(57)【要約】【課題】  十分な肉（金属）からなる接合部を介して連結部材と変位部材（又はハウジング）とを接合できる燃焼圧センサ及びグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法を提供する。【解決手段】  燃焼圧センサ１の製造方法は、軸線方向ＤＸに延びる筒状のハウジング１０と、自身が受けた圧力の変化に応じて軸線方向に変位する変位部材２０と、変位部材をハウジングに弾性的に連結する筒状の連結部材３０とを備える。連結部材は、自身の周囲に環状に形成された変位部材接合部Ｗ１を介して、変位部材に接合されてなり、エネルギービームＥＢの照射領域Ｆに金属粉ＭＰを供給しつつエネルギービームを照射領域に照射して、連結部材の端部３２と変位部材とを金属粉由来の金属成分を含む変位部材接合部で接合する変位部材接合工程を備える。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延びる筒状のハウジングと、
少なくとも一部が上記ハウジング内に配置され、自身が受けた圧力の変化に応じて上記軸線方向に変位する変位部材と、
上記変位部材を上記ハウジングに弾性的に連結する筒状の連結部材と、を備える
燃焼圧センサの製造方法であって、
上記連結部材は、
自身の周囲に環状に形成された変位部材接合部を介して、上記変位部材に接合されてなり、
エネルギービームの照射領域に金属粉を供給しつつ上記エネルギービームを上記照射領域に照射して、上記連結部材の端部と上記変位部材とを上記金属粉由来の金属成分を含む上記変位部材接合部で接合する変位部材接合工程を備える
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記変位部材接合工程は、
周方向の少なくとも一部で互いに離間している前記連結部材の前記端部と前記変位部材との間を、全周にわたり前記変位部材接合部で埋めて接合する
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記変位部材接合工程は、
前記エネルギービームで、前記金属粉、前記変位部材、及び、上記変位部材の径方向に重なる前記連結部材の未溶融端部を溶融させる
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記変位部材接合工程は、
前記変位部材と前記連結部材の前記端部とを、前記エネルギービームで溶融させることなく、前記金属粉由来の金属成分からなる前記変位部材接合部を介して接合する
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項５】
軸線方向に延びる筒状のハウジングと、
少なくとも一部が上記ハウジング内に配置され、自身が受けた圧力の変化に応じて上記軸線方向に変位する変位部材と、
上記変位部材を上記ハウジングに弾性的に連結する筒状の連結部材と、を備える
燃焼圧センサの製造方法であって、
上記連結部材は、
自身の周囲に環状に形成されたハウジング接合部を介して、上記ハウジングに接合されてなり、
エネルギービームの照射領域に金属粉を供給しつつ上記エネルギービームを上記照射領域に照射して、上記連結部材の端部と上記ハウジングとを上記金属粉由来の金属成分を含む上記ハウジング接合部で接合するハウジング接合工程を備える
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記ハウジング接合工程は、
周方向の少なくとも一部で互いに離間している前記連結部材の前記端部と前記ハウジングとの間を、全周にわたり前記ハウジング接合部で埋めて接合する
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記ハウジング接合工程は、
前記エネルギービームで、前記金属粉、前記ハウジング、及び、上記ハウジングの径方向に重なる前記連結部材の未溶融端部を溶融させる
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項８】
請求項５または請求項６に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記ハウジング接合工程は、
前記ハウジングと前記連結部材の前記端部とを、前記エネルギービームで溶融させることなく、前記金属粉由来の金属成分からなる前記ハウジング接合部を介して接合する
燃焼圧センサの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の燃焼圧センサの製造方法であって、
前記変位部材は、
自身の先端部が前記ハウジングの先端から突出して配置されたヒータ部材である
グロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハウジングと、自身が受けた圧力の変化に応じて軸線方向に変位する変位部材と、これらを弾性的に連結する連結部材とを備える燃焼圧センサ及びグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディーゼルエンジン等の内燃機関の燃焼圧を検知する燃焼圧センサが知られている。
例えば特許文献１には、このような燃焼圧センサとして、筒状のプラグ本体（ハウジング）と、内燃機関の燃焼圧力を受圧し、その燃焼圧力の変化に応じてプラグ本体の軸線方向に変位する変位部材としても働くヒータ部材と、ヒータ部材（変位部材）及びプラグ本体に接合され、ヒータ部材を軸線方向に弾性的に保持する筒状のメンブレン（連結部材）とを有する燃焼圧センサ付きグロープラグ（グロープラグ兼用燃焼圧センサ）が開示されている。この特許文献１のＦｉｇ．３には、メンブレン３６とヒータ部材３８、及び、メンブレン３６とプラグ本体１２とを、それぞれ溶接部５８，６２を介して接合している燃焼圧センサ付きグロープラグが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００６／０７２５１４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
なお、連結部材と変位部材、連結部材とハウジングとの接合手法としては、レーザ溶接が挙げられる。
しかしながら、レーザビームを照射し、連結部材の端部と変位部材とを共に溶融させて接合する際、連結部材と変位部材との間で接合部をなす肉（金属）を十分に得られない場合がある。また、連結部材の端部とハウジングとを溶融させて接合する際にも、接合部をなす肉（金属）を十分に得られない場合がある。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであって、十分な肉（金属）からなる接合部を介して連結部材と変位部材（又はハウジング）とを接合できる燃焼圧センサ及びグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様は、軸線方向に延びる筒状のハウジングと、少なくとも一部が上記ハウジング内に配置され、自身が受けた圧力の変化に応じて上記軸線方向に変位する変位部材と、上記変位部材を上記ハウジングに弾性的に連結する筒状の連結部材と、を備える燃焼圧センサの製造方法であって、上記連結部材は、自身の周囲に環状に形成された変位部材接合部を介して、上記変位部材に接合されてなり、エネルギービームの照射領域に金属粉を供給しつつ上記エネルギービームを上記照射領域に照射して、上記連結部材の端部と上記変位部材とを上記金属粉由来の金属成分を含む上記変位部材接合部で接合する変位部材接合工程を備える燃焼圧センサの製造方法である。
【０００７】
上述の燃焼圧センサの製造方法は、照射領域に金属粉を供給しつつエネルギービームを照射領域に照射し、連結部材の端部と変位部材とを金属粉由来の金属成分を含む変位部材接合部で接合する変位部材接合工程を備える。従って、金属粉に由来する分を含む十分な肉（金属）からなる変位部材接合部で、連結部材と変位部材とを接合した燃焼圧センサを製造することができる。
【０００８】
なお、連結部材と変位部材との接合の手法としては、エネルギービームを連結部材に照射し、連結部材、変位部材及び金属粉を溶融させて、連結部材由来の金属成分、変位部材由来の金属成分及び金属粉由来の金属成分からなる変位部材接合部を形成して溶接する手法が挙げられる。また、連結部材及び変位部材を溶融させずに、金属粉由来の金属成分からなる変位部材接合部を形成して接合する手法も挙げられる。
また、エネルギービームとしては、例えば、レーザビームや電子ビームが挙げられる。
【０００９】
さらに、上述の燃焼圧センサの製造方法であって、前記変位部材接合工程は、周方向の少なくとも一部で互いに離間している前記連結部材の前記端部と前記変位部材との間を、全周にわたり前記変位部材接合部で埋めて接合する燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００１０】
接合前、連結部材の端部と変位部材とは、互いの径差により、周方向の少なくとも一部が径方向に離間している場合がある。この状態で、エネルギービームを用いて連結部材と変位部材とを接合しようとすると、連結部材及び変位部材由来の溶融金属が連結部材と変位部材との間の空隙を埋めるのに使用されてしまう。これにより、連結部材と変位部材とを接合する接合部をなす肉（金属）の量が少なくなり、強固に接合できない場合がある。
【００１１】
これに対し、上述の変位部材接合工程では、周方向の少なくとも一部で互いに離間している連結部材の端部と変位部材との間を、全周にわたり変位部材接合部で埋めて接合するため、これら連結部材の端部と変位部材とを強固に接合した燃焼圧センサを製造できる。
【００１２】
さらに、上述のいずれかの燃焼圧センサの製造方法であって、前記変位部材接合工程は、前記エネルギービームで、前記金属粉、前記変位部材、及び、上記変位部材の径方向に重なる前記連結部材の未溶融端部を溶融させる燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００１３】
上述の燃焼圧センサの製造方法では、変位部材接合工程において、エネルギービームで金属粉、変位部材及び連結部材の未溶融端部を溶融させる。このため、連結部材及び変位部材由来の溶融金属に加え、金属粉由来の溶融金属を接合に用いた十分な肉（金属）の変位部材接合部で、連結部材と変位部材とを確実に接合することができる。
【００１４】
または、前述のいずれかの燃焼圧センサの製造方法であって、前記変位部材接合工程は、前記変位部材と前記連結部材の前記端部とを、前記エネルギービームで溶融させることなく、前記金属粉由来の金属成分からなる前記変位部材接合部を介して接合する燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００１５】
上述の燃焼圧センサの製造方法では、変位部材及び連結部材の端部をエネルギービームで溶融させず、しかも、変位部材と連結部材の端部とを金属粉由来の変位部材接合部で接合している。このため、連結部材及び変位部材において受熱に伴う熱歪みによる応力が発生するのを抑えつつ、変位部材接合部で変位部材と連結部材の端部とを確実に接合した燃焼圧センサを製造できる。
【００１６】
さらに、本発明の他の一態様は、軸線方向に延びる筒状のハウジングと、少なくとも一部が上記ハウジング内に配置され、自身が受けた圧力の変化に応じて上記軸線方向に変位する変位部材と、上記変位部材を上記ハウジングに弾性的に連結する筒状の連結部材と、を備える燃焼圧センサの製造方法であって、上記連結部材は、自身の周囲に環状に形成されたハウジング接合部を介して、上記ハウジングに接合されてなり、エネルギービームの照射領域に金属粉を供給しつつ上記エネルギービームを上記照射領域に照射して、上記連結部材の端部と上記ハウジングとを上記金属粉由来の金属成分を含む上記ハウジング接合部で接合するハウジング接合工程を備える燃焼圧センサの製造方法である。
【００１７】
上述の燃焼圧センサの製造方法は、照射領域に金属粉を供給しつつエネルギービームを照射領域に照射し、連結部材の端部とハウジングとを金属粉由来の金属成分を含むハウジング接合部で接合するハウジング接合工程を備える。従って、金属粉に由来する分を含む十分な肉（金属）からなるハウジング接合部で連結部材とハウジングとを接合した燃焼圧センサを製造することができる。
【００１８】
なお、連結部材とハウジングとの接合の手法としては、エネルギービームを連結部材に照射し、連結部材、ハウジング及び金属粉を溶融させて、連結部材由来の金属成分、ハウジング由来の金属成分及び金属粉由来の金属成分からなるハウジング接合部を形成して溶接する手法が挙げられる。また、連結部材及びハウジングを溶融させずに、金属粉由来の金属成分からなるハウジング接合部を形成して接合する手法も挙げられる。
【００１９】
さらに、上述の燃焼圧センサの製造方法であって、前記ハウジング接合工程は、周方向の少なくとも一部で互いに離間している前記連結部材の前記端部と前記ハウジングとの間を、全周にわたり前記ハウジング接合部で埋めて接合する燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００２０】
接合前、連結部材の端部とハウジングとは、互いの径差により、周方向の少なくとも一部が径方向に離間している場合がある。この状態で、エネルギービームを用いて連結部材とハウジングとを接合しようとすると、連結部材及びハウジング由来の溶融金属が連結部材とハウジングとの間の空隙を埋めるのに使用されてしまう。これにより、連結部材とハウジングとを接合する接合部をなす肉（金属）の量が少なくなり、強固に接合できない場合がある。
【００２１】
これに対し、上述のハウジング接合工程では、周方向の少なくとも一部で互いに離間している連結部材の端部とハウジングとの間を、全周にわたりハウジング接合部で埋めて接合するため、これら連結部材の端部とハウジングとを強固に接合した燃焼圧センサを製造できる。
【００２２】
さらに、上述のいずれかの燃焼圧センサの製造方法であって、前記ハウジング接合工程は、前記エネルギービームで、前記金属粉、前記ハウジング、及び、上記ハウジングの径方向に重なる前記連結部材の未溶融端部を溶融させる燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００２３】
上述の燃焼圧センサの製造方法では、ハウジング接合工程において、エネルギービームで金属粉、ハウジング及び連結部材の未溶融端部を溶融させる。このため、連結部材及びハウジング由来の溶融金属に加え、金属粉由来の溶融金属を接合に用いた十分な肉（金属）のハウジング接合部で、連結部材とハウジングとを確実に接合することができる。
【００２４】
または、前述のいずれかの燃焼圧センサの製造方法であって、前記ハウジング接合工程は、前記ハウジングと前記連結部材の前記端部とを、前記エネルギービームで溶融させることなく、前記金属粉由来の金属成分からなる前記ハウジング接合部を介して接合する燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００２５】
上述の燃焼圧センサの製造方法では、ハウジング及び連結部材の端部をエネルギービームで溶融させず、しかも、ハウジングと連結部材の端部とを金属粉由来のハウジング接合部で接合している。このため、連結部材及びハウジングにおいて受熱に伴う熱歪みによる応力が発生するのを抑えつつ、ハウジング接合部でハウジングと連結部材の端部とを確実に接合した燃焼圧センサを製造できる。
【００２６】
さらに、上述のいずれかに記載の燃焼圧センサの製造方法であって、前記変位部材は、自身の先端部が前記ハウジングの先端から突出して配置されたヒータ部材であるグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法とすると良い。
【００２７】
上述の燃焼圧センサの製造方法では、変位部材がヒータ部材であるため、燃焼圧センサとして利用できる上、ディーゼルエンジン等の内燃機関の始動を補助することもできるグロープラグ兼用燃焼圧センサを確実に製造できる。
【００２８】
なお、ヒータ部材としては、金属チューブの内部にコイル状の発熱体が配置されたメタルヒータや、内部に導電性セラミック体からなる発熱体が配置された絶縁性セラミック体に金属製の外筒を外嵌したセラミックヒータが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】実施形態１，変形形態のグロープラグ兼用燃焼圧センサの全体を示す部分破断断面図である。
【図２】実施形態１のグロープラグ兼用燃焼圧センサのうち、圧力センサ部付近を拡大した部分拡大断面図である。
【図３】実施形態１のグロープラグ兼用燃焼圧センサのうち、メンブレン付近（図２中、Ｂ部）を拡大した部分拡大断面図である。
【図４】実施形態１に係るグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法を説明する説明図である。
【図５】実施形態１に係るグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法のうち、ハウジング接合工程とヒータ接合工程（変位部材接合工程）を説明する説明図である。
【図６】変形形態のグロープラグ兼用燃焼圧センサのうち、圧力センサ部付近を拡大した部分拡大断面図である。
【図７】変形形態のグロープラグ兼用燃焼圧センサのうち、メンブレン付近（図６中、Ｃ部）を拡大した部分拡大断面図である。
【図８】変形形態に係るグロープラグ兼用燃焼圧センサの製造方法のうち、ハウジング接合工程とヒータ接合工程（変位部材接合工程）を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
（実施形態１）
まず、本実施形態１にかかるグロープラグ兼用燃焼圧センサ１（以下、単にグロープラグ１ともいう）について図１〜３を参照して説明する。図１は、グロープラグ１の全体を示す部分破断断面図であり、図２は、図１のうち圧力センサ部６０付近を、また、図３は、図２のうちメンブレン３０付近（図２中、Ｂ部）をさらに拡大した部分拡大断面図である。なお、図１〜３において、グロープラグ１の軸線ＡＸに沿う軸線方向ＤＸのうち、ヒータ部材２０が配置された側（図中下側）を先端側ＸＳとし、これと反対側（図中上側）を後端側ＸＫとして説明する。
【００３１】
グロープラグ１は、軸線方向ＤＸに延びる筒状のハウジング１０と、自身の先端部（後述するチューブ先端部）２１ｓをハウジング１０の先端（後述する先端キャップ１４の先端）１４ｓから突出する棒状のヒータ部材２０と、このヒータ部材２０を内部に配置し、ヒータ部材２０をハウジング１０に弾性的に連結する筒状のメンブレン３０とを備える。また、これらのほか、グロープラグ１の軸線ＡＸ上に位置しヒータ部材２０に導通する中軸５０と、端子アセンブリ９１と圧力センサ部６０とを備える。
【００３２】
圧力センサ部６０は、センサ本体６１と伝達スリーブ６７とを有する（図２参照）。このうちセンサ本体６１は、金属材からなる環状のダイアフラム体６３と、このダイアフラム体６３の主面上に配置された、ピエゾ抵抗型素子からなる圧力検知素子６２とを含む（図２参照）。なお、圧力検知素子６２として、上述したピエゾ抵抗型素子のほか、圧電素子等を用いても良い。
一方、伝達スリーブ６７は、金属材によって形成された略円筒状をなし、ヒータ部材２０のシースチューブ２１（後述）に溶接され、ヒータ部材２０と一体にされている。このため、ヒータ部材２０の軸線方向ＤＸの変位が、この伝達スリーブ６７を通じて、センサ本体６１のダイアフラム体６３を撓ませることにより燃焼圧を検知することができる。
【００３３】
端子アセンブリ９１は、筒状をなす金属製の端子カバー９２と、この端子カバー９２の内側に配置された外部端子部材（図示しない）とを有する。外部端子部材は、自身を通じてグロープラグ１の内部に位置する中軸５０と外部とを導通させる。
【００３４】
中軸５０は、炭素鋼からなる円柱棒状の部材である。この中軸５０は、グロープラグ１において、軸線ＡＸに沿って配置されており、この中軸５０のうち、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳの略半分が、後述するヒータ部材２０のシースチューブ２１の内側に挿入されている（図１参照）。そして、ヒータ部材２０の制御コイル２３（後述）と導通している。なお、本実施形態１の中軸５０として、炭素鋼からなるものを用いたが、この材質に限らず、例えばステンレス鋼からなるものを用いても良い。
【００３５】
ハウジング１０は、主体金具１１と内筒１７と先端キャップ１４とを有する。主体金具１１は、金属材からなり、軸線方向ＤＸに自身の金具先端部１１ｓから金具後端部１１ｋまで延びる円筒形状をなす。この主体金具１１内には軸孔１１ｈが形成されている。また、主体金具１１の軸線方向ＤＸ後端側ＸＫの外周面には、取り付け用の雄ネジ部１２が形成されている。
【００３６】
一方、内筒１７は、ステンレス鋼からなり、略円筒状をなす内筒本体１９と、この内筒本体１９の軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに位置する顎状のフランジ部１８と、このフランジ部１８よりも先端側ＸＳに位置する先端部１７ｓとを有する（図２参照）。このうち内筒本体１９は、主体金具１１の軸孔１１ｈ内のうち、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに、同心状に配置されている。フランジ部１８は、径方向ＤＲ外側に突出しており、主体金具１１の金具先端部１１ｓと同外径で、この金具先端部１１ｓに溶接されている。なお、内筒本体１９の軸線方向ＤＸ後端側ＸＫに位置する内筒１７の後端部１９ｋには、前述したセンサ本体６１の外周部６６が溶接されている。
【００３７】
また、先端キャップ１４は、金属材からなり、この後端側ＸＫには、円筒状の円筒部１６が設けられている。この円筒部１６は、内筒１７の先端部１７ｓに外嵌され、内筒１７のフランジ部１８に溶接されている。
なお、円筒部１６の内側には、ヒータ部材２０と内筒１７とを連結するメンブレン３０が収容されている。即ち、先端キャップ１４は、メンブレン３０を内筒１７の先端部１７ｓ及びヒータ部材２０のシースチューブ２１にそれぞれ接合した後に、内筒１７の先端部１７ｓに外嵌され、フランジ部１８に溶接されている。
また、先端キャップ１４の先端側ＸＳには、先端１４ｓに向かって縮径する形状のテーパ部１５が形成されている。グロープラグ１を内燃機関に取り付けた際には、テーパ部１５が、内燃機関のプラグ取り付け孔（図示しない）の所定のシート面に密接し、燃焼室内からの気密が確保される。
【００３８】
ヒータ部材２０は、筒状のシースチューブ２１の内側に発熱コイル２２及び制御コイル２３を配置したシースヒータである（図１参照）。
シースチューブ２１は、ステンレス鋼材からなり、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに位置するチューブ先端部２１ｓが半球状に閉塞した筒状チューブである。このシースチューブ２１内に、上述したチューブ先端部２１ｓに内側から接合された発熱コイル２２と、この発熱コイル２２の後端に直列接続された制御コイル２３とがそれぞれ配置されている（図２参照）。
なお、図１に示すように、このシースチューブ２１のチューブ先端部２１ｓが、ハウジング１０の先端キャップ１４の先端１４ｓから突出して、ヒータ部材２０の先端部をなしている。また、シースチューブ２１の内側の空間のうち、発熱コイル２２及び制御コイル２３が配置されている空間には、酸化マグネシウム粉末等の絶縁粉末（図示しない）が充填されている。また、シースチューブ２１の内側には、前述した中軸５０が軸線ＡＸに沿って挿入されている。また、本実施形態１のシースチューブ２１として、ステンレス鋼からなるものを用いたが、この材質に限らず、例えばニッケル合金からなるものを用いても良い。
【００３９】
図２，３に示すように、メンブレン３０は、ニッケル合金によって形成された軸線方向ＤＸに弾性を有する二段円筒状の部材である。具体的には、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに位置し、相対的に径小とされた先筒部３１と、後端側ＸＫに位置し、先筒部３１よりも径大とされた後筒部３６とを有している。そして、例えば、先筒部３１に対し、後筒部３６が軸線方向ＤＸに弾性的に移動できる。このため、メンブレン３０の先筒部３１にヒータ部材２０、後筒部３６にハウジング１０をそれぞれ接合した場合、メンブレン３０を介して、ヒータ部材２０をハウジング１０に弾性的に連結できる。これにより、ヒータ部材２０は、自身が受けた圧力の変化に応じて軸線方向ＤＸに変位することができる。
【００４０】
なお、本実施形態１では、上述のメンブレン３０は、このメンブレン３０の先筒部３１の周囲に環状に形成されたヒータ接合部Ｗ１を介して、ヒータ部材２０と接合していると共に、後筒部３６の周囲に環状に形成されたハウジング接合部Ｗ２を介して、ハウジング１０と接合している。
【００４１】
このうち、ヒータ接合部Ｗ１は、ヒータ部材２０のシースチューブ２１とメンブレン３０の先筒部３１とを周方向ＤＹの全体にわたり溶接により接合している。具体的には、このヒータ接合部Ｗ１は、メンブレン３０の先筒部３１のうち軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに位置する先端３３に沿って形成されており、この先端３３を含むメンブレン３０の先端部３２とヒータ部材２０のシースチューブ２１とを接合している（図３参照）。
なお、軸線ＡＸに沿うグロープラグ１の縦断面において、このヒータ接合部Ｗ１では、メンブレン３０の先筒部３１が径方向ＤＲの厚さ全体にわたり溶け込んでいる上、シースチューブ２１の一部も溶け込んでいる。そして、このヒータ接合部Ｗ１は、シースチューブ２１において、径方向ＤＲの内側ＤＲ２ほど先細となる楔状の溶け込み形状の部分を含んでいる（図３参照）。この形状から、シースチューブ２１の径方向ＤＲ外側ＤＲ１に配置したメンブレン３０の先筒部３１にエネルギービーム（後述するレーザビームＥＢ）を径方向ＤＲに照射し、メンブレン３０の先筒部３１及びシースチューブ２１を溶融させて、ヒータ接合部Ｗ１を形成したことが判る。
また、このヒータ接合部Ｗ１は、周方向ＤＹの全周にわたり、メンブレン３０の先筒部３１のうち、ヒータ接合部Ｗ１に隣接する先端部３２よりも、径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態となっている（図３参照）。この形態から、十分な量の肉（金属）によって、ヒータ接合部Ｗ１が形成されていることが判る。
なお、このヒータ接合部Ｗ１は、ヒータ部材２０のシースチューブ２１をなすステンレス鋼由来の金属成分（主成分：Ｆｅ，その他：Ｎｉ，Ｃｒ）、メンブレン３０をなすニッケル合金由来の金属成分（主成分：Ｎｉ，その他：Ｆｅ，Ｃｒ）に加え、後述するヒータ接合工程でレーザビームＥＢの照射領域Ｆに外部から供給される、金属粉ＭＰ由来の金属成分（本実施形態１では、メンブレン３０をなすニッケル合金由来の金属成分と同じ金属成分）からなる。
【００４２】
一方、ハウジング接合部Ｗ２は、ハウジング１０の内筒１７の先端部１７ｓとメンブレン３０の後筒部３６とを周方向ＤＹの全体にわたり溶接により接合している。具体的には、このハウジング接合部Ｗ２は、メンブレン３０の後筒部３６のうち軸線方向ＤＸ後端側ＸＫに位置する後端３８に沿って形成されており、この後端３８を含むメンブレン３０の後端部３７と内筒１７の先端部１７ｓとを接合している（図３参照）。
なお、軸線ＡＸに沿うグロープラグ１の縦断面において、このハウジング接合部Ｗ２では、メンブレン３０の後筒部３６が径方向ＤＲの厚さ全体にわたり溶け込んでいる上、内筒１７の先端部１７ｓの一部も溶け込んでいる。そして、このハウジング接合部Ｗ２は、内筒１７の先端部１７ｓにおいて、径方向ＤＲの内側ＤＲ２ほど先細となる楔状の溶け込み形状の部分を含んでいる（図３参照）。この形状から、内筒１７の先端部１７ｓの径方向ＤＲ外側ＤＲ１に配置したメンブレン３０の後筒部３６にエネルギービーム（レーザビームＥＢ）を径方向ＤＲに照射し、メンブレン３０の後筒部３６及び内筒１７の先端部１７ｓを溶融させて、ハウジング接合部Ｗ２を形成したことが判る。
また、このハウジング接合部Ｗ２は、周方向ＤＹの全周にわたり、メンブレン３０の後筒部３６のうち、ハウジング接合部Ｗ２に隣接する後端部３７よりも、径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態となっている（図３参照）。この形態から、十分な量の肉（金属）によって、ハウジング接合部Ｗ２が形成されていることが判る。
なお、このハウジング接合部Ｗ２は、内筒１７の先端部１７ｓをなすステンレス鋼由来の金属成分（主成分：Ｆｅ，その他：Ｎｉ，Ｃｒ）、メンブレン３０をなすニッケル合金由来の金属成分（主成分：Ｎｉ，その他：Ｆｅ，Ｃｒ）に加え、後述するハウジング接合工程でレーザビームＥＢの照射領域Ｆに外部から供給される金属粉ＭＰ由来の金属成分（メンブレン３０をなすニッケル合金由来の金属成分と同じ金属成分）からなる。
【００４３】
次いで、グロープラグ１の製造方法について説明する。
まず、公知の手法で圧力センサ部６０をヒータ部材２０とハウジング１０とに連結した（図４参照）。具体的には、一体とされたヒータ部材２０及び中軸５０の外側に、内筒１７の内筒本体１９、伝達スリーブ６７及びセンサ本体６１からなる圧力センサ部６０を被せ、さらにこれらを主体金具１１内に収容した。そして、主体金具１１の金具先端部１１ｓと内筒１７のフランジ部１８とをレーザ溶接した。これにより、内筒１７の内筒本体１９を通じて、ハウジング１０と圧力センサ部６０とが連結する。次いで、伝達スリーブ６７のスリーブ先端部６７ｓをヒータ部材２０のシースチューブ２１の外周面にレーザ溶接した。これにより、圧力センサ部６０の伝達スリーブ６７とヒータ部材２０とが連結する（図４参照）。
【００４４】
続いて、メンブレン３０の後端部３７とハウジング１０とをハウジング接合部Ｗ２で接合するハウジング接合工程について説明する。
なお、本実施形態１のハウジング接合工程では、TRUMPF製レーザメタルデポジションシステムを用いて、レーザビームＥＢの照射領域に金属粉末を供給しながら、レーザビームＥＢを照射領域に照射して接合を行う（図５参照）。
【００４５】
このハウジング接合工程ではまず、二段円筒状のメンブレン３０の後筒部３６を、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳから内筒１７の先端部１７ｓに被せる（図５参照）。なお、本実施形態１では、後筒部３６の内径Ｄ１を内筒１７の先端部１７ｓの外径Ｄ２よりも大きくしてある（Ｄ１＞Ｄ２）。このため、後筒部３６を内筒１７の先端部１７ｓに容易に被せることができる一方、先端部１７ｓに後筒部３６を被せたとき、これらの間で、周方向ＤＹの少なくとも一部が径方向ＤＲに離間する。
【００４６】
この状態において、周方向ＤＹ全周にわたり、連続発振（ＣＷ）のレーザビームＥＢを未溶融後端部３７Ｂの後端３８Ｂ付近に向けて径方向ＤＲ外側から照射する（図５参照）。このとき、未溶融後端部３７Ｂ上のレーザビームＥＢの照射領域Ｆに、メンブレン３０と同じニッケル合金からなる金属粉ＭＰを供給する（図５参照）。
【００４７】
そして、レーザビームＥＢの熱で、未溶融後端部３７Ｂ、及び、この未溶融後端部３７Ｂよりも径方向ＤＲ内側に位置する内筒１７の先端部１７ｓを溶融させるのに加え、金属粉ＭＰを溶融させることで、多量の溶融金属を生じさせる。
この溶融金属は、まずメンブレン３０の後筒部３６と内筒１７の先端部１７ｓとの間の空隙Ｇを埋めるのに使用される。但し、本実施形態１では、溶融金属が多量であるため、後筒部３６と先端部１７ｓとの間の空隙Ｇに多くの溶融金属が行きわたっても、余った溶融金属がハウジング接合部Ｗ２を形成する（図３参照）。かくして、メンブレン３０の後筒部３６と、内筒１７の先端部１７ｓとが径方向ＤＲに離間していても、ハウジング接合部Ｗ２を介して、メンブレン３０（後筒部３６）とハウジング１０のうち内筒１７の先端部１７ｓとを強固かつ気密に接合することができる。
なお、本実施形態１では、余った溶融金属の量が十分であったため、ハウジング接合部Ｗ２の形態が、周方向ＤＹ全体で後端部３７よりも径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態になっている（図３参照）。
【００４８】
次いで、メンブレン３０の先端部３２とヒータ部材２０とをヒータ接合部Ｗ１で接合するヒータ接合工程について説明する。
なお、このヒータ接合工程でも、上述したハウジング接合工程と同様のレーザ装置（TRUMPF製レーザメタルデポジションシステム）を用いる。
このヒータ接合工程ではまず、メンブレン３０の先筒部３１を、軸線方向ＤＸ先端側ＸＳからヒータ部材２０のシースチューブ２１に被せる（図５参照）。なお、本実施形態１では、先筒部３１の内径Ｄ３をシースチューブ２１の外径Ｄ４よりも大きくしてある（Ｄ３＞Ｄ４）。このため、先筒部３１をシースチューブ２１に容易に被せることができる一方、シースチューブ２１に先筒部３１を被せたとき、これらの間で、周方向ＤＹの少なくとも一部が径方向ＤＲに離間する。
【００４９】
この状態において、周方向ＤＹ全周にわたり、レーザビームＥＢを未溶融先端部３２Ｂの先端３３Ｂ付近に向けて径方向ＤＲ外側から照射する（図５参照）。このとき、前述したハウジング接合工程と同様、未溶融先端部３２Ｂ上のレーザビームＥＢの照射領域Ｆに、前述の金属粉ＭＰを供給する。
【００５０】
そして、レーザビームＥＢの熱で、未溶融先端部３２Ｂ、及び、この未溶融先端部３２Ｂよりも径方向ＤＲ内側に位置するシースチューブ２１を溶融させるのに加え、金属粉ＭＰを溶融させることで、多量の溶融金属を生じさせる。
この溶融金属は、まずメンブレン３０の先筒部３１とシースチューブ２１との間の空隙Ｇを埋めるのに使用される。但し、本実施形態１では、溶融金属が多量であるため、先筒部３１とシースチューブ２１との間の空隙Ｇに多くの溶融金属が行きわたっても、余った溶融金属がヒータ接合部Ｗ１を形成する（図３参照）。かくして、メンブレン３０の先筒部３１と、シースチューブ２１とが径方向ＤＲに離間していても、ヒータ接合部Ｗ１を介して、メンブレン３０（先筒部３１）とヒータ部材２０のシースチューブ２１とを強固かつ気密に接合することができる。
なお、本実施形態１では、余った溶融金属の量が十分であったため、ヒータ接合部Ｗ１の形態が、周方向ＤＹ全周で先端部３２よりも径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態になっている（図３参照）。
【００５１】
その後、内筒１７の先端部１７ｓに先端キャップ１４を外嵌し、内筒１７のフランジ部１８と先端キャップ１４の円筒部１６とをレーザ溶接する。これにより、ハウジング１０をなす主体金具１１、内筒１７及び先端キャップ１４が一体となる。
さらに、ハウジング１０の後端側ＸＫに端子アセンブリ９１を取り付けて、グロープラグ１が完成する（図１参照）。
【００５２】
なお、本実施形態１では、グロープラグ兼用燃焼圧センサ（グロープラグ）１が特許請求の範囲に記載の「燃焼圧センサ」に、ヒータ部材２０が「変位部材」に、メンブレン３０が「連結部材」にそれぞれ相当する。また、レーザビームＥＢが「エネルギービーム」に、ヒータ接合工程が「変位部材接合工程」に、ヒータ接合部Ｗ１が「変位部材接合部」にそれぞれ相当する。
【００５３】
本実施形態１に係るグロープラグ兼用燃焼圧センサ１の製造方法は、照射領域Ｆに金属粉ＭＰを供給しつつレーザビームＥＢを照射領域Ｆに照射し、メンブレン３０の先端部３２とヒータ部材２０のシースチューブ２１とを金属粉ＭＰ由来の金属成分を含むヒータ接合部Ｗ１で接合するヒータ接合工程を備える。従って、金属粉ＭＰに由来する分を含む十分な肉（金属）からなるヒータ接合部Ｗ１でメンブレン３０とヒータ部材２０とを接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を製造することができる。
【００５４】
また、ヒータ接合工程では、周方向ＤＹの少なくとも一部で互いに離間しているメンブレン３０の先端部３２とヒータ部材２０との間（空隙Ｇ）を、全周にわたりヒータ接合部Ｗ１で埋めて接合するため、これらメンブレン３０の先端部３２とヒータ部材２０とを強固に接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を製造できる。
【００５５】
また、ヒータ接合工程において、レーザビームＥＢで金属粉ＭＰ、ヒータ部材２０及びメンブレン３０の未溶融先端部３２Ｂを溶融させる。このため、メンブレン３０及びヒータ部材２０（シースチューブ２１）由来の溶融金属に加え、金属粉ＭＰ由来の溶融金属を接合に用いた十分な肉（金属）のヒータ接合部Ｗ１で、メンブレン３０とヒータ部材２０とを確実に接合することができる。
【００５６】
一方、本実施形態１に係るグロープラグ兼用燃焼圧センサ１の製造方法は、照射領域Ｆに金属粉ＭＰを供給しつつレーザビームＥＢを照射領域Ｆに照射し、メンブレン３０の後端部３７とハウジング１０における内筒１７の先端部１７ｓとを金属粉ＭＰ由来の金属成分を含むハウジング接合部Ｗ２で接合するハウジング接合工程を備える。従って、金属粉ＭＰに由来する分を含む十分な肉（金属）からなるハウジング接合部Ｗ２でメンブレン３０とハウジング１０とを接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を製造することができる。
【００５７】
また、ハウジング接合工程では、周方向ＤＹの少なくとも一部で互いに離間しているメンブレン３０の後端部３７とハウジング１０との間（空隙Ｇ）を、全周にわたりハウジング接合部Ｗ２で埋めて接合するため、これらメンブレン３０の後端部３７とハウジング１０とを強固に接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を製造できる。
【００５８】
また、ハウジング接合工程において、レーザビームＥＢで金属粉ＭＰ、ハウジング１０及びメンブレン３０の未溶融後端部３７Ｂを溶融させる。このため、メンブレン３０及びハウジング１０（内筒１７の先端部１７ｓ）由来の溶融金属に加え、金属粉ＭＰ由来の溶融金属を接合に用いた十分な肉（金属）のハウジング接合部Ｗ２で、メンブレン３０とハウジング１０とを確実に接合することができる。
【００５９】
また、本実施形態１では、変位部材がヒータ部材２０であるため、燃焼圧センサとして利用できる上、ディーゼルエンジン等の内燃機関の始動を補助することもできるグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を確実に製造できる。
【００６０】
（変形形態）
次に、本発明の変形形態にかかるグロープラグ兼用燃焼圧センサ１０１について、図１，６〜８を参照しつつ説明する。
本変形形態では、ヒータ接合工程（変位部材接合工程）において、レーザビーム（エネルギービーム）ＥＢを照射するが、ヒータ部材（変位部材）２０及びメンブレン（連結部材）１３０を溶融させることなく、金属粉ＭＰ由来の金属成分からなるヒータ接合部（変位部材接合部）Ｗ３を介して、ヒータ部材２０とメンブレン１３０とを接合する点で、上述した実施形態１と異なる。また、ハウジング接合工程において、レーザビームＥＢを照射するが、ハウジング１０及びメンブレン１３０を溶融させることなく、金属粉ＭＰ由来の金属成分からなるハウジング接合部Ｗ４を介して、ハウジング１０とメンブレン１３０とを接合する点で、実施形態１と異なる。
そこで、実施形態１と異なる点を中心に説明し、同様の部分の説明は省略または簡略化する。なお、同様の部分については同様の作用効果を生じる。また、同内容の部材、部位には同番号を付して説明する。
【００６１】
本変形形態にかかるグロープラグ１０１は、前述した本実施形態１のグロープラグ１と同様、メンブレン１３０の先筒部１３１の周囲に環状に形成されたヒータ接合部Ｗ３を介して、メンブレン１３０とヒータ部材２０とを接合している（図６，７参照）。但し、接合にあたりメンブレン１３０及びヒータ部材２０を溶融させないので、ヒータ接合部Ｗ３は、メンブレン１３０由来の金属成分、及び、ヒータ部材２０のシースチューブ２１由来の金属成分を含まず、金属粉ＭＰ（コバルト粉末）由来の金属成分（コバルト）からなる点で、前述した実施形態１のヒータ接合部Ｗ１とは異なる。
即ち、ヒータ接合部Ｗ３は、図７に示すように、自身を介してメンブレン１３０の先筒部１３１とシースチューブ２１とを接合している。このヒータ接合部Ｗ３は、後述するヒータ接合工程において、金属粉ＭＰを溶融させて形成する。従って、ヒータ接合部Ｗ３とそれぞれ界面をなす、先筒部１３１の先端１３３、及び、シースチューブ２１の外表面２１ｆには、溶融した跡が見られない。この点が、前述した実施形態１と異なる。
【００６２】
また、前述した本実施形態１と同様、メンブレン１３０の後筒部１３６の周囲に環状に形成されたハウジング接合部Ｗ４を介して、メンブレン１３０とハウジング１０とを接合している（図６，７参照）。但し、接合にあたりメンブレン１３０及びハウジング１０を溶融させないので、ハウジング接合部Ｗ４も、メンブレン１３０由来の金属成分、及び、ハウジング１０の内筒１７由来の金属成分を含まず、金属粉ＭＰ由来の金属成分（コバルト）からなる点で、実施形態１と異なる。
即ち、ハウジング接合部Ｗ４は、図７に示すように、自身を介してメンブレン１３０の後筒部１３６と内筒１７の先端部１７ｓとを接合している。このハウジング接合部Ｗ４は、後述するハウジング接合工程において、金属粉ＭＰを溶融させて形成する。従って、ハウジング接合部Ｗ４とそれぞれ界面をなす、後筒部１３６の後端１３８、及び、内筒１７の先端部１７ｓの径方向ＤＲ外側ＤＲ１を向く外表面１７ｆには、溶融跡が見られない。この点が、前述した実施形態１と異なる。
【００６３】
また、本変形形態にかかるグロープラグ兼用燃焼圧センサ１０１の製造方法のうち、ハウジング接合工程では、ハウジング１０及びメンブレン１３０の後端部１３７を、レーザビームＥＢで溶融させることなく、金属粉ＭＰ由来の金属成分からなるハウジング接合部Ｗ４を介して接合する点で、実施形態１のハウジング接合工程とは異なる。
即ち、メンブレン１３０の後筒部１３６を内筒１７の先端部１７ｓに被せた後、内筒１７の先端部１７ｓのうち、後筒部１３６の後端部１３７から軸線方向ＤＸ後端側ＸＫに露出し、メンブレン１３０の後端１３８付近に位置する付近露出面１７ｐに、レーザビームＥＢを照射する。なお、このハウジング接合工程では、実施形態１に比してビームの出力を小さくしたレーザビームＥＢを用いる。これにより、照射領域Ｆにおいて、ハウジング１０の内筒１７（あるいはメンブレン１３０の後筒部１３６）を溶融させずに、金属粉ＭＰのみを溶融させる。さらに、このハウジング接合工程では、レーザビームＥＢの照射領域Ｆを先端部１７ｓの付近露出面１７ｐ内で軸線方向ＤＸに繰り返し揺動させる。これにより、レーザビームＥＢの照射領域Ｆが付近露出面１７ｐのある部位にとどまり、内筒１７の先端部１７ｓが溶融するのを防ぎつつ、金属粉ＭＰを多量に溶融させることができる。
なお、本変形形態では、ビームの出力を小さくして、照射領域Ｆにおいて金属粉ＭＰのみを溶融させた。しかし、この手法以外に、ビームの焦点位置をずらすことで、照射領域Ｆにおいて金属粉ＭＰのみを溶融させても良い。
【００６４】
また、本変形形態のヒータ接合工程では、ヒータ部材２０及びメンブレン１３０の先端部１３２を、レーザビームＥＢで溶融させることなく、金属粉ＭＰ由来の金属成分からなるヒータ接合部Ｗ３を介して接合する点で、実施形態１とは異なる。
即ち、メンブレン１３０の先筒部１３１をヒータ部材２０のシースチューブ２１に被せた後、周方向ＤＹ全周にわたり、シースチューブ２１のうち、先筒部１３１の先端部１３２から軸線方向ＤＸ先端側ＸＳに露出し、メンブレン１３０の先端１３３付近に位置する付近露出面２１ｐに、レーザビームＥＢを照射する。なお、このヒータ接合工程では、実施形態１に比してビームの出力を小さくしたレーザビームＥＢを用いる。これにより、照射領域Ｆにおいて、ヒータ部材２０のシースチューブ２１（あるいはメンブレン１３０の先筒部１３１）を溶融させずに、金属粉ＭＰのみを溶融させる。さらに、このヒータ接合工程では、レーザビームＥＢの照射領域Ｆをシースチューブ２１の付近露出面２１ｐ内で軸線方向ＤＸに繰り返し揺動させる。これにより、レーザビームＥＢの照射領域Ｆが付近露出面２１ｐのある部位にとどまり、シースチューブ２１が溶融するのを防ぎつつ、金属粉ＭＰを多量に溶融させることができる。
【００６５】
本変形形態にかかるグロープラグ兼用燃焼圧センサ１０１の製造方法では、ヒータ部材２０のシースチューブ２１及びメンブレン１３０の先端部１３２を、レーザビームＥＢで溶融させず、しかも、ヒータ部材２０のシースチューブ２１とメンブレン１３０の先端部１３２とを金属粉ＭＰ由来のヒータ接合部Ｗ３で接合している。このため、メンブレン１３０及びヒータ部材２０（シースチューブ２１）において受熱に伴う熱歪みによる応力が発生するのを抑えつつ、ヒータ接合部Ｗ３でヒータ部材２０とメンブレン１３０の先端部１３２とを確実に接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１０１を製造できる。
【００６６】
また、ハウジング１０の内筒１７の先端部１７ｓ及びメンブレン１３０の後端部１３７を、レーザビームＥＢで溶融させず、しかも、ハウジング１０の内筒１７の先端部１７ｓとメンブレン１３０の後端部１３７とを金属粉ＭＰ由来のハウジング接合部Ｗ４で接合している。このため、メンブレン１３０及びハウジング１０（内筒１７の先端部１７ｓ）において受熱に伴う熱歪みによる応力が発生するのを抑えつつ、ハウジング接合部Ｗ４でハウジング１０とメンブレン１３０の後端部１３７とを確実に接合したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１０１を製造できる。
【００６７】
以上において、本発明を実施形態１及び変形形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
例えば、実施形態１等では、メンブレン３０，１３０の先筒部３１，１３１のうち、ヒータ接合部Ｗ１，Ｗ３に隣接する隣接部（先端部３２，１３２）よりも、径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態のヒータ接合部Ｗ１，Ｗ３を有するグロープラグ兼用燃焼圧センサ１，１０１を示した。しかし、変位部材接合部（ヒータ部材接合部）が径方向に見て隣接部よりも隆起した形態である必要はなく、例えば、径方向に見て隣接部と同じ高さの変位部材接合部や、隣接部が径方向の外側に位置している形態の変位部材接合部を有するグロープラグ兼用燃焼圧センサでも良い。また、メンブレン３０，１３０の後筒部３６，１３６のうち、ハウジング接合部Ｗ２，Ｗ４に隣接する隣接部（後端部３７，１３７）よりも、径方向ＤＲの外側ＤＲ１に隆起した形態のハウジング接合部Ｗ２，Ｗ４を有するグロープラグ兼用燃焼圧センサ１，１０１を示した。しかし、ハウジング接合部が径方向に見て隣接部よりも隆起した形態である必要はなく、例えば、径方向に見て隣接部と同じ高さのハウジング接合部や、隣接部が径方向の外側に位置している形態のハウジング接合部を有するグロープラグ兼用燃焼圧センサでも良い。
【００６８】
また、実施形態１等では、ハウジング１０のうち内筒１７の先端部１７ｓとメンブレン３０，１３０の後筒部３６，１３６とを接合してハウジング接合部Ｗ２，Ｗ４を形成した。しかし、ハウジングのうち内筒の先端部以外の部位、例えば、ハウジングをなす先端キャップの円筒部とメンブレンの後筒部とを接合してハウジング接合部を形成しても良い。
また、実施形態１では、ヒータ部材２０に、シースチューブ２１の内側に発熱コイル２２及び制御コイル２３を配置したシースヒータ（メタルヒータ）を用いたグロープラグ兼用燃焼圧センサ１を示した。しかし、エネルギービームを用いて、変位部材接合部を形成可能なヒータ部材であれば良く、例えば、特開２０１３−２４４８８に示す、内部に導電性セラミック体からなる発熱体が配置された絶縁性セラミック体に金属製の外筒を外嵌したセラミックヒータを用いたグロープラグ兼用燃焼圧センサに適用しても良い。この場合、金属製の外筒を、金属粉及び連結部材（メンブレン）の未溶融端部と共に溶融させて、変位部材接合部を形成する。
【００６９】
また、実施形態１では、連結部材であるメンブレン３０と変位部材であるヒータ部材２０（シースチューブ２１）との接合に、メンブレン３０と同じニッケル合金からなる金属粉ＭＰを用いた。しかし、この金属粉ＭＰに代えて、変位部材と同じ金属（例えば、ステンレス鋼、ニッケル合金）からなる金属粉を用いても良い。また、メンブレン３０等の連結部材及び変位部材のいずれとも異なる金属（例えば、コバルト粉末）からなる金属粉を用いても良い。
また、メンブレン３０とハウジング１０との接合に、メンブレン３０と同じニッケル合金からなる金属粉ＭＰを用いた。しかし、この金属粉ＭＰに代えて、ハウジングと同じ金属（例えば、ステンレス鋼）からなる金属粉を用いても良い。また、連結部材及びハウジングのいずれとも異なる金属（例えば、コバルト粉末）からなる金属粉を用いても良い。
【００７０】
また、変形形態では、メンブレン１３０とヒータ部材２０との接合にあたり、金属粉ＭＰとしてメンブレン１３０及びヒータ部材２０のいずれとも異なるコバルト粉末を用いた。しかしながら、連結部材及び変位部材のいずれとも異なる他の金属粉を用いても良い。また、連結部材と同じ金属（例えば、ニッケル合金）からなる金属粉を用いても良い。また、変位部材と同じ金属（例えば、ステンレス鋼、ニッケル合金）からなる金属粉を用いても良い。
また、メンブレン１３０とハウジング１０との接合にあたり、金属粉ＭＰとしてメンブレン１３０及びハウジング１０のいずれとも異なるコバルト粉末を用いた。しかし、連結部材及びハウジングのいずれとも異なる他の金属粉を用いても良い。また、連結部材と同じ金属（例えば、ニッケル合金）からなる金属粉を用いても良い。また、ハウジングと同じ金属（例えば、ステンレス鋼）からなる金属粉を用いても良い。
さらに、実施形態１等では、ヒータ部材２０をハウジング１０内に配置したグロープラグ兼用燃焼圧センサ１，１０１を示したが、ヒータ部材に換えて、軸線方向の先端側から受けた圧力の変化に応じて軸線方向に変位する変位部材をハウジング内に配置した燃焼圧センサとしても良い。
【符号の説明】
【００７１】
１，１０１  グロープラグ兼用燃焼圧センサ（燃焼圧センサ）
１０  ハウジング
１４ｓ  先端
２０  ヒータ部材（変位部材）
２１ｓ  チューブ先端部（先端部）
３０，１３０  メンブレン（連結部材）
３２，１３２  先端部（端部）
３２Ｂ  未溶融先端部（未溶融端部）
３７，１３７  後端部（端部）
３７Ｂ  未溶融後端部（未溶融端部）
ＤＲ  径方向
ＤＸ  軸線方向
ＤＹ  周方向
ＥＢ  レーザビーム（エネルギービーム）
Ｆ  照射領域
ＭＰ  金属粉
Ｗ１，Ｗ３  ヒータ接合部（変位部材接合部）
Ｗ２，Ｗ４  ハウジング接合部
ＸＳ  先端側
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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