(57)【要約】【課題】生産安定性やハンドリング性が改善された導電材料を提供する。【解決手段】支持体上に金属細線からなる光透過性導電部と、該光透過性導電部に接続し外部との電気的接続を担う配線部と、光透過性導電部と接する位置に存在し、光透過性導電部並びに周辺配線部と電気的に接続していないダミー部とを少なくとも有する導電材料であって、光透過性導電部とダミー部との間には長さ３０μｍ以下の断線部分を有し、該配線部の配線は平行部を有し、その中で含まれる配線数が最も多い平行部であって、全ての光透過性導電部と全てのダミー部を合わせた領域に外接する輪郭長方形の辺のうちの該平行部の中心に最も近い辺と該平行部に含まれる配線が平行である平行部において、光透過性導電部に最も近い配線の最大線幅をＷＮＳ、光透過性導電部から最も遠い配線の最小線幅をＷＦＳとした時、ＷＮＳ＜ＷＦＳの関係を満たすことを特徴とする導電材料。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に金属細線からなる光透過性導電部と、該光透過性導電部に接続し外部との電気的接続を担う配線部と、光透過性導電部と接する位置に存在し、光透過性導電部並びに周辺配線部と電気的に接続していないダミー部とを少なくとも有する導電材料であって、光透過性導電部とダミー部との間には長さ３０μｍ以下の断線部分を有し、該配線部の配線は平行部を有し、その中で含まれる配線数が最も多い平行部であって、全ての光透過性導電部と全てのダミー部を合わせた領域に外接する輪郭長方形の辺のうちの該平行部の中心に最も近い辺と該平行部に含まれる配線が平行である平行部において、光透過性導電部に最も近い配線の最大線幅をＷＮＳ、光透過性導電部から最も遠い配線の最小線幅をＷＦＳとした時、ＷＮＳ＜ＷＦＳの関係を満たすことを特徴とする導電材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量方式タッチパネル等に好適に用いられる導電材料に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナル・デジタル・アシスタント（ＰＤＡ）、ノートＰＣ、ＯＡ機器、医療機器、あるいはカーナビゲーションシステム等の電子機器においては、これらのディスプレイに入力手段としてタッチパネルが広く用いられている。
【０００３】
タッチパネルには、位置検出の方法により光学方式、超音波方式、静電容量方式、抵抗膜方式などがある。抵抗膜方式のタッチパネルは、光透過性導電材料と光透過性導電層付ガラスとがスペーサーを介して対向配置されており、光透過性導電材料に電流を流し光透過性導電層付ガラスに於ける電圧を計測するような構造となっている。一方、静電容量方式のタッチパネルは、光透過性支持体上に光透過性導電層を有するものを基本的構成とし、可動部分がないことが特徴であり、高耐久性、高透過率を有するため、例えば車載用途等において適用されている。
【０００４】
静電容量方式タッチパネルは多数のセンサー（光透過性導電部）を有し、このために多点同時検出やあるいは移動点の検出ができるという同方式の優れた特性を導く要因となっている。この多数のセンサーが検知した信号を外部に取り出すため、全てのセンサーに配線部と、これに続く端子部が設けられる。近年、液晶ディスプレイの画面以外の部分をより狭くすることが求められており、この配線部が占めるエリアを狭くすることが求められている。しかしながら、配線部は製造安定性を確保できるだけの線幅と線間隔が必要となり、配線部が占めるエリアを狭くするには限界が見えている。
【０００５】
従来、静電容量方式タッチパネルは光透過性導電部として、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）導電材料が用いられてきた。しかしながらこのＩＴＯ導電材料は配線部をＩＴＯで作製すると抵抗値が高く、タッチパネルとして動作できなくなるため、印刷法やエッチング法などにより金属の配線部を設けなければならず、製造工程が増えるという欠点があった。一方で、近年ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）導電材料に代わる光透過性導電材料として、光透過性導電部が金属細線からなるメタルメッシュ材料が、配線部とその配線部より細い網目状細線からなる光透過性導電部を同時に作製することができるため、注目されている。メタルメッシュ材料を作製する方法としてはエッチング法、ナノインプリント、銀塩写真法などが知られており、中でも銀塩写真法、特に特開２００３−７７３５０号公報、特開２００５−２５０１６９号公報および特開２００７−１８８６５５号公報等に記載される光透過性支持体上に物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層を少なくともこの順に有する導電材料前駆体に、可溶性銀塩形成剤および還元剤をアルカリ液中で作用させて金属銀パターンを形成させる技術が注目を集めている。この銀錯塩拡散転写法を利用した技術は前述の光透過性導電部と配線部を同時に作製できる点、非常にシンプルなプロセスで量産安定性が高い点、銀は金属の中で最も導電性が高いため、他方式に比べ、より細い線幅で高い導電性を得ることができるので、全光線透過率が高く、かつ低抵抗な光透過性導電材料を得ることができるなどの点で優れている。
【０００６】
前述の銀錯塩拡散転写法を利用した技術で作製したメタルメッシュ材料を含め、いくつかの方法で作製するメタルメッシュ材料は一般的に解像度が高く、より狭い線幅、線間隔で配線部を作製できるために、配線部が占めるエリアを狭くすることもできる点にも優れている。
【０００７】
しかしながらこれら狭い線幅、線間隔からなる配線部を有する光透過性導電材料、特に狭い線間隔からなる光透過性導電材料では静電気放電が発生し易い傾向があることなどにより量産した場合の生産安定性やハンドリング性に問題のある場合もあった。特にメタルメッシュ材料の場合、光透過性導電部が複雑なパターン形状の断線部分を含む網目状金属細線からなるため、この問題は顕著であった。
【０００８】
特表２０１１−５２３１４３号公報や国際公開第２０１３／１４６７８７号パンフレットなどでは配線部の線幅を途中で変える方法を提案している。しかしながらこれらの方法では配線部が最も集中する部分では従来公知の線幅を変えない方法と全く差がなく、前述の問題の解決とはならなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特表２０１１−５２３１４３号公報
【特許文献２】国際公開第２０１３／１４６７８７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、生産安定性やハンドリング性が改善された導電材料を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記課題は以下の発明によって達成される。
（１）支持体上に金属細線からなる光透過性導電部と、該光透過性導電部に接続し外部との電気的接続を担う配線部と、光透過性導電部と接する位置に存在し、光透過性導電部並びに周辺配線部と電気的に接続していないダミー部とを少なくとも有する導電材料であって、光透過性導電部とダミー部との間には長さ３０μｍ以下の断線部分を有し、該配線部の配線は平行部を有し、その中で含まれる配線数が最も多い平行部であって、全ての光透過性導電部と全てのダミー部を合わせた領域に外接する外接長方形の辺のうちの該平行部の中心に最も近い辺と該大線幅をＷＮＳ、光透過性導電部から最も遠い配線の最小線幅をＷＦＳとした時、ＷＮＳ＜ＷＦＳの関係を満たすことを特徴とする導電材料。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、生産安定性やハンドリング性が改善された導電材料を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の導電材料の一例を示す概略図
【図２】本発明の平行部を説明するための図
【図３】本発明の平行部を説明するための別の図
【図４】図１に示した導電材料の配線部、端子部の拡大図
【図５】図４に示した平行に並んだ領域Ｃの左端を拡大した拡大図
【図６】端子部の拡大図
【図７】実施例での測定場所を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の導電材料の一例を示す概略図である。本発明の導電材料１は基材２の上に光透過性導電部１１を有する。光透過性導電部１１は配線部１３を介し端子部１４に電気的に接続しており、この端子部１４を通して外部に電気的に接続することで、光透過性導電部１１で感知した静電容量の変化を捉えることができる。本発明においてはこのように一連の電気的に接続した光透過性導電部１１、配線部１３、端子部１４をまとめて導電単位と称す。また光透過性導電部に接する位置には、光透過性導電部とは電気的に接続していないダミー部１２が設けられる。なお、ダミー部１２は配線部１３を介し端子部１４に電気的に接続されていないが、このような配線部１３に電気的に接続していない金属パターンは本発明において、全てダミー部１２とする。また本発明において、全ての光透過性導電部１１とダミー部１２を合わせた領域に外接する面積が最小の長方形（正方形になる場合も含む）を、外接長方形１５（ただし外接長方形自体は実在しない仮の枠）と称する。
【００１５】
本発明において配線部における平行部を説明するにあたり、図２を用いる。本発明における平行部には、２本以上の線分が平行に並んでいる。本発明において平行に並ぶとは隣接する線分が平行な位置関係（ただし、±５°の範囲にあれば本発明において平行に含めるものとする）にあり、かつその平行な線分上の点から、その点における線分の垂線を描いた際に該隣接する線分と交わる点が存在することを言う。また本発明で隣接するとは対象とする線分を延長し、無限長の線とした時に隣接する関係を言う。図２においては線分２１〜２４がある。線分２２に対しその隣接する線分は２１と２３である。線分２２において、点２２１〜２２２間では線分２２の垂線（点２２１での垂線２２１１、点２２２での垂線２２２１を代表して図示している）は線分２３と交わる。よって点２２１〜２２２間、また同時に線分２３の２３１〜２３３の間が平行部となる。線分２１と２２の間には垂線を引いても交わる領域が無いため、この２つの線分間には平行部は存在しない。また線分２３と線分２４においては点２３２〜２３４、点２４１〜２４２（垂線２４１１〜２４２１の間）が平行部となる。線分２３においては線分２２とも線分２４とも平行部を有する。本発明においてこのように一つの線分が複数の線分と平行部を有する場合、それら全ての平行部をまとめ、一つの平行部と考えることとする。図２においては従って、点２２１、２２２、２３４、２４２、２４１、２３１で結ばれる領域が平行部となる。ただし、配線部を構成する線分の中点から最も近い外接長方形の辺が異なる場合はまとめて一つの平行部とせず、別々の平行部とすることとする。例えば図３において線分３１、３２はその中点３１１、３２１が外接長方形１５の横方向の辺１５１に最も近く、一つの平行部を形成しており、線分３３、３４は線分３１、３２と平行ではあるが、線分３３と３４の中点３３１と３３４に最も近い外接長方形１５の辺は上下方向の辺１５２であるので、線分３３と３４は一つの平行部を形成しているが、線分３１、３２とは別の平行部と考えるものとする。また本発明において平行部の中心とは平行部の領域の重心とする。例えば図２においては平行部は前述の通り、点２２１、２２２、２３４、２４２、２４１、２３１で結ばれる図形であり、この重心２０がこの平行部の中心となる。
【００１６】
図４は図１に示した導電材料の配線部１３、端子部１４の拡大図である。
図４において配線部１３は複数の導電単位に属する配線部１３が平行に並んだ平行部を有する。図４においてそれぞれの平行部を点線で図示した。平行部Ｂと平行部Ｄにおいては、前述の定義では一つの平行部となる。従って、図４において平行部はＡ、Ｃ、ＢとＤの組み合わせの３カ所となる。図４において、これら平行部の中で、平行部の中心に最も近い外接長方形１５の一辺（図４において図にある外接長方形１５の一辺が最も近い外接長方形になる）と平行であり、かつ配線部１３を構成する配線数の最も多い平行部とは平行部Ｃとなる。
【００１７】
図５は図４に示した平行部Ｃの左端を拡大した拡大図である。
平行部Ｃは全部で１２本の導電単位に属する配線部１３からなる。図５において光透過性導電部に最も近い配線部１３の線幅をＷＮＳとし、最も遠い配線部の線幅をＷＦＳとすると、本発明においてはＷＮＳ＜ＷＦＳの関係がある。ＷＦＳ−ＷＮＳは１０μｍ以上あることが好ましく、さらに好ましくは２０μｍ以上である。なお、それぞれの配線部１３の線幅は一定であっても一定でなくとも良いが、ＷＦＳの中で最も狭い値とＷＮＳの中で最も太い値においてＷＮＳ＜ＷＦＳの関係がある。また、本発明において、光透過性導電部側からＮ本目の配線部の線幅をＷ（Ｎ）とした時、常にＷ（Ｎ）≦Ｗ（Ｎ＋１）の関係があることが好ましい。図５においては例えば５本目の配線部１３の線幅がＷ（５）、その隣の６本目のＷ（６）との間にはＷ（５）≦Ｗ（６）の関係があることが好ましい。
【００１８】
本発明における配線部の線幅は５〜２００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである。配線部１３の線幅は一定であっても一定でなくとも良い。配線部１３間の線間隔は５〜２００μｍであり、好ましくは１５〜１００μｍである。配線部１３間の線間隔は、平行部においては全て同じであることが好ましい。
【００１９】
図１において本発明の導電材料１が有する基材２としては、プラスチック、ガラス、ゴム、セラミックス等が好ましく用いられる。これら基材２は全光線透過率が６０％以上である光透過性基材が好ましい。プラスチックの中でも、フレキシブル性を有する樹脂フィルムは、取扱い性が優れている点で好適に用いられる。光透過性支持体として使用される樹脂フィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ジアセテート樹脂、トリアセテート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂等からなる樹脂フィルムが挙げられ、その厚さは２５〜３００μｍであることが好ましい。また光透過性支持体は易接着層など公知の層を有していても良い。また後述するように光透過性導電部１１を銀塩拡散転写法にて形成する場合、光透過性支持体上には物理現像核層を設けることができる。
【００２０】
図１における光透過性導電部１１としては網目状金属細線が用いられる。網目状金属細線に用いる金属としては、特に金、銀、銅、ニッケル、アルミニウム、およびこれらの複合材により形成されることが好ましい。本発明においては、光透過性導電部１１と配線部１３、端子部１４は同じ金属、同じ手法、同じ工程で作製することが好ましい。光透過性導電部１１を形成する方法としては、銀塩感光材料を用いる方法、同方法を用いさらに得られた銀画像に無電解めっきや電解めっきを施す方法、スクリーン印刷法を用いて銀ペーストなどの導電性インキを印刷する方法、銀インクなどの導電性インクをインクジェット法で印刷する方法、無電解めっき等で銅などの金属からなる導電性層を形成する方法、あるいは蒸着やスパッタなどで導電性層を形成し、その上にレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング、レジスト層除去することで得る方法、銅箔などの金属箔を貼り、さらにその上にレジスト膜を形成し、露光、現像、エッチング、レジスト層除去することで得る方法など、公知の方法を用いることができる。中でも光透過性電極部１３を構成する金属線を微細にすることが容易な銀塩拡散転写法を用いることが好ましい。銀塩拡散転写法としては例えば特開２００３−７７３５０号公報や特開２００５−２５０１６９号公報に記載されている。これらの手法で作製した光透過性導電部１１の厚みは０．０５〜５μｍが好ましく、より好ましくは０．１〜１μｍである。光透過性導電部１１として金属酸化物や金属ナノワイヤ分散物を用いる際には、公知の方法で作製することができる。
【００２１】
図１における光透過性導電部１１が網目状金属細線からなる場合には、網目状金属細線は複数の単位格子を網目状に配置した幾何学形状を有する。単位格子の形状としては、例えば正三角形、二等辺三角形、直角三角形などの三角形、正方形、長方形、菱形、平行四辺形、台形などの四角形、六角形、八角形、十二角形、二十角形などのｎ角形、星形などを組み合わせた形状が挙げられ、またこれらの形状の単独の繰り返し、あるいは２種類以上の複数の形状の組み合わせが挙げられる。中でも単位格子の形状としては正方形もしくは菱形であることが好ましい。
【００２２】
光透過性導電部１１を構成する金属線の線幅は２０μｍ以下が好ましく、１〜１０μｍがより好ましい。また単位格子の繰り返し間隔は６００μｍ以下が好ましく、４００μｍ以下がより好ましい。光透過性導電部１１の開口率は８５％以上が好ましく、８８〜９９％がより好ましい。
【００２３】
図１において、ある導電単位に属する光透過性導電部１１と別の導電単位に属する光透過性導電部１１との間には、前述の通り光透過性導電部１１と、配線部１３とに電気的に接続しないダミー部１２を設ける。ダミー部１２は光透過性導電部１１と同じ導電物質でできていることが好ましく、光透過性導電部１１とダミー部１２の境界で導電物質の存在しない断線部分を少なくとも設けることで電気的な接続を絶っている。この断線部分の長さとしては３０μｍ以下、好ましくは３〜１５μｍ、さらに好ましくは５〜１２μｍである。またダミー部１２の内部にも複数の断線部分を設けることが好ましい。またダミー部１２は光透過性導電部１１と同じ形状の単位格子からなることが好ましく、一部が断線した単位格子から構成される断線メッシュにすることが好ましい。断線の仕方は単位格子を構成する金属細線に直交するように断線されていても良いし、あるいは斜めに断線されていても良い。ダミー部１２の金属細線の線幅は光透過性導電部１１と同じ線幅か、あるいは断線部分の面積に相当する分だけ太くすることが好ましい。ダミー部１２の中での断線部分の長さは３０μｍ以下が好ましく、３〜１５μｍがより好ましい。また光透過性導電部１１とダミー部１２の全光線透過率の差は１％以内に収まることが好ましい。
【００２４】
図１において端子部１４は配線部１３に接続し、これにＦＰＣ配線などをボンディングしてＩＣ回路に接続することで、光透過性導電部１１で受信した静電容量情報をＩＣに受け渡す役割を持つ。端子部１４の形状には長方形、角丸長方形、円、楕円など公知の形状を用いることができる。端子部１４は配線部１３と一括して作製されることが好ましく、従って、端子部１４に用いられる材料、製造方法などは配線部１３と同じでる。
【００２５】
本発明の導電材料は基材とその上に位置する金属パターン以外にも、ハードコート層、反射防止層、粘着層、防眩層など公知の層を金属パターンの上（基材から遠い側）、あるいは基材の金属パターンとは反対の側に設けることができる。また、基材と金属パターンとの間に、物理現像核層、易接着層、接着剤層など公知の層を設けることができる。
【実施例】
【００２６】
以下、本発明に関し実施例を用いて詳細に説明するが、本発明はその要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
【００２７】
＜導電材料１＞
基材として、厚み１００μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを用いた。なおこの基材の全光線透過率は９１％であった。
【００２８】
次に下記処方に従い、物理現像核層塗液を作製し、基材上に塗布、乾燥して物理現像核層を設けた。
【００２９】
＜硫化パラジウムゾルの調製＞
Ａ液    塩化パラジウム                                ５ｇ
塩酸                                        ４０ｍｌ
蒸留水                                  １０００ｍｌ
Ｂ液    硫化ソーダ                                ８．６ｇ
蒸留水                                  １０００ｍｌ
Ａ液とＢ液を撹拌しながら混合し、３０分後にイオン交換樹脂の充填されたカラムに通し硫化パラジウムゾルを得た。
【００３０】
＜物理現像核層塗液の調製＞各１ｍ２あたり
前記硫化パラジウムゾル                            ０．４ｍｇ
２質量％グリオキザール水溶液                      ０．２ｍｌ
界面活性剤（Ｓ−１）                                  ４ｍｇ
デナコールＥＸ−８３０                              ５０ｍｇ
（ナガセケムテックス（株）製ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル）
１０質量％ＳＰ−２００水溶液                      ０．５ｍｇ
（（株）日本触媒製ポリエチレンイミン；平均分子量１０，０００）
【００３１】
続いて、基材に近い方から順に下記組成の中間層、ハロゲン化銀乳剤層、および保護層を上記物理現像核液層の上に塗布、乾燥して、銀塩感光材料１を得た。ハロゲン化銀乳剤は、写真用ハロゲン化銀乳剤の一般的なダブルジェット混合法で製造した。このハロゲン化銀乳剤は、塩化銀９５モル％と臭化銀５モル％で、平均粒径が０．１５μｍになるように調製した。このようにして得られたハロゲン化銀乳剤を定法に従いチオ硫酸ナトリウムと塩化金酸を用い、金イオウ増感を施した。こうして得られたハロゲン化銀乳剤は銀１ｇあたり０．５ｇのゼラチンを含む。
【００３２】
＜中間層組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                          ０．５ｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                  ５ｍｇ
染料１                                                ５ｍｇ
【００３３】
【化１】
2015187815.tif 000003
【００３４】
【化２】
2015187815.tif 000004
【００３５】
＜ハロゲン化銀乳剤層１組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                          ０．５ｇ
ハロゲン化銀乳剤                                  ３．０ｇ銀相当
１−フェニル−５−メルカプトテトラゾール              ３ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                ２０ｍｇ
【００３６】
＜保護層１組成／１ｍ２あたり＞
ゼラチン                                              １ｇ
不定形シリカマット剤（平均粒径３．５μｍ）          １０ｍｇ
界面活性剤（Ｓ−１）                                １０ｍｇ
【００３７】
このようにして得た銀塩感光材料１と、図１のパターンを有する透過原稿とを密着し、水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介して露光した。なお、図１の光透過性導電部１１は線幅５μｍ、一辺３００μｍで狭い方の角度が６０°の菱形の単位図形からなる網目状パターンである。ダミー部１２は線幅５μｍで、光透過性導電部１１と同じ菱形の単位図形からなるが、菱形の辺の中央で長さ５μｍの断線部が入り、また光透過性導電部１１とダミー部１２との間で長さ１０μｍの断線部を設けている。図１の配線部１３と端子部１４はベタの線分からなる。図６は図１の端子部１４の拡大図であり、導電単位を左から５１、５２、５３・・・とナンバーを付けた。導電単位５１〜５３は図３で言うところの平行部Ａに連なる導電単位で、導電単位５５〜６６が平行部Ｃに連なる導電単位、導電単位５１〜６６が平行部Ｄに連なる導電単位となる。平行部Ａ、平行部Ｃにおける配線部１３の線間隔は３０μｍであり、導電単位５１〜６６に属する配線部１３の線幅は表１の通りとした。なお、一つの配線部１３の線幅は途中で線幅を変えていない。
【００３８】
その後、下記拡散転写現像液中に２０℃で６０秒間浸漬した後、続いてハロゲン化銀乳剤層、中間層、および保護層を４０℃の温水で水洗除去し、乾燥処理した。この作業を繰り返して図１の形状を持つ銀パターンを有する導電材料１を１００枚得た。なお、得られた導電材料の線幅、線間隔は透過原稿と全く同じ形状、線幅の画像になっていた。金属パターンの膜厚は共焦点顕微鏡で調べ、０．１μｍであった。
【００３９】
＜拡散転写現像液組成＞
水酸化カリウム                                      ２５ｇ
ハイドロキノン                                      １８ｇ
１−フェニル−３−ピラゾリドン                        ２ｇ
亜硫酸カリウム                                      ８０ｇ
Ｎ−メチルエタノールアミン                          １５ｇ
臭化カリウム                                      １．２ｇ
全量を水で１０００ｍｌ
ｐＨ＝１２．２に調整する。
【００４０】
＜導電材料２＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料２の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料２を得た。
【００４１】
＜導電材料３＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料３の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料３を得た。
【００４２】
＜導電材料４＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料４の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料４を得た。
【００４３】
＜導電材料５＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料５の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料５を得た。
【００４４】
＜導電材料６＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料６の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料６を得た。
【００４５】
＜導電材料７＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料７の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有し、かつ導電端子６６に属する配線部１３の光透過性導電部１１に近い方半分の長さで、線幅を５０μｍとし、残りの半分の長さを線幅３３．３μｍとした透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料７を得た。
【００４６】
＜導電材料８＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料１の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有し、光透過性導電部１１とダミー部１２の間の断線部を長さ２０μｍとした透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料８を得た。
【００４７】
＜導電材料９＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料１の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有し、光透過性導電部１１とダミー部１２の間の断線部を長さ２５μｍとした透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料９を得た。
【００４８】
＜導電材料１０＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料１の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有し、光透過性導電部１１とダミー部１２の間の断線部を長さ３５μｍとした透過原稿を用いる以外は導電材料１と同様にして、導電材料１０を得た。
【００４９】
得られた導電材料１〜１０について、光透過性導電部１１と配線部１３とが接する部分と、端子部１４との間の導通、並びに１つの導電単位と他の導電単位との間の短絡の有無を導電単位５１〜６６に渡り測定し、１００枚の導電材料のうち、導通が全ての導電単位で有り、短絡が一切無い導電材料の枚数を良品率（％）として評価した。また図６における距離Ａを測定し、配線部１３が占めるエリアの大きさを評価した。Ａの値が小さい方が好ましい。結果を表１に示す。
【００５０】
【表１】
2015187815.tif 000005
【００５１】
表１より、本発明の効果が良く判る結果となった。
【００５２】
＜導電材料１１＞
ＩＴＯフィルム（東洋紡製３００Ｒ）のＩＴＯ面の上に、厚み１５μｍのドライフィルムレジスト（旭化成製ＳＵＮＦＯＲＴシリーズＳＰＧ１０２）をラミネートし、さらに水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介さず、図１の光透過性導電部１１のみが網目状でなく、ベタパターンで描かれた透過原稿を密着させて露光し、３０℃の１％炭酸ナトリウム水溶液中で揺動させながら４０秒間現像した。続けてエスクリーンＩＳエッチング液（佐々木化学薬品製）を用いて常温で１２０秒間ＩＴＯ被膜をエッチングし（なお、エッチング処理の前後には水洗工程を設けている）、続けて４０℃の３％水酸化ナトリウム水溶液をスプレーで吹き付けることにより、ドライフィルムレジストを剥離、除去し水洗、乾燥させた。
【００５３】
得たパターニングフィルムのＩＴＯ面の上にもう一度厚み１５μｍのドライフィルムレジスト（旭化成製ＳＵＮＦＯＲＴシリーズＳＰＧ１０２）をラミネートし、さらに水銀灯を光源とする密着プリンターで４００ｎｍ以下の光をカットする樹脂フィルターを介さず、図１の配線部１３、端子部１４のみが描かれた透過原稿を、光透過性導電部１１とその他の部分の位置関係が図１の通りになるよう密着させて露光し、３０℃の１％炭酸ナトリウム水溶液中で揺動させながら４０秒間現像した。なお、配線部１３の線幅、線間隔は導電材料１で用いた透過原稿と同じである。続けて銀ナノインキ（三菱製紙製ＭＵ０１）を固形分塗布量１ｇ／ｍ２となるよう塗布、乾燥し、３０％塩化ナトリウム水溶液に４０℃で１分浸積し、水洗乾燥させた。乾燥後のドライフィルムレジスト表面を１００番のサンドペーパーで軽くこすった後、４０℃の３％水酸化ナトリウム水溶液をスプレーで吹き付けることにより、ドライフィルムレジストを剥離、除去し水洗、乾燥させ、導電材料１１を得た。これを繰り返して導電材料１１を１００枚作製した。なお、得られた導電材料の線幅、線間隔は透過原稿と全く同じ形状、線幅の画像になっていた。配線部１３の膜厚は共焦点顕微鏡で調べ、０．１μｍであった。
【００５４】
＜導電材料１２＞
図１のパターンを有する透過原稿であるが、表１の導電材料５の欄に有るとおりの配線部１３の線幅を有する透過原稿を配線部１３の作製に用いる以外は導電材料１１と同様にして、導電材料１２を得た。
【００５５】
導電材料１１と１２を導電材料１〜１０と同様に評価し、表２のような結果を得た。
【００５６】
【表２】
2015187815.tif 000006
【００５７】
表２より、メタルメッシュ材料を用いない場合にはあまり差のないことが判る。
【符号の説明】
【００５８】
１  導電材料
２  基材
１１  光透過性導電部
１２  ダミー部
１３  配線部
１４  端子部
１５  外接長方形
２０  平行部の中心
２１、２２、２３、２４、３１、３２、３３、３４  線分
２２１、２２２、２３１、２３２、２３３、２３４、２４１、２４２  点
３１１、３２１、３３１、３４１  中点
２２１１、２２２１、２４１１、２４２１  垂線
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ  平行部
５１〜６６  導電単位のナンバー
Ａ  導電材料での測定部分
【図１】
2015187815.tif 000007
【図２】
2015187815.tif 000008
【図３】
2015187815.tif 000009
【図４】
2015187815.tif 000010
【図５】
2015187815.tif 000011
【図６】
2015187815.tif 000012
【図７】
2015187815.tif 000013