(57)【要約】【課題】大型サイズの板状体の研磨に対応でき、かつ、研磨中に板状体に割れ、ひび割れが生じるのを防止できる板状体の研磨装置、板状体の研磨方法、及び板状体の製造方法を提供する。【解決手段】研磨ヘッド１６を、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って複数配置し、かつ、ガラス板Ｇの搬送路Ｒを幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して配置する。これにより、大型サイズのガラス板Ｇの研磨に対応できる。また、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨ヘッド１６の間に押さえローラ１８を配置する。これにより、ガラス板Ｇの浮きを防止でき、ガラス板Ｇに割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送手段によって所定の搬送路を搬送される板状体を前記板状体の搬送方向に沿って複数配置された研磨手段によって連続研磨する板状体の研磨装置において、
前記研磨手段が、前記搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに分配して配置され、
前記板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる前記研磨手段の間に、搬送中の前記板状体を前記搬送手段に押さえ付ける押さえ手段を配置した板状体の研磨装置。
【請求項２】
前記研磨手段が配置される領域が前記板状体の搬送方向に沿って複数のブロックに分割され、前記ブロック単位で前記研磨手段が前記第１の研磨レーンと前記第２の研磨レーンとに交互に配置される請求項１に記載の板状体の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨手段の研磨具は、前記板状体の幅よりも小さい直径を有する円形であり、自転及び公転する請求項２に記載の板状体の研磨装置。
【請求項４】
前記ブロック単位で前記研磨具の自転及び公転の方向が揃えて設定され、かつ、前記研磨具の自転の方向が、前記板状体の搬送方向の上流側において前記板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定される請求項３に記載の板状体の研磨装置。
【請求項５】
前記ブロック単位で前記研磨具の公転の位相が揃えて設定され、かつ、隣り合う前記ブロックにおいて前記研磨具の公転の位相が１８０度ずらして設定される請求項４に記載の板状体の研磨装置。
【請求項６】
搬送手段によって所定の搬送路を搬送される板状体を前記板状体の搬送方向に沿って複数配置された研磨手段によって連続研磨する板状体の研磨方法において、
前記搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに前記研磨手段を分配して配置し、
搬送中の前記板状体を前記搬送手段に押さえ付ける押さえ手段を、前記板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる前記研磨手段の間に配置する板状体の研磨方法。
【請求項７】
前記研磨手段が配置される領域を前記板状体の搬送方向に沿って複数のブロックに分割し、前記ブロック単位で前記研磨手段を前記第１の研磨レーンと前記第２の研磨レーンとに交互に配置する請求項６に記載の板状体の研磨方法。
【請求項８】
前記研磨手段の研磨具は、前記板状体の幅よりも小さい直径を有する円形であり、自転及び公転する請求項７に記載の板状体の研磨方法。
【請求項９】
前記ブロック単位で前記研磨具の自転及び公転の方向を揃えて設定し、かつ、前記研磨具の自転の方向を前記板状体の搬送方向の上流側において前記板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定する請求項８に記載の板状体の研磨方法。
【請求項１０】
前記ブロック単位で前記研磨具の公転の位相を揃えて設定し、かつ、隣り合う前記ブロックにおいて前記研磨具の公転の位相を１８０度ずらして設定する請求項９に記載の板状体の研磨方法。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれか一項に記載の板状体の研磨方法により、板状体を研磨する工程を有する板状体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状体の研磨装置、板状体の研磨方法、及び板状体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状体の表面を研磨する方法として、一定の搬送路に沿って板状体を搬送し、その搬送過程で板状体の表面を研磨する方法が知られている。
【０００３】
たとえば、特許文献１には、板状体であるガラス板の幅よりも大きな直径を有する円形の研磨パッドを備えた研磨具をガラス板の搬送路上に配置し、その研磨具を自転及び公転させながら、搬送中のガラス板の表面に押し付けて、ガラス板の表面を研磨する方法が開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、板状体であるガラス板の幅よりも小さな直径を有する円形の研磨パッドを備えた研磨具をガラス板の搬送方向に沿って千鳥状に複数配置し（いわゆる、ジグザグ配置（zigzag alignment））、各研磨具を自転及び公転させながら、搬送中のガラス板の表面に押し付けて、ガラス板の表面を研磨する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２９３６５６号公報
【特許文献２】特開２００７−１９０６５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の方法の場合、ガラス板のサイズが大きくなると、それに合わせて研磨具のサイズも大きくなるため、大型サイズのガラス板の研磨に対応させることが困難という問題がある。
【０００７】
一方、特許文献２の方法は、大型サイズのガラス板の研磨への対応が可能であるが、特許文献１の方法に比して、ガラス板に割れ、ひび割れ（クラック）が生じやすいという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、大型サイズの板状体の研磨に対応でき、かつ、研磨中に板状体に割れ、ひび割れが生じるのを防止できる板状体の研磨装置、板状体の研磨方法、及び板状体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
課題を解決するための手段は、次のとおりである。
【００１０】
第１の態様は、搬送手段によって所定の搬送路を搬送される板状体を板状体の搬送方向に沿って複数配置された研磨手段によって連続研磨する板状体の研磨装置において、研磨手段が、搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに分配して配置され、板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨手段の間に、搬送中の板状体を搬送手段に押さえ付ける押さえ手段を配置した板状体の研磨装置である。
【００１１】
本態様によれば、研磨手段が、搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに分配して配置される。これにより、小型サイズの研磨手段であっても大型サイズの板状体の研磨に対応できる。また、板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨手段の間に押さえ手段が配置される。これにより、研磨中に割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。これは、次の理由に基づく。研磨手段を第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに分配して配置すると、板状体は、表面の片側半分ずつを各研磨手段に研磨される。研磨中、板状体は片側半分だけに研磨具が押し付けられるため、研磨具が押し付けられていない方の端部に浮きが生じる。そして、このように浮きが生じた板状体に研磨具を押し付けると、板状体に割れ、ひび割れが生じるおそれがある。押さえ手段を配置することにより、板状体の浮きを防止でき、フラットな状態で板状体を次の研磨手段に移行できる。これにより、板状体の割れ、ひび割れを防止できる。
【００１２】
第２の態様は、第１の態様の板状体の研磨装置において、研磨手段が配置される領域が板状体の搬送方向に沿って複数のブロックに分割され、ブロック単位で研磨手段が第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに交互に配置される態様である。
【００１３】
本態様によれば、ブロック単位で研磨手段が第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに交互に配置される。すなわち、同じブロックに属する研磨手段は、同じ研磨レーンに配置され、ブロックが切り換わると、研磨手段を配置する研磨レーンが切り換えられる。この結果、押さえ手段は、各ブロックの境界に配置される。これにより、押さえ手段の設置本数を削減できる。また、このように研磨手段を配置することにより、板状体を複数の研磨手段で連続して研磨でき、研磨力の向上を図れる。すなわち、板状体の同じ部位を複数の研磨手段で連続して研磨することにより、研磨部位の温度を高い状態に保つことができる。これにより、スラリーの温度を高い状態に保つことができ、研磨力の向上を図れる。また、同じ研磨レーンに複数の研磨手段を連続して配置することにより、単体で研磨手段をメンテナンス（ドレッシングや交換など）でき、稼働効率を向上できる（千鳥配置（研磨手段が、一台ずつ第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに交互に配置される配置形態）の場合、常に隣り合う二台の研磨手段を一組として、メンテナンスを行う必要がある。）。
【００１４】
第３の態様は、第２の態様の板状体の研磨装置において、研磨手段の研磨具は、板状体の幅よりも小さい直径を有する円形であり、自転及び公転する態様である。
【００１５】
本態様によれば、板状体のサイズよりも小さいサイズの研磨具を用いて板状体を研磨できる。
【００１６】
第４の態様は、第３の態様の板状体の研磨装置において、ブロック単位で研磨具の自転及び公転の方向が揃えて設定され、かつ、研磨具の自転の方向が、板状体の搬送方向の上流側において板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定される態様である。
【００１７】
本態様によれば、ブロック単位で研磨具の自転及び公転の方向が揃えて設定され、かつ、研磨具の自転の方向が、板状体の搬送方向の上流側において板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定される。これにより、更に板状体の幅方向の端部の浮きを防止できる。すなわち、板状体の搬送方向の上流側（板状体の入り側）において、板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に研磨具を自転させると、板状体の内側から外側に向かって板状体を押さえる力を作用させることができ、板状体の幅方向の端部の浮きを防止できる。
【００１８】
第５の態様は、第４の態様の板状体の研磨装置において、ブロック単位で研磨具の公転の位相が揃えて設定され、かつ、隣り合うブロックにおいて研磨具の公転の位相が１８０度ずらして設定される態様である。
【００１９】
本態様によれば、ブロック単位で研磨具の公転の位相が揃えて設定され、かつ、隣り合うブロックにおいて研磨具の公転の位相が１８０度ずらして設定される。これにより、ブロックの切り換わりにおいて、板状体に作用する負荷を相殺でき、板状体をスムーズに搬送できる。
【００２０】
第６の態様は、搬送手段によって所定の搬送路を搬送される板状体を板状体の搬送方向に沿って複数配置された研磨手段によって連続研磨する板状体の研磨方法において、搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに研磨手段を分配して配置し、搬送中の板状体を搬送手段に押さえ付ける押さえ手段を、板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨手段の間に配置する板状体の研磨方法である。
【００２１】
本態様によれば、研磨手段が、搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに分配して配置される。これにより、大型サイズの板状体の研磨に対応できる。また、板状体の搬送方向の上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨手段の間に押さえ手段が配置される。これにより、研磨中に割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。
【００２２】
第７の態様は、第６の態様の板状体の研磨方法において、研磨手段が配置される領域を板状体の搬送方向に沿って複数のブロックに分割し、ブロック単位で研磨手段を第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに交互に配置する態様である。
【００２３】
本態様によれば、ブロック単位で研磨手段が第１の研磨レーンと第２の研磨レーンとに交互に配置される。これにより、押さえ手段の設置本数を削減できる。また、研磨力の向上を図れる。
【００２４】
第８の態様は、第７の態様の板状体の研磨方法において、研磨手段の研磨具は、板状体の幅よりも小さい直径を有する円形であり、自転及び公転する態様である。
【００２５】
本態様によれば、板状体のサイズよりも小さいサイズの研磨具を用いて板状体を研磨できる。
【００２６】
第９の態様は、第８の態様の板状体の研磨方法において、ブロック単位で研磨具の自転及び公転の方向を揃えて設定し、かつ、研磨具の自転の方向を板状体の搬送方向の上流側において板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定する態様である。
【００２７】
本態様によれば、ブロック単位で研磨具の自転及び公転の方向が揃えて設定され、かつ、研磨具の自転の方向が、板状体の搬送方向の上流側において板状体の幅方向の内側から外側に向かう方向に設定される。これにより、更に板状体の幅方向の端部の浮きを防止できる。
【００２８】
第１０の態様は、第９の態様の板状体の研磨方法において、ブロック単位で研磨具の公転の位相を揃えて設定し、かつ、隣り合うブロックにおいて研磨具の公転の位相を１８０度ずらして設定する態様である。
【００２９】
本態様によれば、ブロック単位で研磨具の公転の位相が揃えて設定され、かつ、隣り合うブロックにおいて研磨具の公転の位相が１８０度ずらして設定される。これにより、ブロックの切り換わりにおいて、板状体に作用する負荷を相殺でき、板状体をスムーズに搬送できる。
【００３０】
第１１の態様は、第６〜１０のいずれか一の態様の板状体の研磨方法により、板状体を研磨する工程を有する板状体の製造方法である。
【００３１】
本態様によれば、研磨工程で板状体に割れ、ひび割れが生じるのを防止でき、生産性を向上できる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明によれば、大型サイズの板状体の研磨に対応でき、かつ、研磨中に板状体に割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】研磨装置の一実施形態を示す平面図
【図２】研磨装置の一実施形態を示す側面図
【図３】研磨ヘッドの配置領域の一部を拡大した平面図
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は、研磨ヘッドの配置の変形例を示す平面図
【図５】粗研磨と仕上げ研磨を行う場合の研磨ヘッドと押さえローラの配置例を示す平面図
【図６】研磨具の自転方向及び公転方向の設定方法の概念図
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、添付図面に従って本発明を実施するための好ましい形態について詳説する。
【００３５】
《研磨装置の構成》
図１、図２は、それぞれ本発明に係る研磨装置の一実施形態を示す平面図、側面図である。
【００３６】
図１、図２に示す研磨装置１０は、板状体の一例であるガラス板Ｇの表面Ｇ１を連続研磨する研磨装置であり、主として、ガラス板Ｇを搬送する搬送装置（搬送手段）１２と、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１に回転する円形の研磨具１４を押し当てて、ガラス板Ｇの表面Ｇ１を連続研磨する複数の研磨ヘッド（研磨手段）１６と、搬送中のガラス板Ｇを押さえる複数本の押さえローラ１８と、研磨ヘッド１６の配置領域において搬送中のガラス板の表面Ｇ１に、酸化セリウム等の砥粒を含むスラリーを供給するスラリー供給装置（不図示）と、を備えて構成される。
【００３７】
〈搬送装置〉
搬送装置１２は、ガラス板Ｇの搬送路に沿って敷設される軌道（不図示）と、複数枚のガラス板Ｇを水平に保持して軌道上を走行するテーブル２０と、を備えて構成される。
【００３８】
テーブル２０は、搬送方向に沿って延びる長尺状の形状を有し、上面部分に水平なガラス載置面２０Ａを有する。ガラス載置面２０Ａには、一定の厚さを有するウレタン樹脂製のバックパッド２２が敷設される。
【００３９】
ガラス板Ｇは、バックパッド２２を介してガラス載置面２０Ａに整列して載置される。この際、研磨対象とする主面（この面を表面Ｇ１とする）を鉛直方向上向きにして、ガラス載置面２０Ａに載置される。ガラス載置面２０Ａに載置された各ガラス板Ｇは、裏面（研磨対象とする主面の反対側の主面）をバックパッド２２に吸着されて、テーブル２０に保持される。
【００４０】
テーブル２０は、図示しないテーブル駆動手段に駆動されて、軌道上を一定の速度で走行する。テーブル２０の大きさは、図１の如く、長尺に限定されず、１枚又は複数枚のガラス板Ｇを載置できる短尺形状であってもよい。
【００４１】
ガラス板Ｇを載置したテーブル２０を軌道に沿って一定の速度で走行させることにより、ガラス板Ｇが搬送路に沿って一定の速度で搬送される。
【００４２】
〈研磨ヘッド〉
研磨ヘッド１６は、円形の研磨具１４を備え、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１に、回転する、好ましくは自転及び公転する円形の研磨具１４をガラス板Ｇの表面Ｇ１に押し付けて、ガラス板Ｇの表面Ｇ１を研磨する。
【００４３】
研磨ヘッド１６は、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って所望の間隔で複数配置され、かつ、ガラス板Ｇの搬送路を幅方向（搬送方向Ａと直交する方向）に二分割して設定される第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して配置される。この研磨ヘッド１６の配置については、後に詳述する。
【００４４】
研磨具１４は、円形の研磨具本体１４Ａと、その研磨具本体１４Ａの下面同軸上に装着される円形の研磨パッド１４Ｂと、を備えて構成される。研磨パッド１４Ｂは、ガラス板Ｇの幅（搬送方向Ａと直交する方向の長さ）ＧＷよりも小さい直径Ｄを有する。研磨具１４は、ガラス板Ｇの搬送路上に、研磨パッド１４Ｂの研磨面とガラス板Ｇの表面とが平行になるように設置される。
【００４５】
研磨ヘッド１６は、研磨具１４を自転及び公転させる回転駆動機構（不図示）と、研磨具１４をガラス板Ｇの表面の鉛直方向に進退移動させる進退駆動機構（不図示）と、を備える。
【００４６】
なお、この種の研磨装置において、研磨具１４を自転及び公転させる機構、及び、研磨具１４を鉛直方向に進退移動させる機構は、公知であるので、その構成についての説明は省略する。
【００４７】
研磨具１４は、回転駆動機構に駆動されて、自転中心ＯＡ（＝研磨具１４の中心）を中心に自転し、かつ、公転中心ＯＢを中心に公転する（図３参照）。
【００４８】
また、研磨具１４は、進退駆動機構によって駆動されて、鉛直方向に上下動し、研磨位置と退避位置との間を移動する。研磨具１４は、研磨位置に位置すると、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１に研磨パッド１４Ｂが押し付けられ、退避位置に位置すると、研磨パッド１４Ｂがガラス板Ｇから離間する。
【００４９】
スラリーが供給されたガラス板Ｇの表面Ｇ１に対して、研磨具１４を自転及び公転させながら一定の押圧力で押し付けることにより、ガラス板Ｇの表面Ｇ１が研磨される。
【００５０】
〈研磨ヘッドの配置〉
図３は、研磨ヘッドの配置領域の一部を拡大した平面図である。
【００５１】
上記のように、研磨ヘッド１６は、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って所望の間隔で複数配置され、かつ、ガラス板Ｇの搬送路を幅方向に二分割して設定される第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して配置される。
【００５２】
ここで、ガラス板Ｇの搬送路Ｒ（図３において斜線で示す領域）とは、ガラス板Ｇが通る道筋であり、その幅ＲＷはガラス板Ｇの幅ＧＷと同じである。ガラス板Ｇは、テーブル２０によって搬送されることにより、その中心が搬送路Ｒの中心線ＣＬ０上を移動する。
【００５３】
ガラス板Ｇの搬送路Ｒは、研磨ヘッド１６の配置領域Ｚにおいて、直線で構成される（図１参照）。第１の研磨レーンＬ１及び第２の研磨レーンＬ２は、このガラス板Ｇの搬送路Ｒを幅方向に二等分割して設定される。したがって、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とは同じ幅で設定され、搬送路Ｒの中心線ＣＬ０を挟んで対称に設定される。
【００５４】
第１の研磨レーンＬ１に配置される研磨ヘッド１６は、第１の研磨レーンＬ１の中心線ＣＬ１上に研磨具１４の公転中心ＯＢが位置するように配置される。
【００５５】
また、第２の研磨レーンＬ２に配置される研磨ヘッド１６は、第２の研磨レーンＬ２の中心線ＣＬ２上に研磨具１４の公転中心ＯＢが位置するように配置される。
【００５６】
研磨ヘッド１６は、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して配置されるが、その分配は、次のように行われる。
【００５７】
すなわち、図１に示すように、研磨ヘッド１６を配置する領域をガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って複数のブロックに分割し、ブロック単位で研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置する。本実施の形態の研磨装置１０では、研磨ヘッド１６を配置する領域を４つのブロックＢ１〜Ｂ４に分割し、奇数ブロックＢ１、Ｂ３に属する研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１に配置し、偶数ブロックＢ２、Ｂ４に属する研磨ヘッド１６を第２の研磨レーンＬ２に配置している。これにより、ブロック単位で研磨ヘッド１６が、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置される。ブロックＢ１〜Ｂ４には、それぞれ４個の研磨ヘッドが配置される。
【００５８】
このように研磨ヘッド１６を配置することにより、ガラス板Ｇは、その搬送過程で表面Ｇ１を片側ずつ研磨される。
【００５９】
〈押さえローラ〉
押さえ手段の一例である押さえローラ１８は、研磨ヘッド１６の配置領域Ｚにおいて、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１に押圧当接されて、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１を押さえる。押さえローラ１８は、回転自在に支持され、ガラス板Ｇの移動に伴って回転する。
【００６０】
押さえローラ１８は、ガラス板Ｇの表面Ｇ１の幅方向に全域に当接するように、ガラス板Ｇの幅以上の長さを有し、ガラス板Ｇの搬送方向Ａと直交して配置される。
【００６１】
押さえローラ１８の材質は、ガラス板Ｇを破損させないため、ガラス板Ｇよりも硬度が低い材質であればよく、たとえば、発泡樹脂で構成される。
【００６２】
また、押さえローラ１８は、次の位置に配置される。すなわち、隣り合う研磨ヘッド１６と研磨ヘッド１６との間であって、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側の研磨ヘッド１６と下流側の研磨ヘッド１６との間で配置される研磨レーンが異なる研磨ヘッド１６の間に配置される。
【００６３】
図１に示すように、研磨ヘッド１６は、ブロック単位で配置される研磨レーンが切り換えられるので、押さえローラ１８は、各ブロックの境界に配置される。
【００６４】
このように、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨ヘッド１６の間に押さえローラ１８を配置することにより、ガラス板Ｇの浮き上がりを防止でき、ガラス板Ｇに割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。
【００６５】
また、このように押さえローラ１８を配置することにより、ブロック単位でスラリーを管理できる。また、研磨屑（ガラス板Ｇのカレット、研磨パッド１４Ｂの欠片、及び使用済の砥粒）を含んだスラリーが、次のブロックに流出するのを防止できる。
【００６６】
〈スラリー供給装置〉
スラリー供給装置（不図示）は、研磨ヘッド１６の配置領域Ｚにおいて、搬送中のガラス板Ｇの表面Ｇ１にスラリーを供給する。
【００６７】
なお、この種の研磨装置において、スラリーを供給する手段は、公知であるので、その構成についての説明は省略する。
【００６８】
上記のように、本実施の形態の研磨装置１０は、ブロック間に押さえローラ１８が配置されるので、ブロックごとにスラリーの供給が管理される。
【００６９】
《研磨装置を用いたガラス板の研磨方法》
まず、研磨対象のガラス板Ｇをテーブル２０にセットする。ガラス板Ｇは、テーブル２０のガラス載置面２０Ａの上に並べて載置する。載置された各ガラス板Ｇは、裏面をバックパッド２２に吸着されて、テーブル２０に保持される。
【００７０】
次に、テーブル２０を軌道に沿って一定の速度で移動させる。また、各研磨ヘッド１６の研磨具１４を自転及び公転させ、研磨位置に移動させる。
【００７１】
テーブル２０を移動させることにより、ガラス板Ｇが搬送路に沿って水平に搬送される。
【００７２】
ガラス板Ｇは、やがて研磨ヘッド１６の配置領域Ｚに到達するので、ガラス板Ｇが研磨ヘッド１６の配置領域Ｚに到達したところで、ガラス板Ｇの表面Ｇ１にスラリーを供給する。
【００７３】
ガラス板Ｇは、研磨ヘッド１６の配置領域Ｚを搬送される過程で表面Ｇ１に自転及び公転する研磨具１４の研磨パッド１４Ｂが押し付けられて、表面Ｇ１が研磨される。この際、ガラス板Ｇは、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して配置された研磨ヘッド１６によって、表面Ｇ１を片側半分ずつ研磨される。
【００７４】
ところで、このようにガラス板Ｇの表面Ｇ１を片側ずつ研磨すると、ガラス板Ｇには、研磨具１４が押し付けられていない方の端部に浮きが生じる。そして、このように浮きが生じたガラス板Ｇに研磨具１４を押し付けると、ガラス板Ｇに割れ、ひび割れが生じるおそれがある。
【００７５】
しかしながら、本実施の形態の研磨装置１０では、研磨レーンが切り換わる位置に押さえローラ１８が配置されているため、ガラス板Ｇをフラットな状態で次の研磨ヘッド１６に移行させることができる。これにより、ガラス板Ｇに割れ、ひび割れが生じるのを防止できる。
【００７６】
このように、本実施の形態の研磨装置１０によれば、研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して、ガラス板Ｇを研磨する場合であっても、割れ、ひび割れを生じさせることなくガラス板Ｇを研磨できる。
【００７７】
また、研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに分配して、ガラス板Ｇを研磨することにより、小型サイズの研磨手段であってもガラス板Ｇの大型化にも容易に対応することが可能になる。
【００７８】
また、同じ研磨レーンに複数の研磨ヘッド１６を連続して配置することにより、ガラス板Ｇを連続して研磨でき、研磨力の向上を図れる。すなわち、ガラス板Ｇの同じ部位を複数の研磨ヘッド１６で連続して研磨することにより、研磨部位の温度を高い状態に保つことができる。これにより、スラリーの温度を高い状態に保つことができ、研磨力の向上を図れる。
【００７９】
また、同じ研磨レーンに複数の研磨手段を連続して配置することにより、単体で研磨ヘッド１６をメンテナンスでき、稼働効率を向上できる。たとえば、図１の如く、通常は４個の研磨ヘッド１６を用いて、ガラス板Ｇの片側半分を研磨するが、メンテナンスのため、４個のうち１個の研磨ヘッド１６を研磨装置１０から除外し、残り３個の研磨ヘッド１６を用いて、ガラス板Ｇの片側半分を研磨してもよい。
【００８０】
さらに、ブロック化して研磨ヘッド１６を配置することにより、ガラス板Ｇが割れた場合に、その原因個所の判別を容易にできる。たとえば、４つのブロックＢ１〜Ｂ４のうち３番目のブロックＢ３でカレットを含むスラリーが発見された場合、３番目のブロックＢ３でガラス板Ｇが割れたと判別できる。
【００８１】
《変形例》
〈研磨ヘッド及び押さえローラの配置〉
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、研磨ヘッドの配置の変形例を示す平面図である。
【００８２】
図４（Ａ）に示す例は、研磨ヘッド１６を搬送方向Ａに沿って一台ずつ第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置したものである（いわゆる千鳥配置）。この場合、各研磨ヘッド１６の間に押さえローラ１８が配置される。すなわち、押さえローラ１８は、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側の研磨ヘッド１６と下流側の研磨ヘッド１６との間で配置される研磨レーンが異なる研磨ヘッド１６の間に配置されるので、千鳥配置の場合は、各研磨ヘッド１６の間に押さえローラ１８が配置される。
【００８３】
図４（Ｂ）に示す例は、研磨ヘッド１６の配置領域Ｚを８つのブロックＢ１〜Ｂ８に等分割し、ブロック単位で２個の研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置したものである。このように、分割するブロック数は、適宜設定することができる。
【００８４】
図４（Ｃ）に示す例は、各ブロックに属する研磨ヘッド１６の数を変えたものである。ブロックＢ１、Ｂ２それぞれに４個の研磨ヘッド１６が配置され、ブロックＢ３〜Ｂ６それぞれに２個の研磨ヘッド１６が配置される。このように、各ブロックに属する研磨ヘッド１６の数は、適宜設定することができる。
【００８５】
〈粗研磨及び仕上げ研磨〉
研磨ヘッドは、使用する研磨パッドを変えることにより、粗研磨及び仕上げ研磨を行うことができる。仕上げ研磨は、粗研磨よりも硬度の低い研磨パッド（柔らかい研磨パッド）が使用される。
【００８６】
図５は、粗研磨及び仕上げ研磨を行う場合の研磨ヘッド並びに押さえローラの配置例を示す平面図である。
【００８７】
同図において、符号１６Ａが粗研磨を行う研磨ヘッドであり、符号１６Ｂが仕上げ研磨を行う研磨ヘッドである。粗研磨を行う研磨ヘッド１６Ａには、粗研磨用の研磨パッドが研磨具の研磨具本体に装着される。また、仕上げ研磨を行う研磨ヘッド１６Ｂには、仕上げ研磨用の研磨パッドが研磨具の研磨具本体に装着される。
【００８８】
粗研磨を行う研磨ヘッド１６Ａは、ガラス板の搬送方向Ａの上流側の領域ＺＡに所望の間隔をもって配置される。ブロックＢＡ１〜ＢＡ４それぞれに４個の研磨ヘッド１６Ａが配置され、ブロックＢＡ５、ＢＡ６それぞれに２個の研磨ヘッド１６Ａが配置される。
【００８９】
また、仕上げ研磨を行う研磨ヘッド１６Ｂは、下流側の領域ＺＢに所望の間隔をもって配置される。ブロックＢＢ１〜ＢＢ４それぞれに２個の研磨ヘッド１６Ｂが配置され、ブロックＢＢ５、ＢＢ６それぞれに１個の研磨ヘッド１６Ｂが配置される。
【００９０】
粗研磨を行う領域（粗研磨を行う研磨ヘッド１６Ｂが配置される領域）ＺＡ及び仕上げ研磨を行う領域（仕上げ研磨を行う研磨ヘッド１６Ｂが配置される領域）ＺＢは連続しており、各研磨ヘッド１６Ａ、１６Ｂは、ガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って所望の間隔をもって配置される。
【００９１】
粗研磨を行う領域ＺＡは、６つのブロックＢＡ１〜ＢＡ６に分割され、ブロック単位で研磨ヘッド１６Ａが、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置される。
【００９２】
仕上げ研磨を行う領域ＺＢも６つのブロックＢＢ１〜ＢＢ６に分割され、ブロック単位で研磨ヘッド１６Ｂが、第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置される。
【００９３】
押さえローラ１８は、粗研磨を行う領域ＺＡと仕上げ研磨を行う領域ＺＢとの境界に配置され、かつ、各領域ＺＡ、ＺＢにおいて、各ブロックの境界に配置される。
【００９４】
このように、粗研磨と仕上げ研磨とを行う場合も、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側と下流側とで配置される研磨レーンが異なる研磨ヘッド１６Ａ、１６Ｂの間に押さえローラ１８を配置することにより、ガラス板の割れ、ひび割れを防止できる。
【００９５】
なお、一般に仕上げ研磨は、粗研磨に比して研磨圧力が低くなるため、粗研磨よりもガラス板に割れ、ひび割れが生じる危険性は低い。したがって、仕上げ研磨を行う領域ＺＡについては、押さえローラ１８の設置を省くこともできる。すなわち、一定の硬度以下の研磨パッドを使用して研磨する領域では、押さえローラ１８を省くことができる。また、このような領域では、研磨ヘッドを千鳥状に配置することもできる。
【００９６】
〈自転及び公転の向き〉
上記実施の形態では、研磨具１４を自転させる方向、及び、公転させる方向については、特に言及していないが、研磨具１４を自転させる方向、及び、公転させる方向は、次のように設定することが好ましい。
【００９７】
図６は、研磨具の自転方向及び公転方向の設定方法の概念図である。
【００９８】
同図において、符号ＯＡが研磨具１４の自転中心、符号ＯＢが研磨具１４の公転中心である。また、符号ＷＡで示す矢印の方向が研磨具１４の自転方向、符号ＷＢで示す矢印の方向が研磨具１４の公転方向である。
【００９９】
ブロック単位で研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置する場合、各ブロックＢ１、Ｂ２に属する研磨ヘッド１６は、その研磨具１４の自転方向ＷＡ及び公転方向ＷＢを揃えて設定する。すなわち、同じブロックに属する研磨ヘッド１６は、同じ自転方向ＷＡで自転し、かつ、同じ公転方向ＷＢで公転するように設定する。
【０１００】
また、自転の方向ＷＡと公転の方向ＷＢとは、互いに逆方向になるように設定する。ただし、自転の方向ＷＡと公転の方向ＷＢとは、互いに同方向になるように設定してもよい。
【０１０１】
さらに、ガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側（ガラス板Ｇの入り側）において、ガラス板Ｇの幅方向の内側から外側に向かう方向に研磨具１４が自転するように、自転の方向ＷＡを設定する。
【０１０２】
ここで、ガラス板Ｇの入り側とは、研磨具１４をガラス板Ｇの搬送方向Ａに沿って前後に二分割したとき、前側の領域を意味し（後側は、出側）、この前側の領域において、ガラス板Ｇの幅方向の内側から外側に向かう方向に研磨具１４の自転の方向ＷＡを設定する。
【０１０３】
この結果、第１の研磨レーンＬ１に配置される研磨ヘッド１６と第２の研磨レーンＬ２に配置される研磨ヘッド１６とで研磨具１４の自転方向ＷＡ及び公転方向ＷＢが互いに逆になる。すなわち、第１の研磨レーンＬ１に配置される研磨ヘッド１６は、自転方向ＷＡが時計回りの方向、公転方向ＷＢが反時計回りの方向に設定され、第２の研磨レーンＬ２に配置される研磨ヘッド１６は、自転方向ＷＡが反時計回りの方向、公転方向ＷＢが時計回りの方向に設定される。
【０１０４】
このように研磨具１４の自転の方向ＷＡをガラス板Ｇの搬送方向Ａの上流側においてガラス板Ｇの幅方向の内側から外側に向かう方向に設定することにより、研磨中、ガラス板Ｇに対して、ガラス板Ｇの内側から外側に向かってガラス板Ｇを押さえる力を作用させることができる。これにより、ガラス板Ｇの幅方向の端部の浮きを更に抑制できる。また、これにより、研磨中にガラス板Ｇとバックパッドとの間にスラリーが入り込むのを防止できる。
【０１０５】
〈公転の位相〉
研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに一台ずつ交互に配置する場合（千鳥状に配置する場合）、隣り合う各研磨ヘッド１６は、公転の位相を１８０度ずつずらして設定することが好ましい。これにより、各研磨ヘッド１６間でガラス板Ｇに作用する負荷を相殺でき、ガラス板Ｇを搬送路に沿ってスムーズに搬送できる。
【０１０６】
ブロック単位で研磨ヘッド１６を第１の研磨レーンＬ１と第２の研磨レーンＬ２とに交互に配置する場合は、次のように、各研磨ヘッド１６の公転の位相を設定する。すなわち、ブロック単位で位相を揃えて設定し、すなわち同じブロックに属する研磨ヘッド１６の位相差を０度に設定し、かつ、隣り合うブロックにおいて、位相を１８０度ずらして設定する。これにより、ブロックの切り換わりでガラス板Ｇに作用する負荷を相殺でき、ガラス板Ｇを搬送路に沿ってスムーズに搬送できる。
【０１０７】
〈研磨具〉
研磨具を構成する研磨パッドの材質や硬度などは、研磨の目的に応じて、適宜選択される。すなわち、粗研磨には、粗研磨用の研磨具が用いられ、仕上げ研磨には、仕上げ研磨用の研磨具が用いられる。
【０１０８】
また、研磨具を構成する研磨パッドのサイズ（直径）、研磨具の公転半径、研磨具の自転速度、研磨具の公転速度、研磨圧力等は、研磨対象、研磨速度、研磨の目的等に応じて適宜設定される。
【０１０９】
〈板状体〉
本発明の研磨装置及び方法は、研磨対象の板状体として、大型のガラス板（たとえば、一辺が１０００ｍｍ以上の矩形状）を研磨する場合に特に有効に作用する。なかでも第７世代（１９００×２２００ｍｍ）以上のガラス板を研磨する場合に有効に作用する。
【０１１０】
また、本発明の研磨装置及び方法は、フラットパネルディスプレイ用のガラス板のように、厚さの薄いガラス板（厚さ０．３〜１．１ｍｍ、好ましくは０．４〜０．７ｍｍ程度のガラス板）を研磨する場合に特に有効に作用する。
【０１１１】
なお、本発明は、研磨対象として、建材用やミラー用等の一般的なガラス板、金属製又は樹脂製の板状体を研磨する場合にも適用可能である。
【０１１２】
また、ガラス板を研磨対象とする場合、その製造方法、ガラス組成は、特に限定されない。
【０１１３】
〈ガラス板の製造方法〉
ガラス板の製造工程は、時系列順に、溶融ガラスを帯状ガラス板に成形する成形工程、帯状ガラス板を所望サイズのガラス板に切断する切断工程、切断されたガラス板の縁部を面取りする面取り工程、ガラス板の主面を研磨する研磨工程、ガラス板を洗浄する洗浄工程、及び、ガラス板を検査する検査工程等を有する。研磨工程において、本発明の研磨方法を適用することにより、研磨工程でガラス板に割れ、ひび割れが生じるのを防止でき、生産性を向上できる。
【符号の説明】
【０１１４】
１０…研磨装置、１２…搬送装置、１４…研磨具、１４Ａ…研磨具本体、１４Ｂ…研磨パッド、１６…研磨ヘッド、１６Ａ…粗研磨を行う研磨ヘッド、１６Ｂ…仕上げ研磨を行う研磨ヘッド、１８…押さえローラ、２０…テーブル、２０Ａ…ガラス載置面、２２…バックパッド、Ｇ…ガラス板、Ｇ１…ガラス板の表面、ＧＷ…ガラス板の幅、Ｒ…搬送路、ＲＷ…搬送路の幅、Ｌ１…第１の研磨レーン、Ｌ２…第２の研磨レーン、ＣＬ０…搬送路の中心線、ＣＬ１…第１の研磨レーンの中心線、ＣＬ２…第２の研磨レーンの中心線、Ｄ…研磨パッドの直径、ＯＡ…研磨具の自転中心、ＯＢ…研磨具の公転中心、ＷＡ…研磨具の自転方向、ＷＢ…研磨具の公転方向、Ｚ…研磨ヘッドの配置領域、ＺＡ…粗研磨用の研磨ヘッドの配置領域、ＺＢ…仕上げ研磨用の研磨ヘッドの配置領域、Ｂ１〜Ｂ８…研磨ヘッドの配置領域を分割したブロック、ＢＡ１〜ＢＡ６…研磨ヘッドの配置領域を分割したブロック、ＢＢ１〜ＢＢ６…研磨ヘッドの配置領域を分割したブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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