(57)【要約】【課題】  本発明は、ウェハをスクライブするウェハスクライブ治具、およびそのウェハスクライブ治具に採用されるウェハスクライバに関し、簡易な構造でウェハのスクライブを容易にする。【解決手段】  ウェハを載せる載置台１１、および、スリット１２１とそのスリットの両側の一対のガイド溝１２２とを有するガイド板１２を備えたステージ１０と、スクライブツール３０が装着されるツール装着部２１１と、一対のガイド溝１２２にそれぞれ入り込んで、スクライブツール３０をスリット１２１に差し入れたときのスクライブツール３０の当て角を一定の角度に規制する一対の脚部２１２とを有する支持部材２１、および、支持部材２１を一端側に支持して棒状に延び、支持部材をスライドさせる操作を受ける操作部材２２を備えたウェハスクライバ２０とを具備した。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを載せる載置台、および、該載置台の上に載せたウェハを該載置台との間に挟むように置かれる、表裏に貫通したスリットと該スリットの両側に形成されて該スリットと平行に延びる一対のガイド溝とを有するガイド板を備えたステージと、
先端にウェハスクライブ用の硬石を備えて棒形状を有するスクライブツールが装着されるツール装着部と、前記一対のガイド溝にそれぞれ入り込んで、前記ツール装着部に装着されたスクライブツールを前記スリットに差し入れて前記載置台上のウェハに当てたときの該スクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有する支持部材、および、該支持部材を一端側に支持して棒状に延び、該支持部材をスライドさせる操作を受ける操作部材を備えたウェハスクライバとを具備したことを特徴とするウェハスクライブ治具。
【請求項２】
前記ウェハスクライバが、前記操作部材の、前記支持部材を支持する前端側を斜め下向きにした姿勢で、前記ツール装着部に装着されたスクライブツール先端を前記載置台上のウェハに押し当てるように該支持部材を斜め下向きに押してその押した状態のまま前記操作部材を後方に引く操作により該載置台上のウェハをスクライブするものであることを特徴とする請求項１記載のウェハスクライブ治具。
【請求項３】
前記ウェハスクライバが、前記支持部材に押圧力を伝える弾性体もしくは弾性構造を備えたことを特徴とする請求項１又は２記載のウェハスクライブ治具。
【請求項４】
前記ウェハスクライバが、前記支持部材を斜め下向きに押したときの押圧力が前記ツール装着部に装着されたスクライブツール先端を前記載置台上のウェハにスクライブに適した圧力で押し当てる押圧力であるか否かを指標する標識を有することを特徴とする請求項２又は３記載のウェハスクライブ治具。
【請求項５】
前記弾性体がバネ部材であることを特徴とする請求項３又は４記載のウェハスクライブ治具。
【請求項６】
前記操作部材が、前記支持部材を支持する先端部と、該先端部をスライド自在に支持し、操作者による手での操作を受ける操作部とを備え、
前記弾性構造が、前記先端部と前記操作部との間に設けられた、空気の送り込みを受けて該先端部に前記支持部材を押圧する押圧力を与えるエアシリンダであることを特徴とする請求項３又は４記載のウェハスクライブ治具。
【請求項７】
ウェハを載せる載置台、および、該載置台の上に載せたウェハを該載置台との間に挟むように置かれる、表裏に貫通したスリットと該スリットの両側に形成されて該スリットと平行に延びる一対のガイド溝とを有するガイド板を備えたステージを構成する該載置台上のウェハをスクライブするウェハスクライバであって、
先端にウェハスクライブ用の硬石を備えて棒形状を有するスクライブツールが装着されるツール装着部と、前記一対のガイド溝にそれぞれ入り込んで、前記ツール装着部に装着されたスクライブツールを前記スリットに差し入れて前記載置台上のウェハに当てたときの該スクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有する支持部材、および、該支持部材を一端側に支持して棒状に延び、該支持部材をスライドさせる操作を受ける操作部材を備えたことを特徴とするウェハスクライバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板状のウェハを切断のためにスクライブするウェハスクライブ治具、およびそのウェハスクライブ治具に採用されるウェハスクライバに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウェハをダイシングするダイシング装置について様々な提案がある（例えば特許文献１，２参照）。このダイシング装置はＩＣやＬＳＩといった半導体装置製造過程において広く用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０５−２０６２６６号公報
【特許文献２】特開平０８−０１７７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、工業的に用いられているダイシング装置は大がかりな装置であり、小規模な実験室や研究室等には向かない装置である。そのような小規模な実験室や研究室では、例えば半導体ウェハに定規を当てて、先端にダイヤモンドカッタを取り付けたペン形状の治具を用いてスクライブすることが多い。
【０００５】
そのようなダイヤモンドカッタの場合、半導体ウェハに押し当てる角度や押し当ての力を正確に調整する必要があり、これを誤るとスクライブできなかったり、あるいは切断すべきラインから外れた箇所が割れてしまってその大切な半導体ウェハを破壊してしまうおそれがある。すなわち、ペン型の治具で傾き角度や力を正しく調整するにはかなりの熟練を要する。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑み、簡易な構造でウェハを容易にスクライブすることのできるウェハスクライブ治具およびそのウェハスクライブ治具に採用されるウェハスクライバを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成する本発明のウェハスクライブ治具は、
ウェハを載せる載置台、および、その載置台の上に載せたウェハを載置台との間に挟むように置かれる、表裏に貫通したスリットとそのスリットの両側に形成されてスリットと平行に延びる一対のガイド溝とを有するガイド板を備えたステージと、
先端にウェハスクライブ用の硬石を備えて棒形状を有するスクライブツールが装着されるツール装着部と、上記一対のガイド溝にそれぞれ入り込んで、ツール装着部に装着されたスクライブツールをスリットに差し入れて載置台上のウェハに当てたときのスクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有する支持部材、および、支持部材を一端側に支持して棒状に延び、支持部材をスライドさせる操作を受ける操作部材を備えたウェハスクライバとを具備したことを特徴とする。
【０００８】
本発明のウェハスクライブ治具は、上記の通り、ステージとウェハスクライバとで構成されている。
【０００９】
ステージは、載置台とガイド板を有し、載置台の上にウェハを載せその上にガイド板を置く。ガイド板には、スリットが形成され、さらにそのスリットを挟んで一対のガイド溝が形成されている。
【００１０】
一方、ウェハスクライバは、スクライブツールが装着されるツール装着部と、一対の脚部を有する支持部材を備えている。ツール装着部に装着されたスクライブツールは上記のスリットに差し入れられてウェハに当てられる。そのとき、上記の一対の脚部は上記の一対のガイド溝にそれぞれ入り込む。
【００１１】
これにより、スクライブツールのウェハへの当て角があらかじめ定められた角度に規制される。したがって当て角についての熟練は不要となる。押当力については、適度に加減することになるが、当て角と比べ押当力についての許容範囲は比較的広く、さほどの熟練は不要である。
【００１２】
ここで、本発明のウェハスクライブ治具は、上記ウェハスクライバが、上記操作部材の、上記支持部材を支持する前端側を斜め下向きにした姿勢で、ツール装着部に装着されたスクライブツール先端を載置台上のウェハに押し当てるように支持部材を斜め下向きに押してその押した状態のまま操作部材を後方に引く操作により載置台上のウェハをスクライブするものであることが好ましい。
【００１３】
これにより、従来のペン形状の治具と同様な使い方ができ、使い方についても違和感を感じさせることが緩和される。
【００１４】
また、本発明のウェハスクライブ治具において、上記ウェハスクライバが、前記支持部材に押圧力を伝える弾性体もしくは弾性構造を備えることが好ましい。
【００１５】
上記の弾性体もしくは弾性構造を備えると、手による押圧力の調整が容易となる。
【００１６】
さらに、本発明のウェハスクライブ治具において、上記ウェハスクライバが、支持部材を斜め下向きに押したときの押圧力がツール装着部に装着されたスクライブツール先端を載置台上のウェハにスクライブに適した圧力で押し当てる押圧力であるか否かを指標する標識を有することがさらに好ましい。
【００１７】
この標識を設けると、押圧力の調整がさらに容易となる。
【００１８】
ここで、上記弾性体としてバネ部材を使用した構成の場合、低コスト化が実現する。
【００１９】
また、上記操作部材が、支持部材を支持する先端部と、その先端部をスライド自在に支持し、操作者による手での操作を受ける操作部とを備え、上記弾性構造が、先端部と操作部との間に設けられた、空気の送り込みを受けて先端部に支持部材を押圧する押圧力を与えるエアシリンダであることも好ましい態様である。
【００２０】
この場合、操作者による操作の上手、下手にかかわらず、ウェハへの押圧力が一定圧力に調整される。
【００２１】
また、上記目的を達成する本発明のウェハスクライバは、ウェハを載せる載置台、および、その載置台の上に載せたウェハを載置台との間に挟むように置かれる、表裏に貫通したスリットとそのスリットの両側に形成されて該スリットと平行に延びる一対のガイド溝とを有するガイド板を備えたステージを構成する上記載置台上のウェハをスクライブするウェハスクライバであって、
先端にウェハスクライブ用の硬石を備えて棒形状を有するスクライブツールが装着されるツール装着部と、上記一対のガイド溝にそれぞれ入り込んで、ツール装着部に装着されたスクライブツールを前記スリットに差し入れて載置台上のウェハに当てたときのスクライブツールの当て角をあらかじめ定められた角度に規制する一対の脚部とを有する支持部材、および、支持部材を一端側に支持して棒状に延び、該支持部材をスライドさせる操作を受ける操作部材を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
以上の本発明によれば、熟練を必要とせずにウェハを容易にスクライブすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態としてのウェハスクライブ治具の使用法を示す図である。
【図２】ステージを構成する載置台およびガイド板の平面図である。
【図３】ステージの分解斜視図である。
【図４】ウェハスクライバの側面図である。
【図５】ウェハスクライブ治具の付属品を示した図である。
【図６】ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。
【図７】ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。
【図８】差し込まれたスクライブツールを示した図である。
【図９】本発明の第２実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【図１０】図９に示す第２実施形態のウェハスクライバに空気圧レギュレータが連結されている状態を示した図である。
【図１１】本発明の第３実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【図１２】第３実施形態の操作部材の、先端部を上方から見て示した図である。
【図１３】本発明の第４実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【図１４】図１３に断面を示す、第４実施形態を構成するウェハスクライバの、平面図である。
【図１５】図１３，図１４に示すウェハスクライバの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施形態としてのウェハスクライブ治具の使用法を示す図である。
【００２６】
このウェハスクライブ治具１は、ステージ１０とウェハスクライバ２０を有する。
【００２７】
ステージ１０は、載置台１１とガイド板１２を有し、ガイド板１２には、スリット１２１と、その両側に一対のガイド溝１２２が形成されている。載置台１１の上には後述するウェハが載せられ、その上に、そのウェハを挟むようにガイド板１２が置かれる。
【００２８】
ウェハスクライバ２０は、支持部材２１と操作部材２２を有する。支持部材２１には、スクライブツール３０が装着されるツール装着部２１１と一対の脚部２１２とを有する。操作部材２２は、その先端で支持部材２１１を支持して棒状に延びるペン形状の部材である。この操作部材２２の先端部にはコイルばね２１３が備えられている。
【００２９】
このウェハスクライバ２０は、操作部材２２を図１に示すように手で持ち、この図１に示すようにスクライブツール３０をスリット１２１に差し込み、一対の脚部２１２を一対のガイド溝１２２に差し入れる。これにより、スクライブツール３０のウェハに対する当て角が一義的に決定される。こうしておいて、操作部材２２を矢印Ａ方向に斜め下向きに押す。すると、その押圧力は、コイルばね２１３を介して支持部材２１に伝えられ、スクライブツール３０がウェハに押し当てられる。そしてそのまま操作部材２２が後方（矢印Ｂ方向）に引かれる。この操作により、載置台１１とガイド板１２とに挟まれたウェハがスクライブされる。
【００３０】
以下、各部材について詳細に説明する。
【００３１】
図２は、ステージを構成する載置台およびガイド板の平面図である。
【００３２】
また図３は、そのステージの分解斜視図である。この図３には、ウェハ５０も示されている。
【００３３】
本実施形態における載置台１１およびガイド板１２は、いずれもアクリル製の平板で形成されている。ただしその材質はアクリル製に限られるものではなく、本発明はその材質の如何を問うものではない。
【００３４】
載置台には一対のボス１１ａが立設している。また、この載置台１１には、ガイド板１２のスライド位置を測定するための縦横の線１１ｂが形成されている。
【００３５】
また、ガイド板１２には一対の穴１２ａが設けられている。載置台１１の上には、ウェハ５０が載せられ、その上に、載置台１１のボス１１ａをガイド板１２の穴１２ａに嵌め込むようにしてガイド板１２が置かれる。
【００３６】
上述したように、このガイド板１２には、スリット１２１と、一対のガイド溝１２２を有する。
【００３７】
スリット１２１は、表裏に貫通していて、スクライブツール３０が差し入れられる長孔である。
【００３８】
また、一対のガイド溝１２２は、スリット１２１の両側に形成されて、そのスリット１２１と平行に延びる２本の溝である。これら一対のガイド溝１２２には、図１に示すように、ウェハスクライバ２０を構成する支持部材２１の一対の脚部２１２が入り込む。
【００３９】
図４は、ウェハスクライバの側面図である。
【００４０】
図４（Ａ）は力が加えられていない状態を示しており、図４（Ｂ）は、矢印Ａ方向（図１を合わせて参照）に力が加えられてコイルばね２３が縮んだ状態を示している。
【００４１】
このウェハスクライバ２０は、図１にも示したように、支持部材２１と操作部材２２を有する。支持部材２１には、スクライブツール３０が図１に示すように装着される。スクライブツール３０およびその装着方法についての詳細は後述する。
【００４２】
また支持部材２１には、一対の脚部２１２が設けられている。ただし、この図４においては、ウェハスクライバ２０を側方から見ているため、一対の脚部２１２のうちの一方しかあらわれていない。上述の通り、これら一対の脚部２１２は、ステージ１０を構成するガイド板１２の、一対のガイド溝１２２にそれぞれ入り込む。
【００４３】
操作部材２２は、支持部材２１を一端側に支持して棒状に延びる部材であり、図１に示すように、支持部材２１をスライドさせる操作を受ける部材である。この操作部材２２には、滑り止め用のゴム筒２２１が装着されている。
【００４４】
この操作部材２２と支持部材２３との間にはコイルばね２３が介在している。
【００４５】
このコイルばね２３は、このウェハスクライバ２０を図１に示すようにして使用する際にＡ方向に押されると、図４（Ｂ）に示すように縮み、そのコイルばね２３の弾性力を介して支持部材２１に押圧力が伝えられる。
【００４６】
また、このコイルばね２３を図４（Ｂ）に示すように縮めると、支持部材２１と操作部材２２との間にガタを持ち、支持部材２１を固定したまま操作部材２２を上下方向や紙面に垂直な方向に傾けることができる。したがって図１に示すようにしてウェハ５０を切断する際に操作部材２２が多少傾いても、スクライブツール３０のウェハ５０への当て角に影響はなく、一定角度に保たれる。
【００４７】
図５は、ウェハスクライブ治具の付属品を示した図である。
【００４８】
ここには２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂが示されている。これらのスクライブツール３０ａ，３０ｂはいずれも棒形状を有する。
【００４９】
これら２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂのうちの一方のスクライブツール３０ａには、その先端３０１ａの、周回方向３箇所に、ウェハスクライブ用の硬石であるダイヤモンド（図示せず）が備えられている。また、このスクライブツール３０ａの棒形状の側面には、周回方向３箇所に平面部３０３ａが形成されている。ここで、先端３０１ａの周回方向３箇所に備えられているダイヤモンドと、側面の周回方向３箇所に形成されている平面部３０３ａは、いずれかの平面部３０３ａを上に向けると、その上を向いた平面部３０３ａに対応するダイヤモンドが下向きに位置するように、その位置が定められている。
【００５０】
また、上記の２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂのうちのもう一方のスクライブツール３０ｂには、ウェハスクライブ用の硬石であるダイヤモンドが、その先端３０１ｂの、周回方向４箇所に備えられている。
【００５１】
また、このスクライブツール３０ｂは、その側面が４つの平面部３０３ｂで構成された４角柱の形状となっている。ここで、このスクライブツール３０ｂにおいても、先端３０１ｂの周回方向４箇所に備えられているダイヤモンドと側面の周回方向４つの平面部３０３ｂは、いずれかの平面部３０３ｂを上に向けるとその上を向いた平面部３０３ｂに対応するダイヤモンドが下向きとなるように構成されている。
【００５２】
また、これら２種類のスクライブツール３０ａ，３０ｂは市販品であり、互いに長さが異なっている。そこで、ここには、さらに付属品として、各スクライブツール３０ａ，３０ｂに合わせて長さが互いに異なる２つの当て部材３１ａ，３１ｂが備えられている。これらの当て部材３１ａ，３１ｂには雄ねじ３１１ａ，３１１ｂが形成されている。
【００５３】
図６，図７は、ツール装着部へのスクライブツールの装着方法を示した図である。
【００５４】
ツール装着部２１１には、その前端２１１ａ（図７参照）と後端２１１ｂ（図６参照）とに貫通する貫通孔２１１ｄが形成されており、その後端２１１ｂ側には、当て部材３１ａ，３１ｂ（図５参照）の雄ねじ３１１ａ，３１１ｂと螺合する雌ねじ２１１ｅが形成されている。
【００５５】
ツール装着部２１１に、図５に示すスクライブツール３０ａ，３０ｂのいずれかを装着しようとするときは、装着しようとするスクライブツール（ここではスクライブツール３０ａとする）に適合した当て部材（ここでは当て部材３１ａ）が、図６に示すようにツール装着部２１１の後端２１１ｂからその貫通孔２１１ｄにねじ込まれる。
【００５６】
次に、図７に示すようにそのツール装着部２２１の先端２１１ａから、スクライブツール３０ａが差し込まれる。
【００５７】
図８は、差し込まれたスクライブツールを示した図である。
【００５８】
スクライブツール３０ａを貫通孔に差し込むにあたっては、図７に示すように、そのスクライブツール３０ａのいずれかの平面部３０３ａを上向きとした姿勢で差し込まれ、かつ、図８に示すように、そのスクライブツール３０ａの後端３０２ａが、貫通孔２１１ｄ（図５，図６参照）の後端からねじ込まれている当て部材３０ａに突き当たるまで差し込まれる。このツール装着部２１１には、止めねじ２１１ｃが備えられており、スクライブツール３０ａを差し込んだ後、この止めねじ２１１ｃを回してスクライブツール３０ａを抜け止めする。このとき、平面部３０３ａが上向きとなっていることから、止めねじ２１１ｃの先端は平面部３０３ａに押し当てられる。その平面部３０３ａが仮に上向きから少し斜めに向いていても止めねじ２１１ｃの先端がその平面部３０３ａに押し当てられると、その平面部３０３ａが止めねじ２１１ｃを向くように回転し、平面部３０３ａが上向き（止めねじ２１１ｃの向き）となる。
【００５９】
このようにしてスクライブツール３０ａを装着すると、スクライブツール３０ａは、その先端３０１ａに備えられたダイヤモンドがウェハ５０に接する姿勢となっている。このように、本実施形態によれば、スクライブツール３０ａの先端３０１ａに備えられたダイヤモンドの向きを、容易にかつ正確に、載置台１１上のウェハ５０に当たる向きに調整することができる。
【００６０】
また、スクライブツール３０ａをこのようにして装着すると、スクライブツール３０ａの突出量、すなわちスクライブツール３０ａの先端３０１ａの位置が一義的に定まる。したがってこのスクライブツール３０ａ（スクライブツール３０ａ，３０ｂを代表させて図１ではスクライブツール３０と称している）をガイド板１２のスリット１２１に差し込み、かつ一対の脚部２１２を一対のガイド溝１２２に差し入れたときに、スクライブツール３０ａの、ウェハ５０（図３参照）への当て角が、あらかじめ定められた角度に一義的に決定される。すなわち、一対の脚部２１２は、一対のガイド溝１２２にそれぞれ入り込んで、ツール装着部２１１に装着されたスクライブツール３０をスリット１２１に差し入れて載置台１１上のウェハ５０に当てたときのスクライブツール３０の当て角をあらかじめ定められた角度に規制する役割を担っている。
【００６１】
このウェハスクライバ２０を使ってウェハ５０をスクライブするにあたっては、図１に示すように、操作部材２２の、支持部材２１を支持する前端側を斜め下向きにした姿勢で、ツール装着部２１１に装着されたスクライブツール３０の先端を載置台１１上のウェハ５０に押し当てるように支持部材２１を斜め下向き（矢印Ａ方向）に押す。そしてその押した状態のまま操作部材２２を後方（矢印Ｂ方向）に引く。この操作により載置台１１上のウェハ５０がスクライブされる。
【００６２】
この際、スクライブツール３０のウェハ５０への当て角がスクライブに最適な角度に一義的に調整されているため、初心者であってもウェハ５０を容易にスクライブすることができる。
【００６３】
次に、本発明の第２実施形態のウェハスクライブ治具について説明する。
【００６４】
この第２実施形態のウェハスクライブ治具の、前述の第１の実施形態のスクライブ治具との相違点は、ウェハスクライバの操作部材のみであり、以下、この操作について説明する。
【００６５】
図９は、本発明の第２実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【００６６】
このウェハスクライバ２０Ａの操作部材２２Ａは、先端部２２２と操作部２２３を有する。操作部２２３には内壁２２３ａに囲まれた中空の空間が形成されており、後端部にはエアホース６２が連結されるホース連結口２２３ｂが形成されている。この操作部２２３は操作者による手での操作を受ける部材である。また、先端部２２２は、支持部材２１の支持を担当している部材である。この先端部２２２は、操作部２２３の中空空間に入り込んでいて、スライド自在となっている。また、その先端部２２２の、操作部２２３の中空空間に入り込んだ部分にはＯリング２２２ａが嵌められていて、操作部２２３の内壁２２３ａとの間が気密となっている。
【００６７】
図１０は、図９に示す第２実施形態のウェハスクライバに空気圧レギュレータが連結されている状態を示した図である。
【００６８】
ウェハスクライバ２０Ａはエアホース６２を介して空気圧レギュレータ６０に接続されている。この空気圧レギュレータ６０には、図示しないエアコンプレッサからの圧縮空気が流入、流出していて、この空気圧レギュレータ６０の圧力調整つまみ６０ａを回すと、エアホース６２を介してウェハスクライバ２０Ａに、その圧力調整つまみ６０ａを回すことにより調整された圧力の空気が送り込まれる。すなわち、この第２実施形態の操作部材２０Ａには、先端部２２２と操作部２２３との間に、空気の送り込みを受けて先端部２２２に支持部材２１を押圧する押圧力を与えるエアシリンダが構成されている。このエアシリンダは本発明にいう弾性構造の一例である。
【００６９】
この第２実施形態のウェハスクライバ２０Ａを用いると、操作者が操作部材２０Ａを図１に示す矢印Ａ方向に押す力が異なっていても、スクライブツール３０は空気圧レギュレータ６０で調整された空気圧に応じた押圧力でウェハ５０（図３参照）に押し当てられる。したがって、この第２実施形態のウェハスクライバ２０Ａを採用すると、前述の第１実施形態のウェハスクライバ２０を用いたときよりもさらに容易に、失敗なく、ウェハ５０をスクライブすることができる。
【００７０】
次に、第３実施形態について説明する。この第３実施形態も、上述の第２実施形態と同様、第１実施形態との相違点は、ウェハスクライバの操作部材のみである。
【００７１】
図１１は、本発明の第３実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【００７２】
このウェハスクライバ２０Ｂの操作部材２２Ｂは、先端部２２４と操作部２２５とを有する。操作部２２５には、内壁２２５ａに囲まれた中空の空間が形成されている。また、この操作部２２５の内側には、先端部２２４をスライド自在に保持するガイド部材２２５ｂと、２つのリミットスイッチ２２５ｃ，２２５ｄが備えられている。さらに、この操作部２２５の後端部には、着脱式のキャップ２２５ｅが備えられており、そのキャップ２２５ｅの中には、ボタン電池２２６が装填されている。
【００７３】
先端部２２４は、支持部材２１の支持を担っており、その後端部は操作部２２５の中空空間に入り込み、ガイド部材２２５ｂにガイドされて長手方向にスライド自在となっている。
【００７４】
このウェハスクライバ２０Ｂを図１に示すようにして使用して斜め下方（矢印Ａ方向）に押すと、先端部２２４が操作部２２５の内側にスライドし、先ずリミットスイッチ２２５ｃを押す。斜め下方（矢印Ａ方向）にさらに強く押すと先端部２２４が操作部２２５のさらに内側にスライドして、もう一方のリミットスイッチ２２５ｄを押す。尚、ここでは、電気配線は図示を省略してある。
【００７５】
図１２は、第３実施形態の操作部材の先端部を上方から見て示した図である。
【００７６】
この先端部には、青色ＬＥＤ２２５ｆと赤色ＬＥＤ２２５ｇが備えられている。
【００７７】
図１１に示す先端部２２４が操作部２２５の内側にスライドして最初のリミットスイッチ２２５ｃを押すと、青色ＬＥＤ２２５ｆが点灯し、さらにスライドしてもう１つのリミットスイッチを押すと赤色ＬＥＤ２２５ｇが点灯する。
【００７８】
この第３実施形態のウェハスクライバ２０Ｂを採用してウェハ５０（図３参照）のスクライブ作業を行なうにあたり、操作部材２２Ｂを図１に示すようにして斜め下方（矢印Ａ方向）に押す。青色ＬＥＤ２２５ｆは、ウェハ５０のスクライブに適した押圧力の範囲に入ったときに点灯するようにリミットスイッチ２２５ｃの位置が調整されている。また、操作部材２２Ｂをさらに押して、ウェハ５０のスクライブに適した押圧力範囲を越えると赤色ＬＥＤ２２５ｇが点灯するように、リミットスイッチ２２５ｄの位置が調整されている。したがって、ユーザは、青色ＬＥＤ２２５ｆを点灯させ、赤色ＬＥＤ２２５ｇが点灯しない範囲内の力で押すことにより、ウェハ５０を失敗なく確実にスクライブすることができる。
【００７９】
この第３実施形態における青色ＬＥＤ２２５ｆ、赤色ＬＥＤ２２５ｇは、本発明にいう、支持部材２１を斜め下向きに押したときの押圧力がツール装着部２１１に装着されたスクライブツール３０先端が載置台１１上のウェハ５０にスクライブに適した圧力で接する押圧力であるか否かを指標する標識の一例に相当する。
【００８０】
図１３は、本発明の第４実施形態のウェハスクライブ治具を構成するウェハスクライバの、操作部材の断面図である。
【００８１】
この操作部材２２Ｃは、軸部２２７と鞘部２２８を有する。軸部２２７は、その先端で支持部材２１を支持している。その支持構造は前述の第１実施形態と同様である。鞘部２２８には、円筒形の内壁２２８ａに囲まれた中空の円筒形の空間が形成されており、その空間内に第１ガイド筒２２８ａ、第２ガイド筒２２８ｂ、および押え壁２２８ｃが固定されている。第１ガイド筒２２８ａと第２ガイド筒２２８ｂは、軸部２２７をスライド自在に支持する役割を担っている。すなわち、軸部２２７は、第１ガイド筒２２８ａと第２ガイド筒２２８ｂに、矢印Ｘ−Ｘ’方向にスライド自在に支持されている。また、第１ガイド筒２２８ａと第２ガイド筒２２８ｂとの間には、カラー７０が配置されている。このカラー７０は、円筒形の外壁７０ａと同じく円筒形の内壁７０ｂを有し、またその両端には壁部７０ｃ，７０ｄを有する。軸部２２７は、その壁７０ｃ，７０ｄを貫いて延びていて、カラー７０は、その軸部２２７を回転軸として回転自在となっている。ただし、このカラー７０は、第１ガイド筒２２８ａと第２ガイド筒２２８ｂとに挟まれていて、矢印Ｘ−Ｘ’方向には移動不能となっている。軸部２２７には矢印Ｘ−Ｘ’方向とは垂直な向きにピン２２７ａが立設しており、一方、カラー７０の円筒形の内壁７０ｂには、ピン２２７ａが入り込む、矢印Ｘ−Ｘ’方向に対し斜めに延びる溝７１が形成されている。このため、軸部２２７が矢印Ｘ−Ｘ’方向にスライドすると、カラー７０は、その軸部２２７を中心に回転する。
【００８２】
また、鞘部２２８の内側の、第２ガイド筒２２８ｂと押え壁２２８ｃとの間には、圧縮ばね７２が備えられている。また、軸部２２７には、その後端に、圧縮ばね７２を押える押え板２２７ｂが固定されており、その押え板２２７ｂは、その圧縮ばね７２が配置された空間と同じ空間であって、圧縮ばね７２よりも第２ガイド筒２２８ｂ寄りに位置している。軸部２２７は、この圧縮ばね７２により常に矢印Ｘ方向、すなわち軸部２２７が鞘部２２８から突出する向きに付勢されている。一方、この第４実施形態のウェハスクライバ２０Ｃを採用し、操作者が操作部材２２Ｃを図１に示す矢印Ａ方向に押すと、軸部２２７が矢印Ｘ’方向、すなわち鞘部２２８に入り込む向きにスライドし、圧縮ばね７２をさらに押し縮める。またこのとき、ピン２２７ａと溝７１との係合により、カラー７０が回転する。この図１３は、軸部２２７が矢印Ｘ’方向に少しスライドし、圧縮ばね７２を少しだけ押し縮めた状態を示している。
【００８３】
図１４は、図１３に断面を示す、第４実施形態を構成するウェハスクライバの、平面図である。
【００８４】
また図１５は、そのウェハスクライバの斜視図である。
【００８５】
この操作部材２２Ｃには、そのゴム筒２２１に丸穴２２１ｄが形成されており、鞘部２２８にもその丸穴２２１ｄと連結する丸穴２２８ｄが設けられていて、その丸穴２２１ｄ，２２８ｄから、カラー７０の外壁７０ａの一部が覗いている。このカラー７０の外壁７０ａには緑色に塗られた領域７０１ａと赤色に塗られた領域７０１ｂがある。
【００８６】
軸部２２７が圧縮ばね７２に押されて矢印Ｘ方向に最大限突出した状態では、この丸穴２２１ｄ，２２８ｄから全面に緑色が覗いている。軸部２２７が鞘部２２８に押し込まれてくると、カラー７０が回転して、図１４，図１５に示すように緑色と赤色との双方が覗いた状態となる。軸部２２７が鞘部２２８にさらに押し込まれるとカラー７０がさらに回転して、全面に赤色が覗いた状態となる。
【００８７】
ここで、このウェハスクライバ２０Ｃを図１に示すように保ってウェハ５０をスクライブしようとして操作部材２２Ｃを矢印Ａ方向に押したとき、その丸穴２２１ｄ，２２８ｄからその丸穴の全面に緑色が見えるときは、押す力が不足していることを意味している。また、その丸穴の全面に赤色が見えるときは強く押し過ぎていることを意味している。すなわち、操作者はその丸穴から緑色と赤色との双方が見えるように矢印Ａ方向（図１参照）に押す力を加減しながら矢印Ｂ方向に引く操作を行なう。これにより、スクライブツール３０がウェハ５０に適度な力で押圧され、ウェハ５０を失敗なくスクライブすることができる。
【００８８】
この第４実施形態におけるカラー７０も、前述の第３実施形態における青色ＬＥＤ２２５ｆ、赤色ＬＥＤ２２５ｇ（図１２参照）と同様、本発明にいう標識の一例に相当する。
【符号の説明】
【００８９】
１    ウェハスクライブ治具
１０    ステージ
１１    載置台
１１ａ    ボス
１２    ガイド板
１２ａ    穴
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ    ウェハスクライバ
２１    支持部材
２２，２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ    操作部材
２３，２１３    コイルばね
３０，３０ａ，３０ｂ    スクライブツール
３１ａ，３１ｂ    当て部材
５０    ウェハ
６０    空気圧レギュレータ
６２    エアホース
７０    カラー
７０ａ    外壁
７０ｂ    内壁
７１    溝
７２    圧縮ばね
１２１    スリット
１２２    ガイド溝
２１１    ツール装着部
２１１ｃ    止めねじ
２１２    脚部
２２１ｄ，２２８ｄ    丸穴
２２２，２２４    先端部
２２３，２２５    操作部
２２３ａ，２２５ａ    内壁
２２３ｂ    ホース連結口
２２５ｂ    ガイド部材
２２５ｃ，２２５ｄ    リミットスイッチ
２２５ｆ    青色ＬＥＤ
２２５ｇ    赤色ＬＥＤ
２２６    ボタン電池
２２７    軸部
２２７ａ    ピン
２２７ｂ    押え板
２２８    鞘部
２２８ａ    第１ガイド筒
２２８ｂ    第２ガイド筒
２２８ｃ    押え壁
３０３ａ，３０３ｂ    平面部
【図１】
2015023252.tif 000003
【図２】
2015023252.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2015023252.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2015023252.tif 000016
【図１５】
2015023252.tif 000017