(57)【要約】【課題】結露に起因する各種不具合の発生を抑制できる回転式真空ポンプを提供する。【解決手段】回転式真空ポンプは、ポンプケーシング内に設けられて回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部を備える真空ポンプ部と、真空ポンプ部の電源装置である電源部と、冷媒の入口であるポンプ側冷媒入口、および、冷媒の出口であるポンプ側冷媒出口を有するポンプ側冷却流路が設けられ、真空ポンプ部を冷媒で冷却するポンプ側冷却装置と、冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、電源部を冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、ポンプ側冷媒出口と電源側冷媒入口とを接続する接続流路とを備え、電源部側冷却装置は、ポンプ側冷却装置に対して冷媒の流れに関して下流に設けられている。【選択図】図５
2015059464.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、および、前記回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部を備える真空ポンプ部と、
前記真空ポンプ部の電源装置である電源部と、
冷媒の入口であるポンプ側冷媒入口、および、前記冷媒の出口であるポンプ側冷媒出口を有するポンプ側冷却流路が設けられ、前記真空ポンプ部を前記冷媒で冷却するポンプ側冷却装置と、
前記冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、前記冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、前記電源部を前記冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、
前記ポンプ側冷媒出口と前記電源側冷媒入口とを接続する接続流路とを備え、
前記電源部側冷却装置は、前記ポンプ側冷却装置に対して前記冷媒の流れに関して下流に設けられている、回転式真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の回転式真空ポンプにおいて、
前記ポンプ側冷媒出口から前記電源側冷却流路への前記冷媒の流れを許可／禁止する切替弁をさらに備える、回転式真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の回転式真空ポンプにおいて、
前記ポンプ側冷媒出口から前記電源側冷却流路への前記冷媒の流れをバイパスするバイパス流路をさらに備え、
前記切替弁は、前記ポンプ側冷媒出口からの前記冷媒が前記電源側冷却流路へ流れること、および、前記ポンプ側冷媒出口からの前記冷媒が前記バイパス流路へ流れることのいずれか一方を任意に選択可能な３方弁である、回転式真空ポンプ。
【請求項４】
ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、前記回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部、ベース、および、ベースに設けられた加熱ヒータを備える真空ポンプ部と、
前記真空ポンプ部の電源装置である電源部と、
冷媒の入口であるケーシング側冷媒入口、および、前記冷媒の出口であるケーシング側冷媒出口を有するケーシング側冷却流路が設けられ、前記ポンプケーシングを前記冷媒で冷却するケーシング側冷却装置と、
前記冷媒の入口であるベース側冷媒入口、および、前記冷媒の出口であるベース側冷媒出口を有するベース側冷却流路が設けられ、前記ベースを前記冷媒で冷却するベース側冷却装置と、
前記冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、前記冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、前記電源部を前記冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、
前記ケーシング側冷媒出口と前記ベース側冷媒入口とを接続する第１の接続流路と、
前記ベース側冷媒出口と前記電源側冷媒入口とを接続する第２の接続流路とを備え、
前記電源部側冷却装置は、前記ケーシング側冷却装置に対して前記冷媒の流れに関して下流に設けられている、回転式真空ポンプ。
【請求項５】
請求項４に記載の回転式真空ポンプにおいて、
前記ケーシング側冷媒出口から前記ベース冷却流路への前記冷媒の流れをバイパスして前記電源側冷却流路へ流す第１のバイパス流路と、
前記ケーシング側冷媒出口から前記ベース側冷却流路への前記冷媒の流れを許可／禁止する切替弁であって、前記ケーシング側冷媒出口からの前記冷媒が前記ベース側冷却流路へ流れること、および、前記ポンプ側冷媒出口からの前記冷媒が前記第１のバイパス流路へ流れることのいずれか一方を任意に選択可能な第１の３方弁をさらに備える、回転式真空ポンプ。
【請求項６】
請求項５に記載の回転式真空ポンプにおいて、
前記ベース側冷媒出口から前記電源側冷却流路への前記冷媒の流れをバイパスする第２のバイパス流路と、
前記ベース側冷媒出口から前記電源側冷却流路への前記冷媒の流れを許可／禁止する切替弁であって、前記ベース側冷媒出口からの前記冷媒が前記電源側冷却流路へ流れること、および、前記ベース側冷媒出口からの前記冷媒が前記第２のバイパス流路へ流れることのいずれか一方を任意に選択可能な第２の３方弁をさらに備える、回転式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転式真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば半導体装置に用いられる回転式真空ポンプの一つとして、ターボ分子ポンプがあるが、ターボ分子ポンプは一般に水冷されて使用されることが多い。そのため、ターボ分子ポンプと一体化された電源装置、あるいはポンプ近傍に配置された電源装置は、ポンプとともに水冷されることが多い。電源装置を水冷する場合、結露が発生するおそれがある。そこで、たとえば電源装置内に結露センサを設けて、結露したことが検出されるとターボ分子ポンプを自動的に停止するように構成されたターボ分子ポンプ駆動制御用電源装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−１５９６６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ターボ分子ポンプと別置される別置型の電源装置と比べて、ターボ分子ポンプと一体とされる一体型の電源装置では、ターボ分子ポンプからの振動を考慮して、電源装置の筐体の強度を高くする必要がある。そのため、一般的に鋼板の曲げ加工等で筐体が製作される別置型の電源装置と比べると、一体型の電源装置は、筐体が密閉されがちになる。そのため、別置型の電源装置と比べて一体型の電源装置では、内部の水蒸気が外部に逃げにくくなり、一旦結露が生じると、結露がなくなるまでに時間が掛かるおそれがある。したがって、上記特許文献に記載の電源装置では、ターボ分子ポンプの停止時間が長くなるおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の好ましい実施形態による回転式真空ポンプは、ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、および、回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部を備える真空ポンプ部と、真空ポンプ部の電源装置である電源部と、冷媒の入口であるポンプ側冷媒入口、および、冷媒の出口であるポンプ側冷媒出口を有するポンプ側冷却流路が設けられ、真空ポンプ部を冷媒で冷却するポンプ側冷却装置と、冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、電源部を冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、ポンプ側冷媒出口と電源側冷媒入口とを接続する接続流路とを備え、電源部側冷却装置は、ポンプ側冷却装置に対して冷媒の流れに関して下流に設けられている。
本発明の別の好ましい実施形態による回転式真空ポンプは、ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部、ベース、および、ベースに設けられた加熱ヒータを備える真空ポンプ部と、真空ポンプ部の電源装置である電源部と、冷媒の入口であるケーシング側冷媒入口、および、冷媒の出口であるケーシング側冷媒出口を有するケーシング側冷却流路が設けられ、ポンプケーシングを冷媒で冷却するケーシング側冷却装置と、冷媒の入口であるベース側冷媒入口、および、冷媒の出口であるベース側冷媒出口を有するベース側冷却流路が設けられ、ベースを冷媒で冷却するベース側冷却装置と、冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、電源部を冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、ケーシング側冷媒出口とベース側冷媒入口とを接続する第１の接続流路と、ベース側冷媒出口と電源側冷媒入口とを接続する第２の接続流路とを備え、電源部側冷却装置は、ケーシング側冷却装置に対して冷媒の流れに関して下流に設けられている。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、電源装置の内部で結露が生じにくくなり、結露に起因する各種不具合の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ターボ分子ポンプの外観を示す図である。
【図２】電源装置用冷却装置の外観図である。
【図３】ターボ分子ポンプについての図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。
【図４】電源装置の全体構成図である。
【図５】ターボ分子ポンプの冷却系統について模式的に示した図である。
【図６】第２の実施の形態のターボ分子ポンプの冷却系統について模式的に示した図である。
【図７】第２の実施の形態の冷却制御回路による三方弁の切替処理の動作を示したフローチャートである。
【図８】第３の実施の形態のターボ分子ポンプの断面図である。
【図９】第３の実施の形態のターボ分子ポンプの冷却系統について模式的に示した図である。
【図１０】第３の実施の形態の冷却制御回路による三方弁および加熱ヒータの制御処理の動作を示したフローチャートである。
【図１１】第３の実施の形態の冷媒入口における冷媒温度、三方弁の切替位置、ネジ溝排気部の周辺の温度Ｔｂの推移の一例を模式的に示した図である。
【図１２】第４の実施の形態のターボ分子ポンプの冷却系統について模式的に示した図である。
【図１３】第４の実施の形態の冷却制御回路による三方弁および加熱ヒータの制御処理の動作を示したフローチャートである。
【図１４】変形例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
−−−第１の実施の形態−−−
図１〜５を参照して、本発明による回転式真空ポンプの第１の実施の形態を説明する。本実施の形態では、回転式真空ポンプの一例としてターボ分子ポンプを例に挙げて説明する。ターボ分子ポンプは、回転翼が形成されたロータをモータで回転駆動し、この回転翼を固定翼に対して高速回転させることにより気体分子を排気する。このようなターボ分子ポンプは各種の真空処理装置に接続されて使用される。
【０００９】
図１は、本実施の形態のターボ分子ポンプ１の外観を示す図である。ターボ分子ポンプ１は、真空排気を行うポンプ本体１１と、ポンプ本体を冷却するポンプ冷却装置１６と、ポンプ本体１１を駆動制御する電源装置１４と、電源装置用冷却装置１３とを備えている。ポンプ本体１１およびポンプ冷却装置１６については後述する。なお、図１では、後述する接続流路（接続配管）１６１の記載を省略している。
【００１０】
電源装置用冷却装置１３は、ポンプ本体１１と電源装置１４との間に介装され、電源装置１４内の発熱部材、特にモータ駆動回路の電子部品を主に冷却する。図２に示すように、電源装置用冷却装置１３は、たとえば、内部に冷媒流路１３ｄが形成されたジャケット本体１３ａと、冷媒入口１３ｂおよび冷媒出口１３ｃとを有する。本実施の形態では、冷媒としてたとえば水が使用される。
【００１１】
ポンプ本体１１はケーシング１１０と、ケーシング１１０の下方に取り付けられるベース１２（ケーシング１２０）とを備えている。ケーシング１１０には、図１において上下に接続用フランジ１１０ＵＦ，１１０ＬＦが設けられている。ケーシング１２０には、図１において上下に接続用フランジ１２０ＵＦ，１２０ＬＦが設けられている。ケーシング１１０と１２０をポンプケーシングと呼ぶ。ケーシング１１０の上部接続用フランジ１１０ＵＦは図示しない真空処理装置の排気口にボルト１１Ｂで接続される。
【００１２】
ケーシング１１０の下部接続用フランジ１１０ＬＦはケーシング１２０の上部接続用フランジ１２０ＵＦにボルト１２Ｂで接続される。ケーシング１２０の下部接続用フランジ１２０ＬＦは電源装置用冷却装置１３の上面１３ＵＳに設置され、電源装置用冷却装置１３はケーシング１２０の下面にボルト１３Ｂで締結される。電源装置用冷却装置１３の下面は電源装置１４の筐体（金属製）１４０の上端面に当接し、筐体１４０は電源装置用冷却装置１３にボルト１４Ｂで締結される。
【００１３】
図２に示すようにジャケット本体１３ａは平板形状であり、底面には凸部１３ｅが形成されている。ジャケット本体１３ａの上面１３ＵＳの中央には、後述する機構部閉止板１２２との干渉を防止するための略円形の凹部１３ｉが設けられている。凹部１３ｉには、後述するコネクタ部材１３２および各配線１４５が挿通される開口１３ｊが設けられている。ジャケット本体１３ａの外周には所定角度毎に突部１３ｆが形成され、この突部１３ｆに電源装置筐体１４０を締結するための孔１３ｇが穿設されている。
【００１４】
凸部１３ｅには、ポンプ回転軸心（ポンプ軸心）と同心円状にねじ孔１３ｈが螺設されている。図１に示すように、排気部１２のケーシング１２０の下部接続フランジ１２０ＬＦにジャケット上面１３ＵＳを当接し、ボルト１３Ｂをねじ孔１３ｈに螺合することにより、ケーシング１２０にジャケット本体１３ａが締結される。ジャケット本体１３ａの裏面１３ＬＳに電源装置筐体１４０の上端面を当接してボルト１４Ｂを電源装置筐体１４０のねじ孔に螺合することによりジャケット本体１３ａに電源装置１４が締結される。
【００１５】
図３は、ターボ分子ポンプ１についての図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視断面図である。なお、図３では、電源装置１４の内部に配設されている回路基板等についての記載を省略している。ポンプケーシングの内部中心には、回転軸４ｃの周囲に、この回転軸の軸方向（図示上下方向）に複数段に配列されたロータ翼４ａを有するロータ４が回転可能に配置されている。
【００１６】
このターボ分子ポンプ１は、ケーシング１１０の内部空間に翼排気部２を有し、ケーシング１２０の内部空間にネジ溝排気部３を有する複合タイプのターボ分子ポンプである。翼排気部２は複数段のロータ翼４ａと複数段のステータ翼６とで構成され、ネジ溝排気部３はロータ円筒部４ｂとネジステータ８とで構成されている。
【００１７】
ロータ翼４ａとステータ翼６とは、ポンプの軸方向に交互に配設されている。ケーシング１１０の内面にはリング状のスペーサ５が複数積層されており、各ステータ翼６の外周部は上下のスペーサ５によって挟持されて保持されている。ロータ４には、ケーシング１２０内に配置されたロータ円筒部４ｂが一体に形成されている。ロータ円筒部４ｂの外周にはネジ溝４ｂ２が形成されており、その外周に円筒形状のネジステータ８が配置されている。ネジステータ８は、ボルト４１によってケーシング１２０に固定されている。
【００１８】
複数段のロータ翼４ａおよびロータ円筒部４ｂが形成されたロータ４は、その回転軸４ｃがケーシング１２０に設けられたラジアル磁気軸受３１およびスラスト磁気軸受３２により非接触状態で支持される。ロータ４は、回転軸４ｃが磁気軸受３１、３２により非接触で支持されて、モータ３５により回転駆動される。ロータ４の回転軸４ｃの磁気浮上位置は、ギャップセンサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃにより検出される。３４は、ロータ４の回転軸４ｃが磁気軸受３１、３２による磁気作用で浮上されていない状態において、ロータ４の回転軸４ｃを支持する機械式の保護ベアリングである。
【００１９】
ケーシング１２０にはロータ４やモータ３５等の機構部を取り付ける空間１２５が設けられ、ケーシング１２０の下面には、空間１２５に至る開口１２１が設けられている。ターボ分子ポンプ１の運転中には、空間１２５が真空となる。そのため、開口１２１は機構部閉止板１２２で閉止されている。機構部閉止板１２２は円形板形状を呈する閉止フランジ状の部材であり、後述するコネクタ装置１３０のコネクタ部材１３１が取り付けられている。
【００２０】
モータ３５によりロータ４を回転駆動すると図示しない真空処理装置内の気体分子が吸気ポート１１Ｑから流入する。吸気ポート１１Ｑから流入した気体分子は翼排気部２において圧縮されて図示下方のネジ溝排気部３へ移送される。
【００２１】
ネジ溝排気部３においては、ネジステータ８に対してロータ円筒部４ｂが高速回転すると粘性流による排気機能が発生し、翼排気部２からネジ溝排気部３へと移送された気体は圧縮されながら排気ポート１２Ｈ方向へ移送され真空排気される。なお、本実施の形態では、ネジ溝構成を有するネジ溝排気部３としているが、ネジ溝構成以外の構成も含め、粘性流による排気機能を発揮する部分はドラッグポンプ部と呼ばれる場合もある。
【００２２】
本実施の形態では、ポンプ冷却装置１６はケーシング１１０と一体的に設けられている（図３）。具体的には、ケーシング１１０の接続用フランジ１１０ＬＦの上部に冷媒流路１６ｄが設けられており、ポンプ冷却装置１６が接続用フランジ１１０ＬＦと一体的に設けられている。冷媒流路１６ｄの両端は、接続用フランジ１１０ＬＦの外部に突出している（図１）。冷媒流路１６ｄの両端のうち、一方が冷媒入口１６ｂであり、他方が冷媒出口１６ｃである。
【００２３】
図４を参照して電源装置１４を説明する。電源装置１４には一次電源１５から交流電力が供給され、ＡＣ／ＤＣコンバータ１４ａに入力される。入力される交流電力の電圧は電圧センサ１４ｂによって検出される。ＡＣ／ＤＣコンバータ１４ａは、一次電源１５から供給された交流電力を直流電力に変換する。ＡＣ／ＤＣコンバータ１４ａから出力された直流電力は、モータ３５を駆動する３相インバータ１４ｃとＤＣ／ＤＣコンバータ１４ｄに入力される。ＤＣ／ＤＣコンバータ１４ｄに入力される直流電力の電圧は、電圧センサ１４ｅによって検出される。ＤＣ／ＤＣコンバータ１４ｄの出力は、３相インバータ１４ｃをＰＷＭ制御等で制御するインバータ制御回路１４ｆ、および磁気軸受３１，３２による磁気浮上の制御を行う磁気軸受制御部１４ｇのそれぞれに入力される。
【００２４】
磁気軸受制御部１４ｇは、軸受制御を行う制御部１４１ｇと、制御部１４１ｇで算出された制御信号に基づいて励磁電流を磁気軸受３１，３２に供給する励磁アンプ１４２ｇとを備えている。
【００２５】
インバータ制御回路１４ｆには回転数センサ１９により検出されたロータ４の回転数が入力され、インバータ制御回路１４ｆは、ロータ回転数に基づいて３相インバータ１４ｃを制御する。また、１４ｈは回生余剰電力消費用の回生ブレーキ抵抗（シーズヒータ）であり、ロータ減速時の回生電力をこの回生ブレーキ抵抗１４ｈで消費する。トランジスタ制御回路１４ｉによりトランジスタ１４ｊのオンオフを制御することにより、回生ブレーキ抵抗１４ｈに流れる電流のオンオフを制御する。１４ｋは、回生時の電力逆流防止用のダイオードである。電源装置１４の素子や基板の具体的な配置については説明を省略する。
【００２６】
ポンプ本体１１側の複数の配線１３５と電源装置１４側の複数の配線１４５とは、互いに着脱可能な一対のコネクタ部材１３１，１３２を備えるコネクタ装置１３０を介して接続される。
【００２７】
図５は、ターボ分子ポンプ１の冷却系統について模式的に示した図である。図５に示すように、ポンプ冷却装置１６の冷媒出口１６ｃと、電源装置用冷却装置１３の冷媒入口１３ｂとが接続配管１６１で接続されている。
【００２８】
このように構成されるターボ分子ポンプ１では、冷媒は、図５の矢印Ａで示すようにポンプ冷却装置１６の冷媒入口１６ｂから供給され、冷媒流路１６ｄを流れる。冷媒流路１６ｄを流れた冷媒は、冷媒出口１６ｃ、接続配管１６１を介して電源装置用冷却装置１３の冷媒入口１３ｂに供給されて冷媒流路１３ｄを流れる。冷媒流路１３ｄを流れた冷媒は、図５の矢印Ｂで示すように冷媒出口１３ｃから不図示の配管に流出する。
【００２９】
したがって、本実施の形態のターボ分子ポンプ１では、冷媒は、ポンプ冷却装置１６の冷媒入口１６ｂから供給されて、ポンプ本体１１を冷却する。ポンプ本体１１を冷却して温度が上がった冷媒は、冷媒出口１６ｃ、接続配管１６１を介して電源装置用冷却装置１３の冷媒入口１３ｂに供給されて電源装置１４を冷却する。なお、ターボ分子ポンプ１が最大負荷の状態で運転されている場合には、ポンプ本体１１を冷却することで冷媒の温度が３〜５℃程度上昇することが、発明者らによって確認されている。
【００３０】
すなわち、第１の実施の形態のターボ分子ポンプ１では、次の作用効果を奏する。
（１）  冷媒が、ポンプ冷却装置１６の冷媒入口１６ｂから供給されて、ポンプ本体１１を冷却した後、電源装置用冷却装置１３の冷媒入口１３ｂに供給されて電源装置１４を冷却するように構成した。これにより、ポンプ本体１１を冷却して温度が上がった冷媒が電源装置１４を冷却するので、ポンプ本体１１を冷却する前の冷媒で電源装置１４を冷却する場合と比べて、電源装置用冷却装置１３に供給される冷媒の温度を上げることができる。したがって、電源装置１４の内部で結露が生じにくくなり、結露に起因する各種不具合の発生を抑制できる。
【００３１】
（２）  電源装置１４を冷却する前の冷媒でポンプ本体１１を冷却するので、電源装置１４を冷却した後の冷媒でポンプ本体１１を冷却する場合と比べて、ポンプ本体１１に供給される冷媒の温度を下げることができる。したがって、ポンプ本体１１の冷却効率が向上して、ターボ分子ポンプ１の排気性能および耐久性を向上できる。
【００３２】
−−−第２の実施の形態−−−
図６，７を参照して、本発明による回転式真空ポンプの第２の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、電源装置用冷却装置１３に冷媒を供給するか否かを切り替える三方弁が設けられた点で、第１の実施の形態と異なる。
【００３３】
図６は、第２の実施の形態のターボ分子ポンプ１の冷却系統について模式的に示した図である。冷媒流路１３ｄには、三方弁１７１が設けられている。三方弁１７１は、たとえば電磁駆動式の弁であり、冷媒入口１３ｂ側の冷媒流路１３ｄに介挿されるとともに、バイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃに接続されている。三方弁１７１によって、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を冷媒流路１３ｄにそのまま流すのか、冷媒流路１３ｄには流さずにバイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃへ流すのかが切り替えられる。三方弁１７１より上流の冷媒流路１３ｄには、冷媒の温度Ｔｗを検出する冷媒温度センサ１８１が設けられている。
【００３４】
電源装置１４の筐体１４０内には、冷却制御回路１８０と、温度センサ１８２と、湿度センサ１８３とが設けられている。冷却制御回路１８０は、冷媒温度センサ１８１で検出した冷媒の温度Ｔｗ、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃに基づいて三方弁１７１を制御する制御回路であり、ＣＰＵ１８０ａや不図示のＲＯＭ、ＲＡＭなどの周辺回路を備えている。
【００３５】
このように構成されるターボ分子ポンプ１では、冷却制御回路１８０が次のように三方弁１７１を制御する。すなわち、冷却制御回路１８０は、たとえば次の（ａ２），（ｂ２）のいずれかの条件を満たした場合、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を冷媒流路１３ｄに流すように三方弁１７１を制御する。
【００３６】
（ａ２）  温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃに基づいて、筐体１４０内で結露の発生のおそれがないと推定される場合，または結露発生のおそれがあると推定され、かつ、冷媒温度センサ１８１で検出された冷媒の温度Ｔｗが冷媒流路１３ｄに流しても結露が発生しないと考えられる閾値Ｔｓ１よりも高い場合。
【００３７】
（ｂ２）  温度センサ１８２で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃが、電源装置１４の冷却開始のためのあらかじめ定められた閾値Ｔｓを超えた場合。
【００３８】
上記条件（ａ２）は、結露防止のための条件であり、上記条件（ｂ２）は、電源装置１４の温度上昇を抑制するための冷却開始の条件である。上記条件（ａ２），（ｂ２）以外の場合には、冷却制御回路１８０は、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒をバイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃへ流すように三方弁１７１を制御する。
【００３９】
図７は、冷却制御回路１８０による三方弁１７１の切替処理の動作を示したフローチャートである。電源装置１４の不図示のメインスイッチがオンされると、図７に示す処理を行うプログラムが起動されて、冷却制御回路１８０のＣＰＵ１８０ａで繰り返し実行される。ステップＳ１において、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃ、冷媒温度センサ１８１で検出された冷媒の温度Ｔｗを読み込んでステップＳ３へ進む。
【００４０】
ステップＳ３において、ステップＳ１で読み込んだ筐体１４０内の温度Ｔｃが上記条件（ｂ２）における閾値Ｔｓを超えたか否かを判断する。ステップＳ３が肯定判断されるとステップＳ５へ進み、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を冷媒流路１３ｄに流すように三方弁１７１を制御して、本プログラムを終了する。
【００４１】
ステップＳ３が否定判断されると、ステップＳ７へ進み、ステップＳ１で読み込んだ筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃから、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあるか否かを判断する。ステップＳ７が肯定判断されると、すなわち、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあると判断されるとステップＳ９へ進み、冷媒の温度Ｔｗが冷媒流路１３ｄに流しても結露が発生しないと考えられる閾値Ｔｓ１よりも高いか否かを判断する。ステップＳ９が肯定判断されると、すなわち、冷媒の温度ＴｗがＴｓ１よりも高いと判断されるとステップＳ５へ進む。
【００４２】
ステップＳ７が否定判断されると、すなわち、筐体１４０内で結露の発生のおそれがないと判断されるとステップＳ５へ進み、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を、冷媒流路１３ｄへ流すように三方弁１７１を制御して、本プログラムを終了する。ステップＳ９が否定判断されるとステップＳ１１へ進む。ステップＳ１１において、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を、バイパス流路１６２へ流すように、すなわち、バイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃ側へ流すように三方弁１７１を制御して、本プログラムを終了する。
【００４３】
上述した第２の実施の形態のターボ分子ポンプ１では、第１の実施の形態の作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。
（１）  筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃから、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあり，冷媒の流入により結露の発生の可能性がないと判断されると、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を冷媒流路１３ｄに流すように構成した。これにより、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあり，冷媒の流入により結露の発生の可能性がない場合には、ポンプ本体１１を冷却して温度が上がった冷媒が冷媒流路１３ｄに流れるので、電源装置１４の内部で結露が生じにくくなり、結露に起因する各種不具合の発生を抑制できる。
【００４４】
（２）  筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃから、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあると判断された場合であっても、冷媒の温度Ｔｗが閾値Ts1よりも低い場合には、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を、バイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃ側へ流すように構成した。これにより、筐体１４０内で結露の発生のおそれがある場合に、温度が低い冷媒によって、誤って筐体１４０内を更に冷却して結露の発生を促進してしまうことを防止できるので、結露に起因する各種不具合の発生を更に抑制できる。
【００４５】
−−−第３の実施の形態−−−
図８〜１１を参照して、本発明による回転式真空ポンプの第３の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１および第２の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１および第２の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、ポンプ本体１に温調装置１９０が設けられている点で、第１および第２の実施の形態と異なる。
【００４６】
図８は、本実施の形態のターボ分子ポンプ１の断面図である。ネジ溝排気部３への生成物の堆積を防止するためには、ネジ溝排気部３を加熱することが効果的であることが知られている。そこで、本実施の形態のターボ分子ポンプ１のベース１２には、温調装置１９０が設けられている。温調装置１９０は、ネジ溝排気部３の温度調節を行う装置であり、ネジ溝排気部３を加熱する加熱ヒータ１９１と、ネジ溝排気部３を冷却する冷媒流路１９２とを有する。なお、温調装置１９０は、冷却制御回路１８０によって制御されて、ネジ溝排気部３の周辺の温度が、たとえば５５℃程度を維持するように加熱および冷却を行う。
【００４７】
図９は、第３の実施の形態のターボ分子ポンプ１の冷却系統について模式的に示した図である。本実施の形態では、ポンプ冷却装置１６の冷媒出口１６ｃと、温調装置１９０の冷媒流路１９２の入口（冷媒入口１９２ｂ）とが接続配管１６３で接続されている。そして、冷媒流路１９２の出口（冷媒出口１９２ｃ）と、電源装置用冷却装置１３の冷媒入口１３ｂとが接続配管１６４で接続されている。
【００４８】
冷媒流路１９２には、三方弁１７２が設けられている。三方弁１７２は、たとえば電磁駆動式の弁であり、冷媒入口１９２ｂ側の冷媒流路１９２に介挿されるとともに、バイパス流路１６５を介して冷媒出口１９２ｃに接続されている。三方弁１７２によって、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２にそのまま流すのか、冷媒流路１９２には流さずにバイパス流路１６５を介して冷媒出口１９２ｃへ流すのかが切り替えられる。
【００４９】
ケーシング１２０には、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂを検出する温度センサ１８４が設けられている。本実施の形態の冷却制御回路１８０は、加熱ヒータ１９１の制御も行う。
【００５０】
このように構成されるターボ分子ポンプ１では、冷却制御回路１８０が次のように三方弁１７２および加熱ヒータ１９１を制御する。すなわち、冷却制御回路１８０は、たとえば次の（ａ３）〜（ｄ３）に示すように三方弁１７２および加熱ヒータ１９１を制御する。
【００５１】
（ａ３）  温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが、あらかじめ定められた閾値Ｔｓｂ１よりも低い場合には、加熱ヒータ１９１に通電するとともに、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒をバイパス流路１６５へ流すように三方弁１７２を制御する。
【００５２】
（ｂ３）  温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが、あらかじめ定められた閾値Ｔｓｂ２（＞Ｔｓｂ１）よりも高い場合には、加熱ヒータ１９１への通電を停止するとともに、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２を制御する。
【００５３】
（ｃ３）  温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが、閾値Ｔｓｂ１よりも高く、閾値Ｔｓｂ２よりも低い場合（Ｔｓｂ１＜ Ｔｂ ＜ Ｔｓｂ２）には、加熱ヒータ１９１の通電状態、および、三方弁１７２の切替位置を変更せず、現状のままで維持するように制御する。
【００５４】
（ｄ３）  上記（ａ３）〜（ｃ３）に関わらず、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃに基づいて、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあると推定される場合には、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２を制御する。
【００５５】
図１０は、冷却制御回路１８０による三方弁１７２および加熱ヒータ１９１の制御処理の動作を示したフローチャートである。電源装置１４の不図示のメインスイッチがオンされると、図１０に示す処理を行うプログラムが起動されて、冷却制御回路１８０のＣＰＵ１８０ａで繰り返し実行される。ステップＳ３１において、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃ、温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂを読み込んでステップＳ３３へ進む。
【００５６】
ステップＳ３３において、温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが、あらかじめ定められた閾値Ｔｓｂ１よりも低いか否かを判断する。ステップＳ３３が肯定判断されると、すなわち、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが閾値Ｔｓｂ１よりも低いと判断されるとステップＳ３５へ進み、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒をバイパス流路１６５へ流すように三方弁１７２を制御してステップＳ３７へ進む。ステップＳ３７において、加熱ヒータ１９１をオンしてステップＳ３９へ進む。
【００５７】
ステップＳ３９において、ステップＳ３１で読み込んだ筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃから、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあるか否かを判断する。ステップＳ３９が肯定判断されると、すなわち、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあると判断されるとステップＳ４１へ進み、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２を制御して本プログラムを終了する。
【００５８】
ステップＳ３９が否定判断されると、すなわち、筐体１４０内で結露の発生のおそれがないと判断されると、本プログラムを終了する。
【００５９】
ステップＳ３３が否定判断されると、すなわち、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが閾値Ｔｓｂ１よりも高いと判断されるとステップＳ４２へ進み、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂがあらかじめ定められた閾値Ｔｓｂ２よりも高いか否かを判断する。ステップＳ４２が肯定判断されると、すなわち、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが閾値Ｔｓｂ２よりも高いと判断されるとステップＳ４３へ進み、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２を制御してステップＳ４５へ進む。ステップＳ４５において、加熱ヒータ１９１をオフしてステップＳ３９へ進む。
【００６０】
ステップＳ４２が否定判断されると、すなわち、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂが閾値Ｔｓｂ２よりも低いと判断されるとステップＳ３９へ進む。
【００６１】
図１１は、本実施の形態における、冷媒入口１３ｂにおける冷媒温度、三方弁１７２の切替位置、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂの推移の一例を模式的に示した図である。なお、図１１に示した一例では、筐体１４０内で結露の発生のおそれについては考慮せず、単に、三方弁１７２の切替による冷媒入口１３ｂ、および、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂの変化を示している。
【００６２】
ターボ分子ポンプ１の運転を開始するとともに冷媒の供給を開始すると、ターボ分子ポンプ１の発熱によって、図１１の時刻ｔ０からｔ１の区間で表されたように冷媒入口１３ｂにおける冷媒の温度は時間が経つにつれて徐々に上昇する。なお、図１１の時刻ｔ０からｔ１の区間では、ネジ溝排気部３の周辺温度Ｔｂが低いため、三方弁１７２の切替位置は、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒をバイパス流路１６５へ流す切替位置である。また、図１１には図示していないが、時刻ｔ０からｔ１の区間では、加熱ヒータ１９１に通電される。そのため、時刻ｔ０からｔ１の区間では、ネジ溝排気部３の周辺温度Ｔｂが徐々に上昇する。
【００６３】
ネジ溝排気部３の周辺温度Ｔｂが閾値Ｔｓｂ２に達すると（時刻ｔ１）、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２の切替位置が切り替えられ、加熱ヒータ１９１への通電が絶たれる。そのため、時刻ｔ１以降では、ネジ溝排気部３の周辺温度Ｔｂが徐々に下がる。なお、時刻ｔ１以降では、冷媒入口１３ｂには、ネジ溝排気部３の周辺から熱を奪って温まった冷媒が流入するため、冷媒入口１３ｂにおける冷媒の温度の上がり方がさらに大きくなる。
【００６４】
上述した第３の実施の形態のターボ分子ポンプ１では、第１および第２の実施の形態の作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。
（１）  ネジ溝排気部３の温度調節を行う温度調節装置１９０の冷媒流路１９２を通過した冷媒が電源装置用冷却装置１３の冷媒流路１３ｄに流れ込むように構成した。これにより、ターボ分子ポンプ１自体の発熱による顕熱ではなく、加熱ヒータ１９１で加熱されたネジ溝排気部３およびその周辺の部材の顕熱を奪うことで、冷媒がより温まる。したがって、この温められた冷媒によって電源装置１４の温度がより早く上昇するので、電源装置１４の内部で結露がより生じにくくなり、結露に起因する各種不具合の発生をさらに抑制できる。また、仮に電源装置１４の内部で結露が生じたとしても、短時間で結露を解消できるので、結露が原因でターボ分子ポンプ１を運転禁止（保護動作の実行）にさせる場合であっても、運転禁止状態になっている時間を短縮化でき、効率的である。
【００６５】
−−−第４の実施の形態−−−
図１２，１３を参照して、本発明による回転式真空ポンプの第４の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１〜第３の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１〜第３の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、第２の実施の形態における三方弁１７１と、第３の実施の形態における三方弁１７２および温調装置１９０とが共に設けられている点で、第１〜第３の実施の形態と異なる。
【００６６】
図１２は、第４の実施の形態のターボ分子ポンプ１の冷却系統について模式的に示した図である。本実施の形態のターボ分子ポンプ１のベース１２には、温調装置１９０が設けられ、冷媒流路１９２には、三方弁１７２が設けられ、冷媒流路１３ｄには、三方弁１７１が設けられている。
【００６７】
本実施の形態では、三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作と、冷媒流路１３ｄに設けられた三方弁１７１の動作とが冷却制御回路１８０によって独立して制御される。すなわち本実施の形態では、冷却制御回路１８０は、ベース１２の温調装置１９０（加熱ヒータ１９１、および冷媒流路１９２に設けられた三方弁１７２）については、ネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂに応じて制御する。具体的には、冷却制御回路１８０は、第３の実施の形態についての説明で述べた（ａ３）〜（ｄ３）のうち、（ａ３）〜（ｃ３）に示すように三方弁１７２および加熱ヒータ１９１を制御する。
【００６８】
また、本実施の形態では、冷却制御回路１８０は、冷媒流路１３ｄに設けられた三方弁１７１については、冷媒温度センサ１８１で検出した冷媒の温度Ｔｗ、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃに基づいて三方弁１７１を制御する。具体的には、冷却制御回路１８０は、第２の実施の形態についての説明で述べた（ａ２），（ｂ２）のいずれかの条件を満たした場合、冷媒入口１３ｂから流入した冷媒を冷媒流路１３ｄに流すように三方弁１７１を制御する。
【００６９】
図１３は、冷却制御回路１８０による三方弁１７１，１７２および加熱ヒータ１９１の制御処理の動作を示したフローチャートである。電源装置１４の不図示のメインスイッチがオンされると、図１３に示す処理を行うプログラムが起動されて、冷却制御回路１８０のＣＰＵ１８０ａで繰り返し実行される。ステップＳ５１において、温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂを読み込んでステップＳ３３へ進む。ステップＳ３３からステップＳ４５までは、上述した第３の実施の形態における図１０のフローチャートに示す動作と同じである。
【００７０】
ステップＳ３７またはステップＳ４５が実行されると、ステップＳ１へ進む。ステップＳ１からステップＳ１１までは、上述した第２の実施の形態における図７のフローチャートに示す動作と同じである。
【００７１】
上述した第４の実施の形態のターボ分子ポンプ１では、第１〜第３の実施の形態の作用効果に加えて、次の作用効果を奏する。
（１）  三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作と、冷媒流路１３ｄに設けられた三方弁１７１の動作とが冷却制御回路１８０によって独立して制御されるように構成した。これにより、冷却制御回路１８０の制御プログラムを複雑化することなく、上述した各実施の形態の作用効果と同様の作用効果を奏する。したがって、開発コストの削減に資する。
【００７２】
（２）  三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作と、冷媒流路１３ｄに設けられた三方弁１７１の動作とが冷却制御回路１８０によって独立して制御されるように構成したため、たとえば、三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作を冷却制御回路１８０とは異なる制御回路によって制御させるように構成することもできる。これにより、既設のターボ分子ポンプに温調装置１９０または電源装置用冷却装置１３の後付けが容易に行えるようになるので、既設のターボ分子ポンプのユーザにとって利便性が高まる。
【００７３】
−−−変形例−−−
（１）  上述した第４の実施の形態では、三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作と、冷媒流路１３ｄに設けられた三方弁１７１の動作とが冷却制御回路１８０によって独立して制御されるように構成したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、図１４に示すように、三方弁１７２を含む温調装置１９０の動作によって電源装置１４の結露を防止するようにしてもよい。
【００７４】
図１４は、冷却制御回路１８０による三方弁１７１，１７２および加熱ヒータ１９１の制御処理の動作の変形例を示したフローチャートである。電源装置１４の不図示のメインスイッチがオンされると、図１４に示す処理を行うプログラムが起動されて、冷却制御回路１８０のＣＰＵ１８０ａで繰り返し実行される。ステップＳ３１からステップＳ４１までは、上述した第３の実施の形態における図１０のフローチャートに示す動作と同じである。
【００７５】
すなわち、ステップＳ３１において、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃ、温度センサ１８４で検出したネジ溝排気部３の周辺の温度Ｔｂを読み込む点で、第４の実施の形態における図１３のフローチャートと異なる。また、ステップＳ３９において、ステップＳ３１で読み込んだ筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃから、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあるか否かを判断する点、および、ステップＳ３９が肯定判断されるとステップＳ４１へ進み、冷媒入口１９２ｂから流入した冷媒を冷媒流路１９２へ流すように三方弁１７２を制御する点で、第４の実施の形態における図１３のフローチャートと異なる。
【００７６】
なお、ステップＳ３９が否定判断されるか、ステップＳ４１が実行されるとステップＳ５３へ進む。ステップＳ５３およびステップＳ１からステップＳ１１までは、上述した第２の実施の形態における図７のフローチャートに示す動作と同じである。
【００７７】
このように、構成することによって、上述した第４の実施の形態の作用効果に加えて、加熱ヒータ１９１の発生する熱によって高い温度となった冷媒によって電源装置１４を加熱することができるようになり、より短時間で筐体１４０内を結露のおそれがない状態にすることができる。
【００７８】
なお、上述した構成によって加熱ヒータ１９１の発生する熱によって高い温度となった冷媒が長時間電源装置１４を加熱することに不都合があるのであれば、冷却制御回路１８０が次のように制御するようにすればよい。すなわち、加熱ヒータ１９１の発生する熱によって高い温度となった冷媒を短時間だけ冷媒流路１３ｄに流した後、バイパス流路１６２を介して冷媒出口１３ｃへ流すように三方弁１７１を切り替える制御を冷却制御回路１８０が行うように構成すればよい。
【００７９】
（２）  上述の説明では、三方弁１７１や三方弁１７２の切替制御によって筐体１４０内の温度を上げるように構成しているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、電源装置用冷却装置１３の下流に冷媒が流れないことが許容されるのであれば、冷媒を三方弁１７１でバイパス流路１６２に流すことに代えて、三方弁１７１と置き換えた二方弁で、冷媒を冷媒流路１３ｄに流すことを禁止してもよい。この場合、バイパス流路１６２は不要である。
【００８０】
同様に、たとえば、温調装置１９０の下流に冷媒が流れないことが許容されるのであれば、冷媒を三方弁１７２でバイパス流路１６５に流すことに代えて、三方弁１７２と置き換えた二方弁で、冷媒を冷媒流路１９２に流すことを禁止してもよい。この場合、バイパス流路１６５は不要である。
【００８１】
（３）  上述の説明では、温度センサ１８２および湿度センサ１８３で検出した筐体１４０内の温度Ｔｃおよび湿度Ｈｃに基づいて、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあるか否かを推定するように構成したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、温度センサ１８２および湿度センサ１８３に代えて、または温度センサ１８２および湿度センサ１８３とともに結露の有無を検出する結露センサを用いてもよい。そして、結露センサで結露したことが検出されることをもって、筐体１４０内で結露の発生のおそれがあると判断するように構成してもよい。
【００８２】
（４）  上述の説明では、電源装置用冷却装置１３がポンプ本体１１と電源装置１４との間に介装されているが、本発明はこれに限定されない。上述した電源装置用冷却装置１３は一例であり、たとえば電源装置１４の筐体１４０の内部や筐体１４０の外周、筐体１４０の下面などに冷却装置を設けてもよい。
【００８３】
（５）  上述の説明では、たとえば図８に示すように加熱ヒータ１９１がケーシング１２０の外周に設けられているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、加熱ヒータ１９１がケーシング１２０に鋳込まれていてもよく、ネジ溝排気部３を加熱するという目的を達成でき、他に不都合な点がなければ、加熱ヒータ１９１の配設位置は特に限定されない。
【００８４】
（６）  上述の説明では、三方弁１７１が冷媒入口１３ｂの下流側に設けられているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、三方弁１７１を接続配管１６１や接続配管１６４に設けてもよい。同様に、上述の説明では、三方弁１７２が冷媒入口１９２ｂの下流側に設けられているが、本発明はこれに限定されない。たとえば、三方弁１７２を接続配管１６３に設けてもよい。
【００８５】
（７）  上述の説明では、回転式真空ポンプの一例として複合タイプのターボ分子ポンプ１を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されず、翼排気部のみを備えたターボ分子ポンプ、あるいはネジ溝排気部のみを備えたドラッグポンプ等、冷媒による冷却装置を備えた真空ポンプに幅広く適用することが可能である。
（８）  上述した各実施の形態および変形例は、それぞれ組み合わせてもよい。
【００８６】
なお、本発明は、上述した実施の形態のものに何ら限定されず、ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、および、回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部を備える真空ポンプ部と、真空ポンプ部の電源装置である電源部と、冷媒の入口であるポンプ側冷媒入口、および、冷媒の出口であるポンプ側冷媒出口を有するポンプ側冷却流路が設けられ、真空ポンプ部を冷媒で冷却するポンプ側冷却装置と、冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、電源部を冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、ポンプ側冷媒出口と電源側冷媒入口とを接続する接続流路とを備え、電源部側冷却装置は、ポンプ側冷却装置に対して冷媒の流れに関して下流に設けられている各種構造の回転式真空ポンプを含むものである。
また、本発明は、上述した実施の形態のものに何ら限定されず、ポンプケーシング、回転側排気部が設けられて高速回転駆動されるロータ、回転側排気部と共働して排気作用を発生する固定側排気部、ベース、および、ベースに設けられた加熱ヒータを備える真空ポンプ部と、真空ポンプ部の電源装置である電源部と、冷媒の入口であるケーシング側冷媒入口、および、冷媒の出口であるケーシング側冷媒出口を有するケーシング側冷却流路が設けられ、ポンプケーシングを冷媒で冷却するケーシング側冷却装置と、冷媒の入口であるベース側冷媒入口、および、冷媒の出口であるベース側冷媒出口を有するベース側冷却流路が設けられ、ベースを冷媒で冷却するベース側冷却装置と、冷媒の入口である電源部側冷媒入口、および、冷媒の出口である電源部側冷媒出口を有する電源側冷却流路が設けられ、電源部を冷媒で冷却する電源部側冷却装置と、ケーシング側冷媒出口とベース側冷媒入口とを接続する第１の接続流路と、ベース側冷媒出口と電源側冷媒入口とを接続する第２の接続流路とを備え、電源部側冷却装置は、ケーシング側冷却装置に対して冷媒の流れに関して下流に設けられている各種構造の回転式真空ポンプを含むものである。
【符号の説明】
【００８７】
１  ターボ分子ポンプ、２  翼排気部、３  ネジ溝排気部、１１  ポンプ本体、１２  ベース、１３  電源装置用冷却装置、１３ｂ  冷媒入口、１３ｃ  冷媒出口、１３ｄ  冷媒流路、１４  電源装置、１６  ポンプ冷却装置、１６ｂ  冷媒入口、１６ｃ  冷媒出口、１６ｄ  冷媒流路、１６１，１６３  接続流路（接続配管）、１６２，１６５  バイパス流路、１７１，１７２  三方弁、１８０  冷却制御回路、１８１  冷媒温度センサ、１８２，１８４  温度センサ、１８３  湿度センサ、１９０  温調装置、１９１  加熱ヒータ、１９２  冷媒流路、１９２ｂ  冷媒入口、１９２ｃ  冷媒出口
【図１】
2015059464.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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