(57)【要約】【課題】電極が欠損することを低減できる振動片の製造方法、かかる方法により得られる振動片、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】互いに離間して並設された検出用振動腕２３１、２３２を有する圧電基板と、圧電基板に設けられた電極とを含む振動片を製造する製造方法であって、検出用振動腕２３１、２３２の表面に、電極となる金属膜３０を形成する金属膜形成工程と、金属膜３０の表面にフォトレジスト膜４０を形成するレジスト形成工程と、フォトレジスト膜４０の一部に光Ｌを照射して露光する露光工程とを有し、検出用振動腕２３２は、仮に光Ｌを照射した場合、光Ｌが反射して、検出用振動腕２３１に光Ｌが照射される傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅを有しており、露光工程において、前記光反射部に向う前記光を遮蔽する遮蔽部を設ける。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに離間している第１の構造体および第２の構造体を有する基板と、前記基板に設けられた電極とを含む振動片を製造する製造方法であって、
前記第１の構造体の表面および前記第２の構造体の表面に、前記電極となる金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜の表面にレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジストの一部に光を照射して露光する露光工程とを有し、
前記第１の構造体および前記第２の構造体のうちの少なくとも一方の構造体は、照射された前記光を、前記第１の構造体および前記第２の構造体のうちの他方の構造体に向けて反射する光反射部を有しており、
前記露光工程において、前記光反射部に向う前記光の少なくとも一部を遮蔽する遮蔽部を設けることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項２】
前記遮蔽部は、厚さ方向に貫通する貫通孔を有する板材で構成され、
前記露光工程では、前記遮蔽部の平面視で、前記光反射部と前記貫通孔とが重なっていない請求項１に記載の振動片の製造方法。
【請求項３】
前記露光工程では、前記基板の厚さ方向に沿った前記光を前記基板に向って照射する請求項１または２に記載の振動片の製造方法。
【請求項４】
前記露光工程では、前記基板の厚さ方向と交わる方向に沿った前記光を前記基板に向って照射する請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項５】
前記露光工程に先立って、前記光反射部の位置を検出する検出工程を有している請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項６】
前記第１構造体および前記第２構造体の少なくとも一方は、振動腕であり、
前記振動腕は、前記振動腕の延出する方向と直交する断面の形状において、前記基板の厚さ方向と交わる方向に突出した突出部を有し、
前記光反射部は、前記突出部の頂部を含む請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項７】
前記基板は、Ｚカット水晶板で構成されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項８】
前記第１の構造体および前記第２の構造体は、それぞれ振動腕である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の振動片の製造方法によって製造されることを特徴とする振動片。
【請求項１０】
請求項９に記載の振動片を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
請求項９に記載の振動片を備えることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片の製造方法、振動片、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動片としては、例えば、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラやビデオカメラ等の振動制御補正（いわゆる手ぶれ補正）等に用いられ、角速度、加速度等の物理量を検出するセンサーが知られている。センサーとして、例えば、角速度センサー（振動ジャイロセンサー）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の振動ジャイロセンサーは、基部と、基部から延出した駆動腕および検出腕とを有する圧電基板と、圧電基板の表面に形成された電極とを有している。このような振動ジャイロセンサーは、駆動アームを屈曲振動させた状態で、所定方向の角速度を受けると、駆動腕にコリオリ力が作用し、それに伴って、検出腕が屈曲振動する。このような検出アームの屈曲振動を電極によって検出することにより、角速度を検出することができる。
【０００４】
このような振動ジャイロセンサーは、以下の７つの工程（１）〜（７）を経て製造される。
【０００５】
（１）エッチングにより圧電基板を形成する。
（２）圧電基板に電極となる金属膜を形成する。
（３）金属膜上にレジストを形成する。
（４）レジストの一部に露光光を照射する。
（５）露光光が照射されたレジストを除去する。
（６）残存したレジストから露出している金属膜を除去する。
（７）残存したレジストを除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−２３１６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、振動片を形成するための基板が水晶等の異方性を有する材料で構成されている場合、工程（１）におけるエッチング後に、基板には、不本意に残存する残存部が形成される。そして、工程（４）において、残存部に露光光を照射した場合、残存部の形状によっては、残存部で反射した光が、隣接する構造体（例えば駆動腕や検出腕等）に照射される。この場合、隣接する構造体のレジストが不本意に感光して、工程（５）において、レジストのうちの、残存すべき部位が除去される。このため、工程（６）において、金属膜のうちの、残存すべき部位（電極となるべき部分）が除去される。その結果、得られた振動ジャイロセンサーでは、電極が欠損するおそれがある。
【０００８】
本発明の目的は、電極が欠損することを低減できる振動片の製造方法、かかる方法により得られる振動片、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
【００１０】
［適用例１］
本発明の振動片の製造方法は、互いに離間している第１の構造体および第２の構造体を有する基板と、前記基板に設けられた電極とを含む振動片を製造する製造方法であって、
前記第１の構造体の表面および前記第２の構造体の表面に、前記電極となる金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜の表面にレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記レジストの一部に光を照射して露光する露光工程とを有し、
前記第１の構造体および前記第２の構造体のうちの少なくとも一方の構造体は、照射された前記光を、前記第１の構造体および前記第２の構造体のうちの他方の構造体に向けて反射する光反射部を有しており、
前記露光工程において、前記光反射部に向う前記光の少なくとも一部を遮蔽する遮蔽部を設けることを特徴とする。
【００１１】
これにより、光反射部に光が入射することを低減できる。よって、一方の構造体の光反射部で反射された光が他方の構造体のレジストに照射されることを低減することができる。その結果、他方の構造体の電極に欠損部が形成されることを低減することができる。
【００１２】
［適用例２］
本発明の振動片の製造方法では、前記遮蔽部は、厚さ方向に貫通する貫通孔を有する板材で構成され、
前記露光工程では、前記遮蔽部の平面視で、前記光反射部と前記貫通孔とは重なっていないのが好ましい。
【００１３】
これにより、光反射部に光が入射するのを確実に低減することができる。よって、光反射部で反射された光が隣接する構造体のレジストに照射されるのを確実に低減することができる。
【００１４】
［適用例３］
本発明の振動片の製造方法では、前記露光工程において、前記基板の厚さ方向に沿った前記光を前記基板に向って照射するのが好ましい。
【００１５】
これにより、基板の外表面のうちの、その厚さ方向と交わる方向の面に設けられたレジストに効果的に光を照射することができる。
【００１６】
［適用例４］
本発明の振動片の製造方法では、前記露光工程において、前記基板の厚さ方向と交わる方向に沿った前記光を前記基板に向って照射するのが好ましい。
【００１７】
これにより、基板の外表面のうちの、その厚さ方向に沿った面に設けられたレジストに効果的に光を照射することができる。
【００１８】
［適用例５］
本発明の振動片の製造方法では、前記露光工程に先立って、前記光反射部の位置を検出する検出工程を有しているのが好ましい。
これにより、露光工程を行う以前に、光反射部の位置を確実に把握することができる。
【００１９】
［適用例６］
本発明の振動片の製造方法では、前記第１構造体および前記第２構造体の少なくとも一方は、振動腕であり、
前記振動腕は、前記振動腕の延出する方向と直交する断面の形状において、前記基板の厚さ方向と交わる方向に突出した突出部を有し、
前記光反射部は、前記突出部の頂部を含むのが好ましい。
【００２０】
これにより、露光工程において、振動腕の突出部の頂部に位置する光反射部に向って光が照射されることを低減できる。
【００２１】
［適用例７］
本発明の振動片の製造方法では、前記基板は、Ｚカット水晶板で構成されているのが好ましい。
これにより、本発明の効果を確実に奏することができる。
【００２２】
［適用例８］
本発明の振動片の製造方法では、前記第１の構造体および前記第２の構造体は、それぞれ振動腕で構成されているのが好ましい。
これにより、本発明の効果をより効果的に奏することができる。
【００２３】
［適用例９］
本発明の振動片は、本発明の振動片の製造方法によって製造されることを特徴とする。
【００２４】
これにより、電極に欠損が生じるのが省略され、信頼性の高い振動片を得ることができる。
【００２５】
［適用例１０］
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器を得ることができる。
【００２６】
［適用例１１］
本発明の移動体は、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、本発明の振動片の製造方法により製造される振動片を示す平面図である。
【図２】図２は、図１に示す振動片の電極の形状を示す平面図である。
【図３】図３は、図１に示す振動片の電極の形状を示す透過図である。
【図４】図４は、（ａ）が図１中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】図５は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】図６は、（ａ）〜（ｃ）が、本発明の振動片の製造方法を説明するための図である。
【図７】図７は、（ａ）〜（ｃ）が、本発明の振動片の製造方法を説明するための図である。
【図８】図８は、本発明の振動片の製造方法の第２実施形態により製造される振動片を示す断面図である。
【図９】図９は、本発明の振動片の製造方法の第３実施形態により製造される振動片を示す断面図である。
【図１０】図１０は、図１に示す振動片を備える物理量検出デバイスの好適な実施形態を示す断面図である。
【図１１】図１１は、図１に示す振動片を備える物理量検出デバイスの好適な実施形態を示す平面図である。
【図１２】図１２は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【図１３】図１３は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【図１４】図１４は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。
【図１５】図１５は、図１に示す振動片を備える移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の振動片の製造方法、振動片、電子機器および移動体について、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２９】
１．振動片
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の振動片の製造方法により製造される振動片を示す平面図、図２は、図１に示す振動片の電極の形状を示す平面図、図３は、図１に示す振動片の電極の形状を示す透過図、図４は、（ａ）が図１中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）図１中のＢ−Ｂ線断面図、図５は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図６は、（ａ）〜（ｃ）が、本発明の振動片の製造方法を説明するための図、図７は、（ａ）〜（ｃ）が、本発明の振動片の製造方法を説明するための図である。
【００３０】
なお、以下では、説明の便宜上、各図において、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、＋Ｚ軸側を「上」、−Ｚ軸側を「下」ともいう。また、図６および図７中では、圧電基板のうちの一方の検出用振動腕を代表的に図示している。
【００３１】
まず、本発明の振動片の製造方法によって製造される振動片２について説明する。
図１および図２に示す振動片２は、圧電基板２０と、圧電基板２０に形成された電極とを有している。
【００３２】
−振動基板−
圧電基板２０の構成材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料が挙げられる。これらの中でも、圧電基板２０の構成材料としては、水晶を用いることが好ましい。水晶を用いることで、他の材料と比較して優れた周波数温度特性を有する振動片２が得られる。なお、以下では、圧電基板２０を水晶で構成した場合について説明する。
【００３３】
図１に示すように、圧電基板２０は、水晶基板の結晶軸であるＹ軸（機械軸）およびＸ軸（電気軸）で規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、圧電基板２０は、Ｚカット水晶板で構成されている。なお、Ｚ軸は、圧電基板２０の厚さ方向と必ずしも一致している必要はなく、常温近傍における周波数の温度による変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干傾けてもよい。具体的には、Ｚカット水晶板とは、Ｚ軸に直交した面をＸ軸およびＹ軸の少なくとも一方を中心に０度〜１０度の範囲で回転させた面が、主面となるようなカット角の水晶板を含む。
圧電基板２０の厚さは、特に限定されず、４０．０〜３００．０μｍ程度とされる。
【００３４】
このような圧電基板２０は、基部２１と、駆動用振動腕（第１の駆動腕）２２１および駆動用振動腕（第２の駆動腕）２２２と、検出用振動腕（第１の検出腕）２３１および検出用振動腕（第２の検出腕）２３２と、調整用振動腕２４１および調整用振動腕２４２と、支持部（枠体）２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とを有している。
【００３５】
駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２は、基部２１の互いに異なる位置から−Ｙ軸方向に延出している。駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２は、−Ｘ軸方向から＋Ｘ軸方向に向ってこの順に配置されている。また、駆動用振動腕２２１の先端部には、錘部２２１１が設けられ、駆動用振動腕２２２の先端部には、錘部２２２１が設けられている。また、駆動用振動腕２２１、２２２は、振動片２の重心Ｇと交わるＹＺ平面に関して対称的に設けられている。
【００３６】
また、駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２は、同様の構成であるため、以下、駆動用振動腕２２１について代表的に説明する。
【００３７】
図４（ａ）に示すように、駆動用振動腕２２１の錘部２２１１を除いた部分には、上面および下面に開放する有底状の溝が形成されている。このため、駆動用振動腕２２１は、錘部２２１１を除いた部分の長手方向の全長にわたって、横断面形状が「Ｈ」字状をなしている。これにより、後述の駆動信号電極３３１と駆動接地電極３４１とのＸ軸方向の間隔が狭くなる。よって、駆動信号電極３３１と駆動接地電極３４１との間の電界効率が向上する。その結果、駆動用振動腕２２１では、比較的少ない歪み量で比較的大きい電荷量を発生させることができる。従って。優れた感度を有する振動片２を得ることができる。
【００３８】
検出用振動腕２３１および検出用振動腕２３２は、基部２１の駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２とは異なる位置から駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２の延出方向と反対方向、すなわち＋Ｙ軸方向に延出している。検出用振動腕２３１および検出用振動腕２３２は、−Ｘ軸方向から＋Ｘ軸方向に向ってこの順に配置されている。また、検出用振動腕２３１の先端部には、錘部２３１１が設けられ、検出用振動腕２３２の先端部には、錘部２３２１が設けられている。また、検出用振動腕２３１、２３２は、振動片２の重心Ｇと交わるＹＺ平面に関して対称的に設けられている。
【００３９】
また、検出用振動腕２３１、２３２は、それぞれ同様の構成であるため、以下、検出用振動腕２３１について代表的に説明する。
【００４０】
図５に示すように、検出用振動腕２３１は、横断面形状において、振動腕本体２３１Ａと、振動腕本体２３１Ａから−Ｘ方向に突出した突出部２３１Ｂとを有している。
【００４１】
振動腕本体２３１Ａは、Ｚ軸方向に延在する矩形をなしている。突出部２３１Ｂは、矩形をなし、振動腕本体２３１Ａの長手方向の略中央部から突出している。
【００４２】
このような検出用振動腕２３１は、錘部２３１１を除いた部分の長手方向の全長にわたって上記のような横断面形状をなしている。このため、後述の第１検出信号電極３１１と検出接地電極３２１とのＸ軸方向の間隔が狭くなるとともに、第２検出信号電極３１３と検出接地電極３２１とのＸ軸方向の間隔が狭くなる。よって、第１検出信号電極３１１と検出接地電極３２１との間の電界効率が向上し、第２検出信号電極３１３と検出接地電極３２１との間の電界効率が向上する。その結果、検出用振動腕２３１では、比較的少ない歪み量で比較的大きい電荷量を発生させることができる。従って、優れた感度を有する振動片２を得ることができる。
【００４３】
なお、検出用振動腕２３１および検出用振動腕２３２の離間距離は、６０．０〜２００．０μｍ程度とされる。
【００４４】
調整用振動腕２４１および調整用振動腕２４２は、基部２１から＋Ｙ軸方向に延出している。調整用振動腕２４１および調整用振動腕２４２は、検出用振動腕２３１および検出用振動腕２３２を介して、−Ｘ軸方向から＋Ｘ軸方向に向ってこの順に配置されている。また、検出用振動腕２３１の先端部には、錘部２４１１が設けられ、検出用振動腕２３２の先端部には、錘部２４２１が設けられている。
【００４５】
なお、錘部２２１１、２２２１、２３１１、２３２１、２４１１、２４２１は、必要に応じて設ければよく、例えば、駆動振動の周波数等によっては、省略してもよい。また、駆動用振動腕２２１、駆動用振動腕２２２、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２、調整用振動腕２４１および調整用振動腕２４２の上面および下面に、その長さ方向に延在する有底の溝を形成してもよい。
【００４６】
支持部２５は、連結部２６１、２６２、２６３、２６４を介して基部２１を支持する機能を有している。この支持部２５は、長尺状をなす部分２５１、部分２５２および部分２５３に分けることができる。部分２５１は、Ｘ軸方向に沿って設けられている。部分２５２は、部分２５１の−Ｘ軸方向の端部から＋Ｙ軸方向に延出している。部分２５３は、部分２５１の＋Ｘ軸方向の端部から＋Ｙ軸方向に延出している。このように、支持部２５は、Ｚ軸方向からみたとき、＋Ｙ軸方向に開放する形状をなしている。また、基部２１は、支持部２５の＋Ｙ軸方向に設けられている。
【００４７】
連結部２６１は、長尺状をなし、部分２５２の＋Ｙ軸方向の端部と、基部２１の−Ｘ軸方向の端部とを連結している。この連結部２６１は、長手方向の途中が屈曲した形状をなしている。
【００４８】
連結部２６２は、長尺状をなし、部分２５３の＋Ｙ軸方向の端部と、基部２１の＋Ｘ軸方向の端部とを連結している。この連結部２６２は、長手方向の途中が屈曲した形状をなしている。
【００４９】
連結部２６３は、長尺状をなし、部分２５１と基部２１とを連結している。この連結部２６３は、部分２５２と駆動用振動腕２２１との間に位置している。また、連結部２６３は、長手方向の途中が屈曲した形状をなしている。
【００５０】
連結部２６４は、長尺状をなし、部分２５１と基部２１とを連結している。この連結部２６４は、部分２５３と駆動用振動腕２２２との間に位置している。また、連結部２６４は、長手方向の途中が屈曲した形状をなしている。
【００５１】
このような圧電基板２０では、基部２１と、駆動用振動腕２２１、２２２と、検出用振動腕２３１、２３２と、調整用振動腕２４１、２４２と、支持部（枠体）２５と、４つの連結部２６１、２６２、２６３、２６４とは、一体的に形成されているのが好ましい。
【００５２】
−電極−
図２〜図５に示すように、電極は、第１検出信号電極３１１と、第１検出信号端子３１２と、第２検出信号電極３１３と、第２検出信号端子３１４と、検出接地電極３２１と、検出接地端子３２２と、駆動信号電極３３１と、駆動信号端子３３２と、駆動接地電極３４１と、駆動接地端子３４２とを有している。なお、図２では、説明の便宜上、第１検出信号電極３１１および第１検出信号端子３１２、第２検出信号電極３１３および第２検出信号端子３１４、検出接地電極３２１および検出接地端子３２２、駆動信号電極３３１および駆動信号端子３３２、駆動接地電極３４１および駆動接地端子３４２を、それぞれ、異なるハッチングで図示している。また、圧電基板２０の側面に形成されている電極、配線、端子を太線で図示している。
【００５３】
第１検出信号電極３１１は、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２、調整用振動腕２４１に設けられている。この第１検出信号電極３１１は、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２および調整用振動腕２４１の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する電荷を検出するための電極である。
【００５４】
第１検出信号端子３１２は、部分２５２の＋Ｙ軸方向の端部に形成されている。第１検出信号端子３１２は、連結部２６１の上面に形成された検出信号配線を介して、第１検出信号電極３１１と電気的に接続されている。
【００５５】
第２検出信号電極３１３は、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２、調整用振動腕２４２に設けられている。この第２検出信号電極３１３は、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２、調整用振動腕２４２の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する電荷を検出するための電極である。
【００５６】
第２検出信号端子３１４は、部分２５３の＋Ｙ軸方向の端部に形成されている。第２検出信号端子３１４は、連結部２６２の上面に形成された検出信号配線を介して、第２検出信号電極３１３と電気的に接続されている。
【００５７】
検出接地電極３２１は、調整用振動腕２４１、検出用振動腕２３１、検出用振動腕２３２、調整用振動腕２４２に設けられている。また、検出接地電極３２１は、錘部２２１１、２２２１、２３１１、２３２１の上面および下面にもそれぞれ設けられている。これらの検出接地電極３２１は、第１検出信号電極３１１および第２検出信号電極３１３に対してグランドとなる電位を有する。
【００５８】
検出接地端子３２２は、部分２５２および部分２５３の上面および下面にそれぞれ設けられている。各検出接地端子３２２は、連結部２６１、２６２に形成された接地信号配線を介して検出接地電極３２１と電気的に接続されている。
【００５９】
なお、検出用振動腕２３１を＋Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から第１検出信号電極３１１、検出接地電極３２１の順に配置され、検出用振動腕２３１を−Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から第１検出信号電極３１１、第２検出信号電極３１３および検出接地電極３２１の順に配置されている。
【００６０】
また、検出用振動腕２３２を＋Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から第２検出信号電極３１３、検出接地電極３２１の順に配置され、検出用振動腕２３１を−Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から第２検出信号電極３１３、第１検出信号電極３１１および検出接地電極３２１の順に配置されている。
【００６１】
また、調整用振動腕２４１を＋Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から検出接地電極３２１および第１検出信号電極３１１の順に配置され、調整用振動腕２４１を−Ｚ側からみたとき、検出接地電極３２１および第１検出信号電極３１１の順に配置されている。
【００６２】
また、調整用振動腕２４２を＋Ｚ側からみたとき、−Ｘ軸方向から第２検出信号電極３１３および検出接地電極３２１の順に配置され、調整用振動腕２４２を−Ｚ側からみたとき、第２検出信号電極３１３および検出接地電極３２１の順に配置されている。
【００６３】
このように第１検出信号電極３１１と、第１検出信号端子３１２と、第２検出信号電極３１３と、第２検出信号端子３１４と、検出接地電極３２１と、検出接地端子３２２とを配置することで、検出用振動腕２３１に生じた検出振動は、第１検出信号電極３１１と検出接地電極３２１との間の電荷として現れ、第１検出信号端子３１２と検出接地端子３２２とから信号として取り出すことができる。また、検出用振動腕２３２に生じた検出振動は、第２検出信号電極３１３と検出接地電極３２１との間の電荷として現れ、第２検出信号端子３１４と検出接地端子３２２とから信号として取り出すことができる。
【００６４】
図１〜図４に示すように、駆動信号電極３３１は、駆動用振動腕２２１の両側面、錘部２２１１の外表面、駆動用振動腕２２２の上面および下面に形成されている。この駆動信号電極３３１は、駆動用振動腕２２１、２２２の駆動振動を励起させるための電極である。
【００６５】
また、駆動信号端子３３２は、部分２５１の中央部よりも若干−Ｘ軸側に形成されている。駆動信号端子３３２は、連結部２６３の下面に形成された駆動信号配線を介して、駆動信号電極３３１と電気的に接続されている。
【００６６】
駆動接地電極３４１は、駆動用振動腕２２１の上面および下面、駆動用振動腕２２２の両側面および錘部２２２１の外表面に形成されている。この駆動接地電極３４１は、駆動信号電極３３１に対してグランドとなる電位を有する。
【００６７】
また、駆動接地端子３４２は、部分２５１の中央部よりも若干＋Ｘ軸側に形成されている。この駆動接地端子３４２は、連結部２６４に形成された駆動信号配線を介して、駆動接地電極３４１と電気的に接続されている。
【００６８】
このように駆動信号電極３３１、駆動信号端子３３２、駆動接地電極３４１、駆動接地端子３４２を配置することで、駆動信号端子３３２と駆動接地端子３４２との間に駆動信号を印加することで、駆動信号電極３３１と駆動接地電極３４１との間に電界を生じさせ、駆動用振動腕２２１、２２２を駆動振動させることができる。
【００６９】
以上のような電極の構成としては、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
以上、振動片２の構成について説明した。
【００７０】
次に、図２および図５を参照しつつ、振動片２の動作について説明する。
振動片２に角速度が加わらない状態において、駆動信号端子３３２と駆動接地端子３４２との間に電圧（交番電圧）を印加することで駆動信号電極３３１と駆動接地電極３４１との間に電界が生じると、駆動用振動腕２２１は、図１中矢印Ａ方向に示す方向に屈曲振動を行い、駆動用振動腕２２２は、図１中矢印Ｂ方向に示す方向に屈曲振動を行う。このとき、駆動用振動腕２２１および駆動用振動腕２２２は、各振動腕の中心に位置する重心Ｇを通るＹＺ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部２１、検出用振動腕２３１、２３２、調整用振動腕２４１、２４２は、ほとんど振動しない。
【００７１】
この駆動振動を行っている状態で、振動片２にＺ軸周りの角速度ωが加わると、駆動用振動腕２２１、２２２にコリオリの力が働き、新たな振動が励起される。この新たな振動は、重心Ｇに対して周方向の振動である。また、同時に検出用振動腕２３１には、前記新たな振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起され、検出用振動腕２３２には、矢印Ｄ方向の検出振動が励起される。この検出振動により、検出用振動腕２３１、２３２に発生した電荷を、第１検出信号電極３１１と検出接地電極３２１とから信号として取り出し、この信号に基づいて角速度が求められる。
【００７２】
さて、図４中では、検出用振動腕２３１、２３２の横断面形状を模式的に示しているが、実際は、図５に示すように、検出用振動腕２３２には、ＸＹ平面に対して傾斜した傾斜面２３２Ｃ、傾斜面２３２Ｄ、傾斜面２３２Ｅおよび傾斜面２３２Ｆが形成されている。
【００７３】
検出用振動腕２３２において、傾斜面２３２Ｃ〜２３２Ｆが形成されるのは、圧電基板２０がＺカット水晶板で構成されていることに起因する。水晶は、異方性を有しているため、エッチングで検出用振動腕２３１、２３２を形成した際に、傾斜面２３２Ｃ〜２３２Ｆが必然的に生じることとなる。
【００７４】
なお、検出用振動腕２３１にも同様に、傾斜面２３１Ｃ〜２３１Ｆが形成されているが、検出用振動腕２３１、２３２は、同様の形状であるため、以下、検出用振動腕２３２の傾斜面２３２Ｃ〜２３２Ｆについて代表的に説明する。
【００７５】
傾斜面２３２Ｃは、振動腕本体２３２Ａと突出部２３２Ｂとの＋Ｚ軸側の境界部に位置している。また、傾斜面２３２ＣとＸＹ平面とのなす角度θ１は、１５〜２５°程度である。
【００７６】
傾斜面２３２Ｄは、突出部２３２Ｂの頂部の＋Ｚ軸側に位置している。また、傾斜面２３２ＤとＸＹ平面とのなす角度θ２は、４５〜５５°程度である。
【００７７】
傾斜面２３２Ｅは、突出部２３２Ｂの頂部の−Ｚ軸側に位置している。また、傾斜面２３２ＤとＸＹ平面とのなす角度θ３は、４５〜５５°程度である。
【００７８】
傾斜面２３２Ｃは、振動腕本体２３２Ａと突出部２３２Ｂとの＋Ｚ軸側の境界部に位置している。また、傾斜面２３２ＣとＸＹ平面とのなす角度θ４は、１０〜１５°程度である。
【００７９】
このような検出用振動腕２３２にＺ軸方向から露光光Ｌを照射した際、露光光Ｌは、各傾斜面２３２Ｃ〜２３２Ｆで反射して−Ｘ軸側に向う。このとき、傾斜面２３２Ｃ、２３２Ｆで反射した露光光Ｌは、それぞれ、検出用振動腕２３１から外れた位置に向う。これに対し、傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅで反射した露光光Ｌは、それぞれ、検出用振動腕２３１の＋Ｘ軸側の面２３１Ｋに照射される。このため、以下のような不具合が生じる。
【００８０】
一般的には、圧電基板２０の電極は、フォトリソグラフィー技術を用いた方法で形成される。かかる方法の露光工程において、傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅで反射した露光光Ｌが、検出用振動腕２３１の＋Ｘ軸側の面２３１Ｋに形成されたフォトレジスト膜に照射され、フォトレジスト膜の一部が不本意に感光することとなる。このため、露光工程の後に、フォトレジスト膜のうちの感光した部分を除去する現像工程において、本来であれば残存すべきフォトレジスト膜まで除去されることとなる。その結果、不本意に感光した部分には、電極が形成されず、振動特性が低下したり、電極の形状によっては、断線が生じたりする。
【００８１】
本発明の振動片の製造方法によれば、上記不具合を解決することができる。以下、本発明の振動片の製造方法について説明する。
【００８２】
本発明の振動片の製造方法は、用意工程と、金属膜形成工程と、レジスト形成工程と、検出工程と、配置工程と、露光工程と、現像工程と、除去工程とを有している。
【００８３】
［１］用意工程
まず、圧電基板２０、治具４Ａおよび治具４Ｂを用意する。
【００８４】
圧電基板２０は、Ｚカット水晶基板をウェットエッチングによってパターニングすることにより得られる。
【００８５】
治具４Ａおよび治具４Ｂは、それぞれ、光を遮蔽する板材で構成されている。治具４Ａには、その厚さ方向に貫通する貫通孔４１が形成されている。また、治具４Ｂには、その厚さ方向に貫通する貫通孔４２、４３が、それぞれ異なる位置に形成されている。なお、貫通孔４２、４３は、−Ｚ軸側からこの順に並んでいる（図６（ｃ）参照）。
【００８６】
［２］金属膜形成工程
次に、図６（ａ）に示すように、例えば、蒸着やスパッタリング等によって、圧電基板２０の全面に、電極となる金属膜３０を成膜する。
【００８７】
［３］レジスト形成工程
次に、図６（ｂ）に示すように、金属膜３０の全面にポジ型のフォトレジスト膜４０を成膜する。この成膜方法としては、例えば、プラズマＣＶＤ等の気相成膜法を用いることができる。
【００８８】
［４］検出工程
次に、傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅの位置を検出する。傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅの位置を検出する方法としては特に限定されず、例えば、撮像手段によりＺ軸方向から撮像した濃淡画像に基づいて、傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅの位置を検出する方法等が挙げられる。
【００８９】
［５］配置工程
次に、図６（ｃ）に示すように、圧電基板２０の＋Ｚ軸側に治具４Ａを配置し、−Ｚ軸側に治具４Ｂを配置する（以下、この状態を「配置状態」と言う）。このとき、治具４Ａの平面視で、傾斜面２３２Ｄと貫通孔４１とがずれる、すなわち、傾斜面２３２Ｄと貫通孔４１とが重ならないように治具４Ａを配置する。また、治具４Ｂの平面視で、傾斜面２３２Ｅと貫通孔４２、４３とが重ならないように治具４Ｂを配置する。
【００９０】
なお、本実施形態では、貫通孔４１は、配置状態では、治具４Ａの平面視で、振動腕本体２３２Ａの上面２３２Ｇと重なっている。また、貫通孔４２は、配置状態では、治具４Ｂの平面視で、振動腕本体２３２Ａの下面２３２Ｈと重なっている。そして、治具４Ｂの貫通孔４３は、配置状態では、傾斜面２３２Ｆと重なっている。
【００９１】
［６］露光工程
そして、配置状態で＋Ｚ軸方向および−Ｚ軸方向から圧電基板２０に向って、露光光Ｌを照射する。＋Ｚ軸側から照射された露光光Ｌは、治具４Ａの貫通孔４１を介して振動腕本体２３２Ａの上面２３２Ｇに照射される。一方、−Ｚ軸側から照射された露光光Ｌは、治具４Ｂの貫通孔４２を介して傾斜面２３２Ｆに照射され、貫通孔４３を介して振動腕本体２３２Ａの下面２３２Ｈに照射される。
【００９２】
この露光工程において、治具４Ａは、傾斜面２３２Ｄへの露光光Ｌを遮蔽し、治具４Ｂは、傾斜面２３２Ｅへの露光光Ｌを遮蔽している。これにより、露光光Ｌが傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅに入射するのを防止することができる。よって、露光光Ｌが傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅで反射して、検出用振動腕２３１のフォトレジスト膜４０に照射するのを防止することができる。
【００９３】
［７］現像工程
次に、圧電基板２０に現像液を供給して現像する。これにより、図７（ａ）に示すように、フォトレジスト膜４０のうちの感光した部分が除去される。
【００９４】
［８］除去工程
そして、図７（ｂ）に示すように、残存しているフォトレジスト膜をマスクとして、露出している部分を例えば、ウェットエッチングにより除去する。そして最後に、図７（ｃ）に示すように、残存しているフォトレジスト膜４０を除去する。
【００９５】
このように、本発明の振動片の製造方法によれば、露光工程において、露光光Ｌが傾斜面２３２Ｄ、２３２Ｅで反射して、隣接する検出用振動腕２３１のフォトレジスト膜４０に照射されるのを防止することができる。すなわち、検出用振動腕２３１のフォトレジスト膜４０が不本意に感光するのを防止することができる。よって、現像工程において、本来であれば残存すべきフォトレジスト膜４０が除去されるのを防止することができる。従って、検出用振動腕２３１に不本意な電極の欠損が生じるのを防止することができ、それに起因する振動特性の低下や、断線を防止することができる。
【００９６】
＜第２実施形態＞
図８は、本発明の振動片の製造方法の第２実施形態により製造される振動片を示す断面図である。
【００９７】
以下、この図を参照して本発明の振動片の製造方法の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００９８】
本実施形態は、主に治具の形状および電極の形状が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。
【００９９】
まず、露光工程で用いる治具４Ｃ、４Ｄについて説明する。
図８中二点鎖線で示すように、治具４Ｃは、貫通孔４１Ｃを有している。また、貫通孔４１Ｃは、配置状態では、治具４Ｃの平面視で上面２３２Ｇと重なっている。
【０１００】
一方、治具４Ｄは、貫通孔４１Ｄを有している。貫通孔４１Ｄは、配置状態では、治具４Ｄの平面視で下面２３２Ｈと重なっている。
【０１０１】
なお、配置状態で各治具４Ｃ、４Ｄに覆われる部分は、検出用振動腕２３１についても同様である。
【０１０２】
この治具４Ｃ、４Ｄを用いて露光工程を行うことにより、振動片２Ａを得ることができる。また、露光工程において、検出用振動腕２３１の突出部２３１Ｂの頂面２３１Ｊと、検出用振動腕２３２の突出部２３２Ｂの頂面２３２Ｊとには、斜め露光を行う。これにより、Ｘ軸を法線とする面に対しても露光光Ｌを照射することができる。
【０１０３】
このような第２実施形態においても、前記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０１０４】
次に、上記製造方法で得られた振動片２Ａの各検出用振動腕２３１、２３２における電極の配置について説明する。
【０１０５】
検出用振動腕２３１では、傾斜面２３１Ｃ、２３１Ｄには、第１検出信号電極３１１が設けられ、傾斜面２３１Ｅ、２３１Ｆには、第２検出信号電極３１３が設けられている。また、＋Ｘ軸側の面２３１Ｋには、検出接地電極３２１が設けられている。
【０１０６】
検出用振動腕２３２では、傾斜面２３２Ｃ、２３２Ｄには、第２検出信号電極３１３が設けられ、傾斜面２３１Ｅ、２３１Ｆには、第１検出信号電極３１１が設けられている。また、＋Ｘ軸側の面２３１Ｋには、検出接地電極３２１が設けられている。
このような振動片２Ａによっても、振動片２と同様の機能を有するものとなる。
【０１０７】
＜第３実施形態＞
図９は、本発明の振動片の製造方法の第３実施形態により製造される振動片を示す断面図である。
【０１０８】
以下、この図を参照して本発明の振動片の製造方法の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、電極の形状が異なること以外は前記第２実施形態と同様である。
【０１０９】
図９に示すように、露光工程において、検出用振動腕２３１の面２３１ＫのＺ軸方向の中央部に斜め露光を行い、検出用振動腕２３２の面２３２ＫのＺ軸方向の中央部にも斜め露光を行う。
【０１１０】
以下、上記製造方法で得られた振動片２Ａの各検出用振動腕２３１、２３２における電極の配置について説明する。
【０１１１】
検出用振動腕２３１では、傾斜面２３１Ｃ、２３１Ｄには、第１検出信号電極３１１が設けられ、傾斜面２３１Ｅ、２３１Ｆには、第２検出信号電極３１３が設けられている。また、面２３１Ｋでは、Ｚ軸方向の中央部が、電極が形成されていない領域となっており、該領域を介して＋Ｚ軸側に第２検出信号電極３１３が形成され、−Ｚ軸側に第１検出信号電極３１１が形成されている。
【０１１２】
一方、検出用振動腕２３２では、傾斜面２３２Ｃ、２３２Ｄには、第２検出信号電極３１３が設けられ、傾斜面２３２Ｅ、２３２Ｆには、第１検出信号電極３１１が設けられている。また、面２３２Ｋでは、Ｚ軸方向の中央部が、電極が形成されていない領域となっており、該領域を介して＋Ｚ軸側に第１検出信号電極３１１が形成され、−Ｚ軸側に第２検出信号電極３１３が形成されている。
このような振動片２Ｂによっても、振動片２Ａと同様の機能を有するものとなる。
【０１１３】
２．物理量検出デバイス
次に、振動片を用いた物理量検出デバイスについて説明する。
【０１１４】
図１０は、図１に示す振動片を備える物理量検出デバイスの好適な実施形態を示す断面図であり、図１１は、図１に示す振動片を備える物理量検出デバイスの好適な実施形態を示す平面図である。
【０１１５】
図１０および図１１に示すように、物理量検出デバイスは、振動片２と、振動片２を収容するパッケージ８と、ＩＣチップ９とを有している。
【０１１６】
パッケージ８は、凹部８１１を有する箱状のベース８１と、凹部８１１の開口を塞いでベース８１に接合された板状のリッド８２とを有している。そして、凹部８１１がリッド８２によって塞がれることにより形成された収容空間に振動片２が収納されている。収容空間は、減圧（真空）状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
【０１１７】
凹部８１１は、ベース８１の上面に開放する第１凹部８１１ａと、第１凹部８１１ａの底面の中央部に開放する第２凹部８１１ｂと、第２凹部８１１ｂの底面の中央部に開放する第３凹部８１１ｃと、を有している。
【０１１８】
ベース８１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスや、各種ガラス材料を用いることができる。また、リッド８２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース８１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース８１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース８１とリッド８２の接合方法は、特に限定されず、例えば、接着材やろう材を介して接合することができる。
【０１１９】
凹部８１１の底面には、接続端子８３１、８３２、８３３、８３４、８３５、８３６が形成されている。接続端子８３１〜８３６の構成としては、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
【０１２０】
振動片２は、導電性接着材８６１、８６２によって凹部８１１の底面に固定されている。また、導電性接着材８６１によって、検出接地端子と接続端子８３２とが電気的に接続され、導電性接着材８６２によって、検出接地端子３２２と接続端子８３５とが電気的に接続されている。
【０１２１】
また、導電性ワイヤーによって、接続端子８３１と第２検出信号電極３１３とが電気的に接続され、接続端子８３３と駆動接地端子３４２とが電気的に接続され、接続端子８３４と駆動信号端子３３２とが電気的に接続され、接続端子８３６と第１検出信号端子３１２とが電気的に接続されている。
【０１２２】
導電性接着材８６１、８６２としては、導電性および接着性を有していれば特に限定されず、例えば、シリコーン系、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ビスマレイミド系等の接着材に銀粒子等の導電性フィラーを分散させたものを用いることができる。
【０１２３】
また、第１凹部８１１ａの底部と第２凹部８１１ｂの底部には、各接続配線８７１、８７２、８７３、８７４、８７５、８７６が形成されている。
【０１２４】
接続配線８７１は、接続端子８３１から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。接続配線８７２は、接続端子８３２から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。接続配線８７３は、接続端子８３３から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。接続配線８７４は、接続端子８３４から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。接続配線８７５は、接続端子８３５から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。接続配線８７６は、接続端子８３６から第１凹部８１１ａの底部の中央部に向って延出している。
【０１２５】
図１０に示すように、ＩＣチップ９は、第３凹部８１１ｃの底面にろう材等によって固定されている。ＩＣチップ９は、導電性ワイヤーによって各接続配線８７１、８７２、８７３、８７４、８７５、８７６と電気的に接続されている。これにより、第１検出信号端子３１２、第２検出信号端子３１４、２つの検出接地端子３２２、駆動信号端子３３２、駆動接地端子３４２の各々は、ＩＣチップ９と電気的に接続された状態となっている。ＩＣチップ９は、振動片２を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときに振動片２に生じる検出振動を検出する検出回路と、を有する。
【０１２６】
なお、本実施形態では、ＩＣチップ９がパッケージ８の内部に設けられているが、ＩＣチップ９は、パッケージ８の外部に設けられていてもよい。
【０１２７】
３．電子機器
次いで、振動片２を適用した電子機器について、図１２〜図１５に基づき、詳細に説明する。
【０１２８】
図１２は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。
【０１２９】
この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動片２が内蔵されている。
【０１３０】
図１３は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
【０１３１】
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動片２が内蔵されている。
【０１３２】
図１４は、図１に示す振動片を備える電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
【０１３３】
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。
【０１３４】
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
【０１３５】
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。
【０１３６】
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。
【０１３７】
このようなディジタルスチルカメラ１３００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動片２が内蔵されている。
【０１３８】
なお、図１に示す振動片を備える電子機器は、図１２のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１３の携帯電話機、図１４のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。
【０１３９】
４．移動体
次いで、図１に示す振動片を適用した移動体について、図１５に基づき、詳細に説明する。
【０１４０】
図１５は、図１に示す振動片を備える移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
【０１４１】
自動車１５００には、角速度検知手段（ジャイロセンサー）として機能する振動片２が内蔵されており、振動片２によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。振動片２の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプターで利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、振動片２が組み込まれる。
【０１４２】
以上、本発明の振動片の製造方法、振動片、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【０１４３】
また、本発明の振動片では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。
【０１４４】
また、前記実施形態では、第１の構造体および第２の構造体は、それぞれ、検出用振動腕で構成されているが、本発明では、これに限定されず、第１の構造体および第２の構造体のうちの一方の構造体が振動腕で、他方の構造体が、枠体またはパッケージであってもよい。
また、本発明の振動片の製造方法では、任意の工程を追加することができる。
【０１４５】
また、振動片の形態は、いわゆるＨ型音叉の形態に限定されず、例えば、ダブルＴ型、二脚音叉、三脚音叉、くし歯型、直交型、角柱型等の種々の形態であってもよい。
【０１４６】
また、駆動用振動腕、検出用振動腕および調整用振動腕の数は、それぞれ、１つまたは３つ以上であってもよい。また、駆動用振動腕は、検出用振動腕を兼ねていてもよい。
【０１４７】
また、駆動用電極の数、位置、形状、大きさ等は、駆動用振動腕を通電により振動させることができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。
【０１４８】
また、電極の数、位置、形状、大きさ等は、物理量が加えられることによる駆動用振動腕の振動を電気的に検出することができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１４９】
２…振動片
２Ａ…振動片
２Ｂ…振動片
４Ａ…治具
４Ｂ…治具
４Ｃ…治具
４Ｄ…治具
８…パッケージ
９…ＩＣチップ
１０…振動子
２０…圧電基板
２１…基部
２５…支持部
３０…金属膜
４０…フォトレジスト膜
４１…貫通孔
４１Ｃ…貫通孔
４１Ｄ…貫通孔
４２…貫通孔
４３…貫通孔
８１…ベース
８２…リッド
２２１…駆動用振動腕
２２２…駆動用振動腕
２３１…検出用振動腕
２３１Ａ…振動腕本体
２３１Ｂ…突出部
２３１Ｃ…傾斜面
２３１Ｄ…傾斜面
２３１Ｅ…傾斜面
２３１Ｆ…傾斜面
２３１Ｊ…頂面
２３１Ｋ…面
２３２…検出用振動腕
２３２Ａ…振動腕本体
２３２Ｂ…突出部
２３２Ｃ…傾斜面
２３２Ｄ…傾斜面
２３２Ｅ…傾斜面
２３２Ｆ…傾斜面
２３２Ｇ…上面
２３２Ｈ…下面
２３２Ｊ…頂面
２３２Ｋ…面
２４１…調整用振動腕
２４２…調整用振動腕
２５１…部分
２５２…部分
２５３…部分
２６１…連結部
２６２…連結部
２６３…連結部
２６４…連結部
３１１…第１検出信号電極
３１２…第１検出信号端子
３１３…第２検出信号電極
３１４…第２検出信号端子
３２１…検出接地電極
３２２…検出接地端子
３３１…駆動信号電極
３３２…駆動信号端子
３４１…駆動接地電極
３４２…駆動接地端子
８１１…凹部
８１１ａ…第１凹部
８１１ｂ…第２凹部
８１１ｃ…第３凹部
８３１…接続端子
８３２…接続端子
８３３…接続端子
８３４…接続端子
８３５…接続端子
８３６…接続端子
８６１…導電性接着材
８６２…導電性接着材
８７１…接続配線
８７２…接続配線
８７３…接続配線
８７４…接続配線
８７５…接続配線
８７６…接続配線
１１００…パーソナルコンピューター
１１０２…キーボード
１１０４…本体部
１１０６…表示ユニット
１１０８…表示部
１２００…携帯電話機
１２０２…操作ボタン
１２０４…受話口
１２０６…送話口
１２０８…表示部
１３００…ディジタルスチルカメラ
１３０２…ケース
１３０４…受光ユニット
１３０６…シャッターボタン
１３０８…メモリー
１３１０…表示部
１３１２…ビデオ信号出力端子
１３１４…入出力端子
１４３０…テレビモニター
１４４０…パーソナルコンピューター
１５００…自動車
１５０１…車体
１５０２…車体姿勢制御装置
１５０３…車輪
２２１１…錘部
２２２１…錘部
２３１１…錘部
２３２１…錘部
２４１１…錘部
２４２１…錘部
Ｇ…重心
Ｌ…露光光
θ１…角度
θ２…角度
θ３…角度
θ４…角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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