(57)【要約】【課題】小フットプリント化を図ることができ、望ましくは高スループット化も図ることができるダイシング装置を提供する。【解決手段】  中央部のステージ回転駆動部２０には、板状のワークを鉛直に吸着保持する４つのステージ２２が回転軸Ｚ０周りに９０度間隔で配置され、回転軸Ｚ０周りに一体的に回転する。ステージ回転駆動部２０の周りには、ロード／アンロード部５０、アライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００が回転軸Ｚ０周りに９０度間隔で設けられる。４つのステージ２２は、ロード／アンロード部５０においてワークを鉛直に保持した後、回転軸Ｚ０周りの回転によってアライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００、ロード／アンロード部５０の位置に順に移動し、保持したワークのアライメント、切削、洗浄、アンロードを順に実施する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を鉛直に保持する１又は複数のステージと、
鉛直方向と平行する回転軸周りに回転可能に前記ステージを支持するステージ回転支持機構と、
前記回転軸周りの複数の回転角度の位置に設けられる複数の処理部であって、少なくとも前記ステージに保持された被加工物に対する加工予定ラインの加工を施す加工部を含む複数の処理部と、
を備えたダイシング装置。
【請求項２】
前記複数の処理部は、前記加工部と、前記ステージに加工前の被加工物を保持させ、又は、前記ステージに保持された加工後の被加工物を取り外すロード／アンロード部と、前記ステージに保持された加工前の被加工物のアライメントを実施するアライメント部と、前記ステージに保持された加工前の被加工物の洗浄を実施する洗浄部と、を有し、
前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部は、前記回転軸周りの所定回転角度ごとの位置に順に配置される請求項１に記載のダイシング装置。
【請求項３】
前記ステージは少なくとも４個以上の個数からなり、いずれか４個のステージが前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部の位置に同時に配置される請求項２に記載のダイシング装置。
【請求項４】
前記複数の処理部は、前記加工部と、前記ロード／アンロード部と、前記アライメント部と、前記洗浄部と、からなり、
前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部は、前記回転軸周りの９０度の回転角度ごとの位置に順に配置される請求項２又は３に記載のダイシング装置。
【請求項５】
前記ステージは４個であり、該４個のステージは、前記回転軸周りの９０度の回転角度ごとの位置に配置される請求項４に記載のダイシング装置。
【請求項６】
前記加工部は、前記被加工物の加工ラインを回転刃により切削する切削部である請求項１から５のいずれか１項に記載のダイシング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェーハ等の板状のワーク（被加工物）の加工予定ラインを加工するダイシング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置として、特許文献１に開示されたダイシング装置のように、複数枚のワークを収納したカセット（ロードポート）から加工前のワークを取り出してステージ（チャックテーブル）に搬送し、また、加工後のワークをステージから取り外してカセットに収納するロード／アンロード部と、ステージに搬送したワークのアライメントを実施するアライメント部と、アライメント結果に基づいてワークの切削予定ラインに対して切削等の加工を施す加工部と、加工後のワークの洗浄を行う洗浄部を備え、ワークのロード、アライメント、加工、洗浄、及びアンロードまでの一連の工程を自動で行うものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９−１３０１７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１のように従来のダイシング装置は、全ての工程においてワークは水平に保持され、また、加工部における加工の際のワークの移動も水平方向であり、さらに、ワークを搬送するためのハンドラーなどの搬送装置も有している。これらは、いずれもダイシング装置の水平方向に占める面積（フットプリント）が大きくなる要因となっている。近年では、ワークが大型化する傾向にあり、それに伴いダイシング装置も大型化するため、ダイシング装置を小型化（小フットプリント化）することが望まれている。
【０００５】
また、従来のダイシング装置では、加工部においてワークの加工を行っている際には、次のワークをアライメント部に配置することができない。そのため、加工部では、前のワークの加工後に、直ちに次のワークの加工を開始することはできない。即ち、前のワークの加工後において、次に加工するワークのアライメントの開始から終了までの時間を待機してから加工を開始している。このことは、高スループット化を妨げる要因となっている。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、小フットプリント化を図ることができ、望ましくは高スループット化も図ることができるダイシング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明の一の態様に係るダイシング装置は、板状の被加工物を鉛直に保持する１又は複数のステージと、鉛直方向と平行する回転軸周りに回転可能に前記ステージを支持するステージ回転支持機構と、前記回転軸周りの複数の回転角度の位置に設けられる複数の処理部であって、少なくとも前記ステージに保持された被加工物に対する加工予定ラインの加工を施す加工部を含む複数の処理部と、を備える。
【０００８】
本発明によれば、ステージにより被加工物を鉛直に保持してステージ回転支持機構によりステージを回転軸周りに回転させることで、ステージに保持させた被加工物を、加工部を含む複数の処理部の位置に配置して、被加工物に対する加工予定ラインの切削などの所要の処理を施すことができる。したがって、被加工物を水平に保持して切削等の所要の処理を施す従来のダイシング装置に比べて、被加工物を鉛直に保持する分、ダイシング装置の水平方向に占める面積（フットプリント）を小さくすることができる。特に被加工物が大型化するほど、この効果が顕著である。
【０００９】
また、本発明によれば、被加工物を鉛直に保持したステージを回転軸周りに回転させるだけで複数の処理部の位置に移動させることができるため、従来のダイシング装置のようなハンドラーなどの搬送装置が不要となり、ダイシング装置の小型化を図ることができる。
【００１０】
本発明の他の態様に係るダイシング装置は、前記複数の処理部は、前記加工部と、前記ステージに加工前の被加工物を保持させ、又は、前記ステージに保持された加工後の被加工物を取り外すロード／アンロード部と、前記ステージに保持された加工前の被加工物のアライメントを実施するアライメント部と、前記ステージに保持された加工前の被加工物の洗浄を実施する洗浄部と、を有し、前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部は、前記回転軸周りの所定回転角度ごとの位置に順に配置される態様とすることができる。
【００１１】
本態様によれば、被加工物のロード、アライメント、加工、洗浄、及びアンロードまでの一連の工程を自動的に実施することができる。
【００１２】
本発明の更に他の態様に係るダイシング装置は、前記ステージは少なくとも４個以上の個数からなり、いずれか４個のステージが前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部の位置に同時に配置される態様とすることができる。
【００１３】
本態様によれば、複数のステージにより複数の被加工物のロード／アンロード、アライメント、加工、及び洗浄を同時に行うことができる。特に、所定の被加工物の加工中に次に加工する被加工物のアライメントを同時に行うことができるため、従来のように次に加工する被加工物のアライメントの時間を待機してから加工を実施することなく、前の被加工物の加工終了後に次に加工する被加工物の加工を即座に行うことができる。したがって、高スループット化が図れる。
【００１４】
本発明の更に他の態様に係るダイシング装置は、前記複数の処理部は、前記加工部と、前記ロード／アンロード部と、前記アライメント部と、前記洗浄部と、からなり、前記ロード／アンロード部、前記アライメント部、前記加工部、及び前記洗浄部は、前記回転軸周りの９０度の回転角度ごとの位置に順に配置される態様とすることができる。
【００１５】
本発明の更に他の態様に係るダイシング装置は、前記ステージは４個であり、該４個のステージは、前記回転軸周りの９０度の回転角度ごとの位置に配置される態様とすることができる。
【００１６】
本発明の更に他の態様に係るダイシング装置は、前記加工部は、前記被加工物の加工ラインを回転刃により切削する切削部である態様とすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、小フットプリント化を図ることができ、高スループット化を図ることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明が適用されたダイシング装置の外観を示す斜視図
【図２】図１のダイシング装置の外観を図１と異なる角度から示す斜視図
【図３】ロード／アンロード部をステージ回転駆動部側（第３側面側）から示した図
【図４】ロード／アンロード部のクランプ周辺を第４側面側から示した図
【図５】ワークの一例を示した図
【図６】図１のダイシング装置を上面側から示した図であり、仕切り板を配置する位置を示した図
【図７】本実施の形態のダイシング装置全体の動作の説明に使用したフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２０】
図１、図２は、本発明が適用されたダイシング装置の外観を異なる２方向から示した斜視図である。
【００２１】
ダイシング装置１は、不図示の周壁により全体的又は部分的に囲まれており、その周壁の内壁面が、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の各々の方向に沿った辺により形成される直方形の領域表面に沿った位置に配置され、周壁の内部にダイシング装置１の主要構成部を収容する収容空間１０が形成される。
【００２２】
ここで、周壁の内壁面（収容空間１０の境界面）のうち、ＸＹ平面に平行する図１中下側の面は、ダイシング装置１が設置される床などの設置面に対向して水平に配置される面であり、底面１０Ｅ（周壁の底面１０Ｅ）というものとし、ＸＹ平面に平行する図１中上側の面を上面１０Ｆ（周壁の上面１０Ｆ）というものとする。また、底面１０Ｅに直交する４つの側壁面のうち、ＹＺ平面に平行する図１中左側の面を第１側面１０Ａ（周壁の第１側面１０Ａ）といい、上面１０Ｆ側から見て第１側面１０Ａから反時計回り方向に順に配置される側壁面を第２側面１０Ｂ（周壁の第２側面１０Ｂ）、第３側面１０Ｃ（周壁の第３側面１０Ｃ）、及び第４側面１０Ｄ（周壁の第４側面１０Ｄ）というものとする。なお、第１側面１０Ａ〜第４側面１０Ｄ、底面１０Ｅ、及び上面１０Ｆには、適宜、凹凸や開口などが形成され、必ずしも平坦ではない。
【００２３】
収容空間１０には、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延在するステージ回転駆動部２０が配置され、ステージ回転駆動部２０に対して第１側面１０Ａ側にはロード／アンロード部５０が配置され、第２側面１０Ｂ側にはアライメント部１００が配置され、第３側面１０Ｃ側には切削部１５０が配置され、第４側面１０Ｄ側には洗浄部２００が配置される。
【００２４】
ステージ回転駆動部２０は、ワークを鉛直に保持しながら鉛直方向に平行する回転軸Ｚ０周りに回転し、保持したワークをロード／アンロード部５０、アライメント部１００、切削部１５０（加工部）、洗浄部２００、及びロード／アンロード部５０の順に搬送する。
【００２５】
ステージ回転駆動部２０は、ワークを保持する４つのステージ２２と、各ステージ２２を支持するステージ軸部３０と、ステージ２２を回転軸Ｚ０周りに回転駆動するステージ回転軸部材４０等から構成される。
【００２６】
４つのステージ２２は、同一の形状及び構造を有しており、回転軸Ｚ０を中心にして回転対称となるように回転軸Ｚ０周りに回転角９０度の間隔で（９０度の回転角度ごとの位置に）配置される。即ち、本実施の形態では、各ステージ２２は、基端側から先端側に向けて中心軸２４に沿って延在する円柱状に形成されており、各ステージ２２の中心軸２４は、水平方向（ＸＹ平面に平行な方向）で、かつ、回転軸Ｚ０と交わる方向に配置される。そして、回転軸Ｚ０周りの方向に互いに隣接するステージ２２の中心軸２４同士が９０度の角度をなす。
【００２７】
各ステージ２２の先端には、被加工物である板状のワークを例えば真空の力で吸着保持する円形のステージ面２６が設けられる。各ステージ面２６は、ステージ２２の中心軸２４に対して直交する平面に沿って設けられ、回転軸Ｚ０周りの９０度間隔となる位置に鉛直方向に沿って配置される。したがって、各ステージ面２６に吸着保持されるワークも、ステージ面２６と同様に回転軸Ｚ０周りの９０度間隔となる位置に鉛直方向に沿って配置される。なお、本明細書では、ワーク（ワーク表面）が鉛直方向に沿って保持又は配置されることをワークが鉛直に保持又は配置される等という。
【００２８】
また、各ステージ２２のステージ面２６は、ステージ２２の中心軸２４周りに不図示のモータの駆動により回転する。これによって、ワークは、ステージ２２の中心軸２４周りに回転可能にステージ面２６に吸着保持される。
【００２９】
これらの４つのステージ２２の各々は、四角柱状のステージ軸部３０の４つの側面３２の各々に１つずつ設けられる。ステージ軸部３０は、回転軸Ｚ０の位置を中心軸として鉛直方向に延在しており、その４つの側面３２は、水平面（ＸＹ平面と平行する平面）で切断した断面上において回転軸Ｚ０を中心とする正方形の形状を有する。各ステージ２２は、それらの中心軸２４が自身が配置されるステージ軸部３０の側面と直交するようにして設置される。
【００３０】
ステージ軸部３０の上面及び下面には、ステージ回転軸部材４０（上面側だけ図示）が設けられる。ステージ回転軸部材４０は、収容空間１０を囲む周壁の上面１０Ｆに回動自在に支持され、不図示のモータの駆動によって回転軸Ｚ０周りに回転する。したがって、ステージ回転軸部材４０が回転することによってステージ軸部３０が収容空間１０内において回転軸Ｚ０周りに回転し、４つのステージ２２も回転軸Ｚ０周りに一体的に回転する。
【００３１】
以上のステージ回転駆動部２０は次のような作用を有する。今、ステージ回転駆動部２０のいずれか１つの着目しているステージ２２がロード／アンロード部５０の位置に配置されている状態、即ち、収容空間１０を囲む周壁の第１側面１０Ａの向きに配置されている状態であるとする。このとき、他の３つのステージ２２はアライメント部１００、切削部１５０、及び洗浄部２００の各々の位置に配置されている状態、即ち、収容空間１０を囲む周壁の第２側面１０Ｂ、第３側面１０Ｃ、及び第４側面１０Ｄの各々の向きに配置されている状態となる。
【００３２】
この状態において、着目のステージ２２は、ロード／アンロード部５０において加工前のワークを鉛直に吸着保持する。そして、ステージ回転軸部材４０の回転により、着目のステージ２２はワークを鉛直に保持したまま、回転軸Ｚ０周りを反時計回り方向に９０度ずつ回転する。これによって、着目のステージ２２に保持されたワークは、ロード／アンロード部５０からアライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００、及びロード／アンロード部５０へと順に搬送される。その間にアライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００の各部において所要の処理が実施される。
【００３３】
そして、ロード／アンロード部５０に戻ってきた着目のステージ２２は、加工後のワークを外し、加工前の新たなワークを吸着保持する。
【００３４】
また、着目のステージ２２がアライメント部１００、切削部１５０、及び洗浄部２００の各々の位置に配置されている間、他のステージ２２も順にロード／アンロード部５０に配置され、加工前のワークを鉛直に吸着保持する。そして、ステージ回転軸部材４０の回転により着目のステージ２２と共に他のステージ２２もワークを鉛直に保持したまま回転軸Ｚ０周りを反時計回り方向に９０度ずつ回転する。これによって、他のステージ２２により保持されたワークもロード／アンロード部５０からアライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００、及びロード／アンロード部５０へと順に搬送される。
【００３５】
図１に示すように収容空間１０を囲む周壁の第１側面１０Ａ側に配置されるロード／アンロード部５０は、被加工物である多数枚のワークが収容されたカセット（不図示）から加工前のワークを取り出してステージ回転駆動部２０のロード／アンロード部５０の位置に配置されているステージ２２に搬送し、また、加工後のワークをステージ２２から取り外してカセットに搬送してカセットに収納する。
【００３６】
ロード／アンロード部５０は、ワークを把持するクランプ５２を有すると、クランプ５２をＸ軸方向に移動させるＸ駆動機構と、クランプ５２をＺ軸方向に移動させるＺ駆動機構と、を有する。
【００３７】
図３は、ロード／アンロード部５０をステージ回転駆動部２０側（第３側面１０Ｃ側）から示した図であり、図４は、クランプ５２の周辺部を第４側面１０Ｄ側から示した図である。
【００３８】
図４に示すようにクランプ５２は、互いに対向する２つの爪５４、５４を有する。それらの爪５４、５４が不図示のシリンダ装置によりそれらの間隔を拡縮させるように動き、爪５４、５４でワーク（Ｗ）の縁部を挟持してワークを保持し、または、保持したワークを解放する。爪５４、５４で保持されたワークは鉛直に垂下した状態で保持される。
【００３９】
ここで、ワークの一形態を図５に示す。同図に示すワークＷは、半導体ウェーハであり、本実施の形態のダイシング装置において加工する場合には、ワークＷの片方の面が粘着剤を有するダイシングテープＴを介してダイシング用のフレームＦにマウントされた状態で加工が施される。この場合に、クランプ５２は、フレームＦを爪５４、５４で挟持してワークＷを保持する。ただし、本明細書において加工を施すワークＷと一体的な部分もワークというものとする。また、同図のワークＷには多数のチップが形成されており、それらのチップを個々のチップに分断するための切削予定ラインＫが形成されている。後述の切削部１５０ではその切削予定ラインＫを切削する。なお、本ダイシング装置により切削するワークは、半導体ウェーハに限らず、切削可能な任意の板状体を対象とする。
【００４０】
図１、図３、図４に示すようにクランプ５２は、Ｘ移動台５６に固設され、Ｘ移動台５６はＸ駆動機構によりＸ軸方向に移動可能に支持される。
【００４１】
即ち、Ｘ移動台５６は、下面に固設された２列（２つ）のＸキャリッジ５８を介して、Ｚ移動台６０の上面に固設された２列（２つ）のＸレール６２に支持される。Ｘレール６２は、Ｘ軸方向に沿って延在しており、Ｘキャリッジ５８をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、Ｘキャリッジ５８は不図示のモータの駆動によりＸ軸方向に移動する。
【００４２】
これによって、モータの駆動によりＸ移動台５６がＺ移動台６０に対してＸ軸方向に移動し、Ｘ移動台５６の移動に伴いクランプ５２もＺ移動台６０に対してＸ軸方向に移動する。
【００４３】
Ｚ移動台６０は、Ｚ駆動機構により鉛直方向に昇降移動可能に（Ｚ軸方向に移動可能に）支持される。
【００４４】
即ち、図１、図３に示すようにＺ移動台６０は、Ｙ軸方向に沿って延在する四角柱状の梁部材７０の上面に固設される。梁部材７０の両側の側端部にはＺキャリッジ７２が固設され、それらのＺキャリッジ７２が鉛直方向に沿って延在するＺレール７４に係合し、鉛直方向に移動可能に支持される。Ｚレール７４は、収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅから鉛直方向に立設された四角柱状の２つの支柱部材７６の互いに対向する面の各々に固設される。
【００４５】
これにより、Ｚ移動台６０は、梁部材７０、Ｚキャリッジ７２及びＺレール７４を介して支柱部材７６に対して鉛直方向に移動可能に支持される。
【００４６】
また、図１に示すように梁部材７０には、ナット部材８０が固着されており、そのナット部材８０が送りねじ８２に係合する。送りねじ８２は、鉛直方向に沿って延在し、その下端部が収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅに回転可能に軸支される。そして、不図示のモータにより回転する。
【００４７】
したがって、モータの駆動により送りねじ８２が回転すると、ナット部材８０を介して梁部材７０が鉛直方向に昇降移動し、Ｚ移動台６０が鉛直方向に昇降移動する。これに伴い、クランプ５２も鉛直方向に昇降移動する。
【００４８】
以上のロード／アンロード部５０は次のような作用を有する。ロード／アンロード部５０に配置されたステージ回転駆動部２０のステージ２２に対して加工前のワークを搬送する場合、Ｘ駆動機構及びＺ駆動機構によりクランプ５２のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置を制御し、ワークが収容されたカセットの位置に移動させる。なお、図３に示すようにカセット９０は、例えば、梁部材７０の下側に設けられるカセット収容部９２に収容され、カセット９０に収容されたワークＷが鉛直に配置されると共に、ワークＷを出し入れするカセット９０及びカセット収容部９２の開口部が上側に向けて配置される。
【００４９】
続いて、カセット９０に収容されたワークのうちの加工前のワークの縁部をクランプ５２により把持し、Ｚ駆動機構によりクランプ５２を鉛直方向に上昇させてカセット９０からワークを取り出す。そして、ステージ２２の高さまで上昇させる。
【００５０】
この後、Ｘ駆動機構によりクランプ５２をＸ軸方向に移動させてステージ２２のステージ面２６の近傍までワークを移動させ、ステージ面２６にワークを吸着保持させる。そして、クランプ５２からワークを解放する。
【００５１】
ロード／アンロード部５０に配置されたステージ回転駆動部２０のステージ２２から加工後のワークを取り外してカセット９０に搬送してカセット９０に収納する場合には、上述の手順と略逆の手順でワークの搬送が行われる。
【００５２】
なお、本実施の形態では、ワークをクランプ５２の爪５４、５４により把持して搬送するようにしたが、吸着手段等の他の手段を用いてワークを搬送してもよい。
【００５３】
図１に示すように収容空間１０を囲む周壁の第２側面１０Ｂ側に配置されるアライメント部１００は、アライメント部１００の位置に配置されているステージ２２に保持されたワークのアライメントを実施する。
【００５４】
アライメント部１００は、ワーク表面を拡大して撮影する顕微鏡１０２（撮像手段も含む）と、顕微鏡１０２をＹ軸方向に移動させるＹ駆動機構と、顕微鏡１０２をＸ軸方向に移動させるＸ駆動機構と、顕微鏡１０２をＺ軸方向に移動させるＺ駆動機構と、を有する。
【００５５】
顕微鏡１０２は、Ｙ移動台１０４の上面に設置され、観察方向（光軸）がＹ軸方向とほぼ平行となるように、かつ、ステージ２２を観察する向きに配置される。
【００５６】
Ｙ移動台１０４は、Ｙ駆動機構によりＹ軸方向に移動可能に支持される。
【００５７】
即ち、Ｙ移動台１０４は、下面に固設された２列（４つ）のＹキャリッジ１０６を介して、Ｘ移動台１０８の上面に固設された２列（２つ）のＹレール１１０に支持される。Ｙレール１１０は、Ｙ軸方向に沿って延在しており、Ｙキャリッジ１０６をＹ軸方向に移動可能に支持する。また、Ｙキャリッジ１０６は不図示のモータの駆動によりＹ軸方向に移動する。
【００５８】
これによって、モータの駆動によりＹ移動台１０４がＸ移動台１０８に対してＹ軸方向に移動し、Ｙ移動台１０４の移動に伴い顕微鏡１０２もＸ移動台１０８に対してＹ軸方向に移動する。
【００５９】
Ｘ移動台１０８は、Ｘ駆動機構によりＸ軸方向に移動可能に支持される。
【００６０】
即ち、Ｘ移動台１０８は、下面に固設された２列（４つ）のＸキャリッジ１１２を介して、梁部材１１４の上面に固設された２列（２つ）のＸレール１１６に支持される。Ｘレール１１６は、Ｘ軸方向に沿って延在しており、Ｘキャリッジ１１２をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、Ｘキャリッジ１１２は不図示のモータの駆動によりＸ軸方向に移動する。
【００６１】
これによって、モータの駆動によりＸ移動台１０８が梁部材１１４に対してＸ軸方向に移動し、Ｘ移動台１０８の移動に伴い顕微鏡１０２も梁部材１１４に対してＸ軸方向に移動する。
【００６２】
梁部材１１４は、Ｚ駆動機構によりＺ軸方向に移動可能（鉛直方向に昇降移動可能）に支持される。
【００６３】
即ち、梁部材１１４は、Ｘ軸方向に沿って延在する四角柱状の部材であり、その両側の側端部の各々には２列（４つ）のＺキャリッジ１１８が固設され、それらのＺキャリッジ１１８が鉛直方向に沿って延在する２列（２つ）のＺレール１２０に係合し、鉛直方向に昇降移動可能に支持される。Ｚレール１２０は、収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅから鉛直方向に立設された、又は、周壁の第２側面１０Ｂに固設された四角柱状の２つの支柱部材１２２の互いに対向する面側に固設される。
【００６４】
これにより、梁部材１１４は、Ｚキャリッジ１１８及びＺレール１２０を介して支柱部材１２２に対して鉛直方向に昇降移動可能に支持される。
【００６５】
また、梁部材１１４には、不図示のナット部材が固着されており、そのナット部材が送りねじ１３０に係合する。送りねじ１３０は、鉛直方向に沿って延在し、その下端部が収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅに回転可能に軸支される。そして、不図示のモータにより回転する。
【００６６】
これにより、モータの駆動により送りねじ１３０が回転すると、ナット部材を介して梁部材１１４が鉛直方向に昇降移動する。これに伴い、顕微鏡１０２も鉛直方向に昇降移動する。
【００６７】
以上のアライメント部１００は次のような作用を有する。ステージ回転駆動部２０のいずれかのステージ２２が、ロード／アンロード部５０において加工前のワークを保持した後、アライメント部１００の位置に移動したものとする。
【００６８】
このとき、アライメント部１００は、Ｘ駆動機構、Ｙ駆動機構、及びＺ駆動機構により顕微鏡１０２のＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の位置を制御し、ワーク表面の複数箇所の画像を撮影する。そして、撮影した複数箇所の画像に基づいて、ワーク表面に形成された切削予定ライン（加工予定ライン）の位置などを検出する。また、この検出結果に基づいてステージ２２を中心軸２４周りに回転させてワークの角度調整などを実施する。
【００６９】
このようなアライメント部１００によれば、後述の切削部１５０とは分離された領域に設けられるため、切削部１５０において使用される切削水や冷却水により発生したミストの影響を受けにくい。即ち、切削部１５０で発生するミストがアライメント部１００に侵入することを軽減することができるため、ミストによるアライメント部１００の環境温度の変動を軽減することができる。アライメント部１００の環境温度が変動すると、顕微鏡１０２の位置精度が低下し、顕微鏡１０２によりワークを撮像して認識したアライメント結果の精度も低下するが、本実施の形態のアライメント部１００は、ミストの侵入が軽減されて乾燥した環境下に配置されるため、アライメント精度が向上する。
【００７０】
なお、収容空間１０を上面１０Ｆ側から示した図６に示すように、ロード／アンロード部５０、アライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００の各々の領域（空間）を仕切る仕切り板１２Ａ〜１２Ｄを設けることも可能である。これによって、ロード／アンロード部５０、アライメント部１００、切削部１５０、洗浄部２００の各々の空間を独立させることができ、切削部１５０において生じたミストのアライメント部１００や他の領域への侵入を略完全に遮断することもできる。仕切り板１２Ａ〜１２Ｄは、ステージ回転駆動部２０におけるステージ２２が回転の際に通過する部分のみを開口してステージ２２と干渉しないようにしてもよいし、ステージ２２の回転の際には少なくともステージ２２が通過する部分を開口し、それ以外のときにはその開口を閉鎖するシャッター機構を設けても良い。また、仕切り板は切削部１５０で発生するミストのアライメント部１００への拡散を防止できれば効果的であり、仕切り板１２Ｂのみを設けてもよい。
【００７１】
図２に示すように収容空間１０を囲む周壁の第３側面１０Ｃ側に配置される切削部１５０は、切削部１５０の位置に配置されているステージ２２に保持されたワークの切削を実施する。
【００７２】
切削部１５０は、ワークを切削するブレード１５６を備えた２つの切削ユニット１５２と、切削ユニット１５２をＸ軸方向に移動させるＸ駆動機構と、切削ユニット１５２をＹ軸方向に移動させるＹ駆動機構と、切削ユニット１５２をＺ軸方向に移動させるＺ軸機構と、を有する。
【００７３】
２つの切削ユニット１５２は、同一の形状及び構造を有し、不図示のモータの駆動により高速回転するスピンドル１５４と、スピンドル１５４の先端に着脱可能に取り付けられるブレード１５６（回転刃）と、スピンドル１５４を回転可能に支持するスピンドルハウジング１５８とを有する。
【００７４】
スピンドル１５４は、その中心軸がＹ軸に平行して配置される。また、ブレード１５６は、スピンドル１５４の中心軸に対して直交するようにして装着され、スピンドル１５４の中心軸周りに回転する。これによって、ブレード１５６の外周縁の刃先がＹ軸に直交する面内において回転する。
【００７５】
また、２つの切削ユニット１５２は、ブレード１５６の装着側が互いに対向するようにして対称に配置される。
【００７６】
なお、各々の切削ユニット１５２には、ブレード１５６を周囲を覆う周知のブレードカバーや、ブレード１５６やブレード１５６とワークとの接触部分（加工点）に切削水や冷却水を供給するノズルなどが設けられているが、それらは図面上で省略されている。
【００７７】
これらの切削ユニット１５２のスピンドルハウジング１５８は、各々、Ｘ移動台１６０に固設される。以下、２つの切削ユニット１５２に対して同様の構成が適用されるため、一方のみ（図２中左側）について説明する。
【００７８】
Ｘ移動台１６０は、Ｘ駆動機構によりＸ軸方向に移動可能に支持される。
【００７９】
即ち、Ｘ移動台１６０は、下面に固設された２列（４つ）のＸキャリッジ１６２を介して、Ｙ移動台１６４の上面に固設された２列（２つ）のＸレール１６６に支持される。Ｘレール１６６は、Ｘ軸方向に沿って延在しており、Ｘキャリッジ１６２をＸ軸方向に移動可能に支持する。また、Ｘキャリッジ１６２は不図示のモータの駆動によりＸ軸方向に移動する。
【００８０】
これによって、モータの駆動によりＸ移動台１６０がＹ移動台１６４に対してＸ軸方向に移動し、Ｘ移動台１６０の移動に伴い切削ユニット１５２もＹ移動台１６４に対してＸ軸方向に移動する。
【００８１】
Ｙ移動台１６４は、Ｙ駆動機構によりＹ軸方向に移動可能に支持される。
【００８２】
即ち、Ｙ移動台１６４は、下面に固設された２列（４つ）のＹキャリッジ１７０を介して、梁部材１７２の上面に固設された２列（２つ）のＹレール１７４に支持される。Ｙレール１７４は、Ｙ軸方向に沿って延在しており、Ｙキャリッジ１７０をＹ軸方向に移動可能に支持する。
【００８３】
また、Ｙ移動台１６４には、不図示のナット部材が固着されており、そのナット部材が送りねじ１７６に係合する。送りねじ１７６は、Ｙ軸方向に沿って延在し、その両端が梁部材１７２に回転自在に軸支される。そして、不図示のモータにより回転する。
【００８４】
これによって、モータの駆動により送りねじ１７６が回転すると、ナット部材を介してＹ移動台１６４がＹ軸方向に移動する。これに伴い、切削ユニット１５２も梁部材１７２に対してＹ軸方向に移動する。
【００８５】
梁部材１７２は、Ｚ駆動機構によりＺ軸方向に移動可能（鉛直方向に昇降移動可能）に支持される。
【００８６】
即ち、梁部材１７２は、Ｙ軸方向に沿って延在する四角柱状の部材であり、その両側の側端部の各々には２列（４つ）のＺキャリッジ１８０が固設され、それらのＺキャリッジ１８０が鉛直方向に沿って延在する２列（２つ）のＺレール１８２に係合し、鉛直方向に移動可能に支持される。Ｚレール１８２は、収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅから鉛直方向に立設された、又は、第３側面１０Ｃに固設された四角柱状の２つの支柱部材１８４の互いに対向する面の各々に固設される。
【００８７】
これにより、梁部材１７２は、Ｚキャリッジ１８０及びＺレール１８２を介して支柱部材１８４に対して鉛直方向に昇降移動可能に支持される。
【００８８】
また、梁部材１７２は、アライメント部１００のＺ駆動機構による梁部材１１４の昇降移動と同様に不図示のナット部材と送りネジとモータとによって、モータの駆動により鉛直方向に昇降移動する。これに伴い、切削ユニット１５２も鉛直方向に昇降移動する。
【００８９】
以上の切削部１５０は次のような作用を有する。ステージ回転駆動部２０のいずれかのステージ２２がロード／アンロード部５０においてワークを保持し、アライメント部１００においてアライメントを行った後、切削部１５０の位置に移動したものとする。
【００９０】
切削部１５０は、Ｙ駆動機構及びＺ駆動機構により切削ユニット１５２のＹ軸方向及びＺ軸方向の位置を制御し、アライメント部１００におけるアライメント結果に基づいてワークの切削予定ラインの切削開始位置に対応した位置にブレード１５６を移動させる。
【００９１】
続いて、スピンドル１５４の回転によってブレード１５６を回転させるとともに、Ｘ駆動機構により切削ユニット１５２をＸ軸方向に移動させ、ワークに対して所定の切り込み量となる位置までブレード１５６を切り込み送りする。
【００９２】
そして、Ｚ駆動機構により切削ユニット１５２をＺ軸方向に所定速度で移動させて、ワークの切削予定ラインに沿ってブレード１５６を切削送りする。
【００９３】
１つの切削予定ラインの切削が終了すると、Ｘ駆動機構により切削ユニット１５２をＸ軸方向に移動させてブレード１５６をワークから離間させた後、Ｙ駆動機構により切削ユニット１５２をＹ軸方向に所定量移動させて、次の切削予定ラインの位置にブレード１５６をインデックス送りし、上述の切り込み送り、切削送りを実行する。このような切削処理を繰り返して、すべての切削予定ラインを２つの切削ユニット１５２を同時に用いて切削する。
【００９４】
なお、切削部１５０における切削の手順は上述の場合に限らず任意の手順で行うことができる。即ち、切削部１５０は、切削ユニット１５２のＸ軸方向の位置を制御することで、ワークに対するブレード１５６の切り込み量を調整することができ、切削ユニット１５２のＺ軸方向の位置を制御することで、ワークに対するブレード１５６の切削送りを行うことができ、切削ユニット１５２のＹ軸方向の位置を制御することで、ブレード１５６により切削するワーク上の切削予定ラインの位置を調整することができるようになっており、ワークの切削予定ラインを切削するために、これらの制御をどのように行ってもよい。
【００９５】
このような切削部１５０によれば、ブレード１５６及び加工点に供給された切削水や冷却水（切削屑を含んだ液体も含む排液）は、重力により自然と下方に流れ落ちるため、それらの排液を回収することが容易である。例えば、図１、図２に示すように収容空間１０の底部（枠体の底面１０Ｅ）に、切削部１５０の領域を含むようにオイルパン２３０（排水受け）を配置するだけで、切削部１５０において生じた排液を回収することができる。そして、オイルパン２３０により回収した排液を排水口から外部に排出することができる。これによって、簡易の構成で排水機構及び防水機構を設けることができる。
【００９６】
なお、切削部１５０に１つの切削ユニット１５２のみが設けられている形態であってもよい。
【００９７】
また、ワークの切削予定ラインをブレード１５６により切削する本実施の形態の切削部１５０の代わりに、パルスレーザー光線をワークの分割予定ライン（加工予定ライン）に沿って照射してアブレーション加工することにより破断の起点となるレーザー加工溝を形成する加工部を配置してもよいし、スクライバーにより分割予定ライン（加工予定ライン）に沿って破断起点となるスクライブラインを形成する加工部を配置してもよい。いずれの場合も本明細書ではダイシング装置というものとする。
【００９８】
図２に示すように収容空間１０を囲む周壁の第４側面１０Ｄ側に配置される洗浄部２００は、洗浄部２００の位置に配置されているステージ２２に保持されたワークに洗浄水を噴射して加工後のワークの洗浄を実施する。
【００９９】
洗浄部２００は、洗浄水を噴射するラインノズル２０２と、ラインノズル２０２をＺ軸方向に移動させるＺ駆動機構と、を有する。
【０１００】
ラインノズル２０２は、筒状に形成されており、その中心軸がＸ軸方向に沿って配置される。また、ラインノズル２０２の周壁には、内部の管路から外部に連通する多数の噴射口が形成されており、それらの噴射口が洗浄部２００の位置に配置されているステージ２２に向く方向（例えばＹ軸方向であって回転軸Ｚ０側に向く方向）に配置される。
【０１０１】
ラインノズル２０２の管路には、洗浄水を供給する送水装置が送水管を介して接続される。これによって、送水装置からラインノズル２０２の管路に洗浄水が供給されると、供給された洗浄水がラインノズル２０２の噴射口からワークに向けて噴射される。
【０１０２】
このラインノズル２０２は、Ｚ駆動機構により鉛直方向に昇降移動可能に支持される。
【０１０３】
即ち、ラインノズル２０２の両端部には、Ｚキャリッジ２０４が固設され、それらのＺキャリッジ２０４が鉛直方向に沿って延在するＺレール２０６に係合し、鉛直方向に移動可能に支持される。
【０１０４】
Ｚレール２０６は、収容空間１０を囲む周壁の底面１０Ｅから鉛直方向に立設された、又は、第４側面１０Ｄに固設された四角柱状の２つの支柱部材２０８の互いに対向する面の各々に固設される。
【０１０５】
これにより、ラインノズル２０２は、Ｚキャリッジ２０４及びＺレール２０６を介して支柱部材２０８に対して鉛直方向に昇降移動可能に支持される。
【０１０６】
また、Ｚキャリッジ２０４は不図示のモータの駆動によりＺレール２０６に沿ってＺ軸方向に移動する。これによって、モータの駆動によりラインノズル２０２が鉛直方向に昇降移動する。
【０１０７】
以上の洗浄部２００は次のような作用を有する。ステージ回転駆動部２０のいずれかのステージ２２がロード／アンロード部５０においてワークを保持し、アライメント部１００においてアライメントを行い、切削部１５０において切削を行った後、洗浄部２００の位置に移動したものとする。
【０１０８】
洗浄部２００は、Ｚ駆動機構によりラインノズル２０２のＺ軸方向の位置を制御し、洗浄部２００の位置に配置されたステージ２２が保持するワークに対して、ラインノズル２０２を上下に移動させながら、洗浄水をワークに噴射する。これにより、ワークの洗浄が行われる。
【０１０９】
なお、洗浄部２００においてワークに噴射された洗浄水も、切削部１５０における排液と同様に重力により底部に流れ落ちるため、図１、図２に示したオイルパン２３０（排水受け）が、切削部１５０の領域とともに洗浄部２００の領域も含むように配置され、洗浄部２００おける洗浄水の排液もオイルパン２３０により回収され、外部に排出される。
【０１１０】
以上のダイシング装置１全体の動作について説明する。
【０１１１】
図７は、ステージ回転駆動部２０の４つのステージ２２の各々において行われる処理を示したフローチャートであり、稼働開始時においてロード／アンロード部５０の位置に配置されたステージ２２をステージＡとし、以後、ロード／アンロード部５０の位置に順次配置されるステージ２２をステージＢ、Ｃ、Ｄとして各ステージＡ〜Ｄに対して及び各ステージＡ〜Ｄの位置において実施される処理を示す。ステージＡ〜Ｄは、ステージＡから時計回り方向に順に配置されたステージ２２をステージＢ、Ｃ、Ｄとしたものに相当する。
【０１１２】
まず、ステップＳ１０−Ａに示すようにステージＡが配置されたロード／アンロード部５０は、クランプ５２を用いて加工前のワークをカセット９０から取り出してステージＡ（ステージ面２６）に搬送し（ワークをロード）、ステージＡに保持させる（ワークをステージＡにセット）する。
【０１１３】
なお、他のステージＢ〜Ｄが配置されている洗浄部２００、切削部１５０、アライメント部１００は何も実施しない。
【０１１４】
ステップＳ１０−Ａの処理が終了すると、次に、ステップＳ１２に示すようにステージ回転駆動部２０はステージＡ〜Ｄを回転軸Ｚ０周りに反時計回り方向に９０度回転させる。これよって、ステージＡは、アライメント部１００の位置に移動し、ステージＢ〜Ｄは、各々、ロード／アンロード部５０、洗浄部２００、切削部１５０の位置に移動する。
【０１１５】
次に、ステップＳ１４−Ａに示すようにステージＡが配置されたアライメント部１００は、顕微鏡１０２を用いてワークのアライメントを実施する。
【０１１６】
また、ステップ１４−Ａと併せて実施されるステップＳ１４−Ｂに示すようにステージＢが配置されたロード／アンロード部５０は、ステップＳ１０−Ａと同様にワークをロードし、ステージＢにセットする。
【０１１７】
なお、ステージＣ、Ｄが配置されている洗浄部２００、切削部１５０は何も実施しない。
【０１１８】
ステップＳ１４−Ａ及びステップＳ１４−Ｂの処理が終了すると、次に、ステップＳ１６に示すようにステージ回転駆動部２０はステージＡ〜Ｄを回転軸Ｚ０周りに反時計回り方向に９０度回転させる。これによって、ステージＡは、切削部１５０の位置に移動し、ステージＢ〜Ｄは、各々、アライメント部１００、ロード／アンロード部５０、洗浄部２００の位置に移動する。
【０１１９】
次に、ステップＳ１８−Ａに示すようにステージＡが配置された切削部１５０は、ステップＳ１４−Ａにおいて得られたアライメントの結果に基づいて、切削ユニット１５２を用いてワークの切削を実施する。
【０１２０】
また、ステップＳ１８−Ａと併せて実施されるステップＳ１８−Ｂ及びステップＳ１８−Ｃに示すように、ステージＢが配置されたアライメント部１００は、ステップＳ１４−Ａと同様に顕微鏡１０２を用いてワークのアライメントを実施し、ステージＣが配置されたロード／アンロード部５０は、ステップＳ１０−Ａと同様にワークをロードし、ステージＣにセットする。
【０１２１】
なお、ステージＤが配置されている洗浄部２００は何も実施しない。
【０１２２】
ステップＳ１８−Ａ、ステップＳ１８−Ｂ、及びステップＳ１８−Ｃの処理が終了すると、次に、ステップＳ２０に示すようにステージ回転駆動部２０はステージＡ〜Ｄを回転軸Ｚ０周りに反時計回り方向に９０度回転させる。これよって、ステージＡは、洗浄部２００の位置に移動し、ステージＢ〜Ｄは、各々、切削部１５０、アライメント部１００、ロード／アンロード部５０の位置に移動する。
【０１２３】
次に、ステップＳ２２−Ａに示すようにステージＡが配置された洗浄部２００は、ラインノズル２０２を用いてワークの洗浄を行う。
【０１２４】
また、ステップＳ２２−Ａと併せて実施されるステップＳ２２−Ｂ〜ステップＳ２２−Ｄに示すように、ステージＢが配置された切削部１５０は、ステップＳ１８−Ａと同様にステップＳ１８−Ｂにおいて得られたアライメントの結果に基づいて、切削ユニット１５２を用いてワークの切削を実施し、ステージＣが配置されたアライメント部１００は、ステップＳ１４−Ａと同様に顕微鏡１０２を用いてワークのアライメントを実施し、ステージＤが配置されたロード／アンロード部５０は、ステップＳ１０−Ａと同様にワークをロードし、ステージＤにセットする。
【０１２５】
ステップＳ２２−Ａ〜ステップＳ２２−Ｄの全ての処理が終了すると、次に、ステップＳ２４に示すようにステージ回転駆動部２０はステージＡ〜Ｄを回転軸Ｚ０周りに反時計回り方向に９０度回転させる。これよって、ステージＡは、ロード／アンロード部５０の位置に移動し、ステージＢ〜Ｄは、各々、洗浄部２００、切削部１５０、アライメント部１００の位置に移動する。
【０１２６】
次に、ステップＳ２６−Ａに示すようにステージＡが配置されたロード／アンロード部５０は、クランプ５２を用いて加工後（全ての処理が終了した後）のワークをステージＡから取り外してカセット９０に搬送して（ワークをステージＡからアンロード）、カセット９０に収納する。また、ステップＳ１０−Ａと同様に未加工の新たなワークをロードし、ステージＡにセットする。
【０１２７】
また、ステップＳ２６−Ａと併せて実施されるステップＳ２６−Ｂ〜ステップＳ２６−Ｄに示すように、ステージＢが配置された洗浄部２００は、ステップＳ２２−Ａと同様にラインノズル２０２を用いてワークの洗浄を行う。ステージＣが配置された切削部１５０は、ステップＳ１８−Ａと同様にステップＳ２２−Ｃにおいて得られたアライメントの結果に基づいて、切削ユニット１５２を用いてワークの切削を実施し、ステージＤが配置されたアライメント部１００は、ステップＳ１４−Ａと同様に顕微鏡１０２を用いてワークのアライメントを実施する。
【０１２８】
以上の処理の後は、ステージＡに対して及びステージＡの位置において、ステップＳ１２、ステップＳ１４−Ａ、・・・、ステップＳ２６−Ａの処理が繰り返し実施される。ステージＢ〜ステージＤに対して及びステージＢ〜ステージＤの位置においては、ステージＡに対して及びステージＡの位置において実施された処理が２処理分ずつ遅れて実施される。
【０１２９】
以上、上記実施の形態では、ステージ回転駆動部２０に４つのステージ２２を配置したが、必ずしも４つに限らず１つのステージ２２のみを設けた形態や４つ以外の複数のステージ２２を設けた形態であっても採用し得る。また、上記実施の形態では、ロード／アンロード部５０、アライメント部１００、切削部１５０（加工部）、洗浄部２００をダイシング装置１における処理部として設けた形態を示したが、これらの種類の処理部を設けた形態に限らず、少なくとも加工部を含む複数の処理部を設けた形態であれば良い。
【符号の説明】
【０１３０】
Ｗ…ワーク、Ｚ０…回転軸、１…ダイシング装置、１０…収容空間、１０Ａ…第１側面、１０Ｂ…第２側面、１０Ｃ…第３側面、１０Ｄ…第４側面、１０Ｅ…底面、１０Ｆ…上面、２０…ステージ回転駆動部、２２…ステージ、２４…中心軸、２６…ステージ面、３０…ステージ軸部、３２…側面、４０…ステージ回転軸部材、５０…ロード／アンロード部、５２…クランプ、１００…アライメント部、１０２…顕微鏡、１５０…切削部、１５２…切削ユニット、１５６…ブレード、１５８…スピンドルハウジング、２００…洗浄部、２０２…ラインノズル、２３０…オイルパン
【図１】
2015162582.tif 000003
【図２】
2015162582.tif 000004
【図３】
2015162582.tif 000005
【図４】
2015162582.tif 000006
【図５】
2015162582.tif 000007
【図６】
2015162582.tif 000008
【図７】
2015162582.tif 000009