(57)【要約】【課題】  簡素な構成で導管内における異物の発生を抑制する液状材料供給装置を提供する。【解決手段】  液状材料供給装置１は、供給される液状材料Ｒが上流側から下流側に向かって輸送される管路である導管１０と、導管１０の上流側から下流側に液状材料Ｒを輸送する輸送駆動力を発生させる輸送駆動力発生部２０と、導管１０の少なくとも一部で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するように液状材料Ｒを流動させる流動駆動力を発生させる流動駆動力発生部３０と、を備える。【選択図】  図１
2015204330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部に供給される液状材料が上流側から下流側に向かって輸送される管路である導管と、
前記導管の上流側から下流側に前記液状材料を輸送する輸送駆動力を発生させる輸送駆動力発生部と、
前記導管の少なくとも一部で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するように前記液状材料を流動させる流動駆動力を発生させる流動駆動力発生部と、
を備えることを特徴とする液状材料供給装置。
【請求項２】
前記導管の一部が拡大し、かつ、前記導管の別の一部が縮小するように、前記流動駆動力発生部が、前記導管の少なくとも一部に力を加えて前記導管を変形させることによって、前記流動駆動力を発生させることを特徴とする請求項１に記載の液状材料供給装置。
【請求項３】
前記流動駆動力発生部が、前記導管の一部を外部から引っ張ることで拡大し、かつ、前記導管の別の一部を外部から圧縮することで縮小することによって、前記流動駆動力を発生させることを特徴とする請求項２に記載の液状材料供給装置。
【請求項４】
液体が充填された層を有する導管保護部を、さらに備え、
前記導管保護部が、前記導管の前記流動駆動力発生部から力が加えられる部分の少なくとも一部を覆うように設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の液状材料供給装置。
【請求項５】
前記導管保護部が有する前記液体が、所定の温度に保持されていることを特徴とする請求項４に記載の液状材料供給装置。
【請求項６】
前記輸送駆動力発生部が前記輸送駆動力を発生させない待機状態であるときに、前記流動駆動力発生部が、前記流動駆動力を間欠的に発生させることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液状材料供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状の材料を供給する液状材料供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネルや太陽電池などに代表される電子機器の製造時において、ウエハに対して液状の感光性材料（以下、単に「レジスト」という）を塗布する工程が行われることがある。この工程によってウエハ上に塗布されたレジストは、露光及び現像工程を経ることで選択的に除去されるとともに固体状となり、所望の形状のレジストパターンとなる。このレジストパターンは、電子機器の製造時にマスクとして利用されたり、カラーフィルタ等の電子機器を構成する部品の一つとして利用されたりする。
【０００３】
レジストをウエハ上に塗布する工程では、レジストを輸送して供給するために、液状材料供給装置が用いられる。液状材料供給装置は、レジストが輸送される管路である導管や、レジストを輸送する駆動力を発生させるポンプなどを備えている。
【０００４】
ところで、液状材料供給装置を用いてレジストを塗布すると、導管内にレジストが滞留する。このような滞留したレジストは、長時間放置されると変質して、例えば設計通りのレジストパターンが形成されないなどの不良の原因となる物体（以下、「異物」という）を生じ得るため、問題となる。
【０００５】
具体的に例えば、顔料を含有するカラーフィルタ用のレジストや、粘度が高いレジストは、滞留した状態で長時間放置されると、ゲル状の異物となり得る。また例えば、揮発性が高い溶媒を含有するレジストは、滞留した状態で長時間放置されると、気泡を含んだ異物となり得る。また例えば、化学増幅型のレジストは、滞留した状態で長時間放置されると、酸発生材料が分解されることで感度が低下した異物となり得る。
【０００６】
上記のような異物が導管内に存在している状態でレジストを輸送すると、当該レジストに異物が混入する。そして、異物が混入したレジストがウエハ上に供給されると、１つのウエハの面内で不均質となるレジストが形成されたり、複数のウエハで不均質となるレジストが形成されたりすることになり、ウエハ単位またはロット単位で、レジストパターンの不良が発生し得る。
【０００７】
そこで、液状材料供給装置の使用開始前に、レジストを導管に通じて廃棄することで導管内を洗浄する工程（以下、「ダミーディスペンス」という）を行うことにより、導管内に残留している異物を除去することが考えられる。ただし、このダミーディスペンスによって異物を除去する場合、レジストの消費量が多くなることが問題となる。特に、導管内で異物が発生する蓋然性が高いほど、導管を十分に洗浄する必要性が高くなり、ダミーディスペンスによるレジストの消費量が多くなってしまう。
【０００８】
特許文献１及び２では、外部に供給するレジストに異物が混入することを抑制する液状材料供給装置が提案されている。これらの液状材料供給装置について、図面を参照して説明する。図８及び図９は、従来の液状材料供給装置の構成について模式的に示す流路図である。なお、図８が特許文献１で提案されている液状材料供給装置について示したものであり、図９が特許文献２で提案されている液状材料供給装置について示したものである。
【０００９】
図８に示す液状材料供給装置１００は、容器Ｊ内のレジストＲを取り出して輸送する管路である導管１１０と、導管１１０においてレジストＲを輸送する駆動力を発生させるポンプ１２０と、ステージＳに保持されたウエハＷ上にレジストＲを供給するノズル１３０と、導管１１０とは別に容器Ｊ内のレジストＲを取り出して輸送した後に容器Ｊに戻す管路である循環路管１４０と、循環路管１４０においてレジストＲを輸送する駆動力を発生させるポンプ１５０と、循環路管１４０内を輸送されるレジストＲを濾過するフィルタ１６０と、を備える。なお、図８では、導管１１０及び循環路管１４０内におけるレジストＲの輸送方向を、白塗りの矢印で示している。
【００１０】
図９に示す液状材料供給装置２００は、容器Ｊ内のレジストＲを取り出して輸送する管路である導管２１０と、導管２１０においてレジストＲを輸送する駆動力を発生させるポンプ２２０と、ステージＳに保持されたウエハＷ上にレジストＲを供給するノズル２３０と、導管２１０から分岐するとともにレジストＲを輸送して容器Ｊに戻す管路である復路管２４０と、レジストＲをノズル２３０に与えるか復路管２４０に与えるかを切り替える切替部２５０と、導管２１０内を輸送されるレジストＲを濾過するフィルタ２６０と、を備える。なお、図９では、導管２１０及び復路管２４０内におけるレジストＲの輸送方向を、白塗りの矢印で示している。
【００１１】
図８及び図９に示す液状材料供給装置１００，２００は、レジストＲを循環させる機構を備え、ウエハＷ上にレジストＲを供給しない待機状態では常にレジストＲを循環させつつ、フィルタ１６０，２６０を用いてレジストＲを濾過することによって、レジストＲの滞留を抑制するとともにレジストＲ内の異物を除去している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平６−２６７８３７号公報
【特許文献２】特許第４４９６８３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、図８及び図９に示す液状材料供給装置１００，２００では、循環用の管路１４０，２４０や循環用のポンプ１５０を別途設ける必要があるため、装置が大型化及び複雑化してしまうという問題がある。また、図８及び図９に示す液状材料供給装置１００，２００では、循環時に発生した異物が容器Ｊ内に混入して汚染することで、容器Ｊ内のレジストＲが全て使用不可能になり得るという問題もある。
【００１４】
さらに、図８に示す液状材料供給装置１００では、導管１１０内に残留したレジストＲについては循環させることができない。そのため、この液状材料供給装置１００では、導管１１０内における異物の発生を抑制することができないため、ダミーディスペンスによるレジストＲの消費量を低減することが困難である。
【００１５】
一方、図９に示す液状材料供給装置２００では、切替部２５０をノズル２３０に近づけることで、導管２１０内に残留したレジストＲを循環させて異物の発生を抑制することができる。そのため、この液状材料供給装置２００では、ダミーディスペンスによるレジストＲの消費量を低減することが可能である。
【００１６】
しかしながら、この液状材料供給装置２００では、切替部２５０をノズル２３０に近づけるほど、レジストＲを循環させる管路が長くなるため、上述したレジストＲの循環に伴う問題（装置の大型化及び複雑化、容器Ｊ内のレジストＲの汚染）が深刻化してしまう。
【００１７】
そこで、本発明は、簡素な構成で導管内における異物の発生を抑制する液状材料供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するため、本発明は、外部に供給される液状材料が上流側から下流側に向かって輸送される管路である導管と、前記導管の上流側から下流側に前記液状材料を輸送する輸送駆動力を発生させる輸送駆動力発生部と、前記導管の少なくとも一部で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するように前記液状材料を流動させる流動駆動力を発生させる流動駆動力発生部と、を備える液状材料供給装置を提供する。
【００１９】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記導管の一部が拡大し、かつ、前記導管の別の一部が縮小するように、前記流動駆動力発生部が、前記導管の少なくとも一部に力を加えて前記導管を変形させることによって、前記流動駆動力を発生させると、好ましい。
【００２０】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記流動駆動力発生部が、前記導管の一部を外部から引っ張ることで拡大し、かつ、前記導管の別の一部を外部から圧縮することで縮小することによって、前記流動駆動力を発生させると、好ましい。
【００２１】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、液体が充填された層を有する導管保護部を、さらに備え、前記導管保護部が、前記導管の前記流動駆動力発生部から力が加えられる部分の少なくとも一部を覆うように設けられていると、好ましい。
【００２２】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記導管保護部が有する前記液体が、所定の温度に保持されていると、好ましい。
【００２３】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記輸送駆動力発生部が前記輸送駆動力を発生させない待機状態であるときに、前記流動駆動力発生部が、前記流動駆動力を間欠的に発生させると、好ましい。
【００２４】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記流動駆動力発生部が、前記導管の前記輸送駆動力発生部よりも下流側に設けられていると、好ましい。
【００２５】
さらに、上記特徴の液状材料供給装置において、前記導管における前記輸送駆動力発生部及び前記流動駆動力発生部の間に設けられ、前記導管の上流側から下流側に向かって輸送される前記液状材料に含まれる異物を除去するフィルタを、さらに備えると、好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
上記特徴の液状材料供給装置によれば、導管内の少なくとも一部で液状材料を流動させる流動駆動力発生部を備えるという簡素な構成で、導管内における異物の発生を抑制することが可能になる。そして、導管内における異物の発生を抑制することによって、ダミーディスペンスによる液状材料の消費量を低減することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の基本構成について模式的に示す流路図。
【図２】流動駆動力発生部の構成の一例について示す斜視図。
【図３】図２に示す流動駆動力発生部のＸ−Ｘ断面を示す断面図。
【図４】流動駆動力発生部の第１実施例について示す断面図。
【図５】流動駆動力発生部の第２実施例について示す断面図。
【図６】本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の１つの変形例について示す断面図。
【図７】本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の別の変形例について模式的に示す流路図。
【図８】従来の液状材料供給装置の構成について模式的に示す流路図。
【図９】従来の液状材料供給装置の構成について模式的に示す流路図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
＜＜基本構成＞＞
最初に、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の基本構成について、図面を参照して説明する。なお、以下では説明の具体化のため、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置が、ウエハ上にレジストを供給する装置である場合について、説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の基本構成について模式的に示す流路図である。図１に示すように、液状材料供給装置１は、導管１０と、輸送駆動力発生部２０と、流動駆動力発生部３０と、電磁弁４０と、ノズル５０と、を備える。なお、図１では、導管１０内におけるレジストＲの輸送方向及び流動方向を、白塗りの矢印で示している。
【００３０】
導管１０は、容器Ｊ内のレジストＲを取り出してノズル５０まで輸送する管路である。なお、以下では、液状材料供給装置１がウエハＷ上にレジストＲを供給する場合における、導管１０内のレジストＲの輸送方向を基準として、導管１０に関する位置関係等の説明をする。具体的に、以下では、液状材料供給装置１がウエハＷ上にレジストＲを供給する場合における、レジストＲの輸送元側（即ち、容器Ｊ側）を「上流側」、レジストＲの輸送先側（即ち、ノズル５０側）を「下流側」という。
【００３１】
輸送駆動力発生部２０は、導管１０の上流側から下流側にレジストＲを輸送する輸送駆動力を発生させるものであり、例えばポンプである。なお、輸送駆動力発生部２０の好適な例として、ベローズポンプが挙げられる。また、以下では、輸送駆動力発生部２０が輸送駆動力を発生させる状態を「供給状態」、輸送駆動力発生部２０が輸送駆動力を発生させない状態を「待機状態」という。
【００３２】
流動駆動力発生部３０は、導管１０の少なくとも一部で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するようにレジストＲを流動させる流動駆動力を発生させるものである。なお、流動駆動力発生部３０の詳細については、後で具体的な実施例を挙げて説明する。また、以下では、上記のように、導管１０内で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するようにレジストＲを流動させることを、「往復流動」という。
【００３３】
電磁弁４０は、導管１０の経路上に設けられ、外部から与えられる電気信号によって開閉が制御される弁である。供給状態において、電磁弁４０は、開いた状態となるように制御されて、ウエハＷ上へのレジストＲの供給を許容する。一方、待機状態において、電磁弁４０は、閉じた状態になるように制御されて、ウエハＷ上へのレジストＲの供給を禁止する。
【００３４】
ノズル５０は、導管１０の下流側の端部に設けられ、導管１０内を輸送されたレジストＲをウエハＷ上に供給する。ウエハＷは、ステージＳ上に固定（例えば、ステージＳ上に設けられた真空チャックに吸着）されており、このステージＳの回転に伴ってウエハＷが回転することで、ウエハＷ上に供給（滴下）されたレジストが外側へと拡がる。これにより、ウエハＷ上の全面にレジストが塗布される。なお、ウエハＷに対するレジストの塗布方法はこの例（ウエハＷを回転させる塗布方法、いわゆるスピンコート）の限りではなく、別の塗布方法（例えば、ノズル５０がウエハ上を走査するように、ノズル５０及びウエハＷの少なくとも一方を移動させる塗布方法、いわゆるスキャンコート）を採用してもよい。
【００３５】
液状材料供給装置１では、供給状態において、輸送駆動力発生部２０が輸送駆動力を発生させる。これにより、容器Ｊから取り出されたレジストＲが、導管１０の上流側から下流側へと輸送される。このとき、流動駆動力発生部３０は流動駆動力を発生させず、電磁弁４０は開いた状態となることで、導管１０内のレジストＲがノズル５０まで輸送される。そして、ノズル５０からウエハＷ上に対して、レジストＲが供給される。
【００３６】
一方、液状材料供給装置１では、待機状態において、輸送駆動力発生部２０が輸送駆動力を発生させず、電磁弁４０は閉じた状態となる。これにより、導管１０内をレジストＲが輸送されず、導管１０内にレジストＲが残留した状態となる。
【００３７】
ただし、待機状態では、流動駆動力発生部３０が流動駆動力を発生することで、導管１０内に残留しているレジストＲを、導管１０内で往復流動させる。これにより、導管１０内に残留したレジストＲの滞留が妨げられるため、異物の発生を抑制することが可能になる。
【００３８】
以上のように、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置１では、導管１０内の少なくとも一部でレジストＲを流動させる流動駆動力発生部３０を備えるという簡素な構成で、導管１０内における異物の発生を抑制することが可能になる。そして、導管１０内における異物の発生を抑制することによって、ダミーディスペンスによるレジストＲの消費量を低減することが可能になる。
【００３９】
なお、図１に例示する液状材料供給装置１は、導管１０の経路上に１つの流動駆動力発生部３０が設けられる構成であるが、導管１０の経路上に複数の流動駆動力発生部３０が設けられる構成としてもよい。
【００４０】
また、図１に例示する液状材料供給装置１は、導管１０における輸送駆動力発生部２０の下流側かつ電磁弁４０の上流側に流動駆動力発生部３０が設けられる構成であるが、流動駆動力発生部３０を設ける位置はこの例の限りではなく、導管１０の経路上のどの位置であってもよい。
【００４１】
ただし、流動駆動力発生部３０を、導管１０における輸送駆動力発生部２０よりも下流側に設けると、輸送が終了した後の待機状態において、導管１０内に残留したレジストＲを積極的に流動させることで、異物の発生を効果的に抑制することが可能になるため、好ましい。
【００４２】
また、流動駆動力発生部３０は、待機状態において、残留しているレジストＲを常時流動させておく必要はなく、間欠的に流動させるだけでも、異物の発生を抑制することができる。具体的に例えば、１時間以上にわたってレジストＲの供給がない場合、流動駆動力発生部３０が、１時間毎に、レジストＲを５往復程度流動させる流動駆動力を発生させるようにしても、異物の発生を抑制することができる。なお、流動駆動力発生部３０による流動駆動力の発生頻度は、レジストＲの性質等に応じて、適宜選択すればよい。
【００４３】
このように、流動駆動力発生部３０が、流動駆動力を間欠的に発生させることとすると、待機状態における消費エネルギーを抑制することが可能になるとともに、過度な流動による異物の発生を抑制することが可能になる。
【００４４】
＜＜流動駆動力発生部＞＞
次に、流動駆動力発生部３０の具体的な実施例について、図面を参照して説明する。図２は、流動駆動力発生部の構成の一例について示す斜視図である。また、図３は、図２に示す流動駆動力発生部のＸ−Ｘ断面を示す断面図である。なお、図３（ａ）及び（ｂ）は、待機状態において流動駆動力発生部３０が取り得る２つの状態について、それぞれ示したものである。
【００４５】
図２に例示する流動駆動力発生部３０は、導管１０の一部の領域である変形領域１１に対して、変形領域１１の一部が拡大し、かつ、変形領域１１の一部が縮小するように、変形領域１１の少なくとも一部に力を加えて変形領域１１を変形させる導管変形部３１，３２を、備えている。なお、導管変形部３１が導管１０の上流側に設けられており、導管変形部３２が導管１０の下流側に設けられている。また、変形領域１１が縮小するとは、例えば、変形領域１１の輸送方向（図中左方向）に対して垂直な断面の断面積が小さくなることである。また、変形領域１１が拡大するとは、例えば、変形領域１１の輸送方向（図中左方向）に対して垂直な断面の断面積が大きくなることである。
【００４６】
図３（ａ）に示すように、本例の流動駆動力発生部３０では、導管変形部３１が変形領域１１の上流側を外部から圧縮することで縮小し、かつ、導管変形部３２が変形領域１１の下流側を外部から引っ張ることで拡大する。これにより、変形領域１１において、レジストＲが上流側から下流側へと流動する。なお、図３（ａ）では、変形領域１１内におけるレジストＲの流動方向を、白塗りの矢印で示している。
【００４７】
また、図３（ｂ）に示すように、本例の流動駆動力発生部３０では、導管変形部３１が変形領域１１の上流側を外部から引っ張ることで拡大し、かつ、導管変形部３２が変形領域１１の下流側を外部から圧縮することで縮小する。これにより、変形領域１１において、レジストＲが下流側から上流側へと流動する。なお、図３（ｂ）では、変形領域１１内におけるレジストＲの流動方向を、白塗りの矢印で示している。
【００４８】
このように、本例の流動駆動力発生部３０は、導管１０内に残留したレジストＲを、導管１０内に留めた状態のまま往復流動させることができる。これにより、レジストＲを循環させることなく流動させることができるため、循環に伴う問題（装置の大型化及び複雑化、容器Ｊ内のレジストＲの汚染）を生じさせることなく、異物の発生を抑制することが可能になる。
【００４９】
なお、図２及び図３では、一方が変形領域１１を圧縮すると同時に他方が変形領域１１を引っ張る一対の導管変形部３１，３２について例示しているが、導管変形部３１，３２から同時に力が加えられない構成（例えば、導管変形部３１，３２が交互に力を加える構成）としてもよい。ただし、この場合、導管１０内に残留しているレジストＲを十分に往復流動させる観点から、導管変形部３１，３２の一方が力を加えることによって変形領域１１の一部が変形（縮小または拡大）した場合、変形領域１１の別の一部（例えば、導管変形部３１，３２の他方が設置されている部分）でこれとは反対の変形（拡大または縮小）が生じるように構成する（例えば、変形領域１１の一部の変形によって生じるレジストＲの圧力変動を吸収して、これとは逆の変形が可能な程度に伸縮性が高い部分を設ける）と、好ましい。
【００５０】
さらに、上記のように、変形領域１１が、一部が変形（縮小または拡大）した場合、別の一部においてこれとは反対の変形が生じるものとするのであれば、導管変形部が１つのみであっても、導管１０内でレジストＲを往復流動させることが可能である。また、反対に、流動駆動力発生部３０が、３つ以上の導管変形部を備える構成であってもよい。導管変形部が多いほど、変形領域１１内の様々な部分を任意に変形させることができるため、レジストＲを容易に往復流動させることができる。
【００５１】
ただし、流動駆動力発生部３０が備える導管変形部の中に、図２及び図３に例示するような、一方が変形領域１１を圧縮すると同時に他方が変形領域１１を引っ張る一対の導管変形部３１，３２が含まれているようにすると、変形領域１１の拡大及び縮小によって生じるレジストＲの圧力差（即ち、流動駆動力）を大きくすることが可能になり、広範囲にわたって大量のレジストＲを往復流動させることが可能になるため、好ましい。
【００５２】
また、流動駆動力発生部３０として、図２及び図３に例示するような一対の導管変形部３１，３２を設ける場合、導管変形部３１，３２が機械的に連動する構成としてもよい。この場合、導管変形部３１，３２の一方が変形領域１１を圧縮するように制御することで、他方が自動的に変形領域１１を引っ張ることになるため、導管変形部３１，３２の動作制御を容易にすることが可能となる。
【００５３】
また、本例の流動駆動力発生部３０を採用する場合、導管１０の少なくとも変形領域１１は、導管変形部３２による変形に耐え得る材料で構成されていると、好ましい。例えば、導管１０の少なくとも変形領域１１が、伸縮性を有する材料で構成されていると、好ましい。さらに、導管１０の少なくとも変形領域１１が、耐薬品性を有する材料で構成されていると、好ましい。具体的に例えば、導管１０の少なくとも変形領域１１が、カルレッツ（登録商標）に代表されるパーフロロエラストマー、テフロン（登録商標）、ポリエチレン等によって構成されていると、好ましい。
【００５４】
また、流動駆動力発生部３０を複数の導管変形部で構成する場合、それぞれの導管変形部を同種の装置で構成すると動作の制御が簡便になるため好ましいが、導管変形部を異種の装置（例えば、導管変形部３１，３２の一方が後述の第１実施例、他方が後述の第２実施例）で構成してもよい。
【００５５】
また、図２及び図３では、流動駆動力発生部３０が、変形領域１１の外部から力を加えて変形領域１１を拡大及び縮小する導管変形部３１，３２で構成される場合について例示しているが、変形領域１１の内部から力を加えて変形領域１１を拡大及び縮小する導管変形部によって構成してもよい。ただし、図２及び図３に例示するように、流動駆動力発生部３０を、変形領域１１の外部から力を加えて変形領域１１を拡大及び縮小する導管変形部３１，３２で構成すると、流動駆動力発生部３０の構造を簡素化することができるとともに、導管１０内におけるレジストＲの輸送及び流動の妨げにならないようにすることができるため、好ましい。
【００５６】
＜第１実施例＞
次に、図２及び図３に示した流動駆動力発生部３０の具体的な実施例（第１実施例及び第２実施例）について、図面を参照して説明する。最初に、図２及び図３に示した流動駆動力発生部３０の第１実施例について、図面を参照して説明する。図４は、流動駆動力発生部の第１実施例について示す断面図である。なお、図４（ａ）及び（ｂ）は、図３（ａ）及び（ｂ）と同様の状態の断面（Ｘ―Ｘ断面、図２参照）を示したものであり、変形領域１１におけるレジストＲの流動方向を白塗りの矢印で示している。
【００５７】
図４に示すように、第１実施例の流動駆動力発生部３０Ａは、上述の導管変形部３１（図２及び図３参照）として環状加減圧機３１Ａを備え、上述の導管変形部３２（図２及び図３参照）として環状加減圧機３２Ａを備えている。
【００５８】
環状加減圧機３１Ａ，３２Ａは、変形領域１１の外周面に沿って設けられた中空の円環状であり、環状加減圧機３１Ａ，３２Ａの内周面が変形領域１１の外周面に接続されている。環状加減圧機３１Ａ，３２Ａの少なくとも一部（特に、変形領域１１に接続される内周面）は、ゴム等の伸縮自在の材料で構成されており、エアポンプ等によって内部に気体が送り込まれることで膨張し、エアポンプ等によって内部の気体が吸引されることで収縮する。
【００５９】
環状加減圧機３１Ａ，３２Ａの内部に気体が送り込まれて膨張すると、環状加減圧機３１Ａ，３２Ａが変形領域１１を周囲から圧縮することになり、変形領域１１が縮小する（図４（ａ）の環状加減圧機３１Ａ及び図４（ｂ）の環状加減圧機３２Ａ参照）。反対に、環状加減圧機３１Ａ，３２Ａの内部の気体が吸引されて収縮すると、環状加減圧機３１Ａ，３２Ａが変形領域１１を周囲から引っ張ることになり、変形領域１１が拡大する（図４（ａ）の環状加減圧機３２Ａ及び図４（ｂ）の環状加減圧機３１Ａ参照）。
【００６０】
なお、一対の環状加減圧機３１Ａ，３２Ａについて、一方から吸引された気体が他方に送り込まれる構成（即ち、上述した機械的に連動する構成）としてもよい。この場合、環状加減圧機３１Ａ，３２Ａ内の気体を制御するエアポンプ等の数を削減して、構成を簡素化することが可能になる。
【００６１】
また、図４では、内部の気体の出し入れによって膨張及び収縮が制御される環状加減圧機３１Ａ，３２Ａについて例示しているが、気体以外の流体（例えば、液体）の出し入れによって膨張及び収縮が制御される環状加減圧機を採用してもよい。
【００６２】
＜第２実施例＞
次に、図２及び図３に示した流動駆動力発生部３０の第２実施例について、図面を参照して説明する。図５は、流動駆動力発生部の第２実施例について示す断面図である。なお、図５（ａ）及び（ｂ）は、図３（ａ）及び（ｂ）と同様の状態の断面（Ｘ―Ｘ断面、図２参照）を示したものであり、変形領域１１におけるレジストＲの流動方向を白塗りの矢印で示している。
【００６３】
図５に示すように、第２実施例の流動駆動力発生部３０Ｂは、上述の導管変形部３１（図２及び図３参照）として、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２を備え、上述の導管変形部３２（図２及び図３参照）として円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２を備えている。
【００６４】
円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２は、輸送方向（図中左方向）に対して垂直な方向（図中上下方向、以下「垂直方向」という）から変形領域１１を挟むように設けられ、変形領域１１の外周面に沿って配置されるとともに当該外周面に接続される円弧状（例えば、中心角が１８０度の扇形（半円）の円弧）の部材Ｐａと、当該円弧状の部材Ｐａから垂直方向に突出する柱状の部材Ｐｃと、が接続された形状となっている。なお、円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２も、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２と同様の形状である。
【００６５】
円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２は、柱状の部材Ｐｃに接続されたアクチュエータ等によって、垂直方向に駆動される。具体的に、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２は、変形領域１１を同時に押し込む（即ち、変形領域１１を圧縮する）ように駆動させられるとともに（図５（ａ）参照）、変形領域１１を同時に引っ張るように駆動させられる（図５（ｂ）参照）。そして、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２が、同時に変形領域１１を押し込むことによって変形領域１１が縮小し（図５（ａ）参照）、同時に変形領域１１を引っ張ることによって変形領域１１が拡大する（図５（ｂ）参照）。
【００６６】
円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２も同様であり、柱状の部材Ｐｃに接続されたアクチュエータ等によって、垂直方向に駆動される。具体的に、円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２は、変形領域１１を同時に押し込む（即ち、変形領域１１を圧縮する）ように駆動させられるとともに（図５（ｂ）参照）、変形領域１１を同時に引っ張るように駆動させられる（図５（ａ）参照）。そして、円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２が、同時に変形領域１１を押し込むことによって変形領域１１が縮小し（図５（ｂ）参照）、同時に変形領域１１を引っ張ることによって変形領域１１が拡大する（図５（ａ）参照）。
【００６７】
なお、変形領域１１を押し込む際に装置が干渉することを回避する観点から、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２における部材Ｐａの形状を、中心角が１８０度よりも小さい扇形の円弧としてもよいし、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２の駆動方向がずれる（それぞれの駆動方向が、垂直方向と平行であるが同一直線上にはない）ようにしてもよい。また、円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２についても同様である。
【００６８】
また、一対となる円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２及び円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２について、それぞれの一方（円弧状押引機３１Ｂ１，３２Ｂ１）とそれぞれの他方（円弧状押引機３１Ｂ２，３２Ｂ２）をクランクシャフト等でそれぞれ接続するなどして、一方が変形領域１１を押し込むと他方が変形領域１１を引っ張り、一方が変形領域１１を引っ張ると他方が変形領域１１を押し込むような構成（即ち、上述した機械的に連動する構成）としてもよい。この場合、円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２及び円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２のそれぞれを駆動制御するためのモータ等の数を削減して、構成を簡素化することが可能になる。
【００６９】
また、図５では、変形領域１１を２方向から挟むように配置される２つで１組の円弧状押引機３１Ｂ１，３１Ｂ２及び円弧状押引機３２Ｂ１，３２Ｂ２についてそれぞれ例示しているが、変形領域１１を３方向以上から挟むように配置される３つ以上で１組の円弧状押印機を採用してもよい。
【００７０】
＜＜変形例＞＞
以下、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の変形例について、図面を参照して説明する。なお、以下説明する変形例は、矛盾なき限り組み合わせて実施することが可能である。また、以下では、上述の液状材料供給装置１と異なる部分（即ち、変形した部分）について説明し、上述の液状材料供給装置１と同様の部分については説明を省略する。
【００７１】
［１］  本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の１つの変形例について、図面を参照して説明する。図６は、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の１つの変形例について示す断面図である。なお、図６（ａ）及び（ｂ）は、図３（ａ）及び（ｂ）と同様の状態の断面（Ｘ―Ｘ断面、図２参照）を示したものであり、変形領域１１におけるレジストＲの流動方向を白塗りの矢印で示している。
【００７２】
図６に示すように、本変形例の液状材料供給装置では、変形領域１１を覆うように、液体Ｌ（例えば、水）が充填された層を有する導管保護部１２が設けられている。この場合、導管変形部３１，３２は、液体Ｌの層を有する導管保護部１２を介して、変形領域１１に対して力を加える（圧縮する、引っ張る）ことになる。
【００７３】
このように、変形領域１１を覆うように導管保護部１２を設けると、導管変形部３１，３２によって加えられる力が、液体Ｌの層を介して、変形領域１１に対して間接的に加えられる。そのため、導管変形部３１，３２が加える力によって変形領域１１が破損することを、抑制することが可能になる。
【００７４】
なお、本変形例の液状材料供給装置において、液体Ｌを所定の温度（特に、レジストＲの塗布に適した２０℃以上２５℃以下の温度）に保持すると、好ましい。この場合、例えば、サーモスタット及びヒータ（またはチラー）を備えた温度調整機を用いて所定の温度となるように調整した液体Ｌを、導管保護部１２に通じて循環させてもよい。また例えば、温度調整機を導管保護部１２の少なくとも一部に対して接触させて、導管保護部１２の内部の液体Ｌが所定の温度になるように保持してもよい。
【００７５】
このように構成すると、導管１１で輸送するレジストＲの温度を、レジストＲの塗布に適した温度にすることができる。レジストＲは、塗布時（より詳細には、ノズル５０からの滴下時）の温度に応じて、形成されるレジストパターンの膜厚の分布が変動する。そのため、上記のように構成してレジストＲを適切な温度に保持すると、再現性良く均質なレジストパターンを作成することが可能になる。
【００７６】
また、上述した変形領域１１の破損を抑制する効果を得る観点から、導管保護部１２は、変形領域１１の流動駆動力発生部３０から力が加えられる部分の少なくとも一部を覆うように設けられていればよい。また、レジストＲの温度を精度良く保持する観点から、導管保護部１２を、変形領域１１だけでなく、導管１０の変形領域１１以外の領域に対して設けてもよい。
【００７７】
［２］  本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の別の変形例について、図面を参照して説明する。図７は、本発明の実施形態に係る液状材料供給装置の別の変形例について模式的に示す流路図である。なお、図７では、導管１０内におけるレジストＲの輸送方向及び流動方向を、白塗りの矢印で示している。
【００７８】
図７に示すように、本変形例の液状材料供給装置１Ｍは、輸送駆動力発生部２０の下流側かつ流動駆動力発生部３０の上流側に、導管１０の上流側から下流側に向かって輸送されるレジストＲに含まれる異物を除去するフィルタ６０を備えている。
【００７９】
流動駆動力発生部３０は、導管１０内の一部の領域（変形領域１１）において、異物の形成を抑制することが可能である。しかし、変形領域１１以外の領域、特に、輸送駆動力発生部２０の下流側かつ流動駆動力発生部３０の上流側の領域では、輸送が終了した後の待機状態において、レジストＲが残留するとともに、当該レジストＲに対して流動駆動力発生部３０が発生させる流動駆動力が十分に作用せず、異物が発生する可能性がある。
【００８０】
しかし、本変形例の液状材料供給装置１Ｍでは、仮に、輸送駆動力発生部２０の上流側かつ流動駆動力発生部３０の下流側の領域から異物が発生したとしても、フィルタ６０によって当該異物を除去することが可能であるため、当該異物が外部に供給されることを抑制することが可能になる。
【００８１】
なお、本変形例の液状材料供給装置１Ｍにおいて、フィルタ６０を流動駆動力発生部３０の上流側の直近に設置するとともに、流動駆動力発生部３０及びフィルタ６０を可能な限り導管１０の下流側に設置すると、異物が外部に供給されることを効果的に抑制することができるため、好ましい。
【００８２】
［３］  本発明の実施形態として、ウエハＷ上にレジストＲを供給する液状材料供給装置を例に挙げて説明したが、本発明は、レジストＲ以外の液状材料を供給する他の液状材料供給装置であっても適用可能である。ただし、本発明は、導管内に滞留した状態で長時間放置されることで異物を生じ得る液状材料を供給する液状供給装置に適用すると、好ましい。
【００８３】
また、本発明を、ウエハＷ上にレジストＲを供給する液状材料供給装置に適用する場合、カラーフィルタ等の形成に用いるカラーレジストなど、比較的高価なレジストを供給する液状材料供給装置（即ち、ダミーディスペンスによる損失が大きい液状材料供給装置）に適用すると、好ましい。
【００８４】
＜まとめ＞
本発明の実施形態に係る液状材料供給装置１，１Ｍは、例えば以下のように把握され得る。
【００８５】
本発明の実施形態に係る液状材料供給装置１，１Ｍは、外部に供給される液状材料Ｒが上流側から下流側に向かって輸送される管路である導管１０と、前記導管１０の上流側から下流側に前記液状材料Ｒを輸送する輸送駆動力を発生させる輸送駆動力発生部２０と、前記導管１０の少なくとも一部で上流側から下流側及び下流側から上流側へと往復するように前記液状材料Ｒを流動させる流動駆動力を発生させる流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂと、を備える。
【００８６】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが流動駆動力を発生させることで、導管１０内に残留している液状材料Ｒを、導管１０内で往復流動させる。これにより、導管１０内に残留した液状材料Ｒの滞留が妨げられるため、異物の発生を抑制することが可能になる。
【００８７】
したがって、この液状材料供給装置１，１Ｍでは、導管１０内の少なくとも一部で液状材料Ｒを流動させる流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂを備えるという簡素な構成で、導管１０内における異物の発生を抑制することが可能になる。そして、導管１０内における異物の発生を抑制することによって、ダミーディスペンスによる液状材料Ｒの消費量を低減することが可能になる。
【００８８】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、前記導管１０の一部が拡大し、かつ、前記導管１０の別の一部が縮小するように、前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが、前記導管１０の少なくとも一部に力を加えて前記導管１０を変形させることによって、前記流動駆動力を発生させる。
【００８９】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、導管１０内に残留したレジストＲを、導管１０内に留めた状態のまま往復流動させることができる。これにより、レジストＲを循環させることなく流動させることができるため、循環に伴う問題（装置の大型化及び複雑化、容器Ｊ内のレジストＲの汚染）を生じさせることなく、異物の発生を抑制することが可能になる。
【００９０】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが、前記導管１０の一部を外部から引っ張ることで拡大し、かつ、前記導管１０の別の一部を外部から圧縮することで縮小することによって、前記流動駆動力を発生させる。
【００９１】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、導管１０の拡大及び縮小によって生じるレジストＲの圧力差（即ち、流動駆動力）を大きくすることが可能になり、広範囲にわたって大量のレジストＲを往復流動させることが可能になる。
【００９２】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、液体が充填された層を有する導管保護部１２を、さらに備え、前記導管保護部１２が、前記導管１０の前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂから力が加えられる部分の少なくとも一部を覆うように設けられている。
【００９３】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂによって加えられる力が、液体Ｌの層を介して、導管１０に対して間接的に加えられる。そのため、流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが加える力によって導管１０が破損することを、抑制することが可能になる。
【００９４】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、前記導管保護部１２が有する前記液体Ｌが、所定の温度に保持されている。
【００９５】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、供給する際の温度に依存して特性が異なる液状材料を、再現性良く供給することが可能になる。例えば、レジストＲは、塗布時（より詳細には、ノズル５０からの滴下時）の温度に応じて、形成されるレジストパターンの膜厚の分布が変動する。そこで、上記のように構成してレジストＲを適切な温度に保持すると、再現性良く均質なレジストパターンを作成することが可能になる。
【００９６】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが、前記輸送駆動力発生部２０が前記輸送駆動力を発生させない待機状態であるときに、前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが、前記流動駆動力を間欠的に発生させる。
【００９７】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、輸送駆動力発生部２０が輸送駆動力を発生させていない待機状態における消費エネルギーを抑制することが可能になるとともに、過度な流動による異物の発生を抑制することが可能になる。
【００９８】
また、上記の液状材料供給装置１，１Ｍは、前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂが、前記導管の前記輸送駆動力発生部２０よりも下流側に設けられている
【００９９】
この液状材料供給装置１，１Ｍでは、輸送が終了した後の待機状態において、導管１０内に残留したレジストＲを積極的に流動させることで、異物の発生を効果的に抑制することが可能になる。
【０１００】
また、上記の液状材料供給装置１Ｍは、前記導管１０における前記輸送駆動力発生部２０及び前記流動駆動力発生部３０，３０Ａ，３０Ｂの間に設けられ、前記導管１０の上流側から下流側に向かって輸送される前記液状材料Ｒに含まれる異物を除去するフィルタ６０を、さらに備える。
【０１０１】
この液状材料供給装置１Ｍでは、仮に、輸送駆動力発生部２０の上流側かつ流動駆動力発生部３０の下流側の領域から異物が発生したとしても、フィルタ６０によって当該異物を除去することが可能であるため、当該異物が外部に供給されることを抑制することが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明は、レジスト等の液状材料を供給する液状材料供給装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１，１Ｍ  ：  液状材料供給装置
１０      ：  導管
１１      ：  変形領域
１２      ：  導管保護部
２０      ：  輸送駆動力発生部
３０，３０Ａ，３０Ｂ：  流動駆動力発生部
３１，３２  ：  導管変形部
３１Ａ，３２Ａ  ：  環状加減圧機
３１Ｂ１，３１Ｂ２，３２Ｂ１，３２Ｂ２  ：  円弧状押引機
４０      ：  電磁弁
５０      ：  ノズル
６０      ：  フィルタ
Ｒ        ：  レジスト（液状材料）
Ｌ        ：  液体
【図１】
2015204330.tif 000003
【図２】
2015204330.tif 000004
【図３】
2015204330.tif 000005
【図４】
2015204330.tif 000006
【図５】
2015204330.tif 000007
【図６】
2015204330.tif 000008
【図７】
2015204330.tif 000009
【図８】
2015204330.tif 000010
【図９】
2015204330.tif 000011