(57)【要約】【課題】熱エネルギーによって生じる応力によるノズルプレートの吐出口の配列方向の中央部の局所的な変形を抑制し、形成される画像の品位が低下しにくい液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】本発明の液体吐出ヘッド５は、ノズルプレート１と、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、を含む。ノズルプレート１には、液体を吐出するための複数の吐出口２が第１の方向に配列されてなる吐出口列が、第１の方向と交差する第２の方向に複数列形成されている。さらにノズルプレート１には、第１の方向の中央部における第２の方向の長さが、第１の方向の端部における第２の方向の長さより長い、第１の方向に延在する溝部１０が形成されている。溝部１０は、少なくともノズルプレートの第２の方向における端部と端部側に配される吐出口列との間に形成されている。【選択図】図２
2015013469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数の吐出口が第１の方向に配列されてなる吐出口列が前記第１の方向と交差する第２の方向に複数列形成されているノズルプレートと、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記ノズルプレートには、前記第１の方向の中央部における前記第２の方向の長さが、前記第１の方向の端部における前記第２の方向の長さより長い、前記第１の方向に延在する溝部が形成されており、
前記溝部は、少なくとも前記ノズルプレートの前記第２の方向における端部と前記端部側に配されている吐出口列との間に形成されている、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ノズルプレートと前記素子基板との間に、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための流路が形成されており、前記流路は前記溝部とは連通していない、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ノズルプレートの前記第２の方向における両端部側に前記溝部が形成されている、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ノズルプレートには、前記吐出口列と前記溝部とを囲う外周溝が形成されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記溝の前記第２の方向の長さは、前記第１の方向の中央部から端部に向かって徐々に短くなる、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
液体を吐出するための複数の吐出口が第１の方向に配列されてなる吐出口列が前記第１の方向と交差する第２の方向に複数列形成されているノズルプレートと、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記ノズルプレートの少なくとも前記第２の方向における端部と前記端部側に配されている吐出口列との間に、複数の開口部が前記第１の方向に配列されてなる開口部列が形成されており、前記開口部列に含まれる複数の前記開口部において、前記第１の方向の中央部に配されている前記開口部の前記第２の方向の長さは、前記第１の方向の端部に配されている前記開口部の前記第２の方向の長さより長い、液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記ノズルプレートと前記素子基板との間に、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための流路が形成されており、前記複数の開口部は前記溝部とは連通していない、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記ノズルプレートの前記第２の方向における両端部側に前記開口部列が形成されている、請求項６または７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記ノズルプレートには、前記吐出口列と前記開口部列とを囲う外周溝が形成されている、請求項６から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記開口部の前記第２の方向の長さは、前記第１の方向の中央部から端部に向かって徐々に短くなる、請求項６から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェットプリンタ等の画像形成装置には、画像形成の高速化や形成される画像の高画質化が求められている。画像形成の高速化と画像の高画質化を実現するためには、画像形成装置が有する液体吐出ヘッドのノズルプレートに、インク等の液体を吐出するための数多くの吐出口が形成される必要がある。そのため、近年の液体吐出ヘッドのノズルプレートには、複数の吐出口が高密度に配置され、吐出口の高密度化に伴って液体吐出ヘッドが長尺化している。
液体吐出ヘッドのノズルプレートに吐出口を６００ｄｐｉや１２００ｄｐｉで高密度に配置すると、吐出口同士の間隔が狭くなるため、吐出口同士の間の壁が薄くなってしまい、ノズルプレート全体の強度が低下してしまう。これにより、吐出口からインク等の液体を吐出する際に用いる熱エネルギーによって生じる応力に、ノズルプレート全体が変形させられ、特にノズルプレートの吐出口列方向の中央部が著しく変形させられてしまう。また、液体吐出ヘッドの長尺化によって、熱エネルギーによる応力がノズルプレートの吐出口列方向の中央部に集中しやすくなる。このようにノズルプレートが変形することによって、ノズルプレートに形成された吐出口が変形してしまい、ノズルプレートからの液体の吐出方向が所定の方向からずれてしまうおそれがあった。
【０００３】
吐出口（インク吐出口）に液体を供給するための基板の供給口（インク供給口）に対向する位置に、基板に向かって突出するように形成された突起を有するノズルプレート（吐出口プレート）を含む液体吐出ヘッドが、特許文献１に開示されている。ノズルプレートに突起が設けられていることによって、ノズルプレート全体の剛性が向上し、ノズルプレートが変形しにくくなる。
吐出口に液体を供給するための共通液室に突出している突起（梁状突起）から吐出口に向かうように突出している柱状突起を有するノズルプレート（吐出口プレート）を含む液体吐出ヘッドが、特許文献２に開示されている。ノズルプレートに設けられた突起に加えて、突起から突出している柱状突起が設けられていることによって、ノズルプレート全体の剛性がさらに向上し、ノズルプレートが変形しにくくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１５８６５７号公報
【特許文献２】特開２００７−２８３５０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に開示された発明では、ノズルプレート全体の剛性は向上するが、ノズルプレートの吐出口列方向の中央部に熱エネルギーによる応力が集中しやすいという課題は依然として解消されない。そのため、液体吐出ヘッドの長時間の稼働によって繰り返し熱エネルギーが発生した場合には、熱エネルギーによる応力によって、液体吐出ヘッドのノズルプレートの吐出口の配列方向の中央部が変形しやすくなる。ノズルプレートの吐出口の配列方向の中央部が変形すると、ノズルプレートの中央部の吐出口が変形してしまい、所定の方向に液体が吐出できなくなり、形成される画像の品位が低下してしまうおそれがあった。
一方で、ノズルプレートに設けられた突起を大きくし、ノズルプレートの吐出口列方向の中央部が変形しないようにノズルプレート全体の剛性をさらに高めた場合には、応力はノズルプレート自体ではなく、ノズルプレートと基板との接着面に集中する。そのため、ノズルプレートの剥がれが発生してしまい、基板とノズルプレートとの隙間から液体の漏れが発生し、形成される画像の品位が低下してしまうおそれがあった。
【０００６】
そこで本発明の目的は、前記した問題を解決して、熱エネルギーによって生じる応力によるノズルプレートの吐出口の配列方向の中央部の局所的な変形を抑制し、形成される画像の品位が低下しにくい液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記した目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための複数の吐出口が第１の方向に配列されてなる吐出口列が第１の方向と交差する第２の方向に複数列形成されているノズルプレートと、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備える素子基板と、を備える液体吐出ヘッドであって、ノズルプレートには、第１の方向の中央部における第２の方向の長さが、第１の方向の端部における第２の方向の長さより長い、第１の方向に延在する溝部が形成されており、溝部は、少なくともノズルプレートの第２の方向における端部と端部側に配される吐出口列との間に形成されている、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ノズルプレートの吐出口面に溝部が設けられていることによって、吐出口面が精度よく形成されやすくなるため、吐出口から吐出される液体が所定の方向に吐出されやすい。
また、設けられた溝部の幅が中央部と端部とで異なるため、ノズルプレート内に発生する熱エネルギーによる応力が分散され、溝部の中央部にかかる応力が溝部の端部にかかる応力に比べて小さくなる。これにより、ノズルプレートの中央部が変形しにくくなり、ノズルプレートの中央部の吐出口の変形が抑制され、所定の方向へ液体が吐出されるため、形成される画像の品位が低下しにくくなる。
さらに、ノズルプレートの中央部にかかる応力が小さくなることで、ノズルプレートと他の部材との接着面に応力が集中しなくなるため、ノズルプレートの剥がれが発生しにくくなる。ノズルプレート自体に応力が集中しても、ノズルプレートの吐出口方向の中央部にかかる応力が小さいため、ノズルプレート自体の変形は抑制される。よって、液体の漏れが発生しにくくなり、形成される画像の品位低下が抑えられる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の液体吐出ヘッドを示す斜視図である。
【図２】（ａ）は本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの素子基板を示す斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図３】（ａ）、（ｃ）は従来の液体吐出ヘッドの素子基板を示す平面図と断面図、（ｂ）、（ｄ）は第１の実施形態の液体吐出ヘッドを示す平面図と断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｆ）は第１の実施形態の変形例を示す平面図である。
【図５】第１の実施形態の他の変形例を示す平面図である。
【図６】（ａ）〜（ｈ）は第１の実施形態のさらなる他の変形例を示す平面図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの素子基板を示す平面図である。
【図８】第２の実施形態の変形例を示す平面図である。
【図９】（ａ）は本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの素子基板を示す平面図、（ｂ）は第３の実施形態の変形例を示す平面図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は第３の実施形態の他の変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
図１は、画像形成装置、複写機、通信システムを有するファクシミリ、画像形成部を有するワードプロセッサ、各種処理装置と複合的に組み合わせた産業用記録装置等に搭載される一般的な液体吐出ヘッド５を示す斜視図である。この液体吐出ヘッド５は、紙、糸、繊維、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の種々の記録媒体に記録を行う際に用いられる。尚、本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形等を記録媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を付与することも含んだ意味を示す。
【００１１】
液体吐出ヘッド５は、素子基板６と、画像形成装置等の本体部（不図示）等の外部から電気信号を受け取るコンタクトパッド７と、電気信号をコンタクトパッド７から素子基板６へ伝達するフレキシブル配線基板８と、を含む。素子基板６は、図２（ａ）に示すように、インク等の液体を吐出するための複数の吐出口２が形成されたノズルプレート１を、一面に熱エネルギーを発する複数のエネルギー発生素子１２を備えた基板３の一面に接着した構成を有している。
基板３の一面には、複数のエネルギー発生素子１２が列（本実施形態では一対の列）を成すように配置されており、エネルギー発生素子１２の一対の列に挟まれるようにして、ノズルプレート１へ液体を供給する供給口１１が設けられている。エネルギー発生素子１２には、電気熱変換素子（ヒーター）または圧電素子（ピエゾ素子）等が用いられ、基板３の端部に設けられた複数の端子４によって、エネルギー発生素子１２へ電力が供給される。
ノズルプレート１の一面には、基板３の一面に配置された各エネルギー発生素子１２の直上にそれぞれ吐出口２が、第１の方向に少なくとも一つの列を成すように６００ｄｐｉのドット密度で配置されている。本実施形態では、複数の吐出口２が形成する吐出口列２ａが、第１の方向と交差する第２の方向に複数列形成されている。また、吐出口列２ａとノズルプレート１の端部との間に、吐出口列２ａに沿って複数の開口部１０ａが配列されてなる開口部列がノズルプレート１に設けられている。本実施形態では、一対の吐出口列２ａを挟み込むように、一対の開口部列１０が形成されている。ノズルプレート１の他面には、基板３の供給口１１から供給された液体を吐出口２へ流す流路１６を形成する窪みが設けられており、ノズルプレート１と基板３とが接着されることで、ノズルプレート１と基板３との間に流路１６が形成される。この開口部列は少なくとも、ノズルプレートの端部とこの端部側に配される吐出口列との間に１列形成されていれば良いが、図２（ｂ）に示すようにノズルプレートの両端部側に形成されていることが好ましい。またこの開口部列１０は流路１６とは連通していない。
【００１２】
開口部列１０は、図２（ｂ）に示すように、ノズルプレート１に吐出口列２ａに沿って列を成している穴である複数の開口部１０ａからなり、一つの吐出口２に対して一つの開口部１０ａが配置されている。この開口部列１０は、吐出口２の配列方向にみて、吐出口列の中央部に対応する位置の開口部列１０の中央部の開口部１０ａの幅が、吐出口列の端部に対応する位置の開口部列１０の端部の開口部１０ａの幅より広くなるように形成されている。具体的には、開口部列１０の端部の開口部１０ａから中央部の開口部１０ａに向かって開口部１０ａの幅が徐々に広がっていくように、開口部列１０が構成されている。各開口部１０ａは正方形に形成されているため、開口部列１０の中央部付近の開口部１０ａ同士の間隔は端部付近の開口部１０ａ同士の間隔より狭い。尚、各開口部１０ａは、正方形ではなく、長方形や円等の他の形状であってもよい。
開口部列１０が設けられていると、ノズルプレート１の製造時に開口部列１０を形成するために、開口部列１０の形状をしたパターンが配置される。このパターンの周囲に、ノズルプレート１を形成するネガ型感光性樹脂が塗布され、パターンとネガ型感光性樹脂とが密着してネガ型感光性樹脂が塗布された状態を留めやすくなるため、ノズルプレート１の吐出口面が精度よく形成されやすくなる。
【００１３】
開口部列１０が設けられていない従来の液体吐出ヘッド５では、図３（ａ）に示すように、ノズルプレート１に均等に熱エネルギーによる応力９がかかる。吐出口２が形成されている吐出口列２ａの配列方向の中央部に対応するノズルプレート１の中央部の剛性は、ノズルプレート１の端部に比べて低いため、ノズルプレート１に均等にかかる応力９によって、ノズルプレート１の中央部が変形してしまう。ノズルプレート１の中央部が変形してしまうと、図３（ｃ）に示すように、中央部の吐出口２が変形してしまい、吐出される液滴１３の方向が所定の方向からずれてしまう。そのため、記録媒体に液滴１３が着弾する位置が所定の位置からずれてしまい、画像品位が低下してしまうおそれがあった。
これに対して、本実施形態の液体吐出ヘッド５は、吐出口列２ａに沿って開口部列１０が形成されていることによって、図３（ｂ）に示すように、ノズルプレート１にかかる熱エネルギーによる応力９が分散されやすくなる。特に、開口部列１０の中央部の幅が広く、端部の幅が狭いことによって、ノズルプレート１の端部にかかる応力９に比べてノズルプレート１の中央部にかかる応力９が小さくなる。そのため、ノズルプレート１の中央部が応力９によって変形しにくくなり、図３（ｄ）に示すように、ノズルプレート１の中央部の吐出口２の変形が抑制され、吐出される液滴１３の方向が所定の方向からずれにくい。よって、記録媒体に液滴１３が着弾する位置のずれも抑えられ、画像の品位低下が抑制される。また、ノズルプレート１の中央部にかかる応力９が小さいことで、ノズルプレート１の中央部が変形しにくくなるため、ノズルプレート１が基板３から剥がれにくくなり、液体の漏れが抑制され、形成される画像の品位低下が抑えられる。
【００１４】
本実施形態の液体吐出ヘッド５は、従来の液体吐出ヘッドと同様の製造方法で製造することが可能であり、以下にその製造方法を説明する。
初めに、一面に複数のエネルギー発生素子１２が形成された基板３が準備される。本実施形態では、複数のエネルギー発生素子１２は、基板３に一対の列をなすようにして配置されている。
次に、基板３の一面に、溶解可能なポジ型感光性樹脂がスピンコートによって塗布される。そして、隣り合う一対のエネルギー発生素子１２同士を覆う露光マスクを用いてポジ型感光性樹脂を露光し現像することで、流路１６の型材となるパターンが形成される。
【００１５】
流路１６の型材となるパターンが形成された後に、基板３の一面に流路１６の型材となるパターンを覆うようにして、後にノズルプレート１となるネガ型感光性樹脂がスピンコート法、ロールコート法等で塗布される。薄膜コーティング技術であるスピンコート法を用いると、ネガ型感光性樹脂が均一かつ精度よく形成される。ノズルプレート１は、フォトリソグラフィにて吐出口２が精度よく形成されることから、感光性の材料であることが好ましい。このような感光性の材料には、構造材料としての高い機械的強度、基板３との密着性、耐インク性に加えて、吐出口２の微細な形状をパターニングするための解像度が要求される。このような特性を有する材料としては、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物が挙げられる。
続けて、基板３の一面に形成されたネガ型感光性樹脂に対して、吐出口２と開口部列１０とが形成される部分がマスクで遮蔽されるようにしてパターン露光が行われる。パターン露光には、使用される光カチオン重合開始剤の感光領域に合わせて、紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光、電子線、Ｘ線等が適宜用いられる。パターン露光の反応を促進させるために、ネガ型感光性樹脂が加熱処理されてもよい。ネガ型感光性樹脂に用いられるエポキシ樹脂のカチオン重合硬化物は常温では固体状で存在するため、パターン露光で生じるカチオン重合開始種の拡散が制約され、優れたパターニング精度及び形状が実現される。
【００１６】
このように、流路１６の型材となるパターンを形成する工程と、ネガ型感光性樹脂層にパターン露光する工程とにおいては、全てフォトリソグラフィ技術を用いることが可能である。従って、従来のノズルプレート１と基板３とが貼り合わせられる方法に比べて、吐出口２や流路１６等が寸法精度高く形成される。
ネガ型感光性樹脂は、パターン露光された後に溶剤を用いて現像されてノズルプレート１となり、ノズルプレート１には複数の吐出口２と開口部列１０とが形成される。その後に、ノズルプレート１の吐出口面に親水処理が施され、異方性エッチング等によって基板３に供給口１１が形成される。
【００１７】
図４（ａ）〜（ｆ）は、第１の実施形態の液体吐出ヘッド５の変形例を示す平面図である。
図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、液体吐出ヘッド５のノズルプレート１に設けられた応力分散機能部としての溝部１０が、開口部１０ａを用いずに連続する一対の溝から形成されている。この溝部１０は吐出口列に沿って延在しており、溝部１０の端部から中央部に向かってなだらかに溝部１０の幅が広くなるように形成されている。
図４（ｅ）、（ｆ）に示すように、液体吐出ヘッド５のノズルプレート１に設けられた溝部１０が、連続する一対の溝から成り、平面的にみた際に溝部１０の端部から中央部に向かって階段状に溝部１０の幅が広くなるように形成されている。この溝部１０は、隣り合う吐出口２に応じて階段状の段の高さが異なるように構成されている。
【００１８】
図５は、第１の実施形態の液体吐出ヘッド５の他の変形例を示す平面図である。
図５に示すように、液体吐出ヘッド５のノズルプレート１に、複数の吐出口２が一対の列を成して１２００ｄｐｉのドット密度で配置されている。開口部列１０を構成する開口部１０ａは一つの吐出口２に対して一つずつ配置されているため、本変形例の開口部１０ａの数は第１の実施形態の開口部１０ａの数に比べて倍になっている。これらの開口部１０ａが端部から中央部に向かって幅が大きくなるように配列されて、開口部列１０が形成されている。
【００１９】
尚、図６（ａ）〜（ｈ）に示すように、さらなる他の変形例として、第１の実施形態とそれぞれの他の変形例との構成に、ノズルプレート１に吐出口２及び溝部や開口部列１０を囲うようにして外周溝１４が形成されていてもよい。外周溝１４が形成されていることによって、溝部や開口部列１０によって得られる効果と同様に、ノズルプレート１の吐出口面が精度よく形成されやすくなるため、吐出口２から吐出される液滴１３（図３参照）が所定の方向に吐出されやすい。
【００２０】
以上のように、溝部や開口部列１０が設けられていることによって、ノズルプレート１の吐出口面が精度よく形成されやすくなるため、吐出口２から吐出される液体が所定の方向に吐出されやすい。
また、液体吐出ヘッド５のノズルプレート１に端部から中央部に向かって幅が広がっている溝部や開口部列１０が設けられていることによって、ノズルプレート１にかかる応力が分散されて小さくなる。そのため、ノズルプレート１の中央部が変形しにくくなり、ノズルプレート１の中央部の吐出口２の変形が抑制されて液滴１３が所定の方向に吐出されることで、形成される画像の品位低下が抑制される。
さらに、ノズルプレート１の中央部にかかる応力が小さくなることで、ノズルプレート１と基板３との接着面に応力がかかりにくくなり、ノズルプレート１の剥がれが発生しにくくなる。よって、ノズルプレート１と基板３との間から液体の漏れが発生しにくくなり、形成される画像の品位低下が抑えられる。
【００２１】
（第２の実施形態）
図７は、本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッド５の素子基板６を示す平面図である。
液体吐出ヘッド５の素子基板６のノズルプレート１の一面には、１２００ｄｐｉのドットと密度で配置された複数の吐出口２からなる吐出口列２ａと、６００ｄｐｉのドット密度で配置された複数の吐出口２からなる吐出口列２ａと、が平行に形成されている。また、１２００ｄｐｉの吐出口列２ａとノズルプレート１の端部との間に、１２００ｄｐｉの吐出口列２ａに沿って開口部列１０が設けられている。
開口部列１０は、ノズルプレート１に設けられた穴である複数の開口部１０ａからなり、１２００ｄｐｉで配置された一つの吐出口２に対して一つの開口部１０ａが配置されている。この開口部列１０は、吐出口２の配列方向にみて、吐出口列の中央部に対応する位置の開口部列１０の中央部の開口部１０ａの幅が、吐出口列の端部に対応する位置の開口部列１０の端部の開口部１０ａの幅より広くなるように形成されている。
尚、その他の構成及び製造方法については第１の実施形態と同様のため省略する。
【００２２】
このように、ドット密度の異なる複数の吐出口列２ａが形成されている場合には、ドット密度の高い吐出口列２ａが形成されている側のノズルプレート１の剛性が低いため、ドット密度の高い吐出口列２ａが形成されている側のノズルプレート１が変形しやすい。そのため、ドット密度の高い吐出口列２ａに沿って開口部列１０が形成されていることによって、ドット密度の高い吐出口列２ａが形成されている側のノズルプレート１にかかる応力が分散され、ノズルプレート１の変形が抑制される。開口部列１０の中央部の幅が広く、端部の幅が狭いことによって、特にノズルプレート１の中央部の変形が抑制される。よって、ノズルプレート１の中央部の吐出口２が変形しにくく、吐出される液滴１３の方向が所定の方向からずれにくいため、記録媒体に液滴１３が着弾する位置のずれも抑えられ、画像の品位低下が抑制される。また、ノズルプレート１の中央部にかかる応力９が小さいことで、ノズルプレート１の中央部が変形しにくくなるため、ノズルプレート１が基板３から剥がれにくくなり、液体の漏れが抑制され、形成される画像の品位低下が抑えられる。
【００２３】
図８は第２の実施形態の変形例を示す平面図である。
本変形例の液体吐出ヘッド５は、ノズルプレート１に吐出口２及び開口部列１０を囲うようにして外周溝１４が形成されている。外周溝１４が形成されていることによって、さらにノズルプレート１の吐出口面が精度よく形成されやすくなるため、吐出口２から吐出される液滴１３が所定の方向に吐出されやすい。
尚、本実施形態及び本変形例では、ドット密度の高い吐出口列２ａとノズルプレート１の端部との間にのみ開口部列１０が設けられた構成を説明したが、ドット密度の低い吐出口列２ａとノズルプレートの端部との間に開口部列１０が設けられていてもよい。この場合においても、開口部列１０の中央部の幅が広く、端部の幅が狭くなるように開口部列１０が形成されることによって、ドット密度の低い吐出口列２ａが形成されている側のノズルプレート１の中央部にかかる応力が分散される。そのため、ノズルプレート１が変形しにくくなり、画像の品位低下が抑制される。
【００２４】
（第３の実施形態）
図９（ａ）は本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッド５の素子基板６を示す平面図である。
図９（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド５の素子基板６のノズルプレート１の一面には、複数の吐出口２によって形成された吐出口列２ａが複数配置されている。本実施形態では、吐出口列２ａが複数対配置されている。吐出口列２ａが複数対配置されていることによって、互いに異なる種類の液体が対を成す吐出口列２ａのそれぞれから吐出される。また、吐出口列２ａに平行なノズルプレート１の端部に最も近接している対を成す吐出口列２ａを挟み込むように、吐出口列２ａに沿って配置された一対の開口部列１０が、ノズルプレート１に設けられている。吐出口列２ａに平行なノズルプレート１の端部に最も近接している吐出口列２ａ以外の吐出口列２ａの周囲には、開口部列１０は設けられていない。
尚、その他の構成及び製造方法については第１の実施形態と同様のため省略する。
【００２５】
吐出口列２ａが複数対配置されているノズルプレート１では、熱エネルギーによる応力によって、吐出口列２ａに平行なノズルプレート１の端部の中央部からノズルプレート１の中心に向かって、ノズルプレート１が変形しやすい。そのため、吐出口列２ａに平行なノズルプレート１の端部に近接している吐出口列２ａが変形してしまい、液滴１３が所定の方向からずれた方向に吐出されてしまうおそれがあった。
本実施形態では、吐出口列２ａに平行なノズルプレート１の端部に近接している一対の吐出口列２ａを挟み込むように開口部列１０が設けられているため、ノズルプレート１にかかる応力が分散する。開口部列１０は、中央部の幅が広く、端部の幅が狭くなるように構成されているため、特に、開口部列１０の中央部にかかる応力９が分散される。従って、ノズルプレート１の中央部にかかる応力が抑制され、ノズルプレート１の中央部が変形しにくくなり、ノズルプレート１の中央部の吐出口２の変形が抑制され、吐出される液滴１３の方向が所定の方向からずれにくい。よって、記録媒体に液滴１３が着弾する位置のずれも抑えられ、画像の品位低下が抑制される。また、ノズルプレート１の中央部にかかる応力９が小さいことで、ノズルプレート１の中央部が変形しにくくなるため、ノズルプレート１が基板３から剥がれにくくなり、液体の漏れが抑制され、形成される画像の品位低下が抑えられる。
【００２６】
図９（ｂ）は第３の実施形態の他の変形例を示す平面図である。
本変形例では、第３の実施形態の構成に対して、吐出口列２ａとノズルプレート１の端部との間にのみ、中央部の幅が広く端部の幅が狭い開口部列１０が設けられている。
液体吐出ヘッド５の稼働時間が短く、熱エネルギーによる応力９が発生しにくい状況では、吐出口列２ａとノズルプレート１の端部との間のみに開口部列１０が設けられていれば、応力９が十分に分散される。従って、本変形例においても、第３の実施形態と同様の効果が得られる。
【００２７】
尚、図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、さらなる他の変形例として、第３の実施形態と他の変形例との構成に、ノズルプレート１に少なくとも一つの吐出口列２ａを囲うようにして外周溝１４が複数形成されていてもよい。また、複数の外周溝１４のうち少なくとも一つは吐出口列２ａと共に開口部列１０を囲んでいる。ノズルプレート１に吐出口列２ａ及び開口部列１０を囲うようにして外周溝１４が形成されていることによって、さらにノズルプレート１の吐出口面が精度よく形成されやすくなるため、吐出口２から吐出される液滴１３が所定の方向に吐出されやすい。加えて、それぞれの吐出口列２ａを外周溝１４が囲っていることで、吐出口列２ａが吐出する液体がノズルプレート１の一面にあふれ出た場合に、外周溝１４に囲まれた領域に溜まりやすくなる。そのため、吐出口２からあふれ出た液体が、異なる種類の液体を吐出する、隣り合う吐出口列２ａの近傍に及ばない。よって、異なる種類の液体同士が混ざり合わなくなるため、液体混合による画質の低下が抑制される。
【符号の説明】
【００２８】
１ ノズルプレート
２ 吐出口
３ 基板
５ 液体吐出ヘッド
１０ 溝部（開口部列）
１１ 供給口
１２ エネルギー発生素子
１４ 外周溝
１６ 流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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