(57)【要約】【課題】簡易な構成で、保管庫の内部空間からパージガスを適切に排出することができる保管庫及びクリーンルームを提供する。【解決手段】パージストッカ１は、クリーンルーム１００内において保管領域１Ａを画成するパーティション３と、内部空間に配置される保管棚７Ａと、保管棚に載置された格納容器にパージガスを供給する供給管３１と、格納容器からパージガスを排出する排出管３３と、本体壁部から突出して設けられると共に、本体壁部の一部と対向する位置に配置された壁部１００Ａに接触することによって本体壁部の一部と壁体との間の空間を閉鎖空間６１として画成する隔離壁６と、を備え、排出管は、閉鎖空間に連通されており、格納容器から排出されるパージガスを閉鎖空間に排出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
建屋内に設置されると共に、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する保管庫であって、
前記建屋内において内部空間を画成する本体壁部と、
前記内部空間に配置される保管棚と、
前記保管棚に載置された前記格納容器に前記パージガスを供給する供給管と、
前記格納容器から前記パージガスを排出する排出管と、
前記本体壁部から突出して設けられると共に、前記本体壁部の一部と対向する位置に配置された壁体に接触することによって前記本体壁部の一部と前記壁体との間の空間を閉鎖空間として画成する隔離壁と、
を備え、
前記排出管は、前記閉鎖空間に連通されており、前記格納容器から排出される前記パージガスを前記閉鎖空間に排出する、保管庫。
【請求項２】
前記壁体は、隣接して配置された他の保管庫の本体壁部の一部である、
請求項１に記載の保管庫。
【請求項３】
前記壁体は、前記建屋の壁部の一部である、
請求項１又は２に記載の保管庫。
【請求項４】
前記隔離壁は、前記壁体からの突出量が調整可能に設けられている、
請求項１〜３の何れか一項に記載の保管庫。
【請求項５】
前記閉鎖空間内の前記パージガスを排出するファンを更に備えている、
請求項１〜４の何れか一項に記載の保管庫。
【請求項６】
内部空間を画成する本体壁部と、前記内部空間に配置される保管棚と、前記保管棚に載置された、被格納物が格納される格納容器にパージガスを供給する供給管と、前記格納容器から前記パージガスを排出する排出管と、を有し、前記格納容器の内部を前記パージガスによってパージ処理する保管庫を室内に備えるクリーンルームであって、
前記保管庫は、前記本体壁部が前記室内を画成する壁体と離隔するように配置されており、
前記本体壁部から突出すると共に前記壁体に接触する隔離壁を設けることにより、前記本体壁部と前記壁体との間の空間を、前記本体壁部と前記壁体と前記隔離壁とによって囲まれる閉鎖空間として画成し、
前記排出管を前記閉鎖空間に連通することにより、前記格納容器から排出される前記パージガスを前記閉鎖空間に排出する、クリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被格納物が格納される格納容器の内部を不活性気体や清浄乾燥空気などのパージガスによってパージ処理するパージ装置を備えた、格納容器の保管庫に関する。
【背景技術】
【０００２】
筐体により画成された内部空間に、例えば半導体ウェハ及びガラス基板などが格納された格納容器を配置し、この内部空間に配置された格納容器内に不活性気体を導入することによって格納容器内部の清浄度を保つ（いわゆるパージ処理）保管庫が知られている。特許文献１（特開２００３−９２３４５号公報）には、格納容器内部のパージガスを排出するための配管を保管庫内で合流させ、合流後の配管に吸引手段を設けることにより、格納容器内部のパージガスを吸引して排出させる構成の保管庫が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−９２３４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の保管庫は、パージガスを排出するための配管を保管庫内で合流させる必要があるので、その構成が複雑となる。また、近年、内部空間に配置する格納容器の数を多くしたり、パージ対象物の大型化へ対応したりするために、パージガスを大流量化することが求められている。大流量のパージガスを適切に保管庫の内部空間から排出するためには、配管の径を大きくするなど、流量に合わせて適正な対処が必要となる。
【０００５】
そこで、本発明は、簡易な構成で、保管庫の内部空間からパージガスを適切に排出することができる保管庫及びクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の保管庫は、建屋内に設置されると共に、被格納物が格納される格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する保管庫であって、建屋内において内部空間を画成する本体壁部と、内部空間に配置される保管棚と、保管棚に載置された格納容器にパージガスを供給する供給管と、格納容器からパージガスを排出する排出管と、本体壁部から突出して設けられると共に、本体壁部の一部と対向する位置に配置された壁体に接触することによって本体壁部の一部と壁体との間の空間を閉鎖空間として画成する隔離壁と、を備え、排出管は、閉鎖空間に連通されており、格納容器から排出されるパージガスを閉鎖空間に排出する。
【０００７】
このような保管庫では、本体壁部から突出する隔離壁を一の壁体に接触するように配置するだけで、容易にパージガスを排出させるための閉鎖空間を画成することができる。また、このようにして形成された閉鎖空間に排出管を接続させるだけの簡易な構成で、保管庫の内部空間からパージガスを適切に排出することができる。この結果、簡易な構成かつ適切に、保管庫の内部空間からパージガスを排出することができる。なお、ここでいう「閉鎖空間」は、作業者が立ち入ることができる空間から隔離された空間を意味する。
【０００８】
本発明の保管庫では、壁体は、隣接して配置された他の保管庫の本体壁部の一部であってもよい。
【０００９】
このような保管庫によれば、建屋内に複数の保管庫が配置される場合において、保管庫同士の間の空間を有効に利用して、パージガスを排出するための閉鎖空間を画成することができる。
【００１０】
本発明の保管庫では、壁体は、建屋の壁部の一部であってもよい。
【００１１】
一般的に、建屋内に配置される保管庫は、地震などによる移動時に建屋に接触することを防止するために、所定の隙間をあけて配置される。この構成の保管庫によれば、本体壁部から突出する隔離壁を建屋の壁体に接触するように配置するだけで、上記のような隙間を、パージガスを排出するための閉鎖空間とすることができる。このため、上記のような保管庫と建屋との間の隙間を有効に活用できる。
【００１２】
本発明の保管庫では、隔離壁は、壁体からの突出量が調整可能に設けられていてもよい。
【００１３】
このような保管庫によれば、例えば、隔離壁と壁体とが固定されている場合において、地震などにより保管庫が移動することがあっても、隔離壁は保管庫の動きに追随することができる。したがって、何かの原因により保管庫が移動するようなことがあっても、壁体と隔離壁との固定が外れることにより閉鎖空間が開放されてしまうようなことを低減できる。
【００１４】
本発明の保管庫では、前記閉鎖空間内の前記パージガスを排出するファンを更に備えている。
【００１５】
このパージ方法によれば、より確実に保管庫の内部空間からパージガスを排出することができる。
【００１６】
本発明のクリーンルームは、内部空間を画成する本体壁部と、内部空間に配置される保管棚と、保管棚に載置された、被格納物が格納される格納容器にパージガスを供給する供給管と、格納容器からパージガスを排出する排出管と、を有し、格納容器の内部をパージガスによってパージ処理する保管庫を室内に備えるクリーンルームであって、保管庫は、本体壁部が室内を画成する壁体と離隔するように配置されており、本体壁部から突出すると共に壁体に接触する隔離壁を設けることにより、本体壁部と壁体との間の空間を、本体壁部と壁体と隔離壁とによって囲まれる閉鎖空間として画成し、排出管を閉鎖空間に連通することにより、格納容器から排出されるパージガスを閉鎖空間に排出する。
【００１７】
この構成のクリーンルームでは、本体壁部から突出する隔離壁を一の壁体に接触するように設けるだけで、容易にパージガスを排出させるための閉鎖空間を画成することができる。また、このようにして形成された閉鎖空間に排出管を接続させるだけの簡易な構成で、保管庫の内部空間からパージガスを適切に排出することができる。この結果、簡易な構成かつ適切に、保管庫の内部空間からパージガスを排出することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、簡易な構成で、保管庫の内部空間からパージガスを適切に排出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】一実施形態に係るパージストッカの側面断面図である。
【図２】クリーンルームに配置されたパージストッカの平面図である。
【図３】隔離壁とパーティションとの固定部分を拡大して示したパージストッカの側面図である。
【図４】クリーンルームに配置された変形例１に係るパージストッカの平面図である。
【図５】クリーンルームに配置された変形例２に係るパージストッカの平面図である。
【図６】変形例３に係るパージストッカの側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００２１】
一実施形態に係るパージストッカ１について説明する。パージストッカ１は、図１に示すように、複数の格納容器５０を収容すると共に、収容された格納容器５０の内部５４をパージガス（例えば、クリーンドライエアやＮ２などの不活性ガス）によってパージ処理するための装置である。図１に示すように、パージストッカ１は、例えば、クリーンルーム（建屋）１００に設けられている。格納容器５０の例は、半導体ウェハ及びガラス基板などの被格納物を格納するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）である。格納容器５０は、本体部５１と、本体部５１に形成される内部５４を覆う蓋部５３と、を有している。
【００２２】
格納容器５０としてのＦＯＵＰの底部には、パージガスを内部５４に導入するための供給口５５と、内部５４のパージガスを排気する排気口５６と、が備えられている。ＦＯＵＰは、保管棚７Ａに載置された際に、供給口５５と排気口５６の各々が、後述する供給管３１及び排出管３３の先端部と嵌合して、ガスの導入及び排気ができるようになっている。
【００２３】
クリーンルーム１００は、壁部（壁体）１００Ａと、第１床面１００Ｂと、第２床面１００Ｃと、天井１００Ｄと、を有している。壁部１００Ａは、四方にそれぞれ配置されている。例えば、コンクリートにより形成されている。第１床面１００Ｂは、作業者が移動するための床面であると共にクリーンルーム１００を上下２つの領域に隔てる部分でもある。第２床面１００Ｃは、第１床面１００Ｂの下方に形成されている。第１床面１００Ｂと第２床面１００Ｃとによって挟まれる領域は、通常、作業者が立ち入ることがない領域であり、各種装置が配置されたり、後述する開口部１０１Ａからパージガスが排出されたりする領域である。第１床面１００Ｂと第２床面１００Ｃとによって挟まれる領域は、図示しないリターンダクトに接続されており、この領域内に流れてきた清浄空気を天井１０１Ｄの上部の空間へと送り、後述するＦＦＵ５によって再びクリーンルーム１００内へと送られるようになっている。第１床面１００Ｂは、コンクリート板、グレーチング板又はバンチング板などで構成することができ、開口部１０１Ａが設けられている。
【００２４】
ＦＦＵ（Fan Filter Unit）５は、クリーンルーム１００の天井１００Ｄに設けられている。ＦＦＵ５は、保管領域（内部空間）１Ａ内に清浄空気を供給すると共に、クリーンルーム１００内において天井１００Ｄから第１床面１００Ｂ方向への気流を発生させる。
【００２５】
このようなクリーンルーム１００に設けられたパージストッカ１は、パーティション（本体壁部）３、隔離壁６、ラック７、クレーン（図示せず）、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）ポート（図示せず）及びマニュアルポート（図示せず）を備えている。
【００２６】
パーティション３は、第１床面１００Ｂの上方の領域を仕切る（画成する）部分であり、その内側には保管領域１Ａが形成されている。図２に示すように、パーティション３は、ＯＨＴポート及びマニュアルポートが配置される前面部分を覆う前面パーティション３Ａと、前面パーティション３Ａと反対側の面を覆う背面パーティション３Ｂと、右側面を覆う右側面パーティション３Ｃと、左側面を覆う左側面パーティション３Ｄと、を有している。
【００２７】
右側面パーティション３Ｃ及び左側面パーティション３Ｄには、図３に示すように、後述する隔離壁６を固定するためのボルト６Ｂに螺合可能なネジ孔６Ｃが設けられている。また、図１に示すように、背面パーティション３Ｂの下方には、ＦＦＵ５からの清浄空気をパージストッカ１の外側（閉鎖空間６１）に排出する開口部１５が設けられている。
【００２８】
図２に示すように、パージストッカ１は、クリーンルーム１００の一の壁部１００Ａから所定の距離の位置に背面パーティション３Ｂが位置するように配置される。すなわち、パージストッカ１とクリーンルーム１００の一の壁部１００Ａとの間には所定の空間が形成されている。
【００２９】
隔離壁６は、パーティション３から突出して設けられると共に、パーティション３の一部である背面パーティション３Ｂと対向する位置に配置されたクリーンルーム１００の壁部１００Ａに接触することによって背面パーティション３Ｂと壁部１００Ａとの間の空間を閉鎖空間６１として画成する。図３に示すように、隔離壁６には、パーティション３に固定するための長孔６Ａが複数形成されている。
【００３０】
一方の隔離壁６は、背面パーティション３Ｂからの突出量Ｌが調整可能に設けられている。具体的には、隔離壁６の長孔６Ａにボルト６Ｂが挿通され、左側面パーティション３Ｄに設けられたネジ孔６Ｃに螺合されることにより、隔離壁６と左側面パーティション３Ｄとが締結される。これにより、隔離壁６は、左側面パーティション３Ｄに対し、長孔６Ａが延在する方向、すなわち、図３に示す左右方向に突出量Ｌの調整が可能となる。
【００３１】
他方の隔離壁６も、一方の隔離壁６と同様に、背面パーティション３Ｂからの突出量が調整可能に設けられている。具体的には、隔離壁６の長孔６Ａにボルト６Ｂが挿通され、右側面パーティション３Ｃに設けられたネジ孔６Ｃに螺合されることにより、隔離壁６と右側面パーティション３Ｃとが締結される。これにより、隔離壁６は、右側面パーティション３Ｃに対し、長孔６Ａが延在する方向、すなわち、図３に示す左右方向に突出量Ｌの調整が可能となる。
【００３２】
図１に示すように、ラック７は、格納容器５０を保管する部分であり、保管領域１Ａ内に、複数列（ここでは、２列）設けられている。各ラック７は、所定方向Ｘに延在しており、隣り合う２つのラック７，７が対向するように略平行に配置されている。各ラック７には、所定方向Ｘ及び鉛直方向に沿って、格納容器５０を載置して保管する保管棚７Ａが複数形成されている。
【００３３】
クレーンは、格納容器５０を保管棚７Ａに対して出し入れする装置であり、図２に示すように、対向するラック７，７に挟まれた領域に配置されている。クレーンは、ラック７の延在方向Ｘに沿って、床面に配置された走行レール（図示せず）を走行することにより、ラック７に沿って所定方向Ｘに移動することができる。クレーンの荷台は、ガイドレールに沿って昇降可能に設けられており、図１に示すように、鉛直方向に設けられた複数の保管棚７Ａに対して、格納容器５０を出し入れすることができる。
【００３４】
パージストッカ１への格納容器５０の出し入れは、ＯＨＴポート及びマニュアルポートから行われる。ＯＨＴポートは、天井１００Ｄに敷設された走行レール（図示せず）を走行する天井走行車（図示せず）とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分である。マニュアルポートは、作業者とパージストッカ１との間で格納容器５０を受け渡しする部分である。
【００３５】
図１に示すように、ラック７の保管棚７Ａには、載置される格納容器５０の内部５４をパージガス（例えば、窒素ガス）でパージするパージ装置３０が設けられている。パージ装置３０は、保管棚７Ａに載置された格納容器５０内にパージガスを供給及び排出するための装置である。パージ装置３０は、供給管３１及び排出管３３を備えている。
【００３６】
供給管３１は、供給口５５に嵌合されることによって格納容器５０にパージガスを供給する。供給管３１は、図示しないパージガス源からパージガスが供給される。排出管３３は、排気口５６に嵌合されることによって、格納容器５０の内部５４のパージガスを排出する。排出管３３における排気口５６に嵌合される側とは反対側の端部は、背面パーティション３Ｂを貫通することにより、閉鎖空間６１に連通されている。すなわち、排出管３３は、排気口５６に嵌合されることによって、格納容器５０の内部５４のパージガスを閉鎖空間６１に排出する。
【００３７】
なお、図１に示す右側（正面側）の保管棚７Ａには、パージ装置３０が配置されていない例を挙げて説明したが、図１に示す左側（背面側）の保管棚７Ａと同様に、パージ装置３０を設けてもよい。この場合も、供給管３１は、図示しないパージガス源からパージガスが供給され、排出管３３における排気口５６に嵌合される側とは反対側の端部は、背面パーティション３Ｂを貫通することにより、閉鎖空間６１に連通される。
【００３８】
背面パーティション３Ｂと壁部１００Ａと隔離壁６とによって画成される閉鎖空間６１の上部の一部は、クリーンルーム１００が配備されている工場の負圧排気ダクト１９に接続されている。これにより、閉鎖空間６１に排出されたパージガスは、負圧排気ダクト１９を介して、クリーンルーム１００の外部に排出される。
【００３９】
次に、上記パージストッカ１におけるパージガスの流れについて説明する。図１に示すように、パージガスは、供給管３１を介して格納容器５０の内部５４に供給される。格納容器５０の内部５４に供給されたパージガスの一部は、排出管３３を介して閉鎖空間６１に排出される。格納容器５０の内部５４に供給されたパージガスの残りの一部は、格納容器５０における本体部５１と蓋部５３との間の隙間から格納容器５０の外部へ漏れ出す。格納容器５０の外部へ漏れ出したパージガスは、ＦＦＵ５から供給される清浄空気と共に開口部１５から閉鎖空間６１に排出されるか、又は、開口部１０１Ａから第１床面１００Ｂと第２床面１００Ｃとによって挟まれる領域に排出される。
【００４０】
排出管３３を介して閉鎖空間６１に排出されたパージガス及び開口部１５を介して閉鎖空間６１に排出されたパージガスは、ＦＦＵ５によって生成された気流又は負圧排気ダクト１９からの吸気によって、閉鎖空間６１の上方に流れる。そして、負圧排気ダクト１９を介して、クリーンルーム１００の外部に排出される。第１床面１００Ｂと第２床面１００Ｃとによって挟まれる領域に排出されたパージガスは、負圧排気ダクト１９を介して、クリーンルーム１００の外部に排出される。
【００４１】
上記実施形態のパージストッカ１の作用効果を説明する。上記実施形態のパージストッカ１では、図２に示すように、パーティション３から突出する隔離壁６をクリーンルーム１００の一の壁部１００Ａに接触するように配置するだけで、容易にパージガスを排出させるための閉鎖空間６１を画成することができる。また、図１に示すように、このようにして形成された閉鎖空間６１に排出管３３を接続させるだけの簡易な構成で、パージストッカ１の保管領域１Ａからパージガスを排出することができる。この結果、簡易な構成かつ適切に、パージストッカ１の保管領域１Ａからパージガスを排出することができる。
【００４２】
また、近年、パージストッカ１の保管領域１Ａに配置する格納容器５０の数を多くしたり、パージ対象物の大型化へ対応したりするために、パージガスの大流量化が求められている。大流量のパージガスを適切に排出するためには、例えば、排出管３３の径を大きくしたりする必要があるが、このような大口径の排出管３３を配設するのはコストがかかる。上記実施形態のパージストッカ１は、排出管を合流させた上で吸気するような構成とする必要がなく、近接する閉鎖空間６１に接続するだけでよいので、排出管３３の距離を短くすることができる。したがって、コストを削減することができる。
【００４３】
上記実施形態のパージストッカ１では、図３に示すように、隔離壁６と左側面パーティション３Ｄ（右側面パーティション３Ｃ）とを締結するボルト６Ｂが長孔６Ａに挿通されているので、パーティション３からの隔離壁６の突出量が調整可能となる。これにより、例えば、地震などによりパージストッカ１が移動することがあっても、隔離壁６は所定の範囲でパージストッカ１の動きに追随することができる。したがって、パージストッカ１が何らかの要因により移動した際に、図１に示すように、壁部１００Ａと隔離壁６との固定が外れることにより閉鎖空間６１が開放されてしまうことを低減できる。
【００４４】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００４５】
＜変形例１＞
上記実施形態のパージストッカ１では、図２に示すように、背面パーティション３Ｂと対向する位置にあるクリーンルーム１００の壁部１００Ａに向かって隔離壁６が延びるようにパーティション３から突出する例を挙げて説明した。本発明は、これに限定されない。例えば、図４に示すように、左側面パーティション（本体壁部）３Ｄに対向する位置にあるクリーンルーム１００の壁部（壁体）１００Ａに向かって一方の隔離壁６が延びるようにパーティション３から突出すると共に、右側面パーティション（本体壁部）３Ｃに対向する位置にあるクリーンルーム１００の壁部（壁体）１００Ａに向かって他方の隔離壁６が延びるようにパーティション３から突出するようなパージストッカ（保管庫）１０１でもよい。この場合であっても、隔離壁６と壁部１００Ａと左側面パーティション３Ｄと右側面パーティション３Ｃと背面パーティション３Ｂによって、閉鎖空間１６１を形成することができる。そして、この閉鎖空間１６１に排出管３３（図１参照）を連通させることにより、この閉鎖空間１６１を介してパージガスをクリーンルーム１００の外部に排出することができる。
【００４６】
＜変形例２＞
上記実施形態のパージストッカ１では、図２に示すように、パーティション３の一部と対向する位置に配置された壁体を、クリーンルーム１００の壁部１００Ａとした例を挙げて説明した。本発明は、これに限定されない。例えば、図５に示すように、パージストッカ（保管庫）１におけるパーティション３の一部である背面パーティション３Ｂ（本体壁部）と対向する位置に配置される壁体を、隣接して配置されるパージストッカ（保管庫）２０１のパーティション２０３の一部である背面パーティション２０３Ｂしてもよい。ここで、隔離壁６は、パージストッカ３側に設けられており、両隔離壁６の一方の端部は、パーティション２０３の一部である右側面パーティション２０３Ｃ及び左側面パーティション２０３Ｄにそれぞれ固定されている。この場合であっても、隔離壁６とパージストッカ２０１の背面パーティション２０３Ｂ（壁体）とパージストッカ１の背面パーティション３Ｂ（本体壁部）とによって、閉鎖空間２６１を形成することができる。そして、この閉鎖空間２６１に、パージストッカ１及びパージストッカ２０１の少なくとも一方から排出管３３（図１参照）を連通させることにより、この閉鎖空間２６１を介してパージガスをクリーンルーム１００の外部に排出することができる。
【００４７】
＜変形例３＞
上記実施形態及び変形例のパージストッカ１では、図１に示すように、閉鎖空間６１の上部の一部が、工場の負圧排気ダクト１９に接続されている例を挙げて説明した。本発明は、これに限定されない。例えば、図６に示すように、閉鎖空間６１の下部の一部が、工場の負圧排気ダクト１９に接続されていてもよい。この場合には、閉鎖空間６１の下方に設けられていた開口部１５を閉鎖空間６１の上方に設ける。この場合であっても、閉鎖空間６１に排出されたパージガスをクリーンルーム１００の外部に排出することができる。
【００４８】
＜その他の変形例＞
上記実施形態及び変形例のパージストッカ１では、図１及び図６に示すように、閉鎖空間６１が負圧排気ダクト１９に接続されることにより、閉鎖空間６１のパージガスが吸気されて排出される例を挙げて説明した。本発明は、これに限定されない。例えば、図１に示すように、閉鎖空間６１の出口となる位置にファン１７を設けてもよい。これにより、より確実に閉鎖空間６１内のパージガスを閉鎖空間６１の外部に排出することができる。また、この場合には、閉鎖空間６１に接続されるダクトは、吸気機能がない通常の排気ダクトとしてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１，２０１…パージストッカ（保管庫）、１Ａ…保管領域（内部空間）、３…パーティション（本体壁部）、３Ａ…前面パーティション、３Ｂ…背面パーティション、３Ｃ…右側面パーティション、３Ｄ…左側面パーティション、６，２０６…隔離壁、６Ａ…長孔、７Ａ…保管棚、１７…ファン、１９…負圧排気ダクト、３０…パージ装置、３１…供給管、３３…排出管、５０…格納容器、５４…格納容器の内部、６１，１６１，２６１…閉鎖空間、１００…クリーンルーム（建屋）、１００Ａ…壁部（壁体）、２０３Ｂ…背面パーティション（壁体）、Ｌ…突出量。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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