(57)【要約】      （修正有）【課題】簡単に研磨パッドを定盤の適正な位置に貼り付ける研磨パッド用の位置決具を提供する。【解決手段】研磨パッドの外周端を配置する基準とする基準部１２と、基準部１２を基準として研磨パッドの外周端を配置した状態において、研磨パッドと同心又は略同心の定盤の外周端に当接可能な位置に配置される当部１１とを備えるようにする。【選択図】図１
2015226962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドを定盤に対して同心又は略同心に貼り付けるための研磨パッド用の位置決具であって、
研磨パッドにおける被研磨物を研磨する第一面とは反対側の第二面に取り付けられる取付部と、
定盤の外周端に当接させる当部であって、定盤の外周に沿って断続的又は連続的に形成される当部と、
研磨パッドの外周端を配置する基準とする基準部とを備え、
当部は、研磨パッドの外周端を基準部に対応させて配置した状態で、研磨パッドと同心又は略同心の定盤の外周端に当接可能な位置に配置される
研磨パッド用の位置決具。
【請求項２】
基準部は、取付部に直交する
請求項１に記載の研磨パッド用の位置決具。
【請求項３】
当部とは反対側の外周部と、
当部と外周部との間に形成される目盛で構成される測定部とを備え、
外周部は、研磨パッドの外周端よりも外側に位置する
請求項１又は２に記載の研磨パッド用の位置決具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨パッドを定盤に適正に貼り付けるための研磨パッド用の位置決具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハ等の表面を高い平滑面に仕上げる方法として化学機械研磨（ＣＭＰ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）がある。
【０００３】
化学機械研磨には、例えば、研磨パッドを取り付ける円形状の定盤と、被研磨物を該研磨パッドと対向するように保持する研磨ヘッドとを備えた研磨装置が用いられる。そして、化学機械研磨は、研磨パッド上にスラリーを供給しつつ被研磨物と研磨パッドとを相対的に摺動させることによって被研磨物を研磨している（例えば、特許文献１）。
【０００４】
ところで、上述のような研磨装置で用いられる研磨パッドは、円形状に形成されており、該研磨パッド自身の中心と定盤の中心とを一致又は略一致させたうえで定盤に粘着材料を介して貼り付けられている。
【０００５】
しかしながら、例えば、研磨パッドのサイズが定盤のサイズよりも大きい場合や、研磨パッド自体のサイズが大きい場合、研磨パッドと定盤との位置関係を確認しつつ、研磨パッドを定盤に貼り付けることが困難である。そして、研磨パッドが定盤の適正でない位置に貼り付けられた場合、該研磨パッドを定盤から取り外し、定盤に貼り付け直すことが必要となる。しかしながら、研磨パッドは、上述のように、粘着材料により定盤に貼り付けられているため、定盤から取り外される際に破損したり、変形したりしてしまう。そのため、研磨パッドの貼り付け直しに際しては、新たな研磨パッドを定盤に貼り付け直すことが必要となる場合がある。このように、研磨パッドを定盤に取り付ける作業は、煩雑になることがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１２−３９０９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、かかる実情に鑑み、簡単に研磨パッドを定盤の適正な位置に貼り付けることができる研磨パッド用の位置決具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る研磨パッド用の位置決具は、
研磨パッドを定盤に対して同心又は略同心に貼り付けるための研磨パッド用の位置決具であって、
研磨パッドにおける被研磨物を研磨する第一面とは反対側の第二面に取り付けられる取付部と、
定盤の外周端に当接させる当部であって、定盤の外周に沿って断続的又は連続的に形成される当部と、
研磨パッドの外周端を配置する基準とする基準部とを備え、
当部は、研磨パッドの外周端を基準部に対応させて配置した状態で、研磨パッドと同心又は略同心の定盤の外周端に当接可能な位置に配置される。
【０００９】
上記構成の研磨パッド用の位置決具によれば、基準部を基準として研磨パッドの外周端を配置することによって、当部を研磨パッドと同心又は略同心の定盤の外周端に当接可能な位置に配置することができる。そして、上記構成の研磨パッド用の位置決具は、取付部を研磨パッドの第二面に取り付けることによって、当部と研磨パッドとの位置関係を固定することができる。
【００１０】
そのため、上記構成の研磨パッド用の位置決具は、当部を定盤の外周端に当接させることによって、研磨パッドを定盤に対して同心又は略同心となる位置に配置することができる。従って、上記構成の研磨パッド用の位置決具は、簡単に研磨パッドを定盤の適正な位置に貼り付けることができる。
【００１１】
本発明に係る研磨パッド用の位置決具の一態様として、
基準部は、取付部に直交する
ようにしてもよい。
【００１２】
このようにすれば、基準部を研磨パッドの外周端に当接させることができる。そのため、研磨パッド用の位置決具は、研磨パッドの第二面を取付部に取り付けるにあたり、研磨パッドの外周端と基準部とを容易に対応させることができる。
【００１３】
そして、本発明に係る研磨パッド用の位置決具の他態様として、
当部とは反対側の外周部と、
当部と外周部との間に形成される目盛で構成される測定部とを備え、
外周部は、研磨パッドの外周端よりも外側に位置する
ようにしてもよい。
【００１４】
このようにすれば、測定部によって、研磨パッドの外周縁部と、研磨パッドの外周縁部の周囲に配置される外部機器との間隔を測定することもできる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明の研磨パッド用の位置決具によれば、簡単に研磨パッドを定盤の適正な位置に貼り付けることができるという優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、本発明の第一実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の斜視図である。
【図２】図２は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の正面図である。
【図３】図３は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の背面図である。
【図４】図４は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の平面図である。
【図５】図５は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の底面図である。
【図６】図６は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の右側面図である。
【図７】図７は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の左側面図である。
【図８】図８は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、取付部を研磨パッドに取り付けた状態の説明図である。
【図９】図９は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、当部を定盤に当接させている状態の説明図である。
【図１０】図１０は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、定盤に研磨パッドを貼り付けた状態の説明図である。
【図１１】図１１は、本発明の第二実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の斜視図である。
【図１２】図１２は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、本体部の取付部を研磨パッドに取り付けた状態の説明図である。
【図１３】図１３は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、本体部の当部を定盤に当接させている状態の説明図である。
【図１４】図１４は、同実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の説明図であって、定盤に研磨パッドを貼り付けた状態の説明図である。
【図１５】図１５は、本発明の他の実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の斜視図である。
【図１６】図１６は、本発明の別の実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の斜視図である。
【図１７】図１７は、本発明のさらに別の実施形態に係る研磨パッド用の位置決具の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の第一実施形態に係る研磨パッド用の位置決具（以下、単に位置決具とする）について、添付図面を参照しつつ説明を行う。本実施形態に係る位置決具は、研磨パッドを定盤に対して同心又は略同心に貼り付けるためのものである。
【００１８】
まず、本実施形態に係る研磨パッドについて説明する。研磨パッドは、図１０に示すように、被研磨物を研磨する第一面Ｆ１と、該第一面Ｆ１とは反対側の第二面Ｆ２とを有する。なお、本実施形態に係る研磨パッドＰは、定盤Ｓに貼り付けられる基層Ｐ１と、該基層Ｐ１上に粘着材料（例えば、両面テープ）で貼り付けられる研磨層Ｐ２とを備えている。
【００１９】
また、本実施形態に係る研磨パッドＰは、研磨層Ｐ２の外径が基層Ｐ１の外径よりも大きく設定されている。そのため、研磨パッドＰは、第二面Ｆ２が基層Ｐ１（定盤Ｓと対向する面）と研磨層Ｐ２（基層Ｐ１側の面における、基層Ｐ１の外周端よりも外側に位置する部分）とで構成されている。これに伴い、研磨パッドＰは、第二面Ｆ２が粘着材料により定盤Ｓに貼り付けられるようになっている。
【００２０】
本実施形態に係る位置決具１は、図１乃至図７に示すように、六面体状に形成される。また、位置決具１は、図４に示すように、平面視において、一方向（以下、第一方向とする）における両端部が長手をなし且つ円弧状に形成される。
【００２１】
なお、位置決具１は、研磨パッドＰに取り付けた状態で、視認しやすい色で構成されることが好ましい。そして、本実施形態では、第一方向における位置決具１の一方の面を正面１ａ、第一方向における位置決具１の他方の面を背面１ｂとし、第一方向と直交する方向（以下、第二方向とする）における位置決具１の一方の面を上面１ｃ、第二方向における位置決具１の他方の面を底面１ｄとし、第一方向及び第二方向のそれぞれに直交する方向（以下、第三方向とする）における位置決具１の一方の面を第一側面１ｅ、第三方向における位置決具１の他方の面を第二側面１ｆとして説明をする場合がある。
【００２２】
位置決具１は、図１に示すように、研磨パッドＰの第二面Ｆ２（本実施形態では、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１側の面における、基層Ｐ１の外周端よりも外側に位置する部分）に取り付けられる取付部１０と、定盤Ｓの外周端に当接させる当部１１であって、定盤Ｓの外周に沿って断続的又は連続的に形成される当部１１と、研磨パッドＰの外周端を配置する基準部１２とを備える。
【００２３】
また、位置決具１は、当部１１とは反対側の外周部１３（図３参照）と、当部１１と外周部１３とが並ぶ方向での距離を測定するための測定部１４とを備える。さらに、位置決具１は、図５及び図７に示すように、表面上の異なる位置で開口する貫通穴１５が形成される。
【００２４】
取付部１０は、図１及び図４に示すように、上面１ｃで構成される。また、第一方向における取付部１０の寸法は、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１からの延出量よりも大きく設定される。そのため、取付部１０は、研磨パッドＰの外周縁部に取り付けたときに、該取付部１０の一部が研磨層Ｐ２の外周端よりも外側に位置するようになっている。すなわち、外周部１３は、研磨パッドＰの外周端よりも外側に位置するようになっている。
【００２５】
当部１１は、図１及び図２に示すように、正面１ａの一部（本実施形態では、正面１ａの底面１ｄ側）で構成される。また、当部１１は、外周部１３側に向けて凸となるように湾曲している。より具体的に説明する。当部１１は、第三方向において、両端部側から中央部側になるにつれて外周部１３側に変位している（図４及び図５参照）。
【００２６】
基準部１２は、正面１ａの一部（本実施形態では、正面１ａの上面１ｃ側）で構成される。すなわち、位置決具１は、当部１１と基準部１２とが第二方向で並んでいる。また、位置決具１は、当部１１が取付部１０に直交している。そのため、位置決具１は、研磨パッドＰの外周端が基準部１２を基準として配置された状態で、当部１１が研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置に配置される。
【００２７】
外周部１３は、図１及び図３に示すように、背面１ｂで構成される。また、外周部１３は、当部１１と同様に、第三方向において、両端部側から中央部側になるにつれて当部１１側とは反対側に変位している（図４及び図５参照）。
【００２８】
測定部１４は、図１及び図６に示すように、第一側面１ｅに形成される。より具体的に説明する。測定部１４は、第二方向に沿って延びる複数の目盛１４０を有する。各目盛１４０は、第一方向で互いに間隔をあけて並んでいる。なお、目盛１４０は、第一側面１ｅ上に形成した溝の表面を着色することによって構成される。また、目盛１４０は、研磨パッドＰに取り付けた状態で、視認しやすい色で構成されることが好ましい。
【００２９】
貫通穴１５は、図５及び図７に示すように、底面１ｄ上と第二側面１ｆ上で開口するように形成される。
【００３０】
本実施形態に係る位置決具１は、以上の通りである。続いて、位置決具１を用いて研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付ける方法について、添付図面を参照しつつ説明を行う。
【００３１】
本実施形態に係る位置決具１を用いて研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付けるには、研磨パッドＰの外周端（本実施形態では、基層Ｐ１の外周端）を基準部１２に当接させる。これにより、当部１１を研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置（本実施形態では、研磨層Ｐ２の外周端と対応する位置）に配置することができる。
【００３２】
そして、図８に示すように、取付部１０を研磨パッドＰの第二面Ｆ２（本実施形態では、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１側の面における、基層Ｐ１の外周端よりも外側に位置する部分）に取り付けることによって、当部１１と研磨パッドＰとの位置関係を固定することができる。
【００３３】
さらに、同様の方法で研磨パッドＰに別の位置決具１を取り付ける。なお、研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けることができれば、研磨パッドＰに取り付ける位置決具１の数は、特に限定されるものではない。
【００３４】
そして、図９に示すように、位置決具１の当部１１を定盤Ｓに当接させることによって、基層Ｐ１の外周端の位置と、定盤Ｓの外周端の位置とを対応させることができる。すなわち、研磨パッドＰを定盤Ｓに対して同心又は略同心となる位置に配置することができる。そして、図１０に示すように、研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けた後に、位置決具１を研磨パッドＰから取り外す。
【００３５】
以上のように、本実施形態に係る位置決具１によれば、基準部１２と対応する位置に研磨パッドＰの外周端を配置することによって、当部１１を研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置に配置することができる。そのため、位置決具１は、当部１１を定盤Ｓの外周端に当接させることによって、研磨パッドＰを定盤Ｓに対して同心又は略同心となる位置に配置することができる。従って、位置決具１は、簡単に研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けることができるという優れた効果を奏し得る。
【００３６】
また、位置決具１は、基準部１２が取付部１０に直交するため、基準部１２を研磨パッドＰの外周端に当接させることができる。そのため、位置決具１は、研磨パッドＰの第二面Ｆ２に取付部１０を取り付けるにあたり、研磨パッドＰの外周端（本実施形態では、基層Ｐ１の外周端）と基準部１２とを容易に対応させることができる。
【００３７】
そして、位置決具１は、当部１１と外周部１３との間に形成される目盛１４０で構成される測定部１４を備える。そのため、位置決具１は、例えば、研磨パッドＰの外周端の周囲に配置されている外部機器に背面１ｂを当接させることで、研磨パッドＰの外周端と、該外部機器との間隔を測定することもできる。
【００３８】
さらに、位置決具１は、表面上の異なる部分で開口する貫通穴１５が形成されるため、該貫通穴１５にストラップ等を取り付けることができる。従って、位置決具１は、貫通穴１５に取り付けられたストラップ等を作業者が保持することによって、研磨パッドＰと外部機器との間や、研磨パッドＰ上に落下してしまうことを防止することができる。
【００３９】
本発明の第一実施形態に係る位置決具の説明は、以上の通りである。続いて、本発明の第二実施形態に係る位置決具について、添付図面を参照しつつ説明を行う。
【００４０】
本実施形態に係る研磨パッドＰは、図１４に示すように、上記第一実施形態で説明した研磨パッドＰと同様の構成である。
【００４１】
位置決具１は、図１１に示すように、研磨パッドＰの第二面Ｆ２（本実施形態では、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１側の面における、基層Ｐ１の外周端よりも外側に位置する部分）に取り付けられる取付部２０と、定盤Ｓの外周端に当接させる当部２１であって、定盤Ｓの外周に沿って断続的又は連続的に形成される当部２１と、研磨パッドＰの外周端を配置する基準部３０とを備える。
【００４２】
なお、本実施形態に係る位置決具１は、六面体状の本体部２と、該本体部２に接合される壁部３とを備えている。そして、本体部２が取付部２０及び当部２１を有し、壁部３が基準部３０を有する。
【００４３】
本体部２は、取付部２０を研磨パッドＰの外周縁部に取り付けた状態で研磨パッドＰの外周縁部よりも外側に位置する外周部２２を備える。
【００４４】
本実施形態に係る本体部２は、六面体状に形成される。また、本体部２は、平面視において、一方向（以下、第一方向とする）における両端部が長手をなし且つ円弧状に形成される。
【００４５】
なお、本実施形態において、第一方向における本体部２の一方の面を正面２ａ、第一方向における本体部２の他方の面を背面２ｂとし、第一方向と直交する方向（以下、第二方向とする）における本体部２の一方の面を上面２ｃ、第二方向における本体部２の他方の面を底面２ｄとし、第一方向及び第二方向のそれぞれに直交する方向（以下、第三方向とする）における本体部２の一方の面を第一側面２ｅ、第三方向における本体部２の他方の面を第二側面２ｆとして説明をする場合がある。
【００４６】
取付部２０は、本体部２の上面２ｃで構成される。また、第一方向における取付部２０の寸法は、研磨パッドＰにおける定盤Ｓの外周端に対応する部分から研磨パッドＰの外周端までの寸法と同一又は略同一に設定される。
【００４７】
当部２１は、正面２ａ全体で構成される。また、当部２１は、外周部２２側に向けて凸となるように湾曲している。より具体的に説明する。当部２１は、第三方向において、両端部側から中央部側になるにつれて外周部２２側に変位している（図４及び図５参照）。
【００４８】
外周部２２は、背面２ｂで構成される。また、外周部２２は、当部２１と同様に、第三方向において、両端部側から中央部側になるにつれて当部２１側とは反対側に変位している。
【００４９】
壁部３は、第二方向で基準部３０に連設される接合部３１であって、本体部２の外周部２２（背面２ｂ）に接合される接合部３１を有する。基準部３０は、取付部２０に直交する。そして、接合部３１は、基準部３０と第二方向で並んでいる。そのため、位置決具１は、研磨パッドＰの外周端が基準部３０を基準として配置された状態で、当部２１が研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置に配置される。
【００５０】
なお、壁部３も、本体部２と同様に、研磨パッドＰに本体部２が取り付けられている状態で、視認しやすい色で構成されることが好ましい。
【００５１】
本実施形態に係る位置決具１は、以上の通りである。続いて、位置決具１を用いて研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付ける方法について、添付図面を参照しつつ説明を行う。
【００５２】
本実施形態に係る位置決具１を用いて研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付けるには、まず、基準部３０を基準として研磨パッドＰの外周端を配置する。より具体的に説明する。研磨パッドＰの外周端（本実施形態では、基層Ｐ１の外周端）を基準部３０に当接させて配置する。これにより、当部２１を研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置（本実施形態では、研磨層Ｐ２の外周端と対応する位置）に配置することができる。
【００５３】
そして、図１２に示すように、取付部２０を研磨パッドＰの第二面Ｆ２（本実施形態では、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１側の面における、基層Ｐ１の外周端よりも外側に位置する部分）に取り付けることによって、当部２１と研磨パッドＰとの位置関係を固定することができる。
【００５４】
さらに、同様の方法で研磨パッドＰに別の位置決具１を取り付ける。なお、研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けることができれば、研磨パッドＰに取り付ける位置決具１の数は、特に限定されるものではない。
【００５５】
そして、図１３に示すように、位置決具１の当部２１を定盤Ｓに当接させることによって、基層Ｐ１の外周端の位置と、定盤Ｓの外周端の位置とを対応させることができる。すなわち、研磨パッドＰを定盤Ｓに対して同心又は略同心となる位置に配置することができる。そして、図１４に示すように、研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けた後に、位置決具１を研磨パッドＰから取り外す。
【００５６】
以上のように、本実施形態に係る位置決具１によれば、基準部３０を基準として研磨パッドＰの外周端を配置することによって、当部２１を研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置に配置することができる。そのため、位置決具１は、当部２１を定盤Ｓの外周端に当接させることによって、研磨パッドＰを定盤Ｓに対して同心又は略同心となる位置に配置することができる。従って、位置決具１は、簡単に研磨パッドＰを定盤Ｓの適正な位置に貼り付けることができるという優れた効果を奏し得る。
【００５７】
また、位置決具１は、基準部３０が取付部２０に直交するため、基準部３０を研磨パッドＰの外周端に当接させることができる。そのため、位置決具１は、研磨パッドＰの第二面Ｆ２に取付部２０を取り付けるにあたり、研磨パッドＰの外周端（本実施形態では、基層Ｐ１の外周端）と基準部３０とを容易に対応させることができる。
【００５８】
尚、本発明に係る研摩パッドは、上記第一実施形態及び上記第二実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を行うことは勿論である。
【００５９】
また、上記第一実施形態に係る位置決具１は、研磨層Ｐ２の外径が基層Ｐ１の外径よりも大きく設定される研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付けることを前提としていたが、これに限定されるものではなく、例えば、位置決具１は、研磨層Ｐ２の外径と基層Ｐ１の外径とが同一又は略同一に設定される研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付けるようにすることもできる。
【００６０】
より具体的に説明する。上記第一実施形態において、第一方向における取付部１０の寸法は、研磨層Ｐ２の基層Ｐ１からの延出量よりも大きくなるように設定されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、第一方向における取付部１０の寸法は、研磨パッドＰにおける定盤Ｓの外周端に対応する部分から研磨パッドＰの外周端までの寸法と同一又は略同一に設定してもよい。このようにする場合、外周部１３を研磨パッドＰの研磨層Ｐ２の外周端（基層Ｐ１の外周端及び研磨層Ｐ２の外周端）に対応させることによって、当部１１を研磨パッドＰと同心又は略同心の定盤Ｓの外周端に当接可能な位置に配置することができる。
【００６１】
また、上記第一実施形態に係る位置決具１は、一つの基準部１２を備えるようになっていたが、例えば、複数の基準部１２を備えるようにしてもよい。より具体的に説明する。上記第一実施形態に係る位置決具１は、例えば、図１５に示すように、取付部１０の表面をステップ状に（すなわち、第一方向における一方側から他方側になるにつれて、第二方向で段階的に変位するように）形成することで、複数の基準部１２を備えるようにしてもよい。
【００６２】
また、上記第一実施形態に係る基準部１２は、取付部１０に直交するように形成されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、図１６に示すように、取付部１０上に形成されたマーク１６によって構成されていてもよい。このようにする場合、例えば、マーク１６は、取付部１０上に形成した溝の表面を着色したり、取付部１０上に印字したりすることによって構成してもよい。
【００６３】
また、上記第一実施形態において、目盛１４０は、第一側面１ｅ上に形成した溝の表面を着色することによって構成されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、第一側面１ｅ上に印字されていてもよい。
【００６４】
また、上記第二実施形態に係る位置決具１は、研磨層Ｐ２の外径が基層Ｐ１の外径よりも大きく設定される研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付けることを前提としていたが、これに限定されるものではなく、例えば、位置決具１は、研磨層Ｐ２の外径と基層Ｐ１の外径とが同一又は略同一に設定される研磨パッドＰを定盤Ｓに貼り付ける際に用いることもできる。この場合、研磨パッドＰの外周端（基層Ｐ１の外周端及び研磨層Ｐ２の外周端）を基準部３０に当接させることによって、該研磨パッドＰを配置することができる。
【００６５】
上記第第二実施形態において、特に言及しなかったが、本体部２は、各面同士の境目が丸みを帯びていてもよい。また、図１５，図１６に示す位置決具１も、各面同士の境目が丸みを帯びるようにしてもよいし、図１７に示す本体部２も、各面同士の境目が丸みを帯びるようにしてもよい。
【００６６】
また、上記第二実施形態において、特に言及しなかったが、本体部２は、上記第一実施形態と同様に、測定部を備えていてもよい。また、本体部２には、上記第一実施形態と同様に、貫通穴が形成されていてもよい。なお、図１５、図１６に示す位置決具１も、測定部を備えるようにしたり、貫通穴を形成したりしてもよい。さらに、図１７に示す位置決具１における本体部２も、上記第一実施形態と同様に、測定部を有するようにしたり、貫通穴を形成したりしてもよい。
【００６７】
また、上記第二実施形態において、壁部３は、基準部３０と、接合部３１とを有するように構成されていたが、これに限定されるものではなく、例えば、図１７に示すように、壁部３は、基準部３０と、接合部３１とに加えて、接合部３１から延出する延出部３２を有するように構成されていてもよい。このようにすれば、延出部３２に外力を作用させることによって、研磨パッドＰの外周縁部から本体部２の取付部２０を簡単に取り外すことができる。
【００６８】
なお、上記第一実施形態に係る位置決具１も、底面１ｄから延出する構成を有するようにすれば、研磨パッドＰの外周縁部から取付部１０を簡単に取り外すことができるようになる。
【符号の説明】
【００６９】
１…位置決具、１ａ，２ａ…正面、１ｂ，２ｂ…背面、１ｃ，２ｃ…上面、１ｄ，２ｄ…底面、１ｅ，２ｅ…第一側面、１ｆ，２ｆ…第二側面、１０，２０…取付部、２…本体部、３…壁部、１１，２１…当部、１２，３０…基準部、１３，２２…外周部、１４…測定部、１５…貫通穴、１６…マーク、１４０…目盛、３１…接合部、３２…延出部、Ｆ１…第一面、Ｆ２…第二面、Ｐ…研磨パッド、Ｐ１…基層、Ｐ２…研磨層、Ｓ…定盤
【図１】
2015226962.tif 000003
【図２】
2015226962.tif 000004
【図３】
2015226962.tif 000005
【図４】
2015226962.tif 000006
【図５】
2015226962.tif 000007
【図６】
2015226962.tif 000008
【図７】
2015226962.tif 000009
【図８】
2015226962.tif 000010
【図９】
2015226962.tif 000011
【図１０】
2015226962.tif 000012
【図１１】
2015226962.tif 000013
【図１２】
2015226962.tif 000014
【図１３】
2015226962.tif 000015
【図１４】
2015226962.tif 000016
【図１５】
2015226962.tif 000017
【図１６】
2015226962.tif 000018
【図１７】
2015226962.tif 000019