(57)【要約】      （修正有）【課題】より細径で、色収差を良好に補正する。【解決手段】物体側から順に、第１群Ｇ１と第２群Ｇ２とから構成され、第１群が正の単レンズである第１レンズＬ１と、物体側に凸面を向けた正の単レンズである第２レンズＬ２と、物体側に平面を向けた凸レンズと負レンズとを接合した正の第３レンズＬ３とを備え、第２群が負レンズと両凸レンズを接合した第４レンズＬ４と、物体側に凹面を向けたレンズと物体側に凸面を向けたレンズとを接合した第５レンズＬ５と、負レンズ、正レンズ及び負レンズを接合した負の第６レンズＬ６と、正の複合レンズである第７レンズＬ７と、を備え、条件式（１）及び（２）を満足する対物光学系。０．５７＜ａｂｓ（Ｍ×ＦＬ１Ｇ／ＬＴＬ）＜０．６３・・・（１）２．１＜｜ＦＬ４／ＦＬ１Ｇ｜＜２．４・・・（２）但し、Ｍは対物光学系全体の倍率、ＬＴＬは物体面から像面までの距離、ＦＬ１Ｇは第１群の焦点距離である。【選択図】図１
2015022262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に、第１群と第２群とから構成され、
前記第１群が、物体側面から順に、
物体側が平面で像面側に凸面を向けた正の屈折力を有する単レンズである第１レンズと、
物体側に凸面を向け正の屈折力を有する単レンズである第２レンズと、
物体側に平面を向けた凸レンズと負の屈折力を有するレンズとを接合した接合レンズであり、正の屈折力を有する第３レンズと、を備え、
前記第２群が、物体側面から順に、
負の屈折力を有するレンズと両凸レンズを接合した接合レンズである第４レンズと、
物体側に凹面を向けたレンズと物体側に凸面を向けたレンズとを接合した接合レンズである第５レンズと、
負の屈折力を有するレンズ、正の屈折力を有するレンズ及び負の屈折力を有するレンズの３枚のレンズを接合した接合レンズであり、負の屈折力を有する第６レンズと、
正の屈折力を有する複合レンズである第７レンズと、を備え、
条件式（１）及び（２）を満足する対物光学系。
０．５７＜ａｂｓ（Ｍ×ＦＬ１Ｇ／ＬＴＬ）＜０．６３      ・・・（１）
２．１＜｜ＦＬ４／ＦＬ１Ｇ｜＜２．４      ・・・（２）
但し、Ｍは対物光学系全体の倍率、ＬＴＬは物体面から像面までの距離、ＦＬ１Ｇは第１群の焦点距離である。
【請求項２】
条件式（３）を満足する請求項１に記載の対物光学系。
３．３＜｜ｎｄＬ５１／ｒ１４｜×ＦＬＧ２＜４．９      ・・・（３）
但し、ｎｄＬ５１は、第５レンズの物体側に凹面を向けたレンズのガラスの屈折率、ｒ１４は第５レンズの最も物体側の面の曲率半径、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【請求項３】
条件式（４）を満足する請求項１又は請求項２記載の対物光学系。
１０．８＜｜ｎｄＬ６１／ｒ１７｜×ＦＬＧ２＜１２．４      ・・・（４）
但し、ｎｄＬ６１は、第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、最も物体側のレンズのｄ線に対する屈折率であり、ｒ１７は第６レンズの最も物体側面の面の曲率半径であり、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【請求項４】
条件式（５）を満足する請求項１から請求項３のいずれかに記載の対物光学系。
１４＜νｄＬ６１／ｎｄＬ６１−νｄＬ６２／ｎｄＬ６２＜６８      ・・・（５）
但し、νｄＬ６１は第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、物体側に近いレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６１は該レンズのｄ線に対する屈折率である。また、νｄＬ６２は第６レンズを構成する３枚のレンズの内、中間に位置するレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６２は該レンズのｄ線に対する屈折率である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対物光学系に関し、特に、細径且つ高開口数の対物光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、生体の内部を観察する場合に、顕微鏡では対物レンズの外径が大きいので、生体を大きく切り開いて観察する必要がある。しかし、生体を大きく切り開くと侵襲が高いので、生体に過大な負担がかかり、長時間の観察は不可能である。また、一般の内視鏡は外径が小さいので生体に対する侵襲は低いが、倍率が低いので生体組織や細胞内の分子の挙動を観察するには不十分である。さらに、拡大内視鏡では、倍率は高いものの、物体側の開口数（ＮＡ）が低いので分解能や明るさが不足する。
【０００３】
そこで、低侵襲でありながら所望の観察を行うことができる対物光学系として、例えば、特許文献１には、先端の外径が比較的小さく、開口数が大きい対物光学系が開示されている。この対物光学系によれば、生体に小さな穴をあけ、この穴からこの対物光学系を挿入することにより、生体を低侵襲で観察することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４６０８２５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の対物光学系は、第５レンズＬ５を通る光線高が高いため、レンズの有効径を大きくする必要があった。このため、対物光学系の外径がφ３．５ｍｍ以上となり十分に細径とはいえない。
ところで、上述したように生体を観察する際に用いられる対物光学系は、細径であるほど低侵襲となる。従って、開口数を維持しながらも、外径がφ３．０ｍｍ以下となるより細径の対物光学系が望まれている。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、より細径でありながら、収差が良好に補正された高開口数の対物光学系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は以下の手段を提供する。
本発明の一態様は、物体側から順に、第１群と第２群とから構成され、前記第１群が、物体側面から順に、物体側が平面で像面側に凸面を向けた正の屈折力を有する単レンズである第１レンズと、物体側に凸面を向け正の屈折力を有する単レンズである第２レンズと、物体側に平面を向けた凸レンズと負の屈折力を有するレンズとを接合した接合レンズであり、正の屈折力を有する第３レンズと、を備え、前記第２群が、物体側面から順に、負の屈折力を有するレンズと両凸レンズを接合した接合レンズである第４レンズと、物体側に凹面を向けたレンズと物体側に凸面を向けたレンズとを接合した接合レンズである第５レンズと、負の屈折力を有するレンズ、正の屈折力を有するレンズ及び負の屈折力を有するレンズの３枚のレンズを接合した接合レンズであり、負の屈折力を有する第６レンズと、正の屈折力を有する複合レンズである第７レンズと、を備え、条件式（１）及び（２）を満足する対物光学系を提供する。
０．５７＜ａｂｓ（Ｍ×ＦＬ１Ｇ／ＬＴＬ）＜０．６３      ・・・（１）
２．１＜｜ＦＬ４／ＦＬ１Ｇ｜＜２．４      ・・・（２）
但し、Ｍは対物光学系全体の倍率、ＬＴＬは物体面から像面までの距離、ＦＬ１Ｇは第１群の焦点距離である。
【０００８】
（１）式の上限値は第１群の焦点距離が長くなることにより光線高が高くなることを制限するための値であり、（１）式の下限値は球面収差を良好に補正するための値である。また、（２）式の上限値は第４レンズを短くして第５レンズの光線高を小さくするための値であり、（２）式の下限値は球面収差を良好に補正するための値である。
したがって、本態様によれば、より細径でありながら、収差を良好に補正して高開口数とすることができる。
【０００９】
上記態様において、条件式（３）を満足することが好ましい。
３．３＜｜ｎｄＬ５１／ｒ１４｜×ＦＬＧ２＜４．９      ・・・（３）
但し、ｎｄＬ５１は、第５レンズの物体側に凹面を向けたレンズのガラスの屈折率、ｒ１４は第５レンズの最も物体側の面の曲率半径、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【００１０】
（３）式は、第５レンズの最も物体側の面と第６レンズの最も物体側面の面とで球面収差を補正するために、第５レンズに対する条件式であり、（３）式の上限値を超えると収差補正が過剰となり、下限値を下回ると球面収差の補正を行うことができなくなる。
【００１１】
また、上記態様において条件式（４）を満足することが好ましい。
１０．８＜｜ｎｄＬ６１／ｒ１７｜×ＦＬＧ２＜１２．４      ・・・（４）
但し、ｎｄＬ６１は、第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、最も物体側のレンズのｄ線に対する屈折率であり、ｒ１７は第６レンズの最も物体側面の面の曲率半径であり、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【００１２】
（４）式は、第５レンズの最も物体側面の面と第６レンズの最も物体側面の面とで球面収差を補正するために、第６レンズに対する条件式であり、（４）式の上限値を超えると収差補正が過剰となり、下限値を下回ると球面収差の補正を行うことができなくなる。
【００１３】
また、上記態様において条件式（５）を満足することが好ましい。
１４＜νｄＬ６１／ｎｄＬ６１−νｄＬ６２／ｎｄＬ６２＜６８      ・・・（５）
但し、νｄＬ６１は第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、物体側に近いレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６１は該レンズのｄ線に対する屈折率である。また、νｄＬ６２は第６レンズを構成する３枚のレンズの内、中間に位置するレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６２は該レンズのｄ線に対する屈折率である。
【００１４】
（５）式は、第６レンズの物体側の負レンズと正レンズとの接合面において色収差を補正するための条件式である。すなわち、第６レンズの中間に位置する正レンズの屈折率及び分散率を適切な値とすることで色収差を補正することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、より細径でありながら、収差が良好に補正された高開口数の対物光学系を提供することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る対物光学系の全体構成を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る対物光学系の全体構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施例１に係る対物光学系の収差図である。
【図４】本発明の実施例１に係る対物光学系の収差図である。
【図５】本発明の実施例２に係る対物光学系の収差図である。
【図６】本発明の実施例２に係る対物光学系の収差図である。
【図７】本発明の実施例３に係る対物光学系の収差図である。
【図８】本発明の実施例３に係る対物光学系の収差図である。
【図９】本発明の実施例４に係る対物光学系の収差図である。
【図１０】本発明の実施例４に係る対物光学系の収差図である。
【図１１】本発明の実施例５に係る対物光学系の収差図である。
【図１２】本発明の実施例５に係る対物光学系の収差図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明の一実施形態に係る対物光学系について図面を参照して説明する。
図１は、対物光学系の全体構成を示す断面図を示している。図１に示すように、対物光学系は、物体側から順に、平行平板Ｆ１，Ｆ２、第１群Ｇ１及び第２群Ｇ２を備えている。
平行平板Ｆ１，Ｆ２は、対物光学系の作動距離（ＷＤ）を調整するものである。
【００１８】
第１群Ｇ１は、物体からの光を平行光にするものであり、物体側面から順に、第１レンズＬ１、第２レンズＬ２及び第３レンズＬ３を備えている。
第１レンズＬ１は、物体側が平面で像面側に凸面を向けた正の屈折力を有する単レンズである。第２レンズＬ２は、物体側に凸面を向け正の屈折力を有する単レンズである。第３レンズＬ３は、物体側に平面を向けた凸レンズＬ３１と負の屈折力を有するレンズＬ３２とを接合した接合レンズであり、正の屈折力を有する。
【００１９】
前記第２群は、第１群Ｇ１からの平行光を集光して収差を補正するものであり、物体側面から順に、第４レンズＬ４、第５レンズＬ５、第６レンズＬ６及び第７レンズＬ７を備えている。
第４レンズＬ４は、負の屈折力を有するレンズＬ４１と両凸レンズＬ４２を接合した接合レンズである。第５レンズＬ５は、物体側に凹面を向けたレンズＬ５１と物体側に凸面を向けたレンズＬ５２とを接合した接合レンズである。第６レンズＬ６は、負の屈折力を有するレンズＬ６１、正の屈折力を有するレンズＬ６２及び負の屈折力を有するレンズＬ６３の３枚のレンズを接合した接合レンズであり、負の屈折力を有する。第７レンズＬ７は、正のレンズＬ７１と正のレンズＬ７２とを備え、正の屈折力を有する複合レンズである。
【００２０】
また、対物光学系は、以下の条件式を満足するように構成されている。
０．５７＜ａｂｓ（Ｍ×ＦＬ１Ｇ／ＬＴＬ）＜０．６３      ・・・（１）
２．１＜｜ＦＬ４／ＦＬ１Ｇ｜＜２．４      ・・・（２）
但し、Ｍは対物光学系全体の倍率、ＬＴＬは物体面から像面までの距離、ＦＬ１Ｇは第１群Ｇ１の焦点距離である。
【００２１】
第５レンズＬ５を通る光線の光線高を低くすることで対物光学系の外径を細径とすることができる。第５レンズＬ５における光線高を低くするためには、第４レンズＬ４の正の屈折力を強くする必要がある。一方、第４レンズの正の屈折力を強くすると、第４レンズの物体側面及び像側面での球面収差が大きくなる。このため、第５レンズにおける光線高を低くするために、第４レンズの正の屈折力を強くして、第５レンズの物体側の凹面と第６レンズの物体側の凹面とにおいて球面収差を補正し、第５レンズの負の屈折力を強くすることが必要となる。
【００２２】
（１）式の上限値は第１群の焦点距離が長くなることにより光線高が高くなることを制限するための値であり、（１）式の下限値は球面収差を良好に補正するための値である。また、（２）式の上限値は第４レンズを短くして第５レンズの光線高を小さくするための値であり、（２）式の下限値は球面収差を良好に補正するための値である。
したがって、本態様によれば、より細径でありながら、収差を良好に補正して高開口数とすることができる。
【００２３】
さらに、対物光学系は、以下の（３）式を満足するように構成されている。
３．３＜｜ｎｄＬ５１／ｒ１４｜×ＦＬＧ２＜４．９      ・・・（３）
但し、ｎｄＬ５１は、第５レンズの物体側に凹面を向けたレンズのガラスの屈折率、ｒ１４は第５レンズの最も物体側の面の曲率半径、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【００２４】
（３）式は、第５レンズの最も物体側の面と第６レンズの最も物体側面の面とで球面収差を補正するために、第５レンズに対する条件式であり、（３）式の上限値を超えると収差補正が過剰となり、下限値を下回ると球面収差の補正を行うことができなくなる。
【００２５】
対物光学系は、条件式（４）を満足するように構成されている。
１０．８＜｜ｎｄＬ６１／ｒ１７｜×ＦＬＧ２＜１２．４      ・・・（４）
但し、ｎｄＬ６１は、第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、最も物体側のレンズのｄ線に対する屈折率であり、ｒ１７は第６レンズの最も物体側面の曲率半径であり、ＦＬＧ２は第２群の焦点距離である。
【００２６】
（４）式は、第５レンズの最も物体側面の面と第６レンズの最も物体側面の面とで球面収差を補正するために、第６レンズに対する条件式であり、（４）式の上限値を超えると収差補正が過剰となり、下限値を下回ると球面収差の補正を行うことができなくなる。
【００２７】
対物光学系は、条件式（５）を満足するように構成されている。
１４＜νｄＬ６１／ｎｄＬ６１−νｄＬ６２／ｎｄＬ６２＜６８      ・・・（５）
但し、νｄＬ６１は第６レンズの負の屈折力を有するレンズのうち、物体側に近いレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６１は該レンズのｄ線に対する屈折率である。また、νｄＬ６２は第６レンズを構成する３枚のレンズの内、中間に位置するレンズのｄ線に対するアッベ数であり、ｎｄＬ６２は該レンズのｄ線に対する屈折率である。
【００２８】
（５）式は、第６レンズの物体側の負レンズと正レンズとの接合面において色収差を補正するための条件式である。すなわち、第６レンズの中間に位置する正レンズの屈折率及び分散率を適切な値とすることで色収差を補正することができる。
【００２９】
このように、本実施形態によれば、より細径でありながら、収差を良好に補正し高開口数の対物光学系とすることができる。
【実施例】
【００３０】
続いて、上述した実施形態に係る対物光学系の実施例１〜実施例５について、図３〜図１２を参照して説明する。各実施例に記載のレンズデータにおいて、ｒは曲率半径（単位ｍｍ）、ｄは面間隔（ｍｍ）、Ｎｄはｄ線に対する屈折率、νｄはｄ線に対するアッベ数を示している。なお、実施例１乃至実施例５にかかる対物光学系は、何れも図１及び図２に示すレンズ構成となっている。
【００３１】
（実施例１）
本発明の実施例１に係る対物光学系の収差図を図３及び図４に示すと共に、実施例１に係る対物光学系のレンズデータを以下に示す。
【００３２】
レンズデータ
面番号        ｒ          ｄ              Ｎｄ                νｄ
物体面        ∞        ０．１０８      １．３５７８４      ５７．７１
１          ∞        ０．５７０      １．４５８４６      ６７．８２
２          ∞        ０．７７０      １．８８３００      ４０．７６
３          ∞        ０．０３０      １．０００００      
４          ∞        ０．９００      １．８８３００      ４０．７６
５    −１．７０５    ０．０５０      １．０００００
６      ５．８０５    １．０５０      １．４３８７５      ９４．９３
７    −３．４５８    ０．３００      １．０００００
８          ∞        １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
９    −１．５０２    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１０    −３．７１８    ０．４００      １．０００００
１１      ２．３８０    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１２      １．５０２    １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
１３    −２．２９７    ０．３０８      １．０００００
１４    −４．３０２    ０．４００      １．８４６６６      ２３．８８
１５      ２．１９６    １．１００      １．７５５００      ５２．３２
１６          ∞        １．１８５      １．０００００
１７    −１．３４２    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
１８    １０．１９１    １．１００      １．８４６６６      ２３．８８
１９    −２．１６４    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
２０    −３．５１９    ２．６００      １．０００００
２１    １６．７５６    １．０５０      １．５２２４９      ５９．８４
２２          ∞        ０．１００      １．０００００
２３      ５．００７    １．０００      １．７５５００      ５２．３２
２４      ７．０６６    ０．０００      １．０００００
２５          ∞        １．８７０      １．０００００
【００３３】
（実施例２）
本発明の実施例２に係る対物光学系の収差図を図５及び図６に示すと共に、実施例２に係る対物光学系のレンズデータを以下に示す。
【００３４】
レンズデータ
面番号        ｒ          ｄ              Ｎｄ                Ｖｄ
物体面        ∞        ０．０７４      １．３５７８４      ５７．７１
１          ∞        ０．５７０      １．４５８４６      ６７．８２
２          ∞        ０．７７０      １．８８３００      ４０．７６
３          ∞        ０．０３０      １．０００００      
４          ∞        ０．９００      １．８８３００      ４０．７６
５    −１．６８０    ０．０５０      １．０００００      
６      ７．１０７    １．０５０      １．４３８７５      ９４．９３
７    −３．２５３    ０．３００      １．０００００      
８          ∞        １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
９    −１．５０２    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１０    −３．８２２    ０．４００      １．０００００      
１１      ２．４３６    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１２      １．５０２    １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
１３    −２．２９７    ０．３１０      １．０００００      
１４    −５．０８０    ０．４００      １．８４６６６      ２３．８８
１５      ２．３４６    １．１００      １．７５５００      ５２．３２
１６          ∞        １．１８１      １．０００００      
１７    −１．３７２    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
１８      ９．０１４    １．１００      １．８４６６６      ２３．８８
１９    −２．１３３    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
２０    −３．４８０    ２．６００      １．０００００      
２１    １７．５３４    １．０５０      １．５２２４９      ５９．８４
２２          ∞        ０．１００      １．０００００      
２３      ５．０２７    １．０００      １．７５５００      ５２．３２
２４      ６．９６２    ０．０００      １．０００００      
２５          ∞        １．８７０      １．０００００
【００３５】
（実施例３）
本発明の実施例３に係る対物光学系の収差図を図７及び図８に示すと共に、実施例３に係る対物光学系のレンズデータを以下に示す。
【００３６】
レンズデータ
面番号        ｒ          ｄ              Ｎｄ                Ｖｄ
物体面        ∞        ０．０７６      １．３５７８４      ５７．７１
１          ∞        ０．５７０      １．４５８４６      ６７．８２
２          ∞        ０．７７０      １．８８３００      ４０．７６
３          ∞        ０．０３０      １．０００００
４          ∞        ０．９００      １．８８３００      ４０．７６
５    −１．７２３    ０．０５０      １．００００
６      ５．６１８    １．０５０      １．４３８７５      ９４．９３
７    −３．２７３    ０．３００      １．０００００
８          ∞        １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
９    −１．５０２    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１０    −３．４３４    ０．４００      １．０００００
１１      ２．３６８    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１２      １．５０２    １．４５０      １．４３８７５      ９４．９３
１３    −２．２９７    ０．２９９      １．０００００
１４    −３．７４５    ０．４００      １．８４６６６      ２３．８８
１５      ２．２８０    １．１００      １．７５５００      ５２．３２
１６          ∞        １．１３６      １．０００００
１７    −１．３０５    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
１８      ８．５１６    １．１００      １．８４６６６      ２３．８８
１９    −２．０９８    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
２０    −３．４４４    ２．６００      １．０００００
２１    １５．０２８    １．０５０      １．５２２４９      ５９．８４
２２          ∞        ０．１００      １．０００００
２３      ４．８７６    １．０００      １．７５５００      ５２．３２
２４      ７．２１８    ０．０００      １．０００００
２５          ∞        １．８７０      １．０００００
【００３７】
（実施例４）
本発明の実施例４に係る対物光学系の収差図を図９及び図１０に示すと共に、実施例４に係る対物光学系のレンズデータを以下に示す。
【００３８】
レンズデータ
面番号        ｒ          ｄ              Ｎｄ                Ｖｄ
物体面        ∞        ０．０９９      １．３５７８４      ５７．７１
１          ∞        ０．４６０      １．４５８４６      ６７．８２
２          ∞        ０．９０２      １．８８３００      ４０．７６
３          ∞        ０．０３０      １．０００００
４          ∞        ０．９００      １．８８３００      ４０．７６
５    −１．７３１    ０．０５０      １．０００００
６      ７．１０５    １．０５０      １．４３８７５      ９４．９３
７    −２．７５４    ０．３００      １．０００００
８          ∞        １．４３３      １．４３８７５      ９４．９３
９    −１．５０２    ０．３５４      １．７５５００      ５２．３２
１０    −４．３１０    ０．３８５      １．０００００
１１      ２．４０５    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１２      １．５０２    １．４１７      １．４３８７５      ９４．９３
１３    −２．２３７    ０．３０１      １．０００００
１４    −４．６８４    ０．４００      １．８４６６６      ２３．８８
１５      ２．０３３    １．０８４      １．７５５００      ５２．３２
１６          ∞        １．１９０      １．０００００
１７    −１．３４６    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
１８    １０．５９６    １．０９７      １．８４６６６      ２３．８８
１９    −２．１３６    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
２０    −３．４３９    ２．５９３      １．０００００
２１    １５．７７８    １．０３０      １．５２２４９      ５９．８４
２２          ∞        ０．１００      １．０００００
２３      ５．００３    ０．９７８      １．７５５００      ５２．３２
２４      ７．０８３    ０．０００      １．０００００
２５          ∞        ３．０００      １．０００００
【００３９】
（実施例５）
本発明の実施例５に係る対物光学系の収差図を図１１及び図１２に示すと共に、実施例５に係る対物光学系のレンズデータを以下に示す。
【００４０】
レンズデータ
面番号        ｒ          ｄ              Ｎｄ                Ｖｄ
物体面        ∞        ０．１０４      １．３５７８４      ５７．７１
１          ∞        ０．７００      １．４５８４６      ６７．８２
２          ∞        ０．７４０      １．８８３００      ４０．７６
３          ∞        ０．０３０      １．０００００
４          ∞        ０．９００      １．８８３００      ４０．７６
５    −１．７７７    ０．０５０      １．０００００
６      ３．８５３    １．０５０      １．４３８７５      ９４．９３
７    −４．６２３    ０．３００      １．０００００
８          ∞        １．３５０      １．４３８７５      ９４．９３
９    −１．５０２    ０．３００      １．７５５００      ５２．３２
１０    −４．０２１    ０．４００      １．０００００
１１      ２．２５６    ０．４００      １．７５５００      ５２．３２
１２      １．５０２    １．３００      １．４３８７５      ９４．９３
１３    −２．２９７    ０．２００      １．０００００
１４    −３．９３７    ０．４００      １．８４６６６      ２３．８８
１５      ２．１６７    １．０３０      １．７５５００      ５２．３２
１６          ∞        １．０６０      １．０００００
１７    −１．２１８    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
１８    ２７．６０９    １．１００      １．８４６６６      ２３．８８
１９    −２．０８５    ０．４００      １．６１３４０      ４４．２７
２０    −３．２１９    ２．４８０      １．０００００
２１    １１．００３    １．１１０      １．５２２４９      ５９．８４
２２          ∞        ０．１００      １．０００００
２３      ５．０６０    １．３４０      １．７５５００      ５２．３２
２４      ６．８６６    ０．０００      １．０００００
２５          ∞        ３．０００      １．０００００
【００４１】
なお、上記した実施例１〜実施例５の構成における各種データを表１に、上記（１）〜（５）式に係る値を表２に示す。
【００４２】
【表１】
2015022262.tif 000003
【００４３】
【表２】
2015022262.tif 000004
【符号の説明】
【００４４】
Ｇ１  第１群
Ｇ２  第２群
Ｌ１  第１レンズ
Ｌ２  第２レンズ
Ｌ３  第３レンズ
Ｌ４  第４レンズ
Ｌ５  第５レンズ
Ｌ６  第６レンズ
Ｌ７  第７レンズ
【図１】
2015022262.tif 000005
【図２】
2015022262.tif 000006
【図３】
2015022262.tif 000007
【図４】
2015022262.tif 000008
【図５】
2015022262.tif 000009
【図６】
2015022262.tif 000010
【図７】
2015022262.tif 000011
【図８】
2015022262.tif 000012
【図９】
2015022262.tif 000013
【図１０】
2015022262.tif 000014
【図１１】
2015022262.tif 000015
【図１２】
2015022262.tif 000016