(57)【要約】【課題】簡易な構成で、雰囲気ガスの流路を確保することができ、しかも十分な構造的強度を確保することができる熱処理用治具を提供する。【解決手段】熱処理用治具１２は、チップ状の電子部品の熱処理に使用する熱処理用治具であって、山折りおよび谷折りを交互に繰り返した波状形状をしており、前記電子部品を載置するためのものであり、前記電子部品の大きさよりも小さい複数の貫通孔を有する載置部材と、前記波状形状の波の進行方向を第１方向とし、前記第１方向に直交して水平な方向を第２方向としたとき、前記載置部材の前記第１方向の両端部には設けられず、前記載置部材の前記第２方向の両端部において底部または側部に設けられる、１対の第１補強部材としての補強板１２３とを備える。【選択図】図２
2015073079.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ状の電子部品の熱処理に使用する熱処理用治具であって、
山折りおよび谷折りを交互に繰り返した波状形状をしており、前記電子部品を載置するためのものであり、前記電子部品の大きさよりも小さい複数の貫通孔を有する載置部材と、
前記波状形状の波の進行方向を第１方向とし、前記第１方向に直交して水平な方向を第２方向としたとき、前記載置部材の前記第１方向の両端部には設けられず、前記載置部材の前記第２方向の両端部において底部または側部に設けられる、１対の第１補強部材とを備える、熱処理用治具。
【請求項２】
前記載置部材は、載置部材の前記第２方向の両端部の上部に第２補強部材が設けられている、請求項１に記載の熱処理用治具。
【請求項３】
前記第１補強部材は、断面形状がＬ字状であり、前記載置部材の両端部の底部および側部にわたって設けられている、請求項１に記載の熱処理用治具。
【請求項４】
前記第１補強部材は、前記載置部材の山折りとなった部分の山の下側の空間に連通する開口を有する、請求項３に記載の熱処理用治具。
【請求項５】
前記開口は、前記第１補強部材が前記載置部材の側部に接する面に設けられており、前記側部を側方から見たとき、前記開口は、前記載置部材の山折り形状に対応している、請求項４に記載の熱処理用治具。
【請求項６】
１対の前記第１補強部材の間に、前記１対の前記第１補強部材を互いに連結するガイド部材をさらに有し、前記ガイド部材の両端は前記第１補強部材に対して隙間のある嵌合によって微動可能に取り付けられている、請求項１から５のいずれかに記載の熱処理用治具。
【請求項７】
前記第１補強部材の最も下方にある部位は、前記載置部材の谷折りとなった部分の底部よりも下側に位置し、前記ガイド部材の最も下方にある部位は、前記第１補強部材の最も下方にある部位と同一の高さにある、請求項６に記載の熱処理用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ状のセラミック電子部品の熱処理に用いられる熱処理用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップ状のセラミック電子部品を製造する過程において、例えばセラミック成形体の脱バインダ処理、焼成処理等の熱処理を連続式熱処理炉、バッチ式熱処理炉等の加熱装置によって実行する。例えば、セラミック成形体の焼成処理（熱処理）を実行する場合、セラミック成形体を熱処理用治具に収納した状態で加熱炉（熱処理炉）内を通過させる。
【０００３】
熱処理用治具は、セラミック成形体が積載される積載面を有しており、一般に平板状の網体で形成されている。熱処理用治具をセラミックプレート上に搭載し、加熱炉の下部に備えているローラにより熱処理炉内へと搬送される。
【０００４】
しかし、セラミックプレート上に平板状の網体で形成された熱処理用治具の積載面にセラミック成形体を積載して加熱する場合、脱バインダ用のガス、反応性ガス等が、積載されているセラミック成形体の表面に接触するため、積載されているセラミック成形体の上下で加熱ムラにより焼成後の品質にばらつきが生じやすい。そこで、熱処理用治具の構成にも様々な工夫が施されている。
【０００５】
例えば特許文献１では、波状網板で構成されているセラミック電子部品両面焼成用トレーが開示されている。特許文献１では、多数の穴を有する板、金網等の網板を波状にプレス成形しており、特に金網を使用する場合には、縁周を金属板で縁どりすることによりトレーを補強している。
【０００６】
また、特許文献２では、多数の貫通孔を開口させた積載面を有し、積載面は、山折及び谷折の繰り返しによる凹凸面で形成された熱処理用治具が開示されている。特許文献２では、熱処理用治具の積載面にチップ状電子部品をランダムにばら積みする。そして、チップ状電子部品をばら積みした熱処理用治具をステンレス鋼線で形成された枠に載置して、メッシュベルトに載せてトンネル焼成炉を通過させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開昭６３−０９５０９５号公報
【特許文献２】特許第５０６７５５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１では、板又は網板を波状にプレス成形するため、強度が不足しがちになる。特に波頂線に直交する方向からの外力に対しては変形しやすく、金属板等で縁周を縁どりしない限り、波状網板焼成用トレーの振動等により、積載しているチップ状のセラミック電子部品が破損するおそれがあるという問題点があった。
【０００９】
また、特許文献２では、多数の貫通孔を有する積載面を、山折及び谷折の繰り返しによる凹凸面で形成し、積載面にチップ状電子部品をばら積みする。しかし、多数の貫通孔を有することから、特許文献１のように縁周を金属板で縁どりするような補強をしなければ機械的強度を確保することが困難であるとともに、熱変形しやすいので、熱処理炉内のローラ上を蛇行することなく搬送することも困難であるという問題点があった。
【００１０】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で、雰囲気ガスの流路を確保することができ、しかも十分な構造的強度を確保することができる熱処理用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために本発明に係る熱処理用治具は、チップ状の電子部品の熱処理に使用する熱処理用治具であって、複数の第１の貫通孔を有する積載面を有し、該積載面は、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成され、前記蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板を備えることを特徴とする。
【００１２】
上記構成では、複数の第１の貫通孔を有する積載面を有し、該積載面は、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成され、蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板を備える。積載面が複数の第１の貫通孔を有することにより、軽量であり、しかも雰囲気ガスが流通しやすい。また、蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板を備えることにより、熱処理用治具の両端における熱変形を抑制することができるとともに、捩り外力に対する自由度を維持することができるので、熱処理炉内のローラに密着させつつ、蛇行することなく搬送することができる熱処理用治具を提供することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係る熱処理用治具は、前記補強板の代わりに、前記蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部及び側部に、断面形状がＬ字状の補強部材を備えることが好ましい。
【００１４】
上記構成では、底部だけに補強板を備える代わりに、蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部及び側部に、断面形状がＬ字状の補強部材を備えるので、補強部材自体の熱変形を抑制することができ、熱処理用治具の両端における熱変形をより確実に抑制することが可能となる。したがって、熱処理炉内のローラにより密着させることができ、蛇行することなく搬送することが可能な熱処理用治具を提供することが可能となる。また、積載されたチップ状の電子部品が側部からこぼれ落ちることを防止することも可能となる。
【００１５】
また、本発明に係る熱処理用治具は、前記補強部材は、複数の第２の貫通孔を備えることが好ましい。
【００１６】
上記構成では、補強部材は複数の第２の貫通孔を備えることにより、雰囲気ガスが熱処理用治具の下方にも流通しやすくなり、加熱ムラを抑制することが可能となる。
【００１７】
また、本発明に係る熱処理用治具は、前記複数の第２の貫通孔は、それぞれ山折部の頂部に位置を合わせて形成されていることが好ましい。
【００１８】
上記構成では、複数の第２の貫通孔は、それぞれ山折部の頂部に位置を合わせて形成されているので、貫通孔を通じて雰囲気ガスが熱処理用治具の下方に確実に流通し、チップ状の電子部品を上下方向から加熱することができるので、加熱ムラをより抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
上記構成によれば、積載面が複数の第１の貫通孔を有することにより、軽量であり、しかも雰囲気ガスが流通しやすい。また、蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板を備えることにより、熱処理用治具の両端における熱変形を抑制することができるとともに、捩り外力に対する自由度を維持することができるので、熱処理炉内のローラに密着させつつ、蛇行することなく搬送することができる熱処理用治具を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】従来の熱処理用治具を用いる加熱装置の構成を示す概要図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具の構成を示す斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具の他の構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具の他の構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る熱処理用治具の構成を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る熱処理用治具の補強部材の素材を示す平面図である。
【図７】本発明に係る熱処理用治具を折り返し方向が交差するように上下に複数積み上げた状態を模式的に示す断面図である。
【図８】本発明の実施の形態３に係る熱処理用治具の構成を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施の形態３に係る熱処理用治具の構成を示す側面図である。
【図１０】図８におけるＺ部の拡大側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態３に係る熱処理用治具に含まれるガイド部材の斜視図である。
【図１２】本発明の実施の形態３に係る熱処理用治具の好ましい変形例の構成の側面図である。
【図１３】本発明の実施の形態４に係る熱処理用治具の構成を示す部分側面図である。
【図１４】本発明の実施の形態４に係る熱処理用治具の変形例の構成を示す部分側面図である。
【図１５】本発明の実施の形態５に係る熱処理用治具の構成を示す部分側面図である。
【図１６】本発明の実施の形態５に係る熱処理用治具に含まれるガイド部材の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態に係る熱処理用治具について、図面に基づいて具体的に説明する。
【００２２】
（実施の形態１）
図１は、従来の熱処理用治具を用いる加熱装置の構成を示す概要図である。図１では、いわゆるロール方式の加熱装置を示している。図１に示すように、加熱装置における加熱炉（熱処理炉）の炉内の底面部に、回転することが可能な複数のローラ１を設けており、チップ状の（セラミック）電子部品３、例えばチップ状セラミックコンデンサ、チップ状インダクタ等の積層体を熱処理用治具２の積載面にランダムにばら積みして、加熱炉内を図中の矢印方向に通過させる。加熱炉内上部のガス噴出口４から加熱された雰囲気ガスが噴射され、通過中のチップ状の電子部品３を熱処理する。もちろん、ガス噴出口４は加熱炉内上部に設けることに限定されるものではなく、加熱炉内下部に設けても良いし、加熱炉内側面部に設けても良い。
【００２３】
従来の熱処理用治具２では、チップ状の電子部品３を積載面にランダムにばら積みするため、上部の電子部品と下部の電子部品とで雰囲気ガスに接触する度合を均等にすることが困難であった。これを回避するべく、熱処理用治具２の積載面に、チップ状の電子部品３を互いに重なり合わないように一面に積載することも考えられるが、一度に熱処理できるチップ状の電子部品３の数が少なくなり、全体として製造時間を短縮することができず、コストアップ要因となる。
【００２４】
そこで、本実施の形態１に係る熱処理用治具は、複数の貫通孔（第１の貫通孔）を有する積載面を有し、該積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返した蛇腹状の凹凸面で構成されている点に特徴を有する。そして、蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向に直交する方向の両端の底部に補強板を備えている。なお、「底部」とは、蛇腹状の凹凸面の谷部の頂部を含む平面で形成された底面の一部を意味する。図２は、本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具の構成を示す斜視図である。
【００２５】
まず、本実施の形態１に係る熱処理用治具１２は、線径０．１ｍｍ、目開き０．２ｍｍのニッケル製の金網を、一辺１０ｍｍで山折り、谷折りを交互に繰り返して折り返し、上からの投影形状が縦横２００ｍｍの四辺形状になるよう加工されている。以後、折り返し方向とは、図２の矢印方向、すなわち蛇腹状の凹凸面を繰り返し折り返す方向を意味する。
【００２６】
熱処理用治具１２の積載面は、隣接する二つの積載面、すなわち一の山折部の頂部１２１と隣接する谷折部の頂部１２２との間の二つの積載面が、互いに略同一の傾斜角度で対向している。具体的には、折り返し方向を含む縦断面において、隣接する二つの積載面がそれぞれ二等辺三角形（又は正三角形）をなすように形成されている。
【００２７】
つまり、山折部と谷折部との間の積載面がそれぞれ、山折部の頂部を通り、折り返し方向に対して直交する面を中心として、山折部を挟んで隣接する一組の積載面ごとに互いに面対称となるよう形成されていれば良い。
【００２８】
山折り、谷折りを交互に繰り返すことにより、折り返し方向と直交する方向に対する曲げ強度が向上する。しかし、熱処理用治具１２をニッケル製の金網のみで構成した場合、熱変形等により加熱炉内のローラ上を蛇行することなく搬送することが困難である。
【００２９】
そこで、本実施の形態１では、折り返し方向に直交する方向の両端の底部に補強板１２３を備えている。具体的には、熱処理用治具１２の谷折部にチップ状の電子部品を積載する。この場合、山折部の頂部１２１の高さを超えない範囲でチップ状の電子部品を積載する。従来の熱処理用治具のように、平板状の２００ｍｍ角プレートで積載面を構成し、チップ状の電子部品を上下方向に重なり合わないように敷き詰めた場合と比較すると、約３倍の数のチップ状の電子部品を積載することができる。
【００３０】
補強板１２３として、例えば厚み２ｍｍ、幅３０ｍｍのニッケル厚板を接着すれば良い。接着方法としては、スポット溶接であっても良いし、補強板１２３自体にニッケル製の金網を取り付けた構造であっても良い。補強板１２３は、ニッケル等の金属板に限定されるものではなく、例えばアルミナ等のセラミック基材を用いても良い。また、補強板１２３の形状も、板状に限定されるものではなく、角柱状、あるいは円柱状、半柱状であっても良い。
【００３１】
また、補強板１２３は、熱処理用治具１２の折り返し方向に直交する方向の両端の底部に備えることに限定されるものではなく、例えば折り返し方向に直交する方向の両端の側部に備えても良い。ここで「側部」とは、蛇腹状の凹凸面の折り返し方向に直交する方向の端部で形成される側面の一部又は全部を意味する。図３は、本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具１２の他の構成を示す斜視図である。図３に示すように、補強板１２３ａを、熱処理用治具１２の折り返し方向に直交する方向の両端の側部に備えている。
【００３２】
さらに、補強板１２３は、底部及び上部の両側に、上下両側から挟むように備えても良い。ここで、「上部」とは、熱処理用治具１２を挟んで底部に対向する側を意味する。図４は、本発明の実施の形態１に係る熱処理用治具１２の他の構成を示す斜視図である。図４に示すように、補強板１２３ｂを、熱処理用治具１２の折り返し方向に直交する方向の両端の底部に、補強板１２３ｃを、熱処理用治具１２を挟んで補強板１２３ｂに対向する位置に、それぞれ備えている。このように上下両側から挟むように補強板１２３ｂ、１２３ｃを備えることにより上下対称な構造とすることができるので、熱処理治具１２を上下反転して使用することも可能となる。
【００３３】
また、本実施の形態１では、ニッケル製の金網で熱処理用治具１２の積載面を構成しているが、特にこれに限定されるものではなく、チップ状の電子部品が抜け落ちることなく、雰囲気ガスのみが流通する大きさの貫通孔を有していれば良いので、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍ程度の複数の貫通孔を有する板を、山折り、谷折りを交互に繰り返して蛇腹状に折り返しても良い。
【００３４】
このように、熱処理用治具１２の折り返し方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板１２３を備えることにより、熱処理用治具１２の両端における熱変形を抑制することができる。しかも全周縁を例えば金属枠で囲んではいないので、捩り外力に対する自由度を維持することができる。したがって、加熱炉内のローラに熱処理用治具１２を密着させることができ、熱処理用治具１２を蛇行することなく搬送することができる。
【００３５】
なお、積載面は、複数の谷折部の頂部１２２が、一平面上（図２では一直線上）に位置するよう形成されていることが好ましい。加熱炉内を通過させる場合に、無用な振動が生じにくいからである。
【００３６】
以上のように本実施の形態１によれば、積載面が複数の貫通孔（第１の貫通孔）を有することにより、軽量であり、しかも雰囲気ガスが流通しやすい。また、折り返し方向に直交する方向の両端の底部、側部、あるいは底部及び上部の両側に補強板１２３を備えることにより、熱処理用治具１２の両端における熱変形を抑制することができるとともに、捩り外力に対する自由度を維持することができるので、加熱炉内のローラに密着させつつ、蛇行することなく搬送することができる熱処理用治具１２を提供することが可能となる。
【００３７】
（実施の形態２）
本実施の形態２に係る熱処理用治具１２は、複数の貫通孔（第１の貫通孔）を有する積載面を有し、該積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返す蛇腹状の凹凸面で構成されている点では実施の形態１と共通する。しかし、補強板１２３の代わりに、山折り及び谷折りを交互に繰り返す方向（折り返し方向）に直交する方向の両端の底部及び側部に、断面形状がＬ字状の補強部材を備えている点で実施の形態１と相違する。
【００３８】
図５は、本発明の実施の形態２に係る熱処理用治具１２の構成を示す斜視図である。図５に示すように、熱処理用治具１２の積載面は、複数の貫通孔を有する金属板、例えばニッケル製の金網を、山折り、谷折りを交互に繰り返し折り返した蛇腹状の凹凸面として構成されている。
【００３９】
本実施の形態２では、折り返し方向に直交する方向の両端の底部及び側部を覆う補強部材１２５を備えている。具体的には、熱処理用治具１２の折り返し方向に直交する方向の両端の底部及び側部に、断面形状がＬ字状の補強部材１２５を互いに向き合うように備えている。
【００４０】
補強部材１２５は、例えば厚み２ｍｍ、幅３０ｍｍのニッケル厚板をＬ字状に折り曲げて接着すれば良い。接着方法としては、スポット溶接等であれば良い。補強部材１２５は、ニッケル等の金属板に限定されるものではなく、例えばアルミナ等のセラミック基材を用いても良い。また、補強部材１２５は、一体として形成されていても良いし、実施の形態１の補強板１２３に側部を覆う側部補強板を別途取り付けた構造であっても良い。
【００４１】
本実施の形態２では、ニッケル製の金網で熱処理用治具１２の積載面を構成しているが、特にこれに限定されるものではなく、チップ状の電子部品が抜け落ちることなく、雰囲気ガスのみが流通する大きさの貫通孔を有していれば良いので、例えば０．６ｍｍ×０．３ｍｍ程度の複数の貫通孔を有する板を、山折り、谷折りを交互に繰り返して蛇腹状に折り返しても良い。
【００４２】
このように、両端の底部及び側部を覆う補強部材１２５を備えることにより、熱処理用治具１２の両端における熱変形を抑制することができる。しかも全周縁を、例えば金属枠で囲んではいないので、捩り外力に対する自由度を維持することができる。したがって、加熱炉内のローラに熱処理用治具１２を密着させることができ、熱処理用治具１２を蛇行することなく搬送することができる。
【００４３】
なお、補強部材１２５の側部には、複数の貫通孔（第２の貫通孔）１２６を設けることが好ましい。補強部材１２５の側部に複数の貫通孔１２６を設けることにより、雰囲気ガスが熱処理用治具１２の下方にも流通しやすくなる。したがって、側部が補強部材１２５で覆われていても、雰囲気ガスを熱処理用治具１２の下方へ誘導することができ、加熱ムラの発生を抑制することが可能となる。
【００４４】
もちろん、貫通孔１２６は、山折部の頂部１２１に位置を合わせて形成されていることがより好ましい。貫通孔１２６を、山折部の頂部１２１に位置を合わせて形成することにより、貫通孔１２６を通じて雰囲気ガスを熱処理用治具１２の下方に確実に流通させることができ、加熱ムラの発生をより抑制することができるからである。
【００４５】
補強部材１２５を一体として形成する場合、一枚のニッケル等の金属板を素材として所定の位置で折り曲げて製造する。図６は、本発明の実施の形態２に係る熱処理用治具１２の補強部材１２５の素材を示す平面図である。
【００４６】
図６の例では、複数の貫通孔（第２の貫通孔）の大きさ、形状を、二つの積載面で二等辺三角形をなすように形成された山折部の大きさ、形状と一致するよう位置を合わせて構成する場合の例を示している。図６に示すように、平板状の金属板４１に、大きさ、形状を合わせた二等辺三角形状の貫通孔１２６を事前に形成しておき、折り曲げ位置４２で９０度屈曲させる。これにより、図６の上半分４１１を熱処理用治具１２の側部に、下半分４１２を熱処理用治具１２の底部に、それぞれ接着させることが可能な断面形状がＬ字状の補強部材１２５を製造することができる。
【００４７】
また、図６に示すように、貫通孔１２６の大きさ、形状を山折部と谷折部との間の積載面がなす二等辺三角形の大きさ、形状と合わせておくことにより、最も効率的に雰囲気ガスを熱処理用治具１２の下方にも流通させることが可能となる。
【００４８】
以上のように本実施の形態２によれば、実施の形態１のように底部だけに補強板１２３を備える代わりに、折り返し方向に直交する方向の両端の底部及び側部に、断面形状がＬ字状の補強部材１２５を備えることにより、補強部材１２５自体の熱変形を抑制することができ、熱処理用治具１２の両端における熱変形をより確実に抑制することが可能となる。したがって、加熱炉内のローラにより密着させることができ、蛇行することなく搬送することが可能な熱処理用治具１２を提供することが可能となる。また、積載されたチップ状の電子部品が側部からこぼれ落ちることを防止することも可能となる。
【００４９】
なお、実施の形態１及び２に係る熱処理用治具１２を折り返し方向が平行になるように、あるいは交差するように上下に複数積み上げて、バッチ式熱処理炉で一括して脱バインダ処理、焼成処理等を実行しても良い。図７は、本発明に係る熱処理用治具１２を折り返し方向が交差するように上下に複数積み上げた状態を模式的に示す断面図である。図７（ａ）は、実施の形態１に係る熱処理用治具１２を用いた場合を、図７（ｂ）は、実施の形態２に係る熱処理用治具１２を用いた場合を、それぞれ示している。
【００５０】
図７（ａ）に示すように、実施の形態１に係る熱処理用治具１２ａ、１２ｂを上下に複数積み上げた場合、両端の補強板１２３の厚みによって、上下の熱処理用治具１２ａ、１２ｂの間に空間１２７が生じる。したがって、別途スペーサを用いることなく、確実に熱処理用治具１２ａ、１２ｂの間に雰囲気ガスを流通させることが可能な流路を確保することができる。
【００５１】
一方、図７（ｂ）に示すように、補強部材１２５を用いる場合であっても、図７（ａ）と同様の空間１２７に加えて、側部に貫通孔１２６を設けているときには、確実に熱処理用治具１２ａ、１２ｂの間に雰囲気ガスを流通させることが可能な流路を確保することができる。
【００５２】
したがって、複数の熱処理用治具１２ａ、１２ｂを折り返し方向が交差するように上下に積み上げて、バッチ式の熱処理炉で一括して脱バインダ処理、焼成処理等を実行する場合であっても、積み上げた熱処理用治具１２ａ、１２ｂの間に雰囲気ガスを流通させることができるので、加熱ムラの発生を抑制することができるとともに、加熱効率を向上させることが可能となる。
【００５３】
その他、上述した実施の形態１又は２は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することができることは言うまでもない。例えば、折り返し方向を含む縦断面において、隣接する二つの積載面がそれぞれ二等辺三角形（又は正三角形）をなすように形成されていることに限定されるものではなく、台形状、あるいは台形状と三角形状とを組み合わせた形状をなすように形成されていても良い。また、複数の熱処理用治具１２を、折り返し方向が一致するように上下に積み上げても良いことは言うまでもない。
【００５４】
引き続き、さらに他の実施の形態について説明する。
（実施の形態３）
本発明に基づく実施の形態３における熱処理用治具１２について説明する。本実施の形態における熱処理用治具１２は、複数の貫通孔（第１の貫通孔）を有する積載面を有し、該積載面が、山折り及び谷折りを交互に繰り返す蛇腹状の凹凸面で構成されている点では実施の形態１と共通する。また、第１補強部材として補強板１２３ａが備わっている点も、実施の形態１において図３を参照しつつ説明した構成と共通する。しかし、本実施の形態では、図８および図９に示すように、熱処理用治具１２は、ガイド部材１３１を備える。図８は斜視図であり、図９は側面図である。
【００５５】
本実施の形態における熱処理用治具１２においては、１対の第１補強部材としての補強板１２３ａの間に、１対の前記第１補強部材を互いに連結するガイド部材１３１をさらに有し、ガイド部材１３１の両端は第１補強部材１２３ａに対して隙間のある嵌合によって微動可能に取り付けられている。ここでいう「微動可能」とは、熱処理用治具１２の載置部材が使用時に、温度変化などにより多少変形しても嵌合部分が破壊されることなく、かつ、ガイド部材１３１の両端が第１補強部材１２３ａに追従することができる程度に遊びがもたせられている状態を意味する。すなわち、嵌合部には多少の隙間があってよい。熱処理用治具１２に加わる変形としては、特にねじり変形が想定される。
【００５６】
微動可能に取り付けられた嵌合の一例を説明するために、図８におけるＺ部に注目した側面図を図１０に示す。ガイド部材１３１を単独で取り出したところを図１１に示す。ガイド部材１３１は両端にそれぞれ突起５１３を備える。突起５１３は他の部分に比べて径が小さくなった部分とみなすこともできる。図１０に示すように、ガイド部材１３１の端に設けられた突起５１３が補強板１２３ａに設けられた貫通孔５１４に嵌め込まれている。貫通孔５１４の内径は突起５１３の外径よりある程度大きくなっている。
【００５７】
（作製例）
この熱処理用治具１２を作製した例をより詳細に説明する。
【００５８】
まずは、実施の形態１で説明したのと同様に、線径０．１ｍｍ、目開き０．２ｍｍのニッケル製の金網を、一辺１０ｍｍで山折り、谷折りを交互に繰り返して折り返し、上からの投影形状が縦横２００ｍｍの四辺形状になるよう加工した。このように加工された金網は、山折りおよび谷折りを交互に繰り返した波状形状となる。この金網は、チップ状の電子部品を載置するために用いられる。すなわち、この金網は載置部材となるものである、この載置部材は、上述の寸法の金網で形成されているので、表面に複数の貫通孔を有しているといえるが、これらの複数の貫通孔は、電子部品の大きさよりも小さくなっている。
【００５９】
この載置部材としての波状形状の金網においては、波状形状の波の進行方向を第１方向とし、この第１方向に直交して水平な方向を第２方向とする。ここでは、説明の便宜のため、金網を水平に置いたものとして説明しているが、ここでいう「水平」とは絶対的なものではない。図２〜図５では、図中左右方向が第１方向に相当し、図中の左下−右上の方向が第２方向に相当する。載置部材の第２方向の両端部の側部に、厚み１ｍｍ、幅１０ｍｍのニッケル製の厚板を接合した。この厚板は、第１補強部材に相当するものである。図２〜図５において第２方向の両端部の底部または側部に設けられていたものも第１補強部材に相当するが、本実施の形態では、図８に示すように、第１補強部材として補強板１２３ａを接合した。このときの接合方法は、スポット溶接などの溶接による方法であってもよい。あるいは、補強部材１２３ａに何らかの挟み込み構造を設けておいて載置部材の端部を挟み込む方法によってもよい。第１補強部材は、金属板に限定されるものではなく、金属板以外であってもよい。第１補強部材としては、たとえばアルミナなどのセラミック基材を用いてもよい。第１補強部材の形状は、板状に限定されるものではなく、棒状であってもよい。第１補強部材は、たとえば角柱、円柱、半円柱などであってもよい。
【００６０】
本実施の形態では、上述したように、ガイド部材１３１が設けられている。このガイド部材は、第１補強部材を載置部材に接合した後で取り付けることとしてもよいが、第１補強部材を載置部材に接合する前に、ガイド部材を適切な位置に配置しておいて、第１補強部材を接合する際には、ガイド部材を同時に取り込むように接合することとしてもよい。
【００６１】
（作用・効果）
本実施の形態では、１対の前記第１補強部材としての補強板１２３ａを互いに連結するガイド部材を備えているので、十分な強度をもたせることができる。強度をもたせることのみを重視して、完全に４辺を取り囲む枠状に補強部材を設けてこれらが完全に固定されてしまっていると、使用時に、温度変化などによって載置部材が変形したときに枠状の補強部材に過度の負荷がかかって破損するおそれがある。しかし、本実施の形態では、ガイド部材１３１の両端は第１補強部材としての補強板１２３ａに対して隙間のある嵌合によって微動可能に取り付けられているので、載置部材がねじりなどの変形を引き起こしたとしても、熱処理用治具１２全体として、当該ねじりに追従して変形することができ、その結果、破損することなく使用し続けることができる。
【００６２】
熱処理用治具１２は、平行に配置された複数のローラを備える搬送装置において、これらのローラの上に載せられることによって搬送されうる。本実施の形態で示したような熱処理用治具１２は、全体としてある程度の幅の変形に対しては柔軟に変形することができるので、搬送装置のローラの配列に多少の誤差があったとしても、良好な当接状態が維持される。その結果、安定して搬送することができる。本実施の形態によれば、たとえば搬送中の蛇行や脱落といった問題の発生を抑制することができる。
【００６３】
また、搬送中にローラと熱処理用治具との当接具合のわずかなバランスの差により、熱処理用治具が搬送中に水平面内で回転する場合がある。もしガイド部材がなかった場合には、熱処理用治具が水平面内で回転した結果、熱処理用治具にとっての第１方向がローラの長手方向と一致した場合、第１補強部材がローラとローラとの間に落ち込む場合がある。万が一そのような事態が発生すると、搬送が困難となる。しかし、本実施の形態では、ガイド部材が設けられているので、側方から見たときのガイド部材の下端の位置を第１補強部材の下端に近い位置で適切に選ぶことによって、そのような落ち込みが生じにくくなる。
【００６４】
なお、図１０に示した例のように、ガイド部材１３１の下端が第１補強部材の下端と異なる高さにあってもよいが、図１２に示すようにガイド部材１３１の下端が第１補強部材の下端と同じ高さにあることが好ましい。
【００６５】
言い換えれば、前記第１補強部材の最も下方にある部位は、前記載置部材の谷折りとなった部分の底部よりも下側に位置し、前記ガイド部材の最も下方にある部位は、前記第１補強部材の最も下方にある部位と同一の高さにあることが好ましい。このような構成であれば、第１補強部材とガイド部材とで、搬送装置のローラに対する接し方がほぼ均一な状態となるので、より確実に落ち込みを避けることができ、安定した搬送を行なうことができる。
【００６６】
（実施の形態４）
本発明に基づく実施の形態４における熱処理用治具は、基本的な構成は実施の形態３で述べたものと共通する。実施の形態３では、補強部材の端部のみにガイド部材が取り付けられていたが、本実施の形態では、図１３に示すように、ガイド部材１３１は少なくとも補強部材１４１の中間部に取り付けられている。本実施の形態では、ガイド部材１３１は、補強部材１４１の端部と中間部との両方にそれぞれ取り付けられていてもよい。図１３に示した例では、載置部材と厚み方向に重なる位置にガイド部材１３１が配置されている。
【００６７】
（作用・効果）
本実施の形態では、補強部材の中間部にガイド部材が設けられているので、強度を高めることができる。
【００６８】
図１３に示した例では、ガイド部材１３１を補強部材１４１の中間部の片面側にのみ配置した例を示したが、ガイド部材は両面に配置してもよい。図１４に示した例では、ガイド部材１３２ａ，１３２ｂが載置部材を挟むようにして両面にそれぞれ配置されている。補強部材１４２には貫通孔５１４が設けられており、ガイド部材１３２ａ，１３２ｂの突起５１３が貫通孔５１４を通っている。ガイド部材を両面に配置することができるように補強部材１４２の厚み方向の寸法はやや大きくなっている。このように補強部材１４２の中間部において両面にガイド部材を配置した場合、この熱処理用治具は、表裏の両方をリバーシブルで使用することができる。
【００６９】
（実施の形態５）
実施の形態３，４では、ガイド部材が円柱形状であったが、ガイド部材の形状は円柱とは限らない。ガイド部材の断面形状は円形とは限らず、他の形状であってもよい。
【００７０】
本発明に基づく実施の形態５における熱処理用治具について説明する。この熱処理用治具の端部の側面図を図１５に示す。この熱処理用治具は、第１補強部材としての補強板１２３ａを備え、補強板１２３ａにはガイド部材１３３が取り付けられている。ガイド部材１３３を単独で取り出したところを図１６に示す。ガイド部材１３３は両端にそれぞれ突起５１５を備える。突起５１５は四角柱であり、ガイド部材１３３内の他の部分に比べて寸法が小さくなっている。図１５に示した例では、第１補強部材としての補強板１２３ａの端部に四角形の貫通孔５１６が設けられており、突起５１５が貫通孔５１６を通っている。貫通孔５１６のサイズは、突起５１５の外形よりわずかに大きくなっている。
【００７１】
（作用・効果）
本実施の形態においても、実施の形態３と同様の効果を得ることができる。本明細書においては、ガイド部材の断面形状が円形である例と四角形である例とを示したが、ガイド部材の断面形状はこれらの形状に限るものではなく、他の形状であってもよい。
【００７２】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００７３】
１  ローラ、２  熱処理用治具、３  電子部品、４  ガス噴出口、１２，１２ａ，１２ｂ  熱処理用治具、１２１  山折部の頂部、１２２  谷折部の頂部、１２３，１２３ａ，１２３ｂ，１２３ｃ  補強板、１２５，１４１，１４２  補強部材、１２６  貫通孔（第２の貫通孔）、１２７  空間、１３１，１３２ａ，１３２ｂ，１３３  ガイド部材、５１３，５１５  突起、５１４，５１６  貫通孔。
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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