(57)【要約】【課題】基板処理装置のユーザインターフェースに関する使い勝手を向上させる。【解決手段】表示制御装置５２０は、ＣＭＰ装置の動作に関するソフトウェアの起動指令を受信する受信部５２２と、受信部５２２によって受信された起動指令に対応する、機能の異なる複数の画像を記憶部５１４から読み出し、読み出した画像を表示部５１６に表示させる表示制御部５２６と、を備える。表示制御部５２６は、入力操作部５１２を介して入力された調整指示に基づいて、表示部５１６に表示された複数の画像の大きさ又は配置位置を調整できるように構成されている。これにより、複数の画像を最適な大きさ又は配置位置に調整することができるので、ユーザインターフェースの使い勝手を向上させることができる。【選択図】図４
2015146413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置の動作に関するソフトウェアの起動指令を受信する受信部と、
前記受信部によって受信された起動指令に対応する、機能の異なる複数の画像を記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像を表示部に表示させる表示制御部と、を備え、
前記表示制御部は、入力操作部を介して入力された調整指示に基づいて、前記表示部に表示された複数の画像の大きさ又は配置位置を調整できるように構成されている、
ことを特徴とする表示制御装置。
【請求項２】
請求項１の表示制御装置において、
前記表示部に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、該複数の画像を表示させた起動指令の種類に対応させて前記記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、
前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類に対応する、複数の画像の大きさ及び配置位置を、前記記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、前記複数の画像を前記表示部に表示させる、
ことを特徴とする表示制御装置。
【請求項３】
請求項１又は２の表示制御装置において、
前記表示部に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、該複数の画像を表示させた起動指令の種類、及び前記入力操作部を介して入力された識別子、に対応させて前記記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、
前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類、及び前記入力操作部を介して入力された識別子、に対応する、複数の画像の大きさ及び配置位置を、前記記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、前記複数の画像を前記表示部に表示させる、
ことを特徴とする表示制御装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項の表示制御装置において、
前記複数の画像は、前記起動指令の種類に関わらず共通に用いられるベース画像を含み、
前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類に関わらず、前記ベース画像を、固定の大きさ及び固定の配置位置で、前記表示部に表示させる、
ことを特徴とする表示制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項の表示制御装置と、
基板の研磨処理を行うための研磨ユニットと、
前記基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うための洗浄ユニットと、
前記研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに前記洗浄ユニットによって洗浄処理及び乾燥処理された基板を受け取るロード／アンロードユニットと、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示制御装置、及び基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウェハなどの基板に対して各種処理を行うために基板処理装置が用いられている。基板処理装置の一例としては、基板の研磨処理を行うためのＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）装置が挙げられる。
【０００３】
ＣＭＰ装置は、基板の研磨処理を行うための研磨ユニット、基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うための洗浄ユニット、研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに洗浄ユニットによって洗浄処理及び乾燥処理された基板を受け取るロード／アンロードユニットなどを備える。また、ＣＭＰ装置は、研磨ユニット、洗浄ユニット、及びロード／アンロードユニット内で基板の搬送を行う搬送ユニットを備えている。ＣＭＰ装置は、搬送ユニットによって基板を搬送しながら研磨、洗浄、及び乾燥の各種処理を順次行う。
【０００４】
ところで、基板処理装置には、ユーザが基板処理装置の状態をモニタリングしたり各種操作を行ったりするために、操作用ＰＣが設けられている。操作用ＰＣの表示装置（ユーザインターフェース）には、例えば、モニタリング系画像、及び操作系画像、が表示される。モニタリング系画像は、基板処理装置がどのような動きをしているかをモニタリングするための画像であり、操作系画像は、ユーザが基板の操作、ＪＯＢ操作、又はレシピ編集などの各種操作を行うための画像である。ユーザは、操作用ＰＣの表示装置を介して、基板処理装置の状態をモニタリングしたり各種操作を行ったりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−８５７８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来技術は、基板処理装置のユーザインターフェースに関する使い勝手を向上させることは考慮されていなかった。
【０００７】
すなわち、基板処理装置には、様々な動作状態（各ユニットにおけるプロセスの実行、基板の自動搬送テスト、基板処理装置の組み立てなど）が存在する。これに対して、従来技術では、動作の種類に関わらず、表示装置に表示される画像の大きさ及び配置位置がデフォルト値に固定されていた。例えば、表示装置の画面の左側半分の領域にはモニタリング系画像が配置され、右側半分の領域には操作系画像が配置され、各画像の大きさ又は配置位置を調整するのが難しかった。その結果、ユーザは、基板処理装置の動作の種類に応じた最適な画像配置を実現することが難しく、ユーザインターフェースの使い勝手が悪かった。
【０００８】
そこで、本願発明は、基板処理装置のユーザインターフェースに関する使い勝手を向上させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願発明の表示制御装置の一形態は、上記課題に鑑みなされたもので、基板処理装置の動作に関するソフトウェアの起動指令を受信する受信部と、前記受信部によって受信され
た起動指令に対応する、機能の異なる複数の画像を記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像を表示部に表示させる表示制御部と、を備え、前記表示制御部は、入力操作部を介して入力された調整指示に基づいて、前記表示部に表示された複数の画像の大きさ又は配置位置を調整できるように構成されている、ことを特徴とする。
【００１０】
表示制御装置の一形態において、前記表示部に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、該複数の画像を表示させた起動指令の種類に対応させて前記記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類に対応する、複数の画像の大きさ及び配置位置を、前記記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、前記複数の画像を前記表示部に表示させる、ことができる。
【００１１】
表示制御装置の一形態において、前記表示部に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、該複数の画像を表示させた起動指令の種類、及び前記入力操作部を介して入力された識別子、に対応させて前記記憶部に記憶させる記憶制御部をさらに備え、前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類、及び前記入力操作部を介して入力された識別子、に対応する、複数の画像の大きさ及び配置位置を、前記記憶部から読み出し、読み出した前記複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、前記複数の画像を前記表示部に表示させる、ことができる。
【００１２】
表示制御装置の一形態において、前記複数の画像は、前記起動指令の種類に関わらず共通に用いられるベース画像を含み、前記表示制御部は、前記受信部によって受信された起動指令の種類に関わらず、前記ベース画像を、固定の大きさ及び固定の配置位置で、前記表示部に表示させる、ことができる。
【００１３】
また、本願発明の基板処理装置の一形態は、上記のいずれかの表示制御装置と、基板の研磨処理を行うための研磨ユニットと、前記基板の洗浄処理及び乾燥処理を行うための洗浄ユニットと、前記研磨ユニットへ基板を受け渡すとともに前記洗浄ユニットによって洗浄処理及び乾燥処理された基板を受け取るロード／アンロードユニットと、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
かかる本願発明によれば、基板処理装置のユーザインターフェースに関する使い勝手を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本実施形態の基板処理装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】図２は、研磨ユニットを模式的に示す斜視図である。
【図３】図３（ａ）は、洗浄ユニットを示す平面図であり、図３（ｂ）は、洗浄ユニットを示す側面図である。
【図４】図４は、表示制御装置及びＣＭＰ装置の構成を示す図である。
【図５】図５は、従来技術による画像表示の一例を示す図である。
【図６】図６は、本実施形態によって調整された画像表示の一例を示す図である。
【図７】図７は、本実施形態によって調整された画像表示の一例を示す図である。
【図８】図８は、ＣＭＰ装置の組み立て・調整を実行する際の画像表示の一例を示す図である。
【図９】図９は、ＣＭＰ装置のユニットにおけるプロセス処理を実行する際の画像表示の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、ＣＭＰ装置の基板の自動搬送テストを実行する際の画像表示の一例を示す図である。
【図１１】図１１は、ＣＭＰ装置のプロセス処理中にトラブルが発生した際の画像表示の一例を示す図である。
【図１２】図１２は、表示制御装置によって実行される処理のフローチャートである。
【図１３】図１３は、表示制御装置によって実行される処理のフローチャートである。
【図１４】図１４は、表示制御装置によって実行される処理のフローチャートである。
【図１５】図１５は、表示制御装置によって実行される処理のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本願発明の一実施形態に係る基板処理装置を図面に基づいて説明する。以下では、基板処理装置の一例として、ＣＭＰ装置を説明するが、これには限られない。また、以下では、ロード／アンロードユニット２と、研磨ユニット３と、洗浄ユニット４と、を備える基板処理装置について説明するが、これには限られない。
【００１７】
まず、ＣＭＰ装置の構成について説明し、その後にユーザインターフェースの使い勝手の向上について説明する。
【００１８】
＜基板処理装置＞
図１は本発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す平面図である。図１に示すように、このＣＭＰ装置は、略矩形状のハウジング１を備えており、ハウジング１の内部は隔壁１ａ，１ｂによってロード／アンロードユニット２と研磨ユニット３と洗浄ユニット４とに区画されている。ロード／アンロードユニット２、研磨ユニット３、及び洗浄ユニット４は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気される。また、洗浄ユニット４は、基板処理動作を制御する制御装置５を有している。
【００１９】
＜ロード／アンロードユニット＞
ロード／アンロードユニット２は、多数のウェハ（基板）をストックするウェハカセットが載置される２つ以上（本実施形態では４つ）のフロントロード部２０を備えている。これらのフロントロード部２０はハウジング１に隣接して配置され、基板処理装置の幅方向（長手方向と垂直な方向）に沿って配列されている。フロントロード部２０には、オープンカセット、ＳＭＩＦ（Standard Manufacturing Interface）ポッド、またはＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）を搭載することができるようになっている。ここで、ＳＭＩＦ、ＦＯＵＰは、内部にウェハカセットを収納し、隔壁で覆うことにより、外部空間とは独立した環境を保つことができる密閉容器である。
【００２０】
また、ロード／アンロードユニット２には、フロントロード部２０の並びに沿って走行機構２１が敷設されており、この走行機構２１上にウェハカセットの配列方向に沿って移動可能な２台の搬送ロボット（ローダー、搬送機構）２２が設置されている。搬送ロボット２２は走行機構２１上を移動することによってフロントロード部２０に搭載されたウェハカセットにアクセスできるようになっている。各搬送ロボット２２は上下に２つのハンドを備えている。上側のハンドは、処理されたウェハをウェハカセットに戻すときに使用される。下側のハンドは、処理前のウェハをウェハカセットから取り出すときに使用される。このように、上下のハンドを使い分けることができるようになっている。さらに、搬送ロボット２２の下側のハンドは、その軸心周りに回転することで、ウェハを反転させることができるように構成されている。
【００２１】
ロード／アンロードユニット２は最もクリーンな状態を保つ必要がある領域であるため
、ロード／アンロードユニット２の内部は、ＣＭＰ装置外部、研磨ユニット３、及び洗浄ユニット４のいずれよりも高い圧力に常時維持されている。研磨ユニット３は研磨液としてスラリーを用いるため最もダーティな領域である。したがって、研磨ユニット３の内部には負圧が形成され、その圧力は洗浄ユニット４の内部圧力よりも低く維持されている。ロード／アンロードユニット２には、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、またはケミカルフィルタなどのクリーンエアフィルタを有するフィルタファンユニット（図示せず）が設けられており、このフィルタファンユニットからはパーティクルや有毒蒸気、有毒ガスが除去されたクリーンエアが常時吹き出している。
【００２２】
＜研磨ユニット＞
研磨ユニット３は、ウェハの研磨（平坦化）が行われる領域であり、第１研磨ユニット３Ａ、第２研磨ユニット３Ｂ、第３研磨ユニット３Ｃ、第４研磨ユニット３Ｄを備えている。これらの第１研磨ユニット３Ａ、第２研磨ユニット３Ｂ、第３研磨ユニット３Ｃ、及び第４研磨ユニット３Ｄは、図１に示すように、基板処理装置の長手方向に沿って配列されている。
【００２３】
図１に示すように、第１研磨ユニット３Ａは、研磨面を有する研磨パッド１０が取り付けられた研磨テーブル３０Ａと、ウェハを保持しかつウェハを研磨テーブル３０Ａ上の研磨パッド１０に押圧しながら研磨するためのトップリング３１Ａと、研磨パッド１０に研磨液やドレッシング液（例えば、純水）を供給するための研磨液供給ノズル３２Ａと、研磨パッド１０の研磨面のドレッシングを行うためのドレッサ３３Ａと、液体（例えば純水）と気体（例えば窒素ガス）の混合流体または液体（例えば純水）を霧状にして研磨面に噴射するアトマイザ３４Ａとを備えている。
【００２４】
同様に、第２研磨ユニット３Ｂは、研磨パッド１０が取り付けられた研磨テーブル３０Ｂと、トップリング３１Ｂと、研磨液供給ノズル３２Ｂと、ドレッサ３３Ｂと、アトマイザ３４Ｂとを備えている。第３研磨ユニット３Ｃは、研磨パッド１０が取り付けられた研磨テーブル３０Ｃと、トップリング３１Ｃと、研磨液供給ノズル３２Ｃと、ドレッサ３３Ｃと、アトマイザ３４Ｃとを備えている。第４研磨ユニット３Ｄは、研磨パッド１０が取り付けられた研磨テーブル３０Ｄと、トップリング３１Ｄと、研磨液供給ノズル３２Ｄと、ドレッサ３３Ｄと、アトマイザ３４Ｄとを備えている。
【００２５】
第１研磨ユニット３Ａ、第２研磨ユニット３Ｂ、第３研磨ユニット３Ｃ、及び第４研磨ユニット３Ｄは、互いに同一の構成を有しているので、以下、第１研磨ユニット３１Ａについて説明する。
【００２６】
図２は、第１研磨ユニット３Ａを模式的に示す斜視図である。トップリング３１Ａは、トップリングシャフト３６に支持されている。研磨テーブル３０Ａの上面には研磨パッド１０が貼付されており、この研磨パッド１０の上面はウェハＷを研磨する研磨面を構成する。なお、研磨パッド１０に代えて固定砥粒を用いることもできる。トップリング３１Ａ及び研磨テーブル３０Ａは、矢印で示すように、その軸心周りに回転するように構成されている。ウェハＷは、トップリング３１Ａの下面に真空吸着により保持される。研磨時には、研磨液供給ノズル３２Ａから研磨パッド１０の研磨面に研磨液が供給され、研磨対象であるウェハＷがトップリング３１Ａにより研磨面に押圧されて研磨される。
【００２７】
次に、ウェハを搬送するための搬送機構について説明する。図１に示すように、第１研磨ユニット３Ａ及び第２研磨ユニット３Ｂに隣接して、第１リニアトランスポータ６が配置されている。この第１リニアトランスポータ６は、研磨ユニット３Ａ，３Ｂが配列する方向に沿った４つの搬送位置（ロード／アンロードユニット側から順番に第１搬送位置ＴＰ１、第２搬送位置ＴＰ２、第３搬送位置ＴＰ３、第４搬送位置ＴＰ４とする）の間でウ
ェハを搬送する機構である。
【００２８】
また、第３研磨ユニット３Ｃ及び第４研磨ユニット３Ｄに隣接して、第２リニアトランスポータ７が配置されている。この第２リニアトランスポータ７は、研磨ユニット３Ｃ，３Ｄが配列する方向に沿った３つの搬送位置（ロード／アンロードユニット側から順番に第５搬送位置ＴＰ５、第６搬送位置ＴＰ６、第７搬送位置ＴＰ７とする）の間でウェハを搬送する機構である。
【００２９】
ウェハは、第１リニアトランスポータ６によって研磨ユニット３Ａ，３Ｂに搬送される。第１研磨ユニット３Ａのトップリング３１Ａは、トップリングヘッドのスイング動作により研磨位置と第２搬送位置ＴＰ２との間を移動する。したがって、トップリング３１Ａへのウェハの受け渡しは第２搬送位置ＴＰ２で行われる。同様に、第２研磨ユニット３Ｂのトップリング３１Ｂは研磨位置と第３搬送位置ＴＰ３との間を移動し、トップリング３１Ｂへのウェハの受け渡しは第３搬送位置ＴＰ３で行われる。第３研磨ユニット３Ｃのトップリング３１Ｃは研磨位置と第６搬送位置ＴＰ６との間を移動し、トップリング３１Ｃへのウェハの受け渡しは第６搬送位置ＴＰ６で行われる。第４研磨ユニット３Ｄのトップリング３１Ｄは研磨位置と第７搬送位置ＴＰ７との間を移動し、トップリング３１Ｄへのウェハの受け渡しは第７搬送位置ＴＰ７で行われる。
【００３０】
第１搬送位置ＴＰ１には、搬送ロボット２２からウェハを受け取るためのリフタ１１が配置されている。ウェハはこのリフタ１１を介して搬送ロボット２２から第１リニアトランスポータ６に渡される。リフタ１１と搬送ロボット２２との間に位置して、シャッタ（図示せず）が隔壁１ａに設けられており、ウェハの搬送時にはシャッタが開かれて搬送ロボット２２からリフタ１１にウェハが渡されるようになっている。また、第１リニアトランスポータ６と、第２リニアトランスポータ７と、洗浄ユニット４との間にはスイングトランスポータ１２が配置されている。このスイングトランスポータ１２は、第４搬送位置ＴＰ４と第５搬送位置ＴＰ５との間を移動可能なハンドを有しており、第１リニアトランスポータ６から第２リニアトランスポータ７へのウェハの受け渡しは、スイングトランスポータ１２によって行われる。ウェハは、第２リニアトランスポータ７によって第３研磨ユニット３Ｃ及び／または第４研磨ユニット３Ｄに搬送される。また、研磨ユニット３で研磨されたウェハはスイングトランスポータ１２を経由して洗浄ユニット４に搬送される。
【００３１】
＜洗浄ユニット＞
図３（ａ）は洗浄ユニット４を示す平面図であり、図３（ｂ）は洗浄ユニット４を示す側面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、洗浄ユニット４は、第１洗浄室１９０と、第１搬送室１９１と、第２洗浄室１９２と、第２搬送室１９３と、乾燥室１９４とに区画されている。第１洗浄室１９０内には、縦方向に沿って配列された上側一次洗浄モジュール２０１Ａ及び下側一次洗浄モジュール２０１Ｂが配置されている。上側一次洗浄モジュール２０１Ａは下側一次洗浄モジュール２０１Ｂの上方に配置されている。同様に、第２洗浄室１９２内には、縦方向に沿って配列された上側二次洗浄モジュール２０２Ａ及び下側二次洗浄モジュール２０２Ｂが配置されている。上側二次洗浄モジュール２０２Ａは下側二次洗浄モジュール２０２Ｂの上方に配置されている。一次及び二次洗浄モジュール２０１Ａ，２０１Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂは、洗浄液を用いてウェハを洗浄する洗浄機である。これらの一次及び二次洗浄モジュール２０１Ａ，２０１Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂは垂直方向に沿って配列されているので、フットプリント面積が小さいという利点が得られる。
【００３２】
上側二次洗浄モジュール２０２Ａと下側二次洗浄モジュール２０２Ｂとの間には、ウェハの仮置き台２０３が設けられている。乾燥室１９４内には、縦方向に沿って配列された
上側乾燥モジュール２０５Ａ及び下側乾燥モジュール２０５Ｂが配置されている。これら上側乾燥モジュール２０５Ａ及び下側乾燥モジュール２０５Ｂは互いに隔離されている。上側乾燥モジュール２０５Ａ及び下側乾燥モジュール２０５Ｂの上部には、清浄な空気を乾燥モジュール２０５Ａ，２０５Ｂ内にそれぞれ供給するフィルタファンユニット２０７，２０７が設けられている。上側一次洗浄モジュール２０１Ａ、下側一次洗浄モジュール２０１Ｂ、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂ、仮置き台２０３、上側乾燥モジュール２０５Ａ、及び下側乾燥モジュール２０５Ｂは、図示しないフレームにボルトなどを介して固定されている。
【００３３】
第１搬送室１９１には、上下動可能な第１搬送ロボット（搬送機構）２０９が配置され、第２搬送室１９３には、上下動可能な第２搬送ロボット２１０が配置されている。第１搬送ロボット２０９及び第２搬送ロボット２１０は、縦方向に延びる支持軸２１１，２１２にそれぞれ移動自在に支持されている。第１搬送ロボット２０９及び第２搬送ロボット２１０は、その内部にモータなどの駆動機構を有しており、支持軸２１１，２１２に沿って上下に移動自在となっている。第１搬送ロボット２０９は、搬送ロボット２２と同様に、上下二段のハンドを有している。第１搬送ロボット２０９は、図３（ａ）の点線が示すように、その下側のハンドが上述した仮置き台１８０にアクセス可能な位置に配置されている。第１搬送ロボット２０９の下側のハンドが仮置き台１８０にアクセスするときには、隔壁１ｂに設けられているシャッタ（図示せず）が開くようになっている。
【００３４】
第１搬送ロボット２０９は、仮置き台１８０、上側一次洗浄モジュール２０１Ａ、下側一次洗浄モジュール２０１Ｂ、仮置き台２０３、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂの間でウェハＷを搬送するように動作する。洗浄前のウェハ（スラリーが付着しているウェハ）を搬送するときは、第１搬送ロボット２０９は、下側のハンドを用い、洗浄後のウェハを搬送するときは上側のハンドを用いる。第２搬送ロボット２１０は、上側二次洗浄モジュール２０２Ａ、下側二次洗浄モジュール２０２Ｂ、仮置き台２０３、上側乾燥モジュール２０５Ａ、下側乾燥モジュール２０５Ｂの間でウェハＷを搬送するように動作する。第２搬送ロボット２１０は、洗浄されたウェハのみを搬送するので、１つのハンドのみを備えている。図１に示す搬送ロボット２２は、その上側のハンドを用いて上側乾燥モジュール２０５Ａまたは下側乾燥モジュール２０５Ｂからウェハを取り出し、そのウェハをウェハカセットに戻す。搬送ロボット２２の上側ハンドが乾燥モジュール２０５Ａ，２０５Ｂにアクセスするときには、隔壁１ａに設けられているシャッタ（図示せず）が開くようになっている。
【００３５】
＜ユーザインターフェースの使い勝手の向上＞
次に、ＣＭＰ装置のユーザインターフェースの使い勝手の向上について説明する。
【００３６】
図４は、図４は、表示制御装置及びＣＭＰ装置の構成を示す図である。上述のとおり、ＣＭＰ装置には、ロード／アンロードユニット２、研磨ユニット３、洗浄ユニット４など複数のユニットが含まれる。
【００３７】
ロード／アンロードユニット２には、ロード／アンロードユニット２内の複数の部品２５０−１〜２５０−ｍ（搬送ロボット２２など）の動作を制御するためのシーケンサ２６０が設けられている。また、ロード／アンロードユニット２には、ロード／アンロードユニット２の制御に関するデータを検出する複数のセンサ２７０−１〜２７０−ａが設けられている。センサ２７０−１〜２７０−ａには、例えば、搬送ロボット２２にウェハが設置されたか否かを検出するセンサなどが含まれる。
【００３８】
研磨ユニット３には、研磨ユニット３内の複数の部品３５０−１〜３５０−ｎ（研磨テーブル、トップリングなど）の動作を制御するためのシーケンサ３６０が設けられている
。また、研磨ユニット３には、研磨ユニット３の制御に関するデータを検出する複数のセンサ３７０−１〜３７０−ｂが設けられている。センサ３７０−１〜３７０−ｂには、例えば、研磨パッド１０に供給される研磨液の流量を検出するセンサ、研磨テーブル３０の回転数を検出するセンサ、研磨テーブル３０又はトップリング３１の回転トルクを検出するセンサなどが含まれる。
【００３９】
洗浄ユニット４には、洗浄ユニット４内の複数の部品４５０−１〜４５０−ｐ（洗浄モジュール、搬送ロボットなど）の動作を制御するためのシーケンサ４６０が設けられている。また、洗浄ユニット４には、洗浄ユニット４の制御に関するデータを検出する複数のセンサ４７０−１〜４７０−ｃが設けられている。センサ４７０−１〜４７０−ｃには、例えば、ウェハに供給される洗浄液の流量を検出するセンサなどが含まれる。
【００４０】
制御装置５は、ロード／アンロードユニット２（シーケンサ２６０）、研磨ユニット３（シーケンサ３６０）、及び洗浄ユニット４（シーケンサ４６０）と接続されている。制御装置５は、入力操作部５１２、記憶部５１４、表示部５１６、及び表示制御装置５２０、を備える。
【００４１】
入力操作部５１２は、レシピの編集などＣＭＰ装置に関する様々な操作をユーザが実行するための入力インターフェース（例えばマウスなど）である。記憶部５１４は、表示部５１６に表示させる複数の画像の大きさ及び配置位置などの様々な情報を記憶するための記憶媒体である。表示部５１６は、各種データを表示するとともに、ユーザがＣＭＰ装置の各種操作を行うためのユーザインターフェースである。
【００４２】
表示制御装置５２０は、受信部５２２、記憶制御部５２４、及び表示制御部５２６、を備える。
【００４３】
受信部５２２は、ＣＭＰ装置の動作に関するソフトウェアの起動指令を受信する。例えば、受信部５２２は、ユーザが入力操作部５１２を介してソフトウェアの起動操作をした場合に、この起動操作によって生成された起動指令を受信する。
【００４４】
表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令に対応する画像を記憶部５１４から読み出し、読み出した画像を表示部５１６に表示させる。具体的には、表示部５１６に表示される画像は、機能の異なる複数の画像（例えば、モニタリング系画像と操作系画像）を含む。この場合には、表示制御部５２６は、複数の画像のそれぞれについて、画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４から読み出し、読み出した各画像の大きさ及び配置位置に基づいて、各画像を表示部５１６に表示させる。なお、本実施形態では、モニタリング系画像と操作系画像に関する画像の大きさ又は位置を調整する例を示すが、これには限られない。
【００４５】
また、表示制御部５２６は、入力操作部５１２を介して入力された調整指示に基づいて、表示部５１６に表示された複数の画像の大きさ又は配置位置を調整可能である。例えば入力操作部５１２がマウスの場合、ユーザがマウスのＤｒａｇ＆Ｄｒｏｐ操作によって表示部５１６に表示された画像の大きさを拡大する操作を行ったら、表示制御部５２６は、マウスを介して入力された拡大指示にしたがって、画像の大きさを拡大させた状態で表示部５１６へ表示させる。また、例えば、ユーザがマウスのＤｒａｇ＆Ｄｒｏｐ操作によって表示部５１６に表示された画像の配置位置を変更させる操作を行ったら、表示制御部５２６は、マウスを介して入力された変更指示にしたがって画像の座標を変更し、変更した座標に基づいて画像を表示部５１６へ表示させる。
【００４６】
記憶制御部５２４は、表示部５１６に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、
この複数の画像を表示させた起動指令の種類に対応させて記憶部５１４に記憶させることができる。すなわち、ユーザがアプリケーションソフトウェアを起動させるたびに複数の画像を最適な大きさ及び配置位置に調整するのは手間がかかるので、記憶制御部５２４は、いったん画像の大きさ及び配置位置が調整されたら、その状態を記憶部５１４へ記憶させることができる。
【００４７】
この場合、表示制御部５２６は、受信部５２２が起動指令を受信したら、受信部５２２によって受信された起動指令の種類に対応する複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部から読み出す。そして、表示制御部５２６は、読み出した複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、複数の画像を表示部５１６に表示させる。これによれば、ユーザがアプリケーションソフトウェアを起動させたら、そのアプリケーションソフトウェアに関して保存された最適な大きさ及び配置位置の状態で複数の画像が表示されるので、再度複数の画像の大きさ及び配置位置を調整する必要がなく、使い勝手がよい。
【００４８】
また、記憶制御部５２４は、表示部５１６に表示された複数の画像の大きさ及び配置位置を、この複数の画像を表示させた起動指令の種類、及び入力操作部５１２を介して入力された識別子、に対応させて記憶部５１４に記憶させることができる。すなわち、複数の画像の最適な大きさ及び配置位置は、ユーザごとに異なる場合がある。そこで、ユーザが入力した識別子（例えばユーザ名など）に対応させて複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶させることによって、個別のユーザごとに最適な画像の大きさ及び配置位置を保存させることができる。
【００４９】
この場合、表示制御部５２６は、受信部５２２が起動指令を受信したら、受信部５２２によって受信された起動指令の種類、及び入力操作部５１２を介して入力された識別子、に対応する複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４から読み出す。そして、表示制御部５２６は、読み出した複数の画像の大きさ及び配置位置に基づいて、複数の画像を表示部５１６に表示させることができる。これによれば、ユーザがアプリケーションソフトウェアを起動させる際に識別子（例えばユーザ名など）を入力したら、その識別子で保存した大きさ及び配置位置の状態で複数の画像が表示されるので、そのユーザに固有の最適な画像の大きさ及び配置状態を再度調整する必要がなく、使い勝手がよい。
【００５０】
＜画像の調整例＞
表示制御部５２６による複数の画像の調整について図面を用いて説明する。図５は、従来技術による画像表示の一例を示す図である。図６〜図７は、本実施形態によって調整された画像表示の一例を示す図である。
【００５１】
図５に示すように、従来技術では、表示部５１６の画面の上部にタイトル表示画像６０２、左部に操作メニュー画像６０４、下部にメインメニュー画像６０６が表示される。タイトル表示画像６０２、操作メニュー画像６０４、及びメインメニュー画像６０６は、ＣＭＰ装置で実行されるソフトウェアの種類に関わらず共通に用いられるベース画像６０８を構成する。タイトル表示画像６０２には、ＣＭＰ装置に関する各種操作を行うための操作用ボタン６６１が設けられる。操作メニュー画像６０４には、ＣＭＰ装置に関する各種操作を行うための操作用ボタン６６２，６６３，６６４が設けられる。メインメニュー画像６０６には、ＣＭＰ装置に関する各種操作を行うための操作用ボタン６６５，６６６，６６７が設けられる。
【００５２】
表示部５１６の画面のうち、タイトル表示画像６０２、操作メニュー画像６０４、及びメインメニュー画像６０６を除いた領域６１０には、モニタリング系画像６２０、及び操作系画像６３０，６４０，６５０が表示される。
【００５３】
具体的には、領域６１０の左側半分の領域には、画像１としてモニタリング系画像６２０が表示される。モニタリング系画像６２０は、例えば、ＣＭＰ装置の動作状態をユーザがモニタリングするための画像である。また、領域６１０の右側半分の領域には、画像２、画像３、画像４として操作系画像６３０，６４０，６５０が表示される。例えば、操作系画像６３０は、ユーザが基板に関する操作を行うための画像である。また、操作系画像６４０は、ユーザが基板のキャリアに関する操作を行うための画像である。また、操作系画像６５０は、ユーザがＪＯＢに関する操作を行うための画像である。
【００５４】
ＣＭＰ装置には、各ユニットにおけるプロセスの実行、基板の自動搬送テスト、基板処理装置の組み立てなど様々な動作状態があり、それぞれの動作に対してアプリケーションソフトウェアが実装されている。これに対して、従来技術では、どのアプリケーションソフトウェアを実行した場合であっても、図５に示すように、領域６１０の左側半分の領域にはモニタリング系画像６２０が表示され、領域６１０の右側半分の領域には操作系画像６３０，６４０，６５０が表示されていた。
【００５５】
これに対して、本実施形態では、表示制御部５２６によって、表示部５１６に表示された複数の画像の大きさ又は配置位置を調整可能である。例えば、ユーザが、ＣＭＰ装置の動作状態をモニタリングしながら、ＪＯＢに関する操作を主に行う（基板に関する操作、又は基板のキャリアに関する操作は行わない）状態を考える。この場合、表示制御部５２６は、ユーザによる調整指示に基づいて、図６に示すように、画像４の操作系画像６５０を領域６１０の右側半分の領域全体に拡大することができる。
【００５６】
一方、ユーザが、ＣＭＰ装置の動作状態をモニタリングするがそれほど重要度は高くなく、基板に関する操作、基板のキャリアに関する操作、及びＪＯＢに関する操作を主に行う状態を考える。この場合、表示制御部５２６は、ユーザによる調整指示に基づいて、図７に示すように、画像１のモニタリング系画像６２０の大きさを小さくするとともに、領域６１０の左側半分の空いた領域へ操作系画像６３０の配置位置を変えることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザによる調整指示に基づいて、領域６１０の右側半分の領域について、操作系画像６５０を拡大させて配置位置を上方へ移動させ、操作系画像６５０の移動によって空いた下方へ操作系画像６４０の配置位置を移動させることができる。
【００５７】
以上のように、本実施形態によれば、ＣＭＰ装置で実行されるアプリケーションソフトウェアの種類（動作状態）に応じて、最適な画像の大きさ及び配置位置を、ユーザによって調整することができるので、ＣＭＰ装置のユーザインターフェースに関する使い勝手を向上させることができる。
【００５８】
なお、図５〜図７に示すように、表示部５１６に表示される複数の画像には、アプリケーションソフトウェアの起動指令の種類に関わらず共通に用いられるベース画像６０８が含まれる。表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令の種類に関わらず、ベース画像６０８を、固定の大きさ及び固定の配置位置で、表示部５１６に表示させることができる。なぜなら、ベース画像６０８は、アプリケーションソフトウェアの種類に関わらずＣＭＰ装置の操作等を行うための画像であるので、大きさ及び配置位置を変更させず固定としたほうが、かえってユーザインターフェースの使い勝手がよい場合があるためである。
【００５９】
＜具体的な画像の調整例＞
次に、ＣＭＰ装置で実行されるソフトウェアの種類（動作状態）に応じた画像の大きさ及び配置位置の具体例について説明する。図８は、ＣＭＰ装置の組み立て・調整を実行する際の画像表示の一例を示す図である。
【００６０】
ＣＭＰ装置の組み立て・調整を実行する際には、組み立て・調整に関するエラー情報のモニタリングを行うとともに複数の操作を行うが、モニタリングの重要度はそれほど高くなく、これに比べて複数の操作を行うため操作系画像の重要度が高い。
【００６１】
そこで、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、図８に示すように、エラー情報を表示させるモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の左側下部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、各ユニットを操作するための操作系画像６３０の大きさを調整して領域６１０の左側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、組み立て・調整に関するマニュアルパラメータを編集するための操作系画像６４０の大きさを調整して領域６１０の右側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、組み立て・調整に関するシステムパラメータを編集するための操作系画像６５０の大きさを調整して領域６１０の右側上部へ配置させることができる。
【００６２】
次に、図９は、ＣＭＰ装置のユニットにおけるプロセス処理を実行する際の画像表示の一例を示す図である。プロセス処理を実行する際には、レシピ編集を行うとともにプロセス処理に関する各種情報のモニタリングを行うが、レシピ編集の重要度はそれほど高くなく、これに比べてプロセス処理に関する各種情報をモニタリングの重要度が高い。
【００６３】
そこで、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、図９に示すように、レシピ編集用の操作系画像６３０の大きさを調整して領域６１０の左側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、基板の搬送状態をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の左側下部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、プロセスの処理結果をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の右側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、消耗部材の状態をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の右側下部へ配置させることができる。
【００６４】
次に、図１０は、ＣＭＰ装置の基板の自動搬送テストを実行する際の画像表示の一例を示す図である。基板の自動搬送テストを実行する際には、ロードポートの操作を行うとともに基板の自動搬送に関する各種情報のモニタリングを行うが、ロードポートの操作の重要度はそれほど高くなく、これに比べて基板の自動搬送に関する各種情報のモニタリングの重要度が高い。
【００６５】
そこで、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、図１０に示すように、基板の搬送状況をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の左側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、基板の自動搬送に関するエラー情報をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の左側下部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、ロードポートを操作するための操作系画像６３０の大きさを調整して領域６１０の右側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、基板の自動搬送のＪＯＢ操作に関する情報をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の右側下部へ配置させることができる。
【００６６】
次に、図１１は、ＣＭＰ装置のプロセス処理中にトラブルが発生した際の画像表示の一例を示す図である。プロセス処理中にトラブルが発生した際には、システムパラメータの
編集を行うとともにプロセス処理結果及びエラー情報のモニタリングを行うが、システムパラメータの編集の操作の重要度はそれほど高くなく、これに比べてロセス処理結果及びエラー情報のモニタリングの重要度が高い。
【００６７】
そこで、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、図１１に示すように、プロセス処理結果をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の左側へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、エラー情報をモニタリングするためのモニタリング系画像６２０の大きさを調整して領域６１０の右側上部へ配置させることができる。また、表示制御部５２６は、ユーザの調整指示に基づいて、システムパラメータを操作するための操作系画像６３０の大きさを調整して領域６１０の右側下部へ配置させることができる。
【００６８】
＜フローチャート＞
次に、表示制御装置５２０によって実行される処理を説明する。図１２，図１３は、表示制御装置５２０によって実行される処理のフローチャートである。図１２，図１３は、複数の画像の調整を行うとともに、ユーザごとの最適な画像配置を使い勝手良く再現するためにユーザ固有の識別子を用いる例である。図１２は、複数の画像の調整がまだ行われておらず、複数の画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値が記憶部５１４へ記憶されている場合を想定している。
【００６９】
図１２に示すように、まず、受信部５２２は、アプリケーションソフトウェアの起動指令を受信する（ステップＳ１０１）。アプリケーションソフトウェアの起動指令は、例えば、ユーザが入力操作部５１２を介してアプリケーションソフトウェアの起動操作を行うことによって生成される。
【００７０】
続いて、表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令に対応する複数の画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値を記憶部５１４から読み出す（ステップＳ１０２）。続いて、表示制御部５２６は、読み出した画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値に基づいて、複数の画像を表示部５１６へ表示させる（ステップＳ１０３）。
【００７１】
続いて、表示制御部５２６は、入力操作部５１２を介して入力されたユーザの調整指示に基づいて、複数の画像の大きさ及び配置位置を調整する（ステップＳ１０４）。
【００７２】
続いて、記憶制御部５２４は、入力操作部５１２を介して画像の保存指示及び保存名が入力されたら、入力された保存名を付けて複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４へ保存する（ステップＳ１０５）。
【００７３】
以上の処理によって、複数の画像の大きさ及び配置位置の調整が行われるとともに、その状態が保存名に紐付けられて記憶部５１４へ保存される。
【００７４】
次に、図１３は、複数の画像の調整が行われ、調整された画像の大きさ及び配置位置が記憶部５１４へ記憶された状態で、アプリケーションソフトウェアを起動した場合を想定している。
【００７５】
図１３に示すように、まず、受信部５２２は、アプリケーションソフトウェアの起動指令を受信する（ステップＳ２０１）。アプリケーションソフトウェアの起動指令は、例えば、ユーザが入力操作部５１２を介してアプリケーションソフトウェアの起動操作を行うことによって生成される。
【００７６】
続いて、入力操作部５１２は、ユーザから保存名の入力を受け付ける（ステップＳ２０
２）。続いて、表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令、及び、入力操作部５１２によって受け付けられた保存名、に対応する複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４から読み出す（ステップＳ２０３）。
【００７７】
続いて、表示制御部５２６は、読み出した画像の大きさ及び配置位置に基づいて、複数の画像を表示部５１６へ表示させる（ステップＳ２０４）。
【００７８】
以上の処理によれば、ユーザがアプリケーションソフトウェアを起動させる際に識別子（例えばユーザ名など）を入力したら、その識別子で保存した大きさ及び配置位置の状態で複数の画像が表示されるので、そのユーザに固有の最適な画像の大きさ及び配置状態を再度調整する必要がなく、使い勝手がよい。
【００７９】
次に、表示制御装置５２０によって実行される処理の他の例を説明する。図１４，図１５は、表示制御装置５２０によって実行される処理のフローチャートである。図１４，図１４は、複数の画像の調整を行うとともに、アプリケーションごとの最適な画像配置を使い勝手良く再現する例である。図１４は、複数の画像の調整がまだ行われておらず、複数の画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値が記憶部５１４へ記憶されている場合を想定している。
【００８０】
図１４に示すように、まず、受信部５２２は、アプリケーションソフトウェアの起動指令を受信する（ステップＳ３０１）。アプリケーションソフトウェアの起動指令は、例えば、ユーザが入力操作部５１２を介してアプリケーションソフトウェアの起動操作を行うことによって生成される。
【００８１】
続いて、表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令に対応する複数の画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値を記憶部５１４から読み出す（ステップＳ３０２）。続いて、表示制御部５２６は、読み出した画像の大きさ及び配置位置のデフォルト値に基づいて、複数の画像を表示部５１６へ表示させる（ステップＳ３０３）。
【００８２】
続いて、表示制御部５２６は、入力操作部５１２を介して入力されたユーザの調整指示に基づいて、複数の画像の大きさ及び配置位置を調整する（ステップＳ３０４）。
【００８３】
続いて、記憶制御部５２４は、入力操作部５１２を介して画像の保存指示が入力されたら、現在起動されているアプリケーションソフトウェア（起動指令）の種類に対応させて複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４へ保存する（ステップＳ３０５）。
【００８４】
以上の処理によって、複数の画像の大きさ及び配置位置の調整が行われるとともに、その状態がアプリケーションソフトウェア（起動指令）の種類に紐付けられて記憶部５１４へ保存される。
【００８５】
次に、図１５は、複数の画像の調整が行われ、調整された画像の大きさ及び配置位置が記憶部５１４へ記憶された状態で、アプリケーションソフトウェアを起動した場合を想定している。
【００８６】
図１５に示すように、まず、受信部５２２は、アプリケーションソフトウェアの起動指令を受信する（ステップＳ４０１）。アプリケーションソフトウェアの起動指令は、例えば、ユーザが入力操作部５１２を介してアプリケーションソフトウェアの起動操作を行うことによって生成される。
【００８７】
続いて、表示制御部５２６は、受信部５２２によって受信された起動指令の種類に対応
する複数の画像の大きさ及び配置位置を記憶部５１４から読み出す（ステップＳ４０２）。
【００８８】
続いて、表示制御部５２６は、読み出した画像の大きさ及び配置位置に基づいて、複数の画像を表示部５１６へ表示させる（ステップＳ４０３）。
【００８９】
以上の処理によれば、ユーザがアプリケーションソフトウェアを起動させたら、そのアプリケーションソフトウェアに関して保存された最適な大きさ及び配置位置の状態で複数の画像が表示されるので、再度複数の画像の大きさ及び配置位置を調整する必要がなく、使い勝手がよい。
【符号の説明】
【００９０】
５１２  入力操作部
５１４  記憶部
５１６  表示部
５２０  表示制御装置
５２２  受信部
５２４  記憶制御部
５２６  表示制御部
６０８  ベース画像
６２０  モニタリング系画像
６３０，６４０，６５０  操作系画像
【図１】
2015146413.tif 000003
【図２】
2015146413.tif 000004
【図３】
2015146413.tif 000005
【図４】
2015146413.tif 000006
【図５】
2015146413.tif 000007
【図６】
2015146413.tif 000008
【図７】
2015146413.tif 000009
【図８】
2015146413.tif 000010
【図９】
2015146413.tif 000011
【図１０】
2015146413.tif 000012
【図１１】
2015146413.tif 000013
【図１２】
2015146413.tif 000014
【図１３】
2015146413.tif 000015
【図１４】
2015146413.tif 000016
【図１５】
2015146413.tif 000017