(57)【要約】【課題】  高精度電極を製作する上では、製作時間の上昇、コストの上昇という問題を発生させていた。さらに電極が高精度に製作できていなかった場合、質量分析装置の所望性能がえられないという問題の要因となっていた。【解決手段】  イオン源と、当該イオン源から供給されたイオンを質量分離することにより分析する分析部と、イオンを検出する検出器を備えた質量分析装置において、  分析部は、多重極の電極部品を備えており、当該電極部品を四隅で支持する電極支持部を有する、質量分析装置。【選択図】  図１
2015023012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオン源と、当該イオン源から供給されたイオンを質量分離することにより分析する分析部と、イオンを検出する検出器を備えた質量分析装置において、
分析部は、多重極の電極部品を備えており、当該電極部品を四隅で支持する電極支持部を有することを特徴とする、質量分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記電極支持部は、互いに離間して３箇所に配置されていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記電極支持部は、互いに離間して４箇所以上に配置されていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記電極支持部は、互いに離間して２箇所以上に配置されており、電極支持部同士は、弾性体で接続されていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項５】
請求項１において、
前記電極支持部は、互いに離間して２箇所以上に配置されており、電極支持部同士は、直動性を有する部材で接続されていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記多重極の電極部品は、複数組設けられており、
それぞれの組を構成する電極部品に電極支持部が設けられていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項７】
請求項１において、
前記電極支持部は、断面四角形状であることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項８】
イオン源と、当該イオン源から供給されたイオンを質量分離することにより分析する分析部と、イオンを検出する検出器とを備えた質量分析装置において、
さらに、柱の一辺が切り欠かれた複数のブロックを有し、
分析部は、多重極の電極部品を備えており、
各電極部品は、前記切り欠き部に支持されることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記多重極の電極部品は、複数組設けられていることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項１０】
請求項８において、
前記柱は、三角柱であることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項１１】
請求項８において、
前記柱の切り欠きは、Ｌ字型の切り欠きであることを特徴とする、質量分析装置。
【請求項１２】
請求項８において、
前記柱の切り欠きは、Ｖ字型の切り欠きであることを特徴とする、質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多重極フィルタを備えた質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
質量分析装置として、質量分析装置の試料生成部より試料をイオン化し、イオン化した試料を質量分析装置の試料導入部に導入し、分析部により試料の特定、分析をする自動、若しくは、手動の質量分析装置を例として説明する。
質量分析装置は、質量分析装置の多重極電極（例えば四重極）部に使用される円筒、若しくは放物線電極は、電極が配置される中心とイオンが通過するイオン軸を結ぶ直線に対し、真円、若しくは放物線の線対称性、且つ、イオンが通過するフィルタの長手方向の真直性が要求される。
【０００３】
電極部（例えば、円筒電極）を製作する場合、真円度、及び真直度を併せ持つ円筒度として電極の連続性を形成し、質量分析装置の性能を向上させようとすると、理論上その加工精度は数ミクロンとされている。
【０００４】
さらに多重極フィルタ内でイオン化した試料を分子量で高精度に分別するためには、例えば、もっとも一般的な四重極フィルタであれば、前記、円筒電極の中心軸を正方形の頂点に配置した４本の電極から構成され、４本の電極に内接する仮想円柱の、円筒度も約１０マイクロメートル程度の精度が要求される。
そのため、多重極フィルタに使用する電極自身の加工精度がイオンの分子量分別性能に直結するが、さらに多重極フィルタの組み立て精度も重要となる。
【０００５】
しかしながら、高精度電極を製作するためには、製作に長時間が必要、コストの上昇という問題を発生させていた。さらに電極が高精度に製作できていなかった場合、部品製作時の歩留まり低下、質量分析装置の所望性能がえられないという問題を発生させる。
【０００６】
この問題を解決し所望の質量分析装置の性能を得る為には、円筒度を高精度に製作できなかった電極においても高精度で組立ができる。または、高精度で有っても、電極を製作する上で難易度が低い、つまり円筒度の精度は高くても電極が短いなどの構造的な工夫が必要であった。
【０００７】
このような質量分析装置の問題を解決する為の技術背景として、特開２００６−３３２００３号公報（特許文献１）がある。この公報には、「電極子の微小化と高精度化を可能にする。」と記載されており、高精度化を図る方法として、「支持部に電極子を一体化した複数の電極を組み合わせることにより、４つの該電極子を四重極配置させる」とあり、部品の精度は、高精度に加工し、それを容易に組み合わせる方法が取られることが公知の事例となっている。
【０００８】
同様に質量分析装置に使用される多重極フィルタ（例えば四重極）においては、組み立て時に以下のような問題を持っていた。
【０００９】
質量分析装置に使用される多重極フィルタ（例えば四重極）においては、電極部のみを空間に配置することは不可能である為、電極部を支持する支持部を配置している。該質量分析装置に使用される多重極フィルタ（例えば四重極）においては、小型、高精度化が進むにつれ、電極を電極支持部へ固定する、または、固定した電極と電極支持部をフィルタ部品として、他の固定部品へ組立、固定する作業が発生する。その固定の際の締結（例えば、ねじ部品などによる）、締め付けのトルクによる部品へのストレスなどにより、部品のねじれやひずみを得る。
【００１０】
このねじれやひずみが、要求した組み立て精度よりも大きくなってしまった場合、フィルタ部品としての所望の性能を得ることができなくなるという問題を発生させる。これは小型化、高精度化に立ちふさがる大きな問題となる。
【００１１】
このような問題を解決するために、電極部はフィルタとして構成される際、電極に不必要な力を加えることなく組立される。かつ組立の簡便性などによる製作時間の低減による質量分析装置の製作コストの低減が必要とされてきた。
【００１２】
また、このような問題を解決するために、前述特許文献１のように、同一形状で、且つ大量生産に向いた形状を選択し、製作した電極部を切り離して、四重極などの多重極電場を形成する電極として使用することにより、安定した製作、安定した装置性能を得る電極形状とするような文献もあるが、充分な装置性能を得る為には高精度な電極を長手方向に加工する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００６−３３２００３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
多重極電極（例えば四重極電極）を構成する際、電極部（例えば円筒型の電極）の電極を配置する中心とイオンが通過するイオン軸を結ぶ直線に対し、真円、若しくは放物線の線対称である加工精度、且つ、イオンが通過するフィルタの長手方向の連続性、真直性の加工精度が悪い場合、多重極電極により形成される電場、または磁場のゆがみ、不連続性により、理論上形成されるフィルタの網目の大きさの不均一性を生じさせ、所望のフィルタ性能を得られないことにより、質量分析装置の性能劣化の原因となる問題を発生させる。
【００１５】
また、電極（例えば円筒電極）に求められる高精度の円筒度において、機械加工を実施すると製作時間が長くなり、コスト増加につながる。電極に求められる精度を一般的に加工が充分に可能といわれている直径Ｄと加工長さLの比率が１０倍以内に抑えた加工に留める。若しくは、該円筒電極の円筒度の加工精度を高精度ならざるような範囲まで精度を低くすることで、機械加工におけるコストを抑えることができる。このように多重極電極（例えば四重極）に使用される該電極を製作する為のコストを抑えることも、必要な課題であった。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の質量分析装置は、イオン源と、当該イオン源から供給されたイオンを質量分離することにより分析する分析部と、イオンを検出する検出器を備え、分析部は、多重極の電極部品を備えており、当該電極部品を四隅で支持する電極支持部を有する。
【発明の効果】
【００１７】
上記本発明によれば、電極部品の機械加工精度が、要求される円筒度精度より低い部品（概ね２０から１００マイクロメートル程度）であっても、組み立て構成を変えることによって、安定した電極部の組立性による性能維持を装置側に提供するフィルタ部品を提供することにより、電極部品製作時間の上昇、フィルタ部品の組み立て時間の上昇などによるコスト上昇の問題を軽減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】一般的な質量分析装置に分析部（フィルタ）を配置した構成図の例。
【図２】高精度に機械加工できなかった電極を部品構成によって良好な組み立て精度を得て、良好なフィルタ性能を得るための構成図の例。
【図３】一般的な機械加工精度により製作した電極部品を良好な組み立て精度により、良好なフィルタ性能を得るための構成図の例。
【図４】円筒度を高精度機械加工できなかった電極に付加力を加えることによって良好な組み立て精度を得て、良好なフィルタ性能を得るための構成図の例。
【図５】同じ電極を使用したフィルタにおける特定分子の質量分析の信号強度の変化量。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００２０】
本発明に係わる発明を実施するための形態について図を用いて説明する。
【００２１】
まず、図１は本発明の一実施例である多重極（例えば四重極）型質量分析装置の構成を示す図である。
【００２２】
分析試料供給部（ＬＣ）１１によって供給された分析対象の試料は、試料イオン化装置１に導入される。試料イオン化装置１によってイオン化された試料は、質量分析装置の試料導入部付近へ送り込まれ、制御演算装置１７によって制御される電源制御部１６、電源制御部１６によって制御される高電圧電源部１３によって電圧が印加される（図示せず）試料導入部電極２、第一細孔部３、第二細孔部４によって質量分析装置へ導入される。電圧が印加されることにより、加速、または減速されたイオンは、後段のレンズ系に進行する。質量分析装置に導入されたイオン群（ビーム）２６は、制御演算装置１７によって制御される電源制御部１６、電源制御部１６によって制御される高周波電源部１２、高電圧電源部１３によって電圧が印加されるサーマライズ部５、及び、分析部７、また、制御演算装置１７によって制御される電源制御部１６、電源制御部１６によって制御される高電圧電源部１３によって電圧が印加される第三細孔部６によって、収束、発散され、イオン群（ビーム）２６の不要な領域が除去される。
【００２３】
その後、分析部７によって質量分離されたイオン群（ビーム）２６は、制御演算装置１７によって制御される電源制御部１６、電源制御部１６によって制御される検出部電源部１４によって印加される検出部８の検出器１０に導かれる。検出器１０に導かれたイオン群（ビーム）２６は、信号アンプ１５により増幅され、制御演算装置１７により、演算処理され、特定した分析結果として、分析結果表示装置１８に表示される。
【００２４】
本実施例では、多重極質量分析部７における個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、機械加工による製作において円筒度を高精度（概ね1から２マイクロメートル）に加工されていなかった場合、若しくは、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の精度）が、概ね１から２マイクロメートルで組み立てされていなかった場合、試料イオン化装置１によってイオン化された検出されるべき試料が、検出器１０に届くまでの間に減衰、低下し図６（ａ）に示すように所望の信号強度を得ることができない。
【００２５】
分析部品７０を構成する個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２は、真円度においては高精度（概ね1から２マイクロメートル）で加工することは、引き抜き材などの加工品を使うことでも比較的容易であるが、一般的な円筒研削加工を施しても比較的容易である。真円度が長手方向への加工寸法Ｌだけ続くような円筒度の高精度加工は、長手方向への加工寸法Ｌが長くなるほど難易度が上昇する。円筒度を必要とする加工において、一般的に可能とされている領域は、加工の直径Ｄに対し長手方向への加工の寸法Ｌの比で１０倍程度となる。その比率を境界に加工の難易度が急激に上昇し、加工時間も長い時間必要となり、製作コストも比例して上昇する。
【００２６】
また、同様に多重極（例えば四重極）質量分析部７における個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、機械加工による製作において高精度（概ね1から２マイクロメートル）に加工されていなかった場合、若しくは、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の精度）が、概ね１から２マイクロメートルで組み立てされていなかった場合、試料イオン化装置１によってイオン化された検出するべきでない試料が、検出器１０に届いてしまい図６（ａ）に示すように不必要な試料の信号強度を得てしまうことになる。このように質量分析装置の性能低下の原因となり問題を発生させるものであるが、図２に説明するような、多重極（例えば四重極）質量分析部７における個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を、機械加工による製作に於いて高精度（概ね1から２マイクロメートル）に加工されていなかった場合でも、多重極（例えば四重極）電極支持部７１を複数個（３個ないし、それ以上）で支持することによって、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２の真直度を高精度に矯正することによって、質量分析装置分析部７を構成する分析部品７０を前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の精度）の分析部品７０を構成し、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる。
【００２７】
また、機械加工において、円筒部品の長手方向の加工に比べ、平面の長手方向の加工が加工技術の進歩に優れ、安価でかつ高精度平面が得られることは周知であるため、これを利用することで、多重極電極Ｖブロック支持部７３をサブミクロンの平面度で製作が可能である。個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を真円度が数ミクロンメートルで加工されているが、真直度が２０から１００マイクロメートル程度で加工され、合わせた精度（円筒度）が２０から１００マイクロメートル程度となっている一般的に加工出来得る円筒度精度範囲の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を前記多重極電極Ｖブロック支持部７３に沿わせ個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を矯正することで、真直度を概ね１から２マイクロメートルとすることができ、個々の前記多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２と前記多重極電極Ｖブロック支持部７３を多重極（例えば四重極）に構成することによって、前記質量分析装置分析部７を構成する前記分析部品７０を前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の精度）の分析部品７０を構成、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる。
【００２８】
前記分析部品７０は、高い分析性能を得るために、個々の多重極（例えば四重極）電極支持部品７１や、多重極電極Ｖブロック支持部７３によって、前記の該多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２の機械加工精度が一般的に加工出来得る円筒度精度範囲（２０から１００マイクロメートル程度）で製作された電極を矯正、構成、組み立てされ、組み立てによって高精度に形成された、前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒度精度）により形成される電場により、イオン群（ビーム）２６の所望の成分の分析信号を得ることで、質量分析装置の安定した装置性能を提供する。
【００２９】
図２では、質量分析装置に配置される多重極質量分析装置分析部７の部品を配置する分析部品７０、さらに詳細な分析部品７０を構成する多重極電極支持部７１、多重極電極部（長電極部品）７２、また、多重極電極支持部７１の代わりに多重極電極Ｖブロック支持部７３を使用し構成した分析部品７０を例にとり、高精度に矯正された例を示す。
【００３０】
（a）では、多重電極装置分析部７に配置される分析部品７０を多重電極支持部７１を３個配置し、多重極電極部（長電極部品）７２を配置した例を示す。また、（ｂ）では、多重電極装置分析部７に配置される分析部品７０を多重電極支持部７１を４個配置し、多重極電極部（長電極部品）７２を配置した例を示す。また、（ｃ）では、多重電極装置分析部７に配置される分析部品７０を多重電極支持部７１の代わりに多重極電極Ｖブロック支持部７３を使用し、多重極電極部（長電極部品）７２を配置した例を示す。
【００３１】
分析部品７０を構成する多重極電極支持部７１、多重極電極部（長電極部品）７２で構成し、質量分析装置分析部７を構成する分析部品７０を前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）の分析部品７０を提供する。また、分析部品７０を構成する多重極電極支持部７１の代わりに多重電極Ｖブロック支持部７３、多重極電極部（長電極部品）７２で構成し、質量分析装置分析部７を構成する分析部品７０を前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）の分析部品７０を提供する。
【００３２】
これにより、一般的な加工により安価に製作された多重極電極部（長電極部品）７２において前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）の分析部品７０を配置した多重極質量分析装置分析部７を構成した質量分析装置を提供する。
【実施例２】
【００３３】
本実施例では、高精度に円筒度加工された個々の多重極（例えば四重極）電極部（短電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下）７４、個々の多重極（例えば四重極）電極支持部７１で構成し、質量分析装置の分析部品７０を所望の分析性能の得るために電気的に複数個（例えば、３個以上）接続し、配置、構成し、多重電極装置分析部７に配置する例を説明する。
【００３４】
図３は、実施例２における質量分析装置に配置される多重極質量分析装置分析部７の部品を配置する分析部品７０、さらに詳細な分析部品７０を構成する多重極電極支持部７１、多重極電極部（短電極部品）７４、また、多重極電極支持部７１の代わりに多重極電極Ｖブロック支持部７３を使用し構成した分析部品７０を例にとり、高精度に矯正された例を示す構成図の例である。
【００３５】
図３では、図1の質量分析装置のうち、既に説明した図１、２に示された同一符号を付された構成と同一の機能を有する部分については、一部説明を省略する。
【００３６】
多重極質量分析部７における個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下）７４において、直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下の場合、機械加工による製作において円筒度を高精度（概ね1から２マイクロメートル）に機械加工することは、ベアリングに使用されているニードルベアリング（円筒コロ）部品として世の中に既知として存在する。安価に製造可能であることも既知となっている。それら、短い電極部を電気的に接続することで、長手方向の多重極場を発生させ、分析部（フィルタ）を組み立てることで、安価かつ高精度に組み立てることが可能となる。
【００３７】
図３の（ａ）では、図２（ａ）、（ｂ）で説明した電極配置例を元に、実施例２で構成された分析部品７０を個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下）７４を高精度円筒度で安価に製作し、多重電極支持部７１で支持し、所望の分析性能を得るために複数個（例えば、３個以上）配置、構成し、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる分析部品７０を提供する。
【００３８】
また、図３の（ｂ）では、図２（ｃ）で説明した電極配置例を元に、実施例２で構成された分析部品７０を個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下）７４を高精度円筒度で安価に製作し、多重極電極Ｖブロック支持部７３で支持し、所望の分析性能を得るために複数個（例えば、３個以上）の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以下）７４を配置、構成し所望の分析性能を得るために複数個（例えば、３個以上）配置、構成し、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる分析部品７０を提供する。
【００３９】
図３（ｂ）に示すように、多重極電極Ｖブロック支持部７３は、三角柱がＬ字型に切り欠かれたような形状をしている。このＬ字はＶ字でもよい。
【００４０】
これにより、一般的な加工により安価に製作された多重極電極部（長電極部品）７２において前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）の分析部品７０を配置した多重極質量分析装置分析部７を構成した質量分析装置を提供する。
【実施例３】
【００４１】
本実施例では、一般的な質量分析装置の個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、個々の多重極（例えば四重極）電極支持部７１で構成し、質量分析装置の分析部品７０を所望の分析性能の得るため、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２が、高精度の円筒度で製作できていなかった場合に機械的部品（例えば、ばねやねじなど）７６において、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を矯正し、高精度の円筒度で、配置し、構成し、多重電極装置分析部７に配置する例を説明する。
【００４２】
図４は、実施例３における質量分析装置に配置される多重極質量分析装置分析部７の部品を配置する分析部品７０、さらに詳細な分析部品７０を構成する多重極電極支持部７１、多重極電極部（長電極部品）７２、また、使用し構成した分析部品７０を例にとり、高精度に矯正された例を示す構成図の例である。
【００４３】
図４では、図1の質量分析装置のうち、既に説明した図１、２に示された同一符号を付された構成と同一の機能を有する部分については、一部説明を省略する。
【００４４】
図４の（ａ）では、実施例２で構成された分析部品７０を個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２の矯正力を高めるために多重極電極付加テンション部品（ばねなど）７６を付加機能として加味し、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、機械加工による製作において高精度（概ね1から２マイクロメートル）に加工されていなかった場合、多重極電極付加テンション部品（例えば、ばね）７６の弾性力を利用し、矯正し、前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）で構成され、所望の分析性能を得るために多重極電極付加テンション部品（ばねなど）７６で、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を矯正し、配置、構成し、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる分析部品７０を提供する。
【００４５】
図４の（ｂ）では、実施例２で構成された分析装置７０を個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２の矯正力を高めるために多重極電極付加テンション部品（ねじなど）７７を付加機能として加味し、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２において、機械加工による製作において高精度（概ね1から２マイクロメートル）に加工されていなかった場合、多重極電極付加テンション部品（例えば、ネジ）７７の直動力を利用し、矯正し、前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）で構成され、所望の分析性能を得るために多重極電極付加テンション部品（ネジなど）７７で、個々の多重極（例えば四重極）電極部（長電極部品：直径Ｄと長手加工量Ｌ比が１０倍以上）７２を矯正し、配置、構成し、所望の分析部品７０の分析性能を得ることにより、図６（ｂ）に示すように所望の信号強度を得ることができる分析部品７０を提供する。
【００４６】
これにより、一般的な加工により安価に製作された多重極電極部（長電極部品）７２において前記１から２マイクロメートルにて組み立てされた組み立ての精度（多重極（例えば四重極）電極で構成される分析部品の内接円の円筒精度）の分析部品７０を配置した多重極質量分析装置分析部７を構成した質量分析装置を提供する。
【符号の説明】
【００４７】
１    試料イオン化装置（イオン源）
２    試料導入部電極（カウンタプレート、or カーテンプレート：電極）
３    第一細孔部（ＡＰ１：電極）
４    第二細孔部（ＡＰ２：電極）
５    サーマライズ部（Ｑ０：サーマライザー/電極ポール）
６    第三細孔部（ＡＰ３：電極）
７    多重極質量分析装置分析部
８    検出部
９    分析試料吐出部
１０  検出器
１１  分析試料供給部（ＬＣ）
１２  高周波電源部
１３  高電圧電源部
１４  検出器電源部
１５  信号アンプ
１６  電源制御部
１７  制御演算装置
１８  分析結果表示装置
１９  高真空ポンプ（ターボポンプなど）
２０  粗引きポンプ（ロータリポンプなど）
２１  圧力計
７０  分析部品
７１  多重極電極支持部
７２  多重極電極部（長電極部品）
７３  多重極電極Ｖブロック支持部
７４  多重極電極部（短電極部品）
７５  多重極電極分（短電極部品）同電位配線部
７６  多重極電極付加テンション部品（ばねなどの弾性体）
７７  多重極電極付加テンション部品（ねじなどの直動力を得られる機構）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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