(57)【要約】【課題】誤判定の低減を図る。【解決手段】本発明の検査装置１００は、シートが積層されるたびに撮影する撮影部１３０と、シートの端部を検出し、シートの検査情報を生成する画像解析部１４６と、検査情報を用いてシートの積層状態の良否を判定し、判定結果を出力する判定部１４７と、を有し、判定部１４７は、第１シートが積層された状態にて第１撮影画像が撮影され、第１シート上に第２シートが積層された状態にて第２撮影画像が撮影されると、第１撮影画像から第１シートの積層状態の良否を判定するとともに、第１撮影画像において検出された第１シートの端部を用いて、判定の再実施が必要であるかを確認する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシートが積層される積層体であって、各シートは搭載されているシートの一側端が露出するように順次積層される積層体の積層状態を検査する検査装置であって、
前記シートが積層されるたびに前記積層体を上方から撮影し、撮影画像を取得する撮影部と、
前記撮影部が取得した撮影画像のそれぞれについて、撮影画像内の明るさの違いに基づいて前記積層体を構成する複数のシートの端部を検出し、該検出した端部を用いて検査情報を生成する画像解析部と、
前記検査情報を用いて前記積層体の積層状態の良否を検査し、該検査の結果を出力する判定部と、を有し、
前記判定部は、第１のシートが積層された状態にて第１の撮影画像が取得され、前記第１のシートの上に第２のシートが積層された状態にて第２の撮影画像が取得されると、前記第１の撮影画像から生成された前記検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否を判定するとともに、前記画像解析部が検出した前記第１のシートの端部の内容から、前記第２の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否の判定を再実施する必要があるかを確認することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記判定部は、再実施が必要ないと確認した場合には、前記第１の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否を判定した結果を出力し、再実施が必要であると確認した場合には、前記第２の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否の判定を再実施し、該再実施した判定の結果を出力することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の検査装置において、
前記判定部は、前記画像解析部により検出された前記第１のシートの端部を直線で近似することにより近似直線を求め、前記検出された前記第１のシートの端部と、前記近似直線との差に基づいて、前記再実施が必要であるかを確認すること特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記画像解析部は、前記検出した端部を用いて前記撮影画像において判定領域を設定し、
前記判定部は、前記撮影画像における前記判定領域の明るさに応じて、前記シートの積層状態の良否を判定することを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記画像解析部は、前記検出した端部の間隔を求め、
前記判定部は、前記間隔に基づいて、前記シートの積層状態の良否を判定することを特徴とする検査装置。
【請求項６】
複数のシートが積層される積層体であって、各シートは搭載されているシートの一側端が露出するように順次積層される積層体の積層状態を検査する検査方法であって、
前記シートが積層されるたびに前記積層体を上方から撮影し、撮影画像を取得し、
前記取得された撮影画像のそれぞれについて、撮影画像内の明るさの違いに基づいて前記積層体を構成する複数のシートの端部を検出し、該検出した端部を用いて検査情報を生成し、
前記検査情報を用いて前記積層体の積層状態の良否を検査し、該検査の結果を出力し、
第１のシートが積層された状態にて第１の撮影画像が取得され、前記第１のシートの上に第２のシートが積層された状態にて第２の撮影画像が取得されると、前記第１の撮影画像から生成された前記検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否を判定するとともに、前記検出された前記第１のシートの端部の内容から、前記第２の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否の判定を再実施する必要があるかを確認することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、および、検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロール状に巻かれた紙、金属箔、樹脂フィルムなどのシート状物（以下、シートと称する）を所定の長さだけ取り出し、そのシートに対して種々の加工を行なうことで、種々の製品が製造されている。
シートの加工方法としては、例えば、封筒のように１枚のシートを折り曲げ、対向するシートの一方と他方とを積層した後にのり等を用いて固定する方法や、袋のように２枚のシートを積層した後にシート間を熱溶着などにて接着する方法などがある。また、レトルトパックや包装シートのように袋に内容物を投入した後に封入する方法や、印刷物のように複数の種類の矩形のシートを揃えて積層した後に、端部を糊やステープラなどを用いて固定する方法などもある。
ここで、積層したシートの位置ずれ、折れ、しわ等が生じると、製品の品質に大きく影響する。そのため、シートの積層状態や、シートの位置ずれの有無を検査する様々な方法が検討されている。
例えば、特許文献１（特許４２２７６０２号）、および、特許文献２（特許４３８９１２５号）には、シートの積層体の側面を示す画像を取得し、取得した画像に基づいて積層された各シートの境界を検出し、検出した境界を用いてシートの積層状態を検査する技術が開示されている。
また、特許文献３（特開２００８−２０３１８２号公報）には、ステージ上に固定され、フィルムが貼付けられたウェハを、ステージ上方から撮影した撮影画像を用いてウェハおよびフィルムのエッジ位置を検出する技術が開示されている。この技術によれば、フィルム、ウェハ、ステージの反射率の違いを利用して、撮影画像におけるフィルムの端部を検出し、検出したシートの端部を用いてフィルム（シート）の位置ずれの有無を検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許４２２７６０２号
【特許文献２】特許４３８９１２５号
【特許文献３】特開２００８−２０３１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、一般に、シートは、ロール状に巻かれた状態から引き出され、製品の製造などに用いられる。ここで、シートの中には、高い塑性変形特性を有するものがある。このようなシートは、ロール状に巻かれた状態から引き出されると、反り上がることがある。このようなシートの反り上がりは、ロールの芯からの距離が近いシートほど大きくなる傾向にある。
反り上がって積層されたシートの上に、さらにシートを積層させることは難しい。そのため、シートの反り上がりを低減する様々な方法が検討されている。
積層前のシートの反り上がりを低減する方法としては、例えば、シートを平坦面に吸着させる方法や、ローラーなどによりシート全面に力を加える方法などがある。しかしながら、一般に、シートがロールから引き出されてから積層されるまでの時間は数秒から十数秒と短いことが多い。そのため、上述した方法では、このような短い時間でシートの反り上がりを十分に低減できないことがある。
そこで、積層後のシートの表面を押圧することにより、積層後のシートの反り上がりを低減する方法が考えられる。しかしながら、複数のシートが積層される場合には、シートを押圧する時間が短いこと多く、シートの反り上がりを十分に低減できないことがある。
このように、積層前、積層後であっても、シートの反り上がりを十分に低減することは難しい。そのため、各シートの積層状態を検査する必要がある。
ここで、特許文献１および特許文献２に開示されている技術によれば、シートの積層体の側面を示す画像を用いて、各シートの境界が検出される。しかしながら、積層体がフィルムなどの薄いシートにより構成されていると、各シートの境界を正確に検出できないことがある。
また、特許文献３に開示されている技術を用いて、シートが積層されるたびに撮影を行い、撮影画像において検出したシートの端部を用いて各シートの積層状態を検査する方法が考えられる。また、文献内では端部の検出手段としてラインセンサを用いているが、エリアセンサを用いることも可能と考えられる。
この方法では、シートの積層時の振動などにより積層体の位置がずれることがあるため、撮影画像における各シートの位置情報を基準値と比較するなどして、シートの積層状態を判定することは好ましくない。また、撮影を行なう撮影部と積層体との間の距離が積層されたシートの枚数に応じて変化したり、積層体の一番上のシートが反り上がるなどの要因により、撮影部の撮像倍率が変化し、端部の入力画像上の位置が不安定になったり、最悪レンズの被写界深度を超えた反り上がりとなることによりピントがずれ、撮影画像が不鮮明になることがある。そのため、撮影画像における各シートの形状を用いて、シートの積層状態を判定することは好ましくない。
そのため、シートが積層されるたびに撮影を行い、撮影画像内の明るさの違いに基づいて、各シートの積層状態を検査する方法が考えられる。
【０００５】
上述した各シートの積層状態を検査する動作について、図４Ａ〜図４Ｃを用いて説明する。
図４Ａは、積層体４００を上面から撮影した撮影画像を示す図である。図４Ｂは、図４Ａに示す積層体４００の長手方向の側面図である。図４Ｃは、図４Ａに示す積層体４００の短手方向の側面図である。
図４Ａ〜図４Ｃに示すように、積層体４００は、シート４０１とシート４０２とにより構成されている。また、シート４０２は、シート４０１の一側端を露出するように積層されている。
シート４０１は、暗い色の光沢性が高いシートである。
シート４０２は、明るい色の光沢性が低いシートである。図４Ａに示す撮影画像においては、シート４０２は、シート４０１よりも明るい。
まず、図４Ａに示す撮影画像を構成する各画素の明るさを、撮影画像におけるシート４０１の明るさとシート４０２の明るさとの間の明るさを閾値として用いて２値化する。２値化後の撮影画像においては、シート４０１は低いレベルの明るさで、シート４０２は高いレベルの明るさで示される。そのため、低いレベルの明るさを示す領域と高いレベルの明るさを示す領域との境界である、シート４０１とシート４０２との境界にて、シート４０２の端部が検出端部４０３として検出される。
次に、２値化後の撮影画像において、検出端部４０３の近傍のシート４０２に対応する高いレベルの明るさを示す領域側に、シート４０２の積層状態の良否の判定に用いる判定領域４０４が設定される。
次に、２値化前の撮影画像における判定領域４０４の明るさに基づいて、シート４０２の積層状態の良否が判定される。具体的には、判定領域４０４内に、シート４０１と同じ明るさの部分がなければ、シート４０２の積層状態は良いと判定される。
【０００６】
次に、図４Ｄ〜図４Ｆを用いて、シート４０１の一部が反り上がり、シート４０２にて角折れが発生している場合について説明する。
図４Ｄは、積層体４００を上面から撮影した撮影画像を示す図である。図４Ｅは、図４Ｄに示す積層体４００を長手方向の側面図である。図４Ｆは、図４Ｄに示す積層体４００を短手方向の側面図である。
図４Ｄ〜図４Ｆに示すように、シート４０１の一部（各図における右端部）に反り上がりが生じている。また、シート４０２の角が折れ、角折れ部４０５が構成されている。角折れ部４０５は、図４Ｄに示す撮影画像においては、シート４０２とは明るさが異なる。なお、角折れ部４０５は、２値化に用いる閾値の明るさより明るいものとする。
また、シート４０１の一部においては、反り上がりによる反射状態の変化などにより、図４Ｄに示す撮影画像において明るさが変化した明るさ変化部４０６が構成されている。明るさ変化部４０６は、シート４０２と同等の明るさであるものとする。
まず、図４Ｄに示す撮影画像を構成する各画素の明るさが２値化されると、シート４０１は低いレベルの明るさで、シート４０２、角折れ部４０５、および、明るさ変化部４０６は高いレベルの明るさで示される。また、低いレベルの明るさを示す領域と高いレベルの明るさを示す領域との境界である、シート４０１とシート４０２との境界、および、シート４０１と明るさ変化部４０６との境界にて、検出端部４０３が検出される。ここで、実際には明るさ変化部４０６はシート４０１の一部であるため、検出端部４０３は、誤った場所に検出されていることになる。
次に、２値化後の撮影画像において、検出端部４０３の近傍のシート４０２に対応する高いレベルの明るさを示す領域側に、判定領域４０４が設定される。ここで、判定領域４０４の一部は、明るさ変化部４０６内に設定されるものとする。
２値化前の撮影画像において、明るさ変化部４０６内に設定された判定領域４０４は、シート４０２と同等の明るさである。したがって、２値化前の撮影画像の判定領域４０４内に、シート４０１と同じ明るさの部分がないため、シート４０２の積層状態は良いと判定される。このように、シート４０２は、角折れが生じているのにも関わらず、積層状態が良いと判定されることになる。
このように、検査対象であるシート４０２の下のシート４０１にて反り上がりが発生している場合には、シート４０２の積層状態の判定を誤ることがある。
本発明の目的は、積層状態の誤判定の低減を図る検査装置、および、検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の検査装置は、
複数のシートが積層される積層体であって、各シートは搭載されているシートの一側端が露出するように順次積層される積層体の積層状態を検査する検査装置であって、
前記シートが積層されるたびに前記積層体を上方から撮影し、撮影画像を取得する撮影部と、
前記撮影部が取得した撮影画像のそれぞれについて、撮影画像内の明るさの違いに基づいて前記積層体を構成する複数のシートの端部を検出し、該検出した端部を用いて検査情報を生成する画像解析部と、
前記検査情報を用いて前記積層体の積層状態の良否を検査し、該検査の結果を出力する判定部と、を有し、
前記判定部は、第１のシートが積層された状態にて第１の撮影画像が取得され、前記第１のシートの上に第２のシートが積層された状態にて第２の撮影画像が取得されると、前記第１の撮影画像から生成された前記検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否を判定するとともに、前記画像解析部が検出した前記第１のシートの端部の内容から、前記第２の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否の判定を再実施する必要があるかを確認する。
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の検査方法は、
複数のシートが積層される積層体であって、各シートは搭載されているシートの一側端が露出するように順次積層される積層体の積層状態を検査する検査方法であって、
前記シートが積層されるたびに前記積層体を上方から撮影し、撮影画像を取得し、
前記取得された撮影画像のそれぞれについて、撮影画像内の明るさの違いに基づいて前記積層体を構成する複数のシートの端部を検出し、該検出した端部を用いて検査情報を生成し、
前記検査情報を用いて前記積層体の積層状態の良否を検査し、該検査の結果を出力し、
第１のシートが積層された状態にて第１の撮影画像が取得され、前記第１のシートの上に第２のシートが積層された状態にて第２の撮影画像が取得されると、前記第１の撮影画像から生成された前記検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否を判定するとともに、前記検出された前記第１のシートの端部の内容から、前記第２の撮影画像から生成された検査情報を用いて前記第１のシートの積層状態の良否の判定を再実施する必要があるかを確認する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、誤判定の低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】検査装置１００の構成を示すブロック図である。
【図２Ａ】第１のシート２０２が積層された状態の第１の撮影画像を示す図である。
【図２Ｂ】図２Ａに示す積層体１６０Ａの側面図である。
【図２Ｃ】第２のシート２０５が積層された状態の第２の撮影画像を示す図である。
【図２Ｄ】図２Ｃに示す積層体１６０Ｂの側面図である。
【図３】図１に示す検査装置１００による検査に関連する動作を示すフローチャートである。
【図４Ａ】積層体４００を撮影した撮影画像を示す図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示す積層体４００の長手方向の側面図である。
【図４Ｃ】図４Ａに示す積層体４００の短手方向の側面図である。
【図４Ｄ】積層体４００を撮影した撮影画像を示す図である。
【図４Ｅ】図４Ｄに示す積層体４００の長手方向の側面図である。
【図４Ｆ】図４Ｄに示す積層体４００の短手方向の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態の検査装置１００の構成を示すブロック図である。
検査装置１００は、積層体の外観を検査する装置であり、検査結果を表示部１５０に出力する。検査装置１００は、ステージ１１０と、照明部１２０と、撮影部１３０と、検査部１４０とを有する。また、検査装置１００においては、検査部１４０は、ステージ１１０、照明部１２０、撮影部１３０のそれぞれと接続されている。なお、一般に、検査装置は、１辺の長さが１００ｍｍ〜２００ｍｍ程度の積層体を検査することができる。
ステージ１１０においては、積層装置（不図示）から複数の種類のシートが順次供給され、供給されたシートが積層されることにより積層体が構成される。ステージ１１０は、このように構成された積層体１６０を固定している。
照明部１２０は、ステージ１１０上の積層体１６０を斜方照明方式にて照明する。積層体１６０は、斜方照明方式にて照明されると、表面において光が全反射せずに乱反射する。なお、照明部１２０は、積層体１６０のシートの端部における反射光の明るさが均一化されるように、矩形または直線状であることが好ましい。
撮影部１３０は、ステージ１１０上にシートが供給されるたびに、ステージ１１０上の積層体１６０をステージ上方から撮影することで撮影画像を取得し、取得した撮影画像に応じた信号を検査部１４０に出力する。
検査部１４０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１４１と、メモリ１４２と、ステージ制御部１４３と、照明制御部１４４と、撮影制御部１４５と、画像解析部１４６と、判定部１４７とを有する。検査部１４０において、上述した各構成はバス配線を介して接続されている。なお、検査部１４０は、汎用的なコンピュータにより構成可能である。
ＣＰＵ１４１は、検査部１４０全体の動作を制御する。
メモリ１４２は、ＣＰＵ１４１が実行するプログラムや、ＣＰＵ１４１がプログラムを実行する際に一時的に記録されるデータなどを記憶する。
ステージ制御部１４３は、ＣＰＵ１４１の制御に従い、ステージ１１０を制御する。
照明制御部１４４は、ＣＰＵ１４１の制御に従い、照明部１２０の光量などを制御する。
撮影制御部１４５は、ＣＰＵ１４１の制御に従い、撮影部１３０を制御する。また、撮影制御部１４５は、撮影部１３０から出力された信号を画像データに変換し、画像データをメモリ１４２に記憶する。
画像解析部１４６は、ＣＰＵ１４１の制御に従い、メモリ１４２に記憶された画像データを読み出し、画像解析プログラムを実行する。画像解析部１４６は、画像解析プログラムを実行することにより、画像データが示す撮影画像の明るさの違いに基づいて、各シートの端部を検出端部として検出する。また、画像解析部１４６は、検出端部を用いて検査情報を生成する。
画像解析部１４６は、検出端部および検査情報を示す解析結果をメモリ１４２に記憶する。また、画像解析部１４６は、ユーザが視認可能な形態で、解析結果を表示部１５０に出力する。
判定部１４７は、ＣＰＵ１４１の制御に従い、メモリ１４２に記憶された画像データおよび解析結果を読み出し、積層体１６０の積層状態の良否を検査する。判定部１４７は、積層体１６０の積層状態が悪いと判定すると、シートの積層状態が悪い旨を示す信号を、表示部１５０や、ブザーなどの外部機器（不図示）に出力する。なお、判定部１４７は、積層体１６０の積層状態が悪いと判定すると、積層装置を停止させてもよい。
表示部１５０は、一般的なディスプレイなどであり、信号が入力されると、入力された信号に応じた映像を表示する。
【００１２】
次に、検査装置１００による検査に関連する動作を、図２Ａ〜図２Ｄ、および、図３を用いて説明する。
図２Ａは、第１のシート２０２が積層された状態の第１の撮影画像を示す図である。
図２Ｂは、図２Ａに示す積層体１６０Ａの長手方向の側面図である。
図２Ａ、図２Ｂに示すように、積層体１６０Ａは、シート２０１と第1のシート２０２とにより構成されている。また、第1のシート２０２は、シート２０１の一側端が露出するように積層されている。
シート２０１は、暗い色のシートであるものとする。
第１のシート２０２は、明るい色のシートであるものとする。
図２Ａに示す第１の撮影画像においては、シート２０１は、第１のシート２０２より暗い。なお、一般に、外観検査に用いられる撮影画像においては、明るい部分は白く表示され、暗い部分は黒く表示される。
また、図２Ａには、画像解析部１４６が第１の撮影画像を解析することにより構成された、第１の検出端部２０３Ａ、および、第１の判定領域２０４Ａが示されている。
第１の検出端部２０３Ａは、画像解析部１４６が検出した第１のシート２０２の端部である。
第１の判定領域２０４Ａは、画像解析部１４６が検査情報として生成した、第１のシート２０２の積層状態の良否の判定に用いる領域である。
図２Ｃは、第２のシート２０５が積層された状態の第２の撮影画像を示す図である。
図２Ｄは、図２Ｃに示す積層体１６０Ｂの長手方向の側面図である。
図２Ｃ、図２Ｄに示すように、積層体１６０Ｂは、シート２０１、第１のシート２０２、第２のシート２０５が順に積層されて構成されている。また、第２のシート２０５は、第1のシート２０２の一側端が露出するように積層されている。
第２のシート２０５は、シート２０１と同じ素材である。そのため、図２Ｃに示す撮影画像においては、第２のシート２０５は、シート２０１と同じ明るさである。
また、図２Ｃには、画像解析部１４６が第２の撮影画像を解析することにより構成された、第１の検出端部２０３Ｂ、第１の判定領域２０４Ｂ、第２の検出端部２０６、および、第１の判定領域２０７が示されている。
第１の検出端部２０３Ｂは、画像解析部１４６が検出した、第１のシート２０２の端部である。
第１の判定領域２０４Ｂは、画像解析部１４６が検査情報として生成した、第１のシート２０２の積層状態の良否の判定に用いる領域である。
第２の検出端部２０６は、画像解析部１４６が検出した、第２のシート２０５の端部である。
第２の判定領域２０７は、画像解析部１４６が検査情報として生成した、第２のシート２０５の積層状態の良否の判定に用いる領域である。
【００１３】
図３は、検査装置１００による検査に関連する動作を示すフローチャートである。
まず、ステージ１１０上に搭載されているシート２０１の上に、積層装置から第１のシート２０２が供給される。供給された第１のシート２０２がシート２０１上に積層され、積層体１６０Ｂが構成される（ステップＳ３０１）。
次に、撮影部１３０は、第１のシート２０２が積層されると、第１の撮影画像を取得し、第１の撮影画像を示す信号を撮影制御部１４５に出力する。撮影制御部１４５は、撮影部１３０から出力された第１の撮影画像を示す信号を画像データに変換し、第１の画像データを生成する（ステップＳ３０２）。
次に、画像解析部１４６は、第１の画像データに対して画像解析プログラムを実行することにより、第１の撮影画像において、第１のシート２０２の端部を第１の検出端部２０３Ａとして検出する（ステップＳ３０３）。
具体的には、画像解析部１４６は、第１の撮影画像を構成する各画素の明るさを、撮影画像における第１のシート２０２の明るさとシート２０１の明るさとの間の明るさを閾値として用いて２値化する。２値化後の第１の撮影画像においては、シート２０１は低いレベルの明るさで、第１のシート２０２は高いレベルの明るさで示される。画像解析部１４６は、低いレベルの明るさを示す領域と高いレベルの明るさを示す領域との境界である、シート２０１と第１のシート２０２との境界を、第１の検出端部２０３Ａとして検出する。
次に、画像解析部１４６は、第１の検出端部２０３Ａを用いて第１の判定領域２０４Ａを設定する（ステップＳ３０４）。ここで、一般に、シートの撮影画像において、シートの端部近傍は、シートの積層状態に応じて明るさが変化しやすい。そのため、画像解析部１４６は、２値化後の撮影画像において、第１の検出端部２０３Ａの近傍の第１のシート２０２に対応する高いレベルの明るさを示す領域側に、第１の判定領域２０４Ａを設定する。
次に、判定部１４７は、２値化前の第１の撮影画像を用いて、第１の判定領域２０４Ａにおける第１のシート２０２と同じ明るさの領域が占める割合を求める。判定部１４７は、求めた割合が所定の基準値以上であれば、第１のシート２０２の積層状態は良好であると判定し、求めた割合が所定の基準値未満であれば、第１のシート２０２の積層状態は悪く、第１のシート２０２の供給時に不良が生じたと判定する。このようにして、判定部１４７は、第１の判定領域２０４Ａを用いて第１のシート２０２の積層状態の良否を判定する（ステップＳ３０５）。
次に、搭載されている第１のシート２０２上に、積層装置から第２のシート２０５が供給される。供給された第２のシート２０５が第１のシート２０２上に積層され、積層体１６０Ｂが構成される（ステップＳ３０６）。
次に、撮影部１３０は、第２のシート２０５が積層されると、第２の撮影画像をし、第２の撮影画像を示す信号を撮影制御部１４５に出力する。撮影制御部１４５は、撮影部１３０から出力された第２の撮影画像を示す信号を画像データに変換し、第２の画像データを生成する（ステップＳ３０７）。
次に、判定部１４７は、第１の検出端部２０３Ａの直線性が所定の基準を満たすか否かを判定する（ステップＳ３０８）。判定部１４７は、第１の検出端部２０３Ａを直線で近似した近似直線を求め、第１の検出端部２０３Ａと、求めた近似直線との差に応じて、第１の検出端部２０３Ａの直線性が所定の基準を満たすか否かを判定する。
判定部１４７が、第１の検出端部２０３Ａの直線性は基準を満たさないと判定した場合には（ステップＳ３０８：Ｎｏ）、画像解析部１４６は、第２の撮影画像において、第１のシート２０２の端部を第１の検出端部２０３Ｂとして検出する（ステップＳ３０９）。
具体的には、画像解析部１４６は、第２の撮影画像を構成する各画素の明るさを２値化する。ここで、２値化後の第２の撮影画像において、低いレベルの明るさを示す領域と高いレベルの明るさを示す領域との境界は複数ある。画像解析部１４６は、複数の境界のうち、積層体１６０における第１のシート２０２の積層順に対応する境界を、第１の検出端部２０３Ｂとして検出する。
次に、画像解析部１４６は、２値化後の撮影画像において、第１の検出端部２０３Ｂの近傍の第１のシート２０２に対応する高いレベルの明るさを示す領域側に、第１の判定領域２０４Ｂを設定する（ステップＳ３１０）。なお、本実施形態においては、第１の判定領域２０４Ｂは、第１の判定領域２０４Ａよりも小さく設定されるものとする。
次に、判定部１４７は、２値化前の第２の撮影画像を用いて、第１の判定領域２０４Ｂにおける第１のシート２０２と同じ明るさの領域が占める割合を求める。判定部１４７は、求めた割合と所定の基準値とを比較することにより、第１のシート２０２の積層状態の良否を判定する（ステップＳ３１１）。
一方、判定部１４７が、第１の検出端部２０３Ａの直線性は所定の基準を満たすと判定した場合には（ステップＳ３０８：Ｙｅｓ）、ステップＳ３１２の処理に進む。
次に、画像解析部１４６は、第２の撮影画像を２値化し、２値化後の画像における低いレベルの領域と高いレベルの領域との境界のうち、積層体１６０Ｂにおける第２のシート２０５の積層順に対応する境界を、第２の検出端部２０６として検出する（ステップＳ３１２）。
次に、画像解析部１４６は、２値化後の撮影画像において、第２の検出端部２０６の近傍における第２のシート２０５に対応する低いレベルの領域側に、第２の判定領域２０７を設定する（ステップＳ３１３）。
次に、判定部１４７は、２値化前の第２の撮影画像を用いて、第２の判定領域２０７における第２のシート２０５と同じ明るさの領域が占める割合を求める。判定部１４７は、求めた割合と所定の基準値を比較することにより、第２のシート２０５の積層状態の良否を判定する（ステップＳ３１４）。
検査装置１００は、ステップＳ３１４の処理を終えると、ステップＳ３０１の処理に進む。
【００１４】
このように、本実施形態の検査装置１００は、シートが積層された状態にて撮影する撮影部１３０と、撮影画像において、シートの端部を検出し、検査情報を生成する画像解析部１４６と、検査情報を用いてシートの積層状態の良否を判定する判定部１４７とを有する。
反り上がりが生じたシートの上に判定対象の第１のシートが積層された状態においては、検出される第１のシートの端部は直線的でなく、また、判定部１４７が第1のシートの積層状態の判定を誤るおそれがある。そのため、判定部１４７は、検出された第1のシートの端部の直線性に応じて、判定の再実施が必要であるかを確認することができる。判定部１４７は、判定の再実施が必要であることを確認すると、第１のシートの上に第２のシートが積層された状態、すなわち、第１のシートの下のシートの反り上がりが低減された状態にて判定の再実施を行うことにより、第１のシートの積層状態の判定の誤りを低減することができる。
【００１５】
なお、本実施形態においては、ステップＳ３０４、Ｓ３１０、Ｓ３１３の処理において、画像解析部１４６が２つの判定領域を設定したがこれに限られない。設定される判定領域は、１つでもよいし３つ以上でもよい。また、画像解析部１４６は、設定する判定領域の位置や大きさなどを、シートの積層方法や積層条件に応じて変えることができる。例えば、積層されたシートが溶着される場合には、画像解析部１４６は、撮影画像における明るさの分布と溶着状態との関係に応じて、判定領域の位置や大きさなど決めることができる。
また、本実施形態においては、ステップＳ３０８の処理において、判定部１４７は、検出端部の直線性を用いて、判定の再実施の要否を確認したが、これに限られない。判定部１４７は、検出端部の傾きに応じて、判定の再実施の要否を確認してもよい。
また、本実施形態においては、Ｓ３１４の処理の後に、Ｓ３０１の処理へ進んだがこれに限られない。Ｓ３１４の処理の後に、Ｓ３０７の処理を行ってもよい。このようにすることにより、第２のシートの積層状態の誤判定を低減することができる。
また、本実施形態においては、画像解析部１４６は、検査情報として判定領域を生成したがこれに限られない。変形例として、画像解析部１４６は、撮影画像において複数のシートの端部を検出し、それらの端部の間隔を検査情報として生成してもよい。そのような場合には、判定部１４７は、間隔が所定の基準を満たすか否かを判定することにより、シートの積層状態を判定することができる。
また、本実施形態においては、第１のシートと第２のシートの２種類のシートが積層される例を用いて説明したがこれに限られない。変形例として、３種類以上のシートが積層されていてもよい。そのような場合には、撮影画像における各シートの明るさが異なっていればよい。
また、本実施形態においては、判定領域は、検出されたシートの端部の近傍に設定されたが、これに限られない。検出された検査対象のシートの端部に囲まれる全領域を判定領域として設定してもよい。このように判定領域を設定することにより、判定の精度を高めることができる。
【符号の説明】
【００１６】
１００    検査装置
１１０    ステージ
１２０    照明部
１３０    撮影部
１４０    検査部
１４１    ＣＰＵ
１４２    メモリ
１４３    ステージ制御部
１４４    照明制御部
１４５    撮影制御部
１４６    画像解析部
１４７    判定部
１５０    表示部
１６０，１６０Ａ，１６０Ｂ，４００    積層体
２０１，４０１，４０２    シート
２０２    第１のシート
２０３Ａ，２０３Ｂ    第１の検出端部
２０４Ａ，２０４Ｂ    第１の判定領域
２０５    第２のシート
２０６    第２の検出端部
２０７    第２の判定領域
４０３    検出端部
４０４    判定領域
４０５    角折れ部
４０６    明るさ変化部
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３】
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【図４Ａ】
2015187581.tif 000009
【図４Ｂ】
2015187581.tif 000010
【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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