(57)【要約】【課題】安価に、しかも簡単に通電加熱式触媒装置を製造する方法を提供する。【解決手段】本発明の一形態に係る通電加熱式触媒装置の製造方法は、配線３２を表面電極３１へ固定する複数の固定層３３を形成するためのマスキング冶具４０に配線３２を仮固定する工程と、配線３２を仮固定したマスキング冶具４０を担体２０の外周面上に配置して、配線３２と担体２０に設けられた表面電極３１とを対向させる工程と、マスキング冶具４０に形成された貫通部４０ａから固定層３３をなす溶射材を溶射して、固定層３３によって配線３２を表面電極３１に固定する工程と、配線３２におけるマスキング冶具４０への仮固定を解除して、マスキング冶具４０を撤去する工程と、を備える。【選択図】図５
2015112534.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
触媒が担持されたセラミックスからなる担体と、
前記担体の外周面において、互いに対向して設けられた一対の表面電極と、
前記表面電極へ外部から電力を供給する櫛歯状の配線と、
前記配線を前記表面電極へ固定する複数の固定層と、を備える通電加熱式触媒装置の製造方法であって、
前記固定層を形成するためのマスキング冶具に前記配線を仮固定する工程と、
前記配線を仮固定した前記マスキング冶具を前記担体の外周面上に配置して、前記配線と前記担体に設けられた前記表面電極とを対向させる工程と、
前記マスキング冶具に形成された貫通部から前記固定層をなす溶射材を溶射して、前記固定層によって前記配線を前記表面電極に固定する工程と、
前記配線における前記マスキング冶具への仮固定を解除して、前記マスキング冶具を撤去する工程と、
を備える通電加熱式触媒装置の製造方法。
【請求項２】
エアの吸引力又は磁気吸引力によって前記マスキング冶具に前記配線を仮固定する請求項１に記載の通電加熱式触媒装置の製造方法。
【請求項３】
前記マスキング冶具における前記担体と対向配置される面には、前記配線を収容して位置決めする収容部が形成されている請求項１又は２に記載の通電加熱式触媒装置の製造方法。
【請求項４】
前記マスキング冶具における前記担体と対向配置される面は、前記担体の外周面に対応するように、湾曲して形成されている請求項１乃至３のいずれか１項に記載の通電加熱式触媒装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は通電加熱式触媒装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、自動車等のエンジンから排出される排気ガスを浄化する排気浄化装置として通電加熱式触媒（ＥＨＣ：Electrically Heated Catalyst）が注目されている。通電加熱式触媒装置では、エンジンの始動直後などのように排気ガスの温度が低く、触媒が活性化し難い条件下であっても、通電加熱により強制的に触媒を活性化させ、排気ガスの浄化効率を高めることができる。
【０００３】
特許文献１に開示された通電加熱式触媒装置では、白金やパラジウム等の触媒が担持されたハニカム構造を有する円筒状の担体の外周面に、当該担体の軸方向に延設された表面電極が形成されている。そして、表面電極に櫛歯状の配線が溶射による固定層で接続され、電流が供給される。この電流が表面電極において担体軸方向に広がることにより、担体全体が通電加熱される。これにより、担体に担持された触媒が活性化され、担体を通過する排気ガス中の未燃焼ＨＣ（炭化水素）、ＣＯ（一酸化炭素）、ＮＯｘ（窒素酸化物）等が触媒反応により浄化される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３６９９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
発明者は、通電加熱式触媒装置の製造方法において、以下の課題を見出した。例えば、通電加熱式触媒装置は、以下の方法によって製造される。まず、図９に示すように、担体１００の軸方向に延設された表面電極１０１上の所定の位置に配線１０２を配置し、配線１０２を担体１００の軸方向及び担体１００の周方向に引っ張って当該配線１０２を表面電極１０１上の所定の位置に固定する。そして、図１０に示すように、溶射して表面電極１０１と配線１０２とを固定層１０３によって接続し、その後、配線１０２を引っ張るためのみに必要であった部分（即ち、通電加熱を実現するために不要な部分であって、図１０の破線で示す部分）１０２ａを除去する。なお、図９及び図１０では、担体１００の軸方向が紙面の左右方向に一致するように示されている。
【０００６】
このような製造方法は、配線を所定の位置に固定するために引っ張ったり、表面電極と配線とを接続した後に不要な部分を除去したり、する必要がある。そのため、製造工程が煩雑である。しかも、当該不要な部分を除去するので材料歩留まりが低く、通電加熱式触媒装置を製造するためにコストが嵩む。
【０００７】
本発明は、上記を鑑みなされたものであって、安価に、しかも簡単に通電加熱式触媒装置を製造できる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る通電加熱式触媒装置の製造方法は、
触媒が担持されたセラミックスからなる担体と、
前記担体の外周面において、互いに対向して設けられた一対の表面電極と、
前記表面電極へ外部から電力を供給する櫛歯状の配線と、
前記配線を前記表面電極へ固定する複数の固定層と、を備える通電加熱式触媒装置の製造方法であって、
前記固定層を形成するためのマスキング冶具に前記配線を仮固定する工程と、
前記配線を仮固定した前記マスキング冶具を前記担体の外周面上に配置して、前記配線と前記担体に設けられた前記表面電極とを対向させる工程と、
前記マスキング冶具に形成された貫通部から前記固定層をなす溶射材を溶射して、前記固定層によって前記配線を前記表面電極に固定する工程と、
前記配線における前記マスキング冶具への仮固定を解除して、前記マスキング冶具を撤去する工程と、
を備える。
これにより、マスキング冶具を用いて配線を表面電極上に位置固定することができる。また、従来のような配線を固定するための部分（図１０の破線部分）を省略することができる。そのため、通電加熱式触媒装置１０を安価に、しかも簡単に製造することができる。
【０００９】
上述の通電加熱式触媒装置の製造方法において、エアの吸引力又は磁気吸引力によって前記マスキング冶具に前記配線を仮固定することが好ましい。
これにより、簡単にマスキング冶具に配線を仮固定することができる。
【００１０】
上述の通電加熱式触媒装置の製造方法において、前記マスキング冶具における前記担体と対向配置される面には、前記配線を収容して位置決めする収容部が形成されていることが好ましい。
これにより、配線を収容部に収容するだけで、配線を簡単に所定の位置に仮固定することができる。
【００１１】
上述の通電加熱式触媒装置の製造方法において、前記マスキング冶具における前記担体と対向配置される面は、前記担体の外周面に対応するように、湾曲して形成されていることが好ましい。
これにより、配線を担体の外周面に対応するように湾曲させることができ、配線を表面電極３１に良好に接触させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、安価に、しかも簡単に通電加熱式触媒装置を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置を表面電極の真上から見た平面図である。
【図３】（ａ）は、実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置の製造方法で用いるマスキング冶具を模式的に示す平面図である。（ｂ）は、（ａ）の上面図である。
【図４】実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置の製造方法の工程を示す模式図である。
【図５】実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置の製造方法の工程を示す模式図である。
【図６】実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置の製造方法の工程を示す模式図である。
【図７】実施の形態２において、２つのマスキング冶具を用いて通電加熱式触媒装置を製造した後の状態を模式的に示す斜視図である。
【図８】（ａ）は、実施の形態３において、マスキング冶具に配線を仮固定した状態を示す底面図である。（ｂ）は、（ａ）の上面図である。
【図９】従来の通電加熱式触媒装置の製造方法の工程を示す模式図である。
【図１０】従来の通電加熱式触媒装置の製造方法の工程を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施の形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
【００１５】
（実施の形態１）
まず、実施の形態１の通電加熱式触媒装置の製造方法によって製造される通電加熱式触媒装置について説明する。図１は、通電加熱式触媒装置１０の斜視図である。図２は、通電加熱式触媒装置１０を表面電極の真上から見た平面図である。なお、図１及び図２では、担体２０の軸方向が紙面の上下方向と一致するように示されている。
【００１６】
通電加熱式触媒装置１０は、例えば自動車等の排気経路上に設けられ、エンジンから排出される排気ガスを浄化する。図１及び図２に示すように、通電加熱式触媒装置１０は、担体２０、表面電極３１、配線３２及び固定層３３を備えている。
【００１７】
担体２０は、白金やパラジウム等の触媒を担持する多孔質部材である。また、担体２０自体は、通電加熱されるため、導電性を有するセラミックス、具体的には例えばＳｉＣ（炭化珪素）からなる。担体２０は、外形が略円筒形状であって、内部はハニカム構造を有している。図１において矢印で示すように、排気ガスが担体２０の内部を担体２０の軸方向に通過する。
【００１８】
表面電極３１は、担体２０の外周面において、互いに対向配置された一対の電極である。本実施の形態の表面電極３１は、矩形状の平面形状を有し、担体軸方向に延設されている。表面電極３１は、配線３２を介して、バッテリ等の電源に接続されている。そして、表面電極３１を介して、担体２０に電流が供給され、通電加熱される。なお、一対の表面電極３１のうちの一方がプラス極、他方がマイナス極であるが、いずれの表面電極３１がプラス極あるいはマイナス極になってもよい。つまり、担体２０を流れる電流の向きは限定されない。
【００１９】
櫛歯状に形成された配線３２は、一対の表面電極３１のそれぞれの上に配置されている。配線３２は、第１配線３２ａと第２配線３２ｂとを備えている。本実施の形態では、第１配線３２ａは担体周方向に櫛歯状に延設され、第２配線３２ｂは担体軸方向に櫛歯状に延設されている。第１配線３２ａ及び第２配線３２ｂは、いずれも表面電極３１と物理的に接触するとともに電気的に接続されている。第１配線３２ａ及び第２配線３２ｂは、例えば、厚さ０．１ｍｍ、幅１ｍｍ程度のリボン状の金属薄板である。また、配線３２は、８００℃以上の高温下での使用に耐えるため、例えば、ステンレス系合金、Ｎｉ基系合金、Ｃｏ基系合金などの耐熱（耐酸化）合金からなることが好ましい。電気伝導度、耐熱性、高温下における耐酸化性、排気ガス雰囲気における耐腐食性等の性能やコストを考慮すると、ステンレス系合金が最も好ましい。
【００２０】
複数の第１配線３２ａは、担体周方向には、表面電極３１の形成領域の全体に亘って延設されている。さらに、全ての第１配線３２ａは、表面電極３１の形成領域の片側から突出して延設されており、その突出した終端において一体化されている。他方、複数の第１配線３２ａは、担体軸方向に沿って、表面電極３１上に略等間隔で並設されている。また、第１配線３２ａは、表面電極３１の担体軸方向中央部のみに配置されている。図１及び図２の例では、各表面電極３１上の担体２０の軸方向中央部に４本ずつの第１配線３２ａが設けられている。ここで、最も外側に位置する２本の第１配線３２ａは、他の２本の第１配線３２ａに比べ、太く形成されている。なお、当然のことながら、第１配線３２ａの本数は４本に限定されるものではなく、適宜決定される。
【００２１】
第２配線３２ｂは、最も外側に位置する２本の第１配線３２ａから連続して担体軸方向に表面電極３１の端部まで延設されている。図１及び図２の例では、最も外側に位置する２本の第１配線３２ａのそれぞれから４本の第２配線３２ｂが延設されている。
【００２２】
このような第１配線３２ａ及び第２配線３２ｂは、互いに離間して設けられた複数の固定層３３により表面電極３１に固定されている。固定層３３は、第１配線３２ａ又は第２配線３２ｂを覆うように形成された厚さ３００〜５００μｍ程度のボタン形状の溶射皮膜である。固定層３３は、第１配線３２ａ又は第２配線３２ｂ、及び表面電極３１と物理的に接触するとともに電気的に接続されている。
【００２３】
表面電極３１及び固定層３３を構成する溶射皮膜は、配線３２と同様に通電するため、金属ベースである必要がある。溶射皮膜のマトリクスを構成する金属としては、８００℃以上の高温下での使用に耐えるため、高温下での耐酸化性に優れたＮｉ−Ｃｒ合金（但し、Ｃｒ含有量は２０〜６０質量％）、ＭＣｒＡｌＹ合金（但し、ＭはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち少なくとも一種）が好ましい。ここで、上記ＮｉＣｒ合金、ＭＣｒＡｌＹ合金は、他の合金元素を含んでいてもよい。表面電極３１及び固定層３３を構成する溶射皮膜は、多孔質であってもよい。多孔質であることにより、応力を緩和する機能が高まる。
【００２４】
上記構成により、通電加熱式触媒装置１０では、一対の表面電極３１間において担体２０が通電加熱され、担体２０に担持された触媒が活性化される。これにより、担体２０を通過する排気ガス中の未燃焼ＨＣ（炭化水素）、ＣＯ（一酸化炭素）、ＮＯｘ（窒素酸化物）等が触媒反応により浄化される。
【００２５】
次に、実施の形態１に係る通電加熱式触媒装置１０の製造方法について説明する。ここで、通電加熱式触媒装置１０の製造方法で用いるマスキング冶具４０について説明する。図３（ａ）は、マスキング冶具４０を模式的に示す平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）の上面図である。なお、図３（ａ）及び（ｂ）では、マスキング冶具４０が外周面上に配置される担体２０の軸方向が紙面の上下方向に一致しており、この方向を基準としてマスキング冶具４０が示されている。また、図３（ａ）では、貫通孔４０ａの配置が明確になるように、磁石４０ｂ及び当該磁石４０ｂが嵌合される嵌合穴４０ｃが省略されている。
【００２６】
マスキング冶具４０は、配線３２を仮固定可能であり、配線３２を仮固定した状態で当該配線３２を担体２０に形成された表面電極３１上に配置して固定層３３を溶射可能な構成である。
【００２７】
本実施の形態のマスキング冶具４０は、図３（ａ）に示すように、少なくとも配線３２の第１配線３２ａ及び第２配線３２ｂを覆うことが可能な形状とされており、例えばマスキング冶具４０の厚さ方向から見て（即ち、マスキング冶具４０を平面視して）矩形状に形成された一片の板状部材である。また、マスキング冶具４０の厚さ方向における一方の面は、図３（ｂ）に示すように、担体２０の外周面に対応するように凹状曲面に形成されている。
【００２８】
マスキング冶具４０は、固定層３３の配置に対応するように、マスキング冶具４０の厚さ方向に貫通する貫通孔４０ａを備えている。貫通孔４０ａは、固定層３３の外周形状と略等しい内周形状を有する。また、マスキング冶具４０は、配線３２を仮固定できるように、磁石４０ｂを備えている（図４等を参照）。磁石４０ｂは、マスキング冶具４０に形成された嵌合穴４０ｃに嵌合されている。
【００２９】
嵌合穴４０ｃは、貫通孔４０ａと干渉しないように配置されている。例えば、マスキング冶具４０の厚さ方向から見て、貫通孔４０ａと少なくとも一部が重なるように配線３２が当該マスキング冶具４０に仮固定された際に、貫通孔４０ａと干渉しない部分において、嵌合穴４０ｃに嵌合された磁石４０ｂが配線３２と重なるように当該嵌合穴４０ｃは配置されている。但し、磁石４０ｂの配置は特に限定されず、配線３２を良好に仮固定できるように配置されていればよい。そして、嵌合穴４０ｃは、マスキング冶具４０の厚さ方向における他方の面に開口部を有し、当該開口部から挿入された磁石４０ｂは配線３２に直接に接触しない。
【００３０】
ここで、マスキング冶具４０の厚さ方向における一方の面には、図３（ａ）に示すように、配線３２の少なくとも一部を収容して位置決めするための収容部４０ｄが形成されていることが好ましい。収容部４０ｄは、マスキング冶具４０の厚さ方向から見て、収容部４０ｄに配線３２が収容された際に、貫通孔４０ａと配線３２の少なくとも一部が重なる位置に当該配線３２を配置する。本実施の形態の収容部４０ｄは、マスキング冶具４０の厚さ方向における他方の面に配線３２の外周形状の一部と対応する内周形状を有し、且つ配線３２の厚さと略等しい深さを有する凹み部であって、当該凹み部に配線３２が収容されると、上述の位置に配線３２を配置する。これにより、配線３２を収容部４０ｄに収容するだけで、配線３２を簡単に所定の位置に仮固定することができる。しかも、配線３２を表面電極３１に接触させることができる。但し、収容部４０ｄの形状は、上述の限りでなく、例えば凹み部に収容された配線３２を部分的に固定する構成でもよい。
【００３１】
このようなマスキング冶具４０を用いて、通電加熱式触媒装置１０の製造方法は以下のように実現される。ここで、図４〜図６は、通電加熱式触媒装置１０の製造方法の各工程を示す模式図であり、表面電極３１、配線３２及びマスキング冶具４０は断面視として示し、担体２０、固定層３３及び磁石４０ｂは正面視として示している。なお、図４〜図６では、担体２０の軸方向が紙面の左右方向に一致している。ここで、図４〜図６は、通電加熱式触媒装置１０の製造方法を模式的に示したものであるため、図４〜図６に示す各要素の形状等は、図３（ａ）において対応する要素と一致しない場合がある。
【００３２】
まず、担体２０上に表面電極３１を形成する。その一方で、図４に示すように、マスキング冶具４０の収容部４０ｄに配線３２を収容して位置決めし、配線３２を磁石４０ｂの磁気吸引力によってマスキング冶具４０に仮固定する。
【００３３】
次に、図５に示すように、マスキング冶具４０における配線３２が仮固定された側の面を担体２０に向けて、当該マスキング冶具４０を担体２０の外周面上に配置し、配線３２を表面電極３１に接触させる。このとき、マスキング冶具４０における配線３２が仮固定された側の面は、担体２０の外周面に対応するように形成されているので、配線３２を担体２０の外周面に対応するように湾曲させることができ、配線３２を表面電極３１に良好に接触させることができる。
【００３４】
次に、マスキング冶具４０によって配線３２を表面電極３１上に位置固定した状態で、マスキング冶具４０の貫通孔４０ａから溶射材を溶射して固定層３３を形成し、当該固定層３３によって配線３２と表面電極３１とを接続する。
【００３５】
最後に、図６に示すように、配線３２におけるマスキング冶具４０への仮固定を解除して、マスキング冶具４０のみを撤去すると、通電加熱式触媒装置１０の製造が完了する。このとき、磁石４０ｂの磁気吸引力は、固定層３３による接合力より小さいことが好ましい。これにより、マスキング冶具４０の撤去に配線３２が追従することがなく、マスキング冶具４０のみを良好に撤去することができる。また、磁石４０ｂは、配線３２に接触しないように配置されているので、嵌合穴４０ｃから抜けて配線３２側に残ることがない。
【００３６】
このように本実施の形態の通電加熱式触媒装置１０の製造方法は、マスキング冶具４０を用いて配線３２を表面電極３１上に位置固定することができるので、従来のような配線３２を所定の位置に固定するために当該配線３２を引っ張って固定する工程を省略することができ、通電加熱式触媒装置１０を簡単に製造することができる。
【００３７】
しかも、マスキング冶具４０を用いて配線３２を表面電極３１上に位置固定することができるので、従来のような配線３２を固定するための部分（図１０の破線部分）を省略することができる。そのため、従来のような配線３２を表面電極３１に固定した後に配線３２の不要な部分を除去する工程を省略することができ、通電加熱式触媒装置１０をより簡単に製造することができる。
【００３８】
また、従来のような配線３２を固定するための部分（図１０の破線部分）を省略することができるので、不要な部分を予め省略して配線３２を形成することができる。そのため、材料歩留まりを向上させることができ、通電加熱式触媒装置１０を安価に製造することができる。
【００３９】
（実施の形態２）
実施の形態１のマスキング冶具４０は、一つの片で構成しているが、複数の分割片で構成してもよい。図７は、２つのマスキング冶具４１を用いて通電加熱式触媒装置１０を製造した後の状態を模式的に示す斜視図である。なお、以下の説明では実施の形態１と等しい要素には等しい符号を用いて説明する。
【００４０】
本実施の形態では、２つのマスキング冶具４１によって配線３２を仮固定可能である。詳細には、２つのマスキング冶具４１は、仮固定される配線３２の第１配線３２ａが延在する方向の略中央位置で、実施の形態１のマスキング冶具４０が二分割された構成を基本構成としている。
【００４１】
これらの２つのマスキング冶具４１は、相互が向かい合う面で嵌合構造を備えていることが好ましい。これにより、配線３２を仮固定する際に、２つのマスキング冶具４１の位置ずれを抑制することができる。
【００４２】
ちなみに、本実施の形態のマスキング冶具４１は、仮固定される配線３２の第２配線３２ｂが延在する方向の両端部に固定部４１ａを備えている。配線３２を表面電極３１上に位置固定する際に、当該固定部４１ａを冶具（図示を省略）に固定することで、マスキング冶具４１を良好に固定することができる。
【００４３】
このようにマスキング冶具を分割して実施することもできるが、実施の形態１のマスキング冶具４０のように一つの片で構成すると、取り扱いが簡便で、複数の片を組み立てて構成した際に生じる可能性がある片相互のずれが生じることがなく、精度よく固定層３３を形成することができる。
【００４４】
（実施の形態３）
実施の形態１及び２では、表面電極３１を担体２０の軸方向に延設したが、表面電極３１を担体２０の周方向に延設してもよい。ここで、図８（ａ）は、本実施の形態で用いるマスキング冶具４２を示し、マスキング冶具４２に配線３２を仮固定した状態を示す底面図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）の上面図である。なお、図８（ａ）及び（ｂ）では、マスキング冶具４２が外周面上に配置される担体２０の軸方向が紙面の上下方向に一致しており、この方向を基準としてマスキング冶具４２が示されている。ちなみに、以下の説明では実施の形態１と等しい要素には等しい符号を用いて説明する。
【００４５】
図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、マスキング冶具４２は、マスキング冶具４２の平面視において実施の形態１のマスキング冶具４０の貫通孔４０ａ、収容部４０ｄ及び磁石４０ｂの嵌合穴４０ｃを略９０°回転させて配置した形態と略等しい。
【００４６】
つまり、配線３２を収容部４２ｄに収容して、マスキング冶具４２における担体２０と対向配置される凹状曲面が当該担体２０の外周面に対応するように、マスキング冶具４２を表面電極３１上に配置した際に、第１配線３２ａが担体２０の軸方向に配置され、第２配線３２ｂが担体２０の周方向に配置されるように、マスキング冶具４２の収容部４２ｄが配置されている。そして、収容部４２ｄに収容された配線３２と貫通孔４２ａ及び磁石との配置関係が、実施の形態１で説明した配線３２と貫通孔４０ａ及び磁石４０ｂとの配置関係を満たすように、貫通孔４２ａ及び磁石が嵌合される嵌合穴が配置されている。ちなみに、図示例のマスキング冶具４２は、マスキング冶具４２の厚さ方向から見ると配線３２の全域を覆うことができる形状とされているが、実施の形態１のマスキング冶具４０と同様に少なくとも第１配線３２ａ及び第２配線３２ｂを覆うことが可能な形状であればよい。
【００４７】
これにより、実施の形態１の製造方法と同様にして、担体２０の円周方向に延設された表面電極３１上に、第１配線３２ａが担体２０の軸方向に延設し、第２配線３２ｂが担体２０の周方向に延設する通電加熱式触媒装置を製造することができる。
【００４８】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、上記実施の形態のマスキング冶具は、磁石の磁気吸引力によって配線３２を仮固定しているが、エアの吸引力によって配線３２を仮固定してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１０  通電加熱式触媒装置
２０  担体
３１  表面電極
３２  配線、３２ａ  第１配線、３２ｂ  第２配線
３３  固定層
４０  マスキング冶具、４０ａ  貫通孔、４０ｂ  磁石、４０ｃ  嵌合穴、４０ｄ  収容部
４１  マスキング冶具、４１ａ  固定部
４２  マスキング冶具、４２ａ  貫通孔、４２ｄ  収容部
１００  担体
１０１  表面電極
１０２  配線
１０３  固定層
【図１】
2015112534.tif 000003
【図２】
2015112534.tif 000004
【図３】
2015112534.tif 000005
【図４】
2015112534.tif 000006
【図５】
2015112534.tif 000007
【図６】
2015112534.tif 000008
【図７】
2015112534.tif 000009
【図８】
2015112534.tif 000010
【図９】
2015112534.tif 000011
【図１０】
2015112534.tif 000012