(57)【要約】【課題】読み出しノイズを低減できるＣＭＯＳイメージセンサを提供する。【解決手段】入射光を電気信号に変換する光電変換素子１１と、Ｇｅ層とＳｉＧｅＳｎ層とが接合されたヘテロ接合をチャネル領域として有し、光電変換素子１１にて変換された電気信号を増幅するアンプトランジスタ２１とを備える。【選択図】図１
2015162604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を電気信号に変換する光電変換素子と、
Ｇｅ層とＳｉＧｅＳｎ層とが接合されたヘテロ接合をチャネル領域として有し、前記光電変換素子にて変換された前記電気信号を増幅するアンプトランジスタと、
を具備することを特徴とするＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項２】
半導体基板に形成され、入射光を電気信号に変換する光電変換素子と、
前記半導体基板に形成され、前記光電変換素子にて変換された前記電気信号を蓄積するフローティングディフュージョンと、
Ｇｅ基板上にＳｉＧｅＳｎ層が積層されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板と、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上に形成され、前記フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号を増幅するアンプトランジスタと、
を具備することを特徴とするＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項３】
前記アンプトランジスタはソースフォロワアンプであることを特徴とする請求項１または２に記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項４】
前記アンプトランジスタはＧｅ基板とＳｉＧｅＳｎ層とが接合されたヘテロ接合をチャネル領域として有することを特徴とする請求項２または３に記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項５】
前記半導体基板は第１面と前記第１面の反対側の第２面とを持ち、前記光電変換素子及び前記フローティングディフュージョンは前記第１面に形成され、前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板は前記第１面上に配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項６】
前記半導体基板は第１面と前記第１面の反対側の第２面とを持ち、前記光電変換素子及び前記フローティングディフュージョンは前記第１面に形成され、前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板は前記第２面上に配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項７】
前記半導体基板上に形成され、前記光電変換素子から前記フローティングディフュージョンへ前記電気信号を転送するトランスファトランジスタをさらに具備することを特徴とする請求項２乃至６のいずれかに記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項８】
前記半導体基板上に形成され、前記フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号をリセットするリセットトランジスタと、
前記アンプトランジスタにて増幅された前記電気信号の出力を制御するセレクトトランジスタと、
をさらに具備することを特徴とする請求項２乃至７のいずれかに記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項９】
半導体基板に形成され、入射光を電気信号に変換する第１光電変換素子と、
前記半導体基板に形成され、前記第１光電変換素子にて変換された前記電気信号を蓄積する第１フローティングディフュージョンと、
Ｇｅ基板上にＳｉＧｅＳｎ層が積層されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板と、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板に形成され、前記入射光を電気信号に変換する第２光電変換素子と、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板に形成され、前記第２光電変換素子にて変換された前記電気信号を蓄積する第２フローティングディフュージョンと、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上に形成され、前記第１，第２フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号を増幅するアンプトランジスタと、
を具備することを特徴とするＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項１０】
前記半導体基板上に形成され、前記第１光電変換素子から前記第１フローティングディフュージョンへ前記電気信号を転送する第１トランスファトランジスタと、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上に形成され、前記第２光電変換素子から前記第２フローティングディフュージョンへ前記電気信号を転送する第２トランスファトランジスタと、
をさらに具備することを特徴とする請求項９に記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【請求項１１】
前記半導体基板上に形成され、前記第１フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号をリセットする第１リセットトランジスタと、
前記半導体基板上に形成され、前記第１フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号の前記アンプトランジスタへの出力を制御する第１スイッチングトランジスタと、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上に形成され、前記第２フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号をリセットする第２リセットトランジスタと、
前記ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上に形成され、前記第２フローティングディフュージョンに蓄積された前記電気信号の前記アンプトランジスタへの出力を制御する第２スイッチングトランジスタと、
をさらに具備することを特徴とする請求項９または１０に記載のＣＭＯＳイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、光電変換素子を備えたＣＭＯＳイメージセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シリコン基板を用いた従来のＣＭＯＳイメージセンサでは、同一のシリコン基板上に形成されたフォトダイオードおよびアンプトランジスタにおける低ノイズ化、さらに読み出し回路の工夫により、１ｅ−rmsより小さい低雑音での光子信号の読み出しを実現している。
【０００３】
ＣＭＯＳイメージセンサの更なる低雑音化、ダイナミックレンジの大幅な拡大にはフォトダイオードのみならず、ソースフォロワアンプを構成するトランジスタの低雑音化が必須である。０．１５ｅ−rms程度より低い読み出しノイズで画素信号を光電変換することができれば、単一光子信号を検出する究極の感度、すなわちフォトンカウンティングを実現することも可能である。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】T.Kohara, W.Lee, N.Akahane, K. Mizobuchi, S. Sugawa “A CMOS Image Sensor With 2.5-e- Random Noise and 110-ke- Full Well Capacity Using Column Source Follower Readout Circuits,” Symposium on VLSI Circuits, (2009), 182-183.
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、絶縁膜とシリコン基板との界面を用いた通常のＭＯＳ電界効果トランジスタ（以下、Ｓｉ−ＭＯＳＦＥＴと記す）では、絶縁膜界面及び絶縁膜中に存在するトラップによるキャリアの捕獲や放出現象によるノイズにより、現状以下の低ノイズ化が困難な状況にある。
【０００６】
前記課題を解決するためになされたものであり、読み出しノイズを低減できるＣＭＯＳイメージセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施態様のＣＭＯＳイメージセンサは、入射光を電気信号に変換する光電変換素子と、  Ｇｅ層とＳｉＧｅＳｎ層とが接合されたヘテロ接合をチャネル領域として有し、前記光電変換素子にて変換された前記電気信号を増幅するアンプトランジスタとを具備することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を示す断面図である。
【図２】図２（ａ）は第１実施形態におけるアンプトランジスタの断面図であり、図２（ｂ）はアンプトランジスタのバンド図である。
【図３】図３は、第１実施形態のＳｉＧｅＳｎ層における＠＠＠Ｓｉ及びＳｎの組成とバンドギャップとの関係を示す図である。
【図４】図４は、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法を示す断面図である。
【図５】図５は、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法を示す断面図である。
【図６】図６は、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構成を示す断面図である。
【図７】図７は、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法を示す断面図である。
【図８】図８は、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法を示す断面図である。
【図９】図９は、第３実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して実施形態のＣＭＯＳイメージセンサについて説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。
【００１０】
［第１実施形態］
第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサについて説明する。
【００１１】
図１は、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を示す断面図である。
【００１２】
図示するように、ＣＭＯＳイメージセンサは、半導体基板（例えば、ｐ型シリコン基板）１０上に形成された光電変換素子、例えばフォトダイオード１１、トランスファゲートトランジスタ１２、フローティングディフュージョン１３と、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に形成されたアンプトランジスタ２１、セレクトトランジスタ２２、リセットトランジスタ２３とを備える。
【００１３】
フォトダイオード１１は、ｐ型シリコン基板１０とｎ型拡散層１１Ａから形成されており、トランスファゲートトランジスタ１２が配置された第１面（または表面）と反対側の第２面（または裏面）から照射された光を電気信号に変換し、蓄積する。
【００１４】
トランスファゲートトランジスタ１２は、ｎ型拡散層１１Ａに蓄積された電気信号のフローティングディフュージョン１３への転送を制御する。すなわち、トランスファゲートトランジスタ１２は、オン状態になったとき、ｎ型拡散層１１Ａに蓄積された電気信号をフローティングディフュージョン１３に転送する。フローティングディフュージョン１３は、トランスファゲートトランジスタ１２にて転送された電気信号を、容量信号(電圧信号)に変換するために蓄積する。
【００１５】
ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０は、ゲルマニウム（Ｇｅ）基板２０Ａ上にＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂが積層された基板である。Ｇｅ基板２０ＡとＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂとの界面はヘテロ接合を有する。ＳｉＧｅＳｎ層は、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎの混晶であり、例えば、ＳｉｘＧｅ１−（ｘ＋ｙ）Ｓｎｙ層（ｘ＝３．７ｙ、かつｘ＞０、ｙ＞０）である。
【００１６】
アンプトランジスタ２１は、Ｇｅ基板２０ＡとＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂとのヘテロ接合をチャネル領域として有する。アンプトランジスタ２１は、ソースフォロワ接続されたトランジスタであり、フローティングディフュージョン１３に蓄積された容量信号に応じて信号を増幅する。セレクトトランジスタ２２は、アンプトランジスタ２１にて増幅された信号の出力を制御する。すなわち、セレクトトランジスタ２２は、オン状態になったとき、アンプトランジスタ２１にて増幅された信号をカラムバスラインＣＬに出力する。
【００１７】
リセットトランジスタ２３は、フローティングディフュージョン１３に蓄積された電気信号をリセットする。すなわち、リセットトランジスタ２３は、オン状態になったとき、フローティングディフュージョン１３に電源電圧ＶDDを供給し、フローティングディフュージョン１３の電位を初期状態に戻す。
【００１８】
以下に、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を詳述する。
【００１９】
図１に示すように、シリコン基板１０にはｎ型拡散層１１Ａが形成され、シリコン基板１０とｎ型拡散層１１Ａによりフォトダイオード１１が構成されている。さらに、シリコン基板１０にはｎ型拡散層１１Ａと離隔してフローティングディフュージョン１３が形成されている。ｎ型拡散層１１Ａとフローティングディフュージョン１３との間のシリコン基板１０上には、ゲート絶縁膜１２Ａが形成され、ゲート絶縁膜１２Ａ上にはゲート電極１２Ｂが形成されている。ｎ型拡散層１１Ａ、フローティングディフュージョン１３、チャネル領域（ｎ型拡散層１１Ａとフローティングディフュージョン１３間のシリコン基板１０）、ゲート絶縁膜１２Ａ、及びゲート電極１２Ｂにより、トランスファゲートトランジスタ１２が構成されている。さらに、ゲート電極１２Ｂの側面には、側壁絶縁膜１２Ｃが形成されている。ｎ型拡散層１１Ａとフローティングディフュージョン１３は、トランスファゲートトランジスタ１２のソース領域あるいはドレイン領域として働く。
【００２０】
トランスファゲートトランジスタ１２上及びシリコン基板１０上には、層間絶縁膜３０が形成されている。層間絶縁膜３０上には、Ｇｅ基板２０Ａ、ＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂが順に積層されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０が配置されている。なお、層間絶縁膜３０とＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０との間に、これらの接着性をよくするための接着層として、Ａｌ２Ｏ３層を形成してもよい。
【００２１】
また、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上には、アンプトランジスタ２１、セレクトトランジスタ２２、及びリセットトランジスタ２３が形成されている。
【００２２】
アンプトランジスタ２１は、次のような構造を有する。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂには、拡散層２１Ａ，２１Ｂが互いに離隔して形成されている。拡散層２１Ａ，２１Ｂは、アンプトランジスタ２１のソース領域あるいはドレイン領域として働く。拡散層２１Ａ，２１Ｂの間にはゲート絶縁膜２１Ｃが形成され、ゲート絶縁膜２１Ｃ上にはゲート電極２１Ｄが形成されている。さらに、ゲート電極２１Ｄの側面には、側壁絶縁膜２１Ｅが形成されている。ゲート電極２１Ｄは、フローティングディフュージョン１３に電気的に接続されている。さらに、拡散層２１Ｂは、電源電圧ＶDDに電気的に接続されている。
【００２３】
セレクトトランジスタ２２は、次のような構造を有する。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂには、拡散層２２Ａが拡散層２１Ａに対して離隔して形成されている。拡散層２２Ａは、セレクトトランジスタ２２のソース領域あるいはドレイン領域として働く。拡散層２１Ａは、アンプトランジスタ２１あるいはセレクトトランジスタ２２のドレイン領域あるいはソース領域として働く。拡散層２２Ａ，２１Ａの間にはゲート絶縁膜２２Ｂが形成され、ゲート絶縁膜２２Ｂ上にはゲート電極２２Ｃが形成されている。さらに、ゲート電極２２Ｃの側面には、側壁絶縁膜２２Ｄが形成されている。ゲート電極２２Ｃにはロー選択信号ＲＳが供給されている。さらに、ソース領域２２Ａは、カラムバスラインＣＬに電気的に接続されている。
【００２４】
リセットトランジスタ２３のゲートには、リセット信号ＲＴが供給されている。リセットトランジスタ２３のドレインはフローティングディフュージョン１３に電気的に接続され、ソースは電源電圧ＶDDに電気的に接続されている。
【００２５】
以下に、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの動作について説明する。
【００２６】
シリコン基板１０の裏面に照射された入射光は、フォトダイオード１１にて受光される。フォトダイオードは、入射光の可視領域の画像として、入射光を電気信号に変換し蓄積する。フォトダイオード１１に蓄積された電気信号は、フローティングディフュージョン１３にて容量信号に変換される。さらに、この容量信号は、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のヘテロ接合をチャネル領域とするアンプトランジスタ２１にて電圧信号に変換される。
【００２７】
この際、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のヘテロ接合は、格子不整合による欠陥を誘起することなく、高品質な量子井戸構造が形成可能である。このため、アンプトランジスタ２１は、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面（ヘテロ接合）にてチャネルを構成することにより、シリコン基板の表面をチャネルとして用いるＳｉ−ＭＯＳＦＥＴと比較して、一桁以上、低ノイズ化が可能である。このようなアンプトランジスタ２１を使用することにより、０．１５ｅ- rms程度より低い読み出しノイズによるフォトンカウンティングを実現すると共に、大幅なダイナミックレンジの拡大を実現することができる。
【００２８】
その後、アンプトランジスタ２１にて増幅された電圧信号は、セレクトトランジスタ２２を介してカラムバスラインＣＬに出力される。セレクトトランジスタ２２は、カラムバスラインＣＬへの電圧信号の出力を制御する。
【００２９】
なお、第１実施形態は、半導体基板１０のフォトダイオード１１及びトランジスタ１２等が形成された表面と反対側の裏面側から光を照射する、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサに適した構造を備える。
【００３０】
図２（ａ）、（ｂ）を用いて、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板のヘテロ接合をチャネルに用いたアンプトランジスタの断面構造とそのバンド図を説明する。図２（ａ）はアンプトランジスタの断面図であり、図２（ｂ）はアンプトランジスタにおけるバンド図である。
【００３１】
ＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂに対して、ＧｅはTypeＩの量子井戸構造を形成する。さらに、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面には、格子不整合による欠陥を誘起することなく、高品質な界面が形成可能である。したがって、図２（ｂ）に示すように、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面がＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂ表面よりバンドギャップが小さくなる。このため、このアンプトランジスタ２１のチャネルは、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面（ヘテロ接合）に形成される。ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面にてチャネルを構成することにより、ゲート絶縁膜界面及びゲート絶縁膜中に存在するトラップによるキャリアの捕獲や放出現象によるノイズの発生を防ぐことができる。これにより、アンプトランジスタ２１はＳｉ−ＭＯＳＦＥＴと比較して一桁以上低ノイズ化することが可能である。
【００３２】
ここで、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂが格子整合となる条件は、ＳｉｘＧｅ１−（ｘ＋ｙ）Ｓｎｙ層（ｘ＝３．７ｙ、ｘ＞０、ｙ＞０）である。そして、ＳｉＧｅＳｎ層におけるバンドギャップは大きいほうが望ましい。
【００３３】
図３は、ＳｉＧｅＳｎ層におけるＳｉ及びＳｎの組成とバンドギャップとの関係を示す図である。横軸はＳｉ及びＳｎの組成ｘ＋ｙを示し、縦軸はバンドギャップのエネルギーを示す。ｘ＋ｙが０のとき、バンドギャップは０．６６ｅＶ（Ｇｅのバンドギャップ）となり、ｘ＋ｙが０より大きくなるのに従って、バンドギャップは徐々に大きくなる。このように、ＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂは、Ｇｅ及びＳｎの組成の変更により、格子整合条件を満たしながら、そのバンドギャップの変更が可能である。前述したように、ＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂにおけるバンドギャップは大きいほうが望ましい。
【００３４】
次に、図１、図４及び図５を用いて、第１実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法について説明する。
【００３５】
まず、図４に示すように、シリコン基板（例えば、ｐ型シリコン半導体基板）１０上に、トランスファゲートトランジスタ１２を形成する。すなわち、シリコン基板１０上にゲート絶縁膜１２Ａ及びゲート電極１２Ｂを形成する。さらに、ゲート電極１２Ｂの側面に側壁絶縁膜１２Ｃを形成する。続いて、ゲート電極１２Ｂの両側のシリコン基板１０に、フォトダイオード１１を構成するｎ型拡散層１１Ａと、フローティングディフュージョン（ｎ型拡散層）１３を形成する。
【００３６】
次に、図５に示すように、トランスファゲートトランジスタ１２上、ｎ型拡散層１１Ａ上、フローティングディフュージョン１３上、及びシリコン基板１０上に、層間絶縁膜３０と配線層（図示しない）を形成する。さらに、ここでは図示しないが、層間絶縁膜３０上に、接着層として例えばＡｌ２Ｏ３層を厚さ５ｎｍ程度形成してもよい。
【００３７】
次に、Ｇｅ基板２０Ａ上にＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂが積層されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０を準備する。さらに、図１に示すように、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に、アンプトランジスタ２１、セレクトトランジスタ２２、及びリセットトランジスタ２３を形成する。これらトランジスタが形成されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０は予め準備しておいてもよい。そして、シリコン基板１０と、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０とを貼り合わせる。すなわち、シリコン基板１０上の層間絶縁膜３０と、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＧｅ基板２０Ａとを貼り合わせる。
【００３８】
その後、前記各トランジスタのメサ分離と同時に、シリコン基板１０上の配線層あるいは電極と接続を行うための接続ビアを形成する。さらに、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に配線層を形成することにより、フローティングディフュージョン１３とアンプトランジスタ２１及びリセットトランジスタ２３との電気的接続を行う。以上により、図１に示したＣＭＯＳイメージセンサが製造される。
【００３９】
以上説明したように第１実施形態では、シリコン基板上のフォトダイオードにて光電変換された電気信号を、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板のヘテロ接合をチャネルとするアンプトランジスタを用いて増幅することにより、読み出し信号を低ノイズ化することができる。すなわち、読み出し時に発生するノイズを低減可能なＣＭＯＳイメージセンサを提供することができる。
【００４０】
［第２実施形態］
第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサについて説明する。第２実施形態では、シリコン基板上のフォトダイオード、及びＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上のフォトダイオードにてそれぞれ光電変換された信号を、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板上のアンプトランジスタを用いて増幅する例を述べる。
【００４１】
図６は、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を示す断面図である。
【００４２】
図示するように、ＣＭＯＳイメージセンサは、半導体基板（例えば、ｐ型シリコン基板）１０上に形成された光電変換素子、例えばフォトダイオード１１、トランスファゲートトランジスタ１２、フローティングディフュージョン１３、リセットトランジスタ２３Ａ、スイッチングトランジスタ１４Ａと、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に形成された光電変換素子、例えばフォトダイオード２４、トランスファゲートトランジスタ２５、フローティングディフュージョン２６、アンプトランジスタ２１、リセットトランジスタ２３Ｂ、スイッチングトランジスタ１４Ｂ、セレクトトランジスタ２２とを備える。
【００４３】
第１実施形態と同様に、フォトダイオード１１は、ｐ型シリコン基板１０とｎ型拡散層１１Ａから形成されており、裏面から照射された光を電気信号に変換し、蓄積する。トランスファゲートトランジスタ１２は、フォトダイオード１１に蓄積された電気信号のフローティングディフュージョン１３への転送を制御する。
【００４４】
スイッチングトランジスタ１４Ａは、フローティングディフュージョン１３に蓄積された電気信号のアンプトランジスタ２１への転送を制御する。すなわち、スイッチングトランジスタ１４Ａは、オン状態になったとき、フローティングディフュージョン１３に蓄積された電気信号をアンプトランジスタ２１のゲート電極２１Ｄに転送する。リセットトランジスタ２３Ａは、フローティングディフュージョン１３に蓄積された電気信号をリセットする。
【００４５】
また、フォトダイオード２４は、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０に形成されたｐ型拡散層とｎ型拡散層２４Ａから構成されており、フォトダイオード１１の直上に配置されている。すなわち、フォトダイオード２４は、半導体基板１０の表面に対して垂直な方向で、フォトダイオード１１に対応する位置に配置されている。
【００４６】
フォトダイオード２４は、トランスファゲートトランジスタ２５が配置された第１面（または表面）と反対側の第２面（または裏面）から照射された光を電気信号に変換し、蓄積する。言い換えると、フォトダイオード２４は、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のシリコン基板１０が配置された面側から照射された光を電気信号に変換し、蓄積する。
【００４７】
トランスファゲートトランジスタ２５は、フォトダイオード２４に蓄積された電気信号のフローティングディフュージョン２６への転送を制御する。すなわち、トランスファゲートトランジスタ２５は、オン状態になったとき、フォトダイオード２４に蓄積された電気信号をフローティングディフュージョン２６に転送する。フローティングディフュージョン２６は、トランスファゲートトランジスタ２５にて転送された電気信号を、容量信号（電圧信号）に変換するために蓄積する。
【００４８】
スイッチングトランジスタ１４Ｂは、フローティングディフュージョン２６に蓄積された電気信号のアンプトランジスタ２１への転送を制御する。すなわち、スイッチングトランジスタ１４Ｂは、オン状態になったとき、フローティングディフュージョン２６に蓄積された電気信号をアンプトランジスタ２１のゲート電極２１Ｄに転送する。リセットトランジスタ２３Ｂは、フローティングディフュージョン２６に蓄積された電気信号をリセットする。
【００４９】
アンプトランジスタ２１は、第１実施形態と同様に、Ｇｅ基板２０ＡとＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂとのヘテロ接合をチャネル領域として有する。アンプトランジスタ２１は、ソースフォロワ接続されたトランジスタであり、フローティングディフュージョン１３または２６に蓄積された容量信号に応じて信号を増幅する。セレクトトランジスタ２２は、アンプトランジスタ２１にて増幅された信号の出力を制御する。
【００５０】
以下に、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を詳述する。
【００５１】
図６に示すように、シリコン基板１０にはフォトダイオード１１を構成するｎ型拡散層１１Ａと、フローティングディフュージョン１３が形成されている。ｎ型拡散層１１Ａとフローティングディフュージョン１３との間には、トランスファゲートトランジスタ１２を構成するゲート絶縁膜１２Ａ及びゲート電極１２Ｂが形成されている。
【００５２】
トランスファゲートトランジスタ１２上及びシリコン基板１０上には、層間絶縁膜３０が形成されている。層間絶縁膜３０上には、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０が配置されている。なお、層間絶縁膜３０とＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０との間に、これらの接着性をよくするための接着層として、Ａｌ２Ｏ３層を形成してもよい。
【００５３】
また、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂにはフォトダイオード２４を構成するｎ型拡散層２４Ａが形成され、さらにＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂにはｎ型拡散層２４Ａと離隔してフローティングディフュージョン２６が形成されている。ｎ型拡散層２４Ａとフローティングディフュージョン２６との間のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂ上には、トランスファゲートトランジスタ２５を構成するゲート絶縁膜２５Ａ及びゲート電極２５Ｂが形成されている。詳述すると、ＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂ上には、ゲート絶縁膜２５Ａが形成され、ゲート絶縁膜２５Ａ上にはゲート電極２５Ｂが形成されている。さらに、ゲート電極２５Ｂの側面には、側壁絶縁膜２５Ｃが形成されている。ｎ型拡散層２４Ａとフローティングディフュージョン２６は、トランスファゲートトランジスタ２５のソース領域あるいはドレイン領域として働く。
【００５４】
アンプトランジスタ２１は、次のような構造を有する。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂには、拡散層２１Ａ，２１Ｂが互いに離隔して形成されている。拡散層２１Ａ，２１Ｂの間にはゲート絶縁膜２１Ｃが形成され、ゲート絶縁膜２１Ｃ上にはゲート電極２１Ｄが形成されている。さらに、ゲート電極２１Ｄの側面には、側壁絶縁膜２１Ｅが形成されている。ゲート電極２１Ｄは、スイッチングトランジスタ１４Ａを介してフローティングディフュージョン１３に電気的に接続されている。ゲート電極２１Ｄは、またスイッチングトランジスタ１４Ｂを介してフローティングディフュージョン２６に電気的に接続されている。さらに、拡散層２１Ｂは、電源電圧ＶDDに電気的に接続されている。
【００５５】
セレクトトランジスタ２２のゲートには、ロー選択信号ＲＳが供給されている。さらに、セレクトトランジスタ２２のソースは拡散層２１Ａに電気的に接続され、そのドレインはカラムバスラインＣＬに電気的に接続されている。
【００５６】
リセットトランジスタ２３Ａのゲートには、リセット信号ＲＴ１が供給されている。リセットトランジスタ２３Ａのソースは電源電圧ＶDDに電気的に接続され、そのドレインはフローティングディフュージョン１３に電気的に接続されている。リセットトランジスタ２３Ｂのゲートには、リセット信号ＲＴ２が供給されている。リセットトランジスタ２３Ｂのソースは電源電圧ＶDDに電気的に接続され、そのドレインはフローティングディフュージョン２６に電気的に接続されている。
【００５７】
以下に、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの動作について説明する。
【００５８】
シリコン基板１０の裏面に照射された入射光は、フォトダイオード１１にて受光される。フォトダイオード１１は、入射光の可視領域の画像として前記入射光を電気信号に変換し蓄積する。フォトダイオード１１に蓄積された電気信号は、フローティングディフュージョン１３にて容量信号に変換される。この容量信号は、スイッチングトランジスタ１４Ａがオン状態になったとき、アンプトランジスタ２１のゲート電極２１Ｄに供給される。そして、容量信号はアンプトランジスタ２１にて電圧信号に変換される。
【００５９】
この際、第１実施形態と同様に、アンプトランジスタ２１は、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとの界面（ヘテロ接合）にてチャネルを構成することにより、Ｓｉ−ＭＯＳＦＥＴと比較して一桁以上、低ノイズ化が可能である。すなわち、アンプトランジスタ２１は、Ｓｉ−ＭＯＳＦＥＴを用いた場合と比較して、前記電圧信号に発生するノイズを一桁以上、低減することができる。
【００６０】
その後、アンプトランジスタ２１にて増幅された電圧信号は、セレクトトランジスタ２２を介してカラムバスラインＣＬに出力される。
【００６１】
また、シリコン基板１０の裏面に照射された入射光は、層間絶縁膜３０を通過してＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０の裏面に到達し、フォトダイオード２４にて受光される。フォトダイオード２４は、入射光の赤外領域の画像として前記入射光を電気信号に変換し蓄積する。フォトダイオード２４に蓄積された電気信号は、フローティングディフュージョン２６にて容量信号に変換される。この容量信号は、スイッチングトランジスタ１４Ｂがオン状態になったとき、アンプトランジスタ２１のゲート電極２１Ｄに供給される。そして、容量信号はアンプトランジスタ２１にて電圧信号に変換される。
【００６２】
この際、前述したように、アンプトランジスタ２１は、ＳｉＧｅＳｎ層２０ＢとＧｅ基板２０Ａとのヘテロ接合にてチャネルを構成することにより、Ｓｉ−ＭＯＳＦＥＴと比較して一桁以上、低ノイズ化が可能である。
【００６３】
その後、アンプトランジスタ２１にて増幅された電圧信号は、セレクトトランジスタ２２を介してカラムバスラインＣＬに出力される。
【００６４】
このように、フォトダイオード１１あるいは２４により、入射光を可視領域あるいは赤外領域の画像信号として電気信号に変換し、これら電気信号の増幅にアンプトランジスタ２１を使用することにより、０．１５ｅ- rms程度より低い読み出しノイズによるフォトカウンティングを実現すると共に、大幅なダイナミックレンジの拡大を実現することができる。さらに、可視領域及び赤外領域の画像を一括して取得することが可能である。
【００６５】
なお、第２実施形態は、半導体基板１０のフォトダイオード１１及びトランジスタ１２等が形成された表面と反対側の裏面側から光を照射する、裏面照射型のＣＭＯＳイメージセンサに適した構造を備える。
【００６６】
次に、図６−図８を用いて、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの製造方法について説明する。
【００６７】
まず、図７に示すように、シリコン基板（例えば、ｐ型シリコン半導体基板）１０上に、トランスファゲートトランジスタ１２、スイッチングトランジスタ１４Ａ、及びリセットトランジスタ２３Ａを形成する。トランスファゲートトランジスタ１２は以下のように形成される。シリコン基板１０上にゲート絶縁膜１２Ａ及びゲート電極１２Ｂを形成する。さらに、ゲート電極１２Ｂの側面に側壁絶縁膜１２Ｃを形成する。続いて、ゲート電極１２Ｂの両側のシリコン基板１０に、フォトダイオード１１を構成するｎ型拡散層１１Ａと、フローティングディフュージョン（ｎ型拡散層）１３を形成する。スイッチングトランジスタ１４Ａとリセットトランジスタ２３Ａの形成方法については省略する。
【００６８】
次に、図８に示すように、前記トランジスタ１２、１４Ａ、２３Ａ上、ｎ型拡散層１１Ａ上、フローティングディフュージョン１３上、及びシリコン基板１０上に、層間絶縁膜３０と配線層（図示しない）を形成する。さらに、ここでは図示しないが、層間絶縁膜３０上に、接着層として例えばＡｌ２Ｏ３層を厚さ５ｎｍ程度形成してもよい。
【００６９】
次に、Ｇｅ基板２０Ａ上にＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂが積層されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０を準備する。さらに、図６に示すように、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に、トランスファゲートトランジスタ２５、アンプトランジスタ２１、セレクトトランジスタ２２、スイッチングトランジスタ１４Ｂ、及びリセットトランジスタ２３Ｂを形成する。
【００７０】
トランスファゲートトランジスタ２５は以下のように形成される。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂ上にゲート絶縁膜２５Ａ及びゲート電極２５Ｂを形成する。さらに、ゲート電極２５Ｂの側面に側壁絶縁膜２５Ｃを形成する。続いて、ゲート電極２５Ｂの両側のＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０に、フォトダイオード２４を構成するｎ型拡散層２４Ａとフローティングディフュージョン（ｎ型拡散層）２６を形成する。
【００７１】
アンプトランジスタ２１は以下のように形成される。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＳｉＧｅＳｎ層２０Ｂ上にゲート絶縁膜２１Ｃ及びゲート電極２１Ｄを形成する。さらに、ゲート電極２１Ｄの側面に側壁絶縁膜２１Ｅを形成する。続いて、ゲート電極２１Ｄの両側のＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０にｎ型拡散層２１Ａ，２１Ｂを形成する。セレクトトランジスタ２２、スイッチングトランジスタ１４Ｂ、及びリセットトランジスタ２３Ｂの形成方法については省略する。これらトランジスタが形成されたＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０は予め準備しておいてもよい。
【００７２】
次に、シリコン基板１０と、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０とを貼り合わせる。すなわち、シリコン基板１０上の層間絶縁膜３０と、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０のＧｅ基板２０Ａとを貼り合わせる。
【００７３】
その後、前記各トランジスタのメサ分離と同時に、シリコン基板１０上の配線層あるいは電極と接続を行うための接続ビアを形成する。さらに、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０上に配線層を形成することにより、フローティングディフュージョン１３、２６をスイッチングトランジスタ１４Ａ、１４Ｂをそれぞれ介してアンプトランジスタ２１に電気的に接続する。さらに、フローティングディフュージョン１３、２６と、リセットトランジスタ２３Ａ、２３Ｂとをそれぞれ電気的に接続する。以上により、図６に示したＣＭＯＳイメージセンサが製造される。
【００７４】
以上説明したように第２実施形態では、シリコン基板上のフォトダイオード１１あるいはＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２４上のフォトダイオード２６により、入射光を可視領域あるいは赤外領域の画像信号として電気信号に変換し、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板のヘテロ接合をチャネルとするアンプトランジスタを用いて電気信号を増幅することにより、読み出し信号を低ノイズ化することができる。すなわち、読み出し時に発生するノイズを低減可能なＣＭＯＳイメージセンサを提供することができる。さらに、可視領域及び赤外領域の画像を一括して取得することが可能である。その他の構成及び効果は第１実施形態と同様である。
【００７５】
［第３実施形態］
第３実施形態のＣＭＯＳイメージセンサについて説明する。前述した第１実施形態では、シリコン基板のフォトダイオード及びトランジスタを形成した面上にＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板を配置した例を説明した。この第３実施形態では、シリコン基板のフォトダイオード及びトランジスタを形成した面と反対側の面上にＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板を配置した例を述べる。
【００７６】
図９は、第３実施形態のＣＭＯＳイメージセンサの構造を示す断面図である。
【００７７】
図示するように、半導体基板１０の第１面（または表面）上には、フォトダイオード１１、トランスファゲートトランジスタ１２、フローティングディフュージョン１３が形成されている。半導体基板１０の第１面と反対側の第２面（または裏面）上には、層間絶縁膜３０を介してＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０が配置されている。ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０の第１面上には、アンプトランジスタ２１、セレクトトランジスタ２２、及びリセットトランジスタ２３が形成されている。半導体基板１０の第２面とＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０の第１面は、層間絶縁膜３０を介して接着されている。
【００７８】
言い換えると、半導体基板１０は第１面と第１面の反対側の第２面とを持ち、フォトダイオード１１、トランスファゲートトランジスタ１２、及びフローティングディフュージョン１３は第１面に形成され、ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０は半導体基板１０の第２面上に配置されている。
【００７９】
第３実施形態では、半導体基板１０のフォトダイオード１１及びトランスファゲートトランジスタ１２が形成された第１面（または表面）から照射された光を電気信号に変換し、その後、第１実施形態と同様に処理する。すなわち、第３実施形態は半導体基板１０のフォトダイオード１１及びトランジスタ１２等が形成された表面側から光を照射する、表面照射型のＣＭＯＳイメージセンサに適した構造を備える。その他の構成及び効果は、第１実施形態と同様である。
【００８０】
なお、第２実施形態のＣＭＯＳイメージセンサも半導体基板１０のフォトダイオード１１及びトランジスタ１２等が形成された表面側から光を照射する、表面照射型のＣＭＯＳイメージセンサに適した構造としてもよい。すなわち、半導体基板１０の第１面と反対側の第２面（または裏面）上に、層間絶縁膜３０を介してＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板２０を配置してもよい。その他の構成及び効果は、第２実施形態と同様である。
【００８１】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００８２】
１０…半導体基板（例えば、ｐ型シリコン基板）
１１…フォトダイオード
１１Ａ…ｎ型拡散層
１２…トランスファゲートトランジスタ
１３…フローティングディフュージョン
２０…ＳｉＧｅＳｎ／Ｇｅ基板、
２１…アンプトランジスタ
２２…セレクトトランジスタ
２３…リセットトランジスタ
２４…フォトダイオード
２４Ａ…ｎ型拡散層
２５…トランスファゲートトランジスタ
２６…フローティングディフュージョン
３０…層間絶縁膜
【図１】
2015162604.tif 000003
【図２】
2015162604.tif 000004
【図３】
2015162604.tif 000005
【図４】
2015162604.tif 000006
【図５】
2015162604.tif 000007
【図６】
2015162604.tif 000008
【図７】
2015162604.tif 000009
【図８】
2015162604.tif 000010
【図９】
2015162604.tif 000011