(57)【要約】      （修正有）【課題】吐出不良が生じにくい液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、複数の吐出孔と個別につながる複数の加圧室１０、および複数の加圧室１０につながり、第１方向Ｘに沿って延びるとともに、貫通孔を有する複数のプレートが積層されることにより形成された共通流路５、を有する流路部材４と、複数の加圧室１０内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、共通流路５が第１方向Ｘに沿って延びる第１隔壁により設けられた複数の副マニホールド５ｂを有しており、副マニホールド５ｂに、当該副マニホールド５ｂの壁面を第１方向Ｘと交差する第２方向Ｙに連結する連結部を有しており、第２方向Ｙにおける端部に位置する副マニホールドに設けられた連結部の数が、他の副マニホールドに設けられた連結部の数よりも少ない。【選択図】図３
2015104860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出孔、
該複数の吐出孔と個別につながる複数の加圧室、および
該複数の加圧室につながり、第１方向に沿って延びるとともに、貫通孔を有する複数のプレートが積層されることにより形成された共通流路、を有する流路部材と、
前記複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備え、
前記共通流路が第１方向に沿って延びる第１隔壁により設けられた複数の副マニホールドを有しており、該副マニホールドに、当該副マニホールドの壁面を第１方向と交差する第２方向に連結する連結部を有しており、
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数が、他の前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数よりも少ないことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドに設けられた前記連結部の平面視における第１方向の長さが、他の前記副マニホールドに設けられた前記連結部の平面視における第１方向の長さよりも狭い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドに設けられた前記連結部の厚みが、他の前記副マニホールドに設けられた前記連結部の厚みよりも薄い、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数のプレートが、下部プレートと、該下部プレートよりも前記加圧部側に配置された上部プレートとを備え、前記下部プレートの前記貫通孔および前記上部プレートの前記貫通孔が前記副マニホールドを形成しており、
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドにおいて、
前記上部プレートに設けられた前記連結部の数が、前記下部プレートに設けられた前記連結部の数よりも少ない、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドにおいて、
前記上部プレートに前記連結部が設けられていない、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記流路部材および前記加圧部を覆うカバー部材をさらに備え、
前記流路部材は、第１方向に沿って延びる側壁に、前記カバー部材を挿通するための挿通孔を有しており、
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドは、前記挿通孔の第２方向に隣り合う領域に、前記連結部が設けられていない、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
第２方向における端部に位置する前記副マニホールドに、前記連結部が設けられていない、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記共通流路が、第１方向に沿って延びる第２隔壁を介して複数設けられており、
該第２隔壁に隣り合う前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数が、他の前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数よりも少ない、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、
前記液体吐出ヘッドを制御する制御部と、を備えていることを特徴とする記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、および記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体吐出ヘッドとして、例えば、複数の吐出孔、複数の吐出孔と個別につながる複数の加圧室、および複数の加圧室につながり、第１方向に沿って延びるとともに、貫通孔を有する複数のプレートが積層されることにより形成された共通流路、を有する流路部材と、複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備える液体吐出ヘッドが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような液体吐出ヘッドヘッドでは、共通流路が第１隔壁により、第１方向に直交する第２方向に設けられた複数の副マニホールドを有しており、副マニホールドは、積層された複数のプレートの貫通孔により形成されている。そして、副マニホールドを形成する貫通孔が設けられた各プレートは、第１隔壁となる部位の幅が細く、各プレートのハンドリング性が悪いという問題があった。
【０００４】
そのため、副マニホールドに、当該副マニホールドの壁面を連結する連結部を設けることにより、第１隔壁となる部位の剛性を高め、各プレートのハンドリング性を向上させている（特許文献１の図７参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１１４５２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された液体吐出ヘッドでは、連結部を設けたことにより、流路部材の剛性が高くなる問題がある。特に、第２方向の端部に位置する副マニホールドの周辺の流路部材の剛性が、連結部の存在によりさらに上昇して、液体の吐出不良が生じる可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液体吐出ヘッドは、複数の吐出孔、該複数の吐出孔と個別につながる複数の加圧室、および該複数の加圧室につながり、第１方向に沿って延びるとともに、貫通孔を有する複数のプレートが積層されることにより形成された共通流路、を有する流路部材と、前記複数の加圧室内の液体をそれぞれ加圧する複数の加圧部と、を備えている。また、前記共通流路が第１方向に沿って延びる第１隔壁により設けられた複数の副マニホールドを有しており、該副マニホールドが、当該副マニホールドの壁面を第１方向と交差する第２方向に連結する連結部を有している。また、第２方向における端部に位置する前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数が、他の前記副マニホールドに設けられた前記連結部の数よりも少ない。
【０００８】
また、本発明の記録装置は、前記液体吐出ヘッドと、記録媒体を前記液体吐出ヘッドに対して搬送する搬送部と、前記液体吐出ヘッドを制御する制御部を備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、液体の吐出不良が生じる可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを含む記録装置を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）は、図１の液体吐出ヘッドの要部であるヘッド本体の平面図である。
【図３】図２（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図４】図２（ａ）の一点鎖線に囲まれた領域の拡大図であり、説明のため一部の流路を省略した図である。
【図５】（ａ）は、図３のI−I線に沿った縦断面図である。
【図６】（ａ）は、図１の液体吐出ヘッドの第１方向Ｘに沿った部分縦断面図であり、（ｂ）〜（ｅ）は、リザーバを構成する部材の平面図である。
【図７】第１〜第３マニホールドプレートの平面図である。
【図８】第４〜第６マニホールドプレートの平面図である。
【図９】マニホールドプレートの平面図である。
【図１０】（a）は図９に示すＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図１１】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示し、（ａ）は一部を拡大して示す平面図、（ｂ）は図１１（ａ）に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った縦断面図である。
【図１２】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するマニホールドプレートの平面図である。
【図１３】（ａ）はカバー部材の側面図であり、（ｂ）は液体突出ヘッドの平面図である。
【図１４】第４の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するマニホールドプレートの平面図である。
【図１５】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する第１〜第３マニホールドプレートの平面図である。
【図１６】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成する第４〜第６マニホールドプレートの平面図である。
【図１７】第５の実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成するマニホールドプレートの平面図である。
【図１８】（ａ）は図１７に示すＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図、（ｂ）は図１７に示すＶ−Ｖ線に沿った縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜第１の実施形態＞
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッド２を含む記録装置である（カラーインクジェット）プリンタ１の概略の側面図である。図１（ｂ）は、プリンタ１の概略の平面図である。なお、図面に示すＸは第１方向を示し、図面に示すＹは第２方向を示し、図面に示すＺは積層方向を示している。
【００１２】
プリンタ１は、記録媒体である印刷用紙Ｐを搬送ローラ８０ａから搬送ローラ８０ｂへと搬送することにより、印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド２に対して相対的に移動させる。制御部８８は、画像や文字のデータに基づいて、液体吐出ヘッド２を制御して、液体吐出ヘッド２から記録媒体Ｐに向けて液体を吐出させ、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させて、印刷用紙Ｐに印刷などの記録を行なう。
【００１３】
本実施形態では、液体吐出ヘッド２はプリンタ１に対して固定されており、プリンタ１
はいわゆるラインプリンタとなっている。本発明の記録装置の他の実施形態としては、液体吐出ヘッド２を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に往復させるなどして移動させる動作と、印刷用紙Ｐの搬送を交互に行なう、いわゆるシリアルプリンタが挙げられる。
【００１４】
プリンタ１には、印刷用紙Ｐとほぼ平行するように平板状の（ヘッド搭載）フレーム７０が固定されている。フレーム７０には図示しない２０個の孔が設けられており、２０個の液体吐出ヘッド２がそれぞれの孔の部分に搭載されている。液体吐出ヘッド２の液体を吐出する部位は、印刷用紙Ｐに面するようになっている。液体吐出ヘッド２と印刷用紙Ｐとの間の距離は、例えば０．５〜２０ｍｍ程度とされる。５つの液体吐出ヘッド２は、１つのヘッド群７２を構成しており、プリンタ１は、４つのヘッド群７２を有している。
【００１５】
液体吐出ヘッド２は、図１（ａ）の手前から奥へ向かう方向、図１（ｂ）の上下方向に細長い長尺形状を有している。この長い方向を長手方向と呼ぶことがあり、本発明の第１方向Ｘである。１つのヘッド群７２内において、３つの液体吐出ヘッド２は、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、例えば、ほぼ直交する方向に沿って並んでおり、他の２つの液体吐出ヘッド２は搬送方向に沿ってずれた位置で、３つ液体吐出ヘッド２の間にそれぞれ一つずつ並んでいる。印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向は本発明の第２方向Ｙである。
【００１６】
液体吐出ヘッド２は、各液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲が、印刷用紙Ｐの幅方向に（印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向に）繋がるように、あるいは端が重複するように配置されており、印刷用紙Ｐの幅方向に隙間のない印刷が可能になっている。
【００１７】
４つのヘッド群７２は、記録用紙Ｐの搬送方向に沿って配置されている。各液体吐出ヘッド２には、図示しない液体タンクから液体（インク）が供給される。１つのヘッド群７２に属する液体吐出ヘッド２には、同じ色のインクが供給されるようになっており、４つのヘッド群で４色のインクが印刷できる。各ヘッド群７２から吐出されるインクの色は、例えば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。このようなインクを、制御部８８で制御して印刷すれば、カラー画像が印刷できる。
【００１８】
プリンタ１に搭載される液体吐出ヘッド２の個数は、単色で、１つの液体吐出ヘッド２で印刷可能な範囲を印刷するのなら１つでもよい。ヘッドの群７２に含まれる液体吐出ヘッド２の個数や、ヘッド群７２の個数は、印刷する対象や印刷条件により適宜変更できる。例えば、さらに多色の印刷をするためにヘッドの群７２の個数を増やしてもよい。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数配置して、搬送方向に交互に印刷することで、印刷速度（搬送速度）を速くすることができる。また、同色で印刷するヘッド群７２を複数準備して、搬送方向と交差する方向にずらして配置して、印刷用紙Ｐの幅方向の解像度を高くしてもよい。
【００１９】
さらに、色の付いたインクを印刷する以外に、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、コーティング剤などの液体を印刷してもよい。
【００２０】
プリンタ１は、印刷用紙Ｐに印刷を行なう。印刷用紙Ｐは、給紙ローラ８０ａに巻き取られた状態になっており、２つのガイドローラ８２ａの間を通った後、フレーム７０に搭載されている液体吐出ヘッド２の下側を通り、その後２つの搬送ローラ８２ｂの間を通り、最終的に回収ローラ８０ｂに回収される。印刷する際には、搬送ローラ８２ｂを回転させることで印刷用紙Ｐは、一定速度で搬送され、液体吐出ヘッド２によって印刷される。回収ローラ８０ｂは、搬送ローラ８２ｂから送り出された印刷用紙Ｐを巻き取る。搬送速度は、例えば、７５ｍ／分とされる。各ローラは、制御部８８によって制御されてもよい
し、人によって手動で操作されてもよい。
【００２１】
記録媒体は、印刷用紙Ｐ以外に、布などでもよい。また、プリンタ１を、印刷用紙Ｐの代わりに搬送ベルトを搬送する形態にし、記録媒体は、ロール状のもの以外に、搬送ベルト上に置かれた、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどにしてもよい。さらに、液体吐出ヘッド２から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。またさらに、液体吐出ヘッド２から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、反応させるなどして、化学薬品を作製してもよい。
【００２２】
また、プリンタ１に、位置センサ、速度センサ、温度センサなどを取り付け、制御部８８が、各センサからの情報から分かるプリンタ１各部の状態に応じて、プリンタ１の各部を制御してもよい。特に、液体吐出ヘッド２から吐出される液体の吐出特性（吐出量や吐出速度など）が外部の影響を受けるようであれば、液体吐出ヘッド２の温度や液体タンクの液体の温度、液体タンクの液体が液体吐出ヘッド２に加えている圧力に応じて、液体吐出ヘッド２において液体を吐出させる駆動信号を変えるようにしてもよい。
【００２３】
次に、本発明の一実施形態の液体吐出ヘッド２について図１〜１０を用いて説明する。図２（ａ）は概略の構造を示しており、図２（ｂ）は、果たす役割により領域を分けて示してある。図３においては、説明のため、一部の流路を省略して描いている。図４においては、図３と同じ位置の拡大平面図であり、図３とは別の一部の流路を省略して描いている。なお、図３および図４において、図面を分かり易くするために、圧電アクチュエータ基板２１の下方にあって破線で描くべき加圧室１０、しぼり６および吐出孔８などを実線で描いている。図６（ａ）は、図１に示された液体吐出ヘッド２の第１方向Ｘに沿った部分縦断面図である。
【００２４】
液体吐出ヘッド２は、ヘッド本体２ａ以外に、ヘッド本体２ａに液体を供給するリザーバ４０、ヘッド本体２を保護するカバー部材、あるいは金属製の筐体９０を含んでいてもよい。
【００２５】
ヘッド本体２ａは、流路部材４と、変位素子３０が作り込まれている圧電アクチュエータ基板２１とを含んでいる。
【００２６】
ヘッド本体２ａを構成する流路部材４は、共通流路であるマニホールド５と、マニホールド５と繋がっている複数の加圧室１０と、複数の加圧室１０とそれぞれ繋がっている複数の吐出孔８とを備えている。加圧室１０は流路部材４の上面に開口しており、流路部材４の上面が加圧室面４−２となっている。また、流路部材４の上面は、マニホールド５と繋がっている開口５ａを有し、この開口５ａより液体が供給される。
【００２７】
また、流路部材４の上面には、変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１が接合されており、各変位素子３０が加圧室１０上に位置するように配置されている。また、圧電アクチュエータ基板２１には、各変位素子３０に信号を供給するためのＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）などの信号伝達部６０が接続されている。図２には、２つの信号伝達部６０が圧電アクチュエータ基板２１に繋がる状態が分かるように、信号伝達部６０の圧電アクチュエータ基板２１に接続される付近の外形を点線で示した。圧電アクチュエータ基板２１に電気的に接続されている、信号伝達部６０に形成されている電極は、信号伝達部６０の端部に、矩形状に配置されている。２つの信号伝達部６０は、圧電アクチュエータ基板２１の第２方向Ｙの中央部にそれぞれの端がくるように接続されている。２つの信号伝達部６０は、中央部から圧電アクチュエータ基板２１の長辺に向かって伸びている。
【００２８】
ヘッド本体２ａは、平板状の流路部材４と、流路部材４上に接続された変位素子３０を含む圧電アクチュエータ基板２１を１つ有している。圧電アクチュエータ基板２１の平面形状は長方形状であり、その長方形の長辺が第１方向Ｘに沿うように流路部材４の上面に配置されている。
【００２９】
流路部材４は、側壁１５ａと第２隔壁１５ｃとの間にマニホールド５が形成されている。マニホールド５は第１方向Ｘの一端部側から、他端部側に延びる細長い形状を有しており、その両端部において、流路部材４の上面に開口しているマニホールドの開口５ａが形成されている。
【００３０】
マニホールド５は、第１方向Ｘにおける中央部分において、第２方向Ｙに間隔を開けて設けられた第１隔壁１５ｂにより仕切られた副マニホールド５ｂを有している。第１隔壁１５ｂは、加圧室１０に繋がっている領域である第１方向Ｘの中央部分においては、マニホールド５と同じ高さを有し、マニホールド５を複数の副マニホールド５ｂに完全に仕切っている。このようにすることで、平面視したときに、第１隔壁１５ｂと重なるように、吐出孔８および吐出孔８から加圧室１０に繋がっている流路を設けることができる。
【００３１】
本実施形態においては、マニホールド５は独立して２本設けられており、それぞれの両端部に開口５ａが設けられている。また、１つのマニホールド５には、７つの第１隔壁１５ｂが設けられており、８つの副マニホールド５ｂに分けられている。副マニホールド５ｂの幅は、第１隔壁１５ｂの幅より大きくなっており、これにより副マニホールド５ｂに多くの液体を流すことができる。
【００３２】
また、７つの第１隔壁１５ｂは、第２方向Ｙの中央に近いほど、長さが長くなっており、マニホールド５の第２方向Ｙにおける両端において、第２方向Ｙの中央に近い第１隔壁１５ｂほど、第１隔壁１５ｂの端がマニホールド５の端に近くなっている。これにより、マニホールド５の外側の壁により生じる流路抵抗と、第１隔壁１５ｂにより生じる流路抵抗との間のバランスがとれ、各副マニホールド５ｂのうち、加圧室１０に繋がる部分である個別供給流路１４が形成されている領域の端における液体の圧力差を少なくできる。この個別供給流路１４での圧力差は、加圧室１０内の液体に加わる圧力差につながるため、個別供給流路１４での圧力差を少なくすることにより、吐出ばらつきを低減できる。
【００３３】
流路部材４は、複数の加圧室１０が第１方向Ｘと第２方向Ｙとに、２次元的に広がって形成されている。加圧室１０は、角部にアールが施されたほぼ菱形あるいは楕円形状の平面形状を有する中空の領域である。
【００３４】
図３〜図５に示すように、加圧室１０は１つの副マニホールド５ｂと個別供給流路１４を介して繋がっている。１つの副マニホールド５ｂに沿うようにして、この副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０の行である加圧室行１１が、副マニホールド５ｂの両側に１行ずつ、合計２行設けられている。したがって、１つのマニホールド５に対して、１６行の加圧室１１が設けられており、ヘッド本体２ａ全体では３２行の加圧室行１１が設けられている。各加圧室行１１における加圧室１０の第１方向Ｘの間隔は同じであり、例えば、３７．５ｄｐｉの間隔となっている。
【００３５】
各加圧室行１１の端にはダミー加圧室１６の列が１列設けられている。このダミー加圧室列のダミー加圧室１６は、マニホールド５とは繋がっているが、吐出孔８とは繋がっていない。また、３２行の加圧室行１１の外側には、ダミー加圧室１６が直線状に並んだダミー加圧室行が１行設けられている。このダミー加圧室行のダミー加圧室１６は、マニホールド５および吐出孔８のいずれとも繋がっていない。これらのダミー加圧室１６により
、端から１つ内側の加圧室１０の周囲の構造（剛性）が他の加圧室１０の構造（剛性）と近くなることで、液体吐出特性の差を少なくできる。
【００３６】
なお、周囲の構造の差の影響は、距離の近い、第１方向Ｘに隣接する加圧室１０の影響が大きいため、第１方向Ｘには、両端にダミー加圧室を設けてある。第２方向Ｙについては、影響が比較的小さいため、ヘッド本体２ａの端に近い方のみに設けている。これにより、ヘッド本体２ａの幅を小さくできる。
【００３７】
１つのマニホールド５に繋がっている加圧室１０は、矩形状の圧電アクチュエータ基板２１の各外辺に沿った行および列をなす格子上に配置されている。これにより、圧電アクチュエータ基板２１の外辺から、加圧室１０の上に形成されている個別電極２５が等距離に配置されることになるので、個別電極２５を形成する際に、圧電アクチュエータ基板２１に変形が生じ難くできる。圧電アクチュエータ基板２１と流路部材４とを接合する際に、この変形が大きいと外辺に近い変位素子３０に応力が加わり、変位特性にばらつきが生じるおそれがあるが、変形を少なくすることで、そのばらつきを低減できる。
【００３８】
また、最も外辺に近い加圧室行１１の外側にダミー加圧室１６のダミー加圧室行が設けられているために、変形の影響をより受け難くできる。加圧室行１１に属する加圧室１０は等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５も等間隔で配置されている。加圧室行１１は第２方向Ｙに等間隔で配置されており、加圧室行１１に対応する個別電極２５の行も第２方向Ｙに等間隔で配置されている。これにより、特にクロストークの影響が大きくなる部位をなくすことができる。
【００３９】
本実施形態では、加圧室１０は格子状に配置したが、隣り合う加圧室行１１の加圧室１０が互いの間に位置するように千鳥状に配置してもよい。このようにすると、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０の間の距離がより長くなるので、よりクロストークを抑制できる。
【００４０】
加圧室行１１をどのように並べるかによらず、流路部材４を平面視したとき、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０が、隣接する加圧室行１１に属する加圧室１０と、液体吐出ヘッド２の第１方向Ｘにおいて、重ならないように配置することにより、クロストークを抑制できる。一方、加圧室行１１の間の距離を離すと、液体吐出ヘッド２の幅が大きくなるので、プリンタ１に対する液体吐出ヘッド２の設置角度の精度や、複数の液体吐出ヘッド２を使用する際の、液体吐出ヘッド２の相対位置の精度が印刷結果に与える影響が大きくなる。そこで、第１隔壁１５ｂの幅を副マニホールド５ｂよりも小さくすることで、それらの精度が印刷結果に与える影響を少なくできる。
【００４１】
１つの副マニホールド５ｂに繋がっている加圧室１０は、２列の加圧室行１１をなしており、１つの加圧室行１１に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８は、１つの吐出孔行９をなしている。２行の加圧室行１１に属する加圧室１０に繋がっている吐出孔８はそれぞれ、副マニホールド５ｂの異なる側に開口している。図４においては、第１隔壁１５ｂに２行の吐出孔行９が設けられているが、それぞれの吐出孔行９に属する吐出孔８は、吐出孔８に近い側の副マニホールド５ｂに加圧室１０を介して繋がっている。
【００４２】
隣接する副マニホールド５ｂに加圧室行１１を介して繋がっている吐出孔８と液体吐出ヘッド２の第１方向Ｘにおいて重ならないように配置されていると、加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路間のクロストークが抑制できるので、さらにクロストークを少なくすることができる。加圧室１０と吐出孔８とを繋ぐ流路全体が、液体吐出ヘッド２の第１方向Ｘにおいて重ならないように配置されていると、さらにクロストークを少なくすることができる。
【００４３】
１つのマニホールド５に繋がっている複数の加圧室１０により加圧室群（変位素子群３１と同じ範囲である）が構成されており、マニホールド５が２つあるため、加圧室群は２つある。各加圧室群内における吐出に関わる加圧室１０の配置は同じで、第２方向Ｙに平行移動させた位置に配置されている。これらの加圧室１０は、流路部材４の上面における圧電アクチュエータ基板２１に対向する領域に、加圧室群間などの少し間隔が広くなった部分があるものの、ほぼ全面にわたって配列されている。つまり、これらの加圧室１０によって形成された加圧室群は圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有している。また、各加圧室１０の開口は、流路部材４の上面に圧電アクチュエータ基板２１が接合されることで閉塞されている。
【００４４】
加圧室１０の個別供給流路１４が繋がっている角部と対向する角部からは、流路部材４の下面の吐出孔面４−１に開口している吐出孔８に繋がる流路が伸びている。この流路は、平面視において、加圧室１０から離れる方向に伸びている。より具体的には、加圧室１０の長い対角線に沿う方向に離れつつ、その方向に対して左右にずれながら伸びている。これにより、加圧室１０は各加圧室行１１内での間隔が３７．５ｄｐｉになっている格子状の配置にしつつ、吐出孔８は、全体で１２００ｄｐｉの間隔で配置することができる。
【００４５】
これは別の言い方をすると、流路部材４の第１方向Ｘに平行な仮想直線に対して直交するように吐出孔８を投影すると、図４に示した仮想直線のＲの範囲に、各マニホールド５に繋がっている１６個の吐出孔８、全部で３２個の吐出孔８が、１２００ｄｐｉの等間隔となっているということである。これにより、すべてのマニホールド５に同じ色のインクを供給することで、全体として第１方向Ｘに１２００ｄｐｉの解像度で画像が形成可能となる。また、１つのマニホールド５に繋がっている１個の吐出孔８は、仮想直線のＲの範囲で６００ｄｐｉの等間隔になっている。これにより、各マニホールド５に異なる色のインクを供給することで、全体として第１方向Ｘに６００ｄｐｉの解像度で２色の画像が形成可能となる。この場合、２つの液体吐出ヘッド２を用いれば、６００ｄｐｉの解像度で４色の画像が形成可能となり、６００ｄｐｉで印刷可能な液体吐出ヘッドを用いるよりも、印刷精度が高くなり、印刷のセッティングも簡単にできる。なお、ヘッド本体２ａの第２方向Ｙに並んでいる１列の加圧室列に属する加圧室１０から繋がっている吐出孔８で、仮想直線のＲの範囲がカバーされている。
【００４６】
流路部材４は、図５に示すように、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材４の上面から順に、キャビティプレート４ａ、ベースプレート４ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート４ｃ、サプライプレート４ｄ、マニホールドプレート４ｅ〜４ｊ（１００）、カバープレート４ｋおよびノズルプレート４ｌである。
【００４７】
これらのプレートには多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは１０〜３００μｍ程度であることにより、形成する孔の形成精度を高くできる。流路部材４の厚さは、５００μｍ〜２ｍｍ程度である。各プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１２およびマニホールド５を構成するように、位置合わせして積層されている。
【００４８】
各プレートに形成された孔について説明する。これらの孔には、次のようなものがある。第１に、キャビティプレート４ａに形成された加圧室１０である。第２に、加圧室１０の一端からマニホールド５へと繋がる個別供給流路１４を構成する連通孔である。この連通孔は、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の入り口）からサプライプレート４ｃ（詳細にはマニホールド５の出口）までの各プレートに形成されている。なお、この個別供給流路１４には、アパーチャプレート４ｃに形成されている、流路の断面積が小さくなっている部位であるしぼり６が含まれている。
【００４９】
第３に、加圧室１０の個別供給路１４が繋がっている端と反対の他端から吐出孔８へと連通する流路を構成する連通孔である。この連通孔は、以下の記載においてディセンダ（部分流路）と呼称されることがある。ディセンダは、ベースプレート４ｂ（詳細には加圧室１０の出口）からノズルプレート４ｌ（詳細には吐出孔８）までの各プレートに形成されている。
【００５０】
第４に、副マニホールド５ｂを構成する連通孔である。これらの連通孔については後述する。
【００５１】
第１〜第４の連通孔が相互に繋がり、マニホールド５からの液体の流入口（マニホールド５の出口）から吐出孔８に至る個別流路１２を構成している。マニホールド５に供給された液体は、以下の経路で吐出孔８から吐出される。まず、マニホールド５から上方向に向かって、個別供給流路１４に入り、しぼり６の一端部に至る。次に、しぼり６の延在方向に沿って水平に進み、しぼり６の他端部に至る。そこから上方に向かって、加圧室１０の一端部に至る。さらに、加圧室１０の延在方向に沿って水平に進み、加圧室１０の他端部に至る。加圧室１０からディセンダに入った液体は、水平方向にも移動しつつ、主に下方に向かい、下面に開口した吐出孔８に至って、外部に吐出される。
【００５２】
圧電アクチュエータ基板２１の上面における各加圧室１０に対向する位置には個別電極２５がそれぞれ形成されている。個別電極２５は、加圧室１０より一回り小さく、加圧室１０とほぼ相似な形状を有している個別電極本体２５ａと、個別電極本体２５ａから引き出されている引出電極２５ｂとを含んでおり、個別電極２５は、加圧室１０と同じように、個別電極列および個別電極群を構成している。
【００５３】
また、圧電アクチュエータ基板２１の上面には、共通電極２４とビアホールを介して電気的に接続されている共通電極用表面電極２８が形成されている。共通電極用表面電極２８は、圧電アクチュエータ基板２１の第２方向Ｙの中央部に、第１方向Ｘに沿うように２行形成され、また、第１方向Ｘの端近くで第２方向Ｙに沿って１列形成されている。図示した共通電極用表面電極２８は直線上に断続的に形成されたものであるが、直線上に連続的に形成してもよい。共通電極用表面電極２８と共通電極２４とは、圧電セラミック層２１ｂに配置された、図示しないビアホール内の導体を通じて、電気的に接続される。
【００５４】
圧電アクチュエータ基板２１には、２枚の信号伝達部６０が、圧電アクチュエータ基板２１の２つの長辺側から、それぞれ中央に向かうように配置され、接合される。その際、圧電アクチュエータ基板２１の引出電極２５ｂおよび共通電極用表面電極２８の上に、それぞれ、接続電極２６および共通電極用接続電極を形成して接続することで、接続が容易になる。また、その際、共通電極用表面電極２８および共通電極用接続電極の面積を接続電極２６の面積よりも大きくすれば、信号伝達部６０の端部（先端および圧電アクチュエータ基板２１の第１方向Ｘの端）における接続が、共通電極用表面電極２８上の接続により強くできるので、信号伝達部６０が端からはがれ難くできる。
【００５５】
また、吐出孔８は、流路部材４の下面側に配置されたマニホールド５と対向する領域を避けた位置に配置されている。さらに、吐出孔８は、流路部材４の下面側における圧電アクチュエータ基板２１と対向する領域内に配置されている。これらの吐出孔８は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２１とほぼ同一の形状の領域を占有しており、対応する圧電アクチュエータ基板２１の変位素子３０を変位させることにより吐出孔８から液滴が吐出できる。
【００５６】
圧電アクチュエータ基板２１は、Ａｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる共通電極２４およびとＡｕ系などの金属材料からなる個別電極２５を有している。個別電極２５は上述の
ように圧電アクチュエータ基板２１の上面における加圧室１０と対向する位置に配置されている個別電極本体２５ａと、そこから引き出された引出電極２５ｂとを含んでいる。引出電極２５ｂの一端の、加圧室１０と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極２６が形成されている。接続電極２６は例えばガラスフリットを含む銀−パラジウムからなり、厚さが１５μｍ程度で凸状に形成されている。
【００５７】
また、接続電極２６は、信号伝達部６０に設けられた電極と電気的に接合されている。詳細は後述するが、個別電極２５には、制御部８８から信号伝達部６０を通じて駆動信号が供給される。駆動信号は、印刷媒体Ｐの搬送速度と同期して一定の周期で供給される。
【００５８】
共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間の領域に面方向のほぼ全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極２４は、アクチュエータ基板２１に対向する領域内のすべての加圧室１０を覆うように延在している。共通電極２４の厚さは２μｍ程度である。共通電極２４は、圧電セラミック層２１ａ上に個別電極２５からなる電極群を避ける位置に形成されている共通電極用表面電極２８に、圧電セラミック層２１ａを貫通して形成されたビアホールを介して繋がっていて、接地され、グランド電位に保持されている。共通電極用表面電極２８は、多数の個別電極２５と同様に、制御部８８と直接あるいは間接的に接続されている。
【００５９】
圧電セラミック層２１ａの個別電極２５と共通電極２４とに挟まれている部分は、厚さ方向に分極されており、個別電極２５に電圧を印加すると変位する、ユニモルフ構造の変位素子３０となっている。より具体的には、個別電極２５を共通電極２４と異なる電位にして圧電セラミック層２１ａに対してその分極方向に電界を印加したとき、この電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として働く。この構成において、電界と分極とが同方向となるように、制御部８８により個別電極２５を共通電極２４に対して正または負の所定電位にすると、圧電セラミック層２１ａの電極に挟まれた部分（活性部）が、面方向に収縮する。一方、非活性層の圧電セラミック層２１ｂは電界の影響を受けないため、自発的には縮むことがなく活性部の変形を規制しようとする。この結果、圧電セラミック層２１ａと圧電セラミック層２１ｂとの間で分極方向への歪みに差が生じて、圧電セラミック層２１ｂは加圧室１０側へ凸となるように変形（ユニモルフ変形）する。
【００６０】
液体吐出ヘッド２には、ヘッド本体２ａの両端部にあるマニホールドの開口５ａに液体を供給するために、流路部材４上にリザーバ４０が積層されている。リザーバ４０は、ヘッド本体２ａと同じ第１方向Ｘに長い平板形状をなしているが、液体を溜めておくため、ヘッド本体２ａの５倍以上、さらには１０倍以上の厚さを有する。
【００６１】
リザーバ４と流路部材４とは、第１方向Ｘの両端部のそれぞれで接合されている。リザーバ４０と流路部材４とは、間に圧電アクチュエータ基板２１を挟むように積層されている。リザーバ４０の流路部材４側には、リザーバの凹部４１があり、圧電アクチュエータ基板２１はリザーバの凹部４１に収容される。リザーバの凹部４１の第２方向Ｙの両側にできる開口は、金属板などがねじ止めで取り付けられ、周囲に樹脂を塗布して、圧電アクチュエータ基板２１のある部位に、インクなどの液体が侵入し難いようにされる。
【００６２】
リザーバ４０は、リザーバ流路４２と分岐流路４４とを有している。また、リザーバ４０は、平板状のプレート４０ａ、ｃ〜ｇおよびダンパプレート４０ｂが積層されている構造を有している。ダンパプレート４０ｂは、リザーバ４０の平面方向全体に広がっていなくてもよく、リザーバ流路４２の特定の領域にダンピング効果が与えられるように、リザーバ流路４２に面するように内部で張り付けられる構造としてもよい。リザーバ流路４２となる凹部あるいは孔が形成されているプレート４０ｄ、ｆは厚さが５〜１０ｍｍ程度とされており、ダンパプレート４０ｂ以外の他のプレートは０．１〜第５ｍｍ程度とされる
。
【００６３】
リザーバ流路４２は、液体吐出ヘッド２の第１方向Ｘの一端部から他端部まで延在している。リザーバ流路４２の一端部には、流入孔４２ａが開口しており、外部から液体が供給される。リザーバ流路４２の一端部には、開口４２ｃが開口している。開口４２ｃは、液体吐出ヘッド２が空の状態から液体を入れる際には開けた状態にされるが、液体を吐出する際には閉じられる。液体を吐出する際には、液体は、リザーバ流路４２の第１方向Ｘの中央部にある流出孔４２ｂを通じて分岐流路４４に流れ込む。
【００６４】
分岐流路４４は液体吐出ヘッド２の一端部から他端部まで延在している。分岐流路４４の中央部に入った液体は、分岐流路４４の中を液体吐出ヘッド２の一端部と、他端部とに分かれて進み、分岐流路４４の両端部にある流出孔４４ｂに到達し、それぞれの流出孔４４ｂから、マニホールドの開口５ａへと流れ込む。
【００６５】
本実施形態のリザーバ流路４２は、流入孔４２ａから入った液体が途中で２つに分かれ、液体吐出ヘッド２の第２方向Ｙに並んだ進んだ後、２本ある分岐流路４４にそれぞれ流れ込むようになっているが、このように分岐しなくてもかまわない。しかし、このような分岐を行なえば、リザーバ４０における液体吐出ヘッド２の第２方向Ｙへ液体の分配が、リザーバ流路４２によって行なわれ、第１方向Ｘへ液体の分配が、分岐流路４４で行なわれるため、液体の分配を効率よく行なうことができる。
【００６６】
液体吐出ヘッド２が空の状態から液体を入れる際には、開口４２ｃは開けた状態にされる。このようにすることで、リザーバ流路４２内に最初にあった空気が、流入孔４２ａから入ってきた液体と混じった状態で、開口４２ｃから排出されるため、ヘッド本体２ａに空気が入り込み難くなり、ヘッド本体２ａに入り込んだ空気に起因する不吐出などを起こり難くできる。
【００６７】
また、リザーバ流路４２の途中にはフィルタ４８が設けられており、異物や気泡が、ヘッド本体２ａに入り込み難くされている。ダンパプレート４０ｂの一部は、リザーバ流路４２に面しており、リザーバ流路４２の体積を可変可能なダンパ４６となっている。ダンパ４６は、液体の吐出量が急激に変化した場合などに、リザーバ流路４２の体積を変えることにより、液体の供給を安定させることができる。
【００６８】
続いて、液体の吐出動作について、説明する。制御部８８からの制御でドライバＩＣなどを介して、個別電極２５に供給される駆動信号により、変位素子３０が駆動（変位）させられる。本実施形態では、様々な駆動信号で液体を吐出させることができるが、ここでは、いわゆる引き打ち駆動方法について説明する。
【００６９】
あらかじめ個別電極２５を共通電極２４より高い電位（以下高電位と称す）にしておき、吐出要求がある毎に個別電極２５を共通電極２４と一旦同じ電位（以下低電位と称す）とし、その後所定のタイミングで再び高電位とする。これにより、個別電極２５が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２１ａ、２１ｂが元の（平らな）形状に戻り（始め）、加圧室１０の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加する。これにより、加圧室１０内の液体に負圧が与えられる。そうすると、加圧室１０内の液体が固有振動周期で振動し始める。具体的には、最初、加圧室１０の体積が増加し始め、負圧は徐々に小さくなっていく。次いで加圧室１０の体積は最大になり、圧力はほぼゼロとなる。次いで加圧室１０の体積は減少し始め、圧力は高くなっていく。その後、圧力がほぼ最大になるタイミングで、個別電極２５を高電位にする。そうすると最初に加えた振動と、次に加えた振動とが重なり、より大きい圧力が液体に加わる。この圧力がディセンダ内を伝搬し、吐出孔８から液体を吐出させる。
【００７０】
つまり、高電位を基準として、一定期間低電位とするパルスの駆動信号を個別電極２５に供給することで、液滴を吐出できる。このパルス幅は、圧力室１０の液体の固有振動周期の半分の時間であるＡＬ（Acoustic Length）とすると、原理的には、液体の吐出速度
および吐出量を最大にできる。圧力室１０の液体の固有振動周期は、液体の物性、圧力室１０の形状の影響が大きいが、それ以外に、アクチュエータ基板２１の物性や、加圧室１０に繋がっている流路の特性からの影響も受ける。
【００７１】
なお、パルス幅は、吐出される液滴を１つにまとめるようにするなど、他に考慮する要因もあるため、実際は、０．５ＡＬ〜１．５ＡＬ程度の値にされる。また、パルス幅は、ＡＬから外れた値にすることで、吐出量を少なくすることができるため、吐出量を少なくするためにＡＬから外れた値にされる。
【００７２】
図７〜１０を用いて、流路部材４を構成するマニホールドプレート１００について詳細に説明する。なお、図７〜９においては、分かりやすくするため連結部１０１に斜線を付しており、図１１，１２，１４〜１７についても同様である。また、図１０（ｂ），（ｃ）は、図１０（ａ）の変形例を示している。
【００７３】
マニホールドプレート１００は、加圧室面４−２（図５参照）側から、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊがこの順に積層されている。
【００７４】
第１マニホールドプレート４ｅは、開口１０１ｅと、側壁１０２ｅと、第１隔壁１０３ｅと、連結部１０４ｅと、第２隔壁１０５ｅとを備えている。第１マニホールドプレート４ｅは、第２隔壁１０５ｅに対して線対称に設けられているため、図７，８では、左半分のみ示している。
【００７５】
第１マニホールドプレート４ｅは、矩形状の金属製のプレートに開口１０１ｅが設けられている。開口１０１ｅの第２方向Ｙにおける壁面は、側壁１０２ｅと第２隔壁１０５ｅとにより形成されている。開口１０１ｅの内側には、複数の第１隔壁１０３ｅが設けられており第１方向Ｘに延びるように設けられている。
【００７６】
第１隔壁１０３ｅは、第２方向Ｙに互いに離間した状態で配置されており、隣り合う側壁１０２ｅ、第１隔壁１０３ｅ、および第２隔壁１０５ｅと、連結部１０４ｅにより互いに連結されている。第２隔壁１０５ｅは、第１方向Ｘに延びるように設けられており、マニホールド５を第２方向Ｙに複数形成している。第２隔壁１０５ｅは、隣り合う第１隔壁１０３ｅと連結部１０４ｅにより互いに連結されている。
【００７７】
連結部１０４ｅは、第２方向Ｙに配列されており、側壁１０２ｅ、第１隔壁１０３ｅ、および第２隔壁１０５ｅを互いに連結している。第２方向Ｙに隣り合う連結部１０４ｅは、第１方向Ｘに対して交互にずれた状態で配列されており、平面視して、千鳥状に配置されている。第２方向Ｙに配列された連結部１０４ｅの群は、第１方向Ｘに複数設けられており、第１の実施形態においては、３つの群を設けた例を示している。
【００７８】
連結部１０４ｅは、第２方向Ｙの両端に位置する副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４ｅ１と、他の副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４ｅ２とを備えている。そして、第１方向Ｘの両端部に設けられた連結部１０４ｅの群は、連結部１０４ｅ２のみ有しており、第１方向Ｘの中央部に設けられた連結部１０４ｅの群は、連結部１０４ｅ１と連結部１０４ｅとを有している。
【００７９】
第１マニホールドプレート４ｅは、矩形状の金属製のプレートをエッチングすることに
より作製することができる。図１０（ａ）に示すように、開口１０１ｅとなる領域は全エッチングすることにより形成されており、連結部１０４ｅとなる領域は、ハーフエッチングすることにより形成されている。それにより、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊを積層しマニホールドプレート１００を形成すると、副マニホールド５ｂが連通したマニホールド５を作製することができる。
【００８０】
そのため、第１マニホールドプレート４eの連結部１０４eの厚みは、第１マニホールドプレート４eの厚みの３０〜７０％程度とされている。例えば、第１マニホールドプレー
ト４eの厚みが３０〜１００μｍの場合、連結部１０４eの厚みは９〜７０μｍとすることができる。
【００８１】
第２〜第６マニホールドプレート４ｆ〜４ｊは、連結部１０４ｆ〜１０４ｊが設けられた位置が、第１マニホールドプレート４ｅと異なっている。第２マニホールドプレート４ｆは、連結部１０４ｆが連結部１０４ｅよりも第１方向Ｘの端部側に配置されるように構成されている。第３マニホールドプレート４ｇは、連結部１０４ｇが連結部１０４ｆよりも第１方向Ｘの端部側に配置されるように構成されている。第４マニホールドプレート４ｈは、連結部１０４ｈが連結部１０４ｅよりも、連結部１０４ｆとは反対側の第１方向Ｘの端部側に配置されるように構成されている。第５マニホールドプレート４ｉは、連結部１０４ｉが連結部１０４ｈよりも、連結部１０４ｆとは反対側の第１方向Ｘの端部側に配置されるように構成されている。第６マニホールドプレート４ｊは、連結部１０４ｊが連結部１０４ｉよりも、連結部１０４ｆとは反対側の第１方向Ｘの端部側に配置されるように構成されている。各マニホールドプレート４ｆ〜４ｊにおける連結部１０４ｆ〜１０４ｊ群の配置は連結部１０４ｅ群の配置と同様である。
【００８２】
図７〜９に示すように、マニホールドプレート１００は、開口１０１ｅ〜１０１ｊの位置が同じ位置となるように、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊを積層することにより形成される。第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊは、接着剤により接合すればよい。
【００８３】
開口１０１ｅ〜１０１ｊは、マニホールド５および副マニホールド５ｂを形成する。側壁１０２ｅ〜１０２ｊは、側壁１５ａを形成する。第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊは、第１隔壁１５ｂを形成する。第２隔壁１０５ｅ〜１０５ｊは、第２隔壁１５ｃを形成する。側壁１０２ｅ〜１０２ｊ、第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊ、および第２隔壁１０５ｅ〜１０５ｊにより囲まれた空間は副マニホールド５ｂを形成する。そして、副マニホールド５ｂには連結部１０４ｅ〜１０４ｊが設けられている。連結部１０４ｅ〜１０４ｊは、平面視して、第１方向Ｘに互いにずれた状態で配置されている。
【００８４】
マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂを備えており、副マニホールド５ｂは、第２方向Ｙにおける端部に位置する副マニホールド５ｂ１と、他の位置に配置された副マニホールド５ｂ２とを有している。そして、マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の数が、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の数よりも少ない構成を有している。そのため、連結部１０４が存在することにより生じる剛性は、副マニホールド５ｂ１の周辺のほうがが、副マニホールド５ｂ２の周辺よりも小さくなっている。
【００８５】
ここで、連結部１０４ｅ〜ｊは、副マニホールドとなる貫通孔１０１ｅを連結しているため、連結部１０４ｅ〜ｊが設けられた周辺の領域が、連結部１０４ｅ〜ｊが設けられていない周辺の領域に比べて剛性が高くなっている。
【００８６】
また、液体吐出ヘッド２（図４参照）は、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室
１０が、側壁１５ａの近傍に設けられており、他の加圧室１０に比べて剛性が高い領域に配置される構成を有している。言い換えると、副マニホールド５ｂ１につながっている加圧室１０は、他の加圧室に比べて剛性が高い領域に配置されている。
【００８７】
そのため、連結部１０４ｅ〜１０４ｊによる剛性の上昇と、側壁１５ａによる剛性の上昇が重なって、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０は、変形しにくい構成となり、液体吐出ヘッド２から液滴が吐出されない等の吐出不良が生じる可能性ある。
【００８８】
また、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０が剛性の高い位置に配置されることにより、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０共振周波数が、他の加圧室１０の共振周波数に比べて高くなる場合がある。
【００８９】
そのため、他の加圧室１０が最大吐出となる周波数で液体吐出ヘッド２を駆動させても、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０では最大吐出とならず、印画したドットの形状不良が生じる可能性がある。
【００９０】
これに対して、液体吐出ヘッド２は、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の数が、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の数よりも少ない構成を有している。そのため、連結部１０４の存在により剛性が上昇することを抑えることができ、副マニホールド５ｂ１の周辺における剛性が、上昇することを抑えることができる。それゆえ、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０が設けられる領域の剛性が上昇することを抑えることができる。
【００９１】
その結果、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０の変形が阻害されにくい構成となる。また、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０の共振周波数が、他の加圧室１０の共振周波数よりも高くなる可能性を低減することができる。それゆえ、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【００９２】
また、液体吐出ヘッド２を構成する第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊは、第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊが、連結部１０４ｅ２〜１０４ｊ２により隣り合う第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊに連結されている。そのため、マニホールドプレート４ｅ〜４ｊのハンドリング性を保つことができる。
【００９３】
また、多くの流量を必要とするマニホールド５を隔てる第２隔壁１５ｃは、マニホールドプレート１００のハンドリング性を高めるために、第２方向Ｙにおける長さが長くなり、第２隔壁１０５ｅの周辺の剛性が上昇する場合がある。その結果、第２隔壁１５ｃに隣り合う、１８行目の加圧室１０および１９行目の加圧室１０が、他の加圧室１０に比べ剛性の高い領域に配置されることとなる。
【００９４】
しかしながら、マニホールドプレート１００は、第２隔壁１０５ｅに隣り合う副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の数が、他の副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の数よりも少ない構成を有している。
【００９５】
それにより、連結部１０４の存在による剛性の上昇を抑えることができ、第２隔壁１０５ｅの周辺の剛性が上昇する可能性を低減することができる。それゆえ、１８行目の加圧室１０および１９行目の加圧室１０が、他の加圧室１０に比べ剛性の高い領域に配置される可能性を低減することができる。
【００９６】
その結果、１８行目の加圧室１０と１９行目の加圧室１０との変形が阻害されにくい構成となり、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【００９７】
＜第１の変形例＞
図１０（ｂ）を用いて第１変形例について説明する。
【００９８】
図１０（ｂ）に示すマニホールドプレート１００は、連結部１０４ｅ〜１０４ｊがエッチングされずに形成されている。すなわち、連結部１０４ｅ〜１０４ｊの厚みが、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊの厚みと同等になっている。その他の構成は、第１の実施形態と同じである。
【００９９】
この場合においても、連結部１０４ｅ〜１０４ｊが、平面視して互いにずれた状態で配置されているため、副マニホールド５ｂの連通を妨げることがなく、流路部材４の内部に滞りなく液体を流すことができる。
【０１００】
＜第２の変形例＞
図１０（ｃ）を用いて第１変形例について説明する。
【０１０１】
図１０（ｃ）に示すマニホールドプレート１００は、連結部１０４ｅ〜１０４ｊは、ハーフエッチングにより形成されているが、第１〜第３マニホールドプレート４ｅ〜４ｇは、吐出孔面４−１（図５参照）側からハーフエッチングされ、第４〜第６マニホールドプレート４ｈ〜４ｊは、加圧室面４−２（図５参照）側からハーフエッチングされている。
【０１０２】
そのため、第１〜第３マニホールドプレート４ｅ〜４ｇでは、連結部１０４ｅ〜１０４ｇは吐出孔面４−１側に配置され、第４〜第６マニホールドプレート４ｈ〜４ｊでは、連結部１０４ｈ〜１０４ｊは加圧室面４−２側に配置されている。
【０１０３】
これにより、加圧室面４−２に近い第１〜第３マニホールドプレート４ｅ〜４ｇの連結部１０４ｅ〜１０４ｇは、加圧室１０から遠い位置に配置されることとなり、連結部１０４の存在による剛性の上昇を小さくすることができる。それにより、加圧室１０の周辺の剛性が上昇する可能性を低減することができる。それゆえ、液体吐出ヘッド２に吐出不良が生じる可能性を低減することができる。
【０１０４】
また、吐出孔面４−１に近い第４〜第６マニホールドプレート４ｈ〜４ｊの連結部１０４ｈ〜１０４ｊは、吐出孔８に近い位置に配置されることとなり、吐出孔８の周辺の剛性を高めることができる。その結果、吐出孔面４−１にたわみ、あるいは変形が生じる可能性を低減することができ、液体吐出ヘッド２の吐出を安定させることができる。
【０１０５】
＜第２の実施形態＞
図１１を用いて第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、連結部１０４の構成が第１の実施形態と異なっており、その他の点は同様であるため説明を省略する。
【０１０６】
液体吐出ヘッド２を構成するマニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さが、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さよりも短い構成を有している。
【０１０７】
そのため、連結部１０４の存在による剛性の上昇を小さくすることができ、副マニホールド５ｂ１の周辺の剛性が、上昇することを抑えることができる。それにより、マニホールドプレート１００は、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０の変形が阻害されにくい構成となる。その結果、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【０１０８】
副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さは、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さの４０〜第６０％であることが好ましい。例えば、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さが１００μｍである場合には、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さは、４０〜第６０μｍとすることができる。
【０１０９】
また、図１１（ｂ）に示すように、マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の厚みが、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の厚みよりも短い構成を有している。
【０１１０】
そのため、連結部１０４の存在による剛性の上昇を小さくすることができ、副マニホールド５ｂ１の周辺の剛性が、上昇することを抑えることができる。それにより、マニホールドプレート１００は、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０の変形が阻害されにくい構成となる。その結果、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【０１１１】
副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の厚みは、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さの６０〜８０％であることが好ましい。例えば、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の厚みが５０μｍである場合には、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の厚みは、３０〜４０μｍとすることができる。
【０１１２】
また、マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さが、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さよりも短く、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける厚みが、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける厚みよりも小さい構成を有しているが、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊ（図７，８参照）は、第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊが、連結部１０４ｅ〜１０４ｊにより、側壁１０２ｅ〜１０２ｊ、第１隔壁１０３ｅ〜１０３ｊ、または第２隔壁１０５ｅ〜１０５ｊに接続されており、ハンドリング性が低下することはない。
【０１１３】
なお、第２の実施形態においては、副マニホールド５ｂ１に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さおよび厚みを、副マニホールド５ｂ２に設けられた連結部１０４の第１方向Ｘにおける長さおよび厚みと変えた例を示したが、どちらか一方のみ変えてもよい。
【０１１４】
なお、連結部１０４ｅ〜ｊの厚みとは、積層方向Ｚにおける長さを意味する。
【０１１５】
＜第３の実施形態＞
図１２，１３を用いて第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。第３の実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、マニホールドプレート１００の構成が第１の実施形態とは異なっている。
【０１１６】
マニホールドプレート１００は、側壁１５ａに、カバー部材１１０の挿通部１１１を挿通するための挿通孔１１２が設けられている。挿通孔１１２は、図示していないが、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊを貫通するように設けられている。そのため、挿通孔１１２はマニホールドプレート１００を貫通している。そして、マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１が、挿通孔１１２と第２方向Ｙに隣り合う領域に連結部１０４が設けられていない構成を有する。
【０１１７】
カバー部材１１０は、ヘッド本体２を覆うように配置されており、外部から液滴または霧状のインクがヘッド本体２に侵入することを抑える機能を有している。カバー部材１１０は、カバー部１１３と挿通部１１１とを備えており、例えば、金属あるいは樹脂製のプレートにより形成されている。
【０１１８】
カバー部材１１０の挿通部１１１は、カバー部１１３から突出するように設けられており、マニホールドプレート１００の挿通孔１１２に挿通されている。挿通部１１１は、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊを貫通するように挿通されており、それにより、カバー部材１１０は流路部材４に立設された状態で固定される。
【０１１９】
このように、挿通部１１１が挿通孔１１２を貫通するように挿通されているため、挿通孔１１２の周辺の剛性が高くなっている。これに対して、マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１が、挿通孔１１２と第２方向Ｙに隣り合う領域に連結部１０４が設けられていない構成を有するため、連結部１０４の存在による剛性の上昇を小さくすることができ、挿通孔１１２の周辺の剛性の上昇を抑えることができる。
【０１２０】
それにより、液体吐出ヘッド２の挿通孔１１２の周辺の剛性が上昇する可能性を低減することができる。その結果、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【０１２１】
＜第４の実施形態＞
図１４を用いて第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、連結部１０４の構成が第１の実施形態とは異なっている。
【０１２２】
マニホールドプレート１００は、副マニホールド５ｂ１に連結部１０４が設けられておらず、副マニホールド５ｂ２にのみ連結部１０４が設けられている。それゆえ、連結部１０４の存在による剛性の上昇が生じない構成となる。そのため、副マニホールド５ｂ１の周辺の剛性が上昇しない構成とすることができる。
【０１２３】
その結果、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０との変形が阻害されにくい構成となる。また、１行目の加圧室１０および３２行目の加圧室１０の共振周波数が、他の加圧室１０の共振周波数よりも高くなる可能性を低減することができる。それゆえ、液体吐出ヘッド２が吐出不良を生じる可能性を低減することができる。
【０１２４】
さらに、副マニホールド５ｂ１を構成する第１隔壁１５ｂは、隣り合う第１隔壁１５ｂと連結部１０４を介して接続されている。そして、当該第１隔壁１５ｂは、さらにその隣に配置された第１隔壁１５ｂと連結部１０４により連結されており、最終的に第２隔壁１５ｃと連結部１０４により連結されている。つまり、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊにおいて、副マニホールド５ｂ１を構成する第１隔壁１５ｂは、第２隔壁１５ｃと一体化されている。
【０１２５】
その結果、第４の実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、副マニホールド５ｂ１の周辺における剛性の上昇を低減しつつ、マニホールドプレート１００と一体化されることとなる。それゆえ、第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊのハンドリング性を低下させることなく、液体吐出ヘッド２の吐出不良が生じる可能性を低減することができる。
【０１２６】
＜第５の実施形態＞
図１５〜１８を用いて第５の実施形態に係る液体吐出ヘッド２について説明する。第５
の実施形態に係る液体吐出ヘッド２は、連結部１０４の構成が第１の実施形態とは異なっている。
【０１２７】
マニホールドプレート１００は、下部プレート１０６ｂと、下部プレート１０６ｂよりも加圧室１０（図４参照）側に配置された上部プレート１０６ａとを備えている。上部プレート１０６ａおよび下部プレート１０６ｂは、複数の第１〜第６マニホールドプレート４ｅ〜４ｊにより構成されており、上部プレート１０６ａは、第１〜第３マニホールドプレート４ｅ〜４ｇにより構成されている。下部プレート１０６ｂは、第４〜第６マニホールドプレート４ｈ〜４ｊにより構成されている。
【０１２８】
上部プレート１０６ａを構成する第１〜第３マニホールドプレート４ｅ〜４ｇは、第２方向Ｙの端部に位置する副マニホールド５ｂ１に連結部１０４ｅ１〜１０４ｇ１（不図示）が設けられておらず、連結部１０４ｅ２〜１０４ｇ２は設けられている。
【０１２９】
下部プレート１０６ｂを構成する第４〜第６マニホールドプレート４ｈ〜４ｊは、連結部１０４ｈ１〜１０４ｊ１および連結部１０４ｅ２〜１０４ｇ２が設けられている。そのため、図１７，１８に示すように、上部プレート１０６ａに設けられた連結部１０４の数が、下部プレート１０６ｂに設けられた連結部１０４の数よりも少ない構成となっている。
【０１３０】
そのため、マニホールドプレート１００は、加圧室面４−２側に設けられた連結部１０４の数が、吐出孔面４−１側に設けられた連結部１０４の数よりも少ない構成となる。
【０１３１】
それにより、連結部１０４の存在による加圧室１０の周辺の剛性の上昇を抑えることができるとともに、吐出孔８の周辺の剛性を高めることができる。その結果、加圧室１０の変形が阻害されにくい構成となるため、吐出不良が生じる可能性を低減しつつ、吐出孔面４−１にたわみ、あるいは変形が生じる可能性を低減することができ、液体吐出ヘッド２の吐出を安定させることができる。
【０１３２】
また、マニホールドプレート１００は、上部プレート１０６ａが、副マニホールド５ｂ１に連結部１０４が設けられていない。そのため、連結部１０４の存在によるマニホールドプレート１００の加圧室面４−２側の剛性の上昇を抑えることができる。それにより、マニホールドプレート１００は、加圧室１０の変形が阻害されにくい構成となり、吐出不良の生じにくい液体吐出ヘッド２とすることができる。
【０１３３】
なお、上部プレート１０６ａと下部プレート１０６ｂとが、それぞれ複数のプレートを積層して構成された例を示したが、上部プレート１０６ａと下部プレート１０６ｂとが、複数のプレートが積層されていなくてもよい。
【０１３４】
以上、第１〜第５の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。例えば、第１の実施形態である液体吐出ヘッド２を用いたプリンタ１を示したが、これに限定されるものではなく、他の実施形態に係る液体吐出ヘッド２をプリンタ１に用いてもよい。また、複数の実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【０１３５】
また、加圧部として、加圧室１０を圧電アクチュエータの圧電変形によりを加圧する例を示したが、これに限定されるものではない。例えば、加圧室１０ごとに発熱部を設け、発熱部の熱により加圧室１０の内部の液体を加熱し、液体の熱膨張により加圧する加圧部としてもよい。
【符号の説明】
【０１３６】
１・・・プリンタ
２・・・液体吐出ヘッド
２ａ・・・ヘッド本体
４・・・流路部材
４ａ〜ｌ・・・（流路部材の）プレート
４−１・・・吐出孔面
４−２・・・加圧室面
５・・・マニホールド
５ａ・・・（マニホールドの）開口
５ｂ・・・副マニホールド
６・・・しぼり
８・・・吐出孔
９・・・吐出孔行
１０・・・加圧室
１１・・・加圧室行
１２・・・個別流路
１４・・・個別供給流路
１５・・・隔壁
１６・・・ダミー加圧室
１８・・・第１および第２の接合領域
２１・・・圧電アクチュエータ基板
２１ａ・・・圧電セラミック層（振動板）
２１ｂ・・・圧電セラミック層
２４・・・共通電極
２５・・・個別電極
２５ａ、３２５ａ・・・個別電極本体
２５ｂ、３２５ｂ・・・引出電極
２６・・・接続電極
２８・・・共通電極用表面電極
３０・・・変位素子
３１・・・変位素子群（加圧室群も同じ範囲）
３２・・・溝
３２ａ・・・溝となる貫通溝
３６・・・支持部
４０・・・リザーバ
４０ａ、ｃ〜ｇ・・・（リザーバの）プレート
４０ｂ・・・ダンパプレート
４１・・・リザーバの凹部
４２・・・リザーバ流路
４２ａ・・・リザーバ流路の流入孔
４２ｂ・・・リザーバ流路の流出孔
４２ｃ・・・リザーバ流路の開口
４４・・・分岐流路
４４ｂ・・・分岐流路の流出孔
４６・・・ダンパ
４８・・・フィルタ
６０・・・信号伝達部
７０・・・（ヘッド搭載）フレーム
７２・・・ヘッド群
８０ａ・・・給紙ローラ
８０ｂ・・・回収ローラ
８２ａ・・・ガイドローラ
８２ｂ・・・搬送ローラ
８８・・・制御部
Ｐ・・・印刷用紙
１００・・・マニホールドプレート
１０４・・・連結部
【図１】
2015104860.tif 000003
【図２】
2015104860.tif 000004
【図３】
2015104860.tif 000005
【図４】
2015104860.tif 000006
【図５】
2015104860.tif 000007
【図６】
2015104860.tif 000008
【図７】
2015104860.tif 000009
【図８】
2015104860.tif 000010
【図９】
2015104860.tif 000011
【図１０】
2015104860.tif 000012
【図１１】
2015104860.tif 000013
【図１２】
2015104860.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
2015104860.tif 000016
【図１５】
2015104860.tif 000017
【図１６】
2015104860.tif 000018
【図１７】
2015104860.tif 000019
【図１８】
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