(57)【要約】【課題】ヘッドモジュールとユニットベースとの位置決めを低コスト、かつ簡単に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ヘッドモジュール２６とユニットベース２５とを重ね合わせ、ユニットベース２５に対するヘッドモジュール２６の位置決めを行うヘッド位置決め工程を有し、ヘッド位置決め工程では、出射部１０２から出射される光が、ベース側位置決め孔９３及びヘッド側位置決め孔９２を通過するように、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを相対移動させることを特徴とする。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する噴射孔が並設された噴射孔プレートを有するヘッドモジュールを、ユニットベースに組み付ける液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ヘッドモジュールと前記ユニットベースとを重ね合わせ、前記ユニットベースに対する前記ヘッドモジュールの位置決めを行うヘッド位置決め工程を有し、
前記ヘッド位置決め工程では、
前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースに対して一方側に配置された光源から出射される光が、前記ユニットベースに形成されたベース側位置決め孔及び前記噴射孔プレートに形成されたヘッド側位置決め孔を通して、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースに対して他方側まで到達するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記光源は、レーザであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ベース側位置決め孔及び前記ヘッド位置決め孔は、第１位置決め孔及び前記第１位置決め孔よりも内径が小さい第２位置決め孔を有し、
前記ヘッド位置決め工程では、
前記光源から出射される光が前記第１位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させる第１位置決め工程と、
前記光源から出射される光が前記第２位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させる第２位置決め工程と、を有していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ヘッド位置決め工程の前段に、前記光源から出射される光が前記ベース側位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースを移動させるベース位置決め工程を有していることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液体を噴射する噴射孔が形成された噴射孔プレートを有するヘッドモジュールと、
前記ヘッドモジュールを保持するユニットベースと、を備えた液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースのうち、両者が重なるラップ部分には、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースの組み付け時において、光源から出射される光を通過させるヘッド側位置決め孔及びベース側位置決め孔が各別に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５記載の液体噴射ヘッドであって、
前記噴射孔プレートは、複数の前記噴射孔が並設された噴射孔列を有し、
前記ヘッド側位置決め孔は、前記噴射孔プレートのうち、前記噴射孔列の外側であって、前記噴射孔列の延長線上に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項７】
請求項５または請求項６記載の液体噴射ヘッドであって、
前記ヘッド側位置決め孔及び前記ベース側位置決め孔は、第１位置決め孔及び前記第１位置決め孔よりも小さい第２位置決め孔を各別に有していることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項５から請求項７の何れか１項に記載の液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被記録媒体に向けて液滴状のインク（以下、単にインク滴という。）を吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
【０００３】
インクジェットヘッドは、インクが充填される複数のチャネルが形成されるとともに、各チャネルに各別に連通するノズル孔が形成されたヘッドモジュールと、このヘッドモジュールが搭載されるユニットベースと、備えている。上述したチャネルを画成する両側壁には、それぞれ駆動電極が設けられている。そして、インクジェットヘッドでは、各駆動電極に所定の駆動電圧を印加することで、側壁が変形してチャネル内の容積が変化する。これにより、ノズル孔からインク滴が被記録媒体に向かって吐出される。
【０００４】
また、近時では、被記録媒体に記録される文字や画像の密度を向上させるために、ノズル孔の数を増大させる様々な技術が提案されている。例えば、複数のヘッドモジュールをユニットベースに搭載して、高密度記録を図る構成が検討されている。
【０００５】
ところで、ユニットベースにヘッドモジュールを搭載する場合、ユニットベースに対するヘッドモジュールの位置決めを行う必要がある。例えば、下記特許文献１には、ノズル孔を有するノズルプレートに設けられたアライメントマークと、位置決め装置に設けられた基準マークと、を撮像手段によって同時に撮影して画像を取得し、撮影した画像に対して画像処理を行って、アライメントマークと基準マークとを位置決めする構成が開示されている。また、特許文献１には、撮像手段により撮影した際に、基準マーク及びアライメントマークに対してコントラスト比が高くなる表面処理膜を位置決め装置に形成する構成も開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４３４１６５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した従来の構成にあっては、画像処理により位置決めを行うため、大掛かりな位置決め装置が必要になるとともに、焦点調整やコントラスト比調整が必要になる。そのため、装置コストの増加や、位置決め工程の複雑化に繋がるという課題がある。
特に、上述したようにユニットベースに複数のヘッドモジュールを搭載する構成にあっては、複数のヘッドモジュールのうち、何れかのヘッドモジュールのみのメンテナンスや交換をユーザ側で行う等の要請がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、ヘッドモジュールとユニットベースとの位置決めを低コスト、かつ簡単に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、液体を噴射する噴射孔が並設された噴射孔プレートを有するヘッドモジュールを、ユニットベースに組み付ける液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドモジュールと前記ユニットベースとを重ね合わせ、前記ユニットベースに対する前記ヘッドモジュールの位置決めを行うヘッド位置決め工程を有し、前記ヘッド位置決め工程では、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースに対して一方側に配置された光源から出射される光が、前記ユニットベースに形成されたベース側位置決め孔及び前記噴射孔プレートに形成されたヘッド側位置決め孔を通して、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースに対して他方側まで到達するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させることを特徴としている。
また、本発明に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射する噴射孔が形成された噴射孔プレートを有するヘッドモジュールと、前記ヘッドモジュールを保持するユニットベースと、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースのうち、両者が重なるラップ部分には、前記ヘッドモジュール及び前記ユニットベースの組み付け時において、光源から出射される光を通過させるヘッド側位置決め孔及びベース側位置決め孔が各別に形成されていることを特徴としている。
【００１０】
この構成によれば、ヘッド位置決め工程において、光源から出射される光が、ベース側位置決め孔及びヘッド側位置決め孔を通過するように、ユニットベース及びヘッドモジュールを相対移動させることで、ユニットベースに対するヘッドモジュールの位置決めを行うことができる。これにより、従来のように画像処理により位置決めを行う構成に比べて位置決め装置の低コスト化や、位置決め工程の簡素化を図ることができる。
この場合、例えば複数のヘッドモジュールをユニットベースに搭載する構成において、ユニットベースに対する各ヘッドモジュールのノズル孔の位置を簡単、かつ高精度に位置決めすることができる。また、上述したように位置決め装置の低コスト化や、位置決め工程の簡素化を図ることで、複数のヘッドモジュールのうち、何れかのヘッドモジュールのみのメンテナンスや交換をユーザ側で行うことも可能となる。
【００１１】
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記光源は、レーザでもよい。
この構成によれば、光源にレーザを用いることで、位置決め孔を通過する光量を検出し易くなり、ヘッド位置決め工程の作業性を向上させることができる。
【００１２】
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ベース側位置決め孔及び前記ヘッド位置決め孔は、第１位置決め孔及び前記第１位置決め孔よりも内径が小さい第２位置決め孔を有し、前記ヘッド位置決め工程では、前記光源から出射される光が前記第１位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させる第１位置決め工程と、前記光源から出射される光が前記第２位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースと前記ヘッドモジュールとを相対移動させる第２位置決め工程と、を有していてもよい。
上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記ヘッド側位置決め孔及び前記ベース側位置決め孔は、第１位置決め孔及び前記第１位置決め孔よりも小さい第２位置決め孔を各別に有していてもよい。
この構成によれば、第１位置決め工程及び第２位置決め工程において、ユニットベースとヘッドモジュールとを段階的に位置決めすることで、所望の相対位置に直接位置決めする構成に比べて作業性を向上させることができる。
【００１３】
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記ヘッド位置決め工程の前段に、前記光源から出射される光が前記ベース側位置決め孔を通過するように、前記ユニットベースを移動させるベース位置決め工程を有していてもよい。
この構成によれば、ベース位置決め工程において、従来のように画像処理により位置決めを行う構成に比べて位置決め装置の低コスト化や、位置決め工程の簡素化を図ることができる。この場合、ヘッド位置決め工程と同様の方法によりベース位置決め工程を行うことで、ベース位置決め工程における作業性を向上させることできる。
【００１４】
また、上記本発明に係る液体噴射ヘッドであって、前記噴射孔プレートは、複数の前記噴射孔が並設された噴射孔列を有し、前記ヘッド側位置決め孔は、前記噴射孔プレートのうち、前記噴射孔列の外側であって、前記噴射孔列の延長線上に形成されていてもよい。
この構成によれば、噴射孔プレートへの噴射孔の形成工程と同じタイミングでヘッド側位置決め孔を形成することができ、ヘッド側位置決め孔の形成に伴う製造効率の低下を抑制できる。
【００１５】
上記本発明に係る液体噴射装置において、上記本発明の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと被記録媒体とを相対的に移動させる移動機構と、を備えていることを特徴としている。
この構成によれば、上記本発明の液体噴射ヘッドを備えているため、噴射孔が高精度に位置決めされた信頼性の高い液体噴射装置を提供できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ヘッドモジュールとユニットベースとの位置決めを低コスト、かつ簡単に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１実施形態におけるインクジェットプリンタの斜視図である。
【図２】第１実施形態におけるインクジェットヘッドの斜視図である。
【図３】第１実施形態におけるインクジェットヘッドの底面図である。
【図４】第１実施形態におけるユニットベースの底面図である。
【図５】第１実施形態におけるヘッドチップの斜視図である。
【図６】第１実施形態におけるヘッドチップの分解斜視図である。
【図７】第１実施形態における図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図８】第１実施形態におけるベース位置決め工程を説明するための工程図である。
【図９】第１実施形態におけるヘッド位置決め工程を説明するための工程図である。
【図１０】第２実施形態における位置決め部を説明するための説明図であって、インクジェットヘッドの概略構成図（底面図）である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［第１実施形態］
以下、本発明に係る第１実施形態について図面を参照して説明する。以下の実施形態では、本発明の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して記録紙等の被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１９】
［プリンタ］
図１は、プリンタ１の斜視図である。
図１に示すように、プリンタ１は、紙等の被記録媒体Ｓを搬送する一対の搬送機構２，３と、被記録媒体Ｓにインク滴を噴射するインクジェットヘッド４と、インクジェットヘッド４にインクを供給するインク供給手段５と、被記録媒体Ｓの搬送方向（主走査方向）と直交する方向（副走査方向）にインクジェットヘッド４を走査させる走査手段６と、を備えている。
【００２０】
なお、以下の説明において、副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向、そしてＸ方向、及びＹ方向に直交する方向をＺ方向として説明する。ここで、プリンタ１は、Ｘ方向、Ｙ方向が水平方向となるように、且つＺ方向が上下方向となるように載置して使用されるようになっている。
【００２１】
一対の搬送機構２，３は、それぞれＸ方向に延びるグリッドローラ２ａ，３ａと、グリッドローラ２ａ，３aとそれぞれに平行に延びるピンチローラ２ｂ，３ｂと、グリッドローラ２ａ，３ａをその軸回りに回転動作させるモータ等の図示しない駆動機構と、を備えている。
【００２２】
インク供給手段５は、インクが収容されたインクタンク１０と、インクタンク１０とインクジェットヘッド４とを接続するインク配管１１とを備えている。インクタンク１０は、複数設けられており、例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０ＢがＹ方向に沿って配列されている。インク配管１１は、例えば可撓性を有するフレキシブルホースであり、インクジェットヘッド４を支持するキャリッジ１６の動作（移動）に追従可能とされている。なお、インクタンク１０は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの４種類のインクが収容されたインクタンク１０Ｙ，１０Ｍ，１０Ｃ，１０Ｂに限られるものではなく、さらに多色のインクを収容したインクタンクを備えていてもよい。
【００２３】
走査手段６は、Ｘ方向に延び、かつＹ方向に間隔をあけて互いに平行に配置された一対のガイドレール１４，１５と、これら一対のガイドレール１４，１５に沿って移動可能に配置されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６をＸ方向に移動させる駆動機構１７と、を備えている。
駆動機構１７は、一対のガイドレール１４，１５の間に配置され、Ｘ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ１８と、これら一対のプーリ１８の間に巻回されてＸ方向に移動する無端ベルト１９と、一方のプーリ１８を回転駆動させる駆動モータ２０と、を備えている。
【００２４】
キャリッジ１６は、無端ベルト１９に連結されており、一方のプーリ１８の回転駆動による無端ベルト１９の移動に伴ってＸ方向に移動可能とされている。また、キャリッジ１６には、複数のインクジェットヘッド４がＸ方向に並んだ状態で搭載されている。図示の例では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の各インクをそれぞれ吐出する４つのインクジェットヘッド４、すなわちインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂがキャリッジ１６に搭載されている。なお、上述した搬送機構２，３及び走査手段６により、インクジェットヘッド４と被記録媒体Ｓとを相対的に移動させる移動機構を構成している。
【００２５】
＜インクジェットヘッド＞
次に、上述したインクジェットヘッド４について詳述する。図２はインクジェットヘッド４の斜視図であり、図３はインクジェットヘッド４の底面図である。なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂは、供給されるインクの色以外は何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、まとめてインクジェットヘッド４として説明する。
図２、図３に示すように、インクジェットヘッド４は、キャリッジ１６（図１参照）に固定されるユニットベース２５と、このユニットベース２５に搭載された複数のヘッドモジュール２６と、を備えている。インクジェットヘッド４は、駆動電圧が印加されることで、各色のインクを所定の吐出量で吐出する。このとき、インクジェットヘッド４が走査手段６によりＸ方向に移動することで、被記録媒体Ｓにおける所定範囲に記録を行うことができ、この走査を搬送機構２，３により被記録媒体ＳをＹ方向に搬送しながら繰り返し行うことで、被記録媒体Ｓの全体に記録を行うことが可能となる。
【００２６】
図４は、ユニットベース２５の底面図である。
図２〜図４に示すように、ユニットベース２５は、Ｚ方向から見た平面視で長方形状とされた板材であって、Ｙ方向を長辺方向としている。ユニットベース２５の外周縁のうち、一方の長辺部分にはＸ方向の外側に向けて突出するダボ３１がＹ方向に間隔をあけて複数（本実施形態では２つ）設けられている。また、ユニットベース２５の外周縁のうち、一方の短辺部分にもＹ方向の外側に向けて突出するダボ３１が設けられている。これらダボ３１は、ユニットベース２５をキャリッジ１６に固定する際の位置決めとして、キャリッジ１６に突き当てられるようになっている。
【００２７】
また、ユニットベース２５には、ヘッドモジュール２６が各別に挿入される挿入孔３２がＸ方向に間隔をあけて複数（本実施形態では２つ）形成されている。これら挿入孔３２は、ユニットベース２５をＺ方向に貫通するとともに、Ｙ方向に沿って延びる長孔とされている。なお、ユニットベース２５において、上述した挿入孔３２に対してＹ方向の両側に位置する部分には、ユニットベース２５をＺ方向に貫通する貫通孔３３（図４参照）がそれぞれ形成されている。これら貫通孔３３は、ユニットベース２５に各ヘッドモジュール２６を固定するためのビス３４（図２参照）が挿入される。
【００２８】
（ヘッドモジュール）
図２に示すように、ヘッドモジュール２６は、ヘッドチップ４０（図５参照）と、上述したインク供給手段５から供給されるインクを、ヘッドチップ４０に供給するインク供給部４１と、ヘッドチップ４０に駆動電圧を印加する制御手段４２と、を備え、これら各構成品がベースプレート４３に支持されている。なお、各ヘッドモジュール２６は、何れも同一の構成からなるため、以下の説明では、一のヘッドモジュール２６について説明し、その他のヘッドモジュール２６については同一の符号を付して説明を省略する。
【００２９】
ベースプレート４３は、アルミ等の金属製のものであって、Ｚ方向に起立した状態で配置されている。なお、ベースプレート４３は、下端部がユニットベース２５の挿入孔３２内に挿入されるとともに、上部が挿入孔３２から上方に向けて突出している。
【００３０】
ベースプレート４３の下部には、ヘッドチップ４０にインクを供給する流路部材４４が固定されている。また、ベースプレート４３の上端部には、インクを貯留する貯留室を内部に有する圧力緩衝器４５が支持されている。そして、流路部材４４と圧力緩衝器４５とは、ベースプレート４３に対してＹ方向の外側において、インク連結管４６を介して連結されている。なお、圧力緩衝器４５は、インク配管１１を介して上述したインクタンク１０に接続されている。
【００３１】
そして、圧力緩衝器４５は、インク配管１１を介してインクタンク１０からインクが供給されると、インクを内部の貯留室内に一旦貯留した後、所定量のインクをインク連結管４６及び流路部材４４を介してヘッドチップ４０に供給する。
なお、これら流路部材４４、圧力緩衝器４５及びインク連結管４６により、上述したインク供給部４１を構成している。
【００３２】
また、ユニットベース２５の上端部のうち、圧力緩衝器４５に対してＹ方向に隣接した部分には、ヘッドチップ４０を駆動するための集積回路等の制御回路５０が搭載されたＩＣ基板５１が取り付けられている。なお、ＩＣ基板５１は、カバー部材５３により被覆されている。そして、ＩＣ基板５１の制御回路５０と、ヘッドチップ４０の駆動電極（不図示）と、は、図示しない配線パターンがプリント配線されたフレキシブル基板５２を介して電気的に接続されている。これにより、制御回路５０は、フレキシブル基板５２を介してヘッドチップ４０の駆動電極に駆動電圧を印加することが可能とされる。
そして、これら制御回路５０が搭載されたＩＣ基板５１、及びフレキシブル基板５２により、上述した制御手段４２を構成している。
【００３３】
（ヘッドチップ）
続いて、ヘッドチップ４０について詳細に説明する。図５はヘッドチップ４０の斜視図であり、図６はヘッドチップ４０の分解斜視図である。
図５、図６に示すように、本実施形態のヘッドチップ４０は、複数のノズル孔（第１ノズル孔６１ａ及び第２ノズル孔６２ａ）からなるノズル列（第１ノズル列６１及び第２ノズル列６２）が二列に亘って形成された二列タイプのヘッドチップ４０である。具体的に、ヘッドチップ４０は、第１吐出部６３及び第２吐出部６４と、各吐出部６３，６４にまとめて固定されたノズルプレート６５と、ノズルプレート６５及び各吐出部６３，６４を支持するノズルキャップ６６と、を備えている。
【００３４】
第１吐出部６３は、後述する吐出チャネル７３ａの長手方向（Ｚ方向）端部に臨むノズル孔６１ａからインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプとされ、第１アクチュエータプレート７１及び第１カバープレート７２がＸ方向に積層されて構成されている。
第１アクチュエータプレート７１は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料で形成されたプレートであり、その分極方向が厚さ方向（Ｘ方向）に沿って設定されている。この第１アクチュエータプレート７１のＸ方向における一方の主面７１ａ（カバープレート７２側に位置する面）には、Ｙ方向に間隔をあけて複数のチャネル７３が並設されている。これら複数のチャネル７３は、一方の主面７１ａ側に開口した状態でＺ方向に沿って直線状に延びる溝部であり、Ｚ方向の一端部が第１アクチュエータプレート７１の下端面で開口している。これら複数のチャネル７３の間には、断面矩形状でＺ方向に延びる駆動壁７４が形成され、この駆動壁７４によって各チャネル７３はそれぞれ区分けされている。
【００３５】
また、複数のチャネル７３は、インクが充填される吐出チャネル７３ａと、インクが充填されないダミーチャネル７３ｂと、に大別される。そして、これら吐出チャネル７３ａとダミーチャネル７３ｂとは、Ｙ方向に交互に並んで配置されている。なお、チャネル７３内面（駆動壁７４）には、蒸着等により図示しない駆動電極が形成されている。駆動電極は、上述したフレキシブル基板５２を介して駆動電圧が印加されることで、圧電滑り効果により駆動壁７４を変形させ、吐出チャネル７３ａ内の容積を変化させる。
【００３６】
第１カバープレート７２は、一方の主面７２ａが第１アクチュエータプレート７１の一方の主面７１ａ上に接合されている。第１カバープレート７２は、他方の主面７２ｂ（第１アクチュエータプレート７１とは反対側に位置する面）に形成された凹状の共通インク室７６と、共通インク室７６及び吐出チャネル７３ａをそれぞれ連通させる複数のスリット７７と、を有している。
【００３７】
共通インク室７６は、第１カバープレート７２のうち、チャネル７３のＺ方向における他端部に位置する部分に形成されたＹ方向に沿って長い長方形の開口である。共通インク室７６には、上述した流路部材４４内に連通しており、流路部材４４内のインクが流通するように構成されている。
スリット７７は、共通インク室７６のうち、吐出チャネル７３ａに対応する位置に形成され、共通インク室７６内と吐出チャネル７３ａ内とを連通しており、共通インク室７６に貯留されたインクが各吐出チャネル７３ａに流通するように構成されている。
【００３８】
また、第２吐出部６４は、第２アクチュエータプレート８１及び第２カバープレート８２がＸ方向に積層されて構成されている。なお、第２吐出部６４のうち、上述した第１吐出部６３と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。
【００３９】
第２アクチュエータプレート８１の一方の主面８１ａには、上述した第１アクチュエータプレート７１のチャネル７３と同ピッチでＹ方向に間隔をあけて複数のチャネル７３が配設されている。第２アクチュエータプレート８１の吐出チャネル７３ａ及びダミーチャネル７３ｂは、第１アクチュエータプレート７１の吐出チャネル７３ａ及びダミーチャネル７３ｂに対して互い違いに並んでいる。したがって、本実施形態のヘッドチップ４０では、第１アクチュエータプレート７１の吐出チャネル７３ａと、第２アクチュエータプレート８１の吐出チャネル７３ａと、が千鳥状に配置されている。
また、第１アクチュエータプレート７１及び第２アクチュエータプレート８１は、他方の主面７１ｃ，８１ｃ同士が接合されている。
【００４０】
図３に示すように、ノズルキャップ６６は、Ｚ方向から見た平面視外形が上述したユニットベース２５の挿入孔３２よりも大きい長方形状とされ、その上面がユニットベース２５の下面に突き当たっている。そして、ノズルキャップ６６には、ユニットベース２５の上述した貫通孔３３（図４参照）を通してビス３４が螺着されており、これにより、ユニットベース２５に対してヘッドモジュール２６が固定されている。
また、図５、図６に示すように、ノズルキャップ６６には、Ｚ方向に貫通する嵌合孔６６ａが形成されており、第１吐出部６３及び第２吐出部６４が嵌合孔６６ａ内にまとめて嵌合されている。この際、ノズルキャップ６６の下端面は、吐出部６３，６４の下端面と面一となるように組み合わされている。
【００４１】
ノズルプレート６５は、厚みが５０μｍ程度のポリイミド等のフィルム材からなるシート状とされ、ノズルキャップ６６及び各吐出部６３，６４の下端面に接着等により固定されている。なお、本実施形態のノズルプレート６５は、ノズルキャップ６６のほぼ全面に亘って設けられており、その外周部分がユニットベース２５とＺ方向で重なるようになっている（図３におけるラップ領域Ｌ）。図３に示すように、本実施形態において、ラップ領域Ｌは、挿入孔３２に対してＹ方向の両側に設定されている。
【００４２】
図５、図６に示すように、ノズルプレート６５には、Ｙ方向に間隔をあけて並設された複数のノズル孔（第１ノズル孔６１ａ及び第２ノズル孔６２ａ）からなるノズル列（第１ノズル列６１及び第２ノズル列６２）が２列配設されている。
【００４３】
第１ノズル列６１は、ノズルプレート６５をＺ方向に貫通する複数の第１ノズル孔６１ａを有し、これら第１ノズル孔６１ａがＹ方向に間隔をあけて一直線上に並んで構成されている。第１ノズル孔６１ａは、上述した第１アクチュエータプレート７１の吐出チャネル７３ａ内に連通している。
第２ノズル列６２は、ノズルプレート６５をＺ方向に貫通する複数の第２ノズル孔６２ａを有し、上述した第１ノズル列６１と平行に配設されている。各第２ノズル孔６２ａは、上述した第２アクチュエータプレート８１の吐出チャネル７３ａ内に連通している。したがって、各ダミーチャネル７３ｂは、ノズル孔６１ａ，６２ａには連通しておらず、ノズルプレート６５により下方から覆われている。
【００４４】
（位置決め部）
図７は、図３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。なお、図７においては、説明を分かり易くするため、ユニットベース２５、ノズルプレート６５、及びノズルキャップ６６のみを図示している。
ここで、図３、図４、図７に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド４には、ユニットベース２５に対する各ヘッドモジュール２６の位置決めを行う位置決め部９１が設けられている。具体的に、位置決め部９１は、後述する位置決め工程において、レーザ光を透過させるための透過孔であって、各ヘッドモジュール２６のノズルプレート６５に設けられたヘッド側位置決め孔９２と、ユニットベース２５に設けられたベース側位置決め孔９３と、を備えている。
【００４５】
図３に示すように、ヘッド側位置決め孔９２は、ノズルプレート６５における上述したラップ領域Ｌのうち、第１ノズル列６１に対してＹ方向の両側に位置する部分に一対で設けられている。すなわち、各ヘッド側位置決め孔９２は、第１ノズル列６１の延長線上に位置している。
【００４６】
図３、図７に示すように、各ヘッド側位置決め孔９２は、ノズルプレート６５をＺ方向に貫通するとともに、内径がノズル孔６１ａと同等に形成されている。これにより、各ヘッド側位置決め孔９２は、ノズルプレート６５へのノズル孔６１ａの形成工程と同じタイミングで形成することができ、ヘッド側位置決め孔９２の形成に伴う製造効率の低下を抑制できる。なお、上述したノズルキャップ６６のうち、Ｚ方向でヘッド側位置決め孔９２と重なる部分には、ヘッド側位置決め孔９２を避ける逃げ孔９４が形成されている。この逃げ孔９４は、ヘッド側位置決め孔９２よりも十分大きく形成され、本実施形態では矩形状とされている。
【００４７】
図４、図７に示すように、ベース側位置決め孔９３は、ユニットベース２５のうち、上述したヘッド側位置決め孔９２とＺ方向で重なる位置に一対で設けられている。すなわち、ベース側位置決め孔９３は、ユニットベース２５のうち、挿入孔３２に対してＹ方向の両側に位置する部分に形成されている。ベース側位置決め孔９３は、上述したヘッド側位置決め孔９２の内径と同等に形成されている。なお、ベース側位置決め孔９３は、上述したダボ３１を基準とした所定位置に形成されている。
【００４８】
［インクジェットヘッドの製造方法］
次に、上述したインクジェットヘッド４の製造方法について説明する。なお、以下の説明では、位置決め装置１００（図８参照）を用いて複数のヘッドモジュール２６のうち、一方のヘッドモジュール２６をユニットベース２５に組み付ける際の組付工程について主に説明する。なお、以下の説明におけるＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向の向きは、上述したプリンタ１の向きに対応している。
【００４９】
（位置決め装置）
まず、本実施形態の組付工程で用いる位置決め装置１００について説明する。図８は、ベース位置決め工程を説明するための工程図である。
図８に示すように、位置決め装置１００は、上述した各ヘッド側位置決め孔９２や各ベース側位置決め孔９３のＸＹ方向に沿う位置を各別に検出する一対のセンサ１０１を備えている。各センサ１０１は、Ｚ方向に沿ってレーザ光Ｐを出射する出射部（光源）１０２と、出射部１０２に対してＺ方向に間隔をあけて対向配置され、レーザ光Ｐを受光する受光部１０３と、を備えている。
【００５０】
センサ１０１は、出射部１０２から出射されたレーザ光Ｐを受光部１０３により受光している状態でＯＫ状態（例えば図８（ｂ）の状態）となる一方、レーザ光Ｐが遮蔽され、受光部１０３がレーザ光Ｐを受光していない状態でＮＧ状態（例えば、図８（ａ）の状態）となって、ＸＹ方向における各ヘッド側位置決め孔９２や各ベース側位置決め孔９３の位置を検出する。なお、出射部１０２から出射されるレーザは、ビーム径が比較的小さく、かつ発散角の小さいものが好適に用いられている。また、各センサ１０１は、Ｙ方向における上述した各位置決め孔９２，９３間の間隔と同等の間隔をあけて配設されている。
【００５１】
図８（ａ）に示すように、上述した位置決め装置１００を用いて組付工程を行う場合、まずユニットベース２５を図示しない治具上にセットする（ベースセット工程）。そして、治具上にセットされたユニットベース２５と各センサ１０１との位置決めを行う（ベース位置決め工程）。具体的には、図８（ｂ）に示すように、各出射部１０２から出射されるレーザ光Ｐが、ユニットベース２５の対応するベース側位置決め孔９３を通過して受光部１０３で受光されるように（ＯＫ状態となるように）、ユニットベース２５のＸＹ方向に沿う位置を調整する。これにより、位置決め装置１００に対するユニットベース２５の位置決めが完了する。
【００５２】
次に、ユニットベース２５に対してヘッドモジュール２６をセットする（ヘッドセット工程）。具体的には、ヘッドモジュール２６をユニットベース２５の下方に位置させた状態で、ユニットベース２５の挿入孔３２内にヘッドモジュール２６をインク供給部４１（図２参照）側から挿入する。このとき、位置決め装置１００に対するユニットベース２５の位置を固定した状態で、ヘッドモジュール２６のノズルキャップ６６がユニットベース２５に下方から突き当たる位置までヘッドモジュール２６を挿入孔３２内に挿入する。これにより、ユニットベース２５とノズルキャップ６６とが重ね合わされる（図９（ａ）参照）。
【００５３】
図９はヘッド位置決め工程を説明するための工程図である。
続いて、図９（ａ）に示すように、ヘッドモジュール２６とユニットベース２５（各センサ１０１）との位置決めを行う（ヘッド位置決め工程）。具体的には、図９（ｂ）に示すように、各受光部１０３から出射されるレーザ光Ｐが、ユニットベース２５の各ベース側位置決め孔９３及びヘッドモジュール２６のヘッド側位置決め孔９２を通過して受光部１０３で受光されるように（ＯＫ状態となるように）、ヘッドモジュール２６のＸＹ方向に沿う位置を調整する。これにより、ユニットベース２５に対するヘッドモジュール２６の位置決めが行われる。
【００５４】
その後、ユニットベース２５の上述した貫通孔３３（図４参照）を通してビス３４（図３参照）を挿入し、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを固定する（固定工程）。これにより、ユニットベース２５に一方のヘッドモジュール２６が組み付けられる。なお、他方のヘッドモジュール２６のユニットベース２５の組み付けは、上述したヘッドセット工程〜固定工程と同様の工程を経ることで行うことができる。
その結果、上述したインクジェットヘッド４が完成する。
【００５５】
このように、本実施形態によれば、ヘッド位置決め工程において、出射部１０２から出射される光が、ベース側位置決め孔９２及びヘッド側位置決め孔９３を通過するように、ユニットベース２５及びヘッドモジュール２６の相対位置を調整することで、ユニットベース２５に対するヘッドモジュール２６の位置決めを行うことができる。これにより、従来のように画像処理により位置決めを行う構成に比べて位置決め装置１００の低コスト化や、位置決め工程の簡素化を図ることができる。
【００５６】
特に、本実施形態のように、複数のヘッドモジュール２６をユニットベース２５に搭載する構成において、ユニットベース２５に対する各ヘッドモジュール２６のノズル孔６１ａ，６２ａの位置を簡単、かつ高精度に位置決めすることができる。また、上述したように位置決め装置１００の低コスト化や、位置決め工程の簡素化を図ることで、複数のヘッドモジュール２６のうち、何れかのヘッドモジュール２６のみのメンテナンスや交換をユーザ側で行うことも可能となる。
しかも、光を利用してユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを位置決めするため、例えば位置決めピン等を用いて位置決めする方法と異なり、フィルム状のノズルプレート６５の変形等を抑えた上で、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを位置決めできる。
【００５７】
また、本実施形態では、ヘッド位置決め工程と同様の方法によりベース位置決め工程を行うことで、ベース位置決め工程における作業性を向上させることできる。
【００５８】
さらに、本実施形態では、位置決め装置１００として、レーザ光Ｐを出射する出射部１０２を用いることで、位置決め孔９２，９３を通過する光量を検出し易くなり、位置決め工程の作業性を向上させることができる。
【００５９】
そして、本実施形態のプリンタ１では、上述したインクジェットヘッド４を備えているため、ノズル孔６１ａ，６２ａが高精度に位置決めされた信頼性の高いプリンタ１を提供できる。
【００６０】
［第２実施形態］
次に、本発明に係る第２実施形態について説明する。なお、以下の説明において、上述した第１実施形態と同様の構成については同一の符号を付して、説明を省略する。図１０は、第２実施形態における位置決め部２００を説明するための説明図であって、インクジェットヘッド４の概略構成図（底面図）である。なお、図１０においては、説明を分かり易くするため、第１位置決め孔９２ａ，９３ａ及び第２位置決め孔９２ｂ，９３ｂをまとめて示している。また、第１位置決め孔９２ａ及び第２位置決め孔９２ｂの中心に位置する点Ｐは、図示しない出射部からＺ方向に向けて出射されたレーザ光Ｐを表している。
【００６１】
上述した第１実施形態では、位置決め部９１の各位置決め孔９２，９３をそれぞれ同等の大きさに形成した場合について説明したが、これに限られない。例えば、図１０に示す位置決め部２００のように、各位置決め孔９２，９３において、第１位置決め孔９２ａ，９３ａと、第１位置決め孔９２ａ，９３ａよりも小さい第２位置決め孔９２ｂ，９３ｂと、を有する構成にしても構わない。
【００６２】
この場合、まず図１０（ａ）に示すヘッドセット工程後に、第１位置決め孔９２ａ，９３ａ同士の位置決めを行う第１位置決め工程と、第２位置決め孔９２ｂ，９３ｂ同士の位置決めを行う第２位置決め工程と、を行う。具体的に、第１位置決め工程では、図１０（ｂ）に示すように、レーザ光Ｐが第１位置決め孔９２ａ，９３ａを通過するように、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを相対移動させる。これにより、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６との粗位置決めが行われる。
【００６３】
その後、第２位置決め工程では、図１０（ｃ）に示すように、レーザ光Ｐが第２位置決め孔を通過するように、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを相対移動させる。これにより、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６との高精度位置決めが行われる。
【００６４】
この構成によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を奏することに加え、第１位置決め工程及び第２位置決め工程において、ユニットベース２５とヘッドモジュール２６とを段階的に位置決めすることで、所望の相対位置に直接位置決めする構成に比べて作業性を向上させることができる。
【００６５】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００６６】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限られるものではない。例えば、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
また、上述した実施形態では、インクジェットヘッド４が複数搭載された複数色用のプリンタ１について説明したが、これに限られない。例えば、インクジェットヘッド４が一つの単色用のプリンタ１としても構わない。
【００６７】
また、本発明の実施形態で用いられるインクとしては、水性インクや油性インク、ＵＶインク、微細金属粒子インク、炭素インク（カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン、グラフェン）等、種々の材料を用いることができる。なお、上述したインクのうち、水性インクや油性インク、ＵＶインクは複数色用のプリンタ１に好適に用いられ、微細金属粒子インク、炭素インクは単色用のプリンタ１に好適に用いられる。
【００６８】
また、位置決め孔９２，９３の数や位置は適宜設計変更が可能である。
さらに、位置決め孔９２，９３の内径は、要求される位置精度に応じて適宜変更が可能である。
また、上述した位置決め工程において、受光部１０３での受光量が所定量を超えた場合に、ＯＫ状態となるような閾値を設定しても構わない。
【００６９】
また、上述した実施形態では、出射部１０２と受光部１０３とを備えた、いわゆる透過型の光センサを用いる構成について説明したが、これに限らず、反射型の光センサを用いても構わない。
さらに、ユニットベース２５及びヘッドモジュール２６の位置決め孔９２，９３に対して一方側に光源を配置し、光源から出射される光を位置決め孔９２，９３の他方側から目視等により検出するようにしても構わない。
【００７０】
また、上述した実施形態では、ユニットベース２５に２つのヘッドモジュール２６を搭載する構成について説明したが、これに限らず、単数若しくは３つ以上の複数のヘッドモジュール２６を搭載しても構わない。
【００７１】
また、上述した実施形態では、分極方向が厚さ方向に一方向のアクチュエータプレート７１，８１を用いた構成について説明したが、分極方向が厚さ方向で異なる２枚のアクチュエータプレートを用いても構わない。
さらに、上述した実施形態では、吐出チャネル７３ａとダミーチャネル７３ｂとが交互に並んだ、いわゆるアイソレートタイプのヘッドチップ４０について説明したが、これに限られない。例えば、吐出チャネル７３ａが連続的に配列された、いわゆるシェアードウォールタイプのヘッドチップを採用することも可能である。
【００７２】
さらに、上述した実施形態では、エッジシュートタイプのヘッドチップ４０を例に挙げて説明したが、この場合に限定されず、吐出チャネル７３ａの長手方向中央に臨むノズル孔４３ａからインクを吐出する、いわゆるサイドシュートタイプとしても構わない。
この場合には、例えばアクチュエータプレート７１の他方の主面７１ｃ側にノズルプレート６５を重ね合せ、吐出チャネル７３ａの長手方向中央部分にノズル孔６１ａに連通する連通口を形成する等すれば良い。
【００７３】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した各変形例を適宜組み合わせても構わない。
【符号の説明】
【００７４】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
２，３…搬送機構（移動機構）
４，４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｂ…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
６…走査手段（移動機構）
２５…ユニットベース
２６…ヘッドモジュール
６１ａ…第１ノズル孔（噴射孔）
６２ａ…第２ノズル孔
６１…第１ノズル列（噴射孔列）
６２…第２ノズル列（噴射孔列）
６５…ノズルプレート（噴射孔プレート）
９２…ヘッド側位置決め孔
９３…ベース側位置決め孔
９２ａ，９３ａ…第１位置決め孔
９２ｂ，９３ｂ…第２位置決め孔
１０２…出射部（光源）
Ｓ…被記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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