(57)【要約】      （修正有）【課題】マニホールドにおける振動の影響によって複数の吐出孔における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性を低減する液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。【解決手段】液体吐出ヘッド２は、吐出孔面４−１を含むとともに、吐出孔面４−１に設けられた複数の吐出孔のそれぞれに対して、個別に連結された複数の加圧室のそれぞれに対して連結されたマニホールド５を有した流路部材４と、加圧室を加圧して吐出孔から液体を吐出させるための圧電アクチュエータ基板２１と、を備え、マニホールド５は、第１部位５ａ、および第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に一部が位置する第２部位５ｂを有しており、流路部材４は、第１部位５ａおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間に位置する空間部７をさらに有する。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１主面を含むとともに、前記第１主面に設けられた複数の吐出孔、複数の該吐出孔のそれぞれに対して個別に連結された複数の加圧室、複数の該加圧室のそれぞれに対して連結されたマニホールドを有した流路部材と、
前記加圧室を加圧して前記吐出孔から液体を吐出させるための加圧部と、を備え、
前記マニホールドは、第１部位、および該第１部位よりも前記第１主面側に一部が位置する第２部位を有しており、
前記流路部材は、前記第１部位および前記第２部位と前記第１主面との間に位置する空間部をさらに有する、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記流路部材は、前記第１主面の反対側に位置する第２主面を含み、
前記加圧部は、前記第２主面側に配置されており、
前記第２主面側に位置する前記第１部位の面における、前記第１主面に対する高さ位置は、前記第２主面側に位置する前記第２部位の面における、前記第１主面に対する高さ位置と略同一である、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材は、前記第１主面の反対側に位置する第２主面を含み、
前記加圧部は、前記第２主面側に配置されており、
前記第２部位の一部は、前記第１部位よりも前記第２主面側に位置している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記空間部は、前記第１部位と前記第１主面との間に位置する第３部位、および前記第２部位と前記第１主面との間に位置する第４部位を有しており、
前記第３部位の一部は、前記第４部位よりも前記第１主面から遠い側に位置している、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第１部位と前記第３部位との離間距離は、前記第２部位と前記第４部位との離間距離と略同一である、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路部材は、複数のプレートが積層されて構成されており、
複数の前記プレートのうち一の前記プレートは、一方面および該一方面の反対側に位置する他方面を有しており、
前記第２部位は、前記一方面の一部が前記他方面側に凹んで形成され、
前記第３部位は、前記他方面の一部が前記一方面側に凹んで形成される、請求項４または５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記流路部材は、複数のプレートが接着材を介して積層されて構成されており、
前記空間部は、前記第１部位および前記第２部位と前記第１主面との間において、前記接着材が存在しない領域によって構成される、請求項１〜６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記流路部材は、前記マニホールドに連結しており、前記マニホールドへと液体を供給するための第１開口部を有しており、
前記第１部位は、前記第２部位に比して前記第１開口部に近い側に位置している、請求項１〜７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記第１主面側に位置する前記マニホールドの面における、前記第１主面に対する高さ位置は、前記マニホールドが前記第１開口部から遠ざかるにつれて低くなる、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記マニホールドは、当該マニホールド内を液体が流れる方向に並んで設けられた複数の溝部を有しており、
複数の前記溝部のうち、前記第１開口部に近い側に位置する前記溝部の平面視における面積は、前記第１開口部から遠い側に位置する前記溝部の平面視における面積よりも小さい、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記マニホールドは、当該マニホールド内を液体が流れる方向に設けられた溝部を有しており、
前記溝部の平面視における面積は、前記マニホールド内を液体が流れる方向に向かうに従って、大きい、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記マニホールドは、平面視して第１方向に沿って延びており、
前記第１開口部は、前記第１方向における前記マニホールドの一端部に連結しており、
前記流路部材は、前記第１方向における前記マニホールドの他端部に連結しており、前記マニホールドから液体を流出するための第２開口部を有している、請求項８〜１１のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記一端部と前記第１主面との間には、前記空間部は存在しない、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記流路部材は、前記マニホールドに連結しており、前記マニホールドへと液体を供給するための第１開口部を有しており、
前記第１部位は、前記第２部位に比して前記第１開口部から遠い側に位置している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記空間部は、前記流路部材の外部と連通している、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備えた記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドおよび記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体吐出ヘッドとしては、例えば、インクの液滴を記録媒体上に吐出することによって各種の印画を行うインクジェットヘッドが知られている。このような液体吐出ヘッドは、吐出孔面および当該吐出孔面の反対側に位置する加圧室面を含んだ流路部材を備える。流路部材は、吐出孔面に設けられた複数の吐出孔と、当該複数の吐出孔のそれぞれに対して個別に連結された複数の加圧室と、当該複数の加圧室のそれぞれに対して連結されたマニホールドと、を有する。また、流路部材の加圧室面上には、圧電アクチュエータ基板が設けられている。このような液体吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータ基板における振動に応じて加圧室を加圧することにより、マニホールドから加圧室へと供給された液体を吐出孔から吐出することができる（例えば、特許文献１参照）。ここで、マニホールドは、例えば、第１部位および当該第１部位よりも吐出孔面側に位置する第２部位を有する（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−９３１４０
【特許文献２】特開２００７−７５９９８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、マニホールドには、例えば、当該マニホールド内を流れる液体あるいは複数の加圧室の加圧に応じて、振動が生じることになる。マニホールドが振動すると、当該振動は、吐出孔面へと伝達されることになる。しかしながら、上記従来の液体吐出ヘッドでは、第１部位と吐出孔面との離間距離は、第２部位と吐出孔面との離間距離とは異なる。このため、第１部位から吐出孔面へと伝達される振動と、第２部位から吐出孔面へと伝達される振動とは、互いに異なる可能性があった。そのため、複数の吐出孔における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性があった。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、マニホールドにおける振動の影響によって複数の吐出孔における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性を低減することができる液体吐出ヘッドおよび記録装置に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドにおける一態様は、第１主面を含むとともに、前記第１主面に設けられた複数の吐出孔、複数の該吐出孔のそれぞれに対して個別に連結された複数の加圧室、複数の該加圧室のそれぞれに対して連結されたマニホールドを有した流路部材と、前記加圧室を加圧して前記吐出孔から液体を吐出させるための加圧部と、を備え、前記マニホールドは、第１部位、および該第１部位よりも前記第１主面側に一部が位置する第２部位を有しており、前記流路部材は、前記第１部位および前記第２部位と前記第１主面との間に位置する空間部をさらに有する。
【０００７】
本発明の記録装置における一態様は、本発明に係る液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドおよび記録装置は、マニホールドにおける振動の影響によって複数の吐出孔における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性を低減することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図３】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの長手方向における断面図である。
【図４】本実施形態に係る液体吐出ヘッドの短手方向における断面図である。
【図５】（ａ）は、本実施形態に係るヘッド本体の概略構成を示す平面図である。（ｂ）は、本実施形態に係る流路部材の概略構成を示す平面図である。
【図６】図５中に示した２点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図であり、説明の便宜上、一部の記載を省略した図である。
【図７】図５中に示した２点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図であり、説明の便宜上、一部の記載を省略した図である。
【図８】図５中に示した２点鎖線で囲んだ領域Ｂ１を拡大した図であり、マニホールドを示した図である。
【図９】図５中に示したＩ−Ｉ線断面図である。
【図１０】図６中に示したＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図１１】変形例１に係る液体吐出ヘッドにおいて、図９と同じ部位を示した図である。
【図１２】変形例２に係る液体吐出ヘッドにおいて、図８と同じ部位を示した図である。
【図１３】変形例２に係る液体吐出ヘッドにおいて、図９と同じ部位を示した図である。
【図１４】変形例２に係る液体吐出ヘッドの更なる変形例において、図１２と同じ部位を示した図である。
【図１５】変形例３に係る液体吐出ヘッドにおいて、図９と同じ部位を示した図である。
【図１６】変形例４に係る液体吐出ヘッドにおいて、図９と同じ部位を示した図である。
【図１７】変形例５に係る液体吐出ヘッドにおいて、図９と同じ部位を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１１】
但し、以下で参照する各図は、説明の便宜上、本発明の一実施形態の構成部材のうち、本発明を説明するために必要な主要部材を簡略化して示したものである。したがって、本発明に係る液体吐出ヘッド、および記録装置は、本明細書が参照する各図に示されていない任意の構成部材を備え得る。
【００１２】
図１は、本実施形態に係るプリンタ１の概略構成図である。なお、本実施形態では、プリンタ１は、カラーインクジェットプリンタであるが、これに限らず、モノクロインクジェットプリンタ等の記録装置であってもよい。
【００１３】
プリンタ１は、制御部１００、給紙ユニット１１４、搬送ユニット１２０、液体吐出ヘッド２、および紙受け部１１６を有する。ここで、プリンタ１における液体吐出ヘッド２および搬送ユニット１２０は、本発明に係る記録装置の一実施形態となる。
【００１４】
制御部１００は、上記の各部材における動作を制御する役割を有する。なお、制御部１００の配置については、特に限定されない。
【００１５】
給紙ユニット１１４は、用紙収容ケース１１５と、給紙ローラ１４５とを有している。用紙収容ケース１１５は、記録媒体を収容する役割を有する。本実施形態では、用紙収容ケース１１５には、記録媒体としての印刷用紙Ｐが複数枚積層された状態で収容されている。給紙ローラ１４５は、用紙収容ケース１１５に収容された印刷用紙Ｐを、搬送ユニット１２０に向けて１枚ずつ送り出す役割を有する。
【００１６】
なお、本実施形態では、給紙ユニット１１４と搬送ユニット１２０との間には、印刷用紙Ｐの搬送経路に沿って、二対の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂが配置されている。給紙ユニット１１４から送り出された印刷用紙Ｐは、上記の送りローラ１１８ａおよび１１８ｂ、ならびに、１１９ａおよび１１９ｂによってガイドされて、搬送ユニット１２０へと送り出される。
【００１７】
搬送ユニット１２０は、搬送ベルト１１１、ベルトローラ１０６および１０７、搬送モータ１７４、ならびに、ニップローラ１３８および１３９を有している。
【００１８】
搬送ベルト１１１は、用紙収容ケースから送り出された印刷用紙Ｐを、液体吐出ヘッド２に対して搬送する役割を有する。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７に巻き掛けられている。搬送ベルト１１１は、ベルトローラ１０６および１０７の共通接線をそれぞれ含む互いに平行な２つの平面に沿って、弛むことなく張られている。なお、液体吐出ヘッド２は、当該２つの平面のうち、一方側の平面に対向して配置される。このため、搬送ベルト１１１のうち液体吐出ヘッド２に対向する面は、印刷用紙Ｐを搬送するための搬送面１２７となる。
【００１９】
搬送モータ１７４は、搬送ベルト１１１を移動させる役割を有する。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６に接続されている。搬送モータ１７４は、ベルトローラ１０６を矢印Ａの方向に回転させることができる。ベルトローラ１０７は、搬送ベルト１１１に連動して回転することができる。したがって、搬送ベルト１１１は、搬送モータ１７４によってベルトローラ１０６を回転させることで、矢印Ａの方向に沿って移動することができる。
【００２０】
ニップローラ１３８および１３９は、搬送面１２７上に印刷用紙Ｐを固着する役割を有する。ニップローラ１３８および１３９は、搬送面１２７を挟み込んで、互いに対向して配置されている。ニップローラ１３８および１３９は、搬送ベルト１１１の移動に連動して回転する。ここで、給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、ニップローラ１３８と搬送面１２７との間に挟み込まれる。このため、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の搬送面１２７に押し付けられことで、搬送面１２７上に固着する。そして、印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１の移動に従って、液体吐出ヘッド２に対して搬送される。
【００２１】
液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐに対して液体を吐出する役割を有する。液体吐出ヘッド２は、搬送面１２７に対向して配置されている。具体的には、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａを有している。ヘッド本体２ａは、搬送面１２７に近い側に位置している。なお、液体吐出ヘッド２の詳細な構成については、後述する。
【００２２】
ここで、本実施形態では、ヘッド本体２ａからは、４色の液滴（インク）が吐出される。当該４色としては、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブ
ラック（Ｋ）を採用することができる。給紙ユニット１１４から搬送ユニット１２０へと送り出された印刷用紙Ｐは、液体吐出ヘッド２と搬送ベルト１１１の搬送面１２７との隙間を通過する。その際に、ヘッド本体２ａから印刷用紙Ｐに向けて液滴が吐出される。これによって、印刷用紙Ｐには、制御部１００によって記憶された画像データに基づくカラー画像が形成される。また、当該画像が形成された印刷用紙Ｐは、紙受け部１１６へと送り出される。
【００２３】
なお、本実施形態では、搬送ユニット１２０と紙受け部１１６との間には、剥離プレート１４０、二対の送りローラ１２１ａおよび１２１ｂ、ならびに、１２２ａおよび１２２ｂが配置されている。カラー画像が印刷された印刷用紙Ｐは、搬送ベルト１１１によって剥離プレート１４０へと搬送される。そして、印刷用紙Ｐは、送りローラ１２１ａ〜１２２ｂによって、紙受け部１１６に送り出される。
【００２４】
紙受け部１１６は、搬送ユニット１２０から送り出された印刷用紙Ｐを収容する役割を有する。紙受け部１１６は、搬送ユニット１２０から送り出された印刷用紙Ｐの搬送方向に配置されている。
【００２５】
なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド２とニップローラ１３８との間において、紙面センサ１３３が配置されている。紙面センサ１３３は、搬送面１２７上に搬送された印刷用紙Ｐの位置情報を検出する役割を有する。紙面センサ１３３は、例えば、発光素子および受光素子を有する。ここで、紙面センサ１３３によって検出された印刷用紙Ｐの位置情報は、制御部１００に送信される。制御部１００は、紙面センサ１３３から受信した検出結果に基づき、液体吐出ヘッド２あるいは搬送モータ１７４等を制御する。これによって印刷用紙Ｐの搬送と画像の印刷とを同期させることができる。
【００２６】
次に、図２〜図４を参照しながら、液体吐出ヘッド２の構成について説明する。図２は、液体吐出ヘッド２の概略構成を示す斜視図である。図３は、本実施形態に係る液体吐出ヘッド２の長手方向（図２にてＸ方向）における断面図である。図４は、液体吐出ヘッド２の短手方向（図２にてＹ方向）における断面図である。なお、図３および図４では、説明の便宜上、流路部材４およびリザーバ４０における流路の記載は省略する。
【００２７】
図２〜図４に示すように、液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ、リザーバ４０、筺体９０、配線基板９４、コネクタ９５、信号伝達部９２、ドライバＩＣ５５、押圧板９６、および断熱性弾性部材９７を備えている。なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド２は、ピエゾ方式の液体吐出ヘッドであるが、これに限らず、サーマル方式の液体吐出ヘッド等であってもよい。
【００２８】
ヘッド本体２ａは、吐出孔面４−１および当該吐出孔面４−１の反対側に位置する加圧室面４−２を含んだ流路部材４と、加圧室面４−２上に設けられた圧電アクチュエータ基板２１とを有する。ヘッド本体２ａは、圧電アクチュエータ基板２１の変位に応じて流路部材４の吐出孔面４−１から液滴を吐出することで、記録媒体に対して所定の印画を行う役割を有する。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａの流路部材４に対して、液体を供給する役割を有する。特に、本実施形態では、リザーバ４０は、流路部材４のマニホールド５内に液体を循環させる役割を有する。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａ上に設けられている。なお、ヘッド本体２ａおよび流路部材４の詳細な構成については後述する。
【００２９】
筺体９０は、液体吐出ヘッド２が備える各部材を収容する役割を有する。筺体９０は、少なくともヘッド本体２ａが有する流路部材４の吐出孔面４−１が露出するように、液体吐出ヘッド２が備える各部材を収容している。本実施形態では、筺体９０は、リザーバ４０上に設けられている。このため、図２に示すように、リザーバ４０およびヘッド本体２
ａの少なくとも一部は、筺体９０から露出している。筺体９０の構成材料としては、例えば、金属材料あるいは樹脂材料等が挙げられる。
【００３０】
配線基板９４は、液体吐出ヘッド２がプリンタ１に組み込まれた場合に、制御部１００から送信された駆動信号を受信する役割を有する。配線基板９４は、リザーバ４０上に設けられている。また、配線基板９４には、コネクタ９５が実装されている。配線基板９４としては、例えば、樹脂基板上あるいはセラミック基板上に各種の電子部品を備えたものを用いることができる。
【００３１】
ここで、圧電アクチュエータ基板２１は、信号伝達部９２を介して、コネクタ９５に接続されている。信号伝達部９２には、ドライバＩＣ５５が実装されている。信号伝達部９２としては、例えば、従来周知のフレキシブルプリント配線基板を用いることができる。
【００３２】
液体吐出ヘッド２では、配線基板９４は、制御部１００から受信した駆動信号を信号伝達部９２に送信する。次に、信号伝達部９２に実装されたドライバＩＣ５５は、当該駆動信号に所定の処理を施し、処理後の駆動信号を圧電アクチュエータ基板２１に対して送信する。そして、圧電アクチュエータ基板２１は、当該処理後の駆動信号に応じて変位することで、流路部材４の吐出孔面４−１から液滴を吐出させる。このように、吐出孔面４−１から吐出した液滴によって、記録媒体に対して所定の印画を行うことができる。
【００３３】
なお、配線基板９４およびドライバＩＣ５５の搭載個数については、特に限定されず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。また、配線基板９４はなくともよく、例えば、制御部１００と信号伝達部９２とが、直接電気的に接続されていてもよい。
【００３４】
押圧板９６は、ドライバＩＣ５５を筺体９０に対して押し当てる役割を有する。押圧板９６は、リザーバ本体４０上に設けられている。押圧板９６には、断熱性弾性部材９７が取り付けられている。ここで、押圧板９６は、断熱性弾性部材９７および信号伝達部９２を介してドライバＩＣ５５を筺体９０に押し当てている。このため、ドライバＩＣ５５において発生した熱を、筺体９０へと伝達することができる。そのため、当該熱を液体吐出ヘッド２の外側へと放熱することができる。
【００３５】
なお、当該熱を液体吐出ヘッド２の外側へと効率的に放熱するために、筺体９０の構成材料は、熱伝導率が相対的に大きい材料であることが好ましい。具体的には、筺体９０の構成材料は、例えば、金属材料であることが好ましい。
【００３６】
また、本実施形態では、信号伝達部９２は、筺体９０内において湾曲して配置されている。このため、信号伝達部９２には、湾曲状態から定常状態へと戻ろうとする力が働く。ここで、ドライバＩＣ５５は、当該力によって、筺体９０により強く押し当てられることになる。そのため、ドライバＩＣ５５において発生した熱を、筺体９０により伝達しやすくなる。
【００３７】
次に、図２〜図４に加えて、図５〜図１０を参照しつつ、ヘッド本体２ａおよびリザーバ４０について、詳細に説明する。
【００３８】
図５の（ａ）は、ヘッド本体２ａの概略構成を示す平面図である。図５の（ｂ）は、流路部材４の概略構成を示す平面図である。図６は、図５中に示した２点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。なお、図６において示される各部材は、説明の便宜上実線で記載している。図７は、図５中に示した２点鎖線で囲んだ領域Ａ１を拡大した図である。なお、図７において示される各部材は、説明の便宜上実線で記載している。図８は、図５中
に示した２点鎖線で囲んだ領域Ｂ１を拡大した図であり、マニホールド５を示した図である。図９は、図５中に示したI-I線断面図である。図１０は、図６中に示したIＩ-IＩ線断面図である。
【００３９】
ヘッド本体２ａは、流路部材４および圧電アクチュエータ基板２１を有している。なお、本実施形態では、ヘッド本体２ａは、平面視して略矩形状であるが、これに限らず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。
【００４０】
流路部材４は、図９および図１０に示すように、複数のプレートが積層された積層構造を有している。具体的には、流路部材４は、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｇ、第１カバープレート４ｈ、第２カバープレート４ｉ、およびノズルプレート４ｊが順次積層して構成されている。ここで、ノズルプレート４ｊの下面は、吐出孔８が設けられる吐出孔面４−１である。また、キャビティプレート４ａの上面は、圧電アクチュエータ基板２１が配置される加圧室面４−２である。
【００４１】
各プレート４ａ〜ｊの構成材料としては、例えば、金属材料、ステンレス、シリコンが挙げられる。特に、ノズルプレート４ｊの構成材料としては、例えば、ステンレス、ニッケル、ポリイミド、シリコン等が挙げられる。流路部材４は、例えば、各プレート４ａ〜ｊが８０〜１５０℃の温度条件下で硬化させた図示しない接着材を介して互いに接着されることで形成される。また、各プレート４ａ〜ｊの厚みは、例えば、１０〜３００μｍとすることができる。
【００４２】
ここで、各プレート４ａ〜ｊには、多数の孔が形成されている。本実施形態では、当該孔によって、マニホールド５、個別流路１２、吐出孔８、および空間部７を構成する。なお、当該孔は、例えば、各プレート４ａ〜ｊの所定箇所にエッチングを施すことによって形成される。
【００４３】
マニホールド５は、個別流路１２に対して液体を供給する役割を有する。マニホールド５は、マニホールドプレート４ｅ〜ｇに形成された複数の孔によって主に構成される。本実施形態では、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って延びている４つのマニホールド５が、略平行に配置されている。マニホールド５は、第１部位５ａおよび第２部位５ｂを有する。第１部位５ａおよび第２部位５ｂは、マニホールド５の長手方向（Ｘ方向）において、当該マニホールド５を複数の部位に分断した場合におけるいずれかの部位を指す。本実施形態では、第１部位５ａは、図８に示すように、Ｘ方向においてマニホールドを２等分した場合の一方側を指す。また、第２部位５ｂは、図８に示すように、Ｘ方向においてマニホールドを２等分した場合の他方側を指す。第２部位５ｂの一部は、第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に位置している。
【００４４】
具体的には、マニホールド５のうち、吐出孔面４−１側に位置する面５−１は、第１部位５ａと第２部位５ｂとの境界において段差を有する。このため、第１部位５ａに対応する面５−１と吐出孔面４−１との離間距離は、第２部位５ｂに対応する面５−１と吐出孔面４−１との離間距離よりも大きい。また、マニホールド５のうち、加圧室面４−２側に位置する面５−２は、第１部位５ａに対応する面５−２と、第２部位５ｂに対応する面５−２とを有する。本実施形態では、第１部位５ａに対応する面５−２における、吐出孔面４−１に対する高さ位置は、第２部位５ｂに対応する面５−２における、吐出孔面４−１に対する高さ位置と略同一である。すなわち、マニホールド５のうち、加圧室面４−２側に位置する面５−２は、第１部位５ａと第２部位５ｂとの境界において段差を有しておらず、略同一平面となっている。
【００４５】
流路部材４の加圧室面４−２には、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）における一端において第１開口部５ｃが設けられている。第１開口部５ｃは、マニホールド５へと液体を供給する役割を有する。当該第１開口部５ｃは、Ｘ方向におけるマニホールド５の一端部５ｄに連通している。なお、本実施形態では、一端部５ｄは、マニホールド５のうち、平面視して第１開口部５ｃと重なる部位を指す。また、本実施形態では、第１部位５ａは、第２部位５ｂよりも第１開口部５ｃ側に位置している。
【００４６】
流路部材４の加圧室面４−２には、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）における他端において第２開口部５ｅが設けられている。第２開口部５ｅは、第１開口部５ｃからマニホールド５へと供給された液体の一部を流出する役割を有する。当該第２開口部５ｅは、Ｘ方向におけるマニホールド５の他端部５ｆに連通している。なお、本実施形態では、他端部５ｆは、マニホールド５のうち、平面視して第２開口部５ｅと重なる部位を指す。
【００４７】
このように、本実施形態では、マニホールド５には、第１開口部５ｃから液体が供給されるとともに、当該マニホールド５を流れる液体の一部が第２開口部５ｅから流出する。このため、マニホールド５内に気泡が混入してしまう可能性を低減することができる。なお、第２開口部５ｅはマニホールド５へと供給された液体の一部を流出する役割を有していなくともよく、例えば、第１開口部５ｃと同様にマニホールド５に液体を供給する役割を有していてもよい。
【００４８】
個別流路１２は、マニホールド５から供給された液体を吐出孔８へと導く流路である。具体的には、個別流路１２は、マニホールド５から、個別供給路１４、しぼり６、加圧室１０を介して、吐出孔８へと連通する流路を指す。
【００４９】
個別供給路１４は、サプライプレート４ｄに形成された孔によって構成される。個別供給路１４は、複数設けられている。複数の個別供給路１４は、それぞれ、マニホールド５と連通している。このため、マニホールド５に収容された液体は、複数の個別供給路１４を介して、複数の吐出孔８へと個別に供給される。
【００５０】
しぼり６は、加圧室１０が加圧された場合に、当該加圧室１０内に収容された液体が、マニホールド５へと逆流する可能性を低減する役割を有する。このため、しぼり６における流路の断面積は、加圧室１０と吐出孔８とを連通する流路の断面積よりも小さい。しぼり６は、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃに形成された孔によって構成される。しぼり６は、個別供給路１４と連通している。このため、しぼり６は、複数の個別供給路１４のそれぞれに対応して、複数設けられている。
【００５１】
加圧室１０は、圧電アクチュエータ基板２１によって加圧されることによって、当該加圧室１０内に収容された液体を吐出孔８へと供給する役割を有する。加圧室１０は、キャビティプレート４ａに形成された孔によって構成される。加圧室１０は、ベースプレート４ｂの形成された孔を介して、しぼり６と連通している。このため、加圧室１０は、複数のしぼり６のそれぞれに対応して、複数設けられている。
【００５２】
加圧室１０は、図６および図７に示すように、平面視して角部にアールが施された略菱形状をなしている。複数の加圧室１０は、千鳥状に配置されている。また、複数の加圧室１０は、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って列状に配置されている。本実施形態では、列状に配置された複数の加圧室１０を、加圧室列１１と称する。加圧室列１１は、マニホールド５の両側に２列ずつ設けられている。ここで、マニホールド５は、４つ設けられている。このため、加圧室列１１は、合計１６列設けられている。なお、本実施形態では、各加圧室列１１に含まれた互いに隣り合う加圧室１０同士の間隔は、略同じである。また、各加圧室列１１の端に位置する加圧室１０は、マニホールド５と連通していな
いダミーとなっている。このため、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなり、液体吐出特性の差を小さくすることができる。
【００５３】
吐出孔８は、加圧室１０から供給された液体を外部に吐出する役割を有する。吐出孔８は、ノズルプレート４ｊに形成された孔が、吐出孔面４−１において開口することで構成される。吐出孔８は、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜ｇ、第１カバープレート４ｈ、第２カバープレート４ｉ、およびノズルプレート４ｊに形成された複数の孔を介して、加圧室１０と連通している。このため、吐出孔８は、複数の加圧室１０のそれぞれに対応して、複数設けられている。
【００５４】
複数の吐出孔８は、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って列状に配置されている。本実施形態では、列状に配置された複数の吐出孔８を、吐出孔列９と称する。吐出孔列９は、加圧室列１１に対応して、１６列設けられている。具体的には、加圧室１０と吐出孔８とを連通する個別流路１２は、ヘッド本体２ａの短手方向（Ｙ方向）に沿って、加圧室１０の角部から遠ざかるように設けられている。このため、吐出孔列９は、ヘッド本体２ａの短手方向（Ｙ方向）において、加圧室列１１と並んで位置している。また、吐出孔列９に含まれた互いに隣り合う吐出孔８同士の間隔は、加圧室列１１に含まれた互いに隣り合う加圧室１０同士の間隔と略同一である。
【００５５】
ここで、１列の吐出孔列９に含まれた互いに隣り合う吐出孔８のうち、一方の吐出孔８からヘッド本体２ａの短手方向（Ｙ方向）に引いた仮想線を線Ｘ１とする。また、他方の吐出孔８からヘッド本体２ａの短手方向（Ｙ方向）に引いた仮想線を線Ｘ２とする。本実施形態では、吐出孔列９は、合計１６列設けられており、線Ｘ１と線Ｘ２との間には、前記の一方の吐出孔８と他方の吐出孔８とを含めると、合計１７個の吐出孔８が存在する。また、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）に延びる投影仮想線に対して、当該１７個の吐出孔８を短手方向（Ｙ方向）に移動させることにより投影すると、プロット仮想線に投影された各点は、互いに等間隔に配置されている。すなわち、本実施形態では、液体吐出ヘッド２は、線Ｘ１と線Ｘ２との間隔をＲｄｐｉ（dot per inch）とするとき、１６Ｒｄｐｉの解像度で画像を形成することができる。
【００５６】
なお、複数の加圧室１０および複数の吐出孔８の配置位置あるいは個数については、上記に限らず、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜変更することができる。
【００５７】
空間部７は、マニホールド５の第１部位５aおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との
間に設けられている。空間部７は、第２カバープレート４iに設けられた孔によって形成
される。具体的には、空間部７は、第１カバープレート４ｈ、第２カバープレート４i、
およびノズルプレート４ｊに取り囲まれるように形成される。空間部７は、流路部材４内における液体の流路とは連結していない。液体吐出ヘッド２では、流路部材４が空間部７を有しているため、マニホールド５と空間部７との間に位置する第１カバープレート４ｈがダンパとしての役割を果たす。すなわち、マニホールド５は、当該マニホールド５と空間部７との間に位置する第１カバープレート４ｈが変形することによって、体積を変化させることができる。このため、マニホールド５に対する液体の供給量に応じて吐出孔８における液体の吐出特性が変動してしまう可能性を低減することができる。
【００５８】
なお、空間部７は、流路部材４の外部と連通していることが好ましい。具体的には、流路部材４は、空間部７と外部とを連通する連通孔を有していることが好ましい。空間部７が流路部材４の外部と連通していると、空間部７の体積変化に応じて当該空間部７における圧力が変化する可能性を低減することができる。このため、マニホールド５と空間部７
との間に位置する第１カバープレート４ｈにおけるダンピング効果を向上することができる。
【００５９】
また、第１カバープレート４ｈの構成材料としては、例えば、金属材料、あるいは樹脂材料であることが好ましい。
【００６０】
このように、液体吐出ヘッド２では、マニホールド５は、第１部位５aおよび当該第１
部位５aよりも吐出孔面４−１側に一部が位置する第２部位５ｂを有する。また、空間部
７は、第１部位５aおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間に位置している。このた
め、マニホールド５における振動の影響によって液体の吐出特性が低下してしまう可能性を低減することができる。
【００６１】
具体的には、本実施形態では、第１部位５ａは、第２部位５ｂよりも第１開口部５ｃ側に位置している。すなわち、マニホールド５内においては、液体は、第１部位５ａが位置する上流側から、第２部位５ｂが位置する下流側へと流れることになる。ここで、液体吐出ヘッド２では、第２部位５ｂの一部が第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に位置している。また、マニホールド５のうち、加圧室面４−２側に位置する面５−２は、第１部位５ａと第２部位５ｂとの境界において段差を有しておらず、略同一平面となっている。このため、第２部位５ｂにおける流路断面積は、第１部位５ａにおける流路断面積よりも大きくなる。このため、下流側における流路抵抗を相対的に小さくすることができる。そのため、下流側における圧力降下を抑制することができる。
【００６２】
なお、第２部位５ｂの一部を第１部位５ａよりも吐出孔面４−１から遠い側に配置することで、第２部位５ｂにおける流路断面積を第１部位５ａにおける流路断面積よりも大きくしようとすると、複数の個別供給路１４のそれぞれの長さにばらつきが生じてしまう。また、第２部位５ｂのＹ方向における幅を大きくすることで、第２部位５ｂにおける流路断面積を第１部位５ａにおける流路断面積よりも大きくしようとすると、液体吐出ヘッド２自体が大型化してしまう。このような事情から、本実施形態では、第２部位５ｂの一部を第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に配置することで、第２部位５ｂにおける流路断面積を第１部位５ａにおける流路断面積よりも大きくしている。
【００６３】
ここで、マニホールド５には、例えば、マニホールド５内を流れる液体の流速の変化、あるいは複数の加圧室１０の加圧に応じて、振動が生じる。しかしながら、上記の構成によると、第１部位５ａと吐出孔面４−１との離間距離と、第２部位５ｂと吐出孔面４−１との離間距離とは、互いに異なることになる。このため、従来の液体吐出ヘッドのように、第１部位および第２部位と吐出孔面との間が部材によって詰まっている場合、第１部位と吐出孔面との間に位置する部材の剛性と、第２部位と吐出孔面との間に位置する部材の剛性とが互いに異なる可能性があった。このため、第１部位から吐出孔面へと伝達される振動と、第２部位から吐出孔面へと伝達される振動とは、互いに異なる可能性があった。すなわち、吐出孔面に設けられた複数の吐出孔のうち、第１部位の近傍に位置する吐出孔と第２部位の近傍に位置する吐出孔とでは、吐出孔面における振動による吐出特性の変化に差が生じる可能性があった。
【００６４】
そこで、液体吐出ヘッド２では、流路部材４は、第１部位５ａおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間に空間部７を有している。このため、当該空間部７によって、第１部位５ａおよび第２部位５ｂから吐出孔面４−１へと直接的に振動が伝達される可能性を低減することができる。そのため、第１部位５ａおよび第２部位５ｂにおける振動の影響によって、複数の吐出孔８における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性を低減することができる。
【００６５】
なお、本実施形態では、第１部位５ａが第２部位５ｂよりも第１開口部５ｃ側に位置する例について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、本発明は、平面方向（Ｘ方向およびＹ方向）における第１部位５ａと第２部位５ｂとの位置関係について限定されるものではなく、マニホールド５の面５−１の少なくとも一部と、吐出孔面４−１とが平行でない限りは、空間部７によって本発明の効果を奏し得るものである。
【００６６】
また、本実施形態のように、マニホールド５の一端部５ｄと吐出孔面４−１との間には、空間部７が介在しないことが好ましい。具体的には、液体吐出ヘッド２では、第１開口部５ｃからマニホールド５の一端部５ｄへと供給した液体の一部を、第２開口部５ｅから流出させることで、マニホールド５内に収容された液体を循環させる。このため、マニホールド５の一端部５ｄへと供給する液体の流速は、液体を循環させない場合に比して速く設定される。ところで、一端部５ｄに対応するマニホールド５の面５−１は、第１開口部５ｃから供給された液体によって圧力が加わりやすい部位である。そこで、本実施形態では、一端部５ｄと吐出孔面４−１との間に空間部７が存在しない。このため、一端部５ｄに対応するマニホールド５の面５−１に加わった圧力によって、第１カバープレート４ｈが破損してしまう可能性を低減することができる。なお、本実施形態のように、第１カバープレート４ｈをマニホールド５のダンパとして利用する場合は、第１カバープレート４ｈの厚みを相対的に小さくする必要があるため、当該第１カバープレート４ｈに破損が生じやすく、上記の構成が好適である。
【００６７】
また、一端部５ｄに対応するマニホールド５の面５−１は、第１開口部５ｃから供給される液体の流速の変化に応じて、加わる応力が変動しやすい部位である。本実施形態では、一端部５ｄに対応するマニホールド５の面５−１の下方に空間部７が存在しないため、第１カバープレート４ｈが過剰に振動してしまう可能性を低減することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、マニホールド５のうち、加圧室面４−２側に位置する面５−２は、第１部位５ａと第２部位５ｂとの境界において段差を有しておらず、略同一平面となっている例について説明したが、本発明はこれに限定されない。すなわち、第２部位５ｂの一部は、第１部位５ａよりも加圧室面４−２側に位置していてもよい。このような構成では、第２部位５ｂにおける流路断面積は、第１部位５ａにおける流路断面積よりも更に大きくなる。このため、下流側における流路抵抗を相対的に小さくすることができる。そのため、下流側における圧力降下を抑制することができる。また、第２部位５ｂの一部が第１部位５ａよりも加圧室面４−２側に位置しているので、第２部位５ｂの上方に存在する気泡が、第２開口部５ｅを介して流路部材４の外部へ逃げ易くなる。
【００６９】
圧電アクチュエータ基板２１は、ヘッド本体２ａと同様に、平面視して略矩形状である。圧電アクチュエータ基板２１の平面視における面積は、流路部材４の加圧室面４−２の平面視における面積よりも小さい。具体的には、圧電アクチュエータ基板２１は、流路部材４における第１開口部５ｃおよび第２開口部５ｅが露出するように、当該流路部材４の加圧室面４−２上に設けられている。なお、圧電アクチュエータ基板２１は、加圧室面４−２上に設けられていなくともよく、複数の加圧室１０のそれぞれを加圧することができるように構成されていればよい。圧電アクチュエータ基板２１は、圧電セラミック層２１ａ，２１ｂ、共通電極２４、個別電極２５、接続電極２６、ダミー接続電極２７、および共通電極用表面電極２８を有する。
【００７０】
圧電セラミック層２１ａは、振動板としての役割を有する。圧電セラミック層２１ａは、加圧室面４−２上において、キャビティプレート４ａに形成された複数の孔を覆っている。圧電セラミック層２１ａに覆われた複数の孔は、加圧室１０を構成する孔である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａの略全面上に設けられている。圧電セラミック層２１ｂは、共通電極２４の略全面上に設けられている。個別電極２５は、圧電セラミック
層２１ｂ上において、加圧室１０に対応して複数設けられている。具体的には、個別電極２５は、平面視して加圧室１０と重なるように配置された個別電極本体２５ａ、および、加圧室１０と重ならないように配置された引き出し電極２５ｂを有している。ここで、共通電極２４は、圧電セラミック層２１ｂ上に設けられた共通電極用表面電極２８を介して、信号伝達部９２に電気的に接続されている。また、個別電極本体２５ａは、引き出し電極２５ｂ上に設けられた接続電極２６を介して、信号伝達部９２に電気的に接続されている。なお、本実施形態では、圧電セラミック層２１ｂ上にダミー電極２７が設けられている。このため、信号伝達部９２と、共通電極用表面電極２８および接続電極２６との電気的接続信頼性を向上することができる。
【００７１】
圧電アクチュエータ基板２１では、信号伝達部９２から共通電極２４および個別電極２５へと送出された駆動信号に応じて、圧電セラミック層２１ｂが変位する。そして、圧電セラミック層２１ａは、圧電セラミック層２１ｂの変位に応じて加圧室１０側へと湾曲することで、当該加圧室１０に所定の圧力を加える。これにより、加圧室１０に収容された液体が、吐出孔８へと供給される。
【００７２】
圧電セラミック層２１ａ,２１ｂの構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛
またはチタン酸バリウムが挙げられる。共通電極２４、個別電極２５、接続電極２６、ダミー接続電極２７、および共通電極用表面電極２８の構成材料としては、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ―Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ｃｕが挙げられる。圧電アクチュエータ基板２１の形成方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。すなわち、ロールコータ法、スリットコーター法等のテープ成形法により、圧電性セラミック粉末および有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電セラミック層２１ａ、２１ｂとなる複数のグリーンシートを作製する。次に、グリーンシートの表面に、共通電極２４となる電極ペーストを印刷法等により形成する。また、グリーンシートの一部にビアホールを形成し、その内部にビア導体を充填する。その後、各グリーンシートを積層して積層体を作製し、加圧密着を行なう。加圧密着後、積層体を高濃度酸素雰囲気下で焼成する。そして、焼成後の積層体に個別電極２５および接続電極２６となる電極ペーストを印刷法等により形成し、焼成する。これにより、圧電アクチュエータ基板２１が形成される。
【００７３】
リザーバ４０は、ヘッド本体２ａ上に配置されている。具体的には、リザーバ４０は、流路部材４の加圧室面４−２上に配置されている。ここで、流路部材の加圧室面４−２は、図５に示すように、ヘッド本体２ａの長手方向（Ｘ方向）の一端に位置する領域Ｅ１、および他端に位置する領域Ｅ２を有している。本実施形態では、リザーバ４０は、領域Ｅ１および領域Ｅ２において、図示しない接着材料を介して流路部材４の加圧室面４−２と接着されている。また、リザーバ４０は、圧電アクチュエータ基板２１と空間Ｓ１を介して離間して配置されている。
【００７４】
リザーバ４０の内部には、流路部材４に対して液体を供給するために、図示しない流路が設けられている。当該流路は、液体吐出ヘッド２の使用態様に応じて適宜設計変更することができる。本実施形態では、領域Ｅ１において流路部材４の加圧室面４−２と接着されたリザーバ４０から、第１開口部５ｃに対して液体を供給することができる。また、領域Ｅ２において流路部材４の加圧室面４−２と接着されたリザーバ４０から、第２開口部５ｅから液体を流出することができる。
【００７５】
リザーバ４０は、例えば、流路部材４と同様に、複数のプレートが積層された積層構造を有している。複数のプレートの構成材料としては、例えば、金属材料、樹脂材料、あるいはセラミック材料等が挙げられる。また、リザーバ内の流路は、例えば、複数のプレートの所定箇所にエッチングを施すことによって形成される。
【００７６】
なお、上述した実施形態は、本発明の実施形態の一具体例を示したものであり、種々の変形が可能である。以下、いくつかの主な変形例を示す。また、下記の変形例において、上述した実施形態と同様の部材については、同様の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７７】
［変形例１］
図１１は、変形例１に係る液体吐出ヘッド２００を示しており、図９と同じ部位を示した図である。
【００７８】
図１１に示すように、液体吐出ヘッド２００では、マニホールド５の吐出孔面４−１側の面５-１は、吐出孔面４−１に対して傾いている。具体的には、マニホールドの面５−
１の吐出孔面４−１に対する高さ位置は、第１開口部５ｃから遠ざかるにつれて低くなっている。換言すると、マニホールドの面５−１と吐出孔面４−１との離間距離は、マニホールド５が一端部５ｄから他端部５ｆに近づくにつれて小さくなっている。このような構成によれば、マニホールド５内を流れる液体の下流側（他端部５ｆ側）における流路抵抗を段階的に小さくすることができる。このため、複数の吐出孔８における液体の吐出特性にばらつきが生じる可能性をより低減することができる。
【００７９】
なお、変形例１では、上述した実施形態と同様、第１部位５ａは、Ｘ方向においてマニホールドを２等分した場合の一方側を指す。また、第２部位５ｂは、Ｘ方向においてマニホールドを２等分した場合の他方側を指す。すなわち、第２部位５ｂの一部は、第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に位置している。
【００８０】
［変形例２］
図１２は、変形例２に係る液体吐出ヘッド３００を示しており、図８と同じ部位を示した図である。図１３は、変形例２に係る液体吐出ヘッド３００を示しており、図９と同じ部位を示した図である。
【００８１】
図１２および図１３に示すように、液体吐出ヘッド３００では、マニホールド５は、複数の溝部５Ａ〜Ｇを有する。溝部５Ａ〜Ｇは、マニホールド５の面５−１の一部が吐出孔面４−１側に凹んで設けられている。溝部５Ａ〜Ｇは、液体がマニホールド５内を流れる方向であるＸ方向に並んで設けられている。溝部５Ａ〜Ｇは、一端部５ｄに近い側から順に配置されている。ここで、溝部５Ａの平面視における面積は、溝部５Ｇの平面視における面積よりも小さい。このため、マニホールド５内を流れる液体の下流側（他端部５ｆ側）における流路抵抗を小さくすることができる。そのため、複数の吐出孔８における液体の吐出特性のばらつきを低減することができる。
【００８２】
また、変形例２のように、溝部５Ａ〜Ｇのそれぞれの平面視における面積は、第１開口部５ｃから遠ざかるにつれて大きくなることが好ましい。このような構成によれば、マニホールド５内を流れる液体の下流側（他端部５ｆ側）における流路抵抗を段階的に小さくすることができる。このため、複数の吐出孔８における液体の吐出特性のばらつきをより低減することができる。
【００８３】
また、変形例２では、溝部５Ａ〜Ｇは、平面視して略矩形状であるが、これに限らない。溝部５Ａ〜Ｇの平面視における形状は任意であり、液体吐出ヘッド３００の使用態様に応じて適宜変更することができる。
【００８４】
図１４は、変形例２に係る液体吐出ヘッド３００の更なる変形例を示しており、図１２と同じ部位を示した図である。
【００８５】
図１４に示すように、液体吐出ヘッド３００では、マニホールド５は、複数の溝部５Ｈ〜Ｊを有する。溝部５Ｈ〜Ｊは、マニホールド５の面５−１の一部が吐出孔面４−１側に凹んで設けられている。溝部５Ｈ〜Ｊは、液体がマニホールド５内を流れる方向であるＸ方向に沿うように設けられている。また、溝部５Ｈ〜Ｊは、液体がマニホールド５内を流れる方向であるＸ方向に直交する方向であるＹ方向に並んで設けられている。溝部５Ｈ〜Ｊの平面視における面積は、液体がマニホールド５内を流れる方向であるＸ方向に向かうに従って、大きくなるように、マニホールド５の面５−１に形成されている。すなわち、溝部５Ｈ〜Ｊの平面視における面積は、一端部５ｄから他端部５ｆに向かうに従って、大きくなる。このため、マニホールド５内を流れる液体の下流側（他端部５ｆ側）における流路抵抗を小さくすることができる。そのため、複数の吐出孔８における液体の吐出特性のばらつきを低減することができる。
【００８６】
また、溝部５Ｈ〜Ｊは、液体がマニホールド５内を流れる方向であるＸ方向に沿うように設けられているので、Ｘ方向に並んで溝部５Ａ〜Ｇが設けられている場合と比べて、液体の流れを阻害する可能性を低減することができる。
【００８７】
なお、変形例２では、溝部５Ｈ〜Ｊを３つ有しているが、これに限らない。溝部５Ｈ〜Ｊの数は１つでもよいし、４つ以上であってもよく、液体吐出ヘッド３００の使用態様に応じて適宜変更することができる。
【００８８】
ここで、本明細書において、溝部５Ａ〜Ｇ,５Ｈ〜Ｊの平面視における面積とは、マニ
ホールド５の面５−１のうち吐出孔面４−１側に凹んだ部分の面積を指す。
【００８９】
また、変形例２では、第１部位５ａは、溝部５Ａ〜Ｇ,５Ｈ〜Ｊが形成されていない部
位を指す。また、第２部位５ｂは、溝部５Ａ〜Ｇ,５Ｈ〜Ｊが形成されている部位を指す
。すなわち、第２部位５ｂの一部は、第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に位置している。
【００９０】
［変形例３］
図１５は、変形例３に係る液体吐出ヘッド４００を示しており、図９と同じ部位を示した図である。
【００９１】
図１５に示すように、液体吐出ヘッド４００では、空間部７は、第３部位７ａおよび第４部位７ｂを有する。第３部位７ａは、空間部７のうち第１部位５ａと吐出孔面４−１との間に位置する部位である。第４部位７ｂは、空間部７のうち第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間に位置する部位である。
【００９２】
ここで、第３部位７ａの一部は、第４部位７ｂよりも吐出孔面４−１から遠い側に位置している。具体的には、空間部７のうち、吐出孔面４−１から遠い側に位置する面７−１は、第３部位７ａと第４部位７ｂとの境界において段差を有する。このため、第３部位７ａに対応する面７−１と吐出孔面４−１との離間距離は、第４部位７ｂに対応する面７−１と吐出孔面４−１との離間距離よりも大きい。このような構成によれば、第１部位５ａと第３部位７ａとの離間距離と、第２部位５ｂと第４部位７ｂとの離間距離との差を小さくすることができる。そのため、第１部位５ａに対応する第１カバープレート４ｈにおけるダンピング効果と、第２部位５ｂに対応する第１カバープレート４ｈにおけるダンピング効果との間に、差異が生じてしまう可能性を低減することができる。
【００９３】
なお、変形例３にように、第１部位５ａと第３部位７ａとの離間距離と、第２部位５ｂと第４部位７ｂとの離間距離とは、略同一であることが好ましい。このような構成によれば、第１部位５ａに対応する第１カバープレート４ｈにおけるダンピング効果と、第２部
位５ｂに対応する第１カバープレート４ｈにおけるダンピング効果との間に、差異が生じてしまう可能性をより低減することができる。ここで、第１部位５ａと第３部位７ａとの離間距離をＤ１とする。また、第２部位５ｂと第４部位７ｂとの離間距離をＤ２とする。本明細書において、Ｄ１とＤ２とが略同一であるとは、Ｄ１−０．１Ｄ１≦Ｄ２≦Ｄ１＋０．１Ｄ１を満たすものとすることができる。
【００９４】
また、変形例３のように、第１カバープレート４ｈは、一方面４ｈ−１および当該一方面４ｈ−１の反対側に位置する他方面４ｈ−２を有しており、第２部位５ｂは一方面４ｈ−１が他方面４ｈ−２側に凹んで形成されており、第３部位７ａは他方面４ｈ−２が一方面４ｈ−１側に凹んで形成されていることが好ましい。このような構成によれば、第１カバープレート４ｈの一方面４ｈ−１および他方面４ｈ−２を加工することによって、第２部位５ｂの一部を第１部位５ａよりも吐出孔面４−１側に配置するとともに、第３部位７ａの一部を第４部位７ｂよりも吐出孔面４−１から遠い側に配置することができる。このため、製造工程を簡略化することができる。
【００９５】
［変形例４］
図１６は、変形例４に係る液体吐出ヘッド５００を示しており、図９と同じ部位を示した図である。
【００９６】
図１６に示すように、液体吐出ヘッド５００では、マニホールド５の第２部位５ｂは、第１部位５ａよりも第１開口部５ｃ側に位置している。すなわち、液体吐出ヘッド５００では、液体吐出ヘッド２における第１部位５ａと第２部位５ｂとの配置が入れ替わっている。このような構成によれば、マニホールド５を流れる液体の上流側（一端部５ｄ側）における当該液体の流速を相対的に速くすることができる。このため、一端部５ｄにおいて気泡が残留してしまう可能性を低減することができる。
【００９７】
［変形例５］
図１７は、変形例５に係る液体吐出ヘッド６００を示しており、図９と同じ部位を示した図である。
【００９８】
図１７に示すように、液体吐出ヘッド６００では、流路部材４は、第２カバープレート４ｉを有していない。すなわち、液体吐出ヘッド６００では、流路部材４は、複数のプレート４ａ〜ｈ，ｊが接着材を介して積層されて構成されている。ここで、図１７では、接着材のうち、第１カバープレート４ｈとノズルプレート４ｊとを接着する接着材１３のみ図示する。接着材１３は、第１カバープレート４ｈとノズルプレート４ｊとが互いに対向する面の略全面に亘って設けられている。
【００９９】
ここで、接着材１３は、第１部位５ａおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間において切り欠かれている。このため、第１部位５ａおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間には、接着材１３が存在しない領域Ｓ１が存在することになる。換言すると、第１部位５ａおよび第２部位５ｂと吐出孔面４−１との間には、第１カバープレート４ｈ、ノズルプレート４ｊ、および接着材１３によって取り囲まれるように位置する空間Ｓ２が存在することになる。液体吐出ヘッド６００では、当該空間Ｓ２が空間部７となる。このため、第２カバープレート４ｉを設ける必要がなく、液体吐出ヘッド６００の厚み方向（Ｚ方向）における大きさを相対的に小さくすることができる。
【０１００】
［変形例６］
なお、本明細書は、上記の実施形態、および変形例１〜５について個別具体的に説明したが、これに限らず、上記の実施形態、および変形例１〜５に個別に記載された事項を適宜組み合わせた例についても記載されているものである。すなわち、本発明に係る液体吐
出ヘッドは、液体吐出ヘッド２，２００，３００，４００，５００，６００に限定されるものではなく、上記の実施形態、および変形例１〜５に個別に記載された事項を適宜組み合わせた液体吐出ヘッドも含む。また、上記の実施形態では、液体吐出ヘッド２を備えたプリンタ１について説明したが、本発明に係る記録装置は、これに限定されない。本発明に係る記録装置は、液体吐出ヘッド２に代えて液体吐出ヘッド２００，３００，４００，５００，６００のいずれかを備えていてもよい。
【符号の説明】
【０１０１】
１  プリンタ（記録装置）
２，２００，３００，４００，５００，６００  液体吐出ヘッド
４  流路部材
４−１  吐出孔面（流路部材の第１主面）
４ａ〜４j  プレート
４ｈ−１  第１カバープレート４ｈの一方面
４ｈ−２  第１カバープレート４ｈの他方面
５  マニホールド
５ａ  第１部位
５ｂ  第２部位
５ｃ  第１開口部
５ｄ  一端部
５ｅ  第２開口部
５ｆ  他端部
５Ａ〜Ｇ  溝部
５Ｈ〜Ｊ  溝部
７  空間部
７ａ  第３部位
７ｂ  第４部位
８  吐出孔
１０  加圧室
１３  接着材
２１  圧電アクチュエータ基板（加圧部）
１２０  搬送ユニット（搬送部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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