(57)【要約】      （修正有）【課題】金蔵薄膜からなるメッシュパターンを用いた透明電極（メタルメッシュ電極）における、細線部表面に当たった可視光が反射することによって発生する、電極のパターン見えを抑制可能な透明導電性シートを提供する。【解決手段】透明絶縁基材２と、前記透明絶縁基材上に形成されたメタルメッシュ電極３と、前記メタルメッシュ電極３を被覆するように形成されたパッシベーション膜９と、前記パッシベーション膜９上又は前記メタルメッシュ電極３と前記透明絶縁基材２との間に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜８と、を備える透明導電性シート。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明絶縁基材と、
前記透明絶縁基材上に形成されたメタルメッシュ電極と、
前記メタルメッシュ電極を被覆するように形成されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜上又は前記メタルメッシュ電極と前記透明絶縁基材との間に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜と、を備えることを特徴とする透明導電性シート。
【請求項２】
前記配向膜の膜厚が、４０〜１０００ｎｍである請求項１記載の透明導電性シート。
【請求項３】
透明絶縁基材と、
前記透明絶縁基材上に形成されたメタルメッシュ電極と、
前記メタルメッシュ電極を被覆するように又は前記メタルメッシュ電極と前記透明絶縁基材との間に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜と、を備えることを特徴とする透明導電性シート。
【請求項４】
前記配向膜の膜厚が、０．２〜２０μｍである請求項３記載の透明導電性シート。
【請求項５】
前記配向膜が、前記透明絶縁基材の全面に亘って形成されている請求項１〜４のいずれかに記載の透明導電性シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の透明導電性シートを、前記配向膜が前記透明導電膜より入力者側に位置するように、少なくとも１枚以上用いたタッチパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明電極などに用いられる透明導電性シートに関するものであり、特にメタルメッシュ電極を備えた透明導電性シートに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
透明基材上に導電性の化合物の薄膜を形成した透明導電膜は、その導電性を利用した用途、例えば液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイといったフラットディスプレイやタッチパネルの透明電極など電気、電子分野で広く使用されている。前記透明導電膜としては、透明基材の少なくとも片面に、酸化スズ（ＳｎＯ２） 、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ） や酸化亜鉛（ＺｎＯ） 等を、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等のドライプロセスによって設けたものがよく知られている。
【０００３】
しかしながら、近年のディスプレイの大型化にともない、上記の金属酸化物系の透明導電膜では十分に抵抗が低いとは言えず、大型化や低コスト化の障害となっている。
【０００４】
そこで、銅箔をエッチングしたり、銀ペーストを印刷したり、写真銀塩法によって形成されたパターンに適当な金属を電気めっきしたり、溶解性パターン上にスパッタや真空蒸着により金属薄膜を形成した後に溶解性パターンを溶解除去する、などの方法で金属薄膜からなるメッシュパターンを形成してより低抵抗な透明導電性シートを作製する方法が特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−０９６９７５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、金蔵薄膜からなるメッシュパターンを用いた透明電極（以下、メタルメッシュ電極）は、細線部表面に当たった可視光が反射するため、メタルメッシュ電極のある／なしによってパターン見えがするという問題があった。
【０００７】
従って、本発明の目的は、電極のパターン見えを抑制する透明導電性シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【０００９】
本発明の第１態様によれば、透明絶縁基材と、前記透明絶縁基材上に形成されたメタルメッシュ電極と、前記メタルメッシュ電極を被覆するように形成されたパッシベーション膜と、前記パッシベーション膜上又は前記メタルメッシュ電極と前記透明絶縁基材との間に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜と、を備える透明導電性シートを提供する。
【００１０】
本発明の第２態様によれば、前記配向膜の膜厚が、４０〜１０００ｎｍである第１態様の透透明導電性シートを提供する。
【００１１】
本発明の第３態様によれば、透明絶縁基材と、前記透明絶縁基材上に形成されたメタルメッシュ電極と、前記メタルメッシュ電極を被覆するように又は前記メタルメッシュ電極と前記透明絶縁基材との間に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜と、を備える透明導電性シートを提供する。
【００１２】
本発明の第４態様によれば、前記配向膜の膜厚が、０．２〜２０μｍである第３態様の透透明導電性シートを提供する。
【００１３】
本発明の第５態様によれば、前記配向膜が、前記透明絶縁基材の全面に亘って形成されている第１〜４態様の透明導電性シートを提供する。
【００１４】
本発明の第６態様によれば、第１〜４態様のいずれかの透明導電性シートを、前記配向膜が前記透明導電膜より入力者側に位置するように、少なくとも１枚以上用いたタッチパネルを提供する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の透明導電性シートは、上記のように構成したので、電極のパターン見えを抑制できる透明導電性シートである。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１電極を有する透明導電性シートと第２電極を有する透明導電性シートとを組み合わせて用いたタッチパネルの概略構成の一例を示した斜視図である。
【図２】図１で示した第１電極を有する透明導電性シートの断面図である。
【図３】第１電極と第２電極を透明導電膜１層で有する透明導電性シートを用いたタッチパネルの概略  構成の一例を示した斜視図である。
【図４】図３で示した透明導電性シートの断面図である。
【図５】第１電極を有する透明導電性シートと第２電極を有する透明導電性シートとを組み合わせて用いたタッチパネルの概略構成の別の例を示した斜視図である。
【図６】図５で示した第１電極を有する透明導電性シートの断面図である。
【図７】第１電極と第２電極を透明導電膜１層で有する透明導電性シートを用いたタッチパネルの概略構成の別の例を示した斜視図である。
【図８】図７で示した透明導電性シートの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
下記で、本発明に係る実施形態を図面に基づいてさらに詳細に説明する。なお、本発明の実施例に記載した部位や部分の寸法、材質、形状、その相対位置などは、とくに特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではなく、単なる説明例にすぎない。
【００１８】
＜第１実施形態＞
以下、本発明に係る第１実施形態について説明する。
図１は、第１電極を有する透明導電性シートと第２電極を有する透明導電性シートとを組み合わせて用いたタッチパネルの概略構成の一例を示した斜視図である。図２は、図１で示した第１電極を有する透明導電性シートの断面図である。
【００１９】
第１実施形態の第１電極を有する透明導電性シート１０は、透明絶縁基材２と、前記透明絶縁基材２上に形成されたメタルメッシュ電極３と、前記メタルメッシュ電極３を被覆するように形成されたパッシベーション膜９と、前記パッシベーション膜９上に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜８と、を備えている。
【００２０】
図１、図２に示すように、前記メタルメッシュ電極３は、金属薄膜からなり、電極面内の全体に細線メッシュパターンを有するものである。メタルメッシュ電極３は、一方向を軸方向とした帯状に形成されて第１電極を構成し、前記軸方向に直交する方向に複数配列されている。
【００２１】
［透明絶縁基材］
透明絶縁基材２は、透明かつ絶縁性を有するシート状、フィルム状、板状のものであれば特に制限はない。例えば、ガラス、アルミナなどのセラミックや、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂、セルロース樹脂、ビニルアルコール樹脂、塩化ビニル樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂等の熱可塑性樹脂、光硬化性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられる。透明絶縁基材２は、その全光線透過率が８０％以上であることが好ましく、例えばガラス、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、セルロース樹脂などが挙げられる。透明絶縁基材２の厚みは１０μｍ〜１０ｍｍである。
【００２２】
［メタルメッシュ電極］
メタルメッシュ電極３は、一般に銅、アルミニウム、銀、亜鉛、錫、クロム、ニッケルからなる金属群の中から選択された一種以上の金属からなる金属薄膜である。金属薄膜が二種以上の金属からなる場合、均一材料とされた合金でもよく、あるいは異なる材料を積層した構成でもよい。なかでも導電性が高く比較的安価な銅、アルミニウムがより好ましい。
【００２３】
メタルメッシュ電極３は、透視性を確保するため、電極面内の全体に金属薄膜からなる細線により細線メッシュパターンを有する。細線メッシュパターンは、細線部４０を有していて、その線間隔ｓが１００μｍ〜１０ｍｍ、線幅ｗが５〜３０μｍであり、、また開口４１を有していて、その開口率が７０％以上１００％未満となるような隙間があることから透視性を備えている。
【００２４】
金属メタルメッシュ電極３の形成方法としては、金属箔をエッチングしたり、金属ペーストを印刷したり、写真銀塩法によって形成されたパターンに適当な金属を電気めっきしたり、溶解性パターン上にスパッタや真空蒸着により金属薄膜を形成した後に溶解性パターンを溶解除去する、などの公知の方法を用いることができる。
【００２５】
［パッシベーション膜］
パッシベーション膜９は、金属メッシュ電極３を保護するためのものである。パッシベー
パッシベーション膜９としては、無機絶縁膜および／または有機絶縁膜を使用できるが、無機絶縁膜には、ＳｉＯ２、ＳｉＮｘ、ＳｉＯＮ、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、Ｔａ２Ｏ５、ＨｆＯ２、ＺｒＯ２、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などを含ませることができ、有機絶縁膜には、一般汎用高分子、フェノール基を持つ高分子誘導体、アクリル系高分子、イミド系高分子、アリールエーテル系高分子、アミド系高分子、フッ素系高分子、ｐ−キシレン系高分子、ビニルアルコール系高分子およびこれらのブレンドなどを含ませることができる。パッシベーション膜９は、無機絶縁膜と有機絶縁膜との複合積層体でも形成できる。
【００２６】
［配向膜］
配向膜８は、リオトロピック（濃度転移形）液晶：Ｌｙｏｔｒｏｐｉｃ  Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌからなる。温度上昇による分子運動によって結晶の規則性が乱れていく途中で現れるのがサーモトロピック液晶なのに対し、溶媒が加えられること（濃度）によって結晶の規則性が乱されていく過程で現れるのがリオトロピック液晶である。塗布されたリオトロピック液晶材料の水溶液が等方相から液晶相に相転移した後、液晶相から水分が蒸発して配向膜８が形成される。
【００２７】
配向膜８は、厚みや塗布方向を適宜調整することにより所望の配向を得る。配向膜８の膜厚は、例えば、４０〜１０００ｎｍである。配向膜８は、グラビア印刷、オフセット印刷、スクリーン印刷等の汎用の各種印刷手法、ダイコーターその他の塗布法により設けることができる。
【００２８】
この配向膜８を設けることによって、メタルメッシュ電極３の細線部表面に当たった可視光が反射したとしても、細線部表面で散乱した光が配向膜８表面から出光するのを抑制することができる。その結果、パターン見えの問題が大きく軽減される。
【００２９】
［タッチパネル］
以下では、上記の透明導電性シートを用いて作成したタッチパネルについて説明する。
図１に示すように、タッチパネル１００は、２枚の透明導電性シート１０、２０を接着層３０で貼り合わされた構成からなる。図２に示すように、第１電極を有する透明導電性シート１０は、透明絶縁基材２、メタルメッシュ電極３、パッシベーション膜９及びリオトロピック液晶材料からなる配向膜８が、この順番で積層された構成からなる。また、図１に示すように、透明導電性シート１０におけるメタルメッシュ電極３は、Ｙ軸方向に複数配列され、タッチパネル１００において第１電極を形成している。
【００３０】
第２電極を有する透明導電性シート２０は、透明絶縁基材１２、メタルメッシュ電極１３、パッシベーション膜１９及びリオトロピック液晶材料からなる配向膜１８が、この順番で積層された構成からなり、透明導電性シート１０の透明絶縁基材２と透明導電性シート２０の配向膜１８とが接着層３０を介して対向するように配置されている。
【００３１】
前記透明導電性シート２０のメタルメッシュ電極１３は、金属薄膜からなり、電極面内の全体に細線メッシュパターンを有するものである。メタルメッシュ電極１３は、一方向を軸方向とした帯状に形成されて第２電極を構成し、前記軸方向に直交する方向（図１ではＸ軸方向）に複数配列されている。
【００３２】
上記第２電極を有する透明導電性シート２０の透明絶縁基材１２、バインダー１４、メタルメッシュ電極１３、パッシベーション膜１９及び配向膜１８は、前述した透明導電性シート１０の透明絶縁基材２、メタルメッシュ電極３、パッシベーション膜９及び配向膜８と共通する部分については説明を省略する。
【００３３】
接着層３０に用いる材料としては、ＰＭＭＡ系樹脂、ＰＣ、ポリスチレン、ＰＡ系樹脂、ポバール系樹脂、シリコン系樹脂などの樹脂が使用される。なお、接着層３０は、グラビアコート法、ロールコート法、コンマコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法等により透明導電性シート１０又は透明導電性シート２０に形成される。なお、接着層３０として、上記樹脂から構成される両面接着シートを用いてもよい。
【００３４】
＜第２実施形態＞
以下、本発明に係る第２実施形態について説明する。
図３は、第１電極と第２電極を透明導電膜１層で有する透明導電性シートを用いたタッチパネルの概略構成の一例を示した斜視図である。図４は、図３で示した透明導電性シートの断面図である。
【００３５】
第２実施形態の透明導電性シート７１は、図３及び図４に示すように、透明絶縁基材７２と、前記透明絶縁基材７２上に形成されたメタルメッシュ電極７３と、前記メタルメッシュ電極７３を被覆するように形成されたパッシベーション膜７９と、前記パッシベーション膜９上に形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜７８と、を備え、かつ前記メタルメッシュ電極７３が、第１電極７６ａと第２電極７６ｂとを有しており、この透明導電性シート７１を１枚用いてタッチパネル３００を構成する。
【００３６】
前記メタルメッシュ電極７３の前記第１電極７６ａは、一方向を軸方向(図３ではＸ軸方向)とし平面視菱形形状を直線的連続させた形状に形成され、前記軸方向に直交する方向に複数配列される。
【００３７】
また、前記メタルメッシュ電極７３の前記第２電極７６ｂは、前記第１電極７６ａを構成する複数の菱形部分と平面視で相補的な位置関係で配置されるように、第１電極７６ａを構成する菱形部分の非配置領域に複数の菱形部分を有する。この第１電極７６ａを構成する菱形部分の非配置領域に形成された複数の菱形部分は、ブリッジ８０によって第１電極７６ａと直交する軸方向(図４ではＹ軸方向)に直線的連続されて第２電極７６ｂを構成する。
【００３８】
なお、図３において前記メタルメッシュ電極７３は一部を省略して描いている。
【００３９】
上記第２実施形態の透明導電性シート７１の透明絶縁基材７２、前記メタルメッシュ電極７３、パッシベーション膜７９及び配向膜７８は、前述した第１実施形態の透明絶縁基材２、前記メタルメッシュ電極３、パッシベーション膜９及び配向膜８と共通する部分については説明を省略する。
【００４０】
本第２実施形態においても、配向膜７８を設けることによって、メタルメッシュ電極７３の細線部表面に当たった可視光が反射したとしても、細線部表面で散乱した光が配向膜７８表面から出光するのを抑制することができる。その結果、パターン見えの問題が大きく軽減される。
【００４１】
＜第３実施形態＞
以下、本発明に係る第３実施形態について説明する。
図５は、第１電極を有する透明導電性シートと第２電極を有する透明導電性シートとを組み合わせて用いたタッチパネルの概略構成の別の例を示した斜視図である。図６は、図５で示した第１電極を有する透明導電性シートの断面図である。  
【００４２】
図５及び図６に示すように、第３実施形態のタッチパネル４００は、２枚の透明導電性シート１１０、１２０を接着層１３０で貼り合わされた構成からなり、第１電極を有する透明導電性シート１１０は、透明絶縁基材１０２と、メタルメッシュ電極１０３と、リオトロピック液晶材料からなる配向膜１０８とが、この順番で積層された構成からなる。
【００４３】
前記メタルメッシュ電極１０３は、金属薄膜からなり、電極面内の全体に細線メッシュパターンを有するものである。メタルメッシュ電極１０３は、一方向を軸方向とした帯状に形成されて第１電極を構成し、前記軸方向に直交する方向（図５ではＹ軸方向）に複数配列されている。
【００４４】
また、第２電極を有する透明導電性シート１２０は、透明絶縁基材１１２と、メタルメッシュ電極１１３と、リオトロピック液晶材料からなる配向膜１１８とが、この順番で積層された構成からなり、透明導電性シート１１０の透明絶縁基材１０２と透明導電性シート１２０の配向膜１１８とが接着層１３０を介して対向するように配置されている。
【００４５】
前記メタルメッシュ電極１１３は、金属薄膜からなり、電極面内の全体に細線メッシュパターンを有するものである。メタルメッシュ電極１１３は、一方向を軸方向とした帯状に形成されて第２電極を構成し、前記軸方向に直交する方向（図５ではＸ軸方向）に複数配列されている。
【００４６】
以上のように、第３実施形態は、リオトロピック液晶材料からなる配向膜を、パッシベーション膜を介して設けるのではなく、パッシベーション膜抜きで形成させる点において、第１実施形態と相違する。したがって、上記透明導電性シート１１０，１２０の透明絶縁基材１０２，１１２、メタルメッシュ電極１０３，１１３、配向膜１０８，１１８及び接着層１３０は、前述した第１実施形態の透明導電性シート１０の透明絶縁基材２、メタルメッシュ電極３，１３、配向膜８，１８及び接着層３０と共通する部分については説明を省略する。
【００４７】
なお、第３実施形態の場合、パッシベーション膜が無い分だけメタルメッシュ電極１０３，１１３の細線部４０と開口部４１との段差を吸収する必要があるため、第１、第２実施形態と比べて配向膜１０８，１１８の膜厚は厚めとなる。例えば、配向膜１０８，１１８の膜厚は０．２〜２０μｍである。
【００４８】
＜第４実施形態＞
以下、本発明に係る第４実施形態について説明する。
図７は、第１電極と第２電極を透明導電膜１層で有する透明導電性シートを用いたタッチパネルの概略構成の別の例を示した斜視図である。図８は、図７で示した透明導電性シートの断面図である。
【００４９】
第４実施形態の透明導電性シート１７１は、図７及び図８に示すように、透明絶縁基材１７２と、前記透明絶縁基材１７２上に形成されたメタルメッシュ電極１７３と、前記メタルメッシュ電極１７３を被覆するように形成され、リオトロピック液晶材料からなる配向膜１７８と、を備え、かつ前記メタルメッシュ電極１７３が、第１電極１７６ａと第２電極１７６ｂとを有しており、この透明導電性シート１７１を１枚用いてタッチパネル６００を構成する。
【００５０】
前記メタルメッシュ電極１７３は、金属薄膜からなり、電極面内の全体に細線メッシュパターンを有するものである。メタルメッシュ電極１７３は、一方向を軸方向(図７ではＸ軸方向)とし平面視菱形形状を直線的連続させた形状に形成されて第１電極１７６ａを構成し、前記軸方向に直交する方向に複数配列される。
【００５１】
また、メタルメッシュ電極１７３は、第１電極１７６ａを構成する複数の菱形部分と平面視で相補的な位置関係で配置されるように、第１電極１７６ａを構成する菱形部分の非配置領域に複数の菱形部分を有する。この第１電極１７６ａを構成する菱形部分の非配置領域に形成された複数の菱形部分は、ブリッジ１８０によって第１電極１７６ａと直交する軸方向(図７ではＹ軸方向)に直線的連続されて第２電極１７６ｂを構成する。
【００５２】
なお、図７において導電部１７６は一部を省略して描いている。
【００５３】
上記第４実施形態の透明導電性シート１７１の透明絶縁基材１７２、前記メタルメッシュ電極１７３及び配向膜１７８は、前述した第３実施形態の透明絶縁基材１０２、前記メタルメッシュ電極１０３及び配向膜１０８と共通する部分については説明を省略する。
【００５４】
本第４実施形態においても、配向膜１７８を設けることによって、メタルメッシュ電極１７３の細線部表面に当たった可視光が反射したとしても、細線部表面で散乱した光が配向膜１７８表面から出光するのを抑制することができる。その結果、パターン見えの問題が大きく軽減される。
【００５５】
＜変形例＞
上記第１〜４実施形態においては、透明絶縁基材２，１２，７２，１０２，１１２，１７２、メタルメッシュ電極３，１３，７３，１０３，１１３，１７３、リオトロピック液晶材料からなる配向膜８，１８，７８，１０８，１１８，１７８の順で積層形成しているが、これは第１〜４実施形態のタッチパネルが、透明絶縁基材２，１２，７２，１０２，１１２，１７２の両面のうちメタルメッシュ電極３，１３，７３，１０３，１１３，１７３を形成した側から入力することを前提としているためである。
逆に、タッチパネルが、透明絶縁基材２，１２，７２，１０２，１１２，１７２の両面のうちメタルメッシュ電極３，１３，７３，１０３，１１３，１７３を形成していない側から入力することを前提とするならば、透明絶縁基材２，１２，７２，１０２，１１２，１７２、リオトロピック液晶材料からなる配向膜８，１８，７８，１０８，１１８，１７８、メタルメッシュ電極３，１３，７３，１０３，１１３，１７３の順で積層形成するようにしてもよい。
【００５６】
また、上記第１〜４実施形態においては、配向膜８，１８，７８，１０８，１１８，１７８を透明絶縁基材２，１２，７２，１０２，１１２，１７２上に部分的（少なくともディスプレイ画面の表示領域）に形成して描かれているが、全面に形成してもよい。
【００５７】
また、上記第１、第３実施形態は、第１電極及び第２電極の形状を帯状に形成しているが、これに限定しない。例えば、第１電極及び第２電極を、第２、第４実施形態のように一方向を軸方向とし平面視菱形形状を直線的連続させた形状としてもよい。
【００５８】
さらに、上記第１、第２実施形態のタッチパネルでは、第１透明導電シート及び第２透明導電シートの両方ともが配向膜を有しているが、タッチパネルに組み込んだときに入力面に近い側となる透明導電シートのみが配向膜を有していてもよい。
【００５９】
また、第１、第３実施形態のタッチパネルにおいて、２枚の透明導電性シート１０，１１０及び透明導電性シート２０，１２０が、電極形成面を同じ方向に向けて貼り合わせられているが、これに限定されない。透明絶縁基材２，１２，１０２，１１２同士を接着層３０，１３０を介して対向させるように、すなわち電極形成面をいずれも外側に向けて貼り合わせてもよい。そして、この場合も前述したように、配向膜８，１８，１０８，１１８のメタルメッシュ電極３，１３，１０３，１１３に対する位置は、タッチパネルに組み込んだときの入力面に近い側になるように配置する。さらに、電極形成面を外側に向ける場合、２枚の透明導電性シートを貼り合わせるのではなく、透明絶縁基材を共有してその両面に電極を形成するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１０，２０，７１，１１０，１２０，１７１：透明導電性シート
３，１３，７３，１０３，１１３，１７３：メタルメッシュ電極
９，１９，７９：パッシベーション膜
８，１８，７８，１０８，１１８，１７８：配向膜
１００，３００，４００，６００：タッチパネル
７６ａ，１７６ａ：第１電極
７６ｂ，１７６ｂ：第２電極
８０，１８０：ブリッジ
３０，１３０：接着層
４０：細線部
４１：開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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