(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電振動片をベースの適切な位置に固定でき、振動特性の悪化を回避することが可能な圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。【解決手段】水晶振動子１００は、振動部１５１と、平面領域１５７が形成された支持突起１５２ａ及び平面領域１５７から隆起した挿入突起１５３ａを有する基部１５６と、を備える水晶振動片１５０と、挿入突起１５３ａが挿入される窪み１４１ａを有し、平面領域１５７の少なくとも一部が窪み１４１ａの周辺の平面状の領域に対向するベース１４０と、窪み１４１ａに塗布されて水晶振動片１５０を固定する導電性接着剤１７１と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部と、
前記振動部に接続し、前記振動部と一体に形成された基部と、
前記基部から隆起し、先端に第１の平面領域が形成された突起である第１の支持突起と、
前記第１の平面領域から隆起した突起である第１の挿入突起と、
前記振動部に形成された励振電極と、
前記励振電極から、少なくとも前記第１の支持突起まで伸びた引出電極と、を有することを特徴とする圧電振動片。
【請求項２】
前記基部における前記第１の支持突起と反対側の領域に、前記基部から隆起し、先端に第２の平面領域が形成された突起である第２の支持突起と、
前記第２の平面領域から隆起した突起である第２の挿入突起と、をさらに有し、
前記引出電極は、少なくとも第２の支持突起まで伸びた、請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記基部から前記第１の支持突起と同じ方向に隆起し、表面が露出した突起である第３の支持突起をさらに有する、請求項１又は請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
請求項１に記載の圧電振動片と、
前記第１の平面領域の少なくとも一部が対向する平面状の振動片搭載領域と、前記振動片搭載領域に形成されて前記第１の挿入突起が挿入される第１の窪みと、を有するベースと、
前記第１の窪みに塗布されて前記第１の挿入突起と接し、前記圧電振動片を前記ベースに固定する導電性接着剤と、を有することを特徴とする圧電デバイス。
【請求項５】
前記導電性接着剤は、前記第１の支持突起の側面まで伸びた請求項４に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記振動片搭載領域には、前記第１の窪みにつながった第１の溝が伸びる請求項４又は請求項５に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記第１の溝の幅は、前記第１の挿入突起における前記第１の溝の幅方向の大きさより小さい請求項６に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記第１の溝の幅は、前記第１の窪みの幅と等しい請求項６に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
前記第１の溝と交差し、前記第１の溝の幅と等しい幅を持つ第２の溝をさらに有する請求項８に記載の圧電デバイス。
【請求項１０】
請求項１に記載の圧電振動片として、請求項３に記載の圧電振動片を用い、前記ベースには、前記第３の支持突起が挿入された第２の窪みが形成された請求項４ないし請求項９のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動片及び圧電デバイスに関する。特に圧電振動片を適切な位置でベースに搭載できる圧電振動片及び圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパーソナルコンピュータなどの様々な電子機器には、主に周波数の選択や制御のために圧電デバイスが広く使われている。圧電デバイスは機能によって圧電振動子、圧電発振器、ＳＡＷデバイスや光学デバイス等に分類できる。そして、圧電素子に水晶を用いた水晶振動子や水晶発振器等が広く知られており、一般的に使われている。
【０００３】
ここで、水晶振動子として、特許文献１では次のようなものが開示されている。まず、凹部空間を有するベースがある。凹部空間にはラーメモード振動をする水晶振動片が収容される。そして、凹部を覆うようにリッドがベースに接合されて、水晶振動片が密閉される。当該水晶振動片は矩形であり、一方の主面の４角部に突起が形成される。当該突起と、凹部の底面にある電極（素子搭載用パッド）とが、導電性接着剤で接合されることで、水晶振動片がベースに固定される。
【０００４】
また、他の水晶振動子として、特許文献２では次のようなものが開示されている。まず、前述の特許文献１と同様に、凹部空間を有するベースがあり、凹部空間に水晶振動片が収容され、凹部を覆うようにリッドがベースに接合される。凹部の底面には樹脂でできた一対の突起が形成される。そして、水晶振動片には突出部が形成されており、一対の突起が当該突出部を挟持することで、水晶振動片がベースに固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２９４５０６号公報
【特許文献２】特開２０１１−１４６８３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の水晶振動子は、水晶振動片に形成された突起が導電性接着剤で素子搭載用パッドに接合される。したがって、水晶振動片を素子搭載用パッドに載せるときに位置が適切に定まらず、例えば水晶振動片がベースの側面に当たって、水晶振動子が適切な振動特性を発揮できないおそれがある。
【０００７】
また、特許文献２の水晶振動子は、樹脂でできた一対の突起の高さや、水晶振動片の突出部の高さによっては、水晶振動片の突出部を一対の突起に挿入する際に、突起の先端が水晶振動片の突出部以外の領域に当たって適切な振動特性を発揮できないおそれがある。
【０００８】
以上のような事情に鑑みて、本発明は、圧電振動片をベースの適切な位置に固定でき、振動特性の悪化を回避することが可能な圧電振動片及び圧電デバイスの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１観点の圧電振動片は、
振動部と、
前記振動部に接続し、前記振動部と一体に形成された基部と、
前記基部から隆起し、先端に第１の平面領域が形成された突起である第１の支持突起と、
前記第１の平面領域から隆起した突起である第１の挿入突起と、
前記振動部に形成された励振電極と、
前記励振電極から、少なくとも前記第１の支持突起まで伸びた引出電極と、を有することを特徴とする。
【００１０】
第２観点の圧電振動片は、第１観点の圧電振動片において、
前記基部における前記第１の支持突起と反対側の領域に、前記基部から隆起し、先端に第２の平面領域が形成された突起である第２の支持突起と、
前記第２の平面領域から隆起した突起である第２の挿入突起と、をさらに有し、
前記引出電極は、少なくとも第２の支持突起まで伸びる。
【００１１】
第３観点の圧電振動片は、第１観点又は第２観点の圧電振動片において、
前記基部から前記第１の支持突起と同じ方向に隆起し、表面が露出した突起である第３の支持突起をさらに有する。
【００１２】
第１観点の圧電デバイスは、
第１観点の圧電振動片と、
前記第１の平面領域の少なくとも一部が対向する平面状の振動片搭載領域と、前記振動片搭載領域に形成されて前記第１の挿入突起が挿入される第１の窪みと、を有するベースと、
前記第１の窪みに塗布されて前記第１の挿入突起と接し、前記圧電振動片を前記ベースに固定する導電性接着剤と、を有することを特徴とする。
【００１３】
第２観点の圧電デバイスは、第１観点の圧電デバイスにおいて、
前記導電性接着剤は、前記第１の支持突起の側面まで伸びる。
【００１４】
第３観点の圧電デバイスは、第１観点又は第２観点の圧電デバイスにおいて、
前記振動片搭載領域には、前記第１の窪みにつながった第１の溝が伸びる。
【００１５】
第４観点の圧電デバイスは、第３観点の圧電デバイスにおいて、
前記第１の溝の幅は、前記第１の挿入突起における前記第１の溝の幅方向の大きさより小さい。
【００１６】
第５観点の圧電デバイスは、第３観点の圧電デバイスにおいて、
前記第１の溝の幅は、前記第１の窪みの幅と等しい。
【００１７】
第６観点の圧電デバイスは、第５観点の圧電デバイスにおいて、
前記第１の溝と交差し、前記第１の溝の幅と等しい幅を持つ第２の溝をさらに有する。
【００１８】
第７観点の圧電デバイスは、第１観点ないし第６観点の圧電デバイスにおいて、
第１観点の圧電振動片として、第３観点の圧電振動片に記載の圧電振動片を用い、前記ベースには、前記第３の支持突起が挿入された第２の窪みが形成される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の圧電デバイスによれば、圧電振動片をベースの適切な位置に固定でき、振動特性の悪化を回避することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】水晶振動子１００の断面図である。
【図２】ベース１４０の平面図である。
【図３】水晶振動片１５０の斜視図である。
【図４】水晶振動片２５０の斜視図である。
【図５】（ａ）はベース３４０の平面図である。（ｂ）はベース４４０の平面図である。
【図６】（ａ）はベース５４０の平面図である。（ｂ）はベース６４０の平面図である。
【図７】ベース７４０の平面図である。
【図８】水晶振動子８００の断面図である。
【図９】ベース８４０の平面図である。
【図１０】（ａ）は水晶振動片８５０の斜視図である。（ｂ）は水晶振動片８５０の平面図である。
【図１１】水晶振動子９００の断面図である。
【図１２】ベース９４０の平面図である。
【図１３】（ａ）は水晶振動片９５０の斜視図である。（ｂ）は水晶振動片９５０の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
＜第一実施形態＞
〔水晶振動子１００の全体構成〕
本発明の第一実施形態である水晶振動子１００について、はじめに図１から図３を用いて説明する。図１は水晶振動子１００の断面図である。図２はベース１４０の平面図である。図３は水晶振動片１５０の斜視図である。なお、図１のベース１４０は図２のＡ１−Ａ１線についての断面図である。また、図１の水晶振動片１５０は図３のＢ１−Ｂ１線についての断面図である。
【００２２】
水晶振動子１００は直方体状の外形をしており、図１に示されるように、凹部のあるベース１４０にリッド１１０を接合した構成になっている。そして、ベース１４０の凹部に水晶振動片１５０が収容される。以降の説明では、図１にある通り、ベース１４０からリッド１１０に向かう方向をＺ方向とする。また、Ｚ方向に垂直な方向であり、水晶振動子１００の長辺が伸びる方向をＹ方向とする。そして、Ｚ方向及びＹ方向に垂直な方向をＸ方向とする。なお、Ｚ方向について、ベース１４０を基準にしたときリッド１１０の方向を＋（プラス）とし、この反対方向を−（マイナス）とする。
【００２３】
ベース１４０は、例えばセラミックからなり、矩形であり平板状の底面部１２０と、底面部１２０に積層された壁部１３０とを備える。底面部１２０は、−Ｚ側に配置される第１底面部１２１と、第１底面部１２１の＋Ｚ側に積層される第２底面部１２２とからなる。また、壁部１３０は、底面部１２０の＋Ｚ側の主面の外周部を周回するように形成される。そして、底面部１２０と壁部１３０とで囲まれる領域がベース１４０の凹部となる。なお、図２に示されるように、ベース１４０を＋Ｚ側から見た場合の４つの角部には切欠き１４２ａ〜ｄが形成される。
【００２４】
ベース１４０の凹部の底面となる底面部１２０の＋Ｚ側の面には、図１及び図２に示されるように、２つの窪み１４１ａ、ｂが形成される。窪み１４１ａは底面部１２０の−Ｙ側であって＋Ｘ側に形成され、窪み１４１ｂは底面部１２０の−Ｙ側であって−Ｘ側に形成される。窪み１４１ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、窪み１４１ａ、ｂの側面は、第２底面部１２２に設けた当該貫通孔の側面であり、窪み１４１ａ、ｂの底面は、当該貫通孔によって露出した第１底面部１２１の＋Ｚ側の面である。また、窪み１４１ａ、ｂは、図１及び図２に示される通り、円柱形状であるが、例えば、四角柱等の角柱形状でもよく、また、半球形状でもよい。
【００２５】
窪み１４１ａ、ｂの表面には接続電極１６１ａ、ｂが形成される。接続電極１６１ａ、ｂは窪み１４１ａ、ｂの内側面及び底面に形成される。そして、接続電極１６１ａ、ｂは、図２に示されるように、窪み１４１ａ、ｂの周囲まで伸びており、ベース１４０の＋Ｚ側から見て矩形になっている。ただし、矩形以外の形状、例えば楕円又は多角形でもよい。
【００２６】
接続電極１６１ａ、ｂは、ベース１４０の外底面となる底面部１２０の−Ｙ側の面に形成された実装端子１６０ａ、ｂに導通する。具体的には、接続電極１６１ａは、ベース１４０の＋Ｘ側であって−Ｙ側の切欠き１４２ａの側面に形成された図示されない電極を経由して、ベース１４０の外底面における−Ｙ側に形成された実装端子１６０ａに導通する。また、接続電極１６１ｂは、図２に示される、底面部１２０の＋Ｚ側の面に形成された導電路１６２に導通する。そして、導電路１６２は、ベース１４０の−Ｘ側であって＋Ｙ側の切欠き１４２ｃの側面に形成された図示されない電極を経由して、ベース１４０の外底面における＋Ｙ側に形成された実装端子１６０ｂに導通する。
【００２７】
そして、ベース１２０の凹部には、圧電振動片である水晶振動片１５０が収容される。ここで、一般に水晶は単結晶水晶からの切断角度によって振動特性が異なることが知られており、種々の切断角度の水晶が提案されている。水晶振動片１５０では例えばＡＴカット型の水晶を用いる。ＡＴカット型の水晶は、水晶振動子や水晶発振器等が常温付近で使用されるにあたって良好な周波数特性が得られる等の利点があり、水晶の３つの結晶軸である電気軸、機械軸及び光学軸のうち、光学軸に対して電気軸周りに３５°１５′だけ傾いた角度で切り出された水晶である。
【００２８】
水晶振動片１５０は、図３に示されるように、平板状であり、＋Ｚ側から見ると矩形である。水晶振動片１５０のうち、後述する励振電極１５４ａ、ｂが形成される領域を振動部１５１と呼ぶ。そして、振動部１５１の−Ｙ側の領域を基部１５６と呼ぶ。なお、振動部１５１と基部１５６とは、水晶で一体的に形成される。
【００２９】
基部１５６の−Ｚ側の面には一対の突起である支持突起１５２ａ、ｂが形成される。支持突起１５２ａは、基部１５６の＋Ｘ側であって−Ｙ側の角部に設けられる。支持突起１５２ｂは、基部１５６の−Ｘ側であって−Ｙ側の角部に設けられる。そして、支持突起１５２ａ、ｂの形状は−Ｚ側から見たとき矩形である。なお、例えば円、楕円又は多角形など、矩形以外の形状でもよい。
【００３０】
支持突起１５２ａ、ｂには、図１に示されるように、先端に平面領域１５７が設けられる。平面領域１５７からは、さらに突起が隆起する。当該突起を挿入突起１５３ａ、ｂと呼ぶ。挿入突起１５３ａ、ｂの形状は、−Ｚ側から見たとき矩形である。なお、例えば円、楕円又は多角形など、矩形以外の形状でもよい。そして、−Ｚ側から見たとき、挿入突起１５３ａ、ｂの大きさは支持突起１５２ａ、ｂより小さい。したがって、−Ｚ側から見たとき、平面領域１５７が表れる。
【００３１】
水晶振動片１５０の＋Ｚ側の面には、当該＋Ｚ側の面の中心を含む領域に励振電極１５４ｂが形成される。励振電極１５４ｂからは引出電極１５５ｂが伸びており、引出電極１５５ｂは、支持突起１５２ｂの側面、平面領域１５７及び挿入突起１５３ｂの表面を覆う。また、水晶振動片１５０の−Ｚ側の面における励振電極１５４ｂと対向する領域には、励振電極１５４ａが形成される。励振電極１５４ａからは、引出電極１５５ａが伸びており、引出電極１５５ａは、支持突起１５２ａの側面、平面領域１５７及び挿入突起１５３ａの表面を覆う。なお、励振電極１５４ａ、ｂ及び引出電極１５５ａ、ｂは、例えば、下層をＣｒ（クロム）の金属膜とし、この表面である上層をＡｕ（金）の金属膜とした２層の構成とする。
【００３２】
そして、ベース１４０の開口端面となる、壁部１３０の＋Ｚ側の面に、平板状のリッド１１０が接合される。リッド１１０はベース１４０の凹部を覆うように配置されるため、水晶振動片１５０が密閉封入されることになる。リッド１１０は例えばコバールからなる。なお、コバールはＦｅ（鉄）、Ｎｉ（ニッケル）及びＣｏ（コバルト）の合金である。そしてリッド１１０の表面は例えばＮｉの金属膜で覆われている。そして、壁部１３０の＋Ｚ側の全面に形成された図示しない金属膜と、リッド１１０とが例えば銀ロウ等のロウ材１７０で接合される。
【００３３】
〔水晶振動片１５０の固定〕
次に、水晶振動片１５０がベース１４０に固定されることの詳細を、主に図１を参照して説明する。Ｚ方向から見たとき、挿入突起１５３ａ、ｂの大きさが、窪み１４１ａ、ｂの大きさより小さくなるように、挿入突起１５３ａ、ｂ及び窪み１４１ａ、ｂを形成する。そして、挿入突起１５３ａ、ｂは、それぞれ窪み１４１ａ、ｂに挿入される。また、Ｚ方向から見たとき、窪み１４１ａ、ｂの大きさが、平面領域１５７の大きさより小さくなるように、窪み１４１ａ、ｂ及び平面領域１５７を形成する。そして、平面領域１５７の少なくとも一部は、窪み１４１ａ、ｂの周囲の領域であって、接続電極１６１ａ、ｂが形成された領域の一部に対向する。
【００３４】
窪み１４１ａ、ｂの内部、及び、窪み１４１ａ、ｂの周囲の接続電極１６１ａ、ｂの少なくとも一部には導電性接着剤１７１が塗布される。導電性接着剤１７１は挿入突起１５３ａ、ｂの表面、平面領域１５７、及び、支持突起１５２ａ、ｂの−Ｚ側の側面に接合する。これにより、水晶振動片１５０が底面部１２０に固定される。そして、引出電極１５５ａ、ｂと接続電極１６１ａ、ｂとが導電性接着剤１７１によって導通する。したがって、引出電極１５５ａ、ｂに導通する励振電極１５４ａ、ｂと、接続電極１６１ａ、ｂに導通する実装端子１６０ａ、ｂとが、導通することになる。なお、接続電極１６１ａ、ｂが形成された底面部１２０の領域で水晶振動片１５０を固定するため、当該領域（接続電極１６１ａ、ｂが形成された底面部１２０の領域）を振動片搭載領域と呼ぶことができる。
【００３５】
このように、挿入突起１５３ａ、ｂは窪み１４１ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をベース１４０に置いた後に、水晶振動片１５０の位置がずれることがない。特に、一対の挿入突起１５３ａ、ｂが、一対の窪み１４１ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をＺ方向から見たときに、水晶振動片１５０の例えば長辺が、Ｙ方向から一定角度異なる方向にずれて配置される、ということが生じない。
【００３６】
また、導電性接着剤１７１は挿入突起１５３ａ、ｂの表面、平面領域１５７、及び、支持突起１５２ａ、ｂの−Ｚ側の側面に接合する。よって、導電性接着剤１７１の接着面積を大きくできる。したがって、水晶振動片１５０の接合強度を確保できる。
【００３７】
また、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、窪み１４１ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。よって、少なくとも、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域は、支持突起１５２ａ、ｂの高さ分、底面部１２０から離れる。したがって、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域に底面部１２０が当たることがなく、水晶振動子１００の振動特性の悪化を防止できる。
【００３８】
特に、平面領域１５７と振動部１５１は平行である。したがって、振動部１５１が底面部１２０に当たることがなく、水晶振動子１００の振動特性の悪化を防止できる。また、振動部１５１に凸部があるメサ形状の水晶振動子であっても、当該凸部の高さが支持突起１５２ａ、ｂの高さ未満であれば、同様に、当該凸部が底面部１２０に当たることを防げる。なお、当該凸部の高さが支持突起１５２ａ、ｂの高さと同じであっても、導電性接着剤１７１の厚さを考慮すると、当該凸部が底面部１２０に当たることを防げる。
【００３９】
また、水晶振動片１５０をベース１４０に固定する際に、導電性接着剤１７１を窪み１４１ａ、ｂに塗布することができる。したがって、導電性接着剤１７１の塗布位置の特定が容易になる。
【００４０】
〔水晶振動子１００の製造方法〕
（ベース１４０の形成）
次に水晶振動子１００の製造方法を説明する。まず、第１底面部１２１となる領域を複数有するセラミックグリーンシート（第１底面部シート）を用意する。次に、抜き打ち加工などにより、切欠き１４２ａ〜ｄとなる領域に貫通孔を形成する。次に、スクリーン印刷などにより、例えばＷ（タングステン）を含んだ導電ペーストを、切欠き１４２ａ、ｃの側面、窪み１４１ａ、ｂの底面となる領域（接続電極１６１ａ、ｂの一部の領域）、実装端子１６０ａ、ｂ、及び、必要に応じて形成される導電路となる領域に印刷する。
【００４１】
また、第２底面部１２２となる領域を複数有するセラミックグリーンシート（第２底面部シート）を用意する。次に、抜き打ち加工などにより、切欠き１４２ａ〜ｄとなる領域、及び、窪み１４１ａ、ｂとなる領域に貫通孔を形成する。次に、スクリーン印刷などにより、例えばＷを含んだ導電ペーストを、切欠き１４２ａ、ｃの側面、窪み１４１ａ、ｂとなる領域の貫通孔の側面と周囲（接続電極１６１ａ、ｂとなる領域の一部）、導電路１６２、及び、必要に応じて形成されるその他の導電路となる領域に印刷する。
【００４２】
また、壁部１３０となる領域を複数有するセラミックグリーンシート（壁部シート）を用意する。次に、抜き打ち加工などにより、切欠き１４２ａ〜ｄとなる領域及び壁部１３０の内側でありベース１４０の凹部となる領域に貫通孔を形成する。
【００４３】
次に、第１底面部シート、第２底面部シート及び壁部シートを、この順序で積層して焼成する。次に、電解メッキ又は無電解メッキにより、スクリーン印刷等で形成したＷ等の金属表面に、例えば、Ｎｉ（ニッケル）の金属膜及びＡｕ（金）の金属膜を順次形成する。そして、第１底面部１２１、第２底面部１２２及び壁部１３０の境界部分で、積層及び焼成したセラミックグリーンシートを分割する。これによりベース１４０が形成される。
【００４４】
（水晶振動片１５０の形成と収容）
水晶振動片１５０は、例えば図示しない水晶ウエハを用い、フォトリソグラフィの技術を使用して形成する。この一例を示すと、まず、水晶ウエハの両主面を、スパッタ等により金属膜で覆う。次に、当該金属膜の表面にレジスト膜を形成する。次に所定領域を露光及び現像することで、水晶ウエハ上に、複数の水晶振動片１５０に対応する領域及び当該水晶振動片１５０をつなぐ枝部となる領域にレジスト膜が塗布された状態になり、その他の領域は金属膜が露出された状態になる。次に、エッチングによって、露出した金属膜を除去し、除去した金属膜の下にある水晶を露出させる。次に、エッチングによって露出した水晶を貫通させる。これにより、水晶ウエハは、複数の水晶振動片１５０及びこれらの水晶振動片１５０をつなぐ枝部からなる構成となる。次に、水晶ウエハに残ったレジスト及び金属膜を除去する。
【００４５】
次に、再度水晶ウエハの両主面を金属膜及びレジスト膜で覆う。次に、露光、現像及び金属膜のエッチングにより、挿入突起１５３ａ、ｂ以外の領域の水晶を露出させる。次に露出した水晶をエッチングすることで挿入突起１５３ａ、ｂを形成する。次に、水晶ウエハに残ったレジスト及び金属膜を除去する。
【００４６】
次に、再度水晶ウエハの両主面を金属膜及びレジスト膜で覆う。次に、露光、現像及び金属膜のエッチングにより、挿入突起１５３ａ、ｂ及び支持突起１５２ａ、ｂ以外の領域の水晶を露出させる。次に露出した水晶をエッチングすることで支持突起１５２ａ、ｂを形成する。次に、水晶ウエハに残ったレジスト及び金属膜を除去する。
【００４７】
次に、スパッタ又はフォトリソグラフィを用いて、水晶振動片１５０の図３に示される各種電極（励振電極１５４ａ、ｂ及び引出電極１５５ａ、ｂ）を形成する。次に、水晶ウエハの水晶振動片１５０を、水晶ウエハの枝部から折り取ることで、個片になった複数の水晶振動片１５０を得る。
【００４８】
次に、導電性接着剤１７１をベース１４０の窪み１４１ａ、ｂに塗布する。次に、水晶振動片１５０をベース１４０の凹部に搭載する。このとき、挿入突起１５３ａ、ｂを窪み１４１ａ、ｂに挿入する。これにより、導電性接着剤１７１が押しつぶされて窪み１４１ａの周囲まで伸びる。具体的には、導電性接着剤１７１は、挿入突起１５３ａ、ｂの表面、平面領域１５７、及び、支持突起１５２ａ、ｂの−Ｚ側の側面まで伸びる。そして、水晶振動片１５０がベース１４０に固定される。
【００４９】
（封止）
最後に、リッド１１０を、ベース１４０の開口端面となる壁部１３０の＋Ｚ側の面に接合して、水晶振動片１５０を密閉封入する。この際、予め、当該ベース１４０の凹部の開口端面、又は、リッド１１０の−Ｚ側の面の外周部に銀ロウ等のロウ材１７０を形成する。次に、当該ベース１４０の凹部の開口端面に、リッド１１０の−Ｚ側の面を対向させて重ね合せて、シーム溶接等で接合する。
【００５０】
＜第一実施形態の変形例＞
次に、本発明の第一実施形態の変形例である水晶振動子について説明する。本変形例の水晶振動子が水晶振動子１００と異なる点は水晶振動片２５０である。そこで、この点について図４を用いて説明する。図４は水晶振動片２５０の斜視図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００５１】
水晶振動片２５０の基部１５６には、支持突起１５２ａ、ｂの他に一対の支持突起１５２ｃ、ｄが形成される。具体的に説明すると、支持突起１５２ｃ、ｄは基部１５６の＋Ｚ側の面に形成される。そして、支持突起１５２ｃは、基部１５６の＋Ｘ側であって−Ｙ側の角部に設けられる。支持突起１５２ｄは、基部１５６の−Ｘ側であって−Ｙ側の角部に設けられる。すなわち、支持突起１５２ｃ、ｄは、支持突起１５２ａ、ｂの反対側に形成される。なお、支持突起１５２ｃ、ｄの形状は＋Ｚ側から見たとき矩形である。
【００５２】
支持突起１５２ｃ、ｄは、図４に示されるように、先端に平面領域２５７が設けられる。平面領域２５７からは、さらに突起が隆起する。当該突起を挿入突起１５３ｃ、ｄと呼ぶ。挿入突起１５３ｃ、ｄの形状は、＋Ｚ側から見たとき矩形である。そして、＋Ｚ側から見たとき、挿入突起１５３ｃ、ｄの大きさは支持突起１５２ｃ、ｄより小さい。したがって、＋Ｚ側から見たとき、平面領域２５７が表れる。
【００５３】
そして、水晶振動片２５０の＋Ｚ側の面に形成された励振電極１５４ｂからは引出電極２５５ｂが伸びており、引出電極２５５ｂは、支持突起１５２ｂの側面、平面領域１５７（図４では不図示）、挿入突起１５３ｂの表面を覆うとともに、支持突起１５２ｄの側面、平面領域２５７、挿入突起１５３ｄの表面を覆う。また、水晶振動片２５０の＋Ｚ側の面に形成された励振電極１５４ａ（図４では不図示）からは引出電極２５５ａが伸びており、引出電極２５５ａは、支持突起１５２ａの側面、平面領域１５７（図４では不図示）、挿入突起１５３ａの表面を覆うとともに、支持突起１５２ｃの側面、平面領域２５７、挿入突起１５３ｃの表面を覆う。
【００５４】
このように、水晶振動片２５０は、−Ｚ側に形成される支持突起１５２ａ、ｂ及び挿入突起１５３ａ、ｂの他に、＋Ｚ側にも、支持突起１５２ｃ、ｄ及び挿入突起１５３ｃ、ｄが形成される。そして、支持突起１５２ａ〜ｄ及び挿入突起１５３ａ〜ｄに引出電極２５５ａ、ｂが形成される。
【００５５】
よって、挿入突起１５３ａ、ｂを窪み１４１ａ、ｂに挿入させて、窪み１４１ａ、ｂ部分の導電性接着剤１７１によって、水晶振動片２５０をベース１４０に接合させることもできるし、同様に、挿入突起１５３ｃ、ｄを窪み１４１ａ、ｂに挿入させて水晶振動片２５０をベース１４０に接合させることもできる。すなわち、水晶振動片２５０の励振電極１５４ａ、ｂのどちらを下方にしても（底面部１２０に対向させても）、水晶振動片２５０をベース１４０に接合させることができる。したがって、水晶振動片２５０をベース１４０に搭載する際に、水晶振動片２５０の上下を判別する工程を不要にできる。
【００５６】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態である水晶振動子について説明する。本実施形態の水晶振動子が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース３４０である。そこで、この点について図５（ａ）を用いて説明する。図５（ａ）はベース３４０の平面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００５７】
ベース３４０には、水晶振動子１００と同様に、窪み３４１ａ、ｂが形成される。そして、ベース３４０を＋Ｚ側から見て、窪み３４１ａ、ｂにつながる溝３４３ａ、ｂが形成される。溝３４３ａ、ｂは窪み３４１ａ、ｂの＋Ｘ方向及び−Ｘ方向に伸びる。窪み３４１ａ、ｂ及び溝３４３ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、窪み３４１ａ、ｂ及び溝３４３ａ、ｂの底面は第１底面部１２１の＋Ｚ側の面となる。なお、溝３４３ａ、ｂの伸びる方向はこれに限定されるものではなく、＋Ｘ方向若しくは−Ｘ方向の一方のみに伸びるものであったり、他の方向に伸びるものであったりしてもよい。
【００５８】
溝３４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅である、溝３４３ａ、ｂのＹ方向の大きさは、窪み３４１ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの直径である、窪み３４１ａ、ｂのＹ方向の大きさの最大値より小さい。また、溝３４３ａ、ｂの当該幅は、挿入突起１５３ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＹ方向の大きさより小さい。そして、挿入突起１５３ａ、ｂが窪み３４１ａ、ｂに挿入され、窪み１４１ａ、ｂ部分の導電性接着剤１７１によって、水晶振動片１５０がベース１４０に固定される。
【００５９】
このように、窪み３４１ａ、ｂからは溝３４３ａ、ｂが伸びる。よって、窪み３４１ａ、ｂに導電性接着剤１７１を塗布して、挿入突起１５３ａ、ｂを窪み３４１ａ、ｂに挿入する際に、導電性接着剤１７１の一部は溝３４３ａ、ｂに流れ込む。したがって、導電性接着剤１７１が窪み３４１ａ、ｂから溢れだして振動部１５１に付着したり、隣接する接続電極１６１ａ、ｂまで伸びて接続電極１６１ａ、ｂを短絡させたりするおそれを低減できる。特に、溝３４３ａ、ｂが隣接する接続電極１６１ａ、ｂに向かう方向に伸びない場合は、導電性接着剤１７１が隣接する接続電極１６１ａ、ｂを短絡させるおそれをさらに低減できる。
【００６０】
また、挿入突起１５３ａ、ｂは窪み３４１ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をベース１４０に置いた後に、水晶振動片１５０の位置がずれることがない。特に、一対の挿入突起１５３ａ、ｂが、一対の窪み３４１ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をＺ方向から見たときに、水晶振動片１５０の例えば長辺が、所定の方向から一定角度異なる方向にずれて配置される、ということが生じない。また、溝３４３ａ、ｂを＋Ｚ方向から見たときの幅は、挿入突起１５３ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＹ方向の大きさより小さい。したがって、挿入突起１５３ａ、ｂが溝３４３ａ、ｂに入り込んで水晶振動片１５０が位置ずれする、ということが生じない。
【００６１】
また、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、窪み１４１ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。よって、少なくとも、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域は、支持突起１５２ａ、ｂの高さ分、底面部１２０から離れる。したがって、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域に底面部１２０が当たることがなく、本実施形態の水晶振動子の振動特性の悪化を防止できる。
【００６２】
窪みにつながる溝は、上記の溝３４３ａ、ｂ以外にも種々考えられる。一例として図５（ｂ）に示される溝４４３ａ、ｂを説明する。図５（ｂ）は、溝４４３ａ、ｂが形成されたベース４４０の平面図である。
【００６３】
溝４４３ａ、ｂは＋Ｚ側から見て窪み３４１ａ、ｂにつながるように形成される。そして、溝４４３ａ、ｂは窪み３４１ａ、ｂの＋Ｘ方向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向及び−Ｙ方向に伸びる。このように、窪み３４１ａ、ｂにつながる溝４４３ａ、ｂが増えることで、より多くの導電性接着剤１７１が窪み４４１ａ、ｂに流れ込むことが可能になる。したがって、導電性接着剤１７１が窪み４４１ａ、ｂから溢れだして振動部１５１に付着したり、導電性接着剤１７１が隣接する接続電極１６１ａ、ｂまで伸びて接続電極１６１ａ、ｂを短絡させたりするおそれをさらに低減できる。なお、溝４４３ａ、ｂの数を増減させたり、溝４４３ａ、ｂが伸びる方向を変えたりしてもよい。
【００６４】
＜第三実施形態＞
次に、本発明の第三実施形態である水晶振動子について説明する。本実施形態の水晶振動子が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース５４０である。そこで、この点について図６（ａ）を用いて説明する。図６（ａ）はベース５４０の平面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００６５】
ベース５４０には、接続電極１６１ａ、ｂが形成された領域に溝５４３ａ、ｂが形成される。溝５４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見てＸ方向に伸びるように形成されている。溝５４３ａ、ｂの側面及び底面には、接続電極１６１ａ、ｂの一部となる電極が形成されている。また、溝５４３ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、溝５４３ａ、ｂの底面は第１底面部１２１の＋Ｚ側の面となる。
【００６６】
溝５４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅である、溝５４３ａ、ｂのＹ方向の大きさは、挿入突起１５３ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＹ方向の大きさより大きい。したがって、挿入突起１５３ａ、ｂを溝５４３ａ、ｂに挿入できる。なお、挿入突起１５３ａ、ｂが挿入された溝５４３ａ、ｂの領域を窪みと呼ぶと、溝５４３ａ、ｂは、当該窪みと、当該窪みにつながった溝とからなるといえる。
【００６７】
また、溝５４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅は、支持突起１５２ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＹ方向の大きさより小さい。したがって、支持突起１５２ａ、ｂは溝５４３ａ、ｂに挿入されない。そして、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、溝５４３ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。水晶振動片１５０は、挿入突起１５３ａ、ｂが窪み５４１ａ、ｂに挿入され、窪み５４１ａ、ｂ部分の導電性接着剤１７１によってベース５４０に固定される。
【００６８】
ここで、各種の仕様等に応じてＸ方向の大きさが異なる水晶振動片１５０が使われる場合がある。しかし、本実施形態の水晶振動子では、溝５４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見てＸ方向に伸びるように形成されている。したがって、水晶振動片１５０のＸ方向の大きさが異なっていても、水晶振動片１５０の挿入突起１５３ａ、ｂを溝５４３ａ、ｂに挿入して、水晶振動片１５０をベース５４０に固定できる。
【００６９】
また、一対の挿入突起１５３ａ、ｂが、Ｘ方向に伸びる一対の溝５４３ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をＺ方向から見たときに、水晶振動片１５０の例えば長辺が、Ｙ方向から一定角度異なる方向にずれて配置される、ということが生じない。
【００７０】
また、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、溝５４３ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。よって、少なくとも、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域は、支持突起１５２ａ、ｂの高さ分、底面部１２０から離れる。したがって、基部１５６における、支持突起１５２ａ、ｂの周囲の領域に底面部１２０が当たることがなく、本実施形態の水晶振動子の振動特性の悪化を防止できる。
【００７１】
＜第三実施形態の第一変形例＞
次に、本発明の第三実施形態の第一変形例である水晶振動子について説明する。本変形例の水晶振動子が第三実施形態と異なる点はベース６４０である。そこで、この点について図６（ｂ）を用いて説明する。図６（ｂ）はベース６４０の平面図である。なお、以下の説明では、第三実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００７２】
ベース６４０には、接続電極１６１ａ、ｂが形成された領域に溝６４３ａ、ｂが形成される。溝６４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見てＹ方向に伸びるように形成されている。溝６４３ａ、ｂの側面及び底面には、接続電極１６１ａ、ｂの一部となる電極が形成されている。また、溝６４３ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、溝６４３ａ、ｂの底面は第１底面部１２１の＋Ｚ側の面となる。
【００７３】
溝６４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅である、溝６４３ａ、ｂのＸ方向の大きさは、挿入突起１５３ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＸ方向の大きさより大きい。したがって、挿入突起１５３ａ、ｂを溝６４３ａ、ｂに挿入できる。なお、挿入突起１５３ａ、ｂが挿入された溝６４３ａ、ｂの領域を窪みと呼ぶと、溝６４３ａ、ｂは、当該窪みと、当該窪みにつながった溝とからなるといえる。
【００７４】
また、溝６４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅は、支持突起１５２ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＸ方向の大きさより小さい。したがって、支持突起１５２ａ、ｂは溝５４３ａ、ｂに挿入されない。そして、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、溝６４３ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。
【００７５】
ここで、各種の仕様等に応じてＹ方向の大きさが異なる水晶振動片１５０が使われる場合がある。しかし、本実施形態の水晶振動子では、溝６４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見てＹ方向に伸びるように形成されている。したがって、水晶振動片１５０のＹ方向の大きさが異なっていても、水晶振動片１５０の挿入突起１５３ａ、ｂを溝６４３ａ、ｂに挿入して、水晶振動片１５０をベース６４０に固定できる。
【００７６】
また、一対の挿入突起１５３ａ、ｂが、Ｙ方向に伸びる一対の溝６４３ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をＺ方向から見たときに、水晶振動片１５０の例えば長辺が、Ｙ方向から一定角度異なる方向にずれて配置される、ということが生じない。
【００７７】
＜第三実施形態の第二変形例＞
次に、本発明の第三実施形態の第二変形例である水晶振動子について説明する。本変形例の水晶振動子が第三実施形態と異なる点はベース７４０である。そこで、この点について図７を用いて説明する。図７はベース７４０の平面図である。なお、以下の説明では、第三実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００７８】
ベース７４０には、接続電極１６１ａ、ｂが形成された領域に溝７４３ａ、ｂが形成される。溝７４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見て十字に形成されており、Ｘ方向に伸びる部分と、Ｙ方向に伸びる部分とからなる。溝７４３ａ、ｂの側面及び底面には、接続電極１６１ａ、ｂの一部となる電極が形成されている。また、溝７４３ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、溝７４３ａ、ｂの底面は第１底面部１２１の＋Ｚ側の面となる。
【００７９】
溝５４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅（Ｙ方向に伸びる部分についてはＸ方向の大きさであり、Ｘ方向に伸びる部分についてはＹ方向の大きさ）は、挿入突起１５３ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＹ方向の大きさ及びＸ方向の大きさより大きい。したがって、挿入突起１５３ａ、ｂを溝７４３ａ、ｂに挿入できる。なお、挿入突起１５３ａ、ｂが挿入された溝７４３ａ、ｂの領域を窪みと呼ぶと、溝７４３ａ、ｂは、当該窪みと、当該窪みにつながった第１の溝と、当該第１の溝に直交する第２の溝とからなるといえる。
【００８０】
また、溝７４３ａ、ｂを＋Ｚ側から見たときの幅は、支持突起１５２ａ、ｂを−Ｚ側から見たときのＸ方向及びＹ方向の大きさより小さい。したがって、支持突起１５２ａ、ｂは溝７４３ａ、ｂに挿入されない。そして、平面領域１５７の少なくとも一部は、底面部１２０の＋Ｚ側の面の領域であって、溝７４３ａ、ｂの周囲の領域の一部に対向する。
【００８１】
ここで、各種の仕様等に応じてＸ方向及びＹ方向の大きさが異なる水晶振動片１５０が使われる場合がある。しかし、本実施形態の水晶振動子では、溝７４３ａ、ｂは、＋Ｚ側から見て十字に形成されており、Ｘ方向に伸びる部分と、Ｙ方向に伸びる部分とからなる。したがって、水晶振動片１５０のＸ方向及びＹ方向の大きさが異なっていても、水晶振動片１５０の挿入突起１５３ａ、ｂを溝７４３ａ、ｂに挿入して、水晶振動片１５０をベース７４０に固定できる。
【００８２】
また、一対の挿入突起１５３ａ、ｂが、一対の溝７４３ａ、ｂに挿入される。したがって、水晶振動片１５０をＺ方向から見たときに、水晶振動片１５０の例えば長辺が、Ｙ方向から一定角度異なる方向にずれて配置される、ということが生じない。
【００８３】
なお、溝７４３ａ、ｂは、前述の通り、当該窪みと、当該窪みにつながった第１の溝と、当該第１の溝に直交する第２の溝とからなるといえる。しかし、当該第１の溝と当該第２の溝とは直交せずに、直角と異なる角度で交わってもよい。この場合であっても、各種の仕様等に応じてＸ方向及びＹ方向の大きさが異なる水晶振動片１５０をベース７４０に固定できる。
【００８４】
＜第四実施形態＞
次に、本発明の第四実施形態である水晶振動子８００について説明する。本実施形態の水晶振動子８００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、水晶振動片８５０及びベース８４０である。そこで、この点について図８、図９及び図１０を用いて説明する。図８は水晶振動子８００の断面図である。図９はベース８４０の平面図である。図１０（ａ）は水晶振動片８５０の斜視図である。図１０（ｂ）は水晶振動片８５０の平面図であり、水晶振動片８５０に形成される電極が省略されている。なお、図８のベース８４０は図９のＡ２−Ａ２線についての断面図である。また、図８の水晶振動片８５０は図１０（ａ）のＢ２−Ｂ２線についての断面図である。また、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００８５】
ベース８４０の凹部の底面となる底面部１２０の＋Ｚ側の面には、図８及び図９に示されるように、窪み８４４が形成される。窪み８４４は底面部１２０の＋Ｙ側に形成されており、窪み８４４の深さは窪み１４１ａ、ｂに等しい。窪み８４４は、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、窪み８４４の底面は、当該貫通孔によって露出した第１底面部１２１の＋Ｚ側の面である。
【００８６】
ベース８４０の凹部には水晶振動片８５０が収容される。図１０（ａ）、（ｂ）に示されるように、水晶振動片８５０は、基部１５６及び振動部１５１を有する。そして、水晶振動片８５０は、振動部１５１の＋Ｙ側に、さらに基部８５６を有する。基部８５６の−Ｚ側の面には一対の突起である支持突起８５２ａ、ｂが形成される。支持突起８５２ａは、基部８５６の＋Ｘ側であって＋Ｙ側の角部に設けられる。支持突起８５２ｂは、基部８５６の−Ｘ側であって＋Ｙ側の角部に設けられる。そして、支持突起８５２ａ、ｂの形状は−Ｚ側から見たとき矩形である。
【００８７】
支持突起８５２ａ、ｂは、図８に示されるように、先端からさらに突起が隆起する。当該突起を挿入突起８５３ａ、ｂと呼ぶ。挿入突起８５３ａ、ｂの形状は、−Ｚ側から見たとき矩形である。そして、−Ｚ側から見たとき、挿入突起８５３ａ、ｂの大きさは支持突起８５２ａ、ｂより小さい。引出電極１５５ａ、ｂは支持突起８５２ａ、ｂ及び挿入突起８５３ａ、ｂに形成されない。しかし、引出電極１５５ａ、ｂ及び励振電極８５４ａ、ｂを除いて考えると、図１０（ｂ）から分かる通り、水晶振動片８５０を＋Ｚ側から見て、水晶振動片８５０の中心に対して対称な形状になっている。そして、図８に示される通り、水晶振動片８５０は、挿入突起１５３ａ、ｂが窪み１４１ａ、ｂに挿入され、窪み１４１ａ、ｂ部分の導電性接着剤１７１によってベース８４０に固定される。
【００８８】
このように、挿入突起８５３ａ、ｂが窪み８４４に挿入される。よって、水晶振動子８００に衝撃等がかかった場合であっても、挿入突起８５３ａ、ｂが窪み８４４の底面に接触する可能性はあるが、振動部１５１が底面部１２０に接触することを回避できる。したがって、水晶振動子８００の振動特性に影響を与えるおそれを低減できる。
【００８９】
また、水晶振動片８５０は、引出電極１５５ａ、ｂ及び励振電極１５４ａ、ｂを除いて考えると、＋Ｚ側から見て、水晶振動片８５０の中心に対して対称な形状になっている。したがって、水晶振動片８５０の製造時であって、引出電極１５５ａ、ｂ及び励振電極１５４ａ、ｂを形成する前までは、Ｙ方向の向きを考慮する必要がなく、製造工程を簡略化できる。
【００９０】
なお、挿入突起８５３ａ、ｂは窪み８４４の底面に接していてもよい。この場合でも振動部１５１が底面部１２０に接触することを回避できる。また、挿入突起８５３ａ、ｂが、導電性接着剤などの接合材で窪み８４４の底面に接合されてもよい。これにより、水晶振動片８５０のベース８４０への接合力を強化できる。また、挿入突起８５３ａ、ｂが設けられていなくてもよい。
【００９１】
また、本実施形態では、図１０（ｂ）に示されるとおり、一対の支持突起８５２ａ、ｂ及び一対の挿入突起８５３ａ、ｂが形成されたが、支持突起及び挿入突起はそれぞれ一つ又は３つ以上でもよい。また、支持突起８５２ａ、ｂ及び挿入突起８５３ａ、ｂの代わりに、基部８５６に突起を設けてもよい。当該突起の高さは、例えば、基部８５６から挿入突起８５３ａ、ｂの先端までの高さにする。また、水晶振動片８５０における、支持突起８５２ａ、ｂの反対面に、突起を設けてもよい。これにより、水晶振動子８００に衝撃などがかかった場合であっても、当該突起がリッド１１０に接触する可能性はあるが、振動部１５１がリッド１１０に接触することを回避できる。
【００９２】
＜第五実施形態＞
次に、本発明の第五実施形態である水晶振動子９００について説明する。本実施形態の水晶振動子９００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、水晶振動片９５０及びベース９４０である。そこで、この点について図１１、図１２及び図１３を用いて説明する。図１１は水晶振動子９００の断面図である。図１２はベース９４０の平面図である。図１３（ａ）は水晶振動片９５０の斜視図である。図１３（ｂ）は水晶振動片９５０の平面図であり、水晶振動片９５０に形成される電極が省略されている。なお、図１１のベース９４０は図１２のＡ３−Ａ３線についての断面図である。また、図１１の水晶振動片９５０は図１３（ａ）のＢ３−Ｂ３線についての断面図である。また、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００９３】
ベース９４０の凹部の底面となる底面部１２０の＋Ｚ側の面には、図１１及び図１２に示されるように、２つの窪み９４１ａ、ｂが形成される。窪み９４１ａは底面部１２０の−Ｙ側であって−Ｘ側に形成され、窪み９４１ｂは底面部１２０の＋Ｙ側であって＋Ｘ側に形成される。窪み９４１ａ、ｂは、第２底面部１２２に貫通孔を設けることで形成される。したがって、窪み９４１ａ、ｂの底面は、当該貫通孔によって露出した第１底面部１２１の＋Ｚ側の面である。
【００９４】
窪み９４１ａ、ｂの表面には接続電極９６１ａ、ｂが形成される。接続電極９６１ａ、ｂは窪み９４１ａ、ｂの内側面及び底面に形成される。そして、接続電極９６１ａ、ｂは、図１２に示されるように、窪み９４１ａ、ｂの周囲まで伸びており、ベース９４０の＋Ｚ側から見て矩形になっている。ただし、矩形以外の形状、例えば楕円又は多角形でもよい。そして、接続電極９６１ａ、ｂはベース９４０の外底面に形成された実装端子１６０ａ、ｂに導通する。
【００９５】
ベース９４０の凹部には水晶振動片９５０が収容される。水晶振動片９５０は、図１３（ａ）、（ｂ）に示されるように、励振電極１５４ａ、ｂが形成される振動部１５１を有する。そして、振動部１５１の＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれに基部９５６ａ、ｂを有する。基部９５６ａ、ｂの−Ｚ側の面には一対の突起である支持突起９５２ａ、ｂが形成される。支持突起９５２ａは、基部９５６ａの−Ｘ側に設けられる。支持突起９５２ｂは、基部９５６ｂの＋Ｘ側に設けられる。したがって、図１３に示される通り、支持突起９５２ａ、ｂは、水晶振動片９５０の−Ｚ側の面の対角線上に配置されることになる。そして、支持突起９５２ａ、ｂの形状は−Ｚ側から見たとき矩形である。
【００９６】
支持突起９５２ａ、ｂには、図１１に示されるように、先端に平面領域９５７が設けられる。平面領域９５７からは、さらに突起が隆起する。当該突起を挿入突起９５３ａ、ｂと呼ぶ。図１３に示される通り、挿入突起９５３ａ、ｂは、水晶振動片９５０の−Ｚ側の面の対角線上に配置されることになる。
【００９７】
挿入突起９５３ａ、ｂの形状は、−Ｚ側から見たとき矩形である。そして、−Ｚ側から見たとき、挿入突起９５３ａ、ｂの大きさは支持突起９５２ａ、ｂより小さい。したがって、−Ｚ側から見たとき、平面領域９５７が表れる。そして、励振電極１５４ａ、ｂからは引出電極９５５ａ、ｂが伸びており、引出電極９５５ａ、ｂは、支持突起９５２ａ、ｂの側面、平面領域９５７及び挿入突起９５３ａ、ｂの表面を覆う。そして、図１１に示される通り、水晶振動片９５０は、挿入突起９５３ａ、ｂが窪み９４１ａ、ｂに挿入され、導電性接着剤１７１によってベース９４０に固定される。
【００９８】
このように、支持突起９５２ａ、ｂ及び挿入突起９５３ａ、ｂは、水晶振動片９５０の−Ｚ側の面の対角線上に配置されることになる。よって、水晶振動子９００に衝撃等がかかった場合であっても、振動部１５１が底面部１２０に接触することを回避できる。したがって、水晶振動子９００の振動特性に影響を与えるおそれを低減できる。なお、支持突起９５２ａが基部９５６ａに形成され、支持突起９５２ｂが基部９５６ｂに形成されればよい。例えば、支持突起９５２ａ、ｂは、水晶振動片９５０のＸ方向の中央部にあってもよい。
【００９９】
以上、実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【０１００】
例えば、上記の実施形態ではＡＴカット型の水晶振動片を用いた場合を示したが、矩形の水晶振動片を使用してもよい。また、振動部に凸部が設けられたメサ型の水晶振動片や、振動部に凹部が設けられた逆メサ型の水晶振動片を使用してもよい。また、Ｚカット型やＢＴカット型など、他のカットを用いてもよい。また、基部から振動腕が伸びた音叉型水晶振動片を用いてもよい。また、上記の実施形態では水晶振動子を示したが、発振回路を備えたＩＣを搭載した水晶発振器であっても同様に適用できる。また、上記の実施形態では、水晶振動片は水晶を用いて形成したものであるが、水晶以外の圧電材料、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム又は圧電セラミックを用いてもよい。
【符号の説明】
【０１０１】
１００、８００、９００  ...  水晶振動子
１１０  ...  リッド
１２０  ...  底面部
１２１  ...  第１底面部
１２２  ...  第２底面部
１３０  ...  壁部
１４０、３４０、４４０、５４０、６４０、７４０、８４０、９４０  ...  ベース
１４１ａ、ｂ、３４１ａ、ｂ、９４１ａ、ｂ  ...  窪み
１４２ａ〜ｄ  ...  切欠き
１５０、２５０、８５０、９５０  ...  水晶振動片
１５１  ...  振動部
１５２ａ〜ｄ、８５２ａ、ｂ、９５２ａ、ｂ  ...  支持突起
１５３ａ〜ｄ、８５３ａ、ｂ、９５３ａ、ｂ  ...  挿入突起
１５４ａ、ｂ  ...  励振電極
１５５ａ、ｂ、２５５ａ、ｂ、９５５ａ、ｂ  ...  引出電極
１５６、８５６、９５６ａ、ｂ  ...  基部
１５７、２５７、９５７  ...  平面領域
１６０ａ、ｂ  ...  実装端子
１６１ａ、ｂ、９６１ａ、ｂ  ...  接続電極
１６２  ...  導電路
１７０  ...  ロウ材
１７１  ...  導電性接着剤
３４３ａ、ｂ、４４３ａ、ｂ、５４３ａ、ｂ、６４３ａ、ｂ  ...  溝
８４４  ...  窪み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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