(57)【要約】【課題】気相成長中に抵抗発熱体が断線した場合において、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制する。【解決手段】気相成長装置は、基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように基板を支持する盤状のサセプタと、サセプタを加熱する加熱部と、を備える。加熱部は、互いに電気的に接続された第１抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ａ）及び第２抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ｄ）と、第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印可する電力供給部７１と、接続導体（例えばサポート部材１２０）と、を有する。接続導体は、第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点２４１と、第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点２４２と、を相互に電気的に接続する。【選択図】図１１
2015023153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタを加熱する加熱部と、
を備え、
前記加熱部は、
互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体と、
第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点と、前記第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有する気相成長装置。
【請求項２】
前記第１結節点と前記第２結節点の電位が互いに等しい請求項１に記載の気相成長装置。
【請求項３】
複数の前記第１結節点と、前記第１結節点の各々と１対１で対応する複数の前記第２結節点と、
互いに対応する前記第１結節点と前記第２結節点とをそれぞれ相互に電気的に接続する複数の前記接続導体と、
を有し、
互いに対応する前記第１結節点と前記第２結節点とは互いに電位が等しい請求項１に記載の気相成長装置。
【請求項４】
前記接続導体は、前記第１結節点において前記第１抵抗発熱体を支持するとともに、前記第２結節点において前記第２抵抗発熱体を支持する支持構造体である請求項１乃至３の何れか一項に記載の気相成長装置。
【請求項５】
前記第１抵抗発熱体と前記第２抵抗発熱体とは、それらの両端間の抵抗値が互いに等しい請求項１乃至４の何れか一項に記載の気相成長装置。
【請求項６】
前記第１抵抗発熱体、前記第２抵抗発熱体及び前記接続導体は、互いに同種の金属材料からなる請求項１乃至５の何れか一項に記載の気相成長装置。
【請求項７】
前記第１抵抗発熱体と前記第２抵抗発熱体とは、それぞれコイル形状の電熱線からなる請求項１乃至６の何れか一項に記載の気相成長装置。
【請求項８】
前記第１抵抗発熱体と前記第２抵抗発熱体とのうちの少なくとも何れか一方は、撚り線をコイル形状とすることにより構成された電熱線からなる請求項７に記載の気相成長装置。
【請求項９】
互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体と、
第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点と、前記第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有する気相成長用加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気相成長装置及び気相成長用加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＯＣＶＤ（Ｍｅｔａｌ  Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などの気相成長法に用いられる気相成長装置は、例えば、基板を支持するサセプタと、サセプタを加熱する抵抗発熱体と、サセプタ及び抵抗発熱体を収容するチャンバと、抵抗発熱体に対して電流を印加する電力供給部と、を有している。このような気相成長装置によれば、抵抗発熱体によりサセプタ及び基板を加熱しながら、気相成長により基板上に堆積物を形成することができる。
【０００３】
例えば、特許文献１には、気相成長装置等に用いられる加熱装置が記載されている。特許文献１の加熱装置は、コイル形状の電熱線などの抵抗発熱体を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−６３６９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、気相成長装置を用いた気相成長中に抵抗発熱体が断線してしまうと、サセプタ及び基板の温度条件に大きな影響がおよぶ可能性がある。
【０００６】
本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであり、気相成長中に抵抗発熱体が断線した場合において、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することが可能な気相成長装置および気相成長用加熱装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
基板の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように前記基板を支持する盤状のサセプタと、
前記サセプタを加熱する加熱部と、
を備え、
前記加熱部は、
互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体と、
第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点と、前記第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有する気相成長装置を提供する。
【０００８】
この気相成長装置によれば、互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体と第２抵抗発熱体とのうち、第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点と、第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点と、が接続導体により相互に電気的に接続されている。よって、気相成長の途中で第１抵抗発熱体と第２抵抗発熱体とのうちの何れか一方に断線が生じたとしても、サセプタ及び基板の温度条件に大きな影響を与えることなく、当該気相成長を最後まで遂行することを期待できる。
【０００９】
また、本発明は、
互いに電気的に並列に接続された第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体と、
第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印加する電力供給部と、
前記第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点と、前記第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点と、を相互に電気的に接続する接続導体と、
を有する気相成長用加熱装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、気相成長中に抵抗発熱体（第１抵抗発熱体又は第２抵抗発熱体）が断線した場合においても、サセプタ及び基板の温度条件への影響を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態に係る気相成長装置の正面断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る気相成長装置のサセプタの平面図である。
【図３】第１の実施形態に係る気相成長装置のヒータの上段の構造を示す平面図である。
【図４】第１の実施形態に係る気相成長装置のヒータの下段の構造を示す平面図である。
【図５】第１の実施形態に係る気相成長装置のヒータの抵抗発熱体の構造の例を示す図であり、抵抗発熱体の長手軸に沿って切断した断面を示す。
【図６】図６（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置の電極の構造を示す図であり、このうち図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）は側面図である。
【図７】第１の実施形態に係る気相成長装置の電力導入部の構造を示す正面断面図である。
【図８】図８（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置のサポート部材を示す図であり、このうち図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は正面図である。
【図９】第１の実施形態に係る気相成長装置の絶縁部材の一部分を示す平面図である。
【図１０】図１０（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置のサポート部材により抵抗発熱体を支持した状態を示す図であり、このうち図１０（ａ）は第１例を示し、図１０（ｂ）は第２例を示す。
【図１１】第１の実施形態に係る気相成長装置のヒータの一部分の等価回路を示す図である。
【図１２】第２の実施形態に係る気相成長装置の抵抗発熱体の構造を示す図であり、抵抗発熱体の長手軸に沿って切断した断面を示す。
【図１３】第２の実施形態に係る気相成長装置のヒータの一部分の等価回路を示す図である。
【図１４】第３の実施形態に係る気相成長装置の抵抗発熱体の構造を示す図であり、抵抗発熱体の長手軸に沿って切断した断面を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同一の符号を付し、適宜に説明を省略する。
【００１３】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る気相成長装置１００の正面断面図である。図２は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のサセプタ３０の平面図である。図３は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のヒータ１０の上段の構造を示す平面図である。図４は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のヒータ１０の下段の構造を示す平面図である。図５は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のヒータ１０の抵抗発熱体１１の構造の例を示す図であり、抵抗発熱体１１の長手軸１５に沿って切断した断面を示す。図６（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置１００の電極４０の構造を示す図であり、このうち図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）は側面図である。なお、図６（ａ）は、図６（ｂ）の矢印Ａ方向に電極４０を見た状態を示す。図７は第１の実施形態に係る気相成長装置１００の電力導入部１３０の構造を示す正面断面図である。図８（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のサポート部材１２０を示す図であり、このうち図８（ａ）は平面図、図８（ｂ）は正面図である。図９は第１の実施形態に係る気相成長装置１００の絶縁板２０の一部分を示す平面図である。図１０（ａ）および（ｂ）は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のサポート部材１２０により抵抗発熱体１１を支持した状態を示す図であり、このうち図１０（ａ）は第１例を示し、図１０（ｂ）は第２例を示す。図１１は第１の実施形態に係る気相成長装置１００のヒータ１０の一部分の等価回路を示す図である。
【００１４】
本実施形態に係る気相成長装置１００は、基板５０（図２）の少なくとも一方の面に気相成長により堆積物を形成可能なように基板５０を支持する盤状のサセプタ３０と、サセプタ３０を加熱する加熱部と、を備える。加熱部は、互いに電気的に接続された第１抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ａ）及び第２抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ｄ）と、第１抵抗発熱体及び第２抵抗発熱体の両端間に電流を印可する電力供給部７１と、接続導体（例えばサポート部材１２０）と、を有する。接続導体は、第１抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第１結節点２４１（図１１）と、第２抵抗発熱体の両端間の中間に位置する第２結節点２４２（図１１）と、を相互に電気的に接続する。以下、詳細に説明する。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係る気相成長装置１００は、チャンバ１１０と、チャンバ１１０内において基板５０を保持するサセプタ３０と、サセプタ３０を支持する回転軸部６０と、を有する。チャンバ１１０は、例えば金属材料により構成されている。
【００１６】
図２に示すように、サセプタ３０は、例えば円盤状に形成され、チャンバ１１０内において水平に配置されている。サセプタ３０の上面には、基板５０を位置決め状態で保持する基板載置用ポケット３１が形成されている。基板載置用ポケット３１には、サセプタ３０に対して平行に、基板５０を載置できるようになっている。
【００１７】
図１に示すように、回転軸部６０は、例えばサセプタ３０と一体的に形成されているか、又はサセプタ３０と凹凸構造で嵌合することにより該サセプタ３０に連結されており、サセプタ３０の下面より下方に突出し、且つ、チャンバ１１０の底板部１１５よりも下方に突出している。つまり、回転軸部６０は、その軸方向が上下方向となる状態で配置されている。回転軸部６０は、図示しないモータ等の回転駆動部により軸周りに回転させられるようになっている。回転軸部６０が軸周りに回転するのに伴い、サセプタ３０が水平面内において回転する。
【００１８】
気相成長装置１００は、更に、チャンバ１１０内に原料ガスを供給する原料ガス供給配管１１１、１１２と、チャンバ１１０内に設けられたガス分散部材１１３と、チャンバ１１０からの排気を行う排気管１１４と、を有している。ガス分散部材１１３には、多数のガス導出口１１３ａが形成されている。ガス分散部材１１３は、サセプタ３０の上方に配置され、サセプタ３０の上面と対向している。
【００１９】
更に、気相成長装置１００は、チャンバ１１０内に配置されてサセプタ３０を加熱するヒータ１０と、チャンバ１１０内に配置されてヒータ１０を覆うヒータケース８０と、を有する。
【００２０】
図１に示すように、ヒータケース８０は、例えば、ヒータ１０と対向して配置された板状の底板部８１と、外周壁部８２と、内周壁部８３と、を有している。図３及び図４に示すように、底板部８１は、例えば、ドーナツ状の平面形状に形成されている。外周壁部８２は、円筒状に形成され、底板部８１の外周端より上方に起立している。内周壁部８３は、外周壁部８２と同心の円筒状に形成され、底板部８１の内周端より上方に起立している。底板部８１、外周壁部８２および内周壁部８３によって、ドーナツ状の平面形状で、且つ、上向きに開口した受け皿形状のヒータケース８０が構成されている。ヒータケース８０は、サセプタ３０およびヒータ１０の下方に配置されている。ヒータケース８０は、ヒータ１０、後述する絶縁板２０、電極４０およびサポート部材１２０等を収容している。ヒータケース８０は、ヒータ１０から放射される熱を反射することにより加熱効率を向上させる機能や、他の部材（後述する絶縁板２０等）を支持する機能を担う。ヒータケース８０は、例えば、金属により構成されている。
【００２１】
底板部８１の中心の開口、及び、内周壁部８３の内側の領域は、回転軸挿通穴８３ａを構成しており、該回転軸挿通穴８３ａに回転軸部６０が挿通されている。
【００２２】
ヒータ１０は、サセプタ３０の下方に配置され、サセプタ３０の下面と対向（例えばサセプタ３０に対して平行に対向）している。ヒータ１０は、図３に示す上段部分と、図４に示す下段部分と、の２段構成となっている。ヒータ１０の上段部分、および下段部分は、それぞれ、サセプタ３０の下面に対して平行に対向する平面に沿って配置されている。
【００２３】
図３に示すように、ヒータ１０の上段部分は、例えば、抵抗発熱体１１ａ、１１ｂおよび１１ｃの３つの抵抗発熱体１１により構成されている。
【００２４】
抵抗発熱体１１ａは、最外周に配置され、その長手軸が平面視において円環状に延在している。
【００２５】
抵抗発熱体１１ｂは、抵抗発熱体１１ａよりも内側に配置され、その長手軸が平面視において渦巻き状に延在している。具体的には、例えば、抵抗発熱体１１ｂは、渦巻き状におよそ１周半巻回された形状をなしている。
【００２６】
抵抗発熱体１１ｃも、その長手軸が平面視において渦巻き状に延在している。抵抗発熱体１１ｃは、抵抗発熱体１１ｂに連なるように巻回されている。具体的には、例えば、抵抗発熱体１１ｃは、渦巻き状におよそ２周半巻回された形状をなしている。
【００２７】
図４に示すように、ヒータ１０の下段部分は、例えば、１つの抵抗発熱体１１（以下、抵抗発熱体１１ｄ）により構成されている。抵抗発熱体１１ｄは、抵抗発熱体１１ａと同様に、その長手軸が平面視において円環状に延在しており、抵抗発熱体１１ａと上下に重なるように配置されている。
すなわち、抵抗発熱体（第１抵抗発熱体）１１ａと抵抗発熱体（第２抵抗発熱体）１１ｄとは、サセプタ３０の面直方向に抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄを見たときに互いに重なり（図３、図４参照）、且つ、サセプタ３０の面方向と平行に抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄを見たときに互いに異なる位置に配置されている（図１参照）。
【００２８】
各抵抗発熱体１１（１１ａ〜１１ｄ）は、当該抵抗発熱体１１に対する電力の供給（例えば電流の印加）によって発熱し、サセプタ３０及びサセプタ３０上の基板５０を加熱する。
【００２９】
図５には抵抗発熱体１１の長手方向における一部分の断面構造を示している。本実施形態の場合、各抵抗発熱体１１は、それぞれコイル形状（螺旋状）に巻回された電熱線１２からなる。図５にはコイル形状の抵抗発熱体１１の長手軸１５を示している。各抵抗発熱体１１（１１ａ〜１１ｄ）の長手軸１５は、それぞれ平面視において、図３及び図４に示す円環状又は渦巻き状の経路に沿って延在している。
【００３０】
図３及び図４に示すように、各抵抗発熱体１１に電流を印加することができるように、各抵抗発熱体１１の両端部には、それぞれ電極４０（電極４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、４０ｆの何れか）が接続されている。
【００３１】
図６（ａ）および（ｂ）に示すように、電極４０は、例えば、棒状に形成され、その長手方向が上下方向に延在するように配置される。電極４０の上部には、該電極４０に固定部材４７を固定するための固定用穴４１が、該電極４０を水平方向に貫通するように形成されている。電極４０には、上下一対の固定用穴４１が形成されている。上側の固定用穴４１と中心と下側の固定用穴４１の中心とは、抵抗発熱体１１の外径よりも広い間隔で、上下方向において互いに離間している。
【００３２】
固定部材４７は、例えば、抵抗発熱体１１の一端部が固定される第１部分４７ａと、電極４０に固定される第２部分４７ｂと、を有する。第１部分４７ａと第２部分４７ｂとは、それぞれ棒状に形成され、互いに同軸に配置されている。第１部分４７ａは、固定用穴４１の内径よりも大径に形成されている。第２部分４７ｂは、固定用穴４１に挿通可能な外径に形成されている。第２部分４７ｂの外面には雄ネジが形成されている。第１部分４７ａの外面には、コイル形状の抵抗発熱体１１の端部と螺合する溝が形成されている。
【００３３】
抵抗発熱体１１は、以下に説明するようにして電極４０に対して固定されている。
先ず、固定部材４７を軸周りに回転させて、その第１部分４７ａを抵抗発熱体１１の一端部に対して螺合させる。
次に、固定部材４７の第２部分４７ｂを固定穴４１に差し込む。
次に、第２部分４７ｂにおける先端部の部分にナット４５を螺合させることにより、該ナット４５によって、固定部材４７を電極４０に対して固定する。これにより、抵抗発熱体１１も電極４０に対して固定される。
【００３４】
ここで、固定部材４７およびナット４５は金属等の導電性の材料により構成されている。このため、各抵抗発熱体１１の端部がそれぞれ固定部材４７およびナット４５を用いて電極４０に固定されることにより、各抵抗発熱体１１は固定部材４７およびナット４５を介して電極４０に対して電気的に接続されている。
【００３５】
電極４０の下部４２は棒状に形成され、上下方向に延在している。
【００３６】
ここで、抵抗発熱体１１ａの一端部および抵抗発熱体１１ｄの一端部には、共通の電極４０ａが接続されているとともに、抵抗発熱体１１ａの他端部および抵抗発熱体１１ｄの他端部には、共通の電極４０ｂが接続されている（図３、図４、図１参照）。つまり、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、互いに電気的に並列に接続されている。
【００３７】
電極４０ａと電極４０ｂとの間には、電力供給部７１（図１、図１１）から電力が印加される。つまり、図１１に等価回路が示されるように、電力供給部７１は、抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄに対して共通の電圧を印加することにより、一括して電流を印加する。
【００３８】
ここで、抵抗発熱体１１ａを構成する電熱線１２と、抵抗発熱体１１ｄを構成する電熱線１２とは、互いに線径が等しく、巻径および巻回ピッチも互いに等しく、互いの長手軸１５の長さも等しく、且つ、材料も互いに等しい。つまり、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、同一の材料からなり、互いに同一の形状及び寸法のコイル形状をなしている。したがって、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、それらの両端間の抵抗値が互いに等しい。
【００３９】
なお、抵抗発熱体１１ａの一端部と抵抗発熱体１１ｄの一端部とは、互いに上下方向において重なるように配置されているとともに、抵抗発熱体１１ａの他端部と抵抗発熱体１１ｄの他端部とは、互いに上下方向において重なるように配置されている。このため、抵抗発熱体１１ａ、１１ｄの一端部および他端部を、それぞれ共通の電極４０ａ、４０ｂに対して容易に接続することができる。
【００４０】
ここで、図６（ａ）および（ｂ）には、電極４０ａに抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄの一端部を接続した状態を示しているが、電極４０ｂに対しても同様に抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄの他端部が接続されている。
【００４１】
ただし、他の電極４０ｃ〜４０ｆについては、上下２段の固定用穴４１のうち、上側の固定用穴４１にのみ固定部材４７が固定され、該固定部材４７に対して、抵抗発熱体１１ｂ又は１１ｃの一端部又は他端部が接続されている。
【００４２】
電極４０ｅと電極４０ｆとの間には、電力供給部７２（図１）から電力が印加される。つまり、抵抗発熱体１１ｃには、電力供給部７２から電圧が印加されることにより、電流が流れる。
【００４３】
電極４０ｃと電極４０ｄとの間には、例えば、電力供給部７１および電力供給部７２以外の電力供給部（図示略）から電力が印加される。つまり、抵抗発熱体１１ｂには、この図示しない電力供給部から電圧が印加されることにより、電流が流れる。ただし、電力供給部７２から抵抗発熱体１１ｂおよび１１ｃに対して一括して電流を印加しても良い。
【００４４】
次に、図７を参照して、各電力供給部（電力供給部７１、７２、および図示しない他の電力供給部）と各電極４０とを電気的に接続する電力導入部１３０の構成について説明する。気相成長装置１００は、各電極４０と１対１で対応する電力導入部１３０を備えており、各電力導入部１３０は、それぞれ対応する電極４０に対して電気的に接続されている。
【００４５】
電力導入部１３０は、内管１３１、内管１３１の周囲に配置された外管１３２、チャンバ１１０の外部（例えば底板部１１５の下方）に配置される外側端子部１３６、絶縁管１３５、排出配管１３３、フランジ部材１３７等を備えて構成されている。外管１３２の上端部には、チャンバ１１０内に配置される内側端子部１３４が形成されている。
このうち、内側端子部１３４、外側端子部１３６（内側端子部１３４を含む）、内管１３１および外管１３２は、それぞれ金属等の導電性の材料により構成されている。また、フランジ部材１３７も例えば金属等により構成されている。また、絶縁管１３５は、絶縁性の材料により構成されている。
【００４６】
内管１３１および外管１３２は、チャンバ１１０の底板部１１５に形成された挿通穴１１５ａに挿通され、底板部１１５よりも下方から、底板部１１５よりも上方に亘って配置されている。
【００４７】
内管１３１の内部は、冷却水が内側端子部１３４側へ供給される供給路１３１ａを構成している。内管１３１の外周面と外管１３２の内周面との隙間は排出路１３２ａを構成している。供給路１３１ａと排出路１３２ａとは、電力導入部１３０の上端部において相互に連通している。
【００４８】
外管１３２の下部には、排出配管１３３が接続されている。排出配管１３３は、外管１３２の管壁を介して、排出路１３２ａと相互に連通している。
【００４９】
図示しないポンプにより供給路１３１ａへ圧送された冷却水は、供給路１３１ａの上端部において内側端子部１３４等を冷却した後、連絡路１３１ｂを介して排出路１３２ａに流れ込み、排出路１３２ａ内を流下する。その後、冷却水は、排出配管１３３を通して排出される。供給路１３１ａ、排出路１３２ａおよび排出配管１３３は、冷却水の循環経路の一部分を構成しており、排出配管１３３を通して排出された冷却水は、再度、図示しない冷却機構により冷却された後、供給路１３１ａへ圧送される。
【００５０】
外管１３２におけるチャンバ１１０の外部の部分には、外側端子部１３６が固定されている。
【００５１】
外管１３２において、外側端子部１３６が固定されている部分よりも上方の部分は、絶縁管１３５により覆われている。絶縁管１３５は、外管１３２の外周面に固定されている。なお、内側端子部１３４は絶縁管１３５により覆われてはいない。
【００５２】
更に、絶縁管１３５の外周面には、板状のフランジ部材１３７が固定されている。ここで、内管１３１、外管１３２および絶縁管１３５は、互いに同軸に配置されており、フランジ部材１３７は、その板面が内管１３１、外管１３２および絶縁管１３５の軸心方向に対して直交するように配置されている。
【００５３】
フランジ部材１３７は、ボルト等の止着部材１３８によって、底板部１１５の下面に対して固定されている。ここで、フランジ部材１３７と底板部１１５との間を真空気密状態に維持できるように、フランジ部材１３７と底板部１１５との間には、Ｏリング１３９が介装されている。
【００５４】
絶縁管１３５の上端部は、底板部１１５の上面よりも上方に達しており、絶縁管１３５によって、外管１３２と底板部１１５とが相互に絶縁されている。
【００５５】
ここで、外側端子部１３６には、電力供給部（電力供給部７１、７２、又は、図示しない他の電力供給部）から電力が印加されるようになっている。外側端子部１３６は、外管１３２を介して内側端子部１３４と相互に導通している。
【００５６】
図１に示すように、電力導入部１３０の内側端子部１３４には、金属等の導電性の材料により構成された連結部材８９が固定され、内側端子部１３４と連結部材８９とは相互に導通している。
【００５７】
ここで、ヒータケース８０の底板部８１において、各電極４０と対応する位置には、それぞれ図示しない貫通穴が形成されている。そして、各貫通穴を通して、各電極４０の下部４２は、底板部８１よりも下方に突出している。
【００５８】
電極４０の下部４２の外面には雄ネジが形成されており、連結部材８９の下側及び上側の各々において、下部４２に対してナット８８が螺合している。これらナット８８を互いに近づく方向に締結することにより、下部４２が連結部材８９に対して固定されている。
【００５９】
これにより、各電極４０は、それぞれ対応する電力導入部１３０の内側端子部１３４に対して、連結部材８９を介して導通している。
【００６０】
また、電極４０の下部４２において上側のナット８８が設けられている部分よりも上方の部分には、ナット８７が螺合している。このナット８７は、絶縁部材８６を介して、ヒータケース８０の底板部８１を下面側から支持している。すなわち、電力導入部１３０は、連結部材８９、ナット８７および絶縁部材８６を介して、ヒータケース８０を支持している。絶縁部材８６は、底板部８１の上面側にも配置され、電極４０と底板部８１の上面とを相互に絶縁している。例えば、上側の絶縁部材８６と下側の絶縁部材８６とは、底板部８１の貫通穴を介して相互に突き合わされており、電極４０を底板部８１から絶縁している。
【００６１】
気相成長装置１００は、更に、図８（ａ）および（ｂ）に示すサポート部材１２０を複数有している。サポート部材１２０は、抵抗発熱体１１の両端間における中間部を支持するためのものである。各抵抗発熱体１１の長手方向において、複数のサポート部材１２０が所定間隔で配置され、これらサポート部材１２０によって抵抗発熱体１１が支持されている。サポート部材１２０によって抵抗発熱体１１を支持することにより、抵抗発熱体１１の加熱時に抵抗発熱体１１が熱応力により暴れてしまうことが抑制される。
【００６２】
サポート部材１２０は、例えば、板状の本体部１２１と、挿通軸部１２４と、係止部１２５と、を有している。
【００６３】
本体部１２１には、第１保持部１２２と、第１保持部１２２の下側に該第１保持部１２２と離間して配置された第２保持部１２３と、が形成されている。第１保持部１２２および第２保持部１２３は、それぞれ抵抗発熱体１１の両端間の中間部分を支持する。第１保持部１２２は、例えば、上向きに開放するＵ字型の切欠形状部であり、第２保持部１２３は、例えば、円形の開口部である。
挿通軸部１２４は本体部１２１よりも幅狭に形成された棒状の部分である。挿通軸部１２４は、本体部１２１の下端部に連接され、該本体部１２１から下方に延びている。
係止部１２５は、挿通軸部１２４に対して直交する方向に延びる棒状の部分である。
【００６４】
ここで、各サポート部材１２０は金属等の導電性の材料により構成されている。
【００６５】
このため、図１１に等価回路が示されるように、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、それらの中間部の結節点２４１、２４２どうしが、サポート部材１２０を介して相互に導通した状態となっている。すなわち、抵抗発熱体１１ａの両端間の中間に位置する結節点２４１と、抵抗発熱体１１ｄの両端間の中間に位置する結節点２４２とが、接続導体としてのサポート部材１２０を介して相互に電気的に接続されている。
【００６６】
ここで、サポート部材１２０は、抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄの長手軸１５方向における複数箇所の各々において、抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄを支持している。このため、気相成長装置１００は、複数の結節点２４１と、結節点２４１の各々と１対１で対応する複数の結節点２４２と、互いに対応する結節点２４１と第２結節点２４２とをそれぞれ相互に電気的に接続する複数のサポート部材１２０と、を有する。
【００６７】
ここで、サポート部材１２０により抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとを支持する位置は、上下方向において互いに重なっている。このため、サポート部材１２０を介して相互に電気的に接続されている結節点２４１と結節点２４２とは、電位が互いに等しい。
換言すれば、抵抗発熱体１１ａにおいて、隣り合う２つの結節点２４１の間の抵抗値（図１１に示す抵抗値Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５等）は、抵抗発熱体１１ｄにおいて、この２つの結節点２４１とそれぞれサポート部材１２０を介して接続された２つの結節点２４２の間の抵抗値（図１１に示す抵抗値Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５等）と等しい。
なお、抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄの制作誤差（寸法誤差）によって、相互に接続される結節点２４１と結節点２４２との間に多少の電位差が生じていたとしても、結節点２４１と結節点２４２との間には微量の電流しか流れないため、実質的な問題は生じない。
【００６８】
気相成長装置１００は、更に、絶縁板２０（図１、図９）を有している。絶縁板２０は、絶縁性の材料からなり、例えば円板状に形成されている。絶縁板２０は、サセプタ３０に対して平行な（つまり例えば水平な）姿勢で、ヒータケース８０内に配置されている（図１参照）。
【００６９】
絶縁板２０の中央部には、ヒータケース８０の内周壁部８３を挿通させる挿通穴２２が形成されている（図１参照）。
【００７０】
更に、絶縁板２０には、該絶縁板２０にサポート部材１２０を固定するための複数のサポート部材固定穴２３と、複数の電極挿通穴２４と、が形成されている。
【００７１】
サポート部材１２０を絶縁板２０に固定するには、先ず、絶縁板２０の上側から係止部１２５及び挿通軸部１２４をサポート部材固定穴２３に差し込んで、係止部１２５を絶縁板２０の下側に突出させる。次に、サポート部材１２０をその挿通軸部１２４の軸周りに９０度回転させることによって、係止部１２５を絶縁板２０の下面に係止させることにより、サポート部材１２０を絶縁板２０に固定することができる（図１０（ａ）、（ｂ）参照）。なお、挿通軸部１２４の長さは、絶縁板２０の厚みと同等に設定されており、本体部１２１の下端部は絶縁板２０の上面に対して接するとともに、係止部１２５の上面は絶縁板２０の下面に対して接するか又は近接するようになっている。
【００７２】
ここで、サポート部材１２０の第２保持部１２３は、図１０（ｂ）に示すように、水平方向に開放するＵ字型の切欠形状部であっても良い。この場合、サポート部材１２０は、例えば、第２保持部１２３の開放側が回転軸部６０側、すなわちチャンバ１１０の中心側を向くように配置される。なぜなら、抵抗発熱体１１の加熱時に、抵抗発熱体１１は、チャンバ１１０の周縁側へ向けて暴れようとすることが多く、チャンバ１１０の中心側へ向けて暴れようとすることは少ないためである。
【００７３】
なお、抵抗発熱体１１は、加熱時に上側へ向けて暴れようとする場合もあるため、本体部１２１の上端部には、第１保持部１２２に保持されている抵抗発熱体１１を本体部１２１に対して図示しない線材を用いてくくり付けるための凹状の係止部１２６が形成されている。線材を係止部１２６に絡げるようにして、線材により抵抗発熱体１１を本体部１２１に対してくくり付けることにより、抵抗発熱体１１が加熱時に上側へ向けて暴れてしまうことが抑制される。
【００７４】
各電極挿通穴２４には、それぞれ対応する電極４０が挿通されている（図１参照）。
【００７５】
図１に示すように、絶縁板２０は、底板部８１上に配置された複数の支持台２２０によって支持されている。すなわち、絶縁板２０は、支持台２２０を介して底板部８１によって支持されている。支持台２２０は、金属等の導電性の材料により構成されていても良いし、絶縁性の材料により構成されていても良い。
【００７６】
こうして、各抵抗発熱体１１の端部は、電力導入部１３０、連結部材８９および電極４０等により支持され、各抵抗発熱体１１の中間部は、（電力導入部１３０等により支持された）ヒータケース８０、支持台２２０、絶縁板２０及び複数のサポート部材１２０によって支持されている。
【００７７】
次に、気相成長装置１００の各構成要素の材料の例を説明する。抵抗発熱体１１は、電力の供給（例えば電流の印加）によってジュール熱を発生するものであれば、材質は問わない。ただし、より高温での気相成長を実現する上で、抵抗発熱体１１は、タングステン（Ｗ）などの高融点金属により構成することが好ましい。また、抵抗発熱体１１に接する電極４０及びサポート部材１２０も、耐熱性の観点から、タングステンなどの高融点金属などにより構成することが好ましい。ヒータケース８０は、例えば、モリブデン（Ｍｏ）により構成されている。絶縁部材８６及び絶縁板２０は、例えば、窒化ホウ素（ＢＮ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）またはアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）などにより構成されている。
【００７８】
以上において、ヒータ１０（抵抗発熱体１１ａ〜１１ｄ）、電極４０（電極４０ａ〜４０ｆ）、連結部材８９、電力導入部１３０、電力供給部（電力供給部７１、電力供給部７２および図示しない他の電力供給部）、サポート部材１２０、絶縁板２０、ヒータケース８０等により、本実施形態に係る気相成長用加熱装置１５０が構成されている。
すなわち、気相成長用加熱装置１５０は、第１抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ａ）と、第１抵抗発熱体に対して電気的に並列に接続された第２抵抗発熱体（例えば抵抗発熱体１１ｄ）と、第１抵抗発熱体および第２抵抗発熱体に対して一括して電流を印加する電力供給部７１と、を有する。
【００７９】
次に、動作を説明する。
【００８０】
気相成長装置１００を用いて気相成長を行うには、サセプタ３０の基板載置用ポケット３１に基板５０をセットし、サセプタ３０を水平面内で回転させるとともに、ヒータ１０によりサセプタ３０及び基板５０を加熱しながら、原料ガス供給配管１１１、１１２からそれぞれ原料ガスをチャンバ１１０内に導入する。チャンバ１１０内に導入された原料ガスは、ガス分散部材１１３により均一に分散されて、サセプタ３０上の基板５０の上面に供給される。その結果、基板５０上にエピタキシャル層等の堆積物が成長する（成膜される）。具体的には、例えば、窒化ガリウム（ＧａＮ）等のIIIＶ族化合物薄膜を基板５０上に形成することができる。
【００８１】
なお、電力供給部７１、電力供給部７２および図示しない他の電力供給部から各抵抗発熱体１１（抵抗発熱体１１ａ〜１１ｄ）へ電流を供給することによって、各抵抗発熱体１１が発熱し、これら抵抗発熱体１１により（つまりヒータ１０により）サセプタ３０及び基板５０を加熱することができる。
【００８２】
ここで、仮に、ヒータ１０の加熱能力が、ヒータ１０が配置されている領域において均一であれば、チャンバ１１０内の領域は、平面視におけるチャンバ１１０の周縁部ほど低温になりやすく、サセプタ３０上の基板５０を均一に加熱することが困難となる。
このような事情に対し、本実施形態では、ヒータ１０の最外周においては、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとを上下に重ねて配置していることにより、ヒータ１０の周縁部における加熱能力が、ヒータ１０の中央部と比べて向上している。よって、サセプタ３０上の基板５０を均一に加熱することが可能である。
【００８３】
また、電力供給部７１や、電力導入部１３０、連結部材８９等は、嵩張る部分である。
これに対し、本実施形態では、抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄの各々について電力供給部、電力導入部１３０、連結部材８９等を個別に設けるのではなく、共通の電力供給部７１、電力導入部１３０、連結部材８９等から、２つの抵抗発熱体１１ａ、１１ｄに対し、一括して電流を供給する。これにより、気相成長装置１００の電力供給部７１等の省スペース化を実現することができている。
【００８４】
また、抵抗発熱体１１ａの結節点２４１と抵抗発熱体１１ｄの結節点２４２とがサポート部材１２０を介して相互に電気的に接続されているため、仮に、気相成長の途中で抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうちの何れか一方に断線が生じたとしても、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうちの少なくとも何れか一方を通して、電極４０ａと電極４０ｂとの間での電流の流れが維持される。断線が生じた部位では、他の部位と比べて温度が変化してしまうが、気相成長中、サセプタ３０は回転しているため、成長条件に大きな影響を与えることなく、当該気相成長を最後まで遂行することを期待できる。
【００８５】
以上のような第１の実施形態によれば、互いに電気的に並列に接続された抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうち、抵抗発熱体１１ａの両端間の中間に位置する結節点２４１と、抵抗発熱体１１ｄの両端間の中間に位置する結節点２４２と、が接続導体としてのサポート部材１２０を介して相互に電気的に接続されている。よって、気相成長の途中で抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうちの何れか一方に断線が生じたとしても、成長条件に大きな影響を与えることなく、当該気相成長を最後まで遂行することを期待できる。
【００８６】
また、抵抗発熱体１１ａの結節点２４１と抵抗発熱体１１ｄの結節点２４２とを相互に電気的に接続する接続導体は、結節点２４１において抵抗発熱体１１ａを支持するとともに、結節点２４２において抵抗発熱体１１ｄを支持する支持構造体であるため、接続導体が支持構造体としての機能を兼ねることができる。
【００８７】
また、第１抵抗発熱体としての抵抗発熱体１１ａと、第２抵抗発熱体としての抵抗発熱体１１ｄとが互いに電気的に並列に接続され、これら抵抗発熱体１１ａおよび抵抗発熱体１１ｄに対して、共通の電力供給部７１から、一括して電流を印加するので、ヒータ１０が複数の抵抗発熱体１１を有する場合に、電力供給部の数を低減することができる。よって、気相成長装置１００が備える電力供給部等が占めるスペースの総量を低減することができる。すなわち、気相成長装置１００の電力供給部等の省スペース化を実現することができる。
【００８８】
また、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、サセプタ３０の面直方向に抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄを見たときに互いに重なり、且つ、サセプタ３０の面方向と平行に抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄを見たときに互いに異なる位置に配置されている。これにより、サセプタ３０の面内において抵抗発熱体１１ａ及び抵抗発熱体１１ｄが配置されている領域と対応する部分（例えば周縁部）を重点的に加熱することによって、サセプタ３０を最適な温度分布で加熱することが可能となる。
【００８９】
また、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、それらの両端間の抵抗値が互いに等しいので、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとを均等に加熱することができる。
【００９０】
〔第２の実施形態〕
図１２は第２の実施形態に係る気相成長装置１００の抵抗発熱体１１ａの構造を示す図であり、抵抗発熱体１１ａの長手軸１５に沿って切断した断面を示す。図１３は第２の実施形態に係る気相成長装置１００のヒータ１０の一部分の等価回路を示す図である。本実施形態に係る気相成長装置１００は、以下に説明する点で、上記の第１の実施形態に係る気相成長装置１００と相違し、その他の点では、上記の第１の実施形態に係る気相成長装置１００と同様に構成されている。
【００９１】
本実施形態の場合、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうち、例えば、抵抗発熱体１１ａは、図１２に示すように、複数本の電熱線（例えば２本の電熱線１２、１３）を多条巻きすることにより構成された多条コイル形状をなしている。
【００９２】
ここで、多条コイルとは、複数本の線材（電熱線１２および電熱線１３）が、巻回軸方向において並ぶ並列状態となるように、螺旋状に巻回されることにより構成されたコイルである。
【００９３】
多条コイルは、複数本の線材を一括して巻回することにより構成しても良いし、各線材を別個に巻回した後、それらを互いに螺合させるようにして組み付けることによって構成しても良い。
【００９４】
多条コイルは、隣り合う線材どうしが密着した状態（密着巻き状態）となっていても良いし、隣り合う線材どうしが離間した状態（ピッチ巻き状態）となっていても良い。
【００９５】
抵抗発熱体１１ａの電熱線１２および電熱線１３の一端部は、電極４０ａに設けられた固定部材４７の第１部分４７ａに対して螺合することにより、該電極４０ａと導通している。同様に、抵抗発熱体１１ａの電熱線１２および電熱線１３の他端部は、電極４０ｂに設けられた固定部材４７の第１部分４７ａに対して螺合することにより、該電極４０ｂと導通している。
【００９６】
なお、電熱線１２と電熱線１３とは、互いに線径が等しく、巻径および巻回ピッチも互いに等しく、互いの長手軸１５の長さも等しく、且つ、材料も互いに等しい。つまり、電熱線１２と電熱線１３とは、同一の材料からなり、互いに同一の形状及び寸法のコイル形状をなしている。したがって、電熱線１２と電熱線１３とは、それらの両端間の抵抗値が互いに等しい。
また、各電熱線１２、１３の両端間の抵抗値は、抵抗発熱体１１ｄの両端間の抵抗値とも等しい。
【００９７】
このため、本実施形態の場合、図１３に等価回路が示されるように、抵抗発熱体１１ａを構成する電熱線１２および電熱線１３と、抵抗発熱体１１ｄは、互いに電気的に並列になるとともに、複数の結節点２４１ａ、２４１ｂ、２４２にてサポート部材１２０を介して相互に電気的に接続されている。結節点２４１ａは、抵抗発熱体１１ａの電熱線１２の両端間の中間における複数箇所に位置している。結節点２４１ｂは、抵抗発熱体１１ａの電熱線１３の両端間の中間における複数箇所に位置している。結節点２４２は、第４の実施形態と同様に、抵抗発熱体１１ｄの両端間の中間における複数箇所に位置している。
【００９８】
なお、電熱線１２と電熱線１３とは、互いに接していたとしても、電流は、主として電熱線１２と電熱線１３のそれぞれの断面内を通過し、電熱線１２と電熱線１３との相互間での電流の行き来は抑制される。このため、電熱線１２と電熱線１３とは、互いに接して導通していたとしても、実質的に図１３に示す等価回路となる。
【００９９】
ただし、上段の抵抗発熱体１１ａが２つの電熱線１２、１３を有し、下段の抵抗発熱体１１ｄは１つの電熱線１２からなる（抵抗発熱体１１ａを構成する電熱線の条数が２であり、抵抗発熱体１１ｄを構成する電熱線の条数が１である）。このため、上段の抵抗発熱体１１ａの発熱量の方が、下段の抵抗発熱体１１ｄの発熱量よりも多くなる。これにより、例えばサセプタ３０からの放熱量がヒータケース８０からの放熱量よりも大きい場合には、有効な加熱構造となる。
【０１００】
なお、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとの双方が多条コイルとなっており、抵抗発熱体１１ａを構成する電熱線の条数と、抵抗発熱体１１ｄを構成する電熱線の条数とが、互いに異なっていても良い。具体的には、例えば、よりサセプタ３０に近い抵抗発熱体１１ａの条数を、抵抗発熱体１１ｄの条数よりも多くすることができる。
【０１０１】
ここで、図１２には、電熱線１２と１３とが、長手軸１５方向における一方においては、他方の電熱線に接しており、長手軸１５方向における他方においては、他の電熱線から離間している多条コイルを図示している。長手軸１５方向におけるブランク部１４の幅は、例えば、電熱線１２および１３の線径と同等とすることができる。抵抗発熱体１１ａを図１２に示すようなブランク部１４を有する多条コイルとすることにより、抵抗発熱体１１ａの屈曲性を十分に確保することができるので、容易に、例えば図３に示すような屈曲形状（例えば円環状）に抵抗発熱体１１ａを配置することができる。
【０１０２】
以上のような第２の実施形態によれば、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。
【０１０３】
また、第１抵抗発熱体としての抵抗発熱体１１ａと第２抵抗発熱体としての抵抗発熱体１１ｄとのうちの少なくとも一方は、複数本の電熱線を多条巻きすることにより構成された多条コイル形状をなし、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとは、電熱線の条数が互いに異なる。よって、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうち、より発熱量を多くしたい方の電熱線の条数をより多くすることにより、より発熱量を多くしたい方の発熱量を増大させることができる。
また、並列となる電熱線の数が第１の実施形態よりも多いため、断線が生じた場合の温度変化を第１の実施形態よりも抑制することができる。
【０１０４】
また、電熱線１２、１３の各々は、それらの両端間の抵抗値が互いに等しいので、抵抗発熱体１１ａの発熱量を容易に所望の値に設定することができる。
【０１０５】
なお、第２の実施形態では、抵抗発熱体１１ａ（または抵抗発熱体１１ａおよび１１ｄ）を多条コイルとする例を説明したが、抵抗発熱体１１ａ〜１１ｄのうちの少なくとも何れか１つ以上を多条コイルとしても良い。
【０１０６】
〔第３の実施形態〕
図１４は第３の実施形態に係る気相成長装置１００の抵抗発熱体１１ａの構造を示す図であり、抵抗発熱体１１ａの長手軸に沿って切断した断面を示す。本実施形態に係る気相成長装置１００は、以下に説明する点で、上記の第２の実施形態に係る気相成長装置１００と相違し、その他の点では、上記の第２の実施形態に係る気相成長装置１００と同様に構成されている。
【０１０７】
本実施形態の場合、抵抗発熱体１１ａと抵抗発熱体１１ｄとのうちの少なくとも何れか一方は、撚り線をコイル形状とすることにより構成された電熱線からなる。例えば、各電熱線１２、１３は、それぞれ複数の細線１７を撚り合わせることによって構成された撚り線を、コイル形状に巻回することにより、構成されている。細線１７は、例えば、タングステンにより構成することができる。
本実施例の場合、電熱線１２、１３は撚り線により構成されているので、電熱線１２、１３を構成する細線１７のうちの何れかが断線した場合も、他の細線１７を通して電流を流すことができる。このため、気相成長の途中で何れかの細線１７に断線が生じたとしても、成長条件に大きな影響を与えることなく、当該気相成長を最後まで遂行することを期待できる。
また、各電熱線１２、１３を撚り線により構成することによって、各電熱線１２、１３の表面積を増大させることができる。その結果、各電熱線１２、１３からの放射熱量の総量が増大するため、上記の第３の実施形態と比べて、抵抗発熱体１１ａの加熱温度を低温に設定したとしても、十分な加熱能力が得られる。
【０１０８】
なお、本実施形態では、第２の実施形態に係る気相成長装置１００の抵抗発熱体１１ａの電熱線１２、１３を撚り線とする例を説明したが、上記の第１の実施形態に係る抵抗発熱体１１ａ〜１１ｄの少なくとも何れか１つの電熱線１２又は１３を撚り線としても良い。
【０１０９】
上記の各実施形態において、抵抗発熱体１１ａの結節点２４１と抵抗発熱体１１ｄの結節点２４２とを相互に電気的に接続する接続導体は、サポート部材１２０ではなく、結節点２４１と結節点２４２とを繋ぐ配線であっても良い。
【０１１０】
また、上記の各実施形態では、各抵抗発熱体１１がコイル形状に巻回された電熱線１２からなる例を説明したが、抵抗発熱体１１は、電流が印加されることによりジュール熱を発生するものであれば、他の形態のものであっても良い。例えば、抵抗発熱体１１は、平板ヒータであっても良い。平板ヒータは、二次元的に屈曲する線状のパターンからなるプレート形状に形成されている。
【０１１１】
また、上記においては、ヒータケース８０が底板部８１の他に、外周壁部８２および内周壁部８３を有しており、ヒータ１０がヒータケース８０に収容されている例を説明したが、ヒータケース８０の形状はこの例に限らない。例えば、ヒータケース８０は、底板部８１のみからなり、ヒータ１０をサセプタ３０とは反対側において覆っているだけの構造であっても良い。
【０１１２】
また、上記においては、底板部８１の面直方向に見たときのヒータ１０の形状が円形である例を説明したが、ヒータ１０は他の形状であっても良い。同様に、上記においては、底板部８１の面直方向に見たときのヒータケース８０の形状が円形である例を説明したが、ヒータケース８０は他の形状であっても良い。
【０１１３】
また、上記においては、サセプタ３０により保持された状態の基板５０の上面に対して原料ガスをダウンフローで供給する場合に、ヒータ１０がサセプタ３０の下方に配置されている例を説明したが、ヒータ１０とサセプタ３０との位置関係は、この例に限らない。例えば、ヒータ１０をサセプタの上方に配置し、且つ、サセプタにより保持された状態の基板の下面に対して原料ガスをアップフローで供給するようにしても良い。
【符号の説明】
【０１１４】
１０ ヒータ
１１（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ） 抵抗発熱体
１２ 電熱線
１３ 電熱線
１４ ブランク部
１５ 長手軸
１７ 細線
２０ 絶縁板
２２ 挿通穴
２３ サポート部材固定穴
２４ 電極挿通穴
３０ サセプタ
３１ 基板載置用ポケット
４０（４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、４０ｅ、４０ｆ） 電極
４１ 固定用穴
４２ 下部
４５ ナット
４７ 固定部材
４７ａ 第１部分
４７ｂ 第２部分
５０ 基板
６０ 回転軸部
７１ 電力供給部
７２ 電力供給部
８０ ヒータケース
８１ 底板部
８２ 外周壁部
８３ 内周壁部
８３ａ 回転軸挿通穴
８６ 絶縁部材
８７ ナット
８８ ナット
８９ 連結部材
１００ 気相成長装置
１１０ チャンバ
１１１、１１２ 原料ガス供給配管
１１３ ガス分散部材
１１３ａ ガス導出口
１１４ 排気管
１１５ 底板部
１１５ａ 挿通穴
１２０  サポート部材
１２１ 本体部
１２２ 第１保持部
１２３ 第２保持部
１２４ 挿通軸部
１２５ 係止部
１３０ 電力導入部
１３１ 内管
１３１ａ 供給路
１３２ 外管
１３２ａ 排出路
１３３ 排出配管
１３４ 内側端子部
１３５ 絶縁管
１３６ 外側端子部
１３７ フランジ部材
１３８ 止着部材
１３９ Ｏリング
１５０ 気相成長用加熱装置
２２０ 支持台
２４１ 結節点
２４２ 結節点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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