(57)【要約】【課題】簡単な演算処理で、測定対象の幅を求める幅測定装置を提供する。【解決手段】本発明の幅測定装置は、線状欠陥候補を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記線状欠陥候補の短手方向と判定する短手方向判定部（４３）と、予め設定された方向の線状欠陥候補の幅の、当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定部（４５）とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像データ中の測定対象に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定する線間距離測定手段と、
上記線間距離測定手段によって測定された上記距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する短手方向判定手段と、
上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定手段と、
上記第１測定手段によって測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向判定手段によって判定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定手段と、
を備えていることを特徴とする幅測定装置。
【請求項２】
上記線間距離測定手段は、
上記２本の仮想直線を、予め定められた回転角度Δθ単位で回転させながら、当該２本の仮想直線間の距離を測定することを特徴とする請求項１記載の幅測定装置。
【請求項３】
上記第２測定手段によって測定箇所毎に測定された測定対象の幅の集合であるプロファイル情報を生成するプロファイル情報生成手段と、
上記プロファイル情報生成手段によって生成されたプロファイル情報から、測定対象の測定箇所全体の代表値である測定対象の幅を算出する算出手段と、
を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の幅測定装置。
【請求項４】
上記算出手段は、
上記プロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における測定対象の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の平均値を、上記代表値である測定対象の幅として算出することを特徴とする請求項３に記載の幅測定装置。
【請求項５】
上記算出手段は、
上記プロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における測定対象の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の最大値を、上記代表値である測定対象の幅として算出することを特徴とする請求項３に記載の幅測定装置。
【請求項６】
検査対象物を撮像しての画像データを生成する撮像部と、
上記撮像部が生成した画像データに含まれる欠陥候補の幅を測定対象の幅として測定する請求項１〜５のいずれか１項に記載の幅測定装置と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項７】
画像データ中の測定対象に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定する線間距離測定工程と、
上記線間距離測定工程において測定された上記距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する短手方向判定工程と、
上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定工程と、
上記第１測定工程において測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向判定工程において判定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定工程と、
を含むことを特徴とする幅測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートやガラス板やパネル等の平板状、または、緩やかな曲率を有する板上体に存在する線状欠陥等の測定対象物の幅を測定する幅測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶パネル等の様々な工業製品の製造工程において、一部の製品に表面傷等の様々な欠陥が発生することがあるため、製品の欠陥を製造工程内で検出するために撮像画像を用いた検査が広く行われている。
【０００３】
また、欠陥として線状欠陥が存在するが、線状欠陥を適切に検出すには、線状欠陥の候補となる測定対象の幅を正確に測定する必要がある。これは、測定対象の幅が所定サイズ以上の場合に、その測定対象を線状欠陥として判定するためである。
【０００４】
一般に、線状欠陥の幅を計測する場合、線状欠陥を囲む矩形の短辺をΔθ単位で求め、最小短辺が得られるθ（＝ｎΔθ、ｎは整数）の短辺を線状欠陥の幅とする方法がある。この方法はΔθを小さくとればとるほど、θは最適解に近づき、より高精度に幅を計測することができる。
【０００５】
しかしながら、Δθは処理時間の関係から、極端に小さくとることはできないので、線状欠陥の幅に誤差が乗ってしまうという課題があった。また、曲線成分の多い線状欠陥の幅を計測する場合、前記方法では特定方向の振幅を計測してしまい、幅を計測できないという課題があった。
【０００６】
これらを解決する従来技術として、特許文献１がある。この特許では、線状欠陥の重心を求めて、この重心を通り走査線に直行する垂直線を設定し、この垂直線に直行して間隔ｈで第１線と第２線を引き、第１線と略矩形の交点をＡ、Ｂ、第２線と略矩形の交点をＣ、Ｄとし、四辺形ＡＢＣＤの面積Ａ１を求め、各交点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄより相手の第１線、第２線へ垂線を引き両端の垂線と第１線及び第２線とで囲まれる面積をＡ０とすると、
θ＝ｔａｎ−１（Ａ０−Ａ１）／ｈ２・・・・・・（１）
式（１）で表わされるθを略矩形の重心を通り長辺の方向を示す中心線と垂直線となす角度としている。この式（１）により、線状の矩形を回転することなく、幾何学的に幅を求めることができる。また、曲線成分の多い線状欠陥に対しても、線状欠陥を複数のブロック単位に分割すれば、式（１）を用いて線状欠陥の幅を計測することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２８６８２２号公報（１９９５年１０月３１日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に開示された技術では以下のような問題が生じる。
【０００９】
一定の幅を持つ理想的な線状欠陥であれば問題はないが、実際は、幅が一定ではない線状欠陥がほとんどで、この場合、幾何学的に式（１）を用いて、ＡＢＣＤのたった４点から線状欠陥の幅を決めてしまうと、特異点から幅を計測してしまう危険性が伴う。
【００１０】
この危険性を低減するために、Δθと係数ｍ（ｍは整数）を設定し、線状欠陥の幅を決定するための点数を増やして精度を上げる方法が記載されているが、点数を増やせば増やすほど演算量が膨大となり、処理時間も膨大となってしまう。また、曲線成分の多い欠陥を複数のブロック単位に分割し、その区間ごとに幅を算出すれば、曲線成分の多い線状欠陥であっても、正確に線状欠陥の幅を求めることができるのだが、この方法は分割数Ｎが増えれば増えるほど、演算処理時間は通常時のＮ倍以上と膨大となってしまう。
【００１１】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、曲線成分を含む形状の測定対象であっても、簡単な演算処理で、測定対象の幅を求めることができる幅測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る幅測定装置は、画像データ中の測定対象に外接する矩形領域のうち、短手方向の辺の長さが最小となる矩形領域の短手方向を特定する短手方向特定手段と、上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定手段と、上記第１測定手段によって測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向特定手段によって特定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定手段と、を備えていることを特徴としいている。
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る幅測定方法は、画像データ中の測定対象に外接する矩形領域のうち、短手方向の辺の長さが最小となる矩形領域の短手方向を特定する短手方向特定工程と、上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定工程と、上記第１測定工程において測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向特定工程において特定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定工程と、を含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の一態様によれば、曲線成分を含む形状の測定対象であっても、簡単な演算処理のみで、測定対象の幅を求めることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態１に係る欠陥検査装置の概略構成図である。
【図２】図１に示す欠陥検査装置が備える画像処理部の概略ブロック図である。
【図３】図２に示す画像処理部における欠陥判定処理の流れを示すフローチャートである。
【図４】（ａ）（ｂ）は、欠陥幅を測定する方法を説明するための図である。
【図５】欠陥幅を測定したときの幅と度数との関係を示す一例を示す度数分布図である。
【図６】本発明の実施形態２に係る欠陥幅測定方法の概略を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
〔実施形態１〕
本発明の一実施の形態について説明すれば以下の通りである。
【００１７】
図１は、本実施形態に係る欠陥検査装置１の構成を表わす模式図である。本実施形態では、欠陥検査装置１を、液晶ディスプレイの製造工程におけるパネルの欠陥（主に線状欠陥）を検査するための装置として使用する例について説明する。なお、欠陥検査装置１は、液晶ディスプレイ以外の他の物を検査する装置、たとえば、シリコン基板を検査する装置等であってもよい。あるいは、当該欠陥検査装置１は、上記のような検査のため以外に、たとえば、印刷物に形成された図形、文字等において生じる線状欠陥等の測定対象物の幅を測定する必要のある装置にも適用可能である。
【００１８】
以下では、測定対象として欠陥候補（特に、線状欠陥候補）を想定して説明する。
【００１９】
（欠陥検査装置１の概要説明）
欠陥検査装置１は、図１に示すように、カメラ（撮像部）１０１、照明器２０１、ステージ３０１、画像処理部１００、コントローラ２００、装置制御部３００を含んでいる。ステージ３０１上には、検査対象物であるワーク３０２が載置されている。
【００２０】
カメラ１０１は、ステージ３０１上に載置された検査対象のワーク３０２を撮像する撮像手段であり、たとえばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラやラインセンサカメラである。照明器２０１は、照明器は、たとえばＬＥＤ光源を用いた照明器である。
【００２１】
コントローラ２００は、カメラ１０１、照明器２０１、ステージ３０１に対してそれぞれ制御信号を送り、所望の制御を行う制御手段である。
【００２２】
具体的には、コントローラ２００は、ステージ３０１に制御信号を送信することにより、当該ステージ３０１の位置を制御する。これにより、ステージ３０１は、コントローラ２００からの制御信号に応じて駆動する。
【００２３】
コントローラ２００は、照明器２０１に、ステージ３０１を照射するための光を発信する制御を実行する。これにより、照明器２０１は、コントローラからの信号に基づいて光の照射方向および光量を調節する。
【００２４】
コントローラ２００は、カメラ１０１に制御信号を送信することにより、ステージ３０１上の検査対象のワーク３０２の撮影を制御する。これにより、カメラ１０１は、コントローラ２００からの制御信号に基づいて検査対象のワーク３０２の全体もしくは予め定められた範囲を撮影し、画像データを画像処理部１００に出力する。
【００２５】
すなわち、欠陥検査装置１は、検査対象物を撮像しての画像データを生成する撮像部であるカメラ１０１と、カメラ１０１が生成した画像データから欠陥候補の幅を判定する幅測定部２２を含んだ画像処理部１００とを備えている。
【００２６】
本実施形態では、カメラ１０１としてはラインセンサカメラを用い、照明器２０１として複数のＬＥＤが列状に並んだＬＥＤバー照明を用い、ステージ３０１は1軸方向に駆動するステージを用いる。
【００２７】
装置制御部３００は、外部から入力される指示に基づいて、あるいは予め定められた条件が成立する場合に、所定の制御信号をコントローラ２００に送信し、前述した各部の動作をコントローラ２００に制御させる。
【００２８】
また、装置制御部３００は、外部から入力される指示に基づいて、あるいは予め定められた条件が成立する場合に、コントローラ２００に送信する制御信号とは別の所定の制御信号を画像処理部１００にも送信する。
【００２９】
画像処理部１００は、装置制御部３００からの制御信号（指令）に基づいて、カメラ１０１により出力される画像データに対した予め定められた画像処理を実行し、その結果を装置制御部３００に出力する。
【００３０】
（画像処理部１００の詳細）
以下に、画像処理部１００について詳細に説明する。
【００３１】
図２は、画像処理部１００の概略構成を表すブロック図である。
【００３２】
画像処理部１００は、入力部１１、データ記録部１２、出力部１３、制御部（欠陥検査装置）１４を含んでいる。
【００３３】
入力部１１は、外部からデータの入力を受付ける。このデータには、上述したカメラ１０１により出力される画像データと装置制御部３００により出力される制御データとが含まれる。
【００３４】
データ記録部１２は、予め定められた画像処理を実行するためのデータ、カメラ１０１により入力された画像データ、その他画像処理に必要なデータを格納する。
【００３５】
出力部１３は、装置制御部３００に対して、制御部１４にて実行された画像処理の結果を出力する。
【００３６】
制御部１４は、閾値を用いて、入力部１１またはデータ記録部１２からの画像データに対して二値化処理を実行する処理部である二値化処理部２１、二値化処理された画像データに含まれる線状欠陥候補（測定対象）の幅を測定するための幅測定部（幅測定装置）２２、幅測定部２２によって測定された線状欠陥候補の幅とデータ記録部１２に格納されている幅閾値とを比較することにより、線状欠陥の良否を判定する判定部２３を含んでいる。
【００３７】
幅測定部２２は、測定対象である線状欠陥の幅を測定するものであって、測定対象特定部４１、線間距離測定部（線間距離測定手段）４２、短手方向判定部（短手方向判定手段）４３、第１測定部（第１測定手段）４４、第２測定部（第２測定手段）４５、プロファイル情報生成部（プロファイル情報生成手段）４６、算出部（算出手段）４７を有している。
【００３８】
つまり、幅測定部２２は、線状欠陥候補に外接する２本の平行な仮想直線の回転角度θ、ｘ軸方向、もしくはｙ軸方向の積算、積算によって得られたプロファイルの統計処理、三角関数を用いた幅の算出、線状欠陥の分割などの演算処理を行う。
【００３９】
測定対象特定部４１は、二値化処理された画像データから測定対象である線状欠陥候補特定する。ここでは、二値化処理された画像データから、予め設定した閾値以上の二値化データを含んだ領域を線状欠陥候補として特定する。
【００４０】
線間距離測定部４２は、例えば図４の（ａ）に示すように、二値化処理後の画像データ中の測定対象である線状欠陥候補Ｘに接し、線状欠陥候補Ｘを挟む、平行な２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離ｄを、２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２の回転角度θを変えながら測定する。
【００４１】
ここで、線間距離測定部４２は、２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２を、予め定められた回転角度Δθ単位で回転させながら、当該２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離ｄを測定する。なお、Δθは、−９０度から＋９０度までをとる変数である。また、Δθは、２のＮ乗と等しく均等である方が望ましい。例えば、１８０度の４等分（２の２乗）であればΔθは４５度、１８０度の８等分（２の３乗）であればΔθは２２．５度、１８０度の１６等分（２の４乗）であればΔθは１１．２５度となる。
【００４２】
短手方向判定部４３は、線間距離測定部４２によって測定された２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離ｄが最小となる仮想直線Ｘ１・Ｘ２に直交する方向を、測定対象である線状欠陥候補の短手方向と判定する。
【００４３】
第１測定部４４は、測定対象である線状欠陥候補Ｘの少なくとも１つの測定箇所（例えば図４の（ｂ）に示す、図４の（ａ）の領域Ａの拡大図）における、予め設定された方向（例えば２次元座標系におけるｘ軸）の測定対象である線状欠陥候補Ｘの幅（例えば図４の（ｂ）のＷｘ４）を測定する。
【００４４】
第２測定部４５は、第１測定部４４によって測定された線状欠陥候補Ｘの幅（例えば図４の（ｂ）の拡大図のＷｘ４）の、短手方向判定部４３によって判定された当該欠陥の短手方向に対する正射影成分の大きさ（例えば図４の（ｂ）の拡大図のｗｉｄｔｈ４）を測定する。
【００４５】
図４の（ａ）では、予め設定した方向が２次元座標系におけるｘ軸であるが、これに限定されるものではなく、線状欠陥候補Ｘが形成された向きによっては、予め設定した方向が２次元座標系におけるｙ軸になる場合もある。予め設定された方向は、短手方向判定部４３によって判定された短手方向の線分の傾きに応じて、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸のいずれかの軸方向に設定される。
【００４６】
また、短手方向判定部４３によって判定された短手方向と、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸となす角度（回転角度θ）によって、予め設定された方向を決めるのが望ましい。例えば、θが−４５度から＋４５度までのように、ｘ軸方向成分がｙ軸方向成分よりも大きくなるので、予め設定された方向がｙ軸方向に決まり、ｘ軸成分の大きさ（幅）を得る。また、θがそれ以外である場合は、予め設定された方向がｙ軸方向に正射影し、ｙ軸成分の大きさ（幅）を得ることが望ましい。
【００４７】
プロファイル情報生成部４６は、第２測定部４５によって測定箇所毎に測定された測定対象である線状欠陥候補Ｘの幅の集合であるプロファイル情報を生成する。プロファイル情報の詳細については後述する。
【００４８】
算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報から、測定対象である線状欠陥候補の測定箇所全体の代表値である幅を算出する。
【００４９】
このようにして、幅測定部２２において測定された線状欠陥候補の幅が、後段の判定部２３に送られる。
【００５０】
判定部２３は、測定された線状欠陥候補の幅に基づいて、当該線状欠陥候補が画像データにおける線状欠陥であるか否かを判定する。
【００５１】
判定部２３による判定結果は、出力部１３に出力され、ユーザに対して、検査対象のワーク３０２における線状欠陥の有無を知らせるようになっている。例えば、出力部１３の出力先がモニタであれば、判定部２３から出力された判定結果を、当該モニタ上でユーザが認識できる状態で表示させ、検査対象のワーク３０２における欠陥の有無を知らせる。また、出力部１３の出力先がプリンタであれば、判定部２３から出力された判定結果をプリントアウトする。
【００５２】
ここで重要なのが、最初に測定対象である線状欠陥候補の短手方向を求めて、次に線状欠陥候補の短手方向を用いて、当該線状欠陥候補の幅を測定するという２段階で線状欠陥候補の幅を測定している点にある。以下に、線状欠陥判定処理の流れについて説明する。
【００５３】
（画像処理部１００による線状欠陥判定処理）
図３は、本発明の幅測定方法を含む線状欠陥判定処理の流れを示すフローチャートである。
【００５４】
まず、制御部１４は、入力部１１からの画像データの入力を検知する（ステップＳ１１）。ここで、画像データは、カメラ１０１が撮像したステージ３０１上に載置された検査対象のワーク３０２の画像データである。
【００５５】
次に、制御部１４の二値化処理部２１は、予め設定した閾値（Ｔｈ）で画像全体を二値化する（ステップＳ１２）。つまり、二値化処理部２１は、入力された画像データに対して、閾値（Ｔｈ）を用いた二値化処理を実行する。具体的には、二値化処理部２１が、入力を検知した画像データ全体に対して、データ記録部１２から読み出した閾値Ｔｈを用いて二値化処理を実行している。また、閾値（Ｔｈ）は、検査対象のワーク３０２の種類（液晶ディスプレイ、シリコン基板など）毎に予め設定されるのが好ましい。
【００５６】
なお、閾値（Ｔｈ）による二値化処理の対象の画像データ全体は、画像データ全体に順ずるものも含むものとする。例えば、画像の周辺部を除いたものであってもよいし、例えば、画像データが大きい場合は、所定数やサイズに応じて幾つかに分割したデータを、当該画像データ全体としてみなして扱ってもよい。
【００５７】
次に、制御部１４の幅測定部２２は、測定対象特定部４１によって、ステップＳ１２において得られた二値化データから、画像データにおける線状欠陥の候補となる線状欠陥候補を特定する（ステップＳ１３）。
【００５８】
続いて、制御部１４の幅測定部２２は、線間距離測定部４２によって、ステップＳ１３において得られた線状欠陥候補に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定する（ステップＳ１４：線間距離測定工程）。ここでは、図４の（ａ）に示すように、測定対象である線状欠陥候補Ｘに接し、当該線状欠陥候補Ｘを挟む、平行な２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離ｄを、回転角度θを変えながら測定する。なお、２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２を、予め定められた回転角度Δθ単位で回転させながら、当該２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離ｄを測定するのが好ましい。Δθ＝１１．２５°とした場合、２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２を、ｘ軸側またはｙ軸側から２段階回転させれば、図４の（ａ）に示すθは、４５°をとなる。
【００５９】
次に、制御部１４の幅測定部２２は、短手方向判定部４３によって、ステップＳ１４において測定された上記距離ｄが最小（ｍｉｎ）となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する（ステップＳ１５：短手方向判定工程）。ここでは、ステップＳ１４において測定された距離ｄが最小となるまで判定し続け、最小となったとき（ＹＥＳ）に、次のステップＳ１６に移行する。
【００６０】
ステップＳ１６では、制御部１４の幅測定部２２の第１測定部４４によって、測定対象である線状欠陥候補の少なくとも１つの測定箇所（例えば図４の（ａ）の測定位置（４）における領域Ａ）における、予め設定された方向（ｘ軸方向）の線状欠陥候補の幅（図４の（ｂ）のＷｘ４）を測定する（第１測定工程）。ここで、線状欠陥候補の幅の測定箇所は、上述のように少なくとも１カ所であればよく、複数の箇所（図４の（ａ）に示す測定位置（１）〜（７））であってもよい。複数の箇所の場合については別実施形態において説明する。
【００６１】
予め設定された方向（ｘ軸方向）の線上欠陥候補の幅は、第１測定部４４によって、測定対象の測定箇所における予め設定された方向に含まれる画素の数に基づいて、当該予め設定された方向の幅として測定するようにしてもよい。具体的には、画素のｘ軸方向の幅に、画素の数を乗算することにより、線上欠陥候補のｘ軸方向の幅を求める。
【００６２】
次に、制御部１４の幅測定部２２は、第２測定部４５によって、ステップＳ１６において測定された線状欠陥候補のｘ軸方向の幅（図４の（ｂ）に示すＷｘ４）の、ステップＳ１５において判定された線状欠陥候補の短手方向に対する正射影成分の大きさ（図４の（ｂ）に示すｗｉｄｔｈ４）を測定する（ステップＳ１７：第２測定工程）。ここで測定されたｗｉｄｔｈ４を線状欠陥候補の幅とする。なお、本実施形態では、一つの測定箇所（図４の（ａ）の測定位置（４））の例を示したが、他の測定箇所であってもよいし、複数の測定箇所であってもよい。複数の測定箇所の例については、別実施形態において説明する。
【００６３】
続いて、制御部１４の判定部２３は、ステップＳ１７において算出された線状欠陥候補の幅に基づいて、当該線状欠陥候補が画像データにおける欠陥であるか否かを判定する（ステップＳ１８）。
【００６４】
最後に、制御部１４は、判定部２３による判定結果を出力部１３を介して外部に出力する（ステップＳ１９）。
【００６５】
このように、本実施形態によれば、曲線成分の多い線状欠陥候補の幅を測定する際に複数のブロック単位に分割しても、各ブロックにおいて、簡単な演算（図４の（ｂ）に示すｗｉｄｔｈ＝Ｗｘ×ｓｉｎθ）で線状欠陥候補の幅を求めることができるため、従来にように、ブロックが多くなっても、演算処理時間が膨大にならず、かつ、正確な線上欠陥候補の幅を求めることができる。
【００６６】
なお、線状欠陥候補のｙ軸方向の幅を求めて、当該線状欠陥候補の幅ｗｉｄｔｈを求める場合には、上記の式がｗｉｄｔｈ＝Ｗｙ×ｃｏｓθとなる。
【００６７】
本実施形態では、線状欠陥候補の幅の測定位置が１カ所の場合について説明したが、線状欠陥候補の形状が幅が均一な直線状であれば、幅の測定位置は１カ所で十分である。しかしながら、一般的な線状欠陥候補は、幅が均一でなく、かつ曲線を含む場合が多い。このような場合には、線状欠陥候補の幅の測定位置を、図４の（ａ）に示すように、複数箇所にして、各測定位置における幅の情報から、線状欠陥候補の幅を規定し、最終的に線状欠陥か否かを判定するようにするのが好ましい。
【００６８】
以下の実施形態２では、線状欠陥候補の幅の測定位置を複数箇所にした場合の例について説明する。
【００６９】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００７０】
本実施形態に係る欠陥検査装置は、前記実施形態１の欠陥検査装置の構成と同じであり、異なるのは、線状欠陥候補の幅を複数箇所で測定している点である。
【００７１】
具体的には、図４の（ａ）に示すように、線状欠陥候補Ｘの幅を、ｘ軸に平行でかつ間隔が均等な測定位置（１）〜（７）で測定している点が前記実施形態１と異なる。
【００７２】
つまり、短手方向判定部４３によって線状欠陥候補Ｘの短手方向が判定された後、第１測定部４４によって、各測定位置（１）〜（７）における線状欠陥候補Ｘのｘ軸方向の幅Ｗｘを求めて、第２測定部４５によって、図４の（ｂ）に示すように、各測定位置（１）〜（７）における線状欠陥候補Ｘのｘ軸方向の幅Ｗｘ（１）〜（７）から線状欠陥候補Ｘの幅ｗｉｄｔｈ（１）〜（７）を求める。
【００７３】
そして、幅測定部２２におけるプロファイル情報生成部４６によって、線状欠陥候補Ｘの幅ｗｉｄｔｈ（１）〜（７）の集合であるプロファイル情報を生成する。例えば図４の（ａ）に示すように、各測定位置（１）〜（７）における幅の分布を示したものを線状欠陥候補Ｘのプロファイル情報Ｙと称する。
【００７４】
幅測定部２２の算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報から、線状欠陥候補Ｘの測定箇所全体の代表値である線状欠陥候補Ｘの幅ｗｉｄｔｈを算出する。
【００７５】
ここで、第１測定部４４は、線状欠陥候補Ｘの測定箇所を、予め定められた間隔Δ１を最小単位として測定位置を変化させながら、予め設定された幅方向の幅をそれぞれ測定し、第２測定部４５は、第１測定部４４によって測定された複数の測定箇所における測定対象の幅を測定するようにして、プロファイル情報生成部４６に測定値を提供するのが好ましい。
【００７６】
（プロファイル情報を用いた線状欠陥候補の幅の算出）
プロファイル情報を用いた線状欠陥候補の幅の算出の具体例について以下に説明する。ここでは、線状欠陥候補の幅の算出方法として、３種類の場合について説明する。
【００７７】
（平均値）
算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における線状欠陥候補の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の平均値を、上記代表値である線状欠陥個補の幅として算出する。
【００７８】
（最大値）
算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における線状欠陥候補の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の最大値を、上記代表値である線状欠陥候補の幅として算出する。
【００７９】
（最小値）
算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における線状欠陥候補の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の最小値を、上記代表値である線状欠陥候補の幅として算出する。
【００８０】
以上のように、算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる測定箇所における線状欠陥候補の幅の全てを用いて、線状欠陥候補の幅の平均値、最大値、最小値を求めて、当該線状欠陥候補の幅として算出する。
【００８１】
なお、算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる測定箇所における線状欠陥候補の幅の全てではなく、一部を用いて、線状欠陥候補の幅の平均値、最大値、最小値を求めて、当該線状欠陥候補の幅として算出してもよい。
【００８２】
具体的には、算出部４７は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる測定箇所の幅の度数分布を示すヒストグラムにおいて、中央値から大きく外れた成分を除外して、線状欠陥候補の幅の平均値、最大値、最小値を求めて、当該線状欠陥候補の幅として算出する。
【００８３】
つまり、算出部４７は、測定箇所の幅の平均値、最大値、最小値を求める場合、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報から、複数の測定箇所における線状欠陥候補の幅から予め設定した大きさの幅を除いた残りの幅を用いる。これは、プロファイル情報には、信頼性の低い情報が含まれているため、これら全ての情報を用いて幅の平均値等を求めても、測定対象の幅を正確に識別することができないためである。従って、プロファイル情報から除く対象となる幅は、信頼性の低い情報を示す幅となる。逆に、プロファイル情報から信頼性の低い情報を除くのではなく、信頼性の高い情報のみを抽出して、測定箇所の幅の平均値、最大値、最小値を求めるようにしてもよい。
【００８４】
この信頼性の低い情報を示す幅、信頼性の高い情報を示す幅は、例えばヒストグラムを用いて設定することが考えられる。
【００８５】
（ヒストグラム）
図５は、プロファイル情報生成部４６によって生成されたプロファイル情報に含まれる測定箇所の幅の度数分布を示すヒストグラムを示している。
【００８６】
図５に示すヒストグラムにおいて、上位ｘ％以上と、下位ｘ％以下以外の幅を、信頼性の低い情報を示す幅と考え、複数の測定箇所における線状欠陥候補の幅から除いて、測定箇所の幅の平均値を求めて、線状欠陥候補の幅の代表値として用いることが考えられる。ここで、上位ｘ％以上と、下位ｘ％以下以外を採用する目的は、線状欠陥候補の平均幅で、線状欠陥か否かを判定することを想定しているためである。このように、上位ｘ％以上、下位、ｘ％以下の値を採用せずに、それ以外の値で、平均化することで、線状欠陥候補の幅の平均値の精度が上がる。
【００８７】
また、図５に示すヒストグラムにおいて、上位ｘ１％からｘ２％までの幅を、信頼性の高い情報を示す幅と考え、測定箇所の幅の平均値を求めることが考えられる。ここで、上位ｘ１％からｘ２％までを採用する目的は、線状欠陥候補の最大幅で、線状欠陥か否かを判定することを想定しているためである。
【００８８】
図５に示すヒストグラムでは、例えば上記ｘ１＝３％、ｘ２＝１３％とし、３〜１３％までの幅を、信頼性の高い情報を示す幅と考え、測定箇所の幅の平均値を求める。ここで、３％以上は、通常頻度が非常に小さくなる。つまり、信頼性は低い（線状欠陥候補の幅を示していない）のでこの値は採用しない。また３〜１３％といった幅を持たせることで、平均化を行い、最大頻度の幅（ＭＡＸ）を採用するよりも、線状欠陥候補の幅を安定して識別できる。
【００８９】
さらに、図５に示すヒストグラムから、予め定めた下位ｘ１％からｘ２％までの平均値を、線状欠陥候補の幅の代表値として用いることが考えられる。ここで、下位ｘ１％からｘ２％までを採用する目的は、線状欠陥候補の最小幅で、線状欠陥か否かを判定することを想定しているためである。
【００９０】
以上のように、本実施形態では、一つの線状欠陥候補に対して複数箇所の幅を測定して、これら測定した幅から当該線状欠陥候補の幅を算出しているので、より現実的な線状欠陥を想定した線状欠陥の良否判定を行うことができる。
【００９１】
前記実施形態１，２では、図２に示す線間距離測定部４２と短手方向判定部４３とを用いて、線状欠陥候補Ｘに接し、線状欠陥候補Ｘを挟む、平行な２本の仮想直線Ｘ１・Ｘ２間の距離を測定して、当該線状欠陥候補Ｘの短手方向を求めている。しかしながら、線状欠陥候補Ｘの短手方向は、下記のようにして求めてもよい。
【００９２】
すなわち、図４の（ａ）に示すように、線状欠陥候補Ｘに外接する矩形領域Ｂ（図中の点線部分）のうち、短手方向の辺の長さが最小となる矩形領域の短手方向を特定することで、線状欠陥候補Ｘの短手方向を求める。この場合、図２に示す線間距離測定部４２が不要になり、幅測定部２２の構成を簡略化することが可能となる。
【００９３】
なお、前記実施形態１，２では、線状欠陥候補の形状が直線に近い例について説明したが、下記の実施形態３では、線状欠陥候補の形状がＳ字状の例について説明する。
【００９４】
〔実施形態３〕
本発明の他の実施形態について説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記各実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
【００９５】
図６は、Ｓ字状の線状欠陥候補Ｘの幅の測定を説明するための図である。
【００９６】
図６では、Ｓ字状の線状欠陥候補Ｘを５つのブロック（１）〜（５）に分割し、それぞれのブロックにおける線状欠陥候補Ｘの幅を測定する。
【００９７】
各ブロックにおける線状欠陥候補Ｘの幅を測定する方法については、前記実施形態１，２と同じである。例えば図６に示すブロック（１）〜（５）において、線状欠陥候補Ｘに外接する矩形領域Ｂを用いて、ブロック（１）〜（５）における線状欠陥候補Ｘの短手方向を特定して、ブロック（１）〜（５）における線状欠陥候補Ｘの少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の当該線状欠陥候補Ｘの幅を測定し、測定された上記線状欠陥候補Ｘの幅の、特定された当該線状欠陥候補Ｘの短手方向に対する正射影成分の大きさを測定し、測定した正射影成分の大きさを、ブロック（１）〜（５）の線状欠陥候補Ｘの幅とする。
【００９８】
このようにすれば、図６に示すようなＳ字状の特殊な線状欠陥候補についても幅を測定できる。
【００９９】
ここで、ブロック（１）〜（５）それぞれにおける線状欠陥候補の幅は、実施形態１，２と同様に、簡単な演算で求められる。しかも、本実施形態では、実施形態１，２と同様に、線状欠陥候補に接し、上記線状欠陥候補を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定し、測定した距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記線状欠陥候補の短手方向と判定しているため、一つのブロックにおける矩形領域Ｂ（２本の仮想直線を含む）を大きくすることが可能である。従って、同じ形状のＳ字状の線状欠陥候補であても、幅を求めるために分割するブロック数が、従来よりも少なくて済むため、従来に比べて、線状欠陥候補の幅を求めるための演算量を大幅に削減することが可能となる。
【０１００】
なお、各ブロックにおいて、線状欠陥候補の測定箇所は、１カ所ではなく複数箇所であってもよい。
【０１０１】
また、各ブロックにおいて求めた線状欠陥候補の幅から、ブロック（１）〜（５）全体としての線状欠陥候補の幅を求めるようにしてもよい。
【０１０２】
以上、前記各実施形態では、測定対象として線状欠陥候補の幅を測定する例について説明したが、本発明は、幅を測定する必用の測定対象であれば、線状欠陥候補に限定されず、他の測定対象であってもよい。
【０１０３】
〔ソフトウェアによる実現例〕
欠陥検査装置１の制御ブロック（特に画像処理部１００）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１０４】
後者の場合、欠陥検査装置１は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１０５】
〔まとめ〕
本発明の態様１に係る幅測定装置は、画像データ中の測定対象（線状欠陥候補Ｘ）に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線（Ｘ１・Ｘ２）間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度（θ）を変えながら測定する線間距離測定手段（線間距離測定部４２）と、上記線間距離測定手段によって測定された上記距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する短手方向判定手段（短手方向判定部４３）と、上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定手段（第１測定部４４）と、上記第１測定手段によって測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向判定手段によって判定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定手段（第２測定部４５）と、備えていることを特徴としている。
【０１０６】
上記構成によれば、線間距離測定手段によって、画像データ中の測定対象に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定し、短手方向判定手段によって、上記線間距離測定手段によって測定された上記距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する。次に、第１測定手段によって、上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定し、第２測定手段によって、上記第１測定手段によって測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向判定手段によって判定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する。
【０１０７】
つまり、上記構成によれば、（１）測定対象の短手方向を判定し、続いて、（２）判定された測定対象の短手方向を用いて当該測定対象の幅を求めるというように、２段階の処理により測定対象の幅を求めるようになっている。測定対象の幅は、第２測定手段によって簡単な演算により求めることができる。
【０１０８】
しかも、測定対象の短手方向は、測定対象に接して、当該測定対象を挟み込む平行な２本の仮想直線を用いて求めているので、測定対象の形状に依存しないで当該測定対象の短手方向を求めることができる。
【０１０９】
従って、曲線成分を含む形状の測定対象であっても、簡単な演算処理のみで、測定対象の幅を求めることができる。
【０１１０】
本発明の態様２に係る幅測定装置は、上記態様１において、上記線間距離測定手段が、上記２本の仮想直線を、予め定められた回転角度Δθ単位で回転させながら、当該２本の仮想直線間の距離を測定するようにしてもよい。
【０１１１】
上記構成によれば、２本の仮想直線を、予め定められた回転角度Δθ単位で回転させながら、当該２本の仮想直線間の距離を測定することで、測定された距離がΔθ単位で求められるため、Δθの大きさ調整することにより、測定される距離の精度を変えることが可能となる。例えば、Δθを小さくすれば、それだけ、測定される距離の精度が向上する。しかしながら、Δθを小さくすれば、距離の測定回数が増えるため、測定対象の幅を求めるまでの時間が長くなる。従って、測定対象の幅を求めるまでの時間が必要以上にながくならない程度にΔθを設定するのが好ましい。
【０１１２】
本発明の態様３に係る幅測定装置は、上記態様１または２において、上記予め設定された方向は、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸であることが好ましい。
【０１１３】
上記構成によれば、予め設定された方向が、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸であることで、測定対象の幅を簡単な三角関数で求めることができる。
【０１１４】
これにより、測定対象の幅を求めるための演算量をさらに低減させることが可能となる。
【０１１５】
本発明の態様４に係る幅測定装置は、上記態様３において、上記予め設定された方向が、上記短手方向判定手段によって判定された短手方向の線分の傾きに応じて、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸のいずれかの軸方向に設定されることが好ましい。
【０１１６】
上記構成によれば、予め設定された方向が、上記短手方向判定手段によって判定された短手方向の線分の傾きに応じて、２次元座標系におけるｘ軸またはｙ軸のいずれかの軸方向に設定されることで、さらに、測定対象の幅を求めるための演算量を低減させることができる。例えば、ｘ軸方向に対する短手方向の線分の傾きθが−４５度から＋４５度の時はｙ軸方向に設定されい、それ以外の角度の時はｘ軸方向に設定されることで、正射影成分の大きさをそれぞれ小さく、また測定される正射影成分の数を多くできるため、統計処理上、有利に計測ができる。
【０１１７】
本発明の態様５に係る幅測定装置は、上記態様１〜４のいずれか１態様において、上記第１測定手段は、上記測定対象の測定箇所における予め設定された方向に含まれる画素の数に基づいて、当該予め設定された方向の幅を測定することが好ましい。
【０１１８】
上記構成によれば、測定対象の測定箇所における予め設定された方向に含まれる画素の数に基づいて、当該予め設定された方向の幅を測定している。つまり、画素の幅が分かれば、画素の幅を求めるだけで簡単に測定対象の測定箇所の幅を求めることが可能となる。
【０１１９】
しかも、画素の幅×画素の個数が測定対象の測定対象における予め設定された方向の長さとして用いられることから、第１測定手段における演算処理は簡単に済む。
【０１２０】
本発明の態様６に係る幅測定装置は、上記態様１〜５のいずれか１態様において、上記第２測定手段によって測定箇所毎に測定された測定対象の幅の集合であるプロファイル情報を生成するプロファイル情報生成手段（プロファイル情報精鋭部４６）と、上記プロファイル情報生成手段によって生成されたプロファイル情報から、測定対象の測定箇所全体の代表値である測定対象の幅を算出する算出手段（算出部４７）と、を備えていることを特徴としている。
【０１２１】
上記構成によれば、測定箇所毎に測定された測定対象の幅の集合であるプロファイル情報から、測定対象の測定箇所全体の代表値である測定対象の幅を算出することで、測定対象の幅をより適切に求めることが可能となる。
【０１２２】
本発明の態様７に係る幅測定装置は、上記態様６において、上記第１測定手段は、測定対象の測定箇所を、予め定められた間隔Δ１を最小単位として測定位置を変化させながら、予め設定された幅方向の幅をそれぞれ測定し、上記第２測定手段は、上記第１測定手段によって測定された複数の測定箇所における測定対象の幅を測定することが好ましい。
【０１２３】
上記構成によれば、測定対象の測定箇所が一定の間隔Δ１となるため、測定対象の幅の測定箇所毎の分布を適切に表すことが可能となる。従って、測定対象の幅の集合からなるプロファイル情報を用いた測定対象の測定箇所全体の代表値をより適切に求めることが可能となる。
【０１２４】
具体的には、下記のように、測定対象物の測定箇所全体の代表値を求めるための測定対象の幅の平均値、最大値、最小値を適切に求めることができる。
【０１２５】
本発明の態様８に係る幅測定装置は、上記態様６または７において、上記算出手段は、上記プロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における測定対象の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の平均値を、上記代表値である測定対象の幅として算出することが好ましい。
【０１２６】
本発明の態様９に係る幅測定装置は、上記態様６または７において、上記算出手段は、上記プロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における測定対象の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の最大値を、上記代表値である測定対象の幅として算出することが好ましい。
【０１２７】
本発明の態様１０に係る幅測定装置は、上記態様６または７において、上記算出手段は、上記プロファイル情報に含まれる、複数の測定箇所における測定対象の幅のうち、全ての幅、または、予め設定した幅を除いた残りの幅の最小値を、上記代表値である測定対象の幅として算出することが好ましい。
【０１２８】
上記の発明の態様８〜１０に係る幅測定装置では、いずれも、プロファイル情報のうち、中央値から大きく外れた成分を除外したうえで、平均値、最大値、最小値を求めているため、測定対象の幅を精度よく求めることができる。
【０１２９】
本発明の態様１１に係る幅測定装置は、上記態様１〜１０のいずれか１態様において、上記測定対象は、欠陥候補であることが好ましい。
【０１３０】
本発明の態様１２に係る欠陥検査装置は、上記態様１１において、検査対象物を撮像しての画像データを生成する撮像部（カメラ１０１）と、上記撮像部が生成した画像データから欠陥候補の幅を判定する、態様１１に係る幅測定装置（幅測定部２２）と、を備えることを特徴としている。
【０１３１】
上記構成によれば、態様１１に係る幅測定装置によって、測定対象である欠陥候補の幅を適切に測定することが可能となっているので、欠陥候補が欠陥であるか否かを適切に判定することができる。
【０１３２】
本発明の態様１３に係る幅測定方法は、画像データ中の測定対象に接し、上記測定対象を挟む、平行な２本の仮想直線間の距離を、上記２本の仮想直線の回転角度を変えながら測定する線間距離測定工程（ステップＳ１４）と、上記線間距離測定工程において測定された上記距離が最小となる仮想直線に直交する方向を、上記測定対象の短手方向と判定する短手方向判定工程（ステップＳ２５）と、上記測定対象の少なくとも１つの測定箇所における、予め設定された方向の測定対象の幅を測定する第１測定工程（ステップＳ１６）と、上記第１測定工程において測定された上記測定対象の幅の、上記短手方向判定工程において判定された当該測定対象の短手方向に対する正射影成分の大きさを測定する第２測定工程（ステップＳ１７）と、を含むことを特徴としている。
【０１３３】
上記の構成によれば、上記幅測定装置における効果と同様の効果を奏する。
【０１３４】
本発明の各態様に係る幅測定装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記幅測定装置が備える各手段として動作させることにより上記幅測定装置をコンピュータにて実現させる幅測定装置の幅測定プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【０１３５】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
本発明は、画像処理装置、たとえば外観を検査するための検査装置に利用することができる。
【符号の説明】
【０１３７】
１  欠陥検査装置
１１  入力部
１２  データ記録部
１３  出力部
１４  制御部
２１  二値化処理部
２２  幅測定部（幅測定装置）
２３  判定部
４１  測定対象特定部
４２  線間距離測定部（線間距離測定手段）
４３  短手方向判定部（短手方向判定手段）
４４  第１測定部（第１測定手段）
４５  第２測定部（第２測定手段）
４６  プロファイル情報生成部（プロファイル情報生成手段）
４７  算出部（算出手段）
１００  画像処理部
１０１  カメラ（撮像部）
２００  コントローラ
２０１  照明器
３００  装置制御部
３０１  ステージ
３０２  ワーク（検査対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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