(57)【要約】【課題】刃先出し量やスピンドル回転数を適切な範囲に設定することができる切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置は、切削ブレードを有する切削手段２０と、切削ブレードの情報及び加工条件を入力する入力手段３１と、を含む。入力手段３１は、切削ブレード情報を入力する切削ブレード情報入力部３１１と、加工条件情報を入力する加工条件情報入力部３１２と、を備え、刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比における限界スピンドル回転数の相関関係情報を切削ブレードの種類毎に予め記憶しておく記憶手段５１と、入力手段３１に入力された切削ブレード情報のアスペクト比における加工条件情報のスピンドル回転数が、記憶手段５１に記憶された相関関係情報に基づき限界スピンドル回転数を超えているか否か判断する判断手段５２と、判断手段５２が入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断した場合にはその旨の報知を行う報知手段４０と、備える。【選択図】図２
2015131372.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持する保持手段と、回転駆動されるスピンドル及び前記スピンドルの先端に装着され前記保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、前記スピンドルの回転駆動を制御する制御手段と、前記切削ブレードの情報及び加工条件を入力する入力手段と、を備える切削装置であって、
前記入力手段は、装着されている切削ブレードの種類、刃厚、刃先出し量に関する切削ブレード情報を入力する切削ブレード情報入力部と、被加工物に応じて設定されるスピンドル回転数を含む加工条件情報を入力する加工条件情報入力部と、を備え、
切削ブレードの刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比における限界スピンドル回転数の相関関係情報を切削ブレードの種類毎に予め記憶しておく記憶手段と、
前記入力手段に入力された前記切削ブレード情報のアスペクト比における前記加工条件情報のスピンドル回転数が、前記記憶手段に記憶された前記相関関係情報に基づき限界スピンドル回転数を超えているか否か判断する判断手段と、
前記判断手段が入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断した場合にはその旨の報知を行う報知手段と、備える切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示手段を備えた切削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハ等の被加工物の加工を行うための加工装置として、例えば、切削装置、研削装置、レーザー加工装置等が知られている。これらの加工装置は、加工装置に対して、加工装置を駆動するための情報（例えば加工ユニットの加工条件や加工工具の情報等）を作業員が入力するための操作パネル（入力手段）を備えている。近年では、入力手段と表示手段とを兼用するタッチパネル式の表示モニターを備える加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
切削装置で使用される加工工具（ここでは切削工具）は、回転するスピンドルの先端に装着された装着フランジと、この装着フランジに装着された円環状ブレード（切削ブレード）とから構成される（例えば、特許文献２参照）。切削ブレードは、例えば、ダイヤモンド等の砥粒を電鋳ボンド、メタルボンドまたはレジンボンド等のボンド剤により保持して形成される。
【０００４】
このような切削工具を有する切削装置では、装着フランジの径方向の外周縁を超えて延出する切削ブレードの長さ（刃先出し量）や刃厚等の情報（切削ブレード情報）が入力手段によって入力されることで、切削加工に伴って摩耗する切削ブレードのブレード摩耗量を管理し、適切な切り込み量で被加工物を切削することが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−７０１号公報
【特許文献２】特開平８−６４７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
切削工具を有する切削装置では、刃厚によって、刃先出し量の範囲の上限が変動する。例えば、刃先出し量が上限を超えると、切削ブレードの撓みや曲りが発生しやすくなり、ひいては被加工物に対して切削ブレードが蛇行したり、被加工物に形成されるカーフが拡がったりする虞がある。
【０００７】
また、切削工具を有する切削装置では、ボンド剤の種類によって、切削工具が装着されるスピンドルの回転数の範囲の上限が変動する。例えば、ボンド剤がレジンボンドであるレジンブレードの場合には、刃先出し量が適切であっても、回転数が数千ｒｐｍとなる高速で回転させると、切削ブレードの撓みや曲りが発生する虞がある。これに対して、例えば、ボンド剤が電鋳ボンドである電鋳ブレードの場合には、回転数が数千ｒｐｍとなる高速で回転させても、特に問題はない。
【０００８】
このように、切削工具を有する切削装置では、スピンドル回転数が刃先出し量やボンド剤の種類に対応していない回転数となった場合、つまりスピンドル回転数が適切な回転数の範囲の上限（限界スピンドル回転数）を超えた場合、ボンド剤が電鋳ボンドである切削ブレードでは加工中の蛇行や蛇行に起因する破損の虞がある。また、ボンド剤がメタルボンドやレジンボンドである切削ブレードでは、限界スピンドル回転数を超えた場合、破損する虞がある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、刃先出し量やスピンドル回転数を適切な範囲に設定することができる切削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、被加工物を保持する保持手段と、回転駆動されるスピンドル及びスピンドルの先端に装着され保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを有する切削手段と、スピンドルの回転駆動を制御する制御手段と、切削ブレードの情報及び加工条件を入力する入力手段と、を備える切削装置であって、入力手段は、装着されている切削ブレードの種類、刃厚、刃先出し量に関する切削ブレード情報を入力する切削ブレード情報入力部と、被加工物に応じて設定されるスピンドル回転数を含む加工条件情報を入力する加工条件情報入力部と、を備え、切削ブレードの刃先出し量／刃厚で示されるアスペクト比における限界スピンドル回転数の相関関係情報を切削ブレードの種類毎に予め記憶しておく記憶手段と、入力手段に入力された切削ブレード情報のアスペクト比における加工条件情報のスピンドル回転数が、記憶手段に記憶された相関関係情報に基づき限界スピンドル回転数を超えているか否か判断する判断手段と、判断手段が入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断した場合にはその旨の報知を行う報知手段と、備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断した場合にはその旨の報知を行うので、作業員に対して切削ブレード情報の再入力を促すことができ、スピンドル回転数を適切な範囲に設定することができる。また、本発明によれば、刃先出し量が適切な範囲を超えて設定されると、相関関係情報によって、スピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断されるので、作業員に対して切削ブレード情報の再入力や切削ブレードの交換等を促すことができ、刃先出し量を適切な範囲に設定することができる。つまり、本発明によれば、刃先出し量やスピンドル回転数を適切な範囲に設定することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施形態に係る切削装置の制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。
【図３】図３は、切削ブレードの構成例を示す図である。
【図４】図４は、切削ブレードの構成例を示す図である。
【図５】図５は、表示手段の表示例を示す図である。
【図６】図６は、アスペクト比と限界スピンドル回転数との相関関係の一例を示す相関マップである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。
【００１４】
〔実施形態〕
図１は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態に係る切削装置の制御手段の構成例を示す概略ブロック図である。図３は、切削ブレードの構成例を示す図である。図４は、切削ブレードの構成例を示す図である。図５は、表示手段の表示例を示す図である。図６は、アスペクト比とスピンドル回転数の相関関係の一例を示す図である。
【００１５】
図１に示す切削装置１は、被加工物に対して切削加工を施す加工装置である。切削装置１は、図１及び図２に示すように、保持手段１０と、切削手段２０と、表示手段３０と、報知手段４０と、制御手段５０と、を含んで構成されている。ここで、被加工物は、特に限定されないが、例えば、シリコン、サファイア、ガリウム等を母材とする板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、セラミックス、ガラス、サファイア系の板状の無機材料基板、金属や樹脂等の板状の延性材料等、各種の板状の加工材料である。
【００１６】
保持手段１０は、被加工物を保持するものである。保持手段１０は、チャックテーブル１１と、基台１２と、Ｘ軸移動手段１３と、θ軸回転手段１４と、を備えている。チャックテーブル１１は、例えばポーラスセラミックで構成され、円盤状に形成された保持面１１ａを有している。保持面１１ａは、水平方向に平行で、かつ平坦に形成されている。基台１２は、チャックテーブル１１を支持している。Ｘ軸移動手段１３は、基台１２をＸ軸方向（加工送り方向に相当）に移動可能に支持している。Ｘ軸移動手段１３は、Ｘ軸方向に延在されるボールねじやパルスモータ等の駆動源を有しており、基台１２を装置本体２に対してＸ軸方向に相対移動させる。θ軸回転手段１４は、モータ等の駆動源を有しており、チャックテーブル１１を鉛直方向の軸周りに水平面内で回転させる。
【００１７】
切削手段２０は、被加工物に対して切削加工を施すものである。切削手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、ハウジング２３と、Ｙ軸移動手段２４と、Ｚ軸移動手段２５と、を備えている。切削ブレード２１は、極薄の円板状で、かつ環状に形成された切削砥石である。スピンドル２２は、切削ブレード２１を着脱可能に装着する。ハウジング２３は、モータ等の駆動源を有しており、Ｙ軸方向の回転軸周りに回転自在にスピンドル２２を支持する。Ｙ軸移動手段２４は、Ｙ軸方向（割り出し送り方向に相当）に延在されるボールねじやパルスモータ等の駆動源を有しており、Ｚ軸移動手段２５を装置本体２に対してＹ軸方向に相対移動させる。Ｚ軸移動手段２５は、Ｚ軸方向（切り込み送り方向に相当）に延在されるボールねじやパルスモータ等の駆動源を有しており、ハウジング２３を装置本体２に対してＺ軸方向に相対移動させる。
【００１８】
ここで、図３に示す切削ブレード２１は、いわゆるワッシャーブレードと称されるものである。切削ブレード２１は、装着部材２６によりスピンドル２２に装着される。切削ブレード２１は、電鋳・電着ボンド、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等をボンド剤とし、これらのボンド剤のうちの一つでダイヤモンド等の砥粒を固定した円環状ブレードである。切削ブレード２１は、スピンドル２２の軸方向の厚み（刃厚）Ｄが数十から数百μｍである。装着部材２６は、スピンドル２２の先端部に固定される装着フランジ２６ａと、この装着フランジ２６ａと対向して配置される押さえフランジ２６ｂと、装着フランジ２６ａと螺合する固定ナット２６ｃと、を備えている。装着部材２６は、装着フランジ２６ａと押さえフランジ２６ｂとの間で切削ブレード２１を挟持した状態で、押さえフランジ２６ｂに対して固定ナット２６ｃを締め付けることにより、スピンドル２２に対して切削ブレード２１を装着する。なお、装着部材２６は、切削ブレード２１が各フランジ２６ａ、２６ｂの外周縁を超えて径方向に延出するように、各フランジ２６ａ、２６ｂの直径が切削ブレード２１の直径よりも小さい。
【００１９】
一方、図４に示す切削ブレード２７は、いわゆるハブブレードと称されるものである。切削ブレード２７は、装着部材２８によりスピンドル２２に装着される。切削ブレード２７は、ブレード部２７ａと、ハブ部２７ｂと、を一体に有している。ブレード部２７ａは、極薄の円板状で、かつ環状に形成された切削砥石である。ブレード部２７ａは、電鋳・電着ボンドをボンド剤とし、このボンド剤でダイヤモンド等の砥粒を固定した円環状ブレードである。ブレード部２７ａは、ハブ部２７ｂの外周縁を超えて径方向に延出している。ブレード部２７ａは、切削ブレード２１と同様に、刃厚Ｄが数十から数百μｍである。ハブ部２７ｂは、円板状で、かつ環状に形成されている。装着部材２８は、スピンドル２２の先端部に固定される装着フランジ２８ａと、この装着フランジ２８ａと螺合する固定ナット２８ｂと、を備えている。装着部材２８は、装着フランジ２８ａと固定ナット２８ｂとの間でハブ部２７ｂを挟持した状態で、装着フランジ２８ａに対して固定ナット２８ｂを締め付けることにより、スピンドル２２に対して切削ブレード２７を装着する。なお、本実施形態では、スピンドル２２に装着される切削ブレードとして、ワッシャーブレードと称される切削ブレード２１や、ハブブレードと称される切削ブレード２７が用いられる。
【００２０】
切削ブレード２１、２７では、その刃厚Ｄに応じて、装着部材２６、２８の外周縁を超えて径方向に延出する切削ブレード２１、２７の長さ（刃先出し量）Ｌが設定される。具体的には、刃先出し量Ｌ（ｍｍ）／刃厚Ｄ（ｍｍ）で示されるアスペクト比に基づいて、切削ブレード２１、２７の刃厚Ｄに対応する適切な刃先出し量Ｌが設定される。
【００２１】
表示手段３０は、図２に示すように、切削装置１の加工条件などを作業員が入力する入力手段３１を備え、切削装置１の加工条件などを表示するタッチパネル構成の表示装置である。入力手段３１は、切削ブレード２１または切削ブレード２７の情報及び加工条件を入力する入力手段である。入力手段３１は、切削ブレード情報入力部３１１と、加工条件情報入力部３１２と、入力情報確定部３１３と、を備えている。
【００２２】
切削ブレード情報入力部３１１は、スピンドル２２に装着されている切削ブレード２１または切削ブレード２７の種類、刃厚Ｄ、刃先出し量Ｌに関する切削ブレード情報を入力するものである。本実施形態では、切削ブレード情報入力部３１１は、作業員により切削ブレード情報が入力される。切削ブレード情報入力部３１１は、図５に示すように、表示手段３０に表示される画面として、スピンドル２２に装着された切削ブレード２１または切削ブレード２７の種類を選択するタイプ選択部３１１ａと、スピンドル２２に装着された切削ブレード２１または切削ブレード２７の刃厚Ｄを入力する刃厚入力部３１１ｂと、スピンドル２２に装着された切削ブレード２１または切削ブレード２７の刃先出し量Ｌを入力する刃先出し量入力部３１１ｃと、を有している。切削ブレード２１または切削ブレード２７の種類とは、ブレードタイプ（例えばワッシャーブレード（切削ブレード２１）またはハブブレード（切削ブレード２７））と、ボンド剤（切削ブレード２１の場合には例えば電鋳・電着ボンド、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、切削ブレード２７の場合には電鋳・電着ボンド）とを組み合わせた種類である。
【００２３】
加工条件情報入力部３１２は、被加工物に応じて設定されるスピンドル回転数を含む加工条件情報を入力するものである。本実施形態では、加工条件情報入力部３１２は、作業員により加工条件情報が入力される。加工条件情報入力部３１２は、表示手段３０に表示される画面として、図５に示すように、被加工物に対するスピンドル２２の回転数を入力する回転数入力部３１２ａを有している。なお、加工条件情報は、スピンドル回転数の他に、例えば、加工対象となる被加工物の処理枚数、被加工物に対する切削ブレード２１または切削ブレード２７の切り込み量等を含むものであってもよい。
【００２４】
入力情報確定部３１３は、切削ブレード情報入力部３１１や加工条件情報入力部３１２に入力された切削ブレード情報や加工条件情報を確定するものである。本実施形態では、入力情報確定部３１３は、作業員により切削ブレード情報や加工条件情報が確定される。入力情報確定部３１３は、表示手段３０に表示される画面として、図５に示すように、切削ブレード情報入力部３１１や加工条件情報入力部３１２に入力された切削ブレード情報や加工条件情報を確定する場合に作業員が押下するためのエンターキー３１３ａと、切削ブレード情報や加工条件情報を入力するための画面から他のモードの画面へ移行する場合に作業員が押下するためのイグジットキー３１３ｂと、を有している。
【００２５】
報知手段４０は、加工条件情報入力部３２１に入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている旨を作業員に対して報知するものである。報知手段４０は、光を発するランプや音を発するブザーなど、作業員に対して報知可能である報知手段が用いられる。本実施形態では、報知手段４０は、音声により、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている旨を作業員に対して報知する。
【００２６】
制御手段５０は、切削ブレード２１または切削ブレード２７が装着されたスピンドル２２の回転駆動を制御するものであり、各手段１０〜４０の動作を制御するものである。制御手段５０は、図２に示すように、各手段１０〜４０と電気的に接続されている。制御手段５０は、記憶手段５１と、判断手段５２と、を備えている。
【００２７】
記憶手段５１は、切削ブレード２１または切削ブレード２７の刃先出し量Ｌ（ｍｍ）／刃厚Ｄ（ｍｍ）で示されるアスペクト比における限界スピンドル回転数の相関関係情報を、切削ブレード２１または切削ブレード２７の種類毎に予め記憶している。本実施形態では、記憶手段５１は、アスペクト比と限界スピンドル回転数との相関関係情報を図６に示す相関マップとして記憶している。相関マップは、アスペクト比と、このアスペクト比に対応する限界スピンドル回転数との相関関係を表している。相関マップでは、横軸がアスペクト比となっており、縦軸がスピンドル回転数となっている。相関マップは、図６に示すように、アスペクト比に対応する限界スピンドル回転数を示すＣ１〜Ｃ３の各ラインとして、予め切削装置１、または切削装置１と同様の実機での実験結果により得られる。相関マップでは、Ｃ１は、レジンブレードの場合の切削ブレード２１の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数のラインであり、Ｃ２は、メタルブレードの場合の切削ブレード２１の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数のラインであり、Ｃ３は、電鋳ブレードの場合の切削ブレード２１、２７の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数のラインである。つまり、Ｃ１のラインは、切削ブレード２１（ワッシャーブレード）がレジンブレードである場合の限界スピンドル回転数を示すラインであり、Ｃ２のラインは、切削ブレード２１（ワッシャーブレード）がメタルブレードである場合の限界スピンドル回転数を示すラインであり、Ｃ３のラインは、切削ブレード２１（ワッシャーブレード）が電鋳ブレードである場合、または切削ブレード２７（ハブブレード）が電鋳ブレードである場合の限界スピンドル回転数を示すラインである。Ｃ１〜Ｃ３の各ラインで示す限界スピンドル回転数は、切削ブレード２１、２７の撓みや曲りが許容範囲を超えた時のスピンドル２２の回転数と、この時のアスペクト比との実測値（図６に示す記号×、□、△）に基づく回転数であり、実測値の回転数を超えないように定められたスピンドル２２の回転数である。本実施形態では、Ｃ１〜Ｃ３の各ラインは、複数の実測値の回転数を超えないように、複数の実測値の回転数の分布に沿って直線的に引かれている。また、相関マップは、Ｃ１〜Ｃ３の各ラインとして記憶手段５１に記憶されている。
【００２８】
ここで、図６では、Ｃ１〜Ｃ３の各ラインと併せて、ボンド剤がレジンボンドであるレジンブレードの場合の切削ブレード２１の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数（同図に示す記号×）、ボンド剤がメタルボンドであるメタルブレードの場合の切削ブレード２１の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数（同図に示す記号□）、ボンド剤が電鋳・電着ボンドである電鋳ブレードの場合の切削ブレード２１、２７の複数のアスペクト比に対する限界スピンドル回転数（同図に示す記号△）を示している。各記号×、□は、予め切削装置１、または切削装置１と同様の実機を用いて、複数のアスペクト比及び複数の種類の切削ブレード２１の撓みや曲りが許容範囲を超えた時のスピンドル２２の回転数と、その時のアスペクト比との実測値を相関マップに配置したものである。記号△は、各記号×、□と同様に、予め切削装置１、または切削装置１と同様の実機を用いて、複数のアスペクト比及び複数の種類の切削ブレード２１、２７の撓みや曲りが許容範囲を超えた時のスピンドル２２の回転数と、その時のアスペクト比との実測値を相関マップに配置したものである。また、図６では、Ｃ１〜Ｃ３の各ラインは、切削ブレード２１、２７毎の適切なアスペクト比の範囲も示している。なお、図６に示す相関マップは、ボンド剤がレジンボンド、メタルボンド、電鋳・電着ボンドである場合のそれぞれに対して１つの相関関係を代表的に示すものであるが、例えば、含有レジンの組成の違いで数十種類のレジンブレードがあるので、その数十種類のレジンブレード毎に相関関係データを作成し、その相関関係データを記憶するものであってもよい。つまり、記憶手段５１は、種々の切削ブレード２１、２７毎に、相関関係を記憶するものであってもよく、数十から数百の相関関係を記憶するものであってもよい。
【００２９】
判断手段５２は、加工条件情報入力部３１２に対して入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えているか否かを判断する。本実施形態では、判断手段５２は、図６に示すＣ１〜Ｃ３の各ラインに基づいて、加工条件情報入力部３１２に対して入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えているか否かを判断する。つまり、判断手段５２は、スピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えることがないように、図６に示すＣ１及びＣ２の各ラインに基づいて適切な切削ブレード２１、またはＣ３のラインに基づいて適切な切削ブレード２１または切削ブレード２７が選択されているか否かを判断する。また、判断手段５２は、限界スピンドル回転数を超えていると判断すると、報知手段４０により、加工条件情報入力部３１２に対して入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている旨を報知させる。
【００３０】
次に、実施形態に係る切削装置１の動作について説明する。
【００３１】
切削装置１は、作業員によって切削ブレード情報や加工条件情報を入力するための指示が入力手段３１に入力されると、図５に示すように、表示手段３０に対して、切削ブレード情報を入力するための切削ブレード情報入力部３１１と、加工条件情報を入力するための加工条件情報入力部３１２と、入力された切削ブレード情報や加工条件情報を確定するための入力情報確定部３１３と、を表示させる。ここで、表示手段３０は、切削ブレード情報入力部３１１、加工条件情報入力部３１２及び入力情報確定部３１３を作業員によるタッチ操作可能に表示する。また、制御手段５０は、切削ブレード２１または切削ブレード２７の交換時に入力された切削ブレード情報を切削ブレード情報入力部３１１に表示させる。
【００３２】
切削装置１は、作業員によって切削ブレード情報や加工条件情報が確定されると、確定された刃厚Ｄと刃先出し量Ｌとからアスペクト比を算出し、算出したアスペクト比に対応する限界スピンドル回転数を記憶手段５１に記憶させた相関マップに基づいて算出する。
【００３３】
切削装置１は、被加工物に対して切削手段２０により切削加工を施す動作を開始する前に、判断手段５２によって、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えているか否かを判断する。ここで、判断手段５２は、相関マップに基づいて算出された限界スピンドル回転数と入力されたスピンドル回転数とを比較することで、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えているか否かを判断する。
【００３４】
入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていないと判断した場合、切削装置１は、入力された切削ブレード情報や加工条件情報に基づいて、被加工物に対して切削手段２０により切削加工を施す。
【００３５】
一方、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断した場合、切削装置１は、報知手段４０により、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている旨を作業員に対して報知する。ここで、制御手段５０は、被加工物に対して切削手段２０による切削加工を施す動作を行わずに、表示手段３０に加工条件情報を入力するための加工条件情報入力部３１２を表示させ、作業員に対してスピンドル回転数の再入力を促す。また、制御手段５０は、作業員に対してスピンドル回転数の再入力を促す際には、アスペクト比と相関マップとに基づいて適切なスピンドル回転数の範囲を算出し、算出した適切なスピンドル回転数の範囲を加工条件情報入力部３１２に併せて表示する。
【００３６】
切削装置１は、作業員により適切なスピンドル回転数が再入力されると、再入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていないと判断し、再入力された切削ブレード情報や加工条件情報に基づいて、被加工物に対して切削手段２０により切削加工を施す。
【００３７】
なお、切削装置１は、図６に示すように、切削ブレード２１、２７毎に適切なアスペクト比の範囲が設定されているため、この範囲を超える不適切なアスペクト比が入力された場合に、適切なアスペクト比の範囲を超えている旨を作業員に対して報知する。具体的には、切削装置１は、作業員により入力された刃厚Ｄ及び刃先出し量Ｌからアスペクト比を算出し、算出されたアスペクト比がスピンドル２２に装着された切削ブレード２１または切削ブレード２７に適したアスペクト比の範囲を超えていると判断すると、その旨を報知手段４０により作業員に対して報知し、被加工物に対して切削手段２０による切削加工を施す動作を行わない。ここで、制御手段５０は、例えば、入力されたスピンドル回転数と刃厚Ｄとから、このスピンドル回転数及び刃厚Ｄに対応するアスペクト比の範囲を算出し、算出したアスペクト比の範囲から刃先出し量Ｌの範囲を算出し、算出した刃先出し量Ｌの範囲を切削ブレード情報入力部３１１に併せて表示し、作業員に対して適切な刃先出し量Ｌの範囲を提示し、適切な刃先出し量Ｌの再入力または適切な切削ブレード２１または切削ブレード２７への交換を促す。
【００３８】
切削装置１は、作業員により切削ブレード２１または切削ブレード２７が適切な刃先出し量Ｌのものと交換されたり、適切な刃先出し量Ｌが再入力されたりすると、入力された切削ブレード情報や加工条件情報に基づいて、被加工物に対して切削手段２０により切削加工を施す。
【００３９】
以上のように、実施形態に係る切削装置１によれば、入力された切削ブレード情報からアスペクト比を算出し、算出したアスペクト比に対応する限界スピンドル回転数を記憶手段５１に記憶させた相関マップに基づいて算出し、算出した限界スピンドル回転数と入力されたスピンドル回転数とを判断手段５２が比較し、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断すると、被加工物に対して切削手段２０による切削加工を施す動作を行わない。また、切削装置１によれば、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断すると、その旨を報知手段４０が作業員に対して報知し、かつ制御手段５０が表示手段３０に加工条件情報入力部３１２を表示させて作業員に対してスピンドル回転数の再入力を促す。また、実施形態に係る切削装置１によれば、作業員に対してスピンドル回転数の再入力を促す際には、制御手段５０がアスペクト比と相関マップとに基づいて適切なスピンドル回転数の範囲を算出し、算出した適切なスピンドル回転数の範囲を加工条件情報入力部３１２に併せて表示し、適切なスピンドル回転数の範囲を作業員に対して提示する。つまり、切削装置１によれば、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている場合には、被加工物に対して切削手段２０による切削加工を施す動作を行わず、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている旨を作業員に対して報知し、スピンドル回転数の再入力を作業員に対して促し、適切なスピンドル回転数の範囲を作業員に対して提示する。また、実施形態に係る切削装置１によれば、入力された刃厚Ｄに対して刃先出し量Ｌが長すぎる場合には、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えていると判断し、被加工物に対して切削手段２０による切削加工を施す動作を行わず、適切な刃先出し量Ｌの再入力または適切な刃先出し量Ｌの切削ブレード２１または切削ブレード２７への交換を促す。このため、切削装置１によれば、入力されたスピンドル回転数が限界スピンドル回転数を超えている場合には、スピンドル回転数を適切な範囲に設定することができ、入力された刃先出し量Ｌが適切な範囲を超えている場合には、適切な切削ブレード２１または切削ブレード２７への交換や適切な刃先出し量Ｌの範囲に設定することができる。したがって、切削装置１によれば、刃先出し量Ｌやスピンドル回転数を適切な範囲に設定することができるという効果を奏する。
【００４０】
なお、上記の実施形態では、記憶手段５１は、各ラインＣ１〜Ｃ３を記憶するものであったが、これに限定されず、例えば、予め作業員によって切削ブレード２１または切削ブレード２７の撓みや曲りが許容範囲を超えた時の２つのアスペクト比に対応するスピンドル２２の回転数が入力・確定されることで、そのアスペクト比に対応する回転数を相関マップに配置し、配置された二点間を線形補完するラインとなり、かつ切削ブレード２１または切削ブレード２７の撓みや曲りが許容範囲を超えた時のスピンドル２２の回転数よりも低くなるラインとなる計算式を記憶するものであってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１  切削装置
１０  保持手段
２０  切削手段
２１、２７  切削ブレード
２２  スピンドル
３１  入力手段
３１１  切削ブレード情報入力部
３１２  加工条件情報入力部
４０  報知手段
５０  制御手段
５１  記憶手段
５２  判断手段
Ｄ  刃厚
Ｌ  刃先出し量
【図１】
2015131372.tif 000003
【図２】
2015131372.tif 000004
【図３】
2015131372.tif 000005
【図４】
2015131372.tif 000006
【図５】
2015131372.tif 000007
【図６】
2015131372.tif 000008