(57)【要約】【課題】仕上げ加工にコンデンサを用いてパルス電流を供給することが可能なワイヤ放電加工機の加工用電源装置を提供すること。【解決手段】主電源２７により、スイッチング素子２８，２９をオンすることでコンデンサ３１を充電し、充電完了後にスイッチング素子２８，２９をオフする。その後、副電源内２２にあるスイッチング素子２３，２４，２５，２６を交互にオンオフすることで、交流のパルス電圧を給電線３４を介してワイヤ電極３２と被加工物３３の間に印加する。パルス電圧により、ワイヤ電極３２と被加工物３３の間の絶縁が破壊された後に、スイッチング素子３０をオンすることでコンデンサ３１を接続し、加工を行うためのパルス電流をコンデンサ３１により供給する。コンデンサ３１に蓄えられるエネルギーは、容量と充電電圧とで管理することが可能で、安定したパルス電流を供給することが可能となる。【選択図】図１
2015131382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工するワイヤ放電加工機において、
直流電源とスイッチング素子から成る交流のパルス電圧が印加可能な副電源と、
直流電源とスイッチング素子と放電用コンデンサを配し、且つ該放電用コンデンサと直流電源が切り離し可能な主電源と、
前記ワイヤ電極と被加工物の間の電圧検出部と、
予めワイヤ電極と被加工物の間が絶縁破壊された場合の電圧値を格納しておく記憶部と、
前記検出した電圧値と前記記憶部に格納されている電圧値を比較する比較部を有し、
該比較部による比較の結果、前記検出した電圧値が前記記憶部に格納されている電圧値よりも低い場合は、前記ワイヤ電極と前記被加工物の間が絶縁破壊されたと判断し、前記主電源の放電用コンデンサによりによりパルス電流を供給することを特徴とするワイヤ放電加工機。
【請求項２】
ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工するワイヤ放電加工機において、
直流電源とスイッチング素子から成る交流のパルス電圧が印加可能な副電源と、
直流電源とスイッチング素子と放電用コンデンサを配し、且つ該放電用コンデンサと直流電源が切り離し可能であり、且つ該放電用コンデンサを両極性に充電可能な主電源と、
前記ワイヤ電極と被加工物の間の電圧検出部と、
予めワイヤ電極と被加工物の間が絶縁破壊された場合の電圧値を格納しておく記憶部と、
前記検出した電圧値と前記記憶部に格納されている電圧値を比較する比較部を有し、
該比較部による比較の結果、前記検出した電圧値が前記記憶部に格納されている電圧値よりも低い場合は、前記ワイヤ電極と前記被加工物の間が絶縁破壊されたと判断し、前記主電源の放電用コンデンサによりによりパルス電流を供給することを特徴とするワイヤ放電加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤ放電加工機の加工用電源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤ放電加工機では、ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工する。被加工物の加工結果については、被加工物の材料、被加工物の厚さ等により様々ではあるが、高精度なものでは数ミクロンの精度が必要になる場合もある。
【０００３】
高精度な加工結果が必要な場合は１回目の加工が終了した後に、同じ加工形状を、オフセットを変更して複数回加工する。加工回数は、必要となる加工結果（加工済み製品の面粗さ、形状精度）に応じて決定する。ここで、１回目の加工を荒加工。２回目以降の加工を仕上げ加工と呼ぶことにする。
【０００４】
先ず、荒加工について説明する。  
ワイヤ放電加工機の加工用電源のパルス生成回路の例を図９に示す。副電源２内のスイッチング素子３，４，５，６を交互にオンオフすることで、交流のパルス電圧をワイヤ電極１０と被加工物１１の間に印加する。パルス電圧により、ワイヤ電極１０と被加工物１１の間の絶縁が破壊された後に主電源７により電流パルスを印加する。
【０００５】
続いて、仕上げ加工について説明する。  
仕上げ加工では、大きな加工エネルギーを必要としないため、副電源２のみで加工を行う。ワイヤ電極１０と被加工物１１の間に交流のパルス電圧を印加して加工を行う。印加するパルス電圧の電圧値、パルス幅、周波数は、必要となる加工結果（加工済み製品の面粗さ、形状精度）に応じて決定する。
【０００６】
上記の従来技術において、仕上げ加工、特に２回目の加工を行う際、加工エネルギーの大きさが問題となる。１回目の加工が終了した時点では、加工済み製品は、面粗さ及び形状精度について、それほど高精度に仕上がっていない。一方で、２回目の加工では、副電源２による交流パルス電圧を印加するだけであるため、加工エネルギー不足になる場合がある。
【０００７】
これに対し、２回目の加工を１回目の加工と同様に行う方法も考えられるが、実際に１回目のパルス生成方法のまま加工エネルギーを小さくしようとしても安定した加工を行うことは出来ない。理由は、スイッチング素子として用いるＭＯＳ  ＦＥＴの応答速度のバラツキとＭＯＳ  ＦＥＴをオンオフする制御回路のバラツキによるものである。制御回路の素子のバラツキにより、オンオフ指令が意図通り伝達出来ない可能性がある。また、オンオフ指令が安定していたとしても、スイッチング素子にも指令に対する応答のバラツキがあるため、スイッチング素子の個体毎で、同じ指令に対してもオンオフ時間が変わる可能性がある。  
このため、従来技術では、２回目の加工（仕上げ加工）を行う際に加工エネルギー不足になる場合があり、且つ、適切な加工エネルギーを安定して供給する方法が無かった。
【０００８】
上述したように、ワイヤ放電加工機では、ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工する。被加工物の加工結果については、被加工物の材料、被加工物の厚さ等により様々ではあるが、高精度なものでは数ミクロンの精度が必要になる場合もある。
【０００９】
ワイヤ放電加工機の加工では、所望する加工形状を加工する際、数ミクロンの高精度な加工結果が必要無い場合では、所望の加工形状を１回だけ加工し、加工結果を得る。一方、高精度な加工結果が必要な場合は１回目の加工が終了した後に、同じ加工形状を、オフセットを変更して複数回加工する。加工回数は、必要となる加工結果（加工済み製品の面粗さ、形状精度）に応じて決定するのが一般的である。
【００１０】
ここで、１回目の加工を荒加工。２回目以降の加工を仕上げ加工と呼ぶことにする。  
先ず、荒加工について説明する。  
ワイヤ放電加工機の加工用電源のパルス生成回路の例を図９に示す。副電源２内にあるスイッチング素子を交互にオンオフすることで、交流のパルス電圧をワイヤ電極１０と被加工物の間に印加する。パルス電圧により、ワイヤ電極１０と被加工物１１の間の絶縁が破壊された後に主電源７により電流パルスを印加する。
【００１１】
荒加工は、加工を一切行っていない無垢のワークを加工するため、加工するために大きなエネルギーが必要となる。厳密には副電源２のみで加工を行うことも出来るが、加工効率を上げるために主電源７と副電源２の構成を採るのが一般的である（特許文献１参照）。
【００１２】
続いて、仕上げ加工について説明する。  
仕上げ加工では、大きな加工エネルギーを必要としないため、副電源２のみで加工を行う。ワイヤ電極１０と被加工物１１の間に交流のパルス電圧を印加して加工を行う。印加するパルス電圧の電圧値、パルス幅、周波数は、必要となる加工結果（加工済み製品の面粗さ、形状精度）に応じて決定する。
【００１３】
複数回の仕上げ加工による高精度な加工を行う際、加工回数を追う毎に加工エネルギーを小さくして加工を行うのが一般的である。１回目の加工（荒加工）よりも２回目の加工（仕上げ加工）の加工エネルギーを小さくし、２回目の加工（仕上げ加工）よりも３回目の加工（仕上げ加工）の加工エネルギーを小さくする、として加工を行う。高精度な仕上げ加工のためにの技術が、特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００４−１９５５６２号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９４６９３号公報
【特許文献３】特開２００５−２４６５５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ここで、１回目の加工（荒加工）が終了し、２回目の加工（仕上げ加工）を行う際の、従来技術の問題点を説明する。その前提として、図９中にあるパルス生成のためのスイッチング素子について説明する。
【００１６】
荒加工と仕上げ加工において、副電源２により交流パルス電圧を印加する際には、数百ｋＨｚ〜数ＭＨｚの高周波のスイッチングを行う。高周波のスイッチングを行うために、ＭＯＳ  ＦＥＴ等の半導体スイッチング素子を用いるのが一般的である。
【００１７】
また、荒加工においては、主電源７のパルス投入タイミングは、副電源２の交流パルス電圧によるワイヤ電極１０と被加工物１１の絶縁破壊の状況に依存する。主電源７のパルス電流一回当りのパルス幅は数マイクロ秒と短い。主電源７のスイッチングにもＭＯＳ  ＦＥＴのような半導体スイッチング素子を用いるのが一般的である。
【００１８】
２回目の加工（仕上げ加工）を行う際の問題点は、加工エネルギーの大きさである。１回目の加工（荒加工）が終了した時点では、加工済み製品は、面粗さ及び形状精度について、それほど高精度に仕上がっていない。一方で、２回目の加工（仕上げ加工）では、副電源による交流パルス電圧を印加するだけであるため、加工エネルギー不足になる場合がある。
【００１９】
これに対して、２回目の加工（仕上げ加工）を、加工エネルギーを小さくして１回目の加工と同様に行う方法も考えられる。ただし、実際に１回目のパルス生成方法のまま加工エネルギーを小さくしようとしても安定した加工を行うことは出来ない。理由は、スイッチング素子として用いるＭＯＳ  ＦＥＴの応答速度のバラツキとＭＯＳ  ＦＥＴをオンオフする制御回路中の素子のバラツキによるものである。
【００２０】
当然であるが、回路中の素子一つ一つはその特性値にバラツキを持っている。制御回路の素子のバラツキにより、オンオフ指令が意図通り伝達出来ない可能性がある。その場合、主電源回路のスイッチング素子のオンオフ時間が変わり、電流パルスの大きさが変わってしまう。
【００２１】
また、仮に、オンオフ指令が安定していたとしても、スイッチング素子にも指令に対する応答のバラツキがあるため、スイッチング素子の個体毎で、同じ指令に対してもオンオフ時間が変わる可能性がある。これにより、電流パルスの大きさが変わってしまう。
【００２２】
上記の理由により、２回目の加工（仕上げ加工）に１回目の加工（荒加工）のパルス生成方法を用いたとしても、安定したパルス電流を供給出来ないため、安定した加工を行うことが出来ない。以上の通り、従来技術では、１回目の加工（荒加工）が終了し、２回目の加工（仕上げ加工）を行う際に加工エネルギー不足になる場合があり、且つ、適切な加工エネルギーを供給する方法が無かった。
【００２３】
パルス電流をコンデンサに蓄電したコンデンサパルスによる加工については、例えば、特許文献３に開示される技術があるが、コンデンサを片側の極性に接続するだけであるため、十分な加工効率を得られないという問題があった。
【００２４】
そこで、本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、仕上げ加工にコンデンサを用いてパルス電流を供給することが可能なワイヤ放電加工機の加工用電源装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本願の請求項１に係る発明は、ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工するワイヤ放電加工機において、直流電源とスイッチング素子から成る交流のパルス電圧が印加可能な副電源と、直流電源とスイッチング素子と放電用コンデンサを配し、且つ該放電用コンデンサと直流電源が切り離し可能な主電源と、前記ワイヤ電極と被加工物の間の電圧検出部と、予めワイヤ電極と被加工物の間が絶縁破壊された場合の電圧値を格納しておく記憶部と、前記検出した電圧値と前記記憶部に格納されている電圧値を比較する比較部を有し、該比較部による比較の結果、前記検出した電圧値が前記記憶部に格納されている電圧値よりも低い場合は、前記ワイヤ電極と前記被加工物の間が絶縁破壊されたと判断し、前記主電源の放電用コンデンサによりによりパルス電流を供給することを特徴とするワイヤ放電加工機である。
【００２６】
請求項２に係る発明は、ワイヤ電極と被加工物との極間に電圧を印加して放電を起こすと同時に、ワイヤ電極と被加工物の相対位置を変化させ、被加工物を所望の形状に加工するワイヤ放電加工機において、直流電源とスイッチング素子から成る交流のパルス電圧が印加可能な副電源と、直流電源とスイッチング素子と放電用コンデンサを配し、且つ該放電用コンデンサと直流電源が切り離し可能であり、且つ該放電用コンデンサを両極性に充電可能な主電源と、前記ワイヤ電極と被加工物の間の電圧検出部と、予めワイヤ電極と被加工物の間が絶縁破壊された場合の電圧値を格納しておく記憶部と、前記検出した電圧値と前記記憶部に格納されている電圧値を比較する比較部を有し、該比較部による比較の結果、前記検出した電圧値が前記記憶部に格納されている電圧値よりも低い場合は、前記ワイヤ電極と前記被加工物の間が絶縁破壊されたと判断し、前記主電源の放電用コンデンサによりによりパルス電流を供給することを特徴とするワイヤ放電加工機である。
【発明の効果】
【００２７】
本発明により、仕上げ加工にコンデンサを用いてパルス電流を供給することが可能なワイヤ放電加工機の加工用電源装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施形態１に係る仕上げ加工にコンデンサによるパルス電流を供給する回路を示す図である。
【図２】本発明に係るワイヤ放電加工機の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施形態１の処理を説明するフローチャートである。
【図４】図３に示されるフローチャートの処理を実行した際の検出電圧Ｖ１とコンデンサ３１の充電電圧ＶＣ３１とワイヤ電極と被加工物の間に流れる電流Ｉｇａｐを示す図である。
【図５】本発明の実施形態２に係るワイヤ放電加工機の加工用電源のパルス生成回路を示す図である。
【図６】仕上げ加工にコンデンサによるパルス電流を供給する回路を示す図である。
【図７】本発明の実施形態２の処理を説明するフローチャートである。
【図８】図７に示されるフローチャートの処理を実行した際の検出電圧Ｖ１とコンデンサ３１の充電電圧ＶＣ３１とワイヤ電極と被加工物の間に流れる電流Ｉｇａｐを示す図である。
【図９】従来のワイヤ放電加工機の加工用電源のパルス生成回路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。  
本発明では、仕上げ加工にコンデンサによるパルス電流を供給する方法を提案する。回路例を図１に示す。予め、主電源２７により、スイッチング素子２８，２９をオンすることでコンデンサ３１を充電し、充電完了後にスイッチング素子２８，２９をオフする。その後、副電源２２内にあるスイッチング素子２３，２４，２５，２６を交互にオンオフすることで、交流のパルス電圧を給電線３４を介してワイヤ電極３２と被加工物３３の間に印加する。パルス電圧により、ワイヤ電極３２と被加工物３３の間の絶縁が破壊された後に、スイッチング素子３０をオンすることでコンデンサ３１を接続する。これにより、加工を行うためのパルス電流をコンデンサ３１により供給することが出来る。コンデンサ３１に蓄えられるエネルギーは、容量と充電電圧とで管理することが可能で、安定したパルス電流を供給することが可能となる。そのため、２回目の加工（仕上げ加工）を行う際に適切な加工エネルギーを供給出来ないという従来技術の問題を解決することが出来る。
【００３０】
＜実施形態１＞
装置構成例を図２に示す。図１のワイヤ放電加工機の加工用電源２１に、数値制御装置４１、演算部４２、記憶部４３、比較部４４、電圧検出部４５、電圧検出線４６，４７、給電部４９、ワイヤ電極支持部５２を付加した装置とする。
【００３１】
実施形態１の装置構成では、副電源２２により交流のパルス電圧を印加するが、コンデンサ３１を単極性に充電可能としている。
【００３２】
図３のフローチャートに従って処理を行う。  
加工開始後、先ず、加工電源内のスイッチング素子２８、２９をオンしてコンデンサ３１を充電する（ｓａ０１）。充電完了後にスイッチング素子２８、２９をオフする（ｓａ０２）。  
その後、ワイヤ電極５０と被加工物５１に対して交流のパルス電圧を印加する。加工用電源内のスイッチング素子２３、２４をオンする（ｓａ０３）。これにより、被加工物５１が副電源２２の正極性側、ワイヤ電極５０が副電源２２の負極性側に接続され、被加工物５１とワイヤ電極５０の間に電圧が印加される。
【００３３】
電圧印加中、電圧検出部４５により、被加工物５１とワイヤ電極５０の間の電圧を検出する。検出された電圧を数値制御装置４１内へ送り、演算部４２より電圧値（アナログデータ）の絶対値をデジタルデータへ変換する。  
記憶部４３には、ワイヤ電極５０と被加工物５１が絶縁破壊された場合の電圧値（Ｖｔｈ）の絶対値のデジタルデータを絶縁破壊の閾値として格納しておく。
【００３４】
ちなみに、絶縁破壊されていない場合では、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間に副電源２２の電源電圧がほぼそのまま印加される。絶縁破壊された場合では、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が導通に近い状態にあるので、副電源２２の電源電圧よりも小さい値となる。
【００３５】
演算部４２により変換された値と予め記憶部４３に格納していたデータを比較部４４により比較する（ｓａ０４）。比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されたと判断した場合は（ｓａ０４でＹＥＳ）、加工電源内のスイッチング素子２３、２４をオフする（ｓａ０５）。その後、スイッチング素子３０をオンして、コンデンサ３１によるパルス電流を被加工物５１とワイヤ電極５０の間に供給する（ｓａ０６）。コンデンサ３１の放電完了後、スイッチング素子３０をオフし、シーケンスの最初に戻る（ｓａ０７）。
【００３６】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されていないと判断した場合は（ｓａ０４でＮＯ）、所定時間ｔ１待機し（ｓａ０８）、その間に絶縁破壊された場合（ｓａ０４でＹＥＳ）は上記の動作を行う。所定時間ｔ１待機しても絶縁破壊されない場合は（ｓａ０８でＹＥＳ）、スイッチング素子２３、２４をオフする（ｓａ０９）。
【００３７】
その後、スイッチング素子２５、２６をオンする（ｓａ１０）。これにより、被加工物５１が副電源２２の負極性側、ワイヤ電極５０が副電源２２の正極性側に接続され、被加工物５１とワイヤ電極５０の間に電圧が印加される。
【００３８】
電圧印加中、電圧検出部４５により、被加工物５１とワイヤ電極５０の間の電圧を検出する。検出された電圧を数値制御装置４１内へ送り、演算部４２より電圧値（アナログデータ）の絶対値をデジタルデータへ変換する。
【００３９】
演算部により変換された値と予め記憶部に格納していたデータを比較部４４により比較する（ｓａ１１）。比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されたと判断した場合は（ｓａ１１でＹＥＳ）、加工電源内のスイッチング素子２５、２６をオフする（ｓａ１２）。その後、スイッチング素子３０をオンして（ｓａ０６）、コンデンサ３１によるパルス電流を被加工物５１とワイヤ電極５０の間に供給する。コンデンサ３１の放電完了後、スイッチング素子３０をオフし、シーケンスの最初に戻る（ｓａ０７）。
【００４０】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されていないと判断した場合は（ｓａ１１でＮＯ）、所定時間ｔ１待機し（ｓａ１３）、その間に絶縁破壊された場合は上記の動作を行う。所定時間ｔ１待機しても絶縁破壊されない場合は（ｓａ１３でＹＥＳ）、スイッチング素子２５、２６をオフする（ｓａ１４）。その後、再度スイッチング素子２３、２４をオンして（ｓａ０３）、被加工物５１とワイヤ電極５０に電圧を印加する。
【００４１】
以上の流れを簡単に表したものが、図４になる。３つの波形は、それぞれ、検出電圧Ｖ１とコンデンサ３１の充電電圧ＶＣ３１とワイヤ電極５０と被加工物５１の間に流れる電流Ｉｇａｐを表している。時刻ｔａにおいて、コンデンサ３１の充電を開始し、充電完了後に副電源による交互極性のパルス電圧を印加する。時間ｔ１の間に副電源による放電が発生しなければ、一旦、電圧印加を打ち切り、極間の電圧をゼロにする。その後、逆側の極性のパルス電圧の印加を行う。以後、これを繰り返す。この間、コンデンサ３１の充電電圧は一定のままである。時刻ｔｂにおいて、検出電圧が閾値値Ｖｔｈよりも低くなったと判断した場合、副電源のスイッチング素子をオフする。その後、主電源のスイッチング素子３０をオンして、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間にコンデンサ３１によるパルス電流Ｉｇａｐを供給する。放電完了後、スイッチング素子３０をオフし、シーケンスの最初に戻る。
【００４２】
＜実施形態２＞
装置構成例を図６に示す。図５のワイヤ放電加工機の加工用電源２１に、数値制御装置４１、演算部４２、記憶部４３、比較部４４、電圧検出部４５、電圧検出線４６，４７、給電部４９、ワイヤ電極支持部５２を付加した装置とする。
【００４３】
図１と図６の違いは、主電源２７側のコンデンサ３１を充電する回路である。図１の主電源によるコンデンサの充電は一方向の極性にしか充電出来ないが、図６の主電源によるコンデンサの充電は両方向の極性に充電が可能である。
【００４４】
実施形態１の装置構成では、副電源２２により交流のパルス電圧を印加するが、実施形態２の装置構成では、コンデンサ３１を両極性に充電可能としている。
【００４５】
図７のフローチャートに従って処理を行う。  
加工開始後、先ず、加工電源内のスイッチング素子２８、２９をオンしてコンデンサ３１を充電する（ｓｂ０１）。充電完了後にスイッチング素子２８、２９をオフする（ｓｂ０２）。
【００４６】
その後、副電源２２によりワイヤ電極５０と被加工物５１に対して交流のパルス電圧を印加する。
【００４７】
加工用電源内のスイッチング素子２３、２４をオンする（ｓｂ０３）。これにより、被加工物５１が副電源２２の正極性側、ワイヤ電極５０が副電源２２の負極性側に接続され、被加工物５１とワイヤ電極５０の間に電圧が印加される。
【００４８】
電圧印加中、電圧検出部４５により、被加工物５１とワイヤ電極５０の間の電圧を検出する。検出された電圧を数値制御装置４１内へ送り、演算部４２より電圧値（アナログデータ）の絶対値をデジタルデータへ変換する。
【００４９】
記憶部４３には、ワイヤ電極５０と被加工物５１が絶縁破壊された場合の電圧値（Ｖｔｈ）の絶対値のデジタルデータを絶縁破壊の閾値として格納しておく。
【００５０】
ちなみに、絶縁破壊されていない場合では、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間に副電源２２の電源電圧がほぼそのまま印加される。絶縁破壊された場合では、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が導通に近い状態にあるので、副電源２２の電源電圧よりも小さい値となる。
【００５１】
演算部４２により変換された値と予め記憶部４３に格納していたデータを比較部４４により比較する（ｓｂ０４）。
【００５２】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されたと判断した場合は（ｓｂ０４でＹＥＳ）、フローチャートのステップｓｂ０５に進む。加工電源内のスイッチング素子２３、２４をオフした後（ｓｂ０５）、スイッチング素子３０をオンして（ｓｂ０６）、コンデンサ３１によるパルス電流を被加工物５１とワイヤ電極５０の間に供給する。コンデンサ３１の放電完了後、スイッチング素子３０をオフする（ｓｂ０７）。その後、フローチャート内のステップｓｂ１０へと進む。
【００５３】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されていないと判断した場合は（ｓｂ０４でＮＯ）、所定時間ｔ１待機し、その間に絶縁破壊された場合はステップｓｂ０５の動作を行う。所定時間ｔ１待機しても絶縁破壊されない場合は（ｓｂ０８でＹＥＳ）、フローチャートのステップｓｂ０９へと進む。スイッチング素子２３、２４をオフする（ｓｂ０９）。加工電源内のスイッチング素子３５、３６をオンする（ｓｂ１０）。これにより加工電源内のコンデンサ３１が充電される。この時のコンデンサ３１の充電電圧は、スイッチング素子２８、２９を充電する場合と逆極性になる。コンデンサ３１充電完了後にスイッチング素子３５、３６をオフする（ｓｂ１１）。その後、スイッチング素子２５、２６をオンする（ｓｂ１２）。これにより、被加工物５１が副電源２２の負極性側、ワイヤ電極５０が副電源２２の正極性側に接続され、被加工物５１とワイヤ電極５０の間に電圧が印加される。
【００５４】
電圧印加中、電圧検出部４５により、被加工物５１とワイヤ電極５０の間の電圧を検出する。検出された電圧を数値制御装置４１内へ送り、演算部４２より電圧値（アナログデータ）の絶対値をデジタルデータへ変換する。演算部４２により変換された値と予め記憶部４３に格納していたデータを比較部４４により比較する（ｓｂ１３）。
【００５５】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されたと判断した場合は（ｓｂ１３でＹＥＳ）、フローチャートのステップｓｂ１４へと進む。加工電源内のスイッチング素子２５、２６をオフした後（ｓｂ１４）、スイッチング素子３０をオンして（ｓｂ１５）、コンデンサ３１によるパルス電流を被加工物５１とワイヤ電極５０の間に供給する。コンデンサ３１の放電完了後、スイッチング素子３０をオフし、シーケンスの最初に戻る（ｓｂ１６）。
【００５６】
比較した結果、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間が絶縁破壊されていないと判断した場合（ｓｂ１３でＮＯ）は、所定時間ｔ１待機し、その間に絶縁破壊された場合（ｓｂ１３でＹＥＳ）はステップｓｂ１４の動作を行う。所定時間ｔ１待機しても絶縁破壊されない場合（ｓｂ１７でＹＥＳ）は、フローチャートのステップｓｂ１８へと進む。スイッチング素子２５、２６をオフして、その後、シーケンスの最初に戻る（ｓｂ１８）。
【００５７】
以上の流れを簡単に表したものが、図８になる。３つの波形は、それぞれ、検出電圧Ｖ１とコンデンサ３１の充電電圧ＶＣ３１とワイヤ電極５０と被加工物５１の間に流れる電流Ｉｇａｐを表している。
【００５８】
時刻ｔｃにおいて、コンデンサ３１の充電を開始し、充電完了後に副電源による交互極性のパルス電圧を印加する。時間ｔ１の間に副電源２２による放電が発生しなければ、一旦、電圧印加を打ち切り、極間の電圧をゼロにする。その後、逆側の極性のパルス電圧の印加を行う前に、コンデンサ３１を逆極性の電圧で充電する。このように、副電源２２と極性とコンデンサ３１の充電電圧の極性が同じになるようにして、シーケンスを繰り返す。
【００５９】
時刻ｔｄにおいて、検出電圧が閾値値Ｖｔｈよりも低くなったと判断した場合、副電源２２のスイッチング素子をオフする。その後、主電源７のスイッチング素子３０をオンして、ワイヤ電極５０と被加工物５１の間にコンデンサ３１によるパルス電流Ｉｇａｐを供給する。放電完了後、スイッチング素子３０をオフし、シーケンスの最初に戻る。
【符号の説明】
【００６０】
１  加工用電源
２  副電源
３  スイッチング素子
４  スイッチング素子
５  スイッチング素子
６  スイッチング素子
７  主電源
８  スイッチング素子
９  スイッチング素子
１０  ワイヤ電極
１１  被加工物
２１  加工用電源
２２  副電源
２３  スイッチング素子
２４  スイッチング素子
２５  スイッチング素子
２６  スイッチング素子
２７  主電源
２８  スイッチング素子
２９  スイッチング素子
３０  スイッチング素子
３１  コンデンサ
３２  ワイヤ電極
３３  被加工物
３４  給電線
４１  数値制御装置
４２  演算部
４３  記憶部
４４  比較部
４５  電圧検出部
４６  電圧検出線
４７  電圧検出線
４８  給電線
４９  給電部
５０  ワイヤ電極
５１  被加工物
５２  ワイヤ電極支持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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