(57)【要約】【課題】製造作業を容易に行うことができる振動波発生装置を提供すること。【解決手段】駆動素子１３と、駆動素子１３と接合されるとともに駆動素子１３の駆動により振動する第１振動部材１４と、第１振動部材１４の振動を空中に振動波として放出する第２振動部材１６と、第１振動部材１４と第２振動部材１６との間に配されるとともに第１振動部材１４と第２振動部材１６とを連結する連結部材１５と、を備え、連結部材１５は、第１振動部材１４の一部を収納する第１収納部１５ａと、第２振動部材１６の一部を収納する第２収納部１５ｂと、第１収納部１５ａと第２収納部１５ｂとの間に配された支柱部１５ｃとを有する。【選択図】図９
2015070531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動素子と、
前記駆動素子と接合されるとともに前記駆動素子の駆動により振動する第１振動部材と、
前記第１振動部材の振動を空中に振動波として放出する第２振動部材と、
前記第１振動部材と前記第２振動部材との間に配されるとともに前記第１振動部材と前記第２振動部材とを連結する連結部材と、
を備え、
前記連結部材は、前記第１振動部材の一部を収納する第１収納部と、前記第２振動部材の一部を収納する第２収納部と、前記第１収納部と前記第２収納部との間に配された支柱部とを有する振動波発生装置。
【請求項２】
前記第２振動部材に接合される他の駆動素子を備え、
前記第２振動部材は、前記他の駆動素子の駆動により振動する請求項１記載の振動波発生装置。
【請求項３】
前記駆動素子は、圧電素子又は磁歪振動子である請求項１又は２記載の振動波発生装置。
【請求項４】
前記第１振動部材及び前記第２振動部材は、金属板である請求項１乃至３のいずれか一に記載の振動波発生装置。
【請求項５】
前記連結部材は、金属又は樹脂よりなる請求項１乃至４のいずれか一に記載の振動波発生装置。
【請求項６】
前記第１収納部は、前記第１振動部材の一部を収納する凹部を有し、
前記第２収納部は、前記第２振動部材の一部を収納する凹部を有する請求項１乃至５のいずれか一に記載の振動波発生装置。
【請求項７】
前記第１収納部は、前記第１振動部材と接着剤により接着され、
前記第２収納部は、前記第２振動部材と接着剤により接着される請求項１乃至６のいずれか一に記載の振動波発生装置。
【請求項８】
前記第１収納部は、前記第１振動部材と嵌合し、
前記第２収納部は、前記第２振動部材と嵌合する請求項１乃至７のいずれか一に記載の振動波発生装置。
【請求項９】
第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材を接着する工程と、
前記連結部材の前記第２収納部に第２振動部材を接着する工程と、
を含む振動波発生装置の製造方法。
【請求項１０】
第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材の一部が収納され、前記第２収納部に第２振動部材の一部が収納された振動波発生装置を用いて振動波を発生させる振動波発生方法であって、
前記駆動素子に電気信号を印加することにより前記第１振動部材を振動させるステップと、
前記第１振動部材の振動を、前記連結部材を介して前記第２振動部材に伝達することにより前記第２振動部材から空中に振動波を放出させるステップと、
を含む振動波発生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波を発生する振動波発生装置及びその製造方法並びに振動波発生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動波発生装置には、音波、超音波等の振動波を発生する装置として、例えば、圧電振動子、磁歪振動子等がある。そのうち圧電振動子においては、駆動素子となる圧電素子と第１振動板とが貼り合わせられるとともに、第１振動板の主面上に支柱を介して第２振動板が連結（例えば、接着）されたものがある（例えば、特許文献１参照）。第２振動板がコーン型の場合には、第２振動板を第１振動板に直接連結することもある。第２振動板がコーン型の場合、第２振動板は、節円（振幅分布の節）が発生する共振周波数ｆ０１で圧電振動板を駆動したときに第１振動板と第２振動板との間の空気の排除量を向上させるために用いられる。ここで、圧電振動板の寸法は、半径５ｍｍ、高さ４ｍｍ程度を想定している。
【０００３】
このようなコーン型の第２振動板を有する圧電振動子では、節円が発生する共振周波数ｆ０１で駆動したときに、第２振動板はほとんど変形がなく、第１振動板及び圧電素子よりなる圧電振動板の屈曲運動に合わせて第２振動板が上下運動し、第１振動板と第２振動板との間の空気を排除することにより、主に第２振動板から音波、超音波等の振動が放射されることになる。４０ｋＨｚ以上の超音波帯域においては、波長は１ｃｍ以下となるので、一般論として、圧電振動板を直径１ｃｍ以上の円盤型としておけば、圧電振動板の放射インピーダンス密度は、空気の音響インピーダンス密度に一致し、圧電振動板の機械的振動がほぼ全て音響放射になる。したがって、コーン型の第２振動板を用いることの意義は、所望の周波数における分割振動を低減することである。なお、分割振動を防止するために第２振動板の基本共振（ほぼ圧電振動板の基本共振と一致）を使用する場合、コーン型の第２振動板を用いることの意義は、振動の拡大機構として用いる場合だけに限られる。また、第２振動板の共振を積極的に使用する場合、コーン型の代わりにフラットな円盤型の第２振動板を用いることがある。
【０００４】
円盤型の第２振動板を用いる場合、第１振動板と第２振動板とが振動により互いに衝突することがないように、お互いの間に安定的にクリアランスを設ける必要があるため、第１振動板と第２振動板とが支柱を介して連結される。なお、第２振動板がコーン型及び円盤型のいずれの場合にも、第１振動板と第２振動板とを支柱により強く連結し、その振動姿態を変化させる。すなわち、数理的には、各振動板の振動を記述する重調和方程式を変化させることにより、各振動板の固有周波数を大きく変化させることがないように、支柱の径は、各振動板の径の１０分の１を目安として細くしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第９５／３２６０２号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以下の分析は、本願発明者により与えられる。
【０００７】
第１振動板と第２振動板とを直接又は支柱を介して連結した構造の圧電振動子の製造作業では、第１振動板と第２振動板との接着面積が非常に小さいため、第１振動板と第２振動板との接着位置決め工程、接着剤塗布工程、接着工程、治具による固着工程の作業が難しく、圧電振動子としての最終的特性をばらつかせる要因となる。接着位置決め工程においては、第１振動板自体のサイズが小さいため、接着位置の位置決めの精度を上げることが難しい。また、接着剤塗布工程においては、使用する接着剤が微量であるため、接着剤の量を制御することが難しい。また、接着工程においては、第１振動板及び第２振動板のどちらもサイズが小さいため、接着作業の作業性が極めて悪い。さらに、治具による固着工程においては、安定的に圧着するのが難しい。このような問題は、圧電振動子だけに限らず、第１振動板と第２振動板とが連結された振動構造体を有するその他の種類の振動波発生装置についても発生しうる。
【０００８】
本発明の主な課題は、製造作業を容易に行うことができる振動波発生装置及びその製造方法並びに振動波発生方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の視点においては、振動波発生装置において、駆動素子と、前記駆動素子と接合されるとともに前記駆動素子の駆動により振動する第１振動部材と、前記第１振動部材の振動を空中に振動波として放出する第２振動部材と、前記第１振動部材と前記第２振動部材との間に配されるとともに前記第１振動部材と前記第２振動部材とを連結する連結部材と、を備え、前記連結部材は、前記第１振動部材の一部を収納する第１収納部と、前記第２振動部材の一部を収納する第２収納部と、前記第１収納部と前記第２収納部との間に配された支柱部とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の第２の視点においては、振動波発生装置の製造方法において、第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材を接着する工程と、前記連結部材の前記第２収納部に第２振動部材を接着する工程と、を含むことを特徴とする。
【００１１】
本発明の第３の視点においては、第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材の一部が収納され、前記第２収納部に第２振動部材の一部が収納された振動波発生装置を用いて振動波を発生させる振動波発生方法であって、前記駆動素子に電気信号を印加することにより前記第１振動部材を振動させるステップと、前記第１振動部材の振動を、前記連結部材を介して前記第２振動部材に伝達することにより前記第２振動部材から空中に振動波を放出させるステップと、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、作業性が向上し、製造作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の製造方法を模式的に示したフローチャート図である。
【図５】本発明の実施形態２に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。
【図７】本発明の実施形態３に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。
【図８】本発明の実施形態３に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【図９】本発明の実施形態４に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［実施形態１］
本発明の実施形態１に係る振動波発生装置について図面を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。図２は、本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。図３は、本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【００１５】
振動波発生装置１は、音波、超音波等の振動波を発生する装置である。振動波発生装置１は、例えば、４０ｋＨｚ以上の超音波を放射する超音波振動子に適用することができる。振動波発生装置１は、携帯電話機、ポータブルオーディオプレイヤー、テレビ、タブレット電子機器、ゲーム機等の電子機器に搭載することができる。振動波発生装置１は、第１振動部材１４と第２振動部材１６とを連結部材１５により連結した振動構造体２を有するとともに、第１振動部材１４に接続（接合、接着）された駆動素子１３を有するユニモルフ型である。振動波発生装置１は、弾性部材１２を介して支持部材１１に支持（弾性的に固定）されている。振動波発生装置１は、リード線１９、２０を介して端子１７、１８と電気的に接続されている。
【００１６】
支持部材１１は、弾性部材１２を介して振動波発生装置１を支持（又は保持）する部材である。支持部材１１は、例えば、上側（図１の上側）から見て円形に形成されたブロック状の部材を用いることができ、内部が中空な部材を用いることができる。支持部材１１は、上側（図１の上側）の面にて、環状の弾性部材１２と同心となるように接合（接着等でも可）している。支持部材１１には、例えば、樹脂材料や、真鍮、ステンレス等を用いることができる。
【００１７】
弾性部材１２は、振動波発生装置１を支持部材１１に対して弾性的に取り付けるための部材である。弾性部材１２は、振動波発生装置１から支持部材１１に伝達される振動を抑制するために用いられる。弾性部材１２は、上側（図１の上側）から見て、環状に形成されている。弾性部材１２は、上側（図１の上側）の面にて、振動波発生装置１における駆動素子１３（第１振動部材１４でも可）の下側（図１の下側）の面と接合している。弾性部材１２は、下側（図１の下側）の面にて、支持部材１１の上側（図１の上側）の面と接合（接着等でも可）している。弾性部材１２には、例えば、多孔質材、ウレタン系材料（例えば、ウレタンフォーム）、内部損失の高い樹脂材料、カーボン系材料等を用いることができる。
【００１８】
駆動素子１３は、振動波発生装置１の駆動部となる部材である。駆動素子１３は、上面（図１の上側の主面）にて第１振動部材１４と接合（接着、貼合等でも可）し、下面（図１の下側の主面）の所定の位置にて弾性部材１２と接合（接着、貼合等でも可）している。駆動素子１３は、上側（図１の上側）から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されているが、形状は特に制限はない。駆動素子１３は、支持部材１１、弾性部材１２、第１振動部材１４、連結部材１５、及び、第２振動部材１６のそれぞれと同心となるように配されている。駆動素子１３には、例えば、電圧を力に変換する圧電素子（例えば、ＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒｘ、Ｔｉ１−ｘ）Ｏ３；チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電セラミックス、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン及び三フッ化エチレンのコポリマーなどの圧電有機材料）を用いることができ、電流の振動を機械的振動に変換する磁歪振動子を用いることができる。なお、駆動素子１３には、圧電素子の場合、単層型の圧電素子だけでなく、圧電材料、電極が交互に積層した積層型の圧電体素子を用いてもよい。駆動素子１３は、圧電素子の場合、下側の主面にてリード線１９を介して端子１７と電気的に接続されるとともに、上側の主面にて第１振動部材１４（第１振動部材１４が導電体の場合）及びリード線２０を介して端子１８と電気的に接続される。駆動素子１３は、圧電素子の場合、振動部材１４の厚さよりも薄いものを用いることができる。
【００１９】
第１振動部材１４は、駆動素子１３の駆動により振動する部材であり、振動波発生装置１の構成部材である。第１振動部材１４は、上側（図１の上側）から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されている。第１振動部材１４は、下側（図１の下側）の面にて、駆動素子１３と接合（接着、貼合等でも可）している。第１振動部材１４は、駆動素子１３を支持する部材であると同時に、電気伝導が可能である場合、駆動素子１３の電極としても使用できる。第１振動部材１４の上部は、連結部材１５の第１収納部１５ａに収納され、第１収納部１５ａと接合（接着、貼合等でも可）している。第１振動部材１４は、上側（図１の上側）の面にて、リード線２０を介して端子１８と電気的に接続されており、リード線２０からの電気信号を駆動素子１３に印加させる役割を持つ。第１振動部材１４には、導電性を有するものが用いられ、例えば、リン青銅、４２アロイ、ステンレス材料等の金属材料（合金等の金属系材料を含む）等の金属板を用いることができる。第１振動部材１４には、円形の板状部材を用いることができるが、形状は特に制限はない。
【００２０】
連結部材１５は、第１収納部１５ａと第２収納部１５ｂとが支柱部１５ｃによって一体的に接続された部材である。第１収納部１５ａは、第１振動部材１４の一部（図１では上部）を収納する凹部（窪み）を有する部分である。第２収納部１５ｂは、第２振動部材１６の一部（図１では下部）を収納する凹部（窪み）を有する部分である。第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂは、対応する第１振動部材１４及び第２振動部材１６を位置決めするように形成されている。これにより、第１振動部材１４及び第２振動部材１６に対する位置合わせが不要となるとともに、広い面積にて接着が可能となる。なお、第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂは、対応する第１振動部材１４及び第２振動部材１６を、接着剤を用いて接着するだけでなく、接着剤を用いないで嵌め込めるようにしてもよい。支柱部１５ｃは、円柱状（角柱でも可）に形成された部分である。支柱部１５ｃは、第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂにおける凹部を有する面に対する反対側の面の間に配され、第１収納部１５ａと第２収納部１５ｂとを所定の間隔で離間させる。支柱部１５ｃの外径は、収納部１５ａ、１５ｂの外径の１０分の１程度とすることができるが、特に制限はない。連結部材１５の材料には、例えば、ＡＢＳ樹脂（Acrylonitrile-Butadiene-Styrene resin）、ＡＣＳ樹脂（Acrylonitrile-Chlorinated-polyethylene- Styrene resin）等の樹脂、銅、アルミニウム等の金属を用いることができる。
【００２１】
第２振動部材１６は、第１振動部材１４の振動を空中に振動波（音波、超音波等）として放出するための部材であり、振動波発生装置１の構成部材である。第２振動部材１６は、上側（図１の上側）から見て円形状（楕円形状でも可）に形成されている。第２振動部材１６の下部は、連結部材１５の第２収納部１５ｂに収納され、第２収納部１５ｂと接合（接着、貼合等でも可）している。第２振動部材１６には、第１振動部材１４と同様な材料が用いることができ、例えば、リン青銅、４２アロイ、ステンレス材料等の金属材料（合金等の金属系材料を含む）等の金属板を用いることができる。第２振動部材１６には、例えば、コーン型の部材を用いることができるが、形状は特に制限はない。
【００２２】
なお、第１振動部材１４及び第２振動部材１６と連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂとを接着する場合、接着剤は、第１振動部材１４及び第２振動部材１６並びに連結部材１５に用いられる材料に応じて選択され、例えば、エポキシ樹脂、ハンダ、ゴム等の接着性を有する材料を用いることができる。
【００２３】
端子１７は、リード線１９と電気的に接続される部材である。端子１８は、リード線２０と電気的に接続される部材である。端子１７、１８は、コントローラ、アンプ回路などに電気的に接続される。
【００２４】
リード線１９は、端子１７からの電気信号を駆動素子１３の下面（図１の下側の主面）に供給するための配線である。リード線２０は、端子１８からの電気信号を第１振動部材１４を介して駆動素子１３の上面（図１の上側の主面）に供給するための配線である。リード線１９、２０には、導電線材（例えば、銅線材）だけでなく金属箔（例えば、銅箔）を用いることができ、ハンダ等によって接続するようにしてもよい。
【００２５】
以上のような振動波発生装置１は、駆動素子１３に電気信号を印加して駆動素子１３を駆動することにより第１振動部材１４を屈曲運動させ、第１振動部材１４の屈曲運動に合わせて第２振動部材１６が上下運動する。
【００２６】
次に、本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の製造方法の一例について図面を用いて説明する。図４は、本発明の実施形態１に係る振動波発生装置の製造方法を模式的に示したフローチャート図である。なお、振動波発生装置の構成部材については、図１〜図３を参照されたい。
【００２７】
まず、第１振動部材１４の下面（駆動素子１３の上面でも可）に接着剤（例えば、導電性接着剤）を塗布し、その後、第１振動部材１４の下面に駆動素子１３を接着する（ステップＡ１）。
【００２８】
次に、第１振動部材１４と駆動素子１３とを圧着（又は固着）させる（ステップＡ２）。
【００２９】
次に、連結部材１５の第１収納部１５ａ内に接着剤を塗布し、その後、第１振動部材１４の上部を連結部材１５の第１収納部１５ａに嵌め込むことで、第１振動部材１４に連結部材１５を接着する（ステップＡ３）。なお、ステップＡ３の接着剤の塗布では、第１収納部１５ａ内とともに第２収納部１５ｂ内に接着剤を塗布するようにしてもよい。また、ステップＡ３において、第１振動部材１４と連結部材１５との位置決めは、第１振動部材１４の上部を連結部材１５の第１収納部１５ａの凹部の壁面でガイドして第１収納部１５ａに嵌め込むだけで行うことができる。また、ステップＡ３では、第２収納部１５ｂ内に接着剤を塗布した場合、第１振動部材１４に連結部材１５を接着するとともに、第２振動部材１６を連結部材１５に接着するようにしてもよい。
【００３０】
次に、連結部材１５の第２収納部１５ｂ内に接着剤を塗布し、その後、第２振動部材１６の下部を連結部材１５の第２収納部１５ｂに嵌め込むことで、連結部材１５に第２振動部材１６を接着する（ステップＡ４）。なお、ステップＡ４では、連結部材１５と第２振動部材１６との位置決めは、第２振動部材１６の下部を連結部材１５の第２収納部１５ｂの凹部の壁面でガイドして第２収納部１５ｂに嵌め込むだけで行うことができる。
【００３１】
次に、第１振動部材１４と連結部材１５と第２振動部材１６とを圧着（又は固着）させる（ステップＡ５）。なお、第１振動部材１４及び第２振動部材１６が連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂに位置決めされたまま圧着（又は固着）されるので、治具を用いて位置決めして圧着（又は固着）する必要がない。これにより、図２と同様な振動波発生装置１ができる。
【００３２】
次に、振動波発生装置１の電気アドミタンス検査を行う（ステップＡ６）。なお、電気アドミタンス検査では、アドミタンス（交流回路における電流と電圧の比）が所定の数値範囲にあるか否かを判定する。
【００３３】
アドミタンスが所定の数値範囲にある場合（ステップＡ６のＹＥＳ）、振動波発生装置１を合格品と判定し（ステップＡ７）、その後、終了する。
【００３４】
アドミタンスが所定の数値範囲にない場合（ステップＡ６のＮＯ）、振動波発生装置１を不合格品と判定し（ステップＡ８）、その後、終了する。
【００３５】
なお、ステップＡ１〜ステップＡ８は、自動化された生産ラインで行うことができる。
【００３６】
実施形態１によれば、連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂによって連結部材１５と第１振動部材１４及び第２振動部材１６との相対位置がガイドされて連結することができるので、作業性は著しく向上し、第１振動部材１４と第２振動部材１６とを連結部材１５を介して連結した振動構造体２を低コストかつ短時間で製作することができる。また、実施形態１によれば、第１振動部材１４及び第２振動部材１６と接着される連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂ内の底面に接着剤を薄く塗布（量産ではローラなどで塗布）すればよいので、接着剤の制御が容易である。さらに、実施形態１によれば、連結部材１５に第１振動部材１４及び第２振動部材１６を圧着（又は固着）する際、第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂによって第１振動部材１４及び第２振動部材１６の位置がガイドされるので、治具を用いずに圧着（又は固着）することができ、作業性は著しく向上する。
【００３７】
［実施形態２］
本発明の実施形態２に係る振動波発生装置について図面を用いて説明する。図５は、本発明の実施形態２に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。図６は、本発明の実施形態２に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。
【００３８】
実施形態２は、実施形態１の変形例であり、第２振動部材１６の上面に駆動素子２１を接合（接着、貼合等でも可）させたものである。駆動素子２１は、駆動素子１３と同様なものを用いることができる。駆動素子２１は、圧電素子の場合、上側の主面にてリード線１９を介して端子１７と電気的に接続されるとともに、下側の主面にて第２振動部材１６（第２振動部材１６が導電体の場合）及びリード線２０を介して端子１８と電気的に接続される。その他の構成は、実施形態１と同様である。また、駆動素子２１と第２振動部材１６との接合は、図４のステップＡ１〜ステップＡ２と同様な工程により行うことができる。
【００３９】
実施形態２によれば、連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂに第１振動部材１４及び第２振動部材１６の一部が収納された構造となっているので、実施形態１と同様な効果を奏する。
【００４０】
［実施形態３］
本発明の実施形態３に係る振動波発生装置について図面を用いて説明する。図７は、本発明の実施形態３に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した斜視図である。図８は、本発明の実施形態３に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した展開斜視図である。
【００４１】
実施形態３は、実施形態１の変形例であり、上側（図７の上側）から見て振動波発生装置１の形状を矩形状にしたものである。駆動素子１３、第１振動部材１４、連結部材１５、及び、第２振動部材１６も上側（図７の上側）から見て矩形状となっている。その他の構成は、実施形態１と同様である。また、実施形態３では、実施形態２のように第２振動部材１６の上面に駆動素子を接合させてもよい。
【００４２】
実施形態３によれば、連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂに第１振動部材１４及び第２振動部材１６の一部が収納された構造となっているので、実施形態１と同様な効果を奏する。
［実施形態４］
本発明の実施形態４に係る振動波発生装置について図面を用いて説明する。図９は、本発明の実施形態４に係る振動波発生装置の構成を模式的に示した断面図である。
【００４３】
振動波発生装置１は、駆動素子１３と、駆動素子１３と接合されるとともに駆動素子１３の駆動により振動する第１振動部材１４と、第１振動部材１４の振動を空中に振動波として放出する第２振動部材１６と、第１振動部材１４と第２振動部材１６との間に配されるとともに第１振動部材１４と第２振動部材１６とを連結する連結部材１５と、を備え、連結部材１５は、第１振動部材１４の一部を収納する第１収納部１５ａと、第２振動部材１６の一部を収納する第２収納部１５ｂと、第１収納部１５ａと第２収納部１５ｂとの間に配された支柱部１５ｃとを有する。
【００４４】
実施形態４によれば、連結部材１５の第１収納部１５ａ及び第２収納部１５ｂにより、第１振動部材１４、連結部材１５、第２振動部材１６間の位置合せが容易になり、作業性が向上し、製造作業を容易に行うことができる。
【００４５】
なお、本出願において図面参照符号を付している場合は、それらは、専ら理解を助けるためのものであり、図示の態様に限定することを意図するものではない。
【００４６】
また、本発明の全開示（特許請求の範囲及び図面を含む）の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素（各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む）の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲及び図面を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。また、本願に記載の数値及び数値範囲については、明記がなくともその任意の中間値、下位数値、及び、小範囲が記載されているものとみなされる。
【００４７】
（付記）
本発明の第１の視点においては、振動波発生装置において、駆動素子と、前記駆動素子と接合されるとともに前記駆動素子の駆動により振動する第１振動部材と、前記第１振動部材の振動を空中に振動波として放出する第２振動部材と、前記第１振動部材と前記第２振動部材との間に配されるとともに前記第１振動部材と前記第２振動部材とを連結する連結部材と、を備え、前記連結部材は、前記第１振動部材の一部を収納する第１収納部と、前記第２振動部材の一部を収納する第２収納部と、前記第１収納部と前記第２収納部との間に配された支柱部とを有することを特徴とする。
【００４８】
本発明の前記振動波発生装置において、前記第２振動部材に接合される他の駆動素子を備え、前記第２振動部材は、前記他の駆動素子の駆動により振動することが好ましい。
【００４９】
本発明の前記振動波発生装置において、前記駆動素子は、圧電素子又は磁歪振動子であることが好ましい。
【００５０】
本発明の前記振動波発生装置において、前記第１振動部材及び前記第２振動部材は、金属板であることが好ましい。
【００５１】
本発明の前記振動波発生装置において、前記連結部材は、金属又は樹脂よりなることが好ましい。
【００５２】
本発明の前記振動波発生装置において、前記第１収納部は、前記第１振動部材の一部を収納する凹部を有し、前記第２収納部は、前記第２振動部材の一部を収納する凹部を有することが好ましい。
【００５３】
本発明の前記振動波発生装置において、前記第１収納部は、前記第１振動部材と接着剤により接着され、前記第２収納部は、前記第２振動部材と接着剤により接着されることが好ましい。
【００５４】
本発明の前記振動波発生装置において、前記第１収納部は、前記第１振動部材と嵌合し、前記第２収納部は、前記第２振動部材と嵌合することが好ましい。
【００５５】
本発明の前記振動波発生装置において、前記駆動素子及び前記第１振動部材並びに前記第２振動部材の形状は、円形又は矩形であることが好ましい。
【００５６】
本発明の第２の視点においては、振動波発生装置の製造方法において、第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材を接着する工程と、前記連結部材の前記第２収納部に第２振動部材を接着する工程と、を含むことを特徴とする。
【００５７】
本発明の第３の視点においては、第１収納部と第２収納部との間に支柱部が配された連結部材の前記第１収納部に、駆動素子と接合された第１振動部材の一部が収納され、前記第２収納部に第２振動部材の一部が収納された振動波発生装置を用いて振動波を発生させる振動波発生方法であって、前記駆動素子に電気信号を印加することにより前記第１振動部材を振動させるステップと、前記第１振動部材の振動を、前記連結部材を介して前記第２振動部材に伝達することにより前記第２振動部材から空中に振動波を放出させるステップと、を含むことを特徴とする。
【符号の説明】
【００５８】
１  振動波発生装置
２  振動構造体
１１  支持部材
１２  弾性部材
１３  駆動素子
１４  第１振動部材
１５  連結部材
１５ａ  第１収納部
１５ｂ  第２収納部
１５ｃ  支柱部
１６  第２振動部材
１７、１８  端子
１９、２０  リード線
２１  駆動素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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