(57)【要約】【課題】水もしくは水溶性液体漏れ防止装置を得る。【解決手段】水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないように、前記液体による濡れを防止したいカ所の表面に、負に帯電した粒子が前記クーロン力で引き寄せられて、液体の濡れが維持されることを防止する液体濡れ防止装置。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、
前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した前記液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させることにより、前記噴霧した液体粒子の内、負に帯電した粒子が、前記液体による濡れを生成するカ所の表面に付着させるようにしたことを特徴とする液体付着方法。
【請求項２】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、
前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した前記液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、負に帯電した粒子を、前記液体を濡らしたい箇所に、付着させる液体付着装置。
【請求項３】
水もしくは水溶性液体を噴霧するノズルを有する成膜装置において、
前記ノズルの先端部又は前記成膜装置の近傍に存在する有体物であって、前記液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させることにより、前記帯電した粒子の内、負に帯電した粒子が、前記液体濡れを生成するカ所の表面に付着させるようにしたことを特徴とする成膜装置。
【請求項４】
水もしくは水溶性液体を噴霧するノズルを有する成膜装置において、
前記ノズルの先端部又は前記成膜装置の近傍に存在する有体物であって、前記ノズルから噴霧した前記液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、負に帯電した粒子を、前記液体で濡らしたい箇所に、付着させる成膜装置。
【請求項５】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、
前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した前記液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させることで、前記噴霧した液体粒子の内、負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないようにし、前記負に帯電した粒子が付着するのを防止するようにしたことを特徴とする液体濡れ防止方法。
【請求項６】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、
前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した前記液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないように、前記液体による濡れを防止したいカ所の表面に、負に帯電した粒子が前記クーロン力で引き寄せられて、前記液体の濡れが維持されることを防止することを特徴とする液体濡れ防止装置。
【請求項７】
前記負電位に帯電させる手段は、負の電位に帯電した状態の材質で、前記噴霧ノズルの先端部の周囲を囲うものであり、継続的に前記ノズルの噴出部の周囲に負に帯電した粒子がクーロン力で引き寄せられて、液体濡れが維持されることを防止することを特徴とする請求項６に記載の水もしくは水溶性液体濡れ防止装置。
【請求項８】
前記負電位に帯電させる手段は、前記噴霧ノズルの先端部以外を負の電位に帯電した状態の材質で構成したものであり、前記噴霧ノズルの先端部は加工性の高い材質で構成したことを特徴とする請求項６に記載の液体濡れ防止装置。
【請求項９】
前記負電位に帯電させる手段は、負の電位に帯電した状態の材質であって、前記ノズルの全体を囲うようにしたことを特徴とする請求項６に記載の液体濡れ防止装置。
【請求項１０】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルと、前記噴霧ノズルに接続され液体又は気体を供給するための液体供給用金属配管又は気体供給用金属配管と、前記噴霧ノズルに接続され前記液体供給用金属配管又は気体供給用金属配管等を固定する固定用部材のいずれかを備えた噴霧装置において、
前記噴霧ノズルと接続されている前記液体供給用金属配管、前記気体供給用金属配管及び又は前記固定用部材の少なくとも一部に、絶縁性の高い材質を設けた噴霧装置。
【請求項１１】
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、
前記噴霧ノズルの霧の噴出部の近傍にある有体物の表面を、負電位に帯電した状態に保持することで、前記有体物からアースに電荷が放出されることにより、継続的に負に帯電した粒子が引き寄せられ、前記液体濡れの発生するのを防止する液体濡れ防止方法。
【請求項１２】
前記負電位に帯電した状態に保持する方法として、帯電列が負傾向で、尚且つ高い耐電圧を有する材質で覆うことにより、負電位に帯電した状態に保持する請求項５〜１１のいずれか一つに記載の液体濡れ防止方法。
【請求項１３】
前記負電位に帯電させる手段は、帯電列が負傾向で且つ高い耐電圧を有する材質で構成したことを特徴とする請求項５〜１１のいずれか一つに記載の噴霧装置、液体漏れ防止方法。
【請求項１４】
前記帯電列が負傾向で且つ高い耐電圧を有する材質として、ポリプロピレン、フッ素コーティング剤、フッ素樹脂のいずれか又はこれらの組み合わせであることを特徴とする請求項５〜１１のいずれか一つに記載の噴霧装置、液体漏れ防止方法。
【請求項１５】
請求項５〜１１のいずれか一つを活用していることを特徴とする噴霧システム。
【請求項１６】
前記粒子を負に帯電させる手法としてレナード効果を利用したことを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、４、請求項５、請求項６〜７のいずれかに記載の液体付着方法、液体付着装置、成膜装置、液体濡れ防止方法、液体濡れ防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、水もしくは水溶性液体付着方法、水もしくは水溶性液体付着装置、成膜装置、水もしくは水溶性液体漏れ防止方法、水もしくは水溶性液体漏れ防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から水を噴霧する噴霧装置は、種々の分野で使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３８６６１８２号公報
【特許文献２】特許第４２３０７１１号公報
【特許文献３】特許第３９９１０９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の噴霧装置において、意図しない箇所、例えば噴霧ノズル本体、噴霧ノズル本体に水を供給する水供給用金属配管、若しくは空気を供給する空気供給用金属配管、ノズル本体を固定する器具や周囲の柱等が、その噴霧装置の設置条件によって極端に水で濡れることが有った。
【０００５】
本実施形態は以上の様な事情に基づいてなされたもので、第１の目的は噴霧ノズルにより噴霧した液体で濡らしたくない個所で液体濡れが防止できる水もしくは水溶性液体漏れ防止方法、水もしくは水溶性液体漏れ防止装置を提供することである。
【０００６】
本実施形態の第２の目的は、噴霧ノズルにより噴霧した液体で濡らしたい個所で液体濡れを生成できる水もしくは水溶性液体付着方法、水もしくは水溶性液体付着装置、成膜装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の実施形態は、水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、前記噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズルから噴霧した前記液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子を、前記液体で濡らしたい箇所に、付着させる液体濡れ生成装置である。
【０００８】
第２の実施形態は、水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体を有する噴霧装置において、前記噴霧ノズル本体の先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、前記噴霧ノズル本体から噴霧した前記液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させる手段を備え、前記噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないように、前記液体による濡れを防止したいカ所の表面に、負に帯電した粒子が前記クーロン力で引き寄せられて、前記液体の濡れが維持されることを防止することを特徴とする液体濡れ防止装置である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態を説明するための概略構成図。
【図２】図１の概略構成を詳細に説明するための図。
【図３】図１の実施形態とは異なる実施形態を説明するための概略構成図。
【図４】図３の実施形態を詳細に説明するための概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［実施形態１］
以下、実施形態について図１〜図４を参照して説明する。
【００１１】
（請求項５に対応）
始めに、実施形態１について説明する。実施形態１は、図１に示す水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体１を有する噴霧装置において、噴霧ノズル本体１の先端部１ａ又は噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、噴霧ノズル本体から噴霧した水もしくは水溶性液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させることで、噴霧した水もしくは水溶性液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないようにし、負に帯電した粒子が付着するのを防止するようにした水もしくは水溶性液体濡れ防止方法である。
【００１２】
（請求項６に対応）
実施形態１は、具体的には図１に示す水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体１を有する噴霧装置において、次のように構成した噴霧ノズル本体１の先端部１ａ又は噴霧装置の近傍に存在する有体物例えば気体供給用金属母管１０を固定する柱４、または気体供給用金属母管１０を固定する固定具５であって、噴霧ノズル本体１から噴霧した水もしくは水溶性液体による濡れを防止したいカ所の表面を、負電位に帯電させる手段（濡れ防止手段）を備え、噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子がクーロン力で反発して近づけないように、液体による濡れを防止したいカ所の表面に、負に帯電した粒子が前記クーロン力で引き寄せられて、水もしくは水溶性液体の濡れが維持されることを防止する水もしくは水溶性液体濡れ防止装置である。
【００１３】
（請求項７に対応）
前述の負電位に帯電させる手段の第１の例は、負の電位に帯電した状態の材質で、噴霧ノズル本体の先端部の周囲を囲うものであり、これにより継続的にノズルの噴出部の周囲に負に帯電した粒子がクーロン力で引き寄せられて、液体濡れが維持されることを防止するものである。
【００１４】
（請求項８に対応）
前述の負電位に帯電させる手段の第２の例は、負電位に帯電させる手段は、噴霧ノズル本体の先端部以外を負の電位に帯電した状態の材質で構成したものであり、噴霧ノズル本体の先端部は加工性の高い材質で構成したものである。
【００１５】
このようにすることにより、噴霧ノズル本体の先端部は、先端部の材質に加工性の高い樹脂や、耐久性の高い例えばステンレスを自由に適用することができる。
【００１６】
（請求項９に対応）
前述の負電位に帯電させる手段の第３の例は、負の電位に帯電した状態の材質であって、噴霧ノズル本体の全体を囲うようにしたものである。
【００１７】
実施例１によれば、ノズルより水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧システムにおいて、水もしくは水溶性液体で濡らしたくない箇所を、帯電列が負傾向且つ、高い耐電圧を有する材質で覆うことで、その箇所を高い負電圧に帯電した状態とすることで、水もしくは水溶性液体を噴霧した際にレナード効果で負に帯電した小さい粒子が、水もしくは水溶性液体で濡らしたくない箇所にクーロン力で反発して近づけない様にすることにより濡れの発生を防止することができる。
【００１８】
［実施形態２］
（請求項１０に対応）
実施形態２は、図１及び図２（ｃ）に示すように、水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体１と、噴霧ノズル本体１に接続され水もしくは水溶性液体を供給する例えば合成樹脂からなる液体供給用チューブ配管３又は噴霧ノズル本体１に接続され気体例えば空気を供給するための気体供給用金属枝配管２と、噴霧ノズル本体１に接続され気体供給用金属母管１０等を固定する固定用柱４又は固定用柱４に取り付けられ気体供給用金属母管１０を固定する固定具５のいずれかを備えた噴霧装置において、噴霧ノズル本体１と接続されている気体供給用金属枝配管２、液体供給用チューブ配管３、気体供給用金属母管１０もしくは気体供給用金属枝配管２及び又は固定具５、もしくは噴霧ノズル本体１の近傍にある導電性を有する物体、例えば金属製の配管１４のすくなくとも一部に、帯電列が負傾向且つ絶縁性の高い材質を設けたものである。
【００１９】
具体的には、図３に示すように金属製の配管１４の外周面であって、風下側にポリプロピレン性熱収縮チューブ１１で囲ったものである。また、図４（ａ）に示すように金属製の配管１４の外周面を、ポリプロピレンフィルム１２で囲い、この外周面をインシュロック１３で拘束したものである。
【００２０】
実施例２によれば、ノズルより水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧システムにおいて、水もしくは水溶性液体で濡らしたくない箇所を、帯電列が負傾向且つ、高い耐電圧を有する材質で覆うことで、その箇所を高い負電圧に帯電した状態とすることで、水もしくは水溶性液体を噴霧した際にレナード効果で負に帯電した小さい粒子が、水もしくは水溶性液体で濡らしたくない箇所にクーロン力で反発して近づけない様にすることにより濡れの発生を防止することができる。
【００２１】
［実施形態３］
（請求項１１に対応）
実施形態３は、図１の経路３、４に示すように、水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体１を有する噴霧装置において、噴霧ノズル本体１の霧の噴出部の近傍にある有体物の表面を、負電位に帯電した状態に保持することで、有体物からアースに電荷が放出されることにより、継続的に負に帯電した粒子が引き寄せられ、液体濡れの発生するのを防止する水もしくは水溶性液体濡れ防止方法である。
【００２２】
（請求項１２に対応）
前述の負電位に帯電した状態に保持する方法として、帯電列が負傾向で、尚且つ高い耐電圧を有する材質、具体的には前述した図３、図４に示すように覆うことにより、負電位に帯電した状態に保持する水もしくは水溶性液体濡れ防止方法である。
【００２３】
（請求項１３に対応）
前述の負電位に帯電させる手段は、帯電列が負傾向で、尚且つ高い耐電圧を有する材質で覆うことである。
【００２４】
（請求項１４に対応）
前述の前記帯電列が負傾向で且つ高い耐電圧を有する材質として、ポリプロピレン、フッ素コーティング剤、フッ素樹脂のいずれか又はこれらの組み合わせであることである。
【００２５】
噴霧システムとして前述の実施形態１〜３のいずれか一つを活用するように構成してもよい。
【００２６】
ここで、レナード効果について簡単に説明する。水滴は偏極しており、表面には正電荷が揃って分布し、内部には負電荷が分布している。水滴が機械的に激しく衝突した力で分裂して表面がはぎ取られた結果、小さい水粒子は負に、大きい水粒子は正に帯電し、それぞれ大気イオンの負イオン、正イオンとなる。しかし正イオンは重力の作用で早く接地するため、結果として周りの空気は負イオンが優勢となる。
【００２７】
水の粒子は噴霧した際に、レナード効果により小さい粒子は負に、大きい粒子は正に帯電する。ここで、霧を噴霧する噴霧システムに於いて、噴霧された粒子は帯電しており、周囲にアースされ、導電性の有る物体が有ると、避雷針に引き寄せられる様な形でその物体に集まる。特に、小さい粒子は運動エネルギーと重力の作用が小さく、例え霧の噴射方向と逆方向でも、クーロン力により周囲にある導電性の有る物体に向かって自由に引き寄せられる。
【００２８】
この様な物体は、前記の小さい水もしくは水溶性液体粒子が集中的に継続して衝突するため、その箇所が濡れに発展し、結果的にはその箇所からの液だれや、表面の濡れによる腐食が発生する。
【００２９】
また、正に帯電した粒子は、運動エネルギーと重力の作用が大きく、クーロン力だけでは自由な方向に飛びにくいことと、数が少ないため、同じ場所への集中度が低い傾向があることから、負に帯電した粒子の様な濡れの発展への影響は小さい。
【００３０】
［実施形態４］
（請求項１に対応）
水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズル本体を有する噴霧装置において、
噴霧ノズルの先端部又は前記噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、噴霧ノズルから噴霧した液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させることにより、噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子が、液体による濡れを生成するカ所の表面に付着させるようにした液体付着方法である。
【００３１】
（請求項２に対応）
また、水もしくは水溶性液体を噴霧する噴霧ノズルを有する噴霧装置において、噴霧ノズルの先端部又は噴霧装置の近傍に存在する有体物であって、噴霧ノズルから噴霧した液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させる手段を備え、噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子を、液体で濡らしたい箇所に、付着させる液体付着装置である。
【００３２】
（請求項３に対応）
さらに、水もしくは水溶性液体を噴霧するノズルを有する成膜装置において、ノズルの先端部又は前記成膜装置の近傍に存在する有体物であって、ノズルから液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させることにより、帯電した粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子が、液体の濡れを生成するカ所の表面に付着させるようにした成膜装置である。
【００３３】
（請求項４に対応）
さらにまた、水もしくは水溶性液体を噴霧するノズルを有する成膜装置において、ノズルの先端部又は成膜装置の近傍に存在する有体物であって、ノズルから噴霧した液体による濡れを生成するカ所の表面を、０電位もしくは正電位又は相対的に正電位に帯電させる手段を備え、噴霧した液体粒子の内、レナード効果により負に帯電した粒子を、液体で濡らしたい箇所に、付着させる成膜装置である。
【符号の説明】
【００３４】
１…ノズル本体、２…気体供給用金属枝配管、３…液体供給用チューブ配管、４…気体供給用金属枝配管等を固定する柱、５…気体供給用金属枝配管等を固定する固定具、７…ノズル本体１と液体供給用チューブ配管３との接続部に設けたポリプロピレン又はフッ素樹脂コーティング、８…気体供給用金属枝配管２の外周面及びノズル本体１の外周面全体に設けたポリプロピレン又はフッ素樹脂コーティング、９…液体供給用金属配管２の外周面に設けたポリプロピレン又はフッ素樹脂チューブ、１０…気体供給用金属母管、１１…ポリプロピレン製熱収縮チューブ、１２…ポリプロピレンフィルム、１３…インシュロック、１４…金属製の配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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