(57)【要約】【課題】ケーブルや配管などの断熱対象物の温度の影響を容易に抑止できる断熱ジャケットを提供すること。【解決手段】断熱ジャケット３０は、  断熱対象である被覆物を覆う。断熱ジャケット３０は、湾曲することによって前記被覆物を覆い、被覆物に着脱自在なジャケット部材３０と、ジャケット部材３０の内部に設けられ、断熱用媒体が流れる流路部として機能するパイプ部材５０とを有している。【選択図】      図２Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
断熱対象である被覆物を覆う断熱ジャケットであって、
湾曲することによって前記被覆物を覆い、前記被覆物に着脱自在なジャケット部材と、
前記ジャケット部材の内部に設けられ、断熱用媒体が流れる流路部として機能するパイプ部材と、
を具備することを特徴とする断熱ジャケット。
【請求項２】
前記パイプ部材は、前記パイプ部材の端部に、他の断熱ジャケットの前記パイプ部材に接続する接続口部を有していることを特徴とする請求項１に記載の断熱ジャケット。
【請求項３】
前記ジャケット部材が他の前記ジャケット部材と組み合わされることによって筒形状を形成し、前記筒形状の内部空間部に前記被覆物が収納されるように、構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の断熱ジャケット。
【請求項４】
前記ジャケット部材は、前記被覆物を全周に渡って覆った状態で固定されるように、少なくとも一端部に当該ジャケット部材の表面に固着する固定部材を有していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の断熱ジャケット。
【請求項５】
前記ジャケット部材は、アーチ形状を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の断熱ジャケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ケーブルや配管を覆うジャケットに関し、特にケーブルや配管の熱を遮蔽する断熱ジャケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば露光装置などの精密装置は、複数の筐体を有している。筐体は、複数のユニットを搭載している。このユニットは、電気機器や電子機器や基板や電源装置を有している。例えば、ユニット同士や、基板と電源装置とは、ケーブルによって接続されている。各ケーブルは、例えばタイマウントや結束バンドによって、束にまとめられている。  
また、装置には様々な配管が接続される場合もある。
【０００３】
精密装置が稼働すると、電力供給などのためにケーブルが発熱する。精密装置が通常通りに稼働するためには、精密装置内部の温度は一定に保たれる必要がある。しかしながら、前記した発熱は、温度上昇の一因となり、精密装置の異常の一因となる。
【０００４】
そこで、例えば特許文献１の技術のように、ケーブルを冷却する技術がある。特許文献１において、水冷ケーブルは、水冷ケーブルの中心軸上に配設されている導体と、導体を覆うホースと、水冷ケーブルの径方向において導体とホースとの間に配設され、水が流れる通水路とを有している。通水路は、導体から発生する熱が水冷ケーブルの外部に伝達されることを防止している。これにより、断熱が実施され、水冷ケーブルは冷却される。この水冷ケーブルでは、通水路と導体とが一体となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１６３５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
通常、精密装置などの温度を一定に保つ必要がある装置は、ファンなどを利用する空冷式の冷却機構や、液体を循環させる液冷式の冷却機構を内部に有している。しかしながら、これら冷却機構はユニットを冷却することを主目的としている。このためケーブルの熱に対する断熱対策は直接的に講じられていなかった。  
また、装置内を所望の温度に保つために、液冷式の冷却機構の水冷管が装置内に存在する場合には、かかる所望の温度と水冷管の温度との関係で冷水管が逆に周辺外気温度を低下させてしまう場合も考えられる。
【０００７】
このため本発明は、上記事情に鑑み、ケーブルや配管などの断熱対象物の温度の影響を容易に抑止できる断熱ジャケットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は目的を達成するために、断熱対象である被覆物を覆う断熱ジャケットであって、湾曲することによって前記被覆物を覆い、前記被覆物に着脱自在なジャケット部材と、前記ジャケット部材の内部に設けられ、断熱用媒体が流れる流路として機能するパイプ部材と、を具備することを特徴とする断熱ジャケットを提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ケーブル及び冷却のための設計の自由度を低下させずに、ケーブルを効果的且つ直接的に冷却できる安価な断熱ジャケットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、精密装置の概略図である。
【図２Ａ】図２Ａは、ケーブル束を覆う第１の実施形態における断熱ジャケットの分解斜視図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、ケーブル束を覆っている断熱ジャケットの斜視図である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、図２Ｂに示すケーブル束と断熱ジャケットとの正面図である。
【図３】図３は、断熱ジャケットの組み合わせの一例を示す図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第２の実施形態における断熱ジャケットの平面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、断熱ジャケットがケーブル束に巻き付く状態を示す図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、ケーブル束に巻き付いている断熱ジャケットの斜視図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、図４Ｃに示すケーブル束と断熱ジャケットとの正面図である。
【図５】図５は、第３の実施形態における断熱ジャケットがケーブル束を覆っている状態の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
［第１の実施形態］  
［構成］  
図１と図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとを参照して、第１の実施形態について説明する。なお図１において断熱ジャケット３０の図示を簡略化するなど、一部の図面では、図示の明瞭化のために、部材の一部の図示を省略している。本実施形態の断熱用媒体は、例えば、空気といった気体や、水や油といった液体などの流体を有する。
【００１２】
［精密装置１０］  
図１に示すように、例えば露光装置などの精密装置１０は、複数の筐体１１を有している。筐体１１は、複数のユニット１３を搭載している。このユニット１３は、電気機器や電子機器や基板や電源装置を有している。例えば、ユニット１３同士や、基板と電源装置とは、ケーブル１５によって接続されている。ケーブル１５は例えば回線ケーブルや電源ケーブルなどであり、ケーブル１５の種類は本発明において限定されない。  
各ケーブル１５は、図示しない例えばタイマウントやバンド部材などの結束部材によって、束にまとめられている。以下、束ねられているケーブル１５を、ケーブル束１５ａと称する。  
精密装置１０が稼働する際、ユニット１３は発熱し、そして電力供給などのためにケーブル１５も発熱する。
【００１３】
このため図１に示すように、精密装置１０は、ケーブル１５を含むケーブル束１５ａの温度が精密装置１０の内部温度に影響を与えないようにするために、ケーブル束１５ａを覆う断熱ジャケット３０を有している。断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａに対して着脱自在となっている。断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａに直接装着される。断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａとは別体である。断熱ジャケット３０は、ケーブルジャケットとして機能する。ケーブル束１５ａは、断熱対象であり、被覆物である。
【００１４】
［断熱ジャケット３０］  
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、断熱ジャケット３０は、湾曲自在で、湾曲することによって被覆物であるケーブル束１５ａを覆い、ケーブル束１５ａに着脱自在なジャケット部材４０と、ジャケット部材４０の内部に設けられ、断熱用媒体（ここでは、冷却媒体）が流れる流路部として機能し、ジャケット部材４０が覆うケーブル束１５ａの熱の外部への伝導を防止（熱遮蔽）する例えば樹脂製のパイプ部材５０とを有している。
【００１５】
［ジャケット部材４０］  
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａに直接装着され、ケーブル束１５ａから取り外し可能となっている。ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａとは別体である。ジャケット部材４０は、湾曲（屈曲）自在となっており、湾曲してケーブル束１５ａの軸回り方向においてケーブル束１５ａを覆う。このようなジャケット部材４０は、例えば、樹脂等の柔軟性を有する部材によって形成されている。ジャケット部材４０の長手軸は、ケーブル束１５ａの長手軸に沿って装着される。
【００１６】
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、本実施形態のジャケット部材４０は、組み合わされることによって筒形状（例えば円筒形状）を形成するように複数配設されている。このようなジャケット部材４０は、セパレート型として機能する。  
以下において、一例として、ジャケット部材４０が２つ用いられるものとして説明する。この数は、組み合わせによって筒形状が形成されれば、特に限定されない。これらジャケット部材４０を、それぞれ、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂと称する。第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、互いに別体である。
【００１７】
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、互いに略同一の構成である。第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、ケーブル束１５ａの軸回り方向においてケーブル束１５ａを例えば略半周に渡って覆うように、湾曲自在となっている。第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、例えば平板状から半円筒状（Ｕ字形状）に、または半円筒状（Ｕ字形状）から平板状に変形可能となっている。
【００１８】
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、Ｕ字形状に湾曲した状態で、筒形状、例えば円筒形状を形成するように組み合わされる。そして、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとが組み合わされることによって形成されるジャケット部材４０の柱形状（例えば円柱形状）の内部空間部４１に、ケーブル束１５ａが収納されるように、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとはケーブル束１５ａを挟み込みケーブル束１５ａを覆う。言い換えると、組み合わされるジャケット部材４０の中心にケーブル束１５ａが配設されるように、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとはケーブル束１５ａを挟み込みケーブル束１５ａを覆う。またさらに言い換えると、第１のジャケット部材４０ａが他のジャケット部材である第２のジャケット部材４０ｂと組み合わされることによって筒形状を形成し、筒形状の内部空間部に被覆物であるケーブル束１５ａが収納されるように、断熱ジャケット３０は構成されている。
【００１９】
第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとが円筒形状を形成するように組み合わされた際、第１のジャケット部材４０ａのＵ字の両端は第２のジャケット部材４０ｂのＵ字の両端に当接する。この状態では、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは図示しない例えばバンド部材などの結束部材によって縛られる等、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは互いに固定される。なお、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとの固定方法は本発明において限定されるものではなく、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、互いに対して着脱自在となっていることが好ましい。これにより、断熱ジャケット３０は、敷設後のケーブル１５に容易に装着できるだけでなく、装着後の付け替えや位置変更を容易に行うことができる。
【００２０】
［パイプ部材５０］  
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、パイプ部材５０は、例えば円筒形状を有しており、所望な長さを有している。またパイプ部材５０は、熱伝導率の高い材質、例えば樹脂によって形成されている。
【００２１】
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、パイプ部材５０は、ジャケット部材４０に埋め込まれており、例えば波状や一定の波長のようにジャケット部材４０に張り巡らされている。例えば、パイプ部材５０は、ジャケット部材４０の長手軸方向に沿って直線状に配設され、ジャケット部材４０の長手軸方向におけるジャケット部材４０の両端にて例えばＵ字形状に折り返されて再びジャケット部材４０の長手軸方向に沿って直線状に配設される。パイプ部材５０の直線部分は、互いに並設されている。直線部分は、ジャケット部材４０の湾曲方向に対して直交するケーブル束１５ａの長手軸方向に沿って配設されている。パイプ部材５０のＵ字部分と、直線部分とは、互いに一体であっても別体であってもよい。
なお、断熱ジャケット３０はどのような方法で製造されてもよいが、例えば、型枠形成によってジャケット部材４０内にパイプ部材５０を設けてもよいし、プレス加工によってジャケット部材４０でパイプ部材５０を挟み込むことによって形成してもよい。
【００２２】
図２Ａと図２Ｂとに示すように、パイプ部材５０は、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとに連続して配設されている。このためパイプ部材５０の一部５１は、第１のジャケット部材４０ａの内部から外部に延出され、外部にて露出し、外部から第２のジャケット部材４０ｂの内部に埋め込まれる。よって第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは、別体であるが、パイプ部材５０を介して連結している。
【００２３】
図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、パイプ部材５０は、第１のジャケット部材４０ａの内部から外部に延出される一端部５０ａと、第２のジャケット部材４０ｂの内部から外部に延出される他端部５０ｂとを有している。一端部５０ａと他端部５０ｂとは、互いにジャケット部材４０の同じ側に配設されているのではない。例えば、一端部５０ａはジャケット部材４０の先端部に配設され、他端部５０ｂはジャケット部材４０の他端部に配設されている。
【００２４】
また図２Ａと図２Ｂと図２Ｃとに示すように、パイプ部材５０は、パイプ部材５０の一端部５０ａとパイプ部材５０の他端部５０ｂとに配設されている接続口部５３を有している。接続口部５３は、他の断熱ジャケット３０のパイプ部材５０と接続するために配設されている。
【００２５】
例えば、一端部５０ａに配設されている接続口部５３は、冷却媒体を断熱ジャケット３０に供給する図示しない供給装置と接続しており、冷却媒体が供給装置からパイプ部材５０に流入する流入口として機能する。また例えば、他端部５０ｂに配設されている接続口部５３は、この供給装置と接続しており、冷却媒体がパイプ部材５０から供給装置に流出する流出口として機能する。他端部５０ｂに配設されている接続口部５３から流出し、供給装置に戻った冷却媒体は、供給装置にて冷却され、一端部５０ａに配設されている接続口部５３を介して再びパイプ部材５０に流入する。このように冷却媒体は、供給装置とパイプ部材５０とを循環している。
【００２６】
［作用］  
本実施形態では、ユニット１３が筐体１１の内部に配設され、ケーブル１５は例えばユニット１３同士を接続し、各ケーブル１５は予め束にまとめられる。
【００２７】
例えば、各ケーブル束１５ａのなかかから発熱量が大きいケーブル束１５ａが選択され、このケーブル束１５ａに断熱ジャケット３０が直接装着される。つまり断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａの配線が完了した後に、ケーブル束１５ａに装着される。
【００２８】
本実施形態では、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとはケーブル束１５ａを挟み込みケーブル束１５ａを覆う。そして、第１のジャケット部材４０ａと第２のジャケット部材４０ｂとは固定される。
【００２９】
冷却媒体は、供給装置から供給されて接続口部５３を介してパイプ部材５０に流入する。これにより冷却媒体が流れるパイプ部材５０は、ケーブル束１５ａからの熱を遮蔽し、ケーブル束１５ａの外部、すなわち精密装置１０内の温度への影響を抑する。そして冷却媒体は、接続口部５３から流出し、供給装置に戻る。さらに冷却媒体は、供給装置にて冷却され、再びパイプ部材５０に流入する。このように冷却媒体は、供給装置とパイプ部材５０とを循環する。
なお、冷却媒体の温度は、精密装置１０内の所望温度と同一、又は、それよりも低いことが好ましい。これにより、ケーブル束１５ａの熱を確実に遮蔽できる。
【００３０】
［効果］  
本実施形態では、断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａに直接装着され、ケーブル束１５ａの熱が精密装置１０内へ伝導することを抑止している。このため、本実施形態では、ユニット１３を冷却することを主目的としている空冷式や液冷式の冷却機構に対して、ケーブル１５の熱を遮蔽できる。そして本実施形態では、精密装置１０全体の温度上昇を抑制でき、精密装置１０の温度管理を確実に実現できる。  
また本実施形態では、断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａとは別体であり、ケーブル束１５ａに直接装着される。このため、本実施形態では、ケーブル１５それぞれに通水路といったパイプ部材を配設するわけではないため、安価にできる。そして本実施形態では、断熱ジャケット３０が装着されるのみであるため、ケーブル１５及び冷却のための設計の自由度が低下することを防止できる。また本実施形態では、ケーブル１５それぞれに通水路といったパイプ部材を配設するわけではなく、あくまで精密装置１０内の配設後のケーブル束１５ａに断熱ジャケット３０を装着するため、精密装置１０が大型化してしまうことを防止できる。  
このように本実施形態では、ケーブル１５や配管などの断熱対象物の温度の影響を直接的且つ容易に抑止できる断熱ジャケット３０を提供できる。また本実施形態では、ケーブル１５及び冷却のための設計の自由度を低下せずに、ケーブル１５を効果的且つ直接的に冷却できる安価な断熱ジャケット３０を提供できる。
【００３１】
また本実施形態では、断熱ジャケット３０は、ケーブル１５ごとに装着されるのではなく、ケーブル束１５ａに装着される。このため本実施形態では、断熱ジャケット３０の装着のための作業効率を高めることができる。
【００３２】
また本実施形態では、断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａの配線が完了した後に装着される。このため本実施形態では、各ケーブル束１５ａのなかかから発熱量が高い部分を考慮するなど、ケーブル束１５ａの装着箇所を効率よく選定できる。
【００３３】
また本実施形態では、必要に応じて、ケーブル束１５ａから断熱ジャケット３０を簡単に取り外すこともできる。
【００３４】
また本実施形態では、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａを覆うように湾曲自在である。このため、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａに装着された際、ぐらつくことなくケーブル束１５ａに密着可能である。このため本実施形態では、冷却効率を高めることができる。
【００３５】
また本実施形態では、ジャケット部材４０は、組み合わされることによって筒形状を形成するように複数配設されている。このため本実施形態では、さまざまなサイズのケーブル束１５ａに対応できる。また本実施形態では、ケーブル束１５ａの配線が完了した後、ジャケット部材４０を装着できるため、装着の自由度を向上できる。
【００３６】
また本実施形態では、パイプ部材５０は、樹脂製である。このため、ジャケット部材４０が湾曲しても、パイプ部材５０が破断することを防止できる。
【００３７】
また本実施形態では、ジャケット部材４０はケーブル束１５ａを覆い、パイプ部材５０はジャケット部材４０の内部に張り巡らされている。例えば、パイプ部材５０は、ジャケット部材４０の長手軸方向に沿って直線状に配設され、ジャケット部材４０の長手軸方向におけるジャケット部材４０の両端にてＵ字形状に折り返されて再びジャケット部材４０の長手軸方向に沿って直線状に配設される。パイプ部材５０の直線部分は、互いに並設されている。このため、本実施形態では、冷却効率を高めることができる。
【００３８】
なお本実施形態では、断熱ジャケット３０がケーブル束１５ａをまとめて覆うことを前提に記載しているが、これに限定する必要はない。断熱ジャケット３０は、１本のケーブル１５のみを覆ってもよい。
【００３９】
また本実施形態では、断熱ジャケット３０は、ケーブル束１５ａを覆うことに限定する必要はなく、例えば、発熱するため冷却が必要で、ユニット１３同士を接続したり、基板と電源装置とを接続する線状部材や線状部材束を覆ってもよい。
【００４０】
また本実施形態では、図３に示すように、接続口部５３同士が接続することによって、接続口部５３は、例えば、一方の断熱ジャケット３０に配設されているパイプ部材５０と、他方の断熱ジャケット３０に配設されているパイプ部材５０とを接続してもよい。この場合、例えばケーブル束１５ａの長手軸方向において、一方の断熱ジャケット３０は、他方の断熱ジャケット３０と隣り合っている。  
これにより、冷却媒体は、一方のパイプ部材５０から接続口部５３を介して他方のパイプ部材５０に流入することになる。  
よって本実施形態では、ケーブル束１５ａが長くても、断熱ジャケット３０を組み合わせることで、ケーブル束１５ａを確実に冷却でき、様々な長さを有するケーブル束１５ａにも対応でき、断熱ジャケット３０の装着の自由度を向上できる。また本実施形態では、断熱ジャケット３０が組み合わさって、冷却媒体の循環経路が維持されていれば、供給装置を１つのみ配設すればよく、精密装置１０全体が大型化することを防止できる。
【００４１】
また本実施形態では、パイプ部材５０の一端部５０ａは、複数に枝分かれしていいてもよい。図３に示すように、一端部５０ａは、例えば２股に分かれている。一端部５０ａの一方５０１は、ケーブル束１５ａの長手軸に沿って配設されている。また一端部５０ａの他方５０３は、一端部５０ａの一方５０１に対して起上している。そして一端部５０ａの他方５０３は、ジャケット部材４０に配設されている切れ込み部や開口部４３を貫通して、外部に露出している。そして一端部５０ａは、接続口部５３を介して他の断熱ジャケット３０のパイプ部材５０と接続する。  
これにより、本実施形態では、複数の断熱ジャケット３０は、断熱ジャケット３０の長手軸方向に沿って配設される必要はなくなる。このため本実施形態では、断熱ジャケット３０の装着の自由度と、冷却媒体の循環経路における設計の自由度を向上でき、供給装置を１つのみ配設すればよく、供給装置が増えることに伴って精密装置１０全体が大型化することを防止できる。
【００４２】
［第２の実施形態］  
以下に、第１の実施形態とは異なる点のみ記載する。  
［構成］  
図４Ａと図４Ｂと図４Ｃと図４Ｄとに示すように、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａの軸回り方向において、ケーブル束１５ａに巻き付くように、ケーブル束１５ａを全周に渡って覆う。ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａに巻き付くために、平板状から筒形状、例えば略円筒形状に湾曲可能となっている。ケーブル束１５ａを全周に渡って覆っているジャケット部材４０は、筒形状、例えば円筒形状を有している。このようなジャケット部材４０は、ロール型として機能する。
【００４３】
図４Ｃと図４Ｄとに示すように、ジャケット部材４０がケーブル束１５ａを覆う際、ジャケット部材４０の軸周り方向において、ジャケット部材４０の長手軸方向に直交する直交方向におけるジャケット部材４０の一端部は直交方向におけるジャケット部材４０の他端部にオーバーラップしてもよい。
【００４４】
ジャケット部材４０は、ジャケット部材４０のこの一端部と他端部との一方に配設され、ジャケット部材４０がケーブル束１５ａを覆う際に一端部と他端部との一方を他方に固定する固定部材４５を有している。つまり、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａを全周に渡って覆った状態で固定されるように、少なくとも一端部に当該ジャケット部材４０の表面に固着する固定部材４５を有している。この固定部材４５は、例えばファスナーや面ファスナーやワンタッチテープなどの留め具として機能する。
【００４５】
［効果］  
本実施形態では、ジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａに巻き付くように、ケーブル束１５ａを全周に渡って覆う。このため本実施形態では、ケーブル束１５ａの太さを考慮する必要はなく、断熱ジャケット３０をケーブル束１５ａに素早く且つ容易に装着でき、作業時間を短縮できる。
【００４６】
［第３の実施形態］  
以下に、第１の実施形態とは異なる点のみ記載する。  
［構成］  
図５に示すように、ケーブル束１５ａは、例えば精密装置１０の床面や、筐体１１のシャーシ面である平板部１７に載置されている。  
図５に示すように、平板部１７に設置される本実施形態のジャケット部材４０は、アーチ（弓）形状を有しており、ケーブル束１５ａの軸回り方向において、ケーブル束１５ａの一部、詳細には、平板部１７に載置されているケーブル束１５ａの載置面を除く部分を覆う。つまりジャケット部材４０は、ケーブル束１５ａ上に置くだけで、ケーブル束１５ａの軸回り方向においてケーブル束１５ａを例えば略半周に渡って覆うことができる。このようなジャケット部材４０は、筒形状、例えば半円筒状（Ｕ字形状、アーチ形状）を床面に設置した状態で維持するように構成されている。
【００４７】
［効果］  
本実施形態では、様々な部分、特に平面上に配設されているケーブル束１５ａに、断熱ジャケット３０を素早く且つ容易に装着でき、作業時間を短縮できる。
【００４８】
本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。  
例えば、上記実施形態は、断熱対象である被覆物がケーブル１５やケーブル束１５ａである場合を例にあげて説明した。しかし、本発明において被覆物は、ケーブルに限定されるものではなく、配管や筺体等、断熱ジャケット３０によって被覆可能なものであればよい。  
また、上記実施形態では、ケーブル１５が外部（例えば精密装置１０内）の所望温度より高温であり、断熱用媒体が冷却媒体である場合を例にあげて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、被覆物が外部の所望温度よりも低い場合もある。例えば、被覆物が水冷管である場合などには、本発明における断熱用媒体は必ずしも冷却媒体ではなく、被覆物の温度を断熱するための温度調節を目的とし、被覆物の温度よりも高い加熱媒体でもよい。したがって、本発明において断熱すべき熱とは被覆物の外部（外気）に対して高温であっても低温であってもよく、媒体の温度はかかる所望温度に応じて決定される。
【符号の説明】
【００４９】
１０…精密装置、１１…筐体、１３…ユニット、１５…ケーブル、１５ａ…ケーブル束、  ３０…断熱ジャケット、４０…ジャケット部材、４０ａ…第１のジャケット部材、４０ｂ…第２のジャケット部材、４１…内部空間部、５０…パイプ部材、５０ａ…一端部、５０ｂ…他端部、５３…接続口部。
【図１】
2015035873.tif 000003
【図２Ａ】
2015035873.tif 000004
【図２Ｂ】
2015035873.tif 000005
【図２Ｃ】
2015035873.tif 000006
【図３】
2015035873.tif 000007
【図４Ａ】
2015035873.tif 000008
【図４Ｂ】
2015035873.tif 000009
【図４Ｃ】
2015035873.tif 000010
【図４Ｄ】
2015035873.tif 000011
【図５】
2015035873.tif 000012