(57)【要約】【課題】作業者が疲労感を覚えることなく簡便に作業を行うことができ、コスト的にも有利なノズル洗浄システム及びノズル洗浄方法を提供することを目的としている。【解決手段】洗浄用の液体を混合した圧縮空気（混合圧縮空気Ａｒ）を噴射する洗浄ツール２１と、吸着ノズル１６を保持するノズル保持具２２と、洗浄ツール２１を支持する洗浄ツール支持部６５及びノズル保持具２２を支持するノズル保持具支持部６１を有した作業台２３とを備え、洗浄ツール支持部６５は、洗浄ツール２１を揺動自在に支持することにより、作業者ＯＰの洗浄ツール２１の保持姿勢に応じて混合圧縮空気Ａｒの噴射方向を自在とした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品実装装置が備える部品吸着用のノズルを洗浄するノズル洗浄システムであって、
洗浄用の液体を混合した圧縮空気を噴射する洗浄ツールと、
前記ノズルを保持するノズル保持具と、
前記洗浄ツールを支持する洗浄ツール支持部及び前記ノズル保持具を支持するノズル保持具支持部を有した作業台とを備え、
前記洗浄ツール支持部は、前記洗浄ツールを揺動自在に支持することにより、作業者の前記洗浄ツールの保持姿勢に応じて前記圧縮空気の噴射方向を自在としたことを特徴とするノズル洗浄システム。
【請求項２】
前記ノズル保持具は、前記ノズルが嵌挿される嵌挿孔を備えた弾性体及び前記弾性体を前記ノズルの嵌挿方向に対向する両側から挟持し前記嵌挿孔を露出させる開口をそれぞれ備えた一対のプレート部材から成ることを特徴とする請求項１に記載のノズル洗浄システム。
【請求項３】
部品実装装置が備える部品吸着用のノズルを洗浄するノズル洗浄方法であって、
ノズル保持具に前記ノズルを保持させるノズル保持工程と、
前記ノズル保持具を作業台が備えるノズル保持具支持部にて支持するノズル保持具支持工程と、
洗浄用の液体を混合した圧縮空気を噴射する洗浄ツールを前記作業台が備える洗浄ツール支持部に揺動自在に支持させた状態で、前記洗浄ツールから前記圧縮空気を噴射させて前記ノズル保持具に保持させた前記ノズルを洗浄するノズル洗浄工程とを含み、
前記ノズル洗浄工程において、作業者の前記洗浄ツールの保持姿勢に応じて前記圧縮空気の噴射方向を自在として前記ノズルを洗浄することを特徴とするノズル洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品実装装置が備える部品吸着用のノズルを洗浄するノズル洗浄システム及びノズル洗浄方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装装置は部品吸着用のノズルを備えており、このノズルにより部品を吸着して基板に装着する。ノズルの内部管路は真空圧の通路であり、使用によって内壁にごみ等の異物が付着するので、ノズルは定期的に洗浄する必要がある。ノズルの洗浄には洗浄用の液体を混合した圧縮空気（混合圧縮空気と称する）を噴射する洗浄ツールが用いられ、作業者は一方の手で洗浄ツールの混合圧縮空気の噴射操作を行い、他方の手で保持したノズルの洗浄対象部位（ノズルの内部管路）に混合圧縮空気を吹き付けて当該部位を洗浄する（例えば特許文献１）。また、このような洗浄ツールを用いず、洗浄対象とするノズルを筐体内にセットして超音波等で洗浄するノズル洗浄装置も知られている（例えば特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１７０９１２号公報
【特許文献２】特開２０１０−２６９２１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記前者の洗浄ツールを用いたノズルの洗浄では、簡便にノズルの洗浄を行うことができる利点はあるものの、一方の手で比較的重量のある洗浄ツールを保持し、かつ操作する必要があるため、作業性がよくないうえ、ノズルをひとつずつしか洗浄できないため、複数のノズルを連続的に洗浄する場合には作業者は大きな疲労感を覚えていた。また、後者のノズルを超音波等で洗浄するノズル洗浄装置では、複数のノズルを同時に洗浄できる利点はあるものの、装置が大型化してしまい設置スペースが限られるうえ、洗浄に要する時間が長く高価であるためコスト的に不利であるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、作業者が疲労感を覚えることなく簡便に作業を行うことができ、コスト的にも有利なノズル洗浄システム及びノズル洗浄方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載のノズル洗浄システムは、部品実装装置が備える部品吸着用のノズルを洗浄するノズル洗浄システムであって、洗浄用の液体を混合した圧縮空気を噴射する洗浄ツールと、前記ノズルを保持するノズル保持具と、前記洗浄ツールを支持する洗浄ツール支持部及び前記ノズル保持具を支持するノズル保持具支持部を有した作業台とを備え、前記洗浄ツール支持部は、前記洗浄ツールを揺動自在に支持することにより、作業者の前記洗浄ツールの保持姿勢に応じて前記圧縮空気の噴射方向を自在とした。
【０００７】
請求項２に記載のノズル洗浄システムは、請求項１に記載のノズル洗浄システムであって、前記ノズル保持具は、前記ノズルが嵌挿される嵌挿孔を備えた弾性体及び前記弾性体を前記ノズルの嵌挿方向に対向する両側から挟持し前記嵌挿孔を露出させる開口をそれぞれ備えた一対のプレート部材から成る。
【０００８】
請求項３に記載のノズル洗浄方法は、部品実装装置が備える部品吸着用のノズルを洗浄するノズル洗浄方法であって、ノズル保持具に前記ノズルを保持させるノズル保持工程と、前記ノズル保持具を作業台が備えるノズル保持具支持部にて支持するノズル保持具支持工程と、洗浄用の液体を混合した圧縮空気を噴射する洗浄ツールを前記作業台が備える洗浄ツール支持部に揺動自在に支持させた状態で、前記洗浄ツールから前記圧縮空気を噴射させて前記ノズル保持具に保持させた前記ノズルを洗浄するノズル洗浄工程とを含み、前記ノズル洗浄工程において、作業者の前記洗浄ツールの保持姿勢に応じて前記圧縮空気の噴射方向を自在として前記ノズルを洗浄する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明では、ノズルの洗浄時において、洗浄ツールは作業台の洗浄ツール支持部に支持されて揺動自在であり、作業者の洗浄ツールの保持姿勢に応じて洗浄用の液体を混合した圧縮空気の噴射方向を自在に変えることができるようになっており、また、ノズルは作業台のノズル保持具支持部材に支持させたノズル保持具に保持された状態となっているので、作業者は疲労感を覚えることなく簡便にノズルの洗浄作業を行うことができる。また、安価で省スペースな構成であるのでコスト的にも有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムにより洗浄される吸着ノズルを備えた部品実装装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムの斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムの側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムにより洗浄される吸着ノズルを（ａ）上方から見た斜視図（ｂ）下方から見た斜視図
【図５】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムが備えるノズル保持具の（ａ）斜視図（ｂ）分解斜視図
【図６】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムが備える作業台の斜視図
【図７】本発明の一実施の形態におけるノズル保持具に吸着ノズルを取り付けている状態を示す図
【図８】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムにより吸着ノズルを洗浄している状態を示す図
【図９】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムにより吸着ノズルを洗浄している状態を示す図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるノズル洗浄システムにより吸着ノズルを洗浄している状態を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１に示す部品実装装置１は、上流工程側の装置（例えばスクリーン印刷機や他の部品実装装置）から送られてきた基板２を搬入し、その基板２上の電極部３に部品４を装着して下流工程側の装置（例えば他の部品実装装置やリフロー装置）に搬出する部品実装動作を繰り返し実行する装置であり、図２及び図３に示す本発明のノズル洗浄システム５は、このような部品実装装置１が備える部品吸着用のノズル（後述する吸着ノズル１６）を洗浄するものである。
【００１２】
先ず、部品実装装置１について説明する。図１において、部品実装装置１は、基台１１上に設けられた基板搬送コンベア１２、部品供給口１３ａに部品４を供給する複数のパーツフィーダ１３、直交座標ロボットから成るヘッド移動機構１４及びヘッド移動機構１４によって移動される装着ヘッド１５を備えている。基板搬送コンベア１２は作業者ＯＰから見た左右方向（Ｘ軸方向とする）に基板２を搬送し（図中に示す矢印Ａ）、パーツフィーダ１３は作業者ＯＰから見た前後方向（Ｙ軸方向）の基板搬送コンベア１２の手前側（前方）に配置されている。
【００１３】
装着ヘッド１５の下部には複数の吸着ノズル１６が設けられている。各吸着ノズル１６は装着ヘッド１５内に設けられたノズル駆動機構１５ａによって上下方向（Ｚ軸方向とする）への移動（昇降）とＺ軸回りの回動がなされ、装着ヘッド１５内に設けられた吸着動作機構１５ｂによる真空圧供給制御によって部品４を真空吸着する。装着ヘッド１５には撮像視野を下方に向けた基板カメラ１７が取付けられており、基台１１上の基板搬送コンベア１２とパーツフィーダ１３との間の領域には撮像視野を上方に向けた部品カメラ１８が取付けられている。
【００１４】
部品実装装置１は、上流工程側の装置から基板２が送られてきたら、基板搬送コンベア１２によってその基板２を受け取って搬入し、所定の作業位置に位置決めする。そして、装着ヘッド１５を移動させて基板カメラ１７による基板２上のマーク２ｍ（図１）の撮像を行い、得られたマーク２ｍの位置から基板２の位置ずれを求める。基板２の位置ずれを求めたら、パーツフィーダ１３に部品４を供給させる一方、装着ヘッド１５をパーツフィーダ１３の上方に位置させて、部品供給口１３ａに供給された部品４を吸着ノズル１６に真空吸着させる。そして、装着ヘッド１５を移動させて部品カメラ１８の上方を部品４が通過するようにし、部品カメラ１８による部品４の撮像を行って吸着ノズル１６に対する部品４の位置ずれ（吸着ずれ）を求める。部品４の吸着ずれを求めたら装着ヘッド１５を基板２の上方に位置させ、吸着ノズル１６に吸着させた部品４を基板２に接触させて真空吸着を解除し、部品４を基板２に装着する。この部品４の装着時には、求めた基板２の位置ずれと部品４の吸着ずれが修正されるように、基板２に対する吸着ノズル１６の位置補正を行う。このようにして基板２に装着すべき全ての部品４の装着が終わったら、基板搬送コンベア１２を作動させて基板２を下流工程側の装置に搬出する。
【００１５】
次に、ノズル洗浄システム５について説明する。ノズル洗浄システム５は、図２及び図３に示すように、洗浄用の液体を混合した圧縮空気（混合圧縮空気Ａｒ）を噴射する洗浄ツール２１と、複数の吸着ノズル１６を保持するノズル保持具２２と、洗浄ツール２１及びノズル保持具２２を支持する作業台２３から成る。
【００１６】
図２及び図３において、洗浄ツール２１は、作業者ＯＰが一方の手ＨＲで把持する把持部３１ａを備えた本体部３１と、本体部３１から突出した突出部３２の先端に設けられて内部に混合圧縮空気Ａｒの噴射ための空気管路を備えた噴射部３３と、本体部３１から下方に延びて設けられて作業者ＯＰによって操作（把持部３１ａに近づける操作）される操作部３４を有して成り、噴射部３３から垂下して設けられたタンク取付け部３３ａには洗浄用の液体を収容した洗浄液タンク３５が着脱自在に取り付けられている。洗浄ツール２１のタンク取付け部３３ａにはコック３３Ｃが設けられており、このコック３３Ｃを操作することで、洗浄液タンク３５と噴射部３３内の空気通路との間を連通状態と連通遮断状態との間で切り替えることができる。
【００１７】
図２及び図３において、作業者ＯＰが洗浄ツール２１の把持部３１ａを把持した状態で操作部３４を操作すると、本体部３１に繋がる圧縮空気供給路３６を通って供給された混合圧縮空気Ａｒが噴射部３３から放出される。この際、コック３３Ｃを開状態（洗浄液タンク３５と噴射部３３の空気通路との間を連通させる状態）にしておけば、洗浄液タンク３５内の洗浄用の液体がベンチュリ効果によって吸い出されて圧縮空気と混合され、噴射部３３から洗浄用の液体を混合した圧縮空気である混合圧縮空気Ａｒが噴射される。一方、コック３３Ｃを閉状態（洗浄液タンク３５と噴射部３３の空気通路との間の連通を遮断する状態）にしておけば、噴射部３３から洗浄液が混合されない圧縮空気のみが噴射される。
【００１８】
図４（ａ），（ｂ）において、吸着ノズル１６は、端部に部品４と接触する吸着口５１ａを有したノズル本体部５１及びノズル本体部５１に繋がり装着ヘッド１５に装着されるヘッド装着部５２を有している。また、ノズル本体部５１とヘッド装着部５２の間には鍔状部５３が設けられており、鍔状部５３のノズル本体部５１側の面は部品カメラ１８から発せられる光を反射する光反射面５４となっている。
【００１９】
図５（ａ），（ｂ）において、ノズル保持具２２は、吸着ノズル１６のノズル本体部５１が嵌挿される複数の嵌挿孔４１ａをマトリックス状に有したシート状の弾性体から成る長方形状のノズル保持シート４１と、このノズル保持シート４１を吸着ノズル１６の嵌挿方向に対向する両側から挟持する長方形状の一対のプレート部材４２とを、複数の締結具４３によって締結した構成を有する。各プレート部材４２には、ノズル保持シート４１を挟持した状態でノズル保持シート４１に設けられた複数の嵌挿孔４１ａをそれぞれ露出させる複数の（嵌挿孔４１ａと同数の）開口４２ａが設けられている。本実施の形態では、図５（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル保持シート４１には短辺方向に２つ、長辺方向に６つの嵌挿孔４１ａが設けられており、２つのプレート部材４２にはこれら嵌挿孔４１ａに対応して、短辺方向に２つ、長辺方向に６つの開口４２ａが設けられている。
【００２０】
このように本実施の形態では、ノズル保持具２２は、吸着ノズル１６が嵌挿される嵌挿孔４１ａを備えた弾性体から成るノズル保持シート４１及びこのノズル保持シート４１を吸着ノズル１６の嵌挿方向に対向する両側から挟持し嵌挿孔４１ａを露出させる開口４２ａをそれぞれ備えた一対のプレート部材４２から成っている。ノズル保持シート４１は嵌挿孔４１ａに嵌挿された吸着ノズル１６をしっかりと保持する必要があることから弾性体から成っているが、この弾性体から成るノズル保持シート４１が２枚のプレート部材４２によって挟持されることで、ノズル保持具２２全体としての剛性が保たれる。また、ノズル保持具２２は分解が容易であるので、ノズル保持シート４１が劣化等して交換の必要が生じたときにはその交換作業を迅速に行うことができる。
【００２１】
図６において、作業台２３は吸着ノズル１６の洗浄作業時における作業者ＯＰから見た前後方向に延びる２つの前後方向部材６１ａ及びこれら２つの前後方向部材６１ａと水平面内方向に直交して延びる２つの左右方向部材６１ｂから構成されるノズル保持具支持部６１を４つの縦方向部材（脚部材６２）によって水平姿勢に支持するとともに、４つの脚部材６２を複数の補強部材６３で補強した構成を有している。ノズル保持具支持部６１を構成する２つの前後方向部材６１ａそれぞれの前方（作業者ＯＰが位置する側）の上面には垂直部材６４が立設され、これら２つの垂直部材６４によって、棒状部材から成る洗浄ツール支持部６５の左右両端が支持されている。
【００２２】
次に、上記ノズル洗浄システム５を用いて吸着ノズル１６を洗浄するノズル洗浄作業の手順（ノズル洗浄方法）を説明する。作業者ＯＰは、ノズル洗浄システム５により吸着ノズル１６の洗浄作業を行うときは、先ず、図７に示すように、ノズル保持具２２を作業台２３のノズル保持具支持部６１の上面領域に嵌挿孔４１ａが上下方向を向くように載置したうえで、ノズル保持具２２に吸着ノズル１６を保持させる（ノズル保持工程）。
【００２３】
上記ノズル保持工程では、作業者ＯＰは、図７に示すように、吸着ノズル１６のヘッド装着部５２を指Ｆｇで摘んでノズル本体部５１が下方を向くようにし、ノズル保持具２２の上方からノズル本体部５１をノズル保持具２２の嵌挿孔４１ａに嵌挿させる。嵌挿孔４１ａに嵌挿されたノズル本体部５１はその端部（吸着口５１ａ）をノズル保持具２２の反対側に位置させ、光反射面５４をノズル保持シート４１の表面（上面）に接触させる。すなわちノズル保持具２２は、嵌挿孔４１ａに嵌挿された吸着ノズル１６の光反射面５４にノズル保持シート４１を接触させた状態で吸着ノズル１６を保持する。
【００２４】
作業者ＯＰは、上記のようにしてノズル保持具２２に吸着ノズル１６を保持させたら、ノズル保持具２２を作業台２３のノズル保持具支持部であるノズル保持具支持部６１に支持させる（ノズル保持具支持工程）。具体的には、作業者ＯＰは、洗浄ツール２１を操作する側の手ＨＲとは反対側の手ＨＬによってノズル保持具２２を摘み、その摘んだノズル保持具２２のひとつの長辺を作業台２３のノズル保持具支持部６１の上面に当接させる（図３。図中、ノズル保持具２２を摘んだ手ＨＬは省略）。
【００２５】
作業者ＯＰは、上記のようにしてノズル保持具２２を作業台２３のノズル保持具支持部６１に支持させたら、図８に示すように（図２も参照）、洗浄ツール２１の突出部３２を作業台２３の洗浄ツール支持部６５に上方から当接させて洗浄ツール２１を作業台２３に支持させる（洗浄ツール支持工程）。この状態において、洗浄ツール２１は、突出部３２と洗浄ツール支持部６５との当接部を支点にして上下面内で揺動自在であるので（図８中に示す矢印Ｂ）、混合圧縮空気Ａｒの噴射方向を上下方向に変更することができる。すなわち本実施の形態におけるノズル洗浄システム５において、作業台２３の洗浄ツール支持部６５は、洗浄ツール２１を揺動自在に支持することにより、作業者ＯＰの洗浄ツール２１の保持姿勢に応じて混合圧縮空気Ａｒの噴射方向を自在としたものとなっている。
【００２６】
なお、上記のように突出部３２を洗浄ツール支持部６５に当接させた状態では、本体部３１と洗浄液タンク３５が洗浄ツール支持部６５を挟んで前後に位置するために、作業者ＯＰは洗浄ツール支持部６５上での洗浄ツール２１の重量バランスが取り易く、上記揺動操作を容易に行うことができる。また、把持部３１ａから手を放しても洗浄ツール２１が洗浄ツール支持部６５から脱落（落下）することがないので都合がよい。
【００２７】
作業者ＯＰは、吸着ノズル１６を保持したノズル保持具２２を作業台２３のノズル保持具支持部材であるノズル保持具支持部６１に支持させるとともに、洗浄ツール２１を作業台２３の洗浄ツール支持部６５に支持させたら、図８に示すように、洗浄ツール２１の把持部３１ａを把持した状態で操作部３４の操作を行い、洗浄ツール２１の噴射部３３から混合圧縮空気Ａｒを噴射させつつ、ノズル保持具２２をノズル保持具支持部６１上で前後方向にスライドさせたり（矢印Ｃ）、ノズル保持具支持部６１との当接部を支点として上下方向に揺動（矢印Ｄ）させたりして、洗浄ツール２１の噴射部３３から噴射される混合圧縮空気Ａｒがノズル保持具２２に保持された吸着ノズル１６のノズル本体部５１が正対するようにする（図８中、ノズル保持具２２を摘んだ手ＨＬは省略）。これにより吸着ノズル１６の内部管路に混合圧縮空気Ａｒが吹き付けられ、吸着ノズル１６の内部管路が洗浄液によって洗浄される（ノズル洗浄工程）。
【００２８】
上記ノズル洗浄工程では、作業者ＯＰの洗浄ツール２１の保持姿勢に応じて混合圧縮空気Ａｒの噴射方向を自在として吸着ノズル１６を洗浄する。この際、作業者ＯＰは、洗浄ツール２１の洗浄ツール支持部６５回りの上下方向への揺動姿勢と、洗浄対象となる吸着ノズル１６の位置及びその吸着ノズル１６のノズル本体部５１の向きに応じて、上記のようなノズル保持具２２の前後方向へのスライド、上下方向への揺動を行うほか、洗浄ツール２１の洗浄ツール支持部６５に沿った方向（作業者ＯＰから見た左右方向であり、図８の紙面に垂直な方向）への移動を行う。この吸着ノズル１６の洗浄時において、吸着ノズル１６の光反射面５４はノズル保持具２２のノズル保持シート４１に接触して覆われているので、混合圧縮空気Ａｒが光反射面５４に吹き付けられることはなく、高圧の混合圧縮空気Ａｒが光反射面５４に当たって光反射面５４が損傷を受けることが防止される。
【００２９】
なお、洗浄ツール２１を作業台２３に支持させるにおいて、洗浄ツール２１の突出部３２を作業台２３の洗浄ツール支持部６５に当接させるのではなく、図９に示すように、洗浄ツール２１の噴射部３３から垂下して設けられたタンク取り付け部３３ａの後面（吸着ノズル１６と対向する側の面であり、図９における紙面左側の面）を洗浄ツール支持部６５に当接させ（押し付け）、その当接部を支点に洗浄ツール２１を上下面内で揺動（図中に示す矢印Ｂ）させるようにしてもよい。
【００３０】
上記圧縮空気噴射工程が終了したら、作業者ＯＰは、洗浄液タンク３５から噴射部３３に通ずるコック３３Ｃを閉状態にして操作部３４を操作し、洗浄用の液体が混合しない圧縮空気を吸着ノズル１６に吹き付けて吸着ノズル１６の表面を乾燥させる（乾燥工程）。これにより吸着ノズル１６の洗浄作業は終了する。
【００３１】
以上説明したように、本実施の形態におけるノズル洗浄システム５では、吸着ノズル１６の洗浄時において、洗浄ツール２１は作業台２３の洗浄ツール支持部６５に支持されて揺動自在であり、作業者ＯＰの洗浄ツール２１の保持姿勢に応じて洗浄用の液体を混合した圧縮空気（混合圧縮空気Ａｒ）の噴射方向を自在に変えることができるようになっており、また、吸着ノズル１６は作業台２３のノズル保持具支持部６１に支持させたノズル保持具２２に保持された状態となっているので、作業者ＯＰは疲労感を覚えることなく簡便に吸着ノズル１６の洗浄作業を行うことができる。また、安価で省スペースな構成であるのでコスト的にも有利である。
【００３２】
なお、図１０に示すように、作業台２３のノズル保持具支持部材であるノズル保持具支持部６１の上面の複数箇所に、作業者ＯＰが摘んだノズル保持具２２の前面下縁が接触されるストッパ６１Ｓを設けるようにしてもよい。ノズル保持具２２の前面下縁がストッパ６１Ｓに当接した状態では、作業者ＯＰによって垂直姿勢から傾いた姿勢で保持されるノズル保持具２２がノズル保持具支持部６１上で滑りにくくなるうえ、ノズル保持具支持部６１上での位置固定が容易となるので、作業者ＯＰはより小さい力で、確実に、ノズル保持具２２をノズル保持具支持部６１上に保持することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
作業者が疲労感を覚えることなく簡便に作業を行うことができ、コスト的にも有利なノズル洗浄システム及びノズル洗浄方法を提供する。
【符号の説明】
【００３４】
１  部品実装装置
５  ノズル洗浄システム
１６  吸着ノズル（ノズル）
２１  洗浄ツール
２２  ノズル保持具
２３  作業台
４１  ノズル保持シート（弾性体）
４１ａ  嵌挿孔
４２  プレート部材
４２ａ  開口
６１  ノズル保持具支持部
６５  洗浄ツール支持部
Ａｒ  混合圧縮空気（洗浄用の液体を混合した圧縮空気）
ＯＰ  作業者
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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