(57)【要約】【課題】貫通孔が形成された洗浄対象物に対する付着物の除去能力を高める。【解決手段】貫通孔１８を有するメタルマスク１６に噴射口２６から洗浄剤を噴射し、メタルマスク１６に対し噴射口２６と反対側に設けた吸引口３０で洗浄剤を吸引する。【選択図】図１
2015104705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射する噴射口部材と、
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する吸引口部材と、
を有する洗浄装置。
【請求項２】
前記貫通孔の貫通方向に対し前記洗浄剤の移動方向を傾斜させる傾斜部材を有する請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記傾斜部材が、前記洗浄剤にエアを噴射し渦巻を発生させるエア噴射部材を有する請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記傾斜部材が、前記貫通孔の貫通方向に対し傾斜した傾斜面を有する請求項２又は請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄対象物に対し前記吸引口と反対側に設けられた反対側吸引口で前記洗浄剤を吸引する反対側吸引口部材を有する請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記吸引口と前記反対側吸引口とで吸引タイミングが異なる請求項５に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂基板に対し、アイスプラントノズルから、凍結粒子を含んだ洗浄媒体を噴射し、樹脂基板のバリ取り洗浄を行うバリ取り洗浄装置及びバリ取り洗浄方法が知られている（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−３０７６２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
貫通孔が形成された洗浄対象物では、貫通孔内にも付着物が付着していることがある。
【０００５】
１つの側面では、本発明は、貫通孔が形成された洗浄対象物に対する付着物の除去能力を高めることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
１つの態様では、貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射し、洗浄対象物に対し噴射口と反対側に設けた吸引口で洗浄剤を吸引する。
【発明の効果】
【０００７】
貫通孔が形成された洗浄対象物に対する付着物の除去能力が高い。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は第１実施形態の洗浄装置を示す正面図である。
【図２】図２は第１実施形態の洗浄装置を示す拡大正面図である。
【図３】図３は第１実施形態の洗浄装置を示す拡大正面図である。
【図４】図４は第１実施形態の洗浄装置を示す拡大正面図である。
【図５】図５は第１実施形態の洗浄装置の吸引ノズルを示す平面図である。
【図６】図６はメタルマスクを示す斜視図である。
【図７】図７は図１は第１実施形態の洗浄装置のブロック図である。
【図８Ａ】図８Ａはメタルマスクの貫通孔の近傍を拡大して示す縦断面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂはメタルマスクの貫通孔の近傍を拡大して示す横断面図である。
【図９】図９は第１実施形態の洗浄装置における洗浄工程の一例を示すタイミングチャートである。
【図１０】図１０はエア噴射ノズルをチャンバ内に設けた洗浄装置を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
第１実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。
【００１０】
図１には、第１実施形態の洗浄装置１２が示されている。
【００１１】
洗浄装置１２は、チャンバ１４を有する。図２〜図４にも示すように、チャンバ１４は、密閉された容器である。チャンバ１４の内部には、メタルマスク１６が収容され、保持される。
【００１２】
メタルマスク１６は、たとえば、プリント基板の基材上にはんだペースト２０（図６参照）を印刷塗布するときのマスクとして用いられる板状の部材である。図１〜図４に示す例では、メタルマスク１６は、板状のマスク本体１６Ａと、マスク本体１６Ａの周囲に取り付けられた枠状の補強部材１６Ｂと、を有する。
【００１３】
メタルマスク１６には、図６にも示すように、複数の貫通孔１８が形成される。プリント基板の基材上にはんだペースト２０を印刷塗布するために使用した後のメタルマスク１６では、貫通孔１８内に、はんだペースト２０の一部が付着物１０２として付着することがある。はんだペースト２０は、たとえば、フラックス２０Ａとはんだ粒子２０Ｂとが所定の体積比で混合した状態にある。すなわち、はんだペースト２０はフラックス２０Ａ中にはんだ粒子２０Ｂが分散しており、このはんだペースト２０が、メタルマスク１６の使用後に貫通孔１８内に残留することがある。本実施形態では、メタルマスク１６は洗浄対象物の一例であり、はんだペースト２０は付着物の一例である。
【００１４】
図２〜図４に詳細に示すように、チャンバ１４内には、メタルマスク１６を保持する保持部材２２が設けられる。保持部材２２は、本実施形態では、マスク本体１６Ａ及び補強部材１６Ｂを外側から保持し、チャンバ１４内の所定位置に設置する。保持部材２２は、設置部の一例である。
【００１５】
また、保持部材２２は、メタルマスク１６をチャンバ１４内で保持するが、メタルマスク１６の貫通孔１８を塞がない。そして、チャンバ１４内には、メタルマスク１６の下方に下部空間１４Ｂが生じ、メタルマスク１６の上方に上部空間１４Ａが生じる。
【００１６】
チャンバ１４の側壁１４Ｃには、１又は複数（図２〜図４に示す例では左右の側壁１４Ｃに２つずつ、合計で４つ）の洗浄剤噴射ノズル２４が取り付けられる。洗浄剤噴射ノズル２４は噴射口部材の一例である。洗浄剤噴射ノズル２４は、図３に示すように、洗浄剤供給装置４０（図１に示す）から供給された洗浄剤１０４を、噴射口２６からチャンバ１４内に噴射する。
【００１７】
チャンバ１４の上壁１４Ｄには、１つ又は複数（図２〜図４に示す例では上壁１４Ｄの中央に１つ）に吸引ノズル２８が取り付けられる。吸引ノズル２８は、吸引口部材の一例であり、吸引ノズル２８の内部は吸引口３０である。吸引ノズル２８は、チャンバ１４から離間するにしたがって段階的に拡径された円筒状の複数のハウジング３２を有する。図２〜図４に示す吸引ノズル２８では、上方に向かうにしたがって段階的に拡径された４つのハウジング３２を有する。
【００１８】
図５に詳細に示すように、吸引口３０の内部、すなわちハウジング３２のそれぞれには、１つ又は複数（図５の例では、１つのハウジング３２あたり４つ）のエア噴射ノズル３４が取り付けられる。エア噴射ノズル３４のそれぞれは、シャフト３６によってハウジング３２に回転可能に取り付けられる。
【００１９】
エア噴射ノズル３４のそれぞれは、シャフト３６を中心とした回転により、図５に実線で示す第１姿勢３４Ａと、二点鎖線で示す第２姿勢３４Ｂとの間で姿勢変化する。エア噴射ノズル３４は、第１姿勢３４Ａでは、ハウジング３２の中心に向かう方向に対し、一定の角度θ１で傾斜し、第２姿勢３４Ｂでは、第１姿勢３４Ａと反対側へ一定の角度θ２で傾斜している。角度θ１と角度θ２は等しくてもよいし、異なっていてもよい。エア噴射ノズル３４の姿勢は、図７に示すように、制御装置３８によって制御される。
【００２０】
エア噴射ノズル３４は、エア供給装置４２（図１に示す）から供給されたエアをハウジング３２内に噴射するノズルであり、エア噴射部材の一例である。さらに、エア噴射ノズル３４は、チャンバ１４内での洗浄剤１０４の移動方向を、貫通孔１８の貫通方向に対し傾斜させる傾斜部材の一例である。
【００２１】
エア噴射ノズル３４のそれぞれが上記した所定の角度θ１又はθ２で傾斜している状態では、ハウジング３２内及びチャンバ１４内に渦巻１０６が発生する。なお、本実施形態では、便宜的に、エア噴射ノズル３４が第１姿勢３４Ａ（角度θ１）にあるときにチャンバ１４内で生じる渦巻の向きを右向き（図５に示す向き）とする。したがって、第２姿勢３４Ｂ（角度θ２）にあるときにチャンバ１４内で生じる渦巻の向きは、左向き（図５に示す向きと反対向き）である。
【００２２】
チャンバ１４内で生じる渦巻１０６により、チャンバ１４内における洗浄剤１０４の移動方向が変化される。特に、図８Ａに示すように、メタルマスク１６の貫通孔１８の貫通する方向（メタルマスク１６の法線方向）に対する、洗浄剤１０４の移動方向Ｍ１が傾斜する。
【００２３】
また、図８Ｂに示すように、メタルマスク１６を平面視したとき、貫通孔１８の内部にも渦巻１０８が生じる。この渦巻１０８により、貫通孔１８の内部における洗浄剤１０４の移動方向Ｍ２は、種々の方向を採りうる。
【００２４】
図１に示すように、洗浄装置１２は、洗浄剤供給装置４０及び回収装置６６を有する。洗浄剤供給装置４０は、供給口４６から第１ポンプ４８及びバッファタンク５０を経て第２ポンプ５２で分岐し洗浄剤噴射ノズル２４に至る第１配管６４Ａを有する。第１配管６４Ａにおいて分岐した分岐部分６４Ａ１には、粒状体生成装置５４が設けられる。第１配管６４Ａは供給配管の一例である。
【００２５】
これに対し、回収装置６６は、戻し部材４４を有する。戻し部材４４は、吸引ノズル２８から第３ポンプ５６、フィルタ５８及び貯留タンク６０、第１バルブ６２を経てバッファタンク５０に至る第２配管６４Ｂを有する。第１配管６４Ａ、６４Ａ１において、バッファタンク５０から洗浄剤噴射ノズル２４に至る部分と、第２配管６４Ｂと、は戻し部材４４である。すなわち、第１配管６４Ａ、６４Ａ１において、バッファタンク５０から洗浄剤噴射ノズル２４に至る部分は、供給配管と戻し配管とを兼ねている。
【００２６】
回収装置６６は、第３ポンプ５６の駆動により、チャンバ１４内の洗浄剤１０４を、第２配管６４Ｂを介して回収し、貯留タンク６０に送ることができる。
【００２７】
貯留タンク６０には、第２バルブ７２によって開閉される排出配管７０が接続される。
【００２８】
洗浄媒体（本実施形態の例では水）は、第１配管６４Ａの一端の供給口４６から供給され、バッファタンク５０に一時的に貯留される。バッファタンク５０内の洗浄媒体は、第２ポンプ５２が駆動されると、粒状体生成装置５４に送られる。
【００２９】
本実施形態では、粒状体生成装置５４は、第１配管６４Ａ１に設けられた噴霧器７４及び冷却機７６を有する。液状の洗浄媒体は、噴霧器７４による霧化と冷却機７６による冷却を経て洗浄剤噴射ノズル２４に送られる。液状の水の一部又は全部は、霧化及び冷却により固化され、氷粒子となる。そして、図３に示すように、氷粒子が洗浄剤１０４として、洗浄剤噴射ノズル２４からチャンバ１４内に噴射される。氷粒子は、粒状体の一例である。
【００３０】
冷却機７６では、霧状の水に酸素以外のガス（たとえば二酸化炭素や窒素）を混合することも可能である。酸素以外のガスがチャンバ１４内に送られることで、チャンバ１４内の酸素量が減る。チャンバ１４内の酸素量が減ることで、はんだペースト２０に含有されたフラックス２０Ａが酸化して粘度上昇することが抑制される。
【００３１】
チャンバ１４内の洗浄剤１０４の一部は、第２配管６４Ｂに設けられた第３ポンプ５６の駆動により、吸引ノズル２８で吸引される。吸引ノズル２８で吸引された洗浄剤１０４は、フィルタ５８を経て貯留タンク６０に送られる。
【００３２】
フィルタ５８は、洗浄剤１０４に含まれる付着物（メタルマスク１６から除去したはんだペースト２０等）の一部を、洗浄剤１０４から分離する。付着物が分離された洗浄剤１０４は、貯留タンク６０に一時的に貯留される。
【００３３】
貯留タンク６０には凝固点センサ７８が設けられる。洗浄剤１０４に付着物が多く残留していると、洗浄剤１０４の凝固点も低くなる。すなわち、凝固点センサ７８により洗浄剤１０４の凝固点を測定することで、洗浄剤１０４が付着物を多く含んでいるか否かを判断できる。図７に示すように、凝固点センサ７８による測定データは、制御装置３８に送られる。
【００３４】
洗浄剤１０４に残留した付着物が多い等の理由で、洗浄剤１０４を再利用しない場合は、制御装置３８は、排出配管７０の第２バルブ７２を開弁する。貯留タンク６０内の洗浄剤１０４を排出配管８０から排出できる。
【００３５】
これに対し、洗浄剤１０４に残留した付着物が少ない等の理由で、洗浄剤１０４を再利用する場合は、制御装置３８は、第１バルブ６２を開弁し、貯留タンク６０内の洗浄剤１０４をバッファタンク５０に移動できるようにする。バッファタンク５０に戻った洗浄剤１０４は、チャンバ１４内のメタルマスク１６の洗浄に再利用される。
【００３６】
なお、第２配管６４Ｂにおける貯留タンク６０とバッファタンク５０の間の部分にもフィルタを設け、洗浄剤１０４から付着物をさらに分離できるようにしてもよい。
【００３７】
図１〜図４に示すように、チャンバ１４の下壁１４Ｅには、１つ又は複数（図１〜図４に示す例では下壁１４Ｅの中央に１つ）の反対側吸引ノズル８２が取り付けられる。反対側吸引ノズル８２は円筒状に形成されており、反対側吸引ノズル８２の内部が反対側吸引口８４である。反対側吸引ノズル８２は、メタルマスク１６に対し、吸引ノズル２８と反対側に位置する。そして、反対側吸引口８４も、メタルマスク１６に対し、吸引口３０と反対側に位置する。
【００３８】
反対側吸引ノズル８２には、回収装置６８が設けられる。回収装置６８は、反対側吸引ノズル８２に接続される排出配管８６を有する。
【００３９】
排出配管８６には、第４ポンプ８８、沈殿タンク９０、フィルタ９２及び第３バルブ９４が設けられる。回収装置６８は、第４ポンプ８８の駆動により、チャンバ１４内の洗浄剤１０４を、排出配管８６を介して回収し、沈殿タンク９０に送ることができる。
【００４０】
沈殿タンク９０では、洗浄剤１０４内の付着物１０２が沈殿される。沈殿タンク９０内にたまった付着物（沈殿物）は、所定の条件で（たとえば定期的に）沈殿タンク９０から廃棄できる。そして、制御装置３８が第３バルブ９４を開弁することで、沈殿タンク９０内の洗浄剤１０４の上澄み部分を、排出配管８６の排出口から排出できる。
【００４１】
図１〜図４に示すように、チャンバ１４の上壁１４Ｄの下面には、複数の反射部材９６が形成される。反射部材９６は、傾斜部材の一例である。
【００４２】
反射部材９６のそれぞれは、チャンバ１４内に収容されたメタルマスクの貫通方向（矢印Ｐ１方向）に対して傾斜する１つ又は複数（図１〜図４の例では２つ）の傾斜面９８を有する。図１〜図４に示す例では、隣接する傾斜面９８は、互いに反対方向に傾斜している。傾斜面９８にあたった洗浄剤１０４は、上壁１４Ｄに対する入射角と異なる反射角で反射される。
【００４３】
反射部材９６の形状は限定されず、たとえば、円錐状あるいは角錐状の形状（底面が上になる向き）が挙げられる。複数の反射部材９６の間には隙間があいていてもよいが、図１〜図４に示すように、複数の反射部材９６を隙間なく形成すると、所定面積あたりの形成できる反射部材９６の数が多くなる。
【００４４】
本実施形態では、傾斜面９８は、チャンバ１４の内面の一部として形成されている。すなわち、チャンバ１４内で反射部材９６がチャンバ１４と一体化されている。
【００４５】
図７に示すように、凝固点センサ７８における測定データは制御装置３８に送られる。制御装置３８では、第１〜第４ポンプ４８、５２、５６、８８、第１〜第３バルブ６２、７２、９４及びエア噴射ノズル３４を制御する。制御装置３８は、第１〜第４ポンプ４８、５２、５６、８８、第１〜第３バルブ６２、７２、９４及びエア噴射ノズル３４の駆動を制御するコンピュータであってもよいし、シーケンス制御を行う制御装置であってもよい。
【００４６】
次に、本実施形態の作用及び洗浄方法を説明する。
【００４７】
メタルマスク１６を洗浄装置１２で洗浄するには、図２に示すように、メタルマスク１６をチャンバ１４内で保持部材２２に保持させる。これにより、メタルマスク１６が所定位置で保持された状態で設置されるので、洗浄時のメタルマスク１６の位置ずれを抑制できる。
【００４８】
そして、必要に応じて、チャンバ１４内を、ポンプ等を用いて減圧する。このときに用いるポンプは、たとえば、チャンバ１４内の減圧用に設けたポンプを用いることが可能である。
【００４９】
図９には、第２ポンプ５２の駆動・停止、第３ポンプ５６の駆動・停止、エア噴射ノズル３４の姿勢変化、及び、第４ポンプ８８の駆動・停止のタイミングの一例が示されている。なお、図９において示す各タイミング（Ｔ１〜Ｔ１０）は説明の便宜のための一例である。たとえば、図９ではＴ１〜Ｔ１０間の各時間間隔が一定であるが、これら時間間隔は一定でなくてもよい。
【００５０】
チャンバ１４内に設置されたメタルマスク１６を洗浄するときは、第２ポンプ５２を駆動してチャンバ１４内に洗浄剤１０４を供給する（Ｔ１〜Ｔ２）。これにより、図３に示すように、洗浄剤噴射ノズル２４からメタルマスク１６に向かって洗浄剤１０４が噴射される。このとき、第３ポンプ５６も駆動し、チャンバ１４内に渦巻１０６を発生させつつ、チャンバ１４内を吸引口３０で吸引する。さらに、エア噴射ノズル３４（第１姿勢３４Ａにある）からエアを噴射する。これにより、チャンバ１４内に渦巻１０６が発生される。なお、このとき、第４ポンプ８８は停止しているので、反対側吸引口８４から洗浄剤１０４が吸引されない。
【００５１】
そして、洗浄剤１０４が貫通孔２６を通過するときに、はんだペースト２０に衝突し、はんだペースト２０をメタルマスク１６から除去する。
【００５２】
本実施形態では、噴射口２６と吸引口３０とがメタルマスク１６に対し互いに反対側の位置にある。したがって、吸引口３０がない構造や、吸引口３０がメタルマスク１６に対し噴射口２６と同じ側にある構造と比較して、噴射口２６から噴射された洗浄剤１０４が、下部空間１４Ｂからメタルマスク１６の貫通孔１８を通り抜けやすい。このため、貫通孔１８内の付着物１０２を除去する能力が高い。
【００５３】
特に、図６に示すように、貫通孔１８内にははんだペースト２０が残存していることがあるが、本実施形態の洗浄装置１２では、このはんだペースト２０を除去する能力が高い。なお、メタルマスク１６において、貫通孔１８以外の箇所についても、洗浄剤１０４が吸引口３０で吸引されることで強く当たる。洗浄剤１０４が強く当たることで、貫通孔１８以外の箇所についても、本実施形態の洗浄装置１２では、洗浄能力が高い。
【００５４】
本実施形態では、吸引口３０において、エア噴射ノズル３４からエアを噴射することで、チャンバ１４内に渦巻１０６を発生させる。なお、この状態では、エア噴射ノズル３４は第１姿勢３４Ａにあるので、渦巻１０６は右回りである。
【００５５】
この渦巻１０６により、図８Ａに矢印Ｍ１で示すように、洗浄剤１０４がメタルマスク１６の貫通孔１８の内面１８Ｓに対し傾斜して付着物１０２を除去する。また、洗浄剤１０４は、図８Ｂに矢印Ｍ２で示すように、貫通孔１８内で回転し、貫通孔１８の内面１８Ｓに対し、矢印Ｍ２と異なる方向で傾斜して付着物１０２を除去する。このため、チャンバ１４内に渦巻１０６を発生させない構造と比較して、メタルマスク１６に対する洗浄効果が高い。
【００５６】
なお、エア噴射ノズル３４は、チャンバ１４内に渦巻１０６を発生させるためには、チャンバ１４内に設けられていてもよい。図１〜図４に示すように、エア噴射ノズル３４を吸引口３０の内部に設けると、チャンバ１４内に多数のエア噴射ノズル３４を設けるためのスペースが不要であり、チャンバ１４の小型化を図ることができる。
【００５７】
これに対し、図１０に示すように、エア噴射ノズル３４をチャンバ１４内に設けた構造としてもよい。図１０に示す構造では、多数のエア噴射ノズル３４を設けることは難しいが、メタルマスク１６に近い位置で渦巻を発生させることができる。
【００５８】
チャンバ１４内で下部空間１４Ｂから貫通孔１８を通り上部空間１４Ａへ上昇した洗浄剤１０４は、傾斜面９８に当たって反射される。そして、図４に示すように、再度貫通孔１８と通る。傾斜面９８は、貫通孔１８の貫通方向に対し傾斜しており、反射後の洗浄剤１０４は、上昇時とは異なる角度で下降する。すなわち、洗浄剤１０４は、下降時には上昇時とは異なる角度で貫通孔１８を通過する可能性が高い。このため、傾斜面９８がない構造と比較して、メタルマスク１６に対する洗浄能力が高い。
【００５９】
しかも、本実施形態では、隣接する傾斜面９８では、傾斜方向が互いに異なっている。したがって、すべての傾斜面９８の角度が同じである構造と比較すると、洗浄剤１０４をランダムに反射させることができる。すなわち、メタルマスク１６に対し種々の角度で洗浄剤１０４が当たる可能性が高いので、メタルマスク１６に対する洗浄能力が高い。
【００６０】
なお、図１〜図４に示す例では、それぞれの反射部材９６の両側に現れる対称形状の傾斜面９８を挙げているが、傾斜面９８の角度がランダムであってもよい。
【００６１】
傾斜面９８を有する反射部材９６は、上記実施形態では、チャンバ１４の内面に形成される。傾斜面９８を有する反射部材９６は、チャンバ１４とは別体であってもよいが、上記のようにチャンバ１４の内面に形成すると、傾斜面９８はチャンバ１４と一体化されるので、部品点数が少ない。また、傾斜面（反射部材）をチャンバ１４に取り付けるための部材も不要である。
【００６２】
図９に示すように、第２ポンプ５２及び第３ポンプ５６は、一定時間の駆動後に停止される（Ｔ２）。エア噴射ノズル３４も停止される。
【００６３】
次に、制御装置３８は第４ポンプ８８を駆動する（Ｔ２〜Ｔ３）。これにより、チャンバ１４内の洗浄剤１０４が反対側吸引口８４に吸引される。すなわち、傾斜面９８による反射や、洗浄剤１０４に作用する重力に加えて、反対側吸引口８４で吸引することで、積極的に洗浄剤１０４を下方へ移動させて、貫通孔１８を通すことができる。
【００６４】
しかも、吸引口３０での吸引タイミングと、反対側吸引口８４での吸引タイミングとが異なっているので、チャンバ１４内における洗浄剤１０４の上下動を、効率的に交互に行わせることができる。
【００６５】
第４ポンプ８８の一定時間の駆動後、制御装置３８は、エア噴射ノズル３４を第２姿勢３４Ｂとする（Ｔ３）。そして、第２ポンプ５２及び第３ポンプ５６を駆動する（Ｔ３〜Ｔ４）。これにより、チャンバ１４内で洗浄剤１０４が上昇し、メタルマスク１６の貫通孔１８を通過する。このとき、エア噴射ノズル３４は第２姿勢３４Ｂであるので、チャンバ１４内では、左向きの渦巻が発生する。すなわち、時間Ｔ１〜Ｔ２と、時間Ｔ３〜Ｔ４とでは、チャンバ１４内に異なる向きの渦巻が発生している。したがって、一方向にのみ渦巻が発生する構造と比較して、貫通孔１８内に異なる角度で洗浄剤１０４を通すので、メタルマスク１６に対する洗浄効果が高い。
【００６６】
以後は、制御装置３８は、第２ポンプ５２の駆動によるチャンバ１４内からの洗浄剤１０４の吸引（上方からの吸引）と、第３ポンプ５６の駆動によるチャンバ１４内からの洗浄剤１０４の吸引（下方からの吸引）とを交互に行う（Ｔ５〜Ｔ９）。図９に示す例では、時間Ｔ１〜Ｔ９で、第２ポンプ５２の駆動と第３ポンプ５６の駆動とを４回繰り返している。これにより、チャンバ１４内で、洗浄剤１０４の上方への移動と下方への移動とを交互に発生させ、洗浄剤１０４を貫通孔１８に複数回通すことができる。
【００６７】
また、制御装置３８は、第２ポンプ５２の駆動毎に、エア噴射ノズル３４の姿勢を第１姿勢３４Ａ（Ｔ１〜Ｔ２、Ｔ５〜Ｔ６）と第２姿勢３４Ｂ（Ｔ３〜Ｔ４、Ｔ７〜Ｔ８）とに交互に切り替える。これにより、チャンバ１４内で、右回りの渦巻と左回りの渦巻とが交互に生じ、メタルマスク１６に対し種々の角度で洗浄剤１０４が当たる。
【００６８】
制御装置３８は、第２ポンプ５２の駆動と第３ポンプ５６の駆動の繰り返しを所定回数行った後、第２ポンプ５２及び第３ポンプ５６を共に駆動する（Ｔ９〜Ｔ１０）。第２ポンプ５２の駆動により、チャンバ１４内に噴射口２６からあらたな洗浄剤１０４が噴射される。特に、反対側吸引口８４からの洗浄剤１０４の吸引を複数回行った後は、チャンバ１４内の洗浄剤が減少しているが、第２ポンプ５２の駆動により洗浄剤１０４をチャンバ１４内に供給することで、メタルマスク１６に対する洗浄能力を維持できる。そして、チャンバ１４内の洗浄剤１０４が、第２ポンプ５２の駆動により、吸引口３０を通じて上方へ吸引される。
【００６９】
以上のようにしてチャンバ１４内でメタルマスク１６を洗浄する動作を行うと、チャンバ１４内の洗浄剤１０４の一部は、吸引口３０あるいは反対側吸引口８４内に入り込むことがある。
【００７０】
このように、本実施形態では、チャンバ１４内の洗浄剤１０４を反対側吸引口８４及び吸引口３０の双方から回収できるので、チャンバ１４内に、はんだペースト２０が付着した洗浄剤１０４が滞留することを抑制できる。
【００７１】
チャンバ１４内からの洗浄剤１０４の回収は、反対側吸引口８４と吸引口３０の一方からのみ行ってもよい。特に、はんだペーストが多く付着した洗浄剤１０４は比重が大きいので、吸引口３０よりも反対側吸引口８４に入りやすい。換言すれば、反対側吸引口８４は、吸引口３０よりも下方にあるので、はんだペーストが多く付着し再利用に不向きな洗浄剤１０４は、メタルマスク１６より上方にある吸引口３０よりも反対側吸引口８４に入りやすい。
【００７２】
そして、反対側吸引ノズル８２を反対側吸引口８４に設けることで、反対側吸引ノズル８２が吸引した洗浄剤１０４を効率的に回収できる。
【００７３】
このように反対側吸引口８４に入った洗浄剤１０４は沈殿タンク９０に回収される。
【００７４】
沈殿タンク９０では、洗浄剤１０４から、洗浄剤１０４やフラックス２０Ａよりも比重の大きいはんだ粒子２０Ｂが沈殿する。そして、制御装置３８は、所定のタイミングで、あるいは、沈殿タンク９０にはんだ粒子が一定量たまった場合に、第３バルブ９４を開弁する。第１バルブ６２の開弁により、洗浄剤１０４の上澄み成分を反対側吸引口８４から廃棄できる。
【００７５】
沈殿タンク９０内に沈殿したはんだ粒子２０Ｂは、たとえば作業者が定期的に回収する。
【００７６】
これに対し、吸引口３０で吸引した洗浄剤１０４では、フィルタ５８により、はんだペースト２０の一部を分離できる。
【００７７】
さらに、吸引口３０で吸引した洗浄剤１０４を貯留タンク６０に貯留させることで、洗浄剤１０４内のはんだペースト２０の一部を沈殿させて分離することもできる。
【００７８】
吸引口３０で吸引した洗浄剤１０４は、反対側吸引口８４で吸引した洗浄剤１０４よりも比重が小さいことが多い。吸引口３０で吸引した洗浄剤１０４は、貯留タンク６０で回収する。
【００７９】
そして、はんだペースト２０の一部が除去された洗浄剤１０４のうち、凝固点センサ７８による測定結果で再利用可能と判断された洗浄剤１０４は、第２配管６４を経て第１配管６４Ａの部分）により、バッファタンク５０に戻される。すなわち、洗浄剤１０４の再利用が可能である。
【００８０】
これに対し、洗浄剤１０４が、凝固点センサ７８による測定結果で再利用可能と判断された場合は、制御装置３８は第２バルブ７２を開弁する。貯留タンク６０内の洗浄剤１０４は、排出配管７０を通じて排出される。
【００８１】
本実施形態において、洗浄剤１０４は粒状体（氷粒子）を含んでいる。粒状体が洗浄対象物の付着物に当たることで、付着物を洗浄対象物から削ぎ落とすように除去する。したがって、粒状体を含まない洗浄剤を使用する構造と比較して、洗浄対象物を洗浄する効果が高い。
【００８２】
しかも、洗浄剤１０４が氷粒子を含んでいるので、チャンバ１４内を低温に維持しやすい。チャンバ１４内を低温に維持することで、はんだペースト２０の粘着性が低下するので、メタルマスク１６から除去しやすくなる。
【００８３】
また、本実施形態の洗浄装置１２は、はんだペースト２０（付着物）の除去に、氷粒子を用いており、揮発性の有機溶剤を用いない。揮発性の有機溶剤と比較して、氷粒子（水）は取り扱いや再利用が容易であり、低コストで洗浄対象物を洗浄できる。洗浄剤１０４としての水を再利用することで、洗浄剤の廃棄量を減らすことも可能である。
【００８４】
そして、洗浄剤として有機溶剤を用いないことで、マスク本体１６Ａと補強部材１６Ｂとを接着する接着剤等に与える影響も小さい。
【００８５】
さらに、洗浄剤１０４として氷粒子を用いると、氷粒子の形状や粒子サイズの自由度が大きい。したがって、メタルマスク１６のサイズや貫通孔１８のサイズ、はんだペースト２０の物性等に応じて、洗浄時間を短くしたり、洗浄効果を高めたりすることが可能となる。
【００８６】
本実施形態における洗浄対象物は、上記したメタルマスク１６に限定されない。要するに、貫通孔を有する部材であれば、貫通孔に対する洗浄剤の通過性を高め、洗浄対象物に付着した付着物を除去する能力を高めることが可能である。
【００８７】
また、本実施形態における洗浄対象物は、はんだペーストに限らず、導電性ペースト塗料や研磨用ペースト等を洗浄対象物から除去する場合に適用できる。たとえば、導電性ペースト塗料では、はんだペーストと物性が類似するものがある。また、研磨用ペーストでは、硬質の研磨剤（ダイヤモンド粉等）を含有するものがある。このような導電性ペースト塗料や研磨用ペースト等を洗浄対象物から除去する場合に、本実施形態における洗浄対象物は、貫通孔から付着物を除去する能力が高い。
【００８８】
以上、本願の開示する技術の実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【００８９】
本明細書は、以上の実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
【００９０】
（付記１）
貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射する噴射口部材と、
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する吸引口部材と、
を有する洗浄装置。
（付記２）
前記洗浄剤に粒状体を含ませる粒状体生成装置を有する付記１に記載の洗浄装置。
（付記３）
前記洗浄対象物が設置される設置部を有すると共に前記噴射口部材及び前記吸引口部材が取り付けられたチャンバを有する付記１又は付記２に記載の洗浄装置。
（付記４）
前記貫通孔の貫通方向に対し前記洗浄剤の移動方向を傾斜させる傾斜部材を有する付記１〜付記３のいずれか１つに記載の洗浄装置。
（付記５）
前記傾斜部材が、前記洗浄剤にエアを噴射し渦巻を発生させるエア噴射部材を有する付記４に記載の洗浄装置。
（付記６）
前記エア噴射部材が前記吸引口の内部に設けられる付記５に記載の洗浄装置。
（付記７）
前記傾斜部材が前記チャンバ内に設けられる付記３を引用する付記５に記載の洗浄装置。
（付記８）
前記傾斜部材が、前記貫通孔の貫通方向に対し傾斜した傾斜面を有する付記４に記載の洗浄装置。
（付記９）
前記チャンバの内面の一部が前記傾斜面とされている付記３を引用する付記８に記載の洗浄装置。
（付記１０）
前記傾斜面が複数形成され、隣接する傾斜面では傾斜方向が異なっている付記８又は付記９に記載の洗浄装置。
（付記１１）
前記洗浄対象物に対し前記吸引口と反対側に設けられた反対側吸引口で前記洗浄剤を吸引する反対側吸引口部材を有する付記１〜付記１０のいずれか１つに記載の洗浄装置。
（付記１２）
前記吸引口と前記反対側吸引口とで吸引タイミングが異なる付記１１に記載の洗浄装置。
（付記１３）
前記吸引口と前記反対側吸引口の少なくとも一方から吸引した前記洗浄剤を回収する回収装置を有する付記１１に記載の洗浄装置。
（付記１４）
前記反対側吸引口が前記洗浄対象物よりも下方にある付記１３に記載の洗浄装置。
（付記１５）
前記回収装置は、前記反対側吸引部材が吸引した前記洗浄剤を回収する付記１４に記載の洗浄装置。
（付記１６）
前記回収装置で回収された前記洗浄剤から、前記洗浄対象物から除去された付着物の少なくとも一部を分離する分離部材を有する付記１３〜付記１５のいずれか１つに記載の洗浄装置。
（付記１７）
前記分離部材で前記付着物の少なくとも一部が分離された前記洗浄剤を前記噴射口に戻す戻し部材を有する付記１６に記載の洗浄装置。
（付記１８）
貫通孔を有する洗浄対象物に噴射口から洗浄剤を噴射し、
前記洗浄対象物に対し前記噴射口と反対側に設けられた吸引口で前記洗浄剤を吸引する洗浄方法。
【符号の説明】
【００９１】
１２  洗浄装置
１４  チャンバ
１６  メタルマスク（洗浄対象物）
１８  貫通孔
２４  洗浄剤噴射ノズル（噴射口部材）
２６  噴射口
２８  吸引ノズル（吸引口部材）
３０  吸引口
３４  エア噴射ノズル（エア噴射部材、傾斜部材）
５４  粒状体生成装置
５８  フィルタ（分離部材）
６０  貯留タンク（分離部材）
６６  回収装置
６８  回収装置
８２  反対側吸引ノズル（反対側吸引部材）
８４  反対側吸引口
９６  反射部材（傾斜部材）
９８  傾斜面
１０４      洗浄剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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