(57)【要約】      （修正有）【課題】非圧力不感応ＭＦＣの誤差を補償するための隙間容積が得られる上流質量流量検証システムを提供する。【解決手段】上流質量流量検証システム１００は、上流容積１１０と、上流容積内の温度を検知するよう構成された温度センサ１３０と、上流容積内の流体圧力を検知するよう構成された圧力センサ１２０と、温度センサからの温度信号と圧力センサからの圧力信号を受信し、検査ＭＦＣ９０を通過する検査流体の流量を判定し、検査ＭＦＣ９０の所与の隙間容積によって生ずる誤差を補償できるように構成されているコントローラ１６０と、を備え、コントローラ１６０は検査ＭＦＣ９０を通過する検査流体の流量から、検査ＭＦＣ９０が圧力不感応である場合であっても、圧力感応である場合のいずれに対しても、所与の隙間容積を算出する。【選択図】図１
2015092168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量流量コントローラの挙動を検査するための上流質量流量検証システムであって、
検査流体を貯蔵することができる質量流量コントローラの上流にある上流容積であって、前記質量流量コントローラは検査対象であり所与の隙間容積を有する、上流容積と、
前記上流容積内の温度を検知するよう構成された温度センサと、
前記上流容積内の流体圧力を検知するよう構成された圧力センサと、
前記温度センサからの温度と、前記圧力センサからの圧力信号を受信し、受信された温度および圧力信号に基づいて前記質量流量コントローラを通過する検査流体の流量を判定し、前記質量流量コントローラ内部にある前記所与の隙間容積によって生ずる誤差を補償するように構成されているプロセッサと、
を備え、前記プロセッサは、前記質量流量コントローラを通過する前記検査流体の流量を判定する際に、（ｉ）前記質量流量コントローラが圧力不感応である場合、または（ｉｉ）前記質量流量コントローラが圧力感応である場合のいずれかに対しても、前記所与の隙間容積を補償するよう構成されていることを特徴とする上流質量流量検証システム。
【請求項２】
前記プロセッサは、さらに、次の式
【数１】
2015092168.tif 000008
にしたがって圧力の減衰率又は温度を判定するよう構成され、
Ｑは、測定流量であり、
Ｖｔは、前記質量流量検証システムの総容積であり、
Ｖｄは、検査対象の質量流量コントローラの前記隙間容積を表し、
Ｒは、一般気体定数であり、
ＰおよびＴは、それぞれ、気体の圧力および温度の測定値であり、
ＰｓｔｐおよびＴｓｔｐは、それぞれ、標準圧力（１．０１３２５ｅ５  Ｐａ）および標準温度（２７３．１５Ｋ）定数であることを特徴とする請求項１記載の上流質量流量検証システム。
【請求項３】
前記プロセッサは、さらに、前記圧力の減衰率又は温度を判定する前に、前記システムが安定するのを待つことを特徴とする請求項２記載の上流質量流量検証システム。
【請求項４】
前記プロセッサにより前記隙間容積がゼロに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の上流質量流量検証システム。
【請求項５】
前記隙間容積が、前記システムのユーザによって入力されることを特徴とする請求項１に記載の上流質量流量検証システム。
【請求項６】
検査流体の前記容積への流入を制御する入力弁と、
前記容積から前記質量流量コントローラを通って流出する流体を制御する出力弁と、
をさらに備え、
測定可能な圧力レベルに達するまで前記容積を満たすように前記出力弁を閉じ、前記入力弁を開き、次いで、流体が前記容積から前記質量流量コントローラを通過して流出することを可能にするように、前記入力弁を閉じ前記出力弁を開くことを特徴とする請求項１に記載の上流質量流量検証システム。
【請求項７】
質量流量測定デバイスの挙動を検証する質量流量検証システムにより実行される方法であって、
一定容積内に検査流体の圧力を確定するステップと、
前記容積から所与の隙間容積を有する検査用質量流量測定デバイスを通過して検査流体を移送するために弁を開くステップと、
前記検査流体の温度と、前記確定された圧力からの前記検査流体の圧力変化率との関数として、検査対象の前記質量流量測定デバイスを通る質量流量（ｍａｓｓ  ｆｌｏｗ  ｒａｔｅ）をプロセッサにより判定するステップであって、前記判定は、前記検査対象の質量流量測定デバイス内にある前記所与の隙間容積によって生ずる誤差を補償する、ステップと、
を備え、
前記質量流量測定デバイスを通過する前記検査流体の流量を判定する際に、（ｉ）前記質量流量測定デバイスが圧力不感応である場合、または（ｉｉ）前記質量流量測定デバイスが圧力感応である場合のいずれかに対しても、前記所与の隙間容積は前記プロセッサによって補償されることを特徴とする、方法。
【請求項８】
前記質量流量（ｍａｓｓ  ｆｌｏｗ  ｒａｔｅ）を判定するステップが、以下の式
【数２】
2015092168.tif 000009
にしたがって前記流量を計算するステップを含み、
Ｑは、測定される流量であり、
Ｖｔは、前記質量流量検証システムの総容積であり、
Ｖｄは、検査対象の質量流量測定デバイスの前記所与の隙間容量を表し、
Ｒは、一般気体定数であり、
ＰおよびＴは、それぞれ、気体の圧力および温度であり、
ＰｓｔｐおよびＴｓｔｐは、それぞれ、標準圧力（１．０１３２５ｅ５  Ｐａ）および標準温度（２７３．１５Ｋ）定数であり、
前記プロセッサが、さらに、上記式にしたがい圧力の減衰率又は温度を判定するよう構成されることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記検査対象の質量流量測定デバイスの製造業者から受け取った前記所与の隙間容積の値を入力するステップをさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記入力した値がゼロであることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記温度が安定した後に、前記流量を計算することを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
前記プロセッサは、さらに、前記圧力の減衰率又は温度を判定する前に、前記システムが安定するのを待つことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願
本願は、２００９年７月２４日に出願された米国特許出願第１２／５０８，７９９号の優先権を主張する。上述の出願をここで引用したことにより、その教示全体が本願にも含まれるものとする。
【０００２】
[0001]  本開示は、質量流量の測定および制御の分野に関する。更に特定すれば、本開示は、質量流量メータおよびコントローラの精度検証に関する。
【背景技術】
【０００３】
[0002]  材料処理には、多数の精密な(high-precision)質量流量測定システムが有用である。これらの精密質量流量測定システムは、質量流量コントローラ（ＭＦＣ：mass  flow  controller）および質量流量メータ（ＭＦＭ：mass  flow  meter）を含むことができるが、これらに限定されるのではない。本開示は全ての質量流量測定システムおよび方法に該当するが、以後、限定としてではなく例示を目的とするために限って、ＭＦＣのみに言及することとする。
【０００４】
[0003]  ＭＦＣの精度を検査または検証することは望ましく、場合によっては必要となることもあり得る。ＭＦＣの精度を検証する方法の１つは、検査対象ＭＦＣの上流に配置された質量流量検証装置（ＭＦＶ）の減衰率を使用することによって行われる。
【０００５】
[0004]  しかしながら、場合によっては、流路の構造的な面のために測定誤差が発生することもあり、ＭＦＶおよびＭＦＣの測定に影響を及ぼす望ましくない圧力変動を発生させる。例えば、ＭＦＣは、流量センサと制御弁との間に、「隙間容積」(dead  volume)と呼ばれる、流路の一部を有し、特に、非圧力不感応（即ち、圧力に感応する）ＭＦＣであり当該ＭＦＣの内側に圧力センサを有していないＭＦＣである場合に、この隙間容積が流量測定に誤差を混入させる可能性がある。非圧力不感応ＭＦＣは、圧力変動によって生ずる流量(flow  rate)を補償することができない。流体が流路に沿って流量検証装置から隙間容積を通過してＭＦＣの外部に流出すると、隙間容積は圧力測定値および最終的な流量検証における誤りを引き起こす原因になり得る。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
[0006]  したがって、本開示では、非圧力不感応ＭＦＣにおいて隙間容積によって生ずる誤差を補償する質量流量検証装置（ＭＦＶ）について記載する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
[0007]  更に特定すれば、本開示は、非圧力不感応ＭＦＣを通過する質量流量を測定および検証する上流検証システムおよび方法について記載する。上流に配置されたＭＦＶは、通例、一定容積を画成するチェンバと、流体源から流体を受けてチェンバに流入する流体の流れを制御する入力弁、およびチェンバから流出し検査ＭＦＣに流入する流体の流れを制御する出力弁を含む。入力弁を開き出力弁を閉じることによって、決定されたレベルまで圧力を上昇させるように、チェンバは流体源から流体を受ける。一旦決定されたレベルになると、流体がチェンバから検査対象ＭＦＣに流入するように、入力弁を閉じ、出力弁を開くことができる。チェンバにおける流体の温度を測定することによって、そしてチェンバからの圧力の減衰率を測定することによって、ＭＦＣを通過する流量を独立して測定することができるので、ＭＦＣの挙動を独立して測定し検証することができる。計算された流量は、非圧力感応質量流量コントローラ内部におけるいずれの隙間容積による誤差をも考慮するように補償される。
【０００８】
[0008]  検査質量流量コントローラが圧力不感応のコントローラである場合、上流ＭＦＶによる流量の計算は、隙間容積がゼロであることを想定して行うことができる。隙間容積の値は、質量流量コントローラの製造業者によって提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本開示の一態様によるブロック図である。
【図２】図２は、本開示において取り組む誤差を特定するシミュレーション結果を示す。
【図３】図３は、非圧力不感応質量流量コントローラの一例の、部分的に切除した、側面図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
[0012]  ＭＦＣの精度を検証する方法の１つは、検査対象のＭＦＣの上流において質量流量検証装置によって行われる。既に述べたように、流体がＭＦＶチェンバから検査対象ＭＦＣに流れるときの圧力の減衰率および温度変化を測定することによって、検査対象ＭＦＣを通過する流量を測定し検証することができる。しかしながら、特にＭＦＣが非圧力不感応である場合、測定誤差は、検査ＭＦＣの中にある隙間容積によって生ずることもある。これらの測定誤差を補償することが、本開示の主題である。
【００１１】
[0013]  図１は、検査ＭＦＣ９０の挙動を検証するための上流ＭＦＶシステム１００の一実施形態を示す。典型的な上流流量検証装置は、既知の容積（Ｖｃ）１１０を画成するチェンバ、圧力変換器（Ｐ）１２０、温度センサ（Ｔ）１３０、および２つの隔離制御弁を含み、２つの隔離制御弁の内、１つは容積Ｖｃの上流側（１４０）にあり、他の１つは容積の下流側（１５０）にある。
【００１２】
[0014]  図示したＭＦＶの実施形態は、温度センサ１３０および圧力変換器１２０を含む。図示のように、上流入力弁１４０が、検査気体の気体源または供給源から流れる流体を制御するために用いられ、一方下流弁１５０は、容積１１０から検査ＭＦＣ９０への流体の流れを制御するために用いられる。コントローラ１６０は、弁１４０および１５０を動作させるため、そして容積１１０の温度（温度センサ１３０によって測定する）、および容積１１０内部の圧力（圧力変換器１２０によって測定する）を表すデータを受信するために用いられる。更に、このコントローラは、検査ＭＦＣの流量を設定することもできる（しかし、ＭＦＣを制御するために別個のコントローラを用いてもよい）。入力弁１４０を開き出力弁１５０を閉じることによって、変換器１２０によって測定された圧力を、決定されたレベルまで上昇させるように、チェンバ容積１１０は、流体源から流体を受け入れる。一旦決定レベルに達したなら、入力弁１４０を閉じることができる。ここで、ＭＦＣ９０を検査することができる。入力弁１４０を閉じたままにしておいて、流体がチェンバ１１０から検査対象ＭＦＣ９０に流入するように、出力弁１５０を開く。温度センサ１３０によって、チェンバ容積１１０における流体の温度を測定し、変換器１２０によってチェンバ容積１１０からの圧力の減衰率を測定することによって、ＭＦＣを通過する流量を独立して測定することができるので、ＭＦＣの挙動を独立して測定し（検査ＭＦＣの設定流量をＭＦＶ１００によって決定された実際の流量とを比較することによって）検証することができる。
【００１３】
[0015]  このように、上流ＭＦＶはＭＦＣの挙動を検証することができる。１つの可能な挙動の測定は、一定体積の気体をＭＦＣに通過させたときにおけるＭＦＣによる圧力の減衰率を測定することである。これは、次の式において特定される。
【００１４】
【数１】
2015092168.tif 000003
【００１５】
ここで、Ｑ０は、実際の出力流量のＭＦＶが測定した流量であり、
Ｖｔは、次の節で説明するＭＦＶシステムの全容積であり、
Ｒは、一般気体定数であり、
ＰおよびＴは、それぞれ、気体の圧力および温度の測定値であり、
ＰｓｔｐおよびＴｓｔｐは、それぞれ、標準圧力（１．０１３２５ｅ５  Ｐａ）および標準温度（２７３．１５Ｋ）定数である。
【００１６】
[0016]  ＭＦＣシステムの全容積Ｖｔは、既知のＭＦＶチェンバ容積Ｖｃ、およびＭＦＶ下流弁１５０とＭＦＣ制御弁３４０との間の外部容積Ｖｅを含み、次のように表すことができる。
【００１７】
【数２】
2015092168.tif 000004
【００１８】
外部容積Ｖｅは、システムの測定構成(plumbing  configuration)および検査対象ＭＦＣの関数として変化する。外部容積は、上流ＭＦＶの流量検証を実行する前に、正確に較正しなければならない。例えば、外部容積の較正は、理想気体の法則および質量保存の法則、ならびに  ＭＦＶチェンバの容積（Ｖｃ）、ＭＦＶチェンバにおける測定圧力および気体温度という既知の事実に基づくことができる。この手順は、次のように説明することができる。
【００１９】
１．ＭＦＶの上流弁を閉じ、ＭＦＶの下流弁および検査対象ＭＦＣの制御弁の双方を開く。
２．システムを所定の圧力レベルまで下げて、検査対象ＭＦＣの制御弁を閉じる。
【００２０】
３．チェンバ圧力および気体温度が安定するまで待ち、チェンバ圧力をＰ０、気体温度をＴ０として記録する。
４．ＭＦＶの下流弁を閉じ、ＭＦＶの上流弁を開いて、気体流をＭＦＶチェンバに流入させる。
【００２１】
５．ＭＦＶのチェンバ圧力が所定のレベルに達したときに、ＭＦＶの上流弁を閉じる。
６．チェンバ圧力および気体温度が安定するまで待ち、チェンバ圧力をＰ１、気体温度をＴ１として記録する。
【００２２】
７．ＭＦＶの下流弁を開き、気体流を外部容積に流入させる。
８．チェンバ圧力および気体温度が安定するまで待ち、チェンバ圧力をＰ２、気体温度をＴ２として記録する。
【００２３】
９．以下の式にしたがって、外部容積を計算する。
【００２４】
【数３】
2015092168.tif 000005
【００２５】
[0017]  検査対象ＭＦＣ（図３では全体的に３００で示す）における隙間容積３５０、Ｖｄは、流量センサ３１０（層流エレメント３３０で示す）と制御弁３４０との間にある流路の一部である。この隙間容積は、検査対象ＭＦＣの一特性であり、流通業者や種類によって異なる。明らかに、隙間容積は外部容積（Ｖｅ）の一部であるが、以上で説明した外部容積較正方法によって別個に測定することはできない。
【００２６】
[0018]  上流ＭＦＶは、式（１）に基づいて、検査対象ＭＦＶの実際の流量出力を測定する。しかしながら、上流ＭＦＶによって測定される流量（Ｑ０）は、圧力が変化しているときにＭＦＣ流量センサによって測定された流量（Ｑｓ）ではない。隙間容積における圧力が変化しているときには、流量測定誤差（ΔＱ）が発生する。
【００２７】
【数４】
2015092168.tif 000006
【００２８】
[0019]  マサチューセッツ州、ウィルミントン(Wilmington,  MA)のＭＫＳ  Instruments（本譲受人）（ＭＫＳインストルメンツ社）が製造および販売するπＭＦＣのような、圧力不感応ＭＦＣでは、これらのデバイスは流路内に圧力センサを有し、隙間容積内の圧力変化を測定することができる。したがって、圧力不感応ＭＦＣは、隙間容積における圧力変動によって生ずる流量誤差を補償することができる。この場合、上流ＭＦＶによって測定される流量（Ｑ０）は、圧力不感応ＭＦＣが双方とも精度が高いのであれば、これらによって制御される流量と一致する。
【００２９】
[0020]  非圧力不感応ＭＦＣでは、このＭＦＣは圧力センサを有していないので、隙間容積における圧力変動によって生ずる流量誤差は、ＭＦＣ自体によって補償することはできない。その結果、式（４）によれば、ＭＦＣが通常の一定圧力動作状態において精度が高くても、上流ＭＦＶ測定値とＭＦＣによって制御される流量との間には、流量測定の不一致が常に起こる。
【００３０】
[0021]  図２に表されている時間グラフでは、気体のＮ２を用いて、ＭＦＣおよび非圧力不感応ＭＦＣの典型的な応答をシミュレートしたのであり、初期測定温度および圧力は、それぞれ２２°Ｃおよび５０ｐｓｉａ、流量設定点は２０００ｓｓｃｍ、実行時間は３０秒、ＭＦＶの容積は２００ｃｃ、隙間容積は５ｃｃであった。報告されたＭＦＶからの測定流量２１０は、ＭＦＣ流量設定点２２０およびＭＦＣ２３０から流出する実際の流量双方とも異なる。ＭＦＣ２３０から流出する実際の流量と、ＭＦＣ２１０に流入するＭＦＶ測定流量との間の不一致を補正することが、本開示の主題である。予期したように、誤差は、隙間容積のＭＦＶ容積に対する割合と同等であった（〜５０ｓｃｃｍ／２０００ｓｃｃｍ＝５ｃｃ／２００ｃｃ）。
【００３１】
[0022]  この流量測定誤差を補償するために、補正測定流量Ｑを上流ＭＦＶによって測定するときに、隙間容積を考慮に入れなければならない。
【００３２】
【数５】
2015092168.tif 000007
【００３３】
[0023]  本開示によれば、Ｖｄの値は、ＭＦＣの製造業者によって提供することができ、または実際の流量、予期される流量、および誤差に基づいてテスタによって推定することができる。製造業者がこの情報を提供する場合、ＭＦＶのユーザはこの値を、コントローラ１６０を含む処理機器に入力することができるので、流量は、測定圧力および／または温度値から精度高く計算することができる。
【００３４】
[0024]  更に、本開示はリアル・タイムで圧力の減衰率および／または温度を測定および推定すること、あるいはシステムが安定するまで待つことによって圧力の減衰率および／または温度を測定および推定することも想定している。安定するまで待つことによって、対応する温度変化を補償することなく圧力測定が可能になるという効果も追加される。
【００３５】
[0025]  また、本明細書において開示した検証装置の態様にしたがって圧力不感応ＭＦＣを測定するとき、Ｖｄ値をゼロに設定することができる。何故なら、ＭＦＣは既に隙間容積における圧力降下を考慮に入れているからである。
【００３６】
[0026]  以上、本開示の特定的な実施形態について図示し説明したが、当業者には多数の変更および修正が想起されることは認められよう。したがって、添付した特許請求の範囲は、本開示の主旨および範囲に該当する変更および修正全てを包含することを意図することとする。
【図１】
2015092168.tif 000010
【図２】
2015092168.tif 000011
【図３】
2015092168.tif 000012