(57)【要約】【課題】複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することを目的とする。【解決手段】一実施形態に係る研磨用クッションは、研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、研磨部材および支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、第１外層と第２外層との間に位置する内層と、第２外層に形成された、内層が進入可能な複数の空間とを備える。内層の硬度は第１外層の硬度および第２外層の硬度の双方よりも低い。【選択図】図１
2015116653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、
前記研磨部材および前記支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、
前記第１外層と前記第２外層との間に位置する内層と、
前記第２外層に形成された、前記内層が進入可能な複数の空間と
を備え、
前記内層の硬度が前記第１外層の硬度および前記第２外層の硬度の双方よりも低い、
研磨用クッション。
【請求項２】
前記内層が進入可能な空間を有さない前記第１外層が前記研磨部材の側に面し、
前記第２外層が前記支持部材の側に面する、
請求項１に記載の研磨用クッション。
【請求項３】
前記複数の空間の開口部が形成された前記第２外層の面が前記内層に貼り合わされた、
請求項１または２に記載の研磨用クッション。
【請求項４】
前記複数の空間が貫通孔である、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の研磨用クッション。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の研磨用クッションと、
前記研磨部材と、
前記支持部材と
を備える研磨装置。
【請求項６】
研磨装置を用いた研磨方法であって、
研磨部材と支持部材との間に研磨用クッションが配置された前記研磨装置を用いて対象物を研磨する工程を含み、
前記研磨用クッションが、
前記研磨部材および前記支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、
前記研磨部材および前記支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、
前記第１外層と前記第２外層との間に位置する内層と、
前記第２外層に形成された、前記内層が進入可能な複数の空間と
を備え、
前記内層の硬度が前記第１外層の硬度および前記第２外層の硬度の双方よりも低い、
研磨方法。
【請求項７】
請求項６に記載の研磨方法により研磨された前記対象物を含む物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一側面は、研磨用クッション、研磨装置、研磨方法、及び当該研磨方法により研磨された対象物を含む物品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、金属材等を研磨するための研磨装置が知られており、例えば、研磨ディスクまたは研磨ホイールを備える研磨装置が流通している。例えば、下記特許文献１には、研磨ベルトを支持し、被加工物に対して当該研磨ベルトを当てるための接触要素が記載されている。この接触要素は鋸歯状の一連の山部を有し、個々の山部を隔てる溝にはその山部よりも柔らかい材料が詰められる。また、下記特許文献２には、駆動部に備わる駆動源から延在する回転軸に対して偏心してかつ回転自在にて一端を該回転軸に連結した駆動軸が該回転軸の回転により該回転軸の軸芯を中心として偏心運動することで、弾性部材からなる支柱を介して該駆動部に支持されかつ該駆動軸の他端に固定されたベース板をオービタル運動させるオービタルサンダ用駆動装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】英国特許出願公開第８１３９６３号明細書
【特許文献２】米国特許第７８２４２４８号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一台の研磨装置で（言い換えると、例えば一つの研磨ディスクまたはエンドレス研磨ベルトで）様々な態様の研磨を行うことができれば便利である。例えば、相対的に高い圧力で研磨面を対象物に押し付けながら該被加工面を多く研磨する一方で、相対的に低い圧力で研磨面を対象物に押し付けながら該被加工面を細かく仕上げることもできれば便利である。このような幅広い研磨態様を一つの研磨装置で実現するために研磨面の裏側にクッション材を配することが考えられるが、従来から存在するクッション材を採用するだけでは所望の研磨効果を得ることが難しい。そこで、上記のような複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一側面に係る研磨用クッションは、研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、研磨部材および支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、第１外層と第２外層との間に位置する内層と、第２外層に形成された、内層が進入可能な複数の空間とを備え、内層の硬度が第１外層の硬度および第２外層の硬度の双方よりも低い。
【０００６】
このような側面においては、研磨時に研磨部材に圧力が掛かると、柔らかい内層の一部がその圧力により空間内に進入する。空間の全体が内層で埋まらない程度の圧力（すなわち、相対的に低い圧力）で研磨部材を対象物に当てた場合には、内層がその圧力を緩衝するので、研磨部材を被加工面に弱く当ててその面を細かく仕上げることが可能になる。一方、個々の空間が内層で埋められるほどの圧力（すなわち、相対的に強い圧力）で研磨部材を対象物に当てた場合には、内層がほぼ完全に潰れて圧力をほとんど緩衝しなくなるので、その圧力のほぼすべてが研磨部材に伝わって被加工面が多く研磨される。このように、柔らかい内層が進入する空間を外層に設けることで、複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一側面によれば、複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施形態に係る研磨用クッションの斜視図である。
【図２】実施形態に係る研磨用クッションの一例を示す分解斜視図である。
【図３】実施形態に係る研磨用クッションの別の例を示す分解斜視図である。
【図４】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図５】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図６】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図７】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図８】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図９】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図１０】研磨用クッションの空間の更に別の例を示す斜視図である。
【図１１】実施形態に係る研磨用クッションを備える携帯用グラインダの図である。
【図１２】携帯用グラインダにおける研磨用クッションの取付を示す分解斜視図である。
【図１３】実施形態に係る研磨用クッションを備える研磨ホイールの斜視図である。
【図１４】研磨ホイールにおける研磨用クッションの取付を示す分解斜視図である。
【図１５】実施形態に係る研磨用クッションを備えるシングルアクションサンダーの図である。
【図１６】実施形態に係る研磨用クッションを備えるダブルアクションサンダーの図である。
【図１７】シングルアクションサンダーまたはダブルアクションサンダーにおける研磨用クッションの取付を示す分解斜視図である。
【図１８】実施形態に係る研磨用クッションが押圧で変化する様子を模式的に示す断面図である。
【図１９】実施例および比較例における研磨量および表面の仕上がりの結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は同等の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１０】
まず、図１〜１０を用いて、実施形態に係る研磨用クッション１０の構造を説明する。研磨用クッション１０は、研磨装置の構成要素である研磨部材および支持部材の間に配される物品である。一般に研磨の目的は一つではなく、例えば、対象物の面（被加工面）を多く削ったりその面を細かく仕上げたりするなどのいくつかの態様が挙げられる。研磨用クッション１０はこのような複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現するために用いられる。
【００１１】
ここで、本明細書における用語「研磨」は研削も含む概念である。また、本明細書における用語「研磨部材」は、対象物の面と接触する研磨面を有する部品である。また、本明細書における用語「支持部材」は、研磨時に研磨部材および研磨用クッション１０を直接的にまたは間接的に支持する部品である。
【００１２】
図１に示すように研磨用クッション１０は少なくとも３層から成る。具体的には、研磨用クッション１０は、研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層１１と、研磨部材および支持部材のうちの他方の側に面する第２外層１２と、これら二つの外層の間に位置する内層１３とを備える。第１外層１１、第２外層１２、および内層１３はいずれも平板状であり、これらの３層は接着剤により積み重ねられる。各層の厚さは、研磨部材の寸法や、研磨装置の種類および寸法などを考慮して決めればよい。
【００１３】
第１外層１１および第２外層１２は、例えば、天然ゴムまたは合成ゴム（例えばウレタンゴムやクロロプレンゴムなど）を主原料として作製される。一方、内層１３は、例えば、天然ゴムまたは合成ゴムから得られる発泡体である。内層１３の緩衝性および弾性を考慮するとその発泡体については連続気泡型よりも独立気泡型の方が好ましいが、もちろん連続気泡型の発泡体を用いてもよい。あるいは、内層１３の主原料は、第１外層および第２外層１２よりも硬度の低い天然ゴムまたは合成ゴムでもよい。
【００１４】
内層１３の硬度は、第１外層１１の硬度および第２外層１２の硬度の双方よりも低い。各層の硬度は、ゴムの硬さを測定する規格である「加硫ゴム及び熱可塑性ゴム  −硬さの求め方−」（ＪＩＳ  Ｋ６２５３（２０１２年度版））に準拠して測定される。例えば、内層１３がタイプＡデュロメータでは測りにくい程に軟質であれば、内層１３の硬度はタイプＥデュロメータの硬度計を用いて測定する方がよい。上記の関係を満たすのであれば、内層１３の硬度および二つの外層の硬度の具体的な数値は限定されない。一例として、第１外層１１および第２外層１２の硬度がタイプＡデュロメータで７０であり、内層１３の硬度がタイプＥデュロメータで５であってもよい。あるいは、第１外層１１および第２外層１２の硬度がタイプＡデュロメータで５０であり、内層１３の硬度がタイプＥデュロメータで１０であってもよい。なお、第１外層１１と第２外層１２との間で硬度が異なってもよい。
【００１５】
二つの外層のうちの一方（本明細書では第２外層１２とする）には複数の空間１４が形成される。この空間１４は、図２に示すように第２外層１２の一方の面から反対側の面にかけて貫通した孔（底のない空間）１４ａであってもよい。あるいは、この空間１４は、図３に示すように第２外層１２の一方の面において形成された窪み（底がある空間）１４ｂであってもよい。いずれにしても、第２外層１２の面のうち空間１４の開口部を有する方が内層１３と貼り合わされる。
【００１６】
図２，３では円形の空間１４が千鳥状に配置されているが、空間１４の形状および配置はこれに限定されるものではない。空間の変形例の一部を図４〜１０に示す。なお、図４〜９の変形例では空間が貫通孔であるが、当然ながらそれは窪みであってもよい。図１０の変形例では空間は窪みである。
【００１７】
図４では三角形の空間１４が千鳥状に配置されており、図５では四角形の空間１４が千鳥状に配置されている。もちろん、千鳥状の配置は必須ではなく、例えば空間１４が格子状に配置されてもよい。図６〜１０では個々の空間はスリット状である。図６では、第２外層１２の一辺に沿って延びる空間１４が千鳥状に配置されている。図７では、第２外層１２の一辺に沿って延びる空間１４が、当該一辺と直交する辺に沿って整列している。図８では、第２外層１２の外縁に対して斜めに延びる空間１４が整列している。図９ではジグザグ状の空間１４が整列している。図１０では、第２外層１２の外縁に対して斜めに延びる空間１４が網状に配置されている。当然ながら空間１４の形状はこれらに限定されず、例えば六角形、星形、楕円、波形、円弧、扇形などの様々な形が考えられる。
【００１８】
一つの第２外層１２において異なる形状の空間１４が混在してもよく、例えば三角形の空間１４と四角形の空間１４とが混在してもよいし、円形の空間１４とスリット状の空間１４とが混在してもよい。また、一つの第２外層１２において貫通孔および窪みが混在してもよい。また、一つの第２外層１２における個々の空間１４の大きさが区々であってもよく、例えば、直径が１ｃｍである円形の空間１４と直径が２ｃｍである円形の空間１４とが混在してもよい。
【００１９】
第２外層１２の全体における空間１４の領域の割合、すなわち空隙率は限定されず、例えばその空隙率が５０〜８０％の範囲にあってもよい。一つの第２外層における空間１４の形状または大きさが区々の場合もあり得るので、その空隙率は算出対象の領域の位置により変わり得る。例えば、一つの第２外層１２において周縁部付近の空隙率が５０％で中央付近の空隙率が７０％である場合などがあり得る。
【００２０】
次に、図１１〜１４を用いて、研磨用クッション１０の適用例を示す。図１１，１２は携帯用グラインダ２０に研磨用クッション１０を適用する例であり、この例において研磨部材は研磨ディスク２１であり支持部材はパッド２２である。研磨用クッション１０は研磨ディスク２１およびパッド２２の形状に合わせて加工され、その中心には貫通孔が形成される。研磨用クッション１０は研磨ディスク２１およびパッド２２と同様に携帯用グラインダ２０に着脱可能に取り付けられる。図１２に示すように、ユーザは、携帯用グラインダ２０の本体から延びるシャフト２３にパッド２２、研磨用クッション１０、研磨ディスク２１の順にこれらの３部品を差し込む。そして、ユーザは、シャフト２３の端部に形成されている雄ねじにナット２４を締め付けることで、パッド２２、研磨用クッション１０、および研磨ディスク２１をシャフト２３に固定する。
【００２１】
図１３，１４は研磨ホイール３０に研磨用クッション１０を取り付ける例であり、この例において研磨部材はエンドレス研磨ベルト３１であり支持部材はホイール３２である。図１４は、ホイール３２の外周よりも短い複数の研磨用クッション１０（例えば、長さが該外周の１／８である８個の研磨用クッション１０）を示しているが、研磨用クッション１０はエンドレス（すなわち、輪）であってもよい。研磨用クッション１０はホイール３２の外周面上に着脱可能に取り付けられる。図１４に示すように複数の研磨用クッション１０を取り付けるのであれば、ホイール３２側に面する研磨用クッション１０の外層（図１４では第２外層１２）上には接着層または粘着層がさらに形成される。この場合には、ユーザは研磨用クッション１０をホイール３２の外周面に貼り付けた後にエンドレス研磨ベルト３１をホイール３２に取り付ける。研磨用クッション１０がエンドレス（輪）であれば、ユーザはまずその研磨用クッション１０をホイール３２にはめてから、エンドレス研磨ベルト３１をホイール３２に取り付ける。
【００２２】
研磨用クッション１０は、図１５に示すシングルアクションサンダー４０Ａおよび図１６に示すダブルアクションサンダー４０Ｂにも適用可能である。これらの研磨装置４０Ａ，４０Ｂは、図１７に詳細に示す共通の研磨パッド４１を備える。この研磨パッド４１において研磨部材は研磨ディスク４２であり支持部材はパッド４３である。研磨用クッション１０は研磨ディスク４２およびパッド４３の形状に合わせて加工される。研磨用クッション１０はシングルアクションサンダー４０Ａまたはダブルアクションサンダー４０Ｂに着脱可能に取り付けられる。図１７に示すように、ユーザは、研磨装置４０Ａまたは４０Ｂの本体から延びるシャフト４４にパッド４３を取り付け、このパッド４３に研磨用クッション１０を貼り付け、その研磨用クッション１０に研磨ディスク４２を貼り付ける。なお、貼付は面ファスナあるいは粘着剤などにより実現可能である。この一連の作業により、パッド４３、研磨用クッション１０、および研磨ディスク４２がシャフト４４に対して固定される。
【００２３】
研磨装置の種類にかかわらず、研磨用クッション１０の使用態様は二つある。一つは、図１１〜１７に示すように、複数の空間１４が形成された第２外層１２が支持部材（パッド２２、ホイール３２、またはパッド４３）の側に面し、空間１４を持たない第１外層１１が研磨部材（研磨ディスク２１、エンドレス研磨ベルト３１、または研磨ディスク４２）の側に面するように研磨用クッション１０を研磨装置に取り付ける手法である。もう一つは、第２外層１２が研磨部材の側に面し第１外層１１が支持部材の側に面するように研磨用クッション１０を研磨装置に取り付ける手法である。
【００２４】
このように研磨装置の種類および研磨用クッションの使用態様は様々であるが、いずれにしても、ユーザは研磨部材と支持部材との間に研磨用クッション１０が配置された研磨装置を用いて対象物を研磨する。研磨された対象物はそのまま物品として、あるいは物品の一部として提供される。
【００２５】
ユーザが研磨部材の面を対象物に押し当てて被加工面を研磨する際には、図１８に示すように、研磨部材５０と支持部材６０との間に配された研磨用クッション１０の内層１３が、第２外層１２に形成された空間１４内に入り込む。図１８の中段に示すように、空間１４が完全に埋まらない程度の圧力（すなわち、相対的に低い圧力）でユーザが研磨部材５０を対象物に当てた場合には、内層１３がその圧力を緩衝するので研磨部材５０を被加工面に弱く当てることができ、その結果、その面を細かく仕上げることができる。一方、図１８の下段に示すように、空間１４が内層１３で完全に埋まるほどの圧力（すなわち、相対的に高い圧力）でユーザが研磨部材５０を対象物に当てた場合には、内層１３が第１外層１１および第２外層１２の間でほぼ完全に潰れて空間１４がその内層１３で埋まるので、内層１３はほとんど圧力を緩衝しない。その結果、その圧力のほぼすべてを研磨部材５０に伝えて対象物の面を多く研磨することができる。
【００２６】
柔らかい内層が進入し得る空間を持たない研磨用クッションでは、内層がほとんど変形しないので、結局、内層が圧力をほとんど緩衝しない。その結果、対象物を多く研磨することはできても、被加工面を細かく仕上げることは難しい。一方、本実施形態によれば、柔らかい内層１３が進入する空間１４を第２外層１２に設けることで、複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することができる。
【００２７】
以上説明したように、本発明の一側面に係る研磨用クッションは、研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、研磨部材および支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、第１外層と第２外層との間に位置する内層と、第２外層に形成された、内層が進入可能な複数の空間とを備え、内層の硬度が第１外層の硬度および第２外層の硬度の双方よりも低い。
【００２８】
また、本発明の一側面に係る研磨装置は、上記の研磨用クッションと、研磨部材と、支持部材とを備える。
【００２９】
また、本発明の一側面に係る研磨方法は、研磨装置を用いた研磨方法であって、研磨部材と支持部材との間に研磨用クッションが配置された研磨装置を用いて対象物を研磨する工程を含み、研磨用クッションが、研磨部材および支持部材のうちの一方の側に面する第１外層と、研磨部材および支持部材のうちの他方の側に面する第２外層と、第１外層と第２外層との間に位置する内層と、第２外層に形成された、内層が進入可能な複数の空間とを備え、内層の硬度が第１外層の硬度および第２外層の硬度の双方よりも低い。
【００３０】
また、本発明の一側面に係る物品は、上記の研磨方法により研磨された対象物を含む。
【００３１】
このような側面においては、研磨時に研磨部材に圧力が掛かると、柔らかい内層の一部がその圧力により空間内に進入する。空間の全体が内層で埋まらない程度の圧力（すなわち、相対的に低い圧力）で研磨部材を対象物に当てた場合には、内層がその圧力を緩衝するので、研磨部材を被加工面に弱く当ててその面を細かく仕上げることが可能になる。一方、個々の空間が内層で埋められるほどの圧力（すなわち、相対的に強い圧力）で研磨部材を対象物に当てた場合には、内層がほぼ完全に潰れて圧力をほとんど緩衝しなくなるので、その圧力のほぼすべてが研磨部材に伝わって被加工面が多く研磨される。このように、柔らかい内層が進入する空間を外層に設けることで、複数種類の研磨態様を一台の研磨装置で実現することができる。
【００３２】
本発明の別の側面では、内層が進入可能な空間を有さない第１外層が研磨部材の側に面し、第２外層が支持部材の側に面してもよい。研磨部材の側に面する第１外層に空間を設けないことで、研磨用クッションに加えられた圧力が第１外層からほぼ均一に研磨部材に伝わるので、被加工面を斑なく研磨することが可能になる。
【００３３】
本発明の別の側面では、複数の空間の開口部が形成された第２外層の面が内層に貼り合わされてもよい。この場合には内層と開口部との間に介在する物がないので、内層がその空間内に入り易くなり、その分、内層の厚さを調整しやすくなる。
【００３４】
本発明の別の側面では、複数の空間が貫通孔であってもよい。空間を貫通孔とすることで該空間内に進入する内層の体積を最大限に増やすことができるので、相対的に低い圧力を研磨部材に当てることが容易になる。また、窪みを形成する場合と比べると貫通孔の形成は容易なので、その分、研磨用クッションを簡単に作製できる。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例に基づいて本発明を具体的に説明するが、本発明はそれらに何ら限定されるものではない。
【００３６】
実施例として、上記の研磨用クッション１０に相当する３層の研磨用クッションを用意した。第１外層および第２外層の主原料はクロロプレンゴムであり、内層の主原料もクロロプレンゴムであった。実施例では、いずれも第１外層および第２外層の硬度はタイプＡデュロメータの規格において５０であり、内層の硬度はタイプＥデュロメータの規格において５であった。また、第１外層および第２外層の厚みは２ｍｍであり内層の厚みは３ｍｍであった。第２外層に形成した複数の空間は円形の貫通孔であり、この貫通孔を千鳥状に並べた。空隙率は５０〜８０％とした。
【００３７】
一方、比較例として、空間を持たない一つの外層（上記実施形態における第１外層１１に相当）と内層とから成る２層の研磨用クッションを用意した。各層の主原料および硬度は比較例と同じであった。
【００３８】
研磨用クッション以外の構成、および被研磨物は実施例と比較例とで共通とした。研磨装置として、米国ミシガン州カラマズー（Ｋａｌａｍａｚｏｏ，Ｍｉｃｈｉｇａｎ，ＵＳＡ）にあるハモンド・ロト・フィニッシュ社（Ｈａｍｍｏｎｄ  Ｒｏｔｏ−Ｆｉｎｉｓｈ  Ｃｏ，Ｉｎｃ．）製のセンタレス研磨機、ニッシンボウ・ハモンド・ＯＤ−２（Ｎｉｓｓｈｉｎｂｏ  Ｈａｍｍｏｎｄ  ＯＤ−２）を用いた。研磨ベルトには、米国ミネソタ州セントポール（Ｓｔ．  Ｐａｕｌ，Ｍｉｎｎｅｓｏｔａ，ＵＳＡ）にあるスリーエム・カンパニー（３Ｍ  Ｃｏｍｐａｎｙ）製のトライザクト（Ｔｒｉｚａｃｔ（商標））３６３ＦＣ  Ａ３５を採用した。研磨ベルトの幅は５．０８ｃｍ（２インチ）であった。被研磨物として、直径が５．０８センチメートル（２インチ）の炭素鋼の棒を用いた。研磨時の圧力はセンタレス研磨機の負荷電流（アンペア）により規定した。
【００３９】
実施例および比較例において、圧力を高くした場合（負荷電流は４アンペア）と低くした場合（負荷電流は０．５アンペア）との２回、センタレス研磨機で棒を研磨した。ここで、高圧力とは、実施例において第２外層内の空間が内層で完全に埋まるほどの圧力であり（図１８の下段を参照）、低圧力とは、実施例において第２外層内の空間の一部が内層で埋まらない程の圧力である（図１８の中段を参照）。実施例および比較例の双方において、研磨時間は、棒の長さ方向における５．０８ｃｍ（２インチ。すなわち、研磨ベルトの幅に相当する長さ）当たり１．５秒であった。図１９に、その研磨の結果を研磨量と表面の仕上がりとの二つの側面で示す。研磨量は棒の直径の減少量により規定し、表面の仕上がりは表面粗さ（より具体的には算術平均粗さ（Ｒａ））で規定した。
【００４０】
以上、本発明をその実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【００４１】
上記実施形態では研磨用クッション１０は３層構造であるが、研磨用クッションは４以上の層を有してもよい。ただし、ここでは、第１外層と内層とを貼り付けるための接着層、および第２外層と内層とを貼り付けるための接着層は考慮しない。すなわち、接着層以外の別の層が第１外層と内層との間に、または第２外層と内層との間に存在してもよい。ただし、空間が形成された外層と内層との間に存在する層は、当該空間への内層の進入を妨げない程度に薄くまたは柔らかくする必要がある。あるいは、第１外層の外側に別の層が貼られてもよいし、第２外層の外側に別の層が貼られてもよい。
【００４２】
上記実施形態では第２外層１２にのみ空間１４が形成されたが、内層が進入する空間は第１外層および第２外層の双方に形成されてもよい。この場合、空間の形状、寸法、および場所が第１外層と第２外層とで同じでもよいし異なってもよい。
【００４３】
研磨用クッション１０を用いる際には、研磨用クッション１０と研磨部材との間に別の部材を介在させてもよいし、研磨用クッション１０と支持部材との間に別の部材を介在させてもよい。すなわち、研磨用クッション１０の外面を研磨部材または支持部材と接触させなくてもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０…研磨用クッション、１１…第１外層、１２…第２外層、１３…内層、１４…空間、１４ａ…貫通孔（空間）、１４ｂ…窪み（空間）、２１…研磨ディスク（研磨部材）、２２…パッド（支持部材）、３１…エンドレス研磨ベルト（研磨部材）、３２…ホイール（支持部材）、４２…研磨ディスク（研磨部材）、４３…パッド（支持部材）、５０…研磨部材、６０…支持部材。
【図１】
2015116653.tif 000003
【図２】
2015116653.tif 000004
【図３】
2015116653.tif 000005
【図４】
2015116653.tif 000006
【図５】
2015116653.tif 000007
【図６】
2015116653.tif 000008
【図７】
2015116653.tif 000009
【図８】
2015116653.tif 000010
【図９】
2015116653.tif 000011
【図１０】
2015116653.tif 000012
【図１１】
2015116653.tif 000013
【図１２】
2015116653.tif 000014
【図１３】
2015116653.tif 000015
【図１４】
2015116653.tif 000016
【図１５】
2015116653.tif 000017
【図１６】
2015116653.tif 000018
【図１７】
2015116653.tif 000019
【図１８】
2015116653.tif 000020
【図１９】
2015116653.tif 000021