(57)【要約】【課題】光学部材の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることが可能な欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システムを提供する。【解決手段】偏光子を含む光学部材の欠陥検査装置であって、光学部材の一方側に配置され、光学部材に光を照射する光源と、光学部材の他方側に配置され、光学部材の透過光像を撮像する撮像装置と、光源と光学部材との間の光路上に配置され、偏光子の吸収軸と直交する第１の吸収軸を有する第１偏光フィルターと、撮像装置と光学部材との間の光路上に配置され、偏光子の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルターと、第１偏光フィルターを光源と光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第１移動装置と、第２偏光フィルターを撮像装置と光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第２移動装置と、を含む。【選択図】図２
2015040782.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光子を含む光学部材の欠陥検査装置であって、
前記光学部材の一方側に配置され、前記光学部材に光を照射する光源と、
前記光学部材の他方側に配置され、前記光学部材の透過光像を撮像する撮像装置と、
前記光源と前記光学部材との間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する第１の吸収軸を有する第１偏光フィルターと、
前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルターと、
前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第１移動装置と、
前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第２移動装置と、
を含む欠陥検査装置。
【請求項２】
第１の撮像モードにおいて、前記第１移動装置によって前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路上に移動させるとともに前記偏光子の吸収軸と前記第１の吸収軸とを直交して配置させ、且つ、前記第２移動装置によって前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上からずれた位置に移動させ、
第２の撮像モードにおいて、前記第１移動装置によって前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路上からずれた位置に移動させ、且つ、前記第２移動装置によって前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上に移動させるとともに前記偏光子の吸収軸と前記第２の吸収軸とを直交して配置させる制御を行う制御装置をさらに含む請求項１に記載の欠陥検査装置。
【請求項３】
偏光子を含む光学部材の製造システムであって、
前記光学部材を製造する光学部材の製造装置と、
前記光学部材の欠陥の有無を検査する請求項１または２に記載の欠陥検査装置と、
を含む光学部材の製造システム。
【請求項４】
前記光学部材は、
偏光子と、前記偏光子の一方の面上に積層された第１保護層と、前記偏光子の他方の面上に積層された第２保護層と、を含み、
前記光学部材の製造装置は、
前記偏光子を供給する第１供給部と、
前記偏光子の供給経路の一方側に配置され、前記第１保護層と、前記第１保護層の一方の面上に積層された第３保護層と、を含む積層部材を供給する第２供給部と、
前記偏光子の供給経路の他方側に配置され、前記第２保護層を供給する第３供給部と、
前記偏光子の供給経路の一方側に配置され、前記積層部材から前記第３保護層を剥離させて前記第１保護層とする剥離部と、
を含む請求項３に記載の光学部材の製造システム。
【請求項５】
光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、
前記光学部材を搬送するための搬送装置と、
前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、
前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する請求項１または２に記載の欠陥検査装置と、
を含む光学表示デバイスの生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
偏光子を含む光学部材の欠陥検査装置として、特許文献１に記載の欠陥検査装置が知られている。特許文献１の欠陥検査装置は、光学部材の一方側に配置された光源と、光学部材の他方側に配置された撮像装置と、撮像装置と光学部材との間の光路上に配置され、偏光子の吸収軸と直交する吸収軸を有する偏光フィルターと、を備えている。
【０００３】
欠陥検査装置は、光学部材の製造ラインや、光学部材を液晶パネルなどの貼合対象物に向けて搬送する搬送ラインに設置される。例えば、光学部材の製造ラインでは、偏光子の両面に保護層となる保護フィルムを貼合し、ロール状に巻き取って光学部材の原反ロールを製造する。欠陥検査装置は、偏光子の片面もしくは両面に保護フィルムを積層した積層フィルムの搬送ライン上に設置され、偏光子と保護フィルムとの間の異物欠陥等の有無を検査する。
【０００４】
欠陥検査装置では、通常、光学部材の貼合面側（液晶パネルなどの貼合対象物と貼合される面側）の欠陥の有無を検査する。そのため、偏光フィルターは、光学部材の貼合面側に設置される。
【０００５】
例えば、特許文献１の欠陥検査装置では、光学部材の搬送ラインの下方に光源が設置され、搬送ラインの上方に偏光フィルターと撮像装置が設置されている。
【０００６】
偏光子とその上面側（貼合面側）の保護フィルムとの間に異物が存在する場合、光源から照射された光は、偏光子によって直線偏光に変換され、その一部が異物によって散乱される。散乱された光の一部は偏光状態が乱され、偏光フィルターを透過して、撮像装置によって輝点として検出される。
【０００７】
一方、偏光子とその下面側（貼合面とは反対側）の保護フィルムとの間に異物が存在する場合、光源から照射された光は、異物によって散乱された後、偏光子に入射し、直線偏光に変換される。この直線偏光は、偏光子と偏光フィルターとの間に偏光状態を乱す異物等の欠陥が存在しない限り、偏光フィルターを透過しない。よって、撮像装置では、暗視野が維持され、欠陥は検出されない。
【０００８】
このように偏光フィルターを光学部材の貼合面側に設置することにより、光学部材の貼合面側の欠陥のみを選択的に検査することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−２１２４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
光学部材の上面と下面のどちらの面を貼合面とするかは予め決められており、欠陥検査装置の光源、撮像装置および偏光フィルターの配置もそれに応じて固定されている。通常は、特許文献１のように、光学部材の上面が貼合面となっており、偏光フィルターも光学部材の上方に設置されている。
【００１１】
ここで、偏光子を含む光学部材としては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ：Poly Vinyl Alcohol）からなる偏光子の両面に保護層となるトリアセチルセルロース（ＴＡＣ：TriAcetyl Cellulose）が積層された偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）が知られている。近年では、偏光板の多様化が進んでおり、偏光子の両面に積層されたＴＡＣのうち一方のＴＡＣを別のフィルムに置き換えた偏光板も提案されている。
【００１２】
本出願人においても一方のＴＡＣを別のフィルムに置き換えた光学部材の開発を進めている。詳細は［発明を実施するための形態］の項で説明するが、このような偏光板では、ＴＡＣ側を貼合面とするか他のフィルム側を貼合面とするかによって、最終製品の反り等の状態が異なることが、本発明者の検討によって明らかになっている。
【００１３】
よって、上述の欠陥検査装置を用いてこのような偏光板の欠陥検査を行う場合には、ＴＡＣと他のフィルムのどちらか好ましい方を偏光子の上面側に貼合することになる。しかし、光学部材の製造ラインの構成上、他のフィルムの搬送ラインの位置が偏光子の搬送ラインの上方側または下方側のいずれに決まってしまい、目的とする欠陥検査が行えない場合がある。
【００１４】
例えば、他のフィルムが表面に傷を生じやすいフィルムである場合、他のフィルムの表面に保護フィルムを積層しておき、偏光子と他のフィルムを貼合する際に保護フィルムを他のフィルムから剥離する方法が考えられる。この場合、偏光子と他のフィルムとを貼合する直前にナイフエッジ等の剥離機構を設置し、保護フィルムを他のフィルムから剥離しながら剥離後の他のフィルムを偏光子に貼合することになる。
【００１５】
しかしながら、製造ラインの構成上、剥離機構の設置スペースが、偏光子の搬送ラインの上方側または下方側のいずれか一方にしか設けられない場合がある。その場合には、他のフィルムの搬送ラインの位置も偏光子の搬送ラインの上方側または下方側のいずれか一方に限定されることになる。仮に、他のフィルムの搬送ラインが偏光子の搬送ラインの上方側に限定され、且つ、他のフィルムが光学部材の貼合面側とは反対側に貼合されるものである場合、上述の欠陥検査装置では光学部材の貼合面側の欠陥検査は行えなくなる。
【００１６】
そこで、光学部材の構成に応じて光源と撮像装置および偏光フィルターの位置を入れ替えることが考えられるが、この場合、装置構成の大幅な変更が必要となり、装置の入れ替え作業にも多くの時間を要する。また、光学部材の構成ごとに別々の欠陥検査装置を用意する必要があり、現実的ではない。このような背景から、光学部材の構成に応じて、光学部材の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることが可能な欠陥検査装置が求められていた。
【００１７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、光学部材の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることが可能な欠陥検査装置及び光学表示デバイスの生産システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の目的を達成するために、本発明は以下の手段を採用した。
（１）すなわち、本発明の第一の態様に係る欠陥検査装置は、偏光子を含む光学部材の欠陥検査装置であって、前記光学部材の一方側に配置され、前記光学部材に光を照射する光源と、前記光学部材の他方側に配置され、前記光学部材の透過光像を撮像する撮像装置と、前記光源と前記光学部材との間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する第１の吸収軸を有する第１偏光フィルターと、前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上に配置され、前記偏光子の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルターと、前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第１移動装置と、前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路に向けて進退移動させる第２移動装置と、を含むことを特徴とする。
【００１９】
（２）上記（１）に記載の欠陥検査装置では、第１の撮像モードにおいて、前記第１移動装置によって前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路上に移動させるとともに前記偏光子の吸収軸と前記第１の吸収軸とを直交して配置させ、且つ、前記第２移動装置によって前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上からずれた位置に移動させ、第２の撮像モードにおいて、前記第１移動装置によって前記第１偏光フィルターを前記光源と前記光学部材との間の光路上からずれた位置に移動させ、且つ、前記第２移動装置によって前記第２偏光フィルターを前記撮像装置と前記光学部材との間の光路上に移動させるとともに前記偏光子の吸収軸と前記第２の吸収軸とを直交して配置させる制御を行う制御装置をさらに含んでいてもよい。
【００２０】
（３）本発明の第一の態様に係る光学部材の製造システムは、偏光子を含む光学部材の製造システムであって、前記光学部材を製造する光学部材の製造装置と、前記光学部材の欠陥の有無を検査する上記（１）または（２）に記載の欠陥検査装置と、を含むことを特徴とする。
【００２１】
（４）上記（３）に記載の光学部材の製造システムでは、前記光学部材は、偏光子と、前記偏光子の一方の面上に積層された第１保護層と、前記偏光子の他方の面上に積層された第２保護層と、を含み、前記光学部材の製造装置は、前記偏光子を供給する第１供給部と、前記偏光子の供給経路の一方側に配置され、前記第１保護層と、前記第１保護層の一方の面上に積層された第３保護層と、を含む積層部材を供給する第２供給部と、前記偏光子の供給経路の他方側に配置され、前記第２保護層を供給する第３供給部と、前記偏光子の供給経路の一方側に配置され、前記積層部材から前記第３保護層を剥離させて前記第１保護層とする剥離部と、を含んでいてもよい。
【００２２】
（５）本発明の第一の態様に係る光学表示デバイスの生産システムは、光学表示部品に光学部材を貼合してなる光学表示デバイスの生産システムであって、前記光学部材を搬送するための搬送装置と、前記搬送装置で搬送された前記光学部材を前記光学表示部品に貼り合わせて前記光学表示デバイスを作製する貼合装置と、前記搬送装置から前記貼合装置に搬送される前記光学部材の欠陥の有無を検査する上記（１）または（２）に記載の欠陥検査装置と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、光学部材の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることが可能な欠陥検査装置、光学部材の製造システム及び光学表示デバイスの生産システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る光学フィルムの製造システムを示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の側面図である。
【図３】第１偏光フィルターの第１の吸収軸（第２偏光フィルターの第２の吸収軸）と偏光子フィルムの吸収軸との配置関係を説明するための図である。
【図４】欠陥検査装置による欠陥の検査原理を説明するための図である。
【図５】欠陥検査装置による欠陥の検査原理を説明するための図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置の平面図である。
【図７】偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルに対する貼り合わせ例を示す図である。
【図８】偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルに対する貼り合わせ例を示す図である。
【図９】偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の第１の撮像モードにおける欠陥検査装置を説明するための図である。
【図１０】偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の第１の撮像モードにおける偏光板の液晶パネルに対する貼り合わせ例を示す図である。
【図１１】偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の第１の撮像モードにおける欠陥検査装置を説明するための図である。
【図１２】偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の第１の撮像モードにおける偏光板の液晶パネルに対する貼り合わせ例を示す図である。
【図１３】第２の撮像モードにおける欠陥検査装置を説明するための図である。
【図１４】第２の撮像モードにおける偏光板の液晶パネルに対する貼り合わせ例を示す図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係るフィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係るフィルム貼合システムの装置構成を示す側面図である。
【図１７】液晶パネルの平面図である。
【図１８】偏光フィルムシートの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２６】
尚、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。また、以下の説明及び図面中、同一又は相当する要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２７】
（光学部材の製造システム）
図１は、本発明の一実施形態に係る光学部材の製造システムである光学フィルムの製造システム１００の一例を示す側面図である。以下、光学フィルムとして偏光フィルムを製造する例を説明するが、光学フィルムは、少なくとも偏光子フィルムを含むものであれば、偏光フィルムの他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等の複数の光学素子を積層したものでもよい。
【００２８】
以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、長尺の光学フィルムの搬送方向をＸ方向としており、光学フィルムの面内においてＸ方向に直交する方向（長尺の光学フィルムの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。
【００２９】
図１に示すように、光学フィルムの製造システム１００は、光学フィルムＦ１０を製造する光学フィルムの製造装置１０１（光学部材の製造装置）と、光学フィルムＦ１０の欠陥の有無を検査する欠陥検査装置１０２と、を備えている。
【００３０】
本実施形態で使用される光学フィルムＦ１０（光学部材）は、例えば、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）等からなる偏光子フィルムＦ１１（偏光子）が、保護フィルムとしてのＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）フィルムＦ１３（第１保護層）とＴＡＣ（トリアセチルセルロース）フィルムＦ１５（第２保護層）とによって挟まれた構造である。
【００３１】
尚、保護フィルムとしては、ＴＡＣフィルムやＣＯＰフィルムの他にも、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）フィルム、ＭＭＡ（メチルメタクリレート）フィルム等を用いることができる。
【００３２】
光学フィルムの製造装置１０１は、偏光子フィルムＦ１１を供給する第１供給部１１０と、ＣＯＰフィルムＦ１３とＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４（第３保護層）とを有する積層フィルムＦ１２を供給する第２供給部１１１と、ＴＡＣフィルムＦ１５を供給する第３供給部１１２と、積層フィルムＦ１２からＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４を剥離させてＣＯＰフィルムＦ１３とする剥離部１１３と、偏光子フィルムＦ１１、ＣＯＰフィルムＦ１３、ＴＡＣフィルムＦ１５の３枚のフィルムを積層して１枚の光学フィルムＦ１０を製造するフィルム積層装置１１４と、光学フィルムＦ１０を巻き取る巻き取り部１１５と、を備えている。
【００３３】
第１供給部１１０は、帯状の偏光子フィルムＦ１１を巻回した原反ロールＲ１１を保持すると共に偏光子フィルムＦ１１をその長手方向に沿って繰り出す。
【００３４】
第２供給部１１１は、帯状の積層フィルムＦ１２を巻回した原反ロールＲ１２を保持すると共に積層フィルムＦ１２をその長手方向に沿って繰り出す。第２供給部１１１は、偏光子フィルムＦ１１の供給経路の一方側（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置されている。
【００３５】
第３供給部１１２は、帯状のＴＡＣフィルムＦ１５を巻回した原反ロールＲ１５を保持すると共にＴＡＣフィルムＦ１５をその長手方向に沿って繰り出す。第３供給部１１２は、偏光子フィルムＦ１１の供給経路の他方側（図１に示す−Ｚ方向側）に配置されている。
【００３６】
剥離部１１３は、第２供給部１１１から繰り出されてきた積層フィルムＦ１２からＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４を剥離し、ロールに巻き取る構成である。剥離部１１３は、ナイフエッジ１１３ａと、巻き取り部１１３ｂと、を有する。
【００３７】
ＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４は、ＣＯＰフィルムＦ１３の一方の面上（偏光子フィルムＦ１１と貼合される貼合面上）に積層されている。これにより、ＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４の表面（偏光子フィルムＦ１１と貼合される貼合面）に傷が付くことを抑制することができる。
【００３８】
ナイフエッジ１１３ａは、積層フィルムＦ１２の幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ１１３ａは、原反ロールＲ１２から巻き出した積層フィルムＦ１２のＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４側に摺接するようにこれを巻きかける。ナイフエッジ１１３ａは、その先端部に積層フィルムＦ１２を鋭角に巻きかける。ナイフエッジ１１３ａは、その先端部で積層フィルムＦ１２を鋭角に折り返す際、ＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４からＣＯＰフィルムＦ１３を分離させる。ナイフエッジ１１３ａは、このＣＯＰフィルムＦ１３をフィルム積層装置１１４に供給する。
【００３９】
巻き取り部１１３ｂは、ナイフエッジ１１３ａを経て単独となったＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４を巻き取り、剥離ロールＲ１４として保持する。
【００４０】
剥離部１１３は、偏光子フィルムＦ１１の供給経路の一方側（図１に示す＋Ｚ方向側）において第１供給部１１０と第２供給部１１１との間に配置されている。
【００４１】
尚、第２供給部１１１、第３供給部１１２及び剥離部１１３の配置構成は、これに限らない。例えば、第２供給部１１１及び剥離部１１３の双方が偏光子フィルムＦ１１の供給経路の他方側（図１に示す−Ｚ方向側）に配置され、且つ、第３供給部１１２が偏光子フィルムＦ１１の供給経路の一方側（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置されていてもよい。
【００４２】
フィルム積層装置１１４には、一対のローラー１１４ａ，１１４ｂが上下に設けられている。この両ローラー１１４ａ，１１４ｂの間に偏光子フィルムＦ１１、ＣＯＰフィルムＦ１３、ＴＡＣフィルムＦ１５が重ね合わされて供給される。そして、両ローラー１１４ａ，１１４ｂによって押圧されることにより、偏光子フィルムＦ１１、ＣＯＰフィルムＦ１３、ＴＡＣフィルムＦ１５が貼合され、１枚の光学フィルムＦ１０が製造される。尚、ＣＯＰフィルムＦ１３及びＴＡＣフィルムＦ１５の表面に剥離フィルムや保護フィルムなどがさらに積層されていてもよい。当該光学フィルムＦは、図示しない搬送ローラーによって、欠陥検査装置１０２に向けて搬送される。
【００４３】
欠陥検査装置１０２は、光学フィルムＦ１０の上方（図１に示す＋Ｚ方向側）に配置された光源１２０と、光学フィルムＦ１０の下方（図１に示す−Ｚ方向側）に配置された撮像装置１２２と、光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置された第１偏光フィルター１２１と、撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置された第２偏光フィルター１２３と、を備えている。尚、欠陥検査装置１０２の詳細については後述する。  
【００４４】
欠陥検査装置１０２で検出された光学フィルムＦ１０の欠陥のデータは、光学フィルムＦ１０の位置（光学フィルムＦ１０の長手方向の位置及び幅方向の位置）と関連付けられて記憶装置に記憶される。欠陥検査装置１０２で検査された光学フィルムＦ１０は、巻き取り部１１５に向けて搬送される。そして、巻き取り部１１５においてロール状に巻き取られ、光学フィルムＦ１０のロール原反Ｒ１０が製造される。
【００４５】
（欠陥検査装置）
図２は、本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置１０２の側面図である。
図２において、符号Ｓｆ１は光学フィルムＦ１０の上面（光学部材の一方側の面）であり、ＣＯＰフィルムＦ１３側の面である。符号Ｓｆ２は光学フィルムＦ１０の下面（光学部材の他方側の面）であり、ＴＡＣフィルムＦ１５側の面である。
【００４６】
図２に示すように、本実施形態の欠陥検査装置１０２は、光学フィルムＦ１０の上面Ｓｆ１の側に配置された光源１２０と、光学フィルムＦ１０の下面Ｓｆ２の側に配置された撮像装置１２２と、光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置された第１偏光フィルター１２１と、撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置された第２偏光フィルター１２３と、第１偏光フィルター１２１を光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路に向けて進退移動させる第１移動装置１３０と、第２偏光フィルター１２３を撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路に向けて進退移動させる第２移動装置１３１と、制御装置１３２と、を備えている。
【００４７】
制御装置１３２は、第１偏光フィルター１２１及び第２偏光フィルター１２３のそれぞれの進退移動を制御する。制御装置１３２は、第１移動装置１３０及び第２移動装置１３１の各々を独立に制御可能である。
【００４８】
光源１２０の光射出面１２０ａの中心と撮像装置１２２の受光面１２２ａの中心とは、同軸（光軸ＣＬ上）に配置されている。
【００４９】
図３は、第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸Ｖ１（第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸Ｖ２）と偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０との配置関係を説明するための図である。
【００５０】
図３に示すように、第１偏光フィルター１２１は、偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０と直交する第１の吸収軸Ｖ１を有する。第１偏光フィルター１２１は、光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路上において、第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸Ｖ１と偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０とが互いに直交して配置（クロスニコル配置）される。
【００５１】
第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸Ｖ１と偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０とをクロスニコル配置させると、第１偏光フィルター１２１と偏光子フィルムＦ１１との重なり部分ＳＶ１においては光を透過しない。そのため、撮像装置１２２によって重なり部分ＳＶ１を撮像すると、第１偏光フィルター１２１と偏光子フィルムＦ１１との間に位相差を有する欠陥等の偏光状態を乱すものが配置されていない限り、暗視野に見える。
【００５２】
第２偏光フィルター１２３は、偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０と直交する第２の吸収軸Ｖ２を有する。第２偏光フィルター１２３は、撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路上において、第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸Ｖ２と偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０とが互いに直交して配置（クロスニコル配置）される。
【００５３】
第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸Ｖ２と偏光子フィルムＦ１１の吸収軸Ｖ０とをクロスニコル配置させても、第２偏光フィルター１２３と偏光子フィルムＦ１１との重なり部分ＳＶ２においては光を透過しない。そのため、撮像装置１２２によって重なり部分ＳＶ２を撮像しても、第２偏光フィルター１２３と偏光子フィルムＦ１１との間に位相差を有する欠陥等の偏光状態を乱すものが配置されていない限り、暗視野に見える。
【００５４】
図４及び図５は、欠陥検査装置１０２による欠陥Ｅ１の検査原理を説明するための図である。図４は、ＣＯＰフィルムＦ１３に欠陥Ｅ１が存在する場合の図である。図５は、ＣＯＰフィルムＦ１３には欠陥が存在しないが、ＴＡＣフィルムＦ１５に欠陥Ｅ２が存在する場合の図である。尚、図４及び図５においては、便宜上、第２偏光フィルター１２３、第１移動装置１３０、第２移動装置１３１及び制御装置１３２の図示を省略している。
【００５５】
図４に示すように、光源１２０から光学フィルムＦ１０に向けて射出された光Ｌ１は、第１偏光フィルター１２１によって直線偏光Ｌ２とされる。第１偏光フィルター１２１により得られた直線偏光Ｌ２は、ＣＯＰフィルムＦ１３に入射する。すると、ＣＯＰフィルムＦ１３に存在する欠陥Ｅ１により直線偏光Ｌ２の偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部（光Ｌ３）が偏光子フィルムＦ１１を透過する。その結果、偏光子フィルムＦ１１を透過した光Ｌ３が撮像装置１２２に入射し、撮像装置１２２によって欠陥Ｅ１が輝点として明るく撮像される。
【００５６】
図５に示すように、光源１２０から光学フィルムＦ１０に向けて射出された光Ｌ１は、第１偏光フィルター１２１によって直線偏光Ｌ２とされる。第１偏光フィルター１２１により得られた直線偏光Ｌ２は、ＣＯＰフィルムＦ１３に入射する。すると、ＣＯＰフィルムＦ１３には欠陥が存在しないため、直線偏光Ｌ２は偏光子フィルムＦ１１を透過することができない。その結果、撮像装置１２２には光が入射しないため、撮像装置１２２では黒い画像が撮像される。この場合、ＴＡＣフィルムＦ１５に存在する欠陥Ｅ２は見えない。
【００５７】
このように、輝点の存在を検出することで、ＣＯＰフィルムＦ１３の欠陥Ｅ１の有無を判定することができる。例えば、撮像装置１２２によって輝点が撮像された場合、ＣＯＰフィルムＦ１３には「欠陥有り」と判定される。一方、撮像装置１２２によって黒い画像が撮像された場合（何も撮像されない場合）、ＣＯＰフィルムＦ１３には「欠陥無し」と判定される。
【００５８】
図６は、欠陥検査装置１０２の平面図である。図６では、便宜上、光学フィルムＦ１０を図示している。
【００５９】
図６に示すように、欠陥検査装置１０２を構成する光源１２０の光射出面１２０ａは、長方形であり、Ｙ方向に沿って長手を有している。本実施形態において、光源１２０の光射出面１２０ａは、光学フィルムＦ１０の搬送方向と直交する幅方向に沿って長手を有している。光源１２０の光射出面１２０ａは、光学フィルムＦ１０に対して幅方向に跨って形成されている。例えば、光源１２０としては、メタルハライドランプを用いることができる。
【００６０】
第１偏光フィルター１２１は、光源１２０の光射出面１２０ａの外周部と重なるように配置されている。第１偏光フィルター１２１は、光源１２０の光射出面１２０ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。第１偏光フィルター１２１は、Ｘ方向及びＹ方向の各々において光源１２０の光射出面１２０ａよりも長くなっている。
【００６１】
これにより、第１偏光フィルター１２１が光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置された場合において、光源１２０から射出された光はすべて第１偏光フィルター１２１に入射する。
【００６２】
撮像装置１２２も、光源１２０の光射出面１２０ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。例えば、撮像装置１２２としては、ラインセンサカメラを用いることができる。
【００６３】
第２偏光フィルター１２３は、撮像装置１２２の受光面１２２ａの外周部と重なるように配置されている。第２偏光フィルター１２３は、撮像装置１２２の受光面１２２ａと同様に、Ｙ方向に沿って長手を有している。第２偏光フィルター１２３は、Ｘ方向及びＹ方向の各々において撮像装置１２２の受光面１２２ａよりも長くなっている。
【００６４】
上述した光学フィルムＦ１０は、不図示の切断装置によって所定サイズにカットされ、液晶パネルに貼合されるシート片としての偏光板とされる。当該偏光板が液晶パネルに貼合されることにより、光学表示デバイスとしての液晶表示装置が製造される。
【００６５】
ところで、液晶パネルに偏光板が貼合された液晶表示装置の製造では、偏光板を液晶パネルに貼り合わせる際、偏光板の応力で液晶パネルに反りが生じるという問題があった。
【００６６】
本発明者は鋭意研究の結果、偏光板の構成を変えると、液晶パネルの反りの状態を異ならせることができることを見出した。
以下、図７及び図８を用いて説明する。
【００６７】
図７は、偏光板の構成をＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣとした偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰに対する貼り合わせ例を示す図である。
図７に示すように、偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰとの貼合面には粘着層Ｆ１６が配置されている。偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）は、粘着層Ｆ１６を介して液晶パネルＰに貼合される。
【００６８】
図８は、偏光板の構成をＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣとした偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰに対する貼り合わせ例を示す図である。
図８に示すように、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰとの貼合面（ＴＡＣフィルム側の面）には粘着層Ｆ１６が配置されている。偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）は、液晶パネルＰの貼合面側にＴＡＣフィルムを配置して粘着層Ｆ１６を介して液晶パネルＰに貼合される。
【００６９】
本発明者は、その原因は明らかではないが、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）を液晶パネルＰの貼合面側にＴＡＣフィルムを配置して液晶パネルＰに貼り合わせた場合と（図８参照）、偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）を液晶パネルＰに貼り合わせた場合（図７参照）とで、液晶パネルＰの反りの状態を異ならせることができることを突き止めた。
【００７０】
よって、偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）を液晶パネルＰに貼り合わせた場合とは液晶パネルＰの反りの状態を異ならせる観点からは、図８に示すようなＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣの構成を有する偏光板を用い、偏光板のＴＡＣ側の面を液晶パネルＰと貼合することが望ましい。この場合、偏光板のＴＡＣ側の面が液晶パネルＰとの貼合面となる。よって、図１の製造装置１００を用いて光学フィルムＦ１０を製造する場合には、ＣＯＰフィルムＦ１３が偏光子フィルムＦ１１の上面に貼合される構成であるため、欠陥検査装置の偏光フィルターは、光学フィルムＦ１０の搬送ラインの下方に設置される必要がある。
【００７１】
従来の欠陥検査装置のように偏光フィルターが偏光板の貼合面側にのみ配置される構成の場合、偏光板の構成が図７から図８のように変更されると、光源と撮像装置および偏光フィルターとの位置を入れ替える必要があり、装置構成の大幅な変更が必要となる。
【００７２】
例えば、偏光板（ＴＡＣ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の場合、ＴＡＣフィルムがＰＶＡフィルムの両面に配置される。そのため、一対のＴＡＣフィルムのうちいずれか一方側を偏光板の貼合面側とすればよく、従来の欠陥検査装置であっても装置構成を変更せずに適用可能である。
【００７３】
しかしながら、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の場合、ＴＡＣフィルムがＰＶＡフィルムの一方面にのみ配置される。そのため、液晶パネルＰの反りの状態を異ならせるべくＴＡＣフィルム側を偏光板の貼合面側とすると、従来の欠陥検査装置の場合、装置構成の大幅な変更が必要となる。
【００７４】
特に、図１に示すように積層フィルムＦ１２からＣＯＰフィルム用保護フィルムＦ１４を剥離する剥離部１１３が偏光子フィルムＦ１１の供給経路の上方側のみに配置される場合、積層フィルムＦ１２を供給する第２供給部１１１も偏光子フィルムＦ１１の供給経路の上方側に配置される。そのため、従来の欠陥検査装置において偏光フィルターが光学フィルムＦ１０の上方側にのみ配置される構成とした場合、ＣＯＰフィルムＦ１３の欠陥検査はできるが、偏光板の貼合面側となるＴＡＣフィルムＦ１５の欠陥検査ができない。
【００７５】
一方、この対策としては、光源、偏光フィルター及び撮像装置の位置を入れ替えることも考えられるが、装置構成の大幅な変更が必要となり、装置の入れ替え作業にも多くの時間を要する。また、光学フィルムＦ１０の上面側の欠陥検査を行う欠陥検査装置と、光学フィルムＦ１０の下面側の欠陥検査を行う欠陥検査装置を光学フィルムＦ１０の搬送経路に沿って２台設けることも考えられるが、広い設置スペースを要するとともに膨大な設置コストがかかるため、現実的ではない。
【００７６】
そこで本発明は、このような問題を解消するために、光学フィルムの一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることが可能とするべく、以下の構成を採用している。
本発明の一実施形態に係る欠陥検査装置１０２は、図２に示したように、光学フィルムＦ１０の上方側に配置され、光学フィルムＦ１０に光を照射する光源１２０と、光学フィルムの下方側に配置され、光学フィルムの透過光像を撮像する撮像装置１２２と、光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置され、偏光子フィルムＦ１１の吸収軸と直交する第１の吸収軸を有する第１偏光フィルター１２１と、撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路上に配置され、偏光子フィルムＦ１１の吸収軸と直交する第２の吸収軸を有する第２偏光フィルター１２３と、第１偏光フィルター１２１を光源１２０と光学フィルムＦ１０との間の光路に向けて進退移動させる第１移動装置１３０と、第２偏光フィルター１２３を撮像装置１２２と光学フィルムＦ１０との間の光路に向けて進退移動させる第２移動装置１３１と、を含むことを特徴とする。
【００７７】
この構成によれば、光学フィルムＦ１０の上面側と下面側の双方に偏光フィルターが配置される。そのため、それぞれの偏光フィルターを光学フィルムＦ１０の構成に応じて、光源１０と撮像装置１２２との間の光路上に進退移動させることで、光学フィルムＦ１０の上面側と下面側の欠陥検査を容易に切り替えることができる。よって、省スペースで安価な構成でありながら、様々な構成の光学フィルムＦ１０の欠陥検査に容易に対応することができる。
【００７８】
図９は、偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））の第１の撮像モードにおける欠陥検査装置１０２を説明するための図である。
図１０は、第１の撮像モードにおける偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））の液晶パネルＰに対する貼り合わせ例を示す図である。
図１１は、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の第１の撮像モードにおける欠陥検査装置１０２を説明するための図である。図１２は、第１の撮像モードにおける偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰに対する貼り合わせ例を示す図である。
図１３は、第２の撮像モードにおける欠陥検査装置１０２を説明するための図である。
図１４は、第２の撮像モードにおける偏光板の液晶パネルＰに対する貼り合わせ例を示す図である。
尚、図９、図１１及び図１３においては、便宜上、第１移動装置１３０、第２移動装置１３１及び制御装置１３２の図示を省略している。図９及び図１０においては、偏光板の貼合面側のＴＡＣフィルムをＴＡＣ（１）フィルム「ＴＡＣ（１）」、偏光板の貼合面側とは反対側のＴＡＣフィルムをＴＡＣ（２）フィルム「ＴＡＣ（２）」として示している。
【００７９】
図９に示すように、制御装置１３２は、第１の撮像モードにおいて、第１移動装置１３０によって第１偏光フィルター１２１を光源１２０と偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））との間の光路上（光軸ＣＬ上の第１の位置Ｑ１）に移動させるとともにＰＶＡフィルムの吸収軸と第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸とを直交して配置させ、且つ、第２移動装置１３１によって第２偏光フィルター１２３を撮像装置１２２と偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））との間の光路上からずれた位置（光軸ＣＬからずれた第２の位置Ｑ２）に移動させる制御を行う。
【００８０】
具体的には、制御装置１３２は、第１の撮像モードにおいて、第１移動装置１３０によって第１偏光フィルター１２１の中心を光軸ＣＬ上の第１の位置Ｑ１に配置させるとともにＰＶＡフィルムの吸収軸と第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸とを直交して配置させ、且つ、第２移動装置１３１によって第２偏光フィルター１２３の中心を光軸ＣＬからずれた第２の位置Ｑ２に配置させる制御を行う。
【００８１】
第２の位置Ｑ２は、撮像装置１２２の視野範囲から第２偏光フィルター１２３が退避される位置に設定されている。第２の位置Ｑ２が光軸ＣＬに近すぎると、撮像装置１２２の視野範囲に第２偏光フィルター１２３が侵入してしまう。一方、第２の位置Ｑ２が光軸ＣＬから遠すぎると、第２偏光フィルター１２３を光軸ＣＬ上の位置に移動させる際に時間がかかり、スムーズに別の撮像モードに移行しにくくなる。このような観点から、第２の位置Ｑ２は、光軸ＣＬから３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲の距離に設定されている。尚、第２の位置Ｑ２は、より好ましくは光軸ＣＬから３５ｍｍ以上４５ｍｍ以下の範囲の距離に設定される。
【００８２】
第１の撮像モードでは、ＰＶＡフィルムの吸収軸と第１偏光フィルター１２１の第１の吸収軸とがクロスニコル配置される。第１の撮像モードでは、第１偏光フィルター１２１とＰＶＡフィルムとの間の光路上に配置されたＴＡＣフィルム（１）の欠陥検査を行うことができる。
【００８３】
光源１２０から偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））に向けて射出された光は、第１偏光フィルター１２１によって直線偏光とされる。第１偏光フィルター１２１により得られた直線偏光は、ＴＡＣフィルム（１）に入射する。ＴＡＣフィルム（１）に欠陥が無い場合、ＴＡＣフィルム（１）を透過した光は、ＰＶＡフィルムによって遮断される。そのため、撮像装置１２２では黒い画像が撮像される。この場合、ＴＡＣフィルム（１）は「欠陥無し」と判定される。
【００８４】
一方、ＴＡＣフィルム（１）に欠陥がある場合、ＴＡＣフィルム（１）に入射した直線偏光は欠陥で偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部がＰＶＡフィルムを透過する。その結果、ＰＶＡフィルムを透過した光が撮像装置１２２に入射し、撮像装置１２２によって欠陥が輝点として明るく撮像される。この場合、ＴＡＣフィルム（１）は「欠陥有り」と判定される。
【００８５】
このように第１の撮像モードにより、ＰＶＡフィルムの上面に積層されたＴＡＣフィルム（１）側のクロスニコル透過検査を行うことができ、偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（１））と液晶パネルPの貼合面側の欠陥検査を行うことができる。
【００８６】
図１０に示すように、偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））の液晶パネルＰの貼合面（ＴＡＣ（１）の表面）には粘着層Ｆ１６が配置されている。偏光板（ＴＡＣ（１）／ＰＶＡ／ＴＡＣ（２））は、粘着層Ｆ１６を介して液晶パネルＰに貼合される。
【００８７】
図１１に示すように、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の場合においても、図９を用いて説明した第１の撮像モードと同様の制御を行うことができる。
【００８８】
偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の場合、第１の撮像モードでは、第１偏光フィルター１２１とＰＶＡフィルムとの間の光路上に配置されたＣＯＰフィルムの欠陥検査を行うことができる。
【００８９】
光源１２０から偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）に向けて射出された光は、第１偏光フィルター１２１によって直線偏光とされる。第１偏光フィルター１２１により得られた直線偏光は、ＣＯＰフィルムに入射する。ＣＯＰフィルムに欠陥が無い場合、ＣＯＰフィルムを透過した光は、ＰＶＡフィルムによって遮断される。そのため、撮像装置１２２では黒い画像が撮像される。この場合、ＣＯＰフィルムは「欠陥無し」と判定される。
【００９０】
一方、ＣＯＰフィルムに欠陥がある場合、ＣＯＰフィルムに入射した直線偏光は欠陥で偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部がＰＶＡフィルムを透過する。その結果、ＰＶＡフィルムを透過した光が撮像装置１２２に入射し、撮像装置１２２によって欠陥が輝点として明るく撮像される。この場合、ＣＯＰフィルムは「欠陥有り」と判定される。
【００９１】
このように第１の撮像モードにより、ＰＶＡフィルムの上面に積層されたＣＯＰフィルムのクロスニコル透過検査を行うことができ、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の貼合面側となるＣＯＰフィルムの欠陥検査を行うことができる。
【００９２】
図１２に示すように、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰの貼合面（ＣＯＰの表面）には粘着層Ｆ１６が配置されている。偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）は、液晶パネルＰの貼合面側にＣＯＰフィルムを配置して、粘着層Ｆ１６を介して液晶パネルＰに貼合される。
【００９３】
図１３に示すように、制御装置１３２は、第２の撮像モードにおいて、第１移動装置１３０によって第１偏光フィルター１２１を光源１２０と偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）との間の光路上からずれた位置（光軸ＣＬからずれた第３の位置Ｑ３）に移動させ、且つ、第２移動装置１３１によって第２偏光フィルター１２３を撮像装置１２２と偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）との間の光路上（光軸ＣＬ上の第４の位置Ｑ４）に移動させるとともにＰＶＡフィルムの吸収軸と第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸とを直交して配置させる制御を行う。
【００９４】
具体的には、制御装置１３２は、第２の撮像モードにおいて、第１移動装置１３０によって第１偏光フィルター１２１の中心を光軸ＣＬからずれた第３の位置Ｑ３に配置させ、且つ、第２移動装置１３１によって第２偏光フィルター１２３の中心を光軸ＣＬ上の第４の位置Ｑ４に配置させるとともにＰＶＡフィルムの吸収軸と第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸とを直交して配置させる制御を行う。
【００９５】
第３の位置Ｑ３は、光源１２０から射出される光が第１偏光フィルター１２１とＰＶＡフィルムとのクロスニコル配置によって遮られることを回避することができる位置に設定されている。第３の位置Ｑ３が光軸ＣＬに近すぎると、光源１２０から射出される光の一部が第１偏光フィルター１２１とＰＶＡフィルムとのクロスニコル配置によって遮られてしまう。一方、第３の位置Ｑ３が光軸ＣＬから遠すぎると、第１偏光フィルター１２１を光軸ＣＬ上の位置に移動させる際に時間がかかり、スムーズに別の撮像モードに移行しにくくなる。このような観点から、第３の位置Ｑ３は、光軸ＣＬから３０ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲の距離に設定されている。尚、第３の位置Ｑ３は、より好ましくは光軸ＣＬから３５ｍｍ以上４５ｍｍ以下の範囲の距離に設定される。
【００９６】
第２の撮像モードでは、ＰＶＡフィルムの吸収軸と第２偏光フィルター１２３の第２の吸収軸とがクロスニコル配置される。第２の撮像モードでは、ＰＶＡフィルムと第２偏光フィルター１２３との間の光路上に配置されたＴＡＣフィルムの欠陥検査を行うことができる。
【００９７】
光源１２０から偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）に向けて射出された光は、ＣＯＰフィルムを透過し、ＰＶＡフィルムによって直線偏光とされる。ＰＶＡフィルムにより得られた直線偏光は、ＴＡＣフィルムに入射する。ＴＡＣフィルムに欠陥が無い場合、ＴＡＣフィルムを透過した光は、第２偏光フィルター１２３によって遮断される。そのため、撮像装置１２２では黒い画像が撮像される。この場合、ＴＡＣフィルムは「欠陥無し」と判定される。
【００９８】
一方、ＴＡＣフィルムに欠陥がある場合、ＴＡＣフィルムに入射した直線偏光は欠陥で偏光状態が乱され、偏光状態が乱された光の一部が第２偏光フィルター１２３を透過する。その結果、第２偏光フィルター１２３を透過した光が撮像装置１２２に入射し、撮像装置１２２によって欠陥が輝点として明るく撮像される。この場合、ＴＡＣフィルムは「欠陥有り」と判定される。
【００９９】
このように第２の撮像モードにより、ＰＶＡフィルムの下面に積層されたＴＡＣフィルムのクロスニコル透過検査を行うことができ、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の貼合面側となるＴＡＣフィルムの欠陥検査を行うことができる。
【０１００】
図１４に示すように、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の液晶パネルＰの貼合面（ＴＡＣフィルムの表面）には粘着層Ｆ１６が配置されている。偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）は、液晶パネルＰの貼合面側にＴＡＣフィルムを配置して、粘着層Ｆ１６を介して液晶パネルＰに貼合される。この構成は、液晶パネルＰの反り対策として効果的な構成である。
【０１０１】
尚、各撮像モードにおいて、光源１２０と撮像装置１２２とは定位置に固定される。
【０１０２】
以上、説明したように本実施形態の欠陥検査装置１０２は、制御装置１３２の制御により、第１の撮像モード及び第２の撮像モードを自由に選択することができる。そのため、偏光板の構成が異なる場合であっても、同じ欠陥検査装置１０２によって各偏光板の貼合面側の欠陥を検出することができる。つまり、本実施形態によれば、光源と撮像装置の位置を入れ替える必要がなく、装置構成の大幅な変更も必要とならない。従って、本実施形態によれば、光学フィルムＦ１０の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることができる。
【０１０３】
また、本実施形態では、光学フィルムＦ１０が偏光子フィルムＦ１１の上面上に積層されたＣＯＰフィルムＦ１３と偏光子フィルムＦ１１の下面上に積層されたＴＡＣフィルムＦ１５からなり、第２供給部１１１及び剥離部１１３が偏光子フィルムＦ１１の供給経路の上方側に配置されている。本発明者の鋭意研究により、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）を液晶パネルＰの貼合面側にＴＡＣフィルムを配置して液晶パネルＰに貼り合わせると、液晶パネルＰの反りの状態を異ならせることができることが明らかになり、偏光板（ＣＯＰ／ＰＶＡ／ＴＡＣ）の貼合面側となるＴＡＣフィルム側の欠陥検査が必要な場合がある。
しかしこの場合、仮に、偏光フィルターが光学フィルムの上方側にのみ配置されると、このままでは偏光板の貼合面側となるＴＡＣフィルム側の欠陥検査ができない。そのため、光源、偏光フィルター及び撮像装置の位置を入れ替える必要があり、装置構成の大幅な変更が必要となる。
これに対し、本実施形態によれば、同じ欠陥検査装置１０２を用いて、第２撮像モードに切り替えるだけで、偏光板の貼合面側となるＴＡＣフィルム側の欠陥検査を行うことができる。
【０１０４】
また、各撮像モードにおいて、光源１２０と撮像装置１２２とが定位置に固定される構成であるため、光源及び撮像装置を移動させる構成に比べて、光学フィルムＦ１０の貼合面側の欠陥検査を容易に行うことができる。
【０１０５】
（光学表示デバイスの生産システム）
以下、本発明の一実施形態に係る光学表示デバイスの生産システムとして、その一部を構成するフィルム貼合システム１について説明する。本実施形態に係るフィルム貼合システム１は、第１欠陥検査装置９及び第２欠陥検査装置が上述した欠陥検査装置１０２によって構成されている。
【０１０６】
図１５及び図１６は、本実施形態のフィルム貼合システム１の装置構成を示す側面図である。
フィルム貼合システム１は、例えば液晶パネルや有機ＥＬパネルといったパネル状の光学表示部品に、偏光フィルムや反射防止フィルム、光拡散フィルムといったフィルム状の光学部材を貼合するものである。
【０１０７】
以下の説明においては、必要に応じてＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態においては、光学表示部品である液晶パネルの搬送方向をＸ方向としており、液晶パネルの面内においてＸ方向に直交する方向（液晶パネルの幅方向）をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向に直交する方向をＺ方向としている。
【０１０８】
なお、本実施形態では、光学表示部品として液晶パネルＰを例示し、光学部材貼合体として、液晶パネルＰの表裏両面に貼合シートＦ５を貼合してなる両面貼合パネルを例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０１０９】
図１５及び図１６に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は液晶パネルＰの製造ラインの一工程として設けられている。フィルム貼合システム１の各部は、電子制御装置としての制御部２により統括制御される。
【０１１０】
本実施形態のフィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの搬送方向に対して、液晶パネルＰの姿勢を途中で９０°旋回する。フィルム貼合システム１は、液晶パネルＰの表裏面に、互いに偏光軸を直交する方向に向けた偏光フィルムＦ１を貼り合わせる。
【０１１１】
図１７は、液晶パネルＰをその液晶層Ｐ３の厚さ方向から見た平面図である。液晶パネルＰは、平面視で長方形状をなす第１基板Ｐ１と、第１基板Ｐ１に対向して配置される比較的小形の長方形状をなす第２基板Ｐ２と、第１基板Ｐ１と第２基板Ｐ２との間に封入された液晶層Ｐ３とを備える。液晶パネルＰは、平面視で第１基板Ｐ１の外形状に沿う長方形状をなし、平面視で液晶層Ｐ３の外周の内側に収まる領域を表示領域Ｐ４とする。
【０１１２】
図１８は、液晶パネルＰに貼合する光学部材Ｆ１を含む光学シートＦの断面図である。尚、図１８においては、便宜上、断面図の各層のハッチングを省略している。
図１８に示すように、光学シートＦは、フィルム状の光学部材Ｆ１と、光学部材Ｆ１の一方の面（図では上面）に設けられた粘着層Ｆ２と、粘着層Ｆ２を介して光学部材Ｆ１の一方の面に分離可能に積層されたセパレータＦ３と、光学部材Ｆ１の他方の面（図では下面）に積層された表面保護フィルムＦ４とを有する。光学部材Ｆ１は偏光板として機能し、液晶パネルＰの表示領域Ｐ４の全域とその周辺領域とにわたって貼合される。
【０１１３】
光学部材Ｆ１は、その一方の面に粘着層Ｆ２を残しつつセパレータＦ３を分離した状態で、液晶パネルＰに粘着層Ｆ２を介して貼合される。以下、光学シートＦからセパレータＦ３を除いた部分を貼合シートＦ５という。
【０１１４】
セパレータＦ３は、粘着層Ｆ２から分離されるまでの間に粘着層Ｆ２及び光学部材Ｆ１を保護する。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１とともに液晶パネルＰに貼合される。表面保護フィルムＦ４は、光学部材Ｆ１に対して液晶パネルＰと反対側に配置されて光学部材Ｆ１を保護すると共に、所定のタイミングで光学部材Ｆ１から分離される。尚、光学シートＦが表面保護フィルムＦ４を含まない構成であったり、表面保護フィルムＦ４が光学部材Ｆ１から分離されない構成であったりしてもよい。
【０１１５】
光学部材Ｆ１は、シート状の偏光子Ｆ６と、偏光子Ｆ６の一方の面に接着剤等で接合される第１フィルムＦ７と、偏光子Ｆ６の他方の面に接着剤等で接合される第２フィルムＦ８とを有する。第１フィルムＦ７及び第２フィルムＦ８は、例えば偏光子Ｆ６を保護する保護フィルムである。
【０１１６】
尚、光学部材Ｆ１は、一層の光学層からなる単層構造でもよく、複数の光学層が互いに積層された積層構造でもよい。前記光学層は、偏光子Ｆ６の他に、位相差フィルムや輝度向上フィルム等を有していてもよい。第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方は、液晶表示素子の最外面を保護するハードコート処理やアンチグレア処理を含む防眩などの効果が得られる表面処理が施されてもよい。光学部材Ｆ１は、第１フィルムＦ７と第２フィルムＦ８の少なくとも一方を含まなくてもよい。例えば第１フィルムＦ７を省略した場合、セパレータＦ３を光学部材Ｆ１の一方の面に粘着層Ｆ２を介して貼り合わせてもよい。
【０１１７】
次に、本実施形態のフィルム貼合システム１について、詳しく説明する。
図１５及び図１６に示すように、本実施形態のフィルム貼合システム１は、図中右側の液晶パネルＰの搬送方向上流側（＋Ｘ方向側）から図中左側の液晶パネルＰの搬送方向下流側（−Ｘ方向側）に至り、液晶パネルＰを水平状態で搬送する駆動式のローラコンベア３を備えている。
【０１１８】
ローラコンベア３は、反転装置（図示略）を境に、上流側コンベアと下流側コンベアとに分かれる。上流側コンベアでは、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の長辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。一方、下流側コンベアでは、液晶パネルＰは表示領域Ｐ４の短辺を搬送方向に沿うようにして搬送される。この液晶パネルＰの表裏面に対して、帯状の光学シートＦから所定長さに切り出した貼合シートＦ５が貼合される。
【０１１９】
本実施形態のフィルム貼合システム１は、第１供給装置７、第１貼合装置１１、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置、検査装置、制御部２を備えている。尚、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置及び検査装置については、便宜上、その図示を省略する。
【０１２０】
図１５では、フィルム貼合システム１の装置構成として、第１供給装置及び第２供給装置のうち第１供給装置７を挙げて説明する。第２供給装置は、第１供給装置７と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。
【０１２１】
図１５に示すように、第１供給装置７は、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールＲ１から光学シートＦを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第１供給装置７は、第１搬送装置８、検査前剥離装置１８、第１欠陥検査装置９、検査後貼合装置１９、第１切断装置１０を備えている。
【０１２２】
第１搬送装置８は、光学シートＦをその長手方向に沿って搬送する搬送機構である。第１搬送装置８は、ロール保持部８ａと、ニップローラ８ｂと、ガイドローラ８ｃと、アキュムレータ８ｄと、巻き取り部８ｅ（図１６参照）と、を有する。
【０１２３】
ロール保持部８ａは、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールＲ１を保持すると共に光学シートＦをその長手方向に沿って繰り出す。
【０１２４】
ニップローラ８ｂは、原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦを所定の搬送経路に沿って案内するべく光学シートＦを挟みこむ。
【０１２５】
ガイドローラ８ｃは、搬送中の光学シートＦの進行方向を搬送経路に沿って変化させる。複数のガイドローラ８ｃのうち少なくとも一つは、テンションローラとして機能する。つまり、搬送中の光学シートＦのテンションを調整するべく可動する。
【０１２６】
アキュムレータ８ｄは、光学シートＦが第１切断装置１０で切断される間に、ロール保持部８ａから搬送される光学シートＦの繰り出し量を吸収する。
【０１２７】
第１搬送装置８の始点に位置するロール保持部８ａと第１搬送装置８の終点に位置する巻き取り部８ｅ（図１６参照）とは、例えば互いに同期して駆動する。これにより、ロール保持部８ａが光学シートＦをその搬送方向へ繰り出しつつ、巻き取り部８ｅが第１貼合装置１１を経たセパレータＦ３を巻き取る。以下、第１搬送装置８における光学シートＦ（セパレータＦ３）の搬送方向上流側をシート搬送上流側、搬送方向下流側をシート搬送下流側という。
【０１２８】
検査前剥離装置１８は、シート搬送上流側から搬送されてきた光学シートＦから第１セパレータＨ１（セパレータＦ３に相当）を剥離し、ロールに巻き取る構成である。検査前剥離装置１８は、ナイフエッジ１８ａと、巻き取り部１８ｂと、を有する。
【０１２９】
ナイフエッジ１８ａは、光学シートＦの幅方向で少なくともその全幅にわたって延在する。ナイフエッジ１８ａは、原反ロールＲ１から巻き出した光学シートＦの第１セパレータＨ１側に摺接するようにこれを巻きかける。ナイフエッジ１８ａは、その先端部に光学シートＦを鋭角に巻きかける。ナイフエッジ１８ａは、その先端部で光学シートＦを鋭角に折り返す際、第１セパレータＨ１から貼合シートＦ５を分離させる。ナイフエッジ１８ａは、この貼合シートＦ５を第１欠陥検査装置９に供給する。
【０１３０】
巻き取り部１８ｂは、ナイフエッジ１８ａを経て単独となった第１セパレータＨ１を巻き取り、第１セパレータロールＲ２として保持する。
【０１３１】
第１欠陥検査装置９は、第１セパレータＨ１の剥離後の光学シートＦ、すなわち貼合シートＦ５の欠陥検査を行う。第１欠陥検査装置９は、ＣＣＤカメラで撮像された画像データを解析して欠陥の有無を検査し、欠陥がある場合には、その位置座標を算出する。この欠陥の位置座標は、第１切断装置１０によるスキップカットに提供される。尚、第１欠陥検査装置９は、上述した欠陥検査装置１０２によって構成されている。
【０１３２】
検査後貼合装置１９は、欠陥検査後の貼合シートＦ５に、第２セパレータＨ２（セパレータＦ３に相当）を、粘着層Ｆ２を介して貼り合わせる。検査後貼合装置１９は、ロール保持部１９ａと、挟圧ロール１９ｂと、を有する。
【０１３３】
ロール保持部１９ａは、帯状の第２セパレータＨ２を巻回した第２セパレータロールＲ３を保持すると共に第２セパレータＨ２をその長手方向に沿って繰り出す。
【０１３４】
挟圧ロール１９ｂは、第２セパレータロールＲ３から巻き出した第２セパレータＨ２をシート搬送上流側から搬送される欠陥検査後の貼合シートＦ５の下面（粘着層Ｆ２側の面）に貼合する。挟圧ロール１９ｂは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する（上の貼合ローラは上下する）。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が検査後貼合装置１９の貼合位置となる。前記間隙内には、貼合シートＦ５及び第２セパレータＨ２が重なり合って導入される。これら貼合シートＦ５及び貼合シートＦ５が、挟圧ロール１９ｂに挟圧されつつシート搬送下流側に送り出される。これにより、欠陥検査後の貼合シートＦ５の下面に第２セパレータＨ２が貼合され、光学シートＦが形成される。
【０１３５】
第１切断装置１０は、光学シートＦが所定長さ繰り出された際、光学シートＦの長手方向と直交する幅方向の全幅にわたって、光学シートＦの厚さ方向の一部を切断するハーフカットを行う。
【０１３６】
第１切断装置１０は、光学シートＦの搬送中に働くテンションによって光学シートＦ（セパレータＦ３）が破断しないように（所定の厚さがセパレータＦ３に残るように）、切断刃の進退位置を調整し、粘着層Ｆ２とセパレータＦ３との界面の近傍までハーフカットを施す。尚、切断刃に代わるレーザー装置を用いてもよい。
【０１３７】
ハーフカット後の光学シートＦには、その厚さ方向で光学部材Ｆ１及び表面保護フィルムＦ４が切断されることにより、光学シートＦの幅方向の全幅にわたる切込線が形成される。切込線は、帯状の光学シートＦの長手方向で複数並ぶように形成される。例えば同一サイズの液晶パネルＰを搬送する貼合工程の場合、複数の切り込み線は光学シートＦの長手方向で等間隔に形成される。光学シートＦは、前記複数の切込線によって長手方向で複数の区画に分けられる。光学シートＦにおける長手方向で隣り合う一対の切込線に挟まれる区画は、それぞれ貼合シートＦ５における一つのシート片とされる。
【０１３８】
第１切断装置１０は、第１欠陥検査装置９で算出された欠陥の位置座標に基づいて、欠陥部分を避けるように所定サイズに切断する（スキップカット）。欠陥部分を含む切断品は、不良品として後工程で排除される。尚、第１切断装置１０は、欠陥部分を無視して、光学シートＦを連続的に所定サイズに切断してもよい。この場合、貼合シートＦ５と液晶パネルＰとの貼合工程において、欠陥部分を含む切断品を液晶パネルＰに貼り合わせずに除去することができる。
【０１３９】
図１６では、フィルム貼合システム１の装置構成として、第１貼合装置及び第２貼合装置のうち第１貼合装置１１を挙げて説明する。第２貼合装置は、第１貼合装置１１と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。
【０１４０】
図１６に示すように、第１貼合装置１１は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５の貼合を行う。第１貼合装置１１は、ナイフエッジ１１ａと、挟圧ロール１１ｂと、を有する。
【０１４１】
ナイフエッジ１１ａは、ハーフカットを施した光学シートＦを鋭角に巻きかけてセパレータＦ３から貼合シートＦ５を分離させつつこの貼合シートＦ５を貼合位置に供給する。
【０１４２】
挟圧ロール１１ｂは、ナイフエッジ１１ａが光学シートＦから分離させた所定長さの貼合シートＦ５を上流側コンベアにより搬送される液晶パネルＰの上面に貼合する。挟圧ロール１１ｂは、互いに軸方向を平行にして配置された一対の貼合ローラを有する。一対の貼合ローラ間には所定の間隙が形成され、この間隙内が第１貼合装置１１の貼合位置となる。前記間隙内には、液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が重なり合って導入される。これら液晶パネルＰ及び貼合シートＦ５が、挟圧ロール１１ｂに挟圧されつつ上流側コンベアのパネル搬送下流側に送り出される。これにより、液晶パネルＰの上面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを片面貼合パネルＰ１１という。
【０１４３】
巻き取り部８ｅは、ナイフエッジ１１ａを経て単独となった第２セパレータＨ２を巻き取り、第２セパレータロールＲ４として保持する。
【０１４４】
反転装置（図示略）は、第１貼合装置１１よりもパネル搬送下流側に設けられて上流側コンベアの終着位置に達した液晶パネルＰを下流側コンベアの始発位置まで搬送する。
【０１４５】
反転装置は、第１貼合装置１１を経て上流側コンベアの終着位置に達した片面貼合パネルＰ１１を吸着や挟持等により保持する。反転装置は、片面貼合パネルＰ１１の表裏を反転させる。反転装置は、例えば前記表示領域Ｐ４の長辺と平行に搬送されていた片面貼合パネルＰ１１を表示領域Ｐ４の短辺と平行に搬送されるように方向転換させる。
【０１４６】
前記反転は、液晶パネルＰの表裏面に貼合する各光学部材Ｆ１が偏光軸方向を互いに直角に配置するような場合になされる。
【０１４７】
尚、単に液晶パネルＰの表裏を反転させる場合には、例えば搬送方向と平行な回動軸を有する反転アームを有する反転装置を用いればよい。この場合、第１供給装置７のシート搬送方向と第２供給装置のシート搬送方向とを平面視で互いに直角にして配置すれば、液晶パネルＰの表裏面に互いに偏光軸方向を直角にした光学部材Ｆ１を貼合できる。
【０１４８】
第２供給装置は、第１供給装置７と同様の構成であるため、その詳細な説明を省略する。第２供給装置は、帯状の光学シートＦを巻回した原反ロールから光学シートＦを引き出して、所定サイズに切断した後に供給する。第２供給装置は、図示はしないが、第２搬送装置、検査前剥離装置、第２欠陥検査装置、検査後貼合装置、第２切断装置を備えている。
【０１４９】
第２貼合装置は、貼合位置に導入された液晶パネルＰの上面に対して、所定サイズにカットした貼合シートＦ５の貼合を行う。第２貼合装置は、第１貼合装置１１と同様のナイフエッジと、挟圧ロールと、を有する。
【０１５０】
挟圧ロールの一対の貼合ローラ間の間隙内（第２貼合装置の貼合位置）には、片面貼合パネルＰ１１及び貼合シートＦ５が重なり合った状態で導入され、片面貼合パネルＰ１１の上面に貼合シートＦ５が一体的に貼合される。以下、この貼合後のパネルを両面貼合パネル（光学部材貼合体）という。
【０１５１】
検査装置（図示略）は、第２貼合装置よりもパネル搬送下流側に設けられている。検査装置は、両面貼合パネルの欠陥（貼合不良等）の有無を検査する。検査対象となる欠陥としては、液晶パネルと貼合シートとを貼合する際の異物や気泡のかみ込み、貼合シートの表面の傷、液晶パネルに内在する配向不良などの欠陥などが挙げられる。
【０１５２】
尚、本実施形態においてフィルム貼合システム１の各部を統括制御する電子制御装置としての制御部２は、コンピュータシステムを含んで構成されている。このコンピュータシステムは、ＣＰＵ等の演算処理部と、メモリやハードディスク等の記憶部とを備える。本実施形態の制御部２は、コンピュータシステムの外部の装置との通信を実行可能なインターフェースを含む。制御部２には、入力信号を入力可能な入力装置が接続されていてもよい。上記の入力装置は、キーボード、マウス等の入力機器、あるいはコンピュータシステムの外部の装置からのデータを入力可能な通信装置等を含む。制御部２は、フィルム貼合システム１の各部の動作状況を示す液晶表示ディスプレイ等の表示装置を含んでいてもよいし、表示装置と接続されていてもよい。
【０１５３】
制御部２の記憶部には、コンピュータシステムを制御するオペレーティングシステム（ＯＳ）がインストールされている。制御部２の記憶部には、演算処理部にフィルム貼合システム１の各部を制御させることによって、フィルム貼合システム１の各部に光学シートＦを精度よく搬送させるための処理を実行させるプログラムが記録されている。記憶部に記録されているプログラムを含む各種情報は、制御部２の演算処理部が読み取り可能である。制御部２は、フィルム貼合システム１の各部の制御に要する各種処理を実行するＡＳＩＣ等の論理回路を含んでいてもよい。
【０１５４】
記憶部は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）などといった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体などといった外部記憶装置などを含む概念である。記憶部は、機能的には、第１供給装置７、第１貼合装置１１、反転装置、第２供給装置、第２貼合装置、検査装置の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域、その他各種の記憶領域が設定される。
【０１５５】
以上、説明したように本実施形態の第１欠陥検査装置９は、上述した欠陥検査装置１０２によって構成されているため、貼合シートＦ５の構成が異なる場合であっても、同じ欠陥検査装置１０２によって各貼合シートＦ５の貼合面側の欠陥を検出することができる。従って、本実施形態によれば、貼合シートＦ５の一方面側と他面側との欠陥検査を容易に切り替えることができる。
【０１５６】
以上、添付図面を参照しながら本実施形態に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【符号の説明】
【０１５７】
１…フィルム貼合システム（光学表示デバイスの生産システム）、８…第１搬送装置（搬送装置）、９…第１欠陥検査装置（欠陥検査装置）、１１…第１貼合装置（貼合装置）、１００…光学フィルムの製造システム（光学部材の製造システム）、１０１…光学フィルムの製造装置（光学部材の製造装置）、１０２…欠陥検査装置、１１０…第１供給部、１１１…第２供給部、１１２…第３供給部、１１３…剥離部、１２０…光源、１２１…第１偏光フィルター、１２２…撮像装置、１２３…第２偏光フィルター、１３０…第１移動装置、１３１…第２移動装置、１３２…制御装置、ＣＬ…光軸、Ｐ…液晶パネル（光学表示部品）、Ｆ１…光学部材、Ｆ１０…光学フィルム（光学部材）、Ｆ１１…偏光子フィルム（偏光子）、Ｆ１２…積層フィルム（積層部材）、Ｆ１３…ＣＯＰフィルム（第１保護層）、Ｆ１４…ＣＯＰフィルム用保護フィルム（第２保護層）、Ｆ１５…ＴＡＣフィルム（第２保護層）、Ｓｆ１…下面（光学部材の一方側の面）、Ｓｆ２…上面（光学部材の他方側の面）
【図１】
2015040782.tif 000003
【図２】
2015040782.tif 000004
【図３】
2015040782.tif 000005
【図４】
2015040782.tif 000006
【図５】
2015040782.tif 000007
【図６】
2015040782.tif 000008
【図７】
2015040782.tif 000009
【図８】
2015040782.tif 000010
【図９】
2015040782.tif 000011
【図１０】
2015040782.tif 000012
【図１１】
2015040782.tif 000013
【図１２】
2015040782.tif 000014
【図１３】
2015040782.tif 000015
【図１４】
2015040782.tif 000016
【図１５】
2015040782.tif 000017
【図１６】
2015040782.tif 000018
【図１７】
2015040782.tif 000019
【図１８】
2015040782.tif 000020