(57)【要約】【課題】濾過性能向上を図ることができる磁気フィルタ装置、液体洗浄システムおよび液体洗浄方法を提供する。【解決手段】  磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）は、使用済クーラント（被処理液体）中に分散する金属粉体（強磁性体粒子）を、磁力作用を利用して使用済クーラントから濾過除去する。この磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）は、処理容器６と、磁石ユニット２と、９つの磁気ヨーク４１と、を備える。処理容器６は、使用済クーラントが導入される処理室Ｓ１を有する。磁石ユニット２は、異なる磁極を含む複数の磁極が、クーラントの流れ方向に沿って配置され、且つ処理室Ｓ１の外部に位置するよう構成されている。磁気ヨーク４１は、処理室Ｓ１内に配置されており、複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を処理室Ｓ１内における磁石ユニット２から離れる方向に引き込むよう配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理液体中に分散する強磁性体粒子を、磁力作用を利用して前記被処理液体から濾過除去する磁気フィルタ装置であって、
前記被処理液体が導入される処理室を有する処理容器と、
異なる磁極を含む複数の磁極が、前記被処理液体の流れ方向に沿って配置され、且つ前記処理室の外部に位置するよう構成された磁石ユニットと、
前記処理室内に配置された１以上の磁気ヨークと、を備え、
前記磁気ヨークは、
前記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を前記処理室内における前記磁石ユニットから離れる方向に引き込むよう配置されている
磁気フィルタ装置。
【請求項２】
前記１以上の前記磁気ヨークは、第１磁気ヨークと、第２磁気ヨークとを含み、
前記第１磁気ヨークは、前記処理室内において、前記磁石ユニットの一つの磁極に対応する第１位置の近傍に配置され、
前記第２磁気ヨークは、前記処理室内において、前記磁石ユニットの他の異なる磁極に対応する第２位置の近傍に配置され、
前記第２磁気ヨークは、前記一つの磁極から前記第１磁気ヨークに沿って前記磁石ユニットから離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、前記処理室内において前記第１磁気ヨークから前記第２磁気ヨークに向かう方向に変化させる
請求項１記載の磁気フィルタ装置。
【請求項３】
前記磁石ユニットは、前記被処理液体の流れ方向に沿って配置された複数の磁石を有し、
前記複数の磁石それぞれは、隣り合う他の磁石側において当該他の磁石と同じ極性となるように配置され、
前記１以上の磁気ヨークは、複数存在し、
複数の前記磁気ヨークそれぞれは、前記被処理液体の流れ方向において、前記複数の磁石それぞれの磁極に対応する位置の近傍に配置されている
請求項１または請求項２記載の磁気フィルタ装置。
【請求項４】
前記磁石ユニットは、更に、複数の磁気ヨークを有し、
複数の前記磁気ヨークそれぞれは、前記筒軸方向で隣り合う２つの磁石の間に介在している
請求項３記載の磁気フィルタ装置。
【請求項５】
前記処理容器は、筒状体を有し、前記筒状体の内側が前記処理室を構成し
前記磁石ユニットが、前記筒状体の外側に配置されている
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置。
【請求項６】
前記処理容器は、第１筒状体の外側に第２筒状体が配置された形状を有し、前記第１筒状体と前記第２筒状体の間の領域が前記処理室を構成し、
前記磁石ユニットは、前記第１筒状体の内側に配置されている
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置。
【請求項７】
前記磁気ヨークは、前記処理室の内部において、前記磁石ユニットとの間に前記被処理液体の流路が形成されるように配置され、前記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む
請求項１記載の磁気フィルタ装置。
【請求項８】
磁気材料から構成され、前記処理容器の前記処理室内に配置された濾材を更に備える
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置。
【請求項９】
請求項８記載の磁気フィルタ装置と、
前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ前記被処理液体を供給するポンプと、
前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を切り替える切替部と、を備え、
前記処理容器は、
前記処理室内に連通する第１配管と、
前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、
前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成する空気溜領域形成部と、を有し、
前記切替部は、
前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮した後、
前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、前記空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理液体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出す
液体洗浄システム。
【請求項１０】
前記空気溜領域形成部は、前記第２配管に連通し、前記処理室内に突出した配管から構成される
請求項９記載の液体洗浄システム。
【請求項１１】
前記切替部は、多方弁を含んで構成されている
請求項９記載の液体洗浄システム。
【請求項１２】
前記ポンプに接続された第３配管と、
処理済み液体用の第４配管と、
前記被処理液体の排出用の排出用配管と、
前記第２配管と前記第３配管とをバイパスするバイパス配管と、を更に備え、
前記切替部は、
前記第１配管を、前記第３配管および前記排出用配管のいずれか一方に接続する第１三方弁と、
前記第２配管を、前記第４配管および前記バイパス配管のいずれか一方に接続する第２三方弁と、
前記第１三方弁および前記第２三方弁を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記第３配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記第４配管に接続することにより、前記ポンプから前記第１配管、前記濾材の順に経由して前記第２配管へと流れる第１流路に切り替え、
前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記第３配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、前記ポンプから前記第１配管および前記第２配管を通じて前記処理室内へと流れる第２流路に切り替え、
前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記排出用配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、ポンプから第２配管、濾材の順に経由して第１配管へと流れる第３流路に切り替える
請求項９〜請求項１１のいずれか１項に記載の液体洗浄システム。
【請求項１３】
請求項８記載の磁気フィルタ装置と、
前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ前記被処理液体を供給するポンプと、を用いた液体洗浄方法であって、
前記処理容器は、前記処理室内に連通する第１配管と、前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、を有し、
前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成するステップと、
前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮するステップと、
前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、前記空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理液体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出すステップと、を含む
液体洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気フィルタ装置、液体洗浄システムおよび液体洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ホーニング盤や研削盤等の工作機械は、加工部に配置支持された工作物（以下、ワークと称する。）に対して、供給タンクに貯蔵されたクーラント（研削液、切削液等）を供給しながら研削加工が行われるのが一般的である。そして、この研削加工時に発生するワークの金属研削粉は、クーラントとともに回収される。そして、回収した使用済のクーラントは、フィルタ装置により濾過されることにより金属研削粉が除去されて再利用される。
【０００３】
この使用済クーラントから金属研削粉を濾過するフィルタ装置として、例えば、特許文献１に記載されている磁気フィルタ装置が提案されている。
【０００４】
この磁気フィルタ装置は、処理容器内に配置された磁気材料からなる濾材と、この濾材を磁化させる磁石とを備え、使用済クーラント中に含まれる金属研削粉（強磁性体粒子）を磁化された濾材に吸着させるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１１２０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された磁気フィルタ装置では、磁石から放射される磁界が、磁石の比較的近傍に配置された濾材には届くが、磁石から比較的離れたところに配置された濾材には十分に届かない場合があった。この場合、磁石から比較的離れたところに配置された濾材が、金属研削粉（強磁性体粒子）を十分に吸着できず、濾過性能が低下する虞がある。
【０００７】
本発明は、上記事由に鑑みてなされたものであり、濾過性能向上を図ることができる磁気フィルタ装置および液体洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明に係る磁気フィルタ装置は、被処理液体中に分散する強磁性体粒子を、磁力作用を利用して被処理液体から濾過除去する磁気フィルタ装置であって、被処理液体が導入される処理室を有する処理容器と、異なる磁極を含む複数の磁極が、被処理液体の流れ方向に沿って配置され、且つ処理室の外部に位置するよう構成された磁石ユニットと、処理室内に配置された１以上の磁気ヨークと、を備え、磁気ヨークが、複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を前記処理室内における前記磁石ユニットから離れる方向に引き込むよう配置されている。
ところで、処理室内に磁気ヨークが配置されていない構成では、磁力線はある磁極から磁石ユニットの近傍を通って他の異なる磁極に向かうものが多くなる。従って、処理室内において磁石ユニット近傍では磁界の強さが大きくなるが、磁石ユニットから離れている位置では磁界の強さが低下する。
これに対して、本構成によれば、磁気ヨークが、磁力線を磁石ユニットから離れる方向に引き込むよう配置されているため、磁石ユニットから離れた位置における磁界の強さの低下を防止することができる。
【０００９】
（２）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記１以上の前記磁気ヨークは、第１磁気ヨークと、第２磁気ヨークとを含み、第１磁気ヨークが、処理室内において、磁石ユニットの一つの磁極に対応する第１位置の近傍に配置され、第２磁気ヨークが、処理室内において、磁石ユニットの他の異なる磁極に対応する第２位置の近傍に配置され、第２磁気ヨークが、一つの磁極から第１磁気ヨークに沿って磁石ユニットから離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、処理室内において第１磁気ヨークから第２磁気ヨークに向かう方向に変化させるものであってもよい。
本構成によれば、第２磁気ヨークが、一つの磁極から第１磁気ヨークに沿って磁石ユニットから離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、処理室内において第１磁気ヨークから第２磁気ヨークに向かう方向に変化させる。これにより、第１磁気ヨークから第２磁気ヨークに向かう磁界の磁束密度を向上させることができる。
【００１０】
（３）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁石ユニットが、上記被処理液体の流れ方向に沿って配置された複数の磁石を有し、上記複数の磁石それぞれが、隣り合う他の磁石側において当該他の磁石と同じ極性となるように配置され、上記１以上の磁気ヨークが、複数存在し、複数の磁気ヨークそれぞれが、被処理液体の流れ方向において、複数の磁石それぞれの磁極に対応する位置の近傍に配置されているものであってもよい。
本構成によれば、複数の磁石それぞれから被処理液体の流れ方向の磁界が発生するので、被処理液体の流れ方向の磁界の磁束密度を向上させることができる。
【００１１】
（４）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁石ユニットが、更に、複数の磁気ヨークを有し、複数の上記磁気ヨークそれぞれが、上記筒軸方向で隣り合う２つの磁石の間に介在しているものであってもよい。
【００１２】
（５）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記処理容器が、筒状体を有し、筒状体の内側が上記処理室を構成し、磁石ユニットが、筒状体の外側に配置されているものであってもよい。
本構成によれば、処理室内における磁束密度向上を図ることができるので、濾過性能向上を図ることができる。
【００１３】
（６）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記処理容器が、第１筒状体の外側に第２筒状体が配置された形状を有し、第１筒状体と第２筒状体の間の領域が上記処理室を構成し、磁石ユニットが、上記第１筒状体の内側に配置されているものであってもよい。
本構成によれば、処理室を大きくし易いという利点がある。
【００１４】
（７）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁気ヨークが、上記処理室の内部において、上記磁石ユニットとの間に上記被処理液体の流路が形成されるように配置され、上記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込むものであってもよい。
本構成によれば、磁気ヨークが、磁石ユニットの複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む。これにより、磁石ユニットから磁気ヨークに向かう磁界の磁束密度を向上させることができる。
【００１５】
（８）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、磁気材料から構成され、上記処理容器の上記処理室内に配置された濾材を更に備えるものであってもよい。
本構成によれば、濾材を備えることにより、濾過性能向上を図ることができる。
【００１６】
（９）他の観点からみた本発明に係る液体洗浄システムは、上記（８）の磁気フィルタ装置と、磁気フィルタ装置が備える上記処理容器の上記処理室へ上記被処理液体を供給するポンプと、ポンプが供給する前記被処理液体の流路を切り替える切替部と、を備え、処理容器が、処理室内に連通する第１配管と、処理室における濾材の第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成する空気溜領域形成部と、を有し、切替部が、ポンプが供給する被処理液体の流路を、第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮した後、ポンプが供給する被処理液体の流路を、第２配管を通るように切り替えることにより、空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により処理室内に存在する被処理液体を、第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出す。
本構成によれば、切替部を制御して被処理液体の流路を切り替えることにより、空気溜領域に存在する空気が圧縮される。その後、切替部さらに被処理液体の流路を切り替えることにより、処理室内に存在する被処理液体が、空気溜領域に存在する空気の圧力で第１配管へと勢いよく押し出される。このとき、濾材に付着した強磁性体粒子等のスラッジが、被処理液体により洗い流されるので、濾材の目詰まりが解消される。
【００１７】
（１０）また、本発明に係る液体洗浄システムは、上記空気溜領域形成部が、上記第２配管に連通し、処理室内に突出した配管から構成されるものであってもよい。
本構成によれば、空気溜領域形成部の簡素化を図ることができる。
【００１８】
（１１）また、本発明に係る液体洗浄システムは、上記切替部が、多方弁を含んで構成されているものであってもよい。
【００１９】
（１２）また、本発明に係る液体洗浄システムは、上記ポンプに接続された第３配管と、処理済み液体用の第４配管と、上記被処理液体の排出用の排出用配管と、上記第２配管と第３配管とをバイパスするバイパス配管と、を更に備え、上記切替部が、上記第１配管を、第３配管および排出用配管のいずれか一方に接続する第１三方弁と、第２配管を、第４配管およびバイパス配管のいずれか一方に接続する第２三方弁と、第１三方弁および第２三方弁を制御する制御部と、を有し、制御部が、第１三方弁を制御して、第１配管を第３配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管を第４配管に接続することにより、ポンプから第１配管、濾材の順に経由して第２配管へと流れる第１流路に切り替え、第１三方弁を制御して、第１配管を第３配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、ポンプから第１配管および第２配管を通じて処理室内へと流れる第２流路に切り替え、第１三方弁を制御して、第１配管を排出用配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管をバイパス配管に接続することにより、ポンプから第２配管、濾材の順に経由して第１配管へと流れる第３流路に切り替える。
【００２０】
（１３）他の観点からみた本発明に係る液体洗浄方法は、請求項８記載の磁気フィルタ装置と、前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ前記被処理液体を供給するポンプと、を用いた液体洗浄方法であって、前記処理容器は、前記処理室内に連通する第１配管と、前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、を有し、前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成するステップと、前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮するステップと、前記ポンプが供給する前記被処理液体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理液体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出すステップと、を含む。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、濾過性能向上を図ることができる磁気フィルタ装置および液体洗浄システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態に係る液体洗浄システムの概略構成図である。
【図２】実施形態に係る磁気フィルタ装置の概略構成図である。
【図３】実施形態に係る磁気ヨークを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図４】実施形態に係る制御部のブロック図である。
【図５】実施形態に係る磁気フィルタ装置の動作説明図である。
【図６】比較例に係る磁気フィルタ装置の動作説明図である。
【図７】実施形態に係る磁気フィルタ装置の性能説明図である。
【図８】実施形態に係る制御部の動作を示すフローチャートである。
【図９】実施形態に係る制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１０】実施形態に係る制御部の動作を示すフローチャートである。
【図１１】実施形態に係る磁気フィルタ装置の動作説明図である。
【図１２】実施形態に係る磁気フィルタ装置の動作説明図である。
【図１３】実施形態に係る磁気フィルタ装置の動作説明図である。
【図１４】変形例に係る磁気フィルタ装置の概略構成図である。
【図１５】変形例に係る磁気ヨークを示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
【図１６】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図１７】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図１８】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図１９】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図２０】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図２１】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【図２２】変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
＜実施形態＞
＜１＞構成
［全体構成］
図１は、本実施形態に係る流体洗浄システムの概略図である。
流体洗浄システムは、ホーニング盤等の工作機械１０８において使用されたクーラント（被処理流体）を洗浄するシステムである。
流体洗浄システムは、磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂと、ポンプ９０と、アキュムレータ９６と、脱液・固化ユニット１００と、バッファタンク１０４と、回収タンク１０６と、圧力センサ１２０と、制御部１９０と、を備える。
【００２４】
回収タンク１０６は、工作機械１０８で使用されたクーラント（使用済クーラント）を回収するためのものである。
ポンプ９０は、回収タンク１０６に蓄えられた使用済クーラントを、配管１１４を通じて２つの磁気フィルタ装置１Ａに供給する。
磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂは、配管１１４を通じて送られてくる使用済クーラントを洗浄する。この磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂの詳細は後述する。
【００２５】
アキュムレータ９６は、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）により洗浄されたクーラント（洗浄済クーラント）と空気を貯蓄している。ここで、アキュムレータ９６に貯蓄されたクーラントは、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）から配管１１８を通じて、空気は配管９９と弁９８を通じて流入される。
バッファタンク１０４は、工作機械１０８へ供給する洗浄済みクーラントを貯蓄している。そして、ポンプ１０２が、バッファタンク１０４に貯蓄された洗浄済みクーラントを工作機械１０８へ供給する。
【００２６】
弁９８は、配管１１８を流れる洗浄済みクーラントの流路を切り替えるためのものである。弁９８が閉じている場合、配管１１８を流れる洗浄済みクーラントは、アキュムレータ９６へ流入する。一方、弁９８が開いている場合、洗浄済みクーラントは、配管９９を通じてバッファタンク１０４へ流入する。また、空気が、配管９９を通じてアキュムレータ９６へ流入する。
脱液・固化ユニット１００は、後述の磁気フィルタ装置１Ａの洗浄の際、磁気フィルタ装置１Ａから配管１１６を通じて流入するクーラントに含まれる金属粉等のスラッジを分離して固化する。
圧力センサ１２０は、ポンプ９０の近傍に設けられており、ポンプ９０の送出圧力を検出している。
【００２７】
［磁気フィルタ装置］
図２は、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａの概略断面図である。なお、磁気フィルタ装置１Ｂは、磁気フィルタ装置１Ａと同様である。
磁気フィルタ装置１Ａは、配管１１４を通じて流入する使用済みクーラント中に分散する強磁性体粒子（例えば、ホーニングにより生じる金属研削粉）を、磁力作用を利用してクーラントから濾過除去する装置である。
磁気フィルタ装置１Ａは、主として、処理容器６と、磁石ユニット２と、濾材４と、磁気ヨーク４１と、液体三方弁１６，１８，空気三方弁１３４，１３６と、圧縮空気源１３８と、圧力センサ１２０と、を備える。
【００２８】
処理容器６は、略円筒状の第２筒状体６２と、略円筒状の第１筒状体６１と、上蓋１７ｂと、下蓋１７ａと、天板７と、基台９とを含んで構成される。
第２筒状体６２の筒軸方向に直交する断面において、第１筒状体６１の外径は、第２筒状体６２の内径に比べて小さい。そして、第１筒状体６１の外側に第２筒状体６２が配置された形状を有する。第２筒状体６２および第１筒状体６１の筒軸方向における長さは、略等しい。第２筒状体６２および第１筒状体６１は、例えば非磁性体ステンレス鋼等の非磁性体材料から構成されている。
【００２９】
天板７は、第２筒状体６２および第１筒状体６１の筒軸方向における一端側（図２における上端側）を閉塞するように第２筒状体６２および第１筒状体６１に取着されている。また、基台９は、第２筒状体６２および第１筒状体６１の筒軸方向における他端側（図２における下端側）を閉塞するように第２筒状体６２および第１筒状体６１に取着されている。そして、第２筒状体６２と第１筒状体６１の間の領域が、処理室Ｓ１を構成し、第１筒状体６１の内側の領域が、磁石ユニット２が配置される磁石室Ｓ２を構成している。
【００３０】
天板７における第１筒状体６１の内側に対応する部位には、圧縮空気導入用の空気配管１４２が設けられている。また、天板７における処理室Ｓ１に対応する部位には、洗浄済みのクーラントを処理室Ｓ１から排出するための配管１０が設けられている。ここで、配管１０の先端部１０ａは、天板７の下面よりも下方に突出している。この配管１０における処理室Ｓ１内に突出した部分（突出部）が、空気が溜まる空気溜領域（後述図１１のＡ１参照）を形成する空気溜領域形成部を構成する。上記突出部は、配管１０における上記突出部以外の部位（第２配管）に連通している。
そして、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）の使用時には、処理室Ｓ１における天板７の下面と配管１０の先端部１０ａとの間に、空気が溜まる空気溜領域（後述図１１のＡ１参照）が形成される。
基台９における第１筒状体６１の内側に対応する部位には、下部ポート１４３ａが設けられている。また、基台９における処理室Ｓ１に対応する部位には配管（第１配管）８が接続されている。この配管８の先端部が、クーラントを処理室Ｓ１に導入したり、クーラントを処理室Ｓ１から排出したりするための処理流体導入排出ポート８ａを構成している。
【００３１】
処理室Ｓ１には、濾材４が配置された濾材配置領域Ｓ１１が形成されている。濾材４は、磁気材料から構成されている。濾材４としては、例えば、スチールウール、金網、線材などを採用することができる。このように、濾材４を備えることにより、磁気フィルタ装置１Ａの濾過性能向上を図ることができる。
【００３２】
上蓋１７ｂおよび下蓋１７ａは、濾材４を処理容器６内に保持している。上蓋１７ｂおよび下蓋１７ａには、濾材４が通過できず、かつクーラントが通過し得る大きさの通液孔が多数配設されている。
【００３３】
液体三方弁１８は、配管１０，２２，１１８に接続されており、配管１０の接続先を配管１１８側または配管２２側に切り換える。液体三方弁１８は、制御部１９０からの制御信号により切替動作を行う。
【００３４】
液体三方弁１６は、配管８，１１４，１１６に接続されており、配管８の接続先を配管１１４側または配管１１６側に切り替える。液体三方弁１８は、制御部１９０からの制御信号により切替動作を行う。
【００３５】
空気三方弁１３４，１３６は、空気配管１３５，１３７に接続されており、空気配管１３５，１３７の接続先を空気配管１４２，１４３側または開放側に切り替える。  
【００３６】
空気配管１３５，１３７は、圧縮空気源１３８に接続されている。
圧縮空気源１３８は、例えばエアコンプレッサ等から構成される。
【００３７】
磁石ユニット２は、第１筒状体６１の内側（処理室Ｓ１の外部）における濾材配置領域Ｓ１１に対応する領域に配置されている。つまり、処理容器６が、第１筒状体６１の外側に第２筒状体６２が配置された形状を有し、第１筒状体６１と第２筒状体６２の間の領域が処理室Ｓ１を構成し、磁石ユニット２が、第１筒状体６１の内側に配置されている。
これにより、処理室Ｓ１を大きくし易いという利点がある。
【００３８】
磁石ユニット２は、略円柱状の形状を有し、複数（図２では８個）の磁石２５と、複数（図２では９個）の副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂとから構成されている。
副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂは、磁石２５から放射される磁束を後述の磁気ヨーク４１へ導く働きをする。これにより、磁石２５から放射される磁束が効率よく磁気ヨーク４１へと導かれるので、磁石２５から放射される磁束の損失を低減することができる。
【００３９】
また、磁石２５と副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂは、略円盤状の形状を有する。ここで、磁石２５は、例えばネオジウム磁石等の永久磁石から構成されている。また、副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂは、例えば軟鉄等の磁気材料から構成されている。そして、副磁気ヨーク２７の径寸法が、磁石室Ｓ２の内径寸法よりも若干小さくなるように設定され、磁石２５の径寸法が、副磁気ヨーク２７の径寸法よりも小さく設定されている。
【００４０】
ここで、複数の磁石２５と複数の副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂとは、交互に積層された状態で配置されている。また、磁石ユニット２の中心軸方向において隣り合う２つの磁石２５同士は、副磁気ヨーク２７を介して同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。即ち、磁石ユニット２は、Ｓ極、Ｎ極の互いに異なる磁極を含んでいる。ここで、副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂそれぞれが、クーラントの流れ方向において、複数の磁石２５それぞれの磁極に対応する位置の近傍に配置されている。
磁石ユニット２が、以上に説明した構成を有することにより、複数の磁石２５それぞれから当該複数の磁石２５の並び方向の磁界が発生するので、複数の磁石２５の並び方向の磁界の磁束密度を向上させることができる。
【００４１】
そして、磁石ユニット２は、磁石室Ｓ２内において、第１筒状体６１の筒軸方向（図２における上下方向）へ移動可能となっている。
磁気ヨーク４１は、処理室Ｓ１における濾材配置領域Ｓ１１に配置されている。この磁気ヨーク４１は、例えば軟鉄等の磁気材料から構成されている。磁気ヨーク４１は、磁石ユニット２の複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を処理室Ｓ１内における磁石ユニット２から離れる方向に引き込むよう配置されている。
【００４２】
また、一つの磁気ヨーク４１が、処理室Ｓ１内において、磁石ユニット２の一つの磁極に対応する位置（第１位置）の近傍に配置され、他の磁気ヨーク４１が、処理室Ｓ１内において、磁石ユニット２の他の異なる磁極に対応する位置（第２位置）の近傍に配置されている。そして、他の磁気ヨーク４１は、一つの磁極から一つの磁気ヨーク４１に沿って磁石ユニット２から離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、処理室Ｓ１内において一つの磁気ヨーク４１から他の磁気ヨーク４１に向かう方向に変化させる。
【００４３】
この場合、他の磁気ヨーク４１が、一つの磁極から一つの磁気ヨーク４１に沿って磁石ユニット２から離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、処理室Ｓ１内において一つの磁気ヨークから他の磁気ヨークに向かう方向（クーラントの流れ方向）に変化させる。これにより、一つの磁気ヨーク４１から他の磁気ヨーク４２に向かう磁界（クーラントの流方向に沿った磁界）の磁束密度を向上させることができる。
【００４４】
図３は、本実施形態に係る磁気ヨーク４１を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
磁気ヨーク４１は、平面視円形の貫通孔４１ｂが形成された円盤状（即ち、平面視略円環状）の形状を有する。磁気ヨーク４１の内径寸法は、処理容器６の第１筒状体６１の外径寸法よりも若干大きい。また、磁気ヨーク４１の外径寸法は、処理容器６の第２筒状体６２の内径寸法よりも若干小さい。そして、磁気ヨーク４１は、貫通孔４１ｂに第１筒状体６１が挿通された状態で濾材配置領域Ｓ１１に配置される。また、磁気ヨーク４１には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４１ａが形成されている。また、磁気ヨーク４１は、その厚み方向が処理容器６の筒軸方向に沿うように配置されている。そして、磁気ヨーク４１が濾材配置領域Ｓ１１に配置された状態では、磁気ヨーク４１の貫通孔４１ａの内側に濾材４が充填された状態となっている。
【００４５】
［制御部］
制御部１９０は、流体洗浄システムの動作制御を行う。
図４は、本実施形態に係る制御部１９０のブロック図である。
制御部１９０は、ＣＰＵ２００と、メモリ２９２と、入出力ポート２９６とを備える。そして、ＣＰＵ２００、メモリ２９２および入出力ポート２９６は、バスＢＵＳを介して接続されている。メモリ２９２には、制御プログラム２９０が格納されている。
入出力ポート２９６には、弁９８、空気三方弁１３４，１３６、液体三方弁１６，１８、ポンプ９０、圧縮空気源１３８を制御する制御素子（例えば、リレー）及び圧力センサ１２０の出力を測定する測定素子（例えば、アナログディジタル変換器）、が接続されている。
【００４６】
ＣＰＵ２００は、メモリ２９２に格納された制御プログラム２９８を実行することにより、制御部１９０の各種機能を実現している。
また、制御部１９０は、２つの磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂのうち直近で後述の逆洗処理を行ったものがいずれであるかを示す情報を管理している。具体的には、２つの磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂそれぞれに識別情報を付与しており、直近で逆洗処理を行った磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）の識別情報を、前回逆洗処理を行った磁気フィルタ装置の識別情報としてメモリ２９２に格納している。この識別情報は、逆洗処理が行われる毎に更新されていく。
【００４７】
＜２＞磁気フィルタ装置の性能
次に、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａの性能について説明する。ここでは、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａの性能について、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１と比較しながら説明する。なお、磁気フィルタ装置１Ｂは、磁気フィルタ装置１Ａと同じなのでここでは説明を省略する。
比較例に係る磁気フィルタ装置１００１は、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａと略同様の構成であり、処理容器６の処理室Ｓ１内に磁気ヨークが無い点が磁気フィルタ装置１Ａと相違する。
また、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａと比較例に係る磁気フィルタ装置１００１では、いずれも副磁気ヨーク２７，２７Ａ，２７Ｂが、磁石ユニット２の発生する磁界の磁力線の起点となる磁極となっている。
【００４８】
図５は、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａの動作説明図であり、図６は、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１の動作説明図である。図５および図６では、磁石ユニット２の副磁気ヨーク２７の周面から放射される磁力線Ｍのイメージを示している。
図６に示すように、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１では、副磁気ヨーク２７の周面から放射された磁力線Ｍの密度が、第１筒状体６１の外周面近傍に比べて第２筒状体６２の内周面近傍が小さくなっている。
【００４９】
これに対して、図５に示すように、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａでは、磁気ヨーク４１が、磁石ユニット２（副磁気ヨーク２７）が発生する磁界の磁力線の経路を処理室Ｓ１内における磁石ユニット２から離れる方向へ引き込んでいる。これにより、副磁気ヨーク２７の周面から放射された磁力線Ｍの密度分布の偏りが、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１の場合に比べて小さくなっている。即ち、第１筒状体６１の外周面近傍の磁力線Ｍの密度（磁束密度）と、第２筒状体６２の内周面近傍の磁力線Ｍの密度（磁束密度）との差異が小さくなっている。このことは、磁気フィルタ装置１Ａは、磁気フィルタ装置１００１に比べて、磁石ユニット２から放射される磁界が第２筒状体６２の内周面近傍まで行き届いていることを示している。
また、磁気ヨーク４１は、処理室Ｓ１内に処理容器６の筒軸方向に沿うような磁界を発生させるよう配置されている。磁力線Ｍは、第１筒状体６１の外壁に近い側でも、第２筒状体６２の内壁に近い側でも、第２筒状体６２の筒軸に略平行となっている。また、磁束密度は、第１筒状体６１の外壁に近い側でも、第２筒状体６２の内壁に近い側でも略等しくなる。
【００５０】
図７は、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａと、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１とで、磁束密度の分布を比較した結果である。なお、（ｂ）の磁束密度Ｂの分布は、（ａ）に示すように、第１筒状体６１の外周面を基点とした場合の第１筒状体６１（第２筒状体６２）の径方向（ｒ）の分布を示すものである。なお、図７（ｂ）において、実線は本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａの場合の分布を示し、破線は比較例に係る磁気フィルタ装置１００１の場合の分布を示している。また、図７（ｂ）は、第１筒状体６１（第２筒状体６２）の筒軸方向における２つの副磁気ヨーク２７の中央部における分布を示している。
図７（ｂ）に示すように、磁気フィルタ装置１Ａは、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１に比べて、第１筒状体６１（第２筒状体６２）の径方向（ｒ）の磁束密度分布の偏りが小さくなる。そして、濾材４では、第１筒状体６１（第２筒状体６２）の径方向において磁石ユニット２から放射される磁界が、比較例に比べて均一に印加される。
【００５１】
つまり、濾材４に印加される磁界が、第１筒状体６１（第２筒状体６２）の径方向において均一に印加されるので、濾材４における濾過性能の第１筒状体６１（第２筒状体６２）の径方向の偏りを解消することができる。そして、特に、濾材４のうち第２筒状体６２の内周面近傍での濾過性能を向上させることができる。
【００５２】
＜３＞動作
＜３−１＞全体動作
次に、本実施形態に係る液体洗浄システムの制御部１９０の動作について説明する。
図８および図９は、本実施形態に係る液体洗浄システムの制御部１９０の動作を示すフローチャートである。
まず、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａを使用するか否かを判定する（ステップＳ１）。具体的には、制御部１９０は、メモリ２０２に格納されている磁気フィルタ装置の識別情報に基づいて、前回、磁気フィルタ装置１Ａについて逆洗処理を行ったか否かを判定する。そして、制御部１９０は、前回、磁気フィルタ装置１Ａについて逆洗処理を行っている場合には、磁気フィルタ装置１Ａを使用すると判定する。
【００５３】
ステップＳ１において、磁気フィルタ装置１Ａを使用すると判定されると（ステップＳ１：Ｙｅｓ）、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａの空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８の空気供給先を上部ポート１４２ａ側に切り替える（ステップＳ２）。このとき、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａについて、空気三方弁１３４，１３６を制御して空気配管１３５の接続先を空気配管１４２側に切り替える。
【００５４】
次に、制御部１９０は、圧縮空気源１３８を動作させる（ステップＳ３）。このとき、磁気フィルタ装置１Ａでは、処理容器６の上部ポート１４２ａから、磁石室Ｓ２における磁石ユニット２の上方に圧縮空気が導入される。これにより、磁石ユニット２が、磁石室Ｓ２における下方に固定され、磁気フィルタ装置１Ａを使用する準備がなされる。
【００５５】
一方、ステップＳ１において、磁気フィルタ装置１Ａを使用しないと判定されると（ステップＳ１：Ｎｏ）、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ｂの空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８の空気供給先を上部ポート１４２ａ側に切り替える（ステップＳ４）。このとき、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａについて、空気三方弁１３４，１３６を制御して空気配管１３５の接続先を空気配管１４２側に切り替える。
【００５６】
次に、制御部１９０は、圧縮空気源１３８を動作させる（ステップＳ５）。このとき、磁気フィルタ装置１Ｂでは、処理容器６の上部ポート１４２ａから、磁石室Ｓ２における磁石ユニット２の上方に圧縮空気が導入される。これにより、磁石ユニット２が、磁石室Ｓ２における下方に固定され、磁気フィルタ装置１Ｂを使用する準備がなされる。
【００５７】
続いて、制御部１９０は、弁９８を開く（ステップＳ６）。すると、回収タンク１０６から配管１１４、磁気フィルタ装置１Ａ（または磁気フィルタ装置１Ｂ）、配管１１８を経由してバッファタンク１０４へ通じる流路が開通する。
【００５８】
その後、制御部１９０は、ポンプ９０を駆動させる（ステップＳ７）。すると、回収タンク１０６に貯蓄されている使用済クーラントが、ポンプ９０によって吸い上げられ、磁気フィルタ装置１Ａ（または磁気フィルタ装置１Ｂ）の処理流体導入排出ポート８ａに送り込まれる。なお、制御部１９０は、既にポンプ９０が駆動されている場合、ステップＳ４の処理を省略する。
これにより、処理流体導入排出ポート８ａに送り込まれた使用済クーラントは、処理室Ｓ１に導かれる。そして、処理室Ｓ１で濾材４により濾過されたクーラントは、配管１１８を通じてバッファタンク１０４に流入する。
【００５９】
次に、制御部１９０は、圧力センサ１２０の値を取得する（ステップＳ８）。
続いて、制御部１９０は、取得した圧力センサ１２０の値が所定値以下か否かを判定する（ステップＳ９）。ステップＳ６において、圧力センサ１２０の値が所定値以下の場合（ステップＳ９：Ｙｅｓ）、制御部１９０は、再びステップＳ５の処理を行う。一方、ステップＳ６において、圧力センサ１２０の値が所定値を超える場合（ステップＳ９：Ｎｏ）、制御部１９０は、弁９８を閉じる（ステップＳ１１）。
【００６０】
ここにおいて、磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂでは、濾材４にスラッジが捕捉される結果、いわゆる目詰まりが生じる。このとき、ポンプ９０の送出圧力が上昇する。そこで、磁気フィルタ装置１Ａでは、制御部１９０が、ポンプ９０の送出圧力を圧力センサ１２０により監視し、ポンプの送出圧力が所定値を超えた場合、弁９８を閉じて後述の逆洗処理の準備を行う。
【００６１】
ステップＳ１１において、弁９８が閉じられることにより、磁気フィルタ装置１Ａから流出した洗浄済みクーラントが、アキュムレータ９６に流入し、アキュムレータ９６に洗浄済みクーラントが蓄積される。
【００６２】
その後、制御部１９０は、弁９８を閉じてからアキュムレータ９６への洗浄済みクーラント蓄積のための所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１２）。ここでは、制御部１９０のＣＰＵ２００が、例えば内蔵タイマを用いて計時を行う。なお、所定時間は、アキュムレータ９６の容量と、磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂからアキュムレータ９６への単位時間当たりのクーラントの流入量とに基づいて設定される。
【００６３】
次に、制御部１９０は、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ａを対象とするものであったか否かを判定する（ステップＳ１３）。具体的には、制御部１９０は、メモリ２９２に格納されている磁気フィルタ装置の識別情報に基づいて、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ａを対象とするものであったか否かを判定する。
【００６４】
ステップＳ１３において、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ａを対象とするものであった場合（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ｂの空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８の空気供給先を下部ポート１４３ａ側に切り替える（ステップＳ１４）。このとき、制御部１９０は、磁気フィルタ１Ｂについて、空気配管１３５の接続先を空気配管１４２側に切り替える。
【００６５】
続いて、制御部１９０は、圧縮空気源１３８を動作させる（ステップＳ１５）。このとき、磁気フィルタ装置１Ｂでは、処理容器６の下部ポート１４３ａから、磁石室Ｓ２における磁石ユニット２の下方に圧縮空気が導入される。これにより、磁石ユニット２が、磁石室Ｓ２における上方に固定され、磁気フィルタ装置１Ｂの逆洗処理を行う準備がなされる。その後、制御部１９０は、逆洗処理を行う（ステップＳ１６）。この逆洗処理の詳細は、＜３−２＞において詳細に説明する。
【００６６】
一方、ステップＳ１３において、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ａを対象とするものでない、即ち、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ｂを対象とするものであったとする（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）。この場合、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａの空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８からの通路を下部ポート１４３ａ側に切り替える（ステップＳ１７）。このとき、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ｂについて、空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８からの通路を上部ポート１４２ａ側に切り替える。
【００６７】
続いて、制御部１９０は、圧縮空気源１３８を動作させる（ステップＳ１８）。このとき、磁気フィルタ装置１Ａでは、処理容器６の下部ポート１４３ａから、磁石室Ｓ２における磁石ユニット２の下方に圧縮空気が導入される。これにより、磁石ユニット２が、磁石室Ｓ２における上方に固定され、磁気フィルタ装置１Ｂの逆洗処理を行う準備がなされる。その後、制御部１９０は、逆洗処理を行う（ステップＳ１６）。この逆洗処理の詳細は、＜３−２＞において詳細に説明する。
以上説明したように、本実施形態に係る液体洗浄システムでは、磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂを交互に洗浄する。
【００６８】
＜３−２＞逆洗処理
次に、本実施形態に係る液体洗浄システムの逆洗処理について詳細に説明する。
図１０は、本実施形態に係る制御部１９０の逆洗処理における動作を示すフローチャートである。また、図１１〜図１３は、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）の動作説明図である。
【００６９】
初めは、クーラントの流路が、ポンプ９０から配管８、処理室Ｓ１の順に経由して配管１０へと流れる流路（第１流路）に設定されている。
この状態で、制御部１９０は、まず、液体三方弁１８を制御して、配管１０の接続先を配管２２側に切り替える（ステップＳ２１）。すると、クーラントの流路が、上記第１流路から、ポンプ９０から配管８および配管１０の両方を通って処理室Ｓ１内へ流れ込む流路（第２流路）に切り替わる。そして、図１１に示すように、ポンプ９０により、配管２２、液体三方弁１８および配管１０を通じた流路でも処理容器６の処理室Ｓ１内にクーラントが供給される（図１１中の矢印参照）。このとき、クーラントの液面は、ポンプ９０の送出圧力により配管１０の先端部よりも上方へ押し上げられる。そして、処理室Ｓ１の上方の空気溜領域Ａ１に溜まっている空気がクーラントにより圧縮された状態となる。
【００７０】
制御部１９０は、液体三方弁１６を制御して、処理室Ｓ１に連通する配管８の接続先を脱液・固化ユニット１００に接続された配管１１６側に切り替える（ステップＳ２２）。すると、クーラントの流路が、上記第２流路から、ポンプ９０から配管１０、処理室Ｓ１の順に経由して配管８へと流れる流路（第３流路）に切り替わる。そして、図１２に示すように、空気溜領域Ａ１に溜まっている圧縮された空気の圧力により、処理室Ｓ１内に導入されたクーラントが配管１１６へ勢いよく流出する（図１２中の矢印参照）。
【００７１】
続いて、制御部１９０は、配管８の接続先および配管１０の接続先を切り替えた後、所定時間だけ経過したか否かを判定する（ステップＳ２３）。ここで、制御部１９０は、所定時間を経過しない限り待機状態を維持する（ステップＳ２３：Ｎｏ）。
このとき、図１３に示すように、ポンプ９０により供給されるクーラントが、配管２２を通って処理室Ｓ１内へ供給され続ける（図１３中の矢印参照）。これにより、濾材４は、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）使用時とは逆方向に流れるクーラントにより洗浄される。
【００７２】
ステップＳ２３において、所定時間だけ経過したと判定されると（ステップＳ２３：Ｙｅｓ）、制御部１９０は、液体三方弁１８を制御して、配管１０の接続先を配管１１８側に切り替える（ステップＳ２４）。
【００７３】
その後、制御部１９０は、ポンプ９０を停止する（ステップＳ２５）。なお、制御部１９０は、ステップＳ２５の処理を行わず、ポンプ９０を駆動させ続けるようにしてもよい。
【００７４】
最後に、制御部１９０は、液体三方弁１６を制御して、配管８の接続先をポンプ９０に接続された配管１１４側に切り替える（ステップＳ２６）。
【００７５】
＜４＞まとめ
ところで、処理室Ｓ１内に磁気ヨークが配置されていない構成（例えば、比較例に係る磁気フィルタ装置１００１）では、磁力線はある磁極から磁石ユニットの近傍を通って他の異なる磁極に向かうものが多くなる。従って、処理室Ｓ１内において磁石ユニット２近傍では磁界の強さが大きくなるが、磁石ユニット２から離れている位置では磁界の強さが低下する。
これに対して、本実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）では、磁気ヨーク４１が、磁力線を磁石ユニット２から離れる方向に引き込むよう配置されているため、磁石ユニット２から離れた位置における磁界の強さの低下を防止することができる。
この結果、磁石ユニットの複数の磁極それぞれが処理室Ｓ１内において生じさせる磁界について、処理済みクーラントの流れ方向に直交する方向における磁界の強さの分布の偏りを小さくすることができる。
【００７６】
また、制御部１９０が液体三方弁１６，１８を制御してクーラントの流路を第１流路から第２流路に切り替えることにより、空気溜領域Ａ１に存在する空気が圧縮される。その後、制御部１９０が液体三方弁１６，１８を制御してクーラントの流路を第２流路から第３流路に切り替えることにより、処理室Ｓ１内に存在するクーラントが、空気溜領域Ａ１に存在する空気の圧力で配管８へと勢いよく押し出される。このとき、濾材４に付着した強磁性体粒子等のスラッジが、クーラントにより洗い流されるので、濾材４の目詰まりが解消される。
【００７７】
＜変形例＞
（１）実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）では、処理容器６が、第１筒状体６１の内側が磁石室Ｓ２を構成し、第２筒状体６２と第１筒状体６１との間の領域が処理室Ｓ１を構成する例について説明した。但し、処理容器が、実施形態と同様に第２筒状体６２と第１筒状体６１とから構成されるものであり、第１筒状体６１の内側が処理室を構成し、第２筒状体６２と第１筒状体６１との間の領域が磁石室を構成するものであってもよい。つまり、処理容器６の第１筒状体６１の内側が処理室Ｓ１を構成し、磁石ユニット２が、第１筒状体６１の一部を筒軸周りに囲繞するように配置されているものであってもよい。
【００７８】
図１４は、本変形例に係る磁気フィルタ装置２０１の概略構成図である。なお、図１４において、実施形態と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
磁気フィルタ装置２０１では、処理容器２０６が、実施形態と同様に、第２筒状体６２と第１筒状体６１とから構成されている。そして、第１筒状体６１の内側が処理室Ｓ２１を構成し、第２筒状体６２と第１筒状体６１との間の領域が磁石室Ｓ２２を構成している。
【００７９】
磁石室Ｓ２２には、磁石ユニット２０２が配置されている。磁石ユニット２０２は、複数（図１４では８個）の磁石２２５と、複数（図１４では９個）の副磁気ヨーク２２７，２２７Ａ，２２７Ｂとから構成されている。磁石２２５と副磁気ヨーク２２７，２２７Ａ，２２７Ｂは、平面視略円環状の形状を有する。そして、磁石２２５および副磁気ヨーク２７の内径寸法は、第１筒状体６１の外径寸法よりも若干大きくなるように設定されている。
そして、磁石ユニット２０２は、実施形態と同様に、磁石室Ｓ２２内において、第１筒状体６１の筒軸方向（図１４における上下方向）へ移動可能となっている。
【００８０】
図１５は、本実施形態に係る磁気ヨーク２４１を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
磁気ヨーク２４１は、円盤状の形状を有する。磁気ヨーク２４１の外径寸法は、処理容器６の第１筒状体６１の内径寸法よりも若干小さい。また、磁気ヨーク２４１には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔２４１ａが形成されている。そして、磁気ヨーク２４１が濾材配置領域Ｓ２１１に配置された状態では、磁気ヨーク２４１の貫通孔２４１ａの内側に濾材４が充填された状態となっている。
【００８１】
本構成によれば、処理室Ｓ２１内における磁束密度向上を図ることができるので、濾過性能向上を図ることができる。
【００８２】
（２）実施形態では、磁石ユニット２が副磁気ヨーク２７を備える構成について説明したが、必ずしも副磁気ヨークを備える構成に限定されるものではない。
【００８３】
図１６（ａ）〜（ｄ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、筒状の処理容器３０６と、処理容器３０６の内側において処理容器３０６の筒軸方向に並んで配置された２つの板状の磁気ヨーク３４１ａと、処理容器３０６の外部に配置された磁石ユニット３０２ａとを備える。ここで、２つの磁気ヨーク３４１ａは、厚さ方向に貫通する貫通孔（図示せず）が形成されており、処理容器３０６の内側を塞ぐように配置されている。また、２つの磁気ヨーク３４１ａの間には、濾材４が配置されている。
【００８４】
そして、磁石ユニット３０２ａが、処理容器３０６の外壁における、処理容器３０６の筒軸周りの一部に対向して配置されている。また、磁石ユニット３０２ａは、略Ｃ字状の形状を有する１つの磁石から構成されており、２つの先端部それぞれが磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合している。磁石ユニット３０２ａの２つの先端部が、磁極となる。
【００８５】
図１６（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、処理容器３０６の外部に配置された磁石ユニット３０２ｂが図１６（ａ）に示す構成と相違する。
磁石ユニット３０２ｂでは、３つの磁石３０２ｂ１が積層された状態で配置されている。ここで、隣り合う２つの磁石３０２ｂ１同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分が、処理容器３０６の外壁における、磁気ヨーク３４１ａに対応する部位に位置している。また、磁石ユニット３０２ｂの隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分が、磁極となる。
【００８６】
図１６（ａ）および（ｂ）に示すような磁気ヨーク３４１ａの配置では、処理容器３０６の内側の処理室内に処理容器３０６の筒軸方向に沿うような磁界が発生する。
【００８７】
図１６（ｃ）に示す磁気フィルタ装置は、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１６（ａ）に示す構成と相違する。
磁気ヨーク３４１ａは、処理容器３０６の内部における磁石ユニット３０２ａ側とは反対側に配置されている。そして、磁気ヨーク３４１ａと磁石ユニット３０２ａとの間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態１と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。また、磁気ヨーク３４１ａは、処理容器３０６の筒軸方向において、磁石ユニット３０２ａの２つの先端部を跨ぐように配置されている。これにより、磁石ユニット３０２ａの２つの先端部から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ａ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット３０２ａから放射される磁束を有効に活用することができる。
【００８８】
図１６（ｄ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ｂ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１６（ｂ）に示す構成と相違する。
磁気ヨーク３４１ａは、処理容器３０６の内部における磁石ユニット３０２ｂ側とは反対側に配置されている。また、磁気ヨーク３４１ｂは、処理容器３０６の筒軸方向において、磁石ユニット３０２ｂを構成する隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分を跨ぐように配置されている。これにより、隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ａ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット３０２ａから放射される磁束を有効に活用することができる。
また、図１６（ｃ）および（ｄ）に示すような磁気ヨーク３４１ｂの配置では、処理容器３０６の内側の処理室内に処理容器３０６の筒軸方向に直交するような磁界が発生する。
【００８９】
結局、図１６（ｃ）および（ｄ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ｂが、処理室の内部において、磁石ユニット２との間にクーラントの流路が形成されるように配置され、磁石ユニット２の複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む。
【００９０】
この場合、磁気ヨーク３４１ｂが、磁石ユニット２の複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む。これにより、磁石ユニット２から磁気ヨーク３４１ｂに向かう磁界の磁束密度を向上させることができる。
【００９１】
（３）副磁気ヨークの数や副磁気ヨークの配置は、実施形態に係る磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）の構成に限定されるものではない。
図１７（ａ）〜（ｆ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図１７（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、前述（２）で説明した図１６（ａ）に示す構成と略同様であり、磁石ユニット４０２ａが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。また、図１７（ａ）〜（ｆ）に示す磁気フィルタ装置では、磁石ユニットが処理容器３０６の外壁における、処理容器３０６の筒軸周りの一部に対向して配置されている。
【００９２】
図１７（ａ）に示すように、磁石ユニット４０２ａは、１つの磁石４２５ａと、２つの副磁気ヨーク４２７ａとから構成されている。そして、２つの副磁気ヨーク４２７ａそれぞれは、磁石４２５ａおよび磁気ヨーク３４１ａそれぞれと磁気的に結合している。
【００９３】
図１７（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット４０２ｂが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１７（ｂ）に示すように、磁石ユニット４０２ｂは、２つの磁石４２５ｂと、１つの副磁気ヨーク４２７ｂとから構成されている。そして、２つの磁石４２５ｂそれぞれは、一端側で磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合し、他端側で副磁気ヨーク４２７ｂと磁気的に結合している。また、２つの磁石４２５ｂは、処理容器３０６の筒軸方向に直交する径方向において極性が互いに逆となっている。
【００９４】
図１７（ｃ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット４０２ｃが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１７（ｃ）に示すように、磁石ユニット４０２ｃは、３つの磁石３０２ｂ１が副磁気ヨーク４２７ｃを介して積層された状態で配置されている。ここで、隣り合う２つの磁石（磁石４２５ｃと磁石４２５ｄや磁石４２５ｄと磁石４２５ｅ）同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、副磁気ヨーク４２７ｃが、処理容器３０６の外壁における、磁気ヨーク３４１ａに対応する部位に位置しており、磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合している。
【００９５】
図１７（ｄ）〜（ｆ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１７（ａ）〜（ｃ）に示す構成と相違する。
図１７（ｄ）〜（ｆ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ａが、処理容器３０６の内壁の一部に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク３４１ａと、処理容器３０６の周壁における磁石ユニット３０２ａ側の一部との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態１と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【００９６】
図１７（ｄ）および（ｆ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ａが、処理容器３０６の筒軸方向において、処理容器３０６における副磁気ヨーク４２７ａ，４２７ｃに対向する２つの部位を跨ぐように配置されている。また、図１７（ｅ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ａが、処理容器３０６の筒軸方向において、処理容器３０６における磁石４２５ｂに対向する２つの部位を跨ぐように配置されている。
これにより、磁石ユニット３０２ａの２つの先端部から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ａ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット３０２ａから放射される磁束を有効に活用することができる。
【００９７】
（４）変形例（２）および（３）では、磁石ユニット２が処理容器３０６の外壁における、処理容器３０６の筒軸周りの一部に対向して配置されている例について説明したが、磁石ユニット２の配置はこれに限定されるものではない。例えば、磁石ユニットが、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞するように配置されるものであってもよい。
【００９８】
図１８（ａ）〜（ｄ）および図１９（ａ）〜（ｅ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図１８（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様であり、磁石ユニット５０２ａの構成が相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
磁石ユニット５０２ａは、処理容器３０６を筒軸周りに囲繞する略円環状の形状を有し、その周方向に直交する断面が略Ｃ字状の形状を有する１つの永久磁石から構成されている。そして、磁石ユニット５０２ａは、処理容器３０６の周囲に配置された状態で、その周方向に直交する断面において２つの先端部が処理容器３０６の外壁に対向する。このとき、磁石ユニット５０２ａの２つの先端部それぞれが、磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合している。
【００９９】
図１８（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様であり、磁石ユニット５０２ｂの構成が図１６（ａ）に示す構成と相違する。
磁石ユニット５０２ｂでは、略円環状の形状を有し処理容器３０６の一部を処理容器３０６の筒軸周りに囲繞する３つの磁石５０２ｂ１が積層された状態で配置されている。ここで、隣り合う２つの磁石３０２ｂ１同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、隣り合う２つの磁石５０２ｂ１の境目部分が、処理容器３０６の外壁における、磁気ヨーク３４１ａに対応する部位に位置している。
【０１００】
図１８（ｃ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す構成と略同様であり、磁石ユニット５０２ｃの構成が相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１８（ｃ）に示すように、磁石ユニット５０２ｃは、１つの磁石５２５ｃと、２つの副磁気ヨーク５２７ｃとから構成されている。ここで、磁石５２５ｃおよび副磁気ヨーク５２７ｃは、いずれも略円環状の形状を有し、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞している。そして、２つの副磁気ヨーク５２７ｃそれぞれは、磁石５２５ｃおよび磁気ヨーク３４１ａそれぞれと磁気的に結合している。
【０１０１】
図１８（ｄ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット５０２ｄが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１８（ｄ）に示すように、磁石ユニット５０２ｄは、２つの磁石５２５ｄと、１つの副磁気ヨーク５２７ｄとから構成されている。ここで、磁石５２５ｄおよび副磁気ヨーク５２７ｄは、いずれも略円環状の形状を有し、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞している。そして、２つの磁石５２５ｄそれぞれは、一端側で磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合し、他端側で副磁気ヨーク４２７ｂと磁気的に結合している。また、２つの磁石５２５ｄは、処理容器３０６の筒軸方向に直交する径方向において極性が互いに逆となっている。
【０１０２】
図１９（ａ）〜（ｄ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク８４１ａの配置が図１８（ａ）〜（ｄ）に示す構成と相違する。なお、図１８（ａ）〜（ｄ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１９（ａ）〜（ｄ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク８４１ａが、処理容器３０６の中心軸に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク８４１ａと、処理容器３０６の内壁との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態１と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【０１０３】
また、図１９（ｂ）に示す磁気フィルタ装置において、隣り合う２つの磁石５０２ｂ１の間に副磁気ヨークを設けてもよい。
図１９（ｅ）に示す磁気フィルタ装置では、磁石８２５ａと磁石８２５ｂとの間、磁石８２５ｂと磁石８２５ｃとの間それぞれに、略円環状の副磁気ヨーク８２７ａが介在している。そして、磁気ヨーク８４１ａが、処理容器３０６の筒軸方向において、処理容器３０６における２つの副磁気ヨーク８２７ａそれぞれに対向する２つの部位を跨ぐように配置されている。
また、図１９（ａ）〜（ｅ）に示すような磁気ヨーク８４１ａの配置では、処理容器３０６の内側の処理室内に処理容器３０６の筒軸方向に直交する磁界が発生する。
【０１０４】
（５）変形例（１）では、磁石ユニット２が複数の磁石２２５と、複数の副磁気ヨーク２７，２２７Ａ，２２７Ｂとを備える構成について説明したが、磁石ユニットは、副磁気ヨークを備える構成に限定されるものではない。また、磁石ユニットは、複数の磁石２２５を備える構成に限定されるものではない。
【０１０５】
図２０（ａ）および（ｂ）並びに図２１（ａ）〜（ｄ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図２０（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、処理容器６０６と、２つの板状の磁気ヨーク６４１ａと、濾材４と、磁石ユニット６０２ａと、を備える。ここで、処理容器６０６は、円筒状の第２筒状体６６２と、円筒状であり筒軸方向に直交する断面において、外径が第２筒状体６６２の内径よりも小さい第１筒状体６６１とを含んで構成されている。２つの磁気ヨーク６４１ａは、略円環状に形成されており、処理容器６０６の第２筒状体６６２と第１筒状体６６１との間の処理室において、処理容器６０６の筒軸方向に並んで配置されている。ここで、２つの磁気ヨーク３４１ａは、厚さ方向に貫通する貫通孔（図示せず）が形成されており、上記処理室を塞ぐように配置されている。また、２つの磁気ヨーク６４１ａの間には、濾材４が配置されている。
【０１０６】
磁石ユニット３０２ａは、３つの円柱状の磁石６０２ａ１から構成されている。この３つの磁石６０２ａ１は、第１筒状体６６１の内側の磁石室において第１筒状体６６１の筒軸方向に積層された状態で配置されている。また、隣り合う２つの磁石６０２ａ１の境目部分が、第１筒状体６６１の内壁における、磁気ヨーク６４１ａに対応する部位に位置している。
【０１０７】
図２０（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図２０（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット６０２ｂの構成が相違する。なお、図２０（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
磁石ユニット６０２ｂは、１つの磁石６２５ｂと、２つの副磁気ヨーク６２７ｂと、を備える。そして、２つの副磁気ヨーク６２７ｂそれぞれは、磁石６２５ｂおよび磁気ヨーク６４１ａそれぞれと磁気的に結合している。
また、図２０（ａ）および（ｂ）に示すような磁気ヨーク６４１ａの配置では、処理容器３０６の内側の処理室内に処理容器３０６の筒軸方向に沿った磁界が発生する。
【０１０８】
図２１（ａ）および（ｂ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク９４１ａの配置が図２０（ａ）および（ｂ）に示す構成と相違する。なお、図２０（ａ）および（ｂ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図２１（ａ）および（ｂ）に示す磁気フィルタ装置では、円筒状の磁気ヨーク９４１ａが、処理容器３０６の第２筒状体６６２の内壁に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク９４１ａと、第１筒状体６６１の外壁との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態１と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【０１０９】
図２１（ｃ）および（ｄ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、図２１（ａ）および（ｂ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニットの構成が相違する。
図２１（ｃ）に示す磁気フィルタ装置で、磁石ユニット９０２ａが複数（図２１（ｃ）では５個）の磁石９０２ａ１から構成されている。ここで、複数の磁石９０２ａ１は、積層された状態で配置されている。また、隣り合う２つの磁石９０２ａ１同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、円筒状の磁気ヨーク９４１ｂが、隣り合う２つの磁石９０２ａ１の境目部分全てを跨ぐように、第２筒状体６６２の内壁に沿って配置されている。
【０１１０】
図２１（ｄ）に示す磁気フィルタ装置で、磁石ユニット９０２ｂが複数（図２１（ｄ）では４個）の磁石９２５ｂと、複数（図２１（ｄ）では５個）の副磁気ヨーク９２７ｂから構成されている。ここで、複数の磁石９２５ｂと複数の副磁気ヨーク９２７ｂとは、交互に積層された状態で配置されている。また、隣り合う２つの磁石９２５ｂ同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、円筒状の磁気ヨーク９４１ｂが、第１筒状体６６１の外壁における、複数の副磁気ヨーク９２７ｂに対向する部分全てを跨ぐように、第２筒状体６６２の内壁に沿って配置されている。
また、図２１（ａ）〜（ｄ）に示すような磁気ヨーク９４１ａ，９４１ｂの配置では、処理容器６０６の内側の処理室内に処理容器６０６（第１筒状体６６１、第２筒状体６６２）の筒軸方向に直交する磁界が発生する。
【０１１１】
（６）実施形態に係る磁気フィルタ装置や変形例（１）で説明した磁気フィルタ装置では、複数の磁石と複数の副磁気ヨークとが交互に積層された１つの磁石ユニットを備える例について説明した。但し、磁石ユニットの数は、１つに限定されるものではなく、複数の磁石ユニットを備えるものであってもよい。
【０１１２】
図２２（ａ）および（ｂ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図２２（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、処理容器３０６の外壁における、処理容器３０６の筒軸方向に離間した２つの部位それぞれを囲繞するように、磁石ユニット７０２ａ，７０２ｂが配置されている点が図１６（ａ）に示す構成と相違する。
【０１１３】
ここで、磁石ユニット７０２ａ（７０２ｂ）は、１つの磁石７２５ａ（７２５ｂ）と、２つの副磁気ヨーク７２７ａ（７２７ｂ）とから構成されている。ここで、磁石７２５ａ（７２５ｂ）および副磁気ヨーク７２７ａ（７２７ｂ）は、いずれも略円環状の形状を有し、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞している。そして、２つの副磁気ヨーク７２７ａ（７２７ｂ）それぞれは、磁石７２５ａ（７２５ｂ）および磁気ヨーク７４１ａ（７４１ｂ）それぞれと磁気的に結合している。
【０１１４】
図２２（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図２０（ｂ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、処理容器３０６の外壁における、処理容器３０６の筒軸方向に離間した２つの部位それぞれを囲繞するように、磁石ユニット７０２ｃ，７０２ｄが配置されている点が図２０（ｂ）に示す構成と相違する。
ここで、磁石ユニット７０２ｃ（７０２ｄ）は、１つの磁石７２５ｃ（７２５ｄ）と、２つの副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）とから構成されている。ここで、磁石７２５ｃ（７２５ｄ）および副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）は、いずれも略円環状の形状を有し、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞している。そして、２つの副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）それぞれは、磁石７２５ｃ（７２５ｄ）および磁気ヨーク７４１ｇ（７４１ｈ）それぞれと磁気的に結合している。
【０１１５】
また、図２２（ａ）および（ｂ）に示すような磁気ヨーク７４１ａ，７４１ｂ，７４１ｇ，７４１ｈの配置では、処理容器３０６，６０６の内側の処理室内に処理容器３０６，６０６（第１筒状体６６１、第２筒状体６６２）の筒軸方向に沿った磁界が発生する。
【０１１６】
（７）実施形態や変形例では、処理容器の処理室内における、磁石ユニット２の各磁極に対応する位置の近傍に、磁気ヨークが１つずつ配置されている例について説明した。但し、磁気ヨークの配置はこれに限定されるものではなく、例えば、複数の磁気ヨークが処理室における各磁極に対応する位置の近傍に、処理容器の筒軸方向（クーラントの流れ方向）に重なって配置されるものであってもよい。
【０１１７】
（８）実施形態および前述の各変形例では、磁気フィルタ装置がクーラント等の液体に含まれる強磁性体粒子を濾過除去して液体を洗浄する例について説明した。但し、磁気フィルタ装置が洗浄する対象は液体に限定されるものではなく、例えば強磁性体粒子が分散した気体であってもよい。
【０１１８】
（９）実施形態では、磁石ユニットの一部を構成する磁石が永久磁石であるものとして説明したが、磁石の種類は永久磁石に限定されるものではなく、電磁石であってもよい。
【０１１９】
（１０）実施形態では、濾材４の洗浄時には、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）使用時におけるクーラントの流れ方向とは逆方向にクーラントを流す例について説明した。但し、濾材４の洗浄方向はこれに限定されるものではなく、例え磁石ユニット２を磁石室Ｓ２の上方に配置して、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）使用時におけるクーラントの流れ方向と同じ方向にクーラントを流すようにしてもよい。
この場合、例えば、液体三方弁１８が、配管１０の接続先を配管１１８側と、脱液・固化ユニット１００に直接接続された配管（図示せず）側とで切り替えるようにすればよい。そして、濾材４の洗浄時には、液体三方弁１８が、配管１０の接続先を脱液・固化ユニット１００に接続された配管側に切り替えるようにすればよい。
【０１２０】
（１１）実施形態では、圧力センサ１２０が、ポンプ９０の近傍、すなわち、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）のクーラント入口側の配管１１４に設けられ、ポンプ９０の送出圧力を検知する例について説明したが、圧力センサ１２０が、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）のクーラント出口側の配管１１８に設けられてもよい。この場合、圧力センサ１２０は、配管１１８と、弁９８と、配管１１４とで構成される流路による圧力損失を検知し、ステップＳ９においては、所定値以上かどうかを判定すればよい。さらに、圧力センサ１２０は、磁気フィルタ装置１Ａ（１Ｂ）のクーラント入口側の配管１１４とクーラント出口側の配管１１８の差圧を検知するものであってもよい。そして、ステップＳ９（図８参照）においては、所定値以上かどうかを判定すればよい。
【符号の説明】
【０１２１】
１Ａ，１Ｂ，１００１  磁気フィルタ装置
２，２０２，３０２ａ，３０２ｂ，４０２ａ，４０２ｂ，４０２ｃ，５０２ａ，５０２ｂ，５０２ｃ，５０２ｄ，６０２ａ，６０２ｂ，７０２ａ，７０２ｂ，７０２ｃ，７０２ｄ，９０２ａ，９０２ｂ  磁石ユニット
４        濾材
６，２０６，３０６，６０６  処理容器
７        天板
８，１０，２２，９９，１１４，１１６，１１８  配管
８ａ  処理流体導入排出ポート
９        基台
１６，１８  液体三方弁
１７ａ    上蓋
１７ｂ    下蓋
９８  弁
２５，２２５，３０２ｂ１，４２５ａ，４２５ｂ，４２５ｃ，４２５ｄ，５０２ｂ１，５２５ｃ，５２５ｄ，６０２ａ１，６２５ｂ，７２５ａ，７２５ｃ，８２５ａ，８２５ｂ，８２５ｃ，９０２ａ１，９２５ｂ  磁石
２７，２７Ａ，２７Ｂ，２２７，２２７Ａ，２２７Ｂ，４２７ａ，４２７ｂ，４２７ｃ，５２７ｃ，５２７ｄ，６２７ｂ，７２７ａ，７２７ｃ，８２７ａ，９２７ｂ  副磁気ヨーク
４１，２４１，３４１ａ，３４１ｂ，６４１ａ，７４１ａ，７４１ｇ，７４１ｈ，８４１ａ，９４１ａ，９４１ｂ  磁気ヨーク
４１ａ，４１ｂ，２４１ａ  貫通孔
６１，６６１  第１筒状体
６２，６６２  第２筒状体
９０，１０２  ポンプ
９６      アキュムレータ
１００    脱液・固化ユニット
１０４    バッファタンク
１０６    回収タンク
１０８    工作機械
１２０    圧力センサ
１３４，１３６  空気三方弁
１３５，１３７，１４２，１４３  空気配管
１３８    圧縮空気源
１４２ａ  上部ポート
１４３ａ  下部ポート
１９０    制御部
２９２    メモリ
２９６    入出力ポート
２９８    制御プログラム
Ａ１      空気溜領域
Ｓ１，Ｓ２１  処理室
Ｓ２，Ｓ２２  磁石室
Ｓ１１，Ｓ２１１  濾材配置領域
【図１】
2015080735.tif 000003
【図２】
2015080735.tif 000004
【図３】
2015080735.tif 000005
【図４】
2015080735.tif 000006
【図５】
2015080735.tif 000007
【図６】
2015080735.tif 000008
【図７】
2015080735.tif 000009
【図８】
2015080735.tif 000010
【図９】
2015080735.tif 000011
【図１０】
2015080735.tif 000012
【図１１】
2015080735.tif 000013
【図１２】
2015080735.tif 000014
【図１３】
2015080735.tif 000015
【図１４】
2015080735.tif 000016
【図１５】
2015080735.tif 000017
【図１６】
2015080735.tif 000018
【図１７】
2015080735.tif 000019
【図１８】
2015080735.tif 000020
【図１９】
2015080735.tif 000021
【図２０】
2015080735.tif 000022
【図２１】
2015080735.tif 000023
【図２２】
2015080735.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成26年11月4日(2014.11.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体又は気体からなる被処理流体が導入され、この被処理流体中に分散する強磁性体粒子が磁力作用を利用して前記被処理流体から濾過除去されたあと、前記被処理流体が排出される処理室を有する処理容器と、
磁気材料から構成され、前記処理容器の前記処理室内に配置された濾材と、
異なる磁極を含む複数の磁極が、前記被処理流体の流れ方向に沿って配置され、且つ前記処理室の外部に位置するよう構成され、前記処理室の外部から前記処理室内に前記磁力作用を及ぼす磁石ユニットと、
前記処理室内に配置され、前記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を前記処理室内における前記磁石ユニットから離れる方向に引き込む１以上の磁気ヨークと、を備えている、磁気フィルタ装置。
【請求項２】
前記１以上の前記磁気ヨークは、第１磁気ヨークと、第２磁気ヨークとを含み、
前記第１磁気ヨークは、前記処理室内において、前記磁石ユニットの一つの磁極に対応する第１位置の近傍に配置され、
前記第２磁気ヨークは、前記処理室内において、前記磁石ユニットの他の異なる磁極に対応する第２位置の近傍に配置され、
前記第２磁気ヨークは、前記一つの磁極から前記第１磁気ヨークに沿って前記磁石ユニットから離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、前記処理室内において前記第１磁気ヨークから前記第２磁気ヨークに向かう方向に変化させる
請求項１記載の磁気フィルタ装置。
【請求項３】
前記磁石ユニットは、前記被処理流体の流れ方向に沿って配置された複数の磁石を有し、
前記複数の磁石それぞれは、隣り合う他の磁石側において当該他の磁石と同じ極性となるように配置され、
前記１以上の磁気ヨークは、複数存在し、
複数の前記磁気ヨークそれぞれは、前記被処理流体の流れ方向において、前記複数の磁石それぞれの磁極に対応する位置の近傍に配置されている
請求項１または請求項２記載の磁気フィルタ装置。
【請求項４】
前記磁石ユニットは、更に、複数の副磁気ヨークを有し、
複数の前記副磁気ヨークそれぞれは、隣り合う２つの磁石の間に介在している
請求項３記載の磁気フィルタ装置。
【請求項５】
前記処理容器は、筒状体を有し、前記筒状体の内側が前記処理室を構成し
前記磁石ユニットが、前記筒状体の外側に配置されている
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置。
【請求項６】
前記処理容器は、第１筒状体の外側に第２筒状体が配置された形状を有し、前記第１筒状体と前記第２筒状体の間の領域が前記処理室を構成し、
前記磁石ユニットは、前記第１筒状体の内側に配置されている
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置。
【請求項７】
前記磁気ヨークは、前記処理室の内部において、前記磁石ユニットとの間に前記被処理流体の流路が形成されるように配置され、前記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む
請求項１記載の磁気フィルタ装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置と、
前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ液体からなる前記被処理流体を供給するポンプと、
前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を切り替える切替部と、を備え、
前記処理容器は、
前記処理室内に連通する第１配管と、
前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、
前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成する空気溜領域形成部と、を有し、
前記切替部は、
前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮した後、
前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、前記空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理流体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出す
液体洗浄システム。
【請求項９】
前記空気溜領域形成部は、前記第２配管に連通し、前記処理室内に突出した配管から構成される
請求項８記載の液体洗浄システム。
【請求項１０】
前記切替部は、多方弁を含んで構成されている
請求項８記載の液体洗浄システム。
【請求項１１】
前記ポンプに接続された第３配管と、
処理済み液体用の第４配管と、
前記被処理流体の排出用の排出用配管と、
前記第２配管と前記第３配管とをバイパスするバイパス配管と、を更に備え、
前記切替部は、
前記第１配管を、前記第３配管および前記排出用配管のいずれか一方に接続する第１三方弁と、
前記第２配管を、前記第４配管および前記バイパス配管のいずれか一方に接続する第２三方弁と、
前記第１三方弁および前記第２三方弁を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記第３配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記第４配管に接続することにより、前記ポンプから前記第１配管、前記濾材の順に経由して前記第２配管へと流れる第１流路に切り替え、
前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記第３配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、前記ポンプから前記第１配管および前記第２配管を通じて前記処理室内へと流れる第２流路に切り替え、
前記第１三方弁を制御して、前記第１配管を前記排出用配管に接続するとともに、前記第２三方弁を制御して、前記第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、ポンプから第２配管、濾材の順に経由して第１配管へと流れる第３流路に切り替える
請求項８〜請求項１０のいずれか１項に記載の液体洗浄システム。
【請求項１２】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の磁気フィルタ装置と、
前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ液体からなる前記被処理流体を供給するポンプと、を用いた液体洗浄方法であって、
前記処理容器は、前記処理室内に連通する第１配管と、前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、を有し、
前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成するステップと、
前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮するステップと、
前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、前記空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理流体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出すステップと、を含む
液体洗浄方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
（１）本発明に係る磁気フィルタ装置は、液体又は気体からなる被処理流体が導入され、この被処理流体中に分散する強磁性体粒子が磁力作用を利用して被処理流体から濾過除去されたあと、前記被処理流体が排出される処理室を有する処理容器と、磁気材料から構成され、前記処理容器の前記処理室内に配置された濾材と、異なる磁極を含む複数の磁極が、被処理流体の流れ方向に沿って配置され、且つ処理室の外部に位置するよう構成され、前記処理室の外部から前記処理室内に前記磁力作用を及ぼす磁石ユニットと、処理室内に配置され、複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を前記処理室内における前記磁石ユニットから離れる方向に引き込む１以上の磁気ヨークとを備えている。
ところで、処理室内に磁気ヨークが配置されていない構成では、磁力線はある磁極から磁石ユニットの近傍を通って他の異なる磁極に向かうものが多くなる。従って、処理室内において磁石ユニット近傍では磁界の強さが大きくなるが、磁石ユニットから離れている位置では磁界の強さが低下する。
これに対して、本構成の磁気フィルタ装置は、磁力線を磁石ユニットから離れる方向に引き込む磁気ヨークを備えているため、磁石ユニットから離れた位置における磁界の強さの低下を防止することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（３）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁石ユニットが、上記被処理流体の流れ方向に沿って配置された複数の磁石を有し、上記複数の磁石それぞれが、隣り合う他の磁石側において当該他の磁石と同じ極性となるように配置され、上記１以上の磁気ヨークが、複数存在し、複数の磁気ヨークそれぞれが、被処理流体の流れ方向において、複数の磁石それぞれの磁極に対応する位置の近傍に配置されているものであってもよい。
本構成によれば、複数の磁石それぞれから被処理流体の流れ方向の磁界が発生するので、被処理流体の流れ方向の磁界の磁束密度を向上させることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（４）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁石ユニットが、更に、複数の副磁気ヨークを有し、複数の上記副磁気ヨークそれぞれが、隣り合う２つの磁石の間に介在しているものであってもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（７）また、本発明に係る磁気フィルタ装置は、上記磁気ヨークが、上記処理室の内部において、上記磁石ユニットとの間に上記被処理流体の流路が形成されるように配置され、上記複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込むものであってもよい。
本構成によれば、磁気ヨークが、磁石ユニットの複数の磁極それぞれを起点とする磁力線を引き込む。これにより、磁石ユニットから磁気ヨークに向かう磁界の磁束密度を向上させることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（８）上記（１）における本発明に係る磁気フィルタ装置は、磁気材料から構成され、上記処理容器の上記処理室内に配置された濾材を更に備えるので、濾過性能向上を図ることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（９）他の観点からみた本発明に係る液体洗浄システムは、上記（１）〜（７）の磁気フィルタ装置と、磁気フィルタ装置が備える上記処理容器の上記処理室へ液体からなる上記被処理流体を供給するポンプと、ポンプが供給する前記被処理流体の流路を切り替える切替部と、を備え、処理容器が、処理室内に連通する第１配管と、処理室における濾材の第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成する空気溜領域形成部と、を有し、切替部が、ポンプが供給する被処理流体の流路を、第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮した後、ポンプが供給する被処理流体の流路を、第２配管を通るように切り替えることにより、空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により処理室内に存在する被処理流体を、第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出す。
本構成によれば、切替部を制御して被処理流体の流路を切り替えることにより、空気溜領域に存在する空気が圧縮される。その後、切替部さらに被処理流体の流路を切り替えることにより、処理室内に存在する被処理流体が、空気溜領域に存在する空気の圧力で第１配管へと勢いよく押し出される。このとき、濾材に付着した強磁性体粒子等のスラッジが、被処理流体により洗い流されるので、濾材の目詰まりが解消される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
（１２）また、本発明に係る液体洗浄システムは、上記ポンプに接続された第３配管と、処理済み液体用の第４配管と、上記被処理流体の排出用の排出用配管と、上記第２配管と第３配管とをバイパスするバイパス配管と、を更に備え、上記切替部が、上記第１配管を、第３配管および排出用配管のいずれか一方に接続する第１三方弁と、第２配管を、第４配管およびバイパス配管のいずれか一方に接続する第２三方弁と、第１三方弁および第２三方弁を制御する制御部と、を有し、制御部が、第１三方弁を制御して、第１配管を第３配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管を第４配管に接続することにより、ポンプから第１配管、濾材の順に経由して第２配管へと流れる第１流路に切り替え、第１三方弁を制御して、第１配管を第３配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管を前記バイパス配管に接続することにより、ポンプから第１配管および第２配管を通じて処理室内へと流れる第２流路に切り替え、第１三方弁を制御して、第１配管を排出用配管に接続するとともに、第２三方弁を制御して、第２配管をバイパス配管に接続することにより、ポンプから第２配管、濾材の順に経由して第１配管へと流れる第３流路に切り替える。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
（１３）他の観点からみた本発明に係る液体洗浄方法は、上記（１）〜（７）の磁気フィルタ装置と、前記磁気フィルタ装置が備える前記処理容器の前記処理室へ液体からなる前記被処理流体を供給するポンプと、を用いた液体洗浄方法であって、前記処理容器は、前記処理室内に連通する第１配管と、前記処理室における前記濾材の前記第１配管側とは反対側に位置し前記処理室内に連通する第２配管と、を有し、前記処理室内における前記濾材の前記第２配管側に空気が溜まっている空気溜領域を形成するステップと、前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第１配管および前記第２配管を通るように切り替えることにより前記空気溜領域に存在する空気を圧縮するステップと、前記ポンプが供給する前記被処理流体の流路を、前記第２配管を通るように切り替えることにより、空気溜領域に存在する圧縮された空気の圧力により前記処理室内に存在する前記被処理流体を、前記第１配管を通じて前記処理室の外部へ押し出すステップと、を含む。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
この場合、他の磁気ヨーク４１が、一つの磁極から一つの磁気ヨーク４１に沿って磁石ユニット２から離れる方向に引き込まれた磁界の向きを、処理室Ｓ１内において一つの磁気ヨークから他の磁気ヨークに向かう方向（クーラントの流れ方向）に変化させる。これにより、一つの磁気ヨーク４１から他の磁気ヨーク４１に向かう磁界（クーラントの流方向に沿った磁界）の磁束密度を向上させることができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
＜３＞動作
＜３−１＞全体動作
次に、本実施形態に係る液体洗浄システムの制御部１９０の動作について説明する。
図８および図９は、本実施形態に係る液体洗浄システムの制御部１９０の動作を示すフローチャートである。
まず、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ａを使用するか否かを判定する（ステップＳ１）。具体的には、制御部１９０は、メモリ２９２に格納されている磁気フィルタ装置の識別情報に基づいて、前回、磁気フィルタ装置１Ａについて逆洗処理を行ったか否かを判定する。そして、制御部１９０は、前回、磁気フィルタ装置１Ａについて逆洗処理を行っている場合には、磁気フィルタ装置１Ａを使用すると判定する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
ステップＳ１３において、前回の逆洗処理が磁気フィルタ装置１Ａを対象とするものであった場合（ステップＳ１３：Ｙｅｓ）、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ｂの空気三方弁１３４，１３６を制御して圧縮空気源１３８の空気供給先を下部ポート１４３ａ側に切り替える（ステップＳ１４）。このとき、制御部１９０は、磁気フィルタ装置１Ｂについて、空気配管１３５の接続先を空気配管１４２側に切り替える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
続いて、制御部１９０は、圧縮空気源１３８を動作させる（ステップＳ１８）。このとき、磁気フィルタ装置１Ａでは、処理容器６の下部ポート１４３ａから、磁石室Ｓ２における磁石ユニット２の下方に圧縮空気が導入される。これにより、磁石ユニット２が、磁石室Ｓ２における上方に固定され、磁気フィルタ装置１Ａの逆洗処理を行う準備がなされる。その後、制御部１９０は、逆洗処理を行う（ステップＳ１６）。この逆洗処理の詳細は、＜３−２＞において詳細に説明する。
以上説明したように、本実施形態に係る液体洗浄システムでは、磁気フィルタ装置１Ａ，１Ｂを交互に洗浄する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図１５は、本変形例に係る磁気ヨーク２４１を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図である。
磁気ヨーク２４１は、円盤状の形状を有する。磁気ヨーク２４１の外径寸法は、処理容器６の第１筒状体６１の内径寸法よりも若干小さい。また、磁気ヨーク２４１には、その厚さ方向に貫通する複数の貫通孔２４１ａが形成されている。そして、磁気ヨーク２４１が濾材配置領域Ｓ２１１に配置された状態では、磁気ヨーク２４１の貫通孔２４１ａの内側に濾材４が充填された状態となっている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８７】
図１６（ｃ）に示す磁気フィルタ装置は、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１６（ａ）に示す構成と相違する。
磁気ヨーク３４１ｂは、処理容器３０６の内部における磁石ユニット３０２ａ側とは反対側に配置されている。そして、磁気ヨーク３４１ｂと磁石ユニット３０２ａとの間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。また、磁気ヨーク３４１ｂは、処理容器３０６の筒軸方向において、磁石ユニット３０２ａの２つの先端部を跨ぐように配置されている。これにより、磁石ユニット３０２ａの２つの先端部から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ｂ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット３０２ａから放射される磁束を有効に活用することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
図１６（ｄ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ｂ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１６（ｂ）に示す構成と相違する。
磁気ヨーク３４１ｂは、処理容器３０６の内部における磁石ユニット３０２ｂ側とは反対側に配置されている。また、磁気ヨーク３４１ｂは、処理容器３０６の筒軸方向において、磁石ユニット３０２ｂを構成する隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分を跨ぐように配置されている。これにより、隣り合う２つの磁石３０２ｂ１の境目部分から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ｂ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット３０２ｂから放射される磁束を有効に活用することができる。
また、図１６（ｃ）および（ｄ）に示すような磁気ヨーク３４１ｂの配置では、処理容器３０６の内側の処理室内に処理容器３０６の筒軸方向に直交するような磁界が発生する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
図１７（ｃ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット４０２ｃが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１７（ｃ）に示すように、磁石ユニット４０２ｃは、３つの磁石４２５ｃ，４２５ｄ，４２５ｅが副磁気ヨーク４２７ｃを介して積層された状態で配置されている。ここで、隣り合う２つの磁石（磁石４２５ｃと磁石４２５ｄや磁石４２５ｄと磁石４２５ｅ）同士は、同じ極性（Ｎ極とＮ極またはＳ極とＳ極）となるように配置されている。そして、副磁気ヨーク４２７ｃが、処理容器３０６の外壁における、磁気ヨーク３４１ａに対応する部位に位置しており、磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合している。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
図１７（ｄ）〜（ｆ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク３４１ｂの配置が図１７（ａ）〜（ｃ）に示す構成と相違する。
図１７（ｄ）〜（ｆ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ｂが、処理容器３０６の内壁の一部に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク３４１ｂと、処理容器３０６の周壁における磁石ユニット４０２ａ，４０２ｂ，４０２ｃ側の一部との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
図１７（ｄ）および（ｆ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ｂが、処理容器３０６の筒軸方向において、処理容器３０６における副磁気ヨーク４２７ａ，４２７ｃに対向する２つの部位を跨ぐように配置されている。また、図１７（ｅ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク３４１ｂが、処理容器３０６の筒軸方向において、処理容器３０６における磁石４２５ｂに対向する２つの部位を跨ぐように配置されている。
これにより、磁石ユニット４０２ａ，４０２ｂ，４０２ｃの２つの先端部から放射される磁束のうち、磁気ヨーク３４１ｂ外への漏れ磁束の成分を低減することができるので、磁石ユニット４０２ａ，４０２ｂ，４０２ｃから放射される磁束を有効に活用することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
図１８（ｄ）に示す磁気フィルタ装置は、図１６（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット５０２ｄが相違する。なお、図１６（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１８（ｄ）に示すように、磁石ユニット５０２ｄは、２つの磁石５２５ｄと、１つの副磁気ヨーク５２７ｄとから構成されている。ここで、磁石５２５ｄおよび副磁気ヨーク５２７ｄは、いずれも略円環状の形状を有し、処理容器３０６の外壁の一部を、処理容器３０６の筒軸周りに囲繞している。そして、２つの磁石５２５ｄそれぞれは、一端側で磁気ヨーク３４１ａと磁気的に結合し、他端側で副磁気ヨーク５２７ｄと磁気的に結合している。また、２つの磁石５２５ｄは、処理容器３０６の筒軸方向に直交する径方向において極性が互いに逆となっている。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０２】
図１９（ａ）〜（ｄ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク８４１ａの配置が図１８（ａ）〜（ｄ）に示す構成と相違する。なお、図１８（ａ）〜（ｄ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図１９（ａ）〜（ｄ）に示す磁気フィルタ装置では、磁気ヨーク８４１ａが、処理容器３０６の中心軸に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク８４１ａと、処理容器３０６の内壁との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
図２０（ａ）および（ｂ）並びに図２１（ａ）〜（ｄ）は、本変形例に係る磁気フィルタ装置の一部を示す断面図である。
図２０（ａ）に示す磁気フィルタ装置は、処理容器６０６と、２つの板状の磁気ヨーク６４１ａと、濾材４と、磁石ユニット６０２ａと、を備える。ここで、処理容器６０６は、円筒状の第２筒状体６６２と、円筒状であり筒軸方向に直交する断面において、外径が第２筒状体６６２の内径よりも小さい第１筒状体６６１とを含んで構成されている。２つの磁気ヨーク６４１ａは、略円環状に形成されており、処理容器６０６の第２筒状体６６２と第１筒状体６６１との間の処理室において、処理容器６０６の筒軸方向に並んで配置されている。ここで、２つの磁気ヨーク６４１ａは、厚さ方向に貫通する貫通孔（図示せず）が形成されており、上記処理室を塞ぐように配置されている。また、２つの磁気ヨーク６４１ａの間には、濾材４が配置されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
磁石ユニット６０２ａは、３つの円柱状の磁石６０２ａ１から構成されている。この３つの磁石６０２ａ１は、第１筒状体６６１の内側の磁石室において第１筒状体６６１の筒軸方向に積層された状態で配置されている。また、隣り合う２つの磁石６０２ａ１の境目部分が、第１筒状体６６１の内壁における、磁気ヨーク６４１ａに対応する部位に位置している。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
図２０（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図２０（ａ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、磁石ユニット６０２ｂの構成が相違する。なお、図２０（ａ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
磁石ユニット６０２ｂは、１つの磁石６２５ｂと、２つの副磁気ヨーク６２７ｂと、を備える。そして、２つの副磁気ヨーク６２７ｂそれぞれは、磁石６２５ｂおよび磁気ヨーク６４１ａそれぞれと磁気的に結合している。
また、図２０（ａ）および（ｂ）に示すような磁気ヨーク６４１ａの配置では、処理容器６０６の内側の処理室内に処理容器６０６の筒軸方向に沿った磁界が発生する。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
図２１（ａ）および（ｂ）に示す磁気フィルタ装置それぞれは、磁気ヨーク９４１ａの配置が図２０（ａ）および（ｂ）に示す構成と相違する。なお、図２０（ａ）および（ｂ）に示す構成と同様の構成については同一の符号を付して適宜説明を省略する。
図２１（ａ）および（ｂ）に示す磁気フィルタ装置では、円筒状の磁気ヨーク９４１ａが、処理容器６０６の第２筒状体６６２の内壁に沿う形で配置されている。そして、磁気ヨーク９４１ａと、第１筒状体６６１の外壁との間には濾材４が介在している。なお、濾材４は、実施形態と同様の上蓋（図示せず）および下蓋（図示せず）により所定の場所に固定されている。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
図２２（ｂ）に示す磁気フィルタ装置は、図２０（ｂ）に示す磁気フィルタ装置と略同様の構成を有し、処理容器６０６の外壁における、処理容器６０６の筒軸方向に離間した２つの部位それぞれを囲繞するように、磁石ユニット７０２ｃ，７０２ｄが配置されている点が図２０（ｂ）に示す構成と相違する。
ここで、磁石ユニット７０２ｃ（７０２ｄ）は、１つの磁石７２５ｃ（７２５ｄ）と、２つの副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）とから構成されている。ここで、磁石７２５ｃ（７２５ｄ）および副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）は、いずれも略円盤状の形状を有している。そして、２つの副磁気ヨーク７２７ｃ（７２７ｄ）それぞれは、磁石７２５ｃ（７２５ｄ）および磁気ヨーク７４１ｇ（７４１ｈ）それぞれと磁気的に結合している。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
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