(57)【要約】【課題】液体の無駄な消費を低減しつつ、ノズル内の気泡を効率よく排出することが可能な液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、および、液体噴射装置の制御方法を提供する。【解決手段】  ワイパーにより記録ヘッドのノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内にフラッシングパルスによりアクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせてフラッシング処理を行う。このフラッシング処理におけるフラッシングパルスは、ノズルにおけるメニスカスを初期位置から圧力室側に積極的に引き込むことなく噴射側に押し出して当該ノズルからインクを噴射させる駆動波形が好適である。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドのノズルが形成されたノズル面を払拭するワイパーと、
を備え、駆動波形によりアクチュエーターを駆動してメンテナンス処理を行うことが可能な液体噴射装置であって、
前記ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を行うことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記駆動波形は、前記ノズルにおけるメニスカスを初期位置から前記圧力室側に積極的に引き込むことなく噴射側に押し出して当該ノズルから液体を噴射させる駆動波形であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記駆動波形は、前記ノズルにおけるメニスカスを初期位置から前記圧力室側に変化させてから噴射側に押し出して当該ノズルから液体を噴射させる駆動波形であることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドの制御方法であって、
ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を実行することを特徴とする液体噴射ヘッドの制御方法。
【請求項５】
ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドのノズルが形成されたノズル面を払拭するワイパーと、を備え、駆動波形によりアクチュエーターを駆動してメンテナンス処理を行うことが可能な液体噴射装置の制御方法であって、
ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を実行することを特徴とする液体噴射装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録装置などの液体噴射装置、これに搭載される液体噴射ヘッドの制御方法、および、液体噴射装置の制御方法に関し、特に、液体噴射ヘッドの噴射能力を回復させるメンテナンス処理を行う液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、および、液体噴射装置の制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を活かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
【０００３】
ここで、液体噴射ヘッドにおいてノズル内の液体に気泡が混入する場合がある。具体的には、例えば、体噴射ヘッドのノズルが形成された面に対して払拭部材（弾性部材からなるワイパー等）を摺動させて当該ノズル面を払拭して清浄化する際に、ノズル内の液体に気泡が入り込むことがある。また、記録媒体としての記録用紙から生じてノズル面に付着した微細な紙粉がノズル内に進入し、この紙粉を介してノズル内の液体に気泡が入り込む場合もある。さらに、ノズル付近の増粘した液体を噴射する際に気泡を液体内に巻き込む場合もある。
【０００４】
この種の液体噴射ヘッドを搭載する液体噴射装置では、液体噴射ヘッドのノズル内や圧力室内の気泡あるいは増粘液体を排出するために、記録媒体等の着弾対象に対する液体の噴射処理、すなわち、液体噴射装置が本来目的とする噴射処理とは別に、ノズルから液体を強制的に噴射させるフラッシングと呼ばれるメンテナンス処理が行われている（例えば、特許文献１）。このフラッシング処理では、駆動波形をアクチュエーターに印加して当該アクチュエーターを駆動することで、ノズルに連通する圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、当該圧力変動を利用してノズルから液体を噴射（捨て撃ち或は空吐出ともいう）させる。この際、一般的には、最初に圧力室内を減圧することでノズル内のメニスカスを圧力室側に一旦引き込んだ後、圧力室内を急激に加圧することでメニスカスを圧力室側とは反対側（噴射側）に押し出して当該ノズルから液滴を噴射させている。このような動作を所定回数連続的に繰り返すことで、ノズルや圧力室内の増粘した液体を排出させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０７３０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ノズル面の払拭等によりノズルにおける液体内に気泡が混入した場合、上記の従来のフラッシング処理では、ノズルにおける液体内の気泡排出性が十分ではなく、当該処理において無駄に液体を消費してしまう問題があった。特に、ノズルにおける液体内の気泡が圧力室側に移動してしまうと、フラッシング処理では当該気泡を排出することがより困難となる。この場合、ノズル面を負圧化してノズルから液体を吸引するメンテナンス処理（所謂クリーニング処理）を行う必要が生じるが、この処理は、フラッシング処理よりもさらに多くの液体を消費してしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体の消費を抑えつつノズル内の気泡を効率よく排出することが可能な液体噴射装置、液体噴射ヘッドの制御方法、および、液体噴射装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドのノズルが形成されたノズル面を払拭するワイパーと、
を備え、駆動波形によりアクチュエーターを駆動してメンテナンス処理を行うことが可能な液体噴射装置であって、
前記ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を行うことを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、液体の無駄な消費を抑えつつノズル内部の気泡を排出することが可能となる。すなわち、ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内にメンテナンス処理が行われることで、ノズルにおける液体に混入した気泡が圧力室側に浮上してメニスカスから遠ざかる前に当該気泡をノズルから液体と共に速やかに排出することができる。これにより、従来のメンテナンス処理と比較して液体の消費を大幅に抑えることが可能となる。
【００１０】
上記構成において、前記駆動波形は、前記ノズルにおけるメニスカスを初期位置から前記圧力室側に積極的に引き込むことなく噴射側に押し出して当該ノズルから液体を噴射させる駆動波形である構成を採用することが望ましい。
【００１１】
上記構成によれば、ノズルにおけるメニスカスを初期位置から圧力室側に積極的に引き込むことなく、初期位置から液体を押し出してノズルから噴射させるので、メニスカス近傍の気泡が不必要に膨張することが抑制され、これにより当該気泡が圧力室側に浮上することを抑えつつ、より少ない噴射量で効率よくノズルにおける液体内の気泡を排出することができる。
【００１２】
上記構成において、前記駆動波形は、前記ノズルにおけるメニスカスを初期位置から前記圧力室側に変化させてから噴射側に押し出して当該ノズルから液体を噴射させる駆動波形である構成を採用することもできる。
【００１３】
上記構成によれば、一般的なメンテナンス処理等で使用される駆動波形を用いることもできる。
【００１４】
また、本発明は、ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドの制御方法であって、
ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を実行することを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明は、ノズルに連通する圧力室、及び、該圧力室内の液体に圧力変動を生じさせるアクチュエーターを有し、当該アクチュエーターの作動によって前記ノズルから液体を噴射可能な液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドのノズルが形成されたノズル面を払拭するワイパーと、を備え、駆動波形によりアクチュエーターを駆動してメンテナンス処理を行うことが可能な液体噴射装置の制御方法であって、
ワイパーによりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内に前記駆動波形により前記アクチュエーターを駆動して噴射動作を行わせるメンテナンス処理を実行することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】プリンターの内部構成を説明する正面図である。
【図２】プリンターの電気的な構成を説明するブロック図である。
【図３】記録ヘッドの内部構成を説明する断面図である。
【図４】プリンターの制御の流れを説明するフローチャートである。
【図５】ワイピング処理およびフラッシング処理について説明する模式図である。
【図６】フラッシング処理で用いられる駆動信号の構成を説明する波形図である。
【図７】フラッシングパルスの構成を説明する波形図である。
【図８】従来のフラッシングパルスの構成を説明する波形図である。
【図９】フラッシング処理においてノズルからインクが噴射される様子を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、インクジェット式記録装置（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。
【００１８】
図１は、プリンター１の内部構成を説明する正面図、図２は、プリンター１の電気的な構成を説明するブロック図である。本実施形態におけるプリンター１は、例えばコンピューター等の電子機器等の外部装置２と無線又は有線で電気的に接続されており、この外部装置２から記録用紙等の記録媒体（液体の着弾対象）に画像やテキストを印刷させるため、その画像等に応じた印刷データを受信する。このプリンター１は、プリンターコントローラー７とプリントエンジン１３とを有している。液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド６は、インクカートリッジ１７（液体供給源）を搭載したキャリッジ１６の底面側に取り付けられている。そして、当該キャリッジ１６は、キャリッジ移動機構４によってガイドロッド１８に沿って往復移動可能に構成されている。すなわち、プリンター１は、紙送り機構３によって記録媒体をプラテン１２上に順次搬送すると共に、記録ヘッド６を記録媒体の幅方向（主走査方向）に相対移動させながら当該記録ヘッド６のノズル３７（図３および図９参照）から本発明における液体の一種であるインクを噴射させて、記録媒体上に着弾させることにより画像等を記録する。なお、インクカートリッジ１７がプリンターの本体側に配置され、当該インクカートリッジ１７のインクが供給チューブを通じて記録ヘッド６側に送られる構成を採用することもできる。
【００１９】
上記インクとしては、染料インクや顔料インク等種々のものを用いることができる。本実施形態においては、常温（例えば、２５℃）の粘度η１が４．１２〔ｍＰａ・ｓ〕程度のインクが用いられる。また、常温の粘度η２が５．０〔ｍＰａ・ｓ〕程度のインクを用いることもできる。いずれも密度については、１０５０〔ｇ／ｃｍ３〕以上１１００〔ｇ／ｃｍ３〕以下の範囲であることが望ましく、粘度については、３〔ｍＰａ・ｓ〕以上６〔ｍＰａ・ｓ〕以下の範囲内にあるものが好適である。
【００２０】
プラテン１２に対して主走査方向の一端側（図２右側）に外れた位置には、記録ヘッド６の待機位置であるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、一端側から順にキャッピング機構２０および、ワイピング機構２２が設けられている。また、ホームポジションとはプラテン１２を挟んで主走査方向の他端部（図２左側）には、フラッシング領域としてフラッシングボックス２３が設けられている。キャッピング機構２０は、例えば、エラストマー等の弾性部材からなるキャップ２５を有しており、当該キャップ２５を記録ヘッド６のノズル面（ノズルプレート３１）に対して当接させて封止した状態（キャッピング状態）あるいは当該ノズル面から離隔した待避状態に変換可能に構成されている。そして、ノズル面に対してキャッピングした状態でキャップ内の空間を負圧化（吸引）することで、ノズルからインクをキャップ内に排出させるクリーニング処理を行うことができる。また、このキャップ２５は、フラッシング処理の際に噴射されたインクを受けるインク受部としても機能する。
【００２１】
ワイピング機構２２は、ワイパー２６によって記録ヘッド６のノズル面を払拭するものであり、ワイパー２６をノズル面に対して当接した状態あるいは当該ノズル面から離隔した待避状態に変換可能に構成されている。ワイパー２６は、種々の構成のものを採用することができるが、例えば、弾性を有するブレード本体の表面が布で被覆されたものからなる。本実施形態においては、ワイパー２６がノズル面に当接した状態で、記録ヘッド６が主走査方向に移動することで、ワイパー２６がノズル面を摺動して払拭する（図５参照）。なお、記録ヘッド６が移動を停止した状態でワイパー２６が自走することでノズル面を払拭する構成を採用することもできる。要するに、記録ヘッド６とワイパー２６が相対的に移動してノズル面が払拭される構成であればよい。上記フラッシングボックス２３は、記録媒体に対する記録処理とは関係なく記録ヘッド６のノズルからインクを強制的に噴射させるフラッシング処理の際に噴射されたインクを受けるトレイ状のインク受部２７を有する。このインク受部２７の位置は固定されている。
【００２２】
プリンターコントローラー７は、プリンターの各部の制御を行う制御ユニットである。本実施形態におけるプリンターコントローラー７は、インターフェース（Ｉ／Ｆ）部８と、制御部９と、記憶部１０と、駆動信号生成部１１と、を有する。インターフェース部８は、外部装置２からプリンター１へ印刷データや印刷命令を送ったり、プリンター１の状態情報を外部装置２側に出力したりする際にプリンターの状態データの送受信を行う。制御部９は、プリンター全体の制御を行うための演算処理装置である。記憶部１０は、制御部９のプログラムや各種制御に用いられるデータを記憶する素子であり、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＮＶＲＡＭ（不揮発性記憶素子）を含む。制御部９は、記憶部１０に記憶されているプログラムに従って、各ユニットを制御する。また、本実施形態における制御部９は、外部装置２からの印刷データに基づき、記録処理時にどのノズル３７からどのタイミングでインクを噴射させるかを示す噴射データを生成し、当該噴射データを記録ヘッド６のヘッド制御部１５に送信する。さらに、本実施形態における制御部９は、メンテナンス処理の一種であるフラッシング処理を行う制御手段として機能する。この点についての詳細は後述する。
【００２３】
駆動信号生成部１１（駆動波形生成手段）は、記録媒体に対してインクを噴射して画像等を記録するための駆動パルスを含む駆動信号を発生する。また、本実施形態における駆動信号生成部１１は、メンテナンス駆動波形（フラッシングパルスＰｆ）を含むメンテナンス用駆動信号（フラッシング用駆動信号ＣＯＭ）を発生可能に構成されている。フラッシング用駆動信号の詳細については後述する。
【００２４】
次に、プリントエンジン１３について説明する。このプリントエンジン１３は、図２に示すように、紙送り機構３、キャリッジ移動機構４、リニアエンコーダー５、タイマー回路１４、及び、記録ヘッド６等を備えている。キャリッジ移動機構４は、記録ヘッド６が取り付けられたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６を、タイミングベルト等を介して走行させる駆動モーター（例えば、ＤＣモーター）等からなり（図示せず）、キャリッジ１６に搭載された記録ヘッド６を主走査方向に移動させる。紙送り機構３は、紙送りモーター及び紙送りローラー等（いずれも図示せず）からなり、記録媒体をプラテン１２上に順次送り出して副走査を行う。また、リニアエンコーダー５は、キャリッジ１６に搭載された記録ヘッド６の走査位置に応じたエンコーダーパルスを、主走査方向における位置情報としてプリンターコントローラー７に出力する。プリンターコントローラー７は、リニアエンコーダー５側から受信したエンコーダーパルスに基づいて記録ヘッド６の走査位置（現在位置）を把握することができる。本実施形態におけるタイマー回路１４は、ワイピング処理の後に実行されるフラッシング処理のタイミングを規定するために使用される。この点の詳細については後述する。
【００２５】
図３は、記録ヘッド６の内部構成を説明する要部断面図である。
本実施形態における記録ヘッド６は、ノズルプレート３１、流路基板３２、および、圧電素子３３等から概略構成され、これらの部材を積層した状態でケース３５に取り付けられている。ノズルプレート３１は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル３７を同方向に沿って列状に開設したシリコン単結晶基板からなる部材である。本実施形態では、並設された複数のノズル３７から構成されるノズル列（ノズル群の一種）がノズルプレート３１に２列並設されている。そして、このノズルプレート３１のインクが噴射される側の面が、ノズル面に相当する。
【００２６】
上記ノズル３７は、ドライエッチングにより内径が異なる複数段の円筒状に形成されている。本実施形態におけるノズル３７は、後述する圧力室３８側の第１のノズル部３７ａと、噴射側の第２のノズル部３７ｂとにより２段構造となっている（図９参照）。そして、第１のノズル部３７ａの内径は、第２のノズル部３７ｂの内径よりも大きく設定されている。より具体的には、第２のノズル部３７ｂの内径が２０〔μｍ〕であるのに対し、第１のノズル部３７ａの内径は４５〔μｍ〕となっている。また、第２のノズル部３７ｂの中心軸方向の長さが３０〔μｍ〕、第１のノズル部３７ａの中心軸方向の長さは４０〔μｍ〕となっている。なお、ノズルプレート３１としては、シリコン単結晶基板に限られず、例えばステンレス鋼等の金属板より構成することもできる。また、ノズル３７としては、内径が一定な円筒状のストレート部を噴射側に少なくとも有するものであればよく、ノズル全体の内径が一定のもの（円筒状のノズル）や、第１のノズル部３７ａに対応する部分の内径が噴射側から圧力室側に向けて拡大するテーパー形状のもの等を採用することもできる。
【００２７】
流路基板３２は、複数の隔壁で区画された圧力室３８が各ノズル３７に対応して複数形成されている。この流路基板３２における圧力室３８の列の外側には、共通液室３９の一部を区画する共通液室３９が形成されている。この共通液室３９は、インク供給口４３を介して各圧力室３８と個々に連通している。また、共通液室３９には、インクカートリッジ１７側からのインクがケース３５のインク導入路４２を通じて導入される。流路基板３２のノズルプレート３１側とは反対側の上面には、弾性膜４０を介して圧電素子３３（アクチュエーターの一種）が形成されている。圧電素子３３は、金属製の下電極膜と、例えばチタン酸ジルコン酸鉛等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜（何れも図示せず）とを順次積層することで形成されている。この圧電素子３３は、所謂撓みモードの圧電素子であり、圧力室３８の上部を覆うように形成されている。本実施形態において、２列のノズル列に対応して２列の圧電素子列が、ノズル列方向で見て圧電素子３３が互い違いとなる状態でノズル列に直交する方向に並設されている。各圧電素子３３は、配線部材４１を通じて駆動信号が印加されることにより変形する。これにより、当該圧電素子３３に対応する圧力室３８内のインクに圧力変動が生じ、このインクの圧力変動を制御することによりノズル３７からインクが噴射される。
【００２８】
本発明に係るプリンター１では、記録ヘッド６のノズル面（ノズルプレート３１）をワイピング機構２２により払拭してから一定の時間が経過した時点でノズル３７内の気泡を除去する目的とするフラッシング処理を行う点に特徴を有している。以下、この点について説明する。
【００２９】
図４は、上記プリンター１の制御の流れを説明するフローチャートである。また、図５は、ワイピング処理およびフラッシング処理について説明する模式図である。
ステップＳ１のワイピング処理では、記録ヘッド６をホームポジションのワイピング機構２２の上方まで移動させ、ワイパー２６の先端部を記録ヘッド６のノズル面（ノズルプレート３１のインクが噴射される側の面）に当接させた状態で、記録ヘッド３をキャッピング機構２０側に移動させる（図５（ａ））。これにより、ワイパー２６がノズル面２５の主走査方向における一側から他側に向けて相対的に移動して、ノズル面２５が払拭される。このワイピング処理により、ノズル３７内に気泡が混入する場合がある。具体的には、ワイパー２６がノズル３７の開口縁を通過した際に、ワイパー２６に付着していたインクと共に、ノズル３７内のインクに気泡が混入する場合がある。このため、ワイピング処理の後に続いてフラッシング処理を行うことで、ノズル３７内のインクに混入した気泡を排出する。
【００３０】
ところで、ノズル３７内のインクに混入した気泡は、時間の経過とともに浮力によって圧力室３８側に移動してしまう。気泡が、ノズル３７内のメニスカスから圧力室３８側に離れてしまうと、フラッシング処理における気泡排出性が低下する虞がある。例えば、ノズル３７の中心軸方向においてメニスカスから（ノズル部３７ｂの噴射側開口から）圧力室側に３５〔μｍ〕の範囲に気泡が位置していれば、フラッシング処理によって当該気泡を排出することができる。しかしながら、ノズル３７の中心軸方向においてメニスカスから３５〔μｍ〕の範囲を超えて気泡が遠ざかってしまうと、フラッシング処理によっても気泡を排出することが困難となってしまう。ここで、ノズル内の気泡に働く浮力は、気泡の直径をｒ、インクの密度をρ、重力加速度をｇとして、アルキメデスの定理より、以下の式（１）で表される。
Ｆ＝４πｒ３ρｇ／３  …（１）
次に、気泡に働く抵抗力は、インクの粘度をη、気泡の速度（ノズル内壁による流路抵抗を無視した場合の速度（無限液中速度））をＵとして、以下の式（２）で表される。
Ｆ＝６πηｒＶ  …（２）
式（１）および式（２）より、インク内の気泡の浮上速度Ｕは、以下の式（３）で表される。
Ｕ＝４．５ｒ２ρｇ／η  …（３）
なお、ノズル３７内における気泡の浮上速度ｕは、ノズル３７の内径をｄ、λ＝ｒ／ｄとして、以下のCliftら提案の式（４）またはWallis提案の式（５）で表すことができる。
ｕ／Ｕ＝（１−λ２）３／２ for λ＜０．６  …（４）
ｕ／Ｕ＝１．１３ｅｘｐ（−λ） for λ＜０．６  …（５）
例えば、ｄ＝２０〔μｍ〕、ｒ＝１０〔μｍ〕とすると、λ＝０．５となり、第２のノズル部３７ｂにおける気泡の浮上速度ｕは、
式（４）より  ｕ＝０．６５０×Ｕ＝９．４２〔μｍ／ｓ〕
式（５）より  ｕ＝０．６８５×Ｕ＝９．９４〔μｍ／ｓ〕
となる。
そして、ノズル部３７ｂにおける気泡の浮上速度ｕを９．９４〔μｍ／ｓ〕として、メニスカス（ノズル部３７ｂの噴射側の開口）から鉛直方向で３５〔μｍ〕の位置まで到達する時間は、３５／９．９４≒３．５〔ｓ〕と算出することができる。なお、本実施形態においては、第２のノズル部３７ｂの中心軸方向の長さが３０〔μｍ〕であるため、メニスカスから鉛直方向で３０〔μｍ〕を超えて浮上すると、第１のノズル部３７ａに至ってノズルの内径が変わるため、厳密には気泡の浮上速度ｕも変化するが、３０〔μｍ〕を超えて３５〔μｍ〕に至るまでの速度の変化は概ね無視できるものとする。
【００３１】
以上のことから、メニスカス近傍の気泡が時間の経過とともに圧力室側に浮上することを鑑みて、ワイパー２６によりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内にフラッシング処理を行うことが望ましい。その一方で、ワイピング処理の直後においてノズル３７内のメニスカスに気泡が付着する等、不安定な状態となり、この状態でフラッシング処理を行ってもインクが正常に噴射されないばかりか、却ってより多くの気泡をメニスカス内に巻き込んでしまう可能性もある。このため、ワイパー２６によりノズル面が払拭されてから、３．５〔ｓ〕以内の時間であってノズル３７内のメニスカスが安定するまでの時間（例えば、１〔ｓ〕）を置くことが望ましい。
【００３２】
本実施形態においては、制御部９は、タイマー回路１４を監視して、ワイパー２６によりノズル面が払拭されてからの経過時間を計測する。具体的には、ノズル列毎に、当該ノズル列（当該ノズル列に属するノズル３７のワイパー払拭方向前寄りの開口縁）をワイパー２６が通過してからの時間をそれぞれ計測する。ワイパー２６が所定のノズル３７を通過するタイミングについては、上記リニアエンコーダー５からのエンコーダーパルスに基づき把握する。通過タイミングに応じてタイマー回路４１の経時を監視し、本実施形態においては、ワイパー２６がノズル列を通過してから３．５〔ｓ〕が経過したか否かを判定する（ステップＳ２）。なお、この判定時間については、３．５〔ｓ〕には限られず、３．５〔ｓ〕以内であればよい。ワイパー２６がノズル列を通過してから３．５〔ｓ〕経過していない（Ｎｏ）、と判定した場合、タイマー回路１４を監視しつつ３．５〔ｓ〕が経過するまでステップＳ２の処理を繰り返す。一方、ワイパー２６がノズル列を通過してから３．５〔ｓ〕が経過したと判定した場合（Ｙｅｓ）、制御部９は、キャリッジ移動機構４を制御して、図５（ｂ）に示すように、キャリッジ１６をキャッピング機構２０の上方まで移動させて記録ヘッド６のノズル面をキャップ２５と対峙させ（図１参照）、この状態で、ワイパー２６が通過してから３．５〔ｓ〕が経過したノズル３７（ノズル列）から順にフラッシング処理を実行する（ステップＳ３）。なお、フラッシング処理は、ワイピング処理から３．５〔ｓ〕以内でフラッシング処理を実行することができれば、キャリッジ１６をフラッシングボックス２３のインク受部２７に対して行うようにすることもできる。
【００３３】
本実施形態におけるフラッシング処理は、ノズル３７からインクを噴射させる動作を行い、主にノズル３７の内部（メニスカス近傍）に存在する気泡を排出することを目的とするメンテナンス処理であり、プリンター１の電源が投入されてから記録処理に先立ってノズル３７内や圧力室３８内の増粘したインクや気泡を排出するために行われるフラッシング処理とは異なるものである。ここで、フラッシング処理における噴射動作は、ノズル３７からインクが実際に噴射されるか否かに拘わらず、後述するフラッシングパルスＰｆにより圧電素子３３を駆動して圧力室３８内に圧力変動を生じさせる圧電素子３３の動作を意味する。
【００３４】
図６は、ステップＳ３のフラッシング処理で用いられるフラッシング用駆動信号の一例を説明する波形図である。また、図７は、フラッシングパルスＰｆの構成を説明する波形図である。本実施形態におけるフラッシング用駆動信号ＣＯＭｆは、一定の間隔で発生される合計３つのフラッシングパルスＰｆを発生する。このフラッシングパルスＰｆは、ノズル３７におけるメニスカスを初期位置から圧力室３８側に積極的にメニスカスを引き込むことなく噴射側に押し出してインクを噴射させる駆動波形（メンテナンス駆動波形）の一種である。より具体的に説明すると、本実施形態におけるフラッシングパルスＰｆは、収縮要素ｐ１と、収縮維持要素ｐ２と、膨張要素ｐ３と、からなる。収縮要素ｐ１は、基準電位Ｖｂから収縮電位ＶＨまで電位がプラス側に比較的急峻な勾配で変化する波形要素である。ここで、基準電位Ｖｂが圧電素子３３に印加されている状態は初期状態（基準状態）であり、この初期状態におけるノズル３７内のメニスカスの位置は本発明における初期位置に相当する。基準電位Ｖｂから収縮電位ＶＨまでの電位差Ｖｄおよび収縮要素ｐ１の電位変化の勾配は、上記構成の記録ヘッド６で噴射可能な最大量のインクをノズル３７から噴射させ得るように設定されている。収縮維持要素ｐ２は、収縮電位ＶＨを所定時間維持する波形要素である。そして、膨張要素ｐ３は、収縮電位ＶＨから基準電位Ｖｂまで電位が十分に緩やかな勾配で変化する波形要素である。なお、メニスカスを圧力室側に積極的に引き込まないとは、基本的には、フラッシングパルスＰｆにおいて収縮要素ｐ１の前に、圧力室３８を膨張させてメニスカスを圧力室側に引き込む波形要素が無いことを意味する。ただし、収縮要素ｐ１の前にこのような他の波形要素があったとしても、気泡の排出性に悪影響を及ぼしにくいもの（例えば、収縮要素ｐ１の始端電位を基準電位Ｖｂとは異なる電位に調整するための波形要素等）であれば、このような他の波形要素が収縮要素ｐ１の前にあってもよい。
【００３５】
図９は、フラッシング処理においてノズル３７からインクが噴射される様子を説明する模式図（ノズル３７の断面図）である。図９（ａ）は、上記の初期状態を示している。本実施形態におけるフラッシング処理は、ワイパー２６がノズル３７を通過してから３．５〔ｓ〕経過した時点で行われるので、この時点ではノズル３７における第２のノズル部３７ｂの内部のインクには気泡Ｂが滞留している。上記のように構成されたフラッシングパルスＰｆがこのノズル３７に対応する圧電素子３３に印加されると、収縮要素ｐ１により圧電素子３３が圧力室３８の内側（ノズルプレート３１に近接する側）に撓む。これに伴い、圧力室３８は基準電位Ｖｂに対応する基準容積から収縮電位ＶＨに対応する収縮容積まで急激に収縮される。これにより、圧力室３８内のインクが加圧されて、初期位置にあるメニスカスがノズル中心軸方向に沿って噴射側に急激に押し出され、液柱のように伸びる（図９（ｂ））。この際、メニスカス近傍の気泡Ｂは、ノズル内のインクに追従して噴射側に押し出される。また、気泡Ｂは、圧力室３８内の内圧の上昇に伴って収縮する。
【００３６】
圧力室３８の収縮状態は、収縮維持要素ｐ２によって一定時間維持される。この間には、噴射側に押し出された液柱の後端部分がメニスカスと分離して、気泡Ｂを含んだ状態で、フラッシングボックス２３のインク受部２７に向けて飛翔する（図９（ｃ））。収縮維持要素ｐ２の後、続いて膨張要素ｐ３が印加されることにより、圧電素子３３が基準電位Ｖｂに対応する状態まで収縮する。これに伴い、圧力室３８は、収縮容積から基準電位Ｖｂに対応する基準容積まで緩やかに膨張して復帰する。これにより、メニスカスが初期位置まで次第に復帰する。このフラッシングパルスＰｆによりノズル３７から噴射されるインクの１滴あたりの重量は、約１０〔ｎｇ〕である。これに対し、記録媒体に対して画像等を記録する際にノズル３７から噴射されるインク１滴あたりの重量は、約７〔ｎｇ〕である。フラッシングパルスＰｆにおいて、膨張要素ｐ３は、収縮要素ｐ１と比較して電位の変化が緩やかであるため、この膨張要素ｐ３により圧電素子３３が駆動して圧力室３８内に生じる圧力変化も比較的緩やかである。このため、噴射動作後の残留振動も比較的低く抑えることができる。
【００３７】
本実施形態においては、１回のフラッシング処理において、１つのノズル３７に対応する圧電素子３３に対して上記フラッシングパルスＰｆが一定の間隔で３回印加されて、噴射動作が行われる。このときのパルスＰｆの印加間隔は、前の噴射動作により圧力室３８およびノズル３７内のインクに生じた残留振動が次の噴射動作が行われるタイミングまでに概ね収束している程度の時間に設定されている。これにより、フラッシング処理におけるメニスカス近傍の気泡Ｂの排出性が高められる。すなわち、前の噴射動作で生じた残留振動が収まっていない状態で次の噴射動作が行われると、残留振動を励振してしまう場合もある。そして、残留振動が大きくなってしまうと、これに応じてノズル３７内の気泡Ｂの膨張・収縮の度合も大きくなってしまう。ここで、上記式（３）より、気泡Ｂが大きいほど、圧力室側に移動する速度が高まってしまうため、フラッシング処理における気泡排出性が低下する虞がある。したがって、フラッシング処理においては、気泡Ｂをできるだけ膨張させないことが肝要となる。すなわち、圧力室３８の内圧の変化、特に急激な減圧を避け、なおかつ、気泡Ｂの大きさを変化させる原因となる残留振動を可及的に抑えることが望ましい。
【００３８】
本実施形態においては、ノズル３７におけるメニスカスを初期位置（圧電素子３３）から圧力室３８側には積極的に引き込むことなくインクを噴射させるフラッシングパルスＰｆをフラッシング処理用の駆動波形として採用することで、インクの撹拌は抑えつつ、初期位置からインクを押し出してノズル３７から噴射させるので、メニスカス近傍の気泡Ｂが不必要に膨張することが抑制される。これにより、当該気泡Ｂが圧力室側に浮上することを抑えつつ、より少ない噴射量で効率よく気泡Ｂを排出することができる。また、前のフラッシングパルスＰｆの終端（膨張要素ｐ３の終端）から次のフラッシングパルスＰｆの始端（収縮要素ｐ１の始端）までの時間Δｔが、圧力室３８内のインクに生じる振動（圧力波）のヘルムホルツ振動周期（固有振動周期）Ｔｃ以上となるように設定されている。これにより、前の噴射動作により生じた残留振動が概ね収束している状態で次の噴射動作が行われるので、気泡Ｂが不必要に膨張・収縮することが低減される。このため、気泡Ｂが浮力により圧力室３８側に移動することが抑制され、気泡排出性を高めることができる。また、１回のフラッシング処理において上記間隔で噴射動作を３回行うことで、ノズル３７内の気泡を概ね排出することができる。例えば、ノズル３７の内壁に気泡が付着していて、１回目の噴射動作によりノズル３７からインクを噴射させなかったとしても、１回目の噴射動作でインクが噴射側に押し出されるので、このインクの動きにより気泡がノズル内壁から離れて動きやすくなり、２回目、３回目の噴射動作により、気泡Ｂをインクと共にノズル３７から排出させることができる。なお、ノズル３７内のインクの気泡をより効果的に排出するには、本実施形態のようにフラッシングパルスＰｆにより３回噴射動作を行うことが望ましいが、例えば、３回の噴射動作のうち少なくとも最初の噴射動作をフラッシングパルスＰｆで行い、残りを他の駆動パルス、具体的には後述する一般的なフラッシングパルスＰｆ′あるいは通常の記録動作で使用される駆動パルス等を用いて行う構成を採用することもできる。また、気泡Ｂを排出することがきれば、フラッシング動作においては３回の噴射動作には限られず、４回以上とすることも可能である。この場合、４回目以降の駆動パルスは、フラッシングパルスＰｆでも他の駆動パルスでも良い。
【００３９】
なお、上記Ｔｃは、ノズル３７、圧力室３８、インク供給口４３、及び圧電素子３３等の各構成部材の形状、寸法、及び剛性などにより、記録ヘッド毎に固有に定まる。この固有の振動周期Ｔｃは、例えば、次式（１）で表すことができる。
Ｔｃ＝２π√［〔（Ｍｎ×Ｍｓ）／（Ｍｎ＋Ｍｓ）〕×Ｃｃ］  …（６）
但し、式（４）において、Ｍｎはノズル３７におけるイナータンス、Ｍｓはインク供給口４３におけるイナータンス、Ｃｃは圧力室３８のコンプライアンス（単位圧力あたりの容積変化、柔らかさの度合いを示す。）である。また、上記式（６）において、イナータンスＭとは、流路における液体の移動し易さを示し、換言すると、単位断面積あたりの液体の質量である。そして、流体の密度をρ、流路の流体の流下方向と直交する面の断面積をＳ、流路の長さをＬとしたとき、イナータンスＭは次式（７）で近似して表すことができる。
Ｍ＝（ρ×Ｌ）／Ｓ  …（７）
なお、上記Ｔｃは、上記式（６）で規定されるものに限られず、記録ヘッド６の圧力室３８が有している振動周期であればよい。
【００４０】
ところで、フラッシング処理に使用されるフラッシングパルスＰｆに関し、本実施形態においては、圧力室３８側には積極的に引き込むことなくインクを噴射させる駆動波形を例示したが、必ずしもこれには限られず、フラッシング処理や記録処理で一般的に使用される駆動波形をフラッシングパルスとして用いることもできる。
図８は、フラッシングパルスの変形例を説明する波形図である。この変形例におけるフラッシングパルスＰｆ′は、予備膨張要素ｐ１１と、膨張維持要素ｐ１２と、収縮要素ｐ１３と、収縮維持要素ｐ１４と、膨張要素ｐ１５と、からなる。すなわち、このフラッシングパルスＰｆ′は、ノズル３７からインクを噴射させる前に、予備膨張要素ｐ１１により圧力室３８を膨張させて、メニスカスを圧力室側に大きく引き込むものである。このフラッシングパルスＰｆ′は、最初のメニスカスの引き込みで気泡が圧力室側に移動いしやすいため上記フラッシングパルスＰｆと比較して気泡排出性は劣るが、例えば、ワイパー２６がノズル３７を通過してからフラッシング処理を実行するまでの時間を３．５〔ｓ〕よりも早く設定すれば、フラッシングパルスＰｆ′によってもノズル３７内のインクとともに気泡を排出することができる。そして、一般的なフラッシング処理や記録処理で使用される駆動波形をフラッシングパルスとして用いることもできるので、別途フラッシングパルスを設ける必要がなく簡便である。
【００４１】
このように、本発明に係るプリンター１においては、ワイパー２６によりノズル面が払拭されてから３．５〔ｓ〕以内で上記のフラッシング処理が行われるので、ノズル３７におけるインク内に混入した気泡Ｂが圧力室３８側に浮上してメニスカスから遠ざかる前に当該気泡Ｂをノズル３７からインクと共に速やかに排出することができる。これにより、従来のフラッシング処理や吸引によるクリーニング処理等のメンテナンス処理と比較してインクの消費を大幅に抑えることが可能となる。
【００４２】
なお、上記実施形態では、アクチュエーターとして、所謂撓み振動型の圧電素子３３を例示したが、これには限られず、例えば、所謂縦振動型の圧電素子を採用することも可能である。この場合、上記実施形態で例示したフラッシングパルスＰｆに関し、電位の変化方向、つまり上下が反転した波形となる。
また、アクチュエーターとしては圧電素子には限らず、静電気力を利用して圧力室の容積を変動させる静電アクチュエーター等の各種アクチュエーターを用いる場合にも本発明を適用することができる。
【００４３】
そして、本発明は、ノズル内の気泡を排出させるフラッシング処理を行う液体噴射装置であれば、上記のプリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置、あるいは、着弾対象の一種である布帛（被捺染材）に対して液体噴射ヘッドからインクを着弾させて捺染を行う捺染装置、または、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１…プリンター，６…記録ヘッド，９…制御部，１１…駆動信号生成部，１４…タイマー回路，２０…キャッピング機構，２２…ワイピング機構，２５…キャップ，２６…ワイパー，３１…ノズルプレート，３３…圧電素子，３７…ノズル，３８…圧力室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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