(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去し、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストを効果的に除去することができる不活性ガスの回収前処理設備を提供する。【解決手段】シリコン単結晶製造装置１から排出された不活性ガスの回収前処理設備であって、前記シリコン単結晶製造装置１から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液７に接触させることにより溶解させて除去する手段と、前記シリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストをデミスター１０ａを用いて除去する手段を有するものであることを特徴とする不活性ガスの回収前処理設備。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガスの回収前処理設備であって、
前記シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段と、前記シリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストをデミスターを用いて除去する手段を有するものであることを特徴とする不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項２】
前記シリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段は、液封式圧縮機、エゼクター、スタティックミキサー、及びナッシュポンプのいずれか、又は２つ以上を組み合わせたものであることを特徴とする請求項１に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項３】
前記デミスターは、前記強アルカリ溶液が循環する気液分離塔に設置されたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項４】
前記デミスターは、前記アルカリ成分を含んだミストを中和する水洗スクラバーの前後のいずれか、又は両方に設置されたものであることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項５】
前記デミスターは、キャンドル式デミスターであることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項６】
前記デミスターによりアルカリ成分を除去した後、冷却式コンデンサーにより水分を除去するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【請求項７】
前記強アルカリ溶液は、苛性ソーダ溶液であることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の不活性ガスの回収前処理設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコン単結晶引き上げ装置から排出された不活性ガスを回収精製して再利用するための前処理を行う設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
チョクラルスキー法（ＣＺ法）により、シリコン単結晶を製造する際には、単結晶引上げ装置を用い、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気下の単結晶引上げ装置内で種結晶をルツボ内のシリコン融液に接触させ回転させながら引き上げることで単結晶を育成する。近年、シリコン単結晶の生産規模が拡大するに伴って不活性ガスの使用量も増大し、シリコン単結晶製造装置から排出される不活性ガスを回収して再利用することがコスト削減のための重要な課題となっている。
【０００３】
上記のシリコン単結晶製造装置から排出される不活性ガス中には、単結晶製造装置内で発生するシリコン酸化物等の不純物が含まれる。そのため、不活性ガスを回収精製して再利用するには、排出された不活性ガス中に含まれるシリコン酸化物等の不純物を除去する前処理を行う必要がある。不活性ガス中に含まれるシリコン酸化物は数ミクロン〜数十ミクロンの粒子状であり、このようなシリコン酸化物を除去する方法としては、一般的には湿式処理が行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−５１８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の湿式処理の一例として、苛性ソーダ溶液等の強アルカリ溶液による撹拌効果でシリコン酸化物を溶解させ除去できる設備が特許文献１に示されている。
図５は特許文献１の不活性ガスの回収前処理設備の一例を示す概略図である。図５の設備では、シリコン単結晶製造装置１から排出された不活性ガスを、ナッシュポンプ６０やスタティックミキサー５０にて強アルカリ溶液７と撹拌し、不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液７に溶解させ除去する。
特許文献１では、この撹拌の手段として、スクラバー、ミキサー、エゼクター、及びナッシュポンプのうち２つ以上を組み合わせたシステムで処理することでシリコン酸化物を効果的に除去できるとの記載がある。また、特許文献１の装置ではシリコン酸化物との反応を速やかにする目的で常温以上の高い温度（５０℃以上）のアルカリ溶液を使用している。
【０００６】
しかしながら、このような設備でシリコン酸化物を溶解させ除去すると、シリコン酸化物の除去に用いた強アルカリ溶液由来のアルカリ成分を含んだミスト（以下、アルカリミスト）が不活性ガスに同伴する。このアルカリミストが残留すると、後工程の不活性ガスの回収精製工程や再利用において大きな支障をきたすため、シリコン酸化物を除去した後に、不活性ガス中に含まれるアルカリミストを完全に除去する必要がある。
【０００７】
そこで、図５の設備では、シリコン酸化物の除去後、水洗スクラバー９で不活性ガスに同伴するアルカリミストを中和する。
特許文献１では、この中和手段として水洗スクラバーのほかに、酸溶液で中和を行う酸スクラバーも挙げられているが、酸スクラバーを用いるとその後のプロセス上、腐食や汚染の原因となる恐れがある。
【０００８】
このように、従来の設備では不活性ガス中のシリコン酸化物を除去することはできるが、上記のようなスクラバー方式だけでは不活性ガス中のアルカリミストを完全に除去することはできない。これは、実際にはアルカリミストがサブミクロンレベルの粒子径のミストあるいはヒューム状になっており、充填塔方式のスクラバー等では気液接触が効率的に行われないためである。
【０００９】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去し、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストを効果的に除去することができる不活性ガスの回収前処理設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明では、
シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガスの回収前処理設備であって、
前記シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段と、前記シリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストをデミスターを用いて除去する手段を有する不活性ガスの回収前処理設備を提供する。
【００１１】
本発明の不活性ガスの回収前処理設備であれば、シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去でき、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストも効果的に除去することができる。
【００１２】
また、前記シリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段は、液封式圧縮機、エゼクター、スタティックミキサー、及びナッシュポンプのいずれか、又は２つ以上を組み合わせたものであることが好ましい。
【００１３】
このようなものであれば、強アルカリ溶液と不活性ガス中のシリコン酸化物を効率的に接触させシリコン酸化物の溶解を促進することができるため、シリコン酸化物の除去をより確実に行うことができる。
【００１４】
またこのとき、前記デミスターは、前記強アルカリ溶液が循環する気液分離塔に設置されたものであることが好ましい。
【００１５】
このように、気液分離塔にデミスターを設置することで、シリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストをより効果的に除去することができる。
【００１６】
またこのとき、前記デミスターは、前記アルカリ成分を含んだミストを中和する水洗スクラバーの前後のいずれか、又は両方に設置することが好ましい。
【００１７】
このようにすることで、シリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストをより効果的に除去することができる。
【００１８】
またこのとき、前記デミスターは、キャンドル式デミスターであることが好ましい。
【００１９】
このようなデミスターとすることで、ブラウン運動をしている微小なサブミクロンサイズのアルカリミストを除去することができる。
【００２０】
また、前記デミスターによりアルカリ成分を除去した後、冷却式コンデンサーにより水分を除去することが好ましい。
【００２１】
これにより、飽和状態のミストを常温の露点温度以下に冷却して除湿することができるため、後工程の不活性ガスの回収精製時の負担を軽減することができる。
【００２２】
またこのとき、前記強アルカリ溶液は、苛性ソーダ溶液であることが好ましい。
【００２３】
このように、苛性ソーダ溶液であれば、安価であり低コストで実施することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明により、シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去でき、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストも効果的に除去することができるため、後工程の不活性ガスの回収精製を安定的に実施することが可能となる。また、アルカリミスト除去後に除湿を行うことで、後工程の不活性ガスの回収精製時の負担を軽減することができる。また、回収精製したガスを再利用する際に懸念されるリンやボロンも同時に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の不活性ガスの回収前処理設備の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の不活性ガスの回収前処理設備の別の例を示す概略図である。
【図３】本発明の不活性ガスの回収前処理設備のまた別の例を示す概略図である。
【図４】本発明の不活性ガスの回収前処理設備のさらに別の例を示す概略図である。
【図５】特許文献１の不活性ガスの回収前処理設備の一例を示す概略図である。
【図６】本発明の不活性ガスの回収前処理設備で用いることができるエゼクターの一例を示す概略図である。
【図７】本発明の不活性ガスの回収前処理設備で用いることができるスタティックミキサーの一例を示す概略図である。
【図８】本発明の不活性ガスの回収前処理設備で用いることができるナッシュポンプの一例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
上述のように、シリコン単結晶製造装置から排出される不活性ガス中のシリコン酸化物を除去でき、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリミストも除去できる不活性ガスの回収前処理設備の開発が求められていた。
【００２７】
本発明者らは、上記課題を達成するため、鋭意検討を重ねた結果、強アルカリ溶液を用いてシリコン酸化物を除去した後、デミスターを用いて不活性ガス中のアルカリミストを極限まで除去することで、シリコン酸化物及びアルカリミストを除去した不活性ガスを得ることができ、後工程の回収精製を安定的に運転できることを見出し、本発明を完成させた。
【００２８】
以下、本発明について、実施形態の一例として、図を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００２９】
図１は、本発明の不活性ガスの回収前処理設備の一例を示す概略図である。本発明の回収前処理設備では、シリコン単結晶製造装置１から排出された不活性ガスを水３ａを通過させてガスホルダー２に受入れ、気液分離塔６の下部水槽の強アルカリ溶液７を循環ポンプ８でナッシュポンプ６０やスタティックミキサー５０に送って、ガスホルダー２から送気される不活性ガスと強アルカリ溶液７を撹拌する。このナッシュポンプ６０やスタティックミキサー５０での撹拌によって、不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液７に溶解させ除去する。
【００３０】
このとき、強アルカリ溶液としては、例えば苛性ソーダ溶液、水酸化カリウム溶液、水酸化リチウム溶液、水酸化ルビジウム溶液、水酸化セシウム溶液等を用いることができる。このうち安価な苛性ソーダ溶液を用いると、コストを抑えることができるため好ましい。
【００３１】
また、シリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段は、液封式圧縮機、エゼクター、スタティックミキサー、及びナッシュポンプのいずれか、又は２つ以上を組み合わせたものであることが好ましい。
【００３２】
液封式圧縮機は、不活性ガスを所定の圧力まで昇圧させ、封液として使用する強アルカリ溶液と激しく接触させることで、不活性ガス中のシリコン酸化物を溶解させることができるため、特に、大風量の不活性ガスを強アルカリ溶液と接触させる際に有効である。
【００３３】
図６にエゼクターの概略図を示す。図６に示すように、エゼクター４０は、中央内部が絞られたチャンバー４１と、その中央内部に吸い込み口４２を有している。このチャンバー４１の入口から強アルカリ溶液が流入し（図６のＡ参照）、内部で絞られた部分を通過する。この時点で強アルカリ溶液の流速が増してミスト状となり圧力が低下し、この圧力損失で吸い込み口４２から不活性ガスが吸い込まれミスト状の強アルカリ溶液と接触する。このように強アルカリ溶液をミスト状にすることで、シリコン酸化物との接触と溶解を促進することができる。
【００３４】
図７にスタティックミキサーの概略図を示す。図７に示すように、スタティックミキサー５０はチャンバー５１内に不活性ガスと強アルカリ溶液とを攪拌するための複数のエレメント５２を有している。そして、チャンバー５１の入口から強アルカリ溶液が流入し（図７のＡ参照）、ガス流入口５３から不活性ガスが流入し、接触した両者をエレメント５２によって攪拌する。このようにスタティックミキサー５０の攪拌効果によりシリコン酸化物との接触と溶解を促進することができる。
【００３５】
図８にナッシュポンプの概略図を示す。図８に示すように、ナッシュポンプ６０は強アルカリ溶液を収容する円筒状のケーシング６１、ケーシング６１の中心軸と偏心した位置に中心軸を有し、その軸周りに回転可能なインペラー６２、排気口６３、吸気口６４を有している。そして、外周に羽根を有したインペラー６２を回転させると、ケーシング６１の内筒壁に沿って強アルカリ溶液が流れて環流を形成してポンプ内を圧縮し、吸気口６４から不活性ガスが流入して強アルカリ溶液と接触し、インペラー６２の回転によって両者が攪拌され、シリコン酸化物との接触と溶解が促進される。そして、シリコン酸化物が除去された不活性ガスは排気口６３より排出される。
【００３６】
シリコン酸化物を強アルカリ溶液に接触させることにより溶解させて除去する手段が、上記のようなものであれば、強アルカリ溶液と不活性ガス中のシリコン酸化物を効率的に接触させシリコン酸化物の溶解を促進することができるため、シリコン酸化物の除去をより確実に行うことができる。
【００３７】
上記のように不活性ガスと強アルカリ溶液７を撹拌し、シリコン酸化物を溶解させて除去した後、気液分離塔６で不活性ガスと強アルカリ溶液７を分離する。このとき不活性ガスに同伴するアルカリミストを除去するために、気液分離塔６の後に水洗スクラバー９を用いてアルカリミストの中和を行う。さらに、本発明では、水洗スクラバー９のほかにデミスター１０ａを用いてアルカリミストを除去する。アルカリミストを除去後、回収精製設備へのパイプ１５から後工程の回収精製設備へガスを送気する。
【００３８】
このデミスター１０ａとしては、キャンドル式デミスターを用いることが好ましい。キャンドル式デミスターであれば、ブラウン運動をしている微小なサブミクロンサイズのアルカリミストを除去することができる。
また、キャンドル式デミスター以外にも比較的粒子径の大きなミストを除去する為に、ワイヤーメッシュタイプや慣性衝突タイプのデミスターを用いることもできる。
【００３９】
また、デミスターは図３のようにアルカリミストの発生源である強アルカリ溶液７の循環している気液分離塔６に設置することが最も効果的であり、気液分離塔６に設置することでアルカリミストをほぼ完全に除去できる。また、デミスターは図４のように気液分離塔６に設置せず水洗スクラバー９の前後に設置しても良く、水洗スクラバー９の前後に設置した場合も９５％以上の除去率でアルカリミストを除去することができる。
【００４０】
水洗スクラバー９では、ポンプを用いて水３ｂを水洗スクラバー９の上部から噴霧し、下部から導入したアルカリミストを含む不活性ガスと水３ｂを接触させてアルカリミストを中和する。
【００４１】
また、本発明では、自動流量調整器１２、ＬＩＣＡ（レベル指示調節計）１３、及びＦＩＣＡ（流量指示調節計）１４を用いて、シリコン単結晶製造装置１からの不活性ガスの受入量の変動に応じて、風量制御を自動で行うことができる。
【００４２】
さらに、本発明の不活性ガスの回収前処理設備の好ましい例として、図１のナッシュポンプ６０の代わりに液封式圧縮機４を設置し、さらに気液分離塔６上部にキャンドル式デミスター１０ｂを設置し、キャンドル式デミスター１０ａの後に冷却式コンデンサー１１を設置した図２を示す。
【００４３】
図２で示される回収前処理設備では、シリコン単結晶製造装置１から排出された不活性ガスを水３ａを通過させてガスホルダー２に受入れ、液封式圧縮機４により不活性ガスを所定の圧力まで昇圧する。圧縮することで、液封式圧縮機４内で封液として使用される強アルカリ溶液７と不活性ガスを激しく接触させ、不活性ガス中のシリコン酸化物を強アルカリ溶液７に溶解させ、除去する。
【００４４】
このとき、封液として使用される強アルカリ溶液７は、気液分離塔６の下部水槽から循環ポンプ８により循環させる。この強アルカリ溶液７の温度を調整後、液封式圧縮機４内に導入して不活性ガスと混合させ、そのままスタティックミキサー５０に導入する。
【００４５】
循環ポンプ８から取り出された強アルカリ溶液７を温度調整用の熱交換器で温調した後、スタティックミキサー５０に導入し、上記の不活性ガスと激しく接触しながら混合させ、シリコン酸化物を強アルカリ溶液７中に溶解させて除去する。その後気液混合状態で気液分離塔６に導入して不活性ガスと強アルカリ溶液７を分離し、気液分離塔６上部に設置したキャンドル式デミスター１０ｂにより、不活性ガスに同伴するアルカリミストを除去する。
【００４６】
気液分離塔６に戻った強アルカリ溶液７は、気液分離塔６下部の水槽に戻り連続的に循環する。また、強アルカリ溶液７とシリコン酸化物の反応により、水ガラスが少量生成するのでこれは定期的に自動あるいは手動にて系外にブローする。
【００４７】
また、連続運転により強アルカリ溶液７と水分が消費するので、消費された強アルカリ溶液７と水は水槽内に設置したレベル計の変動に応じて自動的に補給される。また、循環する強アルカリ溶液の温度は常時熱交換器で調節されて、濃度についても常時計測される。
【００４８】
キャンドル式デミスター１０ｂを通過した不活性ガス中のアルカリミストを、水洗スクラバー９で中和処理し、さらに水洗スクラバー９の後に設置したキャンドル式デミスター１０ａによって除去する。冷却式コンデンサー１１にて１０℃以下に冷却して同伴する水分を凝縮し、ドレン１６から系外に排出する。
【００４９】
アルカリミストを除去した後でも不活性ガス中の水分はほぼ飽和状態であり、後工程のプロセスに応じて温度を制御することが望ましい。具体的には冷却式コンデンサー１１を用いて不活性ガスを冷却して、ミスト成分を凝縮させドレン１６から系外に排出する。ミストを凝縮させる熱源としてはブライン等の冷水を用いて所定の露点以下の温度となるよう温度制御する。
【００５０】
以上のように、本発明の不活性ガスの回収前処理設備であれば、シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去でき、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストも効果的に除去することができるため、後工程の不活性ガスの回収精製を安定的に運転することが可能となる。また、アルカリミスト除去後に除湿を行うことで、後工程の不活性ガスの回収精製時の負担を軽減することができる。また、回収精製したガスを再利用する際に懸念され、シリコン酸化物と共に不活性ガス中に含まれるリンやボロンも同時に除去することができる。
【実施例】
【００５１】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００５２】
（実施例１）
実施例１では、図２の概略図で示される不活性ガスの回収前処理設備でアルゴンガスの回収前処理を行った。
１）アルゴンガスを３．３〜１３．５Ｎｍ３／ｍｉｎの風量でガスホルダーに受入れ、液封式圧縮機では常時１０〜２０Ｎｍ３／ｍｉｎのアルゴンガスを圧縮し、気液分離塔から循環ポンプを経て循環する６〜８ｍ３／ｍｉｎの苛性ソーダ溶液とスタティックミキサーにて撹拌してアルゴンガス中のシリコン酸化物を溶解させ除去した。このとき、苛性ソーダ溶液の温度は４０〜５０℃、苛性ソーダ溶液濃度は１０〜１５％であり、アルゴンガスは常温で、処理時間は２４時間連続運転とした。
２）気液分離塔にてアルゴンガスと苛性ソーダ溶液を分離し、気液分離塔上部に設置したキャンドル式デミスター（ｉ）でアルゴンガスに同伴するアルカリミストを除去した。
３）気液分離塔を出たアルゴンガスを水洗スクラバーにて中和処理した後、水洗スクラバーの後に設置したキャンドル式デミスター（ｉｉ）でアルゴンガスに同伴するアルカリミストを除去した。
４）冷却式コンデンサーにてアルゴンガスを１０℃以下に冷却し、凝縮したミストドレンを除去した後の出口のシリコン酸化物除去率、アルカリミストの検出量、ｐＨを確認した。
５）アルゴンガスの一部は冷却式コンデンサー手前で液封式圧縮機に戻して廃アルゴンガスの受入量の変動に応じて風量制御を自動的に行った。
【００５３】
（実施例２）
実施例１において気液分離塔に設置したキャンドル式デミスター（ｉ）を設置しない以外は、実施例１と同様の設備を用いて不活性ガスの回収前処理を行った。
【００５４】
（比較例１）
実施例１において気液分離塔に設置したキャンドル式デミスター（ｉ）及び水洗スクラバーの後に設置したキャンドル式デミスター（ｉｉ）を設置しない以外は、実施例１と同様の設備を用いて不活性ガスの回収前処理を行った。
【００５５】
（比較例２）
比較例２では、アルゴンガスと苛性ソーダ溶液をナッシュポンプ、エゼクター及びスタティックミキサーにて撹拌し、アルゴンガス中のシリコン酸化物を溶解させ除去した。続いて、シリコン酸化物を除去したアルゴンガスを水洗スクラバーにて中和処理した。なお、この設備は特許文献１に記載のシリコン酸化物除去装置に相当するものである。
【００５６】
実施例及び比較例の不活性ガスの回収前処理設備を用いて回収前処理を行ったアルゴンガスの、シリコン酸化物除去率、アルカリ成分、冷却式コンデンサー入口の露点温度、及び冷却式コンデンサー出口の露点温度を測定した結果を以下の表１に示す。
【００５７】
【表１】
2015020928.tif 000003
【００５８】
表１に示されるように、デミスターを設置した実施例１及び実施例２では、シリコン酸化物を十分に除去することができ、かつアルカリミストを効果的に除去できた。特にデミスターを二つ設置した実施例１では、ほぼ完全にアルカリミストを除去することができた。さらに、冷却式コンデンサーを用いることでアルゴンガス中の水分も除去できた。
一方、デミスターを設置しなかった比較例１及び比較例２では、シリコン酸化物は十分に除去できたものの、アルカリミストの除去は不十分であった。
【００５９】
以上のことから、本発明の不活性ガスの回収前処理設備であれば、シリコン単結晶製造装置から排出された不活性ガス中のシリコン酸化物を十分に除去し、かつシリコン酸化物を除去した後の不活性ガス中のアルカリ成分を含んだミストを効果的に除去することができることが明らかとなった。
【００６０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００６１】
１…シリコン単結晶製造装置、  ２…ガスホルダー、  ３ａ、３ｂ…水、
４…液封式圧縮機、  ６…気液分離塔、  ７…強アルカリ溶液、
８…循環ポンプ、  ９…水洗スクラバー、
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ…キャンドル式デミスター、  １１…冷却式コンデンサー、
１２…自動流量調整器、  １３…ＬＩＣＡ、  １４…ＦＩＣＡ、
１５…回収精製設備へのパイプ、  １６…ドレン、  ４０…エゼクター、
４１…エゼクターのチャンバー、  ４２…吸い込み口、
５０…スタティックミキサー、  ５１…スタティックミキサーのチャンバー、
５２…エレメント、  ５３…ガス流入口、  ６０…ナッシュポンプ、
６１…ケーシング、  ６２…インペラー、  ６３…排気口、  ６４…吸気口。
【図１】
2015020928.tif 000004
【図２】
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【図３】
2015020928.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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