(57)【要約】【課題】成形装置からの白金族金属の揮発を抑え、揮発した白金族金属の異物がシートガラスに混入することを防止するガラス基板の製造方法およびガラス基板製造方法を提供する。【解決手段】本発明の製造方法は、ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる熔解工程と、成形炉内において熔融ガラスを、少なくとも一部が白金族金属からなる成形装置を用いてダウンドロー法にてシートガラスに成形する成形工程と、を備え、前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる熔解工程と、
成形炉内において熔融ガラスを、少なくとも一部が白金族金属からなる成形装置を用いてダウンドロー法にてシートガラスに成形する成形工程と、を備え、
前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることを特徴とするガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記溶射膜は、前記成形炉内の気相空間と接し、かつ、前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち温度が最も高くなる領域を含むように設けられている、請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記成形装置は、一方向に延びる形状を有する成形体と、前記成形体の長手方向の両端に、前記成形体の外周壁面を覆うよう嵌め合わされる白金族金属のキャップ部材と、を有し、
前記キャップ部材は、前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に前記溶射膜が設けられている、請求項１または２に記載のガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記溶射膜は、前記キャップ部材のうち熔融ガラスが接触する領域を除くすべての領域に形成されている、請求項１から３のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
【請求項５】
ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる熔解装置と、
成形炉内で熔融ガラスをシートガラスに成形する成形装置であって、少なくとも一部が白金族金属からなる成形装置と、を備え、
前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることを特徴とするガラス基板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の製造方法およびガラス基板製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ダウンドロー法を用いてガラス基板を製造する方法では、熔融ガラスをシートガラスに成形する成形工程が行われる。成形工程では、成形炉内に配された成形装置に熔融ガラスを供給して、成形装置の成形体から流下させ、これを成形炉の下流側に配されたローラで引っ張ることによりシートガラスに成形される（例えば、特許文献１）。
従来の成形装置として、耐熱性を上げるために、一部が白金または白金合金等で構成されたものがある。例えば、成形体に装着され、白金または白金合金等からなるガイドを備える成形装置が知られている。ガイドは、成形体の長手方向の両端に装着されることで、成形体から流れ出る熔融ガラスの幅方向（熔融ガラスの流れる方向と直交する方向）への広がりを規制する機能を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１８９２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
成形されたシートガラスに異物が混入する場合があることが分かった。
【０００５】
本発明は、成形装置からの白金族金属の揮発を抑え、揮発した白金族金属の異物がシートガラスに混入することを防止するガラス基板の製造方法およびガラス基板製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、シートガラスの表面に異物が混入する原因について検討を重ねたところ、成形装置のうち白金族金属からなる部分が、成形炉内の高温の雰囲気に曝されることによって酸化されて揮発し、当該揮発した白金族金属が成形炉内で凝集し、熔融ガラス上に落下等することにより、ガラス表面に付着し、シートガラスに混入されることを明らかにした。
【０００７】
本発明の一態様は、ガラス基板の製造方法である。
［１］当該製造方法は、ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる熔解工程と、
成形炉内において熔融ガラスを、少なくとも一部が白金族金属からなる成形装置を用いてダウンドロー法にてシートガラスに成形する成形工程と、を備え、
前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
［２］前記溶射膜は、前記成形炉内の気相空間と接し、かつ、前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち温度が最も高くなる領域を含むように設けられている、［１］に記載のガラス基板の製造方法。
【０００９】
［３］前記成形装置は、一方向に延びる形状を有する成形体と、前記成形体の長手方向の両端に、前記成形体の外周壁面を覆うよう嵌め合わされる白金族金属のキャップ部材と、を有し、
前記キャップ部材は、前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に前記溶射膜が設けられている、［１］または［２］に記載のガラス基板の製造方法。
【００１０】
［４］前記溶射膜は、前記キャップ部材のうち熔融ガラスが接触する領域を除くすべての領域に形成されている、［１］から［３］のいずれかに記載のガラス基板の製造方法。
【００１１】
本発明の別の一態様は、ガラス基板製造装置である。
［５］当該ガラス基板製造装置は、ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる熔解装置と、
成形炉内で熔融ガラスをシートガラスに成形する成形装置であって、少なくとも一部が白金族金属からなる成形装置と、を備え、
前記成形装置の白金族金属からなる部分のうち前記成形炉内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
上述の態様のガラス基板の製造方法およびガラス基板製造方法によれば、成形装置からの白金族金属の揮発を抑え、揮発した白金族金属の異物がシートガラスに混入することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本実施形態のガラス基板の製造方法の工程の一例を示す図である。
【図２】本実施形態における熔解工程〜切断工程を行う装置の一例を模式的に示す図である。
【図３】（ａ）は、本実施形態で用いられる成形装置を分解して側方から見た図である。（ｂ）は、成形装置を側方から見た図である。
【図４】成形装置の一方のキャップ部材を示す外観斜視図である。
【図５】図４のＢ−Ｂ線断面図である。
【図６】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本実施形態のガラス基板の製造方法及びガラス基板製造装置について説明する。図１は、本実施形態のガラス基板の製造方法の工程の一例を示す図である。
以降で説明する白金または白金合金等は、白金族金属であり、白金、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、および、これらの中から選択された２以上の金属の合金を含む。
【００１５】
ガラス基板の製造方法は、熔解工程（ＳＴ１）と、清澄工程（ＳＴ２）と、均質化工程（ＳＴ３）と、成形工程（ＳＴ４）と、徐冷工程（ＳＴ５）と、切断工程（ＳＴ６）と、を主に有する。
【００１６】
熔解工程（ＳＴ１）は熔解装置で行われる。熔解工程では、熔解装置に蓄えられた熔融ガラスの液面にガラス原料を投入することにより熔融ガラスを作る。なお、ガラス原料には清澄剤が添加されることが好ましい。清澄剤は、環境負荷低減の点から、酸化錫が好適に用いられる。
【００１７】
清澄工程（ＳＴ２）は、清澄装置で行われ、熔融ガラスを清澄する。具体的には、熔融ガラス中に含まれるガス成分を熔融ガラスから放出する、あるいは、ガス成分を熔融ガラス中に吸収する。
【００１８】
均質化工程（ＳＴ３）では、清澄装置から延びる配管を通って供給された攪拌装置内の熔融ガラスを、スターラを用いて攪拌することにより、熔融ガラスの均質化を行う。
【００１９】
成形工程（ＳＴ４）及び徐冷工程（ＳＴ５）は、成形装置を含む成形ユニットにおいて行われる。
成形工程（ＳＴ４）では、熔融ガラスをシートガラスに成形し、シートガラスの流れを作る。成形は、ダウンドロー法、フロート法、ロールアウト法等、公知の方法を用いることができる。以降で説明する成形工程は、ダウンドロー法として、オーバーフローダウンドロー法を用いて成形を行う場合を例とする。
徐冷工程（ＳＴ５）では、成形されて流れるシートガラスが所望の厚さになり、内部歪が生じないように、さらに、反りが生じないように冷却される。
【００２０】
切断工程（ＳＴ６）では、切断装置において、成形装置から供給されたシートガラスを所定の長さに切断することで、板状のガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス基板が作られる。
【００２１】
図２は、本実施形態における熔解工程（ＳＴ１）〜切断工程（ＳＴ６）を行う装置の一例を模式的に示す図である。当該装置は、図２に示すように、主に熔融ガラス生成ユニット１００と、成形ユニット２００と、切断ユニット３００と、を有する。熔融ガラス生成ユニット１００は、熔解装置１０１と、清澄装置１０２と、攪拌装置１０３と、ガラス供給管１０４，１０５，１０６と、を有する。成形ユニット２００は、成形装置２１０を有する。
【００２２】
図２に示す例の熔解装置１０１は、ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる。
清澄装置１０２は、白金または白金合金等からなる清澄管の中において、熔融ガラスＭＧを通過させる間、電極板間に電流を流して清澄管を例えば通電加熱して脱泡処理を少なくとも行う。
攪拌装置１０３は、スターラ１０３ａによって熔融ガラスＭＧを攪拌して均質化する。
成形ユニット２００は、清澄装置１０２、攪拌装置１０３で処理された熔融ガラスＭＧを、成形炉２５０内で、成形装置２１０を用いたオーバーフローダウンドロー法により、成形してシートガラスＳＧとする。なお、図２において、成形装置２１０は簡略化して示される。さらに、徐冷炉２６０において、板厚偏差、歪、及び反りがシートガラスＳＧに生じないように、シートガラスＳＧが徐冷される。成形炉２５０と徐冷炉２６０とは、シートガラスＳＧが流れる方向に隣接するよう設けられている。
切断装置３００は、徐冷したシートガラスＳＧを切断してガラス基板とする。
【００２３】
（成形工程及び成形装置）
図３（ａ）および図３（ｂ）に、成形装置２１０を示す。
成形装置２１０は、成形体２２０と、成形体２２０に装着されるキャップ部材２３０，２４０とを有する。図３（ａ）は、成形体２２０からキャップ部材２３０，２４０を取り外して示す分解図であり、図３（ｂ）は、成形体２２０にキャップ部材２３０，２４０が装着され組み立てられた状態を示す図である。なお、図３において、後述する溶射膜は図示を省略している。
【００２４】
成形体２２０は、図３に示されるように、シートガラスの幅方向と平行な方向（水平方向）に延びる下端２２０ａと、下端２２０ａに対し傾斜した上面２１１とを有する長尺状の構造体である。成形体２２０は、長手方向（図３の左右方向）に垂直な方向に切断した断面形状が楔形形状を有している。成形体２２０は、上面２１１のほか、上面２１１に接続される端面２１２，２１３および側面２１４、２１５を有する。上面２１１は、成形炉２５０内での高さ位置が端面２１２から端面２１３に進む方向に徐々に低くなるよう傾斜している。上面２１１には、上方を向いて開口する溝２１１ａが形成されている。溝２１１ａは、端面２１２に開口している。溝２１１ａは、端面２１２から端面２１３に進む方向に、溝底の高さ位置が徐々に高くなっており、溝深さが徐々に浅くなっている。側面２１４、２１５は、下端同士が接続されて成形体２２０の下端２２０ａをなしている。
成形体２２０は、例えば、ジルコニア質耐火物、高アルミナ質耐火物等の焼成耐火物や、黒鉛質レンガ等の不焼成耐火物からなる。中でも、耐熱性に優れる点で、好ましくはジルコニア質耐火物からなる。
【００２５】
キャップ部材２３０，２４０は、成形体２２０の長手方向（下端２２０ａの延びる方向）の両端に、成形体２２０の外周壁面を覆うよう嵌め合わせられる部材である。このうち、キャップ部材２３０は、図４に示されるように、端面カバー部２３１と、側面カバー部２３２と、を有する。図４は、キャップ部材２３０の外観斜視図である。
【００２６】
端面カバー部２３１は、成形体２２０の端面２１２と向かい合う平面状の部分である。端面カバー部２３１には、ガラス供給管１０６が接続され、ガラス供給管１０６から供給される熔融ガラスが通る穴２３１ａが設けられている。なお、ガラス供給管１０６のうち成形炉２５０内で延びる部分は、成形体２２０およびキャップ部材２３０，２４０とともに、成形装置２１０を構成する。なお、図３、図４，および後で参照する図５、図６において、成形装置２１０としてのガラス供給管１０６は、端面カバー部２３１に接続される部分のみ示される。ガラス供給管１０６から供給される熔融ガラスは、端面カバー部２３１を通って成形体２２０の溝２１１ａ内に供給される。
側面カバー部２３２は、成形体２２０の上面２１１および側面２１４，２１５と向かい合う部分であり、成形体２２０の外周壁面を覆う形状を有している。側面カバー部２３２には、側面カバー部２３２のガラス供給管１０６から離れる方向の端から、成形体２２０から離れる方向に延びるよう縁部２３３が形成されている。図３では、縁部２３３は図示を省略している。縁部２３３は、成形工程において、成形体２２０の上面２１１から溢れ出し、側面２１４，２１５の壁面に沿って流れる熔融ガラスの幅方向への広がりを規制する。なお、本明細書では、成形体２２０の側面２１４，２１５の壁面に沿って流れ、下端２２０ａで合流した後のガラスをシートガラスといい、下端２２０ａで合流する前のガラスを熔融ガラスという。
【００２７】
キャップ部材２４０は、ガラス供給管１０６が接続されず、熔融ガラスが通る穴が設けられていない点を除いて、キャップ部材２３０と略同様に構成されており、端面カバー部および側面カバー部を有している。キャップ部材２４０の側面カバー部は、縁部を有している。
キャップ部材２３０、２４０およびガラス供給管１０６は、白金または白金合金等からなる。
【００２８】
（溶射膜）
キャップ部材２３０、２４０およびガラス供給管１０６の表面には、耐火物化合物の溶射膜が設けられている。このうち、キャップ部材２３０に設けられた溶射膜３２０は、キャップ部材２３０の表面のうち、成形炉２５０内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に設けられている。また、ガラス供給管１０６の表面には、溶射膜３３０が設けられている。図５および図６に、溶射膜３２０が設けられたキャップ部材２３０および溶射膜３３０が設けられたガラス供給管１０６を示す。図５は、図４のＢ−Ｂ線断面図である。図６は、図４のＡ−Ａ線断面図である。図４〜図６において、溶射膜３２０のキャップ部材２３０の板厚に対する厚み、および溶射膜３３０のガラス供給管１０６に対する厚みは、便宜のため、誇張して示される。
【００２９】
溶射膜３２０が成形炉２５０の気相空間と接する領域の少なくとも一部に設けられていることによって、溶射膜３２０が設けられていない場合と比べ、成形工程におけるキャップ部材２３０からの白金または白金合金等の揮発が抑制される。なお、気相空間は、成形炉２５０内と徐冷炉２６０内とを空間的に仕切る仕切り壁２５５（図２参照）と、成形炉２５０の内壁によって囲まれた空間であり、成形装置２１０および熔融ガラス、シートガラスと接する。成形工程において、成形炉２５０内の温度は、例えば、１１００〜１３５０℃になる。白金または白金合金等からなるキャップ部材は、このような高温雰囲気に曝されると、雰囲気中の酸素により酸化されて揮発しやすくなるが、本実施形態では、キャップ部材２３０に耐火物化合物の溶射膜３２０が設けられていることで、溶射膜３２０が設けられた領域でキャップ部材２３０が高温雰囲気に曝されることがなく、当該領域からの白金または白金合金等の揮発が抑えられる。
キャップ部材２４０およびガラス供給管１０６にも、成形炉２５０の気相空間と接する領域の少なくとも一部に溶射膜が設けられていることで、成形工程におけるキャップ部材２４０およびガラス供給管１０６からの白金または白金合金等の揮発が抑制される。ガラス供給管１０６に設けられた溶射膜３３０は、成形炉２５０の気相空間と接する領域の全ての領域に設けられている。ガラス供給管１０６に設けられた溶射膜３３０は、溶射膜３２０と接続されるよう設けられている。
【００３０】
溶射膜３２０は、キャップ部材２３０の表面のうち、成形炉２５０内の気相空間と接し、かつ、成形装置２１０の白金または白金合金等からなる部分のうち温度が最も高くなる領域を含むように設けられていることが好ましい。このような領域は、具体的に、側面カバー部２３２のうち成形体２１０の上面２１１と向かい合う部分２３２ａ（図６参照）、およびその周辺の領域である。成形炉２５０内には、成形体２２０に供給された熔融ガラスを上方から加熱するためのヒータ（不図示）が、成形体２２０の上面２１１に対向するよう配されており、成形工程の間、これらの領域はヒータからの熱を多く受けるため、温度が最も高くなる。本実施形態では、このような領域に溶射膜３２０が設けられていることで、キャップ部材２３０からの白金または白金合金等の揮発を効果的に抑制できる。なお、キャップ部材２３０の温度が最も高くなる領域は、例えば、最高温度との差が１０℃以内である温度となる領域として特定できる。キャップ部材２３０の温度が最も高くなる領域のみに溶射膜３２０を設けた場合は、それ以外の領域に溶射膜３２０を設けないことによって、コストを抑えつつ、白金または白金合金等の揮発を効果的に抑制できる。
【００３１】
なお、溶射膜は、成形炉２５０内の気相空間と接し、かつ、成形装置２１０の白金または白金合金等からなる部分のうち成形装置２１０全体において温度が最も高くなる領域を少なくとも含むように設けられていればよく、キャップ部材２３０、キャップ部材２４０およびガラス供給管１０６のそれぞれにおいて温度が最も高くなる部分にだけ、溶射膜が設けられていてもよい。キャップ部材２４０の溶射膜は、キャップ部材２３０に設けられた溶射膜３２０と同様に、側面カバー部のうち成形体２１０の上面２１１と向かい合う部分の温度が最も高くなるため、当該部分およびその周辺の領域を含むように設けられていることが好ましいが、当該部分のうち、成形体２１０の上面２１１と向かい合う面（内側表面）には、成形工程において熔融ガラスが接触するため、設けられないことが好ましい。
【００３２】
溶射膜３２０は、キャップ部材２３０のうち熔融ガラスが接触する領域を除くすべての領域に形成されていることが好ましい。これにより、成形工程において気相空間に曝されるキャップ部材２３０の表面のうちほぼ全ての領域において、白金または白金金属等の揮発を抑制できるとともに、熔融ガラスが溶射膜３２０に接触することで、溶射膜３２０が溶け出して熔融ガラスに混入してしまうのを回避できる。なお、熔融ガラスが接触する領域には、成形工程において常に熔融ガラスが接触する領域のほか、常には接触しないが接触する可能性のある領域、例えば、縁部２３３の表面のうち端面カバー部２３１側と逆側を向く面において成形体２２０の下端２２０ａの付近を含む下方の領域も含まれる。
【００３３】
耐火化合物には、高温に耐えられ、揮発しにくいものであれば特に制限されず、例えば、セラミックなどの酸化物、窒化物、珪化物、炭化物およびその組み合わせを用いることができる。フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の製造の成形装置の白金または白金合金等の揮発を低減する観点からは、耐火性酸化物が好ましい。例えば、Ｚｒ、Ａｌ、Ｍｇおよび／またはＹ化合物で安定化されていることが好ましい。
溶射の方法は特に制限されないが、フレーム溶射、プラズマ溶射を用いることができる。白金または白金合金等の揮発を効果的に抑制するためには、プラズマ溶射を用いることが好ましい。
溶射膜は、コストを抑えつつ白金または白金合金等の揮発を効果的に抑制するためには、５０μｍ〜８００μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは１００μｍ〜５００μｍである。
【００３４】
本実施形態によれば、成形装置２１０のうち白金または白金合金等からなる部分のうち成形炉２５０内の気相空間と接する領域の少なくとも一部に耐火物化合物の溶射膜が設けられていることによって、成形工程において、当該領域から白金または白金合金等が揮発することが抑制される。これにより、揮発した白金または白金合金等が成形炉２５０内の、例えば温度の低い領域で凝集し、熔融ガラスの上に落下する等して、熔融ガラスに混入されるのを抑制できる。なお、熔融ガラスに混入されるという場合、熔融ガラスの表面に付着することも含まれる。
【００３５】
本実施形態に用いられる成形装置は、少なくとも一部が白金または白金合金で構成されたものであればよく、成形装置のどの部分が白金または白金合金等で構成されていてもよい。例えば、成形体２２０や、成形装置２１０に含まれる他の部材が、白金または白金合金等からなる部分を含んでいてもよい。他の部材としては、図示されないが、例えば、成形体２２０を下方から支持するとともに、成形体２２０を、長手方向の両側から、キャップ部材２３０およびキャップ部材２４０を介して押圧するよう挟持するブロック状の支持部材が挙げられる。
【００３６】
（ガラス組成）
本発明は、成形炉内を、高温に保つ必要がある場合に適している。具体的には、成形炉内が１０００℃以上である場合に適しており、１２００℃以上である場合にさらに適しており、１３００℃以上である場合に特に適している。
失透温度が高いガラスを用いてガラス基板を製造する場合には、成形炉内を高温に保つ必要があるので、本発明は、失透温度が高いガラスを用いてガラス基板を製造する際に適している。具体的には、本発明は、失透温度が１０００℃以上であるガラス基板の製造に好適であり、１１６０℃以上のガラス基板の製造により好適である。
【００３７】
また、無アルカリガラスやアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスは、失透温度が高いので、本発明は、無アルカリガラスやアルカリ微量含有ガラスから構成されるガラス基板を製造する場合に適している。無アルカリガラスの一例として、質量％で表示して、以下の組成範囲のガラス基板が挙げられる。
ＳｉＯ２：５０〜７０％、
Ａｌ２Ｏ３：０〜２５％、
Ｂ２Ｏ３：1〜１５％、
ＭｇＯ：０〜１０％、
ＣａＯ：０〜２０％、
ＳｒＯ：０〜２０％、
ＢａＯ：０〜１０％、
ＲＯ：５〜３０％（ただし、ＲはＭｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａの合量)、 
を含有する無アルカリガラス。
なお、上述したように、ガラス基板はアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、Ｒ’２Ｏの合計が０．１０％以上０．５％以下、好ましくは０．２０％以上０．５％以下(ただし、Ｒ’はＬｉ、Ｎａ及びＫから選ばれる少なくとも１種であり、ガラス基板が含有するものである)含むことが好ましい。勿論、Ｒ’２Ｏの合計が０．１０％未満でもよい。すなわち、本発明は、無アルカリガラスやアルカリ微量のガラス基板が使用されるフラットパネルディスプレイを製造する場合に適している。
本発明は、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板、有機ＥＬディスプレイ用ガラス基板、カバーガラスに好適に用いられる。本発明は、その他、携帯端末機器などのディスプレイや筐体用のカバーガラス、タッチパネル板、太陽電池のガラス基板やカバーガラスとしても用いることができる。また、本発明は、ポリシリコンＴＦＴを用いた液晶ディスプレイ用ガラス基板に好適である。
【００３８】
（実験例）
本実施形態の効果を確認するために、白金族金属からなる部分を含む成形装置を用いて、オーバーフローダウンドロー法に用いて成形工程を行い、熔融ガラスの成形を行った。成形装置には、ジルコニア質耐火物からなる成形体、白金合金からなるキャップ部材、および白金合金からなるガラス供給管を用いた。キャップ部材およびガラス供給管の表面に、図４〜図６に示すように溶射膜を設けた。溶射膜は、Ｚｒ酸化物を用いてプラズマ溶射により設けた。熔融ガラスのガラス組成は、上記無アルカリガラスの組成とした。成形工程は、成形炉内の温度１２００〜１３００℃の範囲で行った。成形工程における熔融ガラスの温度は、１２００〜１３５０℃であった。成形工程後、徐冷、切断し、縦２２７０ｍｍ×横２０００ｍｍのガラス基板を複数作製し、そのうち無作為に抽出した１００枚について、レーザ顕微鏡を用いてガラス基板表面に混入している異物の数を数え、その平均値を求めた（実施例）。
一方、キャップ部材およびガラス供給管に溶射膜を設けなかった点を除いて、実施例と同様にして成形工程を行うとともに、異物の数を数えた（比較例）。
その結果、実施例では比較例と比較してガラス基板の単位面積当たりの異物の数が低減しており、キャップ部材およびガラス供給管に溶射膜が設けられていることで、成形炉内で白金の揮発が抑制されていることが確認された。
【００３９】
以上、本発明のガラス基板の製造方法及びガラス基板製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。
【符号の説明】
【００４０】
１０１  熔解装置
１０６  ガラス供給管
２１０  成形装置
２２０  成形体
２３０、２４０  キャップ部材
２５０  成形炉
３２０  溶射膜
【図１】
2015124111.tif 000003
【図２】
2015124111.tif 000004
【図３】
2015124111.tif 000005
【図４】
2015124111.tif 000006
【図５】
2015124111.tif 000007
【図６】
2015124111.tif 000008