(57)【要約】【課題】多様な表示が可能な電子機器を提供する。または、多様な操作が可能な電子機器を提供する。【解決手段】表示装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、第１の面は、第２の面と、接して設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接して設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向して設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、第１の表示領域は、第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器が提供される。【選択図】図１
2015127801.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、
前記第１の面は、前記第２の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第２の面は、前記第３の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第１の面は、前記第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第１の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第２の表示領域は、前記第２の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第３の表示領域は、前記第３の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器。
【請求項２】
表示装置と、入力装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、
前記第１の面は、前記第２の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第２の面は、前記第３の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第１の面は、前記第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第１の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第２の表示領域は、前記第２の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第３の表示領域は、前記第３の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記入力装置は、前記第１の表示領域と重なるように設けられている領域と、前記第２の表示領域と重なるように設けられている領域と、前記第３の表示領域と重なるように設けられている領域と、を有し、
前記第１の表示領域は、前記第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器。
【請求項３】
表示装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、
前記第１の面は、前記第２の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第２の面は、前記第３の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第１の面は、前記第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第１の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第２の表示領域は、前記第２の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第３の表示領域は、前記第３の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域において、タッチセンサとしての機能を有し、
前記第１の表示領域は、前記第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器。
【請求項４】
表示装置と、撮像素子と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、
前記第１の面は、前記第２の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第２の面は、前記第３の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第１の面は、前記第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第１の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第２の表示領域は、前記第２の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第３の表示領域は、前記第３の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、前記第１の表示領域において、前記撮像素子によって得られる第１の画像を表示することができる機能を有し、
前記表示装置は、前記第２の表示領域において、前記撮像素子によって得られる第２の画像を表示することができる機能を有することを特徴とする電子機器。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の電子機器であって、
前記第２の面は、側面であることを特徴とする電子機器。
【請求項６】
表示装置と、撮像素子と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器の駆動方法であって、
前記第１の面は、前記第２の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第２の面は、前記第３の面と、接するように設けられている領域を有し、
前記第１の面は、前記第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、
前記表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、
前記第１の表示領域は、前記第１の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第２の表示領域は、前記第２の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第３の表示領域は、前記第３の面と重なるように設けられている領域を有し、
前記第１の表示領域において、前記撮像素子によって得られた第１の画像を表示し、
前記第２の表示領域において、前記撮像素子によって得られた第２の画像を表示することを特徴とする電子機器の駆動方法。
【請求項７】
請求項６に記載の電子機器の駆動方法であって、
前記第２の面は、側面であることを特徴とする電子機器の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、曲面に表示が可能な表示装置に関する。または、本発明の一態様は、複数の異なる面に表示が可能な表示装置に関する。または、曲面に表示が可能な表示装置を備える電子機器、発光装置、照明装置、またはそれらの作製方法に関する。または、複数の異なる面に表示が可能な表示装置を備える電子機器、発光装置、照明装置、またはそれらの作製方法に関する。
【０００２】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、液晶表示装置、蓄電装置、記憶装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
【背景技術】
【０００３】
近年、表示装置は様々な用途への応用が期待されており、多様化が求められている。例えば、タッチパネルを備えるスマートフォンやタブレット端末などの携帯情報端末は、薄型化や高性能化、多機能化が進んでいる。
【０００４】
また、特許文献１には、フィルム基板上に、有機ＥＬ素子や、スイッチング素子であるトランジスタを備えたフレキシブルなアクティブマトリクス型の発光装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７４１５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の一態様は、新規な電子機器を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、多様な表示が可能な電子機器を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、多様な操作が可能な電子機器を提供することを課題の一とする。または本発明の一態様は、このような電子機器に適用可能な表示装置（表示パネル）を提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、新規な表示装置などを提供することを課題の一とする。
【０００７】
または、本発明の一態様は、適切な画像を撮影できる電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、被写体に照明を照射できる電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、バッテリの交換が容易な電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、操作しやすい電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、被写体が、撮影状況を確認できる電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、無線通信がしやすい電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、良い音で鳴らすことができる電子機器などを提供することを課題の一とする。または、本発明の一態様は、曲げたり、広げたりすることができる電子機器などを提供することを課題の一とする。
【０００８】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。また、上記以外の課題は、明細書等の記載から自ずと明らかになるものであり、明細書等の記載から上記以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、本発明の一態様は、表示装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、第１の面は、第２の面と、接するように設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接するように設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、第１の表示領域は、第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器である。
【００１０】
または、本発明の一態様は、表示装置と、入力装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、第１の面は、第２の面と、接するように設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接するように設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、入力装置は、第１の表示領域と重なるように設けられている領域と、第２の表示領域と重なるように設けられている領域と、第３の表示領域と重なるように設けられている領域と、を有し、第１の表示領域は、第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器である。
【００１１】
または、本発明の一態様は、表示装置と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、第１の面は、第２の面と、接するように設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接するように設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域において、タッチセンサとしての機能を有し、第１の表示領域は、第３の表示領域よりも、大きな面積を有することを特徴とする電子機器である。
【００１２】
または、本発明の一態様は、表示装置と、撮像素子と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器であって、第１の面は、第２の面と、接するように設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接するように設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、表示装置は、第１の表示領域において、撮像素子によって得られる第１の画像を表示することができる機能を有し、表示装置は、第２の表示領域において、撮像素子によって得られる第２の画像を表示することができる機能を有することを特徴とする電子機器である。
【００１３】
または、本発明の一態様は、上記構成の電子機器であって、第２の面は、側面であることを特徴とする電子機器である。
【００１４】
または、本発明の一態様は、表示装置と、撮像素子と、第１乃至第３の面と、を有する電子機器の駆動方法であって、第１の面は、第２の面と、接するように設けられている領域を有し、第２の面は、第３の面と、接するように設けられている領域を有し、第１の面は、第３の面と、対向するように設けられている領域を有し、表示装置は、第１乃至第３の表示領域を有し、第１の表示領域は、第１の面と重なるように設けられている領域を有し、第２の表示領域は、第２の面と重なるように設けられている領域を有し、第３の表示領域は、第３の面と重なるように設けられている領域を有し、第１の表示領域において、撮像素子によって得られた第１の画像を表示し、第２の表示領域において、撮像素子によって得られた第２の画像を表示することを特徴とする電子機器の駆動方法である。
【００１５】
または、本発明の一態様は、上記構成の電子機器の駆動方法であって、第２の面は、側面であることを特徴とする電子機器の駆動方法である。
【００１６】
なお、本明細書中において、表示パネル（表示装置）にコネクター、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  ｐｒｉｎｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）もしくはＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）が取り付けられたモジュール、ＴＣＰの先にプリント配線板が設けられたモジュール、または表示素子が形成された基板にＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）方式によりＩＣ（集積回路）が直接実装されたモジュールは、表示装置に含まれる場合がある。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の一態様によれば、新規な電子機器を提供することができる。または、本発明の一態様によれば、多様な表示が可能な電子機器を提供することができる。または、本発明の一態様によれば、多様な操作が可能な電子機器を提供することができる。または本発明の一態様によれば、このような電子機器に適用可能な表示装置（表示パネル）を提供することができる。または、本発明の一態様によれば、新規な表示装置などを提供することができる。
【００１８】
または、本発明の一態様によれば、適切な画像を撮影できる電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、被写体に照明を照射できる電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、バッテリの交換が容易な電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、操作しやすい電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、被写体が、撮影状況を確認できる電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、無線通信がしやすい電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、良い音で鳴らすことができる電子機器などを提供することができる。または、本発明の一態様によれば、曲げたり、広げたりするできる電子機器などを提供することができる。
【００１９】
なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、必ずしも、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図３】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図４】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図５】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図６】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図７】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図８】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図９】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１０】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１１】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１２】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１３】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１４】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１５】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１６】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１７】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１８】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図１９】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２０】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２１】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２２】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２３】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２４】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２５】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２６】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２７】実施の形態に係る、電子機器の構成例。
【図２８】実施の形態に係る、発光パネルの構成例。
【図２９】実施の形態に係る、発光パネルの構成例。
【図３０】実施の形態に係る、発光パネルの構成例。
【図３１】酸化物半導体の断面ＴＥＭ像および局所的なフーリエ変換像。
【図３２】酸化物半導体膜のナノビーム電子回折パターンを示す図、および透過電子回折測定装置の一例を示す図。
【図３３】透過電子回折測定による構造解析の一例を示す図、および平面ＴＥＭ像。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。但し、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って本実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する構成において、同様のものを指す符号は異なる図面間で共通の符号を用いて示し、同一部分又は同様な機能を有する部分の詳細な説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
【００２２】
なお、ある一つの実施の形態の中で述べる内容（一部の内容でもよい）は、その実施の形態で述べる別の内容（一部の内容でもよい）、及び／又は、一つ若しくは複数の別の実施の形態で述べる内容（一部の内容でもよい）に対して、適用、組み合わせ、又は置き換えなどを行うことが出来る。
【００２３】
なお、実施の形態の中で述べる内容とは、各々の実施の形態において、様々な図を用いて述べる内容、又は明細書に記載される文章を用いて述べる内容のことである。
【００２４】
なお、ある一つの実施の形態において述べる図（一部でもよい）は、その図の別の部分、その実施の形態において述べる別の図（一部でもよい）、及び／又は、一つ若しくは複数の別の実施の形態において述べる図（一部でもよい）に対して、組み合わせることにより、さらに多くの図を構成させることが出来る。
【００２５】
なお、本明細書で説明する各図において、各構成の大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
【００２６】
なお、本明細書等における「第１」、「第２」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
【００２７】
（実施の形態１）
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器と、当該電子機器に適用可能な表示装置（表示パネルともよぶ場合がある）について、図面を参照して説明する。
【００２８】
［電子機器の例］
図１（Ａ１）は以下で例示する電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００２９】
図１（Ａ１）及び図１（Ａ２）に示す電子機器は、筐体１０１と、筐体１０１の表面（例えば、おもて面、裏面、側面など）において表示可能となるように設けられた表示パネル１１０を備える。なお、表示パネル１１０の上には、傷や破損から守るために、カバーや樹脂などが設けられている場合がある。
【００３０】
筐体１０１は、おもて面、裏面、第１の側面、第１の側面に接する領域を有する第２の側面、第１の側面と対向する領域を有する第３の側面、第２の側面と対向する領域を有する第４の側面とを有する表面形状を有する。または、筐体１０１は、第１の側面を有する。第１の側面は、おもて面、及び／又は、裏面、に接する領域を有する。または、筐体１０１は、第２の側面を有する。第２の側面は、おもて面、及び／又は、裏面、に接する領域を有する。または、筐体１０１は、第３の側面を有する。第３の側面は、おもて面、及び／又は、裏面、に接する領域を有する。または、筐体１０１は、第４の側面を有する。第４の側面は、おもて面、及び／又は、裏面、に接する領域を有する。
【００３１】
なお、おもて面は、裏面と対向する領域を有する。
【００３２】
つまり、筐体１０１は、複数の面を有している。例えば、筐体１０１は、おもて面と、裏面と、少なくとも４つの側面と、を有している。なお、それぞれの面は、なだらかに変化している場合があるため、各面の境界を定めにくい場合がある。また、側面という文言を用いて述べているが、側面は、おもて面や裏面の一部の領域を有している場合がある。
【００３３】
例えば、側面は、横から見て（例えば、裏面やおもて面が見えないような方向から見て）、確認できる領域のことを言う。ただし、おもて面、裏面、側面などが、曲面を有する場合には、境界を定めにくい場合がある。その場合、例えば、ある領域は、おもて面（裏面）の一部であり、かつ、側面の一部でもある、と呼べる場合もある。同様に、例えば、ある領域は、ある側面の一部であり、かつ、別の側面の一部でもある、と呼べる場合もある。
【００３４】
例えば、側面は、おもて面と接している領域を有している。または、側面は、裏面と接している領域を有している。例えば、側面は、別の側面と接している領域を有している。
【００３５】
ここで、おもて面、及び／又は、裏面は、一例としては、平坦な領域を有する。または、おもて面、及び／又は、裏面は、一例としては、曲がった領域を有する。側面は、一例としては、曲がった領域を有する。または、側面は、一例としては、平坦な領域を有する。なお、おもて面と、裏面とは、互いに、区別が困難である場合がある。そのため、おもて面のことを裏面と呼ぶ場合や、裏面のことをおもて面と呼ぶ場合もある。なお、おもて面は、裏面よりも、大きい表示領域を有している場合がある。なお、側面は、一例としては、おもて面、または、裏面よりも、面積が小さい。
【００３６】
なお、上記のそれぞれの面の他に、さらに、別の面が設けられる場合もある。つまり、６面体ではなく、さらに多くの面を有する場合もある。または、上記よりも、より少ない面しか有さない場合もある。
【００３７】
表示パネル１１０は、筐体１０１のおもて面と重なる領域を有するように設けられている表示領域１１１を有する。または、表示パネル１１０は、筐体１０１の側面の一つと重なる領域を有するように設けられている表示領域１１３を有する。または、表示パネル１１０は、筐体１０１の裏面の一部の領域と重なる領域を有するように設けられている表示領域１１６を有する。なお、ここで、表示領域１１３が設けられている側面は、一例としては、表示領域１１３が設けられていない側面よりも、一辺の長さが短い。または、表示領域１１３が設けられている側面は、一例としては、表示領域１１３が設けられていない側面よりも、小さい面積を有する。つまり、表示領域１１３が設けられている側面は、一例としては、短軸方向に平行な面であり、長軸方向に垂直な面である。
【００３８】
なお、表示領域１１１、表示領域１１３、及び、表示領域１１６のそれぞれの境界は、一例として、図面において、点線で示す場合がある。ただし、場合によっては、または、状況に応じて、それぞれの境界は、図面に記した点線とは異なる場合もある。
【００３９】
筐体１０１の４つの側面において、少なくとも表示パネル１１０と重なる領域を有する領域は、曲面形状を有することが好ましい。例えば、おもて面と側面、および、側面と裏面との間に角部を有さず、これらの面が連続していることが好ましい。また、側面の形状が、例えば、筐体１０１のおもて面から裏面にかけて接線の傾きが連続するような曲面を有することが好ましい。また特に側面の形状が、平面を伸縮することなく変形させて得られる可展面を有していることが好ましい。このような形状とすることにより、表示パネル１１０を、なだらかに曲げるような状態とすることができる。つまり、表示パネル１１０を曲げた時の曲率半径を大きくすることが出来る。よって、表示パネル１１０に対して、折り曲げによる負担をかけにくくすることができ、表示パネル１１０の寿命を延ばすことができる。また、このような形状とすることにより、表示パネル１１０での表示画像が、なだらかに変わっているように見える。そのため、違和感が少なく、閲覧することが出来る。ただし、本発明の一態様は、これらに限定されない。
【００４０】
ここで、一例として、表示領域１１１の面積は、表示領域１１６の面積よりも、大きい。または、一例として、表示領域１１１の一辺の長さは、表示領域１１６の一辺の長さよりも、長い。そのため、図１（Ｂ１）、図１（Ｂ２）に示すように、筐体１０１の裏面には、領域２０１が確保できる。つまり、筐体１０１の裏面は、表示領域１１６と領域２０１とを有している。一例としては、領域２０１には、表示領域１１６が設けられていない。そのため、領域２０１には、様々な機能を有するものを配置することが出来る。
【００４１】
例えば、表示領域１１６は、表示領域１１１の面積の、１０％以上、９０％以下の面積を有する。より好ましくは、表示領域１１６は、例えば、表示領域１１１の面積の、３０％以上、７０％以下の面積を有する。
【００４２】
例えば、表示領域１１６は、表示領域１１１の一辺の長さの、１０％以上、９０％以下の長さの一辺を有する。より好ましくは、表示領域１１６は、例えば、表示領域１１１の一辺の長さの、３０％以上、７０％以下の長さの一辺を有する。
【００４３】
なお、筐体１０１の表面（おもて面、裏面、側面など）には表示パネル１１０のほかに、ハードウェアボタンや外部接続端子やイメージセンサや赤外線センサやマイクやスピーカ等を有していてもよい。
【００４４】
なお、図１（Ａ１）、図１（Ａ２）では、筐体１０１の１つの側面を表示領域として用いる場合を示したが、他の側面に表示領域を重ねるようにした構成としてもよい。
【００４５】
一例として、図２（Ａ１）、図２（Ａ２）には、表示領域１１５もさらに有する場合の構成例を示している。表示領域１１５は、表示領域１１３に対向する側面に重なる領域を有している。ここで、図２（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図２（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。また、領域２０１を有する場合の例を、図２（Ｂ１）、図２（Ｂ２）に示す。
【００４６】
さらに、別の例として、図３（Ａ１）、図３（Ａ２）には、表示パネル１１０が、表示領域１１１と、表示領域１１６と、表示領域１１２と、を有する場合の構成例を示している。ここで、表示領域１１２は、筐体１０１の側面の一つと重なる領域を有するように設けられている。なお、ここで、表示領域１１２が設けられている側面は、表示領域１１２が設けられていない側面（例えば、図１（Ａ１）において表示領域１１３が設けられている側面）よりも、長さの長い一辺を有する。表示領域１１２が設けられている側面は、一例としては、表示領域１１２が設けられていない側面よりも、大きい面積を有する。つまり、表示領域１１２が設けられている側面は、一例としては、長軸方向に平行な面であり、短軸方向に垂直な面である。ここで、図３（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図３（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。また、領域２０１を有する場合の例を、図３（Ｂ１）、図３（Ｂ２）に示す。
【００４７】
さらに、別の例として、図４（Ａ１）、図４（Ａ２）には、表示領域１１２に対向する側面に重なる領域を有する表示領域１１４もさらに有する場合の構成例を示している。ここで、図４（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図４（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。また、領域２０１を有する場合の例を、図４（Ｂ１）、図４（Ｂ２）に示す。
【００４８】
さらに、別の例として、図５（Ａ）、図５（Ｂ）、図５（Ｃ）には、表示パネル１１０が、表示領域１１１と、表示領域１１６と、表示領域１１２と、表示領域１１３と、を有する場合の構成例を示している。ここで、表示領域１１２は、筐体１０１の側面の一つと重なる領域を有するように設けられている。表示領域１１３は、筐体１０１の別の側面の一つと重なる領域を有するように設けられている。なお、ここで、表示領域１１２が設けられている側面は、例えば、表示領域１１３が設けられている側面よりも、長さの長い一辺を有する。表示領域１１２が設けられている側面は、例えば、表示領域１１３が設けられている側面よりも、大きい面積を有する。ここで、図５（Ａ）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図５（Ｂ）は裏面側を示す斜視概略図の一例である。図５（Ｃ）は、図５（Ｂ）とは異なる場合の例である。また、領域２０１を有する場合の例を、図６（Ａ）、図６（Ｂ）、図６（Ｃ）、に示す。
【００４９】
このような構成とすることで、筐体のおもて面に平行な面にのみではなく、筐体の側面や裏面にも表示を行うことが可能となる。特に、筐体の２以上の側面に沿って表示領域を設けると、表示の多様性がより高まるため好ましい。
【００５０】
筐体１０１のおもて面に沿って配置される表示領域１１１と、裏面に沿って配置される表示領域１１６と、側面に沿って配置された各表示領域は、それぞれ独立な表示領域として用いて異なる画像等を表示してもよいし、いずれか２つ以上の表示領域にわたって一つの画像等を表示してもよい。例えば、筐体１０１のおもて面に沿って配置された表示領域１１１に表示する画像を、筐体１０１の側面に沿って設けられる表示領域１１２や、筐体１０１の裏面に沿って配置された表示領域１１６などにつながるように、連続して表示してもよい。
【００５１】
例えば、筐体１０１のおもて面に沿って設けられる表示領域１１１には、文字情報やアプリケーション等に関連付けられた複数のアイコンなどを表示してもよい。例えば、表示領域１１２には、アプリケーション等に関連付けられたアイコンなどを表示してもよい。
【００５２】
また、筐体１０１の側面に沿って設けられる複数の表示領域（例えば、表示領域１１３と表示領域１１２）にわたって、文字情報などが流れる（移動する）ように表示することもできる。または、おもて面と側面と裏面とに沿って設けられる表示領域にわたって、文字情報などが流れる（移動する）ように表示することもできる。このように筐体の２面以上にわたって表示を行うことで、電子機器の向きによらず、例えば着信時などにおいてユーザが情報を見逃してしまうことを防止することができる。
【００５３】
また、例えば電話の着信時やメールの受信時などに、表示領域１１１だけでなく表示領域１１２などの側面に沿って設けられる表示領域や、表示領域１１６などに、発信者情報（例えば発信者の名前、電話番号、メールアドレス等）を表示する構成としてもよい。例えば、メールの受信時に発信者情報が表示領域１１２および表示領域１１３に流れるように表示されていてもよい。
【００５４】
また、図７（Ａ）、図７（Ｂ）に、電子機器の使用状態の例を示す。図７（Ａ）では、表示領域１１１に複数のアイコン１２１が表示され、表示領域１１２にスライドバー１２５が表示されている。スライドバー１２５を指１２６等でタッチしながらスライドバーを上下に動かすことで、図７（Ｂ）に示すように表示領域１１１に表示されたアイコン１２１等の表示内容がこれに対応して上下にスライドする。図７（Ａ）、図７（Ｂ）ではスライドバー１２５を指１２６により下方にスライドさせることで、複数のアイコン１２１等の画像が表示領域１１１から表示領域１１３にわたって上方にスライドする様子を示している。
【００５５】
なお、ここでは表示領域１１１に表示される画像がアイコンである場合を示したが、これに限られず、起動するアプリケーションに応じて文書情報や画像、動画などさまざまな情報をスライドして表示させることができる。また、スライドバー１２５は、表示領域１１２だけでなく、表示領域１１１、表示領域１１３、表示領域１１４、または、表示領域１１６等に配置することもできる。
【００５６】
また、電子機器を使用しない待機時間において、筐体１０１のおもて面に沿って設けられる表示領域１１１、及び／又は、裏面に沿って設けられる表示領域１１６の表示をオフ（例えば黒表示）とし、側面に沿って設けられる表示領域１１２等にのみ情報を表示するような状況にして、表示状態を切り替えるようにしてもよい。他に比べて面積の大きい表示領域１１１や表示領域１１６の表示を行わないようにすることで、待機時の消費電力を低減することができる。あるいは、逆に、表示領域１１１のみで表示させて、表示領域１１６や側面の表示領域などの少なくとも一つの領域では、表示を行わないようにして、使用時の消費電力を低減することもできる。
【００５７】
または、筐体１０１のおもて面に沿って設けられる表示領域１１１、裏面に沿って設けられる表示領域１１６、側面に沿って設けられる表示領域１１２等、において、それらの一部にのみ情報を表示するような状況にしてもよい。例えば、表示領域１１１と表示領域１１６でのみ表示を行い、側面に沿って設けられる表示領域１１２等では、表示をオフにして、表示しないような状況に切り替えてもよい。
【００５８】
また、表示パネル１１０と重なる位置、具体的には各表示領域と重なる領域には、タッチセンサなどのような入力装置を有していることが好ましい。タッチセンサとしては、例えば、シート状の静電容量方式のタッチセンサを表示パネル１１０に重ねて設ける構成とすればよい。または、表示パネル１１０自体にタッチセンサの機能を持たせたいわゆるインセル型のタッチセンサを用いてもよい。この場合には、表示パネル１１０は、表示する機能だけでなく、タッチセンサとしての機能も有していると言える。インセル型のタッチパネルとしては、静電容量方式のタッチセンサを適用してもよいし、光電変換素子を用いた光学式のタッチセンサを適用してもよい。または、表示パネル１１０の対向基板（トランジスタなどが設けられていない基板）において、タッチセンサの機能を持たせたいわゆるオンセル型のタッチセンサを適用してもよい。この場合にも、表示パネル１１０は、表示する機能だけでなく、タッチセンサとしての機能も有していると言える。または、筐体１０１の最表面に設けられ、傷などから守っているカバーやカバーガラスに、タッチセンサの機能を持たせた、いわゆるカバー一体型のタッチパネルを適用してもよい。または、表示パネル１１０が有する光学フィルムにおいて、タッチセンサの機能を持たせたタッチセンサを適用してもよい。
【００５９】
なお、タッチセンサなどの入力装置は、一例としては、表示パネル１１０が表示を行うことができる領域全体に設けられていることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、表示領域１１１、表示領域１１２、表示領域１１３、表示領域１１４、表示領域１１５、表示領域１１６において、それぞれの領域の中の一部、または、全部において、タッチセンサなどの入力装置が設けられていない領域を有していてもよい。例えば、表示領域１１６の全部、または、一部の領域において、タッチセンサなどの入力装置が設けられていない領域を有していてもよい。または、表示領域１１２の全部、または、一部の領域と、表示領域１１４の全部、または、一部の領域とにおいて、タッチセンサなどの入力装置が設けられていない領域を有していてもよい。このように、タッチセンサを設けない領域を有することによって、誤動作を防ぐことができる。また、電子機器を持ちやすくすることができる。
【００６０】
例えば、表示領域１１１、表示領域１１２、表示領域１１３、表示領域１１４、表示領域１１５、または、表示領域１１６のそれぞれに対するタッチ操作の組み合わせと、アプリケーションの動作とを関連付けることが好ましい。
【００６１】
一例として、表示領域１１２、表示領域１１３、表示領域１１５に対するタッチ操作の組み合わせとアプリケーション動作の関連付けの例を示す。例えば、３つの表示領域全てに対してタッチ操作をした場合に、電源のＯＮ、ＯＦＦ動作を行う。また、表示領域１１２と表示領域１１４に対して同時にタッチ操作をした場合にはメールに関連するアプリケーションが起動すると同時にメールの内容を表示する。また、表示領域１１２と表示領域１１３に対して同時にタッチ操作をした場合には、電話を掛けるためのアプリケーションが起動する。また、表示領域１１３と表示領域１１４に対して同時にタッチ操作をした場合には、ブラウザを起動する。
【００６２】
なお、上述したタッチ操作とアプリケーションの関連付けは一例であり、オペレーティングシステムやアプリケーションソフトの開発者や、ユーザが適宜設定できることが好ましい。
【００６３】
または、表示領域１１１をタッチした状態で、それ以外の表示領域のいずれか１以上をタッチ操作することで、各々のアプリケーションの動作が行われるようにすると、意図しない動作が実行されてしまうことを抑制できる。
【００６４】
このように、複数の領域のタッチ操作の組み合わせとアプリケーションの動作とを関連付けることで、直感的な動作を行うことができ、ユーザフレンドリなヒューマンインターフェースを実現できる。
【００６５】
本発明の一態様の電子機器は、筐体のおもて面だけでなく、１以上の側面に沿って表示を行うことが可能であり、筐体の裏面においても表示を行うことが可能である。したがって、従来の電子機器に比べて多様な表示表現を行うことが可能である。また、各表示領域にタッチセンサを設けることで、従来の電子機器に比べて多様な操作を行うことが可能で、より直感的な操作が可能な電子機器を実現できる。
【００６６】
なお、ここでは、表示パネル１１０を用いて、様々な表示を行う場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、場合によっては、または、状況に応じて、本発明の一態様では、情報を表示しないようにしてもよい。一例としては、本発明の一態様は、表示パネル１１０のかわりに、照明装置として用いてもよい。本発明の一態様では、照明装置に適用することにより、デザイン性に優れたインテリアとして、活用することができる。または、本発明の一態様は、様々な方向を照らすことができる照明として活用することが出来る。または、本発明の一態様は、表示パネル１１０のかわりに、バックライトやフロントライトなどの光源として用いてもよい。つまり、本発明の一態様は、表示パネルの一部として、表示パネルのための照明装置として活用してもよい。
【００６７】
なお、ここでは、筐体１０１の１つの側面、または、２つの側面を表示領域として用いる場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、図８（Ａ１）、図８（Ａ２）に、一例を示す。ここで、図８（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図８（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図の一例である。同様に、図８（Ｂ１）、図８（Ｂ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。または、図９（Ａ１）、図９（Ａ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。または、図９（Ｂ１）、図９（Ｂ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。
【００６８】
なお、これらの場合においても、同様に、領域２０１を設けてもよい。その場合の例として、図１０（Ａ１）、図１０（Ａ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。または、図１０（Ｂ１）、図１０（Ｂ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。または、図１１（Ａ１）、図１１（Ａ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。または、図１１（Ｂ１）、図１１（Ｂ２）に、電子機器のおもて面側と裏面側を示す斜視概略図の一例を示す。
【００６９】
なお、本実施の形態では、一つの表示パネル１１０が、複数の表示領域を有する場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。それぞれの表示領域が、複数の表示パネルを用いて、構成されていてもよい。例えば、表示領域１１１と、表示領域１１６とは、それぞれ、異なる表示パネルを用いて構成されていてもよい。その場合の例を、図１２（Ａ１）、図１２（Ａ２）に示す。ここで、図１２（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１２（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００７０】
本実施の形態は、基本原理の一例について述べたものである。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と、自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【００７１】
（実施の形態２）
本実施の形態では、領域２０１に、一例として、撮像素子を配置した場合の例を示す。なお、ここでは、図１（Ｂ１）、図１（Ｂ２）において、領域２０１に撮像素子が配置された場合を、一例として示す。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。様々な他の図面、例えば、図２（Ｂ１）、図２（Ｂ２）などにおいても、同様に、領域２０１に様々な素子などを配置することが出来る。
【００７２】
まず、図１３（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１３（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。領域２０１には、撮像素子２０２が設けられている。なお、撮像素子２０２は、画像を撮影することができる機能を有している。よって、撮像素子２０２は、カメラとしての機能を有している。そのため、撮像素子２０２は、レンズなど、様々な光学部品を有している場合もある。
【００７３】
図１３（Ｂ）に示すように、撮像素子２０２を、被写体２０５のほうに向けることによって、静止画や動画などを撮影することができる。このとき、表示領域１１１には、例えば、被写体２０５を撮影した画像２０６が表示されている。表示領域１１１には、リアルタイムに、被写体２０５の状況を表示することが出来る。そして、画像２０６を確認しながら、被写体２０５の静止画や動画を撮影する。このとき、表示領域１１６には、被写体２０５の照度が低い場合には、一例として、照明用画像２０４が表示されている。照明用画像２０４が表示された領域から、光が被写体２０５の方に照射される。その結果、被写体２０５の照度を高くすることができる。よって、適切で綺麗な画像を撮影することができる。
【００７４】
なお、照明用画像２０４は、一例としては、白色の画像であることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。照明用画像２０４として、表示色を変えることによって、被写体２０５の方に照射される光の色を変えることができる。その結果、様々な状態の被写体２０５を撮影することができる。例えば、周囲の環境光が、赤色っぽい場合、青色っぽい場合、緑色っぽい場合などにおいて、照明用画像２０４の画像を、それぞれ適切な色にすることにより、適切な画像を撮影することができる。
【００７５】
また、照明用画像２０４の表示色を変えて、複数回、被写体２０５を撮影してもよい。例えば、照明用画像２０４の表示が、白色の場合、電球色の場合と、昼白色の場合とで、撮影を行う。そして、それらの画像を処理することによって、適切な撮影画像をえることが出来る。
【００７６】
また、照明用画像２０４として、一例としては、全面で同一の色や階調を持っていることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。複数の領域を有し、それぞれの領域において、異なる色の画像を適用してもよい。
【００７７】
次に、別の例として、領域２０１に撮像素子２０２と照明素子２０３とを配置した場合の例を、図１４（Ａ１）、図１４（Ａ２）に示す。
【００７８】
ここで、図１４（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１４（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。図１４（Ｂ）に示すように、撮像素子２０２と照明素子２０３とを、被写体２０５のほうに向けて、静止画や動画などを撮影することができる。このとき、表示領域１１１には、例えば、被写体２０５を撮影した画像２０６が表示されている。表示領域１１１には、リアルタイムに、被写体２０５の状況を表示することが出来る。そして、画像２０６を確認しながら、被写体２０５の静止画や動画を撮影する。このとき、表示領域１１６にも、一例として、被写体２０５を撮影した画像２０７が表示されている。その結果、被写体２０５は、画像２０７を見ながら、自分がどのように撮影されているのかを確認することができる。よって、適切なアングルで画像を撮影することができる。
【００７９】
なお、画像２０６と、画像２０７とは、それぞれ、異なる表示領域において表示される。そのため、表示される画像の大きさ、解像度、などが異なる場合がある。したがって、画像２０６と、画像２０７とは、異なる画像である、ということもできる。ただし、画像２０６と、画像２０７とが、全く同じ大きさで、同じ解像度となるようにしてもよい。
【００８０】
なお、被写体２０５の照度が低い場合には、照明素子２０３から、光が被写体２０５の方に照射される。その結果、被写体２０５の照度を高くすることができる。よって、適切で綺麗な画像を撮影することができる。
【００８１】
なお、照明素子２０３は、一例としては、白色で発光することが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。照明素子２０３として、発光色を変えることによって、被写体２０５の方に照射される光の色を変えることができる。その結果、様々な状態の被写体２０５を撮影することができる。例えば、周囲の環境光が、赤色っぽい場合、青色っぽい場合、緑色っぽい場合などにおいて、照明素子２０３の発光色を、それぞれ適切な色にすることにより、適切な画像を撮影することができる。
【００８２】
また、照明素子２０３の発光色を変えて、複数回、被写体２０５を撮影してもよい。例えば、照明素子２０３の発光色が、白色の場合、電球色の場合と、昼白色の場合とで、撮影を行う。そして、それらの画像を処理することによって、適切な撮影画像をえることが出来る。
【００８３】
また、照明素子２０３として、一例としては、一つの色や階調を持っていることが望ましい。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。複数の照明素子２０３を設けて、それぞれにおいて、異なる色で発光させてもよい。
【００８４】
なお、図１４（Ａ２）では、画像２０７が表示されていたが、図１５（Ａ）に示すように、照明用画像２０４も表示されていてもよいし、状況によっては、図１５（Ｂ）に示すように、画像２０７が表示されずに、照明用画像２０４が表示されていてもよい。照明用画像２０４からの光と、照明素子２０３からの光とを利用して、輝度を高くしたり、照明光の色を変えたりすることができる。つまり、複数の照明素子として利用することもできる。
【００８５】
なお、ここでは、表示領域１１１と表示領域１１６とを活用した場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。別の表示領域を活用することも可能である。
【００８６】
例えば、表示領域１１３において、アイコン２０８を表示させてもよい。その場合の例を、図１６（Ａ１）、図１６（Ａ２）に示す。ここで、図１６（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１６（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。同様な例を、図１６（Ｂ１）、図１６（Ｂ２）に示す。ここで、図１６（Ｂ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１６（Ｂ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００８７】
ここで、アイコン２０８は、一例としては、シャッターボタンとしての機能を有している。したがって、撮影を実行するときに、アイコン２０８をタッチすることにより、作業を実行することが出来る。または、ピントを合わせるときに、アイコン２０８をタッチすることにより、作業を実行することが出来る。
【００８８】
なお、ここでは、アイコン２０８を用いて、シャッターボタンとしての機能を実現していたが、本発明の一態様は、これに限定されない。専用のハードウェア、例えば、シャッターボタンなどを設けることによって、シャッター機能を実現してもよい。
【００８９】
別の例として、表示領域１１２において、アイコン２０９を表示させてもよい。その場合の例を、図１７（Ａ１）、図１７（Ａ２）に示す。ここで、図１７（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１７（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００９０】
ここで、アイコン２０９は、一例としては、スライダーとしての機能を有している。そして、スライダーのバーを動かすことによって、撮影するときの画像の拡大や縮小を行うことができる。つまり、ズーム機能を制御することができる。このとき、撮像素子２０２が有するレンズを制御して、光学的に拡大縮小を制御してもよいし、デジタル画像をソフトウェア的に制御して、拡大縮小させてもよい。したがって、撮影を実行する前に、アイコン２０９のバーを動かすことにより、どれくらいの倍率で撮影するかを制御することが出来る。
【００９１】
なお、ここでは、アイコン２０９を用いて、ズームの機能を実現していたが、本発明の一態様は、これに限定されない。専用のハードウェア、例えば、操作ボタンなどを設けることによって、ズーム機能を実現してもよい。
【００９２】
なお、アイコン２０８やアイコン２０９は、同じ表示領域（例えば、表示領域１１２）に、表示されていてもよい。また、それぞれの表示領域には、さらに、様々なアイコン、文字、画像などを表示することも可能である。
【００９３】
このように、領域２０１が設けられている場合には、その広い領域に撮像素子２０２や照明素子２０３を配置することができる。そのため、例えば、撮像素子２０２には、大きなレンズなどを配置することができる。または、撮像素子２０２も、大きな撮像素子２０２を配置することができる。そのため、綺麗で、解像度の高い画像を撮影することができる。
【００９４】
なお、ここでは、撮像素子２０２や照明素子２０３が、領域２０１に配置されている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、領域２０１以外の場所に、撮像素子２０２や照明素子２０３が設けられていてもよい。その場合の例を、図１８（Ａ１）、図１８（Ａ２）に示す。ここで、図１８（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１８（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。同様に、別の例を、図１８（Ｂ１）、図１８（Ｂ２）に示す。ここで、図１８（Ｂ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１８（Ｂ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００９５】
なお、撮像素子２０２は、複数個配置されていてもよい。少なくとも一つの撮像素子２０２は、領域２０１に配置されていてもよい。または、すべての撮像素子２０２が、領域２０１以外の場所に配置されていてもよい。
【００９６】
なお、領域２０１が設けられている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。場合によっては、または、状況に応じて、領域２０１が設けられていなくてもよい。その場合、表示領域１１１と、表示領域１１６とは、一例としては、おおむね等しい面積を有することとなる。この場合の例を、図１９（Ａ１）、図１９（Ａ２）に示す。ここで、図１９（Ａ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１９（Ａ２）は裏面側を示す斜視概略図である。同様に、別の例を、図１９（Ｂ１）、図１９（Ｂ２）に示す。ここで、図１９（Ｂ１）は、電子機器のおもて面側を示す斜視概略図であり、図１９（Ｂ２）は裏面側を示す斜視概略図である。
【００９７】
なお、このような撮影作業は、カメラとしての機能を実現するようなソフトウェアを実行しているときに行ってもよいし、別の機能を実現するようなソフトウェアにおいて、その一部として実行されていてもよい。例えば、テレビ電話としての機能を実現するようなソフトウェアを実行しているときに行ってもよい。
【００９８】
また、これらの機能は、ソフトウェア、または、ハードウェアによって、実現することができる。ソフトウェアの場合、コンピュータから、電子機器にインストールしてもよいし、有線または無線の電気通信回線を介して、電子機器にインストールしてもよい。または、当初より、電子機器が有する記憶装置に、ソフトウェアが保存されていてもよい。
【００９９】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０１００】
（実施の形態３）
本実施の形態では、領域２０１に、様々なものを配置した場合の例を示す。なお、ここでは、図１（Ｂ１）、図１（Ｂ２）において、領域２０１に様々なものが配置された場合の例を示すが、本発明の一態様は、これに限定されない。様々な他の図面、例えば、図２（Ｂ１）、図２（Ｂ２）などにおいても、同様に、領域２０１に様々な素子などを配置することが出来る。また、実施の形態２で述べたようなものも、領域２０１などに配置されていてもよい。
【０１０１】
まず、一例として、領域２０１に、バッテリ４０１が設けられている場合の例を、図２０に示す。ここで、図２０は、電子機器の裏面側を示す斜視概略図である。図２０では、筐体１０１から、ふたを外して、バッテリ４０１が取り外されているところを示している。バッテリ４０１を筐体１０１の中に入れた場合には、バッテリ４０１の上に、ふたをして、バッテリ４０１が落下しないようにすることができる。このように、領域２０１を設けて、そこに、バッテリ４０１を配置することにより、バッテリ４０１の交換を容易に行うことが出来る。
【０１０２】
なお、図２０では、バッテリ４０１は、取り外せるようになっていたが、本発明の一態様は、これに限定されない。場合によっては、または、状況に応じて、ふたが設けられておらず、バッテリ４０１が取り外せないようになっていてもよい。その場合、領域２０１にバッテリ４０１が設けられているが、表示領域がないため、バッテリ４０１を厚くすることができる。そのため、バッテリ４０１の容量を大きくすることができる。
【０１０３】
次に、別の例として、領域２０１に、受信手段４０２が設けられている場合の例を、図２１に示す。受信手段４０２としては、アンテナ、コイル、電極などがあげられる。ここで、図２１は、電子機器の裏面側を示す斜視概略図である。図２１では、筐体１０１の内部に、受信手段４０２が設けられていて、通信機器４０３と、無線でやり取りしているところを示している。例えば、受信手段４０２は、ＮＦＣ（ニア・フィールド・コミュニケーション）用のアンテナとして使用することができる。これを用いて、電子マネーや、クレジットカードなどの機能を実現することができる。このとき、領域２０１は、表示領域１１６とは重ならないように位置している。そのため、例えば、タッチセンサも、領域２０１には、設けられていない。そのため、タッチセンサや表示パネルなどによって、電波、磁気、電磁波などが邪魔されることがなく、受信手段４０２を効率良く利用することが出来る。
【０１０４】
なお、受信手段４０２は、受信機能ではなく、送信機能を有していてもよい。または、受信機能と送信機能とを両方を有していてもよい。例えば、受信手段４０２は、何等かの情報、エネルギーなどを、やり取りすることが出来ればよい。
【０１０５】
なお、受信手段４０２は、ＮＦＣ用だけでなく、テレビ用、電話用、ブルートゥース用、近距離通信用など、様々な用途で用いることができる。また、電子機器を充電するための手段としても用いることができる。例えば、コイルやアンテナなどを用いることによって、無線で電子機器を充電することができる。
【０１０６】
次に、別の例として、領域２０１に、スピーカ４０４、スピーカ４０５が設けられている場合の例を、図２２に示す。ここで、図２２は、電子機器の裏面側を示す斜視概略図である。図２２では、筐体１０１に、スピーカ４０４とスピーカ４０５とが設けられているところを示している。一例としては、スピーカ４０４は、左耳用の音源を鳴らし、スピーカ４０５は、右耳用の音源を鳴らすことができる。このように、領域２０１が設けられているため、スピーカ４０４とスピーカ４０５とを、離して配置できる。そのため、立体感のある音を鳴らすことができる。
【０１０７】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０１０８】
（実施の形態４）
本実施の形態では、表示パネル（表示装置）や電子機器を、曲げたり、折りたたんだりして、様々なように変形して使用することができる場合の一例について述べる。まず、図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）、を用いて説明する。
【０１０９】
図２３（Ａ）に表示パネル１１０が展開される形態（第１の形態）の電子機器１５０を示す。図２３（Ｃ）に表示パネル１１０が折り畳まれる形態（第２の形態）の電子機器１５０を示す。図２３（Ｂ）に、折れ曲がっている状態の形態の電子機器１５０を示す。つまり、表示パネル１１０が展開される形態（第１の形態）、または、表示パネル１１０が折り畳まれる形態（第２の形態）の一方から他方に変化する途中の形態の電子機器１５０を、図２３（Ｂ）に示す。なお、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）では、表示パネル１１０が、外側に見える形で、折り曲げている。ただし、本発明の一態様は、これに限定されない。表示パネル１１０が、内側に隠れるような形で、折り曲げてもよい。
【０１１０】
図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）に示す電子機器１５０は、可撓性を有する表示パネル１１０を有する。電子機器１５０は、さらに複数の支持パネル１５３ａと、複数の支持パネル１５５ａと、複数の支持パネル１５５ｂとを有する。
【０１１１】
支持パネル１５３ａとしては、例えば、表示パネル１１０もよりも可撓性の低い材料（つまり、曲がりにくい材料）で形成する。また、支持パネル１５５ａ、支持パネル１５５ｂとしては、例えば、支持パネル１５３ａよりも可撓性の低い材料（つまり、曲がりにくい材料）で形成する。図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）に示すように、表示パネル１１０の外周、及び表示パネル１１０の表示部と対向する面に支持パネルを有すると、表示パネル１１０の機械的強度を高め、破損しにくい構造となり好ましい。
【０１１２】
また、支持パネル１５３ａ、支持パネル１５５ａ、支持パネル１５５ｂが遮光性を有する材料で形成されると、表示パネル１１０が有する駆動回路部に外光が照射されることを抑制できる。これにより、駆動回路部に用いるトランジスタ等の光劣化を抑制できるため好適である。
【０１１３】
また、図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）において図示しないが、電子機器１５０が有する演算部、記憶部、検知部等は、表示パネル１１０と支持パネル１５５ｂとの間に配置することができる。
【０１１４】
支持パネル１５３ａ、支持パネル１５５ａ、支持パネル１５５ｂに用いることのできる材料としては、プラスチック、金属、合金、ゴム等を用いて形成できる。プラスチックやゴム等を用いることで、軽量であり、破損しにくい支持パネルを得られるため好ましい。例えば、支持パネル１５３ａ、支持パネル１５５ａ、支持パネル１５５ｂとして、シリコーンゴム、ステンレス、またはアルミニウムを用いればよい。
【０１１５】
また、電子機器１５０において、可撓性を有する表示部を含む表示パネル１１０は、内曲げ、外曲げのいずれで折りたたむこともできる。電子機器１５０を使用しない際に、表示パネル１１０が内側になるように曲げることで、表示パネル１１０にキズや汚れがつくことを抑制できる。
【０１１６】
ここで、一例としては、図２３（Ａ）に示すように、表示パネル１１０の近傍に、領域２０１が設けられている。そのため、一例としては、他の実施の形態と同様に、表示領域１１１は、表示領域１１６よりも、面積が大きい。領域２０１には、他の実施の形態と同様に、様々なものを配置することができる。
【０１１７】
ここで、図２３（Ｃ）のように折りたたんだ状態を、図２４（Ａ）、図２４（Ｂ）に示す。図２４（Ａ）は、おもて面の例を示しており、図２４（Ｂ）は、裏面の例を示している。領域２０１には、例えば、撮像素子２０２や照明素子２０３が配置されている。そして、表示領域１１１には、例えば、画像２０６が表示されている。表示領域１１６には、例えば、画像２０７が表示されている。図２４（Ｃ）には、表示領域１１２において、例えば、アイコン２０８、アイコン２０９が表示されている場合を示す。図２４（Ｃ）、図２４（Ｄ）、図２４（Ｅ）に示すように、スライダーのバーを動かすことにより、拡大縮小などのズーム機能を制御することが出来る。
【０１１８】
なお、図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）では、領域２０１が設けられている場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。例えば、領域２０１が設けられていない場合の例を、図２５（Ａ）、図２５（Ｂ）、図２５（Ｃ）に示す。同様に、折りたたんだ状態を、図２６（Ａ）、図２６（Ｂ）に示す。図２６（Ｂ）については、図２６（Ｃ）や、図２６（Ｄ）などのようになっていてもよい。
【０１１９】
なお、図２３（Ａ）、図２３（Ｂ）、図２３（Ｃ）では、折り目の場所が１つある場合について示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。折り目の場所が複数あってもよい。例えば、折り目の場所が３つある場合の例を、図２７（Ａ）に示す。また、例えば、折り目の場所が４つある場合の例を、図２７（Ｂ）に示す。なお、これらの場合でも同様に、領域２０１が設けられていなくてもよい。その場合の例を、図２７（Ｃ）に示す。
【０１２０】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０１２１】
（実施の形態５）
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器に適用することができる折り曲げ可能なタッチパネルの構成について、図２８を参照しながら説明する。
【０１２２】
図２８（Ａ）は本発明の一態様の電子機器に適用可能なタッチパネルの構造を説明するおもて面図である。
【０１２３】
図２８（Ｂ）は図２８（Ａ）の切断線Ａ−Ｂおよび切断線Ｃ−Ｄにおける断面図である。
【０１２４】
図２８（Ｃ）は図２８（Ａ）の切断線Ｅ−Ｆにおける断面図である。
【０１２５】
＜おもて面図の説明＞
本実施の形態で例示するタッチパネル３００は表示部３０１を有する（図２８（Ａ）参照）。
【０１２６】
表示部３０１は、複数の画素３０２と複数の撮像画素３０８を備える。撮像画素３０８は表示部３０１に触れる指等を検知することができる。これにより、撮像画素３０８を用いてタッチセンサを構成することができる。
【０１２７】
画素３０２は、複数の副画素（例えば副画素３０２Ｒ）を備え、副画素は発光素子および発光素子を駆動する電力を供給することができる画素回路を備える。
【０１２８】
画素回路は、選択信号を供給することができる配線および画像信号を供給することができる配線と、電気的に接続される。
【０１２９】
また、タッチパネル３００は選択信号を画素３０２に供給することができる走査線駆動回路３０３ｇ（１）と、画像信号を画素３０２に供給することができる画像信号線駆動回路３０３ｓ（１）を備える。
【０１３０】
撮像画素３０８は、光電変換素子および光電変換素子を駆動する撮像画素回路を備える。
【０１３１】
撮像画素回路は、制御信号を供給することができる配線および電源電位を供給することができる配線と電気的に接続される。
【０１３２】
制御信号としては、例えば記録された撮像信号を読み出す撮像画素回路を選択することができる信号、撮像画素回路を初期化することができる信号、および撮像画素回路が光を検知する時間を決定することができる信号などを挙げることができる。
【０１３３】
タッチパネル３００は制御信号を撮像画素３０８に供給することができる撮像画素駆動回路３０３ｇ（２）と、撮像信号を読み出す撮像信号線駆動回路３０３ｓ（２）を備える。
【０１３４】
＜断面図の説明＞
タッチパネル３００は、基板３１０および基板３１０に対向する対向基板３７０を有する（図２８（Ｂ）参照）。
【０１３５】
基板３１０は、可撓性を有する基板３１０ｂ、意図しない不純物の発光素子への拡散を防ぐバリア膜３１０ａおよび基板３１０ｂとバリア膜３１０ａを貼り合わせる接着層３１０ｃが積層された積層体である。
【０１３６】
対向基板３７０は、可撓性を有する基板３７０ｂ、意図しない不純物の発光素子への拡散を防ぐバリア膜３７０ａおよび基板３７０ｂとバリア膜３７０ａを貼り合わせる接着層３７０ｃの積層体である（図２８（Ｂ）参照）。
【０１３７】
封止材３６０は対向基板３７０と基板３１０を貼り合わせている。また、封止材３６０は空気より大きい屈折率を備え、光学接合層を兼ねる。画素回路および発光素子（例えば発光素子３５０Ｒ）は基板３１０と対向基板３７０の間にある。
【０１３８】
《画素の構成》
画素３０２は、副画素３０２Ｒ、副画素３０２Ｇおよび副画素３０２Ｂを有する（図２８（Ｃ）参照）。また、副画素３０２Ｒは発光モジュール３８０Ｒを備え、副画素３０２Ｇは発光モジュール３８０Ｇを備え、副画素３０２Ｂは発光モジュール３８０Ｂを備える。
【０１３９】
例えば副画素３０２Ｒは、発光素子３５０Ｒおよび発光素子３５０Ｒに電力を供給することができるトランジスタ３０２ｔを含む画素回路を備える（図２８（Ｂ）参照）。また、発光モジュール３８０Ｒは発光素子３５０Ｒおよび光学素子（例えば着色層３６７Ｒ）を備える。
【０１４０】
発光素子３５０Ｒは、下部電極３５１Ｒ、上部電極３５２、下部電極３５１Ｒと上部電極３５２の間に発光性の有機化合物を含む層３５３を有する（図２８（Ｃ）参照）。
【０１４１】
発光性の有機化合物を含む層３５３は、発光ユニット３５３ａ、発光ユニット３５３ｂおよび発光ユニット３５３ａと発光ユニット３５３ｂの間に中間層３５４を備える。
【０１４２】
発光モジュール３８０Ｒは、着色層３６７Ｒを対向基板３７０に有する。着色層は特定の波長を有する光を透過するものであればよく、例えば赤色、緑色または青色等を呈する光を選択的に透過するものを用いることができる。または、発光素子の発する光をそのまま透過する領域を設けてもよい。
【０１４３】
例えば、発光モジュール３８０Ｒは、発光素子３５０Ｒと着色層３６７Ｒに接する封止材３６０を有する。
【０１４４】
着色層３６７Ｒは発光素子３５０Ｒと重なる位置にある。これにより、発光素子３５０Ｒが発する光の一部は、光学接合層を兼ねる封止材３６０および着色層３６７Ｒを透過して、図中の矢印に示すように発光モジュール３８０Ｒの外部に射出される。
【０１４５】
なお、ここでは、表示素子として、発光素子を用いた場合の例を示したが、本発明の一態様は、これに限定されない。
【０１４６】
例えば、本明細書等において、表示素子、表示素子を有する装置である表示装置、発光素子、及び発光素子を有する装置である発光装置は、様々な形態を用いること、又は様々な素子を有することが出来る。表示素子、表示装置、発光素子又は発光装置の一例としては、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）素子（有機物及び無機物を含むＥＬ素子、有機ＥＬ素子、無機ＥＬ素子）、ＬＥＤ（白色ＬＥＤ、赤色ＬＥＤ、緑色ＬＥＤ、青色ＬＥＤなど）、トランジスタ（電流に応じて発光するトランジスタ）、電子放出素子、液晶素子、電子インク、電気泳動素子、グレーティングライトバルブ（ＧＬＶ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）、ＭＥＭＳ（マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム）を用いた表示素子、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）、ＤＭＳ（デジタル・マイクロ・シャッター）、ＭＩＲＡＳＯＬ（登録商標）、ＩＭＯＤ（インターフェアレンス・モジュレーション）素子、シャッター方式のＭＥＭＳ表示素子、光干渉方式のＭＥＭＳ表示素子、エレクトロウェッティング素子、圧電セラミックディスプレイ、カーボンナノチューブ、など、電気磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有するものがある。ＥＬ素子を用いた表示装置の一例としては、ＥＬディスプレイなどがある。電子放出素子を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）又はＳＥＤ方式平面型ディスプレイ（ＳＥＤ：Ｓｕｒｆａｃｅ−ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）などがある。液晶素子を用いた表示装置の一例としては、液晶ディスプレイ（透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ）などがある。電子インク又は電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現する場合には、画素電極の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにすればよい。例えば、画素電極の一部、または、全部が、アルミニウム、銀、などを有するようにすればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、ＳＲＡＭなどの記憶回路を設けることも可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
【０１４７】
《タッチパネルの構成》
タッチパネル３００は、遮光層３６７ＢＭを対向基板３７０に有する。遮光層３６７ＢＭは、着色層（例えば着色層３６７Ｒ）を囲むように設けられている。
【０１４８】
タッチパネル３００は、反射防止層３６７ｐを表示部３０１に重なる位置に備える。反射防止層３６７ｐとして、例えば円偏光板を用いることができる。
【０１４９】
タッチパネル３００は、絶縁膜３２１を備える。絶縁膜３２１はトランジスタ３０２ｔを覆っている。なお、絶縁膜３２１は画素回路に起因する凹凸を平坦化するための層として用いることができる。また、不純物のトランジスタ３０２ｔ等への拡散を抑制することができる層が積層された絶縁膜を、絶縁膜３２１に適用することができる。
【０１５０】
タッチパネル３００は、発光素子（例えば発光素子３５０Ｒ）を絶縁膜３２１上に有する。
【０１５１】
タッチパネル３００は、下部電極３５１Ｒの端部に重なる隔壁３２８を絶縁膜３２１上に有する（図２８（Ｃ）参照）。また、基板３１０と対向基板３７０の間隔を制御するスペーサ３２９を、隔壁３２８上に有する。
【０１５２】
《画像信号線駆動回路の構成》
画像信号線駆動回路３０３ｓ（１）は、トランジスタ３０３ｔおよび容量３０３ｃを含む。なお、駆動回路は画素回路と同一の工程で同一基板上に形成することができる。図２８（Ｂ）に示すようにトランジスタ３０３ｔは絶縁膜３２１上に第２のゲートを有していてもよい。第２のゲートはトランジスタ３０３ｔのゲートと電気的に接続されていてもよいし、これらに異なる電位が与えられていてもよい。また、必要であれば、第２のゲートをトランジスタ３０８ｔ、トランジスタ３０２ｔ等に設けてもよい。
【０１５３】
《撮像画素の構成》
撮像画素３０８は、光電変換素子３０８ｐおよび光電変換素子３０８ｐに照射された光を検知するための撮像画素回路を備える。また、撮像画素回路は、トランジスタ３０８ｔを含む。
【０１５４】
例えばｐｉｎ型のフォトダイオードを光電変換素子３０８ｐに用いることができる。
【０１５５】
《他の構成》
タッチパネル３００は、信号を供給することができる配線３１１を備え、端子３１９が配線３１１に設けられている。なお、画像信号および同期信号等の信号を供給することができるＦＰＣ３０９（１）が端子３１９に電気的に接続されている。
【０１５６】
なお、ＦＰＣ３０９（１）にはプリント配線基板（ＰＷＢ）が取り付けられていても良い。
【０１５７】
同一の工程で形成されたトランジスタを、トランジスタ３０２ｔ、トランジスタ３０３ｔ、トランジスタ３０８ｔ等のトランジスタに適用できる。
【０１５８】
トランジスタの構成としては、ボトムゲート型、トップゲート型等の構造を有するトランジスタを適用できる。
【０１５９】
トランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、タッチパネルを構成する各種配線および電極に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンからなる単体金属、またはこれを主成分とする合金を単層構造または積層構造として用いる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、そのチタン膜または窒化チタン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、そのモリブデン膜または窒化モリブデン膜上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛を含む透明導電材料を用いてもよい。また、マンガンを含む銅を用いると、エッチングによる形状の制御性が高まるため好ましい。
【０１６０】
トランジスタ３０２ｔ、トランジスタ３０３ｔ、トランジスタ３０８ｔ等のトランジスタのチャネルが形成される半導体に、一例としては、シリコンを用いることが好ましい。シリコンとしてアモルファスシリコンを用いてもよいが、特に結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、且つアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。このような多結晶半導体を画素に適用することで画素の開口率を向上させることができる。また極めて高精細に画素を有する場合であっても、ゲート駆動回路とソース駆動回路を画素と同一基板上に形成することが可能となり、電子機器を構成する部品数を低減することができる。
【０１６１】
ここで、表示パネル１１０に設けられる各表示領域が備える画素や、各駆動回路に用いられるトランジスタなどの半導体装置には、酸化物半導体を適用することが好ましい。特にシリコンよりもバンドギャップの大きな酸化物半導体を適用することが好ましい。シリコンよりもバンドギャップが広く、且つキャリア密度の小さい半導体材料を用いると、トランジスタのオフ状態における電流を低減できるため好ましい。
【０１６２】
例えば、上記酸化物半導体として、少なくともインジウム（Ｉｎ）もしくは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。より好ましくは、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ系酸化物（ＭはＡｌ、Ｔｉ、Ｇａ、Ｇｅ、Ｙ、Ｚｒ、Ｓｎ、Ｌａ、ＣｅまたはＨｆ等の金属）で表記される酸化物を含む。
【０１６３】
特に、半導体層として、複数の結晶部を有し、当該結晶部はｃ軸が半導体層の被形成面、または半導体層の上面に対し垂直に配向し、且つ隣接する結晶部間には粒界を有さない酸化物半導体膜を用いることが好ましい。
【０１６４】
このような酸化物半導体は、結晶粒界を有さないために表示パネルを湾曲させたときの応力によって酸化物半導体膜にクラックが生じてしまうことが抑制される。したがって、可撓性を有し、湾曲させて用いる表示パネルなどに、このような酸化物半導体を好適に用いることができる。
【０１６５】
半導体層としてこのような材料を用いることで、電気特性の変動が抑制され、信頼性の高いトランジスタを実現できる。
【０１６６】
また、その低いオフ電流により、トランジスタを介して容量に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。このようなトランジスタを画素に適用することで、各表示領域に表示した画像の諧調を維持しつつ、駆動回路を停止することも可能となる。その結果、極めて消費電力の低減された電子機器を実現できる。
【０１６７】
なお、半導体層に適用可能な酸化物半導体の好ましい形態とその形成方法については、後の実施の形態で詳細に説明する。
【０１６８】
ここで、可撓性を有する発光パネルを形成する方法について説明する。
【０１６９】
ここでは便宜上、画素や駆動回路を含む構成、またはカラーフィルタ等の光学部材を含む構成を素子層と呼ぶこととする。素子層は例えば表示素子を含み、表示素子の他に表示素子と電気的に接続する配線、画素や回路に用いるトランジスタなどの素子を備えていてもよい。
【０１７０】
またここでは、素子層が形成される絶縁表面を備える支持体のことを、基材と呼ぶこととする。
【０１７１】
可撓性を有する絶縁表面を備える基材上に素子層を形成する方法としては、基材上に直接素子層を形成する方法と、基材とは異なる剛性を有する支持基材上に素子層を形成した後、素子層と支持基材とを剥離して素子層を基材に転置する方法と、がある。
【０１７２】
基材を構成する材料が、素子層の形成工程にかかる熱に対して耐熱性を有する場合には、基材上に直接素子層を形成すると、工程が簡略化されるため好ましい。このとき、基材を支持基材に固定した状態で素子層を形成すると、装置内、及び装置間における搬送が容易になるため好ましい。
【０１７３】
また、素子層を支持基材上に形成した後に、基材に転置する方法を用いる場合、まず支持基材上に剥離層と絶縁層を積層し、当該絶縁層上に素子層を形成する。続いて、支持基材と素子層を剥離し、基材に転置する。このとき、支持基材と剥離層の界面、剥離層と絶縁層の界面、または剥離層中で剥離が生じるような材料を選択すればよい。
【０１７４】
例えば剥離層としてタングステンなどの高融点金属材料を含む層と当該金属材料の酸化物を含む層を積層して用い、剥離層上に窒化シリコンや酸窒化シリコンを複数積層した層を用いることが好ましい。高融点金属材料を用いると、素子層の形成工程の自由度が高まるためこのましい。
【０１７５】
剥離は、機械的な力を加えることや、剥離層をエッチングすること、または剥離界面の一部に液体を滴下して剥離界面全体に浸透させることなどにより剥離を行ってもよい。または、熱膨張の違いを利用して剥離界面に熱を加えることにより剥離を行ってもよい。
【０１７６】
また、支持基材と絶縁層の界面で剥離が可能な場合には、剥離層を設けなくてもよい。例えば、支持基材としてガラスを用い、絶縁層としてポリイミドなどの有機樹脂を用いて、有機樹脂の一部をレーザ光等を用いて局所的に加熱することにより剥離の起点を形成し、ガラスと絶縁層の界面で剥離を行ってもよい。または、支持基材と有機樹脂からなる絶縁層の間に金属層を設け、当該金属層に電流を流すことにより当該金属層を加熱することにより、当該金属層と絶縁層の界面で剥離を行ってもよい。このとき、有機樹脂からなる絶縁層は基材として用いることができる。
【０１７７】
可撓性を有する基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）樹脂、ポリアミド樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂等が挙げられる。特に、熱膨張係数の低い材料を用いることが好ましく、例えば、熱膨張係数が３０×１０−６／Ｋ以下であるポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、ＰＥＴ等を好適に用いることができる。また、繊維体に樹脂を含浸した基板（プリプレグとも記す）や、無機フィラーを有機樹脂に混ぜて熱膨張係数を下げた基板を使用することもできる。
【０１７８】
上記材料中に繊維体が含まれている場合、繊維体は有機化合物または無機化合物の高強度繊維を用いる。高強度繊維とは、具体的には引張弾性率またはヤング率の高い繊維のことを言い、代表例としては、ポリビニルアルコール系繊維、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリエチレン系繊維、アラミド系繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維、ガラス繊維、または炭素繊維が挙げられる。ガラス繊維としては、Ｅガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、Ｑガラス等を用いたガラス繊維が挙げられる。これらは、織布または不織布の状態で用い、この繊維体に樹脂を含浸させ樹脂を硬化させた構造物を可撓性を有する基板として用いても良い。可撓性を有する基板として、繊維体と樹脂からなる構造物を用いると、曲げや局所的押圧による破損に対する信頼性が向上するため、好ましい。
【０１７９】
なお、本発明の一態様の表示装置は、画素に能動素子を有するアクティブマトリクス方式、または、画素に能動素子を有しないパッシブマトリクス方式を用いることが出来る。
【０１８０】
アクティブマトリクス方式では、能動素子（アクティブ素子、非線形素子）として、トランジスタだけでなく、さまざまな能動素子（アクティブ素子、非線形素子）を用いることが出来る。例えば、ＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ  Ｍｅｔａｌ）、又はＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）などを用いることも可能である。これらの素子は、製造工程が少ないため、製造コストの低減、又は歩留まりの向上を図ることができる。または、これらの素子は、素子のサイズが小さいため、開口率を向上させることができ、低消費電力化や高輝度化をはかることが出来る。
【０１８１】
アクティブマトリクス方式以外のものとして、能動素子（アクティブ素子、非線形素子）を用いないパッシブマトリクス型を用いることも可能である。能動素子（アクティブ素子、非線形素子）を用いないため、製造工程が少ないため、製造コストの低減、又は歩留まりの向上を図ることができる。または、能動素子（アクティブ素子、非線形素子）を用いないため、開口率を向上させることができ、低消費電力化、又は高輝度化などを図ることが出来る。
【０１８２】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０１８３】
（実施の形態６）
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器に適用することができる折り曲げ可能なタッチパネルの構成について、図２９を参照しながら説明する。
【０１８４】
図２９はタッチパネル５００の断面図である。
【０１８５】
タッチパネル５００は、表示部５０１とタッチセンサ５９５を備える。また、タッチパネル５００は、基板５１０、基板５７０および基板５９０を有する。なお、基板５１０、基板５７０および基板５９０はいずれも可撓性を有する。
【０１８６】
表示部５０１は、基板５１０、基板５１０上に複数の画素および当該画素に信号を供給することができる複数の配線５１１を備える。複数の配線５１１は、基板５１０の外周部にまで引き回され、その一部が端子５１９を構成している。端子５１９はＦＰＣ５０９（１）と電気的に接続する。
【０１８７】
＜タッチセンサ＞
基板５９０には、タッチセンサ５９５と、タッチセンサ５９５と電気的に接続する複数の配線５９８を備える。複数の配線５９８は基板５９０の外周部に引き回され、その一部は端子を構成する。そして、当該端子はＦＰＣ５０９（２）と電気的に接続される。
【０１８８】
タッチセンサ５９５として、例えば静電容量方式のタッチセンサを適用できる。静電容量方式としては、表面型静電容量方式、投影型静電容量方式等がある。
【０１８９】
投影型静電容量方式としては、主に駆動方式の違いから自己容量方式、相互容量方式などがある。相互容量方式を用いると同時多点検出が可能となるため好ましい。
【０１９０】
以下では、投影型静電容量方式のタッチセンサを適用する場合について説明する。
【０１９１】
なお、指等の検知対象の近接または接触を検知することができるさまざまなセンサを適用することができる。
【０１９２】
投影型静電容量方式のタッチセンサ５９５は、電極５９１と電極５９２を有する。電極５９１は複数の配線５９８のいずれかと電気的に接続し、電極５９２は複数の配線５９８の他のいずれかと電気的に接続する。
【０１９３】
配線５９４は、電極５９２を挟む二つの電極５９１を電気的に接続する。このとき、電極５９２と配線５９４の交差部の面積ができるだけ小さくなる形状が好ましい。これにより、電極が設けられていない領域の面積を低減でき、透過率のムラを低減できる。その結果、タッチセンサ５９５を透過する光の輝度ムラを低減することができる。
【０１９４】
なお、電極５９１、電極５９２の形状は様々な形状を取りうる。例えば、複数の電極５９１をできるだけ隙間が生じないように配置し、絶縁層を介して電極５９２を、電極５９１と重ならない領域ができるように離間して複数設ける構成としてもよい。このとき、隣接する２つの電極５９２の間に、これらとは電気的に絶縁されたダミー電極を設けると、透過率の異なる領域の面積を低減できるため好ましい。
【０１９５】
タッチセンサ５９５は、基板５９０、基板５９０上に千鳥状に配置された電極５９１及び電極５９２、電極５９１及び電極５９２を覆う絶縁層５９３並びに隣り合う電極５９１を電気的に接続する配線５９４を備える。
【０１９６】
接着層５９７は、タッチセンサ５９５が表示部５０１に重なるように、基板５９０を基板５７０に貼り合わせている。
【０１９７】
電極５９１及び電極５９２は、透光性を有する導電材料を用いて形成する。透光性を有する導電性材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。
【０１９８】
透光性を有する導電性材料を基板５９０上にスパッタリング法により成膜した後、フォトリソグラフィ法等の様々なパターニング技術により、不要な部分を除去して、電極５９１及び電極５９２を形成することができる。グラフェンはＣＶＤ法のほか、酸化グラフェンを分散した溶液を塗布した後にこれを還元して形成してもよい。
【０１９９】
また、絶縁層５９３に用いる材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂、シロキサン結合を有する樹脂の他、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料を用いることもできる。
【０２００】
また、電極５９１に達する開口が絶縁層５９３に設けられ、配線５９４が隣接する電極５９１を電気的に接続する。透光性の導電性材料は、タッチパネルの開口率を高めることができるため、配線５９４に好適に用いることができる。また、電極５９１及び電極５９２より導電性の高い材料は、電気抵抗を低減できるため配線５９４に好適に用いることができる。
【０２０１】
一の電極５９２は一方向に延在し、複数の電極５９２がストライプ状に設けられている。
【０２０２】
配線５９４は電極５９２と交差して設けられている。
【０２０３】
一対の電極５９１が一の電極５９２を挟んで設けられ、配線５９４は一対の電極５９１を電気的に接続している。
【０２０４】
なお、複数の電極５９１は、一の電極５９２と必ずしも直交する方向に配置される必要はなく、９０度未満の角度をなすように配置されてもよい。
【０２０５】
一の配線５９８は、電極５９１又は電極５９２と電気的に接続される。配線５９８の一部は、端子として機能する。配線５９８としては、例えば、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、チタン、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、又はパラジウム等の金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。
【０２０６】
なお、絶縁層５９３及び配線５９４を覆う絶縁層を設けて、タッチセンサ５９５を保護することができる。
【０２０７】
また、接続層５９９は、配線５９８とＦＰＣ５０９（２）を電気的に接続する。
【０２０８】
接続層５９９としては、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ）や、異方性導電ペースト（ＡＣＰ：Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｐａｓｔｅ）などを用いることができる。
【０２０９】
接着層５９７は、透光性を有する。例えば、熱硬化性樹脂や紫外線硬化樹脂を用いることができ、具体的には、アクリル、ウレタン、エポキシ、またはシロキサン結合を有する樹脂などの樹脂を用いることができる。
【０２１０】
＜表示部＞
表示部５０１は、マトリクス状に配置された複数の画素を備える。画素は表示素子と表示素子を駆動する画素回路を備える。
【０２１１】
本実施の形態では、白色の有機エレクトロルミネッセンス素子を表示素子に適用する場合について説明するが、表示素子はこれに限られない。異なる色の有機エレクトロルミネッセンス素子、例えば、赤色の有機エレクトロルミネッセンス素子と、青色の有機エレクトロルミネッセンス素子と、緑色の有機エレクトロルミネッセンス素子と、を用いてもよい。
【０２１２】
例えば、表示素子として、有機エレクトロルミネッセンス素子の他、電気泳動方式や電子粉流体方式などにより表示を行う表示素子（電子インクともいう）、シャッター方式のＭＥＭＳ表示素子、光干渉方式のＭＥＭＳ表示素子など、様々な表示素子を用いることができる。なお、適用する表示素子に好適な構成を、様々な画素回路から選択して用いることができる。
【０２１３】
基板５１０は、可撓性を有する基板５１０ｂ、意図しない不純物の発光素子への拡散を防ぐバリア膜５１０ａおよび基板５１０ｂとバリア膜５１０ａを貼り合わせる接着層５１０ｃが積層された積層体である。
【０２１４】
基板５７０は、可撓性を有する基板５７０ｂ、意図しない不純物の発光素子への拡散を防ぐバリア膜５７０ａおよび基板５７０ｂとバリア膜５７０ａを貼り合わせる接着層５７０ｃの積層体である。
【０２１５】
封止材５６０は基板５７０と基板５１０を貼り合わせている。封止材５６０は空気より大きい屈折率を備える。また、封止材５６０側に光を取り出す場合は、封止材５６０は光学接合層を兼ねる。画素回路および発光素子（例えば発光素子５５０Ｒ）は基板５１０と基板５７０の間にある。
【０２１６】
《画素の構成》
画素は、副画素５０２Ｒを含み、副画素５０２Ｒは発光モジュール５８０Ｒを備える。
【０２１７】
副画素５０２Ｒは、発光素子５５０Ｒおよび発光素子５５０Ｒに電力を供給することができるトランジスタ５０２ｔを含む画素回路を備える。また、発光モジュール５８０Ｒは発光素子５５０Ｒおよび光学素子（例えば着色層５６７Ｒ）を備える。
【０２１８】
発光素子５５０Ｒは、下部電極、上部電極、下部電極と上部電極の間に発光性の有機化合物を含む層を有する。
【０２１９】
発光モジュール５８０Ｒは、光を取り出す方向に着色層５６７Ｒを有する。着色層は特定の波長を有する光を透過するものであればよく、例えば赤色、緑色または青色等を呈する光を選択的に透過するものを用いることができる。なお、他の副画素において、発光素子の発する光をそのまま透過する領域を設けてもよい。
【０２２０】
また、封止材５６０が光を取り出す側に設けられている場合、封止材５６０は、発光素子５５０Ｒと着色層５６７Ｒに接する。
【０２２１】
着色層５６７Ｒは発光素子５５０Ｒと重なる位置にある。これにより、発光素子５５０Ｒが発する光の一部は着色層５６７Ｒを透過して、図中に示す矢印の方向の発光モジュール５８０Ｒの外部に射出される。
【０２２２】
《表示部の構成》
表示部５０１は、光を射出する方向に遮光層５６７ＢＭを有する。遮光層５６７ＢＭは、着色層（例えば着色層５６７Ｒ）を囲むように設けられている。
【０２２３】
表示部５０１は、反射防止層５６７ｐを画素に重なる位置に備える。反射防止層５６７ｐとして、例えば円偏光板を用いることができる。
【０２２４】
表示部５０１は、絶縁膜５２１を備える。絶縁膜５２１はトランジスタ５０２ｔを覆っている。なお、絶縁膜５２１は画素回路に起因する凹凸を平坦化するための層として用いることができる。また、不純物の拡散を抑制できる層を含む積層膜を、絶縁膜５２１に適用することができる。これにより、予期せぬ不純物の拡散によるトランジスタ５０２ｔ等の信頼性の低下を抑制できる。
【０２２５】
表示部５０１は、発光素子（例えば発光素子５５０Ｒ）を絶縁膜５２１上に有する。
【０２２６】
表示部５０１は、下部電極の端部に重なる隔壁５２８を絶縁膜５２１上に有する。また、基板５１０と基板５７０の間隔を制御するスペーサを、隔壁５２８上に有する。
【０２２７】
《走査線駆動回路の構成》
走査線駆動回路５０３ｇ（１）は、トランジスタ５０３ｔおよび容量５０３ｃを含む。なお、駆動回路を画素回路と同一の工程で同一基板上に形成することができる。
【０２２８】
《他の構成》
表示部５０１は、信号を供給することができる配線５１１を備え、端子５１９が配線５１１に設けられている。なお、画像信号および同期信号等の信号を供給することができるＦＰＣ５０９（１）が端子５１９に電気的に接続されている。
【０２２９】
なお、ＦＰＣ５０９（１）にはプリント配線基板（ＰＷＢ）が取り付けられていても良い。
【０２３０】
＜表示部の変形例１＞
様々なトランジスタを表示部５０１に適用できる。
【０２３１】
ボトムゲート型のトランジスタを表示部５０１に適用する場合の構成を、図２９（Ａ）および図２９（Ｂ）に図示する。
【０２３２】
例えば、酸化物半導体、アモルファスシリコン等を含む半導体層を、図２９（Ａ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２３３】
例えば、多結晶シリコン等を含む半導体層を、図２９（Ｂ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２３４】
トップゲート型のトランジスタを表示部５０１に適用する場合の構成を、図２９（Ｃ）に図示する。
【０２３５】
例えば、多結晶シリコンまたは転写された単結晶シリコン膜等を含む半導体層を、図２９（Ｃ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２３６】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０２３７】
（実施の形態７）
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器に適用することができる折り曲げ可能なタッチパネルの構成について、図３０を参照しながら説明する。
【０２３８】
図３０は、タッチパネル５００Ｂの断面図である。
【０２３９】
本実施の形態で説明するタッチパネル５００Ｂは、供給された画像情報をトランジスタが設けられている側に表示する表示部５０１を備える点およびタッチセンサが表示部の基板５１０側に設けられている点が、実施の形態６で説明するタッチパネル５００とは異なる。ここでは異なる構成について詳細に説明し、同様の構成を用いることができる部分は、上記の説明を援用する。
【０２４０】
＜表示部＞
表示部５０１は、マトリクス状に配置された複数の画素を備える。画素は表示素子と表示素子を駆動する画素回路を備える。
【０２４１】
《画素の構成》
画素は、副画素５０２Ｒを含み、副画素５０２Ｒは発光モジュール５８０Ｒを備える。
【０２４２】
副画素５０２Ｒは、発光素子５５０Ｒおよび発光素子５５０Ｒに電力を供給することができるトランジスタ５０２ｔを含む画素回路を備える。
【０２４３】
発光モジュール５８０Ｒは発光素子５５０Ｒおよび光学素子（例えば着色層５６７Ｒ）を備える。
【０２４４】
発光素子５５０Ｒは、下部電極、上部電極、下部電極と上部電極の間に発光性の有機化合物を含む層を有する。
【０２４５】
発光モジュール５８０Ｒは、光を取り出す方向に着色層５６７Ｒを有する。着色層は特定の波長を有する光を透過するものであればよく、例えば赤色、緑色または青色等を呈する光を選択的に透過するものを用いることができる。なお、他の副画素において、発光素子の発する光をそのまま透過する領域を設けてもよい。
【０２４６】
着色層５６７Ｒは発光素子５５０Ｒと重なる位置にある。また、図３０（Ａ）に示す発光素子５５０Ｒは、トランジスタ５０２ｔが設けられている側に光を射出する。これにより、発光素子５５０Ｒが発する光の一部は着色層５６７Ｒを透過して、図中に示す矢印の方向の発光モジュール５８０Ｒの外部に射出される。
【０２４７】
《表示部の構成》
表示部５０１は、光を射出する方向に遮光層５６７ＢＭを有する。遮光層５６７ＢＭは、着色層（例えば着色層５６７Ｒ）を囲むように設けられている。
【０２４８】
表示部５０１は、絶縁膜５２１を備える。絶縁膜５２１はトランジスタ５０２ｔを覆っている。なお、絶縁膜５２１は画素回路に起因する凹凸を平坦化するための層として用いることができる。また、不純物の拡散を抑制できる層を含む積層膜を、絶縁膜５２１に適用することができる。これにより、例えば着色層５６７Ｒから拡散する予期せぬ不純物によるトランジスタ５０２ｔ等の信頼性の低下を抑制できる。
【０２４９】
＜タッチセンサ＞
タッチセンサ５９５は、表示部５０１の基板５１０側に設けられている（図３０（Ａ）参照）。
【０２５０】
接着層５９７は、基板５１０と基板５９０の間にあり、表示部５０１とタッチセンサ５９５を貼り合わせる。
【０２５１】
＜表示部の変形例１＞
様々なトランジスタを表示部５０１に適用できる。
【０２５２】
ボトムゲート型のトランジスタを表示部５０１に適用する場合の構成を、図３０（Ａ）および図３０（Ｂ）に図示する。
【０２５３】
例えば、酸化物半導体、アモルファスシリコン等を含む半導体層を、図３０（Ａ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２５４】
例えば、多結晶シリコン等を含む半導体層を、図３０（Ｂ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２５５】
トップゲート型のトランジスタを表示部５０１に適用する場合の構成を、図３０（Ｃ）に図示する。
【０２５６】
例えば、多結晶シリコンまたは転写された単結晶シリコン膜等を含む半導体層を、図３０（Ｃ）に図示するトランジスタ５０２ｔおよびトランジスタ５０３ｔに適用することができる。
【０２５７】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０２５８】
（実施の形態８）
本実施の形態では、本発明の一態様の表示パネルに適用可能な半導体装置の半導体層に好適に用いることのできる酸化物半導体について説明する。
【０２５９】
酸化物半導体は、エネルギーギャップが３．０ｅＶ以上と大きく、酸化物半導体を適切な条件で加工し、そのキャリア密度を十分に低減して得られた酸化物半導体膜が適用されたトランジスタにおいては、オフ状態でのソースとドレイン間のリーク電流（オフ電流）を、従来のシリコンを用いたトランジスタと比較して極めて低いものとすることができる。
【０２６０】
適用可能な酸化物半導体としては、少なくともインジウム（Ｉｎ）あるいは亜鉛（Ｚｎ）を含むことが好ましい。特にＩｎとＺｎを含むことが好ましい。また、該酸化物半導体を用いたトランジスタの電気特性のばらつきを減らすためのスタビライザとして、それらに加えてガリウム（Ｇａ）、スズ（Ｓｎ）、ハフニウム（Ｈｆ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、チタン（Ｔｉ）、スカンジウム（Ｓｃ）、イットリウム（Ｙ）、ランタノイド（例えば、セリウム（Ｃｅ）、ネオジム（Ｎｄ）、ガドリニウム（Ｇｄ））から選ばれた一種、または複数種が含まれていることが好ましい。
【０２６１】
例えば、酸化物半導体として、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、Ｉｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｚｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｓｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｍｇ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ系酸化物、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物（ＩＧＺＯとも表記する）、Ｉｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｚｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｃ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｃｅ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｐｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｎｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｇｄ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｄｙ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｏ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｅｒ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｔｍ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｙｂ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｌｕ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ａｌ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｈｆ−Ｚｎ系酸化物、Ｉｎ−Ｈｆ−Ａｌ−Ｚｎ系酸化物を用いることができる。
【０２６２】
ここで、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物とは、ＩｎとＧａとＺｎを主成分として有する酸化物という意味であり、ＩｎとＧａとＺｎの比率は問わない。また、ＩｎとＧａとＺｎ以外の金属元素が入っていてもよい。
【０２６３】
また、酸化物半導体として、ＩｎＭＯ３（ＺｎＯ）ｍ（ｍ＞０、且つ、ｍは整数でない）で表記される材料を用いてもよい。なお、Ｍは、Ｇａ、Ｆｅ、Ｍｎ及びＣｏから選ばれた一の金属元素または複数の金属元素、若しくは上記のスタビライザとしての元素を示す。また、酸化物半導体として、Ｉｎ２ＳｎＯ５（ＺｎＯ）ｎ（ｎ＞０、且つ、ｎは整数）で表記される材料を用いてもよい。
【０２６４】
例えば、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：１、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：２、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：６、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝３：１：２あるいはＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝２：１：３の原子数比のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物やその組成の近傍の酸化物を用いるとよい。
【０２６５】
酸化物半導体膜に水素が多量に含まれると、酸化物半導体と結合することによって、水素の一部がドナーとなり、キャリアである電子を生じてしまう。これにより、トランジスタのしきい値電圧がマイナス方向にシフトしてしまう。そのため、酸化物半導体膜の形成後において、脱水化処理（脱水素化処理）を行い酸化物半導体膜から、水素、又は水分を除去して不純物が極力含まれないように高純度化することが好ましい。
【０２６６】
なお、酸化物半導体膜への脱水化処理（脱水素化処理）によって、酸化物半導体膜から酸素も同時に減少してしまうことがある。よって、酸化物半導体膜への脱水化処理（脱水素化処理）によって増加した酸素欠損を補填するため酸素を酸化物半導体膜に加える処理を行うことが好ましい。本明細書等において、酸化物半導体膜に酸素を供給する場合を、加酸素化処理と記す場合がある、または酸化物半導体膜に含まれる酸素を化学量論的組成よりも多くする場合を過酸素化処理と記す場合がある。
【０２６７】
このように、酸化物半導体膜は、脱水化処理（脱水素化処理）により、水素または水分が除去され、加酸素化処理により酸素欠損を補填することによって、ｉ型（真性）化またはｉ型に限りなく近く実質的にｉ型（真性）である酸化物半導体膜とすることができる。なお、実質的に真性とは、酸化物半導体膜中にドナーに由来するキャリアが極めて少なく（ゼロに近く）、キャリア密度が１×１０１７／ｃｍ３以下、１×１０１６／ｃｍ３以下、１×１０１５／ｃｍ３以下、１×１０１４／ｃｍ３以下、１×１０１３／ｃｍ３以下、特に好ましくは８×１０１１／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１１／ｃｍ３以下、さらに好ましくは１×１０１０／ｃｍ３以下であり、１×１０−９／ｃｍ３以上であるであることをいう。
【０２６８】
またこのように、ｉ型又は実質的にｉ型である酸化物半導体膜を備えるトランジスタは、極めて優れたオフ電流特性を実現できる。例えば、酸化物半導体膜を用いたトランジスタがオフ状態のときのドレイン電流を、室温（２５℃程度）にて１×１０−１８Ａ以下、好ましくは１×１０−２１Ａ以下、さらに好ましくは１×１０−２４Ａ以下、または８５℃にて１×１０−１５Ａ以下、好ましくは１×１０−１８Ａ以下、さらに好ましくは１×１０−２１Ａ以下とすることができる。なお、トランジスタがオフ状態とは、ｎチャネル型のトランジスタの場合、ゲート電圧がしきい値電圧よりも十分小さい状態をいう。具体的には、ゲート電圧がしきい値電圧よりも１Ｖ以上、２Ｖ以上または３Ｖ以上小さければ、トランジスタはオフ状態となる。なお、これらの電流値は、ソースとドレインとの間の電圧が、一例としては、１Ｖ、５Ｖ、または、１０Ｖの場合のものである。
【０２６９】
以下では、酸化物半導体膜の構造について説明する。
【０２７０】
酸化物半導体膜は、非単結晶酸化物半導体膜と単結晶酸化物半導体膜とに大別される。非単結晶酸化物半導体膜とは、ＣＡＡＣ−ＯＳ（Ｃ  Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  Ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜、多結晶酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、非晶質酸化物半導体膜などをいう。
【０２７１】
まずは、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜について説明する。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳを、ＣＡＮＣ（Ｃ−Ａｘｉｓ  Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ）を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
【０２７２】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、ｃ軸配向した複数の結晶部を有する酸化物半導体膜の一つである。
【０２７３】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）によって観察すると、明確な結晶部同士の境界、即ち結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することができない。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。
【０２７４】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を、試料面と概略平行な方向からＴＥＭによって観察（断面ＴＥＭ観察）すると、結晶部において、金属原子が層状に配列していることを確認できる。金属原子の各層は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の膜を形成する面（被形成面ともいう。）または上面の凹凸を反映した形状であり、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面と平行に配列する。
【０２７５】
一方、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を、試料面と概略垂直な方向からＴＥＭによって観察（平面ＴＥＭ観察）すると、結晶部において、金属原子が三角形状または六角形状に配列していることを確認できる。しかしながら、異なる結晶部間で、金属原子の配列に規則性は見られない。
【０２７６】
図３１（ａ）は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の断面ＴＥＭ像である。また、図３１（ｂ）は、図３１（ａ）をさらに拡大した断面ＴＥＭ像であり、理解を容易にするために原子配列を強調表示している。
【０２７７】
図３１（ｃ）は、図３１（ａ）のＡ−Ｏ−Ａ’間において、丸で囲んだ領域（直径約４ｎｍ）の局所的なフーリエ変換像である。図３１（ｃ）より、各領域においてｃ軸配向性が確認できる。また、Ａ−Ｏ間とＯ−Ａ’間とでは、ｃ軸の向きが異なるため、異なるグレインであることが示唆される。また、Ａ−Ｏ間では、ｃ軸の角度が１４．３°、１６．６°、２６．４°のように少しずつ連続的に変化していることがわかる。同様に、Ｏ−Ａ’間では、ｃ軸の角度が−１８．３°、−１７．６°、−１５．９°と少しずつ連続的に変化していることがわかる。
【０２７８】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、電子回折を行うと、配向性を示すスポット（輝点）が観測される。例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の上面に対し、例えば１ｎｍ以上３０ｎｍ以下の電子線を用いる電子回折（ナノビーム電子回折ともいう。）を行うと、スポットが観測される（図３２（Ａ）参照。）。
【０２７９】
断面ＴＥＭ観察および平面ＴＥＭ観察より、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶部は配向性を有していることがわかる。
【０２８０】
なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれるほとんどの結晶部は、一辺が１００ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさである。従って、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる結晶部は、一辺が１０ｎｍ未満、５ｎｍ未満または３ｎｍ未満の立方体内に収まる大きさの場合も含まれる。ただし、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に含まれる複数の結晶部が連結することで、一つの大きな結晶領域を形成する場合がある。例えば、平面ＴＥＭ像において、２５００ｎｍ２以上、５μｍ２以上または１０００μｍ２以上となる結晶領域が観察される場合がある。
【０２８１】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ  Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）装置を用いて構造解析を行うと、例えばＩｎＧａＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−ＯＳ膜のｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、回折角（２θ）が３１°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の（００９）面に帰属されることから、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶がｃ軸配向性を有し、ｃ軸が被形成面または上面に概略垂直な方向を向いていることが確認できる。
【０２８２】
一方、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜に対し、ｃ軸に概略垂直な方向からＸ線を入射させるｉｎ−ｐｌａｎｅ法による解析では、２θが５６°近傍にピークが現れる場合がある。このピークは、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶の（１１０）面に帰属される。ＩｎＧａＺｎＯ４の単結晶酸化物半導体膜であれば、２θを５６°近傍に固定し、試料面の法線ベクトルを軸（φ軸）として試料を回転させながら分析（φスキャン）を行うと、（１１０）面と等価な結晶面に帰属されるピークが６本観察される。これに対し、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の場合は、２θを５６°近傍に固定してφスキャンした場合でも、明瞭なピークが現れない。
【０２８３】
以上のことから、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜では、異なる結晶部間ではａ軸およびｂ軸の配向は不規則であるが、ｃ軸配向性を有し、かつｃ軸が被形成面または上面の法線ベクトルに平行な方向を向いていることがわかる。従って、前述の断面ＴＥＭ観察で確認された層状に配列した金属原子の各層は、結晶のａｂ面に平行な面である。
【０２８４】
なお、結晶部は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜した際、または加熱処理などの結晶化処理を行った際に形成される。上述したように、結晶のｃ軸は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面の法線ベクトルに平行な方向に配向する。従って、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の形状をエッチングなどによって変化させた場合、結晶のｃ軸がＣＡＡＣ−ＯＳ膜の被形成面または上面の法線ベクトルと平行にならないこともある。
【０２８５】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜中において、ｃ軸配向した結晶部の分布が均一でなくてもよい。例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の結晶部が、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の上面近傍からの結晶成長によって形成される場合、上面近傍の領域は、被形成面近傍の領域よりもｃ軸配向した結晶部の割合が高くなることがある。また、不純物の添加されたＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、不純物が添加された領域が変質し、部分的にｃ軸配向した結晶部の割合の異なる領域が形成されることもある。
【０２８６】
なお、ＩｎＧａＺｎＯ４の結晶を有するＣＡＡＣ−ＯＳ膜のｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、２θが３１°近傍のピークの他に、２θが３６°近傍にもピークが現れる場合がある。２θが３６°近傍のピークは、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜中の一部に、ｃ軸配向性を有さない結晶が含まれることを示している。ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、２θが３１°近傍にピークを示し、２θが３６°近傍にピークを示さないことが好ましい。
【０２８７】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、不純物濃度の低い酸化物半導体膜である。不純物は、水素、炭素、シリコン、遷移金属元素などの酸化物半導体膜の主成分以外の元素である。特に、シリコンなどの、酸化物半導体膜を構成する金属元素よりも酸素との結合力の強い元素は、酸化物半導体膜から酸素を奪うことで酸化物半導体膜の原子配列を乱し、結晶性を低下させる要因となる。また、鉄やニッケルなどの重金属、アルゴン、二酸化炭素などは、原子半径（または分子半径）が大きいため、酸化物半導体膜内部に含まれると、酸化物半導体膜の原子配列を乱し、結晶性を低下させる要因となる。なお、酸化物半導体膜に含まれる不純物は、キャリアトラップやキャリア発生源となる場合がある。
【０２８８】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、欠陥準位密度の低い酸化物半導体膜である。例えば、酸化物半導体膜中の酸素欠損は、キャリアトラップとなることや、水素を捕獲することによってキャリア発生源となることがある。
【０２８９】
不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低い（酸素欠損の少ない）ことを、高純度真性または実質的に高純度真性と呼ぶ。高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、キャリア発生源が少ないため、キャリア密度を低くすることができる。従って、当該酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、しきい値電圧がマイナスとなる電気特性（ノーマリーオンともいう。）になることが少ない。また、高純度真性または実質的に高純度真性である酸化物半導体膜は、キャリアトラップが少ない。そのため、当該酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、電気特性の変動が小さく、信頼性の高いトランジスタとなる。なお、酸化物半導体膜のキャリアトラップに捕獲された電荷は、放出するまでに要する時間が長く、あたかも固定電荷のように振る舞うことがある。そのため、不純物濃度が高く、欠陥準位密度が高い酸化物半導体膜を用いたトランジスタは、電気特性が不安定となる場合がある。
【０２９０】
また、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜を用いたトランジスタは、可視光や紫外光の照射による電気特性の変動が小さい。
【０２９１】
次に、微結晶酸化物半導体膜について説明する。
【０２９２】
微結晶酸化物半導体膜は、ＴＥＭによる観察像では、明確に結晶部を確認することができない場合がある。微結晶酸化物半導体膜に含まれる結晶部は、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下、または１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の大きさであることが多い。特に、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下、または１ｎｍ以上３ｎｍ以下の微結晶であるナノ結晶（ｎｃ：ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌ）を有する酸化物半導体膜を、ｎｃ−ＯＳ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）膜と呼ぶ。また、ｎｃ−ＯＳ膜は、例えば、ＴＥＭによる観察像では、結晶粒界を明確に確認できない場合がある。なお、ｎｃ−ＯＳを、ＲＡＮＣ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ）を有する酸化物半導体、またはＮＡＮＣ（Ｎｏｎ−Ａｌｉｇｎｅｄ  ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｓ）を有する酸化物半導体と呼ぶこともできる。
【０２９３】
ｎｃ−ＯＳ膜は、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ−ＯＳ膜は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、ｎｃ−ＯＳ膜は、分析方法によっては、非晶質酸化物半導体膜と区別が付かない場合がある。例えば、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、結晶部よりも大きい径のＸ線を用いるＸＲＤ装置を用いて構造解析を行うと、ｏｕｔ−ｏｆ−ｐｌａｎｅ法による解析では、結晶面を示すピークが検出されない。また、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、結晶部よりも大きいプローブ径（例えば５０ｎｍ以上）の電子線を用いる電子回折（制限視野電子回折ともいう。）を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、ｎｃ−ＯＳ膜に対し、結晶部の大きさと近いか結晶部より小さいプローブ径の電子線を用いるナノビーム電子回折を行うと、スポットが観測される。また、ｎｃ−ＯＳ膜に対しナノビーム電子回折を行うと、円を描くように（リング状に）輝度の高い領域が観測される場合がある。また、ｎｃ−ＯＳ膜に対しナノビーム電子回折を行うと、リング状の領域内に複数のスポットが観測される場合がある（図３２（Ｂ）参照。）。
【０２９４】
ｎｃ−ＯＳ膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも規則性の高い酸化物半導体膜である。そのため、ｎｃ−ＯＳ膜は、非晶質酸化物半導体膜よりも欠陥準位密度が低くなる。ただし、ｎｃ−ＯＳ膜は、異なる結晶部間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、ｎｃ−ＯＳ膜は、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜と比べて欠陥準位密度が高くなる。
【０２９５】
なお、酸化物半導体膜は、例えば、非晶質酸化物半導体膜、微結晶酸化物半導体膜、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜のうち、二種以上を有する積層膜であってもよい。
【０２９６】
酸化物半導体膜が複数の構造を有する場合、ナノビーム電子回折を用いることで構造解析が可能となる場合がある。
【０２９７】
図３２（Ｃ）に、電子銃室１０と、電子銃室１０の下の光学系１２と、光学系１２の下の試料室１４と、試料室１４の下の光学系１６と、光学系１６の下の観察室２０と、観察室２０に設置されたカメラ１８と、観察室２０の下のフィルム室２２と、を有する透過電子回折測定装置を示す。カメラ１８は、観察室２０内部に向けて設置される。なお、フィルム室２２を有さなくても構わない。
【０２９８】
また、図３２（Ｄ）に、図３２（Ｃ）で示した透過電子回折測定装置内部の構造を示す。透過電子回折測定装置内部では、電子銃室１０に設置された電子銃から放出された電子が、光学系１２を介して試料室１４に配置された物質２８に照射される。物質２８を通過した電子は、光学系１６を介して観察室２０内部に設置された蛍光板３２に入射する。蛍光板３２では、入射した電子の強度に応じたパターンが現れることで透過電子回折パターンを測定することができる。
【０２９９】
カメラ１８は、蛍光板３２を向いて設置されており、蛍光板３２に現れたパターンを撮影することが可能である。カメラ１８のレンズの中央、および蛍光板３２の中央を通る直線と、蛍光板３２の上面と、の為す角度は、例えば、１５°以上８０°以下、３０°以上７５°以下、または４５°以上７０°以下とする。該角度が小さいほど、カメラ１８で撮影される透過電子回折パターンは歪みが大きくなる。ただし、あらかじめ該角度がわかっていれば、得られた透過電子回折パターンの歪みを補正することも可能である。なお、カメラ１８をフィルム室２２に設置しても構わない場合がある。例えば、カメラ１８をフィルム室２２に、電子２４の入射方向と対向するように設置してもよい。この場合、蛍光板３２の裏面から歪みの少ない透過電子回折パターンを撮影することができる。
【０３００】
試料室１４には、試料である物質２８を固定するためのホルダが設置されている。ホルダは、物質２８を通過する電子を透過するような構造をしている。ホルダは、例えば、物質２８をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸などに移動させる機能を有していてもよい。ホルダの移動機能は、例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下、５ｎｍ以上５０ｎｍ以下、１０ｎｍ以上１００ｎｍ以下、５０ｎｍ以上５００ｎｍ以下、１００ｎｍ以上１μｍ以下などの範囲で移動させる精度を有すればよい。これらの範囲は、物質２８の構造によって最適な範囲を設定すればよい。
【０３０１】
次に、上述した透過電子回折測定装置を用いて、物質の透過電子回折パターンを測定する方法について説明する。
【０３０２】
例えば、図３２（Ｄ）に示すように物質におけるナノビームである電子２４の照射位置を変化させる（スキャンする）ことで、物質の構造が変化していく様子を確認することができる。このとき、物質２８がＣＡＡＣ−ＯＳ膜であれば、図３２（Ａ）に示したような回折パターンが観測される。または、物質２８がｎｃ−ＯＳ膜であれば、図３２（Ｂ）に示したような回折パターンが観測される。
【０３０３】
ところで、物質２８がＣＡＡＣ−ＯＳ膜であったとしても、部分的にｎｃ−ＯＳ膜などと同様の回折パターンが観測される場合がある。したがって、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の良否は、一定の範囲におけるＣＡＡＣ−ＯＳ膜の回折パターンが観測される領域の割合（ＣＡＡＣ化率ともいう。）で表すことができる場合がある。例えば、良質なＣＡＡＣ−ＯＳ膜であれば、ＣＡＡＣ化率は、５０％以上、好ましくは８０％以上、さらに好ましくは９０％以上、より好ましくは９５％以上となる。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜と異なる回折パターンが観測される領域の割合を非ＣＡＡＣ化率と表記する。
【０３０４】
一例として、成膜直後（ａｓ−ｓｐｕｔｔｅｒｅｄと表記。）、または酸素を含む雰囲気における４５０℃加熱処理後のＣＡＡＣ−ＯＳ膜を有する各試料の上面に対し、スキャンしながら透過電子回折パターンを取得した。ここでは、５ｎｍ／秒の速度で６０秒間スキャンしながら回折パターンを観測し、観測された回折パターンを０．５秒ごとに静止画に変換することで、ＣＡＡＣ化率を導出した。なお、電子線としては、プローブ径が１ｎｍのナノビームを用いた。なお、同様の測定は６試料に対して行った。そしてＣＡＡＣ化率の算出には、６試料における平均値を用いた。
【０３０５】
各試料におけるＣＡＡＣ化率を図３３（Ａ）に示す。成膜直後のＣＡＡＣ−ＯＳ膜のＣＡＡＣ化率は７５．７％（非ＣＡＡＣ化率は２４．３％）であった。また、４５０℃加熱処理後のＣＡＡＣ−ＯＳ膜のＣＡＡＣ化率は８５．３％（非ＣＡＡＣ化率は１４．７％）であった。成膜直後と比べて、４５０℃加熱処理後のＣＡＡＣ化率が高いことがわかる。即ち、高い温度（例えば４００℃以上）における加熱処理によって、非ＣＡＡＣ化率が低くなる（ＣＡＡＣ化率が高くなる）ことがわかる。また、５００℃未満の加熱処理においても高いＣＡＡＣ化率を有するＣＡＡＣ−ＯＳ膜が得られることがわかる。
【０３０６】
ここで、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜と異なる回折パターンのほとんどはｎｃ−ＯＳ膜と同様の回折パターンであった。また、測定領域において非晶質酸化物半導体膜は、確認することができなかった。したがって、加熱処理によって、ｎｃ−ＯＳ膜と同様の構造を有する領域が、隣接する領域の構造の影響を受けて再配列し、ＣＡＡＣ化していることが示唆される。
【０３０７】
図３３（Ｂ）および図３３（Ｃ）は、成膜直後および４５０℃加熱処理後のＣＡＡＣ−ＯＳ膜の平面ＴＥＭ像である。図３３（Ｂ）と図３３（Ｃ）とを比較することにより、４５０℃加熱処理後のＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、膜質がより均質であることがわかる。即ち、高い温度における加熱処理によって、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜の膜質が向上することがわかる。
【０３０８】
このような測定方法を用いれば、複数の構造を有する酸化物半導体膜の構造解析が可能となる場合がある。
【０３０９】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、例えば以下の方法により形成することができる。
【０３１０】
ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。
【０３１１】
成膜時の基板温度を高めることで、基板到達後にスパッタリング粒子のマイグレーションが起こる。具体的には、基板温度を１００℃以上７４０℃以下、好ましくは２００℃以上５００℃以下として成膜する。成膜時の基板温度を高めることで、スパッタリング粒子が基板に到達した場合、基板上でマイグレーションが起こり、スパッタリング粒子の平らな面が基板に付着する。このとき、スパッタリング粒子が正に帯電することで、スパッタリング粒子同士が反発しながら基板に付着するため、スパッタリング粒子が偏って不均一に重なることがなく、厚さの均一なＣＡＡＣ−ＯＳ膜を成膜することができる。
【０３１２】
成膜時の不純物混入を低減することで、不純物によって結晶状態が崩れることを抑制できる。例えば、成膜室内に存在する不純物濃度（水素、水、二酸化炭素及び窒素など）を低減すればよい。また、成膜ガス中の不純物濃度を低減すればよい。具体的には、露点が−８０℃以下、好ましくは−１００℃以下である成膜ガスを用いる。
【０３１３】
また、成膜ガス中の酸素割合を高め、電力を最適化することで成膜時のプラズマダメージを軽減すると好ましい。成膜ガス中の酸素割合は、３０体積％以上、好ましくは１００体積％とする。
【０３１４】
または、ＣＡＡＣ−ＯＳ膜は、以下の方法により形成する。
【０３１５】
まず、第１の酸化物半導体膜を１ｎｍ以上１０ｎｍ未満の厚さで成膜する。第１の酸化物半導体膜はスパッタリング法を用いて成膜する。具体的には、基板温度を１００℃以上５００℃以下、好ましくは１５０℃以上４５０℃以下とし、成膜ガス中の酸素割合を３０体積％以上、好ましくは１００体積％として成膜する。
【０３１６】
次に、加熱処理を行い、第１の酸化物半導体膜を結晶性の高い第１のＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする。加熱処理の温度は、３５０℃以上７４０℃以下、好ましくは４５０℃以上６５０℃以下とする。また、加熱処理の時間は１分以上２４時間以下、好ましくは６分以上４時間以下とする。また、加熱処理は、不活性雰囲気または酸化性雰囲気で行えばよい。好ましくは、不活性雰囲気で加熱処理を行った後、酸化性雰囲気で加熱処理を行う。不活性雰囲気での加熱処理により、第１の酸化物半導体膜の不純物濃度を短時間で低減することができる。一方、不活性雰囲気での加熱処理により第１の酸化物半導体膜に酸素欠損が生成されることがある。その場合、酸化性雰囲気での加熱処理によって該酸素欠損を低減することができる。なお、加熱処理は１０００Ｐａ以下、１００Ｐａ以下、１０Ｐａ以下または１Ｐａ以下の減圧下で行ってもよい。減圧下では、第１の酸化物半導体膜の不純物濃度をさらに短時間で低減することができる。
【０３１７】
第１の酸化物半導体膜は、厚さが１ｎｍ以上１０ｎｍ未満であることにより、厚さが１０ｎｍ以上である場合と比べ、加熱処理によって容易に結晶化させることができる。
【０３１８】
次に、第１の酸化物半導体膜と同じ組成である第２の酸化物半導体膜を１０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さで成膜する。第２の酸化物半導体膜はスパッタリング法を用いて成膜する。具体的には、基板温度を１００℃以上５００℃以下、好ましくは１５０℃以上４５０℃以下とし、成膜ガス中の酸素割合を３０体積％以上、好ましくは１００体積％として成膜する。
【０３１９】
次に、加熱処理を行い、第２の酸化物半導体膜を第１のＣＡＡＣ−ＯＳ膜から固相成長させることで、結晶性の高い第２のＣＡＡＣ−ＯＳ膜とする。加熱処理の温度は、３５０℃以上７４０℃以下、好ましくは４５０℃以上６５０℃以下とする。また、加熱処理の時間は１分以上２４時間以下、好ましくは６分以上４時間以下とする。また、加熱処理は、不活性雰囲気または酸化性雰囲気で行えばよい。好ましくは、不活性雰囲気で加熱処理を行った後、酸化性雰囲気で加熱処理を行う。不活性雰囲気での加熱処理により、第２の酸化物半導体膜の不純物濃度を短時間で低減することができる。一方、不活性雰囲気での加熱処理により第２の酸化物半導体膜に酸素欠損が生成されることがある。その場合、酸化性雰囲気での加熱処理によって該酸素欠損を低減することができる。なお、加熱処理は１０００Ｐａ以下、１００Ｐａ以下、１０Ｐａ以下または１Ｐａ以下の減圧下で行ってもよい。減圧下では、第２の酸化物半導体膜の不純物濃度をさらに短時間で低減することができる。
【０３２０】
以上のようにして、合計の厚さが１０ｎｍ以上であるＣＡＡＣ−ＯＳ膜を形成することができる。
【０３２１】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【０３２２】
（実施の形態９）
他の実施の形態において、様々な例について示した。ただし、本発明の一態様は、これらに限定されない。
【０３２３】
例えば、本明細書等において、トランジスタとして、様々な構造のトランジスタを用いることが出来る。よって、用いるトランジスタの種類に限定はない。トランジスタの一例としては、単結晶シリコンを有するトランジスタ、または、非晶質シリコン、多結晶シリコン、微結晶（マイクロクリスタル、ナノクリスタル、セミアモルファスとも言う）シリコンなどに代表される非単結晶半導体膜を有するトランジスタなどを用いることが出来る。または、それらの半導体を薄膜化した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）などを用いることが出来る。ＴＦＴを用いる場合、様々なメリットがある。例えば、単結晶シリコンの場合よりも低い温度で製造できるため、製造コストの削減、又は製造装置の大型化を図ることができる。製造装置を大きくできるため、大型基板上に製造できる。そのため、同時に多くの個数の表示装置を製造できるため、低コストで製造できる。または、製造温度が低いため、耐熱性の弱い基板を用いることができる。そのため、透光性を有する基板上にトランジスタを製造できる。または、透光性を有する基板上のトランジスタを用いて表示素子での光の透過を制御することが出来る。または、トランジスタの膜厚が薄いため、トランジスタを形成する膜の一部は、光を透過させることが出来る。そのため、開口率を向上させることができる。
【０３２４】
なお、多結晶シリコンを製造するときに、触媒（ニッケルなど）を用いることにより、結晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。その結果、ゲートドライバ回路（走査線駆動回路）、ソースドライバ回路（信号線駆動回路）、及び信号処理回路（信号生成回路、ガンマ補正回路、ＤＡ変換回路など）を基板上に一体形成することが出来る。
【０３２５】
なお、微結晶シリコンを製造するときに、触媒（ニッケルなど）を用いることにより、結晶性をさらに向上させ、電気特性のよいトランジスタを製造することが可能となる。このとき、レーザー照射を行うことなく、熱処理を加えるだけで、結晶性を向上させることも可能である。その結果、ソースドライバ回路の一部（アナログスイッチなど）及びゲートドライバ回路（走査線駆動回路）を基板上に一体形成することが出来る。なお、結晶化のためにレーザー照射を行わない場合は、シリコンの結晶性のムラを抑えることができる。そのため、画質の向上した画像を表示することが出来る。ただし、触媒（ニッケルなど）を用いずに、多結晶シリコン又は微結晶シリコンを製造することは可能である。
【０３２６】
なお、シリコンの結晶性を、多結晶又は微結晶などへと向上させることは、パネル全体で行うことが望ましいが、それに限定されない。パネルの一部の領域のみにおいて、シリコンの結晶性を向上させてもよい。選択的に結晶性を向上させることは、レーザー光を選択的に照射することなどにより可能である。例えば、画素以外の領域である周辺回路領域にのみ、ゲートドライバ回路及びソースドライバ回路などの領域にのみ、又はソースドライバ回路の一部（例えば、アナログスイッチ）の領域にのみ、にレーザー光を照射してもよい。その結果、回路を高速に動作させる必要がある領域にのみ、シリコンの結晶化を向上させることができる。画素領域は、高速に動作させる必要性が低いため、結晶性が向上されなくても、問題なく画素回路を動作させることが出来る。こうすることによって、結晶性を向上させる領域が少なくて済むため、製造工程も短くすることが出来る。そのため、スループットが向上し、製造コストを低減させることが出来る。または、必要とされる製造装置の数も少ない数で製造できるため、製造コストを低減させることが出来る。
【０３２７】
なお、トランジスタの一例としては、化合物半導体（例えば、ＳｉＧｅ、ＧａＡｓなど）、又は酸化物半導体（例えば、ＺｎＯ、ＩｎＧａＺｎＯ、ＩＺＯ（インジウム亜鉛酸化物）、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）、ＳｎＯ、ＴｉＯ、ＡｌＺｎＳｎＯ（ＡＺＴＯ）、ＩＴＺＯ（Ｉｎ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ）など）などを有するトランジスタを用いることが出来る。または、これらの化合物半導体、又は、これらの酸化物半導体を薄膜化した薄膜トランジスタなどを用いることが出来る。これらにより、製造温度を低くできるので、例えば、室温でトランジスタを製造することが可能となる。その結果、耐熱性の低い基板、例えばプラスチック基板又はフィルム基板などに直接トランジスタを形成することが出来る。なお、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を、トランジスタのチャネル部分に用いるだけでなく、それ以外の用途で用いることも出来る。例えば、これらの化合物半導体又は酸化物半導体を配線、抵抗素子、画素電極、又は透光性を有する電極などとして用いることができる。それらをトランジスタと同時に成膜又は形成することが可能なため、コストを低減できる。
【０３２８】
なお、トランジスタの一例としては、インクジェット法又は印刷法を用いて形成したトランジスタなどを用いることが出来る。これらにより、室温で製造、低真空度で製造、又は大型基板上に製造することができる。よって、マスク（レチクル）を用いなくても製造することが可能となるため、トランジスタのレイアウトを容易に変更することが出来る。または、レジストを用いらずに製造することが可能なので、材料費が安くなり、工程数を削減できる。または、必要な部分にのみ膜を付けることが可能なので、全面に成膜した後でエッチングする、という製法よりも、材料が無駄にならず、低コストにできる。  
【０３２９】
なお、トランジスタの一例としては、有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタ等を用いることができる。これらにより、曲げることが可能な基板上にトランジスタを形成することが出来る。有機半導体やカーボンナノチューブを有するトランジスタを用いた装置は、衝撃に強くすることができる。
【０３３０】
なお、トランジスタとしては、他にも様々な構造のトランジスタを用いることができる。例えば、トランジスタとして、ＭＯＳ型トランジスタ、接合型トランジスタ、バイポーラトランジスタなどを用いることが出来る。トランジスタとしてＭＯＳ型トランジスタを用いることにより、トランジスタのサイズを小さくすることが出来る。よって、多数のトランジスタを搭載することができる。トランジスタとしてバイポーラトランジスタを用いることにより、大きな電流を流すことが出来る。よって、高速に回路を動作させることができる。なお、ＭＯＳ型トランジスタとバイポーラトランジスタとを１つの基板に混在させて形成してもよい。これにより、低消費電力、小型化、高速動作などを実現することが出来る。
【０３３１】
例えば、本明細書等において、トランジスタの一例としては、ゲート電極が２個以上のマルチゲート構造のトランジスタを用いることができる。マルチゲート構造にすると、チャネル領域が直列に接続されるため、複数のトランジスタが直列に接続された構造となる。よって、マルチゲート構造により、オフ電流の低減、トランジスタの耐圧向上（信頼性の向上）を図ることができる。または、マルチゲート構造により、飽和領域で動作する時に、ドレインとソースとの間の電圧が変化しても、ドレインとソースとの間の電流があまり変化せず、傾きがフラットである電圧・電流特性を得ることができる。傾きがフラットである電圧・電流特性を利用すると、理想的な電流源回路、又は非常に高い抵抗値をもつ能動負荷を実現することが出来る。その結果、特性のよい差動回路又はカレントミラー回路などを実現することが出来る。
【０３３２】
なお、トランジスタの一例としては、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造のトランジスタを適用することができる。チャネルの上下にゲート電極が配置される構造にすることにより、複数のトランジスタが並列に接続されたような回路構成となる。よって、チャネル領域が増えるため、電流値の増加を図ることができる。または、チャネルの上下にゲート電極が配置されている構造にすることにより、空乏層ができやすくなるため、Ｓ値の改善を図ることができる。
【０３３３】
なお、トランジスタの一例としては、チャネル領域の上にゲート電極が配置されている構造、チャネル領域の下にゲート電極が配置されている構造、正スタガ構造、逆スタガ構造、チャネル領域を複数の領域に分けた構造、チャネル領域を並列に接続した構造、又はチャネル領域が直列に接続する構造などのトランジスタを用いることができる。または、トランジスタとして、プレーナ型、ＦＩＮ型（フィン型）、ＴＲＩ−ＧＡＴＥ型（トライゲート型）、トップゲート型、ボトムゲート型、ダブルゲート型（チャネルの上下にゲートが配置されている）、など、様々な構成をとることが出来る。
【０３３４】
なお、トランジスタの一例としては、チャネル領域（もしくはその一部）にソース電極やドレイン電極が重なっている構造のトランジスタを用いることができる。チャネル領域（もしくはその一部）にソース電極やドレイン電極が重なる構造にすることによって、チャネル領域の一部に電荷が溜まることにより動作が不安定になることを防ぐことができる。
【０３３５】
なお、トランジスタの一例としては、ＬＤＤ領域を設けた構造を適用できる。ＬＤＤ領域を設けることにより、オフ電流の低減、又はトランジスタの耐圧向上（信頼性の向上）を図ることができる。または、ＬＤＤ領域を設けることにより、飽和領域で動作する時に、ドレインとソースとの間の電圧が変化しても、ドレイン電流があまり変化せず、傾きがフラットな電圧・電流特性を得ることができる。
【０３３６】
例えば、本明細書等において、様々な基板を用いて、トランジスタを形成することが出来る。基板の種類は、特定のものに限定されることはない。その基板の一例としては、半導体基板（例えば単結晶基板又はシリコン基板）、ＳＯＩ基板、ガラス基板、石英基板、プラスチック基板、金属基板、ステンレス・スチル基板、ステンレス・スチル・ホイルを有する基板、タングステン基板、タングステン・ホイルを有する基板、可撓性基板、貼り合わせフィルム、繊維状の材料を含む紙、又は基材フィルムなどがある。ガラス基板の一例としては、バリウムホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、又はソーダライムガラスなどがある。可撓性基板、貼り合わせフィルム、基材フィルムなどの一例としては、以下のものがあげられる。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）に代表されるプラスチックがある。または、一例としては、アクリル等の合成樹脂などがある。または、一例としては、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリフッ化ビニル、又はポリ塩化ビニルなどがある。または、一例としては、ポリアミド、ポリイミド、アラミド、エポキシ、無機蒸着フィルム、又は紙類などがある。特に、半導体基板、単結晶基板、又はＳＯＩ基板などを用いてトランジスタを製造することによって、特性、サイズ、又は形状などのばらつきが少なく、電流能力が高く、サイズの小さいトランジスタを製造することができる。このようなトランジスタによって回路を構成すると、回路の低消費電力化、又は回路の高集積化を図ることができる。
【０３３７】
なお、ある基板を用いてトランジスタを形成し、その後、別の基板にトランジスタを転置し、別の基板上にトランジスタを配置してもよい。トランジスタが転置される基板の一例としては、上述したトランジスタを形成することが可能な基板に加え、紙基板、セロファン基板、アラミドフィルム基板、ポリイミドフィルム基板、石材基板、木材基板、布基板（天然繊維（絹、綿、麻）、合成繊維（ナイロン、ポリウレタン、ポリエステル）若しくは再生繊維（アセテート、キュプラ、レーヨン、再生ポリエステル）などを含む）、皮革基板、又はゴム基板などがある。これらの基板を用いることにより、特性のよいトランジスタの形成、消費電力の小さいトランジスタの形成、壊れにくい装置の製造、耐熱性の付与、軽量化、又は薄型化を図ることができる。
【０３３８】
なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを、同一の基板（例えば、ガラス基板、プラスチック基板、単結晶基板、又はＳＯＩ基板など）に形成することが可能である。こうして、部品点数の削減によるコストの低減、又は回路部品との接続点数の低減による信頼性の向上を図ることができる。
【０３３９】
なお、所定の機能を実現させるために必要な回路の全てを同じ基板に形成しないことが可能である。つまり、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ある基板に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、別の基板に形成されていることが可能である。例えば、所定の機能を実現させるために必要な回路の一部は、ガラス基板に形成され、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部は、単結晶基板（又はＳＯＩ基板）に形成されることが可能である。そして、所定の機能を実現させるために必要な回路の別の一部が形成される単結晶基板（ＩＣチップともいう）を、ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）によって、ガラス基板に接続して、ガラス基板にそのＩＣチップを配置することが可能である。または、ＩＣチップを、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）、ＳＭＴ（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｍｏｕｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）、又はプリント基板などを用いてガラス基板と接続することが可能である。このように、回路の一部が画素部と同じ基板に形成されていることにより、部品点数の削減によるコストの低減、又は回路部品との接続点数の低減による信頼性の向上を図ることができる。特に、駆動電圧が大きい部分の回路、又は駆動周波数が高い部分の回路などは、消費電力が大きくなってしまう場合が多い。そこで、このような回路を、画素部とは別の基板（例えば単結晶基板）に形成して、ＩＣチップを構成する。このＩＣチップを用いることによって、消費電力の増加を防ぐことができる。
【０３４０】
なお、明細書の中の図面や文章において規定されていない内容について、その内容を除くことを規定した発明を構成することが出来る。または、ある値について、上限値と下限値などで示される数値範囲が記載されている場合、その範囲を任意に狭めることで、または、その範囲の中の一点を除くことで、その範囲を一部除いた発明を規定することができる。これらにより、例えば、従来技術が本発明の技術的範囲内に入らないことを規定することができる。
【０３４１】
具体例としては、ある回路において、第１乃至第５のトランジスタを用いている回路図が記載されているとする。その場合、その回路が、第６のトランジスタを有していないことを発明として規定することが可能である。または、その回路が、容量素子を有していないことを規定することが可能である。さらに、その回路が、ある特定の接続構造を有している第６のトランジスタを有していない、と規定して発明を構成することができる。または、その回路が、ある特定の接続構造を有している容量素子を有していない、と規定して発明を構成することができる。例えば、ゲートが第３のトランジスタのゲートと接続されている第６のトランジスタを有していない、と発明を規定することが可能である。または、例えば、第１の電極が第３のトランジスタのゲートと接続されている容量素子を有していない、と発明を規定することが可能である。
【０３４２】
別の具体例としては、ある値について、例えば、「ある電圧が、３Ｖ以上１０Ｖ以下であることが好適である」と記載されているとする。その場合、例えば、ある電圧が、−２Ｖ以上１Ｖ以下である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、ある電圧が、１３Ｖ以上である場合を除く、と発明を規定することが可能である。なお、例えば、その電圧が、５Ｖ以上８Ｖ以下であると発明を規定することも可能である。なお、例えば、その電圧が、概略９Ｖであると発明を規定することも可能である。なお、例えば、その電圧が、３Ｖ以上１０Ｖ以下であるが、９Ｖである場合を除くと発明を規定することも可能である。
【０３４３】
別の具体例としては、ある値について、例えば、「ある電圧が、１０Ｖであることが好適である」と記載されているとする。その場合、例えば、ある電圧が、−２Ｖ以上１Ｖ以下である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、ある電圧が、１３Ｖ以上である場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【０３４４】
別の具体例としては、ある物質の性質について、例えば、「ある膜は、絶縁膜である」と記載されているとする。その場合、例えば、その絶縁膜が、有機絶縁膜である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、その絶縁膜が、無機絶縁膜である場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【０３４５】
別の具体例としては、ある積層構造について、例えば、「ＡとＢとの間に、ある膜が設けられている」と記載されているとする。その場合、例えば、その膜が、４層以上の積層膜である場合を除く、と発明を規定することが可能である。または、例えば、Ａとその膜との間に、導電膜が設けられている場合を除く、と発明を規定することが可能である。
【０３４６】
なお、本明細書等において記載されている発明は、さまざまな人が実施することが出来る。しかしながら、その実施は、複数の人にまたがって実施される場合がある。例えば、送受信システムの場合において、Ａ社が送信機を製造および販売し、Ｂ社が受信機を製造および販売する場合がある。別の例としては、ＴＦＴおよび発光素子を有する発光装置の場合において、ＴＦＴが形成された半導体装置は、Ａ社が製造および販売する。そして、Ｂ社がその半導体装置を購入して、その半導体装置に発光素子を成膜して、発光装置として完成させる、という場合がある。
【０３４７】
このような場合、Ａ社またはＢ社のいずれに対しても、特許侵害を主張できるような発明の一態様を、構成することが出来る。従って、Ａ社またはＢ社に対して、特許侵害を主張できるような発明の一態様は、明確であり、本明細書等に記載されていると判断する事が出来る。例えば、送受信システムの場合において、送信機のみで発明の一態様を構成することができ、受信機のみで発明の一態様を構成することができ、それらの発明の一態様は、明確であり、本明細書等に記載されていると判断することが出来る。別の例としては、ＴＦＴおよび発光素子を有する発光装置の場合において、ＴＦＴが形成された半導体装置のみで発明の一態様を構成することができ、ＴＦＴおよび発光素子を有する発光装置のみで発明の一態様を構成することができ、それらの発明の一態様は、明確であり、本明細書等に記載されていると判断することが出来る。
【０３４８】
なお、本明細書等においては、能動素子（トランジスタ、ダイオードなど）、受動素子（容量素子、抵抗素子など）などが有するすべての端子について、その接続先を特定しなくても、当業者であれば、発明の一態様を構成することは可能な場合がある。つまり、接続先を特定しなくても、発明の一態様が明確であると言える。そして、接続先が特定された内容が、本明細書等に記載されている場合、接続先を特定しない発明の一態様が、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。特に、端子の接続先が複数のケース考えられる場合には、その端子の接続先を特定の箇所に限定する必要はない。したがって、能動素子（トランジスタ、ダイオードなど）、受動素子（容量素子、抵抗素子など）などが有する一部の端子についてのみ、その接続先を特定することによって、発明の一態様を構成することが可能な場合がある。
【０３４９】
なお、本明細書等においては、ある回路について、少なくとも接続先を特定すれば、当業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。または、ある回路について、少なくとも機能を特定すれば、当業者であれば、発明を特定することが可能な場合がある。つまり、機能を特定すれば、発明の一態様が明確であると言える。そして、機能が特定された発明の一態様が、本明細書等に記載されていると判断することが可能な場合がある。したがって、ある回路について、機能を特定しなくても、接続先を特定すれば、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。または、ある回路について、接続先を特定しなくても、機能を特定すれば、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【０３５０】
なお、本明細書等においては、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、その一部分を取り出して、発明の一態様を構成することは可能である。したがって、ある部分を述べる図または文章が記載されている場合、その一部分の図または文章を取り出した内容も、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能であるものとする。そのため、例えば、能動素子（トランジスタ、ダイオードなど）、配線、受動素子（容量素子、抵抗素子など）、導電層、絶縁層、半導体層、有機材料、無機材料、部品、装置、動作方法、製造方法などが単数又は複数記載された図面または文章において、その一部分を取り出して、発明の一態様を構成することが可能であるものとする。例えば、Ｎ個（Ｎは整数）の回路素子（トランジスタ、容量素子等）を有して構成される回路図から、Ｍ個（Ｍは整数で、Ｍ＜Ｎ）の回路素子（トランジスタ、容量素子等）を抜き出して、発明の一態様を構成することは可能である。別の例としては、Ｎ個（Ｎは整数）の層を有して構成される断面図から、Ｍ個（Ｍは整数で、Ｍ＜Ｎ）の層を抜き出して、発明の一態様を構成することは可能である。さらに別の例としては、Ｎ個（Ｎは整数）の要素を有して構成されるフローチャートから、Ｍ個（Ｍは整数で、Ｍ＜Ｎ）の要素を抜き出して、発明の一態様を構成することは可能である。
【０３５１】
なお、本明細書等においては、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、少なくとも一つの具体例が記載される場合、その具体例の上位概念を導き出すことは、当業者であれば容易に理解される。したがって、ある一つの実施の形態において述べる図または文章において、少なくとも一つの具体例が記載される場合、その具体例の上位概念も、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【０３５２】
なお、本明細書等においては、少なくとも図に記載した内容（図の中の一部でもよい）は、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。したがって、ある内容について、図に記載されていれば、文章を用いて述べていなくても、その内容は、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。同様に、図の一部を取り出した図についても、発明の一態様として開示されているものであり、発明の一態様を構成することが可能である。
【０３５３】
なお、図において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
【０３５４】
本明細書において、例えば、物体の形状を「径」、「粒径」、「大きさ」、「サイズ」、「幅」などで規定する場合、物体が収まる最小の立方体における一辺の長さ、または物体の一断面における円相当径と読み替えてもよい。物体の一断面における円相当径とは、物体の一断面と等しい面積となる正円の直径をいう。
【０３５５】
なお、「半導体」と表記した場合でも、例えば、導電性が十分低い場合は「絶縁体」としての特性を有する場合がある。また、「半導体」と「絶縁体」は境界が曖昧であり、厳密に区別できない場合がある。したがって、本明細書に記載の「半導体」は、「絶縁体」と言い換えることができる場合がある。同様に、本明細書に記載の「絶縁体」は、「半導体」と言い換えることができる場合がある。
【０３５６】
また、「半導体」と表記した場合でも、例えば、導電性が十分高い場合は「導電体」としての特性を有する場合がある。また、「半導体」と「導電体」は境界が曖昧であり、厳密に区別できない場合がある。したがって、本明細書に記載の「半導体」は、「導電体」と言い換えることができる場合がある。同様に、本明細書に記載の「導電体」は、「半導体」と言い換えることができる場合がある。
【０３５７】
なお、半導体膜の不純物とは、例えば、半導体膜を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が０．１ａｔｏｍｉｃ％未満の元素は不純物である。不純物が含まれることにより、例えば、半導体膜にキャリアトラップが形成されることや、キャリア移動度が低下することや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体膜が酸化物半導体膜である場合、半導体膜の特性を変化させる不純物としては、例えば、第１族元素、第２族元素、第１４族元素、第１５族元素、主成分以外の遷移金属などがあり、特に、例えば、水素（水にも含まれる）、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。酸化物半導体の場合、不純物の混入によって酸素欠損を形成する場合がある。また、半導体膜がシリコン膜である場合、半導体膜の特性を変化させる不純物としては、例えば、酸素、水素を除く第１族元素、第２族元素、第１３族元素、第１５族元素などがある。
【０３５８】
また、本明細書において、過剰酸素とは、例えば、化学量論的組成を超えて含まれる酸素をいう。または、過剰酸素とは、例えば、加熱することで放出される酸素をいう。過剰酸素は、例えば、膜や層の内部を移動することができる。過剰酸素の移動は、膜や層の原子間を移動する場合と、膜や層を構成する酸素と置き換わりながら玉突き的に移動する場合とがある。また、過剰酸素を含む絶縁膜は、例えば、加熱処理によって酸素を放出する機能を有する絶縁膜である。
【０３５９】
また、本明細書において、「平行」とは、二つの直線が−１０°以上１０°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−５°以上５°以下の場合も含まれる。また、「垂直」とは、二つの直線が８０°以上１００°以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、８５°以上９５°以下の場合も含まれる。
【０３６０】
実施の形態において、導電膜としては、例えば、アルミニウム、チタン、クロム、コバルト、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、ルテニウム、銀、タンタルまたはタングステンを含む導電膜を、単層で、または積層で用いればよい。または、透過性を有する導電膜としては、例えば、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｗ酸化物膜、Ｉｎ−Ｓｎ酸化物膜、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物膜、酸化インジウム膜、酸化亜鉛膜および酸化スズ膜などの酸化物膜を用いればよい。また、前述の酸化物膜は、Ａｌ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｆなどが微量添加されてもよい。また、光を透過する程度の金属薄膜（好ましくは、５ｎｍ以上３０ｎｍ以下程度）を用いることもできる。例えば５ｎｍの膜厚を有するＡｇ膜、Ｍｇ膜またはＡｇ−Ｍｇ合金膜を用いてもよい。または、可視光を効率よく反射する膜としては、例えば、リチウム、アルミニウム、チタン、マグネシウム、ランタン、銀、シリコンまたはニッケルを含む膜を用いればよい。
【０３６１】
また、絶縁膜としては、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムまたは酸化タンタルを含む絶縁膜を、単層で、または積層で用いればよい。または、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂などの樹脂膜を用いても構わない。
【０３６２】
また、本明細書において、結晶が三方晶または菱面体晶である場合、六方晶系として表す。
【０３６３】
また、本明細書にて用いる第１、第２、第３などの用語は、構成要素の混同を避けるた
めに付したものであり、数的に限定するものではない。そのため、例えば、「第１の」を
「第２の」または「第３の」などと適宜置き換えて説明することができる。
【０３６４】
本明細書において、フォトリソグラフィ工程を行った後にエッチング工程を行う場合は
、フォトリソグラフィ工程で形成したマスクは除去するものとする。
【０３６５】
また、トランジスタに、さらに、バックチャネルに電位を印加するための第２のゲートを設ける場合がある。その場合、ここでは、２つのゲートを区別するため、ゲートと通常呼ばれる端子を”フロントゲート”と呼び、他方を”バックゲート”と呼ぶことにする。
【０３６６】
また、電圧とは、２点間における電位差のことをいい、電位とはある一点における静電場の中にある単位電荷が持つ静電エネルギー（電気的な位置エネルギー）のことをいう。ただし、一般的に、ある一点における電位と基準となる電位（例えば接地電位）との電位差のことを、単に電位もしくは電圧と呼び、電位と電圧が同義語として用いられることが多い。このため、本明細書では特に指定する場合を除き、電位を電圧と読み替えてもよいし、電圧を電位と読み替えてもよいこととする。
【０３６７】
また本明細書等において、電圧とは、ある電位と、基準電位（例えばグラウンド電位）との電位差のことを示す場合が多い。よって、電圧、電位、電位差を、各々、電位、電圧、電圧差と言い換えることが可能である。なお電圧とは２点間における電位差のことをいい、電位とはある一点における静電場の中にある単位電荷が持つ静電エネルギー（電気的な位置エネルギー）のことをいう。
【０３６８】
なお、一般に、電位や電圧は、相対的なものである。したがって、グラウンド電位とは、必ずしも、０ボルトであるとは限定されない。
【０３６９】
トランジスタは半導体素子の一種であり、電流や電圧の増幅や、導通または非導通を制御するスイッチング動作などを実現することができる。本明細書におけるトランジスタは、ＩＧＦＥＴ（Ｉｎｓｕｌａｔｅｄ  Ｇａｔｅ  Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）や薄膜トランジスタ（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を含む。
【０３７０】
例えば、本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン（ドレイン端子、ドレイン領域またはドレイン電極）とソース（ソース端子、ソース領域またはソース電極）の間にチャネル領域を有しており、ドレインとチャネル領域とソースとを介して電流を流すことが出来るものである。ここで、ソースとドレインとは、トランジスタの構造又は動作条件等によって変わるため、いずれがソースまたはドレインであるかを限定することが困難である。そこで、ソースとして機能する部分、及びドレインとして機能する部分を、ソース又はドレインと呼ばない場合がある。その場合、一例として、ソースとドレインとの一方を、第１端子、第１電極、又は第１領域と表記し、ソースとドレインとの他方を、第２端子、第２電極、又は第２領域と表記する場合がある。
【０３７１】
例えば、本明細書等において、ＸとＹとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合と、ＸとＹとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものとする。
【０３７２】
ＸとＹとが直接的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）が、ＸとＹとの間に接続されていない場合であり、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）を介さずに、ＸとＹとが、接続されている場合である。
【０３７３】
ＸとＹとが電気的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの電気的な接続を可能とする素子（例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷など）が、ＸとＹとの間に１個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、導通状態（オン状態）、または、非導通状態（オフ状態）になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有している。なお、ＸとＹとが電気的に接続されている場合は、ＸとＹとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
【０３７４】
ＸとＹとが機能的に接続されている場合の一例としては、ＸとＹとの機能的な接続を可能とする回路（例えば、論理回路（インバータ、ＮＡＮＤ回路、ＮＯＲ回路など）、信号変換回路（ＤＡ変換回路、ＡＤ変換回路、ガンマ補正回路など）、電位レベル変換回路（電源回路（昇圧回路、降圧回路など）、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路など）、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路（信号振幅または電流量などを大きく出来る回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路など）、信号生成回路、記憶回路、制御回路など）が、ＸとＹとの間に１個以上接続されることが可能である。なお、一例として、ＸとＹとの間に別の回路を挟んでいても、Ｘから出力された信号がＹへ伝達される場合は、ＸとＹとは機能的に接続されているものとする。なお、ＸとＹとが機能的に接続されている場合は、ＸとＹとが直接的に接続されている場合と、ＸとＹとが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
【０３７５】
なお、ＸとＹとが電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の素子又は別の回路を挟んで接続されている場合）と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合）と、ＸとＹとが直接接続されている場合（つまり、ＸとＹとの間に別の素子又は別の回路を挟まずに接続されている場合）とが、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載する場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
【０３７６】
なお、例えば、トランジスタのソース（又は第１の端子など）が、Ｚ１を介して（又は介さず）、Ｘと電気的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）が、Ｚ２を介して（又は介さず）、Ｙと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース（又は第１の端子など）が、Ｚ１の一部と直接的に接続され、Ｚ１の別の一部がＸと直接的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）が、Ｚ２の一部と直接的に接続され、Ｚ２の別の一部がＹと直接的に接続されている場合では、以下のように表現することが出来る。
【０３７７】
例えば、「ＸとＹとトランジスタのソース（又は第１の端子など）とドレイン（又は第２の端子など）とは、互いに電気的に接続されており、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙの順序で電気的に接続されている。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、Ｘと電気的に接続され、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）はＹと電気的に接続され、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙは、この順序で電気的に接続されている」と表現することができる。または、「Ｘは、トランジスタのソース（又は第１の端子など）とドレイン（又は第２の端子など）とを介して、Ｙと電気的に接続され、Ｘ、トランジスタのソース（又は第１の端子など）、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）、Ｙは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジスタのソース（又は第１の端子など）と、ドレイン（又は第２の端子など）とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
【０３７８】
または、別の表現方法として、例えば、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の接続経路を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の接続経路は、第２の接続経路を有しておらず、前記第２の接続経路は、トランジスタを介した、トランジスタのソース（又は第１の端子など）とトランジスタのドレイン（又は第２の端子など）との間の経路であり、前記第１の接続経路は、Ｚ１を介した経路であり、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の接続経路を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の接続経路は、前記第２の接続経路を有しておらず、前記第３の接続経路は、Ｚ２を介した経路である。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の接続経路によって、Ｚ１を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の接続経路は、第２の接続経路を有しておらず、前記第２の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の接続経路によって、Ｚ２を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の接続経路は、前記第２の接続経路を有していない。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース（又は第１の端子など）は、少なくとも第１の電気的パスによって、Ｚ１を介して、Ｘと電気的に接続され、前記第１の電気的パスは、第２の電気的パスを有しておらず、前記第２の電気的パスは、トランジスタのソース（又は第１の端子など）からトランジスタのドレイン（又は第２の端子など）への電気的パスであり、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）は、少なくとも第３の電気的パスによって、Ｚ２を介して、Ｙと電気的に接続され、前記第３の電気的パスは、第４の電気的パスを有しておらず、前記第４の電気的パスは、トランジスタのドレイン（又は第２の端子など）からトランジスタのソース（又は第１の端子など）への電気的パスである。」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続経路について規定することにより、トランジスタのソース（又は第１の端子など）と、ドレイン（又は第２の端子など）とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
【０３７９】
なお、これらの表現方法は、一例であり、これらの表現方法に限定されない。ここで、Ｘ、Ｙ、Ｚ１、Ｚ２は、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
【０３８０】
なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、１つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としても機能する場合は、一の導電膜が、配線の機能、及び電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
【０３８１】
例えば、本明細書等において、Ｘの上にＹが形成されている、あるいは、Ｘ上にＹが形成されている、と明示的に記載する場合は、Ｘの上にＹが直接接して形成されていることに限定されない。直接接してはいない場合、つまり、ＸとＹと間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。
【０３８２】
従って例えば、層Ｘの上に（もしくは層Ｘ上に）、層Ｙが形成されている、と明示的に記載されている場合は、層Ｘの上に直接接して層Ｙが形成されている場合と、層Ｘの上に直接接して別の層（例えば層Ｚなど）が形成されていて、その上に直接接して層Ｙが形成されている場合とを含むものとする。なお、別の層（例えば層Ｚなど）は、単層でもよいし、複層（積層）でもよい。
【０３８３】
さらに、Ｘの上方にＹが形成されている、と明示的に記載されている場合についても同様であり、Ｘの上にＹが直接接していることに限定されず、ＸとＹとの間に別の対象物が介在する場合も含むものとする。従って例えば、層Ｘの上方に、層Ｙが形成されている、という場合は、層Ｘの上に直接接して層Ｙが形成されている場合と、層Ｘの上に直接接して別の層（例えば層Ｚなど）が形成されていて、その上に直接接して層Ｙが形成されている場合とを含むものとする。なお、別の層（例えば層Ｚなど）は、単層でもよいし、複層（積層）でもよい。
【０３８４】
なお、Ｘの上にＹが形成されている、Ｘ上にＹが形成されている、又はＸの上方にＹが形成されている、と明示的に記載する場合、Ｘの斜め上にＹが形成される場合も含むこととする。
【０３８５】
なお、Ｘの下にＹが、あるいは、Ｘの下方にＹが、の場合についても、同様である。
【０３８６】
例えば、本明細書等において、「上に」、「上方に」、「下に」、「下方に」、「横に」、「右に」、「左に」、「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外に」、又は「中に」などの空間的配置を示す語句は、ある要素又は特徴と、他の要素又は特徴との関連を、図によって簡単に示すために用いられる場合が多い。ただし、これに限定されず、これらの空間的配置を示す語句は、図に描く方向に加えて、他の方向を含むことが可能である。例えば、Ｘの上にＹ、と明示的に示される場合は、ＹがＸの上にあることに限定されない。図中のデバイスは反転、又は１８０°回転することが可能なので、ＹがＸの下にあることを含むことが可能である。このように、「上に」という語句は、「上に」の方向に加え、「下に」の方向を含むことが可能である。ただし、これに限定されず、図中のデバイスは様々な方向に回転することが可能なので、「上に」という語句は、「上に」、及び「下に」の方向に加え、「横に」、「右に」、「左に」、「斜めに」、「奥に」、「手前に」、「内に」、「外に」、又は「中に」などの他の方向を含むことが可能である。つまり、状況に応じて適切に解釈することが可能である。
【０３８７】
本実施の形態は、他の実施の形態の一部または全部について、変更、追加、修正、削除、応用、上位概念化、又は、下位概念化したものに相当する。したがって、本実施の形態の一部または全部について、他の実施の形態の一部または全部と自由に組み合わせたり、適用したり、置き換えて実施することができる。
【符号の説明】
【０３８８】
１０    電子銃室
１２    光学系
１４    試料室
１６    光学系
１８    カメラ
２０    観察室
２２    フィルム室
３２    蛍光板
１０１    筐体
１１０    表示パネル
１１１    表示領域
１１２    表示領域
１１３    表示領域
１１４    表示領域
１１５    表示領域
１１６    表示領域
１２１    アイコン
１２５    スライドバー
１２６    指
１５０    電子機器
１５３ａ    支持パネル
１５５ａ    支持パネル
１５５ｂ    支持パネル
２０１    領域
２０２    撮像素子
２０３    照明素子
２０４    照明用画像
２０５    被写体
２０６    画像
２０７    画像
２０８    アイコン
２０９    アイコン
３００    タッチパネル
３０１    表示部
３０２    画素
３０２Ｂ    副画素
３０２Ｇ    副画素
３０２Ｒ    副画素
３０２ｔ    トランジスタ
３０３ｃ    容量
３０３ｇ（１）    走査線駆動回路
３０３ｇ（２）    撮像画素駆動回路
３０３ｓ（１）    画像信号線駆動回路
３０３ｓ（２）    撮像信号線駆動回路
３０３ｔ    トランジスタ
３０８    撮像画素
３０８ｐ    光電変換素子
３０８ｔ    トランジスタ
３０９    ＦＰＣ
３１０    基板
３１０ａ    バリア膜
３１０ｂ    基板
３１０ｃ    接着層
３１１    配線
３１９    端子
３２１    絶縁膜
３２８    隔壁
３２９    スペーサ
３５０Ｒ    発光素子
３５１Ｒ    下部電極
３５２    上部電極
３５３    層
３５３ａ    発光ユニット
３５３ｂ    発光ユニット
３５４    中間層
３６０    封止材
３６７ＢＭ    遮光層
３６７ｐ    反射防止層
３６７Ｒ    着色層
３７０    対向基板
３７０ａ    バリア膜
３７０ｂ    基板
３７０ｃ    接着層
３８０Ｂ    発光モジュール
３８０Ｇ    発光モジュール
３８０Ｒ    発光モジュール
４０１    バッテリ
４０２    受信手段
４０３    通信機器
４０４    スピーカ
４０５    スピーカ
５００    タッチパネル
５００Ｂ    タッチパネル
５０１    表示部
５０２Ｒ    副画素
５０２ｔ    トランジスタ
５０３ｃ    容量
５０３ｇ（１）    走査線駆動回路
５０３ｔ    トランジスタ
５０９    ＦＰＣ
５１０    基板
５１０ａ    バリア膜
５１０ｂ    基板
５１０ｃ    接着層
５１１    配線
５１９    端子
５２１    絶縁膜
５２８    隔壁
５５０Ｒ    発光素子
５６０    封止材
５６７ＢＭ    遮光層
５６７ｐ    反射防止層
５６７Ｒ    着色層
５７０    基板
５７０ａ    バリア膜
５７０ｂ    基板
５７０ｃ    接着層
５８０Ｒ    発光モジュール
５９０    基板
５９１    電極
５９２    電極
５９３    絶縁層
５９４    配線
５９５    タッチセンサ
５９７    接着層
５９８    配線
５９９    接続層
【図１】
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【図２】
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【図３】
2015127801.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
2015127801.tif 000033
【図３２】
2015127801.tif 000034
【図３３】
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