(57)【要約】      （修正有）【課題】砥石車の後退送りの開始の適切化を図ることができる研削盤および研削方法を提供する。【解決手段】制御装置は、荒研削の後に直ちに後退送りを行うのではなく、荒研削の後に送り位置一定研削を行い、その後に後退送りを行う。ここで、送り位置一定研削のときには、被加工物の研削を行い、後退送りのときには、被加工物の研削を行わない。よって、加工制御は容易となる。そして、送り位置一定研削を適切な時間で終了して後退送りへ移行することにより、全体の加工時間を短縮することができる。ただし、送り位置一定研削の加工時間が長過ぎると加工時間の短縮化に影響するので、送り位置一定研削による被加工物Ｗの外径をＤの時間変化量が所定値以下となったとき後退送りへ移行することにより、送り位置一定研削の加工時間を可能な限り短くしている。以上により、全体の加工時間を大幅に短縮することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に対して砥石車を相対的に前進させて研削する第一研削制御手段と、
第一研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車の送り位置を一定にして研削する送り位置一定研削制御手段と、
送り位置一定研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を非研削状態で相対的に後退させる後退送り制御手段と、
後退送りに続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を相対的に前進させて研削する第二研削制御手段と、を備え、
前記送り位置一定研削制御手段は、前記送り位置一定研削による前記被加工物の径の時間変化量が所定値以下となったとき前記後退送りへ移行する、研削盤。
【請求項２】
前記所定値は、前記第二研削による前記被加工物の径の時間変化量の値である、請求項１の研削盤。
【請求項３】
前記所定値は、前記第二研削による前記被加工物の径の時間変化量より小さな値である、請求項１の研削盤。
【請求項４】
前記後退送り制御手段は、前記送り位置一定研削時の前記被加工物の径の測定値と前記砥石車の送り位置との差の量後退させる、請求項１〜３の何れか一項の研削盤。
【請求項５】
前記送り位置一定研削制御手段は、所定の送り位置一定研削時間が経過した時点で前記後退送りへ移行する、請求項１〜４の何れか一項の研削盤。
【請求項６】
被加工物に対して砥石車を相対的に前進させて研削する第一研削工程と、
第一研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車の送り位置を一定にして研削する送り位置一定研削工程と、
送り位置一定研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を相対的に後退させる後退送り工程と、
後退送りに続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を非研削状態で相対的に前進させて研削する第二研削工程と、を備え、
前記送り位置一定研削工程では、前記送り位置一定研削による前記被加工物の径の時間変化量が所定値以下となったとき前記後退送りへ移行する、研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研削盤および研削方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、砥石車を前進させて被加工物を研削する荒研削と仕上研削との間に、砥石車を後退させながら被加工物を研削する後退研削を行う研削盤が記載されている。この研削盤では、後退研削完了時の被加工物の径の目標値と後退研削完了時の被加工物の径の予測値とが等しいと判断したとき後退研削を開始することで、全体の加工時間の短縮化を図っている。また、特許文献２には、荒研削と仕上研削との間に砥石車を非研削状態で後退させる後退送りを行う研削盤が記載されている。この研削盤では、被加工物の実測径と砥石車の送り位置とから後退量を求めることで、全体の加工時間の短縮化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２９４８６４号公報
【特許文献２】特開平７−１００７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献１に記載の研削盤では、後退研削の加工制御が複雑になる傾向にある。また、特許文献２に記載の研削盤では、荒研削完了時に直ちに後退送りに移行するので、全体の加工時間の短縮化に限界がある。このため、簡易な加工制御で全体の加工時間を短縮できる従来とは異なる研削方法が適用可能な研削盤が望まれている。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、簡易な加工制御の研削方法を適用して全体の加工時間の短縮化を図ることができる研削盤および研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（請求項１）本手段に係る研削盤は、被加工物に対して砥石車を相対的に前進させて研削する第一研削制御手段と、第一研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車の送り位置を一定にして研削する送り位置一定研削制御手段と、送り位置一定研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を非研削状態で相対的に後退させる後退送り制御手段と、後退送りに続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を相対的に前進させて研削する第二研削制御手段と、を備える。
前記送り位置一定研削制御手段は、前記送り位置一定研削による前記被加工物の径の時間変化量が所定値以下となったとき前記後退送りへ移行する。
【０００７】
つまり、本手段に係る研削盤は、第一研削の後に直ちに後退送りを行うのではなく、第一研削の後に送り位置一定研削を行い、その後に後退送りを行う。ここで、送り位置一定研削のときには、被加工物の研削を行い、後退送りのときには、被加工物の研削を行わない。よって、加工制御は容易となる。そして、送り位置一定研削を適切な時間で終了して後退送りへ移行することにより、全体の加工時間を短縮できる。ただし、送り位置一定研削の加工時間が長過ぎると加工時間の短縮化に影響するので、送り位置一定研削による被加工物の径の時間変化量が所定値以下となったとき後退送りへ移行することにより、送り位置一定研削の加工時間を可能な限り短くしている。以上により、全体の加工時間を大幅に短縮できる。
【０００８】
（請求項２）また、前記所定値は、前記第二研削による前記被加工物の径の時間変化量の値としてもよい。
送り位置一定研削による被加工物の径の時間変化量が、第二研削による被加工物の径の時間変化量に達した時点以降に送り位置一定研削を継続しても、第二研削で加工される速度、すなわち第二研削による被加工物の径の時間変化量より遅いため、上記時点で第二研削へ移行した方が短時間で加工が完了できる。
【０００９】
（請求項３）また、前記所定値は、前記第二研削による前記被加工物の径の時間変化量より小さな値としてもよい。
これによれば、送り位置一定研削における時間変化量が零に近付けば近付くほど、被加工物の径は小さくなるので、後退送り時間および仕上研削時間を短くでき、全体の加工時間を短縮できる。そして、研削抵抗によるたわみを小さくした状態で後退量を算出するので、精度のよい後退量が得られる。
【００１０】
（請求項４）また、前記後退送り制御手段は、前記送り位置一定研削時の前記被加工物の径の測定値と前記砥石車の送り位置との差の量後退させてもよい。
これによれば、被加工物のたわみ量分だけ砥石車を後退させればよいので、後退送りの後退量としては最小限のものとなり、全体の加工時間を短縮できる。
【００１１】
（請求項５）また、前記送り位置一定研削制御手段は、所定の送り位置一定研削時間が経過した時点で前記後退送りへ移行するようにしてもよい。
これによれば、送り位置一定研削における時間変化量の演算に誤差が生じた場合、すなわち送り位置一定研削制御手段が通常通り動作しない場合であっても、確実に送り位置一定研削から後退送りへ移行できる。
【００１２】
（請求項６）また、本手段に係る研削方法は、被加工物に対して砥石車を相対的に前進させて研削する第一研削工程と、第一研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車の送り位置を一定にして研削する送り位置一定研削工程と、送り位置一定研削に続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を非研削状態で相対的に後退させる後退送り工程と、後退送りに続いて、前記被加工物に対して前記砥石車を相対的に前進させて研削する第二研削工程と、を備える。
前記送り位置一定研削工程では、前記送り位置一定研削による前記被加工物の径の時間変化量が所定値以下となったとき前記後退送りへ移行する。
本発明の研削方法によれば、上述した研削盤における効果と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態における研削盤の平面図である。
【図２】図１の研削盤を構成する制御装置による処理を示すフローチャートである。
【図３】図１の砥石車の送り（Ｘ軸）位置、被加工物の外径、被加工物のたわみ量および研削液の供給量についての時間変化を示すグラフである。
【図４Ａ】図３の時刻ｔ１における被加工物と砥石車を示す図である。
【図４Ｂ】図３の時刻ｔ２における被加工物と砥石車を示す図である。
【図４Ｃ】図３の時刻ｔ３における被加工物と砥石車を示す図である。
【図４Ｄ】図３の時刻ｔ４における被加工物と砥石車を示す図である。
【図５】被加工物の外径についての時間変化の詳細を示すグラフであり、送り位置一定研削から後退送りへの移行タイミングを説明するための図である。
【図６】図３の時刻ｔ４における被加工物と砥石車を示す図であり、後退送りにおける後退量を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（研削盤の構成）
本実施形態の研削盤の一例として、砥石台トラバース型円筒研削盤を例に挙げて説明する。そして、当該研削盤の加工対象の被加工物Ｗは、カムシャフトやクランクシャフトなどの円筒状被加工物を例に挙げる。ただし、被加工物Ｗは、円筒状であれば、カムシャフトやクランクシャフトの他にも適用可能である。また、被加工物Ｗの研削面には、油穴Ｈなどの凹所が形成されている。例えば、当該油穴Ｈは、カムシャフトにおいては、カムジャーナルなどに径方向に貫通形成される油穴に相当する。
【００１５】
当該研削盤について、図１を参照して説明する。図１に示すように、研削盤１は、床上に固定されたベッド１１と、ベッド１１に固定された被加工物Ｗを回転可能に両端支持する主軸１２および心押装置１３と、ベッド１１上をＺ軸方向およびＸ軸方向に移動可能な砥石台１４と、砥石台１４に回転可能に支持される砥石車１５と、主軸１２に設けられ主軸１２に加わるＸ軸方向成分の力を計測する力センサ１６と、被加工物Ｗの径を計測する定寸装置１７と、主軸１２および砥石車１５を回転しかつ被加工物Ｗに対する砥石車１５の位置を制御する制御装置１８とから構成される。ここで、図示しないが、砥石車１５の近傍には、研削液を研削点に向かって供給するためのノズルが設けられている。そして、制御装置１８は、研削液の供給量を制御する。
【００１６】
（研削方法の説明）
次に、本実施形態における制御装置１８による研削方法について、図２、図３、図４Ａ〜図４Ｄ、図５、図６を参照して説明する。本実施形態においては、荒研削工程（本発明の「第一研削工程」に相当）→送り位置一定研削工程→後退送り工程→仕上研削工程（本発明の「第二研削工程」に相当）→スパークアウト工程の順に実行する。また、各工程においては、常に研削液を供給する。
【００１７】
まず、被加工物Ｗに対して砥石車１５をＸ軸方向に前進させることで、荒研削を開始する（第一研削制御手段）（図２のステップＳ１、図３の時刻ｔ１）。そして、研削液を供給量ＱがＱｍａｘとなるように設定して研削点に供給する（図２のステップＳ２）。
【００１８】
荒研削工程では、図３の上段の時刻ｔ１〜ｔ３に示すように、砥石車１５はＸ軸マイナス方向へ一定速度で前進する。つまり、荒研削工程では、砥石車１５を被加工物Ｗに押し付ける方向へ相対移動させる。ここで、荒研削工程では、単位時間当たりの研削量（研削能率）を大きくするために、後に説明する仕上研削工程よりも送り速度を大きくする。つまり、図３の時刻ｔ１〜ｔ３の砥石車１５のＸ軸位置の時間変化量は、図３の時刻ｔ５〜ｔ６の砥石車１５のＸ軸位置の時間変化量より大きい。
【００１９】
そして、図３の時刻ｔ１に示す荒研削工程の開始時点では、図４Ａに示すように、被加工物Ｗの回転中心Ｏｗは、主軸１２の回転中心Ｏｓに対し、研削液による動圧分のたわみ量Δ１だけずれている。この状態から砥石車１５を被加工物Ｗへ押し付けると、被加工物Ｗがさらにたわみながら、被加工物Ｗが研削され始める。
【００２０】
ここで、被加工物Ｗのたわみ量Δは、被加工物Ｗに生じる研削抵抗に比例する。この研削抵抗は、被加工物Ｗが砥石車１５によって実際に研削されることによって生じる抵抗の他に、研削点に供給される研削液の動圧が含まれる。すなわち、研削抵抗と動圧との差分が研削そのものによる抵抗に相当する。時刻ｔ１からｔ２に至るまでの間、力センサ１６により検出される研削抵抗は急激に増加する。従って、被加工物Ｗのたわみ量Δが、研削抵抗に比例して増加する。続いて、時刻ｔ２からｔ３に至るまでの間、力センサ１６により検出される研削抵抗は、一定となる。この間においては、図４Ｂおよび図４Ｃに示すように、被加工物Ｗの回転中心Ｏｗは、主軸１２の回転中心Ｏｓからたわみ量Δ２だけずれている。
【００２１】
荒研削を行っている間、定寸装置１７によって計測される被加工物Ｗの外径Ｄが、予め設定された値Ｄｔｈに達したか否かを判定する（図２のステップＳ３）。被加工物Ｗの外径Ｄが設定値Ｄｔｈに達していなければ（ステップＳ３：Ｎ）、荒研削工程を継続する。一方、被加工物Ｗの外径Ｄが設定値Ｄｔｈに達した場合には（ステップＳ３：Ｙ、図３の時刻ｔ３）、送り位置一定研削工程の限度時間をタイマに設定し（図２のステップＳ４）、荒研削工程から送り位置一定研削工程へ移行する（送り位置一定研削制御手段）（図２のステップＳ５）。送り位置一定研削工程の限度時間については後述する。
【００２２】
送り位置一定研削とは、砥石車１５の送りを被加工物Ｗに対して停止させて、被加工物Ｗのたわみ量Δを減少させながら行う研削である。図３の時刻ｔ３の時には、図４Ｃに示すように、被加工物Ｗの外周面の半径は、被加工物Ｗの回転位相に応じて異なる。これは、砥石車１５を前進しながら被加工物Ｗを回転させているためである。そして、被加工物Ｗの外周面の半径の差は、被加工物Ｗの回転位相に対してほぼ線形の関係にある。そこで、送り位置一定研削工程において、砥石車１５の送り位置を一定にして、回転位相に応じた半径差を低減するように当該部分を削り取るようにする。
【００２３】
ここで、送り位置一定研削工程は、最大のたわみ量を完全に除去できる時間を見込んで行うようにすればよいが、全体の加工時間が延びる傾向にある。すなわち、図５の破線で示すように、時刻ｔ３から最大のたわみ量を完全に除去できる時間時間が経過した時刻ｔ５３で送り位置一定研削工程から後退送り工程へ移行し、時刻ｔ５４で後退送り工程から仕上げ研削工程へ移行している。一方、本実施形態では、時刻ｔ４で送り位置一定研削工程から後退送り工程へ移行し、時刻ｔ５で後退送り工程から仕上げ研削工程へ移行するようにしている。よって、時刻ｔ５３における被加工物Ｗの外径をＤｃとしたとき、本実施形態の仕上げ研削により被加工物Ｗの外径がＤｃとなる時刻はｔ５１であるため、従来の全体の加工時間は本実施形態の全体の加工時間よりも（ｔ５３−ｔ５１）の時間長いことになる。
【００２４】
本実施形態における送り位置一定研削工程から後退送り工程へ移行する時刻ｔ４は、以下のようにして決定される。後退送り工程は、送り位置一定研削による被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量（図５における時刻ｔ３から開始される送り位置一定研削によるグラフの傾きを表す点線Ｌａの傾き）が、仕上げ研削による被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量（時刻ｔ５（従来は、時刻ｔ５４）から開始される仕上げ研削によるグラフの傾きを表す点線Ｌｂの傾き（従来は、点線Ｌｂと同一の傾きの点線Ｌｃの傾き））以下となったときに開始する。
【００２５】
つまり、制御装置１８は、荒研削の後に直ちに後退送りを行うのではなく、荒研削の後に送り位置一定研削を行い、その後に後退送りを行う。ここで、送り位置一定研削のときには、被加工物Ｗの研削を行い、後退送りのときには、被加工物Ｗの研削を行わない。よって、加工制御は容易となる。そして、送り位置一定研削を適切な時間で終了して後退送りへ移行することにより、全体の加工時間を短縮することができる。ただし、送り位置一定研削の加工時間が長過ぎると加工時間の短縮化に影響するので、送り位置一定研削による被加工物Ｗの外径をＤの時間変化量が所定値以下となったとき後退送りへ移行することにより、送り位置一定研削の加工時間を可能な限り短くしている。以上により、全体の加工時間を大幅に短縮することができる。
【００２６】
図５においては、送り位置一定研削による被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量と仕上げ研削による被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量とが同一となる時刻ｔ４で後退送りを開始している。送り位置一定研削による被加工物Ｗの直径Ｄの時間変化量が、仕上研削による被加工物Ｗの直径Ｄの時間変化量に達した時点以降に送り位置一定研削を継続しても、第二研削で加工される速度、すなわち第二研削による被加工物Ｗの径の時間変化量より遅いため、上記時点で第二研削へ移行した方が短時間で加工が完了できる。
【００２７】
ただし、図示破線において送り位置一定研削における上記時間変化量が仕上げ研削における上記時間変化量より小さくなる時間帯である時刻ｔ４〜時刻ｔ５２の間で後退送りを開始するようにしてもよい。送り位置一定研削における時間変化量が零に近付けば近付くほど、被加工物Ｗの直径Ｄは小さくなるので、後退送り時間および仕上研削時間を短くでき、全体の加工時間を短縮することができる。そして、研削抵抗によるたわみを小さくした状態で後退量を算出するので、精度のよい後退量が得られる。
【００２８】
さらに、本実施形態では、最大のたわみ量を完全に除去できる時間であって時刻ｔ４〜時刻ｔ５２の時間よりも長い時間を限度時間としてタイマに設定しておき、時刻ｔ４〜時刻ｔ５２の間で送り位置一定研削における上記時間変化量が仕上げ研削における上記時間変化量以下にならなくても、設定時間となったら後退送りを開始するようにしてもよい。これにより、送り位置一定研削における時間変化量の演算に誤差が生じた場合、すなわち送り位置一定研削制御手段が通常通り動作しない場合であっても、確実に送り位置一定研削から後退送りへ移行できる。
【００２９】
また、砥石車１５の後退送りの後退量は、最大のたわみ量以上に設定することで砥石車１５と被加工物Ｗとの余計な干渉を防止できるが、仕上げ研削での空振りが発生し、全体の加工時間が延びる傾向にある。本実施形態においては、送り位置一定研削時の被加工物Ｗの径Ｄの測定値と砥石車１５の送り位置Ｘとの差を後退送りの後退量として決定する。すなわち、図６に示すように、後退送りを開始する時刻ｔ４での定寸装置１７による被加工物Ｗの半径の測定値Ｄｂ／２と砥石車１５の送り位置Ｘ３との差は、後退送りを開始する時刻ｔ４での被加工物Ｗのたわみ量Δ１２となるので、後退送りの後退量としては最小限のものとなる。よって、全体の加工時間を短縮することができる。
【００３０】
上述の送り位置一定研削を行っている間、定寸装置１７によって計測される被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量が、所定値以下、すなわち仕上げ研削による被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量以下となったか否かを判定する（図２のＳ６）。被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量が、所定値以下になっていなければ（Ｓ６：Ｎ）、タイマが完了、すなわち送り位置一定研削の限度時間が経過したか否かを判定する（図２のＳ７）。タイマが完了していなければ（Ｓ７：Ｎ）、送り位置一定研削を継続する。
【００３１】
一方、被加工物Ｗの外径Ｄの時間変化量が、所定値以下になった場合（Ｓ６：Ｙ、時刻ｔ４）、又はタイマが完了した場合には（Ｓ７：Ｙ）、後退送りの後退量を演算し（図２のＳ８）、送り位置一定研削工程から後退送り工程へ移行する（後退送り制御手段）（図２のＳ９）。そして、求めた後退量だけ砥石車１５を後退させたら、研削液を供給量ＱがＱｍａｘからＱｍｉｎとなるように設定切替して研削点に供給し（図２のＳ１０）、後退送り工程から仕上研削工程へ移行する（第二研削制御手段）（図２のＳ１１、時刻ｔ５）。
【００３２】
ここで、研削液の供給量Ｑを変化させる理由について説明する。荒研削時には、高い研削能率とするため、発熱を抑制する必要があり、研削液の供給量Ｑを多く要する。一方、仕上研削およびスパークアウト時には、荒研削に比べて研削能率を低くする。従って、仕上研削およびスパークアウトでは、多量の研削液を必要としない。
さらに、本実施形態における被加工物Ｗの研削面には、油穴Ｈなどの凹所を有する。凹所の周囲を研削する際には、研削液が凹所に進入することにより、その瞬間における研削液の動圧が低下してしまう。そうすると、研削抵抗が低下することになって、切込量が多くなる結果、研削精度が悪化するおそれがある。
【００３３】
そこで、仕上研削およびスパークアウト時には、研削液の供給量Ｑを少なくすることで研削液の動圧の変化を小さくすることにより、研削精度への影響を小さくする。一方、荒研削時にも、油穴Ｈなどの凹所の周囲を研削する際に、研削液の動圧が変化する。しかし、荒研削時には、高い研削能率であるため、研削抵抗の中の研削液の動圧の占める割合が小さい。従って、荒研削時には、凹所の存在による研削液の動圧の変化の影響はそれほどない。このような理由により、研削液の供給量Ｑは、荒研削時には多くし、仕上研削およびスパークアウト時には少なくする。
【００３４】
仕上工程では、図３の上段の時刻ｔ５〜ｔ６に示すように、荒研削工程における砥石車１５の送り速度より遅くする。従って、仕上工程では、被加工物Ｗに研削焼けを生じないようにできる。そして、図３の下段の時刻ｔ５〜ｔ６に示すように、仕上研削を行っている間、研削液の供給量ＱをＱｍｉｎに固定している。この供給量Ｑｍｉｎは、荒研削工程における研削液の供給量Ｑｍａｘより少ない。従って、仕上研削では、油穴Ｈなどの凹所による研削精度への悪影響を抑制できる。
【００３５】
そして、仕上研削を行っている間、定寸装置１７によって計測される被加工物Ｗの外径Ｄが、予め設定された仕上径Ｄｆに達したか否かを判定する（図２のＳ１２）。被加工物Ｗの外径Ｄが仕上径Ｄｆに達していなければ（Ｓ１２：Ｎ）、仕上研削工程を継続する。一方、被加工物Ｗの外径Ｄが仕上径Ｄｆに達した場合には（Ｓ１２：Ｙ、時刻ｔ６）、仕上研削工程からスパークアウト工程に移行する（図２のＳ１３）。
【００３６】
スパークアウトは、砥石車１５を被加工物Ｗに対する切込量をゼロの状態として行う。つまり、スパークアウトにおいては、仕上研削において研削残しの分を研削することになる。そして、このスパークアウトは、予め設定された被加工物Ｗの回転数だけ行う。図３においては、時刻ｔ６〜ｔ７となる。そこで、設定回数だけ被加工物Ｗが回転したか否かを判定し（図２のＳ１４）、設定回数回転した場合には、スパークアウトを終了する（図２のＳ１５、時刻ｔ７）。そして、砥石車１５を被加工物Ｗから離して、処理を終了する。
【００３７】
なお、上記実施形態において、仕上研削工程とスパークアウト工程を行うこととしたが、これに限られず、仕上研削工程のみとしてもよいし、スパークアウト工程のみとしてもよい。また、上記実施形態においては、被加工物Ｗに油穴Ｈが形成されているが、これに限られず、油穴Ｈが形成されていない被加工物Ｗにおいても、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１：研削盤、  １５：砥石車、  １８：制御装置（第一研削制御手段、送り位置一定研削手段、後退送り制御手段、第二研削制御手段）、  ｔ１〜ｔ３：荒研削工程（第一研削工程）、  ｔ３〜ｔ４：送り位置一定研削工程、  ｔ４〜ｔ５：後退送り工程、  ｔ５〜ｔ６：仕上工程（第二研削工程）、  ｔ６〜ｔ７：スパークアウト工程、  Ｗ：被加工物、  Δ：たわみ量
【図１】
2015116652.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2015116652.tif 000007
【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
2015116652.tif 000009
【図５】
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【図６】
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