(57)【要約】【課題】ロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化する。【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物を測定するためのプローブ１７、被測定物が載置されるロータリテーブル５０、ロータリテーブル５０の座標系を構成する座標軸を算出する座標系算出部２１２を備える。座標系算出部２１２は、ロータリテーブル５０に固定されたマスタボール６１の位置に基づいて、ロータリテーブル５０が回転したときにマスタボール６１が描く円Ｃ１の中心を算出し、円Ｃ１の中心を原点とするロータリテーブル座標系を算出し、ロータリテーブル５０に固定されたゲージ６５の校正された直径値と、ゲージ６５に対してプローブ１７を第１方向にアプローチする第１測定により測定されたゲージ６５の第１直径値と、ゲージ６５に対してプローブ１７を第２方向にアプローチする第２測定により測定されたゲージ６５の第２直径値に基づいて、原点の座標を補正する。【選択図】図２
2015040813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物を測定するためのプローブと、
前記被測定物が載置され、前記プローブに対して回転されるロータリテーブルと、
前記ロータリテーブルの座標系を構成する座標軸を算出する座標系算出部と
を具備し、
前記座標系算出部は、
前記ロータリテーブルに固定されたマスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記マスタボールが描く円の中心を算出し、
前記円の中心を原点とする前記ロータリテーブルの座標系を算出し、
前記ロータリテーブルに固定されたゲージの校正された直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第１方向にアプローチする第１測定により測定された前記ゲージの第１直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第２方向にアプローチする第２測定により測定された前記ゲージの第２直径値とに基づいて、前記原点の座標を補正する
形状測定装置。
【請求項２】
前記プローブは、互いに直交するＸｓ軸、Ｙｓ軸、及びＺｓ軸にそれぞれ平行に駆動され、
前記ロータリテーブルの回転軸は、前記Ｚｓ軸に平行であり、
前記第１方向は、前記Ｚｓ軸方向に見て前記Ｘｓ軸に平行であり、
前記第２方向は、前記Ｚｓ軸方向に見て前記Ｙｓ軸に平行である
請求項１に記載の形状測定装置。
【請求項３】
前記ロータリテーブルの座標系が登録される座標系登録部を更に具備し、
前記第１測定は、前記ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において前記ゲージに対して前記プローブを前記第１方向にアプローチする静止ポイント測定であり、
前記第２測定は、前記ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において前記ゲージに対して前記プローブを前記第２方向にアプローチする静止ポイント測定であり、
前記座標系算出部は、
前記校正された直径値、前記第１直径値、及び前記第２直径値に基づいて前記原点の座標を補正して第１補正座標を算出し、
前記校正された直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを前記第１方向に平行な第３方向にアプローチするロータリテーブル倣い測定により測定された前記ゲージの第３直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを前記第２方向に平行な第４方向にアプローチするロータリテーブル倣い測定により測定された前記ゲージの第４直径値とに基づいて、前記原点の座標を補正して第２補正座標を算出し、
前記座標系登録部は、
前記ロータリテーブルが回転しないようにクランプした状態で前記ロータリテーブルに固定されたワークを測定するクランプオン測定に用いるべき前記ロータリテーブルの座標系の原点の座標として前記第１補正座標を登録し、
前記ロータリテーブルをクランプしない状態で前記ロータリテーブルに固定されたワークを測定するクランプオフ測定に用いるべき前記ロータリテーブルの座標系の原点の座標として前記第２補正座標を登録する
請求項１又は２に記載の形状測定装置。
【請求項４】
前記ロータリテーブルの座標系は、前記ロータリテーブルの回転軸に対応するＺＴ軸を含み、
前記座標系算出部は、
前記ロータリテーブルに固定された他のマスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記他のマスタボールが描く他の円の中心を算出し、
前記円の中心と前記他の円の中心に基づいて前記ＺＴ軸を算出し、
前記ロータリテーブルから前記マスタボールまでの距離と前記ロータリテーブルから前記他のマスタボールまでの距離は異なる
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の形状測定装置。
【請求項５】
ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において三次元測定機を用いて前記ロータリテーブルに固定されたマスタボールの位置を測定し、
前記マスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記マスタボールが描く円の中心を算出し、
前記円の中心を原点とする前記ロータリテーブルの座標系を算出し、
前記ロータリテーブルに固定されたゲージに対して前記三次元測定機のプローブを第１方向にアプローチする第１測定により前記ゲージの第１直径値を測定し、
前記ゲージに対して前記プローブを第２方向にアプローチする第２測定により前記ゲージの第２直径値を測定し、
前記ゲージの校正された直径値、前記第１直径値、及び前記第２直径値に基づいて前記原点の座標を補正する
ロータリテーブル座標系の登録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロータリテーブルを備えた三次元測定機システムが知られている。ロータリテーブルを備えることで、例えば、以下の利点がある。第１に、被測定物の複数面を１個の測定子で測定可能であるため、測定効率が向上する。第２に、測定領域が拡大する。例えば、三次元測定機としての横型座標測定機にロータリテーブルを設けると、測定領域が約２倍になる。第３に、三次元測定機としての座標測定機の３軸とロータリテーブル軸の計４軸による同期倣い測定が可能になる。例えば、特許文献１は、４軸による同期倣い測定において倣い測定中のワークとプローブの角度関係を一定に保つ方法を開示している。
【０００３】
ロータリテーブルを使用して測定を行う場合には、事前にロータリテーブルの座標系の登録を行う必要がある。ロータリテーブル座標系の登録には、通常、ロータリテーブルの上面端に固定したマスタボール（基準球）が用いられる。例えば、ロータリテーブルを所定角度から０°、１２０°、２４０°回転させ、各々の回転角におけるマスタボールの中心位置を測定する。測定された３つの中心位置を通る円の中心と、円の中心を通る円平面の法線を計算する。円の中心をロータリテーブル座標系の原点として、法線をロータリテーブル座標系のＺ軸として、それぞれ登録する。
【０００４】
しかしながら、ロータリテーブルの回転軸が振れ回る場合、上述したロータリテーブル座標系の登録方法を用いると、軸方向がロータリテーブルの上面に垂直になるように設置された円筒軸の直径をロータリテーブルの上面から遠い位置と近い位置とで測定すると、遠い位置における測定値が近い位置における測定値より大きくなる。つまり、上述したロータリテーブル座標系の登録方法は、回転軸の振れ回りに対応しておらず、誤差がおおきくなる。
【０００５】
特許文献２は、回転軸の振れ回りによる誤差を抑制することができるロータリテーブル座標系の登録方法を開示している。この方法では、ロータリテーブルの上面からの距離が異なる二つのマスタボールを用いてロータリテーブル座標系のＺ軸を求める。具体的には、ロータリテーブルを所定角度から０°、１２０°、２４０°回転させ、各々の回転角において第１マスタボールの中心位置と第２マスタボールの中心位置を測定する。第１マスタボールについて測定された３つの中心位置を通る第１円の中心と、第２マスタボールについて測定された３つの中心位置を通る第２円の中心と、第１円の中心と第２円の中心を通る直線を算出する。第１円の中心をロータリテーブル座標系の原点として、直線をロータリテーブル座標系のＺ軸として、それぞれ登録する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平３−８４４０８号公報
【特許文献２】特開２００９−２７１０３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、特許文献２のロータリテーブル座標系の登録方法によれば、第１円の中心と第２円の中心を通る直線をロータリテーブル座標系のＺ軸として登録することで、回転軸の振れ回りによる誤差を抑制することができる。しかしながら、発明者らは、上述したいずれのロータリテーブル座標系登録方法においてもロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化する余地があることを見出した。
【０００８】
したがって、本発明は、ロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化することができる形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の観点による形状測定装置は、被測定物を測定するためのプローブと、前記被測定物が載置され、前記プローブに対して回転されるロータリテーブルと、前記ロータリテーブルの座標系を構成する座標軸を算出する座標系算出部とを具備する。前記座標系算出部は、前記ロータリテーブルに固定されたマスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記マスタボールが描く円の中心を算出し、前記円の中心を原点とする前記ロータリテーブルの座標系を算出し、前記ロータリテーブルに固定されたゲージの校正された直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第１方向にアプローチする第１測定により測定された前記ゲージの第１直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを第２方向にアプローチする第２測定により測定された前記ゲージの第２直径値に基づいて、前記原点の座標を補正する。
【００１０】
前記プローブは、互いに直交するＸｓ軸、Ｙｓ軸、及びＺｓ軸にそれぞれ平行に駆動され、前記ロータリテーブルの回転軸は前記Ｚｓ軸に平行であることが好ましい。前記第１方向は、前記Ｚｓ軸方向に見て前記Ｘｓ軸に平行であることが好ましい。前記第２方向は、前記Ｚｓ軸方向に見て前記Ｙｓ軸に平行であることが好ましい。
【００１１】
上記形状測定装置は、前記ロータリテーブルの座標系が登録される座標系登録部を更に具備することが好ましい。前記第１測定は、前記ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において前記ゲージに対して前記プローブを前記第１方向にアプローチする静止ポイント測定であることが好ましい。前記第２測定は、前記ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において前記ゲージに対して前記プローブを前記第２方向にアプローチする静止ポイント測定であることが好ましい。前記座標系算出部は、前記校正された直径値、前記第１直径値、及び前記第２直径値に基づいて前記原点の座標を補正して第１補正座標を算出し、前記校正された直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを前記第１方向に平行な第３方向にアプローチするロータリテーブル倣い測定により測定された前記ゲージの第３直径値と、前記ゲージに対して前記プローブを前記第２方向に平行な第４方向にアプローチするロータリテーブル倣い測定により測定された前記ゲージの第４直径値とに基づいて、前記原点の座標を補正して第２補正座標を算出することが好ましい。前記座標系登録部は、前記ロータリテーブルが回転しないようにクランプした状態で前記ロータリテーブルに固定されたワークを測定するクランプオン測定に用いるべき前記ロータリテーブルの座標系の原点の座標として前記第１補正座標を登録し、前記ロータリテーブルをクランプしない状態で前記ロータリテーブルに固定されたワークを測定するクランプオフ測定に用いるべき前記ロータリテーブルの座標系の原点の座標として前記第２補正座標を登録する。
【００１２】
前記ロータリテーブルの座標系は、前記ロータリテーブルの回転軸に対応するＺＴ軸を含むことが好ましい。前記座標系算出部は、前記ロータリテーブルに固定された他のマスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記他のマスタボールが描く他の円の中心を算出し、前記円の中心と前記他の円の中心に基づいて前記ＺＴ軸を算出することが好ましい。前記ロータリテーブルから前記マスタボールまでの距離と前記ロータリテーブルから前記他のマスタボールまでの距離は異なることが好ましい。
【００１３】
本発明の第２の観点によるロータリテーブル座標系の登録方法は、ロータリテーブルの回転角が異なる複数の場合において三次元測定機を用いて前記ロータリテーブルに固定されたマスタボールの位置を測定し、前記マスタボールの位置に基づいて、前記ロータリテーブルが回転したときに前記マスタボールが描く円の中心を算出し、前記円の中心を原点とする前記ロータリテーブルの座標系を算出し、前記ロータリテーブルに固定されたゲージに対して前記三次元測定機のプローブを第１方向にアプローチする第１測定により前記ゲージの第１直径値を測定し、前記ゲージに対して前記プローブを第２方向にアプローチする第２測定により前記ゲージの第２直径値を測定し、前記ゲージの校正された直径値、前記第１直径値、及び前記第２直径値に基づいて前記原点の座標を補正する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化することができる形状測定装置及びロータリテーブル座標系の登録方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施の形態１にかかる形状測定装置の概要を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１にかかる形状測定装置の構成を模式的に示すブロック図である。
【図３】実施の形態１にかかるロータリテーブル座標系の登録方法のフローチャートである。
【図４】マスタボールを用いたロータリテーブル座標系の登録方法を示す模式図である。
【図５】座標系どうしの関係を示す模式図である。
【図６】Ｘアプローチの静止ポイント測定によりリングゲージの直径値を測定する方法を説明する模式図である。
【図７】Ｙアプローチの静止ポイント測定によりリングゲージの直径値を測定する方法を説明する模式図である。
【図８】Ｘアプローチのロータリテーブル倣い測定によりリングゲージの直径値を測定する方法を説明する模式図である。
【図９】Ｙアプローチのロータリテーブル倣い測定によりリングゲージの直径値を測定する方法を説明する模式図である。
【図１０】ロータリテーブル座標系の中心座標の補正処理の原理を説明する模式図である。
【図１１】ロータリテーブル座標系の中心座標の補正処理の原理を説明する模式図である。
【図１２】ロータリテーブル座標系の中心座標の補正処理の原理を説明する模式図である。
【図１３】ロータリテーブル座標系の中心座標の補正処理の原理を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。各図面においては、同一要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略される。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１にかかる形状測定装置１００の概要を示す斜視図である。形状測定装置１００は、三次元測定機１、コンピュータ２、ジョイスティックボックス３、コントローラ４、及びロータリテーブル５０を備える。三次元測定機１は、三次元座標測定機と称される場合がある。三次元測定機１は、ロータリテーブル５０に載置されたワークを測定する。コントローラ４は、三次元測定機１及びロータリテーブル５０の駆動制御を実行する。ジョイスティックボックス３は、三次元測定機１を手動で操作するために用いられる。コンピュータ２は、座標系の登録、測定データの保存、測定データに基づいた形状解析などに用いられる。
【００１８】
三次元測定機１に対してスケール座標系が設定されている。スケール座標系は、互いに直交するＸｓ軸、Ｙｓ軸、及びＺｓ軸を含む。Ｚｓ軸は鉛直上向きである。三次元測定機１は、除振台１０、定盤１１、門型フレーム１２、駆動機構１４、コラム１５、スピンドル１６、プローブ１７を備える。除振台１０の上には、定盤１１が、その上面（ベース面）が水平面と一致するように設置される。定盤１１の上にはＹｓ軸に平行に延びる駆動機構１４が設置されている。定盤１１に形成された凹部にはロータリテーブル５０が配置されている。
【００１９】
門型フレーム１２は、Ｘｓ軸に平行に延びるビーム１２ｃと、ビーム１２ｃを支持するビーム支持体１２ａ及び１２ｂとを備える。ビーム支持体１２ａは駆動機構１４の上に立設されている。ビーム支持体１２ｂは定盤１１の上に立設されている。ビーム支持体１２ｂの下端は、エアーベアリングによってＹｓ軸に平行に移動可能に支持されている。駆動機構１４は、ビーム支持体１２ａをＹｓ軸に平行に駆動する。これにより、門型フレーム１２がＹｓ軸に平行に移動する。
【００２０】
ビーム１２ｃは、鉛直方向（Ｚｓ軸方向）に延びるコラム１５を支持する。コラム１５は、ビーム１２ｃに沿ってＸｓ軸に平行に駆動される。コラム１５には、スピンドル１６がコラム１５に沿ってＺｓ軸に平行に駆動されるように設けられている。スピンドル１６の下端には、接触式のプローブ１７が装着されている。プローブ１７は、倣いプローブと称される場合がある。三次元測定機１は、プローブ１７によりロータリテーブル５０に載置されたワークを測定する。プローブ１７の詳細については、後述する。
【００２１】
コンピュータ２は、コンピュータ本体２１、キーボード２２、マウス２３、モニタ２４及びプリンタ２５を備える。コンピュータ本体２１、キーボード２２、マウス２３、モニタ２４及びプリンタ２５については、それぞれ一般的なものを用いることが可能であるので、詳細については説明を省略する。
【００２２】
ジョイスティックボックス３は、プローブ１７の移動を手動で操作するための操作部としてのジョイスティック３２と、移動方向を指令する際の座標系を選択する座標系選択スイッチ３４とを備える。座標系選択スイッチ３４の操作によって三次元測定機１に対して設定されたスケール座標系とロータリテーブル５０に対して設定されたロータリテーブル座標系とが切り替えられる。ジョイスティック３２を操作すると、座標系選択スイッチ３４によって選択された座標系に従ってプローブ１７が駆動される。尚、コントローラ４の詳細については、後述する。
【００２３】
図２は、形状測定装置１００の構成を模式的に示すブロック図である。三次元測定機１は、駆動部１３と、検出器１８及び１９とを備える。駆動部１３は、上述の駆動機構１４を含む。駆動部１３は、コントローラ４からの制御信号に基づいて、スピンドル１６をＸｓ軸、Ｙｓ軸、及びＺｓ軸にそれぞれ平行に駆動する。検出器１９は、スピンドル１６のＸｓ軸に平行な移動、Ｙｓ軸に平行な移動、Ｚｓ軸に平行な移動をそれぞれ検出し、検出結果をコントローラ４に出力する。
【００２４】
プローブ１７は、スピンドル１６に装着されたプローブ本体１７ａ、プローブ本体１７ａに支持されたスタイラス１７ｂ、及びスタイラス１７ｂの端部に設けられたチップ１７ｃを備える。チップ１７ｃは、例えば、球形状、円筒形状又はディスク形状に形成されている。チップ１７ｃは、チップボール、測定子、又は接触子と称される場合がある。プローブ本体１７ａは、スタイラス１７ｂを３軸方向に移動可能に支持するとともに、チップ１７ｃの中心のプローブ本体１７ａに対する相対位置を基準位置に戻すようにスタイラス１７ｂを付勢する。したがって、チップ１７ｃがワークに接触していない状態ではチップ１７ｃの中心は基準位置に配置され、チップ１７ｃがワークに接触している状態ではチップ１７ｃの中心は基準位置から変位する。検出器１８は、チップ１７ｃの中心の基準位置からの変位（振れ）を検出し、検出結果をコントローラ４に出力する。
【００２５】
形状測定装置１００は、クランプ５１と、駆動部５２と、検出器５５を備える。駆動部５２は、コントローラ４からの制御信号に基づいて、ロータリテーブル５０を回転させる。ロータリテーブル５０の回転軸は、Ｚｓ軸に平行であるが、完全に平行でなくてもよい。クランプ５１は、コントローラ４からの制御信号に基づいて、ロータリテーブル５０をクランプした状態とクランプしない状態をとることができる。クランプした状態では、クランプ５１は機械的な機構によりロータリテーブル５０を固定し、ロータリテーブル５０は回転できない。クランプしない状態では、ロータリテーブル５０は回転可能である。検出器５５は、ロータリテーブル５０の回転を検出し、検出結果をコントローラ４に出力する。ロータリテーブル５０にマスタボール６１及び６２を固定することが可能である。また、ロータリテーブル５０は、ワークを固定するためのチャック（不図示）を備える。
【００２６】
コントローラ４は、駆動制御部４１及び検出部４２を備える。駆動制御部４１及び検出部４２は、専用回路として設けられてもよく、図示されないＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）が図示されない記憶装置に格納されたコンピュータプログラムを実行することで実現されてもよい。
【００２７】
三次元測定機１が手動で操作される場合、駆動制御部４１は、ジョイスティックボックス３の出力に基づいて制御信号を生成し、制御信号を駆動部１３、クランプ５１、及び駆動部５２に出力する。駆動制御部４１は、コンピュータ２（コンピュータ本体２）が出力するコマンドに基づいて制御信号を生成し、制御信号を駆動部１３、クランプ５１、及び駆動部５２に出力してもよい。
【００２８】
検出部４２は、検出器１９の出力に基づいて、プローブ１７の座標をプローブ座標ベクトルＳとして検出する。プローブ座標ベクトルＳは、スケール座標系におけるプローブ１７の基準位置の座標を表す。検出部４２は、検出器１８の出力に基づいて、スケール座標系におけるプローブ１７の振れベクトルＥを検出する。振れベクトルＥは、押し込みベクトル又は変位ベクトルと称される場合がある。検出部４２は、検出器５５の出力に基づいて、ロータリテーブル５０の回転角θを検出する。検出部４２は、プローブ座標ベクトルＳ、振れベクトルＥ、及び回転角θをコンピュータ（コンピュータ本体２１）に出力する。また、検出部４２は、プローブ座標ベクトルＳ、振れベクトルＥ、及び回転角θを駆動制御部４１にフィードバックする。
【００２９】
コンピュータ２（コンピュータ本体２１）は、例えば、キーボード２２やマウス２３のような入力部により入力されたオペレータの指示等に基づいてコマンドを生成し、コントローラ４に出力する。コンピュータ２（コンピュータ本体２１）は、設定データ登録部２１１、座標系算出部２１２、及び座標系登録部２１３を備える。設定データ登録部２１１、座標系算出部２１２、及び座標系登録部２１３は、専用回路として設けられてもよく、図示されないＣＰＵが図示されない記憶装置に格納されたコンピュータプログラムを実行することで実現されてもよい。
【００３０】
設定データ登録部２１１は、設定データを登録する。設定データは、例えば、チップ１７ｃの半径、マスタボール６１の半径、マスタボール６２の半径、後述するリングゲージ６５の校正された直径値Ｄｃを含む。設定データは、例えば、キーボード２２やマウス２３のような入力部により設定される。座標系算出部２１３は、検出部４２の出力に基づいてロータリテーブル座標系を算出及び補正する。座標系登録部２１３は、ロータリテーブル座標系などの座標系データを登録する。モニタ２４やプリンタ２５のような出力部は、設定データ、座標系データ、測定データ、測定データに基づいた形状解析結果などを出力する。
【００３１】
図３を参照して、実施の形態１にかかるロータリテーブル座標系の登録方法は、ステップＳ１０〜Ｓ１９を含む。以下、ロータリテーブル座標系の登録方法を説明する。
【００３２】
（ステップＳ１０）
はじめに、マスタボール６１及び６２を用いて、ロータリテーブル５０の座標系を登録する。ロータリテーブル座標系は、ロータリテーブル５０の中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）を含む。中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）は、ロータリテーブル座標系の原点の座標である。以下に、マスタボール６１及び６２を用いたロータリテーブル座標系の登録方法を詳細に説明する。
【００３３】
ロータリテーブル５０の上面端にマスタボール６１及び６２を固定する。ロータリテーブル５０からマスタボール６２までの距離は、ロータリテーブル５０からマスタボール６１までの距離より長い。マスタボール６１及び６２は、例えば、ロータリテーブル５０の回転軸を挟んで１８０°反対の位置に固定される。形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０の回転角θが異なる複数（３以上）の場合において、プローブ１７を用いてマスタボール６１及び６２の位置を測定する。
【００３４】
図４を参照して、上述の測定により、例えば、回転角θがα＋０°、α＋１２０°、α＋２４０°の場合におけるマスタボール６１の中心位置Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ１３がそれぞれ測定され、回転角θがα＋０°、α＋１２０°、α＋２４０°の場合におけるマスタボール６２の中心位置Ｍ２１、Ｍ２２、Ｍ２３がそれぞれ測定される。ここで、αは任意の角度である。中心位置Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ１３の測定、及び、中心位置Ｍ２１、Ｍ２２、Ｍ２３の測定は、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプした状態で実行される。座標系算出部２１２は、中心位置Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ１３及びＭ２１、Ｍ２２，Ｍ２３に基づいて、ロータリテーブル座標系を算出する。ロータリテーブル座標系は、図４に示された原点ＯＴ、ＸＴ軸、ＹＴ軸、ＺＴ軸を含む。
【００３５】
尚、チップ１７ｃの中心位置は、プローブ座標ベクトルＳ及び振れベクトルＥに基づいて算出される。チップ１７ｃと被測定物の接点の位置は、チップ１７ｃの中心位置、振れベクトルＥの方向、及びチップ１７ｃの半径に基づいて算出される。マスタボール６１及び６２の半径が既知であるので、チップ１７ｃとマスタボール６１及び６２との接点の位置からマスタボール６１及び６２の中心位置を算出することができる。
【００３６】
座標系算出部２１２は、中心位置Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ１３に基づいて、ロータリテーブル５０が回転したときにマスタボール６１が描く円Ｃ１の中心を算出し、中心位置Ｍ２１、Ｍ２２、Ｍ２３に基づいて、ロータリテーブル５０が回転したときにマスタボール６２が描く円Ｃ２の中心を算出する。座標系算出部２１２は、円Ｃ１の中心を原点ＯＴに設定する。原点ＯＴの座標は、中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）である。座標系算出部２１２は、中心位置Ｍ１１と中心位置Ｍ１２を通る直線Ａ１に平行になるようにＸＴ軸を算出し、円Ｃ１の中心と円Ｃ２の中心を通る直線Ａ２上に配置されるようにＺＴ軸を算出し、ＸＴ軸及びＺＴ軸に垂直になるようにＹＴ軸を算出する。ＺＴ軸は、ロータリテーブル５０の回転軸に対応している。
【００３７】
図５を参照して、スケール座標系（原点Ｏｓ、Ｘｓ軸、Ｙｓ軸、Ｚｓ軸）、ロータリテーブル５０の回転に対して不変のロータリテーブル固定座標系（原点ＯＴ、ＸＴ軸、ＹＴ軸、ＺＴ軸）、及びロータリテーブル５０とともに回転するロータリテーブル回転座標系（原点ＯＴθ、ＸＴθ軸、ＹＴθ軸、ＺＴθ軸）の関係を説明する。ＺＴ軸は、Ｚｓ軸と平行であることが好ましいが、完全に平行でなくてもよい。ＸＴ軸及びＹＴ軸の方向はαの値によって異なるが、以下の説明において、Ｚｓ軸方向に見てＸＴ軸の方向とＸｓ軸の方向が一致し、ＹＴ軸の方向とＹｓ軸の方向が一致しているものとする。原点ＯＴθ及びＺＴθ軸は、それぞれ原点ＯＴ及びＺＴ軸と一致する。ＸＴθ軸及びＹＴθ軸は、ロータリテーブル５０が回転するとＺＴθ軸（ＺＴ軸）まわりに回転し、回転角θが０°のときにＸＴ軸及びＹＴ軸とそれぞれ一致するものとする。座標系算出部２１２は、ロータリテーブル固定座標系及び回転角θに基づいてＸＴθ軸及びＹＴθ軸を算出する。座標系算出部２１２は、回転角θが検出されるごとにロータリテーブル回転座標系を算出してもよく、予め回転角θの全ての値についてロータリテーブル回転座標系を算出してもよい。座標系登録部２１３は、ロータリテーブル固定座標系を登録する。座標系登録部２１３は、回転角θの全ての値について算出されたロータリテーブル回転座標系を登録してもよい。
【００３８】
ステップＳ１０においては、マスタボール６１及び６２を測定するためにプローブ１７が大きく移動する。そのため、三次元測定機１の測定精度が中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）の精度に影響することが考えられる。中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）がロータリテーブル５０の真の回転中心からずれている場合、ロータリテーブル５０を用いた円測定によりワークの直径値を測定すると測定値がばらついてしまう。したがって、以下のステップにおいて中心座標（Ｘｃ，Ｙｃ，Ｚｃ）を補正する。
【００３９】
（ステップＳ１１）
図６を参照して、校正された直径値Ｄｃを有するリングゲージ６５をロータリテーブル５０に固定する。図６においてはリングゲージ６５の中心とロータリテーブル５０の中心が一致しているが、リングゲージ６５の中心とロータリテーブル５０の中心の一致は必ずしも必要ではない。
【００４０】
（ステップＳ１２）
図６を参照して、形状測定装置１００は、Ｘアプローチの静止ポイント測定によりリングゲージ６５の直径値Ｄ１を測定する。例えば、ロータリテーブル５０の回転角θが異なる複数の場合において、リングゲージ６５に対してプローブ１７を−ＸＴ軸方向にアプローチしたときのアプローチ点のロータリテーブル回転座標系の座標（ＸＴθ座標及びＹＴθ座標）を測定する。ここで、プローブ１７のチップ１７ｃは、リングゲージ６５の中心を通りＸＴ軸に平行な直線上をアプローチする。したがって、回転角θが異なる複数の場合において、アプローチ方向は共通である。アプローチ点は、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点である。アプローチ点の座標の測定は、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプし、且つ、チップ１７ｃがリングゲージ６５に対して相対移動しない状態で実行される。座標系算出部２１２は、回転角θが異なる複数の場合においてそれぞれ測定されたアプローチ点の座標に基づいて、リングゲージ６５の直径値Ｄ１を算出する。ここで、回転角θが異なる複数の場合は、例えば、回転角θが８個の角度（０°、４５°、９０°、１３５°、１８０°、２２５°、２７０°、３１５°、３６０°）の場合である。
【００４１】
（ステップＳ１３）
図７を参照して、形状測定装置１００は、Ｙアプローチの静止ポイント測定によりリングゲージ６５の直径値Ｄ２を測定する。例えば、ロータリテーブル５０の回転角θが異なる複数の場合において、リングゲージ６５に対してプローブ１７をＹＴ軸方向にアプローチしたときのアプローチ点のロータリテーブル回転座標系の座標（ＸＴθ座標及びＹＴθ座標）を測定する。ここで、プローブ１７のチップ１７ｃは、リングゲージ６５の中心を通りＹＴ軸に平行な直線上をアプローチする。したがって、回転角θが異なる複数の場合において、アプローチ方向は共通である。アプローチ点は、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点である。アプローチ点の座標の測定は、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプし、且つ、チップ１７ｃがリングゲージ６５に対して相対移動しない状態で実行される。座標系算出部２１２は、回転角θが異なる複数の場合においてそれぞれ測定されたアプローチ点の座標に基づいて、リングゲージ６５の直径値Ｄ２を算出する。ここで、回転角θが異なる複数の場合は、例えば、回転角θが８個の角度（０°、４５°、９０°、１３５°、１８０°、２２５°、２７０°、３１５°、３６０°）の場合である。
【００４２】
（ステップＳ１４）
図８を参照して、形状測定装置１００は、Ｘアプローチのロータリテーブル倣い測定によりリングゲージ６５の直径値Ｄ３を測定する。ロータリテーブル倣い測定は、ＲＴ倣い測定と称される場合がある。例えば、形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０の回転角θが０°に固定された状態において、リングゲージ６５の円測定を実行してリングゲージ６５の中心を測定する。円測定は、ポイント測定、倣い測定のどちらでもよい。形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０の回転角θが０°に固定された状態において、リングゲージ６５に対してプローブ１７を−ＸＴ軸方向にアプローチする。ここで、プローブ１７のチップ１７ｃは、リングゲージ６５の中心を通りＸＴ軸に平行な直線上をアプローチする。形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０を回転するロータリテーブル倣い測定を実行し、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点のロータリテーブル回転座標系の座標（ＸＴθ座標及びＹＴθ座標）を所定の測定ピッチで取得する。ロータリテーブル倣い測定において、チップ１７ｃがリングゲージ６５に接触した状態に保たれ、且つ、リングゲージ６５の中心からチップ１７ｃを向いたベクトルの方向がアプローチ方向（−ＸＴ軸方向）に一致した状態に保たれるようにプローブ１７が駆動される。チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点の座標の取得は、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプせず、且つ、チップ１７ｃがリングゲージ６５に対して相対移動する状態で実行される。座標系算出部２１２は、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点の座標に基づいて、リングゲージ６５の直径値Ｄ３を算出する。
【００４３】
（ステップＳ１５）
図９を参照して、形状測定装置１００は、Ｙアプローチのロータリテーブル倣い測定によりリングゲージ６５の直径値Ｄ４を測定する。例えば、形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０の回転角θが０°に固定された状態において、リングゲージ６５の円測定を実行してリングゲージ６５の中心を測定する。円測定は、ポイント測定、倣い測定のどちらでもよい。形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０の回転角θが０°に固定された状態において、リングゲージ６５に対してプローブ１７をＹＴ軸方向にアプローチする。ここで、プローブ１７のチップ１７ｃは、リングゲージ６５の中心を通りＹＴ軸に平行な直線上をアプローチする。形状測定装置１００は、ロータリテーブル５０を回転するロータリテーブル倣い測定を実行し、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点のロータリテーブル回転座標系の座標（ＸＴθ座標及びＹＴθ座標）を所定の測定ピッチで取得する。ロータリテーブル倣い測定において、チップ１７ｃがリングゲージ６５に接触した状態に保たれ、且つ、リングゲージ６５の中心からチップ１７ｃを向いたベクトルの方向がアプローチ方向（ＹＴ軸方向）に一致した状態に保たれるようにプローブ１７が駆動される。チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点の座標の取得は、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプせず、且つ、チップ１７ｃがリングゲージ６５に対して相対移動する状態で実行される。座標系算出部２１２は、チップ１７ｃとリングゲージ６５の接点の座標に基づいて、リングゲージ６５の直径値Ｄ４を算出する。
【００４４】
ステップＳ１２〜Ｓ１５の測定ではロータリテーブル５０が回転するが、ステップＳ１２〜Ｓ１５におけるプローブ１７の移動量は、ステップＳ１０においてマスタボール６１及び６２を測定したときの移動量に比べて小さい。そのため、リングゲージ６５の直径値を高精度に測定することができると考えられる。
【００４５】
（ステップＳ１６）
座標系算出部２１２は、直径値Ｄｃ、Ｄ１、及びＤ２に基づいて、Ｘｔ１及びＹｔ１を算出する。Ｘｔ１は、下記式で表される。
【数１】
2015040813.tif 000003
Ｙｔ１は、下記式で表される。
【数２】
2015040813.tif 000004
ここで、Ｍ１は下記式で表される。
【数３】
2015040813.tif 000005
座標系算出部２１２は、直径値Ｄｃ、Ｄ３、及びＤ４に基づいて、Ｘｔ２及びＹｔ２を算出する。Ｘｔ２は、下記式で表される。
【数４】
2015040813.tif 000006
Ｙｔ２は、下記式で表される。
【数５】
2015040813.tif 000007
ここで、Ｍ２は下記式で表される。
【数６】
2015040813.tif 000008
【００４６】
（ステップＳ１７）
座標系算出部２１２は、下記式に示すように、ロータリテーブル座標系の原点ＯＴの座標（中心座標）の座標値ＸｃをＸｔ１及びＸｔ２でそれぞれ補正して真の座標値Ｘｃ１及びＸｃ２を算出する。
【数７】
2015040813.tif 000009
座標系算出部２１２は、下記式に示すように、ロータリテーブル座標系の原点ＯＴの座標（中心座標）の座標値ＹｃをＹｔ１及びＹｔ２でそれぞれ補正して真の座標値Ｙｃ１及びＹｃ２を算出する。
【数８】
2015040813.tif 000010
【００４７】
（ステップＳ１８）
座標系登録部２１３は、ロータリテーブル５０をクランプした状態でロータリテーブル５０に固定されたワークを測定するクランプオン測定に用いるべきロータリテーブル座標系の原点ＯＴ（ＯＴθ）の座標として補正座標（Ｘｃ１，Ｙｃ１，Ｚｃ）を登録する。
【００４８】
（ステップＳ１９）
座標系登録部２１３は、ロータリテーブル５０をクランプしない状態でロータリテーブル５０に固定されたワークを測定するクランプオフ測定に用いるべきロータリテーブル座標系の原点ＯＴ（ＯＴθ）の座標として補正座標（Ｘｃ２，Ｙｃ２，Ｚｃ）を登録する。
【００４９】
以下、図１０〜１３を参照して、ロータリテーブル座標系の中心座標の補正処理の原理を説明する。以下、ロータリテーブル倣い測定の場合について補正処理の原理を説明するが、静止ポイント測定の場合についても補正処理の原理は同様である。
【００５０】
図１０を参照して、ロータリテーブル５０の真の回転中心とステップＳ１０において算出した原点ＯＴ（ＯＴθ）とのずれを（Ｘｔ，Ｙｔ）とする。図１０では、便宜上、Ｘｔ及びＹｔはともに正である。回転角θが０°の状態でプローブ１７を−ＸＴ軸方向にアプローチしたときのチップ１７ｃとリングゲージ６５の接点Ｐ１のロータリテーブル回転座標系の座標Ｐ１（Ｔ）は、下記式で表される。
【数９】
2015040813.tif 000011
ここで、Ｌ１は、ロータリテーブル５０の真の回転中心を通りＹＴθ軸に平行な直線からリングゲージ６５の内径端までの距離である。Ｌ２は、リングゲージ６５の校正された直径値Ｄｃに等しい。Ｌ３は、ロータリテーブル５０の真の回転中心を通りＸＴθ軸に平行な直線から接点Ｐ１までの距離である。
【００５１】
同様に、回転角θが１８０°のときのチップ１７ｃとリングゲージ６５の接点Ｐ２のロータリテーブル回転座標系の座標Ｐ２（Ｔ）は、下記式で表される。
【数１０】
2015040813.tif 000012
座標Ｐ１（Ｔ）と座標Ｐ２（Ｔ）の間の距離がステップＳ１４で測定される直径値Ｄ３に等しいので、下記式が成り立つ。
【数１１】
2015040813.tif 000013
【００５２】
図１１を参照して、回転角θが０°の状態でプローブ１７をＹＴ軸方向にアプローチしたときのチップ１７ｃとリングゲージ６５の接点Ｐ３のロータリテーブル回転座標系の座標Ｐ３（Ｔ）は、下記式で表される。
【数１２】
2015040813.tif 000014
ここで、Ｌ４は、ロータリテーブル５０の真の回転中心を通りＸＴθ軸に平行な直線からリングゲージ６５の内径端までの距離である。Ｌ５は、リングゲージ６５の校正された直径値Ｄｃに等しい。Ｌ６は、ロータリテーブル５０の真の回転中心を通りＹＴθ軸に平行な直線から接点Ｐ３までの距離である。
【００５３】
同様に、回転角θが１８０°のときのチップ１７ｃとリングゲージ６５の接点Ｐ４のロータリテーブル回転座標系の座標Ｐ４（Ｔ）は、下記式で表される。
【数１３】
2015040813.tif 000015
座標Ｐ３（Ｔ）と座標Ｐ４（Ｔ）の間の距離がステップＳ１４で測定される直径値Ｄ４に等しいので、下記式が成り立つ。
【数１４】
2015040813.tif 000016
【００５４】
数式（１１）及び（１４）を連立させて解くために数式（１１）及び（１４）を展開すると、下記式が得られる。
【数１５】
2015040813.tif 000017
【数１６】
2015040813.tif 000018
数式（１６）から数式（１５）を引いてＹｔを求めると、Ｙｔは下記式で表される。
【数１７】
2015040813.tif 000019
【００５５】
数式（１７）を数式（１５）に代入して整理すると、下記式を得る。
【数１８】
2015040813.tif 000020
数式（１８）を解いて整理すると、絶対値が小さい方の解は下記式で表される。
【数１９】
2015040813.tif 000021
数式（１９）よりＸｔが求まるので、数式（１７）よりＹｔが求まる。
【００５６】
数式（１９）の妥当性については、下記の基本的な検証が可能である。Ｄ４＝Ｄ３とすると、Ｍ２＝０となり、数式（１７）からＹｔ＝Ｘｔとなる。これは、直径値の偏差に方向性が発生しないことに対応しているので、基本条件が満たされる。Ｄ４＝Ｄ３のときに数式（１９）は、下記式で表される。
【数２０】
2015040813.tif 000022
数式（２０）においてＤ３＝Ｄｃとすれば、Ｘｔ＝０となる。このとき、Ｙｔ＝ＸｔよりＹｔ＝０である。これは、直径値に偏差が発生しなければ原点ＯＴ（ＯＴθ）とロータリテーブル５０の真の回転中心が一致していることを示し、数式（１９）の妥当性を示すものである。
【００５７】
また、数式（２０）においてＤ３≠Ｄｃ（Ｄ３がＤｃに等しくない）とすれば、Ｄ３＞ＤｃのときにＸｔ＞０となり、Ｄ３＜ＤｃのときにＸｔ＜０となる。Ｄ３＞ＤｃのときにＸｔ＞０となることは、図１２に示す具体的数値（Ｘｔ＝３、Ｙｔ＝０、Ｌ１＝９０、Ｌ２＝Ｄｃ＝５０、Ｌ３＝０）を使用した場合にＤ３＞Ｄｃとなることと一致している。Ｄ３＜ＤｃのときにＸｔ＜０となることは、図１３に示す具体的数値（Ｘｔ＝−３、Ｙｔ＝０、Ｌ１＝９０、Ｌ２＝Ｄｃ＝５０、Ｌ３＝０）を使用した場合にＤ３＜Ｄｃとなることと一致している。これらは、数式（１９）の妥当性を示すものである。以上より、数式（１７）及び（１９）よりＸｔ及びＹｔが求まる。
【００５８】
本実施の形態によれば、リングゲージ６５の校正された直径値Ｄｃと、リングゲージ６５に対してプローブを−ＸＴ軸方向にアプローチして測定されたリングゲージ６５の直径値Ｄ１又はＤ３と、リングゲージ６５に対してプローブをＹＴ軸方向にアプローチして測定されたリングゲージ６５の直径値Ｄ２又はＤ４とに基づいて、ロータリテーブル座標系の原点ＯＴ（ＯＴθ）の座標を補正する。したがって、ロータリテーブル座標系の原点の登録値を高精度化することができる。
【００５９】
尚、ステップＳ１２及びＳ１４の両方又はいずれか一方におけるアプローチ方向は、ＸＴ軸方向であってもよい。すなわち、ステップＳ１２及びＳ１４におけるアプローチ方向は、Ｚｓ軸方向に見てＸｓ軸に平行な方向である。ステップＳ１３及びＳ１５の両方又はいずれか一方におけるアプローチ方向は、−ＹＴ軸方向であってもよい。すなわち、ステップＳ１３及びＳ１５におけるアプローチ方向は、Ｚｓ軸方向に見てＹｓ軸に平行な方向である。尚、Ｚｓ軸とＺＴ軸（ＺＴθ軸）が平行且つＸＴ軸、ＹＴ軸、及びＺＴ軸が互いに直交する場合、ステップＳ１２及びＳ１４におけるアプローチ方向はＸｓ軸に平行な方向であり、ステップＳ１３及びＳ１５におけるアプローチ方向はＹｓ軸に平行な方向である。
【００６０】
更に、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプしたときとクランプしないときとでロータリテーブル５０の中心が異なる可能性がある。本実施の形態によれば、ステップＳ１２及びＳ１３の静止ポイント測定に基づいて算出された補正座標（Ｘｃ１，Ｙｃ１，Ｚｃ）をクランプオン測定に用いるべきロータリテーブル座標系の原点の座標として登録し、ステップＳ１４及びＳ１５のロータリテーブル倣い測定に基づいて算出された補正座標（Ｘｃ２，Ｙｃ２，Ｚｃ）をクランプオフ測定に用いるべきロータリテーブル座標系の原点の座標として登録する。このようにクランプオン測定とクランプオフ測定とでロータリテーブル座標系の原点の座標を使い分けることで、ロータリテーブル５０を使用した測定の高精度化が図られる。尚、クランプ５１がロータリテーブル５０をクランプしたときとクランプしないときとでロータリテーブル５０の中心が一致する場合は、ステップＳ１２及びＳ１３の静止ポイント測定とステップＳ１４及びＳ１５のロータリテーブル倣い測定のいずれか一方を実行しなくてもよい。
【００６１】
本実施の形態によれば、ロータリテーブル５０からの距離が異なる二つのマスタボール６１及び６２を用いてＺＴ軸（ＺＴθ軸）を決定しているため、ロータリテーブル５０の回転軸の振れ回りによる誤差を抑制することができる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、リングゲージ６５のかわりに円筒スコヤ又は基準球（マスタボールを含む）を用いてもよい。更に、マスタボール６２を用いずにロータリテーブル座標系のＺＴ軸を求めてもよい。この場合、円Ｃ１の中心を通り、円Ｃ１が形成する平面の法線Ｎ１（図４参照）をＺＴ軸に設定する。
【００６３】
更に、ステップＳ１２及びＳ１４におけるプローブ１７のアプローチ方向及びステップＳ１３及びＳ１５におけるプローブ１７のアプローチ方向は、ＸＴ軸及びＹＴ軸にそれぞれ平行（すなわち、θ＝０°のときのＸＴθ軸及びＹＴθ軸にそれぞれ平行）でなくてもよい。ステップＳ１２及びＳ１４におけるアプローチ方向及びステップＳ１３及びＳ１５におけるアプローチ方向をθ＝βのときのＸＴθ軸及びＹＴθ軸にそれぞれ平行とすると、この場合にステップＳ１６で算出される（Ｘｔ１，Ｙｔ１）及び（Ｘｔ２，Ｙｔ２）は、ロータリテーブル５０の真の回転中心とステップＳ１０において算出した原点ＯＴとのθ＝βのときのＸＴθ軸及びＹＴθ軸にそれぞれ平行なずれを表している。βに対応する回転行列を用いれば、θ＝βのときのＸＴθ軸及びＹＴθ軸にそれぞれ平行なずれをθ＝０°のときのＸＴθ軸及びＹＴθ軸にそれぞれ平行なずれに変換することができる。変換後のずれと数式（７）及び（８）に基づいて、原点ＯＴの真の座標値Ｘｃ１、Ｘｃ２、Ｙｃ１及びＹｃ２を算出することができる。
【００６４】
上述の例において、プログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体（ｎｏｎ−ｔｒａｎｓｉｔｏｒｙ  ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｒｅａｄａｂｌｅ  ｍｅｄｉｕｍ）を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体（ｔａｎｇｉｂｌｅ  ｓｔｏｒａｇｅ  ｍｅｄｉｕｍ）を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体（例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ）、光磁気記録媒体（例えば光磁気ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−Ｒ／Ｗ、半導体メモリ（例えば、マスクＲＯＭ、ＰＲＯＭ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  ＲＯＭ）、ＥＰＲＯＭ（Ｅｒａｓａｂｌｅ  ＰＲＯＭ）、フラッシュＲＯＭ、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ））を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体（ｔｒａｎｓｉｔｏｒｙ  ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｒｅａｄａｂｌｅ  ｍｅｄｉｕｍ）によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。
【符号の説明】
【００６５】
１  三次元測定機
２  コンピュータ
３  ジョイスティックボックス
４  コントローラ
１７  プローブ
５０  ロータリテーブル
５１  クランプ
６１、６２  マスタボール
６５  リングゲージ
１００  形状測定装置
２１２  座標系算出部
２１３  座標系登録部
Ｃ１、Ｃ２  円
Ｍ１１〜Ｍ１３、Ｍ２１〜Ｍ２３  中心位置
【図１】
2015040813.tif 000023
【図２】
2015040813.tif 000024
【図３】
2015040813.tif 000025
【図４】
2015040813.tif 000026
【図５】
2015040813.tif 000027
【図６】
2015040813.tif 000028
【図７】
2015040813.tif 000029
【図８】
2015040813.tif 000030
【図９】
2015040813.tif 000031
【図１０】
2015040813.tif 000032
【図１１】
2015040813.tif 000033
【図１２】
2015040813.tif 000034
【図１３】
2015040813.tif 000035