(57)【要約】【課題】ロータとシャフトの芯出しの精度が高い真空ポンプの提供。【解決手段】ターボ分子ポンプ１のロータ組立体１０の締結構造７１は、ピン収納体７３を有する。ピン収納体７３は、ピン収納空間７２、および、位置決め部材であるピン７から構成される。ピン収納空間７２は、ロータ４に設けられた貫通孔４２と、シャフト５の頂部５１の頂面５３に設けられた凹部５２とで構成される。ピン収納体７３を構成している際のピン７は、貫通孔４２に一部が収納され、凹部５２に別の一部が収納されている。ロータ４はアルミ合金で作製され、シャフト５は鉄またはステンレスで作製され、ピン７は、アルミ合金、鉄、ステンレスよりも線膨張係数が大きいマグネシウム合金で作製されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
締結部を有するロータと、
シャフト頂部を有するシャフトと、を備え、
前記ロータと前記シャフトとは、前記締結部と前記シャフト頂部とが締結されることにより成る締結構造によって、締結され、
前記締結構造は、前記ロータと前記シャフトとの互いの位置を決定する位置決め部材を有し、
前記位置決め部材の線膨張係数は、前記ロータ及び前記シャフトの線膨張係数よりも大きい真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記ロータは、貫通孔または凹部より成る第１収納部を前記締結部に有し、
前記シャフトは、凹部より成る第２収納部を前記シャフト頂部に有し、
前記第１収納部と前記第２収納部は、位置決め部材収納空間を構成し、
前記位置決め部材収納空間と前記位置決め部材は、前記第１収納部が前記位置決め部材の一部を収納し、前記第２収納部が前記位置決め部材の他の一部を収納することで、位置決め部材収納体を構成し、
前記締結構造は、前記位置決め部材収納体を有する真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部材収納体は、前記締結構造の回転中心位置に、及び／又は、前記締結構造の回転中心位置から離間した位置に複数周方向に等間隔に、設けられる真空ポンプ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部材収納空間の内周面と前記位置決め部材の外周面との間には、前記位置決め部材よりもせん断強度が高く、かつ、径方向に伸縮可能な筒状部材が設けられている真空ポンプ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部材は、冷やし嵌めにより前記位置決め部材収納空間に収納される真空ポンプ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部材の弾性率は、前記ロータの弾性率よりも小さく、かつ、前記シャフトの弾性率よりも小さい真空ポンプ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部材は、マグネシウム合金で作製されている真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子ポンプに代表される真空ポンプは、ドライエッチング装置やＣＶＤ装置などの真空チャンバに取り付けられる。ターボ分子ポンプは、ロータ翼とロータ円筒部が形成されたロータ及びそのロータと互いに締結されるシャフトを有するロータ組立体と、シャフトを回転駆動するモータとを有する。モータは、シャフトを毎分数万回転という高速回転で回転駆動する。シャフトに締結されたロータも、シャフトの回転に伴って高速回転する。ロータ（ロータ組立体）の高速回転により、ロータ翼とステータ翼とが協働し、ロータ円筒部と円筒状ステータが協働して、その真空チャンバ内の気体を排気することで、高真空状態を作り出す。
【０００３】
ロータ組立体が安定して回転するためには、ロータとシャフトの芯出し（調芯）が必要である。特許文献１には、ロータに設けた貫通孔にシャフトの上端が挿設される発明が開示されている。このような構成にすれば、ある程度、ロータとシャフトの芯出しを行うことができる。
【０００４】
上記のような構成は、ロータの貫通孔の内周面とシャフトの上端の外周面の間に、ロータの貫通孔にシャフト頂部を挿入することを可能にするための隙間（クリアランス）を設けるのが一般的である。この隙間は、芯出しの精度を下げる原因となる。さらに、ロータはアルミ合金で作製され、シャフトは鉄またはステンレスで作製されるのが一般的である。アルミ合金の線膨張係数は、鉄またはステンレスの線膨張係数よりも大きい。この場合、ロータ組立体の回転などによってロータ組立体の温度が上昇すると、アルミ合金で作製されたロータが鉄またはステンレスで作製されたシャフトよりも径方向に膨張し、上記の隙間が広がる虞がある。その結果、ロータ組立体の温度上昇に伴い、さらに芯出しの精度を下げることとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２０７０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、ロータとシャフトの芯出しの精度が高い真空ポンプが望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、締結部を有するロータと、シャフト頂部を有するシャフトと、を備え、ロータとシャフトとは、締結部とシャフト頂部とが締結されることにより成る締結構造によって、締結され、締結構造は、ロータとシャフトとの互いの位置を決定する位置決め部材を有し、位置決め部材の線膨張係数は、ロータ及びシャフトの線膨張係数よりも大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ロータとシャフトの芯出しの精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態の真空ポンプの軸方向断面図。
【図２】本発明の第１実施形態の真空ポンプの締結構造周辺について示した図。
【図３】本発明の変形例の真空ポンプの締結構造周辺について示した図。
【図４】本発明の変形例の真空ポンプの締結構造周辺について示した図。
【図５】本発明の第２実施形態の真空ポンプの締結構造周辺について示した図。
【図６】本発明の変形例の真空ポンプの締結構造周辺について示した図。
【図７】本発明のピン収納体について示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下では、本発明を複合型のターボ分子ポンプに適用した例で説明する。なお、本発明は、全翼型のターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプなどの真空ポンプにも適用できる。
―第１実施形態―
図１は、本実施形態によるターボ分子ポンプ１の概略構成を示す断面図である。ターボ分子ポンプ１のポンプケーシング３２内にはロータ組立体１０が回転自在に設けられている。ロータ組立体１０は、ロータ４と、シャフト５と、ロータディスク６と、位置決め部材であるピン７から構成されている。ピン７は円柱状の形状を有している。ロータ４とシャフト５は、ボルト９０（図２参照）で締結されている。ターボ分子ポンプ１は磁気軸受式のポンプであり、ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって非接触支持される。
【００１１】
ロータ４には、複数段のロータ翼２０とロータ円筒部８とが設けられている。複数段のロータ翼２０の間には、軸方向に対して複数段のステータ翼２４が設けられている。ロータ円筒部８の外周側には円筒状ステータ１１が設けられ、円筒状ステータ１１はボルト３０でベース３８に取り付けられている。
【００１２】
ステータ翼２４のそれぞれは、環状のスペーサ３７を介してベース３８上に配設されている。ポンプケーシング３２をベース３８に固定すると、積層されたスペーサ３７がベース３８とポンプケーシング３２との間に挟持され、それに伴って、ステータ翼２４がスペーサ３７に挟持される。
【００１３】
ベース３８には排気口３６が設けられ、この排気口３６にバックポンプが接続される。ロータ組立体１０は、上部ラジアル電磁石６２、下部ラジアル電磁石６４、スラスト電磁石６６によって磁気浮上されつつ、モータ２５により高速回転駆動される。これによって、ロータ翼２０およびステータ翼２４が協働し、また、ロータ円筒部８および円筒状ステータ１１が協働して、吸気口３１側の気体分子が排気口３６側へと排気される。
【００１４】
図２を用いて、ロータ４とシャフト５の締結と、ロータ４とシャフト５によるピン７の収納について説明する。図２（ａ）は、図１のＡ１で示される領域を拡大したものである。図２（ｂ）は、後述する締結構造７１を吸気口３１側から見た図である。
【００１５】
図２（ａ）に示すように、ロータ４は、径方向の中央に締結部４１を有する。締結部４１の回転中心位置には、締結部４１の吸気口３１側の上面４３と排気口３６側の下面４４を連通する円柱状の貫通孔４２が設けられている。シャフト５は、頂部５１を有する。頂部５１の頂面５３の回転中心位置には、円柱状の凹部５２が設けられている。
【００１６】
シャフト５の凹部５２に位置決め部材であるピン７を挿設した状態で、ロータ４の貫通孔４２にピン７を挿入して、ロータ４の下面４４とシャフト５の頂面５３を対向させる。そして、ロータ４とシャフト５は、図２（ｂ）に示すボルト９０によって締結される。その結果、図２（ａ）に示す締結構造７１が形成される。なお、締結構造７１、ロータ組立体１０、ロータ４の締結部４１、および、シャフト５の頂部５１の頂面５３は、互いに回転中心位置が一致する。この回転中心位置を回転中心位置Ｃと呼ぶことにする。
【００１７】
貫通孔４２の径と凹部５２の径は等しく設定されており、ロータ４とシャフト５が締結されたときに、貫通孔４２の内周面と凹部５２の内周面が一致するように設定されている。上記の締結構造７１が完成した際に、貫通孔４２と凹部５２によって、図２（ａ）に示すピン収納空間７２が構成される。さらに、ピン収納空間７２は、ピン７を収納している。ピン収納空間７２にピン７を収納したものを、ピン収納体７３と呼ぶことにする。なお、ピン７は位置決め部材であるため、ロータ４側の収納部である貫通孔４２に一部分が収納され、シャフト５側の収納部である凹部５２に他の一部分が収納されている。また、ピン７の軸方向とピン収納空間７２の軸方向は平行となるように収納されている。
【００１８】
ロータ４は、アルミ合金で作製されている。シャフト５は鉄またはステンレスで作製されている。ピン７は、それらよりも線膨張係数が大きいマグネシウム合金で作製されている。本実施形態においては、常温を含む所定の温度以下では、ピン７の外周面とピン収納空間７２の内周面との間には、組立性を考慮してクリアランスである隙間Ｓ１が設けられている。すなわち、ピン７は、隙間嵌めでピン収納空間７２に収納されている。しかし、ロータ組立体１０が回転して、所定の温度以上になるとピン７は、ロータ４やシャフト５よりも熱膨張し、隙間Ｓ１をなくす。そして、ピン７の外周面がピン収納空間７２の内周面に当接して、ロータ４とシャフト５の厳密な位置決めを行う。これによって、ロータ４とシャフト５の精度良く芯出しがなされる。
【００１９】
なお、マグネシウム合金の弾性率は、アルミ合金や鉄やステンレスの弾性率よりも小さい。弾性率が小さいものほど、遠心力膨張量が大きい。ここで、上述したように、ロータ４をアルミ合金で作製し、シャフト５を鉄で作製し、且つ、マグネシウム合金のように、アルミや鉄よりも線膨張係数が大きいだけでなく、アルミや鉄よりも弾性率が小さい部材でピン７を作製することを考える。このような場合は、たとえ、ロータ組立体１０の温度が所定の温度まで到達していなくても、ロータ組立体１０の回転数が所定の回転数まで到達していれば、部材間の弾性率の差によって、図２に示す隙間Ｓ１をなくすのに十分な遠心力膨張量の差が生じ、ロータ４とシャフト５の芯出しをすることが可能となる。
【００２０】
上述した実施形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）本実施形態のターボ分子ポンプ１は、締結部４１を有するロータ４と、頂部５１を有するシャフト５と、を備える。ロータ４とシャフト５は、締結部４１と頂部５１が締結されることにより成る締結構造７１によって、締結される。締結構造７１は、ロータ４とシャフト５の互いの位置を決定する位置決め部材であるピン７を有する。ピン７の線膨張係数は、ロータ４及びシャフト５の線膨張係数よりも大きい。
これによって、ロータ組立体１０の温度上昇によって、ピン７がロータ４やシャフト５よりも熱膨張し、ロータ４やシャフト５との隙間Ｓ１をなくすことでロータ４とシャフト５の芯出しの精度を向上させることができる。
【００２１】
従来のターボ分子ポンプ（例えば、特許文献１）では、シャフトの頂面に突設された凸部がロータに設けられた貫通孔に係合される構造になっていた。また、ロータはアルミ合金で作製され、シャフトはアルミよりも線膨張係数の小さい鉄またはステンレスで作製されるのが一般的であった。このような構成では、凸部と貫通孔に設けられた隙間（クリアランス）がロータ組立体の温度上昇によって広がり、芯出しの精度が悪化していた。
【００２２】
しかし、以上に示したターボ分子ポンプ１は、ロータ４に貫通孔４２、シャフト５に凹部５２が設けられ、それらにピン７が挿設されている。さらに、ロータ４はアルミ合金で作製され、シャフトは鉄またはステンレスで作製され、ピン７はそれらよりも線膨張係数が大きいマグネシウム合金で作製されている。これによって、ロータ組立体１０の温度上昇によって、隙間Ｓ１が埋まり、ロータ４とシャフト５の芯出しの精度が向上する。
【００２３】
（２）ロータ４は貫通孔４２を締結部に有する。シャフト５は凹部５２を頂部５１に有する。貫通孔４２と凹部５２は、ピン収納空間７２を構成する。ピン収納空間７２とピン７は、貫通孔４２がピン７の一部を収納し、凹部５２がピン７の別の一部を収納することで、ピン収納体７３を構成する。締結構造７１は、ピン収納体７３を有する。
これによって、ロータ組立体１０の温度上昇によって、ピン７と貫通孔４２との隙間Ｓ１やピン７と凹部５２との隙間Ｓ１が埋まることにより、ロータ４とシャフト５の芯出しの精度を向上させることができる。
【００２４】
（３）ピン収納体７３は、締結構造７１の回転中心位置（回転中心位置Ｃ）に設けられている。
これによって、回転中心位置Ｃを中心としてピン７が熱膨張するので、ロータ４とシャフト５のそれぞれの中心位置を揃えることが可能となり、ロータ４とシャフト５の芯出しの精度を向上させることができる。
【００２５】
（４）ピン７の弾性率は、ロータ４の弾性率よりも小さく、かつ、シャフト５の弾性率よりも小さい。
これによって、ロータ組立体１０の温度が所定の温度まで到達していなくても、ロータ組立体１０の回転数が所定の回転数まで到達していれば、部材間の弾性率の差によって、図２に示す隙間Ｓ１をなくすのに十分な遠心力膨張量の差が生じ、ロータ４とシャフト５の芯出しをすることができる。
【００２６】
なお、以下のような変形を行うことも可能である。なお、第１実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
【００２７】
―変形例１―
図３は、変形例１を示す図である。図３（ａ）は、第１実施形態を示す図２（ａ）に相当する図である。図３（ｂ）は、締結構造７１を吸気口３１側から見た図である。図３（ｃ）は、図３（ｂ）のピン収納体７３周辺を拡大した図である。
【００２８】
変形例１は、第１実施形態の変形例である。具体的には、図３（ａ）に示すように、ピン収納空間７２の内周面、すなわち、貫通孔４２の内周面や凹部５２の内周面とピン７の外周面との間に、ピン７よりもせん断強度が高い筒状部材９５、すなわち、スリーブ９５が設けられている。これが、第１実施形態と異なる点である。本変形例でもピン７は、マグネシウム合金により作製されている。筒状部材９５は、マグネシウム合金よりもせん断強度が高いステンレスで作製されている。シャフト回転中心位置に対してロータの回転中心位置がずれていると、ロータが、シャフトの回転中心位置を中心として回転振動する。このような現象、すなわち、振れ回りなどによって、ロータ４とシャフト５は、図３（ａ）や図３（ｂ）に示した矢印のように運動し、これが、ピン７が受けるせん断力の原因となる。本変形例のように、筒状部材９５を設けることにより、ロータ４とシャフト５によるせん断力に対する強度が上がり、耐久性を向上させることができる。
【００２９】
さらに、図３（ｃ）に示すように、筒状部材９５は、周面の一部に、軸方向に平行なスリットが設けられている。これによって、ピン７の熱膨張に伴って筒状部材９５も径方向に伸縮することができ、ピン７の熱膨張の妨げとならないようにすることができる。
【００３０】
―変形例２―
図４は、変形例２におけるロータ４とシャフト５を示す図である。本変形例のシャフト５において、頂部５１とシャフト本体５５が別体となっており、ボルト５６で互いに締結されている。この点が、第１実施形態と異なる点である。なお、ボルト５６は、図２（ｂ）に示すようなロータ４と頂部５１を締結するボルト９０と干渉しない位置に設けられている。
【００３１】
ロータ組立体１０の温度上昇によって、ピン７がロータ４やシャフト５よりも熱膨張し、ロータ４とシャフト５の芯出しを行うためには、ピン７の材質の線膨張係数が、ロータ４やシャフト５の材料の線膨張係数よりも大きいものであればよい。
【００３２】
一例として、以下の各材料の線膨張係数の大小関係を示す。
マグネシウム合金  ＞  アルミ合金  ＞  鉄（ステンレス）  ＞  ＣＦＲＰなどの繊維強化部材
【００３３】
本変形例では、シャフト５の頂部５１とシャフト本体５５は、別部材である。この場合には、ピン７の材料の線膨張係数が、ロータ４や頂部５１の材料の線膨張係数よりも大きいものであればよい。すなわち、シャフト本体５５の材料は、ピン７の材料に無関係に選択できる。
【００３４】
具体的な材料の組み合わせとしては、
＜例１＞ロータ４はアルミ合金で、シャフト５の頂部５１は鉄やステンレスで、ピン７はマグネシウム合金で、作製されているもの。
＜例２＞ロータ４はＣＦＲＰなどの繊維強化部材で、シャフト５の頂部５１は鉄やステンレスで、ピン７はアルミ合金やマグネシウム合金で、作製されているもの。
等が挙げられる。
【００３５】
本変形例でも、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。
【００３６】
―第２実施形態―
第１実施形態と同様の構成については、説明を省略する。図５（ａ）は、第２実施形態のターボ分子ポンプ１の締結構造７１周辺を示している。図５（ｂ）は、第２実施形態の締結構造７１を吸気口３１側から見た図である。
【００３７】
本実施形態では、第１実施形態と異なり、回転中心位置Ｃから離間した位置で、且つ、周方向に等間隔にピン収納体７３が設けられている。本実施形態では、周方向に２つのピン収納体７３ａ、７３ｂが設けられている。貫通孔４２ａと凹部５２ａでピン収納空間７２ａを構成し、ピン収納空間７２ａにピン７ａが挿設されることで、ピン収納体７３ａが構成されている。同様に、貫通孔４２ｂと凹部５２ｂでピン収納空間７２ｂを構成し、ピン収納空間７２ｂにピン７ｂが挿設されることで、ピン収納体７３ｂが構成されている。なお、図５（ｂ）に示すように、ボルト９０と干渉しないようにピン収納体７３（７３ａ、７３ｂ）は、設けられている。これは、以降でも同様であり、必要であれば、ボルト９０の位置を変更することも可能である。
【００３８】
本実施形態では、ピン収納体７３は、回転中心位置Ｃには設けられていない。なお、図５（ａ）では、ロータ４の締結部４１にボス部Ｂ１が設けられ、シャフト５の頂部５１に凹部Ｄ１が設けられ嵌め合いとなっているが、この嵌め合いはなくてもよい。
【００３９】
ピン収納体７３は、回転中心位置Ｃに設けられていない場合は、少なくとも２つは設ける必要がある。熱膨張によりピン７の外周の隙間が埋まったとしても、ピン収納体７３を中心とした回転自由度は残る。第１実施形態のように回転中心位置Ｃに設けられている場合は、この回転自由度はロータ４とシャフト５の芯出しに影響しない。しかし、本実施形態のように回転中心位置Ｃに設けられていない場合は、この回転自由度はロータ４とシャフト５の芯出しに影響する。そのため、本実施形態では、この回転自由度を消失させるために、ピン収納体７３を２つ設けている。
【００４０】
さらに、ロータ組立体１０の重量バランスを考慮すると、ピン収納体７３を周方向に等間隔に設けることが好ましい。本実施形態の場合は、ピン収納体７３が２つ設けられているため、周方向に１８０°間隔で、ピン収納体７３ａ、７３ｂが設けられている。
【００４１】
本実施形態のような構成でも、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４２】
―変形例３―
図６（ａ）は、第２実施形態の変形例である変形例３を示している。なお、ボルト９０の記載は省略した。具体的には、ピン収納体７３の周方向に設ける数を２つから４つに変更した。本変形例でも、周方向に等間隔に設けたので、周方向に、９０°間隔に、ピン収納体７３ａ〜７３ｄが設けられている。このような構成でも、第１及び第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４３】
―変形例４―
図６（ｂ）は、第２実施形態の変形例である変形例４を示している。なお、ボルト９０の記載は省略した。具体的には、ピン収納体７３の周方向に設ける数を２つから３つに変更した。本変形例でも、周方向に等間隔に設けたので、周方向に、１２０°間隔に、ピン収納体７３ａ〜７３ｃが設けられている。このような構成でも、第１及び第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４４】
―変形例５―
図６（ｃ）は、変形例５を示している。なお、ボルト９０の記載は省略した。変形例５は、第１実施形態と第２実施形態の変形例（組み合わせ）である。すなわち、第１実施形態と第２実施形態におけるピン収納体７３の設ける位置を組み合わせたものである。具体的には、ピン収納体７３ＣＥが、回転中心位置Ｃに設けられ、且つ、周方向に１８０°間隔にピン収納体７３ａ、７３ｂが設けられている。このような構成でも、第１及び第２実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００４５】
―変形例６―
図７は、ピン収納空間７２、ピン収納体７３の変形例である変形例６を説明するための図である。図７（ａ）は、以上の実施形態や変形例におけるピン収納空間７２、ピン収納体７３を示している。図７（ｂ）は、本変形例のピン収納空間７２、ピン収納体７３を示している。図７（ａ）に示すように、以上の実施形態及び変形例では、ロータ４には、貫通孔４２が設けられていたが、これでは、隙間嵌めの場合で所定の温度以下である場合に、ピン収納空間７２からピン７が図示上方に向かって抜け出る可能性がある。そこで、図７（ｂ）に示すように、本変形例では、貫通孔４２の代わりに凹部４２Ｓを設けるようにした。このように、凹部４２Ｓと凹部５２でピン収納空間７２Ｓを構成し、ピン７を閉鎖空間内に収納してピン収納体７３Ｓを構成すると、ピン７がピン収納空間７２Ｓから抜け出るのを防ぐことができる。
【００４６】
―変形例７―
本変形例では、ピン７を隙間嵌めではなく、冷やし嵌めによって、ピン収納空間７２に設ける。以上の実施形態及び変形例では、隙間嵌めのため、所定の回転速度未満においてはピン７とピン収納空間７２の間に隙間Ｓ１（図２参照）が設けられているが、隙間Ｓ１は設けられていないほうが好ましい。隙間Ｓ１を設けないようにするため、本変形例では、ピン７を冷やし嵌めでピン収納空間７２に設けるようにした。冷やし嵌めを行うと、常温から隙間Ｓ１がない状態となるので、ロータ組立体１０が常温から安定して回転することができる。
【００４７】
―変形例８―
以上では、ピン７の材質をマグネシウム合金としたが、それに限定されない。例えば、亜鉛合金などでもよい。また、アルミ合金は、組成によって、線膨張係数を変えることができるため、ロータ４で用いられているアルミ合金よりも線膨張係数の大きいアルミ合金でピン７を作製してもよい。
【００４８】
以上では、本発明を複合型のターボ分子ポンプに適用した例で説明したが、本発明は、全翼型のターボ分子ポンプやモレキュラドラッグポンプなどにも適用できる。
【００４９】
以上では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。例えば、上記の実施形態および変形例の種々の組み合わせなど、本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
例えば、
・第１実施形態、変形例６、変形例７、変形例８の組み合わせ
・変形例１、変形例６、変形例７、変形例８の組み合わせ
・変形例１と変形例２の組み合わせ
・変形例１、第２実施形態、変形例６、変形例７、変形例８の組み合わせ
・変形例１、変形例３、変形例６、変形例７、変形例８の組み合わせ
・変形例１、変形例４、変形例６、変形例７、変形例８の組み合わせ
・変形例２、第２実施形態、変形例６、変形例７の組み合わせ
・変形例２、変形例３、変形例６、変形例７の組み合わせ
・変形例２、変形例４、変形例６、変形例７の組み合わせ
・変形例１と変形例５の組み合わせ
・変形例２と変形例５の組み合わせ
などの組み合わせが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１：ターボ分子ポンプ
４：ロータ
５：シャフト
６：ロータディスク
７：ピン
８：ロータ円筒部
１０：ロータ組立体
１１：円筒状ステータ
２０：ロータ翼
２４：ステータ翼
２５：モータ
３１：吸気口
３２：ポンプケーシング
３６：排気口
３７：スペーサ
３８：ベース
４１：締結部
４２：貫通孔
４２Ｓ：凹部
５１：頂部
５２：凹部
５３：頂面
５５：シャフト本体
６２：上部ラジアル電磁石
６４：下部ラジアル電磁石
６６：スラスト電磁石
７１：締結構造
７２、７２Ｓ：ピン収納空間
７３、７３ａ〜７３ｄ、７３ＣＥ、７３Ｓ：ピン収納体
９０：ボルト
９５：筒状部材（スリーブ）
Ｂ１：ボス部
Ｃ：回転中心位置
Ｄ１：凹部
Ｓ１：隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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