(57)【要約】【課題】基板取付部に簡単にシワが無い状態で可撓性基板を取付固定できる実用性に優れた成膜装置の提供。【解決手段】可撓性基板１を基板取付部２に取付固定し、この可撓性基板１に薄膜を形成する成膜装置において、前記可撓性基板１の周辺部を着脱自在に把持して取付固定する前記基板取付部２に、この可撓性基板１が架設状態に配設される基板配設開口部３を設け、この基板取付部２の基板配設開口部３に配設された前記可撓性基板１に密着当接する凸面状基板受部４を設け、前記基板取付部２に前記可撓性基板１の周辺部を把持すると共に外方へ引張付勢して前記可撓性基板１にテンションを付与して取付固定する付勢把持機構５を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性基板を基板取付部に取付固定し、この可撓性基板に薄膜を形成する成膜装置において、前記可撓性基板の周辺部を着脱自在に把持して取付固定する前記基板取付部に、この可撓性基板が架設状態に配設される基板配設開口部を設け、この基板取付部の基板配設開口部に配設された前記可撓性基板に密着当接する凸面状基板受部を設け、前記基板取付部に前記可撓性基板の周辺部を把持すると共に外方へ引張付勢して前記可撓性基板にテンションを付与して取付固定する付勢把持機構を設け、前記凸面状基板受部に対して、前記可撓性基板を前記付勢把持機構により取付固定した前記基板取付部を相対移動自在に構成すると共に、前記付勢把持機構を前記相対移動方向に前記付勢に抗して可動自在に構成して、前記凸面状基板受部に対して前記基板取付部を相対移動することで、この基板取付部の前記基板配設開口部に配設された前記可撓性基板に前記凸面状基板受部を押圧すると共に、前記付勢把持機構の前記相対移動方向への弾性可動による戻り付勢によって前記可撓性基板にテンションを付与しつつ前記凸面状基板受部にこの可撓性基板を押圧するように構成したことを特徴とする成膜装置。
【請求項２】
前記基板取付部は、前記基板配設開口部を設けた枠状体とし、この枠状体に、前記可撓性基板の周辺部を把持する把持部と、この把持部を外方へ引張付勢する付勢体とを備えた前記付勢把持機構を複数設け、この付勢把持機構は、前記相対移動方向に前記付勢体の付勢に抗して可動自在に設けたことを特徴とする請求項１記載の成膜装置。
【請求項３】
前記可撓性基板の周辺部を着脱自在に把持し引張付勢する付勢部を備えない固定把持部を前記基板取付部に設け、この固定把持部と対向する位置に前記付勢把持機構を設けた構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記基板取付部を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動して、前記凸面状基板受部をこの基板取付部の前記基板配設開口部内に配設若しくは貫通するように相対移動して前記基板取付部の前記可撓性基板を前記凸面状基板受部に押し付けることで、前記可撓性基板が前記凸面状基板受部に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記凸面状基板受部を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動して、前記凸面状基板受部を前記基板取付部の前記基板配設開口部内に配設若しくは貫通するように相対移動して前記凸面状基板受部を前記基板取付部の前記可撓性基板に押し付けることで、前記可撓性基板が前記凸面状基板受部に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項６】
前記基板取付部の自重によって前記基板取付部の前記可撓性基板を前記凸面状基板受部に押し付けることで、前記可撓性基板が前記凸面状基板受部に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記基板取付部の前記可撓性基板と前記凸面状基板受部とを押し付けることで、前記基板配設開口部内に配設されている前記可撓性基板は、前記付勢把持機構によりテンションが付与されると共にこの付勢把持機構が前記テンション付与のための付勢力に抗して屈曲若しくは傾動して前記凸面状基板受部に押圧されるように構成したことを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記凸面状基板受部は温度調節機構を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラス基板等の非可撓性基板に代えて、折り曲げることができる可撓性基板を用いたディスプレイの開発が進められている。
【０００３】
このような可撓性基板に成膜装置により薄膜を形成するに際しては、例えば、中央に開口部を有する枠状の基板トレイに、この基板トレイの開口部に可撓性基板が配設されるように保持させると共に、この開口部内に配設される基板密着台に可撓性基板を密着させ、成膜を行う。
【０００４】
ところが、可撓性基板にはシワが発生し易く、基板密着台と良好に密着されていないことが多い。
【０００５】
また、仮に基板密着台に可撓性基板をシワなく密着させても、可撓性基板の温度上昇が伴う工程がある場合、高温雰囲気下で可撓性基板が延伸すること（以下、「熱伸び」という。）によりシワが発生し、可撓性基板と基板密着台とは密着せず、そのため、基板温度分布がばらつくことで、膜質不均一や基板膜厚分布がばらつく等の問題が生じる。
【０００６】
基板と基板密着台とを密着させる技術としては、例えば特許文献１に、半導体ウエハを、上面が球面状に加工された試料台に係止リング等を用いて押し付けて固定して、試料台上面へのウエハの密着性を確保する技術が開示されているが、可撓性基板に生じる上記シワの問題への言及はなく、上記問題点を解決することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−３０６４５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の問題点を解決すべくなされたもので、基板トレイ（基板取付部）に簡単にシワが無い状態で可撓性基板を取付固定できるのは勿論、可撓性基板が温度上昇により熱伸びしても、可撓性基板が常に基板密着台（凸面状基板受部）に押し付けられることで、熱伸びに起因するシワの発生を防止してムラのない成膜が可能で膜厚分布を改善することができ、しかも、可撓性基板の交換をスムーズに行うことが可能な極めて実用性に優れた成膜装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１０】
可撓性基板１を基板取付部２に取付固定し、この可撓性基板１に薄膜を形成する成膜装置において、前記可撓性基板１の周辺部を着脱自在に把持して取付固定する前記基板取付部２に、この可撓性基板１が架設状態に配設される基板配設開口部３を設け、この基板取付部２の基板配設開口部３に配設された前記可撓性基板１に密着当接する凸面状基板受部４を設け、前記基板取付部２に前記可撓性基板１の周辺部を把持すると共に外方へ引張付勢して前記可撓性基板１にテンションを付与して取付固定する付勢把持機構５を設け、前記凸面状基板受部４に対して、前記可撓性基板１を前記付勢把持機構５により取付固定した前記基板取付部２を相対移動自在に構成すると共に、前記付勢把持機構５を前記相対移動方向に前記付勢に抗して可動自在に構成して、前記凸面状基板受部４に対して前記基板取付部２を相対移動することで、この基板取付部２の前記基板配設開口部３に配設された前記可撓性基板１に前記凸面状基板受部４を押圧すると共に、前記付勢把持機構５の前記相対移動方向への弾性可動による戻り付勢によって前記可撓性基板１にテンションを付与しつつ前記凸面状基板受部４にこの可撓性基板１を押圧するように構成したことを特徴とする成膜装置に係るものである。
【００１１】
また、前記基板取付部２は、前記基板配設開口部３を設けた枠状体とし、この枠状体に、前記可撓性基板１の周辺部を把持する把持部６と、この把持部６を外方へ引張付勢する付勢体７とを備えた前記付勢把持機構５を複数設け、この付勢把持機構５は、前記相対移動方向に前記付勢体７の付勢に抗して可動自在に設けたことを特徴とする請求項１記載の成膜装置に係るものである。
【００１２】
また、前記可撓性基板１の周辺部を着脱自在に把持し引張付勢する付勢部を備えない固定把持部８を前記基板取付部２に設け、この固定把持部８と対向する位置に前記付勢把持機構５を設けた構成としたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【００１３】
また、前記基板取付部２を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動して、前記凸面状基板受部４をこの基板取付部２の前記基板配設開口部３内に配設若しくは貫通するように相対移動して前記基板取付部２の前記可撓性基板１を前記凸面状基板受部４に押し付けることで、前記可撓性基板１が前記凸面状基板受部４に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【００１４】
また、前記凸面状基板受部４を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動して、前記凸面状基板受部４を前記基板取付部２の前記基板配設開口部３内に配設若しくは貫通するように相対移動して前記凸面状基板受部４を前記基板取付部２の前記可撓性基板１に押し付けることで、前記可撓性基板１が前記凸面状基板受部４に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【００１５】
また、前記基板取付部２の自重によって前記基板取付部２の前記可撓性基板１を前記凸面状基板受部４に押し付けることで、前記可撓性基板１が前記凸面状基板受部４に押圧するように構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【００１６】
また、前記基板取付部２の前記可撓性基板１と前記凸面状基板受部４とを押し付けることで、前記基板配設開口部３内に配設されている前記可撓性基板１は、前記付勢把持機構５によりテンションが付与されると共にこの付勢把持機構５が前記テンション付与のための付勢力に抗して屈曲若しくは傾動して前記凸面状基板受部４に押圧されるように構成したことを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【００１７】
また、前記凸面状基板受部４は温度調節機構を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の成膜装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上述のように構成したから、基板取付部に簡単にシワが無い状態で可撓性基板を取付固定できるのは勿論、熱伸びに起因するシワの発生を防止してムラのない成膜が可能で膜厚分布を改善することができ、しかも、可撓性基板の交換をスムーズに行うことが可能な極めて実用性に優れた成膜装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施例の概略説明平面図である。
【図２】本実施例の概略説明断面図である。
【図３】本実施例の概略説明断面図である。
【図４】本実施例の付勢把持機構の拡大概略説明平面図である。
【図５】本実施例の付勢把持機構の拡大概略説明平面図である。
【図６】本実施例の付勢把持機構の拡大概略説明断面図である。
【図７】本実施例の固定把持部の拡大概略説明平面図である。
【図８】本実施例の固定把持部の拡大概略説明断面図である。
【図９】本実施例の固定把持部の拡大概略説明平面図である。
【図１０】本実施例の固定把持部の拡大概略説明断面図である。
【図１１】本実施例の凸面状基板受部の概略説明斜視図である。
【図１２】別例の凸面状基板受部の概略説明斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２１】
可撓性基板１を基板取付部２に取付固定し、この可撓性基板１に薄膜を形成する。この際、可撓性基板１を付勢把持機構５により基板取付部２に可撓性基板１の周辺部を把持すると共に外方へ引張付勢して前記可撓性基板１にテンションを付与してシワのない状態で取付固定することができる。
【００２２】
そして、可撓性基板１をシワのない状態で取付固定した基板取付部２を、凸面状基板受部４が基板配設開口部３に配設された可撓性基板１に密着するように相対移動することで、可撓性基板１に凸面状基板受部４を密着当接すると共に、付勢把持機構５の相対移動方向への弾性可動による戻り付勢によって可撓性基板１にテンションを付与しつつ凸面状基板受部４にこの可撓性基板１を弾圧当接することができる。
【００２３】
即ち、付勢把持機構５を前記相対移動方向に前記付勢に抗して可動自在に構成することで、図３に図示したように、可撓性基板１が凸面状基板受部４と密着当接しこの凸面状基板受部４に沿って湾曲しても、付勢把持機構５がこの湾曲に追従して可動し、可撓性基板１の端部を浮き上がらせることなく密着状態を保ちつつ、湾曲状態の可撓性基板１に良好にテンションを付与し続けることが可能となる。
【００２４】
従って、シワのない状態で基板取付部２に取付固定された可撓性基板１と凸面状基板受部４との密着時にシワが生じ難く、また、可撓性基板１に熱伸びが生じてもこの熱伸びは付勢把持機構５により吸収され、熱伸びに起因するシワも生じ難いことになる。
【００２５】
また、可撓性基板１を基板取付部２に取付固定した後、基板取付部２と凸面状基板受部４とを相対移動して可撓性基板１と凸面状基板受部４とを密着するため、予め新たな可撓性基板１を取付固定した別の基板取付部２を用意しておけば、基板取付部２を交換するだけで可撓性基板１を交換することができ、基板交換作業が極めて容易となる。
【実施例】
【００２６】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００２７】
本実施例は、可撓性基板１を基板取付部２に取付固定し、この可撓性基板１に薄膜を形成する成膜装置であって、可撓性基板１にテンションを付与した状態で凸面状基板受部４に密着させることで、シワの発生を防止してムラのない成膜を行えるようにしたものである。
【００２８】
可撓性基板１としては、例えば、ポリカーボネート等からなるプラスチック基板や、ポリプロピレン等のフィルムを採用することができる。
【００２９】
基板取付部２は、図１に図示したように可撓性基板１の周辺部を着脱自在に把持して取付固定するものであり、図２，３に図示したように基板取付部２の基板配設開口部３に配設された可撓性基板１に密着当接する凸面状基板受部４に対して、可撓性基板１を付勢把持機構５により取付固定した基板取付部２を相対移動自在に構成している。
【００３０】
なお、本実施例においては図２，３に図示したように可撓性基板１の成膜面を上向きとした所謂デポダウン方式を採用しているが、成膜面を下向きとする所謂デポアップ方式や、左若しくは右向きとする所謂サイドデポ方式にも同様に本発明を適用できる。
【００３１】
基板取付部２には、可撓性基板１が架設状態に配設される基板配設開口部３を設けると共に、可撓性基板１の周辺部を把持すると共に外方へ引張付勢して前記可撓性基板１にテンションを付与して取付固定する付勢把持機構５を設けている。
【００３２】
本実施例は、凸面状基板受部４に対して基板取付部２を相対移動することで、この基板取付部２の基板配設開口部３に配設された可撓性基板１に凸面状基板受部４を密着当接すると共に、付勢把持機構５の前記相対移動方向への弾性可動による戻り付勢によって可撓性基板１にテンションを付与しつつ凸面状基板受部４にこの可撓性基板１を押圧するように構成している。
【００３３】
また、本実施例においては、基板取付部２は、基板配設開口部３を設けた枠状体とし、この枠状体に、可撓性基板１の周辺部を把持する把持部を設けた構成としている。
【００３４】
具体的には、前記把持部を可撓性基板１の各辺と対応する位置に複数ずつ設け、少なくとも把持部６と、この把持部６を外方へ引張付勢する付勢体７とを備えた付勢把持機構５を複数設け、この付勢把持機構５は、凸面状基板受部４及び基板取付部２の相対移動方向に前記付勢体７の付勢力に抗して可動自在に設けている。
【００３５】
可撓性基板１の周辺部を把持する把持部は、全てが付勢体７により外方へ引張付勢される構成としても良いが、本実施例においては、可撓性基板１の周辺部を着脱自在に把持し引張付勢する付勢部を備えない固定把持部８を前記基板取付部２に設け、この固定把持部８と対向する位置に前記把持部６と前記付勢体７とを備えた付勢把持機構５を設けた構成としている。
【００３６】
具体的には、図１に図示したように、可撓性基板１の各辺を夫々２つの把持部で把持するように構成し、固定把持部８により夫々把持される辺（上辺及び左辺）に対向する辺（下辺及び右辺）を、付勢把持機構５で夫々把持する構成としている。
【００３７】
また、可撓性基板１の上辺を把持する固定把持部８のうちの一方（図１中符号Ａ）は、引張の起点とするためにＸ及びＹ方向の双方に移動しない構成とし、他方（図１中符号Ｂ）は、Ｙ方向には移動せずＸ方向への移動が許容される構成としている。また、可撓性基板１の左辺を把持する固定把持部８は、Ｘ方向には移動せずＹ方向への移動が許容される構成としている。
【００３８】
また、可撓性基板１の右辺を把持する付勢把持機構５の把持部６は、Ｘ方向に引張力を作用させＹ方向への移動が許容される構成とし、下辺を把持する前記把持部６は、Ｙ方向に引張力を作用させＸ方向への移動が許容される構成としている。
【００３９】
具体的には、付勢把持機構５は、図４〜６に図示したように、上側把持部材９及び下側把持部材10から成る把持部６と板バネから成る付勢体７とで構成されている。図中符号18は、板バネ７の基端部を基板取付部２に固定するための固定ネジである。
【００４０】
上側把持部材９は、上側把持部材９の基端側に設けた螺子孔13に、板バネ７の先端側の平坦部の略中央位置に設けた挿通孔12を挿通した取付ネジ11の尾部が螺着されることで、板バネ７と連結されている。従って、取付ネジ11と螺子孔13との螺合量を調整することで引張付勢力を適宜調整できる。
【００４１】
また、板バネ７の挿通孔12は取付ネジ11の尾部より径大な円形孔に設定され、取付ネジ11の頭部を支点とした上下方向への旋回（傾動）及び付勢方向と直交する方向への移動が許容されるように構成している（図４，６参照）。
【００４２】
また、上側把持部材９と下側把持部材10とは、上側把持部材９と下側把持部材10との間に可撓性基板１の周辺部を挟み、下側把持部材10の螺子孔20に螺着される上側把持部材９の挿通孔19を挿通した把持ネジ14を締付螺動することで、可撓性基板１を適宜な締め付け力で把持するように構成している。
【００４３】
また、下側把持部材10は、基板取付部２に設けた付勢体７の付勢方向に延びる長窓状の挿通孔15を挿通する保持ネジ16により基板取付部２に保持される。従って、保持ネジ16（下側把持部材10）は挿通孔15の長手方向（前記付勢方向）に沿う移動が許容され、よって、把持部６は前記付勢方向に移動し得ることとなる。
【００４４】
また、基板取付部２の挿通孔15は前記付勢方向と直交する方向に対しても保持ネジ16の尾部の径より幅広に設定され、保持ネジ16（下側把持部材10）は前記付勢方向と直交する方向への移動が許容され、把持部６の前記付勢方向と直交する方向への移動も許容されるように構成している。
【００４５】
よって、図４に図示したようにカム部材17により上側把持部材９を先端側に押し付けて付勢体７を伸ばした状態（引張付勢力を生じない状態）で把持部６に可撓性基板１を把持させて、図５に図示したようにカム部材17を９０°回転させて押し付けを解除し上側把持部材９を付勢体７により引張らせることで、可撓性基板１にテンションを付与することができる。また、付勢把持機構５の把持部６は、凸面状基板受部４及び基板取付部２の相対移動方向に前記付勢体７の付勢力に抗して可動自在となる。
【００４６】
固定把持部８は、図７〜１０に図示したように、付勢把持機構５の把持部６と同様、上側把持部材21と下側把持部材22とで構成されている。図７，８は引張の起点とする上記Ａ以外の固定把持部８、図９，１０は上記Ａの固定把持部８である。なお、固定把持部８においても、上側把持部材と下側把持部材とによる基板把持構成及び下側把持部材の基板取付部２への保持構成については付勢把持機構５の把持部６と同様であり、これらについては同一符号を付し重複説明を省略する（符号14，15，16，19，20）。
【００４７】
固定把持部８の上側把持部材21は、上側把持部材21の基端側に設けた螺子孔25に、基板取付部２に設けた挿通孔24，26を挿通した取付ネジ23の尾部が螺着されることで連結されている。従って、取付ネジ23と螺子孔25との螺合量を調整することで引張付勢力を適宜調整できる。
【００４８】
また、上記Ａ以外の固定把持部８においては、基板取付部２の挿通孔24は取付ネジ23の尾部より径大な円形孔に設定され、取付ネジ23の頭部を支点に上下方向への旋回（傾動）及び対向する付勢把持機構５による前記付勢方向と直交する方向への移動が許容されるように構成している（図７，８参照）。
【００４９】
また、上記Ａの固定把持部８においては、基板取付部２の挿通孔26は上下方向に延びる長窓状孔に設定され、取付ネジ23の頭部を支点に上下方向への旋回（傾動）が許容されるように構成している（図９，１０参照）。なお、挿通孔26の左右方向幅は取付ネジ23の尾部の幅と略同幅に設定され、前記付勢方向と直交する方向へ移動しないように構成している。
【００５０】
従って、上記Ａを除く固定把持部８は、対向する付勢把持機構５により引張付勢され、取付ネジ23の頭部が挿通孔24の周辺部に当接するまでは対向する付勢把持機構５による前記付勢方向に移動し、取付ネジ23の頭部が挿通孔24に係止することでそれ以上は前記付勢方向へ移動しないと共に、この付勢方向と直交する方向への移動が許容されることになる。
【００５１】
また、上記Ａの固定把持部８は、対向する付勢把持機構５により引張付勢され、取付ネジ23の頭部が挿通孔24の周辺部に当接するまでは対向する付勢把持機構５による前記付勢方向に移動し、取付ネジ23の頭部が挿通孔24の周辺部に係止することでそれ以上は前記付勢方向へ移動しないと共に、この付勢方向と直交する方向にも移動しないことになる。
【００５２】
従って、各把持部によって把持される可撓性基板１は、１つの固定把持部８を起点にテンションが付与されて常にシワが寄らない状態となる。
【００５３】
また、可撓性基板１の薄膜が形成される成膜面とは反対側の面に密着する凸面状基板受部４は、図１１に図示したようにその上面が球面状に設定されている。なお、図１２に図示した別例のように、円柱の一部を構成する曲面としても良い。
【００５４】
また、凸面状基板受部４には加熱機構が設けられ、可撓性基板１を適宜な温度に加熱し得るように構成されている。
【００５５】
また、本実施例においては、基板取付部２を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動して、凸面状基板受部４をこの基板取付部２の基板配設開口部３内に配設若しくは貫通するように相対移動して基板取付部２の可撓性基板１を凸面状基板受部４に押し付けることで、可撓性基板１が凸面状基板受部４に押圧されるように構成している（図３）。
【００５６】
従って、基板取付部２にシワのない状態で取付固定された可撓性基板１と凸面状基板受部４とは所定の押し付け力で押し付けられて良好に密着する。即ち、基板配設開口部３内に配設されている可撓性基板１は、付勢把持機構５によりテンションが付与されると共にこの付勢把持機構５の把持部６及び固定把持部８が前記テンション付与のための付勢力に抗して湾曲する可撓性基板１の湾曲に追従して傾動することで凸面状基板受部４に押圧される。そのため、可撓性基板１の端部を浮き上がらせることなく密着状態を維持できると共に、前記加熱機構による加熱により可撓性基板１に熱伸びが生じてもこの熱伸びは付勢把持機構５による付勢により吸収され、熱伸びに起因するシワも生じないこととなる。
【００５７】
なお、凸面状基板受部４側を搬送機構により前記相対移動方向に相対移動させる構成としても良いし、搬送機構によらず、基板取付部２の自重によって基板取付部２の可撓性基板１を凸面状基板受部４に押し付ける構成としても良い。
【００５８】
なお、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００５９】
１  可撓性基板
２  基板取付部
３  基板配設開口部
４  凸面状基板受部
５  付勢把持機構
６  把持部
７  付勢体
８  固定把持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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