(57)【要約】【課題】冷却液の流量を計測するための流量計を省くことができる真空ポンプの提供。【解決手段】真空ポンプにおいては、電源装置２には、内部に冷却液が流通する流路２３ａが形成され、流路上に発熱用回路部品として回路部品２２が配置される冷却部２３と、回路部品２２が配置された流路領域Ａよりも上流側の冷却液温度を検出する温度センサ２４と、流路領域Ａよりも下流側の冷却液温度を検出する温度センサ２５と、温度センサ２４，２５の各々によって検出された温度、および電流センサの検出電流値に基づいて算出される回路部品２２の発熱量に基づいて、流路２３ａを流れる冷却液の流量を推定する制御部２１と、が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体を排気するポンプ本体と、
ポンプ本体を駆動制御するための複数の回路部品を筐体内に収納して成る電源装置と、を備える真空ポンプであって、
前記電源装置には、
内部に冷却液が流通する流路が形成され、流路上に前記複数の回路部品の少なくとも一つが発熱用回路部品として配置される冷却部と、
前記発熱用回路部品が配置された流路領域よりも上流側の冷却液温度を検出する第１の温度センサと、
前記流路領域よりも下流側の冷却液温度を検出する第２の温度センサと、
前記ポンプ本体に設けられたロータ回転用モータに流れる電流を検出する電流センサと、
前記第１および第２の温度センサの各々によって検出された温度と、前記電流センサの検出電流値から算出される前記発熱用回路部品の発熱量とに基づいて、前記流路を流れる冷却液の流量を推定する流量推定部と、が設けられている真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記筐体の回路部品収納空間は密閉されている、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
前記冷却部は、前記ポンプ本体に固定されると共に、前記冷却部におけるポンプ本体固定側の面と反対側の面に、前記発熱用回路部品、前記第１の温度センサおよび前記第２の温度センサが設けられ、
前記筐体は、前記複数の回路部品、前記第１の温度センサおよび前記第２の温度センサが収納されるように前記冷却部に固定されている、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の真空ポンプにおいて、
前記冷却部に配置される前記発熱用回路部品は、前記モータを駆動するためのインバータである、真空ポンプ。
【請求項５】
請求項２または３に記載の真空ポンプにおいて、
前記冷却部に配置される前記発熱用回路部品は、前記ロータ回転用モータの回生ブレーキ用抵抗である、真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
冷却液を流通させて電源装置の冷却を行う真空ポンプ。
【背景技術】
【０００２】
電源装置とポンプ本体を一体型としたターボ分子ポンプが知られている（例えば、特許文献１参照）。ターボ分子ポンプはポンプ本体を冷却して用いる場合が多く、その場合には水冷により冷却が行われる。そのため、電源装置の冷却も水冷とされる場合が多い。冷却水を用いたターボ分子ポンプでは、冷却性能を確保するために、冷却水温度および流量を規定している。そして、冷却水配管に専用の水量計を設けて流量を計測し、流量が低下した場合にはポンプを停止し、流量低下の原因を取り除いた後に再度ポンプを起動するという作業が行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２５５２２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、専用の流量計を設ける必要があるため、コストアップを招く。また、流量計は、その内部において流路が狭まる構造を有しているので、異物が詰まりやすいという欠点を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の好ましい実施の形態による真空ポンプは、気体を排気するポンプ本体と、ポンプ本体を駆動制御するための複数の回路部品を筐体内に収納して成る電源装置と、を備える真空ポンプであって、電源装置には、内部に冷却液が流通する流路が形成され、流路上に複数の回路部品の少なくとも一つが発熱用回路部品として配置される冷却部と、発熱用回路部品が配置された流路領域よりも上流側の冷却液温度を検出する第１の温度センサと、流路領域よりも下流側の冷却液温度を検出する第２の温度センサと、ポンプ本体に設けられたロータ回転用モータに流れる電流を検出する電流センサと、第１および第２の温度センサの各々によって検出された温度と、電流センサの検出電流値から算出される発熱用回路部品の発熱量とに基づいて、流路を流れる冷却液の流量を推定する流量推定部と、が設けられている。
さらに好ましい実施形態では、筐体の回路部品収納空間は密閉されている。
さらに好ましい実施形態では、冷却部は、ポンプ本体に固定されると共に、冷却部におけるポンプ本体固定側の面と反対側の面に、発熱用回路部品、第１の温度センサおよび第２の温度センサが設けられ、筐体は、複数の回路部品、第１の温度センサおよび第２の温度センサが収納されるように冷却部に固定されている。
さらに好ましい実施形態では、冷却部に配置される発熱用回路部品は、モータを駆動するためのインバータである。また、発熱用回路部品として、ロータ回転用モータの回生ブレーキ用抵抗を用いても良い。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、冷却液の流量を計測するための流量計を省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、本発明に係る真空ポンプの特徴を説明するための概念図である。
【図２】図２は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態であるターボ分子ポンプを示す図である。
【図３】図３は、冷却ジャケット３０の冷却面（下面）に固定された回路部品２２ａを示す図である。
【図４】図４は、電源装置２の概略構成を示すブロック図である。
【図５】図５は、温度Ｔ１と伝熱係数ｋとの関係を示す図である。
【図６】図６は、モータ電流と電源装置２における回路部品の発熱量との関係の一例を示す図である。
【図７】図７は、モータ電流値とインバータ１１２の発熱量との関係の一例を示す図である。
【図８】図８は、Ｔ１＝５５℃の場合の、温度Ｔ０と伝熱係数ｋとの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。図１は、本発明に係る真空ポンプの特徴を説明するための概念図であり、ポンプ本体１と、ポンプ本体１を制御駆動するための電源装置２とを示す。ポンプ本体１と電源装置２とは、電源ケーブル３によって接続される。
【０００９】
電源装置２の筐体２０の内部には、ポンプ本体１を駆動制御するための種々の回路部品が設けられている。回路部品２２はそれらの内の一つであり、ポンプ運転時における発熱が比較的大きな回路部品（例えば、後述するインバータ）である。筐体２０は密閉構造となっており、筐体内には冷却液が流通する冷却部２３が設けられている。冷却部２３としては、銅パイプのような配管でも良いし、内部に冷却液が流通する流路２３ａが形成されたブロック状の部材でもよい。
【００１０】
冷却部２３の外表面に接触するように設けられた回路部品２２は、流路が形成されている流路領域（符号Ａで示す領域）の外表面に配置されている。冷却部２３には、温度センサ２４，２５が設けられている。温度センサ２４は、回路部品２２が配置された流路領域Ａよりも上流側の冷却液温度を検出する。温度センサ２５は、回路部品２２が配置された流路領域Ａよりも下流側の冷却液温度を検出する。温度センサ２４，２５により検出された温度情報は、電源装置の制御部２１に入力される。制御部２１は、以下に記載のような原理で、流路２３ａを流通する冷却液の流量を推定する。
【００１１】
（流量の推定方法）
次に、制御部２１における流量推定の方法について説明する。回路部品２２の発熱量Ｑ（Ｗ）は既知であるとし、これにより冷却液の温度が上昇したと考えると、簡易的に次式（１）に示すような関係が成り立つ。式（１）において、ｋは回路部品２２から流路２３ａの冷却液への伝熱係数を表す。Ｔ０は流路領域Ａよりも上流側の冷却液の温度であり、温度センサ２４によって検出される。Ｔ１は流路領域Ａよりも下流側の冷却液の温度であり、温度センサ２５によって検出される。式（１）は式（２）ように変形でき、伝熱係数ｋは既知の量Ｑ，Ｔ０，Ｔ１で表される。
Ｑ＝ｋ×（Ｔ１−Ｔ０）      …（１）
ｋ＝Ｑ／（Ｔ１−Ｔ０）      …（２）
【００１２】
一方、冷却液の流量をｆｗ、冷却液の比熱をＣｗとすると、Ｑは次式（３）のようにも表される。すなわち、伝熱係数ｋと冷却液の流量ｆｗとは次式（４）の関係を有し、ｋは流量ｆｗに比例している。
Ｑ＝ｆｗ×Ｃｗ×（Ｔ１−Ｔ０）      …（３）
ｋ＝ｆｗ×Ｃｗ                      …（４）
【００１３】
図５は、式（２）において、Ｔ０を１０℃、１５℃、２０℃とした場合の温度Ｔ１と伝熱係数ｋとの関係を図示したものである。ただし、Ｑ＝１００とした。図５において、ラインＬ１はＴ０＝１０℃の場合、ラインＬ２はＴ０＝１５℃の場合、ラインＬ３はＴ０＝２０℃の場合を示す。上述したように流量ｆｗは伝熱係数ｋに比例するので、伝熱係数ｋを示している図５の縦軸は、流量ｆｗを表しているとみなすことができる。
【００１４】
例えば、Ｔ０＝１０℃のラインＬ１において、下流側の温度Ｔ１が３０℃である場合、伝熱係数ｋは式（２）から５となる。また、Ｔ１＝５０℃の場合、ｋ＝２．５となる。すなわち、Ｔ０＝１０℃の冷却液が流れているときに、下流側の温度Ｔ３が３０℃から５０℃に変化した場合には、伝熱係数ｋが５から２．５に変化したことになる。冷却液の流量以外の要素に変化が無いとすれば、伝熱係数ｋは流量ｆｗの変化に起因することになる。
【００１５】
後述する記憶部１２５には、式（２）や、図５の関係に基づくテーブルが予め記憶されている。なお、図５はＱ=１００の場合のグラフであるが、記憶部１２５には、回路部品２２として取り得る種々の発熱量Ｑに関して、同様のテーブルが記憶されている。なお、回路部品２２の発熱量はポンプ本体１の運転状態によって決まるので、制御部２１はポンプ運転状態（例えばモータ電流値）に基づいて回路部品の発熱量Ｑを算出する。この場合も、モータ電流値と発熱量との関係を示す式や、テーブルが記憶部１２５に予め記憶されている。
【００１６】
制御部２１は、温度センサ２４，２５から入力された温度情報およびポンプ運転状態に基づいて算出される回路部品２２の発熱量と式（２）（または、テーブル）とに基づいて、伝熱係数ｋを算出する。さらに、その伝熱係数ｋと式（４）（または、テーブル）とから冷却液の流量を推定する。
【００１７】
なお、上述した式（１）においては、発熱体（回路部品２２）の温度上昇を無視して単純化しているが、発熱体の温度上昇を考慮すると、伝熱係数ｋは、次式（５）のように表される。式（５）おいて、Ｃhは発熱体の比熱（既知とする）、Ｍhは発熱体の質量、Ｔ２は発熱体の温度である。温度Ｔ２は発熱体に設けられた温度センサによって検出され、温度Ｔ２を検出することによって、冷却液の流量をより正確に推定することができる。
ｋ＝（Ｑ−Ｃh×Ｍh×（Ｔ２−Ｔ１））／（Ｔ１−Ｔ０）      …（５）
【００１８】
図２は、本発明に係る真空ポンプの一実施の形態であるターボ分子ポンプを示す図である。図２に示すターボ分子ポンプ１００は磁気軸受式のターボ分子ポンプであり、ポンプ本体１と電源装置２とがボルト固定された一体型のターボ分子ポンプである。ポンプ本体１には、回転翼８が形成されたロータ３、磁気軸受５１，５２、モータ６、固定翼９，ネジステータ１１、変位センサ７１，７２が設けられている。
【００１９】
磁気軸受５１，５２は、ロータ３を磁気支持する。モータ６はロータ３を回転駆動する。ロータ３の回転は、回転センサ４０によって検出される。変位センサ７１，７２は、ロータ３の浮上位置の変位を検出する。モータ６、磁気軸受５１，５２、変位センサ７１，７２はベース４に設けられている。なお、磁気軸受が動作していない状態では、ロータ３はメカニカルベアリング２７，２８によって支持される。
【００２０】
軸方向に積層された複数段の固定翼９は、スペーサ１０によって軸方向位置が位置決めされる。複数段の固定翼９は、回転翼８に対して軸方向に交互に配置されている。回転翼８と固定翼９とにより、タービン翼段が構成される。固定翼９およびスペーサ１０は、ポンプケーシング１３内に納められている。ロータ３は、上述した複数段の回転翼８とともに、回転翼８の下流側に形成された円筒部１２を備えている。円筒部１２はドラッグポンプ段の一方を構成するものであり、円筒部１２の外周側には、ドラッグポンプ段の他方を構成するネジステータ１１がギャップを介して配設されている。
【００２１】
ベース４の下端に設けられたフランジ４ａには、電源装置２が固定されている。電源装置２には、冷却液が流通するパイプ３１が内装された冷却ジャケット３０を備えている。冷却ジャケット３０には熱伝導性に優れた金属を用いるのが良く、例えば、アルミ金属などを用いることができる。パイプ３１には、例えば銅パイプが用いられる。図２に示す例では、銅パイプをアルミ鋳造品に鋳込むことで、冷却ジャケット３０とパイプ３１とは一体に形成されている。冷却ジャケット３０はフランジ４ａにボルト固定される。冷却ジャケット３０の下面には電源装置２の筐体２０が固定される。筐体２０は、塵等が外部から入り込めないように密閉構造となっている。冷却ジャケット３０および筐体２０には、アルミ材等の熱伝導性に優れた材料を用いるのが好ましい。
【００２２】
冷却ジャケット３０の下面は冷却面を構成しており、複数の回路部品２２ａ〜２２ｃが設けられている。また、比較的発熱の小さな回路部品が実装された基板３０３は、支柱３０２により冷却ジャケット３０に固定されている。回路部品２２ａ〜２２ｃで発生した熱は冷却ジャケット３０に直接伝達され、基板３０３の回路部品で発生した熱は、支柱３０２を介して冷却ジャケット３０に伝達される。ここでは、回路基板を２層構造としたが３層以上としても良く、発熱量の大きい回路部品ほど冷却ジャケット３０に近い位置に実装するのが好ましい。
【００２３】
回路部品２２ａは、図１に示した回路部品２２に対応するものであり、パイプ３１が通っている領域の下面に配置されている。図３は、冷却ジャケット３０の冷却面（下面）に固定された回路部品２２ａを示す図である。破線は、冷却ジャケット３０内に内装されたパイプ３１を示しており、冷却液は矢印で示す方向に流れている。冷却ジャケット３０には、回路部品２２ａを挟んで流れの上流側および下流側に穴３０ａ、３０ｂが形成されている。そのため、穴３０ａ，３０ｂの部分においてはパイプ３１が露出している。温度センサ２４は、上流側の穴３０ａから露出しているパイプ３１の表面に固定されている。温度センサ２５は、下流側の穴３０ｂから露出しているパイプ３１の表面に固定されている。
【００２４】
図４は、電源装置２の概略構成を示すブロック図である。図４では、電力の伝達を実線の矢印で示し、制御信号の伝達を白抜きの矢印で示している。電源装置２は、電力系回路部１１０と信号制御系回路部１２０とで構成されている。電力系回路部１１０は、外部ＡＣ電源入力をＤＣ電源化するためのＡＣ／ＤＣコンバータ１１１を有する。ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１には、外部ＡＣ電源から、例えば、２００Ｖ程度の電圧が入力される。
【００２５】
ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１は、ＤＣ電力をインバータ１１２および制御電源１１３へと出力する。制御電源１１３は、信号制御系回路部１２０に設けられた制御部２１、磁気軸受制御回路１２２およびモータ制御回路１３１の電源を構成している。ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１およびインバータ１１２はパワー回路であり、電源装置２の中でも特に消費電力が大きく、放熱のため冷却が必要になる部分である。例えば、インバータ１１２は、１２０Ｖ程度のモータ駆動電圧を出力する。また、モータを回生ブレーキにより減速する際には、回生エネルギーをブレーキ抵抗１１６で熱エネルギーに変換するので、モータ減速時にはブレーキ抵抗１１６が発熱する。
【００２６】
インバータ１１２には、ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１からの直流電圧を３相交流電圧に変換するための複数のスイッチング素子が備えられている。インバータ１１２に設けられた複数のスイッチング素子のオンオフは、モータ制御回路１３１のＰＷＭ指令により制御される。モータ電流の値は、電流センサ１３２によって検出され、電流センサ１３２によって検出された電流値は、モータ制御回路１３１に入力される。その電流情報は、制御部２１に送られる。
【００２７】
回転センサ４０からの回転情報は、モータ制御回路１３１および制御部２１に入力される。信号制御系回路部１２０は、制御部２１、磁気軸受制御回路１２２、記憶部１２５、およびモータ制御回路１３１を備えている。磁気軸受制御回路１２２は、磁気軸受５１，５２を駆動制御する。制御部２１はマイコンやＤＳＰなどを備え、電力系回路部１１０の制御、磁気軸受制御回路１２２の制御等、種々の制御を行う。表示部１４２には、運転状態や異常アラーム等が表示される。制御部２１には、温度センサ２４，２５からの温度情報が入力される。
【００２８】
上述したように、制御部２１は、温度センサ２４，２５からの温度情報（Ｔ０，Ｔ１）と、回路部品２２ａの発熱量Ｑとに基づいて、冷却液の流量ｆｗを推定する。ここで、流量推定に使用可能な回路部品としては、例えば、インバータ１１２やＡＣ／ＤＣコンバータ１１１や、ブレーキ抵抗１１６などがある。なお、流量をより短時間で検出するためには、温度検出部分の熱容量を小さくする必要があるので、状況に応じて発熱体としての回路部品を選択すれば良い。
【００２９】
インバータ１１２やＡＣ／ＤＣコンバータ１１１はポンプ駆動時には常に発熱しており、発熱量はモータ電流に依存する。図６は、モータ電流と電源装置２における回路部品の発熱量との関係の一例を示す図である。図６では、ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１の発熱量Ｑａと、インバータ１１２の発熱量Ｑｂと、その他の定常的発熱量Ｑｃとに分けて図示した。インバータ１１２の発熱量Ｑｂはモータ電流値がゼロの場合にはゼロであるが、ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１の発熱量Ｑａやその他の定常的発熱量Ｑｃは、モータ電流値がゼロであってもゼロではない。モータ電流値が増加すると発熱量Ｑａ，Ｑｂは増加するが、ＡＣ／ＤＣコンバータ１１１の発熱量Ｑａに比べてインバータ１１２の発熱量Ｑｂの方が増加量および増加の割合が大きい。そのため、発熱用の回路部品２２ａとしては、インバータ１１２の方が適している。図７は、モータ電流値とインバータ１１２の発熱量との関係の一例を示したものである。
【００３０】
図６のようなモータ電流値と発熱量Ｑａ，Ｑｂとの関係は予めテーブルとして、または計算式として記憶部１２５に記憶されている。制御部２１では、電流センサ１３２で検出されたモータ電流値とテーブルまたは計算式とに基づいて発熱量Ｑを算出する。そして、算出された発熱量Ｑと温度センサ２４，２５で検出された温度Ｔ０，Ｔ１とに基づいて、パイプ３１を流れる冷却液の流量ｆｗを推定する。
【００３１】
また、ブレーキ抵抗１１６の発熱量Ｑについても、モータ電流から算出することができる。ただし、ブレーキ抵抗１１６の発熱は、モータ６のブレーキ動作時にしか発生しない。そのため、ブレーキ抵抗１１６の発熱量に基づいて冷却液流量の推定を行う場合には、例えば、ポンプ起動からポンプ停止までの運転動作中に、定期的または不定期にブレーキ動作を短期間行わせ、その際の発熱量および温度センサ２４，２５の温度検出値Ｔ０，Ｔ１を取得して冷却液流量ｆｗを算出する。
【００３２】
以上のように、本実施の形態の真空ポンプにおいては、電源装置２に、内部に冷却液が流通する流路２３ａが形成され、流路上に発熱用回路部品として回路部品２２が配置される冷却部２３と、回路部品２２が配置された流路領域Ａよりも上流側の冷却液温度Ｔ０を検出する第１の温度センサ２４と、流路領域Ａよりも下流側の冷却液温度Ｔ１を検出する第２の温度センサ２５と、が設けられている。そして、制御部２１は、温度センサ２４，２５の各々によって検出された温度Ｔ０，Ｔ１と、電流センサ１３２の検出電流値に基づいて、流路２３ａを流れる冷却液の流量を推定している。
【００３３】
このように、本実施の形態の真空ポンプでは、冷却液の流量を計測するための専用の流量計を備える必要がない。また、電源装置２が備えている回路部品２２を発熱用回路部品として利用することにより、電源装置２のコストダウンを図ることができる。インバータ１１２やＡＣ／ＤＣコンバータ１１１等においては、温度をモニタするための温度センサを設ける場合があるが、その温度センサを上述した温度センサ２４，２５として用いることで、さらにコスト低減を図ることができる。
【００３４】
このように、本実施の形態では冷却液の流量を推定することができるので、流量低下が確認された場合には、モータ回転数を低下させる等して、電源装置２の発熱を抑える処置を適切に行うことが可能となる。
【００３５】
また、温度センサ２４，２５により冷却液の温度Ｔ０，Ｔ１を計測しているので、電源装置の許容温度範囲内において、冷却液の流量を必要最小限の流量に管理することも可能となる。図８は、下流側の温度Ｔ１をＴ１＝５５℃で管理する場合の、温度Ｔ０と伝熱係数ｋとの関係を示す図であり、式（１）においてＱ＝１００とした場合を示している。
【００３６】
なお、電源装置２とポンプ本体１とを一系列の冷却系で冷却する場合、一般的に、電源装置２を冷却系の上流側に配置する。そのため、ポンプ本体１の冷却性能を確保する必要から、電源装置２から排出される冷却液の温度、すなわちポンプ本体１に供給される冷却液の温度は所定温度以下となるように管理される。本実施形態の場合、上記温度Ｔ１がこの所定温度以下となるように冷却液の流量が管理される。
【００３７】
また、筐体２０を回路部品収納空間は密閉される密閉構造とすることにより、筐体外への放熱を抑えることができる。その結果、発熱用回路部品の発熱量と冷却液の温度上昇とを用いた式（１）を適用することが可能となり、容易に流量推定を行うことができる。なお、上述した実施の形態では複数の部品回路の内の一つを発熱用回路部品２２として利用したが、複数を発熱用回路部品２２として利用しても良いし、電源装置全体の発熱量（図６に示す全体の発熱量）を利用しても良い。電源装置全体の発熱を利用する場合には、冷却系の入口および出口における冷却液温度を温度センサ２４，２５で計測する。
【００３８】
なお、その際には、筐体２０からの放熱がなるべく小さくなるようにする必要がある。輻射による放熱量は次式（６）で表される。式（６）において、εは筐体２０の放射率、σはステファン・ボルツマン定数で、σ＝５．６７×１０−８（Ｗ／ｍ２・Ｋ４）である。また、Ｔ３は筐体２０の温度、Ｔ４は外気温度である。すなわち、筐体２０の外表面の放射率を低くすることで、輻射による放熱量を低く抑えることができ、本実施の形態における流量推定精度が向上する。例えば、筐体２０を金属で形成し、それに低放射率のコーティングを施したり、樹脂モールドしたりすることで、放熱量を抑えることができる。
放熱量（Ｗ）＝ε×σ×放熱面積（ｍ２）×（Ｔ３４−Ｔ４４）      …（６）
【００３９】
また、図２に示すような電源装置２とポンプ本体１を一体とした一体型真空ポンプの場合には、電源装置２をポンプ本体１に取り付けるための部材（冷却ジャケット３０）にパイプ３１を内蔵して冷却液の流路とし、温度センサ２４，２５、発熱用の回路部品２２ａが設けられた金属製の冷却ブロックとしても良い。そして、全ての回路部品および温度センサ２４，２５が密閉状態で収納されるように、冷却ジャケット３０の下面に筐体２０が取り付けられる。
【００４０】
なお、図３に示した例では、パイプ３１が設けられている領域に鋳抜きの穴３０ａ，３０ｂを形成して、そこに露出しているパイプ表面に温度センサ２４，２５を固定しているので、冷却液の温度を正確に検出することができる。もちろん、検出精度は若干落ちるが、穴３０ａ，３０ｂを形成せずに、冷却ジャケット３０の冷却面に温度センサ２４，２５を取り付ける構造でも良い。
【００４１】
なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。例えば、上述した実施の形態では磁気軸受方式のターボ分子ポンプを例に説明したが、磁気軸受方式でないターボ分子ポンプや、さらにはターボ分子ポンプ以外の真空ポンプにも同様に適用することができる。また、図２では一体型の真空ポンプを示したが、本発明は、図１に示したように電源装置とポンプ本体とが別々の真空ポンプにも適用することができる。その場合も、電源装置は密閉型であることが好ましい。
【符号の説明】
【００４２】
１：ポンプ本体、２：電源装置、３：ロータ、６：モータ、２０：筐体、２１：制御部、２２，２２ａ：回路部品、２３：冷却部、２３ａ：流路、２４，２５：温度センサ、３０：冷却ジャケット、３１：パイプ、１００：ターボ分子ポンプ、１１１：ＡＣ／ＤＣコンバータ、１１２：インバータ、１１６：ブレーキ抵抗、１３２：電流センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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