(57)【要約】【課題】  ＥＧＲ制御弁の全閉時に、バルブの外周端面とハウジングのバルブシート面との間に形成される環状隙間に強酸性の凝縮水が入り込むと、ハウジングのバルブシート面が腐食して隙間が広がってしまうという課題があった。【解決手段】  ＥＧＲ制御弁においては、ハウジング４のバルブボディ７の流路壁である円筒部５１の内周に円環状の突起７１を設け、この突起７１の頂き部分をハウジング４のバルブシール６９として利用することにより、ＥＧＲ制御弁の全閉時にＥＧＲバルブ１の外周端面１８とバルブシール６９との間に形成されるエアギャップＧよりもＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間の距離（隙間）を拡げる方向に窪む流路壁面７２、７３を突起７１の上流側および下流側にそれぞれ設けている。これにより、エアギャップＧ、つまり突起７１の頂き部分への強酸性の凝縮水の滞留を抑制できる。【選択図】  図４
2015059463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内燃機関の燃焼室に連通する流路（１０）を有する金属製のハウジング（４、７、５１）と、
（ｂ）このハウジング（４、７、５１）に回転可能に支持されて、前記流路（１０）を流れる流体の流れ方向に対して垂直な回転軸方向に延びるシャフト（２）と、
（ｃ）このシャフト（２）と一体回転可能に連結されて、前記流路（１０）を開閉する板状のバルブ（１）と
を備えた流体制御弁において、
前記ハウジング（４、７、５１）は、前記流路（１０）の周囲を周方向に取り囲むように設けられて、前記バルブ（１）を全閉した時に前記バルブ（１）の外周端面（１８）との間にエアギャップ（Ｇ）を隔てて対向する環状のバルブシール（６９）、およびこのバルブシール（６９）に隣接して設けられて、前記エアギャップ（Ｇ）よりも前記バルブ（１）の外周端面（１８）との間の距離を拡げる方向に窪んだ流路壁面（７２、７３、８３）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御弁において、
前記ハウジング（４、７、５１）は、前記流路壁面（７２、７３）から前記バルブ（１）の外周端面（１８）側へ向けて突出した環状の突起（７１）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項２に記載の流体制御弁において、
前記流路壁面（７２、７３）は、前記突起（７１）に対して前記流路（１０）を流れる流体の流れ方向の上流側および下流側にそれぞれ設けられ、
前記バルブシール（６９）は、前記突起（７１）の頂き部分に設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の流体制御弁において、
前記突起（７１）は、その頂き部分から前記流路壁面（７２、７３）へ向けて徐々に前記流路（１０）の中心軸線側への突き出し量が小さくなるように傾斜したテーパ面または凸曲面または凹曲面を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記ハウジング（４、７、５１）は、前記流路（１０）を流れる流体の流れ方向の上流側または下流側に臨む環状の段差（８１）を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項５に記載の流体制御弁において、
前記流路壁面（８３）は、前記段差（８１）に対して前記流路（１０）を流れる流体の流れ方向の上流側または下流側に設けられ、
前記バルブシール（６９）は、前記段差（８１）の頂き部分に設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の流体制御弁において、
前記段差（８１）は、その頂き部分から前記流路壁面（８３）へ向けて徐々に前記流路（１０）の中心軸線側への突き出し量が小さくなるように傾斜したテーパ面または凸曲面または凹曲面を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記バルブシール（６９）は、前記流路（１０）を流れる流体の流れ方向の領域が、前記エアギャップ（Ｇ）への凝縮水の滞留を防止することが可能な所定値以下に設定されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記シャフト（２）は、前記流路（１０）の幅に対応した回転軸方向長を有するスリット孔（１４）が径方向に貫通して形成して形成されており、
前記バルブ（１）は、前記スリット孔（１４）内に挿入した状態で、締結体（１５）を用いて締結固定されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記内燃機関の燃焼室に連通する流路とは、前記内燃機関の燃焼室から排出される排気が流れる流路（１０）のことであることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記内燃機関の燃焼室に連通する流路とは、前記内燃機関の燃焼室へ供給される吸気が流れる流路（１０）のことであることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記バルブとは、前記バルブ（１）を全閉した時に前記ハウジング（４、７、５１）の流路方向に対して直交する垂直方向に配置されるプレートバルブ（１）のことであって、  前記バルブシール（６９）は、前記プレートバルブ（１）の外周端面（１８）を周方向に取り囲むように設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１２のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記流路（１０）は、断面円形状を呈し、
前記バルブとは、前記ハウジング（４、７、５１）の流路方向の中心軸線と、前記シャフト（２）の回転軸線との交点を中心にして径方向の外側に放射状に拡がる円板状のバタフライバルブ（１）のことであって、
前記バルブシール（６９）は、前記バタフライバルブ（１）の外周端面（１８）を周方向に取り囲むように設けられていることを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブを全閉した時にバルブの外周端面とハウジングのバルブシールとの間にエアギャップ（環状隙間）が形成される流体制御弁に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、流体制御弁の一例として、内燃機関（エンジン）の気筒内の燃焼室に連通する吸気通路を流れる吸気の流量を調整する吸気絞り弁（以下スロットル弁）が公知である（例えば、特許文献１参照）。
スロットル弁は、吸気管の一部であるバルブボディ（以下スロットルボディ）に形成された吸気通路を開閉する円板状のスロットルバルブと、このスロットルバルブと一体回転可能に連結したバルブシャフトと、このバルブシャフトを回転駆動してスロットルバルブを開閉動作させるアクチュエータと、スロットルバルブを閉弁方向に付勢するリターンスプリングと、スロットルボディの軸受支持部に保持されて、バルブシャフトを回転方向に摺動可能に支持する軸受とを備えている。
【０００３】
ここで、特許文献１に記載されたスロットルバルブの外周縁部は、スロットルバルブの全周に渡ってバルブの内周部よりも板厚が薄くなっている。
スロットルバルブは、スロットルボディの内壁に設けられたバルブシート面に最も近づく位置（全閉位置）で停止し、スロットルボディのバルブシート面に付着した異物とバルブの外周縁部とが接触した場合でも、スロットルバルブと異物との接触面積が小さくなっている。
これにより、仮にスロットルボディの内壁に付着した異物とスロットルバルブとが固着した場合でも、エンジンを再始動してアクセルペダルを踏み込むと、バルブの外周縁部はスロットルボディの内壁に付着している異物から容易に離れ、滑らかに回動できる。
【０００４】
一方、内燃機関（エンジン）の気筒内の燃焼室から排出される排出ガス（排気）の流量を制御する流体制御弁の一例として、排気管から排気還流管を経て吸気管へ還流するＥＧＲガスの流量を調整する排気絞り弁（以下ＥＧＲ制御弁）が公知である。
ＥＧＲ制御弁は、図７および図８に示したように、排気還流管の一部であるハウジング１０１に形成された流路孔１０２を開閉するＥＧＲバルブ１０３、このＥＧＲバルブ１０３と一体回転可能に連結したバルブシャフト１０４と、このバルブシャフト１０４を回転駆動してＥＧＲバルブ１０３を開閉動作させる電動アクチュエータ１０５と、ＥＧＲバルブ１０３を閉弁方向に付勢するリターンスプリング１０６と、ハウジング１０１の軸受支持部に保持されて、バルブシャフト１０４を回転方向に摺動可能に支持する軸受（ガイドブッシュ１０７、ボールベアリング１０８）とを備えている。
ところで、ＥＧＲ制御弁のハウジング１０１は、軽量化およびコストダウンを図るという目的で、アルミニウムを主体とするアルミニウム合金よりなるアルミニウムダイカスト製品が使用されている。
【０００５】
［従来の技術の不具合］
ところで、排気管からＥＧＲ制御弁のハウジング１０１内の流路孔１０２を経由して吸気管へ還流するＥＧＲガス中には、多量の水分（水蒸気）が含まれている。このため、ＥＧＲ制御弁の上流側または下流側にＥＧＲガスを冷却するＥＧＲクーラが設けられている場合、ＥＧＲクーラによってＥＧＲガスが冷やされ、ＥＧＲガス中の水分が凝縮して凝縮水が発生する。また、ＥＧＲガスは、エアクリーナからエンジンに吸入される外気、つまり吸気と混合される際に、吸気との温度差により凝縮水が発生する。
【０００６】
そして、ＥＧＲ制御弁のハウジング１０１内に流入した凝縮水は、ＥＧＲ制御弁のＥＧＲバルブ１０３付近で滞留する可能性がある。一方、排気還流管から吸気管へ流入した凝縮水や、吸気管内で発生した凝縮水は、特許文献１に記載されたスロットル弁のスロットルバルブ付近で滞留する可能性がある。
ここで、ＥＧＲ制御弁のＥＧＲバルブ１０３付近またはスロットル弁のスロットルバルブ付近で強酸性の凝縮水が滞留すると、ＥＧＲ制御弁のハウジング１０１やスロットル弁のスロットルボディの内壁が腐食する恐れがある。
【０００７】
特に、アルミニウムを主体とするアルミニウム合金よりなるダイカスト製品によってハウジング１０１が形成されている場合、ＥＧＲ制御弁の全閉時に、ＥＧＲバルブ１０３の外周端面１１１とハウジング１０１のバルブシート面１１２との間に形成される環状隙間（エアギャップ）１１３に強酸性の凝縮水が入り込むと、ハウジング１０１のバルブシート面１１２が腐食して隙間が広がってしまうので、ＥＧＲ制御弁の全閉時におけるＥＧＲガス洩れ流量が増加するという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１０７７５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、バルブの外周端面とハウジングのバルブシールとの間のエアギャップ（環状隙間）への凝縮水の滞留を防止することで、バルブを全閉した時における流体洩れ流量の増加を抑えることのできる流体制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明（流体制御弁）によれば、バルブを全閉した時（流体制御弁の全閉時）にバルブの外周端面とハウジングのバルブシールとの間に形成されるエアギャップ（環状隙間）よりもバルブの外周端面との間の距離（隙間）を拡げる方向に窪んだ流路壁面をバルブシールに隣接して設けたことにより、バルブの外周端面とハウジングのバルブシールとの間のエアギャップへの凝縮水の滞留を抑制することができる。
これによって、ハウジングの材質として金属を採用した場合でも、ハウジングの流路壁の腐食量を低減できるので、バルブの外周端面とハウジングのバルブシールとの間のエアギャップが広がることはない。
したがって、バルブを全閉した時（流体制御弁の全閉時）における流体洩れ流量の増加を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】ＥＧＲ制御弁（排気絞り弁）を示した断面図である（実施例１）。
【図２】センサカバーを外した状態のＥＧＲ制御弁を示した側面図である（実施例１）。
【図３】センサカバーを外した状態のアクチュエータを示した平面図である（実施例１）。
【図４】ＥＧＲ制御弁のバルブシール構造を示した断面図である（実施例１）。
【図５】ＥＧＲ制御弁のバルブシール構造を示した断面図である（実施例２）。
【図６】ＥＧＲ制御弁のバルブシール構造を示した断面図である（実施例３）。
【図７】ＥＧＲ制御弁（排気絞り弁）を示した断面図である（従来の技術）。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ断面図である（従来の技術）。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例】
【００１３】
［実施例１の構成］
図１ないし図４は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例１）を示したものである。
【００１４】
本実施例の内燃機関の排気装置は、例えば自動車等の車両走行用の内燃機関（多気筒ディゼルエンジン：以下エンジン）の排気管から吸気管へ排気ガス（以下ＥＧＲガス）を再循環（還流）させる排気循環装置（以下ＥＧＲシステム）を備えている。
ＥＧＲシステムは、エキゾーストマニホールドまたは排気管内の排気通路からインテークマニホールドまたは吸気管内の吸気通路へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガスパイプを備えている。このＥＧＲガスパイプ内には、排気通路から吸気通路へＥＧＲガスを流入させるＥＧＲガス流路が形成されている。
【００１５】
ＥＧＲガスパイプには、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスを冷却水と熱交換させて冷却するＥＧＲクーラ（図示せず）、およびこのＥＧＲクーラを通過したＥＧＲガス、あるいはＥＧＲクーラを迂回したＥＧＲガスの流量を制御するＥＧＲガス流量制御弁（内燃機関の弁装置：以下ＥＧＲ制御弁）が設置されている。
ここで、ＥＧＲシステムは、エンジンの運転状況に基づいてＥＧＲ制御弁の弁体であるＥＧＲバルブ１を開閉制御するＥＧＲバルブ制御装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置）として使用される。このＥＧＲバルブ制御装置は、ＥＧＲ制御弁の弁軸であるバルブシャフト２を回転駆動する電動アクチュエータ３に組み込まれる電動モータ（図７参照：以下モータ）Ｍを他のシステムと連動して制御するエンジン制御ユニット（電子制御装置：以下ＥＣＵ）を備えている。
【００１６】
ＥＧＲ制御弁は、本発明の流体制御弁に相当するもので、ＥＧＲガス流路を流れるＥＧＲガスの流量を調量するＥＧＲバルブ１と、このＥＧＲバルブ１と一体回転可能に連結ししたバルブシャフト２と、このバルブシャフト２を回転駆動する電動アクチュエータ３と、ＥＧＲバルブ１、バルブシャフト２および電動アクチュエータ３を収容（内蔵）するハウジング４とを備えている。
ここで、ハウジング４は、回転角度センサ５を搭載するセンサカバー６との間に、電動アクチュエータ３を収容する凹部を備えている。また、ハウジング４は、ＥＧＲバルブ１を開閉自在に収容するバルブボディ７、モータＭを収容する円筒状のモータハウジング８、およびバルブシャフト２と電動アクチュエータ３を収容するギアハウジング９等を備えている。
【００１７】
ＥＧＲ制御弁は、ハウジング４の内部に形成されるＥＧＲガス流路（流路孔１０）の開口面積を連続的または段階的に変更することで、ＥＧＲガス流路を経由して、排気通路から吸気通路へ再循環（還流）されるＥＧＲガスの流量（ＥＧＲガス量）を可変制御する排気ガス流量制御弁（排気絞り弁）である。流路孔１０は、エンジンの各気筒内の燃焼室に連通している。
ＥＧＲ制御弁は、ハウジング４に対してバルブシャフト２を回転自在に支持する支持機構（バルブシャフト２の支持機構）を備えている。この支持機構は、滑り軸受（ガイドブッシュ）１１、ガスシール（またはダストシール）１２および転がり軸受（以下ボールベアリング）１３等によって構成されている。
【００１８】
ＥＧＲ制御弁は、バルブシャフト２のバルブ保持部に形成されたスリット孔１４内にＥＧＲバルブ１を挿入した状態で、ＥＧＲバルブ１をバルブシャフト２にスクリュー（締結体）１５の螺子締結による軸力で固定（締結固定）するバルブ支持構造を採用している。  ここで、一対のスクリュー１５は、十字溝または六角溝等の工具係合部を有する頭部と、この頭部より軸線方向の一方側に延びる軸方向部（軸部）とを備えている。軸部には、バルブシャフト２の貫通孔１６に形成される雌螺子と螺合してねじ込まれる雄螺子が設けられている。
【００１９】
ＥＧＲバルブ１は、その全閉位置から全開位置に至るまでの動作可能範囲で回転（開閉）動作されることで、流路孔１０の流路断面積を絞ることで、エンジンの各気筒の燃焼室内に供給される吸気（新気のみ、あるいは新気＋ＥＧＲガス）の全流量に対するＥＧＲガス流量の比率であるＥＧＲ率を調整する。
ＥＧＲバルブ１は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属または合成樹脂によって平板形状となるように一体的に形成されている。このＥＧＲバルブ１は、バルブシャフト２のスリット孔１４に挿入された後に、スクリュー１５でバルブシャフト２のバルブ保持部に螺子締結（支持固定）されている。
【００２０】
ＥＧＲバルブ１の軸方向部には、スクリュー１５の軸部がその軸線方向（締結方向）に貫通（挿通）する一対のスクリュー挿通孔１７が形成されている。
ＥＧＲバルブ１の板厚方向の両端面は、全面的にフラットな平坦面（平面）である。つまりＥＧＲバルブ１は、全体が同じ板厚を有している。
ＥＧＲバルブ１は、ハウジング４のバルブボディ７の流路方向の中心軸線と、バルブシャフト２の中心軸線（回転軸線）との交点（Ｏ）を中心にして半径方向の外側に放射状に拡がる円板状のバタフライバルブである。
【００２１】
ＥＧＲバルブ１の外周端面１８には、上記の交点（Ｏ）を中心とする曲率半径の凸曲面が設けられている。
ＥＧＲバルブ１は、ＥＧＲ制御弁の全閉時に、バルブボディ７の流路方向に対して直交する垂直方向に配置される円板状のプレートバルブである。
ＥＧＲバルブ１には、ＥＧＲ制御弁の全開時にバルブボディ７の流路方向の一方側（ＥＧＲガス流方向の一方側：例えば上流側）に配される第１ディスク（バルブプレート）と、ＥＧＲ制御弁の全開時にバルブボディ７の流路方向の他方側（ＥＧＲガス流方向の他方側：例えば下流側）に配される第２ディスク（バルブプレート）とが設けられている。
【００２２】
バルブシャフト２は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属または合成樹脂によって円柱形状（一部多角柱形状）となるように一体的に形成されている。このバルブシャフト２は、ハウジング４のバルブボディ７の流路孔１０を、バルブボディ７の流路方向（吸気流方向）に対して直交する垂直方向に横切るように配設されている。
バルブシャフト２のバルブ保持部には、直径方向（半径方向）に貫通するスリット状のスリット孔１４が形成されている。このスリット孔１４は、流路孔１０の幅に対応した回転軸方向長を有し、例えばプレス成形機による孔開け加工、ブローチによる切削加工、レーザー加工、放電加工、研削加工等の加工方法により形成されている。
【００２３】
バルブシャフト２のバルブ保持部の外周面の一部には、スクリュー１５の頭部に形成された円錐テーパ面が着座（当接）可能な円錐テーパ状の受圧座面が２箇所形成されている。また、バルブシャフト２には、スリット孔１４の長軸方向（バルブシャフト２の回転軸方向）に直交する一対のスクリュー取付孔である貫通孔１６が形成されている。
なお、一対の受圧座面および一対の貫通孔１６は、バルブシャフト２の軸線方向（回転軸方向）に所定の軸方向距離を隔てて配置されている。
【００２４】
バルブシャフト２は、その回転軸方向の両側に第１、第２突出軸部をそれぞれ備えている。第１、第２突出軸部間には、ＥＧＲバルブ１を螺子締結する薄肉状のバルブ保持部および軸方向部が設けられている。このバルブ保持部には、スクリュー１５の頭部が突き出さないように平面状の２面幅を有している。
【００２５】
第１突出軸部は、円形断面を有し、バルブボディ７の第１軸受孔（後述する）内において回転可能に収容されている。なお、第１軸受孔の開口部は、例えばステンレス鋼等の鉄系金属または合成樹脂製のプラグ１９で気密的に塞がれている。
第２突出軸部は、２面幅を有している。なお、第２突出軸部が多角形状の断面を有していても良い。
軸方向部は、円形断面を有し、バルブボディ７の第２軸受収容孔（後述する）内において回転可能に収容されている。この軸方向部の外周には、ボールベアリング１３の内輪が圧入嵌合によって嵌合保持されている。
【００２６】
電動アクチュエータ３は、ＥＧＲバルブ１を閉弁（全閉）方向に付勢するリターンスプリング２１と、電力の供給を受けるとＥＧＲバルブ１およびバルブシャフト２を回転駆動する回転動力（トルク）を発生するモータＭと、このモータＭのモータシャフト２２の回転を２段減速してバルブシャフト２に伝達する減速機構と、ＥＧＲバルブ１およびバルブシャフト２の回転角度を検出する回転角度検出装置とを備えている。
リターンスプリング２１は、１本の金属素線（断面円形状の線材）を所定の形状に成形することで製造される。このリターンスプリング２１は、バルブシャフト２の周囲、ギアハウジング９の円筒部（ベアリングホルダ）２３、および出力ギア（後述する）の円筒ボス２４の周囲を螺旋状に取り囲むように設置されている。
【００２７】
リターンスプリング２１は、ギアハウジング９のスプリングフック（段差面：以下固定フック）２５と、出力ギア３３のスプリングフック（係合凹部：以下可動フック）との間に螺旋状に巻装して成形されたコイル部、このコイル部の両端部分を半径方向の外側へ折り曲げた２つの第１、第２屈曲部、およびこれらの第１、第２屈曲部から半径方向の外側へ向けて真っ直ぐに延伸した２つの第１、第２端末線（スプリング側フック）を有している。
リターンスプリング２１の一端側の第１端末線は、ギアハウジング９の固定フック２５に係止または保持されている。また、リターンスプリング２１の他端側の第２端末線は、出力ギア３３の可動フックに係止または保持されている。
リターンスプリング２１は、出力ギアに対して、ＥＧＲバルブ１を閉弁（全閉）方向に付勢する弾性力を発生するコイル状のコンプレッションスプリングである。
【００２８】
ここで、減速機構は、ＥＧＲバルブ１と一体回転可能に連結したバルブシャフト２と、このバルブシャフト２と並列配置された支持軸（以下ギアシャフト）２９と、モータシャフト２２と一体回転可能に連結したモータギア（以下ピニオンギア）３１と、このピニオンギア３１と噛み合って回転する中間減速ギア（以下中間ギア）３２と、この中間ギア３２と噛み合って回転すると共に、バルブシャフト２と一体回転可能に連結したバルブギア（以下出力ギア）３３とを備えている。
【００２９】
ピニオンギア３１、中間ギア３２および出力ギア３３は、ギアハウジング９のギア収納凹部内に回転自在に収容されている。
ギアシャフト２９は、バルブシャフト２およびモータシャフト２２と並列配置されている。このギアシャフト２９の軸線方向の一端側は、ギアハウジング９の内面で開口した凹溝内に圧入嵌合等により固定されている。また、ギアシャフト２９の軸線方向の他端側は、センサカバー６の内面で開口した凹溝内に挿入されている。
ピニオンギア３１は、合成樹脂または鉄系金属によって一体的に形成されている。このピニオンギア３１は、モータＭのモータシャフト２２の先端外周に圧入嵌合等により固定される円筒部を有している。この円筒部の外周には、中間ギア３２と噛み合うピニオンギア歯３４が円周方向全体に形成されている。
【００３０】
中間ギア３２は、合成樹脂または鉄系金属によって一体的に形成されている。この中間ギア３２は、ギアシャフト２９の外周に回転自在に嵌め合わされて、ギアシャフト２９の中心軸線周りに回転する円筒部を有している。
円筒部の軸線方向の一端部には、円筒部の外径よりも大きい大径ギア部が形成されている。この大径ギア部の外周には、ピニオンギア歯３４と噛み合う（中間ギア歯）３５が円周方向全体に形成されている。
また、円筒部の軸線方向の他端部には、円筒部の外径と同一で、且つ大径ギア部の外径よりも小さい小径ギア部が形成されている。この小径ギア部の外周には、出力ギア３３と噛み合う小径ギア（中間ギア歯）３６が円周方向全体に形成されている。
【００３１】
出力ギア３３は、合成樹脂または鉄系金属によって一体的に形成されている。この出力ギア３３は、バルブシャフト２と共に、減速機構の出力部を構成する。また、出力ギア３３の内周部には、内部に円形状の貫通孔を有する円筒ボス２４が一体的に形成されている。
また、出力ギア３３は、円筒ボス２４よりも半径方向の外側に部分円筒状（扇状）の歯形成部３７を有している。この歯形成部３７は、所定の角度（例えば８０°〜９５°）分だけ扇状に形成されている。また、歯形成部３７の外周部（出力ギア３３の最大外径部）には、小径ギア３６と噛み合う出力ギア歯３８が形成されている。
【００３２】
出力ギア３３の円筒ボス２４の先端側には、インサート部材である金属製のインサートプレート（以下金属プレート）４１がインサート成形されている。この金属プレート４１の中央部には、２面幅（バルブシャフト２の空回りを防ぐ構造、回り止め構造）を有する嵌合孔４２が貫通形成されている。この嵌合孔４２には、バルブシャフト２の回転軸方向の一端部（バルブシャフト２の嵌合部）が嵌合する。バルブシャフト２の嵌合部は、嵌合孔４２を貫通した後にカシメ等の結合手段を用いて固定される。これにより、出力ギア３３は、バルブシャフト２の嵌合部に回り止めされた状態で嵌合固定される。
【００３３】
また、歯形成部３７の回転方向の一端側面（閉じ側面）には、平坦面（平面）形状の全閉ストッパ部４３が一体的に形成されている。この全閉ストッパ部４３は、ＥＧＲバルブ１を全閉した際に、ギアハウジング９の段差面（全閉ストッパ）４４に当接して係止される。これにより、出力ギア３３の全閉ストッパ部４３が全閉ストッパ４４に当接した際に、ＥＧＲバルブ１およびこのＥＧＲバルブ１と一体回転可能に連結した回転部材（バルブシャフト２、出力ギア３３）のこれ以上の閉弁方向への回転動作が規制される。
【００３４】
モータＭは、有底円筒状のモータハウジング８のモータ収納凹部内に収容保持されている。このモータＭは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載された外部電源（バッテリ）に電気的に接続されている。
ＥＣＵには、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭおよびＲＡＭ）、入力回路（入力部）、出力回路（出力部）、電源回路、タイマー回路等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。
モータ駆動回路は、マイクロコンピュータから与えられる制御信号（例えばＰＷＭ信号のデューティ比）に対してモータＭの内部導体（電機子コイル）への供給電力（モータ駆動電流またはモータ印加電圧）を可変制御する。
【００３５】
そして、回転角度センサ５からのセンサ出力信号（アナログ電圧信号）、各種センサからのセンサ出力信号（電気信号）は、Ａ／Ｄ変換回路によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータの入力部に入力されるように構成されている。
ここで、マイクロコンピュータの入力部には、回転角度センサ５だけでなく、エアフロメータ、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、スロットル開度センサ、吸気温センサ、水温センサおよび排出ガスセンサ（空燃比センサ、酸素濃度センサ）等が接続されている。
【００３６】
ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、先ず、エンジンの運転状況（エンジン情報）または運転条件（状態）を計算（算出）するのに必要な各種センサ出力信号を取得（入力）し、エンジンの運転状況または運転条件およびＲＯＭに格納されたプログラムに基づいて、電動アクチュエータ３のモータＭを電子制御するように構成されている。
【００３７】
ＥＣＵは、エンジンの運転状況（例えばエアフロメータから出力されるセンサ出力信号（吸気流量信号）から測定された新気量、クランク角度センサのＮＥ信号から測定されたエンジン回転数（ＮＥ）に対応して制御目標値（目標ＥＧＲ率）を算出（決定）し、回転角度センサ５のアナログ電圧信号から測定された実ＥＧＲ率と目標ＥＧＲ率との偏差がなくなるように、モータ駆動回路に与える駆動ＤＵＴＹ（デューティ比：Ｄｕｔｙ（％））を可変制御するように構成されている。
【００３８】
そして、モータ駆動回路に駆動ＤＵＴＹ値が与えられると、モータＭの内部導体（電機子コイル）にＤｕｔｙ（％）に対応したモータ印加電圧が印加され、モータＭの内部導体（電機子コイル）に開弁方向（ＥＧＲバルブ１の開き側）または閉弁方向（ＥＧＲバルブ１の閉じ側）のモータ駆動電流が流れる。これにより、ＥＧＲバルブ１が開き側または閉じ側へ駆動される。
【００３９】
回転角度検出装置は、出力ギア３３の円筒ボス２４に一体回転可能に設けられた円筒状の磁気回路部と、この磁気回路部の回転角度を測定してＥＧＲ制御弁のバルブ開度を検出する回転角度センサ５とを備え、磁気回路部と回転角度センサ５との相対回転角度の変化を回転角度センサ５に磁気回路部から与えられる磁気変化によって検出する。
磁気回路部は、円筒ボス２４の直径方向に分割された一対の部分円筒状ヨーク４５と、このヨーク４５の分割部（対向部）に同一方向に磁極が向いて配置された一対のマグネット（永久磁石）４６とを備え、出力ギア３３の円筒ボス２４の内周に接着剤等により固定されている。
なお、円筒ボス２４の材質が合成樹脂の場合には、磁気回路部が円筒ボス２４にインサート成形されていても構わない。
【００４０】
回転角度センサ５は、センサカバー６のセンサ搭載部に設置された一対のステータコアの対向部間に挟み込まれて保持されている。この回転角度センサ５は、センサカバー６の内面から出力ギア３３の円筒ボス２４内へ突出するように設置されている。
回転角度センサ５は、半導体ホール素子の感磁面を鎖交する磁束密度に対応したアナログ電圧信号をＥＣＵへ向けて出力するホールＩＣを主体として構成されている。このホールＩＣは、ホール素子および集積回路が１つのＩＣチップ（半導体チップ）として集積回路化された磁気センサである。
なお、ホールＩＣの代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を使用しても良い。
【００４１】
［実施例１の特徴］
次に、本実施例のハウジング４およびセンサカバー６の詳細を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。
【００４２】
ハウジング４は、例えばアルミニウムを主体とするアルミニウム合金よりなるダイカスト製品（アルミニウムダイカスト製品）であって、このアルミニウムダイカストにより所定の形状に形成されている。このハウジング４には、ＥＧＲシステムのＥＧＲガスパイプの途中に組み込まれて、内部にＥＧＲバルブ１およびバルブシャフト２を回転可能に収容するバルブボディ７と、内部にモータＭを収容するモータハウジング８と、内部にバルブシャフト２、リターンスプリング２１および減速機構を収容するギアハウジング９が一体的に形成されている。
【００４３】
センサカバー６は、電気絶縁性を有する合成樹脂によって一体成形されている。
センサカバー６には、モータＭのフロントブラケットより突出する一対のブラシターミナル４７と一対のモータターミナルとの電気接続を行う内部接続用コネクタと、一対のモータターミナルおよび回転角度センサ５の複数のセンサターミナルと外部回路（ＥＣＵやバッテリ）との電気接続を行う外部接続用コネクタとが設けられている。
【００４４】
バルブボディ７には、流路孔１０の周囲を取り囲む円筒状のパイプ（円筒部）５１、ガイドブッシュ１１の外周を保持する円筒状の軸受支持部（以下ベアリングホルダ）５２、および流路孔１０の吸気流方向の下流端側（または上流端側）の開口周縁に設けられた板状の結合フランジ５３が設けられている。
円筒部５１の内部には、エンジンの各気筒の燃焼室に連通する流路であり、エンジンの各気筒の燃焼室から排出された排出ガスの一部であるＥＧＲガスが流れる断面円形状のスロットルボアを形成する流路孔１０が形成されている。また、円筒部５１の内周は、流路孔１０の流路壁を構成している。
なお、バルブボディ７の円筒部５１の詳細は、後述する。
【００４５】
ベアリングホルダ５２は、ガイドブッシュ１１の周囲を円周方向に取り囲むように配置されて、ガイドブッシュ１１を介してバルブシャフト２の第１突出軸部を回転方向に摺動可能に支持している。このベアリングホルダ５２の内部には、バルブシャフト２の回転軸方向（軸線方向）に真っ直ぐに延びる第１軸受孔５４が形成されている。
【００４６】
結合フランジ５３は、バルブボディ７の下流端（または上流端）に設けられて、ＥＧＲ制御弁の取付部材（固定部材）の支持部に取り付けられる平面状の結合端面を有している。この結合フランジ５３は、その板厚方向に貫通する複数の挿通孔５５を有し、ボルトやスクリューを用いて固定部材の支持部の取付面に締結固定される。これにより、ＥＧＲ制御弁がエンジン側（自動車等の車両側）の固定部材に固定される。
【００４７】
モータハウジング８は、モータＭの円筒ヨークの周囲を円周方向に取り囲む有底円筒状の側壁部５６、およびこの側壁部５６の一端側で開口し、モータ組み付け時にモータＭをモータ収納凹部内に挿入するための開口部（モータ挿入口）を有している。このモータ挿入口は、モータＭのブラシターミナル４７を有するフロントブラケット５７により塞がれている。
【００４８】
ギアハウジング９は、電動アクチュエータ３を収容するギア収納凹部６１、このギア収納凹部６１の周囲を周方向に取り囲む側壁部６２、およびこの側壁部６２の一端側が開口し、電動アクチュエータ３の組み付け時に電動アクチュエータ３をギア収納凹部６１内に挿入するための開口部を有している。この開口部は、センサカバー６により塞がれている。
ギアハウジング９の開口周縁には、センサカバー６の結合部６３との間に環状のガスケット６４を挟んだ状態で、センサカバー６の結合部６３を螺子締結により固定する鍔状の結合部６５が設けられている。
【００４９】
ギアハウジング９の内部には、ガスシール１２およびボールベアリング１３の外輪の外周を保持する円筒状のベアリングホルダ２３が設けられている。
ベアリングホルダ２３は、ガスシール１２およびボールベアリング１３の周囲を円周方向に取り囲むように配置されて、ガスシール１２およびボールベアリング１３を介してバルブシャフト２の軸方向部を回転方向に摺動可能に支持している。このベアリングホルダ２３の内部には、バルブシャフト２の回転軸方向（軸線方向）に真っ直ぐに延びる第２軸受孔６６が形成されている。
【００５０】
次に、本実施例のバルブボディ７の円筒部５１の詳細を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。
【００５１】
バルブボディ７の円筒部５１の内周、つまり流路孔１０の流路壁には、図４に示したように、円環状のバルブシール６９、突条状の突起７１および円筒状の流路壁面７２、７３が設けられている。
バルブシール６９は、流路孔１０の周囲を円周方向に取り囲むように設けられている。このバルブシール６９は、ＥＧＲバルブ１を全閉した時（ＥＧＲ制御弁の全閉時）にＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間にエアギャップ（環状隙間）Ｇを隔てて対向配置されている。
【００５２】
突起７１は、バルブボディ７の流路壁面７２、７３からＥＧＲバルブ１の外周端面１８側へ向けて突出している。
ここで、バルブシール６９は、円環状の突起７１の上流側に形成される第１傾斜面と突起７１の下流側に形成される第２傾斜面との交差稜線（突起７１の頂き部分）に設けられている。
突起７１は、その頂き部分から流路壁面７２、７３へ向けて徐々に流路孔１０の中心軸線側への突き出し量が小さくなる（下り勾配となる）ように傾斜したテーパ面（第１、第２傾斜面）を有している。
【００５３】
バルブシール６９は、流路孔１０を流れるＥＧＲガスの流れ方向の領域が、エアギャップＧへの凝縮水の滞留を防止することが可能な所定値以下に設定されている。また、突起７１の第１、第２傾斜面間の角度は、９０°よりも小さい鋭角となっている。これにより、強酸性の凝縮水がエアギャップＧに滞留することはない。
なお、突起７１のテーパ面の代わりに、突起７１の頂き部分から流路壁面７２、７３へ向けて徐々に流路孔１０の中心軸線側への突き出し量が小さくなる（下り勾配となる）ように傾斜した凸曲面または凹曲面を採用しても良い。また、突起７１の断面形状を、部分円形状としても良い。また、三角形状、台形状等の多角形状や部分球面形状の突起をバルブボディ７の円筒部５１の内周方向に複数連続して設けても良い。
【００５４】
２つの流路壁面７２、７３は、ハウジング４のバルブボディ７の円筒部５１の内周壁に設けられるバルブシール６９に隣接して設けられている。これらの流路壁面７２、７３は、ＥＧＲバルブ１を全閉した時（ＥＧＲ制御弁の全閉時）にエアギャップＧよりもＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間の距離（隙間）を拡げる方向、つまりＥＧＲバルブ１の外周端面１８から遠ざかる方向（ＥＧＲバルブ１の半径方向の外側（放射方向）に窪（凹）んでいる。
２つの流路壁面７２、７３のうちの一方の流路壁面７２は、突起７１に対して流路孔１０を流れるＥＧＲガスの流れ方向の上流側に設けられている。また、他方の流路壁面７３は、突起７１に対して流路孔１０を流れるＥＧＲガスの流れ方向の下流側に設けられている。
【００５５】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲ制御弁の作用を図１ないし図４に基づいて簡単に説明する。
【００５６】
先ず、ＥＣＵは、イグニッションスイッチがオン（ＩＧ・ＯＮ）されると、ＥＧＲ制御弁のＥＧＲバルブ１の動作状態やエンジンの運転状況を判定するのに必要な各種センサ出力信号やモータ駆動回路に与えられる駆動ＤＵＴＹ値（Ｄｕｔｙ（％））を取得する。
なお、Ｄｕｔｙ（％）の代わりに、モータＭの内部導体（電機子コイル）に印加されるモータ印加電圧や、モータＭの内部導体（電機子コイル）を流れるモータ駆動電流を計測してＥＧＲバルブ１の動作状態であるＥＧＲ制御弁のバルブ開度を判定しても良い。
【００５７】
ここで、ＥＣＵは、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンが所定の運転領域（例えば低負荷〜中負荷で、且つ低速回転〜中速回転の領域）に入ると、この運転領域（エンジン負荷およびエンジン回転数）に対応して設定される制御目標値（目標開度、目標ＥＧＲ率）を計算する。
このとき、ＥＣＵは、ＥＧＲバルブ１が所定のバルブ開度（全閉位置に対する回転角度）以上に開弁するようにモータ駆動回路にＤｕｔｙ（％）を与える。ＥＣＵからモータ駆動回路にＤｕｔｙ（％）が与えられると、モータＭの内部導体（電機子コイル）にＤｕｔｙ（％）に対応したモータ印加電圧が印加され、モータＭの内部導体（電機子コイル）に開弁方向（または閉弁方向）のモータ駆動電流が流れる。
【００５８】
これにより、ＥＧＲバルブ１が開弁側または閉弁側へ駆動されて流路孔１０が開かれる。
したがって、エンジンの各気筒の燃焼室から排出された排気ガスの一部がＥＧＲガスとなって排気管からＥＧＲガスパイプに流入し、バルブボディ７の流路孔１０を通って吸気管へ導入される。このとき、エアクリーナを通過した新気とＥＧＲガスが混入され、エンジンの各気筒の吸気ポートおよび燃焼室に供給される。
これによって、排気ガス中に含まれる有害物質（例えばＮＯｘ等）が低減される。
【００５９】
一方、エンジン負荷が低負荷で、且つエンジン回転数が低速回転の領域、つまりアイドル運転時には、エンジンの燃焼を安定させるために、エンジンの各気筒の燃焼室へのＥＧＲガスの導入を止める（ＥＧＲカット）。
また、ドライバーがアクセルペダルを踏み込んで、エンジンの出力を最大限に引き出したい時や加速走行時には、エンジンの各気筒の燃焼室にＥＧＲガスが導入されることを要因とする、エンジンの出力低下を回避するために、エンジンの各気筒の燃焼室へのＥＧＲガスの導入を止める（ＥＧＲカット）。
この場合、モータＭの回転動力を利用してＥＧＲバルブ１を閉弁方向へ動作（全閉作動）させる。あるいはモータＭへの通電をカットして、リターンスプリング２１の付勢力（スプリング力）によってＥＧＲバルブ１を全閉位置に戻す。
【００６０】
これにより、ＥＧＲバルブ１が閉弁側へ駆動または付勢されて流路孔１０が閉じられる。
このとき、ハウジング４のバルブボディ７のバルブシール６９、つまり円環状の突起７１の頂き部分（バルブボディ７の円筒部５１の最小内径部）と、ＥＧＲバルブ１の外周端面１８とがエアギャップＧを隔てて対向して配置されるため、流路孔１０が閉鎖される。これにより、エアクリーナを通過した清浄な吸気（新気）にＥＧＲガスが混入しない。
【００６１】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、ハウジング４のバルブボディ７の流路壁である円筒部５１の内周に円環状の突起７１を設け、この突起７１の頂き部分をハウジング４のバルブシール６９として利用することにより、ＥＧＲバルブ１を全閉した時にＥＧＲバルブ１の外周端面１８とハウジング４のバルブシール６９との間に形成されるエアギャップＧよりもＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間の距離（隙間）を拡げる方向に窪む流路壁面７２、７３を突起７１の上流側および下流側にそれぞれ設けている。
これによって、バルブボディ７の円筒部５１の流路壁面７２、７３から突起７１に到達した強酸性の凝縮水は、突起７１で塞き止められて、ＥＧＲバルブ１の外周端面１８とハウジング４のバルブシール６９との間のエアギャップＧ、つまり突起７１の頂き部分への強酸性の凝縮水の滞留を抑制することができる。
【００６２】
したがって、ハウジング４の材質としてアルミニウムダイカストを採用した場合でも、ハウジング４の流路壁（円筒部５１）の腐食量を低減することが可能となるので、ＥＧＲバルブ１の外周端面１８とハウジング４のバルブシール６９との間に形成されるエアギャップＧが広がることはない。
また、ＥＧＲバルブ１の外周端面１８またはＥＧＲバルブ１と一体回転する回転部材とハウジング４のバルブシール６９とが直接摺動することはないので、エアギャップＧが例えば経年変化等によって広がることもない。
【００６３】
したがって、ＥＧＲ制御弁の全閉時、つまりＥＧＲカット時におけるＥＧＲガス洩れ流量の増加を抑制できるので、ＥＧＲカット時に吸気管の吸気通路内へＥＧＲガスが流出し、更にはエンジンの各気筒の燃焼室内に流入してＥＧＲ率が目標ＥＧＲ率とズレることによる、エンジンへの悪影響（エミッション不良、エンジンの出力低下等の不具合）の発生を防止することができる。
ところで、吸気の全流量に対するＥＧＲガス流量の比率であるＥＧＲ率が過度に高くなると、エンジンの各気筒の燃焼室に供給される吸気中の酸素濃度が低下するので、エンジンの各気筒の燃焼室において失火が発生し、エンジンストール（エンスト）を招く等の不具合が発生する可能性がある。しかし、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、ＥＧＲ制御弁の全閉時、つまりＥＧＲカット時におけるＥＧＲガス洩れ流量の増加を抑制できるので、失火に伴うエンスト等の不具合の発生も防止することができる。
【００６４】
［実施例２の構成］
図５は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例２）を示したものである。
ここで、実施例１と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００６５】
本実施例のＥＧＲ制御弁は、アルミニウムダイカストにより所定の形状に形成されたハウジング４を備えている。このハウジング４には、内部にＥＧＲバルブ１およびバルブシャフト２を回転可能に収容するバルブボディ７が一体的に形成されている。このバルブボディ７には、流路孔１０の周囲を取り囲む円筒状の円筒部５１が設けられている。この円筒部５１の内部には、流路孔１０が形成されている。
バルブボディ７の円筒部５１の内周、つまり流路孔１０の流路壁には、図５に示したように、円環状のバルブシール６９、円環状の段差８１および円筒状の流路壁面８２が設けられている。
【００６６】
バルブシール６９は、ＥＧＲ制御弁の全閉時にＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間にエアギャップＧを隔てて対向配置されている。
流路壁面８２は、段差８１の頂き部分のバルブシール６９に隣接して設けられている。この流路壁面８２は、ＥＧＲ制御弁の全閉時にエアギャップＧよりもＥＧＲバルブ１の外周端面１８との間の距離（隙間）を拡げる方向に窪（凹）んでいる。また、流路壁面８２は、段差８１に対して流路孔１０を流れるＥＧＲガスの流れ方向の下流側に設けられている。
【００６７】
段差８１は、バルブボディ７の円筒部５１の流路方向に沿って延びる流路壁面８２、８３間に高低差を付けるものであり、流路孔１０を流れるＥＧＲガスの流れ方向の下流側に臨む円環状の段差面８４を有している。この段差面８４は、バルブボディ７の円筒部５１の流路方向に対して直交する垂直方向に延びる段差垂直面である。
ここで、バルブシール６９は、段差８１の頂き部分、つまり流路壁面８３と段差面８４との交差稜線近傍に設けられている。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１と同様な効果を奏する。  
【００６８】
［実施例３の構成］
図６は、本発明の流体制御弁を適用したＥＧＲ制御弁（実施例３）を示したものである。
ここで、実施例１及び２と同じ符号は、同一の構成または機能を示すものであって、説明を省略する。
【００６９】
本実施例の段差８１の段差面８４は、図６に示したように、段差８１の頂き部分から流路壁面８２へ向けて徐々に流路孔１０の中心軸線側への突き出し量が小さくなる（下り勾配となる）ように傾斜したテーパ面（傾斜面）となっている。
なお、段差８１のテーパ面の代わりに、段差８１の頂き部分から流路壁面８２へ向けて徐々に流路孔１０の中心軸線側への突き出し量が小さくなる（下り勾配となる）ように傾斜した凸曲面または凹曲面を採用しても良い。
以上のように、本実施例のＥＧＲ制御弁においては、実施例１及び２と同様な効果を奏する。
【００７０】
［変形例］
本実施例では、本発明の流体制御弁を、内燃機関の燃焼室に供給されるＥＧＲガスが流れる排気還流管（ハウジング）内の排気還流路を開閉するＥＧＲバルブを備えたＥＧＲ制御弁（ＥＧＲガス流量制御弁）に適用しているが、本発明の流体制御弁を、内燃機関の燃焼室に供給される吸気が流れる吸気管（ハウジング）内の吸気通路を開閉するスロットルバルブを備えた吸気絞り弁や吸気流量制御弁等の吸気制御弁に適用しても良い。
なお、流体制御弁の一例である吸気制御弁としては、吸気絞り弁や吸気流量制御弁の他に、タンブル制御弁、スワール制御弁、吸気圧力制御弁、吸気流路切替弁等が考えられる。
【００７１】
また、本発明の流体制御弁を、内燃機関の排気浄化装置に供給される２次空気が流れる２次空気流路管（ハウジング）内の空気流路を開閉するバルブを備えた２次空気制御弁に適用しても良い。
また、本発明の流体制御弁を、内燃機関の燃焼室から排出される排出ガス（排気）が流れる排気管（ハウジング）内の排気通路を開閉するバルブを備えた排気絞り弁や排気流量制御弁等の排気制御弁に適用しても良い。
なお、流体制御弁の一例である排気制御弁としては、ＥＧＲ制御弁、排気絞り弁や排気流量制御弁の他に、ウェイストゲート弁、スクロール切替弁、排気圧力制御弁、排気流路切替弁等が考えられる。
【００７２】
本実施例では、ＥＧＲ制御弁等の流体制御弁の弁体であるＥＧＲバルブ１を駆動するアクチュエータとして、電力の供給を受けてトルクを発生するモータＭ、このモータＭの回転を減速する減速機構（動力伝達機構）を備えた電動アクチュエータ３を採用しているが、アクチュエータとして、負圧制御弁を介して電動バキュームポンプからの負圧により駆動される負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えたリニアソレノイド（電磁アクチュエータ）を採用しても良い。
また、流体制御弁の弁体を構成するバルブとして、バタフライバルブを採用しているが、フラップバルブ、プレートバルブ、ロータリバルブ等の回転型バルブを採用しても良い。
【００７３】
本実施例では、本発明の流体制御弁（流量制御弁）として、モータＭへの通電停止時に、ＥＧＲガスが流れる排気流路（第１流路）を全閉し、モータＭへのモータ駆動電流の増加またはモータ印加電圧の増大に伴って排気流路の流路断面積を段階的または連続的に増加させるノーマリクローズ（Ｎ／Ｃ）タイプの排気流量制御弁（排気絞り弁：ＥＧＲ制御弁）を採用しているが、本発明の流体制御弁（流量制御弁）として、モータＭへの通電停止時に、エアクリーナを通過した新気が流れる吸気流路（第２流路）を全開し、モータＭへのモータ駆動電流の増加またはモータ印加電圧の増大に伴って排気流路の流路断面積を段階的または連続的に減少させるノーマリオープン（Ｎ／Ｏ）タイプの吸気流量制御弁（吸気絞り弁）を採用しても良い。
【符号の説明】
【００７４】
Ｇ  エアギャップ（環状隙間）
１  ＥＧＲバルブ（流体制御弁の弁体）
２  バルブシャフト（流体制御弁の弁軸）
４  ハウジング
１８  ＥＧＲバルブの外周端面
５１  バルブボディの円筒部
６９  バルブボディのバルブシール
７１  バルブボディの突起
７２  バルブボディの流路壁面
７３  バルブボディの流路壁面
【図１】
2015059463.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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