(57)【要約】【課題】小型薄型でかつ簡便な素子形状を有し、外部からの熱放射（輻射）や感熱素子自体からの熱放射等の温度外乱やセンサ素子の設置場所に温度分布があったとしても、安定して被測定物の温度を検知する。【解決手段】赤外線を検出して電気信号として出力するセンサ素子１と、前記センサ素子からの出力を外部装置へ出力するための接続端子４と、前記センサ素子と前記接続端子とを電気的に接続する接続配線３と、前記受光面を開口した状態で該センサ素子を前記接続端子と前記接続配線とともに封止する封止部材５とを具えた赤外線センサ１０であって、前記封止部材は、前記センサ素子を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成することにより前記受光面の赤外線に対する視野範囲を制限する視野角制限窓６とを有し、該視野角制限窓は、前記赤外線の進入位置から前記受光面に向けて幅広になる逆テーパ状に形成されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外線を受光する受光面を有し、受光した赤外線を検出して電気信号として出力する、基板上に光電変換部を搭載したチップ型の量子型赤外線センサ素子と、
前記量子型赤外線センサ素子からの出力を外部装置へ出力するための接続端子と、
前記量子型赤外線センサ素子と前記接続端子とを電気的に接続する接続配線と、
を備えた赤外線センサであって、
前記受光面を開口した状態で前記量子型赤外線センサ素子を前記接続端子と前記接続配線とともに封止し前記量子型赤外線センサ素子を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成され前記受光面の赤外線に対する視野範囲を制限する視野角制限部とを更に有し、該視野角制限部は、前記赤外線の進入位置から前記受光面に向けて幅広になる逆テーパ状に形成されており、
前記接続配線は、前記量子型赤外線センサ素子の受光面と反対側の面に接続されており、前記視野角制限部は、封止用樹脂であることを特徴とする赤外線センサ。
【請求項２】
前記量子型赤外線センサ素子の受光面における赤外線の反射防止や帯域制限をするための光学調整部が前記量子型赤外線センサ素子の受光面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の赤外線センサ。
【請求項３】
前記保持部と前記視野角制限部とが一体に形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の赤外線センサ。
【請求項４】
前記保持部に対して前記視野角制限部を接着する接着層をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の赤外線センサ。
【請求項５】
前記接続配線は、ワイヤーボンディングであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の赤外線センサ。
【請求項６】
前記接続配線は、フリップチップボンドであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の赤外線センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外線センサに関し、より詳細には、赤外線センサの受光面に視野角制限体を一体で配置することにより、赤外線センサの出力が外乱の影響を受けにくいようにした小型・薄型赤外線センサの外乱防止に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、赤外線センサは、物体の表面温度の非接触での検知、物体の存在検知、また、大気中のガス濃度の測定など各種の用途に使われている。この赤外線センサとしては、大きく分けて熱型赤外線センサと量子型赤外線センサが知られている。
【０００３】
熱型赤外線センサは、赤外線を受光して熱によってセンサ素子が温められ、そのセンサ素子の温度の上昇によって変化する電気的性質を検知するもので、感度や応答速度は低いが、波長帯域が広く常温で使えるのが特徴である。熱起電力効果を原理としたサーモパイル、焦電センサのＰＺＴ、温度変化による電気抵抗の変化のサーミスタ、ボロメータなどがある。熱型赤外線センサを使用した場合には、熱の遮断を目的として、缶パッケージの開口部に赤外線を透過させる光学フィルタを接合し、この光学フィルタを透過した赤外線の検出を行う赤外線検出素子を缶パッケージの内部に収納する形状が用いられている。また、サーモパイル型センサとして、簡素化や耐久性の向上を図るために、缶パッケージを使用せずにモールド樹脂中に構成したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この特許文献１に記載のものは、特定の波長帯域の赤外光を選択的に透過させる平板状の光フィルタと、光フィルタを透過した赤外光を検出するための検出素子部が一方の面に形成された赤外線検出素子と、光フィルタと赤外線検出素子における検出素子形成面との間に設けられ、光フィルタと赤外線検出素子とを接着するとともに、光フィルタと検出素子形成面との間に所定の隙間を確保するための支持体とを備えたものである。つまり、この特許文献１に記載のものは、缶パッケージを採用しない簡素化した構成であるが、赤外線センサの検出素子形成面上に所定の隙間を確保して光学フィルタを設ける構造とすることで、前記缶パッケージを用いるのと同様に中空構造にすることが開示されている。
【０００５】
一方、量子型赤外線センサは、半導体に赤外線が照射されると、その光量子によって発生する電子や正孔を利用するセンサであり、光導電型（ＨｇＣｄＴｅなど）や光起電力型（ＩｎＡｓなど）がある。この量子型赤外線センサは、感度の波長依存性があり、高感度で、応答速度が速いという特長があるが、一般に冷却する必要があり、ペルチェ素子やスターリングクーラーなどの冷却機構とともに用いられる。また、室温で動作可能な量子型赤外線センサも提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
この特許文献２に記載の量子型赤外線センサは、基板上に設けられた化合物半導体層により赤外線を検知して電気信号を出力する化合物半導体センサ部と、この化合物半導体センサ部からの電気信号を演算する集積回路部とを備え、この化合物半導体センサ部と集積回路部とを同一パッケージ内に収納したものである。これにより、電磁ノイズや熱ゆらぎの影響を受けにくくするとともに、室温での検知を可能とし、モジュールの小型化を可能にしたものである。
【０００７】
また、赤外線センサを用いて非接触で表面温度を正確に検知するためには、被測定物以外の対象物から放射される赤外線を受光しないように、赤外線センサの視野角を制限することも重要である。視野角を制限する機能を備えた非接触測温センサとしては、例えば特許文献３のものが知られている。
【０００８】
この特許文献３に記載の非接触測温センサは、赤外線センサ、光学レンズ、自己温度センサを取り付け支持する筐体に、視野角を制限するための導光器を配置した構成となっている。この非接触測温センサにおいて、光学レンズは測定物から放射される赤外線を集光して前記赤外線センサへ送り、赤外線センサが被測定物から放射される赤外線を検出して電気信号を発生する。また、自己温度センサは補正を行うために赤外線センサ自身の温度を検出している。この非接触測温センサにおいて、視野角を制限する視野角制限体として機能する導光器は、前記光学レンズと被測定物との間にレンズ側に収斂するテーパ状の内径を有しており、赤外線センサの視野角を制限することによって周辺への感度を減衰させ視野特性をシャープにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−１９４７９１号公報
【特許文献２】国際公開第ＷＯ２００５／０２７２２８号パンフレット
【特許文献３】特開平１０−２２７６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したように視野角制限体は、赤外線センサの受光部に対して視野を制限する視野角制限窓として機能することによって赤外線センサの視野範囲を規定できるのであるが、特許文献３のテーパ形態以外にも図１に示すような形態のものも一般に用いられている。図１に記載された視野角制限体１７は、赤外線センサを封止した封止部材１５の上面に、赤外線センサの受光部１８を囲うように設けられている。この視野角制限体１７は、上方（高さ方向）に垂直に延びており、その上端の内周が視野角制限窓１６として機能し、この視野角制限窓１６と受光面１８とのなす角によって赤外線センサの視野範囲１９を規定している。
【００１１】
ところで、視野角制限体を用いる場合、視野角制限体と赤外線センサの温度の差が測定誤差となる。従って測定誤差を低減し安定してセンサ出力を得るためには、この温度差を低減するか、温度差を補正する必要がある。
【００１２】
この温度差による測定誤差の問題を解決するために、上述した前記特許文献３ではレンズとテーパ状の視野角制限体を用いる事が提案されている。またその他にも、視野角制限体にヒーターを取り付け温度を一定に保つ方法や、視野角制限体を大型化し熱容量を増やす方法や、周辺部との間に空間を空けて周辺部と熱遮断することにより周辺の温度変化の影響を少なくした状態で該視野角制限体の温度を検知して赤外線センサの出力補正する方法が行われてきた。しかし、いずれの方法も視野角制限体の構造の複雑化や大型化を伴うため、制御の複雑化や周囲温度変化時の安定性の悪化と言った問題があった。
【００１３】
また、赤外線センサの受光部に視野角制限体を用いる場合、図２に示すように、赤外線センサの組み立て公差により受光窓（赤外線センサの受光部１８）と視野角制限体１７との相対位置ずれが発生する可能性もある。例えば設計上では視野角制限体１７を視野範囲１９ａとなる位置に取り付けるべきであるところ、一体封止する場合は成形用金型の配置位置のずれ、別体として取り付けする場合は接着位置のずれなどの製造時に生ずる誤差の影響から、視野範囲１９ａと異なる視野角限界となる位置に構成される場合がある。例えばこのズレ位置（製造公差）が、視野範囲１９ｂや視野範囲１９ｃに示す位置であった場合は、センサ素子の受光面（受光部１８）を覆い隠すことになる。受光面を覆い隠すこととなると、赤外線センサの受光感度を低下させてしまうため好ましくない。
【００１４】
また、視野角制限体１７の内周とセンサ素子の受光面との間隔が製造公差よりも小さいと、視野角制限体自体が受光面を覆い隠さない場合でも、接着部材等の滲みにより受光面への悪影響を与えることが考えられる。
【００１５】
このため、製造公差を考慮して、センサ素子の受光窓（受光面１８）の寸法より十分大きな寸法を有する内周の前記視野角制限体１７を用いる必要がある。しなしながら、十分大きな寸法の内周の視野角制限体１７で視野角を制限する場合は、その高さも十分大きくしなければならない。図３に示すように、受光面に対して同じ視野角制限を与えるためには、視野角制限体の内周寸法が大きくなればなるほど、より高い位置に視野角制限窓（視野角制限体の上端内周）を設ける必要があるからである。従って、小型化する場合には、組み立て時の高い加工精度が要求されるなどの問題があった。
【００１６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、小型薄型でかつ簡便な素子形状を有し、外部からの熱放射（輻射）や感熱素子自体からの熱放射等の温度外乱やセンサ素子の設置場所に温度分布があったとしても、安定して被測定物の温度を検知することができるようにした赤外線センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、本発明の一態様は、赤外線を受光する受光面を有し、受光した赤外線を検出して電気信号として出力する、基板上に光電変換部を搭載したチップ型の量子型赤外線センサ素子と、前記量子型赤外線センサ素子からの出力を外部装置へ出力するための接続端子と、前記量子型赤外線センサ素子と前記接続端子とを電気的に接続する接続配線と、を具えた赤外線センサであって、前記受光面を開口した状態で前記量子型赤外線センサ素子を前記接続端子と前記接続配線とともに封止し前記量子型赤外線センサ素子を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成され前記受光面の赤外線に対する視野範囲を制限する視野角制限部とを更に有し、該視野角制限部は、前記赤外線の進入位置から前記受光面に向けて幅広になる逆テーパ状に形成されており、前記接続配線は、前記量子型赤外線センサ素子の受光面と反対側の面に接続されており、前記視野角制限部は、封止用樹脂であることを特徴とする赤外線センサである。
【００１８】
本発明の他の態様は、上述の赤外線センサにおいて、前記量子型赤外線センサ素子の受光面における赤外線の反射防止や帯域制限をするための光学調整部が前記量子型赤外線センサ素子の受光面に設けられていることを特徴とする。
【００１９】
本発明の他の態様は、上述の赤外線センサにおいて、前記保持部と前記視野角制限部とが一体に形成されていることを特徴とする。
【００２０】
本発明の他の態様は、上述の赤外線センサにおいて、前記保持部に対して前記視野角制限部を接着する接着層をさらに具えることを特徴とする。
【００２１】
本発明の他の態様は、上述の赤外線センサにおいて、前記接続配線は、ワイヤーボンディングであることを特徴とする。
【００２２】
本発明の他の態様は、上述の赤外線センサにおいて、前記接続配線は、フリップチップボンドであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、赤外線センサを構成するセンサ素子と同一構造内で近接して一体的に視野角制限体を設け、視野角制限体の形状を逆テーパにしたので、視野角制限体を小型薄型でき、かつ、赤外線センサと視野角制限体の温度差が低減し、小型薄型で安定性の高い赤外線センサを構成できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】赤外線センサの視野を説明するための断面図である。
【図２】従来の視野角制限体ずれを説明するための断面図である。
【図３】従来の視野角制限体ずれを考慮した場合の視野角制限体の高さを説明するための断面図である。
【図４】本発明に係る赤外線センサの第１の実施形態を説明するための断面図である。
【図５】本発明に係る赤外線センサの視野を説明するための断面図である。
【図６】本発明に係る赤外線センサの視野を説明するための断面図である。
【図７】本発明に係る赤外線センサの第２の実施形態を説明するための断面図である。
【図８】本発明に係る赤外線センサの第３の実施形態を説明するための断面図である。
【図９】本発明に係る赤外線センサの第４の実施形態を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。
【００２６】
（第１の実施形態）
図４は、本発明に係る赤外線センサの第１の実施形態を説明するための構成図である。図４において、赤外線センサ１０は、赤外線センサ素子１と、光学調整部２と、接続配線３と、パッケージの接続端子４と、パッケージの封止部材５と、視野角制限窓６とを具えている。
【００２７】
本実施形態の赤外線センサ１０では、赤外線を検出するための赤外線センサ素子１と赤外線センサ素子１の受光側に配置された光学調整部２とが赤外線センサ素子１の受光面が開口された状態で封止部材５によって封止されている。封止部材５は赤外光を遮ることができる、例えば、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂、ホットメルト型樹脂など、一般的な電子部品の封止用樹脂を用いることができる。また、該赤外線センサ素子１の周辺には複数の接続端子４が配置されており、複数のワイヤーボンディングからなる接続配線３によって赤外線センサ素子１と接続され、これらも封止部材５によって封止されている。また、封止部材５には視野角制限窓６が形成されており、赤外線を光学調整部２へ導入している。
【００２８】
光学調整部２は、反射防止フィルタであり、赤外線センサ素子１の受光面での赤外線の反射を防止している。赤外線センサ素子１は、光学調整部２を透過した赤外線を受光し、その赤外線を検出して電気信号を出力する。赤外線センサ素子１から出力された電気信号は接続配線３を介して接続端子４に出力される。接続端子４は、外部機器と電気的に接続され、赤外線センサ素子１からの出力信号を外部機器に出力する。
【００２９】
赤外線センサ素子１は、封止部材５に直接接触しているため、センサ素子を基板の裏側の面（光学調整部２とは反対側の面）に設けた構成であることが望ましい。具体的には赤外線センサ素子１基板に光電変換部を搭載したチップ型の赤外線センサ素子を用いることができる。このようなチップ型の赤外線センサ素子としては、代表的には赤外線を電気信号に直接変換する機能を有する量子型の赤外線センサが考えられるがこれに限定されない。チップ型に構成可能な赤外線センサ素子であれば、赤外線を一旦熱に変換してから電気信号に変換する機能を有するＭＥＭＳ技術を用いたサーモパイルなどのいわゆる熱型センサでも同様の構成とすることができる。また、光学調整部２は、ＬＰＦやＢＰＦ等の光学フィルタであってもよく、Ｓｉ基板やサファイヤ基板などを用いて製作されたＬＰＦやＢＰＦ等の光学フィルタであってもよい。Ｓｉ基板やサファイヤ基板などを用いて製作された該光学フィルタの場合は、封止部材５で保持される構造であっても良い。
【００３０】
封止部材５は、その機能から、赤外線センサ素子１を保持する保持部と、前記受光面の周囲を取り囲んで前記保持部から延びるように形成することにより前記受光面の赤外線に対する視野範囲（視野角）を制限している視野角制限部とに分けられる。
【００３１】
ここで、本発明の赤外線センサ１０における、赤外線センサ素子１の受光面への視野角を制限する視野角制限部の構成について説明する。図５、６は、本発明に係る赤外線センサ１０の視野を説明するための断面図である。図５、６において、パッケージの封止部５ａと、視野角制限体７と、受光部８と、視野範囲９（９ａ、９ｂ、９ｃ）とが示されている。なお、図５、６においては、センサ素子１の受光面８と視野角制限部７との関係が明確になるようにセンサ素子１の受光面８以外を省略して示している。
【００３２】
視野角制限体７は、封止部材５に視野角制限窓６（視野各制限部上端の内周部分）を形成するための構造部であり、本実施形態では封止部５ａと一体に形成されている。受光部８は、赤外線センサ素子１の受光窓部である。視野範囲９は、受光部８と視野角制限体７によって決まる赤外線センサの視野範囲である。
【００３３】
本発明の赤外線センサ１０では、図５、６に示すように、視野角制限部（視野角制限体）７が受光部８に向かって幅広になる逆テーパ形状となるように形成されている。図６から明らかなように、受光部８における赤外線受光が可能な視野範囲９は、受光部８と視野角制限体７の上端（最狭部）における視野角制限窓６とのなす角で決まる。本発明の赤外線センサでは視野角制限体７が逆テーパ形状に形成されているので、封止部５ａと視野角制限体７との境界部分における視野角制限窓６の寸法にかかわらず、視野角制限体７の上端における視野角制限窓６の寸法は小さく構成することができる。これにより、視野角制限体７の上端を受光部８に近い位置に形成することが可能となる。
【００３４】
逆テーパ上部の最狭部の視野角制限窓６の寸法は、目標とする視野範囲９と視野角制限体７の高さを決めることで規定すればよく、受光部８と視野角制限体７との位置ずれ幅などの製造公差を考慮する必要がない。すなわち、これらの製造公差があっても、視野角制限体７の上端における視野角制限窓６の寸法を広げる必要がない。上記製造公差を吸収するためには、逆テーパ下部の最広部（図中の視野角制限体７と封止部材５との境界部）の寸法を大きさが十分大きければよいためである。また、逆テーパ上部の最狭部である視野角制限窓６の寸法を広げないので、従来の視野角制限体１７ａ〜１７ｃ（図３参照）のように視野角制限体７の上端位置（最狭部の視野角制限窓６の位置）を高くする必要がない。また、上面から見た（平面視の）視野角制限窓６の形状は、四角形でも丸形でもよいが、加工の容易さから丸形であることが好ましい。
【００３５】
また、逆テーパ下部の最広部の寸法は、受光部６の受光面面積に受光部８と視野角制限体７の位置ずれ幅を加えた寸法より広く規定すれば良い。図６は、本発明に係る赤外線センサの視野角制限体７のずれを説明するための断面図である。図６に示すように、受光部８と視野角制限体７との位置ずれにより、相対的に視野範囲９ａから視野範囲９ｂや視野範囲９ｃの範囲でずれたとしても、逆テーパ下部の最広部の寸法は位置ずれ幅より広く規定されているので、受光部８の受光面を塞ぐことなくセンサ感度を低下させることがない。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態の構成によれば、一体的に視野角制限体を設けた従来の赤外線センサよりも、視野角制限体を小型薄型でき、これにより赤外線センサと視野角制限体の温度差が低減するので、小型薄型で安定性の高い赤外線センサを構成することができる。
【００３７】
（第２の実施形態）
図７は本発明にかかる赤外線センサ２０の本実施形態を示す図である。この実施形態は、第１の実施形態では封止部材の一部として形成されていた視野角制限部を、封止部とは別体に形成し、これらを接着層１１等を介して貼り合せて封止部材とした構成である。
【００３８】
この実施形態の赤外線センサ２０では、封止部５ａと視野角制限部７との間に接着層１１を有することから、接着部材等の滲み幅などもの製造公差として考慮する必要がある。なお、接着層１１における接着方法は、接着剤を用いた方法以外にも超音波や加熱等により貼り合わせることも可能である。超音波や加熱等により貼り合わせた場合は、接着部材の滲み幅は考慮しなくてよい。
【００３９】
よって、本実施形態の構成によれば、封止部と視野角制限部とを貼り合せて封止部材とした赤外線センサの場合でも、従来よりも視野角制限体を小型薄型でき、これにより赤外線センサと視野角制限体の温度差が低減するので、小型薄型で安定性の高い赤外線センサを構成することができる。
【００４０】
（第３の実施形態）
図８は、本発明に係る赤外線センサの第３の実施形態を説明するための構成図である。この実施形態は、第１の実施形態においてセンサ素子と接続端子との接続配線としてワイヤーボンディングを採用していたのに対し、センサ素子と接続端子との接続配線としてフリップチップボンドを採用した構成である。
【００４１】
本実施形態の構成によれば、図８に示すように、赤外線センサ素子１と接続端子４との接続のために要するスペースが第１の実施形態の構成よりも削減できる。したがって、第１の実施形態よりも、パッケージ幅の狭い小型の赤外線センサ３０を構成することができるので、一体的に視野角制限体を設けた赤外線センサを小型薄型で安定性のより高い構成とすることができる。
【００４２】
（第４の実施形態）
図９は、本発明に係る赤外線センサの第４の実施形態を説明するための構成図である。この実施形態は、第３の実施形態では封止部材の一部として形成されていた視野角制限部を、封止部とは別体に形成し、接着層１１等を介して貼り合せて封止部材とした構成である。
【００４３】
この実施形態の赤外線センサ４０では、封止部５と視野角制限部７との間に接着層１１を有することから、接着部材等の滲み幅などもの製造公差として考慮する必要がある。なお、接着層１１における接着方法は、接着剤を用いた方法以外にも超音波により貼り合わせることも可能である。超音波により貼り合わせた場合は、接着部材の滲み幅は考慮しなくてよい。
【００４４】
本実施形態の構成によれば、図９に示すように、赤外線センサ素子１と接続端子４との接続のために要するスペースが第２の実施形態の構成よりも削減できる。したがって、第２の実施形態よりも、パッケージ幅の狭い小型の赤外線センサ４０を構成することができるので、封止部材と視野角制限体とを貼り合せて形成した赤外線センサを小型薄型で安定性のより高い構成とすることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１  センサ素子
２  光学調整部
３  接続配線
４  接続端子
５  封止部材
５ａ  封止部
６  視野角制限窓
７、７ａ〜７ｃ  視野角制限体（視野角制限部）
８  受光部
９、９ａ〜９ｃ  視野範囲
１１  接着層  
１０、２０、３０、４０  赤外線センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2015083995.tif 000009
【図８】
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【図９】
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