(57)【要約】【課題】エアの噴出方向にシート状搬送物が存在しない時に、噴出装置を制御してエアの噴出を停止させなくても、他の装置表面からの異物の巻き上げを防止できる対向型エアブローを提供する。【解決手段】シート状搬送物の第１面に対してエアを噴出する第１噴出口を有する第１噴出装置と、シート状搬送物の第２面に対してエアを噴出する第２噴出口を有する第２噴出装置と、第１噴出口に対して搬送方向下流側に位置する第１吸引口を有する第１吸引装置と、第２噴出口に対して搬送方向上流側に位置する第２吸引口を有する第２吸引装置と、を備え、シート状搬送物が第１噴出口と第２吸引口との間に存在しない時に、第１噴出口から噴出されるエアは第２吸引口に流入するようになっており、シート状搬送物が第２噴出口と第１吸引口との間に存在しない時に、第２噴出口から噴出されるエアは第１吸引口に流入するようになっている。【選択図】図１
2015020135.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枚葉状であって互いに対向する第１面及び第２面を有するシート状搬送物を、前記第１面及び前記第２面が露出する態様で所定の搬送方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第１面に対して、前記搬送方向に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第１噴出口を有する第１噴出装置と、
前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第２面に対して、前記搬送方向に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第２噴出口を有する第２噴出装置と、
前記第１噴出口に対して前記搬送方向下流側に位置すると共に、前記第１噴出口から噴出されて前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第１面により跳ね返されたエアを吸引する第１吸引口を有する第１吸引装置と、
前記第２噴出口に対して前記搬送方向上流側に位置すると共に、前記第２噴出口から噴出されて前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第２面により跳ね返されたエアを吸引する第２吸引口を有する第２吸引装置と、
を備え、
前記シート状搬送物が前記第１噴出口と前記第２吸引口との間に存在しない時に、前記第１噴出口から噴出されるエアは前記第２吸引口に流入するようになっており、
前記シート状搬送物が前記第２噴出口と前記第１吸引口との間に存在しない時に、前記第２噴出口から噴出されるエアは前記第１吸引口に流入するようになっている
ことを特徴とする対向型エアブロー。
【請求項２】
前記第１噴出口から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に前記第２吸引口が位置しており、
前記第２噴出口から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に前記第１吸引口が位置している
ことを特徴とする請求項１に記載の対向型エアブロー。
【請求項３】
前記第１噴出口及び前記第２噴出口は、それぞれ、前記搬送方向に対して直角且つ前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物に平行な方向に延びる細長形状を有している
ことを特徴とする請求項１または２に記載の対向型エアブロー。
【請求項４】
前記第１噴出口の前記第１吸引口側の端部と、前記第１吸引口の前記第１噴出口側の端部とは、互いに接続されており、
前記第２噴出口の前記第２吸引口側の端部と、前記第２吸引口の前記第２噴出口側の端部とは、互いに接続されている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の対向型エアブロー。
【請求項５】
前記第１噴出口の前記第１吸引口側の端部と前記第１吸引口の前記第１噴出口側の端部とを接続する接続部は、湾曲されており、
前記第２噴出口の前記第２吸引口側の端部と前記第２吸引口の前記第２噴出口側の端部とを接続する接続部も、湾曲されている
ことを特徴とする請求項４に記載の対向型エアブロー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、枚葉状のシート状搬送物の互いに対向する第１面及び第２面に対してエアを噴出する対向型エアブローに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネル用カラーフィルタの製造ラインでは、枚葉状のシート状搬送物の表面に付着する異物を除去するために、シート状搬送物の表面に対してエアを噴出するエアブローと呼ばれる装置が用いられている。具体的には、エアブローは、シート状搬送物の表面に対してエアを噴出する噴出装置と、当該噴出装置に接続された圧縮空気発生装置と、を備えており、圧縮空気発生装置で発生して噴出装置から噴出される高風速のエアにより、シート状搬送物の表面の異物が吹き飛ばされて、除去されるようになっている。
【０００３】
シート状搬送物の表面に付着する異物には静電気によって強く付着するものも存在するが、このような異物に対しては、噴出口から噴出されるエアにイオナイザにより生成された荷電粒子を混入させることにより、シート状搬送物の表面に対する異物の付着力を減少させて、除去し易くする方法が知られている。
【０００４】
ところで、噴出装置から噴出されたエアによりシート状搬送物の表面から異物が吹き飛ばされる際に、吹き飛ばされた異物がエアの勢いによって巻き上げられてしまって、結果的に、シート状搬送物の表面に再付着してしまう可能性がある。このような異物の巻き上げを防止するために、図８に示すように、シート状搬送物３２０の表面３２１から吹き飛ばされた異物を吸引するための吸引装置３１４が設けられた構成が知られている。
【０００５】
しかしながら、吸引装置３１４が設けられた構成であっても、図９に示すように、噴出装置３１２から噴出されるエアの噴出方向にシート状搬送物３２０が存在しない時は、当該エアの噴出方向に位置する他の装置３１９の表面（例えば筐体の内壁面）にエアが吹き付けられてしまって、これにより、当該他の装置３１９の表面に付着する異物が巻き上げられてしまう可能性がある。そのため、噴出装置３１２から噴出されるエアの噴出方向にシート状搬送物３２０が存在しない時は、当該噴出装置３１２を制御してエアの噴出を停止させる必要がある。
【０００６】
特許文献１には、搬送中のシート状搬送物の互いに対向する第１面及び第２面に対して、搬送方向に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第１噴出装置及び第２噴出装置と、第１噴出装置及び第２噴出装置に対して搬送方向上流側に位置すると共に、搬送中のシート状搬送物の第１面及び第２面から吹き飛ばされた異物を吸引する第１吸引装置及び第２吸引装置と、を備えた対向型エアブローが記載されている。この装置では、第１噴出装置及び第２噴出装置から噴出されるエアの噴出方向に基板が存在しない時は、第１噴出装置及び第２噴出装置から噴出されるエアが互いに衝突して乱流状態が形成され、これにより、他の装置表面に付着する異物が巻き上げられてしまう可能性がある。そのため、第１噴出装置及び第２噴出装置から噴出されるエアの噴出方向にシート状搬送物が存在しない時は、第１噴出装置及び第２噴出装置を制御してエアの噴出を停止させる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１４８６９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、噴出装置から噴出されるエアの噴出方向にシート状搬送物が存在しない時に、噴出装置を制御してエアの噴出を停止させなくても、他の装置表面に付着する異物の巻き上げを防止できる対向型エアブローを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、枚葉状であって互いに対向する第１面及び第２面を有するシート状搬送物を、前記第１面及び前記第２面が露出する態様で所定の搬送方向に搬送する搬送機構と、前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第１面に対して、前記搬送方向に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第１噴出口を有する第１噴出装置と、前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第２面に対して、前記搬送方向に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第２噴出口を有する第２噴出装置と、前記第１噴出口に対して前記搬送方向下流側に位置すると共に、前記第１噴出口から噴出されて前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第１面により跳ね返されたエアを吸引する第１吸引口を有する第１吸引装置と、前記第２噴出口に対して前記搬送方向上流側に位置すると共に、前記第２噴出口から噴出されて前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物の前記第２面により跳ね返されたエアを吸引する第２吸引口を有する第２吸引装置と、を備え、前記シート状搬送物が前記第１噴出口と前記第２吸引口との間に存在しない時に、前記第１噴出口から噴出されるエアは前記第２吸引口に流入するようになっており、前記シート状搬送物が前記第２噴出口と前記第１吸引口との間に存在しない時に、前記第２噴出口から噴出されるエアは前記第１吸引口に流入するようになっていることを特徴とする対向型エアブローである。
【００１０】
本発明によれば、シート状搬送物が第１噴出口と第２吸引口との間に存在しない時に、第１噴出口から噴出されるエアは第２吸引口に流入するようになっているため、第１噴出装置を制御して第１噴出口からのエアの噴出を停止させなくても、第１噴出口から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。また、シート状搬送物が第２噴出口と第１吸引口との間に存在しない時に、第２噴出口から噴出されるエアは第１吸引口に流入するようになっているため、第２噴出装置を制御して第２噴出口からのエアの噴出を停止させなくても、第２噴出口から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。
【００１１】
具体的には、例えば、前記第１噴出口から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に前記第２吸引口が位置しており、前記第２噴出口から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に前記第１吸引口が位置している。このような態様によれば、シート状搬送物が第１噴出口と第２吸引口との間に存在しない時に、第１噴出口から噴出されるエアは、慣性により第２吸引口に効果的に流入し得る。また、シート状搬送物が第２噴出口と第１吸引口との間に存在しない時に、第２噴出口から噴出されるエアは、慣性により第１吸引口に効果的に流入し得る。
【００１２】
好ましくは、前記第１噴出口及び前記第２噴出口は、それぞれ、前記搬送方向に対して直角且つ前記搬送機構による搬送中の前記シート状搬送物に平行な方向に延びる細長形状を有している。このような態様によれば、シート状搬送物の搬送方向に対して直角な幅方向に亘って効率的にエアを噴出することができる。
【００１３】
また、好ましくは、前記第１噴出口の前記第１吸引口側の端部と、前記第１吸引口の前記第１噴出口側の端部とは、互いに接続されており、前記第２噴出口の前記第２吸引口側の端部と、前記第２吸引口の前記第２噴出口側の端部とは、互いに接続されている。このような態様によれば、第１噴出口から噴出されて搬送機構による搬送中のシート状搬送物の第１面により跳ね返されたエアは、第１噴出口の第１吸引口側の端部と第１吸引口の第１噴出口側の端部とを接続する接続部により、第１吸引口に向かってスムーズに案内されて、当該第１吸引口から効果的に吸引され得る。また、第２噴出口から噴出されて搬送機構による搬送中のシート状搬送物の第２面により跳ね返されたエアは、第２噴出口の第２吸引口側の端部と第２吸引口の第２噴出口側の端部とを接続する接続部により、第２吸引口に向かってスムーズに案内されて、当該第２吸引口から効果的に吸引され得る。
【００１４】
この場合、更に好ましくは、前記第１噴出口の前記第１吸引口側の端部と前記第１吸引口の前記第１噴出口側の端部とを接続する接続部は、湾曲されており、前記第２噴出口の前記第２吸引口側の端部と前記第２吸引口の前記第２噴出口側の端部とを接続する接続部も、湾曲されている。このような態様によれば、第１噴出口から噴出されて搬送機構による搬送中のシート状搬送物の第１面により跳ね返されたエアは、第１噴出口の第１吸引口側の端部と第１吸引口の第１噴出口側の端部とを接続する湾曲された接続部により、第１吸引口に向かって一層スムーズに案内されて、当該第１吸引口から一層効果的に吸引され得る。また、第２噴出口から噴出されて搬送機構による搬送中のシート状搬送物の第２面により跳ね返されたエアは、第２噴出口の第２吸引口側の端部と第２吸引口の第２噴出口側の端部とを接続する接続部により、第２吸引口に向かって一層スムーズに案内されて、当該第２吸引口から一層効果的に吸引され得る。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シート状搬送物が第１噴出口と第２吸引口との間に存在しない時に、第１噴出口から噴出されるエアは第２吸引口に流入するようになっているため、第１噴出装置を制御して第１噴出口からのエアの噴出を停止させなくても、第１噴出口から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。また、シート状搬送物が第２噴出口と第１吸引口との間に存在しない時に、第２噴出口から噴出されるエアは第１吸引口に流入するようになっているため、第２噴出装置を制御して第２噴出口からのエアの噴出を停止させなくても、第２噴出口から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による対向型エアブローを示す概略側面図である。
【図２】図２は、図１の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間をシート状搬送物が通過する時のエアの流れを説明するための図である。
【図３】図３は、図１の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【図４】図４は、本発明の第２の実施の形態による対向型エアブローを示す概略側面図である。
【図５】図５は、図４の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【図６】図６は、本発明の第３の実施の形態による対向型エアブローを示す概略側面図である。
【図７】図７は、図６の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【図８】図８は、従来のエアブローを示す概略側面図である。
【図９】図９は、図８のエアブローにおいて、第１噴出口から噴出されるエアの噴出方向にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施の形態による対向型エアブローを示す概略側面図である。図２は、図１の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間をシート状搬送物が通過する時のエアの流れを説明するための図である。図３は、図１の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【００１９】
図１に示すように、本実施の形態による対向型エアブロー１０ａは、枚葉状であって互いに対向する第１面２１及び第２面２２を有するシート状搬送物２０を、第１面２１及び第２面２２が露出する態様で所定の搬送方向２９に搬送する搬送機構１１と、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１に対して、搬送方向２９に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第１噴出口１３１を有する第１噴出装置１２１と、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第２面２２に対して、搬送方向２９に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアを噴出する第２噴出口１３２を有する第２噴出装置１２２と、第１噴出口１３１に対して搬送方向２９下流側に位置すると共に、第１噴出口１３１から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアを吸引する第１吸引口１５１を有する第１吸引装置１４１と、第２噴出口１３２に対して搬送方向２９上流側に位置すると共に、第２噴出口１３２から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアを吸引する第２吸引口１５２を有する第２吸引装置１４２と、を備えている。本実施の形態では、例えば、シート状搬送物２０は、１ｍｍ以下の厚みのガラス基板である。
【００２０】
本実施の形態では、図１に示すように、搬送機構１１は、複数の回転ローラを有している。搬送機構１１の各回転ローラは、それぞれ、回転軸線が水平且つ互いに平行に向けられた状態で、同一の高さ位置に配置されており、不図示の軸受により回転可能に支持されている。これにより、回転ローラ上に載置されるシート状搬送物２０は、互いに対向する第１面２１及び第２面２２が露出する態様で、回転ローラにより水平に支持されるようになっている。本実施の形態では、シート状搬送物２０の上面が第１面２１であり、下面が第２面２２である。
【００２１】
搬送機構１１には不図示の回転駆動部（例えば、モータ）が接続されている。回転駆動部によって搬送機構１１の各回転ローラが、それぞれ、例えば、図１における反時計回りに回転駆動されることにより、当該回転ローラ上に支持されるシート状搬送物２０は、図１における左向きの搬送方向２９に搬送されるようになっている。
【００２２】
本実施の形態では、図１に示すように、第１噴出装置１２１は、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の上方に配置されており、第２噴出装置１２２は、第１噴出装置１２１に対して搬送方向２９下流側において、当該シート状搬送物２０の下方に配置されている。
【００２３】
図１に示すように、第１噴出装置１２１及び第２噴出装置１２２は、それぞれ、側面視筒形状を有しており、下端部が上端部より搬送方向２９下流側に位置するように、搬送方向２９に対して所定角度傾斜されている。第１噴出口１３１は、第１噴出装置１２１の下端部に設けられており、第２噴出口１３２は、第２噴出装置１２２の上端部に設けられている。例えば、第１噴出口１３１と搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１との間の間隔は、１ｍｍ〜５ｍｍであり、第２噴出口１３２と当該シート状搬送物２０の第２面２２との間の間隔は、１ｍｍ〜５ｍｍである。
【００２４】
また、第１噴出装置１２１の上端部及び第２噴出装置１２２の下端部には、それぞれ、不図示の圧縮空気発生装置（例えば、ブロワ）が接続されており、圧縮空気発生装置から第１噴出装置１２１に供給されるエアは、第１噴出口１３１から搬送方向に対して所定の鋭角（例えば、１５°〜６０°）だけ傾斜した方向に噴出され、圧縮空気発生装置から第２噴出装置１２２に供給されるエアは、第２噴出口１３２から搬送方向に対して所定の鈍角（例えば、１５°〜６０°）だけ傾斜した方向に噴出されるようになっている。例えば、第１噴出口１３１から噴出されるエアの流量は、１０００Ｌ／ｍｉｎ〜１００００Ｌ／ｍｉｎであり、第２噴出口１３２から噴出されるエアの流量は、１０００Ｌ／ｍｉｎ〜１００００Ｌ／ｍｉｎである。エアは、第１噴出口１３１及び第２噴出口１３２から連続的に噴出されてもよいし、パルス状に繰り返し噴出されてもよい。
【００２５】
本実施の形態では、第１噴出口１３１及び第２噴出口１３２は、それぞれ、搬送方向２９に対して直角且つ搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０に平行な方向（すなわち、図１における紙面に対して垂直な方向）に延びる細長形状を有している。これにより、シート状搬送物２０の搬送方向２９に対して直角な幅方向に亘って効率的にエアが噴出されるようになっている。
【００２６】
図１に示すように、第１吸引装置１４１は、第１噴出装置１２１に対して搬送方向２９下流側において、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の上方に配置されており、第２吸引装置１４２は、第２噴出装置１２２に対して搬送方向２９上流側において、当該シート状搬送物２０の下方に配置されている。
【００２７】
第１吸引口１５１は、第１吸引装置１４１の下面に設けられており、第１吸引装置１４１の内部には、第１吸引口１５１に連通する第１流路１７１が、側面視において搬送方向２９に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向に延びるように設けられている。また、第２吸引口１５２は、第２吸引装置１４２の上面に設けられており、第２吸引装置１４２の内部には、第２吸引口１５２に連通する第２流路１７２が、側面視において搬送方向２９に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向に延びるように設けられている。例えば、第１吸引口１５１とシート状搬送物２０の第１面２１との間の間隔は、１ｍｍ〜５ｍｍであり、第２吸引口１５２とシート状搬送物２０の第２面２２との間の間隔は、１ｍｍ〜５ｍｍである。
【００２８】
また、第１流路１７１の上端部及び第２流路１７２の下端部には、それぞれ、不図示の吸引排気装置（例えば、ブロワ）が接続されている。吸引排気装置を動作させることにより、第１流路１７１内には、側面視において搬送方向２９に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向に向かう層流が形成され、これにより、図２に示すように、第１噴出口１３１から噴出されてシート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアは、第１吸引口１５１からスムーズに吸引されるようになっている。また、吸引排気装置を動作させることにより、第２流路１７２内には、側面視において搬送方向２９に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向に向かう層流が形成され、これにより、図２に示すように、第２噴出口１３２から噴出されてシート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアは、第２吸引口１５２からスムーズに吸引されるようになっている。例えば、第１吸引口１５１から吸引されるエアの流量は、１０００Ｌ／ｍｉｎ〜１００００Ｌ／ｍｉｎであり、第２吸引口１５２から吸引されるエアの流量は、１０００Ｌ／ｍｉｎ〜１００００Ｌ／ｍｉｎである。
【００２９】
また、本実施の形態では、図３に示すように、シート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間に存在しない時に、第１噴出口１３１から噴出されるエアは第２吸引口１５２に流入するようになっており、シート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間に存在しない時に、第２噴出口１３２から噴出されるエアは第１吸引口１５１に流入するようになっている。
【００３０】
具体的には、例えば、第１噴出口１３１から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に第２吸引口１５２が位置しており、第２噴出口１３２から噴出されるエアの噴出方向の延長線上に第１吸引口１５１が位置している。これにより、シート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間に存在しない時に、第１噴出口１３１から噴出されるエアは、慣性により第２吸引口１５２に効果的に流入し得る。また、シート状搬送物が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間に存在しない時に、第２噴出口１３２から噴出されるエアは、慣性により第１吸引口１５１に効果的に流入し得る。
【００３１】
本実施の形態では、図３に示すように、側面視において、第１流路１７１の搬送方向２９上流側の内面は、搬送方向２９上流側に突き出るように湾曲されており、第２流路１７２の搬送方向２９下流側の内面は、搬送方向２９下流側に突き出るように湾曲されている。これにより、第２噴出口１３２から噴出されて第１吸引口１５１に流入するエアは、第１流路１７１の搬送方向２９上流側の内面に沿ってスムーズに案内されて吸引され、第１噴出口１３１から噴出されて第２吸引口１５２に流入するエアは、第２流路１７２の搬送方向２９下流側の内面に沿ってスムーズに案内されて吸引されるようになっている。
【００３２】
次に、以上のような本実施の形態の作用について説明する。
【００３３】
枚葉状のシート状搬送物２０が、第１面２１及び第２面２２が露出する態様で、搬送機構１１の回転ローラ上に載置され、各回転ローラの回転により搬送方向２９に搬送される。
【００３４】
第１噴出口１３１及び第２噴出口１３２から、それぞれ、エアが噴出されると共に、第１吸引口１５１及び第２吸引口１５２から、それぞれ、エアが吸引される。
【００３５】
図２に示すように、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間を通過する時に、第１噴出口１３１から噴出されたエアは、シート状搬送物２０の第１面２１に衝突して跳ね返されると共に、当該エアにより第１面２１に付着する異物が吹き飛ばされる。そして、シート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアは、当該第１面２１から吹き飛ばされた異物と一緒に、第１吸引口１５１に流入する。これにより、第１噴出口１３１と第１吸引口１５１との間には層流が形成され、第１噴出口１３１から噴出されるエアによる異物の巻き上げが効果的に防止される。
【００３６】
また、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間を通過する時に、第２噴出口１３２から噴出されたエアは、シート状搬送物２０の第２面２２に衝突して跳ね返されると共に、当該エアにより第２面２２に付着する異物が吹き飛ばされる。そして、シート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアは、当該第２面２２から吹き飛ばされた異物と一緒に、第２吸引口１５２に流入する。これにより、第２噴出口１３２と第２吸引口１５２との間には層流が形成され、第２噴出口１３２から噴出されるエアによる異物の巻き上げが効果的に防止される。
【００３７】
一方、図３に示すように、シート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間に存在しない時に、第１噴出口１３１から噴出されるエアは、第２吸引口１５２に流入する。これにより、第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間には層流が形成され、第１噴出装置１２１を制御して第１噴出口１３１からのエアの噴出を停止させなくても、第１噴出口１３１から噴出されるエアによる異物の巻き上げが効果的に防止される。
【００３８】
また、シート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間に存在しない時に、第２噴出口１３２から噴出されるエアは、第１吸引口１５１に流入する。これにより、第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間には層流が形成され、第２噴出装置１２２を制御して第２噴出口１３２からのエアの噴出を停止させなくても、第２噴出口１３２から噴出されるエアによる異物の巻き上げが効果的に防止される。
【００３９】
以上のような本実施の形態によれば、シート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間に存在しない時に、第１噴出口１３１から噴出されるエアは第２吸引口１５２に流入するようになっているため、第１噴出装置１２１を制御して第１噴出口１３１からのエアの噴出を停止させなくても、第１噴出口１３１から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。また、シート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間に存在しない時に、第２噴出口１３２から噴出されるエアは第１吸引口１５１に流入するようになっているため、第２噴出装置１２２を制御して第２噴出口１３２からのエアの噴出を停止させなくても、第２噴出口１３２から噴出されるエアによる異物の巻き上げを効果的に防止できる。
【００４０】
次に、図４及び図５を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。図４は、本発明の第２の実施の形態による対向型エアブローを示す概略側面図である。図５は、図４の対向型エアブローにおいて、第１噴出口と第２吸引口との間にシート状搬送物が存在しない時のエアの流れを説明するための図である。
【００４１】
図４及び図５に示すように、第２の実施の形態による対向型エアブロー１０ｂでは、第１噴出装置１２１における第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と、第１吸引装置１４１における第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とは、互いに接続されており、第２噴出装置１２２における第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と、第２吸引装置１４２における第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とは、互いに接続されている。
【００４２】
その他の構成は図１乃至図３に示す第１の実施の形態と略同様である。図４及び図５において、図１乃至図３に示す第１の実施の形態と同一の部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００４３】
本実施の形態では、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間を通過する時に、第１噴出口１３１から噴出されたエアは、シート状搬送物２０の第１面２１に衝突して跳ね返されると共に、当該エアにより第１面２１に付着する異物が吹き飛ばされる。そして、シート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアは、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１により、第１吸引口１５１に向かってスムーズに案内され、シート状搬送物２０の第１面２１から吹き飛ばされた異物と一緒に、第１吸引口１５１に流入する。これにより、第１噴出口１３１と第１吸引口１５１との間には層流が効果的に形成され、第１噴出口１３１から噴出されるエアによる異物の巻き上げが一層効果的に防止される。
【００４４】
また、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間を通過する時に、第２噴出口１３２から噴出されたエアは、シート状搬送物２０の第２面２２に衝突して跳ね返されると共に、当該エアにより第２面２２に付着する異物が吹き飛ばされる。そして、シート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアは、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２により、第２吸引口１５２に向かってスムーズに案内され、シート状搬送物２０の第２面２２から吹き飛ばされた異物と一緒に、第２吸引口１５２に流入する。これにより、第２噴出口１３２と第２吸引口１５２との間には層流が効果的に形成され、第２噴出口１３２から噴出されるエアによる異物の巻き上げが一層効果的に防止される。
【００４５】
一方、図５に示すように、シート状搬送物２０が第１噴出口１３１と第２吸引口１５２との間に存在しない時、及び、シート状搬送物２０が第２噴出口１３２と第１吸引口１５１との間に存在しない時については、図３を用いて説明された第１の実施の形態の場合と同様である。
【００４６】
このような第２の実施の形態によれば、第１噴出口１３１から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアは、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１により、第１吸引口１５１に向かってスムーズに案内されて、当該第１吸引口１５１から効果的に吸引され得る。また、第２噴出口１３２から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアは、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２により、第２吸引口１５２に向かってスムーズに案内されて、当該第２吸引口１５２から効果的に吸引され得る。
【００４７】
なお、本実施の形態では、図４及び図５に示すように、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１は、平面形状を有しており、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２’も、平面形状を有していたが、これに限定されず、図６及び図７に示すように、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１’は、湾曲されており、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２’も、湾曲されていてもよい（第３の実施の形態による対向型エアブロー１０ｃ）。具体的には、例えば、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１’は、側面視において、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１側に近づくように湾曲する円弧形状を有しており、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２’は、側面視において、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第２面２２側に近づくように湾曲する円弧形状を有している。
【００４８】
このような態様によれば、第１噴出口１３１から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第１面２１により跳ね返されたエアは、第１噴出口１３１の第１吸引口１５１側の端部と第１吸引口１５１の第１噴出口１３１側の端部とを接続する接続部１６１’により、第１吸引口１５１に向かって一層スムーズに案内されて、当該第１吸引口１５１から一層効果的に吸引され得る。また、第２噴出口１３２から噴出されて搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の第２面２２により跳ね返されたエアは、第２噴出口１３２の第２吸引口１５２側の端部と第２吸引口１５２の第２噴出口１３２側の端部とを接続する接続部１６２’により、第２吸引口１５２に向かって一層スムーズに案内されて、当該第２吸引口１５２から一層効果的に吸引され得る。
【００４９】
なお、前述の第１乃至第３の実施の形態では、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の上面に対して、第１噴出口１３１から搬送方向２９に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向にエアが噴出され、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の下面に対して、第２噴出口１３２から搬送方向２９に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアが噴出されたが、これに限定されず、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の下面に対して、第１噴出口１３１から搬送方向２９に対して所定の鋭角だけ傾斜した方向にエアが噴出され、搬送機構１１による搬送中のシート状搬送物２０の上面に対して、第２噴出口１３２から搬送方向２９に対して所定の鈍角だけ傾斜した方向にエアが噴出されてもよい。この場合、シート状搬送物２０の下面が第１面であり、上面が第２面である。
【００５０】
また、前述の第１乃至第３の実施の形態による対向型エアブロー１０ａ〜１０ｃは、第１噴出口１３１及び第２噴出口１３２から噴出されるエアにより、シート状搬送物２０の第１面２１及び第２面２２に付着する異物を吹き飛ばす用途に使用されたが、これに限定されず、例えば、第１噴出口１３１及び第２噴出口１３２から噴出されるエアにより、シート状搬送物２０の第１面２１及び第２面２２を乾燥させる用途、または、シート状搬送物２０の第１面２１及び第２面２２を冷却する用途にも使用され得る。
【符号の説明】
【００５１】
１０ａ    対向型エアブロー
１０ｂ    対向型エアブロー
１０ｃ    対向型エアブロー
１１      搬送機構
１２１    第１噴出装置
１２２    第２噴出装置
１２１’  第１噴出装置
１２２’  第２噴出装置
１３１    第１噴出口
１３２    第２噴出口
１４１    第１吸引装置
１４２    第２吸引装置
１５１    第１吸引口
１５２    第２吸引口
１６１    接続部
１６２    接続部
１６１’  接続部
１６２’  接続部
２０      シート状搬送物
２１      第１面
２２      第２面
３１２    噴出装置
３１４    吸引装置
３１９    他の装置
３２０    シート状搬送物
３２１    表面
【図１】
2015020135.tif 000003
【図２】
2015020135.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2015020135.tif 000008
【図７】
2015020135.tif 000009
【図８】
2015020135.tif 000010
【図９】
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