(57)【要約】【課題】作業者又は作業ロボットが搬送経路を横断できるようにするための技術を提供する。【解決手段】搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれることで作業者又は作業ロボットが搬送経路Rを横断可能にする門型トラバーサ６（横断装置）は、搬送対象物Wを搭載可能な搬送対象物搭載部１０（搬送対象物搭載手段）と、上に凸となる退避経路Sを構成し、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って案内するガイドレール１１（退避経路案内手段）と、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って移動させるための駆動部１２（駆動手段）と、を備える。【選択図】図３
2015018846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物の搬送経路に組み込まれることで作業者又は作業ロボットが前記搬送経路を横断可能にする横断装置であって、
前記搬送対象物を搭載可能な搬送対象物搭載手段と、
上に凸となる退避経路を構成し、前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って案内する退避経路案内手段と、
前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って移動させるための駆動手段と、
を備えた横断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の横断装置であって、
前記搬送対象物搭載手段は、
前記退避経路に沿って移動するにつれて姿勢が変化する滑動部と、
実質的に水平な回転軸としての水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる搭載手段本体と、
を有し、
前記搭載手段本体は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記滑動部に対して回転する、
横断装置。
【請求項３】
請求項２に記載の横断装置であって、
前記搭載手段本体は、
前記水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる本体基部と、
実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸を介して前記本体基部に回転自在に取り付けられる搭載部と、
を有し、
前記搭載部は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記本体基部に対して回転する、
横断装置。
【請求項４】
請求項３に記載の横断装置であって、
前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する平面視角度調整手段を更に備えた、
横断装置。
【請求項５】
請求項４に記載の横断装置であって、
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物の搬送方向に対する向きが前記横断装置の通過の前後で一致するように、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する、
横断装置。
【請求項６】
請求項５に記載の横断装置であって、
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路に沿って移動している間に、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する、
横断装置。
【請求項７】
請求項６に記載の横断装置であって、
前記平面視角度調整手段は、前記退避経路に沿って設けられた角度調整用カムと、前記角度調整用カムと接触して運動する角度調整用カムフォロワと、前記角度調整用カムフォロワの前記運動を前記搭載部の前記本体基部に対する水平回転運動に変換するラックアンドピニオンと、を含む、
横断装置。
【請求項８】
請求項７に記載の横断装置であって、
前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記搭載手段本体の前記滑動部に対する回転を抑制する回転抑制手段を更に備えた、
横断装置。
【請求項９】
請求項８に記載の横断装置であって、
前記回転抑制手段は、回転抑制用カムと、前記滑動部に取り付けられると共に前記回転抑制用カムと接触して運動する回転抑制用カムフォロワと、前記滑動部に対して取り付けられると共に前記回転抑制用カムフォロワと連動して進退するピンと、を含み、
前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記ピンが前記搭載手段本体に挿入される、
横断装置。
【請求項１０】
請求項１〜９に記載の横断装置であって、
前記搬送対象物搭載手段と線材を介して連動するカウンターウェイトを更に備える、
横断装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の横断装置であって、
前記退避経路の頂部近傍に配置されると共に前記線材を巻き掛け可能な一対のプーリーを更に備え、
前記線材は、前記一対のプーリーの間を通るように張り巡らせている、
横断装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１に記載の横断装置であって、
前記退避経路は、略逆U字状である、
横断装置。
【請求項１３】
前記搬送対象物を搬送可能な第１搬送装置と、
前記搬送対象物を搬送可能な第２搬送装置と、
前記第１搬送装置と前記第２搬送装置の間に組み込まれる請求項１〜１２の何れかに記載の横断装置と、
を備え、
前記横断装置の通過の前後で、前記搬送対象物の搬送方向は略正反対である、
生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、
【背景技術】
【０００２】
この種の技術として、特許文献１は、搬送物が載置される搬送台車を所望の搬送経路に沿って浮上搬送させる技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−５８９６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、作業者又は作業ロボットが搬送経路を横断することができない。
【０００５】
本発明の目的は、作業者又は作業ロボットが搬送経路を横断できるようにするための技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
搬送対象物の搬送経路に組み込まれることで作業者又は作業ロボットが前記搬送経路を横断可能にする横断装置であって、前記搬送対象物を搭載可能な搬送対象物搭載手段と、上に凸となる退避経路を構成し、前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って案内する退避経路案内手段と、前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って移動させるための駆動手段と、を備えた横断装置。以上の構成によれば、前記退避経路の下側に前記作業者又は前記作業ロボットが通過するスペースが確保されるので、前記作業者又は前記作業ロボットが前記搬送経路を横断できるようになる。
前記搬送対象物搭載手段は、前記退避経路に沿って移動するにつれて姿勢が変化する滑動部と、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる搭載手段本体と、を有し、前記搭載手段本体は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記滑動部に対して回転する。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路に沿って移動することで前記搬送対象物が傾いてしまうのを回避できる。
前記搭載手段本体は、前記水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる本体基部と、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸を介して前記本体基部に回転自在に取り付けられる搭載部と、を有し、前記搭載部は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記本体基部に対して回転する。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段に前記搬送対象物を搭載した状態で前記搬送対象物の向きを変更可能となる。
前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する平面視角度調整手段を更に備えた。以上の構成によれば、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整できる。
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物の搬送方向に対する向きが前記横断装置の通過の前後で一致するように、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、前記搬送対象物の前記搬送方向に対する向きが前記横断装置の通過の前後で一致する。
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路に沿って移動している間に、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、前記搬送対象物が前記横断装置を通過するのに要する時間を短縮できる。
前記平面視角度調整手段は、前記退避経路に沿って設けられた角度調整用カムと、前記角度調整用カムと接触して運動する角度調整用カムフォロワと、前記角度調整用カムフォロワの前記運動を前記搭載部の前記本体基部に対する水平回転運動に変換するラックアンドピニオンと、を含む。以上の構成によれば、前記平面視角度調整手段を安価に実現できる。
前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記搭載手段本体の前記滑動部に対する回転を抑制する回転抑制手段を更に備えた。以上の構成によれば、前記角度調整用カムと前記角度調整用カムフォロワとの相互作用に起因して前記搭載手段本体が前記滑動部に対して回転してしまうのが抑制される。
前記回転抑制手段は、回転抑制用カムと、前記滑動部に取り付けられると共に前記回転抑制用カムと接触して運動する回転抑制用カムフォロワと、前記滑動部に対して取り付けられると共に前記回転抑制用カムフォロワと連動して進退するピンと、を含む。前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記ピンが前記搭載手段本体に挿入される。以上の構成によれば、前記回転抑制手段を安価に実現できる。
前記搬送対象物搭載手段と線材を介して連動するカウンターウェイトを更に備える。以上の構成によれば、前記駆動手段の必要となる最大出力を低く抑えることができる。
前記退避経路の頂部近傍に配置されると共に前記線材を巻き掛け可能な一対のプーリーを更に備える。前記線材は、前記一対のプーリーの間を通るように張り巡らせている。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路を往復する際に必要となる前記カウンターウェイトは、１つだけで済む。
前記退避経路は、略逆U字状である。
前記搬送対象物を搬送可能な第１搬送装置と、前記搬送対象物を搬送可能な第２搬送装置と、前記第１搬送装置と前記第２搬送装置の間に組み込まれる請求項１〜１２の何れかに記載の横断装置と、を備え、前記横断装置の通過の前後で、前記搬送対象物の搬送方向は略正反対である、生産システムが提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本願発明によれば、前記退避経路の下側に前記作業者又は前記作業ロボットが通過するスペースが確保されるので、前記作業者又は前記作業ロボットが前記搬送経路を横断できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図1は、半導体製造ラインの概略斜視図である。（第１実施形態）
【図２】図2は、パレットの斜視図である。（第１実施形態）
【図３】図3は、門型トラバーサの斜視図である。（第１実施形態）
【図４】図4は、搬送対象物搭載部の斜視図である。（第１実施形態）
【図５】図5は、駆動部の斜視図である。（第１実施形態）
【図６】図6は、カウンターウェイトユニットの斜視図である。（第１実施形態）
【図７】図7は、搬送対象物搭載部の縦断面図である。（第１実施形態）
【図８】図8は、局所クリーンボックスの斜視図である。（第１実施形態）
【図９】図9は、上流側角度調整用カムの正面図である。（第１実施形態）
【図１０】図10は、下流側角度調整用カムの正面図である。（第１実施形態）
【図１１】図11は、単純プーリーの巻き掛け切替時の動作説明図である。（第１実施形態）
【図１２】図12は、単純プーリーの巻き掛け切替時の動作説明図である。（第１実施形態）
【図１３】図13は、搬送対象物搭載部の部分拡大図である。（第２実施形態）
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１実施形態）
以下、図１〜図１２を参照して、第１実施形態を説明する。図１及び図２に示すように、半導体製造ライン１（生産システム）は、破線で示すウエハ２を搬送するウエハ搬送装置３（搬送装置）と、ウエハ２に対して所定の処理を行うプロセス装置４と、ウエハ搬送装置３とプロセス装置４の間でウエハ２を移載する移載装置５と、ウエハ搬送装置３による搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれる門型トラバーサ６（横断装置）と、を備える。「移載する（to transfer）」とは、「装置間で対象物を受け渡す」を意味する。
【００１０】
（ウエハ搬送装置３）
ウエハ搬送装置３は、上流側浮上搬送装置７（第１搬送装置）と、下流側浮上搬送装置８（第２搬送装置）と、図２に示すパレット９と、を有する。
【００１１】
（パレット９）
パレット９は、ウエハ２を搭載するものである。パレット９は、パレット先端９ａとパレット後端９ｂを有する。以降、ウエハ２とウエハ２を搭載しているパレット９の組み合わせを搬送対象物Wと称する。
【００１２】
（上流側浮上搬送装置７）
図１に戻り、上流側浮上搬送装置７は、搬送対象物Wを搬送する装置である。上流側浮上搬送装置７は、パレット浮上ユニット２０と複数のカバー２１、複数のFFU２２（Fan Filter Unit）を備える。
【００１３】
複数のFFU２２は、取り入れた空気を清浄化することで清浄空気を生成するものである。
【００１４】
パレット浮上ユニット２０は、複数のFFU２２が生成した清浄空気を用いて搬送対象物Wを浮上させつつ搬送対象物Wを搬送するものである。搬送対象物Wの搬送時、図２に示すパレット９のパレット先端９ａが先頭となる。
【００１５】
複数のカバー２１は、パレット浮上ユニット２０上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのものである。
【００１６】
このように上流側浮上搬送装置７を筒状に構成し、上流側浮上搬送装置７内の限定的な空間を清浄雰囲気にしているので、半導体製造ライン１が設置される環境全体を清浄雰囲気にする必要がなく、もって、半導体製造ライン１のランニングコストが低く抑えれている。
【００１７】
（下流側浮上搬送装置８）
下流側浮上搬送装置８は、搬送対象物Wを搬送する装置である。下流側浮上搬送装置８は、上流側浮上搬送装置７と同一の構成である。本実施形態において、下流側浮上搬送装置８は、下流側浮上搬送装置８による搬送対象物Wの搬送方向Qが、上流側浮上搬送装置７による搬送対象物Wの搬送方向Pに対して正反対となるように配置されている。
【００１８】
（門型トラバーサ６）
門型トラバーサ６は、ウエハ搬送装置３の上流側浮上搬送装置７及び下流側浮上搬送装置８によって形成される搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれることで作業者又は作業ロボット（以下、単に作業者と称する。）が搬送経路Rを横断可能にするための装置である。門型トラバーサ６は、上流側浮上搬送装置７の搬送方向Pにおける終端７ａと、下流側浮上搬送装置８の搬送方向Qにおける始端８ａと、に接続されている。門型トラバーサ６は、上流側浮上搬送装置７によって搬送されてきた搬送対象物Wを上流側浮上搬送装置７の終端７ａで受け取り、搬送対象物Wを上に凸となる退避経路Sに沿って搬送し、下流側浮上搬送装置８の始端８ａで搬送対象物Wを下流側浮上搬送装置８に引き渡す。上に凸となる退避経路Sの存在により、退避経路Sの下側には作業者が通過するスペースTが確保され、もって、作業者が搬送経路Rを横断できるようになる。
【００１９】
図３〜６に示すように、門型トラバーサ６は、搬送対象物Wを搭載可能な搬送対象物搭載部１０（搬送対象物搭載手段）と、上に凸となる退避経路Sを構成し、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って案内するガイドレール１１（退避経路案内手段）と、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って移動させるための駆動部１２（駆動手段）と、を備える。門型トラバーサ６は、更に、上流側角度調整用カム１３（角度調整用カム）と、下流側角度調整用カム１４（角度調整用カム）と、上流側回転抑制用カム１５（回転抑制用カム）と、下流側回転抑制用カム１６（回転抑制用カム）と、カウンターウェイトユニット１７と、を備える。図３には、説明の便宜上、複数の搬送対象物搭載部１０が同時に描かれているが、実際の門型トラバーサ６は、搬送対象物搭載部１０を１つだけ備える。
【００２０】
（ガイドレール１１）
本実施形態において、ガイドレール１１が構成する退避経路Sは、上に凸となる略逆U字状に設定されている。図５に示すように、退避経路Sは、一対の鉛直退避経路部S1と、上に凸となる湾曲退避経路部S2と、を有する。湾曲退避経路部S2は、一対の鉛直退避経路部S1の間に配置される。
【００２１】
（搬送対象物搭載部１０）
図３に示すように、搬送対象物搭載部１０は、スライダ２５（滑動部）と、搭載部本体２６（搭載手段本体）と、を有する。
【００２２】
スライダ２５は、退避経路Sに沿って移動するにつれて姿勢が変化する部分である。図４に示すように、スライダ２５は、ベース２７と、上流側クラッチ２８と、下流側クラッチ２９と、を有する。上流側クラッチ２８は、ガイドレール１１に対してスライド可能にガイドレール１１を掴む。上流側クラッチ２８は、ガイドレール１１に対して直交する回転軸を介してベース２７に回転自在に取り付けられている。下流側クラッチ２９は、ガイドレール１１に対してスライド可能にガイドレール１１を掴む。下流側クラッチ２９は、ガイドレール１１に対して直交する回転軸を介してベース２７に回転自在に取り付けられている。ベース２７には、ワイヤ取付部３０と、水平方向に延びるシャフト３１と、が形成されている。また、図７に示すように、ベース２７は、回転抑制用カムフォロワ６０と、ピン６１と、圧縮コイルバネ６２と、を有する。回転抑制用カムフォロワ６０は、水平方向に進退自在にベース２７に支持されている。ピン６１は、水平方向に進退自在にベース２７に支持されている。回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１は一体化されており、ピン６１は、回転抑制用カムフォロワ６０の進退運動に連動して進退する。圧縮コイルバネ６２は、回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１に対して、回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１が搭載部本体２６から離れるよう押圧する。
【００２３】
図７に示すように、搭載部本体２６は、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる部分である。搭載部本体２６は、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを有するシャフト３１を介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる部分である。図３に戻り、搭載部本体２６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にスライダ２５に対して回転可能である。搭載部本体２６は、ホルダ３５（本体基部）と、マウンタ３６（搭載部）と、を有する。ホルダ３５は、水平回転軸H（シャフト３１）を介してスライダ２５のベース２７に回転自在に取り付けられる部分である。マウンタ３６は、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸Vを介してホルダ３５に回転自在に取り付けられる部分である。マウンタ３６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にホルダ３５に対して水平に回転可能である。
【００２４】
ホルダ３５は、ブラケット４０、ウェイト４１、ラック４２、一対の角度調整用カムフォロワ４６、ピニオン付きプーリ４３、被駆動プーリ４４、伝動ベルト４５、を有する。ブラケット４０は、ベース２７と対向するベース対向部４０ａと、ベース対向部４０ａの下端から水平方向に突出する水平突出部４０ｂと、を有することで略L字状に形成されている。ウェイト４１は、水平突出部４０ｂの下面に取り付けられている。ウェイト４１は、搭載部本体２６を低重心化させるために必要に応じて採用される。ラック４２は、水平突出部４０ｂの下面に水平方向にスライド自在に取り付けられている。ラック４２には、複数の歯４２ａが形成されている。ラック４２の長手方向の両端には、角度調整用カムフォロワ４６が取り付けられている。ピニオン付きプーリ４３は、水平突出部４０ｂの下面に回転自在に取り付けられている。ピニオン付きプーリ４３には、ラック４２の水平方向のスライド移動に連動して回転するように、ラック４２の歯４２ａと噛み合うピニオン４３ａが形成されている。被駆動プーリ４４は、水平突出部４０ｂの下面に垂直回転軸Vを有して回転自在に取り付けられている。伝動ベルト４５は、ピニオン付きプーリ４３が回転したら被駆動プーリ４４も回転するように、ピニオン付きプーリ４３と被駆動プーリ４４に巻き掛けられている。以上の構成で、ラック４２が水平方向に移動すると、ピニオン付きプーリ４３と伝動ベルト４５を介して、被駆動プーリ４４が同時に回転する。
【００２５】
マウンタ３６は、回転プレート５０と、局所クリーンボックス５１と、を有する。回転プレート５０は、ブラケット４０の水平突出部４０ｂの上方に配置される。回転プレート５０は、被駆動プーリ４４に取り付けられている。局所クリーンボックス５１は、搬送対象物Wを収容する容器である。図８に示すように、局所クリーンボックス５１は、搬送対象物Wを収容するボックス５２と、ボックス５２の内部に清浄空気を供給する小型FFU５３と、小型FFU５３に電力を供給する小型バッテリー５４と、ボックス５２内に搬送対象物Wを出し入れするための一対のシャッター５５と、を有する。
【００２６】
（駆動部１２）
図５に示すように、駆動部１２は、ガイドレール１１に沿って配置された複数の単純プーリー６５と、１つの駆動プーリー６６と、駆動プーリー６６を回転させる駆動モーター６７と、環状の駆動ベルト６８と、を有する。駆動ベルト６８は、複数の単純プーリー６５と駆動プーリー６６に巻き掛けられると共に、搬送対象物搭載部１０のスライダ２５のワイヤ取付部３０に固定されている。この構成で、駆動モーター６７を動作させると、駆動プーリー６６によって駆動ベルト６８が走行し、もって、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１に沿って所望の方向に移動する。
【００２７】
（カウンターウェイトユニット１７）
図６に示すように、カウンターウェイトユニット１７は、駆動部１２の駆動モーター６７に必要となる最大出力を抑えるためのものである。カウンターウェイトユニット１７は、ガイドレール１１に沿って配置された複数の単純プーリー６９と、メインカウンターウェイト７０と、サブカウンターウェイト７０Aと、ワイヤー７１（線材）と、第1固定補助プーリー７２と、第2固定補助プーリー７３と、第3浮動補助プーリー７４と、メインストッパー７５と、サブストッパー７６と、を有する。複数の単純プーリー６９のうちガイドレール１１の頂部近傍に配置された一対の単純プーリー６９A・６９Bは、互いに接近して配置されている。ワイヤー７１の一端は、搬送対象物搭載部１０のスライダ２５のワイヤ取付部３０に接続されている。ワイヤー７１の他端は、メインカウンターウェイト７０に接続されている。ワイヤー７１は、複数の単純プーリー６９に巻き掛けられている。ワイヤー７１は、一対の単純プーリー６９A・６９B間に通されている。ワイヤー７１は、第1固定補助プーリー７２と第3浮動補助プーリー７４、第2固定補助プーリー７３に、この順で常時巻き掛けられている。第1固定補助プーリー７２及び第2固定補助プーリー７３は、ガイドレール１１に固定されている。第3浮動補助プーリー７４は、上下方向に移動自在なプーリーである。そして、図６に示すように搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1に位置する間は、ワイヤー７１は、単純プーリー６９Bに巻き掛けられている。メインカウンターウェイト７０の重量は、搬送対象物搭載部１０の重量と略等しくなるように設定されている。従って、搬送対象物搭載部１０を昇降させるために必要となる力は少なくて済み、結果として、駆動部１２の駆動モーター６７に必要とされる最大出力を抑えることができる。
【００２８】
（上流側角度調整用カム１３）
図３に示すように、上流側角度調整用カム１３は、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、搬送対象物Wを平面視で時計回りに９０度回転させるためのものである。前述したように、搬送対象物Wの回転と、図４に示す搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６のホルダ３５のラック４２の移動と、は連動するようになっている。従って、上流側角度調整用カム１３は、換言すれば、図９に示すように、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、ラック４２を正面視で右方へ移動させるためのものである。
【００２９】
図９に示すように、上流側角度調整用カム１３は、一対のカム板８０を有する。各カム板８０は、正面視で右斜め上方に延びるスリット８１を有している。ラック４２に設けられた一対の角度調整用カムフォロワ４６が、一対のカム板８０のスリット８１によって案内されることで、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、ラック４２は正面視で右方へ移動し、もって、搬送対象物Wが平面視で時計回りに９０度回転することになる。
【００３０】
（下流側角度調整用カム１４）
図３に示すように、下流側角度調整用カム１４は、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、搬送対象物Wを平面視で時計回りに９０度回転させるためのものである。前述したように、搬送対象物Wの回転と、図４に示す搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６のホルダ３５のラック４２の移動と、は連動するようになっている。従って、下流側角度調整用カム１４は、換言すれば、図１０に示すように、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、ラック４２を正面視で右方へ移動させるためのものである。
【００３１】
具体的には、下流側角度調整用カム１４は、一対のカム板８２を有する。各カム板８２は、正面視で右斜め下方に延びるスリット８３を有している。ラック４２に設けられた一対の角度調整用カムフォロワ４６が、一対のカム板８２のスリット８３によって案内されることで、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、ラック４２は正面視で右方へ移動し、もって、搬送対象物Wが平面視で時計回りに９０度回転することになる。
【００３２】
（上流側回転抑制用カム１５）
図３に示すように、上流側回転抑制用カム１５は、下流側角度調整用カム１４が搬送対象物Wを回転させている間、搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の揺れを抑制するためのものである。図７に示すように、回転抑制用カムフォロワ６０が上流側回転抑制用カム１５に乗り上がると、ピン６１が搭載部本体２６側に進出して、ピン６１は、ブラケット４０のベース対向部４０ａに形成されているピン挿入孔４０ｃに挿入される。スライダ２５のベース２７のシャフト３１と、ピン６１と、は上下に離れて配置されている。従って、ピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されると、搭載部本体２６のスライダ２５に対する揺れは実質的に禁止される。
【００３３】
（下流側回転抑制用カム１６）
同様に、下流側回転抑制用カム１６は、下流側角度調整用カム１４が搬送対象物Wを回転させている間、搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の揺れを抑制するためのものである。下流側回転抑制用カム１６は、上流側回転抑制用カム１５と同一の構成を有する。
【００３４】
（作動）
次に、半導体製造ライン１の作動を説明する。
【００３５】
図１において、先ず、ウエハ搬送装置３の上流側浮上搬送装置７が、搬送対象物Wを、搬送方向Pで浮上搬送する。このとき、図２のパレット９のパレット先端９ａが先頭となっている。図１に戻り、搬送対象物Wが上流側浮上搬送装置７の終端７ａに到達したら、図３及び図４に示す搬送対象物Wは、搬送対象物搭載部１０の局所クリーンボックス５１に収容される。次に、図５に示す駆動モーター６７が駆動プーリー６６を正面視で反時計回りに回転させ始める。これにより、搬送対象物搭載部１０は、上昇し始める。
【００３６】
搬送対象物搭載部１０が上昇すると、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用により、搬送対象物搭載部１０が平面視で時計回りに９０度回転する。搬送対象物搭載部１０がこのように回転している間は、上流側回転抑制用カム１５の存在により、図７に示すピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されているので、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）は実質的に禁止される。従って、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転可能とした構成が、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に悪影響を与えることがない。
【００３７】
上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用による搬送対象物搭載部１０の回転が完了すると、図７に示すピン６１が圧縮コイルバネ６２のバネ復元力によってピン挿入孔４０ｃから抜け出て、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が再び許容されるようになる。そして、図３に示すように、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１に沿って移動するにつれて搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の姿勢は刻々と変化していく。このとき、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が許容されているので、搭載部本体２６は、搭載部本体２６の重心が図４に示すスライダ２５のシャフト３１の直下に来るように、スライダ２５に対して滑らかに回転する。この結果、搭載部本体２６は、スライダ２５の姿勢の如何に拘わらず、常に、水平姿勢を維持することになる。
【００３８】
搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部に差し掛かると、図１１及び図１２に示すように、単純プーリー６９Bに巻き掛けられていたワイヤー７１は、単純プーリー６９Bから外れ、代わりに単純プーリー６９Aに巻き掛けられる。
【００３９】
また、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部近傍に位置するときは、図６において、メインカウンターウェイト７０が下降してメインストッパー７５に受け止められ、メインカウンターウェイト７０のそれ以上の下降が禁止される。従って、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部近傍に位置するときは、サブカウンターウェイト７０Aの重量に相当する動力だけで済んでおり、駆動モーター６７の必要となる最大出力を抑えることができる。なお、サブストッパー７６は、第3浮動補助プーリー７４の過度な上昇を禁止するためのストッパーである。
【００４０】
その後、図３に示すように、下流側角度調整用カム１４と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用が始まると、搬送対象物搭載部１０は、平面視で時計回りに更に９０度回転する。搬送対象物搭載部１０がこのように回転している間は、下流側回転抑制用カム１６の存在により、図７に示すピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されているので、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）は実質的に禁止される。従って、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転可能とした構成が、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に悪影響を与えることがない。
【００４１】
そして、搬送対象物搭載部１０の局所クリーンボックス５１に収容されている搬送対象物Wは、図１のウエハ搬送装置３の下流側浮上搬送装置８の始端８ａに移される。下流側浮上搬送装置８は、搬送対象物Wを、搬送方向Qで浮上搬送する。本実施形態の門型トラバーサ６によれば、上流側浮上搬送装置７の終端７ａから下流側浮上搬送装置８の始端８ａに到達するまでの間に、搬送対象物Wを略１８０度、平面視で時計回りに水平回転させている。従って、図１のように、上流側浮上搬送装置７による搬送対象物Wの搬送方向Pと、下流側浮上搬送装置８による搬送対象物Wの搬送方向Qと、が正反対の場合であっても、常時、パレット９のパレット先端９ａを先頭にして、搬送対象物Wを搬送することができる。
【００４２】
以上に、本願発明の好適な実施形態を説明した。上記実施形態は、以下の特長を有する。
【００４３】
（１）搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれることで作業者又は作業ロボットが搬送経路Rを横断可能にする門型トラバーサ６（横断装置）は、搬送対象物Wを搭載可能な搬送対象物搭載部１０（搬送対象物搭載手段）と、上に凸となる退避経路Sを構成し、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って案内するガイドレール１１（退避経路案内手段）と、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って移動させるための駆動部１２（駆動手段）と、を備える。以上の構成によれば、退避経路Sの下側に作業者又は作業ロボットが通過するスペースTが確保されるので、作業者又は作業ロボットが搬送経路Rを横断できるようになる。
【００４４】
（２）搬送対象物搭載部１０は、退避経路Sに沿って移動するにつれて姿勢が変化するスライダ２５（滑動部）と、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる搭載部本体２６（搭載手段本体）と、を有する。搭載部本体２６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にスライダ２５に対して回転する。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sに沿って移動することで搬送対象物Wが傾いてしまうのを回避できる。
【００４５】
（３）搭載部本体２６は、水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられるホルダ３５（本体基部）と、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸Vを介してホルダ３５に回転自在に取り付けられるマウンタ３６（搭載部）と、を有する。マウンタ３６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にホルダ３５に対して回転する。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０に搬送対象物Wを搭載した状態で搬送対象物Wの向きを変更可能となる。
【００４６】
（４）マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する平面視角度調整手段を更に備えた。以上の構成によれば、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整できる。
【００４７】
（７）平面視角度調整手段は、退避経路Sに沿って設けられた上流側角度調整用カム１３（又は下流側角度調整用カム１４、角度調整用カム、以下同様）と、上流側角度調整用カム１３と接触して運動する角度調整用カムフォロワ４６と、角度調整用カムフォロワ４６の運動をマウンタ３６のホルダ３５に対する水平回転運動に変換するラックアンドピニオンと、を含む。以上の構成によれば、平面視角度調整手段を安価に実現できる。ラックアンドピニオンは、少なくとも、ラック４２とピニオン付きプーリ４３（ピニオン）を含む。
【００４８】
（５）平面視角度調整手段は、搬送対象物Wの搬送方向に対する向きが門型トラバーサ６の通過の前後で一致するように、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、搬送対象物Wの搬送方向に対する向きが門型トラバーサ６の通過の前後で一致する。
【００４９】
（６）平面視角度調整手段は、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sに沿って移動している間に、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、搬送対象物Wが門型トラバーサ６を通過するのに要する時間を短縮できる。
【００５０】
（８）門型トラバーサ６は、平面視角度調整手段がマウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整している間、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転を抑制する回転抑制手段を更に備えた。以上の構成によれば、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に起因して搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転してしまうのが抑制される。また、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転するのが抑制されるので、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用が円滑に実行される。
【００５１】
（９）回転抑制手段は、上流側回転抑制用カム１５（又は下流側回転抑制用カム１６、回転抑制用カム、以下同様。）と、スライダ２５に取り付けられると共に上流側回転抑制用カム１５と接触して運動する回転抑制用カムフォロワ６０と、スライダ２５に対して取り付けられると共に回転抑制用カムフォロワ６０と連動して進退するピン６１と、を含む。平面視角度調整手段がマウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整している間、ピン６１が搭載部本体２６に挿入される。以上の構成によれば、回転抑制手段を安価に実現できる。
【００５２】
（１０）門型トラバーサ６は、搬送対象物搭載部１０とワイヤー７１（線材）を介して連動するメインカウンターウェイト７０を更に備える。以上の構成によれば、駆動部１２の必要となる最大出力を低く抑えることができる。
【００５３】
（１１）門型トラバーサ６は、退避経路Sの頂部近傍に配置されると共にワイヤー７１を巻き掛け可能な一対の単純プーリー６９A・６９Bを更に備える。ワイヤー７１は、一対の単純プーリー６９A・６９Bの間を通るように張り巡らせている。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sを往復する際に必要となるメインカウンターウェイト７０は、１つだけで済む。
【００５４】
（１２）退避経路Sは、例えば、略逆U字状である。
【００５５】
（１３）半導体製造ライン１（生産システム）は、搬送対象物Wを搬送可能な上流側浮上搬送装置７（第１搬送装置）と、搬送対象物Wを搬送可能な下流側浮上搬送装置８（第２搬送装置）と、上流側浮上搬送装置７と下流側浮上搬送装置８の間に組み込まれる門型トラバーサ６と、を備える。門型トラバーサ６の通過の前後で、搬送対象物Wの搬送方向は略正反対である。
【００５６】
上記実施形態において、ガイドレール１１が構成する退避経路Sは、略逆U字状としたが、これに代えて、逆V字状であってもよい。退避経路Sは、少なくとも上に凸となるように曲がってさえいれば、微細の形状については任意に設定することができる。
【００５７】
（第２実施形態）
次に、図１３を参照して、第２実施形態を説明する。
【００５８】
本実施形態において、ブラケット４０のベース対向部４０ａには、上に凸となる円弧湾曲面９０が形成されている。円弧湾曲面９０の左端には回転抑制用窪み９１が形成され、円弧湾曲面９０の右端には回転抑制用窪み９２が形成されている。ベース２７には、支持梁９３を介してプランジャー９４が支持されている。プランジャー９４は、ピン９５と、圧縮コイルバネ９６と、を有する。圧縮コイルバネ９６のバネ復元力により、ピン９５は、常時、円弧湾曲面９０に対して押し付けられている。以上の構成で、搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1にいる間は、ピン９５が回転抑制用窪み９２に嵌り込み、もって、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）が実質的に禁止される。同様に、搬送対象物搭載部１０が下流側の鉛直退避経路部S1にいる間は、ピン９５が回転抑制用窪み９１に嵌り込み、もって、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）が実質的に禁止される。また、搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1から湾曲退避経路部S2へ移動すると、搬送対象物搭載部１０の自重によりスライダ２５と搭載部本体２６との間にトルクが発生し、ピン９５が回転抑制用窪み９２から離脱し、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が許容されるようになる。そして、搬送対象物搭載部１０が湾曲退避経路部S2から下流側の鉛直退避経路部S1へ移動すると、ピン９５が回転抑制用窪み９１へ嵌り込む。本実施形態において、回転抑制手段は、少なくとも、円弧湾曲面９０と回転抑制用窪み９１、回転抑制用窪み９２、プランジャー９４、によって実現されている。
【符号の説明】
【００５９】
１  半導体製造ライン
６  門型トラバーサ
１０  搬送対象物搭載部
１１  ガイドレール
１２  駆動部
S  退避経路
R  搬送経路
W  搬送対象物
【図１】
2015018846.tif 000003
【図２】
2015018846.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015018846.tif 000008
【図７】
2015018846.tif 000009
【図８】
2015018846.tif 000010
【図９】
2015018846.tif 000011
【図１０】
2015018846.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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