(57)【要約】【課題】ウエハ検査装置において、一のマザーボード上で冷媒漏れが生じたときに、漏れた冷媒が他のテストヘッド等へ漏れ出すことを防止する。【解決手段】  ウエハＷに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板４４と、検査回路基板４４に取り付けられ、内部に冷媒が流される冷媒流路管４７と、上面に検査回路基板４４が立設されるマザーボード４３とを備えるウエハ検査ユニット２１において、冷媒流路管４７から漏れた冷媒を検知するためにマザーボード４３の上面に冷媒検知センサ４５を配置すると共に、冷媒流路管４７から漏れた冷媒をマザーボード４３上で堰き止めて貯留するためにマザーボード４３の外周に沿って壁部４６を設ける。【選択図】図４
2015061021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板と、
前記検査回路基板に取り付けられ、内部に冷媒が流される冷媒流路管と、
上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードとを備え、
前記マザーボードは、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを備えることを特徴とするウエハ検査ユニット。
【請求項２】
前記マザーボード上で前記壁部により貯留された漏れ冷媒を外部に排出するための漏れ冷媒回収用配管を備えることを特徴とする請求項１記載のウエハ検査ユニット。
【請求項３】
前記マザーボードの上面に前記検査回路基板の着脱が可能な基板スロットが設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ検査ユニット。
【請求項４】
半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査するためのテストヘッドであって、
半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板と、前記検査回路基板に取り付けられた冷媒流路管と、上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードとを備えるウエハ検査ユニットと、
前記冷媒流路管へ冷媒を供給すると共に前記冷媒供給管に供給された冷媒を回収する冷媒ユニットとを備え、
前記マザーボードは、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを有することを特徴とするテストヘッド。
【請求項５】
前記冷媒ユニットは、前記冷媒検知センサが冷媒を検知したときに前記冷媒流路管への冷媒の供給を停止する電磁弁を有し、
前記壁部によって前記マザーボード上で貯留可能な冷媒量は、前記冷媒検知センサが冷媒漏れを検知してから前記電磁弁が閉じられるまでの間に漏れ得る冷媒量に一定の安全係数を見込んだ量に設定されることを特徴とする請求項４記載のテストヘッド。
【請求項６】
前記マザーボードの上面の高さ位置は、前記冷媒ユニットの底部の高さ位置と同じか又は低いことを特徴とする請求項４又は５に記載のテストヘッド。
【請求項７】
前記マザーボード上で前記壁部により貯留された漏れ冷媒を外部に排出するための漏れ冷媒回収用配管を備えることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載のテストヘッド。
【請求項８】
前記マザーボードの上面に前記検査回路基板の着脱が可能な基板スロットが設けられていることを特徴とする請求項４乃至７のいずれか１項に記載のテストヘッド。
【請求項９】
筐体状の本体と、前記本体に多段に配置される複数のテストヘッドとを備えるウエハ検査装置であって、
前記テストヘッドはそれぞれ、
半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板、前記検査回路基板に取り付けられた冷媒流路管、及び、上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードを備えるウエハ検査ユニットと、
前記冷媒流路管へ冷媒を供給すると共に前記冷媒供給管に供給された冷媒を回収する冷媒ユニットとを備え、
前記マザーボードは、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、
前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを備えることを特徴とするウエハ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの電気的特性等を検査するウエハ検査ユニットと、このウエハ検査ユニットを備えるテストヘッドと、このテストヘッドを複数備えるウエハ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下「ウエハ」という）に形成された多数の半導体デバイスの電気的特性を検査するために、ウエハ検査装置としてプローバが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図７は、従来のプローバ６０の概略構造を示す斜視図である。図７のプローバ６０は、筐体状の本体６１と、本体６１上に上方へ回動可能に配置され、検査回路を内蔵するテストヘッド６２とを備える。テストヘッド６２の下面には不図示のプローブカードが装着されると共に、本体６１内のステージ６３にウエハＷが載置される。プローバ６０では、プローブカードの各コンタクトプローブが、ウエハＷに形成された半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプと接触し、テストヘッド６２の検査回路から各コンタクトプローブを介して各電極パッドや各半田バンプに接続された半導体デバイスの電気回路へ検査信号を流すことによって、半導体デバイスの電気回路の導通状態等を検査する（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
半導体デバイスの電気的特性を検査する際には検査回路が発熱するために、テストヘッド６２を冷却する必要があるが、プローバ６０では、テストヘッド６２が他の構成要素等によって覆われずに暴露されているため、テストヘッド６２は自身からの放熱によって冷却される。
【０００５】
これに対して、近年、ウエハの検査効率を向上させるために、プローブカード及びポゴフレームが装着された複数のテストヘッドを備え、搬送ステージによって一のテストヘッドへのウエハの搬送中に他のテストヘッドで別のウエハの半導体デバイスを検査可能なウエハ検査装置が開発されている。このようなウエハ検査装置では、フットプリント削減の観点から複数のテストヘッドが多段積みで配置される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−０６３２２７号公報
【特許文献２】特開２００９−６００３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した複数のテストヘッドを備えるウエハ検査装置では、一のテストヘッドが他のテストヘッドで覆われるために、テストヘッドの自身からの放熱効率が低く、そのため、各テストヘッドを自然冷却させることは難しい。そこで、テストヘッドに冷媒配管を設け、冷媒によって各テストヘッドが備える検査回路（基板）を冷却する方法が考えられる。
【０００８】
上述した複数のテストヘッドを備えるウエハ検査装置の各テストヘッドでは、複数の検査回路基板がマザーボードに設けられたスロットに装着された構造となっている。よって、各テストヘッドに冷却用の冷媒配管を設ける場合、複数の検査回路基板のそれぞれに冷媒配管が設けられ、そのため、マザーボード上に複数の冷媒配管が存在することとなる。この場合にマザーボード上で冷媒漏れが生じたときには、漏れた冷媒が他のテストヘッドに流れ込み、他のテストヘッドを破壊してしまうおそれがある。
【０００９】
本発明の目的は、一のマザーボード上で冷媒漏れが生じたときに、漏れた冷媒が他のテストヘッド等へ漏れ出すことを防止することができるウエハ検査ユニット、このウエハ検査ユニットを備えるテストヘッド、及び、このテストヘッドを複数備えるウエハ検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載のウエハ検査ユニットは、半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板と、前記検査回路基板に取り付けられ、内部に冷媒が流される冷媒流路管と、上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードとを備え、前記マザーボードは、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載のウエハ検査ユニットは、請求項１記載のウエハ検査ユニットにおいて、前記マザーボード上で前記壁部により貯留された漏れ冷媒を外部に排出するための漏れ冷媒回収用配管を備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載のウエハ検査ユニットは、請求項１又は２に記載のウエハ検査ユニットにおいて、前記マザーボードの上面に前記検査回路基板の着脱が可能な基板スロットが設けられていることを特徴とする。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項４記載のテストヘッドは、半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査するためのテストヘッドであって、半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板と、前記検査回路基板に取り付けられた冷媒流路管と、上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードとを備えるウエハ検査ユニットと、前記冷媒流路管へ冷媒を供給すると共に前記冷媒供給管に供給された冷媒を回収する冷媒ユニットとを備え、前記マザーボードは、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを有することを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載のテストヘッドは、請求項４記載のテストヘッドにおいて、前記冷媒ユニットは、前記冷媒検知センサが冷媒を検知したときに前記冷媒流路管への冷媒の供給を停止する電磁弁を有し、前記壁部によって前記マザーボード上で貯留可能な冷媒量は、前記冷媒検知センサが冷媒漏れを検知してから前記電磁弁が閉じられるまでの間に漏れ得る冷媒量に一定の安全係数を見込んだ量に設定されることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載のテストヘッドは、請求項４又は５に記載のテストヘッドにおいて、前記マザーボードの上面の高さ位置は、前記冷媒ユニットの底部の高さ位置と同じか又は低いことを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載のテストヘッドは、請求項４乃至６のいずれか１項に記載のテストヘッドにおいて、前記マザーボード上で前記壁部により貯留された漏れ冷媒を外部に排出するための漏れ冷媒回収用配管を備えることを特徴とする。
【００１７】
請求項８記載のテストヘッドは、請求項４乃至７のいずれか１項に記載のテストヘッドにおいて、前記マザーボードの上面に前記検査回路基板の着脱が可能な基板スロットが設けられていることを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項９記載のウエハ検査装置は、筐体状の本体と、前記本体に多段に配置される複数のテストヘッドとを備えるウエハ検査装置であって、前記テストヘッドはそれぞれ、半導体ウエハに形成された半導体デバイスを検査する検査回路基板、前記検査回路基板に取り付けられた冷媒流路管、及び、上面に前記検査回路基板が立設されるマザーボードを備えるウエハ検査ユニットと、前記冷媒流路管へ冷媒を供給すると共に前記冷媒供給管に供給された冷媒を回収する冷媒ユニットとを備え、前記マザーボードは、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を検知するために前記マザーボードの上面に配置された冷媒検知センサと、前記冷媒流路管から漏れた冷媒を前記マザーボード上で堰き止めて貯留するために前記マザーボードの外周に沿って立設された壁部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、マザーボードの上面の外周に壁部を設けて漏水パンを構成し、マザーボード上で冷媒漏れが生じたときの漏れ冷媒を一時的にマザーボード上で堰き止め、貯留する。これにより、漏れ冷媒がウエハ検査装置の内部に漏れ出して、他のテストヘッド等を破壊してしまうことを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係るウエハ検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１のウエハ検査装置を構成するセルの内部の概略構造を示す側面図である。
【図３】図１のウエハ検査装置におけるセルタワーを整備面側から眺めた図である。
【図４】図１のウエハ検査装置を構成するセルに配置されるテスタの概略構造を示す側面図と、テスタが備えるテストヘッドの概略構造を示す斜視図である。
【図５】図４のテストヘッドのウエハ検査ユニットが備えるマザーボードの上面図と裏面図である。
【図６】図４のテスタを構成するテストヘッドにおける冷媒の流れを模式的に示す図である。
【図７】従来のプローバの構成を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
先ず、本実施の形態に係るウエハ検査装置の概略構成について説明する。図１は、本実施の形態に係るウエハ検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【００２３】
図１に示すように、ウエハ検査装置１０は、複数、例えば、２５個の検査室（セル）１１が多段に配置されたセルタワー１２（本体）と、セルタワー１２に隣接して配置され、不図示の搬送機構を内蔵してウエハの各セル１１への搬出入を行うローダ１３とを備える。セルタワー１２及びローダ１３はそれぞれ、筐体状（例えば、直方体状）を呈し、高さは、例えば、２．４ｍである。また、セルタワー１２は熱交換器１４を有する。
【００２４】
ウエハ検査装置１０では、セルタワー１２の側部におけるローダ１３との隣接面の反対側の面（暴露面、以下「整備面」という）及びローダ１３の側部におけるセルタワー１２との隣接面の反対側の面は、他の構成要素に覆われず、ウエハ検査装置１０が設置される場所の雰囲気、例えば、クリーンルーム内の大気に暴露される。
【００２５】
図２は、ウエハ検査装置１０を構成するセル１１の内部の概略構造を示す側面図である。図２に示すように、セル１１の内部には、チャックプレート２９と、後述する不図示の検査回路基板４４（図４参照）を搭載するテストヘッド２０と、プローブカード２２と、プローブカード２２とテストヘッド２０との間に介在するポゴフレーム２３とを有する。チャックプレート２９、プローブカード２２及びポゴフレーム２３は、セル１１の内部に常設されているが、テストヘッド２０は後述するテスタ４０（図４参照）としてセル１１に対して挿抜可能となっている。
【００２６】
テストヘッド２０は、ウエハ検査ユニット２１と、後述する冷媒ユニット４１（図２に不図示、図４参照）とからなる。プローブカード２２とポゴフレーム２３との間にはシール部材３１が配置され、ポゴフレーム２３とウエハ検査ユニット２１との間にはシール部材３２が配置されている。これらのシール部材３１，３２に囲まれた空間が減圧されることにより、プローブカード２２及びポゴフレーム２３は、真空吸着によってウエハ検査ユニット２１へ装着される。
【００２７】
不図示の搬送機構によってセル１１の内部に搬入され、チャックプレート２９に載置されたウエハＷは、チャックプレート２９と共にプローブカード２２へ向けて上昇する。チャックプレート２９の上面にはシール部材３３が配置されており、シール部材３３がポゴフレーム２３に当接し、シール部材３３に囲まれた空間が減圧されることにより、ウエハＷはチャックプレート２９と共にプローブカード２２へ向けて引き寄せられ、ウエハＷはプローブカード２２に当接する。
【００２８】
プローブカード２２は、円板状のカード本体２４と、カード本体２４の上面のほぼ一面に配置される多数の不図示の電極と、カード本体２４の下面から下方（チャックプレート２９側）へ向けて突出するように配置された多数の柱状接触端子であるコンタクトプローブ２５とを有する。カード本体２４の上面に配置された多数の不図示の電極はそれぞれ、対応するコンタクトプローブ２５と電気的に接続されている。また、多数のコンタクトプローブ２５はそれぞれ、ウエハＷがプローブカード２２へ当接した際に、ウエハＷに形成された不図示の半導体デバイスにおける電極パッドや半田バンプと接触する。
【００２９】
ポゴフレーム２３は、略平板状のフレーム本体２６と、フレーム本体２６に穿設された複数の貫通穴であるポゴブロック挿嵌穴２７とを有し、各ポゴブロック挿嵌穴２７には多数のポゴピンが配列されて形成されるポゴブロック２８が挿嵌される。ポゴブロック２８は、ウエハ検査ユニット２１が有する後述のマザーボード４３（図４及び図５参照）に接続されると共に、ポゴフレーム２３へ装着されたプローブカード２２におけるカード本体２４の上面に設けられた多数の不図示の電極へ接触する。よって、検査回路基板４４の検査回路から、マザーボード４３、ポゴブロック２８、カード本体２４の上面に設けられた多数の不図示の電極及びコンタクトプローブ２５を介して、ウエハＷ上の半導体デバイスへ検査信号が送られる。そして、この検査信号に対する応答信号が、検査信号が送られるルートとは逆のルートで、検査回路へ戻される。
【００３０】
図３は、セルタワー１２を整備面側から眺めた図である。なお、図３では、セルタワー１２の外形は破線で示されており、セルタワー１２に内蔵されるテストヘッド２０等が透けて見える状態で描画されている。
【００３１】
図３に示すように、セルタワー１２は、熱交換器１４と複数のテストヘッド２０を接続する冷媒供給管３５を内蔵する。冷媒供給管３５は、後に図６を参照して説明するように、熱交換器１４からテストヘッド２０へ冷媒を送水する冷媒送水管３５ａと、テストヘッド２０から熱交換器１４へと冷媒を戻す冷媒回収管３５ｂとからなる。
【００３２】
また、冷媒供給管３５は、各テストヘッド２０に対して接続されるように分岐する冷媒供給枝管３６を有する。冷媒供給枝管３６は、後に図６を参照して説明するように、冷媒送水管３５ａと冷媒回収管３５ｂにそれぞれ対応する冷媒送水枝管３６ａと冷媒回収枝管３６ｂからなる。冷媒供給枝管３６は、テストヘッド２０が内蔵する冷媒ユニット４１の冷媒ユニット内配管５０（図６参照）に接続される。
【００３３】
熱交換器１４は、各テストヘッド２０から熱を授受した冷媒、例えば、水、ガルデン（登録商標）やフロリナート（登録商標）を冷却すると共に、冷却された冷媒を各テストヘッド２０へ供給する。熱交換器１４で冷却された冷媒は冷媒送水管３５ａを通じて各テストヘッド２０へ供給され、各テストヘッド２０内を循環した冷媒は、冷媒回収管３５ｂを通じて熱交換器１４に回収される。こうして、各テストヘッド２０の熱は、熱交換器１４との間の冷媒の循環よって排熱される。
【００３４】
図４（ａ）は、ウエハ検査装置１０を構成するセル１１に配置されるテスタ４０の概略構造を示す側面図である。また、図４（ｂ）は、テスタ４０が備えるテストヘッド２０の概略構造を示す斜視図である。
【００３５】
テスタ４０は、大略的に、テストヘッド２０と、テストヘッド２０の動作制御を行う電機ユニット４２から構成されており、テストヘッド２０は、ウエハ検査ユニット２１と、冷媒ユニット４１から構成されている。テスタ４０は、セルタワー１２の整備面側からセル１１に対して挿抜可能となっている。
【００３６】
ウエハ検査ユニット２１の下面には、マザーボード４３が配置されている。マザーボード４３の上面には、基板スロット４８によって複数の検査回路基板４４がマザーボード４３に対して立設状態で装着されている。また、マザーボード４３の上面には、第１の冷媒検知センサ４５が配置されると共に、外周に沿って壁部４６が立設されている。第１の冷媒検知センサ４５及び壁部４６の機能については後述する。
【００３７】
検査回路基板４４は、例えば、その一方の面に不図示の電子部品が実装され、他方の面に冷媒を流すための冷媒流路管４７が取り付けられた構造を有する。図４（ｂ）では、１本の冷媒流路管４７を２枚の検査回路基板４４で挟んだ構造のものを例示しているが、検査回路基板４４に対する冷媒流路管４７の配置は、このような構造に限定されるものではない。冷媒流路管４７は、冷媒ユニット内配管５０を介して、冷媒供給枝管３６（冷媒送水枝管３６ａ、冷媒回収枝管３６ｂ）に接続される。
【００３８】
図５（ａ）は、マザーボード４３の上面図であり、図５（ａ）は、マザーボード４３の裏面図（ｂ）である。マザーボード４３の上面には、検査回路基板４４が着脱される基板スロット４８が配置されている。基板スロット４８は、マザーボード４３の下面に設けられた複数の電極バッド４９（端子）と電気的に接続されており、これらの電極バッド４９にポゴフレーム２３に設けられたポゴブロック２８が接触することで、検査回路基板４４とポゴブロック２８とが電気的に接続される。
【００３９】
図６は、テストヘッド２０における冷媒の流れを模式的に示す図である。冷媒供給管３５は、熱交換器１４からテストヘッド２０へ冷媒を送る冷媒送水管３５ａと、テストヘッド２０を循環した冷媒を回収する冷媒回収管３５ｂとからなる。冷媒送水管３５ａ及び冷媒回収管３５ｂのそれぞれから各テストヘッド２０へ冷媒送水枝管３６ａ及び冷媒回収枝管３６ｂが分岐しており、冷媒送水枝管３６ａ及び冷媒回収枝管３６ｂは共に冷媒ユニット４１に設けられた冷媒ユニット内配管５０に接続される。
【００４０】
冷媒送水枝管３６ａには、第１のボールバルブ５１及び第１の接続カプラ５３のメス側が設けられており、冷媒回収枝管３６ｂには、第２のボールバルブ５２及び第２の接続カプラ５４のオス側が設けられている。また、冷媒ユニット内配管５０には、第１の接続カプラ５３のメス側と連結される第１の接続カプラ５３のオス側、第２の接続カプラ５４のオス側と連結される第２の接続カプラ５４のメス側、２つの電磁弁５５及び流量計５６が設けられている。
【００４１】
第１のボールバルブ５１と第２のボールバルブ５２は、冷媒流路管４７へ供給する冷媒流量を制御する。テスタ４０はセル１１から挿抜可能となっているため、冷媒ユニット内配管５０と冷媒送水枝管３６ａ及び冷媒回収枝管３６ｂの連結／分離は、連結／分離可能な第１の接続カプラ５３及び第２の接続カプラ５４によって行われる。第１の接続カプラ５３及び第２の接続カプラ５４が接続されていない状態及びテスタ４０の着脱作業時には、第１のボールバルブ５１及び第２のボールバルブ５２は閉じた状態に保持される。電磁弁５５は、冷媒流路管４７への冷媒供給及び冷媒流路管４７からの冷媒回収を必要に応じて停止する。冷媒ユニット内配管５０は、不図示の接続カプラ等により、検査回路基板４４に取り付けられた冷媒流路管４７に接続される。
【００４２】
冷媒ユニット４１内には、冷媒漏れを検知するための不図示の第２の漏水センサが配置されている。第２の漏水センサが冷媒ユニット４１内での冷媒漏れを検知すると、第１のボールバルブ５１及び第２のボールバルブ５２が閉じられ、ウエハ検査装置１０に設けられた不図示の警報装置が作動する。冷媒ユニット４１は箱状体であり、冷媒ユニット４１内で冷媒漏れが生じても、その漏れ冷媒は、冷媒ユニット４１の底部又は底部近傍から漏水排液枝管５７を通じて、セルタワー１２に設けられた漏水排液管５８へ流出し、外部へ排出されるようになっている。そのため、複数のテストヘッド２０のうちの一のテストヘッド２０において冷媒ユニット４１内で冷媒漏れが生じても、漏れ冷媒が他のテストヘッド２０等へ漏れ出して、他のテストヘッド２０を損傷させることはない。
【００４３】
冷媒漏れは、ウエハ検査ユニット２１のマザーボード４３上でも起こる可能性がある。つまり、マザーボード４３に装着された検査回路基板４４に取り付けられた冷媒流路管４７から冷媒漏れが発生するおそれがある。ここで、マザーボード４３は平板状であるため、冷媒流路管４７から冷媒漏れが生じたときに、マザーボード４３のどの部分から漏れ冷媒が流れ落ち始めるかはわからない。また、マザーボード４３から冷媒が漏れ出すと、漏れ冷媒がその下側に常設されているプローブカード２２やポゴフレーム２３、他のテストヘッド２０を破壊してしまうおそれがある。
【００４４】
そこで、先に図４及び図５（ａ）に示したように、マザーボード４３上で冷媒漏れが生じた場合に、漏れ冷媒を一時的にマザーボード４３上で堰き止めて貯留するために、マザーボード４３の外周に沿って壁部４６が立設されている。つまり、マザーボード４３と壁部４６とが、漏れ冷媒を一時的に貯留する漏水パンを構成している。
【００４５】
マザーボード４３の上面に配置された第１の冷媒検知センサ４５が冷媒漏れを検知すると、電機ユニット４２に設けられた不図示の制御装置が電磁弁５５を閉じて、冷媒流路管４７への冷媒供給を停止する。壁部４６によってマザーボード４３上で貯留可能な冷媒量（Ｖ）は、第１の冷媒検知センサ４５が冷媒漏れを検知してから電磁弁５５が閉じられるまでの間に漏れ得る冷媒量（Ｅ）に、一定の安全係数（α）を見込んだ量に設定される。例えば、「Ｖ＝α×Ｅ」の関係において、αを１．３〜２．０程度に設定することができる。
【００４６】
これにより、漏れ冷媒が壁部４６を乗り越えて外部へ流出することを防止することができるので、プローブカード２２やポゴフレーム２３、他のテストヘッド２０へ冷媒が流れ込んで、これらを破壊されるのを防止することができる。
【００４７】
ところで、テスタ４０の構造上、ウエハ検査ユニット２１におけるマザーボード４３の高さを冷媒ユニット４１の底部の高さよりも高くすること（換言すれば、冷媒ユニット４１の底部をマザーボード４３の高さよりも低い位置に配置すること）は、不必要に冷媒ユニット４１の体積を増やすことになり、ウエハ検査装置１０を大型化させてしまう等の問題が生じるため、好ましいものではない。したがって、ウエハ検査ユニット２１におけるマザーボード４３の高さ位置は、冷媒ユニット４１の底部の高さ位置と同じか又はそれよりも低い。この場合、仮に、壁部４６やマザーボード４３で開口するように冷媒ユニット４１へ冷媒を流すための配管を設けても、マザーボード４３上の冷媒をこの配管を通して自然に冷媒ユニット４１へ流し、漏水排液枝管５７を通じて漏水排液管５８から外部へ排出することはできない。
【００４８】
また、前述の通り、テスタ４０は、セルタワー１２の整備面側からセル１１に対して挿抜可能となっている。マザーボード４３上で冷媒漏れが生じたウエハ検査ユニット２１は使用できなくなるため、そのウエハ検査ユニット２１を含むテスタ４０全体をセル１１から引き出す必要がある。このとき、マザーボード４３上に冷媒が貯留された状態でテスタ４０をセル１１から引き出すと、引き出し作業の際にテストヘッド２０（ウエハ検査ユニット２１）が揺れて、マザーボード４３上の冷媒が壁部４６を越えてこぼれてしまうおそれがある。
【００４９】
そこで、マザーボード４３上に貯留された漏れ冷媒を吸引、排液することができるように、漏れ冷媒回収用配管５９が配設されている。漏れ冷媒回収用配管５９の冷媒ユニット４１側の開口は、テスタ４０の引き出し作業前に作業員がアクセスすることができる位置であればどこでもよく、別途用意した吸引装置を用いて、漏れ冷媒を吸引除去した後にテスタ４０の引き出し作業を行う。
【００５０】
なお、漏れ冷媒の回収前には、マザーボード４３上の漏れ冷媒が漏れ冷媒回収用配管５９を通じて自然には流れ出ないようにするか又は流れ出しても冷媒ユニット４１の漏水排液枝管５７を通じて漏水排液管５８から外部へ排出されるように、漏れ冷媒回収用配管５９を配置することが好ましい。
【００５１】
以上の説明の通り、本実施の形態によれば、マザーボード４３の上面の外周に壁部４６を設けて漏水パンを構成する。そして、マザーボード４３上で冷媒漏れが生じると、冷媒漏れを検知して冷媒供給が停止され、その間にマザーボード４３上に漏れ出た冷媒をマザーボード４３上に貯留する。これにより、漏れ冷媒が、マザーボード４３の下側や他のテストヘッド２０へ流出して、プローブカード２２やポゴフレーム２３、他のテストヘッド２０を破壊してしまうことを防止することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態では、壁部４６をマザーボード４３の外周に沿って配置したが、冷媒流路管４７からの漏れ冷媒を確実に堰き止めることができる限りにおいて、外周よりも内側に配置してもよい。また、第１の冷媒検知センサ４５として、図４及び図５（ａ）に示したように１カ所にライン状のものを配置した例を示したが、これに限定されずに、例えば、複数箇所に分散させて配置してもよい。更に、上記実施の形態では、冷媒を流すための冷媒流路管４７が検査回路基板４４の一方の面に取り付けられているとしたが、これに限定されず、冷媒が流れる流路管が通っているプレートが検査回路基板４４の一方の面に取り付けられた構造となっていてもよく、検査回路基板４４に対して流路管を配置する形態は種々に変更が可能である。
【符号の説明】
【００５３】
１０    ウエハ検査装置
１１    セル
２０    テストヘッド
２１    ウエハ検査ユニット
４１    冷媒ユニット
４３    マザーボード
４４    検査回路基板
４５    第１の冷媒検知センサ
４７    冷媒流路管
５０    冷媒ユニット内配管
５５    電磁弁
５９    漏れ冷媒回収用配管
Ｗ      ウエハ
【図１】
2015061021.tif 000003
【図２】
2015061021.tif 000004
【図３】
2015061021.tif 000005
【図４】
2015061021.tif 000006
【図５】
2015061021.tif 000007
【図６】
2015061021.tif 000008
【図７】
2015061021.tif 000009