(57)【要約】【課題】熱媒体の冷却効率を向上させる。【解決手段】真空洗浄装置１００は、蒸気室２００と、凝縮室１２０と、洗浄室１０２と、熱媒体が循環する循環路３１０に、熱媒体を断熱圧縮して加熱する圧縮機３３０と、加熱された熱媒体と蒸気室２００中の炭化水素系洗浄剤とを熱交換して炭化水素系洗浄剤を気化させ蒸気を生成するとともに熱媒体を冷却する第１熱交換部（凝縮器３４０）と、冷却された熱媒体を減圧膨張させてさらに冷却する減圧部３７０と、冷却された熱媒体と凝縮室中の蒸気とを熱交換して蒸気を凝縮させて炭化水素系洗浄剤を生成するとともに熱媒体を加熱する第２熱交換部（蒸発器３２０）とを有するヒートポンプユニット３００と、循環路における、第１熱交換部と減圧部との間の予め定められた箇所である被冷却箇所の熱媒体を冷却する冷却部４１０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭化水素系洗浄剤の蒸気が生成される蒸気室と、
前記蒸気室から導かれる蒸気が凝縮されて炭化水素系洗浄剤が生成される凝縮室と、
少なくとも前記凝縮室から供給される凝縮された炭化水素系洗浄剤によって減圧下でワークを洗浄可能な洗浄室と、
熱媒体が循環する循環路に、該熱媒体を断熱圧縮して加熱する圧縮機と、該圧縮機によって加熱された熱媒体と前記蒸気室中の前記炭化水素系洗浄剤とを熱交換して該炭化水素系洗浄剤を気化させ前記蒸気を生成するとともに該熱媒体を冷却する第１熱交換部と、該第１熱交換部によって冷却された熱媒体を減圧膨張させてさらに冷却する減圧部と、該減圧部によって冷却された熱媒体と前記凝縮室中の前記蒸気とを熱交換して該蒸気を凝縮させ該炭化水素系洗浄剤を生成するとともに該熱媒体を加熱する第２熱交換部とを有するヒートポンプユニットと、
前記循環路における、前記第１熱交換部と前記減圧部との間の予め定められた箇所である被冷却箇所の熱媒体を冷却する冷却部と、
を備えたことを特徴とする真空洗浄装置。
【請求項２】
前記循環路における、前記第１熱交換部と前記減圧部との間に配され、該第１熱交換部によって冷却された熱媒体を貯留する受液部を備え、
前記冷却部は、前記被冷却箇所としての前記受液部の熱媒体を冷却することを特徴とする請求項１に記載の真空洗浄装置。
【請求項３】
前記被冷却箇所と前記減圧部との間を流通する液体状態の熱媒体の流量を検知する流量検知部と、
前記流量検知部が検知した液体状態の熱媒体の流量が予め定められた値未満となったら前記冷却部を機能させる冷却制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の真空洗浄装置。
【請求項４】
前記被冷却箇所と前記減圧部との間を流通する液体状態の熱媒体において予め定められた粒径以上の気泡が含まれるか否かを検知する気泡検知部と、
前記気泡検知部が前記予め定められた粒径以上の気泡が含まれると検知したら、前記冷却部を機能させる冷却制御部と、
を備えたことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の真空洗浄装置。
【請求項５】
前記被冷却箇所の外壁を被覆する被覆位置と、該外壁を露出させる露出位置とを移動し、該被覆位置にある場合、該被冷却箇所を保温する保温カバーを備え、
前記冷却部は、前記保温カバーが前記露出位置にある場合、前記被冷却箇所を冷却することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の真空洗浄装置。
【請求項６】
前記冷却部は、前記被冷却箇所の熱媒体を空冷することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の真空洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧下にある洗浄室に炭化水素系洗浄剤の蒸気を供給してワークを洗浄する真空洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、特許文献１に示される真空洗浄装置が知られている。この真空洗浄装置によれば、まず、ワークが搬入された洗浄室を真空ポンプによって減圧する減圧工程がなされ、その後、炭化水素系洗浄剤の蒸気を洗浄室に供給してワークを洗浄する蒸気洗浄工程がなされる。次に、ワークに炭化水素系洗浄剤を噴霧したり、浸漬室に貯留された炭化水素系洗浄剤にワークを浸漬させたりして、特に、蒸気洗浄工程で洗浄が不十分となるワークの隙間等を洗浄する噴霧浸漬洗浄工程がなされる。このようにしてワークの洗浄が完了すると、再び洗浄室にワークを搬送した後に、洗浄室をさらに減圧してワーク表面に付着した洗浄剤を蒸発させる乾燥工程がなされる。そして、乾燥工程が終了したら、洗浄室を大気圧に復帰させた後にワークを搬出して一連の工程が終了する。
【０００３】
このような真空洗浄装置において、使用済みの炭化水素系洗浄剤（ワークに付着した汚染物および炭化水素系洗浄剤、以下、「使用済み洗浄剤」と称する）は、蒸気室に送られて再生される。具体的に説明すると、蒸気室に送られた使用済み洗浄剤は、電気ヒータ等で加熱されることによって、実質的に炭化水素系洗浄剤のみの蒸気となる（蒸留）。そして、生成された炭化水素系洗浄剤のみの蒸気は、再度蒸気洗浄工程で利用されたり、冷却水を利用した冷却器で凝縮された後、噴霧浸漬洗浄工程で利用されたりする。
【０００４】
しかし、特許文献１の技術では、蒸気室において炭化水素系洗浄剤の蒸気を生成するために利用された熱が、冷却器で回収されて捨てられてしまうことになっていた。また、蒸気を冷却するためには、２００Ｌ／ｍｉｎ程度といった大量の冷却水が必要となったり、貯水槽、クーリングタワー等も必要となったりして、装置が大型化していた。
【０００５】
そこで、熱媒体が循環するヒートポンプユニットを真空洗浄装置に設け、当該ヒートポンプユニットが、洗浄室において蒸気状態の使用済み洗浄剤の熱を回収し、当該回収した熱を蒸気室に供給して炭化水素系洗浄剤を気化させる技術が開示されている（例えば、特許文献２）。このような技術において、ヒートポンプユニットのうち蒸気室に配される箇所では、当該ヒートポンプユニットを構成する管内を気体状態の熱媒体が流通しており、気体状態の熱媒体と、炭化水素系洗浄剤とで管を介して熱交換をする。そうすると、気体状態の熱媒体によって炭化水素系洗浄剤が加熱されて蒸気が生成されるとともに、気体状態の熱媒体が冷却されて液体状態の熱媒体が生成されることとなる。そして、生成された液体状態の熱媒体は、洗浄室に送られ、洗浄室において蒸気状態の炭化水素系洗浄剤を冷却し凝縮させる。凝縮された炭化水素系洗浄剤は、ワークの洗浄に利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−１６６３８５号公報
【特許文献２】特許第２５５１７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献２に記載されたヒートポンプユニットでは、蒸気室において、気体状態の熱媒体と炭化水素系洗浄剤との熱交換が不十分であると、すなわち、熱媒体の冷却が不十分であると、ワークの洗浄に利用するための炭化水素系洗浄剤の生成量が少なくなってしまい、十分な洗浄が行えないおそれがある。
【０００８】
本発明の目的は、熱媒体の冷却効率を向上させることで、炭化水素系洗浄剤の生成量を増加させることができ、炭化水素系洗浄剤によって十分にワークの洗浄を行うことが可能な真空洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の真空洗浄装置は、炭化水素系洗浄剤の蒸気が生成される蒸気室と、前記蒸気室から導かれる蒸気が凝縮されて炭化水素系洗浄剤が生成される凝縮室と、少なくとも前記凝縮室から供給される凝縮された炭化水素系洗浄剤によって減圧下でワークを洗浄可能な洗浄室と、熱媒体が循環する循環路に、該熱媒体を断熱圧縮して加熱する圧縮機と、該圧縮機によって加熱された熱媒体と前記蒸気室中の前記炭化水素系洗浄剤とを熱交換して該炭化水素系洗浄剤を気化させ前記蒸気を生成するとともに該熱媒体を冷却する第１熱交換部と、該第１熱交換部によって冷却された熱媒体を減圧膨張させてさらに冷却する減圧部と、該減圧部によって冷却された熱媒体と前記凝縮室中の前記蒸気とを熱交換して該蒸気を凝縮させ該炭化水素系洗浄剤を生成するとともに該熱媒体を加熱する第２熱交換部とを有するヒートポンプユニットと、前記循環路における、前記第１熱交換部と前記減圧部との間の予め定められた箇所である被冷却箇所の熱媒体を冷却する冷却部と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、前記循環路における、前記第１熱交換部と前記減圧部との間に配され、該第１熱交換部によって冷却された熱媒体を貯留する受液部を備え、前記冷却部は、前記被冷却箇所としての前記受液部の熱媒体を冷却するとしてもよい。
【００１１】
また、前記被冷却箇所と前記減圧部との間を流通する液体状態の熱媒体の流量を検知する流量検知部と、前記流量検知部が検知した液体状態の熱媒体の流量が予め定められた値未満となったら前記冷却部を機能させる冷却制御部と、を備えるとしてもよい。
【００１２】
また、前記被冷却箇所と前記減圧部との間を流通する液体状態の熱媒体において予め定められた粒径以上の気泡が含まれるか否かを検知する気泡検知部と、前記気泡検知部が前記予め定められた粒径以上の気泡が含まれると検知したら、前記冷却部を機能させる冷却制御部と、を備えるとしてもよい。
【００１３】
また、前記被冷却箇所の外壁を被覆する被覆位置と、該外壁を露出させる露出位置とを移動し、該被覆位置にある場合、該被冷却箇所を保温する保温カバーを備え、前記冷却部は、前記保温カバーが前記露出位置にある場合、前記被冷却箇所を冷却するとしてもよい。
【００１４】
また、前記冷却部は、前記被冷却箇所の熱媒体を空冷するとしてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、熱媒体の冷却効率を向上させることで、炭化水素系洗浄剤の生成量を増加させることができ、炭化水素系洗浄剤によって十分にワークの洗浄を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】真空洗浄装置を説明するための概念図である。
【図２】真空洗浄装置の処理工程を説明するためのフローチャートである。
【図３】冷却部による受液部の冷却について説明するための図である。
【図４】変形例にかかる真空洗浄装置を説明するための概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１８】
（真空洗浄装置１００）
図１は、真空洗浄装置１００を説明するための概念図である。図１中、炭化水素系洗浄剤の流れ、および、洗浄室１０２内の雰囲気ガスの流れを実線の矢印で、熱媒体の流れを破線の矢印で、信号の流れを一点鎖線の矢印で示す。図１に示すように、真空洗浄装置１００は、内部に洗浄室１０２が設けられた真空容器１０４を備えている。この真空容器１０４には、開口１０４ａが形成されており、開閉扉１０６によって開口１０４ａが開閉可能となっている。したがって、ワークＷを洗浄する際には、開閉扉１０６を開放して開口１０４ａから洗浄室１０２内にワークＷを搬入して載置部１０８に載置するとともに、開閉扉１０６を閉じてワークＷを洗浄した後、再び開閉扉１０６を開放して、開口１０４ａからワークＷを搬出することとなる。
【００１９】
そして、上記の洗浄室１０２には、シャワー部１１０が設けられている。シャワー部１１０は、凝縮洗浄剤供給管１２６、洗浄剤貯留部１２４、凝縮洗浄剤供給管１２２、凝縮室１２０、蒸気供給管１１４をこの順に介して蒸気室２００に連通されている。また、洗浄室１０２には、蒸気供給部１３０が設けられている。蒸気供給部１３０は、蒸気供給管１１４を介して蒸気室２００に連通されている。
【００２０】
蒸気室２００は、加熱ヒータ２０２および凝縮器（第１熱交換部）３４０を備えており、炭化水素系洗浄剤（溶剤）を、例えば、８０℃〜１４０℃程度、好ましくは１２０℃程度に加熱して炭化水素系洗浄剤の蒸気（以下、単に「蒸気」と称する）を生成する。蒸気室２００において生成された蒸気は、蒸気供給管１１４を介して凝縮室１２０に導入されたり、蒸気供給部１３０を通じて洗浄室１０２に供給されたりする。蒸気供給部１３０が供給した蒸気は、ワークＷに付着することで凝縮される。凝縮器３４０による加熱機構については、後に詳述する。
【００２１】
なお、この炭化水素系洗浄剤の種類は特に限定されないが、安全性の観点から第３石油類の洗浄剤を使用することが望ましく、例えば、ノルマルパラフィン系、イソパラフィン系、ナフテン系、芳香族系の炭化水素系洗浄剤が挙げられる。具体的には、第３石油類の洗浄剤として、クリーニングソルベントと呼ばれるテクリーンＮ２０、クリーンソルＧ、ダフニー（登録商標）ソルベント等を使用するとよい。
【００２２】
凝縮室１２０は、蒸発器（第２熱交換部）３２０を備えており、凝縮室１２０に導入された蒸気は、蒸発器３２０によって冷却されて、液体の炭化水素系洗浄剤（以下、単に「凝縮洗浄剤」と称する）に凝縮される。そして、凝縮洗浄剤は、凝縮洗浄剤供給管１２２を介して、洗浄剤貯留部１２４に貯留された後、凝縮洗浄剤供給管１２６およびシャワー部１１０を介して、洗浄室１０２に供給されることとなる。蒸発器３２０による冷却機構については、後に詳述する。
【００２３】
そして、シャワー部１１０から供給されワークＷを洗浄した凝縮洗浄剤や、蒸気供給部１３０から供給され、ワークＷにおいて凝縮されることで生じた凝縮洗浄剤（以下、単に「使用済み洗浄剤」と称する）は、使用済み洗浄剤導入管１２８を介して、再び蒸気室２００に導入され、上述した加熱ヒータ２０２や凝縮器３４０によって加熱されることで蒸気となる。このように、炭化水素系洗浄剤は、蒸気室２００、蒸気供給管１１４、凝縮室１２０、凝縮洗浄剤供給管１２２、洗浄剤貯留部１２４、凝縮洗浄剤供給管１２６、シャワー部１１０、洗浄室１０２、使用済み洗浄剤導入管１２８を循環している。
【００２４】
また、洗浄室１０２には、真空ポンプ１５０が接続されている。この真空ポンプ１５０は、ワークＷの洗浄を開始する前の減圧工程において、真空容器１０４（洗浄室１０２）内を真空引き（初期真空）によって、予め定められた圧力（例えば、６ｋＰａ）に減圧するものである。さらに、洗浄室１０２には、当該洗浄室１０２を大気開放するための不図示の配管が接続されている。この配管には、大気と洗浄室１０２とを遮断する大気開放弁が設けられており、ワークＷの洗浄工程および乾燥工程が終了した後の搬出工程において、洗浄室１０２を大気開放して大気圧に復帰させるものである。
【００２５】
（ヒートポンプユニット３００）
ヒートポンプユニット３００は、循環路３１０（図１中、３１０ａ〜３１０ｆで示す）と、蒸発器３２０と、圧縮機３３０と、凝縮器３４０と、受液部３５０と、中間熱交換器３６０と、減圧部３７０とを含んで構成される。ヒートポンプユニット３００において、熱媒体は、図１中破線の矢印で示すように、循環路３１０を循環しており、循環路３１０に設けられた蒸発器３２０、中間熱交換器３６０、圧縮機３３０、凝縮器３４０、受液部３５０、中間熱交換器３６０、減圧部３７０を介して、蒸発器３２０に再び導入される。なお、この熱媒体の種類は特に限定されないが、常温大気圧下において液体であり、蒸発器３２０において熱媒体の潜熱を利用することができる、フロン系の熱媒体（例えば、Ｒ−２４５ｆａ（1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパン））を使用するとよい。ここで、常温は、例えば２５℃である。
【００２６】
蒸発器（第２熱交換部）３２０は、循環路３１０における減圧部３７０の下流に配され、凝縮室１２０において、熱媒体と、蒸気室２００から導入された炭化水素系洗浄剤の蒸気とで熱交換を行うことにより、蒸気を凝縮（冷却）して凝縮洗浄剤にするとともに、熱媒体を加熱して気化させる。ここで、蒸発器３２０によって加熱されることにより、熱媒体は気体（図１中、Ｇで示す）となる。そして、蒸発器３２０によって加熱された熱媒体は、中間熱交換器３６０によってさらに加熱される。中間熱交換器３６０による加熱機構については、後に詳述する。
【００２７】
圧縮機３３０は、中間熱交換器３６０で加熱された熱媒体を断熱圧縮し、さらに加熱する。
【００２８】
凝縮器（第１熱交換部）３４０は、循環路３１０における圧縮機３３０の下流に配され、蒸気室２００において、圧縮機３３０によって加熱された熱媒体と、液体の炭化水素系洗浄剤とで熱交換を行うことで、炭化水素系洗浄剤を加熱して蒸気を生成するとともに、熱媒体を冷却して凝縮させる。ここで、凝縮器３４０によって冷却されることにより、熱媒体は気液混合状態となる。なお、後述する冷却部４１０を機能させると、凝縮器３４０の下流を流通する熱媒体は液体状態となる（図１中、Ｌで示す）。
【００２９】
受液部３５０は、循環路３１０における、凝縮器３４０と、減圧部３７０との間（ここでは、凝縮器３４０と中間熱交換器３６０との間）に配され、凝縮器３４０によって冷却された液体状態の熱媒体を一時的に貯留する。
【００３０】
中間熱交換器３６０は、循環路３１０ａ、３１０ｂ（蒸発器３２０および圧縮機３３０の間）を流通する熱媒体と、循環路３１０ｄ、３１０ｅ（受液部３５０および減圧部３７０の間）を流通する熱媒体とで熱交換を行う。蒸発器３２０によって加熱され、循環路３１０ａを流通する熱媒体が、完全に気化しておらず、気液混合流体となっている場合もある。この場合、液体状態の熱媒体が圧縮機３３０に導入されてしまうと、圧縮機３３０に不具合が生じるおそれがある。
【００３１】
そこで、中間熱交換器３６０を備える構成により、循環路３１０ａを流通する熱媒体を加熱して飽和温度よりも高温とすることで、圧縮機３３０に導入される熱媒体（循環路３１０ｂを流通する熱媒体）を確実に気体のみにすることが可能となる。これにより、圧縮機３３０に不具合が生じてしまう事態を回避することができる。
【００３２】
減圧部３７０は、例えば、流体の圧力降下をもたらす弁である膨張弁で構成され、凝縮器３４０の下流に設けられ、凝縮器３４０によって凝縮（冷却）された熱媒体を減圧膨張させてさらに冷却する。そうすると、減圧部３７０の下流を流通する熱媒体は気液混合状態（図１中、Ｇ、Ｌで示す）となる。そして、減圧部３７０において冷却された熱媒体は、循環路３１０ｆを通って再び蒸発器３２０に導入される。
【００３３】
（真空洗浄方法）
続いて、上記真空洗浄装置１００におけるワークＷの真空洗浄方法について、図１および図２を用いて説明する。図２は、真空洗浄装置１００の処理工程を説明するためのフローチャートである。
【００３４】
真空洗浄装置１００を利用するにあたっては、まず、準備工程（ステップＳ１１０）を１回行い、その後、１のワークＷに対して、搬入工程（ステップＳ１２０）、減圧工程（ステップＳ１３０）、蒸気洗浄工程（ステップＳ１４０）、シャワー洗浄工程（ステップＳ１５０）、乾燥工程（ステップＳ１６０）、搬出工程（ステップＳ１７０）を行う。そして、以後、順次搬入されるワークＷに対して、ステップＳ１２０〜ステップＳ１７０の工程が行われることとなる。以下に、図１を参照しながら、上記の各工程について説明する。
【００３５】
（準備工程Ｓ１１０）
まず、真空洗浄装置１００を稼働するにあたり、開閉扉１０６を閉じて真空容器１０４内を外部から遮断する。次に、真空ポンプ１５０を駆動し、洗浄室１０２を真空引きにより、例えば１０ｋＰａ以下に減圧する。このようにして、洗浄室１０２を所望の圧力まで減圧したら、大気開放弁を開弁して洗浄室１０２を大気開放する。続いて、加熱ヒータ２０２およびヒートポンプユニット３００を駆動し、蒸気室２００に貯留されている炭化水素系洗浄剤を加熱して蒸気を生成させる。そして、蒸気室２００で生成された蒸気は凝縮室１２０に導入されるとともに、蒸発器３２０によって冷却され、凝縮洗浄剤に凝縮され、洗浄剤貯留部１２４に貯留される。なお、凝縮室１２０において蒸発器３２０が回収した熱は凝縮器３４０で利用され、蒸気室２００において炭化水素系洗浄剤が加熱されて蒸気が生成されることとなる。以上により、真空洗浄装置１００の準備工程Ｓ１１０が終了し、真空洗浄装置１００によるワークＷの洗浄が可能となる。
【００３６】
（搬入工程Ｓ１２０）
真空洗浄装置１００によってワークＷの洗浄を行う際には、まず、開閉扉１０６を開放し、開口１０４ａから洗浄室１０２にワークＷを搬入して載置部１０８に載置する。そして、ワークＷの搬入が完了したら、開閉扉１０６を閉じて洗浄室１０２を密閉状態にする。なお、このとき、ワークＷの温度は常温（１５℃〜４０℃程度）となっている。
【００３７】
（減圧工程Ｓ１３０）
次に、真空ポンプ１５０を駆動して、真空引きにより洗浄室１０２を１０ｋＰａ以下に減圧する。
【００３８】
（蒸気洗浄工程Ｓ１４０）
次に、蒸気供給部１３０は、蒸気室２００において生成された蒸気を洗浄室１０２に供給する。このとき、蒸気の温度は、８０℃〜１４０℃に制御されており、高温の蒸気が洗浄室１０２に充満する。
【００３９】
洗浄室１０２に供給された蒸気がワークＷの表面に付着すると、ワークＷの温度が蒸気の温度に比べて低いことから、蒸気がワークＷの表面で凝縮し、ワークＷの表面に付着していた油脂類が、凝縮された炭化水素系洗浄剤によって溶解、流下され、ワークＷが洗浄されることとなる。この蒸気洗浄工程Ｓ１４０は、ワークＷの温度が、蒸気の温度（炭化水素系洗浄剤の沸点）である８０℃〜１４０℃に到達するまで行われるとともに、ワークＷの温度が蒸気の温度に到達したところで蒸気洗浄工程Ｓ１４０が終了となる。
【００４０】
（シャワー洗浄工程Ｓ１５０）
蒸気洗浄工程Ｓ１４０が終了すると、シャワー部１１０は、洗浄剤貯留部１２４に貯留された凝縮洗浄剤をワークＷに噴射する。こうして、蒸気洗浄工程Ｓ１４０で洗浄しきれなかったワークＷの細部に付着した油脂類等が洗浄される。
【００４１】
（乾燥工程Ｓ１６０）
シャワー洗浄工程Ｓ１５０が終了すると、次に、洗浄の際にワークＷに付着した炭化水素系洗浄剤を乾燥させる乾燥工程Ｓ１６０が行われる。この乾燥工程Ｓ１６０は、真空ポンプ１５０を駆動することによって行われる。
【００４２】
（搬出工程Ｓ１７０）
上記のように、洗浄室１０２およびワークＷの乾燥が完了したら、大気開放弁を開弁して洗浄室１０２を大気開放し、洗浄室１０２が大気圧まで復圧したところで、開閉扉１０６を開放して開口１０４ａからワークＷを搬出し、当該ワークＷに対する全工程が終了する。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態にかかる真空洗浄装置１００およびこれを用いた真空洗浄方法によれば、ヒートポンプユニット３００を備える構成により、熱効率を向上させて、ワークＷの洗浄を行うことができる。
【００４４】
また、真空洗浄装置１００を構成するヒートポンプユニット３００において熱媒体は、蒸発器３２０、圧縮機３３０、凝縮器３４０、受液部３５０、減圧部３７０を循環しており、蒸発器３２０において気化され、凝縮器３４０において凝縮されることとなる。つまり、蒸発器３２０には液体状態の熱媒体が導入され、蒸発器３２０において蒸気と熱交換することで液体状態の熱媒体が気化される。また、凝縮器３４０には気体状態の熱媒体が導入され、凝縮器３４０において使用済み洗浄剤（炭化水素系洗浄剤）と熱交換することで気体状態の熱媒体が凝縮される。
【００４５】
ここで、蒸気の生成量を増加させる場合、循環路３１０を循環する熱媒体の循環量を増加させることで対処する。しかし、凝縮器３４０の加熱能力の上限値は、凝縮器３４０の伝熱面積（加熱された熱媒体と使用済み洗浄剤とが熱交換する面積）で物理的に決定されるため、蒸気の生成量には限界がある。具体的に説明すると、蒸気室２００において、凝縮器３４０の加熱能力の上限値以上の蒸気の生成量が求められる場合には、熱媒体の循環量を増やしたとしても、凝縮器３４０における加熱された熱媒体と、使用済み洗浄剤との熱交換が追いつかず、凝縮器３４０の加熱能力の上限値以上に蒸気を生成することはできない。
【００４６】
そこで、本実施形態にかかる真空洗浄装置１００は、加熱ヒータ２０２を備えており、凝縮器３４０の加熱能力の上限値以上に蒸気の生成が求められる場合には、ヒートポンプユニット３００に加えて、加熱ヒータ２０２を駆動することで、大量の蒸気を生成している。
【００４７】
一方、凝縮洗浄剤の生成量を増加させる場合、循環路３１０を循環する熱媒体の循環量を増加させることで対処する。ここで、蒸発器３２０の冷却能力の上限値は、蒸発器３２０の伝熱面積（冷却された熱媒体と蒸気とが熱交換する面積）で物理的に決定されるが、凝縮器３４０における熱交換状態によっては、蒸発器３２０が冷却能力の上限値まで機能を発揮できない場合がある。例えば、凝縮室１２０における凝縮洗浄剤の生成量の増加要求がなされたとする。この場合、循環路３１０を循環する熱媒体の循環量を増加させればよいが、このときの循環量が、凝縮器３４０の加熱能力の上限値よりも大きいと、凝縮器３４０において、気体状態の熱媒体を確実に液体状態に冷却することができない。このように、凝縮器３４０において、加熱された熱媒体と使用済み洗浄剤との熱交換が追いつかず、熱媒体が十分に冷却されないと、蒸発器３２０の冷却能力を十分に発揮できなくなる。つまり、凝縮室１２０において生成される凝縮洗浄剤の生成量は、凝縮器３４０の熱交換効率に制限されることとなる。
【００４８】
そこで、本実施形態にかかる真空洗浄装置１００は、凝縮洗浄剤の生成量の増加を試み、凝縮器３４０において冷却が不十分である熱媒体をさらに冷却することで、凝縮室１２０において大量の凝縮洗浄剤を生成する。以下に、本実施形態の特徴である、凝縮器３４０において冷却が不十分である熱媒体を冷却する冷却機構について詳述する。
【００４９】
（冷却機構）
図１に示すように、冷却機構は、冷却部４１０と、流量検知部４２０と、気泡検知部４３０と、冷却制御部４４０とを含んで構成される。
【００５０】
冷却部４１０は、例えば、ファンで構成され、被冷却箇所として受液部３５０を空冷することで、受液部３５０に貯留された熱媒体を冷却する。冷却部４１０をファンで構成することで、冷却部４１０を小型化することができる。
【００５１】
図３は、冷却部４１０による受液部３５０の冷却について説明するための図である。図３に示すように、受液部３５０の外壁には、受液部３５０を保温するための保温カバー３５２、３５４が設けられている。ここで、保温カバー３５２は、受液部３５０の外壁に固定されており、保温カバー３５４には、不図示のアクチュエータが接続されており、後述する冷却制御部４４０の制御指令に応じて、アクチュエータが、保温カバー３５４を、受液部３５０の外壁を被覆する被覆位置（図３（ａ）参照）と、外壁の一部を外部に露出させる露出位置（図３（ｂ）参照）とを移動させる。そして、冷却制御部４４０が冷却部４１０を機能させる際には、冷却制御部４４０はアクチュエータを駆動して、図３（ｂ）中、白抜き矢印で示すように保温カバー３５４を露出位置に移動させ、冷却部４１０を機能させて、露出させた受液部３５０の外壁を冷却する。
【００５２】
保温カバー３５４を備える構成により、冷却部４１０を機能させない際は、受液部３５０を確実に保温することができ、冷却部４１０を機能させる際には、効率よく受液部３５０（熱媒体）を冷却することが可能となる。
【００５３】
流量検知部４２０は、受液部３５０と減圧部３７０との間（ここでは、中間熱交換器３６０と減圧部３７０との間）を流通する液体状態の熱媒体の流量を検知する。
【００５４】
気泡検知部４３０は、受液部３５０と減圧部３７０との間（ここでは、中間熱交換器３６０と減圧部３７０との間）を流通する液体状態の熱媒体において予め定められた粒径以上の気泡が含まれるか否かを検知する。ここで、予め定められた粒径は、例えば、作業者が視認可能な大きさの最小の粒径である。
【００５５】
冷却制御部４４０は、ＣＰＵ（中央処理装置）を含む半導体集積回路で構成され、ＲＯＭからＣＰＵ自体を動作させるためのプログラムやパラメータ等を読み出し、ワークエリアとしてのＲＡＭや他の電子回路と協働して冷却機構全体を管理および制御する。本実施形態において、冷却制御部４４０は、流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果に基づいて、冷却部４１０およびアクチュエータを制御する。
【００５６】
具体的に説明すると、冷却制御部４４０は、流量検知部４２０が検知した液体状態の熱媒体の流量が予め定められた値未満であり、かつ、気泡検知部４３０が予め定められた粒径以上の気泡が含まれると検知したら、アクチュエータを駆動して保温カバー３５４を露出位置に移動させて、冷却部４１０を機能させる。ここで、予め定められた値は、本来循環させるべき、液体状態の熱媒体の流量であり、圧縮機３３０の回転数等に基づいて決定される値である。したがって、流量検知部４２０が検知した液体状態の熱媒体の流量が予め定められた値未満であるということは、受液部３５０の下流を流通する液体状態の熱媒体の量が本来循環させるべき流量より少ない、すなわち、液体状態の熱媒体中に気体状態の熱媒体が混在することを示し、気泡検知部４３０が、予め定められた粒径以上の気泡が含まれると検知するということは、受液部３５０の下流を流通する液体状態の熱媒体中に、気泡として気体状態の熱媒体が混在することを示す。また、受液部３５０の下流を流通する液体状態の熱媒体に気体状態の熱媒体が含まれるということは、凝縮器３４０の能力の上限値を超えており、加熱された熱媒体と使用済み洗浄剤との熱交換が追いつかず、熱媒体が十分に冷却されないことを示す。
【００５７】
したがって、冷却制御部４４０が流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果に基づいて、冷却部４１０を制御する構成により、凝縮器３４０によって熱媒体の冷却が不足しているときにのみ冷却部４１０を機能させることができ、不要に冷却部４１０を機能させる事態を回避することが可能となる。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態にかかる真空洗浄装置１００によれば、冷却機構を備える構成により、凝縮器３４０による熱媒体の冷却能力以上の凝縮洗浄剤の生成が求められ、循環路３１０を循環させる熱媒体の循環量を増加させたとしても、凝縮器３４０において冷却が不十分となる熱媒体を、凝縮器３４０の下流側で熱媒体を冷却して、熱媒体を確実に液体状態に凝縮させることができる。これにより、凝縮室１２０において、蒸気の冷却効率を向上させることができ、凝縮洗浄剤の生成量を増加させることが可能となる。
【００５９】
（変形例）
図４は、変形例にかかる真空洗浄装置５００を説明するための概念図である。図４中、炭化水素系洗浄剤の流れ、および、洗浄室１０２内の雰囲気ガスの流れを実線の矢印で、熱媒体の流れを破線の矢印で、信号の流れを一点鎖線の矢印で示す。なお、上述した真空洗浄装置１００と実質的に等しい構成要素については、同一の符号を付して重複説明を省略する。
【００６０】
真空洗浄装置５００の冷却機構は、冷却部４１０と、流量検知部４２０と、気泡検知部４３０と、返送路５１０と、第３熱交換部５２０と、ポンプ５３０と、冷却制御部５４０とを含んで構成される。冷却部４１０、流量検知部４２０、気泡検知部４３０は、上述した真空洗浄装置１００の冷却部４１０、流量検知部４２０、気泡検知部４３０と実質的に等しいため重複説明を省略し、ここでは、機能の異なる返送路５１０、第３熱交換部５２０、ポンプ５３０、冷却制御部５４０について説明する。
【００６１】
返送路５１０は、循環路３１０とは異なる経路であり、受液部３５０の出口から受液部３５０の入口に熱媒体を循環させる経路である。
【００６２】
第３熱交換部５２０は、返送路５１０に設けられ、返送路５１０を流通する熱媒体と、冷却部４１０によって供給される空気とを熱交換して、熱媒体を冷却する。
【００６３】
ポンプ５３０は、返送路５１０における第３熱交換部５２０の上流側に設けられ、後述する冷却制御部５４０の制御指令に応じて駆動する。
【００６４】
冷却制御部５４０は、ＣＰＵ（中央処理装置）を含む半導体集積回路で構成され、ＲＯＭからＣＰＵ自体を動作させるためのプログラムやパラメータ等を読み出し、ワークエリアとしてのＲＡＭや他の電子回路と協働して、真空洗浄装置５００の冷却機構全体を管理および制御する。本実施形態において、冷却制御部５４０は、流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果に基づいて、冷却部４１０およびポンプ５３０を制御する。
【００６５】
具体的に説明すると、冷却制御部５４０は、流量検知部４２０が検知した液体状態の熱媒体の流量が予め定められた値未満であり、かつ、気泡検知部４３０が予め定められた粒径以上の気泡が含まれると検知したら、冷却部４１０およびポンプ５３０を機能させる。
【００６６】
以上説明したように、変形例の真空洗浄装置５００によっても、冷却機構を備える構成により、凝縮器３４０の下流側で熱媒体を冷却することで、熱媒体を確実に液体状態に凝縮させることができる。これにより、凝縮室１２０において、蒸気の冷却効率を向上させることができ、凝縮洗浄剤の生成量を増加させることが可能となる。
【００６７】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００６８】
例えば、上記実施形態において、冷却部４１０が受液部３５０を冷却する構成について説明したが、冷却部４１０は、受液部３５０に限らず、循環路３１０における、凝縮器３４０と減圧部３７０との間の予め定められた箇所（被冷却箇所）の熱媒体を冷却すればよい。
【００６９】
また、上記実施形態において真空洗浄装置１００が受液部３５０を備える構成について説明したが、受液部３５０は必須の構成ではない。
【００７０】
また、上記実施形態において、冷却部４１０が被冷却箇所の熱媒体を空冷する構成を例に挙げて説明したが、冷却部４１０は熱媒体を冷却できれば、水で熱媒体を冷却（水冷）してもよい。
【００７１】
また、上記実施形態において、冷却部４１０がファンで構成される場合を例に挙げて説明したが、真空洗浄装置１００に既存のファンを冷却部として利用することもできる。例えば、圧縮機３３０の冷却用のファンや、真空ポンプ１５０の冷却用のファンから排出される空気を利用して熱媒体を冷却してもよい。これにより、冷却部専用のファンを設ける必要がなくなり、冷却部に要するコストを削減することができる。
【００７２】
また、上記実施形態において、受液部３５０の外壁に保温カバー３５２、３５４を備える構成について説明したが、保温カバー３５２、３５４は必須の構成ではない。また、上記実施形態において、受液部３５０の外壁に、固定された保温カバー３５２と、移動可能な保温カバー３５４とが設けられた構成について説明したが、受液部３５０の外壁に、被覆位置と、露出位置とを移動可能な保温カバーのみを備えるとしてもよい。
【００７３】
また、上記実施形態において、冷却制御部４４０、５４０が、流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果に基づいて、冷却部４１０およびアクチュエータを制御する構成について説明した。しかし、冷却制御部４４０、５４０は、流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果のいずれか一方に基づいて、冷却部４１０およびアクチュエータを制御するとしてもよい。また、凝縮器３４０の下流側において熱媒体の冷却不足を検知できれば、流量検知部４２０および気泡検知部４３０以外の検知機構を採用してもよい。
【００７４】
また、上記実施形態では、冷却制御部４４０、５４０が、流量検知部４２０の検知結果、および、気泡検知部４３０の検知結果に基づいて、冷却部４１０およびアクチュエータを制御する構成について説明した。しかし、冷却制御部４４０、５４０を備えず、冷却部４１０が被冷却箇所を常時冷却するとしてもよい。
【００７５】
また、上記実施形態では、洗浄室１０２において、シャワー部１１０から供給される凝縮洗浄剤による洗浄と、蒸気供給部１３０から供給される蒸気による洗浄が行われる真空洗浄装置１００について説明した。しかし、例えば、真空容器１０４内の、洗浄室１０２の下方に浸漬室を設けておき、かかる浸漬室にワークＷを浸漬することによって、ワークＷを洗浄してもよい。
【００７６】
具体的に説明すると、浸漬室には、ワークＷが完全に浸漬可能な量の炭化水素系洗浄剤（液体）が貯留されており、この炭化水素系洗浄剤を加熱するためのヒータが設けられている。また洗浄室１０２と浸漬室との間には中間扉が設けられており、この中間扉によって、洗浄室１０２と浸漬室とが連通したり、あるいはその連通が遮断されたりするようになっている。なお、浸漬室に貯留されている炭化水素系洗浄剤は、シャワー部１１０から供給された凝縮洗浄剤、および、洗浄剤貯留部１２４から凝縮洗浄剤供給管１２６を介して供給された凝縮洗浄剤のいずれか一方または両方である。また、この場合、載置部１０８に昇降装置を設けておき、載置部１０８を鉛直方向に移動可能に構成する。したがって、中間扉を開放して洗浄室１０２と浸漬室とを連通させた状態で昇降装置を駆動することにより、ワークＷを洗浄室１０２から浸漬室に移動させたり、あるいは、ワークＷを浸漬室から洗浄室１０２に移動させたりすることで、ワークＷを洗浄する。
【００７７】
なお、本明細書の真空洗浄方法の各工程は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はない。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明は、減圧下にある洗浄室に炭化水素系洗浄剤の蒸気を供給してワークを洗浄する真空洗浄装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００７９】
１００、５００  真空洗浄装置
１０２  洗浄室
１２０  凝縮室
２００  蒸気室
３００  ヒートポンプユニット
３１０  循環路
３２０  蒸発器（第２熱交換部）
３３０  圧縮機
３４０  凝縮器（第１熱交換部）
３５０  受液部
３５４  保温カバー
３７０  減圧部
４１０  冷却部
４２０  流量検知部
４３０  気泡検知部
４４０、５４０  冷却制御部
【図１】
2015020109.tif 000003
【図２】
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【図３】
2015020109.tif 000005
【図４】
2015020109.tif 000006