(57)【要約】【課題】空気中の水分が内部に浸入するのをより確実に抑制するとともに、小型で製造コストを抑えた積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】圧電素子１０と、伝達部材４と、外装樹脂３を備え、圧電素子１０は１層以上の圧電セラミック層１と、複数の内部電極２を交互に積層し、印加電圧に応じて変位するよう構成する。また、圧電素子１０の変位量を伝達する伝達部材４は、圧電素子１０の変位方向の両端面に配置され、伝達部材の圧電素子１０との接合面４１は、圧電素子１０の端面に内包される形状とし、伝達部材４の側周部４２の少なくとも一部と圧電素子１０を外装樹脂３で被覆した構成とする。【選択図】図１
2015233061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１層以上の圧電セラミックス層と複数の内部電極を交互に積層し、印加電圧に応じて変位するよう構成した圧電素子と、
前記圧電素子の変位方向の端面と接合する面および該接合する面を囲む側周部を備えてなる、前記圧電素子の変位量を伝達する伝達部材と、
前記伝達部材の前記側周部の少なくとも一部と前記圧電素子を被覆する外装樹脂を有し、
前記伝達部材の接合する面は、前記圧電素子の端面に内包される形状を有することを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
【請求項２】
前記圧電素子の変位方向に垂直な方向における前記伝達部材の最大断面は、前記圧電素子の端面に内包される形状を有することを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記伝達部材は複数の伝達小片が前記圧電素子の変位方向に積層されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記圧電素子の変位方向に垂直な方向における前記伝達小片の断面形状は、隣接する他の前記伝達小片の前記垂直な方向における断面形状と異なることを特徴とする請求項３に記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記伝達部材の前記側周部は粗面化されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記伝達部材は前記圧電素子の変位方向の端面に凸部を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項７】
前記伝達部材は前記圧電素子の変位方向の端面に凹部を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の積層型圧電アクチュエータと、
前記積層型圧電アクチュエータの変位が伝達される被駆動体とからなることを特徴とする積層型圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電圧を加えて変位や力を発生する積層型圧電アクチュエータに関し、特に高湿度環境下において好適な積層型圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電材料の部材に電極を形成してなる圧電アクチュエータは、電極に電圧を加えると圧電材料の部材が伸縮することで変位が得られる。
【０００３】
圧電アクチュエータの中でも圧電材料を積層して形成する積層型圧電アクチュエータは、微細な機械的変位を高速で制御することが可能であることから、精密位置決め機構などに利用されている。また、駆動電圧に比して高い駆動力が得られるため、デジタルカメラのフォーカス制御などに利用されている。
【０００４】
従来の積層型圧電アクチュエータの一例として、特許文献１に開示された構成がある。特許文献１では、圧電材料または電歪材料と、内部電極からなる積層体の変位方向に垂直な少なくとも一方の面に金属、セラミックおよび高弾性率を有する有機高分子材料のいずれかからなる取り付け部材を有し、この取り付け部材の変位方向に垂直な断面の寸法を、外装樹脂によって覆われた部分の外装樹脂を含む断面寸法よりも大きくすることで、変位発生面における外装樹脂とセラミックの境界からの湿気の浸入を防止する技術が開示されている。
【０００５】
また、他の例として特許文献２に開示された構成がある。特許文献２では、積層圧電素子の変位発生方向の両端面部分を金属キャップで覆うように密着して固定し、積層圧電素子と金属キャップの端部を樹脂でモールドして、内部にある積層圧電素子を封止することで、耐湿性等の耐環境特性を向上させる技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０４−３４３２８２号公報
【特許文献２】実開平０１−１０８９５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に開示された技術は、取り付け部材と外装樹脂との境界を積層体の変位方向に平行な側面、すなわち内部電極層の露出部または外部電極が配された側面に設けた構成となっている。そのため、高湿度環境下で用いた場合に、空気中の水分が内部電極層または外部電極に到達しやすく、内部電極層または外部電極間でマイグレーションが発生し、短絡不良または絶縁抵抗の低下が生じる場合がある。
【０００８】
また、特許文献２に開示された技術は、金属キャップ、柔軟性のある樹脂、耐湿性を有する樹脂と、３層で被覆することで耐湿性を向上させているため小型化が難しく、材料費増および工数増から製造コストがかかるという課題がある。
【０００９】
また、積層圧電素子の変位発生方向の両端面部分を覆うように金属キャップを加工する必要があるため、金属キャップの形状が複雑なほど加工工数が必要となり、製造コストがさらにかかるという課題がある。
【００１０】
そこで本発明は、空気中の水分が内部に浸入するのをより確実に抑制するとともに、小型で製造コストを抑えた積層型圧電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明の積層型圧電アクチュエータは、１層以上の圧電セラミックス層と複数の内部電極を交互に積層し、印加電圧に応じて変位するよう構成した圧電素子と、前記圧電素子の変位方向の端面と接合する面および該接合する面を囲む側周部を備えてなる、前記圧電素子の変位量を伝達する伝達部材と、前記伝達部材の前記側周部の少なくとも一部と前記圧電素子を被覆する外装樹脂を有し、前記伝達部材の接合する面は、前記圧電素子の端面に内包される形状を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の前記圧電素子の変位方向に垂直な方向における前記伝達部材の最大断面は、前記圧電素子の端面に内包される形状を有することが望ましい。
【００１３】
また、本発明の伝達部材は複数の伝達小片が前記圧電素子の変位方向に積層されてなることが望ましい。
【００１４】
また、本発明の前記圧電素子の変位方向に垂直な方向における前記伝達小片の断面形状は、隣接する他の前記伝達小片の前記垂直な方向における断面形状と異なることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の前記伝達部材の前記側周部は粗面化されていることが望ましい。
【００１６】
また、本発明の前記伝達部材は前記圧電素子の変位方向の端面に凸部を有することが望ましい。
【００１７】
また、本発明の前記伝達部材は前記圧電素子の変位方向の端面に凹部を有することが望ましい。
【００１８】
本発明の積層型圧電装置は、本発明の積層型圧電アクチュエータと、前記積層型圧電アクチュエータの変位が伝達される被駆動体とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、空気中の水分の浸入口である伝達部材と外装樹脂との界面を、圧電素子の側面、すなわち内部電極が露出、または外部電極が設けられる面とは異なる面に設けることにより、簡略な構成で空気中の水分の浸入をより抑制できる。また、このように構成することにより空気中の水分が内部に浸入した際の浸入経路を長くすることも可能となり、外装樹脂と伝達部材の界面および外装樹脂と圧電素子との界面を伝って空気中の水分が内部に浸入することをより確実に防止できる。
【００２０】
以上のことより、空気中の水分が内部に浸入するのをより確実に抑制するとともに、小型で製造コストを抑えた積層型圧電アクチュエータが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第１の実施の形態を示す断面図である。
【図２】本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第２の実施の形態を示す断面図である。
【図３】本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第３の実施の形態を示す断面図である。
【図４】本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第４の実施の形態を示す断面図である。
【図５】本発明の第５の実施の形態による積層型圧電装置を示す断面図である。
【図６】本発明の第６の実施の形態による積層型圧電装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００２３】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第１の実施の形態を示すもので、積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図１に示すように、本発明の積層型圧電アクチュエータ１０１は、圧電素子１０と、伝達部材４と、外装樹脂３を備え、圧電素子１０は圧電セラミックス層１と複数の内部電極２を交互に積層して形成する。内部電極２の一端は一層おきに対向電極となるよう、積層方向に平行な側面に露出させ、一対の外部電極（図示せず）と電気的に接続して圧電素子１０を形成する。
【００２４】
ここで、本実施の形態では複数の圧電セラミックスと複数の内部電極を交互に積層して、圧電素子１０を形成しているが、圧電素子１０の構成に特に制限はなく、１層以上の圧電セラミックス層１と複数の内部電極２を交互に積層し、印加電圧に応じて変位するよう構成していればよい。
【００２５】
つまり、圧電材料の粉末、高分子化合物および溶媒からなるスラリーを成膜して得られるグリーンシートに、印刷などで内部電極を形成し、これを積層して圧着した後、焼成し、一対の外部電極と内部電極を接続した構成としてもよい。
【００２６】
また、内部電極２を構成する材料としては、例えば銀パラジウム合金等を用いることができるが、導電性を有する金属材料であればよく、材質を限定するものではない。
【００２７】
伝達部材４は圧電素子１０の変位方向の端面と接合する接合面４１および接合面４１を囲む側周部４２を有し、圧電素子１０の変位方向の両端面に接合面４１を介して各々接着する。接合面４１の形状は、圧電素子１０の変位方向の端面に内包される形状、すなわち、伝達部材４の接合面４１の、圧電素子１０の変位方向に垂直な方向における断面寸法ａが、圧電素子１０の該方向における断面寸法ｂより小さくなるよう形成する。
【００２８】
伝達部材４は、印加電圧に応じて変位した圧電素子１０の変位量を、伝達部材４と接触する被駆動体に効率よく伝達できればよく、例えば、ステンレス鋼等の金属若しくは合金または圧電セラミックス等から適宜選定して形成すればよい。伝達部材４の形成方法に制限はなく、機械加工や放電加工等の一般に用いられる手法を用いて作製すればよい。
【００２９】
また、伝達部材４と圧電セラミックス層１の熱膨張差によって、界面剥離が生じるのを抑制するため、伝達部材４の熱膨張係数は圧電セラミックス層１の熱膨張係数と近いものが望ましい。例えば、インバー等の合金材料やアルミナ等のセラミック材料を用いることができる。
【００３０】
また、外部環境温度が−４０℃〜１００℃の範囲において、本発明の積層型圧電アクチュエータを使用する場合、外部環境温度の変化によって圧電素子１０の変位量が変動するのを抑制できるため、ＳＵＳ３０４またはＳＵＳ４２０Ｊ２等のステンレス鋼を用いることが望ましい。
【００３１】
内部電極の傾きや反り等により圧電素子の変位が不均一となり、変位方向の両端面に偏荷重が発生する場合がある。この場合、金属または合金からなる伝達部材４は、圧電セラミックスからなる伝達部材４に比べて脆性破壊しにくいため、積層型圧電アクチュエータ１０１にクラック等が生じる事を防止できるのでより好ましい。
【００３２】
圧電素子１０の変位方向の端面と伝達部材４の接着方法に制限はなく、例えば、一液性エポキシ樹脂等の接着剤を用いて接着すればよい。
【００３３】
伝達部材４と圧電素子１０を接着した後、伝達部材４の側周部４２の少なくとも一部と、圧電素子１０の変位方向に平行な側面および端面の露出部分を絶縁性の外装樹脂３で被覆して積層型圧電アクチュエータ１０１を得る。
【００３４】
すなわち、圧電素子１０の断面寸法ｂより小さい断面寸法ａを有する伝達部材４の、被駆動体と接触する端面を除き、伝達部材４の側周部４２、すなわち、側面の一部または側面全てを外装樹脂３で被覆することにより、内部電極２が露出または外部電極（図示せず）が設けられている面とは異なる面に外装樹脂３と伝達部材４の界面を設ける。
【００３５】
空気中の水分の浸入口である外装樹脂３と伝達部材４の界面を、内部電極２や外部電極が設けられている面と異なる面に設けることによって、空気中の水分が内部に浸入した際の浸入経路を長くし、外装樹脂３と伝達部材４の界面および外装樹脂３と圧電セラミックス層１との界面を伝って空気中の水分が内部に浸入することをより確実に防止できる。
【００３６】
外装樹脂３は、積層型圧電アクチュエータを使用する環境に応じて適宜選定すればよく、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリプロピレン等のポリオレフィン、ウレタン、ＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂）等を用いることができる。
【００３７】
例えば、高温環境下では、耐熱性を有するポリイミドまたはポリアミド等を用いればよく、高湿度環境下では、水蒸気透過度の低いポリエステルまたはポリオレフィン等を用いればよい。また、圧電セラミックスまたは金属製の伝達部材を用いた場合には、これらの伝達部材と高い密着性を有し、空気中の水分の浸透を抑制するポリアミド、ウレタンまたはポリプロピレン等を用いればよい。
【００３８】
また、外装樹脂３との密着性が向上するため、伝達部材４の側周部４２は粗面化していることが望ましい。外装樹脂３と伝達部材４とが高い密着性を有し、かつ浸入経路をより長くすることで、外装樹脂３と伝達部材４との界面に空気中の水分が浸入するのを抑制し、マイグレーションによる短絡不良または絶縁抵抗の低下を防止できる。
【００３９】
同様に、圧電素子１０の変位方向の端面や外装樹脂で被覆される部分を粗面化することで、圧電素子１０と外装樹脂３との密着性および圧電素子１０と伝達部材４との密着性が向上し、空気中の水分が内部に浸入するのを抑制できる。また、積層型圧電アクチュエータの駆動における圧電素子からの伝達部材の剥離を防止できる。
【００４０】
本発明の積層型圧電アクチュエータは、伝達部材の断面寸法が圧電素子の断面寸法より小さい、すなわち、伝達部材の圧電素子との接合面が、圧電素子の端面に内包される形状であるため、耐湿性を向上させた積層型圧電アクチュエータが得られる。
【００４１】
本発明の伝達部材は第１の実施の形態に示した形状に限らず、伝達部材の接合面が圧電素子の端面に内包される形状であれば、どのような形状でも構わない。
【００４２】
（第２の実施の形態）
図２は本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第２の実施の形態を示すもので、積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図２に示すように、本発明の積層型圧電アクチュエータ１０２の伝達部材６は階段状の段差を有する。伝達部材６の断面寸法は圧電素子１０側が大きくなるよう形成されており、伝達部材６の最大断面寸法ｃは、圧電素子１０の断面寸法ｂよりも小さい。すなわち、伝達部材６の圧電素子の変位方向に垂直な方向における伝達部材６の最大断面は、前記圧電素子の端面に内包される形状を有している。
【００４３】
上記以外は第１の実施の形態と同様とする。なお、伝達部材６の最大断面寸法ｃが圧電素子１０の断面寸法ｂよりも小さければ他の形状であってもよく、たとえば板状体の側面に溝を形成したものであってもよい。
【００４４】
伝達部材６を階段状に形成することにより、空気中の水分が内部に浸入する際の浸入経路が長くなり、外装樹脂３との接着面積も広くなる。このことより、伝達部材６と外装樹脂３の接着強度が向上し、圧電素子１０からの伝達部材６の剥離防止および空気中の水分が内部に浸入するのを抑制できる。
【００４５】
伝達部材６の最大断面が、圧電素子１０の端面に内包される形状であるため、圧電素子の大型化を抑制し、小型で耐湿性を向上した積層型圧電アクチュエータが得られる。
【００４６】
（第３の実施の形態）
図３は本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第３の実施の形態を示すもので、積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図３に示すように、本発明の積層型圧電アクチュエータ１０３の伝達部材５は複数の伝達小片５ａ、５ｂ、５ｃを一群として圧電素子１０の変位方向の一方の端面に積層して構成し、伝達小片５ｄ、５ｅ、５ｆを一群として圧電素子１０の変位方向の他方の端面に積層して構成している。一方の伝達部材５は伝達小片５ａ、５ｂ、５ｃをそれぞれ接着剤等で接着して一体形成し、他方の伝達部材５は伝達小片５ｄ、５ｅ、５ｆをそれぞれ接着して一体形成している。それ以外は第１の実施の形態と同様とする。なお、最大断面寸法を有する伝達小片の断面寸法ｄは、圧電素子の断面寸法ｂよりも小さい。
【００４７】
本実施の形態の伝達部材５は、互いに隣接する伝達小片の断面寸法が異なっており、圧電素子１０の変位方向に垂直な溝を有した形状となっている。つまり、伝達小片５ｂの断面寸法は隣接する伝達小片５ａ、５ｃの断面寸法より小さく、伝達小片５ｅの断面寸法は隣接する伝達小片５ｄ、５ｆの断面寸法より小さい。
【００４８】
互いに隣接する断面寸法が異なる伝達小片、すなわち、異なる断面形状を有する伝達小片を積層して形成することにより、隣接する伝達小片の断面寸法差や形状の違いによる段差や、本実施の形態のような溝が形成される。これにより、外装樹脂３との接着面積が広くなることで接着強度が上がり、伝達部材５からの外装樹脂３の剥離を抑制できる。また、空気中の水分が内部に浸入する際の浸入経路を長くできるため、空気中の水分が内部に浸入するのを抑制できる。
【００４９】
複数の伝達小片を用いて伝達部材を形成する場合、伝達小片は特別な加工を必要とせず、単純な形状の伝達小片を積層することで複雑な構造を有する伝達部材を形成できる。そのため、伝達部材を形成するための特別な加工を行う必要がなく、製造コストを低減できる。
【００５０】
本発明の伝達部材は第２および第３の実施の形態に示した形状に限らず、圧電素子の変位方向に垂直な方向における伝達部材の最大断面が、圧電素子の端面に内包される形状であれば、どのような形状でも構わない。
【００５１】
（第４の実施の形態）
図４は本発明の積層型圧電アクチュエータにおける第４の実施の形態を示す断面図であり、第1から第３の実施の形態で説明した伝達部材であって、図示しない被駆動体と嵌合する凸部を有した伝達部材を備えた積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図４に示すように、本発明の積層型圧電アクチュエータ１０４は、圧電素子１０の変位方向に平行な中心軸である伝達部材７の中心に半球状の凸部８を有している。
【００５２】
本実施の形態では伝達部材の中心に半球状の凸部を形成しているが、伝達部材７の中心に図示しない被駆動体と直接または間接的に嵌合する円錐状の凹部を形成してもよい。また、両端に設けた伝達部材の内の一方の伝達部材にのみ凸部を形成したが、他方の伝達部材の中心にも半球状の凸部を形成してもよく、同様に、双方の伝達部材の各々の中心に円錐状の凹部を形成してもよい。さらに、一方の伝達部材には凸部を形成し、他方の伝達部材には凹部を形成してもよい。
【００５３】
（第５の実施の形態）
本実施の形態では、本発明の積層型圧電アクチュエータと、積層型圧電アクチュエータの変位が伝達される被駆動体を備えた積層型圧電装置について説明する。
【００５４】
図５は本発明の第５の実施の形態による積層型圧電装置を示すものであり、積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図５に示すように、本発明の積層型圧電装置は第４の実施の形態における積層型圧電アクチュエータ１０４と被駆動体１１および被駆動体の支持部１２を備え、被駆動体１１は伝達部材７の凸部８と嵌合する位置に円錐状の凹部１３を有している。
【００５５】
伝達部材７の凸部８と被駆動体１１の凹部１３が嵌合することにより、被駆動体１１に対する圧電素子１０の変位方向の応力が均等になり、変位による傾きが生じにくくなる。
【００５６】
また、被駆動体１１に対する圧電素子１０の変位による傾きを補正でき、内部電極の傾きや反り等により圧電素子１０の変位が不均一となり傾きが生じた場合においても、変位量を効率的に被駆動体１１に伝達できる。これにより、本発明の構成を有する積層型圧電アクチュエータは、双方の伝達部材が被駆動体と面接触している積層型圧電アクチュエータに比べて、圧電素子の変位による傾きが生じた場合にデラミネーションやクラック等の発生を防止できる。
【００５７】
また、本構成とすることにより、積層型圧電アクチュエータ１０４を被駆動体１１に組み込む際、専用冶具や多大な調整工数を必要とせず、積層型圧電アクチュエータ１０４の傾きを最小に抑えて組み込むことができる。
【００５８】
本実施の形態においては、伝達部材７に半球状の凸部８を形成し、被駆動体１１に円錐状の凹部１３を形成したが、凹部凸部を逆に形成してもよい。つまり、伝達部材７の中心に円錐状の凹部を有し、被駆動体１１に半球状の凸部を形成してもよい。
【００５９】
（第６の実施の形態） 
図６は本発明の第６の実施の形態による積層型圧電装置を示すものであり、積層型圧電アクチュエータの変位方向の断面図である。図６に示すように、本発明の積層型圧電装置は、圧電素子１０の変位方向に平行な中心軸である伝達部材１４の中心に円錐状の凹部１５を有した積層型圧電アクチュエータ１０５と、凹部１５と向き合う位置に円錐状の凹部１３を有した被駆動体１１を備え、さらに凹部１５と凹部１３とで形成される空間に接する金属等からなる球体１６を有している。
【００６０】
伝達部材１４の凹部１５と被駆動体１１の凹部１３とで形成される空間に球体１６を介して、伝達部材１４と被駆動体１１とが嵌合し、伝達部材９と被駆動体の支持部１２とが接着することで、積層型圧電アクチュエータの変位量が被駆動体１１に伝達される。
【００６１】
伝達部材１４の凹部１５と被駆動体１１の凹部１３とで形成される空間に接する球体１６を有した構成とすることにより、被駆動体１１に対する圧電素子１０の変位方向の応力が均等になり、変位による傾きが生じにくくなる。また、被駆動体１１に対する圧電素子１０の変位による傾きを補正でき、圧電素子１０の変位による傾きが生じた場合においても、変位量を効率的に被駆動体１１に伝達できる。
【００６２】
第５および第６の実施の形態による積層型圧電装置においては、一方の伝達部材にのみ半球状の凸部または凹部を形成して被駆動体と嵌合する構成としたが、これに限らず、他方の伝達部材にも同様に凸部または凹部を形成してもよい。
【００６３】
また、双方の伝達部材に凸部または凹部を形成する場合、その形状は同一でなくてもよい。例えば、一方の伝達部材と被駆動体には図４に示すように半球状の凸部と円錐状の凹部が形成され、他方の伝達部材と被駆動体の支持部には図５に示すように向き合う円錐状の凹部が形成され、その空間に球体を有することで嵌合していてもよい。
【００６４】
また、伝達部材と被駆動体の支持部等を固定する場合、伝達部材の中心に内壁面がねじ切りされた凹部と、被駆動体の支持部に側面がねじ切りされた凸部を有し、凹部と凸部を螺合して固定してもよい。固定方法は特に制限は無く、積層型圧電アクチュエータと被駆動体とが固定されればよいため、側面がねじ切りされた凸部と内壁面がねじ切りされた凹部は逆に形成されていてもよい。また、伝達部材の中心に内壁面がねじ切りされた凹部と、被駆動体の支持部に内壁面がねじ切りされた貫通孔を有し、貫通孔と伝達部材の凹部にボルト等を通して固定してもよい。
【００６５】
第５および第６の実施の形態では、伝達部材に凸部または凹部を設けた積層型圧電装置について説明したが、第１から第３の実施の形態で説明した積層型圧電アクチュエータの伝達部材を、接着等の通常採用される方法で被駆動体に接続し、積層型圧電装置としても良い。
【００６６】
以上より、空気中の水分が内部に浸入するのを防止することでマイグレーションによる短絡不良または絶縁抵抗の低下を抑制し、製造コストを削減し、小型化を実現した積層型圧電アクチュエータおよびこれを用いた積層型圧電装置が得られる。
【００６７】
以上、本発明の実施例を説明したが、本発明は、上記に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の変更や修正が可能である。すなわち、当業者であれば成し得るであろう各種変形、修正もまた本発明に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【００６８】
１  圧電セラミックス層
２  内部電極
３  外装樹脂
４、５、６、７、９、１４  伝達部材
４１  接合面
４２  側周部
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ、５ｆ  伝達小片
１１  被駆動体
１２  被駆動体の支持部
８  凸部
１３、１５  凹部
１６  球体
１０  圧電素子
１０１、１０２、１０３、１０４、１０５  積層型圧電アクチュエータ
ａ  伝達部材の断面寸法
ｂ  圧電素子の断面寸法
ｃ  伝達部材の最大断面寸法
ｄ  伝達小片の断面寸法    
【図１】
2015233061.tif 000003
【図２】
2015233061.tif 000004
【図３】
2015233061.tif 000005
【図４】
2015233061.tif 000006
【図５】
2015233061.tif 000007
【図６】
2015233061.tif 000008