(57)【要約】【課題】照明光の反射による反射グレアの無い光学ユニットを提供する。【解決手段】光学ユニット１は、光源２からの光をシールリング１０の複数の異なる面で反射させ、それぞれ異なる光路を介してラインスキャンカメラ７の受光部の互いに異なる領域に結像させ、同時に撮像する。それぞれ異なる光路は、シールリング１０の外周面１０ａで反射された光を伝達する第１の光路ＬＰ１と、シールリング１０の上側面１０ｂで反射された光の光路を折り曲げるプリズムミラー５ａと、外周面１０ａと上側面１０ｂに焦点が同時に合うように、外周面１０ａおよび上側面１０ｂとラインスキャンカメラ７との間の距離の差を補正する光路調整プリズム６ａとを備える第２の光路ＬＰ２とを含み、光路調整プリズム６ａは、光源２から被測定物１０へ照射される光が入射しないように配置される。【選択図】図１
2015040742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と撮像部とを備え、前記光源からの光を被測定物の複数の異なる面で反射させ、それぞれ異なる光路を介して前記撮像部の受光部の互いに異なる領域に結像させ、同時に撮像する光学ユニットであって、
前記それぞれ異なる光路は、
前記被測定物の第１の面で反射された光を撮像部に伝達する第１の光路と、
前記被測定物の第２の面で反射された光の光路を折り曲げる光路折り曲げ手段と、該光路折り曲げ手段と前記撮像部との間に配置され、前記第１の面と前記第２の面に前記撮像部の焦点が同時に合うように、前記第１の面および前記第２の面と前記撮像部との間の距離の差を補正する距離補正手段とを備える第２の光路とを含み、
前記距離補正手段は、前記光源から前記被測定物へ照射される光が入射しないように配置されることを特徴とする光学ユニット。
【請求項２】
前記光路折り曲げ手段は、ミラーにより構成されることを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット。
【請求項３】
前記距離補正手段は、方形プリズムにより構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の光学ユニット。
【請求項４】
前記被測定物と前記撮像部との間に配置され、前記光源からの光の少なくとも一部を前記被測定物側に向けて反射させ、前記被測定物で反射された光を前記撮像部側に向けて透過させるビームスプリッタを備える請求項１〜３の何れか一項に記載の光学ユニット。
【請求項５】
前記光源と前記被測定物との間に配置され、前記光源からの光の少なくとも一部を前記被測定物側に向けて透過させ、前記被測定物で反射された光を前記撮像部側に向けて反射させるビームスプリッタを備える請求項１〜３の何れか一項に記載の光学ユニット。
【請求項６】
前記第２の光路において、前記光路折り曲げ手段は、前記ビームスプリッタと前記被測定物との間に配置され、前記ビームスプリッタからの光を折り曲げて前記被測定物に照射し、該照射により反射された光を前記ビームスプリッタに向けて折り曲げ、前記距離補正手段は、前記ビームスプリッタと前記撮像部との間に配置されることを特徴とする請求項４または５に記載の光学ユニット。
【請求項７】
前記被測定物を固定して回転軸の周りに回転させる回転台を備え、前記被測定物は該回転台に固定された状態で前記回転軸を中心として等方性を有することを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の光学ユニット。
【請求項８】
前記被測定物はリング状の形状を有することを特徴とする請求項７に記載の光学ユニット。
【請求項９】
前記被測定物は樹脂材料より形成されるシールリングであることを特徴とする請求項８に記載の光学ユニット。
【請求項１０】
前記撮像部は、ラインスキャンカメラであることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の光学ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の多数面を同時に撮像することができる光学ユニットに関し、特に、被測定物の表面の外観検査に使用することができる光学ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面不良検査や寸法検査などの被測定物の表面画像検査において、特に小サイズ、かつ、多数の面の検査が必要な場合、１つの撮像装置で多数面を同時に撮像検査できることが望ましい。このため、複数のミラーを用いて検査被測定物の異なる側面の画像を、一つのカメラに結像させて得られた画像を画像処理装置で検査する外観検査の方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、被測定物の正面および上下の側面の３面の画像を同時に撮像するために、正面の画像はカメラに直接入射させ、側面の画像は、光路の折り曲げ用と焦点距離の補正用とを兼ねる台形プリズムを配置して、当該プリズムの内側面で光路を折り曲げてこのプリズム内を通過させ、３面の画像を同一のカメラ上に結像させる方法が知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２４１３６３号明細書
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】「ＣＨＲＯＶＩＴ」，株式会社テクニカル，2013Vol.1.0
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１に開示された方法は、撮像装置の光路に複数のミラーを設けて撮像距離を長くして、被写界深度を深くしている。このようにすることによって、ミラーにより複数の光路を経て撮像されるいずれの画像についても、ピントが合った鮮明な画像を得るようにしている。しかしながら、このような被写界深度の深い光学系では、解像度を高くすることができず、また、空間にミラーを多数配置することにより装置が大型化するという問題点がある。
【０００７】
一方、非特許文献１のプリズムは、被測定物の側面で反射された光を、プリズム内を伝播させることによって、被測定物の正面からの反射光と側面からの反射光との双方に対して、撮像装置の焦点位置が合うように補正することができる。例えば、図４は、非特許文献１に開示されたプリズムを、自動車のトランスミッション等に用いられるシールリングの検査用の光学ユニットに適用した例を示している。
【０００８】
図４の光学ユニット１０１は、光源１０２、ビームスプリッタ１０３、シールリング１１０を固定して回転させる回転台１０４、回転台１０４の上側および下側に配置された台形プリズム１０５ａ，１０５ｂおよびラインスキャンカメラ１０７を備えている。光源１０２を出射した照明光は、ビームスプリッタ１０３によりその一部がシールリング１１０に向けて反射される。この照明光の一部は、シールリング１１０の外周面１１０ａに直接照射される。また、シールリング１１０の外周面１１０ａに対して上側および下側を通る照明光は、それぞれ台形プリズム１０５ａおよび１０５ｂに入射して、該台形プリズム１０５ａおよび１０５ｂの内側面の斜面で反射され約９０度偏向され、シールリング１１０の上側面１１０ｂおよび下側面１１０ｃに照射される。これらの照明光は、シールリング１１０の各表面１１０ａ，１１０ｂおよび１１０ｃで拡散反射される。
【０００９】
シールリング１１０の外周面１１０ａで反射された光の一部は、ビームスプリッタ１０３を透過してラインスキャンカメラ１０７の受光部の垂直方向の中央部の領域に結像する。また、シールリング１１０の上側面１１０ｂおよび下側面１１０ｃで反射された光の一部は、それぞれ、台形プリズム１０５ａ、１０５ｂに入射して、その内側面の斜面により再び反射して９０度偏向され、台形プリズム１０５ａ、１０５ｂを出射し、ビームスプリッタ１０３を透過して、ラインスキャンカメラ１０７の受光部内の上部または下部の領域に結像する。
【００１０】
ここで、台形プリズム１０５ａおよび１０５ｂは、上記反射光を反射させる斜面からビームスプリッタ１０３の方向へ光軸に沿って延びる部分によって、シールリング１１０の外周面１１０ａから直接ラインスキャンカメラ１０７に至る距離と、上側面１１０ｂおよび下側面１１０ｃから台形プリズム１０５ａおよび１０５ｂを通りラインスキャンカメラ１０７に至る距離との差を補正する。このため、ラインスキャンカメラ１０７は、シールリング１１０の各面１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃに同時に焦点を合わせることができ、回転台１０４を回転させつつラインカメラ１０７で画像検出をする際に、解像度の高い画像を取得することが可能になる。
【００１１】
しかしながら、上記の光路の折り曲げと距離の補正とを同時に行う台形プリズム１０５ａ、１０５ｂを用いる方法では、光源１０２からの光が、台形プリズム１０５ａ、１０５ｂに入射する際に、その一部が台形プリズム１０５ａおよび１０５ｂの背面で反射され、その反射光が反射グレアとなり、ラインスキャンカメラ１０７により検出されてしまうという問題点がある。被測定物１１０が黒色で樹脂製のシールリングのように照明光の反射率が１％未満と極めて小さい場合、ガラスの表面による反射率は例えば４％にもなるため、被測定物の画像が反射グレアに隠れてしまい検出できなくなる。
【００１２】
この問題を避けるためには、例えば、台形プリズム１０５ａ、１０５ｂの照明光の入射する背面（ビームスプリッタ１０３側の面）に反射防止膜を設けたり、台形プリズム１０５ａ、１０５ｂの背面を傾け、照明光の反射光がラインスキャンカメラ１０７に入射しないようにしたりすることが考えられる。しかし、反射防止膜を設ける方法では、反射を完全に無くすことはできず不十分である。また、台形プリズム１０５ａ，１０５ｂの背面を傾ける方法では、台形プリズム１０５ａ，１０５ｂ内を通る反射光の光路によって、台形プリズム１０５ａ，１０５ｂ内での光路長が変わってしまい、撮像時に焦点位置のズレを生じないように調整することが難しくなる。このため、被測定物を検出する位置によって解像度が低下する虞がある。
【００１３】
したがって、これらの点に着目してなされた本発明の目的は、照明光の反射による反射グレアの無い、高解像度で被測定物を撮像できる光学ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成する光学ユニットの発明は、
光源と撮像部とを備え、前記光源からの光を被測定物の複数の異なる面で反射させ、それぞれ異なる光路を介して前記撮像部の受光部の互いに異なる領域に結像させ、同時に撮像する光学ユニットであって、
前記それぞれ異なる光路は、
前記被測定物の第１の面で反射された光を撮像部に伝達する第１の光路と、
前記被測定物の第２の面で反射された光の光路を折り曲げる光路折り曲げ手段と、該光路折り曲げ手段と前記撮像部との間に配置され、前記第１の面と前記第２の面に前記撮像部の焦点が同時に合うように、前記第１の面および前記第２の面と前記撮像部との間の距離の差を補正する距離補正手段とを備える第２の光路とを含み、
前記距離補正手段は、前記光源から前記被測定物へ照射される光が入射しないように配置されることを特徴とするものである。
【００１５】
好適には、前記光路折り曲げ手段は、ミラーにより構成される。また、前記距離補正手段は、方形プリズムにより構成される。光路折り曲げ手段としてミラーを用いることができる。
【００１６】
また、前記被測定物と前記撮像部との間に配置され、前記光源からの光の少なくとも一部を前記被測定物側に向けて反射させ、前記被測定物で反射された光を前記撮像部側に向けて透過させるビームスプリッタを備えることが好ましい。あるいは、前記光源と前記被測定物との間に配置され、前記光源からの光の少なくとも一部を前記被測定物側に向けて透過させ、前記被測定物で反射された光を前記撮像部側に向けて反射させるビームスプリッタを備えることが好ましい。光源からの光および被測定物による反射光を、ビームスプリッタを用いて反射または透過させることによって、光学系を小型に構成することができる。
【００１７】
さらに好適には、前記第２の光路において、前記光路折り曲げ手段は、前記ビームスプリッタと前記被測定物との間に配置され、前記ビームスプリッタからの光を折り曲げて前記被測定物に照射し、該照射により反射された光を前記ビームスプリッタに向けて折り曲げ、前記距離補正手段は、前記ビームスプリッタと前記撮像部との間に配置される。このような構成により、ビームスプリッタと光路折り曲げ手段とを組み合わせることによって、被測定物の各面に照明光を均等に照射することが容易になる。また、距離補正手段が照明光の通過しないビームスプリッタの撮像部側の領域に配置され、照明光の光路と完全に分離することができる。
【００１８】
前記被測定物を固定して回転軸の周りに回転させる回転台を備え、前記被測定物は該回転台に固定された状態で前記回転軸を中心として等方性を有し、特にリング状の形状を有することが好ましい。  回転台を用いて被測定物を固定し、等方性の形状、特にリング状の被測定物を回転させながら、撮像を行うことによって、被測定物の３６０度全周に渡る測定を高速に行うことが可能になる。
【００１９】
好適には、前記被測定物は樹脂材料より形成されるシールリングである。樹脂材料より形成されるシールリングは、反射率が極めて低いので、本発明による反射グレアの除去の効果が大きい。
【００２０】
前記撮像部は、ラインスキャンカメラを用いることが好ましい。ラインスキャンカメラを用いることによって、高い分解能を得ることができ、スキャン方向に継ぎ目の無い画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、光路折り曲げ手段と距離補正手段を個別に設け、距離補正手段を、光源から被測定物へ照射される光が入射しないように配置にしたので、距離補正手段の撮像部側の面により照明光が反射して反射グレアを生じることを抑止することができ、高解像度で被測定物を撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１実施の形態に係る光学ユニットの概略構成図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面図である。
【図２】光路調整プリズムによる光路の調整を説明する図である。
【図３】第２実施の形態に係る光学ユニットの概略構成図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図である。
【図４】従来技術による光学ユニットの概略構成図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００２４】
（第１実施の形態）
図１は、第１実施の形態に係る光学ユニット１の概略構成図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は正面図である。この装置は、自動車のトランスミッション等に用いられるシールリングの外観検査用の光学ユニットである。シールリングは、黒色の樹脂製のリングであり、非常に反射率が低いという特徴を有する。また、シールリングはリング状で、外周面、上側面および下側面を含む複数の面を有し、垂直断面は矩形や台形などの形状を有する。
【００２５】
図１の光学ユニット１は、光源２、ビームスプリッタ３、シールリング１０（被測定物）を固定して回転させる回転台４、回転台４の外周部の１箇所において、上側および下側に配置されたプリズムミラー５ａ，５ｂ（光路折り曲げ手段）、光路調整用プリズム６ａ，６ｂ（距離補正手段）およびラインスキャンカメラ７（撮像部）を備えている。回転台４は図示するように、上部にシールリング１０を取り付ける円盤状部分を有し、この円盤状部分に取り付けた状態で、シールリング１０を水平面内で回転させることができる。回転台４の円盤状部分は半径方向に張り出している。
【００２６】
光源２は、シールリング１０の幅に対して比較的幅の広い照明光を出射する単色光源や白色光源などである。具体的には、ＬＥＤやその他公知の光源を使用することができる。光源２を出射した照明光の一部（図１において実線で示す）は、ビームスプリッタ３でシールリング１０に向けて略直角に反射され、シールリング１０の外周面１０ａに照射される。また、シールリング１０の外周面１０ａに対して上側および下側を通る照明光は、ビームスプリッタ３で略直角に反射された後、それぞれプリズムミラー５ａおよび５ｂで反射され垂直方向に約９０度偏向して、シールリング１０の上側面１０ｂおよび下側面１０ｃに照射される。プリズムミラー５ａ，５ｂは、直角プリズムの斜面を反射面としたものである。プリズムミラー５ａ，５ｂに代えて、平板状のミラーを配置しても良い。シールリング１０の各面１０ａ，１０ｂ，１０ｃに照射された照明光は、シールリング１０の各面１０ａ，１０ｂ，１０ｃで拡散反射される。
【００２７】
シールリング１０の外周面１０ａで反射された光の一部は、ビームスプリッタ３を透過してラインスキャンカメラ７の受光部の垂直方向の中央部の領域に至る第１の光路ＬＰ１を通り結像する。また、シールリング１０の上側面１０ｂおよび下側面１０ｃで反射された光の一部は、それぞれ、プリズムミラー５ａ、５ｂの斜面で反射され再び９０度偏向され、ビームスプリッタ３を透過し、光路調整プリズム６ａ、６ｂを透過して、ラインスキャンカメラ７の上部及び下部に至る第２および第３の光路ＬＰ２，ＬＰ３を通り受光部上に結像する。したがって、シールリング１０の外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃは、それぞれラインスキャンカメラ７の受光部の異なる領域に結像される。
【００２８】
光路調整プリズム６ａ，６ｂは方形プリズムであり、シールリング１０の上側面１０ｂまたは下側面１０ｃから反射された光は、光路調整プリズム６ａ，６ｂの長手方向の一端の面から入射し、この光路調整プリズム６ａ，６ｂ内を長手方向に進み、他方の面から出射する。光路調整プリズム６ａ，６ｂは、ビームスプリッタ３のラインスキャンカメラ７側に配置されるので、光源２からの照明光の光路と重なっていない。したがって、光路調整プリズム６ａ，６ｂには、シールリング１０による反射光のみが通過する。
【００２９】
光路調整プリズム６ａ，６ｂは、シールリング１０の外周面１０ａで反射され直接ラインスキャンカメラ７に至る光路ＬＰ１と、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃで反射されプリズムミラー５ａ，５ｂにより光路を折り曲げられ、光路調整プリズム６ａおよび６ｂを通りラインスキャンカメラ７に至る第２および第３の光路ＬＰ２，ＬＰ３との距離の違いにより、ラインスキャンカメラ７の焦点位置のずれが生じないように、光路を調整するために設けたものである。
【００３０】
図２は、光路調整プリズム６ａ，６ｂによる光路の調整を説明する図である。この図は、光路を折り曲げるプリズムミラー５ａ，５ｂを省略し、シールリング１０の上側面１０ｂおよび下側面１０ｃとラインスキャンカメラ７との間の光路を直線的に示している。シールリング１０の上側面１０ｂまたは下側面１０ｃの１点で反射された光は、実線で示すように拡散光となる。これを、ラインスキャンカメラ７から見ると、見かけ上実際の距離よりも近い点Ｐから光が拡散されるように見える。すなわち、光路調整プリズム６ａ，６ｂを挿入することによって、シールリング１０の上側面１０ｂおよび下側面１０ｃの、ラインスキャンカメラ７から見た見かけ上の距離を、実際よりも短くすることができる。
【００３１】
見かけ上の距離は、光路調整プリズム６ａ，６ｂの長手方向の長さにより変化するので、シールリング１０の外周面１０ａで反射され直接ラインスキャンカメラ７に至る光路と、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃから光路調整プリズム６ａおよび６ｂを通りラインスキャンカメラ７に至る光路のラインスキャンカメラからの見かけ上の距離とが略等しくなるように、光路調整プリズム６ａ，６ｂの長手方向の長さが決められる。光路調整プリズム６ａ，６ｂの長手方向の長さは、光路調整プリズム６ａ，６ｂの材料の屈折率に基づいて、周知の方法で計算した値を設定することができる。
【００３２】
また、上記説明の視点を変えれば、光学ユニット１の光学系の焦点位置がＰにあるときに、光路調整プリズム６ａ，６ｂを光路上に設けることによって、焦点距離をシールリングの上側面１０ｂ，下側面１０ｃの位置まで伸ばすことができる。従って、ラインスキャンカメラ７から上側面１０ｂ，下側面１０ｃまでの距離に応じて、適切な長さの光路調整プリズム６ａ，６ｂを光路上に設けることによって距離の差を補正し、ラインスキャンカメラ７の焦点位置を、シールリング１０の外周面１０ａ，上側面１０ｂおよび下側面１０ｃに同時に合わせることができる。
【００３３】
以上のような構成により、回転台４を回転させつつラインスキャンカメラ７で、シールリング１０の外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃに同時に焦点を合わせて、これら外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃの画像を同時に撮像することができる。したがって、外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃのいずれにおいても、高解像度の撮像が可能になる。また、光路を折り曲げるプリズムミラー５ａ，５ｂと、距離を補正する光路調整プリズム６ａ，６ｂとを、それぞれ別個の素子により構成し、シールリング１０を照射する光源２からの光は、光路調整プリズム６ａ，６ｂを通らないように配置されているので、照明光の反射による反射グレアの影響が無く、シールリングのように黒色系の樹脂製品で表面反射率が極端に低い被測定物に対しても、良好な画像を得ることができる。
【００３４】
さらに、このようにしてラインスキャンカメラ７で取得したシールリング１０の外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃの画像データは、図示しない画像処理装置に転送され、欠陥や不良品の検出を行う。したがって、本発明の光学ユニット１を用いることにより、欠陥や不良品の検出精度を高めることができる。
【００３５】
なお、上記光学ユニットの実施形態では、シールリング１０とラインスキャンカメラ７との間にビームスプリッタ３を配置し、これらを結ぶ方向と直交する方向に光源２を配置したが、光学ユニット１の光学系の配置はこれに限られない。光源２とシールリング１０との間にビームスプリッタ３を配置し、ビームスプリッタ３を透過した照明光がシールリング１０で反射され、さらにビームスプリッタ３でラインスキャンカメラ７側に反射される構成とすることもできる。
【００３６】
（第２実施の形態）
図３は、第２実施の形態に係る光学ユニット１１の概略構成図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図である。第２実施の形態は、第１実施の形態において、ビームスプリッタ３を設けず、光源２に代えてリング照明１２を光路調整プリズム６ａ，６ｂと回転台４との間に設けたものである。リング照明１２は、例えば白色ＬＥＤをリング状に配置して構成され、回転台４に固定された状態でシールリング１０の外周面１０ａに対して、リングの中心軸線を向けて配置される。リング照明１２のリングの内側は中空になっており、この部分をシールリング１０で拡散反射された光が通過することができる。リング照明１２の位置や大きさ等は、ラインスキャンカメラ７で撮像されるシールリング１０の外周面１０ａ、上側面１０ｂおよび下側面１０ｃが、均等に照明されるように決定される。また、リング照明１２は、シールリング１０に向けて光を照射し、背面の光路調整プリズム６ａ，６ｂ側には光を発しない。あるいは、必要に応じリング照明１２の光が、光路調整プリズム６ａ，６ｂに入射しないように、図示しない遮光壁を設けても良い。その他の構成は、第１実施の形態と同様であるので、同一構成要素には同一参照符号を付して説明を省略する。
【００３７】
以上のような構成によって、回転台４を回転させながら、リング照明１２によりシールリング１０の外周面１０ａ，上側面１０ｂおよび下側面１０ｃを照明して、これら各面による拡散反射をリングの中空部を通過させ、第１実施の形態と同様に、ラインスキャンカメラ７により、同一のカメラにより同時に撮像することができる。その際、第１実施の形態と同様に、上側面１０ｂによる反射光は光調整プリズム６ａを通り、下側面１０ｃによる反射光は光調整プリズム６ｂを通る。本実施の形態によれば、リング照明１２を用いたことで、より単純な光学ユニット１１の構成とすることができる。また、第１実施の形態と同様に、リング照明１２を出射してシールリング１０を照射する光は、光路調整プリズム６ａ，６ｂに入射しないように配置されているので、反射グレアの影響が無く、シールリングのように黒色系の樹脂製品で表面反射率が極端に低い被測定物に対しても、良好な画像を得ることができる。
【００３８】
なお、本発明は、上記実施の形態にのみ限定されるものではなく、幾多の変形または変更が可能である。たとえば、被測定物はシールリングに限られず、種々の測定対象に適用することができる。また、光路調整プリズムの形状は、方形プリズムに限られず、焦点距離を調整するのに適切な形状や厚みを有していれば良く、円柱状やプリズム内での反射を利用する他の形状とすることもできる。さらに、撮像部はラインスキャンカメラに限られず、エリアカメラ等を用いることができる。
【符号の説明】
【００３９】
１，１１    光学ユニット
２    光源
３    ビームスプリッタ
４    回転台
５ａ，５ｂ    プリズムミラー
６ａ，６ｂ    光路調整プリズム
７    ラインスキャンカメラ
１０    シールリング
１２    リング照明
１０１    光学ユニット
１０２    光源
１０３    ビームスプリッタ
１０４    回転台
１０５ａ，１０５ｂ    台形プリズム
１０７    ラインスキャンカメラ
【図１】
2015040742.tif 000003
【図２】
2015040742.tif 000004
【図３】
2015040742.tif 000005
【図４】
2015040742.tif 000006