(57)【要約】【課題】付着物の除去装置では、構造物の表面がダメージを受け、表面物性や装置内寸法が変化し放電装置の放電条件が最適値でなくなっていた。また、絶縁の厚さが不足して放電装置が故障する。さらに付着物除去のため、除去用ガス、配管類、排気処理装置、あるいは付着物除去装置用の電源の増設などが必要であった。【解決手段】風圧を受けるフィン、付着面に対し移動するスライダ、付着物を掻き取るスクレーパを備えた付着物除去具と、付着物からの光を受光する受光器、受光器の信号から付着物量を計算する演算ユニット、演算結果の出力ユニットを備えた付着物検出器と、付着量から付着物除去具の起動を決定する除去判断ユニットとを備えた。【選択図】図６
2015112639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電装置の電極の付着物を検出する付着物検出器、
この付着物検出器で検出された前記付着物を取り除く付着物除去具であって、放電ガスを循環させるブロアと、前記放電ガスの循環によって発生する風圧を受けるフィンと、前記付着物が付着した面に対して移動するスライダと、前記付着物を掻き取るスクレーパを有する付着物除去具、
前記付着物検出器で検出された付着物の量から前記付着物除去具の起動を判断する除去判断ユニット、
を備えたことを特徴とする付着物除去装置。
【請求項２】
前記フィンは回転可能に構成され、
前記スライダは移動用車輪を有し、当該移動用車輪が、前記フィンの回転力を伝達する機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項３】
前記スライダは、前記付着物が付着した面に対して滑動して移動する滑動部材、あるいは転動して移動する転動部材であることを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項４】
前記スクレーパが回転機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項５】
前記付着物検出器は、
前記付着物からの光を受光する受光器と、
前記受光器からの光強度信号により前記付着物の量を計算する演算ユニットと、
前記演算ユニットの計算結果を出力する出力ユニットと、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の付着物除去装置。
【請求項６】
前記付着物検出器は、
前記付着物を照らす光源を備え、
前記光源からの光が前記付着物から反射する反射光の光軸上に前記受光器を設置したことを特徴とする請求項５に記載の付着物除去装置。
【請求項７】
前記付着物検出器は、
前記付着物を照らす光源を備え、
前記光源からの光が前記付着物の付着面から散乱する散乱光の受光位置に前記受光器を設置したことを特徴とする請求項５に記載の付着物除去装置。
【請求項８】
前記付着物検出器は、
前記付着物から発光する光の波長のみを選択的に通過させるフィルターを備えるとともに、前記付着物から反射する反射光の光軸上、あるいは前記付着物の付着面から散乱する散乱光の受光位置に前記受光器を設置したことを特徴とする請求項５に記載の付着物除去装置。
【請求項９】
放電装置の電極の付着物を検出する付着物検出器、
この付着物検出器で検出された前記付着物を取り除く付着物除去具であって、放電ガスを循環させるブロアと、前記放電ガスの循環によって発生する風圧を受けるフィンと、前記付着物が付着した面に対して移動するスライダと、前記付着物を掻き取るスクレーパを有する付着物除去具、
前記付着物検出器で検出された付着物の量から前記付着物除去具の起動を判断する除去判断ユニット、を有する付着物除去装置を内部に備えたことを特徴とする放電装置。
【請求項１０】
放電装置の電極の付着物が除去されたか否かを判断する工程、
通常とは逆方向に放電ガスを循環させる工程、
通常の方向に放電ガスを循環させる工程、
放電ガスを排気する工程、
放電ガスの循環を停止させる工程、
を順に行うことを特徴とする放電装置の付着物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガスレーザ発振器や放電装置等の電極や内壁に付着する付着物を除去する付着物除去装置、これを備えた放電装置、および上記付着物の除去方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の付着物を除去するための装置では、電極を回転させ、アーク放電により付着した皮膜を除去するとともに、その放電電圧のＦＦＴ波形から、除去の終了を判断している（例えば特許文献１）。
また他の除去方法は、反応性ガスを導入し、放電プラズマで除去するときに、バイアス電圧をかけエッチング除去している（例えば特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２５３２９３号公報
【特許文献２】特開２００６−１８５９９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような付着物の除去装置では、放電プラズマにより付着物とともに付着物以外の構造物の表面が除去されダメージを受ける。その結果、表面の物性が変化し、また、装置内の寸法が変化して、放電装置等の放電条件が最適値では無くなるという問題点、あるいは、絶縁の厚さが不足して装置が故障するという問題点があった。
また、本来の目的である放電以外の放電のために、除去用ガス、その配管類、その排気処理等が必要であるという問題点もあった。
さらに、除去するプラズマを発生するために、高価な放電用の電源装置を増設しなければならないという問題点もあった。
【０００５】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、構造物にダメージを与えること無く、多くの、また、高価な増設を必要としないで付着物を除去することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る付着物除去装置は、
放電装置の電極の付着物を検出する付着物検出器、
この付着物検出器で検出された前記付着物を取り除く付着物除去具であって、放電ガスを循環させるブロアと、前記放電ガスの循環によって発生する風圧を受けるフィンと、前記付着物が付着した面に対して移動するスライダと、前記付着物を掻き取るスクレーパを有する付着物除去具、
前記付着物検出器で検出された付着物の量から前記付着物除去具の起動を判断する除去判断ユニット、
を備えたものである。
【０００７】
また、この発明に係る放電装置は、
放電装置の電極の付着物を検出する付着物検出器、
この付着物検出器で検出された前記付着物を取り除く付着物除去具であって、放電ガスを循環させるブロアと、前記放電ガスの循環によって発生する風圧を受けるフィンと、前記付着物が付着した面に対して移動するスライダと、前記付着物を掻き取るスクレーパを有する付着物除去具、
前記付着物検出器で検出された付着物の量から前記付着物除去具の起動を判断する除去判断ユニット、を有する付着物除去装置を内部に備えたものである。
【０００８】
さらに、この発明にかかる放電装置の付着物除去方法は、
放電装置の電極の付着物が除去されたか否かを判断する工程、
通常とは逆方向に放電ガスを循環させる工程、
通常の方向に放電ガスを循環させる工程、
放電ガスを排気する工程、
放電ガスの循環を停止させる工程、
を順に行うものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明による付着物除去装置は、フィンが受ける放電装置のガス流の風圧を動力として、スライダが付着面と平行に移動するので、スクレーパで付着物を掻き取ることができる。そして、電源、ＦＦＴ装置、ガス配管系などを必要とすることなく、安価に付着物を除去できる。また、この発明による付着物除去装置は、付着物の量を検出するとともに、付着物の量により付着物除去を行うか否かを判断するため、適切な時期に適切な量で、付着物の除去ができるといった従来にない顕著な効果を奏するものである。
【００１０】
また、この発明による放電装置は、この発明に係る付着物除去装置を装備しているので、付着物による放電性状への影響がない放電を実現できる。
【００１１】
さらに、この発明による放電装置の付着物除去方法は、付着物の除去を効率的に実施できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明を実施する放電装置であるレーザ発振器を利用したレーザ加工機の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明を実施する放電装置であるレーザ発振器の主要部を示す断面斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図４】本発明の実施の形態１による付着物除去具の構成と動作を示す上面図と側面図である。
【図５】本発明の実施の形態１による付着物除去具の動作を説明するとともに、付着物検出器の構成を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態１、形態２、形態３による付着物検出器、および、実施の形態１による付着物除去装置の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施の形態１による付着物除去方法を示すフロー図である。
【図８】本発明の実施の形態４による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図９】本発明の実施の形態５による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態６による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図１１】本発明の実施の形態６による付着物除去具を示す図10の正面図である。
【図１２】本発明の実施の形態７による付着物除去具を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施の形態８による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図１４】本発明の実施の形態８による付着物除去具を示す図１３の正面図である。
【図１５】本発明の実施の形態９による付着物除去具を示す上面図と側面図である。
【図１６】本発明の実施の形態９による付着物除去具を示す図１５の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１は本発明が適用される放電装置であるCO2レーザ発振器による加工機の概略斜視図である。放電電極を内部に持つ放電装置（CO2レーザ発振器）１から出射したレーザ光２は、ミラー３で下方に反射されレーザ加工ヘッド４に入射する。このレーザ加工ヘッド４内のレンズ（図示せず）でレーザ光２は、加工対象５の表面に集光され、加工対象５を切断する（または、溶かす、または、蒸発させる）。このとき、加工対象５は、ＸＹテーブル６で移動することで、所望の形状に切断される。
【００１４】
図２は図１の放電装置（CO2レーザ発振器）１の内部構造を示す概略斜視図である。放電装置１の容器１１は放電ガスである低圧なレーザガスを内部に封止するために真空容器となっている。その内部には、レーザガスを放電励起する上電極１２ａと下電極１２ｂの1対の放電電極対１２がある。放電電極対１２には電源１３が接続されているので、電極間のレーザガスは放電により励起される。この励起したレーザガスからの放電光２１は、容器１１の両壁面に設置された全反射鏡１４ａと部分反射鏡１４ｂからなる共振光学系（共振鏡１４という。以下同様）に共振増幅され、部分反射鏡１４ｂからレーザ光２として誘導放出される。レーザガスが放電によって高温になると、放電電力からレーザ光２への変換効率が減少する。その対策として、まず、ブロア１５によりレーザガスの循環流１７を発生させる。次に、その循環流の途中に熱交換器１６を設置する。このように構成することで、高温になったレーザガスが循環冷却される。
【００１５】
このような放電装置では、放電によって活性化した放電ガス（レーザガス）が真空容器内部を循環するため内部構造物などが反応しガス化（以後、二次生成ガスという）する。この二次生成ガスが放電空間に循環して来ると、今度は放電による反応で放電電極対１２の表面に付着することがある。この付着物は、放電面表面の物性を変えるか、あるいは放電寸法（放電面間距離など）を変えるために、その影響が大きくなる前に除去する必要がある。その除去する方法が先行文献１および２などに示されている方法であり、場合によっては真空容器を開放して人手で削り取ったり、さらには電極対を交換することもある。
【００１６】
実施の形態１．
図３は本発明の実施の形態１による付着物除去具を示す上面図（図３（ａ））と側面図（図３（ｂ））である。また、図４は、図３の付着物除去具を放電電極対に取り付けた上面図（図４（ａ））と側面図（図４（ｂ））である。また、図５は、図4に示す付着物除去具の動作を説明するとともに、付着物検出器の構成を示す図である。
【００１７】
図４において、上電極は図の視認性をよくするため省略した。またレーザガスの循環流１７の流れ方向は紙面の下から上である。下電極１２ｂの放電空間に対応する部分である放電面１２ｃには、通常、付着物１８が付着する。もちろん、下電極１２ｂの放電面１２ｃ以外の部分にも付着物１８は付着するが、その量は放電面１２ｃのほうが遙かに多い。
【００１８】
まず、図３、図４、図５を用いて付着物除去具の構成を説明する。この付着物１８を掻き落とす角を持った板（以後スクレーパと呼ぶ）７１が、上電極１２ａまたは下電極１２ｂの放電面１２ｃに平行に移動可能な状態で接触している（図４の側面図（図４（ｂ））では電極と付着物除去具の境界を明確にするため、間隙を設けて描画している）。
スクレーパ７１はレーザガスの風圧を受ける板（以後フィンと呼ぶ。このフィンは回転可能に構成されている）７２を介して、放電電極対１２の両長辺に沿って滑動する滑動部材（以後スライダと呼ぶ）７３に固定されている。なお、スクレーパ７１にはレーザ光を通すための穴７４が空いている。つまり、スクレーパ７１、フィン７２、スライダ７３、によって付着物除去具７が構成されている。
【００１９】
次に付着物除去具の作用について図４、図５により説明する。通常レーザガスは循環冷却のため図４の下から上に流れる。このとき、付着物除去具のフィン７２は、レーザガスの風圧を受けて、図４の左上方に力を受ける。しかし、スライダ７３は図４の左右方向にしか滑動できない構造であるため、付着物除去具７は放電面１２ｃに沿って図４の左方向の付着物除去具の位置７ａに固定される。この状態で、レーザガスを逆方向（紙面の上から下へ）に循環させれば、フィン７２の受ける力の方向が逆になり、付着物除去具は図４の右に移動し、付着物除去具の位置７ｂで固定される。この移動によって、スクレーパ７１が付着物１８を掻き取るため、放電面１２ｃの付着物１８は除去される。次に、レーザガスを通常のレーザガスの循環流１７の方向に循環させれば、付着物除去具は図４の左に移動し、付着物除去具の位置７ａに復帰し固定される。この移動によっても、スクレーパ７１が付着物１８を掻き取るため、放電面１２ｃの付着物１８は除去される。
【００２０】
このように付着物除去具７は通常のレーザガス循環では図４の左に位置し、放電を妨げることが無い。レーザガスの循環を反対にすれば、付着物除去具はレーザガスの風圧により移動し、この移動力によって付着物１８を除去する。つぎに、レーザガスの循環を通常に戻せば、付着物除去具７はレーザガスの風圧により移動し、この移動力によって付着物１８を再度除去し、放電時の定位置に復帰する。このように、この付着物除去具は、ガスの循環方向を変更するだけで、付着物を除去するという従来に無い効果を安価に実現可能である。
【００２１】
次に図５および図６により付着物検出器の構成を説明する。図６は図４，図５をブロック構成図で表したものに、付着物除去装置（後述）の構成ブロックと発振器の制御ブロックの一部を同時に表したものである。図５または図６において、光源８１（ＬＥＤやＬＤなど）は、上電極１２ａの放電面を照射する。放電面からの反射光は反射光受光器８２ａ（フォトダイオードやフォトトランジスタなど）に入射する。反射光受光器８２ａの光強度信号は、演算ユニット８４に入力され、付着物の量を示す信号となり出力ユニット８５から出力される。付着物検出器８はこのように配置されたことを特徴とした光源８１、反射光受光器８２ａ、演算ユニット８４、出力ユニット８５によって構成される。
【００２２】
付着物検出器の動作について説明する。光源８１から出射した光は上電極１２ａの放電面１２ｃで反射する。その反射光は、反射位置に配置された反射光受光器８２ａに入射し、反射光の光量が測定される。ここで、上電極１２ａの放電面１２ｃに付着物１８があれば、光源８１からの光の一部は付着物１８に散乱され、反射光受光器８２ａに入射する光量は減少する。よって、反射光の光量の測定値が減少する。この光量測定値の減少量を、演算ユニット８４において付着物の量に変換する。この際、あらかじめ変換係数を測定する必要があることは言うまでも無い。最後に、付着物の量の信号が出力ユニット８５から、電圧信号やデジタル値、数値表示などとして出力される。つまり、本発明の付着物検出器８は、光源８１からの反射光の光量を反射光受光器８２ａで測定して、その測定値の減少で付着物の量を検出する。
【００２３】
なお、図５に示すように、反射光受光器８２ａの前に、フィルター８３を使用することで、検出精度を向上させることができる。たとえば、光源８１の光のみを通過させる波長フィルターを用いれば、放電による発光（信号光ではない）が反射光受光器８２ａに入射しない。または、反射による偏光のみを透過させる偏光フィルターを用いれば、多重散乱などによるノイズ光が反射光受光器８２ａに入射しない。いずれにせよ、信号光以外の光が反射光受光器８２ａに入射しないので、検出精度が向上する。
【００２４】
次に、図６により、本発明の付着物除去具と付着物検出器を用いた付着物除去装置および付着物除去方法を説明する。
図６において付着物検出器８は光源８１、反射光受光器８２ａ、演算ユニット８４、出力ユニット８５の４ブロックで構成される。除去判断ユニット９１は、付着物検出器からの付着物の量の信号を検知して、付着物の除去が完了したかを判断する。本発明の付着物除去装置９は、この除去判断ユニット９１と前記した付着物除去具７と前記した付着物検出器８によって構成される。
【００２５】
次に付着物除去装置９の動作について説明する。発振器制御ユニット１０が除去判断ユニット９１に付着物の有無を問い合わせる。除去判断ユニット９１は光源８１を発光させ付着物検出器８の信号で付着物の量（有無や除去の完了）を判断する。「付着物あり」の判断の場合、除去判断ユニット９１は発振器制御ユニット１０を経由して、または、直接に、ブロア制御ユニット１９にブロアの反転動作の開始を指示する。ブロア１５は通常と反対方向に回転するので発振器内の放電ガスが逆流し、その風圧で付着物除去具７が図４の右方向に移動することで付着物を除去する。除去判断ユニット９１は付着物除去具７が、図４の右側に到達したタイミングで、発振器制御ユニット１０を経由して、または、直接に、ブロア制御ユニット１９にブロアの正転動作を指示する。ブロア１５は通常方向に回転するので発振器内の放電ガスが正常時の流れとなり、その風圧で付着物除去具７が図４の左方向に移動することで付着物を除去する。除去判断ユニット９１は、付着物除去具７が、図４の左側に到達したタイミングで、光源８１を発光させ付着物検出器８の信号で付着物の量を判断する。「付着物あり」の判断の場合、再度上記動作を繰り返し、付着物除去具により付着物を除去する。「付着物なし」の判断の場合、発振器制御ユニット１０に「付着物なし（除去完了）」を通知する。もし、一定回数以上、付着物の除去を行っても「付着物あり」の判断になるようであれば、「付着物除去具などの異常」と判断し、発振器制御ユニット１０に「警告」を通知する。
【００２６】
次にこの除去動作を適切に行う本発明の付着物除去方法について図７のフロー図により説明する。まず、除去動作をいつするかについて、最も適した時期はレーザガス（放電ガス）の排気時(交換時)である。除去された付着物はブロアのレーザガス流によって発振器内部のレーザガスに分散される。このままでは何処へも排出されない。この付着物を含んだレーザガスを排気する必要がある。よって、この除去動作は、レーザガス排気の前に行うことが望ましい。
【００２７】
具体的に動作を説明する。まず、レーザガス排気（交換）のプロセスを開始すると、付着物の除去が「必要」か「不要」かを判断する（第１の工程）。「必要」と判断した場合、ブロアを逆転させる（第２の行程）。この第２の工程によって、付着物除去具が移動し、そのスクレーパで付着物を除去する。次にブロアを正転させる（第３の工程）。この第３の工程によって、付着物除去具が今度は反対方向に移動し、そのスクレーパで付着物を除去する。除去が完了すれば、真空引きを開始する（第４の工程）。このステップで除去されて、風圧でレーザガス中に分散した付着物がレーザガス(放電ガス)といっしょに排気される。ブロアを停止させ（第５の工程）、そして、真空引きが停止すれば、レーザガス排気は完了する。その後、新たなレーザガスを封入すれば、レーザガス交換は完了する。もし、第１の工程で付着物の除去［不要］であれば、ブロアを回すこと無く、真空引きをし、レーザガスを排気し、新しいレーザガスを封入すれば良い。
【００２８】
このように本発明の付着物除去方法は、レーザガス排気時に上記の５つの工程を行うことで除去した付着物を、効率的に発振器外部へ排出できる。
なお、第４の工程の前に第１の工程を再度実行し、付着物の有無を確認しても良い。
【００２９】
実施の形態２．
本発明の付着物検出器の他の形態を図６により説明する。実施の形態１では、光源からの光を電極に照射し、反射光の強度を検出した。この場合、付着物により反射光が減少する作用を利用して、反射光受光器８２ａの測定値の減少を付着物の増加に演算ユニット８４で変換した。
【００３０】
しかし、反射光の減少は、散乱光の増加を意味する。よって、図６の散乱光受光器８２ｂの位置に散乱光受光器を配置すれば、付着物の増加によって、電極の放電面１２ｃからの散乱光が増加するため、散乱光受光器８２ｂの測定値は付着物の増加とともに増加する。このような検出系にすれば、付着物の増加が光信号の増加に対応するため、付着物の量を把握しやすい利点がある。しかし、散乱光は本質的に強度が小さい。そのため、検出感度の高い散乱光受光器が必要である。よって本実施例の採用は付着物の付着形態が散乱光の検出に適しているか、あらかじめ検証する必要がある。
【００３１】
実施の形態３．
本発明の付着物検出器のさらに他の形態を図６により説明する。実施の形態１、２ではでは、光源８１からの光の反射光や散乱光を利用した。実はレーザ発振の放電によって、レーザ光以外の波長の光が放電空間で発光している。その中に付着物の分子が励起された光が存在し、当然ながら付着物が増加すればこの光も増加する。よって、図６の付着物からの発光光受光器８２ｃの位置に発光光受光器を配置すれば、付着物の増加によって、付着物からの発光光が増加するため、発光光受光器８２ｃの測定値は付着物の増加とともに増加する。このような検出系にすれば、付着物の増加が信号の増加に対応するため、付着物の量を把握しやすい利点がある。また、光源８１は不要である。しかし、付着物の発光の波長のみを選択的に通過されるフィルター８３(図５)が必要になる。
【００３２】
なお、付着物除去装置の除去判断ユニット９１への入力信号は、実施の形態１、２、３の反射光受光器８２ａ、散乱光受光器８２ｂ、発光光受光器８２ｃの３種の信号としても良い。除去判断ユニット９１は、これら3種の信号を組み合わせて、付着物の除去が完了したかを判断する。
【００３３】
実施の形態４．
本発明の付着物除去具の他の形態を図８により説明する。図８は実施の形態４の付着物除去具のみの上面図（図８（ａ））と側面図（図８（ｂ））である。図８において、スクレーパ兼フィン７５は、図３（実施の形態1）のスクレーパ７１とフィン７２の機能を併せ持つ部材で、1枚の板で製作している。よって、分けて製作する実施の形態1に比して安価に製作可能である。
なお、この形状の場合、レーザガス流の下流の位置に、除去された付着物を集める集塵袋７６を設置すれば、容器１１内に除去した付着物を分散させることがない。
【００３４】
実施の形態５．
本発明の付着物除去具の他の形態を図９により説明する。図９は実施の形態５の付着物除去具のみの上面図（図９（ａ））と側面図（図９（ｂ））である。図９において、スライダ７３は、放電電極対１２に滑動する部分のみで形成され中央部がない構造である。よって空いた中央部はレーザガス流が通過可能であるため、図の様に、レーザガス流に対してフィン７２が重なる位置にスライダ７３を配置可能になる。よって、付着物除去具７は上面図（図９の左図）の左右方向に短くなる。つまり、放電電極対１２で付着物除去具７が放電中待避する長さが短くなり、コンパクトな電極の製作が可能である。
【００３５】
実施の形態６．
本発明の付着物除去具の他の形態を図１０、図１１により説明する。図１０は実施の形態６の付着物除去具のみの上面図（図１０（ａ））と側面図（図１０（ｂ））である。また、図１１は、図１０の正面図である。図１０、図１１において、車型スライダ７３ｃは、放電電極対１２に滑動するのではなく転動する。一般に、移動抵抗(動摩擦力)は「滑る」より「転がる」方が1桁程度小さい。よって、実施の形態６の付着物除去具はわずかなレーザガスの風圧で移動可能である。つまり、付着物の除去の際に、ブロアの消費電力を低く抑えることが可能である。
【００３６】
実施の形態７．
本発明の付着物除去具の他の形態を図１２により説明する。図１２は実施の形態７の付着物除去具の斜視図である。図１２において、付着物除去具はブロック状の材料に、スクレーパ部７１ｄ、フィン部７２ｄ，スライダ部７３ｄ、を形成した物である。このようにすれば、付着物除去具の各寸法は組立による寸法に比して高精度に仕上げられる。よって、実施の形態７の付着物除去具は、組み立て工程を大幅に軽減可能である。つまり、組立コストを低く抑えられる。
【００３７】
実施の形態８．
本発明の付着物除去具の他の形態を図１３、図１４により説明する。図１３は実施の形態８の付着物除去具の上面図（図１３（ａ））と側面図（図１３（ｂ））である。図１４は図１３の正面図である。図１３、図１４において、付着物除去具のフィンは風車型スライダ７７の内部に形成されている（フィン部７２ｄ）。そして、レーザガスの風圧により風車型スライダ７７を回転させる。ここ回転力によって付着物除去具は放電電極対１２に平行に移動しスクレーパ７１によって付着物を除去する。この実施の形態においては、フィンの直径に対して風車型スライダの車直径を小さく設計できるため、わずかな風圧においても付着物除去具の移動が可能である。極低圧の放電装置においては、十分な風圧を得られない場合があり、この実施の形態は、その場合でも付着物除去具の機能を発揮できる。
【００３８】
実施の形態９．
本発明の付着物除去具の他の形態を図１５、図１６により説明する。図１５は実施の形態９の付着物除去具の上面図（図１５（ａ））と側面図（図１５（ｂ））である。図１６は図１５の正面図である。図１５、図１６において、回転可能な構造である回転スクレーパ７１ｂは、実施の形態８の風車型スライダ７７の回転によって回転する構造であり、フレーム７８に取り付けられている。
レーザガスの風圧により風車型スライダ７７を回転させる。ここ回転力によって付着物除去具は電極に平行に移動することは実施の形態８と同様であるが、さらにスクレーパを回転させることで回転スクレーパ７１ｂの付着物に対する相対速度を増すことができる。よって、効率的に付着物を除去する。
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１  放電装置、２  レーザ光、３  ミラー、４  レーザ加工ヘッド、５  加工対象、６  ＸＹテーブル、７  付着物除去具、８  付着物検出器、９  付着物除去装置、１０  発振器制御ユニット、１１  容器、１２  放電電極対、１２ａ  上電極、１２ｂ  下電極、１２ｃ  放電面、１３  電源、１４  共振鏡、１４ａ  全反射鏡、１４ｂ  部分反射鏡、１５  ブロア、１６  熱交換器、１７  レーザガスの循環流、１８  付着物、１９  ブロア制御ユニット、２１  放電光、７１  スクレーパ、７１ｂ  回転スクレーパ、７１ｄ  スクレーパ部、７２  フィン、７２ｄ  フィン部、７３  スライダ、７３ｃ  車型スライダ、７３ｄ  スライダ部、７４  穴、７５  スクレーパ兼フィン、７６  集塵袋、７７  風車型スライダ、７８  フレーム、８１  光源、８２  受光器、８２ａ  反射光受光器、８２ｂ  散乱光受光器、８２ｃ  発光光受光器、８３  フィルター、８４  演算ユニット、８５  出力ユニット、９１  除去判断ユニット。
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１】
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【図２】
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