(57)【要約】【課題】低抵抗シリコンウェーハを使用した場合でも、エピタキシャル膜の抵抗率を変化させることなく、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャルシリコンウェーハを提供すること。【解決手段】エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、ボロンが添加され、その抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下であるシリコンウェーハ上に、エピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル膜形成工程（ステップＳ２）と、前記エピタキシャルシリコンウェーハを９００℃未満の温度で熱処理する熱処理工程（ステップＳ３）とを備える。【選択図】図１
2015162522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、
ボロンが添加され、その抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下である前記シリコンウェーハ上に、前記エピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル膜形成工程と、
前記エピタキシャルシリコンウェーハを９００℃未満の温度で熱処理する熱処理工程と
を備えたことを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記熱処理工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの酸素濃度が、８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以下であり、
前記エピタキシャル膜の膜厚が、０．５μｍ以上８．０μｍ以下であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記熱処理工程を実施した後の、前記エピタキシャル膜の平均酸素濃度が、１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法において、
前記熱処理工程は、
前記エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの酸素濃度をＸ（×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３）、
前記エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの抵抗率をＹ（Ω・ｃｍ）、
前記エピタキシャル膜の膜厚をＺ（μｍ）、
前記熱処理の温度をＴ（℃）、
前記熱処理の時間をｔ（ｍｉｎ）、
として、以下の式（１）を満たすように行われることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法。
ｔ≧３．７１×１０５６×Ｘ−７．０３×Ｙ０．２７×Ｚ３．３４×Ｔ−１６．７  …  （１）
【請求項５】
シリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハであって、
前記シリコンウェーハはボロンが添加され、その抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下であり、
前記エピタキシャル膜は、平均酸素濃度が１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上であることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
【請求項６】
請求項５に記載のエピタキシャルシリコンウェーハにおいて、
深さ方向の酸素濃度プロファイルを測定したときに、前記シリコンウェーハと前記エピタキシャル膜との界面近傍において、局所的な酸素濃度上昇プロファイルが観察されることを特徴とするエピタキシャルシリコンウェーハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャルシリコンウェーハに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン単結晶を切り出して得られるシリコンウェーハの表面に、エピタキシャル膜を気相成長させたエピタキシャルウェーハが知られている。エピタキシャル膜は気相成長によるＣＶＤで成膜され、理論的にはエピタキシャル膜内に酸素はなく、現実的にも酸素濃度ゼロか、ほとんど存在していない状態である。
このようにエピタキシャル膜中の酸素濃度が低い場合、例えば、デバイスプロセスなどの熱処理においてエピタキシャル膜中に転位が発生し、この転位が伸展してしまうことがある。そこで、このような転位の伸展を防止するための検討がなされている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１には、エピタキシャル膜表面の酸素濃度が転位発生に関係することを見出し、このエピタキシャル膜表面の酸素濃度を、１．０×１０１７〜１２×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）に設定することで、転位の伸展を防止できることが記載されている。そして、このような特性を有するエピタキシャルウェーハの製造方法として、エピタキシャル膜の形成工程後に、９００℃以上シリコンの融点以下の熱処理温度で処理する酸素濃度設定熱処理工程を行うことが記載されている。エピタキシャル膜形成後に上記のような高温での熱処理を実施することにより、シリコンウェーハに固溶している酸素がエピタキシャル膜に熱拡散し、エピタキシャル膜の酸素濃度が上昇する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１４１２７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、半導体デバイスの集積回路が動作する場合に、発生する浮遊電荷が意図しない寄生トランジスタを動作させることによって発生する、いわゆるラッチアップと呼ばれている現象が発生する。ラッチアップ現象が発生すると、半導体デバイスが正常に動作しなくなり、これを正常状態に回復させるためには、電源を落とさなければならないようなトラブルを生じる。
ラッチアップ対策として、ｐ／ｐ＋エピタキシャルウェーハが適用されている。ｐ／ｐ＋エピタキシャルウェーハは、ボロンを高濃度に含有した低抵抗のシリコンウェーハ（ｐ＋シリコンウェーハ）の表面にエピタキシャル膜を成長させたウェーハである。ｐ／ｐ＋エピタキシャルウェーハは、上記ラッチアップ現象の防止対策の他に、トレンチ構造のキャパシタを用いる場合にトレンチ周辺の電圧印加にともなう空乏層の拡がりを防止するなど、デバイスの機能向上を図ることができることから、広く適用されるようになっている。
しかしながら、ｐ／ｐ＋エピタキシャルウェーハに対して上記特許文献１に記載の高温の熱処理を実施した場合は、シリコンウェーハに固溶している酸素だけでなく、シリコンウェーハ中のボロンもエピタキシャル膜に熱拡散してしまい、エピタキシャル膜の抵抗率が変化して所望の抵抗率の範囲を満たさなくなるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、低抵抗シリコンウェーハを使用した場合でも、エピタキシャル膜の抵抗率を変化させることなく、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法及びエピタキシャルシリコンウェーハを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、鋭意研究を重ね、低抵抗シリコンウェーハを使用したエピタキシャルシリコンウェーハにおいて、エピタキシャル膜形成工程の後に実施する熱処理工程の熱処理条件を制御することで、ボロンによる酸素の増速拡散効果によって、エピタキシャル膜の平均酸素濃度を高めることができ、かつ、エピタキシャル膜へのボロンの拡散を抑制し、エピタキシャル膜の抵抗率を変化させることがないことを見出した。
本発明は、上述のような知見に基づいて完成されたものである。
【０００８】
すなわち、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法は、シリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法であって、ボロンが添加され、その抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下である前記シリコンウェーハ上に、前記エピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル膜形成工程と、前記エピタキシャルシリコンウェーハを９００℃未満の温度で熱処理する熱処理工程とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法によれば、抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下の低抵抗シリコンウェーハを使用し、かつ、熱処理工程を９００℃未満の温度で行うため、ボロンによるエピタキシャル膜への酸素の増速拡散作用を生じさせることができる。これにより、エピタキシャル膜の平均酸素濃度が十分に高められ、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。また、熱処理工程を９００℃未満の温度で行うため、シリコンウェーハ中のボロンがエピタキシャル膜に熱拡散することも抑制できる。
【００１０】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、前記熱処理工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの酸素濃度が、８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以下であり、前記エピタキシャル膜の膜厚が、０．５μｍ以上８．０μｍ以下であることが好ましい。
【００１１】
ここで、シリコンウェーハからエピタキシャル膜に酸素が拡散しても、拡散前後において、基板酸素濃度（シリコンウェーハの酸素濃度）は、ほとんど変わらないことが確認されている。
基板酸素濃度が上記範囲に設定されたシリコンウェーハを用いることにより、エピタキシャル膜形成工程後に実施する熱処理工程の熱処理温度を制御するだけの簡単な方法で、転位の伸展が発生しない量の酸素をエピタキシャル膜に拡散させることができる。
また、エピタキシャル膜の膜厚が上記範囲内であれば、エピタキシャル膜の平均酸素濃度を十分に高めることで、転位の伸展を防止できる。
【００１２】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、前記熱処理工程を実施した後の、前記エピタキシャル膜の平均酸素濃度が、１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上であることが好ましい。
エピタキシャル膜の平均酸素濃度が上記範囲内であれば、転位の伸展を防止できる。
【００１３】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法では、前記熱処理工程は、前記エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの酸素濃度をＸ（×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３）、前記エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、前記シリコンウェーハの抵抗率をＹ（Ω・ｃｍ）、前記エピタキシャル膜の膜厚をＺ（μｍ）、前記熱処理の温度をＴ（℃）、前記熱処理の時間をｔ（ｍｉｎ）、として、以下の式（１）を満たすように行われることが好ましい。
ｔ≧３．７１×１０５６×Ｘ−７．０３×Ｙ０．２７×Ｚ３．３４×Ｔ−１６．７  …  （１）
【００１４】
上記式（１）に、シリコンウェーハの酸素濃度と、シリコンウェーハの抵抗率と、エピタキシャル膜の膜厚と、熱処理の温度とを代入し、熱処理の時間を計算で求めるだけの簡単な方法で、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。
【００１５】
また、本発明のエピタキシャルシリコンウェーハは、シリコンウェーハの表面にエピタキシャル膜が設けられたエピタキシャルシリコンウェーハであって、前記シリコンウェーハはボロンが添加され、その抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下であり、前記エピタキシャル膜は、平均酸素濃度が１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上であることを特徴とする。
【００１６】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハによれば、エピタキシャル膜の平均酸素濃度を少なくとも１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上確保することにより、デバイスプロセスでの熱処理過程において転位の伸展を十分に抑制することができる。
【００１７】
本発明のエピタキシャルシリコンウェーハでは、深さ方向の酸素濃度プロファイルを測定したときに、前記シリコンウェーハと前記エピタキシャル膜との界面近傍において、局所的な酸素濃度上昇プロファイルが観察されることが好ましい。
【００１８】
深さ方向の酸素濃度プロファイルを測定し、シリコンウェーハとエピタキシャル膜との界面（以下、単に「界面」という場合がある）近傍において、局所的な酸素濃度上昇プロファイルが観察されれば、ボロンによるエピタキシャル膜への酸素の増速拡散作用が生じ、エピタキシャル膜の平均酸素濃度が転位の伸展を抑制可能な程度にまで確保されていることが確認できる。
本明細書において、「局所的な酸素濃度上昇プロファイル」とは、酸素濃度の深さ微分（ａｔｏｍｓ／ｃｍ４）の深さプロファイルにおいて、界面近傍に２×１０２１（ａｔｏｍｓ／ｃｍ４）以上のピークを持つことをいう。ここで、酸素濃度の深さ微分（ａｔｏｍｓ／ｃｍ４）の深さプロファイルは、エピタキシャルシリコンウェーハの深さ方向の酸素濃度プロファイルを測定（ＳＩＭＳ測定）することで得られる。また、界面近傍とは、深さ方向で、界面からエピタキシャル膜側に１μｍの位置から、界面から基板側に０．５μｍの位置までの範囲をいう。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るエピタキシャルシリコンウェーハの製造方法を表すフローチャート。
【図２】前記一実施形態に係るエピタキシャルシリコンウェーハを示す断面図。
【図３】実験１の８５０℃で熱処理を実施した例における、酸素濃度の深さプロファイルを示すグラフ。
【図４】実験２の９００℃で熱処理を実施した例における、酸素濃度の深さプロファイルを示すグラフ。
【図５】実験１の８５０℃で熱処理を実施した例における、酸素濃度の深さ微分の深さプロファイルを示すグラフ。
【図６】実験２の９００℃で熱処理を実施した例における、酸素濃度の深さ微分の深さプロファイルを示すグラフ。
【図７】実験３のボロン濃度の深さプロファイルを示すグラフ。
【図８】実験４の応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図９】実験５において、抵抗率が５ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１０】実験５において、抵抗率が１０ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１１】実験５において、抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１２】実験６において、抵抗率が５ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１３】実験６において、抵抗率が１０ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１４】実験６において、抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１５】実験７において、抵抗率が５ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１６】実験７において、抵抗率が１０ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１７】実験７において、抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例の、応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１８】実験８の応力負荷試験結果を示すグラフ。
【図１９】実験９の応力負荷試験結果を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は、エピタキシャルシリコンウェーハの製造方法を表すフローチャートである。図２は、エピタキシャルシリコンウェーハを示す断面図である。
【００２１】
図１に示すように、図２に示すエピタキシャルシリコンウェーハ１の製造方法では、先ず、シリコンウェーハ準備工程を行う（ステップＳ１）。
このシリコンウェーハ準備工程では、ＣＺ法や、ＭＣＺ（磁場印加チョクラルスキー）法などによって、引き上げられた単結晶インゴットを、スライス、面取り、研削、ラッピング、エッチング、研磨、洗浄などを含む必要な各工程によって、表面２１が鏡面研磨されたシリコンウェーハ２を準備する全ての工程を含む。この際、シリコンウェーハ２の酸素濃度は、８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上１８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以下であることが好ましい。シリコンウェーハの酸素濃度が上記範囲であれば、後述する熱処理工程でエピタキシャル膜の酸素濃度を所望の範囲にまで高めることができる。
また、シリコンウェーハ２は、ボロンが添加され、１００ｍΩ・ｃｍ以下、好ましくは、５ｍΩ・ｃｍ以上１００ｍΩ・ｃｍ以下となるように、その抵抗率が調整される。
【００２２】
次に、シリコンウェーハ２にエピタキシャル膜３を形成するエピタキシャル膜形成工程を行う（ステップＳ２）。
図示しないエピタキシャル装置の反応容器内にシリコンウェーハ２を載置し、反応容器内の温度を室温から目的温度まで昇温させる。目的温度は、１０５０℃〜１２８０℃に設定することが好ましい。反応容器内の温度が上記目的温度に到達すると、シリコンウェーハ２の表面２１にエピタキシャル膜３を成長させる。例えば、トリクロロシランなどの成長ガスを反応容器内に導入し、この成長ガス雰囲気でエピタキシャル膜３の成膜を行う。なお、この成膜において、ボロン、リンなどの必要なドーパントを添加してもよい。
エピタキシャル膜形成工程は、エピタキシャル膜３の膜厚Ｔが０．５μｍ以上８．０μｍ以下となるまで行われることが好ましい。そして、エピタキシャル膜３が上記膜厚Ｔとなるまで成膜されると、エピタキシャルシリコンウェーハ１の温度を、エピタキシャル膜３を成長させたときの温度から室温まで降温する。
【００２３】
次に、エピタキシャルシリコンウェーハ１を熱処理する熱処理工程を行う（ステップＳ３）。この熱処理工程では、９００℃未満の温度となるように、熱処理条件を制御する。
また、上記温度範囲内において熱処理時間を制御することが好ましい。
具体的には、エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、シリコンウェーハ２の酸素濃度をＸ（×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３）、エピタキシャル膜形成工程を実施する前の、シリコンウェーハ２の抵抗率をＹ（Ω・ｃｍ）、エピタキシャル膜３の膜厚をＺ（μｍ）、熱処理の温度をＴ（℃）、熱処理の時間をｔ（ｍｉｎ）、として、以下の式（１）を満たすように、熱処理の時間を制御する。
ｔ≧３．７１×１０５６×Ｘ−７．０３×Ｙ０．２７×Ｚ３．３４×Ｔ−１６．７  …  （１）
【００２４】
熱処理の時間を上記式（１）で得られるｔの値以上とすることにより、エピタキシャル膜３の平均酸素濃度が、１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上に調整された、転位の伸展が無いエピタキシャルシリコンウェーハ１を製造することができる。
【００２５】
［実施形態の作用効果］
上述したように、上記実施形態では、以下のような作用効果を奏することができる。
【００２６】
（１）抵抗率が１００ｍΩ・ｃｍ以下の低抵抗シリコンウェーハを使用し、かつ、熱処理工程を９００℃未満の温度で行うため、ボロンによるエピタキシャル膜への酸素の増速拡散作用を生じさせることができる。これにより、エピタキシャル膜の平均酸素濃度が十分に高められ、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハを製造することができる。
【００２７】
（２）熱処理工程を９００℃未満の温度で行うため、シリコンウェーハ中のボロンがエピタキシャル膜に熱拡散することも抑制できる。
【００２８】
（３）上記式（１）に、シリコンウェーハ２の酸素濃度と、シリコンウェーハ２の抵抗率と、エピタキシャル膜３の膜厚と、熱処理の温度とを代入し、熱処理の時間を計算で求めるだけの簡単な方法で、転位の伸展を抑制可能なエピタキシャルシリコンウェーハ１を製造することができる。
【００２９】
［他の実施形態］
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
【００３０】
すなわち、熱処理工程において、上記式（１）に基づき求めた熱処理時間を用いずに、複数の条件で行った実験に基づいて、エピタキシャル膜３の平均酸素濃度が１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）以上に調整されたエピタキシャルシリコンウェーハ１を製造できるように、９００℃未満の温度範囲内において熱処理条件を設定してもよい。
さらに、シリコンウェーハ２の酸素濃度は、８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３未満であってもよいし、１８×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３（ＡＳＴＭ  Ｆ−１２１，１９７９）を超えていてもよい。
【実施例】
【００３１】
次に、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。
【００３２】
〔実験１〕
ボロンがドープされたシリコン融液からＣＺ法（チョクラルスキー法）を用いて単結晶インゴットを製造し、この単結晶インゴットからシリコンウェーハを切り出した。シリコンウェーハの酸素濃度（以下、「基板酸素濃度」という場合がある）は、１１×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３である。シリコンウェーハの抵抗率（以下、「基板抵抗率」という場合がある）は、５ｍΩ・ｃｍである。また、基板抵抗率が１０Ω・ｃｍのシリコンウェーハも用意した。
次に、シリコンウェーハの（１００）面を鏡面研磨面とし、この鏡面研磨面に膜厚（以下、「エピタキシャル膜厚」という場合がある）が３μｍのエピタキシャル膜を成長させた。エピタキシャル膜の成長は、トリクロロシランなどのガス雰囲気中で１１５０℃程度の温度で行った。
そして、エピタキシャル膜の成長を終えたウェーハに対して、非酸化性雰囲気において、８５０℃で６０分間保持する熱処理工程を実施し、エピタキシャルシリコンウェーハを得た。
なお、熱処理を実施しないエピタキシャルシリコンウェーハについても用意した。
【００３３】
作製したエピタキシャルシリコンウェーハに対し、応力負荷試験を行った。
まず、エピタキシャルシリコンウェーハから、長さ３ｃｍ、幅１．５ｃｍの測定用サンプルを切り出した。次に、測定用サンプルの表面（エピタキシャル膜の表面）に、マイクロビッカーズ硬度計で５ｇの荷重を加えて１０秒間保持し、３μｍ深さの圧痕を導入した。そして、測定用サンプルを、支点間距離２ｃｍ、試験温度８００℃にて３点曲げ試験を実施した。この際、５Ｎの荷重を加え、測定用サンプルの表面側に引張応力を作用させた。
その後、室温まで冷却した測定用サンプルに対し、２μｍのライトエッチングを実施し、エピタキシャル膜に導入した圧痕から発生したエピタキシャル膜表面で観察される転位ピットの有無を光学顕微鏡を用いて測定した。測定結果を以下の表１に示す。
【００３４】
また、作製したエピタキシャルシリコンウェーハのうち、熱処理工程を実施したウェーハについて、酸素濃度の深さプロファイルを測定した。酸素濃度の測定は、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析計）で行った。その深さプロファイルを図３に示す。
【００３５】
【表１】
2015162522.tif 000003
【００３６】
表１に示すように、エピタキシャル膜形成後に熱処理を実施した例では、基板抵抗率が５ｍΩ・ｃｍでは、圧痕からの転位の伸展が無く、エピタキシャル膜の強度が高くなることが判った。一方で、基板抵抗率が１０Ω・ｃｍでは、圧痕からの転位の伸展が確認され、同様の熱処理温度での熱処理工程を実施しても、エピタキシャル膜の強度が低いことが判った。
なお、熱処理工程を実施しない例については、いずれの抵抗率であっても転位の伸展が確認され、エピタキシャル膜の強度が低いことが判った。
【００３７】
図３に示すように、両者を比較すると、基板抵抗率が５ｍΩ・ｃｍの例では、基板の酸素濃度が減少するプロファイルが観察されるものの、エピタキシャル膜の酸素濃度が局所的に上昇するプロファイルとなることが判った。
【００３８】
〔実験２〕
熱処理温度を９００℃に変更した以外は、上記実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハの作製を行い、作製したエピタキシャルシリコンウェーハのうち、熱処理工程を実施したウェーハについて、酸素濃度の深さプロファイルを測定した。その深さプロファイルを図４に示す。
【００３９】
【表２】
2015162522.tif 000004
【００４０】
図４に示すように、熱処理温度が９００℃では、低抵抗基板における、エピタキシャル膜の酸素濃度プロファイルにおいて、局所的な酸素濃度の上昇プロファイルは確認できなかった。
【００４１】
次に、上記実験１，実験２で作製したエピタキシャルシリコンウェーハのうち、熱処理工程を実施したウェーハについて、酸素濃度の深さ微分（ａｔｏｍｓ／ｃｍ4）の深さプロファイルを測定した。その深さプロファイルを図５，図６に示す。
図５に示すように、８５０℃で熱処理を実施した実験１では、基板抵抗率が５ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例において、界面近傍に、局所的な酸素濃度の深さ微分の深さプロファイルのピークが観察された。この局所的な酸素濃度の深さ微分の深さプロファイルのピークは、界面近傍で局所的に酸素濃度が上昇していることを表しており、上記表１において、圧痕からの転位の伸展が無く、エピタキシャル膜の強度が高い結果が得られたことを裏付けているものと推察される。
一方、図５に示す、基板抵抗率が１０Ω・ｃｍのシリコンウェーハを用いた例、図６に示す、９００℃で熱処理を実施した実験２では、いずれの例についても、ブロードなピークが観察された。
【００４２】
〔実験３〕
熱処理温度を１０００℃に変更した以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。また、実験１と同様に熱処理温度を８５０℃でもエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。作製したエピタキシャルシリコンウェーハについて、ボロン濃度の深さプロファイルを測定した。ボロン濃度の深さプロファイルは、ＳＩＭＳ（二次イオン質量分析計）で行った。その深さプロファイルを図７に示す。
【００４３】
図７に示すように、８５０℃で熱処理を実施した例では、エピタキシャル膜側にはボロンの拡散は小さいのに対し、１０００℃で熱処理を実施した例では、エピタキシャル膜側にボロンが大きく拡散していることが確認できる。
【００４４】
〔実験４〕
エピタキシャル膜厚、基板酸素濃度及び基板抵抗率を以下の表３の条件とし、熱処理温度を８９０℃で、熱処理時間を変動させたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハの作製及び応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。測定結果を以下の表３に示す。また、応力負荷試験結果を図８に示す。なお、図８中の曲線は、上記式（１）から導かれた転位伸展の有無の境界を表す近似曲線である。
【００４５】
【表３】
2015162522.tif 000005
【００４６】
表３に示すように、熱処理温度が８９０℃であれば、圧痕からの転位の伸展が無く、エピタキシャル膜の強度が高くなることが判った。
また、図８から明らかなように、転位伸展の有無は、近似曲線を境界としており、この近似曲線よりも熱処理時間が小さいと転位の伸展が生じる傾向が見出せる。
【００４７】
〔実験５〕
エピタキシャル膜厚、基板酸素濃度及び基板抵抗率を以下の表４の条件とし、熱処理温度８５０℃で、熱処理時間を変動させたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハの作製及び応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。
また、基板抵抗率が５ｍΩ・ｃｍのシリコンウェーハを使用した例では、エピタキシャル膜の平均酸素濃度を測定した。測定結果を以下の表４に示す。また、応力負荷試験結果を図９〜図１１に示す。なお、図９〜図１１中の曲線は、上記式（１）から導かれた近似曲線である。
【００４８】
【表４】
2015162522.tif 000006
【００４９】
〔実験６〕
エピタキシャル膜厚、基板酸素濃度及び基板抵抗率を以下の表５の条件とし、熱処理温度８００℃で、熱処理時間を変動させたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハの作製及び応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。測定結果を以下の表５に示す。また、応力負荷試験結果を図１２〜図１４に示す。なお、図１２〜図１４中の曲線は、上記式（１）から導かれた近似曲線である。
【００５０】
【表５】
2015162522.tif 000007
【００５１】
〔実験７〕
エピタキシャル膜厚、基板酸素濃度及び基板抵抗率を以下の表６の条件とし、熱処理温度７５０℃で熱処理時間を変動させたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハの作製及び応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。測定結果を以下の表６に示す。また、応力負荷試験結果を図１５〜図１７に示す。なお、図１５〜図１７中の曲線は、上記式（１）から導かれた近似曲線である。
【００５２】
【表６】
2015162522.tif 000008
【００５３】
〔実験８〕
エピタキシャル膜厚を２μｍとし、基板酸素濃度、基板抵抗率、熱処理温度及び熱処理時間を以下の表７の条件としたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。また、マイクロビッカーズ硬度計の荷重を３ｇとして圧痕深さを２μｍとした以外は、実施例１と同様の条件で応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。測定結果を以下の表７に示す。また、応力負荷試験結果を図１８に示す。なお、図１８中の曲線は、上記式（１）から導かれた近似曲線である。
【００５４】
【表７】
2015162522.tif 000009
【００５５】
〔実験９〕
エピタキシャル膜厚を４μｍとし、基板酸素濃度、基板抵抗率、熱処理温度及び熱処理時間を以下の表８の条件としたこと以外は、実験１と同様の条件でエピタキシャルシリコンウェーハを作製した。また、マイクロビッカーズ硬度計の荷重を７ｇとして圧痕深さを４μｍとした以外は、実施例１と同様の条件で応力負荷試験を行い、エピタキシャル膜表面で観察される転位ピットを測定した。測定結果を以下の表８に示す。また、応力負荷試験結果を図１９に示す。なお、図１９中の曲線は、上記式（１）から導かれた近似曲線である。
【００５６】
【表８】
2015162522.tif 000010
【００５７】
表４〜表８並びに図９〜図１９から明らかなように、転位伸展の有無は、近似曲線を境界としており、この近似曲線よりも熱処理時間が小さいと転位の伸展が生じる傾向が見出せる。
また、表４に示す、転位伸展の有無と、エピタキシャル膜の平均酸素濃度との関係から、エピタキシャル膜の平均酸素濃度が１．７×１０１７ａｔｏｍｓ／ｃｍ３以上であれば、転位伸展を抑制できることが導き出せる。
【００５８】
〔実験１０〕
実験５〜実験９で作製したシリコンエピタキシャルウェーハにおいて、半導体デバイスの製造プロセスを模擬した熱処理（１０００℃で１時間保持、８００℃で２時間保持、６５０℃で３時間保持、９００℃で１時間保持）を行った。熱処理の雰囲気は、Ｎ２とＯ２の混合雰囲気（Ｏ２を３質量％の割合で混合）とした。
上記実験５〜実験９において、応力負荷試験の結果が、転位の伸展無しとなった例については、この実験１０におけるデバイス熱処理後の強度試験についても、同様に、転位の伸展無しの結果が得られた。
【符号の説明】
【００５９】
１…エピタキシャルシリコンウェーハ
２…シリコンウェーハ
３…エピタキシャル膜
２１…シリコンウェーハの表面
【図１】
2015162522.tif 000011
【図２】
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【図３】
2015162522.tif 000013
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015162522.tif 000017
【図８】
2015162522.tif 000018
【図９】
2015162522.tif 000019
【図１０】
2015162522.tif 000020
【図１１】
2015162522.tif 000021
【図１２】
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【図１３】
2015162522.tif 000023
【図１４】
2015162522.tif 000024
【図１５】
2015162522.tif 000025
【図１６】
2015162522.tif 000026
【図１７】
2015162522.tif 000027
【図１８】
2015162522.tif 000028
【図１９】
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