(57)【要約】【課題】効率的な脱硝を行うことができるガス成分濃度分布測定装置及び排ガス脱硝システムを提供する。【解決手段】燃焼排ガスのガス流れ方向と直交する方向に所定間隔を持って設置され、レーザ光を通過する送光筒１１２と、送光筒１１２の一部が所定距離区切られ、計測場に晒される計測領域Ｌと、レーザ発光部２０１からのレーザ光２０２を順次反射し、９本の送光筒１１２内に順次レーザ光２０２を導入する送光反射部２０３を備えた送光ユニット２０４と、計測領域Ｌを通過した送光筒１１２からのレーザ光２０２を順次反射し、レーザ受光部２０５へ導入する２以上の受光反射部２０６を備えた受光ユニット２０７とを備え、排ガスのガス成分濃度を計測する際、送光ユニット２０４の送光反射部２０３と、受光ユニット２０７の受光反射部２０６との反射のタイミングを同期させて、順次複数の送光筒１１２内へのレーザ光の導入及びレーザ光の受光を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃焼排ガスが通過する煙道と、
前記燃焼排ガスのガス流れ方向と直交する方向に所定間隔を持って２以上設置され、レーザ光を通過する送光筒と、
該送光筒の一部が所定距離区切られ、前記煙道の計測場に晒される計測領域と、
前記煙道の外部において、レーザ発光部からのレーザ光を順次反射し、前記２以上の送光筒内にレーザ光を導入する２以上の送光反射部を備えた送光ユニットと、
前記煙道の外部において、前記計測領域を通過した２以上の送光筒からのレーザ光を順次反射し、レーザ受光部へ導入する２以上の受光反射部を備えた受光ユニットと、を備えてなり、
燃焼排ガスのガス成分濃度を計測する際、前記送光ユニットの前記送光反射部と、前記受光ユニットの前記受光反射部との反射のタイミングを同期させて、順次複数の送光筒内へのレーザ光の導入及びレーザ光の受光を行うことを特徴とするガス成分濃度分布測定装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記計測領域が、前記送光筒の長手方向に沿ってその設置位置が異なり、区画された領域の一部に位置することを特徴とするガス成分濃度分布測定装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記送光ユニットと、前記受光ユニットとの内部に各々パージガスを導入するパージガス導入部を備えることを特徴とするガス成分濃度分布測定装置。
【請求項４】
燃焼排ガス中に還元剤を供給する還元剤供給手段と、
前記還元剤が含まれた排ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）を脱硝する区画された脱硝触媒を備えた脱硝装置と、
前記脱硝装置の入口側又は出口側の少なくとも一方に設けられ、排ガス中のガス成分濃度分布を計測する請求項１乃至３のいずれか一つのガス成分濃度分布測定装置と、を具備し、
前記ガス成分濃度分布測定装置の計測結果より、ガス成分濃度分布を求めることを特徴とする排ガス脱硝システム。
【請求項５】
請求項４において、
前記ガス成分がアンモニア（ＮＨ3）又は窒素酸化物（ＮＯｘ）のいずれか一方又は両方であることを特徴とする排ガス脱硝システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス成分濃度分布測定装置及び排ガス脱硝システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、配合ガスに含まれる特定物質の濃度測定を行う装置としてレーザ式ガス分析計が知られている。このレーザ式ガス分析計は、気体状のガス分子がそれぞれ固有の光吸収波長を有するという特性を利用し、特定物質が含まれるガスにレーザ光を照射し、その特定波長の吸光量から特定物質の濃度を測定するものである。
【０００３】
下記特許文献１には、アンモニアを含むガスが流通する配管ユニットからガスを吸引し、吸引したガスをレーザ式ガス分光計に導いてガス中に含まれるアンモニア濃度を測定する技術が開示されている。
【０００４】
特許文献２には、煙道の内部に挿入されて排ガスを採取するサンプリング管と、サンプリング管に対して加熱導管を介して接続されるフローセルユニットと、フローセルユニットに接続されるレーザ式ガス分析計とを備えるアンモニア濃度測定装置が開示されている。特許文献２に開示されているアンモニア濃度測定装置では、サンプリング管の内部に三酸化硫黄（ＳＯ3）を吸着するがアンモニアを通過させる吸着剤を装填し、排ガスから三酸化硫黄を除去したガスをレーザ式ガス分析計に導入させることで、アンモニアの測定精度を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−８００８号公報
【特許文献２】特開２０１０−２３６８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１、２に開示されているサンプリング方式の濃度測定装置では、以下のような問題点がある。
ガスを吸引して測定用の配管に導く際、測定の高速化が困難である。
ガスを測定用の配管に引き込んだ後に濃度測定を行うことから、配管を流通しているガスと測定管に引き込まれたガスの状態（例えば、水分濃度、温度等）が異なってしまい、測定精度が低下する。
流通ガスを局所的に採取して濃度測定を行うため、局所的なガス濃度測定はできても、濃度分布を取得することができない。また、サンプリング箇所を逐次変えて濃度測定を行えば、濃度分布を取得することは可能であるが、位置毎にガスの吸引、排出が必要となり、作業が煩雑であるとともに時間がかかる。
【０００７】
よって、例えばボイラ装置の排ガス中の窒素酸化物を脱硝する際に、ガス成分濃度分布を的確に把握して、効率的な脱硝を行うことができる排ガス脱硝システムの出現が切望されている。
【０００８】
本発明は、前記問題に鑑み、排ガス中の窒素酸化物を脱硝する際に、ガス成分濃度分布を的確に把握して、効率的な脱硝を行うことができるガス成分濃度分布測定装置及び排ガス脱硝システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決するための本発明の第１の発明は、燃焼排ガスが通過する煙道と、前記燃焼排ガスのガス流れ方向と直交する方向に所定間隔を持って２以上設置され、レーザ光を通過する送光筒と、該送光筒の一部が所定距離区切られ、前記煙道の計測場に晒される計測領域と、前記煙道の外部において、レーザ発光部からのレーザ光を順次反射し、前記２以上の送光筒内にレーザ光を導入する２以上の送光反射部を備えた送光ユニットと、前記煙道の外部において、前記計測領域を通過した２以上の送光筒からのレーザ光を順次反射し、レーザ受光部へ導入する２以上の受光反射部を備えた受光ユニットと、を備えてなり、燃焼排ガスのガス成分濃度を計測する際、前記送光ユニットの前記送光反射部と、前記受光ユニットの前記受光反射部との反射のタイミングを同期させて、順次複数の送光筒内へのレーザ光の導入及びレーザ光の受光を行うことを特徴とするガス成分濃度分布測定装置にある。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明において、前記計測領域が、前記送光筒の長手方向に沿ってその設置位置が異なり、区画された領域の一部に位置することを特徴とするガス成分濃度分布測定装置にある。
【００１１】
第３の発明は、第１又は２の発明において、前記送光ユニットと、前記受光ユニットとの内部に各々パージガスを導入するパージガス導入部を備えることを特徴とするガス成分濃度分布測定装置にある。
【００１２】
第４の発明は、燃焼排ガス中に還元剤を供給する還元剤供給手段と、前記還元剤が含まれた排ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）を脱硝する区画された脱硝触媒を備えた脱硝装置と、前記脱硝装置の入口側又は出口側の少なくとも一方に設けられ、排ガス中のガス成分濃度分布を計測する第１乃至３のいずれか一つのガス成分濃度分布測定装置と、を具備し、前記ガス成分濃度分布測定装置の計測結果より、ガス成分濃度分布を求めることを特徴とする排ガス脱硝システムにある。
【００１３】
第５の発明は、第４の発明において、前記ガス成分がアンモニア（ＮＨ3）又は窒素酸化物（ＮＯｘ）のいずれか一方又は両方であることを特徴とする排ガス脱硝システムにある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、複数本の送光筒を用いて、燃焼排ガス中のガス成分を計測するに際し、送光ユニットの前記送光反射部と、受光ユニットの受光反射部との反射のタイミングを同期させて、順次複数の送光筒内へのレーザ光の導入及びレーザ光の受光を行うので、複数台のレーザ発光器とレーザ受光器とを設置することがなくなり、装置の簡素化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１は、本実施例に係る脱硝装置を備えたボイラ装置の概略図である。
【図２】図２は、脱硝装置内部の濃度測定領域の分割領域を示す説明図である。
【図３】図３は、脱硝装置に設置するガス成分濃度分布測定装置の全体構成を示す概略図である。
【図４】図４は、基本の１セットを構成するプローブ手段の斜視図である。
【図５】図５は、本実施例に係る脱硝装置に設置するガス成分濃度分布測定装置の送光側のレーザビーム窓を示す縦断面図である。
【図６】図６は、本実施例に係る脱硝装置に設置するガス成分濃度分布測定装置の受光側のレーザビーム窓を示す縦断面図である。
【図７】図７は、本実施例に係るプローブ手段の動作図である。
【図８】図８は、吸収分光計測の概念図である。
【図９】図９は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
【図１０】図１０は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
【図１１】図１１は、本実施例に係る脱硝装置のアンモニア注入装置の概略構成例を示す系統図である。
【図１２】図１２は、他のガス成分濃度分布測定装置の全体構成を示す概略図である。
【図１３】図１３は、多点（１８点）計測の計測結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下に添付図面を参照して、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではなく、また、実施例が複数ある場合には、各実施例を組み合わせて構成するものも含むものである。
【実施例】
【００１７】
図１は、本実施例に係る脱硝装置を備えたボイラ装置の概略図である。図２は、脱硝装置に設置するガス成分濃度分布測定装置の全体構成を示す概略図である。図３は、脱硝装置内部の濃度測定領域の分割領域を示す説明図である。図４は、基本の１セットを構成するプローブ手段の構成図である。図７は、図４の動作を示す動作図である。
図１に示すように、本実施例に係る排ガス脱硝システムを備えたボイラ装置１００は、ボイラ１０１からの燃焼排ガス（以下「排ガス」という）１０２中に還元剤（例えばアンモニア：ＮＨ3）を供給する還元剤供給手段であるアンモニア注入装置１０４と、還元剤が含まれた窒素酸化物（ＮＯｘ）を脱硝する区画された脱硝触媒１０６を備えた脱硝装置１０５と、脱硝装置１０５の出口側に設けられ、脱硝装置１０５のガス流れに直交する区画された脱硝触媒１０６に対応する領域における排ガス中のガス成分（ＮＨ3、ＮＯｘ）濃度分布を計測する複数の送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）を有するプローブ手段を有し、レーザ計測手段によりアンモニア濃度を測定するガス成分濃度分布測定装置１１０と、を具備し、ガス成分濃度分布測定装置１１０のアンモニア濃度の計測結果より、区画された領域のアンモニアの濃度分布を求めるものである。なお、図１中、符号１０３ａ、１０３ｂは側壁、０７は空気予熱器、１０８は煙突を図示する。
【００１８】
また、本実施例では、求めたアンモニア濃度分布より、脱硝不十分な区画を求める制御装置２０と、この脱硝不十分な区画に対応する還元剤供給手段からの還元剤供給量を調節する調節手段である開度設定部１０９を備えている。
【００１９】
図２は、脱硝装置に設置するガス成分濃度分布測定装置の全体構成を示す概略図である。図２に示すように、ガス成分濃度分布測定装置１１０は、区画された分割領域を計測する複数の送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）を有するプローブ手段が設けられている。
【００２０】
本実施例では、図３に示すように、９区画（Ｐ1〜Ｐ9）に対応するように、３種類の異なる計測領域Ｌを有する送光筒１１２Ａ、１１２Ｂ、１１２Ｃからなるプローブ手段を用意している。そして、送光筒１１２Ａ〜１１２Ｃのプローブ手段を１セットとし、これが列方向に３セット（Ｉ〜III）配置されている。
【００２１】
図４は、この基本の１セットを構成するプローブ手段の斜視図である。なお、図４においては、送光ユニット２０４及び受光ユニット２０７の図示は省略している。
図４に示すように、基本の１セットを構成する３種類の異なる計測領域Ｌを形成するプローブ手段は、レーザ光２０２を通過する中空の送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）と、該送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の一部が所定距離１１２ａ、１１２ｂの間で区切られ、計測場に晒される計測領域Ｌを有している。
この区切られた計測領域Ｌに排ガス１０２が通過することとなるので、排ガス１０２中のアンモニアをレーザ光によって計測することができる。
この計測領域Ｌは、例えば１ｍの間途切れており、レーザ光路長を１ｍとしている。
【００２２】
このように、アンモニア濃度を測定する所定の分割領域Ｐ1〜Ｐ9に対応するように、送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の一部が所定距離１１２ａ、１１２ｂの間にわたって区切れ、計測領域Ｌを形成している。
したがって、レーザ経路上では、送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の切れている計測領域Ｌにのみ区画された脱硝触媒を通過した排ガス１０２が存在することになり、該計測領域Ｌにおける排ガス１０２中のアンモニア濃度をレーザ光の吸収により測定できる。
【００２３】
本実施例では、図３に示すように、送光筒１１２Ａは、第１列Ｉ、第２列II、第３列IIIの分割領域（Ｐ1、Ｐ4、Ｐ7）に対応するように、所定距離１１２ａ、１１２ｂ間で区切られた計測場に晒される計測領域Ｌが設けられている。また、送光筒１１２Ｂは、第１列Ｉ、第２列II、第３列IIIの分割領域（Ｐ2、Ｐ5、Ｐ8）に対応するように、所定距離１１２ａ、１１２ｂ間で区切られた計測場に晒される計測領域Ｌが設けられている。また、送光筒１１２Ｃは、第１列Ｉ、第２列II、第３列IIIの分割領域（Ｐ3、Ｐ6、Ｐ9）に対応するように、所定距離１１２ａ、１１２ｂ間で区切られた計測場に晒される計測領域Ｌが設けられている。
【００２４】
よって、脱硝触媒１０６を通過した排ガス１０２に対して、その各々の分割領域のみの濃度を測定するため、濃度を測定しない分割領域のレーザ経路には中空の送光筒１１２Ａ〜１１２Ｃが設置されることとなる。
【００２５】
図５及び図６は、レーザビーム窓１５と送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）を概略的に示した図である。レーザビーム窓１５は、図５及び図６に示すように、中空部材であり、フランジ１６により脱硝装置１０５の壁部１０３ｃ、１０３ｄ面にそれぞれ固定されている。レーザビーム窓１５の内部には、内部と外部との間のガスの出入りを遮断するシール用光学ガラス１７が設けられる。シール用光学ガラス１７の受光面は、レーザ光の反射を防止するため、レーザ光に対して垂直ではなく斜めに形成されてもよい。
【００２６】
レーザビーム窓１５のシール用光学ガラス１７の両面側には、それぞれ給気口１８が設けられる。給気口１８からシールエア１９が吹き出すことによって、シール用光学ガラス１７への物質の付着を防止できる。なお、シールエア１９は、シール用光学ガラス１７に対して両面側ではなく、濃度測定領域Ｓ側のみに吹き出されるとしてもよい。
【００２７】
また、送光筒１１２Ａ〜１１２Ｃ内に供給されるシールエア１９が充満されることで、開口された計測領域Ｌからの排ガス１０２の流入(逆流)を防止している。
【００２８】
送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）を内壁面に設置する場合は、図５及び図６に示すように、例えばフランジ１６の端部に送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の端部が接続される。送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の径は、レーザビーム窓１５の径よりも大きく、レーザビーム窓１５に供給されたシールエア１９は、送光筒１１２Ａ（１１２Ｂ、１１２Ｃ）の内部に供給される。
【００２９】
なお、濃度測定領域における分割領域の形成方法は、上述した３列×３行の９個に限定されるものではない。列数や行数の数は、他の数でもよい。濃度測定領域がＭ列×Ｎ行でＰ個の分割領域が形成される場合、Ｐ本のプローブ手段のレーザ経路が設定される。
【００３０】
本実施例では、図２に示すように、９分割に区画しているので、このプローブ手段は３本で１セットとして、３セット（I、II、III）設けられている。
本実施例に係るガス成分濃度分布測定装置の基本のプローブ手段は、排ガス１０２のガス流れ方向と直交する方向に所定間隔を持って設置され、レーザ光を通過する９本の送光筒１１２（１１２Ａが３本、１１２Ｂが３本、１１２Ｃが３本）と、この送光筒１１２の一部が所定距離区切られ、煙道の計測場に晒される計測領域Ｌと、煙道１０３の外部において、レーザ発光部２０１からのレーザ光２０２を順次反射し、９本の送光筒１１２内に順次レーザ光２０２を導入する９個の送光反射部２０３を備えた送光ユニット２０４と、煙道１０３の外部において、計測領域Ｌを通過した９本の送光筒１１２からのレーザ光２０２を順次反射し、レーザ受光部２０５へ導入する２以上の受光反射部２０６を備えた受光ユニット２０７と、を備えてなり、燃焼排ガス１０２のガス成分濃度を計測する際、送光ユニット２０４の送光反射部２０３と、受光ユニット２０７の受光反射部２０６との反射のタイミングを同期させて、順次複数の送光筒１１２内へのレーザ光の導入及びレーザ光の受光を行うようにしている。符号２０８はレーザ光を吸収するダンパである。
【００３１】
次に、図７を用いて、レーザ光の導入及び受光について説明する。
図７に示すように、レーザ発光部２０１から照射されたレーザ光２０２は、送光ユニット２０４のレーザ発光部２０１に一番近い位置にある第１の送光反射部２０３−１によりレーザ光２０２が反射され、１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ａ内に導入される。そして、この送光筒１１２Ａに形成された所定距離１１２ａ、１１２ｂ間区切られ、煙道の計測場に晒される計測領域Ｌをレーザ光が通過し、その後受光ユニット２０７の第１の受光反射部２０６−１で反射され、レーザ受光部２０５に導入され、ここでレーザ光の光強度を求める。なお、図中符号２１１はパージガスを図示する。
【００３２】
そして、１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ａでの計測が終了した後、次に１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ｂ内にレーザ光２０２を導入する。すなわち、第１の送光反射部２０３−１及び第１の受光反射部２０６−１を駆動して、レーザ光２０２の光路を開けて、第２の送光反射部２０３−２にレーザ光２０２を導入し、ここで送光筒１１２Ｂ内に導入する。この導入されたレーザ光２０２は、受光ユニット２０７の第２の受光反射部２０６−２で反射され、レーザ受光部２０５に導入され、ここでレーザ光の光強度を求める。
【００３３】
ここで、送光反射部２０３及び受光反射部２０６の駆動は図示しない駆動装置により行い、ひんじ部２０９を軸として、図中では、４．５時方向から６時方向に４５度回転させている。
【００３４】
そして、１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ｂでの計測が終了した後、次に１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ｃ内にレーザ光２０２を導入する。すなわち、第１の送光反射部２０３−１及び第１の受光反射部２０６−１を駆動して、レーザ光２０２の光路を開けて、第２の送光反射部２０３−３にレーザ光２０２を導入し、ここで送光筒１１２Ｂ内に導入する。この導入されたレーザ光２０２は、受光ユニット２０７の第２の受光反射部２０６−３で反射され、レーザ受光部２０５に導入され、ここでレーザ光の光強度を求める。
【００３５】
この１セット（Ｉ）目の送光筒１１２Ａ〜Ｃでの計測が終了した後、次に２セット（II）目の送光筒１１２Ａからまた同様にして順次レーザ光２０２を導入する。そてし、２セット（II）目の送光筒１１２Ａ〜Ｃでの計測が終了した後、次に３セット（III）目の送光筒１１２Ａからまた同様にして順次レーザ光２０２を導入することで、１台のレーザ発光部２０１からのレーザ光を複数の送光筒内に導入することで、少しの時間遅れで、レーザ計測が可能となる。
【００３６】
次に、本実施例に係る濃度分布測定の原理について、図を参照して説明する。
図８は、吸収分光計測の概念図である。図９は、吸収分光計測の吸収チャート図である。
レーザ光の光強度と測定対象の濃度との関係を示す関係式として、ランベルト・ベール（Ｌａｍｂｅｒｔ−Ｂｅｅｒ）の法則が知られている。
【００３７】
ランベルト・ベールの法則は、図８に示すように、送光点と受光点との間の、レーザ経路の距離である計測領域をＬとし、レーザ光の照射強度をＩ０、レーザ光の受光強度をＩ（Ｌ）、距離Ｌ中に存在する測定対象（アンモニア）の濃度をＣ０とした場合、以下の（１）式の関係が成立するというものである。
Ｉ（Ｌ）＝Ｉ０ｅｘｐ（−ｋＣ０Ｌ）  ……（１）
ここで、ｋは測定対象の吸光度に応じて設定される比例係数である。
【００３８】
測定対象の濃度を測定する分割領域の濃度平均値をＣ１、分割領域におけるレーザ経路の距離（送光筒の区切れた場所である計測領域Ｌ）をＬ１とすると、上記（１）式は、以下の（２）式のように表すことができる。
Ｉ（Ｌ）＝Ｉ０ｅｘｐ（−ｋＣ１Ｌ１）  ……（２）
【００３９】
予め設定されたレーザ経路ごとにレーザ光を照射する際、分割領域におけるレーザ経路の距離（送光筒の区切れた場所である計測領域）Ｌ１、レーザ光の照射強度Ｉ０及びレーザ光の受光強度Ｉ（Ｌ）は、既知であるから、上記（２）式によって、未知数である分割領域の濃度平均値Ｃ１を算出できる。
【００４０】
そして、上記構成を備えるガス成分濃度分布測定装置１１０においては、以下のような手順により、濃度測定領域のアンモニアの濃度分布が取得される。
【００４１】
また、ボイラ１０１からの排ガス１０２には、煤塵が含まれているので、計測領域Ｌであるレーザ光の光路長さを長くすると、煤塵の影響により光透過率が減衰することとなる。
図１０は、排ガス中の煤塵濃度とレーザ光透過率との関係を示す図である。
図１０では、波長が１．５μｍの場合、煤塵濃度が６ｇ／Ｎｍ3程度の石炭灰中に２．０ｍの光路長で計測が可能であることを確認している。
よって、煤塵濃度がそれ以上の場合には、１．５ｍ、より好適には１ｍ前後の光路長で計測することが良好である。
【００４２】
ここで、本実施例のように、排ガス中のアンモニア（ＮＨ3）濃度を計測するには、半導体レーザ（半導体素子：ＩｎＧａＡｓを例示することができる。波長：１．５μｍ、出力：１ｍＷ程度のものを例示することができる）を用いることができる。
【００４３】
図１１は、本実施例に係る脱硝装置のアンモニア注入装置の概略構成例を示す系統図である。
図１１に示すように、アンモニア注入装置１０４は、アンモニア供給源に接続された流路配管のアンモニア主系統２２に総流量制御弁２３を備えている。このアンモニア主系統２２は、総流量制御弁２３の下流において、ヘッダ２４から分岐させた複数本（図示の例では６本）のアンモニア供給系統２６を備えている。
【００４４】
また、図１１に示すように、アンモニア供給系統２６は、各々が流量制御元弁２５及び複数個（図示の例では３個）の注入ノズル２７を備えており、排ガス１０２を流す流路である煙道１０３の内部に注入ノズル２７が格子状の配置となるように設置されている。注入ノズル２７は、流路配管のアンモニア主系統２２、ヘッダ２４及びアンモニア供給系統２６を通ってアンモニア供給源から供給されたアンモニアを煙道１０３の内部に液滴又はガスの状態で流出させ、燃焼排ガス中に還元剤としてのアンモニアを注入するものである。なお、液滴の状態で注入されたアンモニアは、高温の燃焼排ガスから吸熱してガス化する。
【００４５】
こうして煙道１０３の内部に注入されたアンモニアのガスは、混合器を通過することにより排ガス１０２と撹拌混合される。この結果、アンモニアは窒素酸化物と反応して脱硝装置１０５内の脱硝触媒１０６を通過するので、水と窒素とに分解されることで窒素酸化物が燃焼排ガス中から除去される。
【００４６】
開度設定部１０９には、ガス成分濃度分布測定装置１１０で測定したアンモニア（ＮＨ3）濃度の測定値が制御装置２０を介して入力される。このようなアンモニア濃度の入力を受けた開度設定部１０９は、アンモニア濃度の平均値に基づいて総流量制御弁２３の開度の設定（開度制御）を行うとともに、複数個所のアンモニア濃度に基づいて各流量制御元弁２５の開度の設定（開度制御）を行う。すなわち、開度設定部１０９は、総流量制御弁２３及び流量制御元弁２５の開度制御信号を出力する。
【００４７】
この場合、開度設定部１０９による流量制御元弁２５の開度制御は、予め定めたアンモニア濃度と流量制御元弁２５毎の開度との相関関係を定めた制御マップに基づいて行われる。すなわち、脱硝装置１０５は、ボイラ１０１毎に諸条件（煙道１０３の流路系統や流路断面積、燃料の種類等）が異なるため、事前に相関関係のデータを実験等により入手して制作した制御マップを開度設定部１０９に記憶しておく。なお、この制御マップでは、煙道１０３内のアンモニア濃度を区画された面内で測定した複数位置のアンモニア濃度に対して、複数系統のアンモニア供給系統２６毎に異なる流量制御元弁２５の開度を個別に設定するものである。
【００４８】
ガス成分濃度分布測定装置１１０は、上述したように、脱硝触媒１０６の出口側における煙道１０３で区画された区分（本実施例では９区分）内の濃度測定領域のアンモニア濃度分布を作成し、このアンモニア濃度分布を開度設定部１０９に出力する。
【００４９】
このような脱硝装置１０５によれば、ガス成分濃度分布測定装置１１０によって、煙道１０３における脱硝触媒１０６の出口側におけるアンモニア濃度分布が検出され、この検出結果が開度設定部１０９に出力される。開度設定部１０９では、アンモニア濃度の平均値に基づいて総流量制御弁２３の開度制御が行われ、かつ、ガス成分濃度分布測定装置１１０によって得られたアンモニア濃度分布に基づいて流量制御元弁２５の開度制御が行われる。これにより、脱硝装置１０５の運転を継続しながら、時定数の短いアンモニア濃度の測定値に応じ、複数のアンモニア供給系統２６毎に分配されるアンモニア注入量を自動的に調整することができる。
【００５０】
このとき、流量制御元弁２５の開度制御は、予め定めたアンモニア濃度と流量制御元弁２５毎の開度とのマップに基づいて行われるので、アンモニア濃度により総供給量が規定されたアンモニアは、流量制御元弁２５の開度に応じてアンモニア供給系統２６に対するアンモニア分配量が調整される。
【００５１】
このように、アンモニア濃度分布が脱硝触媒１０６の性能劣化と関連しているので、アンモニア濃度分布に基づいてアンモニア注入装置１０４によるアンモニア注入量の分布制御を実施すれば、脱硝装置１０５の後流側に余剰に排出されるリークアンモニアの分布をコントロールすることができる。また、リークアンモニアは、空気予熱器１０７を閉塞させる原因でもあるから、濃度検出に基づいてアンモニア注入装置１０４によるアンモニア注入量の分布制御を実施すれば、空気予熱器１０７の閉塞頻度低減に寄与することも可能になる。
【００５２】
本実施例に係る脱硝装置１０５によれば、脱硝装置１０５の運転を継続しながら、時定数の短いアンモニア濃度の測定値に応じて、複数の還元剤供給系統毎に分配される還元剤注入量を自動的に調整することが可能になる。これにより、還元剤注入の分配最適化による脱硝触媒１０６の寿命延長や脱硝触媒１０６の更新の効率化を達成することができる。この結果、脱硝装置１０５においては、脱硝触媒１０６の更新に伴うコストの低減やアンモニア消費量の最適化を実現できる。
【００５３】
本実施例では、脱硝装置１０５の出口側で、ガス成分濃度分布測定装置１１０を設置し、アンモニア濃度を計測しているが、脱硝装置１０５の入口側と出口側とにガス成分濃度分布測定装置１１０、１１０を設け、脱硝触媒１０６に供給するアンモニア濃度と脱硝後のリークアンモニア濃度を計測することで、供給アンモニア濃度に対するリークアンモニア濃度の分布を測定することもできる。
【００５４】
また、本実施例では、脱硝装置１０５の出口側でアンモニア濃度を計測しているが、脱硝装置１０５の出口側でのガス成分の計測に限定されず、ボイラ出口から脱硝装置１０５に至る煙道１０３のいずれかにおいて、入口側のガス成分を図るようにしてもよい。
【００５５】
本実施例では、図１に示すように、半導体レーザを制御するための制御装置２０が設置されている。この制御装置２０は、例えば、コンピュータであり、ＣＰＵ、ＣＰＵが実行するプログラム等を記憶するためのＲＯＭ（Read  Only  Memory）、各プログラム実行時のワーク領域として機能するＲＡＭ（Random  Access  Memory）、大容量記憶装置としてのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、通信ネットワークに接続するための通信インターフェース、及び外部記憶装置が装着されるアクセス部などを備えている。これら各部は、バスを介して接続されている。更に、制御装置２０は、キーボードやマウス等からなる入力部及びデータを表示する液晶表示装置等からなる表示部などと接続されていてもよい。
【００５６】
上記ＣＰＵが実行するプログラム等を記憶するための記憶媒体は、ＲＯＭに限られない。例えば、磁気ディスク、光磁気ディスク、半導体メモリ等の他の補助記憶装置であってもよい。なお、本実施例では、制御装置２０を一つのコンピュータによって実現する構成としているが、複数のコンピュータによって実現してもよい。
【００５７】
まず、測定を行うレーザ経路に対応するように、制御装置２０によって半導体レーザのレーザ発光部２０１が起動され、更に、レーザ光の出力が安定した後に、レーザ経路における測定が行われる。
【００５８】
このレーザ経路における測定が終了した後、次のレーザ経路における測定を開始する。このようにして、レーザ経路ごとの測定を順次行う。その後、発光部２０１からレーザ光が照射され、レーザ光が所定のレーザ経路を通過することで測定対象により吸光されたレーザ光が受光部２０５によって受光される。
【００５９】
受光部２０５は、受光した光によって光強度を検出する。レーザ光の検出値は、制御装置２０に出力される。このとき、制御装置２０は、受光部２０５による検出値とその検出値に対応するレーザ経路の識別情報（Ｐ1〜Ｐ9）とを関連付けることができる。
【００６０】
制御装置２０に入力された検出値とレーザ経路の情報は、互いに関連付けられて制御装置２０にて記憶される。更に、上記レーザ照射の際の発光部２０１からのレーザ光の照射強度も制御装置２０にて記憶される。そして、制御装置２０では、記憶されたデータに基づいてＮＯ濃度分布が作成される。
【００６１】
具体的には、各レーザ経路上の分割領域の距離や、入力された検出値及びレーザ光の照射強度が読み出されて、上記（２）式で表わされる濃度演算式を用いることにより分割領域ごとの測定対象の濃度が算出される。そして、各分割領域の濃度が補間されることにより、濃度測定領域の濃度分布が作成される。これにより、濃度測定領域における測定対象の濃度分布が得られることとなる。
このようにして得られた濃度測定領域の濃度分布は、例えば、制御装置２０と接続された表示装置（図示略）に表示されることによって、ユーザに提示される。
【００６２】
そして、リークするアンモニア濃度分布の全てが所定値以下であれば、そのままの条件で運転を継続する。この場合、アンモニア注入装置１０４の注入量の調整は行わない。
【００６３】
これに対し、アンモニア濃度分布の一部に濃度が高い場所があると、制御装置２０の判断部で判断された場合には、開度設定部１０９にその情報信号を送る。そして開度設定部１０９において、その特定されたアンモニア濃度分布の高い場所に対応するアンモニア注入装置１０４からのアンモニアが注入できるように、流量制御元弁２５の開度制御が行われる。これにより、脱硝装置１０５の運転を継続しながら、アンモニア濃度の測定値に応じ、複数のアンモニア供給系統２６毎に分配されるアンモニア注入量を自動的に調整することができる。
【００６４】
この結果、脱硝装置１０５の出口側で、ガス成分濃度分布測定装置１１０によりアンモニア濃度分布を各々計測することで、リアルタイムにおいて、一様に脱硝されているかを確認することができる。
【００６５】
排ガス中の窒素酸化物（ＮＯｘ）の変動は、ボイラ負荷の変動やボイラ１０１に供給する燃料の種類等が変更した場合、ボイラ立ち上げの際に発生する。
よって、本装置を用いて、負荷変動等があった場合には、通常の計測回数よりも頻繁に濃度分布の計測を行うようにして、窒素酸化物の脱硝が確実になされているかを判断するようにしてもよい。
【００６６】
図１２は、他のガス成分濃度分布測定装置の全体構成を示す概略図である。図１２では、煙道１０３の断面形状が矩形状の場合、長尺方向と短尺方向との区分１８点（Ｐ1〜Ｐ18）を計測する一例である。
図１２に示すように、第１列Ｉ〜第３列IIIは、第１の送光ユニット２０４−１及び第１の受光ユニット２０７−１とし、第４列ＩV〜第６列VIは、第２の送光ユニット２０４−２及び第２の受光ユニット２０７−２としている。
【００６７】
これにより、従来では、送光筒１本に対して個別にレーザ光の送光器と受光器とを設けて、個別に計測し、１８セットの送光器と１８セットの受光器とを必要としていたが、本発明によれば、反射部を可動とした送光ユニット２０４−１、２０４−２と、受光ユニット２０７−１、２０７−２の２セットだけで良いので、レーザ装置の簡素化を図ることができる。
【００６８】
図１３は、多点（１８点）計測の計測結果を示す図である。
２セットの送光ユニットと受光ユニットを設けるだけで、煙道１０３内の１８点の分布（Ｐ1〜Ｐ18）の計測をわずかな時間遅れで、計測することができる。
【符号の説明】
【００６９】
１００  ボイラ装置
１０１  ボイラ
１０２  燃焼排ガス（排ガス）
１０３  煙道
１０４  アンモニア注入装置
１０５  脱硝装置
１０６  脱硝触媒
１１０  ガス成分濃度分布測定装置
１１２Ａ〜１１２Ｃ  送光筒
２０１  レーザ発光部
２０２  レーザ光
２０３  送光反射部
２０４  送光ユニット
２０５  レーザ受光部
２０６  受光反射部
２０７  受光ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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