(57)【要約】      （修正有）【課題】振れ角の大きい圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】圧電ミラー素子Ｘ１は、圧電素子２と、圧電素子２に接着剤層を介して接合されている支持部４と、光を反射させるための反射部８と、支持部４と反射部８とを連結している連結部６とを備えた圧電ミラー素子Ｘ１であって、反射部８と支持部４とは、連結部６を介して搖動可能に接合されており、支持部４の圧電素子２と接合されている部位に、接着剤層の接着剤を逃がす凹部または貫通孔が配置されていることを特徴とする。【選択図】図１
2015125274.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、
該圧電素子に接着剤層を介して接合されている支持部と、
光を反射させるための反射部と、
前記支持部と前記反射部とを連結している連結部とを備えた圧電ミラー素子であって、
前記反射部と前記支持部とは、前記連結部を介して搖動可能に接合されており、
前記支持部の前記圧電素子と接合されている部位に、前記接着剤層の接着剤を逃がす凹部または貫通孔が配置されていることを特徴とする圧電ミラー素子。
【請求項２】
前記支持部が導電性を有しており、
前記圧電素子の、前記支持部と接合されている面に、導電粒子が焼結してなる電極が配置されており、
前記電極の一部が前記接着剤層を貫通することで、前記電極と前記支持部とが電気的に接続されていることを特徴とする請求項１に記載の圧電ミラー素子。
【請求項３】
前記支持部が導電性を有しており、
前記圧電素子の、前記支持部と接合されている面に、電極が配置されており、
前記凹部または前記貫通孔の内面と、前記凹部または前記貫通孔に面した前記電極とが、前記凹部または前記貫通孔内に配置された導通部で、電気的に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧電ミラー素子。
【請求項４】
前記支持部が金属製であり、前記貫通孔が両側エッチィングで加工されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電ミラー素子。
【請求項５】
前記支持部は一方方向に長い平板状であり、
前記支持部は、前記一方方向の両端部でそれぞれ枠体に接合されており、
前記連結部は、前記支持部の前記一方方向の中央部に接合されており、
前記支持部の前記一方方向における、中央部から一方の端部までの間の主面、および中央部から他方の端部までの間の主面に、それぞれ少なくとも１つの前記圧電素子が接合されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電ミラー素子。
【請求項６】
前記導通部を有する前記凹部または前記貫通孔が、前記支持部の前記一方方向における中央部から一方の端部までの間をそれぞれ３等分した場合の一方の端部側１／３の領域、および前記支持部の前記一方方向における中央部から他方の端部までの間をそれぞれ３等分した場合の他方の端部側１／３の領域に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の圧電ミラー素子。
【請求項７】
前記導通部を有しない前記凹部または前記貫通孔が、前記支持部の前記一方方向における中央部から一方の端部までの間をそれぞれ３等分した場合の一方の中央の１／３の領域、および記支持部の前記一方方向における中央部から他方の端部までの間をそれぞれ３等分した場合の中央の１／３の領域に配置されていることを特徴とする請求項５または６に記載の圧電ミラー素子。
【請求項８】
前記支持部の平面形状が前記一方方向に伸びる仮想直線に対して線対称であり、前記凹部または前記貫通孔は、前記仮想直線に対して線対称に配置さていることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の圧電ミラー素子。
【請求項９】
光源と、請求項１〜８のいずれかに記載の圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源からの光を、方向を変えながら外部に放射する光学系を備えていることを特徴とする電子機器
。
【請求項１０】
光源と、感光体と、請求項１〜８のいずれかに記載の圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源から出る光で前記感光体を走査する光学系と、前記感光体に静電潜像を形成するように前記光源および前記光学系を制御する制御部と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部とを備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
反射部を動かして、反射する光の方向を変えることができるミラー素子は、レーザプリンタ、プロジェクタなどに用いられている。
【０００３】
圧電アクチュエータを用いた圧電ミラー素子としては、反射部をトーションバー（連結部）で搖動可能に支えて、トーションバーを支えている支持部に取りつけた圧電素子を伸縮させることで、トーショバーをねじるように動かすことで、反射鏡を回転させるものが知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７１７８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されているような圧電ミラー素子では、支持部に対して、スパッタなどで導電層を形成しているが、製造工程が複雑になる。支持部と圧電素子とを接着剤で接合すれば、工程は簡略化できるが、接着剤層が厚くなり、反射部の振れ角が小さくなることがあった。
【０００６】
したがって、本発明の目的は、振れ角の大きい圧電ミラー素子、およびそれを用いた電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電ミラー素子は、圧電素子と、該圧電素子に接着剤を介して接合されている支持部と、光を反射させるための反射部と、前記支持部と前記反射部とを連結している連結部とを備えた圧電ミラー素子であって、前記反射部と前記支持部とは、前記連結部を介して搖動可能に接合されており、前記支持部の前記圧電素子と接合されている部位に、前記接着剤を逃がす凹部または貫通孔が配置されていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の電子機器は、前記圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源からの光を、方向を変えながら外部に放射する光学系を備えていることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の電子機器は、光源と、感光体と、請求項１〜８のいずれかに記載の圧電ミラー素子を含んでおり、前記光源から出る光で前記感光体を走査する光学系と、前記感光体に静電潜像を形成するように前記光源および前記光学系を制御する制御部と、前記静電潜像を記録媒体に転写する転写部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の圧電ミラー素子によれば、接着剤の層を薄できるので、反射部の振れ角を大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態の圧電ミラー素子の平面図である。
【図２】（ａ）図１の圧電ミラー素子の一部である支持部の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図であり、（ｃ）は、本発明の他の実施形態の圧電ミラー素子の支持部の平面図である。
【図３】本発明の電子機器の位置実施形態であるレーザプリンタの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は、本発明の一実施形態の圧電ミラー素子Ｘ１の平面図である。図２（ａ）は、圧電ミラー素子Ｘ１の一部である、支持部４および圧電素子２の平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＸ−Ｘ線に沿った縦断面図である。なお、図２（ａ）では、図が複雑になるため、圧電素子２の下側にあり、鎖線で描くべき貫通孔４ａ、４ｂ、凹部４ｃの一部を実線で描いている。
【００１３】
圧電ミラー素子Ｘ１は、光を反射させる反射面を有する反射部８を備えている。反射部８の反射面には、例えばＡｕやＡｌ等の金属薄膜による反射膜が蒸着やスパッタなどにより形成されており、反射率が高くなっている。
【００１４】
反射部８の両側には一対のトーションバー（連結部）６が接続されている。トーションバー６が１対であると、反射部８の搖動の軸が定まり易いので好ましいが、トーションバー６は１つでもかまわない。トーションバー６の、反射部８と接続されている端部と反対側の端部は、支持部４の中央部に接続されている。
【００１５】
支持部４は一方方向に長い平板形状を有しており、トーションバー６が繋がっている中央部の両側に２つの圧電素子２が接続されている。圧電素子２は、支持部４の主面に接着材層８を介して接合されている。支持部４としては金属などの導電性のあるものが用いられ、圧電素子２に電圧を加えるための、一方の電位とするために使用される。２つの圧電素子２は、支持部４の同じ側の主面に積層されている。支持部４の長手方向の両端は、中央が開口した枠体１０に接合されて固定されている。
【００１６】
反射部８の反射面以外の基体部分、トーションバー６、支持部４、枠体１０の一部はステンレスなどの金属板をエッチングして一体形成されており、厚みは５０〜１００μｍのものを用いる。枠体１０については、中央部が開口した同型のものを、複数枚を接着積層して、厚みを２００μｍ程度に厚くして、剛性を高くしている。
【００１７】
圧電素子２は、平板状の圧電セラミックスなどの圧電体２ａの上側の主面の略全面に上部電極２ｂが形成されており、下側の主面の略全面に下部電極２ｃが形成されており、上部電極２ｂと下部電極２ｃとは、互いに対向するようになっている。圧電素子２として圧電体２ａが複数積層されていて、内部にも電極が配置されているものを用いてもよい。圧電素子２の厚みは、下部電極２ｃを除いた厚さ（すなわち、上部電極２ｂの上部からの圧電体２ａと下部電極２ｃの界面までの厚さ）で、２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以下にすることで、撓み量を大きくでき、反射部８の振れ角も大きくできる。圧電体２ａとしては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を用いることができる。
【００１８】
上部電極２ｂおよび下部電極２ｃとしては、Ａｕ、Ｐｔ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕなどを単独、あるいは組み合わせて使用することができる。支持板４と接着される側の電極である下部電極２ｃは、導電粒子が焼結したものにすることが好ましい。上部電極２ｂおよび下部電極２ｃの厚さは、２μｍ以下、好ましくは１μｍ以下とすれば撓み量を大きくできる。また、厚さは０．１μｍ以上、好ましくは０．５μｍ以上にすることで導通が確保しやすくできる。だだし、この厚さは、下部電極２ｃについては、後述の突起２ｃ−１の部分を
除いた厚さである。なお、上部電極２ｂにも同様な突起がある場合も、その突起の部分を除いた厚さである。
【００１９】
圧電素子２は接着剤層１３を介して支持部４に接着されている。接着剤層１３としてはエポキシ系などの樹脂接着剤を用いることができる。接着剤層１３は塗布量をコントロールするとしても、薄く形成するのが難しく、接着剤層１３の厚さが厚くなると撓み量が少なくなる。薄い接着剤層１３を形成するために、支持部４の圧電素子２が接合される部位に、貫通孔４ａ、４ｂ、あるいは凹部４ｃを形成する。接合前に塗布された接着剤は、圧電素子２と支持部４とを積層するときに、一部が貫通孔４ａ、４ｂ、あるいは凹部４ｃに流れ込むことで、接着剤層１３の厚さを薄くできる。なお、接着剤を支持部４側に塗布すれば、貫通孔４ａ、４ｂ、あるいは凹部４ｃの部分には接着剤か供給されなくなり、その分撓み量を大きくできるので好ましい。
【００２０】
また、下部電極２ｃに下部電極２ｃの一部である導電粒子により突起２ｃ−１を形成しておけば、下部電極２ｃと支持部４とは、突起２ｃ−１が接着剤層１３を貫通することにより導通させることができる。突起２ｃ−１は、接着された後において、高さ０．５〜２μｍ、直径０．５〜１０μｍ程度であり、焼結した導電粒子１つ、あるいは多くても十数個程度が含まれる。図２（ｂ）のｈは、接着剤層１３の厚さであり、接着後の突起２ｃ−１の高さである。
【００２１】
下部電極２ｃがなくても圧電体２ａに電圧を加えることはできるが、間に圧電性のない接着剤層１３が入ることになり、電圧が圧電体２ａに集中しなくなるため、撓み量が小さくなる上、接着剤層１３の厚さが撓み特性に大きく影響するようになるので、安定した性能で作製するのが難しくなる。接着剤層１３の厚さが５μｍであると、厚さが２μｍである場合と比較して、撓み量は２０％以上低下するので、接着剤層１３は２μｍ以下であるのが好ましい。接着剤層１３がより薄くなれば、撓み量はより大きくなるが、２μｍより薄くしてもその効果は比較的小さい。薄くなると接着の信頼性が低下するので、接着剤層１３は０．５〜２μｍとするのが好ましい。さらに、下部電極２ｃを設ければ、圧電素子２を分極処理した後、実装する工程にすることができるので、大きな圧電素子素体を作り、それを分極後切断して圧電素子２とすれば、工程を簡略化できる。
【００２２】
なお、圧電素子２と支持部４との接合を、導電性接着剤で行なうと、導電性は、接着剤中の数μｍのフィラーで実現されるため、安定した導通を得るためには、導電性接着剤の層の厚さは５μｍ以上になるので、撓み量が小さくなり、反射部８の振れ角も小さくなってしまう。
【００２３】
そこで、上述のように、下部電極２ｃを、導電粒子が焼結したものとし、一部の導電粒子が突起２ｃ−１となっているようにすれば、２μｍ以下の接着剤層１３でも、接合の信頼性が向上し、撓み振動させた場合であっても、安定した導通が得られるので、駆動耐久性が向上する。突起２ｃ−１は、例えば、焼成前に、他の導電粒子よりも大きい導電粒子を少量入れておくことで作製できる。また、導電粒子の焼結を進めるガラスなどを、少量かつ大きな粒径で入れることで、そのガラスなどがある部分の周囲で局所的に焼結が進むようにしてもよい。接続信頼性をさらに高くするため、圧電素子２の外周に近い部分の下部電極２ｃの突起２ｃ−１が、下部電極２ｃの中央部より突起２ｃ−１の密度が高いか、突起２ｃ−１の高さが高いかのいずれか一方、あるいは両方であることが好ましい。このような下部電極２ｃは、突起２ｃ−１となる導電粒子の割合や大きさを変えた電極ペーストを別々に印刷して形成すればよい。
【００２４】
接着積層後の、下部電極２ｃと接着剤層１３とを合わせた厚さ（これは突起２ｃ−１を含めた場合の接着積層後の下部電極２ｃの厚さでもある）、は４μｍ以下、特に３μｍ以
下にすれば、たわみ量を大きくできる。
【００２５】
下部電極２ｃと支持体４との電気的接続は、貫通孔４ａ内に塗布された導電性樹脂などの導電部１５ａや、凹部４ｃ内に塗布された導電性樹脂などの導電部１５ｂで行なうこともできる。導電部１５ａ、１５ｂは、貫通孔４ａあるいは凹部４ｃの内面と下部電極２ｃとを電気的に接続している。圧電素子２と支持体４とを接合した後でも、貫通孔４ａは、支持体４の下側に主面に開口しており、凹部４ｃは、支持体４の圧電素子２が積層されていない部位に開口している。そのため、その開口から導電性樹脂などを塗布して導電部１５ａ、１５ｂを形成することができる。図２（ｂ）では、貫通孔４ａあるいは凹部４ｃの内部の一部に導電部１５ａ、１５ｂが形成されているが、貫通孔４ａあるいは凹部４ｃ全体に充填してもよい。全体に充填することで、導電部１５ａ、１５ｂの塗布量のばらつきを小さくでき、ひいては撓み量のばらつきを小さくできる。導電部１５ａ、１５ｂは、エポキシ樹脂に銀粒子が混合されたものなどを用いることができ、ヤング率２ｋＮ／ｃｍ２以下の柔らかいものを用いることで撓み量を大きくできる。
【００２６】
また、貫通孔４ａは、支持部４を金属製にし、両方の面からエッチングする両面エッチングで形成するのが好ましい。このように形成することで、貫通孔４ａの大きさが、支持部４の厚さの中央付近のもっとも小さくなり、そこから両方の面に向かって大きくなる断面形状になる。このような形状にすると、断面において下部電極４ｃと貫通孔４ａの内壁の成す角度が鋭角になるので、製造時に導電部１５ａが保持されやすく、接続後の接続強度も強くできる。上側に向かって大きくなる片側エッチングでは、導電部１５ａが貫通孔４ａの内壁の広い範囲に広がるので、導電部１５ａと下部電極４ｃと接触する面積が小さくなってしまい、電気的接合の信頼性が低くなってしまう。下側に向かって大きくなる片側エッチングでは、断面において下部電極４ｃと貫通孔４ａの内壁の成す角度が鈍角になるので、製造時に導電部１５ａが保持され難く、導電部１５ａが貫通孔４ａの内壁の広い範囲に広がるので、導電部１５ａ下部電極４ｃと接触する面積が小さくなってしまい、電気的接合の信頼性が低くなってしまう。
【００２７】
また、エッチィングする際の両面の開口径については、上面の開口径より、下面の開口径を大きくすれば、導電部１５ａが塗布し易くなるので好ましい。
【００２８】
貫通孔４ａは導電部１５ａが形成されており、貫通孔４ｂは導電部１５ａが形成されていない。これらの配置について説明する。
【００２９】
図２（ａ）の支持部４では、トーションバー６が接合されている支持部４の長手方向の中央部がＣであり、図の左側で支持部４と枠体１０とが接合されている部分がＡ３、図の右側で支持部４と枠体１０とが接合されている部分がＢ３である。Ａ１はＣからＡ３までの長さの１／３の位置にあり、Ａ２は２／３の位置である。Ｂ１はＣからＢ３までの長さの１／３の位置にあり、Ｂ２は２／３の位置である。
【００３０】
支持部４のＡ３−Ｃ間が上側に撓む場合について説明する。支持部４は、Ａ３−Ａ２間では変形して徐々に上に向かい、Ａ２−Ａ１間では上から下に屈曲するように変形し、Ａ１−Ｃ間では徐々に下に向かう。Ｃの上下方向の位置はＡ３とほぼ同じになり、Ｃ−Ｂ１間では徐々に下に向かい、Ｂ１−Ｂ２間では下から上に屈曲するように変形し、Ｂ２−Ｂ３では変形して徐々に上に向かう。つまり、支持部３のＣ−Ａ３間およびＣ−Ｂ３間において中央の１／３の領域で屈曲がもっとも大きくなる。
【００３１】
中央の１／３の領域では、導電部１５ａが設けられていない貫通孔４ｂを配置することで、貫通孔４ｂがあることで撓みや易くなり、撓み量を大きくできるとともに、導電部１５ａがないことで導電部１５ａの塗布量の差などにより製品間で生じるおそれのある撓み
量（振れ角）のばらつきを小さくできる。
【００３２】
枠体１０側の１／３の領域（より正確には、その中で圧電素子２と支持部４とが重なっている領域）に導電部１５ａが設けられている貫通孔４ａを配置することで、貫通孔４ｂがあることで撓みや易くなり、撓み量を大きくできるとともに、導電部１５ａにより導通が取れる。導電部１５ａの塗布量の差などにより、製品間で撓み量（振れ角）のばらつきが生じるおそれはあるが、中央の１／３の領域に導電部１５ａを形成すよりは影響を小さくできる。なお、Ｃ側の１／３の領域には貫通孔４ａも貫通孔４ｂも配置しないのが好ましい。この部分が柔らかくなりすぎると圧電素子２で生じた屈曲がトーションバー６の振れ角になるように伝わり難くし、かえって振れ角が小さくなってしまうことがある。
【００３３】
凹部４ｃにより導通を取る場合も、凹部４ｃを圧電素子２の枠体側に設けることで、導電部１５ｂの塗布量のばらつきによる、製品間の撓み量（振れ角）のばらつきを小さくできる。
【００３４】
また、支持部４は、支持部４の長手方向に沿った仮想直線Ｌに線対称な形状にすることで反射部８に、図１の左右方向に振れる以外の運動成分が生じ難くなるので好ましい。貫通孔４ａ、４ｂ、凹部４ｃの形状および配置を仮想直線Ｌに対して線対称にすることで、反射部８に、図１の左右方向に振れる以外の運動成分が生じ難くなるので好ましい。
【００３５】
圧電素子２の上部電極２ｂは、枠体１０あるいは支持部４の上に形成した絶縁層の上に形成した配線（不図示）などにワイヤーボンディングなどで接合される。これにより、この配線と、支持部４との間に電圧を加えれば、圧電素子２が圧電変形する。圧電素子２は厚み方向に分極されており、電圧を加えると、平面方向に伸縮し、支持部４は長さが変わらないので、支持部４は撓むように変形する。１つの支持部４に設けられている２つの圧電素子２が逆側に撓むように電圧を加えれば、トーションバー６が接続されている付近の支持部４はねじれるように変形し、トーションバー６を回転させることで、反射部８を回転させることができる。これにより、反射部８に入射する光の方向を変えることができる。
【００３６】
さらに、詳細に説明すると、圧電素子２−１〜２−４の上部電極２ｂと下部電極間２ｃには、分極反転が生じない範囲の交流電圧を印加する。圧電素子２−１の長手方向に伸長させる駆動電圧を印加するとともに、この駆動電圧と逆位相の駆動電圧を圧電素子２−２に印加して収縮させることにより、圧電素子２−１側の支持部４は下方に湾曲する一方、圧電素子２−２側の支持部４は上方に湾曲する。同様に、圧電素子２−３および２−４に対しても、それぞれ圧電素子２−１および４−２と同位相の駆動電圧を印加することにより支持部４を下方と上方に湾曲させる。これによりトーションバー６を介して反射部８には回転トルクが生じて傾くことになる。上記駆動電圧を印加する電圧を逆にすると、反射部８は上記傾きとは逆に傾くことになる。このように交流の駆動電圧に追従した上下方向の振動により反射部８は所定の角度の範囲で揺動させることができる。
【００３７】
図２（ｃ）は、本発明の他の実施形態である圧電ミラー素子における支持部１０４の平面図である。図２（ａ）の支持部４に相当する部位である。なお、図２（ｃ）では、図が複雑になるため、圧電素子２の下側にあり、鎖線で描くべき溝（凹部）４ｄの一部を実線で描いている。
【００３８】
支持部１０４には、支持部１０４の長手方向と直交する方向に沿って溝４ｄが伸びている。これにより、支持部１０４は長手方向に屈曲しやすくなり、振れ角を大きくできる。また、支持部１０４の長手方向に関して、屈曲しやすくなっていることにより、反射部８が、図２（ｃ）の左右方向に搖動する以外の運動が生じ難くできる。下部電極２ｃと支持
部１０４との導通は、接着剤層を貫通する突起２ｃ−１で行なってよいし、溝４ｄに導電部１５ｂを充填して行ってもよい。導電部１５ｂで導通をとる場合、上述した実施形態同様にＡ１−Ａ２間およびＢ１−Ｂ２間には導電部１５ｂを設けず、Ａ２−Ａ３間、Ｂ２−Ｂ３間に導電部１５ｂを設けるのが好ましい。特に一番枠体１０に近い溝４ｄのみに導電部１５ｂを設ければ、撓み量（振れ角）を大きくできるとともに、製品間の撓み量（振れ角）のばらつきを小さくできる。
【００３９】
本実施の形態では支持部４の片面に圧電素子が配置されたユニモルフ構造で説明しているが、支持部４の両面に圧電素子を配置したバイモルフ構造としてもよい。
【００４０】
以上のような圧電ミラー素子は、例えば、以下のようにして作製する。ロールコータ法、スリットコーター法などの一般的なテープ成形法により、圧電性セラミック粉末と有機組成物からなるテープの成形を行ない、焼成後に圧電体２ａとなるグリーンシートを作製する。
【００４１】
グリーンシートを焼成し、焼成後、両面に上部電極２ｂおよび下部電極２ｃとなる、金属の導電粒子を含む電極ペーストをスクリーン印刷して、焼成し、焼き付ける。その後、圧電体２ａを短冊状に切断して、圧電素子２を作製する。上部電極２ｂおよび下部電極２ｃは、グリーンシートに塗布して同時焼成してもよい。下部電極２ｃとなる導電ペーストに、導電粒子は平均０．１〜０．５μｍ程度とし、少量の２μｍ程度の導電粒子を含ませておけば、焼成後の下部電極２ｃには、平均的な下部電極４の表面より０．５〜２μｍ程度の、導電粒子の突起２ｃ−１が形成される。突起２ｃ−１は、少量のガラスを添加して、そのガラスの周囲の導電粒子が焼結し易くすることで形成してもよい。
【００４２】
次に、圧延法等により得られプレートを、枠体１０、支持部４、トーションバー６、反射部８と形状になるようエッチングする。枠体１０については、複数のプレートを接着積層して、厚くして、強度を高める。反射部８については、反射膜として、Ａｌなどを蒸着する。
【００４３】
支持部４上に接着剤を塗布し、４つの圧電素子２を積層して加熱加圧する。この際、接着剤が貫通孔４ａ、４ｂ、凹部４ｃに流れ込むので接着剤層１３の厚さを薄くできる。また、接着剤層１３の厚さを薄くできるので、突起２ｃ−１が、接着剤層１３を貫通して、圧電素子２の下部電極２ｃと支持部４とが、突起２ｃ−１により導通しやすくなる。加熱し、積層圧力を加えることで、接着剤層１３が柔らかくなった状態で突起２ｃ−１が変形して支持部４に当たり、冷えて接着剤層１３が固くなることで、当たった部分が抑え込まれて、接続が強固になる。この際、他より突起の高さ高かった突起２ｃ−１は大きく変形し、横方向に大きくなり、接続をより強固にする。接続をより強固にするために、接合する際に、超音波振動を加えてもよい。
【００４４】
その後、必要に応じて、貫通孔４ａあるいは凹部４ｃ内に導電性樹脂を塗布して硬化させて、下部電極２ｃと支持部４と間に導通をとる。続いて、上部電極２ｃと支持部との間で電圧を加えて圧電体２ａを分極させて、圧電ミラー素子Ｘ１を得る。
【００４５】
下部電極２ｃと支持部４を電気的に接続することで、上部電極２ｂと支持部４との間に電圧を加えて、圧電素子２を伸縮させ、圧電ミラー素子Ｘ１を駆動し、反射部８を搖動させることができる。駆動は、支持部４をグランド電位として、これに対して、圧電素子２−１、２−３と、圧電素子２−２、２−４とに逆位相の電圧を加える。圧電素子２−１、２−３と、圧電素子２−２、２−４の分極方向を逆にしておけば、全てに同じ位相で電圧を加えることで、搖動させることができるので、制御がし易い。
【００４６】
続いて、図３を用いて圧電ミラー素子Ｘ１を用いた印刷装置であるレーザプリンタＺ１について説明する。レーザプリンタＺ１は、光源２２と、感光体２８と、圧電ミラー素子Ｘ１と、光源２２から出射された光を感光体２８に反射する凹面鏡２６と、感光体２８に静電潜像を形成するように、光源２２および圧電部品Ｘ１を制御する制御部３０と、静電潜像を記録媒体３４に転写する転写部（不図示）と、を備えている。
【００４７】
レーザプリンタＺ１は、画像を形成するための変調信号を入力した光源２２からレーザを圧電部品Ｘ１に照射する。圧電部品Ｘ１の反射部（不図示）に入射した光は、反射部により反射される。この際、制御部３０は、反射部の角度に合わせてレーザの照射をオンあるいはオフすることで、特定の範囲にレーザが向かい、他の範囲にはレーザが向かわないように制御する。このように走査されたレーザは、凹面鏡２６により反射されて感光体２８に出射され、照射された感光体２８の部位の電位を変化させる。これにより感光体２８の特定部位の電位が変わった状態にされ、感光体２８に静電潜像が形成される。
【００４８】
感光体２８には、電位の変化に起因する静電気力によりトナーが付着される。静電潜像に対応し形成された感光体２８のトナーの画像は、感光体２８とは逆の電圧が掛けられた転写部により記録媒体Ｐに複写される。このようにして、レーザプリンタＺ１は、記録媒体３４に印刷を行う。
【００４９】
上述の説明において、光源２２、圧電部品Ｘ１および制御部３０は、レーザにより空間を走査する光学系をなしている。光学系に圧電部品Ｘ１を２つ使えば、レーザをＸ、Ｙの平面にわたって走査する光学系が構成で、プロジェクタなどの投影型表示装置に用いることができる。
【符号の説明】
【００５０】
Ｘ１・・・圧電ミラー素子
Ｚ１・・・レーザプリンタ
２・・・圧電素子
２ａ・・・圧電体
２ｂ・・・上部電極
２ｃ・・・下部電極
２ｃ−１・・・導電粒子の突起
４、１０４・・・支持部
４ａ・・・貫通孔（導電部有）
４ｂ・・・貫通孔（導電部無）
４ｃ・・・凹部
４ｄ・・・凹部（凹部）
６・・・トーションバー（連結部）
８・・・反射部
１０・・・枠体
１３・・・接着剤層
１５ａ、１５ｂ・・・導電部
【図１】
2015125274.tif 000003
【図２】
2015125274.tif 000004
【図３】
2015125274.tif 000005