(57)【要約】【課題】液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積を抑制する。【解決手段】液体噴射ヘッドは、インクが充填される圧力室を形成する圧力室形成基板と、噴射面に形成されて圧力室形成基板に沿うＺ方向にインクを噴射するノズルと、圧力室に供給されるインクの流路上に設置された平板状のフィルター８８とを具備する。フィルター８８は、表面が噴射面に交差する姿勢で、圧力室形成基板の平面視で圧力室に対してＺ方向とは反対側に設置される。【選択図】図１１
2015112774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される圧力室を形成する圧力室形成基板と、
噴射面に形成されて前記圧力室形成基板に沿う第１方向に前記液体を噴射するノズルと、
前記圧力室に供給される前記液体の流路上に設置された平板状のフィルターとを具備し、
前記フィルターは、表面が前記噴射面に交差する姿勢で、前記圧力室形成基板の平面視で前記圧力室に対して前記第１方向とは反対側の第２方向側に設置される
液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記フィルターが設置された空間であって、前記フィルターの上流側の第１空間と前記フィルターの下流側の第２空間とを含むフィルター空間と、
前記第１方向に延在して前記第１空間に連通する第１液体流路と、
前記第２空間から前記第１方向に延在する第２液体流路と
を具備する請求項１の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１空間を形成する保持部と、
前記圧力室形成基板と前記ノズルとを含む液体噴射部を支持するとともに前記第２空間を形成する筐体部とを具備し、
前記第１空間と前記第２空間との間に前記フィルターが位置するように前記保持部と前記筐体部との間に前記フィルターが挟持される
請求項２の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を噴射する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷用紙等の印刷媒体にインク等の液体を噴射する各種の技術が従来から提案されている。例えば特許文献１には、インクが充填される各圧力室の圧力を変動させることでノズルプレートの各ノズルからインクを噴射する液体噴射ヘッドが開示されている。各圧力室に供給されるインクの流路上には、インクに混入した気泡や異物を除去するための平板状のフィルターが設置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０２０４５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の技術のもとでは、インクの噴射方向に直交する姿勢（ノズルプレートに平行な姿勢）でフィルターが設置されるから、インクの噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積が大きいという問題がある。以上の事情を考慮して、本発明は、液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
以上の課題を解決するために、本発明の液体噴射ヘッドは、液体が充填される圧力室を形成する圧力室形成基板と、噴射面に形成されて圧力室形成基板に沿う第１方向に液体を噴射するノズルと、圧力室に供給される液体の流路上に設置された平板状のフィルターとを具備し、フィルターは、表面が噴射面に交差する姿勢で、圧力室形成基板の平面視で圧力室に対して第１方向とは反対側の第２方向側に設置される。以上の構成では、圧力室に液体を供給する流路上に設置されたフィルターが、液体の噴射面に対して表面が交差した姿勢で、圧力室に対して第１方向とは反対側の第２方向側に設置される。したがって、噴射面に平行な姿勢でフィルターを設置した構成や、液体の噴射方向からみて噴射面とフィルターとが併設された構成と比較して、液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積が削減されるという利点がある。また、圧力室形成基板に沿う第１方向に液体が噴射されるから、流路形成基板やノズルプレート等の平板状の要素が液体の噴射方向に直交する構成（例えば特許文献１）と比較して、液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積が抑制されるという前述の効果は格別に顕著である。フィルターは、例えば噴射面に直交または傾斜する姿勢で配置される。
【０００６】
本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、フィルターの上流側の第１空間とフィルターの下流側の第２空間とを含むフィルター空間と、第１方向に延在して第１空間に連通する第１液体流路と、第２空間から第１方向に延在する第２液体流路とを具備する。以上の構成では、フィルター空間の第１空間に連通する第１液体流路と第２空間に連通する第２液体流路とが第１方向に延在するから、例えば第１液体流路や第２液体流路が噴射面に平行な方向に延在する構成と比較すると、液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッドの面積が抑制されるという効果は格別に顕著である。
【０００７】
本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、第１空間を形成する保持部と、圧力室形成基板とノズルとを含む液体噴射部を支持するとともに第２空間を形成する筐体部とを具備し、第１空間と第２空間との間にフィルターが位置するように保持部と筐体部との間にフィルターが挟持される。以上の態様では、保持部と筐体部との間にフィルターが挟持されるから、保持部と筐体部とを相互に固定することでフィルターを容易かつ確実に保持できるという利点がある。
【０００８】
本発明の好適な態様に係る液体噴射装置は、以上の各態様に係る液体噴射ヘッドを具備する。液体噴射ヘッドの好例は、インクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の好適な形態に係る印刷装置の構成図である。
【図２】印刷装置における液体噴射ヘッドの斜視図および拡大図である。
【図３】液体噴射ヘッドの液体噴射部の分解斜視図である。
【図４】液体噴射ヘッド（液体噴射部）の断面図である。
【図５】連通板の平面図および拡大図である。
【図６】圧力室形成基板の平面図および拡大図である。
【図７】保持構造体の平面図である。
【図８】保持構造体の分解斜視図である。
【図９】保持構造体の分解斜視図である。
【図１０】保持構造体の断面図である。
【図１１】図１０における領域ＸＩの拡大図である。
【図１２】変形例に係る液体噴射ヘッドの断面図である。
【図１３】変形例に係る印刷装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の好適な形態に係るインクジェット方式の印刷装置１００の部分的な構成図である。本形態の印刷装置１００は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の印刷媒体２００に噴射する液体噴射装置であり、制御装置１２と搬送機構１４とヘッドモジュール１６とを具備する。制御装置１２は、印刷装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構１４は、制御装置１２による制御のもとで印刷媒体２００を所定の方向Ａ1に搬送する。
【００１１】
印刷装置１００には、インクが充填されたインクカートリッジ３００が装着される。図１のヘッドモジュール１６は、インクカートリッジ３００から供給されるインクを制御装置１２による制御のもとで印刷媒体２００に噴射する。図１に例示される通り、本形態のヘッドモジュール１６は、印刷媒体２００の搬送方向Ａ1に交差する方向Ａ2に沿って複数の液体噴射ヘッド２０が配列されたラインヘッドである。具体的には、複数の液体噴射ヘッド２０を配列した第１列と複数の液体噴射ヘッド２０を配列した第２列とで方向Ａ2における各液体噴射ヘッド２０の位置が相違するように複数の液体噴射ヘッド２０は配置（いわゆるスタガ配置ないし千鳥配置）される。なお、複数のヘッドモジュール１６を印刷媒体２００の搬送方向Ａ1に沿って並列することも可能である。
【００１２】
図２は、ヘッドモジュール１６の任意の１個の液体噴射ヘッド２０の斜視図である。図２に例示される通り、液体噴射ヘッド２０は、液体噴射部２２と保持構造体２４と配線基板２６と制御基板２８とを具備する。液体噴射部２２は、印刷媒体２００との対向面（以下「噴射面」という）に直線状に配列する複数のノズルＮから印刷媒体２００に対してインクを噴射するヘッドチップである。保持構造体２４は、液体噴射部２２と配線基板２６と制御基板２８とを保持するとともにインクカートリッジ３００からのインクを液体噴射部２２に供給する構造体である。制御基板２８は、駆動信号を生成する駆動回路が例えばＩＣチップの形態で実装された配線基板である。制御基板２８で生成された駆動信号が可撓性の配線基板２６を介して液体噴射部２２に供給される。
【００１３】
図２に例示される通り、液体噴射部２２の各ノズルＮから液体が噴射される方向をＺ方向と表記し、Ｚ方向に直交するＸ-Ｙ平面を想定する。液体噴射ヘッド２０は、Ｚ方向が鉛直方向の下側（印刷媒体２００側）を向く姿勢で配置される。したがって、Ｘ-Ｙ平面は、印刷媒体２００に略平行な平面（水平面）に相当する。Ｘ方向は、複数のノズルＮが配列する方向（液体噴射ヘッド２０の長手方向Ａ2）であり、Ｙ方向は、Ｘ方向およびＺ方向に交差（典型的には直交）する方向である。複数のノズルＮが形成された噴射面はＸ-Ｙ平面に平行である。
【００１４】
図２に拡大して図示される通り、１個の液体噴射ヘッド２０の複数のノズルＮは、ノズル列ＧAとノズル列ＧBとに区分される。ノズル列ＧAおよびノズル列ＧBの各々は、Ｘ方向に沿って配列された複数のノズルＮの集合である。Ｘ方向における各ノズルＮの位置はノズル列ＧAとノズル列ＧBとで相違する。図１から理解される通り、印刷媒体２００の横幅（搬送方向Ａ1に直交する方向Ａ2の寸法）を上回る範囲にわたり複数の液体噴射ヘッド２０のノズルＮが分布する。搬送機構１４による印刷媒体２００の搬送に並行してヘッドモジュール１６の各液体噴射ヘッド２０のノズルＮから印刷媒体２００にインクを噴射することで印刷媒体２００には任意の画像が印刷される。
【００１５】
図３は、液体噴射部２２の分解斜視図であり、図４は、液体噴射部２２の断面図（図２の拡大図におけるIV-IV線の断面図）である。図４は、Ｘ方向に直交する断面（Ｙ-Ｚ平面）での液体噴射部２２の断面図に相当する。図３および図４に例示される通り、液体噴射部２２は、Ｘ方向に長尺な平板状の基体４２を具備する。基体４２の各表面（以下「設置面」という）４２０には、連通板４４と圧力室形成基板５２と振動板５４と保護板５８とが、設置面４２０側から以上の順番で積層される。すなわち、基体４２の設置面４２０と圧力室形成基板５２との間に連通板４４が設置され、圧力室形成基板５２と保護板５８との間に振動板５４が設置される。連通板４４と圧力室形成基板５２と振動板５４と保護板５８とは、基体４２と同様にＸ方向に長尺な平板状の部材である。
【００１６】
図２および図３から理解される通り、基体４２の一方の設置面４２０の面上の要素はノズル列ＧAに対応し、基体４２の他方の設置面４２０の面上の要素はノズル列ＧBに対応する。すなわち、ノズル列ＧAの各ノズルＮとノズル列ＧBの各ノズルＮとは基体４２を挟んで相互に反対側に位置する。したがって、本形態の基体４２は、ノズル列ＧAとノズル列ＧBとの間隔を規定するスペーサーとして機能する。なお、基体４２の双方の設置面４２０の面上の要素（連通板４４，圧力室形成基板５２，振動板５４，保護板５８）は、基体４２を挟んで対称の関係にあり、具体的な構成は実質的に共通するから、以下の説明ではノズル列ＧAに対応する要素に着目し、ノズル列ＧBに対応する要素の説明を便宜的に省略する。
【００１７】
基体４２の設置面４２０には連通板４４が設置される。図５は、基体４２側（図４における下側）からみた連通板４４の平面図である。図４および図５から理解される通り、本形態の連通板４４は、基礎部７１と空間形成部７２と側壁部７３とを包含する。空間形成部７２は、基礎部７１からみてＺ方向の負側（インクの噴射側とは反対側）に位置し、基礎部７１と比較して薄い板状の部分である。したがって、基礎部７１のうち基体４２側の表面７１０と空間形成部７２のうち基体４２側の表面７２０との段差に相当する空間（凹部）が空間形成部７２の基体４２側には形成される。側壁部７３は、空間形成部７２のうちＸ方向の両端部に形成されて基礎部７１に連続する。
【００１８】
基礎部７１のうち基体４２側の表面７１０と各側壁部７３の表面とが、例えば接着剤を利用して基体４２の設置面４２０に接合されることで、連通板４４は基体４２に固定される。図４から理解される通り、基体４２の設置面４２０と空間形成部７２の表面７２０との間隙の空間が、複数のノズルＮにわたり共通する液体貯留室（リザーバー）６２として機能する。液体貯留室６２には、インクカートリッジ３００から保持構造体２４の内部を経由して供給されたインクが供給および貯留される。連通板４４の材料や製法は任意であるが、例えばシリコン（Ｓi）の単結晶基板をフォトリソグラフィやエッチング等の半導体製造技術により選択的に除去することで、以上に例示した形状の連通板４４を簡便かつ高精度に形成することが可能である。
【００１９】
連通板４４のうち基体４２とは反対側の表面には圧力室形成基板５２が設置される。圧力室形成基板５２は、連通板４４の基礎部７１と空間形成部７２とにわたる平板状の部材であり、例えば接着剤を利用して連通板４４に固定される。図６は、圧力室形成基板５２の平面図である。図４および図６から理解される通り、圧力室形成基板５２には、相異なるノズルＮに対応する複数の開口部５２２が形成される。複数の開口部５２２はＸ方向に沿って配列する。各開口部５２２は、平面視でＺ方向に長尺な貫通孔である。圧力室形成基板５２の材料や製法は任意であるが、例えば連通板４４と同様に、シリコンの単結晶基板を半導体製造技術により選択的に除去することで簡便かつ高精度に圧力室形成基板５２を形成することが可能である。
【００２０】
図４に例示される通り、圧力室形成基板５２のうち連通板４４とは反対側の表面には振動板５４が設置される。振動板５４は、弾性的に振動可能な平板状の部材であり、例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で構成される。図４から理解される通り、振動板５４と連通板４４（基礎部７１）とは、圧力室形成基板５２に形成された各開口部５２２の内側で、圧力室形成基板５２の板厚に相当する間隔をあけて相互に対向する。圧力室形成基板５２の開口部５２２の内側で連通板４４と振動板５４とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室（キャビティ）６６として機能する。以上の説明から理解される通り、圧力室形成基板５２は、圧力室６６を形成する基板として機能する。図６から理解される通り、本形態の各圧力室６６は、Ｚ方向に長尺な空間である。
【００２１】
図４および図５（特に拡大図）から理解される通り、連通板４４の空間形成部７２には、相異なるノズルＮ（圧力室６６）に対応する複数の供給流路６４が形成される。複数の供給流路６４は平面視でＸ方向に沿って配列し、空間形成部７２の基体４２側の表面７２０のうち相互に隣合う各供給流路６４の間には隔壁７５が形成される。各供給流路６４は、空間形成部７２をＹ方向に貫通する流路であり、図４および図６から理解される通り液体貯留室６２と圧力室６６とを連通する。したがって、液体貯留室６２に貯留されたインクは複数の供給流路６４に分岐して各圧力室６６に並列に供給される。すなわち、各圧力室６６にはインクが充填される。
【００２２】
図４および図５に例示される通り、連通板４４の基礎部７１には、相異なるノズルＮ（圧力室６６）に対応する複数の第１流路Ｑ1が形成される。複数の第１流路Ｑ1は、平面視でＸ方向に沿って配列する。各第１流路Ｑ1は、連通板４４の基礎部７１をＹ方向に貫通する流路（貫通孔）であり、当該第１流路Ｑ1に対応する圧力室６６に連通する。
【００２３】
また、図４および図５に例示される通り、連通板４４の基礎部７１のうち基体４２側の表面７１０には、第１流路Ｑ1から基礎部７１の周縁（液体貯留室６２とは反対側の周縁）までＺ方向に直線状に延在する溝部（切欠）７４がノズルＮ毎に形成される。連通板４４の溝部７４の内周面と基体４２の設置面４２０とで包囲された管状の空間がインクの流路（以下「第２流路Ｑ2」という）として機能する。第２流路Ｑ2の一方の端部は第１流路Ｑ1に連通し、第２流路Ｑ2のうち第１流路Ｑ1とは反対側の端部がノズルＮとして機能する。以上の説明から理解される通り、Ｙ方向に沿う第１流路Ｑ1とＺ方向に沿う第２流路Ｑ2とを含む連通流路６８を介して圧力室６６とノズルＮとが連通する。すなわち、液体貯留室６２から供給流路６４と圧力室６６と連通流路６８（第１流路Ｑ1および第２流路Ｑ2）とを経由してノズルＮから外部に到達するインクの流路が形成される。
【００２４】
図４に例示される通り、振動板５４のうち圧力室形成基板５２とは反対側の表面には、相異なるノズルＮ（圧力室６６）に対応する複数の圧電素子５６が形成される。各圧電素子５６は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた積層体である。各圧電素子５６は、電極に対する駆動信号の供給により個別に振動する。なお、圧電素子５６の圧電体を複数の圧電素子５６にわたり連続させることも可能である。保護板５８は、各圧電素子５６を保護する要素であり、圧力室形成基板５２（振動板５４）の表面に例えば接着剤で固定される。保護板５８のうち基体４２側の表面に形成された凹部５８２に各圧電素子５６が収容される。
【００２５】
図４に例示される通り、圧力室形成基板５２（振動板５４）の表面に可撓性の配線基板２６の端部が接合される。制御基板２８から配線基板２６を介して各電極に供給される駆動信号に応じて圧電素子５６は振動する。圧電素子５６に連動して振動板５４が振動することで圧力室６６内のインクの圧力（圧力室６６の容積）が変動し、圧力室６６内の圧力の増加によりノズルＮからインクが噴射される。以上の説明から理解される通り、圧電素子５６は、圧力室６６内の圧力を変動させて圧力室６６内のインクをノズルＮから噴射させる圧力発生素子として機能する。
【００２６】
なお、連通板４４の板厚（基礎部７１の厚さ）は、例えば２００μｍ以上かつ８００μｍ以下の寸法（好適には４００μｍ程度）に設定され、圧力室形成基板５２の板厚は、例えば５０μｍ以上かつ２００μｍ以下の寸法（好適には７０μｍ程度）に設定される。以上の構成によれば、液体噴射部２２の組立時の各部品の取扱いが容易であり、かつ、圧力室６６の容量（例えばインクの増粘の抑制に必要な容量）を充分に確保できるという利点がある。
【００２７】
以上に説明した形態では、圧力室形成基板５２に沿うＺ方向にインクが噴射されるから、圧力室形成基板５２がインクの噴射方向に直交する構成と比較して、Ｚ方向からみた液体噴射ヘッド２０（液体噴射部２２）の面積を削減することが可能である。したがって、複数のノズルＮを高密度に配置できるという利点がある。また、圧力室６６とノズルＮとを連通する連通流路６８が、インクの噴射方向（Ｚ方向）に交差するＹ方向に沿う第１流路Ｑ1を含むから、インクの噴射方向に沿う流路のみで圧力室６６とノズルＮとが連通する構成と比較して、圧力室６６とノズルＮとの間の流路長が長く確保される。したがって、ノズルＮの内側でインクに発生した増粘の影響が圧力室６６内まで到達する可能性を低減できる（ノズルＮの内側で増粘したインクが圧力室６６内に到達し難い）という利点がある。以上のようにノズルＮの内側での増粘の影響が圧力室６６内に到達する可能性が低減されるから、例えば、圧力室６６内のインクの増粘を解消するために排出（フラッシング）する必要があるインクの量を削減することが可能である。
【００２８】
以上に説明した液体噴射部２２は、図１に例示された保持構造体２４に収容および支持される。図７は、保持構造体２４の平面図であり、図８および図９は保持構造体２４の分解斜視図である。図８および図９に例示される通り、保持構造体２４は、保持部８２と筐体部８４と連結部８６とフィルター８８とを含んで構成される。概略的には、保持部８２と筐体部８４と連結部８６とで構成される構造体の内部の空間にフィルター８８が収容される。保持部８２と筐体部８４と連結部８６とは、例えば樹脂材料（プラスチック）の射出成形で相互に別体に形成される。フィルター８８は、インクに混入した気泡や異物を除去するための平板状（膜状）の部材である。
【００２９】
図８に例示される通り、保持部８２は、基板保持部８２１と空間形成部８２２とを具備する。図７から理解される通り、基板保持部８２１は制御基板２８を保持する。空間形成部８２２は、空間ＦA（第１空間）を形成する。具体的には、図８に例示される通り、空間形成部８２２は、平面状の底面部８２４と、底面部８２４の周縁から突起した矩形枠状の側壁部８２５とを含んで構成される。空間ＦAは、底面部８２４を底面として側壁部８２５に包囲された空間である。側壁部８２５には、Ｚ方向に延在する液体流路８２６（第１液体流路）が形成される。液体流路８２６は、インクカートリッジ３００と空間ＦAとを連通する管路である。
【００３０】
図９に例示される通り、筐体部８４は、本体部８４１と空間形成部８４２とを具備する。図７に例示される通り、本体部８４１は、内部に液体貯留室８４３が形成された中空のケースであり、液体噴射部２２を収容および支持する。本体部８４１の液体貯留室８４３は液体噴射部２２の液体貯留室６２に連通する。他方、空間形成部８４２は、本体部８４１の周縁から突起した部分であり、空間ＦB（第２空間）を形成する。具体的には、図９に例示される通り、空間形成部８４２は、平面状の底面部８４４と、底面部８４４の周縁から突起した矩形枠状の側壁部８４５とを含んで構成される。空間ＦBは、底面部８４４を底面として側壁部８４５に包囲された空間である。図７に例示される通り、本体部８４１には、側壁部８４５からＺ方向に延在する液体流路８４６（第２液体流路）が形成される。液体流路８４６は、空間ＦBと液体貯留室８４３とを連通する管路である。
【００３１】
連結部８６は、保持部８２と筐体部８４とを相互に連結するための部材であり、図８および図９に例示される通り矩形枠状の枠状部８６１を含んで構成される。枠状部８６１には開口部８６２が形成される。図９の矢印から理解される通り、空間形成部８４２を開口部８６２に挿入して筐体部８４を連結部８６に固定した状態で保持部８２を連結部８６に固定することで、保持部８２と筐体部８４とが相互に固定される。保持部８２と筐体部８４と連結部８６とは例えば接着剤を利用して相互に接合される。
【００３２】
図１０は、図７におけるＸ-Ｘ線の断面図であり、図１１は、図１０における領域ＸＩの拡大図である。図１０および図１１に例示される通り、保持部８２と筐体部８４とが相互に固定された状態では、保持部８２の空間形成部８２２と筐体部８４の空間形成部８４２とで包囲された空間（以下「フィルター空間」という）Ｆが形成される。フィルター空間Ｆは、空間形成部８２２の底面部８２４と空間形成部８４２の底面部８４４との間の空間である。以上の説明から理解される通り、インクカートリッジ３００に貯留されたインクは、液体流路８２６とフィルター空間Ｆと液体流路８４６と液体貯留室８４３とを介して液体噴射部２２の液体噴射部２２と各圧力室６６に供給される。
【００３３】
図１０および図１１に例示される通り、フィルター空間Ｆにフィルター８８が設置される。すなわち、インクカートリッジ３００から各圧力室６６に至るインクの流路上にフィルター８８が設置される。具体的には、図１１に例示される通り、空間形成部８２２の側壁部８２５と空間形成部８４２の側壁部８４５とでフィルター８８の周縁部を全周にわたり挟持することでフィルター８８がフィルター空間Ｆに固定される。したがって、フィルター空間Ｆは、フィルター８８を挟んで上流側の空間ＦAと下流側の空間ＦBとに区画される。以上の説明から理解される通り、本形態のフィルター８８は、圧力室形成基板５２または連通板４４の平面視で、液体噴射部２２の各圧力室６６および液体貯留室６２に対してＺ方向とは反対の−Ｚ方向側（鉛直方向の上方側）に位置する。
【００３４】
図１１から理解される通り、保持部８２の側壁部８２５のうちフィルター８８に対向する表面（頂面）と、筐体部８４の側壁部８４５のうちフィルター８８に対向する表面とは、液体噴射部２２の噴射面（Ｘ-Ｙ平面）に対して交差する。したがって、フィルター８８の表面は噴射面に対して交差する。図１１では、フィルター空間Ｆ内に設置されたフィルター８８の表面を、液体噴射部２２の噴射面に対して角度θ（０°＜θ＜９０°）で傾斜させた構成が例示されている。フィルター８８の表面がＺ方向に対して傾斜した構成と換言することも可能である。インクカートリッジ３００から液体流路８２６を介して空間ＦAに供給されたインクは、フィルター８８の通過時に気泡や異物が除去されたうえで、空間ＦBから液体流路８４６と液体貯留室８４３とを経由して液体噴射部２２の液体貯留室６２および各圧力室６６に供給される。
【００３５】
以上に説明した形態では、液体噴射部２２の各圧力室６６にインクを供給する流路上のフィルター８８が、インクの噴射面（Ｘ-Ｙ平面）に対して表面が交差した姿勢で、各圧力室６６からみてインクの噴射方向とは反対の−Ｚ方向側（液体噴射部２２の上方）に設置される。したがって、噴射面に平行な姿勢でフィルター８８を設置した構成や、インクの噴射方向からみて噴射面とフィルター８８とが隣合う構成と比較して、液体の噴射方向からみた液体噴射ヘッド２０の面積が削減されるという利点がある。すなわち、液体噴射部２２に対して−Ｚ方向側の空間を有効に利用することが可能である。本形態では特に、前述の通り圧力室形成基板５２に沿うＺ方向にインクを噴射する構成を採用するから、Ｚ方向からみた液体噴射ヘッド２０の面積が削減されるという効果は格別に顕著である。
【００３６】
また、本形態では、空間ＦAに連通する液体流路８２６と空間ＦBに連通する液体流路８４６とがＺ方向に延在するから、例えば液体流路８２６や液体流路８４６がＸ方向またはＹ方向に延在する構成と比較して、インクの噴射方向からみた液体噴射ヘッド２０の面積が削減されるという効果は格別に顕著である。
【００３７】
図１１から理解される通り、本形態では、Ｚ方向に延在する液体流路８２６から供給されるインクが、Ｚ方向に対して傾斜したフィルター８８を通過して、Ｚ方向に延在する液体流路８２６から排出される。すなわち、図１１からも理解される通り、フィルター８８の表面に対して傾斜した方向からインクが到達してフィルター８８を通過する。したがって、フィルター８８の表面に垂直な方向からインクが到達する構成と比較して、インクの進行方向からみたフィルター８８の通過孔の面積が縮小され、結果的にインクの気泡や異物を除去し易いという利点もある。
【００３８】
また、保持部８２の空間形成部８２２（側壁部８２５）と筐体部８４の空間形成部８４２（側壁部８４５）との間にフィルター８８が挟持されるから、保持部８２と筐体部８４とを相互に固定することでフィルター８８を容易かつ確実に保持できるという利点もある。
【００３９】
＜変形例＞
以上に例示した形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から選択された２以上の態様を併合することも可能である。
【００４０】
（１）前述の形態では、液体噴射部２２の噴射面に対して表面が傾斜する（０°＜θ＜９０°）ようにフィルター８８を設置したが、噴射面に対して表面が直交するようにフィルター８８を設置する（θ＝９０°）ことも可能である。以上の説明から理解される通り、本発明の好適な態様におけるフィルター８８は、表面が噴射面に交差する姿勢で設置される。
【００４１】
（２）前述の形態では、基体４２の一方の設置面４２０側にノズル列ＧAを形成するとともに他方の設置面４２０側にノズル列ＧBを形成したが、基体４２の一方の設置面４２０側のみにノズル列を形成することも可能である。すなわち、前述の形態において基体４２の一方の設置面４２０側の要素（連通板４４，圧力室形成基板５２，振動板５４，保護板５８）は省略され得る。ただし、基体４２の双方の設置面４２０側にノズルＮを形成した構成によれば、多数のノズルＮを高密度に配置できるという利点がある。
【００４２】
（３）前述の形態では第２流路Ｑ2の端部をノズルＮとして利用したが、第２流路Ｑ2とは別個にノズルＮを形成することも可能である。例えば、図１２に例示される通り、基体４２および連通板４４の側面（印刷媒体２００との対向面）にノズルプレート４０を設置した構成が採用される。ノズルプレート４０には複数のノズルＮが形成され、各ノズルＮは第２流路Ｑ2に連通する。図１２に例示された構成では、ノズルプレート４０の表面が噴射面に相当する。
【００４３】
（４）前述の形態では、印刷媒体２００の搬送方向Ａ1に直交する方向Ａ2に複数の液体噴射ヘッド２０を配列したラインヘッドをヘッドモジュール１６として例示したが、シリアルヘッドにも本発明を適用することが可能である。例えば図１３のヘッドモジュール１８は、前述の形態に係る複数の液体噴射ヘッド２０をキャリッジに搭載したシリアルヘッドであり、印刷媒体２００の搬送方向Ａ1に直交する方向Ａ2に沿って往復しながら各ノズルＮからインクを噴射する。
【００４４】
（５）圧力室６６内の圧力を変化させる要素（圧力発生素子）は圧電素子５６に限定されない。例えば、静電アクチュエータ等の振動体を圧力発生素子として利用することも可能である。また、圧力発生素子は、圧力室６６に機械的な振動を付与する要素に限定されない。例えば、加熱により圧力室６６の内部に気泡を発生させて圧力室６６内の圧力を変化させる発熱素子（ヒーター）を圧力発生素子として利用することも可能である。すなわち、圧力発生素子は、圧力室６６の内部の圧力を変化させる要素として包括され、圧力を変化させる方式（ピエゾ方式／サーマル方式）や具体的な構成の如何は不問である。
【００４５】
（６）以上の形態で例示した印刷装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００４６】
１００……印刷装置（液体噴射装置）、２００……印刷媒体、３００……インクカートリッジ、１２……制御装置、１４……搬送機構、１６……ヘッドモジュール、２０……液体噴射ヘッド、２２……液体噴射部、２４……保持構造体、２６……配線基板、２８……制御基板、４０……ノズルプレート、４２……基体、４４……連通板、５２……圧力室形成基板、５２２……開口部、５４……振動板、５６……圧電素子、５８……保護板、６２……液体貯留室、６４……供給流路、６６……圧力室、６８……連通流路、７１……基礎部、７２……空間形成部、７３……側壁部、８２……保持部、８２１……基板保持部、８２２，８４２……空間形成部、８２６……液体流路（第１液体流路）、８４……筐体部、８４１……本体部、８４６……液体流路（第２液体流路）、８６……連結部、８６１……枠状部、Ｎ……ノズル、Ｑ1……第１流路、Ｑ2……第２流路、Ｆ……フィルター空間、ＦA……空間（第１空間），ＦB……空間（第２空間）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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