(57)【要約】【課題】流体の圧力が変化した場合であっても、適切な共振周波数の振動を維持することができ、適切な発電効率を維持できる渦流量計を提供する。【解決手段】流体に渦を発生させる渦発生体３と、渦発生体３に設けられた振動発生体４と、流体の圧力を受ける受圧板２０と、渦発生体３に設けられ、受圧板２０に接続された付勢部と、受圧板２０の第１の方向へのスライド量に対応して、振動発生体４の振動支点を調整する振動支点調整部２２と、を備える。【選択図】図１
2015040797.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体に渦を発生させる渦発生体と、
前記渦発生体に設けられた振動発生体と、
前記流体の圧力を受ける受圧板と、
前記渦発生体に設けられ、前記受圧板に接続された付勢部と、
前記受圧板の第１の方向へのスライド量に対応して、前記振動発生体の振動支点を調整する振動支点調整部と、を備える
ことを特徴とする渦流量計。
【請求項２】
前記振動発生体は、前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在し、
前記振動支点調整部は、前記受圧板の前記第１の方向へのスライド量に対応して、前記振動発生体の振動可能長を変更可能に構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の渦流量計。
【請求項３】
前記振動発生体は、前記振動支点調整部が調整した前記振動発生体の振動支点に対応する固有振動数で振動する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の渦流量計。
【請求項４】
前記振動発生体は、振動子又はダイアフラムである
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の渦流量計。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明に係るいくつかの態様は、渦流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、渦流量計として、ガスなどの流体が流通する流路に配置された渦発生体により渦列（カルマン渦）を発生させて流体振動を生成し、この流体振動の周波数に基づいて流体の流量を測定（算出）する渦流量計が提案され、実用化されている。また、振動体である円柱に流体によって励起される振動をもとに、コイル及び永久磁石を用いた電磁誘導により直接発電を行う振動発電装置が知られている。また、この振動発電装置は、円柱を２つのバネで支持し、流体の力によってそれぞれのバネを伸縮させ、その作用点を変化させることによって、等価剛性を流体の流速に対応して変化させることにより、円柱の機械共振周波数を流速に応じて可変とすることにより、流体の流速が変化しても、カルマン渦周波数と振動体自身が持つ機械共振周波数とが一致する範囲を拡大させることができるようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１５７４３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、引用文献１に記載の振動発電装置は、ばねを含めた円柱状の振動体の等価剛性を変化させるため、周波数の変化範囲が狭くならざるを得ない。更に振動する振動体を支えるばねと等価剛性を決定するばねが同一であり、振動体の振動に伴って等価剛性も変動する可能性があり、適切な発電効率が保たれない可能性が高いという問題があった。
【０００５】
本発明のいくつかの態様は前述の問題に鑑みてなされたものであり、流体の圧力が変化した場合であっても、適切な共振周波数の振動を維持することができ、適切な発電効率を維持できる渦流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る渦流量計は、流体に渦を発生させる渦発生体と、前記渦発生体に設けられた振動発生体と、前記流体の圧力を受ける受圧板と、前記渦発生体に設けられ、前記受圧板に接続された付勢部と、前記受圧板の第１の方向へのスライド量に対応して、前記振動発生体の振動支点を調整する振動支点調整部と、を備えている。
【０００７】
かかる構成によれば、渦振動の振動周波数は、流体の流速に対応して変化する。また、振動発生体の固有振動数も流体の流速に対応して変化する。よって、振動発生体の固有振動数が渦振動の振動周波数に対応するように調整されるので、流体の流速が変化しても高い発電効率を維持することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る渦流量計によれば、流体の圧力が変化した場合であっても、適切な共振周波数の振動を維持することができ、適切な発電効率を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態における渦流量計を説明する正面図である。
【図２】図１に示したＩＩ線矢視方向側面図である。
【図３】図１に示した渦流量計の機能的構成を示すブロック図である。
【図４】図３に示した計測処理部の機能的構成を示すブロック図である。
【図５】図３に示した発電部の機能的構成を示すブロック図である。
【図６】図３に示した電源マネジメント部の機能的構成を示すブロック図である。
【図７】図１に示した渦流量計の流速検出部及び振動検出部が検出した流速、振動部における振動の振動周波数とそれらに基づいて得られる発電量との相関関係を示す図である。
【図８】本発明の第１実施形態における渦流量計の具体的態様を説明する図である。
【図９】本発明の第２実施形態における渦流量計の具体的態様を説明する図である。
【図１０】流体シミュレーションを基に、流体の流速と受圧板のスライド長との関係を計算した結果を示した図である。
【図１１】流体シミュレーションを基に、流体の圧力と受圧板のスライド長との関係を計算した結果を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法などは以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。なお、以下の説明において、図面の上側を「上」、下側を「下」、左側を「左」、右側を「右」という。
【００１１】
［第１実施形態］
図１ないし図７は、本発明の第１実施形態に係る渦流量計１Ａを示すためのものである。図１は、本発明の第１実施形態における渦流量計１Ａを説明する正面図であり、図２は、図１に示したII線矢視方向側面図である。図１および図２に示すように、渦流量計１Ａは、例えばガスなどの被測定流体（以下、単に「流体」という）が流通する流路２ａを形成する流体管２と、流体管２の上方にケース１８と、ハウジング１９と、表示部８と、流体管２とケース１８とを固定するための固定プレート１７とを備えている。さらに、流体管２は、渦発生体３と、渦発生体３に設けられている振動発生体４とを備えている。
【００１２】
流体管２は、短い円筒状の部材である。流体管２の両端には、図１に破線で示すように、流体を流通させる配管１００ａ、１００ｂが接続される。これにより、渦流量計１Ａは、図１に矢印Ａで示す方向に流体が流れる配管１００に設置される。
【００１３】
図１及び図２に示すように、ケース１８の上方には、ハウジング１９が取り付けられている。図示はしないが、ハウジング１９の内部には、後述するメモリ５および中央制御部６などが設けられている。ハウジング１９の開口部１９aには、測定した流体の流量などの各種情報を表示する表示部８が設けられている。
【００１４】
図３は図１に示した渦流量計１Ａの機能的構成を示すブロック図である。図３に示すように、渦流量計１Ａは、メモリ５と、中央制御部６と、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７と、表示部８と、計測処理部１０と、電源マネジメント部１２と、渦発生体３と、振動発生体４とを備える。
【００１５】
渦発生体３は、流体管２の内径よりも長い柱状部材であり、流体管２内にその径方向に横断するように挿入されている。また、渦発生体３は、図１に示すように、固定プレート１７によって流体管２に固定されている。このように構成された渦発生体３は、流路２ａを流通する流体に渦を発生させる。
【００１６】
振動発生体４は、振動部９と、発電部１１とを備える。振動発生体４は、渦発生体３の表面を流体が流れることにより発生する渦により振動部９が振動し、その振動から得られる振動エネルギーに基づき発電部１１で発電する。
【００１７】
メモリ５は、例えば、不揮発性の記憶手段であり、流量の測定前にあらかじめ登録された情報や、流量の測定中に得られた情報などを記憶するためのものである。メモリ５に記憶される情報は、中央制御部６によって書き込まれ、又は、読み出される。
【００１８】
中央制御部６は、例えば、ＣＰＵなどによって構成され、各種の演算を行い、渦式流量計１Ａの動作を制御する。具体的には、中央制御部６は、計測処理部１０により検出された振動部９の振動周波数、流体の圧力、又は、流体の流量示す数字（文字）を表示部８に出力する。さらに、中央制御部６は、メモリ５に記憶された情報に基づいて、所定の文字（メッセージ）を表示部８に出力する。
【００１９】
入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７は、中央制御部６から入力される制御信号、データを電圧信号または電流信号に変換して渦流量計１Ａの外部に出力するためのものである。入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７は、出力端子を含み、当該出力端子に接続された外部機器、例えば、コントローラにアナログ信号を出力する。また、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７は、外部機器から入力される制御信号、データを中央制御部６に出力する。
【００２０】
図４は、図３に示した計測処理部１０の機能的構成を示すブロック図である。計測処理部１０は、機能的に、振動検出部１０１と、圧力検出部１０２や、流速検出部１０３もしくは、温度検出部１０４とを備える。具体的には、振動検出部１０１は、流体による振動部９の振動を検出する。圧力検出部１０２は、流体の圧力を検出する。流速検出部１０３は、流体の流速を検出する。温度検出部１０４は、流体の温度を検出する。
【００２１】
なお、流体の圧力は、渦流量計１Ａの内部にある計測処理部１０の圧力検出部１０２で検出してもいいし、図示はしていないが、渦流量計１Ａの外部に存在するなんらかの圧力検出装置で検出してもいい。したがって、渦発生体３への振動発生体４の最適な設置位置を決定するには、圧力検出部１０２で検出される配管１００ａ、１００ｂ内の流体の圧力（全圧）の変動値に基づいて決定することもできるし、渦発生体１Ａの外部に存在するなんらかの圧力検出装置で検出される流体の圧力（圧力）の変動値に基づいて決定することもできる。
【００２２】
また、予め設計時に流体の流れシミュレーション(３次元計算)で、流体の振動による圧力変動分を予測した上で、渦発生体３への発電デバイス４の最適な設置位置を決定してもよいし、圧力検出装置と併用し、その設置位置の補正を行っても構わない。
【００２３】
図５は、図３に示した発電部１１の機能的構成を示すブロック図である。発電部１１は、機能的に、圧電型発電部１１１と、電磁誘導型発電部１１２と、静電型若しくは静電誘導型発電部１１３とを備える。発電部１１は、図４に示した計測処理部１０の振動検出部１０１により検出される発電デバイス４の振動部９の振動に基づいて、発電し電力を得ることができる。
【００２４】
圧電型発電部１１１は、圧電特性を持つ材料で構成される発電手法が用いられ、材料の種類は特に限定されない。電磁誘導型発電部１１２は、コイル１４と磁石１３で構成される発電手法が用いられ、コイル１４の種類や形状及び磁石の種類や材料及び形状は特に限定されない。静電型若しくは静電誘導型発電部１１３は、電荷を蓄える若しくは蓄えたエレクトレット電極１５と電荷を取り出す集電電極１６として構成される発電手法が用いられ、電荷を蓄える材料や電極材の種類や形状は特に限定されない。なお、これらの発電部は、いずれか１つで構成されてもよいし、各発電方式を併用して構成をしても構わない。また、発電方法や手法及び原理に関しては限定されない。
【００２５】
図６は、図３に示した電源マネジメント部１２の機能的構成を示すブロック図である。電源マネジメント部１２は、電力供給部１２１と、二次電池蓄電部１２２と、一次電池電源供給部１２３と、固定電源部１２４とを備える。
【００２６】
電力供給部１２１は、二次電池蓄電部１２２、一次電池電源供給部１２３、及び、固定電源部１２４において、発電又は蓄電されている電力を、中央制御部６又は計測処理部１０に供給することができる。また、二次電池蓄電部１２２は、例えば、リチウムイオン二次電池などで構成されており、充電及び放電を行うことができる。さらに、一次電池電源供給部１２３は、例えば、マンガン乾電池などで構成されており、放電を行うことができる。またさらに、固定電源部１２４は、商業用電源などで構成されている。なお、電源マネジメント部１２の二次電池蓄電部１２２、一次電池電源供給部１２３、及び、固定電源部１２４はいずれか１つで構成されていてもよく、併用されて構成されてもよい。
【００２７】
図７は、図１に示した渦流量計１Ａの流速検出部１０３及び振動検出部１０１が検出した流速、振動部９における振動の振動周波数ｆｖとそれらに基づいて得られる発電量Ｐとの相関関係を示す図である。図７に示すように、流体の流速Ｖに従って、励起される振動周波数ｆｖは直線的に変化するため、この振動数をパルス信号として検出することで流量（あるいは流速）計として動作可能である。また、発生電力Ｐも流速Ｖに従った値が得られ、本発明の渦流量計１Ａの駆動および信号伝達、例えば、無線による信号の伝送といった用途の補助エネルギーとしても使用可能である。
【００２８】
ここで、図５に示す電源部１１の発電部１１１で生じる発生電力Ｐを得るまでの過程を説明する。まず、渦振動周波数ｆｖはストローハル数Ｓｔという無次元数を用いて、数式１のように表せる。ストローハル数Ｓｔには一定の範囲が存在し、渦振動周波数ｆｖは流速Ｖ（ｍ／ｓ）と渦発生体３のサイズｄ（ｍ）の関数として導出される。
【数１】
2015040797.tif 000003
【００２９】
次に、流体管２の流路２ａの任意の箇所で発生する力Ｆは、数式２に示す流速Ｖに依存する無次元の圧力係数Ｃｐを用いることで算出できる。なお、Ｐｘは任意箇所の圧力（Ｐａ）、Ｐ０は流体入口の印加圧力（Ｐａ）、ρは流体の密度（ｋｇ／ｍ３）である。
【数２】
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【００３０】
次に、振動発生体４の振動部９を片持ち梁状の振動子としてモデル化して説明する。振動子の振幅が最も大きくなるのは、共振周波数ｆｎの周期で振動したときである。共振周波数ｆｎは、数式３に示すように、振動子の長さＬ（ｍ）、振動子材料のヤング率Ｅ、振動子の厚さｔ（ｍ）、流体の密度ρ（ｋｇ／ｍ３）で表すことができる。
【数３】
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【００３１】
次に、共振時の片持ち梁形状振動子の最大変位ＺＭＡＸは、片持ち梁の一般変位式と、数式３で示された共振周波数ｆｎとの関係から数式４が得られる。Ｆは振動子に掛かる力(Ｎ)で、ｍは、振動子の質量（ｋｇ）である。ζは振動子の減衰係数を表す。
【数４】
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【００３２】
次に、流体の中で片持ち振動子が最大変位ＺＭＡＸを起こすために、渦振動周波数ｆｖと共振周波数ｆｎとの関係は数式５で示される。
【数５】
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【００３３】
ここで、数式５の条件を用いて、数式１〜３を数式４へ代入すると、片持ち梁形状の振動子の最大変位ＺＭＡＸは数式６で表される。ｗは、振動子の幅（ｍ）である。
【数６】
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【００３４】
振動子を用いる場合、最大発生応力σＭＡＸにより発生電力Ｐが最大になることが知られている。数式６と最大発生応力σＭＡＸとの関係が数式７で示される。
【数７】
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【００３５】
振動発生体４の一例として、圧電バイモルフの使用を仮定すると、発生電力Ｐは圧電基本式に従う。数式７の最大発生応力σＭＡＸを圧電基本式に適用すると、圧電効果により発生する電荷量が把握可能となる。上記発生電荷量を持つ圧電バイモルフ素子の等価回路を考慮すると、発生電力Ｐの式として以下の数式８が導出される。ｄ３１は圧電ひずみ定数、εは応力一定時の誘電率、Ｃは圧電体の静電容量（Ｆ）、ｔＣは振動子又は圧電体の厚さ（ｍ）、ｋは電気機械結合定数を示しており、ａとｂはそれぞれ定数を示している。
【数８】
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【００３６】
数式８に示されているように、発生電力Ｐは流速Ｖと、振動子の変位Ｚ（Ｃｐ）の関数である。また、振動子の変位Ｚ（Ｃｐ）は流速Ｖとストローハル数Ｓｔによって定まる、渦振動で起きる流体内の圧力変動を示す圧力係数Ｃｐの関数である。
【００３７】
このように、流体の物理定数が発電量に直結しており、流体のエネルギーを発電に用いることが可能となる。よって、本発明の第１実施形態における渦流量計１Ａの計測処理部１０の振動検出部１０１により検出される振動発生体４の振動部９の振動に基づいて、発電し電力を得ることができる。
【００３８】
図８は、本発明の第１実施形態における渦流量計１Ａの具体的態様を説明する図である。図８（ａ）は、流体の圧力が相対的に小さい場合の渦流量計１Ａの概略断面図であり、図８（ｂ）は、その概略斜視図である。また、図８（ｃ）は、流体の圧力が相対的に大きい場合の渦流量計１Ａの概略断面図であり、図８（ｄ）は、その概略斜視図である。
【００３９】
また、図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、渦流量計１Ａは、少なくとも、渦発生体３と、振動発生体４と、受圧板２０と、スプリング２１と、振動発生体４の振動支点を調整する振動支点調整部２２ａと、支持部２３を備えている。
【００４０】
図８（ａ）〜（ｄ）に示すように、受圧板２０が受ける流体の圧力によってスプリング２１が変形し、受圧板２０が第１の方向へスライドし、そのスライド量に対応して、振動支点調整部２２ａは振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動する部分、つまり、振動長が決定され、この振動長に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００４１】
ここで、図８（ａ）（ｂ）より、流体の圧力が相対的に小さい場合を説明する。流体により受圧板２０が圧力を受けると、スプリング２１が変形し、受圧板２０がスライドする。そのスライド量に対応して、振動支点調整部２２ａは振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動する部分、つまり、振動長Ｌ１が決定され、この振動長Ｌ１に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００４２】
次に、図８（ｃ）（ｄ）より、流体の圧力が相対的に大きい場合を説明する。図８（ａ）（ｂ）の場合より、流体の流速が大きくなると、受圧板２０が受ける流体の圧力も大きくなる。よって、図８（ａ）（ｂ）の場合よりもスプリング２１が大幅に変形し、受圧板２０のスライド量も大きくなる。そのスライド量に対応して、振動支点調整部２２ａは振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動する部分、つまり、振動長Ｌ２が決定され、この振動長Ｌ２に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００４３】
図１０は、流体シミュレーションを基に、流体の流速と受圧板２０のスライド長との関係を計算した結果である。また、図１１も同様に、流体の圧力と受圧板２０のスライド長との関係を計算した結果である。図１０及び図１１は、本発明の実施形態の流体に適合する非線形スプリングの一例として不等間隔スプリングを用いると、流体の流速及び圧力とスライド長との関係を満たすことが可能となる。例えば、円錐形や異径組み合わせ等の他の非線形スプリングも適用可能である。
【００４４】
図１０及び図１１に示すように、本発明の実施形態の流体解析から算出される振動発生体４の振動数と、渦流量計１Ａの動作により決定される共振周波数を一致させることにより、流体の流速に従って変化する流体の圧力によって、振動発生体４の振動可能長が自立的に調整される。よって、流体の流速が変化しても常に共振周波数近傍の周波数での振動を維持することが可能となり、適切な発電効率を維持できる。
【００４５】
以上のように、渦振動の振動周波数は、流体の流速に対応して変化する。また、振動発生体の固有振動数も流体の流速に対応して変化する。よって、振動発生体の固有振動数が渦振動の振動周波数に対応するように調整されるので、流体の流速が変化しても高い発電効率を維持することができる。
【００４６】
なお、振動発生体４の振動支点の調整は、図８（ａ）〜（ｄ）に示すように振動発生体４の内側から行ってもよいし、図示はしていないが振動発生体４の外側から行ってもよい。振動発生体４は、カンチレバーなどの振動子に限らずダイアフラムとすることもできる。
【００４７】
［第２実施形態］
図９は、本発明の第２実施形態における渦流量計１Ｂの具体的態様を説明する図である。本発明の第２実施形態は、例えば、受圧板２０のスライドの変化量をスライド方向と直角方向の変位に変換する機構（本実施形態では、一例として、歯車２４）を備える点で、第１実施形態と異なる。
【００４８】
図９（ａ）は、流体の圧力が相対的に小さい場合の渦流量計１Ｂの概略断面図であり、図９（ｂ）は、その概略斜視図である。また、図９（ｃ）は、流体の圧力が相対的に大きい場合の渦流量計１Ｂの概略断面図であり、図９（ｄ）は、その概略斜視図である。
【００４９】
また、図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、渦流量計１Ｂは、少なくとも、渦発生体３と、振動発生体４と、受圧板２０と、スプリング２１と、振動発生体４の振動支点を調整する振動支点調整部であるストッパ２２ｂと、支持部２３と、歯車２４と、可動部２５とを備えている。ここで、振動発生体４は、渦発生体３において、受圧板１９がスライドする方向である第１の方向とは異なる第２の方向に延在している。
【００５０】
図９（ａ）〜（ｄ）に示すように、受圧板２０が受ける流体の圧力によってスプリング２１が変形し、受圧板２０が第１の方向にスライドする。そのスライド量に対応して、歯車２４が回転し、可動部２５上を振動支点調整部であるストッパ２２ｂは第１の方向とは異なる第２の方向へ移動し、振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動可能長、つまり、振動長がされ、この振動長に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００５１】
ここで、図９（ａ）（ｂ）より、流体の圧力が相対的に小さい場合を説明する。流体により受圧板２０が圧力を受けると、スプリング２１が変形し、受圧板２０がスライドする。そのスライド量に対応して、振動支点調整部であるストッパ２２ｂは振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動する部分、つまり、振動長Ｌ１が決定され、この振動長Ｌ１に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００５２】
次に、図９（ｃ）（ｄ）より、流体の圧力が相対的に大きい場合を説明する。流体の流速が大きくなると、受圧板２０が受ける流体の圧力も大きくなる。よって、図９（ａ）（ｂ）の場合よりもスプリング２１が大幅に変形し、受圧板２０のスライド量も大きくなる。そのスライド量に対応して、振動支点調整部であるストッパ２２ｂは振動発生体４の振動支点を調整する。この振動支点により、振動発生体４の振動する部分、つまり、振動長Ｌ２が決定され、この振動長Ｌ２に対応する振動発生体４の固有振動数で振動する。
【００５３】
以上のように、渦振動の振動周波数は、流体の流速に対応して変化する。また、振動発生体の固有振動数も流体の流速に対応して変化する。よって、振動発生体の固有振動数が渦振動の振動周波数に対応するように調整されるので、流体の流速が変化しても高い発電効率を維持することができる。
【００５４】
なお、上述したように本実施形態では、ストッパ２２ｂは複数存在するが、このように複数のストッパを用いることで、より効果的に振動発生体４の振動支点を調整し振動発生体４の振動可能長を変更することができる。よって、より効果的に振動発生体の固有振動数が渦振動の振動周波数に対応するように調整され、流体の流速が変化してもより高い発電効率を維持することができる。
【００５５】
なお、前述の各実施形態の構成は、組み合わせたりあるいは一部の構成部分を入れ替えたりしたりしてもよい。また、本発明の構成は前述の実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えてもよい。
【符号の説明】
【００５６】
１Ａ、１Ｂ…渦流量計
２…流管
２ａ…流路
３…渦発生体
４…振動発生体
５…メモリ
６…中央制御部
７…入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）
８…表示部
９…振動部
１０…計測処理部
１１…発電部
１２…電源マネジメント部
１３…磁石
１４…コイル
１５…エレクトレット（ｅｌｅｃｔｒｅｔ）電極
１６…集電電極
１７…固定プレート
１８…ケース
１９…ハウジング
１９ａ…ハウジングの開口部
２０…受圧板
２１…スプリング
２２ａ…振動支点調整部
２２ｂ…ストッパ
２３…支持部
２４…歯車
２５…可動部
１００ａ、１００ｂ…配管
１０１…振動検出部
１０２…圧力検出部
１０３…流速検出部
１０４…温度検出部
１１１…圧電型発電部
１１２…電磁誘導型発電部
１１３…静電型若しくは静電誘導型発電部
１２１…電力供給部
１２２…二次電池蓄電部
１２３…一次電池電源供給部
１２４…固定電源部 
【図１】
2015040797.tif 000011
【図２】
2015040797.tif 000012
【図３】
2015040797.tif 000013
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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