(57)【要約】【課題】量産性の高い積層体の作製装置を提供する。積層体の作製の歩留まりを向上する。【解決手段】ロールシート状の第１の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第１の支持体供給ユニットと、巻き出された第１の支持体が供給され、静止した第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した第１の支持体上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせ、第１の支持体、第１の接着層、及び部材がこの順で重なる第１の積層体を形成することができる第１の貼り合わせユニットと、巻き出された第１の支持体の端部を保持することができ、一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールシート状の第１の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された前記第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第１の支持体供給ユニットと、
巻き出された前記第１の支持体が供給され、静止した前記第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、
前記第１の接着層が形成された前記第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した前記第１の支持体上に、前記第１の接着層を用いて前記部材を貼り合わせ、前記第１の支持体、前記第１の接着層、及び前記部材がこの順で重なる第１の積層体を形成することができる第１の貼り合わせユニットと、
前記巻き出された第１の支持体の端部を保持することができ、前記一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の積層体が供給され、静止した前記第１の支持体を分断することができる分断ユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記第１の積層体が供給され、前記第１の積層体を間欠的に巻き取ることができる巻き取りユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記第１の積層体が供給され、前記第１の接着層を硬化させることができる第１の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項５】
ロールシート状の第１の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された前記第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第１の支持体供給ユニットと、
巻き出された前記第１の支持体が供給され、静止した前記第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、
前記第１の接着層が形成された前記第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した前記第１の支持体上に、前記第１の接着層を用いて前記部材を貼り合わせ、前記第１の支持体、前記第１の接着層、及び前記部材がこの順で重なる第１の積層体を形成することができる第１の貼り合わせユニットと、
前記第１の積層体が供給され、静止した前記第１の接着層及び前記部材の端部近傍に、剥離の起点を形成することができる起点形成ユニットと、
前記剥離の起点が形成された前記第１の積層体が供給され、静止した前記第１の積層体を、表層及び残部に分離することができる分離ユニットと、
前記残部が供給され、静止した前記残部上に第２の接着層を形成することができる第２の接着層形成ユニットと、
前記第２の接着層が形成された前記残部、及びシート状の第２の支持体が供給され、静止した前記残部上に、前記第２の接着層を用いて前記第２の支持体を貼り合わせ、前記残部、前記第２の接着層、及び前記第２の支持体がこの順で重なる第２の積層体を形成することができる第２の貼り合わせユニットと、
前記巻き出された第１の支持体の端部を保持することができ、前記一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記第２の積層体が供給され、静止した前記第１の支持体を分断することができる分断ユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項７】
請求項５において、
前記第２の積層体が供給され、前記第２の積層体を間欠的に巻き取ることができる巻き取りユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれか一項において、
前記第１の積層体が供給され、前記第１の接着層を硬化させることができる第１の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。
【請求項９】
請求項５乃至８のいずれか一項において、
前記第２の積層体が供給され、前記第２の接着層を硬化させることができる第２の接着層硬化ユニットを有する、積層体の作製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物、方法、又は、作製方法に関する。または、本発明は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、又は、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関する。本発明の一態様は、半導体装置、表示装置、発光装置、照明装置、それらの駆動方法、それらの製造方法、又はそれらの製造装置に関する。特に、本発明の一態様は、積層体の作製装置、及び積層体の作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可撓性を有する基板（以下、可撓性基板とも記す）上に半導体素子、表示素子、発光素子などの機能素子が設けられたフレキシブルデバイスの開発が進められている。フレキシブルデバイスの代表的な例としては、照明装置、画像表示装置の他、トランジスタなどの半導体素子を有する種々の半導体回路などが挙げられる。
【０００３】
例えば、携帯機器用途等の発光装置や表示装置では、薄型であること、軽量であること、又は破損しにくいこと等が求められている。
【０００４】
エレクトロルミネッセンス（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、以下ＥＬとも記す）現象を利用した発光素子（ＥＬ素子とも記す）は、薄型軽量化が容易である、入力信号に対し高速に応答可能である、直流低電圧電源を用いて駆動可能である等の特徴を有し、発光装置や表示装置への応用が検討されている。
【０００５】
例えば、特許文献１に、フィルム基板上に、スイッチング素子であるトランジスタや有機ＥＬ素子を備えたフレキシブルなアクティブマトリクス型の発光装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１７４１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このようなフレキシブルデバイスを生産するための作製装置が求められている。また、フレキシブルデバイスを大量生産できる作製装置や作製方法が求められている。
【０００８】
本発明の一態様は、新規な積層体の作製装置を提供することを目的の一とする。また、本発明の一態様は、量産性の高い積層体の作製装置を提供することを目的の一とする。
【０００９】
また、本発明の一態様は、半導体装置、発光装置、表示装置、電子機器、又は照明装置等の装置の作製工程における歩留まりを向上することを目的の一とする。特に、軽量である、薄型である、もしくは可撓性を有する半導体装置、発光装置、表示装置、電子機器、又は照明装置等の装置の作製工程における歩留まりを向上することを目的の一とする。また、本発明の一態様は、信頼性の高い発光装置を提供することを目的の一とする。または、本発明の一態様は、新規な発光装置などを提供することを目的の一とする。
【００１０】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様は、第１の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第１の支持体供給ユニットと、巻き出された第１の支持体が供給され、静止した第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した第１の支持体上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせ、第１の支持体、第１の接着層、及び部材がこの順で重なる第１の積層体を形成することができる第１の貼り合わせユニットと、巻き出された第１の支持体の端部を保持することができ、一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置である。言い換えると、本発明の一態様は、第１の張力付与装置を有し、ロールシート状に巻かれた第１の支持体を間欠的に巻き出す構成である第１の支持体供給ユニットと、第１の支持体の巻きだされた領域が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の支持体の巻きだされた領域上に第１の接着層を形成する構成の第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体の巻きだされた領域、及びシート状の部材が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の支持体の巻きだされた領域上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせ、第１の支持体の巻きだされた領域、第１の接着層、及び部材がこの順で重なる第１の積層体を形成する構成の第１の貼り合わせユニットと、第２の張力付与装置を有し、第１の支持体の巻きだされた領域の端部を保持する構成である制御ユニットと、を有し、第１の張力付与装置及び第２の張力付与装置は、第１の支持体の巻き出された領域に張力を加える構成である、積層体の作製装置である。
【００１２】
上記構成の積層体の作製装置において、第１の積層体が供給され、静止した第１の支持体を分断する構成の分断ユニットを有していてもよい。言い換えると、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の支持体の巻き出された領域を分断する構成の分断ユニットを有していてもよい。または、上記構成の積層体の作製装置において、第１の積層体が供給され、第１の積層体を間欠的に巻き取る構成の巻き取りユニットを有していてもよい。また、分断ユニットもしくは巻き取りユニットが制御ユニットを兼ねていてもよい。
【００１３】
上記各構成の積層体の作製装置において、第１の積層体が供給され、第１の接着層を硬化させる構成の第１の接着層硬化ユニットを有していてもよい。
【００１４】
本発明の一態様は、第１の支持体を間欠的に巻き出すことができ、巻き出された第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する第１の支持体供給ユニットと、巻き出された第１の支持体が供給され、静止した第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した第１の支持体上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせ、第１の支持体、第１の接着層、及び部材がこの順で重なる第１の積層体を形成することができる第１の貼り合わせユニットと、第１の積層体が供給され、静止した第１の接着層及び部材の端部近傍に、剥離の起点を形成することができる起点形成ユニットと、剥離の起点が形成された第１の積層体が供給され、静止した第１の積層体を、表層及び残部に分離することができる分離ユニットと、残部が供給され、静止した残部上に第２の接着層を形成することができる第２の接着層形成ユニットと、第２の接着層が形成された残部、及びシート状の第２の支持体が供給され、静止した残部上に、第２の接着層を用いて第２の支持体を貼り合わせ、残部、第２の接着層、及び第２の支持体がこの順で重なる第２の積層体を形成することができる第２の貼り合わせユニットと、巻き出された第１の支持体の端部を保持することができ、一対の張力付与装置の他方を有する制御ユニットと、を有する、積層体の作製装置である。言い換えると、本発明の一態様は、第１の張力付与装置を有し、ロールシート状に巻かれた第１の支持体を間欠的に巻き出す構成である第１の支持体供給ユニットと、第１の支持体の巻きだされた領域が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の支持体の巻きだされた領域上に第１の接着層を形成する構成の第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体の巻きだされた領域、及びシート状の部材が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の支持体の巻きだされた領域上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせ、第１の支持体の巻きだされた領域、第１の接着層、及び部材がこの順で重なる第１の積層体を形成する構成の第１の貼り合わせユニットと、第１の積層体が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の接着層及び部材の端部近傍に、剥離の起点を形成する構成の起点形成ユニットと、剥離の起点が形成された第１の積層体が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第１の積層体を、表層及び残部に分離する構成の分離ユニットと、残部が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、残部上に第２の接着層を形成する構成の第２の接着層形成ユニットと、第２の接着層が形成された残部、及びシート状の第２の支持体が供給され、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、残部上に、第２の接着層を用いて第２の支持体を貼り合わせ、残部、第２の接着層、及び第２の支持体がこの順で重なる第２の積層体を形成する構成の第２の貼り合わせユニットと、第２の張力付与装置を有し、第１の支持体の巻きだされた領域の端部を保持する構成である制御ユニットと、を有し、第１の張力付与装置及び第２の張力付与装置は、第１の支持体の巻き出された領域に張力を加える構成である、積層体の作製装置である。
【００１５】
上記構成の積層体の作製装置において、第２の積層体が供給され、静止した第２の支持体を分断する構成の分断ユニットを有していてもよい。言い換えると、第１の支持体の巻き出しが休止されている間に、第２の支持体を分断する構成の分断ユニットを有していてもよい。または、上記構成の積層体の作製装置において、第２の積層体が供給され、第２の積層体を間欠的に巻き取る構成の巻き取りユニットを有していてもよい。また、分断ユニットもしくは巻き取りユニットが制御ユニットを兼ねていてもよい。
【００１６】
上記各構成の積層体の作製装置において、第１の積層体が供給され、第１の接着層を硬化させる構成の第１の接着層硬化ユニットを有していてもよい。
【００１７】
上記各構成の積層体の作製装置において、第２の積層体が供給され、第２の接着層を硬化させる構成の第２の接着層硬化ユニットを有していてもよい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の一態様により、量産性の高い積層体の作製装置を提供することができる。
【００１９】
また、本発明の一態様により、軽量である、薄型である、もしくは可撓性を有する半導体装置、発光装置、表示装置、電子機器、又は照明装置等の装置の作製工程における歩留まりを向上することができる。また、本発明の一態様により、信頼性の高い発光装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、新規な発光装置などを提供することができる。
【００２０】
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】積層体の作製装置の一例を示す図。
【図２】積層体の作製装置の一例を示す図。
【図３】積層体の作製装置の一例を示す図。
【図４】積層体の作製装置の一例を示す図。
【図５】積層体の作製装置と積層体の一例を示す図。
【図６】積層体の作製装置の一例を示す図。
【図７】積層体の作製装置と積層体の一例を示す図。
【図８】積層体の一例を示す図。
【図９】発光パネルの一例を示す図。
【図１０】発光パネルの一例を示す図。
【図１１】発光パネルの一例を示す図。
【図１２】発光パネルの一例を示す図。
【図１３】発光パネルの一例を示す図。
【図１４】発光装置の一例を示す図。
【図１５】発光パネルの一例を示す図。
【図１６】電子機器及び照明装置の一例を示す図。
【図１７】電子機器の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
【００２３】
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
【００２４】
また、図面等において示す各構成の、位置、大きさ、範囲などは、理解の簡単のため、実際の位置、大きさ、範囲などを表していない場合がある。このため、開示する発明は、必ずしも、図面等に開示された位置、大きさ、範囲などに限定されない。
【００２５】
半導体装置、発光装置、表示装置等の各種装置の軽量化、薄型化、フレキシブル化が望まれている。例えば、有機樹脂や金属、合金等のフィルムを各種装置の基板に用いることで、該装置の軽量化、薄型化、フレキシブル化を図ることができる。
【００２６】
しかし、薄い基板はハンドリングや、他の部材との貼り合わせが難しく、装置の作製工程において、歩留まりが低下する場合がある。
【００２７】
本発明の一態様は、このような薄い基板を用いた装置（又は該装置の一部である積層体）の作製装置に関する。または、本発明の一態様は、このような薄い基板を用いた装置（又は該装置の一部である積層体）の作製方法に関する。
【００２８】
なお、本発明の一態様を適用して作製できる装置は、機能素子を有する。機能素子としては、例えば、トランジスタ等の半導体素子や、発光ダイオード、無機ＥＬ素子、有機ＥＬ素子等の発光素子、液晶素子等の表示素子が挙げられる。例えば、トランジスタを封入した半導体装置、発光素子を封入した発光装置（ここでは、トランジスタ及び発光素子を封入した表示装置を含む）等も本発明の一態様を適用して作製できる装置である。
【００２９】
また、作製基板上に被剥離層を形成した後、被剥離層を作製基板から剥離して別の基板に転置することができる。この方法によれば、例えば、耐熱性の高い作製基板上で形成した被剥離層を、耐熱性の低い基板（有機樹脂基板など）や耐熱性の低い素子（有機ＥＬ素子など）上に転置することができる。被剥離層の作製温度が、耐熱性の低い材料によって制限されず、作製基板に比べて軽い、薄い、又は可撓性が高い基板等に被剥離層を転置することで、半導体装置、発光装置、表示装置等の各種装置の軽量化、薄型化、フレキシブル化を実現できる。
【００３０】
具体例としては、有機ＥＬ素子は水分などにより劣化しやすいため、ガスバリア性の高い保護膜をガラス基板上に高温で形成する。そして、該保護膜をガラス基板から剥離し、耐熱性やガスバリア性が低く、可撓性を有する有機樹脂基板に転置することができる。有機樹脂基板に転置された保護膜上に有機ＥＬ素子を形成することで、信頼性の高いフレキシブルな発光装置を作製できる。
【００３１】
また、別の例としては、ガスバリア性の高い保護膜をガラス基板上に高温で形成し、保護膜上に有機ＥＬ素子を形成した後、保護膜及び有機ＥＬ素子をガラス基板から剥離し、耐熱性やガスバリア性が低く、可撓性を有する有機樹脂基板に転置することができる。有機樹脂基板に保護膜及び有機ＥＬ素子を転置することで、信頼性の高いフレキシブルな発光装置を作製できる。
【００３２】
また、別の例としては、ガスバリア性の高い保護膜をガラス基板上に高温で形成し、保護膜をガラス基板から剥離し、有機ＥＬ素子が形成された可撓性基板に転置することができる。有機ＥＬ素子が形成された可撓性基板に保護膜を転置することで、信頼性の高いフレキシブルな発光装置を作製できる。
【００３３】
本発明の一態様は、このような剥離及び転置を用いた装置（又は該装置の一部である積層体）の作製装置に関する。または、本発明の一態様は、このような剥離及び転置を用いた装置（又は該装置の一部である積層体）の作製方法に関する。
【００３４】
本明細書中において、ガスバリア性の高い層は、例えば、ガス透過量、酸素透過量、又は水蒸気透過量が１×１０−５［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、好ましくは１×１０−６［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、より好ましくは１×１０−７［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、さらに好ましくは１×１０−８［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下とする。
【００３５】
実施の形態１では、本発明の一態様の積層体の作製装置について説明する。実施の形態２では、本発明の一態様の積層体の作製装置で作製できる積層体、又は該積層体を含む装置の一例として、フレキシブルな発光パネルについて説明する。実施の形態３では、発光パネルを用いた発光装置の一例について説明する。実施の形態４では、発光パネルを用いた電子機器及び照明装置の一例について説明する。
【００３６】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の積層体の作製装置について図１〜図７を用いて説明する。さらに、該積層体の作製装置で形成できる積層体について図８を用いて説明する。
【００３７】
本発明の一態様の積層体の作製装置は、ロールシート状の第１の支持体を間欠的に巻き出すことができる第１の支持体供給ユニットと、巻き出された第１の支持体が供給され、静止した第１の支持体上に第１の接着層を形成することができる第１の接着層形成ユニットと、第１の接着層が形成された第１の支持体、及びシート状の部材が供給され、静止した第１の支持体上に、第１の接着層を用いて部材を貼り合わせることができる第１の貼り合わせユニットと、巻き出された第１の支持体の端部を保持することができる制御ユニットと、を有する。本発明の一態様の積層体の作製装置は、巻き出された第１の支持体に張力を加えることができる一対の張力付与装置を有する。本実施の形態では、一対の張力付与装置の一方を第１の支持体供給ユニットが有し、他方を制御ユニットが有する場合を示す。
【００３８】
なお、本明細書中において、第１の支持体が静止している、とは、第１の支持体供給ユニットが第１の支持体の巻き出しを休止している、ともいえる。
【００３９】
本発明の一態様の積層体の作製装置において、第１の支持体供給ユニットでは、第１の支持体を一定量巻き出した後、巻き出しを一時休止する。第１の接着層形成ユニットでは、第１の支持体が静止した状態（第１の支持体の巻き出しが休止されている状態ともいえる）で、第１の支持体上に第１の接着層を形成する工程が行われる。また、第１の貼り合わせユニットでは、第１の支持体が静止した状態で、第１の支持体及び部材を第１の接着層を用いて貼り合わせる工程が行われる。そして、各ユニットでの工程が完了後、第１の支持体供給ユニットでは、第１の支持体の巻き出しを再開する。そして、一定量巻き出した後、再度巻き出しを休止し、各ユニットでの工程が完了してから巻き出しを再開する。これを繰り返すことで、ロールシート状の第１の支持体に複数のシート状の部材を貼り合わせることができる。
【００４０】
第１の支持体として、有機樹脂や金属、合金、ガラス等を用いたロールシート状のフィルムを用いることができるため、第１の支持体のハンドリングが容易であり、量産性高く積層体を作製することができる。
【００４１】
第１の支持体が静止した状態で、積層体の作製に係る各工程を進めることができるため、作製の歩留まりを向上させることができる。特に、第１の支持体と部材との貼り合わせ工程においても、歩留まりの低下を抑制できる。
【００４２】
また、一対の張力付与装置によって第１の支持体に張力をかけ、第１の支持体を静止させた状態で、積層体の作製に係る各工程を行うことで、処理される第１の支持体の表面のたわみ等を抑制できるため、作製の歩留まりを向上させることができる。
【００４３】
また、すべての工程が完了した第１の支持体を分断することで、第１の支持体、第１の接着層、及び部材がこの順で積層された積層体を複数作製することができる。本発明の一態様では、量産性高く積層体を作製できる。
【００４４】
＜作製装置の構成例１＞
図１（Ａ）に、本発明の一態様の積層体の作製装置を示す。
【００４５】
図１（Ａ）に示す積層体の作製装置２０は、第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、第１の貼り合わせユニット１３０、及び制御ユニット１５０を有する。
【００４６】
第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、及び第１の貼り合わせユニット１３０は、不活性雰囲気にすることができるチャンバー１７０内に配置されていることが好ましい。これにより、積層体を構成する各層を貼り合わせる前に、不純物等が混入することを抑制できる。さらに、制御ユニット１５０も、チャンバー１７０内に配置されていてもよい。
【００４７】
積層体の作製装置２０は、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒを搬送する複数の搬送ローラ１１７を有する。第１の支持体２１０ｒの搬送機構に特に限定は無く、搬送ローラのほか、ベルトコンベアや搬送ロボットを用いてもよい。
【００４８】
第１の支持体供給ユニット１９０では、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒを間欠的に巻き出すことができる。例えば、巻き出しローラ等を用いて、第１の支持体２１０ｒを巻き出すことができる。
【００４９】
第１の支持体供給ユニット１９０は、巻き出された第１の支持体２１０ｒに張力を加えることができる一対の張力付与装置の一方を有する。例えば、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒを巻き出すことができるローラ（例えば、図２などに示す巻き出しローラ１７１）が、張力付与装置を有していてもよいし、張力付与装置を兼ねていてもよい。
【００５０】
第１の支持体供給ユニット１９０は、第１の支持体２１０ｒを保管するストック室を有していてもよい。
【００５１】
第１の接着層形成ユニット１１０では、第１の支持体２１０ｒ上に第１の接着層２１９を形成できる。
【００５２】
第１の貼り合わせユニット１３０では、第１の接着層２１９を用いて、第１の支持体とシート状の部材２１１を貼り合わせることができる。貼り合わせ工程は、減圧雰囲気で行われることが好ましいため、第１の貼り合わせユニット１３０は、減圧雰囲気にすることができるチャンバー１３１を有することが好ましい。
【００５３】
部材２１１は、ストック室１３９から供給される。貼り合わせる前の部材２１１に不純物が混入しないよう、ストック室１３９も、不活性雰囲気又は減圧雰囲気にすることができると好ましい。
【００５４】
制御ユニット１５０では、巻き出された第１の支持体２１０ｒの端部を保持することができる。制御ユニット１５０では、第１の支持体２１０ｒが巻き出される速度や、一回の巻き出しで巻き出す量、第１の支持体２１０ｒにかける張力等を制御することができる。
【００５５】
制御ユニット１５０は、巻き出された第１の支持体２１０ｒに張力を加えることができる一対の張力付与装置の他方を有する。例えば、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒの端部を保持することができる保持機構１５１が、張力付与装置を有していてもよいし、張力付与装置を兼ねていてもよい。
【００５６】
なお、図１（Ａ）では、保持機構１５１として第１の支持体２１０ｒの幅よりも狭い幅の保持機構を例示したが、本発明の一態様はこれに限られず、第１の支持体２１０ｒの幅以上の幅の保持機構を用いてもよい。図１（Ｂ）では、第１の支持体２１０ｒの幅よりも広い幅の保持機構１５２を用いる場合を示す。
【００５７】
積層体の作製装置２０は、分断ユニットを有する。制御ユニット１５０は、分断ユニットを兼ねている（制御ユニット１５０に、分断ユニットが含まれている、ともいえる）。固定機構１５７ａと固定機構１５７ｂの間で第１の支持体２１０ｒを分断することができる。
【００５８】
なお、図１（Ａ）では、固定機構１５７ａ、ｂとして、第１の支持体２１０ｒの幅よりも狭い幅の固定機構を例示したが、本発明の一態様はこれに限られず、第１の支持体２１０ｒの幅以上の幅の固定機構を用いてもよい。図１（Ｂ）では、第１の支持体２１０ｒの幅よりも広い幅の固定機構１５６ａ、ｂを用いる場合を示す。
【００５９】
なお、制御ユニット１５０が有する一対の張力付与装置の他方を、固定機構１５７ａが有していてもよいし、兼ねていてもよい。
【００６０】
積層体の作製装置２０を用いた積層体の作製工程について、図２〜図４を用いて説明する。
【００６１】
図２〜図４に示すように、チャンバー１７０は、ガス供給機構１７５と排気機構１７７を有する。ガス供給機構１７５から不活性ガスを供給することで、チャンバー１７０内を不活性雰囲気とすることができる。例えば、窒素や希ガス等を供給すればよい。
【００６２】
まず、第１の支持体供給ユニット１９０で、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒが、巻き出しローラ１７１によって巻き出される。巻き出された第１の支持体２１０ｒは、ガイドローラ１７３及び搬送ローラ１１７によって、各ユニットに送り出される。巻き出しローラ１７１は、第１の支持体２１０ｒを間欠的に巻き出すことができる。巻き出されている第１の支持体２１０ｒの端部は、制御ユニット１５０における保持機構１５１が保持している。
【００６３】
図２では、第１の支持体供給ユニット１９０において、第１の支持体２１０ｒの巻き出しを休止している状態の一例を示す。図３では、各ユニットにおける工程が行われている状態の一例を示す。図４では、第１の支持体供給ユニット１９０において、第１の支持体２１０ｒの巻き出しを行っている状態の一例を示す。
【００６４】
第１の支持体２１０ｒの巻き出しが停止している状態において、第１の接着層形成ユニット１１０では、ステージ１１３上の第１の支持体２１０ｒに第１の接着層２１９を形成する。
【００６５】
ステージ１１３は、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とする。ステージ１１３上に配置された第１の支持体２１０ｒを固定するための固定機構としては、吸引チャック、静電チャック、メカニカルチャック等のチャックが挙げられる。例えば、ポーラスチャックを用いてもよい。また、吸着テーブル、ヒーターテーブル、スピンナーテーブル等に第１の支持体２１０ｒを固定してもよい。
【００６６】
第１の接着層２１９の形成方法に特に限定は無く、例えば、液滴吐出法や、印刷法（スクリーン印刷法やオフセット印刷法など）、スピンコート法、スプレー塗布法などの塗布法、ディッピング法、ディスペンス法、ナノインプリント法等を適宜用いることができる。また、シート状に成形された接着シートを加圧しながら第１の支持体２１０ｒ上に貼り合わせてもよい。
【００６７】
接着層形成機構１１５に特に限定は無く、例えば、印刷装置、ディスペンス装置、塗布装置、インクジェット装置、スピンコーター、スプレー塗布装置、バーコーター、スリットコーター等を用いることができる。また、あらかじめシート状に成形された接着シートを供給する装置を用いてもよい。
【００６８】
第１の接着層２１９は、後の工程で貼り合わせるシート状の部材２１１が重なる領域一面に形成されていてもよいし、縞状などのパターン状に形成されていてもよい。
【００６９】
巻き出しが停止している状態において、第１の貼り合わせユニット１３０では、第１の接着層２１９を用いて、ステージ１３３上の第１の支持体２１０ｒにシート状の部材２１１を貼り合わせる。これにより、第１の支持体２１０ｒ、第１の接着層２１９、及び部材２１１を有する第１の積層体２２０を作製することができる。
【００７０】
第１の貼り合わせユニット１３０では、第１の支持体２１０ｒの巻き出しが休止した後、チャンバー１３１内を減圧雰囲気とする。その後、減圧雰囲気のストック室１３９からシート状の部材２１１が供給される。
【００７１】
チャンバー１３１内を減圧雰囲気とすることで、貼り合わせ時に、不純物や気泡等が、第１の支持体２１０ｒ、第１の接着層２１９、及び部材２１１の間に混入することを抑制できる。また、ストック室１３９内を減圧雰囲気とすることで、貼り合わせる前の部材２１１に不純物が混入することを抑制できる。
【００７２】
ステージ１３３は、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とする。ステージ１３３上に配置された第１の支持体２１０ｒを固定するための固定機構としては、ステージ１１３と同様の構成が挙げられる。
【００７３】
部材保持機構１３５は、供給されたシート状の部材２１１を保持する。例えば、各ステージと同様の構成で部材２１１を固定することができる。
【００７４】
部材保持機構１３５を用いて、部材２１１の貼り合わせる面全体を加圧しながら、部材２１１と第１の支持体２１０ｒを貼り合わせることで、部材２１１と第１の支持体２１０ｒの間に気泡が混入することを抑制できる。また、第１の接着層２１９の膜厚が不均一になることを抑制できる。また、部材２１１と第１の支持体２１０ｒは、一の端部から貼り合わせてもよい。
【００７５】
加圧時に、第１の接着層２１９が、未硬化状態、半硬化状態等の、流動性を有する状態であると、気泡の混入や膜厚のばらつきをより抑制できる。また、加圧時に、第１の接着層２１９は接着性（粘着性）を有していてもよいし、加圧後に接着性を発現させてもよい。
【００７６】
第１の接着層２１９の材料が部材２１１と第１の支持体２１０ｒの端部をはみ出してステージ１３３上等に付着しないことが好ましい。第１の接着層２１９のパターンや材料の量によって適宜制御すればよい。また、ステージ１３３上等に付着した第１の接着層２１９の材料をふきとる機構を第１の貼り合わせユニット１３０が有していてもよい。例えば、アセトン等の有機溶剤や、布等のワイパーを用いてもよい。
【００７７】
部材保持機構１３５がヒータ等の加熱機構を有していてもよい。第１の接着層２１９に熱硬化型の接着剤を用いた場合、該加熱機構によって、貼り合わせと同時に接着剤を硬化することができ、好ましい。
【００７８】
また、積層体の作製装置において、第１の積層体が供給され、第１の接着層を硬化させることができる第１の接着層硬化ユニットを有していてもよい。例えば、第１の貼り合わせユニット１３０と制御ユニット１５０の間に、第１の接着層硬化ユニットを有していてもよい。接着層硬化ユニットは、熱硬化型の接着剤を硬化させるための加熱機構（ヒータ等の熱源）や、光硬化型の接着剤を硬化させるための光照射機構（レーザ、ランプ等の光源）を有していればよい。
【００７９】
図２〜図４では、制御ユニット１５０に分断ユニットが含まれる場合を説明する。巻き出しが停止している状態において、分断ユニットでは、分断機構１５５を用いて第１の支持体２１０ｒを分断する。
【００８０】
分断ユニットは、固定機構１５７ａと固定機構１５７ｂの間で第１の支持体２１０ｒを分断することができる。
【００８１】
ステージ１５３は、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とする。ステージ１５３上に配置された第１の支持体２１０ｒを固定するための固定機構としては、ステージ１１３と同様の構成が挙げられる。
【００８２】
分断機構１５５としては、第１の支持体２１０ｒを分断できるものであれば特に限定はなく、カッター等の鋭利な刃物や、レーザ等を用いればよい。
【００８３】
固定機構１５７ａ、ｂは、第１の支持体２１０ｒを固定できれば特に限定は無く、例えば、クリップ等を用いてもよい。固定機構１５７ａ、ｂは、第１の支持体２１０ｒを送り出すことができる。例えば、固定機構１５７ａ、ｂは、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とすることが好ましい。
【００８４】
固定機構１５７ａは、第１の支持体２１０ｒに張力を加えることができる一対の張力付与装置の他方を有する。第１の支持体２１０ｒが分断された後、チャンバー１７０内の第１の支持体２１０ｒは固定機構１５７ａ及び巻き出しローラ１７１が有する一対の張力付与装置によって張力が与えられ、静止した状態を保つことができる。また、チャンバー１７０の外の第１の支持体２１０ｒは、ステージ１５３、固定機構１５７ｂ、及び保持機構１５１によって支持される。
【００８５】
固定機構１５７ａと巻き出しローラ１７１でチャンバー１７０内の第１の支持体２１０ｒに張力を与え続けられる場合、保持機構１５１は、張力付与装置を有していなくてもよい。
【００８６】
図３に示すように、第１の支持体２１０ｒが分断された後、ステージ１５３、固定機構１５７ｂ、及び保持機構１５１が移動し、チャンバー１７０の外の第１の支持体２１０ｒから離れる。これにより、第１の支持体２１０、第１の接着層２１９、及び部材２１１を有する第１の積層体２５０を、積層体の作製装置２０内から取り出すことができる。積層体の作製装置２０は、搬出機構や、搬出ユニットを有していてもよい。
【００８７】
次に、保持機構１５１が移動し、固定機構１５７ａが保持する第１の支持体２１０ｒの端部を挟持する。
【００８８】
そして、図４に示すように、固定機構１５７ａ、ステージ１１３、ステージ１３３、及びチャンバー１３１が移動し、第１の支持体２１０ｒから離れる。その後、第１の支持体２１０ｒが巻き出しが再開され、搬送ローラ１１７上を搬送される。第１の支持体２１０ｒが一定量巻き出された後は、巻き出しが停止する。そして、図２の状態に戻り、各ユニットにおいて、積層体の作製に係る各工程が行われる。
【００８９】
＜作製装置の変形例＞
図１（Ａ）、及び図２〜図４では、積層体の作製装置２０が、分断ユニットを有する例を示したが、本発明の一態様はこれに限られない。図５（Ａ）に示すように、制御ユニット１５０が巻き取りユニットを兼ねて（制御ユニット１５０に、巻き取りユニットが含まれて）いてもよい。
【００９０】
図５（Ａ）に示す制御ユニット１５０では、巻き出された第１の支持体２１０ｒに張力を加えることができる一対の張力付与装置の他方として、巻き取りローラ１７８を有する場合を示す。巻き取りローラ１７８は、巻き出された第１の支持体２１０ｒの端部を保持することができる。巻き取りローラ１７８は、ロールシート状の第１の積層体２２０ｒを巻き取ることができる。
【００９１】
図５（Ｂ）にロールシート状の第１の積層体２２０ｒを展開した状態を示す。第１の積層体２２０ｒは、第１の積層体２２０を複数有する。第１の積層体２２０は、第１の支持体２１０ｒ、第１の接着層２１９、及び部材２１１を有する。つまり、ロールシート状の第１の積層体２２０ｒは、第１の支持体２１０ｒ上に、第１の接着層２１９を用いて貼り合わされた部材２１１を複数有する。
【００９２】
第１の積層体２２０ｒは、複数の搬送ローラ１１７及びガイドローラ１７９を介して巻き取りローラ１７８に巻き取られる。
【００９３】
また、図５（Ａ）に示すように、第１の接着層形成ユニット１１０は、減圧雰囲気にすることができるチャンバー１１１を有していてもよい。例えば、第１の接着層２１９の材料として、シート状に成形された接着シートを用いる場合、第１の支持体２１０ｒ上に接着シートを貼り合わせる際に減圧雰囲気とすることで、気泡等の混入を抑制できる。また、加圧ローラ１１２等の加圧機構を用いることでも、気泡等の混入を抑制でき、好ましい。
【００９４】
＜作製装置の構成例２＞
図１（Ｂ）に、本発明の別の態様の積層体の作製装置を示す。なお、構成例１と同様の構成については、説明を省略する。
【００９５】
図１（Ｂ）に示す積層体の作製装置２１は、第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、第１の貼り合わせユニット１３０、起点形成ユニット１２０、分離ユニット１４０、第２の接着層形成ユニット１６０、第２の貼り合わせユニット１８０、及び制御ユニット１５０を有する。
【００９６】
第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、及び第１の貼り合わせユニット１３０は、不活性雰囲気にすることができるチャンバー１７０内に配置されていることが好ましい。さらに、起点形成ユニット１２０、分離ユニット１４０、第２の接着層形成ユニット１６０、第２の貼り合わせユニット１８０、及び制御ユニット１５０も、チャンバー１７０内に配置されていてもよい。
【００９７】
積層体の作製装置２１は、ロールシート状の第１の支持体２１０ｒを搬送する複数の搬送ローラ１１７を有する。
【００９８】
第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、第１の貼り合わせユニット１３０、及び制御ユニット１５０は、積層体の作製装置２０と同様であるため、説明を省略する。
【００９９】
起点形成ユニット１２０では、第１の貼り合わせユニット１３０から供給される第１の積層体２２０に剥離の起点を形成することができる。
【０１００】
分離ユニット１４０では、剥離の起点が形成された第１の積層体２２０を、表層２２２と残部２２１とに分離することができる。表層２２２はストック室１４９に収納される。
【０１０１】
第２の接着層形成ユニット１６０では、残部２２１上に第２の接着層２２９を形成することができる。
【０１０２】
第２の貼り合わせユニット１８０では、第２の接着層２２９を用いて、残部２２１と第２の支持体２３１ｒを貼り合わせることができる。貼り合わせ工程は、減圧雰囲気で行われることが好ましいため、第２の貼り合わせユニット１８０は、減圧雰囲気にすることができるチャンバー１８１を有することが好ましい。
【０１０３】
第２の支持体２３１ｒは、チャンバー１８１に配置されていてもよい。第２の支持体２３１ｒは、チャンバー１８１と接続するストック室１８９から供給されてもよい。貼り合わせる前の第２の支持体２３１ｒに不純物が混入しないよう、ストック室１８９も、不活性雰囲気又は減圧雰囲気にすることができると好ましい。
【０１０４】
積層体の作製装置２１を用いた積層体の作製工程について、図６及び図７（Ａ）を用いて説明する。なお、第１の支持体供給ユニット１９０、第１の接着層形成ユニット１１０、第１の貼り合わせユニット１３０における工程は、積層体の作製装置２０と同様であるため、説明を省略する。
【０１０５】
図６及び図７（Ａ）では、第１の支持体供給ユニット１９０において、第１の支持体２１０ｒの巻き出しを休止している期間における、起点形成ユニット１２０、分離ユニット１４０、第２の接着層形成ユニット１６０、第２の貼り合わせユニット１８０、及び制御ユニット１５０の一例を示す。
【０１０６】
図６に示すように、第１の支持体２１０ｒの巻き出しが停止している状態において、起点形成ユニット１２０では、ステージ１２３上の第１の積層体２２０に剥離の起点を形成する。
【０１０７】
起点形成機構としては、例えば、カッター等の鋭利な刃物や、レーザを用いることができる。
【０１０８】
ここでは、一例として、起点形成ユニット１２０がレーザ照射システムを有する場合について説明する。
【０１０９】
起点形成ユニット１２０が有するレーザ照射システムは、ステージ１２３、処理部５０５、表示装置５０７、カメラ５０９、レーザ装置５１１、位置合わせ機構（図示しない）、及び光源５１５を有する。
【０１１０】
表示装置５０７には、処理部５０５を介してカメラ５０９の観察結果が出力される。
【０１１１】
カメラ５０９には、例えば、カメラを含む光学顕微鏡等を用いることができる。カメラ５０９で検出された光は、処理部５０５で処理され、画像として表示装置５０７に表示される。
【０１１２】
レーザ装置５１１は、剥離の起点を形成するためのレーザ光を照射することができる装置である。
【０１１３】
処理部５０５は、表示装置５０７、カメラ５０９、レーザ装置５１１、位置合わせ機構、及び光源５１５と接続されている。本実施の形態のレーザ照射システムは、処理部５０５を有するため、カメラ５０９の観察結果等に応じて、自動で、位置合わせ機構やレーザ装置５１１、光源５１５を動作させる設定とすることができる。また、表示装置５０７に出力されるカメラ５０９の観察結果等に応じて、実施者が適宜、位置合わせ機構やレーザ装置５１１、光源５１５を動作させることもできる。
【０１１４】
ここでは、カメラ５０９によって、レーザ光照射位置５９３を直接検出する場合を例に挙げて説明するが、第１の積層体２２０におけるレーザ光照射位置５９３を、マーカ位置からの距離によって設定し、該マーカ位置を検出することで、レーザ光照射位置を決定してもよい。
【０１１５】
可動式のハーフミラー５１７の向きを変えることで、第１の積層体２２０に光源５１５からの光５３５、又はレーザ光５３１を照射することができる。
【０１１６】
はじめに、シャッター５２１ａを開き、位置合わせ機構を用いてステージ１２３を動かしながら、カメラ５０９によって光を検出する。光源５１５からの光５３５は、シャッター５２１ｃが開くと、ハーフミラー５１７及び集光レンズ５２３を介して第１の積層体２２０に照射される。第１の積層体２２０からの反射光５３３が集光レンズ５２３及びハーフミラー５１７を介してカメラ５０９に照射される。これによって、第１の積層体２２０におけるレーザ光照射位置５９３を特定する。このとき、シャッター５２１ｂは閉じている。
【０１１７】
続いて、シャッター５２１ａ、ｃを閉じ、ハーフミラー５１７の向きを変え、シャッター５２１ｂを開いて、レーザ装置５１１からレーザ光５３１を発振する。レーザ光５３１は、ハーフミラー５１７、集光レンズ５２３を介して、第１の積層体２２０におけるレーザ光照射位置５９３に照射される。これにより、剥離の起点を第１の積層体２２０に形成することができる。
【０１１８】
図６に示すように、第１の支持体２１０ｒの巻き出しが停止している状態において、分離ユニット１４０では、第１の積層体２２０を、表層２２２及び残部２２１に分離する。具体的には、剥離の起点を用いて、ステージ１４３上の第１の積層体２２０から表層２２２を剥離することで、表層２２２及び残部２２１に分離できる。
【０１１９】
例えば、吸着パッドなどの吸着部材１４７を用いて表層２２２を剥離すればよい。
【０１２０】
分離ユニット１４０は、剥離したい界面に差し込む鋭利な刃物１４５を有していてもよい。刃物を差し込むことで、剥離を円滑に開始できる。
【０１２１】
また、分離ユニット１４０は、剥離の進行部に液体を供給するノズルを有していてもよい。剥離の進行部に水等の液体を供給することで、剥離強度を低下させることができる。また、第１の積層体２２０に含まれる素子の静電破壊を抑制できる。
【０１２２】
図７（Ａ）に示すように、第１の支持体２１０ｒの巻き出しが停止している状態において、第２の接着層形成ユニット１６０では、ステージ１６３上の残部２２１に第２の接着層２２９を形成する。
【０１２３】
第２の接着層形成ユニット１６０は、第１の接着層形成ユニット１１０と同様の構成を適用できる。ここでは、接着層形成機構１６５として、接着層形成機構１１５と同様の構成を用いる例を示すが、第２の接着層形成ユニット１６０は、第１の接着層形成ユニット１１０とは異なる形成機構及び異なる形成方法を適用してもよい。
【０１２４】
巻き出しが停止している状態において、第２の貼り合わせユニット１８０では、第２の接着層２２９を用いて、ステージ１８３上の残部２２１に第２の支持体２３１ｒを貼り合わせる。これにより、残部２２１、第２の接着層２２９、及び第２の支持体２３１ｒを有する第２の積層体２２３を作製することができる。
【０１２５】
第２の貼り合わせユニット１８０では、第１の支持体２１０ｒの巻き出しを休止した後、チャンバー１８１内を減圧雰囲気とする。チャンバー１８１内を減圧雰囲気とすることで、貼り合わせ時に、不純物や気泡等が、残部２２１、第２の接着層２２９、及び第２の支持体２３１ｒの間に混入することを抑制できる。
【０１２６】
ステージ１８３は、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とする。ステージ１８３上に配置された第１の支持体２１０ｒを固定するための固定機構としては、ステージ１１３と同様の構成が挙げられる。
【０１２７】
ここでは、ロールシート状の第２の支持体２３１ｒを用いる例を示すが、第２の支持体はこれに限られない。例えば、シート状の第２の支持体を用いてもよい。
【０１２８】
巻き出しローラ１８５は、第２の支持体２３１ｒを間欠的に巻き出すことができる。巻き出されている第２の支持体２３１ｒの端部は、制御ユニット１５０における保持機構１５２が保持していてもよい。また、別の保持機構によって保持されていてもよい。
【０１２９】
巻き取りローラ１８８は、分離テープ２３３を間欠的に巻き取ることができる。
【０１３０】
保持機構１５２が第２の支持体２３１ｒの端部を保持している場合、第１の支持体２１０ｒと第２の支持体２３１ｒの巻き出しは同時に行うことができる。第１の支持体２１０ｒと第２の支持体２３１ｒの端部が異なる保持機構によって固定されている場合、第１の支持体２１０ｒと第２の支持体２３１ｒの巻き出しはそれぞれ独立に行うことができる。
【０１３１】
まず、ロールシート状の第２の支持体２３１ｒが、巻き出しローラ１８５によって巻き出される。巻き出された第２の支持体２３１ｒは、ガイドローラ１８４によって送り出される。そして、第２の支持体２３１ｒから分離テープ２３３（セパレートフィルムとも呼ばれる）を、巻き取りローラ１８８で引っ張り剥離する。
【０１３２】
第２の支持体２３１ｒの、第２の接着層２２９と貼り合わせる面が、貼り合わせる直前に露出することで、第２の支持体２３１ｒの巻き出し中にゴミやキズがつくことを抑制できる。
【０１３３】
第２の支持体２３１ｒから剥離した分離テープ２３３は、ガイドローラ１８７を介して、巻き取りローラ１８８に巻き取られる。分離テープ２３３が剥離された第２の支持体２３１ｒは、方向転換ローラ１８６により、第１の支持体２１０ｒの搬送方向とほぼ同一方向に送り出される。
【０１３４】
静電気が発生する恐れのある位置には、イオナイザ１９１を設け、イオナイザからエア又は窒素ガス等を吹き付け除電処理を行ってもよい。
【０１３５】
加圧ローラ１８２を用いて、第２の支持体２３１ｒの貼り合わせる面を加圧しながら、残部２２１と第２の支持体２３１ｒを貼り合わせることで、残部２２１と第２の支持体２３１ｒの間に気泡が混入することを抑制できる。また、第２の接着層２２９の膜厚が不均一になることを抑制できる。
【０１３６】
加圧ローラ１８２が、ヒータ等の加熱機構を有していてもよい。第２の接着層２２９に熱硬化型の接着剤を用いた場合、該加熱機構によって、貼り合わせと同時に接着剤を硬化することができ、好ましい。
【０１３７】
また、積層体の作製装置において、第２の積層体が供給され、第２の接着層を硬化させることができる第２の接着層硬化ユニットを有していてもよい。例えば、第２の貼り合わせユニット１８０と制御ユニット１５０の間に、第２の接着層硬化ユニットを有していてもよい。
【０１３８】
第１の支持体２１０ｒの巻き出しが停止している状態において、分断ユニットでは、分断機構１５５を用いて第１の支持体２１０ｒ及び第２の支持体２３１ｒを分断する。
【０１３９】
分断ユニットは、固定機構１５６ａと固定機構１５６ｂの間で第１の支持体２１０ｒを分断することができる。
【０１４０】
固定機構１５６ａ、ｂは、第１の支持体２１０ｒを固定できれば特に限定は無く、例えば、クリップ等を用いてもよい。固定機構１５６ａ、ｂは、前後、左右、又は上下の少なくともいずれかに移動可能とする。
【０１４１】
図１（Ｂ）及び図７（Ａ）では、積層体の作製装置２１が、分断ユニットを有する例を示したが、制御ユニット１５０が巻き取りユニットを兼ねて（制御ユニット１５０に、巻き取りユニットが含まれて）いてもよい。
【０１４２】
図７（Ｂ）に巻き取りユニットが巻き取ることができる、ロールシート状の第２の積層体２２３ｒを展開した状態を示す。第２の積層体２２３ｒは、第２の積層体２２３を複数有する。第２の積層体２２３は、残部２２１、第２の接着層２２９、及び第２の支持体２３１ｒを有する。つまり、ロールシート状の第２の積層体２２３ｒは、第１の支持体２１０ｒ上に、第１の接着層２１９を用いて貼り合わされた部材２１１の一部と、該部材２１１の一部上に第２の接着層２２９を用いて貼り合わされた第２の支持体２３１ｒと、を複数有する。
【０１４３】
＜積層体の構成例＞
上記本発明の一態様の作製装置を用いて作製できる積層体の構成の一例について図８を用いて説明する。
【０１４４】
図８（Ａ）に示す積層体は、一対のガスバリア性の高い層２００の間に素子層２０１を有する。素子層２０１の上下にガスバリア性の高い層２００を設けることで、素子層２０１に含まれる機能素子が水分等の不純物によって劣化することを抑制することができる。
【０１４５】
図８（Ｂ）に示す積層体は、図１（Ａ）の積層体の作製装置２０を用いて作製できる。例えば、まず、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、第１の接着層形成ユニット１１０で接着層２０９を形成する。次に、素子層２０１が形成されたシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０９を用いて、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００と貼り合わせる。これにより、図８（Ｂ）に示す積層体を作製できる。
【０１４６】
また、本発明の一態様の積層体の作製装置は、機能素子形成ユニットを有していてもよい。例えば、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、機能素子形成ユニットで、素子層２０１を形成する。次に、第１の接着層形成ユニット１１０で素子層２０１上に接着層２０９を形成する。そして、シート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０９を用いて、素子層２０１と貼り合わせる。これにより、図８（Ｂ）に示す積層体を作製できる。
【０１４７】
図８（Ｃ）に示す積層体は、図１（Ｂ）の積層体の作製装置２１を用いて作製できる。例えば、まず、耐熱性の高い作製基板上に剥離層（実施の形態２参照）を介して素子層２０１を作製する。これをシート状の部材２１１とする。そして、積層体の作製装置２１において、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、第１の接着層形成ユニット１１０で接着層２０９を形成する。次に、素子層２０１を含むシート状の部材２１１を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０９を用いて、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００と貼り合わせる。次に、起点形成ユニット１２０にて、シート状の部材２１１に剥離の起点を形成する。剥離の起点が形成されたシート状の部材２１１を、分離ユニット１４０にて、表層２２２と、残部（素子層２０１）に分離する。次に、第２の接着層形成ユニット１６０で素子層２０１上に接着層２０９を形成する。そして、シート状のガスバリア性の高い層２００を、第２の貼り合わせユニット１８０に供給し、接着層２０９を用いて、素子層２０１と貼り合わせる。これにより、図８（Ｃ）に示す積層体を作製できる。
【０１４８】
上記積層体の作製方法では、積層体を構成するガスバリア性の高い層２００とは異なる作製基板上で素子層２０１を形成することができる。したがって、素子層２０１の形成方法が、ガスバリア性の高い層２００の材料によって制限されないため、好ましい。例えば、耐熱性が低く、ガスバリア性の高い材料を用いることができる。
【０１４９】
図８（Ｄ）に示すように、ガスバリア性の高い層２００は積層構造であってもよく、接着層２０３を用いてガスバリア性の低い層２０４とガスバリア性の高い層２０２が貼り合わされた構造であってもよい。
【０１５０】
図８（Ｄ）に示す積層体は、図１（Ｂ）の積層体の作製装置２１を用いて作製できる。例えば、まず、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介してガスバリア性の高い層２０２及び素子層２０１をこの順で作製する。これをシート状の部材２１１とする。そして、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、第１の接着層形成ユニット１１０で接着層２０９を形成する。次に、ガスバリア性の高い層２０２及び素子層２０１を含むシート状の部材２１１を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０９を用いて、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００と貼り合わせる。次に、起点形成ユニット１２０にて、シート状の部材２１１に剥離の起点を形成する。剥離の起点が形成されたシート状の部材２１１を、分離ユニット１４０にて、表層２２２と、残部（ガスバリア性の高い層２０２及び素子層２０１）に分離する。そして、第２の接着層形成ユニット１６０でガスバリア性の高い層２０２上に接着層２０３を形成する。シート状のガスバリア性の低い層２０４を、第２の貼り合わせユニット１８０に供給し、接着層２０３を用いて、ガスバリア性の高い層２０２と貼り合わせる。これにより、図８（Ｄ）に示す積層体を作製できる。
【０１５１】
上記積層体の作製方法では、積層体を構成するガスバリア性の高い層２００や、ガスバリア性の低い層２０４とは異なる作製基板上で素子層２０１を形成することができる。したがって、素子層２０１の形成方法が、ガスバリア性の高い層２００や、ガスバリア性の低い層２０４の材料によって制限されないため、好ましい。例えば、耐熱性の高い作製基板上で、素子層２０１やガスバリア性の高い層２０２を形成することができる。
【０１５２】
図８（Ｅ）に示す積層体の作製方法としては、例えば、まず、ロールシート状のガスバリア性の高い層２００を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、機能素子形成ユニットで、素子層２０１を形成する。そして、第１の接着層形成ユニット１１０で素子層２０１上に接着層２０９を形成する。ガスバリア性の高い層２０２を含むシート状の部材２１１を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０９を用いて、素子層２０１と貼り合わせる。次に、起点形成ユニット１２０にて、シート状の部材２１１に剥離の起点を形成する。剥離の起点が形成されたシート状の部材２１１を、分離ユニット１４０にて、表層２２２と、残部（ガスバリア性の高い層２０２）に分離する。そして、第２の接着層形成ユニット１６０でガスバリア性の高い層２０２上に接着層２０３を形成する。シート状のガスバリア性の低い層２０４を、第２の貼り合わせユニット１８０に供給し、接着層２０３を用いて、ガスバリア性の高い層２０２と貼り合わせる。これにより、図８（Ｅ）に示す積層体を作製できる。
【０１５３】
また、本発明の一態様の積層体の作製装置は、各ユニットを複数有していてもよい。例えば、起点形成ユニットや分離ユニットを複数有していてもよい。
【０１５４】
図８（Ｆ）に示す積層体の作製方法としては、例えば、ロールシート状のガスバリア性の低い層２０４を、第１の支持体供給ユニット１９０から供給し、第１の接着層形成ユニット１１０で接着層２０３を形成する。ガスバリア性の高い層２０２を含むシート状の部材２１１を、第１の貼り合わせユニット１３０に供給し、接着層２０３を用いて、ロールシート状のガスバリア性の低い層２０４と貼り合わせる。次に、起点形成ユニット１２０にて、シート状の部材２１１に剥離の起点を形成する。剥離の起点が形成されたシート状の部材２１１を、分離ユニット１４０にて、表層２２２と、残部（ガスバリア性の高い層２０２）に分離する。そして、第２の接着層形成ユニット１６０でガスバリア性の高い層２０２上に接着層２０９を形成する。そして、ガスバリア性の高い層２０２及び素子層２０１を含むシート状の部材を、第２の貼り合わせユニット１８０に供給し、接着層２０９を用いて、ガスバリア性の高い層２０２と貼り合わせる。次に、第２の起点形成ユニットにて、シート状の部材に剥離の起点を形成する。剥離の起点が形成されたシート状の部材を、第２の分離ユニットにて、表層と、残部（ガスバリア性の高い層２０２及び素子層２０１）に分離する。そして、第３の接着層形成ユニットでガスバリア性の高い層２０２上に接着層２０３を形成する。シート状のガスバリア性の低い層２０４を、第３の貼り合わせユニットに供給し、接着層２０３を用いて、ガスバリア性の高い層２０２と貼り合わせる。これにより、図８（Ｆ）に示す積層体を作製できる。
【０１５５】
以上に示したように、本発明の一態様の積層体の作製装置を用いて、素子層が一対のバリア性の高い層に挟持された信頼性の高い積層体（又は装置）を作製することができる。なお、各層に可撓性を有する材料を用いることで、可撓性を有する積層体（又はフレキシブルデバイス）を作製することができる。
【０１５６】
本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせることができる。
【０１５７】
（実施の形態２）
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できるフレキシブルな発光パネルについて、図９〜図１２を用いて説明する。
【０１５８】
本実施の形態の発光パネルは、発光素子として有機ＥＬ素子を有する。一対のバリア層の間に該有機ＥＬ素子を有するため、本実施の形態の発光パネルは、信頼性が高い。なお、本明細書中において、バリア性の高い層をバリア層とも記す。
【０１５９】
一対のバリア層の少なくとも一方は有機ＥＬ素子の発光を透過する。本実施の形態の発光パネルには、トップエミッション構造の有機ＥＬ素子を用いてもよいし、ボトムエミッション構造の有機ＥＬ素子を用いてもよいし、デュアルエミッション構造の有機ＥＬ素子を用いてもよい。
【０１６０】
本発明の一態様では、パッシブマトリクス方式の発光パネルと、トランジスタによって発光素子の駆動が制御されたアクティブマトリクス方式の発光パネルと、のいずれも作製することができる。
【０１６１】
＜発光パネルの構成例１＞
図９（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図９（Ｂ）に、図９（Ａ）の一点鎖線Ｘ１−Ｙ１間及びＸ２−Ｙ２間の断面図を示す。
【０１６２】
図９（Ｂ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ｂ、導電層４０６、導電層４１６、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０（第１の電極４０１、ＥＬ層４０２、及び第２の電極４０３）、接着層４０７、及びバリア層４９０ａを有する。
【０１６３】
構成例１では、バリア層４９０ａは、バリア性の高い可撓性基板からなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０１６４】
有機ＥＬ素子４５０は、バリア層４９０ａ上の第１の電極４０１と、第１の電極４０１上のＥＬ層４０２と、ＥＬ層４０２上の第２の電極４０３とを有する。バリア層４９０ａ、接着層４０７、及びバリア層４９０ｂによって、有機ＥＬ素子４５０は封止されている。
【０１６５】
第１の電極４０１、導電層４０６、導電層４１６の端部は絶縁層４０５で覆われている。導電層４０６は第１の電極４０１と電気的に接続し、導電層４１６は第２の電極４０３と電気的に接続する。第１の電極４０１を介して絶縁層４０５に覆われた導電層４０６は、補助配線として機能し、第１の電極４０１と電気的に接続する。有機ＥＬ素子の電極と電気的に接続する補助配線を有すると、電極の抵抗に起因する電圧降下を抑制できるため、好ましい。導電層４０６は、第１の電極４０１上に設けられていてもよい。また、絶縁層４０５上等に、第２の電極４０３と電気的に接続する補助配線を有していてもよい。
【０１６６】
発光パネルの光取出し効率を高めるため、発光素子からの光を取り出す側に光取り出し構造を有していてもよい。
【０１６７】
以下に、構成例１の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例１の発光パネルは、図１（Ｂ）に示す積層体の作製装置２１を用いて作製できる。
【０１６８】
例えば、まず、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を形成する。次に、剥離層上に被剥離層として、バリア性の高い絶縁層４２４ｂから有機ＥＬ素子４５０までを形成する。これが、シート状の部材２１１に相当する。
【０１６９】
第１の支持体供給ユニット１９０では、ロールシート状のバリア層４９０ａを供給する。第１の接着層形成ユニット１１０では、ロールシート状のバリア層４９０ａ上に接着層４０７を形成する。第１の貼り合わせユニット１３０では、接着層４０７を用いてシート状の部材２１１とバリア層４９０ａを貼り合わせる。起点形成ユニット１２０では、部材２１１に剥離の起点を形成する。分離ユニット１４０では、剥離の起点を形成した部材２１１を表層（作製基板及び剥離層）と残部（バリア性の高い絶縁層４２４ｂから有機ＥＬ素子４５０まで）に分離する。第２の接着層形成ユニット１６０では、バリア性の高い絶縁層４２４ｂ上に接着層４２２ｂを形成する。第２の貼り合わせユニット１８０では、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。
【０１７０】
または、有機ＥＬ素子の形成ユニットを有する積層体の作製装置を用いてもよい。例えば、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して形成したバリア性の高い絶縁層４２４ｂを、ロールシート状の可撓性基板４２０ｂ上に接着層４２２ｂを用いて転置する。次に、バリア性の高い絶縁層４２４ｂ上に、有機ＥＬ素子４５０を形成し、その後、接着層４０７を用いて有機ＥＬ素子４５０とロールシート状のバリア層４９０ａとを貼り合わせる。
【０１７１】
＜発光パネルの構成例２＞
図９（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図９（Ｃ）に、図９（Ａ）の一点鎖線Ｘ１−Ｙ１間及びＸ２−Ｙ２間の断面図を示す。なお、構成例１と同様の構成については説明を省略する。
【０１７２】
図９（Ｃ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ａ、導電層４０６、導電層４１６、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０、接着層４０７、及びバリア層４９０ｂを有する。
【０１７３】
構成例２では、バリア層４９０ａは、バリア性の高い可撓性基板からなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０１７４】
以下に、構成例２の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例２の発光パネルは、有機ＥＬ素子の形成ユニットを有する積層体の作製装置を用いて作製できる。
【０１７５】
例えば、まず、ロールシート状のバリア層４９０ａ上に有機ＥＬ素子４５０を直接形成する。次に、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して形成したバリア性の高い絶縁層４２４ｂを、有機ＥＬ素子４５０上に接着層４０７を用いて転置する。その後、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。
【０１７６】
＜発光パネルの構成例３＞
図９（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図９（Ｄ）に、図９（Ａ）の一点鎖線Ｘ１−Ｙ１間及びＸ２−Ｙ２間の断面図を示す。なお、構成例１、２と同様の構成については説明を省略する。
【０１７７】
図９（Ｄ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ｂ、導電層４０６、導電層４１６、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０、接着層４０７、及びバリア層４９０ａを有する。
【０１７８】
構成例３では、バリア層４９０ａは、可撓性基板４２０ａ、接着層４２２ａ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ａからなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０１７９】
以下に、構成例３の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例３の発光パネルは、２つの起点形成ユニット、２つの分離ユニット、３つの接着層形成ユニット、３つの貼り合わせユニットを有する積層体の作製装置を用いて作製できる。
【０１８０】
例えば、まず、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介してバリア性の高い絶縁層４２４ａを形成する。また、別の耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して、被剥離層として、バリア性の高い絶縁層４２４ｂから有機ＥＬ素子４５０までを形成する。そして、ロールシート状の可撓性基板４２０ａ上に接着層４２２ａを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ａを転置し、その後、バリア性の高い絶縁層４２４ａ上に接着層４０７を用いて該被剥離層を転置する。その後、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。
【０１８１】
さらに、積層体の作製装置が有機ＥＬ素子の形成ユニットを有していてもよい。例えば、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して形成したバリア性の高い絶縁層４２４ｂを、ロールシート状の可撓性基板４２０ｂ上に接着層４２２ｂを用いて転置する。次に、バリア性の高い絶縁層４２４ｂ上に、有機ＥＬ素子４５０を形成する。さらに、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して形成したバリア性の高い絶縁層４２４ａを、有機ＥＬ素子４５０上に接着層４０７を用いて転置する。その後、接着層４２２ａを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ａとロールシート状の可撓性基板４２０ａとを貼り合わせる。
【０１８２】
＜発光パネルの構成例４＞
図１０（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図１０（Ｂ）に、図１０（Ａ）の一点鎖線Ｘ３−Ｙ３間の断面図を示す。図１０（Ｂ）に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたボトムエミッション型の発光パネルである。
【０１８３】
図１０（Ａ）に示す発光パネルは、発光部４９１、駆動回路部４９３、ＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）４９５を有する。発光部４９１及び駆動回路部４９３に含まれる有機ＥＬ素子やトランジスタはバリア層４９０ａ、バリア層４９０ｂ、及び接着層４０７によって封止されている。
【０１８４】
図１０（Ｂ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ｂ、トランジスタ４５４、トランジスタ４５５、絶縁層４６３、着色層４３２、絶縁層４６５、導電層４３５、絶縁層４６７、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０（第１の電極４０１、ＥＬ層４０２、及び第２の電極４０３）、接着層４０７、バリア層４９０ａ、及び導電層４５７を有する。バリア層４９０ａ、絶縁層４６３、絶縁層４６５、絶縁層４６７、及び第１の電極４０１は可視光を透過する。
【０１８５】
構成例４では、バリア層４９０ａは、バリア性の高い可撓性基板からなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０１８６】
図１０（Ｂ）に示す発光パネルの発光部４９１では、バリア層４９０ｂ上にスイッチング用のトランジスタ４５４、電流制御用のトランジスタ４５５、及び有機ＥＬ素子４５０を有する。有機ＥＬ素子４５０は、絶縁層４６７上の第１の電極４０１と、第１の電極４０１上のＥＬ層４０２と、ＥＬ層４０２上の第２の電極４０３とを有する。第１の電極４０１は、導電層４３５を介してトランジスタ４５５のソース電極又はドレイン電極と電気的に接続している。第１の電極４０１の端部は絶縁層４０５で覆われている。第２の電極４０３は可視光を反射することが好ましい。また、発光パネルは、絶縁層４６３上に有機ＥＬ素子４５０と重なる着色層４３２を有する。
【０１８７】
駆動回路部４９３は、トランジスタを複数有する。図１０（Ｂ）では、駆動回路部４９３が有するトランジスタのうち、１つのトランジスタを示している。
【０１８８】
導電層４５７は、駆動回路部４９３に外部からの信号（ビデオ信号、クロック信号、スタート信号、又はリセット信号等）や電位を伝達する外部入力端子と電気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてＦＰＣ４９５を設ける例を示している。
【０１８９】
工程数の増加を防ぐため、導電層４５７は、発光部や駆動回路部に用いる電極や配線と同一の材料、同一の工程で作製することが好ましい。ここでは、導電層４５７を、トランジスタのソース電極及びドレイン電極と同一の材料、同一の工程で作製した例を示す。
【０１９０】
絶縁層４６３は、トランジスタを構成する半導体への不純物の拡散を抑制する効果を奏する。また、絶縁層４６５及び絶縁層４６７は、トランジスタや配線起因の表面凹凸を低減するために平坦化機能を有する絶縁層を選択することが好適である。
【０１９１】
以下に、構成例４の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例４の発光パネルは、図１（Ｂ）に示す積層体の作製装置２１を用いて作製できる。
【０１９２】
例えば、まず、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を形成する。次に、剥離層上に被剥離層として、バリア性の高い絶縁層４２４ｂから有機ＥＬ素子４５０までを形成する。これが、シート状の部材２１１に相当する。このとき、図１０（Ｃ）に示すように、ＥＬ層４０２と同一工程で、導電層４５７と重なるＥＬ層４９８を形成することが好ましい。また、第２の電極４０３と同一工程で、導電層４５７と重なる導電層４９９を形成することが好ましい。
【０１９３】
第１の支持体供給ユニット１９０では、ロールシート状のバリア層４９０ａを供給する。第１の接着層形成ユニット１１０では、ロールシート状のバリア層４９０ａ上に接着層４０７を形成する。第１の貼り合わせユニット１３０では、接着層４０７を用いてシート状の部材２１１とバリア層４９０ａを貼り合わせる。起点形成ユニット１２０では、部材２１１に剥離の起点を形成する。分離ユニット１４０では、剥離の起点を形成した部材２１１を表層（作製基板及び剥離層）と残部（バリア性の高い絶縁層４２４ｂから有機ＥＬ素子４５０まで）に分離する。第２の接着層形成ユニット１６０では、バリア性の高い絶縁層４２４ｂ上に接着層４２２ｂを形成する。第２の貼り合わせユニット１８０では、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。
【０１９４】
次に、導電層４５７を露出させる。例えば、導電層４５７と重なる領域のバリア層４９０ａに、針やカッターなどの刃物で傷をつけてもよいし、レーザ光を照射してもよい。そして、粘着性のローラを押し付け、ローラを回転させながら相対的に移動させる。または、粘着性のテープを貼り付け、剥してもよい。ＥＬ層４９８と導電層４９９の密着性や、ＥＬ層４９８を構成する層どうしの密着性が低いため、ＥＬ層４９８と導電層４９９の界面、又はＥＬ層４９８中で分離が生じる。これにより、導電層４５７と重なる層を選択的に除去し、導電層４５７を露出することができる。なお、導電層４５７上にＥＬ層４９８等が残存した場合は、有機溶剤等により除去すればよい。
【０１９５】
なお、導電層４５７が露出し、後の工程でＦＰＣ４９５と電気的に接続することができれば、導電層４５７と重なる層を除去する方法は問わない。必要が無ければＥＬ層４９８や導電層４９９を導電層４５７に重ねて形成しなくてもよい。例えば、ＥＬ層４９８中で分離が生じる場合は導電層４９９を設けなくてもよい。また、用いる材料によっては、ＥＬ層４９８と接着層４０７が接することで、２層の材料が混合する、層の界面が不明確になる等の不具合が生じる場合がある。このようなときには、発光パネルの信頼性の低下を抑制するため、ＥＬ層４９８と接着層４０７の間に導電層４９９を設けることが好ましい。
【０１９６】
その後、露出した導電層４５７に接続体４９７を介してＦＰＣ４９５を電気的に接続させればよい。
【０１９７】
＜発光パネルの構成例５＞
図１１（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図１１（Ｂ）に、図１１（Ａ）の一点鎖線Ｘ４−Ｙ４間の断面図を示す。図１１（Ｂ）に示す発光パネルは塗り分け方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。なお、構成例４と同様の構成については説明を省略する。
【０１９８】
図１１（Ａ）に示す発光パネルは、発光部４９１、駆動回路部４９３、ＦＰＣ４９５を有する。発光部４９１及び駆動回路部４９３に含まれる有機ＥＬ素子やトランジスタはバリア層４９０ａ、バリア層４９０ｂ、及び接着層４０７によって封止されている。
【０１９９】
図１１（Ｂ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ａ、下地膜４２３、トランジスタ４５５、絶縁層４６３、絶縁層４６５、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０、接着層４０７、バリア層４９０ｂ、及び導電層４５７を有する。バリア層４９０ｂ、接着層４０７、及び第２の電極４０３は可視光を透過する。
【０２００】
構成例５では、バリア層４９０ａは、バリア性の高い可撓性基板からなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０２０１】
図１１（Ｂ）に示す発光パネルの発光部４９１では、バリア層４９０ａ上にトランジスタ４５５及び有機ＥＬ素子４５０が設けられている。有機ＥＬ素子４５０は、絶縁層４６５上の第１の電極４０１と、第１の電極４０１上のＥＬ層４０２と、ＥＬ層４０２上の第２の電極４０３とを有する。第１の電極４０１は、トランジスタ４５５のソース電極又はドレイン電極と電気的に接続している。第１の電極４０１は可視光を反射することが好ましい。第１の電極４０１の端部は絶縁層４０５で覆われている。
【０２０２】
駆動回路部４９３は、トランジスタを複数有する。図１１（Ｂ）では、駆動回路部４９３が有するトランジスタのうち、１つのトランジスタを示している。
【０２０３】
導電層４５７は、駆動回路部４９３に外部からの信号や電位を伝達する外部入力端子と電気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてＦＰＣ４９５を設ける例を示している。バリア層４９０ｂ上の接続体４９７は、バリア層４９０ｂ、接着層４０７、絶縁層４６５、及び絶縁層４６３に設けられた開口を介して導電層４５７と接続している。また、接続体４９７はＦＰＣ４９５に接続している。接続体４９７を介してＦＰＣ４９５と導電層４５７は電気的に接続する。
【０２０４】
以下に、構成例５の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例５の発光パネルは、有機ＥＬ素子の形成ユニットを有する積層体の作製装置を用いて作製できる。
【０２０５】
例えば、まず、ロールシート状のバリア層４９０ａ上に、複数のトランジスタ及び有機ＥＬ素子４５０を直接形成する。下地膜４２３は必要でなければ設けなくてもよい。次に、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して形成したバリア性の高い絶縁層４２４ｂを、有機ＥＬ素子４５０上に接着層４０７を用いて転置する。その後、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。導電層４５７とＦＰＣ４９５の接続方法に関しては、構成例４と同様である。
【０２０６】
高温をかけて、有機ＥＬ素子４５０上に、バリア性の高い絶縁層４２４ｂを直接形成すると、有機ＥＬ素子４５０が熱によるダメージを受け、発光装置の信頼性が低下する場合がある。上記のように、作製基板上で作製したバリア性の高い絶縁層４２４ｂを、接着層４２２ｂを用いて貼り合わせることで、有機ＥＬ素子４５０の耐熱性によらず、バリア性の高い絶縁層４２４ｂを形成できる。これにより、一対のバリア層で有機ＥＬ素子４５０が封止された信頼性の高い発光装置を歩留まりよく作製できる。
【０２０７】
＜発光パネルの構成例６＞
図１２（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図１２（Ｂ）に、図１２（Ａ）の一点鎖線Ｘ５−Ｙ５間の断面図を示す。図１２（Ｂ）に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。なお、構成例４、５と同様の構成については説明を省略する。
【０２０８】
図１２（Ａ）に示す発光パネルは、発光部４９１、駆動回路部４９３、ＦＰＣ４９５を有する。発光部４９１及び駆動回路部４９３に含まれる有機ＥＬ素子やトランジスタはバリア層４９０ａ、バリア層４９０ｂ、接着層４０４、及び接着層４０７によって封止されている。
【０２０９】
構成例６の発光パネルでは、一対の基板と有機ＥＬ素子との間に２種類の接合層を用いる。具体的には、接合層を、該接合層よりもガスバリア性の高い接合層で囲う。外側の接合層に、内側の接合層よりガスバリア性の高い材料を用いることで、内側の接合層に、硬化時の体積の収縮が小さい、透光性（特に可視光の透過性）が高い、もしくは屈折率が高い等の性質をもつガスバリア性の低い材料等を用いても、外部から水分や酸素が発光パネルに侵入することを抑制できる。したがって、発光部のシュリンクが抑制された、信頼性の高い発光パネルを実現することができる。
【０２１０】
図１２（Ｂ）に示す発光パネルは、バリア層４９０ａ、下地膜４２３、トランジスタ４５５、絶縁層４６３、絶縁層４６５、絶縁層４０５、有機ＥＬ素子４５０、接着層４０７、接着層４０４、オーバーコート４５３、遮光層４３１、着色層４３２、バリア層４９０ｂ、及び導電層４５７を有する。バリア層４９０ｂ、接着層４０７、及び第２の電極４０３は可視光を透過する。
【０２１１】
構成例６では、バリア層４９０ａは、バリア性の高い可撓性基板からなり、バリア層４９０ｂは、可撓性基板４２０ｂ、接着層４２２ｂ、及びバリア性の高い絶縁層４２４ｂからなる例を示す。
【０２１２】
図１２（Ｂ）に示す発光パネルの発光部４９１では、バリア層４９０ａ上にトランジスタ４５５及び有機ＥＬ素子４５０を有する。また、発光パネルは、接着層４０７を介して有機ＥＬ素子４５０と重なる着色層４３２を有し、接着層４０７を介して絶縁層４０５と重なる遮光層４３１を有する。
【０２１３】
駆動回路部４９３は、トランジスタを複数有する。図１２（Ｂ）では、駆動回路部４９３が有するトランジスタのうち、１つのトランジスタを示している。
【０２１４】
導電層４５７は、駆動回路部４９３に外部からの信号や電位を伝達する外部入力端子と電気的に接続する。ここでは、外部入力端子としてＦＰＣ４９５を設ける例を示している。
【０２１５】
以下に、構成例６の発光パネルの作製方法の一例を示す。構成例６の発光パネルは、有機ＥＬ素子の形成ユニットを有する積層体の作製装置を用いて作製できる。
【０２１６】
例えば、まず、ロールシート状のバリア層４９０ａ上に、複数のトランジスタ及び有機ＥＬ素子４５０を直接形成する。また、耐熱性の高い作製基板上に剥離層を介して、被剥離層として、バリア性の高い絶縁層４２４ｂ、着色層４３２、遮光層４３１、オーバーコート４５３を形成する。そして、有機ＥＬ素子４５０上に接着層４０７及び接着層４０４を用いて該被剥離層を転置する。その後、接着層４２２ｂを用いてバリア性の高い絶縁層４２４ｂとロールシート状の可撓性基板４２０ｂとを貼り合わせる。導電層４５７とＦＰＣ４９５の接続方法に関しては、構成例４と同様である。
【０２１７】
＜発光パネルの変形例＞
図１３（Ａ）に発光パネルの平面図を示し、図１３（Ｂ）、（Ｃ）に、図１３（Ａ）の一点鎖線Ｘ６−Ｙ６間の断面図をそれぞれ示す。図１３（Ｂ）に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたボトムエミッション型の発光パネルであり、図１３（Ｃ）に示す発光パネルはカラーフィルタ方式を用いたトップエミッション型の発光パネルである。
【０２１８】
図１３（Ｂ）、（Ｃ）に示す発光パネルは、有機ＥＬ素子４５０上に絶縁層４０８を有する点と、接続体４９７及びＦＰＣ４９５と導電層４５７とが重なる領域を、接着層４０７及びバリア層４９０ａが覆っている点で、構成例４、６と異なる。なお、構成例４、６と同様の構成については説明を省略する。
【０２１９】
有機ＥＬ素子４５０上に絶縁層４０８を形成することで、発光パネルの作製行程中に、大気雰囲気に取り出して、接続体４９７及びＦＰＣ４９５を設けても、水分等の不純物が侵入することによる有機ＥＬ素子４５０の劣化を抑制できる。絶縁層４０８としては、バリア性の高い絶縁層を用いることが好ましい。
【０２２０】
＜発光パネルの材料＞
次に、発光パネルに用いることができる材料の一例を示す。また、発光パネルを作製する際に用いる作製基板及び剥離層の材料の一例を示す。
【０２２１】
［作製基板］
作製基板には、少なくとも作製行程中の処理温度に耐えうる耐熱性を有する基板を用いる。作製基板としては、例えばガラス基板、石英基板、サファイア基板、半導体基板、セラミック基板、金属基板、樹脂基板、プラスチック基板などを用いることができる。
【０２２２】
なお、量産性を向上させるため、作製基板として大型のガラス基板を用いることが好ましい。作製基板にガラス基板を用いる場合、作製基板と剥離層との間に、下地膜として、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の絶縁膜を形成すると、ガラス基板からの汚染を防止でき、好ましい。
【０２２３】
［剥離層］
剥離層は、タングステン、モリブデン、チタン、タンタル、ニオブ、ニッケル、コバルト、ジルコニウム、亜鉛、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、シリコンから選択された元素、該元素を含む合金材料、又は該元素を含む化合物材料等を用いて形成できる。シリコンを含む層の結晶構造は、非晶質、微結晶、多結晶のいずれでもよい。また、酸化アルミニウム、酸化ガリウム、酸化亜鉛、二酸化チタン、酸化インジウム、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物等の金属酸化物を用いてもよい。剥離層に、タングステン、チタン、モリブデンなどの高融点金属材料を用いると、被剥離層の形成工程の自由度が高まるため好ましい。
【０２２４】
剥離層は、例えばスパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、塗布法（スピンコーティング法、液滴吐出法、ディスペンス法等を含む）、印刷法等により形成できる。剥離層の厚さは例えば１０ｎｍ以上２００ｎｍ以下、好ましくは２０ｎｍ以上１００ｎｍ以下とする。
【０２２５】
剥離層が単層構造の場合、タングステン層、モリブデン層、又はタングステンとモリブデンの混合物を含む層を形成することが好ましい。また、タングステンの酸化物もしくは酸化窒化物を含む層、モリブデンの酸化物もしくは酸化窒化物を含む層、又はタングステンとモリブデンの混合物の酸化物もしくは酸化窒化物を含む層を形成してもよい。なお、タングステンとモリブデンの混合物とは、例えば、タングステンとモリブデンの合金に相当する。
【０２２６】
また、剥離層として、タングステンを含む層とタングステンの酸化物を含む層の積層構造を形成する場合、タングステンを含む層を形成し、その上層に酸化物で形成される絶縁膜を形成することで、タングステン層と絶縁膜との界面に、タングステンの酸化物を含む層が形成されることを活用してもよい。また、タングステンを含む層の表面を、熱酸化処理、酸素プラズマ処理、亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）プラズマ処理、オゾン水等の酸化力の強い溶液での処理等を行ってタングステンの酸化物を含む層を形成してもよい。またプラズマ処理や加熱処理は、酸素、窒素、亜酸化窒素単独、あるいは該ガスとその他のガスとの混合気体雰囲気下で行ってもよい。上記プラズマ処理や加熱処理により、剥離層の表面状態を変えることにより、剥離層と後に形成される絶縁層との密着性を制御することが可能である。
【０２２７】
［可撓性基板］
可撓性基板には、可撓性を有する材料を用いる。例えば、有機樹脂や可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いることができる。さらに、発光パネルにおける発光を取り出す側の基板には、可視光を透過する材料を用いる。可撓性基板が可視光を透過しなくてもよい場合、金属基板等も用いることができる。
【０２２８】
ガラスや金属、合金等を用いたバリア性の高い可撓性基板は、単体でバリア層として用いることができる。なお、バリア性の高い可撓性基板と他の層とを積層してバリア層として用いてもよい。有機樹脂等を用いたバリア性の低い可撓性基板は、バリア性の高い絶縁層等を積層することでバリア層として用いることができる。
【０２２９】
ガラスに比べて有機樹脂は比重が小さいため、可撓性基板として有機樹脂を用いると、ガラスを用いる場合に比べて発光パネルを軽量化でき、好ましい。
【０２３０】
可撓性及び透光性を有する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリアミド樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等が挙げられる。特に、熱膨張率の低い材料を用いることが好ましく、例えば、ポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＰＥＴ等を好適に用いることができる。また、繊維体に樹脂を含浸した基板（プリプレグともいう）や、無機フィラーを有機樹脂に混ぜて熱膨張率を下げた基板を使用することもできる。
【０２３１】
可撓性及び透光性を有する材料中に繊維体が含まれている場合、繊維体は有機化合物又は無機化合物の高強度繊維を用いる。高強度繊維とは、具体的には引張弾性率又はヤング率の高い繊維のことをいい、代表例としては、ポリビニルアルコール系繊維、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリエチレン系繊維、アラミド系繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維、ガラス繊維、又は炭素繊維が挙げられる。ガラス繊維としては、Ｅガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、Ｑガラス等を用いたガラス繊維が挙げられる。これらは、織布又は不織布の状態で用い、この繊維体に樹脂を含浸させ樹脂を硬化させた構造物を可撓性基板として用いてもよい。可撓性基板として、繊維体と樹脂からなる構造物を用いると、曲げや局所的押圧による破壊に対する信頼性が向上するため、好ましい。
【０２３２】
光の取り出し効率向上のためには、可撓性及び透光性を有する材料の屈折率は高い方が好ましい。例えば、有機樹脂に屈折率の高い無機フィラーを分散させることで、該有機樹脂のみからなる基板よりも屈折率の高い基板を実現できる。特に粒子径４０ｎｍ以下の小さな無機フィラーを使用すると、光学的な透明性を失わないため、好ましい。
【０２３３】
金属基板の厚さは、可撓性や曲げ性を得るために、１０μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは２０μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましい。金属基板は熱伝導性が高いため、発光素子の発光に伴う発熱を効果的に放熱することができる。
【０２３４】
金属基板を構成する材料としては、特に限定はないが、例えば、アルミニウム、銅、ニッケル、又は、アルミニウム合金もしくはステンレス等の金属の合金などを好適に用いることができる。
【０２３５】
可撓性基板としては、上記材料を用いた層が、装置の表面を傷などから保護するハードコート層（例えば、窒化シリコン層など）や、押圧を分散可能な材質の層（例えば、アラミド樹脂層など）等と積層されて構成されていてもよい。また、水分等による機能素子（特に有機ＥＬ素子等）の寿命の低下を抑制するために、後述の透水性の低い絶縁層を備えていてもよい。
【０２３６】
可撓性基板は、複数の層を積層して用いることもできる。特に、ガラス層を有する構成とすると、水や酸素に対するバリア性を向上させ、信頼性の高い発光パネルとすることができる。
【０２３７】
例えば、バリア層として、有機ＥＬ素子に近い側からガラス層、接着層、及び有機樹脂層を積層した可撓性基板を用いることができる。当該ガラス層の厚さとしては２０μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは２５μｍ以上１００μｍ以下とする。このような厚さのガラス層は、水や酸素に対する高いバリア性と可撓性を同時に実現できる。また、有機樹脂層の厚さとしては、１０μｍ以上２００μｍ以下、好ましくは２０μｍ以上５０μｍ以下とする。このような有機樹脂層をガラス層よりも外側に設けることにより、ガラス層の割れやクラックを抑制し、機械的強度を向上させることができる。このようなガラス材料と有機樹脂の複合材料を基板に適用することにより、極めて信頼性が高いフレキシブルな発光パネルとすることができる。
【０２３８】
［接着層］
接着層には、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、ＰＶＣ（ポリビニルクロライド）樹脂、ＰＶＢ（ポリビニルブチラル）樹脂、ＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
【０２３９】
また、上記樹脂に乾燥剤を含んでいてもよい。例えば、アルカリ土類金属の酸化物（酸化カルシウムや酸化バリウム等）のように、化学吸着によって水分を吸着する物質を用いることができる。または、ゼオライトやシリカゲル等のように、物理吸着によって水分を吸着する物質を用いてもよい。乾燥剤が含まれていると、水分などの不純物が機能素子に侵入することを抑制でき、発光パネルの信頼性が向上するため好ましい。
【０２４０】
また、上記樹脂に屈折率の高いフィラーや光散乱部材を混合することにより、発光素子からの光取り出し効率を向上させることができる。例えば、酸化チタン、酸化バリウム、ゼオライト、ジルコニウム等を用いることができる。
【０２４１】
［絶縁層］
絶縁層４０８、絶縁層４２４、及び絶縁層４６３には、それぞれバリア性の高い絶縁層を用いることが好ましい。
【０２４２】
バリア性の高い絶縁層としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の窒素と珪素を含む膜や、窒化アルミニウム膜等の窒素とアルミニウムを含む膜等が挙げられる。また、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を用いてもよい。
【０２４３】
例えば、バリア性の高い絶縁層の水蒸気透過量は、１×１０−５［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、好ましくは１×１０−６［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、より好ましくは１×１０−７［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下、さらに好ましくは１×１０−８［ｇ／ｍ２・ｄａｙ］以下とする。
【０２４４】
また、絶縁層４６５や絶縁層４６７としては、例えば、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂等の有機材料を用いることができる。また、低誘電率材料（ｌｏｗ−ｋ材料）等を用いることができる。また、絶縁層を複数積層させることで、絶縁層４６５や絶縁層４６７を形成してもよい。
【０２４５】
絶縁層４０５としては、有機絶縁材料又は無機絶縁材料を用いて形成する。樹脂としては、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、アクリル樹脂、シロキサン樹脂、エポキシ樹脂、又はフェノール樹脂等を用いることができる。特に感光性の樹脂材料を用い、絶縁層４０５の側壁が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
【０２４６】
［トランジスタ］
本発明の一態様の発光パネルに用いるトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート型又はボトムゲート型のトランジスタのいずれのトランジスタ構造としてもよい。また、トランジスタに用いる材料についても特に限定されない。例えば、シリコンやゲルマニウム、酸化物半導体をチャネル形成領域に用いたトランジスタを適用することができる。半導体の結晶性については特に限定されず、非晶質半導体、又は結晶性を有する半導体（微結晶半導体、多結晶半導体、又は一部に結晶領域を有する半導体）のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化が抑制されるため好ましい。シリコンとしては、非晶質シリコン、単結晶シリコン、多結晶シリコン等を用いることができ、酸化物半導体としては、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系金属酸化物等を用いることができる。
【０２４７】
トランジスタの特性安定化等のため、下地膜を設けることが好ましい。下地膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜などの無機絶縁膜を用い、単層で又は積層して作製することができる。下地膜はスパッタリング法、プラズマＣＶＤ法、塗布法、印刷法等を用いて形成できる。なお、下地膜は、必要で無ければ設けなくてもよい。また、絶縁層４２４は、トランジスタの下地膜を兼ねることができる。
【０２４８】
［有機ＥＬ素子］
本発明の一態様の発光パネルに用いる有機ＥＬ素子の構造は特に限定されない。
【０２４９】
一対の電極間に有機ＥＬ素子の閾値電圧より高い電圧を印加すると、ＥＬ層４０２に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入された電子と正孔はＥＬ層４０２において再結合し、ＥＬ層４０２に含まれる発光物質が発光する。
【０２５０】
有機ＥＬ素子において、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
【０２５１】
可視光を透過する導電膜は、例えば、酸化インジウム、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などを用いて形成することができる。また、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、もしくはチタン等の金属材料、これら金属材料を含む合金、又はこれら金属材料の窒化物（例えば、窒化チタン）等も、透光性を有する程度に薄く形成することで用いることができる。また、上記材料の積層膜を導電膜として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とＩＴＯの積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。また、グラフェン等を用いてもよい。
【０２５２】
可視光を反射する導電膜は、例えば、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、もしくはパラジウム等の金属材料、又はこれら金属材料を含む合金を用いることができる。また、上記金属材料や合金に、ランタン、ネオジム、又はゲルマニウム等が添加されていてもよい。また、アルミニウムとチタンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニウムとネオジムの合金等のアルミニウムを含む合金（アルミニウム合金）や、銀と銅の合金、銀とパラジウムと銅の合金、銀とマグネシウムの合金等の銀を含む合金を用いて形成することができる。銀と銅を含む合金は、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜又は金属酸化物膜を積層することで、アルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。該金属膜、金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。また、上記可視光を透過する導電膜と金属材料からなる膜とを積層してもよい。例えば、銀とＩＴＯの積層膜、銀とマグネシウムの合金とＩＴＯの積層膜などを用いることができる。
【０２５３】
電極は、それぞれ、蒸着法やスパッタリング法を用いて形成すればよい。そのほか、インクジェット法などの吐出法、スクリーン印刷法などの印刷法、又はメッキ法を用いて形成することができる。
【０２５４】
ＥＬ層４０２は少なくとも発光層を有する。ＥＬ層４０２は、発光層以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、又はバイポーラ性の物質（電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質）等を含む層をさらに有していてもよい。
【０２５５】
ＥＬ層４０２には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。ＥＬ層４０２を構成する層は、それぞれ、蒸着法（真空蒸着法を含む）、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
【０２５６】
［着色層、遮光層、及びオーバーコート］
着色層は特定の波長帯域の光を透過する有色層である。例えば、赤色の波長帯域の光を透過する赤色（Ｒ）のカラーフィルタ、緑色の波長帯域の光を透過する緑色（Ｇ）のカラーフィルタ、青色の波長帯域の光を透過する青色（Ｂ）のカラーフィルタなどを用いることができる。各着色層は、様々な材料を用いて、印刷法、インクジェット法、フォトリソグラフィ法を用いたエッチング方法などでそれぞれ所望の位置に形成する。
【０２５７】
遮光層は、隣接する着色層の間に設けられている。遮光層は隣接する有機ＥＬ素子からの光を遮光し、隣接する有機ＥＬ素子間における混色を抑制する。ここで、着色層の端部を、遮光層と重なるように設けることにより、光漏れを抑制することができる。遮光層としては、有機ＥＬ素子からの発光を遮光する材料を用いることができ、例えば、金属材料や顔料や染料を含む樹脂材料を用いてブラックマトリクスを形成すればよい。なお、遮光層は、駆動回路部などの発光部以外の領域に設けると、導波光などによる意図しない光漏れを抑制できるため好ましい。
【０２５８】
また、着色層及び遮光層を覆うオーバーコートを設けてもよい。オーバーコートを設けることで、着色層に含有された不純物等の有機ＥＬ素子への拡散を防止することができる。オーバーコートは、有機ＥＬ素子からの発光を透過する材料から構成され、例えば窒化シリコン膜、酸化シリコン膜等の無機絶縁膜や、アクリル膜、ポリイミド膜等の有機絶縁膜を用いることができ、有機絶縁膜と無機絶縁膜との積層構造としてもよい。
【０２５９】
また、接着層４０７の材料を着色層４３２及び遮光層４３１上に塗布する場合、オーバーコートの材料として接着層４０７の材料に対してぬれ性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、オーバーコート４５３として、ＩＴＯ膜などの酸化物導電膜や、透光性を有する程度に薄いＡｇ膜等の金属膜を用いることが好ましい。
【０２６０】
［導電層］
トランジスタの電極や配線、又は有機ＥＬ素子の補助電極等として機能する導電層は、例えば、モリブデン、チタン、クロム、タンタル、タングステン、アルミニウム、銅、ネオジム、スカンジウム等の金属材料又はこれらの元素を含む合金材料を用いて、単層で又は積層して形成することができる。また、導電層は、導電性の金属酸化物を用いて形成してもよい。導電性の金属酸化物としては酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３等）、酸化スズ（ＳｎＯ２等）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ＩＴＯ、インジウム亜鉛酸化物（Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ等）又はこれらの金属酸化物材料に酸化シリコンを含ませたものを用いることができる。
【０２６１】
また、補助配線の膜厚は、０．１μｍ以上３μｍ以下とすることができ、好ましくは、０．１μｍ以上０．５μｍ以下である。
【０２６２】
［光取り出し構造］
光取り出し構造としては、半球レンズ、マイクロレンズアレイ、凹凸構造が施されたフィルム、光拡散フィルム等を用いることができる。例えば、基板上に上記レンズやフィルムを、該基板又は該レンズもしくはフィルムと同程度の屈折率を有する接着剤等を用いて接着することで、光取り出し構造を形成することができる。
【０２６３】
［接続体］
接続体４９７としては、熱硬化性の樹脂に金属粒子を混ぜ合わせたペースト状又はシート状の、熱圧着によって異方性の導電性を示す材料を用いることができる。金属粒子としては、例えばニッケル粒子を金で被覆したものなど、２種類以上の金属が層状となった粒子を用いることが好ましい。
【０２６４】
本実施の形態は、他の実施の形態と自由に組み合わせることができる。
【０２６５】
（実施の形態３）
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できる発光パネルを用いた発光装置について、図１４及び図１５を用いて説明する。
【０２６６】
本実施の形態の発光装置は、制御パルス信号を供給することができる駆動回路と、定電流を供給することができる定電流電源と、制御パルス信号及び定電流が供給され、定電流パルスを供給することができる開閉回路と、定電流パルスが供給される発光パネルと、を有する。駆動回路が供給する制御パルス信号によって、発光パネルが１回発光する（パルス発光、閃きなどともいえる）か、間欠的に複数回発光する（点滅ともいえる）かを制御できる。
【０２６７】
駆動回路は、スタート信号を供給することができるスタートスイッチ回路と、パルス間隔変調信号を供給することができるパルス間隔変調回路と、スタート信号及びパルス間隔変調信号が供給され、制御パルス信号を供給することができるマイコンと、を有する。例えば、マイコンに供給されるスタート信号の長さに応じて、発光パネルが１回発光するか、又は間欠的に複数回発光するか、を決定できる。また、間欠的に複数回発光する場合の間隔は、マイコンに供給されるパルス間隔変調信号によって制御できる。
【０２６８】
本実施の形態の発光装置は、例えば防犯装置に用いることができる。具体的には、暴漢に襲われた際に、発光装置を暴漢に向けて間欠的に発光させる。これにより、暴漢が怯み犯罪を躊躇させることができる。
【０２６９】
また、カメラやカメラ付携帯電話に設けられた発光装置は、カメラのフラッシュと防犯装置を兼ねることができる。なお、定電流電源３４０が供給する電流の大きさを、用途や周囲の明るさに応じて変えてもよい。具体的には、防犯装置として用いる場合の輝度をカメラのフラッシュに用いる場合の輝度以上としてもよい。
【０２７０】
また、発光装置を自転車等の警告灯に用いると、他の通行車両や通行人等に自らの位置を認知させることができる。これにより、事故の発生を未然に防ぐことができる。
【０２７１】
例えば、本実施の形態の発光装置は、発光パネルを１回発光させることで、カメラのフラッシュとして用いることができ、発光パネルを間欠的に複数回発光させることで、防犯装置として用いることができる。
【０２７２】
図１４は、発光装置の構成を説明するブロック図である。
【０２７３】
発光装置３００は、開閉回路３１０、発光パネル３２０、駆動回路３３０、及び定電流電源３４０を有する。
【０２７４】
開閉回路３１０は、定電流及び制御パルス信号が供給され、定電流パルスを供給することができる。駆動回路３３０は、制御パルス信号を供給することができる。定電流電源３４０は、定電流を供給することができる。発光パネル３２０は、定電流パルスが供給される。
【０２７５】
本実施の形態では、制御パルス信号を開閉回路に供給する構成を示すが、開閉回路を設けず、制御パルス信号を定電流電源に供給し、定電流電源を、制御パルス信号を用いて制御する構成としてもよい。この場合は、定電流電源から発光パネルに定電流パルスが供給される。
【０２７６】
駆動回路３３０は、スタート信号を供給することができるスタートスイッチ回路３３３、パルス間隔変調信号を供給することができるパルス間隔変調回路３３５、及びスタート信号及びパルス間隔変調信号が供給され、制御パルス信号を供給することができるマイコン３３７を備える。
【０２７７】
《開閉回路》
開閉回路３１０は、定電流と制御パルス信号が供給されている間、定電流パルスを発光パネル３２０に供給する。
【０２７８】
例えば、開閉回路３１０がパワートランジスタを有していてもよい。具体的には、パワートランジスタのゲートに制御パルス信号を供給し、第１の電極に定電流を供給し、第２の電極に発光パネル３２０を電気的に接続して、開閉回路３１０を構成できる。
【０２７９】
《定電流電源》
定電流電源３４０は、第１の電圧を供給する電池と、第１の電圧が供給され第１の電圧より高い第２の電圧を供給する第１のＤＣＤＣコンバータと、第２の電圧が供給されるコンデンサと、コンデンサから電荷が供給される第２のＤＣＤＣコンバータと、を有する。
【０２８０】
第１のＤＣＤＣコンバータは、電池の電圧（第１の電圧）を第２の電圧に昇圧して供給する。
【０２８１】
コンデンサは、第２の電圧で充電される。
【０２８２】
第２のＤＣＤＣコンバータは、コンデンサに蓄えられた電荷が供給され、定電流を供給する。
【０２８３】
この構成によれば、コンデンサが電荷を第２のＤＣＤＣコンバータに供給する間において、第２のＤＣＤＣコンバータは定電流を供給することができる。
【０２８４】
なお、コンデンサに蓄えられた電荷が所定の量を下回ると、第２のＤＣＤＣコンバータは定電流を供給できなくなる。定電流電源３４０は、少なくとも駆動回路３３０が供給する制御パルス信号の幅（例えば５０ミリ秒）より長く、定電流を供給することができる。電流が開閉回路３１０を流れると、コンデンサに蓄えられた電荷が消費され、ついには定電流電源３４０が定電流を供給することができなくなる。その結果、矩形波でない電流が発光パネル３２０に流れることにより、発光パネル３２０が所定の輝度より低く、有用でない輝度で発光し、電力が不要に消費されてしまう。開閉回路３１０は、このようにして電力が不要に消費されないように、所定の時間、電流を供給した後に、電流の供給を停止することができる。
【０２８５】
このように、定電流電源３４０は、電池を用いて定電流を供給することができる。これにより、携帯が容易な発光装置を提供することができる。
【０２８６】
《駆動回路》
駆動回路３３０は、所定の幅（半値幅）の制御パルス信号を供給する。所定の幅としては、例えば、１ミリ秒以上１０００ミリ秒以下、好ましくは１０ミリ秒以上１００ミリ秒以下である。
【０２８７】
駆動回路３３０は、スタートスイッチ回路３３３、パルス間隔変調回路３３５、及びマイコン３３７を備える。
【０２８８】
スタートスイッチ回路３３３はスタート信号を供給することができる。例えば、スタートスイッチ回路３３３はスタートスイッチ３３２を備え、スタートスイッチ３３２が押下されている期間、スタートスイッチ回路３３３はスタート信号としてハイ又はロウを供給する。
【０２８９】
パルス間隔変調回路３３５は、パルス間隔変調信号を供給することができる。例えば、可変抵抗３３４を用いて変化した電圧をパルス間隔変調信号に用いることができる。
【０２９０】
マイコン３３７は、スタート信号及びパルス間隔変調信号が供給され、制御パルス信号を供給することができる。
【０２９１】
マイコン３３７は、演算部ＣＰＵ、タイマ部ＴＩＭＥＲ、アナログデジタルコンバータＡＤＣ、入出力部Ｉ／Ｏ、記憶部ＭＥＭ、及び、データ信号を伝送する伝送路を備える。
【０２９２】
入出力部Ｉ／Ｏは、スタート信号及びパルス間隔変調信号が供給され、制御パルス信号を供給することができる。
【０２９３】
アナログデジタルコンバータＡＤＣは、アナログ信号をデジタル信号に変換する。例えば、供給されるパルス間隔変調信号をデジタル信号に変換して供給する。
【０２９４】
演算部ＣＰＵは、供給されたデータを、記憶部ＭＥＭに記憶されたプログラムに従って処理して、処理したデータを供給する。
【０２９５】
タイマ部ＴＩＭＥＲは、命令に従って所定の時間を計測し、所定の時間の経過後に信号を供給する。
【０２９６】
記憶部ＭＥＭは、演算部ＣＰＵに実行させるプログラムを記憶する。
【０２９７】
例えば、所定の時間より短い時間、スタート信号が供給されると、マイコン３３７は制御パルス信号を一回供給する。
【０２９８】
また、所定の時間（又は所定の時間より長い時間）、スタート信号が供給されると、マイコン３３７は、パルス間隔変調信号に応じた間隔で、制御パルス信号を複数回供給する。
【０２９９】
なお、マイコン３３７が複数回制御パルス信号を供給する際には、所定の回数の制御パルス信号を供給してもよいし、スタート信号が供給されている期間において制御パルス信号を間欠的に供給し続けてもよいし、スタート信号が再度供給されるまで制御パルス信号を間欠的に供給し続けてもよい。
【０３００】
以下に、スタート信号が再度供給されるまで制御パルス信号を間欠的に供給し続ける場合の具体例を示す。
【０３０１】
スタートスイッチ３３２を用いて待機状態のマイコン３３７にハイ又はロウのスタート信号を供給することで、マイコン３３７は所定の幅を有する矩形波を制御パルス信号として定電流電源３４０に供給し、且つ、スタート信号が供給されている時間を計測する。
【０３０２】
スタート信号が供給される時間が所定の時間より短い場合、マイコン３３７は制御パルス信号を一回供給した後、待機状態に復帰する。また、所定の時間（又は所定の時間より長い時間）、スタート信号が供給される場合、マイコン３３７はパルス間隔変調信号をアナログ／デジタル変換し、変換されたデジタル信号から決定される所定のパルス間隔で、スタート信号が再度供給されるまで、制御パルス信号を複数回、間欠的に供給し続ける。
【０３０３】
《発光パネル》
発光パネル３２０は、発光素子を有する。発光パネル３２０には、点光源、線光源、面光源のいずれも用いることができる。
【０３０４】
例えば、発光パネル３２０は、支持基板と、支持基板上の発光素子と、を有する。発光素子は単数であっても複数であってもよい。発光素子としては、例えば、有機ＥＬ素子を用いることができる。
【０３０５】
発光パネル３２０は発光部の面積が０．５ｃｍ２以上１ｍ２以下であり、好ましくは５ｃｍ２以上２００ｃｍ２以下、より好ましくは１５ｃｍ２以上１００ｃｍ２以下である。
【０３０６】
発光パネル３２０は、例えば、発光素子の発光時の電流密度が１０ｍＡ／ｃｍ２以上２０００ｍＡ／ｃｍ２以下である。
【０３０７】
また、発光パネル３２０が、異なる色を呈する発光素子を複数有していてもよい。カメラのフラッシュの色や色温度を可変とすることで、写真を撮影したときの被写体、環境、雰囲気等の再現性を高めることができる。また、発光装置が発光パネルを複数有し、各発光パネルで異なる色を呈する構成であってもよい。
【０３０８】
また、支持基板等に可撓性を有する材料を用いて作製した可撓性を有する発光パネルは、曲面を有する筐体に沿わせて配置することができる。これにより、筐体に用いる意匠を損なうことなく発光装置を配置することができる。例えば、カメラの曲面を有する筐体に沿って、フラッシュを配置することができる。
【０３０９】
カメラのフラッシュを小さくすると、その発光部は線状又は点状に近づく。光は光源から直進するため、一の物体が投影する影は、光源が小さいほど明瞭になる。これにより、例えば、フラッシュを用いて人の顔を暗い場所で撮影すると、鼻の影が頬に投影されてしまう場合がある。
【０３１０】
そこで、本発明の一態様では、発光パネルに、面光源である発光素子を用いる。例えば、有機ＥＬ素子を用いると、膜厚が小さく大面積の素子を容易に形成することができる。同じ光量を発する場合、面光源は、点光源や線光源に比べて、単位面積当たりの光量を少なくできる、又は発光時間を短くできる。これにより、単位面積当たりの発熱量を低減できる。また、発光面積が広いため放熱しやすい。したがって、発光パネルの局所的な発熱による劣化を抑制できる。無機材料を用いた発光ダイオード等を用いる場合に比べて、発光パネルの劣化が少なく、信頼性の高い発光装置を提供できる。
【０３１１】
また、発光パネルに、有機ＥＬ素子を用いると、従来のキセノンランプなどを用いる場合に比べて発光パネルを薄く、軽量にすることができる。また、発光に伴う発熱が発光パネルの広い面積に分散されるため、効率よく放熱される。これにより、発光パネルへの蓄熱が抑制され、発光パネルの劣化が抑制される。
【０３１２】
また、発光パネルが面光源であると、本発明の一態様の発光装置をカメラのフラッシュとして用いても被写体に影が生じにくい。
【０３１３】
発光性の有機化合物を選択して用いることにより、白色を呈する光を発するように、発光パネルを構成できる。例えば、互いに補色の関係にある色を呈する光を発する複数の発光性の有機化合物を用いることができる。または、赤色、緑色及び青色を呈する光を発する３種類の発光性の有機化合物を用いることができる。また、発光色の異なる複数の有機化合物を適宜選択して用いることにより、ホワイトバランスに優れた発光装置を得ることができる。
【０３１４】
発光性の有機化合物を用いると、無機材料を用いた発光ダイオードに比べて幅が広い発光スペクトルを得られる。幅が広い発光スペクトルを有する光は、自然光に近く、写真の撮影に好適である。
【０３１５】
発光パネル３２０は、本発明の一態様の積層体の作製装置を用いて作製することができる。
【０３１６】
例えば、発光パネル３２０として、図１５に示す発光パネルを用いることができる。
【０３１７】
図１５（Ａ）は、発光パネルを示す平面図であり、図１５（Ｂ）は、図１５（Ａ）を一点鎖線Ａ１−Ｂ１で切断した断面図の一例であり、図１５（Ｃ）は、図１５（Ａ）を一点鎖線Ａ２−Ｂ２で切断した断面図である。
【０３１８】
図１５（Ａ）〜（Ｃ）に示す発光パネルでは、支持基板１２２０と絶縁層１２２４とが接着層１２２２で貼り合わされている。支持基板１２２０上には、絶縁層１２２４を介して発光素子１２５０が設けられている。絶縁層１２２４上には補助配線１２０６が設けられており、第１の電極１２０１と電気的に接続する。補助配線１２０６の一部は露出しており端子として機能する。第１の電極１２０１の端部及び導電層１２１０の端部は隔壁１２０５で覆われている。また、第１の電極１２０１を介して補助配線１２０６を覆う隔壁１２０５が設けられている。発光素子１２５０は、支持基板１２２０、封止基板１２２８、及び封止材１２２７により封止されている。支持基板１２２０及び封止基板１２２８に可撓性を有する基板を用いることで、可撓性を有する発光パネルを実現できる。
【０３１９】
発光素子１２５０はボトムエミッション構造の有機ＥＬ素子であり、具体的には、支持基板１２２０上に可視光を透過する第１の電極１２０１を有し、第１の電極１２０１上にＥＬ層１２０２を有し、ＥＬ層１２０２上に可視光を反射する第２の電極１２０３を有する。
【０３２０】
図１５（Ａ）〜（Ｃ）に示す発光パネルでは、円形の非発光領域に開口部が設けられている。該非発光領域には、補助配線１２０６及び第１の電極１２０１を有さない。これにより、開口を設ける際に、発光素子１２５０の第１の電極１２０１や補助配線１２０６と第２の電極１２０３とが接してショートすることを防止できる。
【０３２１】
例えば、波長が紫外領域のレーザ（ＵＶレーザ）等のレーザを用いて発光パネルの一部を開口することができる。開口を設ける手段としてはレーザだけでなく、パンチ等も挙げられる。パンチ等で開口する場合、発光パネルが加圧されることにより、膜剥がれ（特にＥＬ層１２０２等の膜剥がれ）が生じる場合がある。レーザを用いて開口することで膜剥がれを抑制でき、信頼性の高い発光パネルを作製できるため、好ましい。
【０３２２】
図１５（Ｂ）に示すように、発光パネルは、開口部において、電極やＥＬ層が露出しないように、封止材１２２６を有することが好ましい。具体的には、発光パネルの一部を開口した後、露出した電極及びＥＬ層を少なくとも覆うように封止材１２２６を形成すればよい。封止材１２２６には、封止材１２２７と同様の材料を用いることができ、同一の材料であっても異なる材料であってもよい。
【０３２３】
図１５（Ｂ）では、隔壁１２０５が形成されていない位置を開口した場合の例を示したが、これに限定されず、隔壁１２０５が形成されている位置を開口してもよい。
【０３２４】
このような発光パネルを作製し、開口部と重なるようにカメラのレンズを配置することで、カメラのレンズの周囲に発光部を配置できる。そして、該発光部をカメラのフラッシュとして用いることができる。
【０３２５】
なお、基板の表面に光取出し構造を設けてもよい。
【０３２６】
以上のように、本発明の一態様を適用することで、１回又は間欠的に複数回、発光が可能な発光装置を提供することができる。
【０３２７】
本実施の形態は、他の実施の形態と自由に組み合わせることができる。
【０３２８】
（実施の形態４）
本実施の形態では、本発明の一態様を適用して作製できる発光パネルを用いた電子機器及び照明装置について、図１６及び図１７を用いて説明する。
【０３２９】
本発明の一態様の発光パネルの作製装置や本発明の一態様の発光パネルの作製方法を適用することで、電子機器や照明装置に用いることができる高信頼性の発光パネルを、歩留まりよく作製できる。
【０３３０】
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置（テレビ、又はテレビジョン受信機ともいう）、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機（携帯電話、携帯電話装置ともいう）、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。
【０３３１】
また、本発明の一態様を適用して作製された発光パネルは可撓性を有するため、家屋やビルの内壁もしくは外壁、又は、自動車の内装もしくは外装の曲面に沿って組み込むことも可能である。
【０３３２】
図１６（Ａ）は、携帯電話機の一例を示している。携帯電話機７４００は、筐体７４０１に組み込まれた表示部７４０２のほか、操作ボタン７４０３、外部接続ポート７４０４、スピーカ７４０５、マイク７４０６などを備えている。なお、携帯電話機７４００は、本発明の一態様を適用して作製された発光パネルを表示部７４０２に用いることにより作製される。本発明の一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い携帯電話機を歩留まりよく提供できる。
【０３３３】
図１６（Ａ）に示す携帯電話機７４００は、指などで表示部７４０２に触れることで、情報を入力することができる。また、電話を掛ける、或いは文字を入力するなどのあらゆる操作は、指などで表示部７４０２に触れることにより行うことができる。
【０３３４】
また、操作ボタン７４０３の操作により、電源のＯＮ、ＯＦＦ動作や、表示部７４０２に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
【０３３５】
図１６（Ｂ）は、腕時計型の携帯情報端末の一例を示している。携帯情報端末７１００は、筐体７１０１、表示部７１０２、バンド７１０３、バックル７１０４、操作ボタン７１０５、入出力端子７１０６などを備える。
【０３３６】
携帯情報端末７１００は、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、インターネット通信、コンピュータゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。
【０３３７】
表示部７１０２はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、表示部７１０２はタッチセンサを備え、指やスタイラスなどで画面に触れることで操作することができる。例えば、表示部７１０２に表示されたアイコン７１０７に触れることで、アプリケーションを起動することができる。
【０３３８】
操作ボタン７１０５は、時刻設定のほか、電源のオン、オフ動作、無線通信のオン、オフ動作、マナーモードの実行及び解除、省電力モードの実行及び解除など、様々な機能を持たせることができる。例えば、携帯情報端末７１００に組み込まれたオペレーションシステムにより、操作ボタン７１０５の機能を自由に設定することもできる。
【０３３９】
また、携帯情報端末７１００は、通信規格された近距離無線通信を実行することが可能である。例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。
【０３４０】
また、携帯情報端末７１００は入出力端子７１０６を備え、他の情報端末とコネクタを介して直接データのやりとりを行うことができる。また入出力端子７１０６を介して充電を行うこともできる。なお、充電動作は入出力端子７１０６を介さずに無線給電により行ってもよい。
【０３４１】
携帯情報端末７１００の表示部７１０２には、本発明の一態様を適用して作製された発光パネルが組み込まれている。本発明の一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い携帯情報端末を歩留まりよく提供できる。
【０３４２】
図１６（Ｃ）〜（Ｅ）は、照明装置の一例を示している。照明装置７２００、照明装置７２１０、及び照明装置７２２０は、それぞれ、操作スイッチ７２０３を備える台部７２０１と、台部７２０１に支持される発光部を有する。
【０３４３】
図１６（Ｃ）に示す照明装置７２００は、波状の発光面を有する発光部７２０２を備える。したがってデザイン性の高い照明装置となっている。
【０３４４】
図１６（Ｄ）に示す照明装置７２１０の備える発光部７２１２は、凸状に湾曲した２つの発光部が対称的に配置された構成となっている。したがって照明装置７２１０を中心に全方位を照らすことができる。
【０３４５】
図１６（Ｅ）に示す照明装置７２２０は、凹状に湾曲した発光部７２２２を備える。したがって、発光部７２２２からの発光を、照明装置７２２０の前面に集光するため、特定の範囲を明るく照らす場合に適している。
【０３４６】
また、照明装置７２００、照明装置７２１０、及び照明装置７２２０の備える各々の発光部は可撓性を有しているため、発光部を可塑性の部材や可動なフレームなどの部材で固定し、用途に合わせて発光部の発光面を自在に湾曲可能な構成としてもよい。
【０３４７】
なおここでは、台部によって発光部が支持された照明装置について例示したが、発光部を備える筐体を天井に固定する、又は天井からつり下げるように用いることもできる。発光面を湾曲させて用いることができるため、発光面を凹状に湾曲させて特定の領域を明るく照らす、又は発光面を凸状に湾曲させて部屋全体を明るく照らすこともできる。
【０３４８】
ここで、各発光部には、本発明の一態様を適用して作製された発光パネルが組み込まれている。本発明の一態様により、湾曲した表示部を備え、且つ信頼性の高い照明装置を歩留まりよく提供できる。
【０３４９】
図１６（Ｆ）には、携帯型の表示装置の一例を示している。表示装置７３００は、筐体７３０１、表示部７３０２、操作ボタン７３０３、引き出し部材７３０４、制御部７３０５を備える。
【０３５０】
表示装置７３００は、筒状の筐体７３０１内にロール状に巻かれたフレキシブルな表示部７３０２を備える。
【０３５１】
また、表示装置７３００は制御部７３０５によって映像信号を受信可能で、受信した映像を表示部７３０２に表示することができる。また、制御部７３０５にはバッテリをそなえる。また、制御部７３０５にコネクターを接続する端子部を備え、映像信号や電力を有線により外部から直接供給する構成としてもよい。
【０３５２】
また、操作ボタン７３０３によって、電源のＯＮ、ＯＦＦ動作や表示する映像の切り替え等を行うことができる。
【０３５３】
図１６（Ｇ）には、表示部７３０２を引き出し部材７３０４により引き出した状態の表示装置７３００を示す。この状態で表示部７３０２に映像を表示することができる。また、筐体７３０１の表面に配置された操作ボタン７３０３によって、片手で容易に操作することができる。また、図１６（Ｆ）のように操作ボタン７３０３を筐体７３０１の中央でなく片側に寄せて配置することで、片手で容易に操作することができる。
【０３５４】
なお、表示部７３０２を引き出した際に表示部７３０２の表示面が平面状となるように固定するため、表示部７３０２の側部に補強のためのフレームを設けていてもよい。
【０３５５】
なお、この構成以外に、筐体にスピーカを設け、映像信号と共に受信した音声信号によって音声を出力する構成としてもよい。
【０３５６】
表示部７３０２には、本発明の一態様を適用して作製された発光パネルが組み込まれている。本発明の一態様により、軽量で、且つ信頼性の高い表示装置を歩留まりよく提供できる。
【０３５７】
また、実施の形態３で説明した発光装置は、デジタルスチルカメラ等のカメラのフラッシュ、撮影機能を有する携帯電話機や携帯情報端末が備えるカメラのフラッシュ、防犯装置等に用いることができる。また、自転車や自動車のライト、灯台、装飾用途などのイルミネーション等に用いることができる。本発明の一態様により、軽量で、且つ信頼性の高い発光装置を歩留まりよく提供できる。
【０３５８】
図１７（Ａ）はデジタルスチルカメラの一例を示している。デジタルスチルカメラ７３１０は、筐体７３１１、レンズ７３１４、発光装置７３２０等を有する。発光装置７３２０には、実施の形態３で説明した発光装置が適用されている。発光装置７３２０の発光部７３１３は、レンズ７３１４を囲うように配置されている。本発明の一態様を適用して作製した発光装置は可撓性を有するため、湾曲させることができる。デジタルスチルカメラ７３１０では、非発光部７３１５が筐体７３１１の形状に沿って折り曲げられているため、発光部７３１３をレンズ７３１４の周囲に広く配置できる。これにより、フラッシュを用いて人の顔を暗い場所で撮影する場合であっても、例えば鼻の影が頬に投影されにくくすることができる。なお、発光素子を非発光部７３１５に同一の工程で作製して設け、動作状態を示すインジケータに用いてもよい。
【０３５９】
図１７（Ｂ）、（Ｃ）は、携帯情報端末の一例を示している。携帯情報端末７３５０の一面（表面ともいえる）を図１７（Ｂ）に示し、該一面の背面（裏面ともいえる）を図１７（Ｃ）に示す。
【０３６０】
携帯情報端末７３５０は、筐体７３５１、表示部７３５２、レンズ７３５４、発光装置７３６０等を有する。発光装置７３６０には、実施の形態３で説明した発光装置が適用されている。発光装置７３６０は発光部７３５３及び非発光部７３５５を有し、発光部７３５３は、レンズ７３５４を囲うように配置されている。発光部７３５３は、非発光時に鏡として用いる仕様であってもよい。
【０３６１】
図１７（Ｄ）、（Ｅ）は、携帯電話機の一例を示している。携帯電話機７３７０の一面（表面ともいえる）を図１７（Ｄ）に示し、該一面の背面（裏面ともいえる）を図１７（Ｅ）に示す。
【０３６２】
携帯電話機７３７０は、筐体７３７１、表示部７３７２、レンズ７３７４、発光装置７３７３等を有する。発光装置７３７３には、実施の形態３で説明した発光装置が適用されている。発光装置７３７３の開口部にレンズ７３５４が配置されている。
【０３６３】
本実施の形態は、他の実施の形態と自由に組み合わせることができる。
【符号の説明】
【０３６４】
２０    作製装置
２１    作製装置
１１０    第１の接着層形成ユニット
１１１    チャンバー
１１２    加圧ローラ
１１３    ステージ
１１５    接着層形成機構
１１７    搬送ローラ
１２０    起点形成ユニット
１２３    ステージ
１３０    第１の貼り合わせユニット
１３１    チャンバー
１３３    ステージ
１３５    部材保持機構
１３９    ストック室
１４０    分離ユニット
１４３    ステージ
１４５    刃物
１４７    吸着部材
１４９    ストック室
１５０    制御ユニット
１５１    保持機構
１５２    保持機構
１５３    ステージ
１５５    分断機構
１５６ａ    固定機構
１５６ｂ    固定機構
１５７ａ    固定機構
１５７ｂ    固定機構
１６０    第２の接着層形成ユニット
１６３    ステージ
１６５    接着層形成機構
１７０    チャンバー
１７１    巻き出しローラ
１７３    ガイドローラ
１７５    ガス供給機構
１７７    排気機構
１７８    巻き取りローラ
１７９    ガイドローラ
１８０    第２の貼り合わせユニット
１８１    チャンバー
１８２    加圧ローラ
１８３    ステージ
１８４    ガイドローラ
１８５    巻き出しローラ
１８６    方向転換ローラ
１８７    ガイドローラ
１８８    巻き取りローラ
１８９    ストック室
１９０    第１の支持体供給ユニット
１９１    イオナイザ
２００    バリア性の高い層
２０１    素子層
２０２    バリア性の高い層
２０３    接着層
２０４    バリア性の低い層
２０９    接着層
２１０    第１の支持体
２１０ｒ    第１の支持体
２１１    部材
２１９    第１の接着層
２２０    第１の積層体
２２０ｒ    第１の積層体
２２１    残部
２２２    表層
２２３    第２の積層体
２２３ｒ    第２の積層体
２２９    第２の接着層
２３１ｒ    第２の支持体
２３３    分離テープ
２５０    第１の積層体
３００    発光装置
３１０    開閉回路
３２０    発光パネル
３３０    駆動回路
３３２    スタートスイッチ
３３３    スタートスイッチ回路
３３４    可変抵抗
３３５    パルス間隔変調回路
３３７    マイコン
３４０    定電流電源
４０１    第１の電極
４０２    ＥＬ層
４０３    第２の電極
４０４    接着層
４０５    絶縁層
４０６    導電層
４０７    接着層
４０８    絶縁層
４１６    導電層
４２０ａ    可撓性基板
４２０ｂ    可撓性基板
４２２ａ    接着層
４２２ｂ    接着層
４２３    下地膜
４２４    絶縁層
４２４ａ    絶縁層
４２４ｂ    絶縁層
４３１    遮光層
４３２    着色層
４３５    導電層
４５０    有機ＥＬ素子
４５３    オーバーコート
４５４    トランジスタ
４５５    トランジスタ
４５７    導電層
４６３    絶縁層
４６５    絶縁層
４６７    絶縁層
４９０ａ    バリア層
４９０ｂ    バリア層
４９１    発光部
４９３    駆動回路部
４９５    ＦＰＣ
４９７    接続体
４９８    ＥＬ層
４９９    導電層
５０５    処理部
５０７    表示装置
５０９    カメラ
５１１    レーザ装置
５１５    光源
５１７    ハーフミラー
５２１ａ    シャッター
５２１ｂ    シャッター
５２１ｃ    シャッター
５２３    集光レンズ
５３１    レーザ光
５３３    反射光
５３５    光
５９３    レーザ光照射位置
１２０１    第１の電極
１２０２    ＥＬ層
１２０３    第２の電極
１２０５    隔壁
１２０６    補助配線
１２１０    導電層
１２２０    支持基板
１２２２    接着層
１２２４    絶縁層
１２２６    封止材
１２２７    封止材
１２２８    封止基板
１２５０    発光素子
７１００    携帯情報端末
７１０１    筐体
７１０２    表示部
７１０３    バンド
７１０４    バックル
７１０５    操作ボタン
７１０６    入出力端子
７１０７    アイコン
７２００    照明装置
７２０１    台部
７２０２    発光部
７２０３    操作スイッチ
７２１０    照明装置
７２１２    発光部
７２２０    照明装置
７２２２    発光部
７３００    表示装置
７３０１    筐体
７３０２    表示部
７３０３    操作ボタン
７３０４    部材
７３０５    制御部
７３１０    デジタルスチルカメラ
７３１１    筐体
７３１３    発光部
７３１４    レンズ
７３１５    非発光部
７３２０    発光装置
７３５０    携帯情報端末
７３５１    筐体
７３５２    表示部
７３５３    発光部
７３５４    レンズ
７３５５    非発光部
７３６０    発光装置
７３７０    携帯電話機
７３７１    筐体
７３７２    表示部
７３７３    発光装置
７３７４    レンズ
７４００    携帯電話機
７４０１    筐体
７４０２    表示部
７４０３    操作ボタン
７４０４    外部接続ポート
７４０５    スピーカ
７４０６    マイク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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