(57)【要約】      （修正有）【課題】はみ出し部を形成しつつ被着体に貼り付けられた接着シートを適切に研削し得るシート研削装置および研削方法を提供する。【解決手段】被着体ＷＦの被着面ＷＦ１に貼付された接着シートＡＳの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部ＡＳ２を研削するシート研削装置１０は、前記被着体を保持する保持手段２０と、前記はみ出し部を研削する研削手段３０と、前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段４０と、前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段５０とを備える。【選択図】図１
2015013346.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記はみ出し部を研削する研削手段と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とするシート研削装置。
【請求項２】
被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記はみ出し部を研削する工程と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とするシート研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着シートのはみ出し部を研削するシート研削装置および研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シートが貼付された半導体ウエハ等の被着体を研削する装置として、被着体を回転させ、回転する被着体の外周端部に研削ヘッドを押し当てて研削する技術が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００９／１０４６１４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のような従来技術では、被着体の被着面からはみ出したシートのはみ出し部を研削する場合、研削ヘッドをはみ出し部に押し当てると、はみ出し部がめくれ上がってしまい、はみ出し部に研削力を適切に付与することができず、シートのはみ出し部を研削できないという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体に貼り付けられた接着シートのはみ出し部を確実に研削することができるシート研削装置および研削方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的を達成するために、本発明に係るシート研削装置は、被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記はみ出し部を研削する研削手段と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる移動手段と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる折曲手段とを備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るシート接着方法は、被着体の被着面に貼付された接着シートの一部であって当該被着面からはみ出したはみ出し部を研削するシート研削方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記はみ出し部を研削する工程と、
前記被着体と前記研削手段とを前記被着体の外周に沿って相対移動させる工程と、
前記研削手段が研削する前記はみ出し部を前記被着体側に折り曲げる工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、はみ出し部を被着体側に折り曲げるので、研削手段をはみ出し部に押し当ててもはみ出し部がめくれ上がってしまうことを抑制でき、被着体に貼付された接着シートのはみ出し部を確実に研削することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】シート研削装置の側面図。
【図２】シート研削装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態に係るシート研削装置１０を図１および図２に基づいて説明する。
なお、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、水平面内の軸とし、Ｚ軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって、紙面に直交する手前方向、「後」がその逆方向とする。
【００１１】
図１に示すように、本発明のシート研削装置１０は、被着体としてのウエハＷＦの被着面ＷＦ１に貼付された接着シートＡＳの一部であって当該被着面ＷＦ１からはみ出したはみ出し部ＡＳ２を研削するものであって、ウエハＷＦを保持する保持手段２０と、はみ出し部ＡＳ２を研削する研削手段３０と、ウエハＷＦと研削手段３０とをウエハＷＦの外周に沿って相対移動させる移動手段４０と、研削手段３０が研削するはみ出し部ＡＳ２をウエハＷＦ側に折り曲げる折曲手段５０とを備えている。
なお、接着シートＡＳは、基材と、当該基材におけるウエハＷＦに対向する面に積層された接着剤層とを備え、ウエハＷＦに貼付された状態で被着面ＷＦ１に当接した部分が接着部ＡＳ１とされる。また、ウエハＷＦは、被着面ＷＦ１に背向する他の面ＷＦ２と、被着面ＷＦ１と他の面ＷＦ２とを繋ぐ外周面ＷＦ３を備えている。
【００１２】
保持手段２０は、ウエハＷＦを他の面ＷＦ２側から保持する保持面２１ａが形成されたテーブル２１と、保持面２１ａに連通する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。
【００１３】
研削手段３０は、接着シートＡＳを研削する砥石３１と、砥石３１を支持する出力軸３２ａを備えた駆動機器としての回動モータ３２と、回動モータ３２を支持する出力軸３３ａを備えた駆動機器としての直動モータ３３と、直動モータ３３を支持する出力軸３４ａを備えた駆動機器としての回動モータ３４と、回動モータ３４を支持する出力軸３５ａを備えた駆動機器としての直動モータ３５とを備えている。
【００１４】
移動手段４０は、研削手段３０に対してテーブル２１を相対回転可能に支持する出力軸４１ａを有する駆動機器としての回動モータ４１を備えている。
【００１５】
折曲手段５０は、加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段から気体を噴出するノズル５１を備えている。折曲手段５０は、ウエハＷＦ及び接着シートＡＳの外周縁付近の上方に配置されており、ウエハＷＦと研削手段３０との相対回転方向に関して研削手段３０による研削位置と同位置若しくは研削手段３０による研削位置のはみ出し部ＡＳ２を折り曲げ可能な相対回転方向上流側に配置されている。
【００１６】
次に、シート研削装置１０の動作について説明する。まず、図１に示すように、人手や図示しない搬送手段によって、被着面ＷＦ１に接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦがテーブル２１の保持面２１ａ上に載置されると、保持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。このとき、ウエハＷＦは、ウエハＷＦの面中心と回動モータ４１の出力軸４１ａの回転軸とが一致するように載置される。その後、移動手段４０が回動モータ４１を駆動し、テーブル２１を出力軸４１ａの回転軸を中心に回転させる。
【００１７】
その後、折曲手段５０が図示しない気体供給手段を駆動し、ノズル５１から気体を噴出させ、接着シートＡＳのはみ出し部ＡＳ２に対して上方から気体を吹き付け、図１中二点鎖線で示すように、外周面ＷＦ３を覆うようにはみ出し部ＡＳ２を折り曲げ、当該はみ出し部ＡＳ２を外周面ＷＦ３に押し当てる。
【００１８】
次いで、研削手段３０が回動モータ３２を駆動し、砥石３１を回転させた後、直動モータ３５を駆動し、図２（Ａ）中実線で示すように、砥石３１を研削位置まで移動させ、折り曲げられたはみ出し部ＡＳ２を研削する。そして、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、砥石３１がウエハＷＦの外周面ＷＦ３に当接すると、研削手段３０が回動モータ３４、直動モータ３５を駆動し、砥石３１を図２（Ｂ）に示すように、砥石３１を反時計回転方向に移動させつつ、左方へ移動させることではみ出し部ＡＳ２を研削する。このとき、接着部ＡＳ１の外縁上方が外縁下方に比べてウエハＷＦの中心方向に位置するまで研削するとよい。なお、砥石３１での研削中は、研削手段３０が直動モータ３３を駆動し、砥石３１の回転軸方向に当該砥石３１を往復移動させる。これにより、砥石３１が目詰まりをする頻度を抑制し、砥石３１の交換頻度を低下させることができる。
【００１９】
はみ出し部ＡＳ２を所定の領域まで研削した後、研削手段３０が回動モータ３２の駆動を停止するとともに、回動モータ３４、直動モータ３５を駆動し、砥石３１を図１中実線で示す位置に移動させる。また、移動手段４０が回動モータ４１の駆動を停止した後、折曲手段５０が図示しない気体供給手段の駆動を停止するとともに、保持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、はみ出し部ＡＳ２が研削された接着シートＡＳ及びウエハＷＦは、図示しない搬送手段によって次工程に搬送され、以後、上記同様の動作を繰り返す。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、はみ出し部ＡＳ２をウエハＷＦ側に折り曲げるので、研削手段３０をはみ出し部ＡＳ２に押し当ててもはみ出し部ＡＳ２がめくれ上がってしまうことを抑制でき、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳのはみ出し部ＡＳ２を確実に研削することができる。
【００２１】
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々なる態様で実施し得ることは勿論である。
例えば、折曲手段５０は、はみ出し部ＡＳ２に接触して当該はみ出し部ＡＳ２を折り曲げる棒状部材であってもよい。
また、折曲手段５０は、研削手段３０で構成してもよい。この場合、移動手段４０が回動モータ４１を駆動した後、研削手段３０が回動モータ３４を駆動し、砥石３１を図２（Ｂ）中実線で示す角度に回動させた状態で、回動モータ３２を駆動し、当該砥石３１をはみ出し部ＡＳ２の上方から下降させることで、はみ出し部ＡＳ２をウエハＷＦ側に折り曲げて当該はみ出し部ＡＳ２を研削することができる。なお、砥石３１をはみ出し部ＡＳ２の上方から下降させるには、直動モータ３５を昇降させる駆動機器を設けてもよいし、回動モータ３４の駆動で、砥石３１を図２（Ｂ）中実線で示す位置よりも反時計回転方向に回転させた状態から、当該砥石３１を時計回転方向に回転させるようにしてもよい。
更に、折曲手段５０は、ウエハＷＦと研削手段３０との相対回転方向に関して研削手段３０による研削位置のはみ出し部ＡＳ２を折り曲げ可能な相対回転方向上流および下流側に配置してもよいし、はみ出し部ＡＳ２の全周を折り曲げ可能なものとしてもよい。
また、折曲手段５０は、はみ出し部ＡＳ２の接着剤層側に吸引力を付与して当該はみ出し部ＡＳ２をウエハＷＦ側に折り曲げる減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段であってもよい。
更に、研削手段３０は、回動モータ３４を駆動することなく、砥石３１をはみ出し部ＡＳ２に接触させてもよい。
更に、研削手段３０は、前記実施形態のように、接着シートＡＳにおけるウエハＷＦに接着された接着部ＡＳ１部分を研削しなくても良い。
また、砥石３１の形状は、実施形態に示す円柱状に特に限定されず、円錐状、楕円球状等その他の形状であってもよい。
更に、シート研削装置は、複数の研削手段３０を備えていてもよく、また、一つの研削手段３０が複数の砥石３１を備えていてもよい。
また、保持手段２０は、接着シートＡＳの接着部ＡＳ１を保持するものであってもよく、テーブル２１の保持面２１ａで接着部ＡＳ１を保持する場合、折曲手段５０は、はみ出し部ＡＳ２を下から上方向（ウエハＷＦ側）に向かって折り曲げ可能となるようにウエハＷＦ及び接着シートＡＳの外周縁付近の下方に配置してもよい。
更に、テーブル２１の平面形状は、ウエハＷＦと同様に略円形状であってもよいし、三角形状や四角形状等の多角形状であってもよい。ウエハＷＦの外形以上でもよい。
また、移動手段４０は、ウエハＷＦが停止した状態で研削手段３０をウエハＷＦの外周に沿って回転させてもよいし、ウエハＷＦが回転した状態で研削手段３０をウエハＷＦの外周に沿って回転させてもよい。
【００２２】
更に、被着体の材質は特に限定されず、例えば、ガラス、鋼、陶器、紙、木または樹脂等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、被着体の平面形状は、三角や四角等の多角形状や楕円形状であってもよい。被着体が多角形状の場合、移動手段４０は、被着体の外周に沿って砥石３１を直線移動させるものでもよい。
【００２３】
更に、本発明における接着シートＡＳの材質、種別、形状等も特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはない。また、例えば、接着シートＡＳは接着剤層だけのもの、剥離シートＲＬと接着剤層との間に中間層を有するもの、剥離シートＲＬの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、剥離シートＲＬを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等の切断に用いることができる。
【００２４】
また、本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる１実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、保持手段は、被着体を保持するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の手段についての説明は省略する）。
更に、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００２５】
１０…シート研削装置
２０…保持手段
３０…研削手段
４０…移動手段
５０…折曲手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ２…はみ出し部
ＷＦ…ウエハ（被着体）
ＷＦ１…被着面
ＷＦ２…他の面
【図１】
2015013346.tif 000003
【図２】
2015013346.tif 000004