(57)【要約】      （修正有）【課題】残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる容器バルブ、及び当該容器バルブを用いたパージユニット、パージシステム、パージ方法を提供する。【解決手段】二次側流路４３を、閉止弁室４１２に形成されるそれぞれの弁室内開口部が平面視方向において離間し、パージガスの供給を許容する導入側二次側流路４４と、パージガスの導出を許容する排出側二次側流路４５とで構成し、弁室内空間、導入側二次側流路４４、排出側二次側流路４５とで連通するパージ経路を構成するとともに、パージ経路における弁室内空間において、導入側二次側流路４４の弁室内開口部から排出側二次側流路４５の弁室内開口部に向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導する誘導溝４６ａ、４６ｂを設けた。【選択図】図１
2015124866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス容器に対して取り付けられる容器取付け部と、バルブ本体から突出するアウトレットと、前記容器取付け部から前記アウトレットまで連通するとともに、両端部が解放された流路と、該流路の中間部分において上下に移動して開閉を切り替える開閉弁と、該開閉弁を上下移動可能に配置する弁室とを備え、
前記流路を、容器取付け部端部から前記弁室までの一次側流路と、前記弁室からアウトレット端部までの二次側流路に設定するとともに、
前記二次側流路を、
前記弁室から前記アウトレット端部までの間においてそれぞれ独立するとともに、前記弁室に形成されるそれぞれの弁室内開口部が平面視方向において離間し、パージガスの供給を許容する供給用二次側流路と、前記パージガスの導出を許容する導出用二次側流路とで構成し、
前記弁室を、
該弁室の内面と、内部に配置された前記開閉弁との間に、平面視方向において連通する弁室内空間を有する平面視形状で形成し、
前記供給用二次側流路、前記弁室内空間及び前記導出用二次側流路とで連通するパージ経路を構成するとともに、
前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導するガス誘導部を設けた
容器バルブ。
【請求項２】
前記ガス誘導部を、
前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に形成したガス誘導溝で構成した
請求項１に記載の容器バルブ。
【請求項３】
前記ガス誘導部を、
前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって近接する方向への前記パージガスの流れを抑制する抑制部で構成した
請求項１または２に記載の容器バルブ。
【請求項４】
前記開閉弁を平面視円形で形成するとともに、前記弁室を前記開閉弁より径大な平面視円形の円柱状空間とし、
前記円柱状空間である前記弁室の底面中央に、前記一次側流路の弁室内開口部を配置するとともに、
平面視円形に形成した前記開閉弁を、底面が前記弁室の底面中央に配置した前記一次側流路の弁室内開口部を覆うように配置し、前記開閉弁の底面が前記弁室の底面と接離することで開閉する構成とし、
前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、
平面視円形の前記弁室の直径より狭い間隔で、前記流路方向に対して平行に配置した
請求項１乃至３のうちいずれかに記載の容器バルブ。
【請求項５】
前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の弁室内開口部が前記円柱状空間である前記弁室の側面に配置されるとともに、
前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、
前記円柱状空間の軸方向に対して直交する直交方向に形成した
請求項４に記載の容器バルブ。
【請求項６】
前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の弁室内開口部が前記円柱状空間である前記弁室の底面において、前記弁室の底面中央に配置した前記一次側流路の弁室内開口部の径外側に配置されるとともに、
前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、
前記円柱状空間の軸方向に沿った軸方向部分と、前記軸方向に対して斜交する斜交方向に形成した斜交方向部分とで構成した
請求項４に記載の容器バルブ。
【請求項７】
請求項１乃至６のうちいずれかに記載の容器バルブと、
前記アウトレットにパージ装置を接続する接続部材とで構成したパージユニットであって、
前記接続部材に、前記供給用流路、及び前記導出用流路とを備え、
前記アウトレットと、前記接続部材との間にパッキング部材を配置し、
前記パッキング部材に、
前記供給用二次側流路と前記供給用流路とを連通させるとともに、供給されたパージガスの導通を許容する供給接続口と、
前記導出用二次側流路と前記導出用流路とを連通させるとともに、導出されたパージガスの導通を許容する導出接続口とを備えた
パージユニット。
【請求項８】
前記アウトレット端部に、
パッキング部材の装着を許容する装着空間を備え、
該装着空間に前記パッキング部材を配置した
請求項７に記載のパージユニット。
【請求項９】
前記接続部材の端部に、
パッキング部材の装着を許容する装着空間を備え、
該装着空間に前記パッキング部材を配置した
請求項７に記載のパージユニット。
【請求項１０】
前記供給用二次側流路及び前記供給用流路と前記供給接続口が導通するとともに、
前記導出用二次側流路及び前記導出用流路と前記導出接続口が導通するように、
前記アウトレットと、前記接続部材とに対して、パッキング部材の回転方向の位置を規制する位置規制手段を設けた
請求項７乃至９のうちいずれかに記載のパージユニット。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のうちいずれかに記載のパージユニットにおける前記接続部材に、パージガスを供給するパージガス供給装置及びパージガスを回収するパージガス回収装置を接続した
パージシステム。
【請求項１２】
請求項７乃至１０のうちいずれかに記載のパージユニットにおける前記接続部材に、パージガスを供給するパージガス供給装置及びパージガスを回収するパージガス回収装置を接続し、
前記パージガス供給装置から前記パージガスを供給し、供給された前記パージガスが前記供給治具及び前記供給用二次側流路を通るとともに、供給用二次側流路の前記弁室内開口部に形成された前記ガス誘導部によって前記導出用二次側流路の弁室内開口部と離間する方向の前記弁室内空間に誘導され、
前記弁室内空間を通るとともに、前記導出用二次側流路の前記弁室内開口部に形成された前記ガス誘導部によって誘導された前記パージガスが前記導出用二次側流路及び前記導出治具を通って、前記パージガス回収装置で前記パージガスを回収する
パージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、ガスボンベのようなガス貯蔵容器等に取り付け、開閉弁を開閉し、ガスの出し入れを規制する容器バルブであって、特に、残留ガスを効率よくパージすることができる容器バルブ、パージユニット、パージシステム、及びパージ方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ガスボンベのようなガス貯蔵容器等に取り付け、開閉弁を開閉して気体や液体等の流動体の出し入れを規制する容器バルブが多用されており、容器内部に充填されたガスの使用やガスの充填等を行った後、開閉弁よりアウトレット側の二次側流路には、放出したガスが残留している（以下において残留ガスという）。
【０００３】
例えば、残留ガスとして腐食性ガスが前記二次側流路に残留した場合、二次側流路内に大気が浸入すると、大気中の酸素や水分と腐食性ガスとが反応し、腐食生成物が発生するおそれがあった。
【０００４】
そこで、二次側流路に残留する残留ガスを抜き出す、あるいは、窒素ガスなどの不活性ガス（パージガス）で置換するなどして残留ガスを除去する所定のパージ処理を行うが、二次側流路を、それぞれが独立する、パージガスを導入する導入側流路と、パージガスを導出する導出側流路とで構成するとともに、アウトレットに、外部ガス流路の接続を許容する連結金具を装着可能に構成した容器弁が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
この容器弁の場合、連結金具を介して、導入側流路と導出側流路とに、それぞれ外部ガス流路を接続し、パージガスを導通することで、導入側流路から導入されたパージガスは、閉鎖状態の弁室内及び導出側流路を導通して、より効果的に残留ガスをパージすることができるとされている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の容器弁の場合、導入側流路と導出側流路の開口部が、平面視円形状に形成された弁室の中心を挟んで対向する位置に開口しているため、弁室内でパージガスが滞留して、残留ガスが十分にパージできないおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−４６２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる容器バルブ、及び当該容器バルブを用いたパージユニット、パージシステム、パージ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、ガス容器に対して取り付けられる容器取付け部と、バルブ本体から突出するアウトレットと、前記容器取付け部から前記アウトレットまで連通するとともに、両端部が解放された流路と、該流路の中間部分において上下に移動して開閉を切り替える開閉弁と、該開閉弁を上下移動可能に配置する弁室とを備え、前記流路を、容器取付け部端部から前記弁室までの一次側流路と、前記弁室からアウトレット端部までの二次側流路に設定するとともに、前記二次側流路を、前記弁室から前記アウトレット端部までの間においてそれぞれ独立するとともに、前記弁室に形成されるそれぞれの弁室内開口部が平面視方向において離間し、パージガスの供給を許容する供給用二次側流路と、前記パージガスの導出を許容する導出用二次側流路とで構成し、前記弁室を、該弁室の内面と、内部に配置された前記開閉弁との間に、平面視方向において連通する弁室内空間を有する平面視形状で形成し、前記供給用二次側流路、前記弁室内空間及び前記導出用二次側流路とで連通するパージ経路を構成するとともに、前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導するガス誘導部を設けたことを特徴とする。
【００１０】
上記パージガスは、窒素ガスなどの不活性ガスなど、残留ガスと置換し、大気中の酸素や水分と反応しても腐食生成物が発生することのないガスとすることができる。なお、真空引きによるパージ処理の場合、パージ経路内に残留する残留ガスに真空圧を作用させて導出用二次側流路から抜き出すとともに、抜き出しによって生じた負圧によって供給用二次側流路にパージガスを供給することとなる。
【００１１】
上述の前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向は、該弁室の内面と、内部に配置された前記開閉弁との間に形成され、平面視方向において連通する弁室内空間において、開口する前記供給用二次側流路と前記導出用二次側流路の弁室内開口部同士の距離が近い方向と反対の遠い方向である。
【００１２】
上述のパージガスの流れを誘導するガス誘導部は、パージガスが所望の方向に流れるように弁室内開口部や、弁室内に配置した弁体、さらにはまたその両方に形成した凹部や凸部、あるいは弁室内開口部に対して交差する方向に配置した供給用二次側流路の端部などで構成することができる。
【００１３】
この発明により、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。  
詳しくは、前記弁室を、該弁室の内面と、内部に配置された前記開閉弁との間に、平面視方向において連通する弁室内空間を有する平面視形状で形成するとともに、前記弁室からアウトレット端部までの二次側流路を、前記弁室から前記アウトレット端部までの間においてそれぞれ独立する供給用二次側流路と導出用二次側流路とで構成し、前記供給用二次側流路、前記弁室内空間及び前記導出用二次側流路とで構成するパージ経路において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導するガス誘導部を設けたことにより、パージ経路において、前記供給用二次側流路から供給されたパージガスは、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記弁室内空間に導入され、ガス誘導部によって、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に誘導され、前記導出用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路を介して導出される。このように、弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に沿ったパージガスの流れができる。
【００１４】
したがって、弁室内空間に残留した残留ガスは、弁室内空間における前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に沿うパージガスの流れによって、効率的にパージガスと置換して、パージ経路を構成する、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００１５】
この発明の態様として、前記ガス誘導部を、前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に形成したガス誘導溝で構成することができる。
【００１６】
この発明により、容易な構造で、パージガスを前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に誘導することができる。
【００１７】
また、この発明の態様として、前記ガス誘導部を、前記パージ経路における前記弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって近接する方向への前記パージガスの流れを抑制する抑制部で構成することができる。
【００１８】
この発明により、弁室内空間において、前記供給用二次側流路の弁室内開口部から前記導出用二次側流路の弁室内開口部に向かって離間する方向に沿ったパージガスの流れに対して、近づく方向のパージガスの流れが生じて、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の弁室内開口部同士の間付近に、ガスの流れの乱れによって滞留箇所が生じることを抑制することができる。したがって、弁室内空間に残留した残留ガスは、さらに効率的にパージガスと置換して、パージ経路を構成する、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスをさらに効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００１９】
またこの発明の態様として、前記開閉弁を平面視円形で形成するとともに、前記弁室を前記開閉弁より径大な平視円形の円柱状空間とし、前記円柱状空間である前記弁室の底面中央に、前記一次側流路の弁室内開口部を配置するとともに、平面視円形に形成した前記開閉弁を、底面が前記弁室の底面中央に配置した前記一次側流路の弁室内開口部を覆うように配置し、前記開閉弁の底面が前記弁室の底面と接離することで開閉する構成とし、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、平面視円形の前記弁室の直径より狭い間隔で、前記流路方向に対して平行に配置することができる。  
この発明により、よりコンパクトな形状で、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２０】
またこの発明の態様として、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の弁室内開口部が前記円柱状空間である前記弁室の側面に配置されるとともに、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、前記円柱状空間の軸方向に対して直交する直交方向に形成することができる。  
この発明により、よりコンパクトな形状で、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２１】
またこの発明の態様として、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の弁室内開口部が前記円柱状空間である前記弁室の底面において、前記弁室の底面中央に配置した前記一次側流路の弁室内開口部の径外側に配置されるとともに、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路を、前記円柱状空間の軸方向に沿った軸方向部分と、前記軸方向に対して斜交する斜交方向に形成した斜交方向部分とで構成することができる。
【００２２】
この発明により、コンパクトな形状で、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができるとともに、流路形状による導通抵抗の少ない、すなわち、パージガスや残留ガスをスムーズに導通させることができる。
【００２３】
またこの発明の態様として、前記アウトレット端部に、パッキング部材の装着を許容するとともに、前記供給用二次側流路及び前記導出用二次側流路の外部側開口部が離間して配置された装着空間を備え、前記パッキング部材を、離間して配置された前記供給用二次側流路の前記外部側開口部と連通するとともに、パージガスを供給する供給治具の接続を許容する供給接続口と、前記導出用二次側流路の前記外部側開口部と連通するとともに、前記パージガスを導出させる導出治具の接続を許容する導出接続口を備え、該パッキング部材を前記装着空間に装着することができる。
【００２４】
またこの発明は、上述の容器バルブと、前記アウトレットにパージ装置を接続する接続部材とで構成したパージユニットであって、前記接続部材に、前記供給用流路、及び前記導出用流路とを備え、前記アウトレットと、前記接続部材との間にパッキング部材を配置し、前記パッキング部材に、前記供給用二次側流路と前記供給用流路とを連通させるとともに、供給されたパージガスの導通を許容する供給接続口と、前記導出用二次側流路と前記導出用流路とを連通させるとともに、導出されたパージガスの導通を許容する導出接続口とを備えたことを特徴とする。
【００２５】
上記パッキング部材は、メタル製、樹脂製あるいはそれらの組み合わせで構成することができる。  
この発明により、導入側流路及び導出側流路を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２６】
詳述すると、前記接続部材に、前記供給用流路、及び前記導出用流路とを備え、前記アウトレットと、前記接続部材との間にパッキング部材を配置し、前記パッキング部材に、前記供給用二次側流路と前記供給用流路とを連通させるとともに、供給されたパージガスの導通を許容する供給接続口と、前記導出用二次側流路と前記導出用流路とを連通させるとともに、導出されたパージガスの導通を許容する導出接続口とを備えたことにより、前記供給用二次側流路の前記外部側開口部と連通する供給接続口にパージガスを供給する供給治具を接続するとともに、前記導出用二次側流路の前記外部側開口部と連通する導出接続口に、前記パージガスを導出させる導出治具を接続することで、アウトレットにおいて、パージガスの導入経路と、導出経路とが確実に分離されるため、導入側流路及び導出側流路を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２７】
この発明の態様により、前記アウトレット端部に、パッキング部材の装着を許容する装着空間を備え、該装着空間に前記パッキング部材を配置することができる。  
この発明により、コンパクトな形状で、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２８】
またこの発明の態様により、前記接続部材の端部に、パッキング部材の装着を許容する装着空間を備え、該装着空間に前記パッキング部材を配置することができる。  
この発明により、例えば、米国のＣＧＡ（Compressed Gas Association）規格で定められたＤＩＳＳ（Diameter Index Safety System）構造を有するバルブ（以下、「ＤＩＳＳバルブ」という。）であっても、コンパクトな形状で、閉鎖状態の弁室内や二次側流路に残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００２９】
またこの発明は、上述のパージユニットにおける前記接続部材に、パージガスを供給するパージガス供給装置及びパージガスを回収するパージガス回収装置を接続したパージシステムであることを特徴とする。  
この発明により、導入側流路及び導出側流路を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００３０】
またこの発明は、上述の容器バルブにおける前記供給用二次側流路にパージガスを供給するパージガス供給装置が接続された前記供給治具を接続するとともに、パージガスを回収するパージガス回収装置が接続された前記導出治具を前記導出用二次側流路に接続し、前記パージガス供給装置から前記パージガスを供給し、供給された前記パージガスが前記供給治具及び前記供給用二次側流路を通るとともに、供給用二次側流路の前記弁室内開口部に形成された前記ガス誘導部によって前記導出用二次側流路の弁室内開口部と離間する方向の前記弁室内空間に誘導され、前記弁室内空間を通るとともに、前記導出用二次側流路の前記弁室内開口部に形成された前記ガス誘導部によって誘導された前記パージガスが前記導出用二次側流路及び前記導出治具を通って、前記パージガス回収装置で前記パージガスを回収するパージ方法であることを特徴とする。  
この発明により、導入側流路及び導出側流路を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明により、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる容器バルブ、及び当該容器バルブを用いたパージユニット、パージシステム、パージ方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】容器バルブの分解斜視図。
【図２】容器バルブの概略断面図。
【図３】容器バルブにおけるパージ経路の平面方向断面図。
【図４】パッキンの説明図。
【図５】容器バルブにおける別の実施形態のパージ経路についての説明図。
【図６】容器バルブにおける別の実施形態のパージ経路についての説明図。
【図７】容器バルブにおける別の実施形態のパージ経路についての説明図。
【図８】パージシステムについての概略説明図。
【図９】ＤＩＳＳ容器バルブを用いたパージユニットの分解斜視図。
【図１０】ＤＩＳＳ容器バルブを用いたパージユニットについての概略説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
この発明の一実施形態を、図１乃至図４とともに説明する。  
図１は容器バルブ１０の分解斜視図を示し、図２は容器バルブ１０の概略断面図を示し、図３は容器バルブ１０におけるパージ経路の平面方向断面図を示し、図４はＰＴＦＥパッキン５０及び複合パッキン５３の説明図を示している。
【００３４】
なお、図１において、バルブボディ１１以外の各構成要素について手前側の一部を切欠いて図示し、バルブボディ１１においては、バルブボディ１１の手前側の一部及びアウトレット２０の上部を切欠いて図示すとともに、回転ハンドル３１やスプリング３８の図示を省略している。また、以下の説明や各図面において、閉止弁機構３０における各構成要素同士の対向部分、あるいは閉止弁機構３０とバルブボディ１１との対向部分における適宜の箇所にはＯリング等を設置するが、Ｏリング等の図示や詳しい説明については適宜省略している。
【００３５】
容器バルブ１０は、図示省略するボンベ容器に取り付けられ、腐食性ガスの供給や充填のために、腐食性ガスの導通を規制するダイヤフラム式の容器バルブであり、高さ方向Ｈに長い縦長略円筒状のバルブボディ１１と、バルブボディ１１の下部において、ボンベ容器の上部の装着部に螺合して取り付けられるボンベ取付け部１２と、バルブボディ１１の中段付近において側方に突出する態様のアウトレット２０と、バルブボディ１１の上部において装着される閉止弁機構３０と、アウトレット２０のパッキン装着凹部２１に装着可能なＰＴＦＥパッキン５０とで構成している。
【００３６】
バルブボディ１１の内部には、上部において閉止弁機構３０の装着を許容する閉止弁装着凹部４１、閉止弁装着凹部４１の下端とボンベ取付け部１２の下端まで連通する一次側流路４２、閉止弁装着凹部４１の下端からアウトレット２０の先端まで、閉止弁装着凹部４１に対して直交する方向に連通する二次側流路４３を備えている。
【００３７】
また、二次側流路４３は、後述するパージガスを導入する導入側二次側流路４４と、パージガスが排出する排出側二次側流路４５とで構成し、互いに平行に配置している。なお、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とは、閉止弁装着凹部４１の直径より短い間隔で配置されているため、閉止弁装着凹部４１における導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５のそれぞれの弁室内開口部４４ａ，４５ａは、図３に示すように、近接した状態で配置されている。
【００３８】
なお、閉止弁装着凹部４１における導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５のそれぞれの弁室内開口部４４ａ，４５ａには、パージガスを誘導する誘導溝４６（４６ａ，４６ｂ）を形成している。詳しくは、弁室内開口部４４ａ，４５ａに形成された誘導溝４６ａ，４６ｂは、後述する弁室内空間Ａにおいて、それぞれが離間する方向に向けた溝形状であり、正面視略まゆ形状で形成している。  
なお、パージガスは、窒素ガスなどの不活性ガスなど、残留ガスと置換し、大気中の酸素や水分と反応しても腐食生成物が発生することのないガスである。
【００３９】
閉止弁装着凹部４１は、高さ方向Ｈの上方が開放された略円筒形の凹部である作動室４１１と、該作動室４１１の下方においてひとまわり径の小さな閉止弁室４１２とで構成している。
【００４０】
そして、バルブボディ１１には、閉止弁室４１２、一次側流路４２及び二次側流路４３によって、ボンベ取付け部１２の下端からアウトレット２０の先端まで連通する流路４０が形成されている。  
また、アウトレット２０には、後述するＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０を装着するパッキン装着凹部２１を形成している。また、パッキン装着凹部２１の上部には、後述するＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０の装着方向を規制する装着方向規制突起部２２を備え、パッキン装着凹部２１に、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の外側開口部４４ｂ，４５ｂが形成されている。
【００４１】
また、アウトレット２０は、ＰＴＦＥパッキン５０や連結金具６０をパッキン装着凹部２１に装着した状態で固定するアウトレットキャップ２５（図３参照）を螺合可能に構成している。
【００４２】
閉止弁装着凹部４１に装着する閉止弁機構３０は、回転ハンドル３１（図２参照）、グランドナット３２、スピンドル３３、トラストワッシャ３４、リテーナ３５、シートアッセンブリ３６、ストップリング３７１とスリーブ３７２とで構成するストップスリーブ３７、スプリング３８及びダイヤフラム３９で構成している。
【００４３】
回転ハンドル３１は、図２に示すように、８箇所突出する波形の外周縁を有する平面視略円形雲形に形成され、スピンドル３３の上部の被嵌合部３３１の嵌合を許容する嵌合部３１１を備えている。
【００４４】
グランドナット３２は、頭部ナット部３２１と、閉止弁装着凹部４１の作動室４１１の内面に形成した雌ネジ４１１ａと螺合する雄ネジ３２２とで構成する中空の略円筒形であり、内面にスピンドル３３の雄ネジ３３２に螺合する雌ネジ３２１ａを形成している。
【００４５】
スピンドル３３は、上から順に、回転ハンドル３１の嵌合部３１１に嵌合する被嵌合部３３１、上述のグランドナット３２の内面に形成された雌ネジ３２１ａに螺合する雄ネジ３３２、底面で後述するリテーナ３５と回転摺動しながら押圧する押圧底部３３３とで縦長の略円柱状に構成している。  
トラストワッシャ３４は、スピンドル３３の押圧底部３３３とリテーナ３５との間に配置される平面視円形の板状部材である。
【００４６】
リテーナ３５は、スピンドル３３の押圧底部３３３の嵌合を許容する断面視凹部３５１ａを有するとともに、外面に雄ネジ３５１ｂが形成された平面視円形のリテーナ頭部３５１と、リテーナ頭部３５１より下部において、底部が開放するとともに、内面に雌ネジ３５２ｂが形成された円筒中空部３５２ａを有する径小の円筒部３５２とを一体構成している。
【００４７】
シートアッセンブリ３６は、リテーナ３５の円筒部３５２の円筒中空部３５２ａに挿入し、雌ネジ３５２ｂと螺合する雄ネジ３６１ａが形成された挿入筒部３６１と、リテーナ３５の円筒部３５２よりひとまわり径大な円柱状のシート本体３６２とを一体構成するとともに、シート本体３６２の底面に形成した底面視円形の円形溝３６２ａにシートリング３６３を嵌合して構成している。
【００４８】
なお、図３に示すように、円柱状に形成したシート本体３６２と、円筒形空間である閉止弁装着凹部４１の閉止弁室４１２の内面との間に弁室内空間Ａが形成されるように構成している。
【００４９】
スリーブ３７２とともにストップスリーブ３７を構成するストップリング３７１は相対回転自在にグランドナット３２が装着されるとともに、後述するスリーブ３７２を上方から押圧する略円筒状であり、リテーナ３５のリテーナ頭部３５１の外面に形成された雄ネジ３５１ｂの螺合を許容する雌ネジ３７１ａを上部内面に有している。
【００５０】
スリーブ３７２は、平面視略六角形のリテーナ３５の円筒部３５２に外嵌するとともに、上面側をストップリング３７１の下端で下向きに押し付けられる円筒状本体３７２ａと、後述するスプリング３８の底部を受けるとともに後述するダイヤフラム３９の周縁部を、作動室４１１の底面４１１ｂとで挟み込む縮径部３７２ｂとで構成している。
【００５１】
スプリング３８は、図２に示すように、組付け状態において、リテーナ３５の円筒部３５２に外嵌するとともに、リテーナ頭部３５１の底面と、スリーブ３７２の縮径部３７２ｂの上面との間で上下方向に挟み込まれ、スリーブ３７２の縮径部３７２ｂを反力として、リテーナ３５を上方に付勢するスプリングである。
【００５２】
ダイヤフラム３９は、シートアッセンブリ３６の挿入筒部３６１の挿通を許容する中心開口円３９１を有する薄板状円形板であり、作動室４１１の底面４１１ｂにおいて、閉止弁室４１２の上部を覆うように配置されている。なお、ダイヤフラム３９は、複数の金属製薄板を互いに重ね合わせて構成し、金属製薄板同士の対向面において、対向面の一方にコーティング層を形成する場合もある。
【００５３】
このように、回転ハンドル３１、グランドナット３２、スピンドル３３、トラストワッシャ３４、リテーナ３５、シートアッセンブリ３６、ストップスリーブ３７（ストップリング３７１，スリーブ３７２）、スプリング３８及びダイヤフラム３９で構成する閉止弁機構３０は、グランドナット３２の雄ネジ３２２と閉止弁装着凹部４１の雌ネジ４１１ａと螺合させて、閉止弁装着凹部４１に挿入される。
【００５４】
詳しくは、シートアッセンブリ３６を閉止弁室４１２に装着するとともに、閉止弁室４１２に装着されたシートアッセンブリ３６の挿入筒部３６１が中心開口円３９１に挿通し、閉止弁室４１２を覆い被せるように、作動室４１１の底面４１１ｂにダイヤフラム３９を配置する。
【００５５】
そして、ダイヤフラム３９の周縁部を縮径部３７２ｂで上方から押さえつけるようにスリーブ３７２を作動室４１１に配置するとともに、円筒状本体３７２ａの内側にスプリング３８を配置して、円筒部３５２がスプリング３８の内側となるようにして、縮径部３７２ｂとリテーナ頭部３５１とで上下方向からスプリング３８を挟み込むようにリテーナ３５を配置する。このとき、シートアッセンブリ３６の挿入筒部３６１は、リテーナ３５の円筒部３５２に形成された円筒中空部３５２ａに挿入され、螺合して一体化させる。
【００５６】
さらに、リテーナ３５のリテーナ頭部３５１の外周面に形成した雄ネジ３５１ｂと、雌ネジ３７１ａとを螺合させ、スリーブ３７２を上方から押さえつけるように、ストップリング３７１を装着する。
【００５７】
また、リテーナ３５の断面視凹部３５１ａにトラストワッシャ３４を装着するとともに、雌ネジ３２１ａと雄ネジ３３２とが螺合したスピンドル３３とグランドナット３２とを、スピンドル３３の押圧底部３３３が断面視凹部３５１ａに装着したトラストワッシャ３４に当接するように作動室４１１に装着し、嵌合部３１１にスピンドル３３の被嵌合部３３１を嵌合させて、閉止弁装着凹部４１に対する閉止弁機構３０は装着される。
【００５８】
このように構成された閉止弁機構３０が閉止弁装着凹部４１に装着された容器バルブ１０では、回転ハンドル３１を緩み方向に操作してスピンドル３３を螺出させると、リテーナ３５及びダイヤフラム３９を介した閉止部材３６の押し下げが開放され、スプリング３８の付勢力によって閉止部材３６は上方に移動し、上端開口部４２ａは開放され、閉止弁室４１２を介して一次側流路４２と二次側流路４３とが連通して構成する流路４０は導通状態となる。つまり、閉止弁室４１２を介して一次側流路４２と二次側流路４３とが連通する開弁状態となる。
【００５９】
逆に、回転ハンドル３１を操作して、スピンドル３３が締め付け方向に螺入されると、リテーナ３５及びダイヤフラム３９を介してシートアッセンブリ３６が、スプリング３８の付勢力に抗して下方に押し下げられ、シートアッセンブリ３６によって、閉止弁室４１２において開口する一次側流路４２の上端開口部４２ａはふさがれ、閉止弁室４１２を介して連通し、流路４０を構成する一次側流路４２と二次側流路４３とが分断される。つまり、閉止弁室４１２に形成された弁室内空間Ａと、一次側流路４２とは分断された閉弁状態となる。
【００６０】
なお、この閉弁状態では、二次側流路４３と弁室内空間Ａとが連通するパージ経路Ｐ（図３参照）を構成している。詳しくは、二次側流路４３のうちパージガスが供給される導入側二次側流路４４、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａ、弁室内空間Ａ、排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａ及び排出側二次側流路４５が連通してパージ経路Ｐを構成している。  
このように構成した容器バルブ１０は、アウトレット２０のパッキン装着凹部２１に、ＰＴＦＥパッキン５０とともに連結金具６０を装着可能に構成している。
【００６１】
アウトレット２０のパッキン装着凹部２１に装着するＰＴＦＥパッキン５０は、ＰＴＦＥパッキン５０の下半部分の斜視図である図４（ａ）、ＰＴＦＥパッキン５０の斜視図である図４（ｂ）、ＰＴＦＥパッキン５０の縦断方向断面図である図４（ｃ）、ＰＴＦＥパッキン５０の横断方向断面図である図４（ｄ）に示すように、正面視略円形のＰＴＦＥ製円盤状であり、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５に対応する位置及び大きさの貫通孔５１（導入側貫通孔５１ａ，導出側貫通孔５１ｂ）をそれぞれ配置するとともに、上部に、アウトレット２０のパッキン装着凹部２１に形成した装着方向規制突起部２２の嵌め込みを許容する嵌め込み溝５２を有している。  
なお、上述の説明ではＰＴＦＥパッキン５０はＰＴＦＥ製と説明したが、導通するガスの種類や圧力等に応じて適宜の材料で構成してもよい。
【００６２】
容器バルブ１０のパージ処理の際にＰＴＦＥパッキン５０とともに、アウトレット２０に装着する連結金具６０は、ＰＴＦＥパッキン５０を装着したパッキン装着凹部２１に装着する装着端部６１と、アウトレット２０の外径と略同一径のフランジ部６２、アウトレットキャップ２５を貫通する連結管本体６３とがこの順で一体化した、平面視略十字状となる略円柱状で構成している。
【００６３】
また、連結金具６０には、装着端部６１、フランジ部６２及び連結管本体６３を連通するとともに、導入側貫通孔５１ａ，導出側貫通孔５１ｂに対応する位置及び径に形成し、パージ管７０の挿通を許容するパージ管貫通孔６４を形成している。さらに、連結金具６０の連結管本体６３の端部の上部には、アウトレット２０のパッキン装着凹部２１に形成した装着方向規制突起部２２の嵌め込みを許容する嵌め込み溝６５を有している。
【００６４】
このように構成したＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０は、容器バルブ１０をパージ処理する際に、パッキン装着凹部２１にＰＴＦＥパッキン５０を装着した後、パッキン装着凹部２１に装着端部６１が装着される。このとき、アウトレット２０の端面とフランジ部６２との間にゴムパッキン６６を介在させて、連結管本体６３を貫通させたアウトレットキャップ２５をアウトレット２０に螺合して、ＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０をパッキン装着凹部２１に固定する。なお、本明細書では、パッキン装着凹部２１に装着するＰＴＦＥパッキン５０と、ＰＴＦＥパッキン５０を装着した後に、パッキン装着凹部２１に装着端部６１が装着される連結金具６０と、容器バルブ１０とでパージユニット１ａとしている。
【００６５】
このパージユニット１ａの固定状態において、嵌め込み溝５２及び嵌め込み溝６５にアウトレット２０の装着方向規制突起部２２を嵌め込んでいるため、ＰＴＦＥパッキン５０の貫通孔５１や連結金具６０のパージ管貫通孔６４の位置が二次側流路４３のそれぞれに対して一致するため、連結金具６０のパージ管貫通孔６４、ＰＴＦＥパッキン５０の貫通孔５１及び二次側流路４３が連通する。
【００６６】
このように構成したパッキン装着凹部２１に、上述のＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０を装着したパージユニット１ａに対して、パージガスを供給するパージガス供給装置（図示省略）が接続されたパージ供給管７１、及び導通したパージガスを回収するパージガス回収装置（図示省略）が接続されたパージ回収管７２を装着してパージシステム１を構成している。
【００６７】
パージシステム１では、連通する連結金具６０のパージ管貫通孔６４、ＰＴＦＥパッキン５０の貫通孔５１及び二次側流路４３に対してパージ管７０を挿入してパージ処理を行う。より具体的には、導入側二次側流路４４及び、導入側二次側流路４４と連通するＰＴＦＥパッキン５０の導入側貫通孔５１ａ及び連結金具６０のパージ管貫通孔６４に、パージガスを供給するパージガス供給装置（図示省略）が接続されたパージ供給管７１を装着し、排出側二次側流路４５及び、排出側二次側流路４５と連通するＰＴＦＥパッキン５０の導出側貫通孔５１ｂ及び連結金具６０のパージ管貫通孔６４に、導通したパージガスを回収するパージガス回収装置（図示省略）が接続されたパージ回収管７２を装着する。
【００６８】
このように構成したパージシステム１を用いたパージ処理について、詳細に説明する。  
ボンベ容器に取り付けた容器バルブ１０のアウトレット２０に、ボンベ容器に充填する腐食性ガスを供給するパージガス供給装置や、ボンベ容器に充填された腐食性ガスを消費する消費装置を装着し、上述したように、回転ハンドル３１を緩み方向に操作して開弁状態とすることで、閉止弁室４１２を介して一次側流路４２と二次側流路４３とが連通して構成する流路４０を、腐食性ガスが導通する。
【００６９】
具体的には、ボンベ容器に腐食性ガスを充填する場合には、二次側流路４３を構成する導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の両方を通り、閉止弁室４１２を介して一次側流路４２を通り、ボンベ容器内部まで腐食性ガスを導通させて充填する。
【００７０】
逆に、ボンベ容器に充填した腐食性ガスを消費する場合、一次側流路４２を通るとともに、閉止弁室４１２を介して、二次側流路４３を構成する導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の両方を通り、腐食性ガスを放出する。
【００７１】
このように、開弁状態において、腐食性ガスを流路４０を導通させた後、回転ハンドル３１を締め付け方向に操作すると閉弁状態となり、流路４０は分断される。このとき、閉止弁室４１２内の弁室内空間Ａ及び二次側流路４３、つまりパージ経路Ｐには、腐食性ガスが残留していることとなる。このパージ経路Ｐに残留する腐食性ガスを以下において残留ガスという。
【００７２】
このパージ経路Ｐに残留する残留ガスを、パージ経路Ｐにパージガスを導通させることで、パージガスと置換する、あるいは、パージ経路Ｐを真空引きして、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを除去するためのパージ処理をおこなう。なお、以下の説明では、パージ経路Ｐにパージガスを導通させるパージ処理について説明する。
【００７３】
上述したように、パージ経路Ｐに残留ガスが残留する閉弁状態において、上述したように、パッキン装着凹部２１にＰＴＦＥパッキン５０及び連結管本体６３を装着してアウトレットキャップ２５を螺合して、ＰＴＦＥパッキン５０及び連結金具６０をアウトレット２０に固定するとともに、パージ管７０（７１，７２）を装着する。
【００７４】
これにより、パージ供給管７１、パージ経路Ｐ（導入側二次側流路４４、弁室内開口部４４ａ、弁室内空間Ａ、弁室内開口部４５ａ，排出側二次側流路４５）及びパージ回収管７２が連通するため、図３において矢印で示すように、パージ供給管７１に接続したパージガス供給装置（図示省略）からパージガスを供給すると、供給されたパージガスは直接導入側二次側流路４４まで導通され、導入側二次側流路４４を通って、弁室内開口部４４ａから弁室内空間Ａに導入される。
【００７５】
弁室内空間Ａに導入されたパージガスは、弁室内空間Ａにおいて、誘導溝４６ａによって、排出側二次側流路４５から離れる方向（図３においては時計回り）に誘導され、排出側二次側流路４５から離れる方向に誘導されたパージガスは弁室内空間Ａ内を遠回り方向に導通したのち、誘導溝４６ｂによって、弁室内開口部４５ａにスムーズに誘導される。そして、弁室内開口部４５ａを介して排出側二次側流路４５を導通して、パージ回収管７２を通って、パージ回収管７２に接続されたパージガス回収装置（図示省略）で回収することができる。つまり、残留ガスが残留する弁室内空間Ａにおいて、近接した位置に弁室内開口部４４ａと弁室内開口部４５ａが開口するが、誘導溝４６によって、排出側二次側流路４５から離れる方向にパージガスが誘導され、弁室内空間Ａ内を遠回り方向に導通するため、つまり弁室内空間Ａのおよそ全体をパージガスが導通するため、弁室内空間Ａ内、あるいはその他のパージ経路Ｐに残留する残留ガスを確実にパージガスで置換することができる。  
なお、パージ供給管７１とパージ回収管７２とを入れ替え、弁室内空間Ａにおいて、誘導溝４６ａによって、反時計回りに誘導してもよい。
【００７６】
また、閉止弁装着凹部４１に直交する方向において、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とを平行に配置するとともに、弁室内開口部４４ａ，４５ａに誘導溝４６（４６ａ，４６ｂ）を形成して、弁室内空間Ａにおいて、弁室内開口部４４ａから弁室内空間Ａに導入されたパージガスを排出側二次側流路４５から離れる方向に誘導溝４６ａで誘導し、弁室内空間Ａを遠回り方向に導通させたが、図５（ａ）に示すように、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とを、アウトレット２０の先端側から閉止弁装着凹部４１に向かってハ字状となるように配置することで、弁室内空間Ａに対する導入側二次側流路４４，排出側二次側流路４５の接続角度が緩やかになるため、つまり接戦法方向に近づくため、誘導溝４６を形成せずとも、弁室内開口部４４ａを介して弁室内空間Ａに導入側二次側流路４４から導入されるパージガスは、排出側二次側流路４５から離れる方向、つまり、弁室内空間Ａを遠回り方向に導通させ、排出側二次側流路４５から導出することができる。
【００７７】
また、誘導溝４６を形成せずとも、あるいは、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とをハ字状に配置せずとも、弁室内空間Ａにおける弁室内開口部４４ａと弁室内開口部４５ａとの間において、弁室内開口部４４ａから導出されたパージガスが直接弁室内開口部４５ａから導出される方向、つまり排出側二次側流路４５に近接する方向に流れることを規制する凸状の流れ方向規制凸部４７を設けてもよい。
【００７８】
この流れ方向規制凸部４７により、弁室内開口部４４ａから弁室内空間Ａに導入されたパージガスは、直接弁室内開口部４５ａから導出される方向の流れが規制され、排出側二次側流路４５から離れる方向、つまり、弁室内空間Ａを遠回り方向に導通させ、排出側二次側流路４５から導出することができる。このように、弁室内開口部４４ａから弁室内空間Ａに導入されたパージガスは、直接弁室内開口部４５ａから導出される方向の流れを規制する流れ方向規制凸部４７は、間接的に、排出側二次側流路４５から離れる方向に誘導し、弁室内空間Ａを遠回り方向に導通させ、排出側二次側流路４５から導出することができる。もちろん、誘導溝４６（４６ａ，４６ｂ）を弁室内開口部４４ａ，４５ａに形成したり、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とをハ字状に配置するとともに、流れ方向規制凸部４７を設けてもよい。
【００７９】
さらに、図６に示すように、二次側流路４３を閉止弁装着凹部４１に対して斜交するように、つまり、アウトレット２０の先端から閉止弁装着凹部４１に向かって斜めとなるように配置してもよく、さらに、流れ方向規制凸部４７を閉止弁装着凹部４１の内面に形成せずとも、シートアッセンブリ３６のシート本体３６２における、弁室内開口部４４ａと弁室内開口部４５ａとの間に対向する位置に導通規制凸部３６４を設けてもよい。このシート本体３６２に設けた導通規制凸部３６４によって、上述の流れ方向規制凸部４７と同様の効果を得ることができる。
【００８０】
もちろん、シート本体３６２に導通規制凸部３６４を設けるとともに、誘導溝４６（４６ａ，４６ｂ）を弁室内開口部４４ａ，４５ａに形成してもよく、流れ方向規制凸部４７と導通規制凸部３６４の両方を設けてもよく、流れ方向規制凸部４７と導通規制凸部３６４とを嵌合させ、閉止弁装着凹部４１におけるシートアッセンブリ３６の回転を規制するように構成してもよい。
【００８１】
また、図７に示すように、シートアッセンブリ３６のシート本体３６２における、弁室内開口部４４ａと弁室内開口部４５ａに対向する位置に、アウトレット２０から閉止弁装着凹部４１に向かう方向に広がる平面視ハ字状となる切り欠きである誘導凹部３６５を形成してもよい。
【００８２】
この誘導凹部３６５により、弁室内開口部４４ａから導入されたパージガスは、排出側二次側流路４５から離れる方向にパージガスが誘導され、弁室内空間Ａ内を遠回り方向に導通するため、つまり弁室内空間Ａのおよそ全体をパージガスが導通するため、弁室内空間Ａ内、あるいはその他のパージ経路Ｐに残留する残留ガスを確実にパージガスで置換することができる。  
もちろん、シート本体３６２の誘導凹部３６５を設けたうえで、弁室内開口部４４ａ，４５ａに誘導溝４６を形成してもよく、さらには、流れ方向規制凸部４７や導通規制凸部３６４を設けたり、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とをハ字状に配置してもよい。
【００８３】
このように構成した容器バルブ１０は、ボンベ容器に対して取り付けられるボンベ取付け部１２と、バルブボディ１１から突出するアウトレット２０と、ボンベ取付け部１２からアウトレット２０まで連通するとともに、両端部が解放された流路４０と、流路４０の中間部分において上下に移動して開閉を切り替えるシート本体３６２と、シート本体３６２を上下移動可能に配置する閉止弁室４１２とを備え、流路４０を、ボンベ取付け部１２の端部から閉止弁室４１２までの一次側流路４２と、閉止弁室４１２からアウトレット２０の端部までの二次側流路４３に設定するとともに、二次側流路４３を、閉止弁室４１２からアウトレット２０の端部までの間においてそれぞれ独立するとともに、閉止弁室４１２に形成されるそれぞれの弁室内開口部４４ａ，４５ａが平面視方向において離間し、パージガスの供給を許容する導入側二次側流路４４と、パージガスの導出を許容する排出側二次側流路４５とで構成し、閉止弁室４１２を、閉止弁室４１２の内面と、内部に配置されたシート本体３６２との間に、平面視方向において連通する弁室内空間Ａを有する平面視形状で形成するとともに、導入側二次側流路４４、弁室内空間Ａ及び排出側二次側流路４５とで連通するパージ経路Ｐを構成し、アウトレット２０の端部に、ＰＴＦＥパッキン５０の装着を許容するとともに、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の外側開口部４４ｂ，４５ｂが離間して配置されたパッキン装着凹部２１を備え、導入側二次側流路４４の外側開口部４４ｂと連通するとともに、パージ供給管７１の接続を許容する導入側貫通孔５１ａと、排出側二次側流路４５の外側開口部４５ｂと連通するとともに、パージ回収管７２の接続を許容する導出側貫通孔５１ｂを備えたＰＴＦＥパッキン５０をパッキン装着凹部２１に装着したことにより、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００８４】
詳述すると、外側開口部４４ｂと連通するとともにパージ供給管７１の接続を許容する導入側貫通孔５１ａと、外側開口部４５ｂと連通するとともに、パージ回収管７２の接続を許容する導出側貫通孔５１ｂを備えたＰＴＦＥパッキン５０をパッキン装着凹部２１に装着することにより、アウトレット２０において、パージガスの導入経路と、導出経路とが確実に分離されるため、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００８５】
また、シート本体３６２を平面視円形で形成するとともに、閉止弁室４１２をシート本体３６２より径大な平面視円形の円柱状空間とし、円柱状空間である閉止弁装着凹部４１の底面４１ａの中央に配置した一次側流路４２の上端開口部４２ａを平面視円形に形成したシート本体３６２の底面が覆うとともに、閉止弁装着凹部４１の底面４１ａと接離することで開閉する構成とし、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を、平面視円形の閉止弁室４１２の直径より狭い間隔で、流路４０方向に対して平行に配置することにより、よりコンパクトな形状で、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００８６】
また、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａが円柱状空間である閉止弁室４１２の側面に配置されるとともに、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を、高さ方向Ｈに対して直交する直交方向に形成することにより、よりコンパクトな形状で、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００８７】
また、パージ経路Ｐにおける弁室内空間Ａにおいて、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導する誘導溝４６を設けることにより、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。  
詳しくは、閉止弁室４１２を、閉止弁室４１２の内面と、内部に配置されたシート本体３６２との間に、平面視方向において連通する弁室内空間Ａを有する平面視形状で形成するとともに、閉止弁室４１２からアウトレット２０の端部までの二次側流路４３を、閉止弁室４１２からアウトレット２０の端部までの間においてそれぞれ独立する導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５とで構成し、導入側二次側流路４４、弁室内空間Ａ及び排出側二次側流路４５とで構成するパージ経路Ｐにおいて、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向にパージガスの流れを誘導する誘導溝４６を設けたことにより、パージ経路Ｐにおいて、導入側二次側流路４４から供給されたパージガスは、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから弁室内空間Ａに導入され、誘導溝４６によって、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向に誘導され、排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａから排出側二次側流路４５を介して導出される。このように、弁室内空間Ａにおいて、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向に沿ったパージガスの流れができる。
【００８８】
したがって、弁室内空間Ａに残留した残留ガスは、弁室内空間Ａにおける導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向に沿うパージガスの流れによって、効率的にパージガスと置換して、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００８９】
このように、導入側二次側流路４４と連通する導入側貫通孔５１ａにパージガスを供給するパージガス供給装置が接続されたパージ供給管７１を接続するとともに、パージガスを回収するパージガス回収装置が接続されたパージ回収管７２を排出側二次側流路４５と連通する導出側貫通孔５１ｂに接続したパージシステム１や、パージシステム１を用いたパージ方法は、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を流れる残留ガスやパージガスが混ざることなく、残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００９０】
また、パージ経路Ｐにおける弁室内空間Ａにおいて、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって近接する方向へのパージガスの流れを抑制する流れ方向規制凸部４７を設けた場合、弁室内空間Ａにおいて、導入側二次側流路４４の弁室内開口部４４ａから排出側二次側流路４５の弁室内開口部４５ａに向かって離間する方向に沿ったパージガスの流れに対して、近づく方向のパージガスの流れが生じて、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａ同士の間付近に、ガスの流れの乱れによって滞留箇所が生じることを抑制することができる。したがって、弁室内空間Ａに残留した残留ガスは、さらに効率的にパージガスと置換して、パージ経路Ｐに残留する残留ガスをさらに効率よく、且つ確実に除去することができる。
【００９１】
また、これまでの説明では、閉止弁装着凹部４１の側方に二次側流路４３を配置し、円筒状の空間である閉止弁室４１２の側面に、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａが開口する容器バルブ１０について説明したが、図８に示すように、閉止弁室４１２の底面に導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａが開口する容器バルブ１０ａであってもよい。
【００９２】
容器バルブ１０ａは、上述の容器バルブ１０と異なり、一次側流路４２の上端開口部４２ａの周囲に平面視リング状の隔壁４２ｂ，４２ｃを備えており、ダイヤフラム３９を隔壁４２ｂ，４２ｃ密着させて、閉弁する構成である。
【００９３】
そして、閉止弁装着凹部４１の底面４１ａに、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａを開口するとともに、誘導溝４６（４６ａ，４６ｂ）を形成し、弁室内開口部４４ａ，４５ａの間の外側の隔壁４２ｃと閉止弁装着凹部４１内面とを結ぶ４７ａを形成する。なお、この場合、二次側流路４３は、閉止弁装着凹部４１の底面４１ａから垂直方向に下がる鉛直方向部分４３ａと、鉛直方向部分４３ａの下端からアウトレット２０の先端に向かって斜めに下がる斜め方向部分４３ｂとで構成される。  
これにより、上述の容器バルブ１０と同様の効果を奏することができる。
【００９４】
このように、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の弁室内開口部４４ａ，４５ａが円柱状空間である閉止弁装着凹部４１の底面４１ａの中央において、閉止弁装着凹部４１の底面４１ａの中央に配置した一次側流路４２の上端開口部４２ａの径外側に配置されるとともに、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５を、高さ方向Ｈに沿った鉛直方向部分４３ａと、軸方向に対して斜交する斜交方向に形成した斜め方向部分４３ｂとで構成容器バルブ１０ａは、コンパクトな形状で、パージ経路Ｐに残留する残留ガスを効率よく、且つ確実に除去することができるとともに、二次側流路４３の流路形状による導通抵抗の少ない、すなわち、パージガスや残留ガスをスムーズに導通させることができる。
【００９５】
また、容器バルブとして、図９及び図１０に示すように、出願人による特開２００９−２８７７５３号に開示するＤＩＳＳ構造を有するＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂを用いてもよい。  
なお、図９はＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂを用いたパージユニット１ｂにおけるＤＩＳＳアウトレット２０ｂ、ＤＩＳＳ用連結金具８０及び複合パッキン５３を分解した状態の分解斜視図を示し、図１０はＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂを用いたパージユニット１ｂについての概略説明図を示している。詳しくは、図９では、内部構造を明確に図示するため、ＤＩＳＳ用連結金具８０の手前側の上半部を、奥側の上右半部を切欠き、複合パッキン５３及びＤＩＳＳアウトレット２０ｂの上半部を切欠いて図示している。また、図１０（ａ）は、パージユニット１ｂの分解状態の平面方向の断面図を示し、図１０（ｂ）は、パージユニット１ｂの組み付け状態の平面方向の断面図を示している。
【００９６】
パージユニット１ｂを構成するＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂのＤＩＳＳアウトレット２０ｂには、ＤＩＳＳ用連結金具８０を装着する装着凹部２１ｂを形成するとともに、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂの上下部には、ＤＩＳＳ用連結金具８０に形成された装着方向規制突起部８６の嵌め込みを許容する方向規制溝２１ｃを備え、装着凹部２１ｂに、導入側二次側流路４４及び排出側二次側流路４５の外側開口部４４ｂ，４５ｂが形成されている。また、装着凹部２１ｂは、後述するＤＩＳＳ用連結金具８０の装着先端部８１及び装着後部８２の形状に応じた段階的に縮径された凹部であり、外側開口部４４ｂ，４５ｂの径外側に、ＤＩＳＳ用連結金具８０に向かって凸状となるリング状凸部２１ｄを形成している。なお、ＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂにおけるＤＩＳＳアウトレット２０ｂ以外の構造は、上述の容器バルブ１０と同様の構成であるため、説明を省略する。  
また、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂは、ＤＩＳＳ用連結金具８０を装着凹部２１ｂに装着した状態で固定するアウトレットキャップ２５（図１０参照）を螺合可能に構成している。
【００９７】
ＤＩＳＳ用連結金具８０は、先端から、装着先端部８１と、装着後部８２と、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂの外径と略同一径のフランジ部８３と、アウトレットキャップ２５を貫通する連結管本体８４とがこの順で一体化した略円柱状で構成し、さらに、上述の連結金具６０と同様に、先端側の装着先端部８１において後述する装着凹部８１ａから連結管本体８４まで貫通する２本の独立するパージ管貫通孔８５を形成している。
【００９８】
装着後部８２ともに、装着凹部２１ｂに装着される装着先端部８１は、装着後部８２よりひとまわり径小であり、後述する複合パッキン５３の装着を許容する装着凹部８１ａを形成し、装着凹部８１ａの底面には、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂに向かって凸状となるリング状凸部８１ｂを形成している。
【００９９】
装着後部８２は、上述したように、装着先端部８１とともに装着凹部２１ｂに装着され、装着先端部８１よりひとまわり径大に形成されている。また、装着後部８２の上下部には、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂに形成された方向規制溝２１ｃに嵌合する装着方向規制突起部８６が形成されている。
【０１００】
ＤＩＳＳ用連結金具８０の装着凹部８１ａに装着される複合パッキン５３について、図４（ｅ）〜図４（ｉ）とともに、説明する。なお、図４（ｅ）は複合パッキン５３の下半部分の斜視図を示し、図４（ｆ）は複合パッキン５３の斜視図を示し、図４（ｇ）は複合パッキン５３の縦断方向断面図を示し、図４（ｈ）は複合パッキン５３の横断方向断面図を示し、図４（ｉ）は複合パッキン５３の分解斜視図である図４（ｉ）を示している。
【０１０１】
複合パッキン５３は、周面に周面溝５４ａを有する金属製円盤体５４と、金属製円盤体５４の両面に貼り付けたＰＴＦＥパッキン体５５とで構成している。ＰＴＦＥパッキン体５５は、上述のリング状凸部２１ｄやリング状凸部８１ｂの内側に接する外径を有する円盤状プレートであり、表面側の角部をテーパ状に形成している。
【０１０２】
なお、金属製円盤体５４とＰＴＦＥパッキン体５５とのそれぞれには、導入側二次側流路４４と排出側二次側流路４５に対応する位置及び大きさの貫通孔５６（導入側貫通孔５６ａ，導出側貫通孔５６ｂ）をそれぞれ配置するとともに、回転方向規制ピン（図示省略）の挿通を許容する嵌め込み孔５７を有している。
【０１０３】
このように構成した、複合パッキン５３は、ＤＩＳＳ用連結金具８０の装着凹部８１ａに装着され、ＤＩＳＳアウトレット２０ｂに形成された方向規制溝２１ｃに装着方向規制突起部８６を嵌合させ、ＤＩＳＳ用連結金具８０の装着先端部８１及び装着後部８２を装着凹部２１ｂに嵌めつけて、アウトレットキャップ２５を螺挿させて、パージユニット１ｂの組み付けを完了する。
【０１０４】
このようにして組み付けられたパージユニット１ｂでは、導入側二次側流路４４及び、導入側二次側流路４４と連通する複合パッキン５３の導入側貫通孔５６ａ及びＤＩＳＳ用連結金具８０のパージ管貫通孔８５に、パージガスを供給するパージガス供給装置（図示省略）を接続し、排出側二次側流路４５及び、排出側二次側流路４５と連通する複合パッキン５３の導出側貫通孔５６ｂ及びＤＩＳＳ用連結金具８０のパージ管貫通孔８５に、導通したパージガスを回収するパージガス回収装置（図示省略）を接続することでパージシステム１を構成し、パージ処理を行うことができる。
【０１０５】
なお、上述の容器バルブ１０を用いたパージユニット１ａのパージシステム１のように、連通するＤＩＳＳ用連結金具８０のパージ管貫通孔８５、複合パッキン５３の貫通孔５６及び二次側流路４３に対してパージ管７０を挿入してパージ処理を行ってもよい。
【０１０６】
この発明の構成と、上述の実施形態との対応において、この発明のガス容器は、ボンベ容器に対応し、
以下同様に、
容器取付け部は、ボンベ取付け部１２に対応し、
バルブ本体は、バルブボディ１１に対応し、
開閉弁は、シート本体３６２に対応し、
弁室は、閉止弁室４１２に対応し、
弁室内開口部は、弁室内開口部４４ａ，４５ａに対応し、
供給用二次側流路は、導入側二次側流路４４に対応し、
導出用二次側流路は、排出側二次側流路４５に対応し、
ガス誘導部は、誘導溝４６あるいは流れ方向規制凸部４７に対応し、
ガス誘導溝は、誘導溝４６に対応し、
容器バルブは、容器バルブ１０及びＤＩＳＳ容器バルブ１０ｂに対応し、
接続部材は、連結金具６０、及びＤＩＳＳ用連結金具８０に対応し、
抑制部は、流れ方向規制凸部４７に対応し、
弁室の底面は、底面４１ａに対応し、
一次側流路の弁室内開口部は、上端開口部４２ａに対応し、
軸方向部分は、鉛直方向部分４３ａに対応し、
斜交方向部分は、斜め方向部分４３ｂに対応し、
外部側開口部は、外側開口部４４ｂ，４５ｂ１２に対応し、
装着空間は、パッキン装着凹部２１，８１ａに対応し、
パッキング部材は、ＰＴＦＥパッキン５０及び複合パッキン５３に対応し、
供給治具は、パージ供給管７１に対応し、
供給接続口は、導入側貫通孔５１ａ，５６ａに対応し、
導出治具は、パージ回収管７２に対応し、
導出接続口は、導出側貫通孔５１ｂ，５６ｂに対応し、
円柱状空間の軸方向は、高さ方向Ｈに対応するが、
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、多くの実施の形態を得ることができる。
【０１０７】
例えば、上述の説明では、腐食性ガスを用いた場合について説明したが、通常の非腐食性ガスをボンベ容器に貯蔵する、あるいはボンベ容器に充填する際に、バルブユニット１を用いてもよい。さらには、ガスではなく、液体窒素などの液体をボンベ容器に貯蔵する、あるいはボンベ容器に充填する際に、バルブユニット１を用いてもよい。  
さらには、上述の説明ではダイヤフラム式の容器バルブ１０について説明したが、これに限定されず、パッキン式バルブを用いてもよい。
【符号の説明】
【０１０８】
１…パージシステム
１ａ，１ｂ…パージユニット
１０…容器バルブ
１０ｂ…ＤＩＳＳ容器バルブ
１１…バルブボディ
１２…ボンベ取付け部
２０…アウトレット
２０ｂ…ＤＩＳＳアウトレット
２１，８１ａ…パッキン装着凹部
４０…流路
４１ａ…底面
４２…一次側流路
４２ａ…上端開口部
４３…二次側流路
４３ａ…鉛直方向部分
４３ｂ…斜め方向部分
４４…導入側二次側流路
４５…排出側二次側流路
４４ａ，４５ａ…弁室内開口部
４４ｂ，４５ｂ…外側開口部
４６…誘導溝
４７…流れ方向規制凸部
５０…ＰＴＦＥパッキン
５１ａ，５６ａ…導入側貫通孔
５１ｂ，５６ｂ…導出側貫通孔
５３…複合パッキン
７１…パージ供給管
７２…パージ回収管
８０…ＤＩＳＳ用連結金具
３６２…シート本体
４１２…閉止弁室
Ａ…弁室内空間
Ｈ…高さ方向
Ｐ…パージ経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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