(57)【要約】【課題】より細い図形の印刷が可能となるスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】（ａ）主面間を貫通する印刷図形孔が形成された支持層と、（ｂ）支持層の主面の一方に接合され、主面に垂直な方向から見ると印刷図形孔と重なる印刷図形領域３０内に、印刷図形領域３０の長手方向の境界線３２，３３に沿って互いに間隔を設けて一列に配置された台形形状の第１及び第２のメッシュ孔４２，４３が、隣接して形成されたメッシュ層とを備える。第１のメッシュ孔４２の互いに平行な第１及び第２の辺４２ａ，４２ｂは境界線３３に対して斜めに延在する。第２のメッシュ孔４３の互いに平行な第５及び第６の辺４３ａ，４３ｂは境界線３３に対して斜め、かつ第１及び第２の辺４２ａ，４２ｂとは逆方向に延在する。【選択図】図１
2015131427.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面間を貫通する印刷図形孔が形成された支持層と、
前記支持層の前記主面の一方に接合され、前記主面に垂直な方向から見ると、前記印刷図形孔と重なる印刷図形領域内に、前記印刷図形領域の長手方向に延在する境界線の一方に沿って互いに間隔を設けて一列に配置された少なくとも２つの第１のメッシュ孔と、前記境界線の他方に沿って配置された少なくとも１つの第２のメッシュ孔とが形成されたメッシュ層と、
を備え、
前記主面に垂直な方向から見ると、
前記第１のメッシュ孔は、第１乃至第４の辺を有する台形形状であり、前記第１及び第２の辺は互いに平行かつ前記境界線に対して斜めに延在し、前記第１の辺は前記第２の辺より長く、前記第３及び第４の辺のうち前記境界線の前記一方側の前記第３の辺は前記境界線の前記一方に沿って延在し、前記第３及び第４の辺のうち前記境界線の前記他方側の前記第４の辺は前記境界線に対して斜めに延在し、
前記第２のメッシュ孔は、第５乃至第８の辺を有する台形形状であり、前記第５及び第６の辺は互いに平行であり、前記第５の辺は前記第６の辺より長く、前記第５の辺は隣り合う２つの前記第１のメッシュ孔のうち一方の前記第１のメッシュ孔の前記第４の辺に隣接し、前記第７及び第８の辺のうち前記境界線の前記他方側の前記第７の辺は前記境界線の前記他方に沿って延在し、前記第７及び第８の辺のうち前記境界線の前記一方側の前記第８の辺は隣り合う２つの前記第１のメッシュ孔のうち他方の前記第１のメッシュ孔の前記第１の辺に隣接していることを特徴とする、スクリーン印刷版。
【請求項２】
前記第１のメッシュ孔は、すべてが同じ寸法・形状であり、
前記第２のメッシュ孔は、すべてが同じ寸法・形状であり、
前記第１の辺と前記第８の辺とが互いに隣接する前記第１及び第２のメッシュ孔において、前記第４の辺と前記第６の辺とが同一直線上に並び、
前記第４の辺と前記第５の辺とが互いに隣接する前記第１及び第２のメッシュ孔において、前記第２の辺と前記第８の辺とが他の同一直線上に並ぶことを特徴とする、請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
同じ寸法・形状の複数の前記印刷図形孔が互いに平行に配置され、
１又は２以上の前記印刷図形孔を含む第１組の前記印刷図形孔と重なる前記印刷図形領域に形成された前記第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きと、
前記第１組の前記印刷図形孔とは異なる１又は２以上の前記印刷図形孔を含む第２組の前記印刷図形孔と重なる前記印刷図形領域に形成された前記第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きとが逆向きであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷版に関し、詳しくは、電子部品に導電パターンを印刷するためのスクリーン印刷版に関する。
に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品の製造工程において電極パッドや配線などの導電パターンを印刷するために用いるスクリーン印刷版を、エレクトロフォーミング技術を用いて作製することが知られている。例えば、導電性の基板上にメッシュ部に相当する第１層をめっき形成し、その上に印刷図形に相当する第２層の図形部をめっき形成し、その後、第１層と第２層が一体となっためっきシートを基板から剥離して印刷枠に貼付けて、オールメタルのスクリーン印刷版を作製する。このオールメタルのスクリーン印刷版は、スクリーン紗を用いる印刷版と比較し、メッシュ設計における自由度が高く、所望の印刷品位、印刷特性、版内印刷ばらつき制御などの点で優れており、メッシュ孔の形状・寸法、メッシュ線幅等を自由に選択してメッシュ部を設計できることから、所望の印刷品位を得るには最適である。
【０００３】
オールメタルのスクリーン印刷版のメッシュ部について種々の構成が提案されている。
【０００４】
例えば特許文献１には、印刷図形領域内に、メッシュ線が交差するように菱形のメッシュ孔と三角形のメッシュ孔とを配置することが開示されている。この場合、対向する三角形のメッシュ孔の形状・面積が等しくなるようにメッシュ線の交点の角度を自由に設定し、配置個数を選択することできる。
【０００５】
また、特許文献２には、印刷図形の輪郭に滲みや擦れのない良好な印刷を行うため、印印刷図形領域の辺に沿って微細な四角形メッシュ孔を配置し、その内側にメッシュ孔をハニカム状に配置することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許第４６７０４８７号公報
【特許文献２】特開２０１３−１０７３４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
個々の印刷図形サイズの小型化、スクリーン印刷版の大版化によるコストダウンを図るためには、より高精度で制御された印刷図形品質が必要とされ、面内ばらつきが小さいことはもちろん、個々の印刷図形の寸法精度、印刷図形の直線性（印刷にじみ制御）、印刷図形内の塗布厚均一性など、より一層コントロールされた印刷版が求められている。その要求を満足させるためには、上記のエレクトロフォーミング技術を用いて作製したオールメタルの印刷版は有望であり、その分、メッシュ配置設計が極めて重要となる。個々のメッシュ孔はフォトリソ技法によって形成するレジスト像に依存するが、このメッシュ孔が小さ過ぎる場合は、スクリーン印刷版の製造過程でメッシュ孔に対応するレジスト像の安定形成することが難しくなり、印刷工程ではメッシュ孔での印刷ペーストの目詰まりの問題を生じる。一方、メッシュ孔が大き過ぎる場合は印刷品位（にじみ、直線性、塗布表面の均一性）の点で安定せず、メッシュ孔の形状・大きさ、メッシュ線幅に関する設計課題は多い。また、メッシュ孔の形状・配置が複雑化するほど、対応する原版マスクの描画データは複雑化・巨大化する。
【０００８】
印刷図形における塗布厚の均一性、印刷図形の直線性、印刷にじみ量の制御等の要求を満足させるスクリーン印刷版を提供するためには、メッシュの微細化（ハイメッシュ化：メッシュ線を細く、メッシュ孔を小さく、メッシュ孔数をより多く）が有望であるが、一方で、フォトリソ技術でのメッシュ孔の安定形成が大変困難となり、メッシュ孔が形成された場合でも、印刷ペーストの目詰まりの問題が発生する等、必ずしもスクリーン印刷版の図形内に配置されるすべてのメッシュ孔が印刷に必要・有効に働いているとは限らない。つまり、一概に、より小さなメッシュ孔を配置することが最善とは限らず、メッシュ孔の形状・大きさは印刷図形の持つ形状（図形端辺やコーナー部など）によっては、適正な形状・大きさを持つメッシュ孔の配置が印刷品質（直線性、塗布厚均一性など）に必要となる。
【０００９】
特許文献１に開示された構成を、より細線図形（ハイメッシュ設計仕様）に適用すると、印刷図形領域の辺に沿って配置される三角形のメッシュ孔の面積は極めて小さくなり、上記オールメタルスクリーン印刷版の製造過程であるフォトリソ工程で、レジストメッシュ像の安定形成が極めて難しくなる。また、印刷図形領域の辺に沿って配置される微細な三角形のメッシュ孔が形成できても、印刷工程でのペースト目詰まりリスクが高まるなど、特許文献１に開示されたメッシュ部の構成の適用には限界がある。
【００１０】
特許文献２の構成は、メッシュ原版作製のためのデータ作成が極めて煩雑である。また、印刷図形領域の辺に沿って配置した四角メッシュ孔は、印刷での優れたエッジ直線性となるために極めて小さな寸法で多くの個数を配置することが要求され、スクリーン印刷版製造工程において個々の四角メッシュ孔に対応するレジスト像を安定して形成することが難しい。印刷図形領域の辺に沿って配置した四角メッシュ孔を小さくするに限界があるため、より細い印刷図形を形成する場合には、印刷図形領域の内側に四角メッシュ孔以外を配置する領域がなくなる等、特許文献２の構成でも細線図形に適応させるには限界がある。
【００１１】
本発明は、かかる実情に鑑み、より細い図形の印刷が可能となるスクリーン印刷版を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成したスクリーン印刷版を提供する。
【００１３】
スクリーン印刷版は、支持層とメッシュ層とを備える。前記支持層は、主面間を貫通する印刷図形孔が形成されている。前記メッシュ層は、前記支持層の前記主面の一方に接合され、前記主面に垂直な方向から見ると、前記印刷図形孔と重なる印刷図形領域内に、前記印刷図形領域の長手方向に延在する境界線の一方に沿って互いに間隔を設けて一列に配置された少なくとも２つの第１のメッシュ孔と、前記境界線の他方に沿って配置された少なくとも１つの第２のメッシュ孔とが形成されている。前記主面に垂直な方向から見ると、（ａ）前記第１のメッシュ孔は、第１乃至第４の辺を有する台形形状であり、前記第１及び第２の辺は互いに平行かつ前記境界線に対して斜めに延在し、前記第１の辺は前記第２の辺より長く、前記第３及び第４の辺のうち前記境界線の前記一方側の前記第３の辺は前記境界線の前記一方に沿って延在し、前記第３及び第４の辺のうち前記境界線の前記他方側の前記第４の辺は前記境界線に対して斜めに延在し、（ｂ）前記第２のメッシュ孔は、第５乃至第８の辺を有する台形形状であり、前記第５及び第６の辺は互いに平行であり、前記第５の辺は前記第６の辺より長く、前記第５の辺は隣り合う２つの前記第１のメッシュ孔のうち一方の前記第１のメッシュ孔の前記第４の辺に隣接し、前記第７及び第８の辺のうち前記境界線の前記他方側の前記第７の辺は前記境界線の前記他方に沿って延在し、前記第７及び第８の辺のうち前記境界線の前記一方側の前記第８の辺は隣り合う２つの前記第１のメッシュ孔のうち他方の前記第１のメッシュ孔の前記第１の辺に隣接している。
【００１４】
上記構成において、印刷図形孔に対応して、印刷図形が形成される。メッシュ層は、第１及び第２のメッシュ孔によって、印刷図形領域がメッシュ状に形成される。メッシュ線は、印刷図形領域の長手方向の境界線に対して斜めに延在するため、印刷図形の縁の直線性を高くすることができる。また、メッシュ線がＴ字状に交差するため、Ｘ状に交差する場合に比べ、印刷図形孔内に印刷ペーストをより均等に充填できるため、印刷品位が向上する。さらに、一定幅の印刷図形領域内に第１及び第２のメッシュ孔を斜め傾けて配置することによって、第１及び第２のメッシュ孔を斜め傾けずに配置する場合よりも、第１及び第２のメッシュ孔をより大きくすることができる。そのため、印刷図形領域の幅を小さくしても、良好な印刷が可能となる。すなわち、より細い図形の印刷が可能となる。
【００１５】
なお、第１のメッシュ孔は大きさが異なるものを含んでも構わない。また、第２のメッシュ孔は大きさが異なるものを含んでも構わない。また、第１及び第２の辺が第８の辺と平行でなかったり、第５及び６の辺が第４の辺と平行でなかったりしても構わない。
【００１６】
好ましくは、前記第１のメッシュ孔は、すべてが同じ寸法・形状である。前記第２のメッシュ孔は、すべてが同じ寸法・形状である。前記第１の辺と前記第８の辺とが互いに隣接する前記第１及び第２のメッシュ孔において、前記第４の辺と前記第６の辺とが同一直線上に並ぶ。前記第４の辺と前記第５の辺とが互いに隣接する前記第１及び第２のメッシュ孔において、前記第２の辺と前記第８の辺とが他の同一直線上に並ぶ。
【００１７】
この場合、メッシュ線幅を一定にすることが可能である。
【００１８】
好ましくは、同じ寸法・形状の複数の前記印刷図形孔が互いに平行に配置される。１又は２以上の前記印刷図形孔を含む第１組の前記印刷図形孔と重なる前記印刷図形領域に形成された前記第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きと、前記第１組の前記印刷図形孔とは異なる１又は２以上の前記印刷図形孔を含む第２組の前記印刷図形孔と重なる前記印刷図形領域に形成された前記第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きとが逆向きである。
【００１９】
この場合、すべての印刷図形領域において長手方向の境界線に対して第１及び第２のメッシュ孔を斜めに配置する方向が揃っている場合に比べ、印刷図形の不均一な位置ずれを防いだり、版寿命を延ばしたりすることができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のスクリーン印刷版を用いると、より細い図形の印刷が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】メッシュ層の要部平面図である。（実施例１）
【図２】メッシュ孔の設計例を示す説明図である。（実施例１）
【図３】印刷シートの製造工程を模式的に示す断面図である。（実施例１）
【図４】印刷シートの製造工程を模式的に示す断面図である。（実施例１）
【図５】メッシュ層を模式的に示す要部平面図である。（比較例１〜４）
【図６】メッシュ層を模式的に示す要部平面図である。（比較例５〜８）
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
＜実施例１＞  実施例１のスクリーン印刷版について、図１〜図４を参照しながら説明する。
【００２４】
スクリーン印刷版は、図４（７）の断面図に示す印刷シート１１を、支持紗スクリーンを介して、あるいは直接、印刷枠に貼付固定したものである。図４（７）に示すように、印刷シート１１は、支持層１４の一方主面にメッシュ層１２が接合されている。支持層１４には、支持層１４の主面間を貫通する印刷図形孔１５が形成されている。メッシュ層１２には、メッシュ層１２の主面間を貫通するメッシュ孔１３が形成されている。
【００２５】
図１は、メッシュ層の要部平面図である。図１に示すように、メッシュ層には、支持層とメッシュ層の接合面に垂直な方向から見ると印刷図形孔に重なる印刷図形領域３０内に、第１乃至第４のメッシュ孔４２〜４５が形成されている。
【００２６】
第１のメッシュ孔４２は、印刷図形領域３０の長手方向の一方の境界線３２に対して斜めに傾いた状態で、その一方の境界線３２に沿って一列に配置されている。第２のメッシュ孔４３は、印刷図形領域３０の長手方向の他方の境界線３３に対して斜めに傾いた状態で、その他方の境界線３３に沿って一列に配置されている。第３及び第４のメッシュ孔４４，４５は、印刷図形領域３０の長手方向両端の境界線３４，３５に沿って配置されている。
【００２７】
第１のメッシュ孔４２は、第１乃至第４の辺４２ａ〜４２ｄを有する台形形状である。第１の辺４２ａ及び第２の辺４２ｂは互いに平行かつ、印刷図形領域３０の長手方向の境界線３２，３３に対して斜めに延在している。第１の辺４２ａは、第２の辺４２ｂより長い。第３の辺４２ｃは一方の境界線３２側に配置され、第４の辺４２ｄは他方の境界線３３側に配置されている。第３の辺４２ｃは一方の境界線３３に沿って延在している。第４の辺４２ｄは、境界線３２，３３に対して斜めに延在している。
【００２８】
第２のメッシュ孔４３は、第５乃至第８の辺４３ａ〜４３ｄを有する台形形状である。第５の辺４３ａ及び第６の辺４３ｂは互いに平行である。第５の辺４３ａは第６の辺４３ｂより長い。第５の辺４３ａは、当該第２のメッシュ孔４３に隣り合う２つの第１のメッシュ孔４２のうち一方の第１のメッシュ孔４２の第４の辺４２ｄに隣接している。第７の辺４３ｃは他方の境界線３３側に配置され、第８の辺４３ｄは一方の境界線３２側に配置されている。第７の辺４３ｃは他方の境界線３３に沿って延在している。第８の辺４３ｄは、当該第２のメッシュ孔４３に隣り合う２つの第１のメッシュ孔４２のうち他方の第１のメッシュ孔４２の第１の辺４２ａに隣接している。
【００２９】
第１のメッシュ孔４２の第１の辺４２ａのうち当該第１の辺４２ａが隣接する第２の辺４２ｂと対向する部分以外の部分４２ｓと第４の辺４２ｄとは、ジグザグに配置されている。第２のメッシュ孔４３の第５の辺４３ａのうち当該第５の辺４３ａが隣接する第６の辺４３ｂと対向する部分以外の部分４３ｓと第８の辺４３ｄとは、ジグザグに配置されている。第１及び第２のメッシュ孔４２，４３は、これらのジグザグ同士が間隔を設けて噛み合うように配置され、第１のメッシュ孔４２と第２のメッシュ孔４３との間に、ジグザグに延在するメッシュ線が形成されている。
【００３０】
特に、第１のメッシュ孔４２のすべてを同じ寸法・形状とし、第２のメッシュ孔４３のすべてを同じ寸法・形状とし、（ａ）第１の辺４２ａと第８の辺４３ｄとが互いに隣接する第１及び第２のメッシュ孔４２，４３において、第４の辺４２ｄと第６の辺４３ｂとが同一直線上に並び、（ｂ）第４の辺４２ｄと第５の辺４３ａとが互いに隣接する第１及び第２のメッシュ孔４２，４３において、第２の辺４２ｂと第８の辺４３ｄとが他の同一直線上に並ぶようにしてもよい。この場合、互いに隣接する第１の辺４２ａと第２の辺４２ｂとの間４６と、互いに隣接する第５の辺４３ａと第６の辺４３ｂとの間４７と、互いに隣接する第４の辺４２ｄと第５の辺４３ａとの間４８と、互いに隣接する第１の辺４２ａと第８の辺４３ｄとの間４９とに、一定幅のメッシュ線に形成されている。
【００３１】
印刷図形領域３０の短手方向の一方の境界線３４と第２のメッシュ孔４３との間には第３のメッシュ孔４４が配置されており、他方の境界線３５と第２のメッシュ孔４３との間には第４のメッシュ孔４５が配置されている。第３のメッシュ孔４４および第４のメッシュ孔４５の形状は第２のメッシュ孔４３を二分割した形状である。具体的には、第３のメッシュ孔４４は五角形であり、第４のメッシュ孔４５は三角形である。なお、本実施例のメッシュ層１２には、７つの第１のメッシュ孔４２と６つの第２のメッシュ孔４３が形成されているが、本発明はこの形態に限定されることはない。本発明の最小単位として、少なくとも２つの第１のメッシュ孔４２と少なくとも１つの第２のメッシュ孔４３とが形成されていればよい。
【００３２】
図２は、第１及び第２のメッシュ孔の設計例を示す説明図である。図２に示すように、同じ寸法・形状の第１及び第２の長方形図形７２，７３を、印刷図形領域の長手方向の境界線（図２において左右方向）に対して逆向きに４５°傾けて所定間隔で交互に配置し、印刷図形領域より一回り小さい境界線８２〜８５で第１及び第２の長方形図形７２，７３を切断し、境界線８２〜８５より内側部分をメッシュ孔の形状とする。
【００３３】
図１に示したように、メッシュ線が印刷図形領域の長手方向の境界線に対して斜めに延在すると、印刷図形の輪郭の直線性を高くすることができる。また、メッシュ線がＴ字状に交差するため、Ｘ状に交差する場合に比べ、印刷図形孔内に印刷ペーストをより確実に充填できるため、印刷品位が向上する。さらに、印刷図形領域内に第１及び第２のメッシュ孔を傾け噛み合うように配置することによって、第１及び第２のメッシュ孔を傾けずに配置する場合よりも、第１及び第２のメッシュ孔はより大きくすることができる。そのため、印刷図形領域の幅を小さくしても、良好な印刷が可能となる。したがって、より細い図形の印刷が可能となる。
【００３４】
また、例えば、スクリーン印刷版を用いて複数個分の電子部品の導電パターンを印刷する場合、印刷シートには、同じ寸法・形状の印刷図形孔を互いに平行に格子状に配置する。この場合、印刷図形領域の長手方向の境界線に対して第１及び第２のメッシュ孔を斜めに配置する方向がすべて同じであると、印刷シートが特定方向に変形しやすくなるため、印刷版内において図形形位置が不均一にずれたり、特定箇所に応力が集中して版寿命が短くなったりすることがある。そのため、印刷図形領域の長手方向の境界線に対して第１及び第２のメッシュ孔を斜めに配置する方向が異なるようにすることが好ましい。
【００３５】
すなわち、同じ寸法・形状の複数の印刷図形孔が互いに平行に配置される場合には、１又は２以上の印刷図形孔を含む第１組の印刷図形孔と重なる印刷図形領域に形成された第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きと、第１組の印刷図形孔とは異なる１又は２以上の印刷図形孔を含む第２組の印刷図形孔と重なる印刷図形領域に形成された第１及び第２のメッシュ孔がなす角の向きとを、逆向きにする。例えば、図形形成領域の一部（例えば半分）については、第１及び第２のメッシュ孔を、印刷図形領域の長手方向に反転した形状に形成する。これによって、印刷図形の不均一な位置ずれを防いだり、版寿命を延ばしたりすることができる。
【００３６】
次に、スクリーン印刷版に用いる印刷シートの製造方法について、図３及び図４を参照しながら説明する。図３及び図４は、印刷シート１１の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００３７】
（１）まず、図３（１）に示すように、所定の表面粗さの基準面５０ａを有する導電性の基板５０を準備する。例えば、表面粗さＲａ０．０１μｍ〜１μｍのステンレス鋼ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ３０４に、アルカリ脱脂、水洗、酸処理、水洗、乾燥等の一連の表面処理を施す。表面処理は、微細レジスト像の安定形成に極めて重要であり、また、電解めっきを施した際のめっき膜品質、基板とめっき膜との密着性の点でも重要である。
【００３８】
（２）次いで、図３（２）に示すように、脱脂洗浄、酸処理による表面処理を施した基板５０の基準面５０ａに、メッシュ層１２にメッシュ孔１３を形成するための感光性レジスト膜５２を形成する。感光性レジスト膜５２は、ドライフィルム感光性レジストをラミネーターで基板５０の基準面５０ａに貼り合わせて形成しても、液体感光性レジストをスピンコーターで基板５０の基準面５０ａに塗布形成してもよい。
【００３９】
メッシュ層１２のメッシュ部を電解めっきで成長させる際に、感光性レジスト厚みがメッシュ厚みより低い場合には、メッシュ孔の開口部がオーバーハング形状となり、メッシュ孔の開口寸法精度が保証できなくなる。これを防ぐため、感光性レジスト膜５２の厚みは、メッシュ部厚み（すなわち、メッシュ層１２の厚み）よりも厚い膜厚で設定する。感光性レジスト膜５２の膜厚範囲は約１０μｍ〜５０μｍとし、めっき形成するメッシュ部の厚み（メッシュ層１２の厚み）よりも、感光性レジスト膜５２の厚みが＋２〜＋１０μｍ程度厚くなる組み合わせで選定する。
【００４０】
（３）次いで、図３（３）に示すように、原版マスク６０を用い、矢印６２で示すように露光する。原版マスク６０には、メッシュ孔１３を形成するためのメッシュ図形６３が描画されている。なお、ここでは、感光性レジスト膜５２にネガタイプの感光性レジストを使用しているため、原版マスク６０では、レジストパターンを形成する図形が、透明の図形である。感光性レジスト膜５２にポジタイプの感光性レジストを使用する場合、レジストパターンを形成する図形は不透明の図形にする。
【００４１】
感光性レジスト膜５２は、原版マスク６０に描画された図柄の透明部に対応する部分が感光硬化して、メッシュ孔に対応するレジスト像が形成される。原版マスク６０に描画された図柄の透明部の形状、大きさ、配置個数は、所望する印刷特性（形状、寸法、塗布厚、均一性、エッジ直線性など）を満足するように選択する。
【００４２】
メッシュ開口率（１つの印刷図形領域内のメッシュ孔面積の合計／１つの印刷図形領域の面積）、及びメッシュ孔個数は、印刷品位（印刷にじみ、ペースト塗布表面の均一性）に影響を及ぼすことから、より小さいメッシュ孔で、より細い線径で、より多くのメッシュ穴配置が望まれるが、実際には、ペーストの目詰まりや、スクリーン版としてのメッシュ穴に相当するレジスト像形成の困難さから、トレードオフの関係が存在する。
【００４３】
しかしながら、図１に示したメッシュ配置の場合、印刷品位とペースト目詰まりリスクとスクリーン版製造でのレジスト像形性のいずれの点でも優れており、また、原版作製におけるデータ設計でも簡易、汎用性のあるメッシュ配置となっている。メッシュ孔寸法は約１０μｍ〜１００μｍ程度で、メッシュ線径は１０μｍ〜５０μｍ程度が印刷品位に良好である。
【００４４】
（４）次いで、露光された感光性レジスト膜５２に対して、現像処理を施す。これによって、図３（４）に示すように、メッシュ図形６３に対応するレジスト像５３が、基板５０の基準面５０ａ上に形成される。
【００４５】
（５）次いで、基板５０の基準面５０ａ上にレジスト像５３が形成された状態で、基板５０に電解めっきを施し、図４（５）に示すように、基板５０の基準面５０ａ上にメッシュ層１２を形成する。例えば、電解めっき浴には、めっき膜の応力制御に優れたスルファミン酸Ｎｉ浴を用い、電解Ｎｉめっきで形成する。スルファミン酸めっき浴の箔内部応力は、応力調整剤（ハロゲンＮｉ、光沢剤）の添加で引張り側に制御され、メッシュ部を形成するめっき厚みは電解めっき電気量（電流値×導通時間）と比例関係があることから、所望するめっき厚に対応しためっき電気量設定により、厚み制御を行う。
【００４６】
メッシュ層１２の厚みは、使用する印刷ペーストの粘度や所望する印刷品質（印刷塗布厚、にじみ量抑制）によっても異なるが、メッシュ開口率との関係も含めて、約５μｍ〜５０μｍ厚みの範囲で設定する。
【００４７】
（６）次いで、メッシュ層１２の電解めっきが終了した後、図４（６）に示すように、レジスト像５３を剥離除去する。レジスト像５３の剥離除去は、アルカリ液や有機溶剤含有溶液などをシャワー噴霧、又は浸漬することによってレジスト像５３を完全に溶解除去し、その後の水洗処理で表面のアルカリ残渣分を洗浄除去する。この時点で、メッシュ層１２のメッシュ孔１３を形成する工程は終了する。
【００４８】
（７）次いで、上記（２）〜（６）と同様の工程を繰り返し、メッシュ層１２の上に、印刷図形孔１５を有する支持層１４を形成する。支持層１４の原版露光工程では第１層１４のメッシュ部との整合性が確保されるように配慮し、メッシュ層１２のメッシュ孔１３と支持層１４の印刷図形孔１５とが整合良く一体となったオールメタルの印刷シート１１を形成する。
【００４９】
なお、図４（６）は、メッシュ層１２の電解めっきが終了し、レジスト像５３の剥離処理を行った状態を示した。しかし、レジスト像５３を剥離除去せず、メッシュ層１２の上面より飛び出た形状のレジスト像５３の一部を研磨工法で削り取り、メッシュ層１２の表面とレジスト像表面の高さを均一化した状態で、メッシュ層１２上に支持層１４を形成してもよい。
【００５０】
次いで、印刷シート１１は、基板５０ごと、所定の外周サイズにカットし、コンビネーション構造のスクリーン支持紗に貼付し、あるいは、支持紗を介さずに印刷フレーム枠に直接貼付した後、基板５０を取り除くと、スクリーン印刷版が完成する。
【００５１】
＜変形例＞  第１のメッシュ孔４２は、大きさが異なるものを含むようにしても構わない。また、第２のメッシュ孔４３は、大きさが異なるものを含むようにしても構わない。また、第１及び第２の辺４２ａ，４２ｂが第８の辺４３ｄと平行でなかったり、第５及び６の辺４３ａ，４３ｂが第４の辺４２ｄと平行でなかったりしても構わない。
【００５２】
＜比較例１〜８＞  次に、比較例１〜８のスクリーン印刷版について、図５及び図６を参照しながら説明する。図５及び図６は、スクリーン印刷版のメッシュ層を模式的に示す要部平面図である。黒色の矩形部分は印刷図形領域であり、メッシュ孔の外形を白線で示している。
【００５３】
図５（１）は印刷図形領域内に四角形のメッシュ孔を均一に配置した比較例１、図５（２）は印刷図形領域内に丸形のメッシュ孔を均一に配置した比較例２、図５（３）は印刷図形領域内に平行四辺形のメッシュ孔を均一に配置した比較例３を示している。これらは、個々のメッシュ孔の形状・大きさが一定であるため、メッシュ孔の安定形成が可能である。しかしながら、印刷図形を細くすると、印刷品位（直線性、塗布厚均一性）に課題が生じ、印刷図形の輪郭は団子の串刺し形状のように波状に曲がる。
【００５４】
図５（４）は、印刷図形領域内に平行四辺形のメッシュ孔を、図５（３）よりも細かく配置した比較例４を示している。この場合、メッシュ孔を細かく多数個配置することによって、印刷品位は改善されるがメッシュ孔の形成が難しくなり、メッシュ孔用のレジスト像の安定形成が非常に困難となる。また、一方向に傾いたメッシュ孔版を版全面に配置した場合、斜め配置方向での図形配置ズレが生じ、印刷有効エリアが矩形をなさず、問題となる。
【００５５】
図６（５）は、メッシュ線が斜めに交差するように、印刷図形領域の対向する長手方向の境界線に沿って、面積が等しい三角形のメッシュ孔を配置する比較例５を示している。比較例５は、特許文献１の設計思想に準じるものである。図６（６）は、印刷品位を優先し、印刷図形領域の対向する長手方向の境界線に沿って矩形形状のメッシュ孔を配置する比較例６を示している。比較例６は、特許文献２の設計思想に準じるものである。図６（５）及び（６）は印刷品位を優先したメッシュ孔配置であるが、印刷図形の細線化に伴ってメッシュ孔を小さくすると、図形の端部に配置されている三角形の断片形状や、矩形形状のメッシュ孔に製造限界が生じ、結果的に印刷直線性など要求印刷品位を満足できない。メッシュ孔が小さ過ぎるとペースト詰まりの問題も生じ、結果的に印刷品位要求を満たせない。
【００５６】
図６（７）は、六角形のメッシュ孔をハニカム状に配置する比較例７を示している。印刷図形領域の対向する長手方向の境界線に沿って形成するメッシュ孔は、面積が等しくなるようにする。図６（８）は、長方形のメッシュ孔を、レンガを積むように、千鳥状に配置する比較例８を示している。図６（７）及び（８）は、メッシュ孔の微細化による印刷品位の向上と、メッシュ孔の安定形成がトレードオフの関係になる。
【００５７】
実施例１と比較例１〜８を比較すると、同じ線幅の細線図形を印刷する場合、実施例１では、印刷図形領域の長手方向の境界線に沿って配置する第１及び第２のメッシュ孔の面積を、図６及び図７に示した比較例１〜８のメッシュ孔よりも大きくすることができる。そのため、実施例１は、より細い図形の印刷が可能となる。
【００５８】
＜まとめ＞  以上に説明したように、印刷図形領域の長手方向の一方の境界線に沿って斜めに傾いた状態で一列に配置された第１のメッシュ孔と、他方の境界線に沿って第１のメッシュとは逆方向に斜めに傾いた状態で一列に配置された第２のメッシュ孔とが形成されたスクリーン印刷版は、より細い図形の印刷が可能となる。
【００５９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１１  印刷シート
１２  メッシュ層
１３  メッシュ孔
１４  支持層
１５  印刷図形孔
３０  印刷図形領域
３２，３３，３４，３５  境界線
４２  第１のメッシュ孔
４２ａ  第１の辺
４２ｂ  第２の辺
４２ｃ  第３の辺
４２ｄ  第４の辺
４３  第１のメッシュ孔
４３ａ  第５の辺
４３ｂ  第６の辺
４３ｃ  第７の辺
４３ｄ  第８の辺
４４  第３のメッシュ孔
４５  第４のメッシュ孔
【図１】
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【図２】
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【図５】
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【図６】
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【図３】
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【図４】
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