(57)【要約】【課題】本発明は、気密を確保するとともに、圧電振動片をベースへ簡易に固定できる圧電デバイスを提供する。【解決手段】本発明の圧電デバイス１００は、凹部を有し、凹部内には一対の対向する側面である第１の凹部側面（挟持部１２６ａの＋Ｘ側側面）及び第２の凹部側面（挟持部１２６ｂの−Ｘ側側面）があるベース１２０と、当該一対の対向する側面の間に基部１３１が嵌め込まれた圧電振動片１３０と、ベース１２０の凹部を覆うリッド１００と、を有する。【選択図】図１
2015073212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部を有し、前記凹部内には一対の対向する側面である第１の凹部側面及び第２の凹部側面があるベースと、
前記凹部に収容され、第１の振動片側面及び、前記第１の振動片側面とは反対側の第２の振動片側面を有し、前記第１の振動片側面の少なくとも一部が前記第１の凹部側面に接触し、前記第２の振動片側面の少なくとも一部が前記第２の凹部側面に接触して、前記第１及び第２の凹部側面の間に嵌め込まれた圧電振動片と、
前記ベースの凹部を覆い、前記ベースに接合したリッドと、を有することを特徴とする圧電デバイス。
【請求項２】
前記第１又は第２の凹部側面の少なくとも一方の凹部側面の前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である、請求項１に記載の圧電デバイス。
【請求項３】
前記圧電振動片は、前記第１及び第２の振動片側面とは異なる第３の振動片側面を有し、
前記ベースは、前記第３の振動片側面と対向する位置に第３の凹部側面を有し、
前記第３の凹部側面の少なくとも前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である、請求項１又は請求項２に記載の圧電デバイス。
【請求項４】
前記第１及び第２の凹部側面の表面には凹部側面電極が形成され、
前記第１及び第２の振動片側面における前記第１及び第２の凹部側面と接触する領域には振動片側面電極が形成された、請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項５】
前記凹部側面電極の少なくとも表面はハンダである、請求項４に記載の圧電デバイス。
【請求項６】
前記凹部側面電極の表面における前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である、請求項５に記載の圧電デバイス。
【請求項７】
前記ハンダは溶融されて前記第１及び第２凹部側面と前記圧電振動片とが接合した、請求項５又は請求項６に記載の圧電デバイス。
【請求項８】
前記第１又は第２の凹部側面の少なくとも一つの凹部側面における前記凹部の開口側の端部から前記圧電振動片側に突出する突出部をさらに有する、請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項９】
前記突出部の側面は、前記凹部の開口側に向かうにつれて、前記突出部が突出する前記第１又は第２の凹部側面に向かうように傾斜する傾斜面である、請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項１０】
前記圧電振動片は、基部と、前記基部から伸びた振動腕とを有し、前記基部の一対の面であって、互いに反対の面になる側面が前記第１及び第２の振動片側面である、請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【請求項１１】
前記圧電振動片は、基部と、前記基部から伸びた振動腕と、前記基部から所定方向に伸びた第１の支持腕及び第２の支持腕とを有し、
前記第１の支持腕における前記圧電振動片の外側となる側面が前記第１の振動片側面であり、前記第２の支持腕における前記圧電振動片の外側となる側面が前記第２の振動片側面である請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電デバイスに関する。特に圧電振動片を簡易に固定できて、気密性を確保できる圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話やパーソナルコンピュータなどの様々な電子機器には、主に周波数の選択や制御のために圧電デバイスが広く使われている。圧電デバイスは機能によって圧電振動子、圧電発振器、ＳＡＷデバイスや光学デバイス等に分類できる。そして、圧電素子に水晶を用いた水晶振動子や水晶発振器等が広く知られており、一般的に使われている。
【０００３】
ここで、水晶振動子として、特許文献１では次のようなものが開示されている。まず、凹部空間を有し、凹部の上方から見たときに外形が矩形状のベースがある。凹部空間には水晶振動片が収容され、凹部を覆うようにリッドがベースに接合されて、水晶振動片が密閉される。
【０００４】
凹部の底面には、短辺に沿って一対の水晶振動片搭載パッドが形成される。水晶振動片搭載パッドと、これに近接する凹部の内側面との間には、凹部の底面から上方に伸びる堤部がある。そして、水晶振動片と水晶振動片搭載パッドとの間にある導電性接着剤によって、水晶振動片がベースに固着される。
【０００５】
また、他の水晶振動子として、特許文献２では次のようなものが開示されている。まず、前述の特許文献１と同様に、凹部空間を有するベースがあり、凹部空間に水晶振動片が収容され、凹部を覆うようにリッドがベースに接合される。水晶振動片は、基部と基部から伸びる振動腕とを持つ音叉型の水晶振動片である。そして、凹部の基部付近の幅は、水晶振動片の基部の幅より大きく、凹部の上方から見て水晶振動片が回転しても振動腕の先端が凹部の内壁に接触しない幅である。このような凹部の基部付近の幅の大きさによって水晶振動片が位置決めされて凹部内に接着される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１１３２８５号公報
【特許文献２】特開２００１−２０３５５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の水晶振動子は、水晶振動片が密閉された後に導電性接着剤からガスが放出されることがある。したがって、水晶振動片とベースとの接合強度が変化すること等に起因して経時的に振動特性が変化するおそれがある。また、一つ一つのベースへの導電性接着剤の塗布の工程が必要となり、工程の複雑化を招くおそれがある。また、特許文献２の水晶振動子は、水晶振動片を凹部に接着する具体的な方法が不明である。特許文献１と同様に導電性接着剤で接着する場合は、一つ一つのベースへの導電性接着剤の塗布の工程が必要となり、工程の複雑化を招くおそれがある。
【０００８】
以上のような事情に鑑みて、本発明は、気密を確保するとともに、圧電振動片をベースへ簡易に固定できる圧電デバイスの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電デバイスは、
凹部を有し、前記凹部内には一対の対向する側面である第１の凹部側面及び第２の凹部側面があるベースと、
前記凹部に収容され、第１の振動片側面及び、前記第１の振動片側面とは反対側の第２の振動片側面を有し、前記第１の振動片側面の少なくとも一部が前記第１の凹部側面に接触し、前記第２の振動片側面の少なくとも一部が前記第２の凹部側面に接触して、前記第１及び第２の凹部側面の間に嵌め込まれた圧電振動片と、
前記ベースの凹部を覆い、前記ベースに接合したリッドと、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明の圧電デバイスは、前記第１又は第２の凹部側面の少なくとも一方の凹部側面の前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である構成でもよい。
【００１１】
また、前記圧電振動片は、前記第１及び第２の振動片側面とは異なる第３の振動片側面を有し、
前記ベースは、前記第３の振動片側面と対向する位置に第３の凹部側面を有し、
前記第３の凹部側面の少なくとも前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である構成でもよい。
【００１２】
また、前記第１及び第２の凹部側面の表面には凹部側面電極が形成され、
前記第１及び第２の振動片側面における前記第１及び第２の凹部側面と接触する領域には振動片側面電極が形成された構成でもよい。
【００１３】
また、前記凹部側面電極の少なくとも表面はハンダである構成でもよい。
また、前記凹部側面電極の表面における前記凹部の開口側は、前記開口側に向かうにつれて前記圧電振動片から離れるように傾斜する傾斜面である構成でもよい。
また、前記ハンダは溶融されて前記第１及び第２凹部側面と前記圧電振動片とが接合した構成でもよい。
また、前記第１又は第２の凹部側面の少なくとも一つの凹部側面における前記凹部の開口側の端部から前記圧電振動片側に突出する突出部をさらに有する構成でもよい。
また、前記突出部の側面は、前記凹部の開口側に向かうにつれて、前記突出部が突出する前記第１又は第２の凹部側面に向かうように傾斜する傾斜面である構成でもよい。
また、前記圧電振動片は、基部と、前記基部から伸びた振動腕とを有し、前記基部の一対の面であって、互いに反対の面になる側面が前記第１及び第２の振動片側面である構成でもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の圧電デバイスによれば、気密を確保するとともに、圧電振動片をベースへ簡易に固定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】（ａ）は、水晶振動子１００の、図３のＡ−Ａ線についての断面図である。（ｂ）は、水晶振動子１００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図２】音叉型振動片１３０の平面図である。
【図３】水晶振動子１００の、リッド１１０を取り除いた状態での平面図である。
【図４】（ａ）は底面部シート１２４Ｓの平面図である。（ｂ）は第１枠部シート１２３Ｓの平面図である。
【図５】（ａ）は第２枠部シート１２２Ｓの平面図である。（ｂ）は第３枠部シート１２１Ｓの平面図である。
【図６】（ａ）は貫通孔ＨＬ２の打ち抜き前の第２枠部シート１２２Ｓの断面図である。（ｂ）は貫通孔ＨＬ２の打ち抜き後の第２枠部シート１２２Ｓの断面図である。
【図７】（ａ）は傾斜面１２５形成前の第２枠部シート１２２Ｓの断面図である。（ｂ）は傾斜面１２５形成後の第２枠部シート１２２Ｓの断面図である。
【図８】水晶振動子２００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図９】（ａ）は、水晶振動子３００の、図３のＡ−Ａ線についての断面図である。（ｂ）は、水晶振動子３００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図１０】（ａ）は、水晶振動子４００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。（ｂ）は、水晶振動子５００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図１１】水晶振動子６００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。
【図１２】音叉型振動片７３０の平面図である。
【図１３】水晶振動子７００の、リッド１１０を取り除いた状態での平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜第一実施形態＞
〔水晶振動子１００の全体構成〕
本発明の第一実施形態である水晶振動子１００について、はじめに図１から図３を用いて説明する。図１（ａ）は水晶振動子１００の、図３のＡ−Ａ線についての断面図であり、（ｂ）は、水晶振動子１００の、図３のＢ−Ｂ線についての断面図である。図２は音叉型振動片１３０の平面図である。図３は水晶振動子１００の、リッド１１０を取り除いた状態での平面図である。
【００１７】
水晶振動子１００は直方体状の外形をしており、図１に示されるように、凹部のあるベース１２０にリッド１１０を接合した構成になっている。そして、ベース１２０の凹部に音叉型水晶振動片１３０が収容される。以降の説明では、図１にある通り、ベース１２０からリッド１１０に向かう方向をＺ方向とする。また、Ｚ方向に垂直な方向であり、水晶振動子１００の長辺が伸びる方向をＹ方向とする。そして、Ｚ方向及びＹ方向に垂直な方向をＸ方向とする。なお、Ｚ方向について、ベース１２０を基準にしたときリッド１１０の方向を＋（プラス）とし、この反対方向を−（マイナス）とする。
【００１８】
ベース１２０は、例えばセラミックからなり、４層の積層構造である。最下層である１層目、すなわちベース１２０の最も−Ｚ側の層は、矩形であり平板状の底面部１２４である。底面部１２４の上方である＋Ｚ側の主面には、２層目となる第１壁部１２３が積層される。第１枠部１２３は、底面部１２４の＋Ｚ側の主面の外周部分に積層されており、＋Ｚ側から見たときに第１枠部１２３の中心部分は貫通している。
【００１９】
第１枠部１２３のうち、底面部１２４の＋Ｚ側の主面の長辺に沿って伸びる一対の部分、及び、当該主面の＋Ｙ側の短辺に沿って伸びる部分（図１の第１枠部Ａ領域１２３ａ）、の＋Ｚ側から見たときの幅はほぼ等しい。一方、第１枠部１２３のうち、底面部１２４の＋Ｚ側の主面における−Ｙ側の短辺に沿って伸びる部分（図１の第１枠部Ｂ領域１２３ｂ）の＋Ｚ側から見たときの幅は、第１枠部Ａ領域１２３ａの幅より大きい。
【００２０】
第１枠部１２３の＋Ｚ側の面には第２枠部１２２が積層される。第２枠部１２２は、＋Ｙ側においてＸ方向に伸びる第２枠部Ａ領域１２２ａ、第２枠部Ａ領域１２２ａの−Ｘ側の端部から−Ｙ方向に伸びる第２枠部Ｃ領域１２２ｃ、第２枠部Ａ領域１２２ａの＋Ｘ側の端部から−Ｙ方向に伸びる第２枠部Ｄ領域１２２ｄ、及び、第２枠部Ｃ領域１２２ｃの−Ｙ側の端部と第２枠部Ｄ領域１２２ｄの−Ｙ側の端部とをつないでＸ方向に伸びる第２枠部Ｂ領域１２２ｂとからなる。
【００２１】
第２枠部Ａ領域１２２ａは第１枠部Ａ領域１２３ａに積層される。そして、＋Ｚ側から見たときの第２枠部Ａ領域１２２ａの幅は第１枠部Ａ領域１２３ａの幅とほぼ等しい。第２枠部Ｃ領域１２２ｃ及び第２枠部Ｄ領域１２２ｄも、＋Ｙ側においては、第２枠部Ｃ領域１２２ｃ及び第２枠部Ｄ領域１２２ｄの−Ｚ側にある第１枠部１２３の幅とほぼ等しい、しかし、第２枠部Ｃ領域１２２ｃ、ｄは、−Ｙ側であって、第１枠部Ｂ領域１２３ｂと重なる領域では幅が広くなる。この第２枠部Ｃ領域１２２ｃ、ｄにおける幅が広くなった部分を、図１及び図３に示すように、それぞれ挟持部１２６ａ、ｂと呼ぶ。挟持部１２６ａ、ｂの側面は互いに対向する位置に配置されることになる。したがって、第２枠部Ｃ領域１２２ｃと第２枠部Ｄ領域１２２ｄとの間の距離を考えると、挟持部１２６ａ、ｂ間の距離は、他の部分の間の距離と比べて短くなっている。
【００２２】
第２枠部Ｂ領域１２２ｂの内側（凹部側）の側面は、図１（ａ）に示すように、傾斜面１２５になっている。傾斜面１２５は−Ｚ側の端部から＋Ｚ側の端部に進むにつれて、凹部側とは反対側に向かうように傾斜している。したがって、図１（ａ）に示されるように、第２枠部Ｂ領域１２２ｂの−Ｚ側の面の幅は＋Ｚ側の面の幅より広くなっている。なお、図１（ａ）では傾斜面１２５の断面が直線で記載されているが、これに限らず、弧状又は波状のように曲線で表される形状であってもよい。
【００２３】
第２枠部１２２の＋Ｚ側の面には第３枠部１２１が積層されて、当該＋Ｚ側の面を周回する。第３枠部１２１の＋Ｚ側から見た幅は、挟持部１２６ａ、ｂに積層された領域を除いて、第２枠部１２２の＋Ｚ側の面の幅とほぼ等しい。第３枠部１２１における挟持部１２６ａ、ｂに積層された領域の幅は、図１(ｂ)に示すように、挟持部１２６ａ、ｂのそれぞれの幅より小さい。したがって、図３に示すように、ベース１２０を＋Ｚ側からは、挟持部１２６ａ、ｂの一部が見えることになる。また、前述の通り、第２枠部Ｂ領域１２２ｂの−Ｚ側の面の幅は＋Ｚ側の面の幅より大きくなっている。したがって、図３に示すように、ベース１２０を＋Ｚ側からは、傾斜面１２５が見えることになる。ベース１２０は以上のように構成され、底面部１２４、第１枠部１２３、第２枠部１２２及び第３枠部１２１で囲まれる領域が、図１（ａ）及び（ｂ）に示されるように、凹部となる。
【００２４】
ベース１２０の外底面になる底面部１２４の−Ｚ側の面には、一対の実装端子１４０ａ、ｂが形成される。図１（ａ）に示す通り、−Ｙ側には実装端子１４０ａ、＋Ｙ側には実装端子１４０ｂが形成される。実装端子１４０ａの＋Ｚ側に位置する、底面部１２４の所定の領域には、図３に示すように、貫通電極１４３ａが形成されている。貫通電極１４３ａは、底面部１２４に形成された貫通孔を金属などの導電性材料で充填して形成したものである。したがって、実装端子１４０ａは貫通電極１４３ａに導通する。そして、貫通電極１４３ａは図示しない導電路によって、挟持部１２６ｂの表面に形成された挟持部電極１４１ｂに導通する。挟持部電極１４１ｂは、図１及び図３に示すように、挟持部１２６ｂの凹部側（−Ｘ側）の側面及び＋Ｚ側の面であって、第３枠部１２１が積層されていない領域に形成される。
【００２５】
また、実装端子１４０ｂの＋Ｚ側に位置する、底面部１２４の所定の領域には、図３に示すように、貫通電極１４３ａが形成されている。貫通電極１４３ａは、底面部１２４に形成された貫通孔を金属などの導電性材料で充填して形成したものである。したがって、実装端子１４０ｂは貫通電極１４３ｂに導通する。そして、貫通電極１４３ｂは、ベース電極１４２を経由して挟持部１２６ａの表面に形成された挟持部電極１４１ａに導通する。挟持部電極１４１ａは、図１及び図３に示すように、挟持部１２６ａの凹部側（＋Ｘ側）の側面及び＋Ｚ側の面であって、第３枠部１２１が積層されていない領域に形成される。
【００２６】
なお、ベース１２０の表面に形成されている実装端子１４０ａ、ｂ、ベース電極１４２及び、挟持部電極１４１ａ、ｂは、例えば、下層をＷ（タングステン）の金属膜、この表面に中間層となるＮｉ（ニッケル）の金属膜、この表面に上層となるＡｕ（金）の金属膜を形成して３層の構成とする。
【００２７】
そして、ベース１２０の凹部には、圧電振動片である音叉型水晶振動片１３０が収容される。ここで、一般に水晶は単結晶水晶からの切断角度によって振動特性が異なることが知られており、種々の切断角度の水晶が提案されている。音叉型水晶振動片１３０ではＺカット型の水晶を用いる。
【００２８】
音叉型水晶振動片１３０について、主に図２を参照して説明する。音叉型水晶振動片１３０は主として基部１３１と一対の振動腕１３２ａ、ｂとからなる。基部１３１の＋Ｚ側から見た形状は図２に示す通りであり、基部１３１の厚さは図１（ａ）、（ｂ）に示す通りほぼ一定である。そして、基部１３１の＋Ｙ側の側面から＋Ｙ方向に一対の振動腕１３２ａ、ｂが伸びる。
【００２９】
＋Ｘ側の振動腕１３２ｂの＋Ｚ側の面には振動腕電極１５３ｂが形成されている。振動腕電極１５３ｂの基部１３１側（−Ｙ側）の端部からは引出電極１５６ａが伸びており、基部１３１の−Ｙ側であって−Ｘ側に形成された基部電極１５０ａに導通する。基部電極１５０ａは隣接する−Ｘ側の側面に形成された基部電極１５１ａに接続し、基部電極１５１ａは、図１（ｂ）に示されるように、基部１３１の−Ｚ側の面に形成された基部電極１５２ａに接続する。
【００３０】
−Ｘ側の振動腕１３２ａの＋Ｚ側の面には振動腕電極１５３ａが形成されている。振動腕電極１５３ａは、振動腕１３２ｂの−Ｘ側の側面に形成された振動腕電極１５４ｄ、振動腕１３２ｂの＋Ｚ側の面であって＋Ｙ側の端部に形成された振動腕電極１５５ｂ、及び、振動腕１３２ｂの＋Ｘ側の側面に形成された振動腕電極１５４ｃを経由して、基部１３１の＋Ｚ側の面に形成された引出電極１５６ｂに導通する。引出電極１５６ｂは基部１３１の−Ｙ側であって＋Ｘ側に形成された基部電極１５０ｂに導通する。基部電極１５０ｂは隣接する＋Ｘ側の側面に形成された基部電極１５１ｂに接続し、基部電極１５１ｂは、図１（ｂ）に示されるように、基部１３１の−Ｚ側の面に形成された基部電極１５２ｂに接続する。
【００３１】
なお、基部電極１５０ａが導通する引出電極１５６ａは、振動腕１３２ａの−Ｘ側側面に形成された振動腕電極１５４ａ、振動腕１３２ａの＋Ｚ側の面であって＋Ｙ側の端部に形成された振動腕電極１５５ａ、及び、振動腕１３２ａの＋Ｘ側の側面に形成された振動腕電極１５４ｂ等を経由して、振動腕１３２ｂの−Ｚ側の面に形成された図示しない振動腕電極に導通する。また、基部電極１５０ｂが導通する引出電極１５６ｂは、図示しない電極を経由して振動腕１３２ａの−Ｚ側の面に形成された図示しない振動腕電極に導通する。
【００３２】
また、上述した音叉型水晶振動片１３０の表面に形成されている基部電極、引出電極及び振動腕電極は、例えば、下層をＣｒ（クロム）の金属膜とし、この表面である上層をＡｕ（金）の金属膜とした２層の構成とする。
【００３３】
そして、図１に示すように、ベース１２０の凹部の開口端面となる第３枠部１２１の＋Ｚ側の面に、平板状のリッド１１０が接合されて、音叉型水晶振動片１３０が密閉封入される。リッド１１０は例えばコバールからなる。なお、コバールはＦｅ（鉄）、Ｎｉ（ニッケル）及びＣｏ（コバルト）の合金である。そしてリッド１１０の表面は例えばＮｉの金属膜で覆われている。そして、第３枠部１２１の＋Ｚ側の全面に形成された図示しない金属膜と、リッド１１０とが銀ロウ等のロウ材１６０で接合されている。
【００３４】
〔音叉型水晶振動片１３０の収容〕
次に音叉型水晶振動片１３０のベース１２０への収容の詳細を、主に図１及び図３を用いて説明する。基部１３１の−Ｙ側は、挟持部１２６ａ、ｂの間に挟まれている。ここで、挟持部１２６ａ、ｂの間の距離は、基部１３１の−Ｙ側におけるＸ方向の幅とほぼ等しいか、例えば１０μｍ〜１００μｍ程度狭くなるように作製される。
【００３５】
音叉型水晶振動片１３０は、ベース１２０の凹部上方（＋Ｚ側）から挟持部１２６ａ及び挟持部１２６ｂの間に嵌め込まれる。そして、音叉型水晶振動片１３０は、基部１３１の−Ｙ側は挟持部１２６ａ、ｂで挟み込む力、又は、基部１３１と挟持部１２６ａ、ｂとが接触する部分の摩擦力の少なくとも一方の力によってベース１２０に固定される。また、基部１３１の−Ｚ側の面は、第１枠部Ｂ領域１２３ｂの＋Ｚ側の面であって第２枠部Ｂ領域１２２ｂが積層されていない領域に接している。寸法の公差について、例えば、音叉型水晶振動片１３０の外形寸法の公差は±５μｍ、挟持部１２６ａ、ｂの寸法の公差は±１０μｍにすることで音叉型水晶振動片１３０をベース１２０に適切に固定できる。
【００３６】
基部１３１の−Ｘ側の側面に形成された基部電極１５１ａと、挟持部１２６ａの＋Ｘ側の側面に形成された挟持部電極１４１ａとは接触して導通する。同様に、基部１３１の＋Ｘ側の側面に形成された基部電極１５１ｂと、挟持部１２６ｂの−Ｘ側の側面に形成された挟持部電極１４１ｂとは接触して導通する。このようにして、実装端子１４０ａ、ｂと振動腕電極１５３ａ、ｂ、１５４ａ〜ｄ等が導通する。
【００３７】
基部１３１の−Ｙ側の端部は傾斜面１２５の−Ｚ側の端部に接している。傾斜面１２５は、音叉型水晶振動片１３０との関係で見ると、図１（ａ）にあるように、凹部の底面側（−Ｚ側）から凹部の開口側（＋Ｚ側）に向かうにつれて音叉型水晶振動片１３０から離れるように傾斜する。
【００３８】
なお、水晶振動子１００では、基部電極１５１ａ、ｂと挟持部電極１４１ａ、ｂとを接触させることで、基部１３１とベース１２０との導通を確保していた。しかし、第１枠部Ｂ領域１２３ｂにおける基部電極１５２ａ、ｂと対向する領域に、実装端子１４０ａ、ｂと導通したベース電極を形成してもよい。この場合でも、基部電極１５２ａ、ｂと当該ベース電極とが接触して導通を確保できる。
【００３９】
このように、音叉型水晶振動片１３０は挟持部１２６ａ及び挟持部１２６ｂの間に嵌め込まれて固定される。したがって、例えば導電性接着剤で音叉型水晶振動片１３をベース１２０に固定する場合と比べて、導電性接着剤の塗布工程等が不要になり、製造工程の簡素化を実現できる。また、導電性接着剤による接合を行わないため、導電性接着剤が放出されるガスによって振動特性が変化するおそれがない。
【００４０】
また、傾斜面１２５は、凹部の底面側（−Ｚ側）から凹部の開口側（＋Ｚ側）に向かうにつれて音叉型水晶振動片１３０から離れるように傾斜する。よって、音叉型水晶振動片１３０を挟持部１２６ａ及び挟持部１２６ｂの間に嵌め込む際に、傾斜面１２５に沿って押し込むことができる。したがって、音叉型水晶振動片１３０がＹ方向にずれた位置から押し込まれたとしても、傾斜面１２５に沿って進むことで適切な位置に固定させることできる。
【００４１】
また、音叉型水晶振動片１３０は、主に振動腕１３２ａ、ｂが振動するものであり、基部１３１は振動特性に与える影響は比較的小さい。したがって、基部１３１が挟持部１２６ａ、ｂで固定されても、振動特性に与える影響を抑えることができる。
【００４２】
〔水晶振動子１００の製造方法〕
（ベース１２０の形成）
次に、水晶振動子１００の製造方法を、図４及び図５を参照して説明する。図４（ａ）は底面部シート１２４Ｓの平面図、図４（ｂ）は第１枠部シート１２３Ｓの平面図、図５（ａ）は第２枠部シート１２２Ｓの平面図、図５（ｂ）は第３枠部シート１２１Ｓの平面図である。
【００４３】
まず、底面部シート１２４Ｓを用意する。底面部シート１２４Ｓは例えばセラミックグリーンシートで構成されたものである。底面部シート１２４Ｓには、底面部１２４に相当する仮想的な領域が複数設けられる。この仮想的な領域は、図４（ａ）に示されるＸ方向に伸びる２点鎖線Ｖ１０及びＹ方向に伸びる２点鎖線Ｖ１１で囲まれた領域である。なお、図４（ａ）では底面部１２４に相当する仮想的な領域は９個設けられているが、底面部シート１２４Ｓの大きさや底面部１２４の大きさによって適宜変更される。この点は、第１枠部シート１２３Ｓ、第２枠部シート１２２Ｓ及び第３枠部シート１２１Ｓでも同様である。
【００４４】
底面部シート１２４Ｓには、貫通電極１４３ａ、ｂに相当する領域に、打ち抜き加工などにより貫通孔を形成する。そして、スクリーン印刷などにより、例えばＷを含んだ導電ペーストを当該貫通孔及び実装端子１４０ａ、ｂに相当する領域に印刷する。
【００４５】
また、第１枠部シート１２３Ｓを用意する。第１枠部シート１２３Ｓは例えばセラミックグリーンシートで構成されたものである。第１枠部シート１２３Ｓには、第１枠部１２３に相当する仮想的な領域が複数設けられる。この仮想的な領域は、図４（ｂ）に示されるＸ方向に伸びる２点鎖線Ｖ２０及びＹ方向に伸びる２点鎖線Ｖ２１で囲まれた領域である。そして、第１枠部１２３に相当する仮想的な領域には打ち抜き加工などにより貫通孔ＨＬ１を形成する。この貫通孔ＨＬ１は、図４（ｂ）に示すように、各第１枠部１２３において、Ｘ方向については中央に形成する。Ｙ方向については＋Ｙ側に形成する。これにより、Ｘ方向に伸びる第１枠部Ｂ領域１２３ｂの幅は、Ｘ方向に伸びる第１枠部Ａ領域１２３ａの幅より大きくなる。また、図４（ｂ）では省略されているが、図３における、ベース電極１４２と挟持部電極１４１ａとを導通させるための電極、及び、貫通電極１４３ａと挟持部電極１４１ｂとを導通させるための電極を、Ｗを含んだ導電ペーストのスクリーン印刷などによって形成する。
【００４６】
また、第２枠部シート１２２Ｓを用意する。第２枠部シート１２２Ｓは例えばセラミックグリーンシートで構成されたものである。第２枠部シート１２２Ｓには、第２枠部１２２に相当する仮想的な領域が複数設けられる。この仮想的な領域は、図５（ａ）に示されるＸ方向に伸びる２点鎖線Ｖ３０及びＹ方向に伸びる２点鎖線Ｖ３１で囲まれた領域である。そして、第２枠部１２２に相当する仮想的な領域には打ち抜き加工などにより貫通孔ＨＬ２を形成する。
【００４７】
貫通孔ＨＬ２の形成時に、同時に傾斜面１２５を形成する。傾斜面１２５は−Ｚ側の端部から＋Ｚ側の端部に進むにつれて、貫通孔ＨＬ２とは反対側に向かうように傾斜する。この傾斜面１２５の形成方法について、図６及び図７を用いて説明する。図６（ａ）は貫通孔ＨＬ２の打ち抜き前の第２枠部シート１２２Ｓの断面図、図６（ｂ）は貫通孔ＨＬ２の打ち抜き後の第２枠部シート１２２Ｓの断面図、図７（ａ）は傾斜面１２５形成前の第２枠部シート１２２Ｓの断面図、図７（ｂ）は傾斜面１２５形成後の第２枠部シート１２２Ｓの断面図である。
【００４８】
まず、先端の平面視の形状（図６（ａ）で−Ｚ方向から見た形状）が貫通孔ＨＬ２の形状となるパンチ８００を用意する。パンチ８００の側面は、図６（ａ）に示すように傾斜面は形成されておらず、ほぼＺ方向に平行な面となっている。また、パンチ８００の平面視の形状とほぼ同じ形状の貫通孔を持つダイ８１０を用意する。次に、図６（ａ）に示すようにダイ８１０の＋Ｚ側の面に第２枠部シート１２２Ｓを載置して、パンチ８００を第２枠部シート１２２Ｓの＋Ｚ側に配置する。次に、図６（ｂ）に示すように、パンチ８００を、−Ｚ側に移動させて、ダイ８１０の貫通孔に挿入する。これにより、第２枠部シート１２２Ｓに貫通孔ＨＬ２が形成される。しかし、この段階では傾斜面１２５は形成されていない。
【００４９】
そこで、次に図７（ａ）に示すパンチ８５０を用意する。パンチ８５０の先端の平面視の形状（図７（ａ）で−Ｚ方向から見た形状）は貫通孔ＨＬ２にほぼ等しいが、パンチ８５０は、第２枠部１２２の傾斜面１２５に対応する位置に傾斜面８５１を持つ。そして、貫通孔ＨＬ２が形成された第２枠部シート１２２Ｓを、ダイ８１０に載置にした状態で、図７（ａ）に示すように、パンチ８５０を第２枠部シート１２２Ｓの＋Ｚ側に配置する。次に、図７（ｂ）に示すように、パンチ８５０を、−Ｚ方向に移動させて、ダイ８１０の貫通孔に挿入する。これにより、第２枠部１２２の傾斜面１２５が形成される。
【００５０】
次に、図５（ａ）の挟持部１２６ａ、ｂの＋Ｚ、−Ｚ側の主面、＋Ｙ側の側面、及び、挟持部１２６ａ、ｂの互いに対向する側面（挟持部１２６ａは＋Ｘ側の側面、挟持部１２６ｂは−Ｘ側の側面）に、スクリーン印刷などにより、例えばＷを含んだ導電ペーストを印刷する。
【００５１】
また、第３枠部シート１２１Ｓを用意する。第３枠部シート１２１Ｓは例えばセラミックグリーンで構成されたものである。第３枠部シート１２１Ｓには、第３枠部１２１に相当する仮想的な領域が複数設けられる。この仮想的な領域は、図５（ｂ）に示されるＸ方向に伸びる２点鎖線Ｖ４０及びＹ方向に伸びる２点鎖線Ｖ４１で囲まれた領域である。そして、第３枠部１２１に相当する仮想的な領域には打ち抜き加工などにより貫通孔ＨＬ３を形成する。
【００５２】
次に、このように形成された底面部シート１２４Ｓ、第１枠部シート１２３Ｓ、第２枠部シート１２２Ｓ、第３枠部シート１２１Ｓを積層する。具体的には、底面部シート１２４Ｓの＋Ｚ側に第１枠部シート１２３Ｓを積層し、第１枠部シート１２３Ｓの＋Ｚ側に第２枠部シート１２２Ｓを積層し、第２枠部シート１２２Ｓの＋Ｚ側に第３枠部シート１２１Ｓを積層する。この際に、底面部１２４、第１枠部１２３、第２枠部１２２及び第３枠部１２１の各仮想的な領域が重なるようにする。そして、焼成する。次に、電解メッキ又は無電解メッキにより、スクリーン印刷等で形成したＷ等の金属表面に、例えば、Ｎｉの金属膜及びＡｕの金属膜を順次形成する。そして、２点鎖線Ｖ１０、Ｖ１１、Ｖ２０、Ｖ２１、Ｖ３０、Ｖ３１、Ｖ４０、Ｖ４１で切断することで、ベース１２０が形成される。
【００５３】
（音叉型水晶振動片１３０の形成と収容）
音叉型水晶振動片１３０は、例えば図示しない水晶ウエハを用いて形成する。まず、水晶ウエハの両主面を、スパッタ等により金属膜で覆う。次に、当該金属膜の表面にレジスト膜を形成する。次に所定領域を露光及び現像することで、水晶ウエハ上に、複数の音叉型水晶振動片１３０に対応する領域及び当該音叉型水晶振動片１３０をつなぐ枝部となる領域にレジスト膜が塗布された状態になり、その他の領域は金属膜が露出された状態になる。次に、エッチングによって、露出した金属膜を除去し、除去した金属膜の下にある水晶を露出させる。
【００５４】
次に、エッチングによって露出した部分の水晶を貫通させる。これにより、水晶ウエハは、複数の音叉型水晶振動片１３０及びこれらの音叉型水晶振動片１３０をつなぐ枝部からなる構成となる。次に、水晶ウエハに残ったレジスト及び金属膜を除去する。次に、スパッタ又はフォトリソグラフィを用いて、音叉型水晶振動片１３０の図２に示される各種電極（基部電極１５０ａ、ｂ、基部電極１５１ａ、ｂ、引出電極１５６ａ、ｂ、振動腕電極１５３ａ、ｂ、１５４ａ〜ｄ、１５５ａ、ｂ）を形成する。次に、水晶ウエハの音叉型水晶振動片１３０を、水晶ウエハの枝部から折り取ることで、個片になった複数の音叉型水晶振動片１３０を得る。
【００５５】
次に、音叉型水晶振動片１３０をベース１２０に収容する。まず、音叉型水晶振動片１３０をベース１２０の＋Ｚ側に配置する。このとき、音叉型水晶振動片１３０の基部１３１が、＋Ｚ側から見たとき、一対の挟持部１２６ａ、ｂの間に配置されるようにする。又、基部１３１の−Ｙ側の端部が、＋Ｚ側から見たとき、傾斜面１２５内に配置されるようにする。次に、音叉型水晶振動片１３０を−Ｚ方向に押す。これにより、基部１３１は一対の挟持部１２６ａ、ｂの間に嵌め込まれる。また、音叉型水晶振動片１３０を挟持部１２６ａ、ｂの間に嵌め込む際に、基部１３１の−Ｙ側の端部が傾斜面１２５に沿って−Ｚ側に押し込まれる。そして、基部１３１が、図１に示すように第１枠部Ｂ領域１２３ｂの＋Ｚ側の面に接触すると、基部１３１の−Ｙ側の端部は傾斜面１２５の−Ｚ側の端部に位置決めされることになる。
【００５６】
（封止）
最後に、リッド１１０を、ベース１２０の凹部の開口端面となる第３枠部１２１の＋Ｚ側の面に接合して、音叉型水晶振動片１３０を密閉封入する。この際、予め、当該ベース１２０の凹部の開口端面、又は、リッド１１０の−Ｚ側の面の外周部に銀ロウ等のロウ材１６０（図１（ａ）及び（ｂ）参照）を形成する。次に、当該ベース１２０の凹部の開口端面に、リッド１１０の−Ｚ側の面を対向させて重ね合せ、シーム溶接等で接合する。
【００５７】
＜第一実施形態の変形例＞
次に、本発明の第一実施形態の変形例である水晶振動子について説明する。本変形例の水晶振動子は、ベース１２０の製造時に、少なくとも、挟持部１２６ａ、ｂにおけるベース１２０の凹部側の側面（すなわち、挟持部電極１４１ａ、ｂの＋Ｘ側の面又は−Ｘ側の面）にクリームハンダが塗布される。次に、音叉型水晶振動片１３０を挟持部１２６ａ及び挟持部１２６ｂの間に嵌め込んだ後に、加熱してハンダを溶融させる。そして、挟持部電極１４１ａ、ｂと基部電極１５１ａ、ｂをハンダ接合する。これにより、音叉型水晶振動片１３０とベース１２０とを強固に接合できる。また、クリームハンダは、第２枠部シート１２２Ｓの状態で、例えばスクリーン印刷によって一括で塗布できる。したがって、例えばベースの一つ一つに導電性接着剤を塗布する工程は不要になり、製造工程の簡素化が実現できる。
【００５８】
＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態である水晶振動子２００について説明する。水晶振動子２００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース２２０である。そこで、この点について図８を用いて説明する。図８は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子２００と見たきのときのＢ−Ｂ線についての断面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００５９】
ベース２２０の、水晶振動子２００が水晶振動子１００と異なる点は、第３枠部２２１である。具体的には、第３枠部２２１における、挟持部１２６ａ、ｂの＋Ｚ側の領域である。この領域を挟持部上部２２７ａ、ｂと呼ぶ。挟持部上部２２７ａ、ｂの−Ｚ側の面の幅は挟持部１２６ａ、ｂの＋Ｚ側の面の幅とほぼ同じ大きさである。挟持部上部２２７ａ、ｂの＋Ｚ側の面の幅は、第３枠部２２１における挟持部上部２２７ａ、ｂ以外の領域の幅に等しい。
【００６０】
挟持部上部２２７ａ、ｂの、ベース２２０の凹部側の側面（挟持部上部２２７ａの＋Ｘ側の側面、及び、挟持部上部２２７ｂの−Ｘ側の側面）には傾斜面２２６が形成される。傾斜面２２６は、−Ｚ側の端部から＋Ｚ側の端部に向かうにつれて、ベース２２０の凹部から離れるように傾斜する。すなわち、傾斜面２２６は、ベース２２０の凹部の開口側に向かうにつれて、音叉型水晶振動片１３０から離れるように傾斜する。なお、傾斜面２２６は挟持部上部２２７ａ、又は挟持部上部２２７ｂのいずれか一方のみにあってもよい。
【００６１】
このように、水晶振動子２００は傾斜面２２６を備える。よって、音叉型水晶振動片１３０を一対の挟持部１２６ａ、ｂの間に嵌め込む際に、傾斜面２２６に沿って押し込むことができる。したがって、音叉型水晶振動片１３０がＸ方向にずれた位置から押し込まれたとしても、傾斜面２２６に沿って進むことで適切な位置に固定させることできる。
【００６２】
なお、傾斜面２２６は、第２枠部１２２の傾斜面１２５と同様に形成できる。例えば、第３枠部２２１となる領域を複数持つ第３枠部シートを形成する際に、図６（ａ）及び（ｂ）のように、側面に傾斜を持たないパンチ８００で、第３枠部２２１の内部の貫通孔を形成した後、第３枠部２２１の傾斜面２２６に対応する傾斜面８５１を持つパンチ８５０で、傾斜面２２６を形成する。
【００６３】
＜第三実施形態＞
次に、本発明の第三実施形態である水晶振動子３００について説明する。水晶振動子３００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース３２０である。そこで、この点について図９を用いて説明する。図９（ａ）は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子３００と見たきのときのＡ−Ａ線についての断面図である。図９（ｂ）は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子３００と見たきのときのＢ−Ｂ線についての断面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００６４】
図９（ａ）、（ｂ）の通り、水晶振動子３００には、水晶振動子１００にはある第３枠部１２１が存在しない。さらに、挟持部３２６ａ、ｂにおける、ベース３２０の凹部側の側面（挟持部３２６ａの＋Ｘ側の側面、及び、挟持部３２６ｂの−Ｘ側の側面）の＋Ｚ側（ベース３２０の凹部の開口側）に傾斜面３２７が形成される。傾斜面３２７は、＋Ｚ側の端部に向かうにつれて、ベース３２０の凹部から離れるように傾斜する。すなわち、傾斜面３２７は、ベース３２０の凹部の開口側に向かうにつれて、音叉型水晶振動片１３０から離れるように傾斜する。なお、傾斜面３２６は挟持部３２６ａ、又は挟持部３２６ｂのいずれか一方のみにあってもよい。
【００６５】
このように、水晶振動子３００には、水晶振動子１００にはある第３枠部１２１が存在しない。したがって、水晶振動子３００の低背化が実現される。また、水晶振動子３００は傾斜面３２７を備える。よって、音叉型水晶振動片１３０を挟持部１２６ａ及び挟持部１２６ｂの間に嵌め込む際に、傾斜面３２７に沿って押し込むことができる。したがって、音叉型水晶振動片１３０がＸ方向にずれた位置から押し込まれたとしても、傾斜面３２７に沿って進むことで適切な位置に固定させることできる。
【００６６】
なお、傾斜面３２７は、第２枠部３２２の傾斜面３２５（水晶振動子１００の傾斜面１２５に相当）と同様に形成できる。例えば、図７（ｂ）に示すように傾斜面３２５を形成したのち、傾斜面３２７に対応する傾斜面を持つパンチを用い、当該パンチを貫通孔に押し込むことで傾斜面３２７を形成できる。
【００６７】
＜第四実施形態＞
次に、本発明の第四実施形態である水晶振動子４００について説明する。水晶振動子４００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース４２０である。そこで、この点について図１０（ａ）を用いて説明する。図１０（ａ）は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子４００と見たきのときのＢ−Ｂ線についての断面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００６８】
水晶振動子４００におけるＹ方向に伸びる挟持部４２６ａ、ｂの＋Ｚ方向から見た幅は、水晶振動子１００の挟持部１２６ａ、ｂの幅より小さい。一方、挟持部電極４４１ａのうち、少なくとも挟持部４２６ａの＋Ｘ側の側面部分は厚肉に形成される。同様に、挟持部電極４４１ｂのうち、少なくとも挟持部４２６ｂの−Ｘ側の側面部分は厚肉に形成される。当該厚肉部分のうち、挟持部４２６ａ、ｂに接する側は、例えば、下層をＷ（タングステン）の金属膜、この表面に中間層をＮｉ（ニッケル）の金属膜、この表面の上層をＡｕ（金）の金属膜とする。そして、Ａｕの金属膜のさらに表面に、ハンダの層を設けて厚肉にする。
【００６９】
次に水晶振動子４００の製造方法を説明する。ベース４２０は水晶振動子１００のベース１２０と同様に形成できる。ただし、挟持部電極４４１ａのうち、挟持部４２６ａの＋Ｘ側の側面部分、及び、挟持部電極４４１ｂのうち、少なくとも挟持部４２６ｂの−Ｘ側の側面部分にハンダの層を形成する。溶融したハンダを塗布してもよいし、クリームハンダの印刷によっても形成できる。この時、対向する一対の挟持部電極４４１ａ、ｂの距離は、基部１３１のＸ方向の幅より狭くする。そして、水晶振動子１００と同様に、音叉型水晶振動片１３０の基部１３１を挟持部４２６ａ、ｂの間に嵌め込むことで水晶振動子４００を形成できる。
【００７０】
このように、対向する挟持部電極４４１ａと挟持部電極４４１ｂとの距離は、基部１３１のＸ方向の幅より狭く形成される。そして、音叉型水晶振動片１３０の基部１３１を挟持部４２６ａ、ｂの間に嵌め込む。よって、音叉型水晶振動片１３０の基部１３１を挟持部４２６ａ及び挟持部４２６ｂの間に嵌め込む時に、挟持部電極４４１ａ、ｂを構成するハンダがＸ方向に縮む。したがって、音叉型水晶振動片１３０の嵌め込みが完了すると、縮んだハンダの元に戻ろうとする力によって、音叉型水晶振動片１３０が強固に固定される。
【００７１】
また、水晶振動子４００を、ハンダペーストが塗布された実装基板に搭載して、加熱することで、水晶振動子４００を実装基板にハンダ接合する際に、挟持部電極４４１ａ、ｂを構成するハンダの一部が溶融して、音叉型水晶振動片１３０が挟持部４２６ａ、ｂにハンダ接合され、音叉型水晶振動片１３０が強固に固定され得る。
【００７２】
＜第四実施形態の変形例＞
次に、本発明の第四実施形態の変形例である水晶振動子５００について説明する。水晶振動子５００が水晶振動子４００と異なる点は、主に、挟持部電極５４１ａ、ｂである。そこで、この点について図１０（ｂ）を用いて説明する。図１０（ｂ）は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子５００と見たきのときのＢ−Ｂ線についての断面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態又は第四実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００７３】
挟持部電極５４１ａのうち、挟持部４２６ａの＋Ｘ側の側面の＋Ｚ側（ベース４２０の凹部の開口側）には傾斜面５２７が形成される。また、挟持部電極５４１ｂのうち、挟持部４２６ｂの−Ｘ側の側面の＋Ｚ側（ベース４２０の凹部の開口側）にも傾斜面５２７が形成される。傾斜面５２７は、＋Ｚ側の端部に向かうにつれて、ベース４２０の凹部から離れるように傾斜する。すなわち、傾斜面５２７は、ベース４２０の凹部の開口側に向かうにつれて、音叉型水晶振動片１３０から離れるように傾斜する。
【００７４】
このように、水晶振動子５００は傾斜面５２７を備える。よって、音叉型水晶振動片１３０を挟持部４２６ａ及び挟持部４２６ｂの間に嵌め込む際に、傾斜面５２７に沿って押し込むことができる。したがって、音叉型水晶振動片１３０がＸ方向にずれた位置から押し込まれたとしても、傾斜面５２７に沿って進むことで適切な位置に固定させることできる。
【００７５】
＜第五実施形態＞
次に、本発明の第五実施形態である水晶振動子６００について説明する。水晶振動子６００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、ベース６２０である。そこで、この点について図１１を用いて説明する。図１１は、図３の水晶振動子１００を水晶振動子６００と見たきのときのＢ−Ｂ線についての断面図である。なお、以下の説明では、第一実施形態と同様の部分に関しては同じ記号を付してその説明を省略する。
【００７６】
ベース６２０のうち、水晶振動子１００のベース１２０と異なる点は、第３枠部６２１である。第３枠部６２１は、挟持部１２６ａの＋Ｚ側となる領域から＋Ｘ方向に突出部６２７ａが伸びる。突出部６２７ａは挟持部１２６ａの＋Ｘ側の面より＋Ｘ側に突出している。そして、突出部６２７ａは基部１３１の−Ｘ側の端部の一部を覆う。突出部６２７ａにおけるベース６２０の凹部側の側面（＋Ｘ側の側面）は、＋Ｚ側に向かうにつれて、挟持部１２６ａに向かうように（−Ｘ方向に向かうように）傾斜する傾斜面６２８を持つ。
【００７７】
同様に、第３枠部６２１は、挟持部１２６ｂの＋Ｚ側となる領域から−Ｘ方向に突出部６２７ｂが伸びる。突出部６２７ｂは挟持部１２６ｂの−Ｘ側の面より−Ｘ側に突出している。そして、突出部６２７ｂは基部１３１の＋Ｘ側の端部の一部を覆う。突出部６２７ｂにおけるベース６２０の凹部側の側面（−Ｘ側の側面）は、＋Ｚ側に向かうにつれて、挟持部１２６ｂに向かうように（＋Ｘ方向に向かうよう）に傾斜する傾斜面６２８を持つ。なお、第３枠部６２１を含むベース６２０は例えばセラミックからなる。
【００７８】
次に水晶振動子６００の製造方法を説明する。第３枠部６２１の傾斜面６２８は、水晶振動子１００の傾斜面１２５と同様に、傾斜面を持つパンチ８５０を使用して形成できる。そして、他は水晶振動子１００とほぼ同様の製造方法でベース６２０を製造する。次に、ベース６２０の＋Ｚ側から、音叉型水晶振動片１３０の基部１３１が、挟持部１２６ａ、ｂの間に挟まれるように、音叉型水晶振動片１３０を−Ｚ方向に押す。この際に、基部１３１の側面が傾斜面６２８に接する。そして、突出部６２７ａ、ｂが弾性変形する。音叉型水晶振動片１３０がさらに押されて第２枠部１２２の領域まで達すると、突出部６２７ａ、ｂの弾性変形が戻り、突出部６２７ａ、ｂは基部１３１の＋Ｚ側の面を一部覆うことになる。
【００７９】
このように、突出部６２７ａ、ｂは基部１３１の＋Ｚ側の面を一部覆う。したがって、水晶振動子６００に、例えば衝撃が加わったとしても音叉型水晶振動片１３０が挟持部１２６ａ、ｂから外れるおそれを低減できる。また、突出部６２７ａ、ｂの、ベース６２０における凹部側の側面には傾斜面６２８が形成される。したがって、音叉型水晶振動片１３０がＸ方向にずれた位置から嵌め込まれたとしても、傾斜面６２８に沿って進むことで適切な位置に固定させることできる。なお、突出部６２７ａ、ｂのいずれか一方がなくてもよい。この場合、音叉型水晶振動片１３０のベース６２０への嵌め込みをスムーズに行うことができる。
【００８０】
＜第六実施形態＞
次に、本発明の第六実施形態である水晶振動子７００について説明する。水晶振動子７００が水晶振動子１００と異なる点は、主に、音叉型水晶振動片７３０及びベース７２０である。そこで、この点について図１２及び図１３を用いて説明する。図１２は音叉型水晶振動片７３０の平面図である。図１３は水晶振動子７００のリッド１１０を取り除いた状態での平面図である。
【００８１】
音叉型水晶振動片７３０は、基部１３１＋Ｙ方向に一対の振動腕１３２ａ、ｂが＋Ｙ方向が伸びる。そして、さらに基部１３１から一対の支持腕７３３ａ、ｂが＋Ｙ方向に伸びる。支持腕７３３ａは、振動腕１３２ａの−Ｘ側に配置され、支持腕７３３ｂは振動腕１３２ｂの＋Ｘ側に配置される。したがって、一対の支持腕７３３ａ、ｂは、一対の振動腕１３２ａ、ｂの外側に配置されることになる。
【００８２】
支持腕７３３ａには支持腕電極７５７ａ、７５８ａが形成される。基部１３１に形成された引出電極１５６ａが、支持腕７３３ａの＋Ｚ側の面に形成された支持腕電極７５７ａに導通する。そして、支持腕電極７５７ａは、支持腕７３３ａの−Ｘ側の面に形成された支持腕電極７５８ａに導通する。同様に、支持腕７３３ｂには支持腕電極７５７ｂ、７５８ｂが形成される。振動腕１３２ｂに形成された振動腕電極１５４ｃが、支持腕７３３ｂの＋Ｚ側の面に形成された支持腕電極７５７ｂに導通する。そして、支持腕電極７５７ｂは、支持腕７３３ｂの＋Ｘ側の面に形成された支持腕電極７５８ｂに導通する。なお、支持腕７３３ａにおける支持腕電極７５８ａが形成された側面と、支持腕７３３ｂにおける支持腕電極７５８ｂが形成された側面とは、音叉型水晶振動片７３０全体でみると互いに反対側の面になる。
【００８３】
そして、音叉型水晶振動片７３０はベース７２０に収容される。ベース７２０は、第一実施例のベース１２０と比較して、挟持部７２６ａ、ｂの位置が異なる。すなわち、図１３にある通り、挟持部７２６ａ、ｂは、ベース７２０の凹部における−Ｙ側の端部から離れた位置に形成される。挟持部７２６ａには、＋Ｘ側の側面に挟持部電極７４１ａが形成され、挟持部７２６ｂには、−Ｘ側の側面に挟持部電極７４１ｂが形成される。
【００８４】
音叉型水晶振動片７３０は、図１３にある通り、支持腕７３３ａ、ｂが挟持部７２６ａ、ｂの間に嵌め込まれて固定され、ベース７２０に収容される。すなわち、支持腕７３３ａの−Ｘ側の面が挟持部７２６ａの＋Ｘ側の面に対向し、支持腕７３３ｂの＋Ｘ側の面が挟持部７２６ｂの−Ｘ側の面に対向して嵌め込まれる。この際、支持腕電極７５８ａは挟持部電極７４１ａに接触し、支持腕電極７５８ｂは挟持部電極７４１ｂに接触することで、音叉型水晶振動片７３０に形成された電極とベース７２０に形成された電極とが導通する。
【００８５】
このように、音叉型水晶振動片７３０は、支持腕７３３ａ、ｂが挟持部７２６ａ、ｂの間に嵌め込まれて、ベース７２０に固定される。よって、音叉型水晶振動片７３０は、振動特性に影響を与える振動腕１３２ａ、ｂから離れた支持腕７３３ａ、ｂで固定される。したがって、振動特性に与える影響を抑えることができる。
【００８６】
以上、実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００８７】
例えば、上記の実施形態ではＺカット型の音叉型水晶振動片を用いた場合を示したが、矩形の水晶振動片を使用してもよい。また、ＡＴカット型やＢＴカット型など、他のカットを用いてもよい。また、上記の実施形態では水晶振動子を示したが、発振回路を備えたＩＣを搭載した水晶発振器であっても同様に適用できる。また、上記の実施形態では、水晶振動片は水晶を用いて形成したものであるが、水晶以外の圧電材料、例えばタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム又は圧電セラミックを用いてもよい。
【符号の説明】
【００８８】
１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００  ...  水晶振動子
１１０  ...  リッド
１２０、２２０、３２０、４２０、６２０、７２０  ...  ベース
１２１、２２１、６２１  ...  第３枠部
１２２  ...  第２枠部
１２１Ｓ  ...  第３枠部シート
１２２、３２２  ...  第２枠部
１２２ａ〜ｄ  ...  第２枠部Ａ領域〜第２枠部Ｄ領域
１２２Ｓ  ...  第２枠部シート
１２３  ...  第１枠部
１２３ａ、ｂ  ...  第１枠部Ａ領域、第１枠部Ｂ領域
１２３Ｓ  ...  第１枠部シート
１２４  ...  底面部
１２４Ｓ  ...  底面部シート
１２５、２２６、３２５、３２７、５２７、６２８  ...  傾斜面
１２６ａ、ｂ、３２６ａ、ｂ、４２６ａ、ｂ、７２６ａ、ｂ  ...  挟持部
１３０、７３０  ...  音叉型水晶振動片
１３１  ...  基部
１３２ａ、ｂ  ...  振動腕
１４０ａ、ｂ  ...  実装端子
１４１ａ、ｂ、４４１ａ、ｂ、５４１ａ、ｂ、７４１ａ、ｂ  ...  挟持部電極
１４２  ...  ベース電極
１４３ａ、ｂ  ...  貫通電極
１５０ａ、ｂ、１５１ａ、ｂ、１５２ａ、ｂ  ...  基部電極
１５３ａ、ｂ、１５４ａ〜ｄ、１５５ａ、ｂ  ...  振動腕電極
１５６ａ、ｂ  ...  引出電極
１６０  ...  ロウ材
２２７ａ、ｂ  ...  挟持部上部
６２７ａ、ｂ  ...  突出部
７３３ａ、ｂ  ...  支持腕
７５８ａ、ｂ  ...  支持腕電極
８００、８５０  ...  パンチ
８１０  ...  ダイ
８５１  ...  傾斜面
ＨＬ１〜３  ...  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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