(57)【要約】【課題】ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器、かかる原子発振器を得ることができる原子発振器の周波数調整方法、および、かかる原子発振器を備える電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】本発明の原子発振器３１は、金属原子と緩衝ガスとが封入されたガスセル３２と、ガスセル３２内の前記金属原子を励起する光を出射する光源３３と、ガスセル３２を透過した光を検出する光検出部（受光部）３５とを備え、緩衝ガスは、ネオン（Ｎｅ）とアルゴン（Ａｒ）とを含み、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属原子と緩衝ガスとが封入されているガスセルと、
前記ガスセル内の前記金属原子を励起するための光を出射する光源と、
前記ガスセルを透過した前記光を検出する受光部と、を備え、
前記緩衝ガスは、ネオン（Ｎｅ）とアルゴン（Ａｒ）とを含み、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さいことを特徴とする原子発振器。
【請求項２】
前記金属原子は、セシウム（Ｃｓ）を含む請求項１に記載の原子発振器。
【請求項３】
前記Ｎｅに対する前記Ａｒの圧力比率は、０．００１以上、０．０５以下の範囲内にある請求項１または２に記載の原子発振器。
【請求項４】
前記ガスセルは、その内部の圧力が、８０Ｔｏｒｒ以上、１５０Ｔｏｒｒ以下の範囲内にある請求項１ないし３のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項５】
前記ガスセルを加熱する加熱部を備えており、
前記ガスセルは、その内部の温度が、５０℃以上、９０℃以下の範囲内に設定される請求項１ないし４のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項６】
前記ガスセルは、その内壁の表面積が、０．０６ｃｍ２以上、６ｃｍ２以下の範囲内にある請求項１ないし５のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項７】
金属原子、ネオン（Ｎｅ）、およびアルゴン（Ａｒ）が封入されたガスセルを備える原子発振器の周波数調整方法であって、
前記Ｎｅと前記Ａｒとを含むガスを、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている状態で、前記ガスセル内に封入することを特徴とする原子発振器の周波数調整方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原子発振器を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原子発振器を備えることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、原子発振器、原子発振器の周波数調整方法、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、基準周波数を発振する発振源として原子発振器が知られている。
この原子発振器は、ガス状のアルカリ金属原子を封入したガスセルに励起光を照射してその透過光を観測することで基準周波数を得ている。
例えば、波長の異なる２種類の共鳴光（励起光）１、２による量子干渉効果（ＣＰＴ：Coherent Population Trapping）を利用した原子発振器では、アルカリ金属に対して共鳴光１、２を照射すると、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）に応じて、共鳴光１、２のアルカリ金属における光吸収率（光透過率）が変化する。そして、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）が基底状態１と基底状態２とのエネルギー差に相当する周波数ω０に一致したとき、基底状態１、２から励起状態への励起がそれぞれ停止する。このとき、共鳴光１、２は、いずれも、アルカリ金属に吸収されずに透過する。そのため、ガスセルを透過する透過光の透過光強度が急峻に上昇することから、このような急峻な信号としてＥＩＴ信号が検出される。このＥＩＴ信号は、アルカリ金属の種類によって決まった固有値をもっているため、このようなＥＩＴ信号を基準周波数として用いることができる。
【０００３】
しかしながら、このＥＩＴ信号は、アルカリ金属の種類によって決まった固有値をもっているものの、ガス状をなすアルカリ金属原子が熱運動をし、その熱運動の影響で理想的な量子干渉が発生しにくくなるため、スペクトル幅が広がってしまう。
そこで、ガスセル中に、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ等のバッファーガスを封入し、これにより、熱運動を軽減させて、ＥＩＴ信号のスペクトル幅が広がらないようにする方法が提案されている。しかしながら、かかる方法、すなわち、ガスセル内にバッファーガスを封入した構成とすると、ガスセル内の温度変化により、ＥＩＴ信号（アルカリ金属の種類によって決まった固有値）がシフトする温度特性を有することが知られている。
そのため、このＥＩＴ信号のシフトを回避するために、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性を互いに打ち消す２種類のバッファーガスを所定の混合比でガスセル中に混合する手法がとられている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、アルカリ金属ガスとしてＣｓガスがガスセル内に封入されている場合、バッファーガスとしてＮｅを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が＋３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトし、バッファーガスとしてＡｒを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が−３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトする（特に、特許文献１の図２参照。）ことから、バッファーガスとしてのＮｅとＡｒとを、ガス比で１：１の混合比で、ガスセル中に混合する手法がとられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２４５８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、本発明者のさらなる検討により、前述の通り、バッファーガスとしてＮｅを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が＋３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトし、バッファーガスとしてＡｒを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が−３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトするものの、バッファーガスとしてＮｅとＡｒとの混合ガスを封入すると、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性にズレが生じることが判ってきた。特に、このようなズレが生じる傾向は、原子発振器（ガスセル）を小型化した際に、より顕著に認められることが判ってきた。
本発明は、かかる問題点に鑑み、検討がなされたものであり、その目的は、ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器、かかる原子発振器を得ることができる原子発振器の周波数調整方法、および、かかる原子発振器を備える電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例の原子発振器は、金属原子と緩衝ガスとが封入されているガスセルと、
前記ガスセル内の前記金属原子を励起するための光を出射する光源と、
前記ガスセルを透過した前記光を検出する受光部と、を備え、
前記緩衝ガスは、ネオン（Ｎｅ）とアルゴン（Ａｒ）とを含み、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さいことを特徴とする。
これにより、ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器とすることができる。
【０００８】
［適用例２］
本適用例の原子発振器では、前記金属原子は、セシウム（Ｃｓ）を含むことが好ましい。
アルカリ金属がセシウム（Ｃｓ）で構成される際に、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【０００９】
［適用例３］
本適用例の原子発振器では、前記Ｎｅに対する前記Ａｒの圧力比率は、０．００１以上、０．０５以下の範囲内にあることが好ましい。
これにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【００１０】
［適用例４］
本適用例の原子発振器では、前記ガスセルは、その内部の圧力が、８０Ｔｏｒｒ以上、１５０Ｔｏｒｒ以下の範囲内にあることが好ましい。
これにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【００１１】
［適用例５］
本適用例の原子発振器では、前記ガスセルを加熱する加熱部を備えており、
前記ガスセルは、その内部の温度が、５０℃以上、９０℃以下の範囲内に設定されることが好ましい。
ガスセルの温度がかかる範囲内に設定されている際に、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することで、ＥＩＴ信号のシフトの大きさをより顕著に小さくすることができる。
【００１２】
［適用例６］
本適用例の原子発振器では、前記ガスセルは、その内壁の表面積が、０．０６ｃｍ２以上、６ｃｍ２以下の範囲内にあることが好ましい。
このように小型化されたガスセルに本発明を適用することにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【００１３】
［適用例７］
本適用例の原子発振器の周波数調整方法は、金属原子、ネオン（Ｎｅ）、およびアルゴン（Ａｒ）が封入されたガスセルを備える原子発振器の周波数調整方法であって、
前記Ｎｅと前記Ａｒとを含むガスを、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている状態で、前記ガスセル内に封入することを特徴とする。
これにより、ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器を得ることができる。
【００１４】
［適用例８］
本適用例の電子機器は、本適用例の原子発振器を備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
［適用例９］
本適用例の移動体は、本適用例の原子発振器を備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る原子発振器を示す概略図である。
【図２】図１に示す原子発振器のガスセル内におけるアルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図である。
【図３】図１に示す原子発振器の光源および光検出部について、光源からの２つの光の周波数差と、光検出部での検出強度との関係を示すグラフである。
【図４】Ｎｅに対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係を示すグラフである。
【図５】ＧＰＳ衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の原子発振器を備える移動体（自動車）の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の原子発振器、原子発振器の周波数調整方法、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
１．原子発振器
図１は、本発明に係る原子発振器を示す概略図、図２は、図１に示す原子発振器のガスセル内におけるアルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図、図３は、図１に示す原子発振器の光源および光検出部について、光源からの２つの光の周波数差と、光検出部での検出強度との関係を示すグラフである。
【００１７】
原子発振器３１は、ガス状のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属の原子のエネルギー遷移に基づいて基準周波数を発振するものである。
本実施形態では、この原子発振器３１は、波長の異なる２種類の光による量子干渉効果（ＣＰＴ：Coherent Population Trapping）を利用した原子発振器であり、図１に示すように、ガスセル（原子セル）３２と、光源（光出射部）３３と、光学部品３４１、３４２、３４３、３４４と、光検出部（受光部）３５と、ヒーター（加熱部）３６と、温度センサー３７と、コイル３８と、制御部３９とを備える。
【００１８】
まず、量子干渉効果を利用した原子発振器３１が備える各部の構成を説明するのに先立って、その原子発振器３１の原理について簡単に説明する。
原子発振器３１では、ガスセル３２内に、ガス状のルビジウム、セシウム、ナトリウム等のアルカリ金属（金属原子）が封入されている。
アルカリ金属は、図２に示すように、３準位系のエネルギー準位を有しており、エネルギー準位の異なる２つの基底状態（基底状態１、２）と、励起状態との３つの状態をとり得る。ここで、基底状態１は、基底状態２よりも低いエネルギー状態である。
【００１９】
このようなガス状のアルカリ金属に対して周波数の異なる２種の共鳴光１、２を前述したようなガス状のアルカリ金属に照射すると、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）に応じて、共鳴光１、２のアルカリ金属における光吸収率（光透過率）が変化する。
そして、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）が基底状態１と基底状態２とのエネルギー差に相当する周波数ω０に一致したとき、基底状態１、２から励起状態への励起がそれぞれ停止する。このとき、共鳴光１、２は、いずれも、アルカリ金属に吸収されずに透過する。このような現象をＣＰＴ現象または電磁誘起透明化現象（ＥＩＴ：Electromagnetically Induced Transparency）と呼ぶ。
【００２０】
光源３３は、ガスセル３２に向けて、前述したような周波数の異なる２種の光（共鳴光１および共鳴光２）を出射する。
ここで、例えば、共鳴光１の周波数ω１を固定し、共鳴光２の周波数ω２を変化させていくと、共鳴光１の周波数ω１と共鳴光２の周波数ω２との差（ω１−ω２）が基底状態１と基底状態２とのエネルギー差に相当する周波数ω０に一致したとき、光検出部３５の検出強度は、図３に示すように、急峻に上昇する。このような急峻な信号をＥＩＴ信号と呼ぶ。
このＥＩＴ信号は、アルカリ金属の種類によって決まった固有値をもっている。そのため、このようなＥＩＴ信号を基準として用いることにより、原子発振器が実現される。
【００２１】
また、原子発振器３１では、ガスセル３２内に、ガス状のアルカリ金属（金属原子）の他に、さらに、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等のバッファーガスが封入されている。
ここで、ＥＩＴ信号は、アルカリ金属の種類によって決まった固有値を示すものの、ガス状をなすアルカリ金属原子が熱運動をし、この熱運動の影響により、ＥＩＴ信号のスペクトル幅が広くなる傾向を示す。そこで、ガスセル３２内に、バッファーガスを封入する構成とすることで、熱運動を軽減させることができるため、ＥＩＴ信号のスペクトル幅が広がるのを的確に抑制または防止することができる。
【００２２】
以下、この原子発振器３１の各部を順次詳細に説明する。
［ガスセル］
ガスセル３２内には、ガス状のリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、フランシウムのアルカリ金属（金属原子）が封入され、かつ、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン等のバッファーガス（緩衝ガス）が封入されている。
【００２３】
図示しないが、ガスセル３２は、柱状の貫通孔を有する本体部と、その貫通孔の両開口を封鎖する１対の窓部とを有する。これにより、前述したようなアルカリ金属およびバッファーガスが封入される内部空間が形成され、この内部空間に、ガス状のアルカリ金属およびバッファーガスが封入される。
ここで、ガスセル３２の各窓部は、前述した光源３３からの励起光に対する透過性を有している。そして、一方の窓部は、ガスセル３２内へ励起光ＬＬが入射する入射側窓部であり、他方の窓部は、ガスセル３２内から励起光ＬＬが出射する出射側窓部である。
【００２４】
このようなガスセル３２の窓部を構成する材料としては、前述したような励起光に対する透過性を有していれば、特に限定されないが、例えば、ガラス材料、水晶等が挙げられる。
また、ガスセル３２の本体部を構成する材料は、特に限定されず、金属材料、樹脂材料等であってもよく、窓部と同様にガラス材料、水晶等であってもよい。
【００２５】
そして、各窓部は、本体部に対して気密的に接合されている。これにより、ガスセル３２の内部空間を気密空間とすることができる。
ガスセル３２の本体部と各窓部との接合方法としては、これらの構成材料に応じて決められるものであり、特に限定されないが、例えば、接着剤による接合方法、直接接合法、陽極接合法等を用いることができる。
また、このようなガスセル３２は、ヒーター３６により、所望の温度に調節することができ、例えば、５０℃以上、９０℃以下に温度調節される。
【００２６】
［光源］
光源３３は、ガスセル３２中のアルカリ金属原子を励起する励起光ＬＬを出射する機能を有する。
より具体的には、光源３３は、励起光ＬＬとして、前述したような周波数の異なる２種の光（共鳴光１および共鳴光２）を出射するものである。
共鳴光１は、ガスセル３２内のアルカリ金属を前述した基底状態１から励起状態へ励起し得るものである。一方、共鳴光２は、ガスセル３２内のアルカリ金属を前述した基底状態２から励起状態へ励起し得るものである。
【００２７】
この光源３３としては、前述したような励起光を出射し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、垂直共振器面発光レーザー（ＶＣＳＥＬ）等の半導体レーザー等を用いることができる。
このような光源３３は、後述する制御部３９の励起光制御部３９２に接続され、光検出部３５の検出結果に基づいて駆動制御される（図１参照）。
また、このような光源３３は、図示しない温度調節素子（発熱抵抗体、ペルチェ素子等）により、例えば、３０℃程度に温度調節される。
【００２８】
［光学部品］
複数の光学部品３４１、３４２、３４３、３４４は、それぞれ、前述した光源３３とガスセル３２との間における励起光ＬＬの軸上に設けられている。
本実施形態では、光源３３側からガスセル３２側へ、光学部品３４１、光学部品３４２、光学部品３４３、光学部品３４４がこの順に配置されている。
【００２９】
光学部品３４１は、レンズである。これにより、励起光ＬＬを無駄なくガスセル３２へ照射することができる。
また、光学部品３４１は、励起光ＬＬを平行光とする機能を有する。これにより、励起光ＬＬがガスセル３２の内壁で反射するのを簡単かつ確実に防止することができる。そのため、ガスセル３２内での励起光の共鳴を好適に生じさせ、その結果、原子発振器３１の発振特性を高めることができる。
【００３０】
光学部品３４２は、偏光板である。これにより、光源３３からの励起光ＬＬの偏光を所定方向に調整することができる。
光学部品３４３は、減光フィルター（ＮＤフィルター）である。これにより、ガスセル３２に入射する励起光ＬＬの強度を調整（減少）させることができる。そのため、光源３３の出力が大きい場合でも、ガスセル３２に入射する励起光を所望の光量とすることができる。本実施形態では、前述した光学部品３４２を通過した所定方向の偏光を有する励起光ＬＬの強度を光学部品３４３により調整する。
光学部品３４４は、λ／４波長板である。これにより、光源３３からの励起光ＬＬを直線偏光から円偏光（右円偏光または左円偏光）に変換することができる。
【００３１】
後述するようにコイル３８の磁場によりガスセル３２内のアルカリ金属原子がゼーマン分裂した状態において、仮に直線偏光の励起光をアルカリ金属原子に照射すると、励起光とアルカリ金属原子との相互作用により、アルカリ金属原子がゼーマン分裂した複数の準位に均等に分散して存在することとなる。その結果、所望のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数が他のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数に対して相対的に少なくなるため、所望のＥＩＴ現象を発現する原子数が減少し、所望のＥＩＴ信号の強度が小さくなり、その結果、原子発振器３１の発振特性の低下をもたらす。
【００３２】
これに対し、後述するようにコイル３８の磁場によりガスセル３２内のアルカリ金属原子がゼーマン分裂した状態において、円偏光の励起光をアルカリ金属原子に照射すると、励起光とアルカリ金属原子との相互作用により、アルカリ金属原子がゼーマン分裂した複数の準位のうち、所望のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数を他のエネルギー準位のアルカリ金属原子の数に対して相対的に多くすることができる。そのため、所望のＥＩＴ現象を発現する原子数が増大し、所望のＥＩＴ信号の強度が大きくなり、その結果、原子発振器３１の発振特性を向上させることができる。
【００３３】
［光検出部］
光検出部３５は、ガスセル３２内を透過した励起光ＬＬ（共鳴光１、２）の強度を検出する機能を有する。換言すれば、周波数の差（ω１−ω２）が周波数ω０に一致したときに認められるＥＩＴ信号を検出する機能を有する。
この光検出部３５としては、上述したような励起光を検出し得るものであれば、特に限定されないが、例えば、太陽電池、フォトダイオード等の光検出器（受光素子）を用いることができる。
このような光検出部３５は、後述する制御部３９の励起光制御部３９２に接続されている（図１参照）。
【００３４】
［ヒーター］
ヒーター３６は、前述したガスセル３２（より具体的にはガスセル３２中のアルカリ金属およびバッファーガス）を加熱する機能を有する。これにより、ガスセル３２中のアルカリ金属をガス状に維持することができる。
このヒーター３６は、通電により発熱するものであり、図示しないが、ガスセル３２の外表面上に設けられた発熱抵抗体で構成されている。
ここで、発熱抵抗体は、例えば、ガスセル３２の各窓部上に設けられている。これにより、ガスセル３２の窓部にアルカリ金属原子が結露するのを防止することができる。その結果、長期にわたり優れた発振特性を発揮することができる。
【００３５】
このような発熱抵抗体は、励起光に対する透過性を有する材料、具体的には、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ）、Ｉｎ３Ｏ３、ＳｎＯ２、Ｓｂ含有ＳｎＯ２、Ａｌ含有ＺｎＯ等の酸化物等の透明電極材料で構成される。
また、発熱抵抗体は、例えば、プラズマＣＶＤ、熱ＣＶＤのような化学蒸着法（ＣＶＤ）、真空蒸着等の乾式メッキ法、ゾル・ゲル法等を用いて形成することができる。
【００３６】
なお、ヒーター３６は、ガスセル３２を加熱することができるものであれば、特に限定されず、ガスセル３２に対して非接触であってもよい。また、ヒーター３６に代えて、または、ヒーター３６と併用して、ペルチェ素子を用いて、ガスセル３２を加熱してもよい。
このようなヒーター３６は、後述する制御部３９の温度制御部３９１に電気的に接続され、通電される（図１参照）。
【００３７】
［温度センサー］
温度センサー３７は、ヒーター３６またはガスセル３２の温度を検出するものである。そして、この温度センサー３７の検出結果に基づいて、前述したヒーター３６の発熱量が制御される。これにより、ガスセル３２内、より詳しくはアルカリ金属原子およびバッファーガスを所望の温度に維持することができる。
【００３８】
なお、温度センサー３７の設置位置は、特に限定されず、例えば、ヒーター３６上であってもよいし、ガスセル３２の外表面上であってもよい。
温度センサー３７としては、それぞれ、特に限定されず、サーミスタ、熱電対等の公知の各種温度センサーを用いることができる。
このような温度センサー３７は、図示しない配線を介して、後述する制御部３９の温度制御部３９１に電気的に接続されている（図１参照）。
【００３９】
［コイル］
コイル３８（磁場発生部）は、ガスセル３２内に励起光ＬＬの軸に沿った方向の磁場を発生させる機能を有する。これにより、ゼーマン分裂により、アルカリ金属の縮退している異なるエネルギー準位間のギャップを拡げて、分解能を向上させることができる。その結果、原子発振器３１の発振周波数の精度を高めることができる。
【００４０】
このコイル３８としては、例えば、ガスセル３２を挟むように配置されたヘルムホルツコイル、または、ガスセル３２を覆うように配置されたソレノイドコイルを用いることができる。
また、コイル３８が発生する磁場は、直流磁場または交流磁場のいずれかの磁場であってもよいし、直流磁場と交流磁場とを重畳させた磁場であってもよい。
このようなコイル３８は、後述する制御部３９の磁場制御部３９３に接続され、通電制御される（図１参照）。
【００４１】
［制御部］
図１に示す制御部３９は、光源３３、ヒーター３６およびコイル３８をそれぞれ制御する機能を有する。
この制御部３９は、光源３３の共鳴光１、２の周波数を制御する励起光制御部３９２と、ガスセル３２中のアルカリ金属の温度を制御する温度制御部３９１と、ガスセル３２に印加する磁場を制御する磁場制御部３９３とを有する。
【００４２】
励起光制御部３９２は、前述した光検出部３５の検出結果に基づいて、光源３３から出射される共鳴光１、２の周波数を制御する。より具体的には、励起光制御部３９２は、前述した光検出部３５によって検出された（ω１−ω２）が前述したアルカリ金属固有の周波数ω０となるように、光源３３から出射される共鳴光１、２の周波数を制御する。また、励起光制御部３９２は、光源３３から出射される共鳴光１、２の中心周波数を制御する。
【００４３】
また、温度制御部３９１は、温度センサー３７の検出結果に基づいて、ヒーター３６への通電を制御する。これにより、ガスセル３２を所望の温度範囲内に維持することができる。ここで、温度センサー３７は、ガスセル３２の温度を検知する温度検知手段を構成する。
さらに、磁場制御部３９３は、コイル３８が発生する磁場が一定となるように、コイル３８への通電を制御する。
このような制御部３９は、例えば、基板上に実装されたＩＣチップに設けられている。
また、制御部３９には、図示しない発振回路が電気的に接続されており、かかる発振回路は、前述したＥＩＴ信号に基づいて、クロック信号を発振する。
【００４４】
さて、かかる構成の原子発振器３１において、温度制御部３９１により、ヒーター３６への通電を制御することで、ガスセル３２を所望の温度範囲内に維持することができるが、この温度範囲内において、当然、ガスセル３２内に温度変化が生じる。そのため、前述の通り、ガスセル３２内にバッファーガスを封入した構成とすると、ガスセル内の温度変化により、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性を示す。
【００４５】
そこで、従来から、このＥＩＴ信号のシフトを回避するために、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性を互いに打ち消す２種類のバッファーガスを所定の混合比でガスセル中に混合する手法がとられており、具体的には、特開２０１０−２４５８０５号公報では、アルカリ金属ガスとしてＣｓガスがガスセル３２内に封入されている場合、バッファーガスとしてＮｅを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が＋３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトし、バッファーガスとしてＡｒを単独で封入すると、ＥＩＴ信号が−３Ｈｚ／℃の温度特性でシフトすることから、バッファーガスとしてのＮｅとＡｒとを、圧力比率で１：１の混合比で、ガスセル中に混合する手法がとられている。
【００４６】
しかしながら、本発明者のさらなる検討により、バッファーガスとしてＮｅおよびＡｒを、それぞれ、単独で封入すると前述の通りの温度特性でシフトするものの、バッファーガスとしてＮｅとＡｒとが１：１の圧力比率で混合された混合ガスを封入すると、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性にズレが生じることが判ってきた。
より具体的には、アルカリ金属ガスとしてＣｓガスをガスセル（内壁の表面積：２．０６ｃｍ２）３２内に封入し、さらに、ＮｅとＡｒとを合計したものにかかる分圧を１Ｔｏｒｒとして、バッファーガスとしてＮｅとＡｒとの混合物をガスセル３２内に封入した場合、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率（混合比率）を変化させると、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性、すなわち、ＥＩＴ信号の温度係数が、図４に示すように変化することが判った。
【００４７】
図４から明らかなように、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係を示すグラフＡは、線形的な関係を有しておらず、非線形性を有しており、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を示すＮｅ：Ａｒが１００：０と０：１００とであるときを結ぶ直線Ｂよりも下側の領域に位置している。
そのため、従来のように、ガスセル３２内に封入するＮｅとＡｒとの圧力比率を１：１とする（Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を０．５とする）だけでは、Ｎｅの圧力比率が十分でないことから、本発明では、Ｎｅの圧力比率がＡｒの圧力比率よりも大きくなるように設定している。すなわち、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を、０より大きく、０．５より小さく設定している。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのを的確に抑制または防止することができる。したがって、ガスセル３２内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器３１とすることができる。
【００４８】
なお、かかる関係を満足するガスセル３２は、ＮｅとＡｒとを含む緩衝ガスを、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている封入圧力で、ガスセル３２内に封入すること（本発明の原子発振器の周波数調整方法）により得ることができる。
また、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率は、０より大きく、０．５より小さく設定されていればよいが、好ましくは０．００１以上、０．０５以下に設定され、より好ましくは０．００１以上、０．００４以下に設定され、さらに好ましくは０．００３０１に設定される。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。すなわち、ＥＩＴ信号の温度係数を０に近似させることができる。
【００４９】
さらに、図４に示すような、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係は、ガスセル３２内に封入されるアルカリ金属として、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、フランシウムのうちいずれが含まれていてもよいが、ルビジウムおよびセシウムのうちの少なくもと１種が含まれていることが好ましく、セシウムが含まれていることがより好ましい。アルカリ金属としてこれらのものが含まれている際に、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【００５０】
また、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定する際に、ガスセル３２の内部の圧力は、８０Ｔｏｒｒ以上、１５０Ｔｏｒｒ以下であることが好ましく、１００Ｔｏｒｒ以上、１２０Ｔｏｒｒ以下であることがより好ましい。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【００５１】
さらに、ガスセル３２は、前述の通り、ヒーター３６により、例えば、５０℃以上、９０℃以下に温度調節されるが、７０℃程度に温度調節されているのが好ましい。ガスセル３２の温度がかかる範囲内に設定されている際に、Ｎｅに対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することで、ＥＩＴ信号のシフトの大きさをより顕著に小さくすることができる。
【００５２】
また、ガスセル３２は、その内壁の表面積が、０．０６ｃｍ２以上、６．０ｃｍ２以下であることが好ましく、１．０ｃｍ２以上、４．０ｃｍ２以下であることがより好ましい。このように小型化されたガスセル３２に本発明を適用することにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。なお、このように小型化されたガスセル３２において、本発明を適用することにより得られる効果がより顕著に認められるのは、ガスセル３２の内壁面がガスセル３２内に入射された入射光の吸収に関与していることに起因しているものと推察される。
【００５３】
なお、本実施形態では、原子発振器３１は、波長の異なる２種類の光による量子干渉効果（ＣＰＴ：Coherent Population Trapping）を利用した原子発振器である場合について説明したが、原子発振器３１は、光およびマイクロ波による二重共鳴現象を利用した原子発振器であってもよい。ただし、量子干渉効果を利用して発振する原子発振器３１は、二重共鳴現象を利用した原子発振器に比し、極めて小型化が可能である。したがって、上述の通り、本発明では、ガスセル３２を小型化した際に、ＥＩＴ信号のシフトの大きさをより顕著に小さくすることができるため、本発明は、量子干渉効果を利用して発振する原子発振器３１により好ましく適用される。
【００５４】
２．電子機器
以上説明したような本発明の原子発振器は、各種電子機器に組み込むことができる。このような本発明の原子発振器を備える電子機器は、優れた信頼性を有する。
以下、本発明の原子発振器を備える電子機器の一例について説明する。
図５は、ＧＰＳ衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合の概略構成を示す図である。
【００５５】
図５に示す測位システム１００は、ＧＰＳ衛星２００と、基地局装置３００と、ＧＰＳ受信装置４００とで構成されている。
ＧＰＳ衛星２００は、測位情報（ＧＰＳ信号）を送信する。
基地局装置３００は、例えば電子基準点（ＧＰＳ連続観測局）に設置されたアンテナ３０１を介してＧＰＳ衛星２００からの測位情報を高精度に受信する受信装置３０２と、この受信装置３０２で受信した測位情報を、アンテナ３０３を介して送信する送信装置３０４とを備える。
【００５６】
ここで、受信装置３０２は、その基準周波数の発振源として前述した本発明の原子発振器３１を備える電子装置である。このような受信装置３０２は、優れた信頼性を有する。また、受信装置３０２で受信された測位情報は、リアルタイムで送信装置３０４により送信される。
ＧＰＳ受信装置４００は、ＧＰＳ衛星２００からの測位情報をアンテナ４０１を介して受信する衛星受信部４０２と、基地局装置３００からの測位情報をアンテナ４０３を介して受信する基地局受信部４０４とを備える。
【００５７】
３．移動体
また、前述したような本発明の原子発振器は、各種移動体に組み込むことができる。このような本発明の原子発振器を備える移動体は、優れた信頼性を有する。
以下、本発明の移動体の一例について説明する。
図６は、本発明の原子発振器を備える移動体（自動車）の構成を示す斜視図である。
【００５８】
図６に示す移動体１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２とを有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。このような移動体１５００には、原子発振器３１が内蔵されている。そして、原子発振器３１からの発振信号に基づいて、例えば、図示しない制御部が動力源の駆動を制御する。
【００５９】
なお、本発明の原子発振器を組み込む電子機器または移動体は、前述したものに限定されず、例えば、携帯電話機、ディジタルスチルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、パーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター）、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター、地上デジタル放送、携帯電話基地局等に適用することができる。
【００６０】
以上、本発明の原子発振器、原子発振器の周波数調整方法、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
また、本発明の原子発振器、原子発振器の周波数調整方法、電子機器および移動体では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【符号の説明】
【００６１】
３１‥‥原子発振器  ３２‥‥ガスセル  ３３‥‥光源  ３５‥‥光検出部  ３６‥‥ヒーター  ３７‥‥温度センサー  ３８‥‥コイル  ３９‥‥制御部  ３４１‥‥光学部品  ３４２‥‥光学部品  ３４３‥‥光学部品  ３４４‥‥光学部品  ３９１‥‥温度制御部  ３９２‥‥励起光制御部  ３９３‥‥磁場制御部  １００‥‥測位システム  ２００‥‥ＧＰＳ衛星  ３００‥‥基地局装置  ３０１‥‥アンテナ  ３０２‥‥受信装置  ３０３‥‥アンテナ  ３０４‥‥送信装置  ４００‥‥ＧＰＳ受信装置  ４０１‥‥アンテナ  ４０２‥‥衛星受信部  ４０３‥‥アンテナ  ４０４‥‥基地局受信部  １５００‥‥移動体  １５０１‥‥車体  １５０２‥‥車輪  ＬＬ‥‥励起光  ω０‥‥周波数  ω１‥‥周波数  ω２‥‥周波数
【図１】
2015070575.tif 000003
【図２】
2015070575.tif 000004
【図３】
2015070575.tif 000005
【図４】
2015070575.tif 000006
【図５】
2015070575.tif 000007
【図６】
2015070575.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成26年9月5日(2014.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属原子と緩衝ガスとが封入されているガスセルと、
前記ガスセル内の前記金属原子を励起するための光を出射する光源と、
前記ガスセルを透過した前記光を検出する受光部と、を備え、
前記緩衝ガスは、ネオン（Ｎｅ）とアルゴン（Ａｒ）とを含み、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さいことを特徴とする原子発振器。
【請求項２】
前記金属原子は、セシウム（Ｃｓ）を含む請求項１に記載の原子発振器。
【請求項３】
前記ＮｅおよびＡｒの合計に対する前記Ａｒの圧力比率は、０．００１以上、０．０５以下の範囲内にある請求項１または２に記載の原子発振器。
【請求項４】
前記ガスセルは、その内部の圧力が、８０Ｔｏｒｒ以上、１５０Ｔｏｒｒ以下の範囲内にある請求項１ないし３のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項５】
前記ガスセルを加熱する加熱部を備えており、
前記ガスセルは、その内部の温度が、５０℃以上、９０℃以下の範囲内に設定される請求項１ないし４のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項６】
前記ガスセルは、その内壁の表面積が、０．０６ｃｍ２以上、６ｃｍ２以下の範囲内にある請求項１ないし５のいずれか１項に記載の原子発振器。
【請求項７】
金属原子、ネオン（Ｎｅ）、およびアルゴン（Ａｒ）が封入されたガスセルを備える原子発振器の周波数調整方法であって、
前記Ｎｅと前記Ａｒとを含むガスを、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている状態で、前記ガスセル内に封入することを特徴とする原子発振器の周波数調整方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原子発振器を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項９】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原子発振器を備えることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本適用例の原子発振器は、金属原子と緩衝ガスとが封入されているガスセルと、
前記ガスセル内の前記金属原子を励起するための光を出射する光源と、
前記ガスセルを透過した前記光を検出する受光部と、を備え、
前記緩衝ガスは、ネオン（Ｎｅ）とアルゴン（Ａｒ）とを含み、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さいことを特徴とする。
これにより、ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器とすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例２］
本適用例の原子発振器では、前記金属原子は、セシウム（Ｃｓ）を含むことが好ましい。
アルカリ金属がセシウム（Ｃｓ）で構成される際に、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例３］
本適用例の原子発振器では、前記ＮｅおよびＡｒの合計に対する前記Ａｒの圧力比率は、０．００１以上、０．０５以下の範囲内にあることが好ましい。
これにより、ガスセル内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例５］
本適用例の原子発振器では、前記ガスセルを加熱する加熱部を備えており、
前記ガスセルは、その内部の温度が、５０℃以上、９０℃以下の範囲内に設定されることが好ましい。
ガスセルの温度がかかる範囲内に設定されている際に、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することで、ＥＩＴ信号のシフトの大きさをより顕著に小さくすることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例７］
本適用例の原子発振器の周波数調整方法は、金属原子、ネオン（Ｎｅ）、およびアルゴン（Ａｒ）が封入されたガスセルを備える原子発振器の周波数調整方法であって、
前記Ｎｅと前記Ａｒとを含むガスを、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている状態で、前記ガスセル内に封入することを特徴とする。
これにより、ガスセル内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器を得ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
【図１】本発明に係る原子発振器を示す概略図である。
【図２】図１に示す原子発振器のガスセル内におけるアルカリ金属のエネルギー状態を説明するための図である。
【図３】図１に示す原子発振器の光源および光検出部について、光源からの２つの光の周波数差と、光検出部での検出強度との関係を示すグラフである。
【図４】ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係を示すグラフである。
【図５】ＧＰＳ衛星を利用した測位システムに本発明の原子発振器を用いた場合の概略構成を示す図である。
【図６】本発明の原子発振器を備える移動体（自動車）の構成を示す斜視図である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
しかしながら、本発明者のさらなる検討により、バッファーガスとしてＮｅおよびＡｒを、それぞれ、単独で封入すると前述の通りの温度特性でシフトするものの、バッファーガスとしてＮｅとＡｒとが１：１の圧力比率で混合された混合ガスを封入すると、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性にズレが生じることが判ってきた。
より具体的には、アルカリ金属ガスとしてＣｓガスをガスセル（内壁の表面積：２．０６ｃｍ２）３２内に封入し、さらに、ＮｅとＡｒとを合計したものにかかる分圧を１Ｔｏｒｒとして、バッファーガスとしてＮｅとＡｒとの混合物をガスセル３２内に封入した場合、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率（混合比率）を変化させると、ＥＩＴ信号がシフトする温度特性、すなわち、ＥＩＴ信号の温度係数が、図４に示すように変化することが判った。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
図４から明らかなように、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係を示すグラフＡは、線形的な関係を有しておらず、非線形性を有しており、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を示すＮｅ：Ａｒが１００：０と０：１００とであるときを結ぶ直線Ｂよりも下側の領域に位置している。
そのため、従来のように、ガスセル３２内に封入するＮｅとＡｒとの圧力比率を１：１とする（ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を０．５とする）だけでは、Ｎｅの圧力比率が十分でないことから、本発明では、Ｎｅの圧力比率がＡｒの圧力比率よりも大きくなるように設定している。すなわち、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を、０より大きく、０．５より小さく設定している。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのを的確に抑制または防止することができる。したがって、ガスセル３２内の温度変化に影響を受けることなく優れた精度の基準周波数を有する原子発振器３１とすることができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
なお、かかる関係を満足するガスセル３２は、ＮｅとＡｒとを含む緩衝ガスを、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率が０より大きく、０．５より小さくなっている封入圧力で、ガスセル３２内に封入すること（本発明の原子発振器の周波数調整方法）により得ることができる。
また、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率は、０より大きく、０．５より小さく設定されていればよいが、好ましくは０．００１以上、０．０５以下に設定され、より好ましくは０．００１以上、０．００４以下に設定され、さらに好ましくは０．００３０１に設定される。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。すなわち、ＥＩＴ信号の温度係数を０に近似させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
さらに、図４に示すような、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率と、ＥＩＴ信号の温度係数との関係は、ガスセル３２内に封入されるアルカリ金属として、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、フランシウムのうちいずれが含まれていてもよいが、ルビジウムおよびセシウムのうちの少なくもと１種が含まれていることが好ましく、セシウムが含まれていることがより好ましい。アルカリ金属としてこれらのものが含まれている際に、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
また、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定する際に、ガスセル３２の内部の圧力は、８０Ｔｏｒｒ以上、１５０Ｔｏｒｒ以下であることが好ましく、１００Ｔｏｒｒ以上、１２０Ｔｏｒｒ以下であることがより好ましい。これにより、ガスセル３２内の温度変化に起因してＥＩＴ信号がシフトしてしまうのをより的確に抑制または防止することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
さらに、ガスセル３２は、前述の通り、ヒーター３６により、例えば、５０℃以上、９０℃以下に温度調節されるが、７０℃程度に温度調節されているのが好ましい。ガスセル３２の温度がかかる範囲内に設定されている際に、ＮｅおよびＡｒの合計に対するＡｒの圧力比率を前記範囲内に設定することで、ＥＩＴ信号のシフトの大きさをより顕著に小さくすることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2015070575.tif 000009