(57)【要約】【課題】低い周波数領域で優れた遮断特性を備えるＥＢＧ構造体を提供する。【解決手段】実施形態のＥＢＧ構造体は、電極面と、電極面上に設けられる第１の絶縁層と、第１の絶縁層上に設けられる第１の金属パッチと、第１の絶縁層上に、第１の金属パッチに隣接して設けられる第２の金属パッチと、第１および第２の金属パッチ上に設けられる第２の絶縁層と、第２の絶縁層上に設けられ、第１の開口部と第２の開口部を有する配線層と、配線層上に設けられる第３の絶縁層と、電極面、および、第１の金属パッチに接続され、第１の開口部を貫通する第１のビアと、電極面、および、第２の金属パッチに接続され、第２の開口部を貫通する第２のビアと、を備える。【選択図】図１
2015061258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極面と、
前記電極面上に設けられる第１の絶縁層と、
前記第１の絶縁層上に設けられる第１の金属パッチと、
前記第１の絶縁層上に、前記第１の金属パッチに隣接して設けられる第２の金属パッチと、
前記第１および第２の金属パッチ上に設けられる第２の絶縁層と、
前記第２の絶縁層上に設けられ、第１の開口部と第２の開口部を有する配線層と、
前記配線層上に設けられる第３の絶縁層と、
前記電極面、および、前記第１の金属パッチに接続され、前記第１の開口部を貫通する第１のビアと、
前記電極面、および、前記第２の金属パッチに接続され、前記第２の開口部を貫通する第２のビアと、
を備えることを特徴とするＥＢＧ構造体。
【請求項２】
前記第１の金属パッチが、第１の切り欠きまたは第１の空隙、および、櫛状の第１の端部を有し、
前記第２の金属パッチが、第２の切り欠きまたは第２の空隙、および、櫛状の第２の端部を有し、
前記第１の端部と前記第２の端部が離間してかみ合わされることを特徴とする請求項1記載のＥＢＧ構造体。
【請求項３】
前記電極面が、複数のスリットを有することを特徴とする請求項１または請求項２記載のＥＢＧ構造体。
【請求項４】
前記配線層が、前記第１の金属パッチ、および、前記第２の金属パッチに対向する幅広部を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３いずれか一項記載のＥＢＧ構造体。
【請求項５】
前記配線層が、前記第１の金属パッチ、および、前記第２の金属パッチの直上に設けられることを特徴とする請求項１ないし請求項４いずれか一項記載のＥＢＧ構造体。
【請求項６】
前記複数のスリットが周期的に設けられることを特徴とする請求項１ないし請求項５いずれか一項記載のＥＢＧ構造体。
【請求項７】
前記電極面がグラウンド面、または、電源面であることを特徴とする請求項１ないし請求項６いずれか一項記載のＥＢＧ構造体。
【請求項８】
前記配線層が、前記第１の金属パッチ、および、前記第２の金属パッチの配列方向に伸長することを特徴とする請求項１ないし請求項７いずれか一項記載のＥＢＧ構造体。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８いずれか一項記載のＥＢＧ構造体を備える半導体デバイス。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項８いずれか一項記載のＥＢＧ構造体を備える回路基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、ＥＢＧ構造体、半導体デバイスおよび回路基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、従来のデジタル・アナログ・ＲＦ混在回路を搭載する回路基板、ＳＯＣ（ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  ｃｈｉｐ）、擬似ＳＯＣ等では、素子間の相互の電磁界干渉やＧＮＤ（グラウンド）、電源に伝播するノイズが誤動作を引き起こすという問題がある。この問題を回避するためには、素子間のスペースを大きく取る必要がある。このため、チップ面積や実装面積の縮小が困難であるという問題があった。
【０００３】
このスペースを削減させる手段として、例えば、ＧＮＤ、または、電源に伝播する、回路動作に有害な周波数領域のノイズを防ぐためのフィルタが使われる。この場合、遮断帯域という限られた周波数領域内のノイズレベルを落とすフィルタを利用する。フィルタは、例えば、インダクタチップとキャパシタ等の電子部品を用いて形成される。このため、例えば回路基板等に実装される電子部品の増加を招くことは避けられない。
【０００４】
そこで、チップ部品でフィルタを形成するより、回路基板等の縮小効果が高いことから、誘電体の基板内にＥＢＧ（Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ）構造を設けることが考案されている。しかし、ＥＢＧ構造の場合、遮断帯域を低い周波数領域（６ＧＨｚ以下）に設定した場合、ＥＢＧ構造が大きくなり、回路基板等が小型化できないという問題が残っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１３００９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、低い周波数領域で優れた遮断特性を備えるＥＢＧ構造体およびこれを用いた半導体デバイスおよび回路基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態のＥＢＧ構造体は、電極面と、前記電極面上に設けられる第１の絶縁層と、前記第１の絶縁層上に設けられる第１の金属パッチと、前記第１の絶縁層上に、前記第１の金属パッチに隣接して設けられる第２の金属パッチと、前記第１および第２の金属パッチ上に設けられる第２の絶縁層と、前記第２の絶縁層上に設けられ、第１の開口部と第２の開口部を有する配線層と、前記配線層上に設けられる第３の絶縁層と、前記電極面、および、前記第１の金属パッチに接続され、前記第１の開口部を貫通する第１のビアと、前記電極面、および、前記第２の金属パッチに接続され、前記第２の開口部を貫通する第２のビアと、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態のＥＢＧ構造体の模式断面図である。
【図２】第１の実施形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。
【図３】第１の実施形態の金属パッチの別の形態を示す図である。
【図４】ＥＢＧ構造体の作用の説明図である。
【図５】第１の実施形態の効果を示す図である。
【図６】第１の実施形態の効果を示す図である。
【図７】第１の実施形態のシミュレーションに用いた構造の模式図である。
【図８】第２の実施形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。
【図９】第２の実施形態の効果を示す図である。
【図１０】比較形態のＥＢＧ構造体の模式断面図である。
【図１１】比較形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。
【図１２】第３の実施形態のＥＢＧ構造体の配線層の模式上面図である。
【図１３】第４の実施形態の回路基板の模式断面図である。
【図１４】第５の実施形態の半導体デバイスの模式断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本明細書中、「半導体デバイス（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｄｅｖｉｃｅ）」とは、ＳＯＣ（ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  ｃｈｉｐ）を含む半導体チップのみならず、例えば、複数の半導体チップを樹脂で接着し、相互のチップ間を配線層で接続する半導体部品、いわゆる疑似ＳＯＣ（ｐｓｅｕｄｏ  ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  ｃｈｉｐ）も包含する概念である。
【００１０】
本明細書中、「半導体部品（ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）」とは、半導体デバイスが封止された半導体パッケージのみならず半導体デバイスが封止されていない状態のいわゆるベアチップも包含する概念である。
【００１１】
本明細書中、「電子部品（ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ）」とは、半導体部品や、アンテナ、コンデンサまたは抵抗等の受動部品等、電子的に機能する部品全般を包含する概念とする。
【００１２】
本明細書中、「プリント配線板（ｐｒｉｎｔｅｄ  ｗｉｒｉｎｇ  ｂｏａｒｄ）」とは、導電体のプリント配線を形成した板であり、電子部品が実装されていない状態のもの、いわゆるベアボードを意味する。
【００１３】
本明細書中、「回路基板（ｃｉｒｃｕｉｔ  ｂｏａｒｄ）」とは、プリント配線板に電子部品が実装された状態のものを意味する。
【００１４】
（第１の実施形態）
本実施形態のＥＢＧ（Ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ）構造体は、電極面と、電極面上に設けられる第１の絶縁層と、第１の絶縁層上に設けられる第１の金属パッチと、第１の絶縁層上に、第１の金属パッチに隣接して設けられる第２の金属パッチと、第１および第２の金属パッチ上に設けられる第２の絶縁層と、第２の絶縁層上に設けられ、第１の開口部と第２の開口部を有する配線層と、配線層上に設けられる第３の絶縁層と、電極面、および、第１の金属パッチに接続され、第１の開口部を貫通する第１のビアと、電極面、および、第２の金属パッチに接続され、第２の開口部を貫通する第２のビアと、を備える。
【００１５】
図１は、本実施形態のＥＢＧ構造体の模式断面図である。本実施形態のＥＢＧ構造体１００は、電極面１０、第１の絶縁層１２、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０、第２の絶縁層２２、配線層２４、第３の絶縁層２６、第１〜第４のビア３４、３６、３８、４０を備える。
【００１６】
図２は、本実施形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。図２（ａ）が電極面、図２（ｂ）が金属パッチ、図２（ｃ）が配線層を示す。
【００１７】
電極面１０は、導電体である。電極面１０は、例えば、平板状である。導電体は、例えば、グラウンド面または電源面である。電極面１０は、いわゆるリファレンス面である。電極面１０は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、Ｃｕ（銅）または金（Ａｕ）等の金属である。
【００１８】
第１の絶縁層１２は、電極面１０上に設けられる。第１の絶縁層１２は、例えば、樹脂で形成される。
【００１９】
第１の金属パッチ１４、第２の金属パッチ１６、第３の金属パッチ１８、および、第４の金属パッチ２０は、第１の絶縁層１２上に設けられる。第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、Ｃｕ（銅）または金（Ａｕ）等で形成される。
【００２０】
第１の金属パッチ１４は、第１の空隙１４ａ、および、櫛状の第１の端部１４ｂを備える。第２の金属パッチ１６は、第２の空隙１６ａ、および、櫛状の第２の端部１６ｂを備える。第３の金属パッチ１８は、第３の空隙１８ａ、および、櫛状の第３の端部１８ｂを備える。第４の金属パッチ２０は、第４の空隙２０ａ、および、櫛状の第４の端部２０ｂを備える。
【００２１】
櫛状の第１の端部１４ｂと櫛状の第２の端部１６ｂが、互いに接触せず、離間した状態で交互にかみ合わされる配置となっている。第２の端部１６ｂと第３の端部１８ｂ、第３の端部１８ｂと第４の端部２０ｂも同様に配置される。
【００２２】
図３（ａ）、図３（ｂ）は、本実施形態の金属パッチの別の形態を示す図である。図３（ｂ）、図３（ｃ）の場合共に、金属パッチは切り欠きを備える。
【００２３】
すなわち、第１の金属パッチ１４は、第１の切り欠き１４ｃ、および、櫛状の第１の端部１４ｂを備える。第２の金属パッチ１６は、第２の切り欠き１６ｃ、および、櫛状の第２の端部１６ｂを備える。第３の金属パッチ１８は、第３の切り欠き１８ｃ、および、櫛状の第３の端部１８ｂを備える。第４の金属パッチ２０は、第４の切り欠き１８ａ、および、櫛状の第４の端部２０ｂを備える。
【００２４】
以下、金属パッチの図２（ｂ）の形態をタイプＡ、図３（ａ）の形態をタイプＢ、図３（ｃ）の形態をタイプＣと称する。
【００２５】
第２の絶縁層２２は、第１の金属パッチ１４、第２の金属パッチ１６、第３の金属パッチ１８、および、第４の金属パッチ２０上に設けられる。第２の絶縁層２２は、例えば、樹脂で形成される。
【００２６】
配線層２４は、第２の絶縁層２２上に設けられる。配線層２４は、例えば、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０の直上に設けられる。配線層２４は、例えば、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０の配列方向に伸長する。配線層２４は、信号線である。
【００２７】
配線層２４は、第１の開口部４４、第２の開口部４６、第３の開口部４８、および、第４の開口部５０を備える。配線層２４は、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、Ｃｕ（銅）または金（Ａｕ）等で形成される。
【００２８】
第１のビア３４は、電極面１０および第１の金属パッチ１４に接続される。そして、第１のビア３４は、配線層２４の第１の開口部４４を貫通する。
【００２９】
第２のビア３６は、電極面１０および第２の金属パッチ１６に接続される。そして、第２のビア３６は、配線層２４の第２の開口部４６を貫通する。
【００３０】
第３のビア３８は、電極面１０および第３の金属パッチ１８に接続される。そして、第３のビア３８は、配線層２４の第３の開口部４８を貫通する。
【００３１】
第４のビア４０は、電極面１０および第４の金属パッチ２０に接続される。そして、第４のビア４０は、配線層２４の第４の開口部５０を貫通する。
【００３２】
以下、本実施形態の作用および効果について説明する。
【００３３】
図４は、ＥＢＧ構造体の作用の説明図である。図４（ａ）が、ＥＢＧ構造体の一例の模式斜視図、図４（ｂ）が図４（ａ）の構造の等価回路図である。
【００３４】
図４（ａ）に示すように、一例としてあげるＥＢＧ構造体は、電極面に接続される２本のビアと、２本のビアにそれぞれ接続される２個の金属パッチを備える。このＥＢＧ構造体は、いわゆるマッシュルーム構造を備える。金属パッチの直上には、信号線が走る。
【００３５】
図４（ｂ）の等価回路で示すように、ＥＢＧ構造体は寄生インダクタ成分Ｌと、寄生キャパシタ成分Ｃを備えるＬＣ並列共振回路である。ＥＢＧ構造体は、ストップバンドフィルタとして機能する。
【００３６】
寄生インダクタ成分Ｌは、主に金属パッチ間の距離、すなわち電気長で決まる。また、寄生キャパシタンス成分は、主に金属パッチ間の容量で決まる。そして、金属パッチ間の容量は、主に、対向する金属パッチの端部の長さ、いわゆるフリンジ長に依存する。
【００３７】
ストップバンドフィルタの遮断周波数を低くするためには、電気長およびフリンジ長を長くする必要がある。このため、例えば、ビアの長さを長くしたり、金属パッチを大きくしたりする必要が生じ、ＥＢＧ構造体のサイズが大きくなる。
【００３８】
本実施形態では、金属パッチに切り欠きまたは空隙を設けることにより、金属パッチのサイズを変えることなく、実効的な電気長を長くすることが可能となる。また、金属パッチに櫛状の端部を設け、隣接する金属パッチの櫛状の端部がかみ合わされるように配置することで、対向する金属パッチの端部の長さが長くなる。したがって、フリンジ長が長くなり、寄生キャパシタンスが大きくなる。いいかえれば、小さい金属パッチのサイズで、切り欠きまたは空隙、および、櫛状の端部がない金属パッチを用いる場合と、同様の遮断周波数を実現することができる。
【００３９】
図５は、本実施形態の効果を示す図である。金属パッチがタイプＡ、タイプＢ、タイプＣの場合の通過特性（Ｓ２１）を示す。通過特性（Ｓ２１）はシミュレーションによって求めている。
【００４０】
図５に示すように、いずれのタイプでも４ＧＨｚ近傍に遮断帯域を備えることが分かる。そして、タイプＢ、タイプＣのように切り欠きを設けるタイプが、遮断量が大きくなる。
【００４１】
金属パッチの形状を調整することで、遮断帯域、遮断量の調整が可能である。
【００４２】
図６は、本実施形態の効果を示す図である。図７は、シミュレーションに用いた構造の模式図である。図７（ａ）が本実施形態の構造、図７（ｂ）はビアが配線層の開口部を貫通せず、金属パッチで止まっている構造、図７（ｃ）は、配線層が金属パッチの直上になく、ビアが配線層の脇を通過する構造である。図７（ａ）、図７（ｂ）、図７（ｃ）の構造を、それぞれ、ケースＡ、ケースＢ、ケースＣとする。
【００４３】
図６に示すように、本実施形態のケースＡの場合、４ＧＨｚ近傍に遮断量の大きい遮断帯域を備える。したがって、優れた遮断効果が実現できる。
【００４４】
なお、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０について、切り欠き、または、空隙を設ける場合を例に、説明したが、切り欠き、または、空隙がない形状、例えば、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０を、四角形、円形、その他の形状とすることも可能である。この場合では、配線層をビアが貫通することによる遮断特性の向上効果を得ることができる。
【００４５】
以上、本実施形態によれば、低周波領域で優れた特性を示し、小型化可能なＥＢＧ構造体を実現することが可能となる。
【００４６】
（第２の実施形態）
本実施形態のＥＢＧ構造体は、電極面が、複数のスリットを有すること以外は第１の実施形態と同様である。したがって、第１の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
【００４７】
図８は、本実施形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。図８（ａ）が電極面、図８（ｂ）が金属パッチ、図８（ｃ）が配線層を示す。
【００４８】
本実施形態のＥＢＧ構造体では、電極面１０に、複数のスリット５２が形成されている。スリット５２は、例えば、第１のビア３４と第２のビア３６との間、第２のビア３６と第３のビア３８との間、第３のビア３８と第４のビア４０との間に設けられる。
【００４９】
図９は、本実施形態の効果を示す図である。スリットが無い場合（スリット無）、スリットが小さい場合（スリット小）、スリットが大きい場合（スリット大）の場合の通過特性（Ｓ２１）を示す。通過特性（Ｓ２１）はシミュレーションによって求めている。
【００５０】
電極面１０にスリット５２を設け、そのスリット５２を大きくすることで、遮断周波数が下がり、かつ、遮断量が大きくなることが分かる。したがって、ＥＢＧ構造体のサイズを変えることなく、低周波帯域での遮断特性を向上させることが可能となる。
【００５１】
なお、遮断特性を安定させる観点から、複数のスリット５２は、周期的に設けられることが望ましい。
【００５２】
以下、本実施形態のＥＢＧ構造体の占有面積の縮小効果について説明する。
【００５３】
図１０は、比較形態のＥＢＧ構造体の模式断面図である。比較形態のＥＢＧ構造体９００は、電極面６０、第１の絶縁層６２、第１〜第４の金属パッチ６４、６６、６８、７０、第２の絶縁層７２、配線層７４、第３の絶縁層７６、第１〜第４のビア８４、８６、８８、９０を備える。
【００５４】
図１１は、比較形態のＥＢＧ構造体の構成要素の模式上面図である。図１１（ａ）が電極面、図１１（ｂ）が金属パッチ、図１１（ｃ）が配線層を示す。
【００５５】
比較形態のＥＢＧ構造体は、第１〜第４の金属パッチ６４、６６、６８、７０が切り欠き、または、櫛状の端部を備えない。また、第１〜第４のビア８４、８６、８８、９０は、第１〜第４の金属パッチ６４、６６、６８、７０の下層にしかなく、配線層７４を貫通しない。また、電極面５０には、スリットが形成されない。
【００５６】
本実施形態と比較形態のＥＢＧ構造で、４ＧＨｚの周波数で、遮断量が−４０ｄＢとなるようレイアウトの最適化を行い、占有面積を比較する。本実施形態の場合、占有面積は、２５ｍｍ２となる。比較形態の場合、占有面積は１４４ｍｍ２となる。したがって、本実施形態によれば、比較形態に比べ、５分の１以下の占有面積で同等の遮断特性を実現できる。
【００５７】
以上、本実施形態によれば、さらに、低周波領域で優れた特性を示し、小型化可能なＥＢＧ構造体を実現することが可能となる。
【００５８】
（第３の実施形態）
本実施形態のＥＢＧ構造体は、配線層が、金属パッチに対向する幅広部を有すること以外は第１の実施形態と同様である。したがって、第１の実施形態と重複する内容については、記述を省略する。
【００５９】
図１２は、本実施形態のＥＢＧ構造体の配線層の模式上面図である。配線層２４が、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０に対向する領域に幅広部５４が形成される。
【００６０】
本実施形態によれば、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０と配線層２４の対向する面積が増大し、配線層２４とＥＢＧ構造体との容量結合を増加させることができる。したがって、遮断量を大きくすることが可能となる。
【００６１】
以上、本実施形態によれば、さらに、低周波領域で優れた特性を示し、小型化可能なＥＢＧ構造体を実現することが可能となる。
【００６２】
（第４の実施形態）
本実施形態の回路基板は、第１ないし第３の実施形態に記載のＥＢＧ構造体を備える。第１ないし第３の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
【００６３】
図１３は、本実施形態の回路基板の模式断面図である。回路基板２００は、第１ないし第３の実施形態に記載のＥＢＧ構造体を備える。
【００６４】
回路基板２００には、プリント配線板上に、複数の電子部品１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄが、例えばバンプ部１０４を介して実装される。電子部品１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄは、例えば、ロジックＬＳＩ、メモリ等の半導体部品あるいはコンデンサ、抵抗、コイル等の受動部品である。半導体部品は、ＳＯＣや疑似ＳＯＣであってもかまわない。
【００６５】
プリント配線板内にＥＢＧ構造体が形成される。ＥＢＧ構造体は、電極面１０、第１の絶縁層１２、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０、第２の絶縁層２２、配線層２４、第３の絶縁層２６、第１〜第４のビア３４、３６、３８、４０を備える。
【００６６】
複数の電子部品１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄと信号線である配線層２４は、例えば、ビア１０６を介して、電気的に接続される。複数の電子部品１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄと電極面１０が、図示しないビアで接続されてもかまわない。
【００６７】
本実施形態によれば、低周波領域で優れた特性を示し、小型化可能なＥＢＧ構造体を備えることで、低周波領域での動作が安定する回路基板を実現することが可能となる。
【００６８】
（第５の実施形態）
本実施形態の半導体デバイスは、第１ないし第３の実施形態に記載のＥＢＧ構造体を備える。第１ないし第３の実施形態と重複する内容については記述を省略する。
【００６９】
図１４は、本実施形態の半導体デバイスの模式断面図である。本実施形態の半導体デバイス３００は、複数の半導体チップを樹脂で接着し、相互のチップ間を配線層で接続する半導体部品、いわゆる疑似ＳＯＣ（ｐｓｅｕｄｏ  ｓｙｓｔｅｍ  ｏｎ  ｃｈｉｐ）である。半導体デバイス３００は、第１ないし第３の実施形態に記載のＥＢＧ構造体を備える。
【００７０】
疑似ＳＯＣ３００は、複数の半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅを備えている。半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅは樹脂１１６で相互に接着されている。  
【００７１】
半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅ上には、半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅ相互間を電気的に接続するための多層配線が設けられる。この多層配線層内に、ＥＢＧ構造体が、多層配線層の配線およびビアを用いて形成される。
【００７２】
ＥＢＧ構造体は、電極面１０、第１の絶縁層１２、第１〜第４の金属パッチ１４、１６、１８、２０、第２の絶縁層２２、配線層２４、第３の絶縁層２６、第１〜第４のビア３４、３６、３８、４０を備える。
【００７３】
半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅと、配線層２４は、例えば、ビア１１８を介して電気的に接続される。また、半導体チップ１１４ａ〜１１４ｅと、電極面１０は、例えば、ビア１２０を介して電気的に接続される。
【００７４】
本実施形態によれば、低周波領域で優れた特性を示し、小型化可能なＥＢＧ構造体を備えることで、低周波領域での動作の安定する半導体デバイスを実現することが可能となる。
【００７５】
なお、実施形態では、金属パッチが４個の場合を例に説明したが、金属パッチは４個には限られず、２個以上であればかまわない。
【００７６】
また、実施形態では、半導体デバイスとして、疑似ＳＯＣを例に説明したが、疑似ＳＯＣに限らず、その他の半導体デバイスにも本実施形態を適用することは可能である。
【００７７】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。例えば、一実施形態の構成要素を他の実施形態の構成要素と置き換えまたは変更してもよい。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７８】
１０        電極面
１２        第１の絶縁層
１４        第１の金属パッチ
１４ａ      第１の空隙
１４ｂ      第１の端部
１４ｃ      第１の切り欠き
１６        第２の金属パッチ
１６ａ      第２の空隙
１６ｂ      第２の端部
１６ｃ      第２の切り欠き
２２        第２の絶縁層
２４        配線層
２６        第３の絶縁層
３４        第１のビア
３６        第２のビア
４４        第１の開口部
４６        第２の開口部
５２        スリット
５４        幅広部
１００      ＥＢＧ構造体
２００      回路基板
３００      半導体デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図５】
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【図６】
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【図９】
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