(57)【要約】【課題】振動型アクチュエータの摺動面の水分を蒸発させて、確実かつ静粛に起動させること。【解決手段】振動型アクチュエータの駆動制御を行う駆動制御装置は、振動型アクチュエータの駆動速度を検出し、速度検出信号に応じて振動体に駆動信号を出力して周波数掃引制御を行う。起動時にスイープレートが初期化され（Ｓ１０１）、駆動開始周波数から所定の変化率で駆動周波数を下げる周波数掃引制御が実行される（Ｓ１０３）。駆動速度が所定の速度Ｖｃｏｎｔに達しているか否かが判定され（Ｓ１０４）、駆動速度が所定の速度Ｖｃｏｎｔに達していない場合、駆動周波数がリトライ周波数ｆｒｅｔｒｙと比較される（Ｓ１０５）。駆動周波数がリトライ周波数以下である場合、スイープレートが変更され（Ｓ１０６）、リトライ動作が実行されて振動体と移動体との間の水分を蒸発させる。【選択図】  図１
2015070623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動を励起する振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とが相対的に移動可能な振動型アクチュエータを制御する駆動制御装置であって、
前記振動型アクチュエータの駆動速度を検出する速度検出手段と、
前記速度検出手段による検出信号を取得して前記振動型アクチュエータに駆動信号を出力して制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記振動型アクチュエータを起動する場合、前記駆動信号の周波数を駆動開始周波数から下げる周波数掃引制御を行い、前記速度検出手段により検出された駆動速度が第１の速度に達した場合には、目標速度に従って前記駆動信号の周波数を変更する速度制御を開始させ、前記速度検出手段により検出された駆動速度が前記第１の速度に到達していない場合には、前記駆動開始周波数からリトライ周波数まで前記駆動信号の周波数を下げることでリトライ動作の制御を行うことを特徴とする振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記リトライ動作の後、前記速度検出手段の検出した駆動速度が第２の速度に達した場合、前記駆動速度が前記第１の速度に達するまで前記駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御を行うことを特徴とする請求項１に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記速度検出手段の検出した駆動速度が前記第１の速度に達しておらず、かつ前記駆動信号の周波数が前記リトライ周波数を超える場合、第１のスイープレートで前記駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御を行い、前記速度検出手段の検出した駆動速度が前記第１の速度に達しておらず、かつ前記駆動信号の周波数が前記リトライ周波数以下である場合、第２のスイープレートで前記駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項４】
前記第２のスイープレートは、前記第１のスイープレートよりも小さいことを特徴とする請求項３に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記リトライ動作の後、前記速度検出手段の検出した駆動速度が前記第２の速度に達した場合、第１のスイープレートに設定して前記駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御を行うことを特徴とする請求項２に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記速度検出手段の検出した駆動速度が前記第１の速度に達しておらず、かつ前記駆動信号の周波数が前記リトライ周波数以下である場合、前記駆動開始周波数で予め設定された時間に前記振動型アクチュエータを駆動させた後、前記駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項７】
前記第１の速度は、前記速度制御の開始速度であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項８】
前記リトライ周波数は、前記速度制御の開始速度に対応する前記駆動信号の周波数より大きく、かつ前記駆動開始周波数よりも小さいことを特徴とする請求項７に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置。
【請求項９】
撮像光学系を構成する可動部材である光学部材または光量調節部材と、
前記可動部材を駆動する振動型アクチュエータと、
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの駆動制御装置を備えることを特徴とする撮像装置。
【請求項１０】
振動を励起する振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とが相対的に移動可能な振動型アクチュエータを制御する駆動制御装置にて実行される制御方法であって、
前記振動型アクチュエータの駆動速度を速度検出手段により検出する検出ステップと、
前記速度検出手段による検出信号を取得して制御手段により前記振動型アクチュエータに駆動信号を出力して制御する制御ステップを有し、
前記制御ステップは前記制御手段により、前記振動型アクチュエータを起動する場合、前記駆動信号の周波数を駆動開始周波数から下げる周波数掃引制御を行うステップと、前記速度検出手段により検出された駆動速度が第１の速度に達した場合には、目標速度に従って前記駆動信号の周波数を変更する速度制御を開始させ、前記速度検出手段により検出された駆動速度が前記第１の速度に到達していない場合には、前記駆動開始周波数からリトライ周波数まで前記駆動信号の周波数を下げることでリトライ動作の制御を行うステップを有することを特徴とする制御方法。
【請求項１１】
撮像光学系を構成する可動部材である光学部材または光量調節部材と、
振動を励起する振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とが相対的に移動可能な振動型アクチュエータと、
前記可動部材を駆動する前記振動型アクチュエータを制御する駆動制御装置と、を備える撮像装置にて実行される制御方法であって、
前記振動型アクチュエータの駆動速度を速度検出手段により検出する検出ステップと、
前記速度検出手段による検出信号を取得して制御手段により前記振動型アクチュエータに駆動信号を出力して制御する制御ステップを有し、
前記制御ステップは前記制御手段により、前記振動型アクチュエータを起動する場合、前記駆動信号の周波数を駆動開始周波数から下げる周波数掃引制御を行うステップと、前記速度検出手段により検出された駆動速度が第１の速度に達した場合には、目標速度に従って前記駆動信号の周波数を変更する速度制御を開始させ、前記速度検出手段により検出された駆動速度が前記第１の速度に到達していない場合には、前記駆動開始周波数からリトライ周波数まで前記駆動信号の周波数を下げることでリトライ動作の制御を行うステップを有することを特徴とする撮像装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型アクチュエータの駆動制御装置において、高湿環境下での起動時のリトライ動作に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータに代表される振動波モータは、電気―機械エネルギー変換素子である圧電素子に駆動信号を印加して振動体上に進行性振動波を励起し、振動体に圧着された移動体を摩擦力により駆動する。振動波モータは低速で高トルクという特徴をもち、モータと被駆動体との間に減速ギアが必要なく、静粛に駆動できるという利点があり、カメラのズーム駆動用のアクチュエータ等に使用される。
【０００３】
振動波モータの駆動周波数と駆動速度との関係を図４に示す。図４の横軸は振動波モータの駆動周波数を表し、縦軸は駆動速度を表す。横軸にてｆｍａｘは振動波モータの駆動開始周波数を表し、ｆｒは振動波モータの機械的共振周波数を表す。振動波モータは、駆動周波数が共振周波数ｆｒに近づくほど、駆動速度が速くなる。しかし、駆動周波数が共振周波数ｆｒより少しでも下回ると、振動波モータは駆動できなくなる。したがって振動波モータを速度制御する際には、図４の斜線部で示すように、共振周波数ｆｒより高い周波数領域（図４のｆｍｉｎないしｆｍａｘ）を使用する。
【０００４】
次に、図１２のフローチャートを参照して、振動波モータの一般的な起動シーケンス（起動開始から速度制御に至るまで）を説明する。初期周波数ｆｍａｘの設定（Ｓ１２０１）後、最低駆動周波数ｆｍｉｎに向けて、所定のスイープ（掃引）レートで駆動周波数のスイープダウンが行われる（Ｓ１２０２）。そして、振動波モータの回転軸に取り付けたエンコーダ等の速度検出手段により、振動波モータの駆動速度が検出される。振動波モータの駆動速度が所定の速度Ｖcont（図４参照）に到達したら（Ｓ１２０３でＹＥＳ）、スイープダウンを止め、速度制御動作に移行する。また振動波モータの駆動速度が所定の速度Ｖcont未満の場合（Ｓ１２０３でＮＯ）、Ｓ１２０４に移行し、駆動周波数が最低駆動周波数ｆｍｉｎと比較される。駆動周波数が最低駆動周波数ｆｍｉｎ以下の場合（Ｓ１２０４でＹＥＳ）、エラー表示等を行って処理を終了するが、駆動周波数が最低駆動周波数ｆｍｉｎを超える場合（Ｓ１２０４でＮＯ）、Ｓ１２０２に処理を戻す。
【０００５】
高湿環境下にて上記シーケンスで振動波モータを駆動させると、一回で起動しないか、または非常に遅い速度で動き出すという問題が起こり得る。その原因は、振動体と移動体とのわずかな隙間に水分が存在することで摩擦力が低下し、駆動トルクが低下するためである（図５（Ｃ）参照）。駆動トルクが不足する場合、最低駆動周波数に到達しても速度制御開始速度に到達せずに駆動が終了してしまう。駆動トルクを確保するためには、移動体と振動体の間との水分を除去する必要がある。しかし、スイープレートが十分に遅くないと、移動体と振動体との間に存在する水分を蒸発させるための熱を十分に確保できずに、最低駆動周波数まで到達してしまう。
【０００６】
そこで、移動体と振動体との間の水分を除去する一般的な方法として、振動体の表面を粗くすることが行われる。しかし、この方法は駆動中の摩耗を助長し、振動体の特性に影響を及ぼす可能性がある。また、移動体と振動体との間の加圧力を上げる対策では、軸受が反力を受け、軸受の性能低下につながる可能性がある。特許文献１には、振動体の振動状態を検出する振動検出手段を設け、所定の振動振幅の大きさにて振動波モータが所定の速度以下である場合、スイープレートを下げる制御方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−２５２７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１に開示の装置では、振動体の振動状態を検出するための振動検出手段を設ける必要があり、コストが増加する。また、駆動速度が所定の速度に到達するまで、常にスイープダウンが行われるため、振動体と移動体との間の水分が全て蒸発し、トルクが回復するタイミングによっては、モータが高速で立ち上がる可能性がある。このような駆動シーケンスをデジタルカメラのズーム駆動用の超音波モータに適用してズームレンズを駆動した場合、起動時に発生する音によりユーザに不快感を与える可能性がある。
本発明は、振動型アクチュエータの摺動面の水分を蒸発させて、確実かつ静粛に起動させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る装置は、振動を励起する振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とが相対的に移動可能な振動型アクチュエータを制御する駆動制御装置であって、前記振動型アクチュエータの駆動速度を検出する速度検出手段と、前記速度検出手段による検出信号を取得して前記振動型アクチュエータに駆動信号を出力して制御する制御手段と、を備える。前記制御手段は、前記振動型アクチュエータを起動する場合、前記駆動信号の周波数を駆動開始周波数から下げる周波数掃引制御を行い、前記速度検出手段により検出された駆動速度が第１の速度に達した場合には、目標速度に従って前記駆動信号の周波数を変更する速度制御を開始させ、前記速度検出手段により検出された駆動速度が前記第１の速度に到達していない場合には、前記駆動開始周波数からリトライ周波数まで前記駆動信号の周波数を下げることでリトライ動作の制御を行う。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、振動型アクチュエータの摺動面の水分を蒸発させて、確実かつ静粛に起動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態における振動波モータの駆動制御を説明するフローチャートである。
【図２】撮像装置の全体構成を示すブロック図である。
【図３】ズームレンズ駆動制御部の構成例を示すブロック図である。
【図４】振動波モータの駆動周波数−駆動速度特性を表した図である。
【図５】振動波モータの摺動面を表した模式図である。
【図６】駆動周波数および駆動速度の時間的変化を例示した図である。
【図７】駆動周波数およびエンコーダパルスの時間的変化を例示した図である。
【図８】リトライ周波数以下でスイープレートを初期化する例を説明するフローチャートである。
【図９】リトライ周波数以下でスイープレートを初期化する場合の、駆動周波数および駆動速度の時間的変化を例示した図である。
【図１０】本発明の第２実施形態における振動波モータの駆動制御を説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の第２実施形態にて、リトライ時に最大周波数で所定時間に亘って振動波モータを駆動する例を示した図である。
【図１２】従来の振動波モータの駆動制御を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の振動型アクチュエータの駆動制御装置に係る各実施形態を、添付図面に基づいて詳細に説明する。各実施形態では、超音波モータ等の振動型アクチュエータにより、撮像光学系の可動部材の駆動制御を行うデジタルカメラや電子カメラ等の撮像装置への適用例を示す。可動部材は、像振れ補正部材（補正レンズ）、光学部材（変倍用、焦点調節用等の可動レンズ）、光量調節部材（絞りやフィルタ等）である。
【００１３】
［第１実施形態］
本発明の第１実施形態では、振動波モータの駆動開始時に、所定のスイープレートで駆動周波数を掃引していき、所定の駆動周波数で所定の速度に到達していない場合にスイープレートを下げて、再度、駆動開始周波数からスイープ動作を開始させる。
図２は本発明の第１実施形態に係る像振れ補正装置を具備する撮像装置の回路構成例を示すブロック図である。
カメラ制御部１００１はカメラ全体の制御を統括する。カメラ制御部１００１はＣＰＵ（中央演算処理装置）を備え、メモリからプログラムを読み出して実行することによって以下に説明する各種の制御を行う。
【００１４】
撮像光学系の焦点距離を変更するズームレンズユニット１００２は、画像の拡大率を変更するための１群レンズ（以下、ズームレンズという）を含む。ズームレンズ駆動制御部１００３はズームレンズユニット１００２の駆動制御を行い、カメラ制御部１００１からの目標信号に基づいてズームレンズの速度制御を行う。シフトレンズユニット１００４に含まれる２群レンズは、像振れ補正を行うための補正レンズ（以下、シフトレンズという）である。シフトレンズ駆動制御部１００５は、シフトレンズユニット１００４の駆動制御を行う。絞り・シャッタユニット１００６は光量調節部材を備え、絞り・シャッタ駆動制御部１００７によって制御される。フォーカスレンズユニット１００８に含まれる３群レンズは焦点調節レンズ（以下、フォーカスレンズという）である。フォーカスレンズ駆動制御部１００９は、カメラ制御部１００１からの指令値に従ってフォーカスレンズを駆動させる。
【００１５】
ジャイロセンサ１０１０は、カメラの振れを検出する角速度センサであり、振れ検出部を構成する。ジャイロセンサ１０１０は高速で発振する振動子を有しており、ジャイロが回転するとコリオリ力により振動が変調されることを利用して角速度を検出する。ジャイロセンサ１０１０は、センサ出力信号用のローパスフィルタ（不図示）を有しており、ノイズや振動波モータの振動による偽信号の影響を減衰させている。
撮像素子１０１１は、撮像光学系を通過して結像する光を受光し、光信号を電気信号に光電変換するＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ等である。カメラ信号処理回路１０１２は、撮像素子１０１１からの撮像信号を所定の規格化された映像信号に変換する。画像信号処理回路１０１３は、カメラ信号処理回路１０１２が出力する映像信号を、ＳＤカード等の記録媒体への記録に適した信号に変換する。この他、操作部や表示部等が設けられているが、本発明に直接関連のない部分の説明は省略する。
【００１６】
図３は、図２のズームレンズ駆動制御部１００３の内部構成を示すブロック図である。振動波モータ１００３ａは、ズームレンズを駆動するためのアクチュエータである。振動波モータ１００３ａは位相が異なる２相の駆動信号を印加することにより駆動される。制御演算部１００３ｂには減算部ＤＥＣの出力が入力される。減算部ＤＥＣは、後述するズーム速度センサ１００３ｆからの速度検出信号と、カメラ制御部１００１からの速度指令信号との差分を算出する。制御演算部１００３ｂは減算部ＤＥＣから差分出力を取得してＰ（比例）Ｉ（積分）Ｄ（微分）制御演算を行う。パルス発生部１００３ｃは、制御演算部１００３ｂの制御演算結果に応じたパルス幅をもったパルス信号を発生させる。ドライバ１００３ｄは、パルス発生部１００３ｃから出力されるパルス信号に基づいて位相が異なる２相（Ａ相およびＢ相）の駆動信号を発生させる。増幅部１００３ｅは、不図示のインダクタによるドライバ１００３ｄからのパルス信号の平滑と、振動波モータ１００３ａを駆動するために必要な所定の振幅レベルまでの昇圧を行う。ここでは、図２に示すズームレンズ駆動制御部１００３の内部のみについて説明した。シフトレンズ駆動制御部１００５、絞り・シャッタ駆動制御部１００７、フォーカスレンズ駆動制御部１００９についても、ズームレンズ駆動制御部１００３と同様の構成であり、それぞれのアクチュエータとして振動波モータを備えている。
【００１７】
エンコーダ１００３ｈは、振動波モータ１００３ａの速度および位置を検出する検出部を構成する。エンコーダ１００３ｈは、振動波モータ１００３ａの動力を伝達するギアの回転軸に設置されており、振動波モータ１００３ａが所定量動く度に信号を発生させる。ズーム速度センサ１００３ｆは速度検出手段であり、エンコーダ１００３ｈからの信号に対するコンパレート処理によりデジタル化した信号を、微分して速度信号に変換する。この速度信号（検出信号）はカメラ制御部１００１および減算部ＤＥＣに出力される。ズーム位置センサ１００３ｇは、エンコーダ１００３ｈからの信号に対するコンパレート処理によりデジタル化した信号を、積分して位置信号に変換する。この位置信号（検出信号）はカメラ制御部１００１に出力される。
【００１８】
次に、ズームレンズ駆動制御部１００３の動作について説明する。
カメラ制御部１００１は、外部からズーム駆動指令が入力されると、ズーム動作を開始させる。カメラ制御部１００１は、ズーム動作中に外部から停止指令信号が入力されると、振動波モータ１００３ａの駆動速度とズームレンズ位置から駆動停止位置を算出する。ズームレンズが駆動停止位置に到達した場合、速度制御を止めて振動波モータ１００３ａを停止させる処理が実行される。本実施形態では、振動波モータ１００３ａの起動時において、目標速度に達するまでの間、速度制御を行わないで駆動周波数のスイープダウン動作を行う。駆動周波数が所定の速度制御開始速度に達したら速度制御が行われる。図４を参照して、振動波モータ１００３ａの駆動周波数と駆動速度の関係について説明する。
【００１９】
図４は、振動波モータ１００３ａの駆動周波数（横軸）と駆動速度（縦軸）との関係を示したグラフである。横軸に示す各周波数は「ｆｒ＜ｆｍｉｎ＜ｆｂ＜ｆｖｃｏｎｔ＜ｆｒｅｔｒｙ＜ｆａ＜ｆｍａｘ」の関係を満たす。縦軸に示す駆動速度は、「Ｖｆｒ＞Ｖｆｍｉｎ＞Ｖｆｂ＞Ｖｃｏｎｔ＞Ｖｆｒｅｔｒｙ＞Ｖｆａ＞Ｖｆｍａｘ」の関係を満たす。
リトライ周波数（ｆｒｅｔｒｙ）は、速度制御開始速度（Ｖｃｏｎｔ）に対応する駆動周波数（ｆｖｃｏｎｔ）より大きく、かつ駆動開始周波数（本例ではｆｍａｘ）よりも小さい値に設定されている。振動波モータ１００３ａの駆動速度は、駆動周波数が機械的共振周波数ｆｒに近づくにつれて二乗的に上昇し、駆動周波数が少しでも共振周波数ｆｒを下回ると停止してしまう。振動波モータは、このような駆動周波数−駆動速度特性を持つため、駆動周波数により速度制御を行う際には、共振周波数ｆｒより高い周波数領域を使用する。
【００２０】
図５は振動波モータの振動体と移動体との摺動面の断面を模式的に示す。図５（Ａ）は、図４に示す駆動周波数ｆａの場合（低速駆動時）の摺動面を表す。図５（Ｂ）は、図４に示す駆動周波数ｆｂの場合（高速駆動時）の摺動面の状態を表す。振動波モータは、振動を励起する振動体と、該振動体に加圧接触する移動体とが、矢印で示すように相対的に移動可能である。
図５（Ａ）に示す低速駆動時では、振動体と移動体とが全面接触となるため、摩擦による発熱量が大きい。一方、図５（Ｂ）に示す高速駆動時では、振動体の振動振幅は大きいが、振動体と移動体は振動体の振動振幅の腹の部分で接触するため、摩擦による発熱量は小さくなる。したがって、摺動面に存在する水分（図５（Ｃ）参照）を短時間で蒸発させる際には、摩擦による発熱量が大きい低速での駆動が望ましい。
【００２１】
本実施形態では、リトライ周波数ｆｒｅｔｒｙを、通常駆動時にて確実に振動波モータが駆動される周波数であると同時に、速度制御開始速度より速度が遅くなる周波数に設定している。したがって、リトライ動作中に水分が蒸発し、振動波モータが駆動を開始したとしても高速で起動することはなく、起動時の音の影響を抑えることができる。また、移動体と振動体の接触面積が大きく、駆動速度が遅い周波数でリトライ動作を行うことで、高速駆動時に比べ短時間で水分を蒸発させることができる。
【００２２】
図１は振動波モータの起動時のリトライ動作を説明するフローチャートである。以下の処理はカメラ制御部１００１からズームレンズ駆動制御部１００３への制御指令に従って実行される。
Ｓ１０１では、カメラ制御部１００１の制御下でスイープレートの初期化処理が実行される。Ｓ１０２では掃引開始時の駆動周波数である最大周波数(図４：ｆｍａｘ)の設定処理が行われる。Ｓ１０３では、Ｓ１０１で設定された第１のスイープレートでのスイープダウン、つまりアクチュエータへの駆動信号の周波数を下げる周波数掃引制御が行われる。なお、スイープレートは、周波数掃引制御にて駆動周波数を変化させる場合の、時間に対する変化率である。
【００２３】
Ｓ１０４は、駆動速度が第１の速度（速度制御に移行する際の開始速度Ｖｃｏｎｔ）に到達したかの判断処理である。速度制御開始速度Ｖｃｏｎｔに対応する周波数ｆｖｃｏｎｔまで駆動周波数の掃引が行われ、Ｓ１０４で振動波モータの駆動速度が第１の速度Ｖｃｏｎｔに到達した場合、速度制御を開始する。一方、Ｓ１０４で振動波モータの駆動速度が第１の速度Ｖｃｏｎｔに到達していない場合、Ｓ１０５に進む。
Ｓ１０５では、現在の駆動周波数がリトライ周波数(図４：ｆｒｅｔｒｙ)と比較され、リトライ周波数以下であるか否かが判定される。駆動周波数がリトライ周波数を超えている場合（Ｓ１０５でＮＯ）、Ｓ１０３に移行し、再度スイープダウンが行われる。一方、Ｓ１０５で駆動周波数がリトライ周波数以下と判定された場合（Ｓ１０５でＹＥＳ）、Ｓ１０６に処理を進める。Ｓ１０６でスイープレートが第２のスイープレートに変更され、再度Ｓ１０２に移行する。
【００２４】
本実施形態では、起動時に発生する音を抑えるため、図４に示すように、リトライ周波数（ｆｒｅｔｒｙ）は、振動波モータの駆動開始周波数（ｆｍａｘ）よりも低く、速度制御開始周波数（ｆｖｃｏｎｔ）よりも高い値に設定されている。リトライ周波数については、振動波モータごとに、事前に最適なリトライ周波数を調査しておき、カメラ制御部１００１の内部のＲＯＭ（読出し専用メモリ）に記憶される。または、振動波モータが起動した際の駆動周波数を駆動中に検出して、検出値と速度制御開始周波数（ｆｖｃｏｎｔ）との間の周波数になるようにリトライ周波数を設定してもよい。
【００２５】
図６は、図５（Ｃ）に示すように振動体と移動体の間に水分が存在している状態にて、振動波モータの起動時にリトライ動作を行った場合のタイムチャートを示す。図６には振動波モータの駆動周波数の時間的変化と、駆動速度の時間的変化を例示する。２回のリトライ動作を行った場合に、２回目のリトライ動作において、振動波モータの速度が第２の速度（以下、判定速度といい、Ｖｊｕｄｇｅと記す）以上となったため、速度制御へと移行する例を示している。図６に示すように、丸印中の２で示す第２のスイープレートや丸印中の３で示す第３のスイープレートは、丸印中の１で示す第１のスイープレートよりも小さい（時間軸に対する傾斜角度が小さい）。
【００２６】
リトライ動作時に、駆動速度が判定速度になったことを条件として速度制御へ移行させる例の他、図７に示す条件で速度制御への移行を判定してもよい。図７には振動波モータの駆動周波数の時間的変化と、エンコーダパルスの時間的変化を例示する。エンコーダパルスのカウント数が閾値を超えたか否か、または、エンコーダパルスの有無（図７では第１パルスの発生が検知される）により条件判断を行い、速度制御に移行するかどうかが決定される。
【００２７】
また、図８および図９に示すように、リトライ動作時に駆動速度が所定の速度以上になった場合、スイープレートを初期化して速度制御動作に移行させる処理を行ってもよい。図８のＳ８０１ないしＳ８０６の処理は、図１のＳ１０１ないしＳ１０６と同様であるため、Ｓ８０７を説明する。
Ｓ８０４で駆動速度が速度制御開始速度（図４：Ｖｃｏｎｔ）以上になった場合、Ｓ８０７に処理を進め、スイープレートが初期化された後、速度制御が開始される。
図９は振動波モータの駆動周波数の時間的変化と、駆動速度の時間的変化を例示する。２回目のリトライ動作後、第３のスイープレート（丸印中の３）が設定される。その後、駆動速度が判定速度Ｖｊｕｄｇｅに到達すると、初期値である第１のスイープレート（丸印中の１）に変更されてスイープ動作が行われた後、速度制御が開始する。
【００２８】
本実施形態では、振動波モータを駆動する際に、リトライ動作を実行することで、振動体と移動体との間に水分が存在している場合でも、水分を蒸発させることができる。よって、トルク不足によりモータが起動しない状態を回避できる。また、リトライ周波数については、リトライ周波数における振動波モータの駆動速度が、速度制御開始時の速度より遅くなる周波数に設定されている。このため、急峻にモータが起動することはない。本実施形態によれば、振動型アクチュエータの摺動面に水分が存在したとしても、振動体の振動を検出する手段を用いることなく、確実かつ静粛な起動を実現できる。
【００２９】
［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態を説明する。本実施形態の構成は第１実施形態の場合と同じであるため、既に使用した符号を用いることでそれらの詳細な説明を省略し、相違点を説明する。本実施形態では、スイープレートを変えずに、最大周波数（ｆｍａｘ）で所定時間（Δｔ）の駆動を行ってからリトライ動作を行う点が第１実施形態と異なる。
【００３０】
図１０は、本実施形態における、振動波モータの起動時のリトライ動作を説明するフローチャートである。図１０のＳ１００１ないしＳ１００５の処理は、図１のＳ１０１ないしＳ１０５と同様であるため、Ｓ１００６を説明する。
Ｓ１００５において、現在の駆動周波数がリトライ周波数（ｆｒｅｔｒｙ）以下である場合、Ｓ１００６に進み、駆動周波数を掃引開始時の最大周波数（ｆｍａｘ）に設定した上で、所定時間（Δｔ）に亘って振動波モータが駆動される。そして、Ｓ１００２に移行する。
【００３１】
図１１は、振動体と移動体の間に水分が存在している場合において、振動波モータの起動時にリトライ動作を行った際のタイムチャートを示す。図１１には振動波モータの駆動周波数の時間的変化と、駆動速度の時間的変化を例示する。スイープレート（丸印中の１）は一定とする。２回のリトライ動作が行われ、２回目のリトライ動作において駆動速度が所定の判定速度以上となったため、速度制御へと移行する例を示している。リトライ動作の間に、最大周波数（ｆｍａｘ）で所定時間（Δｔ）のモータ駆動が実行される。
【００３２】
本実施形態では、最大周波数（ｆｍａｘ）で駆動させる時間（Δｔ）の長さは一定であり、リトライ動作ごとに変更していない。これに限らず、リトライ動作を行う度にΔｔの長さを変更してもよい。また、本実施形態では、リトライ動作時に駆動速度が所定の判定速度以上になった場合、速度制御へ移行する例を示す。図７のように、エンコーダのパルスカウント数またはエンコーダパルスの有無を判定条件として速度制御への移行時点を判断してもよい。
本実施形態によれば、振動型アクチュータを駆動する際に、振動体と移動体の間に水分が存在している場合でも、最大周波数で駆動している期間中に水分を蒸発させることにより駆動トルクを回復できる。
【符号の説明】
【００３３】
１００１  カメラ制御部
１００２  ズームレンズユニット
１００３  ズームレンズ駆動制御部
１００３ａ  振動波モータ
１００３ｂ  制御演算部
１００３ｆ  ズーム速度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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