(57)【要約】【課題】液体容器に流入する液体の流量に関わらず、簡単な構造により、安定して液体から気泡を除去する。【解決手段】液体容器７１と、液体を液体容器７１の下部から上部に向けて流入させる液体流入部７２と、液体流入部７２の上方に設けられ、液体流入部７２を向くように傾斜した傾斜面７Ｆと、傾斜面７Ｆとは異なる位置に設けられて、脱泡された液体を液体容器７１から流出させる液体流出部７３と、液体容器７１の上部に移動した気泡を液体容器７１から排出する気泡排出部７４とを備えている。【選択図】図２
2015020083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体に含まれる気泡を除去する脱泡装置であって、
前記液体を収容する液体容器と、
前記液体を前記液体容器の下部から上部に向けて流入させる液体流入部と、
前記液体容器内において前記液体流入部の上方に設けられ、前記液体流入部を向くように傾斜した傾斜面と、
前記傾斜面とは異なる位置に設けられて、前記液体を前記液体容器から流出させる液体流出部と、
前記液体容器の上部に移動した気泡を前記液体容器から排出する気泡排出部とを備える脱泡装置。
【請求項２】
前記液体流入部が前記液体容器の上部を向いて開口する液体流入口を有し、
前記気泡排出部が前記液体容器の下部を向いて開口する気泡排出口を有し、
前記液体流入部からの前記液体の流入方向が、前記液体流入口と前記気泡排出口とを結ぶ仮想直線に沿った方向とされている請求項１記載の脱泡装置。
【請求項３】
前記液体流入部からの前記液体の流入方向が、鉛直方向に対して傾斜しており、
前記液体流出部が、前記液体容器の側壁において、前記流入方向が鉛直方向に対して傾斜している側に設けられている請求項１又は２記載の脱泡装置。
【請求項４】
前記液体容器の内部空間が、一方向に延びる概略柱形状をなすものであり、
前記内部空間の中心軸方向が、前記流入方向と略同一方向となるように鉛直方向に対して傾斜している請求項３記載の脱泡装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか一項に記載の脱泡装置と、
前記脱泡装置により脱泡された液体が流れる測定セルと、
前記測定セルに光を照射する光照射部と、
前記測定セルから出た光を検出する光検出部とを備える液体分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に含まれる気泡を除去する脱泡装置、及び当該脱泡装置を用いて気泡が除去された液体を分析する液体分析装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体プロセスに用いられる薬液等の液体の成分濃度等を測定する場合、液体に気泡が含まれていると測定誤差が生じるため、特許文献１に示すように、サンプリングされた薬液を脱泡装置に導入して気泡を除去し、この気泡が除去された薬液を測定セルに流すように構成している。
【０００３】
前記脱泡装置は、気泡に作用する浮力を用いて液体から気泡を除去するものであり、液体容器（脱泡槽）の側壁から液体を流入させて、液体容器の底壁から脱泡された液体を測定セルに流出させるとともに、液体容器の上壁から分離された気泡又は気体を排出するように構成されている。
【０００４】
しかしながら、上記構成の脱泡装置は、液体容器の側壁から液体を水平方向に沿って流入させているので、流入した液体が液体流入口に対向する側壁内面に当たり、液体容器内に上向きの流れと下向きの流れが生じてしまう。
【０００５】
そうすると、下向きに流れる液体に含まれる気泡は、下向きに流れる液体から、気泡に作用する浮力とは反対の力を受け、液体容器の上部に移動することなく、測定セルに流れ込んでしまう。この問題は、液体容器に流入する液体の流量が大きくなるに連れて、下向きに流れる液体の流速が速くなり、気泡に作用する浮力よりも下向きに流れる液体から受ける力が大きくなるため、顕著となる。
【０００６】
ここで、気泡が測定セルに流れ込まないように、気泡が下向きに流れる液体から受ける力を小さくすることが考えられる。このためには、液体容器に流入する液体の流量を小さくする必要があり、そうすると、サンプリングポイントから測定セルへの液体の到達時間が長くなってしまい、応答速度が遅くなってしまうという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００５−３７３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、液体容器に流入する液体の流量に関わらず、簡単な構成により、安定して液体から気泡を除去することをその主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち本発明に係る脱泡装置は、液体に含まれる気泡を除去する脱泡装置であって、前記液体を収容する液体容器と、前記液体を前記液体容器の下部から上部に向けて流入させる液体流入部と、前記液体容器内において前記液体流入部の上方に設けられ、前記液体流入部を向くように傾斜した傾斜面と、前記傾斜面とは異なる位置に設けられて、脱泡された液体を前記液体容器から流出させる液体流出部と、前記液体容器の上部に移動した気泡を前記液体容器から排出する気泡排出部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
このようなものであれば、液体流入部が液体を液体容器の上部に向けて流入させるので、液体に含まれる気泡が液体容器の上部に設けられた気泡排出部に流れ易くなり、液体容器に流入する液体の流量に関わらず、液体から気泡を除去し易くなる。このとき、液体流入部が液体を液体容器の上部に向けて流入させる構造であり、脱泡装置の構成を簡単にすることができる。また、液体の含まれる気泡は浮力によって液体容器の上部に移動するとともに、上向きに流れる液体に乗って液体容器の上部に移動するので、気泡が液体容器の上部に移動し易く、安定して液体から気泡を除去することができる。さらに、液体流入部から流入した液体が液体容器の側壁内面に当たって生じる下向きの流れを小さくすることができ、液体流出部に流れ込む気泡を可及的に少なくすることができる。
また、液体容器に流入した液体に含まれる気泡は、浮力を受けて液体流入部の上方に移動して、当該液体流入部の上方に設けられた傾斜面に表面張力によって付着する。これにより、液体流出部に流れ込む気泡を低減することができる。
ここで、傾斜面に付着した気泡は、浮力の他に、下向きに流れる液体から力を受ける。液体容器に流入する液体の流量が多い場合、下向きに流れる流速が速くなるため、傾斜面に付着した気泡は、傾斜面を伝って気泡排出部に流れにくいものの、傾斜面との表面張力によって傾斜面から離れにくい。このため、液体の流量が多い場合であっても、液体流出部に気泡が流れにくくできる。
さらに、傾斜面に付着した気泡は、液体に含まれる気泡を吸収して合わさり、また、傾斜面に付着した別の気泡を吸収して合わさり、徐々に成長していき、最終的には、浮力が下向きに流れる液体から受ける力により大きくなり、液体容器の上部に移動して気泡排出部から排出される。ここで、成長した気泡は、表面張力により傾斜面から離れることなく、付着したまま液体容器の上部に移動する。
【００１１】
前記液体流入部が前記液体容器の上部を向いて開口する液体流入口を有し、前記気泡排出部が前記液体容器の下部を向いて開口する気泡排出口を有し、前記液体流入部からの前記液体の流入方向が、前記液体流入口と前記気泡排出口とを結ぶ仮想直線に沿った方向とされていることが望ましい。
これならば、液体流入部からの液体の流入方向が、液体流入口と気泡排出口とを結ぶ仮想直線に沿った方向であるので、液体が液体容器の側壁内面に当たって生じる下向きの流れを無くすことができ、液体に含まれる気泡が気泡排出部にさらに流れ易くなり、液体から気泡を除去し易くなる。
【００１２】
前記傾斜面が、前記液体容器の側壁内面により構成されていることが望ましい。
これならば、液体容器の内部構成を簡略化することができる。
【００１３】
前記液体流入部が前記液体容器内に開口する液体流入口を有し、前記気泡排出部が前記液体容器内に開口する気泡排出口を有し、前記液体流入口と前記気泡排出口とが互いに対向して設けられており、前記液体流入口からの前記液体の流入方向が、前記気泡排出口への前記気泡の排出方向と略一致していることが望ましい。
これならば、液体流入口と気泡排出口が対向しており、液体流入口からの液体の流入方向が、気泡排出口への気泡の排出方向と略一致しているので、液体が液体容器の側壁内面に当たって生じる下向きの流れを無くすことができ、液体に含まれる気泡が気泡排出部にさらに流れ易くなり、液体から気泡を除去し易くなる。
【００１４】
上記の構成であっても、一度液体容器の上部に流れた液体が下向きに流れてしまう。このとき、液体容器に流入する液体の流量が多くなるに連れて、下向きに流れる流速が速くなり、気泡に作用する浮力よりも下向きに流れる液体から受ける力が大きくなり、傾斜面に付着していない気泡が測定セルに接続された液体流出部に流れ込んでしまう恐れがある。
このため、前記液体流入部からの前記液体の流入方向が、鉛直方向に対して傾斜しており、前記液体流出部が、前記液体容器の側壁において、前記流入方向が鉛直方向に対して傾斜している側に設けられていることが望ましい。
これならば、液体容器に流入した液体に含まれる気泡は全体的に鉛直上向き（液体流出部から離れる向き）に移動するため、液体容器の上部から下向きに流れる液体において液体流出部側に流れる液体に含まれる気泡を少なくすることができる。
【００１５】
前記液体容器の内部空間が、一方向に延びる概略柱形状をなすものであり、前記内部空間の中心軸方向が、前記流入方向と略同一方向となるように鉛直方向に対して傾斜していることが望ましい。つまり、概略柱形状をなす内部空間の中心軸方向が、鉛直方向に対して前記液体流出部側に傾斜していることが望ましい。
これならば、液体容器を傾斜させるだけで、液体に含まれる気泡が付着する傾斜面を構成することができ、脱泡装置の構成を簡単化することができる。
【００１６】
また、本発明に係る液体分析装置は、上述した脱泡装置と、前記脱泡装置により脱泡された液体が流れる測定セルと、前記測定セルに光を照射する光照射部と、前記測定セルから出た光を検出する光検出部とを備えることを特徴とする。
上述した脱泡装置を用いることにより液体容器に流入させる液体の流量を大きくすることができるので、サンプリングポイントから測定セルへの液体の到達時間が短くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
このように構成した本発明によれば、液体容器に流入する液体の流量に関わらず、簡単な構成により、安定して液体から気泡を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態の液体分析装置の構成を模式的に示す図。
【図２】同実施形態の脱泡装置の構成を模式的に示す図。
【図３】同実施形態の脱泡装置の作用を示す模式図。
【図４】同実施形態の脱泡装置の作用を示す模式図。
【図５】変形実施形態の脱泡装置の構成を模式的に示す図。
【図６】変形実施形態の脱泡装置の構成を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明に係る脱泡装置を用いた液体分析装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２０】
本実施形態の液体分析装置１００は、例えば半導体ウエハの洗浄装置に用いられる薬液などの半導体プロセスに用いられる薬液の成分濃度を吸光分析法といった光学分析法により測定するものである。
【００２１】
具体的にこの液体分析装置１００は、図１に示すように、薬液等の液体が流れる測定セル２と、当該測定セル２に特定波長の光を照射する光照射部３と、前記測定セル２を通過した光を延出する光検出部４と、当該光検出部４からの光強度信号を取得して、前記液体の成分濃度を演算する演算装置５とを備えている。なお、演算装置５は、前記光検出部４からの光強度信号を用いて得られた吸光度から液体の成分濃度を演算するものである。
【００２２】
そして、液体分析装置１００は、薬液等の液体を収容する液体槽２００から液体をサンプリングして測定セル２に導入する液体導入路Ｌ１と、測定セル２を通過した液体を液体槽２００等に排出する液体排出路Ｌ２とを備えている。また、液体導入路Ｌ１には、液体槽２００から液体を吸引してサンプリングするための吸引ポンプ６と、液体導入路Ｌ１を流れる液体に含まれる気泡を除去するための脱泡装置７とが設けられている。
【００２３】
脱泡装置７は、気泡に作用する浮力を用いて液体から気泡を除去するものであり、図２に示すように、液体を収容する液体容器７１と、液体を液体容器７１の一方である下部（液体容器７１の下部分）に流入させる液体流入部７２と、当該液体流入部７２に対向するように上方（上方向）に設けられた傾斜面７Ｆと、脱泡された液体を液体容器７１から流出させる液体流出部７３と、液体容器７１の他方である上部（液体容器７１の上部分）に移動した気泡を液体容器７１から排出する気泡排出部７４とを備えている。
【００２４】
液体容器７１は、概略筒形状をなす容器であり、本実施形態では、概略円筒形状をなすものである。具体的に液体容器７１は、一方向（中心軸方向）に延びる概略円柱形状をなす内部空間７Ｓを有する。つまり、内部空間７Ｓは、中心軸Ｃを回転中心とした回転体形状をなすものであり、その上部は、移動してきた気泡を気泡排出部７４の気泡排出口７４ｘに流れ易くするために円錐形状を成している。つまり、液体容器７１の上部の内壁面は、上に行くに従って徐々に窄まるテーパ面としてある。
【００２５】
液体流入部７２は、液体容器７１の底壁７１ａの例えば中心部に設けられており、底壁７１ａの内面において上方を向いて開口する液体流入口７２ｘを有している。具体的に液体流入口７２ｘは、開口形状が概略円形状をなすものであり、内部空間７Ｓの中心軸方向に沿って開口している。なお、底壁７１ａの内面は、平坦面である。
【００２６】
また、液体流入部７２は、液体を液体容器７１の上部に向けて流入させるように構成されている。具体的に液体流入部７２は、液体を液体容器７１の内部空間７Ｓの中心軸方向に沿って流入させるように構成されている。より詳細には、液体流入部７２における液体流入口７２ｘに連通する流路が、中心軸方向に沿った直線状をなすものとすることで、液体を中心軸方向に沿って流入させるように構成されている。なお、液体流入部７２には、前記液体導入路Ｌ１を構成し、液体槽２００に接続された液体導入配管（不図示）が接続される。
【００２７】
傾斜面７Ｆは、液体流入部７２の上方に位置しており、液体流入部７２を向くように鉛直方向Ｚに対して傾斜した面である。本実施形態の傾斜面７Ｆは、前記液体容器の側壁７１ｂの内面により構成されている。具体的に傾斜面７Ｆは、液体流入部７２から流入した液体に含まれる気泡が浮力により移動する方向（鉛直上方）に位置している。
【００２８】
液体流出部７３は、液体容器７１の側壁７２ｂに設けられており、側壁７２ｂの内面において前記中心軸方向に直交する方向を向いて開口する液体流出口７３ｘを有している。本実施形態の液体流出部７３は、開口形状が概略円形状をなすものであり、側壁７２ｂにおける底壁７２ａ側に設けられている。また、液体流出部７３には、前記液体導入路Ｌ１を構成し、測定セル２に接続された液体導入配管（不図示）が接続される。
【００２９】
気泡排出部７４は、液体容器７１の上壁７１ｃに設けられており、上壁７１ｃの内面において下方を向いて開口する気泡排出口７４ｘを有している。具体的に気泡排出口７４ｘは、開口形状が概略円形状をなすものであり、内部空間７Ｓの中心軸方向に沿って開口している。
【００３０】
また、気泡排出部７４は、液体容器７１の上部に移動して集まった気泡を、液体容器７１の内部空間７Ｓの中心軸方向に沿って排出するように構成されている。具体的には、気泡排出部７４における気泡排出口７４ｘに連通する流路が、中心軸方向に沿った直線状をなすものとすることで、気泡を中心軸方向に沿って排出するように構成されている。なお、気泡排出部７４には、前記液体排出路Ｌ２を構成する液体導出配管に接続されるバイパス配管（不図示）が接続される。ここで、気泡排出部７４における気泡排出部７４ｘに連通する流路には、流路絞り部７４１が形成されている。この流路絞り部７４１によって気泡排出部７４に圧力損失を生じさせて、測定セル２等で生じる圧力損失に関わらず、液体流出部７３側に液体が流れ易くしている。
【００３１】
このように構成した脱泡装置７において、液体流入部７２の液体流入口７２ｘと、気泡排出部７４の気泡排出口７４ｘとが内部空間７Ｓの中心軸方向において互いに対向して設けられている。これにより、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１が、気泡排出口７４ｘを向く方向とされ、より詳細には、液体流入口７２ｘと気泡排出口７４ｘとを結ぶ仮想直線Ｙに沿った方向とされている。本実施形態では、液体流入口７２ｘの開口中心と、気泡排出部７４の開口中心とが、内部空間７Ｓの中心軸Ｃに略一致しているので、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１は、内部空間７Ｓの中心軸方向と略一致する。
【００３２】
また、本実施形態の脱泡装置７において、液体容器７１の内部空間７Ｓの中心軸方向が鉛直方向Ｚに対して傾斜している。具体的には、液体容器７１が鉛直方向Ｚに対して傾斜することにより、その内部空間７Ｓの中心軸方向が鉛直方向Ｚに対して傾斜している。これにより、液体容器７１の側壁７１ｂの内面により構成される傾斜面７Ｆは、液体流入部７２を向くように鉛直方向Ｚに対して傾斜する。具体的に傾斜面７Ｆは、図２のＡ−Ａ線断面図に示すように、中心軸Ｃに直交する断面において、側壁７１ｂの内面における中心軸Ｃよりも上側半周部分７１ｂ１により構成される。本実施形態では、側壁７１ｂの内面は中心軸Ｃに対して平行であり、傾斜面７Ｆの傾斜角度と内部空間７Ｓの中心軸方向の傾斜角度は同一である。ここで、内部空間７Ｓの中心軸方向と液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１とが同一方向であるため、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１も鉛直方向Ｚに対して傾斜しており、流入方向Ｘ１の鉛直方向Ｚに対する傾斜角度は傾斜面７Ｆの鉛直方向Ｚに対する傾斜角度と同一である。なお、気泡排出部７４の気泡の排出方向Ｘ２も、前記流入方向Ｘ１と同様に、鉛直方向Ｚに対して傾斜している。
【００３３】
そして、液体流出部７３が、液体容器７１の側壁７１ｂにおいて、傾斜面７Ｆとは異なる位置に設けられている。具体的に液体流出部７３は、液体容器７１の側壁７１ｂにおいて、傾斜面７Ｆとは反対側、つまり、流入方向Ｘ１が鉛直方向Ｚに対して傾斜している側に設けられている。言い換えれば、内部空間７Ｓの中心軸方向が、鉛直方向Ｚに対して液体流出部７３側に傾斜している。また、流体流出部７３は、液体容器７１の側壁７１ｂにおいて、液体流入口７２ｘと気泡排出口７４ｘとを結ぶ仮想直線Ｙの鉛直下側に設けられている。
【００３４】
次にこのように構成した脱泡装置７の作用について、図３及び図４を参照して説明する。
液体流入部７２により液体容器７１の底壁７１ａから導入された液体は、流入方向Ｘ１に沿って液体容器７１の上部の気泡排出部７４に向かって流れる。ここで、液体容器７１に流入したときに、液体に含まれる気泡の一部は、浮力の影響により、液体流入部７３とは反対側の底壁７１ａの内面又は側壁７１ｂの内面（傾斜面７Ｆ）に付着する（図３参照）。これにより、液体に含まれる気泡の一部が液体から除去される。
【００３５】
また、液体容器７１に流入した液体に含まれる気泡は、鉛直方向Ｚから傾斜した流入方向Ｘ１に沿って上部に移動するとともに、浮力の影響により全体的に鉛直上向き（液体流出部７３から離れる向き）に移動する（図３参照）。なお、このときにも気泡の一部は傾斜面７Ｆに付着する。これにより、液体容器７１の上部から下向きに流れる液体において液体流出部７３側に流れる液体に含まれる気泡が少なくなる。
【００３６】
さらに、傾斜面７Ｆ等に付着した気泡は、浮力の他に、下向きに流れる液体から力を受ける。液体容器７１に流入する液体の流量が多い場合、下向きに流れる流速が速くなるため、傾斜面７Ｆに付着した気泡は、傾斜面７Ｆを伝って気泡排出部７４に流れにくいものの、傾斜面７Ｆとの表面張力によって傾斜面７Ｆから離れ難い。このため、液体の流量が多い場合であっても、液体流出部７３に気泡が流れ難い。
【００３７】
その上、底壁７１ａ又は側壁７１ｂの内面に付着した気泡は、液体に含まれる気泡を吸収して合わさり、また、底壁７１ａ又は側壁７１ｂの内面に付着した別の気泡を吸収して合わさり、徐々に成長していき、最終的には、浮力が下向きに流れる液体から受ける力により大きくなり、側壁７１ｂの内面（傾斜面７Ｆ）を伝って、液体容器７１の上部に移動して気泡排出部７４から排出される（図４参照）。ここで、成長した気泡は、表面張力により側壁７１ｂの内面に付着したまま移動し、側壁７１ｂの内面から離れない。
【００３８】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態に係る液体分析装置１００によれば、液体流入部７２が液体を液体容器７１の上部に向けて流入させるので、液体に含まれる気泡が液体容器７１の上部に設けられた気泡排出部７４に流れ易くなり、液体容器７１に流入する液体の流量に関わらず、液体から気泡を除去し易くなる。このとき、液体流入部が液体を液体容器７１の上部に向けて流入させる構造であり、脱泡装置１００の構成を簡単にすることができる。また、液体の含まれる気泡は浮力によって液体容器７１の上部に移動するとともに、上向きに流れる液体に乗って液体容器７１の上部に移動するので、気泡が液体容器７１の上部に移動し易く、安定して液体から気泡を除去することができる。さらに、液体流入部７２から流入した液体が液体容器７１の側壁７１ｂ内面に当たって生じる下向きの流れを小さくすることができ、液体流出部７３に流れ込む気泡を可及的に少なくすることができる。
【００３９】
また、液体容器７１に流入した液体に含まれる気泡は、浮力を受けて液体流入部７１の上方に移動して、当該液体流入部７１の上方に設けられた傾斜面７Ｆに表面張力によって付着する。これにより、液体流出部７３に流れ込む気泡を低減することができる。このとき、傾斜面７Ｆに付着した気泡は、傾斜面７Ｆとの表面張力によって傾斜面７Ｆから離れにくく、液体の流量が多い場合であっても、液体流出部７３に気泡が流れにくくできる。
【００４０】
さらに、流入方向Ｘ１が、鉛直方向Ｚに対して傾斜しており、概略柱形状をなす内部空間７Ｓの中心軸方向が、鉛直方向Ｚに対して液体流出部７３側に傾斜しているので、液体容器７１に流入した液体に含まれる気泡は全体的に鉛直上向き（液体流出部７３から離れる向き）に移動するため、液体容器７１の上部から下向きに流れる液体において液体流出部７３側に流れる液体に含まれる気泡を少なくすることができる。
【００４１】
以上から、液体容器７１に流入する液体の流量を大きくしても安定して気泡を除去することができる。したがって、サンプリングポイントから測定セル２への液体の到達時間が短くすることができ、液体分析装置１００による成分濃度測定の応答速度を速くすることができる。
【００４２】
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４３】
例えば、前記実施形態では、内部空間７Ｓを鉛直方向Ｚから傾斜させる構成としているが、内部空間７Ｓの中心軸方向を鉛直方向Ｚに一致するように構成しても良い。この場合、傾斜面７Ｆは、液体容器７１の側壁７１ｂとは別に傾斜面形成部材を設けることが考えられる。なお、内部空間７Ｓの中心軸方向が鉛直方向Ｚに対して傾斜しているか否かに関わらず、傾斜面７Ｆを、液体容器７１の側壁７１ｂとは別の傾斜面形成部材により形成しても良い。また、傾斜面７Ｆの形状は、部分円筒面等の湾曲面に限られず、平坦面であっても良いし、それらを組み合わせたものであっても良い。
【００４４】
また、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１は、内部空間７Ｓの中心軸方向に沿った方向でなくても良い。例えば、内部空間７Ｓの中心軸方向が鉛直方向Ｚに一致し、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１が鉛直方向Ｚから傾斜した方向としても良い。また、内部空間７Ｓの中心軸方向が鉛直方向Ｚから傾斜した方向とし、液体流入部７２からの液体の流入方向Ｘ１が鉛直方向Ｚに一致した方向としても良い。
【００４５】
その上、前記実施形態では、液体流入口７２ｘと気泡排出口７４ｘとが互いに対向するものであったが、それらが互いに対向しないように設けても良い。つまり、液体流入口７２ｘからの液体の流入方向Ｘ１と、気泡排出口７４ｘへの気泡の排出方向Ｘ２とが、互いに異なるように構成しても良い。なお、内部空間７Ｓが傾斜したものにおいて、液体流入口７２ｘと気泡排出口７４ｘとが互いに対向しないように設けても良い。
【００４６】
加えて、前記実施形態では、液体流入部７２が液体容器７１の底壁７１ａに設けられ、液体流入口７２ｘが底壁７１ａの内面に開口しているが、図５に示すように、液体流入部７２が、液体容器７１の側壁７１ｂから内部に挿入されて液体容器７１の上部を向いて開口する導入管７２１を有するものであっても良い。
【００４７】
また、本発明では、液体流入部７２の上方に当該液体流入部７２を向くように傾斜した傾斜面７Ｆを設けているが、当該傾斜面７Ｆが設けられないものであっても、液体容器７１に流入する液体の流量に関わらず、簡単な構成により、安定して液体から気泡を除去することができる。この場合の脱泡装置１００は、図６に示すように、液体を収容する液体容器７１と、液体を液体容器７１の下部に流入させる液体流入部７２と、脱泡された液体を液体容器７１から流出させる液体流出部７３と、液体容器７１の上部に移動した気泡を液体容器７１から排出する気泡排出部７４とを備え、液体流入部７２が、液体を液体容器７１の上部に向けて流入させるものである。なお、図６において、前記実施形態と同一又は対応するものには同一の符号を付している。また、図６では、液体流入部７２の流入方向Ｘ１が鉛直方向Ｚから傾斜しているが、鉛直方向Ｚに一致した方向であっても良い。さらに、図６においては、流入方向Ｘ１が仮想直線に一致していない場合を示しているが、一致していても良い。
【００４８】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００４９】
１００・・・液体分析装置
２    ・・・測定セル
３    ・・・光照射部
４    ・・・光検出部
７    ・・・脱泡装置
７１  ・・・液体容器
７Ｓ  ・・・内部空間
７Ｆ  ・・・傾斜面
７１ａ・・・液体容器の底壁
７１ｂ・・・液体容器の側壁
７１ｃ・・・液体容器の上壁
７２  ・・・液体流入部
７３  ・・・液体流出部
７４  ・・・気泡排出部
７２ｘ・・・液体流入口
７４ｘ・・・気泡排出口
Ｘ１  ・・・液体の流入方向
Ｘ２  ・・・気泡の排出方向
Ｚ    ・・・鉛直方向
Ｙ    ・・・仮想直線
Ｃ    ・・・内部空間の中心軸
【図１】
2015020083.tif 000003
【図２】
2015020083.tif 000004
【図３】
2015020083.tif 000005
【図４】
2015020083.tif 000006
【図５】
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【図６】
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