(57)【要約】【課題】接触センサーの故障を防ぐことができるうえ、真空弁の開閉状態を確実にかつ高い精度で検知することで、真空度の異常を防止することができる。【解決手段】貯留槽に貯留された下水を吸引する吸込み管４と真空源に連通した真空下水管５との間に配設される配管２１と、配管２１の流路Ｒを開閉する弁体２２と、この弁体２２を配管２１内に着座させる弁座２１ａとを備え、真空弁２は、弁体２２を弁軸２３と共に駆動する駆動機構３を備えるとともに、内側に真空室Ｓを有するハウジング３１と弁体用分岐管２４とがシール部材３４によって画成され、被検出部１１に接触／離反することでオン／オフを検出する接触センサー１２が真空室Ｓ内に設けられ、被検出部１１が可動側取付片１３を介してダイヤフラムカップ３３に設けられ、接触センサー１２が固定側取付片１４を介してハウジング３１側に設けられた構成の開閉検知機構１を提供する。【選択図】図１
2015040574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留槽に貯留された下水を吸引する吸込み管と真空源に連通した真空下水管との間に配設される配管と、前記配管の流路を開閉する弁体と、この弁体を前記配管内に着座させる弁座とを備えた真空弁の開閉検知機構であって、
前記真空弁は、前記弁体を弁軸と共に駆動する駆動機構を備えるとともに、内側に真空室を有するハウジングと弁体用分岐管とがシール部材によって画成され、
被検出部と、該被検出部に接触／離反することでオン／オフを検出する接触センサーとが前記真空室内に設けられ、
前記接触センサー及び被検出部のいずれか一方が前記弁軸を弁軸線方向に沿ってスライド移動させる可動部側に設けられ、他方が前記ハウジング側に設けられていることを特徴とする真空弁の開閉検知機構。
【請求項２】
前記弁軸に連設され、前記ハウジングの弁軸線方向の底部側に向けて延びる可動側取付片と、
前記ハウジングの底部から前記真空室内に向けて延びる固定側取付片と、
を備え、
前記接触センサー及び被検出部のいずれか一方が前記可動側取付片の突出先端部に設けられ、他方が前記固定側取付片の突出先端部に設けられ、
前記弁体の閉止状態で前記被検出部と前記接触センサーとが接触することを特徴とする請求項１に記載の真空弁の開閉検知機構。
【請求項３】
前記駆動機構には、前記真空室に設けられて弁軸線方向に付勢するスプリングが設けられ、
前記可動側取付片と前記固定側取付片とが前記スプリングの内側に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の真空弁の開閉検知機構。
【請求項４】
前記可動側取付片に前記被検出部が設けられ、前記固定側取付片に前記接触センサーが設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載の真空弁の開閉検知機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各家庭や工場等の建物から排出された下水を、真空圧により下水本管に排出する真空弁に備えられる真空弁の開閉検知機構
に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の真空弁として、従来、例えば下記特許文献１、２に記載されているような、センサーを用いて弁体の位置を検出して、その弁体の開閉状態を管理している。
特許文献１には、ハウジング内の可動部に設けられた磁石を、ハウジングの周面に設けた磁気センサーで磁石の磁力を検出する非接触式のセンサーによる検出構成であって、真空弁が開動作するとオフ状態になる磁気センサーのオン／オフが検出回路により検出する構成について記載されている。
特許文献２は、インナーハウジング設置タイプであって、スイングアーム（被検出部）とリミットスイッチ（機械式センサー）を真空弁の真空室と画成されたインナーハウジング内に固定し、ダイヤフラム押さえの板の上下動でリミットスイッチを作動させて開度を検知し、オン／オフを切り替える構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１５３２５０号公報
【特許文献２】特開２００２−８９７４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の真空弁では、以下のような問題がある。
すなわち、特許文献１では、磁石と磁気センサーとの位置合わせに高い精度が必要となるうえ、弁体と弁座との間に小さな異物が詰まっていて僅かに開いている場合に、その開閉異常を検出することが困難であったり、誤検知するという問題があった。
また、特許文献２の場合、インナーハウジング内は汚物堆積物や汚水が流入する部分であるため、接触式で弁体の開度を検知する場合には、機械式センサーが故障する可能性が高くなることから、その点で改良の余地があった。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、センサーの故障を防ぐことができるうえ、真空弁の開閉状態を確実にかつ高い精度で検知することで、真空度の異常を防止することができる真空弁の開閉検知機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る真空弁の開閉検知機構では、貯留槽に貯留された下水を吸引する吸込み管と真空源に連通した真空下水管との間に配設される配管と、前記配管の流路を開閉する弁体と、この弁体を前記配管内に着座させる弁座とを備えた真空弁の開閉検知機構であって、前記真空弁は、前記弁体を弁軸と共に駆動する駆動機構を備えるとともに、内側に真空室を有するハウジングと弁体用分岐管とがシール部材によって画成され、被検出部と、該被検出部に接触／離反することでオン／オフを検出する接触センサーとが前記真空室内に設けられ、前記接触センサー及び被検出部のいずれか一方が前記弁軸を弁軸線方向に沿ってスライド移動させる可動部側に設けられ、他方が前記ハウジング側に設けられていることを特徴としている。
【０００７】
本発明に係る真空弁の開閉検知機構によれば、固定されたハウジング側に設けられた被検出部と接触センサーのいずれか一方と、弁体を弁軸線方向に沿って進退移動させる可動部に設けられた他方との接触／離反を、接触センサーのオン／オフにより検出することができるため、非接触で検出する場合に比べて確実に、かつ弁体の開度が僅かな場合であっても精度よく検出することができる。そのため、弁体の開閉状態の誤検出を抑制することができ、その開閉状態の異常を確実に検出することが可能となるので、開閉異常時における対応を早期に行うことができ、真空度が保たれないといった真空弁としての機能の低下を抑えることができる。例えば、小さな異物が弁体と弁座との間に詰まった場合において、その開閉異常を接触式の本願発明の開閉検知機構により確実に検出することができる。
【０００８】
また、本発明では、被検出部及び接触センサーがシール部材によって弁体用分岐管側と画成されているハウジングの真空室内に設けられ、例えば汚水等が流入し得る弁体用分岐管内に配置されていないので、接触センサーが故障したり、付着物による誤作動を起こすという不具合をなくすことができる利点がある。
【０００９】
また、本発明に係る真空弁の開閉検知機構では、前記弁軸に連設され、前記ハウジングの弁軸線方向の底部側に向けて延びる可動側取付片と、前記ハウジングの底部から前記真空室内に向けて延びる固定側取付片と、を備え、前記接触センサー及び被検出部のいずれか一方が前記可動側取付片の突出先端部に設けられ、他方が前記固定側取付片の突出先端部に設けられ、前記弁体の閉止状態で前記被検出部と前記接触センサーとが接触することが好ましい。
【００１０】
この場合、可動側取付片及び固定側取付片を設けることで、被検出部及び接触センサーのそれぞれを真空室内の所望の位置に配置することができる。そのため、真空室内の他の駆動機構の部材に干渉しない位置に被検出部と接触センサーを配置することができる。
【００１１】
また、本発明に係る真空弁の開閉検知機構では、前記駆動機構には、前記真空室に設けられて弁軸線方向に付勢するスプリングが設けられ、前記可動側取付片と前記固定側取付片とが前記スプリングの内側に配置されていることが好ましい。
【００１２】
本発明では、駆動機構のスプリングの内側には他の駆動機構が設けられていないので、可動側取付片と固定側取付片とを他の駆動機構の部材に干渉しない位置となる。そのため、これら可動側取付片と固定側取付片の取り付けを容易に行うことができ、前記他の部材と干渉することに伴うセンサーの誤検出をなくすことができる。
【００１３】
また、本発明に係る真空弁の開閉検知機構では、前記可動側取付片に前記被検出部が設けられ、前記固定側取付片に前記接触センサーが設けられていることが好ましい。
【００１４】
本発明では、接触センサーが固定側取付片を介してハウジングに設けられているので、その固定側取付片の内部に挿通させたり、固定側取付片の周面に沿わせてセンサー用の配線を設けることが可能となる。そのため、弁軸線方向に沿って移動する可動部側に配線する場合のように複雑な構造にならず、簡単な構造で設置することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の真空弁の開閉検知機構によれば、センサーの故障を防ぐことができるうえ、真空弁の開閉状態を確実にかつ高い精度で検知することで、真空度の異常を防止することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施の形態による真空弁の内部構成を示す一部破断した側断面図である。
【図２】図１に示す真空弁に設けられる開閉検知機構の概略構成を示す側面図であって、（ａ）は被検出部が接触センサーに接触した状態を示す図、（ｂ）は被検出部が接触センサーから離反した状態を示す図である。
【図３】図１に示す真空弁において、被検出部が接触センサーから離反した状態を示す側断面図である。
【図４】第１変形例による真空弁の内部構成を示す一部破断した側断面図である。
【図５】第２変形例による真空弁に設けられる開閉検知機構の概略構成を示す側面図であって、（ａ）は被検出部が接触センサーに接触した状態を示す図、（ｂ）は被検出部が接触センサーから離反した状態を示す図である。
【図６】第３変形例による真空弁に設けられる開閉検知機構の概略構成を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態による真空弁の開閉検知機構について、図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１に示すように、本実施の形態による真空弁の開閉検知機構１は、各家庭や工場等の建物から排出された下水を真空圧を利用して低所から高所にも流水可能とし、地形及び地下埋設物の配置等の諸条件に好適に対応可能な真空ユニット（図示省略）における真空弁２に採用されている。ここで、真空ユニットは、下水を一時的に貯留し、断続的に下水本管（図示省略）に排水するものである。
【００１９】
上述した真空ユニットは、下水を一時的に貯留する貯留槽と、貯留槽内に貯留された下水を吸引する吸込み管と、吸込み管と真空源に連通された真空下水管との間に設置され、これらの間を連通又は遮断させる真空弁２及び仕切弁と、仕切弁よりも真空下水管側に接続され、真空弁２又は仕切弁を閉じた状態で貯留槽内の下水を真空下水管に排出させることのできるバイパス管とを備えている。
真空下水管５は、貯留槽に形成された開口部に一端部が挿入されて真空弁２に接続され、他端が不図示の真空源に接続されている。
【００２０】
真空弁２は、配管２１と、配管２１の流路Ｒを開閉させる弁体２２と、弁体２２を支持する弁軸２３と、弁体２２及び弁軸２３を駆動する駆動機構３とを備え、吸込み管４と真空下水管５との間に配設されている。ここで、図１では、配管２１において、吸込み管４が接続される側に符号４を示し、真空下水管５が接続される側に符号５を示している。
【００２１】
配管２１は、吸込み管４と真空下水管５との間に管軸Ｌ１が水平方向を向くように配置され、カップリングを用いて一端部が吸込み管４に、他端部が真空下水管５に接続されている。配管２１の内壁面には、弁体２２を着座させる弁座２１ａが突出して形成されている。また、配管２１の周壁部には、弁体２２及び弁軸２３が収容されるとともに駆動機構３が支持される弁体用分岐管２４が、吸込み管４側に向けて傾いて突出している。
【００２２】
弁体用分岐管２４は、小径部２４Ａと大径部２４Ｂとを備え、配管２１の流路Ｒと連通している。大径部２４Ｂには、その内壁面に沿って弁体用分岐管２４を塞ぐようにインナーハウジング２５が設置されている。このインナーハウジング２５には、弁軸２３の基端部２３ａを挿通させる挿通孔２５ａが形成されている。また、大径部２４Ｂの開口部２４ａには、端部が径方向に張り出した第１フランジ２４ｂが形成されている。
【００２３】
弁体用分岐管２４の大径部２４Ｂに支持される駆動機構３は、略有底円筒形状のハウジング３１と、ハウジング３１の内側の内部空間（真空室Ｓ）に設けられて弁軸線Ｌ０方向に付勢するスプリング３２と、スプリング３２をハウジング３１内に保持し、かつ弁軸２３の基端部２３ａを挿通させて固定する有底円筒状のダイヤフラムカップ３３と、スプリング３２が配置された真空室Ｓを気密に封止するシール部材３４と、シール部材３４をダイヤフラムカップ３３と共に挟み込むダイヤフラム押さえ３５と、を備えている。
駆動機構３は、弁体２２及び弁軸２３を弁体用分岐管２４の弁軸線Ｌ０に沿って弁座２１ａに向かって進出及び退避させるよう構成され、図示しないコントローラに接続されており、適時に真空室Ｓと弁体用分岐管２４側の管路との間が連通又は遮断されるようになっている。
【００２４】
弁軸２３の基端部２３ａは、インナーハウジング２５、ダイヤフラム押さえ３５、シール部材３４、及びダイヤフラムカップ３３をそれぞれ貫通し、ダイヤフラムカップ３３の内側においてナット３７で固定されている。
【００２５】
ハウジング３１は、開口部３１ａに形成された第２フランジ３１ｂを弁体用分岐管２４の第１フランジ２４ｂに対向させ、フランジ２４ｂ、３１ｂ同士の間にインナーハウジング２５及びシール部材３４の各端部を挟み込んだ状態で、かつ、弁体用分岐管２４、ハウジング３１、インナーハウジング２５、スプリング３２及び弁軸２３の弁軸線Ｌ０を共通にして、継手２６によってボルト及びナットにより緊締されている。ハウジング３１には、底部に着脱可能な蓋体３６が設けられている。
【００２６】
駆動機構３には、接触式の開閉検知機構１と、非接触式の開閉検知機構６と、を備えている。
非接触式の開閉検知機構６は、ダイヤフラムカップ３３における開口縁部に磁石６１が設けられ、この磁石６１の近傍の外側（ハウジング３１の内面）に設けられる不図示の磁気センサーによって磁石６１をオン／オフを検知し、ハウジング３１の周壁における蓋体３６寄りの周面に設けられたカウンタ６２に磁気センサーのオン／オフ状態が出力され、弁体２２の開閉数を積算する構成となっている。前記磁気センサーは、例えば磁石６１の磁力によって検知（導通状態）しているときには弁体２２が閉、磁石６１を検知しないときには弁体２２が開となる。また、磁気センサーにおいて、検知時に弁体２２が開、非検知時に弁体２２が閉となるようにしてもよい。
【００２７】
開閉検知機構１は、被検出部１１と、この被検出部１１に接触／離反することでオン／オフを検出する接触センサー１２と、がハウジング３１の内側の真空室Ｓ内に設けられ、被検出部１１が弁体２２を備えた弁軸２３を弁軸線Ｌ０方向に沿ってスライド移動させるダイヤフラムカップ３３（可動部）側に設けられ、接触センサー１２がハウジング３１側に設けられた構成となっている。
【００２８】
図２（ａ）、（ｂ）及び図３に示すように、被検出部１１は、ダイヤフラムカップ３３の底壁３３ａに固定されるとともに、弁軸線Ｌ０方向の蓋体３６側に向けて延びるＬ形状の可動側取付片１３の突出先端部１３ａに設けられている。
可動側取付片１３は、Ｌ形状の一片部１３Ａに円孔（図示省略）が形成されており、この円孔をダイヤフラムカップ３３の底壁３３ａを貫通する弁軸２３の基端部２３ａに挿通させ、その底壁３３ａとナット３７に挟持されて固定されている。可動側取付片１３の他片部１３Ｂは、弁軸線Ｌ０方向に沿って延在し、その突出先端部１３ａが弁軸線Ｌ０方向で真空室Ｓの中央部分に配置されている。
【００２９】
被検出部１１は、他片部１３Ｂの突出先端部１３ａより、弁軸線Ｌ０方向に直交する方向に向けて突出させて設けられている。なお、この可動側取付片１３の寸法、被検出部１１の位置及び突出長は、弁軸２３とともに弁軸線Ｌ０方向に沿って進退移動に伴って被検出部１１が接触センサー１２に接触／離反するように設定されている。具体的に被検出部１１は、弁体２２が全閉の状態となる弁軸２３の位置において接触センサー１２に接触し、弁体２２が開放した状態、すなわち弁軸２３がスプリング３２の付勢に抗して弁軸線Ｌ０方向の蓋体３６側に退避移動したときには接触センサー１２に対して非接触となるように設定されている。
なお、被検出部１１としては、例えば、ステンレス等の金属片を用いることができる。
そして、被検出部１１を備えた可動側取付片１３は、図１に示すように、真空室Ｓのスプリング３２の内側に配置されている。
【００３０】
接触センサー１２は、ハウジング３１の蓋体３６を弁軸線Ｌ０で貫通して設けられる棒状の固定側取付片１４の突出先端部１４ａに設けられ、被検出部１１との接触の有無を検知するものである。固定側取付片１４は、弁軸線Ｌ０方向に沿って延在し、その突出先端部１４ａが弁軸線Ｌ０方向で真空室Ｓの中央部分に配置されている。この接触センサー１２に電気を送る配線１２ａは、固定側取付片１４に沿って設けられて蓋体３６を通過している。
そして、接触センサー１２を備えた固定側取付片１４も、真空室Ｓのスプリング３２の内側に配置されている。
【００３１】
次に、上述した真空弁２の動作について、図面に基づいて説明する。
図１に示すように、上述した真空弁ユニットによって、建物から排出された下水を排水管を介してタンク部に流入させ、所定水位に至るまで一時的に貯留する。下水の水位が、所定水位に至ったことが検出されたときに、真空弁２を開放することで流路を真空引きして下水を排水する。
【００３２】
具体的に真空引きの際には、真空弁２における駆動機構３のスプリング３２を配置させた真空室Ｓを真空引きする。これにより、真空室Ｓがスプリング３２の付勢力に抗して真空圧によって圧縮され、ダイヤフラムカップ３３に固定された弁軸２３がハウジング３１内に引き込まれ、弁体２２が弁体用分岐管２４の小径部２４Ａ内に退避する。
【００３３】
弁体２２が弁体用分岐管２４内に退避することで配管２１が開口し、配管２１の流路Ｒを介して吸込み管４と真空下水管５とを連通させるため、真空下水管５内の真空圧により、真空弁２の配管２１及び吸込み管４内の空気が真空下水管５に向かって引き込まれる。その後、下水が、吸込み管４の先端から吸い上げられるとともに、配管２１の流路Ｒを経由して真空下水管５に排出される。タンク部内の下水の水位が所定位置まで下がると、図示しないコントローラがこれを検知し、パイプと真空室Ｓとを遮断し、真空室Ｓを漸次大気圧に戻す。真空室Ｓの真空圧が減少すると、真空弁２のスプリング３２が弾性復帰し、弁体２２が弁座２１ａに向けて前進し、弁座２１ａに着座することにより配管２１の流路Ｒが再び閉じられる。
【００３４】
真空弁２は、定常時に上記の動作を繰り返し、真空弁ユニットのタンク部に貯留された下水を真空下水管５を介して不図示の下水本管に排水する。
一方、弁体２２が配管２１の流路Ｒを閉じた状態で真空弁２が作動しない場合や、真空弁ユニットが一定期間使用された後で、真空弁２内に夾雑物が溜まる頃には、図示しないバイパスを用いて下水を排水する。
【００３５】
以上説明した真空弁２に設けられる開閉検知機構１によれば、以下に示す作用効果を奏する。
すなわち、図１に示すように、本実施の形態の開閉検知機構１では、固定されたハウジング３１側に設けられた接触センサー１２と、弁体２２を弁軸線Ｌ０方向に沿って進退移動するダイヤフラムカップ３３に設けられた被検出部１１との接触／離反を、接触センサー１２のオン／オフにより検出することができるため、非接触で検出する場合に比べて確実に、かつ弁体２２の開度が僅かな場合であっても精度よく検出することができる。
そのため、弁体２２の開閉状態の誤検出を抑制することができ、その開閉状態の異常を確実に検出することが可能となるので、開閉異常時における対応を早期に行うことができ、真空度が保たれないというような真空弁２としての機能の低下を抑えることができる。例えば、割り箸等の小さな異物が弁体２２と弁座２１ａとの間に挟まった場合であっても、その開閉異常を接触式の本実施の形態の開閉検知機構１により確実に検出することができる。
【００３６】
また、実施の形態では、被検出部１１及び接触センサー１２がシール部材３４によって弁体用分岐管２４側と画成されているハウジング３１の真空室Ｓ内に設けられ、例えば汚水等が流入し得る弁体用分岐管２４内に配置されていないので、接触センサー１２が故障したり、付着物による誤作動を起こすという不具合をなくすことができる利点がある。
【００３７】
また、可動側取付片１３及び固定側取付片１４を設けることで、被検出部１１及び接触センサー１２のそれぞれを真空室Ｓ内の所望の位置に配置することができる。そのため、真空室Ｓ内の他の駆動機構の部材に干渉しない位置に被検出部１１と接触センサー１２を配置することができる。
【００３８】
また、本実施の形態では、駆動機構のスプリング３２の内側には他の駆動機構が設けられていないので、可動側取付片１３と固定側取付片１４とを他の駆動機構３の部材に干渉しない位置となる。そのため、これらの取り付けを容易に行うことができ、前記他の部材と干渉することに伴うセンサーの誤検出をなくすことができる。
【００３９】
さらに、接触センサー１２が固定側取付片１４を介してハウジング３１に設けられているので、固定側取付片１４の周面に沿わせてセンサー用の配線を設けることが可能となる。そのため、可動部側に配線する場合のように複雑な構造にならず、簡単な構造で設置することができる。
【００４０】
上述のように本実施の形態による真空弁の開閉検知機構では、接触センサー１２の故障を防ぐことができるうえ、真空弁２の開閉状態を確実にかつ高い精度で検知することで、真空度の異常を防止することができるという効果を奏する。
【００４１】
以上、本発明による真空弁の開閉検知機構の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４２】
例えば、上述の本実施の形態ではスプリング３２の内側に、被検出部１１を備えた可動側取付片１３と、接触センサー１２を備えた固定側取付片１４とを配置させているが、このような配置位置に限定されるものではなく、真空室Ｓ内であれば他の位置に配置することも可能である。また、被検出部１１を可動側取付片１３に設け、接触センサー１２を固定側取付片１４に設ける構成についても、限定されず、これら可動側取付片１３や固定側取付片１４を省略し、被検出部１１や接触センサー１２を例えばハウジング３１に直接配置するようにしてもよい。
【００４３】
図４に示す第１変形例による真空弁２Ａの開閉検知機構１Ａは、被検出部１１を備えた可動側取付片１３がスプリング３２の径方向の外側の位置で、ダイヤフラムカップ３３の底壁３３ａに固定されている。そして、接触センサー１２はハウジング３１の周壁部に埋め込まれた構成となっている。この場合、上記実施の形態の固定側取付片１４（図１参照）を省略することができ、また接触センサー１２がハウジング３１に埋め込まれて強固に固定されているので、その接触センサー１２の位置がずれるなどの不具合を防止することができる。
【００４４】
また、図５（ａ）、（ｂ）に示す第２変形例による開閉検知機構１Ｂは、被検出部１１を固定側取付片１４の突出先端部１４ａに設け、接触センサー１２を可動側取付片１３の突出先端部１３ａに設けた構成である。
【００４５】
また、図６に示す第３変形例による開閉検知機構１Ｃは、接触センサー１２を備えた固定側取付片１４の内側に接触センサー１２の配線１２ａを内挿させた構成である。この場合、配線１２ａがハウジング３１（図１参照）内に露出した状態で設けられることが無いので、配線にかかる手間を低減することができるという利点がある。
【００４６】
その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  開閉検知機構
２、２Ａ  真空弁
３  駆動機構
４  吸込み管
５  真空下水管
１１  被検出部
１２  接触センサー
１３  可動側取付片
１３ａ  突出先端部
１４  固定側取付片
１４ａ  突出先端部
２１  配管
２１ａ  弁座
２２  弁体
２３  弁軸
２４  弁体用分岐管
２５  インナーハウジング
３１  ハウジング
３２  スプリング
３３  ダイヤフラムカップ
３４  シール部材
３６  蓋体
Ｌ０  弁軸線
Ｌ１  管軸
Ｓ  真空室
【図１】
2015040574.tif 000003
【図２】
2015040574.tif 000004
【図３】
2015040574.tif 000005
【図４】
2015040574.tif 000006
【図５】
2015040574.tif 000007
【図６】
2015040574.tif 000008