(57)【要約】【課題】２以上の圧電体が積層された構成の圧電アクチュエータにおいて、別の部材と接着される側の圧電体の、スルーホールにおける露出部分にクラックが生じている場合に、接着剤がクラックを浸透してスルーホールへ溢れ出ることを防止すること。【解決手段】圧電アクチュエータは、圧電体４１，４２と、圧電体４１の上面に形成された個別電極４４と、圧電体４１，４２の間に形成された共通電極４５と、圧電体４１の上面において個別電極４４から離れて配置された引出電極４７と、圧電体４１のスルーホール４１ａ内に配置され、共通電極４５と引出電極４７とを導通させる導通部４６を有する。導通部４６は、圧電体４２のスルーホール４１ａにおける露出部分４２ａを覆う第１導電層５５と、第１導電層５５に重ねて形成された第２導電層５６と、を有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１圧電体と、
前記第１圧電体に積層された第２圧電体と、
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に配置された第１電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の間に配置された第２電極と、
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に、前記第１電極から離れて配置された引出電極と、
前記第１圧電体の前記引出電極が形成される領域において前記第１圧電体を貫通するスルーホール内に配置され、前記第２電極と前記引出電極とを導通させる導通部と、を有し、
前記導通部は、
前記第２圧電体の、前記スルーホールにおいて、前記第１圧電体から露出する部分を覆うように設けられた、第１導電層と、
前記第１導電層に重ねて形成された第２導電層と、
を有することを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１導電層は、前記第２導電層よりも薄い層であることを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１電極は、第１電極層と、この第１電極層を覆うように設けられる第２電極層とを有し、
前記第１電極の前記第１電極層と、前記導通部の前記第１導電層とが同じ材料で形成され、
前記第１電極の前記第２電極層と、前記導通部の前記第２導電層とが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面において、前記第１電極と前記引出電極とが所定方向において並んで配置され、
前記引出電極は、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極側の縁部には形成され、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極と反対側の縁部には形成されていないことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１導電層は、前記第２圧電体の、前記スルーホールにおける露出部分全体を覆うように形成され、
前記第２導電層は、前記第２圧電体の前記露出部分のうちの、前記第１電極側の少なくとも一部分にのみ形成されていることを特徴とする請求項４に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記第１圧電体と前記第２圧電体の積層方向から見て、前記スルーホールは、前記所定方向に長い形状を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項７】
複数の前記第１電極が、前記所定方向と直交する電極配列方向に配列され、
前記引出電極は、前記電極配列方向に沿って延在し、
複数の前記スルーホールが、前記電極配列方向に沿って配置され、
前記複数のスルーホールの間で、前記所定方向における位置が異なっていることを特徴とする請求項４又は５に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項８】
複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、前記流路構造体に接合される圧電アクチュエータを備え、
前記圧電アクチュエータは、
第１圧電体と、
前記第１圧電体に対して前記流路構造体側に配置され、前記第１圧電体に積層された第２圧電体と、
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に配置された第１電極と、
前記第１圧電体と前記第２圧電体の間に配置された第２電極と、
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に、前記第１電極から離れて配置された引出電極と、
前記第１圧電体の前記引出電極が形成される領域において前記第１圧電体を貫通するスルーホール内に配置され、前記第２電極と前記引出電極とを導通させる導通部と、を有し、
前記導通部は、
前記第２圧電体の、前記スルーホールにおいて、前記第１圧電体から露出する部分を覆うように設けられた、第１導電層と、
前記第１導電層に重ねて形成された第２導電層と、
を有することを特徴とする液体吐出装置。
【請求項９】
請求項１〜７の何れかに記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、
前記第１圧電体を貫通する前記スルーホール内に、第１の導電性材料を充填して前記第１導電層を形成する、第１導電層形成工程と、
前記第１導電層形成工程後に、前記スルーホール内に、第２の導電性材料を充填して前記第２導電層を形成する、第２導電層形成工程と、を備え、
前記第１の導電性材料の流動性が、前記第２の導電性材料の流動性よりも高いことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ノズルからインクを吐出させるインクジェットヘッド用の圧電アクチュエータが開示されている。この圧電アクチュエータは、インクジェットヘッドの流路ユニットに接着され、流路ユニットの複数のノズル内のインクにそれぞれ吐出エネルギーを与える。この特許文献１の圧電アクチュエータは、積層された２つの圧電体（特許文献１では、それぞれ「振動板」、「圧電層」と表記されている）と、上側の圧電体の上面に、流路ユニットの複数のノズルに対応して設けられた複数の個別電極と、２枚の圧電体の間に設けられた共通電極とを有する。
【０００３】
上側の圧電体の上面には、共通電極と導通する複数の引出電極（表面電極）が設けられている。また、上側の圧電体にはスルーホールが形成されており、スルーホール内に充填された導電材料によって、各引出電極と共通電極とが接続されている。また、上側の圧電体の上面に配置された、複数の個別電極、及び、複数の引出電極は、それぞれ配線部材と接続されている。この配線部材によって、個別電極には、グランド電位と駆動電位が選択的に付与される。一方、共通電極は、配線部材と接続されることによって、常にグランド電位に保持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２０６４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の圧電アクチュエータを構成する圧電体は、脆性材料である圧電セラミックスで形成されたものであることから、焼成時や、焼成後の後工程でのハンドリング等の際に、クラックが生じることがある。特に、上側の圧電体にスルーホールが形成されている場合、下側の圧電体の、前記スルーホールにおいて露出する部分においては、局所的に厚みが薄くて強度が弱い、あるいは、応力集中が生じやすい等の理由から、他の部分と比べて、クラックが生じやすいことが分かっている。
【０００６】
下側の圧電体の、スルーホールにおいて露出する部分にクラックが生じている状態で、圧電アクチュエータを流路ユニットに接着剤で接合すると、余剰接着剤の一部がクラック内に浸透し、スルーホール内、さらには、上側の圧電体の上面まで溢れ出る虞がある。絶縁性材料である接着剤が、スルーホール内や上側の圧電体の上面まで広がると、引出電極と導通部との間、あるいは、個別電極及び引出電極と配線部材との間における、導通不良の原因となる。
【０００７】
本発明の目的は、２以上の圧電体が積層された構成の圧電アクチュエータにおいて、別の部材と接着される側の圧電体の、スルーホールにおける露出部分にクラックが生じている場合に、接着剤がクラックを浸透してスルーホールへ溢れ出てくることを防止することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
第１の発明の圧電アクチュエータは、第１圧電体と、前記第１圧電体に積層された第２圧電体と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に配置された第１電極と、前記第１圧電体と前記第２圧電体の間に配置された第２電極と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に、前記第１電極から離れて配置された引出電極と、前記第１圧電体の前記引出電極が形成される領域において前記第１圧電体を貫通するスルーホール内に配置され、前記第２電極と前記引出電極とを導通させる導通部と、を有し、
前記導通部は、前記第２圧電体の、前記スルーホールにおいて前記第１圧電体から露出する部分を覆うように設けられた、第１導電層と、前記第１導電層に重ねて形成された第２導電層と、を有することを特徴とするものである。
【０００９】
本発明では、スルーホール内の導通部は、第１導電層と第２導電層を有する。第１導電層は、第２圧電体の、スルーホールにおいて第１圧電体から露出する部分を覆うように設けられている。尚、本発明において、「第２圧電体の、スルーホールにおいて第１圧電体から露出する部分」とは、スルーホールが存在するために第１圧電体が局部的に積層されていない部分のことを指す。つまり、第２圧電体のうち、スルーホール内であって、且つ、第２電極によって覆われている部分も、前記の「露出する部分」に含まれる。
【００１０】
第２圧電体の、前記露出部分においてクラックが生じている場合、第１導電層を形成する際にスルーホール内に充填された導電性材料の一部がクラックにしみこむ。これにより、クラックが導電性材料で塞がれる。従って、圧電アクチュエータの第２圧電体側の面を、別の部材に接着剤で接合する際に、余剰の接着剤が前記のクラックを通して、スルーホール内、さらには、第１圧電体の表面にまで染み出してくることが確実に防止される。
【００１１】
また、上記の観点から、第１導電層は、クラックに浸透しやすい導電性材料で形成することが望ましいが、一方で、そのような導電性材料で形成された第１導電層だけでは、スルーホールにおける導通の信頼性が低い。そこで、本発明では、第２導電層が第１導電層に重ねて形成されることで、スルーホールにおける導通信頼性が高められている。尚、第２導電層は、第１導電層と異なる材料で形成されてもよいが、第１導電層と同じ材料によって、第１導電層の形成後に、別工程で形成されるものであってもよい。
【００１２】
第２の発明の圧電アクチュエータは、前記第１の発明において、前記第１導電層は、前記第２導電層よりも薄い層であることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明では、スルーホール内の、第２圧電体の露出部分に形成される第１導電層は、第２導電層よりも薄い。このような薄い導電層は、通常、流動性の高い導電性材料によって形成される。流動性の高い導電性材料は、第２圧電体に生じたクラックに浸透しやすいため、クラックが確実に塞がれる。一方で、薄い第１導電層だけでは、導通部における導通信頼性が低い。そこで、第１導電層に、これよりも厚みの大きい第２導電層が重ねて形成されることで、スルーホールにおける導通信頼性の向上が図られている。
【００１４】
第３の発明の圧電アクチュエータは、前記第１又は第２の発明において、前記第１電極は、前記第１圧電体の、第１電極層と、この第１電極層を覆うように設けられる第２電極層とを有し、前記第１電極の前記第１電極層と、前記導通部の前記第１導電層とが同じ材料で形成され、前記第１電極の前記第２電極層と、前記導通部の前記第２導電層とが同じ材料で形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
第１電極が、第１電極層と第２電極層を有する構成である場合に、第１電極の第１電極層と導通部の第１導電層とが同じ材料で形成されているため、両者を一度に形成することができる。同様に、第１電極の第２電極層と導通部の第２導電層も同じ材料で形成されているため、両者を一度に形成することができる。
【００１６】
第４の発明の圧電アクチュエータは、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面において、前記第１電極と前記引出電極とが所定方向において並んで配置され、前記引出電極は、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極側の縁部には形成され、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極と反対側の縁部には形成されていないことを特徴とするものである。
【００１７】
第２圧電体におけるクラックの発生は、焼成工程などの圧電アクチュエータの製造途中だけでなく、完成した圧電アクチュエータを別の部材に押圧しながら接着する際にも起こり得る。接着の際には、スルーホール内の導通部は既に形成された状態であるから、この段階で発生するクラックについては、前記第１の発明で述べたように、導通部を形成する導電性材料を浸透させて塞ぐ、ということはできない。そこで、本発明は、接着時に生じたクラックを通って、余剰の接着剤がスルーホールに染み出してきた場合に、その接着剤が、第１圧電体に形成された第１電極にまで広がって、アクチュエータの駆動に悪影響を及ぼすことを極力回避することを目的とする。
【００１８】
即ち、本発明では、スルーホールの、第１電極側の縁部には引出電極が形成されているが、第１電極と反対側の縁部には引出電極が存在していない。これにより、第２圧電体に生じたクラックからスルーホールへ染み出した余剰の接着剤が、さらに、スルーホールから溢れ出ようとしたときに、スルーホールの第１電極側の縁部に形成された引出電極の一部分が、接着剤が第１電極へ流れるのを阻止する、いわば、堤防の役割をする。従って、スルーホールから溢れ出る接着剤は、堤防のない、第１電極と反対側に流れることになり、接着剤が第１電極へ広がってしまうことが防止される。
【００１９】
第５の発明の圧電アクチュエータは、前記第４の発明において、前記第１導電層は、前記第２圧電体の、前記スルーホールにおける露出部分全体を覆うように形成され、前記第２導電層は、前記第２圧電体の前記露出部分のうちの、前記第１電極側の少なくとも一部分にのみ形成されていることを特徴とするものである。
【００２０】
本発明では、第２圧電体の、スルーホールにおける露出部分の全体に、第１導電層が形成されているため、前記露出部分に生じているクラックに、第１導電層を形成する導電性材料を浸透させて、クラックを確実に塞ぐことができる。一方で、第２導電層は、引出電極と共通電極と確実に接続できればそれでよく、その観点では、第２導電層は、前記露出部分の、少なくとも第１電極側の一部分に形成されていればよい。つまり、第２導電層は、前記の第１導電層とは異なり、必ずしも第２圧電体の露出部分の全体に設けられる必要はない。
【００２１】
第６の発明の圧電アクチュエータは、前記第４又は第５の発明において、前記第１圧電体と前記第２圧電体の積層方向から見て、前記スルーホールは、前記所定方向に長い形状を有することを特徴とするものである。
【００２２】
引出電極を形成する際の位置ずれ、あるいは、スルーホールを形成する際の位置ずれによって、意図に反して、スルーホールが、引出電極が形成される領域内に収まり、スルーホールの縁部全体に引出電極が存在する構成となってしまうことが考えられる。本発明では、スルーホールが、引出電極と第１電極の並び方向に長い形状となっていることから、この方向において引出電極やスルーホールが、多少位置がずれて形成されても、スルーホールが、引出電極が形成される領域内に収まってしまうことがない。
【００２３】
第７の発明の圧電アクチュエータは、前記第４又は第５の発明において、複数の前記第１電極が、前記所定方向と直交する電極配列方向に配列され、前記引出電極は、前記電極配列方向に沿って延在し、複数の前記スルーホールが、前記電極配列方向に沿って配置され、前記複数のスルーホールの間で、前記所定方向における位置が異なっていることを特徴とするものである。
【００２４】
本発明では、複数のスルーホールの、引出電極と第１電極の並び方向における位置が異なっているため、この方向において引出電極やスルーホールが、多少位置がずれて形成されても、全てのスルーホールが、引出電極が形成される領域に収まってしまう、ということはない。
【００２５】
第８の発明の液体吐出装置は、複数のノズルを含む液体流路を有する流路構造体と、前記流路構造体に接合される圧電アクチュエータを備え、
前記圧電アクチュエータは、第１圧電体と、前記第１圧電体に対して前記流路構造体側に配置され、前記第１圧電体に積層された第２圧電体と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に配置された第１電極と、前記第１圧電体と前記第２圧電体の間に配置された第２電極と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に、前記第１電極から離れて配置された引出電極と、前記第１圧電体の前記引出電極が形成される領域において前記第１圧電体を貫通するスルーホール内に配置され、前記第２電極と前記引出電極とを導通させる導通部と、を有し、
前記導通部は、前記第２圧電体の、前記スルーホールにおいて、前記第１圧電体から露出する部分を覆うように設けられた、第１導電層と、前記第１導電層に重ねて形成された第２導電層と、を有することを特徴とするものである。
【００２６】
本発明では、スルーホール内に導電性材料を注入して第１導電層を形成する際に、導電性材料の一部がクラックにしみこみ、クラックが導電性材料で塞がれる。これにより、圧電アクチュエータの第２圧電体側の面を、流路構造体に接着剤で接合する際に、余剰の接着剤がクラックを通して染み出してくることが確実に防止される。さらに、第２導電層が第１導電層に重ねて形成されることで、スルーホールにおける導通信頼性が高められている。
【００２７】
第９の発明の圧電アクチュエータの製造方法は、前記第１〜第７の何れかかに記載の圧電アクチュエータの製造方法であって、前記第１圧電体を貫通する前記スルーホール内に、第１の導電性材料を充填して前記第１導電層を形成する、第１導電層形成工程と、前記第１導電層形成工程後に、前記スルーホール内に、第２の導電性材料を充填して前記第２導電層を形成する、第２導電層形成工程と、を備え、前記第１の導電性材料の流動性が、前記第２の導電性材料の流動性よりも高いことを特徴とするものである。
【００２８】
本発明では、スルーホール内に第１の導電性材料を充填して、第１導電層を形成し、次に、スルーホール内に第２の導電性材料を充填して、第２導電層を形成する。ここで、第１の導電性材料は、第２の導電性材料よりも流動性が高いものである。従って、第２圧電体の、スルーホールにおいて露出する部分に生じたクラックに、第１の導電性材料が浸透しやすくなり、クラックを確実に塞ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のＡ部拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】図４のＢ部拡大図である。
【図６】圧電アクチュエータの製造工程を説明する図である。
【図７】変更形態のインクジェットヘッドの、図５相当の一部拡大断面図である。
【図８】別の変更形態のインクジェットヘッドの、引出電極周辺の拡大図である。
【図９】別の変更形態のインクジェットヘッドの、引出電極周辺の拡大図である。
【図１０】別の変更形態のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１１】別の変更形態のインクジェットヘッドの一部拡大平面図である。
【図１２】他の開示発明に係るインクジェットヘッドの、一部拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
次に、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。
【００３１】
（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、制御装置６等を備えている。
【００３２】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００３３】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、プリンタ１に装着された４色（例えば、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７と、図示しないチューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル２５が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジ１７から供給された４色のインクを、複数のノズル２５からプラテン２に載置された記録用紙１００に対して吐出する。
【００３４】
搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。
【００３５】
制御装置６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。  制御装置６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、制御装置６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００３６】
（インクジェットヘッド）
次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２は、インクジェットヘッド４の平面図である。図３は、図２のＡ部拡大図である。図４は、図３のIV-IV線断面図である。尚、図２、図４では、インクジェットヘッド４の圧電アクチュエータ２１に接続されるＣＯＦ６３を二点鎖線で概略的に示している。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド４は、流路ユニット２０と圧電アクチュエータ２１を備えている。
【００３７】
（流路ユニットの構成）
図４に示すように、流路ユニット２０は、それぞれ流路形成孔が形成された５枚の流路形成プレート３１〜３５と、流路形成プレート３１の上面に接合されたインク封止膜３６とを有する。尚、図２から理解されるように、５枚の流路形成プレート３１〜３５は平面サイズが互いに等しくなっている。一方、インク封止膜３６は、流路形成プレート３１〜３５と比べて平面サイズがやや小さい。
【００３８】
５枚の流路形成プレート３１〜３５の材質は特に限定されないが、例えば、上側４枚の流路形成プレート３１〜３４は、ステンレス鋼等の耐食性の高い金属材料で形成されたものを好適に使用できる。また、最も下側の流路形成プレート３５は、複数のノズル２５が形成されたノズルプレートであるが、このノズルプレート３５は、ポリイミド等の樹脂で形成されたものを好適に使用できる。また、インク封止膜３６は、インク透過性の低い材料、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で形成されたものを好適に使用できる。５枚の流路形成プレート３１〜３５が積層されたときにそれぞれの流路形成孔が連通することによって、流路ユニット２０には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。
【００３９】
図２に示すように、流路ユニット２０（流路形成プレート３１）の上面の、インク封止膜３６が接合されていない、搬送方向上流側の領域には、４つのインクカートリッジ１７（図１参照）と接続される４つのインク供給孔２３が形成されている。また、流路ユニット２０の内部には、４つのインク供給孔２３にそれぞれ接続された４本のマニホールド２４が形成されている。４本のマニホールド２４には、４つのインク供給孔２３を介して、４つのインクカートリッジ１７（図１参照）の４色のインクがそれぞれ供給される。また、４本のマニホールド２４は、それぞれ搬送方向に延在している。
【００４０】
また、流路ユニット２０は、５枚の流路形成プレート３１〜３５のうちの、最も下側のプレート３５に形成された複数のノズル２５と、最も上側のプレート３１に形成された複数の圧力室２６を有する。図２に示すように、流路ユニット２０の下面（図３の紙面向こう側の面）において、複数のノズル２５は搬送方向に沿って配列され、４本のマニホールド２４にそれぞれ対応した４列のノズル列を構成している。各圧力室２６は、走査方向に長い、略矩形の平面形状を有する孔である。
【００４１】
複数の圧力室２６は、４本のマニホールド２４、及び、４列のノズル列に対応して、４列に配列されている。これら複数の圧力室２６は、流路形成プレート３１の上面に接合されたインク封止膜３６によって、上方から覆われている。各圧力室２６は、走査方向に長い、略楕円形の平面形状を有する。図４に示すように、各圧力室２６の長手方向一端部は、マニホールド２４と連通し、長手方向他端部はノズル２５と連通している。これにより、流路ユニット２０には、マニホールド２４から分岐して、圧力室２６を経てノズル２５に至る、個別インク流路が複数形成されている。
【００４２】
（圧電アクチュエータの構成）
圧電アクチュエータ２１は、流路ユニット２０のインク封止膜３６の上面に配置されている。図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ２１は、２枚の圧電体４１，４２と、複数の個別電極４４、及び、共通電極４５とを備えている。
【００４３】
２枚の圧電体４１，４２は、それぞれ、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。圧電体４１，４２は互いに積層された状態で、インク封止膜３６の上面に配置される。また、下側の圧電体４２はインク封止膜３６に接着剤で接合される。
【００４４】
個別電極４４は、圧電層４１の、圧電層４２と反対側の面である上面に形成されている。この個別電極４４は、第１電極層５１と第２電極層５２を有する。第１電極層５１は、圧電体４１の上面に、例えば、金などの導電性材料によって薄く形成されている。この第１電極層５１は、主電極部５１ａと副電極部５１ｂとを有する。主電極部５１ａは、走査方向に長い略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室２６の中央部と対向している。副電極部５１ｂは、圧電体４１の上面において、主電極部５１ａの長手方向一端部から、走査方向に沿って、圧力室２６と対向しない領域まで延びている。第２電極層５２は、第１電極層５１の副電極部５１ｂを覆うように設けられている。この第２電極層５２は、第１電極層５１とは異なる導電性材料、例えば、Ａｇ−Ｐｄなどによって形成されており、第２電極層５２は、第１電極層５１よりも厚くなっている。例えば、第１電極層５１の厚みが０．５μｍ以下、第２電極層５２の厚みが１．０μｍ以上である。
【００４５】
個別電極４４の第２電極層５２の端部には、導電性のバンプ５３が設けられている。図４に示すように、このバンプ５３には、配線部材であるＣＯＦ６３が押し付けられて接合される。これにより、個別電極４４は、バンプ５３を介して、ＣＯＦ６３と電気的に接続される。ＣＯＦ６３は、プリンタ１の制御装置６（図１参照）と接続されている。また、ＣＯＦ６３にはドライバＩＣ６４が設けられている。ドライバＩＣ６４は、制御装置６からの吐出制御信号に基づき、各個別電極４４の電位を、所定の駆動電位とグランド電位との間で切り換える。
【００４６】
尚、本実施形態において、個別電極４４が、第１電極層５１と第２電極層５２の２層で構成されている理由は、以下の通りである。個別電極４４の、圧力室２６と重なる部分は、圧電体４１，４２の変形をできるだけ阻害しないように、極力薄い方が好ましい。そこで、圧力室２６の中央部と対向する領域では、第１電極層５１の主電極部５１ａのみが配置されている。一方、個別電極４４の、ＣＯＦ６３とバンプ５３によって接合される部分は、ＣＯＦ６３の接合時の圧力に耐えられるように、ある程度の厚みを有することが好ましい。また、副電極部５１ｂは、主電極部５１ａと比べて幅が小さいため、この副電極部５１ｂで断線が生じる虞がある。そこで、圧力室２６と対向しない副電極部５１ｂに、第２電極層５２が重ねられることによって、副電極部５１ｂが補強されている。
【００４７】
共通電極４５は、２枚の圧電体４１，４２の間にほぼ全面的に配置されている。また、共通電極４５は、上側の圧電体４１を挟んで複数の個別電極４４のそれぞれと対向している。共通電極４５は、例えば、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ等の導電性材料によって形成されている。
【００４８】
図２に示すように、上側の圧電体４１の上面の、走査方向における両端部には、複数の個別電極４４から離れて２つの引出電極４７が設けられている。また、２つの引出電極４７は、走査方向中央側に位置する複数の個別電極４４に対して、走査方向において並べて配置されている。また、各引出電極４７は、個別電極４４の配列方向である搬送方向に延びており、一部（図２では７つ）の個別電極４４と、走査方向に並んでいる。
【００４９】
これら２つの引出電極４７は、個別電極４４の第２電極層５２と同じ導電性材料（例えば、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ）で形成されている。後に説明するように、２つの引出電極４７は、２枚の圧電体４１，４２の間に配置されている共通電極４５と導通している。また、引出電極４７には導電性のバンプ５４が設けられており、このバンプ５４にはＣＯＦ６３が押し付けられて接合される。これにより、引出電極４７は、ＣＯＦ６３に形成されているグランド配線と接続され、共通電極４５はグランド電位に保持されている。
【００５０】
次に、引出電極４７と共通電極４５との電気的接続構造について詳細に説明する。図５は、図４のＢ部拡大図である。図２に示すように、上側の圧電体４１の上面の、引出電極４７が形成される走査方向端部には、圧電体４１を貫通するスルーホール４１ａが、１つの引出電極４７に対して３つ形成されている。尚、図２、図３に示すように、各スルーホール４１ａは、２つの圧電体４１，４２の積層方向である上下方向から見て、引出電極４７の走査方向における外縁よりも、スルーホール４１ａの縁が少し外側にはみ出している。これにより、図５に示すように、スルーホール４１ａの、個別電極４４側の縁部には引出電極４７が形成されている一方で、スルーホール４１ａの、個別電極４４と反対側の端部には引出電極４７が形成されていない。
【００５１】
スルーホール４１ａ内には、共通電極４５と引出電極４７とを導通させる導通部４６が配置されている。導通部４６は、第１導電層５５と第２導電層５６を有する。
【００５２】
第１導電層５５は、下側の圧電体４２、及び、この圧電体４２の上面に形成された共通電極４５の、スルーホール４１ａにおいて上側の圧電体４１から露出する部分の全体を覆うように設けられている。以下では、説明の便宜上、下側の圧電体４２の、スルーホール４１ａにおいて圧電体４１から露出する部分を、特に、「露出部分４２ａ」と称す。本実施形態では、共通電極４５は、圧電体４２の露出部分４２ａの上面全域に形成されている。第１導電層５５は、個別電極４４の第１電極層５１と同じ材料（例えば、金など）で、薄く形成されている。第１導電層５５は、圧電体４２の露出部分４２ａの上に配置されている共通電極４５と接触することにより、共通電極４５と導通している。
【００５３】
尚、第１導電層５５は、スルーホール４１ａの底面となる圧電体４２の露出部分４２ａだけでなく、この露出部分４２ａから、スルーホール４１ａの、個別電極４４に近い側の側面を経て、スルーホール４１ａの個別電極４４側の縁部まで形成されている。
【００５４】
第２導電層５６は、第１導電層５５に重ねて形成されている。この第２導電層５６は、第１導電層５５とは異なる材料であって、且つ、引出電極４７及び個別電極４４の第２電極層５２と同じ材料（例えば、ＡｇやＡｇ−Ｐｄ）で形成されている。第２導電層５６は、第１導電層５５よりも厚くなっている。例えば、第１導電層５５の厚みが０．５μｍ以下、第２導電層５６の厚みが１．０μｍ以上である。尚、先にも述べたように、引出電極４７は、スルーホール４１ａを取り囲むように配置されるのではなく、スルーホール４１ａの個別電極４４側の縁部にのみ配置されている。そして、導通部４６の第２導電層５６は、スルーホール４１ａの底面から個別電極４４側の側面にわたって形成されて、スルーホール４１ａの、個別電極４４側の縁部において引出電極４７と導通している。
【００５５】
以上のように、スルーホール４１ａ内の、第１導電層５５と第２導電層５６を有する導通部４６により、共通電極４５と引出電極４７とが導通されている。ここで、本実施形態において、スルーホール４１ａ内の導通部４６が、第１導電層５５と第２導電層５６の２層で構成されている理由は、図５に示すように下側の圧電体４２の露出部分４２ａにクラック５８が生じている場合に、圧電アクチュエータ２１を流路ユニット２０に接着剤５７で接合したときの余剰の接着剤５７がクラック５８を染み上がってくることを防止するためである。その詳細については後述する。
【００５６】
また、図４に示される、圧電体４１の、個別電極４４と共通電極４５に挟まれた部分を、特に、活性部４０と呼ぶ。活性部４０は、厚み方向において下向き、即ち、個別電極４４から共通電極４５に向かう方向に分極されている。
【００５７】
以上説明した圧電アクチュエータ２１の、ノズル２５からインクを吐出させる際の動作は、以下の通りである。ドライバＩＣ６４により、ある個別電極４４の電位が、グランド電位から駆動電位に切り換えられたとする。このとき、個別電極４４とグランド電位に保持されている共通電極４５の間に電位差が生じる。これにより、図４に示される、圧電体４１の活性部４０に厚み方向の電界が生じる。また、活性部４０の分極方向と電界の方向とが一致するために、活性部４０はその分極方向である厚み方向に伸びて面方向に収縮する。この活性部４０の収縮変形に伴って、２つの圧電体４１，４２が圧力室２６側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２６の容積が減少してその内部のインクに圧力が付与され、圧力室２６に連通するノズル２５からインクの液滴が吐出される。
【００５８】
次に、上述した圧電アクチュエータ２１の製造工程について説明する。図６は、圧電アクチュエータ２１の製造工程を説明する図である。
【００５９】
（スルーホール形成工程）
まず、図６（ａ）に示すように、上側の圧電体４１となる、未焼成のグリーンシート７１に、スルーホール４１ａを形成する。このスルーホール４１ａの形成は、パンチング加工やレーザー加工等の公知の方法で行うことができる。
【００６０】
（共通電極形成工程）
また、図６（ｂ）に示すように、下側の圧電体４２となる、別の未焼成のグリーンシート７２の一面に、共通電極４５を形成する。共通電極４５の形成は、スクリーン印刷、蒸着、ＣＶＤ等の公知の方法で行うことができる。
【００６１】
（積層工程、焼成工程）
次に、図６（ｃ）に示すように、スルーホール４１ａが形成されたグリーンシート７１と、共通電極４５が形成されたグリーンシート７２とを、それらの間に共通電極４５が挟まれるように積層する。そして、積層された２枚のグリーンシート７１，７２を所定温度で加熱することによって焼成し、２つの圧電体４１，４２の積層体を得る。
【００６２】
（個別電極、引出電極、導通部の形成工程）
次に、圧電体４１の上面に、個別電極４４及び引出電極４７を形成するとともに、スルーホール４１ａ内に導通部４６を形成する。
【００６３】
まず、図６（ｄ）に示すように、圧電体４１の上面に、金などの導電性材料を所定の溶剤に混ぜて得られた第１の導電ペーストを用いて、スクリーン印刷等によって、複数の個別電極４４の第１電極層５１を形成する。この際、同時に、第１の導電ペーストを、スルーホール４１ａの縁部（特に、個別電極４４側となる、図中左側の縁部）に付着させ、この縁部からスルーホール４１ａ内に流し込み、スルーホール４１ａ内に第１の導電ペーストを充填する。これにより、スルーホール４１ａ内に、圧電体４２の露出部分４２ａの全体を覆うように、導通部４６の第１導電層５５を形成する。尚、ここで使用する第１の導電ペーストは、かなり流動性の高いものである。このような流動性の高い導電ペーストは圧電体の上面において速やかに広がるため、この第１の導電ペーストによって形成される第１電極層５１と第１導電層５５は、厚みの小さいものとなる。
【００６４】
次に、図６（ｅ）に示すように、圧電体４１の上面に、ＡｇやＡｇ−Ｐｄなどの導電性材料を所定の溶剤に混ぜて得られた、第２の導電ペーストを用いて、スクリーン印刷等によって、複数の個別電極４４の第２電極層５２と、引出電極４７とを同時に形成する。尚、圧電体４１に形成されたスルーホール４１ａは、引出電極４７が形成される領域（引出電極４７の形成時の、スクリーン印刷の印刷領域）に対して、個別電極４４と反対側に少しずれている。従って、引出電極４７の形成時に、第２の導電ペーストが、スルーホール４１ａの個別電極４４側の縁部にのみ付着し、この縁部からスルーホール４１ａ内に流れ込んで充填される。この充填された第２の導電ペーストが、第１導電層５５を覆う第２導電層５６となる。これにより、スルーホール４１ａの、個別電極４４側の縁部には引出電極４７が形成されるが、スルーホール４１ａの、個別電極４４と反対側の縁部には引出電極４７が形成されない。
【００６５】
ここで、導通部４６の第１導電層５５を形成する際に使用する第１の導電ペーストの流動性は、第２導電層５６を形成する際に使用する第２の導電ペーストの流動性よりも高い。つまり、第２の導電ペーストの粘度は、第１の導電ペーストの粘度よりも高く、第２の導電ペーストは、第１の導電ペーストよりも広がりにくい。従って、第２の導電ペーストによって形成される第２電極層５２及び第２導電層５６は、第１の導電ペーストによって形成される第１電極層５１及び第２導電層５６よりも、厚みが大きいものとなる。
【００６６】
ところで、この個別電極４４の形成工程の前の、焼成工程や、焼成後のハンドリング等の際に、脆性材料である圧電体４１，４２にクラックが生じることがある。特に、図５に示されるように、下側の圧電体４２の露出部分４２ａにクラック５８が生じやすい。しかしながら、スルーホール４１ａ内に第１の導電ペーストが充填されたときに、この導電ペーストの一部が、圧電体４２の露出部分４２ａからクラック５８に浸透するため、クラック５８が塞がれる。また、第１の導電ペーストは、第２の導電ペーストよりも流動性の高いものであるためクラック５８に浸透しやすく、クラック５８が確実に塞がれる。また、第１導電層５５は、圧電体４２の露出部分４２ａの全体を覆っているため、露出部分４２ａのどの位置にクラック５８が生じていても、クラック５８に第１の導電ペーストを浸透させて塞ぐことができる。
【００６７】
但し、流動性の高い第１の導電ペーストによって形成される第１導電層５５は薄く、このような薄い第１導電層５５だけでは、導通部４６による共通電極４５と引出電極４７との導通信頼性が低い。そこで、第１導電層５５に、これよりも厚みの大きい第２導電層５６が重ねて形成されることで、スルーホール４１ａにおける導通信頼性の向上が図られている。
【００６８】
また、本実施形態では、導通部４６だけでなく、個別電極４４も２層で構成されている。そして、個別電極４４の第１電極層５１と導通部４６の第１導電層５５が、第１の導電ペーストによって形成され、個別電極４４の第２電極層５２と導通部４６の第２導電層５６が、第２の導電ペーストによって形成される。そのため、上述したように、第１電極層５１と第１導電層５５をスクリーン印刷等で一度に形成し、また、第２電極層５２と第２導電層５６をスクリーン印刷で一度に形成することが可能となる。
【００６９】
（接合工程）
以上説明した工程を経て作製した圧電アクチュエータ２１を、図６（ｆ）に示すように、流路ユニット２０のインク封止膜３６の上面に接合する。具体的には、まず、インク封止膜３６の上面に、熱硬化性接着剤５７を塗布する。次に、インク封止膜３６の上面に、接着剤５７を介して圧電アクチュエータ２１の圧電体４２を載置させる。そして、図示しないヒータによって圧電アクチュエータ２１を加熱しながら、この圧電アクチュエータ２１を流路ユニット２０に押し付けて接着する。
【００７０】
この接合工程よりも前の工程で、図５に示すように、圧電体４１にクラック５８が生じている場合には、接合工程時に、余剰の接着剤５７がクラック５８を通って、スルーホール４１ａ内、あるいは、圧電体の表面にまで染み出してくる虞がある。しかし、上述したように、導通部４６の第１導電層５５を形成したときに、第１の導電ペーストがクラック５８に浸透してこのクラック５８を塞ぐため、上記の接着剤５７の染み出しを防止できる。
【００７１】
尚、圧電体４２の露出部分４２ａ以外の部分に、クラック５８が生じることはもちろんある。しかし、露出部分４２ａ以外の部分にクラック５８が生じても、そのクラック５８の上に、別の圧電体４１が存在しているため、仮にクラック５８に余剰の接着剤５７が浸透したとしても、上側の圧電体４１の上面まで接着剤５７が染み出すことはない。
【００７２】
但し、圧電体４２の露出部分４２ａにおけるクラック５８の発生は、焼成工程などの圧電アクチュエータ２１の製造途中だけでなく、接合工程において圧電アクチュエータ２１を押圧する際にも起こり得る。接合工程の段階では、スルーホール４１ａ内の導通部４６は既に形成された状態であるから、接合工程中に発生するクラックについては、導通部４６を形成する第１の導電ペーストを浸透させて塞ぐ、ということはできない。そこで、圧電体の露出部分４２ａに発生したクラックから接着剤５７がスルーホール４１ａに染み出してきた場合であっても、その接着剤５７が、圧電体４１の上面に形成された個別電極４４にまで広がって、圧電アクチュエータ２１の駆動に悪影響を及ぼすことを極力回避することが好ましい。
【００７３】
この点、本実施形態では、スルーホール４１ａの、個別電極４４側の縁部には引出電極４７が形成されているが、個別電極４４と反対側の縁部には引出電極４７が形成されていない。これにより、露出部分４２ａに生じたクラックからスルーホール４１ａに接着剤５７が染み出し、さらに、その接着剤５７が、スルーホール４１ａから溢れ出ようとしたときに、スルーホール４１ａの個別電極４４側の縁部に形成された引出電極４７の一部分が、接着剤５７が個別電極４４へ流れるのを阻止する、いわば、堤防の役割をする。従って、スルーホール４１ａから溢れ出る余剰の接着剤５７は、主に、堤防のない、個別電極４４と反対側に流れることになり、接着剤５７が個別電極４４へ広がってしまうことが防止される。
【００７４】
以上説明した実施形態において、インクジェットヘッド４が、本発明の液体吐出装置に相当する。流路ユニット２０が、本発明の流路構造体に相当する。上側の圧電体４１が本発明の第１圧電体に相当する。下側の圧電体４２が、本発明の第２圧電体に相当する。個別電極４４が、本発明の第１電極に相当する。共通電極４５が、本発明の第２電極に相当する。第１の導電ペーストが、本発明の第１の導電性材料に相当する。第２の導電ペーストが、本発明の第２の導電性材料に相当する。
【００７５】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００７６】
１］前記実施形態では、導通部４６の第１導電層５５と第２導電層５６とが異なる材料で形成されているが、第１導電層５５と第２導電層５６とが同じ材料で形成されてもよい。例えば、同一の導電性材料を、流動性の異なる２種類の溶剤とそれぞれ混ぜることで、含まれる導電粒子は同じだが、流動性が異なる、第１の導電ペーストと第２の導電ペーストとを作り出すことができる。
【００７７】
また、第１導電層５５と第２導電層５６を、同じ導電ペーストを使用してそれぞれ形成しても、特に問題はない。この場合は、第１導電層５５と第２導電層５６の厚みはほぼ同じとなる。尚、第２導電層５６の目的は、主に導通信頼性の向上であり、その意味では、第２導電層５６は厚みが大きい方がその効果は高いのであるが、第２導電層５６が第１導電層５５よりも薄くても、ある程度の導通信頼性の向上効果は得られる。
【００７８】
２］前記実施形態では、図５に示すように、導通部４６の第１導電層５５と第２導電層５６の両方が、圧電体４２の露出部分４２ａの全体を覆っている。第１導電層５５については、圧電体４２の露出部分４２ａに生じたクラックを確実に塞ぐために、露出部分４２ａの全体を覆うように形成されていることが好ましい。しかし、第２導電層５６は、引出電極４７と共通電極４５とを確実に接続できればそれでよく、その観点では、第２導電層５６は、前記露出部分４２ａの、少なくとも個別電極４４側（引出電極４７側）の一部分に形成されていればよい。つまり、第２導電層５６は、第１導電層５５とは異なり、圧電体４２の露出部分４２ａの全体に設けられる必要はない。そこで、図７（ａ）に示すように、第２導電層５６が、圧電体の露出部分４２ａの、個別電極４４側の一部分にのみ形成されてもよい。
【００７９】
また、図７（ｂ）に示すように、第１導電層５５の厚みが、第２導電層５６よりも薄い場合は、第１導電層５５が、スルーホール４１ａの、個別電極４４とは反対側の縁部にかかっていてもよい。第１導電層５５の形成時に、スルーホール４１ａの、個別電極４４側の縁部と個別電極４４と反対側の縁部の両方に、第１の導電ペーストを付着することで、スルーホール４１ａに対して第１の導電ペーストを両側から流入させることができ、圧電体の露出部分４２ａの全体を確実に覆うように、第１導電層５５を形成することができる。一方で、この構成では、スルーホール４１ａの個別電極４４側の縁部と、個別電極４４と反対側の縁部の両方に、第１導電層５５が形成されている。しかし、個別電極４４側の縁部には、厚みの大きい第２導電層５６が存在している分、スルーホール４１ａ内に染み出してきた接着剤は、個別電極４４側には流れ出しにくい。
【００８０】
３］圧電体４１にスルーホール４１ａを形成するときの位置ずれ、あるいは、圧電体４１に引出電極４７を印刷等で形成する際の位置ずれによって、意図に反して、スルーホール４１ａが、圧電体４１の、引出電極４７が形成される領域内に収まってしまうことが考えられる。その場合、スルーホール４１ａの縁部の全周にわたって引出電極４７が配置される構成となる。この場合は、クラックを通してスルーホール４１ａ内に接着剤５７が染み出してきたときに、スルーホール４１ａからどの方向にも接着剤５７が流出しうる。即ち、個別電極４４と反対側へのみ接着剤５７を逃して、個別電極４４側には接着剤５７が流れないようにすることが難しくなる。
【００８１】
この点について、スルーホール４１ａが、個別電極４４と引出電極４７の並び方向である、走査方向に長い形状に形成されてもよい。例えば、図８では、スルーホール４１ａが、走査方向に長い長穴形状となっている。この形態では、スルーホール４１ａや引出電極４７の位置が、走査方向において多少ずれて形成されても、スルーホール４１ａが、引出電極４７が形成される領域内に収まってしまうことがない。
【００８２】
あるいは、図９に示すように、１つの引出電極４７に対して設けられる複数のスルーホール４１ａの間で、個別電極４４と引出電極４７の並び方向である、走査方向における位置が異なっていてもよい。この形態では、複数のスルーホール４１ａの、個別電極４４と引出電極４７の並び方向における位置が異なっているため、この方向において引出電極４７やスルーホール４１ａが、多少位置がずれて形成されても、全てのスルーホール４１ａが、引出電極４７が形成される領域に収まってしまう、ということはない。
【００８３】
４］前記実施形態では、スルーホール４１ａが、圧電体４１の上面の引出電極４７が形成される領域と、部分的に重なるように形成されているが、図１０に示すように、スルーホール４１ａが引出電極４７の形成領域内に収まるように配置されてもよい。この場合、接合工程時に発生するクラックによる接着剤５７の染み出しは防止できないものの、その接合工程以前に生じたクラックであれば、導通部４６の第１導電層５５の形成の際に塞ぐことができる。
【００８４】
５］個別電極４４を構成する、第１電極層５１と第２電極層５２の配置については、前記実施形態のような配置関係には限られない。即ち、個別電極４４を２層で構成する目的に応じて、適宜変更可能である。例えば、ＣＯＦ６３との接合時に押圧力が作用する、ＣＯＦ６３との接合部の補強を主に考慮するなら、第１電極層５１の副電極部５１ｂの先端部にのみ、第２電極層５２が形成されてもよい。また、圧力室２６の直上において変形する、主電極部５１ａの補強（耐久性向上）という観点から、図１１に示すように、第１電極層５１の主電極部５１ａの少なくとも一部分に第２電極層５２が重ねられてもよい。
【００８５】
また、個別電極４４が２層の電極層５１，５２で構成されている必要は必ずしもなく、個別電極４４が１層の電極層で形成されていてもよい。
【００８６】
６］圧電体の積層数は２つには限られず、３つ以上の圧電体が積層された圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。
【００８７】
以上、説明した前記実施形態及びその変更形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を噴射して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。さらに、本発明の圧電アクチュエータは、液体吐出の用途に使用されるものに限られるわけではなく、それ以外の用途で用いられる圧電アクチュエータに対しても、本発明を適用しうる。
【００８８】
次に、出願当初の特許請求の範囲に記載の請求項１〜８に係る発明以外の開示発明について説明する。
即ち、第１圧電体と、前記第１圧電体に積層された第２圧電体と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に配置された第１電極と、前記第１圧電体と前記第２圧電体の間に配置された第２電極と、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面に、前記第１電極から離れて配置された引出電極と、前記第１圧電体の前記引出電極が形成される領域において前記第１圧電体を貫通するスルーホール内に配置され、前記第２電極と前記引出電極とを導通させる導通部と、を有し、
前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面において、前記第１電極と前記引出電極とが所定方向において並んで配置され、前記第１圧電体の、前記第２圧電体と反対側の面において、前記第１電極と前記引出電極とが所定方向において並んで配置され、前記引出電極は、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極側の縁部に形成され、前記スルーホールの、前記所定方向における前記第１電極と反対側の縁部には形成されていないことを特徴とする圧電アクチュエータの発明である。
【００８９】
上記開示発明は、出願当初の特許請求の範囲の請求項４に対応するものであるが、上記開示発明の技術的範囲は、請求項１の構成を前提としないものを包含する。即ち、スルーホール内に配置される導通部が、第１導電層と第２導電層の２層を有する構成を前提とせず、導通部が１層の導電層のみを有する構成も上記開示発明に含まれる。
【００９０】
以下、上記開示発明についての実施形態例について説明する。図１２に示すように、圧電アクチュエータ８１は、圧電体９１のスルーホール９１ａ内に配置されて、共通電極９５と引出電極９７とを導通させる導通部９６を有する。前記実施形態とは異なり、導通部９６は１層の導電層のみで構成されている。圧電体９１の上面において、個別電極９４と引出電極９７とは走査方向に並んで配置されている。また、スルーホール９１ａは、引出電極９７が形成される領域に対して、個別電極９４と反対側にずれて配置されている。それ故、スルーホール９１ａの、個別電極９４側の縁部には引出電極９７が形成されているが、個別電極９４と反対側の縁部には引出電極９７が形成されていない構成となる。
【００９１】
そのため、圧電アクチュエータ８１を流路ユニット８０に接合したときに、圧電体９２の、スルーホール９１ａにおける露出部分９２ａに生じたクラック８８を通って、接着剤８７がスルーホール９１ａ内に染み出してきた場合でも、その接着剤８７は、引出電極９７の存在しない、個別電極９４と反対側へ流れる。従って、接着剤８７が個別電極９４へ広がってしまうことが防止される。
【符号の説明】
【００９２】
４  インクジェットヘッド
２０  流路ユニット
２１  圧電アクチュエータ
４１  圧電体
４１ａ  スルーホール
４２  圧電体
４２ａ  露出部分
４４  個別電極
４５  共通電極
４６  導通部
４７  引出電極
５１  第１電極層
５２  第２電極層
５５  第１導電層
５６  第２導電層
５７  接着剤
５８  クラック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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