(57)【要約】【課題】搬送機構を複雑化することによる装置コスト増加や、位置ズレを生ずることによる搬送不良や基板割れなどを招くことが無く、異物やカレットの発生を抑えることのできる基板搬送装置および基板搬送方法を得る。【解決手段】この発明の基板搬送装置においては、基板１を挟みアライメント動作する基板端保持機構１０における基板１との当接部分１１に基板１とともに上下方向にスライド動作可能に基板１を保持する可動保持材５を備えたものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平状態の基板を下面側から載置した状態で上下動作することで基板を受け渡しする搬送機構との間で、当該基板を受け渡しする基板搬送装置であって、
前記基板を挟み当該基板端部に当接してアライメント動作する基板端保持機構と、前記基板端保持機構における前記基板端部との当接部分に設けられ、前記基板端部を前記アライメント動作後も挟んだまま前記基板とともに上下方向にスライド動作可能に保持する可動保持材と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記基板端保持機構により挟まれた前記基板および前記可動保持材が前記基板の重さによって下方向にスライド動作した際に、下側より前記基板に当接することにより当該基板を保持することで前記下方向へのスライド動作を所定位置において停止する基板下降停止機構を備えたことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記可動保持材は、前記基板端保持機構に設けられ、上下方向に少なくとも２つ配置され自由に回転可能に取り付けられる複数の円筒コロと、前記複数の円筒コロに跨って取り付けられるベルトとからなることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記可動保持材は、前記基板端保持機構に設けられ、上下方向に動作を規制するガイド機構と、前記基板の重さにより生ずる下向きの力よりも弱い上向きの反発力を有した弾性機構とからなることを特徴とする請求項１或いは請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れかに記載の基板搬送装置を用いたことを特徴とする基板搬送方法。
【請求項６】
請求項１から請求項４の何れかに記載の基板搬送装置を用いて、液晶表示装置用基板を搬送する工程を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主に液晶表示装置の製造に用いられる基板搬送装置および基板搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置の製造途中において、ＴＦＴアレイ基板（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）やカラーフィルタ基板などの液晶表示装置用基板を工程間で搬送する際に汎用される方法として、図１２（ａ）に示すような、例えば、上流工程で昇降ピンＰＮ上に水平に保持された基板ＷＫを一対のＬ字形状の搬送治具（アーム）ＡＬにより基板ＷＫに対して側面方向両側より挟むことで受け取り、そのまま基板ＷＫを両側より挟んだまま下流工程にスライド搬送する基板搬送機構を用いた基板搬送方法がある。この搬送機構では、Ｌ字形状の搬送アームＡＬの垂直面で基板を両側より挟む（アライメント動作する）ことで基板ＷＫの水平方向の位置を位置決めするアライメント作用が得られるとともに、当該搬送アームＡＬが基板ＷＫを両側より挟んだ状態のまま昇降ピンＰＮが下降し、当該搬送アームＡＬに基板ＷＫが受け渡される。当該搬送アームＡＬ上に基板ＷＫが載置されたあとは、Ｌ字形状の搬送アームＡＬの水平面により下側より、垂直面により両側より、それぞれ基板ＷＫを保持する保持機能を併せもつことで、当該搬送アームＡＬ上で基板ＷＫがガタツキやズレなどを生ずることなく安定して保持された状態で搬送することができる。
【０００３】
この方法では、図１２（ｂ）に示すとおり、搬送アームＡＬが基板ＷＫを両側より挟んだ状態のまま昇降ピンＰＮが下降して（網かけ矢印にて方向を図示）、基板ＷＫが搬送アームＡＬ上に載置される。その際には、基板ＷＫは搬送アームＡＬにより両側より挟まれた状態で当該搬送アームＡＬの水平面上までズレ落ちることになり（斜線網かけ矢印にて方向を図示）、搬送アームＡＬの垂直面と基板ＷＫの端部（基板端）が擦れることになる。その結果として、金属製の搬送アームＡＬから金属異物が発生することや、基板ＷＫからガラスカレットが発生することになる。この様にして金属異物やガラスカレットが基板搬送装置において発生することは、これら基板搬送装置を用いて行われる液晶表示装置の製造時において、金属などの異物やガラスなどのカレットを起因とする製造歩留まりが低下することの要因となっている。
【０００４】
また、単純に擦れにより発生する金属異物やガラスカレットを減らすのみであれば、アライメント動作後に搬送アームＡＬを基板ＷＫの基板端部より遠く退避させれば擦れは生じなくなるものの、搬送アームＡＬを動作させる動作機構が複雑となりコスト増加となる。また、基板ＷＫの基板端部を保持しない状態で昇降ピンＰＮの下降動作や搬送アームＡＬのスライド動作が行われることとなり、下降時の衝撃やスライド時の振動などにより搬送アームＡＬ上において基板ＷＫに位置ズレを生ずる恐れがある。つまり、このＬ字形状の搬送治具（アーム）ＡＬにより基板ＷＫを両側より挟み挟んだまま搬送するタイプの基板搬送機構で得られる先に説明したような幾つかの利点を失ってしまうことになる。
【０００５】
また、液晶表示装置用基板に限られず、半導体装置用基板などを扱う基板搬送装置においても、基板を両側より挟むことによるアライメント動作や基板保持を行う基板保持機構と、基板下側より基板を保持して上下動作することで基板を受け渡しする搬送機構とを組み合わせた基板搬送装置や基板搬送方法が用いられることが多いが、これらにおいても、当該両者機構間の基板の受け渡し時における基板を両側より挟む基板保持機構と基板間の擦れにより発生する金属異物やガラスカレットによる製造歩留まりの低下と、基板保持機構上での基板の位置ズレなどに関して、同様の問題を生じている。
【０００６】
基板を保持する方法に関して、特許文献１においては、回転ローラよりなるガイド部を配置し基板を挟まずに位置決めするステージが開示されている。また、特許文献２においては、ロボットアーム上に基板を保持する切欠きを有した回転コロよりなる保持部材を備え、切欠き上に載置した基板の自重によって回転コロが所定の保持位置まで回転した後に停止する保持機構が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１２４２９２号公報
【特許文献２】特開２０１３−４５９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１の方法においては、基板を載置したまま移動されることとなる搬送機構に関するものではないことから、最終的にステージ上に基板が載置された際に、当該ガイド部は基板より少し離れた位置で常時当接されるものでは無い。従って、仮に、このステージ上に基板が載置された状態で搬送された場合には、基板はステージ上のガイド部の間でガタツキを生じて、ガイド部と接触される部分で回転ローラや基板が削れて異物を発生することとなる。従って、上記課題の全てを解決できるものではない。
【０００９】
また、特許文献２の方法においては、当該技術はロボットアームが動作した際の基板のズレや脱落を防ぐことを目的としたもので、載置の際に、基板と保持部材である回転コロの当接部で擦れが生ずる点においては変わりなく、搬送治具と基板が擦れることにより発生する金属異物やガラスカレットの課題は残ることになる。また、ロボットアーム上に基板が保持される際には、基板の下側端部のみで搬送治具と当接して保持されることから、面ではなく線で接触保持されることとなり、当該接触部分に圧力などが集中して、やはり金属異物やガラスカレットを発生し易い方法であることとなる。
【００１０】
以上説明のとおり、異物やカレットの発生を抑えることと、装置コスト増加を抑えること、更に位置ズレを生ずることによる搬送不良や基板割れなどの発生を防止することを全て両立して達成する有効な装置や方法は、従来においては存在しなかった。
【００１１】
本発明は、上記説明の様な課題を解決するためになされたものであり、その目的は、搬送機構を複雑化することによる装置コスト増加や、位置ズレを生ずることによる搬送不良や基板割れなどを招くこと無く、異物やカレットの発生を抑えることのできる基板搬送装置および基板搬送方法、並びに液晶表示装置の製造方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の基板搬送装置においては、水平状態の基板を下面側から載置した状態で上下動作することで基板を受け渡しする搬送機構との間で、その基板を受け渡しするものであって、前記の基板を挟み基板端部に当接してアライメント動作する基板端保持機構と、その基板端保持機構における基板端部との当接部分に設けられ、基板端部をアライメント動作後も挟んだまま基板とともに上下方向にスライド動作可能に保持する可動保持材とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１３】
搬送機構を複雑化することによる装置コスト増加や、位置ズレを生ずることによる搬送不良や基板割れなどを招くことが無く、異物やカレットの発生を抑えることのできる基板搬送装置および基板搬送方法を得ることができる。液晶表示装置の製造方法に導入した場合には、装置コスト増加或いは搬送不良や基板割れなどを招くこともなく、異物やカレットの発生を抑えることによる輝点不良の低減作用、結果として製造歩留りの向上と低コストでの液晶表示装置の製造を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の要部斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の概略斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の概略斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の動作説明図である。
【図６】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の動作説明図である。
【図７】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の動作説明図である。
【図８】本発明の実施の形態１の基板搬送装置の動作説明図である。
【図９】本発明の実施の形態２の基板搬送装置の概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態２の基板搬送装置の動作説明図である。
【図１１】本発明の実施の形態２変形例の基板搬送装置の要部断面図である。
【図１２】従来の基板搬送装置の概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
実施の形態１.
本発明を適用した実施の形態１の基板搬送装置、特に液晶表示装置用基板の基板搬送装置の構成について、図１〜図４の斜視図を用いて説明する。ここで、図１は装置全体（主要部のみ）、図２は要部詳細、図３および図４は必須構成を除く個別構成について、それぞれ説明するために示すものである。なお、図は、模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、図中、既出の図において説明したものと同一の構成には同一の符号を付し、その説明を省略する。以下、その他の図においても同様とする。また、図中におけるＺ軸方向が重力の作用方向と平行となる鉛直方向に一致するものとし、本明細書中では、基本的には、＋Ｚ方向を上側方向、−Ｚ方向を下側方向、＋Ｚ方向への移動を上昇、−Ｚ方向への移動を下降と呼ぶことにする。
【００１６】
この液晶表示装置用基板の基板搬送装置は、図１に示される様に、先ず、本発明の特徴的な構成となる基板端部の保持に関する構成として、基板１を保持する一対の基板端保持機構１０を備えた搬送アームと、この搬送アームとの間で基板１を受け渡しする昇降ピン２を備えており、この一対の基板端保持機構１０については、基板１を保持する際に、それぞれ対向配置されて基本的に左右対称形の同じ構成となるが、縦方向（図中のＺ軸に平行な方向）に少なくとも上下２つ配置される円筒コロ３と、それぞれの円筒コロ３の回転軸が取り付けられる円筒コロ取り付け部４と、２つの円筒コロ３に跨って取り付けられるベルト５と、ベルト５の表面の基板１の端部（基板端）と対向する側に位置する面である基板端保持面１１と、この基板端保持面１１の下方において、それぞれの基板端保持面１１より基板１の配置される側に突出した水平方向（図中のＸ軸Ｙ軸平面）の上側（＋Ｙ側）を向いた面である基板下降停止面１２とを備えている。なお、基本的には、基板１を水平に保持できるように、一対の基板端保持機構１０のそれぞれで基板下降停止面１２の垂直方向（Ｚ方向）での高さが等しくなるように設定されている。
【００１７】
搬送アームには、以上の一対の基板端保持機構１０の構成に加えて、図示省略しているが基板端保持機構１０が取り付けられるアーム本体部分を備えており、更に、以降で動作について説明を行うが、一対の基板端保持機構１０を基板１の端部に対して開閉動作させる開閉動作機構を備えており、基板端保持機構１０は、この開閉動作機構を介してアーム本体部分に取り付けられている。更に、搬送アームが基板１を保持した状態で搬送するために、搬送アーム自体の搬送動作を行う搬送駆動機構などを備える。
【００１８】
また、本実施の形態１の基板搬送装置には、その他には、必須の構成では無いが、昇降ピン２上に保持される基板１を受け渡しおよび他の工程や他の装置などへ搬送する搬送機構として、搬送ローラ６を備えている。
【００１９】
続いて、上記説明した構成の個別の動作などについて図２を用い説明する。図２（ａ）は、基板端保持機構１０のみを拡大して示したものであるが、円筒コロ３は円筒コロ取り付け部４に回転軸を中心として自由に回転可能に取り付けられている。特に円筒コロ３は低い摩擦で抵抗なくスムーズに回転可能な様に、回転軸に対して、ベアリングなどを介して取り付けられるのが好ましい。また、円筒コロ３に取り付けられるベルト５については、ゴムシートなどの弾性部材よりなるもので、円筒コロ３の回転と連動する形で、図中に矢印で示したように、２つの円筒コロ３の外周を廻って、順方向、逆方向の何れの方向においても抵抗無くスムーズに移動することができる。この様な構成を備えていることから、このベルト５については、特に基板端保持面１１部分に着目すれば上下方向にスムーズにスライド動作可能であることになり、基板端保持面１１に当接した基板１が上下移動するのに対して連動し上下方向にスライド動作することができる可動保持材としてベルト５は機能する。
【００２０】
また、図２（ｂ）は、一対の基板端保持機構１０の基板１に対しての動作を示したものであるが、図中に矢印で示すとおり、一対の基板端保持機構１０は、先に説明を行った動作機構によって、基板１を両側より挟む動きと、逆に基板１の両側を挟んだ状態より、基板１より離れる方向への動きの２種類の動作、つまり、開閉動作をすることができる。
【００２１】
続いて、必須の構成では無いが、本実施の形態１の基板搬送装置が備える構成である搬送アームとの間で基板１を受け渡しし他の工程や他の装置などへ搬送する搬送機構について、特に、その構成および個別の動作などについて図３および図４を用いて説明を行う。
【００２２】
図３は、図１を用いて構成について説明を行ったが、搬送アームとの間で基板１を受け渡しする昇降ピン２と、その昇降ピン２より昇降ピン２上に保持される基板１を受け渡しおよび搬送する搬送機構である搬送ローラ６を示している。特に図３では、昇降ピン２が基板１を載せたまま下降動作して搬送ローラ６上に基板１が載置された状態を示している。搬送ローラ６上に載置された基板１は、搬送ローラ６の個々のローラの回転動作による搬送動作によって、例えば、図中矢印で示す方向に搬送ローラ６上を搬送される。また、この搬送ローラ６と昇降ピン２については、逆の動作として、搬送ローラ６により昇降ピン２の上の位置にまで搬送されて来た基板１を昇降ピン２が上昇することにより受け取り、更に、昇降ピン２上に載置された基板１を搬送アームにより受け取っても構わない。以上のとおり、昇降ピン２は、水平状態の基板１を下面側から載置した状態で上下動作することによって、基板１を受け渡しする機能を有している。この搬送ローラ６と昇降ピン２が関係する本実施の形態１の基板搬送装置の全体動作については、以下で別途詳細説明を行う。
【００２３】
図４は、搬送アームとの間で基板１を受け渡しし、他の工程や他の装置などへ搬送する搬送機構の搬送ローラ６と昇降ピン２以外の形態の一例である搬送ロボット７０について示したものである。本実施の形態１の搬送アームとの間で基板１を受け渡ししするには、水平状態の基板１を下面側から載置し保持する保持部を備え、当該保持部を上昇或いは下降する動作する機能を有し、これら動作を適宜行うことにより基板受け渡しを行う基板受け渡し機構を備えていれば良い。搬送ロボット７０においては、ロボットアーム７の先端部が前記説明の水平状態の基板１を下面側から載置して保持する保持部に相当し、当該保持部を有するロボットアーム７は、図中に網掛け矢印で方向を示すとおり、上昇或いは下降する動作可能であり、これら動作を適宜行うことにより、搬送ロボット７０は搬送アームとの間で基板１の受け渡しを行うことができる。また、基板１を載置したロボットアーム７は、図中に斜め網掛け矢印で方向を示したとおり、搬送アームの一対の基板端保持機構１０間に沿って前後動作することにより基板１を搬送することができる。この搬送ロボット７０が関係する本実施の形態１の基板搬送装置の全体動作については、以下で別途詳細説明を行う。
【００２４】
続いて、図５および図６の動作説明図を用いて、本実施の形態１の基板搬送装置の全体動作の一つの形態として、搬送ローラ６により搬送されてきた基板１を搬送アームにより受け取り、搬送アームが基板１を搬送ロボット７０への受け渡し位置までの搬送動作を行ったのち、更に、搬送アーム上の基板１を搬送ロボット７０が受け取り完了するまでの一連の動作について説明を行う。
【００２５】
先ず、図５では、搬送ローラ６により搬送されてきた基板１の搬送アームによる受け取り動作について説明を行う。図５（ａ）は、搬送ローラ６により搬送されてきた基板１が昇降ピン２への所定の受け渡し位置となる昇降ピン２上の位置まで搬送され、搬送ローラ６が停止した状態を示している。また、この状態では搬送アームの一対の基板端保持機構１０は搬送ローラ６上の基板１の上部において、基板１の外形よりも外側の位置で待機されている。
【００２６】
続いて、図５（ｂ）に示すとおり、昇降ピン２が所定の位置まで上昇動作することで、搬送ローラ６上より昇降ピン２上に基板１は受け渡され、搬送アームへの受け渡し準備の状態となる。更に、この状態で、図５（ｂ）に図示される矢印の方向に搬送アームの一対の基板端保持機構１０は基板１を両側より挟む動作をし、それぞれの基板端保持機構１０における基板端保持面１１が基板１の両側の端部に当接され、搬送アーム上における基板１の位置決めをするアライメント作用と、基板１の端部を保持する作用の両方が得られる。
【００２７】
続いて、図５（ｃ）に示すとおり、一対の基板端保持機構１０により基板１が挟まれた状態のまま、昇降ピン２は下降動作する。その際に、基板１は、昇降ピン２の下降に伴って、図中に点線で示された基板１の位置より実線で示された基板１の位置までは、昇降ピン２で下側より保持された状態のまま下降する（基板１の移動方向を矢印で図示）。また、その際には、基板端保持機構１０のベルト５は、図中にベルト５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、２つの円筒コロ３の外周を廻って抵抗無くスムーズに移動することで、基板端保持面１１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面１１に当接した状態のまま、基板１は図中に実線で示された基板１の位置まで下降することになる。
【００２８】
更に、図中に実線で示された基板１の位置において、基板１は一対の基板端保持機構１０に設けられた基板１の配置される側に突出した水平方向（図中のＸ軸Ｙ軸平面）の面である基板下降停止面１２に当接されて下側より保持されることとなり、基板１の下降動作は停止することになる。つまり、基板下降停止面１２は、ベルト５により挟まれた基板１とベルト５自体の基板１の重さによる下方向へのスライド動作を停止する基板下降停止機構として機能することになる。
【００２９】
なお、この基板下降停止面１２により基板１の下降動作が停止するまでの間においては、基板１が基板端保持機構１０のベルト５に形成される基板端保持面１１に当接した状態であることが必要であることから、基板下降停止面１２の上面側の垂直方向（Ｚ軸方向）の高さが２つの円筒コロ３の下側の円筒コロ３の軸より上となるよう設定されることになる。
【００３０】
また、その後も昇降ピン２は下降動作を継続することになるが、基板１は図中に実線で示された基板１の位置より下に下降できなくなることから、昇降ピン２は基板１裏面より離れ、基板１の搬送アーム上への載置が完了したことになる。
【００３１】
搬送アーム上へ載置された基板１は、続いて基板１が受け渡しされることになる搬送ロボット７０への所定の受け渡し位置まで、搬送アームによる基板１の搬送動作が行われる。この搬送動作の際には、図５（ｃ）に示した搬送アーム上での基板１の保持状態と同じ状態で搬送されることになる。つまり、搬送アーム上の基板１は、基板端保持機構１０により両側より挟まれた状態で搬送され、基板１の端部は、一対のベルト５の基板端保持面１１が両側より当接して保持され、更に、基板１の端部下面には、基板下降停止面１２が当接された状態で搬送されることになる。従って、搬送アーム上で基板１がガタツキやズレなどを生ずることなく安定して保持された状態で搬送することができる。
【００３２】
続いて、図６では、先に説明のとおり、昇降ピン２より搬送アーム上に受け渡しされ、更に、搬送ロボット７０への受け渡し位置まで搬送動作された基板１についての搬送ロボット７０への受け渡し動作について説明を行う。先ず、図６（ａ）は、搬送アーム上に載置された基板１が、搬送ロボット７０への所定の受け渡し位置までの搬送動作が完了し、搬送ロボット７０のロボットアーム７の上部に搬送アームに載置された基板１が搬送された状態を示している。
【００３３】
なお、図６（ａ）では、既に、搬送アームに載置された基板１がロボットアーム７の上部に位置する状態を示しているが、この状態に至るまでの手順として、受け渡しのための所定の位置に待機しているロボットアーム７上部に搬送アームに載置された基板１を搬送し、図６（ａ）の状態とするか、或いは、基板１を載置した搬送アームが先に待機し、後から搬送ロボット７０が、搬送アームに載置された基板１の下部にロボットアーム７を伸ばして、上記の図６（ａ）の状態とするか、何れでも良い。
【００３４】
続いて、図６（ｂ）に示すとおり、搬送ロボット７０のロボットアーム７が所定の位置まで上昇動作することで、搬送アームの一対の基板端保持機構１０上よりロボットアーム７上に基板１は受け渡される。その際に、基板１は、ロボットアーム７の上昇に伴って、先ず、図中に点線で示された基板１の位置において、基板端保持機構１０の特に基板下降停止面１２上に保持されていた基板１にロボットアーム７は当接され、更にロボットアーム７が上昇することで、基板１は、基板下降停止面１２から離れ、ロボットアーム７に下側より保持されながら図中に実線で示された基板１の所定の位置まで上昇される（基板１の移動方向を矢印で図示）。
【００３５】
また、この図中に点線で示された基板１の位置より実線で示された基板１の位置まで移動の際には、基板端保持機構１０のベルト５は、図中にベルト５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、２つの円筒コロ３の外周を廻って抵抗無くスムーズに移動することで、基板端保持面１１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面１１に当接した状態のまま、基板１は図中に実線で示された基板１の位置まで上昇することになる。なお、ロボットアーム７の上昇動作の範囲は、基板１が基板端保持機構１０のベルト５に形成される基板端保持面１１に当接した状態であることが必要であることから、基板１の上昇範囲が２つの円筒コロ３の上側の円筒コロ３の軸より下までとなるよう設定されることになる。
【００３６】
続いて、図６（ｃ）に示すとおり、図示される矢印の方向に一対の基板端保持機構１０が基板１の両側を挟んだ状態より、基板１の端部より離れる方向へ移動する動作をすることで、基板１の搬送ロボット７０のロボットアーム７上への載置が完了したことになる。その後、搬送ロボット７０は、適宜、所定の基板１の搬送動作をして、例えば、以降の工程処理を行う処理装置内への搬送などを行うことができる。
【００３７】
また、上記の図５および図６を用いて説明を行った本実施の形態１の基板搬送装置の全体動作の一つの形態においては、搬送ローラ６上の基板１を搬送アームにより受け取り、搬送アーム上の基板１を搬送ロボット７０が受け取る一連の動作形態を取るものであったが、本実施の形態１の基板搬送装置は、全く逆の流れとなる動作形態を取ることもできる。続いて、図７および図８の動作説明図を用いて、本実施の形態１の基板搬送装置の全体動作の別の一つの形態として、搬送ロボット７０により搬送されてきた基板１を搬送アームにより受け取り、搬送アームが基板１を昇降ピン２および搬送ローラ６への受け渡し位置までの搬送動作を行ったのち、更に、搬送アーム上の基板１を昇降ピン２および搬送ローラ６が受け取り完了するまでの一連の動作について説明を行う。
【００３８】
先ず、図７では、搬送ロボット７０により搬送されてきた基板１の搬送アームによる受け取り動作について説明を行う。図７（ａ）は、搬送ロボット７０のロボットアーム７により搬送されてきて、待機した状態のロボットアーム７上に保持された基板１に対して、搬送アームの一対の基板端保持機構１０が基板１を両側より挟む動作をしている状態を示したものであり、昇降ピン２上に載置された基板１に対して搬送アームが受け取る場合に説明した図５（ｂ）の動作に類似している。図７（ａ）においては、搬送アームの一対の基板端保持機構１０はロボットアーム７上に保持された基板１に対して、図示される矢印の方向に基板１を両側より挟む動作をし、アライメント作用と、基板１の端部を保持する作用の両方が得られる。
【００３９】
続いて、図７（ｂ）に示すとおり、一対の基板端保持機構１０により基板１が挟まれた状態のまま、ロボットアーム７は下降動作する。その際に、基板１は、昇降ピン２の下降に伴って、図中に点線で示された基板１の位置より実線で示された基板１の位置までは、ロボットアーム７で下側より保持された状態のまま下降する（基板１の移動方向を矢印で図示）。また、その際には、基板端保持機構１０のベルト５は、図中にベルト５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、２つの円筒コロ３の外周を廻って抵抗無くスムーズに移動することで、基板端保持面１１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面１１に当接した状態のまま、基板１は図中に実線で示された基板１の位置まで下降することになる。
【００４０】
更に、図中に実線で示された基板１の位置において、基板１は一対の基板端保持機構１０に設けられた基板下降停止面１２に当接されて下側より保持されることとなり、基板１の下降動作は停止することになる。その後もロボットアーム７は下降動作を継続することになるが、基板１は図中に実線で示された基板１の位置より下に下降できなくなることから、ロボットアーム７は基板１裏面より離れ、基板１の搬送アーム上への載置が完了したことになる。
【００４１】
搬送アーム上へ載置された基板１は、続いて基板１が受け渡しされることになる昇降ピン２および搬送ローラ６への所定の受け渡し位置まで、搬送アームによる基板１の搬送動作が行われる。この搬送動作の際には、図７（ｃ）に示したとおり、搬送アーム上の基板１は、基板端保持機構１０により両側より挟まれた状態で搬送され、基板１の端部は、ベルト５の基板端保持面１１が当接して保持され、更に、基板１の端部下面には、基板下降停止面１２が当接された状態で搬送されることになる。従って、搬送アーム上で基板１がガタツキやズレなどを生ずることなく安定して保持された状態で搬送することができる。
【００４２】
続いて、図８では、先に説明のとおり、搬送ロボット７０より搬送アーム上に受け渡しされ、更に、昇降ピン２および搬送ローラ６への受け渡し位置まで搬送動作された基板１についての昇降ピン２および搬送ローラ６への受け渡し動作について説明を行う。先ず、図８（ａ）は、搬送アーム上に載置された基板１が、昇降ピン２および搬送ローラ６への所定の受け渡し位置までの搬送動作が完了し、昇降ピン２および搬送ローラ６の上部に搬送アームに載置された基板１が搬送された状態を示している。
【００４３】
続いて、図８（ｂ）に示すとおり、昇降ピン２が所定の位置まで上昇動作することで、搬送アームの一対の基板端保持機構１０上より昇降ピン２上に基板１は受け渡される。その際に、基板１は、昇降ピン２の上昇に伴って、先ず、図中に点線で示された基板１の位置において、基板端保持機構１０の特に基板下降停止面１２上に保持されていた基板１に昇降ピン２は当接され、更に昇降ピン２が上昇することで、基板１は、基板下降停止面１２から離れ、昇降ピン２に下側より保持されながら図中に実線で示された基板１の所定の位置まで上昇される（基板１の移動方向を矢印で図示）。
【００４４】
また、この図中に点線で示された基板１の位置より実線で示された基板１の位置まで移動の際には、基板端保持機構１０のベルト５は、図中にベルト５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、２つの円筒コロ３の外周を廻って抵抗無くスムーズに移動することで、基板端保持面１１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面１１に当接した状態のまま、基板１は図中に実線で示された基板１の位置まで上昇することになる。なお、昇降ピン２の上昇動作の範囲は、基板１が基板端保持機構１０のベルト５に形成される基板端保持面１１に当接した状態であることが必要であることから、基板１の上昇範囲が２つの円筒コロ３の上側の円筒コロ３の軸より下までとなるよう設定されることになる。
【００４５】
続いて、図８（ｃ）に示すとおり、図示される矢印の方向に一対の基板端保持機構１０が基板１の両側を挟んだ状態より、基板１の端部より離れる方向へ移動する動作をすることで、基板１の昇降ピン２上への載置が完了したことになる。その後、図８（ｄ）に示すとおり、昇降ピン２は、基板１を載置した状態のまま下降動作することで（昇降ピン２の移動方向を矢印で図示）、昇降ピン２上より搬送ローラ６上に基板１は受け渡される。その後、搬送ローラ６は、適宜、所定の基板１の搬送動作をして、例えば、以降の工程処理を行う処理装置内への搬送などを行うことができる。
【００４６】
また、図５および図６を用いて説明を行った動作の形態、図７および図８を用いて説明を行った動作の形態に限られず、昇降ピン２および搬送ローラ６より搬送アームで受け取った基板１を再び別の昇降ピン２および搬送ローラ６により受け取る動作形態でも良く、搬送ロボット７０より搬送アームで受け取った基板１を別の搬送ロボット７０により受け取る動作形態でも良い。これらの場合の動作については、搬送アームと昇降ピン２および搬送ローラ６間の受け渡し、搬送アームと搬送ロボット７０間の受け渡しの個別の受け渡しの動作については、図５および図６或いは図７および図８を用いて説明を行った動作形態と同様となることから、更なる説明は省略する。
【００４７】
以上説明のとおり、本実施の形態１の基板搬送装置と、この基板搬送装置を用いた基板搬送方法においては、基板１を下側より載置した状態で上下動作することで基板１を受け渡しする搬送機構として、昇降ピン２や搬送ロボット７０を備えており、これらと基板１を受け渡しする基板搬送機構である基板端保持機構１０が、基板１の両側より基板１の端部を挟み当接してアライメント動作するともに、その当接部分となる基板端保持面１１に位置するベルト５がアライメント後も基板１端部を挟んだまま基板１とともに上下方向にスライド動作可能に保持する可動保持材として機能する。この様な構成を有していることから、基板１端部をアライメントし、そのまま基板１端部を保持した状態で昇降ピン２や搬送ロボット７０との受け渡しや搬送を行うことができ、更に、基板端保持機構１０は基板１の端部を保持した状態で搬送動作できることから、位置ズレを生ずること無く搬送動作をすることができる。また、昇降ピン２との受け渡しの際に昇降ピン２と基板１の上下動作に併せて、基板端保持機構１０における基板１の当接される基板端保持面１１に位置する可動保持材であるベルト５が追従して上下動作し、基板端保持面１１と基板１の端部とが擦れることがないことから異物やカレットの発生を抑えることができる。
【００４８】
なお、実施の形態１においては、基板端保持機構１０の特に可動保持材について、２つの円筒コロ３の外周を廻って、順方向、逆方向の何れの方向においても抵抗無くスムーズに移動するベルト５により構成したことで、基板端保持機構１０を用いて、何度、基板１の受け渡しや搬送動作を繰り返したとしても、基板端保持面１１の状態は変化しない。従って、絶えず、基板端保持面１１に当接した基板１が上下移動するのに対して連動することができる可動保持材として機能させることができる。つまり、基板１が上下移動するのに連動して可動保持材が移動しても、円筒コロ３の外周に連続して設けられるベルト５の構造によって、基板１を受け入れ可能な初期状態（定位置）に戻すためのリセット動作を行う必要が無いことになる。
【００４９】
実施の形態２.
続いて、先に説明を行った実施の形態１の液晶表示装置用基板の基板搬送装置より、基板を保持する一対の基板端保持機構の特に基板端保持面に当接した基板が上下移動するのに対して連動することができる可動保持材の構成などに関して一部変更を行った本発明適用の実施の形態２の液晶表示装置用基板の基板搬送装置について説明を行う。以下、実施の形態１との変更部を重点的に説明することとする。
【００５０】
先ず、本実施の形態２の液晶表示装置用基板の基板搬送装置の構成について、図９を用いて説明する。ここで、図９（ａ）は本実施の形態２の基板搬送装置の要部説明図であり、図９（ｂ）は要部詳細断面図をそれぞれ示したものである。なお、実施の形態１と同じ構成については同じ番号を付し適宜説明を省略する。
【００５１】
本実施の形態２の基板搬送装置は、図９（ａ）に示される様に、基板１を保持する一対の基板端保持機構２０を備えた搬送アームと、この搬送アームとの間で基板１を受け渡しする上下動作可能な昇降ピン２を備えていること、更に基板端保持機構２０は、基板１を両側より挟む動きと、逆に基板１の両側を挟んだ状態より、基板１より離れる方向への動きの２種類の動作、つまり開閉動作をすることができること、また、一対の基板端保持機構２０には、基板１を両側より挟んだ際に、基板１の端部に当接して保持する基板端保持面２１を備えており、更に、基板端保持機構２０には、基板端保持面２１に当接した基板１が上下移動するのに対して連動することができる可動保持材２５を備えていること、また、基板端保持面２１の下方において、それぞれの基板端保持面２１より基板１の配置される側に突出した水平方向の面である基板下降停止面２２を備えていることまでは、実施の形態１の基板搬送装置と共通している。
【００５２】
本実施の形態２の基板搬送装置では、この可動保持材２５の具体的な構成が変更されていることが大きな特徴となっている。続いて、本実施の形態２の特徴部分である可動保持材２５の詳細構成について、図９（ｂ）を用いて説明を行う。
【００５３】
本実施の形態２の基板搬送装置の基板端保持機構２０が備える可動保持材２５については、図９（ｂ）に示すとおり、基板下降停止面２２の形成される基板端保持機構２０の本体に可動保持材２５を上下動作可能とするためのガイドとなるガイド支軸２３が図中のＺ方向に沿って取り付けられている。また、可動保持材２５には、ガイド支軸２３に対応してＺ方向に沿って貫通して形成された開口部を有しており、この開口部にガイド支軸２３が差し込まれて、可動保持材２５は、このガイド支軸２３に沿って移動可能に取り付けられている。また、可動保持材２５には、より低い摩擦力でスムーズに上下方向にスライド動作可能となるようにガイド支軸２３との間にベアリング２４が配置されている。なお、ベアリング２４については、可動保持材２５とガイド支軸２３間に潤滑剤などを介して取り付けることで、ある程度低い摩擦でスムーズに上下動作可能であれば省略しても構わない。また、ガイド支軸２３についても、上下方向にスライド動作可能となるよう動作方向を規制するガイド機構であって、更に、比較的低い摩擦力でスムーズにスライド動作可能となる他のガイド機構に変更しても良い。
【００５４】
更に、基板端保持機構２０の可動保持材２５においては、基板端保持機構２０の本体に対して、比較的弱い上向き（＋Ｚ方向）の反発力を有した弾性機構によって、ガイド支軸２３に沿った定位置に保持される。具体的な弾性機構の構成としては、本実施の形態２の基板端保持機構２０においては、図９（ｂ）に示すとおり、金属製スプリングなどのバネ２６を用いている。また、基板端保持機構２０により基板１が挟まれた状態では、可動保持材２５が、前記の定位置と、それよりも基板１とともに下降し、基板１が基板下降停止面２２に当接して下降が停止する位置までの間の位置においては、実施の形態１の基板端保持機構１０の場合と同様に、基板１と基板端保持面２１が当接した状態で可動保持材２５はスムーズに上下方向にスライド動作可能である。
【００５５】
また、このように動作可能となるために必要な弾性機構の上向き（＋Ｚ方向）の反発力の程度としては、可動保持材２５の上記の動作範囲で、弾性機構であるバネ２６に生じる反発力の最大値において、基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱いことが必要である。なお、基本的には、２以上の基板端保持機構２０により基板１を保持し支えることになるので、基板１を支える弾性機構の数に相応した反発力で見積もれば良いことになる。なお、本実施の形態２の基板端保持機構２０の場合においては、実施の形態１とは異なり、基板下降停止面２２を設けなくとも、ある程度、弾性機構であるバネ２６が縮みきったところで、基板１と可動保持材２５の下降は停止し、基板下降停止面２２と同様の役割は期待できる。従って、実施の形態２の基板端保持機構２０の場合においては、可動保持材２５を弾性機構によって保持させる構成を選択したことによって、基板下降停止面２２の設置を省略することもできる。
【００５６】
また、基板１と当接して基板端部を保持することになる可動保持材２５の基板端保持面２１には、ある程度、柔軟に基板１の端部を保持できるように、実施の形態１のベルト５に用いた部材の材質と同様に、図９（ｂ）に示すとおり、ゴムなどの弾性部材２５ａが局所的に配置されることが望ましい。
【００５７】
続いて、本実施の形態２の基板搬送装置の動作について説明を行う。なお、基板搬送装置全体動作については、大部分は、実施の形態１の基板搬送装置の動作と共通しており、実施の形態１の基板搬送装置の動作については、先に幾つかの動作形態ごとに詳細に説明を行った。従って、ここでは、実施の形態１の基板搬送装置の動作と相違し、本実施の形態２の基板搬送装置の動作として特徴的な部分のみ説明する。図１０の動作説明図を用いて、本実施の形態２の基板搬送装置の全体動作の一部、昇降ピン２上に保持された基板１を搬送アームにより受け取る動作と、搬送アーム上の基板１が搬出された後における基板端保持機構２０が基板１を受け入れ可能な状態に自動的に復帰する動作について、説明を行う。
【００５８】
先ず、図１０（ａ）では、昇降ピン２上において基板１が保持され、搬送アームへの受け渡し準備のため待機中の状態に対し、図示される矢印の方向に搬送アームの一対の基板端保持機構２０が基板１を両側より挟む動作をした状態を示したものである。この場合においても、実施の形態１での図５（ｂ）の場合と同様に、それぞれの基板端保持機構２０における基板端保持面２１が基板１の両側の端部に当接され、搬送アーム上における基板１の位置決めをするアライメント作用と、基板１の端部を保持する作用の両方が得られることになる。また、この時点では、基板端保持機構２０の可動保持材２５を上向きに保持する弾性機構であるバネ２６には、可動保持材２５の自重のみが作用していることから、先に説明を行ったガイド支軸２３に沿った定位置に保持された状態で、この一対の基板端保持機構２０が基板１を両側より挟む動作が行われることになる。
【００５９】
続いて、図１０（ｂ）に示すとおり、一対の基板端保持機構２０により基板１が挟まれた状態のまま、昇降ピン２は下降動作する。その際に、基板１と基板端保持機構２０の可動保持材２５は、基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱い反発力の弾性機構であるバネ２６によって上向きに保持されているのみであることから、昇降ピン２の下降動作に伴う基板１の動きに合わせて可動保持材２５も下降する。図中に点線で示された基板１の位置より実線で示された基板１の位置までは、昇降ピン２で下側より保持された状態のまま下降する（基板１の移動方向を矢印で図示）。また、その際には、基板端保持機構２０の可動保持材２５は、図中に可動保持材２５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、ガイド支軸２３に沿って抵抗無くスムーズに下降（下向きにスライド動作）することで、基板端保持面２１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面２１に当接した状態のまま、基板１は図中に実線で示された基板１の位置まで下降することになる。
【００６０】
更に、図中に実線で示された基板１の位置において、基板１は一対の基板端保持機構２０に設けられた基板下降停止面２２に当接されて下側より保持されることとなり、基板１の下降動作は停止することになる。その後も昇降ピン２は下降動作を継続することになるが、基板１は図中に実線で示された基板１の位置より下に下降できなくなることから、昇降ピン２は基板１裏面より離れ、基板１の搬送アーム上への載置が完了したことになる。
【００６１】
更に、図１０（ｃ）においては、基板端保持機構２０に基板１が一旦保持されて、所定の搬送動作を行い、他の基板搬送装置の昇降ピン２や搬送ロボット７０などへの基板１の受け渡し動作を完了し、基板端保持機構２０が基板１の端部より離れる方向へ移動する動作をした後の状態を示している。つまり、実施の形態２の基板搬送装置の基板端保持機構２０が基板１を排出した直後の状態に相当する。この基板１を排出した状態では、基板１を保持している間には基板端保持機構２０の特に可動保持材２５に作用していた基板１の重さによる下向きの力が作用しなくなることになる。従って、基板１を保持している間には基板１の重さよりも弱い反発力であったことから可動保持材２５を動かすには至らなかったが、絶えず作用しつづけていた弾性機構であるバネ２６に生じる上向き（＋Ｚ方向）の反発力が作用することになる。その結果、図中に可動保持材２５周辺に矢印で移動方向を示したとおり、可動保持材２５は上向き（＋Ｚ方向）に移動する。
【００６２】
その後、可動保持材２５は、図１０（ｂ）に示されていた基板下降停止面２２に当接される位置より、バネ２６に生じる上向き（＋Ｚ方向）の反発力と、可動保持材２５の自重により作用する下向きの力のつり合う位置、すなわち、先に説明を行ったガイド支軸２３に沿った定位置まで上昇して停止する。この様にして、可動保持材２５がガイド支軸２３に沿った定位置に保持された状態となり、基板端保持機構２０が基板１を受け入れ可能な状態に自動的に復帰する動作が行われることになる。
【００６３】
また、以上、図１０を用いて説明を行った本実施の形態２の基板搬送装置の動作においては、昇降ピン２上に保持された基板１を搬送アームにより受け取る動作を例に取って説明を行った。例えば、逆の動作となる搬送アームに保持された基板１に対して、昇降ピン２が上下動作することにより受け取る場合には、図８を用い説明を行った実施の形態１の基板搬送装置の動作の際と同様となる。つまり、基板１は、基板端保持機構２０により両側より挟まれた状態のまま、下側より上昇する昇降ピン２により突き上げられて上側へ移動する際にも、基板端保持機構２０の可動保持材２５がガイド支軸２３に沿って上方向にスムーズにスライド動作可能であることから、基板端保持面２１と基板１の端部とが、ずれを生ずることなく、基板端保持面２１に当接した状態のまま上昇することができる。
【００６４】
また、本実施の形態２の基板搬送装置においても、実施の形態１と同様に搬送ロボット７０を備える構成としても良い。その際の基板端保持機構２０を備えた搬送アームと搬送ロボット７０との間での基板１の受け渡し動作についても、基本的には、昇降ピン２の上下動作を搬送ロボット７０の上下動作に置き換えるのみで、同様の動作と、同様の作用を得ることができる。
【００６５】
以上説明のとおり、本実施の形態２の基板搬送装置と、この基板搬送装置を用いた基板搬送方法においては、実施の形態１の基板搬送装置および基板搬送方法と同様に、基板１を下側より載置した状態で上下動作することで基板１を受け渡しする搬送機構として、昇降ピン２や搬送ロボット７０を備えており、これらと基板１を受け渡しする基板保持機構である基板端保持機構２０が、基板１の両側より基板１の端部を挟み当接してアライメント動作するともに、その当接部分となる基板端保持面２１に位置する可動保持材２５がアライメント後も基板１端部を挟んだまま基板１とともに上下方向にスライド動作可能に保持する。この様な構成を有していることから、基板１端部をアライメントし、そのまま基板端部を保持した状態で昇降ピン２や搬送ロボット７０との受け渡しや搬送を行うことができ、更に、基板端保持機構２０は基板１の端部を保持した状態で搬送動作できることから、位置ズレを生ずること無く搬送動作をすることができる。また、昇降ピン２との受け渡しの際に昇降ピン２と基板１の上下動作に併せて、基板端保持機構２０における基板１の当接される基板端保持面２１に位置する可動保持材２５が追従して上下動作し、基板端保持面２１と基板１の端部とが擦れることがないことから異物やカレットの発生を抑えることができる。
【００６６】
また、実施の形態２においては、基板端保持機構２０の特に可動保持材２５について、スムーズに上下方向にスライド動作可能となるようにガイド支軸２３に取り付けられ、この可動保持材２５は、基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱い上向きの反発力を有した弾性機構よりなるバネ２６により定位置に保持される構成としている。以上の構成を有していることにより、先に説明したとおり、基板１を昇降ピン２などへ受渡して、基板端保持機構２０より基板１が排出されて、搬送アーム上より基板１が無くなると、弾性機構であるバネ２６に生ずる反発力により可動保持材２５は定位置へ戻ることから、続いて、次の基板１を受入れる際も基板１を上下動可能な状態で保持することができる。つまり、基板１を受け入れ可能な初期状態（定位置）に戻すためのリセット動作を行う必要が無いことになる。
【００６７】
また、実施の形態２においては、基板端保持機構２０の特に可動保持材２５を上向き（＋Ｚ方向）の反発力により保持する弾性機構を備えた構成であることから、基板下降停止面２２の設置を省略し、基板端保持機構２０の構成をより簡素化して基板搬送装置を低コスト化することもできる。
【００６８】
以上説明を行った実施の形態２の基板搬送装置においては、基板端保持機構２０を構成する弾性機構としてバネ２６を用いた構成について説明を行ったが、基板端保持機構を構成する弾性機構としては、他の形態であっても良い。続いて、実施の形態２の変形例として、その他の基板端保持機構を構成する弾性機構を備えた基板搬送装置について、図１１を用いて説明する。図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、それぞれ別の弾性機構の構成として例示したものである。また、これらの図は、変更の要点となる基板端保持機構と弾性機構の構成を断面図で示しており、実施の形態２の可動保持材２５の詳細構成について説明するために用いた図９（ｂ）に相当する。
【００６９】
例えば、図１１（ａ）に示した一方の変形例としては、基板端保持機構３０を構成する弾性機構として、磁石を用いた磁力を定位置に戻る反発力として利用した構成としている。より具体的には、図１１（ａ）に示す様に、この第一の変形例の基板端保持機構３０においては、基板１が上下移動するのに対して連動することができる可動保持材３５を備える点、更に、基板下降停止面３２の形成される基板端保持機構３０の本体に可動保持材３５を上下動作可能とするためのガイドとなるガイド支軸３３が図中のＺ方向に沿って取り付けられている点、可動保持材３５には、ガイド支軸３３に対応してＺ方向に沿って貫通して形成された開口部を有しており、この開口部にガイド支軸３３が差し込まれて、このガイド支軸３３に沿って移動可能に取り付けられている点、また、可動保持材３５には、より低い摩擦力でスムーズに上下方向にスライド動作可能となるようにガイド支軸３３との間にベアリング３４が配置されている点、更に、基板１と当接して基板端部を保持することになる可動保持材３５の基板端保持面３１にゴムなどの弾性部材３５ａが局所的に配置される点までは、実施の形態２の基板端保持機構２０と同様の構成となっている。
【００７０】
この変形例における実施の形態２の基板端保持機構２０との相違点となる弾性機構の構成としては、図１１（ａ）に示す様に、互いに異極の一対の磁石である磁石３６ａおよび磁石３６ｂを備え、一方の磁石３６ａについては基板端保持機構３０の本体に、他方の磁石３６ｂについては可動保持材３５に、それぞれ、対向する側の向きに取り付けられており、両者が引き合って、最も近接する位置が可動保持材３５の定位置に対応するようにしている。なお、正確には、可動保持材３５の重さによる下向き（−Ｚ方向）の力が作用するので、当該下向き（−Ｚ方向）の力と磁石３６ａおよび磁石３６ｂ間の引力による＋Ｚ方向への成分とがつり合って保持される位置が可動保持材３５の保持されるガイド支軸３３に沿った定位置となる。
【００７１】
また、定位置に戻る反発力の程度としては、実施の形態２の基板端保持機構２０と同様に、可動保持材３５の定位置から基板下降停止面３２に基板１が保持される位置までの動作範囲で、基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱いことが必要である。また、この変形例では磁石間での引力を利用していることから、定位置から変位するにつれて定位置に戻るための反発力は小さくなる。従って、基板下降停止面３２に基板１が保持される位置まで可動保持材３５が下降した状態において、この反発力は最小となり、この最小の反発力が可動保持材３５の重さによる下向き（−Ｚ方向）の力よりも大きくなるように設定することが必要である。この関係を満たすことで、当該基板下降停止面３２に基板１が保持される位置に可動保持材３５が下降した状態において基板１が搬出されて基板１の重さによる下向きの力が作用しなくなった際に、可動保持材３５は上向き（＋Ｚ方向）に移動を開始し定位置に戻る動作をすることができる。また、磁力を定位置に戻る反発力として利用する方法としては、互いに同極の一対の磁石を用いて上下方向で対向して配置することで、同様の弾性機構として利用することが可能である。
【００７２】
例えば、図１１（ａ）に示したもう一方の変形例としては、基板端保持機構４０を構成する弾性機構として、空気バネを定位置に戻る反発力として利用した構成としている。より具体的には、図１１（ｂ）に示す様に、この第二の変形例の基板端保持機構４０においては、基板１が上下移動するのに対して連動することができる可動保持材４５を備える点、更に、基板下降停止面４２の形成される基板端保持機構４０の本体に可動保持材４５を上下動作可能とするためのガイドとなるガイド支軸４３が図中のＺ方向に沿って取り付けられている点、可動保持材４５には、ガイド支軸４３に対応してＺ方向に沿って貫通して形成された開口部を有しており、この開口部にガイド支軸４３が差し込まれて、このガイド支軸４３に沿って移動可能に取り付けられている点、また、可動保持材４５には、より低い摩擦力でスムーズに上下方向にスライド動作可能となるようにガイド支軸４３との間にベアリング４４が配置されている点、更に、基板１と当接して基板端部を保持することになる可動保持材４５の基板端保持面４１にゴムなどの弾性部材４５ａが局所的に配置される点までは、第一の変形例および実施の形態２の基板端保持機構２０と同様の構成となっている。
【００７３】
この変形例における実施の形態２の基板端保持機構２０との相違点となる弾性機構の構成としては、図１１（ｂ）に示す様に、可動保持材４５の外側の下側にシール４６ａを設け、基板端保持機構４０の本体における可動保持材４５の収納される空間と可動保持材４５の下面側との間に気体４６ｂを閉じ込めた構成とすることで、弾性機構としての空気バネ４６を設ける。また、閉じ込める気体４６ｂについては、空気や窒素、希ガスなど、何れのガス種であっても良いが、封入するガス圧とガスの封入される容積としては、実施の形態２の弾性機構として必要な要件である基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱い上向きの反発力を有する必要があることから、大気圧と同程度でも良く、或いは可動保持材４５の自重を見込んで大気圧よりも僅かに高い程度として封止すれば良い。
【００７４】
以上説明の実施の形態２についての二つの変形例においては、弾性機構の構成が異なることを除いて、動作や作用について、実施の形態２の基板搬送装置と同様となることから説明を省略する。また、弾性機構を有した実施の形態２の基板搬送装置と同様な構成を有していることから、基板１端部をアライメントし、そのまま基板１端部を保持した状態で昇降ピン２や搬送ロボット７０との受け渡しや搬送を行うことができることや、更に、基板端保持機構は基板１の端部を保持した状態で搬送動作できることから、位置ズレを生ずること無く搬送動作をすることができること、また、昇降ピン２との受け渡しの際に昇降ピン２と基板１の上下動作に併せて、基板端保持機構における可動保持材が追従して上下動作し、基板端保持面と基板１の端部とが擦れることがないことから異物やカレットの発生を抑えることなど、実施の形態２の基板搬送装置と同様の効果を得ることができる。
【００７５】
また、これら二つの変形例においても、基板端保持機構の特に可動保持材について、スムーズに上下方向にスライド動作可能となるようにガイド支軸２３に取り付けられ、この可動保持材は、基板１の重さにより生ずる下向きの力よりも弱い上向きの反発力を有した弾性機構により定位置に保持される構成としていることによって、実施の形態２の基板搬送装置と同様に基板１を受け入れ可能な初期状態（定位置）に戻すためのリセット動作を行う必要が無い。また、弾性機構の反発力を活用して基板１の下降停止機構として機能させることで、実施の形態２の基板搬送装置と同様に基板下降停止面の設置を省略し、基板端保持機構の構成をより簡素化して基板搬送装置を低コスト化することもできる。
【００７６】
なお、以上説明を行った実施の形態１および実施の形態２とその変形例の基板搬送装置および基板搬送方法においては、一対の基板端保持機構により基板１の両側より保持する場合について説明を行ったが、例えば、基板１の４辺に対して、それぞれ基板端保持機構を配置して、基板１の両側より保持するのに加えて、４方向から挟み保持するようにしても構わない。このように変形しても、本発明の基本的な効果は得ることができ、更に、４方向から挟み保持することで、搬送アームによる搬送時において、水平方向でのズレを生じ難くなり、より安定した搬送動作を行うことができる。
【００７７】
実施の形態３
上記説明の実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例においては、液晶表示装置用基板を搬送する搬送装置および搬送方法に本発明を適用した場合について説明を行ったが、本実施の形態３では、本発明の別の実施の形態として、これら、実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の搬送装置および搬送方法を具体的な液晶表示装置の製造方法に適用した場合について、或いは、その製造方法の中での具体的な適用工程などについて説明を行う。
【００７８】
本発明が液晶表示装置の製造方法に適用される場合の典型的な例としては、液晶表示装置の製造工程において、基板状態、つまり枚葉状態で工程間或いは各処理装置間を搬送されることが多いパネル組み立て工程に好適に用いることができる。具体的には、各処理装置間を枚葉状態で基板を搬送する基板搬送用の搬送ローラ上と各装置が備える搬送ロボット上との間で、この搬送ローラが備える基板を受け渡しする昇降ピンの部分と、この各装置が備える搬送ロボットの部分に、上記説明の実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の昇降ピン２と基板端保持機構を備えた搬送アームをそれぞれ用いると良い。或いは、実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の基板端保持機構を備えた搬送アームを介して、各装置が備える搬送ロボットや各装置が備えるステージの上で基板を受け取る昇降ピンと、搬送ローラが備える昇降ピンとの間で基板を受け渡しさせるなど、各装置と搬送ローラ間の基板受け渡しする部分で、各装置と搬送ローラのそれぞれが備えた搬送ロボットや昇降ピンなどの水平状態の基板を下面側から載置した状態で上下動作することで基板を受け渡しする搬送機構間の搬送に実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の基板端保持機構を備えた搬送アームを用いると良い。
【００７９】
また、上記説明のとおり、本発明は基板が枚葉状態で受け渡しされる場合に用いることができることから、パネル組み立て工程に好適に利用できるものであるが、液晶表示装置の製造方法においてパネル組み立て工程に先立って行われるＴＦＴアレイ基板（ＴＦＴ：Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を製造する工程となるＴＦＴアレイ工程においても本発明は利用できる。より具体的には、ＴＦＴアレイ工程では、各工程間は主に基板を搬送カセットに入れたバッチ状態で搬送処理される場合が多いものの、各処理装置の内部においては、基板が枚葉状態で処理される場合が多い。例えば、一つの処理装置内での各ユニット間での基板搬送部分では、搬送ロボットと基板を受け渡しする昇降ピンを備える構成が汎用されており、これら部分に、上記説明の実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の基板端保持機構を備えた搬送アームと支持ピン２をそれぞれ用いると良い。
【００８０】
これら工程においても、装置コストの増加や、位置ズレの発生や、異物やカレットの発生による液晶表示装置の製造時における歩留まりの低下は、共通する課題である。本実施の形態３においては、搬送ロボットや昇降ピンなどの水平状態の基板を下面側から載置した状態で上下動作することで基板を受け渡しする搬送機構との間で基板を受け渡しする基板搬送装置として、実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の基板端保持機構を備えた搬送アームなどを用いた構成を適用したことによって、これら課題を解決できるなど有効に作用する。つまり、本発明の搬送装置および搬送方法は、液晶表示装置の製造時におけるＴＦＴアレイ基板を製造する工程となるＴＦＴアレイ工程からパネル組み立て工程にいたるまで、大部分の工程に適用することが可能であり、本実施の形態３の液晶表示装置の製造方法においては、これら殆どの工程の製造装置や搬送装置に実施の形態１、実施の形態２、および実施の形態２の変形例の基板端保持機構を備えた搬送アームなどを用いた構成を適用することで、飛躍的に液晶表示装置の製造時における歩留まりを向上し、顕著な低コスト化を実現することが可能となる。
【００８１】
なお、上記説明の実施の形態３では、本発明を一例として液晶表示装置の製造に適用した場合について説明を行ったが、本発明の適用範囲は、この範囲に留まらず、例えば、半導体装置やその他の電子機器の製造など、平板状の基板の搬送処理を伴う製造工程であって、金属などの異物やガラスなどのカレットの発生による製造歩留まりの低下を課題とする分野において広く適用可能であり、これらの製造工程に適用することで、実施の形態３で得られる効果と同様に、製造時における歩留まりを向上し、顕著な低コスト化を実現することが可能となる。
【符号の説明】
【００８２】
１  基板、２  昇降ピン、３  円筒コロ、４  円筒コロ取り付け部、５  ベルト、
６  搬送ローラ、７  ロボットアーム、７０  搬送ロボット、
１０，２０，３０，４０  基板端保持機構、
１１，２１，３１，４１基板端保持面、
１２，２２，３２，４２  基板下降停止面、
２３，３３，４３  ガイド支軸、２４，３４，４４  ベアリング、
２５，３５，４５  可動保持材、２５ａ，３５ａ，４５ａ  弾性部材、
２６  バネ、３６ａ，３６ｂ  磁石、
４６  空気バネ、４６ａ  シール、４６ｂ  気体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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