(57)【要約】【課題】ノイズの影響を低減することができる検査装置、及び検査方法を提供すること。【解決手段】本発明にかかる検査装置は、検査パネル１２が載置されるワークテーブル２６と、ワークテーブル２６上に載置された検査パネル１２の電極１２ａと接触するプローブ３８を有するプローブユニット３１と、ワークテーブル２６上に載置された検査パネル１２の電極１２にプローブ３８を接触させるために、ワークテーブル２６を移動するステージ１１と、を備え、ステージ１１が接地され、抵抗体を介してステージ１１がワークテーブル２６を支持している検査装置。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体が載置されるワークテーブルと、
前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体と接触するプローブを有するプローブユニットと、
前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体の電極に前記プローブを接触させるために、前記ワークテーブルを移動するステージと、を備え、
前記ステージが接地され、
抵抗体を介して前記ステージが前記ワークテーブルを支持している検査装置。
【請求項２】
前記ステージが複数の支柱を介して前記ワークテーブルを支持しており、
前記支柱と前記ステージとの間に前記抵抗体となる樹脂材料が介在している請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記ステージと前記ワークテーブルとの間の抵抗値が１ＭΩ以上となっている請求項１、又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記プローブを介して前記電極に検査信号を供給している間において、前記ステージを駆動するモータの電源をＯＦＦする制御部をさらに備える請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記モータの電源がＯＦＦになると、前記モータにブレーキがかかり、前記ワークテーブルの位置が固定される請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
被検査体が載置されるワークテーブルと、
前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体と接触するプローブを有するプローブユニットと、
前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体の電極に前記プローブを接触させるために、前記ワークテーブルを移動するステージと、を備えた検査装置による検査方法であって、
モータによって前記ステージを駆動して、前記プローブと前記電極と接触させるステップと、
前記モータの電源をＯＦＦした状態で、前記プローブを介して前記電極に検査信号を供給するステップと、を備える検査方法。
【請求項７】
前記モータの電源がＯＦＦになると、前記モータにブレーキがかかり、前記ワークテーブルの位置が固定される請求項６に記載の検査方法。
【請求項８】
前記ステージが接地され、
抵抗体を介して前記ステージが前記ワークテーブルを支持している請求項７に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
製造工程を経た表示パネルは、一般的に、画素欠陥のような欠陥の有無を調べるための点灯検査を受ける。この点灯検査では、被検査体である液晶パネルに駆動信号を供給する必要がある。また、アレイ検査を行うことで、回路検査を行うことができる。例えば、切断前のマザーガラス基板に対して、駆動信号を供給する。そのため、検査装置には、その検査ステーションとして、検被検査体である液晶パネルがその電極を上方に向けて配置される検査台と、被検査体の上方に設けられた固定枠体に支持されたプローブユニットとを含む電気的検査装置が設けられている。
【０００３】
この種の電気的検査装置として、特許文献１には、液晶パネルの検査装置が開示されている。この検査装置では、液晶パネルが検査ステージのワークテーブルの上に載せられている。検査ステージはＸＹＺθ方向に駆動可能な駆動台、及び回転台を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２３１３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような検査装置において、ワークテーブルがグランド（ＧＮＤ）に接続すると、ワークテーブルをデバイスの間に容量結合（カップリング）が発生する。具体的には、図１０に示すように、検査パネル１２に設けられたデバイスパターン１２ｂと導体からなるワークテーブル２６との間に容量結合が発生する。したがって、測定電流がワークテーブル２６を通して、ＧＮＤに流れて行ってしまう。容量結合を介した漏れ電流がノイズとなって測定結果に影響してしまうという問題点がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、ノイズの影響を低減することができる検査装置、及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係る検査装置は、被検査体が載置されるワークテーブルと、前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体と接触するプローブを有するプローブユニットと、前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体の電極に前記プローブを接触させるために、前記ワークテーブルを移動するステージと、を備え、前記ステージが接地され、抵抗体を介して前記ステージが前記ワークテーブルを支持しているものである。この構成により、検査パネルからワークテーブルを介してＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができ、ノイズの影響を低減することができる。
【０００８】
上記の検査装置において、前記ステージが複数の支柱を介して前記ワークテーブルを支持しており、前記支柱と前記ステージとの間に前記抵抗体となる樹脂材料が介在していてもよい。簡素な構成で、ノイズの影響を低減することができる。
【０００９】
上記の検査装置において、前記ステージと前記ワークテーブルとの間の抵抗値が１ＭΩ以上となっていてもよい。こうすることで、検査パネルからワークテーブルを介してＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができ、漏れ電流がノイズとなって測定結果に影響するのを防ぐことができる。
【００１０】
上記の検査装置において、前記プローブを介して前記電極に検査信号を供給している間において、前記ステージを駆動するモータの電源をＯＦＦする制御部をさらに備えていてもよい。ノイズ発生源となるモータの電源をＯＦＦすることで、よりノイズの影響を低減することができる。
上記の検査装置において、前記モータの電源がＯＦＦになると、前記モータにブレーキがかかり、前記ワークテーブルの位置が固定されるようにしてもよい。これにより、プローブの位置ずれを防ぐことができる。
【００１１】
本発明の一態様に係る検査方法は、被検査体が載置されるワークテーブルと、前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体と接触するプローブを有するプローブユニットと、前記ワークテーブル上に載置された前記被検査体の電極に前記プローブを接触させるために、前記ワークテーブルを移動するステージと、を備えた検査装置による検査方法であって、モータによって前記ステージを駆動して、前記プローブと前記電極と接触させるステップと、前記モータの電源をＯＦＦした状態で、前記プローブを介して前記電極に検査信号を供給するステップと、を備えるものである。こうすることで、検査中に発生するノイズを低減することができる。
上記の検査方法において、前記モータの電源がＯＦＦになると、前記モータにブレーキがかかり、前記ワークテーブルの位置が固定されるようにしてもよい。これにより、プローブの位置ずれを防ぐことができる。
【００１２】
さらに、上記の検査方法において、前記ステージが接地され、抵抗体を介して前記ステージが前記ワークテーブルを支持していてもよい。これにより、検査パネルからワークテーブルを介してＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができ、ノイズの影響を低減することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ノイズの影響を低減することができる検査装置、及び検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】検査装置の外観を示す斜視図である。
【図２】検査装置のワークテーブル部分を模式的に示す平面図である。
【図３】検査装置のワークテーブル部分を模式的に示す図である。
【図４】検査装置のワークテーブルとステージとの固定部分を示す斜視図である
【図５】支持部による固定構造を示す断面図である。
【図６】ワークテーブルとステージとのグランドへの接続を模式的に示す図である。
【図７】検査装置の構成を模式的に示す図である。
【図８】検査装置の制御系を示す制御ブロック図である。
【図９】ステージの駆動機構を模式的に示す図である。
【図１０】ワークテーブルの接地を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（全体構成）
図１は、本発明に係る検査パネルのための検査装置１０の外観を示す。この検査装置１０は、長方形の平面形状を有する検査パネル１２の例えば点灯検査、あるいはアレイ検査に用いられる。以下、検査装置１０が点灯検査に用いられる一例について説明する。検査装置１０は、傾斜正面１４ａを備える筐体１４を備えている。筐体１４の傾斜正面１４ａには、点灯検査のための第１の窓（開口）１６ａおよび第１の窓１６ａに隣り合う第２の窓（開口）１６ｂが設けられている。検査パネル１２は、被検査体であり、例えば、液晶パネル、有機ＥＬパネルなどの表示パネルである。さらには、Ｘ線フラットパネルディテクタ等の回路検査に適用することも可能である。
【００１６】
筐体１４内には、検査パネル１２の点灯検査のための検査ステーション１８が第１の窓１６ａに対応して設けられている。筐体１４内には、パネル受け渡しステーション２０が検査ステーション１８と並んで設けられている。パネル受け渡しステーション２０は、検査ステーション１８との間で、検査パネル１２を順次やり取りする。パネル受け渡しステーション２０としては、従来よく知られた構成を用いることができる。パネル受け渡しステーション２０は、第２の窓１６ｂに対応して設けられている。筐体１４は、ＧＮＤ（グランド）に接地されている。
【００１７】
検査パネル１２の一方の面には、多数の電極が配列されている。例えば、複数の電極は、矩形の検査パネル１２の一方の長辺縁部に沿って配列されている。さらに、複数の電極１２ａは、検査パネル１２の一方の短辺縁部に沿って配列されている。検査ステーション１８で点灯検査を受ける検査パネル１２は、従来よく知られているように、パネル受け渡しステーション２０のパネル受け渡し装置２４上に、搬入される。例えば、図示しない搬送ロボットが、筐体１４の背面に設けられた出し入れ口２２を介して、パネル受け渡し装置２４上に、検査パネル１２を搬入する。このとき、電極１２ａが上方を向けた状態で、検査パネル１２がパネル受け渡し装置２４に搬入される。このパネル受け渡し装置２４上の検査パネル１２は、パネル受け渡し装置２４の搬送アーム機構２４ａを経て、検査ステーション１８に移送される。そして、検査ステーション１８において、検査パネル１２の点灯検査が行われる。また、検査ステーション１８で点灯検査を受けた検査パネル１２は、従来よく知られているように、搬送アーム機構２４ａの取り扱いにより、パネル受け渡し装置２４に移送される。そして、搬送ロボットが、パネル受け渡し装置２４に移送された検査パネル１２を検査装置１０から取り出す。
【００１８】
検査ステーション１８は、図１に示すように、パネル受け渡しステーション２０からの検査パネル１２を保持するワークテーブル２６と、該ワークテーブルから間隔を置いて配置される固定板たる矩形の固定枠体２８と、固定枠体２８に支持された複数のプローブユニット３０とを備える。
【００１９】
ワークテーブル２６は検査パネル１２が載置される検査台である。ワークテーブル２６は、検査パネル１２の電極１２ａが第１の窓１６ａに向くように、検査パネル１２を保持する。ワークテーブル２６上の検査パネル１２は、筐体１４内で第１の窓１６ａに対応する位置に保持される。ワークテーブル２６は、筐体１４内に収納されている。ワークテーブル２６は、筐体１４内に設置された従来におけると同様なＸＹＺθ支持機構（図示せず）により、支持されている。これにより、ワークテーブル２６上の検査パネル１２の平面位置は、ワークテーブル２６と一体的に、調整可能となる。すなわち、検査パネル１２の位置はＸＹＺ方向に調整可能である。なお、Ｘ方向、及びＹ方向は、傾斜正面１４ａと平行な面内において、互いに直交する方向である。Ｚ方向は、ＸＹ平面に直角な方向である。さらに、検査パネル１２は、Ｚ軸周りの回転姿勢、すなわちθ方向の角度が調整可能である。
【００２０】
ワークテーブル２６の斜め上方、すなわちワークテーブル２６からＺ軸方向に沿って傾斜正面１４ａへ向けての斜め前方には、固定枠体２８が筐体１４に固定されている。固定体となる固定枠体は、例えば、ワークテーブル２６から間隔をおいて配置されている。
【００２１】
固定枠体２８には、プローブユニット３０が固定されている。プローブユニット３０は、矩形の検査パネル１２の一長辺と一短辺に対応して配置されている。すなわち、プローブユニット３０は、検査パネル１２の電極が設けられた辺に沿って配置されている。
【００２２】
（プローブユニット）
次に、プローブユニット３０の構成について、図２を用いて説明する。図２は、ワークテーブル２６上に配置されたプローブユニット３０の要部構成を示す平面図である。また、図２では、ワークテーブル２６上に載せられた検査パネル１２を示している。ここでは、プローブユニット３０が、検査パネル１２の一長辺と一短辺に対応して設けられている。したがって、検査装置１０は、２つのプローブユニット３０を備えている。なお、図２では、検査パネル１２の長辺がＸ方向と平行になっており、短辺がＹ方向と平行になっている。例えば、検査パネル１２の短辺に沿って配置されたプローブユニット３０は、ゲート（走査線）側のプローブユニットとなり、長辺に沿って配置されたプローブユニット３０は、データ（信号線）側のプローブユニットとなる。
【００２３】
プローブユニット３０は、プローブ組立体３１、カメラ３３、プローブステージ板３５、及びサポートベース板３６を備えている。プローブステージ板３５は、図１で示した固定枠体（固定板）２８に取り付けられている。プローブステージ板３５には、サポートベース板３６が取り付けられている。プローブステージ板３５は、サポートベース板３６を支持している。サポートベース板３６は、プローブステージ板３５から検査パネル１２側に延在している。
【００２４】
サポートベース板３６は、複数のプローブ組立体３１を支持している。プローブ組立体３１は、サポートベース板３６の検査パネル１２側に固定されている。図２では、データ側のプローブユニット３０が４つのプローブ組立体３１を有しており、ゲート側のプローブユニット３０が２つのプローブ組立体３１を有している。もちろん、プローブ組立体３１の数や配置は特に限定されるものではない。
【００２５】
プローブ組立体３１は、複数のプローブ３８を保持している。プローブ組立体３１に保持されている複数のプローブ３８は互いに絶縁されている。それぞれのプローブ３８は、検査パネル１２の電極に接触する。こうすることで、検査パネル１２にテスタからの検査信号を供給することができる。プローブ３８は、検査パネル１２の電極と接触するように、検査パネル１２上に突出している。すなわち、プローブ３８の先端の直下には、検査パネル１２が配置される。
【００２６】
さらに、サポートベース板３６には、カメラ３３が配置されている。カメラ３３は、サポートベース板３６の検査パネル１２側に固定されている。カメラ３３は、検査パネル１２に設けられたアライメントマークなどを撮像する。そして、カメラ３３の撮像結果に応じて、検査パネル１２とプローブ３８の位置合わせが行われる。すなわち、検査パネル１２の電極の真上にプローブ３８が移動するよう、ワークテーブル２６が位置合わせされる。図２では、データ側のプローブユニット３０に１つのカメラ３３が設けられ、ゲート側のプローブユニット３３に２つのカメラ３３が設けられている。もちろん、カメラ３３の数や配置などは特に限定されるものでない。
【００２７】
上記のように、ワークテーブル２６の上には、検査パネル１２が載置される。そして、プローブ３８と検査パネル１２の電極を接触させるため、ワークテーブル２６が移動する。例えば、カメラ３３が撮像したアライメントマークの位置に応じて、ワークテーブル２６が移動する。こうすることで、電極がプローブ３８と接触可能な位置に移動する。次に、ワークテーブル２６を移動させるための構成について説明する。
【００２８】
（ステージ）
図３は、検査装置の構成を示す図であり、ワークテーブル２６を支持するＸＹＺθ支持機構であるステージ１１を模式的に示している。ここで、ステージ１１は、ＸＹＺθステージである。すなわち、テーブル１１は、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向にワークテーブル２６を直進移動させる。なお、Ｚ方向は、ＸＹ平面に垂直な方向である。さらに、ステージ１１は、Ｚ軸周りの回転方向であるθ方向にワークテーブル２６を回転させる。このようにすることで、ワークテーブル２６の位置を調整することができる。すなわち、検査パネル１２の電極１２ａとプローブ３８が接触するようにアライメントすることができる。
【００２９】
ワークテーブル２６の上面は、検査パネル１２を保持する。ワークテーブル２６は、検査パネル１２の直下に配置された平板である。ワークテーブル２６は、検査パネル１２の全体を支持している。検査パネル１２の上面には電極１２ａが設けられている。ステージ１１は、ワークテーブル２６の下側に配置され、ワークテーブル２６を支持している。ステージ１１は、Ｘ駆動台４２と、Ｙ駆動台４４と、Ｚ駆動台４６と、θ回転台４８と。トッププレート５０と、を備えている。Ｘ駆動台４２、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、及びθ回転台４８は、それぞれサーボモータやガイド機構等を備えている。
【００３０】
θ回転台４８は、Ｚ駆動台４６の上に配置されている。Ｚ駆動台４６は、Ｙ駆動台４４の上に配置されている。Ｙ駆動台４４は、Ｘ駆動台４２の上に配置されている。θ回転台４８の上には、トッププレート５０が配置されている。ステージ１１がトッププレート５０を移動させる。トッププレート５０の上には、ワークテーブル２６が配置されている。Ｘ駆動台４２と、Ｙ駆動台４４と、Ｚ駆動台４６と、θ回転台４８の順番は、図２に示すものに限られるものではない。ワークテーブル２６、トッププレート５０、Ｘ駆動台４２、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、θ回転台４８は、ステンレスやアルミニウムなどの導体によって形成されている。そして、ステージ１１は、図１に示した筐体１４を介して、ＧＮＤに接地されている。
【００３１】
トッププレート５０は、ワークテーブル２６を支持している。より具体的には、トッププレート５０とワークテーブル２６との間には、支持部８０が配置されている。支持部８は、トッププレート５０の端部に取り付けられている。そして、支持部８０の上端は、ワークテーブル２６に固定され、下端はトッププレート５０に固定されている。このように、トッププレート５０は支持部８０を介して、ワークテーブル２６を支持している。よって、トッププレート５０の移動に応じて、ワークテーブル２６上の検査パネル１２が移動する。
【００３２】
Ｘ駆動台４２は、トッププレート５０をＸ方向に直進移動させる。これにより、Ｘ方向における位置合わせが可能になる。Ｙ駆動台４４は、トッププレート５０をＹ方向に直進移動させる。これにより、Ｙ方向における位置合わせが可能になる。Ｚ駆動台４６は、トッププレート５０をＺ方向に移動させる。これにより、検査パネル１２とプローブ３８の間隔を変えることができる。すなわち、プローブ３８と検査パネル１２の電極１２ａとを接触させたり、離したりすることができる。θ回転台４８は、トッププレート５０をθ方向、すなわちＺ軸周りに回転する。これにより、θ方向における位置合わせが可能になり、検査パネル１２とワークテーブル２６の傾きのずれを調整することができる。
【００３３】
ワークテーブル２６は、トッププレート５０等と同様に、ステンレスなどの導体によって形成されている。後述するように、支持部８０を高い抵抗値を有する抵抗体を備えている。トッププレート５０とワークテーブル２６との間には、抵抗体が介在している。こうすることで、ワークテーブル２６とステージ１１との間の抵抗値を高くすることができる。ステージ１１は接地されているため、ワークテーブル２６は、抵抗体を介してＧＮＤに接続される。
【００３４】
これにより、容量結合を介した漏れ電流を低減することができる。例えば、検査パネル１２がデバイスパターンを有するガラス基板であるとすると、ワークテーブル２６とデバイスパターンとの間には、容量結合が生じる（図１０参照）。ＧＮＤとワークテーブル２６との間に抵抗体を設けることで、容量結合を通じた漏れ電流を低減することができるため、測定ノイズの影響を低減することができる。
【００３５】
（支持構造）
次に、図４を用いて、トッププレート５０とワークテーブル２６との間の支持部８０について説明する。図４は、トッププレート５０とワークテーブル２６とを固定する構成を示す斜視図である。
【００３６】
図４に示すように、トッププレート５０の上方には、ワークテーブル２６が配置されている。トッププレート５０とワークテーブル２６は、ほぼ同じ大きさの矩形板である。ワークテーブル２６の上には、矩形状の検査パネル１２が載置されている。トッププレート５０とワークテーブル２６は、導体によって形成されている。例えば、トッププレート５０とワークテーブル２６は、ステンレスなどの金属板である。これにより、ワークテーブル２６とトッププレート５０の撓みの影響を低減することができる。
【００３７】
トッププレート５０とワークテーブル２６との間には、複数の支持部８０が設けられている。支持部８０は、支柱などを有しており、トッププレート５０とワークテーブル２６とを固定する。トッププレート５０とワークテーブル２６が一定の間隔を隔てて平行に配置されている。複数の支持部８０は、ワークテーブル２６の端辺に沿って、配列されている。ここでは、ワークテーブル２６の一端辺に４つの支持部８０が等間隔で配置されている。もちろん、支持部８０はワークテーブル２６の中央部に設けられていてもよい。なお、支持部８０の数、及び配置は特に限定されるものではない、
【００３８】
ここで、支持部８０の構成について、図５を用いて詳細に説明する。図５は、支持部８０による固定構造を詳細に示す部分断面図である。支持部８０は、上ボルト８１と、平ワッシャ８２と、樹脂カラー８３と、樹脂ワッシャ８４、支柱８５、下ボルト８６とを備えている。
【００３９】
支柱８５はＺ方向を長手方向とする柱状に形成されている。支柱８５の上端面にネジ穴８５ｂが、下端面にネジ穴８５ａが設けられている。また、ワークテーブル２６の端部には、貫通穴２６ａが設けられている。貫通穴２６ａには座グリ加工がなされている。上ボルト８１は、ワークテーブル２６の上面側から貫通穴２６ａに挿通される。そして、上ボルト８１は、支柱８５に設けられたネジ穴８５ｂに螺合される。これにより、支柱８５がワークテーブル２６に取り付けられる。上ボルト８１、及び支柱８５は、ステンレスなどの導体によって形成されている。
【００４０】
さらに、座グリ加工された貫通穴２６ａ内には、樹脂カラー８３が配置されている。樹脂カラー８３は、貫通穴２６ａの座グリ形状に応じた段差を有している。ワークテーブル２６と支柱８５との間には、樹脂カラー８３が介在している。また、樹脂カラー８３と上ボルト８１の先端部との間には、ステンレスなどの導体からなる平ワッシャ８２が配置されている。また、貫通穴２６の下部周辺において、ワークテーブル２６と支柱８５との間には、樹脂ワッシャ８４が配置されている。
【００４１】
よって、上ボルト８１は、平ワッシャ８２、樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４を貫通して、支柱８５のネジ穴８５ｂに螺合される。ここで、貫通穴２６ａ内においては、上ボルト８１の外周面とワークテーブル２６との間には、樹脂カラー８３が配置されている。さらに、ワークテーブル２６の下面と支柱８５との間には、樹脂ワッシャ８４が介在している。ワークテーブル２６は、支柱８５、及び上ボルト８１等の導体と接触していない。よって、支柱８５とワークテーブル２６とは導通することなく、固定される。
【００４２】
また、支柱８５の下端にも、ネジ穴８５ａが形成されている。下ボルト８６は、トッププレート５０の下側から、トッププレート５０を貫通して、ネジ穴８５ａに螺合される。これにより、支柱８５とトッププレート５０が取り付けられる。このように、支柱８５の下端、及び上端にそれぞれネジ穴８５ａ、８５ｂを設ける。そして、ワークテーブル２６を貫通した上ボルト８１をネジ穴８５ｂに螺合し、トッププレート５０を貫通した下ボルト８６をネジ穴８５ａに螺合する。全ての支持部８０を図５に示す構成と同様にする。こうすることで、トッププレート５０とワークテーブル２６とが支持部８０によって固定される。
【００４３】
ここで、樹脂カラー８３は、例えば、ポリアセタール等の樹脂材料によって形成されている。また、樹脂ワッシャ８４は、ジュラコン（登録商標）等の樹脂材料によって形成されている。よって、支柱８５とワークテーブル２６との間には、抵抗が存在することになる。換言すると、樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４は、抵抗体となる。
【００４４】
樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４の材料は上記の材料に限定されるものではない。例えば、プラスチック、アクリル、フッ素系樹脂、テフロン（登録商標）、塩化ビニール、ゴム、ガラスエポキシ樹脂、フェノール系樹脂、セラミック、ガラスなどの抵抗材料（絶縁材料）を用いることができる。すなわち、高抵抗な材料を用いて、ワークテーブル２６とトッププレート５０とを固定すればよい。
【００４５】
ワークテーブル２６とＧＮＤとの接続は、図６に示すようになる。支持部８０は、樹脂カラー８３や樹脂ワッシャ８４等の樹脂材料８８を有している。そして、支持部８０は、樹脂材料８８を用いてワークテーブル２６を支持している。すなわち、トッププレート５０は樹脂材料８８を介して、ワークテーブル２６を支持する。トッププレート５０は、ＧＮＤに接地されている。換言すると、ワークテーブル２６は、抵抗体８９を介して、ＧＮＤに接地される。なお、樹脂カラー８３や樹脂ワッシャ８４等の樹脂材料８８が抵抗体８９となる。
【００４６】
ワークテーブル２６とトッププレート５０との間の抵抗値は、１ＭΩ以上とすることが好ましい。このように、高抵抗の抵抗体８９を介して、ワークテーブル２６をＧＮＤに接続する。こうすることで、検査パネル１２からワークテーブル２６を介して、ＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができる。よって、測定ノイズの影響を低減することができる。
【００４７】
また、ワークテーブル２６とトッププレート５０との間の抵抗値は、１００ＭΩ以下とすることが好ましい。このようにすることで、ワークテーブル２６の帯電を防ぐことができる。検査中に、帯電したワークテーブル２６が検査パネル１２との間で放電するのを防ぐことができる。これにより、検査パネル１２が破損したり、測定ノイズが発生するのを防ぐことができる。なお、本実施の形態では、ワークテーブル２６とトッププレート５０との間の抵抗値は、１０ＭΩ程度としている。上記のように、樹脂材料８８を介して、支柱８５とワークテーブル２６とを固定することにより、簡素な構造で所望の抵抗を得ることができる。
【００４８】
なお、上記の説明では、ワークテーブル２６と支柱８５との間に、樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４を設けたが、トッププレート５０と支柱８５との間に、樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４を設けてもよい。さらには、ワークテーブル２６と支柱８５との間だけでなく、トッププレート５０と支柱８５との間にも、樹脂カラー８３、及び樹脂ワッシャ８４を設けてもよい。また、トッププレート５０とワークテーブル２６との固定構造は、支柱８５やボルトを用いる構成に限られるものではない。
【００４９】
（電源制御）
さらに、本実施の形態では、測定ノイズの低減のため、検査中における電気機器の電源をＯＦＦしている。以下、電源制御のための構成について、図７を用いて説明する。図７は、検査装置１０の全体構成を模式的に示す図である。なお、図１〜図６と重複する内容については、適宜説明を省略する。
【００５０】
図７に示すように、筐体１４は、ＧＮＤに接地されている。ステージ１１は導電性の筐体１４を介して、ＧＮＤに接地されている。筐体１４内には、ステージ１１、ワークテーブル２６、プローブユニット３０、固定枠体２８、テスタ６６、イオナイザー６１、トップライト６２が収容されている。なお、テスタ６６は、筐体１４の外側に配置されていてもよい。また、筐体１４の外側には、検査装置１０の状態を表示するためのモニタ６３が配置されている。ステージ１１は、ＸＹＺθ方向に移動するためのモータ５４を有している。なお、モータ５４は、例えばサーボモータであり、ＸＹＺθの各々に設けられている。すなわち、モータ５４は、各方向にステージ１１を駆動するためのアクチュエータとなる。
【００５１】
イオナイザー６１、及びトップライト６２は、ワークテーブル２６の上方に配置されている。イオナイザー６１は、検査パネル１２を除電するため、イオンを発生する。トップライト６２は、筐体１４内を照明する。すなわち、トップライト６２は、検査パネル１２等を照明する照明光源等を備えている。
【００５２】
テスタ６６は、プローブ３８を介して、検査パネル１２の電極１２ａに検査信号（駆動信号）を供給する。また、テスタ６６は、検査パネル１２の回路に流れる測定電流を測定する。これにより、検査パネル１２が検査される。
【００５３】
図８は、検査装置１０における電気機器の構成を示すブロック図である。上記のように検査装置１０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、及びテスタ６６を有している。検査装置１０は、図２、図３で示したアライメント用のカメラ３３を有している。このように、検査装置１０は、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、モータ５４、カメラ３３等の電気機器を有している。なお、図８では、複数設けられているモータ５４、及びカメラ３３を一つのみに省略して図示している。
【００５４】
さらに、検査装置１０は、制御部６０を有している。制御部６０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、テスタ６６、及びカメラ３３を制御する。例えば、制御部６０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、テスタ６６、及びカメラ３３を適切なタイミングでＯＮ／ＯＦＦ制御する。制御部６０がモータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、テスタ６６、及びカメラ３３をＯＦＦすると、各機器への動作が停止する。これにより、各機器がＯＦＦ状態となる。
【００５５】
以下、本実施の形態にかかる制御方法の一例について、詳細に説明する。イオナイザー６１、トップライト６２、及びモニタ６３等がＯＮしている状態で、ワークテーブル２６上に検査パネル１２を載置する。そして、ワークテーブル２６上の検査パネル１２をカメラ３３が撮像する。カメラ３３の撮像結果に基づいて、モータ５４が駆動して、アライメントを行う。これにより、プローブ３８が電極１２ａと接触する。
【００５６】
プローブ３８と電極１２ａが接触したら、制御部６０が電気機器をＯＦＦする。すなわち、制御部６０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、及びカメラ３３の動作を停止する。これにより、テスタ６６のみが電源オン状態となって動作する。テスタ６６がプローブ３８を介して、検査信号（駆動信号）を電極１２ａに供給する。さらに、テスタ６６が検査信号に応じて回路に流れる電流を測定する。このようにして、検査パネル１２の検査が行われる。
【００５７】
検査が完了して、テスタ６６が検査信号の供給を停止すると、制御部６０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３等の電源を再度ＯＮする。このようにすることで、モータ５４等の電気機器によるノイズの影響を低減することできる。検査中にノイズ源となる電気機器の電源をＯＦＦしている。このため、電気機器が動作することによって発生するノイズが、測定に影響するのを防ぐことができる。
【００５８】
なお、上記の説明では、カメラ３３による位置合わせ後に、制御部６０は、モータ５４、イオナイザー６１、トップライト６２、モニタ６３、カメラ３３の電源をＯＦＦしたが、電源をＯＦＦするタイミングは特に限定されるものではない。すなわち、テスタ６６による検査中に、これらの電気機器の電源がＯＦＦとなっていればよい。また、全ての電気機器の電源をＯＦＦする必要はなく、一部の電気機器のみ電源をＯＦＦするようにしてもよい。この場合、ノイズの影響が大きい電気機器をＯＦＦすることが好ましい。例えば、制御部６０が、電流の大きいモータ５４をＯＦＦすることが好ましい。
【００５９】
なお、検査中では、検査パネル１２の電極１２ａとプローブ３８が接触しているため、ワークテーブル２６の位置を固定する必要がある。すなわち、検査中では、ワークテーブル２６が移動しないように、ステージ位置を規制する必要がある。モータ５４をＯＦＦ状態としても、Ｘ駆動台４２、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、及びθ回転台４８が駆動しないようにブレーキをかける必要がある。こうすることで、検査中のコンタクトずれが発生するのを防ぐことができる。したがって、モータ５４の電源ＯＦＦ時に、ステージ１１は、各駆動台、及びθ回転台にブレーキをかけることができる駆動機構を有している。
【００６０】
ここで、ステージ１１の駆動機構について、図９を用いて説明する。図９は、Ｘ駆動台４２の構成を模式的に示す図である。ここでは、ステージ１１の駆動機構を代表して、Ｘ駆動台４２について説明を行うが、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、及びθ回転台４８についても、ガイド方向以外の構成は同様になっている。
【００６１】
Ｘ駆動台４２は、固定体５７と、移動体５６と、モータ５４を備えている。また、固定体５７の側面には、ガイド機構５８が設けられている。ガイド機構５８は、Ｘ方向に沿ったガイド溝等を有している。モータ５４が駆動すると、移動体５６がガイド溝６８に沿って移動する。よって、固定体５７に対する移動体５６の位置が変化する。移動体５６は、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、及びθ回転台４８を支持している。モータ５４が駆動すると、Ｙ駆動台４４、Ｚ駆動台４６、及びθ回転台４８のＸ方向の位置が変化する。こうすることで、ワークテーブル２６上の検査パネル１２の位置を調整することができる。
【００６２】
上記のように、モータ５４は、電源ＯＦＦとなると、その位置が固定される。そのため、モータ５４として、電磁ブレーキ付きモータが用いられている。電磁ブレーキ付きモータでは、コイルの電圧を遮断すると、ばねの力により制動力が発生して、モータシャフトが停止状態となる。
【００６３】
モータ５４の電源ＯＦＦ時において、移動体５６が固定される。モータ５４の電源をＯＦＦしても、固定体５７に対する移動体５６の位置が変化しなくなる。モータ５４の電源ＯＦＦ時に、ステージ１１やワークテーブル２６等に外力が加わった場合であっても、位置ずれが発生しない。これにより、検査時のコンタクトずれを防止することができる。プローブ３８を確実に電極１２ａと接触させることができる。
【００６４】
以上のように、本実施の形態では、ステージ１１が接地され、抵抗体を介してステージ１１がワークテーブル２６を支持している。こうすることで、検査パネル１２とワークテーブル２６との間に容量結合が発生する場合でも、検査パネル１２からＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができる。よって、漏れ電流がノイズとなって測定結果に影響するのを防ぐことができる。これにより、ノイズの影響を低減することができ、正確に検査することができる。
【００６５】
さらに、ワークテーブル２６と支柱８５との間に抵抗体となる絶縁材料が介在している。この構成によって、固定構造を簡素な構成とすることができる。また、ワークテーブル２６とステージ１１との間の抵抗を１ＭΩ以上とすることが好ましい。こうすることで、検査パネル１２からワークテーブル２６を介してＧＮＤに流れる漏れ電流を低減することができる。よって、より測定ノイズの影響を低減することができる。
【００６６】
また、本実施の形態では、プローブ３８を介して電極１２ａに検査信号を供給している間において、ステージ１１を駆動するモータ５４の電源をＯＦＦしている。すなわち、本実施の形態に係る検査方法では、プローブ３８と、電極１２ａを接触させた後、モータ５４をＯＦＦしている。そして、モータ５４をＯＦＦした状態で、テスタ６６がプローブ３８を介して検査信号を電極１２ａに供給して、検査を行っている。検査中において、ノイズ源となるモータの電源をＯＦＦすることで、よりノイズの影響を低減することができる。
【００６７】
このように、本実施形態では、ノイズによる漏れ電流を抑制することができる。これにより、ノイズの低い環境下で検査を行うことができる。したがって、ノイズの影響を平均化するために、測定のサンプリング回数を増やすことなく検査することができる。よって、短時間での測定が可能となる。さらには、許容以上のノイズが発生して、希望の測定結果が得られなくなることを防ぐことができ、正確な検査を行うことができる。
【００６８】
上記の説明では、液晶パネルなどの検査パネル１２の点灯検査を行う検査装置１０について説明したが、本実施音の形態は、点灯検査以外の検査を行う検査装置にも適用可能である。例えば、液晶パネルのＴＦＴ基板に対して、アレイ検査を行うことも可能である。アレイ検査を行うことで、検査パネル１２に設けられた回路を検査することができる。例えば、アレイ検査では、検査装置が、切断前のマザーガラス基板にプローブ３８を介して駆動信号を供給する。さらには、ＸＲＡＹフラットパネルディテクタなどディテクタパネルについても、同様の手法により、回路のアレイ検査が可能である。
【００６９】
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はその目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に、上記の実施形態よる限定は受けない。
【符号の説明】
【００７０】
１０  検査装置
１２  検査パネル
１２ａ  電極
１４  筐体
１６ａ  第１の窓
１６ｂ  第２の窓
１８  検査ステーション
２０  パネル受け渡しステーション
２４  パネル受け渡し装置
２６  ワークテーブル
２８  固定枠体
３０  プローブユニット
３８  プローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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