(57)【要約】【課題】安定した動作が可能な静電誘導アクチュエータを提供する。【解決手段】静電誘導アクチュエータは、第１絶縁部材１１、及び第１絶縁部材１１に配列された複数の誘導電極１２，１３を有する誘導体１０と、誘導体１０から離間して誘導体１０と対向するように配置され、第２絶縁部材２１、及び第２絶縁部材２１に配列された複数の導電部材２２を有する被誘導体２０と、を備える。誘導体１０と被誘導体２０とが対向する対向方向Ｄ２から見た場合に少なくとも１つの導電部材２２が重なる１対の誘導電極１２，１３に電位差が生じさせられる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１絶縁部材、及び前記第１絶縁部材に配列された複数の誘導電極を有する誘導体と、
前記誘導体から離間して前記誘導体と対向するように配置され、第２絶縁部材、及び前記第２絶縁部材に配列された複数の導電部材を有する被誘導体と、を備え、
前記誘導体と前記被誘導体とが対向する対向方向から見た場合に少なくとも１つの前記導電部材が重なる１対の前記誘導電極に電位差が生じさせられる、静電誘導アクチュエータ。
【請求項２】
前記電位差を生じさせる給電部を更に備える、請求項１記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項３】
複数の前記誘導電極は、所定方向に沿って２列に配列されており、
複数の前記導電部材は、前記所定方向に沿って１列に配列されており、
前記導電部材のそれぞれは、前記対向方向から見た場合に前記所定方向に垂直な方向に並ぶ１対の前記誘導電極と重なっている、請求項２記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項４】
複数の前記誘導電極は、前記対向方向から見た場合に前記導電部材との重なり状態が所定状態となっている１対の前記誘導電極が周期的に複数対現れるように、前記所定方向に沿って２列に配列されており、
前記給電部は、
前記重なり状態が前記所定状態となっている複数対の前記誘導電極の各対に前記電位差を生じさせることにより、前記誘導体に対して前記被誘導体を前記所定方向に沿って相対的に移動させ、
当該移動後に、前記重なり状態が前記所定状態となっている複数対の前記誘導電極の各対に前記電位差を生じさせることにより、前記誘導体に対して前記被誘導体を前記所定方向に沿って相対的に移動させる、請求項３記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項５】
複数の前記誘導電極は、前記対向方向から見た場合に前記所定方向に延在する基準線に対して線対称となるように形成されており、
複数の前記導電部材は、前記対向方向から見た場合に前記基準線に対して線対称となるように形成されている、請求項３又は４記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項６】
前記給電部は、電位差を生じさせる１対の前記誘導電極のうち、一方には、正電位を与え、他方には、前記正電位と絶対値が等しい負電位を与える、請求項３〜５のいずれか一項記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項７】
前記誘導電極及び前記導電部材のそれぞれは、前記対向方向から見た場合に前記対向方向に垂直な方向に延在する長尺状の形状を有している、請求項３〜６のいずれか一項記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項８】
前記誘導体及び前記被誘導体を支持する支持体を更に備え、
前記誘導体及び前記被誘導体のうち、一方は、前記支持体に固定されており、他方は、前記所定方向に沿って移動可能となるように前記支持体に支持されている、請求項３〜７のいずれか一項記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項９】
少なくとも前記誘導体と前記被誘導体との間に配置された絶縁流動体を更に備える、請求項１〜８のいずれか一項記載の静電誘導アクチュエータ。
【請求項１０】
前記誘導体及び前記被誘導体のうち、一方には、光通過開口が形成されており、他方には、前記対向方向から見た場合に前記光通過開口に含まれるように光通過スリットが形成されている、請求項１〜９のいずれか一項記載の静電誘導アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電誘導アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の誘導電極が設けられた固定子と、複数の導電部材が設けられた移動子と、誘導電極に所定電位を与える給電部と、を備える静電誘導アクチュエータが知られている（例えば、特許文献１〜５参照）。このような静電誘導アクチュエータでは、所定電位が与えられた誘導電極と当該誘導電極に最も近い導電部材との間に、静電誘導によって、最も大きい静電引力が発生するため、複数の誘導電極に順次に所定電位を与えることで、固定子に対して移動子を移動させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４３４３６４４号公報
【特許文献２】特開２００５−２７８３７４号公報
【特許文献３】特許第２９７９５６９号公報
【特許文献４】特許第２９７２００１号公報
【特許文献５】特開２００９−１２８５７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような静電誘導アクチュエータにおいては、固定子に対して移動子が傾くこと等によって、安定した動作が阻害されるおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、安定した動作が可能な静電誘導アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の静電誘導アクチュエータは、第１絶縁部材、及び第１絶縁部材に配列された複数の誘導電極を有する誘導体と、誘導体から離間して誘導体と対向するように配置され、第２絶縁部材、及び第２絶縁部材に配列された複数の導電部材を有する被誘導体と、を備え、誘導体と被誘導体とが対向する対向方向から見た場合に少なくとも１つの導電部材が重なる１対の誘導電極に電位差が生じさせられる。
【０００７】
この静電誘導アクチュエータでは、誘導体と被誘導体とが対向する対向方向から見た場合に少なくとも１つの導電部材が重なる１対の誘導電極に電位差が生じさせられる。これにより、誘導体に対して被誘導体が傾くような事態を防止しつつ、電位差が生じさせられた１対の誘導電極と当該１対の誘導電極に最も近い導電部材との間に静電誘導によって静電引力を発生させて、誘導体に対して被誘導体を相対的に移動させることができる。よって、この静電誘導アクチュエータによれば、安定した動作が可能となる。
【０００８】
本発明の静電誘導アクチュエータは、電位差を生じさせる給電部を更に備えてもよい。これによれば、所望の１対の誘導電極に適切に電位差を生じさせることができる。
【０００９】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、複数の誘導電極は、所定方向に沿って２列に配列されており、複数の導電部材は、所定方向に沿って１列に配列されており、導電部材のそれぞれは、対向方向から見た場合に所定方向に垂直な方向に並ぶ１対の誘導電極と重なっていてもよい。これによれば、誘導体に対して被誘導体を所定方向に沿って相対的に移動させることができる。
【００１０】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、複数の誘導電極は、対向方向から見た場合に導電部材との重なり状態が所定状態となっている１対の誘導電極が周期的に複数対現れるように、所定方向に沿って２列に配列されており、給電部は、重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極の各対に電位差を生じさせることにより、誘導体に対して被誘導体を所定方向に沿って相対的に移動させ、当該移動後に、重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極の各対に電位差を生じさせることにより、誘導体に対して被誘導体を所定方向に沿って相対的に移動させてもよい。これによれば、誘導体に対する被誘導体の相対的な移動をスムーズに実施することができる。
【００１１】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、複数の誘導電極は、対向方向から見た場合に所定方向に延在する基準線に対して線対称となるように形成されており、複数の導電部材は、対向方向から見た場合に基準線に対して線対称となるように形成されていてもよい。これによれば、誘導体に対して被誘導体が傾くような事態をより確実に防止しつつ、誘導体に対する被誘導体の相対的な移動を安定的に且つスムーズに実施することができる。
【００１２】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、給電部は、電位差を生じさせる１対の誘導電極のうち、一方には、正電位を与え、他方には、正電位と絶対値が等しい負電位を与えてもよい。これによれば、誘導体に対して被誘導体が傾くような事態をより確実に防止しつつ、誘導体に対する被誘導体の相対的な移動を安定的に且つスムーズに実施することができる。
【００１３】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、誘導電極及び導電部材のそれぞれは、対向方向から見た場合に対向方向に垂直な方向に延在する長尺状の形状を有していてもよい。これによれば、誘導体に対する被誘導体の相対的な駆動に関し、所定方向に沿った位置についての空間的な分解能を向上させることができると共に、駆動力を向上させることができる。
【００１４】
本発明の静電誘導アクチュエータは、誘導体及び被誘導体を支持する支持体を更に備え、誘導体及び被誘導体のうち、一方は、支持体に固定されており、他方は、所定方向に沿って移動可能となるように支持体に支持されていてもよい。これによれば、誘導体に対する被誘導体の相対的な移動を簡単な構成で実現することができる。
【００１５】
本発明の静電誘導アクチュエータは、少なくとも誘導体と被誘導体との間に配置された絶縁流動体を更に備えてもよい。これによれば、誘導体と被誘導体とを確実に絶縁することができる。更に、誘導体及び被誘導体のうち、所定方向に沿って移動可能となるように支持体に支持された駆動体に浮力が作用することになるので、誘導体に対する被誘導体の相対的な移動に要する駆動電力を低減させることができる。
【００１６】
本発明の静電誘導アクチュエータでは、誘導体及び被誘導体のうち、一方には、光通過開口が形成されており、他方には、対向方向から見た場合に光通過開口に含まれるように光通過スリットが形成されていてもよい。これによれば、光学的なスリット駆動機構を簡単な構成で実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、安定した動作が可能な静電誘導アクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施形態の静電誘導アクチュエータの上面図である。
【図２】図１の静電誘導アクチュエータのＹＺ平面に沿っての断面図である。
【図３】図１の静電誘導アクチュエータの誘導体の上面図である。
【図４】図１の静電誘導アクチュエータの被誘導体の下面図である。
【図５】図１の静電誘導アクチュエータのＺＸ平面に沿っての断面図である。
【図６】図１の静電誘導アクチュエータのＹＺ平面に沿っての断面図である。
【図７】図１の静電誘導アクチュエータの動作原理を説明するためのチャートである。
【図８】変形例の被誘導体のスリット周辺部分の下面図である。
【図９】変形例の被誘導体のスリット周辺部分の下面図である。
【図１０】変形例の被誘導体の下面図である。
【図１１】変形例の静電誘導アクチュエータの斜視図である。
【図１２】変形例の静電誘導アクチュエータの誘導体の上面図及び被誘導体の下面図である。
【図１３】図１２の静電誘導アクチュエータの動作原理を説明するためのチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２０】
図１及び図２に示されるように、静電誘導アクチュエータ１は、誘導体１０と、被誘導体２０と、給電部３と、支持体４０と、絶縁流動体５と、を備えている。静電誘導アクチュエータ１は、光通過スリット６を所定方向Ｄ１に沿って移動させる光学的なスリット駆動機構であり、例えば、分光器と光検出器との間に配置された状態で、分光器で分光された光のうち所定波長を有する光を光検出器側に通過させる。なお、所定方向Ｄ１をＹ軸方向とし、誘導体１０と被誘導体２０とが対向する対向方向Ｄ２をＺ軸方向とし、所定方向Ｄ１及び対向方向Ｄ２に垂直な方向をＸ軸方向とする。
【００２１】
図３に示されるように、誘導体１０は、第１絶縁部材１１及び複数の誘導電極１２，１３を有している。第１絶縁部材１１は、電気絶縁性材料（例えば、ガラスエポキシ、ポリイミド等）により、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形板状に形成されている。複数の誘導電極１２，１３は、第１絶縁部材１１における被誘導体２０側の表面１１ａに配列されている。各誘導電極１２，１３は、導電性材料（例えば、銅等）により、Ｘ軸方向を長手方向とする長方形状に形成されている。つまり、各誘導電極１２，１３は、対向方向Ｄ２から見た場合に対向方向Ｄ２に垂直な方向に延在する長尺状の形状を有している。
【００２２】
複数の誘導電極１２は、基準線Ｌによって規定される一方の側において、所定方向Ｄ１に沿って１列に配列されている。複数の誘導電極１３は、基準線Ｌによって規定される他方の側において、所定方向Ｄ１に沿って１列に配列されている。基準線Ｌは、第１絶縁部材１１の短手方向（Ｘ軸方向）における中央部を所定方向Ｄ１に延在している。このように、複数の誘導電極１２，１３は、基準線Ｌを挟んで、所定方向Ｄ１に沿って２列に配列されており、対向方向Ｄ２から見た場合に基準線Ｌに対して形状及び配列が線対称となるように形成されている。
【００２３】
第１絶縁部材１１における被誘導体２０の反対側の表面１１ｂには、複数の電極パッド１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄが形成されている。１列に配列された複数の誘導電極１２において４つおきに配置された複数の誘導電極１２ａは、電極パッド１４ａと電気的に接続されている。各誘導電極１２ａと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１２ｂは、電極パッド１４ｂと電気的に接続されている。各誘導電極１２ｂと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１２ｃは、電極パッド１４ｃと電気的に接続されている。各誘導電極１２ｃと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１２ｄは、電極パッド１４ｄと電気的に接続されている。
【００２４】
更に、第１絶縁部材１１の表面１１ｂには、複数の電極パッド１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが形成されている。１列に配列された複数の誘導電極１３において４つおきに配置された複数の誘導電極１３ａは、電極パッド１５ａと電気的に接続されている。各誘導電極１３ａと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１３ｂは、電極パッド１５ｂと電気的に接続されている。各誘導電極１３ｂと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１３ｃは、電極パッド１５ｃと電気的に接続されている。各誘導電極１３ｃと隣り合うように４つおきに配置された複数の誘導電極１３ｄは、電極パッド１５ｄと電気的に接続されている。
【００２５】
各誘導電極１２ａと電極パッド１４ａとの電気的な接続、各誘導電極１２ｂと電極パッド１４ｂとの電気的な接続、各誘導電極１２ｃと電極パッド１４ｃとの電気的な接続、及び各誘導電極１２ｄと電極パッド１４ｄとの電気的な接続は、それぞれ、第１絶縁部材１１に形成された配線１６及びスルーホール１７によって実現されている。同様に、各誘導電極１３ａと電極パッド１５ａとの電気的な接続、各誘導電極１３ｂと電極パッド１５ｂとの電気的な接続、各誘導電極１３ｃと電極パッド１５ｃとの電気的な接続、及び各誘導電極１３ｄと電極パッド１５ｄとの電気的な接続は、それぞれ、第１絶縁部材１１に形成された配線１６及びスルーホール１７によって実現されている。
【００２６】
図４に示されるように、被誘導体２０は、第２絶縁部材２１及び複数の導電部材２２を有している。第２絶縁部材２１は、電気絶縁性材料（例えば、ガラスエポキシ、ポリイミド等）により、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形板状に形成されている。複数の導電部材２２は、第２絶縁部材２１における誘導体１０側の表面２１ａに配列されている。各導電部材２２は、導電性材料（例えば、銅等）により、Ｘ軸方向を長手方向とする長方形状に形成されている。つまり、各導電部材２２は、対向方向Ｄ２から見た場合に対向方向Ｄ２に垂直な方向に延在する長尺状の形状を有している。複数の導電部材２２は、所定方向Ｄ１に沿って１列に配列されており、対向方向Ｄ２から見た場合に基準線Ｌに対して形状及び配列が線対称となるように形成されている。
【００２７】
図２に示されるように、被誘導体２０は、誘導体１０から離間して誘導体１０と対向するように配置されている。なお、対向方向Ｄ２において対向する誘導電極１２，１３と導電部材２２との間の電気絶縁を図るために、第１絶縁部材１１の表面１１ａに、複数の誘導電極１２，１３を覆うレジスト層が形成されていてもよいし、第２絶縁部材２１の表面２１ａに、複数の導電部材２２を覆うレジスト層が形成されていてもよい。このようなレジスト層は、例えば、シリコン系或いはフッ素系の絶縁性樹脂をスピンコートすることにより形成される。
【００２８】
図５に示されるように、誘導体１０では、Ｘ軸方向における各誘導電極１２の長さ及び各誘導電極１３の長さはそれぞれＬ１となっており、Ｘ軸方向に並ぶ１対の誘導電極１２，１３間の間隔はＬ２となっている。各導電部材２２は、対向方向Ｄ２から見た場合に、Ｘ軸方向において１対の誘導電極１２，１３の少なくとも一部間にまたがる長さを有している。本実施形態においては、Ｘ軸方向における各導電部材２２の長さは、１対の誘導電極１２，１３の全域をまたぐ長さである２Ｌ１＋Ｌ２となっている。なお、Ｘ軸方向に並ぶ１対の誘導電極１２，１３間の間隔は、誘導電極１２及び誘導電極１３間の電気絶縁を図ることができる距離以上となっている。
【００２９】
図６に示されるように、誘導体１０では、Ｙ軸方向における各誘導電極１２の幅及び各誘導電極１３の幅はそれぞれＷとなっており、Ｙ軸方向において隣り合う誘導電極１２間の間隔及び隣り合う誘導電極１３間の間隔はそれぞれＷ／２となっている。被誘導体２０では、各導電部材２２の幅はＷとなっており、Ｙ軸方向において隣り合う導電部材２２間の間隔はＷとなっている。
【００３０】
これにより、各導電部材２２の少なくとも一部は、対向方向Ｄ２から見た場合にＸ軸方向に並ぶ１対の誘導電極１２，１３の少なくとも一部と重なることになる（図７参照）。そして、複数の誘導電極１２，１３は、対向方向Ｄ２から見た場合に導電部材２２との重なり状態（重なり方、重なりの度合い等）が所定状態となっている１対の誘導電極１２，１３が周期的に（ここでは、４対おきに）複数対現れるように、所定方向Ｄ１に沿って２列に配列されることになる。
【００３１】
図１及び図２に示されるように、支持体４０は、ベース４１、スペーサ４２及びカバー４３を有しており、誘導体１０及び被誘導体２０を支持している。ベース４１及びカバー４３は、光透過性を有する電気絶縁性材料（例えば、ガラス等）により、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形板状に形成されている。スペーサ４２は、電気絶縁性材料（例えば、ガラス等）により、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形枠状に形成されている。
【００３２】
ベース４１は、誘導体１０の第１絶縁部材１１の表面１１ｂに固定されている。スペーサ４２は、第１絶縁部材１１の表面１１ａの外縁部に固定されている。カバー４３は、スペーサ４２上に固定されている。これにより、誘導体１０は、支持体４０に固定されて、固定子として機能する。なお、図１では、カバー４３を切欠いてその一部を表示している。
【００３３】
スペーサ４２においてＹ軸方向に延在する部分には、Ｙ軸方向に延在する１対のガイド溝４２ａが形成されている。１対のガイド溝４２ａには、被誘導体２０の第２絶縁部材２１においてＹ軸方向に延在する外縁部２１ｅが配置されている。これにより、被誘導体２０は、所定方向Ｄ１に沿って移動可能となるように支持体４０に支持されて、移動子として機能する。
【００３４】
絶縁流動体５は、ベース４１、誘導体１０、スペーサ４２及びカバー４３によって形成されたパッケージ内に充填されている。これにより、絶縁流動体５は、少なくとも誘導体１０と被誘導体２０との間に配置されることになる。絶縁流動体５としては、電気絶縁性液体（例えば、シリコーンオイル、フッ素系液体等）を用いることができる。
【００３５】
図３に示されるように、誘導体１０の第１絶縁部材１１の中央領域には、光通過開口７が形成されている。光通過開口７は、Ｙ軸方向を長手方向とする長方形状に形成されており、誘導電極１２の列と誘導電極１３の列との間の領域（基準線Ｌが延在する領域）においてＹ軸方向に延在している。図４に示されるように、被誘導体２０の第２絶縁部材２１の中央領域には、光通過スリット６が形成されている。光通過スリット６は、Ｘ軸方向を長手方向とする長方形状に形成されており、中央で隣り合う導電部材２２間の領域においてＸ軸方向に延在している。なお、光通過スリット６及び光通過開口７は、求められる仕様によって、その位置や形状、数を適宜変更することができる。
【００３６】
図１に示されるように、光通過スリット６は、対向方向Ｄ２から見た場合に光通過開口７に含まれている。光通過開口７は、誘導体１０に対する被誘導体２０の移動に伴って移動する光通過スリット６の移動範囲において光通過スリット６を含んでいる。これより、カバー４３を透過して光通過スリット６に入射した光は、光通過開口７を通過してベース４１を透過することになる（図２参照）。なお、所定方向Ｄ１における被誘導体２０の長さは、所定方向Ｄ１における誘導体１０の長さよりも短くなっており、この分が、誘導体１０に対する被誘導体２０の移動ストロークとなる。
【００３７】
給電部３は、各電極パッド１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び各電極パッド１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと電気的に接続されている。これにより、給電部３は、Ｘ軸方向に並ぶ１対の誘導電極１２ａ，１３ａ間、１対の誘導電極１２ｂ，１３ｂ間、１対の誘導電極１２ｃ，１３ｃ間及び１対の誘導電極１２ｄ，１３ｄ間のそれぞれに、電位差を生じさせることができる。なお、各電極パッド１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ及び各電極パッド１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄは、配線によって給電部３と電気的に接続することができるように、ベース４１に形成された開口等の切欠き部（図示せず）から外部に露出している。
【００３８】
図５に示されるように、給電部３は、対向方向Ｄ２から見た場合に導電部材２２が重なる１対の誘導電極１２，１３に電位差を生じさせる。より具体的には、給電部３は、正電位（例えば、＋１００Ｖ）を誘導電極１２に与えると共に、当該正電位と絶対値が等しい負電位（例えば、−１００Ｖ）を誘導電極１３に与えることで、１対の誘導電極１２，１３に電位差を生じさせる。これにより、導電部材２２は、誘導電極１２側の部分に負電荷が生じ且つ誘導電極１３側に正電荷が生じるように分極され、１対の誘導電極１２，１３と導電部材２２との間に静電誘導によって静電引力が発生する。
【００３９】
図６に示されるように、１対の誘導電極１２，１３の直上の位置から導電部材２２（当該１対の誘導電極１２，１３に最も近い導電部材２２）がずれている場合において、当該１対の誘導電極１２，１３に電位差が生じさせられると、当該１対の誘導電極１２，１３と当該導電部材２２との間に静電誘導によって静電引力が発生する。当該静電引力のうち、所定方向Ｄ１に沿った成分によって、当該１対の誘導電極１２，１３の直上の位置に当該導電部材２２が移動させられる。このように、電位差が生じさせられた１対の誘導電極１２，１３と当該１対の誘導電極１２，１３に最も近い導電部材２２との間に静電引力を発生させて、誘導体１０に対して被誘導体２０を所定方向Ｄ１に沿って移動させる。
【００４０】
ここで、静電誘導アクチュエータ１の動作原理について、図７を参照して、より詳細に説明する。なお、図７において、ａ、ｂ、ｃ、ｄは、それぞれ、１対の誘導電極１２ａ，１３ａ、１対の誘導電極１２ｂ，１３ｂ、１対の誘導電極１２ｃ，１３ｃ、１対の誘導電極１２ｄ，１３ｄを示す。
【００４１】
まず、給電部３は、導電部材２２との重なり状態が所定状態（対向方向Ｄ２から見た場合に、所定方向Ｄ１に沿った矢印ａの反対側に導電部材２２が半分ずれている状態（以下、同じ））となっている複数対の誘導電極１２ａ，１３ａの各対に電位差を生じさせることにより、静電引力を発生させて、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａ側に移動させる（１ステップ）。続いて、給電部３は、導電部材２２との重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極１２ｂ，１３ｂの各対に電位差を生じさせることにより、静電引力を発生させて、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａ側に移動させる（２ステップ）。
【００４２】
続いて、給電部３は、導電部材２２との重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極１２ｃ，１３ｃの各対に電位差を生じさせることにより、静電引力を発生させて、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａ側に移動させる（３ステップ）。続いて、給電部３は、導電部材２２との重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極１２ｄ，１３ｄの各対に電位差を生じさせることにより、静電引力を発生させて、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａ側に移動させる（４ステップ）。
【００４３】
以上の１ステップから４ステップを１ストロークとして、以下、必要な移動ストローク分だけ各ステップを実施する。なお、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａの反対側に移動させる場合には、導電部材２２との重なり状態が他の所定状態（対向方向Ｄ２から見た場合に、所定方向Ｄ１に沿った矢印ａ側に導電部材２２が半分ずれている状態）となっている複数対の誘導電極１２ａ，１３ａの各対に電位差を生じさせればよい。
【００４４】
以上説明したように、静電誘導アクチュエータ１では、導電部材２２との重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極１２，１３の各対に電位差が生じさせられて、誘導体１０に対して被誘導体２０が所定方向Ｄ１に沿って移動させられ、当該移動後に、導電部材２２との重なり状態が所定状態となっている複数対の誘導電極１２，１３の各対に電位差が生じさせられて、誘導体１０に対して被誘導体２０が所定方向Ｄ１に沿って移動させられる。これにより、例えば、１対の誘導電極１２，１３に替えて一体に形成された誘導電極に正電位又は負電位が与えられるような場合に比べ、静電引力の作用によって誘導体１０に対して被誘導体２０が傾くような事態が防止されて、誘導体１０に対する被誘導体２０の移動が安定的に且つスムーズに実施される。よって、静電誘導アクチュエータ１によれば、安定した動作が可能となる。
【００４５】
また、静電誘導アクチュエータ１では、給電部３によって電位差が生じさせられる。これにより、所望の１対の誘導電極１２，１３に適切に電位差を生じさせることができる。
【００４６】
このように、導電部材２２については、非接触、無給電となっており、静電誘導アクチュエータ１は、構造が単純化されたものとなっている。したがって、量産化、低コスト化に優れ且つ薄型で磁界フリーな静電誘導アクチュエータ１を実現することが可能となる。
【００４７】
ところで、例えば、被誘導体２０に導電部材２２を用いる替わりに、永久帯電させた誘電体、すなわちエレクトレットを用いることも考えられる。この場合、被誘導体２０が電位を持つこととなり、例えば外部の接地電位等の外部電界に対しても静電力が働くため、被誘導体２０の動作にも影響が生じる可能性がある。更に、誘導体１０への印加電圧によって生じる電界の影響を受けて、エレクトレットの帯電状態が変化する可能性もある。このように、エレクトレットを用いた場合、外部からの電界の遮断の必要性や、長期の使用安定性といった問題が生じるが、導電部材２２を用いることで、このような問題を回避することができる。
【００４８】
また、静電誘導アクチュエータ１では、複数の誘導電極１２，１３が、対向方向Ｄ２から見た場合に基準線Ｌに対して線対称となるように形成されており、複数の導電部材２２も、対向方向Ｄ２から見た場合に基準線Ｌに対して線対称となるように形成されている。更に、給電部３が、正電位を誘導電極１２に与えると共に、当該正電位と絶対値が等しい負電位を誘導電極１３に与えることで、１対の誘導電極１２，１３に電位差を生じさせる。これらにより、静電誘導アクチュエータ１では、誘導体１０に対して被誘導体２０が傾くような事態がより確実に防止されている。
【００４９】
また、静電誘導アクチュエータ１では、誘導電極１２，１３及び導電部材２２のそれぞれが、対向方向Ｄ２から見た場合に対向方向Ｄ２に垂直な方向に延在する長尺状の形状を有している。これにより、誘導体１０に対する被誘導体２０の駆動に関し、所定方向Ｄ１に沿った位置についての空間的な分解能を向上させることができると共に、駆動力を向上させることができる。
【００５０】
また、静電誘導アクチュエータ１では、誘導体１０が、支持体４０に固定されており、被誘導体２０が、所定方向Ｄ１に沿って移動可能となるように支持体４０に支持されている。これにより、誘導体１０に対する被誘導体２０の移動を簡単な構成で実現することができる。
【００５１】
また、静電誘導アクチュエータ１では、誘導体１０と被誘導体２０との間に絶縁流動体５が配置されている。これにより、誘導体１０と被誘導体２０とを確実に絶縁することができる。更に、所定方向Ｄ１に沿って移動可能となるように支持体４０に支持された被誘導体２０に浮力が作用することになるので、誘導体１０に対する被誘導体２０の移動に要する駆動電力を低減させることができる。特に、絶縁流動体５の比重が被誘導体２０の比重に近いほど、対向方向Ｄ２に沿って被誘導体２０に作用する力が低減されるので、被誘導体２０の比重に近い比重を有する絶縁流動体５が好ましい。
【００５２】
また、静電誘導アクチュエータ１では、誘導体１０に、光通過開口７が形成されており、被誘導体２０に、対向方向Ｄ２から見た場合に光通過開口７に含まれるように光通過スリット６が形成されている。これにより、光学的なスリット駆動機構を簡単な構成で実現することができる。
【００５３】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、静電誘導アクチュエータ１は、光学的なスリット駆動機構として構成されたものに限定されず、光学的なシャッタ駆動機構等として構成されたもの等であってもよい。つまり、静電誘導アクチュエータ１の駆動対象は特に限定されない。また、給電部３は、１対の誘導電極１２，１３にそれぞれ０Ｖ，＋２００Ｖを与えたり、１対の誘導電極１２，１３にそれぞれ＋１００Ｖ，＋３００Ｖを与えたりする等、１対の誘導電極１２，１３に電位差を生じさせるものであればよい。
【００５４】
また、誘導体１０の第１絶縁部材１１が、ベース４１及びスペーサ４２の少なくとも１つを兼ねるように形成されていてもよい。第１絶縁部材１１がベース４１を兼ねる場合、光透過性を有する電気絶縁性材料（例えば、ガラス等）により第１絶縁部材１１を形成すれば、光通過開口７を形成することが不要となる。また、絶縁流動体５は、空気、窒素ガス、炭酸ガス等、電気絶縁性を有する気体であってもよい。
【００５５】
また、静電誘導アクチュエータ１は、誘導体１０に対して被誘導体２０を相対的に移動させるものであればよい。つまり、静電誘導アクチュエータ１は、誘導体１０に対して被誘導体２０を移動させるものに限定されず、被誘導体２０に対して誘導体１０を移動させるものであってもよい。その場合、被誘導体２０に光通過開口７が形成されており、誘導体１０に光通過スリット６が形成されていてもよい。また、被誘導体２０が支持体４０に固定されており、誘導体１０が移動可能となるように支持体４０に支持されていてもよい。
【００５６】
また、被誘導体２０の第２絶縁部材２１に光通過スリット６を形成するために、図８の（ａ）に示されるように、導電部材２２の一部を切欠いてもよいし、図８の（ｂ）に示されるように、導電部材２２を光通過スリット６外縁に沿って迂回させてもよい。導電部材２２の幅が比較的大きい場合には、導電部材２２を切欠くことが有効であり、導電部材２２の幅が比較的小さい場合には、導電部材２２を迂回させることが有効である。
【００５７】
また、図９の（ａ），（ｂ）に示されるように、光通過スリット６が形成される領域において導電部材２２を間引いてもよい。導電部材２２の数が多ければ、一部の領域において導電部材２２を間引いても、実質的には問題とならない。却って、被誘導体２０の設計の自由度が大きくなるため、光通過スリット６以外の駆動にも用途が広がる。また、図１０に示されるように、第２絶縁部材２１に複数の光通過スリット６を形成してもよい。
【００５８】
また、静電誘導アクチュエータ１は、複数組の誘導体１０及び被誘導体２０を備えるものであってもよい。図１１に示される静電誘導アクチュエータ１は、誘導体１０Ａ及び被誘導体２０Ａと、誘導体１０Ｂ及び被誘導体２０Ｂと、を備えている。この例では、誘導体１０Ａは、ベース４１に固定されており、被誘導体２０Ａは、所定方向Ｄ１に移動可能となるようにスペーサ４２に支持されている。誘導体１０Ｂは、誘導体１０Ａに形成された開口８に臨んだ状態でベース４１に固定されており、被誘導体２０Ｂは、所定方向Ｄ１に移動可能となるように開口８において誘導体１０Ａに支持されている。
【００５９】
また、静電誘導アクチュエータ１は、誘導体１０に対して被誘導体２０を２次元的に移動させるものであってもよい。図１２に示される例では、誘導体１０においては、第１絶縁部材１１の表面１１ａに複数の誘導電極１８がマトリックス状に配列されている。被誘導体２０においては、第２絶縁部材２１の表面２１ａに複数の導電部材２２がマトリックス状に配列されている。誘導電極１８は、１辺の長さがＷの正方形状に形成されており、隣り合う誘導電極１８間の間隔は、Ｗ／２となっている。導電部材２２は、１辺の長さが３Ｗ／２の正方形状に形成されており、隣り合う導電部材２２間の間隔は、Ｗ／２となっている。
【００６０】
一例として、図１３の（ａ）に示されるように、対向方向Ｄ２から見た場合に導電部材２２が重なる矢印ａ側の１対の誘導電極１８に電位差を生じさせることで、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ａ側に移動させることができる。また、図１３の（ｂ）に示されるように、対向方向Ｄ２から見た場合に導電部材２２が重なる矢印ｂ側の１対の誘導電極１８に電位差を生じさせることで、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ｂ側に移動させることができる。また、図１３の（ｃ）に示されるように、対向方向Ｄ２から見た場合に導電部材２２が重なる矢印ｃ側の１対の誘導電極１８に電位差を生じさせることで、誘導体１０に対して被誘導体２０を矢印ｃ側に移動させることができる。
【符号の説明】
【００６１】
１…静電誘導アクチュエータ、３…給電部、５…絶縁流動体、６…光通過スリット、７…光通過開口、１０…誘導体、１１…第１絶縁部材、１２，１３，１８…誘導電極、２０…被誘導体、２１…第２絶縁部材、２２…導電部材、４０…支持体、Ｄ１…所定方向、Ｄ２…対向方向、Ｌ…基準線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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