(57)【要約】【課題】本発明の目的は、装置の作業ユニットの動作タイミングにずれが発生した場合でも部品の吸着及び実装精度を維持することが可能な技術を提供することにある。【解決手段】処理装置は、作業ユニットと、前記作業ユニットに固定された作業部と、前記作業ユニットに固定されたカメラと、前記作業部及び前記カメラを制御する制御部とを備える。前記カメラは、前記作業部と、前記作業部の作業によって処理される対象物とを含む画像を撮像する。前記制御部は、前記画像内での前記対象物と前記作業部による作業位置との間の第１の距離に基づいて、前記作業部の動作タイミングを補正する。【選択図】図２Ｂ
2015204377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業ユニットと、前記作業ユニットに固定された作業部と、前記作業ユニットに固定されたカメラと、前記作業部及び前記カメラを制御する制御部とを備え、
前記カメラは、前記作業部と、前記作業部の作業によって処理される対象物とを含む画像を撮像し、
前記制御部は、前記画像内での前記対象物と前記作業部による作業位置との間の第１の距離に基づいて、前記作業部の動作タイミングを補正することを特徴とする処理装置。
【請求項２】
請求項１の処理装置において、
前記制御部は、
前記作業部による前記対象物への作業が完了した時間と、予め決められた時間との差を補正値として算出し、
前記作業部による次の対象物への作業のときに前記補正値だけ前記作業部の動作タイミングを補正することを特徴とする処理装置。
【請求項３】
請求項２の処理装置において、
前記制御部は、
前記第１の距離と、前記カメラの撮像角度とに基づいて、実際の座標系での前記対象物と前記作業部による作業位置との間の第２の距離を算出し、
前記第２の距離と所定の閾値を比較することにより、前記作業部による前記対象物への作業が完了した前記時間を判定することを特徴とする処理装置。
【請求項４】
請求項３の処理装置において、
前記作業ユニットは、ヘッドアクチュエータであり、前記作業部は、ノズルであり、前記第１の距離は、前記ノズルによって前記対象物を吸着するときの前記画像内での前記対象物の移動距離であり、前記第２の距離は、前記ノズルによって前記対象物を吸着するときの実際の座標系での前記対象物の移動距離であることを特徴とする処理装置。
【請求項５】
請求項２の処理装置において、
表示部をさらに備え、
前記制御部は、前記差が所定の閾値より大きくなった場合には、前記表示部を介して前記作業部の異常を通知することを特徴とする処理装置。
【請求項６】
請求項１の処理装置において、
前記制御部は、前記第１の距離に基づいて、前記作業部による前記対象物への作業が完了したかを判定し、前記作業部の動作を停止することを特徴とする処理装置。
【請求項７】
請求項６の処理装置において、
前記制御部は、
前記第１の距離と、前記カメラの撮像角度とに基づいて、実際の座標系での前記対象物と前記作業部による作業位置との間の第２の距離を算出し、
前記第２の距離と所定の閾値を比較することにより、前記作業部による前記対象物への作業が完了したかを判定することを特徴とする処理装置。
【請求項８】
請求項７の処理装置において、
前記作業ユニットは、ヘッドアクチュエータであり、前記作業部は、ノズルであり、前記第１の距離は、前記ノズルによって前記対象物を目標位置へ実装するときの前記画像内での前記対象物から前記目標位置までの距離であり、前記第２の距離は、前記ノズルによって前記対象物を前記目標位置へ実装するときの実際の座標系での前記対象物から前記目標位置までの距離であることを特徴とする処理装置。
【請求項９】
請求項１の処理装置において、
前記制御部は、
前記画像内に前記対象物が存在するかを判定し、
前記対象物が前記画像内にある場合には前記作業部による作業を実行し、
前記対象物が前記画像内にない場合には前記作業部による作業を実行しないことを特徴とする処理装置。
【請求項１０】
請求項９の処理装置において、
前記作業ユニットは、ヘッドアクチュエータであり、前記作業部は、ノズルであり、前記作業は、前記ノズルによる前記対象物への吸着動作であることを特徴とする処理装置。
【請求項１１】
作業ユニットと、前記作業ユニットに固定された作業部と、前記作業ユニットに固定されたカメラと、前記作業部及び前記カメラを制御する制御部とを備え、
前記カメラは、前記作業部と、前記作業部の作業によって処理される対象物とを含む画像を撮像し、
前記制御部は、
前記画像内に前記対象物が存在するかを判定し、
前記対象物が前記画像内にある場合には前記作業部による作業を実行し、
前記対象物が前記画像内にない場合には前記作業部による作業を実行しないことを特徴とする処理装置。
【請求項１２】
請求項１１の処理装置において、
前記作業ユニットは、ヘッドアクチュエータであり、前記作業部は、ノズルであり、前記作業は、前記ノズルによる前記対象物への吸着動作であることを特徴とする処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カメラを用いて作業ユニットの動作のタイミングを補正する処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
対象物に対し、装置内に配置された作業ユニットの作業部によって、実装及び検査などを行う装置がある。これらの装置には高速で、高精度な動作が求められている。例えば、このような装置の１つである部品実装装置は、プリント基板に電子部品（以下、部品と呼ぶ）を実装する装置であるが、近年、部品の微小化が進み、部品実装の更なる高速・高精度化が求められている。これを実現するための従来技術として、例えば、特許文献１に記載の技術が開示されている。
【０００３】
特許文献１の部品実装装置では、作業ユニットである部品実装ヘッドの１つのノズルの先端座標を部品認識用カメラで取得する。特許文献１では、ノズル中心に対する吸着された部品の吸着ズレを算出し、この吸着ズレを補正して部品を基板上の指令位置に実装する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１９９６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、ノズルにおける部品実装時のバルブの開閉タイミングに関しては考慮されていない。したがって、バルブの開閉タイミングのずれにより部品実装の精度が悪化することがある。
【０００６】
本発明の目的は、装置の作業ユニットの動作タイミングにずれが発生した場合でも部品の吸着及び実装精度を維持することが可能な技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する為に、例えば特許請求の範囲に記載の構成を採用する。本願は上記課題を解決する手段を複数含んでいるが、その一例をあげるならば、作業ユニットと、前記作業ユニットに固定された作業部と、前記作業ユニットに固定されたカメラと、前記作業部及び前記カメラを制御する制御部とを備え、前記カメラは、前記作業部と、前記作業部の作業によって処理される対象物とを含む画像を撮像し、前記制御部は、前記画像内での前記対象物と前記作業部による作業位置との間の第１の距離に基づいて、前記作業部の動作タイミングを補正する処理装置が提供される。
【０００８】
また、他の例によれば、作業ユニットと、前記作業ユニットに固定された作業部と、前記作業ユニットに固定されたカメラと、前記作業部及び前記カメラを制御する制御部とを備え、前記カメラは、前記作業部と、前記作業部の作業によって処理される対象物とを含む画像を撮像し、前記制御部は、前記画像内に前記対象物が存在するかを判定し、前記対象物が前記画像内にある場合には前記作業部による作業を実行し、前記対象物が前記画像内にない場合には前記作業部による作業を実行しない、処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、装置の作業ユニットの動作タイミングにずれが発生した場合でも、部品の吸着及び実装精度を維持することができる。
【００１０】
本発明に関連する更なる特徴は、本明細書の記述、添付図面から明らかになるものである。また、上記した以外の、課題、構成及び効果は、以下の実施例の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る部品実装装置の外観図である。
【図２Ａ】ヘッドアクチェエータの詳細図である。
【図２Ｂ】制御部の構成を示す図である。
【図３】カメラが撮像した画像の撮像例である。
【図４】ノズルが詰まった場合の部品吸着時のバルブの開閉タイミングを説明する図である。
【図５】部品吸着時のバルブの開閉タイミングの補正方法を説明するフローチャートである。
【図６】部品吸着動作中のノズルが部品を吸着したかを確認するためのカメラ画像の説明図である。
【図７】バルブの開閉タイミングを補正した後の部品吸着時間を説明する図である。
【図８】実装対象の基板が反れている場合の部品実装を説明する図である。
【図９】カメラが撮像した部品実装時画像の撮像例である。
【図１０】部品実装時のバルブの開閉タイミングの補正方法を説明するフローチャートである。
【図１１】部品がフィーダで搬送されてきたときのカメラが撮像した撮像例である。
【図１２】部品がフィーダで搬送されてきたときの処理を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。なお、添付図面は本発明の原理に則った具体的な実施例を示しているが、これらは本発明の理解のためのものであり、決して本発明を限定的に解釈するために用いられるものではない。
【００１３】
［第１実施例］
以下の実施例は、対象物に対して、作業ユニットの作業部で部品の実装及び検査などを行う部品実装装置に関する。図１は、部品実装装置の外観図を示す。
【００１４】
部品実装装置は、Ｘビーム１０２及びＹビーム１０１と、ヘッドアクチュエータ１０５と、フィーダ１０６と、部品認識カメラ１０７と、装置の各構成要素を制御する制御部１０９とを備える。ヘッドアクチュエータ１０５はＸビーム１０２に搭載され、ヘッドアクチュエータ１０５は、自身が備える駆動軸によって、Ｘビーム１０２上をＸ方向に移動する。Ｘビーム１０２は、Ｙビーム１０１に搭載され、Ｘビーム１０２は、自身が備える駆動軸によって、Ｙビーム１０１上でＹ方向に移動する。ヘッドアクチュエータ１０５は、フィーダ１０６から供給される部品を吸着する。
【００１５】
部品認識カメラ１０７は、部品実装装置の本体１１０に搭載されている。部品認識カメラ１０７の撮像素子は、ヘッドアクチュエータ１０５の真下からＺ軸正方向に向けられており、ヘッドアクチュエータ１０５が吸着した部品の姿勢を撮像する。
【００１６】
部品実装装置において、ヘッドアクチュエータ１０５は、Ｘビーム１０２上でのヘッドアクチュエータ１０５の移動及びＹビーム１０１上でのＸビーム１０２の移動によって、基板１０８上へ移動することができる。ヘッドアクチュエータ１０５は、フィーダ１０６から供給された部品を吸着し、その部品を基板１０８上の所定の位置に装着する実装動作を行う。制御部１０９は、Ｘビーム１０２と、Ｙビーム１０１と、ヘッドアクチュエータ１０５などの制御を行う。
【００１７】
図２Ａは、ヘッドアクチュエータ１０５の構成図である。ヘッドアクチュエータ１０５は、ロータ２０１と、ロータ２０１に搭載される複数のノズル２０２と、ノズル２０２の先端部であるノズル先端２０３と、ノズル２０２で部品を吸着及び実装する際の大気圧の制御を実行するバルブ２０４と、ノズル先端２０３を撮像するカメラ２０５と、ロータ回転軸２０８と同軸に配置され、カメラ２０５が固定されるカメラ固定部２０９とから構成される。図２Ａに示すように、部品２０６は、ノズル先端２０３によって吸着される。
【００１８】
ヘッドアクチュエータ１０５において、カメラ２０５は、カメラ２０５の撮像方向が、ロータ回転軸２０８を基準に角度θとなるように搭載されている。カメラ２０５は、フィーダ１０６と、ノズル２０２と、ノズル先端２０３と、部品２０６とを撮像する。本実施例の特徴として、カメラ２０５で撮像された画像に基づいて、ノズル２０２が部品２０６を持ち上げた際のフィーダ１０６から部品２０６までの画像内における距離ｄｋ’を算出する。このとき、部品実装装置においては、カメラ２０５の撮像性能を、サンプリング周期１ｋＨｚ以上、分解能１μｍ以下とすることが望ましい。
【００１９】
カメラ２０５の固定部２０９は、ロータ２０１に搭載される全てのノズル２０２を撮像できるように、ロータ回転軸２０８を中心にＺ軸まわりに回転する。ノズル２０２は、Ｚ軸方向に駆動し、ロータ２０１に固定されたバルブ２０４の開閉によって、ノズル２０２の内部の大気圧を調整し、部品２０６をノズル２０２のノズル先端２０３に真空吸着し、部品２０６の供給及び基板１０８への実装を行う。また、ロータ２０１は、ロータ回転軸２０８を中心にＺ軸まわりに回転する。
【００２０】
図２Ｂは、制御部の構成を示す図であり、本実施例で説明するノズル２０２の動作タイミングの補正に関する構成要素のみを示す。制御部１０９は、画像処理部１１１と、距離判定部１１２と、補正部１１３と、記憶部１１４とを備える。画像処理部１１１は、カメラ２０５によって撮像される画像内でのフィーダ１０６から部品２０６までの距離ｄｋ’を、公知の画像処理技術によって取得する。距離判定部１１２は、画像処理部１１１によって取得された距離ｄｋ’に基づいてフィーダ１０６から部品２０６までの距離ｄｋを計算し、部品２０６がノズル２０２によって吸着されたかを判定する。補正部１１３は、部品２０６がノズル２０２によって吸着された時間と、規定の部品吸着時間とに基づいて、バルブ２０４の開閉タイミングを補正する。記憶部１１４は、以下で説明する各種閾値、時間の値、補正値などを記憶するものである。
【００２１】
図３は、カメラ２０５が撮像したカメラ画像３０１の撮像例である。カメラ画像３０１には、吸着直前から直後までのノズル２０２と、そのノズル先端２０３と、ノズル２０２に吸着される部品２０６と、フィーダ１０６が撮像される。制御部１０９の画像処理部１１１は、このカメラ画像３０１から、ノズル２０２が部品２０６を持ち上げた際のフィーダ１０６から部品２０６までの画像内における距離ｄｋ’を、画像処理を用いて取得する。すなわち、距離ｄｋ’は、ノズル２０２によって部品２０６を吸着するときの画像内における部品２０６の移動距離である。図３において、点線２０６ａは、フィーダ１０６によって部品がノズル２０２の作業位置まで送られてきて、まだノズル２０２によって部品が吸着されていない状態を示す。例えば、画像処理部１１１は、点線２０６ａの時点での部品の中心位置を基準として設定しておく。点線２０６ａの時点では、距離ｄｋ’＝０である。
【００２２】
実線２０６ｂは、ノズル２０２によって部品が吸着された状態を示す。例えば、画像処理部１１１は、前記基準から部品２０６ｂの中心の位置までの画像内における距離ｄｋ’を画像処理を用いて取得する。ここで、カメラ２０５は、ロータ回転軸２０８を基準に角度θで固定されているため、実際の座標系におけるＺ軸上の距離ｄｋは、数１に示す数式を計算することで求められる。
【００２３】
【数１】
2015204377.tif 000003
【００２４】
図４、図５、図６、図７を用いて部品吸着時のバルブ２０４の開閉タイミングの補正の方法について説明する。図４は、部品吸着時のバルブ２０４の開閉タイミングを説明する図である。図４は、部品２０６がフィーダ１０６から一定距離離れたノズル先端２０３に吸着されるまでの様子を示している。
【００２５】
ノズル２０２にはノズル先端２０３が接続されている。フィーダ１０６に配置されている部品２０６をノズル先端２０３に吸着する。ｔ１ｄはアライメントの開始時間を示し、ｔ１ｏはバルブ２０４を開いた時間を示し、ｔ１ａは規定の部品吸着時間を示し、ｔ１ａ’は実際の部品吸着時間を示す。図４の例では、ノズル２０２が詰まっているため、規定の部品吸着時間ｔ１ａよりも後の時間ｔ１ａ’でノズル２０２内の圧力が吸着可能値まで下がり、部品２０６がノズル先端２０３に吸着される。
【００２６】
図５は、部品吸着時のバルブ２０４の開閉タイミングの補正方法を説明するフローチャートである。図５での時間の符号は、図４の時間の符号と対応している。まず、アライメントを時間ｔ１ｄから開始する（６０１）。次に、時間ｔ１ｏで制御部１０９によってバルブ２０４を制御し、バルブ２０４を開く（６０２）。この時点、カメラ２０５は、部品２０６とノズル２０２とノズル先端２０３を随時撮像し続ける。
【００２７】
次に、カメラ２０５は、部品２０６とノズル２０２とノズル先端２０３を撮像し、カメラ２０５は、撮像した画像を制御部１０９へ出力する。制御部１０９の画像処理部１１１は、部品２０６が吸着されていない時点での部品２０６の位置を基準として、画像内でのフィーダ１０６から部品２０６までの距離ｄｋ’を取得する。そして、距離判定部１１２が、上記の数１の式に従って、フィーダ１０６から部品２０６までの実際の座標系での距離ｄｋを算出する（６０３）。
【００２８】
距離判定部１１２が、算出した距離ｄｋと、記憶部１１４に格納されている閾値Ｌｋ１とを比較し、所定の条件（ｄｋ＞Ｌｋ１）を満たすかを判定する（６０４）。閾値Ｌｋ１は、部品２０６がノズル先端２０３まで持ち上がったかを判断するための閾値である。図６は、部品吸着動作中のノズル２０２と部品２０６を撮像するカメラ２０５の画像３０１を示す。算出した距離ｄｋと閾値Ｌｋ１との比較によって、部品２０６がノズル２０２によって吸着されたかの判定することができる。なお、図６では、画像３０１上で距離ｄｋと閾値Ｌｋ１を説明しているが、上述したように、距離ｄｋは実際の座標系における距離であり、閾値Ｌｋ１は、実際の座標系における距離に対する閾値である。
【００２９】
ステップ６０４において上記所定の条件を満たさない場合、再度、カメラ２０５を用いて画像を撮像し、フィーダ１０６から部品２０６までの距離ｄｋを算出する。すなわち、所定の条件を満たすまでステップ６０３〜６０４の処理が繰り返される。
【００３０】
上記所定の条件を満たす場合、部品２０６が吸着できたことを意味するので、距離判定部１１２は、実際に吸着が完了した吸着時間ｔ１ａ’を取得し、記憶部１１４に記録する（６０５）。次に、補正部１１３は、部品２０６がノズル２０２によって吸着された実際の吸着時間ｔ１ａ’と、規定の部品吸着時間（設計値）ｔ１ａとの差を算出し、算出した差が閾値ｋよりも大きいかを判定する（６０６）。吸着時間ｔ１ａ’と設計値ｔ１ａとの差が閾値ｋより小さければ、吸着時間ｔ１ａ’は設計値ｔ１ａと同等であると判断し、補正は行わない。
【００３１】
吸着時間ｔ１ａ’と設計値ｔ１ａとの差が閾値ｋより大きければ、ステップ６０７へ進む。このとき、補正部１１３は、吸着時間ｔ１ａ’と設計値ｔ１ａとの差ｔｒを補正値として記憶部１１４に記録する（６０７）。補正部１１３は、次回の部品２０６の吸着時においてこの補正値を用いてバルブ２０４の開閉タイミングを補正する。
【００３２】
図７は、バルブ２０４の開閉タイミングを補正した後の部品吸着時間を説明する図である。補正部１１３は、前回のバルブ２０４の開いた時間ｔ１ｏに対して補正値ｔｒを適用した時間（ｔ１ｏ−ｔｒ）でバルブ２０４を開くように補正する。これにより、ノズル２０２内の圧力が吸着可能値となるタイミングが設計値ｔ１ａとなる。これにより、実際の吸着時間を設計値ｔ１ａに補正することができる。
【００３３】
以上より、第１実施例は、以下の効果を奏することができる。部品吸着・実装時のノズルの部品吸着・実装動作において、バルブ２０４を開いた後のノズル２０２内の大気圧が部品吸着／実装可能になるまでの時間をカメラ２０５によって観察することによって、部品吸着・実装のためのバルブ２０４の開閉タイミングを補正することができる。バルブの開閉タイミングにずれが発生した場合においても、部品の吸着精度を維持することができ、高精度の実装が可能となる。
【００３４】
なお、ノズル２０２内の大気圧の変化時間が一定以上長くなった（すなわち、吸着時間ｔ１ａ’と設計値ｔ１ａとの差が所定の閾値より大きくなった）ことを検出した場合は、ノズル２０２内にゴミが溜まってしまったことを通知してもよい（ノズルの異常の通知）。例えば、制御部１０９は、ディスプレイなどの表示装置にノズル洗浄の必要性を知らせる通知を表示してもよい。
【００３５】
［第２実施例］
本実施例では、ノズル２０２で吸着した部品を基板１０８に実装する際に基板１０８に反りが生じている場合に、カメラ２０５で撮像される画像を用いてバルブ２０４の開閉のタイミングを補正する内容について説明する。
【００３６】
図８は、実装対象の基板１０８が反れている場合に部品２０６を実装する様子を説明する図である。第１実施例と同じ構成要素については同じ符号を付し、説明を省略する。基板１０８は、反りが発生しており、基板面が基板１０８’に示すようにＺ軸の正方向に撓んでいる。その結果、基板１０８’の基板面から、部品２０６とノズル先端２０３の接点までの、Ｚ軸と平行線上における距離ｒｐは、反りが発生していない場合の基板１０８の基板面から、部品２０６とノズル先端２０３の接点までの距離ｄｋ１に対して、ｒｐ＜ｄｋ１となる。
【００３７】
図９は、カメラ２０５が撮像した部品実装時のカメラ画像１３０１の例である。カメラ画像１３０１には、部品２０６の実装直前から直後までのノズル２０２と、そのノズル先端２０３、基板１０８に実装される部品２０６、及び、基板１０８における作業位置（目標部品実装位置７０３）とが撮像される。ここで、部品２０６とノズル先端２０３の接点を実装部品位置１３０３とする。また、目標部品実装位置７０３は、２つのはんだ３０２の中心位置とする。目標部品実装位置７０３は、この例に限定されず、他の基準で決定されてもよい。
【００３８】
画像処理部１１１は、カメラ２０５によって撮像される画像内で、はんだ３０２の中心位置である目標部品実装位置７０３を、画像処理によって算出する。また、画像処理部１１１は、カメラ２０５によって撮像される画像内で、実装前の部品２０６の位置（例えば、部品２０６とノズル先端２０３の接点）である実装部品位置１３０３を、画像処理によって算出する。これにより、画像処理部１１１は、実装部品位置１３０３から目標部品実装位置７０３までの画像内における距離ｒｐ’を算出する。すなわち、距離ｒｐ’は、ノズル２０２によって部品２０６を目標部品実装位置７０３へ実装するときの部品２０６から目標部品実装位置７０３までの画像内における距離である。ここで、カメラ２０５は、ロータ回転軸２０８を基準に角度θで固定されているため、実際の座標系におけるＺ軸上の距離ｒｐは、数２に示す数式を計算することで求められる。
【００３９】
【数２】
2015204377.tif 000004
【００４０】
図１０はカメラ画像１３０１を用いたときの、部品実装方法のフローチャートであり、このフローチャートに沿って、部品実装方法について説明する。まず、部品２０６が吸着されているノズル２０２が、基板１０８への部品の実装のために降下を開始する（１４０１）。次に、画像処理部１１１は、カメラ２０５によって撮像される画像内で、部品２０６から目標部品実装位置７０３までの画像内における距離ｒｐ’を算出する。そして、距離判定部１１２が、上記の数２の式に従って、部品２０６から目標部品実装位置７０３までの距離ｒｐを算出する（１４０２）。
【００４１】
距離判定部１１２が、算出した距離ｒｐと、記憶部１１４に格納されている所定の閾値とを比較し、距離ｒｐが前記閾値以下であるかを判定する（１４０３）。ここでの閾値は、部品２０６が目標部品実装位置７０３まで降下したかを判断するための閾値である。
【００４２】
距離ｒｐが前記閾値以下である場合、部品２０６が目標部品実装位置７０３まで降下したことを意味するので、補正部１１３は、バルブ２０４を閉める（１４０４）。距離ｒｐが前記閾値以下でない場合、再度、カメラ２０５を用いて画像を撮像し、部品２０６から目標部品実装位置７０３までの距離ｒｐを算出する。すなわち、上記の条件を満たすまでステップ１４０２〜１４０３の処理が繰り返される。
【００４３】
以上の方法により、カメラ２０５を用いてノズル２０２に吸着されている部品２０６と実装位置との位置関係を随時取得し、両者の距離に応じてバルブ２０４を閉じるタイミングを決定する。第２実施例によれば、基板の反りを起因とするノズル２０２の降下時間の増減によって、バルブ２０４の開閉タイミングにずれが発生した場合においても、部品２０６の実装精度を維持することができる。
【００４４】
特に、基板１０８に反りが生じている場合など、基板１０８の高さが異なっている場合に柔軟にバルブ２０４の開閉タイミングをリアルタイムに補正することで、より高精度に実装する効果が期待できる。また、第２実施例を第１実施例と組み合わせることで、部品吸着と部品実装の両方においてバルブ２０４の開閉タイミングの補正することにより、より高精度な実装が可能となる。
【００４５】
［第３実施例］
本実施例では、部品２０６がフィーダ１０６で搬送されてきたときにカメラ画像内の所定の位置に部品２０６がなかった場合における動作について説明する。部品２０６は所定の間隔でフィーダ１０６上に配置されており、フィーダ１０６を上記の間隔で送ることにより、ノズル２０２の直下に順次部品２０６が配置される。しかし、フィーダ１０６を送ったときに部品２０６がない場合もある。図１１は、フィーダ１０６に部品２０６がなかった場合のカメラ画像５０１の撮像例である。
【００４６】
部品吸着時のカメラ画像５０１には、ノズル２０２と、ノズル先端２０３と、ノズル２０２が吸着すべき部品２０６が配置される部品配給箇所１５０１、及び、フィーダ１０６が撮像されている。カメラ画像５０１では、フィーダ１０６を順次送った場合に、部品配給箇所１５０１に部品２０６がない場合が示されている。画像処理部１１１は、ノズル２０２の先端２０３から所定の距離にある部品配給箇所１５０１に部品２０６があるかを、画像処理によって判定する。例えば、画像処理部１１１は、部品配給箇所１５０１に対応する画像内での範囲を探索することによって、部品２０６があるかを判定することができる。
【００４７】
図１２は、部品２０６がフィーダ１０６で搬送されてきたときの処理を説明するフローチャートである。まず、ノズル２０２が、供給された部品２０６を吸着するために、フィーダ１０６上の所定の位置まで移動する（１６０１）。次に、フィーダ１０６を送ることにより、ノズル２０２の直下に部品配給箇所１５０１が配置される（１６０２）。次に、画像処理部１１１は、ノズル２０２の先端２０３から所定の距離にある部品配給箇所１５０１に部品２０６があるかを、画像処理によって判定する（１６０３）。部品２０６が部品配給箇所１５０１にあった場合、制御部１０９の制御により、ノズル２０２が部品２０６を吸着する（１６０４）。
【００４８】
部品２０６が部品配給箇所１５０１にない場合、ノズル２０２が部品２０６の吸着動作を行わず、ステップ１６０２に戻ることになる。その後、次の部品２０６をノズル２０２の直下に配置するためにフィーダ１０６を送る（１６０２）。
【００４９】
第３実施例によれば、部品２０６がない場合にノズル２０２の無駄な吸着動作が実行されることがない。部品の吸着ミスを低下させることで、スループット向上の効果が期待できる。
【００５０】
本発明は上記した実施例に限定されるものではなく、様々な変形例が含まれる。上記実施例は本発明を分かりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることもできる。また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることもできる。また、各実施例の構成の一部について、他の構成を追加・削除・置換することもできる。
【００５１】
また、上記の実施例では、ヘッドアクチュエータ１０５（作業ユニット）のノズル２０２（作業部）の動作タイミングを例に挙げて説明したが、他の作業ユニットの作業部にも適用可能である。例えば、自動車などの製造ラインにおけるロボットアームでの部品の実装などにも適用可能である。また、本発明は、部品実装装置に限定されず、他の装置にも適用可能である。例えば、本発明は、試料を吸引し、所定の反応容器に分注して分析を行う自動分析装置における、ノズルの吸引・分注動作のタイミングを補正する場合にも適用可能である。
【００５２】
上記の制御部１０９の処理手段などは、プロセッサがそれぞれの機能を実現するプログラムを解釈し、実行することによりソフトウェアで実現してもよい。各機能を実現するプログラム、テーブル、ファイルなどの情報は、メモリやハードディスク、ＳＳＤ（Ｓｏｌｉｄ  Ｓｔａｔｅ  Ｄｒｉｖｅ）などの記憶装置、または、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤなどの記憶媒体に置くことができる。また、上記で説明した制御部１０９の処理手段などは、それらの一部あるいは全部を、例えば集積回路で設計するなどによりハードウェアで実現してもよい。
【００５３】
また、図面における制御線や情報線は、説明上必要と考えられるものを示しており、製品上必ずしも全ての制御線や情報線を示しているとは限らない。全ての構成が相互に接続されていてもよい。
【符号の説明】
【００５４】
１０１  Ｙビーム
１０２  Ｘビーム
１０５  ヘッドアクチュエータ
１０６  フィーダ
１０７  部品認識カメラ
１０８  基板
１０９  制御部
１１０  本体
１１１  画像処理部
１１２  距離判定部
１１３  補正部
１１４  記憶部
２０１  ロータ
２０２  ノズル
２０３  ノズル先端
２０４  バルブ
２０５  カメラ
２０６  部品
２０８  ロータ回転軸
２０９  カメラ固定部
３０１  カメラ画像
３０２  はんだ
５０１  カメラ画像
７０３  目標部品実装位置
１３０１  カメラ画像
１３０３  実装部品位置
１５０１  部品配給箇所
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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