(57)【要約】      （修正有）【課題】閉鎖空間を内部に形成する絶縁構造の実現。【解決手段】絶縁体１のキー溝２に電極５のキー６を嵌め込んで絶縁体と電極を一体化した絶縁体を二組用意する。二組の内の一組の絶縁体を先頭にして絶縁外筒７の内部空間８の左側空間９に一組の絶縁体を挿入する。挿入された一組の絶縁体が絶縁外筒の内部空間に設けられた仕切ストッパ１０に突き当たるまで絶縁体を押し込み、絶縁外筒の貫通穴１２及び１３と絶縁体の固定ネジ穴３及び４の位置を合わせて固定ネジ１６及び１７で絶縁体を絶縁外筒の左側空間に固定し一組の絶縁体を絶縁外筒と内部合体させる。同様にして、二組の内の他組の絶縁体も内部合体させる。絶縁外筒の左側空間及び右側空間１１にそれぞれ固定された二組の絶縁体が左側空間及び右側空間を仕切る壁を構成し絶縁外筒の仕切ストッパと共に閉鎖空間２０を形成して構成される絶縁構造を特徴とする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁体１のキー溝２に電極５のキー６を嵌め込んで絶縁体１と電極５を一体化した該絶縁体を二組用意する。二組の内の一組の該絶縁体の絶縁体１を先頭にして絶縁外筒７の内部空間８の左側空間９に一組の該絶縁体を挿入する。挿入された一組の該絶縁体の絶縁体１が絶縁外筒７の内部空間８に設けられた仕切ストッパ１０に突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒７の貫通穴１２及び１３と絶縁体１の固定ネジ穴３及び４の位置を合わせて固定ネジ１６及び１７で絶縁体１を絶縁外筒７の左側空間９に固定し一組の該絶縁体を絶縁外筒７と内部合体させる。同様にして、二組の内の他組の該絶縁体の絶縁体１を先頭にして絶縁外筒７の内部空間８の右側空間１１に他組の該絶縁体を挿入する。挿入された他組の該絶縁体の絶縁体１が絶縁外筒７の内部空間８に設けられた仕切ストッパ１０に突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒７の貫通穴１４及び１５と絶縁体１の固定ネジ穴３及び４の位置を合わせて固定ネジ１８及び１９で絶縁体１を絶縁外筒７の右側空間１１に固定し他組の該絶縁体を絶縁外筒７と内部合体させる。絶縁外筒７の左側空間９及び右側空間１１にそれぞれ固定された二組の該絶縁体の絶縁体１が左側空間９及び右側空間１１を仕切る壁を構成し絶縁外筒７の仕切ストッパ１０と共に閉鎖空間２０を形成して構成される絶縁構造。
【請求項２】
請求項１に記載の絶縁構造の請求に於いて、絶縁体１のキー溝２と電極５のキー６の嵌め込み構造の代りに、絶縁体１の面のキー溝２がなく平面を形成し、電極５がない構造で構成される絶縁構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は絶縁物で構成される絶縁構造の内部に閉鎖空間を形成し、閉鎖空間内空気を絶縁に利用して絶縁能力を向上させることを目的とするものである。
【背景技術】
【０００２】高周波絶縁に於いては高い対電圧特性が要求される。対電圧特性に優れた材料は種類が少なく価格も高い。高周波絶縁に使用できる絶縁材料が限られているのが現状である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】上述したような対電圧特性に優れた高価な絶縁材料と低価格の絶縁材料を併用して対電圧特性を向上させる絶縁構造の開発が要求される。【０００４】本発明はこのような理由に基づいてなされたものである。対電圧特性のより一層の向上を計るために優れた高価な絶縁材料を主要箇所に使用し、その他の部分には低価格の絶縁材料を併用し、絶縁構造内部に絶縁用閉鎖空間を形成し、閉鎖空間内空気を絶縁に利用しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】上記の目的を達成する本発明の絶縁構造は絶縁体のキー溝に電極のキーを嵌め込んで絶縁体と電極を一体化した該絶縁体を二組用意する。二組の内の一組の該絶縁体の絶縁体を先頭にして絶縁外筒の内部空間の左側空間に一組の該絶縁体を挿入する。挿入された一組の該絶縁体の絶縁体が絶縁外筒の内部空間に設けられた仕切ストッパに突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒の貫通穴と絶縁体の固定ネジ穴の位置を合わせて固定ネジで絶縁体を絶縁外筒の左側空間に固定し一組の該絶縁体を絶縁外筒と内部合体させる。同様にして、二組の内の他組の該絶縁体の絶縁体を先頭にして絶縁外筒の内部空間の右側空間に他組の該絶縁体を挿入する。挿入された他組の該絶縁体の絶縁体が絶縁外筒の内部空間に設けられた仕切ストッパに突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒の貫通穴と絶縁体の固定ネジ穴の位置を合わせて固定ネジで絶縁体を絶縁外筒の右側空間に固定し他組の該絶縁体を絶縁外筒と内部合体させる。絶縁外筒の左側空間及び右側空間にそれぞれ固定された二組の該絶縁体の絶縁体が左側空間及び右側空間を仕切る壁を構成し絶縁外筒の仕切ストッパと共に閉鎖空間を形成して構成される絶縁構造を特徴とする。【０００６】一例として、前項に記載の絶縁構造に於いて、絶縁体のキー溝と電極のキーの嵌め込み構造の代りに、絶縁体の面のキー溝がなく平面を形成し、電極がない構造で構成される絶縁構造の実施例である。
【発明の効果】
【０００７】上記の説明のように、本発明によれば、高価な絶縁材料と低価格の絶縁材料を併用した絶縁構造の構成が可能となる。絶縁構造内部に閉鎖空間を形成し閉鎖空間内の空気も絶縁に利用すれば、従来品よりも対電圧特性の一層の向上が計れると共に製品コストも削減できる利点が本発明により得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】以下に、本発明の実施形態を図面に基づき詳細に説明する。【０００９】図１〜図９は本発明の第一の実施形態に関するものである。図１は絶縁体の断面図、図２は電極の断面図、図３は絶縁体と電極を一体化した該絶縁体の断面図、図４は図３を９０度回転させて裏返えしにした断面図、図５は絶縁外筒の断面図、図６は図５を９０度回転させた断面図、図７は第一の実施形態の構成断面図、図８は絶縁外筒の斜視図、図９は図８を９０度回転させた斜視図である。【００１０】本発明の理解を助けるため、最初に本発明の主要な構成部材を説明する。それは図１の絶縁体２個、図２の電極２個、図８の絶縁外筒１個を使用する。【００１１】図１〜図９に示すように、絶縁体１のキー溝２に電極５のキー６を嵌め込んで絶縁体１と電極５を一体化した該絶縁体を二組用意する。二組の内の一組の該絶縁体の絶縁体１を先頭にして絶縁外筒７の内部空間８の左側空間９に一組の該絶縁体を挿入する。
挿入された一組の該絶縁体の絶縁体１が絶縁外筒７の内部空間８に設けられた仕切ストッパ１０に突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒７の貫通穴１２及び１３と絶縁体１の固定ネジ穴３及び４の位置を合わせて固定ネジ１６及び１７で絶縁体１を絶縁外筒７の左側空間９に固定し一組の該絶縁体を絶縁外筒７と内部合体させる。
同様にして、二組の内の他組の該絶縁体の絶縁体１を先頭にして絶縁外筒７の内部空間８の右側空間１１に他組の該絶縁体を挿入する。挿入された他組の該絶縁体の絶縁体１が絶縁外筒７の内部空間８に設けられた仕切ストッパ１０に突き当たるまで該絶縁体を押し込み、絶縁外筒７の貫通穴１４及び１５と絶縁体１の固定ネジ穴３及び４の位置を合わせて固定ネジ１８及び１９で絶縁体１を絶縁外筒７の右側空間１１に固定し他組の該絶縁体を絶縁外筒７と内部合体させる。絶縁外筒７の左側空間９及び右側空間１１にそれぞれ固定された二組の該絶縁体の絶縁体１が左側空間９及び右側空間１１を仕切る壁を構成し絶縁外筒７の仕切ストッパ１０と共に閉鎖空間２０を形成して構成される絶縁構造である。【００１２】第２の実施例は、図１及び図２に示された絶縁体１のキー溝２と電極５のキー６の嵌め込み構造の代りに、絶縁体１の面のキー溝２がなく平面を形成し、電極５がない構造で構成される絶縁構造である。
【実施例】
【００１３】以上に本発明の実施例を説明したが、実施例の形状、大きさ、使用材料等は本発明に於いて限定せず、任意に選定使用ができる。
【産業上の利用可能性】
【００１４】本発明は半導体装置のプラズマ生成装置等に於ける高絶縁を必要とする産業分野で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の絶縁体の断面図である。
【図２】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の電極の断面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の絶縁体と電極を一体化した該絶縁体の断面図である。
【図４】図３の絶縁体と電極を一体化した該絶縁体の断面図を９０度回転させて裏返えしにした該絶縁体の断面図である。
【図５】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の絶縁外筒の断面図である。
【図６】図５の絶縁外筒の断面図を９０度回転させた絶縁外筒の断面図である。
【図７】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の構成断面図である。
【図８】本発明の第一の実施形態に関する絶縁構造の絶縁外筒の外形斜視図である。
【図９】図８の絶縁外筒の外形斜視図を９０度回転させた絶縁外筒の外形斜視図である。
【符号の説明】
【００１６】１                      絶縁体
２                      キー溝
３，４                  固定ネジ穴
５                      電極
６                      キー
７                      絶縁外筒
８                      内部空間
９                      左側空間
１０                    仕切ストッパー
１１                    右側空間
１２，１３，１４，１５  貫通穴
１６，１７，１８，１９  固定ネジ
２０                    閉鎖空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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