(57)【要約】【課題】物品の端部をより正確に検出することが可能なチャッキング装置を提供する。【解決手段】収納容器５０に向かって接近し、収納容器５０の端部５０ａを検出する光学式センサ３０によって接近動作を停止して収納容器５０を把持するチャッキング装置１００であって、本体部１０に、センサ光Ｌが光軸ＡＸに対して回り込むことにより光学式センサ３０で検出されるのを抑制する遮蔽板４０を備える。【選択図】図１
2015131690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品に向かって接近し、物品の端部を検出する光学式センサによって接近動作を停止して物品を把持するチャッキング装置であって、
チャッキング装置本体に、センサ光が光軸に対して回り込むことにより前記光学式センサで検出されるのを抑制する回り込み抑制部を備えるチャッキング装置。
【請求項２】
前記回り込み抑制部は、前記チャッキング装置本体の物品対向面から突出する遮蔽部材である請求項１記載のチャッキング装置。
【請求項３】
前記遮蔽部材は、前記物品対向面の中央部またはその周辺部分に設けられる請求項２記載のチャッキング装置。
【請求項４】
前記遮蔽部材は、物品を把持したときに物品に当接しない位置に設けられる請求項２または請求項３記載のチャッキング装置。
【請求項５】
前記チャッキング装置本体は、天井走行車に搭載された昇降駆動部に連結される請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のチャッキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャッキング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場等の製造工場では、例えば半導体ウエハの搬送容器（ＦＯＵＰ）やレチクル搬送用のビークルなどの物品を搬送するため、天井に敷設されたレールに沿って搬送用の天井走行車が複数走行するシステムが用いられている。このシステムでは、工場内に設けられる物品の受け渡し位置で天井走行車を停止させ、天井走行車から昇降台を下降させる。そして、昇降台に備えられたチャッキング装置を用いて物品の受け渡しを行う。
【０００３】
このようなチャッキング装置は、物品に向かって接近し、光学式センサによって物品の端部を検出した時に接近動作を停止して物品を把持する構成となっている。この光学式センサは、例えば光射出部からセンサ光を水平方向に沿って射出し、センサ光の光軸上に配置された受光部によってセンサ光を受光する構成である。センサ光の光軸上に物品の端部が出現した場合、物品の端部によってセンサ光が遮光され、受光部においてセンサ光が検出されなくなる。したがって、受光部でセンサ光が検出されている状態から非検出の状態に切り替わることにより、物品の端部が検出されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０６−１３５６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記構成においては、センサ光の一部が光軸に対して拡散し、例えばチャッキング装置の下面によって反射されて受光部に到達し、受光部で検出されてしまう場合がある。そうなると、センサ光の光軸上に物品の端部が出現した場合であっても、その拡散成分が端部を回り込むように受光部に到達して検出されてしまうため、物品の端部は光学式センサによっては検出されないことになる。その結果、接近動作を適正に停止できず、例えば本体部が物品に近づきすぎたり、本体部と物品とが干渉したりするおそれがあった。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、物品の端部をより正確に検出することが可能なチャッキング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、物品に向かって接近し、物品の端部を検出する光学式センサによって接近動作を停止して物品を把持するチャッキング装置であって、チャッキング装置本体に、センサ光が光軸に対して回り込むことにより光学式センサで検出されるのを抑制する回り込み抑制部を備える。
【０００８】
また、回り込み抑制部は、チャッキング装置本体の物品対向面から突出する遮蔽部材であってもよい。また、遮蔽部材は、物品対向面の中央部またはその周辺部分に設けられてもよい。また、遮蔽部材は、物品を把持したときに物品に当接しない位置に設けられてもよい。また、チャッキング装置本体は、天井走行車に搭載された昇降駆動部に連結されてもよい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、回りこみ抑制部が設けられることにより、センサ光が光軸に対して回り込むのを抑制することができる。このため、回りこんだセンサ光が光学式センサで検出されてしまうのを抑制できる。これにより、物品の端部をより正確に検出することができるため、チャッキング装置本体が物品に接近しすぎたり、チャッキング装置本体が物品と干渉したりするのを抑制できる。
【００１０】
また、回り込み抑制部が、チャッキング装置本体の物品対向面から突出する遮蔽部材であるものでは、物品対向面に近づくように回りこむセンサ光を遮蔽することができる。これにより、回りこんだセンサ光が物品対向面で反射されて光学式センサに検出されるのを防ぐことができる。また、遮蔽部材が、物品対向面の中央部またはその周辺部分に設けられるものでは、センサ光の回りこみの程度が大きい部分に遮蔽版が設けられるため、回りこんだセンサ光をより効果的に遮蔽することができる。また、遮蔽部材が、物品を把持したときに物品に当接しない位置に設けられるものでは、チャッキング装置本体が物品に接近する際の物品との干渉を防ぐことができる。また、チャッキング装置本体が、天井走行車に搭載された昇降駆動部に連結されるものでは、物品をより効率的に搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態に係るチャッキング装置の一例を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、チャッキング装置の動作の一例を示す図である。
【図３】比較例に係るチャッキング装置の一例を示す図である。
【図４】第２実施形態に係るチャッキング装置の一例を示す図である。
【図５】第３実施形態に係るチャッキング装置の一例を示す図である。
【図６】変形例に係るチャッキング装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、ＸＹＺ座標系を用いて図中の方向を説明する。このＸＹＺ座標系においては、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。このＸＹ平面において天井走行車２０の走行方向をＹ方向と表記し、Ｙ方向に直交する方向をＸ方向と表記する。また、ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が＋方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。
【００１３】
＜第１実施形態＞  
図１は、第１実施形態に係るチャッキング装置１００の一例を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は底面図である。  
図１（ａ）に示すように、チャッキング装置１００は、天井走行車１０１に搭載された昇降駆動部１０２に連結されている。この天井走行車１０１は、クリーンルームなどの天井に敷設されたレール１０３に沿って、例えば−Ｙ方向に走行する。クリーンルームには、半導体ウエハやガラス基板等を処理する基板処理装置などが設けられている。
【００１４】
天井走行車１０１は、収納容器（物品）５０を搬送する。収納容器５０としては、露光処理を行うためのレチクルなどを収容するレチクルポッドや、半導体装置を製造するためのシリコンウェハを収容するフープ（ＦＯＵＰ）、液晶装置を製造するためのガラス基板を収容する容器などが挙げられる。
【００１５】
収納容器５０には、チャッキング装置１００によって把持されるための被把持部５１、５２が設けられている。被把持部５１、５２は、収納容器５０の上面側（＋Ｚ側）に設けられている。また、被把持部５１、５２は、収納容器５０の外側に互いに反対方向に突出している。本実施形態では、被把持部５１が−Ｘ方向に突出し、被把持部５２が＋Ｘ方向に突出するように配置されている。また、収納容器５０の＋Ｚ側の端部５０ａは、被把持部５１、５２よりも＋Ｚ側に突出して設けられている。この端部５０ａは、Ｘ方向及びＹ方向について、例えば収納容器５０の中央部に配置されている。端部５０ａは、後述の光学式センサ３０によって検出される。
【００１６】
昇降駆動部１０２は、連結部１０４を介して天井走行車１０１に接続されており、天井走行車１０１と一体で移動する。昇降駆動部１０２には、ベルト１０５の巻き取り及び送り出しを行う不図示のベルト駆動部が設けられている。チャッキング装置１００は、ベルト１０５を介して昇降駆動部１０２に接続されている。チャッキング装置１００は、ベルト１０５が巻き取られることで昇降（＋Ｚ方向に移動）し、ベルト１０５が送り出されることによって下降（−Ｚ方向に移動）する。なお、チャッキング装置１００、天井走行車１０１及び昇降駆動部１０２等を統括的に制御する主制御部１０６が設けられている。
【００１７】
図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、チャッキング装置１００は、収納容器５０を把持するものであり、本体部（チャッキング装置本体）１０と、把持部２０と、光学式センサ３０と、遮蔽部材の一例である遮蔽板（回り込み抑制部）４０とを備えている。  
本体部１０は、筐体１１と、ベルト連結部１２と、ブラケット１３、１４とを有している。筐体１１は、例えば矩形の箱状に形成されているが、これに限定されるものではない。筐体１１には、把持部２０及び光学式センサ３０を駆動する不図示の駆動部が収容されている。筐体１１は、上面（＋Ｚ側の面）１１ａと、Ｘ方向の側面１１ｂ、１１ｃと、下面（−Ｚ側の面）１１ｄと、を有している。なお、下面１１は、本体部１０のうち収納容器５０に対向する物品対向面である。以下、この下面１１ｄを物品対向面１１ｄと表記する。
【００１８】
ベルト連結部１２は、ベルト１０５に連結される部分であり、筐体１１の上面１１ａに配置されている。ベルト連結部１２は、ベルト１０５のＸ方向の間隔に対応するように、Ｘ方向に間隔を空けて設けられている。ブラケット１３は、筐体１１の例えば−Ｘ側の側面１１ｂに配置されている。ブラケット１３は、不図示の固定部材を用いて筐体１１に固定されている。ブラケット１４は、筐体１１の例えば＋Ｘ側の側面１１ｃに配置されている。ブラケット１４は、例えばブラケット１３に対して左右（Ｘ方向）対称の形状に形成されている。ブラケット１４は、不図示の固定部材を介して筐体１１に固定されている。
【００１９】
把持部２０は、スライダ２１、２２と、爪部２３、２４とを有している。スライダ２１は、筐体１１の−Ｘ側の側面１１ｂに配置されている。スライダ２２は、筐体１１の＋Ｘ側の側面１１ｃに配置されている。スライダ２１、２２は、例えば筐体１１に収容される不図示の駆動部によってそれぞれＸ方向に移動可能に設けられる。爪部２３は、スライダ２１の下側端部（−Ｚ側端部）に配置されている。爪部２４は、スライダ２２の下側端部に配置されている。爪部２３、２４は、先端部２３ａ、２４ａがそれぞれＸ方向に対向するように配置されている。爪部２３、２４が突出部５１、５２を下側から上側に持ち上げることで、把持部２０が収納容器５０を把持する構成となっている。
【００２０】
光学式センサ３０は、光射出部３１と、受光部３２とを有している。光射出部３１は、ブラケット１３に取り付けられている。したがって、光射出部３１は、本体部１０と一体に設けられる。光射出部３１は、＋Ｘ方向へ向けてセンサ光Ｌを射出する。センサ光Ｌには、光軸ＡＸに沿って進行する主成分Ｌ１と、光軸ＡＸに対して拡散する拡散成分とが含まれる。例えば、センサ光Ｌの拡散成分として、光軸ＡＸに対して＋Ｚ方向に拡散する一部の拡散成分Ｌ２が含まれる。この拡散成分Ｌ２は、筐体１１の物品対向面１１ｄにより反射され、受光部３２へ向けて進行する光路（図１（ａ）に破線で示す光路）を有している。すなわち、拡散成分Ｌ２の光路は、光軸ＡＸに対して＋Ｚ方向に回り込んで受光部３２に向けられる。光射出部３１の光源としては、ＬＥＤやレーザーダイオードなどを用いることができる。
【００２１】
受光部３２は、ブラケット１４に取り付けられている。したがって、受光部３２は、本体部１０及び光射出部３１と一体に設けられる。受光部３２は、センサ光Ｌの光軸ＡＸ上に配置されている。受光部３２は、センサ光Ｌを受光して光電変換し、受光信号を出力する。この受光信号は、例えば主制御部１０６に送信される。なお、ブラケット１４を設けることなく、スライダ２１に光射出部３１を、スライダ２２に受光部３２を、それぞれ直接取り付けるようにしてもよい。
【００２２】
受光部３２としては、例えばフォトダイオードなどを用いることができる。光射出部３１及び受光部３２は、筐体１１をＸ方向に挟む位置に配置されている。また、図１（ｂ）に示すように、光射出部３１及び受光部３２は、センサ光Ｌが筐体１１のＹ方向の中央部を＋Ｘ方向に通過するように配置されている。
【００２３】
センサ光Ｌの光軸ＡＸ上に他の物体（例えば、収納容器５０の端部５０ａなど）が出現した場合、その物体によってセンサ光Ｌが遮光され、受光部３２においてセンサ光Ｌが検出されなくなる。したがって、主制御部１０６では、受光部３２でセンサ光Ｌが検出されている状態から検出されない状態に切り替わるのを検出することにより、光軸ＡＸ上に物体が出現したことが検出されるようになっている。
【００２４】
遮蔽板４０は、筐体１１の物品対向面１１ｄに設けられている。遮蔽板４０は、一方向に長手の板状部材を、短手方向に９０°程度折り曲げた形状を有している。遮蔽板４０は、突出部４０ａ及び固定部４０ｂを有している。突出部４０ａは折り曲げられた一方の片であり、固定部４０ｂは折り曲げられた他方の片である。突出部４０ａは、筐体１１の内部から−Ｚ方向に突出するように配置されている。筐体１１の底部には、遮蔽板４０の突出部４０ａを突出させるための開口部が設けられている。
【００２５】
このように突出部４０ａが筐体１１の外部に突出された状態において、固定部４０ｂは、筐体１１の底部に密着される。固定部４０ｂは、固定部材４１を介して筐体１１に固定されている。遮蔽板４０は、センサ光Ｌと同一波長の光を遮蔽又は減衰させる材料によって形成されている。
【００２６】
遮蔽板４０は、長手方向がセンサ光Ｌと交差（例、直交）するように配置されている。本実施形態では、遮蔽板４０はＹ方向に沿って配置されている。なお、遮蔽板４０は、筐体１１の内部において、例えば他の構造物や移動体等と干渉しない位置に配置されている。
【００２７】
また、遮蔽板４０は、図１（ｂ）に示すように、＋Ｚ方向視において、センサ光Ｌに交差する位置に配置されている。一方、遮蔽板４０の突出部４０ａは、図１（ａ）に示すように、センサ光Ｌの主成分Ｌ１を遮光しないように、センサ光Ｌの光軸ＡＸよりも＋Ｚ側に配置される。なお、遮蔽板４０は、把持部２０によって収納容器５０を把持したときに収納容器５０に当接しない位置に設けられる。例えば、遮蔽板４０は、収納容器５０の＋Ｚ側の端部５０ａを避けるように、物品対向面１１ｄのうちＸ方向の中央部に対して−Ｘ側にずれた位置に設けられている。
【００２８】
また、図１（ａ）に示すように、遮蔽板４０は、センサ光Ｌの拡散成分Ｌ２の光路を遮る位置に設けられている。このため、拡散成分Ｌ２は遮蔽板４０によって遮光される。このように、遮蔽板４０は、拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込んで受光部３２に到達するのを抑制している。
【００２９】
次に、図２（ａ）〜（ｃ）を参照して、上記のように構成されたチャッキング装置１００を用いて収納容器５０を把持する動作を説明する。図２（ａ）〜（ｃ）は、チャッキング装置１００の動作の一例を示す図である。なお、図２（ａ）〜（ｃ）では、天井走行車１０１、昇降台駆動部１０２、主制御部１０６等の一部の構成について図示を省略している。
【００３０】
クリーンルームのうちステーションなどの所定位置Ｆに載置された収納容器５０を持ち上げる場合、まず、主制御部１０６は、収納容器５０の＋Ｚ側に天井走行車１０１を配置させる。そして、図２（ａ）に示すように、昇降台駆動部１０２のベルト１０５を送り出してチャッキング装置１００を下降（−Ｚ方向に移動）させる。この動作により、チャッキング装置１００は次第に収納容器５０に接近していく。また、主制御部１０６は、チャッキング装置１００の光学式センサ３０を駆動させた状態で、この接近動作を行わせる。すなわち、光射出部３１からセンサ光Ｌを射出させて、受光部３２においてセンサ光Ｌを受光させた状態でチャッキング装置１００を下降させる。この場合、センサ光Ｌの光軸ＡＸ上にはセンサ光Ｌを遮光する物体が存在しないため、センサ光Ｌの主成分Ｌ１は受光部３２によって受光され、受光部３２から受光信号が出力され、主制御部１０６で受光信号が検出される。また、拡散成分Ｌ２については、遮蔽板４０によって遮蔽された状態となっている。
【００３１】
チャッキング装置１００を下降させることにより、図２（ｂ）に示すように、チャッキング装置１００が収納容器５０にさらに接近する。そして、センサ光Ｌの光軸ＡＸ上に収納容器５０の端部５０ａが出現すると、端部５０ａによってセンサ光Ｌの主成分Ｌ１が遮光される。このとき、受光部３２で主成分Ｌ１を受光しなくなるため、受光部３２からは受光信号が出力されなくなる。主制御部１０６は、受光信号が出力されなくなったことを検出すると、チャッキング装置１００の下降を停止させる。また、この場合においても拡散成分Ｌ２は遮蔽板４０によって遮蔽された状態となっている。この場合も、遮蔽板４０は、拡散成分Ｌ２が端部５０ａを＋Ｚ方向に回り込んで受光部３２に到達するのを抑制している。
【００３２】
チャッキング装置１００を停止させた後、主制御部１０６は、図２（ｃ）に示すように、スライダ２１を＋Ｘ方向に、スライダ２２を−Ｘ方向にそれぞれ移動させる。この動作により、収納容器５０の突出部５１、５２の下方（−Ｚ側）に爪部２３、２４がそれぞれ配置される。そして、主制御部１０６は、昇降台駆動部１０２によってベルト１０５を巻き取らせ、チャッキング装置１００を上昇させる。チャッキング装置１００の上昇により爪部２３、２４が上昇し、爪部２３、２４によって突出部５１、５２が持ち上げられる。これにより、チャッキング装置１００の把持部２０によって収納容器５０が把持される。
【００３３】
図３は、比較例に係るチャッキング装置４００の一例を示す図である。図３において、本実施形態と対応する構成については、説明を省略している。  
チャッキング装置４００は、物品４５０を把持するものであり、本体部４１０と、把持部４２０と、光学式センサ４３０とを備えている。なお、チャッキング装置４００には、本実施形態の遮蔽板に対応する構成は設けられていない。
【００３４】
筐体４１１に遮蔽板が設けられない場合、光射出部４３１から射出されるセンサ光ＬＣの主成分Ｌ３は＋Ｘ方向に進行して受光部４３２に到達し、受光部４３２で検出される。また、センサ光ＬＣの拡散成分Ｌ４は、本体部４１０の物品対向面４１１ｄによって反射されて受光部４３２に到達し、受光部４３２で検出される。
【００３５】
このチャッキング装置４００を物品４５０に接近させる場合、センサ光ＬＣの光軸ＡＸ２上に物品４５０の端部４５０ａが出現すると、センサ光ＬＣの主成分Ｌ３は端部４５０ａで遮光される。しかしながら、拡散成分Ｌ４については物品対向面４１１ｄによって反射されて受光部４３２に到達する。つまり、拡散成分Ｌ４は、端部４５０ａを回り込むように受光部４３２に到達し、受光部４３２において検出されてしまう。この場合、受光部４３２において受光信号が出力されるため、物品４５０の端部４５０ａは光学式センサ４３０によっては検出されないことになる。その結果、接近動作を適正に停止できず、例えば本体部４１０が物品４５０に近づきすぎたり、本体部４１０と物品４５０とが干渉したりするおそれがある。
【００３６】
これに対して、本実施形態では、この拡散成分Ｌ２の光路を遮る位置に遮蔽板４０が設けられているため、拡散成分Ｌ２は遮蔽板４０によって遮光される。このため、拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込んで受光部３２に到達するのを抑えることができる。
【００３７】
以上のように、本実施形態では、遮蔽板４０が設けられることにより、センサ光Ｌの拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込むのを抑制することができる。このため、回りこんだ拡散成分Ｌ２が光学式センサ３０で検出されてしまうのを抑制できる。これにより、収納容器５０の端部５０ａをより正確に検出することができるため、チャッキング装置１００の本体部１０が収納容器５０に接近しすぎたり、本体部１０が収納容器５０と干渉したりするのを抑制できる。
【００３８】
＜第２実施形態＞  
次に、第２実施形態を説明する。  
図４は、第２実施形態に係るチャッキング装置２００の一例を示す正面図である。  
図４に示すように、本実施形態では、チャッキング装置２００は、回り込み抑制部として、遮蔽板に代えて、フィルタ部２４０を備えている。フィルタ部２４０は、光射出部３１に設けられたフィルタ２４１と、受光部３２に設けられたフィルタ２４２とを有している。フィルタ２４１、２４２としては、例えば減光（ＮＤ）フィルタ、偏光（ＰＬ）フィルタ、赤外透過（ＩＲ）フィルタのうち少なくとも１種類が用いられる。
【００３９】
フィルタ２４１、２４２として、減光フィルタが用いられる場合、センサ光Ｌの拡散成分Ｌ２の光量を減少させることにより、受光部３２に到達する拡散成分Ｌ２を低減させることができる。また、赤外透過フィルタが用いられる場合、拡散成分Ｌ２のうち赤外成分以外の波長が吸収されるため、受光部３２に到達する拡散成分Ｌ２の光強度を低下させることができる。
【００４０】
また、フィルタ２４１、２４２として、偏光フィルタが用いられる場合、光射出部３１から射出されたセンサ光Ｌ（主成分Ｌ１、拡散成分Ｌ２を含む）の偏光がフィルタ２４１によって変換される。ここで、フィルタ２４１を通過したセンサ光Ｌのうち、拡散成分Ｌ２については、物品対向面１１ｄによって反射されることで偏光が変換されるため、フィルタ２４２に到達する場合に主成分Ｌ１と拡散成分Ｌ２とで偏光が異なっている。そのため、主成分Ｌ１を透過させ、拡散成分Ｌ２を遮光するようにフィルタ２４２を配置することで、拡散成分Ｌ２が受光部３２に到達するのを抑制することができる。
【００４１】
以上のように、本実施形態では、フィルタ部２４０が設けられることにより、センサ光Ｌの拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込むのを抑制することができる。このため、回りこんだ拡散成分Ｌ２が光学式センサ３０で検出されてしまうのを抑制できる。これにより、収納容器５０の端部５０ａをより正確に検出することができるため、チャッキング装置１００の本体部１０が収納容器５０に接近しすぎたり、本体部１０が収納容器５０と干渉したりするのを抑制できる。
【００４２】
＜第３実施形態＞  
次に、第３実施形態を説明する。  
図５は、第３実施形態に係るチャッキング装置３００の一例を示す正面図である。  
図５に示すように、本実施形態では、チャッキング装置３００は、回り込み抑制部として、遮蔽板やフィルタ部に代えて、反射抑制層３４０を備えている。反射抑制層３４０は、本体部１０の物品対向面１１ｄのほぼ全面に設けられている。なお、反射抑制層３４０が物品対向面１１ｄのうち一部に設けられた構成であってもよい。この場合、例えば物品対向面１１ｄのＸ方向の中央部またはその周辺部分に配置させることができる。
【００４３】
反射抑制層３４０としては、例えば不織布などを用いることができる。また、センサ光Ｌと同一の波長の光を吸収するものであれば、他の種類のシート等を用いてもよい。また、反射抑制層３４０として、物品対向面１１ｄに対して光反射を防止するような表面処理層を形成してもよい。
【００４４】
以上のように、本実施形態では、反射抑制層３４０が設けられることにより、センサ光Ｌの拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込むのを抑制することができる。このため、回りこんだ拡散成分Ｌ２が光学式センサ３０で検出されてしまうのを抑制できる。これにより、収納容器５０の端部５０ａをより正確に検出することができるため、チャッキング装置１００の本体部１０が収納容器５０に接近しすぎたり、本体部１０が収納容器５０と干渉したりするのを抑制できる。
【００４５】
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。  
例えば、上記した第１実施形態では、物品対向面１１ｄのＸ方向の中央部に対して−Ｘ方向にずれた位置に遮蔽板４０を配置した構成を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではない。
【００４６】
図６は、変形例に係るチャッキング装置１００Ａの一例を示す図である。  
図６に示すように、例えば物品対向面１１ｄのＸ方向の中央部に遮蔽板４０Ａを設けるようにしてもよい。なお、この場合には、把持部２０によって収納容器５０を把持したときに遮蔽板４０Ａが収納容器５０に当接しないように遮蔽板４０Ａの位置及び寸法を調整する必要がある。
【００４７】
また、例えば物品対向面１１ｄのＸ方向の中央部に対して＋Ｘ方向にずれた位置に遮蔽板４０Ｂを配置してもよい。この場合であっても、拡散成分Ｌ２の光路を遮る位置に遮蔽板４０Ｂが設けられることになる。このため、遮蔽板４０Ｂにより、拡散成分Ｌ２が光軸ＡＸに対して回り込んで受光部３２に到達するのを抑制することができる。
【００４８】
なお、図６においては、チャッキング装置１００Ａが遮蔽板４０Ａと遮蔽板４０Ｂとを有する構成として示されているが、これに限定されるものではなく、遮蔽板４０Ａ及び遮蔽板４０Ｂのうちいずれか一方のみが設けられた構成であってもよい。また、遮蔽板４０Ａ及び遮蔽板４０Ｂに加えて、上記第１実施形態の遮蔽板４０が設けられてもよい。また、遮蔽板４０、遮蔽板４０Ａ及び遮蔽板４０Ｂの間に、他の遮蔽板が設けられた構成であってもよい。
【００４９】
また、上記した第１実施形態では、遮蔽板４０を筐体１１の内部に配置し、突出部４０ａを筐体１１の外部に突出させる構成としたが、これに限定されるものではない。例えば、遮蔽板４０を筐体１１の物品対向面１１ｄに取り付ける構成としてもよい。また、筐体１１の底部の一部を−Ｚ側に切り起こして、遮蔽板４０としてもよい。なお、遮蔽部材は板状のものに限定されず、例えばブロック状のもの等でもよい。
【符号の説明】
【００５０】
本体部（チャッキング装置本体）…１０  物品対向面…１１ｄ  光学式センサ…３０  遮蔽板（回り込み抑制部）…４０  収納容器（物品）…５０  端部…５０ａ  １００…チャッキング装置  天井走行車…１０１  昇降駆動部…１０２  光軸…ＡＸ  センサ光…Ｌ
【図１】
2015131690.tif 000003
【図２】
2015131690.tif 000004
【図３】
2015131690.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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