(57)【要約】【課題】小型化が可能な封止構造を高い生産性で実現できる電気泳動表示装置、電気泳動表示装置の製造方法、該電気泳動表示装置を備えた電子機器を提供すること。【解決手段】電気泳動表示パネル１５０は、第１基板としての素子基板１０１と、素子基板１０１に所定の間隔を置いて対向配置された第２基板としての対向基板１２１と、所定の間隔を平面視で複数の領域に区画する第１隔壁としての隔壁部１０３と、複数の領域を囲む第２隔壁としての隔壁部１０４と、複数の領域のそれぞれに充填された電気泳動粒子を含む分散媒１３３と、対向基板１２１に順に積層された、第１封止層１２３と、第１封止層１２３よりも電気泳動粒子の付着性が弱い第２封止層１２４と、を備え、隔壁部１０４の頭頂部１０４ａに凹凸としての溝部１０５が設けられ、頭頂部１０４ａが第２封止層１２４を貫いて第１封止層１２３に接している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板に所定の間隔を置いて対向配置された第２基板と、
前記所定の間隔を平面視で複数の領域に区画する第１隔壁と、
前記複数の領域を囲む第２隔壁と、
前記複数の領域のそれぞれに充填された電気泳動粒子を含む分散媒と、
前記第２基板に順に積層された、第１封止層と、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い第２封止層と、を備え、
前記第２隔壁の頭頂部に凹凸が設けられ、前記第２隔壁の前記頭頂部が前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接していることを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記第１隔壁の頭頂部が、前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接していることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記第２封止層の厚みは、前記第１封止層の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記第２封止層は、前記第１封止層よりも柔らかいことを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示装置。
【請求項５】
前記第２封止層は、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い繊維または粒子を含み、前記繊維または前記粒子の一部が、前記第２封止層の前記分散媒側の表面からはみ出ていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項６】
前記第２封止層の前記分散媒側の表面に、前記電気泳動粒子の大きさよりも小さいディンプルが形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
所定の間隔を置いて対向配置された第１基板と第２基板との間に電気泳動粒子を含む分散媒が挟持された電気泳動表示装置の製造方法であって、
前記第１基板に、前記所定の間隔を複数の領域に区画する第１隔壁を形成する工程と、
前記第１基板に、前記複数の領域を囲む第２隔壁を形成する工程と、
前記第２基板に第１封止層を形成する工程と、
前記第２基板の前記第１封止層上に、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い第２封止層を形成する工程と、
前記複数の領域のそれぞれに前記分散媒を充填する工程と、
前記第１基板と前記第２基板とを前記第１封止層及び前記第２封止層を介して貼り合わせる工程と、を備え、
前記第２隔壁を形成する工程は、前記第２隔壁の頭頂部に凹凸を形成する工程を含み、
前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程は、前記第２隔壁の頭頂部が前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせることを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記第１隔壁及び前記第２隔壁は、その高さがほぼ同じとなるように形成され、
前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程は、前記第１隔壁の頭頂部と前記第２隔壁の頭頂部とが前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせることを特徴とする請求項７に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記第２封止層を形成する工程は、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い繊維または粒子を含む前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の表面をエッチングして前記繊維または前記粒子の一部を露出させる工程と、を含むことを特徴とする請求項７または８に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第２封止層は、前記電気泳動粒子よりも大きさが小さい粒子を含む前駆体を形成する工程と、
前記前駆体の表面をエッチングして前記粒子の一部を露出させる工程と、
前記前駆体の表面に露出した前記粒子をエッチングして、前記前駆体の表面にディンプルを形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項７または８に記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造された電気泳動表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置、該電気泳動表示装置の製造方法、該電気泳動表示装置を備えた電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気泳動表示装置として、表示面側に設けられた第１の基板と、第１の基板に対向配置された第２の基板と、第１の基板と第２の基板との間に設けられた表示層と、を有し、表示層が第１の基板側に設けられ、繊維の集合体を含む第１の繊維層と、正または負に帯電した少なくとも１種の粒子が分散媒に分散した分散液と、気泡と、を含む表示装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
また、上記特許文献１の表示装置において、表示層は、分散液を囲うように第２の基板に設けられた隔壁を有し、第１の繊維層と隔壁とが固定されているとしている。さらには、第１の基板と第２の基板との間に、これらの基板の外縁に沿って封止部（シール部）が設けられており、封止部によって表示層を気密に封止する構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１４５３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１において、封止部を設けて表示層を封止する構造は、熱可塑性または熱硬化性の樹脂材料を一対の基板の外縁に塗布して、固化または硬化させる工程によって得られるものであり、生産性を低下させる要因となる。また、当該樹脂材料が基板の外縁からはみ出さないようにして、表示層を封止するためのスペースを必要とするので、表示装置を小型化するための障害となるという課題があった。言い換えれば、表示装置の外形が決められている場合には、封止のための領域を確保すると、実質的に表示に寄与する領域が小さくなってしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例］本適用例に係わる電気泳動表示装置は、第１基板と、前記第１基板に所定の間隔を置いて対向配置された第２基板と、前記所定の間隔を平面視で複数の領域に区画する第１隔壁と、前記複数の領域を囲む第２隔壁と、前記複数の領域のそれぞれに充填された電気泳動粒子を含む分散媒と、前記第２基板に順に積層された、第１封止層と、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い第２封止層と、を備え、前記第２隔壁の頭頂部に凹凸が設けられ、前記第２隔壁の前記頭頂部が前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接していることを特徴とする。
【０００８】
本適用例によれば、第２隔壁の頭頂部が第２封止層を貫いて第１封止層に接するように第１基板と第２基板とを相対的に配置することで、第１封止層及び第２封止層と第２隔壁とによって電気泳動粒子を含む分散媒を封止することができる。したがって、表示層を挟む一対の基板の外縁を樹脂材料によって封止する従来の封止構造と比べて、簡素な封止構造とすることができる。また、第２隔壁の頭頂部には凹凸が設けられているので、頭頂部が平坦である場合に比べて、第１封止層と第２隔壁とが接する面積が増え、外部から水分やガスなどが分散媒に浸入し難くなる。すなわち、一対の基板の外縁側に封止を行うスペースを必要とせず小型化が容易で、優れた封止構造を有する電気泳動表示装置を提供することができる。
【０００９】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置において、前記第１隔壁の頭頂部が、前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接していることが好ましい。
この構成によれば、複数の領域のそれぞれに充填された電気泳動粒子を含む分散媒を、第１封止層に接した第１隔壁及び第２隔壁によって強固に封止することができる。
【００１０】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置において、前記第２封止層の厚みは、前記第１封止層の厚みよりも小さいことが好ましい。
【００１１】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置において、前記第２封止層は、前記第１封止層よりも柔らかいことが好ましい。
これらの構成によれば、第２封止層を容易に貫いて第２隔壁の頭頂部を第１封止層に届かせることができる。
【００１２】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置において、前記第２封止層は、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い繊維または粒子を含み、前記繊維または前記粒子の一部が、前記第２封止層の前記分散媒側の表面からはみ出ていることが好ましい。
この構成によれば、電気泳動粒子は第２封止層の表面からはみ出た付着性が弱い繊維または粒子と直に接することになるので、電気泳動粒子がより付着し難い第２封止層を実現できる。
【００１３】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置において、前記第２封止層の前記分散媒側の表面に、前記電気泳動粒子の大きさよりも小さいディンプルが形成されているとしてもよい。
この構成によれば、電気泳動粒子はディンプルのエッジ部分と接することになり、電気泳動粒子の第２封止層の表面への接触面積を減らして、第２封止層への付着性をさらに弱めることができる。
【００１４】
［適用例］本適用例に係わる電気泳動表示装置の製造方法は、所定の間隔を置いて対向配置された第１基板と第２基板との間に電気泳動粒子を含む分散媒が挟持された電気泳動表示装置の製造方法であって、前記第１基板に、前記所定の間隔を複数の領域に区画する第１隔壁を形成する工程と、前記第１基板に、前記複数の領域を囲む第２隔壁を形成する工程と、前記第２基板に第１封止層を形成する工程と、前記第２基板の前記第１封止層上に、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い第２封止層を形成する工程と、前記複数の領域のそれぞれに前記分散媒を充填する工程と、前記第１基板と前記第２基板とを前記第１封止層及び前記第２封止層を介して貼り合わせる工程と、を備え、前記第２隔壁を形成する工程は、前記第２隔壁の頭頂部に凹凸を形成する工程を含み、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程は、前記第２隔壁の頭頂部が前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせることを特徴とする。
【００１５】
本適用例によれば、貼り合わせ工程では、第２隔壁の頭頂部が第２封止層を貫いて第１封止層に接するように第１基板と第２基板とが貼り合わされることにより、第１封止層及び第２封止層と第２隔壁とによって電気泳動粒子を含む分散媒を封止することができる。したがって、表示層を挟む一対の基板の外縁を樹脂材料によって封止する従来の封止方法と比べて、封止工程を簡略化することができる。また、第２隔壁の頭頂部に凹凸が形成されるので、頭頂部が平坦である場合に比べて、第１封止層と第２隔壁とが接する面積が増え、外部から水分やガスなどが分散媒に浸入し難くなる。すなわち、一対の基板の外縁側を封止する従来の封止方法に比べて、優れた封止構造を有する電気泳動表示装置を高い生産性で製造することが可能な電気泳動表示装置の製造方法を提供できる。
【００１６】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第１隔壁及び前記第２隔壁は、その高さがほぼ同じとなるように形成され、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせる工程は、前記第１隔壁の頭頂部と前記第２隔壁の頭頂部とが前記第２封止層を貫いて前記第１封止層に接するように、前記第１基板と前記第２基板とを貼り合わせることが好ましい。
この方法によれば、電気泳動粒子を含む分散媒が第１封止層及び第２封止層に加えて第１隔壁及び第２隔壁によって強固に封止される。
【００１７】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第２封止層を形成する工程は、前記第１封止層よりも前記電気泳動粒子の付着性が弱い繊維または粒子を含む前駆体を形成する工程と、前記前駆体の表面をエッチングして前記繊維または前記粒子の一部を露出させる工程と、を含むことが好ましい。
この方法によれば、電気泳動粒子は第２封止層の表面からはみ出た付着性が弱い繊維または粒子と直に接することになるので、電気泳動粒子がより付着し難い第２封止層を形成できる。
【００１８】
上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法において、前記第２封止層は、前記電気泳動粒子よりも大きさが小さい粒子を含む前駆体を形成する工程と、前記前駆体の表面をエッチングして前記粒子の一部を露出させる工程と、前記前駆体の表面に露出した前記粒子をエッチングして、前記前駆体の表面にディンプルを形成する工程と、を含むとしてもよい。
この方法によれば、電気泳動粒子はディンプルのエッジ部分と接することになり、電気泳動粒子の第２封止層の表面への接触面積を減らして、電気泳動粒子の付着性を弱めた第２封止層を形成することができる。
【００１９】
［適用例］本適用例に係わる電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置を備えることを特徴とする。
【００２０】
［適用例］本適用例に係わる電子機器は、上記適用例に記載の電気泳動表示装置の製造方法を用いて製造された電気泳動表示装置を備えることを特徴とする。
これらの適用例によれば、優れた封止構造を有する電気泳動表示装置を備えているので、高い信頼性品質を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図。
【図３】素子基板における隔壁部の配置を示す概略平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ’線に沿った電気泳動表示パネルの概略断面図。
【図５】第２封止層の構成を示す概略断面図。
【図６】第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図８】（ｅ）〜（ｇ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図９】（ｈ）〜（ｊ）は第１実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１０】第２実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略断面図。
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１２】第３実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略断面図。
【図１３】（ａ）〜（ｄ）は第３実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図。
【図１４】本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）は変形例の隔壁部を示す概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。
【００２３】
なお、以下の形態において、例えば「基板上に」と記載された場合、基板の上に接するように配置される場合、または基板の上に他の構成物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接するように配置され、一部が他の構成物を介して配置される場合を表すものとする。
【００２４】
（第１実施形態）
＜電気泳動表示装置＞
まず、本実施形態の電気泳動表示装置の基本的な構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は第１実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略斜視図、図２（ａ）及び（ｂ）は第１実施形態の電気泳動表示装置における画素の構造と表示機能を示す概略断面図である。
【００２５】
図１に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置１００は、電気泳動表示パネル１５０と、電気泳動表示パネル１５０を駆動するための駆動用ＩＣ１６５が実装されたフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）１６０とを有している。
電気泳動表示パネル１５０は、対向して配置された素子基板１０１及び対向基板１２１と、これらの基板間に挟持された電気泳動層１３０（図２参照）とを有している。電気泳動層１３０は、これらの基板間において、マトリックス状に区画された複数の領域を有しており、区画された複数の領域のそれぞれが画素Ｐとしての機能を有している。すなわち、マトリックス状に配列した複数の画素Ｐにより表示領域Ｅが構成されている。
【００２６】
素子基板１０１及び対向基板１２１の基材は、例えば、透明なガラスやプラスチックなどが用いられる。なお、詳しくは後述するが、表示領域Ｅにおける表示を確認する方向により、表示の背面側に位置する基材は、不透明であってもよい。
【００２７】
素子基板１０１は対向基板１２１よりも大きく、素子基板１０１と対向基板１２１とを所定の位置で対向させて配置したときに、対向基板１２１からはみ出る素子基板１０１の部分が端子部１０１ａとなっている。
【００２８】
ＦＰＣ１６０には、駆動用ＩＣ１６５が平面実装されている。駆動用ＩＣ１６５は、その周囲が封着剤１６４によってモールドされてＦＰＣ１６０に固定されている。ＦＰＣ１６０は、外部回路から信号や電源などが駆動用ＩＣ１６５に供給される入力端子１６１と、駆動用ＩＣ１６５から表示用の制御信号などが出力される出力端子１６２とを有している。ＦＰＣ１６０は、出力端子１６２と素子基板１０１の端子部１０１ａに設けられた外部接続端子（図示省略）とが電気的に接続するように、例えば、異方性導電膜（図示省略）などを介して端子部１０１ａに実装されている。
【００２９】
このような電気泳動表示装置１００は、素子基板１０１側に画素Ｐをスイッチング制御するためのトランジスターやトランジスターに繋がる配線等を有している。すなわち、電気泳動表示装置１００はアクティブ駆動の受光型表示装置である。なお、アクティブ駆動に限らず、パッシブ駆動の受光型表示装置としてもよい。
【００３０】
本実施形態では、素子基板１０１が本発明の第１基板に相当し、対向基板１２１が本発明の第２基板に相当するものである。以降、表示領域Ｅおいて、マトリックス状に配置された画素Ｐの行方向をＸ方向とし、画素Ｐの列方向をＹ方向とし、素子基板１０１から対向基板１２１に向い、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向として説明する。また、Ｚ方向において、対向基板１２１側から見ることを平面視と言う。
なお、表示領域Ｅにおける画素Ｐの配置は、マトリックス状であることに限定されるものではない。
【００３１】
図２（ａ）に示すように、素子基板１０１は、基材１０１ｓ、画素電極１０２、隔壁部１０３、を含むものである。なお、図２（ａ）及び図２（ｂ）では、素子基板１０１側に設けられたトランジスターやトランジスターに接続される配線等の図示を省略している。
基材１０１ｓの一方の表面には、画素Ｐごとに電気的に独立した画素電極１０２が設けられている。画素電極１０２は、Ｃｕ（銅）箔上にニッケルメッキと金メッキとをこの順で積層したものや、Ａｌ（アルミニウム）、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide；インジウム錫酸化物）などにより形成された電極である。
【００３２】
また、基材１０１ｓの一方の表面には、複数の画素電極１０２を画素Ｐごとに区画する隔壁部１０３が設けられている。隔壁部１０３は、隣り合う画素電極１０２の外縁部と重なるように設けられ、隣り合う画素電極１０２同士を電気的に絶縁する機能を有している。
【００３３】
このような、隔壁部１０３の形成方法について、詳しくは後述するが、隔壁部１０３に対応した成形面を有する成形型を用いて樹脂材料を成形することによって、隔壁部１０３が形成されている。したがって、隔壁部１０３の断面形状は、傾斜した側壁を有する台形状（テーパー形状）となっている。樹脂材料としては、例えば、熱硬化型、または紫外線硬化型のアクリル樹脂やエポキシ樹脂が挙げられる。なお、後述する電気泳動粒子１３１，１３２が付着し難い観点で、エポキシ樹脂を用いることが好ましい。
【００３４】
対向基板１２１は、基材１２１ｓ、対向電極１２２、第１封止層１２３、第２封止層１２４を含むものである。基材１２１ｓの一方の表面には、対向電極１２２が設けられている。対向電極１２２は、ＭｇＡｇ、ＩＴＯ、ＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などからなる透明電極であり、素子基板１０１側の複数の画素電極１０２に対して対向する共通電極として、少なくとも表示領域Ｅ（図１参照）に亘って設けられている。
【００３５】
画素電極１０２及び隔壁部１０３が設けられた素子基板１０１と、対向電極１２２が設けられた対向基板１２１とは、第１封止層１２３及び第２封止層１２４を介して、画素電極１０２と対向電極１２２とが対向するように貼り合わされている。第１封止層１２３及び第２封止層１２４としては、熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ポリエチレンなどを用いることができる。詳しくは後述するが、第２封止層１２４は、第１封止層１２３よりも後述する電気泳動粒子１３１，１３２が付着し難い構成となっている。
【００３６】
第２封止層１２４の厚みは、第１封止層１２３の厚みよりも小さく（薄く）、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａが第２封止層１２４を貫通して第１封止層１２３と接するように、素子基板１０１と対向基板１２１とが貼り合わされている。
第１封止層１２３の厚みは、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａを第１封止層１２３に１μｍ程度食い込ませて、隔壁部１０３と第１封止層１２３とを確実に接着させる観点から、３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態ではおよそ５μｍとなっている。
第２封止層１２４の厚みは、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａを貫通させる観点から、０．５μｍ〜５μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態ではおよそ３μｍとなっている。また、第２封止層１２４の硬さは、第１封止層１２３よりも柔らかく、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａを貫通させ易い硬さが得られる観点では、ＰＶＡやポリエチレンを用いて第２封止層１２４を形成することが好ましい。
【００３７】
素子基板１０１の隔壁部１０３と対向基板１２１とによって密封される空間には、電気泳動粒子１３１，１３２が分散された分散媒１３３が充填され、電気泳動層１３０が構成されている。
【００３８】
電気泳動粒子１３１は、例えば、アニリンブラック、カーボンブラックなどの黒色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば正に帯電されて用いられる。もう一つの電気泳動粒子１３２は、例えば、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモンなどの白色顔料からなる粒子（高分子あるいはコロイド）であり、例えば負に帯電されて用いられる。これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンドなどの粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤などの分散剤、潤滑剤、安定化剤などを添加することができる。以降、説明の都合上、電気泳動粒子１３１を黒色粒子１３１と呼び、電気泳動粒子１３２を白色粒子１３２と呼ぶ。黒色粒子１３１、白色粒子１３２の大きさ（直径）は特に限定されるものではないが、電気泳動性（表示における応答性）を考慮して、０．０５μｍ〜０．３μｍの範囲であることが好ましい。分散媒１３３に対する電気泳動粒子の割合は、例えば４０ｗｔ％である。黒色粒子１３１と白色粒子１３２の配向割合は、例えば黒色粒子：白色粒子＝１：９である。
【００３９】
分散媒１３３としては、水、アルコール系溶媒（メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブなど）、エステル類（酢酸エチル、酢酸ブチルなど）、ケトン類（アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなど）、脂肪族炭化水素（ぺンタン、ヘキサン、オクタンなど）、脂環式炭化水素（シクロへキサン、メチルシクロへキサンなど）、芳香族炭化水素（ベンゼン、トルエン、キシレン、長鎖アルキル基を有するベンゼン類（ヘキシルベンゼン、ヘプチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼンなど））、ハロゲン化炭化水素（塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロロエタンなど）などを例示することができ、シリコーンオイルなどの油類であってもよい。これらの物質は単独又は混合物として用いることができ、さらに、カルボン酸塩のような界面活性剤などを配合してもよい。
【００４０】
画素電極１０２と対向電極１２２との間に、直流の駆動電圧を印加して、対向電極１２２を相対的に低電位、画素電極１０２を相対的に高電位に保持する。そうすると、電気泳動層１３０に及ぼされた電界効果により、図２（ｂ）に示すように、正に帯電した黒色粒子１３１が対向電極１２２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２が画素電極１０２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると黒色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は黒色表示を行うことができる。
【００４１】
黒色表示を行う場合と反対に、対向電極１２２を相対的に高電位、画素電極１０２を相対的に低電位に保持すれば、電気泳動層１３０に及ぼされた電界効果により、正に帯電した黒色粒子１３１は画素電極１０２に引き寄せられる一方、負に帯電した白色粒子１３２は対向電極１２２に引き寄せられる。その結果、表示面側となる対向基板１２１側からこの画素Ｐを見ると白色が認識されることとなり、電気泳動表示パネル１５０は白色表示を行うことができる。
このように画素電極１０２と対向電極１２２とに与えられる電位を画素Ｐごとに制御すれば、文字や画像などの白黒表示を対向基板１２１側から見ることができる。
【００４２】
電気泳動層１３０は、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２を含むことに限定されず、どちらか一方の電気泳動粒子を有するとしてもよい。
また、黒色粒子１３１及び白色粒子１３２に代えて、例えば赤色、緑色、青色などの顔料を用いてもよい。画素Ｐの電気泳動層１３０に含まれる電気泳動粒子の色を、赤色、緑色、青色などから選択することで、カラー表示を行うこともできる。
【００４３】
次に、図３を参照して隔壁部の構成について説明する。図３は素子基板における隔壁部の配置を示す概略平面図である。
図３に示すように、素子基板１０１において、隔壁部１０３は、Ｘ方向とＹ方向とに沿ってそれぞれ複数延在し、Ｘ方向とＹ方向とにおいて隣り合う隔壁部１０３が交差することによって区画された領域が画素領域Ｇ（画素Ｐ）となっている。したがって、Ｘ方向とＹ方向とに配列した複数の画素領域Ｇによって表示領域Ｅが構成されている。また、表示領域Ｅを囲んで隔壁部１０４が設けられている。表示領域Ｅの外縁では、隔壁部１０３と隔壁部１０４とが繋がるように設けられている。表示領域Ｅの外周部分において、隔壁部１０３と隔壁部１０４とによって区画された領域もまた画素領域Ｇとして機能するものである。なお、表示領域Ｅの外周部分に位置する画素領域Ｇは、表示に寄与する画素Ｐとして機能させてもよいし、表示に寄与しないダミー画素として機能させてもよい。
【００４４】
隔壁部１０４の頭頂部（対向基板１２１側の面）には、同じく表示領域Ｅを囲むようにして、２本の溝部１０５が設けられている。本実施形態では、溝部１０５は、隔壁部１０４の頭頂部に二重に設けられているが、溝部１０５の配置は、これに限定されるものではなく、例えば表示領域Ｅを囲むように１本の溝部１０５が配置されているとしてもよいし、３本以上の溝部１０５が配置されているとしてもよい。
本実施形態において、隔壁部１０３が本発明における第１隔壁の一例であり、隔壁部１０４が本発明における第２隔壁の一例である。また、溝部１０５が本発明における第２隔壁の頭頂部に設けられた凹凸の一例である。
【００４５】
次に、隔壁部１０３及び隔壁部１０４のより具体的な構成について、図４を参照して説明する。図４は、図３のＡ−Ａ’線に沿った電気泳動表示パネルの概略断面図である。
図４に示すように、基材１０１ｓ上において画素Ｐ（画素領域Ｇ）を区画する隔壁部１０３の断面形状は、台形状であって、底部１０３ｂの幅Ｌ１は例えば１０μｍ〜１５μｍであり、頭頂部１０３ａの幅Ｌ２は例えば５μｍ〜１０μｍである。隔壁部１０３の高さｈ１は、例えば３０μｍ〜４０μｍである。
表示領域Ｅを囲む位置に設けられた隔壁部１０４の断面形状もまた略台形状であり、底部１０４ｂの幅Ｌ３は例えば３００μｍ〜５００μｍであり、頭頂部１０４ａの幅Ｌ４は例えば３５０μｍ〜４５０μｍである。隔壁部１０４の高さｈ２は、隔壁部１０３の高さｈ１と略同じであり例えば３０μｍ〜４０μｍである。
隔壁部１０３の頭頂部１０３ａと、隔壁部１０４の頭頂部１０４ａとが、第２封止層１２４を貫いて第１封止層１２３に接し、１μｍ程度食い込むように、素子基板１０１と対向基板１２１とが貼り合わされている。
【００４６】
隔壁部１０４の頭頂部１０４ａに設けられた溝部１０５の断面形状は、頭頂部１０４ａ側の開口部１０５ａの幅Ｌ６が、底部１０５ｂの幅Ｌ５よりも広い台形状である。底部１０５ｂの幅Ｌ５は例えば１μｍ〜５０μｍであり、開口部１０５ａの幅Ｌ６は例えば５μｍ〜６０μｍである。溝部１０５は、頭頂部１０４ａを第２封止層１２４に押し込んだときの抵抗を減ずることが可能な程度の大きさであることが望ましい。また、溝部１０５の深さｔ１は、頭頂部１０４ａを第２封止層１２４に押し込んだときに、溝部１０５内に第２封止層１２４を十分に飲み込むことができる程度の例えば１μｍ〜７μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態では、およそ５μｍである。
【００４７】
隔壁部１０３及び隔壁部１０４の詳しい形成方法については、後述するが、本実施形態では、隔壁部１０３と隔壁部１０４とは、同じ樹脂材料を用いて、同じ工程で作りこまれている。なお、隔壁部１０３と隔壁部１０４とは、異なる樹脂材料を用いて形成されていてもよい。特に、表示領域Ｅを囲む位置に設けられる隔壁部１０４は、表示領域Ｅ内の電気泳動層１３０を確実に封止し、外部から水分やガスなどが表示領域Ｅ内に浸入することを防止したいので、高いガスバリア性と、素子基板１０１の基材１０１ｓや対向基板１２１の第１封止層１２３に対して優れた接着性とを有する樹脂材料を選択することが好ましい。
【００４８】
次に、対向基板１２１側に設けられた第２封止層１２４の具体的な構成について、図５を参照して説明する。図５は第２封止層の構成を示す概略断面図である。
第１封止層１２３に積層して形成される第２封止層１２４は、前述したように、第１封止層１２３よりも電気泳動粒子の付着性が弱くなるように形成されている。具体的には、図５に示すように、第２封止層１２４は、第１封止層１２３及び第２封止層１２４に含まれる樹脂材料よりも電気泳動粒子の付着性が弱い粒子１２５を含んでいる。この粒子１２５は、光透過性且つ非極性である有機材料または無機材料を用いることが好ましく、球状であることから、ここでは電気泳動粒子と区別するため、ビーズ１２５と呼ぶこととする。なお、粒子１２５は、球状であることに限定されず、断面が楕円や多角形であったり、不定形であってもよい。
【００４９】
ビーズ１２５に好適な有機材料としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などを挙げることができる。また、好適な無機材料としては、例えば、酸化シリコン（シリカ）、チタン酸カリウムなどを挙げることができる。
【００５０】
ビーズ１２５の大きさ（粒子径）は、例えば０．５μｍ〜５μｍである。ビーズ１２５の第２封止層１２４における含有割合は、重量比で３０％〜５０％である。そして、ビーズ１２５の一部を、第２封止層１２４の分散媒１３３に接する側の表面１２４ａから突出（あるいは露出）させる。これにより、第２封止層１２４がビーズ１２５を含まない場合、あるいは第２封止層１２４の表面１２４ａにビーズ１２５の一部を露出させない場合に比べて、第２封止層１２４に対する電気泳動粒子の付着性を弱めることができる。
【００５１】
＜電気泳動表示装置の製造方法＞
次に、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法について、図６〜図９を参照して説明する。図６は電気泳動表示装置の製造方法を示すフローチャート、図７（ａ）〜（ｄ）、図８（ｅ）〜（ｇ）、図９（ｈ）〜（ｊ）は電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。具体的には、図７（ａ）〜（ｄ）は素子基板１０１における隔壁部１０３及び隔壁部１０４の形成工程を示し、図８（ｅ）〜（ｇ）は対向基板１２１における第１封止層１２３、第２封止層１２４の形成工程を示し、図９（ｈ）〜（ｊ）は分散媒１３３の充填工程と、素子基板１０１と対向基板１２１の貼り合わせ工程とを示すものである。
【００５２】
図６に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法は、隔壁形成工程（ステップＳ１）と、第１封止層形成工程（ステップＳ２）と、第２封止層の前駆体形成工程（ステップＳ３）と、前駆体エッチング工程（ステップＳ４）と、分散媒充填工程（ステップＳ５）と、貼り合わせ工程（ステップＳ６）と、を有している。
なお、素子基板１０１において、画素電極１０２や、画素電極１０２をスイッチング制御するトランジスターやその配線などを形成する方法は、公知の方法を採用することができる。同じく、対向基板１２１において対向電極１２２を形成する方法も公知の方法を採用することができる。したがって、ここでは、本発明の特徴部分に関連する工程について説明を行う。
【００５３】
図６のステップＳ１では、素子基板１０１に隔壁部１０３及び隔壁部１０４を形成する。具体的には、まず、図７（ａ）に示すように、基材１０１ｓの画素電極１０２が形成された面を覆うように樹脂層１１３を形成する。樹脂層１１３の形成方法は、例えば、熱硬化型、または紫外線硬化型のアクリル樹脂やエポキシ樹脂を含む溶液をスピンコート法やロールコート法、あるいは印刷法などにより塗布して乾燥することにより形成する方法が挙げられる。
【００５４】
そして、図７（ｂ）に示すように、成形面５０ａに隔壁部１０３に対応した凹部５１と、隔壁部１０４に対応した凹部５２とが形成された成形型５０を用意する。各凹部５１，５２の断面形状は、成形型５０の離型性を考慮して、開口部の幅が底部の幅よりも広くなっている。凹部５２の底面には、溝部１０５に対応した突起部５３が形成されている。なお、成形型５０の各凹部５１，５２を含む成形面５０ａには予め離型処理が施されている。このような成形型５０と、樹脂層１１３が形成された基材１０１ｓとを対向配置して、図７（ｃ）に示すように、成形型５０の成形面５０ａが画素電極１０２と接するまで成形型５０を基材１０１ｓに相対的に押し付ける。成形型５０を基材１０１ｓに相対的に押し付けた状態で、樹脂層１１３を硬化させる。樹脂層１１３が熱硬化型の樹脂であれば、成形型５０と基材１０１ｓのいずれか一方または両方を加熱し、また、樹脂層１１３が紫外線硬化型の樹脂であれば、基材１０１ｓ側から紫外線を照射して、凹部５１，５２を満たした樹脂層１１３を硬化させる。
【００５５】
樹脂層１１３の硬化後、成形型５０を基材１０１ｓから剥離すると、図７（ｄ）に示すように、各画素電極１０２の外縁部と重なり、複数の画素電極１０２のそれぞれを区画する隔壁部１０３が形成される。また、表示領域Ｅを囲む位置に隔壁部１０４が形成される。隔壁部１０４の頭頂部１０４ａには、成形型５０の突起部５３によって溝部１０５が形成される。隔壁部１０３の断面形状は、底部の幅が頭頂部１０３ａの幅よりも大きい台形状となる。隔壁部１０４の断面形状もまた、底部の幅が頭頂部１０４ａよりも大きい略台形状となる。基材１０１ｓ上における隔壁部１０３の高さと隔壁部１０４の高さは、ほぼ同じであり、およそ３０μｍ〜４０μｍである。隔壁部１０３，１０４によって区画された領域が画素領域Ｇとなる。このように、成形型５０を用いて樹脂層１１３を成形して、基材１０１ｓ上に隔壁部１０３，１０４を形成する方法はインプリント法と呼ばれている。
【００５６】
本実施形態では、樹脂層１１３が形成された基材１０１ｓに対して成形型５０を相対的に押し付けたが、例えば、成形型５０の凹部５１，５２を埋めるように樹脂材料を塗布し、樹脂材料が塗布された成形型５０に画素電極１０２が形成された基材１０１ｓを相対的に押し付けてもよい。
【００５７】
また、隔壁部１０３，１０４を形成する方法は、インプリント法に限定されず、感光性樹脂材料を用いて、フォトリソグラフィ法により隔壁部１０３，１０４を形成してもよい。
フォトリソグラフィ法を用いる場合、溝部１０５の形成方法としては、隔壁部１０３及び隔壁部１０４を形成する工程と、隔壁部１０４の頭頂部１０４ａに溝部１０５を形成する工程とに分ける方法が挙げられる。また、隔壁部１０３，１０４に対応する遮光パターンと、溝部１０５に対応する階調遮光パターンとを有するフォトマスクを用いて感光性樹脂層を露光する方法などが挙げられる。
【００５８】
次に、図６のステップＳ２では、図８（ｅ）に示すように、基材１２１ｓの対向電極１２２を覆う第１封止層１２３を形成する。第１封止層１２３を形成する方法としては、前述した熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂などが溶媒に溶解した溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。乾燥後の第１封止層１２３の厚みは、前述したように、３μｍ〜１０μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ５μｍである。そして、ステップＳ３へ進む。
なお、基材１２１ｓの対向電極１２２を覆う第１封止層１２３は、絶縁性の接着材料を用いて形成してもよいが、導電性を有する接着材料を用いて形成することが好ましい。例えば、接着性を有するエポキシ樹脂、フェノール樹脂などに、粒径が５μｍ程度の酸化スズ、カーボンブラックなどの導電粒子を混ぜることで導電性を付与することができる。導電粒子は導電性を有する材料で構成されていてもよいし、絶縁性の粒子の表面を覆うように導電性の被膜が形成されている粒子であってもよい。
第１封止層１２３の電気伝導度（電気抵抗率；比抵抗）が、１．０×１０11Ω・ｃｍ以上あれば、絶縁性の接着材料（あるいは導電粒子を含有していない接着材料）を用いた場合に比べて、表示を行わせるために必要な駆動電圧の値を下げることができる。つまり、電気泳動表示装置１００における省電力化が可能となる。
【００５９】
図６のステップＳ３では、図８（ｆ）に示すように、第１封止層１２３に積層して第２封止層１２４の前駆体１２４Ｐを形成する。前駆体１２４Ｐの形成方法としては、熱硬化型、または紫外線硬化型のポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ポリエチレンなどを溶解させた溶媒に、ビーズ１２５を加えた溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。この段階の前駆体１２４Ｐの厚みは、例えば５μｍ〜７μｍであって、第１封止層１２３よりも厚くてもよい。前駆体１２４Ｐ中におけるビーズ１２５の配置は、均質であることが好ましいが、ビーズ１２５の明らかな凝集が認められない程度に分散していればよい。そして、ステップＳ４へ進む。
【００６０】
図６のステップＳ４では、前駆体１２４Ｐをエッチングして厚みを薄くする。エッチング方法としては、溶媒などのエッチング液を用いたウェットエッチング、反応性のガスを用いたドライエッチングを挙げることができる。エッチング後に形成された第２封止層１２４の厚みは、前述したように０．５μｍ〜５μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ３μｍである。これにより、図８（ｇ）に示すように、第２封止層１２４の表面１２４ａにビーズ１２５の一部が平面的な配置における規則性がなくランダムに露出する。言い換えれば、表面１２４ａにビーズ１２５の一部がランダムに露出するように、前駆体１２４Ｐの厚みを設定してエッチングする。そして、ステップＳ５へ進む。
【００６１】
図６のステップＳ５は、隔壁部１０３，１０４によって区画された複数の画素領域Ｇのそれぞれに電気泳動粒子を含む分散媒１３３を充填する。分散媒１３３を充填する方法としては、図９（ｈ）に示すように、インクジェットヘッド６０を備えた吐出装置（図示省略）を用いる。隔壁部１０３，１０４が形成された基材１０１ｓとインクジェットヘッド６０とを対向配置して、基材１０１ｓに対してインクジェットヘッド６０を相対的に移動させる間に、インクジェットヘッド６０のノズル６１から所定量の分散媒１３３を液滴として画素領域Ｇに吐出する。この液滴吐出法によれば、画素領域Ｇごとに所定量の分散媒１３３を精度よく塗布（充填）することができる。
図９（ｉ）に示すように、塗布された分散媒１３３は界面張力により隔壁部１０３により囲まれた画素領域Ｇにおいて盛り上がる。言い換えれば、画素領域Ｇから溢れ出ない程度に上記所定量を設定して分散媒１３３を充填する。そして、ステップＳ６へ進む。
【００６２】
図６のステップＳ６では、図９（ｊ）に示すように、分散媒１３３が画素領域Ｇごとに充填された素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる。このとき、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａ及び隔壁部１０４の頭頂部１０４ａが第２封止層１２４を貫いて第１封止層１２３に１μｍ程度食い込むように、素子基板１０１に対して対向基板１２１を相対的に押圧する。そして、余分な分散媒１３３は画素領域Ｇから溢れて外部に放出される。これにより、画素領域Ｇごとに分散媒１３３が対向基板１２１によって封着され、画素領域Ｇごとに電気泳動層１３０が形成される。
【００６３】
上記電気泳動表示装置１００の製造方法において、隔壁部１０３及び隔壁部１０４並びに第１封止層１２３を例えばエポキシ樹脂を用いて形成したときの硬さ（弾性率）は、３０００ＭＰａ〜５０００ＭＰａである。第２封止層１２４を例えばＰＶＡを用いて形成したときの硬さ（弾性率）は、１０ＭＰａ〜４０ＭＰａである。第２封止層１２４の硬さは含有するビーズ１２５の材料や含有割合により変化する。したがって、隔壁部１０３、隔壁部１０４、第１封止層１２３、第２封止層１２４のそれぞれに用いられる樹脂材料の硬化後の硬さを考慮して、ビーズ１２５の材料や含有割合を調整することが好ましい。
【００６４】
上記第１実施形態の電気泳動表示装置１００とその製造方法によれば、以下の効果が得られる。
（１）隔壁部１０３よりも幅が広い隔壁部１０４によって表示領域Ｅを囲んで電気泳動層１３０を封止するので、電気泳動表示パネル１５０の外縁部を封止部により封着する場合に比べて、封止用の樹脂材料を塗布するスペースを削減でき、より小型な電気泳動表示装置１００を提供または製造することができる。また、隔壁形成工程にて、画素領域Ｇを区画する隔壁部１０３と、表示領域Ｅを囲む隔壁部１０４とを同時に形成するので、電気泳動表示装置１００の製造において高い生産性を実現できる。
（２）隔壁部１０４の頭頂部１０４ａには溝部１０５が形成され、頭頂部１０４ａが第２封止層１２４を貫いて、第２封止層１２４よりも接着性能が優れた第１封止層１２３に１μｍ程度食い込んでいる。したがって、隔壁部１０４の頭頂部１０４ａに溝部１０５を形成しない場合に比べて、頭頂部１０４ａと第１封止層１２３との接触面積を大きくして、確実に接着することができる。また、画素領域Ｇを区画する隔壁部１０３の頭頂部１０３ａも第２封止層１２４を貫いて、第１封止層１２３に１μｍ程度食い込んでいる。ゆえに、外部応力などにより隔壁部１０３，１０４と第１封止層１２３とが剥がれ難い封止構造（接着構造）を実現できる。
（３）第２封止層１２４は、厚みが第１封止層１２３よりも薄く、且つ第１封止層１２３よりも柔らかくなる樹脂材料を用いて形成されている。したがって、素子基板１０１と対向基板１２１との貼り合わせにおいて、隔壁部１０３の頭頂部１０３ａや隔壁部１０４の頭頂部１０４ａが容易に第２封止層１２４を貫いて、第１封止層１２３に到達可能な封止構造を実現できる。
（４）第２封止層１２４の分散媒１３３に接する側の表面１２４ａにはビーズ１２５の一部がランダムに露出している。ビーズ１２５は電気泳動粒子が付着し難い性質の材料を用いて形成されているので、分散媒１３３に接する第２封止層１２４において、電気泳動粒子の付着性が低減される。ゆえに、第２封止層１２４へ電気泳動粒子が付着することに起因する表示むらが低減され、優れた表示品質を有する電気泳動表示装置１００を提供することができる。
特に、電気泳動表示装置１００の製造方法において、ビーズ１２５が混合された前駆体１２４Ｐの表面をエッチングしてビーズ１２５を露出させるので、単にビーズ１２５を混合しただけの状態である場合に比べて、確実に電気泳動粒子に対する付着性を低減することができる。
言い換えれば、対向基板１２１において分散媒１３３に接する側に第２封止層１２４が形成されているので、分散媒１３３に接しない第１封止層１２３は、電気泳動粒子の付着性を気にすることなく、隔壁部１０３，１０４に対して優れた接着性を有する材料を用いることができる。
【００６５】
（第２実施形態）
＜電気泳動表示装置とその製造方法＞
次に、第２実施形態の電気泳動表示装置とその製造方法について、図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は第２実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略断面図、図１１（ａ）〜（ｃ）は第２実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。第２実施形態の電気泳動表示装置は、第１実施形態の電気泳動表示装置１００に対して、第２封止層の構成を異ならせたものである。従って、第１実施形態と同じ構成には、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６６】
図１０に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置２００は、素子基板１０１と対向基板１２１との間に、電気泳動層１３０が挟持された電気泳動表示パネル２５０を備えている。対向基板１２１は、基材１２１ｓと、基材１２１ｓ上に順に形成された、対向電極１２２と、第１封止層１２３と、第２封止層１２４ｆと、を有している。
【００６７】
第１封止層１２３は、第２封止層１２４ｆよりも隔壁部１０３，１０４に対して優れた接着性を示すものが好ましく、例えば熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂を用いることが好ましい。第１封止層１２３の厚みは、３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態ではおよそ５μｍである。
【００６８】
本実施形態の第２封止層１２４ｆは、第１封止層１２３に比べて柔らかくなる、例えば熱硬化型、または紫外線硬化型のポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ポリエチレンなどの樹脂材料を用いて形成され、電気泳動粒子の付着性が弱い非極性の繊維１２６を含んでいる。繊維１２６の一部は、第２封止層１２４ｆの電気泳動層１３０（分散媒１３３）と接する側の表面１２４ａから突出して露出している。上記樹脂材料に対する繊維１２６の含有割合（重量割合）は、３０％〜５０％である。第２封止層１２４ｆの厚みは、０．５μｍ〜５μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ３μｍである。
【００６９】
このような繊維１２６に用いられる原材料としては、ナイロン系、ポリエステル系、ポリオレフィン系などの有機材料や、ガラスなどの無機材料を挙げることができる。
繊維１２６の太さ（径）は、第２封止層１２４ｆを構成する樹脂材料層の厚みよりも小さく、０．５μｍ〜３μｍであることが好ましい。また、繊維１２６の長さは、上記樹脂材料に対する混合性の観点から、１００μｍ〜数ｍｍの範囲であることが好ましい。
【００７０】
このような第１封止層１２３、第２封止層１２４ｆを有する対向基板１２１を用いた電気泳動表示装置２００（電気泳動表示パネル２５０）の製造方法は、上記第１実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法におけるステップＳ１〜ステップＳ６（図６参照）と基本的には同じである。図１１（ａ）〜（ｃ）を参照して、本実施形態における対向基板１２１の形成方法について説明する。
【００７１】
図６のステップＳ２では、図１１（ａ）に示すように、対向基板１２１の対向電極１２２を覆う第１封止層１２３を形成する。第１封止層１２３を形成する方法としては、前述したエポキシ樹脂、フェノール樹脂などの樹脂材料が溶媒に溶解した溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。乾燥後の第１封止層１２３の厚みは、前述したように、３μｍ〜１０μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ５μｍである。そして、ステップＳ３へ進む。
なお、対向電極１２２を覆う第１封止層１２３は、第１実施形態で述べたように、絶縁性の接着材料を用いて形成してもよいが、導電性を有する接着材料を用いて形成することが好ましい。
【００７２】
図６のステップＳ３では、図１１（ｂ）に示すように、第１封止層１２３に積層して第２封止層１２４ｆの前駆体１２４Ｐｆを形成する。前駆体１２４Ｐｆの形成方法としては、前述したポリビニルアルコール（ＰＶＡ）などのビニル樹脂、ポリエチレンなどを溶解させた溶媒に、繊維１２６を加えた溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。この段階の前駆体１２４Ｐｆの厚みは、例えば５μｍ〜７μｍであって、第１封止層１２３よりも厚くてもよい。前駆体１２４Ｐｆ中における繊維１２６の配置は、均質であることが好ましいが、繊維１２６の明らかな凝集が認められない程度に分散していればよい。そして、ステップＳ４へ進む。
【００７３】
図６のステップＳ４では、前駆体１２４Ｐｆをエッチングして厚みを薄くする。エッチング方法としては、溶媒などのエッチング液を用いたウェットエッチング、反応性のガスを用いたドライエッチングを挙げることができる。エッチング後に形成された第２封止層１２４ｆの厚みは、前述したように０．５μｍ〜５μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ３μｍである。これにより、図１１（ｃ）に示すように、第２封止層１２４ｆの表面１２４ａに繊維１２６の一部が平面的な配置の規則性がなくランダムに露出する。言い換えれば、表面１２４ａに繊維１２６の一部が露出するように、前駆体１２４Ｐｆの厚みを設定してエッチングする。
【００７４】
この後、電気泳動粒子を含む分散媒１３３が画素領域Ｇごとに充填された素子基板１０１と、上記対向基板１２１とを貼り合わせて、電気泳動表示パネル２５０ができあがる。なお、第２封止層１２４ｆにおける繊維１２６の含有割合は、上記第１実施形態で述べたように、第２封止層１２４ｆの硬さが隔壁部１０３，１０４や第１封止層１２３よりも柔らかくなるように調整する。
【００７５】
上記第２実施形態の電気泳動表示装置２００とその製造方法によれば、上記第１実施形態の効果（１）〜（４）と同等な効果が得られることに加えて、以下の効果が得られる。
（５）第２封止層１２４ｆは、繊維１２６を含んでいるので、ビーズ１２５を含む第１実施形態に比べて、外部応力によって変形し難い電気泳動表示装置２００（電気泳動表示パネル２５０）を提供または製造することができる。例えば、表示面を指などで押圧しても表示が乱れ難い。
【００７６】
（第３実施形態）
＜電気泳動表示装置とその製造方法＞
次に、第３実施形態の電気泳動表示装置とその製造方法について、図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は第３実施形態の電気泳動表示装置の構成を示す概略断面図、図１３（ａ）〜（ｄ）は第３実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を示す概略断面図である。第３実施形態の電気泳動表示装置は、第１実施形態の電気泳動表示装置１００に対して、第２封止層の構成を異ならせたものである。従って、第１実施形態と同じ構成には、同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
【００７７】
図１２に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置３００は、素子基板１０１と対向基板１２１との間に、電気泳動層１３０が挟持された電気泳動表示パネル３５０を備えている。対向基板１２１は、基材１２１ｓと、基材１２１ｓ上に順に形成された、対向電極１２２と、第１封止層１２３と、第２封止層１２４ｄと、を有している。
【００７８】
第１封止層１２３は、第２封止層１２４ｄよりも隔壁部１０３，１０４に対して優れた接着性を示すものが好ましく、例えば熱硬化型、または紫外線硬化型のエポキシ樹脂、フェノール樹脂を用いることが好ましい。第１封止層１２３の厚みは、３μｍ〜１０μｍの範囲であることが好ましく、本実施形態ではおよそ５μｍである。
【００７９】
本実施形態の第２封止層１２４ｄは、第１封止層１２３に比べて柔らかくなる、例えば熱硬化型、または紫外線硬化型のポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリスチレンなどの非極性の樹脂、もしくはシリコーン系やフッ素系の樹脂材料を用いて形成され、ビーズ１２５を含んでいる。また、第２封止層１２４ｄの電気泳動層１３０（分散媒１３３）と接する側の表面１２４ａにはディンプル（窪み）１２７が形成されている。第２封止層１２４ｄの厚みは、０．５μｍ〜５μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ３μｍである。
【００８０】
本実施形態におけるビーズ１２５は、例えば酸化錫やコロイダルシリカなどの粒子を用いる。ビーズ１２５の大きさ（径）は、電気泳動粒子（図中では黒色粒子１３１）よりも小さく、例えば０．１μｍ〜０．３μｍ（１００ｎｍ〜３００ｎｍ）である。ディンプル１２７の大きさは、ビーズ１２５とほぼ同じで、０．１μｍ〜０．３μｍ（１００ｎｍ〜３００ｎｍ）である。
【００８１】
このような第１封止層１２３、第２封止層１２４ｄを有する対向基板１２１を用いた電気泳動表示装置３００（電気泳動表示パネル３５０）の製造方法は、上記第１実施形態の電気泳動表示装置１００の製造方法におけるステップＳ１〜ステップＳ６（図６参照）と基本的には同じである。図１３（ａ）〜（ｃ）を参照して、本実施形態における対向基板１２１の形成方法について説明する。
【００８２】
図６のステップＳ２では、図１３（ａ）に示すように、対向基板１２１の対向電極１２２を覆う第１封止層１２３を形成する。第１封止層１２３を形成する方法としては、前述したエポキシ樹脂、フェノール樹脂などの樹脂材料が溶媒に溶解した溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。乾燥後の第１封止層１２３の厚みは、前述したように、３μｍ〜１０μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ５μｍである。そして、ステップＳ３へ進む。
なお、基材１２１ｓの対向電極１２２を覆う第１封止層１２３は、上記第１実施形態で述べたように絶縁性の接着材料を用いて形成してもよいが、導電性を有する接着材料を用いて形成することが好ましい。
【００８３】
図６のステップＳ３では、図１３（ｂ）に示すように、第１封止層１２３に積層して第２封止層１２４ｄの前駆体１２４Ｐを形成する。前駆体１２４Ｐの形成方法としては、前述したポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系樹脂、ポリスチレンなどの非極性の樹脂、もしくはシリコーン系やフッ素系の樹脂材料を溶解させた溶媒に、ビーズ１２５を加えた溶液を、例えばスピンコート、バーコート、ロールコート、スリットコートなどの塗布法や、スクリーンやオフセットなどの印刷法を用いて塗布して、乾燥・硬化させる方法が挙げられる。この段階の前駆体１２４Ｐの厚みは、例えば５μｍ〜７μｍであって、第１封止層１２３よりも厚くてもよい。前駆体１２４Ｐ中におけるビーズ１２５の配置は、均質であることが好ましいが、ビーズ１２５の明らかな凝集が認められない程度に分散していればよい。そして、ステップＳ４へ進む。
【００８４】
図６のステップＳ４では、前駆体１２４Ｐをエッチングして厚みを薄くする。エッチング方法としては、溶媒などのエッチング液を用いたウェットエッチング、反応性のガスを用いたドライエッチングを挙げることができる。エッチング後に形成された第２封止層１２４ｄの厚みは、前述したように０．５μｍ〜５μｍの範囲であって、本実施形態ではおよそ３μｍである。これにより、図１３（ｃ）に示すように、前駆体１２４Ｐの表面１２４ａにビーズ１２５の一部が平面的な配置の規則性がなくランダムに露出する。言い換えれば、表面１２４ａにビーズ１２５の一部が露出するように、前駆体１２４Ｐの厚みを設定してエッチングする。
続いて、表面１２４ａに露出したビーズ１２５をエッチングして除去する。ビーズ１２５が例えば前述したように酸化錫である場合には、酸性溶液を用いてビーズ１２５を溶解して除去する。ビーズ１２５が例えば前述したようにコロイダルシリカである場合には、水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリ溶液を用いてビーズ１２５を溶解して除去する。これにより、ビーズ１２５が除去された後の表面１２４ａにディンプル１２７が形成される。ディンプル１２７は、平面的な配置の規則性がなくランダムに形成される。ディンプル１２７の深さもばらついた状態となる。
【００８５】
この後、電気泳動粒子を含む分散媒１３３が画素領域Ｇごとに充填された素子基板１０１と、上記対向基板１２１とを貼り合わせて、電気泳動表示パネル３５０ができあがる。
【００８６】
上記第３実施形態の電気泳動表示装置３００とその製造方法によれば、上記第１実施形態の効果（１）〜（３）と同等な効果が得られることに加えて、以下の効果が得られる。
（６）分散媒１３３と接する側の第２封止層１２４ｄの表面１２４ａには、電気泳動粒子の大きさよりも小さいディンプル１２７がランダムに形成されている。したがって、第２封止層１２４ｄと電気泳動粒子とは、ディンプル１２７のエッジ部分（外縁部）で接することになる（図１２参照）。つまり、ディンプル１２７が形成されていない場合に比べて、第２封止層１２４ｄと電気泳動粒子との接触面積を減らすことが可能となり、第２封止層１２４ｄに対する電気泳動粒子の付着性を弱めることができる。一方でビーズ１２５として非極性の材料を用いなくてもよいので、材料の選択の範囲を広げることができ、例えば基材１２１ｓ側から第２封止層１２４ｄに入射した光がビーズ１２５によって散乱する材料を容易に採用することができる。これにより、高いコントラストを実現して、優れた表示品質を有する電気泳動表示装置３００を提供または製造することができる。
なお、対向基板１２１において分散媒１３３に接する側に第２封止層１２４ｄが形成されているので、分散媒１３３に接しない第１封止層１２３は、電気泳動粒子の付着性を気にすることなく、隔壁部１０３，１０４に対して優れた接着性を有する材料を用いることができる。
【００８７】
（第４実施形態）
＜電子機器＞
次に、本実施形態の電子機器について、図１４を参照して説明する。図１４は、本発明の電気泳動表示装置を適用した電子機器の具体例を説明する斜視図である。
図１４（ａ）は、電子機器の一例である電子ブックを示す斜視図である。電子機器としての電子ブック１０００は、ブック形状のフレーム１００１と、このフレーム１００１に対して回動自在に設けられた（開閉可能な）カバー１００２と、操作部１００３と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１００４と、を備えている。
【００８８】
図１４（ｂ）は、電子機器の一例である腕時計を示す斜視図である。電子機器としての腕時計１１００は、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１１０１を備えている。
【００８９】
図１４（ｃ）は、電子機器の一例である電子ペーパーを示す斜視図である。電子機器としての電子ペーパー１２００は、紙と同様の質感および柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体部１２０１と、本発明の電気泳動表示装置によって構成された表示部１２０２を備えている。
【００９０】
以上の電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００によれば、本発明に係る電気泳動表示装置が採用されているので、画素Ｐごとの電気泳動層１３０に駆動電圧を印加することで、外光を利用した眼に優しい印刷物のような表示を行うことができると共に、優れた信頼性を有する電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００を提供することができる。
【００９１】
なお、本発明の電気泳動表示装置を適用可能な電子機器は、上記電子ブック１０００、腕時計１１００及び電子ペーパー１２００に限定されるものではない。例えば、携帯電話、携帯用オーディオ機器などの電子機器の表示部や、マニュアルなどの業務用シート、教科書、問題集、情報シートなどにも、本発明の電気泳動表示装置は好適に用いることができる。
【００９２】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気泳動表示装置および該電気泳動表示装置の製造方法ならびに該電気泳動表示装置を適用する電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【００９３】
（変形例１）画素領域Ｇを区画する隔壁部１０３、及び表示領域Ｅを囲む隔壁部１０４の溝部１０５の平面的な配置は、これに限定されない。図１５（ａ）〜（ｃ）は変形例の隔壁部を示す概略平面図である。例えば、図１５（ａ）に示すように、隔壁部１０３は、表示領域Ｅの外縁に対して、斜めに交差する方向に配置されていてもよい。また、図１５（ｂ）に示すように、隔壁部１０３はハニカム構造となっていてもよい。図１５（ａ）及び図１５（ｂ）のような隔壁部１０３の配置とすることで、外部応力で変形し難い電気泳動表示装置とすることができる。さらに、隔壁部１０３で囲まれた領域のそれぞれに、１つの画素電極１０２が配置されることに限定されず、複数の画素電極１０２が含まれるように隔壁部１０３を配置してもよい。
また、図１５（ｃ）に示すように、隔壁部１０４の頭頂部において、互いに連続せず途切れた状態の溝部１０５ｃ，１０５ｄを位置をずらして複数形成してもよい。
【００９４】
（変形例２）図４に示したように、表示領域Ｅの外周部分において、隔壁部１０３と隔壁部１０４とによって区画された領域を表示に寄与しないダミー画素として機能させる場合、当該領域（ダミー画素領域）には、電気泳動粒子を含む分散媒１３３を必ずしも充填しなくてもよい。素子基板１０１と対向基板１２１とを貼り合わせる工程において、画素領域Ｇに充填された余分な分散媒１３３の一部または全部が当該ダミー画素領域に収容されるとしてもよい。
【００９５】
（変形例３）上記各実施形態では、前駆体１２４Ｐ，１２４Ｐｆの全面に亘ってエッチングを行って第２封止層１２４，１２４ｆ，１２４ｄを形成したが、エッチング領域を表示領域Ｅに対応する範囲に限定してもよい。つまり、前駆体１２４Ｐ，１２４Ｐｆが隔壁部１０４よりも十分に柔らかければ、貼り合わせ工程で、隔壁部１０４が押し込まれる範囲の前駆体１２４Ｐ，１２４Ｐｆの部分はエッチングしなくてもよい。
【００９６】
（変形例４）上記第１実施形態の第２封止層１２４はビーズ１２５を含み、上記第２実施形態の第２封止層１２４ｆは繊維１２６を含む構成としたが、ビーズ１２５または繊維１２６を含まない構成としてもよい。その場合には、第２封止層を非極性の樹脂材料を用いて形成すればよい。
【符号の説明】
【００９７】
１００，２００，３００…電気泳動表示装置、１０１…第１基板としての素子基板、１０２…画素電極、１０３…第１隔壁としての隔壁部、１０３ａ…隔壁部の頭頂部、１０４…第２隔壁としての隔壁部、１０４ａ…隔壁部の頭頂部、１２１…第２基板としての対向基板、１２２…対向電極、１２３…第１封止層、１２４…第２封止層、１２４ａ…第２封止層の表面、１２４Ｐ，１２４Ｐｆ…前駆体、１２５…粒子としてのビーズ、１２６…繊維、１２７…ディンプル、１３０…電気泳動層、１３１，１３２…電気泳動粒子、１３３…分散媒、１５０，２５０，３５０…電気泳動表示パネル、１０００…電子機器としての電子ブック、１１００…電子機器としての腕時計、１２００…電子機器としての電子ペーパー、Ｐ…画素、Ｇ…画素領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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