(57)【要約】      （修正有）【課題】角速度検出素子からの振動漏れを低減し、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供する。【解決手段】角速度検出素子１０１は、基部１０２と、前記基部１０２から延出する一対のアーム１０３ａ、１０３ｂと、前記一対のアーム１０３ａ、１０３ｂに接続する第１の枠部１０４と、前記第１の枠部１０４に２つの接続部１０５ａ、１０５ｂを介して接続する第２の枠部１０６と、を有し、前記一対のアーム１０３ａ、１０３ｂと前記２つの接続部１０５ａ、１０５ｂとが、同一の軸上に配される。【選択図】図１
2015081771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
角速度検出素子を備えた角速度センサであって、
前記角速度検出素子は、
基部と、
前記基部から延出する一対のアームと、
前記一対のアームに接続する第１の枠部と、
前記第１の枠部に２つの接続部を介して接続する第２の枠部と、を有し、
前記一対のアームと前記２つの接続部とが同一の軸上に配される角速度センサ。
【請求項２】
前記第２の枠部に駆動電極を設け、
前記第１の枠部に検出電極を設けることを特徴とする、
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項３】
前記第１の枠部に駆動電極を設け、
前記第２の枠部に検出電極を設けることを特徴とする、
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項４】
前記第１の枠部に第１の錘部が接続されることを特徴とする、
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項５】
前記第１の錘部は、前記第１の枠部の内側に配されることを特徴とする、
請求項４に記載の角速度センサ。
【請求項６】
前記第２の枠部に第２の錘部が接続されることを特徴とする、
請求項１記載の角速度センサ。
【請求項７】
前記第２の錘部は、前記第２の枠部の外側に配されることを特徴とする、
請求項６に記載の角速度センサ。
【請求項８】
前記第１の枠部に第１の錘部が接続され、
前記第２の枠部に第２の錘部が接続され、
前記第１の錘部の質量は、前記第２の錘部の質量よりも大きいことを特徴とする、
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項９】
前記第１の枠部の枠幅は、
前記第２の枠部の枠幅よりも太いことを特徴とする、
請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項１０】
前記第２の枠部にモニタ電極を設けた請求項２に記載の角速度センサ。
【請求項１１】
前記第１の枠部にモニタ電極を設けた請求項３に記載の角速度センサ。
【請求項１２】
前記２つの接続部は互いに、前記基部を挟んで対向する位置に配される請求項１に記載の角速度センサ。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれかに記載の角速度センサを備えた電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、角速度センサとして、コリオリ力を利用する振動型角速度センサが知られている。近年、特にＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ）技術を用いた、複数の軸周りの角速度を１つの検出素子で検出できる技術が提案されている。
【０００３】
以下、従来の角速度センサの一例について図面を参照しながら説明する。
【０００４】
図１１は従来の角速度センサに用いられる検出素子の上面図である。
【０００５】
図１１において、従来の角速度検出素子２０１は２本のアーム２０２と、アーム２０２を支持する２つの支持部２０３と、２つの支持固定部２０４と、各支持部２０３と各支持固定部２０４とを接続する２つの検出部２０５と、を備える。ここで、角速度検出素子２０１は支持固定部２０４を介して、図示しない角速度センサパッケージに固定される。
【０００６】
図１２を用いて、角速度検出素子２０１の動作を説明する。
【０００７】
角速度検出素子２０１には、図示しない駆動回路から駆動信号を与えられ、図１２（ａ）のように、２本のアーム２０２が、例えば圧電効果等によって、図中のＸ軸方向に沿って互いに逆方向に駆動振動する。このとき、Ｘ軸に直交するＹ軸またはＺ軸周りに角速度が加わると、それぞれ角速度回転軸に対して垂直平面内で、駆動振動方向に対して垂直方向にコリオリ力が働く。例えば、Ｙ軸周りに角速度が加わった際には、図１２（ｂ）のように図中のＺ軸方向にコリオリ力が働き、Ｚ軸周りに角速度が加わった際には、図１２（ｃ）のように図中のＹ軸方向にコリオリ力が働く。その結果、それぞれのコリオリ力の向きに対応する検出振動を検出素子に発生させ、アームまたは検出部に歪が加わる。この歪みを例えば圧電効果等によって電気信号として検出し、接続された図示しない検出回路によって角速度信号として出力することが出来る。
【０００８】
なお、この出願の発明に関する先行文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第３７８３６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の構成においては、検出振動が発生した際に、アーム２０２や検出部２０５で発生した歪みは、支持固定部２０４にまで伝わり、支持固定部２０４を通して角速度検出素子２０１から外部に検出振動が漏れやすい。このため、角速度センサとして使用する際には、検出振動が外乱の影響を受けやすく、静止時の角速度出力や角速度感度が安定しない課題があった。
【００１１】
本発明は、上記従来の課題を解決するもので、角速度検出素子からの振動漏れを低減し、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明の角速度センサは、角速度検出素子を備えた角速度センサであって、前記検出素子は、基部と、前記基部から延出する一対のアームと、前記一対のアームに接続する第１の枠部と、前記第１の枠部に２つの接続部を介して接続する第２の枠部と、を有し、前記一対のアームと前記２つの接続部とが、同一の軸上に配される構成とする。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成により、角速度検出素子に検出振動が発生しても、第１の枠部と第２の枠部が互いに振動を打ち消しあうように振動することができるために、角速度検出素子外部に接続される基部からの振動漏れを抑制することが出来る。したがって、外乱の影響によって検出振動が影響を受けにくくなり、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１における角速度検出素子の上面図
【図２】同検出素子の駆動電極及びモニタ電極の配置の一例
【図３】同検出素子のＡ−Ａ’部の断面図
【図４】同検出素子の駆動振動の説明図
【図５】同検出素子の検出振動の説明図
【図６】同検出素子の検出電極の配置の一例
【図７】同検出素子の別の一例の上面図
【図８】同検出素子のさらに別の一例の上面図
【図９】同角速度検出素子を搭載した角速度センサを表す図
【図１０】同角速度センサを搭載した電子機器を表す図
【図１１】従来の角速度検出素子の上面図
【図１２】従来の角速度検出素子の動作を説明する図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は本実施の形態における角速度センサが備える角速度検出素子の上面図である。
【００１７】
図１において、本実施の形態の角速度センサは、角速度検出素子１０１を備え、角速度検出素子１０１は、基部１０２と、基部１０２から延出する第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂから成る一対のアームと、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂに接続する第１の枠部１０４と、第１の枠部１０４に第１の接続部１０５ａと第２の接続部１０５ｂとを介して接続する第２の枠部１０６と、を有し、第１のアーム１０３ａと第２のアーム１０３ｂと第１の接続部１０５ａと第２の接続部１０５ｂとが同一の軸（図１中の一点鎖線Ｌ）上に配される構成とする。
【００１８】
以下、各構成要素について説明する。
【００１９】
基部１０２は角速度検出素子１０１を支持する固定部材である。角速度検出素子１０１を格納するパッケージ（図示せず）に接着剤等を用いて固定される。第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂは、図中のＹ軸方向に沿って、それぞれ正および負の方向に基部１０２から延出している。より詳細には、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂは、基部１０２の側面から延出している。
【００２０】
第１の枠部１０４は、基部１０２を取り囲むように配され、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂそれぞれの他端と接続している。より詳細には、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂそれぞれの他端の側面と第１の枠部１０４の側面とが接続している。
【００２１】
第２の枠部１０６は、第１の枠部１０４の外側に配され、第１の接続部１０５ａ及び第２の接続部１０５ｂを介して、第１の枠部１０４に接続される。ここで、第１のアーム１０３ａ、第２のアーム１０３ｂ、第１の接続部１０５ａおよび第２の接続部１０５ｂは同一の軸線上（図中のＹ軸方向）に配置される。換言すると、第１の接続部１０５ａと第２の接続部１０５ｂとは、基部１０２を挟んで対向するように配されると言える。
【００２２】
ここで、好適には、駆動振動時に不要な共振を引き起こさないために、基部１０２は、第１の枠部１０４及び第２の枠部１０６の略中心に配置されることが望ましい。図１中では、第１の枠部１０４及び第２の枠部１０６は矩形であるが、円状の枠であっても問題ない。
【００２３】
角速度検出素子１０１は、水晶等の圧電材料を用いて形成しても良いし、シリコン等の非圧電材料を用いて形成しても良い。特に、シリコンウェハを用いることにより、微細加工技術を用いて非常に小型に形成することができるとともに、大量生産によるコストダウンが可能となる。
【００２４】
角速度検出素子１０１のより詳細な構造と動作について説明する。
【００２５】
図２は本実施の形態における角速度センサの角速度検出素子１０１の駆動電極及びモニタ電極の配置の一例を示した図である。
【００２６】
図２において、駆動電極１１０ａ〜１１０ｄを第２の枠部１０６上に配置している。また、モニタ電極１１５ａ〜１１５ｄを第２の枠部１０６上に配置している。すなわち、駆動電極１１０ａ〜１１０ｄとモニタ電極１１５ａ〜１１５ｄとを同じ枠部（ここでは第２の枠部１０６）上に設ける。このように、同じ枠部上に設けることにより、駆動振動の信号を効率良く検出することが出来る。
【００２７】
ところで、図２に示すように、第２の枠部１０６上にモニタ電極１１５ａ〜１１５ｄを設けることが好ましい。この構成により、他の共振に比較して、駆動振動の共振のみを効率良くモニタ電極で検出することが出来る。
【００２８】
図３は、図２のＡ−Ａ’部の断面図である。第２の枠部１０６上に共通電極１０９、圧電体１０７、駆動電極１１０ａ〜１１０ｄが積層する構造としている。
【００２９】
まず、駆動振動時の動作について図４を用いて説明する。角速度検出素子１０１は、共通電極１０９をグラウンドとして、駆動電極１１０ａ〜１１０ｄに交流電圧を印加することで、逆圧電効果により駆動振動させることができる。このとき、駆動電極１１０ａ及び１１０ｄと、駆動電極１１０ｂ及び１１０ｃとで、それぞれ逆位相の交流電圧を印加すると、第２の枠部１０６を、図２中の基部１０２を通るＹ軸に対して左右略対称に振動させることが出来る。この駆動振動により発生するモーメントは、左右方向で互いに打ち消し合うので基部１０２にモーメントが伝達をし難く、為に、角速度検出素子１０１外への駆動振動時の振動漏れを抑制できる。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、第２の枠部１０６上のみに駆動電極を設けているが、第１の枠部１０４及び第２の枠部１０６の双方の上に設けても良いし、第１の枠部１０４上のみに駆動電極を設けても良い。ここで、第１の枠部１０４上のみに駆動電極を設ける場合には、モニタ電極１１５ａ〜１１５ｄは第１の枠部１０４上に設けることが好ましい。この構成により、他の共振に比較して、駆動振動の共振のみを効率良くモニタ電極で検出することが出来る。
【００３１】
角速度が加わった際の動作について、図５を用いて説明する。
【００３２】
図５（ａ）中のＹ軸周りに角速度が加わった際には、図５（ａ）に示すように、Ｘ軸方向に駆動振動する第２の枠部１０６に対して、図５（ａ）中のＺ軸方向にコリオリ力が働き、検出振動（図５（ａ）中の矢印Ａ１〜Ａ４）が励起される。
【００３３】
ここで、第２の枠部１０６は、基部１０２を通るＹ軸に対して互いに逆方向に駆動振動しているために、検出振動は基部１０２を通るＹ軸に対して回転するように振動（矢印Ａ３、Ａ４）する。このとき、第２の枠部１０６に接続される第１の枠部１０４は、第２の枠部１０６の振動方向とは、Ｙ軸周りに互いに逆方向に振動（矢印Ａ１、Ａ２）する。これは、アーム１０３ａ、１０３ｂ、接続部１０５ａ、１０５ｂとを同一の軸（図１中の一点鎖線Ｌ）上に配しているために、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６とが互いに逆方向に振動可能となるものである。これによって、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６が互いに逆方向の回転モーメントを発生させるので、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂに伝わる検出振動を打ち消すように振動（矢印Ａ３、Ａ４）することが出来る。このため、基部１０２から角速度検出素子１０１外への検出振動による振動漏れを抑えることが出来る。
【００３４】
図５（ｂ）中のＺ軸周りに角速度が加わった際には、図５（ｂ）に示すように、Ｘ軸方向に駆動振動する第２の枠部１０６に対して、図５（ｂ）中のＹ軸方向にコリオリ力が働き、検出振動（矢印Ａ５〜Ａ８）が励起される。
【００３５】
ここで、第２の枠部１０６は、基部１０２を通るＹ軸に対して互いに逆方向に駆動振動しているために、検出振動は基部１０２を通るＺ軸に対して回転するように振動（矢印Ａ４、Ａ５）する。このとき、第２の枠部１０６に接続される第１の枠部１０４は、第２の枠部１０６の振動方向とは、Ｚ軸周りに逆方向に振動する。これは、アーム１０３ａ、１０３ｂ、接続部１０５ａ、１０５ｂとを同一の軸（図１中の一点鎖線Ｌ）上に配しているために、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６とが互いに逆方向に振動可能となるものである。これによって、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６が互いに逆方向の回転モーメントを発生させるので、第１のアーム１０３ａ及び第２のアーム１０３ｂに伝わる検出振動を打ち消すように動作する。このため、Ｙ軸周りに角速度が加わったときと同様に、基部１０２から角速度検出素子１０１外への検出振動による振動漏れを抑えることが出来る。
【００３６】
Ｙ軸周り及びＺ軸周りの角速度加わったとき双方において、第１の枠部１０４及び第２の枠部１０６が検出振動によって歪むために、検出電極を第１の枠部１０４もしくは第２の枠部１０６上に配置すれば、圧電効果により角速度を電荷信号として検出することができる。
【００３７】
以上の効果により、本発明の角速度検出素子を備えた角速度センサは、検出振動による振動漏れを抑制することが出来、外乱の影響によって検出振動が影響を受けにくくなる。そのため、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供することが可能となる。
【００３８】
図６は、角速度検出素子１０１の検出電極の配置の一例を示した図である。
【００３９】
図６に示すように、駆動電極１１０ａ〜１１０ｄを第２の枠部１０６上に、検出電極１１１ａ〜１１１ｊを第１の枠部１０４上に設けることが好ましい。この構成により、第２の枠部１０６のみを駆動振動させ、第１の枠部１０４は駆動振動させない設計にすることによって、角速度が加わっていないときに検出電極に発生する駆動振動由来の不要な信号を抑制することが出来、静止時の角速度出力のノイズを低減できる。
【００４０】
ところで、第２の枠部１０６上に検出電極、第１の枠部１０４上に駆動電極を設けるようにしても、同様の効果が得られる。ただし、第２の枠部１０６上に駆動電極を設けて第２の枠部１０６を駆動振動させたほうが、第２の枠部１０６が第１の枠部１０４を駆動振動させるよりも駆動振幅を大きくすることが出来るために、第２の枠部１０６上に駆動電極を設けたほうが角速度感度をより大きく得られる。
【００４１】
図６に示すように、第１の枠部１０４上に複数の検出電極１１１ａ〜１１１ｊを設けることが望ましい。検出電極は１つであっても問題はないが、複数の検出電極を対にして、差動検出することによって、同位相成分のノイズを除去できることから、より低ノイズの角速度センサを実現できる。
【００４２】
より詳細には、基部１０２を通るＹ軸に対して略対称に配置された検出電極１１１ａ及び１１１ｂを、Ｙ軸周りの角速度検出電極とし、それぞれ両電極を対として差動検出することによって、前述の通り低ノイズで角速度検出を実現できる。同様に、基部１０２を通るＸ軸及びＹ軸それぞれに対して略対称に配置された検出電極１１１ｃ〜１１１ｆ及び１１１ｇ〜１１１ｊを、Ｚ軸周りの角速度検出電極とし、それぞれ両電極を対として差動検出することによって、前述の通り低ノイズで角速度検出を実現できる。
【００４３】
図７は、本実施の形態における角速度検出素子１０１の別の一例を示した上面図である。
【００４４】
本例での違いは、第１の枠部１０４に第１の錘部１２１を接続しており、第２の枠部１０６に第２の錘部１２２を接続している点である。駆動振動している第２の枠部１０６に、第２の錘部１２２を接続することにより、振動体の質量を増すことができるので、角速度が加わった際により大きなコリオリ力が働き、感度が大きく得られる効果がある。
【００４５】
また、図５に示すような検出振動の際には、内側に配置された第１の枠部１０４に対して、外側に配置された第２の枠部１０６の方がサイズが大きいため、検出振動による回転モーメントが大きくなる。基部１０２から外部に漏れる振動を抑制するには、出来る限り第１の枠部１０４と第２の枠部１０６の検出振動による回転モーメントを、逆方向で同程度に合わせるのが望ましい。このため、適当な質量を持つ第１の錘部１２１を第１の枠部に接続することによって、検出振動による回転モーメントを合わせ込むことができ、検出振動漏れをより低減させることが出来る。このとき、第１の錘部１２１及び第２の錘部１２２は、図中に示すように、基部１０２を通るＹ軸に対称になるように、それぞれ対で設けられるのが望ましい。これによって、駆動振動時に発生する左右のモーメントを打ち消す効果を保つことが出来る。また、第１の錘部１２１を第１の枠部１０４の内側に、第２の錘部１２２を第２の枠部１０６の外側に設けることが望ましい。これによって、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６のサイズ差を小さくしたまま錘部を設けることが出来るので、より小型の錘で検出振動による回転モーメントを釣り合わせることが出来る。そのため、角速度検出素子１０１の小型化が可能になる。
【００４６】
本例では、第１の錘部１２１及び第２の錘部１２２が同時に接続されているが、それぞれ単独で接続されていても、上記の効果はそれぞれ得られる。また、第１の錘部１２１及び第２の錘部１２２が同時に接続されている場合は、第１の錘部１２１の質量が第２の錘部１２２の質量よりも大きいときに、第１の枠部１０４と第２の枠部１０６の検出振動による回転モーメントをより同程度に合わせることができるため、効果的に検出振動漏れを抑制することが可能となる。
【００４７】
図８は、本実施の形態における角速度検出素子１０１の更に別の一例を示した上面図である。
【００４８】
本例での違いは、第２の枠部１０６の枠幅Ｗ２に対して、第１の枠部１０４の枠幅Ｗ１の方が太い点である。図７での例と同様に、第１の枠部１０４の枠幅Ｗ１を太くすることで、検出振動による回転モーメントを、第２の枠部１０６と同程度に合わせることが可能になる。なお、このときに、第１の錘部１２１または第２の錘部１２２を付け加えて、検出振動による回転モーメントをさらに合わせ込むことも出来る。ここで、枠幅Ｗ１及び枠幅Ｗ２は、それぞれ第１の枠部１０４と第２の枠部１０６の特定の箇所の幅ではなく、枠部全体の平均的な枠幅を用いることが出来る。
【００４９】
以下、角速度検出素子１０１を備える角速度センサ１の構成と動作について説明する。
【００５０】
図９は、本発明の角速度センサ１の構成の一例を示す図である。
【００５１】
図９の駆動回路３は、発振ループによって角速度検出素子１０１を発振駆動する。
【００５２】
角速度センサ１は、角速度検出素子１０１と、角速度検出素子１０１を駆動信号で発振駆動するための駆動回路３と、外部から与えられる慣性力に起因して角速度検出素子１０１に生じる検出信号（電荷）を処理する検出回路４と、を備える。
【００５３】
検出回路４は、Ｉ／Ｖ変換増幅器５（以下、検出アンプ５）と、検波器６と、ローパスフィルタ７（ＬＰＦ７）と、を有する。
【００５４】
駆動回路３の初段に設けられるＩ／Ｖ変換増幅器８（以下、入力アンプ８）は、オペアンプならびに帰還抵抗Ｒｆ，帰還容量Ｃｆからなり、ローパスフィルタ特性をもつ積分型の電流／電圧変換アンプである。この入力アンプ８は、発振ループの構成要素の一つであり、モニタ電極１１５ａ〜１１５ｄからのモニタ信号（電荷）を電圧信号に変換する。また、この電圧信号を９０°位相回転させて検出回路４に出力する移相器９と、この電圧信号に従って発振ループの利得（ゲイン）を自動的に調整するための自動利得調整回路部１０（以下、ＡＧＣ回路部１０）と、を有する。ＡＧＣ回路部１０は、発振定常状態において、発振ループのループゲインが１になるように自動的に利得を調整する。駆動回路３の後段に設けられるＶ／Ｖ変換増幅器１２（以下、出力アンプ１２）は、ＡＧＣ回路部１０からの信号を増幅した駆動信号を角速度検出素子１０１に出力する。
【００５５】
駆動回路３には、角速度検出素子１０１が接続される。図９中、Ｄ１は角速度検出素子１０１からのモニタ信号を出力するモニタ端子であり、Ｄ２は角速度検出素子１０１に駆動信号を与えるためのドライブ端子である。また、Ｓは角速度検出素子１０１からの検出信号を出力する検出端子である。
【００５６】
次に、検出回路４の構成と動作について説明する。通常動作時には、駆動回路３を含む発振ループによって角速度検出素子１０１に所定方向の駆動振動が生じる。ここでは、駆動振動周波数をｆｄとする。この状態で角速度検出素子１０１に回転慣性力（コリオリ力）が加わると、その回転に起因して駆動振動と直交する方向にコリオリ力による検出振動が生じて検出端子Ｓから検出信号（電荷）が生成され、その検出信号は検出回路４の初段に設けられる検出アンプ５に入力される。
【００５７】
但し、検出信号には、不要信号（駆動振動の成分）が重畳されている。この不要成分を除去するため、検波器６は、駆動回路３からの同期検波用参照信号によって検出信号を同期検波する。同期検波用参照信号は、駆動回路３の入力アンプ８からの出力信号に所定の位相回転を与える移相器９から出力される。
【００５８】
角速度検出素子１０１に一定の角速度が加わっている状況において、検波器６が同期検波した信号にはコリオリ力に起因する成分と不要信号に起因する成分の成分が含まれる。
【００５９】
ローパスフィルタ７は不要信号に起因する成分を除去して、所望の角速度信号（直流）を出力する。
【００６０】
（第２の実施の形態）
本実施の形態では、本発明の角速度センサ１を搭載した電子機器について説明する。
【００６１】
図１０は、本発明の角速度センサ１を搭載した電子機器の構成例を示す図である。
【００６２】
図１０の電子機器７０（例えば、デジタルカメラ）は、角速度センサ１と、表示部７１と、ＣＰＵ等の処理部７２と、メモリ７３と、操作部７４と、を有している。
【００６３】
角速度センサ１は、図１等に示される通り、角速度検出素子１０１、駆動回路３および検出回路４を含む。角速度センサ１は、漏れ振動を低減できるという優れた特性をもつ。従って、本発明の角速度センサ１を内蔵する電子機器７０は、電子機器７０が、例えばビデオカメラやデジタルスチルカメラである場合、高精度の手振れ補正等の処理が可能である。
【００６４】
このように、本発明によって電子機器７０の性能が向上する。なお、電子機器７０は、デジタルカメラの他、カーナビゲーションシステムや車両、航空機やロボットであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明に関する角速度センサは、静止時の角速度出力や角速度感度の安定した角速度センサを提供することが可能となることから、カメラの手ブレ補正用途から車両制御用途まで適用できるものである。
【符号の説明】
【００６６】
１  角速度センサ
３  駆動回路
４  検出回路
５  Ｉ／Ｖ変換増幅器（検出アンプ）
６  検波器
７  ローパスフィルタ（ＬＰＦ）
８  Ｉ／Ｖ変換増幅器（入力アンプ）
９  移相器
１０  自動利得調整回路部（ＡＧＣ回路部）
１２  出力アンプ
７０  電子機器
７１  表示部
７２  処理部
７３  メモリ
７４  操作部
１０１  角速度検出素子
１０２  基部
１０３ａ  第１のアーム
１０３ｂ  第２のアーム
１０４  第１の枠部
１０５ａ  第１の接続部
１０５ｂ  第２の接続部
１０６  第２の枠部
１０７  圧電体
１０９  共通電極
１１０ａ〜１１０ｄ  駆動電極
１１１ａ〜１１１ｊ  検出電極
１１５ａ〜１１５ｄ  モニタ電極
１２１  第１の錘部
１２２  第２の錘部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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