(57)【要約】【課題】湿度センサの使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことのできる湿度測定装置、劣化回復方法、および劣化回復プログラムを提供する。【解決手段】湿度を検出する湿度センサ１１５の劣化を回復させる回復処理を実行する湿度測定装置１００であって、回復処理の実行中に、前述の湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値に基づいて、回復処理の実行時間を制御する実行時間制御部１４０ｅを備える。【選択図】図２
2015083951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する湿度測定装置であって、
前記回復処理の実行中に、前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、前記回復処理の実行時間を制御する実行時間制御部を備える、
湿度測定装置。
【請求項２】
前記実行時間制御部は、最初の前記回復処理の終了後に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値と、前記回復処理の実行中に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値とに基づいて、前記回復処理を継続するか否かを判定する、
請求項１に記載の湿度測定装置。
【請求項３】
前記回復処理の開始から所定の最大実行時間が経過したときに、前記回復処理の実行中に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、前記湿度センサの劣化のレベルを判定する劣化判定部をさらに備える、
請求項１または２に記載の湿度測定装置。
【請求項４】
前記劣化判定部の判定結果に基づいて、前記湿度センサの劣化のレベルを報知する劣化報知部をさらに備える、
請求項３に記載の湿度測定装置。
【請求項５】
前記回復処理は、前記湿度センサを加熱して該湿度センサの劣化を回復させる加熱クリーニングである、
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の湿度測定装置。
【請求項６】
前記回復処理は、前記湿度センサを洗浄して該湿度センサの劣化を回復させる洗浄クリーニングである、
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の湿度測定装置。
【請求項７】
湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する劣化回復方法であって、
前記回復処理の実行中に、前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、前記回復処理の実行時間を制御する実行時間制御ステップを備える、
劣化回復方法。
【請求項８】
前記実行時間制御ステップは、最初の前記回復処理の終了後に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値と、前記回復処理の実行中に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値とに基づいて、前記回復処理を継続するか否かを判定するステップを含む、
請求項７に記載の劣化回復方法。
【請求項９】
前記回復処理の開始から所定の最大実行時間が経過したときに、前記回復処理の実行中に前記湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、前記湿度センサの劣化のレベルを判定する劣化判定ステップをさらに備える、
請求項７または８に記載の劣化回復方法。
【請求項１０】
前記劣化判定ステップの判定結果に基づいて、前記湿度センサの劣化のレベルを報知する劣化報知ステップをさらに備える、
請求項９に記載の劣化回復方法。
【請求項１１】
湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する湿度測定装置によって実行される劣化回復プログラムであって、
請求項７ないし１０のいずれか一項に記載の劣化回復方法における各ステップを備える、
劣化回復プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、湿度測定装置、劣化回復方法、および劣化回復プログラムおよび劣化検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、湿度測定装置には、測定環境の雰囲気、例えば、薬品、溶剤などのガスや高湿度環境の影響により、湿度測定装置が有する湿度センサ（感湿素子）の性能や品質が低下（以下、劣化という）してしまうという問題があった。このため、湿度センサを加熱したり（以下、適宜、加熱クリーニングという）、湿度センサを洗浄したり（以下、適宜、洗浄クリーニングという）して、湿度センサの劣化を回復させていた。
【０００３】
ただし、劣化した湿度センサに加熱クリーニングや湿度クリーニングなどの回復処理を実行しても、湿度センサは完全に回復するわけではなく、ある程度の劣化が残存して湿度センサに蓄積されるので、ある時点で使用に耐えられなくなり、湿度センサを交換する必要があった。
【０００４】
そこで、最初の回復処理の終了後の湿度センサの湿度計測値を初期値として記憶し、回復処理毎に、その回復処理の終了後の湿度センサの湿度計測値と初期値とを比較し、その比較結果に基づいて湿度センサの劣化を判定し、劣化したと判定された場合に湿度センサを交換する劣化診断方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−８３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の劣化診断方法では、回復処理の実行時間が固定された一定の時間であった。その結果、回復処理の実行時間が必要以上に長い場合があり、湿度センサの使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）いる可能性があった。逆に、回復処理の実行時間が不足している場合があり、回復処理の終了後の湿度計測値に基づいて湿度センサの使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサを交換してしまうおそれがあった。
【０００７】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、湿度センサの使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことのできる湿度測定装置、劣化回復方法、および劣化回復プログラムを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る湿度測定装置は、湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する湿度測定装置であって、回復処理の実行中に、前述の湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、回復処理の実行時間を制御する実行時間制御部を備える。
【０００９】
また、本発明に係る劣化回復方法は、湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する劣化回復方法であって、回復処理の実行中に、前述の湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、回復処理の実行時間を制御する実行時間制御ステップを備える。
【００１０】
また、本発明に係る劣化回復プログラムは、湿度を検出する湿度センサの劣化を回復させる回復処理を実行する湿度測定装置によって実行される劣化回復プログラムであって、前述の劣化回復方法における各ステップを備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る湿度測定装置、劣化検査方法、およびプログラムによれば、回復処理の実行中に、湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、回復処理の実行時間を制御する。ここで、回復処理の実行中における湿度センサの回復状態（回復具合）は、回復処理の実行中に測定される湿度測定値に表れる。よって、回復処理の実行中に、湿度センサを用いて測定される湿度測定値に基づいて、回復処理の実行時間を制御することにより、湿度センサの回復状態（回復具合）に応じて回復処理の実行時間を変更することが可能となる。したがって、回復処理の実行時間を必要以上に長くして湿度センサの使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）しまったり、縮めての実行時間が不足して湿度センサの使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサを交換してしまったりするのを防止することができ、湿度センサの使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態における湿度測定装置の概略構成の一例を示す構成図である。
【図２】図１に示した制御部の機能的構成の一例を示すブロック図である。
【図３】図１に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化を回復させる動作の一例を説明するフローチャートである。
【図４】図３に示した初回劣化回復処理における湿度測定値の一例を示すグラフである。
【図５】図１に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化を回復させる動作の他の例を説明するフローチャートである。
【図６】加熱クリーニングの実行時間が一定であると仮定した場合の湿度測定値の一例を示すグラフである。
【図７】図５に示した劣化回復処理における湿度測定値Ｐの一例を説明するグラフである。
【図８】図１に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化のレベルを判定する動作の一例を説明するフローチャートである。
【図９】第２実施形態における湿度測定装置の概略構成の一例を示す構成図である。
【図１０】図９に示した制御部の機能的構成の一例を示すブロック図である。
【図１１】図９に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化を回復させる動作の一例を説明するフローチャートである。
【図１２】図１１に示した初回劣化回復処理における湿度測定値の一例を示すグラフである。
【図１３】図９に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化を回復させる動作の他の例を説明するフローチャートである。
【図１４】洗浄クリーニングの実行時間が一定であると仮定した場合の湿度測定値の一例を示すグラフである。
【図１５】図１３に示した劣化回復処理における湿度測定値Ｐの一例を説明するグラフである。
【図１６】図９に示した湿度測定装置が湿度センサの劣化のレベルを判定する動作の一例を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。なお、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」、左側を「左」、右側を「右」という。
【００１４】
＜第１実施形態＞
図１ないし図８は、本発明に係る湿度測定装置、劣化回復方法、および劣化回復プログラムの第１実施形態を示すためのものである。図１は、第１実施形態における湿度測定装置１００の概略構成の一例を示す構成図である。図１に示すように、湿度測定装置１００は、センサ部１１０と、本体部１３０と、を備える。
【００１５】
センサ部１１０は、測定環境の雰囲気中に設置され、当該測定環境の雰囲気における相対湿度（以下、単に湿度という）を検出するためのものである。また、センサ部１１０は、湿度に加え、測定環境の雰囲気における所定の物理量、例えば、温度、圧力、風速（風量）などを検出してもよい。
【００１６】
センサ部１１０は、ケース（筐体）１１１と、湿度センサ１１５と、ヒータ１１６と、を備え、ケーブルＣを介して本体部１３０に接続している。湿度センサ１１５およびヒータ１１６は、ケース１１１の内部に収容される。
【００１７】
ケース１１１は、通気性を有しており、例えば、複数の孔が形成された網を備えている。気体は当該網を介して流通可能であり、湿度センサ１１５およびヒータ１１６は、ケース１１１によって測定環境から保護されつつ、測定環境の気体と接触する（接する）ことができる。
【００１８】
ケーブルＣは、例えば、複数の導線を束ねて被覆（シールド）したものである。ケーブルＣは、一端部がケース１１１に接続されるとともに他端部が本体部１３０に接続される。ケーブル１１２によって、ケース１１１内の湿度センサ１１５およびヒータ１１６は、本体部１３０に電気的に接続される。
【００１９】
湿度センサ１１５は、湿度を検出するためのものである。湿度センサ１１５は、例えば、湿度に応じて静電容量が変化する静電容量式（静電容量変化型）の感湿素子である。湿度センサ１１５は、検出した湿度に応じた静電容量値を検出信号（湿度検出信号）として本体部１３０に出力する。
【００２０】
なお、湿度センサ１１５は、容量式（容量変化型）の感湿素子に限定されず、湿度に応じて電気抵抗が変化する抵抗式（抵抗変化型）の感湿素子であってもよく、その方式を問わない。また、感湿素子の感湿層は、例えば高分子化合物やセラミックなどの材料で構成されていてもよく、材料を問わない。
【００２１】
ヒータ１１６は、湿度センサ１１５を加熱するためのものである。ヒータ１１６が湿度センサ１１５を加熱することで、当該湿度センサ１１５の劣化を回復させる加熱クリーニングを行うことができる。また、ヒータ１１６は、温度を検出する温度センサを兼ねていてもよい。この場合、ヒータ１１６は、例えば、測温抵抗体であり、湿度センサ１１５の加熱を行っていないときは、検出した温度に応じた抵抗値を検出信号（温度検出信号）として出力部に出力する。これにより、ヒータ１１６は温度センサとして機能することができる。
【００２２】
なお、ヒータ１１６が温度センサを兼ねる場合に限定されず、センサ部１１０は、湿度センサ１１５に加え、湿度センサ１１５を加熱するヒータ１１６と、温度を検出する温度センサと、を備えるように構成することが可能である。
【００２３】
一方、本体部１３０は、ケース（筐体）１３１と、表示部１３２と、発光部１３３と、入力部１３４と、を備える。表示部１３２、発光部１３３、および入力部１３４は、ケース１３１の外側表面に設けられる。
【００２４】
表示部１３２は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などのディスプレイであり、測定結果などの出力情報や、各種の設定などの入力情報を表示する。発光部１３３は、例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）などの発光体を複数有しており、制御信号に基づいて複数の発光体のうちの少なくとも一つが発光する。入力部１３４は、複数のキー（ボタン）を有しており、湿度測定装置１００のユーザ（利用者）が当該キーを操作することよって、各種の情報が入力される。
【００２５】
また、本体部１３０は、ケース１３１の内部に、湿度信号変換回路１３５と、ヒータエレメント駆動回路１３６と、制御部１４０と、アナログ出力部１５０と、デジタル通信部１６０と、電源部１７０と、をさらに備える。
【００２６】
湿度信号変換回路１３５は、センサ部１１０の湿度センサ１１５に接続されており、湿度センサ１１５から入力される湿度検出信号を電圧信号に変換し、変換した電圧信号を制御部１４０に出力する。
【００２７】
ヒータエレメント駆動回路１３６は、センサ部１１０のヒータ１１６に接続しており、制御部１４０から入力される制御信号に基づいて、ヒータ１１６に電流を供給して駆動する。
【００２８】
制御部１４０は、湿度測定装置１００の各部を制御するためのものである。また、制御部１４０は、後述する本発明に係る劣化回復方法および劣化回復プログラムを実行するためのものでもある。制御部１４０は、表示部１３２、発光部１３３、入力部１３４、湿度信号変換回路１３５、ヒータエレメント駆動回路１３６、アナログ出力部１５０、およびデジタル通信部１６０に接続されている。また、制御部１４０は、Ａ／Ｄ変換器１４１と、ＣＰＵ(Central Processing Unit)１４２と、ＲＯＭ(Read Only Memory)１４３と、ＲＡＭ１４４と、不揮発性のメモリ１４５と、を備える。なお、図示を省略するが、制御部１４０は、入力インターフェースや出力インターフェースなどの各種インターフェースや、制御部１４０を構成する各機器を結ぶバスなどを、さらに備えていてもよい。
【００２９】
Ａ／Ｄ(Analog to Digital)変換器１４１は、アナログ信号の電気信号（以下、適宜、入力信号という）をデジタル信号の電気信号（以下、適宜、出力信号という）に変換するためのものである。本実施形態では、Ａ／Ｄ変換器１４１は、湿度信号変換回路１３５から入力されるアナログ信号の電圧信号を、デジタル信号に変換して湿度センサ１１５の湿度測定値Ｐとして出力する。なお、Ａ／Ｄ変換器１４１は、入力信号に対して、フィルタリング、信号増幅などの信号処理を施した上で出力信号に変換し、出力してもよい。
【００３０】
ＣＰＵ１４２は、入力部１３４から入力されるデータ（情報）と、Ａ／Ｄ変換器１４１から入力される湿度測定値Ｐと、ＲＯＭ１４３に記憶されたプログラムと、に基づいて、ＲＡＭ１４４およびメモリ１４５に対してデータの読み出しや書き込みを行いながら、各種の演算を行う。そして、ＣＰＵ１４２は、演算結果に基づいて、制御部１４０に接続する各部に制御信号やデータを出力する。
【００３１】
なお、制御部１４０を構成する各機器の機能は、コンピュータ（マイクロコンピュータ）で実行されるプログラムによって実現することも可能である。よって、制御部１５０を構成する各機器は、ハードウェア、ソフトウェア、もしくは、ハードウェアおよびソフトウェアの組み合わせによって実現可能（構成可能）であり、いずれかの場合に限定されない。
【００３２】
また、制御部１４０を構成する機器が、ソフトウェア、もしくは、ハードウェアおよびソフトウェアの組み合わせによって実現（構成）される場合、その機器の機能を実現するための処理は、マルチタスク、マルチスレッド、もしくは、マルチタスクおよびマルチスレッドの両方で実行可能であり、いずれかの場合に限定されない。
【００３３】
アナログ出力部１５０は、制御部１４０から入力される制御信号やデータを電圧信号または電流信号に変換して本体部１３０の外部に出力するためのものである。アナログ出力部１５０は、出力端子を含み、当該出力端子に接続された外部機器、例えば湿度制御用のコントローラにアナログ信号を出力する。
【００３４】
なお、湿度センサ１１５の湿度検出信号を外部に出力する場合、制御部１４０は、湿度信号変換回路１３５から入力される電圧信号を、Ａ／Ｄ変換器１４１をバイパス（迂回）し、アナログ出力部１５０に出力してもよい。この場合、アナログ出力部１５０は、湿度センサ１１５の湿度検出信号を電圧信号または電流信号に変換することなく、本体部１３０の外部に出力することが可能となる。
【００３５】
デジタル通信部１６０は、制御部１４０から入力される制御信号やデータを本体部１３０の外部に出力するためのものである。デジタル通信部１６０は、出力端子を含み、当該出力端子に接続された外部機器、例えば中央監視装置にデジタル信号を出力する。なお、デジタル通信部１６０は、単にオン／オフを出力する接点（ピン）を含む出力端子であってもよい。
【００３６】
電源部１７０は、湿度測定装置１００の各部に電力を供給するためのものである。なお、電源部１７０は、ケース１３１の内部に設けられる場合に限定されず、ケース１３１の外部に設けるようにしてもよい。また、湿度測定装置１００が電源部１７０を備える場合に限定されず、湿度測定装置１００は、電源部１７０を備えずに、外部の電源から電力の供給を受けるようにしてもよい。
【００３７】
本実施形態では、湿度測定装置１００が、１つのセンサ部１１０を備える例を説明したが、これに限定されない。湿度測定装置１００は、２つ以上のセンサ部を備えるようにしてもよい。この場合、複数のセンサ部のうち、少なくとも一つが湿度を検出すればよい。
【００３８】
図２は図１に示した制御部１４０の機能的構成の一例を示すブロック図である。図２に示すように、制御部１４０は、回復処理実行部１４０ａと、計時部１４０ｂと、湿度測定部１４０ｃと、記憶部１４０ｄと、実行時間制御部１４０ｅと、劣化判定部１４０ｆと、劣化報知部１４０ｇと、測定値補正部１４０ｈと、を備える。
【００３９】
回復処理実行部１４０ａは、湿度センサ１１５の劣化を回復させる回復処理を実行する。本実施形態では、回復処理は、湿度センサ１１５を加熱して当該湿度センサ１１５の劣化を回復させる加熱クリーニングである。回復処理実行部１４０ａは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力し、図１に示したヒータ１１６を駆動する。これにより、ヒータ１１６によって湿度センサ１１５が加熱され、湿度センサ１１５に対する加熱クリーニングが実行される。
【００４０】
計時部１４０ｂは、所定の期間における時間を計測するためのものである。計時部１４０ｂは、例えば、発振回路（クロックジェネレータ）や、ＲＴＣ（Real Time Clock）などの時計機能を有するＩＣチップで構成することが可能である。
【００４１】
湿度測定部１４０ｃは、図１に示した湿度センサ１１５を用いて湿度測定値Ｐを測定するためのものである。湿度測定部１４０ｃは、湿度信号変換回路１３５から入力される電圧信号に基づいて、湿度測定値Ｐを求める（得る）。湿度測定部１４０ｃは、例えば、前述したＡ／Ｄ変換器１４１で構成することが可能である。
【００４２】
記憶部１４０ｄは、データ（情報）を記憶するためのものである。記憶部１４０ｄは、例えば前述したＲＡＭ１４４やメモリ１４５などで構成することが可能である。本実施形態では、加熱クリーニングの所定の実行周期Ｔ1、加熱クリーニングの所定の最大実行時間Ｔmax、湿度の所定の測定周期Ｔ2などが、記憶部１４０ｄにあらかじめ記憶されている。
【００４３】
実行時間制御部１４０ｅは、加熱クリーニングの実行中に、図１に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、当該加熱クリーニングの実行時間を制御する。ここで、加熱クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）は、加熱クリーニングの実行中に測定される湿度測定値Ｐに表れる。よって、加熱クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、加熱クリーニングの実行時間を制御することにより、湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）に応じて加熱クリーニングの実行時間を変更することが可能となる。
【００４４】
劣化判定部１４０ｆは、加熱クリーニングの実行中に図１に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する。
【００４５】
劣化報知部１４０ｇは、劣化判定部１４０ｅによる判定結果に基づいて、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を報知する。本実施形態では、劣化報知部１４０ｆは、劣化のレベル（程度、度合い）に応じた制御信号を発光部１３３に出力し、複数の発光体のうちの一つを点灯または点滅させる。
【００４６】
測定値補正部１４０ｈは、加熱クリーニングの実行中に図１に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、湿度測定値Ｐの補正値βを算出する。
【００４７】
次に、湿度測定装置１００が湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作について説明する。
【００４８】
図３は、図１に示した湿度測定装置１００が湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作の一例を説明するフローチャートである。例えば、電源スイッチが投入されて湿度測定装置１００が起動したとき、または、湿度センサ１１５が交換されて入力部１３４からリセット信号が入力されたときに、回復処理実行部１４０ａは、図３に示す初回劣化回復処理Ｓ１００を実行する。
【００４９】
すなわち、回復処理実行部１４０ａは、所定の条件に基づいて、加熱クリーニングを実行するか否かを判定し（Ｓ１０１）、加熱クリーニングを実行すると判定されるまでＳ１０１のステップを繰り返す。
【００５０】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて、湿度測定装置１００の起動から、または、入力部１３４からリセット信号が入力されてからの経過時間ｔesを計測する。そして、回復処理実行部１４０ａは、加熱クリーニングの所定の実行周期Ｔ0を記憶部１４０ｄから読み出し、経過時間ｔesが実行周期Ｔ0以上になった場合（ｔes≧Ｔ0）に、加熱クリーニングを実行すると判定し、経過時間ｔesが実行周期Ｔ0未満である場合（ｔes＜Ｔ0）に、加熱クリーニングを実行しないと判定する。
【００５１】
あるいは、回復処理実行部１４０ａは、ユーザ（利用者）の操作により、入力部１３４から加熱クリーニングの実行信号が入力された場合に加熱クリーニングを実行すると判定し、入力部１３４から加熱クリーニングの実行信号が入力されない場合に加熱クリーニングを実行しないと判定する。
【００５２】
Ｓ１０１の判定の結果、加熱クリーニングを実行する場合、回復処理実行部１４０ａは、所定の実行時間Ｔr0の間、加熱クリーニングを実行する（Ｓ１０２）。
【００５３】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力してヒータ１１６による加熱クリーニングを開始するとともに、計時部１４０ｂを用いて加熱クリーニングの開始からの経過時間ｔerを計測する。そして、回復処理実行部１４０ａは、加熱クリーニングの所定の実行時間Ｔr0を記憶部１４０ｄから読み出し、経過時間ｔerが実行時間Ｔr0以上になったときに（ｔer≧Ｔr0）、再度ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力してヒータ１１６による加熱クリーニングを終了する。
【００５４】
加熱クリーニングの終了後、湿度測定部１４０ｃは、湿度センサ１１５を用いて湿度測定値Ｐを測定し（Ｓ１０３）、測定した湿度測定値Ｐを初回測定値Ｐ0として記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる（Ｓ１０４）。
【００５５】
Ｓ１０４の後、回復処理実行部１４０ａは、初回劣化回復処理Ｓ１００を終了する。
【００５６】
図４は、図３に示した初回劣化回復処理Ｓ１００における湿度測定値Ｐの一例を示すグラフである。図４に示すように、時間ｔ1において回復処理実行部１４０ａが加熱クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに低下し始める。そして、加熱クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔr0が経過した時間ｔ2において、回復処理実行部１４０ａは加熱クリーニングを終了する。このとき、つまり、加熱クリーニングの終了直後に、湿度測定値Ｐはほぼ０（ゼロ）［％］になっており、初回測定値Ｐ0として記憶される。ここで、初回の加熱クリーニングの終了直後は、湿度センサ１１５の劣化が十分に回復した状態であると考えられる。そのため、初回の加熱クリーニングの終了直後に測定され、記憶される初回測定値Ｐ0は、湿度センサ１１５の回復状態（回復具体）に関する基準（指標）となる。
【００５７】
図５は、図１に示した湿度測定装置１００が湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作の他の例を説明するフローチャートである。回復処理実行部１４０ａは、初回劣化回復処理Ｓ１００の終了後、または、前回の劣化回復処理Ｓ２００の終了後に、図５に示す劣化回復処理Ｓ２００を実行する。
【００５８】
すなわち、回復処理実行部１４０ａは、加熱クリーニングの所定の実行周期Ｔ1を記憶部１４０ｄから読み出し、前回の加熱クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過したか否かを判定し（Ｓ２０１）、前回の加熱クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過するまでＳ２０１のステップを繰り返す。
【００５９】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて前回の加熱クリーニングの終了からの経過時間ｔeeを計測しておき、当該経過時間ｔeeが実行周期Ｔ1以上になった場合（ｔee≧Ｔ1）に、前回の加熱クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過したと判定し、当該経過時間ｔeeが実行周期Ｔ1未満である場合（ｔee＜Ｔ1）に、前回の加熱クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過していないと判定する。
【００６０】
実行周期Ｔ1は、例えば、湿度センサ１１５に要求される精度、湿度センサ１１５が配置される測定環境など、湿度測定装置１００の使用状況（使用態様）に基づいて設定される。例えば、数時間から数日程度の時間が設定される。なお、実行周期Ｔ1は、前述した実行周期Ｔ0と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００６１】
Ｓ２０１の判定の結果、前回の加熱クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過した場合、回復処理実行部１４０ａは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力してヒータ１１６による加熱クリーニングを開始する（Ｓ２０２）。
【００６２】
本実施形態では、回復処理実行部１４０ａが所定の実行周期Ｔ1で加熱クリーニングを実行する例を示したが、これに限定されない。例えば、回復処理実行部１４０ａは、周期的に加熱クリーングを実行することに代えて、または、周期的に加熱クリーングを実行することに加えて、入力部１３４から加熱クリーニングの実行信号が入力されたときに加熱クリーニングを実行してもよい。
【００６３】
次に、湿度測定部１４０ｃは、湿度センサ１１５を用いて湿度測定値Ｐを測定する（Ｓ２０３）。これにより、加熱クリーニングの実行中に湿度測定値Ｐが測定される。
【００６４】
次に、実行時間制御部１４０ｅは、加熱クリーニングの所定の最大実行時間Ｔmaxを記憶部１４０ｄから読み出し、加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過していない（未経過）か否かを判定する（Ｓ２０４）。
【００６５】
例えば、実行時間制御部１４０ｅは、計時部１４０ｂを用いて加熱クリーニングの開始からの経過時間ｔerを計測しておき、当該経過時間ｔerが最大実行時間Ｔmax未満である場合（ｔer＜Ｔmax）に、加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過していないと判定し、当該経過時間ｔerが最大実行時間Ｔmax以上である場合（ｔer≧Ｔmax）に加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過したと判定する。
【００６６】
Ｓ２０４の判定の結果、加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過していない場合、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから初回測定値Ｐ0を読み出し、当該初回測定値Ｐ0と、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐとに基づいて、加熱クリーニングを継続するか否かを判定する（Ｓ２０５）。
【００６７】
例えば、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて加熱クリーニングを継続するか否かを判定する。すなわち、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0より大きい場合（Ｐ＞Ｐ0）に、加熱クリーニングを継続すると判定し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0以下である場合（Ｐ≦Ｐ0）に、加熱クリーニングを継続しない、つまり、加熱クリーニングを終了すると判定する。
【００６８】
Ｓ２０５の判定の結果、加熱クリーニングを継続する場合、回復処理実行部１４０ａは、湿度の所定の測定周期Ｔ2を記憶部１４０ｄから読み出し、実行中の加熱クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ2が経過したか否かを判定する（Ｓ２０６）。
【００６９】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて前回の湿度測定値Ｐの測定からの経過時間ｔemを計測しておき、当該経過時間ｔemが測定周期Ｔ2以上である場合（ｔme≧Ｔ2）に、実行中の加熱クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ2が経過したと判定し、当該経過時間ｔemが測定周期Ｔ2未満である場合（ｔem＜Ｔ2）、実行中の加熱クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ2が経過していないと判定する。
【００７０】
Ｓ２０６の判定の結果、実行中の加熱クリーニングにおける前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ2が経過した場合、Ｓ２０３のステップに戻り、実行中の加熱クリーニングにおける前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ2が経過していない場合、Ｓ２０４のステップに戻る。これにより、湿度測定値Ｐは、加熱クリーニングの実行中に測定周期Ｔ2で測定され、最新の値に更新される。
【００７１】
湿度測定値Ｐは加熱クリーニングの実行中に複数回測定され、実行時間制御部１４０ｅは最新の（直前の）湿度測定値Ｐに基づいて、実行中の加熱クリーニングの実行時間を制御するのが好ましい。このため、測定周期Ｔ2は、予測される実行時間に対して十分短い時間であり、例えば、予測される実行時間が１０分程度である場合に、測定周期Ｔ2は一秒から数十秒程度の時間が設定される。
【００７２】
本実施形態では、加熱クリーニングの実行中に、湿度測定部１４０ｃが所定の測定周期Ｔ2で湿度測定値Ｐを測定する例を示したが、これに限定されない。例えば、湿度測定部１４０ｃは、加熱クリーニングの実行中に、周期的に湿度測定値Ｐを測定することに代えて、または、周期的に湿度測定値Ｐを測定することに加えて、非周期的に湿度測定値Ｐを測定してもよい。
【００７３】
一方、Ｓ２０４の判定の結果、加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過した場合、実行中の加熱クリーニングをこれ以上継続しても、湿度センサ１１５の劣化は十分に回復した状態にならない（戻らない）と考えられる。よって、実行時間制御部１４０ｅは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力してヒータ１１６による加熱クリーニングを終了する（Ｓ２０７）。
【００７４】
Ｓ２０７の後、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する後述の劣化レベル判定処理Ｓ３００を実行する。
【００７５】
一方、Ｓ２０５の判定の結果、加熱クリーニングを継続しない、つまり、加熱クリーニングを終了する場合、実行時間制御部１４０ｅは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力してヒータ１１６による加熱クリーニングを終了する（Ｓ２０８）。
【００７６】
劣化レベル判定処理Ｓ３００の後、および、Ｓ２０８の後、回復処理実行部１４０ａは、劣化回復処理Ｓ２００を終了する。
【００７７】
図６は、加熱クリーニングの実行時間が一定であると仮定した場合の湿度測定値Ｐの一例を示すグラフである。従来の劣化回復方法のように、加熱クリーニングが固定された所定の実行時間Ｔrである場合、図６に示すように、時間ｔ3において加熱クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに低下し始める。そして、加熱クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔrが経過した時間ｔ4において、加熱クリーニングを終了する。このとき、湿度測定値Ｐは、ほぼ０（ゼロ）［％］になっているものの、前述した初回測定値Ｐ0より小さい場合（Ｐ＜Ｐ0）がある。この場合、加熱クリーニングの実行時間Ｔrが必要以上に長いため、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）いる可能性がある。
【００７８】
また、時間ｔ5において加熱クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに低下し始める。そして、加熱クリーニングを開始から所定の実行時間Ｔrが経過した時間ｔ6において、加熱クリーニングを終了する。このとき、湿度測定値Ｐは、前述した初回測定値Ｐ0より大きい場合（Ｐ＞Ｐ0）がある。この場合、加熱クリーニングの実行時間Ｔrが不足しており、加熱クリーニングの終了後の湿度測定値Ｐに基づいて湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサ１１５を交換してしまうおそれがある。
【００７９】
図７は、図５に示した劣化回復処理Ｓ２００における湿度測定値Ｐの一例を説明するグラフである。これに対し、本実施形態の劣化回復処理Ｓ２００では、図７に示すように、時間ｔ3において加熱クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに低下し始める。そして、加熱クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔrが経過する前の時間ｔ4’において、湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0に達したときに、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２０５のステップにより加熱クリーニングを終了すると判定し、加熱クリーニングを終了することが可能となる。このように、加熱クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、加熱クリーニングの実行時間を制御することにより、加熱クリーニングの実行時間を所定の実行時間Ｔrより短くすることができ、加熱クリーニングの実行時間が必要以上に長くなるのを防止することができる。
【００８０】
また、本実施形態の劣化回復処理Ｓ２００では、時間ｔ5において加熱クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに低下し始める。そして、加熱クリーニングを開始から所定の実行時間Ｔrが経過した時間ｔ6において、湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0より大きいので、実行時間制御部１４０ｅがＳ２０５のステップにより加熱クリーニングを継続すると判定し、加熱クリーニングは継続される。その後、時間ｔ6’において湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0に達したときに、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２０５のステップにより加熱クリーニングを終了すると判定し、加熱クリーニングを終了することが可能となる。このように、加熱クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、加熱クリーニングの実行時間を制御することにより、加熱クリーニングの実行時間を所定の実行時間Ｔrより長くすることができ、加熱クリーニングの実行時間が不足するのを防止することができる。
【００８１】
図５に示した劣化回復処理Ｓ２００では、Ｓ２０５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅが、初回測定値Ｐ0とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて加熱クリーニングを継続するか否かを判定する例を示したが、これに限定されない。実行時間制御部１４０ｅは、最初の加熱クリーニングの終了後に湿度センサ１１５を用いて測定される初回測定値Ｐ0と加熱クリーニングの実行中に湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐとに基づいて、加熱クリーニングを継続するか否かを判定すればよい。
【００８２】
すなわち、例えば、Ｓ２０３で湿度測定値Ｐを測定した後、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0と湿度測定値Ｐとの差ΔＰ（＝｜Ｐ0―Ｐ｜）を算出する。そして、Ｓ２０５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから所定のしきい値ΔＰthを読み出し、所定のしきい値ΔＰthと算出した差ΔＰとを比較し、比較結果に基づいて加熱クリーニングを継続するか否かを判定してもよい。
【００８３】
また、例えば、Ｓ１０３で湿度測定値Ｐを測定した後、測定した湿度測定値Ｐを初回測定値Ｐ0とし、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0から所定の範囲（±α）を回復範囲Ｗ（Ｗ＝Ｐ0±α）と設定し、設定した回復範囲Ｗを記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる。そして、Ｓ２０５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから回復範囲Ｗを読み出し、当該回復範囲Ｗと算出したとＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて加熱クリーニングを継続するか否かを判定してもよい。
【００８４】
さらに、例えば、Ｓ２０３で湿度測定値Ｐを測定した後、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0と湿度測定値Ｐとの差ΔＰ（＝Ｐ0―Ｐ）を算出する。また、Ｓ２０６の判定によって実行中の加熱クリーニングにおいて湿度測定値Ｐを複数回測定する場合、実行時間制御部１４０ｅは、ｎ回分（ｎは整数）の湿度測定値Ｐから平均値ΔＰavを算出する。そして、Ｓ２０５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから所定のしきい値ΔＰthを読み出し、所定のしきい値ΔＰthと算出した平均値ΔＰavとを比較し、比較結果に基づいて加熱クリーニングを継続するか終了するかを判定してもよい。
【００８５】
このように、初回の加熱クリーニングの終了後に測定され、湿度センサ１１５の回復状態（回復具体）に関する基準（指標）となる初回測定値Ｐ0と、加熱クリーニングの実行中に測定され、加熱クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）が表れる湿度測定値Ｐと、に基づくことにより、加熱クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）を容易に判定することができ、加熱クリーニングの実行時間をより適切に制御することができる。
【００８６】
次に、湿度測定装置１００が湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する動作について説明する。
【００８７】
図８は、図１に示した湿度測定装置１００が湿度センサ１１５の劣化のレベルを判定する動作の一例を説明するフローチャートである。前述したように、回復判定部１４０ｆは、図５に示したＳ２０７の後に、図８に示す劣化レベル判定処理Ｓ３００を実行する。
【００８８】
すなわち、劣化判定部１４０ｆは、図５に示したＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐに基づいて、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であるか否かを判定する（Ｓ３０１）。
【００８９】
例えば、劣化判定部１４０ｆは、記憶部１４０ｄから所定の許容値Ｐ0maxを読み出し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが許容値Ｐ0max以下である場合（Ｐ≦Ｐ0max）に湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であると判定し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが許容値Ｐ0maxより大きい場合（Ｐ＞Ｐ0max）に湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下ではない、つまり、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）と判定する。
【００９０】
Ｓ３０１の判定の結果、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下である場合、湿度測定値Ｐを補正すれば湿度センサ１１５は使用可能ではあるものの、湿度センサ１１５は使用可能期間（寿命）が残り少なくなっていると考えられる。よって、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させ、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に近いレベル（交換予告レベル）であることを報知する（Ｓ３０２）。これにより、ユーザ（利用者）は、例えば、湿度センサ１１５をあらかじめ準備しておくことができ、来るべき（将来の）湿度センサ１１５の交換作業を円滑に行うことが可能となる。
【００９１】
次に、測定値補正部１４０ｈは、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐに基づいて、湿度測定値Ｐの補正値βを算出し（Ｓ３０３）、算出した補正値βを記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる（Ｓ３０４）。これにより、例えば、測定値補正部１４０ｈは、補正値βを用いて、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐを補正し、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることが可能となる。あるいは、測定値補正部１４０ｈは、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることに代えて、または、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることに加えて、補正した湿度測定値Ｐ’をデジタル通信部１６０を介して湿度測定装置１００の外部に出力することも可能となる。
【００９２】
例えば、測定値補正部１４０ｈは、記憶部１４０ｄから初回測定値Ｐ0を読み出し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐと初回測定値Ｐ0との差から補正値β（＝Ｐ−Ｐ0）を算出する。
【００９３】
一方、Ｓ３０１の判定の結果、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）場合、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐは補正しても信憑性（信頼性）が低く、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎて（尽きて）いると考えられる。よって、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させ、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベル（交換時期レベル）であることを報知する（Ｓ３０５）。このように、加熱クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmaxが経過して劣化判定処理Ｓ３００を実行し、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）場合に、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベルであることが報知されるので、加熱クリーニングをこれ以上実行しても湿度センサ１１５の劣化は十分に回復した状態にならず（戻らず）、湿度測定値Ｐは補正しても信憑性（信頼性）が低い、と判定されるまで、湿度センサ１１５を使用することが可能となり、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことができる。
【００９４】
Ｓ３０４の後、および、Ｓ３０５の後に、劣化判定部１４０ｆは、劣化レベル判定処理Ｓ３００を終了する。
【００９５】
本実施形態では、Ｓ３０１のステップにおいて、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であるか否かを判定する例を示したが、これに限定されない。例えば、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化を、３つ以上のレベル（程度、度合い）に判定してもよい。
【００９６】
また、本実施形態では、Ｓ３０２およびＳ３０５のステップにおいて、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させる例を示したが、これに限定されない。例えば、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させることに代えて、または、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させることに加えて、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を報知する報知データを、デジタル通信部１６０に出力してもよい。これにより、デジタル通信部１６０を介して湿度測定装置１００に接続された外部機器、例えば中央監視装置に、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に近いレベル（交換予告レベル）であること、および、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベル（交換時期レベル）であることのうちの少なくとも一方を、報知することが可能となる。
【００９７】
このように、本実施形態における湿度測定装置１００、劣化回復方法、および劣化回復プログラムによれば、加熱クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、加熱クリーニングの実行時間を制御する。ここで、加熱クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）は、加熱クリーニングの実行中に測定される湿度測定値Ｐに表れる。よって、加熱クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、加熱クリーニングの実行時間を制御することにより、湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）に応じて加熱クリーニングの実行時間を変更することが可能となる。したがって、加熱クリーニングの実行時間を必要以上に長くして湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）しまったり、加熱クリーニングの実行時間が不足して湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサ１１５を交換してしまったりするのを防止することができ、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことができる。
【００９８】
＜第２実施形態＞
図９ないし図１６は、本発明に係る湿度測定装置、劣化回復方法、および劣化回復プログラムの第２実施形態を示すためのものである。なお、特に明記した場合を除き、前述した第１実施形態と同一構成部分は同一符号をもって表し、その説明を省略する。また、前述した第１実施形態と類似する構成部分は類似の符号をもって表し、その詳細な説明を省略する。さらに、図示しない構成、動作、および配置は、前述した第１実施形態と同様とする。
【００９９】
図９は、第２実施形態における湿度測定装置１００Ａの概略構成の一例を示す構成図である。図９に示すように、湿度測定装置１００Ａは、センサ部１１０Ａと、本体部１３０Ａと、を備える。
【０１００】
センサ部１１０Ａは、図１に示した第１実施形態のセンサ部１１０と比較して、ヒータ１１６に代えて洗浄装置１１７を備える点で相違し、その他の構成はセンサ部１１０と同様である。
【０１０１】
洗浄装置１１７は、湿度センサ１１５を洗浄するためのものである。洗浄装置１１７が湿度センサ１１５を洗浄することで、当該湿度センサ１１５の劣化を回復させる洗浄クリーニングを行うことができる。
【０１０２】
一方、本体部１３０Ａは、図１に示した第１実施形態の本体部１３０と比較して、ヒータエレメント駆動回路１３６を備えない点、制御部１４０に代えて制御部１４０Ａを備える点で相違し、その他の構成は本体部１３０と同様である。但し、制御部１４０Ａを構成する各機器は、図１に示した第１実施形態の制御部１４０と同様である。
【０１０３】
図１０は図９に示した制御部１４０Ａの機能的構成の一例を示すブロック図である。図１０に示すように、制御部１４０Ａは、回復処理実行部１４０ａと、計時部１４０ｂと、湿度測定部１４０ｃと、記憶部１４０ｄと、実行時間制御部１４０ｅと、劣化判定部１４０ｆと、劣化報知部１４０ｇと、測定値補正部１４０ｈと、を備える。なお、計時部１４０ｂ、湿度測定部１４０ｃ、および劣化報知部１４０ｇは、図２に示した第１実施形態と同様である。
【０１０４】
回復処理実行部１４０ａは、湿度センサ１１５の劣化を回復させる回復処理を実行する。本実施形態では、回復処理は、湿度センサ１１５を洗浄して当該湿度センサ１１５の劣化を回復させる洗浄クリーニングである。回復処理実行部１４０ａは、洗浄装置１１７に制御信号を出力して駆動する。これにより、洗浄装置１１７によって湿度センサ１１５が洗浄され、湿度センサ１１５に対する洗浄クリーニングが実行される。
【０１０５】
記憶部１４０ｄは、データ（情報）を記憶するためのものである。記憶部１４０ｄは、例えば前述したＲＡＭ１４４やメモリ１４５などで構成することが可能である。本実施形態では、洗浄クリーニングの所定の実行周期Ｔ11、洗浄クリーニングの所定の最大実行時間Ｔmax1、湿度の所定の測定周期Ｔ12などが、記憶部１４０ｄにあらかじめ記憶されている。
【０１０６】
実行時間制御部１４０ｅは、洗浄クリーニングの実行中に、図９に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、当該洗浄クリーニングの実行時間を制御する。ここで、洗浄クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）は、洗浄クリーニングの実行中に測定される湿度測定値Ｐに表れる。よって、洗浄クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、洗浄クリーニングの実行時間を制御することにより、湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）に応じて洗浄クリーニングの実行時間を変更することが可能となる。
【０１０７】
劣化判定部１４０ｆは、洗浄クリーニングの実行中に図１に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する。
【０１０８】
測定値補正部１４０ｈは、洗浄クリーニングの実行中に図１に示した湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、湿度測定値Ｐの補正値β’を算出する。
【０１０９】
次に、湿度測定装置１００Ａが湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作について説明する。
【０１１０】
図１１は、図９に示した湿度測定装置１００Ａが湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作の一例を説明するフローチャートである。例えば、電源スイッチが投入されて湿度測定装置１００Ａが起動したとき、または、湿度センサ１１５が交換されて入力部１３４からリセット信号が入力されたときに、回復処理実行部１４０ａは、図１１に示す初回劣化回復処理Ｓ１００Ａを実行する。
【０１１１】
すなわち、回復処理実行部１４０ａは、所定の条件に基づいて、洗浄クリーニングを実行するか否かを判定し（Ｓ１１１）、洗浄クリーニングを実行すると判定されるまでＳ１１１のステップを繰り返す。
【０１１２】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて、湿度測定装置１００Ａの起動から、または、入力部１３４からリセット信号が入力されてからの経過時間ｔesを計測する。そして、回復処理実行部１４０ａは、洗浄クリーニングの所定の実行周期Ｔ10を記憶部１４０ｄから読み出し、経過時間ｔesが実行周期Ｔ10以上になった場合（ｔes≧Ｔ10）に、洗浄クリーニングを実行すると判定し、経過時間ｔesが実行周期Ｔ10未満である場合（ｔes＜Ｔ10）に、洗浄クリーニングを実行しないと判定する。
【０１１３】
あるいは、回復処理実行部１４０ａは、ユーザ（利用者）の操作により、入力部１３４から洗浄クリーニングの実行信号が入力された場合に洗浄クリーニングを実行すると判定し、入力部１３４から洗浄クリーニングの実行信号が入力されない場合に洗浄クリーニングを実行しないと判定する。
【０１１４】
Ｓ１０１の判定の結果、洗浄クリーニングを実行する場合、回復処理実行部１４０ａは、所定の実行時間Ｔr10の間、洗浄クリーニングを実行する（Ｓ１１２）。
【０１１５】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、洗浄装置１１７に制御信号を出力して洗浄装置１１７による洗浄クリーニングを開始するとともに、計時部１４０ｂを用いて洗浄クリーニングの開始からの経過時間ｔerを計測する。そして、回復処理実行部１４０ａは、洗浄クリーニングの所定の実行時間Ｔr10を記憶部１４０ｄから読み出し、経過時間ｔerが実行時間Ｔr10以上になったときに（ｔer≧Ｔr10）、再度洗浄装置１１７に制御信号を出力して洗浄装置１１７による洗浄クリーニングを終了する。
【０１１６】
洗浄クリーニングの終了後、湿度測定部１４０ｃは、湿度センサ１１５を用いて湿度測定値Ｐを測定し（Ｓ１０３）、測定した湿度測定値Ｐを初回測定値Ｐ0として記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる（Ｓ１０４）。
【０１１７】
Ｓ１０４の後、回復処理実行部１４０ａは、初回劣化回復処理Ｓ１００Ａを終了する。
【０１１８】
図１２は、図１１に示した初回劣化回復処理Ｓ１００Ａにおける湿度測定値Ｐの一例を示すグラフである。図１２に示すように、時間ｔ11において回復処理実行部１４０ａが洗浄クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに上昇し始める。そして、洗浄クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔr10が経過した時間ｔ12において、回復処理実行部１４０ａは洗浄クリーニングを終了する。このとき、つまり、洗浄クリーニングの終了直後に、湿度測定値Ｐはほぼ１００［％］になっており、初回測定値Ｐ0として記憶される。ここで、初回の洗浄クリーニングの終了直後は、湿度センサ１１５の劣化が十分に回復した状態であると考えられる。そのため、初回の洗浄クリーニングの終了直後に測定され、記憶される初回測定値Ｐ0は、湿度センサ１１５の回復状態（回復具体）に関する基準（指標）となる。
【０１１９】
図１３は、図９に示した湿度測定装置１００Ａが湿度センサ１１５の劣化を回復させる動作の他の例を説明するフローチャートである。回復処理実行部１４０ａは、初回劣化回復処理Ｓ１００Ａの終了後、または、前回の劣化回復処理Ｓ２００Ａの終了後に、図１３に示す劣化回復処理Ｓ２００Ａを実行する。
【０１２０】
すなわち、回復処理実行部１４０ａは、洗浄クリーニングの所定の実行周期Ｔ11を記憶部１４０ｄから読み出し、前回の洗浄クリーニングの終了から実行周期Ｔ11が経過したか否かを判定し（Ｓ２１１）、前回の洗浄クリーニングの終了から実行周期Ｔ11が経過するまでＳ２１１のステップを繰り返す。
【０１２１】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて前回の洗浄クリーニングの終了からの経過時間ｔeeを計測しておき、当該経過時間ｔeeが実行周期Ｔ11以上になった場合（ｔee≧Ｔ11）に、前回の洗浄クリーニングの終了から実行周期Ｔ11が経過したと判定し、当該経過時間ｔeeが実行周期Ｔ11未満である場合（ｔee＜Ｔ11）に、前回の洗浄クリーニングの終了から実行周期Ｔ11が経過していないと判定する。
【０１２２】
実行周期Ｔ11は、例えば、湿度センサ１１５に要求される精度、湿度センサ１１５が配置される測定環境など、湿度測定装置１００Ａの使用状況（使用態様）に基づいて設定される。例えば、数時間から数日程度の時間が設定される。なお、実行周期Ｔ11は、前述した実行周期Ｔ10と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【０１２３】
Ｓ２０１の判定の結果、前回の洗浄クリーニングの終了から実行周期Ｔ1が経過した場合、回復処理実行部１４０ａは、ヒータエレメント駆動回路１３６に制御信号を出力して洗浄装置１１７による洗浄クリーニングを開始する（Ｓ２１２）。
【０１２４】
本実施形態では、回復処理実行部１４０ａが所定の実行周期Ｔ11で洗浄クリーニングを実行する例を示したが、これに限定されない。例えば、回復処理実行部１４０ａは、周期的に洗浄クリーングを実行することに代えて、または、周期的に洗浄クリーングを実行することに加えて、入力部１３４から洗浄クリーニングの実行信号が入力されたときに洗浄クリーニングを実行してもよい。
【０１２５】
次に、湿度測定部１４０ｃは、湿度センサ１１５を用いて湿度測定値Ｐを測定する（Ｓ２０３）。これにより、洗浄クリーニングの実行中に湿度測定値Ｐが測定される。
【０１２６】
次に、実行時間制御部１４０ｅは、洗浄クリーニングの所定の最大実行時間Ｔmax1を記憶部１４０ｄから読み出し、洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過していない（未経過）か否かを判定する（Ｓ２１４）。
【０１２７】
例えば、実行時間制御部１４０ｅは、計時部１４０ｂを用いて洗浄クリーニングの開始からの経過時間ｔerを計測しておき、当該経過時間ｔerが最大実行時間Ｔmax1未満である場合（ｔer＜Ｔmax1）に、洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過していないと判定し、当該経過時間ｔerが最大実行時間Ｔmax1以上である場合（ｔer≧Ｔmax1）に洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過したと判定する。
【０１２８】
Ｓ２１４の判定の結果、洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過していない場合、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから初回測定値Ｐ0を読み出し、当該初回測定値Ｐ0と、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐとに基づいて、洗浄クリーニングを継続するか否かを判定する（Ｓ２１５）。
【０１２９】
例えば、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて洗浄クリーニングを継続するか否かを判定する。すなわち、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0より小さい場合（Ｐ＜Ｐ0）に、洗浄クリーニングを継続すると判定し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0以上である場合（Ｐ≧Ｐ0）に、洗浄クリーニングを継続しない、つまり、洗浄クリーニングを終了すると判定する。
【０１３０】
Ｓ２１５の判定の結果、洗浄クリーニングを継続する場合、回復処理実行部１４０ａは、湿度の所定の測定周期Ｔ12を記憶部１４０ｄから読み出し、実行中の洗浄クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ12が経過したか否かを判定する（Ｓ２１６）。
【０１３１】
例えば、回復処理実行部１４０ａは、計時部１４０ｂを用いて前回の湿度測定値Ｐの測定からの経過時間ｔemを計測しておき、当該経過時間ｔemが測定周期Ｔ12以上である場合（ｔme≧Ｔ12）に、実行中の洗浄クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ12が経過したと判定し、当該経過時間ｔemが測定周期Ｔ2未満である場合（ｔem＜Ｔ12）、実行中の洗浄クリーニングにおいて前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ12が経過していないと判定する。
【０１３２】
Ｓ２１６の判定の結果、実行中の洗浄クリーニングにおける前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ12が経過した場合、Ｓ２０３のステップに戻り、実行中の洗浄クリーニングにおける前回の湿度測定値Ｐの測定から測定周期Ｔ12が経過していない場合、Ｓ２１４のステップに戻る。これにより、湿度測定値Ｐは、洗浄クリーニングの実行中に測定周期Ｔ12で測定され、最新の値に更新される。
【０１３３】
湿度測定値Ｐは洗浄クリーニングの実行中に複数回測定され、実行時間制御部１４０ｅは最新の（直前の）湿度測定値Ｐに基づいて、実行中の洗浄クリーニングの実行時間を制御するのが好ましい。このため、測定周期Ｔ12は、予測される実行時間に対して十分短い時間であり、例えば、予測される実行時間が１０分程度である場合に、測定周期Ｔ12は一秒から数十秒程度の時間が設定される。
【０１３４】
本実施形態では、洗浄クリーニングの実行中に、湿度測定部１４０ｃが所定の測定周期Ｔ12で湿度測定値Ｐを測定する例を示したが、これに限定されない。例えば、湿度測定部１４０ｃは、洗浄クリーニングの実行中に、周期的に湿度測定値Ｐを測定することに代えて、または、周期的に湿度測定値Ｐを測定することに加えて、非周期的に湿度測定値Ｐを測定してもよい。
【０１３５】
一方、Ｓ２１４の判定の結果、洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過した場合、実行中の洗浄クリーニングをこれ以上継続しても、湿度センサ１１５の劣化は十分に回復した状態にならない（戻らない）と考えられる。よって、実行時間制御部１４０ｅは、洗浄装置１１７に制御信号を出力して洗浄装置１１７による洗浄クリーニングを終了する（Ｓ２１７）。
【０１３６】
Ｓ２１７の後、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する後述の劣化レベル判定処理Ｓ３００Ａを実行する。
【０１３７】
一方、Ｓ２１５の判定の結果、洗浄クリーニングを継続しない、つまり、洗浄クリーニングを終了する場合、実行時間制御部１４０ｅは、洗浄装置１１７に制御信号を出力して洗浄装置１１７による洗浄クリーニングを終了する（Ｓ２１８）。
【０１３８】
劣化レベル判定処理Ｓ３００の後、および、Ｓ２１８の後、回復処理実行部１４０ａは、劣化回復処理Ｓ２００Ａを終了する。
【０１３９】
図１４は、洗浄クリーニングの実行時間が一定であると仮定した場合の湿度測定値Ｐの一例を示すグラフである。従来の劣化回復方法のように、洗浄クリーニングが固定された所定の実行時間Ｔr1である場合、図１４に示すように、時間ｔ13において洗浄クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに上昇し始める。そして、洗浄クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔr1が経過した時間ｔ14において、洗浄クリーニングを終了する。このとき、湿度測定値Ｐは、ほぼ１００［％］になっているものの、前述した初回測定値Ｐ0より大きい場合（Ｐ＞Ｐ0）がある。この場合、洗浄クリーニングの実行時間Ｔr1が必要以上に長いため、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）いる可能性がある。
【０１４０】
また、時間ｔ15において洗浄クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに上昇し始める。そして、洗浄クリーニングを開始から所定の実行時間Ｔr1が経過した時間ｔ16において、洗浄クリーニングを終了する。このとき、湿度測定値Ｐは、前述した初回測定値Ｐ0より小さい場合（Ｐ＜Ｐ0）がある。この場合、洗浄クリーニングの実行時間Ｔr1が不足しており、洗浄クリーニングの終了後の湿度測定値Ｐに基づいて、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサ１１５を交換してしまうおそれがある。
【０１４１】
図１５は、図１３に示した劣化回復処理Ｓ２００Ａにおける湿度測定値Ｐの一例を説明するグラフである。これに対し、本実施形態の劣化回復処理Ｓ２００Ａでは、図１５に示すように、時間ｔ13において洗浄クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに上昇し始める。そして、洗浄クリーニングの開始から所定の実行時間Ｔr1が経過する前の時間ｔ14’において、湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0に達したときに、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２１５のステップにより洗浄クリーニングを終了すると判定し、洗浄クリーニングを終了することが可能となる。このように、洗浄クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、洗浄クリーニングの実行時間を制御することにより、洗浄クリーニングの実行時間を所定の実行時間Ｔr1より短くすることができ、洗浄クリーニングの実行時間が必要以上に長くなるのを防止することができる。
【０１４２】
また、本実施形態の劣化回復処理Ｓ２００Ａでは、時間ｔ15において洗浄クリーニングを開始すると、湿度測定値Ｐは時間の経過とともに上昇し始める。そして、洗浄クリーニングを開始から所定の実行時間Ｔr1が経過した時間ｔ16において、湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0より小さいので、実行時間制御部１４０ｅがＳ２１５のステップにより洗浄クリーニングを継続すると判定し、洗浄クリーニングは継続される。その後、時間ｔ16’において湿度測定値Ｐが初回測定値Ｐ0に達したときに、実行時間制御部１４０ｅは、Ｓ２１５のステップにより洗浄クリーニングを終了すると判定し、洗浄クリーニングを終了することが可能となる。このように、洗浄クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、洗浄クリーニングの実行時間を制御することにより、洗浄クリーニングの実行時間を所定の実行時間Ｔr1より長くすることができ、洗浄クリーニングの実行時間が不足するのを防止することができる。
【０１４３】
図１３に示した劣化回復処理Ｓ２００Ａでは、Ｓ２１５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅが、初回測定値Ｐ0とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて洗浄クリーニングを継続するか否かを判定する例を示したが、これに限定されない。実行時間制御部１４０ｅは、最初の洗浄クリーニングの終了後に湿度センサ１１５を用いて測定される初回測定値Ｐ0と洗浄クリーニングの実行中に湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐとに基づいて、洗浄クリーニングを継続するか否かを判定すれば足りる。
【０１４４】
すなわち、例えば、Ｓ２０３で湿度測定値Ｐを測定した後、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0と湿度測定値Ｐとの差ΔＰ（＝｜Ｐ0―Ｐ｜）を算出する。そして、Ｓ２１５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから所定のしきい値ΔＰth1を読み出し、所定のしきい値ΔＰth1と算出した差ΔＰとを比較し、比較結果に基づいて洗浄クリーニングを継続するか否かを判定してもよい。
【０１４５】
また、例えば、Ｓ１０３で湿度測定値Ｐを測定した後、測定した湿度測定値Ｐを初回測定値Ｐ0とし、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0から所定の範囲（±α’）を回復範囲Ｗ’（Ｗ’＝Ｐ0±α’）と設定し、設定した回復範囲Ｗ’を記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる。そして、Ｓ２１５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから回復範囲Ｗ’を読み出し、当該回復範囲Ｗ’とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとを比較し、比較結果に基づいて洗浄クリーニングを継続するか否かを判定してもよい。
【０１４６】
さらに、例えば、Ｓ２０３で湿度測定値Ｐを測定した後、実行時間制御部１４０ｅは、初回測定値Ｐ0と湿度測定値Ｐとの差ΔＰ（＝Ｐ0―Ｐ）を算出する。また、Ｓ２１６の判定によって実行中の洗浄クリーニングにおいて湿度測定値Ｐを複数回測定する場合、実行時間制御部１４０ｅは、ｎ回分（ｎは整数）の湿度測定値Ｐから平均値ΔＰavを算出する。そして、Ｓ２１５のステップにおいて、実行時間制御部１４０ｅは、記憶部１４０ｄから所定のしきい値ΔＰth1を読み出し、所定のしきい値ΔＰth1と算出した平均値ΔＰavとを比較し、比較結果に基づいて洗浄クリーニングを継続するか終了するかを判定してもよい。
【０１４７】
このように、初回の洗浄クリーニングの終了後に測定され、湿度センサ１１５の回復状態（回復具体）に関する基準（指標）となる初回測定値Ｐ0と、洗浄クリーニングの実行中に測定され、洗浄クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）が表れる湿度測定値Ｐと、に基づくことにより、洗浄クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）を容易に判定することができ、洗浄クリーニングの実行時間をより適切に制御することができる。
【０１４８】
次に、湿度測定装置１００Ａが湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を判定する動作について説明する。
【０１４９】
図１６は、図９に示した湿度測定装置１００Ａが湿度センサ１１５の劣化のレベルを判定する動作の一例を説明するフローチャートである。前述したように、回復判定部１４０ｆは、図１３に示したＳ２１７の後に、図１６に示す劣化レベル判定処理Ｓ３００Ａを実行する。
【０１５０】
すなわち、劣化判定部１４０ｆは、図１３に示したＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐに基づいて、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であるか否かを判定する（Ｓ３０１）。
【０１５１】
例えば、劣化判定部１４０ｆは、記憶部１４０ｄから所定の許容値Ｐ0minを読み出し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが許容値Ｐ0min以上である場合（Ｐ≧Ｐ0min）に湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であると判定し、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐが許容値Ｐ0minより小さい場合（Ｐ＜Ｐ0min）に湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下ではない、つまり、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）と判定する。
【０１５２】
Ｓ３０１の判定の結果、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下である場合、湿度測定値Ｐを補正すれば湿度センサ１１５は使用可能ではあるものの、湿度センサ１１５は使用可能期間（寿命）が残り少なくなっていると考えられる。よって、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させ、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に近いレベル（交換予告レベル）であることを報知する（Ｓ３０２）。これにより、ユーザ（利用者）は、例えば、湿度センサ１１５をあらかじめ準備しておくことができ、来るべき（将来の）湿度センサ１１５の交換作業を円滑に行うことが可能となる。
【０１５３】
次に、測定値補正部１４０ｈは、Ｓ２０３で測定した湿度測定値Ｐに基づいて、湿度測定値Ｐの補正値β’を算出し（Ｓ３１３）、算出した補正値β’を記憶部１４０ｄに書き込んで記憶させる（Ｓ３１４）。これにより、例えば、測定値補正部１４０ｈは、補正値β’を用いて、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐを補正し、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることが可能となる。あるいは、測定値補正部１４０ｈは、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることに代えて、または、補正した湿度測定値Ｐ’を表示部１３２に出力して表示させることに加えて、補正した湿度測定値Ｐ’をデジタル通信部１６０を介して湿度測定装置１００Ａの外部に出力することも可能となる。
【０１５４】
例えば、測定値補正部１４０ｈは、記憶部１４０ｄから初回測定値Ｐ0を読み出し、初回測定値Ｐ0とＳ２０３で測定した湿度測定値Ｐとの差から補正値β’（＝Ｐ0−Ｐ）を算出する。
【０１５５】
一方、Ｓ３０１の判定の結果、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）場合、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐは補正しても信憑性（信頼性）が低く、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎて（尽きて）いると考えられる。よって、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させ、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベル（交換時期レベル）であることを報知する（Ｓ３０５）。このように、洗浄クリーニングの開始から最大実行時間Ｔmax1が経過して劣化判定処理Ｓ３００Ａを実行し、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）より高い（大きい）場合に、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベルであることが報知されるので、洗浄クリーニングをこれ以上実行しても湿度センサ１１５の劣化は十分に回復した状態にならず（戻らず）、湿度測定値Ｐは補正しても信憑性（信頼性）が低い、と判定されるまで、湿度センサ１１５を使用することが可能となり、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことができる。
【０１５６】
Ｓ３１４の後、および、Ｓ３０５の後に、劣化判定部１４０ｆは、劣化レベル判定処理Ｓ３００Ａを終了する。
【０１５７】
本実施形態では、Ｓ３０１のステップにおいて、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化が所定のレベル（程度、度合い）以下であるか否かを判定する例を示したが、これに限定されない。例えば、劣化判定部１４０ｆは、湿度センサ１１５の劣化を、３つ以上のレベル（程度、度合い）に判定してもよい。
【０１５８】
また、本実施形態では、Ｓ３０２およびＳ３０５のステップにおいて、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させる例を示したが、これに限定されない。例えば、劣化報知部１４０ｇは、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させることに代えて、または、制御信号を発光部１３３に出力して対応する発光体を点灯させることに加えて、湿度センサ１１５の劣化のレベル（程度、度合い）を報知する報知データを、デジタル通信部１６０に出力してもよい。これにより、デジタル通信部１６０を介して湿度測定装置１００Ａに接続された外部機器、例えば中央監視装置に、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に近いレベル（交換予告レベル）であること、および、湿度センサ１１５の劣化が交換時期に達したレベル（交換時期レベル）であることのうちの少なくとも一方を、報知することが可能となる。
【０１５９】
このように、本実施形態における湿度測定装置１００Ａ、劣化回復方法、および劣化回復プログラムによれば、洗浄クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、洗浄クリーニングの実行時間を制御する。ここで、洗浄クリーニングの実行中における湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）は、洗浄クリーニングの実行中に測定される湿度測定値Ｐに表れる。よって、洗浄クリーニングの実行中に、湿度センサ１１５を用いて測定される湿度測定値Ｐに基づいて、洗浄クリーニングの実行時間を制御することにより、湿度センサ１１５の回復状態（回復具合）に応じて洗浄クリーニングの実行時間を変更することが可能となる。したがって、洗浄クリーニングの実行時間を必要以上に長くして湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を短くして（縮めて）しまったり、洗浄クリーニングの実行時間が不足して湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）が過ぎた（尽きた）と誤って判断し、使用可能である湿度センサ１１５を交換してしまったりするのを防止することができ、湿度センサ１１５の使用可能期間（寿命）を延ばす（長くする）ことができる。
【０１６０】
なお、前述した各実施形態の構成は、組み合わせたり、あるいは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本実施形態の構成は前述した各実施形態のみに限定されるものではなく、本実施形態の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【０１６１】
１００，１００Ａ…湿度測定装置
１１０，１１０Ａ…センサ部
１１１…ケース
１１５…湿度センサ
１１６…ヒータ
１１７…洗浄装置
１３０，１３０Ａ…本体部
１３１…ケース
１３２…表示部
１３３…発光部
１３４…入力部
１３５…湿度信号変換回路
１３６…ヒータエレメント駆動回路
１４０，１４０Ａ…制御部
１４０ａ…回復処理実行部
１４０ｂ…計時部
１４０ｃ…湿度測定部
１４０ｄ…記憶部
１４０ｅ…実行時間制御部
１４０ｆ…劣化判定部
１４０ｇ…劣化報知部
１４０ｈ…測定値補正部
１４１…Ａ／Ｄ変換器
１４２…ＣＰＵ
１４３…ＲＯＭ
１４４…ＲＡＭ
１４５…メモリ
１５０…アナログ出力部
１６０…デジタル通信部
１７０…電源部
Ｃ…ケーブル
Ｓ１００，Ｓ１００Ａ…初回劣化回復処理
Ｓ２００，Ｓ２００Ａ…劣化回復処理
Ｓ３００，Ｓ３００Ａ…劣化判定処理
【図１】
2015083951.tif 000003
【図２】
2015083951.tif 000004
【図３】
2015083951.tif 000005
【図４】
2015083951.tif 000006
【図５】
2015083951.tif 000007
【図６】
2015083951.tif 000008
【図７】
2015083951.tif 000009
【図８】
2015083951.tif 000010
【図９】
2015083951.tif 000011
【図１０】
2015083951.tif 000012
【図１１】
2015083951.tif 000013
【図１２】
2015083951.tif 000014
【図１３】
2015083951.tif 000015
【図１４】
2015083951.tif 000016
【図１５】
2015083951.tif 000017
【図１６】
2015083951.tif 000018