(57)【要約】【課題】圧電ウェハからの圧電振動片の折り取りが容易であって、かつ、短絡や断線を生じることなく、圧電ウェハの状態で周波数調整を安定して行えるようにすること。【解決手段】圧電振動片(水晶振動片)２と、圧電振動片２を支持する枠部３と、枠部３と圧電振動片２とを連結する連結部４とを有し、連結部４で、水晶振動片２を枠部３から折り取る圧電ウェハ(水晶ウエハ)１であって、連結部４の表裏両面には、該連結部４の幅方向に沿って延びる溝状のスリット１３ａ〜１３ｄが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して圧電振動片２の電極が、枠部３側へ引出されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出される、
ことを特徴とする圧電ウェハ。
【請求項２】
前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成される、
請求項１に記載の圧電ウェハ。
【請求項３】
前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に、前記一対の周波数調整用電極が形成される、
請求項１または２に記載の圧電ウェハ。
【請求項４】
前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に、それぞれ形成される、
請求項１または２に記載の圧電ウェハ。
【請求項５】
前記連結部の前記表裏両面の前記幅方向の前記一部が、前記幅方向でずれた位置に形成される、
請求項１〜４のうちのいずれかに一項に記載の圧電ウェハ。
【請求項６】
圧電ウェハの枠部から折り取られて分離される圧電振動片であって、
前記枠部から折り取られる当該圧電振動片の折り取り端部には、当該圧電振動片の表裏両面が、前記折り取り端部の折り取り端までそれぞれ連続する平面部と、前記表裏両面が、それぞれ屈曲する屈曲部とが、当該圧電振動片の折り取り方向に沿って形成され、
前記表裏両面の各屈曲部は、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲し、
前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面が連続する前記平面部には、前記圧電振動片の電極が、前記折り取り端まで引出される、
ことを特徴とする圧電振動片。
【請求項７】
当該圧電振動片の表面が連続する前記平面部と、裏面が連続する前記平面部とが、前記折り取り方向でずれた位置に形成される、
請求項６に記載の圧電振動片。
【請求項８】
前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に連続する前記平面部に、前記一対の周波数調整用電極が形成される、
請求項６または７に記載の圧電振動片。
【請求項９】
前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に連続する前記平面部にそれぞれ形成される、請求項６または７に記載の圧電振動片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片と、圧電振動片を支持する枠部と、圧電振動片を枠部に連結する連結部とを備えた圧電ウェハ、及び該枠部から折り取られて個片化される圧電振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電ウェハにおいては、圧電振動片を多数個取りするため、多数の圧電振動片を、連結部を介して枠部に支持しており、この連結部で圧電振動片を折り取って個片化するようになっている。
【０００３】
そして、従来の圧電ウェハでは、枠部から圧電振動片を連結部の所で折り取るに際し、その折り取りを容易にするため、前記連結部に溝状のスリットを形成したものがある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２０７５０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
圧電ウェハを、フォトリソグラフィ技術を用いて製造する工程では、多数の圧電振動片が、連結部を介して枠部に支持された外形に加工するのであるが、各圧電振動片を枠部から容易に折り取るための溝状のスリットもこのとき同時に加工されることになる。
【０００６】
このように、多数の圧電振動片が、連結部を介して枠部に支持されると共に、連結部に前記溝状のスリットを有する外形に加工された圧電ウェハ素材に対して、その全面に電極膜を蒸着し、その電極膜を所要の電極パターンにエッチングする。
【０００７】
この所要の電極パターンには、前記圧電振動片が、例えば、音叉型圧電振動片であれば、振動腕部の主面電極や側面電極などの励振電極のパターンがある。
【０００８】
また、圧電ウェハでは、圧電振動片を折り取る前に、圧電振動片に電圧を印加して駆動し、電極を削り取るなどしてその周波数の粗調整が行われる。このため、前記所要の電極パターンとして、周波数調整電圧の印加のために、圧電振動片の励振電極を、連結部から枠部に引出す一対の周波数調整用電極のパターンを形成する必要がある。
【０００９】
枠部から圧電振動片を容易に折り取るために、前記溝状のスリットを、連結部の全幅に亘って直線状に形成することが考えられる。
【００１０】
しかしながら、溝状のスリット内及び連結部の側面には、上記のように、多数の圧電振動片が、連結部を介して枠部に支持されると共に、溝状のスリットを有する外形に加工された圧電ウェハ素材の段階で、全面に電極膜が蒸着されるので、この電極膜が残存し、短絡を生じる場合がある。
【００１１】
また、周波数調整用電極の断線を防止するためには、溝状のスリットを避けて周波数調整用電極を引出す必要もある。
【００１２】
本発明は、上記のような点に鑑みて為されたものであって、圧電ウェハからの圧電振動片の折り取りが容易であって、かつ、短絡や断線を生じることなく、圧電ウェハの状態で周波数調整を安定して行えるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
（１）上記目的を達成するため、
本発明に係る圧電ウェハは、圧電振動片と、前記圧電振動片を支持する枠部と、前記枠部と前記圧電振動片とを連結する連結部とを有し、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から折り取る圧電ウェハであって、
前記連結部の表裏両面には、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、前記幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して前記圧電振動片の電極が、前記枠部側へ引出されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明の圧電ウェハによれば、前記したように、前記連結部の溝状のスリットを介して、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から容易に折り取ることができる。これに加えて、前記連結部の両側面に圧電振動片の電極に連続した電極膜がエッチングできずに残存し、また溝状スリット内にもエッチングできずに電極膜が残存している場合において、連結部の一方の側面の残存電極膜が、溝状スリット内の残存電極膜と短絡しても、前記幅方向の一部により、前記連結部の他方の側面の残存電極膜とは短絡されずに済む。これにより、圧電振動片の両電極は短絡されないので、当該両電極に電圧を印加して圧電振動片を駆動することができる。そして、圧電振動片の電極は、前記幅方向の一部を介して、前記枠部側へ引出されているので、溝状スリット内を介して引出される場合とは異なって、断線や短絡を生じて引出されることがない。
【００１５】
好ましい実施態様は、前記溝状のスリットが、前記幅方向の前記一部を、挟むようにその両側に形成されることである。
【００１６】
この実施態様によれば、連結部の一方の側面の残存電極膜が、前記幅方向の前記一部に対して一方側の溝状のスリット内の残存電極膜と短絡し、連結部の他方の側面の残存電極膜が、前記幅方向の前記一部に対して他方側の溝状のスリット内の残存電極膜と短絡しても、前記両溝状のスリットが、前記幅方向の一部を挟むようにその両側に形成されているので、連結部の両面それぞれの残存電極膜同士が短絡することがない。
【００１７】
別の好ましい実施態様は、前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に、前記一対の周波数調整用電極が形成されることである。
【００１８】
この実施態様によれば、前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であるので、当該一対の周波数調整用電極は、溝状のスリット内を介して引出される場合とは異なって、枠部に断線や短絡を生じて引出されることがなくなり、これにより、枠部から圧電振動片を折り取る前に、前記両電極に、周波数調整電圧を印加して、圧電振動片の周波数調整を行うことができる。そして、一方の面に、前記一対の周波数調整用電極があるので、枠部側でも同様に一方の面に配され、一方の面でのみ計測端子が配置された圧電振動片の周波数調整機構に対応できる。
【００１９】
また、表裏両面の一方の面に、前記一対の周波数調整用電極が形成され、前記表裏両面の他方の面における前記幅方向の一部には、圧電振動片の電極を周波数調整用電極として引出す必要がないので、その幅を短くすることで、圧電振動片の折り取りを容易にすることができる。
【００２０】
さらに別の好ましい実施態様は、前記枠部側へ引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に、それぞれ形成されていることである。
【００２１】
この実施態様によれば、前記と同様に、当該一対の周波数調整用電極は、溝状のスリット内を介して引出される場合とは異なって、枠部に断線や短絡を生じて引出されることがなくなり、これにより、枠部から圧電振動片を折り取る前に、前記両電極に、周波数調整電圧を印加して、圧電振動片の周波数調整を行うことができる。そして、表裏両面に、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整電極が、前記表裏両面にそれぞれあるので、枠部側でも同様に、前記表裏両面に配され、表裏両面で計測端子が配置された圧電振動片の周波数調整機構に対応できる。
【００２２】
加えて、前記とは異なって、一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に、それぞれ形成されているので、前記表裏面それぞれの前記幅方向の一部の幅をいずれも短くして、圧電振動片の折り取りを容易にすることができる。
【００２３】
さらに別の好ましい実施態様は、前記連結部の前記表裏両面の前記溝状のスリットが、前記幅方向に沿ってそれぞれ複数形成されることである。
【００２４】
この実施態様によれば、連結部の表裏両面に、溝状のスリットが、前記幅方向に沿ってそれぞれ複数形成されるので、前記表裏両面で溝状のスリットの一部を連結部の厚み方向で重なるように形成して、この重なる部分での連結部の厚みを薄くすることができ、これにより、圧電振動片を連結部で折り取り易くすることができる。
【００２５】
さらに別の好ましい実施態様は、前記連結部の前記表裏両面の前記幅方向の前記一部が、前記幅方向でずれた位置に形成されることである。
【００２６】
この実施態様によれば、連結部の表裏両面に、肉厚の前記連結部の一部が、前記幅方向でずれた位置に形成されるので、連結部の一部として一領域に集中して肉厚になることを避けることができ、これにより、圧電振動片を連結部で折り取り易くすることができる。
【００２７】
(２)本発明に係る圧電振動片は、圧電ウェハの枠部から折り取られて分離される圧電振動片であって、
前記枠部から折り取られる当該圧電振動片の折り取り端部には、当該圧電振動片の表裏両面が、前記折り取り端部の折り取り端までそれぞれ連続する平面部と、前記表裏両面が、それぞれ屈曲する屈曲部とが、当該圧電振動片の折り取り方向に沿って形成され、前記表裏両面の各屈曲部は、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲し、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面が連続する前記平面部には、前記圧電振動片の電極が、前記折り取り端まで引出される、ことを特徴とする。
【００２８】
本発明の圧電振動片によれば、圧電ウェハの枠部から折り取られて分離された圧電振動片の両側面と、前記折り取り端部の表裏両面の前記屈曲部に電極膜が存在していても、折り取り端部の表裏両面に前記折り取り端部の折り取り端まで連続する平面部があるので、前記平面部により圧電振動片の両側面の電極膜は短絡していない。これにより、本発明の圧電振動片によれば、その電極に電圧が印加されると、所期通りに駆動できるものである。
【００２９】
好ましい実施態様は、当該圧電振動片の表面が連続する前記平面部と、裏面が連続する前記平面部とが、前記折り取り方向でずれた位置に形成されることである。
【００３０】
別の好ましい実施態様は、前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記表裏両面の一方の面に連続する前記平面部に、前記一対の周波数調整用電極が形成されることである、
さらに別の好ましい実施態様は、前記折り取り端まで引出される電極が、一対の周波数調整用電極であって、前記一対の周波数調整用電極を構成する個別の周波数調整用電極が、前記表裏両面に連続する前記平面部にそれぞれ形成されることである。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、圧電振動片を枠部に連結する連結部の表裏両面に、該連結部の幅方向に沿って延びる溝状のスリットが、連結部の幅方向の一部を除いてそれぞれ形成され、前記表裏両面の少なくともいずれか一方の面の、前記幅方向の前記一部を介して圧電振動片の電極が、枠部側へ引出されているので、前記連結部の両側面に圧電振動片の電極に連続した電極膜がエッチングできずに残存し、また溝状スリット内にもエッチングできずに電極膜が残存していても、前記連結部の両側面の残存電極膜は短絡されずに済み、前記連結部で圧電振動片を枠部から折り取る前の圧電ウェハの状態で、当該両電極に電圧を印加して圧電振動片の周波数調整を安定して行うことができる。さらに前記連結部の溝状のスリットを介して、前記連結部で、前記圧電振動片を前記枠部から容易に折り取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態に係る水晶ウェハの全体構成図。
【図２】（ａ）は、図１に示す水晶ウェハの表面側の一部拡大図、（ｂ）は、同水晶ウェハの裏面側の一部拡大図。
【図３】（ａ）は、図２（ａ）の水晶ウェハにおいて枠部から個片化される前の水晶振動片の表面拡大図、（ｂ）は、同水晶振動片の裏面拡大図。
【図４】（ａ）は、図２（ａ）の水晶ウェハにおいて枠部から個片化された水晶振動片の表面拡大図、（ｂ）は、図２（ｂ）の同水晶振動片の裏面拡大図。
【図５】（ａ）は、図３（ａ）の水晶ウェハの一部表面拡大図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は、同水晶ウェハの一部裏面拡大図。
【図６】本発明の実施形態において、折り取り部の第１変形例に係り、（ａ）は、水晶ウェハの一部表面拡大図、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は、同水晶ウェハの一部裏面拡大図。
【図７】本発明の実施形態において、折り取り部の第２変形例に係り、（ａ）は、水晶ウェハの一部表面拡大図、（ｂ）は、（ａ）のＣ−Ｃ線断面図、（ｃ）は、同水晶ウェハの一部裏面拡大図。
【図８】本発明の実施形態において、折り取り部の第３変形例に係り、（ａ）は、水晶ウェハの一部表面拡大図、（ｂ）は、（ａ）のＤ−Ｄ線断面図、（ｃ）は、同水晶ウェハの一部裏面拡大図。
【図９】本発明の実施形態において、折り取り部の第４変形例に係り、（ａ）は、水晶ウェハの一部表面拡大図、（ｂ）は、（ａ）のＥ−Ｅ線断面図、（ｃ）は同水晶ウェハの一部裏面拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施形態に係る圧電ウェハ及び圧電振動片を説明する。実施形態では、圧電ウェハとして、水晶Ｚ版（Ｘ面カット）の水晶ウェハを用いるが、本発明は、水晶ウェハに限定されず、水晶ウェハ以外のタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムなどの圧電材料からなる圧電ウェハにも適用できるものである。また、実施形態では、圧電振動片として音叉型水晶振動片で説明するが、本発明は、音叉型水晶振動片に限定されず、音叉型以外の圧電振動片にも適用することができる。
【００３４】
図１〜図３を参照して、本実施形態の水晶ウェハ１は、水晶基板を板状に加工されて形成されたものである。この水晶基板には、例えば水晶Ｚ版（Ｘ面カット）が用いられる。
【００３５】
水晶ウェハ１は、例えば、フォトリソグラフィ技術を利用してレジストをパターン形成し、これに対してウェットエッチングすることで、水晶振動片２と、水晶振動片２を支持する枠部３と、水晶振動片２を枠部３に連結する連結部４とを有した形状に加工されている。
【００３６】
水晶振動片２は、基部５と、振動部である一対の第１、第２振動腕部６，７と、接合部８とを有する。基部５は、平面視左右対称の形状とされ、第１、第２振動腕部６，７より幅広に形成されている。
【００３７】
第１、第２振動腕部６，７は、基部５の一端面から突出して隙間部９を介して互いに平行になって並設されている。隙間部９は、基部５の一端面において、第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置上に設けられている。
【００３８】
第１、第２振動腕部６，７の先端部は、幅広に成形されている。
【００３９】
第１振動腕部６は、その表裏両主面に、励振電極９ａ１，９ａ２が形成され、その両側面に励振電極９ｂ１，９ｂ２が形成されている。
【００４０】
第２振動腕部７は、その表裏両主面に、励振電極１０ｂ１，１０ｂ２が形成され、その両側面に励振電極１０ｂ１，１０ｂ２が形成されている。
【００４１】
周知のように、第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２それぞれは共通接続され、両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２それぞれは共通接続されている。また、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２それぞれは共通接続され、両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２それぞれは共通接続される。
【００４２】
第１振動腕部６の表裏両主面の励振電極９ａ１，９ａ２は、第２振動腕部７の両側面の励振電極１０ｂ１，１０ｂ２に共通接続されて一方の極性の電圧が印加されるようになっている。
【００４３】
第１振動腕部６の両側面の励振電極９ｂ１，９ｂ２は、第２振動腕部７の表裏両主面の励振電極１０ａ１，１０ａ２に共通接続されて他方の極性の電圧が印加されるようになっている。  
【００４４】
第１、第２振動腕部６，７それぞれの励振電極の一部は、基部５上の引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６に引出される。
【００４５】
これら引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６のうち、基部５の裏面側の引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、さらに接合部８、連結部４及び枠部３へ引出され、それぞれ、前記一方と他方それぞれの極性電圧を印加する電極とされる。
【００４６】
引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６は、絶縁分離ライン１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２で互いに電気的に絶縁分離されている。
【００４７】
接合部８は、基部５の他端面における第１、第２振動腕部６，７の並設方向の中央位置から下方に若干突出された基端部８ａと、基端部８ａから第１、第２振動腕部６，７の並設方向一方に延出された延出部８ｂとにより、基部５に対して平面視Ｌ字状に形成されている。
【００４８】
接合部８の基端部８ａの引出電極２０ｃ４上に平面視楕円状の第１金属バンプ１１ａが、また、接合部８の延出部８ｂの引出電極２０ｃ５上に平面視楕円状の第２金属バンプ１１ｂが、それぞれ、電解金属鍍金により形成されている。なお、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、平面視楕円状に限定されず平面視円状でもよい。電解金属鍍金は一例として、好ましくは、金鍍金であるが、これに限定されないことは勿論である。
【００４９】
第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂは、水晶振動片２を図示しない水晶振動デバイスに搭載するため、当該デバイスのパッケージ内の段差上或いは底面上の一対の対向する電極パッド上のそれぞれに超音波ボンディングするためのものである。
【００５０】
第１金属バンプ１１ａは、第１、第２振動腕部６，７の並設方向のほぼ中央位置に、より詳しくは中央位置上から若干、並設方向一方寄りの位置に形成され、第２金属バンプ１１ｂは、第１、第２振動腕部６，７の並設方向中央位置から並設方向他方にずれた位置に形成されている。
【００５１】
第１、第２振動腕部６，７それぞれの先端部表面側には、周波数調整錘用電極１２ａ，１２ｂが電解金属鍍金等により形成されている。周波数調整錘用電極１２ａ，１２ｂは、ビーム照射などで減少させたり、パーシャル蒸着により増加させたりすることで、水晶振動片２の周波数調整を行うためのものである。
【００５２】
連結部４は、水晶振動片２の接合部８との境界に沿った幅方向に亘る箇所を後述する折り取り部１３として備えている。この折り取り部１３は、連結部４の幅方向全幅に亘っている。この折り取り部１３の構成の詳細は、後程、詳しく説明する。
【００５３】
そして、図１〜図３の形状を備えた水晶ウェハ１から、水晶振動片２は、図４に示すように、連結部４に形成した、折り取り部１３から折り取られて枠部３から切り離されて個片化される。
【００５４】
個片化された水晶振動片２は、図４中、円で囲む部分を拡大して示すように、接合部８の端面に折り取り端部２１を有している。この折り取り端部２１は、水晶振動片２を枠部３から折り取った際に形成されたものである。
【００５５】
この折り取り端部２１には、水晶振動片２の表裏両面が、折り取り端部２１の折り取り端２１ａまで連続する平面部２１ｂ，２１ｃと、その表裏両面が屈曲する屈曲部２１ｄ〜２１ｇとが、水晶振動片２の折り取り方向に沿って形成されている。
【００５６】
両平面部２１ｂ，２１ｃのうち、一方の平面部２１ｃには、水晶振動片２の引出電極２０ｃ４，２０ｃ５が、折り取り端２１ａまで引出されている。なお、両平面部２１ｂ，２１ｃは水晶振動片２の折り取り方向でずれた位置に形成されている。
【００５７】
屈曲部２１ｄ〜２１ｇは、後述する溝状のスリット１３ａ〜１３ｄの断面形状、及び水晶振動片２が溝状のスリット１３ａ〜１３ｄのどの位置で折り取られるかにより、断面がＵ字形状、Ｖ字形状、或いは斜め形状、その他の屈曲した形状になっている。
【００５８】
また、屈曲部２１ｄ〜２１ｇは、後述する溝状のスリット１３ａ〜１３ｄが厚み方向のほぼ全体で重なっているので、厚みが薄くなるように裏面側または表面側へそれぞれ屈曲している。
【００５９】
図５を参照して、折り取り部１３の構成を詳しく説明する。図５（ａ）は、水晶ウェハ１の一部表面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線断面図、図５（ｃ）は、水晶振動片２の一部裏面図である。
【００６０】
折り取り部１３は、その表面側に、連結部４の幅方向に沿って延びる２つの溝状のスリット１３ａ，１３ｂを、前記幅方向の一部を除いて、備える。この幅方向の一部はブリッジ１３ｅとなる。
【００６１】
溝状のスリット１３ａ，１３ｂは、エッチングされているが、ブリッジ１３ｅは、エッチングされていない箇所であり、その面は、平坦である。溝状のスリット１３ａ，１３ｂは、エッチングにより形成されたものであるので、その断面形状は、例えば、Ｖ字状であったり、Ｕ字状であったり、その他の形状となっている。
【００６２】
折り取り部１３は、その裏面側に、連結部４の幅方向に沿って延びる２つの溝状のスリット１３ｃ，１３ｄを、幅方向の一部を除いて備える。この幅方向の一部はブリッジ１３ｆとなる。
【００６３】
溝状のスリット１３ｃ，１３ｄは、エッチングされているが、ブリッジ１３ｆは、エッチングされていない箇所であるので、その面は、平坦である。溝状のスリット１３ｃ，１３ｄの断面形状も、前記と同様、例えば、Ｖ字状であったり、Ｕ字状であったり、その他の形状となっている。
【００６４】
折り取り部１３の表面側のブリッジ１３ｅは、裏面側のブリッジ１３ｆよりも、連結部４の幅方向に幅狭であり、表面側の溝状のスリット１３ａ，１３ｂの前記幅方向の対向間距離は短くなって折り取り易いようになっている。
【００６５】
裏面側のブリッジ１３ｆは、表面側のブリッジ１３ｅに対して、厚み方向において重ならず、幅方向にずれた位置に形成されている。これにより、水晶振動片２を折り取り部１３で折り取って枠部３から分離して個片化することが容易となっている。
【００６６】
また、裏面側のブリッジ１３ｆは幅方向に幅広となって、引出電極２０ｃ４，２０ｃ５が、裏面側のブリッジ１３ｆを経由して形成され易いにようになっている。
【００６７】
引出電極２０ｃ１〜２０ｃ６のうち、引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、接合部８の第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂに接続されると共に、一対の周波数調整用電極として、ブリッジ１３ｆを経由して連結部４から枠部３へ引出されている。
【００６８】
引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、周波数調整電圧印加用として、従来のように溝状のスリット内に形成されておらず、折り取り部１３の裏面側のブリッジ１３ｆの面上に形成されており、その短絡や断線はない。
【００６９】
また、前記したごとく、フォトリソグラフィ技術を利用してレジストをパターン形成し、これに対してウェットエッチングで、外形加工され素地が全面に露出した水晶ウエハ素材に、電極膜を全面蒸着し、その全面蒸着した電極膜を所要の電極パターンにエッチングして、振動腕部６，７それぞれの側面励振電極９ｂ１，１０ｂ１を形成するに際し、連結部４の両側面の電極膜がエッチングされずに残存し、その残存電極膜が、溝状のスリット１３ａ〜１３ｄ内で除去されず存在している残存電極膜と電気的に短絡しても、溝状のスリット１３ａ〜１３ｄ間に、ブリッジ１３ｅ，１３ｆが介在しているので、側面励振電極９ｂ１，１０ｂ１同士が電気的に短絡することはない。
【００７０】
以上の水晶ウェハ１においては、枠部３から水晶振動片２を折り取る前に行う周波数調整(周波数の粗調整)に際しては、枠部３側に引出された引出電極２０ｃ４，２０ｃ５を周波数調整用電極としてこれに周波数調整電圧を印加し、水晶振動片２の周波数を測定することができる。
【００７１】
そして、この測定に従い、第１、第２振動腕部６，７それぞれの先端部の周波数調整錘用電極１２ａ，１２ｂを、レーザビームなどで減少させたり、パーシャル蒸着により増加させたりすることで、周波数調整を行うことができる。
【００７２】
この周波数調整が終了すると、折り取り部１３の所で水晶振動片２を枠部３から折り取って分離する。この分離では、図示省略の折り取りピンを水晶振動片２に下降させて、該水晶振動片２を押し込むなど、適宜の折り取り手段で折り取ることで、水晶振動片２を枠部３から分離して個片化する。
【００７３】
前記したように個片化された水晶振動片２は、第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂが、図示省略のパッケージ内の電極パッド上に接合されて、パッケージ内で片持ち支持状態で搭載され、水晶振動デバイスとされる。
【００７４】
以上説明したように、本実施形態の水晶ウェハ１にあっては、圧電振動片２を折り取る前に、当該圧電振動片２に対しての周波数調整を行うことができる。
【００７５】
なお、本発明においては、折り取り部１３の形状は、上記に限定されず、種々に変形が可能である。以下、折り取り部１３の他の変形例を、図６〜図９を参照して説明する。
（折り取り部の変形例）
図６（ａ）〜（ｃ）は、折り取り部１３の第１変形例を示すもので、図５（ａ）〜（ｃ）に対応する。図６（ａ）〜（ｃ）において、図５（ａ）〜（ｃ）に類似ないしは対応する部分には、同一の符号を付し、それらの詳細な説明は略する。
【００７６】
第１変形例の折り取り部１３は、表面側に、２つの溝状のスリット１５ａ，１５ｂと、それら溝状のスリット１５ａ，１５ｂ間の１つのブリッジ１５ｅとを備え、裏面側に、２つの溝状のスリット１５ｃ，１５ｄと、スリット１５ｃ，１５ｄ間の１つのブリッジ１５ｆとを備える。
【００７７】
第１変形例は、裏面側のブリッジ１５ｆと、表面側のブリッジ１５ｅとが、折り取り部１３の厚み方向において重なっている例である。
【００７８】
第１変形例においては、上記実施形態と同様、引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、周波数調整用電極として、ブリッジ１５ｆを介して枠部３へ引き出されている。
【００７９】
図７（ａ）〜（ｃ）は、折り取り部１３の第２変形例を示すもので、図５（ａ）〜（ｃ）に対応する。図７（ａ）〜（ｃ）において、図５（ａ）〜（ｃ）に類似ないし対応する部分には、同一の符号を付し、それら同一の符号に係る部分の詳細な説明は略する。
【００８０】
第２変形例の折り取り部１３は、表面側に、２つの溝状のスリット１６ａ，１６ｂと、スリット１６ａ，１６ｂ間の１つのブリッジ１６ｆとを備え、裏面側に、３つの溝状のスリット１６ｃ〜１６ｅと、溝状のスリット１６ｃ〜１６ｅ間の２つのブリッジ１６ｇ，１６ｈとを備える。
【００８１】
第２変形例は、表裏面のブリッジ１６ｆ，１６ｇ，１６ｈは、厚み方向において重なっていない例である。
【００８２】
第２変形例においては、引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、周波数調整用電極としてブリッジ１６ｈ，１６ｇを介して枠部３へと引き出されている。
【００８３】
図８（ａ）〜（ｃ）は、折り取り部１３の第３変形例を示すもので、図５（ａ）〜（ｃ）に対応する。図８（ａ）〜（ｃ）において、図５（ａ）〜（ｃ）に類似ないし対応する部分には、同一の符号を付し、それら同一の符号に係る部分の詳細な説明は略する。
【００８４】
第３変形例では、表面側に、２つの溝状のスリット１７ａ〜１７ｃと、これら溝状のスリット１７ａ〜１７ｃ間の２つのブリッジ１７ｇ，１７ｈとを備え、裏面側に、３つの溝状のスリット１７ｄ〜１７ｆと、溝状のスリット１７ｄ〜１７ｆ間の２つのブリッジ１７ｉ，１７ｊとを備える。
【００８５】
第３変形例は、表裏両主面のブリッジが、厚み方向に重なっている例である。第３変形例においては、引出電極２０ｃ４，２０ｃ５は、周波数調整用電極としてブリッジ１７ｊ，１７ｉを介して枠部３へと引き出されている。
【００８６】
図９（ａ）〜（ｃ）は、折り取り部１３の第４変形例を示すもので、図５（ａ）〜（ｃ）に対応する。図９（ａ）〜（ｃ）において、図５（ａ）〜（ｃ）に類似ないし対応する部分には、同一の符号を付し、それら同一の符号に係る部分の詳細な説明は略する。
【００８７】
第４変形例では、表面側に、２つの溝状のスリット１８ａ，１８ｂと、溝状のスリット１８ａ，１８ｂ間の１つのブリッジ１８ｅと、を備え、裏面側に、２つの溝状のスリット１８ｃ，１８ｄと、溝状のスリット１８ｃ，１８ｄ間の１つのブリッジ１８ｆと、を備える。
【００８８】
接合部８の表面には、引出電極２０ｃ７，２０ｃ８，１０９が形成され、接合部８の裏面には、引出電極２０ｃ１０，２０ｃ１１，２０ｃ１２が形成される。１４ａ１，１４ａ２，１４ｂ１，１４ｂ２は、引出電極間の絶縁分離ラインである。
【００８９】
引出電極２０ｃ１０、２０ｃ１１は、接合部８裏面側の第１、第２金属バンプ１１ａ，１１ｂにそれぞれ個別に接続され、接合部８の表面側の引出電極２０ｃ９がブリッジ１８ｅを介して枠部３に引出され、また、接合部８の裏面側の引出電極２０ｃ１１は、ブリッジ１８ｆを介して枠部３に引出され、それぞれ、周波数調整用電極とされている。
【００９０】
以上のように実施形態を説明したが、本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態は例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。
【符号の説明】
【００９１】
１  水晶ウェハ（圧電ウェハ）
２  水晶振動片（圧電振動片）
３  枠部
４  連結部
５  基部
６，７  第１、第２振動腕部
８  接合部
１３  折り取り部
１３ａ〜１３ｄ  溝状のスリット
１３ｅ，１３ｆ  ブリッジ(幅方向の一部)
２０ｃ４，２０ｃ５  引出電極(周波数調整用電極)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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