(57)【要約】【課題】小型かつ簡単な構成によって塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。【解決手段】粘性の塗布材を吐出する平口のノズル２０を、移動部４０により移動させながら塗布対象に塗布材を塗布する塗布装置１０において、ノズル２０は、塗布対象に向かって所定の押圧力Ｆをノズル２０に付与するシリンダ３０を備え、シリンダ３０は、ノズル２０から塗布対象に塗布材を吐出した際に発生する吐出反力Ｒが押圧力Ｆと釣り合う位置に、ノズル２０を塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象とノズル２０との間に隙間Ｇを形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘性の塗布材を吐出する平口のノズルを、移動機構により移動させながら塗布対象に前記塗布材を塗布する塗布装置において、
前記ノズルは、塗布対象に向かって所定の押圧力を該ノズルに付与する押圧機構を備え、
前記押圧機構は、前記ノズルから塗布対象に塗布材を吐出した際に発生する吐出反力によって前記ノズルを該押圧機構へ向かって押し戻す力が前記押圧力と釣り合う位置に、前記ノズルを塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象と前記ノズルとの間に隙間を形成する
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載する塗布装置において、
前記ノズルへの塗布材の供給量及び前記ノズルの移動速度を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、前記供給量又は前記移動速度の少なくとも一方を制御することにより前記隙間の大きさを設定する
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する塗布装置において、
前記ノズルの吐出口は、吐出口から吐出される前記塗布材の吐出圧力が均一になるように、両端部分の絞り部長さＬｅが中央部分の絞り部長さＬｃより短く（Ｌｅ＜Ｌｃ）形成されている
ことを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
粘性の塗布材を吐出する平口のノズルを、移動機構により移動させながら塗布対象に前記塗布材を塗布する塗布方法において、
前記ノズルに対し、塗布対象に向かって所定の押圧力を付与しつつ、
前記ノズルから塗布対象に塗布材を吐出した際に発生する吐出反力によって前記ノズルを押し戻す力が前記押圧力と釣り合う位置に、前記ノズルを塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象と前記ノズルとの間に隙間を形成する
ことを特徴とする塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘性の塗布材をノズルから吐出して塗布対象に塗布する塗布装置及び塗布方法に関するものである。特に、高粘度の塗布材を塗布するのに好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
塗布対象に粘性の塗布材を薄膜で幅広に塗布する場合には、スクリーン印刷により塗布されるのが一般的である。例えば、パワー素子モジュールの表面に放熱グリスを薄く幅広く塗布する場合などが該当する。
ところが、スクリーン印刷では、無駄な塗布材が発生するという問題があった。特に、放熱グリスのように高価な塗布材であると、無駄になる放熱グリスの量を少なくしたいという要望がある。また、スクリーン印刷では、定期的に清掃が必要であり歩留まりが悪く、工程数が多いため設備費が高くなるという問題もあった。
【０００３】
そこで、塗布材の無駄を発生させないために、塗布材をノズルから吐出して塗布対象に塗布することが考えられる。そして、薄膜で均一に塗布材を塗布対象に塗布するための塗布装置が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている塗布装置では、粘性の塗布材を加圧することによりノズルから吐出させて塗布対象に塗布する塗布材の塗布装置において、ローラをバネによって塗布面に接触させ、塗布対象に凹凸がある場合、凹凸によってバネが撓み、ローラとノズルとが連動するようになっている。これにより、塗布対象に粘性の塗布材を均一に塗布することができるようになっている。
【０００４】
また、幅広く薄膜で均一に塗布材を塗布対象に塗布するための塗布装置が特許文献２に開示されている。特許文献２に開示されている塗布装置では、複数の細管を介して幅広な溝部（塗布部）へ塗布材を供給するようになっている。これにより、塗布材は、細管を通り溝部で拡がって塗布対象へと吐出されるので、塗布対象に塗布材を幅広く均一に塗布することができるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０９−２５３５５１号公報
【特許文献２】特開２０１２−２３９９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載されているような塗布対象に接触させながら凹凸を走査する機能をノズルに設けると、塗布装置が大きくかつ複雑になるという問題があった。塗布装置が大きくかつ複雑になると、信頼性や耐久性の問題や設備費が高くなるという問題が生じてしまう。
【０００７】
また、特許文献２に記載の技術では、粘性（特に高粘性）の塗布材の場合、細管内の抵抗が大きく、細管から溝部への拡散性も悪いため、溝部において塗布材が均一に拡がり難いという問題があった。その結果、ノズルから吐出された塗布材が幅広の薄膜状にならずに、スジやスケなどの塗布不良が生じてしまう。
【０００８】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、小型かつ簡単な構成によって塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる塗布装置及び塗布方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、粘性の塗布材を吐出する平口のノズルを、移動機構により移動させながら塗布対象に前記塗布材を塗布する塗布装置において、前記ノズルは、塗布対象に向かって所定の押圧力を該ノズルに付与する押圧機構を備え、前記押圧機構は、前記ノズルから塗布対象に塗布材を吐出した際に発生する吐出反力によって前記ノズルを該押圧機構へ向かって押し戻す力が前記押圧力と釣り合う位置に、前記ノズルを塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象と前記ノズルとの間に隙間を形成することを特徴とする。
なお、押圧機構としては、例えば、バネやシリンダなどを使用することができる。
【００１０】
この塗布装置では、押圧機構により、塗布対象に向かって所定の押圧力をノズルに付与しながらノズルから塗布材を塗布対象に吐出して塗布する。ここで、ノズルから塗布対象に塗布材を吐出した際に吐出反力が発生する。この吐出反力が押圧機構の押圧力よりも大きくなると、ノズルが押圧機構へ向かって押し戻される。そして、ノズルは吐出反力と押圧力とが釣り合う位置へ塗布対象から離間する方向に移動し、塗布対象とノズルとの間に一定の隙間（ギャップ）が形成される。このような隙間が形成された状態でノズルを移動させることにより、ノズルのスクレーパ効果が有効に得られる。その結果、塗布対象の塗布面のうねり等に左右されることなく、塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【００１１】
また、従来のように、塗布対象に接触させながら凹凸を走査する機能をノズルに設けるのではなく、非常に簡単な構成の押圧機構をノズルに設けている。このため、小型かつ簡単な構成によって、塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる塗布装置を実現することができる。
【００１２】
なお、本発明に係る塗布装置で使用する塗布材は、高粘度のもの（例えば、放熱グリスなど）である。具体的に粘度は、１５０Ｐａ・ｓ以上、好ましくは２００Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは、２５０〜５００Ｐａ・ｓ程度である。つまり、本発明に係る塗布装置は、高粘度の塗布材を塗布するのに好適なものである。
【００１３】
上記した塗布装置において、前記ノズルへの塗布材の供給量及び前記ノズルの移動速度を制御する制御装置を備え、前記制御装置は、前記供給量又は前記移動速度の少なくとも一方を制御することにより前記隙間の大きさを設定することが好ましい。
【００１４】
このような構成にすることにより、塗布対象とノズルとの間に形成される隙間（ギャップ）の大きさを簡単に変更することができる。具体的には、ノズルへの塗布材の供給量を増やすことにより、塗布対象とノズルとの間に形成される隙間が大きくなり、塗布する膜厚を厚くすることができる。逆に、ノズルへの塗布材の供給量を減らすことにより、塗布対象とノズルとの間に形成される隙間が小さくなり、塗布する膜厚を薄くすることができる。同様に、ノズルの移動速度を遅くすることにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を大きくして膜厚を厚く、ノズルの移動速度を速くすることにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を小さくして膜厚を薄くすることができる。そして、あらかじめ実験などによって、適切な供給量及び移動速度（塗布速度）を決定することにより、塗布対象とノズルとの間に、使用する塗布材に応じた適切な隙間（ギャップ）を設定することができ、高粘度の塗布材を所望の膜厚で均一に塗布対象に塗布することができる。
【００１５】
なお、ノズルの開口面積を変更する（基本的にノズルの開口幅は塗布対象に合わせるのでノズルの開口高さ（隙間）を変更する）ことによっても、塗布対象とノズルとの間に形成される隙間（ギャップ）の大きさを調節することもできる。そのため、前記供給量又は前記移動速度の少なくとも一方を制御することに加えて、ノズルの開口面積を変更するようにしても良い。ノズルの開口面積を変更する場合には、開口面積を大きくすることにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を大きくして膜厚を厚く、開口面積を小さくすることにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を小さくして膜厚を薄くすることができる。
【００１６】
あるいは、押圧機構の押圧力を変更することによっても、塗布対象とノズルとの間に形成される隙間（ギャップ）の大きさを調節することもできる。そのため、前記供給量又は前記移動速度の少なくとも一方を制御することに加えて、押圧機構の押圧力を変更（場合によっては制御）するようにしても良い。押圧機構の押圧力を変更する場合には、押圧力を小さくすることにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を大きくして膜厚を厚く、押圧力を大きくことにより塗布対象とノズルとの間に形成される隙間を小さくして膜厚を薄くすることができる。
【００１７】
また、上記した塗布装置において、前記ノズルの吐出口は、吐出口から吐出される前記塗布材の吐出圧力が均一になるように、両端部分の絞り部長さＬｅが中央部分の絞り部長さＬｃより短く（Ｌｅ＜Ｌｃ）形成されていることが好ましい。
【００１８】
ノズルの吐出口は、平口で細長い形状をなしているため、粘性の塗布材をノズルから吐出する際、ノズル両端部分の圧損がノズル中央部分の圧損よりも大きくなる。そのため、ノズル中央部分での吐出量が多く、ノズル両端部分での吐出量が少なくなってしまう。つ
まり、ノズル幅全域にわたって均一に放熱グリスを吐出することができないおそれがあ
る。
【００１９】
そこで、ノズルの吐出口の形状を上記のように、両端部分の絞り部長さＬｅを中央部分の絞り部長さＬｃより短く（Ｌｅ＜Ｌｃ）することにより、ノズル両端部における圧損を小さくすることができる。その結果、ノズルは、幅方向において安定して均一に塗布材を吐出することができる。
【００２０】
また、上記課題を解決するためになされた本発明の別態様は、粘性の塗布材を吐出する平口のノズルを、移動機構により移動させながら塗布対象に前記塗布材を塗布する塗布方法において、前記ノズルに対し、塗布対象に向かって所定の押圧力を付与しつつ、前記ノズルから塗布対象に塗布材を吐出した際に発生する吐出反力によって前記ノズルを押し戻す力が前記押圧力と釣り合う位置に、前記ノズルを塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象と前記ノズルとの間に隙間を形成することを特徴とする。
【００２１】
この塗装方法では、塗布対象に向かって所定の押圧力をノズルに付与しつつ、ノズルから塗布材を吐出することにより、その吐出反力によるノズルを押し戻す力と押圧力とが釣り合う位置へノズルを塗布対象から離間する方向へ移動させて、塗布対象とノズルとの間に一定の隙間を形成する。そして、そのような隙間が形成された状態でノズルを移動させることにより、ノズルのスクレーパ効果が有効に得られるため、塗布対象の塗布面のうねり等に左右されることなく、塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る塗布装置及び塗布方法によれば、上記した通り、小型かつ簡単な構成によって塗布対象に高粘度の塗布材を幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施の形態に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】塗布ノズルの概略を示すとともに塗布方法の原理を説明するための図である。
【図３】塗布ノズルの内部形状を示す図である。
【図４】塗布ノズルの中央部分における断面図である。
【図５】塗布ノズルの両端部分における断面図である。
【図６】塗布装置に備わるワーク保持部の概略を示す斜視図である。
【図７】膜厚ばらつきを示すグラフである。
【図８】変形例に係る塗布装置の概略構成を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の塗布装置及び塗布方法を具体化した実施の形態について、図面に基づき詳細に説明する。そこで、本実施の形態に係る塗布装置について、図１〜図６を参照しながら説明する。図１は、実施の形態に係る塗布装置の概略構成を示す斜視図である。図２は、塗布ノズルの概略を示すとともに塗布方法の原理を説明するための図である。図３は、塗布ノズルの内部形状を示す図である。図４は、塗布ノズルの中央部分における断面図である。図５は、塗布ノズルの両端部分における断面図である。図６は、塗布装置に備わるワーク保持部の概略を示す斜視図である。
なお、本実施の形態では、パワーカード（パワー素子モジュール）に放熱グリスを塗布するのに本発明を適用した場合について説明する。
【００２５】
本実施の形態に係る塗布装置１０は、図１に示すように、塗布ノズル２０と、シリンダ３０と、移動部４０とを備え、塗布材である高粘度の放熱グリスを塗布ノズル２０から吐出しながら、移動部４０により塗布ノズル２０を移動させて、塗布対象であるパワーカード６０（図６参照）に放熱グリスを塗布するように構成されている。
なお、高粘度の放熱グリスとは、粘度が１５０Ｐａ・ｓ以上、好ましくは２００Ｐａ・ｓ以上、より好ましくは、２５０〜５００Ｐａ・ｓ程度のものである。
【００２６】
塗布ノズル２０は、細長い（平口の）吐出口２１を有しており、放熱グリスを幅広に塗布するようになっている。本実施の形態では、塗布幅が約５０ｍｍに設定されている。塗布ノズル２０は、上部ボディ２０ａと下部ボディ２０ｂとが重ね合わされてボルトで固定されるとともに、両側面に側板２０ｃ，２０ｃが取り付けられている。この塗布ノズル２０は、直付けされた供給ポンプ２２によって放熱グリスが定量供給されるようになっている。また、塗布ノズル２０には、ノズル内の圧力を計測する圧力センサ（不図示）が設けられている。そして、供給ポンプ２２及び圧力センサ（不図示）は、制御部５０に接続されており、制御部５０によって、供給ポンプ２２の回転開始・停止や、圧力センサ（不図示）からの情報に基づいて供給ポンプ２２の回転数などが制御されるようになっている。
【００２７】
このような塗布ノズル２０は、ノズル保持部２５に保持・固定されている。そして、ノズル保持部２５は、ベース１１上に設けられたレール１２に沿ってスライドするようになっている。ノズル保持部２５には、シリンダ３０の一端が連結されている。シリンダ３０の他端は、所定の位置でベース１１に対して固定されている。これにより、図２に示すように、シリンダ３０は、ノズル保持部２５に保持・固定された塗布ノズル２０に対し、所定位置にセットされたパワーカード６０に向かって一定の押圧力Ｆを付与するようになっている。
なお、シリンダは、エアシリンダであっても良いし油圧シリンダであっても良い。
【００２８】
ここで、塗布ノズル２０の吐出口２１は、細長い形状をなしているため、高粘性の放熱グリスを塗布ノズル２０から吐出する際、ノズル両端部分の圧損がノズル中央部分の圧損よりも大きくなる。そのため、ノズル中央部分での吐出量が多く、ノズル両端部分での吐出量が少なくなってしまう。つまり、ノズル幅全域にわたって均一に放熱グリスを吐出することができないおそれがある。
【００２９】
そこで、塗布ノズル２０の吐出口２１において、中央部分と両端部分における絞り部長さＬｃ，Ｌｅを変えることにより、塗布ノズル２０内部での圧損を中央部分と両端部分とで変化させて、吐出口２１から吐出される放熱グリスの吐出圧力を均一にしている。具体的に本実施の形態では、図３〜図５に示すように、両端部分の絞り部長さＬｅを中央部分の絞り部長さＬｃより短くして（Ｌｅ＜Ｌｃ）、ノズル両端部における圧損を小さくしている。これにより、塗布ノズル２０は、幅方向において安定して均一に放熱グリスを吐出することができるようになっている。なお、図３では側板２０ｃを省略している。
【００３０】
このような塗布ノズル２０が設置されているベース１１は、フレーム１５に固定された移動部４０により、図１中上下方向に移動するようになっている。移動部４０は、制御部５０に接続されており、制御部５０によって移動部４０の動作が制御されるようになっている。つまり、制御部５０によって、移動部４０の動作が制御され、塗布ノズル２０が所定の速度で移動するようになっている。これにより、塗布装置１０では、所定の塗布速度でパワーカード６０へ放熱グリスを塗布することができるようになっている。
【００３１】
そして、フレーム１５は、不図示の基台に固定されている。また、基台には、パワーカード６０を保持・固定するワーク固定部１３（図６参照）が取り付けられている。ワーク固定部１３は、図６に示すように、固定爪１３ａと可動爪１３ｂとが備わっている。そして、可動爪１３ｂを移動させて固定爪１３ａと可動爪１３ｂとの間隔を拡げた後、パワーカード６０の両側端部を固定爪１３ａと可動爪１３ｂとで挟み込んで、パワーカード６０を立てた状態（直立状態）で保持・固定することができるようになっている。なお、ワーク固定部１３は、保持・固定するパワーカード６０が塗布ノズル２０に対向するように、塗布装置１０の所定位置に取り付けられている。
【００３２】
次に、上記の塗布装置１０による塗布動作について説明する。
まず、塗布装置１０に備わるワーク固定部１３にパワーカード６０をセットする。具体的には、ワーク固定部１３の可動爪１３ｂを移動させて固定爪１３ａとの間隔を拡げた状態で、固定爪１３ａにパワーカード６０の一側端部を当接・保持させる。そして、可動爪１３ｂを戻して可動爪１３ｂにパワーカード６０の他側端部を当接・保持させる。これにより、パワーカード６０が両側から固定爪１３ａと可動爪１３ｂとで挟み込まれて、ワーク固定部１３に保持・固定される。
【００３３】
ワーク固定部１３へのパワーカード６０のセットが完了すると、移動部４０を作動させて塗布ノズル２０を所定位置に移動させてパワーカード６０に対向するように配置する。本実施の形態では、塗布ノズル２０はパワーカード６０の下端部付近（放熱グリスの塗布開始位置）に配置される。このとき、塗布ノズル２０には、パワーカード６０に押しつけられる方向へ所定の押圧力Ｆが付与されている。
【００３４】
そして、制御部５０からの指示により供給ポンプ２２が作動し、塗布ノズル２０の吐出口２１から放熱グリス７０が吐出される（図２参照）。このとき、塗布ノズル２０内の圧力が所定の設定圧力となるように供給ポンプ２２の回転数が制御されて、塗布ノズル２０から定量の放熱グリス７０がパワーカード６０に対して吐出される。
【００３５】
塗布ノズル２０から放熱グリス７０が吐出されると、移動部４０により、塗布ノズル２０は、図２に示すように、上方へと所定の速度で移動させられる。これにより、パワーカード６０に対して、所定の塗布速度で放熱グリス７０が塗布される。
【００３６】
ここで、塗布ノズル２０からパワーカード６０に対して放熱グリス７０が吐出されると、吐出圧力の反力としての吐出反力Ｒが発生する。この吐出反力Ｒがシリンダ３０の押圧力Ｆよりも大きくなると、塗布ノズル２０がシリンダ３０に向かって押し戻される。そして、塗布ノズル２０は、吐出反力Ｒと押圧力Ｆとが釣り合う位置へとパワーカード６０から離間する方向（図２では右側）へ移動し、パワーカード６０と塗布ノズル２０との間に一定の隙間（ギャップ）Ｇが形成される。
【００３７】
そして、このような隙間Ｇが形成された状態で塗布ノズル２０を移動させるため、ノズルのスクレーパ効果を有効に得ることができる。その結果、パワーカード６０の塗布面のうねり等に左右されることなく、パワーカード６０に対して高粘度の放熱グリスを幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【００３８】
ここで、パワーカード６０と塗布ノズル２０との間に形成される隙間（ギャップ）Ｇについて説明する。隙間Ｇは、押圧力Ｆと吐出反力Ｒの関係から決まるため、押圧力Ｆを一定にすると、吐出反力Ｒの大きさを変えることにより変化する。例えば、塗布ノズル２０への放熱グリス７０の供給量又は塗布ノズル２０の移動速度（塗布速度）の少なく一方を変更することにより、隙間Ｇの大きさを調節することができる。
【００３９】
具体的には、塗布ノズル２０への放熱グリス７０の供給量を増やす（供給ポンプ２２の回転を速くする）ことにより、隙間Ｇが大きくなる。逆に、塗布ノズル２０への放熱グリス７０の供給量を減らす（供給ポンプ２２の回転を遅くする）ことにより、隙間Ｇが小さくなる。同様に、塗布ノズル２０の移動速度を遅くすることにより、隙間Ｇが大きくなる。逆に、塗布ノズル２０の移動速度を速くすることにより、隙間Ｇが小さくなる。そして、使用する放熱グリス７０に応じた適切な隙間Ｇが形成されるように、あらかじめ実験によって、適切な供給量及び移動速度（塗布速度）を決定しているので、放熱グリス７０を所望の膜厚で均一にパワーカード６０に塗布することができる。
【００４０】
なお、塗布ノズル２０の開口面積を変更する（基本的にノズルの開口幅は塗布対象に合わせるのでノズルの開口高さを変更する）ことによっても、隙間（ギャップ）Ｇの大きさを調節することもできる。そのため、塗布ノズル２０への放熱グリス７０の供給量又は塗布ノズル２０の移動速度（塗布速度）の少なく一方を変更することに加えて（あるいは変えて）、塗布ノズル２０の開口面積を変更するようにしても良い。塗布ノズル２０の開口面積を変更する場合には、開口面積を大きくすることにより隙間Ｇが大きくなり、開口面積を小さくすることにより隙間Ｇが小さくなる。
【００４１】
あるいは、シリンダ３０の押圧力Ｆを変更することによっても、隙間（ギャップ）Ｇの大きさを調節することもできる。シリンダ３０の押圧力Ｆを変更する場合には、押圧力Ｆを小さくすることにより隙間Ｇが大きくなり、押圧力Ｆを大きくすることにより隙間Ｇが小さくなる。
【００４２】
このように塗布装置１０では、使用する放熱グリス７０に合わせて、簡単に隙間Ｇを最適な大きさに調整することができる。そのため、放熱グリス７０をパワーカード６０に対して所望の膜厚で均一に塗布することができる。
【００４３】
そして、塗布装置１０を用いて、次の条件でダミーワークに放熱グリスを塗布した結果を図７に示す。図７は、膜厚ばらつきを示すグラフである。この試験では、粘度が２５０〜５００Ｐａ・ｓの放熱グリスをダミーワークに塗布膜厚３０μｍ、塗布幅５０ｍｍ、塗布長さ３０ｍｍで塗布した。このときの塗布装置１０における設定は、ノズル隙間０．５ｍｍ、押圧力１５Ｎ、塗布速度７ｍｍ／ｓｅｃとした。このような条件で１５回（ｎ＝１５）の塗布試験を行った。
その結果、図７に示すように、膜厚ばらつきの平均（Ave.）が１２．７μｍ（最大１８μｍ）となり、高粘性の放熱グリスを所望の膜厚で均一に塗布することができたことを確認した。なお、膜厚ばらつきは、膜厚が最も厚い箇所の厚さと膜厚が最も薄い箇所の厚さとの差である。
【００４４】
ここで、塗布装置の変形例について、図８を参照しながら説明する。図８は、変形例に係る塗布装置の主要部の概略を模式的に示す図である。変形例では、塗布ノズル２０を２つ備えており、それぞれの塗布ノズル２０，２０は、ワーク固定部１３に保持・固定されたパワーカード６０を挟んで、互いに対向する位置に配置されている。
【００４５】
そして、各塗布ノズル２０がそれぞれに備わるシリンダ３０によってパワーカード６０に押し付けられた状態で、それぞれの移動部４０により各塗布ノズル２０が移動しながら、パワーカード６０に対して放熱グリス７０を塗布するようになっている。これにより、変形例では、放熱グリス７０をパワーカード６０の両面に対して同時に塗布することができる。
【００４６】
このような変形例においても、上記した実施の形態と同様の効果を得ることができ、高粘度の放熱グリス７０をパワーカード６０に対して所望の膜厚で均一に塗布することができる。さらに、変形例では、パワーカード６０の両面に対して一度で（同時に）放熱グリス７０を塗布することができる。そのため、両面塗布を行う場合には、塗布工程を半減することができるため、歩留まりを向上させることができる。
【００４７】
以上、詳細に説明したように本実施の形態に係る塗布装置１０によれば、塗布ノズル２０に備わるシリンダ３０により、塗布対象に向かって所定の押圧力Ｆを塗布ノズル２０に付与しながら、塗布ノズル２０から放熱グリス７０をパワーカード６０に吐出して塗布する。このとき、塗布ノズル２０が吐出反力Ｒと押圧力Ｆとが釣り合う位置へ移動し、パワーカード６０と塗布ノズル２０との間に一定の隙間（ギャップ）Ｇが形成される。そして、この状態で、塗布ノズル２０を移動させているので、ノズルのスクレーパ効果が有効に発揮され、パワーカード６０の塗布面のうねり等に左右されることなく、パワーカード６０に高粘度の放熱グリス７０を幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【００４８】
また、塗布装置１０では、従来のように、塗布対象に接触させながら表面の凹凸を走査する機能をノズルに設けるのではなく、非常に簡単な構成のシリンダ３０を塗布ノズル２０に設けているため、小型かつ簡単な構成によって、パワーカード６０に高粘度の放熱グリス７０を幅広く薄膜で均一に塗布することができる。
【００４９】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態では、押圧機構としてシリンダ３０を例示したが、シリンダ以外にバネなどを使用することもできる。
また、上記した実施の形態では、塗布ノズル２０を鉛直方向へ移動させて塗布しているが、もちろん塗布ノズル２０を鉛直方向以外の方向（例えば水平方向）へ移動させて塗布することもできる。
【符号の説明】
【００５０】
１０    塗布装置
１３    ワーク固定部
２０    塗布ノズル
２１    吐出口
２２    供給ポンプ
２５    ノズル保持部
３０    シリンダ
４０    移動部
５０    制御部
６０    パワーカード
７０    放熱グリス
Ｆ      押圧力
Ｇ      隙間（ギャップ）
Ｌｃ    ノズル中央部分の絞り部長さ
Ｌｅ    ノズル両端部分の絞り部長さ
Ｒ      吐出反力（塗布ノズルを押し戻す力）
【図１】
2015013272.tif 000003
【図２】
2015013272.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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