(57)【要約】【課題】処理対象物に対する処理内容や処理能力を変更することを容易にする。【解決手段】被検査基板Ｗを、略水平に延びる搬送経路に沿って搬送する搬送機構２と、搬送経路の設定位置Ｐ２で、被検査基板Ｗを高さ位置Ｐ１へ上昇させるリフト機構５と、高さ位置Ｐ１に位置する被検査基板Ｗに対して所定の処理を実行する処理部Ａ，Ｂとを備える処理ユニット１２，１３，１４を含み、処理ユニット１２，１３，１４は、各処理ユニットの搬送経路が一列に連なり、かつ搬送方向が互いに同一方向となるように配置され、隣接する二つの搬送経路間では、上流側の搬送経路から下流側の搬送経路に被検査基板Ｗを受け渡し、それぞれに対応する前記処理ユニットにおいて、リフト機構５により被検査基板Ｗが高さ位置Ｐ１に位置している期間中、被検査基板Ｗの下方を通って当該被検査基板Ｗとは別の被検査基板Ｗを搬送可能に構成されている。【選択図】図１
2015061049.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の処理の対象となる処理対象物を搬送する処理対象物搬送処理システムであって、
前記処理対象物を、略水平に延びる搬送経路に沿って搬送する第１搬送機構と、
前記搬送経路上における予め設定された設定位置で、前記第１搬送機構により搬送されてきた前記処理対象物を、前記搬送経路から退避した退避位置へ移動させる移動機構と、
前記退避位置に位置する前記処理対象物に対して、所定の処理を実行する処理部とを備える処理ユニットを複数含み、
前記複数の処理ユニットは、前記各処理ユニットの搬送経路が一列に連なり、かつ搬送方向が互いに同一方向となるように配置され、
前記複数の搬送経路のうち互いに隣接する二つの搬送経路間では、当該二つの搬送経路にそれぞれ対応する二つの第１搬送機構は、前記搬送方向の上流側の搬送経路から下流側の搬送経路に前記処理対象物を受け渡し、
前記各第１搬送機構は、それぞれに対応する前記処理ユニットにおいて、前記移動機構により前記処理対象物が前記退避位置に移動されたとき、当該処理対象物が前記退避位置に位置している期間中、当該処理対象物と干渉することなく当該処理対象物とは別の処理対象物を搬送可能に構成されている処理対象物搬送システム。
【請求項２】
前記退避位置は、前記搬送経路の上方に位置しており、
前記各第１搬送機構は、それぞれに対応する前記処理ユニットにおいて、前記移動機構により前記処理対象物が前記退避位置に移動されたとき、当該処理対象物が前記退避位置に位置している期間中、当該処理対象物の下方を通って当該処理対象物とは別の処理対象物を搬送可能に構成されている請求項１記載の処理対象物搬送システム。
【請求項３】
前記処理対象物を、予め設定された搬送経路に沿って略水平に搬送する第２搬送機構を備える搬送ユニットをさらに含み、
前記搬送ユニットは、当該搬送ユニットの搬送経路が前記各処理ユニットの搬送経路と一列に連なり、
前記第２搬送機構は、当該第２搬送機構に対応する搬送経路と隣接する他の搬送経路との間で、前記処理対象物を受け渡す請求項１又は２記載の処理対象物搬送システム。
【請求項４】
前記複数の処理ユニットに対応する前記複数の処理部には、前記処理として所定の第１処理を実行する第１処理部と、前記処理として前記第１処理より処理時間が短い第２処理を実行する第２処理部とが含まれ、
前記第１処理部を備える前記処理ユニットである第１処理ユニットの数は、前記第２処理部を備える前記処理ユニットである第２処理ユニットの数より多い請求項１〜３のいずれか１項に記載の処理対象物搬送システム。
【請求項５】
前記第１処理ユニットは、前記第２処理ユニットよりも、前記搬送方向上流側に配置されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の処理対象物搬送システム。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の処理対象物搬送システムにおける前記処理対象物が基板であり、前記処理が前記基板の検査である基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の処理の対象となる処理対象物を、その処理を実行する処理部へ搬送する処理対象物搬送システム、及びその処理対象物搬送システムを用いた基板検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線基板やパッケージ基板に対して複数の検査を行う基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の基板検査装置は、基板を冷却して検査する検査部や、基板を加熱して検査する検査部など、複数の検査部を備えている。そして、各検査部の間で、基板を順次搬送する搬送機構を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−５９７２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述の検査装置は、複数の検査部や搬送装置が一体に構成されている。そのため、検査内容を変更したり一定時間内の検査処理量を変更したりするためには、装置自体を作り直す必要があるため、このような変更が困難であるという不都合がある。また、基板を検査する場合に限らず、処理対象物に対して何らかの処理を施す処理装置の場合であっても、処理部を複数備える場合、同様の不都合が生じる。
【０００５】
本発明の目的は、処理対象物に対する処理内容や処理能力を変更することが容易な処理対象物搬送システム、及びこのような処理対象物搬送システムを用いた基板検査システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る処理対象物搬送システムは、所定の処理の対象となる処理対象物を搬送する処理対象物搬送処理システムであって、前記処理対象物を、略水平に延びる搬送経路に沿って搬送する第１搬送機構と、前記搬送経路上における予め設定された設定位置で、前記第１搬送機構により搬送されてきた前記処理対象物を、前記搬送経路から退避した退避位置へ移動させる移動機構と、前記退避位置に位置する前記処理対象物に対して、所定の処理を実行する処理部とを備える処理ユニットを複数含み、前記複数の処理ユニットは、前記各処理ユニットの搬送経路が一列に連なり、かつ搬送方向が互いに同一方向となるように配置され、前記複数の搬送経路のうち互いに隣接する二つの搬送経路間では、当該二つの搬送経路にそれぞれ対応する二つの第１搬送機構は、前記搬送方向の上流側の搬送経路から下流側の搬送経路に前記処理対象物を受け渡し、前記各第１搬送機構は、それぞれに対応する前記処理ユニットにおいて、前記移動機構により前記処理対象物が前記退避位置に移動されたとき、当該処理対象物が前記退避位置に位置している期間中、当該処理対象物と干渉することなく当該処理対象物とは別の処理対象物を搬送可能に構成されている。
【０００７】
この構成によれば、処理対象物搬送システムは、複数の処理ユニットが一列に連なるように配置されて構成されている。各処理ユニットがそれぞれ処理対象物に対して所定の処理を実行する処理部を備え、略水平に延びる搬送経路に沿って処理対象物が搬送される。複数の処理ユニットは、各処理ユニットの搬送経路が一列に連なり、かつ搬送方向が互いに同一方向となるように配置され、複数の搬送経路のうち互いに隣接する二つの搬送経路間では、搬送方向の上流側の搬送経路から下流側の搬送経路に処理対象物が受け渡される。これにより、処理対象物を、順次各処理ユニットに搬送することができ、１つの処理対象物に複数の処理ユニットで複数の処理を施したり、複数の処理ユニットで複数の処理対象物を順次搬送して並列的に処理を実行したりすることができる。そして、処理対象物の搬送経路が略水平に延びていることから、各処理ユニットの搬送経路の入口と出口の高さは略等しいので、処理ユニットの増減、各処理ユニットの配列順序の入れ替え、処理部の処理内容が異なる処理ユニットの追加、及び入れ替え等を行った場合であっても、隣接する処理ユニット相互間で搬送方向の上流側の搬送経路から下流側の搬送経路に処理対象物が受け渡される構成が維持される。従って、処理対象物に対する処理内容や処理能力を変更することが容易となる。
【０００８】
また、前記退避位置は、前記搬送経路の上方に位置しており、前記各第１搬送機構は、それぞれに対応する前記処理ユニットにおいて、前記移動機構により前記処理対象物が前記退避位置に移動されたとき、当該処理対象物が前記退避位置に位置している期間中、当該処理対象物の下方を通って当該処理対象物とは別の処理対象物を搬送可能に構成されていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、処理対象物を搬送経路から水平方向に離間した位置に退避させる場合と比べて、システムの占有面積が小さくなり、省スペース化できる。
【００１０】
また、前記処理対象物を、予め設定された搬送経路に沿って略水平に搬送する第２搬送機構を備える搬送ユニットをさらに含み、前記搬送ユニットは、当該搬送ユニットの搬送経路が前記各処理ユニットの搬送経路と一列に連なり、前記第２搬送機構は、当該第２搬送機構に対応する搬送経路と隣接する他の搬送経路との間で、前記処理対象物を受け渡すことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、処理対象物の搬送経路中に、処理部を備えない搬送ユニットが含まれる。この構成によれば、搬送ユニットを、処理対象物を外部からシステムに受け入れるためのローダとして用いたり、処理対象物をシステムから取り出すためのアンローダとして用いたり、あるいは各処理ユニットの処理タイミングのずれを調整するためのバッファ装置として用いることができる。また、搬送ユニットの第２搬送機構は処理ユニットの第１搬送機構と同様に構成されているので、搬送ユニットを配置する位置や数を柔軟に変更することができる。
【００１２】
また、前記複数の処理ユニットに対応する前記複数の処理部には、前記処理として所定の第１処理を実行する第１処理部と、前記処理として前記第１処理より処理時間が短い第２処理を実行する第２処理部とが含まれ、前記第１処理部を備える前記処理ユニットである第１処理ユニットの数は、前記第２処理部を備える前記処理ユニットである第２処理ユニットの数より多いことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、処理時間の長い第１処理を実行する第１処理ユニットの数は、処理時間の短い第２処理を実行する第２処理ユニットの数より多いので、時間のかかる処理を数多くの処理ユニットで並列的に実行することが可能となる結果、システム全体として第１処理と第２処理との処理時間の差が低減される。その結果、システム全体の処理性能が向上する。
【００１４】
また、前記第１処理ユニットは、前記第２処理ユニットよりも、前記搬送方向上流側に配置されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、最初に各処理ユニットへの処理対象物の搬入を開始する際に、搬送方向上流側にある第１処理ユニットの数だけ、処理対象物を、処理ユニットの処理の終了を待たずに速やかに搬入することができるので、数の少ない第２処理ユニットが搬送方向上流側にある場合に最初に第２処理ユニットへ処理対象物を搬入する場合と比べて最初に速やかに処理ユニットへ搬入できる処理対象物の数が多くなる結果、システム全体の処理性能が向上する。
【００１６】
また、本発明に係る基板検査システムは、上述の処理対象物搬送システムにおける前記処理対象物が基板であり、前記処理が前記基板の検査である。
【００１７】
この構成によれば、上述の処理対象物搬送システムを、基板の検査を行う基板検査装置に適用することができる。
【発明の効果】
【００１８】
このような構成の処理対象物搬送システム、及び基板検査システムは、処理対象物に対する処理内容や処理能力を変更することが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板検査システムの構成の一例を示す説明図である。
【図２】搬送機構及びリフト機構を上方から見た上面図である。
【図３】図１に示す基板検査システムの電気的構成の一例を示すブロック図である。
【図４】図１に示す基板検査システムの動作を説明するための説明図である。
【図５】各処理ユニットの配置順序や、処理の異なるユニット数の組み合わせの一例を概念的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板検査システムの構成の一例を示す説明図である。図１に示す基板検査システム１は、ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５を備えている。基板検査システム１は、処理対象物搬送システムの一例に相当する。
【００２１】
第１処理ユニット１２，１３および第２処理ユニット１４は、処理ユニットの一例に相当し、ローダ１１及びアンローダ１５は、搬送ユニットの一例に相当している。なお、図１においては、説明の便宜上、図１の左側方向を基板検査システム１の前方、図１の右側方向を基板検査システム１の後方として記載しているが、基板検査システム１の前方、後方は図１の例に限らない。
【００２２】
ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５は、いずれも略直方体状の下部筐体３と、下部筐体３の上部に配置された搬送機構２とを備えている。第１処理ユニット１２，１３及び第２処理ユニット１４が備える搬送機構２は、第１搬送機構の一例に相当し、ローダ１１及びアンローダ１５が備える搬送機構２は、第２搬送機構の一例に相当している。
【００２３】
下部筐体３の下部には、キャスター６が取り付けられている。これにより、作業者は、ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５の各ユニットを、それぞれ容易に移動させることができる。なお、各ユニットは、キャスター６を備えない構成であってもよい。
【００２４】
搬送機構２は、前方から後方へ向かう搬送方向に沿って、ワークプレートＷＰを略水平に搬送する。ワークプレートＷＰは、略矩形の板状の部材であり、ワークプレートＷＰの上面に、検査対象となる被検査基板Ｗが載置されている。
【００２５】
ワークプレートＷＰの上面は、例えば平坦であってもよく、例えば凹所が形成されて、凹所内に被検査基板Ｗが収容されていてもよい。ワークプレートＷＰの下面には、例えばゴムシートが貼付されている。被検査基板Ｗは、例えばプリント配線基板、回路基板、半導体チップが搭載されるパッケージ基板、あるいは表面に透明電極が形成されたガラス基板等である。
【００２６】
搬送機構２は、搬送方向に沿って間隔ｄ毎に配置された複数の略円筒形の搬送コロＲと、後述する搬送用モータＭ１と、搬送用モータＭ１の駆動力を複数の搬送コロＲに伝達するシャフトやギヤ等の図略の伝達機構とを備えている。そして、複数の搬送コロＲによって、ワークプレートＷＰが搬送される搬送経路が形成される。すなわち、複数の搬送コロＲの上方頂部を結んだラインが搬送経路となる。
【００２７】
間隔ｄは、ワークプレートＷＰの搬送方向の長さの１／２以下、例えば１／３の長さにされている。これにより、ワークプレートＷＰの下面に常時複数の搬送コロＲが接触するようにされている。その結果、搬送コロＲによりワークプレートＷＰを支持する重量バランスが良好となる。
【００２８】
また、ワークプレートＷＰの下面に貼付されたゴムシートによって、ワークプレートＷＰと搬送コロＲとの間の摩擦力が増大される結果、搬送コロＲによるワークプレートＷＰの搬送の際に、搬送コロＲのワークプレートＷＰに対する滑りが低減されている。なお、搬送機構２は、搬送コロＲが間隔ｄ毎に配置される構成に限らず、例えばベルトコンベアであってもよい。
【００２９】
第１処理ユニット１２，１３、及び第２処理ユニット１４の各処理ユニットは、さらに、下部筐体３の上方に配設された上部筐体４と、上部筐体４の下方に配設されたリフト機構５とを備えている。また、第１処理ユニット１２，１３は第１検査部Ａ（第１処理部）を備え、第２処理ユニット１４は第２検査部Ｂ（第２処理部）を備えている。第１処理ユニット１２，１３の上部筐体４には、第１検査部Ａが収納され、第２処理ユニット１４の上部筐体４には、第２検査部Ｂが収納されている。
【００３０】
なお、ローダ１１及びアンローダ１５は、第１検査部Ａや第２検査部Ｂ等の処理部を備えない。
【００３１】
リフト機構５は、当該各ユニットの搬送経路上における予め設定された設定位置Ｐ２で、搬送機構２により搬送されてきたワークプレートＷＰを、予め設定された高さ位置Ｐ１へ上昇させる。具体的には、リフト機構５は、プレート保持部５１と、シャフト５２と、シャフト駆動部５３とを備えている。図２は、搬送機構２の搬送コロＲ及びリフト機構５を上方から見た上面図である。
【００３２】
搬送コロＲ上の搬送経路の両側には、一対のプレート保持部５１が配設されている。プレート保持部５１は、搬送方向に沿って延びる保持部本体５１１と、保持部本体５１１の両端部から搬送経路へ向かって突出する一対の突出部５１２とを有している。一対の突出部５１２は、二本の搬送コロＲの間から、設定位置Ｐ２に位置するワークプレートＷＰの下部に突出するようになっている。
【００３３】
シャフト５２は、保持部本体５１１の両端部から下方に延び、プレート保持部５１とシャフト駆動部５３とを連結する。シャフト駆動部５３は、シャフト５２を上下方向に移動させることによって、プレート保持部５１を昇降させる。シャフト駆動部５３は、後述する昇降用モータＭ２や、ボールネジ、ギヤ機構等により構成されている。これにより、プレート保持部５１は、搬送経路の下方でワークプレートＷＰが設定位置Ｐ２に搬送されてくるのを待ち受ける下降姿勢と、ワークプレートＷＰを高さ位置Ｐ１に位置させる上昇姿勢とを取り得るようにされている。以下、プレート保持部５１が下降姿勢となり、かつワークプレートＷＰがなく、プレート保持部５１が新たなワークプレートＷＰを受け入れ可能な状態を、待ち受け状態と称する。
【００３４】
プレート保持部５１が上昇すると、一対のプレート保持部５１に設けられた四つの突出部５１２がワークプレートＷＰの下部に係合し、プレート保持部５１の上昇に伴いワークプレートＷＰが上昇する。シャフト駆動部５３は、プレート保持部５１を上昇させ、検査部による検査処理に適した高さ位置Ｐ１へ位置させる。
【００３５】
プレート保持部５１によってワークプレートＷＰが高さ位置Ｐ１に位置されている期間中、搬送機構２は、そのワークプレートＷＰの下方を通って別のワークプレートＷＰを搬送可能にされている。リフト機構５は移動機構の一例に相当し、高さ位置Ｐ１は退避位置の一例に相当している。なお、退避位置は搬送経路の上方に限られず、例えば搬送経路と交差する方向に離間した位置に退避位置が設定されていてもよく、移動機構はワークプレートＷＰを上方に上昇させるものに限らない。
【００３６】
第１検査部Ａは、高さ位置Ｐ１に位置するワークプレートＷＰ上の被検査基板Ｗに対し、例えば配線パターンの静電容量を測定することにより良否を判定する第１検査（第１処理）を実行する。第２検査部Ｂは、高さ位置Ｐ１に位置するワークプレートＷＰ上の被検査基板Ｗに対し、例えば配線パターンの導通の有無を検査する第２検査（第２処理）を実行する。第２検査は、第１検査より検査時間が短く、例えば第１検査の１／２の時間で基板を検査できる。
【００３７】
基板検査システム１は、検査時間の長い第１検査部Ａを備えた第１処理ユニット１２，１３と、検査時間の短い第２検査部Ｂを備えた第２処理ユニット１４とを備えている。すなわち、処理時間の長い処理ユニットの方が、処理時間の短い処理ユニットよりも数が多くされている。
【００３８】
基板検査システム１の場合、例えば処理時間が第２処理ユニット１４の二倍必要な第１処理ユニット１２，１３が、第２処理ユニット１４の二倍設けられており、基板検査システム１全体で第１検査と第２検査の処理時間が平準化されるようになっている。なお、第１検査部Ａ、第２検査部Ｂが実行する基板検査方法としては、種々の検査方法を採用可能である。
【００３９】
ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５の各ユニットは、当該各ユニットの搬送経路が一列に連なり、かつ搬送方向が互いに同一方向となるように配置されている。互いに隣接するユニット間では、双方の搬送経路間で、当該二つの搬送経路にそれぞれ対応する二つの搬送機構２は、搬送方向の上流側の搬送経路から下流側の搬送経路にワークプレートＷＰを受け渡すようになっている。
【００４０】
また、各ユニットの搬送経路は略水平、すなわち各ユニットにおける搬送経路の入口と出口の高さが、各ユニット相互間で略等しい。かつ、各ユニットのうち隣接する任意の２つのユニットの間で、搬送方向上流側のユニットにおける搬送経路の出口となる搬送コロＲすなわち当該ユニット内で最も搬送方向下流側に位置する搬送コロＲと、搬送方向下流側のユニットにおける搬送経路の入口となる搬送コロＲすなわち当該ユニット内で最も搬送方向上流側に位置する搬送コロＲとの間の距離が、間隔ｄ以下になるように、各搬送コロＲの配置位置が設定されている。
【００４１】
このように、搬送経路の高さや搬送コロＲの配置が設定されたユニット同士を組み合わせて基板検査システム１が構成されるので、各ユニットの配列順序を入れ替えたり、各ユニットの数を増減したりした場合であっても、各ユニットの搬送経路間で、スムーズにワークプレートＷＰを受け渡すことが可能にされている。これにより、基板検査システム１は、各ユニットの配列順序の入れ替えや各ユニットの数の増減が容易である。
【００４２】
また、第１検査部Ａや第２検査部Ｂを他の処理部に変更した処理ユニットを構成し、基板検査システム１の処理ユニットと入れ替え、追加等することにより、基板検査システム１の処理内容を変更することが容易である。これにより、処理対象物である被検査基板Ｗに対する処理内容や処理能力を変更することが容易な基板検査システムを構成することが可能となる。
【００４３】
図３は、図１に示す基板検査システム１の電気的構成の一例を示すブロック図である。図１に示す基板検査システム１は、ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、アンローダ１５、及び制御部１６を備えている。そして、ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５と、制御部１６とは、通信路１７を介してデータ送受信可能に接続されている。
【００４４】
ローダ１１は、搬送用モータＭ１と、ユニット制御部１１１と、通信部１１２とを備える。第１処理ユニット１２は、搬送用モータＭ１、昇降用モータＭ２、第１検査部Ａ、ユニット制御部１２１、及び通信部１２２を備える。第１処理ユニット１３は、搬送用モータＭ１、昇降用モータＭ２、第１検査部Ａ、ユニット制御部１３１、及び通信部１３２を備える。第２処理ユニット１４は、搬送用モータＭ１、昇降用モータＭ２、第２検査部Ｂ、ユニット制御部１４１、及び通信部１４２を備える。アンローダ１５は、搬送用モータＭ１と、ユニット制御部１５１と、通信部１５２とを備える。
【００４５】
各搬送用モータＭ１は、それぞれユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１からの制御信号に応じて回転し、搬送コロＲを回転駆動させることによって、搬送機構２によりワークプレートＷＰを回転させる。
【００４６】
各昇降用モータＭ２は、それぞれユニット制御部１２１，１３１，１４１からの制御信号に応じて正逆回転し、その回転駆動力をシャフト駆動部５３へ付与する。これにより、例えば昇降用モータＭ２が正回転することにより、プレート保持部５１が上昇し、例えば昇降用モータＭ２が逆回転することにより、プレート保持部５１が下降するようになっている。
【００４７】
各第１検査部Ａは、ユニット制御部１２１，１３１からの制御信号に応じて、それぞれ高さ位置Ｐ１に位置するプレート保持部５１上の被検査基板Ｗの検査を実行する。第２検査部Ｂは、ユニット制御部１４１からの制御信号に応じて、高さ位置Ｐ１に位置するプレート保持部５１上の被検査基板Ｗの検査を実行する。
【００４８】
通信部１１２，１２２，１３２，１４２，１５２は、通信路１７を介して制御部１６と通信を実行する通信インターフェイス回路である。通信インターフェイスとしては、イーサネット（登録商標）等、種々の通信方式を用いることができる。
【００４９】
ユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１は、例えばマイクロコンピュータを用いて構成されており、通信部１１２，１２２，１３２，１４２，１５２を介して制御部１６との間で通信を実行する。ユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１は、それぞれが対応するユニット内で、例えば図略のセンサにより得られた情報や、各ユニットの動作状態を示す情報を制御部１６へ送信する。また、ユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１は、制御部１６から受信された制御指示に応じて、対応する各ユニット内の搬送用モータＭ１、昇降用モータＭ２、第１検査部Ａ、第２検査部Ｂ等の動作を制御する。
【００５０】
制御部１６は、例えばパーソナルコンピュータやプログラマブルコントローラ等、種々の情報処理装置によって構成されている。制御部１６は、ローダ１１、第１処理ユニット１２，１３、第２処理ユニット１４、及びアンローダ１５の各ユニットから送信された情報を受信する。制御部１６は、各ユニットから送信された情報に基づき、各ユニットへ制御指示を送信する。各ユニットのユニット制御部が、その制御指示に応じて各ユニットの動作を制御する。
【００５１】
これにより、制御部１６は、基板検査システム１の動作を統括的に制御する。以下、説明を簡略化するため、制御部１６からの制御指示に応じて各ユニットのユニット制御部が各ユニットの制御を行う動作を、単に、制御部１６が、各ユニットの各部を制御するものとして記載する。
【００５２】
次に、上述のように構成された基板検査システム１の動作について、説明する。まず、図１に示すように、第１処理ユニット１２，１３、及び第２処理ユニット１４におけるプレート保持部５１は、下降姿勢となっており、第１処理ユニット１２，１３、及び第２処理ユニット１４は、プレート保持部５１を受け入れ可能な待ち受け状態となっている。この状態で、ローダ１１にワークプレートＷＰが載置されると、図略のセンサによりローダ１１にワークプレートＷＰが載置されたことが検知され、その情報が制御部１６へ送られる。
【００５３】
ローダ１１にワークプレートＷＰが載置されたことが検知されると、制御部１６は、ローダ１１及び第１処理ユニット１２，１３の搬送機構２を駆動させ、ワークプレートＷＰ及び被検査基板Ｗを、第１処理ユニット１２，１３のうち搬送方向下流側にある第１処理ユニット１３の設定位置Ｐ２へ搬送させ、第１処理ユニット１３のリフト機構５によって、ワークプレートＷＰを高さ位置Ｐ１へ上昇させる。ワークプレートＷＰが高さ位置Ｐ１に位置すると、例えば図略のセンサによりワークプレートＷＰが検知され、その検知信号に応じて第１処理ユニット１３の第１検査部ＡがワークプレートＷＰ上の被検査基板Ｗを検査する。
【００５４】
一方、制御部１６は、新たにワークプレートＷＰがローダ１１に載置されると、ローダ１１及び第１処理ユニット１２の搬送機構２を駆動させ、ワークプレートＷＰ及び被検査基板Ｗを、待ち受け状態である第１処理ユニット１２の設定位置Ｐ２へ搬送させ、第１処理ユニット１２のリフト機構５によって、ワークプレートＷＰを高さ位置Ｐ１へ上昇させる。ワークプレートＷＰが高さ位置Ｐ１に位置すると、例えば図略のセンサによりワークプレートＷＰが検知され、その検知信号に応じて第１処理ユニット１２の第１検査部ＡがワークプレートＷＰ上の被検査基板Ｗを検査する。
【００５５】
このように、第１処理ユニット１２，１３によって、複数の被検査基板Ｗを並行して検査可能になっている。また、制御部１６は、第１検査を実行するユニットと、第２検査を実行するユニットとのうち搬送方向上流側の第１検査を実行するユニットである第１処理ユニット１２，１３のうちの、待ち受け状態にあるユニットのうちで最も搬送方向下流側にあるユニットから順に、ワークプレートＷＰを供給するので、待ち時間なく速やかに、すべての第１処理ユニット１２，１３にワークプレートＷＰを供給して検査を開始させることが可能となる。
【００５６】
もし仮に、待ち受け状態にあるユニットのうちで最も搬送方向下流側にある第１処理ユニット１３より先に、第１処理ユニット１２へワークプレートＷＰを供給した場合、第１処理ユニット１２のプレート保持部５１が設定位置Ｐ２への上昇過程にある間、新たなワークプレートＷＰをプレート保持部５１の下方を通過させて第１処理ユニット１３へ搬送することができないので、第１処理ユニット１３の待ち時間が生じることとなる。その結果、基板検査システム１全体の処理性能の低下を招くおそれがある。
【００５７】
また、基板検査システム１によれば、第１処理ユニットと、第２検査を実行する第２処理ユニットとのうち、数が多い第１処理ユニットの方が、搬送方向上流側に配置されている。これにより、図１に示すように、第２処理ユニットより数の多い第１処理ユニットの数、待ち時間なく速やかに被検査基板Ｗの検査を開始することができる。これに対し、もし仮に、数が少ない第２処理ユニットの方が搬送方向上流側に配置されていた場合、待ち時間なく検査を開始できる被検査基板Ｗの数が少なくなる結果、基板検査システム１全体の処理性能の低下を招くおそれがある。
【００５８】
なお、必ずしも第１検査を実行する第１処理ユニットと、第２検査を実行する第２処理ユニットとのうち搬送方向上流側の第１検査を実行するユニットである第１処理ユニット１２，１３のうちの、待ち受け状態にあるユニットのうちで最も搬送方向下流側にあるユニットから順に、ワークプレートＷＰを供給する例に限らない。また、第１処理ユニットと、第２検査を実行する第２処理ユニットとのうち、数が多い第１処理ユニットの方を、搬送方向上流側に配置する例に限らない。
【００５９】
次に、先に第１検査を開始した第１処理ユニット１３が、第１処理ユニット１２より先に第１検査を終了すると、制御部１６は、第１処理ユニット１３のプレート保持部５１を下降させてワークプレートＷＰを第１処理ユニット１３の搬送コロＲ上、すなわち搬送経路上に載置させる。そして、制御部１６は、第１処理ユニット１３及び第２処理ユニット１４の搬送機構２を駆動させ、ワークプレートＷＰを第１処理ユニット１３から第２処理ユニット１４の設定位置Ｐ２へ搬送させ、第２処理ユニット１４のリフト機構５によりワークプレートＷＰを第２処理ユニット１４の高さ位置Ｐ１へ位置させて、第２検査部ＢによるワークプレートＷＰ上の被検査基板Ｗの検査を開始させる（図４）。
【００６０】
図４に示すように、第１処理ユニット１２，１３のうち搬送方向下流側の第１処理ユニット１３が待ち受け状態となり、第１処理ユニット１２が検査中となった場合であっても、第１処理ユニット１２のワークプレートＷＰは高さ位置Ｐ１に位置づけられ、その下方を新たなワークプレートＷＰが通過可能にされている。その結果、制御部１６は、図４に示すように、第１処理ユニット１２，１３の搬送機構２によって、新たなワークプレートＷＰを第１処理ユニット１２で処理中のワークプレートＷＰの下方を通過させて、待ち受け状態の第１処理ユニット１３へ供給することができるので、複数の第１処理ユニットを効率よく稼働させることが可能となる。
【００６１】
また、リフト機構５は、ワークプレートＷＰを搬送経路の上方に移動させ、搬送経路上方の検査部によって検査が行われるので、搬送経路の側方にワークプレートＷＰを移動させて検査を行う場合と比べて第１処理ユニット１２，１３及び第２処理ユニット１４の、床面への投影面積が小さくなる結果、省スペース化を図ることが可能となる。
【００６２】
次に、第２処理ユニット１４における第２検査が終了すると、制御部１６は、第２処理ユニット１４のプレート保持部５１を下降させてワークプレートＷＰを第２処理ユニット１４の搬送コロＲ上、すなわち搬送経路上に載置させる。そして、制御部１６は、第２処理ユニット１４及びアンローダ１５の搬送機構２を駆動させ、ワークプレートＷＰを第２処理ユニット１４からアンローダ１５へ搬送させる。これにより、検査済みの被検査基板Ｗが載置されたワークプレートＷＰがアンローダ１５へ搬送され、その被検査基板ＷとワークプレートＷＰとを作業者がピックアップすることが可能となる。
【００６３】
なお、基板検査システム１は、第１処理ユニットを２つ、第２処理ユニットを１つ備える例を示したが、各ユニットの数は、上記例示の数に限らない。基板検査システム１は、各検査処理を実行する実行単位がユニット化されているため、各ユニットの数や処理内容を、柔軟に変化させることができる。例えば、第１処理ユニットを５つ、第２処理ユニットを２つというように、第１及び第２処理ユニットをそれぞれ複数備えてもよい。
【００６４】
図５は、各処理ユニットの配置順序や、処理の異なるユニット数の組み合わせの一例を概念的に示す説明図である。図５において、「Ａ」は第１処理ユニットを示し、「Ｂ」は第２処理ユニットを示し、「Ｃ」は第１及び第２処理とは異なる処理を実行する処理ユニットを示し、「Ｘ」は搬送ユニットを示している。
【００６５】
基板検査システム１は、例えば図５（ａ）に示すように、搬送ユニット「Ｘ」、５つの第１処理ユニット「Ａ」、２つの第２処理ユニット「Ｂ」、搬送ユニット「Ｘ」がこの順に配置される構成であってもよい。あるいは、例えば図５（ｂ）に示すように、２つの第２処理ユニット「Ｂ」、３つの第１処理ユニット「Ａ」、及び１つの処理ユニット「Ｃ」がこの順に配置される構成であってもよい。例えば図５（ｃ）に示すように、搬送ユニット「Ｘ」、第１処理ユニット「Ａ」、第２処理ユニット「Ｂ」、処理ユニット「Ｃ」、搬送ユニット「Ｘ」、処理ユニット「Ｃ」、第２処理ユニット「Ｂ」、第１処理ユニット「Ａ」、搬送ユニット「Ｘ」がこの順に配置される構成であってもよい。例えば、一対の搬送ユニット「Ｘ」の間に、５つの第１処理ユニット「Ａ」が配置されていてもよい。なお、各処理相互間に、処理の性質上特定の順序で処理を実行しなければならない性質がある場合、そのような順序関係を考慮して、各処理ユニットの配置順序が決められることになる。
【００６６】
また、基板検査システム１が、種類の異なる処理を行う第１処理ユニットと第２処理ユニットとを含む例を示したが、基板検査システム１に含まれるすべての処理ユニットが、同一の処理を行うユニットであってもよい。
【００６７】
また、処理対象物が、基板である例を示したが、処理対象物は基板に限らない。また、処理ユニットによる処理が、検査である例を示したが、処理は検査に限らない。例えば、加工、組立、塗装、印刷、加熱、冷却等、種々の処理に適用可能である。処理対象物が基板以外の物である場合や、処理が検査と異なる場合、基板検査システム１は、処理対象物搬送システムとなる。
【００６８】
また、処理対象物の一例である被検査基板Ｗが、ワークプレートＷＰ上に載置された状態で搬送経路を搬送される例を示したが、ワークプレートＷＰを用いず、処理対象物が直接搬送経路を搬送される構成としてもよい。
【００６９】
また、基板検査システム１は、ローダ１１及びアンローダ１５を備えず、搬送ユニットを備えない構成であってもよい。
【００７０】
また、搬送ユニットの一例として、ローダ１１及びアンローダ１５を示したが、ローダ１１と同様に構成され、処理部を備えない搬送ユニットを、処理ユニットと処理ユニットの間に配置してもよい（例えば図５（ｃ）参照）。例えば搬送ユニットを、図４に示す第１処理ユニット１３と第２処理ユニット１４の間に配置してもよい。図４に示す状態で、第１処理ユニット１３で検査が終了した被検査基板ＷとワークプレートＷＰとが第１処理ユニット１３のプレート保持部５１上に残っていた場合、第２処理ユニット１４は、まだ検査中のため新たなワークプレートＷＰを受け入れることができない。そのため、第１処理ユニット１３のワークプレートＷＰを第２処理ユニット１４へ搬送することができない結果、第１処理ユニット１３は、検査を終了しているにもかかわらず、新たなワークプレートＷＰを受け入れて検査することができない。
【００７１】
しかしながら、例えば図４に示す第１処理ユニット１３と第２処理ユニット１４の間に搬送ユニットを配置した場合、第１処理ユニット１３のプレート保持部５１上のワークプレートＷＰを搬送ユニットに退避させておくことにより、第１処理ユニット１３で新たなワークプレートＷＰの検査を実行することが可能となる。その結果、処理ユニットの待ち時間を低減させて、基板検査システム１全体の処理性能を向上させることが可能となる。
【００７２】
また、基板検査システム１によれば、上述したとおり、各ユニットの入れ替えや増減が容易であるから、搬送ユニットを適宜配設することによって、基板検査システム１全体の処理性能を向上させることが容易である。
【００７３】
また、ワークプレートＷＰに、処理対象物（被検査基板Ｗ）が１つ載置される例を示したが、ワークプレートＷＰに載置される処理対象物は、複数であってもよい。また、載置された処理対象物の数や種類が異なる複数のワークプレートＷＰが、処理対象物搬送システム（基板検査システム１）に混流されてもよい。この場合、例えば、各ワークプレートＷＰを識別する識別情報を記録したＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentification）タグやバーコード等の記録手段をワークプレートＷＰに取り付け、その記録手段の読み取り装置を各ユニットに配設し、各ユニットで読み取られた識別情報を、各ユニットから制御部１６へ送信してもよい。そして、各識別情報に対応する処理対象物の数や種類、あるいは処理状況（例えば、第１、第２処理が終了済みか否か）といった管理情報を制御部１６で管理し、その管理情報に応じた処理を、当該識別情報を読み取ったユニットに実行させる構成としてもよい。
【００７４】
また、ユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１は、必ずしも制御部１６からの制御指示に応じて各ユニットの制御を行う例に限らない。ユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１は、可能な範囲で自律的に各ユニットの動作を制御してもよい。制御部１６とユニット制御部１１１，１２１，１３１，１４１，１５１との間で、処理内容を適宜分担してもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１    基板検査システム（処理対象物搬送システム）
２    搬送機構
３    下部筐体
４    上部筐体
５    リフト機構
６    キャスター
１１  ローダ
１２，１３  第１処理ユニット
１４  第２処理ユニット
１５  アンローダ
１６  制御部
１７  通信路
５１  プレート保持部
５２  シャフト
５３  シャフト駆動部
１１１，１２１，１３１，１４１，１５１    ユニット制御部
１１２，１２２，１３２，１４２，１５２    通信部
５１１      保持部本体
５１２      突出部
Ａ    第１検査部
Ｂ    第２検査部
Ｍ１  搬送用モータ
Ｍ２  昇降用モータ
Ｐ１  高さ位置
Ｐ２  設定位置
Ｒ    搬送コロ
Ｗ    被検査基板
ＷＰ  ワークプレート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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