(57)【要約】【課題】簡易な構成で基板をセンタリングして位置決めする。【解決手段】第１付勢部および第２付勢部に接続され、第１付勢部および第２付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第１付勢部および第２付勢部による付勢力に抗して、ベース板上に載置された基板の第１側面に第１位置決め部材を当接させるとともに第２側面に第２位置決め部材を当接させる第１駆動部と、第３付勢部および第４付勢部の各々に接続され、第３付勢部および第４付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第３付勢部および第４付勢部による付勢力に抗して、ベース板上に載置された基板の第３側面に第３位置決め部材を当接させるとともに第４側面に第４位置決め部材を当接させる第２駆動部とを備える。【選択図】図７
2015061027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に位置する第１側面と第２側面および互いに平行に位置する第３側面と第４側面を有する矩形状の基板が上面に載置されるベース板と、
前記ベース板上に載置された前記基板の前記第１側面に対して接離可能に設けられて前記ベース板の前記上面に対して少なくとも直交方向に延在している第１位置決め部材と、
前記ベース板上に載置された前記基板の前記第２側面に対して接離可能に設けられて前記ベース板の前記上面に対して少なくとも直交方向に延在している第２位置決め部材と、
前記ベース板上に載置された前記基板の前記第３側面に対して接離可能に設けられて前記ベース板の前記上面に対して少なくとも直交方向に延在している第３位置決め部材と、
前記ベース板上に載置された前記基板の前記第４側面に対して接離可能に設けられて前記ベース板の前記上面に対して少なくとも直交方向に延在している第４位置決め部材と、
前記第１位置決め部材に接続され、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第１側面から離間する方向に前記第１位置決め部材を付勢する第１付勢部と、
前記第２位置決め部材に接続され、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第２側面から離間する方向に前記第２位置決め部材を付勢する第２付勢部と、
前記第３位置決め部材に接続され、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第３側面から離間する方向に前記第３位置決め部材を付勢する第３付勢部と、
前記第４位置決め部材に接続され、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第４側面から離間する方向に前記第４位置決め部材を付勢する第４付勢部と、
前記第１付勢部および前記第２付勢部に接続され、前記第１付勢部および前記第２付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、前記第１付勢部および前記第２付勢部による付勢力に抗して、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第１側面に前記第１位置決め部材を当接させるとともに前記第２側面に前記第２位置決め部材を当接させる第１駆動部と、
前記第３付勢部および前記第４付勢部の各々に接続され、前記第３付勢部および前記第４付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、前記第３付勢部および前記第４付勢部による付勢力に抗して、前記ベース板上に載置された前記基板の前記第３側面に前記第３位置決め部材を当接させるとともに前記第４側面に前記第４位置決め部材を当接させる第２駆動部と
を備える、基板位置決め機構。
【請求項２】
前記第１駆動部は、前記第１付勢部との接続位置に第１傾斜面を有し、かつ、前記第２付勢部との接続位置に第２傾斜面を有し、
前記第２駆動部は、前記第３付勢部との接続位置に第３傾斜面を有し、かつ、前記第４付勢部との接続位置に第４傾斜面を有し、
前記第１付勢部は、回動可能に支持されて前記第１傾斜面と接触する第１ローラを有し、
前記第２付勢部は、回動可能に支持されて前記第２傾斜面と接触する第２ローラを有し、
前記第３付勢部は、回動可能に支持されて前記第３傾斜面と接触する第３ローラを有し、
前記第４付勢部は、回動可能に支持されて前記第４傾斜面と接触する第４ローラを有する、請求項１に記載の基板位置決め機構。
【請求項３】
前記第１傾斜面、前記第２傾斜面、前記第３傾斜面および前記第４傾斜面の各々の傾斜角度が４５°である、請求項２に記載の基板位置決め機構。
【請求項４】
前記第１位置決め部材、前記第２位置決め部材、前記第３位置決め部材および前記第４位置決め部材の各々が円柱状の外形を有し、
前記第１位置決め部材、前記第２位置決め部材、前記第３位置決め部材および前記第４位置決め部材の少なくともいずれかは、互いに間隔を置いて前記基板の側面に当接するように複数配置されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の基板位置決め機構。
【請求項５】
前記ベース板の前記上面に対して平行に位置しつつ昇降可能な昇降板をさらに備え、
前記第１付勢部、前記第２付勢部および前記第１駆動部は、前記昇降板の一方側の面上に設けられ、
前記第３付勢部、前記第４付勢部および前記第２駆動部は、前記昇降板の他方側の面上に設けられている、請求項１から４のいずれか１項に記載の基板位置決め機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板位置決め機構に関し、特に、基板をセンタリングする基板位置決め機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
支持ステージに対して基板を位置決めする装置を開示した先行文献として、特開２００４−２５３８０８号公報(特許文献１)、および、特開２００５−２２３２１７号公報(特許文献２)がある。
【０００３】
特許文献１に記載された基板位置決め装置は、基板を支持するように適合されたステージの周囲に間隔を置いて配置された複数のプッシャを含む。各プッシャは、基板をステージへ搭載およびステージから除去できるように後退位置にある状態から、ステージに支持された基板の縁部へ向けて伸長して基板の縁部に接触し、さらにステージに対して基板が位置決めされるまで伸長する。
【０００４】
特許文献２に記載された基板位置決め機構は、基板の位置を非接触で計測する手段と、計測する手段の計測結果に基づいて基板を移動する手段とからなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２５３８０８号公報
【特許文献２】特開２００５−２２３２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された基板位置決め装置においては、基板の大きさにバラツキがある場合、位置決めされた状態において基板の中心位置が変動するため、基板の中心に対して所定の位置にパターンを形成することができない。
【０００７】
特許文献２に記載された基板位置決め機構においては、非接触で計測する手段としてＣＣＤ(charge-coupled device)撮像装置などを用いるため、装置コストが高価になる。
【０００８】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で基板をセンタリングして位置決めできる基板位置決め機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に基づく基板位置決め機構は、互いに平行に位置する第１側面と第２側面および互いに平行に位置する第３側面と第４側面を有する矩形状の基板が上面に載置されるベース板と、ベース板上に載置された基板の第１側面に対して接離可能に設けられてベース板の上面に対して少なくとも直交方向に延在している第１位置決め部材と、ベース板上に載置された基板の第２側面に対して接離可能に設けられてベース板の上面に対して少なくとも直交方向に延在している第２位置決め部材と、ベース板上に載置された基板の第３側面に対して接離可能に設けられてベース板の上面に対して少なくとも直交方向に延在している第３位置決め部材と、ベース板上に載置された基板の第４側面に対して接離可能に設けられてベース板の上面に対して少なくとも直交方向に延在している第４位置決め部材とを備える。また、基板位置決め機構は、第１位置決め部材に接続され、ベース板上に載置された基板の第１側面から離間する方向に第１位置決め部材を付勢する第１付勢部と、第２位置決め部材に接続され、ベース板上に載置された基板の第２側面から離間する方向に第２位置決め部材を付勢する第２付勢部と、第３位置決め部材に接続され、ベース板上に載置された基板の第３側面から離間する方向に第３位置決め部材を付勢する第３付勢部と、第４位置決め部材に接続され、ベース板上に載置された基板の第４側面から離間する方向に第４位置決め部材を付勢する第４付勢部とを備える。さらに、基板位置決め機構は、第１付勢部および第２付勢部に接続され、第１付勢部および第２付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第１付勢部および第２付勢部による付勢力に抗して、ベース板上に載置された基板の第１側面に第１位置決め部材を当接させるとともに第２側面に第２位置決め部材を当接させる第１駆動部と、第３付勢部および第４付勢部の各々に接続され、第３付勢部および第４付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第３付勢部および第４付勢部による付勢力に抗して、ベース板上に載置された基板の第３側面に第３位置決め部材を当接させるとともに第４側面に第４位置決め部材を当接させる第２駆動部とを備える。
【００１０】
本発明の一形態においては、第１駆動部は、第１付勢部との接続位置に第１傾斜面を有し、かつ、第２付勢部との接続位置に第２傾斜面を有する。第２駆動部は、第３付勢部との接続位置に第３傾斜面を有し、かつ、第４付勢部との接続位置に第４傾斜面を有する。第１付勢部は、回動可能に支持されて第１傾斜面と接触する第１ローラを有する。第２付勢部は、回動可能に支持されて第２傾斜面と接触する第２ローラを有する。第３付勢部は、回動可能に支持されて第３傾斜面と接触する第３ローラを有する。第４付勢部は、回動可能に支持されて第４傾斜面と接触する第４ローラを有する。
【００１１】
本発明の一形態においては、第１傾斜面、第２傾斜面、第３傾斜面および第４傾斜面の各々の傾斜角度が４５°である。
【００１２】
本発明の一形態においては、第１位置決め部材、第２位置決め部材、第３位置決め部材および第４位置決め部材の各々が円柱状の外形を有する。第１位置決め部材、第２位置決め部材、第３位置決め部材および第４位置決め部材の少なくともいずれかは、互いに間隔を置いて基板の側面に当接するように複数配置されている。
【００１３】
本発明の一形態においては、基板位置決め機構は、ベース板の上面に対して平行に位置しつつ昇降可能な昇降板をさらに備える。第１付勢部、第２付勢部および第１駆動部は、昇降板の一方側の面上に設けられている。第３付勢部、第４付勢部および第２駆動部は、昇降板の他方側の面上に設けられている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、簡易な構成で基板をセンタリングして位置決めできる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板位置決め機構を備える塗布装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係る基板位置決め機構を図１の矢印ＩＩ方向から見た側面図である。
【図３】本実施形態に係る基板位置決め機構において位置決めピンが上昇した状態を示す側面図である。
【図４】図３の状態の基板位置決め機構を矢印ＩＶ方向から見た平面図である。
【図５】Ｘ方向駆動機構の構成を示す上面図である。
【図６】Ｙ方向駆動機構の構成を示す下面図である。
【図７】Ｘ方向駆動機構において第１駆動部が駆動した状態を示す上面図である。
【図８】Ｙ方向駆動機構において第２駆動部が駆動した状態を示す下面図である。
【図９】本実施形態に係る基板位置決め機構において位置決めピンにより基板を位置決めした状態を示す平面図である。
【図１０】基板上に塗布されたペーストをパターニングした状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態に係る基板位置決め機構について図を参照して説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係る基板位置決め機構を備える塗布装置の構成を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る基板位置決め機構を図１の矢印ＩＩ方向から見た側面図である。図１，２においては、後述する位置決めピンが下降した状態を示している。また、図２においては、後述するＸ方向駆動機構３５０およびＹ方向駆動機構３６０の各々を簡単のためブロック状に図示している。
【００１８】
図１に示すように、本発明の一実施形態に係る基板位置決め機構３０を備える塗布装置１０は、基礎部１１と、基礎部１１上に設けられた塗布機構２０と、基礎部１１上に配置された基板位置決め機構３０とを備える。
【００１９】
基礎部１１の内部には、塗布機構２０および基板位置決め機構３０の動作を制御する制御部、および、塗布機構２０にペーストを供給するための配管などが収納されている。基礎部１１の上面上に、互いに平行に延在する２本のガイドレール１２が設けられている。また、基礎部１１の上面上に、基板位置決め機構３０に含まれるサーボモータ３８０およびサーボモータ３８０に接続されたボールねじ３８１が設けられている。ボールねじ３８１は、２本のガイドレール１２に対して平行に、ガイドレール１２同士の間に設けられている。
【００２０】
図１に示すように、２本のガイドレール１２が並ぶ方向をＸ方向、２本のガイドレール１２が延在する方向をＹ方向、Ｘ方向およびＹ方向の両方に直交する方向をＺ方向とする。すなわち、基礎部１１の高さ方向をＺ方向とする。
【００２１】
塗布機構２０は、基礎部１１の上面上に設けられた門型構造部２１と、門型構造部２１の上部側面から突出して昇降可能に支持された１対のアーム部２２と、１対のアーム部２２の先端に固定されたガントリ２３とを備える。ガントリ２３の下部には、ペーストを吐出する開口が設けられている。
【００２２】
基板位置決め機構３０は、２本のガイドレール１２に沿って走行可能に設けられている。また、基板位置決め機構３０は、門型構造部２１の内側を通過可能に設けられている。基板位置決め機構３０が門型構造部２１の内側を通過する際に、基板位置決め機構３０によって支持されている基板１の上面に、ガントリ２３の開口から吐出されたペーストが塗布される。
【００２３】
基板１は、平面視において矩形状の外形を有し、互いに平行に位置する第１側面１ａと第２側面１ｂおよび互いに平行に位置する第３側面１ｃと第４側面１ｄを有する。
【００２４】
以下、基板位置決め機構３０の構成および動作について詳細に説明する。
基板位置決め機構３０は、基板１が上面に載置される矩形状のベース板３１０を備える。また、基板位置決め機構３０は、ベース板３１０の上面に対して平行に位置しつつ昇降可能な矩形状の昇降板３４０、および、ベース板３１０の上面に対して平行に位置するように固定された矩形状の底板３２０をさらに備える。本実施形態においては、ベース板３１０、昇降板３４０および底板３２０の各々は、平面視において同一の外形を有している。
【００２５】
ベース板３１０の中央部には、基板１を吸着保持する基板吸着部３１９が設けられている。基板吸着部３１９においては、吸引穴が形成されている。この吸引穴内を図示しない吸引機構により真空吸引して負圧を発生させることにより、基板１の下面の全周をベース板３１０に対して密着させた状態で基板１の位置を保持することができる。
【００２６】
また、ベース板３１０には、基板吸着部３１９の周囲に複数の貫通孔が設けられている。具体的には、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａ側に、Ｘ方向に長い長円形の第１貫通孔３１１ａおよび第２貫通孔３１１ｂが設けられている。第１貫通孔３１１ａと第２貫通孔３１１ｂとは、Ｙ方向において互いに間隔を置いて位置している。
【００２７】
基板１の第２側面１ｂ側に、Ｘ方向に長い長円形の第３貫通孔３１１ｃが設けられている。基板１の第３側面１ｃ側に、Ｙ方向に長い長円形の第４貫通孔３１２ａが設けられている。基板１の第４側面１ｄ側に、Ｙ方向に長い長円形の第５貫通孔３１２ｂが設けられている。
【００２８】
ベース板３１０の下面の四隅には、円柱状のガイドピン３３０が固定されている。具体的には、互いに間隔を置いて平行に配置された４本のガイドピン３３０の各上端部がベース板３１０の下面に固定されている。
【００２９】
底板３２０の四隅には、各ガイドピン３３０が挿通される４つの貫通孔が設けられている。底板３２０に設けられた各貫通孔の孔径は、１本のガイドピン３３０の直径より僅かに小さい。そのため、底板３２０と４本のガイドピン３３０とは嵌合して互いに固定されている。
【００３０】
底板３２０には、ボールねじ３８１の一端が接続されている。ボールねじ３８１の他端は、サーボモータ３８０に接続されている。各ガイドピン３３０の下端には、ガイドレール１２上を転動するローラ３３１が設けられている。
【００３１】
サーボモータ３８０がボールねじ３８１を回転させることにより、底板３２０にＹ方向の推進力が伝達される。その推進力によって各ガイドレール１２上を２つのローラ３３１が並んで転がることにより、基板位置決め機構３０が２本のガイドレール１２に沿って走行する。
【００３２】
底板３２０の下面には、昇降板３４０を昇降させるための駆動源である昇降用エアシリンダ３７０が取り付けられている。昇降用エアシリンダ３７０には、Ｚ方向の上向きに延びている昇降用ピストンロッド３７１が接続されている。昇降用ピストンロッド３７１の先端は、２つに分岐して昇降板３４０の下面に接続されている。底板３２０の中央部には、昇降用ピストンロッド３７１が挿通される貫通孔が設けられている。
【００３３】
昇降板３４０の四隅には、各ガイドピン３３０が挿通される４つの第１貫通孔３４１が設けられている。昇降板３４０に設けられた各第１貫通孔３４１の孔径は、１本のガイドピン３３０の直径より僅かに大きい。昇降板３４０は、昇降用エアシリンダ３７０の駆動によって４本のガイドピン３３０に沿って昇降可能なように支持されている。
【００３４】
本実施形態においては、後述する第１付勢部、第２付勢部および第１駆動部を含むＸ方向駆動機構３５０が、昇降板３４０の上面上に設けられている。後述する第３付勢部、第４付勢部および第２駆動部を含むＹ方向駆動機構３６０が、昇降板３４０の下面上に設けられている。
【００３５】
そのため、Ｘ方向駆動機構３５０によって駆動される、第１位置決め部材である円柱状の前側第１位置決めピン３５１ａ、後側第１位置決めピン３５１ｂ、および、第２位置決め部材である円柱状の第２位置決めピン３５１ｃの各々の下端部が、昇降板３４０の上面側で固定されている。前側第１位置決めピン３５１ａ、後側第１位置決めピン３５１ｂ、および、第２位置決めピン３５１ｃの各々は、Ｚ方向の上向きに延在している。
【００３６】
Ｙ方向駆動機構３６０によって駆動される、第３位置決め部材である円柱状の第３位置決めピン３６１ａ、および、第４位置決め部材である円柱状の第４位置決めピン３６１ｂの各々の下端部が、昇降板３４０の下面側で固定されている。第３位置決めピン３６１ａおよび第４位置決めピン３６１ｂの各々は、Ｚ方向の上向きに延在している。
【００３７】
よって、昇降板３４０には、第３位置決めピン３６１ａが挿通されるＹ方向に長い長円形の第２貫通孔３４２ａ、および、第４位置決めピン３６１ｂが挿通されるＹ方向に長い長円形の第３貫通孔３４２ｂが設けられている。
【００３８】
昇降板３４０の第２貫通孔３４２ａは、ベース板３１０の第４貫通孔３１２ａをＺ方向において昇降板３４０上に投影した領域を包含するように設けられている。昇降板３４０の第３貫通孔３４２ｂは、ベース板３１０の第５貫通孔３１２ｂをＺ方向において昇降板３４０上に投影した領域を包含するように設けられている。
【００３９】
なお、Ｘ方向駆動機構３５０が昇降板３４０の下面上に設けられ、Ｙ方向駆動機構３６０が昇降板３４０の上面上に設けられていてもよい。
【００４０】
図３は、本実施形態に係る基板位置決め機構において位置決めピンが上昇した状態を示す側面図である。図４は、図３の状態の基板位置決め機構を矢印ＩＶ方向から見た平面図である。図３においては、Ｘ方向駆動機構３５０およびＹ方向駆動機構３６０の各々を簡単のためブロック状に図示している。図４においては、基板位置決め機構３０によって位置決めされる前のＸ方向およびＹ方向において傾いた基板を示している。
【００４１】
図３に示すように、昇降用エアシリンダ３７０が駆動することにより、昇降用ピストンロッド３７１が矢印３７０ｚで示すように上方に延びる。昇降用ピストンロッド３７１に接続されている昇降板３４０は、４本のガイドピン３３０に沿って上昇する。
【００４２】
その結果、図３，４に示すように、前側第１位置決めピン３５１ａは、第１貫通孔３１１ａ内に挿通される。この状態において、前側第１位置決めピン３５１ａは、第１貫通孔３１１ａ内において、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａから最も離れた位置に位置している。また、前側第１位置決めピン３５１ａの先端は、ベース板３１０上に載置された基板１の上面より上方に位置している。なお、前側第１位置決めピン３５１ａの直径は、第１貫通孔３１１ａの短径より僅かに小さい。
【００４３】
同様に、後側第１位置決めピン３５１ｂは、第２貫通孔３１１ｂ内に挿通される。この状態において、後側第１位置決めピン３５１ｂは、第２貫通孔３１１ｂ内において、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａから最も離れた位置に位置している。また、後側第１位置決めピン３５１ｂの先端は、ベース板３１０上に載置された基板１の上面より上方に位置している。なお、後側第１位置決めピン３５１ｂの直径は、第２貫通孔３１１ｂの短径より僅かに小さい。
【００４４】
第２位置決めピン３５１ｃは、第３貫通孔３１１ｃ内に挿通される。この状態において、第２位置決めピン３５１ｃは、第３貫通孔３１１ｃ内において、ベース板３１０上に載置された基板１の第２側面１ｂから最も離れた位置に位置している。また、第２位置決めピン３５１ｃの先端は、ベース板３１０上に載置された基板１の上面より上方に位置している。なお、第２位置決めピン３５１ｃの直径は、第３貫通孔３１１ｃの短径より僅かに小さい。
【００４５】
第３位置決めピン３６１ａは、第４貫通孔３１２ａ内に挿通される。この状態において、第３位置決めピン３６１ａは、第４貫通孔３１２ａ内において、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃから最も離れた位置に位置している。また、第３位置決めピン３６１ａの先端は、ベース板３１０上に載置された基板１の上面より上方に位置している。なお、第３位置決めピン３６１ａの直径は、第４貫通孔３１２ａの短径より僅かに小さい。
【００４６】
第４位置決めピン３６１ｂは、第５貫通孔３１２ｂ内に挿通される。この状態において、第４位置決めピン３６１ｂは、第５貫通孔３１２ｂ内において、ベース板３１０上に載置された基板１の第４側面１ｄから最も離れた位置に位置している。また、第４位置決めピン３６１ｂの先端は、ベース板３１０上に載置された基板１の上面より上方に位置している。なお、第４位置決めピン３６１ｂの直径は、第５貫通孔３１２ｂの短径より僅かに小さい。
【００４７】
図５は、Ｘ方向駆動機構の構成を示す上面図である。上述のように、Ｘ方向駆動機構３５０は、第１付勢部、第２付勢部および第１駆動部を含む。
【００４８】
第１付勢部は、前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂに接続されたＴ字状の外形を有する第１ブロック３５２ａと、昇降板３４０の上面上に設けられて第１ブロック３５２ａの下面と接続され、図５中の矢印３５７ａｘで示す方向に第１ブロック３５２ａを付勢する第１付勢機構３５７ａと、第１ブロック３５２ａに取り付けられた第１ピン３５８ａによって回動可能に支持された第１ローラ３５３ａとを含む。なお、矢印３５７ａｘで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａから前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂを離間する方向である。
【００４９】
具体的には、第１ブロック３５２ａは、Ｙ方向に延在する部分と、その中心部から膨出してＸ方向に延在する部分とを有している。第１ブロック３５２ａのＹ方向に延在する部分の一端部に、前側第１位置決めピン３５１ａが接続されている。第１ブロック３５２ａのＹ方向に延在する部分の他端部に、後側第１位置決めピン３５１ｂが接続されている。第１ブロック３５２ａのＹ方向に延在する部分の中心部の下面に、第１付勢機構３５７ａが接続されている。
【００５０】
第１付勢機構３５７ａは、２重管構造を有しており、外管部に対して内管部がばねによって付勢されている。第１付勢機構３５７ａの外管部は、昇降板３４０に固定されている。第１付勢機構３５７ａの内管部は、第１ブロック３５２ａに固定されている。ただし、第１付勢機構３５７ａの構造は上記に限られず、エアーサスペンションなどの他の構造であってもよい。
【００５１】
第１ブロック３５２ａのＸ方向に延在する部分の先端部の下面に、第１ピン３５８ａが昇降板３４０に向かって延びるように取り付けられている。第１ローラ３５３ａは、第１ピン３５８ａに挿通された状態で回動可能に支持されている。
【００５２】
第２付勢部は、第２位置決めピン３５１ｃに接続された直方体状の外形を有する第２ブロック３５２ｂと、昇降板３４０の上面上に設けられて第２ブロック３５２ｂの下面と接続され、図５中の矢印３５７ｂｘで示す方向に第２ブロック３５２ｂを付勢する第２付勢機構３５７ｂと、第２ブロック３５２ｂに取り付けられた第２ピン３５８ｂによって回動可能に支持された第２ローラ３５３ｂとを含む。なお、矢印３５７ｂｘで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第２側面１ｂから第２位置決めピン３５１ｃを離間する方向である。
【００５３】
具体的には、第２ブロック３５２ｂは、Ｘ方向に延在している。第２ブロック３５２ｂの一端部に、第２位置決めピン３５１ｃが接続されている。第２ブロック３５２ｂの中心部の下面に、第２付勢機構３５７ｂが接続されている。
【００５４】
第２付勢機構３５７ｂは、２重管構造を有しており、外管部に対して内管部がばねによって付勢されている。第２付勢機構３５７ｂの外管部は、昇降板３４０に固定されている。第２付勢機構３５７ｂの内管部は、第２ブロック３５２ｂに固定されている。ただし、第２付勢機構３５７ｂの構造は上記に限られず、エアーサスペンションなどの他の構造であってもよい。
【００５５】
第２ブロック３５２ｂの他端部の下面に、第２ピン３５８ｂが昇降板３４０に向かって延びるように取り付けられている。第２ローラ３５３ｂは、第２ピン３５８ｂに挿通された状態で回動可能に支持されている。
【００５６】
本実施形態においては、第１ローラ３５３ａと第２ローラ３５３ｂとは、同一の外径を有し、かつ、Ｘ方向において同一直線上に中心を有している。
【００５７】
第１駆動部は、駆動源である第１エアシリンダ３５４と、第１エアシリンダ３５４に一端が接続され、第１付勢部および第２付勢部に他端が接続された第１ピストンロッド３５５とを含む。
【００５８】
具体的には、第１エアシリンダ３５４は、Ｘ方向において第１ブロック３５２ａと第２ブロック３５２ｂとの間の位置に配置されて、昇降板３４０の上面上に設けられている。
【００５９】
本実施形態においては、第１ピストンロッド３５５は、第１エアシリンダ３５４からＹ方向の一方に向けて延在する部分と、その先端から分岐してＸ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分と、分岐した各先端からＹ方向の他方に向けて延在する部分とを有している。
【００６０】
第１ピストンロッド３５５のＹ方向の一方に向けて延在する部分は、Ｘ方向において第１ローラ３５３ａと第２ローラ３５３ｂとの中間に位置している。第１ピストンロッド３５５のＸ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分同士の長さは同一である。第１ピストンロッド３５５のＹ方向の他方に向けて延在する部分同士の長さは同一である。
【００６１】
第１ピストンロッド３５５のＹ方向の他方に向けて延在する部分の各々の先端に傾斜面が形成されている。第１付勢部との接続位置に第１傾斜面３５６ａが形成され、第２付勢部との接続位置に第２傾斜面３５６ｂが形成されている。具体的には、第１ローラ３５３ａと接触して係合する第１傾斜面３５６ａと、第２ローラ３５３ｂと接触して係合する第２傾斜面３５６ｂとが形成されている。本実施形態においては、第１傾斜面３５６ａのＸ方向とのなす傾斜角度θａは、４５°である。第２傾斜面３５６ｂのＸ方向とのなす傾斜角度θｂは、４５°である。
【００６２】
なお、第１ピストンロッド３５５の形状は上記に限られず、たとえば、第１エアシリンダ３５４からＹ方向の一方に向けて延在する部分と、その先端から分岐してＸ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分と、分岐した各先端からＹ方向の一方に向けて延在する部分とを有していてもよい。この場合、第１傾斜面３５６ａおよび第２傾斜面３５６ｂは、第１ローラ３５３ａの中心と第２ローラ３５３ｂの中心とを結ぶ線に対して線対称の位置に位置する。
【００６３】
図６は、Ｙ方向駆動機構の構成を示す下面図である。上述のように、Ｙ方向駆動機構３６０は、第３付勢部、第４付勢部および第２駆動部を含む。
【００６４】
第３付勢部は、第３位置決めピン３６１ａに接続された直方体状の外形を有する第３ブロック３６２ａと、昇降板３４０の下面上に設けられて第３ブロック３６２ａの上面と接続され、図６中の矢印３６７ａｙで示す方向に第３ブロック３６２ａを付勢する第３付勢機構３６７ａと、第３ブロック３６２ａに取り付けられた第３ピン３６８ａによって回動可能に支持された第３ローラ３６３ａとを含む。なお、矢印３６７ａｙで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃから第３位置決めピン３６１ａを離間する方向である。
【００６５】
具体的には、第３ブロック３６２ａは、Ｙ方向に延在している。第３ブロック３６２ａの一端部に、第３位置決めピン３６１ａが接続されている。第３ブロック３６２ａの中心部の上面に、第３付勢機構３６７ａが接続されている。
【００６６】
第３付勢機構３６７ａは、２重管構造を有しており、外管部に対して内管部がばねによって付勢されている。第３付勢機構３６７ａの外管部は、昇降板３４０に固定されている。第３付勢機構３６７ａの内管部は、第３ブロック３６２ａに固定されている。ただし、第３付勢機構３６７ａの構造は上記に限られず、エアーサスペンションなどの他の構造であってもよい。
【００６７】
第３ブロック３６２ａの他端部の上面に、第３ピン３６８ａが昇降板３４０に向かって延びるように取り付けられている。第３ローラ３６３ａは、第３ピン３６８ａに挿通された状態で回動可能に支持されている。
【００６８】
第４付勢部は、第４位置決めピン３６１ｂに接続された直方体状の外形を有する第４ブロック３６２ｂと、昇降板３４０の下面上に設けられて第４ブロック３６２ｂの上面と接続され、図６中の矢印３６７ｂｙで示す方向に第４ブロック３６２ｂを付勢する第４付勢機構３６７ｂと、第４ブロック３６２ｂに取り付けられた第４ピン３６８ｂによって回動可能に支持された第４ローラ３６３ｂとを含む。なお、矢印３６７ｂｙで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第４側面１ｄから第４位置決めピン３６１ｂを離間する方向である。
【００６９】
具体的には、第４ブロック３６２ｂは、Ｙ方向に延在している。第４ブロック３６２ｂの一端部に、第４位置決めピン３６１ｂが接続されている。第４ブロック３６２ｂの中心部の上面に、第４付勢機構３６７ｂが接続されている。
【００７０】
第４付勢機構３６７ｂは、２重管構造を有しており、外管部に対して内管部がばねによって付勢されている。第４付勢機構３６７ｂの外管部は、昇降板３４０に固定されている。第４付勢機構３６７ｂの内管部は、第４ブロック３６２ｂに固定されている。ただし、第４付勢機構３６７ｂの構造は上記に限られず、エアーサスペンションなどの他の構造であってもよい。
【００７１】
第４ブロック３６２ｂの他端部の上面に、第４ピン３６８ｂが昇降板３４０に向かって延びるように取り付けられている。第４ローラ３６３ｂは、第４ピン３６８ｂに挿通された状態で回動可能に支持されている。
【００７２】
本実施形態においては、第３ローラ３６３ａと第４ローラ３６３ｂとは、同一の外径を有し、かつ、Ｙ方向において同一直線上に中心を有している。
【００７３】
第２駆動部は、駆動源である第２エアシリンダ３６４と、第２エアシリンダ３６４に一端が接続され、第３付勢部および第４付勢部に他端が接続された第２ピストンロッド３６５とを含む。
【００７４】
具体的には、第２エアシリンダ３６４は、Ｙ方向において第３ブロック３６２ａと第４ブロック３６２ｂとの間の位置に配置されて、昇降板３４０の下面上に設けられている。
【００７５】
本実施形態においては、第２ピストンロッド３６５は、第２エアシリンダ３６４からＸ方向の一方に向けて延在する部分と、その先端から分岐してＹ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分と、分岐した各先端からＸ方向の他方に向けて延在する部分とを有している。
【００７６】
第２ピストンロッド３６５のＸ方向の一方に向けて延在する部分は、Ｙ方向において第３ローラ３６３ａと第４ローラ３６３ｂとの中間に位置している。第２ピストンロッド３６５のＹ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分同士の長さは同一である。第２ピストンロッド３６５のＸ方向の他方に向けて延在する部分同士の長さは同一である。
【００７７】
第２ピストンロッド３６５のＸ方向の他方に向けて延在する部分の各々の先端に傾斜面が形成されている。第３付勢部との接続位置に第３傾斜面３６６ａが形成され、第４付勢部との接続位置に第４傾斜面３６６ｂが形成されている。具体的には、第３ローラ３６３ａと接触して係合する第３傾斜面３６６ａと、第４ローラ３６３ｂと接触して係合する第４傾斜面３６６ｂとが形成されている。本実施形態においては、第３傾斜面３６６ａのＹ方向とのなす傾斜角度θｃは、４５°である。第４傾斜面３６６ｂのＹ方向とのなす傾斜角度θｄは、４５°である。
【００７８】
なお、第２ピストンロッド３６５の形状は上記に限られず、たとえば、第２エアシリンダ３６４からＸ方向の一方に向けて延在する部分と、その先端から分岐してＹ方向において互いに反対方向に向けて延在する部分と、分岐した各先端からＸ方向の一方に向けて延在する部分とを有していてもよい。この場合、第３傾斜面３６６ａおよび第４傾斜面３６６ｂは、第３ローラ３６３ａの中心と第４ローラ３６３ｂの中心とを結ぶ線に対して線対称の位置に位置する。
【００７９】
図７は、Ｘ方向駆動機構において第１駆動部が駆動した状態を示す上面図である。図７に示すように、第１エアシリンダ３５４が駆動して第１ピストンロッド３５５を矢印３５４ｙで示す方向に移動させることにより、第１ブロック３５２ａが矢印３５２ａｘで示す方向に移動し、第２ブロック３５２ｂが矢印３５２ｂｘで示す方向に移動する。
【００８０】
具体的には、第１ピストンロッド３５５の第１傾斜面３５６ａが矢印３５４ｙで示す方向に移動することにより、第１傾斜面３５６ａに接触している第１ローラ３５３ａを通じて第１ブロック３５２ａに矢印３５２ａｘで示す方向の力が作用する。
【００８１】
図５に示すように、第１ブロック３５２ａには第１付勢機構３５７ａによる矢印３５７ａｘで示す方向の付勢力が作用しているが、第１エアシリンダ３５４からの駆動力の方がこの付勢力より大きいため、図７に示すように、第１付勢機構３５７ａによる付勢力に抗して、第１ブロック３５２ａが矢印３５２ａｘで示す方向に移動する。なお、矢印３５２ａｘで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａに前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂが接近する方向である。
【００８２】
同様に、第１ピストンロッド３５５の第２傾斜面３５６ｂが矢印３５４ｙで示す方向に移動することにより、第２傾斜面３５６ｂに接触している第２ローラ３５３ｂを通じて第２ブロック３５２ｂに矢印３５２ｂｘで示す方向の力が作用する。
【００８３】
図５に示すように、第２ブロック３５２ｂには第２付勢機構３５７ｂによる矢印３５７ｂｘで示す方向の付勢力が作用しているが、第１エアシリンダ３５４からの駆動力の方がこの付勢力より大きいため、図７に示すように、第２付勢機構３５７ｂによる付勢力に抗して、第２ブロック３５２ｂが矢印３５２ｂｘで示す方向に移動する。なお、矢印３５２ｂｘで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第２側面１ｂに第２位置決めピン３５１ｃが接近する方向である。
【００８４】
なお、本実施形態においては、第１傾斜面３５６ａのＸ方向とのなす傾斜角度θａが４５°であるため、第１ピストンロッド３５５の移動距離と、前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂの各々の移動距離とを同一にすることができる。また、第２傾斜面３５６ｂのＸ方向とのなす傾斜角度θｂが４５°であるため、第１ピストンロッド３５５の移動距離と第２位置決めピン３５１ｃの移動距離とを同一にすることができる。
【００８５】
これにより、基板１のＸ方向における位置決め制御が容易になる。具体的には、第１エアシリンダ３５４の制御が容易になる。また、第１位置決め部材および第２位置決め部材にかかる負荷と第１エアシリンダ３５４の出力との間に一定の関係が得られるため、たとえば、後述するように基板１を吸引した際に基板１の反りが矯正されて外形が変化した場合に、第１位置決め部材および第２位置決め部材にかかる負荷が一定となるように第１エアシリンダ３５４の出力を調整することにより、基板１に過負荷が作用することを抑制できる。
【００８６】
さらに、第１駆動部と第１付勢部との接続位置に第１ローラ３５３ａが設けられているため、第１ローラ３５３ａが第１傾斜面３５６ａ上を転がりながら移動する。その結果、円滑に前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂを移動させることができるとともに、第１傾斜面３５６ａの摩耗を抑制することができる。
【００８７】
同様に、第１駆動部と第２付勢部との接続位置に第２ローラ３５３ｂが設けられているため、第２ローラ３５３ｂが第２傾斜面３５６ｂ上を転がりながら移動する。その結果、円滑に第２位置決めピン３５１ｃを移動させることができるとともに、第２傾斜面３５６ｂの摩耗を抑制することができる。
【００８８】
図８は、Ｙ方向駆動機構において第２駆動部が駆動した状態を示す下面図である。図８に示すように、第２エアシリンダ３６４が駆動して第２ピストンロッド３６５を矢印３６４ｘで示す方向に移動させることにより、第３ブロック３６２ａが矢印３６２ａｙで示す方向に移動し、第４ブロック３６２ｂが矢印３６２ｂｙで示す方向に移動する。
【００８９】
具体的には、第２ピストンロッド３６５の第３傾斜面３６６ａが矢印３６４ｘで示す方向に移動することにより、第３傾斜面３６６ａに接触している第３ローラ３６３ａを通じて第３ブロック３６２ａに矢印３６２ａｙで示す方向の力が作用する。
【００９０】
図６に示すように、第３ブロック３６２ａには第３付勢機構３６７ａによる矢印３６７ａｙで示す方向の付勢力が作用しているが、第２エアシリンダ３６４からの駆動力の方がこの付勢力より大きいため、図８に示すように、第３付勢機構３６７ａによる付勢力に抗して、第３ブロック３６２ａが矢印３６２ａｙで示す方向に移動する。なお、矢印３６２ａｙで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃに第３位置決めピン３６１ａが接近する方向である。
【００９１】
同様に、第２ピストンロッド３６５の第４傾斜面３６６ｂが矢印３６４ｘで示す方向に移動することにより、第４傾斜面３６６ｂに接触している第４ローラ３６３ｂを通じて第４ブロック３６２ｂに矢印３６２ｂｙで示す方向の力が作用する。
【００９２】
図６に示すように、第４ブロック３６２ｂには第４付勢機構３６７ｂによる矢印３６７ｂｙで示す方向の付勢力が作用しているが、第２エアシリンダ３６４からの駆動力の方がこの付勢力より大きいため、図８に示すように、第４付勢機構３６７ｂによる付勢力に抗して、第４ブロック３６２ｂが矢印３６２ｂｙで示す方向に移動する。なお、矢印３６２ｂｙで示す方向は、ベース板３１０上に載置された基板１の第４側面１ｄに第４位置決めピン３６１ｂが接近する方向である。
【００９３】
なお、本実施形態においては、第３傾斜面３６６ａのＹ方向とのなす傾斜角度θｃが４５°であるため、第２ピストンロッド３６５の移動距離と第３位置決めピン３６１ａの移動距離とを同一にすることができる。また、第４傾斜面３６６ｂのＹ方向とのなす傾斜角度θｄが４５°であるため、第２ピストンロッド３６５の移動距離と第４位置決めピン３６１ｂの移動距離とを同一にすることができる。
【００９４】
これにより、基板１のＹ方向における位置決め制御が容易になる。具体的には、第２エアシリンダ３６４の制御が容易になる。また、第３位置決め部材および第４位置決め部材にかかる負荷と第２エアシリンダ３６４の出力との間に一定の関係が得られるため、たとえば、後述するように基板１を吸引した際に基板１の反りが矯正されて外形が変化した場合に、第３位置決め部材および第４位置決め部材にかかる負荷が一定となるように第２エアシリンダ３６４の出力を調整することにより、基板１に過負荷が作用することを抑制できる。
【００９５】
さらに、第２駆動部と第３付勢部との接続位置に第３ローラ３６３ａが設けられているため、第３ローラ３６３ａが第３傾斜面３６６ａ上を転がりながら移動する。その結果、円滑に前側第３位置決めピン３６１ａを移動させることができるとともに、第３傾斜面３６６ａの摩耗を抑制することができる。
【００９６】
同様に、第２駆動部と第４付勢部との接続位置に第４ローラ３６３ｂが設けられているため、第４ローラ３６３ｂが第４傾斜面３６６ｂ上を転がりながら移動する。その結果、円滑に第４位置決めピン３６１ｂを移動させることができるとともに、第４傾斜面３６６ｂの摩耗を抑制することができる。
【００９７】
図９は、本実施形態に係る基板位置決め機構において位置決めピンにより基板を位置決めした状態を示す平面図である。図９においては、図４と同じ方向から見た図を示している。
【００９８】
上記のように、第１駆動部が、第１付勢部および第２付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第１付勢部および第２付勢部による付勢力に抗して、図９に示すように、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａに第１位置決め部材を当接させるとともに第２側面１ｂに第２位置決め部材を当接させる。
【００９９】
具体的には、前側第１位置決めピン３５１ａを、第１貫通孔３１１ａ内においてスライドさせて、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａに当接させる。後側第１位置決めピン３５１ｂを、第２貫通孔３１１ｂ内においてスライドさせて、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａに当接させる。第２位置決めピン３５１ｃを、第３貫通孔３１１ｃ内においてスライドさせて、ベース板３１０上に載置された基板１の第２側面１ｂに当接させる。
【０１００】
また、上記のように、第２駆動部が、第３付勢部および第４付勢部の各々の付勢方向に対して交差する方向に移動することにより、第３付勢部および第４付勢部による付勢力に抗して、図９に示すように、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃに第３位置決め部材を当接させるとともに第４側面１ｄに第４位置決め部材を当接させる。
【０１０１】
具体的には、第３位置決めピン３６１ａを、第４貫通孔３１２ａ内においてスライドさせて、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃに当接させる。第４位置決めピン３６１ｂを、第５貫通孔３１２ｂ内においてスライドさせて、ベース板３１０上に載置された基板１の第４側面１ｄに当接させる。
【０１０２】
このように、第１位置決め部材は、ベース板３１０上に載置された基板１の第１側面１ａに対して接離可能に設けられてベース板３１０の上面に対して少なくとも直交方向に延在している。第２位置決め部材は、ベース板３１０上に載置された基板１の第２側面１ｂに対して接離可能に設けられてベース板３１０の上面に対して少なくとも直交方向に延在している。第３位置決め部材は、ベース板３１０上に載置された基板１の第３側面１ｃに対して接離可能に設けられてベース板３１０の上面に対して少なくとも直交方向に延在している。第４位置決め部材は、ベース板３１０上に載置された基板１の第４側面１ｄに対して接離可能に設けられてベース板３１０の上面に対して少なくとも直交方向に延在している。
【０１０３】
図９に示すように、前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂを基板１の第１側面１ａに当接させつつ、第２位置決めピン３５１ｃを基板１の第２側面１ｂに当接させることにより、基板１をＸ方向においてセンタリングすることができる。また、第３位置決めピン３６１ａを基板１の第３側面１ｃに当接させつつ、第４位置決めピン３６１ｂを基板１の第４側面１ｄに当接させることにより、基板１をＹ方向においてセンタリングすることができる。
【０１０４】
本実施形態においては、第１位置決め部材として前側第１位置決めピン３５１ａおよび後側第１位置決めピン３５１ｂを用いているため、基板１の第１側面１ａの回転方向のずれを抑制することができる。そのため、第１駆動部が駆動した後、第２駆動部が駆動することが好ましい。
【０１０５】
ただし、第１位置決め部材を１つの直方体状の部材で構成して、基板１の回転方向のずれを抑制するようにしてもよい。また、各位置決め部材は、ベース板３１０の上面に対して少なくとも直交方向に延在していればよく、形状は特に限定されない。
【０１０６】
この状態で基板吸着部３１９において真空吸引することにより、基板１の下面の全周をベース板３１０に対して密着させた状態で基板１の位置を保持することができる。また、この吸引により、基板１の反りが矯正される。
【０１０７】
その後、第１エアシリンダ３５４および第２エアシリンダ３６４の駆動を停止することにより、各位置決めピンは、各付勢機構による付勢力によって基板１の側面から離間して図４に示す位置に移動する。さらにその後、昇降用エアシリンダ３７０が駆動することにより、各位置決めピンは図２に示す位置まで下降する。
【０１０８】
このように、本実施形態に係る基板位置決め機構３０においては、簡易な構成で基板１をセンタリングして位置決めできる。また、Ｘ方向駆動機構３５０を昇降板３４０の上面上に設け、Ｙ方向駆動機構３６０を昇降板３４０の下面上に設けることにより、基板位置決め機構３０の小型化を図ることができる。ただし、基板位置決め機構３０の構造は上記に限られず、たとえば、Ｘ方向駆動機構３５０をベース板３１０の上方に配置し、Ｙ方向駆動機構３６０をベース板３１０の下方に配置してもよいし、この逆でもよい。この場合、ベース板３１０の上方に配置された駆動機構は、塗布機構２０と干渉しないように退避可能に設けられる。
【０１０９】
基板１を位置決めした状態を保持しつつ、サーボモータ３８０が駆動することにより、基板位置決め機構３０が２本のガイドレール１２に沿って走行する。上述のように、基板位置決め機構３０が門型構造部２１の内側を通過する際に、基板位置決め機構３０によって支持されている基板１の上面に、ガントリ２３の開口から吐出されたペーストが塗布される。
【０１１０】
具体的には、塗布機構２０において、１対のアーム部２２が下降することにより、ガントリ２３の下部が基板位置決め機構３０に位置決めされた基板１の上面に対して接近する。その状態でガントリ２３の開口から基板１の縁部以外の略全面にペーストが塗布される。ただし、ペーストの塗布形態は上記に限られず、スクリーン印刷法によって、基板１上にパターンを形成するようにペーストを塗布してもよい。
【０１１１】
図１０は、基板上に塗布されたペーストをパターニングした状態を示す平面図である。図１０に示すように、センタリングして位置決めされた基板１にペーストを塗布することにより、ペーストが塗布された塗布領域１ｘの縁と基板１の各側面との間の距離のバラツキを低減できる。
【０１１２】
具体的には、塗布領域１ｘの縁と基板１の第１側面１ａとの間の最短距離と、塗布領域１ｘの縁と基板１の第２側面１ｂとの間の最短距離と、塗布領域１ｘの縁と基板１の第３側面１ｃとの間の最短距離と、塗布領域１ｘの縁と基板１の第４側面１ｄとの間の最短距離とを互いに略同一の寸法にすることができる。
【０１１３】
その結果、ペーストをパターニングして形成されたパターン２の形成位置を、基板１の外形寸法に関わらず基板１の中心に対して安定させることができる。よって、たとえば、基板１の中心を基準にして基板１を切断して個片化した場合に、各チップにおけるパターン２の位置ずれを低減することができる。
【０１１４】
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１１５】
１  基板、１ａ  第１側面、１ｂ  第２側面、１ｃ  第３側面、１ｄ  第４側面、１ｘ  塗布領域、２  パターン、１０  塗布装置、１１  基礎部、１２  ガイドレール、２０  塗布機構、２１  門型構造部、２２  アーム部、２３  ガントリ、３０  基板位置決め機構、３１０  ベース板、３１１ａ，３４１  第１貫通孔、３１１ｂ，３４２ａ  第２貫通孔、３１１ｃ，３４２ｂ  第３貫通孔、３１２ａ  第４貫通孔、３１２ｂ  第５貫通孔、３１９  基板吸着部、３２０  底板、３３０  ガイドピン、３３１  ローラ、３４０  昇降板、３５０，３６０  方向駆動機構、３５１ａ，３５１ｂ  第１位置決めピン、３５１ｃ  第２位置決めピン、３５２ａ  第１ブロック、３５２ｂ  第２ブロック、３５３ａ  第１ローラ、３５３ｂ  第２ローラ、３５４  第１エアシリンダ、３５５  第１ピストンロッド、３５６ａ  第１傾斜面、３５６ｂ  第２傾斜面、３５７ａ  第１付勢機構、３５７ｂ  第２付勢機構、３６１ａ  第３位置決めピン、３６１ｂ  第４位置決めピン、３６２ａ  第３ブロック、３６２ｂ  第４ブロック、３６３ａ  第３ローラ、３６３ｂ  第４ローラ、３６４  第２エアシリンダ、３６５  第２ピストンロッド、３６６ａ  第３傾斜面、３６６ｂ  第４傾斜面、３６７ａ  第３付勢機構、３６７ｂ  第４付勢機構、３７０  昇降用エアシリンダ、３７１  昇降用ピストンロッド、３８０  サーボモータ、３８１  ボールねじ。
【図１】
2015061027.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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