する方向に延びており、
前記駆動機構は、前記流路管が延びる方向に前記検出器を移動させることを特徴とする請求項６に記載の分析装置。
【請求項８】
前記光源は、紫外光を発する発光ダイオードを含むことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析装置に関し、特に、吸光光度法を用いた分析技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
昨今、環境意識の高まりから、工場等における排煙や自動車などの排ガスなどに含まれる窒素酸化物や硫黄酸化物などの濃度をモニタリングし、その排出量を制御することが求められている。このような燃焼排ガスに含まれる物質の成分や濃度を分析する手法として、対象となる物質の吸光度を測定する方法がある。物質の種類に応じてその物質が吸収する光のスペクトル分布が異なることから、試料に当てる光の波長を変えて吸光度を測定することにより、試料に含まれる物質の成分や濃度が測定される。
【０００３】
例えば、燃焼排ガスに含まれる硫黄酸化物の濃度を分析する装置として、光源に紫外線ランプを用いた構成が挙げられる。（特許文献１参照）。また、自動車の燃焼排ガスに含まれる微量成分の検出精度を高めるため、光源からの光をミラーを用いて折り返し、ガス中を透過する光の光路長を長くした分析装置が挙げられる（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３１３４３９号公報
【特許文献２】特開２００６−３４３２９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガスなどの微量成分を精度良く検出するためには、測定光が透過する光路長を長くするとともに測定光の強度を高くすることが望ましい。しかしながら、出力の高い光源を用いるために容量の大きな電源を採用したり、光路長を長くしたりすると装置の大型化につながる。
【０００６】
本発明はこうした課題に鑑みてなされたものであり、小型化した分析装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のある態様の分析装置は、試料が存在する分析領域に当てる光を発する光源と、光源からの光を反射して分析領域を通過させる反射機構と、分析領域を通過した光を検出する検出器と、を備える。反射機構は、光源からの光を非軸放物面鏡により反射する。
【０００８】
上記態様の分析装置によれば、試料が存在する分析領域を通過させた光を非軸放物面鏡により集光して検出器に向かわせることができるため、非軸放物面鏡を用いない場合と比べて、検出器に入射させる光の強度を高めることができる。これにより、装置を小型化するために出力の低い光源を採用した場合であっても、測定精度の低下を抑えることができる。つまり、非軸放物面鏡を用いることにより測定精度を維持したまま装置を小型化することができる。
【０００９】
反射機構は、分析領域外の第１領域と、分析領域を挟んで第１領域に対向する第２領域と、に設けられる複数の非軸放物面鏡を有してもよい。複数の非軸放物面鏡は、第１領域から分析領域を通過して第２領域へと向かう第１光路と、第２領域から分析領域を通過して第１領域へと向かう第２光路とが複数連なったジグザグ光路を形成し、検出器は、ジグザグ光路の末端に設けられる第１の検出位置と、ジグザグ光路の途中に設けられる第２の検出位置の少なくとも一方に配置可能とされてもよい。
【００１０】
反射機構は、第１領域に設けられる非軸放物面鏡である集光鏡と、第２領域に設けられる非軸放物面鏡である反射鏡と、を有してもよい。集光鏡は、入射する平行光を反射して当該集光鏡の焦点に集光させ、反射鏡は、集光鏡の焦点位置に当該反射鏡の焦点が位置するように配置され、焦点に集光された光を平行光にして反射させ、第２の検出位置は、第１光路上に設けられてもよい。
【００１１】
第２の検出位置は、焦点と反射鏡との間に設けられてもよい。
【００１２】
第２の検出位置は、複数設けられる第１光路に対応して複数設けられてもよい。
【００１３】
第１の検出位置と第２の検出位置を含む複数の検出位置のうち、一の検出位置から他の検出位置へと検出器を移動させる駆動機構をさらに備えてもよい。
【００１４】
分析領域に設けられ、試料を通す流路管をさらに備えてもよい。流路管は、第１光路および第２光路に交差する方向に延びており、駆動機構は、流路管が延びる方向に検出器を移動させてもよい。
【００１５】
光源は、紫外光を発する発光ダイオードを含んでもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の分析装置によれば、装置を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態における分析装置を示す図である。
【図２】反射機構により形成される光路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１９】
図１は、実施の形態における分析装置１００を示し、図２は、反射機構３０により形成される光路を示す。分析装置１００は、流路管２０を通るガスなどの試料に光源１０からの光を照射し、試料に照射した光を検出器４０により検出することで、試料に含まれる物質の成分や濃度を分析する。分析装置１００は、流路管２０の両側に設けられる複数の非軸放物面鏡３１〜３５により構成される反射機構３０を備え、光源１０からの光を流路管２０を繰り返しまたぐようにジグザグ状に反射させて検出器４０へ入射させる。検出器４０は、流路管２０に沿って移動可能となっており、検出器４０を複数の検出位置４０ａ〜４０ｃのいずれかに配置させることで、測定対象となる試料に応じて適切な光路長を選択する。
【００２０】
分析装置１００は、光源１０と、コリメートレンズ１２と、流路管２０と、反射機構３０と、検出器４０と、駆動機構５０と、制御部６０を備える。反射機構３０は、複数の非軸放物面鏡３１〜３５を有する。
【００２１】
光源１０は、分析対象となる試料に照射するための測定光を発する。光源１０は、発光ダイオード（ＬＥＤ；Light Emitting Diode）であり、例えば、その中心波長又はピーク波長が約２００ｎｍ〜３５０ｎｍの紫外領域に含まれる紫外光を発する紫外光ＬＥＤである。このような紫外光ＬＥＤとして、例えば、窒化アルミニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）を用いたものが知られている。本実施の形態では、ピーク波長が２８５ｎｍの紫外光ＬＥＤを用いる。
【００２２】
光源１０として紫外光源を用いることにより、二酸化硫黄（ＳＯ２）、一酸化窒素（ＮＯ）、二酸化窒素（ＮＯ２）、塩素（Ｃｌ２）、アンモニア（ＮＨ３）、硫化カルボニル（ＣＯＳ）、硫化水素（Ｈ２Ｓ）等のガスを分析することができる。また、光源１０としてＬＥＤを用いることにより、紫外線ランプなどを用いる場合と比べて装置を小型化するとともに、消費電力を低減することができる。光源１０が発した光は、コリメートレンズ１２により平行光に調整される。
【００２３】
流路管２０は、長手方向Ｘにガスなどの試料を通す管であり、分析対象となる試料が存在する空間である分析領域Ｃ３を区画する。流路管２０の形状は、特に限定されず、円筒形状や角柱形状などの管形状を有するものであればよい。流路管２０の側壁２２には、光源１０からの光を透過する複数の窓２４が設けられる。窓２４は、反射機構３０によってジグザグ状に設けられる光路が交差する位置に設けられる。窓２４は、光源１０からの光の透過率の高い材料で構成され、例えば、紫外光の透過率の高い石英やサファイアなどで構成される。なお、流路管２０の変形例として、窓２４を設ける代わりに、側壁２２を紫外光の透過率の高い石英やサファイアなどで構成することとしてもよい。
【００２４】
反射機構３０は、流路管２０の両側に配置される複数の非軸放物面鏡３１〜３５により構成され、光源１０からの測定光が流路管２０により区画される分析領域Ｃ３を往復して通過するジグザグ形状の光路を形成する。非軸放物面鏡３１〜３５は、紫外光の反射率の高いアルミニウム（Ａｌ）により反射面が形成される。光源１０が発する光は、第１非軸放物面鏡３１、第２非軸放物面鏡３２、第３非軸放物面鏡３３、第４非軸放物面鏡３４、第５非軸放物面鏡３５の順に反射されて検出器４０が配置される末端の検出位置４０ａへと向かう。
【００２５】
複数の非軸放物面鏡３１〜３５のうち、第１非軸放物面鏡３１、第３非軸放物面鏡３３及び第５非軸放物面鏡３５は、分析領域Ｃ３外の第１領域Ｃ１に設けられる。第１領域Ｃ１に設けられる非軸放物面鏡３１、３３、３５は、図２に示すように、入射する平行光を反射して第１領域Ｃ１から分析領域Ｃ３を通過して第２領域Ｃ２へと向かう光路（以下、第１光路ともいう）を形成し、第１光路上に設けられる焦点Ｆ１〜Ｆ３に光を集光させる。したがって、第１領域Ｃ１に設けられる非軸放物面鏡３１、３３、３５は、焦点Ｆ１〜Ｆ３に光を集光させる集光鏡として機能する。
【００２６】
一方、第２非軸放物面鏡３２及び第４非軸放物面鏡３４は、分析領域Ｃ３を挟んで第１領域Ｃ１に対向する第２領域Ｃ２に設けられる。第２領域Ｃ２に設けられる非軸放物面鏡３２、３４は、第２領域Ｃ２から分析領域Ｃ３を通過して第１領域Ｃ１へと向かう光路（以下、第２光路ともいう）を形成し、第１光路上の焦点Ｆ１、Ｆ２に集光された光を平行光にして反射させる。したがって第２領域Ｃ２に設けられる非軸放物面鏡３２、３４は、焦点Ｆ１、Ｆ２に集光された光を平行光にして反射させる反射鏡として機能する。
【００２７】
第１非軸放物面鏡３１は、第１非軸放物面鏡３１の反射面を構成する放物面の回転対称軸が光源１０からの光Ａ０の光軸と平行となるように配置される。これにより、光源１０からの光Ａ０は、第１非軸放物面鏡３１の回転対称軸に平行に入射し、第１非軸放物面鏡３１により反射された光Ａ１は、第１非軸放物面鏡３１が有する第１焦点Ｆ１に集光される。
【００２８】
第２非軸放物面鏡３２は、第１焦点Ｆ１の位置に第２非軸放物面鏡３２の焦点が位置するように配置される。これにより、第１焦点Ｆ１に集光された光Ａ１は、焦点位置を共有する第２非軸放物面鏡３２に焦点Ｆ１から発散する光として入射する。これにより、第２非軸放物面鏡３２により反射された光Ａ２は、平行光となって第２領域Ｃ２から第１領域Ｃ１へと向かう。
【００２９】
第３非軸放物面鏡３３は、反射面を構成する放物面の回転対称軸が第２非軸放物面鏡３２からの光Ａ２の光軸と平行となるように配置される。これにより、第２非軸放物面鏡３２からの光Ａ２は、第３非軸放物面鏡３３の回転対称軸に平行に入射し、第３非軸放物面鏡３３により反射された光Ａ３は、第３非軸放物面鏡３３が有する第２焦点Ｆ２に集光される。
【００３０】
第４非軸放物面鏡３４は、第２焦点Ｆ２の位置に第４非軸放物面鏡３４の焦点が位置するように配置される。これにより、第２焦点Ｆ２に集光された光Ａ３は、焦点位置を共有する第４非軸放物面鏡３４に焦点Ｆ２から発散する光として入射する。これにより、第４非軸放物面鏡３４により反射された光Ａ４は、平行光となって第２領域Ｃ２から第１領域Ｃ１へと向かう。
【００３１】
第５非軸放物面鏡３５は、反射面を構成する放物面の回転対称軸が第４非軸放物面鏡３４からの光Ａ４の光軸と平行となるように配置される。これにより、第４非軸放物面鏡３４からの光Ａ４は、第５非軸放物面鏡３５の回転対称軸に平行に入射し、第５非軸放物面鏡３５により反射された光Ａ５は、第５非軸放物面鏡３５が有する第３焦点Ｆ３に集光される。
【００３２】
以上の構成により、反射機構３０は、第１領域Ｃ１から分析領域Ｃ３を通過して第２領域Ｃ２へと向かう第１光路と、第２領域Ｃ２から分析領域Ｃ３を通過して第１領域Ｃ１へと向かう第２光路とが複数連なったジグザグ光路を形成する。
【００３３】
なお、本実施の形態の反射機構３０では、複数の非軸放物面鏡３１〜３５として、軸外し角および焦点距離が同じものを用いる。例えば、その値は、軸外し角度θが３０°であり、焦点距離が５０ｍｍである。それぞれの非軸放物面鏡における入射光と反射光とがなす角度は、軸外し角θの２倍の２θとなることから、軸外し角を同じとすることで、平行光として非軸放物面鏡３１、３３、３５に入射する光Ａ０、Ａ２、Ａ４の光軸は並行して進む。同様に、それぞれの焦点Ｆ１〜Ｆ３へ集光される光Ａ１、Ａ３、Ａ５の光軸も互いに並行して進む。
【００３４】
また、焦点距離の同じ非軸放物面鏡を用いるため、それぞれの焦点Ｆ１〜Ｆ３は、互いに対向する非軸放物面鏡の中間に位置する。その結果、互いに対向する非軸放物面鏡の距離は焦点距離の２倍の距離となり、それぞれの非軸放物面鏡の焦点距離を５０ｍｍとすれば、対向する非軸放物面鏡は１００ｍｍの間隔で配置される。
【００３５】
検出器４０は、流路管２０が設けられる分析領域Ｃ３の外に設けられ、分析領域Ｃ３を通過した光の強度を検出する。検出器４０は、フォトダイオードや光電管などにより構成され、入射口４２に入射する光を検出してその強度を電気信号に変換する。検出器４０は、流路管２０の長手方向に延びる駆動機構５０に取り付けられており、流路管２０の長手方向に移動可能とされる。検出器４０は、駆動機構５０に取り付けられることで、複数の検出位置４０ａ〜４０ｃに配置可能とされる。
【００３６】
複数の検出位置４０ａ〜４０ｃは、ジグザグ形状の光路上であって、第１領域Ｃ１から第２領域Ｃ２へと向かう第１光路上に設けられる。また、それぞれの検出位置４０ａ〜４０ｃは、第１領域Ｃ１に設けられる集光鏡の焦点Ｆ１〜Ｆ３に近い位置に設けられる。具体的には、検出位置４０ａ〜４０ｃは、焦点Ｆ１〜Ｆ３からの距離がそれぞれの集光鏡の焦点距離より短くなるような位置に設けられる。例えば、焦点距離が５０ｍｍである場合、検出位置４０ａ〜４０ｃの位置を焦点から３０ｍｍ離れた位置に設ける。このような配置関係とすることにより、集光鏡により集光された強度の高い光を検出器４０に入射させて、測定精度を高めることができる。
【００３７】
第１の検出位置４０ａは、第５非軸放物面鏡３５により反射された光Ａ５の光軸上に配置されており、ジグザグ光路の末端に設けられる。また、第１の検出位置４０ａは、第３焦点Ｆ３からの距離が第５非軸放物面鏡３５の焦点距離よりも短くなる位置に配置される。第１の検出位置４０ａは、他の検出位置４０ｂ、４０ｃと比べて分析領域Ｃ３を通過して検出位置に到達するまでの光路長が長い。そこで、濃度の低い試料を計測する場合に第１の検出位置４０ａを用いれば、試料中を通過することによる光の減衰量を大きくして測定精度を高めることができる。
【００３８】
第２の検出位置４０ｂ、４０ｃは、ジグザグ形状の光路の途中に設けられており、第１領域Ｃ１から第２領域Ｃ２へ向かう第１光路上に配置される。また、第２の検出位置４０ｂ、４０ｃは、第１光路上の焦点と第２領域Ｃ２に設けられる反射鏡との間の位置に設けられる。具体的には、光Ａ３が進む第１光路上に設けられる第２の検出位置４０ｂは、第２焦点Ｆ２と第４非軸放物面鏡３４との間の位置に設けられる。また、光Ａ１が進む第１光路上に設けられる第２の検出位置４０ｃは、第１焦点Ｆ１と第２非軸放物面鏡３２の間の位置に設けられる。
【００３９】
第２の検出位置４０ｂ、４０ｃは、第１の検出位置４０ａと比べて分析領域Ｃ３を通過して検出位置に到達するまでの光路長が短い。そのため、濃度の高い試料や吸光度の高い試料を測定する場合であっても、試料中を測定光が通過することにより光強度が減衰しきってしまう前の測定光を検出することができる。このように、光路の途中に第２の検出位置４０ｂ、４０ｃを設けることで、分析対象となる試料によって適切な光路長を選択することができ、その結果、測定可能な範囲を広げることができる。
【００４０】
駆動機構５０は、検出器４０を移動させて複数の検出位置４０ａ〜４０ｃに検出器４０を配置可能とする。駆動機構５０は、例えば、ステッピングモータとリードスクリューによる機構や、ベルト機構、リニアモータ機構などにより構成される。駆動機構５０は、流路管２０の長手方向に延びて設けられており、流路管２０の長手方向に検出器４０を移動させる。また、駆動機構５０は、制御部６０と電気的に接続されており、制御部６０からの制御信号により駆動する。
【００４１】
制御部６０は、光源１０、検出器４０、駆動機構５０と電気的に接続されており、これらの動作を制御する。制御部６０は、光源１０を駆動するための信号を生成して光源１０から測定光を出射させるとともに、分析領域Ｃ３を通過して検出器４０により検出された測定光の強度の値を取得する。
【００４２】
制御部６０は、検出器４０により検出された光強度の値が所定の範囲内ではない場合には、駆動機構５０を駆動して検出器４０の位置を移動させる。例えば、検出器４０が第１の検出位置４０ａに配置されている場合に、検出された光強度が所定の閾値未満であった場合、検出器４０を第２の検出位置４０ｂ、４０ｃのいずれかに移動させる。一方、検出器４０が第２の検出位置４０ｂ、４０ｃに配置されている場合に、検出された光強度が所定の閾値を超えた場合、検出器４０を第１の検出位置４０ａに移動させる。このように、制御部６０は、検出された光強度に応じて適切な光路長が選択されるよう検出器４０の位置を制御する。
【００４３】
上述の構成により、分析装置１００は、ジグザグ形状に構成された光路を用いて分析領域Ｃ３に存在する試料の吸光度を測定することができる。分析装置１００は、光路がジグザグ状に形成されているため、同じ光路長の光路を直線的に配置する場合と比べて装置を小型化することができる。また、分析装置１００では、ジグザグ状に光路を形成することで、光路の途中にも設けられる検出位置を一直線上に複数配置することができる。これにより、一台の検出器４０を直線的に移動させるだけで、測定光の光路長を変化させることができる。したがって、分析装置１００では、検出器４０の数を増やすことなく測定光の光路長を変化させることができ、複数の検出器４０を用いる場合と比べて装置を小型化することができる。
【００４４】
また、分析装置１００は、光源１０として紫外光ＬＥＤを用いているため、出力の高い紫外線ランプなどを用いる場合と比べて装置を小型化することができるとともに、光源１０の消費電力を下げることができる。また、分析装置１００では、非軸放物面鏡により測定光を集光させるとともに、測定が集光された位置に検出器４０を配置する。このため、光源１０として発光強度の低いものを用いる場合であっても、検出位置における光強度を高めることができ測定精度の低下を抑えることができる。これにより、測定精度を維持したまま装置を小型化することができる。
【００４５】
以上、本発明を実施の形態にもとづいて説明した。本発明は上記実施の形態に限定されず、種々の設計変更が可能であり、様々な変形例が可能であること、またそうした変形例も本発明の範囲にあることは、当業者に理解されるところである。
【００４６】
本実施の形態においては、光源１０が紫外光ＬＥＤにより構成される場合を示したが、
光源１０は、中心波長又はピーク波長の異なる複数のＬＥＤにより構成されてもよい。例えば、中心波長又はピーク波長の異なる複数の紫外光ＬＥＤを組み合わせることにより、分析対象となる試料に応じて最適な波長の光を発する紫外光ＬＥＤを選択して試料の測定を行うことができる。また、組み合わせるＬＥＤが発する光は紫外光に限られず、可視光や赤外光を発するＬＥＤを組み合わせることとしてもよい。この場合、制御部６０は、分析対象となる試料に応じて発光させるＬＥＤを切り替えて、波長ごとに測定光の強度を取得することによって、試料の成分や濃度を分析することとしてもよい。
【００４７】
本実施の形態においては、光源１０が紫外光ＬＥＤにより構成される場合を示したが、光源１０は、ＬＥＤ以外の光源を用いてもよく、レーザダイオードなどのレーザ光源を用いてもよい。
【００４８】
本実施の形態においては、複数の非軸放物面鏡３１〜３５の特性を同じにする場合を示したが、軸外し角や焦点距離の異なる非軸放物面鏡を組み合わせて用いることとしてもよい。例えば、第１領域Ｃ１に設けて集光鏡として用いる非軸放物面鏡については、焦点距離の長いものを採用し、第２領域Ｃ２に設けて反射鏡として用いる非軸放物面鏡については焦点距離の短いものを採用する。このような非軸放物面鏡を選択することにより、焦点位置を検出位置に近づけることができ、より強く集光された光を検出器４０にて検出させることができる。
【００４９】
本実施の形態においては、図示されるように複数の焦点Ｆ１〜Ｆ３が分析領域Ｃ３に位置する光学配置としたが、変形例においては、複数の焦点Ｆ１〜Ｆ３を分析領域Ｃ３ではなく第２領域Ｃ２に位置する構成としてもよい。例えば、流路管２０の短手方向の幅を狭くすることにより、流路管２０が第１領域Ｃ１に設けられる集光鏡と複数の焦点Ｆ１〜Ｆ３の間の位置に設けられるようにする。このような配置とすることで、焦点Ｆ１〜Ｆ３のより近くに検出位置を設けて、測定精度を高めることができる。
【００５０】
本実施の形態においては、反射機構３０が５つの非軸放物面鏡を有する構成としたが、非軸放物面鏡の数はこれに限られず、変形例においては、非軸放物面鏡を一つだけ有する構成としたり、三つや七つ以上の構成としてジグザグ光路の折り返しの数を変更することとしてもよい。また、ジグザグ光路の折り返しの数に応じて、第２の検出位置を設けない構成としてもよく、第２の検出位置を一つだけにしたり、三つ以上としてもよい。
【００５１】
本実施の形態においては、分析領域Ｃ３を流路管２０によって区画する場合を示したが、分析装置１００が流路管２０を備えない構成としてもよい。この場合、分析装置１００の周囲に存在する雰囲気ガスが分析対象の試料となり、分析領域Ｃ３となる空間は、第１領域Ｃ１に設けられる集光鏡と、第２領域Ｃ２に設けられる複数の検出位置との間の空間となる。
【符号の説明】
【００５２】
Ｃ１…第１領域、Ｃ２…第２領域、Ｃ３…分析領域、１０…光源、１２…コリメートレンズ、２０…流路管、２４…窓、３０…反射機構、３１…第１非軸放物面鏡、３２…第２非軸放物面鏡、３３…第３非軸放物面鏡、３４…第４非軸放物面鏡、３５…第５非軸放物面鏡、４０…検出器、４０ａ…第１の検出位置、４０ｂ，４０ｃ…第２の検出位置、５０…駆動機構、６０…制御部、１００…分析装置。
【図１】
2015081830.tif 000003
【図２】
2015081830.tif 000004