(57)【要約】【課題】静電気による悪影響を低減した液体噴射ヘッドの提供を目的とする。【解決手段】液体を噴射する複数のノズルが形成された、導電性のノズルプレートと、前記ノズルプレートの一方の面に固定され、前記ノズルと繋がる流路を備える流路部材と、前記ノズルプレートの前記流路部材が固定される面と反対の面に形成され、前記ノズルプレートを被膜する撥水性の保護膜と、前記ノズルプレートと電気的に接続されたグランド回路と、を有し、前記保護膜には、前記ノズルプレートを露出させた導通部を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズルプレートと、
前記ノズルプレートの一方の面に固定され、前記ノズルと繋がる流路を備える流路部材と、
前記ノズルプレートの前記流路部材が固定される面と反対の面に形成され、前記ノズルプレートを被膜する撥水性の保護膜と、
前記ノズルプレートと電気的に接続されたグランド回路と、を有し、
前記保護膜は、前記ノズルプレートを露出させた導通部を有する、ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記導通部は、ノズルプレートの両端に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記導通部は、前記ノズルプレートの中央部に形成されている、ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記請求項１に記載の液体噴射ヘッドと、
被噴射媒体を支持するプラテンと、
前記保護膜を前記プラテンと対向するよう前記液体噴射ヘッドを固定する固定部材と、を有することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射するノズルを備える液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドが知られている。液体噴射ヘッドは、複数のノズルが形成されたノズルプレートと、このノズルプレートの各ノズルと繋がる流路を備える流路部材とを有している。そのため、流路部材の流路を流れる液体は、ノズルプレートのノズルから噴射されて、被噴射媒体に着弾する。
【０００３】
また、ノズルプレートと被噴射媒体との間に静電気が発生する場合がある。静電気の電荷がある程度の値を有するようになると、この静電気が液体噴射ヘッドに害を及ぼすため、静電気を帯電させることは望ましくない。そのため、本体部の流路の壁面を金属でメッキしてメッキ層を形成し、このメッキ層をグランド接続したものが開示されている。このような構成とすることで、ノズルプレートは液体及びメッキ層を介して常に接地しているため、帯電を抑制することができる（例えば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１８９６０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ノズルから噴射される液体がノズルプレートに付着することがある。そのため、ノズルプレートの表面を撥水性の保護膜で覆うことで、ノズルプレートに液体を付き難くすることができる。しかし、ノズルプレートの表面を保護膜で覆うと、ノズルプレートが絶縁されてしまうため、静電気の帯電を助長する。また、特許文献のように流路の内壁にメッキ層を形成する場合、製造工程が複雑化し、液体噴射ヘッドを製造するコストが高くなる。
【０００６】
本発明は、上記課題にかんがみてなされたもので、静電気による悪影響を低減した液体噴射ヘッドの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一態様では、液体を噴射する複数のノズルが形成された、導電性のノズルプレートと、前記ノズルプレートの一方の面に固定され、前記ノズルと繋がる流路を備える流路部材と、前記ノズルプレートの前記流路部材が固定される面と反対の面に形成され、前記ノズルプレートを被膜する撥水性の保護膜と、前記ノズルプレートと電気的に接続されたグランド回路と、を有し、前記保護膜は、前記ノズルプレートを露出させた導通部を有する。
【０００８】
上記のように構成された発明では、液体がノズルプレートに付着しても、撥水性の保護膜によりノズルプレートを保護することができる。また、ノズルプレートはグランド回路に電気的に接続されているため、保護膜に形成された導通部を経由して静電気をグランド回路に流すことができる。
ここで、保護膜は、フッ素系高分子を含む金属膜や樹脂膜、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜等を採用することができる。
【０００９】
また、前記導通部は、ノズルプレートの両端に形成されていてもよい。
ノズルプレートが傾くと、ノズルプレートの端と基準面との距離が、傾き方向に応じて変化する。そのため、上記のように構成された発明では、各導通部の導通状態を比較することで、ノズルプレートの傾きを検出することができる。
【００１０】
そして、前記導通部は、ノズルプレートの中央部に形成されていてもよい。
ノズルプレートが下側が凸となるよう撓むと、基準面とノズルプレートとの距離が狭くなる。そのため、上記のように構成された発明では、中央部に位置する導通部の導通状態をもとに、ノズルプレートの撓みを検出することができる。
【００１１】
さらに、本発明は、液体噴射ヘッドとして捉えるのみならず、この液体噴射ヘッドを一部に含む液体噴射装置の発明としても捉えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】液体噴射ヘッドの一例を示す分解斜視図。
【図２】液体噴射ヘッドの組立斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドの要部を示す断面図である。
【図４】ノズルプレートを説明する図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【図６】ＰＧ調整の原理を説明する図である。
【図７】検出装置１００の構成を説明する回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、下記の順序に従って本発明の実施形態を説明する。
１．液体噴射ヘッドの構成：
２．液体噴射装置の構成：
３．ＰＧ調整：
４．その他の実施形態：
【００１４】
１．液体噴射ヘッドの構成：
図１は、液体噴射ヘッドの一例を示す分解斜視図であり、図２は、その組立斜視図である。この第１の実施形態では、液体噴射ヘッド１は、後述する液体噴射装置に搭載され、液体を噴射する。
【００１５】
図１及び図２に示すように、液体噴射ヘッド１は、ホルダヘッド１０と、ヘッド部材２０と、ヘッド部材２０のノズル面に接合されてヘッド部材２０が位置決め固定される固定板（固定部材）５０とを有する。また、ヘッド部材２０は、ノズルプレート３０と、流路部材２１とを有する。
【００１６】
ホルダヘッド１０は、インクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部１１を有する。またカートリッジ装着部１１には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１２が形成されている。なお、図示しないが、これらのインク供給針１２には、各ヘッド部材２０にインクを供給するためのインク導入路が設けられている。ホルダヘッド１０は、例えば、樹脂材料で形成される。
【００１７】
ホルダヘッド１０の下方には、固定板５０が固定されている。固定板５０には、第２方向Ｄ２を長手方向とする矩形状の開口部５１が４つ形成されている。各開口部５１は、第２方向Ｄ２と交差する第１方向Ｄ１に併設するよう固定板５０に形成されている。また固定板５０の周縁部には、ヘッド部材２０の高さ（第３方向Ｄ３での高さ）と同程度の高さの側壁部５２が形成されている。即ち、固定板５０は、一方面側が開口する略箱形に形成され、側壁部５２によって画成される凹部５３を有する。
【００１８】
ホルダヘッド１０と、固定板５０との間には、第１方向Ｄ１で所定間隔で位置決めされた複数（本実施形態では、４個）のヘッド部材２０が固定されている。具体的には、ヘッド部材２０は、ノズル３１が形成されたノズルプレート３０を固定板５０の凹部５３の底面で位置決めして固定されている。各ヘッド部材２０は、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラックの各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。なお、液体噴射ヘッド１が使用するインクを、上記した４色とすることは一例に過ぎない。また、各ヘッド部材２０は、固定板５０に接着固定されることにより互いに位置決めされた状態で、ホルダヘッド１０の内部に固定されている。
【００１９】
この第１の実施形態では、固定板５０は、導電性部材で構成されている。一例として、固定板５０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ：Steel Use Stainless）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、又は銅（Ａｕ）等のいずれかで構成されている。無論、固定板５０を構成する部材は、導電性であればどの様なものであってもよい。また、固定板５０のヘッド部材２０が固定されない側の表面には、撥水性の保護膜が製膜されていてもよい。
【００２０】
図３は、液体噴射ヘッドの要部を示す断面図である。図４は、ノズルプレートを説明する図である。
【００２１】
図３に示すように、ヘッド部材２０は、流路部材２１と、ノズルプレート３０と、ヘッドケース２２と、を主に備える。また、流路部材２１は、第１〜第３の基板２４〜２６を積層して構成されている。
【００２２】
第１の基板２４には、圧力発生室２３と、第１リザーバー部２８と、インク供給路２９とが、形成されている。例えば、第１の基板２４には、複数の圧力発生室２３が、第２方向Ｄ２に併設している。また、圧力発生室２３の長手方向の辺の外側には、各圧力発生室２３と繋がる第１リザーバー部２８が位置している。この第１のリザーバー部２８は、各圧力発生室２３の共通のインク室となるリザーバー２７の一部を構成する。そして、インク供給路２９は、第１のリザーバー部２８と各圧力発生室２３とをそれぞれ繋ぐ流路である。
【００２３】
第１の基板２４の上方には、圧力発生素子３６が形成されている。圧力発生素子３６は、第１の基板２４の各圧力発生室２３に対応する位置にそれぞれ形成されている。本実施形態では、圧力発生素子３６は、ユニモルフ型の圧電素子により構成されている。この圧力発生素子３６では、共通電極と、個別電極と、共通電極と個別電極との間に位置する圧電体とを備える。共通電極は、複数の圧力発生素子３６で共有されている。また、圧電体と個別電極とは、圧力発生室２３毎にそれぞれ形成されている。共通電極や個別電極は、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等の導電物質により構成されている。また、圧電体は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）といった誘電体により構成されている。
そして、各圧力発生素子３６の電極には、リード電極３７が接続されており、このリード電極３７を介して圧力発生素子３６に選択的に電圧が印加されるようなっている。
【００２４】
圧力発生素子３６は、ユニモルフ型の圧電素子以外にも、少なくとも２個以上の圧電素子を積層したバイモルフ型や、複数の圧電素子を積層した連続型であってもよい。これ以外にも、圧力発生素子３６は、発熱素子等であってもよい。
【００２５】
第２の基板２５は、第１の基板２４の上面で接合されている。第２の基板２５は、各圧力発生素子３６を収容する凹部である圧電素子保持部３８が形成されている。また第２の基板２５には、第１の基板２４の各第１のリザーバー部２８のそれぞれに連通する第２のリザーバー部３９が形成されている。
【００２６】
第３の基板２６は、第２の基板２５の上面で接合されている。第３の基板２６は、各第２のリザーバー部３９のそれぞれに連通する第３のリザーバー部４０が形成されている。第３のリザーバー部４０は、第２の基板２５に設けられた圧電素子保持部３８に対向する部分まで連続的に形成されており、比較的大容量のインクを貯留可能に形成されている。そのため、リザーバー２７は、第１〜第３のリザーバー部２８、３９，４０により構成されている。
【００２７】
第１〜第３の基板２４〜２６は、例えば、シリコン単結晶基板により構成されている。また、圧力発生室２３や、第１〜第３のリザーバー部２８，３９，４０等は、これら第１〜第３の基板２４〜２６を異方性エッチングすることによって形成されている。これ以外にも、第１〜第３の基板２４〜２６を、部分安定化ジルコニアや安定化ジルコニアを用いたセラミックスにより構成してもよい。
さらに、流路部材２１が、第１〜第３の基板２４〜２６で構成されることは一例であり、これ以外の基板を用いて構成されるものであってもよい。
【００２８】
第１の基板２４の下面側にはノズルプレート３０が接合されている。ノズルプレート３０は、同ノズルプレート３０を貫通して形成された複数のノズル３１を有する。各ノズル３１は、第１の基板２４の圧力発生室２３の位置に応じて形成されている。また、ノズルプレート３０は、導電性の材料で形成されている。例えば、ノズルプレート３０は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、銅（Ａｕ）のいずれかの材質で構成されている。また、ノズルプレート３０の流路部材２１が固定される面と反対の面には、保護膜３２が形成されている。
【００２９】
図４（ａ）は、ノズルプレート３０を下面側の流路部材２１が固定される面と反対の面（以下、第１面３０ａとも記載する。）から見た図である。また、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。また、図４（ｃ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【００３０】
保護膜３２は、ノズル３１の位置に対応する３２ｆ、３２ｇ、及び、後述する導通部３２ａ〜３２ｅを除いて、第１面３０ａ全体に形成されている。保護膜３２は撥水性であり、この第１面３０ａにインクが付着することを抑制する機能を有する。また、この保護膜３２は絶縁性であるため、ノズルプレート３０の保護膜３２で覆われた部位は電流を流さない。保護膜３２は、液体に対して撥水性を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や樹脂膜、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。
【００３１】
図４（ａ）（ｂ）に示すように、保護膜３２のノズルプレート３０の４隅に対向する位置には、導通部３２ａ〜３２ｄが形成されている。また、図４（ａ）（ｃ）に示すように、保護膜３２のノズルプレート３０の中央部に対向する位置には、導通部３２ｅが形成されている。即ち、この導通部３２ａ〜３２ｅにおいては、ノズルプレート３０の表面が露出しており、導電性を有することになる。
導通部３２ａ〜３２ｅの形成方法としては、ノズルプレート３０に保護膜３２を製膜した後、該当する部位の保護膜３２を除去するものであってもよい。これ以外にも、保護膜３２を製膜する工程で、周知のパターニングにより導通部３２ａ〜３２ｅを形成してもよい。
【００３２】
図３に戻り、第２及び第３の基板２５，２６の中央部には、これら第２及び第３の基板２５，２６を厚さ方向に貫通して形成された貫通部４６が設けられている。貫通部４６の内部には、リード電極３７の圧力発生素子３６と接続されていない側の一端が位置している。そして、リード電極３７の端部は、貫通部４６内で、図示しない外部配線に接続されている。この外部配線には駆動ＩＣが実装されており、各圧力発生素子３６は、リード電極３７を通じて、駆動ＩＣからの信号の供給を受ける。
【００３３】
また、ノズルプレート３０を固定する固定板５０は、ヘッド部材２０のグランドとしても機能する。固定板５０は導電性部材で構成されており、ＧＮＤに接地されることで、ＧＮＤ電位となっている（図３）。そして、ノズルプレート３０は、保護膜３２が形成されない位置において、固定板５０と電気的に接続されることで固定板５０と同電位（ＧＮＤ電位）になっている。例えば、ノズルプレート３０は、保護膜３２が形成されていない位置において、導電性のペースト（図示しない）を用いて固定板５０に電気的に接続されている。そのため、本実施形態では、固定板５０とグランドとで本発明のグランド回路を構成している。
【００３４】
また、流路部材２１の上には、ヘッドケース２２が接合されている。ヘッドケース２２には、インクカートリッジ等のインク貯留手段からのインクをリザーバー２７に供給するインク導入路４７が形成されている。また、ヘッドケース２２には、貫通部４６に連通する配線保持孔４８が形成されている。上述した外部配線はこの配線保持孔４８内に挿通された状態でリード電極３７と接続されている。例えば、ヘッドケース２２は、樹脂材料等の絶縁材料により構成されている。
【００３５】
以上説明したように、液体がノズルプレート３０に付着しても、撥水性の保護膜３２によりノズルプレート３０を保護することができる。また、ノズルプレート３０はグランド回路（固定板５０）に電気的に接続されているため、保護膜に形成された導通部を経由して静電気をグランド回路に流すことができる。そのため、ノズルプレート３０に静電気に起因する放電が発生した場合でも、その放電電流はノズルプレート３０から固定板５０を経由してＧＮＤに流れる。そのため、静電気により液体噴射ヘッド１を損傷させたり、駆動ＩＣ等の電子部品を破損させるという不都合を未然に防止し得る。
【００３６】
２．液体噴射装置の構成：
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置の一例を説明する。図５は、本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００３７】
本実施形態の液体噴射装置は、例えば、インクジェット式記録装置６０であり、図５に示すように、液体噴射ヘッド１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この液体噴射ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、液体噴射ヘッド１が搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿って被噴射媒体を支持するプラテン８が設けられている。そのため、インクジェット式記録装置では、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の被噴射媒体Ｓがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００３８】
３．ＰＧ調整：
上述したインクジェット式記録装置６０において、液体噴射ヘッド１と、被噴射媒体Ｓとの相対的な位置関係が適切でないと、ノズル３１から噴射される液体が正しく被噴射媒体Ｓに着弾しない。そのため、液体噴射ヘッド１をインクジェット式記録装置６０に組み付ける際、作業者は、ノズルプレート３０とプラテン８との相対的な傾きを検出し、この検出結果に応じてプラテン８の傾きを調整する。以下、このような作業者が行う調整をＰＧ（Paper Gap）調整とも記載する。このＰＧ調整において、ノズルプレート３０の導通部３２ａ〜３２ｅが使用される。
【００３９】
図６は、ＰＧ調整の原理を説明する図である。また、図７は、検出装置１００の構成を説明する回路図である。ＰＧ調整の原理として、まず、検出装置１００の接点端子１０２、１０３をノズルプレート３０とプラテン８とにそれぞれ繋ぎ、ノズルプレート３０とプラテン８との間が開放したオープン回路（等価回路）を形成する。
次に、ノズルプレート３０のいずれかの導通部３２ａ〜３２ｅとプラテン８との間の隙間に、隙間端子１０１を挿入する。隙間端子１０１は、プラテン８からノズルプレート３０の導通部３２ａ〜３２ｅまでの距離に応じた長さを備える。隙間端子１０１が導通部３２ａ〜３２ｅとプラテン８とに接触しない場合、検出装置１００に電流が流れない。このような場合は、ノズルプレート３０とプラテン８との相対的な位置関係は正常である。一方、隙間端子１０１の両端１０１ａ、１０１ｂが、ノズルプレート３０のいずれかの導通部３２ａ〜３２ｅとプラテン８とに接触すると、検出装置１００の接点端子１０２、１０３が導通し、電流が流れる。このような場合、ノズルプレート３０とプラテン８との相対的な位置関係は異常である。
ノズルプレート３０とプラテン８との相対的な位置関係が異常となるのは、液体噴射ヘッド１がプラテン８に対して傾いて固定されている場合である。このような場合、作業者はプラテン８の位置を調整することで、液体噴射ヘッド１とプラテン８との相対的な位置関係を調整する。
【００４０】
図７に示す、検出装置１００は、接点端子１０２に抵抗１０８を介してベース接続され、端子１０３に電源１０６を介してエミッター接続されたトランジスタ１０４を有する。また、トランジスタ１０４のコレクターは、抵抗１０５を通じて警告音を出力するブザー回路１０７に接続されている。また、ブザー回路１０７の抵抗１０５と接続されない側の端は、電源１０６を通じて、トランジスタ１０４とエミッター接続されている。そのため、検出装置１００では、接点端子１０２、１０３の間を、隙間端子１０１により導通させることで、トランジスタ１０４がオンし、ブザー回路１０７を動作させる。
【００４１】
図６（ａ）（ｂ）は、液体噴射ヘッド１の第１方向Ｄ１での相対的な傾きを調整するＰＧ調整の一例を示している。このＰＧ調整では、固定板５０に固定された４つのヘッド部材２０ａ〜２０ｄの内、第１方向Ｄ１において両端に位置するヘッド部材２０ａ、２０ｄを用いて調整を行う。
例えば、図６（ａ）に示すように、液体噴射ヘッド１の第１方向Ｄ１での傾きが所定範囲以内であれば、ノズルプレート３０のいずれの位置（３２ａ〜３２ｄ）においても隙間ｄは一定となる。そのため、隙間端子１０１をノズルプレート３０とプラテン８との隙間ｄに挿入しても、接点端子１０２、１０３間は導通せず、検出装置１００は警告音を出力しない。
【００４２】
一方、図６（ｂ）では、液体噴射ヘッド１が傾いて固定されており、ヘッド部材２０ａとプラテン８との隙間ｄ１がヘッド部材２０ｄとプラテン８との隙間ｄ２に比べて狭くなっている。このような状態でヘッド部材２０ａの導通部３２ａとプラテン８との間に隙間端子１０１を挿入すると、接点端子１０２、１０３間は導通し、検出装置１００は警告音を出力する。一方、ヘッド部材２０ｄとプラテン８との間に隙間端子１０１を挿入しても、接点端子１０２、１０３間は導通しない。その結果、利用者は、液体噴射ヘッド１が、ヘッド部材２０ａ側が下となるよう傾いていると判断することができる。このような場合、作業者はプラテン８を傾けることで、液体噴射ヘッド１とプラテン８との相対的な位置関係を調整する。
なお、説明を省略するが、任意のヘッド部材２０において、第２方向Ｄ２に並ぶ導通部を用いることで、液体噴射ヘッド１の第２方向Ｄ２での傾きを調整することができる。
【００４３】
上述した図６（ａ）（ｂ）とは別に、ノズルプレート３０の導通部３２ｅをもとに、ヘッド部材２０ａの単体での位置関係を判断することができる。即ち、図６（ｃ）に示すように、任意のヘッド部材２０において、ノズルプレート３０が下側で凸となるよう撓んでいる場合、隙間端子１０１を導通部３２ｅとプラテン８の隙間に挿入すると、隙間端子１０１の両端１０１ａ、１０１ｂが、導通部３２ａとプラテン８とにそれぞれ接続する。その結果、検出装置１００は警告音を出力し、利用者は任意のヘッド部材２０においてノズルプレート３０が下に凸となるよう撓んでいると判断することができる。このような場合、作業者は、液体噴射ヘッド１を不良品として判断することができる。
なお、上述したＰＧ調整の手法は一例に過ぎず、導通部３２ａ〜３２ｅを用いた検査手法はどの様なものであってもよい。
【００４４】
４．その他の実施形態：
また上述の実施形態では、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【００４５】
なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。
即ち、上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用してもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１…液体噴射ヘッド、２…インクカートリッジ、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、６…駆動モーター、７…タイミングベルト、８…プラテン、１０…ホルダヘッド、１１…カートリッジ装着部、１２…インク供給針、２０…ヘッド部材、２０ａ…ヘッド部材、２１…流路部材、２２…ヘッドケース、２３…圧力発生室、２４…第１の基板、２５…第２の基板、２６…第３の基板、２７…リザーバー、２８…第１リザーバー部、２９…インク供給路、３０…ノズルプレート、３１…ノズル、３２…保護膜、３２ａ〜３２ｅ…導通部、３６…圧力発生素子、３７…リード電極、３８…圧電素子保持部、３９…第２のリザーバー部、４０…第３のリザーバー部、４６…貫通部、４７…インク導入路、４８…配線保持孔、５０…固定板、５１…開口部、５２…側壁部、５３…凹部、６０…インクジェット式記録装置、１００…検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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