(57)【要約】【課題】高品質の光を生成可能であると共に、一体化され小型化された構造を有するレーザ作動光源を提供する。【解決手段】レーザ作動光源は、プラズマを発生させるための気体媒体を収容するためのチャンバを包含する。プラズマは、レーザ放射の影響のもとで光源の作動に応じて放射を発する。光源は、チャンバを収容するための筐体を包含する。本発明は、筐体に割り当てられた、及び／又は、発した放射の光経路において筐体の下流に配置された、光フィルタ手段を提供する。光フィルタ手段は、光源の作動に応じてプラズマが発した放射をスペクトル的にフィルタリングするように機能する。【選択図】図１
2015061080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ作動光源であって、
チャンバを収容するための筐体であって、前記チャンバが、前記チャンバ内でプラズマを発生させるための気体媒体を収容し、前記プラズマが、レーザ放射の影響のもとで前記光源の作動に応じて放射を発する、筐体と、
前記筐体に結合された、及び／又は、発した放射の光経路において前記筐体の下流に配置された、光フィルタ手段であって、前記光源の作動に応じて前記プラズマが発した前記放射をスペクトル的にフィルタリングするための、光フィルタ手段と、
を備える、レーザ作動光源。
【請求項２】
有用な放射に対して透過性であり、前記筐体に結合された少なくとも１つのウィンドウを更に備える、請求項１に記載の光源。
【請求項３】
前記光フィルタ手段の少なくとも１つの光フィルタが、前記ウィンドウの少なくとも１つにおいて又はその内部に配置及び／又は具現化されている、請求項２に記載の光源。
【請求項４】
少なくとも１つの光フィルタが、少なくとも１つの前記ウィンドウのコーティングによって形成されている、請求項２に記載の光源。
【請求項５】
少なくとも１つのウィンドウが、少なくとも２つのコーティングを包含し、前記２つのコーティングの各１つが、他のものとは異なる機能性を有する、請求項４に記載の光源。
【請求項６】
前記少なくとも２つのコーティングの各々が、前記少なくとも１つのウィンドウの異なる側に適用されている、請求項５に記載の光源。
【請求項７】
前記少なくとも２つのコーティングが、前記ウィンドウの同一の側に適用されている、請求項５に記載の光源。
【請求項８】
前記ウィンドウの少なくとも１つが、前記レーザ放射に対して透過性である入射ウィンドウである、請求項２に記載の光源。
【請求項９】
前記ウィンドウの少なくとも１つが、有用な光に対して透過性である出射ウィンドウである、請求項２に記載の光源。
【請求項１０】
前記ウィンドウの少なくとも１つが、前記有用な放射を透過するように適合された反射防止コーティングを有する、請求項２に記載の光源。
【請求項１１】
少なくとも１つの光フィルタが、迷放射を阻止又は弱めるために適合されている、請求項２に記載の光源。
【請求項１２】
前記出射ウィンドウが、前記プラズマを励起する前記レーザ放射を阻止又は弱めるために適合されている、請求項９に記載の光源。
【請求項１３】
前記入射ウィンドウが、前記プラズマが発した迷放射を阻止又は弱めるために適合されている、請求項８に記載の光源。
【請求項１４】
前記光フィルタ手段が、前記有用な放射の前記光経路において前記筐体から離間して配置された少なくとも１つの光フィルタを包含する、請求項１に記載の光源。
【請求項１５】
少なくとも第１の光フィルタが提供され、その下流に少なくとも第２の光フィルタが配置されている、請求項１４に記載の光源。
【請求項１６】
前記光フィルタの少なくとも１つが、光バンドパスフィルタである、請求項３に記載の光源。
【請求項１７】
前記フィルタの少なくとも１つが、中性フィルタである、請求項２に記載の光源。
【請求項１８】
チャンバを収容するための筐体であって、前記チャンバが、前記チャンバ内でプラズマを発生させるための気体媒体を収容し、前記プラズマが、レーザ放射に露呈されることに応じて放射を発する、筐体と、
発した放射の光経路において前記筐体の光学的に下流にある光学要素の機構であって、レーザ作動光源の作動に応じて前記プラズマが発した前記放射をフィルタリングするための、機構と、
を備える、レーザ作動光源。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般にレーザ作動光源に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ作動光源は、例えば半導体業界において広く知られ、用いられている。
【０００３】
いくつかの例では、これらのレーザ作動光源は、プラズマを発生させるために用いられる気体媒体を収容するチャンバを含むことができる。プラズマは、レーザ放射を照射されることに応じて放射を発することができ、これは半導体業界及び他の業界において様々なプロセスと関連付けて使用可能である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これらのプロセスのために高品質の光を生成可能であると共に従来の技術の他の欠点及び不完全さに対処する、一体化され小型化された構造に対する要望がある。この要望は、極めて小さい構造の生成及び／又は測定に関する場合に特に重要である。
【０００５】
本明細書に開示する概念は、以下で光源とも称するレーザ作動光源に関し、例えば希ガスによって形成可能である気体媒体を収容するためのチャンバを包含する。気体媒体はプラズマを発生させるように機能する。プラズマを発生させるための気体媒体をイオン化するために、例えば電極の形態で点火源を提供する。
【０００６】
このように発生させたプラズマは、光源の作動に応じてレーザ放射を照射され、例えば可視光線のような放射を発し、これは例えば半導体業界における下流プロセスに用いることができる。チャンバは、例えば電球によって画定し限定することができる。チャンバを収容するために、本明細書ではランプ筐体とも称する筐体を提供する。この筐体は、チャンバの画定及び／又は本明細書に開示する光源の他の構成要素の収容又は支持を行うように機能する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施形態はレーザ作動光源を提供する。簡単に述べると、アーキテクチャにおいて、システムの一実施形態は特に以下のように実施することができる。システムは、レーザ放射の影響のもとで光源の動作に応じて放射を発するプラズマを発生させるための気体媒体を収容するためのチャンバを含み、チャンバを収容するための筐体を備え、筐体に割り当てられた、及び／又は、発した放射の光経路において筐体の下流に配置された、光フィルタ手段であって、光源の作動に応じてプラズマが発した放射をスペクトル的にフィルタリングするための、光フィルタ手段を備える。図１に示すもの等の典型的な実施において、スペクトル的なフィルタリングは、プラズマ源とファイバ結合器との間の光学要素又は光学素子の組み合わせによって実行される。
【０００８】
本発明は、筐体に割り当てられた、及び／又は、発した有用な放射の光経路において筐体の下流に配置された、光フィルタ手段であって、光源の作動に応じてプラズマが発した放射をスペクトル的にフィルタリングするための、光フィルタ手段を提供する。
【０００９】
フィルタ手段が筐体に割り当てられていること、具体的には例えば筐体内に一体化されるか又は筐体の下流に配置されることによって、光源の製造及び動作について著しい利点が得られる。
【００１０】
例えばコーティングの形態で光フィルタ手段がチャンバに割り当てられてチャンバを画定する電球に取り付けられている実施形態に比べて、本発明による光源は、例えば光フィルタ手段のフィルタを光源の筐体に一体化することができる点で、製造が簡略化される。
【００１１】
本発明によれば、有利かつ実際的な更に別の成果によって与えられるように、フィルタの少なくとも１つを光バンドパスフィルタとすることも可能である。具体的には、更に別の有利な成果に従って、任意選択として光経路に導入される複数の第１のフィルタ及び複数の第２のフィルタを提供することができる。例えば、複数の第１のフィルタ及び複数の第２のフィルタを各々においてバンドパスフィルタとすることができ、これらを任意選択として有用な信号の光経路に導入するので、異なるバンドパスフィルタによって光源の出力信号のスペクトル形成が可能となる。
【００１２】
本発明の更に別の成果は、フィルタの少なくとも１つを中性フィルタとして提供することである。対応する中性（ＮＤ：Neutral Density）フィルタによって、それぞれの必要性に応じて光源の出力信号の強度を低減することができる。
【００１３】
本発明の他のシステム、方法、特性、及び利点は、以下の図面及び詳細な説明を検討することによって当業者には明らかとなろう。全てのそのような追加のシステム、方法、特性、及び利点は、この記載内に包含され、本発明の範囲内に包含され、添付の特許請求の範囲によって保護されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
以下の図面を参照することで、本発明の多くの態様についていっそう理解することができる。図面における構成要素は必ずしも一定の縮尺通りではなく、本発明の原理を明確に示す際には強調されている。以下で本発明について添付の図面を用いて説明するが、この１枚の図は、本発明に従ったレーザ作動光源の例示的な実施形態を高度に図式化して示す。特許請求の範囲において請求され図面に示される記載した特性は全て、単独で又は相互に適宜組み合わせされて、特許請求の範囲におけるそれらの組み合わせには関わらず、それらの従属性（dependency）には関わらず、更には記載又は図面における図示には関わらず、本発明の主題を形成する。
【００１５】
【図１】本発明に従ったレーザ作動光源２の例示的な実施形態を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明は、光学的な品質、従ってレーザ作動光源の品質を向上させるという目的に基づいている。
【００１７】
図１は、本発明に従ったレーザ作動光源２の例示的な実施形態を示す概略図である。これは気体媒体を収容するためのチャンバ４を包含する。図示する例示的な実施形態の場合、チャンバ４は電球によって形成され、この中にイオン性（ｉｏｎｉｚａｂｌｅ）気体媒体としてキセノンが供給されている。気体媒体をイオン化し、これによってプラズマを発生させるために、この例示的な実施形態の場合は電極対６、８によって形成される点火源をチャンバ４の内部に提供する。この図においてプラズマは参照番号１０で示されている。プラズマ１０は、レーザ１２のレーザ放射の影響のもとで光源２の作動に応じて放射を発する。図に示すように、レーザ１２のレーザビームは、コリメータ１４及び受動反射器１６を介して、レーザビームを拡大するビーム拡大器１８に誘導される。ビーム拡大器１８の下流に、レーザビームをチャンバ４に集束させる集束光学部品２０が配置されている。
【００１８】
チャンバ４は筐体２２に収容されている。筐体２２はチャンバ４を画定し、いくつかの実施では光源２の又は光源２に関連付けられた１つ以上の構成要素を機械的に保持することができる。
【００１９】
図示する例示的な実施形態の場合、筐体２２は、有用な放射に対して透過性である２つのウィンドウを包含する。すなわち、レーザ１２のレーザ放射を筐体２２の内部に入射させるための入射ウィンドウ２４と、有用な放射を筐体２２から出射させるための出射ウィンドウ２６と、である。本明細書で用いる場合、「有用な放射」等の語句は、光を発生させるどんな目的に対しても有用であるいかなるタイプの光も含むように広義に解釈されるものとする。その例には、２２ｎｍ未満のオーダー等の極めて小さい構造の生成及び／又は測定が含まれる。いくつかの実施では、プラズマは深紫外線から赤外線までのスペクトル範囲の波長の放射を発する。いくつかのそのような実施では、可視光線及び／又は近赤外線範囲の一部（又は全部）のみが有用である。図示する例示的な実施形態の場合、レーザ１２は、ＮＩＲ（近赤外線）波長範囲（例えば１０００ｎｍから１１００ｎｍ、又は１０６０ｎｍから１０８０ｎｍ）内のレーザ放射を発生する。この例示的な実施形態の場合、光源２の有用な放射は、レーザ放射よりも波長が短い可視光線及び近赤外線スペクトル範囲内の光によって形成され（例えば４００ｎｍから８００ｎｍ、又は４００ｎｍから７００ｎｍ、又は３５０ｎｍから７００ｎｍ、又は３５０ｎｍから９００ｎｍ）、これはプラズマ１０の照射に応じて生成される。しかしながら、８００ｎｍまでの波長も可能である。プラズマ１０の照射に応じて、有用な放射の他に、例えばＵＶ範囲内の放射である迷放射（stray radiation）も生成される。いくつかの実施では、迷放射は有用放射以外のあらゆる放射として理解することができる。
【００２０】
本発明に従って、光源２の作動に応じてプラズマ１０が発する放射をスペクトル的にフィルタリングするための光フィルタ手段を提供する。この光フィルタ手段は、筐体２２に結合（例えば一体化／搭載）され、及び／又は、プラズマが発する放射の光経路において筐体２２の下流に配置される。
【００２１】
図示する例示的な実施形態の場合、光フィルタ手段の少なくとも１つの光フィルタは、ウィンドウ（例えば２４）内に又はそこに、配置及び／又は具現化される。すなわち、少なくとも１つの光フィルタはウィンドウ（例えば２４）のコーティングによって形成される。典型的な実施において、光フィルタは、ある一定の定義された方法で入力信号を変化させるデバイスである。図示する例示的な実施形態の場合、少なくとも１つのウィンドウ（例えば２４）は、異なる機能性を備えた少なくとも２つのコーティングを包含する。いくつかの実施では、コーティングは屈折率が異なるある一定の数の層から成ることができる。１つの例示的な設計手法は、高い率の材料（例えばＴｉＯ２、ＨｆＯ２、Ｔａ２０５、Ｎｂ２０５等）及び低い率の材料（例えばＳｉＯ２、ＭｇＦ２等）を交互に配置することを含む。詳細には、入射ウィンドウ２４は、レーザ１２の波長をできる限り透過するように適合された反射防止コーティングを包含する。典型的な実施において、本来、コーティングされていないウィンドウの透過は約９２％である。両側反射防止コーティングによって透過を９９％超、更には９９．５％超まで上昇させることができる。一般に、反射防止コーティングは、ある波長範囲における透過を増大させるコーティングである。これはガラス表面の自然反射を低減させるので、反射防止コーティングとなる。
【００２２】
更に、入射ウィンドウ２４のコーティングは、迷放射を実質的に阻止するように適合された更に別の機能性を包含する。図示する例示的な実施形態の場合、迷放射はＵＶ放射によって形成される。本明細書において、入射ウィンドウのコーティングが更に別の機能性を包含することは重要である。コーティングの各機能を達成するためには、レーザ１２に対向する入射ウィンドウ２４の側（外側）に反射防止コーティングを適用し、チャンバ４に対向する入射ウィンドウの側（内側）にＵＶ放射を阻止するように機能するコーティングを適用すれば充分である。図示する例示的な実施形態の場合、各コーティングの双方の機能性は、それぞれ入射ウィンドウ２４の両側に適用され、１つのコーティングに組み合わされるので、筐体２２における入射ウィンドウ２４の組み立ての際に入射ウィンドウ２４の向きを考慮する必要はない。これによって組み立て誤差が回避され、従って機能の信頼性が向上する。プラズマ１０から発するＵＶ放射が入射ウィンドウ２４によって阻止されるので、筐体２２からのＵＶ放射の出射、従って筐体２２の周囲でのオゾン形成が回避されるか又は少なくとも低減される。
【００２３】
レーザ１２のレーザ放射をプラズマ１０に照射することに応じて、レーザよりも波長が短い可視光線及び近赤外線スペクトル範囲内の有用な放射（又は有用な光）が、有用な放射（又は有用な光又は有用な信号）として生成され、これが出射ウィンドウ２６を介して筐体２２から出射（又は外部に結合）する。従って、出射ウィンドウ２６は有用な光の波長範囲に対して透過性であるように具現化される。
【００２４】
有用な光に対するレーザ１２のレーザ放射の影響を防止するか又は少なくとも低減するために、出射ウィンドウ２６にコーティングの形態で光フィルタが適用されている。典型的な実施において、レーザ波長におけるコーティングの機能性は、レーザ波長の透過を低減するためのミラーのようなものである。「有用な光」は透過されなければならない。
【００２５】
図示する例示的な実施形態の場合、光フィルタは光バンドパスフィルタを形成し、これによって可視光線は所望の波長範囲（可能な範囲は、例えば４００〜７００ｎｍ、又は４００〜８００ｎｍ、又は４００〜９００ｎｍ、又は３５０〜７００ｎｍ、又は３５０ｎｍ〜９００ｎｍとすることができる）内で通過することができるが、他の波長は阻止される。対応するバンドパスは、出射ウィンドウ２６の一方側の単一のコーティングによって実現可能である。しかしながら、図示する例示的な実施形態の場合、バンドパスは２つの光バンドパスフィルタの直列接続によって実現される。その一方は出射ウィンドウ２６の内側に適用されたコーティングによって形成され、他方は出射ウィンドウ２６の外側に適用されたコーティングによって形成される。いくつかの実施では、阻止範囲が広すぎて１つのコーティングでは実現できないことがある。かかる場合はコーティングの製造が極めて複雑かつ困難になるからである。従って、それらの例では阻止部分を別個にすることができる（例えば一方側で１０００〜１２００ｎｍ、他方側で８００〜１０００ｎｍ）が、両側が「有用な光」に対して透過性でなければならない。
【００２６】
有用な信号の波長範囲外の放射、特にＮＩＲ範囲内の放射は、このように形成された光バンドパスによって阻止される。一般に、レーザパワーは「有用な光」のパワーよりもはるかに大きい。従って、概してレーザ波長は大幅に阻止しなければならない。さもなければ利用する際の混乱が著しくなる恐れがある。典型的な実施では、レーザパワーは比較的大きなオーダーで阻止／低減しなければならない。
【００２７】
原則に従って、出射ウィンドウ２６にも、入射ウィンドウ２４について上述したように、ＵＶ放射を阻止するコーティングを設けることができる。
【００２８】
有用な光の光経路における筐体２２の下流に、更に別のコリメータ２８が配置されている。この下流には受動反射器３０が配置されている。
【００２９】
受動反射器３０は、可視光線波長範囲内の（及び近ＩＲまでの可能性がある）有用な信号に対して反射性であるが、赤外線範囲内の波長、従ってレーザ１２のレーザ放射の波長に対して透過性である。これは図において一点鎖線３２で示されている。典型的な実施において、反射の程度は９８％より高くすることができる。典型的な実施において、透過の程度は例えば１０５０ｎｍから２７００ｎｍのスペクトル範囲において９０％より高く、又は９５％より高くすることができる。所望の場合、受動反射器３０の下流に赤外線放射に応答するセンサ３４を配置することができる。光源２の作動開始時に気体が点火しない場合、従ってレーザ１２のレーザ放射を著しく吸収するプラズマ１０がチャンバ４内で生成されない場合、これをＩＲセンサ３４によって判定することができる。センサがＩＲ波長範囲内の放射の増大の範囲を検出するからである。この場合は光源２の動作を中断することができる。このようにして機能の信頼性を更に高める。
【００３０】
図示する例示的な実施形態の場合、光フィルタ手段は、有用な放射の光経路内に配置され筐体２２から離間している少なくとも１つの光フィルタを包含する。図示する例示的な実施形態の場合、少なくとも第１の光フィルタ３６が提供されており、この下流に少なくとも第２の光フィルタ３８が配置されている。図示する例示的な実施形態の場合、複数の第１の光フィルタ３６が提供され、各々が異なる周波数応答を備えたバンドパスを形成する。同様に、複数の第２の光フィルタ３８が提供され、これも異なる周波数応答を備えたバンドパスを形成する。第１の光フィルタ３６の１つ又は第２の光フィルタ３８の１つを任意選択として導入することによって、有用な放射の周波数応答に影響を与えることができ、有用な信号をスペクトル的に形成することができる。様々な実施において、光経路に異なるフィルタを導入することができ（例えば異なるフィルタ３６のセット、異なるフィルタ３８のセット、異なるフィルタ４０のセット）、その各々が「開放位置」（光経路におけるフィルタなし）を有する。従って、選択したフィルタの「導入」を規定することで、透過のために異なる波長（「周波数応答」）を選択することができる。
【００３１】
図示する例示的な実施形態の場合、第３の光フィルタ４０は、この例示的な実施形態の場合は中性フィルタによって形成され、有用な放射の強度、従って光源２の輝度を低減させる目的に供されるものであり、必要に応じて第２の光フィルタ３８の下流に配置される。単一の中性フィルタの代わりに、光経路に任意選択として導入される複数の中性フィルタを提供することも可能である。典型的な実施において、中性フィルタは、「有用な光」の全ての波長についてほぼ等しく透過を低減させるように構成された光フィルタである。典型的な仕様は、例えば透過ＴについてＴ＝４０％、Ｔ＝１０％、Ｔ＝１％等である。
【００３２】
更に別の受動反射器４２は、有用な光を更に別のコリメータ４４へと偏向させるものであり、有用な放射の光経路において第３の光フィルタの下流に配置されている。コリメータ４４は有用な光をファイバ結合器４６に平行化し、ファイバ結合器４６は有用な光を光ファイバに結合する。有用な光は、光ファイバによって、例えば半導体業界における所望の下流プロセスに誘導することができる。
【００３３】
本発明による光源２は、比較的簡単な設計を有し、高い機能信頼性を包含する。
【００３４】
本発明の更に別の利点は、限定ではないが以下を含む。光フィルタをチャンバから又はチャンバを画定する電球から分離したので、電球を交換する必要なく光フィルタの交換が可能であるため、光源の保守が簡略化されることに注目すべきである。
【００３５】
本発明の特別な利点は、大きな構造上の困難なく、必要な位置に光フィルタを提供可能であることである。電球にコーティングを適用する場合には、これは実現可能でないか、又は極めて大きな製造上の労力を費やしてのみ可能となる。
【００３６】
本発明の更に別の有利な成果は、有用な放射に対して透過性である少なくとも１つのウィンドウを筐体に配置及び／又は具現化して提供することである。光源の「入力信号」に関して、筐体内及びその中のチャンバに入射するレーザ放射が有用な放射を形成し、光源の「出力信号」に関して、所定の波長範囲内の光が有用な放射を形成する。
【００３７】
前述の実施形態の更に別の有利な成果は、光フィルタ手段の少なくとも１つの光フィルタを、ウィンドウに又はウィンドウ内に、配置及び／又は具現化して提供することである。これを考慮に入れて、例えば光フィルタをウィンドウに取り付けるか又は適用するものとして、本発明による筐体のウィンドウにおける配置が理解される。
【００３８】
前述の実施形態の更に別の極めて有利な成果は、少なくとも１つの光フィルタをウィンドウのコーティングによって形成して提供することである。この実施形態の場合、所望の目的に対して適合された異なる特徴を備えたコーティングを直接ウィンドウに適用することで、光フィルタがウィンドウの上流に配置されている一実施形態に比べて、光学的に有効な表面の数を減らすことができる。
【００３９】
本発明の更に別の成果は、少なくとも１つのウィンドウが異なる機能性を備えた少なくとも２つのコーティングを包含し、これらのコーティングが一方側にのみ又は前側及び後側に別個に取り付けられて提供されることである。これを考慮に入れて、コーティングが異なる光学機能を達成するものとして、本発明による異なる機能性が理解される。例えば一方のコーティングは反射防止コーティングとすることができ、他方のコーティングは例えば光ショートパスのような光フィルタを実現する。これを１つのみのコーティングの形態で達成することも可能である。これを考慮に入れて、層の積み重ねによって形成されるコーティングの個別の異なる層は異なる機能性を包含しない。典型的な実施において、同一の機能性を異なる積み重ねの設計によって実現することができる。
【００４０】
前述の実施形態の更に別の成果は、ウィンドウの異なる側にコーティングを適用して提供することである。一例として具体的には、この実施形態の場合、コーティングの一方を反射防止コーティングとすることができ、他方のコーティングを光フィルタとすることができる。
【００４１】
しかしながら、本発明によれば、異なる機能性を備えた２つのコーティングをウィンドウの同一側に適用することも可能である。従って、コーティング設計における個々の層には機能を割り当てない。例えば、反射防止コーティング及び光フィルタをウィンドウの一方側に適用することができる。
【００４２】
本発明によれば、ウィンドウの両側に同一のコーティングを提供することも可能である。例えば反射防止コーティング及び光フィルタをウィンドウの両側に適用した場合、このウィンドウは向きを考慮せずに筐体に組み付けることができる。これによって組み立てが簡略化する。
【００４３】
しかしながら、本発明に従って、異なるコーティングが両側に適用されて提供されることもある。一方では、この実施形態の利点は機能性の補足であり、他方では、複雑な設計を２つの側に分割することによって各層の設計を簡略化する。
【００４４】
ウィンドウ又は複数のウィンドウを有する実施形態の更に別の成果は、少なくとも１つのウィンドウをレーザ放射に対して透過性の入射ウィンドウとして提供することである。この実施形態の場合、レーザ放射は入射ウィンドウを介して筐体内及びその中のチャンバ内に入射する。
【００４５】
本発明の更に別の有利な成果は、少なくとも１つのウィンドウを有用な光に対して透過性の出射ウィンドウとして提供することである。
【００４６】
前述の２つの実施形態を組み合わせることに対応して、プラズマを励起するために与えられるレーザ放射は入射ウィンドウを介して筐体内及びその中のチャンバ内に入射し、有用光、従って所望の波長範囲内の光は出射ウィンドウを介して筐体から出射する。
【００４７】
本発明の更に別の有利な成果は、少なくとも１つのウィンドウを、各有用な信号の透過に関して最適化された反射防止コーティングを包含して提供することである。反射防止コーティングによって、ウィンドウの光学的に有効な表面での反射損失は少なくとも大幅に低減する。
【００４８】
筐体内への入射に関してレーザ放射は有用な信号を形成し、筐体からの出射に関して有用な光は有用な信号を形成する。筐体からの出射に関して、励起レーザ放射はクロストーク又は誤差信号を形成する。なぜなら、光源の出力信号を所定の波長範囲に限定する観点から、光源の出力信号が励起レーザ放射の波長を受信することは不要であるか又は不要である可能性があるからである。各有用な信号の透過に関して最適化された反射防止コーティングについて、本発明によれば、有用な信号の反射はできる限り回避されることは理解されよう。本発明の別の有利な成果は、迷放射を阻止又は弱めるために少なくとも１つの光フィルタを具現化及び搭載して提供することである。
【００４９】
前述の実施形態の有利かつ実際的な更に別の成果に従って、プラズマを励起するレーザ放射を阻止するために出射ウィンドウを具現化し搭載する。プラズマを励起するレーザ放射が光源の出力信号に与える直接的な影響は、このように回避又は低減される。レーザ放射がプラズマを励起することで有用な信号を発する限りにおいて、レーザ放射は有用な信号に影響を及ぼす。
【００５０】
入射ウィンドウに関して、本発明の有利な更に別の成果は、プラズマから発する迷放射を低減するために入射ウィンドウを具現化及び搭載して提供することである。レーザ放射をプラズマに照射したことに応じて、例えば可視光線から成る有用な信号に加えて、例えばＵＶ放射から成る迷放射が生成されると、この実施形態の場合、ＵＶ放射が入射ウィンドウを介して光源の筐体から出射することが回避されるか又は少なくとも低減される。
【００５１】
有用な信号が光源の筐体から出射した後に出力信号のスペクトル形成を実行可能とするために、本発明の別の有利な成果は、光フィルタ手段が、有用な信号の光経路において筐体から離間して配置された少なくとも１つの光フィルタを包含して提供されることである。
【００５２】
前述の実施形態の更に別の成果は、少なくとも第１の光フィルタを提供し、その下流に少なくとも第２の光フィルタが配置されていることである。
【００５３】
前述の実施形態の場合、例えば第１の光フィルタがショートパスを実現し、第２の光フィルタがロングパスを実現するので、双方のフィルタの組み合わせによって光バンドパスフィルタを実現することができる。
【００５４】
本発明の上述の実施形態は実施の可能な例に過ぎず、本発明の原理を明確に理解するために記載したに過ぎないことを強調しておく。本発明の精神及び原理から著しく逸脱することなく、本発明の上述の実施形態（複数の実施形態）に多くの変更及び変形を実施することができる。全てのそのような変更及び変形は、本開示及び本発明の範囲内において本明細書に包含され、以下の特許請求の範囲によって保護されることが意図される。
【図１】
2015061080.tif 000003
【外国語明細書】
2015061080000001.pdf