(57)【要約】【課題】経済的に断熱部材を製造することが可能な、断熱部材の製造方法を提供すること。【解決手段】内周面側にヒータエレメントの保持部が形成された筒状の断熱壁体の製造方法であって、板状の断熱部材を、一の表面から該一の表面の反対側の面である二の表面へと伸びる溝部が、所定のピッチで形成されるように加工する、第１工程と、前記断熱部材を、前記一の表面及び前記二の表面と、前記溝部が形成される面であって、前記溝部の深さ方向に垂直な三の表面と、が為す角度を、ｎが３以上の自然数である９０＋１８０／ｎ度となるように加工する、第２工程と、前記断熱部材を分割断熱部材として複数個接合して筒状の前記断熱壁体を作成する工程であって、複数の前記分割断熱部材は、隣り合う前記分割断熱部材の前記溝部が対応すると共に、前記溝部によって筒状の前記断熱壁体の内周面側に前記保持部が形成されるように接合される、第３工程と、を含む、断熱壁体の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面側にヒータエレメントの保持部が形成された筒状の断熱壁体の製造方法であって、
板状の断熱部材を、一の表面から該一の表面の反対側の面である二の表面へと伸びる溝部が、所定のピッチで形成されるように加工する、第１工程と、
前記断熱部材を、前記一の表面及び前記二の表面と、前記溝部が形成される面であって、前記溝部の深さ方向に垂直な三の表面と、が為す角度を、ｎが３以上の自然数である９０＋１８０／ｎ度となるように加工する、第２工程と、
前記断熱部材を分割断熱部材として複数個接合して筒状の前記断熱壁体を作成する工程であって、複数の前記分割断熱部材は、隣り合う前記分割断熱部材の前記溝部が対応すると共に、前記溝部によって筒状の前記断熱壁体の内周面側に前記保持部が形成されるように接合される、第３工程と、
を含む、断熱壁体の製造方法。
【請求項２】
前記第３工程における接合は、接着剤を利用して接着する工程、前記断熱壁体の外周面、頂面又は底面を、隣り合う前記分割断熱部材に亘ってピン状部材により固定する工程、隣り合う前記分割断熱部材の一方に凸部を形成し、他方に前記凸部に係合する凹部を形成する工程、又は、バンド部材によって前記断熱壁体の外周を覆う工程のいずれか１つの工程を含む、
請求項１に記載の断熱壁体の製造方法。
【請求項３】
前記第３工程は、隣り合う前記分割断熱部材の接合面の間に、熱収縮可能な耐熱部材を配置する工程を含む、
請求項１又は２に記載の断熱壁体の製造方法。
【請求項４】
前記第１工程において、前記溝部は、前記一の表面及び前記二の表面に垂直な方向に伸びるように形成される、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の断熱壁体の製造方法。
【請求項５】
前記第１工程において、前記溝部は、前記一の表面及び前記二の表面に垂直な方向に対して、所定の角度を有して伸びるように形成される、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の断熱壁体の製造方法。
【請求項６】
前記第３工程の前に、前記断熱壁体の内周面及び外周面の少なくとも一方に、Ｒ加工を施す工程を含む、
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の断熱壁体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、断熱壁体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体装置の製造においては、被処理体である半導体ウエハに対して、成膜処理、酸化処理、拡散処理、アニール処理、エッチング処理等の処理が施される。これらの処理を施す際には、被処理体を収容する処理容器と、この処理容器の外周側に、処理容器を囲むように配置されたヒータ装置とを備える、縦型熱処理装置が用いられる（特許文献１参照）。
【０００３】
縦型熱処理装置のヒータ装置は、例えば、抵抗発熱体（ヒータエレメント）と、このヒータエレメントの周囲に設けられた円筒体状の断熱壁体とを含んで構成される。具体的には、断熱壁体の内周側に、ヒータエレメントを収納するための保持部が設けられ、この保持部を介して、ヒータエレメントは螺旋状に巻回して配置される。
【０００４】
この際、特許文献１に開示されている断熱壁体は、保持部を有するリング形状の断熱ブロックを軸方向に複数積み重ねて形成される。また、特許文献２には、断熱壁体の材料を水系媒体中に分散させてスラリー状にし、このスラリーに対して、保持部の形状に対応する表面を有する成形用型を当接させて脱水することにより形成された断熱壁体が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１８２９７９号公報
【特許文献２】特開平８−６４５４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、リング形状の断熱ブロックを軸方向に複数積み重ねる方法では、断熱壁体を製造するのに非常に手間と時間がかかる。また、特許文献２に記載された方法は、特殊設備が必要であり、また、ヒータエレメントを保持するための十分な深さを有する保持部を形成することが困難であるという問題点を有していた。
【０００７】
上記課題に対して、経済的に断熱壁体を製造することが可能な、断熱壁体の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
内周面側にヒータエレメントの保持部が形成された筒状の断熱壁体の製造方法であって、
板状の断熱部材を、一の表面から該一の表面の反対側の面である二の表面へと伸びる溝部が、所定のピッチで形成されるように加工する、第１工程と、
前記断熱部材を、前記一の表面及び前記二の表面と、前記溝部が形成される面であって、前記溝部の深さ方向に垂直な三の表面と、が為す角度を、ｎが３以上の自然数である９０＋１８０／ｎ度となるように加工する、第２工程と、
前記断熱部材を分割断熱部材として複数個接合して筒状の前記断熱壁体を作成する工程であって、複数の前記分割断熱部材は、隣り合う前記分割断熱部材の前記溝部が対応すると共に、前記溝部によって筒状の前記断熱壁体の内周面側に前記保持部が形成されるように接合される、第３工程と、
を含む、断熱壁体の製造方法。
【発明の効果】
【０００９】
経済的に断熱部材を製造することが可能な、断熱部材の製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施形態に係る縦型熱処理装置の一例の概略構成図である。
【図２】本実施形態に係る断熱壁体を軸方向から見た場合の概略図の一例である。
【図３】本実施形態に係る断熱壁体の製造方法の一例のフロー図である。
【図４】本実施形態に係る断熱壁体の製造方法を説明するための概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【００１２】
（縦型熱処理装置）
先ず、本実施形態に係る断熱壁体を有する縦型熱処理装置の基本構成の一例について、説明する。なお、本明細書においては、一例として半導体装置を製造するための縦型熱処理装置の例について説明する。しかしながら、本発明はこの点において限定されず、他の種々のタイプの熱処理装置であっても良い。
【００１３】
図１に、本実施形態に係る縦型熱処理装置の一例の概略構成図を示す。
【００１４】
図１に示すように、縦型の熱処理装置２は、長手方向が垂直である処理容器４を有する。処理容器４は、有天井の外筒６と、この外筒６の内周側に同心的に配置された円筒体の内筒８とを有する、２重管構造で構成される。
【００１５】
外筒６及び内筒８は、石英等の耐熱性材料から形成される。また、外筒６及び内筒８は、ステンレススチール等から形成されるマニホールド１０によって、その下端部が保持される。マニホールド１０は、ベースプレート１２に固定される。なお、マニホールド１０を設けず、処理容器４全体を、例えば石英により形成する構成であっても良い。
【００１６】
マニホールド１０の下端部の開口部には、例えばステンレススチール等からなる円盤状のキャップ部１４が、Oリング等のシール部材１６を介して気密防止可能に取り付けられている。また、キャップ部１４の略中心部には、例えば磁性流体シール１８により気密状態で回転可能な回転軸２０が挿通されている。この回転軸２０の下端は、回転機構２２に接続されており、回転軸２０の上端は、例えばステンレススチールよりなるテーブル２４が固定されている。
【００１７】
テーブル２４上には、例えば石英製の保温筒２６が設置されている。また、保温筒２６上には、支持具として例えば石英製のウエハボート２８が載置されている。
【００１８】
ウエハボート２８には、例えば５０〜１５０枚の被処理体としての半導体ウエハ（以後、ウエハW）が、所定の間隔、例えば１０ｍｍ程度のピッチで収容される。ウエハボート２８、保温筒２６、テーブル２４及びキャップ部１４は、例えばボートエレベータである昇降機構３０によって、処理容器４内にロード、アンロードされる。
【００１９】
マニホールド１０の下部には、処理容器４内に処理ガスを導入するための、ガス導入手段３２が設けられる。ガス導入手段３２は、マニホールド１０を気密に貫通するように設けられたガスノズル３４を有する。なお、図１では、ガス導入手段３２が１つ設置される構成を示したが、本発明はこの点において限定されない。使用するガス種の数等に応じて、複数のガス導入手段３２を有する縦型熱処理装置であっても良い。また、ガスノズル３４から処理容器４へと導入されるガスは、図示しない流量制御機構により、流量制御される。
【００２０】
マニホールド１０の上部には、ガス出口３６が設けられており、ガス出口３６には、排気系３８が連結される。排気系３８には、ガス出口３６に接続された排気通路４０と、排気通路４０の途中に順次接続された圧力調整弁４２及び真空ポンプ４４を含む。排気系３８により、処理容器４内の雰囲気を圧力調整しながら排気することができる。
【００２１】
処理容器４の外周側には、処理容器４を囲むようにしてウエハW等の被処理体を加熱するヒータ装置４８が設けられる。ヒータ装置４８は、天井面を有する筒体の断熱壁体５０を有する。下記に、本実施形態に係る断熱壁体５０及びこの断熱壁体５０を有するヒータ装置４８について、詳細に説明する。
【００２２】
［断熱壁体及びヒータ装置］
前述した通り、ヒータ装置４８は、筒体の断熱壁体５０を有する。断熱壁体５０は、例えば、熱伝導性が低く、柔らかい無定形のシリカ及びアルミナの混合物から形成することができる。なお、以後、本明細書において、「軸方向」、「周方向」及び「径方向」とは、各々、この筒体の断熱壁体５０の軸方向、周方向及び径方向を指す。
【００２３】
断熱壁体５０は、その内周面が処理容器４の外周面に対して所定の距離離間するように配置される。また、断熱壁体５０の外周には、ステンレススチール等から形成される保護カバー５１が、断熱壁体５０の外周全体を覆うように取り付けられている。
【００２４】
図２に、本実施形態に係る断熱壁体５０を軸方向から見た場合の概略図の一例を示す。なお、図２においては、断熱壁体５０の天井面については省略している。
【００２５】
筒状の断熱壁体５０は、少なくとも周方向に複数に分割され、周方向両端に割り面が形成される、複数の分割断熱部材５２によって構成されている。
【００２６】
図２（ａ）に示す例では、筒状の断熱壁体５０は円筒の形状であり、円筒形状の断熱壁体５０は、周方向に１２つの分割断熱部材５２によって構成されている。しかしながら、断熱壁体５０の分割数は、この点において限定されず、例えば２つ、４つ又は他の数に分割されていても良い。
【００２７】
また、筒状の断熱壁体５０は多角形筒の形状であっても良く、図２（ｂ）に示す例では、八角形筒の形状を有する。筒状の断熱壁体５０が多角形筒の形状を有する場合、１つの分割断熱部材５２が、多角形の一辺を担うように構成される。即ち、図２（ｂ）に示す例では、１２つの分割断熱部材５２が接合され、八角形筒の断熱壁体５０を構成する。なお、図２（ｂ）に示す例では、八角形筒の形状の例を示したが、本発明はこの点において限定されず、他の多角形筒の形状であっても良い。
【００２８】
別の形態として、筒状の断熱壁体５０は、図２（ｃ）に示すように、外周形状が多角形の形状を有し、内周形状が円の形状を有する構成であっても良いし、図２（ｄ）に示すように、外周形状が円の形状を有し、内周形状が多角形の形状を有する構成であっても良い。
【００２９】
なお、筒状の断熱壁体５０の周方向で隣り合う分割断熱部材５２同士は、筒状の断熱壁体５０の内部の断熱性を高めるために、好ましくは互いに接合されている。
【００３０】
また、断熱壁体５０の内周面側には、ヒータエレメント５４を収容するための保持部である、溝部５６が設けられている。
【００３１】
溝部５６は、断熱壁体５０の内周面に沿って、筒体の断熱壁体５０の中心軸を軸として螺旋状に形成されていても良い。また、１つの溝部５６が、断熱壁体５０の軸に垂直に設けられ、この溝部５６が断熱壁体５０の軸方向に所定の間隔で複数設けられている構成であっても良い。この場合、ヒータエレメント５４は、各々の溝部５６に配置されると共に、隣り合う溝部５６間で軸方向に伸びるように配置される。なお、ヒータエレメント５４のエレメント長は、ヒータ装置の大きさ等に依存するが、一般的に１５〜５０ｍ程度である。そのため、ヒータ装置の大きさ等に応じて、ヒータエレメント５４は、軸方向において、複数のゾーン、例えば４つのゾーンに分割されて配置されている。そして、各々のゾーン毎に断熱壁体５０近傍に設けられる図示しない熱電対により検出した温度に基づいて、図示しない制御部により、各ゾーン毎に独立して、温度制御できる構成になっている。
【００３２】
溝部５６の深さは、この溝部５６に配置されるヒータエレメント５４の半径よりも大きくなるように構成される。これにより、溝部５６に配置されたヒータエレメント５４が溝部５６から脱離することを防ぐことができる。また、断熱壁体５０の内周面側であって図１の外筒６の外側には、ヒータエレメント５４を溝部５６に保持するための、図示しない保持具が設けられる構成であっても良い。
【００３３】
ヒータエレメント５４は、その伸長方向に沿ってスパイラル状に形成されていても良いし、コルゲート状に形成されていても良い。
【００３４】
（断熱壁体の製造方法）
次に、上述した本実施形態に係る断熱壁体の製造方法について、説明する。図３に、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法の一例のフロー図を示す。また、図４に、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法を説明するための概略図を示す。
【００３５】
図３に示すように、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、
内周面側にヒータエレメントの保持部が形成された筒状の断熱壁体の製造方法であって、
板状の断熱部材を、一の表面から該一の表面の反対側の面である二の表面へと伸びる溝部が所定のピッチで形成されるように加工する、第１工程（Ｓ１００）と、
前記断熱部材を、前記一の表面及び前記二の表面と、前記溝部が形成される面であって、前記溝部の深さ方向に垂直な三の表面と、が為す角度を、９０＋１８０／ｎ度となるように加工する、第２工程（Ｓ１１０）と、
前記第１工程及び前記第２工程を経て得られた分割断熱部材を複数個接合して筒状の前記断熱壁体を作成する工程であって、複数の前記分割断熱部材は、隣り合う前記分割断熱部材の前記溝部が対応すると共に、前記溝部によって筒状の前記断熱壁体の内周面側に前記保持部が形成されるように接合される、第３工程（Ｓ１２０）と、
を有する。
【００３６】
また、必要に応じて、その他の工程を含んでも良い。例えば、第２工程と第３工程との間に、分割断熱部材に対して後述する更なる加工を施す工程を有していても良い。
【００３７】
各々の工程について、図４を参照して説明する。図４に、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法を説明するための概略図を示す。
【００３８】
第１工程Ｓ１００は、図４（ａ）に一例を示すような板状の断熱部材６０に対して、図４（ｂ）に示すようなヒータエレメント５４を保持する保持部となる溝部５６を形成する工程である。溝部５６は、断熱部材６０の一の表面６２ａから、この一の表面６２ａとは反対側の面である二の表面６２ｂへと伸びるように形成される。また、溝部５６は、所定のピッチ、例えば３３．５ｍｍのピッチで複数設けられる。
【００３９】
溝部５６は、公知の機械加工法によって形成することができる。
【００４０】
溝部５６の深さは、ヒータエレメント５４の半径よりも大きくなるように構成されることが好ましい。例えば、φ２１．５ｍｍ（半径１０．７ｍｍ）のヒータエレメント５４を使用する場合、溝部５６の深さは、２０．７５ｍｍとすることができる。
【００４１】
溝部５６のピッチは、特に限定されず、製造される断熱壁体５０に配置されるヒータエレメント５４の所望のピッチに対応して設定される。
【００４２】
また、溝部５６は、一の表面６２ａ及び二の表面６２ｂに垂直な方向に伸びるように形成しても良いし、一の表面６２ａ及び二の表面６２ｂに垂直な方向に対して所定の角度を有して形成しても良い。前者の場合、製造される断熱壁体５０において、１つの溝部５６が、断熱壁体５０の軸に垂直に設けられ、この溝部５６が断熱壁体５０の軸方向に所定の間隔で複数設けられている構成となる。後者の場合、溝部５６は、筒体の断熱壁体５０の中心軸を軸として螺旋状に形成される。
【００４３】
次の第２工程Ｓ１１０では、図４（ｂ）に示すように、第１工程によって溝部５６が形成された断熱部材６０を、図４（ｃ）に示すように、断熱部材６０の一の表面６２ａ及び二の表面６２ｂと、溝部６０が形成されている面であって、溝部６０の深さ方向に垂直な、三の表面６２ｃと、が為す角度αを、９０＋１８０／ｎ度（但し、ｎは３以上の自然数）となるように加工する。一般的に、正多角形の１つの内角は、１８０（ｎ−２）／ｎ度で表される。図２に示したように、２つの分割断熱部材５２によって、正多角形の内角が形成されるため、分割断熱部材５２における一の表面６２ａと三の表面６２ｃとが為す角度αを使用して、２α度と１８０（ｎ−２）／ｎ度との和が１周の３６０度となるように形成されるため、式を計算することにより、α＝９０＋１８０／ｎ度が導かれる。即ち、この第２工程Ｓ１１０により、断熱壁体製造用の分割断熱部材５２が形成され、後述する第３工程において複数の分割断熱部材５２を接合した場合に、正多角形筒状の断熱壁体５０を製造することができる。
【００４４】
使用する板状の断熱部材６０の大きさや、製造する断熱壁体５０の所望の大きさに依存するが、１枚の板状の断熱部材６０から、複数の分割断熱部材５２を作成することが好ましい。１枚の板状の断熱部材６０から、複数の分割断熱部材５２を作成する場合、各々の分割断熱部材５２の溝部５６の位置が対応するため、後述する第３工程において、容易に溝部５６の位置を対応させることができる。なお、図４に示す例では、１枚の板状の断熱部材６０から２つの分割断熱部材５２を作成する例を示している。
【００４５】
第１工程Ｓ１００と第２工程Ｓ１１０の順番は、この順番に限定されない。図４（ｃ'）及び図４（ｂ'）に示すように、先に第２工程Ｓ１１０を施し、その後第１工程Ｓ１００を施す構成であっても良い。
【００４６】
第１工程Ｓ１００及び第２工程Ｓ１１０を経て作成された複数の分割断熱部材５２は、第３工程Ｓ１２０において接合され、図４（ｄ）に示すように、本実施形態に係る断熱壁体５０が製造される。この際、複数の前記分割断熱部材５２は、隣り合う分割断熱部材５２の溝部５６が対応すると共に、この溝部５６によって筒状の断熱壁体５０の内周面側にヒータエレメント５４の保持部が形成されるように接合される。
【００４７】
複数の分割断熱部材５２の接合方法としては、隣り合う分割断熱部材５２同士を気密性に優れた方法で接合することができれば、その方法は特に限定されない。例えば、接着剤を利用して接合面（一の表面及び／又は二の表面）を接着しても良い。この場合、接着剤は、接合面の全面に塗布する必要はなく、筒状の断熱壁体の径方向の一部のみに塗布しても良い。なお、接着剤としては、耐熱性を有するものであれば特に限定されず、例えば、シリカ、アルミナ等の酸化物を含む耐熱接着剤等を使用することができる。
【００４８】
また、筒状の断熱壁体の外周面、頂面又は底面を、隣り合う分割断熱部材に亘ってピン状部材により固定する構成であっても良い。また、接合面に挿入溝を形成させ、ロッド固定部材又はピン固定部材等により接合する構成であっても良い。さらに、接合面の一方に、凸部を形成させ、他方に、この凸部と係合する凹部を形成させる構成であっても良い。
【００４９】
さらに、筒状の断熱壁体の外周を覆う、例えば金属等から形成されるバンド部材により接合する構成であっても良い。バンド部材は、筒状の断熱壁体の軸方向に複数配置しても良い。また、バンド部材の太さ等は、特に限定されない。
【００５０】
分割断熱部材同士の接合面には、熱収縮可能な図示しない耐熱部材を配置しても良い。これにより、断熱壁体が熱収縮した場合であっても、その収縮幅を吸収することができる。なお、熱収縮可能な耐熱部材としては、ブランケット状の耐熱部材等が挙げられ、具体的には、アルミナファイバー、シリカファイバー等のセラミックファイバー等を使用することができる。
【００５１】
第１工程Ｓ１００及び第２工程Ｓ１１０を経て分割断熱部材５２を形成した後であって、第３工程Ｓ１２０の前に、筒状の断熱壁体５０の内周面及び外周面に対応する、各々、分割断熱部材５２の四の表面５２ａ（６２ｃに対応）及び五の表面５２ｂの少なくとも一方に、Ｒ加工を施すことが好ましい。これにより、得られる筒状の断熱壁体５０の内周形状及び／又は外周形状を円筒形状にすることができるため、好ましい。
【００５２】
従来、縦型熱処理装置における筒状の断熱壁体は、板状の断熱部材をリング形状に加工し、更にヒータエレメントの保持部を形成して、それらを複数重ねることによって製造されてきた。しかしながら、この従来の断熱壁体の製造方法は、材料の板状の断熱部材の利用効率が低く、コストが高い。また、螺旋状に保持部を形成する場合、リング形状の断熱部材の内周面に複雑な加工を施す必要があるため、難易度及びコストが高くなる。
【００５３】
また、縦型熱処理装置における筒状の断熱壁体の製造方法として、吸引成形を利用した方法が知られている。この方法は、断熱壁体の材料を水系媒体中に分散させてスラリー状にし、このスラリーに対して、保持部の形状に対応する表面を有する成形用型を当接させて脱水することにより、所定の表面形状を有する断熱壁体を製造することができる。しかしながら、この吸引成形を利用する方法は、ヒータエレメントを十分に保持可能な深さの保持部を形成することが困難である。また、吸引成形のための特殊な設備が必要となる。
【００５４】
本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、板状の断熱部材から溝部を形成することが可能であるため、溝部を形成するための加工や、その他種々の設計に係る加工が容易となる。そのため、断熱壁体を製造するための加工に係るコストも安くなる。また、板状の断熱部材の材料利用効率も高くなるため、材料費に係るコストも安くなる。さらに、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、加工が容易であるため、断熱壁体の大型化も容易である。今後、半導体ウエハの口径は、現行の３００ｍｍから４５０ｍｍへの移行が検討されている。この処理基板の大型化に伴って、縦型基板処理装置も大型基板を製造できるよう対応が求められている。本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、４５０ｍｍのウエハ口径に対応する縦型熱処理装置の断熱壁体を製造する場合であっても、大きい断熱部材を原材料として使用することで、容易に大型の断熱壁体を製造することができる。
【００５５】
また、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、使用する板状の断熱部材の大きさや、製造する断熱壁体の所望の大きさに依存するが、１枚の板状の断熱部材から、複数の分割断熱部材を作成することも可能である。さらに、複数の別々の板状の断熱部材から複数の分割断熱部材を作成する場合であっても、溝部の深さ、幅及びピッチを統一することで、分割断熱部材の接合時に容易に溝部を対応させることが可能となる。
【００５６】
またさらに、本実施形態に係る断熱壁体の製造方法は、リング形状に加工された断熱部材を重ねる場合と比較して、接合面の面積が小さくなる。そのため、断熱性に優れた断熱壁体を得ることができる。
【符号の説明】
【００５７】
２      熱処理装置
４      処理容器
６      外筒
８      内筒
２８    ウエハボート
４８    ヒータ装置
５０    断熱壁体
５１    保護カバー
５２    分割断熱部材
５４    ヒータエレメント
５６    溝部
６０    断熱部材
６２    表面
Ｗ      ウエハ
【図１】
2015040323.tif 000003
【図２】
2015040323.tif 000004
【図３】
2015040323.tif 000005
【図４】
2015040323.tif 000006