(57)【要約】【課題】被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる検査装置を提供することである。【解決手段】本体と、前記本体に対して所定方向に移動可能に設けられている第１のプローブ及び第２のプローブと、前記第１のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第１のプローブに力を及ぼす第１の弾性体と、前記第２のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第２のプローブに力を及ぼす第２の弾性体と、を備えており、前記第１のプローブは、被測定物において信号が伝送される第１の導体に対して前記所定方向の他方側から接触し、前記第２のプローブは、前記被測定物において接地電位に保たれる第２の導体に対して前記所定方向の他方側から接触すること、を特徴とする検査装置。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と、
前記本体に対して所定方向に移動可能に設けられている第１のプローブ及び第２のプローブと、
前記第１のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第１のプローブに力を及ぼす第１の弾性体と、
前記第２のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第２のプローブに力を及ぼす第２の弾性体と、
を備えており、
前記第１のプローブは、被測定物において信号が伝送される第１の導体に対して前記所定方向の他方側から接触し、
前記第２のプローブは、前記被測定物において接地電位に保たれる第２の導体に対して前記所定方向の他方側から接触すること、
を特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記本体は、接地電位に保たれており、前記第２のプローブと電気的に導通し、かつ、前記第１のプローブと電気的に絶縁されていること、
を特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記本体は、
前記所定方向に延在する筒状部を、
含んでおり、
前記第１のプローブは、前記筒状部内を前記所定方向に延在していること、
を特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の検査装置。
【請求項４】
前記本体と電気的に絶縁された状態で該本体に取り付けられており、かつ、前記所定方向に延在する筒状体を、
更に備えており、
前記筒状体の前記所定方向の一方側の端部は開口し、該筒状体の該所定方向の他方側の端部は塞がっており、
前記第１のプローブの前記所定方向の他方側の端部は、前記筒状体に挿入され、
前記第１の弾性体は、前記筒状体内において、前記第１のプローブの前記所定方向の他方側の端部と前記筒状体の該所定方向の他方側の端部との間に設けられていること、
を特徴とする請求項２又は請求項３のいずれかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記筒状体内において前記第１の弾性体の前記所定方向の他方側の端部に接触している第１のピンを、
更に備えていること、
を特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１のプローブの先端と前記第２のプローブの先端とは、該第１のプローブが前記第１の導体に接触していない状態及び該第２のプローブが前記第２の導体に接触していない状態において、前記所定方向において同じ所定位置に位置しており、
第１の力の大きさは、前記第１の導体及び前記第２の導体に損傷が生じない大きさの上限値であり、
前記第１の力よりも小さい第２の力は、信号を測定することができる大きさの下限値であり、
前記第１の力が前記第１のプローブから前記第１の導体に加わっているときに前記第２のプローブから前記第２の導体に加わっている力の大きさは、前記第２の力の大きさ以上前記第１の力の大きさ以下であり、
前記第２の力が前記第２のプローブから前記第２の導体に加わっているときに前記第１のプローブから前記第１の導体に加わっている力の大きさは、前記第２の力の大きさ以上前記第１の力の大きさ以下であること、
を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項７】
前記第１のプローブの先端と前記第２のプローブの先端とは、該第１のプローブが前記第１の導体に接触していない状態及び該第２のプローブが前記第２の導体に接触していない状態において、前記所定方向において同じ所定位置に位置しており、
第１の力の大きさは、前記第１の導体及び前記第２の導体に損傷が生じない大きさの上限値であり、
前記第１の力よりも小さい第２の力は、信号を測定することができる大きさの下限値であり、
前記第２の力が前記第１のプローブから前記第１の導体に加わっているときに前記第２のプローブから前記第２の導体に加わっている力の大きさは、前記第２の力の大きさ以上前記第１の力の大きさ以下であり、
前記第１の力が前記第２のプローブから前記第２の導体に加わっているときに前記第１のプローブから前記第１の導体に加わっている力の大きさは、前記第２の力の大きさ以上前記第１の力の大きさ以下であること、
を特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の検査装置。
【請求項８】
前記第１の弾性体及び前記第２の弾性体は、実質的に等しいばね定数を有するコイルばねであること、
を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の検査装置。
【請求項９】
前記第１の弾性体及び前記第２の弾性体は、異なるばね定数を有するコイルばねであること、
を特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の検査装置。
【請求項１０】
前記第２の弾性体の外径は、前記第１の弾性体の外径よりも細いこと、
を特徴とする請求項９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記第２の弾性体の前記所定方向の一方側の端部において前記第２のプローブと接触しており、
前記検査装置は、
前記第２の弾性体の前記所定方向の他方側の端部に接触し、かつ、前記本体に固定されている第２のピンを、
更に備えていること、
を特徴とする請求項８ないし請求項１０のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置に関し、より特定的には、回路基板等の被測定物の信号の測定を行う際に用いられる検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の検査装置に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の同軸型コンタクトプローブが知られている。該同軸型コンタクトプローブは、信号用接触子及び２本のアース用接触子を備えている。信号用接触子は、上下方向に延在し、下端においてプリント基板の信号端子に接触する。アース用接触子は、上下方向に延在し、信号用接触子の両側方に設けられている。アース用接触子は、下端においてプリント基板のグランド端子に接触する。ただし、アース用接触子の下端は、信号用接触子の下端よりも下側に位置している。そのため、信号用接触子が信号端子に接触し、かつ、アース用端子がグランド端子に接触できるように、アース用接触子は上側に退避できるように構成されている。
【０００３】
ところで、特許文献１に記載の同軸型コンタクトプローブでは、信号の測定時に、同軸型コンタクトプローブが強く押し下げられて、信号用接触子がプリント基板の信号端子に強い力で接触するおそれがある。この場合、信号端子が破損するおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−５９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一形態に係る検査装置は、本体と、前記本体に対して所定方向に移動可能に設けられている第１のプローブ及び第２のプローブと、前記第１のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第１のプローブに力を及ぼす第１の弾性体と、前記第２のプローブが前記所定方向の一方側に向かって前記本体から突出するように、該第２のプローブに力を及ぼす第２の弾性体と、を備えており、前記第１のプローブは、被測定物において信号が伝送される第１の導体に対して前記所定方向の他方側から接触し、前記第２のプローブは、前記被測定物において接地電位に保たれる第２の導体に対して前記所定方向の他方側から接触すること、を特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査装置１０の外観斜視図である。
【図２】図１の検査装置１０の断面構造図である。
【図３】図１の検査装置１０の分解図である。
【図４】回路基板１００の外観斜視図である。
【図５】信号の測定時における検査装置１０及び回路基板１００の図である。
【図６】コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。
【図７】信号の測定時における検査装置１０ａ及び回路基板１００ａの図である。
【図８】コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。
【図９】第２の変形例に係る検査装置１０ｂの断面構造図である。
【図１０】コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（検査装置の構造）
以下に、本発明の一実施形態に係る検査装置の構造について、図１ないし図３を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る検査装置１０の外観斜視図である。図２は、図１の検査装置１０の断面構造図である。図３は、図１の検査装置１０の分解図である。以下では、プローブ１６，２４が延在する方向を上下方向とし、プローブ１６，２４が並んでいる方向を左右方向とする。また、上下方向及び左右方向に直交する方向を前後方向とする。なお、本実施形態における方向は、一例であり、検査装置１０の使用態様によって方向は任意に変動する。
【００１０】
検査装置１０は、図示しない同軸ケーブルの先端に接続されて用いられる。検査装置１０は、図１ないし図３に示すように、本体下部１２、本体上部１４、プローブ１６、コイルばね１８、バレル２０、ブッシング２２、プローブ２４、コイルばね２６、ピン２８及びブッシング３０，３２を備えている。
【００１１】
本体下部１２は、主要部１２ａ及び円筒部１２ｂを有しており、リン青銅などの導電性材料により作製されている。主要部１２ａは、上下方向に長く、かつ、前後方向に薄い直方体状をなしている。主要部１２ａには、図２に示すように、主要部１２ａの左半分を上面から下面へと貫通する貫通孔Ｈ１が設けられている。貫通孔Ｈ１は、孔Ｈａ〜Ｈｃが繋がることにより構成されている。孔Ｈａは、主要部１２ａの上面から下方に向かって伸びる円形の孔である。孔Ｈｂは、孔Ｈａの底面から主要部１２ａの下面の手前まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｂの直径は、孔Ｈａの直径よりも小さい。孔Ｈｃは、孔Ｈｂの底面から主要部１２ａの下面まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｃの直径は、孔Ｈｂの直径よりも小さい。また、孔Ｈａ〜Ｈｃの中心は、上側から平面視したときに、一致している。
【００１２】
また、主要部１２ａには、図２に示すように、主要部１２ａの右半分を上面から下面へと貫通する貫通孔Ｈ２が設けられている。貫通孔Ｈ２は、孔Ｈｄ，Ｈｅが繋がることにより構成されている。孔Ｈｄは、主要部１２ａの上面の右半分から主要部１２ａの下面の手前まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｅは、孔Ｈｄの底面から主要部１２ａの下面まで伸びる円形の孔である。孔Ｈｅの直径は、孔Ｈｄの直径よりも大きい。
【００１３】
円筒部１２ｂは、主要部１２ａの下面の左半分から下方に向かって伸びる筒状部である。円筒部１２ｂの中心軸は、下側から平面視したときに、孔Ｈｃの中心と一致している。また、円筒部１２ｂの内径は、孔Ｈｃの直径と一致している。
【００１４】
ブッシング２２は、図３に示すように、円環状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング２２は、図２に示すように、孔Ｈｂの底面上に設けられている。そのため、ブッシング２２の外径は、孔Ｈｂの直径と略一致している。
【００１５】
バレル２０は、図２及び図３に示すように、上下方向に延在しており、ベリリウム銅等からなる導電性部材である。バレル２０は、下部２０ａ及び上部２０ｂを有している。下部２０ａは、上下方向に延在する円筒状をなす筒状体である。ただし、下部２０ａの下端は開口し、下部２０ａの上端は塞がっている。下部２０ａは、主要部１２ａの貫通孔Ｈ１に挿入される。ただし、下部２０ａの外径がブッシング２２の内径よりも大きいので、下部２０ａはブッシング２２に引っかかっている。これにより、バレル２０は、本体下部１２と接触せずに電気的に絶縁された状態で本体下部１２に取り付けられている。また、下部２０ａの上端近傍は、主要部１２ａから上側にはみ出している。
【００１６】
バレル２０の上部２０ｂは、図２及び図３に示すように、下部２０ａの上端から上側に向かって延在する円筒状をなしている。ただし、上部２０ｂの上端は開口し、上部２０ｂの下端は塞がっている。また、上部２０ｂの直径は、下部２０ａの直径よりもわずかに大きい。
【００１７】
上下方向に延在する圧縮コイルばねであるコイルばね１８は、バレル２０の下端から下部２０ａ内に挿入されている。
【００１８】
プローブ１６は、上下方向に延在する棒状部材であり、ベリリウム銅等からなる導電性のピンである。プローブ１６は、下部１６ａ及び上部１６ｂを有している。上部１６ｂは、上下方向に延在する円柱状をなしており、バレル２０の下端から下部２０ａ内に挿入されている。すなわち、プローブ１６の上端は、下部２０ａに挿入されている。これにより、プローブ１６は、バレル２０及び本体下部１２に対して上下方向に移動可能に設けられている。また、コイルばね１８は、下部２０ａ内において上部１６ｂの上端と下部２０ａの上端との間に設けられている。よって、コイルばね１８は、プローブ１６が本体下部１２から下側に向かって突出するように、プローブ１６に力を及ぼしている。そして、プロ―ブ１６が上側に押されると、コイルばね１８が縮んで、プローブ１６が上側に変位することができる。
【００１９】
また、プローブ１６の下部１６ａは、上部１６ｂの下端から下方に向かって伸びており、上半分が下半分よりも細くなっている段付き構造をなす棒状部材である。また、下部１６ａの直径は、上部１６ｂの直径よりも小さい。プローブ１６は、図２に示すように、下部１６ａがブッシング２２、孔Ｈｃ及び円筒部１２ｂを上下方向に貫通するように、本体下部１２に設けられている。これにより、プローブ１６は、本体下部１２から下側に向かって突出している。
【００２０】
また、プローブ１６の上部１６ｂの直径がブッシング２２の内径よりも大きいので、上部１６ｂがブッシング２２に引っかかる。よって、プローブ１６が本体下部１２から下方に脱落することが防止されている。
【００２１】
以上のように構成されたプローブ１６は、本体下部１２と電気的に絶縁されたバレル２０に挿入されているので、本体下部１２と電気的に絶縁されている。
【００２２】
本体上部１４は、挿入部１４ａ、フランジ１４ｂ及びコネクタ部１４ｃを有しており、リン青銅などの導電性材料により作製されている。挿入部１４ａは、図２及び図３に示すように、上下方向に延在する円筒状をなしている。フランジ１４ｂは、挿入部１４ａの上端から前後左右方向に張り出している長方形状の板状部材である。フランジ１４ｂには、挿入部１４ａと繋がる円形の貫通孔Ｈ３が設けられている。コネクタ部１４ｃは、フランジ１４ｂの上面から上側に延在する円筒状をなしている。コネクタ部１４ｃは、円形の貫通孔Ｈ３と繋がっている。
【００２３】
挿入部１４ａは、本体下部１２の孔Ｈａに圧入されている。そして、フランジ１４ｂの下面は、本体下部１２の上面に接触している。これにより、貫通孔Ｈ２の上端は、フランジ１４ｂによって塞がっている。なお、挿入部１４ａは、本体下部１２の孔Ｈａに螺合していてもよい。
【００２４】
また、挿入部１４ａが、本体下部１２の孔Ｈａに圧入されると、図２に示すように、バレル２０の上部２０ｂがコネクタ部１４ｃ内を上下方向に延在する。
【００２５】
ブッシング３２は、図１ないし図３に示すように、円筒状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング３２は、コネクタ部１４ｃに圧入される。これにより、バレル２０の上部２０ｂは、ブッシング３２内を上下方向に貫通し、ブッシング３２により上下方向に移動しないように保持されるようになる。よって、バレル２０は、本体上部１４と電気的に絶縁された状態で本体上部１４に取り付けられている。
【００２６】
ピン２８は、図２及び図３に示すように、円柱状の部材であり、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ピン２８は、貫通孔Ｈ２の上端近傍において本体下部１２に固定されている。なお、貫通孔Ｈ２の上端近傍の内周面は雌ネジ構造をなしている。また、ピン２８の外周面は雄ネジ構造をなしている。よって、ピン２８は、貫通孔Ｈ２の上端近傍において貫通孔Ｈ２の内周面に対して螺合している。これにより、ピン２８は、上下方向に位置調整可能に構成されている。
【００２７】
上下方向に延在する圧縮コイルばねであるコイルばね２６は、主要部１２ａの孔Ｈ２の下端から挿入されている。これにより、コイルばね２６の上端は、ピン２８に接触している。コイルばね２６の長さ及び外径は、コイルばね１８の長さ及び外径と実質的に等しい。よって、コイルばね２６のばね定数とコイルばね１８のばね定数とは実質的に等しい。なお、実質的に等しいとは、全く同じであることに加えて、製造誤差程度のばらつきを許容する意味である。
【００２８】
プローブ２４は、上下方向に延在する棒状部材であり、ベリリウム銅等からなる導電性のピンである。プローブ２４は、下部２４ａ及び上部２４ｂを有している。上部２４ｂは、上下方向に延在する円柱状をなしており、主要部１２ａの孔Ｈｄに下端から挿入されている。すなわち、プローブ２４の上端は、本体下部１２に挿入されている。これにより、プローブ２４は、本体下部１２に対して上下方向に移動可能に設けられている。また、コイルばね２６は、ピン２８と上部２４ｂの上端との間に設けられている。よって、コイルばね２６は、プローブ２４が本体下部１２から下側に向かって突出するように、プローブ２４に力を及ぼしている。そして、プローブ２４が上側に押されると、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位することができる。
【００２９】
また、プローブ２４の下部２４ａは、上部２４ｂの下端から下方に向かって伸びており、上半分が下半分よりも細くなっている段付き構造をなしている。また、下部２４ａの直径は、上部２４ｂの直径よりも小さい。
【００３０】
プローブ２４は、本体下部１２に直接に挿入されているので、本体下部１２と電気的に導通し、該本体下部１２と同様に接地電位に保たれている。
【００３１】
ブッシング３０は、図２及び図３に示すように、円筒状をなしており、樹脂等の絶縁性材料により作製されている。ブッシング３０は、本体下部１２の孔Ｈｅに圧入される。これにより、プローブ２４は、図２に示すように、下部２４ａがブッシング３０を上下方向に貫通するように、本体下部１２に設けられている。よって、プローブ２４は、本体下部１２から下側に向かって突出している。
【００３２】
また、プローブ２４の上部２４ｂの直径は、ブッシング３０の内径よりも大きいので、上部２４ｂがブッシング３０に引っかかる。よって、プローブ２４が本体下部１２から下方に脱落することが防止されている。
【００３３】
以上のように構成された検査装置１０には、同軸ケーブルが接続される。より詳細には、同軸ケーブルの先端には、コネクタが設けられている。コネクタは、外部導体と中心端子とを備えている。外部導体は、円筒形状をなしており、同軸ケーブルの外導体に接続されている。中心端子は、外部導体の中心を延在するピンであり、同軸ケーブルの信号線に接続されている。また、同軸ケーブルのコネクタが接続されていない方の端部は、信号の測定装置に接続されている。
【００３４】
以上のようなコネクタは、検査装置１０のコネクタ部１４ｃに取り付けられる。具体的には、コネクタ部１４ｃの外周面は雄ネジ構造をなしている。また、コネクタの外部導体の内周面は雌ネジ構造をなしている。コネクタ部１４ｃの外周面が外部導体の内周面に螺合するように、コネクタ部１４ｃが外部導体内に挿入される。この際、コネクタの中心端子は、バレル２０の上部２０ｂに挿入される。
【００３５】
（回路基板の構成）
次に、被測定物である回路基板の構成について図面を参照しながら説明する。図４は、回路基板１００の外観斜視図である。
【００３６】
回路基板１００は、図４に示すように、基板本体１０２、信号端子１０４及び接地端子１０６を備えている。基板本体１０２は、例えば、複数の絶縁体層及び導体が積層されて構成された多層基板である。信号端子１０４は、基板本体１０２の上側の主面に設けられており、基板本体１０２の表面及び内部に設けられている信号線に接続されている。すなわち、信号端子１０４は、信号が伝送される導体である。
【００３７】
また、接地端子１０６は、接地電位に保たれる導体である。基板本体１０２の上側の主面には段差が設けられている。これにより、接地端子１０６は、信号端子１０４よりも上側に位置している。
【００３８】
（検査装置の動作）
以下に、検査装置１０の動作について説明する。図５は、信号の測定時における検査装置１０及び回路基板１００の図である。
【００３９】
まず、ユーザは、プローブ１６，２４がそれぞれ信号端子１０４及び接地端子１０６上に位置するように、検査装置１０をセットする。このとき、プローブ１６が信号端子１０４に接触しておらず、かつ、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない。この状態において、プローブ１６の先端とプローブ２４の先端とは、上下において同じ所定位置に位置している。
【００４０】
次に、ユーザは、検査装置１０を下降させる。これにより、プローブ２４の先端が接地端子１０６に接触する。ユーザが検査装置１０を更に下降させると、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位する。そして、プローブ１６の先端が信号端子１０４に接触する。
【００４１】
最後に、ユーザは、検査装置１０を更に下降させる。これにより、コイルばね２６が縮んで、プローブ２４が上側に変位すると共に、コイルばね１８が縮んでプローブ１６が上側に変位する。これにより、プローブ１６，２４がそれぞれ、適切な大きさの力で信号端子１０４及び接地端子１０６に接触するようになる。
【００４２】
（効果）
本実施形態に係る検査装置１０によれば、プローブ１６，２４は、共に上下方向に移動することができるので、プローブ１６，２４はそれぞれ、信号端子１０４及び接地端子１０６に接触した際に、上側に退避することができる。その結果、プローブ１６，２４が大きな力で信号端子１０４及び接地端子１０６に接触することが抑制される。よって、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。
【００４３】
また、プローブ１６は、円筒部１２ｂ内を延在している。円筒部１２ｂは接地電位に保たれている。したがって、プローブ１６及び円筒部１２ｂは、同軸ケーブルと同様の構造を有するようになる。その結果、プローブ１６の特性インピーダンスを所定の特性インピーダンス（例えば、５０Ω）に近づけることが可能となる。
【００４４】
また、検査装置１０では、ピン２８の上下方向の位置を調整することにより、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の自然長からの縮み量を調整することができる。これにより、コイルばね２６がプローブ２４に対して及ぼす力の大きさを調整することができる。よって、検査装置１０では、適切な大きさの力でプローブ２４を接地端子１０６に接触させることができる。
【００４５】
ここで、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図６は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。
【００４６】
プローブ１６が信号端子１０４に及ぼす力をＦ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に及ぼす力をＦ２とする。プローブ１６が信号端子１０４に接触していない状態におけるコイルばね１８の初期縮み量をｘ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の初期縮み量をｘ２とする。また、コイルばね１８，２６のばね定数をｋとする。コイルばね１８の自然長とコイルばね２６の自然長とは等しい。
【００４７】
また、図２の初期状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとする。更に、信号端子１０４と接地端子１０６との上下方向の高さの差を図５に示すようにｘａとする。検査装置１０を回路基板１００に近接させると、プローブ１６がプローブ２４より後に信号端子１０６と接触する。図２の初期状態から変化したときのコイルばね２６の縮み量は、コイルばね１６の縮み量ｘに比べ上下方向の高さｘａ分だけ小さくなり、ｘ−ｘａとなる。このとき、以下の式（１）ないし式（４）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。
【００４８】
０＜ｘ≦ｘａのとき
Ｆ１＝０              ・・・（１）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）  ・・・（２）
【００４９】
ｘａ＜ｘ≦ｘｍのとき
Ｆ１＝ｋ（ｘ１−ｘａ＋ｘ）  ・・・（３）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）        ・・・（４）
【００５０】
ここで、信号端子１０４及び接地端子１０６に損傷が生じないＦ１，Ｆ２の大きさの上限値をＦａとする。また、信号を測定することができるＦ１，Ｆ２の大きさの下限値をＦｂとする。Ｆｂは、Ｆａよりも小さい。Ｆ１，Ｆ２がＦｂ以上Ｆａ以下であれば、信号端子１０４及び接地端子１０６を破損させることなく、適切に信号を測定できる。
【００５１】
この場合に、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、図６に示すように、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。
【００５２】
更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。以上のような条件を満たすためには、図６に示す力Ｆ１の直線と力Ｆ２の直線とが近接していることが好ましい。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の位置を調整すればよい。
【００５３】
（第１の変形例）
以下に、第１の変形例に係る検査装置１０ａについて説明する。第１の変形例に係る検査装置１０ａの構成は、検査装置１０と同じであるので、図１ないし図３を援用する。図７は、信号の測定時における検査装置１０ａ及び回路基板１００ａの図である。
【００５４】
検査装置１０ａの構成と検査装置１０の構成とは同じであるので説明を省略する。回路基板１００ａと回路基板１００とは、基板本体１０２の上側の主面の形状において相違する。より詳細には、回路基板１００ａの上側の主面は、図７に示すように、平坦である。よって、信号端子１０４と接地端子１０６の上下方向の位置も同じである。
【００５５】
以上のように構成された検査装置１０ａにおいても、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。
【００５６】
ところで、検査装置１０ａにおいても、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図８は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。
【００５７】
プローブ１６が信号端子１０４に及ぼす力をＦ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に及ぼす力をＦ２とする。プローブ１６が信号端子１０４に接触していない状態におけるコイルばね１８の初期縮み量をｘ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の初期縮み量をｘ２とする。また、コイルばね１８，２６のばね定数をｋとする。コイルばね１８の自然長とコイルばね２６の自然長とは等しい。
【００５８】
また、図７の状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとすると、図７の状態からのコイルばね２６の縮み量はｘとなる。このとき、以下の式（５）及び式（６）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。
【００５９】
０＜ｘ≦ｘｍのとき
Ｆ１＝ｋ（ｘ１＋ｘ）    ・・・（５）
Ｆ２＝ｋ（ｘ２＋ｘ）    ・・・（６）
【００６０】
以上のような検査装置１０ａにおいても、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。
【００６１】
更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の上下方向の位置を調整すればよい。
【００６２】
ここで、ピン２８の位置の調整について説明する。検査装置１０ａでは、プローブ１６が信号端子１０４に接触した直後の力Ｆ１の大きさとプローブ２４が接地端子１０６に接触した直後の力Ｆ２の大きさとは略等しくなることが好ましい。そこで、ピン２８の位置を調整して、力Ｆ２の大きさを調整する。具体的には、ピン２８を取り付けていない状態で、検査装置１０ａを仮組みする。そして、プローブ１６を上側に僅かに押しこんで、力Ｆ１を測定する。次に、プローブ２４を上側に僅かに押しこんで、力Ｆ２を測定する。力Ｆ１と力Ｆ２とが大きく異なる場合には、ピン２８を取り付ける。そして、再度、力Ｆ１，Ｆ２を計測する。そして、力Ｆ１の大きさと力Ｆ２の大きさとが略一致するまで、ピン２８の上下方向の位置の調整を繰り返す。ピン２８の位置の調整が終了したら、検査装置１０ａを完成させる。
【００６３】
（第２の変形例）
以下に、第２の変形例に係る検査装置１０ｂについて説明する。図９は、第２の変形例に係る検査装置１０ｂの断面構造図である。
【００６４】
検査装置１０ｂと検査装置１０との相違点は、コイルばね２６の外径である。より詳細には、検査装置１０では、コイルばね１８の外径とコイルばね２６の外径とは略等しかった。一方、検査装置１０では、図９に示すように、コイルばね２６の外径は、コイルばね１８の外径よりも細い。これにより、コイルばね１８のばね定数とコイルばね２６のばね定数が異なっている。具体的には、コイルばね１８のばね定数がコイルばね２６のばね定数よりも大きい。
【００６５】
以上のように構成された検査装置１０ｂにおいても、信号端子１０４及び接地端子１０６の破損が抑制される。
【００６６】
ここで、検査装置１０ｂでは、コイルばね１８には信号が流れるので、コイルばね１８は電流経路として機能する。よって、電流経路の特性インピーダンスが所定の特性インピーダンスとなるように、コイルばね１８の外径を設定する必要がある。
【００６７】
一方、検査装置１０ｂでは、コイルばね２６には信号が流れないので、コイルばね２６は電流経路として機能しない。よって、コイルばね２６の外径を自由に設定することができる。
【００６８】
そこで、検査装置１０ｂでは、コイルばね２６の外径は、コイルばね１８の外径よりも細い。これにより、検査装置１０ｂの左右方向のサイズを小さくすることができる。
【００６９】
なお、コイルばね２６の外径がコイルばね１８の外径よりも細くなると、コイルばね１８のばね定数とコイルばね２６のばね定数とが異なるようになる。そのため、プローブ１６が信号端子１０４に接触した直後の力Ｆ１の大きさとプローブ２４が接地端子１０６に接触した直後の力Ｆ２の大きさとが異なってしまう。そこで、これらの力が等しくなるようにピン２８の位置を調整すればよい。
【００７０】
ところで、検査装置１０ｂにおいても、プローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさについて考察する。図１０は、コイルばね１８，２６の縮み量とプローブ１６，２４が信号端子１０４及び接地端子１０６に及ぼす力の大きさとの関係を示したグラフである。横軸は縮み量ｘを示し、縦軸は力Ｆの大きさを示す。
【００７１】
プローブ１６が信号端子１０４に及ぼす力をＦ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に及ぼす力をＦ２とする。プローブ１６が信号端子１０４に接触していない状態におけるコイルばね１８の初期縮み量をｘ１とし、プローブ２４が接地端子１０６に接触していない状態におけるコイルばね２６の初期縮み量をｘ２とする。また、コイルばね１８のばね定数をｋ１とし、コイルばね２６のばね定数をｋ２とする。コイルばね１８の自然長とコイルばね２６の自然長とは等しい。
【００７２】
また、図９の状態からのコイルばね１８の縮み量をｘとすると、図９の状態からのコイルばね２６の縮み量はｘとなる。このとき、以下の式（７）及び式（８）が成立する。ｘｍは、コイルばね１８，２６の縮み量の上限値である。
【００７３】
Ｆ１＝ｋ１（ｘ１＋ｘ）    ・・・（７）
Ｆ２＝ｋ２（ｘ２＋ｘ）    ・・・（８）
【００７４】
以上のような検査装置１０ｂにおいても、Ｆａの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦａの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。
【００７５】
更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦｂの大きさの力で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。そして、以上のような条件を満たすように、ピン２８の上下方向の位置を調整すればよい。
【００７６】
なお、検査装置１０ｂは、回路基板１００及び回路基板１００ａのいずれにも用いることができる。
【００７７】
（その他の実施形態）
本発明に係る検査装置は、前記検査装置１０，１０ａ，１０ｂに限らずその要旨の範囲内において変更可能である。
【００７８】
なお、ピン２８の代わりに、バレル２０の下部２０ａ内の上端近傍にピンが設けられていてもよい。該ピンは、コイルばね１８の上端に接触する。これにより、ピンの位置を調整することにより、コイルばね１８が信号端子１０４に接触する力Ｆ１の大きさを調整できる。
【００７９】
なお、ピン２８は、ネジ構造により構成される代わりに、圧入により固定されていてもよいし、接着剤により固定されてもよい。
【００８０】
また、検査装置１０，１０ａ，１０ｂでは、力Ｆ１の方が力Ｆ２よりも大きい。しかしながら、力Ｆ２の方が力Ｆ１よりも大きくてもよい。この場合、Ｆａの大きさの力Ｆ２がプローブ２４から接地端子１０６に加わっているときにプローブ１６から信号端子１０４に加わっている力Ｆ１の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ２４がＦａの大きさの力Ｆ２で接地端子１０６を押した場合であっても、プローブ１６が適切な力で信号端子１０４を押すようになる。
【００８１】
更に、Ｆｂの大きさの力Ｆ１がプローブ１６から信号端子１０４に加わっているときにプローブ２４から接地端子１０６に加わっている力Ｆ２の大きさは、Ｆｂ以上Ｆａ以下であることが好ましい。これにより、プローブ１６がＦｂの大きさの力Ｆ１で信号端子１０４を押した場合であっても、プローブ２４が適切な力で接地端子１０６を押すようになる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、検査装置に有用であり、特に、被測定物の導体に破損が生じることを抑制できる点において優れている。
【符号の説明】
【００８３】
１０，１０ａ，１０ｂ  検査装置
１２  本体下部
１２ａ  主要部
１２ｂ  円筒部
１４  本体上部
１４ａ  挿入部
１４ｂ  フランジ
１４ｃ  コネクタ部
１６  プローブ
１６ａ  下部
１６ｂ  上部
１８  コイルばね
２０  バレル
２０ａ  下部
２０ｂ  上部
２２  ブッシング
２４  プローブ
２４ａ  下部
２４ｂ  上部
２６  コイルばね
２８  ピン
３０，３２  ブッシング
１００，１００ａ  回路基板
１０２  基板本体
１０４  信号端子
１０６  接地端子
【図１】
2015102435.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2015102435.tif 000007
【図６】
2015102435.tif 000008
【図７】
2015102435.tif 000009
【図８】
2015102435.tif 000010
【図９】
2015102435.tif 000011
【図１０】
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