(57)【要約】      （修正有）【課題】従来の片持ち状のプローブの欠点を解消し、被測定物の高集積化を図ることの出来るカンチレバー型プローブを提供する。【解決手段】カンチレバー型プローブは、支持部材に固定された固定部１２、固定部から所定長伸びるバネ部１４、バネ部の延長上であって、支持部材の表面から離れる方向に斜めに伸び、自由端が被測定物Ｍへの接触部１６を備えたカンチレバー型プローブであって、接触部には支持部材の表面に接触する支点部１８が形成され、バネ部は弾性変形可能であり、接触部と支点部は基部に比して剛性であり、接触部の接触点１６ａが被測定物に接触して接触部が支持部材の方向に回動したとき、バネ部は支持部材から離れる方向に凸状に弾性変形し、接点部は支持部材の表面を摺動して固定部の方向に移動し、接触部の回動による接触点の長手方向位置の変動を吸収する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材に固定された固定部、この固定部から所定長伸びるバネ部、およびこのバネ部から該バネ部の延長上であって、前記支持部材の表面から離れる方向に斜めに伸び、自由端が被測定物への接触点を持つ接触部を備えたカンチレバー型プローブであって、前記接触部には、前記支持部材の表面に接触する支点部が形成されており、前記バネ部は弾性変形可能であり、前記接触部および支点部は剛性であり、前記接触部の接触端が被測定物に接触して該接触部が前記支持部材の方向に回動したとき、前記バネ部は、前記支持部材から離れる方向に凸状に弾性変形し、これに伴い前記支点部は、前記支持部材の表面を摺動して前記固定部の方向に移動し、これにより、前記接触部の前記回動による該接触部の接触端の長手方向位置の変動を吸収するようにしたことを特徴とするカンチレバー型プローブ。
【請求項２】
少なくとも前記接触点が導電性材料で形成された請求項１のカンチレバー型プローブ。
【請求項３】
前記支点部が、前記接触部から前記支持部材に向かって凸状に湾曲した形状である請求項１または２のカンチレバー型プローブ。
【請求項４】
前記固定部、バネ部、接触部および支点部が一枚の導電性金属板により形成されたものであり、前記接触部および支点部が前記一枚の導電性金属板を折り曲げることにより形成されたものである請求項１〜３のいずれかのカンチレバー型プローブ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかのカンチレバー型プローブを複数本備えるプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カンチレバー型プローブに関し、特に、被測定物の種々の電気的特性を測定するためのプローブカードに使用されるカンチレバー型プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
上記したようなカンチレバー型プローブを備えたプローブカードとしては、特許第４０８７３７８号公報に開示されたものが知られている。この特許公報に開示されたプローブカードは、基板の面上に設けられた片持ち状（カンチレバー型）の第１のプローブと、この第１のプローブと対向するように前記基板の面上に設けられた片持ち状の第２のプローブとを備えており、前記第１、第２のプローブは、弾性変形に応じて一部が当接するようになっており、この当接面に絶縁処理が施されている。
【０００３】
このように、カンチレバー型プローブにあっては、プローブの先端（接触端）と被測定物の電極との間の電気的導通を図るために必要な接触圧を得るため、プローブの上記弾性変形が必須である。
【０００４】
この弾性変形は、基板に向かっての回動であるため、プローブの先端は円弧を描いて移動し、図８に示したように、これにより該先端がプローブの長手方向に距離Ｄ移動するので、プローブの先端が電極から外れないようにするには、どうしても上記電極の接触面の径（サイズ）を大きくせざるを得ない。したがって、電極のピッチを小さくすることができず、これが、被測定物の更なる高集積化を妨げる一因となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０８７３７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、従来の片持ち状のプローブの上記欠点を解消し、ひいては、被測定物の高集積化を図ることの出来るカンチレバー型プローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的は、以下の（１）〜（５）の構成の本発明のカンチレバー型プローブにより達成される。
（１）
支持部材に固定された固定部、この固定部から所定長伸びるバネ部、およびこのバネ部から該バネ部の延長上であって、前記支持部材の表面から離れる方向に斜めに伸び、自由端が被測定物への接触点を持つ接触部を備えたカンチレバー型プローブであって、前記接触部には、前記支持部材の表面に接触する支点部が形成されており、前記バネ部は弾性変形可能であり、前記接触部および支点部は剛性であり、前記接触部の接触端が被測定物に接触して該接触部が前記支持部材の方向に回動したとき、前記バネ部は、前記支持部材から離れる方向に凸状に弾性変形し、これに伴い前記支点部は、前記支持部材の表面を摺動して前記固定部の方向に移動し、これにより、前記接触部の前記回動による該接触部の接触端の長手方向位置の変動を吸収するようにしたことを特徴とするカンチレバー型プローブ。
（２）
少なくとも前記接触点が導電性材料で形成された前記（１）のカンチレバー型プローブ。
（３）
前記支点部が、前記接触部から前記支持部材に向かって凸状に湾曲した形状である前記（１）または（２）のカンチレバー型プローブ。
（４）
前記固定部、バネ部、接触部および支点部が一枚の導電性金属板により形成されたものであり、前記接触部および支点部が前記一枚の導電性金属板を折り曲げることにより形成されたものである前記（１）〜（３）のいずれかのカンチレバー型プローブ。
（５）
請求項１〜４のいずれかのカンチレバー型プローブを複数本扇形に配列してなるプローブカード。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のカンチレバー型プローブは、上記した構造であるので、前記接触部の接触端が被測定物に接触して該接触部が前記支持部材の方向に回動したとき、前記バネ部は、前記支持部材から離れる方向に凸状に弾性変形し、これに伴い前記支点部は、前記支持部材の表面を摺動して前記固定部の方向に移動し、これにより、前記接触部の前記回動による該接触部の接触点の長手方向位置の変動を吸収することができるので、これにより、前記接触点の前記長手方向位置がほぼ変化することがない。従って、被測定物の電極の接触面の大きさを極力小さくでき、よって、電極間のピッチを小さくでき、ひいては被測定物の大集積化を図ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態のカンチレバー型プローブの正面図である。
【図２】図１に示したカンチレバー型プローブの底面図である。
【図３】図１に示したカンチレバー型プローブの斜視図である。
【図４】図１に示したカンチレバー型プローブを製造するために使用される素材の一例を示す平面図である。
【図５】図１に示したカンチレバー型プローブの作用を説明するための正面図である。
【図６】図５に示したカンチレバー型プローブの底面図である。
【図７】図１に示したカンチレバー型プローブを複数本使用したプローブカードの一例を示す平面図である。
【図８】従来のカンチレバー型プローブの問題点を説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態によるカンチレバー型プローブについて説明する。
本発明の実施の形態によるカンチレバー型プローブ１０は、図１に示したように、支持部材Ｓに片持ち状に支持固定されている。このプローブ１０は、ベリリウム銅、タングステン合金等の金属板（弾性体であり、かつ導電性があるもの）をプレス成形等により成形されたものが好ましい。
【００１１】
プローブ１０は、支持部材Ｓに固定された固定部１２、この固定部１２から所定長伸びるバネ部１４、およびこのバネ部１４から該バネ部１４の延長上であって、前記支持部材Ｓの表面から離れる方向に斜めに伸び、自由端が被測定物Ｍの電極Ｐへの接触点１６ａを持つ接触部１６を備えている。
【００１２】
前記接触部１６には、前記支持部材Ｓの表面に支点１８ａで接触する支点部１８が形成されている。この支点部１８は、図４に一点鎖線で示したように、帯状板材の接触部１６となる部分に、烏賊の耳（エンペラ）状の張り出し部１８を設けておき、それを折り曲げて形成したり、あるいは打ち抜きプレスで打ち抜きと同時に折り曲げて形成したものであってよい。この支点部１８の形成により、前記接触部１６は上下方向に剛性を持たせられ、また、支点部１８はそれ自体が上下方向に延びるものであるので、上下方向に剛性である。したがって、前記バネ部１４のみが上下方向に弾性変形可能である。前記支点部１８は、その周辺輪郭が湾曲凸状形であることが好ましい。
【００１３】
なお、本実施の形態では、プローブ１０全体を導電性のものとして説明したが、少なくとも前記接触点１６ａが導電性であればよい。
【００１４】
次に、以上説明したプローブ１０を実際に使用したときの作用について図５および図６を参照して説明する。
本プローブ１０を使用して被測定物Ｍを測定する際には、支持部材Ｓを下降して、プローブ１０の接触部１６の接触点１６ａを被測定物Ｍの電極Ｐ表面に接触させ、所定の接触圧を得るため、さらに下降する。すると、接触部１６は、図５に一点鎖線で示した位置から支点１８ａを中心として、支持部材Ｓの方向（図において、上方に回動して図５に実線で示した位置をとる。
【００１５】
このとき、前記バネ部１４は、その弾性を生かして、支持部材Ｓから離れる方向（図において、下方）に凸状に弾性変形する。これにより、前記支点１８ａは、距離ｄだけ固定部１２の方向（図において、左方）に移動する。接触部１６の前記上方への回動に伴い、本来は、接触点１６ａは、図においてプローブ１０長手方向右方に移動するが、本プローブ１０においては、前記したように支点１８ａが距離ｄだけ左方に移動するので、前記の右方への移動が相殺され、前記支点１８ａのプローブ１０の長手方向の位置は変わらない。したがって、被測定物Ｍの電極Ｐの大きさを大きくする必要が無いので、被測定物の高集積化を図ることができる。
前記距離ｄを適切に設定するため、前記バネ部１４の長さを好ましい長さおよび支点の高さ（バネ部に望むような大きさの凸状の湾曲ができるように）に計算により設定しておくことが好ましい。
【００１６】
なお、以上説明した本発明のプローブ１０は、図７に示したように、複数本扇形に配列してなるプローブカードとすることができる。
【符号の説明】
【００１７】
１０  カンチレバー型プローブ
１２  固定部
１４  バネ部
１６  接触部
１６ａ  接触点
１８  支点部
１８ａ  支点
Ｍ  被測定物
Ｐ  電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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